(57)【要約】【課題】比較的肉厚な配管の外側にセンサを設けざるを得ない場合であっても、流体の流量を正確に測定可能な測定装置を提供すること。【解決手段】本発明の一側面に係る測定装置の製造方法は、配管の外壁に形成された穴に熱伝導性充填剤を充填する工程と、センサが前記熱伝導性充填剤と接触するように前記センサを前記配管に固定する工程と、を含む。【選択図】図１
2017026429.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
配管の外壁に形成された穴に熱伝導性充填剤を充填する工程と、
センサが前記熱伝導性充填剤と接触するように前記センサを前記配管に固定する工程と、を含む、
測定装置の製造方法。
【請求項２】
前記センサを前記配管に固定する工程は、
前記センサと前記熱伝導性充填剤との間に隙間が形成されるように前記センサと前記配管とを仮固定する工程と、
前記隙間に導電性接着剤を付着する工程と、
前記導電性接着剤を硬化させる工程と、を含む、
請求項１に記載の測定装置の製造方法。
【請求項３】
前記センサを前記配管に固定する工程は、
前記熱伝導性充填剤の表面に導電性接着剤を付着する工程と、
前記センサが前記導電性接着剤と接触するように前記センサを前記配管に設置する工程と、
前記導電性接着剤を硬化させる工程と、を含む、
請求項１に記載の測定装置の製造方法。
【請求項４】
前記センサを前記配管に固定する工程は、
前記センサの表面に導電性接着剤を付着する工程と、
前記熱伝導性充填剤が前記導電性接着剤と接触するように前記センサを前記配管に設置する工程と、
前記導電性接着剤を硬化させる工程と、を含む、
請求項１に記載の測定装置の製造方法。
【請求項５】
センサと、
外壁に穴が形成された配管と、を備え、
前記センサが前記穴に充填された熱伝導性充填剤と接触するように前記センサが前記配管に固定されている、
測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体の流量を正確に測定可能な測定装置の製造方法および測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、流体の流量変化を検出するフローセンサとして、流体の流れ上流側・下流側のそれぞれに備えられた２つの温度センサ及び熱源が組み込まれた半導体モジュールを有する液体用のフローセンサが知られている。当該フローセンサは、液体を導くパイプ（配管）を備え、半導体モジュール（センサ）はパイプの外面に設けられており、二つの温度センサ及び熱源はパイプの外面と熱的接触している（特許文献１）。このようなフローセンサ構造は、パイプの内径に比べて半導体モジュールが大きく、パイプの内部に半導体モジュールを配置することができない場合に採用される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特表２００３−５３２０９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１のフローセンサにおいては、パイプの外壁に接着されている半導体モジュールの熱源からの熱は、パイプの壁を伝播し、パイプの内壁に接する流体に所定の温度分布を生じさせる。ここで、パイプ内に流体の流速がゼロである場合、当該流体の加熱温度は熱源に最短距離となる点を中心としてパイプの軸方向に対称的に分布する。その分布している流体の温度がパイプの内壁から逆方向にパイプの壁を伝播して半導体モジュールに伝わる。流体が流れていない場合に半導体モジュールの上流側温度センサが検出する温度と下流側温度センサが検出する温度とは一致する。一方で、パイプ内の流体が流れている場合、流体における温度分布は非対称となる。この非対称的に分布する熱が流体からパイプの壁を介して半導体モジュールに伝播するので、上流側温度センサが検出する温度と下流側温度センサが検出する温度は異なることになる。具体的には、パイプ内に流体が流れている場合においては、パイプ内に流体が流れていない場合に比べて、上流側温度センサが検出する温度は低下し、下流側温度センサが検出する温度は上昇する。特許文献１のフローセンサにおいては、この温度差、すなわち、上流側温度センサと下流側温度センサとの抵抗値の差に基づいて、流体の流量を算出する。
【０００５】
