(57)【要約】【課題】接触部のバネ定数を特定することにより、接触部の磨耗を抑制することができる圧電駆動装置を提供する。【解決手段】固定部、および圧電素子が設けられ前記固定部に支持された振動体部を有する基板と、被駆動体に接触し、前記振動体部の動きを前記被駆動体に伝える接触部と、含み、前記接触部は、前記振動体部の屈曲方向と直交する方向における端部に設けられ、前記接触部の前記屈曲方向におけるバネ定数をＫＴとし、前記接触部の前記屈曲方向における最大変位量をＸＴｍａｘとし、接触部と被駆動体との間の静止摩擦力をＦＳとすると、ＫＴ×ＸＴｍａｘ＜ＦＳの関係を満たす、圧電駆動装置。【選択図】図１
2017103956.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部、および圧電素子が設けられ前記固定部に支持された振動体部を有する基板と、
被駆動体に接触し、前記振動体部の動きを前記被駆動体に伝える接触部と、
を含み、
前記接触部は、前記振動体部の屈曲方向と直交する方向における端部に設けられ、
前記接触部の前記屈曲方向におけるバネ定数をＫＴとし、前記接触部の前記屈曲方向における最大変位量をＸＴｍａｘとし、前記接触部と前記被駆動体との間の静止摩擦力をＦＳとすると、
ＫＴ×ＸＴｍａｘ＜ＦＳ
の関係を満たす、圧電駆動装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記接触部は、先端部と、前記先端部と前記振動体部との間に設けられた接着剤部と、を有し、
前記振動体部は、前記先端部側に突出し前記先端部に接する突出部を有している、圧電駆動装置。
【請求項３】
請求項１において、
前記接触部は、先端部と、前記先端部と前記振動体部との間に設けられた接着剤部と、を有し、
前記先端部は、前記振動体部側に突出し前記振動体部に接する突出部を有している、圧電駆動装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項に記載の圧電駆動装置と、
前記圧電駆動装置によって回転されるローターと、
を含む、モーター。
【請求項５】
複数のリンク部と、
複数の前記リンク部を接続する関節部と、
複数の前記リンク部を前記関節部で回動させる請求項１ないし３のいずれか１項に記載の圧電駆動装置と、
を含む、ロボット。
【請求項６】
請求項１ないし３のいずれか１項に記載の圧電駆動装置と、
液体を輸送するチューブと、
前記圧電駆動装置の駆動によって前記チューブを閉鎖する複数のフィンガーと、
を含む、ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電駆動装置、モーター、ロボット、およびポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電素子により振動体を振動させて被駆動体を駆動する圧電アクチュエーター（圧電駆動装置）は、磁石やコイルが不要のため、様々な分野で利用されている。
【０００３】
このような圧電駆動装置において、過渡的な振動の防止、超音波振動子と被駆動体部材との点接触の防止、および電力効率の向上などを目的として、圧電駆動装置の被駆動体との接触部近傍にバネ領域を設けることが記載されている（例えば特許文献１〜３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２９５２３４号公報
【特許文献２】特開平０６−２２５６５号公報
【特許文献３】特開２０１５−８０３２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１〜３には、バネ領域があるという定性的なことしか記載されておらず、具体的なバネ領域のバネ定数や押圧による変形量などについては、言及されていない。
【０００６】
本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、接触部のバネ定数を特定することにより、接触部の磨耗を抑制することができる圧電駆動装置を提供することにある。また、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、上記の圧電駆動装置を含むモーター、ロボット、またはポンプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の態様又は適用例として実現することができる。
【０００８】
［適用例１］
本発明に係る圧電駆動装置の一態様は、
固定部、および圧電素子が設けられ前記固定部に支持された振動体部を有する基板と、
被駆動体に接触し、前記振動体部の動きを前記被駆動体に伝える接触部と、
を含み、
前記接触部は、前記振動体部の屈曲方向と直交する方向における端部に設けられ、
前記接触部の前記屈曲方向におけるバネ定数をＫＴとし、前記接触部の前記屈曲方向における最大変位量をＸＴｍａｘとし、前記接触部と前記被駆動体との間の静止摩擦力をＦＳとすると、
ＫＴ×ＸＴｍａｘ＜ＦＳ
