(57)【要約】【課題】オリフィスの流路に詰まりが生じたことを検知することができ、適正なタイミングでオリフィスの清掃を行うことができる流体軸受の異常検知装置及び異常検知方法を提供すること。【解決手段】軸受本体２と、前記軸受本体２に形成された軸受孔３と、前記軸受孔３の内周面に、該軸受孔３の中心軸Ｏ回りに互いに間隔をあけて開口する複数のポケット４と、複数の前記ポケット４に連通する複数の流路２８と、前記流路２８に着脱可能に配設されるオリフィス５と、複数の前記ポケット４に保持される流体の圧力を測定する複数の圧力センサー２２と、制御部２７と、を備え、前記制御部２７は、複数の前記圧力センサー２２が測定した圧力の測定値のうち、最大値と最小値との差が所定値以上となったときに、異常を検知することを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸受本体と、
前記軸受本体に形成された軸受孔と、
前記軸受孔の内周面に、該軸受孔の中心軸回りに互いに間隔をあけて開口する複数のポケットと、
複数の前記ポケットに連通する複数の流路と、
前記流路に着脱可能に配設されるオリフィスと、
複数の前記ポケットに保持される流体の圧力を測定する複数の圧力センサーと、
制御部と、を備え、
前記制御部は、複数の前記圧力センサーが測定した圧力の測定値のうち、最大値と最小値との差が所定値以上となったときに、異常を検知することを特徴とする流体軸受の異常検知装置。
【請求項２】
軸受本体と、
前記軸受本体に形成された軸受孔と、
前記軸受孔の内周面に、該軸受孔の中心軸回りに互いに間隔をあけて開口する複数のポケットと、
複数の前記ポケットに連通する複数の流路と、
前記流路に着脱可能に配設されるオリフィスと、
複数の前記ポケットに保持される流体の圧力を測定する複数の圧力センサーと、
制御部と、を備え、
前記制御部は、複数の前記圧力センサーが測定した圧力の測定値のうち、最小値が所定値以下となったとき、又は、最大値が所定値以上となったときに、異常を検知することを特徴とする流体軸受の異常検知装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の流体軸受の異常検知装置であって、
複数の前記ポケットは、前記軸受孔の内周面に、前記中心軸回りに等間隔をあけて少なくとも３つ以上形成されていることを特徴とする流体軸受の異常検知装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の流体軸受の異常検知装置であって、
前記軸受本体の前記軸受孔付近及び前記ポケットに保持される流体のうち、いずれかの温度を測定する温度センサーが備えられ、
前記制御部は、前記温度センサーが測定した温度の測定値が所定値以上となったときに、異常を検知することを特徴とする流体軸受の異常検知装置。
【請求項５】
請求項４に記載の流体軸受の異常検知装置であって、
前記温度センサーは、前記軸受孔の内周面に開口する複数の前記ポケットに対応して、複数設けられることを特徴とする流体軸受の異常検知装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の流体軸受の異常検知装置であって、
複数の前記流路の前記オリフィスよりも上流側に、流量計が備えられ、
前記制御部は、前記流量計が測定した流量の測定値が所定の数値範囲外となったときに、異常を検知することを特徴とする流体軸受の異常検知装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の流体軸受の異常検知装置であって、
前記軸受本体の前記流路に供給される流体の温度を測定する供給流体用温度センサーが備えられ、
前記制御部は、前記供給流体用温度センサーが測定した温度の測定値が所定の数値範囲外となったときに、異常を検知することを特徴とする流体軸受の異常検知装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項に記載の流体軸受の異常検知装置であって、
少なくとも前記圧力センサーが測定した圧力の測定値を表示する表示部が備えられ、
前記制御部が異常を検知したときに、異常を検知するまでの前記測定値の推移を、前記表示部に所定時間遡って表示可能であることを特徴とする流体軸受の異常検知装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項に記載の流体軸受の異常検知装置であって、
前記軸受本体と、該軸受本体の前記軸受孔に挿通された主軸と、を相対的に移動させる駆動部が備えられ、
前記制御部は、異常を検知したときに、前記駆動部を停止することを特徴とする流体軸受の異常検知装置。
【請求項１０】
軸受本体に形成された軸受孔の内周面に、該軸受孔の中心軸回りに互いに間隔をあけて複数のポケットを開口し、
複数の前記ポケットに連通する複数の流路を設け、
前記流路にオリフィスを着脱可能に配設し、
複数の前記ポケットに保持される流体の圧力を測定する複数の圧力センサー、及び、制御部を設け、
前記制御部は、複数の前記圧力センサーが測定した圧力の測定値のうち、最大値と最小値との差が所定値以上となったときに、異常を検知することを特徴とする流体軸受の異常検知方法。
【請求項１１】
軸受本体に形成された軸受孔の内周面に、該軸受孔の中心軸回りに互いに間隔をあけて複数のポケットを開口し、
複数の前記ポケットに連通する複数の流路を設け、
前記流路にオリフィスを着脱可能に配設し、
複数の前記ポケットに保持される流体の圧力を測定する複数の圧力センサー、及び、制御部を設け、
前記制御部は、複数の前記圧力センサーが測定した圧力の測定値のうち、最小値が所定値以下となったとき、又は、最大値が所定値以上となったときに、異常を検知することを特徴とする流体軸受の異常検知方法。
【請求項１２】
請求項１０又は１１に記載の流体軸受の異常検知方法であって、
複数の前記ポケットを、前記軸受孔の内周面に、前記中心軸回りに等間隔をあけて少なくとも３つ以上形成することを特徴とする流体軸受の異常検知方法。
【請求項１３】
請求項１０〜１２のいずれか一項に記載の流体軸受の異常検知方法であって、
前記軸受本体の前記軸受孔付近及び前記ポケットに保持される流体のうち、いずれかの温度を測定する温度センサーを設け、
前記制御部は、前記温度センサーが測定した温度の測定値が所定値以上となったときに、異常を検知することを特徴とする流体軸受の異常検知方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の流体軸受の異常検知方法であって、
前記温度センサーを、前記軸受孔の内周面に開口する複数の前記ポケットに対応して、複数設けることを特徴とする流体軸受の異常検知方法。
【請求項１５】
請求項１０〜１４のいずれか一項に記載の流体軸受の異常検知方法であって、
複数の前記流路の前記オリフィスよりも上流側に、流量計を設け、
前記制御部は、前記流量計が測定した流量の測定値が所定の数値範囲外となったときに、異常を検知することを特徴とする流体軸受の異常検知方法。
【請求項１６】
請求項１０〜１５のいずれか一項に記載の流体軸受の異常検知方法であって、
前記軸受本体の前記流路に供給される流体の温度を測定する供給流体用温度センサーを設け、
前記制御部は、前記供給流体用温度センサーが測定した温度の測定値が所定の数値範囲外となったときに、異常を検知することを特徴とする流体軸受の異常検知方法。
【請求項１７】
請求項１０〜１６のいずれか一項に記載の流体軸受の異常検知方法であって、
少なくとも前記圧力センサーが測定した圧力の測定値を表示する表示部を設け、
前記制御部が異常を検知したときに、異常を検知するまでの前記測定値の推移を、前記表示部に所定時間遡って表示可能とすることを特徴とする流体軸受の異常検知方法。
【請求項１８】
請求項１０〜１７のいずれか一項に記載の流体軸受の異常検知方法であって、
前記軸受本体と、該軸受本体の前記軸受孔に挿通された主軸と、を相対的に移動させる駆動部を設け、
前記制御部は、異常を検知したときに、前記駆動部を停止することを特徴とする流体軸受の異常検知方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばＤＩ缶を製造するＤＩ加工装置に設けられるラムベアリング等の流体軸受の異常検知装置及び異常検知方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
飲料等の内容物が充填、密封される缶体として、缶胴（ウォール）と缶底（ボトム）を有する有底筒状のＤＩ缶と、該ＤＩ缶の開口端部に巻締められる円板状の缶蓋と、を備えた２ピース缶が知られている。また、ＤＩ缶に対してボトルネッキング加工が施された後、その開口端部にキャップが螺着されたボトル缶も周知である。
【０００３】
このような缶体に用いられるＤＩ缶は、アルミニウム合金材料の板材から打ち抜いた円板状のブランクに、カッピング工程（絞り工程）及びＤＩ工程（絞りしごき工程）を施すことにより、有底筒状に形成される。
【０００４】
カッピング工程では、ブランクにカッピング加工（絞り加工）を施して、ブランクからＤＩ缶へ移行する過程の成形中間体であるカップ状体とする。
ＤＩ工程では、ＤＩ加工装置において、カップ状体の内部にパンチスリーブを嵌合させ、かつ外部には複数のダイを嵌合させて、これらの間でカップ状体を絞りしごき加工する。すなわち、パンチスリーブの中心軸と、複数のダイの中心軸とを同軸に配置（芯合わせ）した状態で、これらの間にカップ状体の周壁を挟んで中心軸方向に相対移動させることにより、カップ状体にＤＩ（Ｄｒａｗｉｎｇ＆Ｉｒｏｎｉｎｇ）加工を施して、ＤＩ缶とする。
【０００５】
パンチスリーブは、水平方向に延びるラム軸（主軸）の先端に支持されており、ラム軸は、水平方向に互いに離間して配置された一対のラムベアリングによって軸支されている。
