(57)【要約】【課題】ワイヤを巻き掛ける作業に要する手間を軽減することが可能なマルチワイヤ放電加工装置を提供する。【解決手段】マルチワイヤ放電加工装置１は、隣接するガイドローラー３０ｄとガイドローラー３０ｇとの間、隣接するガイドローラー３０ｅとガイドローラー３０ｆとの間に配置され、ガイドローラー部３０を走行するワイヤＲに接触する電極端子６３と、接触位置Ｐ１と退避位置Ｐ２とに電極端子６３を位置付ける位置切替機構６５と、を備え、該ガイドローラー部３０を通過するワイヤＲが、接触位置Ｐ１に位置付けられた電極端子６３を通過する際に蛇行して走行し、電極端子６３を退避位置Ｐ２に位置付けると蛇行無く走行する。【選択図】図１
2017071025.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワイヤと、該ワイヤが複数回巻き掛けられるガイドローラー群と、被加工物を固定する基台と、該基台と該ワイヤとを相対的に移動させ該基台に固定した被加工物に該ワイヤを切り込ませる移動手段と、該ワイヤと該基台との間に高周波パルス電力を供給する高周波パルス電源ユニットと、を有するマルチワイヤ放電加工装置であって、
該高周波パルス電源ユニットは、
隣接するガイドローラーの間に設置され、該ガイドローラー群を走行するワイヤに接触する電極端子と、
ワイヤに接触する接触位置と、ワイヤから離間する退避位置とに該電極端子を位置付ける電極端子位置付け手段と、を備え、
該ガイドローラー群を通過するワイヤは、
該接触位置に位置付けられた該電極端子を通過する際に蛇行して走行し、
該電極端子を該退避位置に位置付けると蛇行無く走行するマルチワイヤ放電加工装置。
【請求項２】
該電極端子に隣接して設置され、該ガイドローラー群に複数回巻き掛けられ並列するワイヤの成す面に対し、該電極端子と反対側からワイヤに接触してワイヤを支持し、ワイヤが該電極端子の外周に沿って走行するようワイヤを案内する電極ガイドローラーを備え、
該電極ガイドローラーが、該接触位置と該退避位置とに位置付けられる請求項１記載のマルチワイヤ放電加工装置。
【請求項３】
該電極端子と該電極ガイドローラーは、該電極端子位置付け手段によって該接触位置と該退避位置とに同期して位置付けられる請求項２記載のマルチワイヤ放電加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マルチワイヤ放電加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インゴット等の被加工物からウェーハを切り出す装置として、マルチワイヤ放電加工装置が知られている。マルチワイヤ放電加工装置では、例えば１００μｍ以上２００μｍ以下の径を有するワイヤが、複数のガイドローラーの軸方向に所定の間隔で複数回巻き掛けられている。このため、例えば２つのガイドローラーの間には、複数本のワイヤがガイドローラーの軸方向に並んで配置される面が形成される。マルチワイヤ放電加工装置は、ワイヤと被加工物との間に電力を供給しつつ、被加工物を当該ワイヤの面に向けて送ることにより、複数本のワイヤによって被加工物を放電加工し、複数枚のウェーハを切り出す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−９４２２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
例えばマルチワイヤ放電加工装置の組み立て又はメンテナンスの際、複数のガイドローラーにワイヤを巻き掛ける作業を行う。この作業は、細いワイヤを何重にも巻き掛ける必要があるため、熟練した作業者であっても長い時間を要する。これに加え、上記のマルチワイヤ放電加工装置では、複数本のワイヤに電力を供給するための電極端子が当該ワイヤを押し込むように配置される。この場合、作業者は、ガイドローラーにワイヤを巻き掛けることに加えて、電極端子の外周に沿って蛇行するようにワイヤを配置する必要がある。このため、ワイヤを巻き掛ける作業に手間が掛かってしまうという問題がある。
