(57)【要約】【課題】シートの表面を傷つけずに、シートを搬送し、積載することができるシート搬送・積載装置の提供。【解決手段】シート搬送・積載装置１９は、シートを搬送する搬送ベルト４７と、前記搬送ベルトで搬送した前記シートを順次積載するスタック部４８，５０と、前記シートが前記搬送ベルトから浮上するように気流を送る気流送風手段６０，７０と、を備え、前記気流送風手段は、前記シートが前記搬送ベルトの終端から前記スタック部に積載される期間に、前記シートの搬送方向の先端を持ち上げる方向に気流を送ることを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シートを搬送する搬送ベルトと、
前記搬送ベルトで搬送した前記シートを順次積載するスタック部と、
前記シートが前記搬送ベルトから浮上するように気流を送る気流送風手段と、を備え、
前記気流送風手段は、前記シートが前記搬送ベルトの終端から前記スタック部に積載される期間に、前記シートの搬送方向の先端を持ち上げる方向に気流を送ることを特徴とする
シート搬送・積載装置。
【請求項２】
前記スタック部は前記シートの規格に応じた複数のスタックを備え、
前記搬送ベルトは傾斜角度が変動可能であり、
前記傾斜角度を設定して前記シートを前記複数のスタックのいずれかへ搬送させる、選択部をさらに有し、
前記気流送風手段は、前記複数のスタックの各々に対して備えていることを特徴とする
請求項１に記載のシート搬送・積載装置。
【請求項３】
前記シート搬送・積載装置は、個々の前記シートが、所定規格に適合した適合品のシートか、規格に適合しない不適合品のシートかを判断する検査装置と接続されており、
前記スタック部は、前記適合品のシートを積載する適合品スタックと、前記不適合品のシートを積載する不適合品スタックを備え、
前記選択部は、前記検査装置の判断に従って、前記傾斜角度を設定して、前記適合品スタックと前記不適合品スタックに前記シートを搬送させることを特徴とする
請求項２に記載のシート搬送・積載装置。
【請求項４】
前記傾斜角度が変動可能な前記搬送ベルトと、少なくとも１つの前記スタック部とは、同一の筐体内に設けられ、
前記スタック部は、前記シートが搬送される搬送方向において下流に向かって下向きに傾斜し、前記シートの幅方向において操作側に向かって下向きに傾斜しており、
前記スタック部は、スライド機構により操作側に引き出し可能に構成されていることを特徴とする
請求項２又は３に記載のシート搬送・積載装置。
【請求項５】
前記スタック部は、操作側に引き出した後、前記筐体から前記スタック部が取り外し可能であることを特徴とする
請求項４に記載のシート搬送・積載装置。
【請求項６】
前記気流送風手段は、複数のファンを含むことを特徴とする
請求項１乃至５のいずれか一項に記載のシート搬送・積載装置。
【請求項７】
前記シートの特性が、測定あるいは操作者により入力又は設定され、
該シートの特性に応じて前記ファンの流量を変化させることを特徴とする
請求項６に記載のシート搬送・積載装置。
【請求項８】
前記気流送風手段には、前記搬送方向と直交する前記シートの幅方向に複数の気流の吹き出し口が設けられ、各吹き出し口から送られる前記気流の流量を個別に調整可能であることを特徴とする
請求項６又は７に記載のシート搬送・積載装置。
【請求項９】
前記搬送ベルトの終端から排出される前記シートがカールしていて、カール量が搬送幅方向で異なっていたとき、各部のカール量が同じになるように、前記吹き出し口からの前記気流の流量を夫々調整可能であることを特徴とする
請求項８項に記載のシート搬送・積載装置。
【請求項１０】
前記シートを複数枚積載する途中で、任意の枚数ごとに合紙をする手段を備え、
前記合紙が積載されるタイミングでは、一枚ずつシートが搬送される場合よりも、前記気流の流量を多くするように調整することを特徴とする
請求項８又は９項に記載のシート搬送・積載装置。
【請求項１１】
前記複数のファンは、ＰＷＭ制御されることにより、前記気流の流量が調整されることを特徴とする
請求項８乃至１０のいずれか一項に記載のシート搬送・積載装置。
【請求項１２】
気流に除電能力を付与するイオナイザを備えることを特徴とする
請求項１乃至１１のいずれか一項に記載のシート搬送・積載装置。
【請求項１３】
前記スタック部は、積載する際に前記シートの端部の位置を規制する、複数の位置揃え部が、前記シートの四辺に対して設けられていることを特徴とする
請求項１乃至１２のいずれか一項に記載のシート搬送・積載装置。
【請求項１４】
前記複数の位置揃え部のうち、前記シートの前記搬送方向と直交する前記シートの幅方向の位置を規制する２つの幅方向位置揃え部は、前記幅方向に移動可能で、前記搬送方向には移動が規制されることを特徴とする
請求項１３に記載のシート搬送・積載装置。
【請求項１５】
前記スタック部において、前記シートが積載される底面には、帯状の複数の第１の溝又はスリットが前記シートの前記幅方向に沿って形成されており、
前記幅方向位置揃え部の下部は、前記底面の前記複数の第１の溝又はスリットと係合する櫛歯形状を有していることを特徴とする
請求項１４に記載のシート搬送・積載装置。
【請求項１６】
前記複数の位置揃え部のうち、搬送方向先端側に位置し、前記シートの前記搬送方向の位置を規制する先端ストッパーは、前記積載の際の前記シートの特性及び積載状況に応じて、前記搬送方向に移動することを特徴とする
請求項１３乃至１５のいずれか一項に記載のシート搬送・積載装置。
【請求項１７】
前記スタック部において、前記シートが積載される底面には、帯状の第２の溝又はスリットが、前記搬送方向と直交する前記シートの幅方向に沿って形成されており、
前記先端ストッパーの下部の少なくとも一部は、前記底面の前記第２の溝又はスリットと係合していることを特徴とする
請求項１６に記載のシート搬送・積載装置。
【請求項１８】
シートの特性を検査し、個々の前記シートが、所定規格に適合した適合品のシートか、規格に適合しない不適合品のシートかを判断する検査装置と、
前記検査装置で判断された前記シートが適合品か不適合品かの判定結果に基づいて、前記シートを、適合品スタック又は不適合品スタックのいずれかの方へ選択して搬送するように、前記搬送ベルトの傾斜角度を選択する、
