(57)【要約】【課題】ミラーがロックされた状態で光源から光が出射されることによりプロジェクタを適切に使用することができなくなるのを抑制することが可能なプロジェクタを提供する。【解決手段】このプロジェクタ１は、光源４（５、６）から出射された光を反射するミラー１１１と、ミラー１１１を揺動可能に支持する支持部とを含む非共振型の垂直振動ミラー素子１１と、駆動信号によりミラー１１１を揺動させるミラー駆動回路１４２を制御するとともに、ミラー１１１の揺動状態に基づいてミラー１１１が共振したか否かを検出する制御を行うＣＰＵ１４５とを備え、ＣＰＵ１４５は、ミラー１１１の共振が検出されない場合には、光源４（５、６）からの光の出射を停止する制御を行うように構成されている。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から出射された光を反射するミラーと、前記ミラーを揺動可能に支持する支持部とを含む非共振型の振動ミラー素子と、
駆動信号により前記ミラーを揺動させるミラー駆動部を制御するとともに、前記ミラーの揺動状態に基づいて前記ミラーが共振したか否かを検出する制御部とを備え、
前記制御部は、前記ミラーの共振が検出されない場合には、前記光源からの光の出射を停止する制御を行うように構成されている、プロジェクタ。
【請求項２】
前記制御部は、所定のフレームにおいて前記ミラーの共振の検出を行うように構成されている、請求項１に記載のプロジェクタ。
【請求項３】
前記制御部は、前記ミラーの振動信号を検出することにより前記ミラーの揺動状態を検出するように構成され、
前記ミラーの振動信号を増幅するための信号増幅部をさらに備える、請求項１または２に記載のプロジェクタ。
【請求項４】
前記制御部は、共振が抑制された状態で前記ミラーを駆動させるための駆動補正制御を停止することによって前記ミラーを共振するように駆動させる制御を行うように構成されている、請求項１または２に記載のプロジェクタ。
【請求項５】
前記制御部は、共振が抑制された状態で前記ミラーを駆動させるための駆動補正に関するパラメータを変更して前記ミラーを共振するように駆動させる制御を行うように構成されている、請求項１または２に記載のプロジェクタ。
【請求項６】
前記制御部は、駆動補正に関するパラメータのうち、振幅、または、位相のうち少なくとも一方を変更する制御を行うように構成されている、請求項５に記載のプロジェクタ。
【請求項７】
前記制御部は、共振が抑制された状態で前記ミラーを駆動させるための駆動補正に関するパラメータを変更して前記ミラーを共振するように駆動させるか、または、前記駆動補正に関するパラメータを用いて共振が抑制された状態で前記ミラーの振幅を増幅させることによって、前記ミラーで発生した共振を検出して前記ミラーで発生する共振を抑制するための抑制周波数を更新する制御を行うように構成されている、請求項１または２に記載のプロジェクタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、プロジェクタに関し、特に、振動ミラー素子を備えたプロジェクタに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、振動ミラー素子を備えたプロジェクタが知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１には、光源から出射された光を反射するミラーを備える振動ミラー素子と、制御部とを備えるプロジェクタが開示されている。
【０００４】
また、振動ミラー素子の振動検出信号を検出することにより、振動ミラー素子の振動状態を判断する技術（以下、振動状態判断技術という）が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−１７４３５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記の振動状態判断技術を特許文献１のプロジェクタに適用した場合には、ミラーの脱落などにより電気的に振動検出信号が検知できなくなったことに基づいて、振動ミラー素子が不適切な状態になったことを検出することができる。しかしながら、ミラーがロックされた（動かないように固定された）場合には、ミラーが機械的にロックされた状態でも電気的には振動ミラー素子からは振動検出信号が出力されるので、電気的には振動検出信号が検知される。このため、ミラーがロックされた状態になったことを検出することが困難であり、ミラーがロックされた状態で光源から光が出射されることによりプロジェクタを適切に使用することができないという問題点がある。
【０００７】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、ミラーがロックされた状態で光源から光が出射されることによりプロジェクタを適切に使用することができなくなるのを抑制することが可能なプロジェクタを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明の一の局面によるプロジェクタは、光源から出射された光を反射するミラーと、ミラーを揺動可能に支持する支持部とを含む非共振型の振動ミラー素子と、駆動信号によりミラーを揺動させるミラー駆動部を制御するとともに、ミラーの揺動状態に基づいてミラーが共振したか否かを検出する制御部とを備え、制御部は、ミラーの共振が検出されない場合には、光源からの光の出射を停止する制御を行うように構成されている。
【０００９】
この発明の一の局面によるプロジェクタでは、上記のように、駆動信号により、ミラーを揺動させるミラー駆動部を制御するとともに、ミラーの揺動状態に基づいてミラーが共振したか否かを検出し、ミラーの共振が検出されない場合には、光源からの光の出射を停止する制御を行うように構成されている制御部を設ける。その結果、ミラーがロックされた（動かないように固定された）場合にはミラーの共振が検出されなくなるので、ミラーの共振を検出することにより、ミラーがロックされたことを検出して光源からの光の出射を停止することができる。これにより、ミラーがロックされた状態で光源から光が出射されることによりプロジェクタを適切に使用することができなくなるのを抑制することができる。
【００１０】
上記一の局面によるプロジェクタにおいて、好ましくは、制御部は、所定のフレームにおいてミラーの共振の検出を行うように構成されている。このように構成すれば、ミラーの揺動状態を検出する制御を常時行ってミラーがロックされたことを検出する場合と異なり、制御部の制御負荷を低減しつつ、ミラーがロックされたことを検出して光源からの光の出射を停止することができる。
【００１１】
上記一の局面によるプロジェクタにおいて、好ましくは、制御部は、ミラーの振動信号を検出することによりミラーの揺動状態を検出するように構成され、ミラーの振動信号を増幅するための信号増幅部をさらに備える。このように構成すれば、信号増幅部によりミラーの振動信号を増幅することによりミラーの共振の有無を容易に検出することができるので、増幅されたミラーの振動信号からミラーの共振が検出されない場合には、ミラーがロックされたことを容易に検出して光源からの光の出射を停止することができる。
【００１２】
上記一の局面によるプロジェクタにおいて、好ましくは、制御部は、共振が抑制された状態でミラーを駆動させるための駆動補正制御を停止することによってミラーを共振するように駆動させる制御を行うように構成されている。このように構成すれば、ミラーの共振を抑制する駆動補正制御そのものを停止する（中断する）簡易な制御により、共振が容易に検出できる状態にすることができる。この状態において共振が検出されない場合、ミラーがロックされたことを容易に検出して光源からの光の出射を停止することができる。
【００１３】
