(57)【要約】【課題】弁体に１つの封止部しか設けられていない場合と比較して封止部の交換頻度を低減することができ、また、封止部の交換を短時間で容易に行うことができるゲート装置、処理システムおよび封止部交換方法を提供する。【解決手段】ゲート装置１０は、複数の平面が設けられ、軸心を中心として回転可能となっている弁体２０と、弁体２０における各平面にそれぞれ設けられた封止部（例えば、シール材２２）と、弁体２０が収容され、開口１４が設けられている弁体収容部１２とを備えており、弁体収容部１２に設けられている開口１４を、複数の封止部のうちある一つの封止部により選択的に封止することができるようになっている。【選択図】図２
2017026128.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の平面が設けられ、軸心を中心として回転可能となっている弁体と、
前記弁体における各前記平面にそれぞれ設けられた封止部と、
前記弁体が収容され、開口が設けられている弁体収容部と、
を備え、
前記弁体収容部に設けられている前記開口を、複数の前記封止部のうちある一つの前記封止部により選択的に封止することができるようになっている、ゲート装置。
【請求項２】
前記弁体収容部には蓋部が設けられており、前記蓋部を開くことにより前記弁体収容部の内部にアクセスすることができるようになっている、請求項１記載のゲート部。
【請求項３】
前記軸心を中心として前記弁体を回転させる回転駆動部を更に備えた、請求項１または２記載のゲート装置。
【請求項４】
前記弁体を支持する弁体支持部と、
前記弁体収容部内における前記開口に隣接する領域から退避する退避位置、前記弁体収容部内における前記開口に隣接する領域である進出位置および前記弁体収容部に設けられている前記開口を前記封止部により封止する封止位置の間で前記弁体が移動するよう前記弁体支持部を移動させる駆動機構と、
を更に備えた、請求項１乃至３のいずれか一項に記載のゲート装置。
【請求項５】
前記駆動機構は、前記弁体支持部を鉛直方向に沿って移動させることにより前記弁体を前記退避位置と前記進出位置との間で移動させる第１駆動部と、前記弁体支持部を回動させることにより前記弁体を前記進出位置と前記封止位置との間で移動させる第２駆動部とを有している、請求項４記載のゲート装置。
【請求項６】
前記封止部はＯ−リングである、請求項１乃至５のいずれか一項に記載のゲート装置。
【請求項７】
被処理物の処理を行う処理チャンバと、
請求項１乃至６のいずれか一項に記載のゲート装置と、
を備え、
前記処理チャンバ内の領域と、前記ゲート装置における前記弁体収容部内の領域とが当該弁体収容部に設けられた前記開口を介して連通しており、前記処理チャンバ内の領域と前記ゲート装置における前記弁体収容部内の領域とを連通させる前記開口は、前記ゲート装置における複数の前記封止部のうちある一つの前記封止部により選択的に封止されるようになっている、処理システム。
【請求項８】
複数の平面が設けられ、軸心を中心として回転可能となっている弁体と、前記弁体における各前記平面にそれぞれ設けられた封止部と、前記弁体が収容され、開口が設けられている弁体収容部と、を備え、前記弁体収容部に設けられている前記開口を、複数の前記封止部のうちある一つの前記封止部により選択的に封止することができるようになっているゲート装置における前記封止部の交換方法であって、
前記弁体収容部に設けられている蓋部を開く工程と、
前記弁体収容部の内部にアクセスして前記封止部の交換を行う工程と、
を備えた、封止部交換方法。
【請求項９】
複数の前記封止部のうちある一つの前記封止部により前記弁体収容部に設けられている前記開口を封止している間に別の前記封止部の交換を行う、請求項８記載の封止部交換方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理チャンバ内の領域を選択的に封止するためのゲート装置、このようなゲート装置を備えた処理システムおよびこのようなゲート装置における封止部の交換方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体の製造工程において、ドライエッチング装置等の腐食性ガスを用いる真空装置が使用されている。このような装置において、処理チャンバ（プロセスチャンバ）内の領域を封止するためのゲート装置におけるシール材は、腐食性ガスへの露出やゲート開閉時の摺動等によって劣化しやすくなっており、シール材の交換を頻繁に行う必要があった。
【０００３】
