(57)【要約】【課題】オリフィスを容易に着脱することができる流体軸受のオリフィス着脱構造を提供すること。【解決手段】軸受本体２と、前記軸受本体２に形成された軸受孔３と、前記軸受孔３の内周面に開口するポケット４と、前記軸受本体２の内部に形成され、前記ポケット４に連通する第１流路１１と、前記第１流路１１に着脱可能に配設されるオリフィス５と、前記軸受本体２の内部に形成され、前記第１流路１１が延在する方向に対して交差する向きに延びるとともに、前記第１流路１１に連通する第２流路１２と、前記第１流路１１の延長線上に位置して前記軸受本体２の外面に開口する開口孔６と、前記開口孔６を塞ぐとともに、前記開口孔６に着脱可能に設けられた栓部７と、を備えることを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸受本体と、
前記軸受本体に形成された軸受孔と、
前記軸受孔の内周面に開口するポケットと、
前記軸受本体の内部に形成され、前記ポケットに連通する第１流路と、
前記第１流路に着脱可能に配設されるオリフィスと、
前記軸受本体の内部に形成され、前記第１流路が延在する方向に対して交差する向きに延びるとともに、前記第１流路に連通する第２流路と、
前記第１流路の延長線上に位置して前記軸受本体の外面に開口する開口孔と、
前記開口孔を塞ぐとともに、前記開口孔に着脱可能に設けられた栓部と、を備えることを特徴とする流体軸受のオリフィス着脱構造。
【請求項２】
請求項１に記載の流体軸受のオリフィス着脱構造であって、
前記第１流路に着脱可能に配設される筒状のオリフィスハウジングを備え、
前記オリフィスハウジング内に、前記オリフィスが装着されていることを特徴とする流体軸受のオリフィス着脱構造。
【請求項３】
請求項２に記載の流体軸受のオリフィス着脱構造であって、
前記栓部と前記オリフィスハウジングとを一体に形成した取り付け筒体を備え、
前記取り付け筒体には、前記第１流路と前記第２流路とを連通する連通孔が形成されていることを特徴とする流体軸受のオリフィス着脱構造。
【請求項４】
請求項３に記載の流体軸受のオリフィス着脱構造であって、
前記取り付け筒体の外周面には、該取り付け筒体の中心軸回りに互いに間隔をあけて前記連通孔が複数開口していることを特徴とする流体軸受のオリフィス着脱構造。
【請求項５】
請求項２に記載の流体軸受のオリフィス着脱構造であって、
前記栓部と前記オリフィスハウジングとが、互いに別体に設けられることを特徴とする流体軸受のオリフィス着脱構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばＤＩ缶を製造するＤＩ加工装置のラムベアリング等の流体軸受に設けられる、オリフィス着脱構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
飲料等の内容物が充填、密封される缶体として、缶胴（ウォール）と缶底（ボトム）を有する有底筒状のＤＩ缶と、該ＤＩ缶の開口端部に巻締められる円板状の缶蓋と、を備えた２ピース缶が知られている。また、ＤＩ缶に対してボトルネッキング加工が施された後、その開口端部にキャップが螺着されたボトル缶も周知である。
【０００３】
このような缶体に用いられるＤＩ缶は、アルミニウム合金材料の板材から打ち抜いた円板状のブランクに、カッピング工程（絞り工程）及びＤＩ工程（絞りしごき工程）を施すことにより、有底筒状に形成される。
【０００４】
カッピング工程では、ブランクにカッピング加工（絞り加工）を施して、ブランクからＤＩ缶へ移行する過程の成形中間体であるカップ状体とする。
ＤＩ工程では、ＤＩ加工装置において、カップ状体の内部にパンチスリーブを嵌合させ、かつ外部には複数のダイを嵌合させて、これらの間でカップ状体を絞りしごき加工する。すなわち、パンチスリーブの中心軸と、複数のダイの中心軸とを同軸に配置（芯合わせ）した状態で、これらの間にカップ状体の周壁を挟んで中心軸方向に相対移動させることにより、カップ状体にＤＩ（Ｄｒａｗｉｎｇ＆Ｉｒｏｎｉｎｇ）加工を施して、ＤＩ缶とする。
【０００５】
パンチスリーブは、水平方向に延びるラム軸（主軸）の先端に支持されており、ラム軸は、水平方向に互いに離間して配置された一対のラムベアリングによって軸支されている。
ラムベアリングは、ハイドロスタティック軸受や静圧軸受等と呼ばれる流体軸受であり、ラム軸が挿入される軸受孔の内周面には、油が供給されるポケットが周方向に互いに間隔をあけて複数開口している。これらのポケットに保持された油に圧力を加えることで、ラムベアリングは、油圧によって軸受孔の内周面からラム軸を離間させて（ラム軸を空中に浮かせて）支持する。
【０００６】
このような構成により、ラムベアリングの中心軸（軸受孔の中心軸）と、ラム軸の中心軸とが高精度に芯合わせされるため、ラム軸が支持するパンチスリーブと、複数のダイとの同軸度の精度も確保されて、ＤＩ缶の周壁の厚さを均一化できる。また、ラム軸及びラムベアリングの摩耗も抑制される。
【０００７】
また、ラムベアリングにおいては、軸受孔に挿入されたラム軸に対して高い油圧を安定的に作用させるため、油の配管経路内に、流路を部分的に狭めるためのオリフィスが配設されている（例えば下記特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】実公平１−８８０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記従来のＤＩ加工装置の流体軸受では、下記の課題を有していた。
オリフィスは、例えば１ｍｍ未満の小さな内径の流路を有するものであり、異物やスラッジ等が堆積して、流路が詰まりやすい。このため、定期的に又は必要に応じてオリフィスを取り外し清掃する作業が生じるが、配管経路内からオリフィスを取り外して再び装着するには、配管自体を分解する必要があり、作業時間として例えば半日程度を要し、非常に手間がかかっていた。
【００１０】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、オリフィスを容易に着脱することができる流体軸受のオリフィス着脱構造を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一態様に係る流体軸受のオリフィス着脱構造は、軸受本体と、前記軸受本体に形成された軸受孔と、前記軸受孔の内周面に開口するポケットと、前記軸受本体の内部に形成され、前記ポケットに連通する第１流路と、前記第１流路に着脱可能に配設されるオリフィスと、前記軸受本体の内部に形成され、前記第１流路が延在する方向に対して交差する向きに延びるとともに、前記第１流路に連通する第２流路と、前記第１流路の延長線上に位置して前記軸受本体の外面に開口する開口孔と、前記開口孔を塞ぐとともに、前記開口孔に着脱可能に設けられた栓部と、を備えることを特徴とする。
