(57)【要約】【課題】搬送装置の搬送方向変更装置であって、小型であり、しかも多様な機能を発揮できる搬送方向変更装置を提供する。【解決手段】搬送物１７の搬送方向を変化させる搬送方向変更装置４であって、互いに間隔ｄ１をおいて設けられた一対の直進移動手段２０ａ，２０ｂと、当該直進移動手段２０ａ，２０ｂによって駆動されて直進移動する一対の移動台２１ａ，２１ｂと、当該一対の移動台２１ａ，２１ｂによって支持されており前記搬送物１７を搬送する搬送ユニット２２と、前記一対の直進移動手段２０ａ，２０ｂが前記一対の移動台２１ａ，２１ｂを互いに反対方向へ移動させるように前記直進移動手段２０ａ，２０ｂを制御する制御手段と、を有することを特徴とする。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送物の搬送方向を変化させる搬送方向変更装置であって、
互いに間隔をおいて設けられた一対の直進移動手段と、
当該直進移動手段によって駆動されて直進移動する一対の移動台と、
当該一対の移動台によって支持されており前記搬送物を搬送する搬送ユニットと、
前記一対の直進移動手段が前記一対の移動台を互いに反対方向へ移動させるように前記直進移動手段を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする搬送方向変更装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記一対の直進移動手段が前記一対の移動台を同じ方向へ移動させるように当該直進移動手段を制御することを特徴とする請求項１記載の搬送方向変更装置。
【請求項３】
前記移動台は、前記直進移動手段によって駆動されて直進移動する移動基体と、当該移動基体に回転自在に取付けられた回転体とを有しており、
前記搬送ユニットは前記回転体によって支持されている
ことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の搬送方向変更装置。
【請求項４】
前記移動台が前記搬送ユニットを支持する部分には直進ガイド手段が設けられることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１つに記載の搬送方向変更装置。
【請求項５】
前記一対の移動台はリンク機構によって互いに連結されていることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１つに記載の搬送方向変更装置。
【請求項６】
搬送物を搬送する搬送装置であって、
搬送物を搬送する第１の搬送路と、
当該第１の搬送路に対して異なる方向へ搬送物を搬送する第２の搬送路と、
前記第１の搬送路の搬送物送出口と前記第２の搬送路の搬送物受入口との間に設けられた搬送方向変更手段と、を有しており、
前記搬送方向変更手段は、請求項１から請求項５のいずれか１つに記載の搬送方向変更装置である
ことを特徴とする搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、任意の形状の搬送物を搬送する搬送装置に用いられる搬送方向変更装置に関する。また、本発明は、その搬送方向変更装置を用いた搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば特許文献１に搬送装置が開示されている。この特許文献１には、ターンテーブル（２０）によって回動させられる載置台（２）の上に搬送用ローラ（７ａ〜７ｃ）を設けることが開示されている。カッコで括った符号は特許文献１で用いられている符号である。搬送用ローラ（７ａ〜７ｃ）の回転により搬送物であるパレット（Ｐ）が搬送される。ターンテーブル（２０）はインデックスギアモータ（２２）によって所定の割付角度だけ旋回する。このインデックスギアモータ（２２）の回転により、搬送物であるパレット（Ｐ）の搬送方向が変えられる。
【０００３】
また、従来、例えば特許文献２に搬送装置が開示されている。この特許文献２には、搬送方向が異なっている２つの搬送ベルト（２，３）の間に乗換装置（４）を設けることが開示されている。乗換装置（４）は、搬送物であるワーク（１）を搬送ベルト（２）から搬送ベルト（３）へ移動させるためのターンテーブル（１２）を有している。このターンテーブル（１２）は駆動源である電気モータによって駆動されて回転移動、すなわち回動するようになっている（特許文献２の［００１２］段落）。ターンテーブル（１２）の回動により、ワーク（１）の搬送方向が変えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平６−３２１３４６号公報
【特許文献２】特開２００３−２７６８３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１及び特許文献２に開示された従来の搬送装置においては、モータによって直接的に駆動されて回転するターンテーブルによって搬送物の搬送方向が変えられていた。しかしながら、このモータの外形形状は非常に大型であり、その結果、搬送装置の外観形状を小型に形成することが困難であった。
【０００６】