【０００５】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、ワイヤを巻き掛ける作業に要する手間を軽減することが可能なマルチワイヤ放電加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るマルチワイヤ放電加工装置は、ワイヤと、該ワイヤが複数回巻き掛けられるガイドローラー群と、被加工物を固定する基台と、該基台と該ワイヤとを相対的に移動させ該基台に固定した被加工物に該ワイヤを切り込ませる移動手段と、該ワイヤと該基台との間に高周波パルス電力を供給する高周波パルス電源ユニットと、を有するマルチワイヤ放電加工装置であって、該高周波パルス電源ユニットは、隣接するガイドローラーの間に設置され、該ガイドローラー群を走行するワイヤに接触する電極端子と、ワイヤに接触する接触位置と、ワイヤから離間する退避位置とに該電極端子を位置付ける電極端子位置付け手段と、を備え、該ガイドローラー群を通過するワイヤは、該接触位置に位置付けられた該電極端子を通過する際に蛇行して走行し、該電極端子を該退避位置に位置付けると蛇行無く走行する。
【０００７】
本発明によれば、電極端子が接触位置と退避位置とに位置付け可能であるため、例えば被加工物の加工を行う場合には電極端子を接触位置に位置付け、ワイヤの巻き掛けを行う場合には電極端子を退避位置に位置付けるように切り替えが可能となる。また、ワイヤを巻き掛ける際には、電極端子を退避位置に位置付けた状態でワイヤを巻き掛けることにより、ワイヤを蛇行させることなく巻き掛けを行うことができる。これにより、ワイヤを巻き掛ける作業に要する手間を軽減することが可能となる。
【０００８】
また、上記マルチワイヤ放電加工装置は、該電極端子に隣接して設置され、該ガイドローラー群に複数回巻き掛けられ並列するワイヤの成す面に対し、該電極端子と反対側からワイヤに接触してワイヤを支持し、ワイヤが該電極端子の外周に沿って走行するようワイヤを案内する電極ガイドローラーを備え、該電極ガイドローラーが、該接触位置と該退避位置とに位置付けられる。
【０００９】
本発明によれば、電極ガイドローラーについても、接触位置と退避位置とに切り替えて位置付け可能であるため、ワイヤを蛇行させることなく巻き掛けを行うことができる。これにより、ワイヤを容易に巻き掛けることが可能となる。
【００１０】
また、上記マルチワイヤ放電加工装置において、該電極端子と該電極ガイドローラーは、該電極端子位置付け手段によって該接触位置と該退避位置とに同期して位置付けられる。
【００１１】
本発明によれば、電極端子と電極ガイドローラーとが接触位置と退避位置とに同期して位置付け可能であるため、電極端子及び電極ガイドローラーの位置の切り替えを効率的に行うことができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、ワイヤを巻き掛ける作業に要する手間を軽減することが可能なマルチワイヤ放電加工装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、マルチワイヤ放電加工装置の構成例を示す概略図である。
【図２】図２は、マルチワイヤ放電加工装置の加工部分を示す斜視図である。
【図３】図３は、電極端子及び電極ガイドローラーの位置を示す図である。
【図４】図４は、電極端子及び電極ガイドローラーの位置を示す図である。
【図５】図５は、ワイヤを設置する作業の一工程を示す図である。
【図６】図６は、ワイヤを設置する作業の一工程を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明に係るマルチワイヤ放電加工装置の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、この実施形態によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施形態における構成要素には、当業者が置換可能かつ容易なもの、あるいは実質的に同一のものが含まれる。
【００１５】
