(57)【要約】【課題】気体噴出ノズル部における振動や、気体噴出ノズル部の位置ズレが発生したり、基板収納容器の搬送中に、気体噴出ノズル部の中央部分に捻れが発生したりすることを抑えることが可能な基板収納容器を提供すること。【解決手段】基板収納容器１は、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能な通気路と、通気路に配置されたフィルタと、を有し、壁部２０に配置され、フィルタを通して容器本体２の外部の空間と基板収納空間２７との間で気体が通過可能なフィルタ部と、フィルタ部の通気路に流入した気体を、基板収納空間２７に供給する気体噴出ノズル部１１０と、を備えている。気体噴出ノズル部１１０の一端部と他端部との間の中央部分を含む気体噴出ノズル部１１０の少なくとも１箇所以上に係合して、少なくとも中央部分を支持する支持部材１６０を備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
前記基板収納空間と前記容器本体の外部の空間とを連通可能な通気路と、前記通気路に配置されたフィルタと、を有し、前記壁部に配置され、前記フィルタを通して前記容器本体の外部の空間と前記基板収納空間との間で気体が通過可能なフィルタ部と、
前記フィルタ部の前記通気路に流入した気体を、前記基板収納空間に供給する気体噴出ノズル部と、を備え、
前記気体噴出ノズル部の一端部と他端部との間の中央部分を含む前記気体噴出ノズル部の少なくとも１箇所以上に係合して、少なくとも前記中央部分を支持する支持部材を備える基板収納容器。
【請求項２】
前記支持部材は、前記中央部分に係合して前記中央部分を支持する中央支持部材を有し、
前記中央支持部材は、前記壁部に固定される支持部材基部と、前記支持部材基部から前記容器本体開口部の方向へ延びる延出腕部と、前記延出腕部の延出端部に位置する中央部分係合部と、を有する請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記支持部材は、前記気体噴出ノズル部の他端部に係合して前記気体噴出ノズル部の他端部を支持する他端部支持部材を更に有し、
前記他端部支持部材は、前記気体噴出ノズル部の他端部に係合する他端部係合部と、前記気体噴出ノズル部の他端部の端面に当接する端面当接部と、を有する請求項２に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記端面当接部は、前記他端部係合部に対して相対的に変位可能に弾性を有する請求項３に記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記支持部材は、前記中央部分に係合して前記中央部分を支持する中央支持部材を有し、
前記中央支持部材は、前記中央部分に係合する中央部分係合部を有し、
前記中央部分係合部は、前記中央部分の外面に沿った形状を有している請求項１〜４のいずれかに記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハからなる基板を収納して、工場内の工程において搬送するための基板収納容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている。容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。
【０００３】
蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する（特許文献１参照）。
【０００４】
容器本体には、弁体を有する給気バルブが設けられている。給気バルブを通して、容器本体の外部から基板収納空間へ、窒素等の不活性ガスあるいは水分が除去（１％以下）されたドライエア（以下、パージガスという）が流入して、ガスパージが行われる。
【０００５】
基板収納容器においては、短時間で容器内部の空気をパージガスで効率的に置換するために、容器本体の奥側の左右の給気バルブには、容器本体の上下方向に延びる気体噴出ノズル部が設けられている。そして気体噴出ノズル部の周壁には、収納されるそれぞれの基板の上下面にパージガスを噴出する噴出孔が形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１６−４９４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
気体噴出ノズル部から噴出されるパージガスは、ガスパージを所定の時間で行うため、流量が多い。このため、パージガスの噴出中に、気体噴出ノズル部において振動が発生したり、容器本体に対する気体噴出ノズル部の位置ズレが発生したりする可能性がある。そして、このような振動の発生に起因して、部品同士が擦れて、パーティクルが発生する恐れがある。また、このような振動やズレの発生により、パージガスが基板収納空間において均一に行き渡らない恐れがある。
【０００８】
また、基板収納容器が高速で搬送されると、振動や加速度の作用により、気体噴出ノズル部が所定の設置位置から横方向（水平方向）や縦方向（垂直方向）等にずれる可能性がある。その結果、基板収納容器の内部のエアをパージガスに効率良く置換させることが困難になる恐れがある。より具体的には、上記特許文献１に記載された基板収納容器では、支持部材によって気体噴出ノズル部（筒状噴射部）の上端のみが押さえられている。この構成では、気体噴出ノズル部の上端の位置の固定は可能だが、気体噴出ノズル部の長手方向における中央部分に、気体噴出ノズル部の軸心を中心とした気体噴出ノズル部の周方向への捻じれが発生する可能性がある。このような捻れが発生したままの状態では、パージガスが噴出される方向が所定の方向とならず、パージガスが基板収納空間において、均一に行き渡らなくなる恐れがある。
【０００９】
