(57)【要約】【課題】光路切替え装置単体で、レーザ光を検知することができる光路切替え装置および光路切替え方法を提供すること。【解決手段】第１の光路から複数の第２の光路のいずれかへレーザ光を分岐する光路切替え装置であって、第１の光路よりレーザ光を複数の第２の光路へそれぞれ分岐する複数の反射材と、複数の反射材にて複数の第２の光路へそれぞれ分岐されたレーザ光をそれぞれ検知する複数の第１の検知手段と、反射材で第１の光路より第２の光路へレーザ光を分岐しない場合に第１の光路上のレーザ光を検知する第２の検知手段と、を備えることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の光路から複数の第２の光路のいずれかへレーザ光を分岐する光路切替え装置であって、
前記第１の光路よりレーザ光を複数の前記第２の光路へそれぞれ分岐する複数の反射材と、
複数の前記反射材にて複数の前記第２の光路へそれぞれ分岐されたレーザ光をそれぞれ検知する複数の第１の検知手段と、
前記反射材で前記第１の光路より前記第２の光路へレーザ光を分岐しない場合に前記第１の光路上のレーザ光を検知する第２の検知手段と、を備える光路切替え装置。
【請求項２】
前記第１の光路から前記第２の光路へのレーザ光の分岐は、分岐前後の前記第１、および第２の検知手段がともにレーザ光を検知しないことを確認した後、複数の前記反射材の内の少なくとも一つを動作させて、前記第１の光路から複数の前記第２の光路のいずれかへのレーザ光の分岐を行う請求項１に記載の光路切替え装置。
【請求項３】
さらに、前記反射材で第１の光路より第２の光路へレーザ光を分岐しない場合に前記第１の光路上のレーザ光を受けて減衰させるビームダンパを備え、前記第２の検知手段として、前記ビームダンパの温度を検知する温度センサを備える請求項１または２に記載の光路切替え装置。
【請求項４】
さらに、前記反射材で第１の光路より第２の光路へレーザ光を分岐しない場合に前記第１の光路のレーザ光を受けて減衰させるビームダンパを備え、
前記第２の検知手段として、
前記第１の光路上の前記ビームダンパに照射されたレーザ光の散乱光を検出するフォトセンサを備える請求項１または２に記載の光路切替え装置。
【請求項５】
第１の光路から複数の第２の光路のいずれかへレーザ光を分岐する光路切替え方法であって、
前記第１の光路よりレーザ光を複数の前記第２の光路へそれぞれ分岐する複数の反射材と、
複数の前記反射材にて複数の前記第２の光路へそれぞれ分岐されたレーザ光をそれぞれ検知する複数の第１の検知手段と、
前記反射材で前記第１の光路より前記第２の光路へレーザ光を分岐しない場合に前記第１の光路上のレーザ光を検知する第２の検知手段と、を備え、
前記第１の光路から前記第２の光路へのレーザ光の分岐は、分岐前後の第１、および第２の検知手段がともにレーザ光を検知しないことを確認した後、複数の前記反射材の内の少なくとも一つを動作させて、前記第１の光路から複数の前記第２の光路のいずれかへのレーザ光の分岐を行う光路切替え方法。
【請求項６】
さらに、前記第１の光路から前記第２の光路へのレーザ光の分岐を解除させる場合は、
前記第１の光路への入光が遮断されたことを確認した後、前記反射材を前記第１の光路上から退避させる請求項５に記載の光路切替え方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ光の光路を分岐する光路切替え装置および光路切替え方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、レーザ溶接やレーザマーキング等のレーザ加工分野では、多点同時加工あるいはマルチポジション加工を行うために、１台のレーザ発振器で生成したレーザ光を光路切替え装置により同時または非同時（時分割的）に複数のレーザ光に分岐させ、それらの分岐レーザ光を遠隔の加工場所まで光ファイバで伝送して所望の加工点に照射する方式が採用されている。
