(57)【要約】【課題】より好適な振動アクチュエータ、レンズ鏡筒及び電子機器を提供する。【解決手段】本発明の振動アクチュエータ１０は、振動を発生する振動子１３と、前記振動子１３に加圧接触され、前記振動によって前記振動子１３に対して相対移動する相対移動部材１５と、を備え、前記振動子１３の前記相対移動部材１５に対する接触面と、前記相対移動部材１５の前記振動子１３に対する接触面との少なくとも一方に、凹凸１８ａ，１８ｂが形成されていること、を特徴とする。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動を発生する振動子と、
前記振動子に接触し、前記振動によって前記振動子に対して相対移動する相対移動部材と、を備え、
前記振動子の前記相対移動部材に対する接触面と、前記相対移動部材の前記振動子に対する接触面との少なくとも一方に、凹凸が形成されている、
振動アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記振動子は、溝部と前記相対移動部材に接触する櫛歯部とを備え、
前記凹凸は、前記櫛歯部の前記相対移動部材に対する接触面と、前記相対移動部材の前記振動子に対する接触面との少なくとも一方に形成されている振動アクチュエータ。
【請求項３】
請求項１または２に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記凹凸は、型押し加工により形成される、
振動アクチュエータ。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記接触面には、液状の樹脂材料が塗布された後、硬化することにより形成された樹脂膜が設けられ、
前記凹凸は、前記樹脂膜が硬化する際に前記樹脂膜に型押し加工されて形成されたものである、
振動アクチュエータ。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記凹凸は、前記振動子の接触面側に形成され、振動拡大をさせる振動アクチュエータ。
【請求項６】
請求項１から４のいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記凹凸は、前記相対移動部材の接触面側に形成され、振動を伝達させる振動アクチュエータ。
【請求項７】
請求項３から６のいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記型押し加工は、平面度調整機能を有することを特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項８】
請求項１から請求項７のうちいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備えるレンズ鏡筒。
【請求項９】
請求項１から請求項７のうちいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備える電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動アクチュエータ、レンズ鏡筒及び電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、電気機械変換素子と弾性体とが接合された振動子を有し、振動子（弾性体）に加圧接触した相対移動部材を摩擦駆動する振動アクチュエータが知られている（特許文献１参照）。
【０００３】
このような振動アクチュエータにおいて、振動子と相対移動部材との接触で異音が発生するという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３１３３２０１２号
【発明の概要】
【０００５】
請求項１に記載の発明は、振動を発生する振動子と、前記振動子に加圧接触され、前記振動によって前記振動子に対して相対移動する相対移動部材と、を備え、前記振動子の前記相対移動部材に対する接触面と、前記相対移動部材の前記振動子に対する接触面との少なくとも一方に、凹凸が形成されていること、を特徴とする振動アクチュエータである。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】第１実施形態のカメラを示す図である。
【図２】第１実施形態の超音波モータを示す図である。
【図３】第１実施形態の超音波モータの弾性体と移動体との摩擦接触面を拡大した図である。
【図４】型押しされた櫛歯部の例を示した図である。
【図５】第１実施形態の変形形態における、弾性体と移動体との摩擦接触面を拡大した図である。
【図６】第１実施形態の変形形態における、弾性体と移動体との摩擦接触面を拡大した図である。
【図７】第１実施形態の変形形態における、弾性体と移動体との摩擦接触面を拡大した図である。
【図８】第１実施形態の比較形態における、弾性体と移動体との摩擦接触面を拡大した図である。
【図９】第２実施形態の超音波モータを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、実施の形態を、添付図面を参照しながら説明する。
［第１実施形態］
図１は、第１実施形態に係るカメラ１の構成を示す図である。
本実施形態では、振動アクチュエータとして、超音波の振動域を利用する超音波モータ１０を一例に挙げて説明する。また、本実施形態では、電子機器として、カメラを一例に挙げて説明する。
【０００８】
カメラ１は、撮像素子６を有するカメラボディ２と、レンズ鏡筒３と、を備える。レンズ鏡筒３は、カメラボディ２に着脱可能な交換レンズである。なお、本実施形態のカメラ１は、レンズ鏡筒３が交換レンズである例を示すが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒であってもよい。
