(57)【要約】【課題】双方向の振動が可能な薄型構造の振動装置を提供する。【解決手段】基板１００に搭載され、通電により磁界を発生する第１磁界発生部１０と、基板１００に搭載され、通電により磁界を発生する第２磁界発生部２１、２５と、第１磁界発生部１０に対向した位置に磁性体を備え、第１磁界発生部１０により発生する磁界により第１磁界発生部１０の方向に移動する第１振動部１１０と、第２磁界発生部２１、２５に対向した位置に磁性体を備え、第２磁界発生部２１、２５により発生する磁界により第２磁界発生部２１、２５の方向に移動する第２振動部１２０と、第１磁界発生部１０及び第２磁界発生部２１、２５を、所定のタイミングで通電駆動する制御部２００と、を有し、第１振動部１１０と第２振動部１２０は、基板１００に対して互いに反対方向に位置し、第１振動部１１０と第２振動部１２０は一体となって、基板１００に対して所定の位置で弾性的に支持された構成とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に搭載され、通電により磁界を発生する第１磁界発生部と、
前記基板に搭載され、通電により磁界を発生する第２磁界発生部と、
前記第１磁界発生部に対向した位置に磁性体を備え、前記第１磁界発生部により発生する磁界により前記第１磁界発生部の方向に移動する第１振動部と、
前記第２磁界発生部に対向した位置に磁性体を備え、前記第２磁界発生部により発生する磁界により前記第２磁界発生部の方向に移動する第２振動部と、
前記第１磁界発生部及び前記第２磁界発生部を、所定のタイミングで通電駆動する制御部と、を有し、
前記第１振動部と前記第２振動部は、前記基板に対して互いに反対方向に位置し、前記第１振動部と前記第２振動部は一体となって、前記基板に対して所定の位置で弾性的に支持されていることを特徴とする振動装置。
【請求項２】
前記第１振動部は磁性板であって、前記第２磁界発生部に対向した位置に貫通穴部を有し、前記第２振動部は磁性板であって、前記第１磁界発生部に対向した位置に貫通穴部を有することを特徴とする請求項１に記載の振動装置。
【請求項３】
前記基板は多層基板とされ、各層の基板に前記通電により磁界を発生するコイルが形成され、前記各層の前記コイルが電気的に直列に接続されることにより前記第１磁界発生部又は前記第２磁界発生部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の振動装置。
【請求項４】
前記第１磁界発生部及び第２磁界発生部は、中心部に磁性鉄心を有することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の振動装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記第１磁界発生部及び前記第２磁界発生部を、位相反転したタイミングでそれぞれ通電駆動することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の振動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、振動装置として、永久磁石を使用せずに電磁コイルと磁性板から主に構成された薄型構造の振動装置が提案されている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
この振動装置は、ベースに固定された磁性ベースに基板が積層され、各基板にはフラットコイルが形成されて電磁コイルが形成されている。また、この電磁コイルに対向した位置に、磁性板がベースに弾性的に支持された状態で保持されている。このような状態において、電磁コイルに通電すると、電磁コイルから磁界が発生し、磁性ベース及び磁性板が磁路を形成することにより、電磁コイルから磁性板に対して吸引力が発生する。
【０００４】
上位のような構成により、電磁コイルに繰り返しの通電を行なうことにより、磁性板を振動させることができる。特許文献１は、磁性板を操作者が指等でタッチする操作パネルとされており、磁性板へのタッチ時に所定の繰り返し通電を行なうことにより、振動呈示、触覚呈示を行なうことのできる操作装置とすることができるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第２０１１/０９８４５３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１の振動装置は、電磁コイルに対向して配置される磁性板は１枚のみであり、したがって、磁性板は電磁コイルの方向へ一方向のみに吸引される。すなわち、単方向に振動を生成する振動装置である。このため、振動強度、振幅が十分でないという問題がある。
