(57)【要約】【課題】クリーンルーム内部または製造装置内部の汚染を抑制するファンフィルターユニットを提供する。【解決手段】ファンモーターユニット２とチャンバー３とチャンバー吐出口３ｂに設けられたケミカルフィルター６とケミカルフィルター６の下流側に設けられた粉塵捕集フィルター４とを備えるファンフィルターユニット１であって、ケミカルフィルター６をチャンバー３内部に配置することにより、クリーンルーム内部または製造装置内部に搭載しても、クリーンルーム内部または製造装置内部の汚染を抑制できるファンフィルターユニット１を提供できる。【選択図】図２
2017042735.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファンとモーターから構成されるファンモーターユニットと、
前記ファンモーターユニットを収納した箱形状のチャンバーと、
前記チャンバーの吐出口に設けられたケミカルフィルターと、
前記ケミカルフィルターの下流側に設けられた粉塵捕集フィルターとを備えるファンフィルターユニットであって、
前記ケミカルフィルターを前記チャンバー内部に配置することを特徴とするファンフィルターユニット。
【請求項２】
前記ケミカルフィルターと前記粉塵捕集フィルターとの間に、固定手段により前記ケミカルフィルターおよび前記粉塵捕集フィルターと連結する固定板を備え、
前記ケミカルフィルターと前記固定板との間および前記粉塵捕集フィルターと前記固定板との間にパッキンを設け、
前記ケミカルフィルター、前記固定板および前記粉塵捕集フィルターをフィルターユニットとして一体にすることを特徴とする請求項１に記載のファンフィルターユニット。
【請求項３】
前記ケミカルフィルターと前記粉塵捕集フィルターとの間に、固定手段により前記粉塵捕集フィルターと連結する固定板を備え、
前記固定板の上流面の端部に前記ケミカルフィルターを挿入するスライドレールを設け、
前記ケミカルフィルターは、前記チャンバー、前記固定板および前記粉塵捕集フィルターにより密閉された内部の風路内に配置されることを特徴とする請求項１に記載のファンフィルターユニット。
【請求項４】
前記スライドレールは前記固定板の上流面の左右鉛直方向に設けられ、
前記ケミカルフィルターは前記固定板の上面側より挿入されることを特徴とする請求項３に記載のファンフィルターユニット。
【請求項５】
前記ファンモーターユニットを水平方向に３つ備え、
前記チャンバーの前記吐出口は上段吐出口および下段吐出口からなり、
前記３つのファンモーターユニットの中で中間に配置される前記ファンモーターユニットの吸込口と前記下段吐出口とを連通させる下段風路を形成し、
前記３つのファンモーターユニットの中で両側に配置される２つの前記ファンモーターユニットの吸込口と前記上段吐出口とを連通させる上段風路を形成し、
前記下段風路および前記上段風路を仕切る仕切りを設け、
前記ケミカルフィルターおよび前記粉塵捕集フィルターは前記下段吐出口および前記上段吐出口に配置されることを特徴とする請求項１に記載のファンフィルターユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体、液晶などの、清浄空間を必要とする製造装置等で使用されるファンフィルターユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体工業のクリーンルーム等で使用されるファンフィルターユニットが知られている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−３０９３２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、清浄空間を必要とされる半導体製造装置には、半導体製品に悪影響を及ぼす酸、アルカリ、有機物等の分子状汚染物質を除去するためのケミカルフィルターを備えたファンユニットが必要とされる。
【０００５】
従来、ケミカルフィルターを備えたファンフィルターユニットは、ケミカルフィルターが活性炭等の発塵物質を含んでいることにより製造装置の外部に取付けられてきたが、製造装置の意匠性、小型化、内部気流の均一化等の必要性に伴い、ファンフィルターユニット自体を製造装置内部に取り付ける要望が増えてきた。
【０００６】
一般的なケミカルフィルターはそれ自身が発塵物質となり得るため、ファンフィルターユニット運転中のエアーリークやケミカルフィルター交換時の発塵物質の落下等が生じた場合、クリーンルーム内部または製造装置内部を汚染してしまうことがあった。
【０００７】
