(57)【要約】【課題】回路基板用シートの供給に伴う、摩擦による位置決め部材の摩耗・削れ防止を図る。【解決手段】回路基板用シートを積載する積載手段である積載台１３６と、積載された回路基板用シートを位置決めする位置決め手段と、位置決め手段により位置決めされた回路基板用シートを分離させる分離手段であるとともに、分離手段によって分離された回路基板用シートを搬送する搬送手段である搬送ベルト１６１と、を有する回路基板用シート供給装置１００であって、位置決め手段として用いられる位置決め部材であるサイドフェンス１０、エンドフェンス１５は、少なくとも回路基板用シートとの接触部分が回路基板用シートよりも高い耐摩耗性を備えている。【選択図】図８
2017109867.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路基板用シートを積載する積載手段と、
前記積載された回路基板用シートを位置決めする位置決め手段と、
前記位置決め手段により位置決めされた回路基板用シートを分離させる分離手段と、
前記分離手段によって分離された回路基板用シートを搬送する搬送手段と、を有する回路基板用シート供給装置であって、
前記位置決め手段として用いられる位置決め部材は、少なくとも回路基板用シートとの接触部分が回路基板用シートよりも高い耐摩耗性である回路基板用シート供給装置。
【請求項２】
前記積載された回路基板用シートにエアを噴出し回路基板用シートの端部を浮上させるエア噴出し手段を有し、
前記分離手段は、前記浮上した回路基板用シートを保持し分離させる保持部材であることを特徴とする請求項１記載の回路基板用シート供給装置。
【請求項３】
前記位置決め部材は、所定の剛性であることを特徴とする請求項１又は２記載の回路基板用シート供給装置。
【請求項４】
前記位置決め部材は、素材及び該素材の表面がコーティング処理を施されたコーティング処理部を具備し、
回路基板用シートの耐摩耗性は、前記素材の耐摩耗性よりも高く、かつ、前記コーティング処理部の耐摩耗性よりも低いことを特徴とする請求項１〜３の何れか１つに記載の回路基板用シート供給装置。
【請求項５】
前記位置決め部材は、非伝導性の材料でコーティング処理を施されていることを特徴とする請求項４記載の回路基板用シート供給装置。
【請求項６】
前記位置決め部材は、前記積載された回路基板用シートの重量に耐えられる所定の剛性を備えた素材で構成され、かつ、回路基板用シートと前記素材との接触部表面がダイヤモンドライクカーボンでコーティング処理を施されていることを特徴とする請求項４又は５記載の回路基板用シート供給装置。
【請求項７】
前記コーティング処理が、前記素材の表面全体、回路基板用シートと接触する前記素材の面、前記素材における回路基板用シート搬送時の搬送経路の接触面、又は前記搬送経路の接触面及びその裏面部に施されていることを特徴とする請求項４〜６の何れか１つに記載の回路基板用シート供給装置。
【請求項８】
前記位置決め部材は、回路基板用シートの搬送方向に沿って複数設けられており、
前記コーティング処理が、前記位置決め部材の何れか１つ、又は全ての前記位置決め部材に施されていることを特徴とする請求項４〜６の何れか１つに記載の回路基板用シート供給装置。
【請求項９】
前記位置決め部材は、回路基板用シートの搬送方向と直交する幅方向に沿って複数設けられており、
前記コーティング処理が、前記複数の位置決め部材の何れか１つ、又は前記複数の位置決め部材に施されていることを特徴とする請求項４〜６の何れか１つに記載の回路基板用シート供給装置。
【請求項１０】
前記位置決め部材は、前記積載された回路基板用シートの重量に耐えられる所定の剛性を備えた素材で構成され、かつ、回路基板用シートと前記素材の接触部表面がダイヤモンドライクカーボン素材のシート状部材が装着されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか１つに記載の回路基板用シート供給装置。
【請求項１１】
前記位置決め部材は、装置本体に対して着脱可能に構成されていることを特徴とする請求項１〜１０の何れか１つに記載の回路基板用シート供給装置。
