(57)【要約】【課題】テストシステムを提供する。【解決手段】ガスボンベに接続されるテストシステムにおいて、ガスボンベ内の貯蔵ガスの圧力を検出するように設けられる圧力検出器と、ガスボンベ内の貯蔵ガスの温度を検出するように設けられる温度検出器と、貯蔵ガスの圧力と温度の変化量を算出するように設けられ、貯蔵ガスの圧力と温度の変化量に基づいて貯蔵ガスの貯蔵状態が定格範囲内にあるかを判断するコントローラと、を備えるテストシステム。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガスボンベに接続されるテストシステムにおいて、
前記ガスボンベ内の貯蔵ガスの圧力を検出するように設けられる圧力検出器と、
前記ガスボンベ内の前記貯蔵ガスの温度を検出するように設けられる温度検出器と、
前記貯蔵ガスの圧力と温度の変化量を算出するように設けられ、前記貯蔵ガスの圧力と温度の変化量に基づいて前記貯蔵ガスの貯蔵状態が定格範囲内にあるかを判断するコントローラと、
を備えるテストシステム。
【請求項２】
前記ガスボンベに接続されるガステスト管を更に備え、前記ガステスト管によって前記ガスボンベへテストガスを提供するように設けられ、前記圧力検出器と前記温度検出器がそれぞれ前記テストガスの圧力と温度を検出することで前記貯蔵ガスの圧力と温度を検出する請求項１に記載のテストシステム。
【請求項３】
前記圧力検出器と前記温度検出器とは、同期的に検出する請求項１に記載のテストシステム。
【請求項４】
ガスボンベ内の貯蔵ガスの初期圧力と初期温度を検出するステップと、
テスト頻度に基づいて前記貯蔵ガスの検出圧力と検出温度を検出し記録するステップと、
前記検出圧力と前記検出温度をコントローラに返送し、且つ前記貯蔵ガスの前記初期圧力と前記初期温度及び前記検出圧力と前記検出温度の変化関係に基づいて、前記貯蔵ガスの漏れ流量を含む前記ガスボンベ内の前記貯蔵ガスの貯蔵状態が定格範囲内にあるかを判断するステップと、
前記ガスボンベ内の前記貯蔵ガスの漏れ流量が定格範囲内にあるかに基づいて、前記ガスボンベをガス供給源とするかを判断するステップと、
を備えるテストシステムのテスト方法。
【請求項５】
前記貯蔵ガスの貯蔵状態は、前記貯蔵ガスの漏れ流量を含み、且つ前記ガスボンベ内の前記貯蔵ガスの漏れ流量が前記定格範囲内にあるかを判断するステップは、
前記貯蔵ガスの前記初期圧力と前記初期温度及び前記検出圧力と前記検出温度の比例関係に基づいて、前記貯蔵ガスの漏れ流量の状態値を算出するステップと、
前記状態値が前記定格範囲内にあるかを判断するステップと、
を含む請求項４に記載のテスト方法。
【請求項６】
前記貯蔵ガスの状態値を算出するステップは、
前記初期圧力と前記初期温度との比率を算出し、前記初期圧力と前記初期温度との比例関係が第１の比率であるステップと、
前記検出圧力と前記検出温度との比率を算出し、前記検出圧力と前記検出温度との比例関係が第２の比率であるステップと、
前記第１の比率と前記第２の比率との差に基づいて、前記状態値を算出するステップと、を含む請求項５に記載のテスト方法。
【請求項７】
前記貯蔵ガスの前記状態値を算出するステップは、
前記初期圧力に前記検出温度を掛けて、第１の積関係を得るステップと、
前記検出圧力に前記初期温度を掛けて、第２の積関係を得るステップと、
前記第１の積関係と前記第２の積関係との差に基づいて、前記状態値を算出するステップと、
前記状態値を前記第１の積関係で割り、前記貯蔵ガスの状態変化率を算出するステップと、
前記状態変化率が前記定格範囲内にあるかを判断するステップと、
を含む請求項５に記載のテスト方法。
【請求項８】
前記ガスボンベにおけるコネクターへテストガスを提供し、前記テストガスの初期テスト圧力と初期テスト温度に基づいて前記貯蔵ガスの前記初期圧力と前記初期温度を記録するステップと、
前記テスト頻度に基づいて前記テストガスの検出テスト圧力と検出テスト温度を検出し記録し、前記テストガスの前記検出テスト圧力と前記検出テスト温度に基づいて前記貯蔵ガスの前記検出圧力と前記検出温度を記録するステップと、
