(57)【要約】【課題】一枚ずつ分離された後のシートを、検査の際に安定した速度で搬送できる、シート検査搬送装置が提供される。【解決手段】シート分離供給装置から一枚ずつ分離されて送り出されるシートが供給される、シートの検査装置であって、シートを搬送する搬送方向に並んだ複数の搬送機構と、前記複数の搬送機構のうちの少なくとも１つの搬送機構と対向して設けられ、搬送されているシートを画像により合格品かリジェクト品か検査する検査機構と、を有し、  前記検査機構と対向する搬送機構の前段に、検査対象のシートの最大サイズ以上の長さの搬送バッファを設けている、  シート検査搬送装置。【選択図】図２
2017109173.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート分離供給装置から一枚ずつ分離されて送り出されるシートが供給される、シートの検査装置であって、
シートを搬送する搬送方向に並んだ複数の搬送機構と、
前記複数の搬送機構のうちの少なくとも１つの搬送機構と対向して設けられ、搬送されているシートを画像により合格品かリジェクト品か検査する検査機構と、を有し、
前記検査機構と対向する搬送機構の前段に、検査対象のシートの最大サイズ以上の長さの搬送バッファを設けている、
シート検査搬送装置。
【請求項２】
前記複数の搬送機構は、約３秒間隔で、前記シートを連続搬送し、
前記検査機構と対向する搬送機構が搬送する前記シートの移動速度と、
前記搬送バッファの部分を移動する前記シートの移動速度は同一である、
請求項１に記載のシート検査搬送装置。
【請求項３】
前記搬送方向に並んだ複数の搬送機構の各搬送機構は、前記検査対象のシートの最大サイズの幅で、前記シートを吸着させて回転して搬送する搬送ベルトと、
前記搬送ベルトの、前記シートの幅方向の両外側に設けられる、２つのガラスユニットと、を有する、
請求項１又は２に記載のシート検査搬送装置。
【請求項４】
前記各搬送機構において、
前記シートの搬送方向の開始端及び終端に、前記搬送ベルトと前記ガラスユニットとを連結する２つの連結軸が設けられ、
一の連結軸は、前記搬送ベルトと一方のガラスユニットとを連接して支持し、
他の連結軸は、前記搬送ベルトと他方のガラスユニットとを連接して支持する、
請求項３に記載のシート検査搬送装置。
【請求項５】
前記各搬送機構において、
前記搬送ベルトの、前記シートの搬送方向の開始端及び終端に、前記２つの支持軸の端部を固定する取付けネジが設けられている、
請求項４に記載のシート検査搬送装置。
【請求項６】
前記搬送方向に並んだ前記複数の搬送機構と、前記検査機構とは、共通の筐体の内部に設けられており、
前記各搬送機構において、
前記搬送ベルト及び前記２つのガラスユニットを一緒に支持する支持ベースを有し、
前記各搬送機構は、前記筐体に対して、一体的に着脱可能である、
請求項４又は５に記載のシート検査搬送装置。
【請求項７】
前記シートの搬送方向における、並んだ前記複数の搬送機構の間隙には、反射板が夫々設けられており、
前記各反射板は艶消し黒色である、
請求項１乃至６のいずれか一項に記載のシート検査搬送装置。
【請求項８】
前記複数の搬送機構の間隙に設けられた前記反射板は上部が搬送方向の後段側が高くなるように傾斜している、
請求項７に記載のシート検査搬送装置。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか一項に記載のシートの検査搬送装置と、
前記検査搬送装置の搬送方向下流に設けられ、傾斜角度が変動可能であって、合格品又はリジェクト品と判定されたシートを吸着させて搬送する選択搬送ベルトと、
合格品と判定されたシートを積載する合格品スタックと、
リジェクト品と判定されたシートを積載するリジェクト品スタックと、
合格品又はリジェクト品と判定された判定結果に基づいて、前記選択搬送ベルトの傾斜角度を選択することによって、前記選択搬送ベルトに、前記シートを、前記合格品スタック又は前記リジェクト品スタックのいずれかへ搬送させる、選択部と、を備える、
シート検査・仕分け装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート検査搬送装置及びシート検査・仕分け装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
