(57)【要約】【課題】最適なバーンイン時間を設定する。【解決手段】被試験物に対して行なったバーンイン試験の結果と、被試験物の市場における品質実績とに基づき、被試験物について市場での予測故障率をバーンイン時間毎に算出する処理と、予測故障率と目標故障率とを比較し、予測故障率が前記目標故障率以下となる最短のバーンイン時間を選択する処理とを備える。【選択図】図１
2017026455.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験物に対して行なったバーンイン試験の結果と、前記被試験物の市場における品質実績とに基づき、前記被試験物について前記市場での予測故障率をバーンイン時間毎に算出する処理と、
前記予測故障率と目標故障率とを比較し、前記予測故障率が前記目標故障率以下となる最短のバーンイン時間を選択する処理と
を備えることを特徴とする、試験管理方法。
【請求項２】
前記被試験物に対して行なったバーンイン試験の結果に基づき、前記被試験物についてのバーンイン時間毎の第１の障害流出率を算出する処理と、
前記被試験物の市場における品質実績に基づき、前記被試験物についてのバーンイン時間毎の第２の障害流出率を算出する処理と、
前記第１の障害流出率と前記第２の障害流出率と、前記被試験物の出荷計画数とに基づき、前記被試験物についてのバーンイン時間毎の予測障害流出数を算出する処理と、
前記予測障害流出数を用いて、バーンイン時間毎の前記市場予測故障率を算出する処理と
を備えることを特徴とする、請求項１記載の試験管理方法。
【請求項３】
前記予測障害流出数と、前記被試験物の、市場稼動数，市場稼動時間，予測稼動数，予測稼動時間および市場において生じた故障数に基づいて、前記予測故障率を算出する
ことを特徴とする、請求項１又は２記載の試験管理方法。
【請求項４】
バーンイン時間毎に、複数の所定期間毎に前記市場予測故障率を算出し、
前記所定期間毎に算出した複数の市場予測故障の全てが前記目標故障率以下であるバーンイン時間を選択する
ことを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の試験管理方法。
【請求項５】
被試験物に対して行なったバーンイン試験の結果と、前記被試験物の市場における品質実績とに基づき、前記被試験物について前記市場での予測故障率をバーンイン時間毎に算出する市場故障率予測演算部と、
前記予測故障率と目標故障率とを比較し、前記予測故障率が前記目標故障率以下となる最短のバーンイン時間を選択する選択部と
を備えることを特徴とする、試験管理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試験管理方法および試験管理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩ（Large Scale Integration）等の半導体部品の初期不良を低減させる手法として、温度および電圧の負荷（ストレス）を印加した状態で動作させる加速試験であるバーンイン（Burn-In：ＢＩ）試験が知られている。バーンイン試験において被試験部品にストレスを印加する時間をバーンイン時間という。
バーンイン試験は、製品に内在する製造欠陥を取り除く手法であるため、本来、バーンイン時間として十分な時間を確保することが望ましい。バーンイン時間が不足した場合は、顧客先に不良が流出する可能性が高くなり、顧客先で故障によるシステム停止等が発生するおそれがある。
【０００３】
一方で、バーンイン時間が長くなると、生産日程の遅れや生産コストの上昇を招くおそれがある。
従来においては、バーンイン時間を、バーンイン試験において発生した障害数に基づき決定している。
例えば、バーンイン試験における累積不良率の増加が所定値以下となった時点でバーンイン試験を終了させる手法や、バーンイン試験で測定された故障数に基づいて算出した故障率と目標故障率とを比較することで、バーンイン時間を更新する手法が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−５２２６号公報
【特許文献２】特開２００５−２１４６９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような従来のバーンイン時間設定方法においては、バーンイン試験の実績にのみ基づいてバーンイン時間を決定しており、バーンイン試験後の工程品質、すなわち市場に出荷された後に生じた障害については考慮されていない。
１つの側面では、本発明は、最適なバーンイン時間を設定できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このため、この試験管理方法は、被試験物に対して行なったバーンイン試験の結果と、前記被試験物の市場における品質実績とに基づき、前記被試験物について前記市場での予測故障率をバーンイン時間毎に算出する処理と、前記予測故障率と目標故障率とを比較し、前記予測故障率が前記目標故障率以下となる最短のバーンイン時間を選択する処理とを備える。
【発明の効果】
【０００７】
一実施形態によれば、最適なバーンイン時間を設定できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施形態の一例としてのバーンインシステムの機能構成を示す図である。
【図２】実施形態の一例としてのバーンインシステムのバーンイン装置の構成を示す図である。
【図３】実施形態の一例としてのバーンインシステムのバーンイン試験制御装置のハードウェア構成を示す図である。
【図４】実施形態の一例としてのバーンインシステムにおける第１障害流出率情報を例示する図である。
【図５】実施形態の一例としてのバーンインシステムにおける第２障害流出率情報を例示する図である。
【図６】実施形態の一例としてのバーンインシステムにおける障害流出率情報を例示する図である。
【図７】実施形態の一例としてのバーンインシステムにおける障害流出予測数情報を例示する図である。
【図８】実施形態の一例としてのバーンインシステムにおける予測故障率情報を例示する図である。
【図９】実施形態の一例としてのバーンインシステムにおける故障率比較判定部によるＢＩ時間の決定方法を説明するための図である。
【図１０】実施形態の一例としてのバーンインシステムにおけるバーンイン試験の手順を説明するフローチャートである。
【図１１】実施形態の一例としてのバーンインシステムにおけるバーンイン試験時間の決定方法の概要を説明するフローチャートである。
【図１２】実施形態の一例としてのバーンインシステムにおける運用時の処理を説明するフローチャートである。
【図１３】実施形態の一例としてのバーンインシステムにおける運用時の処理を説明するフローチャートである。
【図１４】実施形態の一例としてのバーンインシステムにおける運用時の処理を説明するフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照して本試験管理方法および試験管理装置に係る実施の形態を説明する。ただし、以下に示す実施形態はあくまでも例示に過ぎず、実施形態で明示しない種々の変形例や技術の適用を排除する意図はない。すなわち、本実施形態を、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。又、各図は、図中に示す構成要素のみを備えるという趣旨ではなく、他の機能等を含むことができる。
【００１０】
（Ａ）構成
図１は実施形態の一例としてのバーンインシステム１の機能構成を示す図、図２はそのバーンイン装置３０の構成を示す図、図３はそのバーンイン試験制御装置１０のハードウェア構成を示す図である。
バーンインシステム１は、図１に示すように、バーンイン装置３０，品質データベース（ＤＢ：Data Base）２０およびバーンイン試験制御装置１０を備える。
【００１１】
［バーンイン装置］
バーンイン装置３０は、図２に示すように、恒温槽３１，恒温槽制御部３２，駆動部３３および電流監視部３４を備える。
恒温槽３１内には、被試験物である半導体デバイスが複数挿入される。
以下、被試験物の半導体デバイスとしてＬＳＩ素子のバーンイン試験を行なう例について示す。以下、被試験物であるＬＳＩ素子を被試験ＬＳＩという。
