(57)【要約】【課題】吐出口が均一に配置された小型な液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】  液体吐出ユニット１０１は、複数の吐出口７が配列された吐出口形成部２０と、吐出口の配列方向に沿って吐出口形成部２０を挟むように設けられる第１、第２の部材１、５と、を有する。第１、第２の部材１、５は、吐出口の配列方向に配列して使用される他の液体吐出ユニットの端面と対向する端面が吐出口形成部２０に対して他の液体吐出ユニットの端面から離れる方向に退避した構成を有している。【選択図】図１２
2017071210.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する複数の吐出口を配列した液体吐出ユニットを該吐出口の配列方向に複数配列して使用される液体吐出ユニットであって、
複数の吐出口が配列された吐出口形成部と、
前記吐出口の配列方向に沿って該吐出口形成部を挟むように設けられている第１、第２の部材と、を有し、
前記第１、第２の部材は、前記吐出口の配列方向に配列して使用される他の液体吐出ユニットの端面と対向する端面が前記吐出口形成部に対して前記他の液体吐出ユニットの端面から離れる方向に退避した構成を有することを特徴とする液体吐出ユニット。
【請求項２】
前記吐出口形成部は、前記第１、第２の部材より前記吐出口の配列方向外方へ突出するよう形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ユニット
【請求項３】
前記第１、第２の部材は、前記他の液体吐出ユニットの端面と対向する端面が前記吐出口形成部に対して前記他の液体吐出ユニットの端面から離れる方向に傾斜していることを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ユニット。
【請求項４】
前記吐出口形成部は、前記第１の部材と前記第２の部材の少なくとも一方の前記端面と同一傾斜の端面を有することを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ユニット。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項に記載の液体吐出ユニットが、前記吐出口の配列方向に沿って、前記吐出口形成部の端面が向かい合うように複数配列されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記一方の液体吐出ユニットにおける前記吐出口形成部の前記吐出口配列方向における端部と他方の液体吐出ユニットにおける前記吐出口形成部の前記吐出口配列方向における端部との距離は、同一の前記液体吐出ユニット内に形成されている隣接する吐出口の間の距離と同一であることを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記吐出ユニットの端部が切削により形成されていることを特徴とする請求項５または６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記吐出ユニットの端部を切削する手段は、切断、研磨、またはレーザー加工であること特徴とする請求項５または６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
液体を吐出可能な液体吐出手段を用い、前記液体吐出手段から吐出される液体を所定の記録媒体に吐出する液体吐出装置であって、
前記液体吐出手段を請求項５ないし８のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドにより構成したことを特徴とする液体吐出装置。
【請求項１０】
液体を吐出する複数の吐出口を配列した液体吐出ユニットを該吐出口の配列方向に複数配列して使用される液体吐出ユニットの製造方法であって、
前記吐出口の配列方向に沿って前記複数の吐出口が形成された吐出口形成部を挟むように第１、第２の部材を設ける第１の工程と、
前記吐出口の配列方向に配列して使用される他の液体吐出ユニットの端面と対向する端面が前記吐出口形成部に対して前記他の液体吐出ユニットの端面から離れる方向に退避するように前記第１、第２の部材を形成する第２の工程と、を備えることを特徴とする液体吐出ユニットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出する複数の吐出口を配列した液体吐出ユニット、液体吐出ユニットを吐出口の配列方向に沿って複数配列してなる液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドを搭載した記録装置、および液体吐出ヘッドユニットの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
