(57)【要約】【課題】電子部品に付された情報をできる限り長期間にわたり、安定して正確に取得することができる電子部品搬送装置および電子部品検査装置を提供すること。【解決手段】電子部品搬送装置は、電子部品であるＩＣデバイス９０に付されたバーコード９０１（情報）を取得可能な情報取得部としての第１バーコードリーダー３Ａおよび第２バーコードリーダー３Ｂと、各バーコードリーダーの作動が正常か否かを判断する判断部とを備える。そして、判断部は、ＩＣデバイス９０が載置される載置部であるデバイス供給部１４に設けられ、基準マーカーとしての基準バーコード９１１を前記各バーコードリーダーに取得させ、取得した基準バーコード９１１に基づいて各バーコードリーダーの作動が正常か否かを判断することができる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品に付された情報を取得可能な情報取得部と、
前記情報取得部の作動が正常か否かを判断する判断部と、を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項２】
前記判断部は、前記電子部品が載置される載置部に設けられた基準マーカーを前記情報取得部に取得させ、取得した前記基準マーカーに基づいて前記情報取得部の作動が正常か否かを判断する請求項１に記載の電子部品搬送装置。
【請求項３】
前記基準マーカーは、バーコードであり、
前記情報取得部は、前記バーコードを読み取るバーコードリーダーである請求項２に記載の電子部品搬送装置。
【請求項４】
前記基準マーカーは、前記電子部品を模したダミー電子部品に付されている請求項２または３に記載の電子部品搬送装置。
【請求項５】
前記載置部は、移動可能である請求項２ないし４のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項６】
前記判断部は、前記情報取得部に前記基準マーカーを複数回取得させて、取得した前記基準マーカーが、予め記憶されている基準マーカーと所定回数以上マッチングした場合、前記情報取得部の作動が正常と判断する請求項２ないし５のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項７】
前記判断部が、前記情報取得部の作動が正常と判断した場合、前記電子部品の搬送を開始する請求項１ないし６のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項８】
前記判断部が、前記情報取得部の作動が正常ではないと判断した場合、前記情報取得部の作動が正常ではないことを報知する報知部を備える請求項１ないし７のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項９】
前記判断部が、前記情報取得部の作動が正常ではないと判断した場合、前記情報取得部に対してクリーニングが必要であることを報知する報知部を備える請求項１ないし７のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１０】
前記判断部は、前記クリーニング後にも前記情報取得部の作動が正常か否かを判断する請求項９に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１１】
前記電子部品を検査する検査領域を有し、
前記情報所得部は、前記検査領域に前記電子部品が進入する入り口に配置されている請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１２】
前記情報取得部は、複数設けられている請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１３】
前記各情報取得部は、前記情報を取得可能な情報取得可能領域が互いに異なっている請求項１２に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１４】
前記各情報取得部は、鉛直方向の設置高さが異なっている請求項１３に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１５】
前記各情報取得部は、前記情報取得可能領域が異なっており、
前記情報取得可能領域が小さい方の情報取得部は、前記情報取得可能領域が大きい方の情報取得部よりも低い位置に配置される請求項１４に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１６】
前記各情報取得部は、鉛直方向から見たとき一部が重なっている請求項１２ないし１５のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１７】
電子部品に付された情報を取得可能な情報取得部と、
前記情報をもとに第１動作を行うか、または、前記第１動作と異なる第２動作を行うかを判断する判断部と、を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項１８】
前記判断部は、前記第２動作と同時または、前記第２動作後に、前記第１動作および前記第２動作のいずれとも異なる第３の動作を行うかを判断する請求項１７に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１９】
電子部品に付された情報を取得可能な情報取得部と、
前記情報取得部の作動が正常か否かを判断する判断部と、
前記電子部品を検査する検査部と、を備えることを特徴とする電子部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品搬送装置および電子部品検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体素子等の電子部品（デバイス）に対する電気的特性を検査する（試験する）電子部品検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この特許文献１に記載の電子部品検査装置では、電子部品に対する前記検査を行なう際、当該電子部品に付された基準マークをＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラで撮像し、その撮像結果に基づいて、電子部品の位置決めを行なうよう構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−１１６２２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の電子部品検査装置では、例えば経時的な劣化や故障等によってＣＣＤカメラの動作が正しくない場合や、その他、ＣＣＤカメラのカメラレンズが曇っている場合がある。この場合、オペレーターは、ＣＣＤカメラのカメラレンズが曇った状態となっているのを気づかずに当該電子部品検査装置を使用し続けてしまうことがある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下のものとして実現することが可能である。
