(57)【要約】【課題】ベースプレートにヘッドチップが接合されるような構成であっても、被記録媒体に記録される文字や画像の品質を低下させることなく、アクチュエータプレートの損傷を防止できる液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置を提供する。【解決手段】一方向に長いノズル列７２〜７５を有するノズルプレート５１と、ノズルプレート５１の一面側に取付けられ、ノズル孔７１に連通する複数のチャネル６１を有するアクチュエータプレート５２と、を有するヘッドチップ５０と、ノズルプレート５１の他面側から、ヘッドチップ５０を覆うように設けられたベースプレート１００と、を備え、ベースプレート１００のヘッドチップ５０の外周部に対向する箇所に、このヘッドチップ５０と接触しないように非接触面１１１が形成されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズル孔からなる一方向に長いノズル列を有するノズルプレートと、
前記ノズルプレートの一面側に取付けられ、前記ノズル孔に連通する複数のチャネルを有するアクチュエータプレートと、
を有するヘッドチップと、
前記ノズルプレートの他面側から、前記ヘッドチップを覆うように設けられたベースプレートと、
を備え、
前記ベースプレートの前記ノズル孔と対向する箇所よりも外周側で、且つ前記ヘッドチップと対向する内面には、前記一方向の両側の少なくとも何れか一方の側部、および前記一方向と直交する他方向の両側の少なくとも何れか一方の側部のうちの少なくとも１つの側部に、該側部の全体に渡って、前記ヘッドチップと接触しないように非接触面が形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記ベースプレートの前記内面には、全周に前記非接触面が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記ベースプレートの前記内面に凹部を形成し、該凹部を前記非接触面としたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記ヘッドチップは、前記アクチュエータプレートの厚さ方向一面側に前記チャネルを閉塞するように設けられたカバープレートを備え、
前記アクチュエータプレートの厚さ方向他面側に、前記ノズルプレートが設けられ、
前記複数のチャネルの延在方向の中央部で、該チャネルと前記ノズル孔とが連通されていることを特徴とする請求項１〜請求項３の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜請求項４の何れか１項に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる搬送手段と、
液体が収容された液体収容体と、
前記液体噴射ヘッドと前記液体収容体との間で前記液体を循環させる液体循環手段と、
を備えていることを特徴とする液体噴射記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
各種印刷を行う液体噴射記録装置（インクジェットプリンタ）は、被記録媒体を搬送する搬送手段と、液体噴射ヘッド（インクジェットヘッド）と、液体噴射ヘッドを被記録媒体の搬送方向と直交する方向に走査させる走査手段と、を備えている。液体噴射ヘッドは、液体収容体（インクタンク）から液体供給管（インク供給管）を介して液体噴射ヘッドにインク（液体）を供給し、液体噴射ヘッドに設けられたヘッドチップのノズル孔からインクを被記録媒体に吐出する。これにより、被記録媒体に文字や画像が記録される。
【０００３】
ヘッドチップは、複数のノズル孔からなるノズル列を有するノズルプレートと、このノズルプレートに接合され、ノズル孔に連通する複数のチャネルを有するアクチュエータプレートと、を備えている。このアクチュエータプレートの各チャネルに、インクが充填される。
ノズルプレートは、ノズル孔を精度よく加工するために樹脂により形成される場合が多い。一方、アクチュエータプレートは、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成されている。このような構成のもと、アクチュエータプレートに電圧を印加すると、圧電滑り効果によりチャネルの容積が変化する。この変化を利用してノズル孔からインクを吐出させる。
【０００４】
このように構成された液体噴射ヘッドは、ベースプレートを介して走査手段に取り付けられている。ベースプレートに液体噴射ヘッドを取り付ける際は、ヘッドチップに接合されたノズルプレートとベースプレートとが接合されるように取り付ける。この際、ベースプレートに対するヘッドチップの位置決めを確実に行うために、ベースプレートにヘッドチップ全体が当接するように接合される場合が多い。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−１０４５８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、ノズルプレートの材質とアクチュエータプレートの材質とが異なると、それぞれの熱変化による膨張変形量や収縮変形量も異なる。この変形量の違いにより、アクチュエータプレートに反りが生じる。