これに対し、特許文献１には、シール材として２つ以上のＯ−リングを使用するようなゲートバルブの封止システムが開示されている。特許文献１に開示されるゲートバルブでは、腐食性ガスに対して露出される、封止性能と共に当該腐食性ガスに対して耐腐食性を有する第１のＯ−リングと、腐食性ガスに対して露出しない、封止性能と共に耐磨耗性を有する第２のＯ−リングとが用いられるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−５６７２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示されるような従来のゲートバルブの封止システムでは、ゲートバルブを長期間使用することによって第１のＯ−リングの体積が減少すると、第２のＯ−リングが腐食しやすくなってしまうという問題がある。また、上記のゲートバルブの封止システムでは、第２のＯ−リングが摩耗劣化すると第１のＯ−リングの押しつけ力が強くなってしまい第１のＯ−リングの固着が生じるおそれがある。このように、上記のゲートバルブの封止システムでは、Ｏ−リングの交換頻度を十分に低減することができないおそれがある。また、上記のゲートバルブの封止システムでは、何れかのＯ−リングが摩耗劣化すると、処理チャンバを大気開放してＯ−リングの交換を行う必要があり、処理チャンバを長期間停止させなければならないという問題がある。
【０００６】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、弁体に１つの封止部しか設けられていない場合と比較して封止部の交換頻度を低減することができ、また、封止部の交換を短時間で容易に行うことができるゲート装置、処理システムおよび封止部交換方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のゲート装置は、複数の平面が設けられ、軸心を中心として回転可能となっている弁体と、前記弁体における各前記平面にそれぞれ設けられた封止部と、前記弁体が収容され、開口が設けられている弁体収容部と、を備え、前記弁体収容部に設けられている前記開口を、複数の前記封止部のうちある一つの前記封止部により選択的に封止することができるようになっていることを特徴とする。
【０００８】
このようなゲート装置によれば、軸心を中心として回転可能となっている弁体における複数の平面にそれぞれ封止部が設けられており、弁体収容部に設けられている開口を、複数の封止部のうちある一つの封止部により選択的に封止することができるようになっているため、弁体に１つの封止部しか設けられていない場合と比較して封止部の交換頻度を低減することができ、また、弁体を回転させながら当該弁体の各平面に設けられている複数の封止部を順次交換することにより封止部の交換を短時間で容易に行うことができる。
【０００９】
本発明のゲート装置においては、前記弁体収容部には蓋部が設けられており、前記蓋部を開くことにより前記弁体収容部の内部にアクセスすることができるようになっていてもよい。
【００１０】
本発明のゲート装置は、前記軸心を中心として前記弁体を回転させる回転駆動部を更に備えていてもよい。
【００１１】
本発明のゲート装置は、前記弁体を支持する弁体支持部と、前記弁体収容部内における前記開口に隣接する領域から退避する退避位置、前記弁体収容部内における前記開口に隣接する領域である進出位置および前記弁体収容部に設けられている前記開口を前記封止部により封止する封止位置の間で前記弁体が移動するよう前記弁体支持部を移動させる駆動機構と、を更に備えていてもよい。
【００１２】
この場合、前記駆動機構は、前記弁体支持部を鉛直方向に沿って移動させることにより前記弁体を前記退避位置と前記進出位置との間で移動させる第１駆動部と、前記弁体支持部を回動させることにより前記弁体を前記進出位置と前記封止位置との間で移動させる第２駆動部とを有していてもよい。
【００１３】
本発明のゲート装置においては、前記封止部はＯ−リングであってもよい。
【００１４】
本発明の処理システムは、被処理物の処理を行う処理チャンバと、上記のゲート装置と、を備え、前記処理チャンバ内の領域と、前記ゲート装置における前記弁体収容部内の領域とが当該弁体収容部に設けられた前記開口を介して連通しており、前記処理チャンバ内の領域と前記ゲート装置における前記弁体収容部内の領域とを連通させる前記開口は、前記ゲート装置における複数の前記封止部のうちある一つの前記封止部により選択的に封止されるようになっていることを特徴とする。
【００１５】
本発明の封止部交換方法は、複数の平面が設けられ、軸心を中心として回転可能となっている弁体と、前記弁体における各前記平面にそれぞれ設けられた封止部と、前記弁体が収容され、開口が設けられている弁体収容部と、を備え、前記弁体収容部に設けられている前記開口を、複数の前記封止部のうちある一つの前記封止部により選択的に封止することができるようになっているゲート装置における前記封止部の交換方法であって、前記弁体収容部に設けられている蓋部を開く工程と、前記弁体収容部の内部にアクセスして前記封止部の交換を行う工程と、を備えたことを特徴とする。
【００１６】