【０００６】
本発明の電子部品搬送装置は、電子部品に付された情報を取得可能な情報取得部と、
前記情報取得部の作動が正常か否かを判断する判断部と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
これにより、判断部での判断の結果に応じて、情報取得部をそのまま使用し続けるか、情報取得部のクリーニングや交換を行なうかの選択をすることができる。そして、クリーニングや交換を行なう必要がない情報取得部をそのまま使用し続けることができる限り、当該情報取得部は、電子部品に付された情報を安定して正確に取得することができる。
【０００８】
本発明の電子部品搬送装置では、前記判断部は、前記電子部品が載置される載置部に設けられた基準マーカーを前記情報取得部に取得させ、取得した前記基準マーカーに基づいて前記情報取得部の作動が正常か否かを判断するのが好ましい。
【０００９】
これにより、情報取得部の作動が正常か否かを判断するための判断基準を設定することができる。
【００１０】
本発明の電子部品搬送装置では、前記基準マーカーは、バーコードであり、
前記情報取得部は、前記バーコードを読み取るバーコードリーダーであるのが好ましい。
これにより、情報取得部として、バーコードリーダーを好適に用いることができる。
【００１１】
本発明の電子部品搬送装置では、前記基準マーカーは、前記電子部品を模したダミー電子部品に付されているのが好ましい。
【００１２】
これにより、情報取得部の作動が正常か否かを判断するための判断基準を設定することができる。
【００１３】
本発明の電子部品搬送装置では、前記載置部は、移動可能であるのが好ましい。
これにより、電子部品を所定位置から他の所定位置に搬送することができる。
【００１４】
本発明の電子部品搬送装置では、前記判断部は、前記情報取得部に前記基準マーカーを複数回取得させて、取得した前記基準マーカーが、予め記憶されている基準マーカーと所定回数以上マッチングした場合、前記情報取得部の作動が正常と判断するのが好ましい。
これにより、情報取得部の作動が正常か否かの判断を正確に行なうことができる。
【００１５】
本発明の電子部品搬送装置では、前記判断部が、前記情報取得部の作動が正常と判断した場合、前記電子部品の搬送を開始するのが好ましい。
これにより、電子部品の搬送に迅速に移行することができる。
【００１６】
本発明の電子部品搬送装置では、前記判断部が、前記情報取得部の作動が正常ではないと判断した場合、前記情報取得部の作動が正常ではないことを報知する報知部を備えるのが好ましい。
【００１７】
これにより、前記情報取得部の作動が正常ではないと判断した場合、当該情報取得部を使用し続けるのをできる限り防止することができる。
【００１８】
本発明の電子部品搬送装置では、前記判断部が、前記情報取得部の作動が正常ではないと判断した場合、前記情報取得部に対してクリーニングが必要であることを報知する報知部を備えるのが好ましい。
【００１９】
これにより、情報取得部に対してクリーニングを行なえば、当該情報取得部の作動を正常に戻すことができる。
【００２０】
本発明の電子部品搬送装置では、前記判断部は、前記クリーニング後にも前記情報取得部の作動が正常か否かを判断するのが好ましい。
これにより、クリーニング後の情報取得部を用いることができる。
【００２１】
本発明の電子部品搬送装置では、前記電子部品を検査する検査領域を有し、
前記情報所得部は、前記検査領域に前記電子部品が進入する入り口に配置されているのが好ましい。
【００２２】
これにより、例えば電子部品に対する電気的な検査を行なう場合、その検査結果と、情報取得部で得られた電子部品の情報とが同じ１つの電子部品のものであること、すなわち、検査された電子部品の検査結果と、取得された電子部品の情報との紐付け（関係付け）が崩れるのをできる限り防止することができる。
【００２３】
本発明の電子部品搬送装置では、前記情報取得部は、複数設けられているのが好ましい。
【００２４】
これにより、電子部品搬送装置内での電子部品の配置箇所に応じて、情報取得部を使い分けることができ、よって、電子部品に付された情報を安定して正確に取得することができる。
【００２５】
本発明の電子部品搬送装置では、前記各情報取得部は、前記情報を取得可能な情報取得可能領域が互いに異なっているのが好ましい。
【００２６】
これにより、各情報取得部の鉛直方向の設置高さを異ならせることができ、情報取得可能領域が小さい情報取得部を低位置、情報取得可能領域が大きい情報取得部を高位置に配置することができる。そして、この状態からさらに、平面視で（鉛直方向上方から見たとき）各情報取得部同士を互いに重なるように配置することができる。これにより、各情報取得部同士の距離を重なり分だけ縮小することができる。
【００２７】
本発明の電子部品搬送装置では、前記各情報取得部は、鉛直方向の設置高さが異なっているのが好ましい。
【００２８】
これにより、情報取得可能領域が小さい情報取得部を低位置、情報取得可能領域が大きい情報取得部を高位置に配置することができる。そして、この状態からさらに、平面視で（鉛直方向上方から見たとき）各情報取得部同士を互いに重なるように配置することができる。これにより、各情報取得部同士の距離を重なり分だけ縮小することができる。
【００２９】
本発明の電子部品搬送装置では、前記各情報取得部は、前記情報取得可能領域が異なっており、
前記情報取得可能領域が小さい方の情報取得部は、前記情報取得可能領域が大きい方の情報取得部よりも低い位置に配置されるのが好ましい。
【００３０】
これにより、平面視で（鉛直方向上方から見たとき）各情報取得部同士を互いに重なるように配置することができ、よって、各情報取得部同士の距離を重なり分だけ縮小することができる。
【００３１】
本発明の電子部品搬送装置では、前記各情報取得部は、鉛直方向から見たとき一部が重なっているのが好ましい。