ラムベアリングは、ハイドロスタティック軸受や静圧軸受等と呼ばれる流体軸受であり、ラム軸が挿入される軸受孔の内周面には、油が供給されるポケットが周方向に互いに間隔をあけて複数開口している。これらのポケットに保持された油に圧力を加えることで、ラムベアリングは、油圧によって軸受孔の内周面からラム軸を離間させて（ラム軸を空中に浮かせて）支持する。
【０００６】
このような構成により、ラムベアリングの中心軸（軸受孔の中心軸）と、ラム軸の中心軸とが高精度に芯合わせされるため、ラム軸が支持するパンチスリーブと、複数のダイとの同軸度の精度も確保されて、ＤＩ缶の周壁の厚さを均一化できる。また、ラム軸及びラムベアリングの摩耗も抑制される。
また、ラムベアリングにおいては、軸受孔に挿入されたラム軸に対して高い油圧を安定的に作用させるため、油の配管経路（流路）内に、流路を部分的に狭めるためのオリフィスが配設されている。
【０００７】
なお、従来のＤＩ加工装置に用いられるラムベアリングとして、例えば下記特許文献１に記載されるような電磁式のものも周知である。また、下記特許文献２には、ラムを上下移動させて、パンチとダイとの接近・離間によりワークの曲げ加工を行うプレスブレーキが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特表平６−５００５０３号公報
【特許文献２】特開２００２−２３９６３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記従来のＤＩ加工装置の流体軸受では、下記の課題を有していた。
オリフィスは、例えば１ｍｍ未満の小さな内径の流路を有するものであり、異物やスラッジ等が堆積して、流路が詰まりやすい。このため、定期的にオリフィスを取り外し清掃する作業が必要であるが、清掃を行うべき適正なタイミングがわからなかった。
【００１０】
具体的に、オリフィスの流路が詰まると、作製するＤＩ缶の加工精度（周壁の厚さ精度）が確保できなくなるばかりか、ラムベアリングやラム軸に摩耗や損傷が生じるおそれがある。このため、オリフィスの清掃を高い頻度で行わざるを得ず、手間がかかっていた。なお、油の配管経路内からオリフィスを取り外して再び装着するには、配管自体を分解する必要があり、作業時間として例えば半日程度をも要する。
【００１１】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、オリフィスの流路に詰まりが生じたことを検知することができ、適正なタイミングでオリフィスの清掃を行うことができる流体軸受の異常検知装置及び異常検知方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の一態様に係る流体軸受の異常検知装置は、軸受本体と、前記軸受本体に形成された軸受孔と、前記軸受孔の内周面に、該軸受孔の中心軸回りに互いに間隔をあけて開口する複数のポケットと、複数の前記ポケットに連通する複数の流路と、前記流路に着脱可能に配設されるオリフィスと、複数の前記ポケットに保持される流体の圧力を測定する複数の圧力センサーと、制御部と、を備え、前記制御部は、複数の前記圧力センサーが測定した圧力の測定値のうち、最大値と最小値との差が所定値以上となったときに、異常を検知することを特徴とする。
また、本発明の一態様に係る流体軸受の異常検知方法は、軸受本体に形成された軸受孔の内周面に、該軸受孔の中心軸回りに互いに間隔をあけて複数のポケットを開口し、複数の前記ポケットに連通する複数の流路を設け、前記流路にオリフィスを着脱可能に配設し、複数の前記ポケットに保持される流体の圧力を測定する複数の圧力センサー、及び、制御部を設け、前記制御部は、複数の前記圧力センサーが測定した圧力の測定値のうち、最大値と最小値との差が所定値以上となったときに、異常を検知することを特徴とする。
【００１３】
この流体軸受は、例えばハイドロスタティック軸受や静圧軸受等と呼ばれるものであり、主軸を軸支する軸受孔の内周面に、該軸受孔の中心軸回りに互いに間隔をあけて、油等の流体が供給されるポケットが複数開口している。ポケットの開口部は、主軸の外周面に対向配置され、これらのポケット及び主軸外周面により流体を保持可能な室が形成される。そして、ポケット（室）に保持された流体に圧力を加えることで、流体軸受は、流体圧によって軸受孔の内周面から主軸を離間させて（主軸を空中に浮かせて）支持する。
【００１４】
本発明の流体軸受の異常検知装置及び異常検知方法によれば、複数のポケットに連通する各流路に、オリフィスが着脱可能に設けられている。また、各ポケットに保持される流体の圧力を測定する圧力センサーが設けられている。つまり、複数の圧力センサーによって、複数のポケットの流体圧を、それぞれ測定することができる。
【００１５】
そして、これらの圧力センサーが測定した圧力の測定値のうち、最大値と最小値との差（圧力差）が所定値以上に大きくなったときに、制御部が異常を検知する。つまり、複数の圧力センサーが測定した各測定値同士の間の最大圧力差が、所定値以上となったときに、オリフィス詰まりが発生したものとして、異常と判断する。
【００１６】
具体的に、複数のポケットの流路に設けられる各オリフィスのうち、いずれかのオリフィスの流路に詰まりが生じると、このオリフィスの流路が連通するポケットの流体圧を測定する圧力センサーの測定値に変化が生じて、各圧力センサーの測定値同士の間の圧力差が大きくなる。
そして本発明では、このように各ポケット同士の間で流体の圧力差が生じた場合に、圧力の最大値と最小値との差（最大圧力差）が所定値よりも小さければ異常とは判断せず、所定値以上に大きくなったときに、軸受孔の中心軸と、主軸の中心軸との同軸度が十分に確保できなくなったものとして（又はそのおそれがあるものとして）、異常と判断する。
【００１７】
従って、上記所定値を適宜設定することにより、異常（オリフィス詰まり）を確実に検知して、オリフィスを適正なタイミングで清掃することができる。
つまり、従来のようにオリフィスを過度に（必要以上に）高い頻度で清掃して手間をかけることなく、ＤＩ加工装置等の加工装置による加工精度を良好に維持でき、かつ、流体軸受や主軸に摩耗や損傷等が発生するようなことを防止できる。
【００１８】
以上より本発明によれば、オリフィスの流路に詰まりが生じたことを検知することができ、適正なタイミングでオリフィスの清掃を行うことができる。
【００１９】
また、本発明の一態様に係る流体軸受の異常検知装置は、軸受本体と、前記軸受本体に形成された軸受孔と、前記軸受孔の内周面に、該軸受孔の中心軸回りに互いに間隔をあけて開口する複数のポケットと、複数の前記ポケットに連通する複数の流路と、前記流路に着脱可能に配設されるオリフィスと、複数の前記ポケットに保持される流体の圧力を測定する複数の圧力センサーと、制御部と、を備え、前記制御部は、複数の前記圧力センサーが測定した圧力の測定値のうち、最小値が所定値以下となったとき、又は、最大値が所定値以上となったときに、異常を検知することを特徴とする。
また、本発明の一態様に係る流体軸受の異常検知方法は、軸受本体に形成された軸受孔の内周面に、該軸受孔の中心軸回りに互いに間隔をあけて複数のポケットを開口し、複数の前記ポケットに連通する複数の流路を設け、前記流路にオリフィスを着脱可能に配設し、複数の前記ポケットに保持される流体の圧力を測定する複数の圧力センサー、及び、制御部を設け、前記制御部は、複数の前記圧力センサーが測定した圧力の測定値のうち、最小値が所定値以下となったとき、又は、最大値が所定値以上となったときに、異常を検知することを特徴とする。
【００２０】
本発明の流体軸受の異常検知装置及び異常検知方法によれば、複数のポケットに連通する各流路に、オリフィスが着脱可能に設けられている。また、各ポケットに保持される流体の圧力を測定する圧力センサーが設けられている。つまり、複数の圧力センサーによって、複数のポケットの流体圧を、それぞれ測定することができる。
【００２１】
そして、これらの圧力センサーが測定した圧力の測定値のうち、最小値が所定値以下に小さくなったとき、又は、最大値が所定値以上に大きくなったときに、オリフィス詰まりが発生したものとして、制御部が異常を検知する。
【００２２】
具体的に、複数のポケットの流路に設けられる各オリフィスのうち、いずれかのオリフィスの流路に詰まりが生じると、このオリフィスの流路が連通するポケットの流体圧を測定する圧力センサーの測定値に変化が生じる。
そして本発明では、このように圧力センサーの測定値に変化が生じたときに、圧力の最小値が所定値よりも大きい場合、又は、圧力の最大値が所定値よりも小さい場合には、異常とは判断せず、圧力の最小値が所定値以下に小さくなった場合、又は、圧力の最大値が所定値以上に大きくなったときに、軸受孔の中心軸と、主軸の中心軸との同軸度が十分に確保できなくなったものとして（又はそのおそれがあるものとして）、異常と判断する。
【００２３】
従って、上記の各所定値を適宜設定することにより、異常（オリフィス詰まり）を確実に検知して、オリフィスを適正なタイミングで清掃することができる。
つまり、従来のようにオリフィスを過度に（必要以上に）高い頻度で清掃して手間をかけることなく、ＤＩ加工装置等の加工装置による加工精度を良好に維持でき、かつ、流体軸受や主軸に摩耗や損傷等が発生するようなことを防止できる。
【００２４】
以上より本発明によれば、オリフィスの流路に詰まりが生じたことを検知することができ、適正なタイミングでオリフィスの清掃を行うことができる。
【００２５】
上記流体軸受の異常検知装置において、複数の前記ポケットは、前記軸受孔の内周面に、前記中心軸回りに等間隔をあけて少なくとも３つ以上形成されていることが好ましい。
上記流体軸受の異常検知方法において、複数の前記ポケットを、前記軸受孔の内周面に、前記中心軸回りに等間隔をあけて少なくとも３つ以上形成することが好ましい。
【００２６】
