(57)【要約】【課題】バッファロールにおけるロールとウエブとの滑りを抑制し、ウエブのダメージを軽減できるウエブ搬送装置を提供する。【解決手段】長尺なウエブを間欠送りするサクションロール７を設け、サクションロール７の上流側と下流側とにウエブの弛みを吸収するバッファ装置２０を設ける。バッファ装置２０は、ウエブが巻き掛けられるバッファロール６と、バッファロールを回転駆動させる回転駆動手段２６と、バッファロール及び回転駆動手段を一体的にバッファロールの回転軸に対して直交方向に移動させる移動機構２２と、サクションロールの間欠送り時のウエブとバッファロールとの間の滑りを抑制する方向に、サクションロールの駆動と同期して回転駆動手段を制御する制御装置１１とを備える。【選択図】      図１
2017109816.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺なウエブを間欠送りするウエブ送り機構と、前記ウエブ送り機構の上流側及び下流側の少なくとも一方に配置されたバッファ装置と、を備えたウエブ搬送装置において、
前記バッファ装置は、
前記ウエブが巻き掛けられるバッファロールと、
前記バッファロールを回転駆動させる回転駆動手段と、
前記バッファロール及び回転駆動手段を一体的に前記バッファロールの回転軸に対して直交方向に移動させ、前記ウエブの過不足を吸収する移動機構と、
前記ウエブ送り機構の間欠送り時の前記ウエブと前記バッファロールとの間の滑りを抑制する方向に、前記ウエブ送り機構の駆動と同期して前記回転駆動手段を制御する制御装置と、を備えるウエブ搬送装置。
【請求項２】
前記ウエブ送り機構は、前記ウエブを吸着保持してウエブを間欠送りすることができるサクションロールであることを特徴とする、請求項１に記載のウエブ搬送装置。
【請求項３】
前記制御装置は、トルク制御により前記回転駆動手段を制御する、請求項１又は２に記載のウエブ搬送装置。
【請求項４】
前記ウエブ送り機構へのウエブ送り量指令値の加速度と、前記移動機構への移動量指令値の加速度とに応じて、前記回転駆動手段への指令信号を決定する、請求項３に記載のウエブ搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、長尺なシート状材料であるウエブの搬送装置、特にウエブの連続搬送領域と間欠搬送領域とを含む搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
長尺なキャリアフィルム上に形成された薄膜状のセラミックグリーンシートに対して、印刷、積層、打抜きなどの精密な加工を行う場合には、フィルムを一旦停止させる必要がある。そのため、セラミックグリーンシートの製造過程では、連続搬送ステージの間に、間欠搬送される作業ステージを設けた製造装置が用いられている。
【０００３】
このような製造装置では、絶えず生産性の向上が求められており、フィルムの平均移動速度を速くしながら、作業ステージでの作業時間をできるだけ長く確保するために、間欠駆動時のフィルム送り速度を高速化することが求められている。つまり、作業ステージの距離分だけフィルムを高速移動させなければならない。その結果、作業ステージに設けられた間欠駆動するフィルム送り機構とその上流側にある連続搬送ステージとの間、及びフィルム送り機構とその下流側にある連続搬送ステージとの間の速度差が大きくなり、それを吸収するためにコンペンセータロールが設けられている。コンペンセータロールとは、フィルムを巻き掛けるロールと、このロールを上下方向又は水平方向に移動させるボールねじ機構などの直動機構とを備えた、一種のバッファ機構である。
【０００４】
このような製造装置の場合、間欠駆動時のフィルム送り速度の高速化に伴い、間欠駆動時のコンペンセータロールとフィルムとの滑りが避けられず、ロールやフィルムの損傷が問題となっている。すなわち、従来のコンペンセータロールは、ロール自体がウエブとの摩擦力によってウエブと連れ回りするものであるから、間欠駆動時の急激な速度変化に追従できず、コンペンセータロールとウエブとの間の滑りを抑制しえなかった
【０００５】