【００１２】
恒温槽３１内には、被試験ＬＳＩを搭載するためのＢＩ試験ボード（図示省略）が、複数、取り付けられる。バーンイン試験制御装置１０においては、これらのＢＩ試験ボードに被試験ＬＳＩを実装することでＢＩ試験が可能となる。
恒温槽制御部３２は、恒温槽３１内を所望の温度状態にする温度制御を行なう。駆動部３３は、恒温槽３１に電力を供給する。また、駆動部３３は、恒温槽制御部３２の指令に応答して、被試験ＬＳＩに動作指令信号を繰り返し供給する。
【００１３】
電流監視部３４は、被試験ＬＳＩにおける、動作指令信号に対応する電源電流の増減を監視し、電源電流の増減を検出する。
バーンイン装置３０は、図１に示すように、ＢＩ試験実行部３０１，ＢＩ試験監視部３０２およびＢＩ試験結果格納処理部３０３としての機能を備える。これらのＢＩ試験実行部３０１，ＢＩ試験監視部３０２およびＢＩ試験結果格納処理部３０３としての機能は、例えば、バーンイン装置３０に備えられた図示しないプロセッサが、図示しない記憶装置等に格納されたバーンイン試験プログラムを実行することにより実現される。
【００１４】
ＢＩ試験監視部３０２は、バーンイン装置３０における各種監視を行なう。例えば、ＢＩ試験監視部３０２は、恒温槽３１の温度や電圧を監視する。これにより、ＢＩ試験監視部３０２は、ＢＩ試験実行部３０１によって行なわれるバーンイン試験の状態を監視する。
また、ＢＩ試験監視部３０２は、後述するバーンイン試験制御装置１０の操作部１０５を介して入力される各種情報を監視し、バーンイン試験制御装置１０から入力されるＢＩ試験条件を取得してＢＩ試験実行部３０１に設定（条件設定）する。また、ＢＩ試験監視部３０２は、バーンイン試験制御装置１０から入力されるバーンイン試験の開始指示や終了指示に基づき、ＢＩ試験実行部３０１にバーンイン試験を開始させ、また、バーンイン試験を終了させる。すなわち、ＢＩ試験監視部３０２は、後述するバーンイン試験制御装置１０とのインタフェースとしても機能する。
【００１５】
ＢＩ試験実行部３０１は、バーンイン試験制御装置１０による制御とＢＩ試験条件に従って、被試験ＬＳＩに対するバーンイン試験（温度／電圧加速試験、およびＬＳＩ機能試験）を行なう。
ＢＩ試験実行部３０１は、例えば、被試験ＬＳＩに対してストレス試験とモニタ試験とのセットを、単位時間（例えば１時間）サイクルでバーンイン時間が経過するまで繰り返し行ない、被試験ＬＳＩの良否判定を行なう。
【００１６】
ストレス試験においては、温度および電圧による加速試験を行ない、被試験ＬＳＩ単体の製造欠陥を顕在化させる。モニタ試験においては、ストレス試験で顕在化した製造欠陥をＬＳＩ機能試験により検出する。
ＢＩ試験実行部３０１によって行なわれた試験結果はＢＩ試験結果格納処理部３０３に格納される。
【００１７】
ＢＩ試験結果格納処理部３０３は、ＢＩ試験実行部３０１によって行なわれた試験結果を、品質データベース２０のＢＩ試験結果ＤＢ２０１に送信し、格納させる制御を行なう。
［品質データベース］
品質データベース（ＤＢ）２０は、本バーンインシステム１における各種情報を管理するものであり、ＢＩ試験結果ＤＢ２０１，出荷計画ＤＢ２０２および市場品質ＤＢ２０３を備える。品ＤＢ２０は、例えば、ストレージシステムによって実現される。
【００１８】
ＢＩ試験結果ＤＢ２０１には、ＢＩ試験結果格納処理部３０３から取得したＢＩ試験結果データが格納され、蓄積される。
出荷計画ＤＢ２０２には、被試験ＬＳＩについての出荷計画に関する情報が格納される。具体的には、被試験ＬＳＩの所定期間先（例えば１年以上先）までの市場出荷計画数が所定期間（例えば、１ヶ月）単位で格納される。すなわち、例えば、出荷計画ＤＢ２０２は、月単位の市場出荷計画数を管理する。
【００１９】
市場品質ＤＢ２０３には、被試験ＬＳＩについての市場での稼動実績に関する情報が格納される。例えば、市場品質ＤＢ２０３には、被試験ＬＳＩについて、市場稼働数，市場で発生した障害数および障害発生までの稼働時間の情報等が格納される。
例えば、市場品質ＤＢ２０３は、月単位の市場稼動数，市場での障害数および障害発生までの稼動時間を管理する。
【００２０】
［バーンイン試験制御装置］
バーンイン試験制御装置１０は、バーンイン装置３０の恒温槽３１内に挿入された被試験ＬＳＩのバーンイン試験の制御を行なうものであり、コンピュータ（情報処理装置）によって実現される。
例えば、バーンイン試験制御装置１０は、予め設定されたＢＩ試験条件に従って、バーンイン装置３０にバーンイン試験を実施させる。なお、ＢＩ試験条件とは、例えば、被試験ＬＳＩに印加する温度，電圧およびバーンイン時間であり、例えば、後述するＢＩ試験条件格納部１０４に格納されている。
【００２１】
まず、図３を参照しながら、本実施形態のバーンインシステム１におけるバーンイン試験制御装置１０のハードウェア構成について説明する。
バーンイン試験制御装置１０は、例えば、プロセッサ１１，ＲＡＭ（Random Access Memory）１２，ＨＤＤ（Hard Disk Drive）１３，グラフィック処理装置１４，入力インタフェース１５，光学ドライブ装置１６，機器接続インタフェース１７およびネットワークインタフェース１８を構成要素として有する。これらの構成要素１１〜１８は、バス１９を介して相互に通信可能に構成される。
【００２２】
プロセッサ（処理部）１１は、バーンイン試験制御装置１０全体を制御する。プロセッサ１１は、マルチプロセッサであってもよい。プロセッサ１１は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit），ＭＰＵ（Micro Processing Unit），ＤＳＰ（Digital Signal Processor），ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit），ＰＬＤ（Programmable Logic Device），ＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）のいずれか一つであってもよい。また、プロセッサ１１は、ＣＰＵ，ＭＰＵ，ＤＳＰ，ＡＳＩＣ，ＰＬＤ，ＦＰＧＡのうちの２種類以上の要素の組み合わせであってもよい。
【００２３】
ＲＡＭ（記憶部）１２は、バーンイン試験制御装置１０の主記憶装置として使用される。ＲＡＭ１２には、プロセッサ１１に実行させるＯＳ（Operating System）プログラムやアプリケーションプログラムの少なくとも一部が一時的に格納される。また、ＲＡＭ１２には、プロセッサ１１による処理に必要な各種データが格納される。アプリケーションプログラムには、バーンイン試験制御装置１０によって本実施形態のバーンイン試験制御を実現するためにプロセッサ１１によって実行されるバーンイン試験制御プログラムが含まれてもよい。
【００２４】
ＨＤＤ（記憶部）１３は、内蔵したディスクに対して、磁気的にデータの書き込み及び読み出しを行なう。ＨＤＤ１３は、バーンイン試験制御装置１０の補助記憶装置として使用される。ＨＤＤ１３には、ＯＳプログラム，アプリケーションプログラム、及び各種データが格納される。なお、補助記憶装置としては、フラッシュメモリ等の半導体記憶装置（ＳＳＤ：Solid State Drive）を使用することもできる。
【００２５】
グラフィック処理装置１４には、モニタ１４ａが接続されている。グラフィック処理装置１４は、プロセッサ１１からの命令に従って、画像をモニタ１４ａの画面に表示させる。モニタ１４ａとしては、ＣＲＴ（Cathode Ray Tube）を用いた表示装置や液晶表示装置等が挙げられる。
入力インタフェース１５には、キーボード１５ａおよびマウス１５ｂが接続されている。入力インタフェース１５は、キーボード１５ａやマウス１５ｂから送られてくる信号をプロセッサ１１に送信する。なお、マウス１５ｂは、ポインティングデバイスの一例であり、他のポインティングデバイスを使用することもできる。他のポインティングデバイスとしては、タッチパネル，タブレット，タッチパッド，トラックボール等が挙げられる。
【００２６】