実施形態に係るマルチワイヤ放電加工装置の構成例について説明する。図１は、マルチワイヤ放電加工装置の構成例を示す概略図である。図２は、マルチワイヤ放電加工装置の被加工物の周辺を拡大して示す概略斜視図である。マルチワイヤ放電加工装置１は、図１に示すように、ワイヤＲにより被加工物であるインゴットＩを放電加工するものであり、繰り出しボビン２０、巻き取りボビン２１、ガイドローラー部３０、張力調整部８０及び張力調整部９０を備えている。
【００１６】
繰り出しボビン２０には、未使用のワイヤＲが一定量巻き回されている。ワイヤＲは、切断面が円形に形成され、芯部と、芯部の周面を被覆する被覆部とから構成されている。芯部は、高純度の鋼であり、例えばピアノ線である。被覆部は、黄銅やタングステン、モリブデンなどの芯部より放電しやすい電気抵抗の低い材料で形成されている。ワイヤＲの直径は、例えば、１００μｍ〜１４０μｍ程度である。もちろん、ワイヤＲの直径は、１００μｍ〜１４０μｍに限定されず、例えば１００μｍ〜２００μｍでもよい。また、ワイヤＲは、高純度の鋼である芯部と、黄銅やタングステン、モリブデンなどの被覆部とから構成されても、黄銅のみから形成されてもよい。また、ワイヤＲは、その切断面が円形である例を説明したが、円形以外であってもよい。例えば、ワイヤＲは、その切断面が楕円形や多角形であってもよい。
【００１７】
繰り出しボビン２０は、ガイドローラー部３０に向けてワイヤＲを繰り出す。張力調整部８０は、繰り出しボビン２０とガイドローラー部３０との間に配置され、ワイヤＲが巻きかけられている。張力調整部８０については、後述する。ガイドローラー部３０は、繰り出しボビン２０の近傍に配置され、繰り出しボビン２０から繰り出されたワイヤＲを案内する。ガイドローラー部３０は、複数のガイドローラー３０ａ〜３０ｉから構成されている。ガイドローラー３０ａ〜３０ｉは、円柱状に形成され、ワイヤＲが走行する方向に間隔をおいて配置されている。
【００１８】
ガイドローラー３０ａは、繰り出しボビン２０の近傍に配置される。ガイドローラー３０ａには、繰り出しボビン２０から繰り出されたワイヤＲを支持し、後述の張力調整部８０に送り出す。ガイドローラー３０ｂは、ガイドローラー３０ａ及び後述の張力調整部８０を介したワイヤＲを巻き掛けてガイドローラー３０ｃに送り出す。ガイドローラー３０ｃは、ガイドローラー３０ｂから送り出されたワイヤＲを巻き掛けてガイドローラー３０ｄに送り出す。
【００１９】
ガイドローラー３０ｄ〜ガイドローラー３０ｇは、並列ワイヤ支持部（ガイドローラー群）３１０を構成し、ワイヤＲを環状に支持するように配置されている。ガイドローラー３０ｄ〜ガイドローラー３０ｇは、例えば矩形の頂点となる位置に配置される。ガイドローラー３０ｄ〜ガイドローラー３０ｇは、互いに平行に配置されている。ガイドローラー３０ｄ及び３０ｇは、サブストレート４１ｂに対してＺ軸方向の上側に配置される。ガイドローラー３０ｅ及びガイドローラー３０ｆは、加工槽５０内に配置され、サブストレート４１ｂに対してＺ軸方向の下側に配置される。並列ワイヤ支持部３１０のガイドローラー３０ｄ〜３０ｇは、環状のワイヤＲを内側から支持するように配設されている。
【００２０】
図２は、マルチワイヤ放電加工装置１の加工部分を示す斜視図であり、並列ワイヤ支持部３１０の一部を示している。図２に示すように、並列ワイヤ支持部３１０を構成する各ガイドローラー３０ｄ〜３０ｇには、ワイヤＲが軸方向（Ｙ軸方向）に一定の間隔を空けて複数回巻き掛けられている。ワイヤＲ同士の軸方向の間隔は、例えば０．５ｍｍ以上、数ｍｍ以下の範囲で設定することができる。また、本実施形態では、ワイヤＲがガイドローラー３０ｄ〜３０ｇに１０周巻き掛けられているが、これに限定するものではない。
【００２１】
ここで、Ｙ軸方向は、ガイドローラー３０ａ〜３０ｉの軸方向である。Ｘ軸方向は、Ｙ軸方向と水平面上で直交する方向である。Ｚ軸方向は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向、本実施形態では、鉛直方向である。
【００２２】