【００３２】
これにより、各情報取得部同士の距離を重なっている部分だけ縮小することができる。
【００３３】
本発明の電子部品搬送装置は、電子部品に付された情報を取得可能な情報取得部と、
前記情報をもとに第１動作を行うか、または、前記第１動作と異なる第２動作を行うかを判断する判断部と、を備えることを特徴とする。
【００３４】
これにより、判断部での判断の結果に応じて、情報取得部をそのまま使用し続ける（第１動作）か、情報取得部のクリーニングや交換を行なう（第２動作）かの選択をすることができる。そして、クリーニングや交換を行なう必要がない情報取得部をそのまま使用し続けることができる限り、当該情報取得部は、電子部品に付された情報を安定して正確に取得することができる。
【００３５】
本発明の電子部品搬送装置では、前記判断部は、前記第２動作と同時または、前記第２動作の後に、前記第１動作および前記第２動作のいずれとも異なる第３の動作を行うかを判断するのが好ましい。
【００３６】
これにより、判断部での判断の結果に応じて、互いに異なる３つの動作を適宜選択することができる。
【００３７】
本発明の電子部品検査装置は、電子部品に付された情報を取得可能な情報取得部と、
前記情報取得部の作動が正常か否かを判断する判断部と、
前記電子部品を検査する検査部と、を備えることを特徴とする。
【００３８】
これにより、判断部での判断の結果に応じて、情報取得部をそのまま使用し続けるか、情報取得部のクリーニングや交換を行なうかの選択をすることができる。そして、クリーニングや交換を行なう必要がない情報取得部をそのまま使用し続けることができる限り、当該情報取得部は、電子部品に付された情報を安定して正確に取得することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】図１は、本発明の電子部品検査装置の第１実施形態を正面側から見た概略斜視図である。
【図２】図２は、図１に示す電子部品検査装置の動作状態を示す概略平面図である。
【図３】図３は、図２に示す電子部品検査装置の供給領域と検査領域との境界部付近の拡大平面図である。
【図４】図４は、図３中のＡ−Ａ線断面図（作動状態を示す図）である。
【図５】図５は、図３中のＡ−Ａ線断面図（作動状態を示す図）である。
【図６】図６は、図３中の矢印Ｂ方向から見た図である。
【図７】図７は、図１に示す電子部品検査装置に内蔵された制御部の制御プログラムを示すフローチャートである。
【図８】図８は、本発明の電子部品検査装置（第２実施形態）の供給領域と検査領域との境界部付近の拡大平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４０】
以下、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００４１】
＜第１実施形態＞
以下、図１〜図７を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第１実施形態について説明する。なお、説明の便宜上、図１に示すように、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とする。また、Ｘ軸とＹ軸を含むＸＹ平面が水平となっており、Ｚ軸が鉛直となっている。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ方向」とも言い、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ方向」とも言い、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ方向」とも言う。また、各方向の矢印が向いた方向を「正」、その反対方向を「負」と言う。また、図１、図４〜図６中の上側を「上（または上方）」と言い、下側を「下（または下方）」と言うこともある。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干（例えば５°未満程度）傾いた状態も含む。
【００４２】
図１、図２に示す検査装置（電子部品検査装置）１は、例えば、ＢＧＡ（Ball Grid Array）パッケージであるＩＣデバイス等の電子部品を搬送し、その搬送過程で電気的特性を検査・試験（以下単に「検査」と言う）する装置である。なお、以下では、説明の便宜上、前記電子部品としてＩＣデバイスを用いる場合について代表して説明し、これを「ＩＣデバイス９０」とする。
【００４３】
図３に示すように、各ＩＣデバイス９０の表側の面には、当該ＩＣデバイス９０に関する情報として、バーコード９０１が付されている。このバーコード９０１には、例えば、ＩＣデバイス９０の製造元、ＩＣデバイス９０の製造番号等の各種情報が含まれている。また、バーコード９０１としては、１次元コード（縞模様状の線の太さによって情報を表す識別子）、２次元コード（例えばＱＲコード（「ＱＲコード」は登録商標））が好ましく用いられる。ＩＣデバイス９０へのバーコード９０１の付与方法としては、特に限定されず、例えば、インクジェットを用いた方法、レーザーマーキングを用いた方法等が挙げられる。
【００４４】
図２に示すように、検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１と、デバイス供給領域（以下単に「供給領域」と言う）Ａ２と、検査領域Ａ３と、デバイス回収領域（以下単に「回収領域」と言う）Ａ４と、トレイ除去領域Ａ５とに分けられている。そして、ＩＣデバイス９０は、トレイ供給領域Ａ１からトレイ除去領域Ａ５まで前記各領域を順に経由し、途中の検査領域Ａ３で検査が行われる。このように検査装置１は、各領域でＩＣデバイス９０を搬送する電子部品搬送装置（ハンドラー）と、検査領域Ａ３内で検査を行なう検査部１６と、制御部８００を備えたものとなっている。また、その他、検査装置１は、モニター３００と、シグナルランプ４００と、操作パネル７００を備えている（図１参照）。
【００４５】
なお、検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１、トレイ除去領域Ａ５が配された方（図２中の下側）が正面側となり、その反対側、すなわち、検査領域Ａ３が配された方（図２中の上側）が背面側として使用される。
【００４６】
トレイ供給領域Ａ１は、未検査状態の複数のＩＣデバイス９０が配列されたトレイ（載置部材）２００が供給される給材部である。トレイ供給領域Ａ１では、多数のトレイ２００を積み重ねることができる。