【００１２】
この流体軸受は、例えばハイドロスタティック軸受や静圧軸受等と呼ばれるものであり、主軸を軸支する軸受孔の内周面に、油等の流体が供給されるポケットが開口している。ポケットの開口部は、主軸の外周面に対向配置され、これらのポケット及び主軸外周面により流体を保持可能な室が形成される。そして、ポケット（室）に保持された流体に圧力を加えることで、流体軸受は、流体圧によって軸受孔の内周面から主軸を離間させて（主軸を空中に浮かせて）支持する。
【００１３】
本発明の流体軸受のオリフィス着脱構造によれば、軸受本体の内部に、互いに交差して延びるとともに互いに連通する、第１流路と第２流路とが形成されている。第１流路には、流路を部分的に狭めるためのオリフィスが着脱可能に配設されており、この第１流路はポケットに連通する。そして、ポケットに保持される流体は、まず軸受本体の外部から第２流路に供給され、該第２流路から第１流路に流入し、該第１流路のオリフィスを通ってポケットに流入する。
【００１４】
また、第１流路の延長線上には、軸受本体の外面に開口する開口孔が形成されており、該開口孔は栓部により塞がれている。従って、開口孔から栓部を取り外すことにより、該開口孔を通して、軸受本体の外部から真っ直ぐに第１流路内にアクセスすることが可能になる。
【００１５】
つまり本発明によれば、開口孔から栓部を取り外すのみでオリフィスに容易にアクセスすることができ、オリフィスを第１流路に対して着脱する作業を簡単に行うことができる。このため、オリフィスを取り外し、清掃し、再び装着する作業に手間がかからず、従来では半日程度もかかっていた作業時間が例えば３０分程度で足り、作業性が大幅に向上する。
【００１６】
以上より本発明によれば、オリフィスを容易に着脱することができる。またこれにより、オリフィスを定期的に又は必要に応じて清掃するための作業時間を削減でき、その結果、流体軸受を設けた装置の生産性等を向上できる。
【００１７】
上記流体軸受のオリフィス着脱構造において、前記第１流路に着脱可能に配設される筒状のオリフィスハウジングを備え、前記オリフィスハウジング内に、前記オリフィスが装着されていることが好ましい。
【００１８】
一般にオリフィスは小さな部品であることから、例えば上記構成とは異なり、オリフィスが第１流路に対して、オリフィスハウジングを介することなく直接的に装着されていると、オリフィスの着脱を行う際、作業がしにくかったり、オリフィスを紛失したりするおそれがある。
【００１９】
そこで上記構成のように、第１流路にオリフィスハウジングを設け、該オリフィスハウジング内にオリフィスを装着することとすれば、外形の大きいオリフィスハウジングを第１流路に対して着脱することにより、オリフィスの着脱作業を容易に行うことができる。
従って、オリフィスの着脱及び清掃作業がより簡単となって作業性が向上し、かつ、オリフィスの紛失等も防止できる。
【００２０】
上記流体軸受のオリフィス着脱構造において、前記栓部と前記オリフィスハウジングとを一体に形成した取り付け筒体を備え、前記取り付け筒体には、前記第１流路と前記第２流路とを連通する連通孔が形成されていることが好ましい。
【００２１】
この場合、栓部とオリフィスハウジングとが、取り付け筒体に一体に形成されている。また、取り付け筒体には、第１流路と第２流路とを連通する連通孔が形成されている。従って、油等の流体は、第２流路から取り付け筒体の連通孔を通って、第１流路へと流される。
【００２２】
上記構成によれば、軸受本体の外面に開口する開口孔から、取り付け筒体の栓部を取り外すことにより、該栓部と一体に形成されたオリフィスハウジングも一緒に取り外されるため、オリフィスの着脱作業をより簡単に行うことができる。また、流体軸受のオリフィス着脱構造を構成する部品点数が削減される。
【００２３】
上記流体軸受のオリフィス着脱構造において、前記取り付け筒体の外周面には、該取り付け筒体の中心軸回りに互いに間隔をあけて前記連通孔が複数開口していることが好ましい。
【００２４】
この場合、取り付け筒体の外周面に、その中心軸回りに互いに間隔をあけて複数の連通孔が開口している。従って、取り付け筒体のオリフィスハウジングを第１流路に配設したときに、該取り付け筒体の中心軸回りの配置位置に係わらず、連通孔が第２流路に確実に開口し、該連通孔を通して第１流路と第２流路とが安定して連通させられる。
【００２５】
上記流体軸受のオリフィス着脱構造において、前記栓部と前記オリフィスハウジングとが、互いに別体に設けられることとしてもよい。
【００２６】
この場合、栓部とオリフィスハウジングとが別体に設けられているので、例えば栓部とオリフィスハウジングとが一体に形成された構成と比べて、第１流路と第２流路との接続部分における流路の断面積を大きく確保することができる。また、栓部とオリフィスハウジングとが一体に形成された場合に比べて、部品の剛性を確保しやすい。
【発明の効果】
【００２７】
本発明の流体軸受のオリフィス着脱構造によれば、オリフィスを容易に着脱することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の第１実施形態に係るＤＩ加工装置に備えられる、一対のラムベアリング（流体軸受）を示す斜視図である。
【図２】図１の一対のラムベアリングのうち、フロントラムベアリングを示す断面図である。
【図３】図１の一対のラムベアリングのうち、リアラムベアリングを示す断面図である。
【図４】栓部とオリフィスハウジングとを一体に形成したボルト状体（取り付け筒体）の、（ａ）部分断面図、（ｂ）図４（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係るフロントラムベアリングを示す断面図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係るリアラムベアリングを示す断面図である。
【図７】オリフィスハウジング及びオリフィスを示す断面図である。
【図８】オリフィスハウジングの、（ａ）側面図、（ｂ）下面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
＜第１実施形態＞
以下、本発明の第１実施形態に係る流体軸受１及びそのオリフィス着脱構造１０について、図１〜図４を参照して説明する。
本実施形態の流体軸受１及びそのオリフィス着脱構造１０は、カップ状体にＤＩ加工を施してＤＩ缶とするＤＩ加工装置に備えられる。
【００３０】
まず、カップ状体から作製されるＤＩ缶について説明する。
ＤＩ缶とは、飲料等の内容物が充填、密封される缶体（２ピース缶やボトル缶）に用いられるものである。ＤＩ缶は、有底筒状をなしており、缶の周壁である缶胴（ウォール）と、缶の底壁である缶底（ボトム）とを有している。２ピース缶は、ＤＩ缶の開口端部に、円板状の缶蓋が巻き締められて作製される。ボトル缶は、ＤＩ缶にボトルネッキング加工が施された後、その開口端部にキャップが螺着されて作製される。なお、ＤＩ缶の「ＤＩ」とは、Ｄｒａｗｉｎｇ＆Ｉｒｏｎｉｎｇの略称である。