また、搬送物を搬送するための搬送レールの配置態様が複雑になってターンテーブルを単に回転移動させるだけでなく、平行移動もさせたい場合には、ターンテーブルを回転駆動するためのモータ以外に、ターンテーブルを平行移動させるための駆動機構が必要になり、その結果、搬送装置の外観形状を小型にすることが、さらに困難になるという問題があった。
【０００７】
本発明は、従来装置における上記の問題点に鑑みて成されたものであって、小型であり、しかも多様な機能を発揮できる搬送方向変更装置及び搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る搬送方向変更装置は、搬送物の搬送方向を変化させる搬送方向変更装置であって、互いに間隔をおいて設けられた一対の直進移動手段と、当該直進移動手段によって駆動されて直進移動する一対の移動台と、当該一対の移動台によって支持されており前記搬送物を搬送する搬送ユニットと、前記一対の直進移動手段が前記一対の移動台を互いに反対方向へ移動させるように前記直進移動手段を制御する制御手段と、を有することを特徴とする。
【０００９】
本発明では、２つの直進移動手段によって搬送ユニットを回動させる。従来は、搬送ユニットを回動させるために、搬送ユニットの中心線上に回転駆動用のモータを設置した。搬送ユニットは平面形状が大きいので、この搬送ユニットを素早く動かすためには極めて大容量のモータが必要である。このため従来の装置では、縦方向の高さが非常に大きくならざるを得なかった。
【００１０】
これに対し、上記の本発明に係る搬送方向変更装置は、直進移動手段を使用しており、この直進移動手段で用いる駆動用モータは小容量で小型である。このため、本発明の搬送方向変更装置は非常に小型（すなわち薄型）に形成することができる。そして、その結果、搬送方向変更装置を用いて構成された搬送装置も非常に小型（薄型）に形成できる。
【００１１】
また、従来のように搬送ユニットの中心線上に回転駆動用のモータを設置した場合には、搬送ユニットの全体を平行移動させるときに、回転駆動用のモータを含めて搬送ユニットの全体を平行移動させるための平行移動系を、別途、用意しなければならない。この場合には、搬送方向変更装置の全体及び搬送装置の全体が、さらに一層大型になってしまう。
【００１２】
これに対し、本発明に係る搬送方向変更装置は、２つの直進移動手段による移動台の直進移動方向を調整するだけで、搬送ユニットを平行移動させることができ、直進移動手段以外の駆動系を用意する必要がない。従って、装置を小型に形成できる上に、コストの増大を抑制できる。
【００１３】
本発明に係る搬送方向変更装置の１つの発明態様において、前記制御手段は、前記一対の直進移動手段が前記一対の移動台を同じ方向へ移動させるように当該直進移動手段を制御する。この発明態様によれば、搬送ユニットを回転移動ではなく平行直進移動させることができる。これにより、一対の移動台を互いに反対方向へ移動させるだけの場合に比べて、搬送物の搬送形態を多様化できる。
【００１４】
本発明に係る搬送方向変更装置の他の発明態様において、前記移動台は、前記直進移動手段によって駆動されて直進移動する移動基体と、当該移動基体に回転自在に取付けられた回転体とを有しており、前記搬送ユニットは前記回転体によって支持される。本発明の搬送方向変更装置において、移動台は必ずしも上記の回転体を用いなくても良い。回転体を用いない場合は、移動台が搬送ユニットに対して摺れ移動する。
【００１５】
本発明に係る搬送方向変更装置のさらに他の発明態様において、前記移動台が前記搬送ユニットを支持する部分には直進ガイド手段が設けられる。直進ガイド手段は、例えばＬＭガイド（Linear Motion Guide／リニア・モーション・ガイド）である。このように移動台と搬送ユニットとの間に直進ガイド手段を用いれば、移動台が直進移動するときに、搬送ユニットは移動台に対して直進移動できるので、搬送ユニットから移動台へ過剰な負荷がかかることを防止できる。
【００１６】
本発明に係る搬送方向変更装置のさらに他の発明態様において、前記一対の移動台はリンク機構によって互いに連結される。この構成によれば、直進移動手段によって独自に直進移動する一対の移動台がリンク機構によって拘束されるので、移動台が直進移動手段上で不安定になることがなくなり、移動台を直進移動手段上で常に安定状態で移動させることができる。
【００１７】
本発明に係る搬送装置は、搬送物を搬送する搬送装置であって、搬送物を搬送する第１の搬送路と、当該第１の搬送路に対して異なる方向へ搬送物を搬送する第２の搬送路と、前記第１の搬送路の搬送物送出口と前記第２の搬送路の搬送物受入口との間に設けられた搬送方向変更手段とを有しており、当該搬送方向変更手段は、以上に記載した各発明態様の搬送方向変更装置によって構成されることを特徴とする。本発明に係る搬送方向変更装置によれば、回転駆動用の大型のモータを用いる必要が無く、直線駆動用の小型の駆動源が用いられるので、搬送装置の全体形状を小型に形成できる。
【発明の効果】
【００１８】