【０００７】
したがって、本発明の目的は、双方向の振動が可能な薄型構造の振動装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
［１］上記目的を達成するため、基板に搭載され、通電により磁界を発生する第１磁界発生部と、前記基板に搭載され、通電により磁界を発生する第２磁界発生部と、前記第１磁界発生部に対向した位置に磁性体を備え、前記第１磁界発生部により発生する磁界により前記第１磁界発生部の方向に移動する第１振動部と、前記第２磁界発生部に対向した位置に磁性体を備え、前記第２磁界発生部により発生する磁界により前記第２磁界発生部の方向に移動する第２振動部と、前記第１磁界発生部及び前記第２磁界発生部を、所定のタイミングで通電駆動する制御部と、を有し、前記第１振動部と前記第２振動部は、前記基板に対して互いに反対方向に位置し、前記第１振動部と前記第２振動部は一体となって、前記基板に対して所定の位置で弾性的に支持されていることを特徴とする振動装置を提供する。
【０００９】
［２］前記第１振動部は磁性板であって、前記第２磁界発生部に対向した位置に貫通穴部を有し、前記第２振動部は磁性板であって、前記第１磁界発生部に対向した位置に貫通穴部を有することを特徴とする上記［１］に記載の振動装置であってもよい。
【００１０】
［３］また、前記基板は多層基板とされ、各層の基板に前記通電により磁界を発生するコイルが形成され、前記各層の前記コイルが電気的に直列に接続されることにより前記第１磁界発生部又は前記第２磁界発生部が形成されていることを特徴とする上記［１］に記載の振動装置であってもよい。
【００１１】
［４］また、前記第１磁界発生部及び第２磁界発生部は、中心部に磁性鉄心を有することを特徴とする上記［１］から［３］のいずれか１に記載の振動装置であってもよい。
【００１２】
［５］また、前記制御部は、前記第１磁界発生部及び前記第２磁界発生部を、位相反転したタイミングでそれぞれ通電駆動することを特徴とする上記［１］から［４］のいずれか１に記載の振動装置であってもよい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の振動装置によれば、双方向の振動が可能な薄型構造とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１（ａ）は、本発明の実施の形態に係る振動装置の上平面図、図１（ｂ）は、正面図、図１（ｃ）は、下平面図である。
【図２】図２（ａ）は、積層基板の各基板のコイル部と電磁鉄心の分解斜視図であり、図２（ｂ）は、積層基板のコイル部と電磁鉄心の部分の断面図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態に係る振動装置の構成ブロック図である。
【図４】図４は、積層基板のコイル部と電磁鉄心の部分で発生する磁束分布の例を示す磁界の断面図である。
【図５】図５は、本発明の第１の実施の形態に係る振動装置の駆動形態を示すもので、図５（ａ）は、駆動信号ＳＡの信号波形の一例であり、図５（ｂ）は、駆動信号ＳＢ、ＳＣの信号波形の一例であり、図５（ｃ）は、第１振動部が上方向に移動して振動した状態を示す正面図であり、図５（ｄ）は、第２振動部が下方向に移動して振動した状態を示す正面図である。
【図６】図６は、本発明の第２の実施の形態に係る振動装置の駆動形態を示すもので、図６（ａ）は、駆動信号ＳＡの信号波形の一例であり、図６（ｂ）は、駆動信号ＳＢ、ＳＣの信号波形の一例であり、図６（ｃ）は、第１振動部が上方向に移動して振動した状態を示す正面図である。
【図７】図７は、本発明の第３の実施の形態に係る振動装置の駆動形態を示すもので、図７（ａ）は、駆動信号ＳＡの信号波形の一例であり、図７（ｂ）は、駆動信号ＳＢ、ＳＣの信号波形の一例であり、図７（ｃ）は、第２振動部が下方向に移動して振動した状態を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
（本発明の実施の形態）
