(57)【要約】【課題】半導体、液晶ディスプレイ、又は電池の製造に使用される薬液又は電解液において、薬液使用者が薬液調製供給装置を購入運用したり薬液やその原料を調達したりせずに必要な濃度の薬液を必要な量だけ常時供給を受けられる薬液の販売方法、及び、これに必要な薬液調製供給装置を提供する。【解決手段】薬液調製供給装置は薬液を供給する配管に積算流量計を備える。薬液販売者所有の薬液調製供給装置を薬液使用設備に接続し、これを用いて薬液販売者の調達した薬液原料から供給すべき薬液を調製する。調製された薬液は、供給リクエストに応じて、供給量を積算流量計で計測しながら薬液使用設備に供給される。薬液販売者は、所定期間ごとに計測された積算流量から薬液の使用料金を計算し、これを薬液使用者に請求する。積算流量計に通信機能を持ったものを採用すれば、ネットワークを介して、遠隔で積算流量を監視し、薬液の販売を行うことができる。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体又は液晶ディスプレイの製造プロセスで用いられる薬液を使用する設備に前記薬液を調製して供給する薬液調製供給装置であって、
調製された前記薬液を前記設備に送液する配管に積算流量計を備えた薬液調製供給装置。
【請求項２】
前記積算流量計が通信機能を備える請求項１に記載の薬液調製供給装置。
【請求項３】
半導体又は液晶ディスプレイの製造プロセスで用いられる薬液を販売する方法において、
前記薬液を使用する設備に積算流量計を備えた配管を介して前記薬液を供給する販売者の所有の薬液調製供給装置により、前記販売者が調達した前記薬液の原料から、前記薬液の使用者が求める成分濃度の前記薬液を調製し、
前記薬液の使用者の要求に応じて、前記積算流量計により積算流量を測定しながら、調製された前記薬液を前記設備に供給し、
前記積算流量計により測定された所定期間の積算流量に基づいて算出される前記薬液の使用料金を前記薬液の使用者に請求すること、
を含む薬液の販売方法。
【請求項４】
半導体又は液晶ディスプレイの製造プロセスで用いられる薬液を使用する設備に前記薬液を調製して供給する装置の配管に備えられた通信機能を有する積算流量計、及び、サーバシステム、が接続されたネットワークを利用して前記薬液を販売する方法において、
前記サーバシステムが前記ネットワークを介して前記各積算流量計の計測した積算流量を取得するステップと、
前記サーバシステムが取得した前記積算流量の履歴を前記積算流量計ごとに記憶するステップと、
前記サーバシステムが前記履歴に基づいて前記設備ごとに所定期間における前記薬液の使用料金を算出するステップと、
前記薬液の使用料金を前記薬液の使用者に請求するステップと、
を含む薬液の販売方法。
【請求項５】
薬液を販売するための薬液販売システムであって、
半導体又は液晶ディスプレイの製造プロセスで用いられる薬液を使用する設備に前記薬液を調製して供給する装置の配管に備えられた通信機能を有する積算流量計と、前記積算流量計とネットワークを介して接続されるサーバシステムとを備え、
前記サーバシステムは、
前記ネットワークを介して前記積算流量計の計測した積算流量を受信する受信部と、
受信した前記積算流量の履歴を前記積算流量計ごとに記憶する記憶部と、
前記履歴に基づいて前記設備ごとに所定期間における前記薬液の使用料金を算出する算出部と、
を備える薬液販売システム。
【請求項６】
電池の製造に用いられる電解液を調製して供給する電解液調製供給装置であって、
調製された前記電解液を送液する配管に積算流量計を備えた電解液調製供給装置。
【請求項７】
前記積算流量計が通信機能を備える請求項６に記載の電解液調製供給装置。
【請求項８】
電池の製造に用いられる電解液を販売する方法において、
積算流量計を備えた配管を介して前記電解液を供給する販売者の所有の電解液調製供給装置により、前記販売者が調達した前記電解液の原料から、前記電解液の使用者が求める成分濃度の前記電解液を調製し、
前記電解液の使用者の要求に応じて、前記積算流量計により積算流量を測定しながら、調製された前記電解液を供給し、
前記積算流量計により測定された所定期間の積算流量に基づいて算出される前記電解液の使用料金を前記電解液の使用者に請求すること、
を含む電解液の販売方法。
【請求項９】
電池の製造に用いられる電解液を調製して電解液を使用する設備に供給する装置の配管に備えられた通信機能を有する積算流量計、及び、サーバシステム、が接続されたネットワークを利用して前記電解液を販売する方法において、
前記サーバシステムが前記ネットワークを介して前記各積算流量計の計測した積算流量を取得するステップと、
前記サーバシステムが取得した前記積算流量の履歴を前記積算流量計ごとに記憶するステップと、
前記サーバシステムが前記履歴に基づいて前記設備ごとに所定期間における前記電解液の使用料金を算出するステップと、
前記電解液の使用料金を前記電解液の使用者に請求するステップと、
を含む電解液の販売方法。
【請求項１０】
電解液を販売するための電解液販売システムであって、
電池の製造に用いられる電解液を調製して電解液を使用する設備に供給する装置の配管に備えられた通信機能を有する積算流量計と、前記積算流量計とネットワークを介して接続されるサーバシステムとを備え、
前記サーバシステムは、
前記ネットワークを介して前記積算流量計の計測した積算流量を受信する受信部と、