（１）  本発明では、２つの直進移動手段によって搬送ユニットを回動させる。従来は、搬送ユニットを回動させるために、搬送ユニットの中心線上に回転駆動用のモータを設置した。搬送ユニットは平面形状が大きいので、この搬送ユニットを素早く動かすためには極めて大容量のモータが必要である。このため従来の装置では、縦方向の高さが非常に大きくならざるを得なかった。
【００１９】
これに対し、本発明に係る搬送方向変更装置は、直進移動手段を使用しており、この直進移動手段で用いる駆動源は小容量で小型である。このため、本発明の搬送方向変更装置は非常に小型（すなわち薄型）に形成することができる。そして、その結果、搬送方向変更装置を用いて構成された搬送装置も非常に小型（薄型）に形成できる。
【００２０】
（２）  また、従来のように搬送ユニットの中心線上に回転駆動用のモータを設置した場合には、搬送ユニットの全体を平行移動させるときに、回転駆動用のモータを含めて搬送ユニットの全体を平行移動させるための平行移動系を、別途、用意しなければならない。この場合には、搬送方向変更装置の全体及び搬送装置の全体が、さらに一層大型になってしまう。
【００２１】
これに対し、本発明に係る搬送方向変更装置は、２つの直進移動手段による移動台の直進移動方向を調整するだけで、搬送ユニットを回転移動に加えて平行移動させることができる。つまり、本発明の搬送方向変更装置は簡単な構成によって多様な機能を発揮できる。また、本発明の搬送方向変更装置によれば、多様な機能を発揮する上で直進移動手段以外の駆動系を用意する必要がない。従って、装置を小型に形成できる上に、コストの増大を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明に係る搬送方向変更装置及び搬送装置のそれぞれの一実施形態を示す平面図である。
【図２】図１の装置で用いられるベルトコンベヤの一例を示す正面図である。
【図３】搬送物の一実施形態を示す斜視図である。
【図４】図１の搬送装置の主要部である搬送方向変更装置の平面図である。
【図５】図４の搬送方向変更装置の一部分の図示を省略した図である。
【図６】図４のＦ−Ｆ線に従った搬送方向変更装置の側面図である。
【図７】図４のＧ−Ｇ線に従った搬送方向変更装置の縦断面図である。
【図８】図７の主要部である移動台の拡大図である。
【図９】図１の搬送装置に適用される制御装置の一実施形態を示す回路ブロック図である。
【図１０】図４の搬送方向変更装置の動作を示す平面図である。
【図１１】図４の搬送方向変更装置の更なる動作を示す平面図である。
【図１２】図１の搬送装置の動作のタイムチャートである。
【図１３】本発明に係る搬送装置の他の実施形態を示す図である。
【図１４】本発明に係る搬送装置のさらに他の実施形態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明に係る搬送方向変更装置及び搬送装置を実施形態に基づいて説明する。なお、本発明がこの実施形態に限定されないことはもちろんである。また、本明細書に添付した図面では特徴的な部分を分かり易く示すために実際のものとは異なった比率で構成要素を示す場合がある。
【００２４】
（搬送方向変更装置及び搬送装置の第１の実施形態）
図１は、本発明に係る搬送方向変更装置及び搬送装置のそれぞれの一実施形態を示す平面図である。図１において、全体を符号１で示す搬送装置は、基台２と、基台２の上に設置された第１の搬送路３Ａと、同じく基台２の上に設置された第２の搬送路３Ｂと、第１の搬送路３Ａと第２の搬送路３Ｂとの間に設けられた搬送方向変更装置４とを有している。第２の搬送路３Ｂは、第１の搬送路３Ａに対して異なる方向へ搬送物を搬送する。本実施形態では、第２の搬送路３Ｂは第１の搬送路３Ａに対して９０°の角度をもって設けられている。
【００２５】
（第１及び第２の搬送路）
第１の搬送路３Ａ及び第２の搬送路３Ｂは、それぞれ、矢印Ｃ方向に細長い壁７ａ及び７ｂを連結板８によって連結して成るフレーム９と、フレーム９の壁７ａ及び７ｂに設けられた無端のベルトコンベヤ１０ａ及び１０ｂと、壁７ａと壁７ｂとの間に設けられた搬送用モータ１６とを有している。搬送用モータ１６の出力軸はモータ本体を貫通してモータ本体の前後方向へ延び出ている。一方の出力軸はカップリング１８によって駆動軸１６ａに連結されている。
【００２６】
第１の搬送路３Ａ及び第２の搬送路３Ｂのそれぞれのベルトコンベヤ１０ａを矢印Ｄ方向から見ると図２に示す通りである。図２において、無端のベルトコンベヤ１０ａは、中央の１つの駆動ローラ１１及び複数の従動ローラ１２に掛け渡されており、さらに複数の補助ローラ１３によって支持されている。駆動ローラ１１は図１において搬送用モータ１６の出力軸から延びる駆動軸１６ａの先端部に固定されている。図１の第１の搬送路３Ａ及び第２の搬送路３Ｂのそれぞれのもう一方のベルトコンベヤ１０ｂも同様の構成である。但し、ベルトコンベヤ１０ｂの駆動ローラ１１は搬送用モータ１６の反対側の出力軸の先端部に固定されている。
【００２７】
搬送用モータ１６が作動するとベルトコンベヤ１０ａ及び１０ｂが周回移動する。特に、搬送用モータ１６の出力軸１６ａが順方向へ回転すると、ベルトコンベヤ１０ａ及び１０ｂの上側走行体が矢印Ｃ方向へ走行する。出力軸１６ａが逆方向へ回転すると、ベルトコンベヤ１０ａ及び１０ｂの上側走行体が矢印Ｃ’方向へ走行する。