【０００３】
そして、光路切替え装置にてレーザ光を検知するための検知方法が考案されている。
【０００４】
例えば、特許文献１の光路分岐ミラーユニットにレーザ光を検知できる光路切替え装置が開示されている。これによれば、分岐されたレーザ光の光路上の遮断位置と前記光路上から退避した退避位置とを移動可能に配置された安全シャッタミラーを備えており、安全シャッタミラーが前記光路上の遮断位置にあるときのみ分岐されたレーザ光はビームダンパ（ダンパ）に照射され、ビームダンパによるレーザ光の散乱光を検出するフォトセンサによりレーザ光を検知できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−２２１４８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１の光路分岐ミラーユニットでは、安全シャッタミラーが退避位置に存在した時や、安全シャッタミラーが脱落した時にレーザ光を検知することができない。このことから、レーザ光を検知するためにはレーザ発振器の制御部や他の外部装置からの信号に頼って光路切替え装置内へのレーザ発振器のレーザ出力を推定せざるを得ない場合がある。
【０００７】
また、特許文献１の光路分岐ミラーユニットの単体の構成では、上述の様にレーザ光を検知することができない状態があり、この状態で、安全シャッタミラーによる光路切替えを行うと、意図せずレーザ光が光路上に照射されていた場合、安全シャッタミラーが退避位置から遮断位置に移動する動作の途中で安全シャッタミラーの端等によってレーザ光が意図しない方向に分岐される恐れがある。
【０００８】
そこで本発明は、上記の問題に鑑み、
光路切替え装置単体で、レーザ光を検知することができる光路切替え装置および光路切替え方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために本発明の光路切替え装置は、
第１の光路から複数の第２の光路のいずれかへレーザ光を分岐する光路切替え装置であって、
前記第１の光路よりレーザ光を複数の前記第２の光路へそれぞれ分岐する複数の反射材と、
複数の前記反射材にて複数の前記第２の光路へそれぞれ分岐されたレーザ光をそれぞれ検知する複数の第１の検知手段と、
前記反射材で前記第１の光路より前記第２の光路へレーザ光を分岐しない場合に前記第１の光路上のレーザ光を検知する第２の検知手段と、を備えるものである。
【００１０】
また、本発明の光路切替え装置は、上記に加えて、前記第１の光路から前記第２の光路へのレーザ光の分岐は、分岐前後の前記第１、および第２の検知手段がともにレーザ光を検知しないことを確認した後、複数の前記反射材の内の少なくとも一つを動作させて、前記第１の光路から複数の前記第２の光路のいずれかへのレーザ光の分岐を行うものである。
【００１１】
また、本発明の光路切替え装置は、上記に加えて、前記反射材で第１の光路より第２の光路へレーザ光を分岐しない場合に前記第１の光路上のレーザ光を受けて減衰させるビームダンパを備え、前記第２の検知手段として、前記ビームダンパの温度を検知する温度センサを備えるものである。
【００１２】
また、本発明の光路切替え装置は、上記に加えて、前記反射材で第１の光路より第２の光路へレーザ光を分岐しない場合に前記第１の光路のレーザ光を受けて減衰させるビームダンパを備え、
前記第２の検知手段として、
前記第１の光路上の前記ビームダンパに照射されたレーザ光の散乱光を検出するフォトセンサを備えるものである。
【００１３】
また、上記課題を解決するために本発明の光路切替え方法は、第１の光路から複数の第２の光路のいずれかへレーザ光を分岐する光路切替え方法であって、
前記第１の光路よりレーザ光を複数の前記第２の光路へそれぞれ分岐する複数の反射材と、