請求項１乃至１７のいずれか一項に記載のシート搬送・積載装置と、を備えることを特徴とする
シート検査・仕分け装置。
【請求項１９】
シートを搬送するステップと、
適合品又は不適合品と判定された判定結果に基づいて、前記シートを、適合品スタ
ック又は不適合品スタックのいずれかの方へ選択して搬送するステップと、
前記シートを前記適合品スタック又は前記不適合品スタックへ積載するステップと、
前記シートが搬送ベルトの終端を通った後、前記適合品スタック又は前記不適合品
スタックへ積載されるまでの期間に、前記シートの搬送方向の先端を持ち上げる方向に気流を送るステップと、
を有することを特徴とする
シート搬送・積載方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート搬送・積載装置、シート検査・仕分け装置、及びシート搬送・積載方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリプレグなどのシートを搬送・積載する装置として、リジェクト装置（振り分け装置）は搬送経路を構成する搬送装置の一部を稼動させることで搬送経路を変更し、不適合品スタック（ステージ）にシートを搬送、積載させている。（例えば、特許文献１参照）。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、上記構成において、シートを積載させる際、ステージ上に先に積載されているシートの表面に、次に搬送されてくるプリプレグの先端が接触するときに、先に積載しているシートの表面を傷つけてしまう場合があった。
【０００４】
そこで、本発明は上記事情に鑑み、シートの表面を傷つけずに、シートを搬送し、積載することができるシート搬送・積載装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、本発明の一態様によれば、シートを搬送する搬送ベルトと；前記搬送ベルトで搬送した前記シートを順次積載するスタック部と；前記シートが前記搬送ベルトから浮上するように気流を送る気流送風手段とを備え、前記気流送風手段は、前記シートが前記搬送ベルトの終端から前記スタック部に積載される期間に、前記シートの搬送方向の先端を持ち上げる方向に気流を送ることを特徴とするシート搬送・積載装置を提供する。
【発明の効果】
【０００６】
一態様によれば、シート搬送・積載装置において、シートの表面を傷つけずに、シートを搬送し、積載することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート検査・仕分け装置システム全体図。
【図２】図１に含まれる振り分け装置の構成図。
【図３】本発明の全体の流れを示すフローチャート。
【図４】気流送風手段の斜視図。
【図５】気流送風手段の分解図。
【図６】気流送風手段を別の角度から見た図。
【図７】適合品スタック装置及び振り分け装置の一部の構成図。
【図８】シートの特性に関連する制御ブロック図。
【図９】不適合品スタックの斜視図。
【図１０】不適合品スタックの取り出し状態の説明図であって、（ａ）は不適合品スタックユニットの引出前、（ｂ）は不適合品スタックユニットの引出後を示す。
【図１１】適合品スタックの斜視図。
【図１２】図１１の適合品スタックの別の角度の斜視図。
【図１３】図１１に含まれる、４方向の位置揃え部と対応する移動機構の上面図。
【図１４】適合品スタック内の回路基板用シートの積載状態を示す側面模式図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図面を参照して本発明を実施するための形態について説明する。
【０００９】
〔システムの全体構成〕
本発明を図面に基づいて説明する。図１は、本発明の実施形態に係る、シート検査・仕分け装置（システム）１００の概略構成図である。図１に示す、システム１００は、シート分離供給装置１１０、検査装置１２０、中継搬送装置１３０、振り分け装置１４０、及び適合品スタック装置１５０を有する。
【００１０】
シート分離供給装置１１０は、回路基板用シート（回路基板シート）Ｐを１枚ずつ供給する。シート分離供給装置１１０は、供給シートスタック１０、分離機構１２、及びシート特性検出部１３を含む。
【００１１】
ここで、回路基板用シートＰは、例えば、プリプレグ等の電子回路基板用シートである。傷がついた回路基板用シートを用いて製作された回路基板は、抵抗値等の特性に不具合が生じてしまうため、回路基板用シートを搬送する際には傷をつけないよう注意が必要となる。
【００１２】
なお、プリプレグとして、基材に樹脂組成物を含浸した後に、含浸した樹脂組成物中の樹脂を乾燥機で加熱して半硬化させたものであってもよい。基材は、例えば、ガラス織布やガラスマットやガラスペーパーなどのガラス基材、ポリエステル繊維やアラミド繊維などの織布や不織布で形成される合成樹脂基材、リンター紙やクラフト紙などの紙基材等を用いることができる。含浸させる樹脂組成物として用いられる樹脂は、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂等、従来からプリプレグの製造に用いられる樹脂を用いることができる。
【００１３】
シート分離供給装置１１０において、分離機構１２は、回路基板用シートＰを浮上させて保持搬送することで分離搬送する。回路基板用シートＰ（単にシートともいう）を浮上保持搬送させる分離機構１２は、例えば、駆動ローラ、従動ローラ、搬送ベルト、負圧エアーチャンバ等を備えている。負圧エアーチャンバは、外部から吸引されて負圧状態を保ち、搬送ベルトに設けられ吸引孔で、スタック内の最上位に位置するシートＰを吸引する。このように、シートを浮上させて保持することで、シートＰを一枚ずつ分離搬送する。
【００１４】
シート分離供給装置１１０において、シート特性検出部１３は、シートの種類、厚さ、重量、単位重量等を測定して、シートの特性を検知する。または、シート特性検出部１３は、回路基板用シートＰに設けられた認識用のバーコードやチップ等を読み取ることでシートの性能を検知してもよい。
【００１５】
