(57)【要約】【課題】弾性波共振子の共振特性を確保しつつ複数の弾性波共振子を接続する接続配線の低抵抗化を実現する小型の弾性波フィルタ装置を提供する。【解決手段】弾性表面波フィルタ１は、直列共振子２０および３０、並列共振子５０、ならびに接続配線６０および７０を備え、直列共振子２０は、圧電基板１００上に形成されたＩＤＴ電極２１と、反射器２２Ｌおよび２２Ｒとで構成され、ＩＤＴ電極２１が有する一対の櫛形電極２１ａおよび２１ｂのそれぞれは、バスバー電極と当該バスバー電極に接続された交差電極指およびダミー電極指とを含み、反射器２２Ｌを構成する反射電極指２２１Ｌの長さは、交差電極指の交差幅と等しい。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
１枚の圧電基板を共有する複数の弾性波共振子を備えた弾性波フィルタ装置であって、
前記複数の弾性波共振子のそれぞれは、
前記圧電基板と、
前記圧電基板上に形成され、対向する一対の櫛形電極を有するＩＤＴ電極と、
前記ＩＤＴ電極と弾性波伝搬方向に隣り合って配置された反射器とで構成され、
前記複数の弾性波共振子のうちの一の弾性波共振子を構成する前記ＩＤＴ電極が有する前記一対の櫛形電極のそれぞれは、
前記弾性波伝搬方向に延びるように配置されたバスバー電極と、
前記バスバー電極に接続され、前記弾性波伝搬方向の直交方向に延びるように配置された複数の電極指とで構成され、
前記一対の櫛形電極の一方を構成する前記複数の電極指は、
前記一対の櫛形電極の他方を構成する前記複数の電極指と交差する交差電極指と、
前記一対の櫛形電極の他方を構成する前記複数の電極指と前記直交方向に対向して配置されたダミー電極指とを含み、
弾性波フィルタ装置は、さらに、
前記圧電基板上に形成され、前記一の弾性波共振子を構成する前記バスバー電極と他の弾性波共振子を構成する前記ＩＤＴ電極とを接続する接続配線を備え、
前記一の弾性波共振子を構成する前記反射器は、
前記直交方向に延び、互いに平行な複数の反射電極指を含み、
前記複数の反射電極指のそれぞれの長さは、前記交差電極指の前記直交方向における交差領域の長さである交差幅以上、かつ、前記一対の櫛形電極の対向する２つの前記バスバー電極の間隔よりも短い、
弾性波フィルタ装置。
【請求項２】
前記一の弾性波共振子は、
前記ＩＤＴ電極を挟んで、前記弾性波伝搬方向に２つの前記反射器を有し、
前記２つの反射器の一方に含まれる前記複数の反射電極指のそれぞれの長さは、前記交差幅以上、かつ、前記ＩＤＴ電極を構成する２つの前記バスバー電極の間隔よりも短く、
前記接続配線の配線幅は、前記２つの反射器のうち前記一方側に近い方が広い、
請求項１に記載の弾性波フィルタ装置。
【請求項３】
前記複数の反射電極指の前記直交方向の長さは、前記交差幅と略等しい、
請求項１または２に記載の弾性波フィルタ装置。
【請求項４】
前記複数の反射電極指の前記直交方向の一端は、前記一対の櫛形電極の一方を構成する複数の前記交差電極指の前記バスバー電極と接続されていない端部と前記弾性波伝搬方向に揃っており、
前記複数の反射電極指の前記直交方向の他端は、前記一対の櫛形電極の一方を構成する複数の前記交差電極指の前記バスバー電極との接続部と前記弾性波伝搬方向に揃っている、
請求項１または２に記載の弾性波フィルタ装置。
【請求項５】
前記接続配線は、前記一の弾性波共振子が有する前記バスバー電極が前記弾性波伝搬方向に延伸された領域に、前記バスバー電極と連続して形成されている、
請求項１〜４のいずれか１項に記載の弾性波フィルタ装置。
【請求項６】
前記ＩＤＴ電極および前記反射器を構成する電極は、
前記圧電基板上に形成された第１電極層のみで構成され、
前記接続配線は、
前記圧電基板上に形成された前記第１電極層と、
前記第１電極層上に形成された第２電極層との積層体で構成され、
前記第２電極層は、前記第１電極層よりも厚い、
請求項１〜５のいずれか１項に記載の弾性波フィルタ装置。
【請求項７】
前記複数の弾性波共振子のそれぞれは、ラダー型弾性表面波フィルタを構成する直列共振子および並列共振子のいずれかである、
請求項１〜６のいずれか１項に記載の弾性波フィルタ装置。
【請求項８】
前記一の弾性波共振子は、縦結合共振子型表面波フィルタを構成する共振子である、
請求項１〜６のいずれか１項に記載の弾性波フィルタ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の弾性波共振子を備える弾性波フィルタ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、移動体通信機のフロントエンド部に配置される帯域通過フィルタなどに、圧電基板上に複数の弾性波共振子が配置された弾性波フィルタが広く用いられている。また、マルチモード／マルチバンドなどの複合化に対応すべく、１枚の圧電基板上に複数の弾性波フィルタが形成された弾性波フィルタ装置が実用化されている。
【０００３】
特許文献１には、１枚の圧電基板上に送信側弾性表面波フィルタおよび受信側弾性表面波フィルタが配置されたデュプレクサの構成が開示されている。
【０００４】
図９は、特許文献１に記載されたデュプレクサのレイアウトを表す平面図である。図９には、低域側フィルタ５１０として、直列腕５２１〜５２４および並列腕５３１〜５３４を備えたラダー型フィルタのレイアウトが開示されている。低域側フィルタポート５０３側から数えて２番目及び３番目の並列腕５３２および５３３は直列信号路５１１よりも右側に配置されると共に、シールド電極５０６に接続される。一方、低域側フィルタポート５０３側から数えて１番目の並列腕５３１は、直列信号路５１１よりも左側に配置され、シールド電極５０６に対して電気的に絶縁される。これによれば、直列腕、並列腕および接続配線のレイアウトを工夫することにより、低域側フィルタ５１０と高域側フィルタ５４０との良好なアイソレーションが確保されるとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−７０４８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１のように、１枚の圧電基板上にデュプレクサを形成する場合、弾性表面波共振子を構成するＩＤＴ（ＩｎｔｅｒＤｉｇｉｔａｌ  Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）電極を多数形成する必要がある。この場合、小型化かつ低損失化を達成するには、複数のＩＤＴ電極に必要な面積を確保しつつＩＤＴ電極間を接続する接続配線およびシールド電極を省面積化する必要がある。しかしながら、ＩＤＴ電極の特性で規定される膜厚で接続配線およびシールド電極を省面積化すると、接続配線幅を確保できず、配線抵抗が高くなり、その結果、信号伝送ロスの増大およびシールド効果の低下という問題が発生する。