とりわけ、アクチュエータプレートのチャネルの延在方向の中央部で、このチャネルとノズル孔とが連通される、いわゆるサイドシュートタイプのヘッドチップにあっては、アクチュエータプレートの長手方向で反りが生じやすい。すなわち、サイドシュートタイプのヘッドチップでは、アクチュエータプレートの厚さ方向一面側にノズルプレートが接合されるので、熱変形による影響を受けやすく、反りが生じやすい。
【０００７】
ここで、ベースプレートにヘッドチップが接合されていると、アクチュエータプレートの反り変形が吸収されない。このため、アクチュエータプレートに、反り変形による応力がかかり、アクチュエータプレートが損傷してしまう可能性があった。
【０００８】
そこで、この発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、ベースプレートにヘッドチップが接合されるような構成であっても、被記録媒体に記録される文字や画像の品質を低下させることなく、アクチュエータプレートの損傷を防止できる液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するために、本発明に係る液体噴射ヘッドは、複数のノズル孔からなる一方向に長いノズル列を有するノズルプレートと、前記ノズルプレートの一面側に取付けられ、前記ノズル孔に連通する複数のチャネルを有するアクチュエータプレートと、を有するヘッドチップと、前記ノズルプレートの他面側から、前記ヘッドチップを覆うように設けられたベースプレートと、を備え、前記ベースプレートの前記ノズル孔と対向する箇所よりも外周側で、且つ前記ヘッドチップと対向する内面には、前記一方向の両側の少なくとも何れか一方の側部、および前記一方向と直交する他方向の両側の少なくとも何れか一方の側部のうちの少なくとも１つの側部に、該側部の全体に渡って、前記ヘッドチップと接触しないように非接触面が形成されていることを特徴とする。
【００１０】
このように構成することで、アクチュエータプレートやノズルプレートと、ベースプレートとの間で、且つ非接触面に対応する箇所に、隙間を形成することができる。このため、この隙間によって、アクチュエータプレートの反りを吸収することができ、アクチュエータプレートの損傷を防止できる。
しかも、ノズルプレートのノズル孔に対応する箇所はベースプレートに接触するので、ベースプレートに対するノズル孔の位置を高精度に決定することができる。このため、被記録媒体に記録される文字や画像の品質の低下を防止できる。
【００１１】
本発明に係る液体噴射ヘッドは、前記ベースプレートの前記内面には、全周に前記非接触面が形成されていることを特徴とする。
【００１２】
このように構成することで、アクチュエータプレートのあらゆる方向の反りを吸収することができる。このため、アクチュエータプレートの損傷をより確実に防止できる。
【００１３】
本発明に係る液体噴射ヘッドは、前記ベースプレートの前記内面に凹部を形成し、該凹部を前記非接触面としたことを特徴とする。
【００１４】
このように構成することで、ベースプレートに簡素な加工を施すだけで非接触面を形成することができる。このため、液体噴射ヘッドの製造コストが増大してしまうことを抑制できる。
【００１５】
本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記ヘッドチップは、前記アクチュエータプレートの厚さ方向一面側に前記チャネルを閉塞するように設けられたカバープレートを備え、前記アクチュエータプレートの厚さ方向他面側に、前記ノズルプレートが設けられ、前記複数のチャネルの延在方向の中央部で、該チャネルと前記ノズル孔とが連通されていることを特徴とする。
【００１６】
このように、いわゆるサイドシュートタイプのアクチュエータプレートに、上記構成を好適に用いることができる。
【００１７】
本発明に係る液体噴射記録装置は、上記に記載の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる搬送手段と、液体が収容された液体収容体と、前記液体噴射ヘッドと前記液体収容体との間で前記液体を循環させる液体循環手段と、を備えていることを特徴とする。
【００１８】
このように構成することで、ベースプレートにヘッドチップが接合されるような構成であっても、被記録媒体に記録される文字や画像の品質を低下させることなく、アクチュエータプレートの損傷を防止可能な液体噴射記録装置を提供できる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、アクチュエータプレートやノズルプレートと、ベースプレートとの間で、且つ非接触面に対応する箇所に、隙間を形成することができる。このため、この隙間によって、アクチュエータプレートの反りを吸収することができ、アクチュエータプレートの損傷を防止できる。
しかも、ノズルプレートのノズル孔に対応する箇所はベースプレートに接触するので、ベースプレートに対するノズル孔の位置を高精度に決定することができる。このため、被記録媒体に記録される文字や画像の品質の低下を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施形態における液体噴射記録装置の斜視図である。
【図２】本発明の実施形態における液体噴射ヘッドおよび液体循環手段の概略構成図である。