多数のインク吐出口を記録媒体の幅方向に沿って配列した長尺な液体吐出ヘッドを備えたフルライン型のインクジェット記録装置は、高速記録に適するものとして知られている。この長尺な記録ヘッドの構造として、単一の液体吐出ユニットに全ての吐出口を形成するモノリシック構造を採る場合、１つのウエハから製造できる液体吐出ユニットの数が少なく、歩留まりも低くなるため、コスト高になる。そこで、複数の吐出口を形成した比較的短尺な液体吐出ユニットを製造し、それらを吐出口の配列方向に沿って配置することにより、長尺な記録ヘッドを低コストで構成することが行われている。
【０００３】
特許文献１には、複数の液体吐出ユニットを配列することで長尺化したインクジェット記録ヘッドが開示されている。また、特許文献２には、複数の液体吐出ユニットを伝送基板の両面側に千鳥状に配列することでインクジェット記録ヘッドを長尺化させる構成が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平８−１１８６４２号公報
【特許文献２】特開２０１４−１８４６６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、複数の液体吐出ユニットを同一直線上に配置した特許文献１に開示のインクジェット記録ヘッドは、液体吐出ユニットのつなぎ部分における吐出口間の距離と、他の吐出口間の距離とが不均一になり、これが画像品質の低下を招く要因となっている。また、特許文献２に開示のインクジェット記録ヘッドでは、液体吐出ユニットを吐出口の配列方向と交差する方向にずらして配置しているため、記録ヘッドが大型化するという問題が生じている。
【０００６】
本発明は、複数の液体吐出ユニットを小型に精度良く配置可能な液体吐出ユニットおよび液体吐出ヘッドユニットの製造方法、並びに液体吐出ヘッドユニットを備えた液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の形態は、液体を吐出する複数の吐出口を配列した液体吐出ユニットを該吐出口の配列方向に複数配列して使用される液体吐出ユニットであって、複数の吐出口が配列された吐出口形成部と、前記吐出口の配列方向に沿って該吐出口形成部を挟むように設けられている第１、第２の部材と、を有し、前記第１、第２の部材は、前記吐出口の配列方向に配列して使用される他の液体吐出ユニットの端面と対向する端面が前記吐出口形成部に対して前記他の液体吐出ユニットの端面から離れる方向に退避した構成を有することを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の第２の形態は、第１の形態における液体吐出ユニットが、前記吐出口の配列方向に沿って、前記吐出口形成部の端面が向かい合うように複数配列されていることを特徴とする液体吐出ヘッドである。
【０００９】
また、本発明の第３の形態は、液体吐出手段を用い、前記液体吐出手段から吐出される液体を所定の記録媒体に吐出する液体吐出装置であって、前記液体吐出手段を前記第２の形態における記載の液体吐出ヘッドにより構成したことを特徴とする液体吐出装置である。
【００１０】
また、本発明の第４の形態は、液体を吐出する複数の吐出口を配列した液体吐出ユニットを該吐出口の配列方向に複数配列して使用される液体吐出ユニットの製造方法であって、
前記吐出口の配列方向に沿って前記複数の吐出口が形成された吐出口形成部を挟むように第１、第２の部材を設ける第１の工程と、前記吐出口の配列方向に配列して使用される他の液体吐出ユニットの端面と対向する端面が前記吐出口形成部に対して前記他の液体吐出ユニットの端面から離れる方向に退避するように前記第１、第２の部材を形成する第２の工程と、を備えることを特徴とする液体吐出ユニットの製造方法である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、小型に精度良く配置可能な液体吐出ユニットを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本実施形態のインクジェット記録装置を模式的に示す正面図である。
【図２】本実施形態の記録ヘッドの分解斜視図である。
【図３】本実施形態の液体吐出ユニットの天板を一部破断して示す斜視図である。
【図４】図３に示す液体吐出ユニットの製造工程を示す断面図である。
【図５】図４に示す各製造工程のＶ−Ｖ線に沿う断面図である。
【図６】切断加工を施したウエハの一部を示す平面図である。
【図７】複数の液体吐出ユニットを配列した状態を示す平面図である。
【図８】接合ウエハから切断した液体吐出ユニットの端部の一例を示す拡大図である。
【図９】従来の記録ヘッドにおける液体吐出ユニットの配列状態を示す図である。
【図１０】第１の実施形態における液体吐出ユニットに対する切削部分を示す拡大図である。
