(57)【要約】【課題】振動型アクチュエータの個体ごとに速度ムラの発生を抑制する。【解決手段】振動体２２０と被駆動体２０７とが加圧接触し、振動体２２０を構成する圧電素子２０２に駆動信号を印加することにより振動体２２０に振動を励起させて被駆動体２０７を回転駆動する振動型アクチュエータ２００の制御において、駆動信号の時間的な位相差を所定の範囲で変えて振動型アクチュエータ２００を駆動し、位相差ごとに振動体２２０と被駆動体２０７との相対的な移動速度の速度変動幅を検出し、速度変動幅が最小となるときの駆動信号の位相差を個別位相差として決定し、駆動信号を個別位相差に設定して圧電素子２０２に印加することにより振動型アクチュエータ２００の通常駆動を行うようにする。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性体に電気−機械エネルギ変換素子が接合されてなる振動体と、前記振動体と加圧接触する被駆動体とを備え、前記電気−機械エネルギ変換素子に所定の駆動信号を印加することによって前記振動体に励起された振動により前記振動体と前記被駆動体とを相対的に移動させる振動型アクチュエータの制御方法であって、
前記駆動信号の時間的な位相差を所定の範囲で変えて前記電気−機械エネルギ変換素子に印加して前記振動型アクチュエータを駆動し、前記位相差ごとに前記振動体と前記被駆動体との相対的な移動速度の速度変動幅を検出する検出ステップと、
前記速度変動幅が最小となるときの前記駆動信号の位相差を決定する決定ステップと、
前記駆動信号を前記決定した位相差に設定して前記電気−機械エネルギ変換素子に印加することにより前記振動型アクチュエータの通常駆動を行う駆動ステップと、を有することを特徴とする振動型アクチュエータの制御方法。
【請求項２】
振動検出電極を有する電気−機械エネルギ変換素子が弾性体に接合されてなる振動体と、前記振動体と加圧接触する被駆動体とを備え、前記電気−機械エネルギ変換素子に所定の駆動信号を印加することによって前記振動体に励起された振動により前記振動体と前記被駆動体とを相対的に移動させる振動型アクチュエータの制御方法であって、
前記駆動信号の時間的な位相差を所定の範囲で変えて前記電気−機械エネルギ変換素子に印加して前記振動型アクチュエータを駆動し、前記位相差ごとに、前記振動検出電極から取り出される電圧と前記駆動信号との差動電圧と前記駆動信号の差動電圧との位相差の変動量を検出する検出ステップと、
前記差動電圧どうしの位相差の変動量が最小となる前記駆動信号の位相差を決定する決定ステップと、
前記駆動信号を前記決定した位相差に設定して前記電気−機械エネルギ変換素子に印加することにより前記振動型アクチュエータの通常駆動を行う駆動ステップと、を有することを特徴とする振動型アクチュエータの制御方法。
【請求項３】
前記決定ステップで決定された位相差を記憶手段に記憶する記憶ステップと、
前記決定ステップで決定された位相差が前記記憶手段に記憶されていない場合に、前記検出ステップと前記決定ステップを行い、前記決定ステップで決定された位相差が前記記憶手段に記憶されている場合に、前記検出ステップと前記決定ステップを行わずに、前記記憶手段に記憶された位相差を用いて前記駆動ステップを行うように判定する判定ステップを有することを特徴とする請求項１又は２に記載の振動型アクチュエータの制御方法。
【請求項４】
前記決定ステップで決定された位相差が前記記憶手段に記憶されている場合であっても、常に前記駆動ステップに先立ってあるいは一定期間ごとに、前記検出ステップ、前記決定ステップおよび前記記憶ステップを実行することを特徴とする請求項３に記載の振動型アクチュエータの制御方法。
【請求項５】
前記振動体は、円板状であり、
前記振動体には位置的に９０°の位相差を有する２つの同形の曲げ振動が励起され、
前記２つの同形の曲げ振動が合成されることによって前記振動体の周方向に進行性の振動波が励起され、前記振動体と前記被駆動体とに相対的な回転が生じることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御方法。
【請求項６】
前記電気−機械エネルギ変換素子は、円板状の圧電体からなる圧電素子であり、
前記圧電体は、周方向に位置的に９０°の位相差で形成された４つの電極を有し、
前記４つの電極のうち径方向で対向する２つの電極にはそれぞれ時間的な位相差が１８０°で電圧振幅が同じ交流電圧が前記駆動信号として印加され、
前記所定の範囲で変える前記駆動信号の時間的な位相差とは、前記４つの電極のうち周方向に隣接する電極に印加する交流電圧の位相差であることを特徴とする請求項４に記載の振動型アクチュエータの制御方法。
【請求項７】
振動型アクチュエータと、該振動型アクチュエータの駆動を制御する制御回路とを有する振動型駆動装置であって、
前記振動型アクチュエータは、
弾性体と、該弾性体に接合された電気−機械エネルギ変換素子とを有する振動体と、
前記振動体と加圧接触する被駆動体と、備え、
前記制御回路は、
前記電気−機械エネルギ変換素子に所定の駆動信号を印加する駆動手段と、
前記駆動信号の時間的な位相差を変える変更手段と、
前記駆動信号を時間的な位相差を所定の範囲で変えて前記電気−機械エネルギ変換素子に印加して前記振動型アクチュエータを駆動したときの前記振動体と相対的な移動速度の速度変動幅を前記位相差ごとに検出する検出手段と、
前記速度変動幅が最小となるときの前記駆動信号の位相差を決定する決定手段と、
前記決定手段が決定した位相差を記憶する記憶手段と、
前記駆動信号を前記記憶手段に記憶された位相差に設定して前記電気−機械エネルギ変換素子に印加することにより前記振動型アクチュエータの通常駆動を行うように前記駆動手段を制御する制御手段と、を備えることを特徴とする振動型駆動装置。
【請求項８】
振動型アクチュエータと、該振動型アクチュエータの駆動を制御する制御回路とを有する振動型駆動装置であって、
前記振動型アクチュエータは、
弾性体と、該弾性体に接合された電気−機械エネルギ変換素子とを有する振動体と、
前記電気−機械エネルギ変換素子に設けられた振動検出電極と、