【図３】本発明の実施形態における液体噴射ヘッドの分解斜視図である。
【図４】本発明の実施形態における液体噴射ヘッドの断面図である。
【図５】図３のＶ部拡大図である。
【図６】本発明の実施形態における液体噴射ヘッドの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
次に、この発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２２】
（液体噴射記録装置）
図１は、液体噴射記録装置１の斜視図である。
液体噴射記録装置１は、いわゆるインクジェットプリンタであって、紙等の被記録媒体Ｐを搬送する一対の搬送手段２，３と、インクが収容された液体収容体４と、被記録媒体Ｐにインク滴を噴射する液体噴射ヘッド５と、液体収容体４と液体噴射ヘッド５との間でインクを循環させる液体循環手段６と、液体噴射ヘッド５を被記録媒体Ｐの搬送方向（主走査方向）と直交する方向（副走査方向）に走査させる走査手段７と、を備えている。
【００２３】
なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
また、以下の説明において、主走査方向をＸ方向、副走査方向をＹ方向、そしてＸ方向、およびＹ方向に共に直交する方向をＺ方向として説明する。ここで、液体噴射記録装置１は、Ｘ方向、Ｙ方向が水平方向となるように、且つＺ方向が重力方向上下方向となるように載置して使用される。
【００２４】
すなわち、液体噴射記録装置１を載置した状態では、被記録媒体Ｐ上を液体噴射ヘッド５が水平方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に沿って走査するように構成されている。また、この液体噴射ヘッド５から重力方向下方（Ｚ方向下方）に向かってインク滴が噴射され、このインク滴が被記録媒体Ｐに着弾するように構成されている。
【００２５】
搬送手段２は、Ｙ方向に延設されたグリットローラ１１と、グリットローラ１１に平行に延設されたピンチローラ１２と、グリットローラ１１を軸回転させるモータ等の駆動機構（不図示）と、を備えている。
同様に、搬送手段３は、Ｙ方向に延設されたグリットローラ１３と、グリットローラ１３に平行に延設されたピンチローラ１４と、グリットローラ１３を軸回転させる駆動機構（不図示）と、を備えている。
【００２６】
液体収容体４は、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクの液体収容体４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４ＫがＸ方向に並んで設けられている。なお、液体収容体４は、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類のインクが収容された液体収容体４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋに限られるものではなく、さらに多色のインクを収容したインクタンクを備えていてもよい。
【００２７】
図２は、液体噴射ヘッド５および液体循環手段６の概略構成図である。
同図に示すように、液体循環手段６は、液体噴射ヘッド５にインクを供給する液体供給管２１、および液体噴射ヘッド５からインクを排出する液体排出管２２を有する循環流路２３と、液体供給管２１に接続された加圧ポンプ２４と、液体排出管２２に接続された吸引ポンプ２５と、を備えている。なお、液体供給管２１および液体排出管２２は、液体噴射ヘッド５を支持する走査手段７の動作に対応可能な可撓性を有するフレキシブルホースからなる。
【００２８】
加圧ポンプ２４は、液体供給管２１内を加圧し、液体供給管２１を介して液体噴射ヘッド５にインクを送り出している。これにより、液体噴射ヘッド５に対して液体供給管２１側は正圧となっている。
吸引ポンプ２５は、液体排出管２２内を減圧し、液体噴射ヘッド５からインクを吸引している。これにより、液体噴射ヘッド５に対して液体排出管２２側は負圧となっている。そして、インクは、加圧ポンプ２４および吸引ポンプ２５の駆動により、液体噴射ヘッド５と液体収容体４との間を、循環流路２３を介して循環可能となっている。
【００２９】
図１に戻り、走査手段７は、Ｙ方向に延設された一対のガイドレール３１，３２と、一対のガイドレール３１，３２に移動可能に支持されたキャリッジ３３と、キャリッジ３３をＹ方向に移動させる駆動機構３４と、を備えている。駆動機構３４は、一対のガイドレール３１，３２の間に配設された一対のプーリ３５，３６と、一対のプーリ３５，３６間に巻回された無端ベルト３７と、一方のプーリ３５を回転駆動させる駆動モータ３８と、を備えている。
【００３０】
一対のプーリ３５，３６は、一対のガイドレール３１，３２の両端部間にそれぞれ配設されている。無端ベルト３７は、一対のガイドレール３１，３２間に配設されている。この無端ベルト３７にキャリッジ３３が連結されている。キャリッジ３３には、複数の液体噴射ヘッド５として、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクの液体噴射ヘッド５Ｙ，５Ｍ，５Ｃ，５ＫがＹ方向に並んで搭載される。なお、上記搬送手段２，３および走査手段７により、液体噴射ヘッド５と被記録媒体Ｐとを相対的に移動させる移動機構を構成している。