【請求項１２】
請求項１〜１１の何れか１つに記載の回路基板用シート供給装置の前記位置決め手段として用いられる位置決め部材であって、
前記位置決め部材は、少なくとも回路基板用シートとの接触部分が回路基板用シートよりも高い耐摩耗性であり、かつ、所定の剛性及び非伝導性を兼ね備えていることを特徴とする位置決め部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回路基板用シート供給装置及び位置決め部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
用紙等のシート状の記録媒体を供給する記録媒体供給装置において、サイドフェンスおよびエンドフェンスを使用し搬送方向の位置決めを行うことで、搬送前の積載ズレを防ぎ、不給紙や重送を防止する技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１には、記録媒体からなる被搬送物搬送時における被搬送物との接触面が摩耗することによって発生する被搬送物の不送りや損傷を防止する目的で、被搬送物との接触面を耐摩耗性の高い材料で形成することについて開示されている。
【０００３】
しかしながら、特許文献１を含む従来技術では、被搬送物がシート状のプリプレグや、これらの複合材で形成された回路基板用シートの搬送時において以下の問題があった。即ち、特にプリプレグを含む回路基板用シートとの摩擦によって、サイドフェンスが摩耗し削れてしまい、その削り粉が回路基板用シート自体に付着してしまうという問題があった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、回路基板用シートの供給に伴う、摩擦による位置決め部材の摩耗・削れ防止を図ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明は、回路基板用シートを積載する積載手段と、前記積載された回路基板用シートを位置決めする位置決め手段と、前記位置決め手段により位置決めされた回路基板用シートを分離させる分離手段と、前記分離手段によって分離された回路基板用シートを搬送する搬送手段と、を有する回路基板用シート供給装置であって、前記位置決め手段として用いられる位置決め部材は、少なくとも回路基板用シートとの接触部分が回路基板用シートよりも高い耐摩耗性である回路基板用シート供給装置である。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、位置決め部材の摩耗・削れ防止を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の実施形態１に係る回路基板用シート供給装置の斜視図である。
【図２】回路基板用シート供給装置のエア噴射ノズル装置による回路基板用シートの浮上状態及び搬送ベルトによる回路基板用シートの保持状態を示す模式的な拡大断面図である。
【図３】実施形態１の回路基板用シート供給装置により実行される主な工程を示すフローチャートである。
【図４】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は実施形態１に係る回路基板用シート供給装置の動作推移状態を示す図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）は図４（ｃ）に続く回路基板用シート供給装置の動作推移状態を示す図である。
【図６】実施形態１のサイドフェンス及びエンドフェンスの基本的な構成を説明する図である。
【図７】（ａ）〜（ｃ）はサイドフェンス及びエンドフェンスの素材に対してＤＬＣコーティング処理が施される範囲を示す外観斜視図である。
【図８】搬送方向に沿って複数配置された位置決め部材（サイドフェンス）を備えた実施例５に係る回路基板用シート供給装置の斜視図である