従来では、滑りの抑制には溝つきロール（マイクログルーブ）を使用することが有効な手段として知られている。しかし、溝つきロールの溝の深さ、幅、ピッチ、溝の数は、搬送するフィルムの速度、張力によって決まる。そのため、搬送速度や張力が変化するフィルム搬送系の場合には、溝付きロールでは対応できない。
【０００６】
特許文献１は、長尺なキャリアフィルム上に形成されたセラミックグリーンシート上に第１の印刷部において導電ペースト膜を印刷し、第２の印刷部において段差吸収用セラミックペースト膜を印刷する装置であって、第２の印刷部の直後に導電ペースト膜と段差吸収用セラミックペースト膜との間のずれを測定し、それを補正するようにコンペンセータロールを移動させる装置が開示されている。しかし、この装置では、コンペンセータロールとフィルムとの滑り抑制について何も考慮されていない。
【０００７】
特許文献２では、インフィードローラ、コンペンセータ、コンペンセータロールから構成された搬送装置が開示されている。しかし、この文献にも、コンペンセータロールとフィルムとの滑りについて何ら言及されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００５−１０９２９６号公報
【特許文献２】特開２００３−２９６３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、バッファロールにおけるロールとウエブとの滑りを抑制し、ウエブのダメージを軽減できるウエブ搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記目的を達成するため、本発明は、長尺なウエブを間欠送りするウエブ送り機構と、前記ウエブ送り機構の上流側及び下流側の少なくとも一方に配置されたバッファ装置と、を備えたウエブ搬送装置において、前記バッファ装置は、前記ウエブが巻き掛けられるバッファロールと、前記バッファロールを回転駆動させる回転駆動手段と、前記バッファロール及び回転駆動手段を一体的に前記バッファロールの回転軸に対して直交方向に移動させ、前記ウエブの過不足を吸収する移動機構と、前記ウエブ送り機構の間欠送り時の前記ウエブと前記バッファロールとの間の滑りを抑制する方向に、前記ウエブ送り機構の駆動と同期して前記回転駆動手段を制御する制御装置と、を備えるウエブ搬送装置を提供する。
【００１１】
本発明は、バッファロールを回転駆動化し、それを制御することで、走行ウエブとバッファロールとの滑りを抑制しようとするものである。すなわち、本発明のバッファ装置は、ウエブの弛みを吸収する点で従来のコンペンセータロールと同様の機能を有するが、バッファロールを回転駆動させる回転駆動手段と、ウエブ送り機構の駆動と同期して回転駆動手段を制御する制御装置とを備えている点で、従来のコンペンセータロールとは異なる。従来のコンペンセータロールでは、ロール自体がウエブとの摩擦力によってウエブと連れ回りするものであるから、間欠駆動時の急激な速度変化に追従できず、ロールとウエブとの滑りを抑制しえなかった。これに対し、本発明では、バッファロール自体が回転駆動でき、しかもウエブ送り機構の間欠駆動と同期してウエブとバッファロールとの間の滑りを抑制する方向に回転駆動手段を制御するので、間欠駆動時の急激な速度変化に追従してバッファロールとウエブとの滑りを抑制できる。その結果、バッファロール又はウエブの損傷を防止できる。
【００１２】
ここで、ウエブ送り機構とはウエブを一定ピッチで間欠的に送り出す機構、換言するとウエブを停止状態と送り状態とに切り替え可能な機構のことである。ウエブ送り機構としては、例えばサクションロール、ニップロール、ウエブを挟着又は吸着して前後に往復移動する可動テーブル、ウエブをチャックして前後に往復移動するチャック機構などがある。特にサクションロールは、ウエブの裏面を吸着保持して回転するものであるから、ウエブの表面にセラミックグリーンシート等が形成されている場合でも、そのセラミックグリーンシートを損傷せずに搬送できる。しかも、可動テーブルやチャック機構に比べて構造が簡単であり、停止と起動の制御性が優れている。
【００１３】