複数の前記反射材にて複数の前記第２の光路へそれぞれ分岐されたレーザ光をそれぞれ検知する複数の第１の検知手段と、
前記反射材で前記第１の光路より前記第２の光路へレーザ光を分岐しない場合に前記第１の光路上のレーザ光を検知する第２の検知手段と、を備え、
前記第１の光路から前記第２の光路へのレーザ光の分岐は、分岐前後の第１、および第２の検知手段がともにレーザ光を検知しないことを確認した後、複数の前記反射材の内の少なくとも一つを動作させて、前記第１の光路から複数の前記第２の光路のいずれかへのレーザ光の分岐を行うものである。
【００１４】
また、本発明の光路切替え方法は、上記に加えて、前記第１の光路から前記第２の光路へのレーザ光の分岐を解除させる場合は、前記第１の光路への入光が遮断されたことを確認した後、前記反射材を前記第１の光路上から退避させるものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、
レーザ発振器の制御部や他の外部装置からの信号に頼ることなく光路切替え装置単体でレーザ光の検知ができ、
光路切替えによる意図しない分岐方向へのレーザ出力が防止され、より安全な光路切替えが可能となる。
さらに、レーザ光の分岐前後の全ての光路それぞれでレーザ光の検知を行い、分岐動作に応じたそれぞれのレーザ光の検知が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の光路切替え装置のブロック図
【図２】本発明の光路切替え装置のブロック図
【図３】本発明の光路切替え装置の未分岐状態からの光路切替えのフローチャート
【図４】本発明の光路切替え装置の一方の光路から他の光路への光路切替えのフローチャート
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について、図１、図２、図３、図４を用いて説明する。
【００１８】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１について図面を用いて説明する。図１は本発明の実施の形態１における光路切替え装置の構成を示す。
【００１９】
本実施の形態は図１に示すように、第１の光路Ｌ１から第２の光路Ｌ２へレーザ光を分岐して、レーザ光を複数の第２の光路、例えば２か所の分岐光路（Ｌ２Ａ、Ｌ２Ｂ）のいずれかへ分岐する場合を示している。
【００２０】
図１の光路切替え装置は、第１の光路Ｌ１よりレーザ光を第２の光路Ｌ２へそれぞれ分岐する複数の光路切替えミラー１１、２１（請求項における反射材に相当）と、
光路切替えミラー１１、２１にて第２の光路Ｌ２へそれぞれ分岐されたレーザ光を検知する複数のフォトセンサ１２、２２（請求項における第１の検知手段に相当）と、
複数の光路切替えミラー１１、２１で第１の光路Ｌ１より第２の光路Ｌ２へレーザ光を分岐しない場合に、第１の光路Ｌ１上のレーザ光を検知する、詳細には、第１の光路Ｌ１に図示しないレーザ発振器または他の外部装置よりレーザ光が入光されていることを検知する、温度センサ３４（請求項における第２の検知手段に相当）と、を備えるものである。
以上のように構成される光路切替え装置について、詳細な構成と動作について説明する。
【００２１】
本実施形態において図示しないレーザ発振器からのレーザ光は図１の左から右へと進み、第１の光路Ｌ１を通り、その直線状の第１の光路Ｌ１上に、順に光路切替えミラー１１と光路切替えミラー２１とビームダンパ３３が設置されている。
【００２２】
光路切替えミラー１１は、第１の光路Ｌ１上のレーザ光を分岐して、第２の光路Ｌ２の分岐光路Ｌ２Ａへレーザ光を分岐して出力する分岐位置（図１の実線位置）と第１の光路Ｌ１上から退避する未分岐位置（図１の破線位置）とを移動可能に配置されている。光路切替えミラー１１は分岐位置において第１の光路Ｌ１に対してたとえば４５度の角度に配置される。