の関係を満たす。
【０００９】
このような圧電駆動装置では、接触部は、滑ることなく被駆動体と接触することができる。これにより、このような圧電駆動装置では、接触部の磨耗を抑制することができる。
【００１０】
［適用例２］
適用例１において、
前記接触部は、先端部と、前記先端部と前記振動体部との間に設けられた接着剤部と、を有し、
前記振動体部は、前記先端部側に突出し前記先端部に接する突出部を有していてもよい。
【００１１】
このような圧電駆動装置では、接触部の屈曲方向のバネ定数と、接触部の屈曲方向と直交する方向のバネ定数と、を独立して調整することができる。
【００１２】
［適用例３］
適用例１において、
前記接触部は、先端部と、前記先端部と前記振動体部との間に設けられた接着剤部と、を有し、
前記先端部は、前記振動体部側に突出し前記振動体部に接する突出部を有していてもよい。
【００１３】
このような圧電駆動装置では、接触部の屈曲方向のバネ定数と、接触部の屈曲方向と直交する方向のバネ定数と、を独立して調整することができる。
【００１４】
［適用例４］
本発明に係るモーターの一態様は、
適用例１ないし３のいずれか１例に記載の圧電駆動装置と、
前記圧電駆動装置によって回転されるローターと、
を含む。
【００１５】
このようなモーターでは、本発明に係る圧電駆動装置を含むことができる。
【００１６】
［適用例５］
本発明に係るロボットの一態様は、
複数のリンク部と、
複数の前記リンク部を接続する関節部と、
複数の前記リンク部を前記関節部で回動させる適用例１ないし３のいずれか１例に記載の圧電駆動装置と、
を含む。
【００１７】
このようなロボットでは、本発明に係る圧電駆動装置を含むことができる。
【００１８】
［適用例６］
本発明に係るポンプの一態様は、
適用例１ないし３のいずれか１例に記載の圧電駆動装置と、
液体を輸送するチューブと、
前記圧電駆動装置の駆動によって前記チューブを閉鎖する複数のフィンガーと、
を含む。
【００１９】
このようなポンプでは、本発明に係る圧電駆動装置を含むことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本実施形態に係る圧電駆動装置を模式的に示す平面図。
【図２】本実施形態に係る圧電駆動装置を模式的に示す断面図。
【図３】本実施形態に係る圧電駆動装置を模式的に示す斜視図。
【図４】本実施形態に係る圧電駆動装置を説明するための等価回路を示す図。
【図５】本実施形態に係る圧電駆動装置の動作を説明するための図。
【図６】本実施形態に係る圧電駆動装置の動作を説明するための図。
【図７】本実施形態の第１変形例に係る圧電駆動装置を模式的に示す平面図。
【図８】本実施形態の第１変形例に係る圧電駆動装置を模式的に示す平面図。
【図９】本実施形態の第１変形例に係る圧電駆動装置を模式的に示す平面図。
【図１０】本実施形態の第２変形例に係る圧電駆動装置を模式的に示す平面図。
【図１１】本実施形態の第２変形例に係る圧電駆動装置を模式的に示す平面図。
【図１２】本実施形態に係るロボットを説明するための図。
【図１３】本実施形態に係るロボットの手首部分を説明するための図。
【図１４】本実施形態に係るポンプを説明するための図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００２２】
１．  圧電駆動装置
まず、本実施形態に係る圧電駆動装置について、図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態に係る圧電駆動装置１００を模式的に示す平面図である。図２は、本実施形態に係る圧電駆動装置１００を模式的に示す図１のＩＩ−ＩＩ線断面である。図３は、本実施形態に係る圧電駆動装置１００の接触部２０近傍を模式的に示す斜視図である。
【００２３】
圧電駆動装置１００は、図１〜図３に示すように、基板１０と、接触部２０と、圧電素子３０と、を含む。
【００２４】
基板１０は、例えば、シリコン基板と、シリコン基板上に設けられた酸化シリコン層と、酸化シリコン層上に設けられた酸化ジルコニウム層と、の積層体から構成されている。
【００２５】
基板１０は、図１に示すように、振動体部１２と、固定部１４と、第１接続部１６と、第２接続部１８と、を有している。図示の例では、振動体部１２の平面形状（基板１０の厚さ方向からみた形状）は、略長方形である。振動体部１２上には、圧電素子３０が設けられ、振動体部１２は、圧電素子３０の変形により振動することができる。固定部１４は、接続部１６，１８を介して、振動体部１２を支持している。固定部１４は、例えば、外部部材（図示せず）に固定されている。図示の例では、接続部１６，１８は、振動体部１２の長手方向における中央部から、該長手方向と直交する方向に延出し、固定部１４に接続されている。
【００２６】