【００４７】
供給領域Ａ２は、トレイ供給領域Ａ１からのトレイ２００上に配置された複数のＩＣデバイス９０がそれぞれ検査領域Ａ３まで供給される領域である。なお、トレイ供給領域Ａ１と供給領域Ａ２とを跨ぐように、トレイ２００を１枚ずつ水平方向に搬送するトレイ搬送機構１１Ａ、１１Ｂが設けられている。トレイ搬送機構１１Ａは、トレイ２００を、当該トレイ２００に載置されたＩＣデバイス９０ごとＹ方向の正側に移動させることができる移動部である。これにより、ＩＣデバイス９０を安定して供給領域Ａ２に送り込むことができる。また、トレイ搬送機構１１Ｂは、空のトレイ２００をＹ方向の負側に、すなわち、供給領域Ａ２からトレイ供給領域Ａ１に移動させることができる移動部である。
【００４８】
供給領域Ａ２には、温度調整部１２と、デバイス搬送ヘッド１３と、トレイ搬送機構１５とが設けられている。
【００４９】
温度調整部１２は、複数のＩＣデバイス９０を一括して冷却または加熱することができるものであり、「ソークプレート」と呼ばれることがある。このソークプレートにより、検査部１６で検査される前のＩＣデバイス９０を予め冷却または加熱して、当該検査に適した温度に調整することができる。図２に示す構成では、温度調整部１２は、Ｙ方向に２つ配置、固定されている。そして、トレイ搬送機構１１Ａによってトレイ供給領域Ａ１から搬入された（搬送されてきた）トレイ２００上のＩＣデバイス９０は、いずれかの温度調整部１２まで搬送される。
【００５０】
デバイス搬送ヘッド１３は、供給領域Ａ２内でＸ方向およびＹ方向、さらにＺ方向にも移動可能に支持されている。これにより、デバイス搬送ヘッド１３は、トレイ供給領域Ａ１から搬入されたトレイ２００と温度調整部１２との間のＩＣデバイス９０の搬送と、温度調整部１２と後述するデバイス供給部１４との間のＩＣデバイス９０の搬送とを担うことができる。
【００５１】
トレイ搬送機構１５は、全てのＩＣデバイス９０が除去された状態の空のトレイ２００を供給領域Ａ２内でＸ方向の正側に搬送させる機構である。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、トレイ搬送機構１１Ｂによって供給領域Ａ２からトレイ供給領域Ａ１に戻される。
【００５２】
検査領域Ａ３は、ＩＣデバイス９０を検査する領域である。この検査領域Ａ３には、検査部１６と、デバイス搬送ヘッド１７とが設けられている。また、供給領域Ａ２と検査領域Ａ３とを跨ぐように移動するデバイス供給部１４と、検査領域Ａ３と回収領域Ａ４とを跨ぐように移動するデバイス回収部１８も設けられている。さらに、供給領域Ａ２と検査領域Ａ３との間には、第１情報取得ユニット１０Ａと、第２情報取得ユニット１０Ｂとが設けられている。
【００５３】
デバイス供給部１４は、温度調整部１２で温度調整されたＩＣデバイス９０が載置され、当該ＩＣデバイス９０を検査部１６近傍まで搬送する（移動させる）ことができる載置部であり、「供給用シャトルプレート」と呼ばれることがある。
【００５４】
図３に示すように、デバイス供給部１４は、Ｘ方向に４つ、Ｙ方向に２つずつ行列状に配置された凹部（ポケット）１４１を有している。各凹部１４１には、検査部１６で検査される前のＩＣデバイス９０が１つずつ収納される。また、デバイス供給部１４は、各凹部１４１よりもＸ方向の正側に２つの凹部（ポケット）１４２をさらに有している。これら２つの凹部１４２は、Ｙ方向に沿って配置されており、後述するダミーデバイス（ダミー電子部品）９１を収納することができる。また、凹部１４２のダミーデバイス９１に対する位置決め精度は、凹部１４１のＩＣデバイス９０に対する位置決め精度よりも高くなっている。すなわち、凹部１４２内でのダミーデバイス９１の遊びは、凹部１４１内でのＩＣデバイス９０の遊びよりも極めて小さく抑えられている。以降では、Ｙ方向負側に配置された列を「第１列Ｍ１」と言い、Ｙ方向正側に配置された列を「第２列Ｍ２」と言う。なお、凹部１４１および凹部１４２の形成数や配置態様は、図３に示す構成に限定されないのは言うまでもない。
【００５５】
また、デバイス供給部１４は、供給領域Ａ２と検査領域Ａ３との間をＸ方向に沿って水平方向に移動可能に支持されている。図２に示す構成では、デバイス供給部１４は、Ｙ方向に２つ配置されており、温度調整部１２上のＩＣデバイス９０は、いずれかのデバイス供給部１４まで搬送される。また、デバイス供給部１４は、前記温度調整されたＩＣデバイス９０に対して、その温度調整状態を維持することができるよう構成されている。これにより、ＩＣデバイス９０を冷却または加熱することができ、よって、当該ＩＣデバイス９０の温度調整状態を維持することができる。
【００５６】
検査部１６は、ＩＣデバイス９０を載置して、当該ＩＣデバイス９０の電気的特性を検査・試験する載置部である。この検査部１６には、ＩＣデバイス９０の端子部と電気的に接続される複数のプローブピンが設けられている。そして、ＩＣデバイス９０の端子部とプローブピンとが電気的に接続され（接触し）、プローブピンを介してＩＣデバイス９０の検査が行われる。ＩＣデバイス９０の検査は、検査部１６に接続されるテスターが備える検査制御部に記憶されているプログラムに基づいて行われる。なお、検査部１６では、温度調整部１２と同様に、ＩＣデバイス９０を冷却または加熱して、当該ＩＣデバイス９０を検査に適した温度に調整することができる。
【００５７】
デバイス搬送ヘッド１７は、検査領域Ａ３内でＹ方向およびＺ方向に移動可能に支持されている。これにより、デバイス搬送ヘッド１７は、供給領域Ａ２から搬入されたデバイス供給部１４上のＩＣデバイス９０を検査部１６上に搬送し、載置することができる。なお、デバイス搬送ヘッド１７も、ＩＣデバイス９０を冷却または加熱して、当該ＩＣデバイス９０を検査に適した温度に調整することができる。
【００５８】
デバイス回収部１８は、検査部１６での検査が終了したＩＣデバイス９０が載置され、当該ＩＣデバイス９０を回収領域Ａ４まで搬送する（移動させる）ことができる載置部であり、「回収用シャトルプレート」と呼ばれることがある。また、デバイス回収部１８は、検査領域Ａ３と回収領域Ａ４との間をＸ方向に沿って水平方向に移動可能に支持されている。また、図２に示す構成では、デバイス回収部１８は、デバイス供給部１４と同様に、Ｙ方向に２つ配置されており、検査部１６上のＩＣデバイス９０は、いずれかのデバイス回収部１８に搬送され、載置される。この搬送は、デバイス搬送ヘッド１７によって行なわれる。