【００２３】
光路切替えミラー１１は分岐位置に配置された状態で図示しないレーザ発振器からのレーザ光を入光すると、第１の光路Ｌ１から第２の光路Ｌ２の分岐光路Ｌ２Ａへ分岐するとともに、その一部を散乱光として反射させる。第２の光路Ｌ２の分岐光路Ｌ２Ａのレーザ光の検出手段として、光路切替えミラー１１からの散乱光を検出するフォトダイオードからなるフォトセンサ１２（請求項の第１の検知手段に相当）が光路切替えミラー１１の第２の光路Ｌ２側の近傍に設置されている。
【００２４】
光路切替えミラー２１も光路切替えミラー１１と同様に第１の光路Ｌ１上のレーザ光を第２の光路Ｌ２へ分岐するものである。光路切替えミラー２１は第２の光路Ｌ２の分岐光路Ｌ２Ｂへ分岐して出力する分岐位置（図１の実線位置）と第１の光路Ｌ１上から退避する未分岐位置（図１の破線位置）とを移動可能に配置されており、分岐位置において第１の光路Ｌ１の光路に対してたとえば４５度の角度に配置される。
【００２５】
光路切替えミラー２１は第１の光路Ｌ１の分岐位置に配置された状態で図示しないレーザ発振器からのレーザ光を入光すると、第１の光路Ｌ１から第２の光路Ｌ２の分岐光路Ｌ２Ｂへ分岐するとともに、その一部を散乱光として反射させる。第２の光路Ｌ２の分岐光路Ｌ２Ｂのレーザ光の検出手段として、光路切替えミラー２１からの散乱光を検出するフォトダイオードからなるフォトセンサ２２（請求項の第１の検知手段に相当）が光路切替えミラー２１の第２の光路Ｌ２側の近傍に設置されている。
【００２６】
また、第１の光路Ｌ１のレーザ光の検出手段として、ビームダンパ３３の温度を検知する温度検知手段である、温度センサ３４（請求項の第２の検知手段に相当）がビームダンパ３３に設置されている。
【００２７】
次に、本実施形態の動作を説明する。
【００２８】
本実施の形態の光路切替え装置でのレーザ光の光路は、図示しないレーザ発振器から入光された第１の光路Ｌ１と、分岐される光路としての、たとえば、第１の光路Ｌ１から光路切替えミラー１１が分岐位置に移動して分岐されるレーザ光の分岐光路Ｌ２Ａと、第１の光路Ｌ１から光路切替えミラー２１が分岐位置に移動して分岐されるレーザ光の分岐光路Ｌ２Ｂである。なお、光路切替えミラー１１と光路切替えミラー２１がともに分岐位置に移動しなく未分岐位置にある場合は、レーザ光の光路は、第１の光路Ｌ１となる。
【００２９】
光路切替えミラー１１による第１の光路Ｌ１から第２の光路Ｌ２の分岐光路Ｌ２Ａへのレーザ光の分岐を行う場合には、図示しない制御系によって光路切替えミラー１１を未分岐位置から第１の光路Ｌ１上の分岐位置に移動させた後、図示しないレーザ発振器から光路切替え装置にレーザ光を入光する。
【００３０】
これにより、レーザ光の入光時には第１の光路Ｌ１上のレーザ光は、光路切替えミラー１１によって第１の光路Ｌ１から第２の光路Ｌ２の分岐光路Ｌ２Ａへ分岐され、光路切替え装置から図示しない次工程の加工手段へレーザ光が出力される。また、光路切替え装置におけるレーザ光は光路切替えミラー１１によって第１の光路Ｌ１から第２の光路Ｌ２の分岐光路Ｌ２Ａへレーザ光が分岐されると同時に、光路切替えミラー１１にてレーザ光の一部が散乱反射されてフォトセンサ１２によって検出され、第１の光路Ｌ１から第２の光路Ｌ２の分岐光路Ｌ２Ａへのレーザ光の分岐後の出力が検知され、レーザ光が分岐光路Ｌ２Ａへ分岐されていると判別できる。
【００３１】
なお、図示しないレーザ発振器から光路切替え装置にレーザ光が入光されてない場合は、光路切替えミラー１１を未分岐位置から第１の光路Ｌ１上の分岐位置に移動させた状態であっても第１の光路Ｌ１から第２の光路Ｌ２の分岐光路Ｌ２Ａへのレーザ光が分岐されなく散乱光も発生しないため、光路切替えミラー１１からの散乱光がフォトセンサ１２によって検出されず、