このような封止部交換方法によれば、軸心を中心として回転可能となっている弁体における複数の平面にそれぞれ封止部が設けられており、弁体収容部に設けられている開口を、複数の封止部のうちある一つの封止部により選択的に封止することができるようになっているため、弁体に１つの封止部しか設けられていない場合と比較して封止部の交換頻度を低減することができ、また、弁体を回転させながら当該弁体の各平面に設けられている複数の封止部を順次交換することにより封止部の交換を短時間で容易に行うことができる。
【００１７】
本発明の封止部交換方法においては、複数の前記封止部のうちある一つの前記封止部により前記弁体収容部に設けられている前記開口を封止している間に別の前記封止部の交換が行われるようになっていてもよい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明のゲート装置、処理システムおよび封止部交換方法によれば、弁体に１つの封止部しか設けられていない場合と比較して封止部の交換頻度を低減することができ、また、封止部の交換を短時間で容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施の形態によるゲート装置を備えた処理システムの構成を概略的に示す概略構成図である。
【図２】本発明の実施の形態によるゲート装置の構成を示す側面図であって、弁体が退避位置に位置しているときの状態を示す図である。
【図３】図２に示すゲート装置を左側から右向きに見たときの構成を示す正面図である。
【図４】図２に示すゲート装置において弁体が進出位置に移動したときの状態を示す図である。
【図５】図２に示すゲート装置において弁体が更に封止位置に移動したときの状態を示す図である。
【図６】図２に示すゲート装置においてシール材の交換を行うために弁体収容部の蓋部を開いたときの状態を示す図である。
【図７】本発明の実施の形態によるゲート装置における弁体やシール材の様々な構成のバリエーションを示す図である。
【図８】変形例に係るゲート装置の構成を示す側面図である。
【図９】図８に示すゲート装置を左側から右向きに見たときの構成を示す正面図である。
【図１０】別の変形例に係るゲート装置の構成を示す側面図である。
【図１１】図１０に示すゲート装置を左側から右向きに見たときの構成を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１乃至図６は、本実施の形態による処理システムやこのような処理システムに設けられたゲート装置を示す図である。このうち、図１は、本実施の形態によるゲート装置を備えた処理システムの構成を概略的に示す概略構成図である。また、図２は、本実施の形態によるゲート装置の構成を示す側面図であって、弁体が退避位置に位置しているときの状態を示す図であり、図３は、図２に示すゲート装置を左側から右向きに見たときの構成を示す正面図である。また、図４および図５は、それぞれ、図２に示すゲート装置において弁体が進出位置や封止位置に移動したときの状態を示す図である。また、図６は、図２に示すゲート装置においてシール材の交換を行うために弁体収容部の蓋部を開いたときの状態を示す図である。
【００２１】
まず、本実施の形態による処理システムの概略的な構成について図１を用いて説明する。図１に示すように、本実施の形態による処理システムは、真空状態に保たれ、腐食性ガスを用いるエッチングチャンバ等の処理チャンバ１と、処理チャンバ１内の領域に基板を入れたり当該領域から基板を取り出したりするための搬送チャンバ２と、外部環境から処理システムに送られた基板を搬送したり処理システムから外部環境に基板を送ったりするための大気搬送ユニット４と、大気搬送ユニット４の近傍に設けられ、基板が集積されるストッカー５とを備えている。また、搬送チャンバ２と大気搬送ユニット４との間にはロードロックチャンバ３が設けられている。ロードロックチャンバ３は、処理チャンバ１内の領域を真空に保持し大気に開放しないことを目的に、処理チャンバ１への処理前、処理後の基板の出し入れを行うようになっている。また、搬送チャンバ２や大気搬送ユニット４には、基板の搬送を行う搬送アーム２ａ、４ａが設けられている。搬送チャンバ２に設けられた搬送アーム２ａにより、処理チャンバ１内の領域やロードロックチャンバ３内の領域への基板の出し入れが行われるようになっている。また、大気搬送ユニット４に設けられた搬送アーム４ａによりロードロックチャンバ３内の領域への基板の出し入れが行われるようになっている。また、このような搬送アーム４ａによりストッカー５に基板を集積したりストッカー５に集積されている基板を取り出したりする動作が行われるようになっている。
【００２２】