図１に示すように、並列ワイヤ支持部３１０において、ガイドローラー３０ｄは、ガイドローラー３０ｃから送り出されたワイヤＲを巻き掛けてガイドローラー３０ｅに送り出す。ガイドローラー３０ｅは、ガイドローラー３０ｄから送り出されたワイヤＲを巻き掛けてガイドローラー３０ｆに送り出す。ガイドローラー３０ｆは、ガイドローラー３０ｅから送り出されたワイヤＲを巻き掛けてガイドローラー３０ｇに送り出す。ガイドローラー３０ｇは、ガイドローラー３０ｆから送り出されたワイヤＲを巻き掛けてガイドローラー３０ｄに送り出す。これにより、並列ワイヤ支持部３１０を構成する４つのガイドローラー３０ｄ〜３０ｇに亘ってワイヤＲが１周巻かれたことになる。ワイヤＲは、４つのガイドローラー３０ｄ〜３０ｇに、例えば残り８周巻き掛けられる。この場合、ガイドローラー３０ｄは、９周目のワイヤＲを巻き掛けてガイドローラー３０ｈに送り出す。
【００２３】
ガイドローラー３０ｈは、ガイドローラー３０ｄから送り出されたワイヤＲを支持し、ガイドローラー３０ｉ側へ送り出す。ガイドローラー３０ｈとガイドローラー３０ｉとの間には、後述の張力調整部９０が設けられる。ガイドローラー３０ｉは、張力調整部９０を経由したワイヤＲを支持し、巻き取りボビン２１に送り出す。巻き取りボビン２１は、ガイドローラー３０ｉから送り出された使用済みのワイヤＲを巻き取って回収する。
【００２４】
並列ワイヤ支持部３１０に１０周巻き掛けられたワイヤＲのうち、ガイドローラー３０ｆとガイドローラー３０ｇとの間に張り渡された部分は、インゴットＩをウェーハにスライスする切断ワイヤ部３２０を構成する。切断ワイヤ部３２０では、例えば９本のワイヤＲが一定のテンションで張り渡されている。なお、切断ワイヤ部３２０におけるワイヤＲの本数は、８本以下であってもよいし、１０本以上であってもよい。切断ワイヤ部３２０を構成する各ワイヤＲは、ガイドローラー３０ｆからガイドローラー３０ｇに向けてＺ軸方向に沿って上向きに走行する。
【００２５】
なお、繰り出しボビン２０、巻き取りボビン２１及びガイドローラー３０ａ〜３０ｉは、不図示のモータによって回転駆動される。なお、ガイドローラー３０ａ〜３０ｉの全部をモータ駆動とする必要はなく、例えば、並列ワイヤ支持部３１０を構成するガイドローラー３０ｄ〜３０ｇについてのみモータ駆動とし、残りのガイドローラー３０ａ〜３０ｃ、３０ｈ、３０ｉについては従動ローラーとしてもよい。繰り出しボビン２０から巻き取りボビン２１まで、ガイドローラー３０ａ〜３０ｉに巻き掛けられたワイヤＲが走行する速度は、例えば０．５ｍ／ｓｅｃ以上、１ｍ／ｓｅｃ以下の範囲に設定することができるが、これに限定するものではない。
【００２６】
張力調整部８０及び９０は、ワイヤＲの張力を調整する。張力調整部８０は、ガイドローラー３０ａとガイドローラー３０ｂとの間に配置されている。張力調整部８０は、供給ローラー８１と、調整ローラー８２とを有している。また、張力調整部９０は、ガイドローラー３０ｈとガイドローラー３０ｉとの間に配置されている。張力調整部９０は、供給ローラー９１と、調整ローラー９２とを有している。
【００２７】
張力調整部８０及び張力調整部９０において、供給ローラー８１、９１は、ワイヤＲの走行に従動して回転する。また、調整ローラー８２、９２は、回転速度が調整可能に設けられる。張力調整部８０、９０では、調整ローラー８２、９２の回転速度を調整することにより、ワイヤＲの張力が調整可能となっている。
【００２８】
インゴットＩは、円柱形状であり、切断ワイヤ部３２０のワイヤＲの間隔で円板状にスライスされる。インゴットＩは、導電性がある材料であり、ＳｉＣ、単結晶ダイヤ、シリコン、ＧａＮ（窒化ガリウム）等から形成される。
【００２９】
切断ワイヤ部３２０の近傍には、インゴットＩを支持する支持機構４０が設けられている。支持機構４０は、基台部４１と、支持柱４２と、駆動手段（移動手段）４３とを備えている。基台部４１は、インゴットＩを固定するものである。基台部４１は、基台４１ａと、基台４１ａに固定された板状のサブストレート４１ｂとを備えている。サブストレート４１ｂの前面には、インゴットＩの周面Ｉａが導電性接着剤により接着されて固定される。インゴットＩは、その端面Ｉｅが切断ワイヤ部３２０のワイヤＲが走行するＺ軸方向と略平行になるように基台部４１のサブストレート４１ｂに固定される。
【００３０】
