(57)【要約】      （修正有）【課題】リードフレームに与える損傷を少なく、効率よく製造するリードフレームの製造方法と、そのリードフレームの製造装置及び、エッチングシートを提供する。【解決手段】複数のリードフレーム１０と、複数のリードフレーム１０が連結された枠２と、を有するエッチングシート１からリードフレーム１０を分離するリードフレームの製造方法であって、エッチングシート１は、複数のリードフレーム１０と枠２との間に、両者を連結する連結部４を備えており、連結部４は、エッチングシートの厚さより厚さの薄い凹み部４ｈを有しており、連結部４の凹み部４ｈを、レーザービームによって切断する。【選択図】図１
2017103265.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のリードフレームと、該複数のリードフレームが連結された枠と、を有するエッチングシートからリードフレームを分離するリードフレームの製造方法であって、
前記エッチングシートは、
前記複数のリードフレームと前記枠との間に、両者を連結する連結部を備えており、
該連結部は、
該エッチングシートの厚さより薄い凹み部を有しており、
該連結部の凹み部を、レーザービームによって切断する
ことを特徴とするリードフレームの製造方法。
【請求項２】
前記連結部の凹み部は、
前記レーザービームによって切断された際に発生する溶融物が分離されたリードフレームの表面から突出しない程度の大きさに形成されている
ことを特徴とする請求項１記載のリードフレームの製造方法。
【請求項３】
前記凹み部は、
その深さが前記エッチングシートの厚さに対して１／３〜２／３であって、前記リードフレームと前記枠とを繋ぐ方向の長さが０．３〜５ｍｍとなるように形成されている
ことを特徴とする請求項２記載のリードフレームの製造方法。
【請求項４】
前記連結部が、
棒状または板状に形成された複数本の吊り部によって形成されている
ことを特徴とする請求項１、２または３記載のリードフレームの製造方法。
【請求項５】
複数のリードフレームと、該複数のリードフレームが連結された枠と、を有するエッチングシートからリードフレームを分離してリードフレームを製造するリードフレームの製造装置であって、
前記エッチングシートは、
前記複数のリードフレームと前記枠との間に、両者を連結する連結部を備えており、
該連結部は、
該エッチングシートの厚さより薄い凹み部を有しており、
該リードフレームの製造装置は、
前記エッチングシートの厚さ方向から該エッチングシートの凹み部にレーザービームを照射するレーザー照射部と、
前記レーザー照射部を移動させるレーザー照射部移動部と、を備えている
ことを特徴とするリードフレームの製造装置。
【請求項６】
前記レーザー照射部が、
レーザービームを照射する照射部と、
該照射部に対しレーザービームを供給するレーザー光供給部と、を備えており、
該レーザー光供給部が、
光ファイバーによって形成されている
ことを特徴とする請求項５記載のリードフレームの製造装置。
【請求項７】
複数のリードフレームと、
該複数のリードフレームが連結された枠と、
前記複数のリードフレームと前記枠を連結する連結部と、を有しており、
該連結部は、
該エッチングシートの厚さより薄い凹み部を有しており、
該凹み部は、
レーザービームによって切断された際に発生する溶融物が、分離されたリードフレームの表面から突出しない程度の大きさに形成されている
ことを特徴とするエッチングシート。
【請求項８】
前記凹み部は、
その深さが前記エッチングシートの厚さに対して１／３〜２／３であって、前記リードフレームと前記枠とを繋ぐ方向の長さが０．３〜５ｍｍとなるように形成されている
ことを特徴とする請求項７記載のエッチングシート。
【請求項９】
前記連結部が、
棒状または板状に形成された複数本の吊り部によって形成されている
ことを特徴とする請求項７または８記載のエッチングシート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リードフレームの製造方法、リードフレームの製造装置およびエッチングシートに関する。さらに詳しくは、複数枚のリードフレームが連結されたエッチングシートからリードフレームを製造するリードフレームの製造方法、リードフレームの製造装置および、エッチングシートに関する。
【背景技術】
【０００２】
リードフレームとは、ＬＳＩやトランジスタなどのチップ配線の土台となる金属フレームである。このリードフレームは、一般的には、超精密金型を用いるスタンピング法や、写真技術を応用したエッチング法によって形成されたエッチングシートから製造される。