そこで本発明は、上記従来の課題を解決するものであり、ケミカルフィルターを備えたファンフィルターユニットをクリーンルーム内部または製造装置内部に設置しても汚染空気がファンフィルターユニットの外にリークすることを防止でき、かつ、ケミカルフィルターのメンテナンス時の発塵物質落下リスクを低減できるファンフィルターユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
そして、この目的を達成するために、本発明の一態様に係るファンフィルターユニットは、ファンとモーターから構成されるファンモーターユニットと、前記ファンモーターユニットを収納した箱形状のチャンバーと、前記チャンバーの吐出口に設けられたケミカルフィルターと、前記ケミカルフィルターの下流側に設けられた粉塵捕集フィルターとを備えるファンフィルターユニットであって、前記ケミカルフィルターを前記チャンバー内部に配置することを特徴としたものであり、これにより所期の目的を達成するものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係るファンフィルターユニットによれば、ケミカルフィルターをチャンバー内部に配置することにより、ケミカルフィルターから漏れ出た汚染空気はチャンバー内部風路に吹き戻ったとしても、ファンフィルターユニット外部に漏れ出ることを抑制できるので、ケミカルフィルターを備えるファンフィルターユニットをクリーンルーム内部または製造装置内部に搭載しても、クリーンルーム内部または製造装置内部の汚染を抑制するという効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施の形態１のファンフィルターユニットを示す斜視図
【図２】同実施の形態１のファンフィルターユニットの側面断面を示す図
【図３】同実施の形態１のファンフィルターユニットのＡ−Ａ断面を示す図
【図４】同実施の形態１のファンフィルターユニットの斜視分解図
【図５】同実施の形態１のファンフィルターユニットのＡ−Ａ断面を示す分解図
【図６】同実施の形態１の他のファンフィルターユニットの水平断面を示す分解図
【図７】同実施の形態１の他のフィルターユニットの斜視分解図
【図８】同実施の形態１の他のフィルターユニットの水平断面を示す分解図
【図９】本発明の実施の形態２のファンフィルターユニットを示す図
【図１０】同実施の形態２のファンフィルターユニットのＢ−Ｂ断面を示す図
【図１１】同実施の形態２のファンフィルターユニットのＣ−Ｃ断面を示す図
【図１２】同実施の形態２のファンフィルターユニットのＤ−Ｄ断面を示す図
【図１３】同実施の形態２のファンフィルターユニットのＥ−Ｅ断面を示す図
【図１４】同実施の形態２のファンフィルターユニットのＦ−Ｆ断面を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の一態様に係るファンフィルターユニットは、ファンとモーターから構成されるファンモーターユニットと、前記ファンモーターユニットを収納した箱形状のチャンバーと、前記チャンバーの吐出口に設けられたケミカルフィルターと、前記ケミカルフィルターの下流側に設けられた粉塵捕集フィルターとを備えるファンフィルターユニットであって、前記ケミカルフィルターを前記チャンバー内部に配置するという構成を有する。
【００１２】
この構成によれば、ケミカルフィルターをチャンバー内部に位置するように配置することにより、ケミカルフィルターから漏れ出た汚染空気はチャンバー内部風路に吹き戻ったとしても、ファンフィルターユニット外部に漏れ出ることを抑制できるので、ケミカルフィルターを備えるファンフィルターユニットをクリーンルーム内部または製造装置内部に搭載しても、クリーンルーム内部または製造装置内部の汚染を抑制するという効果を奏する。
【００１３】
また、前記ケミカルフィルターと前記粉塵捕集フィルターとの間に、固定手段により前記ケミカルフィルターおよび前記粉塵捕集フィルターと連結する固定板を備え、前記ケミカルフィルターと前記固定板との間および前記粉塵捕集フィルターと前記固定板との間にパッキンを設け、前記ケミカルフィルター、前記固定板および前記粉塵捕集フィルターをフィルターユニットとして一体にするという構成にしてもよい。
【００１４】
この構成によれば、前記ケミカルフィルター、前記固定板および前記粉塵捕集フィルターをフィルターユニットとして一体にしてチャンバーに着脱できるので、フィルターユニットを交換する際に、ケミカルフィルターのろ材に含まれる活性炭等の物質がこぼれ落ちる量を低減でき、クリーンルーム内部または製造装置内部の汚染をさらに抑制できる。
