(57)【要約】【課題】  水処理装置の再生式イオン交換装置の後段で使用される白金族金属担持体の製造ロットによる触媒性能のばらつきを減少させるための白金族金属担持体の前処理方法を提供する。【解決手段】  超純水Ｗを第２の供給管路２から中継タンク３に供給し、循環ポンプ８を稼働して循環管路４を循環させる。このとき熱交換により中継タンク３中の超純水Ｗが所定の温度となるまで循環管路４を循環させ加温し温超純水を調製し、この温超純水を前処理塔６に供給して白金族金属担持体を前処理する。次に常温の超純水を前処理塔６に供給して同様に白金族金属担持体を前処理する。これを３〜５回繰り返す。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
白金族金属担持体を４３〜５５℃の温超純水と２０〜３０℃の超純水とで交互に３〜５回通水処理することを特徴とする白金族金属担持体の前処理方法。
【請求項２】
前記４３〜５５℃の温超純水及び２０〜３０℃の超純水による通水処理の空間速度（ＳＶ）が５〜１５Ｈ−１であることを特徴とする請求項１に記載の白金族金属担持体の前処理方法。
【請求項３】
前記白金族金属担持体における白金族金属が白金、パラジウム又は白金／パラジウム合金であることを特徴とする請求項１又は２に記載の白金族金属担持体の前処理方法。
【請求項４】
２０〜３０℃の超純水を供給する超純水供給手段と、前記超純水を４３〜５５℃に加温して供給する温超純水供給手段と、前記４３〜５５℃の温超純水と２０〜３０℃の超純水を通水する白金族金属担持体を充填した前処理塔とを備えることを特徴とする白金族金属担持体の前処理装置。
【請求項５】
前記４３〜５５℃の温超純水及び２０〜３０℃の超純水を前記前処理塔に空間速度（ＳＶ）が５〜１５Ｈ−１で通水すること特徴とする請求項４に記載の白金族金属担持体の前処理装置。
【請求項６】
前記白金族金属担持体における白金族金属が白金、パラジウム又は白金／パラジウム合金であることを特徴とする請求項４又は５に記載の白金族金属担持体の前処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水処理装置の再生式イオン交換装置の後段で触媒として使用される白金族金属担持体の製造ロットによる触媒性能のばらつきを減少させるための白金族金属担持体の前処理方法に関する。また、白金族金属担持体の製造ロットによる触媒性能のばらつきを減少させるための白金族金属担持体の前処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
白金族金属は触媒性能を持ち、水中の微量の過酸化水素を酸素に分解することができるだけでなく、それ自身が水素を吸蔵することで、吸蔵した水素を使って、過酸化水素の分解で生成した酸素を水にすることができる。このような特性を利用して水処理装置に広く利用されるようになってきている。
【０００３】
例えば、半導体・電子材料洗浄用の超純水製造装置は、通常、前処理システム、一次純水システム、サブシステム等から構成されている。通常、過酸化水素と水素は給水中にはほとんど存在しない。例えば、サブシステムでは、紫外線（ＵＶ）酸化装置、再生式イオン交換装置及び限外濾過膜（ＵＦ膜）などで処理して超純水を製造する。紫外線（ＵＶ）酸化装置では、ＵＶランプより１８５ｎｍのＵＶを照射してＴＯＣを有機酸、さらにはＣＯ２まで分解する。分解により生成した有機物及びＣＯ２は後段のイオン交換装置で除去される。ＵＦ膜分離装置では微粒子が除去され、イオン交換装置から流出するイオン交換樹脂の破片等も除去される。
【０００４】
ＵＶ酸化装置での紫外線照射による酸化処理により、水中の有機物（ＴＯＣ成分）が分解して有機酸及び炭酸が生じる。この紫外線酸化装置におけるＴＯＣ成分の酸化分解機構は、水を酸化分解してＯＨラジカルを生成させ、このＯＨラジカルによりＴＯＣ成分を酸化分解するものであり、紫外線照射量は水中のＴＯＣを十分に酸化分解できるような過剰照射とされている。
【０００５】