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図を参照して実施例を含む本発明の実施の形態を詳細に説明する。各実施形態等に亘り、同一の機能及び形状等を有する構成要素（部材や構成部品）等については、混同の虞がない限り一度説明した後では同一符号を付すことによりその説明を省略する。
【０００９】
（実施形態１）
図１、図２を用いて、本発明の実施形態１に係る回路基板用シート供給装置の全体構成について説明する。図１は、本発明の実施形態１に係る回路基板用シート供給装置の斜視図である。図２はエア噴射ノズル装置による回路基板用シートの浮上状態及び搬送ベルトによる回路基板用シートの保持状態を示す模式的な拡大断面図である。
図１等において、搬送方向Ｘは回路基板用シートの搬送方向に、上下方向Ｚは回路基板用シートの積層方向に、幅方向Ｙは搬送方向Ｘと上下方向Ｚに対して直交する方向に、それぞれ相当する。各図において適宜示す白抜き矢印や実線矢印は、各装置へのエアの出入り方向を表わしている。
【００１０】
本発明の供給対象物である回路基板用シートには、公知の全ての回路基板に用いられるシートが含まれる。例えば、炭素繊維やガラスクロスのような繊維状補強材に、硬化剤、着色剤などの添加物を混合した熱硬化性樹脂等を含浸させ、加熱又は乾燥して半硬化状態にしたシート状の強化プラスチック成形材料（プリプレグ）が含まれる。また、プリプレグなどに銅箔や金箔等の処理を施したものも含まれる。
【００１１】
図１、図２に示すように、回路基板用シート束１は、複数枚の回路基板用シートを積層状態にしたものである。回路基板用シート供給装置１００において、回路基板用シート束１は、底板である積載台１３６上に積層状態で積載される。
積載台１３６は、回路基板用シートを積載する積載手段ないしは積層状態で準備する準備手段として機能する。積載台１３６は、回路基板用シート積載部駆動手段である昇降機構で上下方向Ｚに移動可能である。また、回路基板用シート供給装置１００は、回路基板用シート束１の上面位置を検出する回路基板用シート検出手段としての検知センサ２０と、昇降機構の駆動を制御して回路基板用シート束１の上面位置を制御する回路基板用シート位置制御手段とを備える。これにより、積載台１３６上の回路基板用シート束１の上面が検知センサ２０によって検出される所定の高さ位置を占めると、後述する動作を介して、最上位の回路基板用シート１Ａが分離されて搬送される。
【００１２】
回路基板用シート供給装置１００には、積載台１３６上に積載状態にある回路基板用シート束１の位置決めを行う位置決め手段である位置決め部材としての、一対のサイドフェンス１０、１０と、前端ガイド板１３８と、２つのエンドフェンス１５が設けられている。
サイドフェンス１０、１０は、積載台１３６の回路基板用シート幅方向Ｙの両側に配置され、配置された回路基板用シート束１の搬送方向Ｘに直交する回路基板用シートの幅方向Ｙの位置決めを行う。前端ガイド板１３８は、回路基板用シート束１の搬送方向Ｘに相当する長さ方向前端の位置決めを行う。さらに、エンドフェンス１５は、同じく長さ方向後端の位置決めを行う。
【００１３】
図１のサイドフェンス１０、１０の一方（図において左奥側）に二点鎖線で示すサイドエアノズル３７０は、回路基板用シート束１の側端部にサイドエアＡｃを噴出・吹き付けるサバキ用送風手段・エア噴出し手段である第２のエア噴出し部材として機能する。サイドエアノズル３７０は、サイドエアを生成するサイドエア生成手段として機能するサイドブロア（例えば送風ファンからなる）に接続されている。
【００１４】
図１、図２の浮上保持搬送装置１６０は、駆動ローラ１６２と、従動ローラ１６３と、搬送ベルト１６１と、負圧エアチャンバ３１０とを備える。駆動ローラ１６２は、駆動軸１６２ａで回転駆動され、従動ローラ１６３は、駆動ローラ１６２の駆動で転動する搬送ベルト１６１につれて回転する。搬送ベルト１６１は、負圧エアチャンバ３１０に連通する吸引孔が多数明けられたエンドレス状のベルト部材である。負圧エアチャンバ３１０は、後述する図４等に示す吸引ブロア３９０に接続されていて、外部の吸引ブロア３９０から吸引されて負圧状態を保ち、搬送ベルト１６１の吸引孔で最上位の回路基板用シート１Ａを吸引・吸着する。吸引ブロア３９０は、吸引用エアを生成する吸引用エア生成手段として機能する。
