(57)【要約】【課題】開口部に吐出される液滴が当該開口部に対して隣り合う開口部に漏れ難い液滴吐出方法及びプログラム、当該液滴吐出方法を用いた有機ＥＬ装置の製造方法、カラーフィルターの形成方法を提供すること。【解決手段】本実施形態の液滴吐出方法は、当該開口部１０５ａにＸ軸方向に隣り合う開口部の当該開口部１０５ａ側の端部から当該開口部１０５ａ側に所定の距離Ｌを置いて当該開口部１０５ａの着弾領域１０５ｅの端部を設定する領域設定ステップと、基体と吐出ヘッドとを対向させて相対的に走査し、吐出ヘッドのノズル５２から、着弾領域１０５ｅに少なくとも１滴の液滴を着弾させる吐出ステップとを含む。【選択図】図９
2017042708.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体上において第１の方向に、隔壁を介して隣り合う第１開口部及び第２開口部と、前記第２開口部に隔壁を介して隣り合う第３開口部とを有し、
前記第１の方向において、前記第２開口部の前記第３開口部側の端部から前記第２開口部側に所定の距離Ｌを置いて前記第２開口部の着弾領域の一方の端部を設定し、前記第１開口部の前記第２開口部側の端部から前記第２開口部側に前記所定の距離Ｌを置いて前記第２開口部の前記着弾領域の他方の端部を設定する領域設定ステップと、
前記基体と吐出ヘッドとを対向させて相対的に走査し、前記吐出ヘッドのノズルから、前記着弾領域に少なくとも１滴の液滴を着弾させる吐出ステップとを含むことを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項２】
前記第１の方向における、前記第１開口部の幅をＷ１とし、前記第２開口部の幅をＷ２とし、前記第３開口部の幅をＷ３とし、前記第１開口部と前記第２開口部との間の前記隔壁の幅をＬ１とし、前記第２開口部と前記第３開口部との間の前記隔壁の幅をＬ２とするとき、Ｗ１＜Ｗ２≦Ｗ３、Ｌ１＞Ｌ２を満足することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出方法。
【請求項３】
前記吐出ヘッドは複数のノズルを有し、
前記吐出ステップは、前記第１開口部、前記第２開口部、及び前記第３開口部の長手方向が前記第１の方向と直交する第２の方向に沿うように配置された前記基体に対して、前記吐出ヘッドを前記第２の方向に相対的に走査し、前記複数のノズルのうち少なくとも１つのノズルから前記着弾領域に複数の液滴を着弾させることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出方法。
【請求項４】
前記吐出ヘッドは複数のノズルを有し、
前記吐出ステップは、前記第１開口部、前記第２開口部、及び前記第３開口部の長手方向が前記第１の方向と直交する第２の方向に沿うように配置された前記基体に対して、前記吐出ヘッドを前記第１の方向に相対的に走査し、前記複数のノズルのうち２つ以上のノズルのそれぞれから前記着弾領域に少なくとも１滴の液滴を着弾させることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出方法。
【請求項５】
前記基体と前記吐出ヘッドとを対向させて相対的に走査する１回の走査において前記着弾領域に着弾した液滴の最大径の半分の値に液滴の着弾位置誤差を加えた値よりも前記所定の距離Ｌを大きく設定することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
【請求項６】
前記基体と前記吐出ヘッドとを対向させて相対的に走査する１回の走査において前記着弾領域に着弾する液滴の数と同数の液滴を前記隔壁上に吐出して着弾した液滴の最大径の半分の値に液滴の着弾位置誤差を加えた値よりも前記所定の距離Ｌを大きく設定することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
【請求項７】
前記１回の走査において、前記隔壁上にダミー液滴を着弾させ、前記ダミー液滴の中心を基準として前記最大径を求めることを特徴とする請求項５または６に記載の液滴吐出方法。
【請求項８】
前記吐出ステップにおいて着弾させる液滴の中心が前記着弾領域の前記一方の端部及び前記他方の端部に位置する液滴を含むように、前記着弾領域が設定されることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
【請求項９】
コンピューターに、請求項１乃至７のいずれか一項に記載の液滴吐出方法を実行させることを特徴とするプログラム。
【請求項１０】
前記請求項１乃至８のいずれか一項に記載の液滴吐出方法を用い、隔壁を介して隣り合う複数の開口部に発光層を含む機能層のうちの少なくとも１層を形成するための液状体を液滴として吐出する吐出工程を有することを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項１１】
前記請求項１乃至８のいずれか一項に記載の液滴吐出方法を用い、隔壁を介して隣り合う複数の開口部に着色層を形成するための液状体を液滴として吐出する吐出工程を有することを特徴とするカラーフィルターの形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出方法、液滴吐出方法を実現させるプログラム、液滴吐出方法を用いた、有機ＥＬ装置の製造方法、カラーフィルターの形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を液滴として吐出可能なインクジェットヘッドを用いて、例えば有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）装置の画素に配置される発光層を含む機能層や、液晶表示装置に用いられるカラーフィルターの着色層を形成する液滴吐出法（あるいはインクジェット法とも言う）が知られている。
【０００３】
このような機能層や着色層の形成に用いられる液滴吐出法では、塗布膜を形成する領域を隔壁で囲み、インクジェットヘッドから吐出される液滴を隔壁に囲まれた領域に確実に収めて、所望の膜厚を有する塗布膜を形成することが求められる。
【０００４】
例えば、特許文献１には、液滴の中心が、表示用ドット領域の中心から最も近い該表示用ドット領域の縁までの距離の略３０％以内の範囲内に着弾するように、インクジェットヘッドのノズルから液滴を吐出させるカラーフィルター基板の製造方法が開示されている。
このようなカラーフィルター基板の製造方法を用いれば、着弾した液滴がバンク（隔壁）を乗り越えて隣の領域に侵入し難くなり、異なる色のフィルター要素（着色層）間において混色の発生を防止できるとしている。
【０００５】
また、例えば、特許文献２には、区画部で区画されたパターン膜形成領域のうち液滴の着弾許可領域に対して、液滴吐出ヘッドの移動方向側の第１着弾禁止領域と、液滴吐出ヘッドの移動方向の反対側の第２着弾禁止領域とを設定すると共に、第１着弾禁止領域を第２着弾禁止領域よりも広く設定する、液滴着弾領域設定工程を含んだパターン膜形成部材の製造方法が開示されている。
このようなパターン膜形成部材の製造方法を用いれば、液滴吐出ヘッドのノズルから液滴が吐出された際に、液滴の主滴に追随する尾引き部やサテライト（微小液滴）などが遅れて着弾しても、液滴を着弾させたいパターン膜形成領域に収容できるとしている。つまり、隣接するパターン膜形成領域に塗布された機能液同士の接触がなく、混色不良を低減できるとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−３６１４９１号公報
【特許文献２】特開２０１１−１８９２６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、有機ＥＬ装置や液晶表示装置における画素が高精細になると、バンク（区画部）で囲まれた膜形成領域が狭くなって精度よく液滴を着弾させることが難しくなる。また、液滴吐出ヘッドの移動方向において、隣り合う膜形成領域を区分するバンク（区画部）の幅が狭くなると、上記特許文献１や上記特許文献２のように液滴の着弾領域あるいは着弾禁止領域を設定しても、着弾領域に液滴が着弾した際に、その慣性力により液滴形状が大きくなるため、バンク（区画部）を乗り越えて隣の膜形成領域に侵入し、パターン膜の膜厚むらや色むらを引き起こすおそれがあった。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００９】