【０００７】
そこで、本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、弾性波共振子の共振特性を確保しつつ複数の弾性波共振子を接続する接続配線の低抵抗化を実現する小型の弾性波フィルタ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る弾性波フィルタ装置は、１枚の圧電基板を共有する複数の弾性波共振子を備えた弾性波フィルタ装置であって、前記複数の弾性波共振子のそれぞれは、前記圧電基板と、前記圧電基板上に形成され、対向する一対の櫛形電極を有するＩＤＴ電極と、前記ＩＤＴ電極と弾性波伝搬方向に隣り合って配置された反射器とで構成され、前記複数の弾性波共振子のうちの一の弾性波共振子を構成する前記ＩＤＴ電極が有する前記一対の櫛形電極のそれぞれは、前記弾性波伝搬方向に延びるように配置されたバスバー電極と、前記バスバー電極に接続され、前記弾性波伝搬方向の直交方向に延びるように配置された複数の電極指とで構成され、前記一対の櫛形電極の一方を構成する前記複数の電極指は、前記一対の櫛形電極の他方を構成する前記複数の電極指と交差する交差電極指と、前記一対の櫛形電極の他方を構成する前記複数の電極指と前記直交方向に対向して配置されたダミー電極指とを含み、弾性波フィルタ装置は、さらに、前記圧電基板上に形成され、前記一の弾性波共振子を構成する前記バスバー電極と他の弾性波共振子を構成する前記ＩＤＴ電極とを接続する接続配線を備え、前記一の弾性波共振子を構成する前記反射器は、前記直交方向に延び、互いに平行な複数の反射電極指を含み、前記複数の反射電極指のそれぞれの長さは、前記交差電極指の前記直交方向における交差領域の長さである交差幅以上、かつ、前記一対の櫛形電極の対向する２つの前記バスバー電極の間隔よりも短い。
【０００９】
これにより、１枚の圧電基板を共有する複数の弾性波共振子において、反射器の上記直交方向の長さを短くしたことで確保された領域を接続配線の形成領域に充てることが可能となる。また、ダミー電極を含むＩＤＴ電極で構成された弾性波共振子の場合、交差電極指の交差領域の隣り合う領域に反射器が配置されることで弾性波の閉じ込め効果を十分に確保できる。よって、各弾性波共振子の共振特性を確保しつつ低配線抵抗による信号伝搬の低損失化および小型化を実現できる。
【００１０】
また、前記一の弾性波共振子は、前記ＩＤＴ電極を挟んで、前記弾性波伝搬方向に２つの前記反射器を有し、前記２つの反射器の一方に含まれる前記複数の反射電極指のそれぞれの長さは、前記交差幅以上、かつ、前記ＩＤＴ電極を構成する２つの前記バスバー電極の間隔よりも短く、前記接続配線の配線幅は、前記２つの反射器のうち前記一方側に近い方が広くてもよい。
【００１１】
弾性波共振子は、一般的に、ＩＤＴ電極を挟んで弾性波伝搬方向の両端に反射器が配置される。この両端に配置された２つの反射器のうち、いずれか一方の反射器の上記直交方向の長さを短くすることで、接続配線の形成領域を拡大することが可能となる。よって、各弾性波共振子の共振特性を確保しつつ低配線抵抗による信号伝搬の低損失化および小型化を実現できる。
【００１２】
また、前記複数の反射電極指の前記直交方向の長さは、前記交差幅と略等しくてもよい。
【００１３】
これにより、反射器の上記直交方向の長さを、弾性波の閉じ込め効果を損なわない範囲で最小としたことで確保された最大の領域を、接続配線の形成領域に充てることが可能となる。よって、各弾性波共振子の共振特性を確保しつつ低配線抵抗による信号伝搬の低損失化および小型化を、最大限に実現できる。
【００１４】
また、前記複数の反射電極指の前記直交方向の一端は、前記一対の櫛形電極の一方を構成する複数の前記交差電極指の前記バスバー電極と接続されていない端部と前記弾性波伝搬方向に揃っており、前記複数の反射電極指の前記直交方向の他端は、前記一対の櫛形電極の一方を構成する複数の前記交差電極指の前記バスバー電極との接続部と前記弾性波伝搬方向に揃っていてもよい。
【００１５】
これにより、配線幅を優先的に広くしたい接続配線の部分を、反射器の上記直交方向の一端の縮小により確保された領域に充てることが可能となる。よって、各弾性波共振子の共振特性を確保しつつ低配線抵抗による信号伝搬の低損失化および小型化を、効果的に実現できる。
【００１６】
また、前記接続配線は、前記一の弾性波共振子が有する前記バスバー電極が前記弾性波伝搬方向に延伸された領域に、前記バスバー電極と連続して形成されていてもよい。
【００１７】
これにより、ＩＤＴ電極の電気信号を取り出すためのバスバー電極から、反射器の領域を迂回して接続配線を形成することなく、バスバー電極の延伸方向に連続的に接続配線を形成できる。よって、接続配線の低抵抗化が促進される。
【００１８】
また、前記ＩＤＴ電極および前記反射器を構成する電極は、前記圧電基板上に形成された第１電極層のみで構成され、前記接続配線は、前記圧電基板上に形成された前記第１電極層と、前記第１電極層上に形成された第２電極層との積層体で構成され、前記第２電極層は、前記第１電極層よりも厚くてもよい。
【００１９】
弾性表面波フィルタにおいて、ＩＤＴ電極および反射器の最適膜厚は１μｍ以下であるのに対して、接続配線は、低抵抗化の観点から厚ければ厚いほど好ましい。このため、圧電基板上には、まず、薄い第１電極層によりＩＤＴ電極および反射器と接続配線の下層とを形成する。そして、厚い第２電極層により接続配線の上層を形成する。このとき、第２電極層を数μｍ以上の厚みで高精度に形成する場合には、第２電極層の最小線幅が設定される。本構成によれば、反射器の上記直交方向の縮小により確保された領域を接続配線領域に充てることで、接続配線の線幅を上記最小線幅以上とできる確率を高めることが可能となる。よって、接続配線の低抵抗化を促進できる。
【００２０】
また、前記複数の弾性波共振子のそれぞれは、ラダー型弾性表面波フィルタを構成する直列共振子および並列共振子のいずれかであってもよい。
【００２１】