接触部２０は、振動体部１２の長手方向（以下、単に「長手方向」ともいう）における端部１２ａに設けられている。長手方向は、振動体部１２の屈曲方向と直交する方向である。図３に示す例では、振動体部１２は、端部１２ａに、接触部２０の先端部２２側に突出する突出部１２ｂを有している。接触部２０は、例えば、突出部１２ｂに嵌合して設けられている。図示の例では、突出部１２ｂは、先端部２２と離間している。なお、便宜上、図１および後述する図５では、突出部１２ｂの図示を省略している。
【００２７】
接触部２０は、先端２０ａを有し、接触部２０は、先端２０ａにおいて被駆動部材（後述する図５に示すローター４）と接触して、振動体部１２の動きを被駆動部材に伝える部材である。ローター４の形状は、例えば、円柱状、球状である。
【００２８】
接触部２０は、先端２０ａを構成する先端部２２と、先端部２２と振動体部１２との間に設けられた接着剤部２４と、を有している。先端部２２の材質は、例えば、セラミックス（具体的にはアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、ジルコニア（ＺｒＯ２）、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ）、またはこれらの混合物など）である。図示の例では、先端部２２の形状は、直方体である。接着剤部２４は、先端部２２と振動体部１２とを接着させる接着剤によって構成されている。
【００２９】
図３に示す例では、接触部２０の先端部２２および接着剤部２４の長手方向と直交する幅方向の長さをＷｓ、先端部２２および接着剤部２４の長手方向および幅方向と直交する方向の長さをＴｓ、先端部２２の長手方向の長さをＬｓ、接着剤部２４の長手方向の長さをＬａとしている。
【００３０】
長さＷｓは、例えば、０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下である。長さＴｓは、例えば、０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下である。長さＬｓは、例えば、０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下である。長さＬａは、例えば、０．５μｍ以上１５μｍ以下である。より具体的には、Ｗｓ＝０．２ｍｍ、Ｔｓ＝０．２ｍｍｍ、Ｌｓ＝０．１ｍｍ、Ｌａ＝３μｍである。
【００３１】
圧電素子３０は、図２に示すように、基板１０上に設けられている。具体的には、圧電素子３０は、振動体部１２上に設けられている。圧電素子３０は、第１電極３２と、圧電体層３４と、第２電極３６と、を有している。
【００３２】
第１電極３２は、振動体部１２上に設けられている。図１に示す例では、第１電極３２の平面形状は、長方形である。第１電極３２は、振動体部１２上に設けられたイリジウム層と、イリジウム層上に設けられた白金層と、によって構成されていてもよい。イリジウム層の厚さは、例えば、５ｎｍ以上１００ｎｍ以下である。白金層の厚さは、例えば、５０ｎｍ以上３００ｎｍ以下である。なお、第１電極３２は、Ｔｉ、Ｐｔ、Ｔａ、Ｉｒ、Ｓｒ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ａｕ、Ａｌ、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｃｕなどからなる金属層、またはこれらの２種以上を混合または積層したものであってもよい。第１電極３２は、圧電体層３４に電圧を印加するための一方の電極である。
【００３３】
圧電体層３４は、第１電極３２上に設けられている。図示の例では、圧電体層３４の平面形状は、長方形である。圧電体層３４の厚さは、例えば、５０ｎｍ以上２０μｍ以下であり、好ましくは、１μｍ以上７μｍ以下である。このように、圧電素子３０は、薄膜圧電素子である。圧電体層３４の厚さが５０ｎｍより小さいと、圧電駆動装置１００の出力が小さくなる場合がある。具体的には、出力を上げようとして圧電体層３４への印加電圧を高くすると、圧電体層３４が絶縁破壊を起こす場合がある。圧電体層３４の厚さが２０μｍより大きいと、圧電体層３４にクラックが生じる場合がある。
【００３４】
圧電体層３４としては、ペロブスカイト型酸化物の圧電材料を用いる。具体的には、圧電体層３４の材質は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３：ＰＺＴ）、ニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ，Ｎｂ）Ｏ３：ＰＺＴＮ）である。圧電体層３４は、電極３２，３６によって電圧が印加されることにより、変形（伸縮）することができる。
【００３５】
第２電極３６は、圧電体層３４上に設けられている。図示の例では、第２電極３６の平面形状は、長方形である。第２電極３６は、圧電体層３４上に設けられた密着層と、密着層上に設けられた導電層と、によって構成されていてもよい。密着層の厚さは、例えば、１０ｎｍ以上１００ｎｍ以下である。密着層は、例えば、ＴｉＷ層、Ｔｉ層、Ｃｒ層、ＮｉＣｒ層や、これらの積層体である。導電層の厚さは、例えば、１μｍ以上１０μｍ以下