上記一の局面によるプロジェクタにおいて、好ましくは、制御部は、共振が抑制された状態でミラーを駆動させるための駆動補正に関するパラメータを変更してミラーを共振するように駆動させる制御を行うように構成されている。このように構成すれば、駆動補正に関するパラメータを変更する簡易な制御により、ミラーの共振を意図的に発生させる状態にすることができる。この状態において、ミラーの共振が検出されない場合、ミラーがロックされたことを容易に検出することができる。これにより、簡易な制御により、ミラーがロックされたことを容易に検出して光源からの光の出射を停止することができる。
【００１４】
この場合、好ましくは、制御部は、駆動補正に関するパラメータのうち、振幅、または、位相のうち少なくとも一方を変更する制御を行うように構成されている。このように構成すれば、駆動補正に関するパラメータのうち、振幅、または、位相のうち少なくとも一方を変更する簡易な制御により、ミラーの共振を意図的に発生させる状態にすることができる。この状態においてミラーの共振が検出されない場合、ミラーがロックされたことを容易に検出することができる。これにより、簡易な制御により、ミラーがロックされたことを容易に検出して光源からの光の出射を停止することができる。
【００１５】
上記一の局面によるプロジェクタにおいて、制御部は、共振が抑制された状態でミラーを駆動させるための駆動補正に関するパラメータを変更してミラーを共振するように駆動させるか、または、駆動補正に関するパラメータを用いて共振が抑制された状態でミラーの振幅を増幅させることによって、ミラーで発生した共振を検出してミラーで発生する共振を抑制するための抑制周波数を更新する制御を行うように構成されている。このように構成すれば、プロジェクタの使用環境などによりミラーの共振周波数が変化した場合にも、ミラーで発生する共振を抑制するための抑制周波数をリアルタイムで更新することができるので、精度よく振動ミラー素子の駆動補正を行うことができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、上記のように、ミラーがロックされた状態で光源から光が出射されることによりプロジェクタを適切に使用することができなくなるのを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１実施形態によるプロジェクタ全体を示したブロック図である。
【図２】本発明の第１実施形態によるプロジェクタの垂直振動ミラー素子を示した図である。
【図３】本発明の第１実施形態によるプロジェクタの電気等価回路を示した概念図である。
【図４】本発明の第１実施形態によるプロジェクタにおけるミラーの揺動角度と可変コンデンサの容量との関係を示した図である。
【図５】本発明の第１実施形態によるプロジェクタの表示制御部を示したブロック図である。
【図６】本発明の第１実施形態によるプロジェクタにおけるミラーのロック検出を説明するための図である。
【図７】本発明の第１実施形態によるプロジェクタにおけるロック検出処理を示したフローチャートである。
【図８】本発明の第２実施形態によるプロジェクタにおけるミラーのロック検出を説明するための図である。
【図９】本発明の第２実施形態によるプロジェクタにおけるロック検出処理を示したフローチャートである。
【図１０】本発明の第３実施形態によるプロジェクタにおけるミラーのロック検出を説明するための図である。
【図１１】本発明の第３実施形態によるプロジェクタにおけるロック検出処理を示したフローチャートである。
【図１２】本発明の第４実施形態によるプロジェクタにおけるミラーの共振周波数の変化を説明するための図である。
【図１３】本発明の第４実施形態によるプロジェクタにおけるミラーの共振検出を説明するための図である。
【図１４】本発明の第４実施形態によるプロジェクタにおける共振検出処理を示したフローチャートである。
【図１５】本発明の第５実施形態によるプロジェクタにおけるミラーの共振検出を説明するための図である。
【図１６】本発明の第５実施形態によるプロジェクタにおける共振検出処理を示したフローチャートである。
【図１７】本発明の第６実施形態によるプロジェクタにおけるミラーの共振検出を説明するための図である。
【図１８】本発明の第６実施形態によるプロジェクタにおける共振検出処理を示したフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１９】
［第１実施形態］
（プロジェクタの全体構成）
図１〜図７を参照して、本発明の第１実施形態によるプロジェクタ１の構成について説明する。
【００２０】
図１に示すように、プロジェクタ１は、たとえば、自動車などに搭載されるヘッドアップディスプレイ（Ｈｅａｄ  Ｕｐ  Ｄｉｓｐｌａｙ；ＨＵＤ）に適用される。この場合、プロジェクタ１は、投影領域２である自動車のフロントガラスに画像を投影する。
【００２１】
プロジェクタ１は、筺体３に各種部品が配置されている。プロジェクタ１は、光源４〜６と、偏光ビームスプリッタ７および８と、レンズ９ａと、絞り部材９ｂとを備えている。プロジェクタ１は、水平振動ミラー素子１０と、垂直振動ミラー素子１１と、操作部１２とを備えている。プロジェクタ１は、メインＣＰＵ１３と、表示制御部１４とを備えている。垂直振動ミラー素子１１は、特許請求の範囲の「振動ミラー素子」の一例である。
【００２２】
光源４は、青色光を出射するように構成されている。青色光は、偏光ビームスプリッタ７、レンズ９ａおよび絞り部材９ｂを通過した後、水平振動ミラー素子１０および垂直振動ミラー素子１１に照射される。
【００２３】
光源５（６）は、緑色光（赤色光）を出射するように構成されている。緑色光（赤色光）は、偏光ビームスプリッタ８および７と、レンズ９ａと、絞り部材９ｂとを通過した後、水平振動ミラー素子１０および垂直振動ミラー素子１１に照射される。
【００２４】
光源４（５、６）は、たとえば、レーザダイオード（Ｌａｓｅｒ  Ｄｉｏｄｅ）である。
【００２５】
レンズ９ａは、入射した光を平行光にするコリメータレンズである。
【００２６】
絞り部材９ｂは、入射した光の形状を正円に整えるためのアパーチャである。
【００２７】
操作部１２は、ユーザによるプロジェクタ１に対する各種の入力操作を受け付けるように構成されている。
【００２８】
メインＣＰＵ１３は、所定の動作プログラムに基づいて、プロジェクタ１の各種制御を行うように構成されている。
【００２９】
（振動ミラー素子の構成）
水平振動ミラー素子１０および垂直振動ミラー素子１１は、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ）ミラーである。
【００３０】
水平振動ミラー素子１０は、ミラー１０１を振動させて投影領域２の水平方向に所定の走査速度で光を走査するように構成されている。水平振動ミラー素子１０の走査速度（振動速度）は、たとえば、２５ｋＨｚである。また、水平振動ミラー素子１０は、共振駆動することにより光を走査する。水平振動ミラー素子１０の構造および動作の詳細については、説明を省略する。
【００３１】
垂直振動ミラー素子１１は、ミラー１１１を振動させて投影領域２の垂直方向に所定の走査速度で光を走査するように構成されている。垂直振動ミラー素子１１は、投影領域２の垂直方向に、水平振動ミラー素子１０の走査速度よりも遅い走査速度で光を走査するように構成されている。垂直振動ミラー素子１１の走査速度（振動速度）は、たとえば、６０Ｈｚである。
【００３２】
図２に示すように、垂直振動ミラー素子１１は、ミラー１１１と、軸部１１２と、支持枠部１１３とを含んでいる。図２では、垂直振動ミラー素子１１にハッチングを付して図示している。垂直振動ミラー素子１１は、静電駆動型の振動ミラー素子である。垂直振動ミラー素子１１は、非共振型の振動ミラー素子である。軸部１１２および支持枠部１１３は、特許請求の範囲の「支持部」の一例である。
【００３３】
ミラー１１１には、水平振動ミラー素子１０により水平方向に走査された光が照射される。光源４〜６から出射された光は、レンズ９ａや絞り部材９ｂなどを介して、ミラー１１１により反射される。
【００３４】