【図１１】図１０に示す液体吐出ユニットに対する切削部分を示す拡大図である。
【図１２】図１０に示す液体吐出ユニットを配列した状態を示す拡大図である。
【図１３】第２の実施形態における液体吐出ユニットの切削部分を示す拡大図である。
【図１４】図１３に示す液体吐出ユニットを配列した状態を示す拡大図である。
【図１５】第３の実施形態における液体吐出ユニットの端部の一例を示す拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して、本発明に係る液体吐出ヘッドとその製造方法、並びにこれを搭載する液体吐出装置の実施形態を説明する。なお、以下の説明では、液体吐出ヘッドとしてインクを吐出可能とするインクジェット記録ヘッド（以下、記録ヘッドという）を例に挙げると共に、液体吐出装置としてインクジェット記録装置を例に挙げて説明を行う。
【００１４】
（第１の実施形態）
図１は、本実施形態におけるインクジェット記録装置（以下、単に記録装置という）を模式的に示す正面図である。
【００１５】
本実施形態における記録装置２００には、ホストＰＣ（パーソナルコンピータ）３００が接続されており、このホストＰＣ３００から記録装置２００に対して画像データなどの情報が送信される。記録装置２００には、４つの記録ヘッド１００Ｋ、１００Ｃ、１００Ｍ、１００Ｙが記録媒体（本実施形態ではロ−ル紙）Ｐの搬送方向（矢印Ａ方向）に並んで配置されている。４つの記録ヘッド１００Ｋ、１００Ｃ、１００Ｍ、１００Ｙからは、それぞれ、黒、シアン、マゼンタ、イエローの各色のインクが吐出される。これらの記録ヘッド１００Ｋ、１００Ｃ、１００Ｍ、１００Ｙは、所謂ラインヘッドであり、図１の紙面に直交する方向（矢印Ａ方向と直交する方向）に沿って複数のノズルが配列されている。各記録ヘッド１００Ｋ、１００Ｃ、１００Ｍ、１００Ｙのノズル配列方向における長さは、記録装置２００で記録可能な記録媒体の最大の幅（図１の紙面に直交する方向の長さ）よりもやや長い。これらの記録ヘッド１００Ｋ、１００Ｃ、１００Ｍ、１００Ｙは、画像形成中は定位置に保持されて移動しない。本実施形態で用いられる記録ヘッド１００は、各ノズルに設けた電気熱変換素子（ヒータ）の熱エネルギーによってインクに気泡を発生させ、その気泡発生時の圧力によってインクを吐出するものとなっている。
【００１６】
ロ−ル紙Ｐは、供給ユニット１３０から供給され、記録装置１００に設けられた搬送機構１１０によって矢印Ａ方向に搬送される。搬送機構１１０は、ロ−ル紙Ｐを載置して搬送する搬送ベルト１１０ａと、搬送ベルト１１０ａを巡回移動させる搬送モータ１１０ｂと、搬送ベルト１１０ａに張力を与えるローラ１１０ｃなどから構成されている。
【００１７】
搬送ベルト１１０ａによって搬送されるロール紙Ｐの記録開始位置がブラックの記録ヘッド１００Ｋの下に到達すると、記録ヘッド１０２Ｋに配置された複数のノズルから、記録データ（画像情報）に基づいてブラックインクが選択的に吐出される。同様に記録ヘッド１００Ｃ、記録ヘッド１０２Ｍ、記録ヘッド１０２Ｙから、順次、各色のインクがロール紙Ｐ上に吐出される。これにより、ロ−ル紙Ｐにはカラー画像が形成される。
【００１８】
記録装置２００には、上記の部品、部材の他、各記録ヘッドに供給されるインクが貯留されたメインタンク１２０Ｋ、１２０Ｃ、１２０Ｍ、１２０Ｙ、および記録ヘッドへのインクの供給および回復処理を行うための各種ポンプ（図示せず）などが備えられている。また、記録ヘッド１０２Ｋ、１０２Ｃ、１０２Ｍ、１０２Ｙの適正な吐出性能を維持するため、記録装置２００には、記録ヘッド１０２Ｋ、１０２Ｃ、１０２Ｍ、１０２Ｙの吐出口を覆い得るキャップ１５０などを有する回復装置１４０が備えられている。
【００１９】
なお、以下の説明において４つの記録ヘッドとメインタンクに関し個別的に言及する場合には、各々に付された上記の参照符号を用いるが、包括的に言及する場合には総称的な参照符号として記録ヘッドには１００を、メインタンクには１２０を付すこととする。
【００２０】
次に図２を用いて、記録装置に搭載される液体吐出ヘッドについて説明する。図２は、本実施形態における記録ヘッド１００の分解斜視図である。記録ヘッド１００には、液体を吐出する吐出口が配列された液体吐出ユニット１０１と、液体吐出ユニット１０１の一側面を支持するセラミック製のベースプレート１０２とが設けられている。さらに、記録ヘッド１００には、液体吐出ユニット１０１に電気的に接続された配線基板１０３と、液体吐出ユニット１０１に液体を供給する流路形成部材１０４とが設けられている。
【００２１】