【００３１】
ＤＩ缶は、アルミニウム合金材料の板材から打ち抜いた円板状のブランクに、カッピング工程（絞り工程）及びＤＩ工程（絞りしごき工程）を施すことにより、有底筒状に形成される。具体的にＤＩ缶は、例えば２ピース缶の場合、板材打ち抜き工程、カッピング工程、ＤＩ工程、トリミング工程、印刷工程、塗装工程、ネッキング工程、ボトムリフォーム工程及びフランジング工程をこの順に経て、製造される。
【００３２】
ＤＩ缶を製造する過程では、ブランクをカッピングプレスによって絞り加工（カッピング加工）し、カップ状体に成形する。つまりカップ状体は、上記カッピング工程において、ブランクからＤＩ缶へ移行する過程で作製される成形中間体である。カップ状体は、ＤＩ缶よりも周壁の高さ（缶軸方向に沿う長さ）が小さく、底壁の直径が大きい有底筒状をなしている。
【００３３】
次に、ＤＩ加工装置について説明する。
ＤＩ加工装置は、上記ＤＩ工程に用いられるものであり、カップ状体にＤＩ加工（絞り（再絞り）しごき加工）を施して、ＤＩ缶に成形する。
【００３４】
ＤＩ加工装置は、カップ状体が載置される受け座と、カップ状体を再絞り加工するための断面円形の貫通孔を有する一枚の再絞りダイと、この再絞りダイと同軸に配列される断面円形の貫通孔を有する複数枚（例えば３枚）のアイアニング・ダイ（しごきダイ）と、アイアニング・ダイと同軸とされ、各アイアニング・ダイの貫通孔の内部に嵌合可能とされ、ダイの中心軸方向に移動自在とされる円筒状又は円柱状のパンチスリーブと、このパンチスリーブの外側に嵌合する円筒状のカップホルダースリーブと、パンチスリーブを先端に支持するラム軸（主軸）と、ラム軸をその中心軸方向に移動自在に軸支する一対のラムベアリング１Ｆ、１Ｒ（流体軸受１）と、を備えている。
【００３５】
上述した再絞りダイ、アイアニング・ダイ、パンチスリーブ及びカップホルダースリーブについては、例えば特開２００７−２１６３０２号公報に記載されたものを用いることができる。
再絞りダイ、アイアニング・ダイ、パンチスリーブ、カップホルダースリーブ、ラム軸及びラムベアリングの各中心軸は、互いに同軸とされ、水平方向に延びて配置されている。
【００３６】
ＤＩ加工装置によるカップ状体へのＤＩ加工は、下記のように行われる。
受け座に載置されたカップ状体は、そのカップ軸（缶軸）を水平方向に延ばし、その開口部をパンチスリーブへ向けた状態で、パンチスリーブと再絞りダイとの間に配置される。
【００３７】
このカップ状体に対して、カップホルダースリーブ及びパンチスリーブが前進移動する。そしてカップホルダースリーブが、再絞りダイの端面にカップ状体の底壁を押し付けてカップ押し付け動作を行いながら、パンチスリーブが、カップ状体を再絞りダイの貫通孔内に押し込んでいき、再絞り加工を施す。
【００３８】
再絞り加工により、カップ状体よりも小径でカップ軸方向に沿う長さ（高さ）が大きいカップ状体が成形される。引き続き、このカップ状体をパンチスリーブで押し込んでいき、複数のアイアニング・ダイを順次通過させつつ徐々にしごき加工していく。つまり、カップ状体の周壁をしごいて該周壁を延伸させ、周壁高さを高くするとともに壁厚を薄くして、有底筒状のＤＩ缶を成形する。このＤＩ缶は、周壁がしごかれることで冷間加工硬化され、強度が高められる。
【００３９】
しごき加工が終了したＤＩ缶は、パンチスリーブがさらに前方に押し出して底部（缶底となる部分）をボトム成形金型に押圧することにより、この底部がドーム形状に形成される。
【００４０】
次に、ラムベアリング１Ｆ、１Ｒ（流体軸受１）及びそのオリフィス着脱構造１０について説明する。
図１において、一対のラムベアリング１Ｆ、１Ｒは、水平方向に延びるラム軸（不図示）に対応して、水平方向に互いに離間して配置されている。これらのラムベアリング１Ｆ、１Ｒのうち、パンチスリーブに近い位置に配置されたものをフロントラムベアリング１Ｆといい、パンチスリーブに対してフロントラムベアリング１Ｆよりも離間して配置されたものをリアラムベアリング１Ｒという。
これらのラムベアリング１Ｆ、１Ｒは、ハイドロスタティック軸受や静圧軸受等と呼ばれる流体軸受１である。
【００４１】
図２に示されるように、フロントラムベアリング１Ｆ及びそのオリフィス着脱構造１０は、軸受本体２と、軸受本体２に形成された軸受孔３と、軸受孔３の内周面に開口するポケット４と、軸受本体２の内部に形成され、ポケット４に連通する第１流路１１と、第１流路１１に着脱可能に配設されるオリフィス５と、軸受本体２の内部に形成され、第１流路１１が延在する方向に対して交差する向きに延びるとともに、第１流路１１に連通する第２流路１２と、第１流路１１の延長線上に位置して軸受本体２の外面に開口する開口孔６と、開口孔６を塞ぐとともに、開口孔６に着脱可能に設けられた栓部７と、を備えている。
【００４２】
また、フロントラムベアリング１Ｆ及びオリフィス着脱構造１０は、第１流路１１に着脱可能に配設される筒状のオリフィスハウジング８を備えており、該オリフィスハウジング８内には、オリフィス５が装着される。つまりオリフィス５は、オリフィスハウジング８を介して、第１流路１１に着脱可能に配設されている。
また、本実施形態のフロントラムベアリング１Ｆ及びオリフィス着脱構造１０は、栓部７とオリフィスハウジング８とを一体に形成したボルト状体（取り付け筒体）９を備えている。
【００４３】
軸受本体２は、本体部１３と、軸受メタル部１４と、を備えている。
図１に示されるフロントラムベアリング１Ｆにおいて、本体部１３は、四角形板状をなす板状部と、該板状部の厚さ方向を向く両面（前後面）から軸受孔３の中心軸Ｏ（以下、ベアリング軸Ｏということがある）に沿ってそれぞれ突出する一対の筒状部と、を有する。
【００４４】
図２において、軸受メタル部１４は、筒状をなしており、本体部１３をベアリング軸Ｏ方向に貫通する孔の内部に嵌合している。そして、軸受メタル部１４をベアリング軸Ｏ方向に貫通する貫通孔が、ラム軸を軸支する軸受孔３とされている。つまり、軸受メタル部１４の内周面が、フロントラムベアリング１Ｆの軸受孔３の内周面に相当する。
【００４５】
軸受孔３の内周面には、ベアリング軸Ｏ回りの周方向に互いに間隔をあけて、ポケット４が複数形成されている。本実施形態では、軸受孔３の内周面に、ポケット４が周方向に等間隔をあけて４つ形成されている。具体的には、軸受孔３の内周面のうち、上部、下部、及び一対の側部（左側部、右側部）にそれぞれポケット４が配置されている。
本実施形態の例では、ポケット４が、凹状をなしラム軸の外周面に接近配置される開口部と、該開口部の底部中央に位置して軸受メタル部１４の周壁を貫通する孔部と、を有している。
【００４６】