【００５９】
また、検査装置１では、１つのデバイス供給部１４と１つのデバイス回収部１８とは、連結部２３を介して、Ｘ方向に連結されており、同方向に一括して移動するシャトルユニットを構成している。以下では、図３中の下側、すなわち、正面側（Ｙ方向負側）のシャトルユニットを「第１シャトルユニット２４Ａ」と言い、上側、すなわち、背面側（Ｙ方向正側）のシャトルユニットを「第２シャトルユニット２４Ｂ」と言う。
【００６０】
第１情報取得ユニット１０Ａは、第１シャトルユニット２４Ａにおけるデバイス供給部１４上のＩＣデバイス９０のバーコード９０１等を取得するユニットである。第２情報取得ユニット１０Ｂは、第２シャトルユニット２４Ｂにおけるデバイス供給部１４上のＩＣデバイス９０のバーコード９０１等を取得するユニットである。これらのユニットの詳細については、後述する。
【００６１】
回収領域Ａ４は、検査が終了した複数のＩＣデバイス９０が回収される領域である。この回収領域Ａ４には、回収用トレイ１９と、デバイス搬送ヘッド２０と、トレイ搬送機構２１とが設けられている。また、回収領域Ａ４には、空のトレイ２００も用意されている。
【００６２】
回収用トレイ１９は、検査部１６で検査されたＩＣデバイス９０が載置される載置部であり、回収領域Ａ４内で移動しないよう固定されている。これにより、デバイス搬送ヘッド２０等の各種可動部が比較的多く配置された回収領域Ａ４であっても、回収用トレイ１９上では、検査済みのＩＣデバイス９０が安定して載置されることとなる。なお、図２に示す構成では、回収用トレイ１９は、Ｘ方向に沿って３つ配置されている。
【００６３】
また、空のトレイ２００も、Ｘ方向に沿って３つ配置されている。この空のトレイ２００も、検査部１６で検査されたＩＣデバイス９０が載置される載置部となる。そして、回収領域Ａ４に移動してきたデバイス回収部１８上のＩＣデバイス９０は、回収用トレイ１９および空のトレイ２００のうちのいずれかに搬送され、載置される。これにより、ＩＣデバイス９０は、検査結果ごとに分類されて、回収されることとなる。
【００６４】
デバイス搬送ヘッド２０は、回収領域Ａ４内でＸ方向およびＹ方向、さらにＺ方向にも移動可能に支持されている。これにより、デバイス搬送ヘッド２０は、ＩＣデバイス９０をデバイス回収部１８から回収用トレイ１９や空のトレイ２００に搬送することができる。
【００６５】
トレイ搬送機構２１は、トレイ除去領域Ａ５から搬入された空のトレイ２００を回収領域Ａ４内でＸ方向に搬送させる機構である。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、ＩＣデバイス９０が回収される位置に配されることとなる、すなわち、前記３つの空のトレイ２００のうちのいずれかとなり得る。
【００６６】
トレイ除去領域Ａ５は、検査済み状態の複数のＩＣデバイス９０が配列されたトレイ２００が回収され、除去される除材部である。トレイ除去領域Ａ５では、多数のトレイ２００を積み重ねることができる。
【００６７】
また、回収領域Ａ４とトレイ除去領域Ａ５とを跨ぐように、トレイ２００を１枚ずつＹ方向に搬送するトレイ搬送機構２２Ａ、２２Ｂが設けられている。トレイ搬送機構２２Ａは、トレイ２００をＹ方向に移動させることができる移動部である。これにより、検査済みのＩＣデバイス９０を回収領域Ａ４からトレイ除去領域Ａ５に搬送することができる。また、トレイ搬送機構２２Ｂは、ＩＣデバイス９０を回収するための空のトレイ２００をトレイ除去領域Ａ５から回収領域Ａ４に移動させることができる移動部である。
【００６８】
制御部８００は、例えば、駆動制御部を有している。駆動制御部は、例えば、トレイ搬送機構１１Ａ、１１Ｂと、温度調整部１２と、デバイス搬送ヘッド１３と、デバイス供給部１４と、トレイ搬送機構１５と、検査部１６と、デバイス搬送ヘッド１７と、デバイス回収部１８と、デバイス搬送ヘッド２０と、トレイ搬送機構２１と、トレイ搬送機構２２Ａ、２２Ｂと、第１情報取得ユニット１０Ａと、第２情報取得ユニット１０Ｂの各部の駆動を制御する。
【００６９】
なお、前記テスターの検査制御部は、例えば、図示しないメモリー内に記憶されたプログラムに基づいて、検査部１６に配置されたＩＣデバイス９０の電気的特性の検査等を行なう。
【００７０】
オペレーターは、モニター３００を介して、検査装置１の動作条件等を設定したり、確認したりすることができる。このモニター３００は、例えば液晶画面で構成された表示画面（表示部）３０１を有し、検査装置１の正面側上部に配置されている。図１に示すように、トレイ除去領域Ａ５の図中の右側には、モニター３００に表示された画面を操作する際に用いられるマウスを載置するマウス台６００が設けられている。
【００７１】
また、モニター３００に対して図１中の右下方には、操作パネル７００が配置されている。操作パネル７００は、モニター３００とは別に、検査装置１に所望の動作を命令するものである。
【００７２】
また、シグナルランプ４００は、発光する色の組み合わせにより、検査装置１の作動状態等を報知することができる。シグナルランプ４００は、検査装置１の上部に配置されている。なお、検査装置１には、スピーカー５００が内蔵されており、このスピーカー５００によっても検査装置１の作動状態等を報知することもできる。
【００７３】
図２に示すように、検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１と供給領域Ａ２との間が第１隔壁６１によって区切られて（仕切られて）おり、供給領域Ａ２と検査領域Ａ３との間が第２隔壁６２によって区切られており、検査領域Ａ３と回収領域Ａ４との間が第３隔壁６３によって区切られており、回収領域Ａ４とトレイ除去領域Ａ５との間が第４隔壁６４によって区切られている。また、供給領域Ａ２と回収領域Ａ４との間も、第５隔壁６５によって区切られている。
【００７４】
図２、図６に示すように、第２隔壁６２には、開口部６２１、開口部６２２が形成されている。第１シャトルユニット２４Ａのデバイス供給部１４は、開口部６２１を通過することができる（図４、図５参照）。これにより、開口部６２１は、デバイス供給部１４が供給領域Ａ２から検査領域Ａ３に入るときの入り口として機能し、デバイス供給部１４が検査領域Ａ３から供給領域Ａ２に出るとき出口として機能する。また、第２シャトルユニット２４Ｂのデバイス供給部１４は、開口部６２２を通過することができる。これにより、開口部６２２も、デバイス供給部１４が供給領域Ａ２から検査領域Ａ３に入るときの入り口として機能し、デバイス供給部１４が検査領域Ａ３から供給領域Ａ２に出るとき出口として機能する。