前記振動体と加圧接触する被駆動体と、備え、
前記制御回路は、
前記電気−機械エネルギ変換素子に所定の駆動信号を印加する駆動手段と、
前記駆動信号の時間的な位相差を変える変更手段と、
前記駆動信号を時間的な位相差を所定の範囲で変えて前記電気−機械エネルギ変換素子に印加して前記振動型アクチュエータを駆動し、前記位相差ごとに、前記振動検出電極から取り出される電圧と前記駆動信号との差動電圧と前記駆動信号の差動電圧との位相差の変動量を検出する検出手段と、
前記差動電圧どうしの位相差の変動量が最小となる前記駆動信号の位相差を決定する決定手段と、
前記決定手段が決定した位相差を記憶する記憶手段と、
前記駆動信号を前記記憶手段に記憶された位相差に設定して前記電気−機械エネルギ変換素子に印加することにより前記振動型アクチュエータの通常駆動を行うように前記駆動手段を制御する制御手段と、を備えることを特徴とする振動型駆動装置。
【請求項９】
請求項７又は８に記載の振動型駆動装置と、
前記振動型駆動装置を構成する振動型アクチュエータからの出力によって所定の位置に移動して位置決めされる部材と、を備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動体と被駆動体とを加圧接触させ、振動体に励起させた振動によって振動体が被駆動体を摩擦駆動することによって生じる振動体と被駆動体と相対的な移動が駆動力として出力される振動型アクチュエータの制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電気−機械エネルギ変換素子と弾性体とが接合されてなる振動体に、電気−機械エネルギ変換素子に交流信号を印加することによって同形の屈曲モードの振動を発生させ、振動体に加圧接触する被駆動体を摩擦駆動する振動型アクチュエータが知られている。その一例について図１２を参照して説明する。
【０００３】
図１２（ａ）は、振動型アクチュエータ２００の概略構造を示す分解斜視図である。図１２（ｂ）は、振動型アクチュエータ２００の外観斜視図である。振動型アクチュエータ２００は、第１の弾性体２０１、圧電素子２０２、フレキシブル基板２０３、下ナット２０４、第２の弾性体２０５及びシャフト２０６を備える。また、振動型アクチュエータ２００は、被駆動体２０７、接触バネ２０８、ギア２０９、コイルバネ２１０、固定部材２１１及び上ナット２１２を備える。
【０００４】
第１の弾性体２０１は、金属等の振動減衰損失の小さい材料で構成された円板状の部材である。第１の弾性体２０１と電気−機械エネルギ変換素子である圧電素子２０２は、振動体２２０を構成する。フレキシブル基板２０３は、不図示の駆動電源と圧電素子２０２を電気的に接続する。駆動電源からフレキシブル基板２０３を介して圧電素子２０２に駆動信号を印加することにより、所定の振動モードで振動体２２０を励振することができる。下ナット２０４は、シャフト２０６の下端に形成されたネジ部と嵌合する。シャフト２０６は、第１の弾性体２０１、圧電素子２０２、フレキシブル基板２０３及び第２の弾性体２０５の中心部に設けられた貫通孔に挿入される。シャフト２０６のスラスト方向の概ね中央部には段差が設けられ、この段差が第２の弾性体２０５の内壁に設けられた段差に突き当たる。また、シャフト２０６の下ナット２０４側の先端部にはネジ山が形成されており、このネジ山を締結部材である下ナット２０４と螺合させる。これにより、第２の弾性体２０５、第１の弾性体２０１、圧電素子２０２及びフレキシブル基板２０３は、シャフト２０６と下ナット２０４によりシャフト２０６のスラスト方向に締め付けられて固定される。
【０００５】
被駆動体２０７の下部には、バネ性を有する接触バネ２０８が形成されている。第１の弾性体２０１の表面（圧電素子２０２が接合されている面の反対側の面）は、接触バネ２０８と加圧接触して、第１の弾性体２０１による摩擦駆動力を受ける。ギア２０９は、被駆動体２０７の回転出力を外部に取り出すための部品であり、被駆動体２０７の回転軸方向の移動を許容し、被駆動体２０７と一体的に回転するように被駆動体２０７と嵌合している。加圧手段であるコイルバネ２１０は、被駆動体２０７のバネ受け部とギア２０９との間に配置され、被駆動体２０７を第１の弾性体２０１の方向に押し下げるように付勢している。ギア２０９は、シャフト２０６と結合した固定部材２１１に軸支されている。また、シャフト２０６のスラスト方向の位置は、固定部材２１１によって規制されている。シャフト２０６における上ナット２１２側の先端部にもネジ山が形成されており、このネジ山を上ナット２１２に螺合させることで、固定部材２１１に対してシャフト２０６が固定される。固定部材２１１には、振動型アクチュエータ２００を所望の場所に取り付けるためのネジ穴が設けられている。
【０００６】
振動型アクチュエータ２００では、進行性の振動波（楕円運動）が第１の弾性体２０１の表面に励起される。したがって、第１の弾性体２０１の表面に接触バネ２０８を加圧接触させることで、接触バネ２０８、被駆動体２０７、コイルバネ２１０及びギア２０９がシャフト２０６を回転中心軸として一体的に回転する。ギア２０９の回転出力を用いて、オートフォーカスレンズやズームレンズを駆動するデジタルカメラ等の撮像装置が製品化されている。
【０００７】
撮像装置には、高速で被写体を捕らえる撮影シーンとゆっくりと被写体位置がずれていく撮影シーンの双方に対応可能なレンズ駆動特性が求められており、特に安定した低速駆動性能が強く求められている。このような要求に応えるためには、レンズ駆動に用いられる振動型アクチュエータには、高速と低速の速度比で１０倍以上のレンジを持つことが必要とされる。上述した振動型アクチュエータ２００で低速駆動を実現する方法としては、振動振幅が小さくなる高周波数領域で駆動するか、駆動電圧を下げると共にパルス幅を小さくする方法等が考えられる（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平１０−１４６０７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