本発明は、気体噴出ノズル部における振動や、気体噴出ノズル部の位置ズレが発生したり、基板収納容器の搬送中に、気体噴出ノズル部の中央部分に捻れが発生したりすることを抑えることが可能な基板収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記基板収納空間と前記容器本体の外部の空間とを連通可能な通気路と、前記通気路に配置されたフィルタと、を有し、前記壁部に配置され、前記フィルタを通して前記容器本体の外部の空間と前記基板収納空間との間で気体が通過可能なフィルタ部と、前記フィルタ部の前記通気路に流入した気体を、前記基板収納空間に供給する気体噴出ノズル部と、を備え、前記気体噴出ノズル部の一端部と他端部との間の中央部分を含む前記気体噴出ノズル部の少なくとも１箇所以上に係合して、少なくとも前記中央部分を支持する支持部材を備える基板収納容器に関する。
【００１１】
また、前記支持部材は、前記中央部分に係合して前記中央部分を支持する中央支持部材を有し、前記中央支持部材は、前記壁部に固定される支持部材基部と、前記支持部材基部から前記容器本体開口部の方向へ延びる延出腕部と、前記延出腕部の延出端部に位置する中央部分係合部と、を有することが好ましい。
【００１２】
また、前記支持部材は、前記気体噴出ノズル部の他端部に係合して前記気体噴出ノズル部の他端部を支持する他端部支持部材を更に有し、前記他端部支持部材は、前記気体噴出ノズル部の他端部に係合する他端部係合部と、前記気体噴出ノズル部の他端部の端面に当接する端面当接部と、を有することが好ましい。
【００１３】
また、前記端面当接部は、前記他端部係合部に対して相対的に変位可能に弾性を有することが好ましい。
【００１４】
また、前記支持部材は、前記中央部分に係合して前記中央部分を支持する中央支持部材を有し、前記中央支持部材は、前記中央部分に係合する中央部分係合部を有し、前記中央部分係合部は、前記中央部分の外面に沿った形状を有していることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、気体噴出ノズル部における振動や、気体噴出ノズル部の位置ズレが発生したり、基板収納容器の搬送中に、気体噴出ノズル部の中央部分に捻れが発生したりすることを抑えることが可能な基板収納容器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す下方斜視図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１を示す断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の気体噴出制御機構１０１を示す分解斜視図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の管状気体流通部１１０が中央支持部材１７０によって支持される前の状態を示す斜視図である。
【図６】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の管状気体流通部１１０が中央支持部材１７０によって支持されている状態を示す斜視図である。
【図７】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の中央支持部材１７０の支持部材基部１７１を示す後方斜視図である。
【図８】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の奥壁２２の基部固定部２１０を示す斜視図である。
【図９】本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１Ａを示す断面図である。
【図１０】本発明の第３実施形態に係る基板収納容器の管状気体流通部１１０が中央支持部材１７０及び他端部支持部材１８０Ｂによって支持されている状態を示す斜視図である。
【図１１】本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の管状気体流通部１１０Ｃが中央支持部材１７０Ｃによって支持される前の状態を示す斜視図である。
【図１２】本発明の第５実施形態に係る基板収納容器の管状気体流通部１１０Ｄが中央支持部材１７０Ｄによって支持されている状態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す下方斜視図である。図３は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１を示す断面図である。図４は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の気体噴出制御機構１０１を示す分解斜視図である。図５は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の管状気体流通部１１０が中央支持部材１７０によって支持される前の状態を示す斜視図である。
【００１８】
図６は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の管状気体流通部１１０が中央支持部材１７０によって支持されている状態を示す斜視図である。図７は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の中央支持部材１７０の支持部材基部１７１を示す後方斜視図である。図８は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の奥壁２２の基部固定部２１０を示す斜視図である。
【００１９】
ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向（奥側方向）Ｄ１２と定義し、これらをあわせて前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらをあわせて上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらをあわせて左右方向Ｄ３と定義する。主要な図には、これらの方向を示す矢印を図示している。
【００２０】
また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍ〜４５０ｍｍのシリコンウェーハである。
【００２１】