【０００３】
エッチング法によって形成されたエッチングシートからリードフレームを製造する場合には、以下のような方法で製造される。
まず、ニッケル合金や銅合金などの金属板の表面に、所定のパターンを有するレジスト膜を形成する。具体的には、複数枚のリードフレーム１０が枠２に連結されて一体化したパターンのレジスト膜が形成される(図１参照)。このレジスト膜が形成された金属板に塩化第二鉄や塩化第二銅を含有した公知のエッチング液を用いて、スプレー法や浸漬法にてエッチングする。すると、レジスト膜が形成されていない部分の金属板が溶けて、レジスト膜のパターンの形状を有するエッチングシート１を形成することができる。そして、このエッチングシート１において、リードフレーム１０を枠２から切り離せば、所定のパターンを有する複数枚のリードフレーム１０を製造することができる。
【０００４】
ところで、図１に示すような複数枚のリードフレーム１０を有するエッチングシート１では、リードフレーム１０は、複数本の吊り部４によって枠２に連結されている。リードフレーム１０を枠２から分離するまでは、エッチングシート１の状態で搬送したり、加工したりされる。このため、吊り部４は、エッチングシート１を搬送したり、加工したりしても変形したり切断したりしない強度となるように形成される。
【０００５】
一方、従来、リードフレーム１０は、吊り部４を人の手によって折ることによって枠２から分離している。このため、吊り部４は、上記強度を維持しつつ人の手で折り曲げることができる程度の強度となるよう形成される。具体的には、吊り部４は、強度を維持するためにある程度の幅を有するように形成し、人の手で折り曲げやすくするために厚さの薄い凹み部４ｈが設けられる。従来、吊り部４の長さＬ１は２ｍｍ以下、凹み部４ｈは、その厚さはリードフレーム１０等の半分程度の厚さかつその長さＬ２が１ｍｍ以下となるように形成されている。
【０００６】
しかるに、１枚のエッチングシート１には複数枚のリードフレーム１０が設けられており、また、１枚のエッチングシート１は複数本の吊り部４によって枠２に連結されている。このため、１枚のエッチングシート１から全てのリードフレーム１０を人手で分離する作業は、複数個所の吊り部４を手で折る必要がある。しかも、エッチングシート１の変形を回避しながら複数個所の吊り部４を折るので、この作業は慎重に行う必要がある。したがって、エッチングシート１から複数枚のリードフレーム１０を分離する作業は、非常に時間と手間がかかる上、リードフレーム１０の変形にも気を付けなければならないので、作業者の作業負担が非常に大きくなっている。
【０００７】
そこで、エッチングシート１からリードフレーム１０を分離する作業を自動化する技術が特許文献１、２に開示されている。この技術では、支持枠（上述した枠２に相当する）を把持する支持枠把持部を備えており、この支持枠把持部を揺動させることによって、支持枠とリードフレーム１０を連結する部分（上述した吊り部４に相当する）に折り曲げる力を加えることができるようになっている。この技術を使用すれば、人の手で連結する部分を切断する作業をしなくてもよくなるので、作業者の作業負担を軽減できるし、作業時間を短くすることができる可能性がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０００−０７３１８６号公報
【特許文献２】特開２０００−０９６２６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、上述したように、支持枠とリードフレーム１０を連結する部分は、エッチングシート１を搬送等した場合でも、エッチングシート１が変形等しない強度となるように形成されている。このため、たとえ凹み部４ｈを設けても、特許文献１、２のように装置から連結する部分を曲げるためにはある程度大きい力を加える必要がある。しかも、支持枠把持部とともにリードフレーム１０が揺動しないようにリードフレーム１０をしっかりと保持しておかねばならない。すると、リードフレーム１０に余分な力が加わり、リードフレーム１０に形成されている構造が損傷を受ける可能性がある。そして、特許文献１、２の装置では、リードフレーム１０と支持枠の両方を保持する機構と、支持枠を保持する支持枠把持部を揺動させる機構を設けなければならないので、装置が複雑化し大型化する。
【００１０】