［適用例］本適用例に係る液滴吐出方法は、基体上において第１の方向に、隔壁を介して隣り合う第１開口部及び第２開口部と、前記第２開口部に隔壁を介して隣り合う第３開口部とを有し、前記第１の方向において、前記第２開口部の前記第３開口部側の端部から前記第２開口部側に所定の距離Ｌを置いて前記第２開口部の着弾領域の一方の端部を設定し、前記第１開口部の前記第２開口部側の端部から前記第２開口部側に前記所定の距離Ｌを置いて前記第２開口部の前記着弾領域の他方の端部を設定する領域設定ステップと、前記基体と吐出ヘッドとを対向させて相対的に走査し、前記吐出ヘッドのノズルから、前記着弾領域に少なくとも１滴の液滴を着弾させる吐出ステップとを含むことを特徴とする。
【００１０】
本適用例によれば、液滴の着弾後の着弾径の大きさを考慮して所定の距離Ｌを設定すれば、吐出ステップにおいて第２開口部の着弾領域に着弾した液滴が、第１の方向に隣り合う第１開口部や第３開口部に漏れることなく、第２開口部に液滴を塗布することができる。所定の距離Ｌは、第１の方向における開口部間の隔壁の幅を含むことから、隔壁の幅に関わらず、第２開口部の着弾領域を設定することができる。すなわち、第１の方向における隔壁の幅が狭くなったとしても、着弾した液滴が隣り合う開口部に漏れないように着弾領域を設定することができる。
【００１１】
上記適用例に記載の液滴吐出方法において、前記第１の方向における、前記第１開口部の幅をＷ１とし、前記第２開口部の幅をＷ２とし、前記第３開口部の幅をＷ３とし、前記第１開口部と前記第２開口部との間の前記隔壁の幅をＬ１とし、前記第２開口部と前記第３開口部との間の前記隔壁の幅をＬ２とするとき、Ｗ１＜Ｗ２≦Ｗ３、Ｌ１＞Ｌ２を満足することを特徴とする。
この方法によれば、第２開口部と第３開口部との間の隔壁の幅Ｌ２が第１開口部と第２開口部との間の隔壁の幅Ｌ１よりも狭く設定されたとしても、第２開口部の着弾領域に着弾した液滴が、第２開口部の幅Ｗ２に対して幅Ｗ３が同じまたは広い第３開口部に漏れ難く、且つ第２開口部の幅Ｗ２よりも幅Ｗ１が狭い第１開口部に漏れ難い液滴吐出方法を提供できる。
【００１２】
上記適用例に記載の液滴吐出方法において、前記吐出ヘッドは複数のノズルを有し、前記吐出ステップは、前記第１開口部、前記第２開口部、及び前記第３開口部の長手方向が前記第１の方向と直交する第２の方向に沿うように配置された前記基体に対して、前記吐出ヘッドを前記第２の方向に相対的に走査し、前記複数のノズルのうち少なくとも１つのノズルから前記着弾領域に複数の液滴を着弾させることを特徴とする。
複数のノズルを第２の方向に相対的に移動させる走査に伴って、少なくとも１つのノズルから着弾領域に複数の液滴を着弾させる、いわゆる縦描画では、第２の方向の吐出間隔にもよるが連続して複数の液滴が着弾する場合、１滴の液滴の着弾径に比べて複数の液滴からなる着弾径が大きくなり易い。
この方法によれば、縦描画における液滴の着弾径を考慮し、所定の距離Ｌを設定することにより、縦描画において着弾した液滴が隣り合う開口部に漏れ難い液滴吐出方法を提供できる。
【００１３】
上記適用例に記載の液滴吐出方法において、前記吐出ヘッドは複数のノズルを有し、前記吐出ステップは、前記第１開口部、前記第２開口部、及び前記第３開口部の長手方向が前記第１の方向と直交する第２の方向に沿うように配置された前記基体に対して、前記吐出ヘッドを前記第１の方向に相対的に走査し、前記複数のノズルのうち２つ以上のノズルのそれぞれから前記着弾領域に少なくとも１滴の液滴を着弾させるとしてもよい。
この方法によれば、複数のノズルを第１の方向に相対的に移動させる走査に伴って、２つ以上のノズルのそれぞれから着弾領域に少なくとも１滴の液滴を着弾させる、いわゆる横描画においても、着弾した液滴が隣り合う開口部に漏れ難い液滴吐出方法を提供できる。
【００１４】
上記適用例に記載の液滴吐出方法において、前記基体と前記吐出ヘッドとを対向させて相対的に走査する１回の走査において前記着弾領域に着弾した液滴の最大径の半分の値に液滴の着弾位置誤差を加えた値よりも前記所定の距離Ｌを大きく設定することが好ましい。
この方法によれば、吐出ヘッドのノズルから吐出された液滴を開口部に確実に収容することができる。
【００１５】
上記適用例に記載の液滴吐出方法において、前記基体と前記吐出ヘッドとを対向させて相対的に走査する１回の走査において前記着弾領域に着弾する液滴の数と同数の液滴を前記隔壁上に吐出して着弾した液滴の最大径の半分の値に液滴の着弾位置誤差を加えた値よりも前記所定の距離Ｌを大きく設定するとしてもよい。
着弾領域に着弾して着弾径が大きくなった液滴は隔壁に乗り上がることがある。隔壁に乗り上がった状態で着弾径を正確に計測することは難しい。この方法によれば、隔壁上に着弾したときの液滴における最大径を基に所定の距離Ｌを設定するので、容易に最大径を求めて所定の距離Ｌを設定できる。
【００１６】
上記適用例に記載の液滴吐出方法において、前記１回の走査において、前記隔壁上にダミー液滴を着弾させ、前記ダミー液滴の中心を基準として前記最大径を求めることが好ましい。
着弾領域に着弾した複数の液滴が互いに接触して合体すると、正確に着弾位置を特定することが難しい。
この方法によれば、ダミー液滴の中心を基準として着弾領域に着弾した後の最大径を求めるので、容易に最大径を求めることができる。
【００１７】
上記適用例に記載の液滴吐出方法では、前記吐出ステップにおいて着弾させる液滴の中心が前記着弾領域の前記一方の端部及び前記他方の端部に位置する液滴を含むように、前記着弾領域が設定されることを特徴とする。
この方法によれば、当該開口部の第１の方向における着弾領域の一方の端部及び他方の端部に液滴の中心が位置するように複数の液滴が着弾したとしても、当該開口部に隣り合う開口部に液滴が漏れないので、当該開口部の幅や、開口部間の隔壁の幅が狭くなっても着弾領域を確保できる。
【００１８】
［適用例］本適用例に係るプログラムは、コンピューターに、上記適用例に記載の液滴吐出方法を実行させることを特徴とする。
本適用例によれば、開口部の着弾領域に着弾した液滴が、第１の方向において当該開口部に隣り合う開口部に漏れ難いように、当該開口部における着弾領域をコンピューターによって設定可能なプログラムを提供できる。
【００１９】
［適用例］本適用例に係る有機ＥＬ装置の製造方法は、上記適用例に記載の液滴吐出方法を用い、隔壁を介して隣り合う複数の開口部に発光層を含む機能層のうちの少なくとも１層を形成するための液状体を液滴として吐出する吐出工程を有することを特徴とする。
本適用例によれば、開口部に着弾した液滴が第１の方向において当該開口部に隣り合う開口部に漏れ難いので、液滴の漏れに起因する膜厚むらや発光むらを抑えて、当該開口部に機能層のうちの少なくとも１層を形成することができる。
【００２０】
［適用例］本適用例に係るカラーフィルターの製造方法は、上記適用例に記載の液滴吐出方法を用い、隔壁を介して隣り合う複数の開口部に着色層を形成するための液状体を液滴として吐出する吐出工程を有することを特徴とする。
本適用例によれば、開口部に着弾した液滴が第１の方向において当該開口部に隣り合う開口部に漏れ難いので、液滴の漏れに起因する膜厚むらや色むらを抑えて、当該開口部にカラーフィルターの着色層を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】インクジェットヘッドの構成を示す概略斜視図。
【図３】インクジェットヘッドのノズル面における複数のノズルの配置状態を示す平面図。
【図４】ヘッドユニットにおけるインクジェットヘッドの配置を示す概略平面図。
【図５】液滴吐出装置の電気的及び機械的な構成を示すブロック図。
【図６】カラーフィルター基板の構成を示す概略平面図。
【図７】カラーフィルター基板の構造を示す概略断面図。