である。導電層は、例えば、Ｃｕ層、Ａｕ層、Ａｌ層やこれらの積層体である。第２電極３６は、圧電体層３４に電圧を印加するための他方の電極である。
【００３６】
圧電素子３０は、複数設けられている。図１に示す例では、圧電素子３０は、５つ設けられている（圧電素子３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ，３０ｅ）。平面視において（基板１０の厚さ方向からみて）、例えば、圧電素子３０ａ〜３０ｄの面積は同じであり、圧電素子３０ｅは、圧電素子３０ａ〜３０ｄよりも大きな面積を有している。圧電素子３０ｅは、振動体部１２の短手方向の中央部において、振動体部１２の長手方向に沿って設けられている。圧電素子３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄは、振動体部１２の四隅に設けられている。図示の例では、圧電素子３０ａ〜３０ｅにおいて、第１電極３２は、１つの連続的な導電層として設けられている。
【００３７】
なお、図示はしないが、圧電駆動装置１００は、圧電素子３０を覆うように設けられた絶縁層や、第１電極３２と電気的に接続された第１配線層、および第２電極３６と電気的に接続された第２配線層を有していてもよい。
【００３８】
図４は、圧電駆動装置１００を説明するための等価回路を示す図である。圧電素子３０は、３つのグループに分けられる。第１グループは、２つの圧電素子３０ａ，３０ｄを有する。第２グループは、２つの圧電素子３０ｂ，３０ｃを有する。第３グループは、１つの圧電素子３０ｅのみを有する。図４に示すように、第１グループの圧電素子３０ａ，３０ｄは、互いに並列に接続され、駆動回路１１０に接続されている。第２グループの圧電素子３０ｂ，３０ｃは、互いに並列に接続され、駆動回路１１０に接続されている。第３グループの圧電素子３０ｅは、単独で駆動回路１１０に接続されている。
【００３９】
駆動回路１１０は、５つの圧電素子３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ，３０ｅのうちの所定の圧電素子、例えば、圧電素子３０ａ，３０ｄ，３０ｅの第１電極３２と第２電極３６との間に周期的に変化する交流電圧または脈流電圧を印加する。これにより、圧電駆動装置１００は、振動体部１２を超音波振動させて、接触部２０に接触するローター（被駆動部材）を所定の回転方向に回転させることができる。ここで、「脈流電圧」とは、交流電圧にＤＣオフセットを付加した電圧を意味し、脈流電圧の電圧（電界）の向きは、一方の電極から他方の電極に向かう一方向である。
【００４０】
なお、電界の向きは、第１電極３２から第２電極３６に向かうよりも第２電極３６から第１電極３２に向かう方が好ましい。また、圧電素子３０ｂ，３０ｃ，３０ｅの電極３２，３６間に交流電圧または脈流電圧を印加することにより、接触部２０に接触するローターを逆方向に回転させることができる。
【００４１】
図５は、圧電駆動装置１００の振動体部１２の動作を説明するための図である。圧電駆動装置１００の接触部２０は、図５に示すように、被駆動部材としてのローター４の外周に接触している。駆動回路１１０は、圧電素子３０ａ，３０ｄの電極３２，３６間に交流電圧または脈流電圧を印加する。これにより、圧電素子３０ａ，３０ｄは、矢印ｘの方向に伸縮する。これに応じて、振動体部１２は、振動体部１２の平面内で屈曲振動して蛇行形状（Ｓ字形状）に変形する。さらに、駆動回路１１０は、圧電素子３０ｅの電極３２，３６間に交流電圧または脈流電圧を印加する。これにより、圧電素子３０ｅは、矢印ｙの方向に伸縮する。これにより、振動体部１２は、振動体部１２の平面内で縦振動する。上記のような振動体部１２の屈曲振動および縦振動によって、振動体部１２の接触部２０との境界部（接続部）は、矢印ｚのように楕円運動する。その結果、ローター４は、その中心４ａの周りに所定の方向Ｒ（図示の例では時計回り方向）に回転する。
【００４２】
なお、駆動回路１１０が、圧電素子３０ｂ，３０ｃ，３０ｅの電極３２，３６間に交流
電圧または脈流電圧を印加する場合には、ローター４は、方向Ｒとは反対方向（反時計回り方向）に回転する。
【００４３】
また、振動体部１２の屈曲振動の共振周波数と縦振動の共振周波数とは、同じであることが好ましい。これにより、圧電駆動装置１００は、効率よくローター４を回転させることができる。
【００４４】
図５に示すように、本実施形態に係るモーター１２０は、本発明に係る圧電駆動装置（図示の例では圧電駆動装置１００）と、圧電駆動装置１００によって回転されるローター４と、を含む。ローター４の材質は、例えば、セラミックスである。図示の例では、ローター４の形状は、円柱状である。
【００４５】