シート（例えば、プリプレグ等の樹脂シート）の表面検査・員数カウントに用いられる検査搬送装置においては、シートの検査・合否判定・分別を短時間に行う必要がある。例えば、シート検査搬送装置では、検査前トレイに積み重ねられたシートを１枚１枚に分離後、搬送して検査する。
【０００３】
一般的に、検査搬送装置においては、１枚１枚に分離後、搬送ベルトコンベアを用いてシートを搬送し、ＦＡカメラにより、画像を取り込み、合否判別する方法が考えられ既に知られている（例えば、特許文献１参照）。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、今までの方法では、１枚１枚に分離後、直ぐに検査を開始していたため、分離によりシートを送り出す速度と検査搬送部での搬送速度とに違いがあると、シートの移動速度が一定にならず、検査ユニットにて画像データを正しく取り込めないことがあった。
【０００５】
そこで、本発明の一態様では、上記事情に鑑み、一枚ずつ分離された後のシートを、検査の際に安定した速度で搬送できる、シート検査搬送装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明の一態様では、シート分離供給装置から一枚ずつ分離されて送り出されるシートが供給される、シートの検査装置は、シートを搬送する搬送方向に並んだ複数の搬送機構と；前記複数の搬送機構のうちの少なくとも１つの搬送機構と対向して設けられ、搬送されているシートを画像により合格品かリジェクト品か検査する検査機構と；を有し、前記検査機構と対向する搬送機構の前段に、検査対象のシートの最大サイズ以上の長さの搬送バッファを設けている。
【発明の効果】
【０００７】
一態様によれば、シート検査搬送装置において、一枚ずつ分離された後のシートを、検査の際に安定した速度で搬送できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施形態のシート検査・仕分け装置のシステム全体図。
【図２】図１のシート分離供給装置及び検査装置の上面図。
【図３】制御機構のブロック図。
【図４】検査装置の側面構造図。
【図５】搬送ユニットの組立て説明図であって（ａ）は、１つの搬送機構の一例、（ｂ）は搬送機構から片側のガラスユニットを取り外した図、（ｃ）は搬送機構から片側のガラスユニットと搬送ユニットとを取り外した図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照して本発明を実施するための形態について説明する。
【００１０】
〔システムの全体構成〕
本発明を図面に基づいて説明する。図１は、本発明の実施形態に係る、シート検査・仕分け装置（システム）１００の概略構成図である。図１に示す、システム１００は、シート分離供給装置１１０、検査装置１２０、中継搬送装置１３０、振り分け装置１４０、及び合格品スタック装置１５０を有する。
【００１１】
シート分離供給装置１１０は、シートＰを１枚ずつ供給する。シート分離供給装置１１０は、供給シートスタック１０、分離機構１１、及びシート特性検出部１６を含む。
【００１２】
ここで、シートＰは、本発明による検査搬送装置により検査搬送可能な薄板状ないしはシート状の部材を含み、樹脂、表裏面の保護紙、銅箔等の金属箔やメッキ処理等を施した電子回路基板材、紙、特殊フィルム、プラスチックフィルム、プリプレグ等の電子回路基板用シートなどを含みうる。あるいは、プリプレグとして、基材に樹脂組成物を含浸した後に、含浸した樹脂組成物中の樹脂を乾燥機で加熱して半硬化させたものあってもよい。基材は、例えば、ガラス織布やガラスマットやガラスペーパーなどのガラス基材、ポリエステル繊維やアラミド繊維などの織布や不織布で形成される合成樹脂基材、リンター紙やクラフト紙などの紙基材等を用いることができる。含浸させる樹脂組成物として用いられる樹脂は、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂等従来からプリプレグの製造に用いられる樹脂を用いることができる。
【００１３】
シート分離供給装置１１０において、分離機構１１は、例えば回路基板等に用いられるシート（樹脂シート）Ｐを浮上させて保持搬送することで分離搬送する。