各ポケット４には、油等の流体が保持される。詳しくは、ポケット４の開口部が、ラム軸の外周面に対向配置され、ポケット４及びラム軸の外周面により流体を保持可能な室が形成されて、この室内に流体が保持される。そして、ポケット４（室）に保持された流体に圧力を加えることで、フロントラムベアリング１Ｆは、流体圧によって軸受孔３の内周面からラム軸を離間させて（ラム軸を空中に浮かせて）支持する。
また、軸受孔３の内周面において、周方向に隣り合うポケット４同士の間には、ポケット４から流出した流体をベアリング外部に排出するための排出溝１５が形成されている。
【００４７】
軸受本体２の内部には、ベアリング外部からポケット４に流体を供給するための通路（流路）として、第１流路１１及び第２流路１２が形成されている。軸受本体２の内部に形成された流路には、該流路を部分的に狭めるための後述するオリフィス５が配設される。前記流路のうち、第１流路１１が延在する方向と、第２流路１２が延在する方向とは、互いに異なっており、これらの流路１１、１２同士は、互いに交差するように連通している。
【００４８】
図２に示される例では、第１流路１１が上下方向（縦方向）に延びており、第２流路１２が左右方向（横方向）に延びていて、これらの流路１１、１２同士が、互いに直交するように接続している。
ただしこれに限定されるものではなく、第１流路１１と第２流路１２とは、例えば、互いの間に９０°よりも大きい鈍角を形成するように交わっていてもよく、９０°未満の鋭角を形成するように交わっていてもよい。
【００４９】
本実施形態では、軸受孔３の内周面に開口する４つのポケット４に対応して、軸受本体２には４つの第１流路１１が形成されている。また、軸受本体２には、第２流路１２が１つ形成されている。そして、４つの第１流路１１のうち、上部ポケット４及び一対の側部ポケット４に連通する３つの第１流路１１に対して、１つの第２流路１２が接続している。図２に示される例では、下部ポケット４に連通する第１流路１１が、第２流路１２に接続することなく軸受本体２の外面に開口している。
【００５０】
本実施形態の例では、第１流路１１が、ポケット４に開口する小径流路１６と、小径流路１６のポケット４とは反対側の端部に接続し、該小径流路１６よりも内径が大きく形成された大径流路１７と、を有している。
【００５１】
小径流路１６は、ポケット４の中央に配置された孔部に開口している。小径流路１６のうちポケット４に接続する部分（流路先端部）は、該ポケット４から、ベアリング軸Ｏに直交する径方向の外側へ向けて延びている。図２に示される例では、第２流路１２に連通する３つの第１流路１１のうち、上部ポケット４に連通する第１流路１１の小径流路１６が、該上部ポケット４から上方へ向けて延びている。また、一対の側部ポケット４に連通する一対の第１流路１１の各小径流路１６は、側部ポケット４から側方へ向けて延びた後、上方に向きを変えるように延びている。
【００５２】
第１流路１１の小径流路１６の内径は、第２流路１２の内径よりも小さくされている。具体的に、例えば、第２流路１２の流路断面積は、該第２流路１２に接続する複数の第１流路１１における各小径流路１６の流路断面積の和よりも大きくされている。
【００５３】
大径流路１７は、上下方向に延びている。図２に示される例では、第２流路１２に連通する３つの第１流路１１における各大径流路１７の下端部が、小径流路１６にそれぞれ接続し、各大径流路１７の上端部は、第２流路１２に開口している。
また、大径流路１７の内周面には、雌ネジ部が形成されている。
【００５４】
本実施形態の例では、第２流路１２が、軸受本体２を左右方向に貫通して形成されている。第２流路１２の延在方向に沿う両端部のうち、一端部（図２における右端部）は、軸受本体２の側面（外面）に開口しているとともに、この開口部分が流体を受け入れる流入口とされ、他端部（図２における左端部）は、プラグ（栓）により閉塞されている。
このフロントラムベアリング１Ｆでは、軸受本体２における第２流路１２のベアリング軸Ｏ方向に沿う位置と、第１流路１１のベアリング軸Ｏ方向に沿う位置とが、互いに同一である。つまり、ベアリング軸Ｏに垂直な１つの仮想平面内に、第１流路１１及び第２流路１２がともに配置されている。
【００５５】
軸受本体２において、第１流路１１の上方へ向けた延長線上に位置する部分には、第１流路１１と同軸に配置された開口孔６が形成されている。開口孔６は、軸受本体２の外面に開口し、第２流路１２を通して、第１流路１１の大径流路１７に連通している。具体的に本実施形態では、開口孔６が、第１流路１１の延在方向に対応して上下方向に延びており、第１流路１１の上方に位置する第２流路１２を通して、第１流路１１に連通している。また、開口孔６の上端は、軸受本体２の上面（外面）に開口し、開口孔６の下端は、第２流路１２に開口している。
【００５６】
開口孔６の内径は、後述するボルト状体９の軸部の外径よりも大きく、ボルト状体９の頭部の外径よりも小さい。従って、開口孔６内には、ボルト状体９の軸部を挿通可能であり、頭部は挿通不可である。
【００５７】
図４（ａ）、（ｂ）に示されるように、ボルト状体（取り付け筒体）９は、軸部と、該軸部よりも外径が大きい頭部と、を有している。図２において、このボルト状体９が軸受本体２に装着されたときに、ボルト状体９の中心軸Ｃは、第１流路１１の大径流路１７の延在方向に沿って上下方向に延びて配置される。
【００５８】
図４（ａ）において、ボルト状体９の軸部と頭部とは、中心軸Ｃを共通軸として互いに同軸に配置されている。
軸部は、ボルト状体９の中心軸Ｃ方向に沿って延びている。軸部は、オリフィス５が装着される筒状のオリフィスハウジング８と、頭部に連結される中実部１８と、中実部１８とオリフィスハウジング８とを接続する筒状の接続部１９と、を有している。
【００５９】
オリフィスハウジング８の外周面には、雄ネジ部が形成されている。また、オリフィスハウジング８の内周面には、雌ネジ部が形成されている。
図２において、オリフィスハウジング８の雄ネジ部が、大径流路１７の雌ネジ部に螺着することにより、オリフィスハウジング８（及びボルト状体９）は、第１流路１１に対して取り外し可能に装着される。つまり、軸受本体２にボルト状体９が取り付けられたときに、オリフィスハウジング８は、大径流路１７内に配設される。
【００６０】
本実施形態の例では、図２に示されるように、オリフィスハウジング８内に配設されるオリフィス５が、筒状をなしている。オリフィス５には、該オリフィス５をその中心軸方向に貫通する貫通孔が形成されており、この貫通孔がオリフィス孔（絞り孔）とされている。オリフィス５は、オリフィスハウジング８に対して同軸に配置される。オリフィス５の外周面には、雄ネジ部が形成されており、該雄ネジ部がオリフィスハウジング８の雌ネジ部に螺着することにより、オリフィス５は、オリフィスハウジング８に取り外し可能に装着される。
【００６１】