支持柱４２は、棒状に形成されており、Ｚ軸方向に立設されている。支持柱４２は、一端に基台部４１が固定され、他端に駆動手段４３が固定されている。駆動手段４３は、インゴットＩとワイヤＲとをＸ軸方向に相対移動させるものである。例えば、駆動手段４３は、Ｘ軸方向に沿って延在される図示しないボールねじと、パルスモータ等で構成される駆動源とを有する。駆動手段４３は、ボールねじのナットに固定された支持柱４２をＸ軸方向に沿って移動させ、支持柱４２に固定された基台部４１のインゴットＩを切断ワイヤ部３２０のワイヤＲに切り込ませる。
【００３１】
加工槽５０は、誘電体である水や油などの加工液Ｆを収容する。マルチワイヤ放電加工は、加工液Ｆの中で行われる。したがって、マルチワイヤ放電加工を行う際、少なくともインゴットＩと、当該インゴットＩを切断する切断ワイヤ部３２０とが加工槽５０内で加工液Ｆに浸された状態となる。本実施形態では、インゴットＩ及び切断ワイヤ部３２０に加えて、インゴットＩを支持する基台４１ａの一部と、並列ワイヤ支持部３１０を構成するガイドローラー３０ｅ及び３０ｆとが加工槽５０に収容される。
【００３２】
加工槽５０は、上面に開口部５３を有している。当該基台４１ａの一部は、開口部５３の上方から下方に屈曲して設けられており、屈曲部分の先端（Ｚ軸方向の下側端部）が加工槽５０に収容される。また、ガイドローラー３０ｄから送り出されたワイヤＲは、開口部５３から加工槽５０内に進入する。また、ガイドローラー３０ｆから送り出されたワイヤＲは、開口部５３から加工槽５０外に抜け出す。
【００３３】
マルチワイヤ放電加工装置１は、ワイヤＲとインゴットＩに給電する給電機構６０を備えている。給電機構６０は、高周波パルス電源ユニット６１と、ワイヤ用電極６２と、図示しない基台用電極とを備えている。
【００３４】
高周波パルス電源ユニット６１は、ワイヤＲと、基台部４１に固定されたインゴットＩとに高周波パルス電力を供給する。例えば、高周波パルス電源ユニット６１は、高周波パルス電力の周波数を所定の周波数に調整するパルス調整手段６１ａと、高周波パルス電力の電圧を調整する電圧調整手段６１ｂとを備えている。
【００３５】
高周波パルス電源ユニット６１は、ワイヤ用電極６２に接続され、ワイヤ用電極６２を介して高周波パルス電力をワイヤＲに供給する。また、高周波パルス電源ユニット６１は、基台部４１に固定される基台用電極に接続され、基台部４１を介して高周波パルス電力をインゴットＩに供給する。
【００３６】
高周波パルス電源ユニット６１から高周波パルス電力を供給して、ワイヤＲとインゴットＩとの極間に電圧を印加すると、ワイヤＲは、正面に配置されたインゴットＩに対して放電を行う。例えば、加工液Ｆ中で絶縁状態にあるインゴットＩとワイヤＲの間隔が数十μｍ位まで近づくと、両者の絶縁が破壊されて放電が発生する。この放電によってインゴットＩが加熱されて溶融され、さらに液体の温度が急激に上昇することにより液体が気化し、体積膨張によって溶融箇所を飛散させる。このように、ワイヤＲとインゴットＩとの極間に電圧を印加することで、インゴットＩを溶融すると共に飛散させる処理を断続的に行ってインゴットＩの放電加工を実施する。
【００３７】
ワイヤ用電極６２は、並列ワイヤ支持部３１０に巻かれたワイヤＲのうち、ガイドローラー３０ｄとガイドローラー３０ｇとの間に張り渡された部分（接続部分３３０）と、ガイドローラー３０ｅとガイドローラー３０ｆとの間に張り渡された部分（接続部分３４０）と、の２箇所に接続される。図１及び図２等では、接続部分３３０に接続されるワイヤ用電極６２のみを図示しており、接続部分３４０に設けられたワイヤ用電極の図示を省略している。以下、接続部分３３０側のワイヤ用電極６２の構成のみを説明するが、接続部分３４０側のワイヤ用電極についても同様の説明が可能である。
【００３８】
ワイヤ用電極６２は、電極端子６３と、電極ガイドローラー６４と、位置切替機構（電極端子位置付け手段）６５とを有している。電極端子６３は、導電性を有する材料によって円筒状又は円柱状に形成される。電極端子６３は、ワイヤＲに接触することにより、高周波パルス電源ユニット６１とワイヤＲとの間を電気的に接続する。電極端子６３は、例えば並列ワイヤ支持部３１０に環状に巻かれたワイヤＲの外側に配置される。