また、大量生産する場合には、打ち抜きプレスを用いる方法もあるが、エッチングシート１の大きさが□６００ｍｍ程度の場合には、プレス設備が大規模になる。そして、この場合でも、リードフレーム１０に余分な力が加わり、リードフレーム１０に形成されている構造が損傷を受ける可能性がある。
【００１１】
本発明は上記事情に鑑み、リードフレームに与える損傷を少なくでき、リードフレームを効率よく製造できるリードフレームの製造方法とこの製造方法を採用したリードフレームの製造装置、および、エッチングシートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
（リードフレームの製造方法）
第１発明のリードフレームの製造方法は、複数のリードフレームと、該複数のリードフレームが連結された枠と、を有するエッチングシートからリードフレームを分離するリードフレームの製造方法であって、前記エッチングシートは、前記複数のリードフレームと前記枠との間に、両者を連結する連結部を備えており、該連結部は、該エッチングシートの厚さより薄い凹み部を有しており、該連結部の凹み部を、レーザービームによって切断することを特徴とする。
第２発明のリードフレームの製造方法は、第１発明において、前記連結部の凹み部は、前記レーザービームによって切断された際に発生する溶融物が、分離されたリードフレームの表面から突出しない程度の大きさに形成されていることを特徴とする。
第３発明のリードフレームの製造方法は、第２発明において、前記凹み部は、その深さが前記エッチングシートの厚さに対して１／３〜２／３であって、前記リードフレームと前記枠とを繋ぐ方向の長さが０．５ｍｍ以上となるように形成されていることを特徴とする。
第４発明のリードフレームの製造方法は、第１、２または第３発明において、前記連結部が、棒状または板状に形成された複数本の吊り部によって形成されていることを特徴とする。
（リードフレームの製造装置）
第５発明のリードフレームの製造装置は、複数のリードフレームと、該複数のリードフレームが連結された枠と、を有するエッチングシートからリードフレームを分離してリードフレームを製造するリードフレームの製造装置であって、前記エッチングシートは、前記複数のリードフレームと前記枠との間に、両者を連結する連結部を備えており、該連結部は、該エッチングシートの厚さより薄い凹み部を有しており、該リードフレームの製造装置は、前記エッチングシートの厚さ方向から該エッチングシートの凹み部にレーザービームを照射するレーザー照射部と、前記レーザー照射部を移動させるレーザー照射部移動部と、を備えていることを特徴とする。
第６発明のリードフレームの製造装置は、第５発明において、前記レーザー照射部が、レーザービームを照射する照射部と、該照射部に対しレーザービームを供給するレーザー光供給部と、を備えており、該レーザー光供給部が、光ファイバーによって形成されていることを特徴とする。
（エッチングシート）
第７発明のエッチングシートは、複数のリードフレームと、該複数のリードフレームが連結された枠と、前記複数のリードフレームと前記枠を連結する連結部と、を有しており、該連結部は、該エッチングシートの厚さより薄い凹み部を有しており、該凹み部は、レーザービームによって切断された際に発生する溶融物が、分離されたリードフレームの表面から突出しない程度の大きさに形成されていることを特徴とする。
第８発明のエッチングシートは、第７発明において、前記凹み部は、その深さが前記エッチングシートの厚さに対して１／３〜２／３であって、前記リードフレームと前記枠とを繋ぐ方向の長さが０．５ｍｍ以上となるように形成されていることを特徴とする。
第９発明のエッチングシートは、第７または第８発明において、前記連結部が、棒状または板状に形成された複数本の吊り部によって形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
（リードフレームの製造方法）
第１発明によれば、厚さが薄くなっている凹み部をレーザービームによって切断するので、複数のリードフレームと枠をある程度高い強度で連結していても、枠から複数のリードフレームを分離できる。しかも、エッチングシートを搬送等した場合でも、エッチングシートの連結部が変形等することを防ぐことができる。
第２発明によれば、レーザービームによって連結部を切断した際に発生する溶融物（ドロス：dross）がリードフレームの表面から突出しない。すると、溶融物に起因するリードフレームの不良を防止でき、また、溶融物を除去する作業などの追加作業が不要になる。