半導体モジュールからパイプの壁を介して流体へ伝わる熱、及び、流体からパイプの壁を介して半導体モジュールへ伝わる熱の伝達効率はパイプの壁の厚みに依存する。すなわち、パイプの壁の厚みが大きいほど、双方向の伝熱効率はより低下する。ここで一般に、パイプの壁の厚みは、使用条件、例えば、流体の温度や圧力などに鑑みて決定される。例えば、流体の圧力が相対的に高い場合、パイプの破損等を防止するため、流体の圧力が低い場合に比べて壁の厚みが大きなパイプが採用される。このように、伝熱に悪影響を及ぼすほどの肉厚なパイプを採用する場合、効率的に双方向へ熱が伝達されず、流体の流量を正しく測定することができないおそれがあった。
【０００６】
そこで、本発明は、比較的肉厚な配管の外側にセンサを設けざるを得ない場合であっても、流体の流量を正確に測定可能な測定装置を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の一側面に係る測定装置の製造方法は、配管の外壁に形成された穴に熱伝導性充填剤を充填する工程と、センサが前記熱伝導性充填剤と接触するように前記センサを前記配管に固定する工程と、を含む。
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の一側面に係る測定装置は、センサと、外壁に穴が形成された配管と、を備え、前記センサが前記穴に充填された熱伝導性充填剤と接触するように前記センサが前記配管に固定されている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、熱伝導性充填剤の介在によりセンサと流体との間で効率的な熱伝達が実現されるので、流体の流量を正確に測定できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る流量計の構成例を示す概略断面図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係るフローセンサの構成例を示す斜視図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係るフローセンサの図２のＩ−Ｉ方向から見た断面図である。
【図４】図１に示す流量計の配管とフローセンサとが固定されている部分を拡大した概略断面図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係る流量計の製造工程を示した図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係る流量計の構成例を示す概略図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係る流量計の製造工程を示した図である。
【図８】本発明の第２実施形態に係る流量計の他の製造工程を示した図である。
【図９】本発明の第２実施形態に係る流量計の他の製造工程を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付して表している。図面は模式的なものであり、必ずしも実際の寸法や比率等とは一致しない。図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることがある。なお、以下の説明において、図面の上側を「上」、下側を「下」という。
【００１２】
（第１実施形態）
本実施形態においては、測定装置の製造方法は、配管の外壁に形成された穴に熱伝導性充填剤を充填する工程と、センサが熱伝導性充填剤と接触するようにセンサを配管に固定する工程と、を含む点に特徴がある。まず、当該製造方法において製造された測定装置の構成を以下に説明する。
【００１３】
（構成）
図１は、本発明の第１実施形態に係る流量計（測定装置）の概略断面図である。図１は、配管の外壁に取り付けられた流量計を配管の軸心に沿った切断した場合の断面図であり、所定の長さの部分だけ切り出したように図示してある。図１に示すように、流量計１は、例示的に、外壁の一部に穴２１が形成されている配管１１と、配管１１内を流れる流体の流量を測定するフローセンサ（センサ）５１と、を備えて構成されている。流量計１は、フローセンサ５１が配管１１に形成された穴２１に充填された熱伝導性充填剤３１と接触するように配管１１の外壁に固定されている。以下の図面では、配管１１のうち、フローセンサ５１が固定された部分を含む一部のみを切り出して図示してある。