この場合、軸受孔の内周面に、該軸受孔の中心軸回りに等間隔をあけて少なくとも３つ以上のポケットが形成されているので、これらのポケットに保持される流体の圧力により、軸受孔の内周面から主軸を確実に離間させることができるとともに、同軸に配置しやすくなり、主軸を安定して軸支できる。
そして、３つ以上のポケットに保持された流体の圧力を、ポケットと同数の３つ以上の圧力センサーで測定することにより、異常検知の精度を高めることができ、上述した本発明の作用効果がより安定的に奏功される。
【００２７】
上記流体軸受の異常検知装置において、前記軸受本体の前記軸受孔付近及び前記ポケットに保持される流体のうち、いずれかの温度を測定する温度センサーが備えられ、前記制御部は、前記温度センサーが測定した温度の測定値が所定値以上となったときに、異常を検知することが好ましい。
上記流体軸受の異常検知方法において、前記軸受本体の前記軸受孔付近及び前記ポケットに保持される流体のうち、いずれかの温度を測定する温度センサーを設け、前記制御部は、前記温度センサーが測定した温度の測定値が所定値以上となったときに、異常を検知することが好ましい。
【００２８】
オリフィス詰まりが発生し、このオリフィスが配設された流路に対応するポケットの流体圧が低下すると、軸受孔の中心軸と、該軸受孔に軸支される主軸の中心軸との軸位置がずれていく。これらの軸間距離が大きくなっていくと、最終的には、軸受孔の内周面に対して主軸の外周面が接触する。
【００２９】
上記流体軸受の異常検知装置及び異常検知方法によれば、軸受本体の軸受孔付近（軸受孔に接近配置された部分）及びポケットに保持される流体のうち、いずれかの温度を測定する温度センサーが設けられている。そして、温度センサーの測定値が所定値以上に大きくなったときに、制御部が異常を検知する。
つまり、軸受孔と主軸とが接触したときに、その接触抵抗（摩擦）により軸受孔付近やポケット内の流体の温度が上昇したことを、温度センサーが測定した温度の測定値に基づいて判断することができる。従って、上述した圧力センサーによる異常検知と相俟って、流体軸受の異常の検知をより確実に行うことができる。
【００３０】
上記流体軸受の異常検知装置において、前記温度センサーは、前記軸受孔の内周面に開口する複数の前記ポケットに対応して、複数設けられることが好ましい。
上記流体軸受の異常検知方法において、前記温度センサーを、前記軸受孔の内周面に開口する複数の前記ポケットに対応して、複数設けることが好ましい。
【００３１】
この場合、軸受孔の内周面に開口する複数のポケットに対応して、複数の温度センサーが設けられている。従って、オリフィス詰まりが発生し、これらのポケットのうち、特定のポケットに向けて主軸が接近し、軸受孔の内周面に接触した場合であっても、該ポケット近傍の温度上昇を、このポケットに対応する温度センサーにより精度よく測定することができる。従って、異常検知の精度が高められる。
【００３２】
上記流体軸受の異常検知装置において、複数の前記流路の前記オリフィスよりも上流側に、流量計が備えられ、前記制御部は、前記流量計が測定した流量の測定値が所定の数値範囲外となったときに、異常を検知することが好ましい。
上記流体軸受の異常検知方法において、複数の前記流路の前記オリフィスよりも上流側に、流量計を設け、前記制御部は、前記流量計が測定した流量の測定値が所定の数値範囲外となったときに、異常を検知することが好ましい。
【００３３】
この場合、複数の流路のオリフィスよりも上流側に、流量計が備えられており、流量計が測定した流量の測定値が所定の数値範囲外となったとき（適正な数値範囲内から上下いずれかに外れたとき）に、制御部が異常を検知する。
すなわち、例えば、オリフィス詰まりが複数のオリフィス全体に進行している場合や、流体の供給元圧の設定異常、リリーフ弁の故障などが生じた場合においては、流量計の測定値が、所定の数値範囲よりも小さくなったり大きくなったりするので、この測定値に基づいて異常を判断することができる。従って、異常の検知をより確実に行うことができる。
【００３４】
上記流体軸受の異常検知装置において、前記軸受本体の前記流路に供給される流体の温度を測定する供給流体用温度センサーが備えられ、前記制御部は、前記供給流体用温度センサーが測定した温度の測定値が所定の数値範囲外となったときに、異常を検知することが好ましい。
上記流体軸受の異常検知方法において、前記軸受本体の前記流路に供給される流体の温度を測定する供給流体用温度センサーを設け、前記制御部は、前記供給流体用温度センサーが測定した温度の測定値が所定の数値範囲外となったときに、異常を検知することが好ましい。
【００３５】
軸受本体の流路に供給される流体の温度が、該流体の種別に応じた所定の数値範囲外となったとき（適正な数値範囲内から上下いずれかに外れたとき）には、流体の粘性等に変化が生じて、所期する流体の機能（軸受孔の内周面から主軸を浮かせて、これらの摺動を潤滑する機能等）が安定して得られなくなるおそれがある。例えば、流路に供給される流体の温度が所定の数値範囲（の下限）より低い場合には、流体の粘性が増大して滑らかな摺動を促せなくなることがある。前記流体の温度が所定の数値範囲（の上限）より高い場合には、流体の粘性が低下してポケットから流出しやすくなり、流体による摺動機能や芯合わせ機能が安定しなくなることがある。また、流路に供給される流体の温度が所定の数値範囲（の上限）より高いと、流体軸受の金属部品が温度上昇しやすくなり、焼き付き等の原因にもなる。
【００３６】
上記流体軸受の異常検知装置及び異常検知方法によれば、軸受本体の流路に供給される流体の温度を測定する供給流体用温度センサーが設けられており、該供給流体用温度センサーの測定値が所定の数値範囲外となったときに、制御部が異常を検知する。
従って、ポケットに保持される流体の機能を安定して発揮させることができるとともに、流体の機能が十分に発揮できなくなるおそれが生じたときには異常を検知して、軸受孔及び主軸の摩耗や損傷等を防止することができる。また、流体軸受の金属部品の焼き付き等を防止できる。
【００３７】
上記流体軸受の異常検知装置において、少なくとも前記圧力センサーが測定した圧力の測定値を表示する表示部が備えられ、前記制御部が異常を検知したときに、異常を検知するまでの前記測定値の推移を、前記表示部に所定時間遡って表示可能であることが好ましい。
上記流体軸受の異常検知方法において、少なくとも前記圧力センサーが測定した圧力の測定値を表示する表示部を設け、前記制御部が異常を検知したときに、異常を検知するまでの前記測定値の推移を、前記表示部に所定時間遡って表示可能とすることが好ましい。
【００３８】
この場合、少なくとも圧力センサーが測定した圧力の測定値を表示する表示部が備えられているので、圧力の測定値がどのような状況にあるか（高いか低いか）を、作業者が必要に応じて確認できる。
そして、制御部が異常を検知したときに、異常を検知するまでの測定値の推移を、表示部に所定時間遡って表示可能であるので、異常が発生した時に、たとえ作業者がその場に居合わせなくても、異常発生までの測定値の推移を遡って確認することができる。従って、異常がいつ発生したかを確認したり、異常発生箇所や原因を特定したりすることなどが可能になる。
【００３９】
上記流体軸受の異常検知装置において、前記軸受本体と、該軸受本体の前記軸受孔に挿通された主軸と、を相対的に移動させる駆動部が備えられ、前記制御部は、異常を検知したときに、前記駆動部を停止することが好ましい。
上記流体軸受の異常検知方法において、前記軸受本体と、該軸受本体の前記軸受孔に挿通された主軸と、を相対的に移動させる駆動部を設け、前記制御部は、異常を検知したときに、前記駆動部を停止することが好ましい。
【００４０】
この場合、制御部が異常を検知したときに、軸受本体と主軸とを相対移動させる駆動部を停止するので、加工装置の損傷や加工品のジャム（成形品詰まり）等を抑制できる。
【発明の効果】
【００４１】
本発明の流体軸受の異常検知装置及び異常検知方法によれば、オリフィスの流路に詰まりが生じたことを検知することができ、適正なタイミングでオリフィスの清掃を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の一実施形態に係るＤＩ加工装置に備えられる、一対のラムベアリング（流体軸受）を示す斜視図である。
【図２】図１の一対のラムベアリングのうち、フロントラムベアリングの断面図であり、フロントラムベアリングの異常検知装置を示す図である。
【図３】図１の一対のラムベアリングのうち、リアラムベアリングの断面図であり、リアラムベアリングの異常検知装置を示す図である。
【図４】栓部とオリフィスハウジングとを一体に形成したボルト状体（取り付け筒体）の、（ａ）部分断面図、（ｂ）図４（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図５】モニター及びその表示の一例を示す図である。
【図６】圧力と流量の測定値に基づいて、異常発生の原因等を判断するフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００４３】
以下、本発明の一実施形態に係る流体軸受１、流体軸受１の異常検知装置１０及び異常検知方法について、図１〜図６を参照して説明する。
本実施形態の流体軸受１及びその異常検知装置１０は、カップ状体にＤＩ加工を施してＤＩ缶とするＤＩ加工装置に備えられる。
【００４４】
まず、カップ状体から作製されるＤＩ缶について説明する。
ＤＩ缶とは、飲料等の内容物が充填、密封される缶体（２ピース缶やボトル缶）に用いられるものである。ＤＩ缶は、有底筒状をなしており、缶の周壁である缶胴（ウォール）と、缶の底壁である缶底（ボトム）とを有している。２ピース缶は、ＤＩ缶の開口端部に、円板状の缶蓋が巻き締められて作製される。ボトル缶は、ＤＩ缶にボトルネッキング加工が施された後、その開口端部にキャップが螺着されて作製される。なお、ＤＩ缶の「ＤＩ」とは、Ｄｒａｗｉｎｇ＆Ｉｒｏｎｉｎｇの略称である。