ウエブ送り機構を作業ステージに設け、作業ステージの上流側および下流側に、ウエブを連続搬送する供給ステージと排出ステージとをそれぞれ設けてもよい。供給ステージは、例えば巻き出しロールを備えたステージであってもよく、排出ステージは、例えば巻き取りロールを備えたステージであってもよい。ウエブ送り機構の駆動時の送り速度は、その上下両側に設けられる供給ステージと排出ステージの連続送り速度より大きく、望ましくは１０倍以上大きいものがよい。作業ステージとは、印刷、積層、打抜きなどの加工工程や検査工程などのように、停止状態のウエブに対して種々の作業を行うステージのことである。作業ステージには、ウエブを安定して保持できるように、例えばウエブを吸着／解放できる作業テーブルを備えるものがよい。
【００１４】
本発明のバッファ装置は、ウエブ送り機構の上流側及び下流側の少なくとも一方に配置される。バッファ装置には、バッファロールの回転軸に対して直交方向に移動させて、ウエブの過不足を吸収する移動機構が設けられている。バッファロールとしては、コンペンセータロールやダンサロールなどがある。バッファロールがコンペンセータロールである場合には、移動機構として、例えばモータとボールねじとによりコンペンセータロールをその回転軸に対して直交方向に移動させるコンペンセータを使用できる。バッファロールがダンサロールである場合には、移動機構として、ダンサロールをその回転軸に対して直交方向に移動させるエアシリンダ等の流体圧シリンダを使用できる。
【００１５】
制御装置は、位置制御により回転駆動手段を制御してもよいが、トルク制御を用いる方が好ましい。例えば、バッファロールを位置制御によって制御する場合には、バッファロールの回転位置をセンサで検出し、それをフィードバックしてバッファロールの回転位置を細かく制御する必要がある。しかし、位置制御ではメカ的な誤差要因（例えばバッファロールの直径のばらつき、モータ系の剛性など）が含まれていると、制御精度が低下すると共に、間欠搬送時のウエブの加速度が大きい場合には、良好な追従性を得ることが難しい。これに対し、トルク制御を用いた場合には、ウエブの加速度が増大しても、良好な追従性を保つことが可能であり、しかも搬送速度や張力の変更にロバスト性があり、メカ的な誤差要因が含まれていても、制御精度が低下しにくいという利点がある。トルク制御の方法としては、例えばバッファロールの回転の加速度を求め、この加速度にバッファロールの慣性モーメント等の比例定数を乗算してトルクを求めることができ、このトルク信号を回転駆動手段への指令信号として入力すればよい。このようにトルク制御を行う方法では、バッファロールの回転位置を検出する必要がない。
【００１６】
前記のようなトルク制御を行う方法として、ウエブ送り機構へのウエブ送り量指令値の加速度と、移動機構への移動量指令値の加速度とに応じて、回転駆動手段への指令信号を決定してもよい。バッファロールの回転量は、サクションロールの回転量（ウエブ送り機構の送り量）とバッファ装置の移動量との和に相当するので、バッファロールの加速度は、サクションロールの回転量の二階微分と、バッファ装置の移動機構の移動量の二階微分との和に相当する。加速度とトルクとは比例するので、サクションロールの回転量の二階微分と、バッファ装置の移動機構の移動量の二階微分とを加算し、それに比例定数を乗算することで、バッファロールのトルク指令を求めることが可能である。したがって、複雑な演算を行うことなく、速やかにバッファロールへの指令信号を決定できる。
【発明の効果】
【００１７】
以上のように、本発明のバッファ装置では、バッファロールの回転軸に対して直交方向の移動と回転駆動とが可能であり、しかもウエブ送り機構の間欠駆動と同期してウエブとバッファロールとの間の滑りを抑制する方向に回転駆動手段を制御するので、間欠駆動時の急激な速度変化に追従してバッファロールとウエブとの間の滑りを抑制できる。その結果、バッファロール又はウエブの損傷を防止できるという優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明に係るウエブ搬送装置の一例を示す概略構造図である。