図６は、圧電駆動装置１００の振動体部１２の動作を、より詳細に説明するため図である。振動体部１２は、図６に示すように、状態（Ａ）から状態（Ｆ）まで順に変形し、再び状態（Ａ）に戻る。この動作を、圧電駆動装置１００が駆動している間（圧電素子３０に電圧が印加されている間）繰り返す。なお、図６において、破線で示した長方形は、圧電駆動装置１００が駆動していない状態での振動体部１２（具体的には、便宜上、突出部１２ｂが設けられていない振動体部１２）を示している。
【００４６】
図６では、振動体部１２の接触部２０との境界部（例えば突出部１２ｂ）が描く楕円をｚで示している。突出部１２ｂは、時計回りに回転する。ローター４は、反時計回りに回転する。ローター４の回転速度は、ほぼ一定である。ローター４表面の移動速度は、突出部１２ｂの屈曲方向速度の平均（圧電駆動装置１００が駆動され、接触部２０の先端２０ａがローター４と接触している間の平均）とほぼ同じである。
【００４７】
状態（Ａ）は、振動体部１２が縦方向（長手方向）に最も縮んだ状態であり、接触部２０とローター４とは、離間している。状態（Ａ）では、突出部１２ｂの第１方向（図６の左側へ向かう方向）への移動速度は、最大（圧電駆動装置１００が駆動している間で最大）となる。
【００４８】
状態（Ｂ）を経て、状態（Ｃ）において、接触部２０は、ローター４と接触している。状態（Ｃ）では、図示の例では、接触部２０の先端２０ａ全面がローター４と接触している。状態（Ｃ）では、突出部１２ｂは、第２方向（図６の右側へ向かう方向）へ移動する。しかし、突出部１２ｂの移動速度は、ローター４の回転速度よりも小さいため、接着剤部２４が変形して、突出部１２ｂは、先端部２２よりも遅れた状態となる。接着剤部２４は、例えば、先端部２２のヤング率よりも小さいヤング率を有している。
【００４９】
状態（Ｄ）では、振動体部１２が縦方向に最も伸びた状態であり、突出部１２ｂの第２方向への移動速度は、最大となる。そのため、状態（Ｅ）では、接着剤部２４が変形して、突出部１２ｂは、先端部２２よりも進んだ状態となる。状態（Ｅ）では、接触部２０の先端２０ａ全面がローター４と接触している。
【００５０】
そして、状態（Ｆ）では、接触部２０は、ローター４と離間し、再び、状態（Ａ）に戻る。
【００５１】
ここで、圧電駆動装置１００では、接触部２０の屈曲方向におけるバネ定数をＫＴとし、接触部２０の屈曲方向における最大変位量をＸＴｍａｘとし、接触部２０とローター４との間の静止摩擦力をＦＳとすると、下記式（１）を満たす。
【００５２】
ＫＴ×ＸＴｍａｘ＜ＦＳ  ・・・  （１）
【００５３】
そのため、圧電駆動装置１００では、状態（Ｃ）〜状態（Ｅ）において、接触部２０は、滑ることなくローター４と接触することができる。状態（Ｃ）および状態（Ｅ）における先端部２２速度とローター４の速度との差は、例えば、接着剤部２４が変形する（弾性変形する）ことにより吸収することができる。
【００５４】
なお、接触部２０の屈曲方向における最大変位量ＸＴｍａｘとは、振動体部１２が屈曲方向に変形していない状態を基準とした（例えば状態（Ｄ））、屈曲方向（第１方向、第２方向）における突出部１２ｂの変位量である。具体的には、最大変位量ＸＴｍａｘは、突出部１２ｂが描く楕円ｚの屈曲方向成長さの半分である。図示の例では、最大変位量ＸＴｍａｘは、長軸の長さの半分と同一である。
【００５５】
圧電駆動装置１００は、例えば、以下の特徴を有する。
【００５６】
圧電駆動装置１００では、式（１）を満たす。そのため、接触部２０は、滑ることなくローター４と接触することができる。これにより、圧電駆動装置１００では、接触部２０の磨耗を抑制することができる。その結果、圧電駆動装置１００では、接触部２０の長寿命化を図ることができる。例えば接触部が大きい場合は、接触部が少々磨耗しても圧電駆動装置の特性に大きな変化はないが、本実施形態に係る圧電駆動装置１００の接触部２０は、例えば、Ｗｓ＝０．２ｍｍ、Ｔｓ＝０．２ｍｍｍ、Ｌｓ＝０．１ｍｍ、Ｌａ＝３μｍと小型であり、接触部２０が少し磨耗するだけで圧電駆動装置１００の特性が変化してしまう場合がある。したがって、小型な接触部２０では、磨耗の抑制が重要となる。
【００５７】
さらに、圧電駆動装置１００では、接触部２０がローター４に対して滑らないので、振動体部１２の変形による復元力を低減させることなく、効率よく該復元力をローター４に伝えることができる。さらに、圧電駆動装置１００では、接触部２０のローター４との接触する部分が、状態（Ｃ）〜状態（Ｅ）において、ローター４に対して変位しないので、ローター４の回転速度やトルクの変動を小さくすることができ、安定して駆動することができる。
【００５８】
圧電駆動装置１００では、例えば、突出部１２ｂが描く楕円ｚの上半分側（ローター４側の半分側）において、接触部２０をローター４に接させ、楕円ｚの下半分側（ローター４とは反対側の半分側）において、接触部２０をローターと離間させることができる。これにより、圧電駆動装置１００は、振動体部１２の変形による復元力を、効率よくローター４に伝えることができる。
【００５９】
２．  圧電駆動装置の製造方法
次に、本実施形態に係る圧電駆動装置の製造方法について、図面を参照しながら説明する。