を更に備える請求項４に記載のテスト方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テストシステム及びそのテスト方法に関し、特に、ガスボンベに用いるテストシステム及びそのテスト方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在の生産ラインでは、ガス供給も生産ラインの設計の重要な一環である。生産ラインの管路設計では、工場の１つの領域内にガスボンベを置くガス供給システムを建立する。生産プロセスでは、ガス供給システム内のガスが各生産ラインの中に伝送されるように、各領域同士がパイプで接続される。ガスを順調に供給するために、同一のガスを入れた、何れもガス供給管路に接続される２つのガスボンベを同じ領域に置くことは一般的である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
その中の１つのガスボンベをガス供給源とする場合、別のガスボンベを予備ガスボンベとする。ガス供給源としてのガスボンベ内のガス用量が不足になると、予備ガスボンベをガス供給源とするように管路を切り替え、用量不足なガスボンベを取り替える。ガスボンベが取り替えられた後、その貯蔵状態を検査するために、取り替えられたガスボンベをテストする必要がある。そして、ガスボンベの貯蔵状態が正常であると確認した上に、取り替えられたガスボンベを生産ラインに供給する。しかしながら、操作者が取替作業の場合に操作に不注意や誤断の状況が発生すると、重大な災害を引き起こす可能性がある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記事情に鑑みて、本発明の一実施形態は、テストシステム及びそのテスト方法を提供する。前記テスト方法は、貯蔵ガスの初期圧力、初期温度、検出圧力及び検出温度に基づいて、貯蔵ガスの漏れ流量が正常であるかを判断することができる。前記テストシステムは、更に貯蔵ガスの温度を漏れ流量の判断パラメーターとすることで、貯蔵ガスの漏れ流量をより正確に判断し、これにより、ガス災害の発生可能性を低減することができる。
【０００５】
本発明の一実施形態は、ガスボンベに接続されるテストシステムにおいて、ガスボンベ内の貯蔵ガスの圧力を検出するように設けられる圧力検出器と、ガスボンベ内の貯蔵ガスの温度を検出するように設けられる温度検出器と、貯蔵ガスの圧力と温度の変化量を算出するように設けられ、貯蔵ガスの圧力と温度の変化量に基づいて貯蔵ガスの貯蔵状態が定格範囲内にあるかを判断するコントローラと、を備えるテストシステムを提供する。
【０００６】
一部の実施形態において、テストシステムは、ガスボンベに接続されるガステスト管を更に備え、ガステスト管によってガスボンベへテストガスを提供するように設けられ、圧力検出器と温度検出器がそれぞれテストガスの圧力と温度を検出することで貯蔵ガスの圧力と温度を検出する。
【０００７】
一部の実施形態において、圧力検出器と温度検出器とは、同期的に検出する。
【０００８】
本発明の一実施形態は、ガスボンベ内の貯蔵ガスの初期圧力と初期温度を検出するステップと、テスト頻度に基づいて貯蔵ガスの検出圧力と検出温度を検出し記録するステップと、検出圧力と検出温度をコントローラに返送し、且つ貯蔵ガスの初期圧力と初期温度及び検出圧力と検出温度の変化関係に基づいて、ガスボンベ内の貯蔵ガスの貯蔵状態が定格範囲内にあるかを判断するステップと、を備えるテストシステムのテスト方法を提供する。
【０００９】
一部の実施形態において、貯蔵ガスの貯蔵状態は、貯蔵ガスの漏れ流量を含む。テスト方法は、ガスボンベ内の貯蔵ガスの漏れ流量が定格範囲内にあるかに基づいて、ガスボンベをガス供給源とするかを判断するステップを更に備える。
【００１０】