【００３９】
電極ガイドローラー６４は、絶縁材料によって円筒状又は円柱状に形成される。電極ガイドローラー６４の径は、例えば電極端子６３と同一であるが、異なってもよい。電極ガイドローラー６４は、電極端子６３との間に間隔を空けて隣接して配置される。電極ガイドローラー６４は、電極端子６３との間でワイヤＲを挟む位置に配置され、例えば並列ワイヤ支持部３１０に環状に巻かれたワイヤＲの内側に配置される。このため、電極ガイドローラー６４は、接続部分３３０において並列するワイヤＲの成す面に対して、電極端子６３とは反対側からワイヤＲに接触する。なお、電極端子６３が環状のワイヤＲの内側に配置され、電極ガイドローラー６４が環状のワイヤＲの外側に配置されてもよい。
【００４０】
位置切替機構６５は、保持部材６５ａと、回転機構６５ｂとを有している。保持部材６５ａは、Ｙ軸方向に平行な軸周りに回転可能に設けられる。保持部材６５ａは、電極端子６３及び電極ガイドローラー６４を一体で保持する。回転機構６５ｂは、保持部材６５ａをＹ軸方向に平行な軸回りに回転させる。
【００４１】
本実施形態では、保持部材６５ａの回転の中心は、例えばガイドローラー３０ｄ及びガイドローラー３０ｇの上端と等しい高さ位置になるように配置される。また、電極端子６３及び電極ガイドローラー６４は、例えば保持部材６５ａの回転中心から等しい距離だけ離れた位置に保持される。
【００４２】
位置切替機構６５は、保持部材６５ａを回転させることにより、電極端子６３の位置を、接触位置Ｐ１と退避位置Ｐ２との間で切り替える。また、位置切替機構６５の保持部材６５ａは、電極端子６３と電極ガイドローラー６４とを一体で保持する。このため、電極端子６３が移動する場合、電極ガイドローラー６４は、電極端子６３と一体で移動する。具体的には、電極端子６３の位置が接触位置Ｐ１と退避位置Ｐ２との間で切り替わる場合、電極ガイドローラー６４の位置は、電極端子６３と同期して、接触位置Ｑ１と退避位置Ｑ２との間で切り替わる。したがって、電極端子６３及び電極ガイドローラー６４は、位置切替機構６５により、接触位置Ｐ１、Ｑ１と退避位置Ｐ２、Ｑ２とに同期して位置付けられる。
【００４３】
図３及び図４は、電極端子６３及び電極ガイドローラー６４の位置を示す図である。図３は、電極端子６３及び電極ガイドローラー６４が接触位置Ｐ１及びＱ１に配置された状態を示している。図４は、電極端子６３及び電極ガイドローラー６４が退避位置Ｐ２及びＱ２に配置された状態を示している。
【００４４】
図３に示すように、接触位置Ｐ１は、電極端子６３がワイヤＲの接続部分３３０に接触する位置である。接触位置Ｐ１に配置された電極端子６３は、上方から下方にワイヤＲを押し込むように接触する。電極端子６３とワイヤＲとが接触しているため、高周波パルス電源ユニット６１とワイヤＲとの間が電気的に接続された状態となる。なお、電極端子６３の軸方向（Ｙ軸方向）の寸法は、ガイドローラー３０ｄとガイドローラー３０ｇとの間の９本全てのワイヤＲに接触可能となるように設定されている。
【００４５】
また、接触位置Ｑ１は、電極ガイドローラー６４がワイヤＲの接続部分３３０に接触する位置である。本実施形態では、保持部材６５ａの回転の中心がガイドローラー３０ｄ及びガイドローラー３０ｇの上端と等しい高さ位置に配置され、電極端子６３及び電極ガイドローラー６４が保持部材６５ａの回転中心から等しい距離だけ離れた位置に保持される。このため、接触位置Ｑ１に配置された電極ガイドローラー６４は、下方から上方にワイヤＲを押し上げるように支持する。電極ガイドローラー６４により、ワイヤＲは、電極端子６３の外周に沿って走行するように案内される。したがって、ワイヤＲが電極端子６３から離れることが抑制され、確実な接続が確保される。なお、電極ガイドローラー６４の軸方向（Ｙ軸方向）の寸法についても、電極端子６３と同様に、ガイドローラー３０ｄとガイドローラー３０ｇとの間の９本全てのワイヤＲに接触可能となるように設定されている。
【００４６】