受信した前記積算流量の履歴を前記積算流量計ごとに記憶する記憶部と、
前記履歴に基づいて前記設備ごとに所定期間における前記電解液の使用料金を算出する算出部と、
を備える電解液販売システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体又は液晶ディスプレイの製造プロセスで使用される各種薬液を調製して供給する装置、調製された各種薬液の販売方法、及び、薬液販売システム、並びに、各種電池の製造に用いられる各種電解液を調製して供給する装置、調製された各種電解液の販売方法、及び、電解液販売システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体又は液晶ディスプレイの製造プロセスでは、例えば、現像液、エッチング液、剥離液、帯電防止剤、洗浄液などの各種薬液が使用されている。また、電池の製造には各種の電解液が用いられている。これらの薬液又は電解液（以下、特に区別を必要としない場合には薬液と電解液とをまとめて「薬液」という。）は、その性能が最大限に発揮されるように、必要に応じた所定の濃度に調製されて使用される。
【０００３】
従来は、これらの薬液の使用者は、次のいずれかの形態により、使用する薬液を用意して使用していた。すなわち、第一の形態は、必要とされる濃度の各種薬液を薬液メーカーから購入して使用するものである。第二の形態は、各種薬液を必要とされる濃度に調製して供給する装置（以下「薬液調製供給装置」ということがある。）を装置メーカーから購入して薬液を使用する設備に組み込み、この装置により薬液の原料から必要とされる濃度の薬液を自前で製造しながら使用するものである。
【０００４】
例えば、特許文献１や特許文献２は薬液調製供給装置を開示する。特許文献１では、固体原料からシュウ酸を主成分とするエッチング液を調製する薬液調製供給装置が開示されている。また、特許文献２では、濃厚な現像液の原液に純水を加えて所定濃度に希釈された現像液を調製する薬液調製供給装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−２０９０９２号公報
【特許文献２】特開２００２−３２４７５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、従来の態様では、薬液を使用する側（以下「使用者側」ということがある。）が、必要とされる濃度の薬液を、必要の都度、購入して調達しなければならなかったり、あるいは、特許文献１や２に記載されているような薬液調製供給装置を購入して運用しなければならなかった。
【０００７】
そのため、必要とされる濃度の薬液を必要の都度調達する負担、薬液の原料を必要の都度調達する負担、あるいは、薬液調製供給装置を購入して運用し維持管理する負担を、使用者側がずっと背負い続けなければならなかった。
【０００８】
本発明は、上記の諸課題に鑑みなされたものである。すなわち、本発明は、使用者側が上記のような負担を背負うことなく薬液を使用することを可能にする薬液調製供給装置、薬液の販売方法及び薬液販売システム、並びに、電解液調製供給装置、電解液の販売方法及び電解液販売システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するために、本発明の薬液調製供給装置は、半導体又は液晶ディスプレイの製造プロセスで用いられる薬液を使用する設備に薬液を調製して供給する薬液調製供給装置であって、調製された薬液を設備に送液する配管に積算流量計を備える。
【００１０】
前記目的を達成するために、本発明の電解液調製供給装置は、電池の製造に用いられる電解液を調製して供給する電解液調製供給装置であって、調製された電解液を送液する配管に積算流量計を備える。
【００１１】
本発明の薬液調製供給装置又は電解液調製供給装置によれば、調製された薬液又は電解液を使用者側の設備に供給するための配管に積算流量計が備え付けられているので、所定期間（例えば一週間とか一か月とか）ごとに使用者側の設備に供給した薬液又は電解液の量を把握することができる。この薬液又は電解液の量に、薬液又は電解液の単位量当たりの料金を乗じるなどして薬液又は電解液の使用料金とすれば、使用者側に供給した薬液又は電解液の料金を請求することが可能となる。
【００１２】
前記目的を達成するために、本発明の薬液調製供給装置又は電解液調製供給装置は、積算流量計が通信機能を備える。
【００１３】
本発明の薬液調製供給装置又は電解液調製供給装置によれば、各使用者側の工場で使われている積算流量計をネットワークに接続することができるので、積算流量計の測定する供給量の積算値などの各種測定データを、積算流量計のメーターを検針するために使用者側の工場に出向かなくても、当該ネットワークに接続されたサーバシステムにより遠隔で監視することが可能となる。
【００１４】
前記目的を達成するために、本発明の薬液の販売方法は、半導体又は液晶ディスプレイの製造プロセスで用いられる薬液を販売する方法において、薬液を使用する設備に積算流量計を備えた配管を介して薬液を供給する販売者の所有の薬液調製供給装置により、販売者が調達した薬液の原料から、薬液の使用者が求める成分濃度の薬液を調製し、薬液の使用者の要求に応じて、積算流量計により積算流量を測定しながら、調製された薬液を設備に供給し、積算流量計により測定された所定期間の積算流量に基づいて算出される薬液の使用料金を薬液の使用者に請求すること、を含む。