これにより、ラダー型弾性表面波フィルタを構成する直列共振子および並列共振子を接続する接続配線の低抵抗化を促進できるので、ラダー型弾性表面波フィルタの小型化および低損失化を達成できる。
【００２２】
また、前記一の弾性波共振子は、縦結合共振子型表面波フィルタを構成する共振子であってもよい。
【００２３】
これにより、縦結合共振子型表面波フィルタとその他のフィルタを構成する弾性波共振子とを接続する接続配線の低抵抗化を促進できるので、マルチプレクサなどの複合フィルタデバイスの小型化および低損失化を達成できる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明に係る弾性波フィルタ装置によれば、弾性波共振子の共振特性を確保しつつ複数の弾性波共振子を接続する接続配線が低抵抗化された小型の弾性波フィルタ装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】実施の形態に係る弾性表面波フィルタの回路構成図である。
【図２】実施の形態に係る弾性表面波フィルタのレイアウトを表す平面図である。
【図３】実施の形態に係る弾性表面波フィルタの共振子を模式的に表す平面図および断面図である。
【図４】実施の形態の変形例１に係る弾性表面波フィルタのレイアウトを表す平面図である。
【図５】実施の形態の変形例２に係る弾性表面波フィルタのレイアウトを表す平面図である。
【図６Ａ】比較例に係る弾性表面波フィルタのレイアウトを表す平面図である。
【図６Ｂ】比較例に係る弾性表面波フィルタの断面図である。
【図７Ａ】実施の形態の変形例３に係る弾性表面波フィルタのレイアウトを表す平面図である。
【図７Ｂ】実施の形態の変形例３に係る弾性表面波フィルタの断面図である。
【図８】実施の形態の変形例４に係る弾性表面波フィルタの回路構成図である。
【図９】特許文献１に記載されたデュプレクサのレイアウトを表す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下で説明する実施の形態およびその変形例は、いずれも包括的または具体的な例を示すものである。以下の実施の形態およびその変形例で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置および接続形態などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。以下の実施の形態およびその変形例における構成要素のうち、独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。また、図面に示される構成要素の大きさ、または大きさの比は、必ずしも厳密ではない。
【００２７】
（実施の形態１）
［１−１．弾性波フィルタ装置の回路構成］
図１は、実施の形態に係る弾性表面波フィルタ１の回路構成図である。同図に示すように、弾性表面波フィルタ１は、入力端子１１０と出力端子１２０との間に接続された直列共振子１０、２０および３０、ならびに、入力端子１１０から出力端子１２０までの接続経路と複数の基準端子のうちの一の基準端子との間に接続された並列共振子４０および５０を有するラダー型の弾性波フィルタ装置である。直列共振子１０〜３０および並列共振子４０および５０は、弾性表面波共振子で構成されている。弾性表面波フィルタ１は、入力端子１１０から入力された高周波信号を入力し、当該高周波信号を所定の通過帯域でフィルタリングして出力端子１２０へ出力する非平衡入力−非平衡出力型の帯域通過フィルタである。
【００２８】
［１−２．弾性波フィルタ装置の電極構成］
次に、本発明の特徴である弾性表面波フィルタ１の電極配置構成について説明する。
【００２９】
図２は、実施の形態に係る弾性表面波フィルタ１のレイアウトを表す平面図である。同図には、図１に示された弾性表面波フィルタ１の回路構成のうちの出力側共振部１ａの電極配置構成が示されている。具体的には、図２には、圧電基板１００上に、直列共振子２０および３０、並列共振子５０、ならびに接続配線６０および７０の電極レイアウトが表されている。なお、図２には、出力側共振部１ａの電極レイアウトに加えて、弾性表面波フィルタ１と当該弾性表面波フィルタ１が実装される実装基板との電気的および機械的接続を確保するための接合用電極１５０およびバンプ１５１が表されている。
【００３０】
ここで、弾性表面波フィルタ１を構成する弾性表面波共振子の断面構造について説明する。
【００３１】
図３は、実施の形態に係る弾性表面波フィルタ１の共振子を模式的に表す平面図および断面図の一例である。同図には、直列共振子２０のＩＤＴ（ＩｎｔｅｒＤｉｇｉｔａｌ  Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）電極２１の構造を表す平面摸式図および断面模式図が例示されている。なお、図３に示されたＩＤＴ電極２１は、その他のＩＤＴ電極の典型的な構造を説明するためのものであって、ＩＤＴ電極を構成する電極指の本数や長さなどは、これに限定されない。図３の平面図に示すように、圧電基板１００の上には、互いに対向する一対の櫛形電極２１ａおよび２１ｂが形成されている。櫛形電極２１ａは、交差電極指２１１ａ、ダミー電極指２１２ａ、およびバスバー電極２１０ａで構成されている。また、櫛形電極２１ｂは、交差電極指２１１ｂ、ダミー電極指２１２ｂ、およびバスバー電極２１０ｂで構成されている。これらの電極指は、Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に沿って形成されている。
【００３２】
また、これらの電極指およびバスバー電極で構成されるＩＤＴ電極２１は、図３の断面図に示すように、密着層１１１と主電極層１１２との積層構造となっている。密着層１１１は、圧電基板１００と主電極層１１２との密着性を向上させるための層であり、材料として、例えば、Ｔｉが用いられる。密着層１１１の膜厚は、例えば、１２ｎｍである。
【００３３】
主電極層１１２は、材料として、例えば、Ｃｕを１％含有したＡｌが用いられる。主電極層１１２の膜厚は、例えば１６２ｎｍである。
【００３４】
保護層１１３は、ＩＤＴ電極２１を覆うように形成されている。保護層１１３は、主電極層１１２を外部環境から保護する、周波数温度特性を調整する、および、耐湿性を高めるなどを目的とする層であり、例えば、二酸化ケイ素を主成分とする膜である。
【００３５】