図４に示すように、退避位置Ｐ２は、電極端子６３がワイヤＲの接続部分３３０から離間する位置である。退避位置Ｐ２に配置された電極端子６３は、ワイヤＲに対して上方に所定の間隔を空けて離れた状態となる。電極端子６３とワイヤＲとが接触していないため、高周波パルス電源ユニット６１とワイヤＲとの間が電気的に接続されていない状態となる。
【００４７】
また、退避位置Ｑ２は、電極ガイドローラー６４がワイヤＲの接続部分３３０から離間する位置である。退避位置Ｑ２に配置された電極ガイドローラー６４は、ワイヤＲに対して下方に所定の間隔を空けて離れた状態となる。なお、本実施形態では、電極端子６３及び電極ガイドローラー６４が退避位置Ｐ２、Ｑ２に配置される場合、ワイヤＲは、上下方向（Ｚ軸方向）について、電極端子６３と電極ガイドローラー６４との中間の位置に配置される。
【００４８】
マルチワイヤ放電加工装置１は、繰り出しボビン２０、巻き取りボビン２１、ガイドローラー３０ａ〜３０ｉ、駆動手段４３及び高周波パルス電源ユニット６１を制御する制御手段７０を備えている。制御手段７０は、繰り出しボビン２０、巻き取りボビン２１及びガイドローラー３０ａ〜３０ｉにモータ駆動信号を出力し、ワイヤＲの繰り出しや巻き取り、ワイヤＲの案内をするように制御する。また、制御手段７０は、駆動手段４３にモータ駆動信号を出力してインゴットＩを切断ワイヤ部３２０のワイヤＲに切り込ませるように制御する。また、制御手段７０は、高周波パルス電源ユニット６１に制御信号を出力して高周波パルス電力の出力時間などを制御する。また、制御手段７０は、ワイヤ用電極６２の動作を制御する。例えば、制御手段７０は、位置切替機構６５の回転機構６５ｂの動作を制御する。
【００４９】
次に、マルチワイヤ放電加工装置１の動作例について説明する。まず、作業者は、インゴットＩ及びワイヤＲの設置を行う。具体的には、作業者は、基台部４１のサブストレート４１ｂにインゴットＩを固定する。また、作業者は、繰り出しボビン２０からガイドローラー部３０を介して巻き取りボビン２１までワイヤＲを張り渡す。
【００５０】
図５及び図６は、ワイヤＲを設置する作業の一工程を示す図であり、並列ワイヤ支持部３１０に自動巻きによってワイヤＲを巻きつける手順を示している。作業者は、ワイヤＲの巻き掛けを行う前に、ワイヤ用電極６２の電極端子６３及び電極ガイドローラー６４を退避位置Ｐ２及びＱ２に配置させておく。その後、作業者は、ガイドローラー３０ｃを介したワイヤＲをガイドローラー３０ｄ〜３０ｇに１周巻き掛ける。
【００５１】
作業者は、ガイドローラー３０ｄ〜３０ｇにワイヤＲを巻き掛ける際、各ガイドローラー３０ｄ〜３０ｇに形成されたガイド溝Ｄに沿って巻き掛けるようにする。また、作業者は、ガイドローラー３０ｅからガイドローラー３０ｆにワイヤＲを張り渡すとき、及び、ガイドローラー３０ｇからガイドローラー３０ｄにワイヤＲを張り渡すときには、電極端子６３と電極ガイドローラー６４との間にワイヤＲを通過させるようにする。作業者は、ガイドローラー３０ｄ〜３０ｇに形成されたガイド溝Ｄに沿ってワイヤＲを巻き掛ける。その後、作業者は、２周目のワイヤＲをガイドローラー３０ｇまで巻き掛ける。そして、図５に示すように、ワイヤＲの先端Ｒａと、１周目のワイヤＲとの間をワイヤ連結具Ｓによって連結する。
【００５２】
作業者は、この状態から繰り出しボビン２０からワイヤＲを繰り出しつつ、ガイドローラー部３０を回転させる。ガイドローラー部３０の回転により、ワイヤＲの先端Ｒａは、ワイヤ連結具Ｓを介して隣のワイヤＲと一体で移動し、ガイド溝Ｄに沿ってガイドローラー３０ｄ〜３０ｇに複数回巻かれていく。図６に示すように、ワイヤＲの先端Ｒａがガイドローラー３０ｇの最後のガイド溝Ｄに巻かれるまでこの動作を行う。
【００５３】
本実施形態では、電極端子６３及び電極ガイドローラー６４が退避位置Ｐ２及びＱ２に配置されているため、ワイヤＲが蛇行することなく巻き掛けが行われる。また、ワイヤ連結具Ｓが電極端子６３及び電極ガイドローラー６４に干渉しないため、ガイドローラー部３０を用いた自動巻きによって短時間でワイヤＲの巻き掛けが行われる。
【００５４】