図１は、本発明の実施の形態に係る振動装置の概略図である。振動装置１は、ベース３００に固定された基板１００上に、第１磁界発生部１０、第２磁界発生部２１、２５が搭載されている。基板１００に対して、第１振動部１１０と第２振動部１２０がばね等により弾性的に支持されている。第１磁界発生部１０等に通電することにより、第１振動部１１０と第２振動部１２０を振動させることができ、振動装置として機能する。また、図１に示すように、第１振動部１１０の上部に操作パネル４００を装着し、操作パネル４００をタッチ操作した場合等に振動させることで、タッチ操作時の振動呈示、触覚呈示を行なう操作装置とすることができる。
【００１６】
本発明の実施の形態に係る振動装置１は、基板１００に搭載され、通電により磁界を発生する第１磁界発生部１０と、基板１００に搭載され、通電により磁界を発生する第２磁界発生部２１、２５と、第１磁界発生部１０に対向した位置に磁性体を備え、第１磁界発生部１０により発生する磁界により第１磁界発生部１０の方向に移動する第１振動部１１０と、第２磁界発生部２１、２５に対向した位置に磁性体を備え、第２磁界発生部２１、２５により発生する磁界により第２磁界発生部２１、２５の方向に移動する第２振動部１２０と、第１磁界発生部１０及び第２磁界発生部２１、２５を、所定のタイミングで通電駆動する制御部２００と、を有し、第１振動部１１０と第２振動部１２０は、基板１００に対して互いに反対方向に位置し、第１振動部１１０と第２振動部１２０は一体となって、基板１００に対して所定の位置で弾性的に支持された構成とされている。
【００１７】
（磁界発生部、第１磁界発生部１０、第２磁界発生部２１、２５）
本実施の形態では、磁界発生部は、第１磁界発生部１０、第２磁界発生部２１、２５から構成されている。例えば、第１磁界発生部１０は上方向への振動、また、第２磁界発生部２１、２５は下方向への振動に寄与する。第１磁界発生部、第２磁界発生部の数はこれに限られず、また、振動の方向も変更可能である。
【００１８】
図２（ａ）は、積層基板の各基板のコイル部と電磁鉄心の分解斜視図であり、図２（ｂ）は、積層基板のコイル部と電磁鉄心の部分の断面図である。本実施の形態では、振動装置を薄型構造とするために、磁界発生部を基板上に形成し、積層基板の構成としている。以下、図２（ａ）、（ｂ）に基づいて、第１磁界発生部１０の構造について説明するが、第２磁界発生部２１、２５の構造も同様である。
【００１９】
第１磁界発生部１０は、各基板１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄに形成されたコイル部１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄから構成される。
【００２０】
基板１００Ａは、例えば、エポキシ、ガラスエポキシ、セラミック等のリジッド基板である。基板１００Ａには、コイル部１０Ａの中心に電磁鉄心３０が挿入して固定されるための貫通穴１０１Ａが形成されている。この貫通穴１０１Ａを中心として、らせん状のコイル部１０Ａが形成されている。らせん状のコイル部１０Ａは、基板１００Ａ上に銅パターンにより形成され、銅パターンの両端部にはスルーホールが形成された基板の層間接続のための貫通ビア１０ａ、１０ｂが形成されている。
【００２１】
基板１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄも同様に、それぞれ、貫通穴１０１Ｂ、１０１Ｃ、１０１Ｄ、コイル部１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄが形成されている。また、貫通ビア１０ｃ、１０ｄ、１０ｅ、１０ｆ、１０ｇ、１０ｈが形成されている。
【００２２】
基板１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄは、積層して固定され、貫通ビア１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ、１０ｅ、１０ｆ、１０ｇ、１０ｈにより、上下の基板が電気的に接続される。これにより、図２（ｂ）に示すように、基板１００に搭載され、通電により磁界を発生するコイル部（１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ）が第１磁界発生部１０を構成することになる。
【００２３】