図３は、液体吐出ユニット１０１の天板５を液体供給口５ａで一部破断して示す斜視図である。図３において、液体吐出ユニット１０１は、主として、ヒータボード（第１の部材）１と、このヒータボード１の一側面に対向する天板（第２の部材）５と、ヒータボード１と天板５との間に設けた複数の流路壁６とを有する。このヒータボード１、天板５、および流路壁６を備えることにより、液体吐出ユニット１０１には、インクタンク１２０からインク流路形成部材１０４を経てインクが供給される共通液室３と、共通液室３に一端部が連通する液体流路４が複数形成されている。本実施形態においては、各流路壁６に厚さ２μｍ程度の天板接着層（図示せず）を介して、Ｓｉ（シリコン）等で形成された天板５が配置されている。なお、上記流路壁６と天板接着層とにより吐出口形成部２０が構成されている。
【００２２】
各液体流路４は、天板５の側面と、隣接する２つの流路壁６の各々の側面と、ヒータボード１の側面とにより管状に画成されている。また、各液体流路４の他端部は、液体流路４内の液体を吐出する吐出口となっており、液体吐出ユニット１０１の吐出口面１０１ａにおいて一定の間隔で配列されている。
【００２３】
複数の液体流路４のそれぞれには、内部に供給されたインクを吐出口７から吐出させるための吐出エネルギーを発する吐出エネルギー発生素子としての複数のヒータ２が、ヒータボード１の側面に形成されている。ヒータ２としては、チッ化タンタル等の抵抗体が用いられ、その厚さは０．０１〜０．５μｍ、そのシート抵抗は単位正方形当たり１０〜３５０Ωである。ヒータ２は、チッ化タンタル以外の材料、例えばホウ化ハフニウムなどで形成されたものでもよく、その厚さやシート抵抗は特に限定されるものではない。
【００２４】
ヒータ２の両端部には、ヒータを通電させるためのアルミニウム等からなる一対の電極配線（不図示）が接続されており、一方の電極配線には、ヒータへの通電をオン／オフするためのスイッチングトランジスタ（不図示）が接続されている。ゲート素子等を含む回路からなる制御用ＩＣ（不図示）は、スイッチングトランジスタを制御する。
【００２５】
配線基板１０３は、液体吐出ユニット１０１の吐出口７が形成されている端面（吐出口面）１０１ａとは反対側に位置する端面の近傍に配されている。この配線基板１０３は、液体吐出ユニット１０１上に設けられる配線（吐出エネルギー発生素子やその駆動素子用の配線など）に対してワイヤディングなどにより電気的に接続される。図３中、９ａは液体吐出ユニットに設けた電極、９ｂは配線基板１０３に設けた電極、１０は両電極を接続するボンディングワイヤをそれぞれ示している。
【００２６】
インク流路形成部材１０４は、液体吐出ユニット１０１に対するインクの供給経路が形成される部材であり、液体吐出ユニット１０１内に設けられるインク供給口５ａに連結される。本実施形態におけるインクの供給経路は、記録ヘッド１００とインクタンク１２０との間においてインクを循環可能な循環経路を形成している。すなわち、インクタンク１２０（図１参照）内のインクは、インク流路形成部材１０４（図２参照）を介して液体吐出ユニット１０１内の共通液室３に移送され、その移送されたインクが共通液室３から、それぞれのインク流路に分配される。また、共通液室３内のインクを、インク流路形成部材１０４を介してインクタンク１２０に還流させることができる。
【００２７】
以上の構成において、ホストＰＣ３００から入力される記録信号および記録装置に内臓されるＣＰＵからの制御信号に応じて、制御用ＩＣはスイッチングトランジスタをオン／オフさせ、ヒータ２への通電をオン／オフさせる。共通液室３から各液体流路４に供給されたインクは、ヒータ２において加熱されて発泡し、その発泡による圧力変化により液体流路４内のインクが吐出口から吐出される。吐出されたインクはインク滴となって飛翔し、ロール紙Ｐに着弾し、ドットを形成する。
【００２８】
次に、図４ないし図６に基づき、記録ヘッド１００における液体吐出ユニット１０１の製造方法について説明する。
【００２９】
図４（ａ）ないし（ｅ）は、液体吐出ユニット１０１の製造工程を示す図であり、吐出口７側から見た断面図である。また、図５（ａ）ないし（ｅ）は、図４（ａ）ないし（ｅ）それぞれのＶ−Ｖ線に沿う断面図であって、液体吐出ユニット１０１に形成すべき液体流路４の長手方向に沿って切断した断面図である。
【００３０】
本実施形態では、図５（ｄ）に示すような２つの液体吐出ユニット１０１を一体的に製造する段階を経た後、図５（ｄ）に示す切断幅ＣＬに沿って切断することにより、図５（ｅ）のような独立した２つの液体吐出ユニット１０１を製造する。各液体吐出ユニット１０１には、切断幅ＣＬに沿う切断面に吐出口７が形成される。但し、液体吐出ユニット１０１の製造方法は、本実施形態に示す方法に限定されるものではなく、独立した単体の液体吐出ユニットを製造する方法を採ることも可能である。以下、液体吐出ユニット１０１の各製造工程を図４および図５を参照しつつ説明する。
【００３１】