【００２８】
第１の搬送路３Ａの一方の壁７ａに５個のセンサＳ１〜Ｓ５が図示の順番で配置されている。第２の搬送路３Ｂの一方の壁７ｂに５個のセンサＳ１１〜Ｓ１５が図示の順番で配置されている。センサＳ１〜Ｓ５は、第１の搬送路３Ａのベルトコンベヤ１０ａ及び１０ｂによって搬送される搬送物を検知する。センサＳ１１〜Ｓ１５は、第２の搬送路３Ｂのベルトコンベヤ１０ａ及び１０ｂによって搬送される搬送物を検知する。センサＳ１〜Ｓ５及びセンサＳ１１〜Ｓ１５は、マイクロスイッチ等といった機械式センサや、光センサ等といった非接触式センサ、等を使用できる。
【００２９】
搬送物は本実施形態では、図３に示すＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）１７である。ＦＯＵＰ１７は複数枚の半導体ウエハを収納するカセットである。ＦＯＵＰ１７はその底面の左右の端部がベルトコンベヤ１０ａ及び１０ｂの上に載せられる。もちろん、搬送物はＦＯＵＰ１７以外の任意の形状の物とすることができる。搬送物の形状が種々に変化する場合には、ベルトコンベヤ１０ａとベルトコンベヤ１０ｂとの間隔を調整したり、ベルトコンベヤ１０ａとベルトコンベヤ１０ｂとの上にパレットを載せた上でそのパレット上に種々の形状の搬送物を載せたりする。
【００３０】
ベルトコンベヤ１０ａ，１０ｂの幅ＹはＦＯＵＰ１７の左右方向の幅に比べて十分に狭くなっている。これらのベルトコンベヤ１０ａ，１０ｂによってＦＯＵＰ１７の底面の左右両端部が支持されている。この状態でＦＯＵＰ１７がベルトコンベヤ１０ａ，１０ｂによって搬送される。ベルトコンベヤ１０ａとベルトコンベヤ１０ｂの間隔ｄ３はＦＯＵＰ１７の左右方向の幅と略同じである。
【００３１】
（搬送方向変更装置）
図１において、搬送方向変更装置４は、図４に示すように、基台２上に固定された一対の直進移動装置２０ａ及び２０ｂと、直進移動装置２０ａ，２０ｂのそれぞれによって駆動されて矢印Ｅ−Ｅ’方向へ直進移動する移動台２１ａ及び２１ｂと、移動台２１ａ，２１ｂの上に載っている搬送ユニット２２とを有している。直進移動装置２０ａ，２０ａはＥ−Ｅ’方向に長い構造物であり、それらは間隔ｄ１を空けて互いに平行に配置されている。
【００３２】
直進移動装置２０ａ，２０ｂは例えばボールネジによって構成されている。ボールネジは周知の機械要素部品であり、Ｅ−Ｅ’方向に延びているネジ軸と、移動台２１ａ，２１ｂと一体なナットと、ネジ軸とナットとの間に介在する複数のボールと、ネジ軸を自身の軸中心線を中心として回転させるモータとを有している。モータは回転方向、回転数及び回転速度を制御可能なモータ、例えば、サーボモータ、パルスモータである。
【００３３】
搬送ユニット２２は、矢印Ｗ方向に細長い壁２３ａ及び２３ｂを連結板２４によって連結して成るフレーム２５と、フレーム２５の壁２３ａ及び２３ｂに設けられた無端のベルトコンベヤ２６ａ及び２６ｂと、壁２３ａと２３ｂとの間に設けられた搬送用モータ２７とを有している。搬送用モータ２７の出力軸はモータ本体を貫通してモータ本体の前後方向へ延び出ている。一方の出力軸はカップリング２８によって駆動軸２７ａに連結されている。
【００３４】
ベルトコンベヤ２６ａ，２６ｂは図１の第１の搬送路３Ａ及び第２の搬送路３Ｂのベルトコンベヤ１０ａ，１０ｂと同じ構成である。すなわち、ベルトコンベヤ２６ａ，２６ｂを矢印Ｄ方向から見ると図２に示す通りである。図４において、搬送用モータ２７が作動するとベルトコンベヤ２６ａ及び２６ｂが周回移動する。特に、搬送用モータ２７の出力軸２７ａが順方向へ回転すると、ベルトコンベヤ２６ａ及び２６ｂの上側走行体が矢印Ｗ方向へ走行する。出力軸２７ａが逆方向へ回転すると、ベルトコンベヤ２６ａ及び２６ｂの上側走行体が矢印Ｗ’方向へ走行する。
【００３５】
搬送ユニット２２の一方の壁２６ａに４個のセンサＳ２１〜Ｓ２４が図示の順番で配置されている。センサＳ２１〜Ｓ２４は、ベルトコンベヤ２６ａ及び２６ｂによって搬送される搬送物を検知する。センサＳ２１〜Ｓ２４は、マイクロスイッチ等といった機械式センサや、光センサ等といった非接触式センサ、等を使用できる。
【００３６】
図５は、図４における連結板２４，２４を鎖線で示し、連結板２４，２４よりも下方部分の構造を実線で示した図である。図６は、図４のＦ−Ｆ線に従った搬送方向変更装置４の側面図である。図７は、図４のＧ−Ｇ線に従った搬送方向変更装置４の断面図である。図８は、図７のＨ部分を拡大して示す図である。
【００３７】
図４、図６、図７及び図８に示すように、移動台２１ａ，２１ｂは、直進移動装置２０ａ，２０ｂの上でスライド移動する移動基体３０と、軸受３１（図７、図８）によって移動基体３０に対して回転自在な回転体３２と、回転体３２と搬送ユニット２２との間に設けられた直進案内構造体であるＬＭガイド（Linear Motion Guide／リニア・モーション・ガイド）３３とを有している。ＬＭガイド３３は、回転体３２に固定された案内部材３４と、搬送ユニット２２の連結板２４の底面に固定された被案内部材３５とを有している。ＬＭガイド３３の働きにより、搬送ユニット２２は案内部材３４によって許容される範囲内で移動台２１ａ，２１ｂに対して直線的にスライド移動できる。