【００１４】
シートＰを浮上保持搬送させる分離機構１１は、例えば、浮上駆動ローラ１２、浮上従動ローラ１３、浮上搬送ベルト１４、負圧エアーチャンバ１５等を備えている。駆動ローラ１２は、浮上搬送モータＦＭによって駆動される。
【００１５】
負圧エアーチャンバ１５は、外部から吸引されて負圧状態を保ち、搬送ベルト１４に設けられ吸引孔で、スタック１０内の最上位に位置するシートＰを吸引する。このように、シートを浮上させて保持することで、シートＰを一枚ずつ分離搬送する。
【００１６】
シート分離供給装置１１０において、シート特性検出部１６は、シートの種類、厚さ、重量、単位重量等を測定して、シートの特性を検知する。あるいは、シート特性検出部１６は、シートＰに設けられた認識用のバーコードやチップ等を読み取ることでシートの性能を検知してもよい。
【００１７】
供給されたシートＰは検査装置１２０で表裏から異物の混入等を検査される。詳しくは、検査装置１２０は、検査対象のシートＰを搬送する搬送ベルト２１〜１４、及び異物等の欠点、樹脂の含有量、樹脂の硬化度の検査を行う表面検査部２５、裏面検査部２６を備える。
【００１８】
搬送ベルト２１〜２４は、駆動ローラ及び従動ローラに掛け回されており、搬送モータＭ１〜Ｍ４によって駆動される駆動ローラにより回転させられる。例えば、本発明の実施形態において、表面検査部２５の上流に位置する搬送ベルトは、搬送バッファＢＦとして機能する。
【００１９】
各検査部２５，２６は、検査項目が所定の範囲内であるかを判断する判定部２１０と、判定部２１０の結果に応じて各機器に指示信号を送る制御部２２０と接続されている。
【００２０】
例えば、ガラス基材にエポキシ樹脂組成物を含浸したプリプレグの場合、検査部２５，２６として、異物等の欠点の検査に光反射方式、全体の樹脂の含有量の検査にβ線重さ計による方式、表面と裏面の樹脂の含有量の検査に光反射により表面凹凸の陰影平滑差による判別方式、樹脂の硬化度の検査に光波長吸収式のそれぞれの検査機を用いることができる。
【００２１】
本システム１００では、判定部２１０で、シートＰの検査項目が規定通りである合格品のシートＰａと、それ以外の、検査で弾かれた品質に傷や汚れがある、リジェクト品（リサイクル可能品）のシートＰｂとを判別する。リジェクト品には、作業員が手直し修正を行ったりして、使用可能となる可能性があるものを含み、例えば、表面に付着した異物等を手作業で修正できる場合も含みうる。
【００２２】
シートＰは、検査装置１２０を通過後、中継搬送装置１３０を搬送中に判定部２１０にて、合否が判定される。
【００２３】
シートＰの判定が合格であれば、振り分け装置１４０において、選択搬送ユニット４７によりＡ方向に搬送され、合格品スタック装置１５０にスタックされる。
【００２４】
シートＰが検査装置１２０で不良と判定された場合、振り分け装置１４０において、選択搬送ユニット４７が選択駆動モータＳＭにより、搬送方向が下方向（Ｂ方向）を向くように回転移動（枢動）され、下方方向（矢印Ｂ方向）にシートＰが搬送されリジェクト品スタック４８に積載される。振り分け装置１４０の詳細は図２とともに後述する。
【００２５】
合格品スタック装置１５０のスタック部（積載トレイ）５０へ積載されたシートＰは、樹脂シートとして、回路基板の製造工程や、工業製品の材料などに用いられる。
【００２６】
このようなシステムによりシートＰを分離・供給して、シートＰの表裏から異物等が混入しているかを検査した結果、合格品とリジェクト品とを仕分けして途中から別経路で搬送して、リジェクト品スタック４８又は合格品スタック５０へ積載させる。
【００２７】
以上がシート検査・仕分け装置（システム）１００の全体動作概略である。下記、本発明の特徴部分である検査装置１２０（シート検査搬送装置）について説明する。
【００２８】
上記のシステム１００において、仮に、シート分離供給装置１１０と、検査装置１２０の検査部２５との間が、接触あるいは近接していると、シートＰを、１枚１枚に分離後直ぐに検査を開始することになる。
【００２９】
しかし、シートＰを分離直後に検査を開始すると、シートを送り出す速度と検査搬送部での搬送速度に違いがあると、シートの移動速度が一定にならないため、検査ユニットにて画像データを正しく取り込めないことがあった。