一部の実施形態において、貯蔵ガスの貯蔵状態は、貯蔵ガスの漏れ流量を含み、且つガスボンベ内の貯蔵ガスの漏れ流量が定格範囲内にあるかを判断するステップは、貯蔵ガスの初期圧力と初期温度及び検出圧力と検出温度の比例関係に基づいて、貯蔵ガスの漏れ流量の状態値を算出するステップと、状態値が定格範囲内にあるかを判断するステップを含む。
【００１１】
一部の実施形態において、貯蔵ガスの状態値を算出するステップは、初期圧力と初期温度との比率を算出し、初期圧力と初期温度との比例関係が第１の比率であるステップと、検出圧力と検出温度との比率を算出し、検出圧力と検出温度との比例関係が第２の比率であるステップと、第１の比率と第２の比率との差に基づいて、状態値を算出するステップと、を含む。
【００１２】
一部の実施形態において、貯蔵ガスの状態値を算出するステップは、初期圧力に検出温度を掛けて、第１の積関係を得るステップと、検出圧力に初期温度を掛けて、第２の積関係を得るステップと、第１の積関係と第２の積関係との差に基づいて、状態値を算出するステップと、を含む。
【００１３】
一部の実施形態において、テスト方法は、状態値を第１の積関係で割り、貯蔵ガスの状態変化率を算出するステップと、状態変化率が定格範囲内にあるかを判断するステップと、を更に備える。
【００１４】
一部の実施形態において、テスト方法は、ガスボンベにおけるコネクターへテストガスを提供し、テストガスの初期テスト圧力と初期テスト温度に基づいて貯蔵ガスの初期圧力と初期温度を記録するステップと、テスト頻度に基づいてこのテストガスの検出テスト圧力と検出テスト温度を検出し記録し、テストガスの検出テスト圧力と検出テスト温度に基づいて貯蔵ガスの検出圧力と検出温度を記録するステップと、を更に備える。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るテストシステムのガス供給システムにおける様子を示す模式図である。
【図２】図１に示すテストシステムのテスト方法の流れ図である。
【図３】本発明の第２の実施形態に係るテストシステムのガス供給システムにおける様子を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面で本発明の複数の実施形態を開示し、明らかに説明するために、数多くの実際の細部を下記でまとめて説明する。しかしながら、理解すべきなのは、これらの実際の細部は、本発明を制限するためのものではない。つまり、本発明の実施形態の一部において、これらの実際の細部は、必須なものではない。また、図面を簡略化するために、ある従来慣用の構造及び素子は、図面において簡単で模式的に示される。
【００１７】
ガス供給システムにおけるガスボンベが取り替えられた後、その貯蔵状態を検査するために、取り替えられたガスボンベをテストする必要がある。そして、ガスボンベの貯蔵状態が正常であると確認した上に、取り替えられたガスボンベをガス供給源として使用する。しかしながら、誤断の場合、ガスボンベを繰り返して取り替えることで余計なリスク及びコストを発生させる可能性がある。更に、誤断の場合、意外に至って災害を引き起こす可能性もある。
【００１８】
上記事情に鑑みて、本発明の一実施形態は、テストシステム及びそのテスト方法を提供する。前記テスト方法は、貯蔵ガスの圧力と温度に基づいて、貯蔵ガスの漏れ流量が正常であるかを判断し計算することができる。前記テストシステムは、更に貯蔵ガスの温度を漏れ流量の判断パラメーターとすることで、貯蔵ガスの漏れ流量をより正確に判断することができる。
【００１９】
図１は、本発明の第１の実施形態に係るテストシステム１１０のガス供給システム１００における様子を示す模式図である。ガス供給システム１００は、ガスボンベ１０２と、コネクター１０４と、ガス輸送管１０６と、テストシステム１１０と、を含む。ガスボンベ１０２は、ガス供給システム１００の中に取り替えられて検出されるものである。ガスボンベ１０２内に貯蔵ガスが設けられる。コネクター１０４がガスボンベ１０２に設けられる。ガス輸送管１０６は、ガスボンベ１０２内の貯蔵ガスと連通するように、コネクター１０４によってガスボンベ１０２に接続される。ガスボンベ１０２をガス供給システム１００のガス供給源とする場合、ガス輸送管１０６は、ガスボンベ１０２内の貯蔵ガスを伝送することに用いられてもよい。