あるいは、特性を測定するシート特性検出部１３を設けずに、操作者によって、シート特性が入力、設定されてもよい。
【００１６】
供給された回路基板用シートＰは検査装置１２０で表裏から異物の混入等を検査される。詳しくは、検査装置１２０は、検査対象の回路基板用シートＰを搬送する搬送ベルト２１〜２４、及び異物等の欠点、樹脂の含有量、樹脂の硬化度の検査を行う表面検査部２５、裏面検査部２６を備える。また、各検査部２５，２６は、検査項目が所定の範囲内であるかを判断する判定部２１０と、判定部２１０の結果に応じて各機器に指示信号を送る制御部２２０と接続されている。
【００１７】
例えば、回路基板用シートＰが、ガラス基材にエポキシ樹脂組成物を含浸したプリプレグの場合、検査部２５，２６として、異物等の欠点の検査に光反射方式、全体の樹脂の含有量の検査にβ線重さ計による方式、表面と裏面の樹脂の含有量の検査に光反射により表面凹凸の陰影平滑差による判別方式、樹脂の硬化度の検査に光波長吸収式のそれぞれの検査機を用いることができる。
【００１８】
本システム１００では、判定部２１０で、回路基板用シートＰの検査項目が規定通りである適合品の回路基板用シートＰａと、それ以外の、検査で弾かれた品質に傷や汚れがある、不適合品（リジェクト品、リサイクル可能品）の回路基板用シートＰｂとを判別する。不適合品には、作業員が手直し修正を行ったりして、使用可能となる可能性があるものを含み、例えば、表面に付着した異物等を手作業で修正できる場合も含みうる。
【００１９】
回路基板用シートＰは、検査装置１２０を通過後、中継搬送装置１３０を搬送中に判定部２１０にて、合否（適合品か、不適合品か）が判定される。
【００２０】
回路基板用シートＰの判定が合格であれば、振り分け装置１４０において、選択搬送ユニット４７によりＡ方向に搬送され、適合品スタック装置１５０の積載トレイである適合品スタック（スタック部）５０にスタックされる（積載される）。
【００２１】
回路基板用シートＰが検査装置１２０で、所定規格に適合しない不適合品と判定された場合、振り分け装置１４０において、選択搬送ユニット４７が選択駆動モータＭにより、搬送方向が斜め下方向（Ｂ方向）を向くように回転移動（枢動）される。そして、斜め下方向に回路基板用シートＰが搬送され不適合品スタック（スタック部）４８に積載される。振り分け装置１４０の詳細は図２とともに後述する。
【００２２】
適合品スタック装置１５０の適合品スタック（積載トレイ）５０へ積載された回路基板用シートＰは、回路基板用シートとして、回路基板の製造工程に用いられる。
【００２３】
このようなシステムにより回路基板用シートＰを分離・供給して、回路基板用シートＰの表裏から異物等が混入しているかを検査した結果、適合品と不適合品とを仕分けして途中から別経路で搬送して、不適合品スタック４８又は適合品スタック（積載トレイ）５０へ積載させる。以上がシート検査・仕分け装置（システム）１００の全体動作概略である。
【００２４】
なお、適合品スタック装置１５０の直前に、回路基板用シートを複数枚積載する途中で、任意の枚数ごとに合紙をする合紙フィーダ１６１を備える合紙手段１６０を設けてもよい。なお、図１では合紙手段１６０は上方に示しているが、シート検査仕分け装置１００内のいずれかの装置と並ぶように側方に設けられていてもよい。あるいは、合紙手段１６０を配置する段階は、遅くとも適合品スタック装置１５０の上流であればよく、より上流側に設けてもよい。
【００２５】
なお、本発明の実施形態の、シート検査・仕分け装置（システム）１００では、検査結果により、回路基板用シートを適合品と、不適合品の２通りに振り分けたが、検査結果は３種類以上であってもよく、検査結果に応じた３種類以上のスタックに振り分けてもよい。例えば、適合品や不適合品の中でランク分けしたり、適合と不適合のボーダーラインの種類の別に分けたり等が考えられる。
【００２６】
この場合、振り分け装置１４０を２つ以上並べて設けることで、振り分け装置毎にスタックを含み、さらに下流に適合品スタック装置を有することになるので、振り分け先を３つ以上に増加させることが可能になる。あるいは、振り分け装置の１つの筐体内に、振り分けの選択を行う部分と、スタックを２つ以上設けることでも、３種類以上の振り分けが実現可能となる。
【００２７】
下記、本発明の特徴部分である、振り分け装置１４０及び適合品スタック装置１５０（及び合紙）で構成されるシート搬送・積載装置１９０について説明する。なお、適合品スタック装置１５０の適合品スタック（積載トレイ）５０と、不適合品スタック４８とが、シート搬送・積載装置１９０におけるスタック部となる。
【００２８】
［振り分け装置の構成］
図２は振り分け装置１４０の概略構成図である。図３は、本発明の全体の流れを示すフローチャートである。
【００２９】
振り分け装置１４０は、選択搬送ユニット４７に含まれる搬送ベルト（選択搬送ベルト）４２，４３を含む複数の搬送ベルト４１，４４，４５，４６、不適合品スタック４８、及び気流送風手段６０，７０を有する。
【００３０】
図３において、回路基板用シートＰは、そのシート特性を検査されて分離される（ステップＳ１，Ｓ２）。なお、Ｓ１において、シート特性を検査する代わりにシートの特性が操作者によって入力されることで、システムが設定されてもよい。
【００３１】
その後、検査装置１２０を通り（Ｓ３）、適合品か不適合品かの適・不適の判定処理をされながら中継搬送装置１３０を通って、振り分け装置（仕分け装置）１４０へ搬送されてくる。
【００３２】
検査装置１２０、判定部２１０、及び制御部２２０で適合品と判断された場合（Ｓ４でＹｅｓ、Ｓ５）は、搬送経路を分岐させる選択搬送ユニット４７は水平状態から動かされず、図２の搬送ベルト４２ａ，４３ａの位置に存在し、回路基板用シートＰは矢印Ａ方向に搬送される（Ｓ６）。そして、第１の気流送風手段６０により適合品スタック（積載トレイ）５０直前で送風を吹き付けられた後（Ｓ７）、適合品スタック装置１５０の適合品スタック５０の内部に落下して積載される（Ｓ８）。
【００３３】