【００４５】
ＤＩ缶は、アルミニウム合金材料の板材から打ち抜いた円板状のブランクに、カッピング工程（絞り工程）及びＤＩ工程（絞りしごき工程）を施すことにより、有底筒状に形成される。具体的にＤＩ缶は、例えば２ピース缶の場合、板材打ち抜き工程、カッピング工程、ＤＩ工程、トリミング工程、印刷工程、塗装工程、ネッキング工程、ボトムリフォーム工程及びフランジング工程をこの順に経て、製造される。
【００４６】
ＤＩ缶を製造する過程では、ブランクをカッピングプレスによって絞り加工（カッピング加工）し、カップ状体に成形する。つまりカップ状体は、上記カッピング工程において、ブランクからＤＩ缶へ移行する過程で作製される成形中間体である。カップ状体は、ＤＩ缶よりも周壁の高さ（缶軸方向に沿う長さ）が小さく、底壁の直径が大きい有底筒状をなしている。
【００４７】
次に、ＤＩ加工装置について説明する。
ＤＩ加工装置は、上記ＤＩ工程に用いられるものであり、カップ状体にＤＩ加工（絞り（再絞り）しごき加工）を施して、ＤＩ缶に成形する。
【００４８】
ＤＩ加工装置は、カップ状体が載置される受け座と、カップ状体を再絞り加工するための断面円形の貫通孔を有する一枚の再絞りダイと、この再絞りダイと同軸に配列される断面円形の貫通孔を有する複数枚（例えば３枚）のアイアニング・ダイ（しごきダイ）と、アイアニング・ダイと同軸とされ、各アイアニング・ダイの貫通孔の内部に嵌合可能とされ、ダイの中心軸方向に移動自在とされる円筒状又は円柱状のパンチスリーブと、このパンチスリーブの外側に嵌合する円筒状のカップホルダースリーブと、パンチスリーブを先端に支持するラム軸（主軸）と、ラム軸をその中心軸方向に移動自在に軸支する一対のラムベアリング１Ｆ、１Ｒ（流体軸受１）と、を備えている。
【００４９】
上述した再絞りダイ、アイアニング・ダイ、パンチスリーブ及びカップホルダースリーブについては、例えば特開２００７−２１６３０２号公報に記載されたものを用いることができる。
再絞りダイ、アイアニング・ダイ、パンチスリーブ、カップホルダースリーブ、ラム軸及びラムベアリングの各中心軸は、互いに同軸とされ、水平方向に延びて配置されている。
【００５０】
ＤＩ加工装置によるカップ状体へのＤＩ加工は、下記のように行われる。
受け座に載置されたカップ状体は、そのカップ軸（缶軸）を水平方向に延ばし、その開口部をパンチスリーブへ向けた状態で、パンチスリーブと再絞りダイとの間に配置される。
【００５１】
このカップ状体に対して、カップホルダースリーブ及びパンチスリーブが前進移動する。そしてカップホルダースリーブが、再絞りダイの端面にカップ状体の底壁を押し付けてカップ押し付け動作を行いながら、パンチスリーブが、カップ状体を再絞りダイの貫通孔内に押し込んでいき、再絞り加工を施す。
【００５２】
再絞り加工により、カップ状体よりも小径でカップ軸方向に沿う長さ（高さ）が大きいカップ状体が成形される。引き続き、このカップ状体をパンチスリーブで押し込んでいき、複数のアイアニング・ダイを順次通過させつつ徐々にしごき加工していく。つまり、カップ状体の周壁をしごいて該周壁を延伸させ、周壁高さを高くするとともに壁厚を薄くして、有底筒状のＤＩ缶を成形する。このＤＩ缶は、周壁がしごかれることで冷間加工硬化され、強度が高められる。
【００５３】
しごき加工が終了したＤＩ缶は、パンチスリーブがさらに前方に押し出して底部（缶底となる部分）をボトム成形金型に押圧することにより、この底部がドーム形状に形成される。
【００５４】
次に、ラムベアリング１Ｆ、１Ｒ（流体軸受１）、ラムベアリング１Ｆ、１Ｒの異常検知装置１０及び異常検知方法について説明する。
図１において、一対のラムベアリング１Ｆ、１Ｒは、水平方向に延びるラム軸（不図示）に対応して、水平方向に互いに離間して配置されている。これらのラムベアリング１Ｆ、１Ｒのうち、パンチスリーブに近い位置に配置されたものをフロントラムベアリング１Ｆといい、パンチスリーブに対してフロントラムベアリング１Ｆよりも離間して配置されたものをリアラムベアリング１Ｒという。
これらのラムベアリング１Ｆ、１Ｒは、ハイドロスタティック軸受や静圧軸受等と呼ばれる流体軸受１である。
【００５５】
図２に示されるように、フロントラムベアリング１Ｆ及びその異常検知装置１０は、軸受本体２と、軸受本体２に形成された軸受孔３と、軸受孔３の内周面に、該軸受孔３の中心軸Ｏ回りに互いに間隔をあけて開口する複数のポケット４と、複数のポケット４に連通する複数の流路２８と、流路２８に着脱可能に配設されるオリフィス５と、複数のポケット４に保持される流体の圧力を測定する複数の圧力センサー２２と、制御部２７と、を備えている。
また、流路２８は、軸受本体２の内部に形成され、ポケット４に連通する第１流路１１と、軸受本体２の内部に形成され、第１流路１１が延在する方向に対して交差する向きに延びるとともに、第１流路１１に連通する第２流路１２と、を備えている。
【００５６】
また、このフロントラムベアリング１Ｆは、第１流路１１の延長線上に位置して軸受本体２の外面に開口する開口孔６と、開口孔６を塞ぐとともに、開口孔６に着脱可能に設けられた栓部７と、を備えている。
また、フロントラムベアリング１Ｆは、第１流路１１に着脱可能に配設される筒状のオリフィスハウジング８を備えており、該オリフィスハウジング８内には、オリフィス５が装着される。つまりオリフィス５は、オリフィスハウジング８を介して、第１流路１１に着脱可能に配設されている。
また、本実施形態のフロントラムベアリング１Ｆは、栓部７とオリフィスハウジング８とを一体に形成したボルト状体（取り付け筒体）９を備えている。
【００５７】
軸受本体２は、本体部１３と、軸受メタル部１４と、を備えている。
図１に示されるフロントラムベアリング１Ｆにおいて、本体部１３は、四角形板状をなす板状部と、該板状部の厚さ方向を向く両面（前後面）から軸受孔３の中心軸Ｏ（以下、ベアリング軸Ｏということがある）に沿ってそれぞれ突出する一対の筒状部と、を有する。
【００５８】
図２において、軸受メタル部１４は、筒状をなしており、本体部１３をベアリング軸Ｏ方向に貫通する孔の内部に嵌合している。そして、軸受メタル部１４をベアリング軸Ｏ方向に貫通する貫通孔が、ラム軸を軸支する軸受孔３とされている。つまり、軸受メタル部１４の内周面が、フロントラムベアリング１Ｆの軸受孔３の内周面に相当する。
【００５９】
軸受孔３の内周面には、ベアリング軸Ｏ回りの周方向に互いに間隔をあけて、ポケット４が複数形成されている。本実施形態では、軸受孔３の内周面に、ポケット４が周方向に等間隔をあけて少なくとも３つ以上形成されており、図示の例では４つ形成されている。
具体的には、軸受孔３の内周面のうち、上部、下部、及び一対の側部（左側部、右側部）にそれぞれポケット４が形成されており、これら４つのポケット４は、ベアリング軸Ｏ回りに（ベアリング軸Ｏを中心として）９０°回転対称となる位置に配置されている。
【００６０】
本実施形態の例では、ポケット４が、ラム軸の外周面に接近配置される凹状の開口部と、該開口部の底部中央に位置して軸受メタル部１４の周壁を貫通する孔部と、を有している。
【００６１】
各ポケット４には、油等の流体が保持される。詳しくは、ポケット４の開口部が、ラム軸の外周面に対向配置され、ポケット４及びラム軸の外周面により流体を保持可能な室が形成されて、この室内に流体が保持される。そして、ポケット４（室）に保持された流体に圧力を加えることで、フロントラムベアリング１Ｆは、流体圧によって軸受孔３の内周面からラム軸を離間させて（ラム軸を空中に浮かせて）支持する。
また、軸受孔３の内周面において、周方向に隣り合うポケット４同士の間には、ポケット４から流出した流体をベアリング外部に排出するための排出溝１５が形成されている。
【００６２】
軸受本体２の内部には、ベアリング外部からポケット４に流体を供給するための通路（流路２８）として、第１流路１１及び第２流路１２が形成されている。軸受本体２の内部に形成された流路２８には、該流路２８を部分的に狭めるための後述するオリフィス５が配設される。流路２８のうち、第１流路１１が延在する方向と、第２流路１２が延在する方向とは、互いに異なっており、これらの第１流路１１、第２流路１２同士は、互いに交差するように連通している。
【００６３】
図２に示される例では、第１流路１１が上下方向（縦方向）に延びており、第２流路１２が左右方向（横方向）に延びていて、これらの流路１１、１２同士が、互いに直交するように接続している。
ただしこれに限定されるものではなく、第１流路１１と第２流路１２とは、例えば、互いの間に９０°よりも大きい鈍角を形成するように交わっていてもよく、９０°未満の鋭角を形成するように交わっていてもよい。
【００６４】
本実施形態では、軸受孔３の内周面に開口する４つのポケット４に対応して、軸受本体２には４つの第１流路１１（流路２８）が形成されている。また、軸受本体２には、第２流路１２が１つ形成されている。そして、４つの第１流路１１のうち、上部ポケット４及び一対の側部ポケット４に連通する３つの第１流路１１に対して、１つの第２流路１２が接続している。図２に示される例では、下部ポケット４に連通する第１流路１１が、第２流路１２に接続することなく軸受本体２の外面に開口している。
【００６５】
本実施形態の例では、第１流路１１が、ポケット４に開口する小径流路１６と、小径流路１６のポケット４とは反対側の端部に接続し、該小径流路１６よりも内径が大きく形成された大径流路１７と、を有している。
【００６６】
小径流路１６は、ポケット４の中央に配置された孔部に開口している。小径流路１６のうちポケット４に接続する部分（流路先端部）は、該ポケット４から、ベアリング軸Ｏに直交する径方向の外側へ向けて延びている。図２に示される例では、第２流路１２に連通する３つの第１流路１１のうち、上部ポケット４に連通する第１流路１１の小径流路１６が、該上部ポケット４から上方へ向けて延びている。また、一対の側部ポケット４に連通する一対の第１流路１１の各小径流路１６は、側部ポケット４から側方へ向けて延びた後、上方に向きを変えるように延びている。