【００３８】
図５及び図７において、一方の移動台２１ａの回転体３２と他方の移動台２１ｂの回転体３２との間にリンク機構３８が設けられている。搬送ユニット２２の中央部の下部に連絡板３９が設けられている。連絡板３９は、互いに対向している壁２３ａと壁２３ｂとに固定されている。リンク機構３８は第１リンク３８ａと２つの第２リンク３８ｂとによって構成されている。第１リンク３８ａは、連絡板３９の中央部の上面で中心線Ｘ０を中心として回転自在となるように、連絡板３９に取付けられている。第２リンク３８ｂ，３８ｂは、第１リンク３８ａの両方の先端部分と移動台２１ａ，２１ｂの回転体３２，３２の先端部分とを連結している。
【００３９】
移動台２１ａと移動台２１ｂとをリンク機構３８で連結したことにより、移動台２１ａ，２１ｂが直進移動装置２０ａ、２０ｂによって駆動されてそれぞれ独自に直進移動する場合に、両移動台２１ａ，２１ｂは互いに関連して動くようになり、その結果、両者は直進移動装置２０ａ，２０ｂ上で安定して走行する。
【００４０】
図７において、直進移動装置２０ａ，２０ｂの側部の近傍の基台２の上に、リミットセンサ４０ａ及び４０ｂが設けられている。移動台２１ａ，２１ｂの移動基体３０，３０の底面の端部に検知片４１，４１が取付けられている。リミットセンサ４０ａ，４０ｂは検知片４１，４１を検知する。リミットセンサ４０ａ及び４０ｂは、図５において、直進移動装置２０ａ，２０ｂの延在方向に沿って手前側（図５の下側）及び奥側（図５の上側）の２ヶ所に設けられている。これらのリミットセンサ４０ａ，４０ｂによって移動台２１ａ，２１ｂの手前側リミット位置及び奥側リミット位置が規定される。
【００４１】
（制御装置）
図９は、本実施形態の搬送装置で用いる制御装置４４を示している。本実施形態では、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を用いた制御装置４４によってシーケンス制御を行う。制御装置４４は、ＣＰＵ４５、ＲＯＭ（Read Only Memory）４６、ＲＡＭ（Random Access Memory）４７及びメモリ４８を有している。これらの各機器はバス４９によってつながれている。ＲＯＭ４６及びＲＡＭ４７は例えば半導体メモリによって構成される。メモリ４８はハードディスク等といった機械式メモリや半導体メモリによって構成される。メモリ４８の内部には、図１の搬送装置１によって搬送動作を実現するための搬送用プログラム５１が格納されている。搬送用プログラム５１はＲＯＭ４６内に格納しても良い。
【００４２】
ＣＰＵ４５にはインターフェース５２を介して操作入力端末５３が接続されている。操作入力端末５３は例えばＯＮ／ＯＦＦスイッチ、キーボード、マウス等である。図１に示した搬送路センサＳ１〜Ｓ５，Ｓ１１〜Ｓ１５，Ｓ２１〜Ｓ２４は図９においてインターフェース５２を介してＣＰＵ４５につながっている。図５に示したリミットセンサ４０ａ，４０ｂは図９においてインターフェース５２を介してＣＰＵ４５につながっている。
【００４３】
図１に示した搬送用モータ１６，２７は図９においてインターフェース５４を介してＣＰＵ４５につながっている。図１に示した直進移動装置２０ａ，２０ｂに内蔵されているネジ軸駆動用のモータは図９においてインターフェース５４を介してＣＰＵ４５につながっている。ディスプレイ５５のドライバはインターフェース５４を介してＣＰＵ４５につながっている。ディスプレイ５５は作業者にとって必要な情報を映像として表示する。
【００４４】
（搬送方向変更装置の水平面内での回転移動）
図１において、搬送方向変更装置４の搬送ユニット２２のベルトコンベヤ２６ａ，２６ｂは、第１の搬送路３Ａのベルトコンベヤ１０ａ，１０ｂと一直線を成す位置にある。この位置を搬送ユニット２２の角度０°位置ということにする。この０°位置は、直進移動装置２０ａ側のリミットセンサ４０ａ及び直進移動装置２０ｂ側のリミットセンサ４０ｂによって検知される。
【００４５】
直進移動装置２０ａ，２０ｂが作動して移動台２１ａが矢印Ｉで示すように奥側（図１の上側）へ移動し、同時に、移動台２１ｂが矢印Ｊで示すように反対側である手前側（図１の下側）へ同じ速度で移動すると、搬送ユニット２２は矢印Ｋで示すように中心線Ｘ０を中心として図の正時計方向へ回動する。図１０は搬送ユニット２２が図１に示した０°位置から角度４５°だけ回転した状態を示している。
【００４６】
移動台２１ａ及び２１ｂが、それぞれ、図１０に示す状態からさらに矢印Ｉ及び矢印Ｊで示す方向へ同じ速度で反対方向へ同期して直進移動すると、搬送ユニット２２はさらに正時計方向へ回動を続ける。図１１は搬送ユニット２２が図１に示した０°位置から角度９０°だけ回転した状態を示している。この９０°位置において、搬送方向変更装置４の搬送ユニット２２のベルトコンベヤ２６ａ，２６ｂは、図１の第２搬送路３Ｂのベルトコンベヤ１０ａ，１０ｂと一直線を成す位置にある。この９０°位置は、直進移動装置２０ａ側のリミットセンサ４０ｂ及び直進移動装置２０ｂ側のリミットセンサ４０ａによって検知される。