図１に示すように、基板収納容器１は、上述のようなシリコンウェーハ等からなる基板Ｗを収納して、工場内の工程において搬送する工程内容器として用いられたり、陸運手段・空運手段・海運手段等の輸送手段により基板を輸送するための出荷容器として用いられたりするものであり、容器本体２と、蓋体３と、基板支持板状部５と、奥側基板支持部６（図３参照）と、フロントリテーナ７（図３参照）とを有している。
【００２２】
容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。
【００２３】
基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部６が設けられている。
【００２４】
奥側基板支持部６は、基板収納空間２７内において後述するフロントリテーナ７と対をなすように壁部２０に設けられている。奥側基板支持部６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。
【００２５】
蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部３１（図１等）に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。
【００２６】
フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部６と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。
【００２７】
基板収納容器１は、プラスチック材等の樹脂で構成されており、特に説明が無い場合には、その材料の樹脂としては、たとえば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチルテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が上げられる。これらの成形材料の樹脂には、導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電性物質が選択的に添加される。また、剛性を上げるためにガラス繊維や炭素繊維等を添加することも可能である。
【００２８】
以下、各部について、詳細に説明する。
図１等に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、上述した材料により構成されており、一体成形されて構成されている。
【００２９】
第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部３１を構成する。
【００３０】
開口周縁部３１は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部３１に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。
【００３１】
奥壁２２には、基部固定部２１０が設けられている。図８に示すように、基部固定部２１０は、奥壁２２の左右方向における両端部近傍の部分であって、且つ、上下方向Ｄ２における中央部に、一対設けられている。基部固定部２１０は、水平延出部２２１と、Ｌ字状部２３１とを有している。水平延出部２２１は、奥壁２２の内面から前方向Ｄ１１へ向って突出し、左右方向Ｄ３に一直線状に延びている。Ｌ字状部２３１は、水平延出部２２１の下方にそれぞれ設けられており、奥壁２２の内面から前方向Ｄ１１へ向って突出し、その突出端部において折れ曲がり、所定の位置に至るまで下方向Ｄ２２へ延びている。このため、Ｌ字状部２３１は、側方視でＬ字状を有している。左右方向Ｄ３におけるＬ字状部２３１の中央位置には、リブ２３５が設けられている。リブ２３５は、Ｌ字状部２３１が前方向Ｄ１１へ延びている部分においては、Ｌ字状部２３１の上面から上方向Ｄ２１へ突出しており、Ｌ字状部２３１が下方向Ｄ２２へ延びている部分においては、Ｌ字状部２３１の前面から前方向Ｄ１１向へ突出する。
【００３２】
図１に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部３１の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部４０Ａ、４０Ｂ、４１Ａ、４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部４０Ａ、４０Ｂ、４１Ａ、４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。
【００３３】
図１に示すように、上壁２３の外面においては、リブ２８が、上壁２３と一体成形されて設けられている。リブ２８は、容器本体の剛性を高める。また、上壁２３の中央部には、トップフランジ２９が固定される。トップフランジ２９は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。
【００３４】
図１、図２に示すように、下壁２４の四隅には、通気路として、２種類の貫通孔である給気孔４５と排気孔４６が形成されている。本実施形態においては、下壁２４の前部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部の気体を排出するための排気孔４６であり、後部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部に気体を給気するための給気孔４５である。給気孔４５としての貫通孔には、給気用フィルタ部８０が配置されており、排気孔４６としての貫通孔には、排気用フィルタ部８１が配置されている。従って、給気用フィルタ部８０及び排気用フィルタ部８１の内部の気体の流路は、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能な通気路の一部を構成する。また、給気用フィルタ部８０と排気用フィルタ部８１とは、壁部２０に配置されており、給気用フィルタ部８０と排気用フィルタ部８１とにおいては、フィルタ８３を通して容器本体２の外部の空間と基板収納空間２７との間で気体が通過可能である。
【００３５】