光学ドライブ装置１６は、レーザ光等を利用して、光ディスク１６ａに記録されたデータの読み取りを行なう。光ディスク１６ａは、光の反射によって読み取り可能にデータを記録された可搬型の非一時的な記録媒体である。光ディスク１６ａには、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc），ＤＶＤ−ＲＡＭ，ＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disc Read Only Memory），ＣＤ−Ｒ（Recordable）／ＲＷ（ReWritable）等が挙げられる。
【００２７】
機器接続インタフェース１７は、バーンイン試験制御装置１０に周辺機器を接続するための通信インタフェースである。例えば、機器接続インタフェース１７には、メモリ装置１７ａやメモリリーダライタ１７ｂを接続することができる。メモリ装置１７ａは、機器接続インタフェース１７との通信機能を搭載した非一時的な記録媒体、例えばＵＳＢ（Universal Serial Bus）メモリである。メモリリーダライタ１７ｂは、メモリカード１７ｃへのデータの書き込み、またはメモリカード１７ｃからのデータの読み出しを行なう。メモリカード１７ｃは、カード型の非一時的な記録媒体である。
【００２８】
ネットワークインタフェース１８は、図示しないネットワークに接続される。ネットワークインタフェース１８は、ネットワークを介して、他のコンピュータまたは通信機器との間でデータの送受信を行なう。
バーンイン装置３０は、上述した機器接続インタフェース１７やネットワークインタフェース１８を介してバーンイン試験制御装置１０に通信可能に接続される。
【００２９】
以上のようなハードウェア構成を有するバーンイン試験制御装置１０によって、後述する本実施形態のバーンイン試験制御機能を実現することができる。
なお、バーンイン試験制御装置１０は、例えばコンピュータ読み取り可能な非一時的な記録媒体に記録されたプログラム（バーンイン試験制御プログラム等）を実行することにより、本実施形態のバーンイン試験制御機能を実現する。バーンイン試験制御装置１０に実行させる処理内容を記述したプログラムは、様々な記録媒体に記録しておくことができる。例えば、バーンイン試験制御装置１０に実行させるプログラムをＨＤＤ１３に格納しておくことができる。プロセッサ１１は、ＨＤＤ１３内のプログラムの少なくとも一部をＲＡＭ１２にロードし、ロードしたプログラムを実行する。
【００３０】
また、バーンイン試験制御装置１０（プロセッサ１１）に実行させるプログラムを、光ディスク１６ａ，メモリ装置１７ａ，メモリカード１７ｃ等の非一時的な可搬型記録媒体に記録しておくこともできる。可搬型記録媒体に格納されたプログラムは、例えばプロセッサ１１からの制御により、ＨＤＤ１３にインストールされた後、実行可能になる。また、プロセッサ１１が、可搬型記録媒体から直接プログラムを読み出して実行することもできる。
【００３１】
次に、図１を参照しながら、本実施形態のバーンイン試験制御機能を有するバーンイン試験制御装置（情報処理装置，コンピュータ）１０の機能構成について説明する。
バーンイン試験制御装置１０は、バーンイン装置３０によるバーンイン試験を制御する機能を果たす。このため、バーンイン試験制御装置１０は、図１に示すように、少なくともＢＩ時間算出制御部１０１，市場故障率予測演算部１０２，ＢＩ時間算出部１０３，ＢＩ時間算出部１０３および操作部１０５としての機能を有している。
【００３２】
そして、図３に示すプロセッサ１１が、上述したバーンイン試験制御プログラムを実行することで、ＢＩ時間算出制御部１０１，市場故障率予測演算部１０２，ＢＩ試験制御部１０６およびＢＩ時間算出部１０３としての機能を果たす。
ＢＩ試験条件格納部１０４は、バーンイン試験の試験条件（ＢＩ試験条件）を格納する。ＢＩ試験条件格納部１０４は、ＢＩ試験条件として、例えば、試験電圧，試験温度，試験時間（ＢＩ時間）および機能試験ＴＰを格納する。なお、機能試験ＴＰは、ＬＳＩ機能試験のテストプログラム（テストパターン）である。
【００３３】
これらのＢＩ試験条件は、例えば、被試験ＬＳＩの種類（型格）毎に予め用意される。また、これらのＢＩ試験条件のうち、ＢＩ試験時間は、後述するＢＩ時間算出部１０３の故障率比較判定部１３１によって適宜更新される。
操作部１０５は、例えば図３に示すようなキーボード１５ａおよびマウス１５ｂであり、システム管理者等によって操作され、各種指示を行なう。なお、マウス１５ｂに代え、タッチパネル，タブレット，タッチパッド，トラックボール等が用いられてもよい。また、操作部１０５は、例えば図３に示すようなモニタ１４ａも備える。モニタ１４ａには、例えばバーンイン試験に関する操作を行なうための各種入力画面（ＢＩ試験操作画面）や、試験結果が表示される。
【００３４】
例えば、オペレータは、操作部１０５を用いて、ＢＩ試験操作画面において被試験ＬＳＩの型名等を入力する。
モニタ１４ａには、エラー通知等、システム管理者等に対して提示する各種情報を表示させてもよい。
ＢＩ試験制御部１０６は、バーンイン装置３０にバーンイン試験を実行させるための制御を行なう。例えば、ＢＩ試験制御部１０６は、ＢＩ試験操作画面において入力された被試験ＬＳＩの型名に対応するＢＩ試験条件をＢＩ試験条件格納部１０４から読み出し、バーンイン装置３０に送信する。また、ＢＩ試験制御部１０６は、バーンイン装置３０の恒温槽３１の電源投入を行なったり、バーンイン装置３０に対してバーンイン試験の実行開始指示等を行なう。
【００３５】
ＢＩ時間算出制御部１０１は、市場故障率予測演算部１０２に対してＢＩ時間の算出の実行指示を行なう。このＢＩ時間算出制御部１０１は、例えば、バーンイン装置３０によるバーンイン試験が行なわれ、その試験結果がＢＩ試験結果格納処理部３０３によりＢＩ試験結果ＤＢ２０１に格納された後のタイミングで、ＢＩ時間の算出の実行指示を行なう。
【００３６】
また、ＢＩ時間算出制御部１０１は、品質ＤＢ２０の各データを市場故障率予測演算部１０２およびＢＩ時間算出部１０３の各部に受け渡す。
市場故障率予測演算部１０２は、被試験ＬＳＩについての、市場におけるＢＩ時間毎の故障率を予測する。
市場故障率予測演算部１０２は、図１に示すように、障害流出率演算部１２１，障害流出予測演算部１２２および市場故障率予測部１２３を備える。
【００３７】
障害流出率演算部１２１は、障害流出率の予測を行なう。障害流出率演算部１２１は、バーンイン装置３０による被試験ＬＳＩのバーンイン試験の試験結果に基づく第１の障害流出率予測を行ない、第１障害流出率情報１２１１（図４参照）を作成する。
また、障害流出率演算部１２１は、被試験ＬＳＩの市場での稼動実績および障害実績に基づく第２の障害流出率予測を行ない、第２障害流出率情報１２１２（図５参照）を作成する。
【００３８】
そして、障害流出率演算部１２１は、第１障害流出率情報１２１１および第２障害流出率情報１２１２に基づき、障害流出率情報１２１３（図６参照）を作成する。
（ｉ）第１の障害流出率予測
第１の障害流出率予測は、被試験ＬＳＩのバーンイン試験結果（ＢＩ試験結果情報）に基づいて行なわれる。上述したＢＩ時間算出制御部１０１が、ＢＩ試験結果ＤＢ２０１から、被試験ＬＳＩについてのバーンイン試験結果として、試験日，試験条件（温度／電圧／ＢＩ時間），ＬＳＩ能試験結果を取得し、障害流出率演算部１２１に受け渡す。
【００３９】
障害流出率演算部１２１は、ＢＩ時間算出制御部１０１から受け渡されたバーンイン試験結果に基づき、以下の式（１）を用いて、第１の障害流出率である、ＢＩ試験結果に基づく障害流出率（ｃ）を算出する。
ＢＩ試験結果に基づく障害流出率（ｃ）＝累積障害率Σ（ｂ）−ＢＩ時間の累積障害率（ｂ）・・・（１）
なお、ＢＩ試験結果に基づく障害流出率（ｃ）は、ＢＩ試験時間（ｈ）単位である。また、
ｈ：ｈ１，ｈ２，ｈ３，・・・ｈ２４，・・・
ｃ：ｃ１，ｃ２，ｃ３，・・・，ｃ２４，・・・
である。
【００４０】
また、上記式（１）は、以下の式で表すことができる。
ＢＩ試験結果に基づく障害流出率（ｃ）＝（全障害数／試験数）−（障害数／試験数）
障害流出率演算部１２１は、算出したＢＩ時間単位の障害流出率に基づき、第１障害流出率情報１２１１を作成する。この作成された第１障害流出率情報１２１１は、例えば、ＲＡＭ１２の所定の領域に格納される。