【００３１】
（液体噴射ヘッド）
次に、液体噴射ヘッド５について詳述する。なお、液体噴射ヘッド５Ｙ，５Ｍ，５Ｃ，５Ｋは、供給されるインクの色以外は何れも同一の構成からなるため、以下の説明ではまとめて液体噴射ヘッド５として説明する。
【００３２】
図３は、液体噴射ヘッド５の分解斜視図である。図４は、液体噴射ヘッド５を組み立てた状態における図３のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面に相当する図である。
図３、図４に示すように、液体噴射ヘッド５は、後述する吐出チャネル６１におけるチャネル延在方向（Ｙ方向）の中央部からインクを吐出する、いわゆるサイドシュートタイプである。この種のサイドシュートタイプの液体噴射ヘッド５は、この液体噴射ヘッド５と液体収容体４との間でインクを循環させる循環式である。
【００３３】
液体噴射ヘッド５は、ノズルプレート５１、アクチュエータプレート５２、カバープレート５３および流路プレート５４を含むヘッドチップ５０と、ヘッドチップ５０に接続された回路基板８０と、ヘッドチップ５０を支持して液体噴射ヘッド５をキャリッジ３３に固定するベースプレート１００と、を主に備えている。
ヘッドチップ５０は、ノズルプレート５１、アクチュエータプレート５２、カバープレート５３および流路プレート５４がこの順で接着剤等によりＺ方向に積層された構成とされている。なお、以下の説明では、上記Ｚ方向のうち、流路プレート５４側を上方、ノズルプレート５１側を下方として説明する。
【００３４】
（アクチュエータプレート）
図３に示すように、アクチュエータプレート５２は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料によりＸ方向に長い長方形の板状に形成されたプレートである。アクチュエータプレート５２は、その分極方向が厚さ方向（Ｚ方向）に沿って一方向に設定された、いわゆるモノポール基板である。アクチュエータプレート５２には、Ｘ方向に並んで形成された複数のチャネル６１，６２からなるチャネル列（図３中矢印で示す第１チャネル列６３、第２チャネル列６４、第３チャネル列６５および第４チャネル列６６）がＹ方向に４列配設されている。
【００３５】
第２チャネル列６４と第３チャネル列６５との間には、アクチュエータプレート５２の上面ＵＳから下面ＬＳに貫通する第１開口部Ｈ１が形成される。なお、各チャネル列６３〜６６の基本的構成は同一であるので、以下の説明では、主に第１チャネル列６３について説明し、第２〜第４チャネル列６４〜６６における第１チャネル列６３と対応する箇所には同一の符号を付して説明を省略する。
【００３６】
複数のチャネル６１，６２は、インクが充填される吐出チャネル６１と、インクが充填されない非吐出チャネル６２と、により構成されている。吐出チャネル６１および非吐出チャネル６２は、Ｘ方向で交互に並んで配列されている。
吐出チャネル６１は、アクチュエータプレート５２の上面ＵＳから下面ＬＳに貫通する。吐出チャネル６１は、上面ＵＳから下面ＬＳに向かって突出するように形成されている。一方、非吐出チャネル６２は、下面ＬＳから上面ＵＳに向かって突出するように形成されている。
【００３７】
ここで、第１チャネル列６３に含まれる吐出チャネル６１および非吐出チャネル６２を第１吐出チャネル６１ａおよび第１非吐出チャネル６２ａとする。また、第２チャネル列６４に含まれる吐出チャネル６１および非吐出チャネル６２を第２吐出チャネル６１ｂおよび第２非吐出チャネル６２ｂとする。さらに、第３チャネル列６５に含まれる吐出チャネル６１および非吐出チャネル６２を第３吐出チャネル６１ｃおよび第３非吐出チャネル６２ｃとする。そして、第４チャネル列６６に含まれる吐出チャネル６１および非吐出チャネル６２を第４吐出チャネル６１ｄおよび第４非吐出チャネル６２ｄとする。
【００３８】
図３、図４に示すように、隣接する第１チャネル列６３および第２チャネル列６４において、Ｙ方向一方側の第１チャネル列６３に含まれる第１吐出チャネル６１ａの第２チャネル列６４側の端部と、Ｙ方向他方側の第２チャネル列６４に含まれる第２非吐出チャネル６２ｂの第１チャネル列６３側の端部は離間し、且つＺ方向において重なる。また、第１チャネル列６３に含まれる第１非吐出チャネル６２ａのＹ方向一方側の端部は、浅溝でアクチュエータプレート５２のＹ方向一方側の側面に至るまで溝深さが一定となるように形成される。
【００３９】
第２チャネル列６４に含まれる第２非吐出チャネル６２ｂのＹ方向他方側の端部は、浅溝で第１開口部Ｈ１の側面に至るまでストレートに形成される。各浅溝は、下面ＬＳからの深さがアクチュエータプレート５２の厚さの１／２よりも深く設定されている。隣接する第３チャネル列６５および第４チャネル列６６についても、第１チャネル列６３および第２チャネル列６４と同様である。
【００４０】
吐出チャネル６１および非吐出チャネル６２を上記のように形成することにより、第１チャネル列６３および第２チャネル列６４のＹ方向の幅と、第３チャネル列６５および第４チャネル列６６のＹ方向の幅を短縮することができる。
【００４１】