図１３は、振動型アクチュエータ２００の個体ごとの駆動特性差を説明する図である。振動型アクチュエータ２００では、同形の振動モードの振動を振動体２２０に励起し、第１の弾性体２０１における接触バネ２０８との接触面に進行性の振動を発生させる。振動型アクチュエータ２００の低速駆動時に第１の弾性体２０１に励起される振動の振幅は小さい。そのため、駆動周波数を固定して振動型アクチュエータ２００のサンプルａ，ｂ，ｃをそれぞれ駆動したときに、サンプルａ〜ｃの構造的な個体差に起因して、図１３に示すように、個体ごとに異なる速度ムラが発生してしまう。また、同一サンプルを異なる制御回路で駆動した場合でも、制御回路の電子部品や電機部品の個体差が原因となって、駆動特性に差が生じ得る。振動型アクチュエータ２００及びその制御回路の個体差が大きいと、製品として利用可能かを選別する作業が必要となり、製造歩留りも低下してしまう。
【００１０】
本発明は、振動型アクチュエータの個体ごとに速度ムラの発生を抑制して安定した駆動特性を得ることができる振動型アクチュエータの制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係る振動型アクチュエータの制御方法は、弾性体に電気−機械エネルギ変換素子が接合されてなる振動体と、前記振動体と加圧接触する被駆動体とを備え、前記電気−機械エネルギ変換素子に所定の駆動信号を印加することによって前記振動体に励起された振動により前記振動体と前記被駆動体とを相対的に移動させる振動型アクチュエータの制御方法であって、前記駆動信号の時間的な位相差を所定の範囲で変えて前記電気−機械エネルギ変換素子に印加して前記振動型アクチュエータを駆動し、前記位相差ごとに前記振動体と前記被駆動体との相対的な移動速度の速度変動幅を検出する検出ステップと、前記速度変動幅が最小となるときの前記駆動信号の位相差を決定する決定ステップと、前記駆動信号を前記決定した位相差に設定して前記電気−機械エネルギ変換素子に印加することにより前記振動型アクチュエータの通常駆動を行う駆動ステップと、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、振動型アクチュエータの個体ごとに、速度ムラを抑制した安定した駆動が可能になる。これにより、ひいては振動型アクチュエータの製造歩留りを向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態に係る振動型駆動装置を構成する、振動型アクチュエータの駆動制御を行うための制御回路の概略構成を示すブロック図である。
【図２】振動型アクチュエータを構成する圧電素子を構成する圧電体の電極構成を示す平面図である。
【図３】時間的な位相差が９０°で電圧振幅が同じ駆動信号を圧電素子に印加したときの振動体の振動変位を模式的に示す図である。
【図４】第１の振動モードと第２の振動モードの各駆動信号の位相差を９０°として振動型アクチュエータを駆動した場合の速度ムラの一例を示す図である。
【図５】位相差ｈｓ９０°で電圧振幅が同じ駆動信号を圧電素子に印加したときの振動型アクチュエータにおける振動体と接触バネの接触状態を模式的に示す図である。
【図６】図４の速度ムラを示す振動型アクチュエータを駆動信号のＡＢ位相差を５０〜１３０°の範囲で変えたときの速度ムラを示す図である。
【図７】振動型アクチュエータの２つのサンプルについてＡＢ位相差を変えて駆動したときの速度ムラの大きさをワウフラッタで示す図である。
【図８】速度ムラを検出して個別ＡＢ位相差を決定することにより振動型アクチュエータの駆動を制御する一連の流れを説明するフローチャートである。
【図９】振動型アクチュエータを駆動したときのＡＳ位相差の変化を示す図と、ＡＳ位相差と駆動周波数との関係を示す図である。
【図１０】ＡＳ位相差を検出して個別ＡＢ位相差を決定することにより振動型アクチュエータの駆動を制御する一連の流れを説明するフローチャートである。
【図１１】振動型アクチュエータ及びその制御装置を備える撮像装置の概略構成を示す斜視図である。
【図１２】振動型アクチュエータの概略構成を示す分解斜視図及び外観斜視図である。
【図１３】図１２に示す振動型アクチュエータの個体ごとの駆動特性差を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。ここでは、図１２を参照して説明した振動型アクチュエータ２００の駆動制御を行うための制御回路と制御方法について説明することとする。
【００１５】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の実施形態に係る振動型駆動装置を構成する、振動型アクチュエータ２００の駆動制御を行うための制御回路の概略構成を示すブロック図である。なお、本実施形態において、振動型駆動装置とは、振動型アクチュエータ２００と、振動型アクチュエータ２００の駆動制御を行う制御回路を含むものと定義する。振動型アクチュエータ２００の構成については、説明済みであるため、ここでの説明を省略する。制御回路は、ＭＰＵ３２、第１のスイッチング回路３３ａ、第２のスイッチング回路３３ｂ、発振器３４、位置検出センサ３５、電源３６、第１の差動増幅器３７、第２の差動増幅器３８及び位相差検出回路３９を備える。
【００１６】
ＭＰＵ３２は、マイクロコンピュータであり、プログラムを格納するＲＯＭ、プログラムの展開領域及びパラメータや演算結果を記憶するＲＡＭ、プログラムを実行するＣＰＵ等を有する。ＭＰＵ３２は、プログラムを実行することにより、制御回路を構成する各種の電子部品及び電機部品の動作を制御することによって、振動型アクチュエータ２００の全体的な駆動を制御する。後述する図８及び図１０に示す各フローチャートの各処理は、このようなＭＰＵ３２の機能によって実現される。発振器３４は、ＭＰＵ３２の指令値に基づいて第１の振動モードの駆動信号と第２の振動モードの駆動信号を、位相差を０〜３６０°の範囲で変えて、発生させることができる。なお、第１の振動モードと第２の振動モードの詳細については後述する。
【００１７】