垂直振動ミラー素子１１は、軸部１１２周りのＶ１方向に、開始位置から終了位置までミラー１１１を走査する際に画像を投影するように構成されている。すなわち、ミラー１１１がＶ１方向に走査される期間は、画像が投影される描画期間である。垂直振動ミラー素子１１は、軸部１１２周りのＶ２方向に、終了位置から開始位置までミラー１１１を戻す際には画像を投影しないように構成されている。すなわち、ミラー１１１がＶ２方向に戻される期間は、画像が投影されない非描画期間である。非描画期間では、ミラー１１１は、Ｖ１方向に走査される走査速度より速い速度でＶ２方向に戻される。
【００３５】
軸部１１２は、一対設けられている。軸部１１２は、ミラー１１１を両側から挟むように接続されている。軸部１１２は、ミラー１１１を振動可能に支持するように構成されている。軸部１１２は、ねじり変形可能に構成されている。軸部１１２は、棒状に形成されている。軸部１１２は、平面視において、長方形形状に形成されている。軸部１１２は、短手方向（Ｘ方向）の両端部に櫛歯部１１２ａを含んでいる。櫛歯部１１２ａは、軸部１１２の長手方向（Ｙ方向）に沿って、所定の間隔を隔てて複数設けられている。
【００３６】
支持枠部１１３は、ミラー１１１および軸部１１２の外側を囲むように配置されている。支持枠部１１３は、軸部１１２のミラー１１１側と反対側の端部に接続されている。支持枠部１１３は、軸部１１２を支持するように構成されている。
【００３７】
支持枠部１１３は、軸部１１２に対向する部分に複数の櫛歯部１１３ａを含んでいる。櫛歯部１１３ａは、軸部１１２の櫛歯部１１２ａに対応する位置に設けられている。複数の櫛歯部１１３ａは、Ｘ方向およびＹ方向において、軸部１１２の複数の櫛歯部１１２ａのそれぞれと所定の間隔を隔てて配置されている。櫛歯部１１２ａおよび１１３ａには、それぞれ、表示制御部１４からの駆動信号に基づく所定電圧が印加されるように構成されている。これにより、櫛歯部１１２ａおよび１１３ａの間に静電引力および静電斥力が交互に生じる。その結果、軸部１１２およびミラー１１１が、軸部１１２の軸線周りに揺動する。
【００３８】
静電力を発生する櫛歯部１１２ａおよび１１３ａ（垂直振動ミラー素子１１）は、電気的には、軸部１１２およびミラー１１１の揺動角度で容量が変化する可変コンデンサＣ（図３参照）として機能する。図３には、可変コンデンサＣの電気等価回路が示されている。また、図４に示すように、可変コンデンサＣ（櫛歯部１１２ａおよび１１３ａ）の容量が大きいほど、ミラー１１１の揺動角度は大きくなる。
【００３９】
（表示制御部の構成）
図５に示すように、表示制御部１４は、光源駆動回路１４１と、ミラー駆動回路１４２と、第１ゲイン回路１４３と、第２ゲイン回路１４４と、ＣＰＵ（制御部）１４５とを備えている。表示制御部１４は、所定の動作プログラムに基づいて、表示（画像投影）に関する制御を行うように構成されている。第２ゲイン回路１４４は、特許請求の範囲の「信号増幅部」の一例である。
【００４０】
表示制御部１４は、光源４〜６を制御するように構成されている。具体的には、ＣＰＵ１４５は、入力される映像信号に基づいて、光源駆動回路１４１を介して、光源４〜６による光の照射を制御する。ＣＰＵ１４５は、水平振動ミラー素子１０が走査するタイミングに合せて、画像に対応する色の光を光源４〜６から照射させる制御を行う。
【００４１】
また、表示制御部１４は、水平振動ミラー素子１０と、垂直振動ミラー素子１１とを制御するように構成されている。具体的には、ＣＰＵ１４５は、入力される映像信号に基づいて、ミラー駆動回路１４２を介して、垂直振動ミラー素子１１の駆動を制御する。また、ＣＰＵ１４５は、入力される映像信号に基づいて、ミラー駆動回路１４２を介して、水平振動ミラー素子１０の駆動を制御する。なお、第１実施形態では、ＣＰＵ１４５による、垂直振動ミラー素子１１の駆動動作について詳細に説明し、水平振動ミラー素子１０の駆動動作については説明を省略する。
【００４２】
ＣＰＵ１４５は、駆動信号によりミラー１１１を揺動可能に構成されている。ＣＰＵ１４５は、ミラー駆動回路１４２を制御して垂直振動ミラー素子１１を駆動させるように構成されている。駆動信号は、ミラー駆動回路１４２から入力された第１ゲイン回路１４３により増幅されて、垂直振動ミラー素子１１に伝送される。この信号により、垂直振動ミラー素子１０が駆動される。なお、駆動信号とは、ミラー１１１を駆動させるための信号であり、ＣＰＵ１４５の命令によりミラー駆動回路１４２からミラー１１１に入力される信号である。
【００４３】
ＣＰＵ１４５は、ミラー１１１の揺動状態を検出する制御を行うように構成されている。ＣＰＵ１４５は、ミラー１１１の揺動状態に基づいてミラー１１１が共振したか否かを検出するように構成されている。詳細には、ＣＰＵ１４５は、駆動信号により駆動された垂直振動ミラー素子１１（可変コンデンサＣ、図３参照）における容量変化を取得する。ＣＰＵ１４５は、駆動されたミラー１１１における容量変化を取得する際に、第２ゲイン回路１４４で増幅された振動検出信号を取得する。ＣＰＵ１４５は、取得した容量変化に基づいてミラー１１１の揺動角度を検出する制御を行う。言い換えると、ＣＰＵ１４５は、駆動信号が垂直振動ミラー素子１１を通過したことにより生成される振動検出信号を検出することによって、ミラー１１１の揺動角度を検出するように構成されている。ＣＰＵ１４５は、ミラー１１１が共振している場合には、振動検出信号に含まれる共振成分を検出することによって、ミラー１１１が共振していることを検出するように構成されている。
【００４４】
ＣＰＵ１４５は、通常のフレームでは、ミラー１１１の共振を抑制して、非共振で駆動させる制御を行う。この際、ＣＰＵ１４５は、駆動補正に関するパラメータを用いた制御により、共振を抑制するようにしてミラー１１１を駆動させる。なお、ＣＰＵ１４５は、第ｎ−２フレーム〜第ｎ＋２フレーム（図６参照）のそれぞれにおいて振動を抑制するためのパラメータを、第ｎ−３フレーム〜第ｎ＋１フレームをミラー１１１が走査する際に取得するように構成されている。また、ＣＰＵ１４５が振動を抑制するためのパラメータを用いてミラー１１１を走査した場合でも、ミラー１１１の共振を完全には抑えることはできずミラー１１１は若干共振して駆動する。
【００４５】
ＣＰＵ１４５は、ミラー１１１の共振が検出されない場合には、光源４（５、６）からの光の出射を停止する制御を行うように構成されている。詳細には、ＣＰＵ１４５は、ミラー１１１のロックを検出するロック検出フレームにおいて、ミラー１１１の共振が検出された場合（ミラー１１１がロックされていない場合）には、光源４（５、６）から光を出射させる制御を行うように構成されている。一方、ＣＰＵ１４５は、ミラー１１１のロックを検出するロック検出フレームにおいて、ミラー１１１の共振が検出されないことに基づいて、ミラー１１１がロックされている状態を検出することができる。具体的には、ＣＰＵ１４５は、第２ゲイン回路１４４により増幅されたミラー１１１の振動信号（振動検出信号）からミラー１１１の共振が検出されない場合（ミラー１１１がロックされている場合）に、光源４（５、６）からの光の出射を停止する制御を行うように構成されている。
【００４６】
図６に示すように、ＣＰＵ１４５は、ロック検出フレームにおいて、第２ゲイン回路１４４で増幅された（高ゲイン印加による）振動検出信号を取得する。詳細には、正常時（図６参照）の場合には、ロック検出フレーム（ｎフレーム）における振動検出信号は、高ゲインの印加により、通常フレーム（たとえばｎ−２フレーム）における振動検出信号より増幅された状態（信号波形が増幅された状態）で検出される。ＣＰＵ１４５は、増幅された振動検出信号に含まれる共振成分を検出することにより、ミラー１１１のロックが発生していない状態を検出する。一方、ロック発生時（正常時でない時、図６参照）の場合には、高ゲインの印加を行っても、ロック検出フレーム（ｎフレーム）における振動検出信号は、通常フレーム（たとえばｎ−２フレーム）における振動検出信号より増幅された状態で検出されない。ＣＰＵ１４５は、共振成分が検出されないことによりミラー１１１のロックが発生した状態を検出する。
【００４７】