【００４１】
図４は実施形態の一例としてのバーンインシステム１における第１障害流出率情報１２１１を例示する図である。
この図４に例示する第１障害流出率情報１２１１は、複数のＢＩ試験時間（Ｈ）に対して、試験数，障害数，障害率（ａ），累積障害率Σ（ｂ）および障害流出率（ｃ）を相互に関連付けることにより構成され、テーブルとして表している。第１障害流出率情報１２１１においては、ＢＩ試験時間の値が小さいものから順に並べて登録されている。
【００４２】
なお、この図４に示す例においては、バーンイン装置３０において、３０００個の被試験ＬＳＩのバーンイン試験が行なわれたものとする。
以下、バーンイン装置３０においてバーンイン試験が行なわれたバーンイン時間のことをバーンイン試験時間（ＢＩ試験時間）という。
【００４３】
障害率（ａ）は以下の式で表すことができる。
障害率（ａ）＝（障害数／試験数）×１００  （単位：％）
また、ＢＩ時間の障害流出率（ｃ）は以下の式で表すことができる。
ＢＩ時間の障害流出率（ｃ）＝累積障害率Σ（ｂ）−ＢＩ時間の累積障害率（ｂ）（単位：％）
図４に示す例において、例えば、ＢＩ試験時間＝１１（Ｈ）の被試験ＬＳＩにおいては、障害数＝１であるので、上記式より障害率（ａ）＝０．０３％が求められる。また、ＢＩ時間の累積障害率（ｂ）＝０．０３％，累積障害率Σ（ｂ）＝０．４０％である場合に、障害流出率（ｃ）＝０．４０−０．００３＝０．３７％となる。
【００４４】
（ｉｉ）第２の障害流出率予測
第２の障害流出率予測は、被試験ＬＳＩの市場での稼動実績および障害実績（市場品質情報）に基づいて行なわれる。上述したＢＩ時間算出制御部１０１は、市場品質ＤＢ２０３から、被試験ＬＳＩについて、市場品質情報として、月単位の市場稼動数，市場での障害数および市場での障害発生までの稼動時間を取得し、障害流出率演算部１２１に受け渡す。
【００４５】
障害流出率演算部１２１は、ＢＩ時間算出制御部１０１から受け渡された市場品質情報に基づき、以下の式（２）を用いて、第２の障害流出率である、市場での障害流出率（ｅ）を算出する。
市場での障害流出率（ｅ）＝実績障害数（ｆ）／実績稼動数（ｄ）・・・（２）
また、障害流出率演算部１２１は、算出した市場での障害流出率に基づき、第２障害流出率情報１２１２を作成する。この作成された第２障害流出率情報１２１２は、例えば、ＲＡＭ１２の所定の領域に格納される。
【００４６】
図５は実施形態の一例としてのバーンインシステム１における第２障害流出率情報１２１２を例示する図である。
この図５に例示する第２障害流出率情報１２１２は、複数の稼動期間（日）に対して、ＢＩ時間，実績稼動数（ｄ），実績障害数（ｆ），累積障害数（ｇ），流出後障害数（ｊ）および障害流出率（ｅ）を相互に関連付けることにより構成され、テーブルとして表している。第２障害流出率情報１２１２においては、ＢＩ時間の値が小さいものから順に並べて登録されている。
【００４７】
稼動期間（日）は被試験ＬＳＩが市場で稼動している期間を示す。ＢＩ時間（Ｈ）は、稼動期間（日）をＢＩ時間に換算した値であり、本実施形態においては、稼動期間（日）＝１５がＢＩ時間（Ｈ）＝１に相当する。なお、稼動期間（日）に基づくＢＩ時間の換算は既知の種々の手法を用いて行なうことができるので、その詳細な説明は省略する。
実績稼動数（ｄ）は、被試験ＬＳＩが市場に出荷されている個数（出荷数）を示す。以下、実績稼動数（ｄ）を市場稼動数（ｄ）という場合がある。
【００４８】
実績障害数（ｆ）は市場において生じた障害の数を示し、累積障害数（ｇ）は実績障害数（ｆ）の累計を示す。流出後障害数（ｊ）は、ＢＩ試験を行なっても市場に流出する障害の数を示し、以下の式で表すことができる。
流出後障害数＝累積障害数Σ―稼働期間（ＢＩ時間）の累積障害数
以下、流出後障害数（ｊ）を市場ＮＧ数（ｊ）という場合がある。
【００４９】
障害流出率（ｅ）は、市場品質に基づき求められる傷害流出率であり、以下の式により求められる。
市場品質に基づく障害流出率（ｅ）＝流出後障害数（ｊ）／実績稼動数（ｄ）  （単位：％）
例えば、稼動期間３０日は、ＢＩ時間に換算すると２（Ｈ）である。図５に例示する第２障害流出率情報１２１２において、ＢＩ時間＝２（Ｈ）の被試験ＬＳＩにおいては、流出後障害数（ｊ）＝１であり、また、実績稼動数＝３０００であるので、上記式より、障害流出率（ｅ）＝（１／３０００）×１００≒０．０３％となる。
【００５０】
（ｉｉｉ）障害流出率情報の作成
障害流出率演算部１２１は、上述の如く算出した第１障害流出率情報１２１１および第２障害流出率情報１２１２に基づき、障害流出率情報１２１３を作成する。
図６は実施形態の一例としてのバーンインシステム１における障害流出率情報１２１３を例示する図である。
【００５１】
障害流出率情報１２１３は、図６に示すように、ＢＩ試験時間と障害流出率とを対応付けて構成されている。なお、図６に示す例においては、障害流出率情報１２１３をテーブル状に示している。以下、障害流出率情報１２１３を障害流出率テーブル１２１３という場合がある。
障害流出率演算部１２１は、第１障害流出率情報１２１１から抽出したＢＩ試験時間と障害流出率との組み合わせと、第２障害流出率情報１２１２から抽出したＢＩ時間と障害流出率との組み合わせとを連結することで、障害流出率テーブル１２１３を作成する。
【００５２】
図６に例示する障害流出率テーブル１２１３は、ＢＩ試験時間０〜２４（Ｈ）の部分が第１障害流出率情報１２１１から抽出した情報により構成され、ＢＩ時間２５〜４８（Ｈ）の部分が、第２障害流出率情報１２１２から抽出した情報により構成されている。
被試験ＬＳＩについて、ＢＩ試験が行なわれた後に市場に出荷され、市場において行なわれる市場品質の評価は、ＢＩ試験の延長と考えることができる。
【００５３】
そこで、本バーンインシステム１においては、障害流出率演算部１２１は、第１障害流出率情報１２１１から抽出したＢＩ試験時間と障害流出率との組み合わせに後続するように、第２障害流出率情報１２１２から抽出したＢＩ時間と障害流出率との組み合わせを連結させる。
この際、第２障害流出率情報１２１２におけるＢＩ時間＝１は、ＢＩ試験時間＝２５に相当する。同様に、第２障害流出率情報１２１２におけるＢＩ時間＝２〜２４は、ＢＩ試験時間＝２６〜４８にそれぞれ相当する。
【００５４】
障害流出予測演算部１２２は、障害流出率演算部１２１によって作成された障害流出率テーブル（障害流出率情報）１２１３と、被試験ＬＳＩの出荷計画数とに基づき、障害流出数を予測する。障害流出数は、所定の稼動期間（例えば１か月）毎に、複数のＢＩ時間に対してそれぞれ求められる。
なお、以下、障害流出数を予測障害数という場合もある。障害流出数（予測障害数）は、市場に出荷される被試験ＬＳＩについて予測される障害流出数を示す。
【００５５】
上述したＢＩ時間算出制御部１０１が、出荷計画ＤＢ２０２から月単位の市場出荷計画数を取得するとともに、障害流出率演算部１２１によって作成された障害流出率情報１２１３を取得し、これらを障害流出予測演算部１２２に受け渡す。
障害流出予測演算部１２２は、出荷計画数に障害流出率を乗算することで、予測障害数を求める。
【００５６】
具体的には、障害流出予測演算部１２２は、図６に示す障害流出率テーブル１２１３に登録された各ＢＩ時間（ＢＩ試験時間）のそれぞれについて、設定された障害流出率（ｃ），（ｅ）に、予め設定された出荷計画数（予測稼働数（ｓ））を乗算することで予測障害数を求める。
また、障害流出予測演算部１２２は、各ＢＩ時間に対して、所定の稼動期間（例えば１か月）毎に、それぞれ障害流出率を算出する。
【００５７】
また、障害流出予測演算部１２２は、算出した障害予測数に基づき、障害流出予測数情報１２２１（図７参照）を作成する。この作成された障害流出予測数情報１２２１は、例えば、ＲＡＭ１２の所定の領域に格納される。
従って、障害流出予測演算部１２２は、第１障害流出率情報１２１１と第２障害流出率情報１２１２と、被試験ＬＳＩの出荷計画数とに基づき、この被試験ＬＳＩについてのバーンイン時間毎の障害流出予測数情報１２２１を作成する障害流出数算出部として機能する。
【００５８】
図７は実施形態の一例としてのバーンインシステム１における障害流出予測数情報１２２１を例示する図である。