第１のスイッチング回路３３ａは、第１の振動モードの駆動信号を電源電圧でスイッチングする回路であり、圧電素子２０２に印加する１組の交流電圧である駆動信号Ａ，Ａ´を出力する。第１のスイッチング回路３３ａは、インダクタンス４１との組み合わせにより、スイッチング電圧を昇圧効果により増幅する回路となっている。第２のスイッチング回路３３ｂは、第２の振動モードの駆動信号を電源電圧でスイッチングする回路であり、圧電素子２０２に印加する１組の交流電圧である駆動信号Ｂ，Ｂ´を出力する。第２のスイッチング回路３３ｂは、インダクタンス４２との組み合わせにより、スイッチング電圧を昇圧効果により増幅する回路となっている。電源３６は、第１のスイッチング回路３３ａ及び第２のスイッチング回路３３ｂに電圧を供給する電池やＡＣアダプタ等である。
【００１８】
第１の差動増幅器３７は、駆動信号Ａ，Ａ´の差動電圧Ａ−Ａ´を取り出す。第２の差動増幅器３８は、圧電素子２０２の一部に設けられた振動検出電極Ｓ（図２参照）から取り出される信号（電圧）Ｓと駆動信号Ａ´との差動電圧Ｓ−Ａ´を取り出す。位相差検出回路３９は、第１の差動増幅器３７と第２の差動増幅器３８で得られた各差動電圧の位相差を検出する。ＭＰＵ３２は、通常は、位相差検出回路３９で検出された位相差に基づいて振動型アクチュエータ２００の共振状態を検出し、所定の位相差以下になる周波数領域で振動型アクチュエータ２００を駆動するように制御を行う。
【００１９】
位置検出センサ３５は、例えば、フォトインタラプタとスリット板からなり、第１の弾性体２０１に対する被駆動体２０７の相対位置（回転位置）に関する情報を取得する。ＭＰＵ３２は、位置検出センサ３５から取得した検出信号に基づき、被駆動体２０７の回転位置と回転速度を算出し、被駆動体２０７の回転速度を制御するための指令値を発振器３４へ供給する。発振器３４は、ＭＰＵ３２からの指令値に基づき、第１の振動モードの駆動信号Ａと第２の振動モードの駆動信号Ｂの周波数と位相差（以下「ＡＢ位相差」という）を変更する。
【００２０】
次に、圧電素子２０２の電極配置と振動体２２０に励起される振動モードについて説明する。図２（ａ）は、圧電素子２０２を構成する圧電体２０２Ａの電極構成を示す平面図である。図２（ｂ）は、圧電素子２０２を構成する圧電体２０２Ｂの電極構成を示す平面図である。圧電体２０２Ａは、第１の振動モードの振動と第２の振動モードの振動を励起するため円板状の圧電体であり、圧電体２０２Ｂは、主に、圧電素子２０２に励起された駆動振動を検出するための円板状の圧電体である。
【００２１】
圧電体２０２Ａは、周方向に位置的位相が９０°となるように４つの電極Ａ１，Ｂ１，Ａ２，Ｂ２が、電極Ａ１，Ａ２が径方向で対向し、電極Ｂ１，Ｂ２が径方向で対向するように、薄板状の圧電セラミックスの表面に形成された構造を有する。ここで、電極Ａ１，Ｂ１と電極Ａ２，Ｂ２には位相差が１８０°の電圧が印加され、一方が伸びる方向に変位したときに他方は縮む方向に変位する。また、電極Ａ１の裏面は電極Ａ２、電極Ｂ１の裏面は電極Ｂ２となっており、電極Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２のそれぞれに、駆動信号Ａ，Ａ´，Ｂ，Ｂ´が印加される。圧電体２０２Ｂは、電極Ａ１が、振動検出電極Ｓに置き換わった構造を有する。ここで、振動検出電極Ｓの裏面は電極Ａ２となっている。圧電素子２０２は、複数枚の圧電体２０２Ａ（但し、１枚おきに電極Ａ１と電極Ａ２が入れ替わり、電極Ｂ１と電極Ｂ２が入れ替わる）と１枚の圧電体２０２Ｂとが積層された構造を有する。既知の配線構造により、電極Ａ１どうし、電極Ａ２どうし、電極Ｂ１どうし、電極Ｂ２どうしが接続される。振動検出電極Ｓは、電極Ａ１，Ｂ１，Ａ２，Ｂ２とは独立して配線され、位相差検出回路３９と接続される。電極Ａ１，Ｂ１，Ａ２，Ｂ２のそれぞれに、駆動信号Ａ，Ｂ，Ａ´，Ｂ´が印加される。ＡＢ位相差は、圧電素子２０２において周方向で隣接する電極Ａ１，電極Ｂ１に印加される駆動信号の位相差とも言える。
【００２２】
図３は、時間的な位相差が９０°で電圧振幅が同じ駆動信号Ａ，Ｂ，Ａ´，Ｂ´を圧電素子２０２に印加したときの振動体２２０（第１の弾性体２０１）の振動変位を模式的に示す図である。図３（ａ）〜（ｄ）の横方向は、振動体２２０を直線状に展開したときの、圧電素子２０２の電極Ａ１，Ｂ１，Ａ２，Ｂ２に対応する第１の弾性体２０１の領域を模式的に示している。図中の位置ａ，ｂ，ｃ，ｄは、電極Ａ１，Ｂ１，Ａ２，Ｂ２に対応する領域を明示するために、これらの領域間の境界を模式的に示している。
【００２３】
駆動信号Ａ，Ａ´の位相差は１８０°であり、駆動信号Ａ，Ａ´がそれぞれ電極Ａ１，Ａ２に印加されると、圧電体２０２Ａは、あるときには電極Ａ１領域は厚さ方向に膨張すると共に電極Ａ２領域は厚さ方向に収縮し、あるときには逆の膨張と収縮が生じる。これにより、第１の弾性体２０１と圧電素子２０２とが接合されてなる振動体２２０には、シャフト２０６を中心として電極Ａ１−Ａ２方向に曲がる第１の振動モードの曲げ振動が励起される。同様に、駆動信号Ｂ，Ｂ´の位相差は１８０°であり、駆動信号Ｂ，Ｂ´がそれぞれ電極Ｂ１，Ｂ２に印加されると、振動体２２０には、シャフト２０６を中心として電極Ｂ１−Ｂ２方向に曲がる第２の振動モードの曲げ振動が励起される。つまり、第１の振動モードと第２の振動モードは、振動の発生方向のみが異なる同形の振動モードである。駆動信号Ａ，Ｂの位相差（ＡＢ位相差）を９０°に設定して、第１の振動モードの振動と第２の振動モードの振動とを合成した駆動振動は、時間の経過に従って第１の弾性体２０１の表面を移動する進行性の振動波となる。
【００２４】
駆動信号Ａ，Ｂ，Ａ´，Ｂ´の電圧振幅が同じであれば、駆動振動の振幅の大きさは第１の弾性体２０１のどの位置でも常に等しくなる。振動型アクチュエータ２００では、振動波が励起された第１の弾性体２０１の表面に略均等に接触バネ２０８を加圧接触させているため、接触バネ２０８が第１の弾性体２０１の振動波によって押し出されるようにして回転することで、被駆動体２０７が回転する。駆動信号Ａ，Ｂ，Ａ´，Ｂ´の位相差を−９０°とすることで、被駆動体２０７の回転方向を反転させることができる。