【００２０】
テストシステム１１０は、コネクター１０４によってガスボンベ１０２に接続されており、ガスボンベ１０２内の貯蔵ガスの圧力を検出するように設けられる圧力検出器１１４と、ガスボンベ１０２内の貯蔵ガスの温度を検出するように設けられる温度検出器１１６と、貯蔵ガスの圧力と温度の変化量を算出するように設けられ、貯蔵ガスの圧力と温度の変化量に基づいて貯蔵ガスの貯蔵状態が定格範囲内にあるかを判断するコントローラ１２０と、を備える。
【００２１】
ガスボンベ１０２をガス供給システム１００の中へ取り替える場合、ガス供給システム１００の中に取り替えられたガスボンベ１０２は、例えば、非正常又は漏れ流量が高すぎのような、非所望の貯蔵状態となることがある。これに対して、ガスボンベ１０２をガス供給システム１００の中に取り替えた後、テストシステム１１０は、貯蔵ガスの貯蔵状態が正常であるかを確認するために、ガスボンベ１０２内の貯蔵ガスの貯蔵状態を検出することができる。貯蔵ガスの貯蔵状態は、例えば、貯蔵ガスの漏れ流量であってもよい。貯蔵ガスの貯蔵状態が正常状態であると確認した後、ガスボンベ１０２は、ガス供給システム１００のガス供給源として製造ラインに供給されることができる。
【００２２】
つまり、ガスボンベ１０２を安全条件でガス供給源とし、且つ漏気状態を誤断する可能性を減少するために、ガスボンベ１０２をガス供給システム１００の中に取り替えた後且つガス供給源とする前の期間において、テストシステム１１０によりガスボンベ１０２を検出してもよい。例えば、テストシステム１１０は、ガスボンベ１０２内の貯蔵ガスの漏れ流量が定格範囲内にあるかに基づいて、ガスボンベ１０２をガス供給源とすることができるかを判断することができる。下記では、テストシステム１１０のテスト方法を更に説明する。
【００２３】
図１と図２を参照されたい。図２は、図１に示すテストシステム１１０のテスト方法の流れ図である。テストシステム１１０のテスト方法は、下記ステップを備える。ステップＳ１０は、ガスボンベ１０２内の貯蔵ガスの初期圧力と初期温度を検出する。ステップＳ２０は、テスト頻度に基づいて貯蔵ガスの検出圧力と検出温度を検出し記録する。ステップＳ３０は、検出圧力と検出温度をコントローラ１２０に返送し、且つ貯蔵ガスの初期圧力と初期温度及び検出圧力と検出温度の変化関係に基づいて、ガスボンベ１０２内の貯蔵ガスの貯蔵状態が定格範囲内にあるかを判断する。前記のとおり、貯蔵ガスの貯蔵状態は、貯蔵ガスの漏れ流量を含む。
【００２４】
理想的なガス方程式によると、ガスの体積とモル濃度が同じである場合、ガスの圧力と温度とは、正比例関係となる。すなわち、ガス供給システム１００の貯蔵環境の温度は、貯蔵ガスの圧力の検出結果に影響を与える。例えば、ガス漏れのない条件においても、ガスを検出した圧力結果は、温度の変化によって異なる可能性もある。これに対して、本実施形態において、テストシステム１１０の貯蔵ガスの漏れ流量に対する判断をより正確にするために、テストシステム１１０は、貯蔵ガスの温度を貯蔵ガスの漏れ流量の計算式に算入する。下記では、貯蔵ガスの漏れ流量の算出形態を更に説明する。また、説明しやすくするために、初期圧力、初期温度、検出圧力及び検出温度をそれぞれＰ１、Ｔ１、Ｐ２及びＴ２として標示する。
【００２５】
本実施形態において、テストシステム１１０のテスト方法のステップＳ３０は、下記ステップを更に含む。貯蔵ガスの初期圧力Ｐ１と初期温度Ｔ１及び検出圧力Ｐ２と検出温度Ｔ２の比例関係に基づいて、貯蔵ガスの漏れ流量の状態値を算出する。そして、前記状態値が定格範囲内にあるかを判断する。
【００２６】