第１の光路Ｌ１から第２の光路Ｌ２の分岐光路Ｌ２Ａへのレーザ光の出力は検知されず、レーザ光は未検出と判別できる。
【００３２】
光路切替えミラー２１による第１の光路Ｌ１から第２の光路Ｌ２の分岐光路Ｌ２Ｂへのレーザ光の分岐を行う場合も光路切替えミラー１１と同様に図示しない制御系によって光路切替えミラー２１を未分岐位置から第１の光路Ｌ１上の分岐位置に移動させた後、図示しないレーザ発振器から光路切替え装置にレーザ光を入光する。
【００３３】
これにより、レーザ光の入光時には第１の光路Ｌ１上のレーザ光は、光路切替えミラー２１によって第１の光路Ｌ１から第２の光路Ｌ２の分岐光路Ｌ２Ｂへ分岐され、光路切替え装置から図示しない次工程の加工手段へレーザ光が出力される。また、光路切替えミラー２１によって第１の光路Ｌ１から第２の光路Ｌ２の分岐光路Ｌ２Ｂへレーザ光が分岐されると同時に、光路切替えミラー２１にてレーザ光の一部が散乱反射されてフォトセンサ２２によって検出され、第１の光路Ｌ１から第２の光路Ｌ２の分岐光路Ｌ２Ｂへのレーザ光の分岐後の出力が検知され、レーザ光が分岐光路Ｌ２Ｂへ分岐されていると判別できる。
【００３４】
なお、図示しないレーザ発振器から光路切替え装置にレーザ光が入光されてない場合は、光路切替えミラー２１を第１の光路Ｌ１上の分岐位置に移動させた状態であっても第１の光路Ｌ１から第２の光路Ｌ２の分岐光路Ｌ２Ｂへのレーザ光が分岐されなく散乱光も発生しないため、光路切替えミラー２１からの散乱光がフォトセンサ２２によって検出されず、
第１の光路Ｌ１から第２の光路Ｌ２の分岐光路Ｌ２Ｂへのレーザ光の分岐後の出力は検知されず、レーザ光は未検出と判別できる。
【００３５】
光路切替えミラー１１、および２１による第１の光路Ｌ１から第２の光路Ｌ２へのレーザ光の分岐を行わない場合には、図示しない制御系によって光路切替えミラー１１と光路切替えミラー２１を未分岐位置に移動させる。これによりこの後、図示しないレーザ発振器から光路切替え装置にレーザ光が入光された場合でも、第１の光路Ｌ１上のレーザ光は、光路切替えミラー１１、および２１が、未分岐位置にあるため、第２の光路Ｌ２（Ｌ２ＡまたはＬ２Ｂ）へ分岐されず、第１の光路Ｌ１上を直進しビームダンパ３３によって減衰吸収される。
【００３６】
さらに、レーザ光がビームダンパ３３に減衰吸収されると同時に、ビームダンパ３３の温度は上昇し、ビームダンパ３３に設けられた温度センサ３４によって検出され、第１の光路Ｌ１への、第２の光路Ｌ２へ分岐されていないレーザ光の入光が検知され、レーザ光は検出と判別できる。
【００３７】
なお、図示しないレーザ発振器から光路切替え装置へのレーザ光が入光されていない場合には、前記温度センサ３４によって検出されず、第１の光路Ｌ１へのレーザ光の出力は検知されず、レーザ光は未検出と判別できる。
【００３８】
またなお、光路切替えミラー１１、および２１の位置（未分岐位置または分岐位置）に関わらず、図示しないレーザ発振器からの光路切替え装置へのレーザ光の入光については、第１の検知手段としてのフォトセンサ１２、フォトセンサ２２、および第２の検知手段としての温度センサ３４のいずれかがレーザ光を検知していれば、光路切替え装置内へのレーザ光の入光は検出と判別する。また、フォトセンサ１２、フォトセンサ２２、および温度センサ３４の全てがレーザ光を検知していなければ、光路切替え装置内へのレーザ光の入光は未検出と判別できる。
【００３９】
具体的には、第１の光路Ｌ１から第２の光路Ｌ２の分岐光路Ｌ２Ａへの、第１の検知手段によるレーザ光の出力検出と、第１の光路Ｌ１から第２の光路Ｌ２の分岐光路Ｌ２Ｂへの、第１の検知手段によるレーザ光の出力検出と、第１の光路Ｌ１へのレーザ光の第２の検知手段による検出を用いて、第１、および第２の検知手段がともにレーザ光を検知しないことを確認する。
【００４０】
この後、複数の光路切替えミラー（１１、２１）の内の一つを動作させて、第１の光路Ｌ１から複数の第２の光路Ｌ２のいずれかへのレーザ光の分岐を行う。