ここで、各コイル部（１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ）は電気的に直列に接続される。例えば、基板１００Ａ上の貫通ビア１０ａから通電すると、電流は、１０ａ、１０ｂ、１０ｄ、１０ｃ、１０ｅ、１０ｆ、１０ｈ、１０ｇの順に同一方向に流れる。これにより、第１磁界発生部１０は、通電により磁界を発生する。
【００２４】
また、第１磁界発生部１０の中心には、電磁鉄心３０が埋設して固定されている。この電磁鉄心３０は、軟鉄材、電磁鋼等により円柱状に形成されている。磁界発生部は、この電磁鉄心３０を備えることにより、強い電磁石として機能する。
【００２５】
なお、磁界発生部は、積層基板でなくても構成することができる。例えば、マグネットワイヤを巻回したコイルを基板に埋設した構成とすることも可能である。
【００２６】
（第１振動部１１０、第２振動部１２０）
第１振動部１１０は、第１磁界発生部１０に対向した位置に磁性体を備え、第１磁界発生部１０により発生する磁界により第１磁界発生部１０の方向に移動する磁性部材である。また、第２振動部１２０は、第２磁界発生部２１、２５に対向した位置に磁性体を備え、第２磁界発生部２１、２５により発生する磁界により第２磁界発生部２１、２５の方向に移動する磁性部材である。第１振動部１１０、第２振動部１２０は、電磁鋼板、軟鉄板等の電磁鋼により形成されている。
【００２７】
図１に示すように、第１振動部１１０は、第２磁界発生部２１、２５に対向した位置に貫通穴部１１０Ａ、１１０Ｂを有している。これは、第２磁界発生部２１、２５への通電時に、第１振動部１１０が第２磁界発生部２１、２５の方向に吸引されて移動しないようにするためである。同様に、第２振動部１２０は、第１磁界発生部１０に対向した位置に貫通穴部１２０Ａを有している。これは、第１磁界発生部１０への通電時に、第２振動部１２０が第１磁界発生部１０の方向に吸引されて移動しないようにするためである。これにより、第１振動部１１０は上方向、第２振動部１２０は下方向に振動することになり、双方向の振動が可能な振動装置が可能となる。
【００２８】
図１に示すように、基板１００の四隅には、貫通穴１０２が４箇所形成されている。この貫通穴１０２の位置に対応して、基板１００を挟んで互いに反対方向に配置された第１振動部１１０と第２振動部１２０は、貫通穴１０２を貫通する連結ポール１５０で互いに連結されて一体となっている。
【００２９】
また、この一体となった第１振動部１１０と第２振動部１２０は、四隅をばね３１０、３２０により弾性的に支持されている。これにより、ベース３００に固定された基板１００に対して、移動可能とされている。すなわち、図１に示すように、第１振動部１１０と第２振動部１２０は、基板１００に対して、上下方向の双方向に振動が可能である。
【００３０】
（制御部２００）
図３は、本発明の実施の形態に係る振動装置の構成ブロック図である。制御部２００は、例えば、プログラムに従って、演算処理を実行するＣＰＵ（Central Processing Unit）、半導体メモリであるＲＡＭ及びＲＯＭ（Read Only Memory）等から構成されるマイクロコンピュータである。また、所定のタイミングで、所定の周波数の信号を生成する信号生成部も内蔵する。なお、図３では、制御部２００が直接第１磁界発生部１０、第２磁界発生部２１、２５を駆動する図とされているが、実際には電流駆動するためのドライバ回路を介してコイル駆動を行なう。
【００３１】
制御部２００は、第１振動部１１０、第２振動部１２０を上方向に振動させる場合には、駆動信号ＳＡに基づいて、第１磁界発生部１０のコイル部（１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ）に通電する。また、第１振動部１１０、第２振動部１２０を下方向に振動させる場合には、駆動信号ＳＢ、ＳＣに基づいて、第２磁界発生部２１、２５のコイル部に通電する。
【００３２】
図４は、積層基板のコイル部と電磁鉄心の部分で発生する磁束分布の例を示す磁界の断面図である。図４は、第１磁界発生部１０のコイル部（１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ）に電流を流して、第１磁界発生部１０を電磁石とした場合である。コイル部への通電により、右ねじの法則に従い、コイル部の一端がＮ極となり、磁束が外側を回って他端のＳ極に戻る磁界Ｂを形成する。なお、コイル部の中心に電磁鉄心３０を有しているので、透磁率に応じて強力な電磁石となる。なお、コイル部への通電の方向によりＮ極、Ｓ極の極性は変化するが、第１振動部１１０又は第２振動部１２０を吸引する作用は同じである。