【００４７】
直進移動装置２０ａ，２０ｂは移動台２１ａ，２１ｂを以上に説明した方向と逆方向に直進移動させることができる。すると、搬送ユニット２２は図１１、図１０、そして図１の順番で逆方向へ回動移動して図１の０°位置へ戻る。
【００４８】
（寸法）
図１２において次の寸法が決められている：
（１）ＦＯＵＰ１７の長さＬ１＝３５６ｍｍ；
（２）搬送方向変更装置４のベルトコンベヤ２６ａ，２６ｂの上走行体の後端（左端）から基準位置Ｐ０までの距離Ｌ２＝３１５ｍｍ；
（３）基準位置Ｐ０から第１の搬送路３Ａの先端（右端）１番のセンサＳ３までの距離Ｌ３＝３６０ｍｍ；
（４）基準位置Ｐ０から第１の搬送路３Ａの先端（右端）２番のセンサＳ５までの距離Ｌ４＝４００ｍｍ；
（５）搬送方向変更装置４のベルトコンベヤ２６ａ，２６ｂの上走行体の長さＬ５＝７４０ｍｍ；
（６）基準位置Ｐ０から搬送方向変更装置４の先端（右端）１番のセンサＳ２３までの距離Ｌ６＝３９０ｍｍ；
とする。
もちろん、上記寸法は一例であって、実際の使用に際しては必要に応じて他の好ましい寸法が選択される。
【００４９】
（搬送物の搬送動作）
図３のＦＯＵＰ（すなわち搬送物）１７は図１の第１の搬送路３Ａの搬送物搬入口Ｌの所のベルトコンベヤ１０ａ及び１０ｂの上に置かれる。図９の操作入力端末５３によって動作開始の指示が成されると、ＣＰＵ４５は図１において第１の搬送路３Ａのベルトコンベヤ１０ａ及び１０ｂを前進方向（Ｃ方向）へ走行させる。これにより、ＦＯＵＰ１７が搬送方向変更装置４へ向かって前進する。
【００５０】
前進するＦＯＵＰ１７の先端が図１２において第１の搬送路３Ａの先端（右端）２番のセンサＳ５によって検知されると、図９のＣＰＵ４５はベルトコンベヤ１０ａ，１０ｂを停止する。これにより、ＦＯＵＰ１７が停止する。その後に所定のタイミング（Ｔ０）が到来すると、あるいは図９の操作入力端末５３が再びタイミングＴ０で操作されると、図９のＣＰＵ４５は図１２において第１の搬送路３ａのベルトコンベヤ１０ａ，１０ｂ及び搬送方向変換装置４のベルトコンベヤ２６ａ，２６ｂを加速度（傾き）α１で加速する。
【００５１】
なお、搬送方向変更装置４の搬送ユニット２２のベルトコンベヤ２６ａ，２６ｂが第１の搬送路３Ａのベルトコンベヤ１０ａ，１０ｂと一直線になっていることが明確になっている場合には、ＦＯＵＰ１７を搬送方向変更装置４の手前で停止させることなく、ベルトコンベヤ１０ａ，１０ｂ及びベルトコンベヤ２６ａ，２６ｂの速度を６００ｍｍ／ｓｅｃ一定で、ＦＯＵＰ１７を第１の搬送路３Ａから搬送ユニット２２へ受け渡すこともできる。
【００５２】
その後、ＣＰＵ４５はベルト速度が６００ｍｍ／ｓｅｃになった時点Ｔ１でベルト速度を一定に維持する。その後、ＦＯＵＰ１７の後端（左端）が第１の搬送路３Ａの先端１番のセンサＳ３で検知されると、ＣＰＵ４５はベルトコンベヤ２６ａ，２６ｂを加速度α２で減速する（時点Ｔ２）。そして、同時に、搬送ユニット２２を図１の矢印Ｋで示すように順方向（すなわち正時計方向）へ回転させ始める。
【００５３】
この順方向回転は図１２のタイムチャートに符号Ｍで示すように１．０秒間実行される。これにより、搬送ユニット２２が図１１に示す９０°位置まで回動し、ベルトコンベヤ２６ａ，２６ｂが図１の第２の搬送路３Ｂのベルトコンベヤ１０ａ，１０ｂと一直線になる状態となる。
【００５４】
図１２において、搬送ユニット２２のベルトコンベヤ２６ａ，２６ｂの速度は搬送ユニット２２が回動移動している間（Ｍ）に２００ｍｍ／ｓｅｃまで減速される（時点Ｔ３）。その後、ＦＯＵＰ１７の先端（右端）が搬送方向変更装置４の先端（右端）１番のセンサＳ２３で検知されると（時点Ｔ４）、ベルトコンベヤ２６ａ，２６ｂは加速度（角度）α３で加速される。
【００５５】
こうして加速されるＦＯＵＰ１７が搬送ユニット２２から第２の搬送路３Ｂへ乗り移って、さらに取出口Ｑまで搬送される。こうして、第１の搬送路３Ａの搬入口Ｌに置かれた搬送物をその搬送方向を変更して第２の搬送路３Ｂの取出口Ｑまで搬送することができる。このとき、図１２においてＦＯＵＰ１７の後端（左端）が第２の搬送路３Ｂの後端（左端）１番のセンサＳ１４で検知されると（時点Ｔ５）、直ちに搬送ユニット２２が図１１において逆方向Ｎへの回動を始める。図１２において、搬送ユニット２２の逆方向への回動は０．８秒間行われる（符号Ｒ）。この回動により、搬送ユニット２２は図１に示す０°位置へ復帰して、次のＦＯＵＰ１７を受け入れる状態となる。
【００５６】
図１２において、搬送ユニット２２の復動回動Ｒの時間（＝０．８秒）は往動回動Ｍの時間（１．０秒）よりも短い。復動回動時には搬送ユニット２２の上に搬送物が載っていないので、このように復動回動の時間を短くしても問題は生じない。
【００５７】
（本実施形態の作用効果）
（１）本実施形態では、図４において、２つの直進移動装置２０ａ及び２０ｂによって搬送ユニット２２を回動させた。従来は、搬送ユニット２２を回動させるために、搬送ユニット２２の中心線Ｘ０（図４の紙面を貫通する方向に延びている）上に回転駆動用のモータを設置した。搬送ユニット２２は平面形状が大きいので、この搬送ユニット２２を素早く動かすためには極めて大容量のモータが必要である。このため従来の装置では、縦方向（すなわち、図４の紙面を貫通する方向）の高さが非常に大きくならざるを得なかった。