まず、図４（ａ）および図５（ａ）に示すように、シリコンウエハからなるヒータボード１上に、半導体製造工程に用いる製造装置と同様の装置を用いて、ホウ化ハフニウムやチッ化タンタル等からなるヒータ２を形成する。ヒータボード１には、ヒータ２を選択的にオン／オフするためのスイッチングトランジスタ等の半導体素子を含む駆動回路を予め作り込んでおくことができる。その後、次の工程においてヒータボード１と感光性樹脂フィルムとの密着性を向上させるために、ヒータボード１の表面処理を行う。すなわち、ヒータボード１の表面を洗浄してから、紫外線−オゾン等による表面改質を行い、その後、その改質した表面上に、例えばシランカップリング剤をエチルアルコールで１重量％に希釈した液をスピンコートする。
【００３２】
次に、図４（ｂ）および図５（ｂ）に示すように、密着性が向上されたヒータボード１上に感光性樹脂フィルムＤＦをラミネートする。この後、フォトマスクを介して、流路壁６および柱１１として残す感光性樹脂フィルムＤＦの部分に、紫外線を照射する。
【００３３】
次に、感光性樹脂フィルムＤＦをキシレンとブチルセルソルブアセテートとの混合液からなる現像液によって現像し、感光性樹脂フィルムＤＦの未露光部分を融解させる。これにより、図４（ｃ）および図５（ｃ）に示すように、ヒータボード１上に所望の形状の流路壁６と柱１１が形成される。なお、柱１１は、図３に示すように、共通液室３に供給されるインクに混入した塵埃などの異物を捕捉し、吐出口７に異物が詰まるのを防ぐ役割を果たすものである。
【００３４】
次に、図４（ｄ）および図５（ｄ）に示すように、流路壁６の上に、感光性樹脂フィルムを材料とした天板接着層が予めラミネートされた天板５を溶着する。このとき、２００℃程度のキュアを行う。
【００３５】
以上の工程を経て２つの液体吐出ユニット１０１を一体に形成した後、図４（ｅ）および図５（ｅ）に示すように、液体流路４と平行する端面を、これと直交する方向である流路配列方向（吐出口配列方向）に沿って２等分するように切断幅ＣＬに沿って切断する。これにより、一体に形成されていた２つの液体吐出ユニット１０１が分離され、独立した２つの液体吐出ユニット１０１が製造される。この切断加工によって形成される各液体吐出ユニット１０１の各々の切断面は、液体流路の端部である吐出口が形成された吐出口面となる。この切断加工には種々の切断装置を使用することが可能であり、例えば、厚さ０．０５ｍｍのダイヤモンドブレードを取り付けたダイシングマシンなどが使用可能である。このようにして切断加工を行なった後、各液体吐出ユニットの切断面である吐出口面を研磨して平滑化することによって、液体吐出ユニット１０１が完成する。
【００３６】
図６は、複数の液体吐出ユニット１０１を形成するための切断加工を施した直後のウエハ１５０の一部を示す平面図である。ヒータボード１と、流路壁６と、天板５とを接合してなる接合ウエハ１５０を、ダイヤモンドブレードなど切断刃によって、Ｘ方向、Ｙ方向に一定の切断幅ＣＬに沿って切断することにより、複数の液体吐出ユニット１０１が形成される。なお、ここに示す各液体吐出ユニット１０１は、図５（ｅ）に示す切断加工によって、独立した液体吐出ユニット１０１を形成した状態を示している。
【００３７】
図７は、上記のようにして製造した複数の液体吐出ユニット１０１を、吐出口配列方向に沿って配列した吐出部を上方から見た平面図を示す。ここで、各液体吐出ユニット１０１のインク吐出方向はＬである。図７では３つの液体吐出ユニット１０１を配列した例を示しているが、吐出部を構成する液体吐出ユニット１０１の数はこの限りではない。
【００３８】
図８は接合ウエハから切断した液体吐出ユニット端部の形状を吐出口面１０１ａと正対する方向から見た拡大図である。上記のように、液体吐出ユニット１０１は、接合ウエハ１５０をＸ方向、Ｙ方向に沿って格子状に切断することにより形成される。この切断加工によって液体吐出ユニット１０１に形成される切断面Ｆは、吐出口７の配列方向と直交するように形成されることが望ましい。しかしながら液体吐出ユニット１０１の切断面と吐出口７の配列方向とのなす角度（以下この角度を切断角という）には、切断装置の精度によって、理想的な切断角（９０度）に対して角度誤差±θが生じ、切断面が角度±θの傾斜角を有する傾斜面となることがある。一般に、液体吐出ヘッドの製造工程では、製造された複数の液体吐出ユニットの中から、無作為に選ばれた複数の液体吐出ユニットを、吐出口の形成方向に沿って配置することによって記録ヘッドを構成している。このため、角度誤差±θを含む複数の液体吐出ユニット１０１を配置した従来の記録ヘッドでは、隣接する液体吐出ユニット１０１において、各々の最端部に位置する吐出口間の距離が、同一の液体吐出ユニット内で隣接する吐出口の間の距離と異なることがある。
【００３９】