不適合品と判断された場合（Ｓ４でＮｏ，Ｓ９）、搬送経路を分岐させる選択搬送ユニット４７は選択駆動モータ（選択部）Ｍにより矢印Ｂ側に駆動され、図２の搬送ベルト４２ｂ，４３ｂの位置に存在し、回路基板用シートＰは矢印Ｂ方向に搬送される（Ｓ１０）。そして、第２の気流送風手段７０により、不適合品スタック（トレイ）４８直前で送風を吹き付けられた後（Ｓ１１）、不適合品スタック４８の内部に落下して積載される（Ｓ１２）。
【００３４】
詳しくは、図１及び図２を参照して本システム１００において、積載装置として、独立した適合品積載ステージである適合品スタック５０と、振り分け装置１４０と同一の筐体内にある、リサイクル可能品を積載する不適合品スタック４８とを備える。
【００３５】
上記適合品スタック５０は、同一直線状に配列された複数のコンベアーからなる、搬送ベルト４１〜４６の終端に直後に配置され、検査装置１２０等で適合品と判断した回路基板用シートＰａを積載する。
【００３６】
また、不適合品スタック４８は、配列された複数のコンベアー（搬送ベルト４１〜４６）の下側にあって、選択搬送ユニット４７が進行先を下方に傾けた場合に連接できるところに配置されている。上記不適合品スタック４８は、検査装置１２０で不適合と判断された回路基板用シートＰｂを積載する。
【００３７】
振り分け装置１４０において、判定後の制御部２２０からの指示信号に基づいて、選択搬送ユニット４７が水平を維持した場合、連接する搬送ベルト４６に適合品の回路基板用シートＰａが搬送される。一方、選択搬送ユニット４７が進行先を下方に傾けた場合、不適合品を積載する積載ステージである不適合品スタック４８に不適合品の回路基板用シートＰｂが搬送される。
【００３８】
なお、適合品スタック５０及び不適合品スタック４８の構成の詳細は図２及び図９、図１０を用いて後述する。
【００３９】
回路基板用シートの判別では、回路基板用シートＰを検査装置１２０の検査部２５，２６で検査し、この検査した結果に基づいて判定部２１０で、回路基板用シートＰの検査項目が規定通りである適合品の回路基板用シートＰａと、それ以外のリサイクル可能品である不適合品の回路基板用シートＰｂとを判別する。
【００４０】
次いで、判定部２１０の判定結果によって制御部２２０から選択駆動モータＭに指示信号が送信され、振り分け装置１４０の選択搬送ユニット４７が水平状態で保持したり、傾斜角度を変動したりする。
【００４１】
制御部２２０は、回路基板用シートＰの搬送速度と連動しており、検査部２５，２６を通過した回路基板用シートＰが選択搬送ユニット４７上を搬送されるときに、選択搬送ユニット４７が変動するように信号を送信する。回路基板用シートＰの積載方法は、選択駆動モータＭにより、選択搬送ユニット４７が水平状態で保持したり、傾斜角度を変動したりすることで、回路基板用シートＰを適合品（規格に適した合格品、良品）と、不適合品（リジェクト品、不合格品、不良品）とに選別して積載することができる。
【００４２】
上記回路基板用シートＰの積載方法は、合格品と、検査で弾かれた不適合品（リサイクル可能品）とを別に積載しているので、作業員が後工程でリサイクル可能品のみを容易に取り出し、手直し修正がし易いものである。
【００４３】
なお、回路基板用シートＰの適合品か、不適合品かを判定する検査項目は、回路基板用シートＰの使用用途等により適宜選択、設定されるものである。
【００４４】
また、図２に示すように、搬送先を選択した後、搬送の経路のいずれかの部分に、搬送経路上の回路基板用シートＰの搬送状態を検知する搬送状態センサ９１，９２が設けられていてもよい。
【００４５】
図２に示すように、振り分け装置１４０において、気流送風手段（装置）６０，７０が設けられている。
【００４６】
気流送風手段６０，７０は、シート（Ｐｂ，Ｐａ）が搬送ベルトの終端から排出（搬出）されスタック部４８，５０に積載される期間に、該シート（Ｐｂ，Ｐａ）の搬送方向の先端を持ち上げる方向に、搬送方向と略平行に気流を送る。略平行に送った気流により、シートが搬送ベルトから浮上して、その排出中のシートと、先に積載されているシートとの間に空気の層ができて、排出中のシートは急降下せず、ゆっくりと降下するため、シート面同士の摩擦による傷付を防止できる。
【００４７】
ここで、排出中のシートとは、シートＰｂ，Ｐａの少なくとも一部が搬送ベルト４３ｂ，４６から離れた時から、シートＰｂ，Ｐａがスタック部４８，５０内のシート束の最上面へ積み重ねられる前の期間中のシート、即ち、スタック部４８，５０の上部で自重落下中のシートＰｂ，Ｐａを意味する。
【００４８】
また、略平行に送った気流により、落下方向に対して排出中のシートの先端が持ち上がることになるため、排出中のシートは先端が、先に積載されているシートの上面に衝突することなく、その上面をこすりながら移動することにより排出中のシートの先端だけでなく、先に積載されているシートの上面の傷つきも防止することができる。
【００４９】
即ち、第１の気流送風手段（エアー噴出し部、エアーユニット）６０による噴出しエアーが、排出される回路基板用シートＰｂと、不適合品スタック４８に先に積載されている回路基板用シートＰとの間に吹き込まれる。よって、排出される回路基板用シートＰｂの先端部は浮かせ気味に接触することで先に積載された回路基板用シートＰｂの表面にキズをつけることを防止する。
【００５０】
同様に、第２の気流送風手段（エアー噴出し部、エアーユニット）７０よる噴出しエアーが、排出される回路基板用シートＰａと、適合品スタック５０に先に積載されている回路基板用シートＰｂとの間に吹き込まれる。よって、排出中の回路基板用シートＰａの先端部は浮かせ気味に接触することで先に積載された回路基板用シートＰａの表面にキズをつけることを防止する。
【００５１】
＜気流送風手段の構成＞
図４は、気流送風手段の斜視図であり、図５は、気流送風手段の分解図を示し、図６は、気流送風手段を別の角度から見た図を示す。なお、気流送風手段６０と７０とは、構成が略同一であるため、搬送ユニット４７と水平方向に並列する適合品スタック５０の直前に設けられる気流送風手段７０を用いて説明する。
【００５２】
図５を参照して、気流送風手段７０において、ファン７１ａ，７１ｂ，７１ｃ，７１ｄ，７１ｅ，７１ｆ，７１ｇが奥行き方向（シートＰの幅方向）に並んでいる。これらのファンに対応するように吹き出し口（ノズル）７２ａ，７２ｂ，７２ｃ，７２ｄ，７２ｅ，７２ｆ，７２ｇが設けられている。ファン７１ａ〜７１ｇは、搬送方向上流側のベース部材７３に固定されており、搬送方向下流側はカバー７４で覆われている。