【００３３】
（第１の実施の形態の動作）
図５は、本発明の第１の実施の形態に係る振動装置の駆動形態を示すもので、図５（ａ）は、駆動信号ＳＡの信号波形の一例であり、図５（ｂ）は、駆動信号ＳＢ、ＳＣの信号波形の一例であり、図５（ｃ）は、第１振動部が上方向に移動して振動した状態を示す正面図であり、図５（ｄ）は、第２振動部が下方向に移動して振動した状態を示す正面図である。
【００３４】
図５（ａ）で示す駆動信号ＳＡは、例えば、正弦波信号である。また、図５（ｂ）で示す駆動信号ＳＢ、ＳＣも、正弦波信号である。ただし、駆動信号ＳＡと駆動信号ＳＢ、ＳＣは、逆位相となっている。なお、駆動信号ＳＡ、ＳＢ、ＳＣの信号レベル（駆動電流量）は、振動させる振幅に対応させて適宜設定することができる。
【００３５】
図５（ｃ）に示すように、駆動信号ＳＡにより第１磁界発生部１０に通電すると、磁界Ｂにより第１振動部１１０を磁路の一部とするように磁束が通過する。これにより、第１振動部１１０は、第１磁界発生部１０の方向に吸引されて上方向に移動する。一方、駆動信号ＳＡにより第１磁界発生部１０が通電中は、第２磁界発生部２１、２５は逆位相で通電されて駆動される。これにより、図５（ｃ）に示す第１磁界発生部１０の最大通電時には、第２振動部１２０は駆動されない。
【００３６】
図５（ｄ）に示すように、駆動信号ＳＢ、ＳＣにより第２磁界発生部２１、２５に通電すると、磁界Ｂにより第２振動部１２０を磁路の一部とするように磁束が通過する。これにより、第２振動部１２０は、第２磁界発生部２１、２５の方向に吸引されて下方向に移動する。一方、駆動信号ＳＢ、ＳＣにより第２磁界発生部２１、２５が通電中は、第１磁界発生部１０は逆位相で通電されて駆動される。これにより、図５（ｄ）に示す第２磁界発生部２１、２５の最大通電時には、第１振動部１１０は駆動されない。
【００３７】
上記示したように、駆動信号ＳＡと駆動信号ＳＢ、ＳＣにより第１磁界発生部１０と第２磁界発生部２１、２５を逆位相で通電することにより、第１振動部１１０と第２振動部１２０は、プッシュプルの関係で駆動されて移動する。これにより、第１振動部１１０は上方向、第２振動部１２０は下方向に振動することになり、双方向の振動が可能な振動装置が可能となる。
【００３８】
（第２の実施の形態の動作）
図６は、本発明の第２の実施の形態に係る振動装置の駆動形態を示すもので、図６（ａ）は、駆動信号ＳＡの信号波形の一例であり、図６（ｂ）は、駆動信号ＳＢ、ＳＣの信号波形の一例であり、図６（ｃ）は、第１振動部が上方向に移動して振動した状態を示す正面図である。
【００３９】
図６（ａ）で示す駆動信号ＳＡは、例えば、正弦波信号である。また、図６（ｂ）で示す駆動信号ＳＢ、ＳＣは、ゼロである。なお、駆動信号ＳＡの信号レベル（駆動電流量）は、振動させる振幅に対応させて適宜設定することができる。
【００４０】
図６（ｃ）に示すように、駆動信号ＳＡにより第１磁界発生部１０に通電すると、磁界Ｂにより第１振動部１１０を磁路の一部とするように磁束が通過する。これにより、第１振動部１１０は、第１磁界発生部１０の方向に吸引されて上方向に移動する。一方、第２振動部１２０は駆動されない。これにより、第１振動部１１０が上方向にのみ振動することになり、単方向の振動が可能な振動装置が可能となる。
【００４１】
（第３の実施の形態の動作）
図７は、本発明の第３の実施の形態に係る振動装置の駆動形態を示すもので、図７（ａ）は、駆動信号ＳＡの信号波形の一例であり、図７（ｂ）は、駆動信号ＳＢ、ＳＣの信号波形の一例であり、図７（ｃ）は、第２振動部が下方向に移動して振動した状態を示す正面図である。
【００４２】
図７（ａ）で示す駆動信号ＳＡは、ゼロである。また、図７（ｂ）で示す駆動信号ＳＢ、ＳＣは、例えば、正弦波信号である。なお、駆動信号ＳＢ、ＳＣの信号レベル（駆動電流量）は、振動させる振幅に対応させて適宜設定することができる。
【００４３】
図７（ｃ）に示すように、駆動信号ＳＢ、ＳＣにより第２磁界発生部２１、２５に通電すると、磁界Ｂにより第２振動部１２０を磁路の一部とするように磁束が通過する。これにより、第２振動部１２０は、第２磁界発生部２１、２５の方向に吸引されて下方向に移動する。一方、第１振動部１１０は駆動されない。これにより、第２振動部１２０が下方向にのみ振動することになり、単方向の振動が可能な振動装置が可能となる。