上記したとおり、浮上保持搬送装置１６０及び搬送ベルト１６１は、浮上した回路基板用シートをエア吸引による負圧で吸着して保持し分離させる分離手段ないしは保持手段と、分離手段によって分離され保持した回路基板用シートを搬送する搬送手段としての機能を有する。また、分離手段としての搬送ベルト１６１は、浮上した回路基板用シートを保持し分離させる保持部材としても機能する。
【００１５】
積載された回路基板用シート束１の前端に対向する位置には、エア吹き付け手段でもあるエア噴射ノズル装置３００が配置される。エア噴射ノズル装置３００には、外部から加圧された気体・エアである空気が送られて溜めるエアチャンバ３２０が配置されている。また、エアチャンバ３２０には、浮上ノズル３２２が設けられている。
【００１６】
上記したとおり、エア噴射ノズル装置３００は、積載台１３６上に積載・準備された回路基板用シートを浮上させる浮上手段として機能する。さらに、エア噴射ノズル装置３００は、積載された回路基板用シートにエアを噴出し回路基板用シートの前側の端部を浮上させるエア噴出し手段及び搬送方向Ｘと反対方向にエアを噴出す第１のエア噴出し部材として機能する。
気体である空気には、除電された空気や、その他回路基板用シートを浮上させ、１枚ずつに分離するために用いられる気体なども含まれる。特に炭素繊維を含む回路基板用シートは、積層状態の回路基板用シート同士が静電気の作用で密着していて容易に分離しにくいため、積層状態の回路基板用シート束１に除電された空気を吹き付けることは有効である。
【００１７】
図２に示すように、浮上ノズル３２２は、回路基板用シート束１の前側の端部（以下、前端部ともいう）に向けて浮上エアＡａを吹き付け、回路基板用シート束１から回路基板用シートを浮き上がらせる。尚、吹き出すエアを温風にすれば、回路基板用シートへの除湿効果も加わり、分離・サバキをより効果的に行うことができる。
【００１８】
図３は、本実施形態の回路基板用シート供給装置１００により実行される主な工程を示す図である。図４、図５は、回路基板用シート供給装置１００による動作推移を説明する図である。
まず、図４（ａ）を用いて、上述した回路基板用シート供給装置１００の構成及び動作について補説する。図４（ａ）に示す回路基板用シート供給装置１００は、積載台１３６に積載された回路基板用シート束１の前端面に向かってエアチャンバ３２０から浮上エアＡａを吹き付け、この風によって搬送ベルト１６１（回路基板用シート保持部）の高さまで浮上させる。そして、吸引ブロア３９０の作動により、回路基板用シート束１の最上面の１枚を搬送ベルト１６１によって保持させる。搬送ベルト１６１に保持した最上位の回路基板用シート１Ａは１枚だけになっているとは限らず、回路基板用シート間が密着した状態で保持していることもある。そこでサイドフェンス１０、１０に設けられたサバキ用送風手段であるサイドエアノズル３７０にてサイドエアを吹き付け、搬送ベルト１６１に保持した回路基板用シート１Ａを１枚にさばく。サバキとは、サイドエアノズル３７０からエアを噴出させることで、回路基板用シート間の密着力を低下させることで分離を補助することである。
その後、回路基板用シート１Ａは搬送ベルト１６１の搬送により目的とする搬送先（例えば次工程）へと搬送され、その後必要な処理が行われる。
【００１９】
回路基板用シート束１は積載台１３６上で回路基板用シートサイズに合わせるように、前端面を基準面として揃えている。また、浮上保持搬送装置１６０における搬送方向Ｘの下流には、回路基板用シート到達の検知を行う給送センサ１７９が設けられている。
【００２０】
次に、回路基板用シート供給装置１００の動作・工程について、順を追って説明する。
（１）回路基板用シートを積層状態で準備する準備工程（ステップＳ１）は、位置決め工程を含んでおり、例えば次のように行われる。具体的には、操作者によって回路基板用シート束１は積載台１３６上に積載されるとともに、回路基板用シートサイズに合わせてセットすべく、その前端面が前端ガイド板１３８に突き当てられ基準面として揃えられる。また、サイドフェンス１０、１０及びエンドフェンス１５を操作することによって、回路基板用シート束１の側端面及び後端面がそれぞれ揃えられる。