【００７５】
また、図２に示すように、第３隔壁６３にも、開口部６３１、開口部６３２が形成されている。第１シャトルユニット２４Ａのデバイス回収部１８は、開口部６３１を通過することができ、第２シャトルユニット２４Ｂのデバイス回収部１８は、開口部６３２を通過することができる。
【００７６】
検査装置１は、最外装がカバーで覆われており、当該カバーには、例えばフロントカバー７０、サイドカバー７１、サイドカバー７２、リアカバー７３、トップカバー７４がある。
【００７７】
前述したように、各ＩＣデバイス９０には、バーコード９０１が付されている。そして、第１シャトルユニット２４Ａのデバイス供給部１４に載置されたＩＣデバイス９０のバーコード９０１は、第１情報取得ユニット１０Ａによって取得される。一方、第２シャトルユニット２４Ｂのデバイス供給部１４に載置されたＩＣデバイス９０のバーコード９０１は、第２情報取得ユニット１０Ｂによって取得される。また、取得されたバーコード９０１は、制御部８００のメモリーに記憶される。
【００７８】
図３、図６に示すように、第１情報取得ユニット１０Ａおよび第２情報取得ユニット１０Ｂは、それぞれ、第１バーコードリーダー（第１情報取得部）３Ａと第２バーコードリーダー３Ｂ（第２情報取得部）とを有している。第１情報取得ユニット１０Ａでは、第１バーコードリーダー３Ａと第２バーコードリーダー３Ｂとが開口部６２１に配置されており、第２情報取得ユニット１０Ｂでは、第１バーコードリーダー３Ａと第２バーコードリーダー３Ｂとが開口部６２２に配置されている。第１情報取得ユニット１０Ａと第２情報取得ユニット１０Ｂとは、配置箇所が異なること以外は、同じ構成であるため、以下、第１情報取得ユニット１０Ａについて代表的に説明する。
【００７９】
第１バーコードリーダー３Ａと第２バーコードリーダー３Ｂとは、いずれも外形形状が扁平な箱状をなし、その厚さ方向が水平方向（Ｘ方向）と一致するように、いわゆる「縦置き」の状態（起立した状態）で配置されている。また、各バーコードリーダーは、例えばレーザーダイオードとフォトダイオードとが内蔵されている。レーザーダイオードからの出射光Ｌ１は、走査されつつ、光透過部３１を透過して下方に向かって出射する。その後、出射光Ｌ１は、バーコード９０１で上方に向かって反射する。反射光Ｌ２は、光透過部３１を透過して、フォトダイオードで受光される。受光された反射光Ｌ２に基づいた信号に対して、Ａ／Ｄ変換、デコードを順に行なうことにより、バーコード９０１を読み取ることができる。
【００８０】
図３に示すように、第１バーコードリーダー３Ａは、ＩＣデバイス９０が載置されたデバイス供給部１４が直下を通過する際、当該デバイス供給部１４上のＩＣデバイス９０のうち、第１列Ｍ１のＩＣデバイス９０のバーコード９０１を読み取ることができる。第２バーコードリーダー３Ｂは、ＩＣデバイス９０が載置されたデバイス供給部１４が直下を通過する際、当該デバイス供給部１４上のＩＣデバイス９０のうち、第２列Ｍ２のＩＣデバイス９０のバーコード９０１を読み取ることができる。
【００８１】
なお、第２情報取得ユニット１０Ｂでは、第１バーコードリーダー３Ａが第２列Ｍ２のＩＣデバイス９０のバーコード９０１を読み取り、第２バーコードリーダー３Ｂが第１列Ｍ１のＩＣデバイス９０のバーコード９０１を読み取る。
【００８２】
前述したように、第１バーコードリーダー３Ａと第２バーコードリーダー３Ｂとは、第２隔壁６２の開口部６２１に配置されている。これにより、できる限りＩＣデバイス９０が検査領域Ａ３内で検査される直前で、当該ＩＣデバイス９０のバーコード９０１を読み取ることができる。これにより、得られた情報と検査結果とが同じ１つのＩＣデバイス９０のものであること、すなわち、取得されたＩＣデバイス９０の情報と、検査されたＩＣデバイス９０の検査結果との紐付け（関係付け）が崩れるのをできる限り防止することができる。
【００８３】
ここで仮に第１バーコードリーダー３Ａと第２バーコードリーダー３Ｂとが第１隔壁６１に配置されている場合を考えてみる。この場合、早々にバーコード９０１を読み取ったとしても、当該バーコード９０１が読み取られたＩＣデバイス９０が供給領域Ａ２内での搬送途中で不本意に落下してしまうと、その落下したＩＣデバイス９０をデバイス搬送ヘッド１３が把持しようとする（リトライする）が、当該ＩＣデバイス９０は元の位置（落下前の位置）と異なる位置で把持されることがある。そして、このままでは、本来検査されるべきＩＣデバイス９０と異なるＩＣデバイス９０が検査領域Ａ３内で検査され、この検査結果が、バーコード９０１が読み取られたＩＣデバイス９０のものと認識されてしまう。そこで、検査装置１では、検査領域Ａ３内で検査される直前でバーコード９０１を読み取ることにより、このようなＩＣデバイス９０の情報とＩＣデバイス９０の検査結果とが不正確な紐付けを防止することができる。
【００８４】
また、第１バーコードリーダー３Ａと第２バーコードリーダー３Ｂとは、ＩＣデバイス９０の情報を取得可能な情報取得可能領域（検出可能距離）、すなわち、センサーレンジ（センシングレンジ）が互いに異なっている。例えば本実施形態では、第１バーコードリーダー３Ａとして、センサーレンジが５０ｍｍ以上、６００ｍｍ以下のものが好適に用いられ、第２バーコードリーダー３Ｂとして、センサーレンジが１１０ｍｍ以上、１０００ｍｍ以下のものが好適に用いられる。
【００８５】
これにより、図６に示すように、第１バーコードリーダー３Ａと第２バーコードリーダー３Ｂとの鉛直方向の設置高さを異ならせることができ、センサーレンジが小さい第１バーコードリーダー３Ａを低位置、センサーレンジが大きい第２バーコードリーダー３Ｂを高位置に配置することができる。そして、この状態からさらに、図３に示すように、平面視で（鉛直方向上方から見たとき）、第１バーコードリーダー３Ａと第２バーコードリーダー３Ｂとを、互いに重なる重なり部３２を有するように配置することができる。これにより、第１情報取得ユニット１０Ａは、重なり部３２の分だけ、Ｙ方向の距離を縮小することができ、よって、小型化される。
【００８６】
ところで、第１バーコードリーダー３Ａや第２バーコードリーダー３Ｂは、例えば経時的な劣化や故障、その他、光透過部３１が曇る等の原因によって、バーコード９０１を正確に読み取るのが困難または不可能となることがある。そして、このような状態となっているのを気づかずに使用し続けていると、読み取られたＩＣデバイス９０の不正確な情報と、ＩＣデバイス９０の検査結果とが紐付いた状態となるおそれがある。