【００２５】
図４は、振動型アクチュエータ２００の１つのサンプルを９０°のＡＢ位相差で低速駆動した場合の駆動特性の１つである速度ムラの一例を示す図である。図４の横軸には、位置として位置検出センサ３５から得られるパルスのパルス数が取られており、縦軸には回転速度が取られている。図４中に示す「速度ムラ」とは、本実施形態では、中心速度（ここでは、約２５０ｒｐｍ（回転／分））に対する回転速度の変動幅を指している。最大速度と最小速度の差（実回転速度が中心速度からずれる量）が大きくなるほど、被駆動体２０７の回転速度の速度ムラが大きいと言うことができる。
【００２６】
図５は、時間的な位相差が９０°で電圧振幅が同じ駆動信号Ａ，Ｂ，Ａ´，Ｂ´を圧電素子２０２に印加したときの振動体２２０（第１の弾性体２０１）と接触バネ２０８の接触状態の変化を模式的に示す図である。なお、図５は、図３と同様に、第１の弾性体２０１及び接触バネ２０８を直線状に展開した横軸（ｘ方向）に対して、第１の弾性体２０１に生じる厚み方向（ｚ方向）の変位が進行性の振動波となっている状態を模式的に示している。
【００２７】
ここで、接触バネ２０８は、先述の通り、振動体２２０の振動に追従するためにバネ性を有する。また、接触バネ２０８は、加工時の応力等の影響で周方向に２点で凸部が形成された形状となるため、第１の弾性体２０１に対して周方向の２カ所において強圧で接触する。なお、図５では、接触バネ２０８の２カ所の凸部を誇張表現しているが、実際の凹凸はミクロンオーダー（数マイクロメートル）である。図５（ａ）〜（ｄ）に示すように、接触バネ２０８が第１の弾性体２０１に対して接触する凸部の位置は、位置ｂ→ｃの方向へ変わっていく。このとき、第１の弾性体２０１（振動体２２０）に生じる振動振幅はどの位置でも同じ理想的な状態では、駆動力が一定となることで被駆動体２０７の速度ムラはほぼゼロとなる。このように、ＡＢ位相差が９０°（又は−９０°）で電圧振幅が同じ駆動信号を圧電素子２０２に印加することで、理論的には、振動体２２０に励起される振動には振幅のムラが生じず、よって速度ムラも発生しない駆動状態が得られる。
【００２８】
しかし、一般的に、振動型アクチュエータ２００の駆動特性には個体差があり、振動型アクチュエータ２００を駆動する制御回路の出力特性にも個体差がある。そのため、ＡＢ位相差が９０°で電圧振幅が同じ駆動信号Ａ，Ｂ，Ａ´，Ｂ´を圧電素子２０２に入力しても、振動体２２０に周方向で振動振幅のムラが生じることがある。そして、振動体２２０に周方向で振幅のムラが生じると、接触バネ２０８の凸部が振幅の大きい部分に加圧接触している状態と振幅が小さい部分に加圧接触している状態とでは駆動特性が異なるため、凸部の接触状態が変化することで速度ムラが生じる。
【００２９】
制御回路側の原因としては、制御回路の電子部品及び電気部品の個体差の影響によるＡＢ位相差の９０°からのずれが挙げられる。振動型アクチュエータ側の原因としては、第１の振動モードと第２の振動モードの共振周波数のずれによる振動位相差の９０°からのずれ、圧電素子２０２での電極位置のずれ、第１の弾性体２０１の接触バネ２０８との接触面での加工誤差等が挙げられる。
【００３０】
制御回路側の原因については、電子部品及び電気部品の部品精度を高めることで対応が可能と考えられるが、部品コストが増加するために現実的ではない。一方、振動型アクチュエータ２００側の原因については、部品精度や加工精度を高めることで対応するしかなく、これも、加工コストの増加と歩留りの低下を招くために現実的ではない。また、１つの振動型アクチュエータ２００の個体を駆動する際に、制御回路を変えてしまうと、制御回路の個体差に起因して、速度ムラを最小とするＡＢ位相差が変わってくる可能性がある。同様に、１つの制御回路で振動型アクチュエータ２００の複数の個体を個別に駆動する場合も、振動型アクチュエータ２００の個体差に起因して、個体ごとに速度ムラを最小とするＡＢ位相差は変わってくる可能性が高い。そこで、本実施形態では、ＡＢ位相差を９０°に限ることなく、振動型アクチュエータと制御回路の組み合わせごとに、被駆動体２０７の回転速度の速度ムラが小さくなるＡＢ位相差を設定する。
【００３１】
図６は、図２の速度ムラを示す振動型アクチュエータ２００の１サンプルを５０〜１３０°の範囲のＡＢ位相差で駆動したときの速度ムラを示す図である。ここでは、被駆動体２０７の回転速度の平均速度が同じになるように駆動条件を設定しているが、実際には平均速度にずれが生じてしまっている。但し、速度ムラの大小を評価する場合には平均速度で正規化するため、実際の平均速度の若干のずれは、速度ムラの大小評価に影響しない。図６（ａ）〜（ｅ）から明らかなように、ＡＢ位相差を変えることによって速度ムラの大小が変化しており、この１サンプルではＡＢ位相差を５０°としたときに速度ムラが最も小さくなっていることがわかる。これは、上述した各種要因に起因する速度ムラが相殺され、接触バネ２０８と第１の弾性体２０１との接触状態が図５を参照して説明した理想的な状態に近付いた結果と考えられる。
【００３２】
図７は、振動型アクチュエータ２００の２つのサンプルＰ，Ｑについて、ＡＢ位相差５０〜１３０°（ＣＷ（時計回り）回転）及び−５０〜−１３０°（ＣＣＷ（反時計回り）回転）でそれぞれ駆動したときの速度ムラの大きさをワウフラッタで示した図である。なお、サンプルＰ，Ｑを駆動する制御回路には同じものを用いている。ワウフラッタは、（最大速度−最小速度）×１００／平均速度、により算出される。
【００３３】