【００６０】
図１および図２に示すように、基板１０の振動体部１２上に第１電極３２を形成する。第１電極３２は、例えば、スパッタ法、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、真空蒸着法などによる成膜、およびパターニング（フォトリソグラフィーおよびエッチングによるパターニング）により形成される。
【００６１】
次に、第１電極３２上に圧電体層３４を形成する。圧電体層３４、例えば、液相法による前駆体層の形成と該前駆体層の結晶化とを繰り返した後、パターニングすることによって形成される。液相法とは、薄膜（圧電体層）の構成材料を含む原料液を用いて薄膜材料を成膜する方法であり、具体的には、ゾルゲル法やＭＯＤ（Ｍｅｔａｌ  Ｏｒｇａｎｉｃ
Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法などである。結晶化は、酸素雰囲気において、例えば、７０
０℃〜８００℃の熱処理により行われる。
【００６２】
次に、圧電体層３４に第２電極３６を形成する。第２電極３６は、例えば、第１電極３２と同じ方法で形成される。なお、図示はしないが、第２電極３６のパターニングと圧電体層３４のパターニングとは、同一の工程として行われてもよい。
【００６３】
以上の工程により、基板１０の振動体部１２上に、圧電素子３０を形成することができる。
【００６４】
次に、接着剤部２４を介して、先端部２２を振動体部１２の端部１２ａに接着させる。これにより、端部１２ａに接触部２０を設けることができる。
【００６５】
以上の工程により、圧電駆動装置１００を製造することができる。
【００６６】
３．  圧電駆動装置の変形例
３．１．  第１変形例
次に、本実施形態の第１変形例に係る圧電駆動装置について、図面を参照しながら説明する。図７は、本実施形態の第１変形例に係る圧電駆動装置２００を模式的に示す平面図である。
【００６７】
以下、本実施形態の第１変形例に係る圧電駆動装置２００において、本実施形態に係る圧電駆動装置１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。このことは、以下に示す本実施形態の第２変形例に係る圧電駆動装置においても同様である。
【００６８】
上述した圧電駆動装置１００では、図３に示すように、振動体部１２の端部１２ａには、突出部１２ｂが設けられていた。これに対し、圧電駆動装置２００では、図７に示すように、端部１２ａには、突出部１２ｂは設けられていない。
【００６９】
圧電駆動装置２００では、圧電駆動装置１００と同様に、接触部２０の磨耗を抑制することができる。
【００７０】
なお、図７に示す例では、先端部２２の形状は直方体であるが、先端部２２の形状は、図８に示すように半球状であってもよく、図９に示すように球状であってもよい。図９に示す例では、振動体部１２の端部１２ａに切り欠き１３が設けられ、切り欠き１３に接着剤部２４が充填されている。
【００７１】
３．２．  第２変形例
次に、本実施形態の第２変形例に係る圧電駆動装置について、図面を参照しながら説明する。図１０は、本実施形態の第２変形例に係る圧電駆動装置３００を模式的に示す平面図である。
【００７２】
上述した圧電駆動装置１００では、図３に示すように、振動体部１２は、端部１２ａに突出部１２ｂを有し、突出部１２ｂは、先端部２２と離間していた。これに対し、圧電駆動装置３００では、図１０に示すように、振動体部１２は、先端部２２側に突出し先端部２２に接する突出部１２ｂを有している。突出部１２ｂは、端部１２ａの短手方向における中央部に設けられている。長手方向および幅方向と直交する方向の長さにおいて、突出部１２ｂと接着剤部２４とは、同じ長さである。図１０に示す例では、突出部１２ｂの幅方向の長さをＷｔとしている。長さＷｔは、例えば、１μｍ以上５０μ以下であり、より具体的には、２０μｍである。
【００７３】
圧電駆動装置３００では、圧電駆動装置１００と同様に、接触部２０の磨耗を抑制することができる。さらに、圧電駆動装置３００では、突出部１２ｂにより、接触部２０の長手方向のバネ定数と、接触部２０の屈曲方向のバネ定数と、を独立して調整することができる（詳細は後述する「４．  実験例」参照）。
【００７４】
なお、図１１に示すように、振動体部１２は突出部１２ｂを有しておらず、先端部２２は、振動体部１２側に突出し振動体部１２に接する突出部１２ｂを有していてもよい。
【００７５】
４．  実験例
以下に実験例を示し、本発明をより具体的に説明する。なお、本発明は、以下の実験例によって何ら限定されるものではない。
【００７６】
４．１．  バネ定数に関する計算