このように紫外線照射量が多い場合、水の分解で生成したＯＨラジカルが過剰となるため、余剰のＯＨラジカルが会合することにより過酸化水素と水素が生成する。生成した過酸化水素は、後段の再生式イオン交換装置で分解されるが、その際、イオン交換樹脂を劣化させる。また、イオン交換樹脂の分解で新たにイオン交換樹脂由来のＴＯＣ成分が生成し、得られる超純水の水質が低下する。さらに、再生式イオン交換装置に通水後もなお残留する過酸化水素は、混床式イオン交換装置の後段の脱気装置やＵＦ膜を劣化させる。
【０００６】
そこで、特許文献１には図２に示すように一次純水ｗをＴＯＣ低減手段１１と、紫外線酸化装置１２と、アニオン交換手段１３とで処理するサブシステムの後段に白金系触媒を有する過酸化水素除去装置１４で過酸化水素除去処理して二次純水ｗ１を製造することが開示されている。また、特許文献２には、超純水中の過酸化水素除去方法として、超純水製造装置の紫外線酸化処理装置から排出される過酸化水素を含む被処理水を、白金族の金属ナノコロイド粒子をアニオン交換樹脂担体に担持させた過酸化水素分解触媒と接触させて、被処理水中の過酸化水素を１ｐｐｂ以下にまで分解する方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１５−０９３２２６号公報
【特許文献２】特開２００７−１８５５８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、例えば過酸化水素と水素を含む水を、白金族金属担持体を単体もしくは複合体で充填した塔で処理すると、処理水中の酸素が増加し、所望の水質が得られないことがあることがわかった。これは、白金族金属担持体の触媒性能が製造ロット間でばらつきがあるためであると考えられる。そこで、この白金族金属担持体の製造ロット間の触媒性能のばらつきの原因について本発明者らが種々検討した結果、白金族金属担持体の触媒性能は担持している白金族金属が有機物汚染を受けると低下することに起因することを突き止めた。
【０００９】
しかしながら、白金族金属担持体の白金族金属上の汚染有機物を再現性よく剥離して、触媒活性を維持するための実用的な処理方法は従来なかった。
【００１０】
本発明は前述した課題に鑑みてなされたものであり、水処理装置の再生式イオン交換装置の後段で使用される白金族金属担持体の製造ロットによる触媒性能のばらつきを減少させるための白金族金属担持体の前処理方法、およびこの前処理を実施するための前処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的に鑑み、本発明は第一に白金族金属担持体を４３〜５５℃の温超純水と２０〜３０℃の超純水とで交互に３〜５回通水処理することを特徴とする白金族金属担持体の前処理方法を提供する（発明１）。
【００１２】
かかる発明（発明１）によれば、白金族金属担持体の白金族金属上の汚染有機物は温水で洗浄することで除去することができ、特に温超純水と常温の超純水で交互に洗浄することで効率よく汚染有機物を除去することができるが、白金族金属担持体の劣化を招く虞がある。そこで、本発明者らが種々検討した結果、所定の条件、すなわち白金族金属担持体を４３〜５５℃の温超純水と２０〜３０℃の超純水とで交互に３〜５回通水処理すれば、汚染有機物の除去と白金族金属担持体の劣化の点で最適であることがわかった。これにより、汚染有機物を再現性よく剥離して白金族金属担持体の製造ロットによる触媒性能のばらつきを減少させることができ、しかも白金族金属担持体の劣化も生じない。
【００１３】
上記発明（発明１）においては、前記４３〜５５℃の温超純水及び２０〜３０℃の超純水による通水処理の空間速度（ＳＶ）が５〜１５Ｈ−１であるのが好ましい（発明２）。
【００１４】
かかる発明（発明２）によれば、白金族金属担持体の白金族金属を５〜１５Ｈ−１の通水速度で４３〜５５℃の温超純水及び２０〜３０℃の超純水で交互に処理することにより、白金族金属上の汚染有機物を除去しつつ触媒性能を保持することができる。
【００１５】
上記発明（発明１、２）においては、前記白金族金属担持体における白金族金属が白金、パラジウム又は白金／パラジウム合金であるのが好ましい（発明３）。
【００１６】