密着層１１１、主電極層１１２、および保護層１１３は、ＩＤＴ電極および反射器の電極を構成する第１電極層である。
【００３６】
なお、密着層１１１、主電極層１１２および保護層１１３を構成する材料は、上述した材料に限定されない。さらに、ＩＤＴ電極２１は、上記積層構造でなくてもよい。ＩＤＴ電極２１は、例えば、Ｔｉ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄなどの金属または合金から構成されてもよく、また、上記の金属または合金から構成される複数の積層体から構成されてもよい。また、保護層１１３は、形成されていなくてもよい。
【００３７】
圧電基板１００は、例えば、所定のカット角を有するＬｉＴａＯ３圧電単結晶、ＬｉＮｂＯ３圧電単結晶、または圧電セラミックスからなる。
【００３８】
ここで、ＩＤＴ電極の設計パラメータについて説明する。弾性表面波共振子の波長とは、図３の中段に示す櫛形電極２１ａおよび２１ｂを構成する複数の交差電極指２１１ａおよび２１１ｂの繰り返しピッチλで規定される。また、ＩＤＴ電極の交差幅Ｌは、図３の上段に示すように、交差電極指２１１ａと交差電極指２１１ｂとのＸ軸方向から見た場合の重複する電極指長さである。また、対数は、複数の交差電極指２１１ａまたは２１１ｂの本数である。
【００３９】
なお、本発明に係る弾性波フィルタ装置の構造は、図３に記載された構造に限定されない。例えば、ＩＤＴ電極２１は、金属膜の積層構造でなく、金属膜の単層であってもよい。
【００４０】
再び、図２に戻って、弾性表面波フィルタ１の圧電基板１００上における電極配置構成について説明する。
【００４１】
直列共振子２０は、圧電基板１００と、圧電基板１００上に形成されたＩＤＴ電極２１と、反射器２２Ｌおよび２２Ｒとで構成されている。
【００４２】
ＩＤＴ電極２１は、対向する一対の櫛形電極２１ａおよび２１ｂを有している。櫛形電極２１ａは、弾性表面波の伝搬方向（Ｘ軸方向）に延びるように配置されたバスバー電極２１０ａと、バスバー電極２１０ａに接続され上記伝搬方向の直交方向（Ｙ軸方向）に延びるように配置された複数の交差電極指２１１ａおよびダミー電極指２１２ａとで構成されている。櫛形電極２１ｂは、上記弾性波伝搬方向（Ｘ軸方向）に延びるように配置されたバスバー電極２１０ｂと、バスバー電極２１０ｂに接続され上記弾性波伝搬方向の直交方向（Ｙ軸方向）に延びるように配置された複数の交差電極指２１１ｂおよびダミー電極指２１２ｂとで構成されている。ダミー電極指２１２ａおよび２１２ｂの構成により、高調波などに起因する不要な周波数成分であるスプリアスなどを排除することが可能となる。
【００４３】
交差電極指２１１ａおよび２１１ｂは、互いに交差しており、上記直交方向（Ｙ軸方向）における交差領域の長さである交差幅はＬ２０である。ダミー電極指２１２ａは、交差電極指２１１ｂとは交差せず、交差電極指２１１ｂと上記直交方向（Ｙ軸方向）に対向して配置されている。ダミー電極指２１２ｂは、交差電極指２１１ａとは交差せず、交差電極指２１１ａと上記直交方向（Ｙ軸方向）に対向して配置されている。
【００４４】
反射器２２Ｌおよび２２Ｒは、それぞれ、弾性表面波の伝搬方向（Ｘ軸方向）に、ＩＤＴ電極２１と隣り合って配置されている。反射器２２Ｌは、上記直交方向（Ｙ軸方向）に延び、互いに平行な複数の反射電極指２２１Ｌを含み、反射器２２Ｒは、上記直交方向（Ｙ軸方向）に延び、互いに平行な複数の反射電極指２２１Ｒを含んでいる。ここで、反射電極指２２１Ｌおよび２２１Ｒの上記直交方向（Ｙ軸方向）の長さは、交差幅Ｌ２０に等しい。反射器２２Ｌおよび２２Ｒの構成により、ＩＤＴ電極２１のＸ軸方向に伝搬する高周波信号の定在波を、ＩＤＴ電極２１のＸ軸方向外部に漏らすことなく、反射器２２Ｌと２２Ｒとの間に閉じ込めることが可能となる。よって、ＩＤＴ電極２１の電極指ピッチ、対数および交差幅などで規定される通過帯域の高周波信号を低損失で伝搬し、通過帯域外の高周波信号を高減衰させることが可能となる。
【００４５】
直列共振子３０は、圧電基板１００と、圧電基板１００上に形成されたＩＤＴ電極３１と、反射器３２Ｌおよび３２Ｒとで構成されている。
【００４６】
ＩＤＴ電極３１は、対向する一対の櫛形電極３１ａおよび３１ｂを有している。櫛形電極３１ａは、上記弾性波伝搬方向（Ｘ軸方向）に延びるように配置されたバスバー電極３１０ａと、バスバー電極３１０ａに接続され上記弾性波伝搬方向の直交方向（Ｙ軸方向）に延びるように配置された複数の交差電極指３１１ａおよびダミー電極指３１２ａとで構成されている。櫛形電極３１ｂは、上記弾性波伝搬方向（Ｘ軸方向）に延びるように配置されたバスバー電極３１０ｂと、バスバー電極３１０ｂに接続され上記弾性波伝搬方向の直交方向（Ｙ軸方向）に延びるように配置された複数の交差電極指３１１ｂおよびダミー電極指３１２ｂとで構成されている。ダミー電極指３１２ａおよび３１２ｂの構成により、高調波などに起因する不要な周波数成分であるスプリアスなどを排除することが可能となる。
【００４７】
交差電極指３１１ａおよび３１１ｂは、互いに交差しており、上記直交方向（Ｙ軸方向）における交差領域の長さである交差幅はＬ３０である。ダミー電極指３１２ａは、交差電極指３１１ｂとは交差せず、交差電極指３１１ｂと上記直交方向（Ｙ軸方向）に対向して配置されている。ダミー電極指３１２ｂは、交差電極指３１１ａとは交差せず、交差電極指３１１ａと上記直交方向（Ｙ軸方向）に対向して配置されている。
【００４８】
反射器３２Ｌおよび３２Ｒは、それぞれ、弾性表面波の伝搬方向（Ｘ軸方向）に、ＩＤＴ電極３１と隣り合って配置されている。反射器３２Ｌは、上記直交方向（Ｙ軸方向）に延び、互いに平行な複数の反射電極指３２１Ｌを含み、反射器３２Ｒは、上記直交方向（Ｙ軸方向）に延び、互いに平行な複数の反射電極指３２１Ｒを含んでいる。ここで、反射電極指３２１Ｌおよび３２１Ｒの上記直交方向（Ｙ軸方向）の長さは、交差幅Ｌ３０に等しい。反射器３２Ｌおよび３２Ｒの構成により、ＩＤＴ電極３１のＸ軸方向に伝搬する高周波信号の定在波を、ＩＤＴ電極３１のＸ軸方向外部に漏らすことなく、反射器３２Ｌと３２Ｒとの間に閉じ込めることが可能となる。よって、ＩＤＴ電極３１の電極指ピッチ、対数および交差幅などで規定される通過帯域の高周波信号を低損失で伝搬し、通過帯域外の高周波信号を高減衰させることが可能となる。
【００４９】