【００４１】
具体的には、光路切替えミラー（１１、２１）の内の一つを未分岐位置から第１の光路Ｌ１上の分岐位置に移動させた後、図示しないレーザ発振器からレーザ光を光路切替え装置の第１の光路Ｌ１に入光させて第１の光路Ｌ１から複数の第２の光路Ｌ２（Ｌ２ＡまたはＬ２Ｂ）のいずれかへのレーザ光の分岐を行う。
【００４２】
このように、光路切替え装置単体でレーザ光が入光されていないことを検知してから光路切替えミラーを動作させ光路分岐させる安全な動作をするものである。  これにより、図示しないレーザ発振器から光路切替え装置へ意図せず、レーザ光が入光されている状態で、光路切替えミラー１１または２１を未分岐位置から第１の光路Ｌ１上の分岐位置に移動させようとする場合であっても、光路切替え装置の第１または第２の検知手段のいずれかがレーザ光を検知することが出来る。
【００４３】
また、光路切替えミラー１１または２１の移動は実行されず、レーザ光の出力継続中の光路切替えを防止して、意図しない分岐方向へのレーザ光の出力や切替え初期の不安定なレーザ光の出力が防止され、より安全な光路切替えが可能となる。
【００４４】
図１の光路切替え装置では、第２の検知手段に温度センサ３４を用いることで、レーザ光を検知すると共に、レーザ光の過剰な入光に伴うビームダンパ３３の過熱異常も検知が可能となる。
【００４５】
なお、第２の検知手段に温度センサ３４を用いるとしたが、
この熱検知の温度センサ３４の代わりに光検知のフォトセンサ３２を用いても良い。
図２に示す様に、ビームダンパ３３の散乱光を検出するフォトダイオードからなるフォトセンサ３２（請求項の第２の検知手段に相当）がビームダンパ３３の近傍に配置し、
第１の光路Ｌ１上を直進したレーザ光がビームダンパ３３に減衰吸収されると同時に、ビームダンパ３３からレーザ光の一部が散乱反射されてフォトセンサ３２によって検出され、複数の光路切替えミラー（１１、２１）のいずれも未分岐位置にある未分岐状態を検出する。
【００４６】
これにより、第１の光路Ｌ１でのレーザ光を検出する第２の検知手段に光検知のフォトセンサを用いることで、非接触かつ高い応答性により、より高速なレーザ光の検知が出来る。
【００４７】
また、図１、２においては複数の反射材として２段の光路切替えミラー１１、２１の構成としたが、これに限らず３段もしくは４段以上の構成としてもよい。
【００４８】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２について図面を用いて説明する。なお、実施の形態２の構成は実施の形態１と同様であり、詳細な説明を省略する。本実施の形態では、第１の光路Ｌ１から第２の光路Ｌ２に分岐されるレーザ光を第２の光路Ｌ２の分岐光路Ｌ２Ａから分岐光路Ｌ２Ｂへ切替える場合の動作について説明する。図４は図示しない制御系によって光路切替えミラー１１を第１の光路Ｌ１上の分岐位置から未分岐位置に移動させ、光路切替えミラー２１を未分岐位置から第１の光路Ｌ１上の分岐位置に移動させる光路切替え方法のフローを示す。
【００４９】
図４に示すように、図示しない制御系から第２の光路Ｌ２の分岐光路Ｌ２Ａから分岐光路Ｌ２Ｂへ光路を切替えるための光路切替え指令を受信し、まず、図示しないレーザ発振器または他の外部装置から光路切替え装置への、レーザ光の照射が停止され、
次に、光路切替えミラー２１を未分岐位置から第１の光路Ｌ１上の分岐位置へ移動させる。
【００５０】
その後、図示しないレーザ発振器からのレーザ光を入光すると、レーザ光は光路切替えミラー２１によって第１の光路Ｌ１から第２の光路Ｌ２の分岐光路Ｌ２Ｂへ分岐される。
【００５１】
以上のように、本実施の形態２によれば、