【００１５】
また、前記ケミカルフィルターと前記粉塵捕集フィルターとの間に、固定手段により前記粉塵捕集フィルターと連結する固定板を備え、前記固定板の上流面の端部に前記ケミカルフィルターを挿入するスライドレールを設け、前記ケミカルフィルターは、前記チャンバー、前記固定板および前記粉塵捕集フィルターにより密閉された内部の風路内に配置されるという構成にしてもよい。
【００１６】
この構成によれば、固定板とケミカルフィルターとの間から汚染空気が漏れ出たとしてもチャンバー内部風路に吹き戻るだけでチャンバー外部に漏れ出ることはないため、固定板とケミカルフィルターとをネジ等で固定することが不要となる。このため、スライドレールに沿ってケミカルフィルターを出し入れすることでメンテナンス作業を行うことができるので、メンテナンス時間を削減できる。また、ネジ等の機械的固定部材を削減できる。
【００１７】
また、前記スライドレールは前記固定板の上流面の左右鉛直方向に設けられ、前記ケミカルフィルターは前記固定板の上面側より挿入されるという構成にしてもよい。
【００１８】
固定板の側面よりケミカルフィルターを出し入れする場合、フィルターユニット着脱中に左右いずれかに傾いた場合、固定板からケミカルフィルターが滑り出て落下する可能性があるが、固定板の上面側をケミカルフィルターの出し入れ口とすることで滑り落ちる可能性の少ない構造を実現できる。このため、ケミカルフィルター落下による製造装置内の汚染のリスクを低減できる。
【００１９】
また、前記ファンモーターユニットを水平方向に３つ備え、前記チャンバーの前記吐出口は上段吐出口および下段吐出口からなり、前記３つのファンモーターユニットの中で中間に配置される前記ファンモーターユニットの吸込口と前記下段吐出口とを連通させる下段風路を形成し、前記３つのファンモーターユニットの中で両側に配置される２つの前記ファンモーターユニットの吸込口と前記上段吐出口とを連通させる上段風路を形成し、前記下段風路および前記上段風路を仕切る仕切りを設け、前記ケミカルフィルターおよび前記粉塵捕集フィルターは前記下段吐出口および前記上段吐出口に配置されるという構成にしてもよい。
【００２０】
この構成によれば、各フィルターに左右対称に空気を送り込むことが可能となり、フィルター吐出面の風速分布をより均一化できる。このため、ファンフィルターユニットの空気清浄効果をさらに高めることができる。
【００２１】
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
【００２２】
（実施の形態１）
図１および図２に示すように、ファンフィルターユニット１はファンモーターユニット２とチャンバー３と粉塵捕集フィルター４と固定板５とケミカルフィルター６とを備えている。
【００２３】
ファンモーターユニット２はファンとモーターから構成される。
【００２４】
チャンバー３は箱形状であり、ファンモーターユニット２を収納している。
【００２５】
酸、アルカリ、有機などの分子状汚染物質を除去するケミカルフィルター６は固定板５に固定され、チャンバー３のチャンバー吐出口３ｂに設けられる。
【００２６】
空気中の粉塵を捕集する粉塵捕集フィルター４は固定板５に固定され、ケミカルフィルター６の下流側に設けられる。
【００２７】
上記構成において、ファンモーターユニット２を運転することによって、チャンバー吸込口３ａより吸込まれた空気はチャンバー３内に送り込まれ、ケミカルフィルター６と粉塵捕集フィルター４を通過してチャンバー吐出口３ｂから吐き出される。なお、チャンバー吐出口３ｂはチャンバー吸込口３ａの上方に設けられている。
【００２８】
チャンバー吸込口３ａからチャンバー吐出口３ｂまでの風路において、空気はケミカルフィルター６を通過するため、空気中に含まれる酸、アルカリ、有機などの分子状汚染物質が除去される。
【００２９】
その後、空気は粉塵捕集フィルター４を通過するため、空気中に含まれる粉塵が粉塵捕集フィルター４に捕集されて除去される。
【００３０】
このようにして、クリーンルーム内部または製造装置内部に配置されたファンフィルターユニット１によって、クリーンルーム内部または製造装置内部の空気が浄化される。
【００３１】
特に、本実施形態では、ケミカルフィルター６をチャンバー３内部に配置している。この構成により、ケミカルフィルター６から漏れ出た汚染空気がチャンバー３内部の風路に吹き戻ったとしても、ファンフィルターユニット１外部に漏れ出ることを抑制できる。このため、ケミカルフィルター６を備えるファンフィルターユニット１をクリーンルーム内部または製造装置内部に搭載しても、クリーンルーム内部または製造装置内部の汚染を抑制することができる。