並列共振子５０は、圧電基板１００と、圧電基板１００上に形成され対向する一対の櫛形電極を有するＩＤＴ電極と、当該ＩＤＴ電極と上記弾性波伝搬方向（Ｘ軸方向）に隣り合って配置された反射器とで構成されている。
【００５０】
従来の弾性表面波フィルタの電極構成では、反射器を構成する反射電極指の長さは、弾性波伝搬方向（Ｘ軸方向）に隣り合うＩＤＴ電極の対向するバスバー電極の間隔に略等しい。つまり、反射電極指の一端の位置は、一方のバスバー電極と交差電極指との接続部の並び方向に等しく、反射電極指の他端の位置は、他方のバスバー電極と交差電極指との接続部の並び方向に等しい。
【００５１】
これに対して、本実施の形態に係る弾性表面波フィルタ１では、反射電極指２２１Ｌおよび２２１Ｒの上記直交方向（Ｙ軸方向）の長さは交差幅Ｌ２０に等しく、反射電極指３２１Ｌおよび３２１Ｒの上記直交方向（Ｙ軸方向）の長さは交差幅Ｌ３０に等しい。
【００５２】
これにより、反射器２２Ｒおよび３２Ｌの直交方向（Ｙ軸方向）の長さを短くしたことで確保された領域６０Ａおよび６０Ｂを、接続配線６０の形成領域に充てることが可能となり、領域７０Ｂを、接続配線７０の形成領域に充てることが可能となる。また、ダミー電極を含むＩＤＴ電極２１および３１で構成された直列共振子２０および３０の場合、交差電極指の交差領域に反射器が配置されることで弾性表面波の閉じ込め効果を十分に確保できる。よって、各弾性波共振子の共振特性を確保しつつ、接続配線６０および７０の低抵抗化による信号伝搬の低損失化および小型化を実現できる。
【００５３】
また、接続配線６０は、バスバー電極２１０ｂが上記弾性波伝搬方向（Ｘ軸方向）に延伸された領域６０Ａに、バスバー電極２１０ｂと連続して形成されている。また、接続配線６０は、バスバー電極３１０ａが上記弾性波伝搬方向（Ｘ軸方向）に延伸された領域６０Ｂに、バスバー電極３１０ａと連続して形成されている。また、接続配線７０は、バスバー電極３１０ｂが上記弾性波伝搬方向（Ｘ軸方向）に延伸された領域７０Ｂに、バスバー電極３１０ｂと連続して形成されている。
【００５４】
これにより、ＩＤＴ電極の電気信号を取り出すためのバスバー電極から、反射器の領域を迂回して接続配線６０および７０を形成することなく、バスバー電極の延伸方向に連続的に接続配線６０および７０を形成できる。よって、接続配線６０および７０の低抵抗化が促進される。
【００５５】
なお、弾性表面波フィルタ１において、並列共振子５０の反射器は、直列共振子２０および３０の反射器と同様の特徴を有していてもよい。あるいは、直列共振子２０、３０および並列共振子５０のうちの少なくとも１つが、上述した直列共振子２０および３０の反射器の特徴を有していてもよい。
【００５６】
［１−３．変形例１に係る弾性波フィルタ装置の電極構成］
図４は、実施の形態の変形例１に係る弾性表面波フィルタ１Ａのレイアウトを表す平面図である。本変形例に係る弾性表面波フィルタ１Ａは、実施の形態に係る弾性表面波フィルタ１と比較して、ＩＤＴ電極を挟む２つの反射器のうちの一方の反射器のみが、上記直交方向（Ｙ軸方向）の反射電極指の長さを交差幅Ｌと等しくしている点が構成として異なる。以下、本変形例に係る弾性表面波フィルタ１Ａについて、実施の形態に係る弾性表面波フィルタ１と同じ構成については説明を省略し、異なる構成を中心に説明する。
【００５７】
図４には、圧電基板１００上に、直列共振子２０Ａおよび３０Ａ、並列共振子５０、ならびに接続配線６０および７０の電極レイアウトが表されている。
【００５８】
直列共振子２０Ａは、圧電基板１００と、圧電基板１００上に形成されたＩＤＴ電極２１と、反射器２３Ｌおよび２２Ｒとで構成されている。
【００５９】
反射器２３Ｌおよび２２Ｒは、それぞれ、弾性表面波の伝搬方向（Ｘ軸方向）に、ＩＤＴ電極２１と隣り合って配置されている。反射器２３Ｌは、上記直交方向（Ｙ軸方向）に延び、互いに平行な複数の反射電極指２３１Ｌを含み、反射器２２Ｒは、上記直交方向（Ｙ軸方向）に延び、互いに平行な複数の反射電極指２２１Ｒを含んでいる。ここで、反射電極指２３１Ｌの上記直交方向（Ｙ軸方向）の長さは、バスバー電極２１０ａと２１０ｂとの間隔に等しい。また、反射電極指２２１Ｒの上記直交方向（Ｙ軸方向）の長さは、交差幅Ｌ２０に等しい。反射器２３Ｌおよび２２Ｒの構成により、ＩＤＴ電極２１のＸ軸方向に伝搬する高周波信号の定在波を、ＩＤＴ電極２１のＸ軸方向外部に漏らすことなく、反射器２３Ｌと２２Ｒとの間に閉じ込めることが可能となる。よって、ＩＤＴ電極２１の電極指ピッチ、対数および交差幅などで規定される通過帯域の高周波信号を低損失で伝搬し、通過帯域外の高周波信号を高減衰させることが可能となる。
【００６０】
直列共振子３０Ａは、圧電基板１００と、圧電基板１００上に形成されたＩＤＴ電極３１と、反射器３３Ｌおよび３２Ｒとで構成されている。
【００６１】
反射器３３Ｌおよび３２Ｒは、それぞれ、弾性表面波の伝搬方向（Ｘ軸方向）に、ＩＤＴ電極３１と隣り合って配置されている。反射器３３Ｌは、上記直交方向（Ｙ軸方向）に延び、互いに平行な複数の反射電極指３３１Ｌを含み、反射器３２Ｒは、上記直交方向（Ｙ軸方向）に延び、互いに平行な複数の反射電極指３２１Ｒを含んでいる。ここで、反射電極指３３１Ｌの上記直交方向（Ｙ軸方向）の長さは、バスバー電極３１０ａと３１０ｂとの間隔に等しい。また、反射電極指３２１Ｒの上記直交方向（Ｙ軸方向）の長さは、交差幅Ｌ３０に等しい。反射器３３Ｌおよび３２Ｒの構成により、ＩＤＴ電極３１のＸ軸方向に伝搬する高周波信号の定在波を、ＩＤＴ電極３１のＸ軸方向外部に漏らすことなく、反射器３３Ｌと３２Ｒとの間に閉じ込めることが可能となる。よって、ＩＤＴ電極３１の電極指ピッチ、対数および交差幅などで規定される通過帯域の高周波信号を低損失で伝搬し、通過帯域外の高周波信号を高減衰させることが可能となる。
【００６２】
ここで、接続配線６０のうち、反射器２２Ｒに近接する部分の配線幅Ｗ２２Ｒは、反射器２３Ｌに近接する部分の配線幅Ｗ２３Ｌよりも広い。つまり、ＩＤＴ電極２１の両端に配置された２つの反射器２３Ｌおよび２２Ｒのうち、反射器２２Ｒの直交方向の長さを短くすることで、接続配線６０が形成される領域６０Ａを確保でき、接続配線６０の配線幅を拡大することが可能となる。よって、各弾性波共振子の共振特性を確保しつつ、接続配線６０の低抵抗化による信号伝搬の低損失化および小型化を実現できる。
【００６３】
なお、直列共振子２０の反射器２２Ｒおよび２３Ｌは、反射電極指の長さの関係が逆となっていてもよい。また、直列共振子３０の反射器３２Ｒおよび３３Ｌは、反射電極指の長さの関係が逆となっていてもよい。