【図８】隔壁における開口部及び着弾領域の配置例を示す概略平面図。
【図９】液滴吐出方法における液滴の着弾状態の例を示す概略平面図。
【図１０】液滴吐出方法における液滴の着弾状態の他の例を示す概略平面図。
【図１１】液滴吐出方法における液滴の着弾状態を示す概略断面図。
【図１２】有機ＥＬ装置の構成例を示す概略平面図。
【図１３】有機ＥＬ素子の構成例を示す概略断面図。
【図１４】有機ＥＬ装置のサブ画素に対応した開口部と着弾領域の配置例を示す概略平面図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大または縮小して表示している。
【００２３】
（第１実施形態）
＜液滴吐出装置＞
まず、本実施形態の液滴吐出方法を適用可能な液滴吐出装置の一例について、図１〜図５を参照して説明する。図１は液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。図１に示す液滴吐出装置１０は、ワークに対して、吐出ヘッドのノズルから機能層形成材料を含む液状体を液滴として吐出する装置である。吐出された液状体を乾燥・焼成して固化することにより、ワークの所定の領域に機能層を形成する。このような機能層の形成方法は、液相プロセスのうち液滴吐出法と呼ばれている。液滴吐出法を用いて形成される機能層の一例として、後述するカラーフィルターの着色層や、有機ＥＬ素子の発光機能を有する機能層が挙げられる。本実施形態の液滴吐出方法は、このような機能層を液滴吐出装置１０を用いて形成する場合に好適に用いることができる。なお、液滴吐出装置１０では、吐出ヘッドとしてインクジェットヘッドを備えており、インクジェットヘッドを用いた液滴吐出法はインクジェット法とも呼ばれる。
【００２４】
図１に示すように、液滴吐出装置１０は、ワークである例えば平板状の基板Ｗを主走査方向に移動させるワーク移動機構２０と、インクジェットヘッドが搭載されたヘッドユニット９を主走査方向に直交する副走査方向に移動させるヘッド移動機構３０と、を備えている。また、図１には図示されていない機構（構成）を含めて、これらの機構（構成）を統括的に制御する制御部４０を備えている。以降、主走査方向をＹ軸方向と称し、副走査方向をＸ軸方向と称して説明することもある。
【００２５】
ワーク移動機構２０は、一対のガイドレール２１と、一対のガイドレール２１に沿って移動する移動台２２と、移動台２２上に回転機構６を介して配設され基板Ｗが載置されるステージ５とを備えている。
ステージ５は基板Ｗを吸着固定可能であると共に、回転機構６によって基板Ｗ内の基準軸を正確に主走査方向（Ｙ軸方向）、副走査方向（Ｘ軸方向）に合わせることが可能となっている。
また、基板Ｗ上において液状体（インク）が吐出される膜形成領域の配置に応じて、基板Ｗを例えば９０度旋回させることも可能である。
【００２６】
ヘッド移動機構３０は、一対のガイドレール３１と、一対のガイドレール３１に沿って移動する移動台３２とを備えている。移動台３２には、回転機構７を介して吊設されたキャリッジ８が設けられている。
キャリッジ８には、吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッド５０（図２参照）がヘッドプレート９ａに搭載されたヘッドユニット９が取り付けられている。
移動台３２がキャリッジ８を副走査方向（Ｘ軸方向）に移動させてヘッドユニット９を基板Ｗに対して対向配置する。
【００２７】
液滴吐出装置１０は、上記構成の他にも、ヘッドユニット９に搭載された複数のインクジェットヘッド５０に液状体（インク）を供給するためのインク供給機構や、インクジェットヘッド５０をメンテナンスするためのメンテナンス機構などが配設されている。
【００２８】
図２はインクジェットヘッドの構成を示す概略斜視図、図３はインクジェットヘッドのノズル面における複数のノズルの配置状態を示す平面図である。
【００２９】
図２に示すように、吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッド５０は、所謂２連のものであり、２連の接続針５４を有する液状体（インク）の導入部５３と、導入部５３に積層されたヘッド基板５５と、ヘッド基板５５上に配置され内部に液状体（インク）のヘッド内流路が形成されたヘッド本体５６とを備えている。接続針５４は、前述したインク供給機構（図示省略）に配管を経由して接続され、液状体（インク）をヘッド内流路に供給する。ヘッド基板５５には、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介してヘッド駆動部としてのヘッドドライバー６３（図５参照）に接続される２連のコネクター５８が設けられている。
【００３０】
ヘッド本体５６は、駆動手段（アクチュエーター）としての圧電素子で構成されたキャビティを有する加圧部５７と、ノズル面５１ａに２つのノズル列５２ａ，５２ｂが相互に平行に形成されたノズルプレート５１とを有している。
【００３１】
図３に示すように、２つのノズル列５２ａ，５２ｂは、それぞれ複数（例えば１８０個）のノズル５２がピッチＰ１でほぼ等間隔に並べられており、互いにピッチＰ１の半分のピッチＰ２ずれた状態でノズル面５１ａに配設されている。本実施形態において、ピッチＰ１は、例えばおよそ１４１μｍである。よって、２つのノズル列５２ａ，５２ｂによって構成されたノズル列５２ｃに直交する方向から見ると３６０個のノズル５２がおよそ７０．５μｍのノズルピッチで配列した状態となっている。また、ノズル５２の径は、およそ２７μｍである。
【００３２】
インクジェットヘッド５０は、ヘッドドライバー６３から電気信号としての駆動信号が圧電素子に印加されると加圧部５７のキャビティの体積変動が起こり、これによるポンプ作用でキャビティに充填された液状体（インク）が加圧され、ノズル５２から液状体（インク）を液滴として吐出することができる。
【００３３】
インクジェットヘッド５０においてノズル５２ごとに設けられる駆動手段（アクチュエーター）は、圧電素子に限定されない。アクチュエーターは、振動板を静電吸着により変位させる電気機械変換素子や、液状体（インク）を加熱してノズル５２から液滴として吐出させる電気熱変換素子でもよい。
【００３４】
図４はヘッドユニットにおけるインクジェットヘッドの配置を示す概略平面図である。詳しくは、基板Ｗに対向する側から見た図である。
【００３５】
図４に示すように、ヘッドユニット９は、複数のインクジェットヘッド５０が配設されるヘッドプレート９ａを備えている。ヘッドプレート９ａには、３つのインクジェットヘッド５０からなるヘッド群５０Ａと、同じく３つのインクジェットヘッド５０からなるヘッド群５０Ｂの合計６個のインクジェットヘッド５０が搭載されている。本実施形態では、ヘッド群５０ＡのヘッドＲ１（インクジェットヘッド５０）とヘッド群５０ＢのヘッドＲ２（インクジェットヘッド５０）とは同種の液状体（インク）を吐出する。他のヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様である。すなわち、３種の異なる液状体（インク）を吐出可能な構成となっている。
【００３６】
１つのインクジェットヘッド５０によって描画可能な描画幅をＬ0とし、これをノズル列５２ｃの有効長とする。ノズル列５２ｃは、３６０個のノズル５２から構成されるものである。
【００３７】
ヘッドＲ１とヘッドＲ２は、主走査方向（Ｙ軸方向）から見て隣り合うノズル列５２ｃが主走査方向と直交する副走査方向（Ｘ軸方向）に１ノズルピッチを置いて連続するように主走査方向に並列して配設されている。したがって、同種の液状体（インク）を吐出するヘッドＲ１とヘッドＲ２の有効な描画幅Ｌｄは、描画幅Ｌ0の２倍となっている。ヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様に主走査方向（Ｙ軸方向）に並列して配置されている。
【００３８】
なお、インクジェットヘッド５０に設けられるノズル列５２ｃは、２連に限らず、１連でもよい。また、ヘッドユニット９におけるインクジェットヘッド５０の配置は、これに限定されるものではない。