かかる発明（発明３）によれば、これらの白金族金属は、触媒活性が強いので純水製造等の水処理の用途に特に好適であり、触媒活性の安定化による効果が大きい。
【００１７】
次に本発明は第二に２０〜３０℃の超純水を供給する超純水供給手段と、前記超純水を４３〜５５℃に加温して供給する温超純水供給手段と、前記４３〜５５℃の温超純水と２０〜３０℃の超純水を通水する白金族金属担持体を充填した前処理塔とを備えることを特徴とする白金族金属担持体の前処理装置を提供する（発明４）。
【００１８】
かかる発明（発明４）によれば、白金族金属担持体の白金族金属上の汚染有機物は温水で洗浄することで除去することができ、特に温超純水と常温の超純水で交互に洗浄することで効率よく汚染有機物を除去することができるが、白金族金属担持体の劣化を招く虞がある。そこで、２０〜３０℃の超純水を供給する超純水供給手段とこの超純水を４３〜５５℃に加温して供給する温超純水供給手段とを有する装置により、４３〜５５℃の温超純水と２０〜３０℃の超純水を白金族金属担持体を充填した前処理塔に交互に流通して洗浄することで、白金族金属担持体の白金族金属上の汚染有機物を再現性よく剥離して、白金族金属担持体の製造ロットによる触媒性能のばらつきを減少させることができる。
【００１９】
上記発明（発明４）においては、前記４３〜５５℃の温超純水及び２０〜３０℃の超純水を前記前処理塔に空間速度（ＳＶ）が５〜１５Ｈ−１で通水するのが好ましい（発明５）。
【００２０】
かかる発明（発明５）によれば、白金族金属担持体の白金族金属を５〜１５Ｈ−１の通水速度で４３〜５５℃の温超純水及び２０〜３０℃の超純水で交互に処理することにより、白金族金属上の汚染有機物を除去しつつ、触媒性能を保持することができる。
【００２１】
上記発明（発明４、５）においては、前記白金族金属担持体における白金族金属が白金、パラジウム又は白金／パラジウム合金であるのが好ましい（発明６）。
【００２２】
かかる発明（発明６）によれば、これらの白金族金属は、触媒活性が強いので純水製造等の水処理の用途に特に好適であり、触媒活性の安定化による効果が大きい。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の白金族金属担持体の前処理方法は、所定の温度の温超純水と常温の超純水を交互に通水して白金族金属担持体を３回以上５回以下処理することにより、白金族金属担持体の白金族金属上の汚染有機物を再現性よく剥離して白金族金属担持体の製造ロットによる触媒性能のばらつきを減少させることができる。しかも白金族金属担持体の劣化も生じない。
【００２４】
このような本発明の白金族金属担持体の前処理方法によれば、負に帯電した支持体である白金族金属担持体の担体材質によらず、ほぼ一定の触媒性能を発揮しうる白金族金属担持体を提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の一実施形態による白金族金属担持体の前処理装置を示す概略図である。
【図２】本発明の白金族金属担持体の前処理装置で処理した白金族金属担持体を好適に利用可能な純水製造装置を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の白金族金属担持体の前処理装置の一実施形態について添付図面を参照にして詳細に説明する。
【００２７】
本実施形態の前処理装置は、図示しない切替弁により切り替え可能に設けられた超純水Ｗを供給する第１の供給管路１及び第２の供給管路２と、この第２の供給管路２の末端に設けられた中継タンク３と、この中継タンク３を循環する循環管路４と、この中継タンク３に接続した第３の供給管路５とを有し、この第３の供給管路５に第１の供給管路１が合流しているとともにその末端には、白金族金属担持体を前処理する前処理塔６が設けられている。そして、循環管路４には熱交換器７が設けられていて、熱媒体Ｈにより循環管路４を流れる流体を加熱可能となっている。なお、８は循環管路４に設けられた循環ポンプであり、９は第３の供給管路５に設けられた供給ポンプである。すなわち、中継タンク３、循環管路４、熱交換器７及び循環ポンプ８により温水製造装置が構成されている。これら前処理装置を構成する各ユニットは、６０℃の温水への耐熱性を備えたものを好適に用いることができる。