また、図１に示すように、処理チャンバ１と搬送チャンバ２との間にはゲート装置１０が設けられている。また、搬送チャンバ２とロードロックチャンバ３との間やロードロックチャンバ３と大気搬送ユニット４との間にもゲート装置１０が設けられている。このようなゲート装置１０により、処理チャンバ１、搬送チャンバ２およびロードロックチャンバ３内の圧力がそれぞれ制御可能となる。このようなゲート装置１０の構成の詳細について図２乃至図６を用いて説明する。なお、以下の説明では処理チャンバ１と搬送チャンバ２との間に設けられたゲート装置１０について述べるが、搬送チャンバ２とロードロックチャンバ３との間やロードロックチャンバ３と大気搬送ユニット４との間に設けられるゲート装置１０も略同一の構成となっているためその説明を省略する。
【００２３】
図２は、本実施の形態によるゲート装置１０の構成を示す側面図であり、図３は、図２に示すゲート装置１０を左側から右向きに見たときの構成を示す正面図である。図２および図３に示すように、本実施の形態によるゲート装置１０は、複数（具体的には、３つ）の平面が設けられ、図２の紙面に直交する方向（すなわち、図３における左右方向）に延びる軸心を中心として回転自在となっている弁体２０と、弁体２０における各平面にそれぞれ設けられたＯ−リング等のシール材２２（封止部）と、弁体２０が収容され、処理チャンバ１および搬送チャンバ２にそれぞれ連通する２つの開口１４が設けられている弁体収容部１２とを備えている。図２に示すように、弁体２０の断面は正三角形形状となっており、この弁体２０の３つの平面にそれぞれＯ−リング等のシール材２２が設けられている。また、弁体２０の両端部にはそれぞれ軸２１が取り付けられており、当該軸２１は後述する弁体支持部３０の上部に取り付けられた軸支持部３１によって回転自在に支持されるようになっている。また、本実施の形態によるゲート装置１０には、軸２１を回転させるステッピングモータ等の回転駆動部２４が設けられており、当該回転駆動部２４によって軸２１が回転させられることにより弁体２０が回転するようになっている。図２および図４乃至図６において、弁体２０が回転駆動部２４によって回転させられるときの当該弁体２０の各頂点が通る領域を二点鎖線の円で示す。
【００２４】
本実施の形態によるゲート装置１０では、弁体収容部１２に設けられている処理チャンバ１側の開口１４（すなわち、図２における右側の開口１４）を、複数のシール材２２のうちある一つのシール材２２により選択的にシール（封止）することができるようになっている。このようなシール材２２により開口１４のシールが行われる際の動作の詳細については後述する。
【００２５】
また、本実施の形態によるゲート装置１０は、弁体２０を支持する棒状の弁体支持部３０と、弁体支持部３０を昇降させる昇降部４０と、昇降部４０を図２における左右方向に往復移動させるエアシリンダ４２とを備えている。弁体支持部３０の上部には、軸２１を回転自在に支持する軸支持部３１が取り付けられており、これらの軸支持部３１および弁体支持部３０は一体的に移動するようになっている。また、弁体支持部３０の下部には昇降部４０が設けられており、当該昇降部４０が弁体支持部３０を昇降させることにより、弁体２０は、図２に示すような弁体収容部１２内における開口１４に隣接する領域から退避する退避位置と、図４に示すような弁体収容部１２内における開口１４に隣接する領域である進出位置との間で移動するようになっている。ここで、昇降部４０は、ラック・アンド・ピニオン等を用いることにより弁体支持部３０を機械的に昇降させるようになっている。また、弁体２０が図２に示すような退避位置に位置しているときには、搬送チャンバ２の搬送アーム２ａによって基板をゲート装置１０内の弁体２０の上方の領域を通過させながら各開口１４を通るようにすることによって処理チャンバ１内の領域に基板を入れたり処理チャンバ１内の領域から基板を取り出したりすることができるようになる。一方、弁体２０が図４に示すような進出位置に位置しているときには、弁体２０が邪魔となり搬送チャンバ２の搬送アーム２ａによって処理チャンバ１内の領域に基板を入れたり処理チャンバ１内の領域から基板を取り出したりすることができなくなる。
【００２６】
また、図２等に示すように、弁体収容部１２の外部において当該弁体収容部１２の底面と弁体支持部３０の下端部３０ａとの間にはベローズ３４（伸縮管）が設けられており、昇降部４０が弁体支持部３０を上方に移動させるとベローズ３４が縮むようになっている。
【００２７】
また、エアシリンダ４２は、弁体２０が図４に示すような進出位置に位置しているときに昇降部４０を図４における左側に引き寄せるようになっており、昇降部４０が図４における左向きに移動すると弁体支持部３０は弁体収容部１２の底面と同じ高さレベルに位置する軸心３２を中心として図４や図５における時計回りの方向に回動する。このことにより、弁体２０は、図４に示すような進出位置から、図５に示すような弁体収容部１２に設けられている処理チャンバ１側の開口１４をシール材２２によりシール（封止）する封止位置に移動するようになる。このように、弁体収容部１２に設けられている処理チャンバ１側の開口１４がシール材２２によりシールされると、処理チャンバ１内を真空状態に維持することができるようになる。