ＣＰＵ１４５は、所定のフレームにおいて、ミラー１１１の共振が検出されない場合（ミラー１１１がロックされている場合）に、光源４（５、６）からの光の出射を停止する制御を行うように構成されている。所定のフレームは、ミラー１１１のロックを検出するためのロック検出フレームである。ロック検出フレームは、任意に設定可能であり、図６に示す例では、１秒間に投影される６０枚のフレームのうちの１つのフレーム（第ｎフレーム）がロック検出フレームとして設定された例を示している。図６のフレーム同期信号は、画像データに基づき、光源４（５、６）の出射タイミングと、垂直振動ミラー素子１１の走査タイミングとを同期させるための信号である。
【００４８】
ＣＰＵ１４５は、ロック検出フレーム（第ｎフレーム）において、第２ゲイン回路１４４により増幅されたミラー１１１の振動信号（振動検出信号）からミラー１１１の共振が検出されない場合（ミラー１１１がロックされている場合）に、光源４（５、６）からの光の出射を停止する制御を行うように構成されている。図６に示す例では、第ｎフレームにおいて、振動検出信号の変化が検出されない場合には、ＣＰＵ１４５は、ミラー１１１がロックされている状態を検出するように構成されている。この場合（ロック発生時）、ＣＰＵ１４５は、第ｎ＋１フレーム以降において、光源４（５、６）からの光の出射を停止する制御を行うように構成されている。一方、ロック検出フレームにおいて、振動検出信号の変化（振動成分の増大）が検出された場合には、ＣＰＵ１４５は、ミラー１１１がロックされていない状態を検出するように構成されている。この場合、ＣＰＵ１４５は、第ｎ＋１フレーム以降においても、光源４（５、６）からの光の出射を継続する制御を行うように構成されている。 
【００４９】
（ロック検出処理の説明）
以下、図７を用いて、ミラー１１１のロック検出処理ついて説明する。この処理は、ＣＰＵ１４５によって行われる。ＣＰＵ１４５は、この処理を１フレームを投影するたびに実施する。
【００５０】
ステップＳ１において、ＣＰＵ１４５は、垂直振動ミラー素子１１により走査されるフレームがロック検出フレームであるか否かを判断する。ロック検出フレームでない場合には、ＣＰＵ１４５は、ステップＳ２に処理を進める。一方、ロック検出フレームである場合には、ＣＰＵ１４５は、ステップＳ５に処理を進める。
【００５１】
ステップＳ２に進んだ場合には、ＣＰＵ１４５は、駆動補正に関するパラメータを更新する。具体的には、ＣＰＵ１４５は、前フレームの走査時に振動検出信号から算出された駆動補正に関するパラメータを用いて、ミラー１１１を駆動するように設定を変更する。たとえば、図６に示す、第ｎ−１フレームを走査する場合には、直前の第ｎ−２フレームを走査する際に取得された駆動補正に関するパラメータＰＢを用いて、ミラー１１１の駆動制御が行われる。
【００５２】
次に、ステップＳ３において、ＣＰＵ１４５は、振動検出信号を取得する制御を行う。
【００５３】
次に、ステップＳ４において、ＣＰＵ１４５は、次のフレーム用の駆動補正に関するパラメータを算出する。具体的には、ＣＰＵ１４５は、振動検出信号に基づいて、振動補正プログラムのパラメータ（共振周波数の振幅、位相）を算出する制御を行う。ここで取得された駆動補正に関するパラメータは、ミラー１１１により次のフレームを走査させる際の駆動補正制御に用いられる。その後、ロック検出処理を終了する。
【００５４】
一方、ステップＳ５に進んだ場合には、ＣＰＵ１４５は、駆動補正に関するパラメータを更新する。具体的には、図６に示す、第ｎフレームを走査する場合には、第ｎ−１フレームを走査する際に取得された駆動補正に関するパラメータＰＣを用いて、ミラー１１１の駆動制御が行われる。
【００５５】
次に、ステップＳ６において、ＣＰＵ１４５は、第２ゲイン回路１４４による増幅度を大きくするように第２ゲイン回路１４４の設定を変更する制御を行う。ＣＰＵ１４５は、第２ゲイン回路１４４による増幅度を通常状態（ロック検出フレーム以外のフレーム）の増幅度よりも大きくするように第２ゲイン回路１４４の設定を変更する制御を行う。
【００５６】
ステップＳ７において、ＣＰＵ１４５は、垂直振動ミラー素子１１からの振動検出信号を検出する。詳細には、ＣＰＵ１４５は、垂直振動ミラー素子１１を通過した駆動信号（垂直振動ミラー素子１１からの振動検出信号）を、第２ゲイン回路１４４により増幅して取得する制御を行う。なお、ステップＳ６では、第２ゲイン回路１４４により、振動検出信号が通常状態の増幅度よりも大きい増幅度で増幅されているため、ステップＳ７において、ＣＰＵ１４５は、次のフレーム用の駆動補正に関するパラメータを算出しない。すなわち、図６に示す、次の第ｎ＋１フレームが走査される場合には、第ｎ−１フレームを走査する際に取得された駆動補正に関するパラメータＰＣを用いて、ミラー１１１の駆動制御が行われる。
【００５７】
ステップＳ８において、ＣＰＵ１４５は、第２ゲイン回路１４４による増幅度を通常状態の増幅度に戻すように第２ゲイン回路１４４の設定を変更する制御を行う。
【００５８】
ステップＳ９において、ＣＰＵ１４５は、共振が検出されたか否かを判断する。具体的には、ＣＰＵ１４５は、ステップＳ７で取得した振動検出信号に基づいて、共振が検出されたか否かを判断する。ＣＰＵ１４５は、共振が検出された場合には、ロック検出処理を終了する。一方、ＣＰＵ１４５は、共振が検出されない場合には、ステップＳ１０に処理を進める。
【００５９】
ステップＳ１０において、ＣＰＵ１４５は、光源４（５、６）からの光の出射を停止する処理を行う。その後、ロック検出処理を終了する。
【００６０】
上記ステップＳ１〜Ｓ１０の処理により、ロック検出処理が実施される。
【００６１】
（第１実施形態の効果）
第１実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００６２】
第１実施形態では、上記のように、駆動信号により、ミラー１１１を揺動させるミラー駆動回路１４２を制御するとともに、ミラー１１１の揺動状態に基づいてミラー１１１が共振したか否かを検出し、ミラー１１１の共振が検出されない場合には、光源４（５、６）からの光の出射を停止する制御を行うように構成されているＣＰＵ１４５を設ける。その結果、ミラー１１１がロックされた（動かないように固定された）場合にはミラー１１１の共振が検出されなくなるので、ミラー１１１の共振を検出することにより、ミラー１１１がロックされたことを検出して光源４（５、６）からの光の出射を停止することができる。これにより、ミラー１１１がロックされた状態で光源４（５、６）から光が出射されることによりプロジェクタ１を適切に使用することができなくなるのを抑制することができる。
【００６３】
また、第１実施形態では、所定のフレームにおいて、ミラー１１１の共振の検出を行うようにＣＰＵ１４５を構成する。その結果、ミラー１１１の揺動状態を検出する制御を常時行ってミラー１１１がロックされたことを検出する場合と異なり、ＣＰＵ１４５の制御負荷を低減しつつ、ミラー１１１がロックされたことを検出して光源４（５、６）からの光の出射を停止することができる。
【００６４】
また、第１実施形態では、ミラー１１１の振動信号を検出することによりミラー１１１の揺動状態を検出するようにＣＰＵ１４５を構成し、ミラー１１１の振動信号を増幅するための第２ゲイン回路１４４をさらに備える。その結果、第２ゲイン回路１４４によりミラー１１１の振動信号を増幅することによりミラー１１１の共振の有無を容易に検出して光源４（５、６）からの光の出射を停止することができる。詳細には、図６に示したように、正常時の場合には、ロック検出フレームにおける振動検出信号は、高ゲインの印加により、通常フレームにおける振動検出信号より増幅された状態（信号波形が増幅された状態）で検出される。一方、ロック発生時の場合には、高ゲインの印加を行っても、ロック検出フレームにおける振動検出信号は、通常フレームにおける振動検出信号より増幅された状態で検出されない。これらにより、ＣＰＵ１４５は、増幅された振動検出信号から共振成分を容易に検出することができる。そのため、増幅されたミラー１１１の振動信号からミラー１１１の共振が検出されないことに基づき、ミラー１１１がロックされたことを容易に検出して光源４（５、６）からの光の出射を停止することができる。
【００６５】
［第２実施形態］