【００３９】
次に、液滴吐出装置１０の電気的及び機械的な構成とその機能について、図５を参照して説明する。図５は液滴吐出装置の電気的及び機械的な構成を示すブロック図である。
【００４０】
図５に示すように、液滴吐出装置１０は、ヘッド移動機構３０、ワーク移動機構２０、インクジェットヘッド５０、メンテナンス機構７０などを駆動する各種ドライバーを有する駆動部６０と、駆動部６０を含め液滴吐出装置１０を統括的に制御する制御部４０とを備えている。
【００４１】
駆動部６０は、ヘッド移動機構３０のリニアモーターを駆動制御するヘッド移動用ドライバー６１と、同じく、ワーク移動機構２０のリニアモーターを駆動制御するワーク移動用ドライバー６２と、インクジェットヘッド５０を駆動制御するヘッド駆動部としてのヘッドドライバー６３と、メンテナンス機構７０を駆動制御するメンテナンス用ドライバー６４と、を備えている。
【００４２】
なお、図５には図示を省略したが、液滴吐出装置１０は、ワーク移動機構２０において移動台２２の主走査方向（Ｙ軸方向）における位置を検出可能なリニアスケール及びスケールヘッド、並びに当該スケールヘッドに対応したエンコーダーを備えている。ヘッド移動機構３０もまた、移動台３２の副走査方向（Ｘ軸方向）における位置を検出可能なリニアスケール及びスケールヘッド、並びに当該スケールヘッドに対応したエンコーダーを備えている。これらのエンコーダーから周期的に発生されるエンコーダーパルスを利用して、移動台２２、移動台３２のそれぞれの移動制御が行われる構成となっている。
【００４３】
メンテナンス機構７０は、インクジェットヘッド５０のノズル５２から試験的に吐出された液滴を受けて重量を計測する例えば電子天秤などの重量測定機構７１と、インクジェットヘッド５０のノズル面５１ａ（図２参照）を密封して、ノズル５２から液状体（インク）を吸引し、目詰まりが生じているノズル５２などを回復させるキャップ機構７２と、ノズル面５１ａに付着した異物をワイピング部材でふき取って清浄化するワイピング機構７３とを含んで構成されている。メンテナンス用ドライバー６４は、インクジェットヘッド５０をメンテナンスするためのこれらの機構をそれぞれ駆動するドライバーを含んで構成されている。なお、メンテナンス機構７０の構成は、これに限定されず、インクジェットヘッド５０のノズル５２から吐出された液滴をシートなどの被吐出物で受けて、液滴の着弾状態を撮像することで、液滴の着弾位置精度や目詰まりなどを検出する撮像機構などを備えていてもよい。
【００４４】
制御部４０は、ＣＰＵ４１と、ＲＯＭ４２と、ＲＡＭ４３と、Ｐ−ＣＯＮ（プログラムコントローラー）４４とを備え、これらは互いにバス４５を介して接続されている。Ｐ−ＣＯＮ４４には、上位コンピューター１１が接続されている。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１で処理する制御プログラムなどを記憶する制御プログラム領域と、描画動作やインクジェットヘッド５０の機能を回復させるメンテナンス処理などを行うための制御データなどを記憶する制御データ領域とを有している。
【００４５】
ＲＡＭ４３は、基板Ｗに対して液滴を吐出してどのように配置するかを示す吐出位置データを記憶する吐出位置データ記憶部、基板Ｗ及びインクジェットヘッド５０（実際には、ノズル列５２ｃ）の位置データを記憶する位置データ記憶部などの各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ４４には、駆動部６０の各種ドライバーなどが接続されており、ＣＰＵ４１の機能を補うと共に、周辺回路とのインターフェイス信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ４４は、上位コンピューター１１からの各種指令などをそのままあるいは加工してバス４５に取り込むと共に、ＣＰＵ４１と連動して、ＣＰＵ４１などからバス４５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部６０に出力する。
【００４６】
そして、ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して各種検出信号、各種指令、各種データなどを入力し、ＲＡＭ４３内の各種データなどを処理した後、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して駆動部６０などに各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１０全体を制御している。例えば、ＣＰＵ４１は、インクジェットヘッド５０、ワーク移動機構２０及びヘッド移動機構３０を制御して、ヘッドユニット９と基板Ｗとを対向配置させる。そして、ヘッドユニット９と基板Ｗ（ステージ５）との相対移動に同期して、ヘッドユニット９に搭載された各インクジェットヘッド５０の複数のノズル５２から基板Ｗに液状体（インク）を液滴として吐出するようにヘッドドライバー６３に制御信号を送出する。本実施形態では、Ｙ軸方向への基板Ｗの移動に同期して液状体（インク）を吐出することを主走査と呼び、主走査に対してＸ軸方向にヘッドユニット９を移動させることを副走査と呼ぶ。本実施形態の液滴吐出装置１０は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返すことにより液状体（インク）を基板Ｗに吐出することができる。主走査は、インクジェットヘッド５０に対して一方向への基板Ｗの移動に限らず、基板Ｗを往復させて行うこともできる。
【００４７】
ワーク移動機構２０に設けられたエンコーダーは、主走査に伴ってエンコーダーパルスを生成する。主走査では、所定の移動速度で移動台２２を移動させるので、エンコーダーパルスが周期的に発生する。
【００４８】
例えば、主走査における移動台２２の移動速度を２００ｍｍ／ｓｅｃ、インクジェットヘッド５０を駆動する駆動周波数（言い換えれば、連続して液滴を吐出する場合の吐出タイミング）を２０ｋＨｚとすると、主走査方向における液滴の吐出分解能は、移動速度を駆動周波数で除することにより得られるので、１０μｍとなる。すなわち、１０μｍのピッチで液滴を基板Ｗ上に配置することが可能である。移動台２２の移動速度を２０ｍｍ／ｓｅｃとすれば、１μｍのピッチで液滴を基板Ｗ上に配置することが可能である。実際の液滴の吐出タイミングは、周期的に発生するエンコーダーパルスをカウントして生成される吐出制御データに基づいている。このような主走査における基板Ｗ上の液滴の最小配置ピッチを吐出分解能と呼ぶ。
【００４９】
上位コンピューター１１は、制御プログラムや制御データなどの制御情報を液滴吐出装置１０に送出する。また、基板Ｗ上に液状体（インク）を液滴として配置する吐出制御データとしての配置情報を生成する配置情報生成部の機能を有している。配置情報は、基板Ｗにおける液滴の配置位置を示す吐出位置データ、液滴の配置数を示す吐出データ（言い換えれば、ノズル５２ごとの吐出数）、主走査における複数のノズル５２のＯＮ／ＯＦＦすなわちノズル５２の選択／非選択などの情報を、例えば、ビットマップとして表したものである。上位コンピューター１１は、上記配置情報を生成するだけでなく、ＲＡＭ４３に一旦格納された上記配置情報を修正することも可能である。
【００５０】
基板Ｗにおける液滴の配置位置を示す吐出位置データは、主走査における基板Ｗとノズル５２との相対的な位置を示すものである。前述したように、基板Ｗはステージ５に載置されて、移動台２２により主走査方向（Ｙ軸方向）に移動する。基板Ｗの主走査方向における位置、すなわち、ステージ５の主走査方向の位置は、主走査においてワーク移動機構２０のエンコーダーから周期的に出力されるエンコーダーパルスをカウントすることで制御される。基板Ｗに対するインクジェットヘッド５０すなわちノズル５２の副走査方向（Ｘ軸方向）の位置は、ヘッド移動機構３０のエンコーダーから周期的に出力されるエンコーダーパルスをカウントすることで制御される。これにより、吐出位置データに基づいて、液滴が吐出されるノズル５２と基板Ｗとが相対的に配置され、ノズル５２から液滴が基板Ｗに向けて吐出される。