【００６４】
［１−４．変形例２に係る弾性波フィルタ装置の電極構成］
図５は、実施の形態の変形例２に係る弾性表面波フィルタ１Ｂのレイアウトを表す平面図である。本変形例に係る弾性表面波フィルタ１Ｂは、実施の形態に係る弾性表面波フィルタ１と比較して、反射電極指の上記直交方向（Ｙ軸方向）の両端のうちの一端が、交差電極指の交差領域とＸ軸方向に並ぶ位置まで後退していない点が構成として異なる。以下、本変形例に係る弾性表面波フィルタ１Ｂについて、実施の形態に係る弾性表面波フィルタ１と同じ構成については説明を省略し、異なる構成を中心に説明する。
【００６５】
図５には、圧電基板１００上に、直列共振子２０Ｂおよび３０Ｂ、並列共振子５０、ならびに接続配線６０および７０の電極レイアウトが表されている。
【００６６】
直列共振子２０Ｂは、圧電基板１００と、圧電基板１００上に形成されたＩＤＴ電極２１と、反射器２４Ｌおよび２４Ｒとで構成されている。
【００６７】
反射器２４Ｌおよび２４Ｒは、それぞれ、弾性表面波の伝搬方向（Ｘ軸方向）に、ＩＤＴ電極２１と隣り合って配置されている。反射器２４Ｌは、上記直交方向（Ｙ軸方向）に延び、互いに平行な複数の反射電極指２４１Ｌを含み、反射器２４Ｒは、上記直交方向（Ｙ軸方向）に延び、互いに平行な複数の反射電極指２４１Ｒを含んでいる。ここで、反射電極指２４１Ｌの直交方向（Ｙ軸方向）の一端は、櫛形電極２１ａの交差電極指２１１ａのバスバー電極２１０ａと接続されていない端部と、上記弾性波伝搬方向（Ｘ軸方向）に揃っている。また、反射電極指２４１Ｌの直交方向（Ｙ軸方向）の他端は、櫛形電極２１ａの交差電極指２１１ａのバスバー電極２１０ａとの接続部と、弾性波伝搬方向（Ｘ軸方向）に揃っている。また、反射電極指２４１Ｒの直交方向（Ｙ軸方向）の一端は、櫛形電極２１ａの交差電極指２１１ａのバスバー電極２１０ａと接続されていない端部と、上記弾性波伝搬方向（Ｘ軸方向）に揃っている。また、反射電極指２４１Ｒの直交方向（Ｙ軸方向）の他端は、櫛形電極２１ａの交差電極指２１１ａのバスバー電極２１０ａとの接続部と、弾性波伝搬方向（Ｘ軸方向）に揃っている。
【００６８】
反射器３４Ｌおよび３４Ｒは、それぞれ、弾性表面波の伝搬方向（Ｘ軸方向）に、ＩＤＴ電極３１と隣り合って配置されている。反射器３４Ｌは、上記直交方向（Ｙ軸方向）に延び、互いに平行な複数の反射電極指３４１Ｌを含み、反射器３４Ｒは、上記直交方向（Ｙ軸方向）に延び、互いに平行な複数の反射電極指３４１Ｒを含んでいる。ここで、反射電極指３４１Ｌの直交方向（Ｙ軸方向）の一端は、櫛形電極３１ａの交差電極指３１１ａのバスバー電極３１０ａと接続されていない端部と、上記弾性波伝搬方向（Ｘ軸方向）に揃っている。また、反射電極指３４１Ｌの直交方向（Ｙ軸方向）の他端は、櫛形電極３１ａの交差電極指３１１ａのバスバー電極３１０ａとの接続部と、弾性波伝搬方向（Ｘ軸方向）に揃っている。また、反射電極指３４１Ｒの直交方向（Ｙ軸方向）の一端は、櫛形電極３１ａの交差電極指３１１ａのバスバー電極３１０ａと接続されていない端部と、上記弾性波伝搬方向（Ｘ軸方向）に揃っている。また、反射電極指３４１Ｒの直交方向（Ｙ軸方向）の他端は、櫛形電極３１ａの交差電極指３１１ａのバスバー電極３１０ａとの接続部と、弾性波伝搬方向（Ｘ軸方向）に揃っている。
【００６９】
これにより、反射器２４Ｒの直交方向（Ｙ軸方向）の長さを短くしたことで確保された領域６０Ａを、接続配線６０の形成領域に充てることが可能となり、また、反射器３４Ｌの直交方向（Ｙ軸方向）の長さを短くしたことで確保された領域７０Ｂを、接続配線７０の形成領域に充てることが可能となる。つまり、配線幅を優先的に広くしたい接続配線６０および７０の部分を、反射電極指の上記直交方向（Ｙ軸方向）の縮小により確保された領域に充てることが可能となる。また、ダミー電極を含むＩＤＴ電極２１および３１で構成された直列共振子２０Ｂおよび３０Ｂの場合、交差電極指の交差領域に反射器が配置されることで弾性表面波の閉じ込め効果を十分に確保できる。よって、各弾性波共振子の共振特性を確保しつつ、接続配線６０および７０の低抵抗化による信号伝搬の低損失化および小型化を実現できる。
【００７０】
なお、反射器２４Ｌ、２４Ｒ、３４Ｌおよび３４Ｒを構成する反射電極指の両端の位置は、逆であってもよい。例えば、反射電極指２４１Ｌの直交方向（Ｙ軸方向）の一端は、櫛形電極２１ｂの交差電極指２１１ｂのバスバー電極２１０ｂと接続されていない端部と、上記弾性波伝搬方向（Ｘ軸方向）に揃っており、反射電極指２４１Ｌの直交方向（Ｙ軸方向）の他端は、櫛形電極２１ｂの交差電極指２１１ｂのバスバー電極２１０ｂとの接続部と、弾性波伝搬方向（Ｘ軸方向）に揃っていてもよい。
【００７１】
［１−５．変形例３に係る弾性波フィルタ装置の電極積層構造］
次に、弾性表面波フィルタの電極積層構造について説明する。
【００７２】
図６Ａは、比較例に係る弾性表面波フィルタのレイアウトを表す平面図である。図６Ａには、比較例に係る弾性表面波フィルタの３つの弾性表面波共振子の電極レイアウト構成が模式的に表されている。弾性表面波共振子５２０、５３０および５５０のそれぞれは、ＩＤＴ電極と、ＩＤＴ電極をＸ軸方向に挟むように配置された２つの反射器とで構成されている。また、接続配線５６０は、弾性表面波共振子５３０と５５０とを電気的に接続している。
【００７３】
図６Ｂは、比較例に係る弾性表面波フィルタの断面図である。図６Ｂには、図６Ａの電極レイアウト構成におけるＣ−Ｃ断面図およびＤ−Ｄ断面図が示されている。図６Ｂに示すように、弾性表面波共振子５３０および５５０のＩＤＴ電極および反射器を構成する電極は、圧電基板上に形成された第１電極層５７１のみで構成されている。一方、接続配線５６０は、圧電基板上に形成された第１電極層５７１と、第１電極層５７１上に形成された第２電極層５７２との積層体で構成されている。また、第２電極層５７２は、第１電極層５７１よりも厚い。第１電極層５７１の膜厚は、例えば０．４μｍであるのに対して、第２電極層５７２の膜厚は、例えば数μｍ以上である。
【００７４】