【００１５】
前記目的を達成するために、本発明の電解液の販売方法は、電池の製造に用いられる電解液を販売する方法において、積算流量計を備えた配管を介して電解液を供給する販売者の所有の電解液調製供給装置により、前記販売者が調達した電解液の原料から、電解液の使用者が求める成分濃度の電解液を調製し、電解液の使用者の要求に応じて、積算流量計により積算流量を測定しながら、調製された電解液を供給し、積算流量計により測定された所定期間の積算流量に基づいて算出される電解液の使用料金を電解液の使用者に請求すること、を含む。
【００１６】
本発明の薬液又は電解液の販売方法によれば、販売者側の所有物件として薬液調製供給装置又は電解液調製供給装置を使用者側の工場に設置し使用者側設備と接続するので、使用者側は薬液調製供給装置又は電解液調製供給装置を購入する必要がない。販売者側の所有物件であるので、使用者側はこれを維持管理する負担も負わない。また、薬液の原料も販売者側が調達するので、使用者側は薬液又は電解液の原料を調達する負担も負わない。使用者側はただ単に使用する薬液又は電解液の供給を受けるだけであり、使用者が供給を受けた薬液又は電解液の使用料金を支払うだけの薬液又は電解液の販売形態が実現できる。
【００１７】
前記目的を達成するために、本発明の薬液の販売方法は、半導体又は液晶ディスプレイの製造プロセスで用いられる薬液を使用する設備に薬液を調製して供給する装置の配管に備えられた通信機能を有する積算流量計、及び、サーバシステム、が接続されたネットワークを利用して薬液を販売する方法において、サーバシステムがネットワークを介して各積算流量計の計測した積算流量を取得するステップと、サーバシステムが取得した積算流量の履歴を積算流量計ごとに記憶するステップと、サーバシステムが履歴に基づいて設備ごとに所定期間における薬液の使用料金を算出するステップと、薬液の使用料金を薬液の使用者に請求するステップと、を含む。
【００１８】
前記目的を達成するために、薬液を販売するための薬液販売システムは、半導体又は液晶ディスプレイの製造プロセスで用いられる薬液を使用する設備に薬液を調製して供給する装置の配管に備えられた通信機能を有する積算流量計と、積算流量計とネットワークを介して接続されるサーバシステムとを備え、サーバシステムは、ネットワークを介して積算流量計の計測した積算流量を受信する受信部と、受信した積算流量の履歴を積算流量計ごとに記憶する記憶部と、履歴に基づいて設備ごとに所定期間における前記薬液の使用料金を算出する算出部と、を備える。
【００１９】
前記目的を達成するために、本発明の電解液の販売方法は、電池の製造に用いられる電解液を調製して電解液を使用する設備に供給する装置の配管に備えられた通信機能を有する積算流量計、及び、サーバシステム、が接続されたネットワークを利用して電解液を販売する方法において、サーバシステムがネットワークを介して各積算流量計の計測した積算流量を取得するステップと、サーバシステムが取得した積算流量の履歴を積算流量計ごとに記憶するステップと、サーバシステムが履歴に基づいて設備ごとに所定期間における電解液の使用料金を算出するステップと、電解液の使用料金を電解液の使用者に請求するステップと、を含む。
【００２０】
前記目的を達成するために、電解液を販売するための電解液販売システムは、設備に、電池の製造に用いられる電解液を調製して電解液を使用する設備に供給する装置の配管に備えられた通信機能を有する積算流量計と、積算流量計とネットワークを介して接続されるサーバシステムとを備え、サーバシステムは、ネットワークを介して積算流量計の計測した積算流量を受信する受信部と、受信した積算流量の履歴を積算流量計ごとに記憶する記憶部と、履歴に基づいて設備ごとに所定期間における電解液の使用料金を算出する算出部と、を備える。
【００２１】
本発明の薬液又は電解液の販売方法によれば、各使用者の工場で使われている積算流量計をネットワークに接続されたサーバシステムにより遠隔で一元的に監視することができるので、積算流量計のメーターを検針するために使用者の工場に出向く必要がない。使用者側設備に供給した薬液又は電解液の量に応じて、薬液の使用者に薬液の使用料金を、又は、電解液の使用者に電解液の使用料金を、請求することが可能となる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、積算流量計を備えた薬液調製供給装置により、今まで無かった新しい薬液の販売方法を実現することができる。本発明によれば、積算流量計を備えた電解液調製供給装置により、今まで無かった新しい電解液の販売方法を実現することができる。
【００２３】
本発明によれば、薬液使用者は、薬液やその原料を調達したり薬液調製供給装置を購入したり維持管理したりする負担を背負わずに、使用した薬液の量に応じた使用料金を支払うだけで、所定の濃度の薬液を入手することができる。
【００２４】
本発明によれば、薬液販売者は、複数のサイトで使用されている各薬液調製供給装置の積算流量計を遠隔で一元的に監視することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】薬液調製供給装置の模式図である。
【図２】変形例の薬液調製供給装置の模式図である。
【図３】薬液の販売方法を説明するためのフローチャート図である。