【００５１】
＜液滴吐出方法＞
次に、本実施形態の液滴吐出方法について、カラーフィルターの形成方法に適用した例を挙げ、図６〜図１１を参照して説明する。図６はカラーフィルター基板の構成を示す概略平面図、図７はカラーフィルター基板の構造を示す概略断面図である。図８は隔壁における開口部及び着弾領域の配置例を示す概略平面図、図９は液滴吐出方法における液滴の着弾状態の例を示す概略平面図、図１０は液滴吐出方法における液滴の着弾状態の他の例を示す概略平面図、図１１は液滴吐出方法における液滴の着弾状態を示す概略断面図である。
【００５２】
図６及び図７に示すように、カラーフィルター基板１００は、透光性の基板１０１と、基板１０１上に形成されたカラーフィルター１１０とを有している。カラーフィルター１１０は、赤（Ｒ）の着色層１１０Ｒと、緑（Ｇ）の着色層１１０Ｇと、青（Ｂ）の着色層１１０Ｂと、遮光性の隔壁１０５とを含んで構成されている。図６に示すように、着色層１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂのそれぞれは、平面視で略長方形であり、それぞれ隔壁１０５に囲まれた領域に形成されている。同色の着色層が図面上において列方向（あるいは着色層の長手方向）に配列し、異なる色の着色層１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂが図面上において行方向（あるいは着色層の短手方向）に配列している。このような着色層１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂの配列の仕方は、ストライプ方式と呼ばれている。このようなカラーフィルター基板１００が用いられる例えば液晶表示装置などの表示装置では、３色の着色層１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂが１つの表示画素単位として扱われる。なお、ストライプ方式の表示画素単位における異なる色の着色層の配列は、Ｒ、Ｇ、Ｂの順に限定されるものではなく、例えばＢ、Ｇ、Ｒの順でもよいし、Ｇ、Ｂ、Ｒの順としてもよい。
【００５３】
図７に示すように、基板１０１上における着色層１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂの膜厚は、例えば１．０μｍ〜２．０μｍである。これに対して、基板１０１上における隔壁１０５の高さ（膜厚）は、着色層１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂの膜厚よりも大きい。このような隔壁１０５の形成方法としては、例えば遮光性の材料を含む樹脂を所定のパターン形状となるようにオフセット法などの印刷法で形成する方法や、遮光性の顔料を含む感光性樹脂をスピンコート法やロールコート法で塗布して塗布膜を形成し、該塗布膜を露光・現像することで所望のパターン形状とするフォトリソグラフィー法などを挙げることができる。
【００５４】
一方、着色層１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂの形成方法は、前述した液滴吐出装置１０を用い、色材を含む液状体をインクジェットヘッド５０のノズル５２から隔壁１０５で囲まれた領域に塗布し、塗布された液状体を乾燥させ固化して形成する。隔壁１０５で囲まれた領域に塗布される液状体の量を調整することにより、着色層１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂのそれぞれの膜厚をほぼ同じとすることも可能であると共に、１つの着色層の膜厚を他の着色層の膜厚と異ならせることも可能である。着色層１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂのそれぞれの膜厚を調整することで、カラーフィルター１１０における光の透過率や、色再現性、色バランスなどの光学特性を調整することができる。着色層１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂをフォトリソグラフィー法で形成する場合に比べて、着色層１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂのそれぞれの膜厚すなわち光学特性を比較的に容易に調整できる点で、液滴吐出法の方が優れている。
【００５５】
次に、液滴吐出法を用いて色材を含む液状体が吐出される隔壁１０５の開口部及び着弾領域の配置例について、図８を参照して説明する。
図８に示すように、遮光性の隔壁１０５には、平面視で略長方形の開口部１０５ａが形成されている。開口部１０５ａに色材を含む液状体が塗布されて着色層が形成される。塗布された液状体が開口部１０５ａにムラなくぬれ広がるように、開口部１０５ａの角部は円弧状となっている。なお、開口部１０５ａの平面形状はこれに限定されず、短辺側が円弧状であってもよい。
【００５６】
説明の便宜上、図８において、左側から右側に配列している開口部１０５ａを第１開口部、第２開口部、第３開口部とする（なお、図９、図１０も同様である）。第１開口部の幅をＷ１とし、第２開口部の幅をＷ２とし、第３開口部の幅をＷ３とする。第１開口部と第２開口部との間の隔壁１０５の幅をＬ１とし、第２開口部と第３開口部との間の隔壁１０５の幅をＬ２とする。図８に示した開口部１０５ａの配置例では、Ｗ１＝Ｗ２＝Ｗ３であり、Ｌ１＝Ｌ２である。つまり、短手方向の幅が一定の開口部１０５ａが短手方向に等間隔に配置されている。
【００５７】
複数の開口部１０５ａのそれぞれにおいて、液状体の液滴を着弾させる着弾領域１０５ｅは、破線で示した長方形である。図８において中央に位置する第２開口部に着目すると、第２開口部の右側に隣り合う第３開口部の第２開口部側の端部から所定の距離Ｌを置いて着弾領域１０５ｅの短手方向における一方の端部を設定する。また、第２開口部の左側に隣り合う第１開口部の第２開口部側の端部から所定の距離Ｌを置いて着弾領域１０５ｅの短手方向における他方の端部を設定する（領域設定ステップ）。つまり、本実施形態では同じ大きさの開口部１０５ａが短手方向に配列していることから、各開口部１０５ａにおける着弾領域１０５ｅの短手方向の位置は同じであり、着弾領域１０５ｅは各開口部１０５ａの短手方向における中央部に位置している。なお、各開口部１０５ａの長手方向における着弾領域１０５ｅの位置も短手方向と同様に、長手方向において当該開口部１０５ａに隣り合う開口部１０５ａの端部から所定の距離をおいて設定してもよい。長手方向に隣り合う開口部１０５ａには同色の着色層が形成されることから、当該開口部１０５ａにおける着弾領域１０５ｅの長手方向の位置は、短手方向の位置に比べて厳密に設定する必要はない。
【００５８】
本実施形態の液滴吐出方法は、前述した液滴吐出装置１０を用いて行われるものであって、具体的な液滴の着弾のさせ方について、まず図９に示す例を説明する。
図９に示すように、本例は、短手方向に配列する開口部１０５ａのうち左側の第１開口部に着色層１１０Ｒを形成するものである。ノズル列５２の複数のノズル５２の配列方向が、開口部１０５ａの短手方向に沿うように、液滴吐出装置１０において、インクジェットヘッド５０に対して隔壁１０５が形成された基板１０１を配置する。つまり、開口部１０５ａの長手方向がＹ軸方向（主走査方向）に沿うように基板１０１が配置される。このように副走査方向（Ｘ軸方向）に沿ってノズル列５２ｃを配置して選択されたノズル５２から、主走査方向（Ｙ軸方向）に長手方向が合致するように配置された開口部１０５ａに液滴を吐出する主走査を行うこと（吐出ステップ）、すなわち液滴を所定の範囲に塗布する描画を行うことを縦描画と呼ぶ。なお、縦描画におけるノズル列５２ｃの配置は副走査方向（Ｘ軸方向）に沿った方向であることに限定されず、主走査方向（Ｙ軸方向）に対して斜めに交差する方向であってもよい。ノズル列５２ｃを主走査方向に対して斜めに傾けることで、主走査方向から見たときの実質的なノズル５２の配置間隔を小さくできる。言い換えれば、主走査において副走査方向（Ｘ軸方向）に液滴Ｄを配置可能な間隔を小さくすることができる。