【００１４】
配管１１は、流体を通過させる管状の部材をいい、使用条件から決定される構造を有する。例えば、流体の流量に対応した適切な内径、流体の圧力に耐えうる壁の厚み、および最適な長さを有する。配管１１は、例えば、セラミックス、プラスチック、ステンレスなどの材料で構成される。
【００１５】
穴２１は、配管１１の外壁に形成されている。穴２１は、例えば、配管１１の軸心に対して垂直方向に向かって外側から形成されている。穴２１としては、配管１１を貫通していない穴（止まり穴）と、配管１１を貫通している穴（通し穴）と、が存在する。本実施形態においては、穴２１の開口は、配管１１の外側に向いているので、配管１１内の流体が配管１１から漏れて配管１１以外の物体、例えば、熱伝導性充填剤３１やフローセンサ５１に接触してしまうのを防止することができるという理由で、穴２１としては止まり穴のほうが好ましい。
【００１６】
なお、穴２１を形成する空間の形状は、円筒形状、テーパ形状等であればよい。また、穴２１は、穴の途中から径の違う穴である段付き穴などであってもよい。段付き穴の場合、例えば、配管１１の外壁においてはより径の大きい穴を形成することにより、後述する熱伝導性充填剤３１を充填し易くなるし、配管１１の内壁に近いところにおいては、径の小さい穴を形成することにより、円筒形状の穴の場合に比べて、配管１１の強度を維持できる。
【００１７】
熱伝導性充填剤３１は、センサ部１００の熱を効率的に配管１１内部の流体に伝達し、配管１１内部の熱をセンサ部１００に伝達する、双方向に伝熱が可能な熱伝導性材料である。したがって、熱伝導性充填剤３１の熱伝導率は、少なくとも配管１１の熱伝導率よりは高いことが求められる。熱伝導性充填剤３１は、例えば、銀、銅、金、アルミニウム等の金属粒子を含むペーストを含む。当該ペーストは、例えば、伝導性フィラーとバインダー樹脂とが混合されることにより得られる材料が含まれる。伝導性フィラーには、例えば、銀、銅、鉄、ニッケルなどの金属微粉末やその他、カーボンブラック、炭化ケイ素、窒化アルミニウム、アルミナ等が含まれる。また、バインダー樹脂には、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、フェノール樹脂及びイミド樹脂等の樹脂が含まれる。なお、熱伝導性充填剤３１は、接着剤として機能を備えていてもよい。
【００１８】
フローセンサ５１は、配管１１内を流通する流体の流量を測定するための測定手段である。図１に示すように、フローセンサ５１は、配管１１の外壁に固定されて用いられる。また、フローセンサ５１は、絶縁膜１０３のキャビティ１０２を覆う部分である断熱性のダイアフラムを基板１０１の下方向から形成するバックサイドエッチング構造を備える。フローセンサ５１の具体的構成を図２および図３を用いて説明する。
【００１９】
図２は、本発明の第１実施形態に係るフローセンサの構成例を示す斜視図である。図３は、本発明の第１実施形態に係るフローセンサの図２のＩ−Ｉ方向から見た断面図である。図２及び図３に示すように、フローセンサ５１は、例示的に、キャビティ１０２（図３）が設けられた基板１０１と、基板１０１上にキャビティ１０２を覆うように配置された絶縁膜１０３と、絶縁膜１０３に設けられたセンサ部１００と、設置時にセンサ部１００より上流側となる位置に設けられた周囲温度センサ１０７と、を備えて構成されている。
【００２０】
センサ部１００は、例示的に、絶縁膜１０３に設けられたヒータ１０４と、設置時にヒータ１０４より上流側となる位置に設けられた上流側測温抵抗素子１０５と、設置時にヒータ１０４より下流側となる位置に設けられた下流側測温抵抗素子１０６と、を備えて構成される温度検出手段である。センサ部１００は、例えば、フローセンサ５１の絶縁膜１０３に配置されており、センサ部１００は、絶縁膜１０３から上方に突出するように構成されてもよいし、絶縁膜１０３に埋め込まれるように構成されてもよい。なお、センサ部１００は、ヒータ１０４、上流側測温抵抗素子１０５、下流側測温抵抗素子１０６の他、後述する周囲温度センサ１０７を備えて構成されてもよい。
【００２１】