【００２８】
本実施形態において、処理対象となる白金族金属担持体としては、特に制限はないが、担持する白金族金属としては、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウム、イリジウム及び白金を挙げることができる。こられの白金族金属は、１種を単独で用いることができ、２種以上を組み合わせて用いることもでき、２種以上の合金として用いることもでき、あるいは、天然に産出される混合物の精製品を単体に分離することなく用いることもできる。これらの中で白金、パラジウム、白金／パラジウム合金の単独又はこれらの２種以上の混合物は、触媒活性が強いので特に好適に用いることができる。
【００２９】
また、上述したような白金族金属を担持させる担体としては、特に制限はなく、例えば、マグネシア、チタニア、アルミナ、シリカ−アルミナ、ジルコニア、活性炭、ゼオライト、ケイソウ土、イオン交換樹脂などを挙げることができる。これらの中で、アニオン交換樹脂を特に好適に用いることができる。白金系金属は、負に帯電しているので、アニオン交換樹脂に安定に担持されて剥離しにくいものとなる。アニオン交換樹脂の交換基は、ＯＨ形であることが好ましい。ＯＨ形アニオン交換樹脂は、樹脂表面がアルカリ性となり、過酸化水素の分解を促進する。
【００３０】
さらに、本実施形態における熱交換器７としては、ＳＵＳ、ＴｉもしくはＳＵＳをテフロンコートした熱交換体を介して熱交換を行うものを用いることができる。
【００３１】
なお、本実施形態における超純水Ｗとは、抵抗率：１８．１ＭΩ・ｃｍ以上、微粒子：粒径５０ｎｍ以上で１０００個／Ｌ以下、生菌：１個／Ｌ以下、ＴＯＣ（Ｔｏｔａｌ  Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｃａｒｂｏｎ）：１μｇ／Ｌ以下、全シリコン：０．１μｇ／Ｌ以下、金属類：１ｎｇ／Ｌ以下、イオン類：１０ｎｇ／Ｌ以下、過酸化水素；３０μｇ／Ｌ以下、水温：２５±２℃のものが好適である。
【００３２】
前述したような構成を有する本実施形態の前処理装置による白金族金属担持体の前処理方法について説明する。
【００３３】
まず、図示しない切替弁により第１の供給管路１を閉鎖して第２の供給管路２を開成した状態とする。これにより超純水Ｗが第２の供給管路２から中継タンク３に供給され（図１中の破線矢印(a)）、所定量が中継タンク３に溜まったら循環ポンプ８を稼働して超純水Ｗが循環管路４を循環する（図１中の破線矢印(b)）。このとき循環管路４の途中には熱交換器７が設けられていて、この熱交換器７に熱媒体Ｈを供給することで熱交換体との間で熱交換を行い、中継タンク３中の超純水Ｗが所定の温度となるまで循環管路４を循環させ、温超純水を調製する。
【００３４】
こうして中継タンク３中の温超純水が所定の温度になったら、供給ポンプ９を稼働して温超純水を第３の供給管路５から前処理塔６に供給して（図１中の破線矢印(c)）、白金族金属担持体を前処理する。
【００３５】
この前処理用の温超純水の温度は４３〜５５℃、好ましくは４５±２℃である。前処理用の温超純水の温度が４３℃未満では、白金族金属担持体の白金族金属上の汚染有機物を十分に剥離できないため、触媒性能が回復しない。一方、温超純水の温度が５５℃を超えると、白金族金属担持体からの溶出物が白金族金属を汚染するため、触媒性能（脱酸素性能）が低下してしまう。なお、この温超純水の通水による処理時間は、特に制限はないが１〜５時間、特に２〜４時間が好ましい。
【００３６】
次に、図示しない切替弁により第１の供給管路１を開成して第２の供給管路２を閉鎖した状態とする。これにより超純水Ｗが第１の供給管路１から第３の供給管路５に流入し（図１中の破線矢印(d)）、前処理塔６に供給されて白金族金属担持体を前処理する。
【００３７】