尚、準備工程においては、例えばオペレータ等の人手に代えて、ロボットや専用装置によって、上記したように回路基板用シート束１の積載動作や回路基板用シートサイズ合わせを行うものであってもよい。
【００２１】
回路基板用シート供給装置１００の制御部から回路基板用シート給送指令が来ると、図４（ａ）に示すように、エア噴射ノズル装置３００のエアチャンバ３２０、サイドエアノズル３７０を含むサバキ用送風手段が作動する。そして、回路基板用シート各端部へのエアを吹き付ける第１の工程としての浮上工程が開始される（図３のステップＳ２）。エアチャンバ３２０の浮上ノズル３２２からの浮上エアＡａが吹き付けられ、またサイドエアノズル３７０からサイドエアが吹き付けられることで、準備された積載台１３６上の最上部の回路基板用シート１Ａ、１Ｂ、１Ｃを浮上させる。これにより、最上部の回路基板用シート１Ａ、１Ｂ、１Ｃ同士の接触面積が変えられる。同時に、浮上している回路基板用シートを保持する第２の工程としての保持工程（図３のステップＳ３）が開始され、搬送ベルト１６１によるエア吸引が開始する（図２参照）。それにより最上位の回路基板用シート１Ａが浮上し、図４（ｂ）に示すように搬送ベルト１６１に最上位の回路基板用シート１Ａが吸着保持される。
【００２２】
尚、図４（ｂ）において、エアチャンバ３２０や搬送ベルト１６１の符号に括弧書きで付した（ＡＤ）は、エアチャンバ３２０による吹き付け駆動状態、搬送ベルト１６１の吸引駆動状態にあることを表している。また、搬送ベルト１６１の符号に付した（ＳＴ）は、搬送ベルト１６１が停止状態にあることを表している。
図３のステップＳ４の「サバキ工程」は搬送ベルト１６１が保持した回路基板用シートをさばく工程であり、上述したようにサイドエアノズル３７０を含むサバキ用送風手段によって行われる。
【００２３】
（２）次いで、図４（ｃ）に示すように、搬送ベルト１６１の駆動が開始され、搬送ベルト１６１により保持された回路基板用シート１Ａを搬送する搬送工程が行われる（図３のステップＳ５）。
尚、図４（ｃ）において、搬送ベルト１６１の符号に括弧書きで付した（ＤＲ）は回転搬送駆動状態にあることを表している。
【００２４】
（３）次いで、図５（ａ）に示すように、所定の時間が経過後に回路用基板シート１Ａが搬送ベルト１６１を抜けた後、搬送ベルト１６１の回転搬送駆動を停止する。
（４）回路基板用シート１Ａが搬送ベルト１６１の保持領域を抜けた直後、図５（ｂ）に示すように、次の回路基板用シート１Ａがエア吹き付けにより浮上し、搬送ベルト１６１に保持される。
（５）設定した回路基板用シート給送間隔に応じて、搬送ベルト１６１の駆動を再開し、回路基板用シート１Ａの給送を行う。
（６）以降、上述の図４（ｂ）〜図５（ｂ）の繰り返しにより、回路基板用シートが順次搬送される。
【００２５】
ここで、背景技術及び課題を補足する。上述したように、位置決め部材であるサイドフェンスやエンドフェンス等が特にプリプレグを含む回路基板用シートとの摩擦によって、摩耗し削れてしまうという問題を解決することが必須となっている。
また、回路基板用シートの供給には、伝導性（導電性）物質を付着させてはならないという制約がある。即ち、回路基板用シートとしてプリプレグを含むものは、多数枚給送された後、電子回路基板等の回路基板を作製するための素材となる。回路基板中のプリプレグが金属製のサイドフェンスと接触することで、金属製のサイドフェンスを摩擦により削り取り、これによって発生する伝導性物質が供給する回路基板用シートに付着してしまうこととなる。伝導性物質が付着した状態で回路基板を作製してしまうと、予期せぬ所でショートが発生してしまう確率が高くなる。従って、回路基板用シートを次工程に供給する際に、回路基板用シートに対する伝導性物質の付着を確実に防止することが必須となっている。