【００５３】
また、振り分け装置１４０の筐体内において、気流送風手段７０から送られる気流に除電能力を付与するイオナイザ７７が夫々備えられている。図６を参照して、イオナイザ７７は、ファン７１ａ〜７１ｇが設けられたベース部材７３の吸気側に、パイプ７６を介して、接続されている。ベース部材７３及びカバー７４の下部には、除電された風を通す経路７５が設けられている。
【００５４】
気流送風手段７０には、複数のファン７１ａ〜７１ｇが設けられており、吹き出し口７２ａ〜７２ｇに対して、ファンによる送風量を調整可能であるため、回路基板用シートＰの幅方向の吹き付け送風量を調整できる。
【００５５】
したがって、回路基板用シートＰの特性（サイズ（縦、横）、厚さ、素材等）により必要なファンのみを駆動させることによりサイズに最適なエアー吹き出しを可能となる。
【００５６】
さらに、搬送状態センサ９１，９２（図１参照）で、搬送の曲がり等を検知したときに、カールしたシートＰに対して、幅方向で異なる送風量を送付することで、積載時の曲がりを補正することができる。
【００５７】
図７は、適合品スタック装置１５０及び振り分け装置１４０の一部の構成図を示す。図１に示すように、最下流の搬送ベルト４６の後段に、第２の気流送風手段７０が設けられている。
【００５８】
この場所に、気流送風手段７０を設けることで、搬送部から排出される回路基板用シートＰと、既に積載されている回路基板用シートＰの間に搬送方向に気流を流すことができる。
【００５９】
気流送風手段７０は、回路基板用シートＰａが搬送ベルト４６の終端から適合品スタック装置へ積載される期間に、回路基板用シートＰａの斜め下方から、搬送ベルト４６から浮上するように、搬送方向に対して略平行に気流を送る。
【００６０】
これにより、回路基板用シートＰａの搬送方向の先端を持ち上げることで、適合品スタック装置１５０の適合品スタック５０に積載されているシートに横から衝突しにくくなる。
【００６１】
さらに、略平行の気流により、排出中の回路基板用シートＰａと、適合品スタック５０に積み重ねられた回路基板用シートＰａとの間に、空気の層が形成されるため、排出中の回路基板用シートＰａはゆっくりと落下する。そのため、排出中のシートＰａと積み重ねられたシートＰａのシート面同士の摩擦や、排出中のシートＰａの先端が積み重ねられたＰａの上面と衝突してこすること、等によるシートの傷付きを防止する。
【００６２】
なお、適合品スタック装置１５０には、積載トレイである適合品スタック５０の他に、回路基板用シートＰａを回収する際に、適合品スタック５０の位置を昇降させる昇降機構や、適合品スタック５０を囲う装置筐体などが設けられていてもよい。
【００６３】
このように搬送部から排出される回路基板用シートＰａと、既に積載されている回路基板用シートＰａの間に搬送方向に気流を流すことで、積載済み回路基板用シートＰａと、排出される回路基板用シートＰａとの摩擦を低減することができる。
【００６４】
上記図４〜図６では、気流送風手段７０を用いて説明したが、同様の構成を、気流送風手段６０にも適用できる。
【００６５】
この例でも同様に、エアー噴出し部（気流送風手段）６０により、噴出されたエアーが、排出される回路基板用シートＰｂと、不適合品スタック４８に先に積載されている回路基板用シートＰｂとの間に吹き込まれる。これにより、新たに積層される最上位の回路基板用シートＰｂの先端部は浮かせ気味に、積層済の回路基板用シートＰｂに接触することで先に積載された回路基板用シートＰｂの表面にキズをつけることを防止する。
【００６６】
＜風量調整等の制御＞
図８に、回路基板用シートの特性に関連する制御ブロックを例示する。上述のように、シート分離供給装置１１０に設けられたシート特性検出部１３で検出したシートの特性を利用して、上述の気流送風手段６０，７０が送り出す風量や、適合品スタック装置１５０における、スタック部４８，５０の幅等を調整可能である。
【００６７】
図８において、制御システム８０は、ＣＰＵ８１、流量制御部８２、及びシート幅制御部８３等を備えている。
【００６８】
流量制御部８２は、不適合品スタック４８へ送られる不適合品の回路基板用シートＰｂへ風を送る第１の気流送風手段６０を制御する第１の流量設定部８６と、適合品スタック（積載トレイ）５０へ送られる適合品の回路基板用シートＰａへ風を送る第２の気流送風手段７０を制御する第２の流量設定部８７と接続される。
【００６９】
シート幅制御部８３は、適合品スタック装置１５０の積載トレイ５０内の先端ストッパー位置調整部８９とジョガー位置調整部８８と接続される。シート幅制御部８３の制御については、図１１〜図１３とともに後述する。
【００７０】
上述のように、シート特性検出部１３では、シートの特性が検出される。シートの特性は例えば、シートの種類、厚さ、重量、単位重量等を測定する。
【００７１】
そして、流量制御部８２は、測定した回路基板用シートＰの特性（サイズ、厚み等）に応じて、複数のファン６１ａ〜６１ｇ，７１ａ〜７１ｇによる気流の流量を変化させる。
【００７２】
例えば、複数のファンの流量を調整する際、ＰＷＭ制御されることにより、前記気流の流量が調整されてもよい。
【００７３】
ここで、上述のように、気流送風手段７０には、前記回路基板用シートの搬送方向の幅方向に複数の気流の吹き出し口７２ａ〜７１ｇ（図５参照）が設けられている構成もありうる。なお、気流送風手段６０にも、図５と同様の構成の複数の気流の吹き出し口が設けられていてもよい。
【００７４】
また、搬送の経路において、幅方向における搬送状態を検知する搬送状態センサ９１，９２を設けていてもよい。流量制御部８２は、搬送状態センサ９１，９２の検知結果に応じて、各吹き出し口からの送られる気流の流量を幅方向に対して、個別に調整可能であってもよい。
【００７５】
例えば、搬送ベルト４６の終端から排出される回路基板用シートＰａがカールしていることを検知した場合、カール量が搬送幅方向で異なっていたとき、各部のカール量に応じて、各部のカール量が同じになるように、吹き出し口からの異なる気流の流量を吹き出すように調整可能である。