次に、図８および図９を参照して、第２実施形態によるプロジェクタ２０１の構成について説明する。第２実施形態では、ロック検出フレームにおいて、第２ゲイン回路１４４により増幅されたミラー１１１の振動検出信号からミラー１１１の共振を検出する第１実施形態のプロジェクタ１と異なり、ロック検出フレームにおいて、共振が抑制された状態で垂直振動ミラー素子１１を駆動させる駆動補正制御を行わない（駆動補正制御を停止する）プロジェクタ２０１の構成について説明する。
【００６６】
図８に示すように、ＣＰＵ２４５（図５参照）は、ロック検出フレーム（第ｎフレーム）において、共振が抑制された状態で垂直振動ミラー素子１１を駆動させるための駆動補正制御を行わない（駆動補正制御を停止する）ように構成されている。ＣＰＵ２４５は、ロック検出フレームにおいて、駆動補正制御を行わないことによってミラー１１１を共振するように駆動させた状態で（共振を抑制させないような駆動信号をミラー１１１に入力した状態で）、ミラー１１１の振動信号からミラー１１１の共振が検出されない場合（ミラー１１１がロックされている場合）に、光源４（５、６）からの光の出射を停止する制御を行うように構成されている。
【００６７】
図８に示すように、ＣＰＵ２４５は、ロック検出フレームにおいて、共振が抑制するための駆動補正制御を行わない状態で、振動検出信号を取得する。詳細には、正常時（図８参照）の場合には、ロック検出フレーム（ｎフレーム）においては、駆動補正制御が行われないことにより、共振成分を含む振動検出信号が検出される。ＣＰＵ２４５は、振動検出信号に含まれる共振成分を検出することにより、ミラー１１１のロックが発生していない状態を検出する。一方、ロック発生時（正常時でない時、図８参照）の場合には、駆動補正制御を行わずに共振成分が検出され得る状態にしても、共振成分を含む振動検出信号が検出されない。ＣＰＵ２４５は、共振成分が検出されないことによりミラー１１１のロックが発生した状態を検出する。
【００６８】
また、ＣＰＵ２４５は、ロック検出フレーム（第ｎフレーム）以外のフレームにおいて、駆動補正制御を行った状態で、垂直振動ミラー素子１１を駆動させる制御を行うように構成されている。
【００６９】
（ロック検出処理の説明）
以下、図９を用いて、ミラー１１１のロック検出処理ついて説明する。この処理は、ＣＰＵ２４５によって行われる。ＣＰＵ２４５は、この処理を１フレームを投影するたびに実施する。なお、ステップＳ１〜Ｓ４、Ｓ９およびＳ１０の処理は、第１実施形態における処理と同様であるので、説明を省略する。
【００７０】
ステップＳ１において垂直振動ミラー素子１１によりロック検出フレームであると判断された場合には、ステップＳ２１において、ＣＰＵ２４５は、駆動補正制御を停止する制御を行う。
【００７１】
次に、ステップＳ２２において、ＣＰＵ２４５は、垂直振動ミラー素子１１からの振動検出信号を検出する。詳細には、ＣＰＵ２４５は、ロック検出フレームの１つ前の第ｎ−１フレームを走査する際に取得された駆動補正に関するパラメータＰＣを用いた駆動補正制御が行われない状態でミラー１１１を駆動させることにより、共振が抑制されない状態で、垂直振動ミラー素子１１を通過した駆動信号（垂直振動ミラー素子１１からの振動検出信号）を取得する制御を行う。なお、ステップＳ２２では意図的にミラー１１１を共振させているため、ＣＰＵ２４５は、次のフレーム用の駆動補正に関するパラメータを算出しない。その後、ＣＰＵ２４５は、ステップＳ９に処理を進める。
【００７２】
なお、第２実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【００７３】
（第２実施形態の効果）
第２実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００７４】
第２実施形態では、上記のように構成することにより、第１実施形態と同様、ミラー１１１がロックされたことを検出して光源４（５、６）からの光の出射を停止することができる。
【００７５】
また、第２実施形態では、共振が抑制された状態でミラー１１１を駆動させるための駆動補正制御を停止することによってミラー１１１を共振するように駆動させる制御を行うようにＣＰＵ２４５を構成する。その結果、ミラー１１１の共振を抑制する駆動補正制御そのものを停止する簡易な制御により、共振が容易に検出できる状態にすることができる。この状態において共振が検出されない場合、ミラー１１１がロックされたことを容易に検出することができる。これにより、ＣＰＵ２４５の制御負荷を低減しつつ、ミラー１１１がロックされたことを容易に検出して光源４（５、６）からの光の出射を停止することができる。
【００７６】
なお、第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。
【００７７】
［第３実施形態］
次に、図１０および図１１を参照して、第３実施形態によるプロジェクタ３０１の構成について説明する。第３実施形態では、ロック検出フレームにおいて、第２ゲイン回路１４４により増幅されたミラー１１１の振動検出信号からミラー１１１の共振を検出する第１実施形態のプロジェクタ１と異なり、ロック検出フレームにおいて、共振を抑制するための駆動補正に関するパラメータを変更することにより、ミラー１１１が駆動した際の共振周波数成分を検出する構成について説明する。
【００７８】
図１０に示すように、ＣＰＵ３４５（図５参照）は、ロック検出フレーム（第ｎフレーム）において、共振が抑制された状態で垂直振動ミラー素子１１を駆動させるための駆動補正に関するパラメータを変更してミラー１１１を共振するように駆動させた状態で（ミラー１１１の共振が抑制されない状態で）、垂直振動ミラー素子１１駆動させる制御を行うように構成されている。また、ＣＰＵ３４５は、ロック検出フレームにおいて、駆動補正に関するパラメータを変更してミラー１１１を共振するように駆動させた状態で、ミラー１１１の振動信号からミラー１１１の共振が検出されない場合（ミラー１１１がロックされている場合）に、光源４（５、６）からの光の出射を停止する制御を行うように構成されている。
【００７９】
具体的には、ＣＰＵ３４５は、ロック検出フレームにおいて、振動補正プログラムのパラメータのうち振幅に関するパラメータを、共振を抑制するための最適値からずらした数値に設定する制御を行うように構成されている。また、ＣＰＵ３４５は、振動補正プログラムのパラメータのうち振幅に関するパラメータを、共振を抑制するための最適値からずらすように設定された数値は、ミラー１１１の共振が発生している状態（ミラー１１１の共振を抑制しない状態）でありつつも、認識可能な状態で投影画像が投影される程度の数値である。
【００８０】
具体的には、図１０に示すように、ＣＰＵ３４５は、ロック検出フレームにおいて、振動補正プログラムのパラメータ（振幅に関するパラメータ）を最適値からずらした状態で、振動検出信号を取得する。詳細には、正常時（図１０参照）の場合には、ロック検出フレーム（ｎフレーム）においては、振動補正プログラムのパラメータが最適値からずらされたことにより、共振成分を含む振動検出信号が検出される。ＣＰＵ３４５は、振動検出信号に含まれる共振成分を検出することにより、ミラー１１１のロックが発生していない状態を検出する。一方、ロック発生時（正常時でない時、図１０参照）の場合には、振動補正プログラムのパラメータが最適値からずらされて共振成分が検出され得る状態にしても、共振成分を含む振動検出信号が検出されない。ＣＰＵ３４５は、共振成分が検出されないことによりミラー１１１のロックが発生した状態を検出する。
【００８１】
（ロック検出処理の説明）
以下、図１１を用いて、ミラー１１１のロック検出処理ついて説明する。この処理は、ＣＰＵ３４５によって行われる。ＣＰＵ３４５は、この処理を１フレームを投影するたびに実施する。なお、ステップＳ１〜Ｓ４、Ｓ９およびＳ１０の処理は、第１実施形態における処理と同様であるので、説明を省略する。
【００８２】