【図４】薬液販売システムの構成を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、適宜図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。ただし、これらの実施の形態に記載されている装置等の形状、大きさ、寸法比、その相対配置などは、とくに特定的な記載がない限り、本発明の範囲を図示されているもののみに限定するものではない。単なる説明例として、模式的に図示しているに過ぎない。
【００２７】
また、以下の説明では、半導体又は液晶ディスプレイの製造プロセスで用いられる薬液の具体例として、現像工程で現像液として主に使われる２．３８％のテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液（以下、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドをＴＭＡＨという。）を、適宜用いて説明する。
【００２８】
ただし、本発明が適用される薬液はこれに限定されるものではない。本発明が適用できる他の薬液の例としては、現像液のほかに、エッチング液、剥離液、帯電防止剤、又は、洗浄液などを挙げることができる。
【００２９】
これらの薬液は、それぞれ、さらに多様な種類や組成の薬液が存在する。例えば、現像液としては、他に、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウムなどの無機化合物の水溶液や、トリメチルモノエタノールアンモニウムハイドロオキサイド（コリン）などの有機化合物の水溶液などを挙げることができる。例えば、エッチング液としては、シュウ酸水溶液、硫酸と過酸化水素の混合水溶液、硫酸銅溶液、燐酸と酢酸と硝酸の混合水溶液、熱燐酸、硝酸第二セリウムアンモニウム水溶液、塩化第二鉄溶液などを挙げることができる。例えば、剥離液としては、ジメチルスルホキシド系原液と純水との溶液、Ｎ−メチルピロリドン系原液と純水との溶液、アルカノールアミンとグライコールエーテルと純水との溶液などの水系レジスト剥離液や、モノエタノールアミンとブチルジグリコールと添加剤との混同溶液などの非水系レジスト剥離離液などを挙げることができる。
【００３０】
従来、上記の各種薬液を使用する者（以下「薬液使用者」ということがある。）は、薬液メーカー等から所定の濃度に調製された薬液を、必要の都度、必要な量、購入して使用していた。そのため、薬液使用者は、薬液を調達する負担を負わなければならなかった。
【００３１】
また、所定の濃度の薬液を薬液の原料から調製して供給する薬液調製供給装置を装置メーカー等から購入して、薬液使用者の工場に設置し、これを運転しながら必要となる薬液を製造し使用することも多く行われている。この場合には、薬液使用者は、薬液の原料を調達する負担と薬液調製供給装置を購入する負担に加え、薬液調製供給装置を運転し維持管理する負担も背負わなければならなかった。
【００３２】
本発明者は、これらの点に鑑み、新規な薬液の販売方法を発明した。この新規な薬液の販売方法について説明する。
【００３３】
まず、薬液を販売する者（以下「薬液販売者」ともいう。）と薬液使用者とがいて、薬液販売者が薬液調製供給装置を所有し、薬液使用者が薬液を使用する設備を所有する。薬液販売者の所有する薬液調製供給装置は、薬液使用者の工場に設置され、薬液を使用する設備と接続される。
【００３４】
次に、薬液販売者は、自らの責任で調達した薬液の原料から、薬液使用者の求める所定の濃度の薬液を、薬液使用者の工場内で製造する（いわゆる薬液の「オンサイト製造」をする）。薬液調製供給装置の運転や維持管理なども、薬液販売者が行う。
【００３５】
薬液販売者は、調製した薬液を、薬液使用者の求めに応じて、薬液を使用する設備に供給する。その際、供給した薬液の量（以下「供給量」ともいう。）を測定しておき、薬液の供給量に基づいて計算された薬液の使用料金を薬液使用者に請求する。薬液使用者は、従来背負っていた前述の様々な負担から解放されるとともに、使用料金を払うだけで自動的に必要な薬液の供給を受けることが可能となる。
【００３６】
本発明の薬液の販売方法を実現するためには、薬液の供給量を測定することが可能な、積算流量計を備えた薬液調製供給装置が必要不可欠である。以下に、このような積算流量計を備えた薬液調製供給装置の具体的な実施例について、図面を参照しながら説明する。
【００３７】
〔第一実施形態〕
図１は、本実施形態の薬液調製供給装置を説明するための模式図である。本実施形態の説明においては、２０％のＴＭＡＨ水溶液と純水とを調合して２．３８％のＴＭＡＨ水溶液を調製する薬液調製供給装置を具体例として説明する。
【００３８】
本実施形態の薬液調製供給装置１０は、主に、所定濃度の薬液を調製する薬液調製槽３、調製された薬液を貯留する薬液貯留槽２、薬液の原料を貯留しておく薬液原料貯留容器１１、１２、調製された薬液を使用者側の設備９０に送液する薬液供給配管４、及び、薬液供給配管４に備えられた積算流量計５などからなる。
【００３９】
２０％のＴＭＡＨ水溶液と純水とを調合して２．３８％のＴＭＡＨ水溶液を調製する場合、原料となるのは２０％のＴＭＡＨ水溶液であり、これを薬液原料入口５２から薬液原料補充配管４２を介して薬液原料貯留容器１１又は１２に貯留する。
【００４０】