この図７に例示する障害流出予測数情報１２２１は、複数のＢＩ時間に対して、１か月〜１２か月の各稼動期間に、算出した予測障害数を関連付けることにより構成され、テーブルとして表している。また、この図７に例示する状態においては、ＢＩ時間の現行値として２４Ｈが設定されている。
【００５９】
この図７に例示する障害流出予測数情報１２２１において、例えば、ＢＩ時間＝２Ｈの被試験ＬＳＩにおいては、稼動期間＝１か月の期間の予測障害数＝１．８である。
これは、図４に示す第１障害流出率情報１２１１から得られる、ＢＩ試験時間＝２に対応する障害流出率＝０．３７（％）と、稼動期間＝１か月の期間の出荷計画数＝５００（個）とに基づき、５００×０．３７×０．０１≒１．８として求められる。
【００６０】
上述した障害流出予測演算部１２２による予測障害数の算出方法は、以下の式（３），（４）を用いて表すことができる。
障害流出予測数（ｋ）＝ 予測稼働数（ｓ）×ＢＩ試験結果に基づく障害流出率（ｃ）
・・・（３）
障害流出予測数（ｋ）＝ 予測稼働数（ｓ）×市場での障害流出率（ｅ）・・・（４）
なお、
ｓ：ｓ１，ｓ２，ｓ３，・・・ｓ１２
ｋ：ｋ１，ｋ２，ｋ３，・・・ｋ１２
である。
【００６１】
以下、予測障害数を予測ＮＧ数という場合がある。
市場故障率予測部１２３は、市場における品質予測値（故障率）を算出する。
市場故障率予測部１２３は、障害流出予測演算部１２２が作成した障害流出予測数情報１２２１と、被試験ＬＳＩの出荷計画とに基づき、市場での予測故障率（市場予測故障率）を算出する。
【００６２】
上述したＢＩ時間算出制御部１０１は、出荷計画ＤＢ２０２から月単位の市場出荷計画数を取得する。また、ＢＩ時間算出制御部１０１は、市場品質ＤＢ２０３から、被試験ＬＳＩについて、市場品質情報として、月単位の市場稼動数，市場での障害数および市場での障害発生までの稼動時間を取得する。さらに、ＢＩ時間算出制御部１０１は、障害流出予測演算部１２２によって作成された障害流出予測数情報１２２１を取得する。
【００６３】
そして、ＢＩ時間算出制御部１０１はこれらの取得した情報を市場故障率予測部１２３に受け渡す。
市場故障率予測部１２３は、ＢＩ時間算出制御部１０１から得た情報に基づき、所定期間（本実施形態では１年間）について、所定期間単位（本実施形態では１か月単位）の市場での予測故障率（ＦＩＴ数）を算出する。以下、市場での予測故障率を市場予測故障率という場合がある。
【００６４】
市場故障率予測部１２３は、市場予測故障率を以下の式（５）を用いて算出する。
市場予測故障率（ＦＩＴ数）＝〔（市場ＮＧ数＋予測ＮＧ数）×１０＾９〕／（市場総コンポーネントアワー＋予測コンポーネントアワー）・・・（５）
なお、
市場総コンポーネントアワー＝市場稼動数×市場稼動時間
予測コンポーネントアワー＝予測稼動数×予測稼動時間
である。
【００６５】
また、市場故障率予測部１２３は、算出した市場予測故障率に基づき、予測故障率情報１２３１（図８参照）を作成する。この作成された予測故障率情報１２３１は、例えば、ＲＡＭ１２の所定の領域に格納される。
従って、市場故障率予測部１２３は、障害流出予測数情報１２２１を用いて、バーンイン時間毎の予測故障率情報１２３１を算出する、市場故障率算出部として機能する。
【００６６】
図８は実施形態の一例としてのバーンインシステム１における予測故障率情報１２３１を例示する図である。
この図８に例示する予測故障率情報１２３１は、複数のＢＩ時間に対して、１か月〜１２か月の各稼動期間に、上記式（５）を用いて求めた市場予測故障率を関連付けることにより構成され、テーブルとして表している。以下、予測故障率情報１２３１を予測故障率テーブル１２３１、または市場予測故障率テーブル１２３１という場合がある。
【００６７】
予測故障率情報１２３１において、市場予測故障率はＢＩ時間に対する現状から１年間の市場での予測故障率を表す。なお、この図８に例示する状態においては、ＢＩ時間の現行値として２４Ｈが設定されている。
図８に例示する予測故障率情報１２３１において、例えば、ＢＩ時間＝０Ｈの被試験ＬＳＩにおいては、稼動期間＝２か月の期間の市場予測故障率＝１５０（ＦＩＴ）である。
【００６８】
この市場予測故障率＝１５０（ＦＩＴ）は、上記式（５）において、障害予測累積件数＝６．３，（市場総コンポーネントアワー＋予測コンポーネントアワー）＝４２，０５１，２４０を適用することにより求められた値である。なお、（市場ＮＧ数＋予測ＮＧ数）＝６．３の値は、障害予測累積件数＝５．２に６０％の信頼水準が加味されている（６０％ＣＬ）ものである。また、障害予測累積件数＝５．２には、図７に示す障害流出予測数情報１２２１のＢＩ時間０Ｈの被試験ＬＳＩについての稼動期間＝２か月の期間の予測障害数＝１．２が含まれている。また、市場総コンポーネントアワーや予測コンポーネントアワーは既知の情報であり、これらの詳細な説明は省略する。
【００６９】
また、予測故障率テーブル１２３１においては、図８に示すように、ＢＩ時間の値が小さいものから順に並べて登録されており、ＢＩ時間の最小値が図中最上部に配置され、下方にいくに従って、ＢＩ試験時間の値が大きくなる。
市場予測故障率の値はＢＩ時間が長いほど小さくなるので、図８に示す予測故障率テーブル１２３１の上方から下方に向かって、市場予測故障率の値も小さくなる。
【００７０】
なお、図８に示す予測故障率情報１２３１には上述の如く６０％の信頼水準が反映されているが、これに限定されるものではなく、６０％以外の信頼水準を反映させてもよく、また、信頼水準の反映を省略してもよく、種々変形して実施することができる。
ＢＩ時間算出部１０３は、市場故障率予測部１２３によって作成された予測故障率情報１２３１と、市場での目標故障率（市場目標故障率）とに基づいてＢＩ時間を決定する。ＢＩ時間算出部１０３は、図１に示すように、故障率比較判定部１３１および目標故障率テーブル１３２を備える。
【００７１】
目標故障率テーブル１３２には、被試験ＬＳＩ毎の市場故障率が設定される。例えば、被試験ＬＳＩのＬＳＩ型格別に目標故障率が登録される。
故障率比較判定部１３１は、目標故障率テーブル１３２から選択された被試験ＬＳＩに対応する市場目標故障率の値と、予測故障率情報１２３１とを比較する。
故障率比較判定部１３１は、予測故障率情報１２３１に登録された各ＢＩ時間に対応する各稼動期間の市場予測故障率を、ＢＩ時間の値が小さいものから、順次、市場目標故障率と比較する。すなわち、故障率比較判定部１３１は、予測故障率テーブル１２３１の先頭から市場目標故障率と順次比較し、１か月〜１２か月の各市場予測故障率の値が、いずれも市場目標故障率よりも小さくなるＢＩ時間を判定する。
【００７２】
すなわち、故障率比較判定部１３１は、予測故障率テーブル１２３１において、同一ＢＩ時間の１か月〜１２か月の各市場予測故障率の全ての値が下記の判定条件を満たすまで、ＢＩ時間を順次切り換えながら判定を行なう。
判定条件：市場目標故障率  ≧  稼働期間１年間分の各市場予測故障率
すなわち、故障率比較判定部１３１は、市場目標故障率に対して、１か月〜１２か月の１年間分の各１か月分の市場予測故障率の各値の全てが市場目標故障率以下であるか判定する。
【００７３】
故障率比較判定部（決定部）１３１は、上述の如き判定の結果、１年間分の各１か月分の市場予測故障率の各値の全てが市場目標故障率以下であると判定されたＢＩ時間を、新たなＢＩ時間として決定する。
すなわち、故障率比較判定部１３１は、予測故障率情報１２３１に登録された複数のＢＩ時間のうち、１か月〜１２か月の１年間分の各１か月分の市場予測故障率の各値の全てが市場目標故障率以下である、最も値の小さいＢＩ時間を選択する。
【００７４】
図９は実施形態の一例としてのバーンインシステム１における故障率比較判定部１３１によるＢＩ時間の決定方法を説明するための図である。
この図９においては、図８に示した予測故障率テーブル１２３１とともに、市場目標故障率が１００である場合の判定結果を示している。また、この図９に例示する状態においては、ＢＩ時間の現行値として２４Ｈが設定されている。
【００７５】