【００３２】
図３は図２のＡ−Ａ断面を示す図である。図３に示すように、チャンバー３内部にはチャンバー内部空間３ｃが設けられ、ケミカルフィルター６はチャンバー内部空間３ｃに配置されている。
【００３３】
図４はファンフィルターユニット１の斜視分解図である。
【００３４】
図５は図２のＡ−Ａ断面を示す分解図の１例である。図５に示すように、固定板５とケミカルフィルター６との間にケミカルフィルターパッキン８ａをはさみ、ネジ９とナット１０によりケミカルフィルター６を固定板５に固定することが好ましい。また、固定板５と粉塵捕集フィルター４との間に粉塵捕集フィルターパッキン８ｂをはさみ、ネジ９とナット１０により粉塵捕集フィルター４を固定板５に固定することが好ましい。ケミカルフィルターパッキン８ａおよび粉塵捕集フィルターパッキン８ｂにより、ケミカルフィルター６を通過した空気が粉塵捕集フィルター４を通過する前にチャンバー３の外に漏れ出ることを抑制できる。
【００３５】
特に、図５では、ケミカルフィルター６、固定板５および粉塵捕集フィルター４をフィルターユニット７として一体にしている。この構成によれば、ケミカルフィルター６、固定板５および粉塵捕集フィルター４をフィルターユニット７として一体にしてチャンバー３に着脱できるので、フィルターユニット７を交換する際に、ケミカルフィルター６の下流面は固定板５および粉塵捕集フィルター４により覆われてケミカルフィルター６の露出部分は上流面だけとなる。
【００３６】
このため、図５の構成によれば、ケミカルフィルター６の上流面および下流面の両方が露出する場合に比べて、フィルターユニット７を交換する際に、ケミカルフィルター６のろ材に含まれる活性炭等の物質がこぼれ落ちる量を低減でき、クリーンルーム内部または製造装置内部の汚染を抑制できる。また、フィルター交換作業自体が簡素化されるので、作業によりフィルターに与える外力、振動も抑えることができ、活性炭の離脱落量を少なくできる。
【００３７】
また、図６のように固定板５を無くした構成であっても良い。図６に示すように、ケミカルフィルター６と粉塵捕集フィルター４との間にパッキン８をはさみ、ネジ９とナット（不図示）によりケミカルフィルター６を粉塵捕集フィルター４に固定する。また、ネジ９とナット（不図示）によりチャンバー吐出口３ｂ側にあるチャンバー３の壁面に粉塵捕集フィルター４を固定する。
【００３８】
ここで、ケミカルフィルター６はチャンバー吐出口３ｂを構成するチャンバー３の外壁よりも内側（上流側）に配置されている。この構成により、ケミカルフィルター６から漏れ出た汚染空気がチャンバー３内部の風路に吹き戻ったとしても、ファンフィルターユニット１外部に漏れ出ることを抑制できる。このため、ケミカルフィルター６を備えるファンフィルターユニット１をクリーンルーム内部または製造装置内部に搭載しても、クリーンルーム内部または製造装置内部の汚染を抑制することができる。
【００３９】
図７はフィルターユニット７の他の例を示すものである。図７に示すように、フィルターユニット７は粉塵捕集フィルター４と固定板５とケミカルフィルター６とからなる。
【００４０】
固定板５は、ケミカルフィルター６と粉塵捕集フィルター４の間において、ネジ９とナット（不図示）により粉塵捕集フィルター４と連結される。
【００４１】
固定板５の上流面の端部にはスライドレール１２が設けられる。ケミカルフィルター６はスライドレール１２に沿って受け部材１１に当たる部分まで挿入され、固定板５の上流面側に配置される。
【００４２】
図７において、ケミカルフィルター６は、チャンバー３、固定板５および粉塵捕集フィルター４により密閉された内部の風路内に配置されるため、固定板５とケミカルフィルター６との間から汚染空気が漏れ出たとしてもチャンバー３内部風路に吹き戻るだけでチャンバー３外部に漏れ出ることはない。このため、固定板５とケミカルフィルター６とをネジ等の固定手段で固定することが不要となる。また、スライドレール１２に沿ってケミカルフィルター６を出し入れすることで、メンテナンス作業を行うことができるので、メンテナンス時間を削減できる。
【００４３】
特に、図７に示すように、スライドレール１２は固定板５の上流面の左右鉛直方向に設けられ、ケミカルフィルター６は固定板５の上面側より挿入されることが好ましい。
【００４４】
固定板５の側面よりケミカルフィルター６を出し入れすることもできるが、この場合、フィルターユニット７着脱中にフィルターユニット７が左右いずれかに傾いた際、固定板５からケミカルフィルター６が滑り出て落下し、ケミカルフィルター６のろ材に含まれる活性炭等の物質がこぼれ落ちる可能性がある。