図９に、従来の記録ヘッドに配列された液体吐出ユニットにおける吐出口間の距離を示す。なお、ここでは、上記のように角度誤差±θを含んだ複数の液体吐出ユニットの中から無作為に選ばれた液体吐出ユニットＥ１、Ｅ２を、吐出口配列方向（Ｘ方向）に沿って配列した例を示している。ここに示す液体吐出ユニットＥ１、Ｅ２は、いずれも各々の天板５が、吐出口配列方向（Ｘ方向）に突出した形状を有するものとなっている。このため、各液体吐出ユニットＥ１、Ｅ２の最端部に位置する吐出口７の間の距離Ｐ１を、各液体吐出ユニットＥ１、Ｅ２内で隣接する吐出口７の間の距離Ｐ２と一致させることができない場合がある。すなわち、各液体吐出ユニットＥ１、Ｅ２の天板５が、図９に示すように互いに干渉する結果、Ｐ１＞Ｐ２であっても、それ以上は間隔Ｐ１を短縮するように配列することができず、Ｐ１≠Ｐ２とならざるを得ない場合がある。
【００４０】
そこで、図１０に示すように、本実施形態の液体吐出ユニットＥ３、Ｅ４は、接合ウエハから切断した直後の各液体吐出ユニットＥ３、Ｅ４の各端部に、図１０中の網掛けを付した部分ｒａ、ｒｂの切削加工を施したものとなっている。すなわち、一方の液体吐出ユニットＥ３と他方の液体吐出ユニットＥ４とを吐出口配列方向（Ｘ方向）に配列した場合、同一液体吐出ユニット内の吐出口間の距離をＰ２、各液体吐出ユニットＥ３、Ｅ４の最端部の吐出口７の間の距離を（Ｐ１ａ＋Ｐ１ｂ）としたとき、
Ｐ１ａ＋Ｐ１ｂ＝Ｐ２      （式1）
となるように、各液体吐出ユニットＥ３、Ｅ４の端部に切削加工が施されている。ここで、Ｐ１ａは、液体吐出ユニットＥ３の各吐出口７の中心を通過する直線と液体吐出ユニットＥ３の端部との交点Ｃａから、最端部の吐出口７の中心までの距離を指す。また、Ｐ１ｂは、液体吐出ユニットＥ４の各吐出口７の中心を通過する直線と液体吐出ユニットＥ４の端部との交点Ｃｂから、最端部の吐出口７の中心までの距離を指す。
【００４１】
式１に示す関係を満たすように各液体吐出ユニットＥ３、Ｅ４の端部に切削加工を施した後、液体吐出ユニットＥ３、Ｅ４の中で、前述の交点Ｃａ、Ｃｂよりも側方に突出している部分（図１１中、網掛けを付した部分（ｒｃ、ｒｄ））をさらに切削する。これにより、各液体吐出ユニットＥ３、Ｅ４の端部は、交点Ｃａ、Ｃｂより内方に退避した形状をなす。なお、図１０に示す切削加工を施した液体吐出ユニットＥ３、Ｅ４は、いずれも天板側が前述の交点Ｃａ、Ｃｂより外方に突出した状態にあるため、いずれの液体吐出ユニットＥ３、Ｅ４においても、交点Ｃａ、Ｃｂより天板側を切削している。しかし、液体吐出ユニットのヒータボード１側が外方に突出した状態となっている場合には、天板５側の切削と同様に、ヒータボード１側の突出部分を切削する。また、交点Ｃａ、Ｃｂより側方に突出する部分には、天板５と流路壁６との間に存在する接着層なども含まれるが、この部分における側方への突出量は僅かなため、天板５のみを切削するようにしてもよい。
【００４２】
図１２は、図１１に示す切削加工によって形成された液体吐出ユニットＥ３、Ｅ４を配列した状態を示す図である。液体吐出ユニットの配列に際しては、各液体吐出ユニットＥ３、Ｅ４に形成された吐出口列を同一直線上に配すると共に、両液体吐出ユニットＥ３、Ｅ４それぞれの吐出口形成部２０の端部を当接させる。この際、両液体吐出ユニットＥ３、Ｅ４は、交点Ｃａ，Ｃｂを含む吐出口形成部２０以外の部分は、互いに退避した状態（離間した状態）となる。従って、液体吐出ユニットＥ３の最端部に位置する吐出口７と液体吐出ユニットＥ４の最端部に位置する吐出口７との距離（Ｐ１ａ＋Ｐ１ｂ）を、各液体吐出ユニットＥ３、Ｅ４の内方に位置する吐出口７の間の距離と等しくすることができる。これにより、吐出部１０１ａにおける全ての吐出口７において、隣接する吐出口７の間の距離が等しい状態となる。
【００４３】
以上のように、本実施形態における記録ヘッドにおいて、液体を吐出する吐出口が一定方向に沿って等間隔に配置されているため、この記録ヘッド１００を搭載した記録装置２００によれば、記録媒体へのインクの着弾位置精度を向上させることができる。また、液体吐出ユニットが同一直線上に沿って形成されているため、液体吐出ユニットを千鳥状に配置するものに比べ、小型に形成することができる。
【００４４】
なお、以上説明した図１０、図１１での切削加工としては、切削刃による切削加工、研磨機による研磨加工、またはレーザー加工機による切断加工等を含む種々の加工を適用可能であり、本発明は使用する切削加工の種類を限定するものではない。
【００４５】
（第２の実施形態）
次に、本発明に係る液体吐出ヘッド（記録ヘッド）の第２の実施形態を説明する。なお、この第２の実施形態においても、上記第１の実施形態と同様に、図２および図３に示す構成を有するものとする。
【００４６】
図１３は、この第２の実施形態の液体吐出ヘッドに配列される液体吐出ユニットＥ５、Ｅ６の端部の構成を示す縦断側面図、図１４は図１３に示す２つの液体吐出ユニットＥ５、Ｅ６を配列した状態を示す縦断側面図である。
【００４７】