【００５９】
着色層１１０Ｒが形成される第１開口部の着弾領域１０５ｅは前述した吐出位置データにおいてビットマップとして含まれており、着色層１１０Ｇが形成される隣り合う第２開口部の端部から所定の距離Ｌを置いて設定された着弾領域１０５ｅにノズル５２から赤（Ｒ）の色材を含む液状体が液滴Ｄとして吐出されて着弾する。インクジェットヘッド５０と基板１０１とが主走査方向（図９で矢印にて示す方向）に相対的に移動している間に、当該ノズル５２から予め決められた数の液滴Ｄが吐出分解能に基づく間隔で着弾領域１０５ｅに着弾する。前述したように吐出分解能はμｍ（マイクロメーター）単位であることから、図９に示すように、Ｙ軸方向に連続して複数の液滴Ｄを着弾させると、液滴Ｄの着弾間隔（時間および距離）が短いため、液滴Ｄ同士は合体してより大きな液滴Ｄｓになり易い。
【００６０】
図９では、１回の主走査で着弾領域１０５ｅに掛かる１つのノズル５２から４滴の液滴Ｄを吐出する例を示しているが、液滴Ｄの吐出数は、これに限定されるものではない。第１開口部に塗布される液状体の量は、第１開口部の面積及び着色層１１０Ｒの膜厚と、液状体に含まれる色材を含む固形分の濃度とによって決まる。また、当該液状体の量によって、１回の主走査で着弾領域１０５ｅに着弾させる液滴Ｄの吐出数が決まる。縦描画の場合、主走査方向から見たときのノズル５２の間隔と開口部１０５ａの幅にもよるが、１回の主走査で開口部１０５ａに掛かるノズル５２の数は、図９に示すように１つまたは２つである。１回の主走査において、基板１０１上における赤（Ｒ）の着色層１１０Ｒを形成するすべての開口部１０５ａにノズル５２が適切な位置で掛かるとは限らないので、基板１０１に対してノズル５２の位置を相対的にずらす副走査を行ってから再び主走査を行うことになる。
【００６１】
本実施形態における着弾領域１０５ｅの設定は、ノズル５２から吐出された液滴Ｄの中心がＸ軸方向における着弾領域１０５ｅの端部に着弾する液滴Ｄを含める技術思想で設定されている。したがって、図９に示すように、着弾領域１０５ｅのＸ軸方向の一方の端部上に１回の主走査で複数の液滴Ｄが着弾する場合、複数の液滴Ｄが合体して着弾径が大きくなった液滴Ｄｓは、第１開口部と第２開口部との間の隔壁１０５に乗り上がって第２開口部に漏れるおそれがある。液滴Ｄｓの最大径は、吐出された複数の液滴Ｄの着弾径として定義できる。前述した特許文献１や特許文献２のように液滴Ｄが吐出される開口部１０５ａのＸ軸方向の端部を基準として着弾領域１０５ｅの位置を決める方法では、このような液滴Ｄｓの漏れを防止することは困難である。なぜならば、着弾した複数の液滴Ｄの着弾径を十分に考慮しているとは言えないからである。
【００６２】
本実施形態の液滴吐出方法では、着弾領域１０５ｅの一方の端部に複数の液滴Ｄが着弾したとしても、複数の液滴Ｄが合体してできた液滴Ｄｓが第１開口部に隣り合う第２開口部に漏れないように、第１開口部の右側に隣り合う第２開口部の第１開口部側の端部から所定の距離Ｌを置いて着弾領域１０５ｅの短手方向における一方の端部が設定されている。
したがって、所定の距離Ｌは、１回の主走査によって着弾した複数の液滴Ｄが合体してできる液滴Ｄｓの最大径の半分（液滴Ｄｓの半径）の値に、液滴吐出装置１０おける着弾位置誤差の値を加えた値よりも大きいことが好ましい。なお、第１開口部の着弾領域１０５ｅのＸ軸方向における他方の端部の設定についても、上記一方の端部と同様に上記所定の距離Ｌを用いて設定する（領域設定ステップ）。
【００６３】
液滴Ｄは、主走査においてビットマップ（吐出位置データ）で設定された目標着弾位置に着弾するように、所定の吐出タイミングでノズル５２から吐出される。着弾位置誤差は、目標着弾位置に対する実際の着弾位置の位置ズレ量として得られる。着弾位置誤差（着弾位置ズレ量）は、メンテナンス機構７０を用いた検査吐出などにより、予め取得しておくことが望ましい。着弾位置誤差は、インクジェットヘッド５０が備える複数のノズル５２のうち一つのノズル５２における着弾位置ズレ量、あるいは当該ノズル５２における複数回の検査吐出結果から得られる着弾位置ズレ量の平均値、最大値、最小値、または標準偏差に基づいて評価してもよい。また、複数のノズル５２の着弾位置ズレ量の平均値、最大値、最小値、または標準偏差に基づいて評価してもよい。または複数のノズル５２における複数回の検査吐出結果から得られる着弾位置ズレ量の平均値、最大値、最小値、または標準偏差に基づいて評価してもよい。
【００６４】
所定の距離Ｌを定めるに当たり、隔壁１０５に一部が乗り上がった状態で、液滴Ｄｓの最大径を精度よく計測することは難しい。そこで、本実施形態では、隔壁１０５上にダミー液滴Ｄａを吐出し、ダミー液滴Ｄａの位置を計測することで着弾領域１０５ｅに着弾する液滴Ｄの中心位置を正確に推定できる。また、着弾領域１０５ｅに着弾させる液滴Ｄの数と同数の液滴Ｄを隔壁１０５上に吐出してダミー液滴Ｄａを形成し、その最大径を計測すれば、容易且つ精度よく液滴Ｄｓの最大径を推定することが可能である。
【００６５】
なお、上記液滴吐出方法の例においては、副走査方向（Ｘ軸方向）が本発明の第１の方向に相当するものであり、主走査方向（Ｙ軸方向）が本発明の第２の方向に相当するものである。また、基板１０１は、本発明における基体の一例である。
【００６６】
次に、本実施形態の液滴吐出方法における他の液滴の着弾のさせ方について、図１０を参照して説明する。
図１０に示すように、本例は、ノズル列５２の複数のノズル５２の配列方向が、開口部１０５ａの長手方向に沿うように、液滴吐出装置１０において、インクジェットヘッド５０に対して隔壁１０５が形成された基板１０１を配置する。つまり、開口部１０５ａの短手方向がＹ軸方向（主走査方向）に沿うように基板１０１が配置される。このように副走査方向（Ｘ軸方向）に沿ってノズル列５２ｃを配置して選択されたノズル５２から、副走査方向（Ｘ軸方向）と長手方向とが合致するように配置された開口部１０５ａに少なくとも２つ以上のノズル５２から液滴Ｄを吐出する主走査を行うこと（吐出ステップ）を、先の縦描画に対して横描画と呼ぶ。なお、横描画におけるノズル列５２ｃの配置は副走査方向（Ｘ軸方向）に沿った方向であることに限定されず、縦描画と同様に主走査方向（Ｙ軸方向）に対して斜めに交差する方向であってもよい。
【００６７】
図１０では、１回の主走査において第１開口部の着弾領域１０５ｅに掛かる４つのノズル５２からそれぞれ１滴ずつ液滴Ｄを吐出する。また、隣り合うノズル５２における吐出タイミングを変えて液滴Ｄを吐出する。これにより、着弾領域１０５ｅにおいて副走査方向（Ｘ軸方向）に隣り合って着弾する液滴Ｄの主走査方向（Ｙ軸方向）における位置がずれる。すなわち、液滴Ｄ同士の着弾間隔が縦描画に比べて長くなることから、液滴Ｄが合体し難くなる。合体する液滴Ｄの数が減れば、合体してできる液滴Ｄｓの着弾径も縦描画に比べて小さくなる傾向となる。したがって、縦描画に比べて横描画は所定の距離Ｌを小さくすることが可能である。言い換えれば、第１開口部と第２開口部との間の隔壁１０５の幅を縦描画に比べて小さくしても、第１開口部に吐出され着弾径が大きくなった液滴Ｄｓが第２開口部に漏れ難くなる。
【００６８】
なお、横描画において着弾領域１０５ｅに液滴Ｄを吐出するノズル５２の数は、４つに限らず前述したように少なくとも２つである。主走査方向（Ｙ軸方向）から見たときの２つのノズル５２の間隔が、副走査方向（Ｘ軸方向）における液滴Ｄの着弾間隔となり、横描画の方が縦描画よりも副走査方向（Ｘ軸方向）の着弾間隔が大きくなる。よって、隣り合うノズル５２における吐出タイミングは必ずしも変えなくてもよい。
【００６９】