【００４５】
図７のように、固定板５の上面側をケミカルフィルター６の出し入れ口とすることでケミカルフィルター６が滑り落ちる可能性の少ない構造を実現できる。このため、ケミカルフィルター６落下によるクリーンルーム内部または製造装置内部の汚染のリスクを低減できる。
【００４６】
固定板５の側面よりケミカルフィルター６を出し入れする場合は、固定板５の開口の上下に水平方向に配置したスライドレール１２を設ければよい。スライドレール１２は例えばＺ型のレールを有するものである。
【００４７】
なお、図８は図７のフィルターユニット７の水平断面分解図である。
【００４８】
（実施の形態２）
図９〜１４は、本実施の形態２のファンフィルターユニット２１を示す図である。
【００４９】
図９〜１４において、図１〜８と同様の構成要素については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００５０】
ファンフィルターユニット２１はファンモーターユニット２を水平方向に３つ備えている。
【００５１】
チャンバー３のチャンバー吐出口３ｂは上段吐出口２３ａおよび下段吐出口２３ｂから構成される。
【００５２】
３つのファンモーターユニット２の中で中間に配置される下段フィルター用ファンモーターユニット２ｂの吸込口と下段吐出口２３ｂとを連通させる下段風路２４ｂ（下段フィルター内部空間）を形成し、３つのファンモーターユニット２の中で両側に配置される２つの上段フィルター用ファンモーターユニット２ａの吸込口と上段吐出口２３ａとを連通させる上段風路２４ａ（上段フィルター内部空間）を形成する。
【００５３】
下段風路２４ｂおよび上段風路２４ａは仕切り２５により、互いに仕切られている。
【００５４】
ケミカルフィルター６は上段吐出口２３ａに配置される上段ケミカルフィルター６ａと下段吐出口２３ｂに配置される下段ケミカルフィルター６ｂからなる。
【００５５】
粉塵捕集フィルター４は上段吐出口２３ａに配置される上段粉塵捕集フィルター４ａと下段吐出口２３ｂに配置される下段粉塵捕集フィルター４ｂからなる。
【００５６】
この構成によれば、各フィルターに左右対称に空気を送り込むことが可能となるため、チャンバー吐出口３ｂ（フィルター吐出面）の風速分布をより均一化できる。このため、ファンフィルターユニット２１の空気清浄効果をさらに高めることができる。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
本発明にかかるファンフィルターユニットは、クリーンルーム内部または製造装置内部の汚染を抑制できるものであるので、半導体、液晶などの、清浄空間を必要とする製造装置等で使用されるファンフィルターユニットとして有用である。
【符号の説明】
【００５８】
１  ファンフィルターユニット
２  ファンモーターユニット
２ａ  上段フィルター用ファンモーターユニット
２ｂ  下段フィルター用ファンモーターユニット
３  チャンバー
３ａ  チャンバー吸込口
３ｂ  チャンバー吐出口
３ｃ  チャンバー内部空間
４  粉塵捕集フィルター
４ａ  上段粉塵捕集フィルター
４ｂ  下段粉塵捕集フィルター
５  固定板
６  ケミカルフィルター
６ａ  上段ケミカルフィルター
６ｂ  下段ケミカルフィルター
７  フィルターユニット
８  パッキン
８ａ  ケミカルフィルターパッキン
８ｂ  粉塵捕集フィルターパッキン
９  ネジ
１０  ナット
１１  受け部材
１２  スライドレール
２１  ファンフィルターユニット
２３ａ  上段吐出口
２３ｂ  下段吐出口
２４ａ  上段風路
２４ｂ  下段風路
２５  仕切り
【図１】
2017042735.tif 000003
【図２】
2017042735.tif 000004
【図３】
2017042735.tif 000005
【図４】
2017042735.tif 000006
【図５】
2017042735.tif 000007
【図６】
2017042735.tif 000008
【図７】
2017042735.tif 000009
【図８】
2017042735.tif 000010
【図９】
2017042735.tif 000011
【図１０】
2017042735.tif 000012
【図１１】
2017042735.tif 000013
【図１２】
2017042735.tif 000014
【図１３】
2017042735.tif 000015
【図１４】
2017042735.tif 000016