また、回路基板用シートとして用いられるプリプレグは一般的な用紙と比較して単位面積当たりの重量が重い。このため、積載台へ積載する回路基板用シート枚数の関係でかなりの質量となるため、従来の金属製サイドフェンス並みの剛性も持たせなくてはならないという制約がある。
【００２６】
本願発明者らは、上記の観点から以下の実施例等を創作した。図４、図５で説明した回路基板用シートの浮上、保持、分離、搬送工程における挙動から、特にサイドフェンスは回路基板用シートと接触し、その摩擦によって摩耗し削られやすい。そこで、以下、具体的には位置決め部材としてのサイドフェンス及びエンドフェンスで代表して説明する。
【００２７】
図６に示すように、一対のサイドフェンス１０、１０及び２つのエンドフェンス１５、１５は、少なくとも回路基板用シートとの接触部分が回路基板用シートよりも高い耐摩耗性を備えている位置決め部材として構成されている。図６は実施形態１の一対のサイドフェンス１０、１０及び２つのエンドフェンス１５、１５の基本的な構成を説明する図である。
【００２８】
ここで、「位置決め部材は、少なくとも回路基板用シートとの接触部分が回路基板用シートよりも高い耐摩耗性である」とは、位置決め部材が回路基板用シートと接触しその摩擦によって摩耗し削られてしまうことで、位置決め部材を頻繁に交換しなければならないような耐久性の低い表面性状でないことを意味する。換言すれば、位置決め部材は所定の耐摩耗性を備えていることが必須である。
【００２９】
さらに具体的には、位置決め部材は、素材（基材）と、該素材の表面がコーティング処理を施されたコーティング処理部とから構成されており、回路基板用シートの耐摩耗性は、素材の耐摩耗性よりも高く、かつ、コーティング処理部の耐摩耗性よりも低くなるように構成されている。即ち、耐摩耗性に関して、コーティング処理部＞回路基板用シート＞素材という関係に設定されている。この耐摩耗性の大小関係により、記録媒体である用紙や紙が回路基板用シートに含まれないことを明定した。
【００３０】
「位置決め部材は、所定の剛性である」とは、積載状態の回路基板用シートの重量によって、位置決め部材が変形することにより本来の機能が発揮できなくならないような剛性を意味する。具体的には、サイドフェンスに例をとれば、サイドフェンスが設定されている積載枚数の回路基板用シートを支えることができる程度の剛性が必要であるということである。
【００３１】
また、「位置決め部材は、非伝導性の材料でコーティング処理を施されている」とは、回路基板用シートとの接触部分である位置決め部材のコーティング処理部が非伝導性である他に、その周りの部分も回路基板用シートと接触する可能性があることにより、非伝導性であることが好ましいことを意味する。それ故に、回路基板用シートとの直接接触する部分も含め、その周りの部分も非伝導性であることが好ましい。
【００３２】
（実施例１）
サイドフェンス１０、１０及び２つのエンドフェンス１５、１５は、前記所定の剛性として、積載状態の回路基板用シートの重量に耐えられる剛性を備えた素材で構成されている。加えて、サイドフェンス１０、１０及び２つのエンドフェンス１５、１５は、回路基板用シートと前記素材の接触部表面がダイヤモンドライクカーボン（Diamond-Like Carbon：以下、「ＤＬＣ」と略記する）でコーティング処理を施されている。
ＤＬＣは、主として炭化水素、あるいは炭素の同位体からなる非晶質（アモルファス）の硬質膜であり、硬質炭素膜とほぼ同質である。ＤＬＣの一般的な特徴は、硬質で耐摩耗性に優れ、非伝導性であること等が挙げられる。このように、ＤＬＣは、非伝導性、非常に薄いにも関わらず硬質、安価（表面のみ、使用部分分量のみのため）である。
【００３３】
サイドフェンス１０、１０及び２つのエンドフェンス１５の素材は、例えば、金属製材料であるＳＵＳ（ステンレススチール）で形成されている。
素材は、前記材料に限らず、アルミニウムやＳＰＣＣ(板金素材)でもよく、回路基板用シートの多枚数積載に耐えられる剛性があればよい。
【００３４】