ステップＳ１において垂直振動ミラー素子１１によりロック検出フレームが走査されると判断された場合には、ステップＳ３１において、ＣＰＵ３４５は、共振が発生するように駆動補正に関するパラメータを変更する制御を行う。具体的には、第ｎフレームを走査する場合には、第ｎ−１フレームを走査する際に取得された駆動補正に関するパラメータＰＣの振幅に関する成分を変更したパラメータＰＣ＋Ｘ（図１０参照）を用いて、ミラー１１１の駆動制御が行われる。
【００８３】
次に、ステップＳ３２において、ＣＰＵ３４５は、垂直振動ミラー素子１１からの振動検出信号を検出する。詳細には、ＣＰＵ３４５は、共振が発生するように駆動補正に関するパラメータが変更された状態で、ミラー１１１を駆動させ、垂直振動ミラー素子１１を通過した駆動信号（垂直振動ミラー素子１１からの振動検出信号）を取得する制御を行う。なお、ステップＳ３２では、意図的にミラー１１１の共振を発生させるため、ＣＰＵ３４５は、次のフレーム用の駆動補正に関するパラメータを算出しない。その後、ＣＰＵ３４５は、ステップＳ９に処理を進める。
【００８４】
なお、第３実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【００８５】
（第３実施形態の効果）
第３実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００８６】
第３実施形態では、上記のように構成することにより、第１実施形態と同様、ミラー１１１の共振を検出することにより、ミラー１１１がロックされたことを検出して光源４（５、６）からの光の出射を停止することができる。
【００８７】
また、第３実施形態では、駆動補正に関するパラメータを変更してミラー１１１を共振するように駆動させるようにＣＰＵ３４５を構成する。その結果、ミラー１１１が通常駆動時に非共振で駆動している場合にも、駆動補正に関するパラメータを変更することによりミラー１１１の共振を意図的に発生させることができるので、ミラー１１１の共振を意図的に発生させた状態にしても共振が検出されない場合には、ミラー１１１がロックされたことを容易に検出することができる。これにより、簡易な制御により、ミラー１１１がロックされたことを容易に検出して光源４（５、６）からの光の出射を停止することができる。
【００８８】
また、第３実施形態では、駆動補正に関するパラメータのうち振幅を変更する制御を行うようにＣＰＵ３４５を構成する。その結果、駆動補正に関するパラメータのうち振幅を変更する簡易な制御により、ミラー１１１の共振を意図的に発生させる状態にすることができる。この状態においてミラー１１１の共振が検出されない場合、ミラー１１１がロックされたことを容易に検出することができる。これにより、簡易な制御により、ミラーがロックされたことを容易に検出して光源４（５、６）からの光の出射を停止することができる。
【００８９】
なお、第３実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。
【００９０】
［第４実施形態］
次に、図１２〜図１４を参照して、第４実施形態によるプロジェクタ４０１の構成について説明する。第４実施形態では、ミラー１１１のロックを検出する第１〜第３実施形態のいずれかの構成に加え、ミラー１１１の共振を抑制するための抑制周波数を更新する制御を行う構成のプロジェクタ４０１について説明する。
【００９１】
第４実施形態では、ＣＰＵ４４５（図５参照）は、第１〜第３実施形態のいずれかのロック検出処理と同様の処理を行うことにより、ロック検出フレーム（図６、図８および図１０参照）において、ミラー１１１の共振を検出することによりミラー１１１のロックの有無を検出する制御を行うように構成されている。
【００９２】
また、ＣＰＵ４４５は、ミラー１１１の共振により発生する共振周波数を検出するための抑制周波数を予め保持している。具体的には、ＣＰＵ４４５は、抑制周波数を用いて、共振を抑制してミラー１１１を駆動させる制御を行うように構成されている。
【００９３】
第４実施形態では、抑制周波数とは、ＣＰＵ４４５に設定され、ミラー１１１の共振を抑制（補正）するための振動補正プログラムのパラメータである。
【００９４】
ミラー１１１の共振周波数は、温度や気圧の変化などの条件により変化する。抑制周波数は、図１２に示すように、ミラー１１１の共振周波数に完全に一致する時に、ミラー１１１の共振をほぼ抑制できるように設定されている。たとえば、ＣＰＵ４４５が抑制周波数ｆｘを保持している場合に、ミラー１１１の共振周波数がｆｘであれば、ミラー１１１の共振の抑制効果が大きい。
【００９５】
また、抑制周波数が、ミラー１１１の共振周波数から離れていくほど、ミラー１１１の共振の抑制効果が小さくなる。たとえば、ＣＰＵ４４５に抑制周波数ｆｘが設定されている状態でミラー１１１の共振周波数がｆｘからｆｙに変化した場合、抑制周波数がｆｘに設定されたままでは、ミラー１１１の共振の抑制効果が小さい。
【００９６】
抑制周波数が、ミラー１１１の共振周波数から大きく離れると、ミラー１１１の共振を抑制することができなくなる。たとえば、ＣＰＵ４４５に抑制周波数ｆｘが設定されている状態でミラー１１１の共振周波数がｆｘからｆｚに変化した場合、抑制周波数がｆｘに設定されたままでは、ミラー１１１の共振は抑制されない。
【００９７】
第４実施形態では、ＣＰＵ４４５は、ミラー１１１で発生した共振を検出してミラー１１１で発生する共振を抑制するための抑制周波数を更新する制御を行うように構成されている。図１２に示す例では、ＣＰＵ４４５は、上記の制御により、ＣＰＵ４４５が抑制周波数ｆｘを保持している場合に、ミラー１１１の共振周波数がｆｘからｆｙ（ｆｚ）に変化した場合には、抑制周波数がｆｘからｆｙ（ｆｚ）に更新する制御を行うように構成されている。
【００９８】
また、第４実施形態では、ＣＰＵ４４５は、共振が抑制された状態で垂直振動ミラー素子１１を駆動させるための駆動補正に関するパラメータを変更して共振が抑制されないように垂直振動ミラー素子１１を駆動させる制御を行うように構成されている。
【００９９】
図１３に示すように、ＣＰＵ４４５は、画像が投影される連続する複数のフレームのうちの所定のフレームにおいて、共振検出フレーム（第ｎフレーム）において、共振が抑制された状態で垂直振動ミラー素子１１を駆動させるための駆動補正に関するパラメータを変更してミラー１１１を共振させるように駆動させる制御を行うように構成されている。
【０１００】
所定のフレームは、ミラー１１１の振動検出が行われる共振検出フレームである。共振検出フレームは、任意に設定可能であり、図１３に示す例では、１秒間に投影される６０枚のフレームのうちの１つのフレーム（第ｎフレーム）が共振検出フレームとして設定された例を示している。
【０１０１】
ＣＰＵ４４５は、共振検出フレームにおいて、振動補正プログラムのパラメータのうち振幅に関するパラメータを、共振を抑制するための最適値からずらした数値に設定する制御を行うように構成されている。また、ＣＰＵ４４５は、振動補正プログラムのパラメータのうち振幅に関するパラメータを、共振を抑制するための最適値からずらすように設定された数値は、ミラー１１１が共振しつつも、認識可能な状態で投影画像が投影される程度の数値である。
【０１０２】
ＣＰＵ４４５は、ミラー１１１で発生した共振を検出してミラー１１１で発生する共振を抑制するための抑制周波数を更新する制御を行うように構成されている。図１２に示す例では、ＣＰＵ４４５は、上記の制御により、ＣＰＵ４４５が抑制周波数ｆｘを保持している場合に、ミラー１１１の共振周波数がｆｘからｆｙ（ｆｚ）に変化した場合には、抑制周波数がｆｘからｆｙ（ｆｚ）に更新する制御を行うように構成されている。
【０１０３】
（共振検出処理の説明）
以下、図１４を用いて、ミラー１１１の共振検出処理ついて説明する。この処理は、ＣＰＵ４４５によって行われる。ＣＰＵ４４５は、この処理を１フレームを投影するたびに実施する。
【０１０４】
ステップＳ４１において、ＣＰＵ４４５は、垂直振動ミラー素子１１により走査されるフレームが共振検出フレームであるか否かを判断する。共振検出フレームでない場合には、ＣＰＵ４４５は、ステップＳ４２に処理を進める。一方、共振検出フレームである場合には、ＣＰＵ４４５は、ステップＳ４５に処理を進める。