【００２８】
このように、本実施の形態によるゲート装置１０では、昇降部４０およびエアシリンダ４２を組み合わせることにより、弁体２０が、弁体収容部１２内における開口１４に隣接する領域から退避する退避位置（図２参照）、弁体収容部１２内における開口１４に隣接する領域である進出位置（図４参照）および弁体収容部１２に設けられている開口１４（具体的には、処理チャンバ１側の開口１４）をシール材２２により封止する封止位置の間で移動するよう、弁体支持部３０を移動させる駆動機構が構成されている。また、このような駆動機構において、昇降部４０は、弁体支持部３０を鉛直方向に沿って移動させることにより弁体２０を退避位置と進出位置との間で移動させる第１駆動部として機能し、また、エアシリンダ４２は、軸心３２を中心として弁体支持部３０を回動させることにより弁体２０を進出位置と封止位置との間で移動させる第２駆動部として機能するようになっている。
【００２９】
また、本実施の形態によるゲート装置１０では、弁体収容部１２の上端部に蓋部１６が設けられており、この蓋部１６を開くことにより弁体収容部１２の内部にアクセスすることができるようになっている。図６は、図２に示すゲート装置１０において弁体収容部１２の蓋部１６を開いたときの状態を示す図である。このように、作業者は蓋部１６を開いて弁体収容部１２の内部にアクセスすることにより弁体２０の各平面に設けられたシール材２２を順次交換することができるようになる。なお、シール材２２の交換を行う際に、まず弁体２０を図５に示すような封止位置に移動させ、複数のシール材２２のうちある一つのシール材２２により弁体収容部１２に設けられている処理チャンバ１側の開口１４をシールした後に蓋部１６を開き、別のシール材２２の交換を行ってもよい。この場合には、処理チャンバ１内の領域を密封した状態で（すなわち、処理チャンバ１内を真空状態に保ったままで）、シール材２２の交換を行うことができるようになるため、処理チャンバ１内にパーティクルや水蒸気が流入してしまうことを防止することができるようになる。あるいは、弁体２０が図４に示すような進出位置に位置しているときに蓋部１６を開いて弁体収容部１２の内部にアクセスすることにより弁体２０の各平面に設けられたシール材２２を順次交換してもよい。
【００３０】
以上のような構成からなる本実施の形態によるゲート装置１０によれば、軸心（具体的には、軸２１）を中心として回転可能となっている弁体２０における複数の平面にそれぞれシール材２２（封止部）が設けられており、弁体収容部１２に設けられている開口１４（具体的には、処理チャンバ１側の開口１４）を、複数のシール材２２のうちある一つのシール材２２により選択的に封止することができるようになっている。この場合には、弁体２０に１つのシール材２２しか設けられていない場合と比較してシール材２２の交換頻度を低減することができ、また、弁体２０を回転させながら当該弁体２０の各平面に設けられているシール材２２を順次交換することによりシール材２２の交換を短時間で容易に行うことができる。
【００３１】
また、本実施の形態のゲート装置１０においては、上述したように、弁体収容部１２には蓋部１６が設けられており、蓋部１６を開くことにより弁体収容部１２の内部にアクセスすることができるようになっている。この場合には蓋部１６を開くだけで弁体２０の各平面に設けられているシール材２２の交換を行うことができるため、シール材２２の交換をより容易に行うことができるようになる。
【００３２】
また、本実施の形態のゲート装置１０においては、上述したように、弁体収容部１２に設けられている開口１４をシール材２２により封止する軸心（具体的には、軸２１）を中心として弁体２０を回転させる回転駆動部２４が設けられている。このことにより、弁体２０に設けられている複数のシール材２２について、弁体収容部１２に設けられている開口１４をシールするシール材２２を自動で他のシール材２２に切り替えることができるようになる。
【００３３】
また、本実施の形態のゲート装置１０においては、上述したように、弁体収容部１２内における開口１４に隣接する領域から退避する退避位置（図２参照）、弁体収容部１２内における開口１４に隣接する領域である進出位置（図４参照）および弁体収容部１２に設けられている開口１４をシール材２２によりシール（封止）する封止位置（図５参照）の間で弁体２０が移動するよう弁体支持部３０を移動させる駆動機構が設けられている。具体的には、このような駆動機構は、弁体支持部３０を鉛直方向に沿って移動させることにより弁体２０を退避位置と進出位置との間で移動させる第１駆動部としての昇降部４０と、軸心３２を中心として弁体支持部３０を回動させることにより弁体２０を進出位置と封止位置との間で移動させる第２駆動部としてのエアシリンダ４２とを有している。このことにより、弁体２０が退避位置に位置しているときには搬送チャンバ２の搬送アーム２ａによって処理チャンバ１内の領域に基板を入れたり処理チャンバ１内の領域から基板を取り出したりすることができるようになり、一方、弁体２０を退避位置から進出位置を経て封止位置に移動させることにより弁体収容部１２に設けられている開口１４をシール材２２によりシールすることができるようになる。