上記液滴吐出方法及び上記液滴吐出方法をコンピューターに実行させるプログラムによれば、液滴Ｄが着弾する当該開口部１０５ａの着弾領域１０５ｅの端部は、当該開口部１０５ａに隣り合う開口部１０５ａの端部を基準として、着弾後の液滴Ｄｓの着弾径と、液滴吐出装置１０における着弾位置誤差とを考慮して、所定の距離Ｌを置いた位置に設定されている（領域設定ステップ）。したがって、図１１に示すように、インクジェットヘッド５０の少なくとも１つのノズル５２から複数の液滴Ｄを吐出して、第１開口部に着弾して着弾径が大きくなった液滴Ｄｓは、第１開口部と第２開口部との間の隔壁１０５に乗り上がったとしても第２開口部側に漏れない。遮光性の隔壁１０５の表面が液状体に対して撥液性を示すように予め表面処理を施しておく、あるいは隔壁１０５自体を撥液性の素材を用いて形成することで、隔壁１０５に乗り上がった液滴Ｄｓを開口部１０５ａ内に収容することが可能である。
すなわち、液滴吐出装置１０を用い、本実施形態の液滴吐出方法を適用して、カラーフィルター１１０を形成すれば、液滴Ｄｓの漏れに起因する混色を低減して歩留りよくカラーフィルター１１０を形成することができる。
【００７０】
なお、上記液滴吐出方法の他の例においては、主走査方向（Ｙ軸方向）が本発明の第１の方向に相当するものであり、副走査方向（Ｘ軸方向）が本発明の第２の方向に相当するものである。
【００７１】
（第２実施形態）
次に、第２実施形態の他の液滴吐出方法について、有機ＥＬ装置の製造方法に適用した例を挙げ、図１２〜図１４を参照して説明する。図１２は有機ＥＬ装置の構成例を示す概略平面図、図１３は有機ＥＬ素子の構成例を示す概略断面図、図１４は有機ＥＬ装置のサブ画素に対応した開口部と着弾領域の配置例を示す概略平面図である。
【００７２】
＜有機ＥＬ装置＞
図１２に示すように、有機ＥＬ装置２００は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の発光（発光色）が得られるサブ画素２１０Ｒ，２１０Ｇ，２１０Ｂが配置された素子基板２０１を有している。各サブ画素２１０Ｒ，２１０Ｇ，２１０Ｂは略長方形であり、素子基板２０１の表示領域Ｅにおいてマトリックス状に配置されている。以降、サブ画素２１０Ｒ，２１０Ｇ，２１０Ｂを総称してサブ画素２１０と呼ぶこともある。同じ発光色のサブ画素２１０が図面上において垂直方向（列方向あるいはサブ画素２１０の長手方向）に配列し、異なる発光色のサブ画素２１０が図面上において水平方向（行方向あるいはサブ画素２１０の短手方向）にＲ，Ｇ，Ｂの順で配列している。すなわち、異なる発光色のサブ画素２１０Ｒ，２１０Ｇ，２１０Ｂが所謂ストライプ方式で配置されている。なお、サブ画素２１０Ｒ，２１０Ｇ，２１０Ｂの平面形状と配置は、これに限定されるものではない。また、略長方形とは、長方形に加えて、角部が丸くなった四角形、対向する２辺部が円弧状となった四角形を含むものである。
【００７３】
サブ画素２１０Ｒには、赤（Ｒ）の発光が得られる有機ＥＬ素子が設けられている。同じく、サブ画素２１０Ｇには、緑（Ｇ）の発光が得られる有機ＥＬ素子が設けられ、サブ画素２１０Ｂには、青（Ｂ）の発光が得られる有機ＥＬ素子が設けられている。
【００７４】
このような有機ＥＬ装置２００は、異なる発光色が得られる３つのサブ画素２１０Ｒ，２１０Ｇ，２１０Ｂを１つの表示画素単位として、それぞれのサブ画素２１０Ｒ，２１０Ｇ，２１０Ｂは電気的に制御される。これによりフルカラー表示が可能となっている。なお、本実施形態では、赤（Ｒ）の発光が得られるサブ画素２１０Ｒの面積が、他のサブ画素２１０Ｇ，２１０Ｂよりも小さくなっている。
【００７５】
各サブ画素２１０Ｒ，２１０Ｇ，２１０Ｂには、図１３に示す有機ＥＬ素子２３０が設けられている。図１３に示すように、有機ＥＬ素子２３０は、素子基板２０１上に設けられた絶縁膜２０２と、一対の電極としての画素電極２０３及び対向電極２０４と、画素電極２０３と対向電極２０４との間に設けられた、発光層２３３を含む機能層２３６とを有している。
【００７６】
画素電極２０３は、陽極として機能するものであり、サブ画素２１０Ｒ，２１０Ｇ，２１０Ｂごとに設けられ、例えばＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）などの透明導電膜を用いて形成されている。
【００７７】
絶縁膜２０２は、例えば酸化シリコンや窒化シリコンあるいは酸窒化シリコンなどを用いて形成される。
【００７８】
機能層２３６は、画素電極２０３側から、正孔注入層２３１、正孔輸送層２３２、発光層２３３、電子輸送層２３４、電子注入層２３５が順に積層されたものである。特に、発光層２３３は発光色に応じて構成材料が選ばれるが、ここでは発光色に関わらず総称して発光層２３３と呼ぶ。なお、機能層２３６の構成は、これに限定されるものではなく、これらの層以外に、電荷（キャリア；正孔や電子）の移動を制御する中間層などを備えていてもよい。
【００７９】
対向電極２０４は、陰極として機能するものであり、サブ画素２１０Ｒ，２１０Ｇ，２１０Ｂに共通した共通電極として設けられ、例えば、Ａｌ（アルミニウム）やＡｇ（銀）とＭｇ（マグネシウム）の合金などを用いて形成されている。
【００８０】
陽極としての画素電極２０３側から発光層２３３にキャリアとしての正孔が注入され、陰極としての対向電極２０４側から発光層２３３にキャリアとしての電子が注入される。発光層２３３において注入された正孔と電子とにより、励起子（エキシトン；正孔と電子とがクーロン力にて互いに束縛された状態）が形成され、励起子（エキシトン）が消滅する際（正孔と電子とが再結合する際）にエネルギーの一部が蛍光や燐光となって放出される。
【００８１】
有機ＥＬ装置２００において、光反射性を有するように対向電極２０４を構成すれば、発光層２３３からの発光を素子基板２０１側から取り出すボトムエミッション方式とすることができる。また、画素電極２０３と素子基板２０１との間に反射層を設ける、または光反射性を有するように画素電極２０３を構成し、光透過性を有するように対向電極２０４を構成すれば、発光層２３３からの発光を対向電極２０４側から取り出すトップエミッション方式とすることもできる。本実施形態では、有機ＥＬ装置２００がボトムエミッション方式であるとして、以降の説明を行う。なお、有機ＥＬ装置２００は、サブ画素２１０Ｒ，２１０Ｇ，２１０Ｂごとの有機ＥＬ素子２３０をそれぞれ独立して駆動することができる画素回路を素子基板２０１に備えたアクティブ駆動型である。画素回路は公知の構成を採用することができるので、図１３では画素回路の図示を省略している。
【００８２】
有機ＥＬ装置２００は、サブ画素２１０Ｒ，２１０Ｇ，２１０Ｂごとの有機ＥＬ素子２３０における画素電極２０３の外縁と重なると共に、画素電極２０３上に開口部２０５ａを構成する隔壁２０５を有している。
有機ＥＬ素子２３０は、機能層２３６を構成する正孔注入層２３１、正孔輸送層２３２、発光層２３３が液滴吐出法で形成されたものである。それぞれの層を構成する成分と溶媒とを含んだ液状体（インク）を隔壁２０５で囲まれた膜形成領域としての開口部２０５ａに塗布して乾燥・焼成することにより、それぞれの層が形成されている。それぞれの層を所望の膜厚で形成するためには、所定量の液状体（インク）を量的にも位置的にも精度よく開口部２０５ａに塗布する必要がある。
【００８３】
とりわけ、本実施形態の有機ＥＬ装置２００では、赤（Ｒ）の発光色が得られる有機ＥＬ素子に比べて、緑（Ｇ）や青（Ｂ）の発光色が得られる有機ＥＬ素子の発光寿命が短いことから、単位面積当たりに流れる電流量を異ならせることにより異なる発光色の有機ＥＬ素子間の発光寿命に差が生ずることを抑制している。つまり、赤（Ｒ）の発光が得られるサブ画素２１０Ｒの面積を、他のサブ画素２１０Ｇ，２１０Ｂよりも小さくしている。このようなサブ画素２１０の面積の調整は、異なる発光色の有機ＥＬ素子間で一定の駆動条件下で得られる発光輝度が異なる場合にも適用される。つまり、サブ画素２１０Ｒ，２１０Ｇ，２１０Ｂごとに所定の発光輝度及び発光寿命が得られるように面積を調整することがある。
【００８４】
＜他の液滴吐出方法＞