バルブ１３〜１８は信号線４４を介してコンピュータ１に接続されている。コンピュータ１は、信号線４４を介して制御信号をバルブ１３〜１８に伝達し、バルブ１３〜１８を開閉制御する。薬液原料貯留容器１１に２０％のＴＭＡＨ水溶液を充てんする際には、バルブ１３を開ける。薬液原料貯留容器１２に２０％のＴＭＡＨ水溶液を充てんする際には、バルブ１５を開ける。
【００４１】
薬液原料貯留容器１１及び１２は窒素ガス（窒素ガスを供給する設備は図示せず）により加圧されており、薬液調製槽３に接続された薬液原料供給配管４３を介して、貯留されていた２０％のＴＭＡＨ水溶液が送液される。薬液原料貯留容器１１内の２０％のＴＭＡＨ水溶液を送液する際は、バルブ１４とバルブ１７を開ける。薬液原料貯留容器１２内の２０％のＴＭＡＨ水溶液を送液する際は、バルブ１６とバルブ１７を開ける。
【００４２】
２０％のＴＭＡＨ水溶液から２．３８％のＴＭＡＨ水溶液を調製するには、２０％のＴＭＡＨ水溶液に純水を混ぜて希釈する。純水は、純水入口５１から純水供給配管４１を介して、薬液調製槽３に供給される。純水を送液する際には、バルブ１８が開く。
【００４３】
薬液調製槽３は、濃度測定装置３１及び液面計３２を備えている。濃度測定装置３１は、薬液調製槽３内の薬液をサンプリングし、その濃度を測定する。液面計３２は、薬液調製槽３内の薬液の液面の位置を測定する。また、薬液調製槽３内の薬液は、循環管路３４に備えられた循環攪拌ポンプ３３によって循環攪拌される。これにより、薬液調製槽３内の薬液は、均一な濃度にされる。
【００４４】
濃度測定装置３１及び液面計３２は、信号線４５及び４６を介してコンピュータ１と接続されている。コンピュータ１は、濃度測定装置３１により測定された薬液の濃度、及び、液面計３２により測定された薬液の液面位置を監視し、バルブ１３〜１８を次のように開閉制御する。これにより、所定濃度の薬液、２．３８％のＴＭＡＨ水溶液を、常時所定の量自動で調製することが可能となる。
【００４５】
例えば、薬液調製槽３内のＴＭＡＨ濃度が２．３８％よりも低い場合には、コンピュータ１はバルブ１４又は１６のどちらか一方とバルブ１７とを開いて、２０％のＴＭＡＨ水溶液を継ぎ足す。バルブ１７は開時流量の調節された開閉制御バルブで、コンピュータ１が所定時間バルブ１７を開くように制御することにより、必要量の２０％のＴＭＡＨ水溶液が補給される。
【００４６】
例えば、薬液調製槽３内のＴＭＡＨ濃度が２．３８％よりも高い場合には、コンピュータ１はバルブ１８を開いて、純水を継ぎ足す。バルブ１８は開時流量の調節された開閉制御バルブで、コンピュータ１が所定時間バルブ１８を開くように制御することにより、必要量の純水が補給される。
【００４７】
例えば、薬液調製槽３内の液面位置が低下した場合には、バルブ１４又は１６のどちらか一方とバルブ１７及びバルブ１８を適宜開いて、薬液の調製量を増やす。
【００４８】
また、薬液原料貯留容器１１が空になったときは、コンピュータ１は、バルブ１４を閉じ、バルブ１３を開いて、薬液原料貯留容器１１に薬液原料を補充する。同様に、薬液原料貯留容器１２が空になったときは、コンピュータ１は、バルブ１６を閉じ、バルブ１５を開いて、薬液原料貯留容器１２に薬液原料を補充する。このようにして、コンピュータ１は、薬液原料貯留容器１１又は１２のいずれか一方に必ず薬液原料が充てんされた状態を保つ。
【００４９】
こうして薬液調製槽３で調製された２．３８％のＴＭＡＨ水溶液は、薬液調製槽３と薬液貯留槽２とを接続する連通管３５を通って、薬液貯留槽２に貯留される。連通管３５は薬液が流通する管路である。薬液貯留槽２から薬液が供給されてその内部に貯留されている薬液量が減少すると、薬液調製槽３で調製された薬液が連通管３５を通って薬液貯留槽２に移動する。連通管３５は適度な長さと配管内径とを有し、薬液調製槽３で生じる薬液濃度の変動が薬液貯留槽２内部に及ばないようにするという、濃度変動の緩衝作用を有している。
【００５０】
薬液貯留槽２も、薬液調製槽３と同様、濃度測定装置２１と液面計２２とを備えている。これらの濃度測定装置２１と液面計２２も、信号線４７及び４８を介してコンピュータ１と接続されている。コンピュータ１は、濃度測定装置２１が測定する薬液貯留槽２内の薬液の濃度、及び、液面計２２が測定する薬液貯留槽２内の薬液の液面位置に応じて、適宜バルブ１３〜１８を制御する。制御は、薬液調製槽３の場合と同様である。薬液貯留槽２は濃度変動が極めて少ないので、実際には、内部の薬液の濃度の監視と液量管理が行われている。
【００５１】
また、薬液貯留槽２内の薬液は、循環管路２４に備えられた循環攪拌ポンプ２３によって循環攪拌される。これにより、薬液貯留槽２内の薬液は、均一な濃度に維持される。
【００５２】
薬液貯留槽２に貯留された薬液は、送液ポンプ２５により、薬液供給配管４及び積算流量計５を通って、薬液供給口５３から薬液が使用される使用者側の設備９０に供給される。使用者側の設備９０は、信号線９２を介してコンピュータ１と接続されている。コンピュータ１は、使用者側の設備９０から発せられる薬液供給リクエスト信号を、信号線９２を介して受信する。バルブ１９は、信号線４９を介してコンピュータ１と接続されている。コンピュータ１は、設備９０側からの使用者の要求に応じて、薬液供給配管４に備えられたバルブ１９を開閉制御する。これにより、設備９０は、薬液が必要な時に、必要な量だけ、薬液の供給を受けることができる。この際、積算流量計５が使用者側の設備９０に供給した薬液の積算流量を計測しているので、所定期間ごとの積算流量に基づいて、使用料金を算出することが可能であり、薬液を販売する方法を実現することが可能となる。