軸受本体２内においてオリフィス５は、オリフィスハウジング８が配設される位置に対応して配置される。具体的に、オリフィス５は、第１流路１１のうちポケット４に開口する部分（小径流路１６）と、第２流路１２と、の間に位置する第１流路１１の部分（大径流路１７）に配設される。
オリフィス５のオリフィス孔の内径（オリフィス径）は、例えば１ｍｍ未満に設定される。軸受本体２の内部に形成された流路のうち、オリフィス５に対応する部分は、流路の断面積が最も小さくされている。
【００６２】
図２に示される例では、オリフィス５の全長が、オリフィスハウジング８の下端から小径流路１６の上端までの距離よりも、長くされている。具体的には、オリフィスハウジング８の下端面に対して、オリフィス５の下端面が、下方に突出して配置されており、オリフィスハウジング８へのオリフィス５のねじ込み量（オリフィスハウジング８の中心軸Ｃ方向に沿う該オリフィスハウジング８に対するオリフィス５の挿入長さ）が、第１流路１１の延在する上下方向（上記中心軸Ｃ方向と同一の方向）に沿うオリフィスハウジング８の下端面から小径流路１６の上端縁までの長さよりも、大きくされている。
また、オリフィス５の外径が、第１流路１１の小径流路１６の内径よりも大きくされている。
これにより、第１流路１１の大径流路１７内において、オリフィス５がオリフィスハウジング８から脱落するようなことが防止されている。
【００６３】
図４（ａ）において、ボルト状体９の軸部の外径は、オリフィスハウジング８、中実部１８、接続部１９の順に小さくされている。
中実部１８は、中実の軸状をなしている。図２に示されるように、軸受本体２にボルト状体９が取り付けられたときに、中実部１８は、開口孔６内に配設される。
【００６４】
図２及び図４（ａ）、（ｂ）において、接続部１９の外周面には、中心軸Ｃ回りに互いに間隔をあけて複数の連通孔２０が開口している。接続部１９においてこれらの連通孔２０は、中心軸Ｃに直交する径方向に沿って延びており、互いに中心軸Ｃ回りに等間隔をあけて配置されているとともに、互いに中心軸Ｃ上で連通している。本実施形態の例では、接続部１９の外周面に、連通孔２０が４つ開口している。なお、接続部１９の外周面に開口する連通孔２０の数は、４つに限られるものではなく、例えば３つ以下や５つ以上であってもよい。また、これらの連通孔２０と、オリフィスハウジング８の内部（オリフィス５が配設される貫通孔）とは、互いに連通している。
【００６５】
図２に示されるように、軸受本体２にボルト状体９が取り付けられたときに、接続部１９は、第２流路１２内に配設される。そして、接続部１９の連通孔２０は、第１流路１１と第２流路１２とを連通する。具体的に、第２流路１２に開口する連通孔２０と、第１流路１１の大径流路１７とは、オリフィスハウジング８の貫通孔及びオリフィス５の貫通孔を通して互いに連通されており、これにより、第２流路１２と第１流路１１とが互いに連通している。
このように本実施形態では、有頂筒状をなすボルト状体９の内部を通して、第１流路１１と第２流路１２とが互いに連通する。
【００６６】
軸受本体２にボルト状体９が取り付けられたときに、該ボルト状体９の頭部は、軸受本体２の開口孔６を塞いで軸受本体２の上面（外面）に当接する。つまり、ボルト状体９の頭部は、開口孔６に取り外し可能に配設されて該開口孔６を閉じる栓部７とされている。
図２に示される例では、ボルト状体９の頭部と、軸受本体２の上面との間に、環状のパッキン（シール部材）２１が配設されている。
【００６７】
図１及び図２において、本実施形態のフロントラムベアリング１Ｆは、軸受本体２の内部に形成された流路内の流体圧を測定する圧力センサー２２と、軸受本体２の軸受孔３付近及びポケット４に保持される流体のうちいずれかの温度を測定する温度センサー２３と、を備えている。
また、ＤＩ加工装置におけるベアリング外部には、軸受本体２の流路に供給される流体の流量を測定する流量計２４と、流体軸受１に対してラム軸（主軸）を移動させる駆動部２５と、圧力センサー２２、温度センサー２３及び流量計２４により測定された各数値を表示するモニター（表示部）２６と、制御部２７と、が備えられる。
【００６８】
圧力センサー２２は、軸受孔３のポケット４からラム軸に作用する流体の圧力を測定する。具体的に、図２において圧力センサー２２は、ポケット４とオリフィス５との間に位置する第１流路１１の部分（小径流路１６）、及び、ポケット４のうち、いずれかの流体圧を測定する。圧力センサー２２は、複数のポケット４の数に対応して、軸受本体２に複数設けられている。本実施形態の例では、軸受孔３の内周面に４つのポケット４が開口しており、これに対応して、圧力センサー２２が軸受本体２に４つ配設されている。
【００６９】
具体的に、図１及び図２において、軸受本体２に取り付けられた複数の圧力センサー２２には、上部ポケット４の流体圧を測定するものが１つ、一対の側部ポケット４に連通する各第１流路１１の流体圧を測定するものが２つ、下部ポケット４の流体圧を測定するものが１つ、含まれる。
【００７０】
本実施形態においては、温度センサー２３が、軸受本体２の軸受孔３付近及びポケット４に保持される流体のうち、前記軸受孔３付近の温度を測定する。具体的には、温度センサー２３が、軸受本体２のうち、軸受孔３を形成する軸受メタル部１４の温度を測定する。本実施形態の例では、温度センサー２３が、軸受メタル部１４の外周面の温度を測定するように軸受本体２に配設されている。
【００７１】
温度センサー２３は、軸受孔３の内周面に設けられる複数のポケット４に対応して、軸受本体２に複数設けられている。本実施形態の例では、軸受孔３の内周面に４つのポケット４が形成されており、これに対応して、温度センサー２３が軸受本体２に４つ配設されている。また、温度センサー２３としては、例えば熱電対が用いられる。
【００７２】
詳しくは、軸受本体２に取り付けられた複数の温度センサー２３には、軸受メタル部１４のうち、上部ポケット４に対応する部分の温度を測定するもの（不図示）が１つ、一対の側部ポケット４に対応する各部分の温度を測定するものが２つ、下部ポケット４に対応する部分の温度を測定するものが１つ、含まれる。
【００７３】
図２に示される例では、４つのポケットのうち、一対の側部ポケット４に対応して軸受本体２に設けられた一対の圧力センサー２２及び一対の温度センサー２３が、ベアリング軸Ｏに垂直な１つの仮想平面内に配置されている。また、下部ポケット４に対応して軸受本体２に設けられた温度センサー２３も、上記仮想平面内に配置されている。
具体的には、軸受本体２に４つずつ設けられた圧力センサー２２及び温度センサー２３のうち、上記した２つの圧力センサー２２及び３つの温度センサー２３は、軸受本体２の本体部１３における板状部に配置されており、上記以外の２つの圧力センサー２２及び１つの温度センサー２３は、本体部１３における筒状部に配設されている。
【００７４】