サンプルＰ，Ｑでは、ワウフラッタが最小となるＡＢ位相差の値が異なっていることがわかる。サンプルＰは、回転方向に関係なく、測定したＡＢ位相差の範囲内での速度ムラが小さく、速度ムラが最も小さくなるＡＢ位相差が９０°及び−９０°となっていることから、製造誤差等の殆どない理想的な製品となっていると考えられる。これに対して、サンプルＱでは、測定したＡＢ位相差の範囲内での速度ムラが大きく、速度ムラが最小になるＡＢ位相差がＣＷ方向で５０°、ＣＣＷ方向で−１１０°となっており、それぞれ９０°及び−９０°からずれている。この原因としては、振動型アクチュエータの製造誤差により第１及び第２の振動モードの各振動の発生位置が理想的な位置的位相９０°からずれていること等が考えられる。しかし、ＡＢ位相差を５０°又は−１１０°とすることで、製造誤差が原因で発生する速度ムラとＡＢ位相差を変えたことが原因で発生する速度ムラとが打ち消し合うと考えられる。このことから、振動型アクチュエータ２００に個体ごとにワウフラッタが小さくなるＡＢ位相差（以下「個別ＡＢ位相差」という）を検出して駆動することにより、速度ムラの個体差を減らすことができる。
【００３４】
図８は、速度ムラを検出して個別ＡＢ位相差を決定することにより振動型アクチュエータ２００の駆動を制御する一連の流れを説明するフローチャートである。図８のフローチャートの各処理は、制御回路のＭＰＵ３２が所定のプログラムを実行して制御回路の各種部品の動作を制御することにより実現される。
【００３５】
ステップＳ８０１においてＭＰＵ３２は、振動型アクチュエータ２００の起動時に、個別ＡＢ位相差が設定され、記憶済みか否かを判定する。ＭＰＵ３２は、個別ＡＢ位相差が設定・記憶済みでない場合（Ｓ８０１でＮＯ）処理をステップＳ８０２へ進め、個別ＡＢ位相差が設定・記憶済みである場合（Ｓ８０１でＹＥＳ）、処理をステップＳ８０６へ進める。ステップＳ８０２においてＭＰＵ３２は、所定の駆動周波数ｆｍ、且つ、ＡＢ位相差を初期値（例えば、５０°）に設定して振動型アクチュエータ２００を駆動し、速度ムラを検出する。そして、ＭＰＵ３２は、検出した速度ムラに基づき、ワウフラッタを算出し、ＭＰＵ３２のＲＡＭ等に記憶する。
【００３６】
なお、駆動周波数ｆｍは、基本的に制限されるものではないが、接触バネ２０８の凸部と振動体２２０に励起される振動振幅のムラの影響が反映されやすい回転速度となる周波数とすることが望ましい。ここで、接触バネ２０８の凸部については、図５を参照して既に説明しているが、振動振幅が大きく、回転速度が高速である場合には、接触バネ２０８が振動振幅のムラに追従しなくなるため、速度ムラは発生し難くなる。逆に、振動振幅が小さ過ぎて回転速度が低速である場合には、接触バネ２０８と第１の弾性体２０１とが全面接触（常に接触）した状態となり、動摩擦と静摩擦の間で摩擦力が変化する等の別の要因の速度ムラを発生させてしまう。よって、振動振幅のムラの影響を反映しやすい回転速度とは、振動体２２０の振動振幅のムラに接触バネ２０８に追従可能であり、且つ、接触バネ２０８が第１の弾性体２０１に対して全面接触しない状態となる回転速度である。
【００３７】
ステップＳ８０３においてＭＰＵ３２は、ＡＢ位相差をΔＸ°だけ変更して（ＡＢ位相差を５０°＋ΔＸ°として）、振動型アクチュエータ２００を駆動し、ワウフラッタを算出し、ＭＰＵ３２が有するＲＡＭ等に記憶する。続いて、ステップＳ８０４においてＭＰＵ３２は、予め設定されたＡＢ位相差の範囲でのワウフラッタの算出が終了したか否かを判定する。ＭＰＵ３２は、ワウフラッタの算出が終了した場合（Ｓ８０４でＹＥＳ）、処理をステップＳ８０５へ進め、ワウフラッタの算出が終了していない場合（Ｓ８０４でＮＯ）、処理をステップＳ８０３へ戻す。具体的には、ＭＰＵ３２は、ＡＢ位相差を予め設定された５０°〜１３０°の範囲で＋ΔＸ°ずつ変更してワウフラッタを算出し、全範囲でのワウフラッタの算出が終了すると、処理をステップＳ８０５へ進める。ＡＢ位相差の変更範囲は、速度ムラが最小又は十分に小さくなる範囲を含むように設定される。
【００３８】
ステップＳ８０５においてＭＰＵ３２は、ステップＳ８０３〜Ｓ８０４で算出したワウフラッタの値のうち最小値を与えるＡＢ位相差を個別ＡＢ位相差として、ＭＰＵ３２が有するＲＡＭ等に記憶する。以上のステップＳ８０１〜８０５の処理は、振動型アクチュエータ２００の速度ムラが最小となる個別ＡＢ位相差を決定する処理であり、本実施形態ではこれをテストモードと称呼する。テストモードは、振動型アクチュエータ２００を初めて駆動する際に行う必要があるが、その後は、所定の条件が満たされる場合に行うようにすればよい。例えば、経時的な使用による部品劣化や使用環境等によって個別ＡＢ位相差が変化すると考えられる。よって、テストモードは、振動型アクチュエータ２００の通常の駆動前に常に実行されるようにしてもよいし、駆動頻度や駆動環境を考慮して一定期間ごとに実行されるようにしてもよい。
【００３９】
テストモードの実行により個別ＡＢ位相差が決定された後のステップＳ８０６においてＭＰＵ３２は、予め設定された起動周波数と決定された個別ＡＢ位相差で、振動型アクチュエータ２００を駆動させる。ここで、起動周波数は、共振周波数よりも高周波数側で、起動時に衝撃が発生しない程度の十分ゆっくりした速度となる値に設定することが望ましい。ステップＳ８０７においてＭＰＵ３２は、位置検出センサ３５から取得した検出信号に基づいて、検出した速度が目標速度に到達したか否かを判定する。なお、ステップＳ８０７の判定は、検出された速度が目標速度付近の所定の速度範囲に入ったか否かを基準としてもよい。ＭＰＵ３２は、検出速度が目標速度に達していない場合（Ｓ８０７でＮＯ）、処理をステップＳ８０８へ進め、検出速度が目標速度に達した場合（Ｓ８０７でＹＥＳ）、処理をステップＳ８０９へ進める。
【００４０】
ステップＳ８０８においてＭＰＵ３２は、駆動周波数を下げて（共振周波数へ近付けて）回転速度を上げ、その後、処理をステップＳ８０７へ戻す。ステップＳ８０９においてＭＰＵ３２は、速度偏差に対して設定したゲイン値を掛け、目標速度で安定して動作するように周波数を制御する速度制御駆動を実行する。ステップＳ８１０においてＭＰＵ３２は、速度制御を実行しながら、被駆動体２０７が目標位置（目標とする回転角度）に到達したか否かを判定する。ＭＰＵ３２は、目標位置に到達していない場合（Ｓ８１０でＮＯ）、処理をステップＳ８０９に戻し、目標位置に到達した場合（Ｓ８１０でＹＥＳ）、速度制御を終了する。
【００４１】