【００８７】
そこで、検査装置１では、このような状態を解消するよう構成されている。以下、この構成について説明する。
【００８８】
検査装置１では、制御部８００が、第１バーコードリーダー３Ａおよび第２バーコードリーダー３Ｂの作動が正常か否かの判断を行なう判断部として機能するよう構成されている。なお、制御部８００は、ＣＰＵとメモリーとを有している。メモリーには、前記判断用の制御プログラムが記憶されている。そして、ＣＰＵは、この制御プログラムを呼び出して、当該制御プログラムを実行することができる。ここで、「第１バーコードリーダー３Ａおよび第２バーコードリーダー３Ｂの作動が正常」とは、各バーコードリーダーがバーコード（バーコード９０１）を正確に読み取ることを言う。
【００８９】
また、前記判断の判断基準として、ダミーデバイス９１の表側の面に付された基準バーコード（基準マーカー）９１１が用いられる。また、ダミーデバイス９１は、ＩＣデバイス９０を模したものであり、ＩＣデバイス９０とともにデバイス供給部１４上に載置して用いられる（図３〜図５参照）。なお、基準バーコード９１１は、制御部８００に予め記憶されている。また、ダミーデバイス９１への基準バーコード９１１の付与方法としては、特に限定されず、例えば、インクジェットを用いた方法、レーザーマーキングを用いた方法、ＩＣデバイス９０から切除したバーコード９０１を貼付する方法等が挙げられる。
【００９０】
以下、前記判断用の制御プログラムについて、図７のフローチャートに基づいて説明する。また、第１バーコードリーダー３Ａに対する判断と、第２バーコードリーダー３Ｂに対する判断とは同じであるため、ここでは、第１バーコードリーダー３Ａに対する判断について代表的に説明する。
【００９１】
まず、制御プログラムを開始するにあたり、供給領域Ａ２内では、デバイス供給部１４上に８つのＩＣデバイス９０が載置され、２つのダミーデバイス９１も載置されている（図３、図４参照）。そして、この状態から制御プログラムが開始する。
【００９２】
デバイス供給部１４を検査領域Ａ３に向かって１次移動させる（ステップＳ１０１）。「１次移動」とは、デバイス供給部１４上のダミーデバイス９１が第１バーコードリーダー３Ａの直下に位置するまで、デバイス供給部１４を移動させることを言う（図５参照）。
【００９３】
第１バーコードリーダー３Ａを作動させて、ダミーデバイス９１の基準バーコード９１１を所定回数読み取らせる（ステップＳ１０２）。そして、この読み取った基準バーコード９１１と、制御部８００に予め記憶されている基準バーコード９１１とを比較して、双方の基準バーコード９１１が合致した回数（マッチング回数）Ｎが、予め設定された回数（閾値）Ｎ０を上回ったか否かを判断する（ステップＳ１０３）。
【００９４】
ステップＳ１０３の判断の結果、回数Ｎが回数Ｎ０を上回った場合には、「第１バーコードリーダー３Ａの作動は正常である」とみなして、デバイス供給部１４を検査領域Ａ３に向かって２次移動させるとともに（ステップＳ１０４）、第１バーコードリーダー３Ａを作動させて、ＩＣデバイス９０のバーコード９０１を読み取らせる（ステップＳ１０５）。「２次移動（第１動作）」とは、第１バーコードリーダー３Ａがデバイス供給部１４上のＩＣデバイス９０のバーコード９０１を順に読み取るように、デバイス供給部１４を移動させることを言う。また、この移動は、ＩＣデバイス９０が第１バーコードリーダー３Ａの直下に位置するごとに移動と停止とを繰り返す移動（ピッチ送り）でもよいし、停止を省略した連続移動（連続送り）であってもよい。
【００９５】
そして、第１バーコードリーダー３ＡによるＩＣデバイス９０のバーコード９０１の読み取りを、第１列Ｍ１の全てのＩＣデバイス９０に対して完了するまで行なう（ステップＳ１０６）。
【００９６】
ステップＳ１０３の判断の結果、回数Ｎが回数Ｎ０を上回っていない場合には、「第１バーコードリーダー３Ａの作動は正常ではない」とみなして、その旨と、第１バーコードリーダー３Ａの光透過部３１に対してクリーニングが必要である旨とを報知する（第２動作）（ステップＳ１０７）。この報知方法としては、特に限定されず、例えば、モニター３００を介した画面表示による方法、スピーカー５００を介した音声による方法等が挙げられる。
【００９７】
そして、オペレーターは、前記報知に従ってクリーニングを行なおうとした場合、例えばモニター３００に表示されている「クリーニング開始ボタン」を操作することができる。「クリーニング開始ボタン」の操作が確認されたら（ステップＳ１０８）、１次移動したデバイス供給部１４を供給領域Ａ２内の元の位置に戻す（ステップＳ１０９）。これにより、第１バーコードリーダー３Ａの下方にオペレーターの手が挿入可能な程度のスペースが確保され、よって、オペレーターは、光透過部３１に対するクリーニングを行なうことができる。
【００９８】
クリーニング終了後、オペレーターは、例えばモニター３００に表示されている「クリーニング終了ボタン」を操作することができる。「クリーニング終了ボタン」の操作が確認されたら（ステップＳ１１０）、ステップＳ１０１に戻り、以後、それより下位のステップを順次実行する。これにより、検査装置１では、クリーニング後にも第１バーコードリーダー３Ａの作動が正常か否かを判断することができる。
【００９９】
ステップＳ１０３の判断で用いられる回数Ｎ０は、回数Ｎと、基準バーコード９１１に対する第１バーコードリーダー３Ａの総読み取り回数（ステップＳ１０２での所定回数）との比が例えば７０％以上、１００％以内となる場合の値である。
【０１００】
なお、検査装置１では、回数Ｎ０を段階的に変更するよう構成されていてもよい。例えば、第１段階として前記比が７０％以上、１００％以内となる場合、第２段階として前記比が３０％以上、７０％以内となる場合、第３段階として前記比が０％以上、３０％以内となる場合と設定することができる。第１段階では、「第１バーコードリーダー３Ａの作動が正常」としての第１動作を取り、第２段階では、「第１バーコードリーダー３Ａに対するクリーニングが必要」としての第２動作を取り、第３段階では「第１バーコードリーダー３Ａが経時的な劣化や故障が原因で、正常な作動ができず、交換が必要」としての第３動作を取ることができる。
【０１０１】