【図２】コンペンセータロール及びその駆動機構を示す斜視図である。
【図３】本発明の作動原理を説明する図である。
【図４】本発明に係るトルク制御を行うためのブロック線図である。
【図５】本発明のトルク制御を行わなかった場合のサクションロールの回転量、コンペンセータロールの回転量、コンペンセータの移動量、及びコンペンセータロールの滑り量の各時間変化を示す図である。
【図６】本発明のトルク制御を行った場合のサクションロールの回転量、コンペンセータロールの回転量、コンペンセータの移動量、及びコンペンセータロールの滑り量の各時間変化を示す図である。
【図７】本発明に係るウエブ搬送装置の他の例を示す部分概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
図１は本発明に係るウエブ搬送装置をセラミックグリーンシートの製造装置に適用した一例を示す。ここで使用されるウエブＵは、例えば長尺なキャリアフィルム上に薄膜状のセラミックグリーンシートを形成したものである。本搬送装置は、その上流側に供給ステージＳ１、中間部に作業ステージＳ２、下流側に排出ステージＳ３を備えている。供給ステージＳ１には、モータ１ａによって一定の送り速度で連続回転され、作業前のウエブを供給する巻き出しロール１が設けられている。作業ステージＳ２には、ウエブを停止させた状態で印刷、積層、打抜き、検査などの所定の作業を行う加工機２が設けられている。加工機２は、ウエブを吸着／解放できる加工テーブル２ａを備えていてもよい。排出ステージＳ３には、モータ３ａによって一定の送り速度で連続回転され、加工済みのウエブを巻き取る巻き取りロール３が設けられている。
【００２０】
巻き出しロール１から供給されたウエブＵは、ガイドロール４、ダンサロール５、コンペンセータロール６を順次経由して加工機２へ送られる。加工機２を通過したウエブＵは、サクションロール７、コンペンセータロール８、ダンサロール９、ガイドロール１０を経て巻き取りロール３に巻き取られる。ここで、コンペンセータロール６、８が本発明に係るバッファ装置を構成している。図１では、上流側のコンペンセータロール６は水平方向に移動可能であり、下流側のコンペンセータロール８は上下方向に移動可能である。
【００２１】
ダンサロール５、９は、ウエブに張力変動が発生した場合にそれを吸収するため、エアシリンダ５ａ、９ａによって押し圧を決定して、ウエブＵに一定の張力を与える装置である。
【００２２】
サクションロール７は、ウエブを間欠送りするウエブ送り機構を構成している。サクションロール７は、その外周面にウエブＵを吸着保持する機能を有し、サーボモータ７ａによって間欠的に回転駆動される。サクションロール７は、作業ステージＳ２の外側（上流側又は下流側）に設けられていてもよいし、作業ステージＳ２の内側（例えば加工機２の内部）に設けられていてもよい。
【００２３】
ここで、コンペンセータロール８及びその駆動機構について、図２を参照しながら詳しく説明する。コンペンセータロール８は、バッファ装置を構成するコンペンセータ２０により、上下方向に直進駆動され、かつ回転駆動される。すなわち、コンペンセータ２０は、ボールねじ２１と、そのボールねじ２１を回転駆動させる直進駆動用モータ２２と、コンペンセータロール８を回転自在に支持する支持部材２３と、支持部材２３を上下方向にスライド自在にガイドするガイドレール２５とを備える。なお、２７ａ、２７ｂはボールねじ２１を回転自在に支持するブラケットである。支持部材２３には、ボールねじ２１と螺合するナット部材２４が固定されている。直進駆動用モータ２２及びガイドレール２５は、図示しない装置の静止部に固定されている。支持部材２３には、コンペンセータロール８の回転駆動用モータ２６が固定されている。支持部材２３は、回転駆動用モータ２６を固定する機能と、コンペンセータロール８の回転軸８ａ（モータ軸２６ａ）を回転自在に支持する機能と、ボールねじ２１に螺合したナット部材２４を固定する機能と、ガイドレール２５とスライド自在に係合する機能とを有している。直進駆動用モータ２２を駆動すると、ボールねじ２１が回転し、支持部材２３が上下にスライドしてコンペンセータロール８と回転駆動用モータ２６とを一体に上下方向に移動させることができる。回転駆動用モータ２６のモータ軸２６ａは図示しない継手を介してコンペンセータロール８の回転軸８ａに結合されており、コンペンセータロール８を回転駆動できる。