この前処理用の超純水の温度は常温すなわち２０〜３０℃であるが、超純水の温度として好適な２５±２℃が好ましい。前処理用の常温の超純水の温度が２０℃未満では、白金族金属担持体の白金族金属上の汚染有機物を十分に剥離できないため、触媒性能が回復しない。一方、常温の超純水の温度が３０℃を超えると、白金族金属担持体からの溶出物が発生しやすくなる。なお、この常温の超純水の通水による処理時間は短時間でよく、０．５〜３時間、特に約１時間程度が好ましい。
【００３８】
このような温超純水及び常温の超純水を交互通水する前処理塔６の前処理における繰り返し回数は３回〜５回である。前処理の繰り返し回数が３回未満では、白金族金属担持体の白金族金属上の汚染有機物を十分に剥離できないため、触媒性能が回復しない。一方、繰り返し回数が５回を超えると、白金族金属担持体からの溶出物が白金族金属を汚染するため、触媒性能（脱酸素性能）が低下してしまう。
【００３９】
また、温超純水及び常温の超純水による前処理塔６での通水処理の空間速度（ＳＶ）は５〜１５Ｈ−１であるのが好ましい。ＳＶが５Ｈ−１未満では、白金族金属担持体の白金族金属上の汚染有機物を十分に除去できない。一方、ＳＶが１５Ｈ−１を超えると白金族金属担持体の白金族金属の洗浄時間が短く触媒性能が低下するため好ましくない。
【００４０】
このようにして白金族金属担持体を前処理したら、処理後の超純水Ｗは排水Ｗ１として排出することができる。この排水Ｗ１は、そのまま廃棄しても良いし、所定の処理を施した後、超純水Ｗとして再利用してもよい。
【００４１】
本実施形態の条件で白金族金属担持体を前処理することにより、白金族金属担持体の白金族金属の触媒活性を回復することがきる。このようにして処理した白金族金属担持体は製造ロットによる触媒性能のばらつきが少なく、触媒性能の劣化が少ないので、このような白金族金属担持体を用いて超純水を処理することにより、超純水中のＴＯＣ及びＤＯを安定的に低減することができる。
【００４２】
以上、本発明について添付図面を参照して説明してきたが、本発明は前記実施形態に限らず種々の変更実施が可能である。例えば、脱気装置、微粒子除去装置などを必要に応じて適宜設けても良い。また、温超純水の調製方法は、所望とする温度とすることができれば制限されない。
【実施例】
【００４３】
以下の具体的実施例により本発明をさらに詳細に説明する。
【００４４】
［実施例１］
図１に示す白金族金属担持体の前処理装置を使って、パラジウム担持体の前処理を行った。
【００４５】
まず、前処理塔６に充填したパラジウム担持体に、２５℃の超純水をチタン製プレート熱交換器で４５℃に加温した温超純水をＳＶ；１０Ｈ−１で３時間通水処理した。
【００４６】
その後、前処理塔６に充填したパラジウム担持体に、２５±２℃超純水をＳＶ；１０Ｈ−１で１時間通水処理し、一晩浸漬した。
【００４７】
ここまでの作業一つの単位操作として、これを３回繰り返した。
【００４８】
このような前処理を行ったパラジウム担持体に超純水をＳＶ；７２０Ｈ−１で通水し、２８８０ＢＶ処理した水中のＴＯＣ濃度と溶存酸素濃度（Ｄｉｓｓｏｌｖｅｄ  Ｏｘｙｇｅｎ；ＤＯ）を測定し、超純水の通水前後の比を算出した。結果を表１に示す。
【００４９】
［比較例１］
実施例１において、温超純水として４０℃の温超純水を用いて同様に前処理したパラジウム担持体に超純水をＳＶ;７２０Ｈ−１で通水し、２８８０ＢＶ処理した水中のＴＯＣ濃度とＤＯ濃度を測定し、超純水の通水前後の比を算出した。結果を表１にあわせて示す。
【００５０】
［比較例２］
実施例１において、温超純水として６０℃の温超純水を用いて同様に前処理したパラジウム担持体に超純水をＳＶ;７２０Ｈ−１で通水し、２８８０ＢＶ処理した水中のＴＯＣ濃度とＤＯ濃度を測定し、超純水の通水前後の比を算出した。結果を表１にあわせて示す。
【００５１】
［比較例３］
実施例１において、温超純水を用いずに２５±２℃超純水のみを用いて同様に前処理したパラジウム担持体に超純水をＳＶ;７２０Ｈ−１で通水し、２８８０ＢＶ処理した水中のＴＯＣ濃度とＤＯ濃度を測定し、超純水の通水前後の比を算出した。結果を表１にあわせて示す。
【００５２】
【表１】
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【００５３】