【００７６】
例えば、同一の回路基板用シートＰａにおいても、カール量が大きい部分は、その部分に対応する吹き出し口からの気流の流量を少なくし、カール量が小さい部分は、その部分に対応する吹き出し口からの気流の流量を多くする。
【００７７】
流量制御部８２は、回路基板用シートＰを複数枚積載する途中で、図１に示す合紙手段１６０により作製された合紙が積載されるタイミングに応じて気流の流量を変化させる、詳しくは、合紙は重いため、他のシートの方へすぐに落下しないように、気流を多くするように、調整してもよい。
【００７８】
また、図４〜図６に示すイオナイザ７７（６７）を動作させるか否かを制御するイオナイザ制御手段８５を設けてもよい。
【００７９】
ここで、図２に戻って、不適合品スタック４８は搬送方向に対し水平に設置すると、積載時、不適合品の回路基板用シートＰｂが先端のガイド（起立部４８ｃ）に衝突することによりある範囲にばらばらに積載することがある。
【００８０】
また、不適合品スタック４８は回路基板用シートＰａより若干広めにガイド（起立部４８ａ，４８ｂ間の距離）を設定しており、かつ、搬送面と略平行であるため、スタックした回路基板用シートＰｂが不揃いになっていた。
【００８１】
そのため、本発明の実施形態では、不適合品スタック４８の搬送方向（矢印Ｂ方向）にθＡ°の所定角度、傾斜を設けている。
【００８２】
＜不適合品スタックの構成＞
ここで、図９に、不適合品スタック４８の斜視図を示す。図９に示すように、気流送風手段６０は、搬送ベルト４３ｂの後段であって、不適合品スタック４８の近傍に設けられている。
【００８３】
回路基板用シートＰｂが搬送ベルト４３ｂの終端から不適合品スタック４８に積載される期間に、該シートＰｂの搬送方向の先端を持ち上げる方向に、即ち、搬送方向と略平行に気流を送る。この送った気流により、シートＰｂが搬送ベルト４３ｂから浮上し、シートＰｂの表面同士の摩擦や、排出中のシートＰｂ先端と積み重ねられたシートＰｂ上面との衝突やこすれに起因する傷つきを防止する。
【００８４】
また、図９に示すように、本発明の実施形態では、起立部（ジョガー）４８ａ，４８ｂ，４８ｃによりシートＰｂの位置が揃えられる不適合品スタック４８は、シートＰｂの搬送方向において、下流に向かって下向きに所定角度θＡ度、好ましくは２度〜１０度傾斜している。さらに、不適合品スタック４８は、シートＰｂの幅方向において操作側に向かって下向きに、に所定角度θＢ度、好ましくは２度〜１０度の傾斜を設けている。
【００８５】
この構成により、不適合品の回路基板用シートＰｂを搬送下流及び手前側に揃えて積載させることができる。
【００８６】
なお、本発明において、振り分け装置１４０で仕分けされた不適合品の回路基板用シートＰｂはリサイクル可能である。そのため、所定枚数時間又は枚数毎に積載された不適合品の回路基板用シートＰｂを取り出して回収する必要がある。
【００８７】
上記のように、傾斜角度が変動可能な搬送ベルト４２，４３を含む複数の搬送ベルト４１〜４６と、不適合品スタック４８とは、同一の筐体４００である振り分け装置１４０内に設けられている。
【００８８】
ここで、不適合品スタック４８が、シートＰｂの搬送方向において下流に向かって下向きに所定角度傾斜していることで、傾斜するように設定された選択搬送ベルト４３からの延長線上で、搬送面と略同じ角度で、不適合品と判断されたシートＰｂを受け止めて積載することが可能になる。そのため、積載されるシートの傷の発生が抑制できる。
【００８９】
上記のように、不適合品スタック４８が、操作側（手前側）に向かって下向きに所定角度、好ましくは、２度〜１０度傾斜していることで、不適合品である回路基板用シートＰｂを回収する際に取り出しやすくなる。
【００９０】
図１０に不適合品スタック４８の取り出し状態の説明図を示し、（ａ）は不適合品スタックユニットの引出前、（ｂ）は不適合品スタックユニットの引出後を示す。
【００９１】
不適合品スタック４８及び取付けユニット４９は、不適合品スタックユニットとして、スライド機構４１０，４２０によって、筐体４００へ取り付けられている。
【００９２】
また、不適合品スタック４８の手前側には把持部４８Ｈが設けられ、取付けユニット４９の手前側には、把持部４９Ｈが設けられている。このように、スライド機構４１０，４２０や把持部４８Ｈ、４９Ｈを設けることで、不適合品スタック４８が、筐体に対して操作側に引き出しやすくなり、不適合品の回路基板用シートＰｂが取り出しやすくなり好ましい。
【００９３】
なお不適合品スタック４８の把持部の位置は、図９に示すように、不適合品スタック４８の前面側の側面（４８Ｈ）に限られず、後端側の側面にあってもよい（４８Ｉ）。さらには、適合品スタック４８の後端の起立部４８ｃの近傍の上面に設けられていてもよい（４８Ｇ）。２つ以上の辺に対して把持部を設けることで、取り外しがしやすくなる。
【００９４】
さらに、不適合品スタック４８は操作側に引き出した後、筐体から不適合品スタック４８が取り外し可能であると、取り外した状態で、不適合品である回路基板用シートＰｂを回収できるため、より好適である。
【００９５】
上記図１０では、不適合品スタック４８がスライド機構４１０，４２０により、取付けユニット４９と一緒にスライドするが、この構成に限定されず、不適合品スタック４８が取り付けユニット４９に対しても直接スライドされる構成でもよい。直接スライドされる構成は装置の低コスト化を図ることができる。
【００９６】
なお、後述する図１１〜図１３で説明するジョガー移動機構５６，５７と同様の構成の、ジョガー移動機構４８ｄ，４８ｅ，４９ｆが、夫々起立部（ジョガー）４８ａ，４８ｂ，４０ｃの外側に設けられていてもよい。これにより、起立部４８ａ，４８ｂ，４０ｃの位置を駆動力により自動で調整可能にすることができる。
【００９７】
［適合品スタック装置の構成］
図１１は、適合品スタック装置１５０の斜視図を示す。振り分け装置１４０の最も後段の搬送ベルト４６から矢印方向に搬送されてくる適合品の回路基板用シートＰａは、第２の気流送風手段７０から回路基板用シートＰａの斜め下方から搬送方向と略平行にエアーが当てられて、排出中の回路基板用シートＰａ先端をエアーで浮かせた状態で積載トレイ（適合品スタック）５０上に排出積載される。