第３発明によれば、溶融物を凹み部だった部分に収めておくことができる。
第４発明によれば、レーザービームによって切断する部分を少なくできるので、リードフレームを枠から分離する作業時間を短くでき、リードフレームの生産効率を向上できる。
（リードフレームの製造装置）
第５発明によれば、レーザービームによって連結部の凹み部を切断するだけであるので、リードフレームに余分な力が加わらず、エッチングシートの連結部の変形等を防ぐことができる。しかも、レーザー照射部移動部によってレーザー照射部を移動させるだけであるので、装置の構成も簡素化でき、装置の大型化を防ぐことができる。
第６発明によれば、光ファイバーによって照射部に対しレーザービームを供給しているので、レーザー照射部およびレーザー照射部移動部の構成を簡素化できる。
（エッチングシート）
第７発明によれば、複数のリードフレームと枠をある程度高い強度で連結できるので、エッチングシートを搬送等した場合でも、エッチングシートの連結部が変形等することを防ぐことができる。レーザービームによって複数のリードフレームから枠を切断した場合、切断の際に発生した溶融物（ドロス：dross）がリードフレームの表面から突出しない。すると、溶融物に起因するリードフレームの不良を防止でき、また、溶融物を除去する作業などの追加作業が不要になる。
第８発明によれば、レーザービームによって複数のリードフレームから枠を切断した場合、切断の際に発生した溶融物を凹み部だった部分に収めておくことができる。
第９発明によれば、レーザービームによって切断する部分を少なくできるので、リードフレームを枠から分離する作業時間を短くでき、リードフレームの生産効率を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】（Ａ）は本実施形態のエッチングシート１の概略平面図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【図２】本実施形態のエッチングシート１の吊り部４を切断して、枠２からリードフレーム１０を分離する作業の概略説明図である。
【図３】他の本実施形態のエッチングシート１の概略説明図であって、（Ａ）は概略平面図であり、（Ｂ）は概略背面図であり、（Ｃ）は連結部３の拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明のリードフレームの製造方法は、複数枚のリードフレームが連結されたエッチングシートからリードフレームを製造する方法であって、リードフレームに加わる損傷を少なくしつつリードフレームの切り離しを容易にできるようにしたことに特徴を有するものである。
【００１６】
本発明のリードフレームの製造方法によってリードフレームが製造されるエッチングシートは、その大きさやパターン、リードフレームの枚数、シートの厚さや素材等はとく限定されない。例えば、エッチングシートのパターンは、図１に示すように、複数枚のリードフレームと枠が、幅の細い棒状や板状の吊り部によって連結されたものを挙げることができる。かかるパターンの場合、吊り部の数は、リードフレームの大きさや形状によって適宜変更できる。
【００１７】
（エッチングシート）
まず、本実施形態のエッチングシート１を説明する。
図１に示すように、本実施形態のエッチングシート１は、厚さが薄い板状の金属板である。このエッチングシート１は、枠２と、連結部３によって枠２に連結された複数枚のリードフレーム１０と、から構成されている。
【００１８】
なお、エッチングシート１の厚さや素材はとくに限定されず、製造するリードフレーム１０の用途などに応じたものが使用される。
【００１９】
例えば、リードフレーム１０がＬＳＩやトランジスタなどのチップ配線の土台となる場合には、エッチングシート１は、使用用途によって０．１２５〜０．５ｍｍ程度の厚さのものが使用される。
【００２０】
また、エッチングシートの素材もとくに限定されず、リードフレーム１０の用途に応じて、鉄―ニッケル合金や銅合金等の素材を使用することができる。
【００２１】
また、エッチングシート１の大きさも、製造するリードフレーム１０の大きさ等によって適宜変更される。例えば、図１に示すように、矩形状のリードフレーム１０を１２枚同時に製造する場合には、１００ｍｍ×２５０ｍｍのリードフレーム１０の場合であれば、エッチングシート１は、５５０ｍｍ×５５０ｍｍの矩形状に形成すればよい。
【００２２】
（リードフレーム１０）