【００３４】
また、本実施の形態のゲート装置１０においては、上述したように、封止部としてのシール材２２はＯ−リングである。なお、本実施の形態のゲート装置１０はこのような態様に限定されることはなく、シール材２２としてＯ−リング以外の他の種類のシール材が用いられるようになっていてもよい。
【００３５】
また、本実施の形態のゲート装置１０を備えた処理システムにおいては、上述したように、処理チャンバ１内の領域と、ゲート装置１０における弁体収容部１２内の領域とが当該弁体収容部１２に設けられた開口１４を介して連通しており、処理チャンバ１内の領域とゲート装置１０における弁体収容部１２内の領域とを連通させる開口１４は、弁体２０の複数の平面にそれぞれ設けられたシール材２２のうちある一つのシール材２２によってシール（封止）されるようになっている。
【００３６】
また、本実施の形態のゲート装置１０におけるシール材２２の交換方法において、複数のシール材２２のうちある一つのシール材２２により弁体収容部１２に設けられている開口１４を封止している間に別のシール材２２の交換が行われるようになっている。この場合には、処理チャンバ１内の領域を密封した状態で（すなわち、処理チャンバ１内を真空状態に保ったままで）、シール材２２の交換を行うことができるようになるため、処理チャンバ１内にパーティクルや水蒸気が流入してしまうことを防止することができるようになる。
【００３７】
なお、本実施の形態によるゲート装置１０は、上述したような態様に限定されることはなく、様々な変更を加えることができる。
【００３８】
例えば、ゲート装置１０に設けられる弁体は、図２等に示すような断面が正三角形形状となっており３つのシール材２２が３つの平面に設けられるような構成のものに限定されることはない。本実施の形態によるゲート装置１０における弁体の様々な構成のバリエーションについて図７（ａ）〜（ｆ）を用いて説明する。図７（ａ）に示す弁体２０ａでは、断面が長方形形状となっており、２つのシール材２２が２つの平面の各々に設けられるようになっている。また、図７（ｂ）に示す弁体２０ｂでは、断面が正方形形状となっており、４つのシール材２２が４つの平面の各々に設けられるようになっている。また、図７（ｃ）に示す弁体２０ｃでは、断面が正五角形形状となっており、５つのシール材２２が５つの平面の各々に設けられるようになっている。また、図７（ｄ）に示す弁体２０ｄでは、断面が正六角形形状となっており、６つのシール材２２が６つの平面の各々に設けられるようになっている。また、図７（ｅ）に示す弁体２０ｅでは、断面が扇形状となっており、２つのシール材２２が２つの平面の各々に設けられるようになっている。また、図７（ｆ）に示す弁体２０ｆでは、断面が台形形状となっており、３つのシール材２２が３つの平面の各々に設けられるようになっている。このように、本実施の形態によるゲート装置１０に設けられる弁体として、複数の平面を有するとともに複数のシール材２２が複数の平面の各々に設けられるものであれば、図２等に示すような形状のもの以外にも様々な形状のものを用いることができる。なお、本実施の形態によるゲート装置１０に設けられる弁体として、図７（ａ）〜（ｆ）に示す形状以外のものが用いられてもよい。
【００３９】
また、図２乃至図６に示すゲート装置１０において、弁体収容部１２内の雰囲気を加熱する加熱部が設けられていてもよい。弁体収容部１２内の雰囲気を加熱部によって加熱することによりこのゲート装置１０に隣接する処理チャンバ１内を早く真空状態とすることができるようになる。
【００４０】
また、弁体収容部１２内における開口１４に隣接する領域から退避する退避位置、弁体収容部１２内における開口１４に隣接する領域である進出位置および弁体収容部１２に設けられている開口１４をシール材２２によりシール（封止）する封止位置の間で弁体２０が移動するよう弁体支持部を移動させる駆動機構は、図２乃至図６に示すような昇降部４０およびエアシリンダ４２を組み合わせたものに限定されることはない。退避位置、進出位置および封止位置の間で弁体２０を移動させる駆動機構の他の構成例について図８および図９を用いて説明する。図８は、変形例に係るゲート装置１０ａの構成を示す側面図であり、図９は、図８に示すゲート装置１０ａを左側から右向きに見たときの構成を示す正面図である。なお、図８および図９に示すゲート装置１０ａを説明するにあたり、図２乃至図６に示すゲート装置１０と同じ構成部材については同じ参照符号を付けてその説明を省略する。