図９に示す予測故障率テーブル１２３１において、現状のＢＩ時間は２４Ｈであり、１か月〜１２か月の１年分の全ての市場予測故障率が、市場目標故障率の１００（ＦＩＴ）以下となる最短のＢＩ時間は１１Ｈである。従って、故障率比較判定部１３１は、１１Ｈを新たなＢＩ時間として選択・決定する。
このようにして決定された新たなＢＩ時間は、故障率比較判定部１３１によってＢＩ試験条件格納部１０４に登録される。すなわち、ＢＩ試験条件格納部１０４において“２４Ｈ”として登録されているＢＩ時間が“１１Ｈ”に更新される。
【００７６】
これにより、バーンイン装置３０による時間のバーンイン試験は、ＢＩ時間＝１１Ｈとして実行される。
また、故障率比較判定部１３１は、決定したＢＩ時間を、ＢＩ試験条件格納部１０４に試験条件として格納する。すなわち、故障率比較判定部１３１は、決定したＢＩ時間を用いて、ＢＩ試験条件格納部１０４の試験条件を更新する。このように更新されたＢＩ試験条件格納部１０４のＢＩ時間は、以降のバーンイン装置３０のＢＩ試験実行部３０１によるＢＩ試験に用いられる。
【００７７】
なお、故障率比較判定部１３１において、予測故障率テーブル１２３１の先頭からの市場目標故障率との比較の結果、その先頭のＢＩ時間（ＢＩ時間＝０）において、１か月〜１２か月の各市場予測故障率の値がいずれも市場目標故障率よりも小さいと判断された場合には、ＢＩ試験は不要であると判断することができる。このような場合に、故障率比較判定部１３１は、例えば、ＢＩ試験条件格納部１０４に、新たなバーンイン試験の実施は不要であることを示す情報を設定する。
【００７８】
（Ｂ）動作
上述の如く構成された、実施形態の一例としてのバーンインシステム１におけるバーンイン試験の手順を、図１０に示すフローチャート（ステップＡ１〜Ａ１２）に従って説明する。
ＢＩ試験準備の後、ＢＩ試験が開始される。ステップＡ１において、ＢＩ試験ボードに被試験ＬＳＩが搭載され、このＢＩ試験ボードがバーンイン装置３０の恒温槽３１に取り付けられる。
【００７９】
ステップＡ２において、オペレータ等が操作部１０５のキーボード１５ａやマウス１５ｂを介して、ＢＩ試験操作画面から試験対象のＬＳＩの型名を入力（選択）する。
ステップＡ３において、オペレータは、操作部１０５のモニタ１４ａに表示された情報に基づき、ステップＡ２において選択したＬＳＩの型名が正しく表示されていることを確認する。
【００８０】
ステップＡ４において、オペレータが操作部１０５のキーボード１５ａやマウス１５ｂを介して、ＢＩ試験操作画面から試験開始指示を入力する。これにより、バーンイン試験制御プログラムが起動され、バーンイン装置３０において、電源監視部３４により恒温槽３１の電源が投入される。
ステップＡ５において、オペレータは、操作部１０５のＢＩ試験操作画面を介して、恒温槽３１の温度および電圧が、それぞれ設定した値に到達したことを確認する。
【００８１】
ステップＡ６において、ＢＩ試験実行部３０１によりバーンイン試験が開始され、被試験ＬＳＩに対するストレス試験（温度／電圧）とＬＳＩ機能試験とが行なわれる。
ステップＡ７において、ＢＩ試験実行部３０１によるバーンイン試験が完了すると、ＢＩ試験結果格納処理部３０３は、バーンイン試験結果をＢＩ試験結果ＤＢ２０１に格納（登録）する。
【００８２】
ステップＡ８において、市場故障率予測演算部１０２に対してＢＩ時間の算出の実行指示を行なう。障害流出率演算部１２１が、障害流出率予測を行なう。
障害流出率演算部１２１は、バーンイン装置３０による被試験ＬＳＩのバーンイン試験の試験結果に基づく第１の障害流出率予測を行ない、第１障害流出率情報を作成する。また、障害流出率演算部１２１は、被試験ＬＳＩの市場での稼動実績および障害実績に基づく第２の障害流出率予測を行ない、第２障害流出率情報を作成する。そして、障害流出率演算部１２１は、第１障害流出率情報１２１１および第２障害流出率情報１２１２に基づき、障害流出率情報１２１３を作成する。
【００８３】
ステップＡ９において、障害流出予測演算部１２２が、障害流出率演算部１２１によって作成された障害流出率テーブル（障害流出率情報）１２１３と、被試験ＬＳＩの出荷計画数とに基づき障害流出数を予測する。また、障害流出予測演算部１２２は、算出した障害予測数に基づき、障害流出予測数情報１２２１を作成する。
ステップＡ１０において、市場故障率予測部１２３が、障害流出予測演算部１２２が作成した障害流出予測数情報１２２１と、被試験ＬＳＩの出荷計画とに基づき、市場での予測故障率（市場予測故障率：ＦＩＴ数）を算出する。
【００８４】
ステップＡ１１において、故障率比較判定部１３１が、予測故障率情報１２３１に登録された複数のＢＩ時間のうち、１か月〜１２か月の１年間分の各１か月分の市場予測故障率の各値の全てが市場目標故障率以下である、最も値の小さいＢＩ時間を抽出する。
ステップＡ１２において、故障率比較判定部１３１は、ステップＡ１１において抽出したＢＩ時間を、新たなＢＩ時間として決定する。また、故障率比較判定部１３１は、予測故障率情報１２３１に登録された複数のＢＩ時間のうち、１か月〜１２か月の１年間分の各１か月分の市場予測故障率の各値の全てが市場目標故障率以下である、最も値の小さいＢＩ時間として選択する。
【００８５】
その後、バーンイン試験を終了する。バーンイン装置１０の恒温層３１は自動的に電源断される。オペレータは、ＢＩ試験ボードをバーンイン装置３０から取り出した後、ＢＩ試験ボードから被試験ＬＳＩを取り外し、合否判定結果にあわせ分類する。また、被試験ＬＳＩが他にある場合には、バーンイン試験を継続して行なう。
次に、実施形態の一例としてのバーンインシステム１におけるバーンイン試験時間の決定方法の概要を、図１１に示すフローチャート（ステップＢ１〜Ｂ５）に従って説明する。
【００８６】
ステップＢ１において、障害流出率演算部１２１は、バーンイン装置３０による被試験ＬＳＩのバーンイン試験の試験結果（バーンイン試験実績）に基づく第１の障害流出率予測を行ない、第１障害流出率情報１２１１を作成する。
ステップＢ２において、障害流出率演算部１２１は、被試験ＬＳＩの市場での稼動実績および障害実績（市場品質、市場実績）に基づく第２の障害流出率予測を行ない、第２障害流出率情報１２１２を作成する。
【００８７】
そして、障害流出率演算部１２１は、第１障害流出率情報１２１１および第２障害流出率情報１２１２に基づき、障害流出率情報１２１３を作成する。
また、障害流出予測演算部１２２が、障害流出率演算部１２１によって作成された障害流出率テーブル（障害流出率情報）１２１３と、被試験ＬＳＩの出荷計画数とに基づき、障害流出数を予測し、障害流出予測数情報１２２１を作成する。
【００８８】
ステップＢ３において、市場故障率予測部１２３が、障害流出予測演算部１２２が作成した障害流出予測数情報１２２１と、被試験ＬＳＩの出荷計画とに基づき、市場での予測故障率（市場予測故障率）を算出し、市場予測故障率テーブル１２３１を作成する。
ステップＢ４において、故障率比較判定部１３１が、目標故障率テーブル１３２から選択された被試験ＬＳＩに対応する市場目標故障率の値と、予測故障率情報１２３１とを比較する（故障率比較判定）。
【００８９】
すなわち、故障率比較判定部１３１は、予測故障率テーブル１２３１の先頭のＢＩ時間から順に一つのＢＩ時間を選択し、当該ＢＩ時間に対応する１年間分の予測故障率の各値が目標故障率以下であるか否かを判断する。
比較の結果、ＢＩ時間に対応する１年間分の予測故障率の各値が目標故障率よりも大きい場合には（ステップＢ４のＮＯルート参照）、予測故障率テーブル１２３１における次のＢＩ時間に移行して（＋１Ｈ）、ステップＢ４の比較処理を繰り返し行なう。
【００９０】
ＢＩ時間に対応する１年間分の予測故障率の各値が目標故障率以下の場合には（ステップＢ４のＹＥＳルート参照）、ステップＢ５に移行する。
ステップＢ５においては、故障率比較判定部１３１は、対応する１年間分の予測故障率の各値が目標故障率以下となった最短のＢＩ時間を、新たなＢＩ時間として決定し、処理を終了する。
【００９１】
次に、実施形態の一例としてのバーンインシステム１における運用時の処理を、図１２〜図１４に示すフローチャート（ステップＣ１〜Ｃ２７）に従って説明する。