第１チャネル列６３に含まれる第１吐出チャネル６１ａは、Ｘ方向にピッチＬで配列されている。第２〜第４チャネル列６４〜６６のそれぞれに含まれる各吐出チャネル６１ｂ〜６１ｄも、Ｘ方向においてそれぞれピッチＬで配列されている。そして、第１吐出チャネル６１ａと第２吐出チャネル６１ｂは、Ｘ方向に１／２ピッチＬずれている。
一方、第３吐出チャネル６１ｃと第４吐出チャネル６１ｄは、第１吐出チャネル６１ａと第２吐出チャネル６１ｂとの関係と同様に、Ｘ方向に１／２ピッチＬずれている。そして、第２吐出チャネル６１ｂと第３吐出チャネル６１ｃは、Ｘ方向に１／４ピッチＬずれている。この結果、各吐出チャネル６１ａ〜６１ｄは、Ｘ方向について１／４ピッチＬで配列し、チャネル列が単独の場合と比べ記録密度を４倍とすることができる。
【００４２】
アクチュエータプレート５２の下面ＬＳには、Ｙ方向の長さの短い吐出チャネル６１ａ〜６１ｄとＹ方向の長さの長い非吐出チャネル６２ａ〜６２ｄがＸ方向に交互に配列し、各チャネル列６３〜６６を構成している。これにより、アクチュエータプレート５２に形成されている第１開口部Ｈ１は、アクチュエータプレート５２のＹ方向中央に位置している。
【００４３】
また、吐出チャネル６１ａ〜６１ｄおよび非吐出チャネル６２ａ〜６２ｄのＸ方向の両側面には、駆動電極６８が形成されている。駆動電極６８は、下面ＬＳからのＺ方向における寸法がアクチュエータプレート５２の厚さの１／２程度に設定されている。
【００４４】
第１チャネル列６３に関し、端子電極６９は、アクチュエータプレート５２のＹ方向に面する側面近傍に形成されている。端子電極６９は、第１吐出チャネル６１ａの両側面の駆動電極６８（図４参照）と電気的に接続する共通端子電極（端子）と、第１吐出チャネル６１ａを挟む２つの第１非吐出チャネル６２ａの側面の駆動電極６８と電気的に接続する個別端子電極（何れも不図示）と、を含む。
なお、個別端子電極は、アクチュエータプレート５２のＹ方向に面する側面に沿って形成されている。一方、共通端子電極は、個別端子電極よりも第１吐出チャネル６１ａ側に形成されている。
【００４５】
第２チャネル列６４に関し、端子電極６９は、第１開口部Ｈ１の側面近傍に形成されている。端子電極６９は、第２吐出チャネル６１ｂの両側面の駆動電極６８（図４参照）と電気的に接続する共通端子電極と、第２吐出チャネル６１ｂを挟む２つの第２非吐出チャネル６２ｂの側面の駆動電極６８と電気的に接続する個別端子電極（何れも不図示）と、を含む。
なお、ここでの個別端子電極は、第１開口部Ｈ１の開口部に沿って形成されている。一方、共通端子電極は、個別端子電極よりも第２吐出チャネル６１ｂ側に形成されている。また、第３チャネル列６５および第４チャネル列６６に関する端子電極６９についても同様の構成を備えている。
【００４６】
（カバープレート）
カバープレート５３は、各チャネル列６３〜６６を閉塞するように、アクチュエータプレート５２の上面ＵＳに接着された板状とされている。カバープレート５３には、Ｙ方向中央に形成される第２開口部Ｈ２と、第１、第２入口側共通インク室９０ａ，９０ｂと、第１〜第４出口側共通インク室９１ａ〜９１ｄと、が形成されている。第２開口部Ｈ２および各入口側共通インク室９０ａ，９０ｂ，９１ａ〜９１ｄは、カバープレート５３をＸ方向に沿って延びるスリットとされている。
【００４７】
第１入口側共通インク室９０ａは、第１チャネル列６３に含まれる第１吐出チャネル６１ａの第２チャネル列６４側の端部と、第２チャネル列６４に含まれる第２吐出チャネル６１ｂの第１チャネル列６３側の端部と、に連通している。また、第１出口側共通インク室９１ａは、第１吐出チャネル６１ａの他の端部に連通している。さらに、第２出口側共通インク室９１ｂは、第２吐出チャネル６１ｂの他の端部に連通している。
【００４８】
一方、第２入口側共通インク室９０ｂは、第３チャネル列６５に含まれる第３吐出チャネル６１ｃの第４チャネル列６６側の端部と、第４チャネル列６６に含まれる第４吐出チャネル６１ｄの第３チャネル列６５側の端部と、に連通している。また、第３出口側共通インク室９１ｃは、第３吐出チャネル６１ｃの他の端部に連通している。さらに、第４出口側共通インク室９１ｄは、第４吐出チャネル６１ｄの他の端部に連通している。
【００４９】
（流路プレート）
図４に詳示するように、流路プレート５４は、カバープレート５３のアクチュエータプレート５２とは反対側の主面に接合される。流路プレート５４は、供給流路９５と排出流路９６と第３開口部Ｈ３と、を備えている。第３開口部Ｈ３は、流路プレート５４をＸ方向に沿って延びるスリットとされている。供給流路９５は、液体循環手段６の液体供給管２１（図２参照）に連通すると共に、カバープレート５３の各入口側共通インク室９０ａ，９０ｂに連通している。排出流路９６は、液体循環手段６の液体排出管２２（図２参照）に連通していると共に、第１〜第４出口側共通インク室９１ａ〜９１ｄに連通している。つまり、供給流路９５からアクチュエータプレート５２にインクを供給し、排出流路９６からインクを排出する。
【００５０】
（ノズルプレート）
ノズルプレート５１は、厚みが５０μｍ程度のポリイミド等のフィルム材により、アクチュエータプレート５２の形状に対応するようにＸ方向に長い長方形の板状に形成されたプレートである。ノズルプレート５１は、アクチュエータプレート５２の下面ＬＳに対して接着等により取り付けられている。ノズルプレート５１は、吐出チャネル６１に連通する複数のノズル孔７１がＸ方向に配列するノズル列（図３中矢印で示す第１〜第４ノズル列７２〜７５）を有している。