【００６７】
第１流路１１の小径流路１６の内径は、第２流路１２の内径よりも小さくされている。具体的に、例えば、第２流路１２の流路断面積は、該第２流路１２に接続する複数の第１流路１１における各小径流路１６の流路断面積の和よりも大きくされている。
【００６８】
大径流路１７は、上下方向に延びている。図２に示される例では、第２流路１２に連通する３つの第１流路１１における各大径流路１７の下端部が、小径流路１６にそれぞれ接続し、各大径流路１７の上端部は、第２流路１２に開口している。
また、大径流路１７の内周面には、雌ネジ部が形成されている。
【００６９】
本実施形態の例では、第２流路１２が、軸受本体２を左右方向に貫通して形成されている。第２流路１２の延在方向に沿う両端部のうち、一端部（図２における右端部）は、軸受本体２の側面（外面）に開口しているとともに、この開口部分が流体を受け入れる流入口とされ、他端部（図２における左端部）は、プラグ（栓）により閉塞されている。
【００７０】
このフロントラムベアリング１Ｆでは、軸受本体２における第２流路１２のベアリング軸Ｏ方向に沿う位置と、第１流路１１のベアリング軸Ｏ方向に沿う位置とが、互いに同一である。つまり、ベアリング軸Ｏに垂直な１つの仮想平面内に、第１流路１１及び第２流路１２がともに配置されている。
【００７１】
軸受本体２において、第１流路１１の上方へ向けた延長線上に位置する部分には、第１流路１１と同軸に配置された開口孔６が形成されている。図示の例では、開口孔６が、軸受本体２の外面に開口し、第２流路１２を通して、第１流路１１の大径流路１７に連通している。具体的に本実施形態では、開口孔６が、第１流路１１の延在方向に対応して上下方向に延びており、第１流路１１の上方に位置する第２流路１２を通して、第１流路１１に連通している。また、開口孔６の上端は、軸受本体２の上面（外面）に開口し、開口孔６の下端は、第２流路１２に開口している。
【００７２】
開口孔６の内径は、後述するボルト状体９の軸部の外径よりも大きく、ボルト状体９の頭部の外径よりも小さい。従って、開口孔６内には、ボルト状体９の軸部を挿通可能であり、頭部は挿通不可である。
【００７３】
図４（ａ）、（ｂ）に示されるように、ボルト状体（取り付け筒体）９は、軸部と、該軸部よりも外径が大きい頭部と、を有している。図２において、このボルト状体９が軸受本体２に装着されたときに、ボルト状体９の中心軸Ｃは、第１流路１１の大径流路１７の延在方向に沿って上下方向に延びて配置される。
【００７４】
図４（ａ）において、ボルト状体９の軸部と頭部とは、中心軸Ｃを共通軸として互いに同軸に配置されている。
軸部は、ボルト状体９の中心軸Ｃ方向に沿って延びている。軸部は、オリフィス５が装着される筒状のオリフィスハウジング８と、頭部に連結される中実部１８と、中実部１８とオリフィスハウジング８とを接続する筒状の接続部１９と、を有している。
【００７５】
オリフィスハウジング８の外周面には、雄ネジ部が形成されている。また、オリフィスハウジング８の内周面には、雌ネジ部が形成されている。
図２において、オリフィスハウジング８の雄ネジ部が、大径流路１７の雌ネジ部に螺着することにより、オリフィスハウジング８（及びボルト状体９）は、第１流路１１に対して取り外し可能に装着される。つまり、軸受本体２にボルト状体９が取り付けられたときに、オリフィスハウジング８は、大径流路１７内に配設される。
【００７６】
本実施形態の例では、図２に示されるように、オリフィスハウジング８内に配設されるオリフィス５が、筒状をなしている。オリフィス５には、該オリフィス５をその中心軸方向に貫通する貫通孔が形成されており、この貫通孔がオリフィス孔（絞り孔）とされている。オリフィス５は、オリフィスハウジング８に対して同軸に配置される。オリフィス５の外周面には、雄ネジ部が形成されており、該雄ネジ部がオリフィスハウジング８の雌ネジ部に螺着することにより、オリフィス５は、オリフィスハウジング８に取り外し可能に装着される。
【００７７】
軸受本体２内においてオリフィス５は、オリフィスハウジング８が配設される位置に対応して配置される。具体的に、オリフィス５は、第１流路１１のうちポケット４に開口する部分（小径流路１６）と、第２流路１２と、の間に位置する第１流路１１の部分（大径流路１７）に配設される。
オリフィス５のオリフィス孔の内径（オリフィス径）は、例えば１ｍｍ未満に設定される。軸受本体２の内部に形成された流路２８のうち、オリフィス５に対応する部分は、流路断面積が最も小さくされている。
【００７８】
図２に示される例では、オリフィス５の全長が、オリフィスハウジング８の下端から小径流路１６の上端までの距離よりも、長くされている。具体的には、オリフィスハウジング８の下端面に対して、オリフィス５の下端面が、下方に突出して配置されており、オリフィスハウジング８へのオリフィス５のねじ込み量（オリフィスハウジング８の中心軸Ｃ方向に沿う該オリフィスハウジング８に対するオリフィス５の挿入長さ）が、第１流路１１の延在する上下方向（上記中心軸Ｃ方向と同一の方向）に沿うオリフィスハウジング８の下端面から小径流路１６の上端縁までの長さよりも、大きくされている。
また、オリフィス５の外径が、第１流路１１の小径流路１６の内径よりも大きくされている。
これにより、第１流路１１の大径流路１７内において、オリフィス５がオリフィスハウジング８から脱落するようなことが防止されている。
【００７９】
図４（ａ）において、ボルト状体９の軸部の外径は、オリフィスハウジング８、中実部１８、接続部１９の順に小さくされている。
中実部１８は、中実の軸状をなしている。図２に示されるように、軸受本体２にボルト状体９が取り付けられたときに、中実部１８は、開口孔６内に配設される。
【００８０】
図２及び図４（ａ）、（ｂ）において、接続部１９の外周面には、中心軸Ｃ回りに互いに間隔をあけて複数の連通孔２０が開口している。接続部１９においてこれらの連通孔２０は、中心軸Ｃに直交する径方向に沿って延びており、互いに中心軸Ｃ回りに等間隔をあけて配置されているとともに、互いに中心軸Ｃ上で連通している。本実施形態の例では、接続部１９の外周面に、連通孔２０が４つ開口している。なお、接続部１９の外周面に開口する連通孔２０の数は、４つに限られるものではなく、例えば３つ以下や５つ以上であってもよい。また、これらの連通孔２０と、オリフィスハウジング８の内部（オリフィス５が配設される貫通孔）とは、互いに連通している。
【００８１】
図２に示されるように、軸受本体２にボルト状体９が取り付けられたときに、接続部１９は、第２流路１２内に配設される。そして、接続部１９の連通孔２０は、第１流路１１と第２流路１２とを連通する。具体的に、第２流路１２に開口する連通孔２０と、第１流路１１の大径流路１７とは、オリフィスハウジング８の貫通孔及びオリフィス５の貫通孔を通して互いに連通されており、これにより、第２流路１２と第１流路１１とが互いに連通している。
このように本実施形態では、有頂筒状をなすボルト状体９の内部を通して、第１流路１１と第２流路１２とが互いに連通する。
【００８２】
軸受本体２にボルト状体９が取り付けられたときに、該ボルト状体９の頭部は、軸受本体２の開口孔６を塞いで軸受本体２の上面（外面）に当接する。つまり、ボルト状体９の頭部は、開口孔６に取り外し可能に配設されて該開口孔６を閉じる栓部７とされている。
図２に示される例では、ボルト状体９の頭部と、軸受本体２の上面との間に、環状のパッキン（シール部材）２１が配設されている。
【００８３】
なお、本実施形態では、フロントラムベアリング１Ｆが、栓部７とオリフィスハウジング８とを一体に形成したボルト状体（取り付け筒体）９を備えていることとしたが、これに限定されるものではない。すなわち、例えば、開口孔６に装着される栓部７と、第１流路１１に装着されるオリフィスハウジング８とは、互いに別体に設けられていてもよい。
【００８４】
図１及び図２において、本実施形態のフロントラムベアリング１Ｆは、ポケット４に保持される流体の圧力を測定する圧力センサー２２と、軸受本体２の軸受孔３付近（軸受孔３に接近配置された部分）及びポケット４に保持される流体のうち、いずれかの温度を測定する温度センサー２３と、を備えている。
また、ＤＩ加工装置におけるベアリング外部には、複数の流路２８のオリフィス５よりも上流側に設けられ、該流路２８に供給される流体の流量を測定する流量計２４と、流体軸受１に対してラム軸（主軸）を移動させる駆動部２５と、圧力センサー２２、温度センサー２３及び流量計２４により測定された各測定値を表示するモニター（表示部）２６と、制御部２７と、が備えられる。
【００８５】
圧力センサー２２は、軸受孔３のポケット４からラム軸に作用する流体の圧力を測定する。具体的に、図２において圧力センサー２２は、軸受本体２の流路２８のうち、ポケット４とオリフィス５との間に位置する第１流路１１の部分（小径流路１６）、及び、ポケット４のうち、いずれかの流体圧を測定する。つまり、圧力センサー２２は、流路２８を通して間接的にポケット４に保持される流体の圧力を測定するか、又は、直接的にポケット４に保持される流体の圧力を測定する。
【００８６】
圧力センサー２２は、複数のポケット４の数に対応して、軸受本体２に複数設けられている。本実施形態の例では、軸受孔３の内周面に４つのポケット４が開口しており、これに対応して、圧力センサー２２が軸受本体２に４つ配設されている。
【００８７】
具体的に、図１及び図２において、軸受本体２に取り付けられた複数の圧力センサー２２には、上部ポケット４の流体圧を測定するものが１つ、一対の側部ポケット４に連通する各第１流路１１の流体圧を測定するものが２つ、下部ポケット４の流体圧を測定するものが１つ、含まれる。