本実施形態における他の液滴吐出方法は、図１４に示すように、サブ画素２１０Ｒ，２１０Ｇ，２１０Ｂのうち最も面積が小さいサブ画素２１０Ｒでは、隔壁２０５に設けられた開口部２０５ＲａのＸ軸方向において隣り合う開口部２０５Ｇａの端部から開口部２０５Ｒａ側に所定の距離Ｌを置いて着弾領域２０５Ｒｅの一方の端部を設定する。また、開口部２０５ＲａのＸ軸方向において隣り合う開口部２０５Ｂａの端部から開口部２０５Ｒａ側に所定の距離Ｌを置いて着弾領域２０５Ｒｅの他方の端部を設定する。同様にして、開口部２０５ＧａのＸ軸方向において隣り合う開口部２０５Ｂａの端部から開口部２０５Ｇａ側に所定の距離Ｌを置いて着弾領域２０５Ｇｅの一方の端部を設定する。また、開口部２０５ＧａのＸ軸方向において隣り合う開口部２０５Ｒａの端部から開口部２０５Ｇａ側に所定の距離Ｌを置いて着弾領域２０５Ｇｅの他方の端部を設定する。また、開口部２０５ＢａのＸ軸方向において隣り合う開口部２０５Ｒａの端部から開口部２０５Ｂａ側に所定の距離Ｌを置いて着弾領域２０５Ｂｅの一方の端部を設定する。また、開口部２０５ＢａのＸ軸方向において隣り合う開口部２０５Ｇａの端部から開口部２０５Ｂａ側に所定の距離Ｌを置いて着弾領域２０５Ｂｅの他方の端部を設定する。
【００８５】
この場合、Ｘ軸方向における、開口部２０５Ｒａの幅をＷ１とし、開口部２０５Ｇａの幅をＷ２とし、開口部２０５Ｂａの幅をＷ３とすると、Ｗ１＜Ｗ２≦Ｗ３の関係を満たすものである。また、Ｘ軸方向における、開口部２０５Ｒａと開口部２０５Ｇａとの間の隔壁２０５の幅をＬ１とし、開口部２０５Ｇａと開口部２０５Ｂａとの間の隔壁２０５の幅をＬ２とすると、Ｌ１＞Ｌ２の関係を満たすものである。さらに、所定の距離Ｌは、着弾した複数の液滴の着弾径を考慮し、着弾時の最大径の半分の値に、液滴吐出装置１０における着弾位置誤差を加えた値よりも大きく設定されている。これにより、最も面積が小さい開口部２０５Ｒａの着弾領域２０５Ｒｅは、Ｘ軸方向において開口部２０５Ｒａの中央部に位置する。開口部２０５Ｒａよりも面積が大きい開口部２０５Ｇａの着弾領域２０５Ｇｅは、Ｘ軸方向において開口部２０５Ｇａの中央部ではなく開口部２０５Ｒａ側に位置する。開口部２０５Ｒａよりも面積が大きい開口部２０５Ｂａの着弾領域２０５Ｂｅは、Ｘ軸方向において開口部２０５Ｂａの中央部ではなく開口部２０５Ｒａ側に位置する。なお、前述したカラーフィルター基板１００と同様に、各開口部の長手方向における着弾領域の位置も短手方向と同様に、当該開口部に長手方向において隣り合う開口部の端部から所定の距離をおいて設定してもよい。長手方向に隣り合う開口部には同色の発光が得られる有機ＥＬ素子が形成されることから、当該開口部における着弾領域の長手方向の位置は、短手方向の位置に比べて厳密に設定する必要はない。以上が本発明の液滴吐出方法における領域設定ステップに相当するものである。
【００８６】
そして、例えば、図１４に示すように、複数のノズル５２からなるノズル列５２ｃが副走査方向（Ｘ軸方向）に沿うように配置されたインクジェットヘッド５０に対して、開口部２０５Ｒａ，２０５Ｇａ，２０５Ｂａの長手方向が主走査方向（Ｙ軸方向）に沿うように素子基板２０１を配置して液滴を吐出する主走査（縦描画）を行う（吐出ステップ）。そうすると、主走査において最も面積が小さな開口部２０５Ｒａに掛かるノズル５２から複数の液滴を着弾領域２０５Ｒｅの一方の端部に着弾させたとしても、着弾領域２０５Ｒｅに着弾して着弾径が大きくなった液滴は、隣り合う開口部２０５Ｇａや開口部２０５Ｂａに漏れない。同様に、開口部２０５Ｇａの着弾領域２０５Ｇｅの他方の端部に液滴が着弾したとしても開口部２０５Ｇａで着弾径が大きくなった液滴は、開口部２０５Ｇａよりも面積が小さい開口部２０５Ｒａに漏れない。開口部２０５Ｂａの着弾領域２０５Ｂｅの一方の端部に液滴が着弾したとしても開口部２０５Ｂａで着弾径が大きくなった液滴は、開口部２０５Ｂａよりも面積が小さい開口部２０５Ｒａに漏れない。また、開口部２０５Ｂａの着弾領域２０５Ｂｅの他方の端部に液滴が着弾したとしても開口部２０５Ｂａで着弾径が大きくなった液滴は、開口部２０５Ｂａの面積と同じまたは小さい面積の開口部２０５Ｇａに漏れない。
【００８７】
本実施形態の液滴吐出方法及び該液滴吐出方法をコンピューターに実行させるプログラム、並びに該液滴吐出方法が適用された有機ＥＬ装置２００の製造方法によれば、機能層形成材料を含む液状体は、サブ画素２１０Ｒ，２１０Ｇ，２１０Ｂに対応する開口部２０５Ｒａ，２０５Ｇａ，２０５Ｂａのそれぞれの着弾領域に液滴として吐出され、隣り合う開口部に漏れない。したがって、塗布された液状体を乾燥・焼成すれば、開口部２０５Ｒａ，２０５Ｇａ，２０５Ｂａのそれぞれにおいて所望の膜厚の機能層が得られる。開口部２０５Ｒａ，２０５Ｇａ，２０５Ｂａにおいて異なる発光色が得られる発光層形成材料を含む液状体同士が混じることがないので、各サブ画素２１０Ｒ，２１０Ｇ，２１０Ｂから所望の色の発光が得られる。つまり、歩留りよく有機ＥＬ装置２００を製造することができる。
なお、液滴を吐出する主走査の方式は、縦描画に限らず横描画においても、本実施形態の液滴吐出方法を適用可能である。また、上記第２実施形態の液滴吐出方法では、副走査方向（Ｘ軸方向）が本発明の第１の方向に相当するものであり、主走査方向（Ｙ軸方向）が本発明の第２の方向に相当するものである。また、素子基板２０１は、本発明における基体の一例である。
【００８８】
本発明は、上記した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲および明細書全体から読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う液滴吐出方法及びプログラム、該液滴吐出方法を適用する電気光学装置の製造方法もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。
【００８９】
（変形例１）上記第１実施形態の液滴吐出方法を適用するカラーフィルター１１０は、３色の着色層１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂがストライプ状に配置されたものであることに限定されない。例えば、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）以外の黄（Ｙ）の着色層を備えていてもよい。
【００９０】
（変形例２）上記第２実施形態の液滴吐出方法を上記第１実施形態のカラーフィルター１１０の形成方法に適用してもよい。つまり、着色層１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂのうち少なくとも１つの着色層の面積を他の着色層の面積と異ならせてもよい。着色層の面積を異ならせることにより、カラーフィルター１１０における光の透過率やホワイトバランス、色再現性などの光学特性を調整することができる。
【００９１】
（変形例３）上記第２実施形態の液滴吐出方法は、サブ画素２１０Ｒ，２１０Ｇ，２１０Ｂにおいてそれぞれ異なる発光色が得られる有機ＥＬ素子２３０の機能層の形成に適用されることに限定されない。例えば、サブ画素２１０Ｒ，２１０Ｇ，２１０Ｂにおいてそれぞれ白色の発光色が得られる有機ＥＬ素子を素子基板２０１に形成し、当該素子基板２０１と、着色層１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂのうち少なくとも１つの着色層の面積を他の着色層の面積と異ならせたカラーフィルター１１０を有するカラーフィルター基板１００とを対向配置して有機ＥＬ装置２００を構成してもよい。
【符号の説明】
【００９２】
１０…液滴吐出装置、５０…吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッド、５２…ノズル、１０１…基板、１０５…隔壁、１０５ａ…開口部、１０５ｅ…着弾領域、１１０…カラーフィルター、１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂ…着色層、２０１…基体としての素子基板、２０５…隔壁、２０５ａ，２０５Ｒａ，２０５Ｇａ，２０５Ｂａ…開口部、２０５Ｒｅ，２０５Ｇｅ，２０５Ｂｅ…着弾領域、Ｄａ…ダミー液滴。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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