【００５３】
上記の薬液調製供給装置１０の実施態様では、現像液である２．３８％のＴＭＡＨ水溶液を２０％のＴＭＡＨ原液から希釈調合する装置を具体例として、説明をした。この実施態様で説明した薬液調製供給装置１０の薬液調製部分は典型的な例であり、本発明をこれに限定するものではない。使用者の求める成分濃度の薬液をその原料から調製することができるものであれば、種々の態様を採用し得る。もちろん、薬液調製供給装置１０の薬液調製部分は、調製すべき薬液の種類に応じて各種の変形例を採用し得る。原液を純水で希釈調合する場合のほか、複数の薬液を調合する場合や、固体原料から調製する場合など、様々な調製方法を実現する装置の構成を適用することができる。
【００５４】
また、信号線４４〜４９、９２はコンピュータ１からの制御信号の伝達（経路）を意味するものであり、信号線４４〜４９、９２は信号ケーブルであっても、無線通信であってもよい。
【００５５】
本発明の特徴は、要するに、調製された薬液を使用者側設備に供給するための薬液供給配管４に積算流量計５を備えたこと、にある。
【００５６】
本発明の特徴は、さらに、調製された薬液を使用者側設備に供給するための薬液供給配管４に設置された積算流量計５が、通信機能を備えていることにある。このため、積算流量計５により測定される薬液の積算流量、すなわち、薬液の供給量を、この通信機能を利用して、遠隔で監視することができる。
【００５７】
このような通信機能を備えた積算流量計としては、例えば、ＫＥＹＥＮＣＥ社のコリオリ式デジタル流量センサＦＤ−Ｓシリーズなどが、既に存在する。通信ユニットを取り付けることにより、測定した積算流量データなどの様々なデータを、パソコンなどと通信することができる。したがって、積算流量計の設置場所から離れたところから、あるいは、ネットワークを介して、積算流量をモニターすることができる。
【００５８】
図２は、第一実施形態における薬液調製供給装置１０の変形例を示している。図１に示す薬液調製供給装置１０の構成と同様の構成には同一符号を付して説明を省略する場合がある。
【００５９】
図２に示す薬液調製供給装置１０は、薬液原料貯留容器１１、１２に貯留された原料を使用者側の設備９０に送液する原料供給配管６、及び、原料供給配管６に備えられた積算流量計７とバルブ２０をさらに備えている。バルブ２０は信号線４９を介してコンピュータ１と接続されている。
【００６０】
コンピュータ１は、使用者側の設備９０から発せられる原料供給リクエスト信号を、信号線９２を介して受信する。コンピュータ１は、設備９０側からの使用者の要求に応じて、原料供給配管６に備えられたバルブ２０を開閉制御する。これにより、薬液原料貯留容器１１、１２に貯留された原料は、原料供給配管６及び積算流量計７を通って、原料供給口５４から使用者側の設備９０に供給される。
【００６１】
設備９０は、原料が必要な時に、必要な量だけ、原料の供給を受けることができる。この際、積算流量計７が設備９０に供給した原料の積算流量を計測しているので、所定期間ごとの積算流量に基づいて、使用料金を算出することが可能であり、薬液を販売する方法を実現することが可能となる。
【００６２】
ここで、薬液とは、使用者の要求に応じて原料から調製される液であって、濃度を調製しない場合も含まれる。
【００６３】
〔第二実施形態〕
次に、本発明の薬液の販売方法について説明する。図３は、本実施形態の薬液の販売方法を説明するためのフローチャート図である。
【００６４】
薬液の販売に先立って、最初に、薬液販売者の所有する薬液調製供給装置を、薬液使用者の所有する設備と接続する。薬液調製供給装置の薬液供給配管を使用者の設備に接続するとともに、薬液使用者側から供給を受けるユーティリティのための接続を行う。ここでユーティリティとは、例えば、電力や純水、窒素ガスなどである。
【００６５】
設置完了後、薬液調製供給装置を立ち上げ、これを運転しながら薬液を調製し、薬液使用者の供給リクエストに応じて薬液を供給する。薬液調製供給装置の運転や維持管理は、これを所有する薬液販売者側の責任で行う。
【００６６】
薬液販売者は、薬液の調製に必要な各種原料を調達する。例えば、２０％のＴＭＡＨ水溶液を純水で希釈して２．３８％のＴＭＡＨ水溶液を調製する場合には、原料として２０％のＴＭＡＨ水溶液（いわゆるＴＭＡＨ原液）を調達する。これは、薬液販売者側の負担により行う。
【００６７】
薬液販売者は、薬液調製供給装置を用いて、調達した薬液の原料から、薬液使用者の求める成分濃度の薬液を調製する。調製された薬液は、使用者側設備への供給に備えて貯留される。
【００６８】
薬液が調製されたことにより薬液の原料がなくなるたびに、薬液販売者は薬液の原料を調達して、薬液調製供給装置に原料を補充する。薬液販売者は、薬液調製供給装置による薬液の調製が滞ることのないように、薬液の原料の調達及び薬液調製供給装置の維持管理を実施する。
【００６９】
薬液の使用される設備から薬液の供給リクエストがあると、薬液調製供給装置は調製された薬液を薬液の使用される設備に供給する。薬液の供給は、積算流量計を備えた配管を介して行われる。この積算流量計により、薬液の供給量が積算流量として計測される。
【００７０】
薬液調製供給装置は、薬液の供給リクエストがある限り、薬液の調製と供給を繰り返す。これにより、途切れることなく、使用者側設備に薬液の供給が行われる。