周囲温度センサ１０７は、配管１１を流通する流体の温度を測定する。ヒータ１０４は、キャビティ１０２を覆う絶縁膜１０３の略中心に配置されており、配管１１を流通する流体を、周囲温度センサ１０７が計測した温度よりも一定温度高くなるように加熱する。上流側測温抵抗素子１０５はより上流側の流体の温度を検出するために用いられ、下流側測温抵抗素子１０６はより下流側の流体の温度を検出するために用いられる。
【００２２】
図４は、図１に示す流量計１の配管１１とフローセンサ５１とが固定されている部分を拡大した概略断面図である。図４に示すように、フローセンサ５１のセンサ部１００が、穴２１に充填された熱伝導性充填剤３１と物理的に接触し、熱的に接続されることによって、矢印Ａ１に示すとおり、センサ部１００のヒータ１０４の熱が熱伝導性充填剤３１を介して配管１１内の流体に伝播する。この伝播した熱によって変化した流体の熱が、熱伝導性充填剤３１を介して上流側測温抵抗素子１０５に伝播し（矢印Ａ２）、下流側測温抵抗素子１０６に伝播する（矢印Ａ３）。この矢印Ａ１方向の熱の伝搬と矢印Ａ２，３方向の熱の伝搬とを合せて双方向に伝熱するという。配管１１内における流体が上流側から下流側へと流通している場合、ヒータ１０４で加えられた熱は下流方向に運ばれる（運搬効果）。従って、上流側測温抵抗素子１０５の温度よりも下流側測温抵抗素子１０６の温度が高くなり、上流側測温抵抗素子１０５の電気抵抗と下流側測温抵抗素子１０６の電気抵抗との間に差が生じる。この電気抵抗の差は、配管１１内を流通する流体の速度や流量と相関関係があることが知られている。このため、上流側測温抵抗素子１０５の電気抵抗と下流側測温抵抗素子１０６の電気抵抗との差に基づいて、配管１１内を流通する流体の速度や流量を測定（算出）することができる。
【００２３】
なお、基板１０１の材料としては、シリコン(Ｓｉ)等が使用可能である。絶縁膜１０３の材料としては、酸化ケイ素(ＳｉＯ2)等が使用可能である。また、ヒータ１０４、上流側測温抵抗素子１０５、下流側測温抵抗素子１０６及び周囲温度センサ１０７の各々の材料としては、白金(Ｐｔ)等が使用可能であり、これらは、リソグラフィ法等により形成可能である。
【００２４】
（製造工程）
図５は、本発明の第１実施形態に係る流量計の製造工程を示した図である。図５（ａ）は、穴が形成された配管と配管に設置する前のフローセンサとを示した図である。図５（ｂ）は、配管に形成された穴に熱伝導性充填剤が充填された後の状態を示した図である。図５（ｃ）は、フローセンサのセンサ部が熱伝導性充填剤と接触するように、フローセンサが配管の外壁に固定された後の状態を示した図である。
【００２５】
本発明の第１実施形態に係る流量計１は、以下の工程を経て生産される。
まず、図５（ａ）に示すように、配管１１の外壁に穴２１を形成する（工程１）。
次に、図５（ｂ）に示すように、配管１１の外壁に形成された穴２１に熱伝導性充填剤３１を充填する（工程２）。
次に、図５（ｃ）に示すように、フローセンサ５１が熱伝導性充填剤３１と接触するようにフローセンサ５１を配管１１に固定する（工程３）。
【００２６】
工程１において、すでに穴２１が形成された配管１１を納入することにより、工程１を省略し、工程２以降を実施してもよい。
【００２７】
工程２において、所定のカラムを用いて、穴２１に熱伝導性充填剤３１を充填する。例えば、熱伝導性充填剤３１は、穴２１の開口面まで充填される。また、フローセンサ５１と熱伝導性充填剤３１との接触をより確実にするために、熱伝導性充填剤３１は、穴２１の開口面まで充填された後さらに、穴２１から溢れる程度に付着されてもよい。
【００２８】
工程３において、熱を効率的に双方向に伝熱可能に、フローセンサ５１のセンサ部１００が配管１１に形成された穴２１に充填された熱伝導性充填剤３１と接触するようにフローセンサ５１が配管１１に固定される。フローセンサ５１を配管１１に固定する方法としては、フローセンサ５１を配管１１に取り付けるためのなんらかの取り付け具（不図示）を用いてもよい。また、熱伝導性充填剤３１が接着剤としての機能を備えている場合には、フローセンサ５１が熱伝導性充填剤３１と接触するようにフローセンサ５１を配管１１に設置した後、熱伝導性充填剤３１を加熱処理、光照射等することによって硬化させ、フローセンサ５１を配管１１に固定してもよい。
【００２９】
（効果）