【００２４】
コンペンセータロール６については、コンペンセータロール８と比べて、水平方向に移動する点で相違する以外は同様の構成を有する。図１では、説明を簡略化するため、水平方向の直進駆動用モータ６ａと、コンペンセータロール６を回転駆動するモータ６ｂとだけが示されている。コンペンセータロール６は、後述するコンペンセータロール８と同じ制御が実施される。
【００２５】
図１に示すウエブ搬送装置には、ウエブを搬送するための各駆動装置を制御する制御回路１１が設けられている。すなわち、この制御回路１１は、巻き出しロール１の駆動モータ１ａ、コンペンセータロール６の直進駆動用モータ６ａ及び回転駆動用モータ６ｂ、サクションロール７の駆動用モータ７ａ、コンペンセータロール８の直進駆動用モータ２２及び回転駆動用モータ２６、巻き取りロール３の駆動モータ３ａをそれぞれ制御している。なお、制御回路１１は、加工機２の加工タイミングを制御してもよい。
【００２６】
ここで、図３を参照しながら本発明の作動原理を説明する。いま、コンペンセータロール８の回転量をＸcr、サクションロール７の回転量をＸsr、コンペンセータ２０の移動量をＸcaとする。なお、図３のように、サクションロール７の回転方向は時計回り方向を正方向とし、コンペンセータ２０の移動方向は上方向を正方向とし、コンペンセータロール８は反時計回り方向を正方向としている。コンペンセータが停止状態で、サクションロールが回転している場合、
Ｘcr ＝ Ｘsr
であり、サクションロールが停止状態で、コンペンセータが移動している場合、
Ｘcr ＝ Ｘca
である。コンペンセータの回転量は上記の合成になるため、以下の関係になる。
Ｘcr ＝ Ｘsr ＋ Ｘca    (1)
式(1)が成り立てば、滑りが発生していないことになる。
【００２７】
式(1)に対し両辺を二階微分することで、次式が得られる。
d2(Xcr)/dt2 ＝ d2(Xsr)/dt2 ＋ d2(Xca)/dt2           (2)
トルクは加速度成分と同じであることから、サクションロール７の回転量の二階微分とコンペンセータ２０の移動量の二階微分との和を求めることで、コンペンセータロール８の回転加速度、つまりトルク指令を得ることが出来る。実際には、(2)の右辺の波形に対し振幅を調整するための比例定数を乗算することで、コンペンセータロール８に与えるトルク指令を得ることができる。振幅は、例えばコンペンセータロール８の直径や慣性モーメントなどに基づいて求められる。
【００２８】
図４は、図１に示す各ロールを制御するためのブロック線図であり、特にコンペンセータロールに対してトルクアシスト制御を行う点を特徴とする。巻き出し／巻き取り位置指令信号３０は、巻き出しロール１及び巻き取りロール３の駆動モータ１ａ、３ａに入力される。この指令信号は、減算点３１でサクションロール位置指令信号３２から減算され、比例ゲイン３３で調整された上で、コンペンセータの上下駆動用モータ２２への位置指令信号３４となる。サクションロール位置指令信号３２はそのままサクションロール駆動モータ７ａに入力される。コンペンセータの上下駆動指令信号３４は微分器３５で二階微分され、サクションロール位置指令信号３２も微分器３６で二階微分される。それら信号は加算点３７で加算され、加算された信号に比例ゲイン３８が乗算され、乗算された信号がコンペンセータロールへのトルク指令信号３９としてモータ２６に入力される。
【００２９】