【００８８】
本実施形態においては、温度センサー２３が、軸受本体２の軸受孔３付近及びポケット４に保持される流体のうち、前記軸受孔３付近の温度を測定する。具体的には、温度センサー２３が、軸受本体２のうち、軸受孔３を形成する軸受メタル部１４の温度を測定する。本実施形態の例では、温度センサー２３が、軸受メタル部１４の外周面の温度を測定するように軸受本体２に配設されている。
【００８９】
温度センサー２３は、軸受孔３の内周面に開口する複数のポケット４に対応して、軸受本体２に複数設けられている。本実施形態の例では、軸受孔３の内周面に４つのポケット４が形成されており、これに対応して、温度センサー２３が軸受本体２に４つ配設されている。また、温度センサー２３としては、例えば熱電対が用いられる。
【００９０】
詳しくは、軸受本体２に取り付けられた複数の温度センサー２３には、軸受メタル部１４のうち、上部ポケット４に対応する部分の温度を測定するもの（不図示）が１つ、一対の側部ポケット４に対応する各部分の温度を測定するものが２つ、下部ポケット４に対応する部分の温度を測定するものが１つ、含まれる。
【００９１】
図２に示される例では、４つのポケットのうち、一対の側部ポケット４に対応して軸受本体２に設けられた一対の圧力センサー２２及び一対の温度センサー２３が、ベアリング軸Ｏに垂直な１つの仮想平面内に配置されている。また、下部ポケット４に対応して軸受本体２に設けられた温度センサー２３も、上記仮想平面内に配置されている。
具体的には、軸受本体２に４つずつ設けられた圧力センサー２２及び温度センサー２３のうち、上記した２つの圧力センサー２２及び３つの温度センサー２３は、軸受本体２の本体部１３における板状部に配置されており、上記以外の２つの圧力センサー２２及び１つの温度センサー２３は、本体部１３における筒状部に配設されている。
【００９２】
特に図示していないが、フロントラムベアリング１Ｆの内部又は外部には、軸受本体２の流路２８に供給される油等の流体の温度（供給温度）を測定する供給流体用温度センサーが備えられている。
供給流体用温度センサーが、フロントラムベアリング１Ｆの内部において流体の温度を測定する場合には、該供給流体用温度センサーは、オリフィス５よりも上流側の、例えば第２流路１２の流体の温度を測定するように配設される。また、供給流体用温度センサーが、フロントラムベアリング１Ｆの外部において流体の温度を測定する場合には、該供給流体用温度センサーは、例えば流量計２４の下流側又は上流側の流体の温度を測定するように配設される。
【００９３】
流量計２４は、油等の流体を加圧して軸受本体２の流路２８に供給する加圧ポンプ等の加圧流体供給源（不図示）と、軸受本体２の流路２８と、の間の配管経路に設けられている。本実施形態の例では、流量計２４は、１つのフロントラムベアリング１Ｆに対して、１つ設けられている。つまり、フロントラムベアリング１Ｆの４つの流路２８に対して、これらの流路２８の上流側に、１つの流量計２４が設けられている。ただしこれに限定されるものではなく、例えば流量計２４は、フロントラムベアリング１Ｆの複数のポケット４に対応して、複数設けられていてもよい。また、本実施形態では、流量計２４がベアリング外部に設けられているが、例えば、ベアリングの外形が大きく流量計２４を収容可能な場合には、軸受本体２の内部における流路２８のオリフィス５よりも上流側に、流量計２４を設けてもよい。
【００９４】
図２において、加圧流体供給源から流量計２４を通り、該流量計２４から軸受本体２へ向けて流出した流体は、該軸受本体２の外部又は内部で分岐された流路内を通って、各ポケット４へと供給される。なお、図２においては、流量計２４から、上部ポケット４及び一対の側部ポケット４に連通する第２流路１２へ向けた配管経路のみを図示しており、流量計２４から、下部ポケット４に連通する第１流路１１へ向けた配管経路については図示を省略している。
【００９５】
駆動部２５は、軸受本体２と、該軸受本体２の軸受孔３に挿通されたラム軸（主軸）と、を相対的に移動させる。本実施形態では、駆動部２５が、一対のラムベアリング１Ｆ、１Ｒに対して、ラム軸をその中心軸方向（ベアリング軸Ｏ方向）に往復移動させる。
【００９６】
図５に示されるように、モニター２６には、少なくとも圧力センサー２２が測定した圧力の測定値が表示される。本実施形態では、モニター２６に、圧力センサー２２が測定した圧力の測定値、温度センサー２３が測定した温度の測定値、及び、流量計２４が測定した流量の測定値（単位時間あたりの流体の流量）が表示される。
また、モニター２６には、必要に応じて各測定値に関連するアラーム値（異常判定値）等が表示される。
【００９７】
図５において、本実施形態では、モニター２６には上記した各測定値以外に、各種のアラーム値及び上記以外の測定値等が表示される。具体的には、温度の上限値である温度上限アラーム値（所定値）、圧力の下限値である圧力下限アラーム値（所定値）、圧力の測定値のうちＭＡＸ値、ＭＩＮ値、圧力差（ＭＡＸ値−ＭＩＮ値）、及び、圧力差の上限値である圧力差アラーム値（所定値）が表示される。
【００９８】
なお、特に図示していないが、モニター２６にはさらに、圧力の上限値である圧力上限アラーム値（所定値）が表示されてもよい。また、流量の適正な数値範囲のうち、上限値である流量上限アラーム値（所定値）及び下限値である流量下限アラーム値（所定値）が表示されてもよい。
また、フロントラムベアリング１Ｆに供給される油等の流体の温度（供給温度）、前記流体の温度の適正な数値範囲のうち、上限値である流体温度上限アラーム値（所定値）及び下限値である流体温度下限アラーム値（所定値）等が表示されてもよい。
【００９９】
また、モニター２６には、圧力センサー２２、温度センサー２３及び流量計２４により測定した各測定値、並びに、圧力のＭＡＸ値、ＭＩＮ値、圧力差等の各数値を、継時的な測定結果として示す複数種類のグラフや表（一覧表）が表示可能である。
なお、モニター２６は、作業者が画面をタッチすることにより、所期する操作（例えば各種のデータ（記録した測定値、グラフ、表）を表示させる操作や、装置の設定操作等）を行うことが可能なタッチパネル等であってもよい。
【０１００】
制御部２７は、圧力センサー２２、温度センサー２３、流量計２４、駆動部２５及びモニター２６等の各電気部品に、電気的に接続されている。制御部２７は、圧力センサー２２、温度センサー２３及び流量計２４が測定した各測定値を、所定時間にわたって記録することができ、また、モニター２６に表示させることができる。
【０１０１】
そして、制御部２７は、複数の圧力センサー２２が測定した圧力の測定値のうち、最大値（ＭＡＸ値）と最小値（ＭＩＮ値）との差（上記圧力差。具体的には最大圧力差）が、所定値（圧力差アラーム値）以上となったときに、異常を検知する。
本実施形態では、圧力のＭＡＸ値とＭＩＮ値との差が、例えば０．５０ＭＰａ以上となったときに、制御部２７が異常を検知する。
【０１０２】
また、上記異常検知に代えて、又はこれとともに、制御部２７は、複数の圧力センサー２２が測定した圧力の測定値のうち、最小値（ＭＩＮ値）が所定値（圧力下限アラーム値）以下となったとき、又は、最大値（ＭＡＸ値）が所定値（圧力上限アラーム値）以上となったときに、異常を検知する。
本実施形態では、圧力のＭＩＮ値が、例えば２．５０ＭＰａ以下となったときに、制御部２７が異常を検知する。また、圧力のＭＡＸ値が、例えば９．０ＭＰａ以上となったときに、制御部２７が異常を検知することとしてもよい。
【０１０３】
また、制御部２７は、温度センサー２３が測定した温度の測定値が所定値（温度上限アラーム値）以上となったときに、異常を検知する。詳しくは、複数の温度センサー２３が測定した温度の各測定値のうち、最大値（ＭＡＸ値）が所定値（温度上限アラーム値）以上となったときに、制御部２７が異常を検知する。
本実施形態では、温度（のＭＡＸ値）が、例えば５０．０℃以上となったときに、制御部２７が異常を検知する。
【０１０４】
また、制御部２７は、流量計２４が測定した流量の測定値が所定の数値範囲外となったときに、異常を検知する。詳しくは、流量計２４が測定した流量の測定値が、所定の数値範囲（予め設定した適正な数値範囲）の上限値（流量上限アラーム値）よりも大きくなったとき、及び、下限値（流量下限アラーム値）よりも小さくなったときのいずれかにおいて、制御部２７は異常を検知する。
本実施形態では、流量の適正な数値範囲が、例えば２〜２０Ｌ／ｍｉｎである。
【０１０５】
また、制御部２７は、供給流体用温度センサー（軸受本体２の流路２８に供給される流体の温度（供給温度）を測定する温度センサー）が測定した温度の測定値が所定の数値範囲外となったときに、異常を検知する。詳しくは、供給流体用温度センサーが測定した温度の測定値が、所定の数値範囲（予め設定した適正な数値範囲）の上限値（流体温度上限アラーム値）よりも大きくなったとき、及び、下限値（流体温度下限アラーム値）よりも小さくなったときのいずれかにおいて、制御部２７は異常を検知する。
本実施形態では、軸受本体２の流路２８に供給される流体の温度の適正な数値範囲が、例えば２０〜５０℃である。
【０１０６】
そして、制御部２７が異常を検知したときには、異常を検知するまでの各測定値等（複数種類の測定値及び上記圧力差等）の推移を、モニター２６に所定時間遡って表示することが可能である。
具体的に、制御部２７は、異常を検知した後、各測定値等の記録を停止する。そしてモニター２６に、例えば１０分程度の時間を遡って、各測定値等について、折れ線グラフなどの波形や一覧表等によりデータを表示させる。
【０１０７】
また、制御部２７は、異常を検知したときに、駆動部２５を停止する。
具体的に、制御部２７は、異常を検知したときに、少なくとも駆動部２５を停止させ、かつ、例えばモニター２６に異常を検知したことを表示させ、不図示のブザーを鳴らしたり、不図示のランプを点灯（明滅など）させたりする等によって、異常を検知したことを作業者に知らせる。