【００３０】
そこで、本発明の第１の一実施形態では、検査前トレイに積み重ねられたシートを１枚１枚に分離した後のシートを、検査の際に、安定した速度で搬送するように、下記のように構成する。
【００３１】
＜第１の実施形態：検査装置の構成＞
下記、本発明の一実施形態に係る、検査装置１２０について説明する。図２は、図１のシート分離供給装置１１０及び検査装置１２０の上面図である。
【００３２】
図２において、１１０はシート分離供給装置を示し、１２０は検査装置を示している。シート分離供給装置１１０には、検査前トレイ（供給シートスタック）１０及び分離機構１１が設けられている。
【００３３】
検査装置１２０には、検査部２５と、搬送ベルト２１、２４が設けており、検査部と、シート分離供給装置１１０との間の空間が搬送バッファＢＦとなる。
【００３４】
詳しくは、図２に示すように、シート分離供給装置１１０における検査前トレイ１０で、積み重ねられたシートＰが１枚１枚分離した後、検査対象のシートの最大サイズ以上の搬送長さ分だけ検査前に搬送されるように、ベルトユニット（バッファ）を配置する。
【００３５】
送り出されたシートＰを搬送するベルトユニット（検査前搬送バッファユニット）を、分離ユニットの直後に、検査対象のシートＰの最大サイズ以上の搬送長さ分だけ、配置すると好適である。
【００３６】
ここで、図３に検査に係る制御部８０のブロック図を示す。制御部８０では、ＣＰＵ８１の他に、浮上搬送制御部８２及び検査用搬送制御部８３が設けられている。浮上搬送制御部８２は、負圧エアーチャンバ１５による吸引力を考慮して、図１に示す分離機構１１での浮上駆動ローラ１２を回転駆動させる浮上搬送モータＦＭを駆動させる速度を制御する。
【００３７】
また、検査用搬送制御部８３は、検査装置１２０内の搬送ベルト２１〜２４を回転させる駆動ローラを夫々駆動させる搬送モータＭ１〜Ｍ４に接続されている。搬送モータＭ１が駆動する搬送ベルト２１が検査前搬送バッファユニットを構成するベルトであり、搬送モータＭ２が駆動する搬送ベルト２２が検査部２５に対向する搬送ベルトであり、搬送モータＭ３が駆動する搬送ベルト２３が検査後搬送ベルトである。
【００３８】
なお、ベルトにより実際にシートＰが搬送された速度を測定するために、バッファ前搬送センサ９１、バッファ後（検査前）搬送センサ９２、検査後搬送センサ９３を設けてもよい。
【００３９】
上記のように浮上搬送制御部８２は、１枚ずつ分離させるように、負圧エアーチャンバ１５による吸引力を考慮しており、検査用搬送制御部８３は、検査部２５，２６での検査に適応する速度で搬送するように制御するため、搬送速度が異なることがある。
【００４０】
そこで、検査前搬送バッファユニットの搬送ベルト２１の速度を、検査部２５に対向する搬送ベルト２２と同じにすることにより、即ち、搬送モータＭ１〜Ｍ４の駆動速度を統一することにより、１枚１枚に分離後、送り出されたシートは、検査前搬送バッファユニットで速度が変化することなく、通過する。例えば、検査装置１２０を通過するシートは所定間隔で（例えば、３秒間隔で）通過する。
【００４１】
よって、検査対象のシートＰの最大サイズ以上の搬送長さ分だけ、搬送バッファＢＦを配置することで、シートＰが、駆動速度が異なる分離ユニット１１から完全に離れ、搬送モータＭ１により検査前搬送バッファユニットのみにより搬送される。
【００４２】
ここで、上記のように、共通の搬送制御部８３により、検査前搬送バッファユニット２１（ＢＦ）と検査部２５に対向する搬送ユニット２２の搬送速度を同一に制御するので、バッファを長く設定することで、各搬送部の搬送速度の違いによるシートの移動速度の不安定状態が解消される。
【００４３】
なお、バッファの距離を調整するために、検査部２５が、シートPの搬送方向と平行な方向に移動可能であってもよい。あるいは、追加の搬送ベルトを、検査装置１２０とシート分離供給装置１１０との間に配置してもよい。
【００４４】
＜第２の実施形態：検査装置の搬送ユニット間の構成＞
図４は、検査装置の側面構造図を示す。
【００４５】
シートＰの表面検査・員数カウントに用いられる検査装置１２０においては、シートの検査・合否判定・分別を短時間に行う必要がある。シートのための検査搬送装置では、半透明樹脂の外観の様々な異常を判別することが求められている。一般的に、検査搬送装置においては、シートを搬送し、その表面をＦＡカメラにより、画像を取り込み、正常画像との比較判別する方法が考えられている。