図５は、トルクアシスト制御を行わなかった場合のサクションロールの回転量、コンペンセータロールの回転量、コンペンセータの移動量、及びコンペンセータロールの滑り量（Ｘcr−Ｘsr−Ｘca）を示す。サクションロールの回転量、コンペンセータロールの回転量、コンペンセータの移動量は左側の目盛りに表示され、滑り量は右側の目盛りに表示されている。コンペンセータロールは従前と同様に、モータ駆動せず、フィルムとの摩擦によって連れ回りするよう構成されている。サクションロールが停止している間、コンペンセータは巻き取りロールの巻き取り速度に応じた低速度で上方へ移動しており、コンペンセータロールも同じ速度で反時計回り方向に回転している。ある時刻でサクションロールが時計回り方向に高速回転すると、それと同期してコンペンセータは下向きに高速で移動し、それに連れてコンペンセータロールも反時計回り方向に高速で回転する。コンペンセータロールの回転量とコンペンセータの移動量との差が１回当りのサクションロールの回転量に相当する。
【００３０】
図５に示すように、サクションロールを１５０ｍｓの間に１５０ｍｍ高速回転させたとき、コンペンセータロールの回転が追従できず、コンペンセータロールとフィルムとの間に約６０ｍｍの滑りが発生していることがわかる。この滑りが、フィルム又はコンペンセータロールにダメージを与える。
【００３１】
図６は、本発明によるコンペンセータロールのトルクアシスト制御を行った場合のサクションロールの回転量、コンペンセータロールの回転量、コンペンセータの移動量、及びコンペンセータロールの滑り量（Ｘcr−Ｘsr−Ｘca）を示す。図５と同様に、サクションロールの回転量、コンペンセータロールの回転量、コンペンセータの移動量は左側の目盛りに表示され、滑り量は右側の目盛りに表示されている。サクションロールを１５０ｍｓ間に１５０ｍｍ回転させたとき、コンペンセータロールを図４に示す方法に従ってトルクアシスト制御することで、コンペンセータロールには殆ど滑りが発生しないことがわかる。このように、間欠駆動時のフィルムの加速度が大きくても、コンペンセータロールをトルクアシスト制御することで、コンペンセータロールの滑りを効果的に抑制できた。
【００３２】
本発明によるトルクアシスト制御は、搬送速度や張力の変更にロバスト性があり、コンペンセータロールの直径のばらつきやモータ系の剛性などのメカ的な誤差要因が含まれていても、高い精度で滑り抑制が可能である。コンペンセータロールのアシストトルクは比較的小さくて済むので、駆動用モータ２６は小型のモータでよい。
【００３３】
上記実施例では、コンペンセータロールのトルク制御を行うために、コンペンセータの移動加速度とサクションロールの回転加速度とからコンペンセータロールの加速度を求めたが、コンペンセータの移動加速度がサクションロールの回転加速度に比べて十分に小さい場合には、コンペンセータの移動加速度を無視し、サクションロールの回転加速度だけでコンペンセータロールのトルク制御を行うことも可能である。
【００３４】
上記説明では、コンペンセータロールのトルク制御をサクションロールの駆動時だけ実施し、それ以外の期間は、コンペンセータロールがウエブに連れ回りするよう構成したが、コンペンセータロールのトルク制御をサクションロールの停止期間中も実施してもよい。また、サクションロール駆動時だけでなく、例えばコンペンセータロールの加速期間・減速期間で大まかなトルク制御を実施することも可能である。
【００３５】
上記説明では、コンペンセータロールのトルク制御について説明したが、厳密な滑り抑制を必要としない場合や、間欠駆動時のフィルム加速度が比較的小さい場合には、他の方法（例えば位置制御）を用いることも可能である。例えば、コンペンセータロールを位置制御する場合には、サクションロールの回転位置とコンペンセータの位置とコンペンセータロールの回転位置とをセンサで検出し、それら検出信号からコンペンセータロールの回転位置を制御してもよい。さらに、１回の間欠駆動におけるコンペンセータロールの滑り量を予め実験的に測定しておき、間欠駆動時にコンペンセータロールをその滑り量に相当する分だけ前方へ回転させることにより、コンペンセータロールの滑りを低減することも可能である。
【００３６】
上記実施例では、ウエブ間欠送り機構としてサクションロールを使用したが、それ以外にもニップロール、ウエブを挟着又は吸着して前後に往復移動する可動テーブル、ウエブをチャックして前後に往復移動するチャック装置等を使用することができる。
【００３７】