第２の光路Ｌ２の分岐光路Ｌ２Ａから分岐光路Ｌ２Ｂへの光路切替えは、図示しないレーザ発振器または他の外部装置から光路切替え装置の第１の光路Ｌ１へのレーザ光の照射が停止され、光路切替え装置内へレーザ光が入光されていないことを、第１、および第２の検知手段を用いて確認する。
【００５２】
この後、複数の光路切替えミラー（１１、２１）の内の少なくとも一つを動作させて、第１の光路Ｌ１から複数の第２の光路Ｌ２のいずれかへのレーザ光の分岐を行う。
【００５３】
具体的には、光路切替えミラー１１を退避させると共に光路切替えミラー２１を分岐位置へ移動させて切替えた後、図示しないレーザ発振器からのレーザ光を入光すると、レーザ光は光路切替えミラー２１によって第１の光路Ｌ１から第２の光路Ｌ２の分岐光路Ｌ２Ｂへ分岐される。
【００５４】
このことにより、レーザ光の光路切替えを繰り返す中でも、レーザ光の出力継続中に光路切替えが行われることを防止し、意図しない方向へのレーザ出力を防ぐことができる。
【００５５】
また、意図しない方向へのレーザ出力は次工程へのレーザ光の誤照射だけでなく、本来のレーザ光の照射先ではない光路切替え装置内部にレーザ光が乱反射される恐れがあり、これを防いで光路切替え装置の損傷を防ぐことも出来る。
【００５６】
また、切替え初期での不安定なレーザ光の出力が防止され、より安定した光路切替えが可能となる。
【００５７】
以上のように、本実施の形態１、２によれば、本発明の光路切替え装置および光路切替え方法は、第１の光路から複数の第２の光路のいずれかへレーザ光を分岐するものであって、
第１の光路よりレーザ光を複数の第２の光路へそれぞれ分岐する複数の光路切替えミラーと、複数の光路切替えミラーにて複数の第２の光路へそれぞれ分岐されたレーザ光をそれぞれ検知する複数の第１の検知手段と、
光路切替えミラーで第１の光路より第２の光路へレーザ光を分岐しない場合に第１の光路上のレーザ光を検知する第２の検知手段と、を備える。
【００５８】
これにより、レーザ発振器の制御部や他の外部装置からの信号に頼ることなく光路切替え装置単体でレーザ光の検知ができる。
【００５９】
さらに、第１、および第２の検知手段がともにレーザ光を検知しないことを確認した後、複数の光路切替えミラーの内の少なくとも一つを動作させた後、入光されるレーザ光を第１の光路から第２の光路のいずれかへレーザ光の分岐を行うことで、
分岐前の光路の第１の光路上にレーザ光が入光されている状態で光路切替えが実行されることにより生じる意図しない分岐方向へのレーザ光の出力が防止され、より安全な光路切替えが可能となる。
【００６０】
また、光路切替え装置内のレーザ光の分岐前後の全ての光路のそれぞれでレーザ光の検知を行うため分岐動作に応じたレーザ光の検知がそれぞれ可能となり、レーザ出力継続中の光路切替えを防止して、意図しない分岐方向へのレーザ光の出力が防止され、またレーザ光の分岐先が想定できない場合でもレーザ光を確実に検知できる。
また、切替え初期での不安定なレーザ光の出力が防止され、より安定した光路切替えが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
本発明によれば、レーザ発振器の制御部や他の外部装置からの信号に頼ることなく光路切替え装置単体でレーザ光の検知ができ、光路切替え装置内の分岐前の光路へのレーザ光が入光されている状態で、光路切替えが行われることによる意図しない分岐方向へのレーザ光の出力が防止されより安全な光路切替えが可能となり、レーザシステムにおける光路切替え装置として産業上有用である。
【符号の説明】
【００６２】
１１、２１    光路切替えミラー
１２、２２、３２    フォトセンサ
３３    ビームダンパ
３４    温度センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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