リードフレーム１０は、エッチングシート１の枠２から分離されて、ＬＳＩやトランジスタなどのチップ配線の土台として使用される部分である。図１では、リードフレーム１０は平面視矩形状であるが、リードフレーム１０の大きさはとくに限定されない。例えば、発光ダイオード用に使用される場合には、リードフレーム１０は、６０〜１００ｍｍ×１５０〜３００ｍｍの矩形状に形成される。
【００２３】
なお、リードフレーム１０の平面視形状はとくに限定されず、その用途に応じた形状とすればよい。
【００２４】
（枠２）
図１に示すように、枠２は、平面視で略四角形状に形成されている。この枠２には、複数のリードフレーム配置領域２ｈが形成されており、複数のリードフレーム配置領域２ｈには、それぞれリードフレーム１０が配置されている。
【００２５】
図１に示すように、リードフレーム配置領域２ｈは、平面視でリードフレーム１０と略相似形であって、リードフレーム１０よりも若干大きくなるように形成されている。つまり、リードフレーム配置領域２ｈの内周縁２ａとリードフレーム１０の外周縁１０ａとの間に若干の隙間が形成されるように、リードフレーム配置領域２ｈが形成されている。
【００２６】
なお、リードフレーム配置領域２ｈは、必ずしもリードフレーム１０と相似形でなくてもよい。例えば、リードフレーム配置領域２ｈは、複数の品種が混在してもよい。しかし、エッチングシート１から効率よくかつ高品質にリードフレーム１０を製造する上では、リードフレーム配置領域２ｈはリードフレーム１０と相似形であることが望ましい。
【００２７】
（連結部３）
図１に示すように、枠２と複数枚のリードフレーム１０は連結部３によって連結されている。この連結部３は、複数の棒状または板状の吊り部４を有している。例えば、図１であれば、吊り部４は、各リードフレーム１０の長手方向の端部にそれぞれ２本ずつ（計４本ずつ）設けられている。
【００２８】
なお、各リードフレーム１０と枠２とを連結する吊り部４の本数はとくに限定されない。２または３本でもよいし５本以上設けてもよい。
【００２９】
各吊り部４には、それぞれ凹み部４ｈが設けられている。この凹み部４ｈは、エッチングシート１の一方の面から凹んで形成されている。つまり、凹み部４ｈは、吊り部４における他の部分よりも薄くなっている。しかも、凹み部４ｈは、吊り部４の両端間、つまりリードフレーム配置領域２ｈの内周縁２ａとリードフレーム１０の外周縁１０ａとの間のほぼ中間に位置するように形成されている。
【００３０】
そして、吊り部４は、凹み部４ｈが設けられていても、エッチングシート１を搬送等した場合に吊り部４を折り曲げるような力が加わった際に、切断したり変形したりしない程度の強度を有するように設けられている。ここでいうエッチングシート１０を搬送等した場合に吊り部４を折り曲げるような力とは、エッチングシート１を板材のまま搬送する場合（つまり特別に変形させるような力が加わらないように搬送する場合等）において、エッチングシート１に通常加わる力を意味している。
【００３１】
例えば、エッチングシート１の素材が鉄−ニッケル合金や銅合金であってその厚さが０．１２５〜０．２ｍｍとする。この場合には、吊り部４の幅Ｗを１．０〜１．５ｍｍに形成し、凹み部４ｈの深さをエッチングシート１の厚さに対して１／３〜２／３とする。すると、エッチングシート１を搬送等した場合に吊り部４を折り曲げるような力が加わっても、吊り部４は、切断したり変形したりしない。
【００３２】
（リードフレーム１０の製造方法）
上述したような形状に形成されたエッチングシート１から複数のリードフレーム１０を製造する場合、吊り部４を切断して、複数のリードフレーム１０を枠２から分離する。この場合、吊り部４はどのような方法で切断してもよいが、本実施形態のリードフレームの製造方法では、レーザービームＢによって吊り部４を切断する方法を採用している。
【００３３】
つまり、図２に示すように、エッチングシート１を所定の台などに設置し、レーザー照射部Ｌから、吊り部４を溶かして切断できる強度のレーザービームＢを吊り部４に照射する。具体的には、吊り部４において、厚さが薄くなっている凹み部４ｈを溶かして切断し得る強度のレーザービームＢを照射する。
【００３４】
そして、レーザービームＢを照射しながらレーザー照射部Ｌを吊り部４の幅方向に沿って移動させれば、吊り部４を切断することができる。
【００３５】
かかる操作を全ての吊り部４に対して実施すれば、複数のリードフレーム１０を枠２から分離して、複数のリードフレーム１０を製造することができる。
【００３６】