【００４６】
しかし、今までの方法では、シートからの反射光に拡散反射成分と正反射成分が混じっており、それぞれの成分による異常画像の区別ができず、正しい判別ができない場合があるという問題があった。
【００４７】
そこで、本発明の第２の実施形態ではシートからの反射光に拡散反射成分と正反射成分を分離して、それぞれの成分による異常画像を区別して検査する。
【００４８】
図４において、１２０は検査装置、２５は検査ユニット、２２及び２３は搬送ベルト（ユニット）、２７は照明ユニット、２８は反射板を示す。
【００４９】
シートＰを、搬送ベルト２２，２３間で橋渡しして搬送し、搬送ベルト２２，２３間で、反射板２８上をすべらせて搬送する。この際、反射板２８を艶消し黒色とすることにより、検査のための照明ユニット２７からの照明の光がシートＰに当たり、反射した光の内、拡散反射成分は、反射板２８が黒色のため、検査ユニット２５には、集光されず、シートＰの表面で正反射した成分のみが、検査ユニット２５に集光される。
【００５０】
さらに、反射板２８は、上部２８Ｔが傾斜していると好適である。詳しくは、上部２８Ｔは、シートＰの搬送方向において、後段の搬送ベルト２３の側が高く、前段の搬送ベルト２２の側を低く設定する。この際、上部２８Ｔの高い側の表面の位置は後段側の搬送ベルト２３を掛け回すローラを除いた、平面状の上側の表面と等しくなるように設定でする。このとき、上部２８Ｔの傾斜は、軽度であり、例えば、約５度程度であると好ましい。
【００５１】
この構成により、搬送ベルト２２，２３間で、シートＰが垂れて来ても、反射板２８に突き当たって引っかかることなく搬送される。
【００５２】
したがって、上記の構成により、シートＰの検査における異常画像の正しい判別が、より迅速に実行できる。
【００５３】
＜第３の実施形態：搬送ユニットの組立て構成＞
シート（樹脂シート）の表面検査・員数カウントに用いられる検査搬送装置においては、検査対象のシートに別の材料の樹脂粉が付着するのを防止する必要がある。一般的に、検査搬送装置においては、樹脂の混合を防止するため、樹脂の材料毎に検査対象のシートの搬送において接触する部分を交換する方法が考えられ既に知られている。
【００５４】
しかし、今までの方法では、搬送において接触する部分をすべてベルトとしていたため、交換部分が多く、生産効率が低下してしまう（コストがかかる）。
【００５５】
さらに、搬送において接触する部分の一部をベルトとして、それ以外の部分を別の部品として構成すると、シートと接触する部分を、交換時に交換部品を組み付けないまま組み付けし忘れ、装置の動作を開始してしまうおそれがあった。これにより、装置に交換部品が無い部分に引っかかる等により、リジェクト品を発生させてしまう可能性があった。
【００５６】
そこで、本発明の第３の実施形態では、ベルトが部分的に取り替え可能な搬送機構において、他の部品の組み付け忘れを予防する。
【００５７】
図５は、搬送ユニットの組立て説明図を示し、（ａ）は、１つの搬送機構６０の一例、（ｂ）は搬送機構から片側のガラスユニットを取り外した図、（ｃ）は搬送機構から片側のガラスユニットと搬送ユニットとを取り外した図である。搬送機構６０は、図１に示す検査装置１２０内の搬送ベルト２１〜２４の夫々に相当する。
【００５８】
図５に示す、各搬送機構６０において、搬送ベルト部６１、手前側ガラスユニット６２、奥側ガラスユニット６３、連結軸（基準軸）６４、連結軸（取付け軸）６５、取付け部６６、ベース部材（搬送用ベース）７０、ベースネジ７１、取付け部７２、及び取付け穴７３を備える。
【００５９】
図５（ａ）に示すように、搬送機構６０において、搬送ベルト部６１を記録媒体の幅方向の中央部に配置し、その両側にガラスユニット６２，６３を配置している。
【００６０】
この構成により、ガラスユニット６２，６３は、直接シートＰと接触せず、磨耗しない。そのため、搬送機構６０の点検・交換する際に、交換する交換部分は、中央部の搬送ベルト部６１のみとし、ガラスユニット６２，６３は磨耗しないので、清掃のみで済む。
【００６１】