流量計２４は、油等の流体を加圧して軸受本体２の流路に供給する加圧流体供給源（不図示）と、軸受本体２の流路と、の間の配管経路に設けられている。本実施形態の例では、流量計２４は、１つのフロントラムベアリング１Ｆに対して、１つ設けられている。ただしこれに限定されるものではなく、例えば流量計２４は、フロントラムベアリング１Ｆの複数のポケット４に対応して、複数設けられていてもよい。
【００７５】
流量計２４から軸受本体２へ向けて流出した流体は、該軸受本体２の外部又は内部で分岐された流路内を通って、各ポケット４へと供給される。なお、図２においては、流量計２４から、上部ポケット４及び一対の側部ポケット４に連通する第２流路１２へ向けた配管経路のみを図示しており、流量計２４から、下部ポケット４に連通する第１流路１１へ向けた配管経路については図示を省略している。
【００７６】
本実施形態では、駆動部２５が、一対のラムベアリング１Ｆ、１Ｒに対して、ラム軸をその中心軸方向（ベアリング軸Ｏ方向）に往復移動させる。
モニター２６には、圧力センサー２２により測定された圧力値、温度センサー２３により測定された温度値、及び、流量計２４により測定された流量値（単位時間あたりの流体の流量）が表示される。また、モニター２６には、圧力センサー２２、温度センサー２３及び流量計２４により測定された各数値の継時的な測定結果を示すグラフが表示可能である。また、モニター２６には、必要に応じて各数値に関連するアラーム値（異常判定値）が表示される。
制御部２７は、圧力センサー２２、温度センサー２３、流量計２４、駆動部２５及びモニター２６等に、電気的に接続されている。
【００７７】
次に、図１及び図３に示されるリアラムベアリング１Ｒ及びそのオリフィス着脱構造１０について説明する。なお、前述したフロントラムベアリング１Ｆと同じ構成要素については詳細な説明を省略し、主として異なる点についてのみ、下記に説明する。
【００７８】
リアラムベアリング１Ｒの軸受本体２は、その本体部１３が直方体状をなしている。本体部１３には、ラムベアリング１Ｆ、１Ｒの各軸受孔３同士をベアリング軸Ｏ上に同軸に位置合わせ（芯合わせ）するための調整ネジが複数配設されている。
【００７９】
図３に示されるように、このリアラムベアリング１Ｒでは、軸受本体２における第１流路１１のベアリング軸Ｏ方向に沿う位置と、第２流路１２のベアリング軸Ｏ方向に沿う位置とが、互いに異なっている。つまり、第１流路１１が配置されるベアリング軸Ｏに垂直な仮想平面と、第２流路１２が配置されるベアリング軸Ｏに垂直な仮想平面とは、互いにベアリング軸Ｏ方向に離間する異なった面である。
【００８０】
また、軸受本体２において開口孔６は、第２流路１２を通ることなく、直接的に第１流路１１の大径流路１７に接続している。そして、開口孔６と第１流路１１との接続部分に対して、第２流路１２が、ベアリング軸Ｏ方向から接続しているとともに、第１流路１１に連通する。
具体的に、第１流路１１と第２流路１２とが交差して接続する部分には、ボルト状体９における接続部１９及びその連通孔２０が配置されており、該連通孔２０を通して、第１流路１１と第２流路１２とが連通している。
【００８１】
このリアラムベアリング１Ｒにおいては、軸受孔３に形成される複数のポケット４のうち、所定のポケット４に対応して軸受本体２に設けられた圧力センサー２２と温度センサー２３とが、ベアリング軸Ｏ方向に互いに離間して配置されている。
【００８２】
リアラムベアリング１Ｒに接続される流量計２４としては、前述したフロントラムベアリング１Ｆに接続される流量計２４とは、別体が用いられる。つまり、本実施形態の例では、ＤＩ加工装置に、各ラムベアリング１Ｆ、１Ｒ用として２つの流量計２４が設けられている。
図２及び図３に示される駆動部２５、モニター２６及び制御部２７については、両ラムベアリング１Ｆ、１Ｒ共用であり、同一品（共通品）である。
【００８３】
以上説明した本実施形態の流体軸受１（１Ｆ、１Ｒ）のオリフィス着脱構造１０によれば、軸受本体２の内部に、互いに交差して延びるとともに互いに連通する、第１流路１１と第２流路１２とが形成されている。第１流路１１には、流路を部分的に狭めるためのオリフィス５が着脱可能に配設されており、この第１流路１１はポケット４に連通する。そして、ポケット４に保持される流体は、まず軸受本体２の外部から第２流路１２に供給され、該第２流路１２から第１流路１１に流入し、該第１流路１１のオリフィス５を通ってポケット４に流入する。
【００８４】
また、第１流路１１の延長線上には、軸受本体２の外面に開口する開口孔６が形成されており、該開口孔６は栓部７により塞がれている。従って、開口孔６から栓部７を取り外すことにより、該開口孔６を通して、軸受本体２の外部から真っ直ぐに第１流路１１内にアクセスすることが可能になる。
【００８５】
つまり本実施形態によれば、開口孔６から栓部７を取り外すのみでオリフィス５に容易にアクセスすることができ、オリフィス５を第１流路１１に対して着脱する作業を簡単に行うことができる。このため、オリフィス５を取り外し、清掃し、再び装着する作業に手間がかからず、従来では半日程度もかかっていた作業時間が例えば３０分程度で足り、作業性が大幅に向上する。
【００８６】
以上より本実施形態によれば、オリフィス５を容易に着脱することができる。またこれにより、オリフィス５を定期的に又は必要に応じて清掃するための作業時間を削減でき、その結果、流体軸受１を設けたＤＩ加工装置の生産性を向上できる。
【００８７】
また本実施形態では、第１流路１１に着脱可能に配設されたオリフィスハウジング８内に、オリフィス５が装着されているので、下記の作用効果を奏する。
すなわち、一般にオリフィス５は小さな部品であることから、例えば本実施形態とは異なり、オリフィス５が第１流路１１に対して、オリフィスハウジング８を介することなく直接的に装着されていると、オリフィス５の着脱を行う際、作業がしにくかったり、オリフィス５を紛失したりするおそれがある。
【００８８】
そこで本実施形態で説明したように、第１流路１１にオリフィスハウジング８を設け、該オリフィスハウジング８内にオリフィス５を装着することとすれば、外形の大きいオリフィスハウジング８を第１流路１１に対して着脱することにより、オリフィス５の着脱作業を容易に行うことができる。
従って、オリフィス５の着脱及び清掃作業がより簡単となって作業性が向上し、かつ、オリフィス５の紛失等も防止できる。
【００８９】
また本実施形態では、栓部７とオリフィスハウジング８とが、ボルト状体（取り付け筒体）９に一体に形成されている。また、ボルト状体９には、第１流路１１と第２流路１２とを連通する連通孔２０が形成されている。従って、油等の流体は、第２流路１２からボルト状体９の連通孔２０を通って、第１流路１１へと流される。
【００９０】
上記構成によれば、軸受本体２の外面に開口する開口孔６から、ボルト状体９の栓部７を取り外すことにより、該栓部７と一体に形成されたオリフィスハウジング８も一緒に取り外されるため、オリフィス５の着脱作業をより簡単に行うことができる。また、流体軸受１のオリフィス着脱構造１０を構成する部品点数が削減される。