以上のように、本実施形態のリードフレームの製造方法では、吊り部４において厚さが薄くなっている凹み部４ｈにレーザービームＢを照射して、吊り部４を切断する。したがって、複数のリードフレーム１０と枠２をある程度高い強度の吊り部４で連結していても、枠２から複数のリードフレーム１０を分離できる。
【００３７】
しかも、吊り部４がある程度高い強度を有しているので、エッチングシート１を搬送等した場合でも、エッチングシート１０の連結部５、つまり、吊り部４が変形等することを防ぐことができる。
【００３８】
（凹み部４ｈの大きさについて）
また、凹み部４ｈがエッチングシート１の一方の面（裏面）から凹んで形成されているので、吊り部４を切断する際には、レーザービームＢは表面側から照射される。すると、レーザービームＢによって凹み部４ｈを切断した際に発生する溶融物ｄ（ドロス：dross）は、凹み部４ｈだった部分に形成される（図２（Ｃ））。したがって、凹み部４ｈの大きさを適切に設定すれば、溶融物ｄは、リードフレーム１０の表面から突出しないようにすることができる。すると、溶融物ｄに起因するリードフレーム１０の不良を防止でき、また、溶融物ｄを除去する作業などの追加作業が不要になる。
【００３９】
とくに、凹み部４ｈは、レーザービームＢによって凹み部４ｈを切断した際に、発生する溶融物ｄを凹み部４ｈだった部分に収めておくことができるような大きさに形成していることが望ましい。例えば、エッチングシート１の素材が鉄−ニッケル合金や銅合金であってその厚さが０．１２５〜０．２５ｍｍとする。この場合には、吊り部４の幅を１．０〜１．５ｍｍに形成し、凹み部４ｈの深さをエッチングシート１の厚さに対して１／３〜２／３とする。その上で、吊り部４の軸方向（言い換えれば、リードフレーム１０と枠２とを繋ぐ方向）の長さを、０．３〜５．０ｍｍとすれば、溶融物ｄを凹み部４ｈだった部分に収めておくことができる。
【００４０】
なお、凹み部４ｈの大きさは、上記範囲に限られない。エッチングシート１の素材や厚さ、硬度等によって応じて適切な大きさに設定すればよい。
【００４１】
（凹み部４ｈの位置について）
また、吊り部４の凹み部４ｈの位置は、必ずしも吊り部４の両端間の中間でなくてもよく、吊り部４の何れかの端部側に偏っていてもよい。レーザービームＢによって吊り部４を切断する際の熱やレーザービームＢで吊り部４を切断した際に生成される溶融部ｄによって、リードフレーム１０の表面が悪影響を受けない位置に凹み部４ｈは形成されていればよい。リードフレーム１０の表面が悪影響を受けないとは、溶融部ｄがリードフレーム１０の表面から突出する場合や、溶融部ｄがリードフレーム１０の表面に付着する場合、熱などによってリードフレーム１０の表面が変質する場合等を挙げることができる。つまり、リードフレーム１０の加工やリードフレーム１０を所定の用途に使用する際に、作業性の低下や悪影響が生じない状態がリードフレーム１０の表面が悪影響を受けない場合に相当する。
【００４２】
（枠２とリードフレーム１０の連結について）
上述した例では、エッチングシート１において、枠２とリードフレーム１０が、複数の吊り部４を有する連結部３によって連結されている場合を説明した。しかし、エッチングシート１では、リードフレーム１０の周囲全体が枠２と連結されていてもよい。つまり、リードフレーム１０と枠２との間には凹み３ｈだけが設けられていてもよい（図３参照）。この場合でも、凹み３ｈに沿ってレーザービームＢを照射すれば、リードフレーム１０を枠から分離することができる。
【００４３】
しかし、上述したような吊り部４で枠２とリードフレーム１０を連結すれば、レーザービームＢによって切断する部分を少なくできる。すると、一つのリードフレーム１０を枠２から分離する作業時間を短くできるので、リードフレーム１０の生産効率を向上できる。しかも、吊り部４を切断している間だけレーザービームＢを照射すればよいので、レーザービームＢを照射する時間を短くでき、エネルギー効率もよくなる。
【００４４】
（レーザービームＢについて）
本実施形態のリードフレーム１０の製造方法で使用するレーザービームＢは、その波長や強度などはとくに限定されない。吊り部４の凹み部４ｈや連結部３の凹み３ｈを切断することができるように調整されていればよい。
また、レーザービームＢのビーム径もとくに限定されないが、吊り部４の凹み部４ｈや連結部３の凹み３ｈの長さよりも細いものが使用される。例えば、吊り部４の凹み部４ｈや連結部３の凹み３ｈの長さが０．５〜１．０ｍｍ程度であれば、レーザービームＢのビーム径は、０．０２〜０．０５ｍｍ程度であればよい。