ここで点検・交換の際の取付けを説明する。図５（ｂ）、図５（ｃ）に示すように、ガラスユニット６２，６３のどちらか一方が、ベース部材７０に対して、着脱可能であり、他方がベース部材７０に固定されている。この例では、図５（ａ）〜図５（ｃ）の例では、搬送ベルト部６１の交換の際に、搬送ベルト部６１を取り外す前に、手前側ガラスユニット６２がベース部材７０から取り外される。一方、奥側ガラスユニット６３は、ベース部材７０に固定されている。
【００６２】
取り外しの工程において、まず、図５（ｂ）に示すように、ベースネジ７１から解放され、ガラスユニット６２が取り外される。この際、図５（ａ）で搬送ベルト部６１の取付け穴６１Ｏに挿入されていた連結軸（基準軸）６４は、搬送ベルト部６１に設けられていた取付け部６６との嵌合状態が解消され、ガラスユニット６２と一緒に取り外される。
【００６３】
その後、図５（ｃ）に示すように、取付け穴７３との係合状態を解消し、搬送ベルト部６１がベース部材７０から取り外される。この際、図５（ａ）及び図５（ｂ）の状態でガラスユニット６３と搬送ベルト部６１を連結していた連結軸（取付け軸）８５は、取付け部７２との係合状態が解消され、搬送ベルト部６１と一緒に取り外される。
【００６４】
このように、搬送ベルト部６１の両側、即ち、シートＰの搬送方向の開始端及び終端に、にあるガラスユニット６２のどちらか一方に搬送ベルト部６１の基準軸６４（連結軸）を差し込み、他方のガラスユニット６２，６３を搬送ベルト部６１の取り付け軸６５（連結軸）で固定する。即ち、搬送ベルト部６１とガラスユニット６２，６３とは、２つの連結軸６４，６５で連結される。一の連結軸（基準軸６４）は、搬送ベルト部６１と一方のガラスユニット６２とを連接して支持し、他の連結軸（取付け軸６５）は、搬送ベルト部６１と他方のガラスユニット６３とを連接して支持する。
【００６５】
また、基準軸６４の端部と係合する取付け部６６は、ガラスユニット６２と一緒に着脱可能である。取付け軸６５は、搬送ベルト部６１と一緒に着脱可能であり、ガラスユニット６３に対して固定される。
【００６６】
この構成により、搬送ベルト部６１は、両側のガラスユニット６２，６３がないと、組み付けることができず、かつ、搬送ベルト部６１がないと、ガラスユニット６２，６３を組み付けることもできない。従って、搬送ベルト部６１及び両側のガラスユニット６２，６３のすべてを、ベース部材７０に対して組みつけないと、搬送機構６０の交換（メンテナンス作業）が完了できない。
【００６７】
これにより、シートＰの生産効率を低下させること無く、交換部品の組み付け忘れを防止することができる。
【００６８】
以上、各実施形態に基づき本発明の説明を行ってきたが、上記実施形態に示した要件に本発明が限定されるものではない。これらの点に関しては、本発明の主旨をそこなわない範囲で変更することができ、その応用形態に応じて適切に定めることができる。
【符号の説明】
【００６９】
１１  分離機構
１５  負圧エアーチャンバ
２１，２２，２３，２４  搬送ベルト
２８  反射板
２８Ｔ  反射板の上部
６０  搬送機構
６１  搬送ベルト部
６１Ｏ  搬送ベルト部
６２  手前側ガラスユニット
６３  奥側ガラスユニット
６４  基準軸（連結軸）
６５  取り付け軸（連結軸）
６６  取付け部
７０  ベース部材（搬送用ベース）
７１  ベースネジ
７２  取付け部
７３  取付け穴
８０  制御部
８２  浮上用搬送制御部
８３  検査用搬送制御部
１００  シート検査仕分けシステム
１１０  シート分離供給装置
１２０  シート検査装置
１３０  中継搬送装置
１４０  シート振り分け装置
１５０  合格品スタック装置
ＦＭ  浮上搬送モータ
Ｍ１  バッファ用モータ
Ｍ２  検査用モータ
ＳＭ  選択駆動用モータ（選択部）
ＢＦ  搬送バッファ
Ｐ  シート（樹脂シート、例えばプリプレグ）
Ｐａ  合格品のシート
Ｐｂ  リジェクト品のシート
【先行技術文献】
【特許文献】
【００７０】
【特許文献１】特開２００２−２３３８２７号公報
【図１】
2017109173.tif 000003
【図２】
2017109173.tif 000004
【図３】
2017109173.tif 000005
【図４】
2017109173.tif 000006
【図５】
2017109173.tif 000007