以上の説明の通り、本実施形態では、振動型アクチュエータの個体ごとに、通常駆動に先立って、速度ムラを小さく抑えることができる駆動信号の個別位相差を決定するテストモードを設け、通常駆動を個別位相差に設定された駆動信号で行う。これにより、振動体と被駆動体の相対的な移動速度の変動幅を小さく抑えた安定した駆動が可能となる。こうして、より低速まで安定した駆動を行うことが可能となり、低速で停止してしまうような動作を回避することができ、駆動速度のダイナミックレンジが広い振動型アクチュエータを実現することができる。ひいては、従来は駆動信号の位相差を９０°に設定した場合に移動速度の変動幅が大きい等の理由で製品として使用不可と判断されたものも、移動速度の変動幅を所定の規格内に納めることができるため、振動型アクチュエータの製造歩留りを向上させることもできる。なお、本実施形態のテストモードでは、移動速度の変動幅が最小となるときの駆動信号の位相差を個別位相差として設定したが、移動速度の変動幅が所定の閾値よりも小さくなる位相差を個別位相差としてもよい。
【００４２】
＜第２実施形態＞
第１実施形態では、ＡＢ位相差を変えて速度ムラの変化を検出し、速度ムラが最小となるときのＡＢ位相差を個別ＡＢ位相差として決定した。これに対して、第２実施形態では、位相差検出回路３９が検出する差動電圧Ａ−Ａ´と差動電圧Ｓ-Ａ´の位相差（以下「ＡＳ位相差」という）に基づいて個別ＡＢ位相差を決定する。本実施形態で個別ＡＢ位相差を決定するための振動型アクチュエータ２００及びその制御回路の構成は第１実施形態と同じであり、制御回路による個別ＡＢ位相差の決定方法（ＭＰＵ３２が実行する制御）のみが異なる。よって、振動型アクチュエータ２００及びその制御回路の構成についての説明は省略する。
【００４３】
図９（ａ）は、電圧振幅が同じ所定の周波数の駆動信号Ａ，Ａ´，Ｂ，Ｂ´で振動型アクチュエータ２００を駆動したときのＡＳ位相差の変化を示す図である。ＡＳ位相差は、振動型アクチュエータ２００の振動状態をモニタリングする情報であり、接触バネ２０８の凸部が接触する第１の弾性体２０１の接触部の振動振幅の大きさに応じて変化する。本実施形態では、この現象を利用して、振動体２２０に励起される振動の振幅ムラを小さく抑える。図９（ａ）に示す「補正前ＡＳ位相差」は、振動型アクチュエータ２００の１サンプルをＡＢ位相差が９０°で電圧振幅が同じ所定の周波数の駆動信号Ａ，Ａ´，Ｂ，Ｂ´で駆動したときのＡＳ位相差の変化を示す図である。ＡＢ位相差が９０°のときには、ＡＳ変動量（ＡＳ位相差の高低差）が大きい。これに対して、「補正後ＡＳ位相差」は、ＡＢ位相差を変えることによってＡＳ位相差の変動量を小さく抑えることができることを示している。
【００４４】
図９（ｂ）は、接触バネ２０８の凸部と第１の弾性体２０１の接触部が変わることによって振動体２２０の共振周波数が変わることと、固定周波数で駆動した場合に共振周波数が変わることによって検出されるＡＳ位相差の値が変化することを説明する図である。図９（ｂ）において、横軸には周波数が、縦軸にはＡＳ位相差が取られている。また、図９（ｂ）の特性は、ＡＢ位相差を９０°とした場合の２本の曲線のうち、左側は共振周波数が低くなったときの特性を示しており、右側は共振周波数が高くなったときの特性を示している。周波数ｆｍは、接触バネ２０８の凸部と第１の弾性体２０１に生じる振動の振幅ムラの影響が反映しやすい駆動周波数である。また、周波数ｆ１は、図８のステップＳ８０６で説明した起動周波数である。
【００４５】
起動時に衝撃が発生しない程度の十分に低速度となる起動周波数ｆ１で振動型アクチュエータ２００の駆動を開始し、その後、周波数を低周波数側（共振周波数側）へ掃引していく。図９（ｂ）に太い実線で示すように、共振周波数が低い左側の線に沿ってＡＳ位相差が変化する。共振周波数が低い状態で安定しているときに接触バネ２０８の凸部が接触する第１の弾性体２０１の接触部が変わって共振周波数が高くなると、右側の特性にずれる。こうして、接触バネ２０８の凸部と第１の弾性体２０１との接触状態が変わることで振動型アクチュエータ２００の共振周波数が上下するとＡＳ位相差の値も上下し、駆動周波数ｆｍのように共振周波数に近い周波数になると、ＡＳ位相差変動量も大きくなる。このように振動型アクチュエータ２００の共振周波数が上下するのは、第１の弾性体２０１と接触バネ２０８の接触時の拘束力が回転位置によって変わることによって生じ、この接触時の拘束力の違いによって速度ムラが発生すると考えられる。本実施形態では、ＡＳ位相差変動量が小さくなるＡＢ位相差を決定することにより、速度ムラを小さく抑える。
【００４６】
図１０は、ＡＳ位相差を検出して個別ＡＢ位相差を決定することにより振動型アクチュエータ２００の駆動を制御する一連の流れを説明するフローチャートである。図１０のフローチャートの各処理は、制御回路のＭＰＵ３２が所定のプログラムを実行して制御回路の各種部品の動作を制御することにより実現される。
【００４７】
ステップＳ１００１においてＭＰＵ３２は、振動型アクチュエータ２００の起動時に、個別ＡＢ位相差が設定・記憶済みか否かを判定する。ＭＰＵ３２は、個別ＡＢ位相差が設定・記憶済みでない場合（Ｓ１００１でＮＯ）処理をステップＳ１００２へ進め、個別ＡＢ位相差が設定・記憶済みである場合（Ｓ１００１でＹＥＳ）、処理をステップＳ１００６へ進める。ステップＳ１００２〜Ｓ１００５は、ＡＳ位相差変動量を検出することによって、ＡＳ移動差変動量を最小値とする個別ＡＢ位相差を決定するテストモードの処理である。ステップＳ１００２においてＭＰＵ３２は、所定の駆動周波数ｆｍ、且つ、ＡＢ位相差を初期値（例えば、５０°）に設定して振動型アクチュエータ２００を駆動し、ＡＳ位相差変動量を検出して、ＭＰＵ３２のＲＡＭ等に記憶する。
【００４８】
ステップＳ１００３においてＭＰＵ３２は、ＡＢ位相差をΔＸ°だけ変更して（ＡＢ位相差を５０°＋ΔＸ°として）、振動型アクチュエータ２００を駆動し、ＡＳ位相差変動量を検出し、ＭＰＵ３２が有するＲＡＭ等に記憶する。続いて、ステップＳ１００４においてＭＰＵ３２は、予め設定されたＡＢ位相差の範囲でのＡＳ位相差変動量の算出が終了したか否かを判定する。ＭＰＵ３２は、ＡＳ位相差変動量の検出が終了した場合（Ｓ１００４でＹＥＳ）、処理をステップＳ１００５へ進め、ＡＢ位相差の設定範囲でのＡＳ位相差変動量の算出が終了していない場合（Ｓ１００４でＮＯ）、処理をステップＳ１００３へ戻す。ＡＢ位相差の変更範囲は、ＡＳ位相差変動量が最小又は十分に小さくなる範囲を含むように設定され、例えば、５０°〜１３０°の範囲とされる。