【００７１】
薬液販売者は、積算流量計の計測する薬液の供給量、すなわち、積算流量を監視する。所定期間、例えば、一週間とか一か月とかの期間、における薬液の供給量（積算流量）に基づいて、薬液の使用料金が計算される。例えば、一か月の薬液の供給量（積算流量：Ｑ１（Ｌ／Ｍ））に薬液の単位量当たりの料金（単価：Ｐ１（円／Ｌ））を乗じて当月の薬液使用料金が算出される。
【００７２】
薬液使用料金を算出する場合、上述したように薬液の供給量（Ｑ１）×単価（Ｐ１）で算出ことができるが、薬液の供給量（Ｑ１）を原料の供給量（Ｑ２（Ｌ／Ｍ））に換算し、原料の供給量（Ｑ２）に原液の単位量当たりの料金（単価：Ｐ２（円／Ｌ））を乗じて当月の使用料金を算出することができる。
【００７３】
例えば、２０％のＴＭＡＨ水溶液と純水とを調合して２．３８％のＴＭＡＨ水溶液を調製する場合について説明する。積算流量計を通過する２．３８％のＴＭＡＨ水溶液の供給量をＱ１とし、Ｑ１を調製するのに必要な２０％のＴＭＡＨ水溶液の必要量をＱ２とすると、２．３８×Ｑ１＝２０×Ｑ２の関係が成立する。
【００７４】
当月の使用料金は、２０％のＴＭＡＨ水溶液の単価をＰ２とし、換算率Ｋとすると、使用料金＝Ｐ２×Ｑ２＝Ｐ２×Ｋ×Ｑ１＝Ｐ２×（２．３８／２０）×Ｑ１となる。換算率Ｋは原料の濃度、及び薬液の濃度から容易に求めることができる。
【００７５】
本実施形態では、２０％のＴＭＡＨ水溶液を純水で希釈して薬液に調製する一成分系を例に説明したが、これに限定されない。例えば、Ａｌ等の電極材料のエッチング薬液として知られている、リン酸と硝酸と酢酸の三成分を含むＰＡＮ（Phosphoric acid、Acetic acid、Nitric acid）薬液に対しても同様に当月の使用料金を算出することができる。
【００７６】
薬液販売者は、このようにして算出された薬液の使用料金を薬液使用者に請求する。薬液使用者は、請求された薬液の使用料金を薬液販売者に支払う。こうして薬液の売買が成立する。
【００７７】
本実施形態の薬液の販売方法は、薬液を使用する設備に積算流量計を備えた配管を介して薬液を供給する販売者の所有の薬液調製供給装置により販売者が調達した薬液の原料から薬液の使用者が求める成分濃度の薬液を調製し、薬液の需要に応じて積算流量計により積算流量を測定しながら調製された薬液を使用者側の設備に供給し、積算流量計により測定された所定期間の積算流量に基づいて算出される薬液の使用料金を薬液の使用者に請求すること、を特徴とするものである。
【００７８】
この特徴により、本実施形態の薬液の販売方法によれば、薬液使用者は自ら薬液を調達する負担を負わなくて済む。また、薬液調製供給装置を購入したり、これを用いて自ら薬液を調製したり、薬液の原料を調達したりする負担を負わなくて済む。薬液使用者は薬液の必要量を指示すれば、自動的に薬液の供給を受けられる。本実施形態の薬液の販売方法によれば、薬液の供給量に応じて薬液の使用料金を徴収するという、新しい薬液の販売方法が実現される。このような薬液の販売形態は、半導体又は液晶ディスプレイの製造プロセス及び各種電池の製造プロセスにおいては、従来全く存在しなかった新しいものであり、前述の第一の形態や第二の形態に対して、「第三の形態」ともいえるような画期的なものである。
【００７９】
〔第三実施形態〕
次に、通信機能を備えた積算流量計とコンピュータとが接続されたネットワークを利用した薬液の販売方法、及び薬液販売システムについて説明する。図４は、使用者側工場の積算流量計と、ネットワークを介して接続される販売者側のサーバシステムとを備える薬液販売システムの模式図である。
【００８０】
図４に示す本実施形態の薬液販売システム１００は、薬液販売者の所有の１台のサーバシステム８１と、ネットワーク８０を介して接続される薬液使用者の工場６１，６２，６３，６４，６５のそれぞれに設置された通信機能を有する積算流量計７１，７２，７３，７４，７５（すなわち５か所の工場のそれぞれに設置された５台の積算流量計）と、を備えている。
【００８１】
薬液販売システム１００を構成する積算流量計及びサーバシステムの数は、図４に記載の数に限定されるものではない。本発明の薬液販売システムは、ネットワークを介して接続される１台の積算流量計と、１台のサーバシステムとを備えていればよい。
【００８２】
図４では詳細に図示しなかったが、各工場では、薬液を使用する設備に薬液調製供給装置が接続されている。この薬液調製供給装置により、薬液がオンサイト調製され、薬液使用設備に供給されている。薬液を供給するための配管には、通信機能を有する積算流量計７１，７２，７３，７４，７５が設置される。積算流量計７１，７２，７３，７４，７５は、薬液使用設備に供給される薬液の供給量を積算流量として計測する。
【００８３】
通信機能を有する積算流量計としては、ＫＥＹＥＮＣＥ社のコリオリ式デジタル流量センサＦＤ−Ｓシリーズなどを用いることができる。積算流量などの計測データを、インターネットなどのネットワークを介して、遠隔で取得することができる。
【００８４】
サーバシステム８１は、受信部８２、記憶部８３、及び算出部８４を備えている。また、サーバシステム８１はディスプレイ８５を備えている。サーバシステム８１は、ネットワーク８０に接続されている積算流量計７１〜７５のそれぞれに対して、順番に、積算流量の測定データを送信するよう、サービスリクエストを発信する。積算流量計７１〜７５は、サービスリクエストに応じて、積算流量の測定データをサーバシステム８１に送信する。