図１３では、接合ウエハから液体吐出ユニットＥ５、Ｅ６を切断幅ＣＬで切断した際、切断面Ｆ５、Ｆ６が、それぞれ、吐出口配列方向（Ｘ方向）と直交する面に対して所定の角度θａ、θｂをなす例を示している。ここで、切断面Ｆ５は、天板５の外面５Ａと交わる稜線部分５Ａ１が吐出口配列方向において最も外側に位置し、ヒータボード１の外面７Ａと交わる稜線部分７Ａ１が最も内側に位置するような傾斜面となっている。また、切断面Ｆ６は、天板５の外面５Ｂと交わる稜線部分５Ｂ１が吐出口配列方向において最も外側に位置し、ヒータボード１の外面７Ｂと交わる稜線部分７Ｂ１が最も内側に位置するような傾斜面となっている。
【００４８】
本実施形態では、上記のようにウェハから切断された液体吐出ユニットＥ５、Ｅ６の各々の端部に対し、図１３に示す網掛けを付した部分ＲＡ、ＲＢを切削したものとなっている。この切削は次のような条件を満たすように行われる。
【００４９】
いま、液体吐出ユニットＥ５、Ｅ６を吐出口配列方向と平行する同一直線に沿って配列し、同一液体吐出ユニット内で隣接する吐出口の間の距離をＰ２、各液体吐出ユニットＥ３、Ｅ４の最端部の吐出口の間の距離を（Ｐ１ｃ＋Ｐ１ｄ＋Ｐ１ｅ＋Ｐ１ｆ）としたとき、
Ｐ１ｃ＋Ｐ１ｄ＋Ｐ１ｅ＋Ｐ１ｆ＝Ｐ２      （式２）
となるように、各液体吐出ユニットＥ５、Ｅ６の端部を切削する。
【００５０】
ここで、Ｐ１ｃは、液体吐出ユニットＥ５の最端部の吐出口７の中心からヒータボード１の稜線部分７Ａ１に至る、吐出口配列方向における距離を指す。また、Ｐ１ｅは、液体吐出ユニットＥ６の最端部の吐出口７の中心から、ヒータボード１の稜線部分７Ｂ１に至る、吐出口配列方向における距離を指す。さらに、Ｐ１ｄは、天板５の端部に対してＲＡの部分を切削すべく、外面５Ａから深さＤａの切削を行った場合に形成される稜線部分ＲＡ１からヒータボード１の稜線７Ａ１に至る、吐出口配列方向における距離を指す。また、Ｐ１ｆは、天板５の端部に対してＲＢの部分を切削すべく、外面５Ｂから深さＤｂの切削を行った場合に形成される稜線部分ＲＢ１からヒータボード１の稜線７Ｂ１に至る、吐出口配列方向における距離を指す。
【００５１】
また、液体吐出ユニットＥ５、Ｅ６の各端部に施すべき切削の深さ対し、式２の関係を満たすようにするためには、深さＤａ、Ｄｂを、それぞれ、
Ｄａ＝Ｗ１＋Ｎ１＋Ｗ２−（Ｐ１ｄ/ｔａｎθａ）        （式３）
Ｄｂ＝Ｗ１＋Ｎ１＋Ｗ２−（Ｐ１ｆ/ｔａｎθｂ）          （式４）
が成立するように設定する。また、深さＤａ、Ｄｂまで切削する場合の切削幅は、各々がＰ１ｄ、Ｐ１ｆより大きければよい。
【００５２】
以上のように、この第２の実施形態における記録ヘッド（液体吐出ヘッド）では、接合ウエハを切断加工して形成された各液体吐出ユニットＥ５、Ｅ６に対し、さらに、上記のような深さＤａ、Ｄｂの切削を施した液体吐出ユニットを用いている。図１４は、図１３に示す切削加工を施した液体吐出ユニットＥ５、Ｅ６を、天板側の端部で突き合せると共に、吐出口の配列方向に沿って配列した状態を示す図である。図示のように、深さＤａ、Ｄｂで天板５を切削したことにより、液体吐出ユニットＥ５、Ｅ６それぞれの最端部に位置する吐出口７の間の距離は、各液体吐出ユニット内で隣接する吐出口７の間の距離と同一となる。このため、この第２の実施形態における液体吐出ヘッド（記録ヘッド）１００においても、隣接する吐出口の間の距離は吐出部全体において均一化され、液体の着弾位置精度を向上させることができる。また、液体吐出ユニットが同一直線上に沿って形成されているため、液体吐出ユニットを千鳥状に配置するものに比べ、小型に形成することができる。
【００５３】
なお、以上説明した図１３での切削加工としては、切削刃による切削加工、研磨機による研磨加工、またはレーザー加工機による切断加工等を含む種々の加工を適用可能であり、本発明は使用する切削加工の種類を限定するものではない。
【００５４】
なお、上記各実施形態では、連続的に搬送されるロール紙に対し、長尺な記録ヘッドからインクを吐出して記録を行う、フルライン型のインクジェット記録装置を例に採り説明した。しかし、本発明は、記録媒体の搬送方向と交差する方向に記録ヘッドを移動させつつ記録を行うシリアル型のインクジェット記録装置にも適用可能である。
【００５５】
（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態を説明する。
【００５６】
図１５は、本発明の第３の実施形態における液体吐出ヘッドに設けられる液体吐出ユニットの端部を示す概略図である。なお、この第３の実施形態においても、以下に説明する液体吐出ユニット以外の構成については、上記第１の実施形態と同様であり、それらについての重複説明は省く。
【００５７】
この第３の実施形態では、接合ウエハ１５０（図６参照）から各液体吐出ユニットＥ７、Ｅ８を切断する際に、図１５（ａ）および（ｂ）に示すような２段階の切断工程を実施する。まず、第１回目の切断工程では、図１５（ａ）に示すように、切断装置の切断刃による切断方向と、吐出口の形成方向（Ｘ方向）とが第１の角度θｂ（θｂ＜９０度）をなすように接合ウエハ１５０を切断する。なお、本実施形態において吐出口形成方向は、液体吐出ユニットの両側面（図では、上面および下面）と平行している。