図４に示すように給気用フィルタ部８０は、フィルタ部ハウジングとしてのハウジング８２と、フィルタ８３と、逆止弁８４とを有している。フィルタ８３と逆止弁８４は、ハウジング８２に固定されている。フィルタ８３は、通気路に配置されており、逆止弁８４よりも基板収納空間２７側に配置されている。給気用フィルタ部８０は、逆止弁８４によりフィルタ８３を通して容器本体２の外部の空間から基板収納空間２７へのみ気体を通過可能である。その際、フィルタ８３は、容器本体２の外部空間からの気体に含まれるパーティクル等が通過することを阻止する。
【００３６】
また、排気用フィルタ部８１は、給気用フィルタ部８０と同様な構成を有しているが、逆止弁の機能が給気用の逆止弁８４の機能とは異なり、基板収納空間２７から容器本体２の外部の空間へのみ気体を通過可能である。
【００３７】
図３に示すように、気体噴出制御機構１０１は、容器本体２の基板収納空間２７の奥壁２２の内面の近傍に設けられている。気体噴出制御機構１０１は、計２つ左右方向において対向して設けられている。なお、図３においては、気体噴出制御機構１０１は、１つのみ現われている。気体噴出制御機構１０１としては、上述した基板収納容器１の樹脂以外にも、ポリエチレン、ポリプロピレン等も用いることができる。気体噴出制御機構１０１は、一対設けられているが、左右対称形状を有しているため、左側の気体噴出制御機構１０１について説明し、右側の気体噴出制御機構１０１については、説明を省略する。
【００３８】
気体噴出制御機構１０１は、給気孔４５（図２参照）の上部に配置されている。図４に示すように、気体噴出制御機構１０１は、給気用フィルタ部８０の内部の通気路に流入した気体を、基板収納空間２７に供給する気体噴出ノズル部としての、複数の開口部１３０を有する管状気体流通部１１０と、給気用フィルタ部８０と管状気体流通部１１０を接続し、給気用フィルタ部８０から気体噴出ノズル部としての管状気体流通部１１０へ気体を流通可能に連通するための接続部１２０と、を有している。管状気体流通部１１０は、上端部が閉塞され、下端部が開口し、下端部から上端部へと近づくにつれて細くなる載頭先窄まりの略円筒形状を有しており、管状気体流通部１１０の下端部は、接続部１２０を介して下壁２４に固定されている。
【００３９】
管状気体流通部１１０は、開口部１３０を有している。開口部１３０は、基板収納空間２７へ向けて開口している。管状気体流通部１１０の内部は中空である。各開口部１３０から噴出する気体の流量が均一になるように、開口部１３０の大きさ、配置は適宜設計可能に構成される。本実施形態では、基板収納容器１において上下方向Ｄ２に収納される複数の基板Ｗのうちの下から１〜１４枚目までの基板Ｗ同士の間の、上下方向Ｄ２において隣接する基板Ｗ間に噴出するように開口部１３０が配置されている。
【００４０】
また、管状気体流通部１１０は、中央支持部材係合凹部１１３を有している。図５に示すように、管状気体流通部１１０において中央支持部材係合凹部１１３は、上から６番目の開口部１３０と、上から７番目の開口部１３０と、の間に、管状気体流通部１１０の周方向の直径位置に一対形成されている。中央支持部材係合凹部１１３は、それぞれ、管状気体流通部１１０の半径方向内方へ窪んでおり、上下方向Ｄ２に延びている。
【００４１】
また、図５に示すように、管状気体流通部１１０は、上部支持部材係合凹部１１５を有している。上部支持部材係合凹部１１５は、上から１番目の開口部１３０と、上から２番目の開口部１３０と、の間に、管状気体流通部１１０の周方向の直径位置に一対形成されている。上部支持部材係合凹部１１５は、それぞれ、管状気体流通部１１０の半径方向内方へ窪んでおり、上下方向Ｄ２に延びている。
【００４２】
また、図３等に示すように管状気体流通部１１０は、下壁２４と上壁２３との間において、所定の高さを有している。本実施形態では、容器本体２に収納される基板Ｗの下から１３枚目と１４枚目の間に最上段の開口部１３０を配置可能な高さを、管状気体流通部１１０は有している。
【００４３】
管状気体流通部１１０は、支持部材１６０によって支持されている。即ち、管状気体流通部１１０は、管状気体流通部１１０の一端部としての下端部１１６と、他端部としての上端部１１８と、の間の中央部分１１７に形成された中央支持部材係合凹部１１３に係合して、当該中央部分１１７を支持する。ここで中央部分１１７とは、管状気体流通部１１０の上端と下端との中間の位置の部分を含む、上下方向Ｄ２に所定の広がりを有する領域の部分を意味する。同様に、下端部１１６とは、管状気体流通部１１０の下端の部分を含む、上方向Ｄ２１に所定の広がりを有する領域の部分を意味する。また、上端部１１８とは、管状気体流通部１１０の上端の部分を含む、下方向Ｄ２２に所定の広がりを有する領域の部分を意味する。
【００４４】
支持部材１６０は、中央支持部材係合凹部１１３に係合して当該中央部分１１７を支持する中央支持部材１７０を有している。中央支持部材１７０は、支持部材基部１７１と、延出腕部１７２と、中央部分係合部１７６とを有している。支持部材１６０を構成する中央支持部材１７０は、一対設けられているが、左右対称形状を有しているため、左側の中央支持部材１７０について説明し、右側の中央支持部材１７０については、説明を省略する。
【００４５】
支持部材基部１７１は、壁部２０を構成する奥壁２２の基部固定部２１０に固定される。具体的には、支持部材基部１７１は、図５〜図７に示すように、互いに一体成形されて接続されている略長方形状の板状基部１７１１と、裏面側突出部１７１２と、表面側リブ１７１３と、中央貫通孔１７１４と、を有している。
【００４６】
中央貫通孔１７１４（図７参照）は、板状基部１７１１に形成されており、長方形状を有している。表面側リブ１７１３（図５参照）は、上下方向Ｄ２に沿った中央貫通孔１７１４の一対の辺に沿って板状基部１７１１の上端から下端へ至るまで延びて、一対設けられており、板状基部１７１１の表面から前方向Ｄ１１へ突出している。板状基部１７１１の上部は、表面側リブ１７１３の前方向Ｄ１１への突出端部同士を掛け渡すように、形成されている。板状基部１７１１の下部に位置する表面側リブ１７１３の部分には、他方の表面側リブ１７１３へ近づく方向へ突出する突起１７１５（図１２参照）が設けられている。