【００５１】
また、ノズルプレート５１は、Ｙ方向における幅、およびＸ方向における幅が、それぞれアクチュエータプレート５２のＹ方向における幅、およびＸ方向における幅よりも狭くなっている。ノズルプレート５１は、アクチュエータプレート５２の下面ＬＳにおける、端子電極６９が形成された各チャネル列６３〜６６に対応する４つの端子形成領域を露出させている。
【００５２】
（回路基板）
アクチュエータプレート５２の下面ＬＳのうち、ノズルプレート５１から露出した４つの端子形成領域には、それぞれ回路基板８０の上面が取り付けられている。各回路基板８０は、フレキシブルプリント基板であって、それぞれ不図示のＡＣＦ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｉｌｍ：異方性導電膜）を介した熱圧着により、アクチュエータプレート５２に接合されている。
回路基板８０の熱圧着は、例えば１６０℃〜２００℃程度で行われる。４つの回路基板８０のうち、第１開口部Ｈ１の側面に沿う端子形成領域に取り付けられた回路基板８０は、第１〜第３開口部Ｈ１〜Ｈ３を通して上方に引き出されている。なお、アクチュエータプレート５２と回路基板８０との接合は、導電性接着剤等を用いて行ってもよい。
【００５３】
（ベースプレート）
図５は、図３のＶ部拡大図である。
図３〜図５に示すように、ベースプレート１００は、例えばステンレス等の金属により形成されたものである。ベースプレート１００は、ノズルプレート５１の下方からこのノズルプレート５１およびアクチュエータプレート５２を覆うように形成されている。具体的には、ベースプレート１００は、アクチュエータプレート５２の下面ＬＳとノズルプレート５１を介して対向している板状のノズルガード１０１と、ノズルガード１０１の外周部から立ち上がる周壁部１０２と、が例えば接着や溶着等によって一体化されたものである。
【００５４】
ノズルガード１０１は、アクチュエータプレート５２の形状に対応するようにＸ方向に長い長方形の板状に形成されたプレートである。ノズルガード１０１は、ノズルプレート５１の下面に対して接着等により取り付けられている。ノズルガード１０１の上面（ノズルプレート５１側の面）には、周壁部１０２が立設されている箇所と、Ｘ方向両側のボルト座配置面１０１ａとを除いた大部分に、段差を介して凹部１０１ｂが形成されている。ボルト座配置面１０１ａには、後述の各ボルト座１０７，１０８が立設される。
【００５５】
凹部１０１ｂには、ノズルプレート５１の第１〜第４ノズル列７２〜７５に対応する箇所に、それぞれＸ方向に長い長円形状の開口部１０３が形成されている。これら開口部１０３を介し、第１〜第４ノズル列７２〜７５の各ノズル孔７１がノズルガード１０１の下方に露出している。
また、各開口部１０３の周縁には、それぞれ２重のリブ１０４，１０５（第１リブ１０４、第２リブ１０５）が凹部１０１ｂの底面から上方（ノズルプレート５１側）に向かって立設されている。第１リブ１０４は、各開口部１０３を取り囲むように形成されている。第２リブ１０５は、第１リブ１０４と間隔をあけて配置され、第１リブ１０４の周囲を取り囲むように形成されている。
【００５６】
第１リブ１０４の突出高さおよび第２リブ１０５の突出高さは同一に設定されている。また、第１リブ１０４の突出高さおよび第２リブ１０５の突出高さは、これらリブ１０４，１０５の先端とボルト座配置面１０１ａとが同一平面上に位置する高さに設定されている。
そして、各リブ１０４，１０５の先端がノズルプレート５１に当接し、このノズルプレート５１に接着等により取り付けられる。この際、第１リブ１０４と第２リブ１０５との間に形成される溝部１０６は、余剰接着剤の溜まり部として機能する。
【００５７】
ノズルガード１０１の外周部から立ち上がる周壁部１０２には、４隅の内周面側（ボルト座配置面１０１ａ上）に、角ボルト座１０７が設けられている。また、各ボルト座配置面１０１ａのＹ方向中央には、周壁部１０２から突出するように、それぞれ中央ボルト座１０８が設けられている。これらボルト座１０７，１０８は、略四角柱状に形成されている。各ボルト座１０７，１０８には、それぞれＺ方向に貫通する貫通孔１０７ａ，１０８ａが形成されている。各貫通孔１０７ａ，１０８ａには、不図示のボルトが挿通される。そして、このボルトを介してノズルガード１０１がキャリッジ３３（図１参照）に取り付けられている不図示の取付け部材に締結固定される。
【００５８】
また、一対の中央ボルト座１０８には、対向する面からＸ方向に突出するＸ方向位置決めダボ１０９が、それぞれ一体成形されている。これら２つのＸ方向位置決めダボ１０９間の長さは、アクチュエータプレート５２のＸ方向の長さとほぼ同一か、または若干長い程度に設定されている。このため、ノズルガード１０１内に収納されたアクチュエータプレート５２は、Ｘ方向位置決めダボ１０９によって、ノズルガード１０１に対するＸ方向の位置決めが行われる。
【００５９】
また、Ｘ方向位置決めダボ１０９は、先端の位置が、凹部１０１ｂのほぼ周縁上、つまり、ボルト座配置面１０１ａと凹部１０１ｂとのほぼ境界線上に位置するように形成されている。このため、ノズルガード１０１内に収納されたアクチュエータプレート５２は、Ｘ方向両端の側辺が、Ｘ方向からみて凹部１０１ｂの周縁とほぼ重なった状態になる。