第１実施形態によれば、測定装置の製造方法は、配管１１の外壁に形成された穴２１に熱伝導性充填剤３１を充填する工程と、フローセンサ５１（センサ）が熱伝導性充填剤３１と接触するようにフローセンサ５１を配管１１に固定する工程と、を含む。したがって、熱伝導性充填剤の介在によりセンサと流体との間で効率的な熱伝達が実現されるので、流体の流量を正確に測定できる。
【００３０】
（第２実施形態）
第２実施形態は、フローセンサと配管の外壁との間に、熱伝導性充填剤３１とは異なる接着剤を付着させ、当該接着剤を硬化させることによって、フローセンサが配管に固定されている測定装置の製造方法について説明する。第２実施形態の製造方法において製造された測定装置の構成を以下に説明する。なお、特に記述がない限り、前述した第１実施形態と同一構成部分は同一符号をもって表し、その説明を省略する。
【００３１】
（構成）
図６は、本発明の第２実施形態に係る流量計（測定装置）の概略断面図である。図６は、配管の外壁に取り付けられた流量計を配管の軸心に沿った切断した場合の断面図である。図６に示すように、流量計２は、例示的に、外壁の一部に穴が形成されている配管１１と、配管１１内を流れる流体の流量を測定するフローセンサ（センサ）５１と、を備えて構成されている。流量計１は、フローセンサ５１が配管１１に形成された穴２１に充填された熱伝導性充填剤３１と、熱伝導が可能となるように、導電性接着剤７１を介して接触するようにフローセンサ５１が配管１１に固定されている。また、図６に示すように、フローセンサ５１は、フローセンサ５１のセンサ部１００と配管１１の外壁との間に隙間が形成されるように、基板１０１上の領域であってセンサ部１００が配置されている領域以外の領域に設置されたスペーサー６１を介して配管１１に設置されており、上記隙間に導電性接着剤７１が付着されている。
【００３２】
スペーサー６１は、フローセンサ５１と配管１１の外壁との間に隙間を設けるための部材である。スペーサー６１は、例えば、スタッドや接着性のシートである。スペーサー６１の厚さは、例えば５μｍ程度である。理由は、フローセンサ５１と配管１１の外壁との間に形成される隙間を埋める導電性接着剤７１の厚さがセンサのセンサ感度を低下させない程度に薄くなるように調整するためである。
【００３３】
導電性接着剤７１は、フローセンサ５１のセンサ部１００と熱伝導性充填剤３１との間に形成される隙間を埋めるように充填（付着）される材料である。導電性接着剤７１は、熱を効率的にフローセンサ５１から配管１１内部の流体に、配管１１内部からフローセンサ５１に、双方向に伝熱する熱伝導性材料である。導電性接着剤７１は、例えば熱伝導性充填剤３１と同様に、伝導性フィラーとバインダー樹脂とが混合されることにより得られる材料を含む。伝導性フィラーには、例えば、銀、銅、鉄、ニッケルなどの金属微粉末やその他、カーボンブラック、炭化ケイ素、窒化アルミニウム、アルミナ等が含まれる。また、バインダー樹脂には、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、フェノール樹脂及びイミド樹脂等の樹脂が含まれる。
【００３４】
（製造工程）
図７乃至図９は、本発明の第２実施形態に係る流量計の製造工程を示した図である。
＜製造工程２Ａ＞
図７（ａ）は、配管と、スペーサーが設置されたフローセンサと、を示した図である。図７（ｂ）は、配管に形成された穴に熱伝導性充填剤が充填された後の状態を示した図である。図７（ｃ）は、スペーサーを介してフローセンサが配管に設置された後の状態を示した図である。図７（ｄ）は、フローセンサのセンサ部と配管の外壁との間に形成された隙間に導電性接着剤が付着され、導電性接着剤が硬化された後の状態を示した図である。
本発明の第２実施形態に係る流量計２は、以下の工程を経て生産される。
まず、図７（ａ）に示すように、配管１１の外壁に穴２１を形成する（工程２Ａ−１）。なお、本実施形態においては、すでに穴２１が形成された配管１１を納入することにより、工程２Ａ−１を省略し、以下の工程２Ａ−２以降を実施してもよい。
次に、図７（ａ）に示すように、基板１０１上の領域であってセンサ部１００が配置されている領域以外の領域にスペーサー６１を設置する（工程２Ａ−２）。
次に、図７（ｂ）に示すように、配管１１の外壁に形成された穴２１に熱伝導性充填剤３１を充填する（工程２Ａ−３）。なお、配管１１の外壁に形成された穴２１に熱伝導性充填剤３１を充填する工程において、具体的な充填方法は、上記した工程２と同様である。