【００４９】
ステップＳ１００５においてＭＰＵ３２は、ステップＳ１００３〜Ｓ１００４で算出したＡＳ位相差変動量のうち最小値を与えるＡＢ位相差を個別ＡＢ位相差として、ＭＰＵ３２が有するＲＡＭ等に記憶する。ステップＳ１００６〜Ｓ１０１０の処理は、図８のフローチャートで説明したステップＳ８０６〜Ｓ８１０の処理と同じであるため、ここでの説明を省略する。
【００５０】
第２実施形態でも、通常駆動に先立って、駆動信号の個別位相差を決定するテストモードを設け、通常駆動を個別位相差に設定された駆動信号で行う。第１実施形態と第２実施形態とでは、駆動信号の個別位相差を決定するために検出するパラメータが移動速度の速度変動幅か差動信号位相差の変動量であるかが異なるだけであるので、第２実施形態でも、第１実施形態と同じ効果を得ることができる。
【００５１】
＜第３実施形態＞
第３実施形態では、上述した振動型アクチュエータ２００を備える電子機器や機械装置の一例としての撮像装置について説明する。図１１は、撮像装置の一例であるデジタルカメラ４００の概略構成を示す斜視図であり、一部を透過した状態で示している。デジタルカメラ４００の本体の前面には、レンズ鏡筒４１０が取り付けられており、レンズ鏡筒４１０の内部には、フォーカスレンズ４０７を含む複数のレンズ（不図示）と、手ぶれ補正光学系４０３が配置されている。手ぶれ補正光学系４０３は、２軸のコアレスモータ４０４，４０５の回転が伝達されることによって、上下方向（Ｙ方向）と左右方向（Ｘ方向）に振動可能となっている。
【００５２】
デジタルカメラ４００の本体には、デジタルカメラ４００の全体的な動作を制御するマイコン４０９と、撮像素子４０８が配置されている。レンズ鏡筒４１０を通過した光は、光学像として撮像素子４０８に結像する。撮像素子４０８は、ＣＭＯＳセンサ或いはＣＣＤセンサ等の光電変換デバイスであり、結像した光学像をアナログ電気信号に変換する。撮像素子４０８から出力されるアナログ電気信号は、不図示のＡ／Ｄ変換器によってデジタル信号に変換される。そして、デジタル信号は、不図示の画像処理回路による所定の画像処理を経て、画像データ（映像データ）として不図示の半導体メモリ等の記憶媒体に記憶される。
【００５３】
デジタルカメラ４００の本体には、内部装置として、上下方向（ピッチング）の手ぶれ量（振動）を検出するジャイロセンサ４０１と、左右方向（ヨーイング）の手ぶれ量（振動）を検出するジャイロセンサ４０２が配置されている。ジャイロセンサ４０１，４０２によって検出された振動の逆方向にコアレスモータ４０４，４０５が駆動され、手ぶれ補正光学系４０３のＺ方向に延びる光軸を振動させる。その結果、手ぶれによる光軸の振動が打ち消され、手ぶれが補正された良好な写真を撮影することができる。
【００５４】
マイコン４０９は、振動型アクチュエータ２００を第１及び第２実施形態で説明した制御方法で駆動制御するための制御回路（図１参照）を構成するＭＰＵ３２としての機能を有する。図１に示した制御回路を構成する各種の電子部品と電気部品は、マイコン４０９が実装される不図示の基板に実装される。振動型アクチュエータ２００は、マイコン４０９によって駆動制御され、振動型アクチュエータ２００の出力は、不図示のギア列を介してレンズ鏡筒４１０に配置されたフォーカスレンズ４０７を光軸方向（Ｚ方向）に駆動する。こうして、フォーカスレンズ４０７を合焦位置に位置決めすることができる。なお、振動型アクチュエータ２００は、ズームレンズ（不図示）の駆動等、任意のレンズの駆動に用いることができる。
【００５５】
このように、振動型アクチュエータ２００は撮像装置（カメラやビデオカメラ）のレンズ駆動に用いることができる。ここで、フォーカスレンズの駆動における速度ムラが大きいと、動画撮影のように常に被写体を追い続ける動作が必要なシーンでは、フォーカスが合っていないシーンが含まれてしまうことで、良質な映像を撮影することができない。これに対して、第１及び第２実施形態で説明した制御方法により振動型アクチュエータ２００の駆動が制御される撮像装置では、被写体にフォーカスを合わせて追い続ける動作の精度を高めることができるため、良質な映像を撮影することができる。
【００５６】
＜その他の実施形態＞
以上、本発明をその好適な実施形態に基づいて詳述してきたが、本発明はこれら特定の実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明に含まれる。例えば、本発明に係る振動型アクチュエータの制御方法は、上述した撮像装置に限らず、電子機器や機械装置において位置決めを必要とする各種の部材の駆動制御に用いることができる。例えば、本発明に係る振動型アクチュエータの制御方法は、画像形成装置の感光ドラム等の回転駆動や多関節ロボットにおけるアームの回転駆動に用いられる振動型アクチュエータの駆動制御等にも適用可能である。本発明は、上述した実施形態の１以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける１つ以上のプロセッサがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、１以上の機能を実現する回路（例えば、ＡＳＩＣ）によっても実現可能である。
【符号の説明】
【００５７】
３２    ＭＰＵ
３５    位置検出センサ
３７    第１の差動増幅器
３８    第２の差動増幅器
３９    位相差検出回路
２００    振動型アクチュエータ
２０１    第１の弾性体
２０２    圧電素子
２２０    振動体
４００    デジタルカメラ
【図１】
2017127128.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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