図７は、チャック装置を用いたウエブ間欠送り機構の例を示す。加工機４０の内部に上下一対のチャック装置４１が設けられ、このチャック装置４１はウエブＵを挟持した状態と解放した状態とに作動可能である。チャック装置４１は、ウエブＵを挟持した状態で下流側（図７の右側）へ所定ストロークだけ水平移動し、ウエブＵを解放した後で元の位置まで戻る動作を繰り返す。加工機４０の下流側にはガイドロール４２が設けられ、ガイドロール４２によって下方へ向きを変更されたウエブは、コンペンセータロール４３に巻き掛けられる。このコンペンセータロール４３は、図２のコンペンセータロール８と同様の働きを有し、コンペンセータロール４３を回転駆動させる回転駆動手段と、コンペンセータロール４３及び回転駆動手段を一体的に上下方向へ直線移動させる直進駆動手段とを有する。この場合も、チャック装置４１がウエブを間欠搬送する時にコンペンセータロール４３の直線移動と回転駆動とを併用することで、コンペンセータロール４３とウエブとの間の滑りを抑制できる。特に、コンペンセータロール４３の回転をトルク制御することで、コンペンセータロール４３とウエブとの滑りを一層効果的に抑制できる。
【００３８】
コンペンセータロール６、８のコンペンセータ６ａ、２０として、図２ではモータとボールねじによる直動式の移動機構を設けたが、それに限るものではない。例えば、特許文献２の図６に示すように、コンペンセータロールを一対の回動レバーの先端部に支持し、この回動レバーをねじ軸およびモータによって回動させることで、コンペンセータロールを上下方向又は水平方向に移動させてもよい。
【００３９】
上記実施例では、バッファロールとしてコンペンセータロールを用いた例について説明したが、ダンサロールを用いることもできる。ダンサロールの場合には、ダンサロールを回転駆動するためのモータ及び回転センサの他に、ダンサロールをその回転軸と直交方向に移動させる流体圧シリンダの移動量を検出するセンサを設けるのが望ましい。この場合、コンペンセータロールのトルク分が０になるため、サクションロールのトルク成分のみを考慮すればよい。
【００４０】
本発明は上述の実施例に限定されるものではない。本発明が対象とするウエブとしては、キャリアフィルムの上にセラミックグリーンシートを形成したものに限らず、電子部品や基板の材料となるウエブ等であってもよく、長尺なシート状材料であれば適用可能である。作業ステージにおける作業としては、静止状態のウエブに対して行う作業であれば任意であり、打抜き、印刷、レーザー穴あけなどが含まれる。本発明のバッファ装置は、図１に示すように巻き出しロールと作業ステージとの間、及び作業ステージと巻き取りロールとの間に設けられたものに限らず、連続した製造装置の中間に複数の作業ステージを有する場合に、作業ステージとその前後の連続搬送ステージとの間に設けられてもよい。すなわち、供給ステージは巻き出しロールを含まなくてもよいし、排出ステージは巻き取りロールを含まなくても良い。
【符号の説明】
【００４１】
Ｕ        ウエブ
Ｓ１    供給ステージ
Ｓ２    作業ステージ
Ｓ３    排出ステージ
１      巻き出しロール
１ａ    駆動モータ
２      加工機
３      巻き取りロール
３ａ    駆動モータ
５、９    ダンサロール
６      コンペンセータロール（バッファロール）
６ａ    直進駆動用モータ
６ｂ    回転駆動用モータ
７      サクションロール（ウエブ送り機構）
７ａ    モータ  
８      コンペンセータロール（バッファロール）
１１    制御回路（制御装置）
２０    コンペンセータ（バッファ装置）
２２    直進駆動用モータ（移動機構）
２６    回転駆動用モータ（回転駆動手段）
【図１】
2017109816.tif 000003
【図２】
2017109816.tif 000004
【図３】
2017109816.tif 000005
【図４】
2017109816.tif 000006
【図５】
2017109816.tif 000007
【図６】
2017109816.tif 000008
【図７】
2017109816.tif 000009