【０１０５】
ステップＳ４２に進んだ場合には、ＣＰＵ４４５は、駆動補正に関するパラメータを更新して画像を投影する。具体的には、ＣＰＵ４４５は、直前のフレームの走査時に振動検出信号から算出された駆動補正に関するパラメータを用いて、ミラー１１１により走査させるように設定を変更する。たとえば、図１３に示す、第ｎ−１フレームを走査する場合には、第ｎ−２フレームを走査する際に取得された駆動補正に関するパラメータＰＢを用いて、ミラー１１１の駆動制御が行われる。
【０１０６】
次に、ステップＳ４３において、ＣＰＵ４４５は、振動検出信号を取得する。
【０１０７】
次に、ステップＳ４４において、ＣＰＵ４４５は、次のフレーム用の駆動補正に関するパラメータを算出する。具体的には、ＣＰＵ４４５は、振動検出信号に基づいて、振動補正プログラムのパラメータ（共振周波数の振幅、位相）を算出する制御を行う。ここで取得された駆動補正に関するパラメータは、ミラー１１１により次のフレームを走査させる際の駆動補正制御に用いられる。
【０１０８】
ステップＳ４５に進んだ場合には、ＣＰＵ４４５は、共振を発生させるように駆動補正に関するパラメータを変更する制御を行う。具体的には、第ｎフレームを走査する場合には、第ｎ−１フレームを走査する際に取得された駆動補正に関するパラメータＰＣの振幅に関する成分を変更したパラメータＰＣ＋Ｘ（図１３参照）を用いて、ミラー１１１の駆動制御が行われる。
【０１０９】
次に、ステップＳ４６において、ＣＰＵ４４５は、垂直振動ミラー素子１１からの振動検出信号を検出する。詳細には、ＣＰＵ４４５は、共振が発生するように駆動補正に関するパラメータが変更された状態で、ミラー１１１を駆動させ、垂直振動ミラー素子１１を通過した駆動信号（垂直振動ミラー素子１１からの振動検出信号）を取得する。なお、ステップＳ４６では、意図的にミラー１１１の共振を発生させるため、ＣＰＵ４４５は、次のフレーム用の駆動補正に関するパラメータを算出しない。
【０１１０】
次に、ステップＳ４７において、ＣＰＵ４４５は、垂直振動ミラー素子１１からの振動検出信号に基づいて、共振周波数を算出する。
【０１１１】
次に、ステップＳ４８において、ＣＰＵ４４５は、抑制周波数を更新する。具体的には、ＣＰＵ４４５は、ステップＳ４７において算出された共振周波数に基づいて、抑制周波数を更新する。その後、共振検出処理を終了する。
【０１１２】
上記ステップＳ４１〜Ｓ４８の処理により、共振検出処理が実施される。
【０１１３】
なお、第４実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【０１１４】
（第４実施形態の効果）
第４実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【０１１５】
第４実施形態では、上記のように構成することにより、第１実施形態と同様、ミラー１１１がロックされたことを検出して光源４（５、６）からの光の出射を停止することができる。
【０１１６】
また、第４実施形態では、共振が抑制された状態でミラー１１１を駆動させるための駆動補正に関するパラメータを変更してミラー１１１を共振するように駆動させることによって、ミラー１１１で発生した共振を検出してミラー１１１で発生する共振を抑制するための抑制周波数を更新する制御を行うようにＣＰＵ４４５を構成する。これにより、プロジェクタ４０１の使用環境などによりミラー１１１の共振周波数が変化した場合にも、ミラー１１１で発生する共振を抑制するための抑制周波数をリアルタイムで更新することができるので、精度よく垂直振動ミラー素子１１の駆動補正を行うことができる。
【０１１７】
なお、第４実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。
【０１１８】
［第５実施形態］
次に、図１５および図１６を参照して、第５実施形態によるプロジェクタ５０１の構成について説明する。第５実施形態では、意図的にミラー１１１の共振を発生させるように駆動補正に関するパラメータを変更してミラー１１１の共振を検出した第４実施形態のプロジェクタ４０１と異なり、第２ゲイン回路１４４により増幅されたミラー１１１の振動検出信号からミラー１１１の共振を検出する構成について説明する。
【０１１９】
第５実施形態では、ＣＰＵ５４５（図５参照）は、第１〜第３実施形態のいずれかのロック検出処理と同様の処理を行うことにより、ロック検出フレーム（図６、図８および図１０参照）において、ミラー１１１の共振を検出することによりミラー１１１のロックを検出する制御を行うように構成されている。
【０１２０】
また、ＣＰＵ５４５は、共振検出フレーム（第ｎフレーム）において、第２ゲイン回路１４４により増幅されたミラー１１１の振動信号（振動検出信号）からミラー１１１の共振が検出する制御を行うように構成されている。図１５に示す例では、ＣＰＵ５４５は、共振検出フレームを走査する場合には、第ｎ−１フレームを走査する際に取得された駆動補正に関するパラメータＰＣを用いてミラー１１１の共振が抑制される駆動制御が行われても、残存する共振成分を検出する制御を行うように構成されている。ＣＰＵ５４５は、第ｎフレームにおいて、検出された共振周波数に基づいて、抑制周波数を更新する。
【０１２１】
（共振検出処理の説明）
以下、図１６を用いて、ミラー１１１の共振検出処理ついて説明する。この処理は、ＣＰＵ５４５によって行われる。ＣＰＵ５４５は、この処理を１フレームを投影するたびに実施する。なお、ステップＳ４１〜Ｓ４４、Ｓ４６、Ｓ４７およびＳ４８の処理は、第４実施形態における処理と同様であるので、説明を省略する。
【０１２２】
ステップＳ４１において、垂直振動ミラー素子１１により走査されるフレームが共振検出フレームであると判断された場合には、ＣＰＵ５４５は、ステップＳ５１に処理を進める。
【０１２３】
ステップＳ５１に進んだ場合には、ＣＰＵ５４５は、駆動補正に関するパラメータを更新する。具体的には、図１５に示す、第ｎフレームを走査する場合には、第ｎ−１フレームを走査する際に取得された駆動補正に関するパラメータＰＣを用いて、ミラー１１１の駆動制御が行われる。
【０１２４】
次に、ステップＳ５２において、ＣＰＵ５４５は、第２ゲイン回路１４４による増幅度を大きくするように第２ゲイン回路１４４の設定を変更する制御を行う。ＣＰＵ５４５は、第２ゲイン回路１４４による増幅度を通常状態の増幅度よりも大きくするように第２ゲイン回路１４４の設定を変更する制御を行う。
【０１２５】
なお、第５実施形態のその他の構成は、上記第４実施形態と同様である。
【０１２６】
（第５実施形態の効果）
第５実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【０１２７】
第５実施形態では、上記のように構成することにより、第１実施形態と同様、ミラー１１１がロックされたことを検出して光源４（５、６）からの光の出射を停止することができる。
【０１２８】
また、第５実施形態では、上記のように構成することにより、第４実施形態と同様、精度よく垂直振動ミラー素子１１の駆動補正を行うことができる。
【０１２９】
なお、第５実施形態のその他の効果は、上記第４実施形態と同様である。
【０１３０】
［第６実施形態］
次に、図１７および図１８を参照して、第６実施形態によるプロジェクタ６０１の構成について説明する。第６実施形態では、駆動補正に関する振幅のパラメータを変更して共振を発生させた第４実施形態のプロジェクタ４０１と異なり、駆動補正に関する他のパラメータを変更することにより共振を発生させる構成について説明する。
【０１３１】
第６実施形態では、ＣＰＵ６４５（図５参照）は、第１〜第３実施形態のいずれかのロック検出処理と同様の処理を行うことにより、ロック検出フレーム（図６、図８および図１０参照）において、ミラー１１１の共振を検出することによりミラー１１１のロックを検出する制御を行うように構成されている。
【０１３２】