貯蔵ガスの漏れ流量の状態値を算出する一部の実施形態において、貯蔵ガスの状態値を算出するステップは、下記ステップを含む。初期圧力Ｐ１と初期温度Ｔ１との比率を算出し、初期圧力Ｐ１と初期温度Ｔ１との比例関係が第１の比率であり、即ち第１の比率が（Ｐ１／Ｔ１）である。検出圧力Ｐ２と検出温度Ｔ２との比率を算出し、検出圧力Ｐ２と検出温度Ｔ２との比例関係が第２の比率であり、即ち第２の比率が（Ｐ２／Ｔ２）である。そして、第１の比率と第２の比率との差に基づいて、状態値を算出し、即ち状態値が［（Ｐ１／Ｔ１）−（Ｐ２／Ｔ２）］である。
【００２７】
貯蔵ガスの貯蔵状態を検出する場合、まず、貯蔵ガスの定格範囲を設定してもよい。例えば、前記定格範囲を漏れ測定の定格範囲と見なして、数値Ａに設置してもよい。当業者であれば、使用する圧力単位によって数値Ａの大きさを設定してもよい。例えば、予定するガス漏れ率が（２．６９＊１０−５）ａｔｍ−ｃｃ／ｓｅｃであり且つ予定テストの全時間が４時間である条件で、ガスの漏れ測定の圧力値が０．４Ｋｇ／ｃｍ２となる。この条件で、数値Ａは、０．４Ｋｇ／ｃｍ２をガス供給システム１００の位置する環境の月平均気温（例えば、月平均気温が２５℃）で割って設定されてもよい。しかしながら、以上の定格範囲の数値Ａの設定形態は、本発明を制限するためのものではない。当業者であれば、ガスボンベの安全係数に基づいて数値Ａの大きさを設定してもよい。
【００２８】
そして、状態値を数値Ａと比較する。状態値が数値Ａより小さくなると、貯蔵ガスの漏れ流量を正常状態と見なしてもよい。逆に、状態値が数値Ａより大きくなると、貯蔵ガスの漏れ流量は、非正常状態となる。また、テストシステム１１０がテスト頻度に基づいて貯蔵ガスの検出圧力と検出温度を検出するため、ガスボンベ１０２内の貯蔵ガスの検出をリアルタイム検出と見なしてもよい。例えば、テスト頻度が１秒間に２回である場合、テストシステム１１０の貯蔵ガスの漏れ流量に対する検出頻度も１秒間に２回である。また、一部の実施形態において、圧力検出器１１４と温度検出器１１６とは、ガスボンベ１０２内の貯蔵ガスを同期的に検出してもよい。
【００２９】
つまり、本発明に係るテスト方法は、貯蔵ガスの圧力を温度と共に計算パラメーターに算入する。従って、ガス供給システムが温度変化のある環境に位置しても、貯蔵ガスの温度を計算パラメーターに算入することで、テスト方法は、貯蔵ガスの漏れ流量が正常状態であるかを判断することができる。なお、本発明に係るテスト方法によって、操作者の誤断による危険性を減少し、ガスボンベの取替作業のリスク及びコストを低減することができる。
【００３０】
また、貯蔵ガスの状態値は、他の形態によって算出されてもよい。貯蔵ガスの漏れ流量の状態値を算出する別の一部の実施形態において、貯蔵ガスの状態値を算出するステップは、下記ステップを含む。初期圧力Ｐ１を検出温度Ｔ２と掛けて、第１の積関係を得て、即ち第１の積関係がＰ１＊Ｔ２である。検出圧力Ｐ２を初期温度Ｔ１と掛けて、第２の積関係を得て、即ち第２の積関係がＰ２＊Ｔ１である。そして、第１の積関係と第２の積関係との差に基づいて、状態値を算出し、即ち状態値が［（Ｐ１＊Ｔ２）−（Ｐ２＊Ｔ１）］である。
【００３１】
同様に、貯蔵ガスの貯蔵状態を検出する場合、まず、定格範囲を漏れ測定の定格範囲と見なして、数値Ｂに設定する。そして、状態値を数値Ｂと比較する。状態値が数値Ｂより小さくなると、貯蔵ガスの漏れ流量を正常状態と見なしてもよい。逆に、状態値が数値Ｂより大きくなると、貯蔵ガスの漏れ流量は、非正常状態となる。
【００３２】
圧力と温度を積関係として算出する実施形態において、定格範囲は、例えば百分率Ｃのような百分率数値に設定されてよい。テスト方法は、下記ステップを更に備える。状態値を第１の積関係で割って、貯蔵ガスの状態変化率を算出し、即ち状態変化率が［［（Ｐ１＊Ｔ２）−（Ｐ２＊Ｔ１）］／（Ｐ１＊Ｔ２）］＊１００％である。そして、状態変化率定格範囲内にあるかを判断する。
【００３３】