【００５８】
これに対し、図４に示す本実施形態の搬送方向変更装置４は、直進移動装置２０ａ，２０ｂを使用しており、この直進移動装置２０ａ，２０ｂで用いる駆動用モータは小容量で小型である。このため、本実施形態の搬送方向変更装置４は非常に小型（すなわち薄型）に形成することができる。そして、その結果、搬送方向変更装置４を用いて構成された図１の搬送装置１も非常に小型（薄型）に形成できる。
【００５９】
（２）図４において、従来のように搬送ユニット２２の中心線Ｘ０上に回転駆動用のモータを設置した場合には、搬送ユニット２２の全体を図４の上方向（矢印Ｅで示す方向）へ平行移動させるときには、回転駆動用のモータを含めて搬送ユニット２２の全体を平行移動させるための平行移動系を、別途、用意しなければならない。この場合には、搬送方向変更装置４の全体及び図１の搬送装置１の全体が、さらに一層大型になってしまう。
【００６０】
これに対し、図４に示す本実施形態の搬送方向変更装置４は、２つの直進移動装置２０ａ，２０ｂによる移動台２１ａ及び２１ｂの直進移動方向を調整するだけで、搬送ユニット２２を平行移動させることができ、直進移動装置２０ａ，２０ｂ以外の駆動系を用意する必要がない。従って、装置を小型に形成できる上に、コストの増大を抑制できる。
【００６１】
（３）従来の搬送方向変更装置においては、図１において、搬送物を、搬入口側の直進搬送路（第１の搬送路３Ａに相当）からターンテーブル等といった方向変更部（搬送方向変更装置４に相当）へ一定速度（加速度＝ゼロ）で持ち運び、その方向変更部上で搬送物を減速して停止させ、その停止後に方向変換部の回動を行い、その回動が終わってから方向変換部上の搬送物を搬出側の直進搬送路（第２の搬送路３Ｂに相当）へ送り出す、という制御を行っていた。この方法では搬送時間が長くなるという問題があった。
【００６２】
これに対し、本実施形態では、次の作用効果が得られる。
（ア）図１２において、搬送方向変更装置４上でＦＯＵＰ（すなわち搬送物）１７を停止させないで最低速度２００ｍｍ／ｓｅｃを維持し、ＦＯＵＰ１７が搬送されている間に搬送ユニット１７を回動させるようにした。その結果、搬送時間を大きく短縮できた。なお、最低速度は２００ｍｍ／ｓｅｃ以外の適切な値に設定することもできる。
【００６３】
（イ）ベルトコンベヤ２６ａ，２６ｂの速度を搬送ユニット２２の回動開始（Ｔ２）の前に一定速度にしているので、搬送ユニット２２の回動開始時にＦＯＵＰ１７が安定に保持される。一定速度に保持する時間（＝Ｔ１からＴ２までの時間）は搬送物の重量や重心の高さに応じて適宜に設定する。
【００６４】
（ウ）ベルトコンベヤ２６ａ，２６ｂの速度を、搬送ユニット２２の回動中（Ｍ）に時点Ｔ２から時点Ｔ３の間で急速に減速して最低速度２００ｍｍ／ｓｅｃまで持って行き、その後は２００ｍｍ／ｓｅｃ一定に保持する。これにより、搬送ユニット２２の長さＬ５が短い場合でも、搬送ユニット２２の回動中にＦＯＵＰ１７を搬送ユニット２２上で安定状態に保持できる。搬送ユニット２２の長さＬ５を短くできれば、装置全体を小型に形成できるし、ＦＯＵＰ１７の搬送時間を短縮できる。なお、最低速度は２００ｍｍ／ｓｅｃ以外の適切な値に設定することもできる。
【００６５】
（エ）時点Ｔ４から時点Ｔ５の間でＦＯＵＰ１７を搬送方向変更装置４の搬送ユニット２２から第２の搬送路３Ｂへ受け渡すとき、ベルトコンベヤ２６ａ，２６ｂ及びベルトコンベヤ１０ａ，１０ｂの速度は速度ゼロから立ち上がるのではなく、最低速度２００ｍｍ／ｓｅｃから立ち上がるので、ＦＯＵＰ１７が搬送方向変更装置４を抜け切る時間を短縮できる。
【００６６】
（オ）ＦＯＵＰ１７が搬送方向変更装置４を抜け切った直後の時点Ｔ５で直ぐに搬送ユニット２２の復動回動（Ｒ）を開始すること、及び復動回動の時間を順方向回動（Ｍ）の時間よりも短くしたこと、により、複数のＦＯＵＰ１７を連続して搬送する際の１つのＦＯＵＰ１７についての搬送時間、すなわち搬送サイクルを短くできる。
【００６７】
（変形例）
図１において、第１の搬送路３Ａ及び／又は第２の搬送路３Ｂの長さを、より長くしたり、より短くしたりすることができる。また、図１の第１の搬送路３Ａを複数個、直線状に並べることにより、搬送路の長さを長くすることができる。また、第２の搬送路３Ｂを複数個、直線状に並べることにより、搬送路の長さを長くすることもできる。
【００６８】
（搬送装置の第２の実施形態）
図１３は、本発明に係る搬送装置の他の実施形態を示している。この実施形態において、搬送方向変更装置４は図１で示した実施形態で用いた搬送方向変更装置４と同じ構成である。また、第１の搬送路３Ａそれ自体及び第２の搬送路３Ｂそれ自体も図１の実施形態で用いた第１の搬送路３Ａ及び第２の搬送路３Ｂの構成と同じである。
【００６９】
図１３の実施形態と図１の実施形態とで異なる点は、図１３において第２の搬送路３Ｂの搬送物搬入口Ｕが第１の搬送路３Ａの搬送物搬出口Ｖよりも搬送方向変更装置４の中心部分に近づいていることである。従って、図１３（ａ）の状態で搬送方向変更装置４の搬送ユニット２２が回動すると、搬送ユニット２２が第２の搬送路３Ｂに干渉する、すなわちぶつかってしまう。