なお、図１２はバーンイン試験開始前における処理（ステップＣ１〜Ｃ１０）を、図１３はバーンイン試験における処理（ステップＣ１１〜Ｃ１４）を、図１４はバーンイン試験時間の更新処理（ステップＣ１５〜Ｃ２７）を、それぞれ示す。
【００９２】
オペレータは、被試験ＬＳＩをＢＩ試験ボードに搭載し、バーンイン装置３０の恒温槽３１に取り付ける。また、オペレータは、操作部１０５を操作して、ＢＩ試験操作画面から試験対象のＬＳＩ（被試験ＬＳＩ）の型名を入力（選択）する（図１２のステップＣ１）。
ＢＩ試験制御部１０６は、ＢＩ試験操作画面において入力されたＬＳＩの型名に対応するＢＩ試験条件をＢＩ試験条件格納部１０４から読み出す（図１２のステップＣ２）。
【００９３】
ＢＩ試験制御部１０６は、読み出したＢＩ試験条件をＢＩ試験操作画面（モニタ１４ａ）に表示させる（図１２のステップＣ３）。オペレータは、表示されたＬＳＩの型名やＢＩ試験条件の内容が正しいものであるか否かを確認する（図１２のステップＣ４）。
確認の結果、ＬＳＩ型名等が正しいものではない場合には（ステップＣ４のＮＧルート参照）、ステップＣ１に戻る（符号Ａ参照）。
【００９４】
一方、ＬＳＩ型名等が正しいものである場合には（ステップＣ４のＯＫルート参照）、オペレータがＢＩ試験操作画面から試験開始指示を入力することで（図１２のステップＣ５）、バーンイン装置３０の電源が投入され、恒温槽３１にも電力が供給される（図１２のステップＣ６）。
ＢＩ試験制御部１０６は、バーンイン装置３０のＢＩ試験監視部３０２から恒温槽３１の温度や電圧を読み出し（図１２のステップＣ７）、これらの恒温槽３１の温度や電圧の情報をＢＩ試験操作画面に表示させる（図１２のステップＣ８）。
【００９５】
ＢＩ試験制御部１０６は、恒温槽３１の温度や電圧がＢＩ試験条件として設定された値に到達したか否かを確認し（図１２のステップＣ９）、到達していない場合には（ステップＣ９のＮＯルート参照）、ステップＣ７に戻る。
恒温槽３１の温度や電圧がＢＩ試験条件として設定された値に到達した場合には（ステップＣ９のＹＥＳルート参照）、ＢＩ試験実行部３０１がＢＩ試験を開始する（図１２のステップＣ１０）。すなわち、ＢＩ試験実行部３０１がＢＩ試験として、ストレス試験（温度／電圧加速）およびモニタ試験（ＬＳＩ機能試験）を開始する。
【００９６】
ＢＩ試験実行部３０１によるＢＩ試験の実行中においては、ＢＩ試験監視部３０２による恒温槽３１の温度や電圧等の監視が行なわれる（図１３のステップＣ１１）。
ＢＩ試験監視部３０２は、設定されたＢＩ時間に到達したか否かを確認し（図１３のステップＣ１２）、到達していない場合には（ステップＣ１２のＮＯルート参照）、ステップＣ１１に戻る。
【００９７】
ＢＩ時間に到達した場合には（ステップＣ１２のＹＥＳルート参照）、ＢＩ試験実行部３０１はＢＩ試験を終了する（図１３のステップＣ１３）。
ＢＩ試験結果格納処理部３０３が、ＢＩ試験の結果をＢＩ試験結果ＤＢ２０１に格納する。
その後、バーンイン試験制御装置１０において、ＢＩ時間の更新処理が開始される（図１３のステップＣ１４）。
【００９８】
ＢＩ時間算出制御部１０１は、ＢＩ試験結果ＤＢ２０１から、被試験ＬＳＩについてのバーンイン試験結果として、試験日，試験条件（温度／電圧／ＢＩ時間），ＬＳＩ能試験結果を取得し、障害流出率演算部１２１に受け渡す。
また、ＢＩ時間算出制御部１０１は、ＢＩ試験結果ＤＢ２０１から、被試験ＬＳＩについてのバーンイン試験結果として、試験日，試験条件（温度／電圧／ＢＩ時間），ＬＳＩ能試験結果を取得し、障害流出率演算部１２１に受け渡す。
【００９９】
障害流出率演算部１２１は、ＢＩ時間算出制御部１０１から受け渡されたバーンイン試験結果に基づき、上述した式（１）を用いて、第１の障害流出率である、ＢＩ試験結果に基づく障害流出率（ｃ）を算出する（図１４のステップＣ１５）。また、障害流出率演算部１２１は、ＢＩ時間算出制御部１０１から受け渡された市場品質情報に基づき、上記式（２）を用いて、第２の障害流出率である、市場での障害流出率（ｅ）を算出する。
【０１００】
障害流出率演算部１２１は、算出したＢＩ試験結果に基づく障害流出率に基づいて第１障害流出率情報１２１１を作成する。また、障害流出率演算部１２１は、算出した市場での障害流出率に基づいて第２障害流出率情報１２１２を作成する。そして、障害流出率演算部１２１は、これらの第１障害流出予測数情報１２２１および第２障害流出率情報１２１２に基づいて障害流出率テーブル１２１３を作成する（図１４のステップＣ１６）。
【０１０１】
ＢＩ時間算出制御部１０１は、出荷計画ＤＢ２０２から月単位の市場出荷計画数を取得するとともに、障害流出率演算部１２１によって作成された障害流出率情報１２１３を取得し、これらを障害流出予測演算部１２２に受け渡す。
障害流出予測演算部１２２は、ＢＩ時間算出制御部１０１から受け渡された情報に基づき、障害流出数を予測（算出）し（図１４のステップＣ１７）、障害流出予測数情報１２２１を作成する（図１４のステップＣ１８）。
【０１０２】
ＢＩ時間算出制御部１０１は、出荷計画ＤＢ２０２から月単位の市場出荷計画数を取得する。また、ＢＩ時間算出制御部１０１は、市場品質ＤＢ２０３から、被試験ＬＳＩについて、市場品質情報として、月単位の市場稼動数，市場での障害数および市場での障害発生までの稼動時間を取得する。さらに、ＢＩ時間算出制御部１０１は、障害流出予測演算部１２２によって作成された障害流出予測数情報１２２１を取得する。
【０１０３】
そして、ＢＩ時間算出制御部１０１はこれらの取得した情報を市場故障率予測部１２３に受け渡す。
市場故障率予測部１２３は、ＢＩ時間算出制御部１０１から得た情報に基づき、市場における品質予測値（故障率）を算出し（図１４のステップＣ１９）、予測故障率テーブル１２３１を作成する（図１４のステップＣ２０）。
【０１０４】
故障率比較判定部１３１が、目標故障率テーブル１３２から選択された被試験ＬＳＩに対応する市場目標故障率の値と、予測故障率情報１２３１とを比較する（故障率比較判定）。すなわち、故障率比較判定部１３１は、予測故障率テーブル１２３１の先頭のＢＩ時間から順に一つのＢＩ時間を選択し、当該ＢＩ時間に対応する１年間分の予測故障率の各値が目標故障率以下であるか否かを判断する（図１４のステップＣ２１）。
【０１０５】
比較の結果、ＢＩ時間に対応する１年間分の予測故障率の各値が目標故障率よりも大きい場合には（ステップＣ２１のＮＯルート参照）、予測故障率テーブル１２３１における次のＢＩ時間に移行して（＋１Ｈ）、ステップＣ２１の比較処理を繰り返し行なう。
一方、ＢＩ時間に対応する１年間分の予測故障率の各値が目標故障率以下の場合には（ステップＣ２１のＹＥＳルート参照）、ステップＣ２２に移行する。
【０１０６】
すなわち、故障率比較判定部１３１は、対応する１年間分の予測故障率の各値が目標故障率以下となった最短のＢＩ時間を、新たなＢＩ時間として決定する。また、故障率比較判定部１３１は、決定した新たなＢＩ時間をＢＩ試験条件格納部１０４に反映させる（図１４のステップＣ２２）。すなわち、ＢＩ試験条件格納部１０４において先に登録されているＢＩ時間を新たに決定したＢＩ時間を用いて更新する。
【０１０７】
その後、バーンイン装置１０の恒温層３１の電源がオフされ（図１４のステップＣ２３）、自動的に電源断される。オペレータは、ＢＩ試験ボードをバーンイン装置３０から取り出した後、ＢＩ試験ボードから被試験ＬＳＩを取り外し、合否判定結果にあわせ分類する。また、被試験ＬＳＩが他にある場合には、バーンイン試験を継続して行なう。
オペレータは、ＢＩ試験結果ＤＢ２０１にバーンイン試験結果が格納されていることを確認する（図１４のステップＣ２４）。その後、オペレータは、ＢＩ試験ボードを恒温槽３１から取り出し、このＢＩ試験ボードから全ての被試験ＬＳＩを取り外す（図１４のステップＣ２５）。
【０１０８】
そして、オペレータは、取り外した被試験ＬＳＩを、合否判定結果にあわせ分類する（図１４のステップＣ２６）。すなわち、試験結果において合格（ＯＫ）と判断された被試験ＬＳＩを合格品置き場（ＯＫ品置き場）に配置する一方、不合格（ＮＧ）と判断された被試験ＬＳＩを不合格品用置き場（ＮＧ品置き場）に配置する。