実施例１では、サイドフェンス１０、１０及び２つのエンドフェンス１５の素材に対して、ＤＬＣコーティング処理を施すが、具体的なコーティング方法は次のようである。コーティング方法としては、ハイブリッド方式コーティング装置、イオン化蒸着式コーティング装置、プラズマＣＶＤ装置などの装置を使用したり、スパッタリング法、アーク法を用いて行う。
ＤＬＣコーティング処理を施して得られるＤＬＣコーティングの厚さは、１．０〜２．５μｍが望ましい。
【００３５】
実施例１によれば、前記構成により、回路基板用シート搬送時の摩擦によって発生する位置決め部材の摩耗・削れを抑制防止することができるとともに、伝導性物質の付着を防止できる。また、回路基板用シートの多重量積載に耐えられる剛性確保を達成することができる。
ＤＬＣは、非伝導性、非常に薄いにも関わらず硬質、安価（表面のみ、使用部分分量のみのため）であり、従来のサイズフェンス等の位置決め部材の構成にコーティング処理を施すだけで実装できる。また、素材を選ばないため、重量低減も期待できる。
【００３６】
（実施例２）
図７を用いて、実施例２以下を説明する。図７（ａ）〜図７（ｃ）はサイドフェンス及びエンドフェンスの素材に対してＤＬＣコーティング処理が施される範囲を示す外観斜視図である。図７（ａ）に示すサイドフェンス１０Ａ及びエンドフェンス１５Ａは、ＤＬＣコーティング処理がそれらの素材の表面全体に施されている。図６、図７（ａ）〜図７（ｃ）において、１１はＤＬＣコーティング処理が施されたＤＬＣ処理部（図中メッシュ模様で示す）を示している。ＤＬＣ処理部１１は、コーティング処理部の一例である。
【００３７】
（実施例３）
図７（ｂ）に示すサイドフェンス１０及びエンドフェンス１５は、図６にも示したように、ＤＬＣコーティング処理がそれらの素材の回路基板用シートと接触する素材の面に施されている。
【００３８】
（実施例４）
図７（ｃ）に示すサイドフェンス１０Ｂ及びエンドフェンス１５Ｂは、ＤＬＣコーティング処理がそれらの素材における回路基板用シート搬送時の搬送経路の接触面、又は搬送経路の接触面及びその裏面部に施されている。
【００３９】
実施例２〜４から、ＤＬＣコーティング処理は、最低限、回路基板用シート搬送経路部にコーティングされていればよい。回路基板用シート搬送経路とは、図４等において、搬送ベルト１６１に吸着保持された回路基板用シート１Ａが搬送方向Ｘの下流へ搬送されるときの経路をいう。図４（ａ）〜図４（ｃ）等では、積載台１３６に積載された最上面の回路基板用シート１Ａが通過する回路基板用シート搬送経路である。
【００４０】
（実施例５）
図８を用いて、実施例５を説明する。図８は搬送方向に沿って複数配置される実施例５に係る位置決め部材（サイドフェンス）を備えた回路基板用シート供給装置の斜視図である。図８に示すように、位置決め部材であるサイドフェンス１０は、搬送方向Ｘに沿って複数（図８では片側２つずつで計４つ）設けられている。これにより、回路基板用シートサイズに対応して位置決めし、供給することができる。ＤＬＣコーティング処理は、サイドフェンス１０の何れか１つ、又は全てのサイドフェンス１０に施されている。サイドフェンス１０の素材に対するＤＬＣコーティング処理の範囲は、図７に示したように、複数通りで設定できる。
このように、複数の位置決め部材がある場合は、任意にＤＬＣコーティング処理が可能である。また、図８において、回路基板用シートの幅方向Ｙの位置決めを行う２つのエンドフェンス１５でも同様である。
【００４１】
（実施例６）
実施例６では、位置決め部材（例えばサイドフェンス１０やエンドフェンス１５）は、装置本体に対して着脱可能に構成されている。
実施例６によれば、回路基板用シート搬送時等の他の要因によって摩耗してしまった場合に交換を行う際や、回路基板用シート自体の削れによって発生する粉の除去清掃を行う際に、容易に取り外しができるため、交換や清掃を容易に行うことができる。
また、図７（ａ）のサイドフェンス１０Ａや、図７（ｃ）のサイドフェンス１０Ｂ等を用いる場合であって、かつ、装置本体に対して着脱可能に構成されている場合では、次のようなことが可能となる。即ち、サイドフェンス１０Ａやサイドフェンス１０Ｂを裏返して取り付けすることによって再利用可能な構成となる。これにより、サイドフェンスの取り外しが容易で、かつ、両面コーティングが施されているならば、裏返して再利用可能となる。