【００４７】
また、板状基部１７１１の上部に位置する一対の表面側リブ１７１３の部分には、一対の表面側リブ１７１３において互いに離間し合う方向（左右方向Ｄ３）へ窪んだ水平延出部係合溝１７１７（図７参照）が、それぞれ形成されている。水平延出部係合溝１７１７は、表面側リブ１７１３の最前端から、後方向Ｄ１２へ、板状基部１７１１の上部の部分に至るまで形成されている。板状基部１７１１の上端部に位置する一対の表面側リブ１７１３の部分から、水平延出部係合溝１７１７に至るまでの、一対の表面側リブ１７１３の部分は、互いの間隔が、下方向Ｄ２２へ進むにつれて、即ち、水平延出部係合溝１７１７に近づくにつれて、狭くなるテーパー形状部１７１８を有している。水平延出部係合溝１７１７においては、テーパー形状部１７１８の最も狭い部分よりも僅かに、一対の表面側リブ１７１３同士の間隔が広がっている。
【００４８】
裏面側突出部１７１２は、略長方形状の板状基部１７１１の四隅に設けられており、半球状に後方向Ｄ１２へ突出している。奥壁２２からの中央部分係合部１７６の突出高さの調整は、裏面側突出部１７１２の突出量を調整することにより行われる。
【００４９】
図５等に示すように、延出腕部１７２は、板状基部１７１１の下部の左端部から左方向Ｄ３１へ延び、前方向Ｄ１１へ折れ曲がり、前方向Ｄ１１へ、即ち、容器本体開口部２１の方向へ延びている。
中央部分係合部１７６は、管状気体流通部１１０の上下方向Ｄ２における中央部分１１７の外面に沿った形状を有している。即ち、中央部分係合部１７６は、略半円形状を有しており、中央部分係合部１７６の中央部分１１７は、延出腕部１７２の延出端部に位置して接続されている。中央部分係合部１７６の先端部、即ち、前端部は、中央部分係合部１７６の直径方向へそれぞれ突出する腕部フック部１７６３が設けられている。腕部フック部１７６３は、中央支持部材係合凹部１１３に係合可能であり、この係合により、中央支持部材１７０は管状気体流通部１１０を支持する。
【００５０】
図１等に示すように、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部３１の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部３１に対して着脱可能であり、開口周縁部３１に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部３１のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面３０）に対向する面には、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等により構成されている。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。
【００５１】
蓋体３が開口周縁部３１に装着されたときに、シール部材４は、シール面３０と蓋体３の内面とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部３１から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。
【００５２】
蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂと、蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部（図示せず）と、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部は、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。
【００５３】
蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂ、下側ラッチ部（図示せず）を蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂが蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部４０Ａ、４０Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部（図示せず）が蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部４１Ａ、４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部３１に固定される。
【００５４】
蓋体３の内側においては、基板収納空間２７の外方へ窪んだ凹部３５（図３参照）が形成されている。凹部３５及び凹部３５の外側の蓋体３の部分には、フロントリテーナ７が固定されている。
【００５５】
図３に示すように、フロントリテーナ７は、フロントリテーナ基板受け部７１を有している。フロントリテーナ基板受け部７１は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部７１は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられている。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、フロントリテーナ基板受け部７１は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。
【００５６】
上述のような基板収納容器１における、支持部材１６０による管状気体流通部１１０の支持について説明する。
先ず、一対の中央支持部材１７０を奥壁の固定部に固定する。具体的には、板状基部１７１１の中央貫通孔１７１４に、基部固定部２１０のＬ字状部２３１を挿入し、中央支持部材１７０をＬ字状部２３１に対して相対的に上方へ移動させる。これにより、中央支持部材１７０の板状基部１７１１の下部にＬ字状部２３１が引っ掛かったような状態で係合する。これにより、水平延出部２２１が板状基部１７１１のテーパー形状部１７１８によって水平延出部係合溝１７１７へ案内される。そして、板状基部１７１１の下部に位置する表面側リブ１７１３の部分に設けられた突起１７１５が表面側リブ１７１３に当接すると共に、水平延出部係合溝１７１７に水平延出部２２１が嵌合することにより、奥壁２２の基部固定部２１０への、板状基部１７１１を有する中央支持部材１７０（支持部材１６０）の、位置決めがなされ、固定される。