【０１０８】
図６に示されるものは、制御部２７が、圧力センサー２２の測定値等の異常を検知した場合に、その原因等を判断するためのフロー図の一例である。なお、このフロー図は、制御部２７が異常を検知する以前において、モニター２６に表示される圧力の測定値等に増減の変化が認められる場合にも、予め参照することができる。
【０１０９】
図６における上段は、流体の「圧力」の変化を場合分けして表している。
具体的には、例えば、圧力（の測定値）が、複数のポケット４全体に所定値（圧力上限アラーム値）以上に高くなった場合又は所定値（圧力下限アラーム値）以下に低くなった場合、圧力が、複数のポケット４のうち特定のポケット４について所定値（圧力上限アラーム値）以上に高くなった場合又は所定値（圧力下限アラーム値）以下に低くなった場合、及び、最大圧力差（ＭＡＸ値−ＭＩＮ値）が、所定値（圧力差アラーム値）以上に大きくなった場合、をそれぞれ表している。
【０１１０】
また、図６における下段は、流体の「流量」の変化を場合分けして表している。
具体的には、上述した圧力の変化を場合分けした各ケースにおいて、例えば、流量（の測定値）が、高い場合（適正な数値範囲外であり、流量上限アラーム値よりも大きい場合）、適正な数値範囲の場合、低い場合（適正な数値範囲外であり、流量下限アラーム値よりも小さい場合）、をそれぞれ表している。
【０１１１】
そして、圧力に変化が生じた場合に、この圧力の測定値と流量の測定値との組合せによって、図６に示される(I)〜(XIII)に応じて、下記のように原因を判断したり推定したりすることができる。
なお、実際には下記(I)〜(XIII)のすべての事例が起こり得るわけではないことから、異常の発生が考えにくい事例については「経験無し」としている。経験無しの事例が発生した場合は、装置を分解したり各構成要素を検査したりして、適宜原因を究明すればよい。
【０１１２】
(I)…流体の供給元圧の設定異常。リリーフ弁故障。
(II)…経験無し。
(III)…経験無し。
(IV)…経験無し。
(V)…経験無し。
(VI)…流体の供給元圧の設定異常。供給流体用のフィルタ詰まり。リリーフ弁故障。加圧ポンプ（加圧流体供給源）故障。
(VII)…経験無し。
(VIII)…オリフィス詰まり。
(IX)…オリフィス詰まり。
(X)…オリフィス内径異常（オリフィス孔の変形、拡大）。
(XI)…ラムベアリング内径異常（軸受孔の摩耗等による部分的な変形）。
(XII)…経験無し。
(XIII)…オリフィス詰まり。オリフィス内径異常（オリフィス孔の変形、拡大）。ラムベアリング内径異常（軸受孔の摩耗等による部分的な変形）。
【０１１３】
次に、図１及び図３に示されるリアラムベアリング１Ｒ、リアラムベアリング１Ｒの異常検知装置１０及び異常検知方法について説明する。なお、前述したフロントラムベアリング１Ｆと同じ構成要素については詳細な説明を省略し、主として異なる点についてのみ、下記に説明する。
【０１１４】
リアラムベアリング１Ｒの軸受本体２は、その本体部１３が直方体状をなしている。本体部１３には、ラムベアリング１Ｆ、１Ｒの各軸受孔３同士をベアリング軸Ｏ上に同軸に位置合わせ（芯合わせ）するための調整ネジが複数配設されている。
【０１１５】
図３に示されるように、このリアラムベアリング１Ｒでは、軸受本体２における第１流路１１のベアリング軸Ｏ方向に沿う位置と、第２流路１２のベアリング軸Ｏ方向に沿う位置とが、互いに異なっている。つまり、第１流路１１が配置されるベアリング軸Ｏに垂直な仮想平面と、第２流路１２が配置されるベアリング軸Ｏに垂直な仮想平面とは、互いにベアリング軸Ｏ方向に離間する異なった面である。
【０１１６】
また、軸受本体２において開口孔６は、第２流路１２を通ることなく、直接的に第１流路１１の大径流路１７に接続している。そして、開口孔６と第１流路１１との接続部分に対して、第２流路１２が、ベアリング軸Ｏ方向から接続しているとともに、第１流路１１に連通する。
具体的に、第１流路１１と第２流路１２とが交差して接続する部分には、ボルト状体９における接続部１９及びその連通孔２０が配置されており、該連通孔２０を通して、第１流路１１と第２流路１２とが連通している。
【０１１７】
このリアラムベアリング１Ｒにおいては、軸受孔３に形成される複数のポケット４のうち、所定の（１つの）ポケット４に対応して軸受本体２に設けられた圧力センサー２２と温度センサー２３とが、ベアリング軸Ｏ方向に互いに離間して配置されている。
【０１１８】
リアラムベアリング１Ｒに接続される流量計２４としては、前述したフロントラムベアリング１Ｆに接続される流量計２４とは、別体が用いられる。つまり、本実施形態の例では、ＤＩ加工装置に、各ラムベアリング１Ｆ、１Ｒ用として２つの流量計２４が設けられている。
図２及び図３に示される駆動部２５、モニター２６及び制御部２７については、両ラムベアリング１Ｆ、１Ｒ共用であり、同一品（共通品）である。
【０１１９】
以上説明した本実施形態の流体軸受１（１Ｆ、１Ｒ）の異常検知装置１０及び異常検知方法によれば、複数のポケット４に連通する各流路２８に、オリフィス５が着脱可能に設けられている。また、各ポケット４に保持される流体の圧力を測定する圧力センサー２２が設けられている。つまり、複数の圧力センサー２２によって、複数のポケット４の流体圧を、それぞれ測定することができる。
【０１２０】
そして、これらの圧力センサー２２が測定した圧力の測定値のうち、最大値と最小値との差（圧力差）が所定値以上に大きくなったときに、制御部２７が異常を検知する。つまり、複数の圧力センサー２２が測定した各測定値同士の間の最大圧力差が、所定値（圧力差アラーム値）以上となったときに、オリフィス詰まりが発生したものとして、異常と判断する。
【０１２１】
具体的に、複数のポケット４の流路２８に設けられる各オリフィス５のうち、いずれかのオリフィス５の流路に詰まりが生じると、このオリフィス５の流路が連通するポケット４の流体圧を測定する圧力センサー２２の測定値に変化が生じて、各圧力センサー２２の測定値同士の間の圧力差が大きくなる。
そして本実施形態では、このように各ポケット４同士の間で流体の圧力差が生じた場合に、圧力の最大値と最小値との差（最大圧力差）が所定値よりも小さければ異常とは判断せず、所定値以上に大きくなったときに、軸受孔３の中心軸Ｏと、ラム軸の中心軸との同軸度が十分に確保できなくなったものとして（又はそのおそれがあるものとして）、異常と判断する。
【０１２２】
また本実施形態では、複数の圧力センサー２２が測定した圧力の測定値のうち、最小値が所定値（圧力下限アラーム値）以下に小さくなったとき、又は、最大値が所定値（圧力上限アラーム値）以上に大きくなったときに、オリフィス詰まりが発生したものとして、制御部２７が異常を検知する。
【０１２３】
具体的に、複数のポケット４の流路２８に設けられる各オリフィス５のうち、いずれかのオリフィス５の流路に詰まりが生じると、このオリフィス５の流路が連通するポケット４の流体圧を測定する圧力センサー２２の測定値に変化が生じる。
そして本実施形態では、このように圧力センサー２２の測定値に変化が生じたときに、圧力の最小値が所定値よりも大きい場合、又は、圧力の最大値が所定値よりも小さい場合には、異常とは判断せず、圧力の最小値が所定値以下に小さくなった場合、又は、圧力の最大値が所定値以上に大きくなったときに、軸受孔３の中心軸Ｏと、ラム軸の中心軸との同軸度が十分に確保できなくなったものとして（又はそのおそれがあるものとして）、異常と判断する。
【０１２４】
従って、上記の各所定値を適宜設定することにより、異常（オリフィス詰まり）を確実に検知して、オリフィス５を適正なタイミングで清掃することができる。
つまり、従来のようにオリフィス５を過度に（必要以上に）高い頻度で清掃して手間をかけることなく、ＤＩ加工装置によるＤＩ缶の加工精度を良好に維持でき、かつ、流体軸受１（１Ｆ、１Ｒ）やラム軸に摩耗や損傷等が発生するようなことを防止できる。
【０１２５】
以上より本実施形態によれば、オリフィス５の流路に詰まりが生じたことを検知することができ、適正なタイミングでオリフィス５の清掃を行うことができる。
【０１２６】
また本実施形態では、軸受孔３の内周面に、該軸受孔３の中心軸Ｏ回りに等間隔をあけて少なくとも３つ以上のポケット４が形成されているので、これらのポケット４に保持される流体の圧力により、軸受孔３の内周面からラム軸を確実に離間させることができるとともに、同軸に配置しやすくなり、ラム軸を安定して軸支できる。
そして、３つ以上のポケット４に保持された流体の圧力を、ポケット４と同数の３つ以上の圧力センサー２２で測定することにより、異常検知の精度を高めることができ、上述した本実施形態の作用効果がより安定的に奏功される。
なお本実施形態では、軸受孔３の内周面に、該軸受孔３の中心軸Ｏ回りに等間隔をあけて４つのポケット４が形成されているので、装置の構造を複雑にし過ぎることなく、本実施形態の作用効果をより格別顕著なものとすることができる。
【０１２７】
また本実施形態では、制御部２７が、温度センサー２３が測定した温度の測定値が所定値（温度上限アラーム値）以上となったときに、異常を検知するので、下記の作用効果を奏する。
【０１２８】
すなわち、オリフィス詰まりが発生し、このオリフィス５が配設された流路２８に対応するポケット４の流体圧が低下すると、軸受孔３の中心軸Ｏと、該軸受孔３に軸支されるラム軸の中心軸との軸位置がずれていく。これらの軸間距離が大きくなっていくと、最終的には、軸受孔３の内周面に対してラム軸の外周面が接触する。
【０１２９】
本実施形態の上記構成によれば、軸受本体２の軸受孔３付近（軸受孔３に接近配置された部分）及びポケット４に保持される流体のうち、いずれかの温度を測定する温度センサー２３が設けられている。そして、温度センサー２３の測定値が所定値以上に大きくなったときに、制御部２７が異常を検知する。