【００９８】
一般的に、適合品スタックや不適合品スタック等のスタック部は回路基板用シートより若干広めにガイドが設定されていたため、スタックした回路基板用シートが不揃いになっていた。
【００９９】
しかし、本発明のスタック部、例えば適合品スタック装置１５０では、積載トレイ５０上に積載された回路基板用シートＰａは、手前側ジョガー５２、奥側ジョガー５３、後端ジョガー５４及び先端ストッパー５５Ａが設けられており、回路基板用シートＰａの４辺を規制し積載する。
【０１００】
適合品スタック（積載トレイ）５０において、手前側ジョガー５２、奥側ジョガー５３、後端ジョガー５４及び先端ストッパー５５Ａは、積載する際に回路基板用シートＰａの端部の位置を規制する、位置揃え部として機能し、回路基板用シートＰａの四辺に対して設けられている。
【０１０１】
先端ストッパー５５Ａは、回路基板用シートＰａのサイズ（搬送方向長さ，Ｘ方向）に対応する位置まで移動し停止する。
【０１０２】
手前側ジョガー５２、奥側ジョガー５３、及び後端ジョガー５４は、１枚毎に待機位置から規定量移動し回路基板用シートＰａの３辺を押し込み先端ストッパー５５Ａに回路基板用シートＰａ先端を突き当てて揃え積載する。回路基板用シートＰａの斜め下方から搬送方向に対してやや上向きにエアーが当てられた後で積載されるので、回路基板用シート間に空気の層ができ、ジョガーやストッパーによる位置揃えの際に回路基板用シートに傷が生じにくい。
【０１０３】
規定枚数毎に回路基板用シートＰａ間に合紙（貼り合わせたシート）を挿入する。合紙は回路基板用シートＰａの搬送方向中心に通常のシートＰａよりも大きいサイズなので、最上面に積載されると、後端ジョガー５４が合紙後端を押し込み、押し込まれた合紙は合紙ストッパー５５Ｂに突き当たり整列する。
【０１０４】
なお、合紙は回路基板用シートＰａを規定枚数毎の仕切り紙のため揃え精度は問わない。
【０１０５】
図１１に示すように、回路基板用シートＰａの積載枚数が多くなると、それに伴い合紙の枚数も増えその合紙Ｉの影響により回路基板用シートＰａの手前側ジョガー５２と奥側ジョガー５３に接触する部分に、垂れが発生し揃え精度に乱れが発生する。その積載時の乱れを防止するため、手前側ジョガー５２と奥側ジョガー５３の押し込み量をオペレータパネル９９（図８参照）より調整を可能にした。
【０１０６】
上記の構成によれば、いかなるサイズの回路基板用シートでも、適合品の回路基板用シートＰａを確実に積載することができる。さらに、シートスタック部において、回路基板用シートＰａの良好な用紙整列性が実現可能となる。
【０１０７】
図１２は、適合品スタック装置１５０の積載トレイ５０の図１１とは異なる角度からみた斜視図を示す。図１３は、図１１に含まれる、４方向の位置揃え部と対応する移動機構の上面図を示す。図１４は、適合品スタック装置１５０の積載トレイ５０内の回路基板用シートの積載状態を示す側面模式図を示す。
【０１０８】
積載トレイ５０内に積載可能な回路基板用シートＰａのサイズは最小サイズＰｍｉｎから１ｍｍ単位で、縦方向（搬送方向）、及び横方向（幅方向）で夫々独立に調整可能であり、最大サイズＰｍａｘまで積載トレイ５０上で搭載可能とする。例えば、シートは、正方形であってもよいし、長方形であってもよく、長方形の場合は、搬送方向の方を長辺とすると好ましい。なお、搭載可能な最小のサイズの搬送の長さと最大のサイズの搬送方向の長さは約２．６倍程度まで異なることが可能であるとする。
【０１０９】
ここで、手前側ジョガー５２と奥側ジョガー５３は、回路基板用シートＰａのサイズに対応し積載トレイ５０の底面５１上でＹ方向に互いに同じ距離分中心から離れた、移動可能な位置に待機し、回路基板用シートＰａが積載トレイ５０に排出されるのを待つ。
【０１１０】
その際、先端ストッパー５５は回路基板用シートＰａのサイズに対応した、Ｘ方向の所定の位置（図１２の実線から点線で示す位置の範囲）で待機する。
【０１１１】
積載枚数が少ない場合（１枚目から２００枚程度の間）の回路基板用シートＰａが積載トレイ５０内に排出された際、手前側ジョガー５２と奥側ジョガー５３で揃え動作を行うと積載トレイ５０内で、手前側ジョガー５２と奥側ジョガー５３が往復運動を行う際に積載トレイ５０に当たってしまい揃え動作がおこなえない。また、ジョガー５２，５３の空振り等が発生する恐れがある。
【０１１２】
そこで、手前側ジョガー５２と奥側ジョガー５３の下側を櫛歯形状とし、積載トレイ５０の底面５１もジョガーの稼動範囲内にジョガー５２，５３の櫛歯形状の対向する位置に凹形状の櫛歯受け部５１Ｔを多数設け、積載トレイ５０内の積載枚数が少ない場合の手前側ジョガー５２と奥側ジョガー５３の空振りを防止する。
【０１１３】
詳しくは、複数の位置揃え部（５２，５３，５４，５５Ａ）のうち、回路基板用シートＰａの搬送方向の幅方向の位置を規制する２つの幅方向揃え部（５２，５３）の下部には、櫛歯形状となっている。ここで、幅方向位置揃え部（ジョガー）５２，５３の下側の櫛歯形状では、下面から上側に向かって略等間隔の帯状の切り込みが入れられている。そして、切り込みと切り込みの間の部分であって、相対的に下方向へ突出した部分が、櫛歯部５２Ｔ，５３Ｔとなる。
【０１１４】
そして、適合品スタック（積載トレイ）５０の底面５１は、回路基板用シートＰａの搬送方向の幅方向に櫛歯面になっている。底面５１には、櫛歯面として、内側（下側）に凹むように、複数の帯状の溝（又はスリット）が、回路基板用シートＰａの幅方向に沿って例えば略等間隔に形成されている。なお、溝とは、面に対して窪んだ凹部であって、スリットとは、面に対して細長く切れ込まれた貫通孔を意味する。
【０１１５】
その溝又はスリットの部分が、凹形状の櫛歯受け部５１Ｔとして機能し、櫛歯受け部（第１の溝）５１Ｔは櫛歯部５２Ｔ，５３Ｔと嵌合する。
【０１１６】
設けられた溝又はスリットである櫛歯受け部５１Ｔは、側面であるジョガー５２，５３の櫛歯部５２Ｔ，５３Ｔと、スライド可能と係合している。この構成により、ジョガー５２，５３は、底面５１に対して、櫛歯受け部５１Ｔに沿って、回路基板用シートＰａの幅方向にスライド可能であるととともに、搬送方向には移動が規制される。