図７（ｃ）に示すように、センサ部１００と配管１１の外壁との間に隙間Ａが形成されるようにスペーサー６１を介してフローセンサ５１を配管１１に設置する（工程２Ａ−３）。
図７（ｄ）に示すように、上記隙間Ａを埋めるように導電性接着剤７１を付着し、硬化させる（工程２Ａ−４）。導電性接着剤７１が硬化することによって、配管１１とフローセンサ５１とをより強固に固定することができる。
【００３５】
工程２Ａ−４において、熱を効率的に双方向に伝熱可能にするために、フローセンサ５１のセンサ部１００が、導電性接着剤７１を介して配管１１に形成された穴２１に充填された熱伝導性充填剤３１と接触するようにフローセンサ５１が配管１１に固定される。例えば、少なくとも、導電性接着剤７１がセンサ部１００を覆うように、且つ、センサ部１００が導電性接着剤７１を介して熱伝導性充填剤３１と接触するようにフローセンサ５１が配管１１に固定されている。
【００３６】
ここで、工程１において、スペーサー６１を基板１０１上の領域であってセンサ部１００が配置されている領域以外の領域にのみ設置する理由は、スペーサー６１は、例えば厚さ約５μｍであるシート状の部材であるため、非常に薄く耐圧性が低いダイアフラムに圧力がかかり、ダイアフラムが割れるのを防ぐためである。
【００３７】
＜製造工程２Ｂ＞
図８（ａ）は、配管と、スペーサーが設置されたフローセンサと、を示した図である。図８（ｂ）は、配管に形成された穴に熱伝導性充填剤が充填された後の状態を示した図である。図８（ｃ）は、スペーサーが設置されたフローセンサに導電性接着剤が付着された後の状態を示した図である。図８（ｄ）は、スペーサーおよび導電性接着剤を介してフローセンサが配管に設置され、導電性接着剤が硬化された後の状態を示した図である。
製造工程２Ｂは、スペーサーが設置されたフローセンサを配管に設置する前に、導電性接着剤をフローセンサに付着する点で製造工程２Ａと異なる。なお、前述した製造工程２Ａの各工程と同一である工程の説明は省略し、異なる工程のみ説明する。
製造工程２Ｂにおいては、製造工程２Ａの工程２Ａ−１，２Ａ−２と同様に工程の後に、図８（ｃ）に示すように、スペーサー６１が設置されたフローセンサ５１のセンサ部１００上に導電性接着剤７１を付着する（工程２Ｂ−３）。
次に、図８（ｄ）に示すように、導電性接着剤７１と熱伝導性充填剤３１とが接触するように、導電性接着剤７１が付着されたフローセンサ５１を配管１１に設置し、導電性接着剤７１を硬化させることによって、フローセンサ５１を配管１１に固定する（工程２Ｂ−４）。
【００３８】
工程２Ｂ−３において、例えば、少なくとも、フローセンサ５１のセンサ部１００（図２及び図３参照）を導電性接着剤７１が覆うように、且つ、センサ部１００が導電性接着剤７１と接触するように、フローセンサ５１のセンサ部１００上に導電性接着剤７１を付着する。
【００３９】
工程２Ｂ−４において、熱を効率的に双方向に伝熱可能にするために、フローセンサ５１のセンサ部１００が配管１１に形成された穴２１に充填された熱伝導性充填剤３１と導電性接着剤７１を介して接触するようにフローセンサ５１が配管１１に設置され、固定される。導電性接着剤７１を用いることによって、配管１１とフローセンサ５１とをより強固に固定することができる。
【００４０】
＜製造工程２Ｃ＞
図９（ａ）は、配管と、スペーサーが設置されたフローセンサと、を示した図である。図９（ｂ）は、配管に形成された穴に熱伝導性充填剤が充填された後の状態を示した図である。図９（ｃ）は、配管（熱伝導性充填剤）に導電性接着剤が付着された後の状態を示した図である。図９（ｄ）は、スペーサーおよび導電性接着剤を介してフローセンサが配管に設置され、導電性接着剤が硬化された後の状態を示した図である。
製造工程２Ｃは、スペーサーが設置されたフローセンサを配管に設置する前に、導電性接着剤を配管（熱伝導性充填剤）に付着する点で製造工程２Ａと異なる。なお、前述した製造工程２Ａの各工程と同一である工程の説明は省略し、異なる工程のみ説明する。
製造工程２Ｃにおいては、製造工程２Ａの工程２Ａ−１，２Ａ−２と同様の工程の後に、図９（ｃ）に示すように、配管１１の穴２１に充填された熱伝導性充填剤３１上に導電性接着剤７１を付着する（工程２Ｃ−３）。熱伝導性充填剤３１上に導電性接着剤７１を付着する場合は、熱伝導性充填剤３１が導電性接着剤７１を付着できる程度に硬化等されていることが前提となる。