弾性表面波フィルタにおいて、ＩＤＴ電極および反射器の最適膜厚は１μｍ以下であるのに対して、接続配線５６０は、低抵抗化のためには厚ければ厚いほど好ましい。このため、圧電基板上には、まず、薄い第１電極層５７１によりＩＤＴ電極および反射器と接続配線５６０の下層とを形成する。そして、厚い第２電極層５７２により接続配線５６０の上層を形成する。このとき、第２電極層５７２を数μｍ以上の厚みで高精度に形成するために、第２電極層５７２の最小線幅が設定される。この場合、図６Ａに表された領域Ｅにおいて、弾性表面波共振子５３０の左側に配置された反射器との接触を回避するため、接続配線５６０のＣ−Ｃ線における配線幅Ｌ５６０Ｃは、接続配線５６０のＤ−Ｄ線における配線幅Ｌ５６０Ｄよりも狭くなる。このとき、配線幅Ｌ５６０Ｃが上記最小線幅より小さくなると、領域Ｅにおいて第２電極層５７２を精度よく形成することが困難となる。
【００７５】
図７Ａは、実施の形態の変形例３に係る弾性表面波フィルタ１Ｃのレイアウトを表す平面図である。図７Ａには、弾性表面波フィルタ１Ｃの３つの弾性表面波共振子の電極レイアウト構成が模式的に表されている。直列共振子２０および３０ならびに並列共振子５０のそれぞれは、ＩＤＴ電極と、ＩＤＴ電極をＸ軸方向に挟むように配置された２つの反射器とで構成されている。また、接続配線６０は、直列共振子３０と並列共振子５０とを電気的に接続している。
【００７６】
図７Ｂは、実施の形態の変形例３に係る弾性表面波フィルタ１Ｃの断面図である。図７Ｂには、図７Ａの電極レイアウト構成におけるＣ−Ｃ断面図およびＤ−Ｄ断面図が示されている。図７Ｂに示すように、直列共振子３０および並列共振子５０のＩＤＴ電極および反射器を構成する電極は、圧電基板上に形成された第１電極層６１のみで構成されている。一方、接続配線６０は、圧電基板上に形成された第１電極層６１と、第１電極層６１上に形成された第２電極層６２との積層体で構成されている。また、第２電極層６２は、第１電極層６１よりも厚い。第１電極層６１の膜厚は、例えば０．４μｍであるのに対して、第２電極層６２の膜厚は、例えば数μｍ以上である。
【００７７】
圧電基板上には、まず、薄い第１電極層６１によりＩＤＴ電極および反射器と接続配線６０の下層とを形成する。そして、厚い第２電極層６２により接続配線６０の上層を形成する。このとき、第２電極層６２を数μｍ以上の厚みで高精度に形成するために、第２電極層６２の最小線幅が設定される。ここで、反射器３２Ｌの反射電極指の上記直交方向（Ｙ軸方向）の長さは、ＩＤＴ電極３１の交差電極指の交差幅に等しい。これにより、図７Ａに表された領域Ｅにおいて、接続配線６０のＣ−Ｃ線における配線幅Ｌ６０Ｃは、接続配線６０のＤ−Ｄ線における配線幅Ｌ６０Ｄと同等とすることが可能となる。よって、配線幅Ｌ６０Ｃを上記最小線幅以上とすることが可能となり、領域Ｅにおいて第２電極層６２を精度よく形成することが可能となる。つまり、本変形例に係る構成によれば、反射器の縮小により確保された領域を接続配線領域に充てることで、接続配線の線幅を上記最小線幅以上とできる確率を高めることが可能となる。よって、接続配線の低抵抗化を促進できる。
【００７８】
［１−６．変形例４に係る弾性波フィルタ装置の回路構成］
図８は、実施の形態の変形例４に係る弾性表面波フィルタ１Ｄの回路構成図である。同図に示された弾性表面波フィルタ１Ｄは、入力端子１１０と出力端子１２０との間に接続された直列共振子１０、２０および３０、入力端子１１０から出力端子１２０までの接続経路と複数の基準端子のうちの一の基準端子との間に接続された並列共振子４０、５０および９０を有するラダー型弾性波フィルタ部と、縦結合型弾性波フィルタ部８０とで構成された弾性波フィルタ装置である。本変形例に係る弾性表面波フィルタ１Ｄは、実施の形態に係る弾性表面波フィルタ１と比較して、縦結合型弾性波フィルタ部８０が付加された点が構成として異なる。以下、本変形例に係る弾性表面波フィルタ１Ｄについて、実施の形態に係る弾性表面波フィルタ１と同じ構成については説明を省略し、異なる構成を中心に説明する。
【００７９】
縦結合型弾性波フィルタ部８０は、図８に示すように、弾性波伝搬方向（Ｘ軸方向）に隣り合うＩＤＴ電極８１、８２および８３と、反射器８４Ｌおよび８４Ｒとを有している。
【００８０】
ＩＤＴ電極８１、８２および８３のそれぞれは、ＩＤＴ電極２１または３１と同様の電極構成を有している。つまり、ＩＤＴ電極８１、８２および８３のそれぞれは、対向する一対の櫛形電極を有している。上記一対の櫛形電極のそれぞれは、弾性波伝搬方向に延びるように配置されたバスバー電極と、当該バスバー電極に接続され、上記弾性波伝搬方向の直交方向に延びるように配置された複数の電極指とで構成されている。上記一対の櫛形電極の一方を構成する複数の電極指は、一対の櫛形電極の他方を構成する複数の電極指と交差する交差電極指と、一対の櫛形電極の他方を構成する複数の電極指と上記直交方向に対向して配置されたダミー電極指とを含む。ここで、反射器８４Ｌまたは８４Ｒは、上記直交方向に延び、互いに平行な複数の反射電極指を含み、当該複数の反射電極指の上記直交方向の長さは、交差電極指の交差幅以上、かつ、一対の櫛形電極の対向する２つのバスバー電極の間隔よりも短い。
【００８１】
これにより、反射器８４Ｌまたは８４Ｒの直交方向（Ｙ軸方向）の長さを短くしたことで確保された領域を、接続配線の形成領域に充てることが可能となる。また、ダミー電極を含むＩＤＴ電極８１〜８３で構成された縦結合型共振子の場合、交差電極指の交差領域に反射器８４Ｌおよび８４Ｒが配置されることで弾性表面波の閉じ込め効果を十分に確保できる。よって、各弾性波共振子の共振特性を確保しつつ、接続配線の低抵抗化による信号伝搬の低損失化および小型化を実現できる。
【００８２】
（まとめ）
以上、本実施の形態およびその変形例１〜４に係る弾性波フィルタ装置は、１枚の圧電基板１００を共有する複数の弾性波共振子を備え、当該複数の弾性波共振子のそれぞれは、圧電基板１００と、圧電基板１００上に形成され、対向する一対の櫛形電極を有するＩＤＴ電極と、当該ＩＤＴ電極と弾性波の伝搬方向に隣り合って配置された反射器とで構成される。上記複数の弾性波共振子のうち一の弾性波共振子を構成するＩＤＴ電極が有する一対の櫛形電極のそれぞれは、弾性波伝搬方向に延びるように配置されたバスバー電極と、当該バスバー電極に接続され、弾性波伝搬方向の直交方向に延びるように配置された複数の電極指とで構成される。上記一対の櫛形電極の一方を構成する複数の電極指は、一対の櫛形電極の他方を構成する複数の電極指と交差する交差電極指と、一対の櫛形電極の他方を構成する複数の電極指と直交方向に対向して配置されたダミー電極指とを含む。本弾性波フィルタ装置は、さらに、上記一の弾性波共振子を構成するバスバー電極と、他の弾性波共振子を構成するＩＤＴ電極とを接続する接続配線を備える。上記一の弾性波共振子を構成する反射器は、直交方向に延び、互いに平行な複数の反射電極指を含み、当該複数の反射電極指の直交方向の長さは、交差電極指の直交方向における交差領域の長さである交差幅以上、かつ、上記一対の櫛形電極の対向する２つのバスバー電極の間隔よりも短いことを特徴とする。