【００５８】
次いで第２回目の切断工程では、図１５（ｂ）に示すように、吐出口形成方向と切断刃による切断方向とが第２の角度θｃ（θｃ＜９０度）をなすように切断刃を移動させ、第１回目の切断加工で形成された各液体吐出ユニットＥ７、Ｅ８の切断面に対して切断を行う。
【００５９】
上記２回の切断工程により、液体吐出ユニットＥ７、Ｅ８には、それぞれ屈曲した傾斜面が形成される。すなわち、液体吐出ユニットＥ７において、天板５の端部には、傾斜面Ｆ１１２（第２の傾斜面）が形成され、ヒータボード１および吐出口形成部２０の端部には、同一平面上の傾斜面Ｆ１１（第１の傾斜面）が形成される。また、吐出エメメントＥ８において、天板５および吐出口形成部２０の端部には、同一平面上の傾斜面Ｆ１１（第１の傾斜面）が形成され、ヒータボード１の端部には、傾斜面Ｆ１２（第２の傾斜面）が形成される。
【００６０】
上記２回の切断工程の後は、図１５（ｃ）に示すように、液体吐出ユニットＥ５と液体吐出ユニットＥ６とをベースプレート１０２上に配列し、両液体吐出ユニットＥ５、Ｅ６の吐出口形成部２０を互いに当接（面接触）させる。このとき、両吐出口エレメントＥ５、Ｅ６の吐出口形成部２０は、いずれも同一の傾斜角度を有しているため、両吐出口形成部２０は、互いに隙間なく当接する（面接触する）。また、両吐出口形成部２０の当接状態において、両液体吐出ユニットＥ５、Ｅ６の天板５は傾斜角度が互いに異なり、離間した状態にあるため、両天板５同士が干渉することはない。また、各液体吐出ユニットＥ５、Ｅ６におけるヒータボード１も同様に、傾斜角度が互いに異なり、離間した状態にあるため、ヒータボード１同士が干渉することはない。
【００６１】
この液体吐出ユニットを複数配列した本実施形態における記録ヘッドによれば、液体吐出ユニットの最端部に位置する吐出口の間の距離と、同一の液体吐出ユニット内で隣接する吐出口の間の距離とを略均一に形成することが可能になる。このため、この第２の実施形態における液体吐出ヘッド（記録ヘッド）１００においても、液体の着弾位置精度を向上させることができる。さらに、この第３の実施形態においても、液体吐出ユニットは、同一直線上に沿って形成されているため、液体吐出ユニットを千鳥状に配置するものに比べ、小型に形成することができる。
【００６２】
なお、以上説明した図１０での切削加工としては、切削刃による切削加工、研磨機による研磨加工、またはレーザー加工機による切断加工等を含む種々の加工を適用可能であり、本発明は使用する切削加工の種類を限定するものではない。
【００６３】
（他の実施形態）
上記第３の実施形態において、切断刃の歪量や磨耗量を事前に測定し、その歪量や磨耗量に応じて切断角を変更するようにすることも可能である。これによれば、隣接する液体吐出ユニットの最端部に位置する吐出口間の距離を、同一の液体吐出ユニット内で隣接する吐出口間の距離と完全に一致させることが可能になる。また、切断刃が長期に亘って使用可能となり、製造コストの低減を図ることができる。
【００６４】
なお、上記各実施形態では、連続的に搬送されるロール紙に対し、長尺な記録ヘッドからインクを吐出して記録を行う、フルライン型のインクジェット記録装置を例に採り説明した。しかし、本発明は、記録媒体の搬送方向と交差する方向に記録ヘッドを移動させつつ記録を行うシリアル型のインクジェット記録装置にも適用可能である。
【符号の説明】
【００６５】
１  ヒータボード（第１の部材）
５  天板（第２の部材）
７  吐出口
２０  吐出口形成部
１００  記録ヘッド（液体吐出ヘッド）
１０１  吐出ユニット
２００  記録装置（液体吐出装置）
Ｅ３、Ｅ４、Ｅ５、Ｅ６  液体吐出ユニット
θａ  第１の角度
θｂ  第２の角度
Ｆ１１  第１の傾斜面
Ｆ１２  第２の傾斜面
【図１】
2017071210.tif 000003
【図２】
2017071210.tif 000004
【図３】
2017071210.tif 000005
【図４】
2017071210.tif 000006
【図５】
2017071210.tif 000007
【図６】
2017071210.tif 000008
【図７】
2017071210.tif 000009
【図８】
2017071210.tif 000010
【図９】
2017071210.tif 000011
【図１０】
2017071210.tif 000012
【図１１】
2017071210.tif 000013
【図１２】
2017071210.tif 000014
【図１３】
2017071210.tif 000015
【図１４】
2017071210.tif 000016
【図１５】
2017071210.tif 000017