【００４４】
（実施の形態の効果）
本発明の実施の形態によれば、以下のような効果を有する。
（１）第１振動部１１０は、第２磁界発生部２１、２５に対向した位置に貫通穴部１１０Ａ、１１０Ｂを有している。これは、第２磁界発生部２１、２５への通電時に、第１振動部１１０が第２磁界発生部２１、２５の方向に吸引されて移動しないようにするためである。同様に、第２振動部１２０は、第１磁界発生部１０に対向した位置に貫通穴部１２０Ａを有している。これは、第１磁界発生部１０への通電時に、第２振動部１２０が第１磁界発生部１０の方向に吸引されて移動しないようにするためである。これにより、第１振動部１１０は上方向、第２振動部１２０は下方向に振動することになり、双方向の振動が可能な振動装置が可能となる。
（２）第１の実施の形態では、駆動信号ＳＡと駆動信号ＳＢ、ＳＣにより第１磁界発生部１０と第２磁界発生部２１、２５を逆位相で通電することにより、第１振動部１１０と第２振動部１２０は、プッシュプルの関係で駆動されて移動する。これにより、第１振動部１１０は上方向、第２振動部１２０は下方向に振動することになり、双方向の振動が可能な振動装置が可能となる。
（３）第２、３の実施の形態では、第１磁界発生部１０又は第２磁界発生部２１、２５の一方のみを通電して駆動する。これにより、単方向の振動が可能な振動装置が可能となる。
（４）上記示したような構成により、永久磁石を使用せずに安価で、双方向（上下方向）振動が可能な薄型構造の振動装置が可能となる。
（５）また、上記示したような構成の振動装置を用いて、薄型構造の振動呈示、触覚呈示を行なうことのできる操作装置を構成することができる。
【００４５】
以上、本発明のいくつかの実施の形態及び変形例を説明したが、これらの実施の形態及び変形例は、一例に過ぎず、特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。また、これら新規な実施の形態及び変形例は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更等を行うことができる。
【００４６】
例えば、第１振動部１１０は、第２磁界発生部２１、２５に対向した位置に貫通穴部１１０Ａ、１１０Ｂを有している。これは、第２磁界発生部２１、２５への通電時に、第１振動部１１０が第２磁界発生部２１、２５の方向に吸引されて移動しないようにするためである。しかし、第１振動部１１０を非磁性材料とし、第１磁界発生部１０に対向した位置に磁性材料を配置する構成とすることによっても同様の機能を発揮させることができる。第２振動部１２０においても同様である。
【００４７】
また、これら実施の形態及び変形例の中で説明した特徴の組合せの全てが発明の課題を解決するための手段に必須であるとは限らない。さらに、これら実施の形態及び変形例は、発明の範囲及び要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００４８】
１…振動装置
１０…第１磁界発生部
１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ…コイル部
１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ、１０ｅ、１０ｆ、１０ｇ、１０ｈ…貫通ビア
２１、２５…第２磁界発生部
３０…電磁鉄心
１００、１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄ…基板
１０１Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ…貫通穴
１０２…貫通穴
１１０      …第１振動部
１１０Ａ…貫通穴部
１２０      …第２振動部
１２０Ａ、Ｂ…貫通穴部
１５０…連結ポール
２００      …制御部
３００      …ベース
４００      …操作パネル
ＳＡ…駆動信号
ＳＢ、ＳＣ…駆動信号
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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