【００５７】
次に、基部固定部２１０に固定された中央支持部材１７０の中央部分係合部１７６に中央支持部材係合凹部１１３を係合させる。具体的には、図５に示す状態から、中央部分係合部１７６に対して、後方向Ｄ１２に向って管状気体流通部１１０を移動させてゆき、図６に示すように、中央部分係合部１７６の一対の腕部フック部１７６３の間に管状気体流通部１１０を嵌め込む。これにより、一対の腕部フック部１７６３が、それぞれ中央支持部材係合凹部１１３に係合し、中央支持部材１７０の中央部分係合部１７６が、上下方向Ｄ２における管状気体流通部１１０の中央部分１１７に固定される。この結果、基板収納容器１において、中央支持部材１７０によって、上下方向Ｄ２における管状気体流通部１１０の中央部分１１７が支持された状態となる。なお、図５、図６においては、便宜上奥壁２２及び基部固定部２１０の図示を省略している。
【００５８】
上記構成の実施形態に係る基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
【００５９】
上述のように基板収納容器１は、一端部に容器本体開口部２１が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部２０を備え、壁部２０の内面によって、複数の基板Ｗを収納可能であり容器本体開口部２１に連通する基板収納空間２７が形成された容器本体２と、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３と、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能な通気路と、通気路に配置されたフィルタと、を有し、壁部２０に配置され、フィルタを通して容器本体２の外部の空間と基板収納空間２７との間で気体が通過可能なフィルタ部と、フィルタ部の通気路に流入した気体を、基板収納空間２７に供給する気体噴出ノズル部としての管状気体流通部１１０と、を備える。
基板収納容器１は、管状気体流通部１１０の一端部（上端部１１８）と他端部（下端部１１６）との間の中央部分１１７を含む管状気体流通部１１０の少なくとも１箇所以上に係合して、少なくとも中央部分１１７を支持する支持部材１６０を備える。
【００６０】
この構成により、支持部材１６０が中央部分１１７を支持するため、支持部材１６０により中央部分１１７の変位を抑えることがきる。このため、パージガスの噴出中に管状気体流通部１１０において振動が発生したり、容器本体２に対する管状気体流通部１１０の位置ズレが発生したりすることを抑えることができる。そして、このような振動の発生に起因して、基板収納容器１を構成する部品同士が擦れて、パーティクルが発生することを抑えることができる。また、このような振動やズレの発生により、パージガスが基板収納空間２７において均一に行き渡らなくなることを抑えることができる。
【００６１】
また、管状気体流通部１１０を支持しない場合と比較して、基板収納容器１に作用する振動や加速度等の外部応力に対して、管状気体流通部１１０の前後方向Ｄ１、上下方向Ｄ２、及び、左右方向Ｄ３へのずれや、姿勢の変化や、中央部分１１７の軸心を中心として中央部分１１７の周方向に中央部分１１７が捻れること等を抑制することが可能となる。この結果、長期的に使用した基板収納容器１であっても、ガスパージの効率が落ちることを抑えることができ、不活性ガスにより均一に置換することが可能である。
【００６２】
また、支持部材１６０は、中央部分１１７に係合して中央部分１１７を支持する中央支持部材１７０を有する。中央支持部材１７０は、壁部２０に固定される支持部材基部１７１と、支持部材基部１７１から容器本体開口部２１の方向へ延びる延出腕部１７２と、延出腕部１７２の延出端部に位置する中央部分係合部１７６と、を有する。
【００６３】
この構成により、中央部分係合部１７６が上下方向における管状気体流通部１１０の中央部分１１７に係合するため、経年変化による管状気体流通部１１０の軸心を中心とした管状気体流通部１１０の捻じれ等を、確実に抑制可能である。また、中央支持部材１７０は、支持部材基部１７１から容器本体開口部２１の方向へ延びる延出腕部１７２を有している。このため、容器本体開口部２１から奥壁２２へと向う方向へ管状気体流通部１１０を移動させてゆき、中央部分係合部１７６へ係合させることを可能とする。
【００６４】
また、支持部材１６０は、中央部分１１７に係合して中央部分１１７を支持する中央支持部材１７０を有する。中央支持部材１７０は、中央部分１１７に係合する中央部分係合部１７６を有する。中央部分係合部１７６は、中央部分１１７の外面に沿った形状を有している。
【００６５】
この構成により、中央部分係合部１７６が上下方向における管状気体流通部１１０の中央部分１１７の外面に沿って係合するため、中央部分係合部１７６が管状気体流通部１１０の中央部分１１７に係合している状態を安定して維持することを可能とする。
【００６６】
次に、本発明の第２実施形態による基板収納容器について図９を参照しながら説明する。図９は、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１Ａを示す断面図である。
【００６７】
第２実施形態による基板収納容器においては、上下方向Ｄ２における管状気体流通部１１０Ａの長さが第１実施形態における管状気体流通部１１０とは異なる。これに伴い、管状気体流通部１１０の長手方向における中央位置に形成された中央支持部材係合凹部１１３に、中央部分係合部１７６が係合可能に、中央支持部材１７０を奥壁２２に固定する基部固定部２１０（図８参照）が配置されている点で、第１実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態による基板収納容器１の構成と同様であるため、第１実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。