【００７０】
これを回避するため、本実施形態では、図１３（ａ）において搬送物を第１の搬送路３Ａから搬送方向変更装置４の搬送ユニット２２で受け取った後、搬送ユニット２２を角度０°位置から角度９０°位置まで回動させる前に、図１３（ｂ）で示すように直進移動装置２０ａ及び直進移動装置２０ｂによって、それぞれ、移動台２１ａ及び２１ｂを同じ方向である奥側方向（図１３の上方向）へ距離ｄ２だけ平行移動させる。
【００７１】
距離ｄ２の平行移動が完了した後、図１３（ｃ）に示すように、直進移動装置２０ａ及び直進移動装置２０ｂによって移動台２１ａ及び２１ｂを互いに反対方向へ直進移動させることにより、搬送ユニット２２を順方向である図の正時計方向に矢印Ｋのように回動させる。これにより、搬送方向変更装置４の搬送ユニット２２を第２の搬送路３Ｂのベルトコンベヤ１０ａ，１０ｂに合わせることができる。
【００７２】
（搬送装置の第３の実施形態）
図１４は、本発明に係る搬送装置のさらに他の実施形態を示している。この実施形態において、搬送方向変更装置４は図１で示した実施形態で用いた搬送方向変更装置４と同じ構成である。また、第１の搬送路３Ａそれ自体及び第２の搬送路３Ｂそれ自体も図１の実施形態で用いた第１の搬送路３Ａ及び第２の搬送路３Ｂの構成と同じである。
【００７３】
異なるのは次の点である。すなわち、図１の実施形態では、第１の搬送路３Ａと第２の搬送路３Ｂとが角度９０°で配置されている。これに対し、図１４の実施形態では第１の搬送路３Ａと第２の搬送路３Ｂとが角度１３５°で配置されている。さらに、第２の搬送路３Ｂに加えて、第２の搬送路３Ｂと平行に第３の搬送路４３が距離ｄ３だけ離れて配置されている。
【００７４】
この実施形態においては、図１４（ａ）に示す状態において、第１の搬送路３Ａから送り込まれた搬送物を、搬送方向変更装置４によって搬送方向を変更して、第２の搬送路３Ｂへ搬送できる。他方、図１４（ｂ）に示すように、直進移動装置２０ａ及び直進移動装置２０ｂによって搬送ユニット２２を距離ｄ３だけ奥側（図の上側）へ移動させ、さらに図１４（ｃ）に示すように搬送ユニット２２を回動させることにより、第１の搬送路３Ａから受け取った搬送物を第３の搬送路４３へ搬送することができる。
【００７５】
このように、本実施形態によれば、直進移動装置２０ａ及び２０ｂによって搬送ユニット２２を平行移動させることにより、複数ある搬出側の搬送路３Ｂ及び４３から希望する１つの搬送路を選択することができる。
【００７６】
（その他の実施形態）
以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。
【００７７】
例えば、図４において、リンク機構３８を用いなくても移動台２１ａ，２１ｂの動きが実用上安定している場合には、必ずしもリンク機構３８を用いなくても良い。
【００７８】
図１において、直進移動装置２０ａ，２０ｂはボールネジ以外の任意の構成の直進移動機構を採用できる。
【００７９】
図４の実施形態では、搬送ユニット２２として、フレーム２５とフレーム２５に支持された無端のベルトコンベヤ２６ａ，２６ｂとの組み合わせを有する機構を採用した。しかしながら、搬送ユニットはそれ以外の任意の機構を採用できる。例えば、ベルトコンベヤに代えて複数のローラを線状に並べる構成も採用できる。
【符号の説明】
【００８０】
１．搬送装置、  ２．基台、  ３Ａ．第１の搬送路、３Ｂ．第２の搬送路、  ４．搬送方向変更装置（搬送方向変更手段）、  ７ａ，７b．壁、  ８．連結板、  ９．フレーム、  １０ａ，１０ｂ．ベルトコンベヤ、  １１．駆動ローラ、  １２．従動ローラ、  １３．補助ローラ、  １６．搬送用モータ、  １６ａ．駆動軸、  １７．ＦＯＵＰ（搬送物）、  ２０ａ，２０ｂ．直進移動装置（直進移動手段）、  ２１ａ，２１ｂ．移動台、  ２２．搬送ユニット、  ２３ａ，２３ｂ．壁、  ２４．連結板、  ２５．フレーム、  ２６ａ，２６ｂ．ベルトコンベヤ、  ２７．搬送用モータ、  ２７ａ．駆動軸、  ２８．カップリング、  ３０．移動基体、  ３１．軸受、  ３２．回転体、  ３３．ＬＭガイド（直進ガイド手段）、  ３４．案内部材、  ３５．被案内部材、  ３８．リンク機構、  ３８ａ．第１リンク、  ３８ｂ．第２リンク、  ３９．連絡板、  ４０ａ，４０ｂ．リミットセンサ、  ４１．検知片、  ４３．第２の搬送路、  ４４．制御装置、  ４８．メモリ、  ４９．バス、  ５２．インターフェース、  ｄ１．間隔、  ｄ２．距離、  Ｌ．搬入口、  Ｐ０．基準位置、  Ｑ．取出口、  Ｓ１〜Ｓ５，Ｓ１１〜Ｓ１５，Ｓ２１〜Ｓ２４．センサ、  Ｕ．搬入口、  Ｖ．搬出口、  Ｘ０．中心線、  α１，α２，α３．加速度（傾き）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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