【００４５】
（リードフレームの製造装置）
上述したように、エッチングシート１の吊り部４をレーザービームＢによって切断する装置は、レーザービームＢによって吊り部４を切断できるものであればよく、とくに限定されない。
【００４６】
例えば、エッチングシート１の厚さ方向（具体的には表面側）から吊り部４の凹み部４ｈにレーザービームＢを照射するレーザー照射部Ｌと、吊り部４の幅方向に沿ってレーザー照射部Ｌを移動させるレーザー照射部移動部と、エッチングシート１を所定の位置に保持しておく保持部と、を備えたものを採用することができる。かかる構成の装置であれば、レーザー照射部移動部によってレーザー照射部Ｌを移動させるだけであるので、装置の構成も簡素化でき、装置の大型化を防ぐことができる。しかも、レーザービームＢを照射してもエッチングシート１を移動させるような力がエッチングシート１には加わらないので、保持部がエッチングシート１を保持する構成を簡素化できる。さらに、保持部からエッチングシート１に加わる力をそれほど強くする必要はないので、保持部から加わる力によってリードフレーム１０の損傷などが生じることも抑制することができる。
【００４７】
とくに、レーザー照射部Ｌをファイバーレーザーによって形成すれば、レーザー照射部およびレーザー照射部移動部の構成を簡素化できる。例えば、レーザービームＢを照射する照射部と、照射部に対しレーザービームＢを供給するレーザー光供給部と、でレーザー照射部Ｌを構成し、レーザー光供給部を光ファイバーによって形成する。すると、照射部を容易かつ自由に移動させることができる。また、レーザー光供給部Ｌを照射部から離れた位置に固定しておくことができるので、装置を小型化できるし、装置の設置場所の自由度を高めることができる。
【実施例】
【００４８】
本発明のリードフレームの製造方法によって、エッチングシートからリードフレームを効率よく、しかも、リードフレームに悪影響を与えることなく分離できることを確認した。
【００４９】
実験では、図１に示すパターンに形成された厚さ０．１５ｍｍの銅合金製金属シートからなるエッチングシートについて、本発明のリードフレームの製造方法によって吊り部を切断した。
【００５０】
エッチングシートの吊り部は、幅３ｍｍに形成し、裏面に長さ４ｍｍ深さ８０μｍの凹み部を形成しところ、凹み部があっても、吊り部を手作業では折ることが困難であった。このことから、吊り部を上記のごとき構成とすれば、エッチングシートの搬送作業等の際に、エッチングシートとリードフレームの連結部において変形等が生じないことが確認された。
【００５１】
上記のごときエッチングシートの吊り部を、ファイバーレーザー（光源：半導体、レーザー出力：２００Ｗ、レーザー光線径：０．０７ｍｍ）を用いて切断した。切断は、吊り部の表面側から凹み部が形成されている位置にレーザービームを照射して行ったところ、吊り部は切断された。つまり、手作業では折ることが困難な強度に吊り部を形成しても、この吊り部をファイバーレーザーによって切断できることが確認された。
【００５２】
吊り部の切断後、ファイバーレーザーによって切断した部分の状態を確認した。
レーザービームの入射側（表面側）では、エッチングシート（つまりリードフレーム）の表面は平滑であり、品質上問題なかった。
また、レーザービームの出射側（裏面側）にはドロスが付着した。しかし、凹み部を上記のごとき大きさに形成していたので、ドロスは裏面側よりも突出せず、また、凹み部以外の部分にドロスの付着は生じていなかった。
【００５３】
したがって、凹み部を適切に形成することによって、エッチングシートとリードフレームの連結部を適切な強度に維持しつつ、レーザービームによって切断しても、リードフレームに悪影響が及ばないことが確認された。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明のリードフレームの製造方法は、半導体装置や発光ダイオード等に使用されるリードフレームをエッチングシートから分離して製造する方法として適している。
【符号の説明】
【００５５】
１      エッチングシート
２      枠
３      連結部
３ｈ    凹み部
４      吊り部
４ｈ    凹み部
１０      リードフレーム
１１      半導体搭載部
ｄ      ドロス
Ｌ      レーザー照射部
【図１】
2017103265.tif 000003
【図２】
2017103265.tif 000004
【図３】
2017103265.tif 000005