【００６８】
管状気体流通部１１０Ａは、容器本体２に収納される基板Ｗの下から２４枚目と２５枚目の間（上から１枚目と２枚目の間）に最上段の開口部１３０を配置可能な高さを有している。従って、容器本体２に収納される基板Ｗの下から１４枚目から２５枚目までの、上下方向Ｄ２において隣接する基板Ｗの間にも、それぞれ開口部１３０が配置される。中央支持部材係合凹部１１３は、下から１２番目の開口部１３０と、下から１３番目の開口部１３０と、の間に、管状気体流通部１１０の周方向の直径位置に一対形成されている。この中央支持部材係合凹部１１３に中央部分係合部１７６は係合しており、このように係合することが可能な奥壁２２の位置において、中央支持部材１７０は基部固定部２１０（図８参照）に固定されている。これにより、管状気体流通部１１０Ａは、中央支持部材１７０によって奥壁２２の基部固定部２１０に固定されている。
【００６９】
次に、本発明の第３実施形態による基板収納容器について図１０を参照しながら説明する。図１０は、本発明の第３実施形態に係る基板収納容器の管状気体流通部１１０が中央支持部材１７０及び他端部支持部材１８０Ｂによって支持されている状態を示す斜視図である。
【００７０】
第３実施形態による基板収納容器においては、支持部材１６０Ｂは、第１実施形態における中央支持部材１７０に加えて、更に、管状気体流通部１１０の他端部としての上端部１１８（図５参照）を支持する他端部支持部材１８０Ｂを有する点で、第１実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態による基板収納容器１の構成と同様であるため、第１実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。
【００７１】
他端部支持部材１８０Ｂは、支持部材基部１７１と、延出腕部１７２と、他端部係合部１７６Ｂと、端面当接部１８３Ｂと、を有している。
他端部支持部材１８０Ｂは、一対設けられているが、左右対称形状を有しているため、左側の他端部支持部材１８０Ｂについて説明し、右側の他端部支持部材１８０Ｂについては、説明を省略する。また、支持部材基部１７１及び延出腕部１７２は、第１実施形態における中央支持部材１７０の支持部材基部１７１及び延出腕部１７２と同一であるため、説明を省略する。また、他端部係合部１７６Ｂは、第１実施形態における中央支持部材１７０の中央部分係合部１７６に対して僅かに半径が小さい点、及び、腕部フック部１７６３Ｂが、管状気体流通部１１０の上部支持部材係合凹部１１５に係合可能な点で、第１実施形態における中央部分係合部１７６とは異なるが、これ以外の構成は、第１実施形態における中央部分係合部１７６と同一であるため、説明を省略する。
【００７２】
端面当接部１８３Ｂは、板状基部１７１１の上部の左端部から左方向Ｄ３１へ延び、前方向Ｄ１１へ折れ曲がり、前方向Ｄ１１へ、即ち、容器本体開口部２１の方向へ延びており、端面当接部１８３Ｂの延出端部１８３１Ｂは、略半円形状を有する他端部係合部１７６Ｂの上方に位置している。端面当接部１８３Ｂは、板状基部１７１１の上部の左端部から、他端部係合部１７６Ｂの上方の位置に至るまで、左側寄りの部分の上下方向Ｄ２における厚みを厚肉とする厚肉部１８３２Ｂを有している。他端部係合部１７６Ｂの腕部フック部１７６３Ｂが、管状気体流通部１１０の上部支持部材係合凹部１１５に係合して、他端部支持部材１８０Ｂが管状気体流通部１１０の上端部に固定されて、他端部支持部材１８０Ｂによって管状気体流通部１１０Ａの上端部１１８が支持されているときに、端面当接部１８３Ｂの延出端部は、管状気体流通部１１０の上端面１１１に当接する。
【００７３】
上記構成の実施形態に係る基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。
【００７４】
上述のように支持部材１６０Ｂは、気体噴出ノズル部としての管状気体流通部１１０の他端部（上端部１１８（図５参照））に係合して、管状気体流通部１１０の上端部１１８を支持する他端部支持部材１８０Ｂを更に有する。他端部支持部材１８０Ｂは、管状気体流通部１１０の上端部１１８に係合する他端部係合部１７６Ｂと、管状気体流通部１１０の上端部１１８の端面に当接する端面当接部１８３Ｂと、を有する。
【００７５】
この構成により、第１実施形態と同様に、上下方向Ｄ２における管状気体流通部１１０の中央部分１１７を中央支持部材１７０によって支持可能であることに加えて、管状気体流通部１１０の他端部としての上端部１１８を、他端部支持部材１８０Ｂによって支持可能である。このため管状気体流通部１１０の全体をバランス良く確実に支持することが可能である。
【００７６】
次に、本発明の第４実施形態による基板収納容器について図１１を参照しながら説明する。図１１は、本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の管状気体流通部１１０Ｃが中央支持部材１７０Ｃによって支持される前の状態を示す斜視図である。
【００７７】
第４実施形態による基板収納容器においては、中央部分係合部１７６Ｃの構成が、第１実施形態における中央部分係合部１７６の構成とは異なる。また、中央部分係合部１７６Ｃが係合する管状気体流通部１１０Ｃの構成が、第１実施形態における管状気体流通部１１０の構成とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態による基板収納容器１の構成と同様であるため、第１実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。
【００７８】