【００９１】
なお、本実施形態では、軸受本体２に対してボルト状体９の頭部を回転させることで、第１流路１１の大径流路１７の雌ネジ部と、オリフィスハウジング８の雄ネジ部との螺着を解除して、開口孔６から栓部７を取り外すことができるが、このような構成に限定されるものではない。
【００９２】
例えば、第１流路１１の大径流路１７の雌ネジ部と、オリフィスハウジング８の雄ネジ部とを螺着させる代わりに、開口孔６の内周面に雌ネジ部を形成し、ボルト状体９の中実部１８の外周面に雄ネジ部を形成して、これらが互いに螺着するように構成してもよい。この場合、ボルト状体９を軸受本体２に螺着するときに、該ボルト状体９において連通孔２０が形成された接続部１９に対して、大きな外力（回転力）が作用することを抑制できる。ただしこの場合、オリフィス５の機能を安定させるため、第１流路１１の大径流路１７内にオリフィスハウジング８が摺接しつつ嵌合することが好ましい。
或いは、上述した螺着の代わりに、単なる嵌合や抜け止め機構等によって、ボルト状体９の栓部７が開口孔６に、オリフィスハウジング８が第１流路１１に、それぞれ取り付けられていてもよい。
【００９３】
また本実施形態では、ボルト状体９の外周面に、その中心軸Ｃ回りに互いに間隔をあけて複数の連通孔２０が開口している。従って、ボルト状体９のオリフィスハウジング８を第１流路１１に配設したときに、該ボルト状体９の中心軸Ｃ回りの配置位置に係わらず、連通孔２０が第２流路１２に確実に開口し、該連通孔２０を通して第１流路１１と第２流路１２とが安定して連通させられる。
【００９４】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態に係る流体軸受３１のオリフィス着脱構造４０について、図５〜図８を参照して説明する。
なお、前述の第１実施形態と同じ構成要素については詳細な説明を省略し、主として異なる点についてのみ、下記に説明する。
【００９５】
本実施形態においても、ラムベアリング３１Ｆ、３１Ｒ（流体軸受３１）は、カップ状体からＤＩ缶を作製するＤＩ加工装置に設けられる。これらのラムベアリング３１Ｆ、３１Ｒは、ハイドロスタティック軸受や静圧軸受等と呼ばれる流体軸受３１である。一対のラムベアリング３１Ｆ、３１Ｒは、水平方向に延びるラム軸（不図示）に対応して、水平方向に互いに離間して配置されている。
【００９６】
図５に示されるように、本実施形態のフロントラムベアリング３１Ｆ及びそのオリフィス着脱構造４０は、下部ポケット４に連通する流路の構造、及び、ボルト状体９を有していない点等において、前述の第１実施形態で説明したフロントラムベアリング１Ｆ及びそのオリフィス着脱構造１０とは異なっている。
【００９７】
図５において、軸受孔３に開口する４つのポケット４のうち、上部ポケット４及び一対の側部ポケット４に連通する３つの第１流路１１（詳しくは、第１流路１１のうちオリフィス５が配設される大径流路１７）は、上下方向（縦方向）に延びており、前記３つの第１流路１１に対して、左右方向（横方向）に延びる第２流路１２が直交するように交差（接続）していて、第１流路１１と第２流路１２とが互いに連通している。
【００９８】
また、軸受孔３に開口する４つのポケット４のうち、下部ポケット４に連通する第１流路１１は、その小径流路１６が下部ポケット４から下方へ向けて延びた後、側方（図５における左側）に向きを変えるように延びている。そして、下部ポケット４に連通する第１流路１１の大径流路１７は、左右方向（横方向）に延びており、該第１流路１１に対して、上下方向（縦方向）に延びる第２流路１２が直交するように交差（接続）していて、第１流路１１と第２流路１２とが互いに連通している。
【００９９】
つまり本実施形態では、軸受本体２の内部に、上部ポケット４及び一対の側部ポケット４に流体を供給するための第２流路１２と、下部ポケット４に流体を供給するための第２流路１２の、２つの第２流路１２が形成されている。
下部ポケット４に連通する第２流路１２は、軸受本体２の下面（外面）に開口しており、この開口部分が流体を受け入れる流入口とされている。
【０１００】
軸受本体２において、下部ポケット４に連通する第１流路１１の側方（図５における左側）へ向けた延長線上に位置する部分には、該第１流路１１と同軸に配置された開口孔６が形成されている。この開口孔６は、軸受本体２の側面（外面）に開口し、第１流路１１の大径流路１７に接続している。前記開口孔６は、第１流路１１の延在方向に対応して左右方向に延びている。
【０１０１】
軸受本体２に形成された４つの開口孔６の内径は、各開口孔６に同軸配置される第１流路１１の大径流路１７の内径よりも、大きくされている。また、開口孔６の内周面には、雌ネジ部が形成されている。
そして、本実施形態では、開口孔６に装着される栓部７と、第１流路１１に装着されるオリフィスハウジング８とが、互いに別体に設けられている。
【０１０２】
栓部７は、円柱状又は円板状をなすプラグであり、該栓部７の外周面には雄ネジ部が形成されている。また、栓部７の中心軸方向を向く端面には、六角レンチ等の作業用工具を係合可能な操作穴が形成されている。そして、開口孔６に栓部７を螺着することにより、開口孔６を閉じることができ、螺着を解除することにより、開口孔６を開けることができる。つまり栓部７は、開口孔６に対して単独で着脱可能である。
【０１０３】
図７及び図８（ａ）、（ｂ）に示されるように、オリフィスハウジング８は、円筒状をなしている。オリフィスハウジング８の外周面には、雄ネジ部が形成されている。
オリフィスハウジング８の内周面のうち、中心軸Ｃ方向に沿う一端部（上端部）には、六角レンチ等の作業用工具を係合可能な操作穴が形成されている。また、オリフィスハウジング８の内周面のうち、中心軸Ｃ方向に沿う他端部（下端部）には、雌ネジ部が形成されている。この雌ネジ部に、オリフィス５の雄ネジ部が螺着することにより、オリフィスハウジング８内にオリフィス５が着脱可能に装着される。また、オリフィスハウジング８の内周面のうち、中心軸Ｃ方向に沿う両端部間に位置する中間部の内径は、両端部における各内径よりも小さくされている。
図示の例では、オリフィス５の内周面における中心軸Ｃ方向の端部に、六角レンチ等の作業用工具を係合可能な操作穴が形成されている。
【０１０４】
図６に示されるように、本実施形態のリアラムベアリング３１Ｒ及びそのオリフィス着脱構造４０は、ボルト状体９を有していない点等において、前述の第１実施形態で説明したリアラムベアリング１Ｒ及びそのオリフィス着脱構造１０とは異なっている。
【０１０５】
このリアラムベアリング３１Ｒは、上述したフロントラムベアリング３１Ｆと同様に、開口孔６に装着される栓部７と、第１流路１１に装着されるオリフィスハウジング８とが、互いに別体に設けられている。リアラムベアリング３１Ｒに設けられる栓部７、オリフィスハウジング８及びオリフィス５等の構成については、上述したフロントラムベアリング３１Ｆの構成と同一のため、説明を省略する。