さらに、周壁部１０２のＹ方向両側の内側面には、４隅の角ボルト座１０７の近傍に、それぞれＹ方向位置決めダボ１１０が一体成形されている。Ｙ方向位置決めダボ１１０の位置について詳述すると、Ｙ方向位置決めダボ１１０は、角ボルト座１０７側の側面の位置が、Ｙ方向からみてＸ方向位置決めダボ１０９の先端の位置とほぼ同じ位置になるように配置されている。
【００６０】
Ｙ方向で対向するＹ方向位置決めダボ１１０間の長さは、アクチュエータプレート５２のＹ方向の長さとほぼ同一か、または若干長い程度に設定されている。このため、ノズルガード１０１内に収納されたアクチュエータプレート５２は、Ｙ方向位置決めダボ１１０によって、ノズルガード１０１に対するＹ方向の位置決めが行われる。
【００６１】
図６は、液体噴射ヘッド５を組み立てた状態における図３のＶＩ−ＶＩ線に沿う断面に相当する図である。
上記構成のもと、図６に示すように、液体噴射ヘッド５を組み立てた状態では、ノズルガード１０１から立設された２つのリブ１０４，１０５（第１リブ１０４、第２リブ１０５）上にノズルプレート５１（アクチュエータプレート５２）が載置されている。このため、ノズルガード１０１に形成されている凹部１０１ｂの底面とノズルプレート５１との間に、隙間Ｓが形成される。すなわち、凹部１０１ｂの底面は、ヘッドチップ５０（ノズルプレート５１やアクチュエータプレート５２）と、ベースプレート１００とを接触させない非接触面１１１として機能している。
【００６２】
（液体噴射記録装置の動作）
次に、液体噴射記録装置１を利用して、被記録媒体Ｐに文字や図形等を記録する場合について説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つの液体収容体４にはそれぞれ異なる色のインクが十分に封入されているものとする。また、液体収容体４内のインクが液体循環手段６を介して液体噴射ヘッド５内に充填された状態となっているものとする。
【００６３】
このような初期状態のもと、液体噴射記録装置１を作動させると、搬送手段２，３のグリットローラ１１，１３が回転することで、これらグリットローラ１１，１３およびピンチローラ１２，１４間に被記録媒体Ｐを搬送方向（Ｘ方向）に向けて搬送する。また、これと同時に駆動モータ３８がプーリ３５，３６を回転させて無端ベルト３７を動かす。これにより、キャリッジ３３がガイドレール３１，３２にガイドされながらＹ方向に往復移動する。
そしてこの間に、各液体噴射ヘッド５より４色のインクを被記録媒体Ｐに適宜吐出させることで、文字や画像等の記録を行うことができる。
【００６４】
ここで、各液体噴射ヘッド５の動作について、以下に詳細に説明する。
本実施形態のようなサイドシュートタイプのうち、循環式の液体噴射ヘッド５では、まず図２に示す加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５を作動させることで、循環流路２３内にインクを流通させる。この場合、液体供給管２１を流通するインクは、供給流路９５を介して各入口側共通インク室９０ａ，９０ａを通り、各チャネル列６３〜６６の吐出チャネル６１内に供給される。
【００６５】
また、各吐出チャネル６１内のインクは、各出口側共通インク室９１ａ〜９１ｄ内に流入し、その後液体排出管２２に排出される。液体排出管２２に排出されたインクは、液体収容体４に戻された後、再び液体供給管２１に供給される。これにより、液体噴射ヘッド５と液体収容体４との間でインクを循環させる。
【００６６】
そして、キャリッジ３３（図１参照）によって往復移動が開始されると、不図示の制御手段は回路基板８０を介して駆動電極６８に駆動電圧を印加する。すると、吐出チャネル６１を画成する駆動壁（アクチュエータプレート５２）に厚み滑り変形が生じ、吐出チャネル６１内の容積が変化する。これにより、吐出チャネル６１の内部の圧力が増加し、インクが加圧される。この結果、液滴状のインクがノズル孔７１を通って外部に吐出されることで、被記録媒体Ｐに文字や画像等が記録される。
【００６７】
ここで、ヘッドチップ５０を構成するノズルプレート５１とアクチュエータプレート５２は、互いの材質が異なっている。このため、各々熱変化による膨張変形量や収縮変形量の違いから温度変化時にヘッドチップ５０に僅かな反りが生じる。とりわけ、Ｘ方向に長く形成されたヘッドチップ５０は、Ｘ方向両側がＺ方向に向かって反りやすい。
【００６８】
しかしながら、ベースプレート１００には、非接触面１１１（凹部１０１ｂ）が形成されているので、この非接触面１１１とノズルプレート５１との間に隙間Ｓが形成されている。このため、この隙間Ｓによって、ベースプレート１００にヘッドチップ５０が接着等により固定されていながら、このヘッドチップ５０の反りが許容される（図６における２点鎖線参照）。
なお、凹部１０１ｂの深さ（第１リブ１０４および第２リブ１０５の高さ）は、ヘッドチップ５０の想定し得る反り量に応じて設定することが望ましい。例えば、本実施形態では、凹部１０１ｂの深さ（第１リブ１０４および第２リブ１０５の高さ）は、約０．２ｍｍ程度に設定されている。
【００６９】
したがって、上記実施形態によれば、ヘッドチップ５０に反りが生じた場合であっても、ヘッドチップ５０の周縁がベースプレート１００を押圧してヘッドチップ５０に局所的に応力がかかってしまうことを防止できる。このため、アクチュエータプレート５２の損傷を防止できる。