【００８５】
このようにしてサーバシステム８１の受信部８２は、各積算流量計７１，７２，７３，７４，７５から積算流量の測定データを取得する。この際、積算流量の測定データと合わせて、積算流量計の個体識別番号（いわゆる装置ＩＤ）と測定日時（すなわち測定した日付と時刻）とを取得しておく。測定日時でなく、例えば通信日時でもよい。
【００８６】
サーバシステム８１は、各積算流量計７１，７２，７３，７４，７５の個体識別番号に基づいて、積算流量計７１，７２，７３，７４，７５ごとに、取得した積算流量の計測値と測定日時とを、メモリやハードディスクなどで構成される記憶部８３に追記することにより、記憶する。
【００８７】
積算流量計から測定データを取得するステップを、所定の時間間隔（例えば１分間隔とか１時間間隔とか）で連続的に繰り返すことにより、薬液供給量の推移（すなわち積算流量の履歴）が記憶される。
【００８８】
サーバシステム８１の記憶部８３には、積算流量計７１，７２，７３，７４，７５ごとにその積算流量の履歴が記憶されているので、所定期間（例えば一週間とか一か月とか）ごとの薬液の供給量を把握することができる。例えばひと月ごとに薬液の供給量を把握する場合には、毎月の検針日時を決めておいて、前月の検針日後から今月の検針日までの積算流量を、今月の検針日時における積算流量から前月の検針日時の積算流量を差し引くことで求めることができる。
【００８９】
サーバシステム８１は、さらに、所定期間における薬液の供給量から、当該所定期間の薬液の使用料金を計算する。例えば、ひと月ごとに使用料金を算出する必要がある場合には、前述のようにして求められた積算流量に、例えば薬液の単位液量あたりの料金（単価）を乗じて薬液の使用料金を算出する。使用料金の算出式、及び単価をサーバシステム８１の記憶部８３にプログラミングしておけばよい。
【００９０】
薬液販売者は、所定期間ごとに、算出された薬液の使用料金を薬液使用者に請求する。ここで、薬液使用者は、薬液の売買契約において供給を受けた薬液についての使用料金の支払義務を有する者をいう。サーバシステム８１が薬液の使用料金の支払元である薬液使用者のコンピュータとネットワークで接続されていれば、薬液の使用料金の請求は、サーバシステム８１により自動的に行うのでもよい。この場合には、サーバシステム８１は、算出された薬液の使用料金を請求する請求書を電子的に自動で作成し、所定期間ごとに当該請求書を薬液使用者に自動的に電子送付するように、プログラミングされていればよい。
【００９１】
薬液使用者が、薬液の使用料金を支払うことにより、所定期間ごとに薬液の売買が完結する。このようにして、ネットワークを利用して、各所の薬液供給量を遠隔で一元的に監視しながら、薬液を販売するという、薬液の販売方法が実現される。
【００９２】
本実施形態のネットワーク８０は、別々の工場に設置された積算流量計により構成されたものに限定されない。例えば、規模の大きい工場に複数の製造ラインがあり、そのそれぞれの製造ラインに設置された積算流量計を接続した比較的小規模のネットワークでもよい。例えば、ある積算流量計は中国の工場に設置され、ある積算流量計は台湾の工場に設置され、ある積算流量計は韓国の工場に設置され、またある積算流量計は日本の工場に設置され、といったように、それぞれ世界各国の工場に設置された積算流量計を接続した世界規模のネットワークでもよい。
【００９３】
以上、図面を参照しながら各実施形態について説明してきた内容は、半導体や液晶ディスプレイの製造プロセスで使用される各種薬液や、電池の製造に用いられる各種電解液、電解液調製供給装置及び電解液販売システムに対しても、同様に実施可能なものである。
【００９４】
本発明によれば、使用者側が薬液やその原料を調達する負担や薬液調製供給装置を購入運用したり維持管理したりする負担から使用者を開放することが可能な新しい薬液の販売形態を実現することができる。また本発明によれば、この新しい薬液の販売形態の実現に不可欠な薬液調製供給装置を提供することができる。本発明によれば、各使用者の工場で使われている積算流量計をネットワークに接続されたサーバシステムにより遠隔で一元的に監視することもできる。
【符号の説明】
【００９５】
１…コンピュータ、２…薬液貯留槽、３…薬液調製槽、４…薬液供給配管、５…積算流量計、６…原料供給配管、７…積算流量計、１０…薬液調製供給装置、１１，１２…薬液原料貯留容器、１３，１４，１５，１６，１７，１８，１９，２０…バルブ、２１，３１…濃度測定装置、２２，３２…液面計、２３，３３…循環攪拌ポンプ、２４，３４…循環管路、２５…送液ポンプ、３５…連通管、４１…純水供給配管、４２…薬液原料補充配管、４３…薬液原料供給配管、４４，４５，４６，４７，４８，４９，９２…信号線、５１…純水入口、５２…薬液原料入口、５３…薬液供給口、５４…原液供給口、６１，６２，６３，６４，６５…工場、７１，７２，７３，７４，７５…積算流量計、８０…ネットワーク、８１…サーバシステム、８２…受信部、８３…記憶部、８４…算出部、８５…ディスプレイ、９０…設備、１００…薬液販売システム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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