つまり、軸受孔３とラム軸とが接触したときに、その接触抵抗（摩擦）により軸受孔３付近やポケット４内の流体の温度が上昇したことを、温度センサー２３が測定した温度の測定値に基づいて判断することができる。従って、上述した圧力センサー２２による異常検知と相俟って、流体軸受１（１Ｆ、１Ｒ）の異常の検知をより確実に行うことができる。
【０１３０】
また本実施形態では、軸受孔３の内周面に開口する複数のポケット４に対応して、複数の温度センサー２３が設けられている。従って、オリフィス詰まりが発生し、これらのポケット４のうち、特定のポケット４に向けてラム軸が接近し、軸受孔３の内周面に接触した場合であっても、該ポケット４近傍の温度上昇を、このポケット４に対応する温度センサー２３により精度よく測定することができる。従って、異常検知の精度が高められる。
【０１３１】
また本実施形態では、複数の流路２８のオリフィス５よりも上流側に、流量計２４が備えられており、流量計２４が測定した流量の測定値が所定の数値範囲外となったとき（適正な数値範囲内から上下いずれかに外れたとき）に、制御部２７が異常を検知する。
すなわち、例えば、オリフィス詰まりが複数のオリフィス５全体に進行している場合や、流体の供給元圧の設定異常、リリーフ弁の故障などが生じた場合においては、流量計２４の測定値が、所定の数値範囲よりも小さくなったり大きくなったりするので（流量下限アラーム値よりも小さくなったり、流量上限アラーム値よりも大きくなったりするので）、この測定値に基づいて異常を判断することができる。従って、異常の検知をより確実に行うことができる。
【０１３２】
また本実施形態では、供給流体用温度センサーが測定した温度の測定値が所定の数値範囲外となったときに、制御部２７が異常を検知するので、下記の作用効果を奏する。
【０１３３】
すなわち、軸受本体２の流路２８に供給される流体の温度が、該流体の種別に応じた所定の数値範囲外となったとき（適正な数値範囲内から上下いずれかに外れたとき）には、流体の粘性等に変化が生じて、所期する流体の機能（軸受孔３の内周面からラム軸を浮かせて、これらの摺動を潤滑する機能等）が安定して得られなくなるおそれがある。例えば、流路２８に供給される流体の温度が所定の数値範囲（の下限）より低い場合には、流体の粘性が増大して滑らかな摺動を促せなくなることがある。前記流体の温度が所定の数値範囲（の上限）より高い場合には、流体の粘性が低下してポケット４から流出しやすくなり、流体による摺動機能や芯合わせ機能が安定しなくなることがある。また、流路２８に供給される流体の温度が所定の数値範囲（の上限）より高いと、流体軸受１の金属部品（軸受メタル部１４など）が温度上昇しやすくなり、焼き付き等の原因にもなる。
【０１３４】
本実施形態の上記構成によれば、軸受本体２の流路２８に供給される流体の温度を測定する供給流体用温度センサーが設けられており、該供給流体用温度センサーの測定値が所定の数値範囲外となったときに、制御部２７が異常を検知する。
従って、ポケット４に保持される流体の機能を安定して発揮させることができるとともに、流体の機能が十分に発揮できなくなるおそれが生じたときには異常を検知して、軸受孔３及びラム軸の摩耗や損傷等を防止することができる。また、流体軸受１の金属部品の焼き付き等を防止できる。
【０１３５】
また本実施形態では、少なくとも圧力センサー２２が測定した圧力の測定値を表示するモニター（表示部）２６が備えられ、制御部２７が異常を検知したときに、異常を検知するまでの測定値の推移を、モニター２６に所定時間遡って表示可能であるので、下記の作用効果を奏する。
【０１３６】
すなわちこの場合、少なくとも圧力センサー２２が測定した圧力の測定値を表示するモニター２６が備えられているので、圧力の測定値がどのような状況にあるか（高いか低いか）を、作業者が必要に応じて確認できる。
そして、制御部２７が異常を検知したときに、異常を検知するまでの測定値の推移を、モニター２６に所定時間遡って表示可能であるので、異常が発生した時に、たとえ作業者がその場に居合わせなくても、異常発生までの測定値の推移を遡って確認することができる。従って、異常がいつ発生したかを確認したり、異常発生箇所や原因を特定したりすることなどが可能になる。
【０１３７】
なお、本実施形態では、モニター２６に、上記圧力センサー２２が測定した圧力の測定値の他、圧力のＭＡＸ値、ＭＩＮ値、圧力差（ＭＡＸ値−ＭＩＮ値）、温度センサー２３が測定した温度の測定値、及び、流量計２４が測定した流量の測定値（単位時間あたりの流体の流量）が表示される。また、モニター２６には、上述の各測定値等に関連するアラーム値（異常判定値）が表示される。さらに、上述の各測定値等を、継時的な測定結果として複数種類のグラフや表（一覧表）により表示可能である。
従って、作業者が必要に応じて各種のデータを確認することができる。また、異常が発生した場合には、異常がいつ発生したかを確認したり、異常発生箇所や原因を特定したりする作業がより精度よく行え、かつ容易になる。
【０１３８】
また本実施形態では、制御部２７が異常を検知したときに、軸受本体２とラム軸とを相対移動させる駆動部２５を停止するので、ＤＩ加工装置の損傷やワークのジャム（成形品詰まり）等を抑制できる。
【０１３９】
なお、本実施形態では、制御部２７が、異常を検知したときに、少なくとも駆動部２５を停止させ、かつ、例えばモニター２６に異常を検知したことを表示させ、ブザーを鳴らしたり、ランプを点灯（明滅など）させたりする等によって、異常を検知したことを作業者に知らせる。従って、上述した作用効果を奏するとともに、ＤＩ加工装置を異常発生状態から早期に復帰させることが可能になる。
【０１４０】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【０１４１】
例えば、前述の実施形態では、流体軸受１及びその異常検知装置１０が、カップ状体にＤＩ加工を施してＤＩ缶とするＤＩ加工装置に設けられることとしたが、これに限定されるものではない。つまり、本発明の流体軸受及びその異常検知装置は、前述したＤＩ加工装置以外の種々の装置（加工装置等）に設けることが可能であるとともに、前述同様に優れた作用効果を奏する。
【０１４２】
また、前述の実施形態では、一対のラムベアリング１Ｆ、１Ｒが、ラム軸（主軸）を中心軸Ｏ方向に移動自在（つまりスライド移動自在）に軸支することとしたが、これに限定されるものではない。例えば、本発明をＤＩ加工装置以外の装置に適用する場合などにおいて、一対のラムベアリング１Ｆ、１Ｒは、ラム軸をその中心軸Ｏ回りに回転移動自在に軸支することとしてもよい。この場合、駆動部２５は、一対のラムベアリング１Ｆ、１Ｒに対して、ラム軸をその中心軸Ｏ回りに回転移動させる。
【０１４３】
また、前述の実施形態では、一対のラムベアリング１Ｆ、１Ｒが、水平方向に延びるラム軸に対応して、水平方向に互いに離間して配置されることとしたが、これに限定されるものではない。例えば、本発明をＤＩ加工装置以外の装置に適用する場合などにおいて、一対のラムベアリング１Ｆ、１Ｒが、鉛直方向に延びるラム軸に対応して、鉛直方向に互いに離間して配置されていてもよい。
【０１４４】
また、前述の実施形態では、制御部２７が、複数の圧力センサー２２が測定した圧力の測定値（ＭＡＸ値、ＭＩＮ値、ＭＡＸ値−ＭＩＮ値）のいずれかに基づいて、異常を検知し、それ以外に下記の条件においても、異常を検知することとした。すなわち、温度センサー２３が測定した温度の測定値が所定値以上となったとき、流量計２４が測定した流量の測定値が所定の数値範囲外となったとき、及び、供給流体用温度センサーが測定した温度の測定値が所定の数値範囲外となったときにも、制御部２７が異常を検知する。ただし本発明はこれに限定されるものではなく、制御部２７は、少なくとも複数の圧力センサー２２が測定した圧力の測定値（ＭＡＸ値、ＭＩＮ値、ＭＡＸ値−ＭＩＮ値）のいずれかに基づいて異常を検知すればよく、それ以外の上記条件においては異常を検知しなくてもよい。従ってこの場合、温度センサー２３、流量計２４及び供給流体用温度センサーは設けられていなくてもよい。
ただし、制御部２７が、圧力以外の温度や流量等の条件によっても異常を検知することにより、本発明の作用効果がより格別顕著なものとなることから、好ましい。
【０１４５】
また、前述の実施形態では、少なくとも圧力センサー２２が測定した圧力の測定値を含む各種のデータを表示可能なモニター（表示部）２６が設けられることとしたが、モニター２６は設けられていなくてもよい。
【０１４６】
その他、本発明の趣旨から逸脱しない範囲において、前述の実施形態、変形例及びなお書き等で説明した各構成（構成要素）を組み合わせてもよく、また、構成の付加、省略、置換、その他の変更が可能である。また本発明は、前述した実施形態によって限定されることはなく、特許請求の範囲によってのみ限定される。
【産業上の利用可能性】
【０１４７】
本発明の流体軸受の異常検知装置及び異常検知方法は、オリフィスの流路に詰まりが生じたことを検知することができ、適正なタイミングでオリフィスの清掃を行うことができる。従って、産業上の利用可能性を有する。
【符号の説明】
【０１４８】
１  流体軸受
１Ｆ  フロントラムベアリング（流体軸受）
１Ｒ  リアラムベアリング（流体軸受）
２  軸受本体
３  軸受孔
４  ポケット
５  オリフィス
１０  流体軸受の異常検知装置
２２  圧力センサー
２３  温度センサー
２４  流量計
２５  駆動部
２６  モニター（表示部）
２７  制御部
２８  流路
Ｏ  ベアリング軸（軸受孔の中心軸）
【図１】
2017210991.tif 000003
【図２】
2017210991.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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