また、第１バーコードリーダー３Ａが経時的な劣化や故障が原因で、正常な作動ができない場合、検査装置１は、ステップＳ１０１〜ステップＳ１０３、その後、ステップＳ１０７〜ステップＳ１１０を繰り返す状態となる。この場合、前記第３段階に代えて、前記ステップの繰り返し回数が連続して所定回数を超えたならば、「第１バーコードリーダー３Ａが経時的な劣化や故障が原因で正常な作動ができない」とみなして、その旨と、第１バーコードリーダー３Ａの交換が必要である旨とを報知してもよい。
【０１０２】
また、ステップＳ１０７での報知中も、ＩＣデバイス９０の搬送は継続されているのが好ましい。
【０１０３】
また、ステップＳ１０７後、ステップＳ１０８を実行せずに、装置を停止させて（第３動作）もよい。
【０１０４】
以上のような制御プログラムにより、検査装置１では、第１バーコードリーダー３Ａ（または第２バーコードリーダー３Ｂ）によって、バーコード９０１をできる限り長期間にわたり、安定して正確に取得することができる。これにより、バーコード９０１から取得されたＩＣデバイス９０の情報と、当該ＩＣデバイス９０の検査結果とを正確に紐付けることができる。
【０１０５】
＜第２実施形態＞
以下、図８を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第２実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【０１０６】
本実施形態は、バーコードリーダーの配置態様が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
【０１０７】
図８に示すように、本実施形態では、第１バーコードリーダー３Ａ’と第２バーコードリーダー３Ｂ’とは、いずれも外形形状が扁平な箱状をなし、その厚さ方向が鉛直方向（Ｚ方向）と一致するように、いわゆる「横置き」の状態（平置きの状態）で配置されている。また、Ｘ方向から見たとき、第１バーコードリーダー３Ａ’と第２バーコードリーダー３Ｂ’とは、互いに重なる重なり部３２を有するように配置されている。これにより、第１情報取得ユニット１０Ａおよび第２情報取得ユニット１０Ｂは、いずれも、重なり部３２の分だけ、Ｙ方向の距離を縮小することができ、よって、小型化される。
【０１０８】
以上、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、電子部品搬送装置および電子部品検査装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
【０１０９】
また、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
【０１１０】
また、電子部品に付された情報を取得可能な情報取得部として、前記各実施形態ではバーコードリーダーを用いるが、これに限定されず、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ等の撮像装置を用いてもよい。撮像装置の場合、当該撮像装置を走査しつつ撮像を行なう（ラインスキャン）のが好ましい。
【０１１１】
また、第１バーコードリーダーおよび第２バーコードリーダーの作動が正常か否かを判断するのに用いられる基準マーカーは、前記各実施形態ではバーコードであったが、これに限定されず、図形、文字、記号等であってもよい。この場合、情報取得部としては、画像処理が可能なＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ等の撮像装置を用いることとなる。
【０１１２】
また、第１バーコードリーダーのセンサーレンジと第２バーコードリーダーのセンサーレンジとは、前記各実施形態では異なっているが、これに限定されず、同じであってもよい。
【０１１３】
また、第１情報取得ユニットおよび第２情報取得ユニットでのバーコードリーダーの設置数は、それぞれ、前記各実施形態では２つであるが、これに限定されず、例えば、必要に応じて１つまたは３つ以上としてもよい。
【０１１４】
また、第１バーコードリーダーや第２バーコードリーダーに対するクリーニングは、前記各実施形態ではオペレーターによる手作業であるが、これに限定されず、例えば、検査装置に自動クリーニング機構を設けて、当該自動クリーニング機構で行なってもよい。
【０１１５】
また、検査装置は、ステップＳ１０７での報知とともに、当該報知情報を他の外部機器に送信するよう構成されてもよい。
【符号の説明】
【０１１６】
１…検査装置（電子部品検査装置）、１０Ａ…第１情報取得ユニット、１０Ｂ…第２情報取得ユニット、１１Ａ…トレイ搬送機構、１１Ｂ…トレイ搬送機構、１２…温度調整部、１３…デバイス搬送ヘッド、１４…デバイス供給部、１４１…凹部（ポケット）、１４２…凹部（ポケット）、１５…トレイ搬送機構、１６…検査部、１７…デバイス搬送ヘッド、１８…デバイス回収部、１９…回収用トレイ、２０…デバイス搬送ヘッド、２１…トレイ搬送機構、２２Ａ…トレイ搬送機構、２２Ｂ…トレイ搬送機構、２３…連結部、２４Ａ…第１シャトルユニット、２４Ｂ…第２シャトルユニット、３Ａ…第１バーコードリーダー（第１情報取得部）、３Ａ’…第１バーコードリーダー（第１情報取得部）、３Ｂ…第２バーコードリーダー（第２情報取得部）、３Ｂ’…第２バーコードリーダー（第２情報取得部）、３１…光透過部、３２…重なり部、６１…第１隔壁、６２…第２隔壁、６２１…開口部、６２２…開口部、６３…第３隔壁、６３１…開口部、６３２…開口部、６４…第４隔壁、６５…第５隔壁、７０…フロントカバー、７１…サイドカバー、７２…サイドカバー、７３…リアカバー、７４…トップカバー、９０…ＩＣデバイス、９０１…バーコード、９１…ダミーデバイス（ダミー電子部品）、９１１…基準バーコード、２００…トレイ（載置部材）、３００…モニター、３０１…表示画面、４００…シグナルランプ、５００…スピーカー、６００…マウス台、７００…操作パネル、８００…制御部、Ａ１…トレイ供給領域、Ａ２…デバイス供給領域（供給領域）、Ａ３…検査領域、Ａ４…デバイス回収領域（回収領域）、Ａ５…トレイ除去領域、Ｌ１…出射光、Ｌ２…反射光、Ｍ１…第１列、Ｍ２…第２列、Ｎ…回数（マッチング回数）、Ｎ０…回数（閾値）、Ｓ１０１〜Ｓ１１０…ステップ
【図１】
2017116312.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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