【００４２】
（実施例７）
実施例７では、位置決め部材（例えばサイドフェンスやエンドフェンス）の素材に施すＤＬＣコーティング処理に代えて、回路基板用シートと素材の接触部表面がダイヤモンドライクカーボン素材のシート状部材が貼付け・装着されている。この場合、位置決め部材は、所定の剛性として、積載状態の回路基板用シートの重量に耐えられる剛性を備えた素材で構成されていることが前提となる。
実施例７によれば、ダイヤモンドライクカーボン素材のシート状部材のみの交換だけで済み、金属製の位置決め部材を取り替えることがないため、コスト低減を図れる。
尚、実施例７は、これに限らず、例えば、実施例２〜４のＤＬＣコーティング処理の範囲と同様に、ダイヤモンドライクカーボン素材のシート状部材の貼り付け・装着範囲としてもよい。また、実施例７は、実施例５や６を適用できることは無論である。
【００４３】
実施例１〜７において、ＤＬＣ以外の硬質な非伝導性素材の具体例としては、サファイアガラス、強化ガラス、セラミック、宝石（ダイヤモンドなど）が挙げられる。また、硬質な非伝導性素材以外の素材で、本発明の効果を一部でも実現できる素材としては、硬質で伝導性素材であるチタン合金、非硬質で非伝導性素材である樹脂モールド（交換頻度が高くなる）などが挙げられる。
【００４４】
以上本発明の好ましい実施の形態について説明したが、本発明はかかる特定の実施形態に限定されるものではなく、上述の説明で特に限定していない限り、特許請求の範囲に記載された本発明の趣旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。例えば、上記実施形態や実施例等に記載した技術事項を適宜組み合わせたものであってもよい。
【００４５】
本発明の実施の形態に適宜記載された効果は、本発明から生じる最も好適な効果を列挙したに過ぎず、本発明による効果は、本発明の実施の形態に記載されたものに限定されるものではない。
【符号の説明】
【００４６】
１    回路基板用シート束、被搬送材束
１Ａ、１Ｂ、１Ｃ    回路基板用シート、被搬送材
１０、１０Ａ、１０Ｂ    サイドフェンス（位置決め手段、位置決め部材の一例）
１５、１５Ａ、１５Ｂ    エンドフェンス（位置決め手段、位置決め部材の一例）
１００、１００Ａ    回路基板用シート供給装置
１３６    積載台（積載手段の一例）
１３８    前端ガイド板
１６０    浮上保持搬送装置（分離手段、保持手段の一例）
１６１    搬送ベルト（分離手段、保持手段、保持部材の一例）
１６２    駆動ローラ
１６３    従動ローラ
１６４    吸引孔
３００    エア噴射ノズル装置（エア噴出し手段の一例）
３１０    負圧エアチャンバ
３２０    エアチャンバ
３２２    浮上ノズル（エア噴出し手段、第１のエア噴出し部材の構成）
３３０    浮上ブロア
３７０    サイドエアノズル（エア噴出し手段、第２のエア噴出し部材の構成）
３９０    吸引ブロア
Ａａ      浮上エア
Ａｃ      サイドエア
Ｘ        搬送方向（回路基板用シートの搬送方向の一例）
Ｙ        幅方向（回路基板用シートの搬送方向と回路基板用シートの積層方向に対して直交する方向の一例）
Ｚ        上下方向（回路基板用シートの積層方向の一例）
【先行技術文献】
【特許文献】
【００４７】
【特許文献１】特開２０１１−０６８４５５号公報
【図１】
2017109867.tif 000003
【図２】
2017109867.tif 000004
【図３】
2017109867.tif 000005
【図４】
2017109867.tif 000006
【図５】
2017109867.tif 000007
【図６】
2017109867.tif 000008
【図７】
2017109867.tif 000009
【図８】
2017109867.tif 000010