【００４１】
図８および図９に示すように、変形例に係るゲート装置１０ａにおいては、弁体２０の下方に棒状の弁体支持部３６が設けられており、この弁体支持部３６の上部には、軸２１を回転自在に支持する軸支持部３１が取り付けられている。また、弁体支持部３６には当該弁体支持部３６の長手方向に延びる長穴３６ａが設けられており、この長穴３６ａには、弁体収容部１２に位置固定で設けられたピン部材３８が挿入されるようになっている。また、弁体収容部１２の外部において当該弁体収容部１２の底面と弁体支持部３６の下端部３６ｂとの間にはベローズ３４（伸縮管）が設けられており、弁体支持部３０が上方に移動するとベローズ３４が縮むようになっている。
【００４２】
また、弁体支持部３６の下端部３６ｂには棒状の取付部材４４が当該下端部３６ｂから下方に延びるよう取り付けられており、この取付部材４４の下端部分にはエアシリンダ４２の先端部分が回転自在に接続されている。また、図８および図９に示すような変形例に係るゲート装置１０ａでは、エアシリンダ４２自体が昇降可能となっている。そして、エアシリンダ４２が昇降することにより、弁体収容部１２に対して弁体支持部３６が図８における上下方向に移動し、このことにより、弁体２０は、図８（ａ）に示すような弁体収容部１２内における開口１４に隣接する領域から退避する退避位置と、図８（ｂ）に示すような弁体収容部１２内における開口１４に隣接する領域である進出位置との間で鉛直方向に沿って移動するようになっている。ここで、弁体収容部１２に対して弁体支持部３６が図８における上下方向に移動する際に、当該弁体収容部１２に位置固定で設けられたピン部材３８が弁体支持部３６の長穴３６ａ内で相対的に移動するようになる。
【００４３】
また、エアシリンダ４２は、弁体２０が図８（ｂ）に示すような進出位置に位置しているときに取付部材４４の下端部分を図８における左側に引き寄せるようになっており、取付部材４４の下端部分が図８における左向きに移動すると長穴３６ａ内のピン部材３８を中心として弁体支持部３６が図８における時計回りの方向に回動する。このことにより、弁体２０は、図８（ｂ）に示すような進出位置から、図８（ｃ）に示すような弁体収容部１２に設けられている処理チャンバ１側の開口１４をシール材２２によりシール（封止）する封止位置に移動するようになる。このように、弁体収容部１２に設けられている処理チャンバ１側の開口１４がシール材２２によりシールされると、処理チャンバ１内を真空状態に維持することができるようになる。
【００４４】
図８および図９に示すような変形例に係るゲート装置１０ａでも、図２乃至図６に示すようなゲート装置１０と同様に、軸心（具体的には、軸２１）を中心として回転可能となっている弁体２０における複数の平面にそれぞれシール材２２（封止部）が設けられており、軸心を中心として弁体２０を回転させることにより、弁体収容部１２に設けられている開口１４（具体的には、処理チャンバ１側の開口１４）を、複数のシール材２２のうちある一つのシール材２２により選択的に封止することができるようになっているため、弁体２０に１つのシール材２２しか設けられていない場合と比較してシール材２２の交換頻度を低減することができ、また、弁体２０を回転させながら当該弁体２０の各平面に設けられているシール材２２を順次交換することによりシール材２２の交換を短時間で容易に行うことができる。また、図８および図９に示すような変形例に係るゲート装置１０ａでも、退避位置、進出位置および封止位置の間で弁体２０を移動させる駆動機構が設けられているため、弁体２０が退避位置に位置しているときには搬送チャンバ２の搬送アーム２ａによって処理チャンバ１内の領域に基板を入れたり処理チャンバ１内の領域から基板を取り出したりすることができるようになり、一方、弁体２０を退避位置から進出位置を経て封止位置に移動させることにより弁体収容部１２に設けられている開口１４をシール材２２によりシールすることができるようになる。
【００４５】
退避位置、進出位置および封止位置の間で弁体２０を移動させる駆動機構の更に他の構成例について図１０および図１１を用いて説明する。図１０は、別の変形例に係るゲート装置１０ｂの構成を示す側面図であり、図１１は、図１０に示すゲート装置１０ｂを左側から右向きに見たときの構成を示す正面図である。なお、図１０および図１１に示すゲート装置１０ｂを説明するにあたり、図２乃至図６に示すゲート装置１０や図８および図９に示すゲート装置１０ａと同じ構成部材については同じ参照符号を付けてその説明を省略する。
【００４６】