【０１１７】
積載の際の回路基板用シートＰａの積載状況に応じて、幅方向揃え部５２，５３が底面５１に対して移動可能である。
【０１１８】
積載トレイ５０の底面５１を、ジョガー５２，５３の櫛歯部５２Ｔ，５３Ｔに対向した位置に凹形状の櫛歯受け部５１Ｔを構成することで、回路基板用シートの、ＰｍｉｎサイズからＰｍａｘサイズまで、回路基板用シートＰａのＹ方向端の垂れとジョガー５２，５３の動作の空振りを防止できる。
【０１１９】
適合品スタック装置１５０において、上記移動をさせるために、手前側ジョガー５２及び奥側ジョガー５３を位置移動させるジョガー移動機構５６、５７が設けられている。
【０１２０】
また、先端ストッパー５５Ａは、積載の際のシートＰの特性及び積載状況に応じて、搬送方向に移動可能である。
【０１２１】
先端ストッパー５５Ａが移動可能なように、底面５１には、搬送方向に沿って延伸する（刻まれる）帯状の底面溝又はスリット（第２の溝又はスリット）５１Ｇが設けられており、先端ストッパー５５Ａの下方の一部が、底面溝又はスリット５１Ｇと係合している。
【０１２２】
また、搬送ベルトに近接する後端ジョガー５４の位置を移動させる、後端ジョガー移動機構５８、先端ストッパー５５Ａ（及び合紙ストッパー５５Ｂ）の位置をスライド移動させる先端ストッパー移動機構５９が設けられている。
【０１２３】
ここで、移動機構について説明する。図８に示す制御システム８０内のシート幅制御部８３に接続されるジョガー位置調整部８８からの指示信号は、ジョガー移動機構５６，５７，５８へ送られ、ストッパー位置調整部８９からの指示信号は、先端ストッパー移動機構５９へ送られる。
【０１２４】
回路基板用シートＰａの幅方向の両側に位置するジョガー移動機構５６，５７、及び搬送方向の両側に位置する後端ジョガー移動機構５８及び先端ストッパー移動機構５９は、モータやスライド等を備える、直動式アクチュエータである。
【０１２５】
上記の構成によれば、いかなるサイズの回路基板用シートＰａにおいて、回路基板用シートＰａを確実に積載し、なお且つ、良好な用紙整列性を実現可能な回路基板用シート搬送・積載装置を提供することが可能となる。
【０１２６】
なお、上記の適合品スタック装置１５０に設けられている、位置揃え部（５２，５３，５４，５５Ａ）や係合の構成のスライド係合の構成（５２Ｔ，５３Ｔと５１Ｔ、５５Ａと５１Ｇ）を、不適合品スタック４８へ適用してもよい。例えば、図９や図１０では、スタック４８の面上に溝又はスリットが各方向について１本形成されている構成を示しているが、複数の溝又はスリットが形成された櫛歯形状であってもよい。
【０１２７】
この構成により、不適合品スタックにおいても、シートを確実に積載し、なお且つ、良好な用紙整列性を実現可能となる。
【０１２８】
以上、各実施形態に基づき本発明の説明を行ってきたが、上記実施形態に示した要件に本発明が限定されるものではない。なお、上記実施形態では回路基板用シートＰを本発明のシート搬送検査装置の対象物として説明したが、シートの種類は回路基板の用途に限られず、例えば回路基板以外の用途の樹脂シート等も含む。これらの点に関しては、本発明の主旨をそこなわない範囲で変更することができ、その応用形態に応じて適切に定めることができる。
【符号の説明】
【０１２９】
１０  供給スタック
１２  分離機構
１３  シート特性検出部
４１，４２，４３，４４，４５，４６  搬送ベルト
４７  選択搬送ユニット
４８  不適合品スタック（リジェクト品スタック）
４９  取り付けユニット（ベース）
５０  積載トレイ（適合品スタック）
５１  底面
５１Ｇ  底面溝（第２の溝又はスリット）
５１Ｔ  櫛歯受け部（第１の溝又はスリット）
５２  手前側ジョガー（幅方向位置揃え部）
５２Ｔ  櫛歯部
５３  奥側ジョガー（幅方向位置揃え部）
５３Ｔ  櫛歯部
５４  後端ジョガー
５５Ａ  先端ストッパー
５５Ｂ  合紙ストッパー
５６  手前側ジョガー移動機構
５７  奥側ジョガー移動機構
５８  後端ストッパー移動機構
５９  先端ストッパー移動機構
６０  第１の送風手段
６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，６１ｄ，６１ｅ，６１ｆ，６１ｇ  ファン
６７  イオナイザ
７０  第２の送風手段
７１ａ，７１ｂ，７１ｃ，７１ｄ，７１ｅ，７１ｆ，７１ｇ  ファン
７２ａ，７２ｂ，７２ｃ，７２ｄ，７２ｅ，７２ｆ，７２ｇ  吹き出しノズル（吹き出し口）
７７  イオナイザ
９１，９２  搬送状態センサ
１００  シート検査仕分けシステム
１１０  シート分離供給装置
１２０  シート検査装置
１３０  中継搬送装置
１４０  シート振り分け装置
１５０  適合品スタック装置
１５１  駆動部
１５２  奥側ジョガー移動機構
１５３  スライダロッド
１９０  回路基板用シート搬送・積載装置
２１０  判定部
２２０  制御部
４１０  スライド機構
４２０  スライド機構
４００  振り分け装置の筐体
Ｍ  選択駆動モータ（選択部）
Ｐ  シート（回路基板用シート、例えば、プリプレグ）
Ｐａ  適合品のシート
Ｐｂ  不適合品のシート
【先行技術文献】
【特許文献】
【０１３０】
【特許文献１】特開２００２−２３３８２７号公報
【図１】
2017109864.tif 000003
【図２】
2017109864.tif 000004
【図３】
2017109864.tif 000005
【図４】
2017109864.tif 000006
【図５】
2017109864.tif 000007
【図６】
2017109864.tif 000008
【図７】
2017109864.tif 000009
【図８】
2017109864.tif 000010
【図９】
2017109864.tif 000011
【図１０】
2017109864.tif 000012
【図１１】
2017109864.tif 000013
【図１２】
2017109864.tif 000014
【図１３】
2017109864.tif 000015
【図１４】
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