次に、作業者は、図６の状態から、ワイヤ連結具Ｓを取り外し、ワイヤＲの先端Ｒａをガイドローラー３０ｄに巻き掛ける。そして、作業者は、ワイヤＲをガイドローラー３０ｈ及び張力調整部９０に巻き掛け、ワイヤＲの先端Ｒａを巻き取りボビン２１に取り付ける。これにより、ワイヤＲが張り渡される。
【００５５】
その後、作業者は、ワイヤＲの張力を調整しつつ、位置切替機構６５により、電極端子６３及び電極ガイドローラー６４の位置を退避位置Ｐ２及びＱ２から接触位置Ｐ１及びＱ１に切り替える。これにより、電極端子６３がワイヤＲに接触し、ワイヤＲと高周波パルス電源ユニット６１とが電気的に接続される。このようにして、ワイヤＲの設置が完了する。ワイヤＲの設置が完了した後、作業者は、加工槽５０内に加工液Ｆを貯留して、加工情報を登録する。
【００５６】
マルチワイヤ放電加工装置１は、加工動作の開始指示があった場合に、加工動作を開始する。加工動作において、制御手段７０は、高周波パルス電源ユニット６１を制御し、高周波パルス電力をワイヤＲとインゴットＩに供給する。また、制御手段７０は、繰り出しボビン２０からワイヤＲを繰り出し、ガイドローラー部３０によってワイヤＲを案内させて一定の速度でワイヤＲを走行させる。
【００５７】
そして、制御手段７０は、高周波パルス電源ユニット６１によってワイヤＲとインゴットＩとの間に電圧を印加させつつ、駆動手段４３によってインゴットＩを切断ワイヤ部３２０に向けてＸ軸方向に移動させる。インゴットＩが切断ワイヤ部３２０に近接した場合、インゴットＩとワイヤＲとの間で放電が発生する。これにより、インゴットＩのうちワイヤＲに沿った部分が溶融し、加工溝が形成される。インゴットＩが移動するにつれて加工溝が深く形成されていき、インゴットＩが切断ワイヤ部３２０を通過することにより複数枚のウェーハが切り出される。
【００５８】
本実施形態によれば、電極端子６３が接触位置Ｐ１と退避位置Ｐ２とに位置付け可能であるため、例えばインゴットＩの加工を行う場合には電極端子６３を接触位置Ｐ１に位置付け、ワイヤＲの巻き掛けを行う場合には電極端子６３を退避位置Ｐ２に位置付けるように切り替えが可能となる。また、ワイヤＲを巻き掛ける際には、電極端子６３を退避位置Ｐ２に位置付けた状態でワイヤＲを巻き掛けることにより、ワイヤＲを蛇行させることなく巻き掛けを行うことができる。これにより、ワイヤＲを巻き掛ける作業に要する手間を軽減することが可能となる。
【００５９】
本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。例えば、上記実施形態では、電極端子６３と電極ガイドローラー６４とが同期して接触位置Ｐ１、Ｑ１及び退避位置Ｐ２、Ｑ２に位置付け可能な構成を例に挙げて説明したが、これに限定するものではない。例えば、電極端子６３と電極ガイドローラー６４とが個別に接触位置Ｐ１、Ｑ１及び退避位置Ｐ２、Ｑ２に位置付け可能な構成であってもよい。
【００６０】
また、上記実施形態では、電極端子位置付け手段として、電極端子６３と電極ガイドローラー６４とが共に接触位置Ｐ１、Ｑ１及び退避位置Ｐ２、Ｑ２に切り替え可能な構成を例に挙げて説明したが、これに限定するものではない。例えば、電極端子６３のみが接触位置Ｐ１及び退避位置Ｐ２に位置付け可能な構成であってもよい。
【符号の説明】
【００６１】
Ｉ  インゴット（被加工物）
Ｐ１，Ｑ１  接触位置
Ｐ２，Ｑ２  退避位置
Ｒ  ワイヤ
１  マルチワイヤ放電加工装置
２０  繰り出しボビン
２１  巻き取りボビン
３０  ガイドローラー部
３０ａ〜３０ｉ  ガイドローラー
４０  支持機構
４１ａ  基台
４３  駆動手段
５０  加工槽
６０  給電機構
６１  高周波パルス電源ユニット
６２  ワイヤ用電極
６３  電極端子
６４  電極ガイドローラー
６５  位置切替機構（電極端子位置付け手段）
６５ａ  保持部材
６５ｂ  回転機構
７０  制御手段
３１０  並列ワイヤ支持部（ガイドローラー群）
３２０  切断ワイヤ部
３３０，３４０  接続部分
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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