図１０および図１１に示すように、別の変形例に係るゲート装置１０ｂにおいては、弁体２０の下方に弁体支持部５０が設けられており、この弁体支持部５０の上部には、軸２１を回転自在に支持する軸支持部３１が取り付けられている。また、弁体収容部１２の内部において弁体支持部５０の下端部５０ａと弁体収容部１２の底面との間にはベローズ５２（伸縮管）が設けられており、弁体支持部５０が下方に移動するとベローズ５２が縮むようになっている。
【００４７】
また、図１０および図１１に示すゲート装置１０ｂは、弁体支持部５０を昇降させる昇降部５４と、昇降部５４を図１０における左右方向に往復移動させるエアシリンダ４２とを備えており、昇降部５４が弁体支持部５０を昇降させることにより、弁体２０は、図１０（ａ）に示すような弁体収容部１２内における開口１４に隣接する領域から退避する退避位置と、図１０（ｂ）に示すような弁体収容部１２内における開口１４に隣接する領域である進出位置との間で鉛直方向に沿って移動するようになっている。ここで、昇降部５４は、ラック・アンド・ピニオン等を用いることにより弁体支持部５０を機械的に昇降させるようになっている。
【００４８】
また、エアシリンダ４２は、弁体２０が図１０（ｂ）に示すような進出位置に位置しているときに昇降部５４の下部を図１０における左側に引き寄せるようになっており、昇降部５４の下部が図１０における左向きに移動すると当該昇降部５４および弁体支持部５０は一体的に図１０における時計回りの方向に回動する。このことにより、弁体２０は、図１０（ｂ）に示すような進出位置から、図１０（ｃ）に示すような弁体収容部１２に設けられている処理チャンバ１側の開口１４をシール材２２によりシール（封止）する封止位置に移動するようになる。このように、弁体収容部１２に設けられている処理チャンバ１側の開口１４がシール材２２によりシールされると、処理チャンバ１内を真空状態に維持することができるようになる。
【００４９】
図１０および図１１に示すような変形例に係るゲート装置１０ｂでも、図２乃至図６に示すようなゲート装置１０や図８および図９に示すようなゲート装置１０ａと同様に、軸心（具体的には、軸２１）を中心として回転可能となっている弁体２０における複数の平面にそれぞれシール材２２（封止部）が設けられており、軸心を中心として弁体２０を回転させることにより、弁体収容部１２に設けられている開口１４（具体的には、処理チャンバ１側の開口１４）を、複数のシール材２２のうちある一つのシール材２２により選択的に封止することができるようになっているため、弁体２０に１つのシール材２２しか設けられていない場合と比較してシール材２２の交換頻度を低減することができ、また、弁体２０を回転させながら当該弁体２０の各平面に設けられているシール材２２を順次交換することにより、シール材２２の交換を短時間で容易に行うことができる。また、図１０および図１１に示すような変形例に係るゲート装置１０ｂでも、退避位置、進出位置および封止位置の間で弁体２０を移動させる駆動機構が設けられているため、弁体２０が退避位置に位置しているときには搬送チャンバ２の搬送アーム２ａによって処理チャンバ１内の領域に基板を入れたり処理チャンバ１内の領域から基板を取り出したりすることができるようになり、一方、弁体２０を退避位置から進出位置を経て封止位置に移動させることにより弁体収容部１２に設けられている開口１４をシール材２２によりシールすることができるようになる。また、図１０および図１１に示すような変形例に係るゲート装置１０ｂでは、ベローズ５２が弁体収容部１２の内部に設けられているため、ベローズが外気に曝される場合と比較してベローズ５２が腐食してしまうことを抑制することができるようになる。また、図１０および図１１に示すような変形例に係るゲート装置１０ｂでは、ベローズ５２が伸びている状態のときに昇降部５４および弁体支持部５０が一体的に回動するため、ベローズ５２が摩耗により損傷してしまうことを抑制することができるようになる。
【符号の説明】
【００５０】
１      処理チャンバ
２      搬送チャンバ
２ａ    搬送アーム
３      ロードロックチャンバ
４      大気搬送ユニット
４ａ    搬送アーム
５      ストッカー
１０、１０ａ、１０ｂ  ゲート装置
１２    弁体収容部
１４    開口
１６    蓋部
２０、２０ａ〜２０ｆ  弁体
２１    軸
２２    シール材
２４    回転駆動部
３０    弁体支持部
３０ａ  下端部
３１    軸支持部
３２    軸心
３４    ベローズ
３６    弁体支持部
３６ａ  長穴
３６ｂ  下端部
３８    ピン部材
４０    昇降部
４２    エアシリンダ
４４    取付部材
５０    弁体支持部
５０ａ  下端部
５２    ベローズ
５４    昇降部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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