また、第６実施形態では、ＣＰＵ６４５は、共振が抑制された状態で垂直振動ミラー素子１１を駆動させるための駆動補正に関するパラメータのうち周波数に関するパラメータを変更して共振を発生させるように垂直振動ミラー素子１１を駆動させる制御を行うように構成されている。
【０１３３】
また、ＣＰＵ６４５は、ミラー１１１の共振を抑制するための抑制周波数に対応する補正周波数を生成して保持するように構成されている。
【０１３４】
共振検出フレーム以外のフレーム（たとえば、第ｎ−１フレーム）が走査される場合には、ＣＰＵ６４５は、１つ前のフレーム（たとえば、第ｎ−２フレーム）が走査される際に取得された、振動補正に関する振幅のパラメータおよび位相のパラメータと、周波数のパラメータ（抑制周波数）とに基づいて、ミラー１１１の振動を抑制する制御を行うように構成されている。
【０１３５】
一方、共振検出フレーム（第ｎフレーム）が走査される場合には、ＣＰＵ６４５は、１つ前の第ｎ−１フレームが走査される際に取得された、振動補正に関する周波数のパラメータとしての抑制周波数に基づいた、ミラー１１１の駆動制御を行わない。具体的には、共振検出フレームが走査される場合には、ＣＰＵ６４５は、１つ前の第ｎ−１フレームが走査される際に取得された抑制周波数（図１７に示すｆ（ｏｌｄ））に対応する補正周波数に基づいて、ミラー１１１の制御を行う。より具体的には、ＣＰＵ６４５は、共振検出フレームが走査される際にのみ、補正周波数を、抑制周波数ｆ（ｏｌｄ）と一致しないｆ（ａｄｊ）に変更する。ＣＰＵ６４５は、抑制周波数と一致しないよう変更された補正周波数と、振動補正に関する振幅のパラメータおよび位相のパラメータとに基づくパラメータＰＣａｄｊ（図１７参照）に基づいて、ミラー１１１の振動を抑制する制御を行うように構成されている。
【０１３６】
共振検出フレーム（第ｎフレーム）が走査される場合には、抑制周波数と一致しないよう変更された補正周波数に基づいて共振を発生させるようにミラー１１１が駆動制御され、共振を抑制するための抑制周波数の設定は変更されない。すなわち、共振検出フレーム（第ｎフレーム）が走査される場合には、抑制周波数が補正周波数に置き換えられ、振幅のパラメータ、位相のパラメータおよび抑制周波数のパラメータは変更されないので、共振検出フレーム（第ｎフレーム）におけるミラー１１１の振動検出信号に基づいて、共振検出フレームの次のフレーム（第ｎ＋１フレーム）で用いられるパラメータが算出される。ここで取得された駆動補正に関するパラメータＰＤは、第ｎ＋１フレームを走査させる際の駆動補正制御に用いられる。
【０１３７】
（共振検出処理の説明）
以下、図１８を用いて、ミラー１１１の共振検出処理ついて説明する。この処理は、ＣＰＵ６４５によって行われる。ＣＰＵ６４５は、この処理を１フレームを投影するたびに実施する。なお、ステップＳ４１〜Ｓ４４およびＳ４７の処理は、第４実施形態における処理と同様であるので、説明を省略する。
【０１３８】
ステップＳ４１において、共振検出フレームであると判断された場合には、ＣＰＵ６４５は、ステップＳ６１に処理を進める。
【０１３９】
ステップＳ６１に進んだ場合には、ＣＰＵ６４５は、共振を発生させるように駆動補正に関するパラメータを変更する。ＣＰＵ６４５は、抑制周波数と一致しないよう変更された補正周波数と、振動補正に関する振幅のパラメータおよび位相のパラメータとに基づいて、ミラー１１１の共振を発生させる制御を行うように設定する。
【０１４０】
次に、ステップＳ６２において、ＣＰＵ６４５は、垂直振動ミラー素子１１からの振動検出信号を検出する。詳細には、ＣＰＵ６４５は、共振を発生させるように駆動補正に関するパラメータが変更された状態で、ミラー１１１を駆動させ、垂直振動ミラー素子１１を通過した駆動信号（垂直振動ミラー素子１１からの振動検出信号）を取得する。なお、ステップＳ６１では、意図的にミラー１１１を共振を発生させるようにしているが、ＣＰＵ６４５は、次のフレーム用の駆動補正に関するパラメータを算出する。
【０１４１】
ステップＳ６３では、ＣＰＵ６４５は、抑制周波数および補正周波数に更新する。抑制周波数は、ｆ（ｏｌｄ）からｆ（ｎｅｗ）更新され、抑制周波数は、ｆ（ａｄｊ）からｆ（ｎｅｗ）更新される。
【０１４２】
なお、第６実施形態のその他の構成は、上記第４実施形態と同様である。
【０１４３】
（第６実施形態の効果）
第６実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【０１４４】
第６実施形態では、上記のように構成することにより、第１実施形態と同様、ミラー１１１がロックされたことを検出して光源４（５、６）からの光の出射を停止することができる。
【０１４５】
また、第６実施形態では、上記のように構成することにより、第４実施形態と同様、精度よく垂直振動ミラー素子１１の駆動補正を行うことができる。
【０１４６】
なお、第６実施形態のその他の効果は、上記第４実施形態と同様である。
【０１４７】
（変形例）
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。
【０１４８】
たとえば、上記第１〜６実施形態では、プロジェクタ１（２０１、３０１、４０１、５０１、６０１）を自動車のヘッドアップディスプレイに適用した例を示したが、本発明はこれに限らない。本発明は、プロジェクタを自動車以外のヘッドアップディスプレイに適用してもよい。また、本発明は、ヘッドアップディスプレイに限らず、壁面などに投影するプロジェクタにも適用可能である。
【０１４９】
また、上記第１〜第６実施形態では、静電駆動型の垂直振動ミラー素子１１に本発明を適用する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、圧電駆動型の振動ミラー素子にも本発明を適用してもよい。
【０１５０】
また、上記第１〜第６実施形態では、１秒間に投影される６０枚のフレームのうちの１つのフレームがロック検出フレームとして設定された例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、１秒間に投影される６０枚のフレームのうち２つ以上のフレームがロック検出フレームとして設定されてもよい。
【０１５１】
また、上記第４〜第６実施形態では、１秒間に投影される６０枚のフレームのうちの１つのフレームが共振検出フレームとして設定された例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、１秒間に投影される６０枚のフレームのうち２つ以上のフレームが共振検出フレームとして設定されてもよい。
【０１５２】
また、上記第３および第４実施形態では、駆動補正に関するパラメータのうち振幅を変更することにより、ミラー１１１を共振させる例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、駆動補正に関するパラメータのうち位相を変更することにより、ミラーを共振させてもよい。また、駆動補正に関するパラメータのうち振幅および位相の両方を変更することにより、ミラーを共振させてもよい。
【０１５３】
また、上記第１〜第６実施形態では、説明の便宜上、制御部の処理を処理フローに沿って順番に処理を行うフロー駆動型のフローを用いて説明したが、たとえば、制御部の処理動作を、イベント単位で処理を実行するイベント駆動型（イベントドリブン型）の処理により行ってもよい。この場合、完全なイベント駆動型で行ってもよいし、イベント駆動およびフロー駆動を組み合わせて行ってもよい。
【符号の説明】
【０１５４】
１、２０１、３０１、４０１、５０１、６０１  プロジェクタ
４、５、６  光源
１１  垂直振動ミラー素子（振動ミラー素子）
１１１  ミラー
１１２  軸部（支持部）
１１３  支持枠部（支持部）
１４２  ミラー駆動回路（ミラー駆動部）
１４４  第２ゲイン回路（信号増幅部）
１４５、２４５、３４５、４４５、５４５、６４５  ＣＰＵ（制御部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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