接触部とローターとの間の静止摩擦係数をμｓ、接触部とローターとの間の静止摩擦力をＦＳ、接触部の屈曲方向における最大変位量をＸＴｍａｘ、接触部の先端を縦方向に押し当てた（押圧した）押圧力をＦＰｒ、接触部の屈曲方向のバネ定数をＫＴとした。接触部が最大に変位したときでも、ローターに対して滑らない条件は、下記式（２）となる。したがって、静止摩擦係数μｓ＝０．５、最大変位量ＸＴｍａｘ＝１μｍ、押圧力ＦＰｒ＝０．５Ｎとした場合は、下記式（３）を満たせば、接触部が屈曲方向に最大に変位したときでも、接触部はローターに対して滑らない。
【００７７】
ＦＳ＝μｓ×ＦＰｒ＞ＫＴ×ＸＴｍａｘ  ・・・  （２）
ＫＴ＜（μｓ×ＦＰｒ）／ＸＴｍａｘ＝２．５×１０５Ｎ／ｍ  ・・・  （３）
【００７８】
４．２．  バネ定数に関するシミュレーション
４．２．１．  図７に示すようなモデルでのシミュレーション
上述した図７に示すような接触部をモデルとして、接触部の先端に長手方向に１Ｎを印加したときの接触部の変形量を有限要素法によるシミュレーションで求めた。そして、求めた変形量からバネ定数を算出した。接触部の先端部としては、アルミナを想定した。各寸法およびヤング率は、下記の通りである。
【００７９】
先端部のヤング率：３．７×１０１１Ｎ／ｍ２
先端部および接着剤部の長さＷｓ：２００μｍ
先端部および接着剤部の長さＴｓ：２００μｍ
先端部の長さＬｓ：１００μｍ
接着剤部のヤング率：３×１０７Ｎ／ｍ２
接着剤部の長さＬａ：３μｍ
【００８０】
下記表１は、シミュレーションで求めた変位量とバネ定数との関係を示している。表１より、上記のような条件では、屈曲方向のバネ定数を、上記の「４．１．」の計算で求めた、２．５×１０５Ｎ／ｍよりも小さくできることがわかった。
【００８１】
【表１】
2017103956.tif 000003
【００８２】
４．２．２．  図１０に示すようなモデルでのシミュレーション
次に、上述した図１０に示すような接触部をモデルとして、上記の「４．２．１．」と同じシミュレーションを行った。下記に示す条件以外は、上記の「４．２．１．」と同じ条件でシミュレーションを行った。振動体部としては、シリコンを想定した。
【００８３】
接着剤部の長さＬａ：１０μｍ
振動体部の（突起部の）ヤング率：１．５９×１１Ｎ／ｍ２
突起部の長さＷｔ：２０μｍ
【００８４】
下記表２は、シミュレーションで求めた変位量とバネ定数との関係を示している。表２より、屈曲方向のバネ定数を２．５×１０５Ｎ／ｍよりも小さくしつつ、長手方向のバネ定数を、図７に示したモデルとは異なる値にできることがわかった。すなわち、突起部を設けることにより、接触部の長手方向のバネ定数と屈曲方向のバネ定数とを、独立して調整することができることがわかった。
【００８５】
【表２】
2017103956.tif 000004
【００８６】
５．  圧電駆動装置を用いた装置
本発明に係る圧電駆動装置は、共振を利用することで被駆動体に対して大きな力を与えることができるものであり、各種の装置に適用可能である。本発明に係る圧電駆動装置は、例えば、ロボット（電子部品搬送装置（ＩＣハンドラー）も含む）、投薬用ポンプ、時計のカレンダー送り装置、印刷装置の紙送り機構等の各種の機器における駆動装置として用いることが出来る。以下、代表的な実施の形態について説明する。以下では、本発明に係る圧電駆動装置として、圧電駆動装置１００を含む装置について説明する。
【００８７】
５．１．  ロボット
図１２は、圧電駆動装置１００を利用したロボット２０５０を説明するための図である。ロボット２０５０は、複数本のリンク部２０１２（「リンク部材」とも呼ぶ）と、それらリンク部２０１２の間を回動または屈曲可能な状態で接続する複数の関節部２０２０と、を備えたアーム２０１０（「腕部」とも呼ぶ）を有している。
【００８８】
それぞれの関節部２０２０には、圧電駆動装置１００が内蔵されており、圧電駆動装置１００を用いて関節部２０２０を任意の角度だけ回動または屈曲させることが可能である。アーム２０１０の先端には、ロボットハンド２０００が接続されている。ロボットハンド２０００は、一対の把持部２００３を備えている。ロボットハンド２０００にも圧電駆動装置１００が内蔵されており、圧電駆動装置１００を用いて把持部２００３を開閉して物を把持することが可能である。また、ロボットハンド２０００とアーム２０１０との間にも圧電駆動装置１００が設けられており、圧電駆動装置１００を用いてロボットハンド２０００をアーム２０１０に対して回転させることも可能である。
【００８９】
図１３は、図１２に示したロボット２０５０の手首部分を説明するための図である。手首の関節部２０２０は、手首回動部２０２２を挟持しており、手首回動部２０２２に手首のリンク部２０１２が、手首回動部２０２２の中心軸Ｏ周りに回動可能に取り付けられている。手首回動部２０２２は、圧電駆動装置１００を備えており、圧電駆動装置１００は
、手首のリンク部２０１２およびロボットハンド２０００を中心軸Ｏ周りに回動させる。ロボットハンド２０００には、複数の把持部２００３が立設されている。把持部２００３の基端部はロボットハンド２０００内で移動可能となっており、この把持部２００３の根元の部分に圧電駆動装置１００が搭載されている。このため、圧電駆動装置１００を動作させることで、把持部２００３を移動させて対象物を把持することができる。なお、ロボットとしては、単腕のロボットに限らず、腕の数が２以上の多腕ロボットにも圧電駆動装置１００を適用可能である。