表１から明らかなとおり、実施例１の前処理方法は、ＴＯＣ及びＤＯがほとんど増加しなかった。これは温超純水による前処理の効果であると考えられる。また、前処理の温超純水の温度が低い比較例１では、ＴＯＣ及びＤＯの増加が大きかった。これはパラジウム担持体のパラジム上の汚染有機物を十分に剥離できないため、触媒性能が回復していないためであると考えられる。一方、前処理の温超純水の温度が高い比較例２では、ＤＯの増加が大きかった。これは、パラジウム担持体からのＴＯＣ溶出物が触媒性能（脱酸素性）の低下を引き起こしたためであると考えられる。なお、常温（２５±２℃）の超純水のみで洗浄した場合には、ＴＯＣ及びＤＯの増加が非常に大きかった。
【００５４】
［比較例４］
実施例１において、前処理における温超純水及び常温の超純水の処理を１回として前処理したパラジウム担持体に超純水をＳＶ;７２０Ｈ−１で通水し、２８８０ＢＶ処理した水中のＴＯＣ濃度とＤＯ濃度を測定し、超純水の通水前後の比を算出した。結果を表２にあわせて示す。
【００５５】
［比較例５］
実施例１において、前処理における温超純水及び常温の超純水の処理を２回として前処理したパラジウム担持体に超純水をＳＶ;７２０Ｈ−１で通水し、２８８０ＢＶ処理した水中のＴＯＣ濃度とＤＯ濃度を測定し、超純水の通水前後の比を算出した。結果を表２にあわせて示す。
【００５６】
［実施例２］
実施例１において、前処理における温超純水及び常温の超純水の処理を５回として前処理したパラジウム担持体に超純水をＳＶ;７２０Ｈ−１で通水し、２８８０ＢＶ処理した水中のＴＯＣ濃度とＤＯ濃度を測定し、超純水の通水前後の比を算出した。結果を表２にあわせて示す。
【００５７】
［比較例６］
実施例１において、前処理における温超純水及び常温の超純水の処理を６回として前処理したパラジウム担持体に超純水をＳＶ;７２０Ｈ−１で通水し、２８８０ＢＶ処理した水中のＴＯＣ濃度とＤＯ濃度を測定し、超純水の通水前後の比を算出した。結果を表２にあわせて示す。
【００５８】
【表２】
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【００５９】
表２から明らかなとおり、前処理の繰り返し回数が３回、５回の実施例１、２ではＴＯＣ及びＤＯがほとんど増加しなかった。これに対し、繰り返し回数が少ない比較例４、５では、ＴＯＣ及びＤＯの増加が大きかった。これはパラジウム担持体のパラジム上の汚染有機物を十分に剥離できないため、触媒性能が回復していないためであると考えられる。一方、前処理の繰り返し回数が多い比較例６では、ＴＯＣ及びＤＯの増加が大きかった。これは、パラジウム担持体が劣化し、ＴＯＣ溶出物が触媒性能の低下を引き起こしたためであると考えられる。これらのことから、前処理の繰り返し回数３〜５回が効率よい領域であることがわかる。
【００６０】
［実施例３］
実施例１において、前処理における温超純水及び常温の超純水の通水ＳＶを２Ｈ−１で行ったパラジウム担持体に超純水をＳＶ;７２０Ｈ−１で通水し、２８８０ＢＶ処理した水中のＴＯＣ濃度とＤＯ濃度を測定し、超純水の通水前後の比を算出した。結果を表３にあわせて示す。
【００６１】
［実施例４］
実施例１において、前処理における温超純水及び常温の超純水の通水ＳＶを２０Ｈ−１で行ったパラジウム担持体に超純水をＳＶ;７２０Ｈ−１で通水し、２８８０ＢＶ処理した水中のＴＯＣ濃度とＤＯ濃度を測定し、超純水の通水前後の比を算出した。結果を表３にあわせて示す。
【００６２】
【表３】
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【００６３】
これらの実施例及び比較例から適切な条件でパラジウム担持体のような白金族金属担持体を前処理することで、白金族金属（パラジウム）の製造ロットによる触媒性能のばらつきをなくすことができた。
【符号の説明】
【００６４】
１…第１の供給管路
２…第２の供給管路
３…中継タンク
４…循環管路
５…第３の供給管路
６…前処理塔
７…熱交換器
８…循環ポンプ
９…供給ポンプ
Ｗ…超純水
Ｗ１…排水
Ｈ…熱媒体
【図１】
2017042694.tif 000006
【図２】
2017042694.tif 000007