中央部分係合部１７６Ｃは、軸心が上下方向Ｄ２に一致する位置関係を有する環状を有している。中央部分係合部１７６Ｃの中央部の貫通孔１７６２Ｃには、管状気体流通部１１０Ｃを挿入可能である。管状気体流通部１１０Ｃは、被係合環状溝１１３Ｃを有している。被係合環状溝１１３Ｃは、下から７番目の開口部１３０と、下から８番目の開口部１３０と、の間の管状気体流通部１１０Ｃの部分に、管状気体流通部１１０Ｃを一周するように形成されている。中央部分係合部１７６Ｃの貫通孔１７６２Ｃに、管状気体流通部１１０Ｃを管状気体流通部１１０Ｃの上端部から挿入してゆくと、被係合環状溝１１３Ｃに、中央部分係合部１７６Ｃが嵌まり、係合するように構成されている。このように係合した状態で、中央支持部材１７０Ｃは、上下方向Ｄ２における管状気体流通部１１０Ｃの中央部分１１７Ｃを支持可能である。
【００７９】
次に、本発明の第５実施形態による基板収納容器について図１２を参照しながら説明する。図１２は、本発明の第５実施形態に係る基板収納容器の管状気体流通部１１０Ｄが中央支持部材１７０Ｄによって支持されている状態を示す斜視図である。
【００８０】
第５実施形態による基板収納容器においては、中央部分係合部１７６Ｄの構成が、第４実施形態における中央部分係合部１７６Ｃの構成とは異なる。また、中央部分係合部１７６Ｄが係合する管状気体流通部１１０Ｄの構成が、第４実施形態における管状気体流通部１１０Ｃの構成とは異なる。これ以外の構成については、第４実施形態による基板収納容器の構成と同様であるため、第４実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。
【００８１】
管状気体流通部１１０Ｄの周面には、上下延出溝１１３Ｄが形成されている。前述のように、管状気体流通部１１０Ｄには、上下方向Ｄ２に１３個の開口部１３０が一列に並んでおり、この列が管状気体流通部１１０Ｄの周方向に複数列形成されているが、この複数の列のうちの所定の列と、当該所定の列に隣接する他の列と、の間に、上下延出溝１１３Ｄは形成されている。上下延出溝１１３Ｄは、上から１番目の開口部１３０と２番目と開口部１３０との間の位置から、上から６番目の開口部１３０と７番目と開口部１３０との間の位置に至るまで延びて形成されている。水平面で切った上下延出溝１１３Ｄの断面形状は、Ｖ字形状を有しており、当該Ｖ字形状は、下方向Ｄ２２に進むにつれて拡大する。
【００８２】
中央部分係合部１７６Ｄは、Ｖ字状凸部１７６３Ｄを有している。Ｖ字状凸部１７６３Ｄは、環状を有する中央部分係合部１７６Ｄの部分であって、延出腕部１７２に接続されている部分に対する直径位置の部分の内周面から、中央部分係合部１７６Ｄの中心へ向って突出しており、中央部分係合部１７６Ｄの軸心方向視でＶ字形状を有している。
【００８３】
上述のような基板収納容器における、中央支持部材１７０Ｄによる管状気体流通部１１０Ｄの支持について説明する。
先ず、中央部分係合部１７６Ｄの中央部の貫通孔に、管状気体流通部１１０Ｄを管状気体流通部１１０Ｄの上端部から挿入してゆくと、Ｖ字状凸部１７６３Ｄが上下延出溝１１３Ｄに係合する。そして更に管状気体流通部１１０Ｄを中央部分係合部１７６Ｄに対して上方向Ｄ２１へ移動させてゆくと、Ｖ字形状が最も拡大した上下延出溝１１３Ｄの下端部においてＶ字状凸部１７６３Ｄが管状気体流通部１１０Ｄに対して固定される。これにより、中央支持部材１７０Ｄの中央部分係合部１７６Ｄが、上下方向Ｄ２における管状気体流通部１１０Ｄの中央部分１１７Ｄに固定される。
【００８４】
次に、一対の中央支持部材１７０Ｄを奥壁２２の基部固定部２１０に固定する。この結果、奥壁２２の基部固定部２１０に固定された中央支持部材１７０Ｄによって、上下方向Ｄ２における管状気体流通部１１０Ｄの中央部分１１７Ｄが支持された状態となる。
【００８５】
本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。
例えば、基板収納容器の各部の構成、具体的には、気体噴出ノズル部、支持部材、容器本体、及び、蓋体等の形状や、容器本体に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法は、本実施形態における基板収納容器の各部の構成に限定されない。
例えば、支持部材は、気体噴出ノズル部の一端部と他端部との間の中央部分を含む気体噴出ノズル部の少なくとも１箇所以上に係合して、少なくとも中央部分を支持すればよい。
また、例えば、第１実施形態における中央支持部材係合凹部１１３や上部支持部材係合凹部１１５は形成されていなくてもよい。この場合には、例えば腕部フック部１７６３は、管状気体流通部１１０の開口部１３０の部分に、開口部１３０を狭めたり塞いだりしないように係合するようにしてもよい。
また、例えば、第３実施形態における端面当接部１８３Ｂは、他端部係合部１７６Ｂに対して相対的に変位可能に弾性を有していてもよい。また、管状気体流通部１１０は、上端部１１８が閉塞され、下端部１１６が開口している略円筒形状を有していたが、この構成に限定されない。例えば、水平方向で切った断面形状の外形が、三角形状や四角形状を有していてもよい。
【符号の説明】
【００８６】
１、１Ａ  基板収納容器
２  容器本体
３  蓋体
２０  壁部
２１  容器本体開口部
２７  基板収納空間
８０  給気用フィルタ部（フィルタ部）
８３  フィルタ
１１０  管状気体流通部（気体噴出ノズル部）
１１１  上端面（他端部の端面）
１１７、１１７Ｄ  中央部分
１６０  支持部材
１７０  中央支持部材
１７１  支持部材基部
１７２  延出腕部
１７６、１７６Ｃ、１７６Ｄ  中央部分係合部
１７６Ｂ  他端部係合部
１８０Ｂ  他端部支持部材
１８３Ｂ  端面当接部
Ｗ  基板
【図１】
2017195340.tif 000003
【図２】
2017195340.tif 000004
【図３】
2017195340.tif 000005
【図４】
2017195340.tif 000006
【図５】
2017195340.tif 000007
【図６】
2017195340.tif 000008
【図７】
2017195340.tif 000009
【図８】
2017195340.tif 000010
【図９】
2017195340.tif 000011
【図１０】
2017195340.tif 000012
【図１１】
2017195340.tif 000013
【図１２】
2017195340.tif 000014