【００８３】
これにより、１枚の圧電基板１００を共有する複数の弾性波共振子において、反射器の直交方向の長さを短くしたことで確保された領域を接続配線の形成領域に充てることが可能となる。また、ダミー電極を含むＩＤＴ電極で構成された弾性波共振子の場合、交差電極指の交差領域に反射器が配置されることで弾性波の閉じ込め効果を十分に確保できる。よって、各弾性波共振子の共振特性を確保しつつ低配線抵抗による信号伝搬の低損失化および小型化を実現できる。
【００８４】
（その他の変形例など）
以上、本発明の実施の形態およびその変形例に係る弾性波フィルタ装置ついて説明したが、本発明は、上記実施の形態およびその変形例には限定されない。例えば、上記実施の形態およびその変形例に次のような変形を施した態様も、本発明に含まれる。
【００８５】
本発明に係る弾性波フィルタ装置は、例えば、送信用フィルタおよび受信用フィルタを有するデュプレクサのように、一枚の圧電基板上に、複数の弾性表面波フィルタが配置された構成であってもよい。
【００８６】
また、弾性表面波フィルタを構成する圧電基板１００は、高音速支持基板と、低音速膜と、圧電膜とがこの順で積層された積層構造であってもよい。圧電膜は、例えば、５０°ＹカットＸ伝搬ＬｉＴａＯ３圧電単結晶または圧電セラミックス（Ｘ軸を中心軸としてＹ軸から５０°回転した軸を法線とする面で切断したタンタル酸リチウム単結晶、またはセラミックスであって、Ｘ軸方向に弾性表面波が伝搬する単結晶またはセラミックス）からなる。圧電膜は、例えば、厚みが６００ｎｍである。高音速支持基板は、低音速膜、圧電膜ならびにＩＤＴ電極を支持する基板である。高音速支持基板は、さらに、圧電膜を伝搬する表面波や境界波の弾性波よりも、高音速支持基板中のバルク波の音速が高速となる基板であり、弾性表面波を圧電膜および低音速膜が積層されている部分に閉じ込め、高音速支持基板より下方に漏れないように機能する。高音速支持基板は、例えば、シリコン基板であり、厚みは、例えば２００μｍである。低音速膜は、圧電膜を伝搬するバルク波よりも、低音速膜中のバルク波の音速が低速となる膜であり、圧電膜と高音速支持基板との間に配置される。この構造と、弾性波が本質的に低音速な媒質にエネルギーが集中するという性質とにより、弾性表面波エネルギーのＩＤＴ電極外への漏れが抑制される。低音速膜は、例えば、二酸化ケイ素を主成分とする膜であり、厚みは、例えば６７０ｎｍである。この積層構造によれば、圧電基板１００を単層で使用している構造と比較して、共振周波数および反共振周波数におけるＱ値を大幅に高めることが可能となる。すなわち、Ｑ値が高い弾性表面波共振子を構成し得るので、当該弾性表面波共振子を用いて、挿入損失が小さいフィルタを構成することが可能となる。
【００８７】
なお、高音速支持基板は、支持基板と、圧電膜を伝搬する表面波や境界波の弾性波よりも、伝搬するバルク波の音速が高速となる高音速膜とが積層された構造を有していてもよい。この場合、支持基板は、サファイア、リチウムタンタレート、リチュウムニオベイト、水晶等の圧電体、アルミナ、マグネシア、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、炭化ケイ素、ジルコニア、コージライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライト等の各種セラミック、ガラス等の誘電体またはシリコン、窒化ガリウム等の半導体及び樹脂基板等を用いることができる。また、高音速膜は、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、ＤＬＣ膜またはダイヤモンド、上記材料を主成分とする媒質、上記材料の混合物を主成分とする媒質等、様々な高音速材料を用いることができる。
【産業上の利用可能性】
【００８８】
本発明は、マルチバンド化およびマルチモード化に適用できる低損失かつ小型の高周波フィルタ、デュプレクサ、およびマルチプレクサとして、携帯電話などの通信機器に広く利用できる。
【符号の説明】
【００８９】
１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ    弾性表面波フィルタ
１ａ    出力側共振部
１０、２０、３０、２０Ａ、３０Ａ、２０Ｂ、３０Ｂ    直列共振子
２１、３１、８１、８２、８３    ＩＤＴ電極
２１ａ、２１ｂ、３１ａ、３１ｂ    櫛形電極
２２Ｌ、２２Ｒ、２３Ｌ、２４Ｌ、２４Ｒ、３２Ｌ、３２Ｒ、３３Ｌ、３４Ｌ、３４Ｒ、８４Ｌ、８４Ｒ    反射器
４０、５０、９０    並列共振子
６０、７０、５６０    接続配線
６０Ａ、６０Ｂ、７０Ｂ    領域
６１、５７１    第１電極層
６２、５７２    第２電極層
８０    縦結合型弾性波フィルタ部
１００    圧電基板
１１０    入力端子
１１１    密着層
１１２    主電極層
１１３    保護層
１２０    出力端子
１５０    接合用電極
１５１    バンプ
２１０ａ、２１０ｂ、３１０ａ、３１０ｂ    バスバー電極
２１１ａ、２１１ｂ、３１１ａ、３１１ｂ    交差電極指
２１２ａ、２１２ｂ、３１２ａ、３１２ｂ    ダミー電極指
２２１Ｌ、２２１Ｒ、２３１Ｌ、２４１Ｌ、２４１Ｒ、３２１Ｌ、３２１Ｒ、３３１Ｌ、３４１Ｌ、３４１Ｒ    反射電極指
５０３    低域側フィルタポート
５０６    シールド電極
５１０    低域側フィルタ
５１１    直列信号路
５２０、５３０、５５０    弾性表面波共振子
５２１、５２２、５２３、５２４    直列腕
５３１、５３２、５３３、５３４    並列腕
５４０    高域側フィルタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図８】
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【図９】
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