【０１０６】
以上説明した本実施形態の流体軸受３１（３１Ｆ、３１Ｒ）のオリフィス着脱構造４０によれば、前述した第１実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
また本実施形態では、栓部７とオリフィスハウジング８とが別体に設けられているので、第１実施形態のように栓部７とオリフィスハウジング８とが一体に形成された構成と比べて、第１流路１１と第２流路１２との接続部分における流路の断面積を大きく確保することができる。また、第１実施形態のような連通孔２０を形成する必要がないため、ボルト状体９に栓部７とオリフィスハウジング８とが一体に形成された場合に比べて、部品の剛性を確保しやすい。
【０１０７】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【０１０８】
例えば、前述の実施形態では、流体軸受１、３１及びそのオリフィス着脱構造１０、４０が、カップ状体にＤＩ加工を施してＤＩ缶とするＤＩ加工装置に設けられることとしたが、これに限定されるものではない。つまり、本発明の流体軸受及びそのオリフィス着脱構造は、前述したＤＩ加工装置以外の種々の装置に対して設けることが可能であるとともに、前述同様に優れた作用効果を奏する。
【０１０９】
また、前述の実施形態では、一対のラムベアリング１Ｆ、１Ｒ（３１Ｆ、３１Ｒ）が、ラム軸（主軸）を中心軸Ｏ方向に移動自在（つまりスライド移動自在）に軸支することとしたが、これに限定されるものではない。すなわち、一対のラムベアリング１Ｆ、１Ｒ（３１Ｆ、３１Ｒ）は、ラム軸をその中心軸Ｏ回りに回転移動自在に軸支することとしてもよい。この場合、駆動部２５は、一対のラムベアリング１Ｆ、１Ｒ（３１Ｆ、３１Ｒ）に対して、ラム軸をその中心軸Ｏ回りに回転移動させる。
【０１１０】
また、前述の実施形態では、一対のラムベアリング１Ｆ、１Ｒ（３１Ｆ、３１Ｒ）が、水平方向に延びるラム軸に対応して、水平方向に互いに離間して配置されることとしたが、これに限定されるものではない。例えば、一対のラムベアリング１Ｆ、１Ｒ（３１Ｆ、３１Ｒ）が、鉛直方向に延びるラム軸に対応して、鉛直方向に互いに離間して配置されていてもよい。
【０１１１】
また、前述の実施形態では、軸受孔３に４つのポケット４が開口しており、各ポケット４に対応して軸受本体２の内部に形成された４つの第１流路１１のうち、３つの第１流路１１に対して、１つの第２流路１２が連通するとしたが、これに限定されるものではない。例えば、軸受本体２の内部に複数設けられた第１流路１１の数に対応して、複数の第２流路１２が形成されるとともに、これらの第１流路１１と第２流路１２とが、一対一の関係で互いに連通していてもよい。或いは、すべての第１流路１１に対して、１つの第２流路１２が連通していてもよい。
【０１１２】
また、前述の実施形態では、軸受本体２において、第１流路１１（大径流路１７）の上方へ向けた延長線上又は側方へ向けた延長線上に位置する部分に、該第１流路１１と同軸に開口孔６が形成されている例を挙げたが、これらに限定されるものではない。すなわち、軸受本体２において、開口孔６は、第１流路１１の上記以外の下方や斜め方向へ向けた延長線上に位置する部分に、該第１流路１１と同軸に配置されていてもよい。
また、開口孔６は、第１流路１１の延長線上に位置していればよいことから、開口孔６の中心軸と、第１流路１１（大径流路１７）の中心軸とが、互いに一致していなくてもよい（つまり上述した同軸配置に限らない）。なお、開口孔６を第１流路１１と同軸に配置しない場合には、その軸間距離に応じて、開口孔６の内径を大きく確保することが好ましい。
【０１１３】
また、前述の実施形態では、オリフィス５が、オリフィスハウジング８内に装着され、該オリフィスハウジング８を介して間接的に、第１流路１１（大径流路１７）に着脱可能に配設されていることとしたが、これに限定されるものではない。すなわち、オリフィス５は、オリフィスハウジング８を介することなく直接的に、第１流路１１に対して着脱可能に配設されていてもよい。この場合、着脱時の作業性に影響が生じないように、オリフィス５の外径を所定値以上に大きく形成しておくことが好ましい。またこの場合、第１実施形態においては、ボルト状体９にオリフィス５が一体に形成されることになる。
【０１１４】
また、前述の実施形態では、オリフィス５が筒状をなしているとしたが、これに限定されるものではない。例えば、オリフィス５は、板状をなしており、その中心に円孔状のオリフィス孔（絞り孔）が形成されていてもよい。
【０１１５】
また、第１実施形態では、栓部７とオリフィスハウジング８とが一体に形成される取り付け筒体が、ボルト状体９であることとしたが、取り付け筒体の形状は、ボルト状に限定されるものではない。例えば、取り付け筒体は、全長にわたって外径が略一定に形成されたイモネジ状体であってもよい。
【０１１６】
また、第１実施形態では、ボルト状体９の外周面に、その中心軸Ｃ回りに互いに間隔をあけて複数の連通孔２０が開口しているとしたが、これに限定されるものではない。すなわち、例えば、軸受本体２にボルト状体９を取り付けたときに、第２流路１２に対して連通孔２０を確実に開口させて配置できる場合などにおいては、ボルト状体９の連通孔２０は、１つのみであってもよい。
【０１１７】
その他、本発明の趣旨から逸脱しない範囲において、前述の実施形態、変形例及びなお書き等で説明した各構成（構成要素）を組み合わせてもよく、また、構成の付加、省略、置換、その他の変更が可能である。また本発明は、前述した実施形態によって限定されることはなく、特許請求の範囲によってのみ限定される。
【産業上の利用可能性】
【０１１８】
本発明の流体軸受のオリフィス着脱構造は、オリフィスを容易に着脱することができる。またこれにより、オリフィスを定期的に又は必要に応じて清掃するための作業時間を削減でき、その結果、流体軸受を設けた装置の生産性等を向上できる。従って、産業上の利用可能性を有する。
【符号の説明】
【０１１９】
１、３１  流体軸受
１Ｆ、３１Ｆ  フロントラムベアリング（流体軸受）
１Ｒ、３１Ｒ  リアラムベアリング（流体軸受）
２  軸受本体
３  軸受孔
４  ポケット
５  オリフィス
６  開口孔
７  栓部
８  オリフィスハウジング
９  ボルト状体（取り付け筒体）
１０、４０  流体軸受のオリフィス着脱構造
１１  第１流路
１２  第２流路
２０  連通孔
Ｃ  ボルト状体の中心軸（取り付け筒体の中心軸）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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