つまり、貯蔵ガスの状態変化率を算出する実施形態において、テスト方法は、貯蔵ガスの検出期間における検出圧力及び検出温度とその初期圧力及び初期温度とを比較し、この比較結果を百分率関係に算出する。この百分率関係に基づいて、テスト方法は、貯蔵ガスの漏れ流量が正常状態であるかを判断できる。例えば、貯蔵ガスの状態変化率が百分率Ｃより小さくなると、貯蔵ガスの漏れ流量を正常状態と見なしてもよい。逆に、貯蔵ガスの状態変化率が百分率Ｃより大きくなると、貯蔵ガスの漏れ流量を正常ではない状態と見なしてもよい。
【００３４】
以上をまとめると、本発明に係るテスト方法は、貯蔵ガスの初期圧力、初期温度、検出圧力及び検出温度を貯蔵ガスの漏れ流量の計算式に算入することで、貯蔵ガスの漏れ流量が正常であるかを判断する。また、ガスボンベの漏れ流量が定格範囲内にあり且つその貯蔵状態が正常である場合、このガスボンベをガス供給システムのガス供給源として使用することができる。
【００３５】
図３を参照されたい。図３は、本発明の第２の実施形態に係るテストシステム１１０のガス供給システム１００における様子を示す模式図である。本実施形態は、そのテストシステム１１０がテストガスによって貯蔵ガスの圧力と温度を検出することに、第１の実施形態と異なっている。
【００３６】
本実施形態において、テストシステムは、ガスボンベ１０２に接続されるガステスト管１１２を更に含む。テストシステム１１０は、ガステスト管１１２によってガスボンベ１０２へテストガスを提供するように設けられ、圧力検出器１１４と温度検出器１１６がそれぞれテストガスの圧力と温度を検出することで貯蔵ガスの圧力と温度を検出する。また、一部の実施形態において、テストシステム１１０は、ガステスト管１１２によってガスボンベ１０２へ窒素ガスを提供して、保圧工程を行う。
【００３７】
更に言うと、テストシステム１１０は、ガスボンベ１０２内の貯蔵ガスを検出する場合、ガスボンベ１０２上のコネクター１０４へテストガスを提供し、且つテストガスの初期テスト圧力と初期テスト温度に基づいて貯蔵ガスの初期圧力と初期温度を記録する。そして、テスト頻度に基づいてこのテストガスの検出テスト圧力と検出テスト温度を検出し記録し、且つテストガスの検出テスト圧力と検出テスト温度に基づいて貯蔵ガスの検出圧力と検出温度を記録する。
【００３８】
同様に、貯蔵ガスの初期圧力、初期温度、検出圧力及び検出温度を得た後、前記したテスト方法、テストシステムによって、貯蔵ガスの漏れ流量が正常であるかを判断することができる。また、テスト方法は、テストガスの初期テスト圧力、初期テスト温度、検出テスト圧力及び検出テスト温度で直接貯蔵ガスの貯蔵状態を算出することもできる。テストガスを検出するように貯蔵ガスを検出することで、テストシステム１１０の圧力と温度の検出結果がより正確になる。
【００３９】
以上をまとめると、本発明に係るテスト方法は、貯蔵ガスの初期圧力、初期温度、検出圧力及び検出温度に基づいて、貯蔵ガスの漏れ流量が正常であるかを判断することができる。なお、テストシステムは、更に貯蔵ガスの温度を漏れ流量の判断パラメーターとすることで、貯蔵ガスの漏れ流量をより正確に判断し、これにより、ガス災害の発生可能性を低減することができる。また、本発明に係るテストシステムは、更に、テストガスによって貯蔵ガスの圧力と温度を検出することで、テストシステムの圧力と温度における検出結果がより正確になる。
【００４０】
本発明を多種の実施形態で前述の通りに開示したが、これは、本発明を制限するものではなく、当業者であれば、本発明の思想と範囲から逸脱しない限り、多様の変更や修正を加えることができ、したがって、本発明の保護範囲は、下記添付の特許請求の範囲で指定した内容を基準とするものである。
【符号の説明】
【００４１】
１００  ガス供給システム
１０２  ガスボンベ
１０４  コネクター
１０６  ガス輸送管
１１０  テストシステム
１１２  ガステスト管
１１４  圧力検出器
１１６  温度検出器
１２０  コントローラ
Ｓ１０〜Ｓ３０  ステップ
【図１】
2017026593.tif 000003
【図２】
2017026593.tif 000004
【図３】
2017026593.tif 000005