オペレータは、他にバーンイン試験を行なう被試験ＬＳＩ（試験品）が存在するか否かを確認する（図１４のステップＣ２７）。試験品が存在する場合には（ステップＣ２７の“あり”ルート参照）、図１２のステップＣ１に戻る（符号Ａ参照）。一方、試験品が存在しない場合には（ステップＣ２７の“なし”ルート参照）、処理を終了する。
【０１０９】
（Ｃ）効果
このように、実施形態の一例としてのバーンインシステム１によれば、ＢＩ時間を決定するにあたり、障害流出率演算部１２１が、バーンイン試験結果に基づきＢＩ試験結果に基づく障害流出率（ｃ）を算出する。また、障害流出率演算部１２１は、場品質情報に基づき市場での障害流出率（ｅ）を算出する。
【０１１０】
そして、障害流出率演算部１２１は、これらの第１障害流出予測数情報１２２１および第２障害流出率情報１２１２に基づいて障害流出率テーブル１２１３を作成する。この障害流出率テーブル１２１３は、被試験ＬＳＩについてのバーンイン試験結果に基づいて
算出される障害流出率を、被試験ＬＳＩの市場における品質実績により算出される障害流出率で拡張して構成したものであるということができる。
【０１１１】
故障率比較判定部１３１が、目標故障率テーブル１３２から選択された被試験ＬＳＩに対応する市場目標故障率の値と、予測故障率情報１２３１とを比較し、対応する１年間分の予測故障率の各値が目標故障率以下となった最短のＢＩ時間を、新たなＢＩ時間として決定する。
これにより、ＢＩ時間の決定に、バーンイン試験の結果と、市場品質情報及び出荷計画を反映させることができ、市場目標故障率を保障した上で最適なＢＩ試験時間を決定することができる。
【０１１２】
バーンイン試験実績に基づくバーンイン時間設定方法に加えて、市場品質実績に基づく品質判断を行なう。これにより、市場への出荷後の品質評価を反映させることができ、
ことで、バーンイン試験時間の見直しを短期間で行なうことができる。
また、被試験ＬＳＩについての出荷計画に基づいて市場予測故障率を算出し、被試験ＬＳＩに対して設定された目標故障率に対する市場品質の達成度合いの判定を行なう。そして、その判定結果から、最短となるバーンイン試験時間を選択し、バーンイン試験条件として設定する事で、市場品質を確保できる最短のバーンイン試験時間設定を容易に設定することができ、品質とＢＩ試験コストの適正化を図ることができる。
【０１１３】
なお、市場品質を確保するため、適宜バーンイン試験時間を延長してもよい。
（Ｄ）その他
そして、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
例えば、上述した実施形態において、被試験ＬＳＩの市場品質を監視し、市場における故障率が市場目標故障率以内である場合にはバーンイン試験を不要と判断し、バーンイン装置３０によるバーンイン試験の実行を抑止してもよい。これにより、バーンイン試験に要する負荷を軽減することができる。なお、市場における故障率が市場目標故障率よりも大きい場合に、図１４のステップＣ１５以降の処理を行なう。
【０１１４】
また、上述した開示により本実施形態を当業者によって実施・製造することが可能である。
（Ｅ）付記
（付記１）
被試験物に対して行なったバーンイン試験の結果と、前記被試験物の市場における品質実績とに基づき、前記被試験物について前記市場での予測故障率をバーンイン時間毎に算出する処理と、
前記予測故障率と目標故障率とを比較し、前記予測故障率が前記目標故障率以下となる最短のバーンイン時間を選択する処理と
を備えることを特徴とする、試験管理方法。
【０１１５】
（付記２）
前記被試験物に対して行なったバーンイン試験の結果に基づき、前記被試験物についてのバーンイン時間毎の第１の障害流出率を算出する処理と、
前記被試験物の市場における品質実績に基づき、前記被試験物についてのバーンイン時間毎の第２の障害流出率を算出する処理と、
前記第１の障害流出率と前記第２の障害流出率と、前記被試験物の出荷計画数とに基づき、前記被試験物についてのバーンイン時間毎の予測障害流出数を算出する処理と、
前記予測障害流出数を用いて、バーンイン時間毎の前記市場予測故障率を算出する処理と
を備えることを特徴とする、付記１記載の試験管理方法。
【０１１６】
（付記３）
前記予測障害流出数と、前記被試験物の、市場稼動数，市場稼動時間，予測稼動数，予測稼動時間および市場において生じた故障数に基づいて、前記予測故障率を算出する
ことを特徴とする、付記１又は２記載の試験管理方法。
（付記４）
バーンイン時間毎に、複数の所定期間毎に前記市場予測故障率を算出し、
前記所定期間毎に算出した複数の市場予測故障の全てが前記目標故障率以下であるバーンイン時間を選択する
ことを特徴とする、付記１〜３のいずれか１項に記載の試験管理方法。
【０１１７】
（付記５）
被試験物に対して行なったバーンイン試験の結果と、前記被試験物の市場における品質実績とに基づき、前記被試験物について前記市場での予測故障率をバーンイン時間毎に算出する市場故障率予測演算部と、
前記予測故障率と目標故障率とを比較し、前記予測故障率が前記目標故障率以下となる最短のバーンイン時間を選択する選択部と
を備えることを特徴とする、試験管理装置。
【０１１８】
（付記６）
前記被試験物に対して行なったバーンイン試験の結果に基づき、前記被試験物についてのバーンイン時間毎の第１の障害流出率を算出する第１障害流出率算出部と、
前記被試験物の市場における品質実績に基づき、前記被試験物についてのバーンイン時間毎の第２の障害流出率を算出する第２障害流出率算出部と、
前記第１の障害流出率と前記第２の障害流出率と、前記被試験物の出荷計画数とに基づき、前記被試験物についてのバーンイン時間毎の予測障害流出数を算出する障害流出数算出部と、
前記予測障害流出数を用いて、バーンイン時間毎の前記市場予測故障率を算出する市場故障率算出部と
を備えることを特徴とする、付記５記載の試験管理装置。
【０１１９】
（付記７）
前記市場故障率算出部が、
前記予測障害流出数と、前記被試験物の、市場稼動数，市場稼動時間，予測稼動数，予測稼動時間および市場において生じた故障数に基づいて、前記予測故障率を算出する
ことを特徴とする、付記５又は６記載の試験管理装置。
【０１２０】
（付記８）
前記選択部が、
バーンイン時間毎に、複数の所定期間毎に前記市場予測故障率を算出し、
前記所定期間毎に算出した複数の市場予測故障の全てが前記目標故障率以下であるバーンイン時間を選択する
ことを特徴とする、付記５〜７のいずれか１項に記載の試験管理装置。
【符号の説明】
【０１２１】
１    バーンインシステム
１０    バーンイン試験制御装置
１１    プロセッサ（処理部）
１２    ＲＡＭ（記憶部）
１３    ＨＤＤ（記憶部）
１４    グラフィック処理装置
１４ａ    モニタ（表示部）
１５    入力インタフェース
１５ａ    キーボード（入力部）
１５ｂ    マウス（入力部）
１６    光学ドライブ装置
１６ａ    光ディスク
１７    機器接続インタフェース
１７ａ    メモリ装置
１７ｂ    メモリリーダライタ
１７ｃ    メモリカード
１８    ネットワークインタフェース
１９    バス
１０１    ＢＩ時間算出制御部
１０２    市場故障率予測演算部
１２１    障害流出率演算部
１２１１    第１障害流出率情報
１２１２    第２障害流出率情報
１２１３    障害流出率情報
１２２    障害流出予測演算部
１２２１    障害流出予測数情報  
１２３    市場故障率予測部
１２３１    予測故障率情報
１０３    ＢＩ時間算出部
１３１    故障率比較判定部
１３２    目標故障率テーブル
１０４    ＢＩ試験条件格納部
１０５    操作部
１０６    ＢＩ試験制御部
２０    品質ＤＢ
２０１    ＢＩ試験結果ＤＢ
２０２    出荷計画ＤＢ
２０３    ＢＩ試験結果格納部
３０    バーンイン装置
３１    恒温槽
３２    恒温槽制御部
３３    駆動部
３４    電流監視部
３０１    ＢＩ試験実行部
３０２    ＢＩ試験監視部
３０３    ＢＩ試験結果格納処理部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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