次に、図９（ｄ）に示すように、熱伝導性充填剤３１に付着された導電性接着剤７１とフローセンサ５１のセンサ部１００が接触するように、フローセンサ５１を配管１１に設置し、導電性接着剤７１を硬化させることによって、フローセンサ５１を配管１１に固定する（工程２Ｃ−４）。
【００４１】
工程２Ｃ−４において、熱を効率的に双方向に伝熱可能にするために、フローセンサ５１のセンサ部１００が、導電性接着剤７１を介して配管１１に形成された穴２１に充填された熱伝導性充填剤３１と接触するようにフローセンサ５１が配管１１に設置され、固定される。例えば、少なくとも、導電性接着剤７１がセンサ部１００を覆うように、且つ、センサ部１００が導電性接着剤７１を介して熱伝導性充填剤３１と接触するようにフローセンサ５１が配管１１に設置され、固定されている。導電性接着剤７１を用いることによって、配管１１とフローセンサ５１とをより強固に固定することができる。
【００４２】
なお、第２実施形態においては、最初に接着シート６１をフローセンサ５１に設置した上で、フローセンサ５１を、接着シート６１を介して配管１１に設置するように説明したが、これに限られない。例えば、測定装置は、最初に接着シート６１を配管１１に設置した上で、フローセンサ５１を、接着シート６１を介して配管１１に設置するように構成されてもよい。
【００４３】
また、第２実施形態においては、フローセンサ５１のセンサ感度向上のために、導電性接着剤７１の厚さを正確に制御可能なスペーサー６１を用いているが、フローセンサ５１のセンサ感度向上を考慮しなければ、スペーサー６１を用いず、導電性接着剤７１をフローセンサ５１又は配管１１に付着し、硬化させて測定装置を製造してもよい。スペーサー６１を用いず、導電性接着剤７１をフローセンサ５１又は配管１１に付着し、硬化させて測定装置を製造する場合は、スペーサー６１が不要なので、測定装置の製造コストを削減することが可能となる。
【００４４】
（効果）
第２実施形態によれば、測定装置の製造方法は、フローセンサ５１と配管１１の外壁との間に熱伝導性充填剤３１とは異なる導電性接着剤７１を付着させ、導電性接着剤７１を硬化させることによって、フローセンサ５１を配管１１に固定する。したがって、第２実施形態によれば、第１実施形態の効果に加えて、配管１１とフローセンサ５１とをより強固に固定することができる。また、第２実施形態によれば、フローセンサ５１と配管１１との間にスペーサー６１を介することによって、センサ感度を向上させる程度に導電性接着剤７１の厚さを薄く制御できるので、流体の流量をより正確に測定できる。
【００４５】
（他の実施形態）
上記した各実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するものではない。また、上記した実施形態は、あくまでも例示であり、上記で明示しない種々の変形や技術の適用を排除する意図はない。即ち、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変形（各実施形態を組み合わせる等）して実施することができる。
【００４６】
上記各実施形態においては、測定装置として流量計、センサとしてフローセンサを例に挙げて説明したが、これに限られず、配管の外壁にセンサを設置して構成される測定装置であればよく、例えば、測定装置として熱量計、センサとして熱量センサであってもよく、測定装置として温度計、センサとして温度センサであってもよい。
【符号の説明】
【００４７】
１，２      流量計
１１    配管
２１    穴
３１    熱伝導性充填剤
５１    フローセンサ
６１    スペーサー
７１    導電性接着剤
１００    センサ部
１０１    基板
１０２    キャビティ
１０３    絶縁膜
１０４    ヒータ
１０５    上流側測温抵抗素子
１０６    下流側測温抵抗素子
１０７    周囲温度センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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