しかも、ノズルプレート５１が当接する第１リブ１０４および第２リブ１０５は、ノズルプレート５１の第１〜第４ノズル列７２〜７５の周囲を取り囲むように形成されている。すなわち、ベースプレート１００に対する各ノズル孔７１の位置を高精度に決定することができる。このため、被記録媒体Ｐに記録される文字や画像の品質の低下を防止できる。
【００７０】
また、ベースプレート１００に形成されている凹部１０１ｂ（非接触面１１１）は、ノズルガード１０１の周壁部１０２が立設されている箇所とボルト座配置面１０１ａとを除いた大部分に形成されている。このため、ヘッドチップ５０の外周部全体とベースプレート１００との間に隙間Ｓが形成される。よって、ヘッドチップ５０のＸ方向両側の反りだけでなく、Ｙ方向両側の反りも許容することができ、アクチュエータプレート５２の損傷をより確実に防止できる。
【００７１】
さらに、ベースプレート１００に凹部１０１ｂを形成するだけでヘッドチップ５０の反りを許容できる。このため、アクチュエータプレート５２の損傷を防止するための製造コストの増大を抑制することができる。
【００７２】
なお、本発明は上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上記実施形態に種々の変更を加えたものを含む。
例えば、上記実施形態では、液体噴射記録装置１の一例として、いわゆるインクジェットプリンタを挙げて説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であってもよい。
また、上記実施形態では、液体噴射ヘッド５が複数搭載された複数色用の液体噴射記録装置１について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、例えば、液体噴射ヘッド５が一つの単色用としてもよい。
【００７３】
さらに、上記実施形態では、液体噴射ヘッド５は、いわゆるサイドシュートタイプである場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、チャネルの長手方向一端に設けられたノズル孔からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプの液体噴射ヘッドにも、本実施形態のベースプレート１００の構成を適用することが可能である。
【００７４】
また、上記実施形態では、ベースプレート１００のノズルガード１０１に凹部１０１ｂを形成し、この凹部１０１ｂを非接触面１１１とした場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、凹部１０１ｂを形成せずに、単純に、ノズルガード１０１上に第１リブ１０４や第２リブ１０５を形成するだけでもよい。この場合であっても、ノズルガード１０１における第１リブ１０４や第２リブ１０５の周囲が非接触面１１１となる。
さらに、第１リブ１０４や第２リブ１０５に代わって各チャネル列６３〜６６に対応する箇所に凸部を設け、ノズルプレート５１の各チャネル列６３〜６６に対応する箇所を面接触させるようにしてもよい。
【００７５】
また、上記実施形態では、ベースプレート１００に、ヘッドチップ５０の外周部全体と接触しないように非接触面１１１を形成した場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、ベースプレート１００のノズル孔７１に対応する箇所よりも外周側で、且つヘッドチップ５０のＸ方向両側の少なくとも何れか一方に対向する面に、Ｙ方向全体に渡って非接触面１１１が形成されていればよい。または、ベースプレート１００のノズル孔７１に対応する箇所よりも外周側で、且つヘッドチップ５０のＹ方向両側の少なくとも何れか一方に対向する面に、Ｘ方向全体に渡って非接触面１１１が形成されていればよい。このように構成することで、ヘッドチップ５０の全周のうち、少なくとも一辺の反りが許容できるので、従来と比較してアクチュエータプレート５２の損傷を抑制できる。
【００７６】
さらに、上記実施形態では、分極方向が厚さ方向に一方向のアクチュエータプレート５２を用いた場合について説明した。しかしながら、これに限られるものでなはなく、例えば、分極方向が異なる２枚の圧電体を積層した、いわゆるシェブロン方式のアクチュエータプレートを用いてもよい。
【符号の説明】
【００７７】
１…液体噴射記録装置、２，３…搬送手段、４…液体収容体、５…液体噴射ヘッド、６…液体循環手段、５０…ヘッドチップ、５１…ノズルプレート、５２…アクチュエータプレート、５３…カバープレート、６１…吐出チャネル（チャネル）、６２…非吐出チャネル（チャネル）、６３…第１チャネル列、６４…第２チャネル列、６５…第３チャネル列、６６…第４チャネル列、７１…ノズル孔、７２…第１ノズル列（ノズル列）、７３…第２ノズル列（ノズル列）、７４…第３ノズル列（ノズル列）、７５…第４ノズル列（ノズル列）、１００…ベースプレート、１０１…ノズルガード、１０１ｂ…凹部、１１１…非接触面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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