【００９０】
ここで、手首の関節部２０２０やロボットハンド２０００の内部には、圧電駆動装置１００の他に、力覚センサーやジャイロセンサー等の各種装置に電力を供給する電力線や、信号を伝達する信号線等が含まれ、非常に多くの配線が必要になる。したがって、関節部２０２０やロボットハンド２０００の内部に配線を配置することは非常に困難だった。しかしながら、圧電駆動装置１００は、通常の電動モーターよりも駆動電流を小さくできるので、関節部２０２０（特に、アーム２０１０の先端の関節部）やロボットハンド２０００のような小さな空間でも配線を配置することが可能になる。
【００９１】
５．２．  ポンプ
図１４は、圧電駆動装置１００を利用した送液ポンプ２２００の一例を示す説明するための図である。送液ポンプ２２００は、ケース２２３０内に、リザーバー２２１１と、チューブ２２１２と、圧電駆動装置１００と、ローター２２２２と、減速伝達機構２２２３と、カム２２０２と、複数のフィンガー２２１３，２２１４，２２１５，２２１６，２２１７，２２１８，２２１９と、を含む。
【００９２】
リザーバー２２１１は、輸送対象である液体を収容するための収容部である。チューブ２２１２は、リザーバー２２１１から送り出される液体を輸送するための管である。圧電駆動装置１００の接触部２０は、ローター２２２２の側面に押し付けた状態で設けられており、圧電駆動装置１００がローター２２２２を回転駆動する。ローター２２２２の回転力は減速伝達機構２２２３を介してカム２２０２に伝達される。フィンガー２２１３から２２１９はチューブ２２１２を閉塞させるための部材である。カム２２０２が回転すると、カム２２０２の突起部２２０２Ａによってフィンガー２２１３から２２１９が順番に放射方向外側に押される。フィンガー２２１３から２２１９は、輸送方向上流側（リザーバー２２１１側）から順にチューブ２２１２を閉塞する。これにより、チューブ２２１２内の液体が順に下流側に輸送される。こうすれば、ごく僅かな量を精度良く送液可能で、しかも小型な送液ポンプ２２００を実現することができる。
【００９３】
なお、各部材の配置は図示されたものには限られない。また、フィンガーなどの部材を備えず、ローター２２２２に設けられたボールなどがチューブ２２１２を閉塞する構成であってもよい。上記のような送液ポンプ２２００は、インシュリンなどの薬液を人体に投与する投薬装置などに活用できる。ここで、圧電駆動装置１００を用いることにより、通常の電動モーターよりも駆動電流を小さくできるので、投薬装置の消費電力を抑制することができる。したがって、投薬装置を電池駆動する場合は、特に有効である。
【００９４】
本発明は、本願に記載の特徴や効果を有する範囲で一部の構成を省略したり、各実施形態や変形例を組み合わせたりしてもよい。
【００９５】
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構
成を含む。
【符号の説明】
【００９６】
４…ローター、４ａ…中心、１０…基板、１２…振動体部、１２ａ…端部、１２ｂ…突出部、１３…切り欠き、１４…固定部、１６…第１接続部、１８…第２接続部、２０…接触部、２０ａ…先端、２２…先端部、２４…接着剤部、３０，３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ，３０ｅ…圧電素子、３２…第１電極、３４…圧電体層、３６…第２電極、１００…圧電駆動装置、１１０…駆動回路、１２０…モーター、２００，３００…圧電駆動装置、２０００…ロボットハンド、２００３…把持部、２０１０…アーム、２０１２…リンク部、２０２０…関節部、２０５０…ロボット、２２００…送液ポンプ、２２０２…カム、２２０２Ａ…突起部、２２１１…リザーバー、２２１２…チューブ、２２１３，２２１４，２２１５，２２１６，２２１７，２２１８，２２１９…フィンガー、２２２２…ローター、２２２３…減速伝達機構、２２３０…ケース
【図１】
2017103956.tif 000005
【図２】
2017103956.tif 000006
【図３】
2017103956.tif 000007
【図４】
2017103956.tif 000008
【図５】
2017103956.tif 000009
【図６】
2017103956.tif 000010
【図７】
2017103956.tif 000011
【図８】
2017103956.tif 000012
【図９】
2017103956.tif 000013
【図１０】
2017103956.tif 000014
【図１１】
2017103956.tif 000015
【図１２】
2017103956.tif 000016
【図１３】
2017103956.tif 000017
【図１４】
2017103956.tif 000018