【０００９】
レンズ鏡筒３は、レンズ４、カム筒５、超音波モータ１０等を備える。本実施形態では、超音波モータ１０は、略円環形状であり、その円環中心軸方向が光軸方向（図１中の矢印Ａ方向）と略一致するようにレンズ鏡筒３内に配置されている。
【００１０】
この超音波モータ１０は、カメラ１のフォーカス動作時にレンズ４を駆動する駆動源として用いられている。超音波モータ１０から得られた駆動力は、カム筒５に伝えられる。レンズ４のレンズ枠４ａは、カム筒５とカム係合しており、超音波モータ１０の駆動力によってカム筒５が光軸回りに回転すると、レンズ４は、光軸方向へ移動して焦点調節が行なわれる。
【００１１】
図１において、レンズ鏡筒３内に設けられた不図示のレンズ群（レンズ４を含む）によって、撮像素子６の撮像面に被写体像が結像される。撮像素子６によって、結像された被写体像が電気信号に変換され、その信号をＡ／Ｄ変換することによって、画像データが得られる。
【００１２】
図２は、第１実施形態の超音波モータ１０を示す図である。  
本実施形態の超音波モータ１０は、圧電体１１及び弾性体１２を備える振動子１３と、移動体１５と、フレキシブルプリント基板１４と、振動吸収材１６と、支持体１７等とを備えている。
【００１３】
圧電体１１は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する機能を有する。本実施形態では、圧電体１１として圧電素子を用いているが、電歪素子を用いてもよい。この圧電体１１は、フェルト等の振動吸収材１６を介して、レンズ鏡筒３に設けられた支持体１７に固定されている。
【００１４】
圧電体１１は、不図示の電極部が形成されている。圧電体１１は、この電極部と電気的に接続されたフレキシブルプリント基板１４から供給される駆動信号により伸縮し、弾性体１２を励振する。
【００１５】
弾性体１２は、圧電体１１の励振により進行波を発生する部材である。弾性体１２は、与えられた振動を効率よく相対移動部材へ伝えるために、高弾性材料、例えば、ステンレス鋼、インバー鋼等の鉄合金により形成される。本実施形態の弾性体１２は、ＳＵＳ３０３により形成されている。弾性体１２は、略円環形状の部材であり、一方の面には導電性を有する接着剤等により圧電体１１が接着され、従来他方の面には複数の溝部１２ｄを切って形成された櫛歯部１２ａが設けられている。
【００１６】
この突起部分（溝がない箇所）の先端面１２ｃが駆動面となり移動子に加圧接触される。溝部１２ｄを設ける理由は、進行波の中立面をできる限り圧電体１１側に近づけ、これにより駆動面の進行波の振幅を増幅させるためである。溝部１２ｄが設けられていない部分を本実施形態ではベース部１２ｂという。そのベース部１２ｂの溝部１２ｄ側とは反対面に圧電体１１は接合されている。
【００１７】
櫛歯部１２ａの先端面１２ｃは、後述する移動体１５と加圧接触する接触面であり、この面に発生する進行波によって移動体１５が回転駆動される。
【００１８】
移動体１５は、アルミニウム等の金属によって形成された略円環形状の部材である。移動体１５は、アルミニウム合金により形成されている。移動体１５は、振動子１３（弾性体１２）に加圧接触され、進行波により摩擦駆動される。この移動体１５の振動子１３に対する接触面１５ｃには、陽極酸化処理により硬質アルマイト皮膜が形成されている。
【００１９】
フレキシブルプリント基板１４は、圧電体１１の所定の電極部と電気的に接続されており、圧電体１１に駆動信号を供給する部材である。フレキシブルプリント基板１４には、カメラ１の制御を行う制御装置１０１が接続されている。制御装置１０１には、温度センサ１０２が接続されており、温度センサ１０２の検知結果に応じて、超音波モータ１０の回転数が一定となるように、圧電体１１に供給する駆動信号の周波数を調整している。
【００２０】
図３は、第１実施形態の超音波モータ１０の弾性体１２と移動体１５との接触部分を拡大した図である。なお、図３では、超音波モータ１０の周方向の断面の一部を拡大して示している。
【００２１】
弾性体１２の移動体１５との接触面（櫛歯部１２ａの先端面１２ｃ）には、樹脂硬化膜１８が設けられている。この樹脂硬化膜１８の表面には、後述する凹凸が設けられている。
移動体１５の弾性体１２との接触面１５ｃには、硬質アルマイト皮膜１９が設けられている。従って、振動子１３と移動体１５とが摩擦接触する面は、樹脂硬化膜１８と硬質アルマイト皮膜１９とが接触する形態となっている。
【００２２】
次に、本実施形態の超音波モータ１０の製造方法について説明する。
まず、ステンレス合金ＳＵＳ３０４製の弾性体１２における櫛歯部１２ａの先端面１２ｃに、樹脂を含む塗料をスプレーにて塗布する。この塗料はポリアミドイミドとＰＴＦＥを含むものである。
【００２３】
次いで、塗料が櫛歯部１２ａの先端面１２ｃに塗布された弾性体１２を、８０℃で仮焼成する。
この仮焼成により、樹脂硬化膜１８はある程度硬化するが、完全に硬化した状態ではない。この状態で樹脂硬化膜１８に金属製の型を押し当てて、表面を平滑化するとともに凹部１８ａを成形する。
【００２４】
金属製の型の形状は特に限定されない。例えば、矩形、×印、円形等である。図４（ａ）は、樹脂硬化膜１８に矩形の型を押し付けた例で、矩形の凹部１８ａが複数形成されている。図４（ｂ）は、×印の型を押し付けた例で、×印の凹部１８ａが複数形成されている。図４（ｃ）は、円形の小さな型を押し付けた例で、円形の凹部１８ａが複数形成されている。なお、型の形状はこれらに限定されず、別の形状であってもよい。
【００２５】
その後、弾性体１２を２３０〜２５０℃で本焼成する。これにより、樹脂硬化膜１８が完全に硬化される。
【００２６】
次いで、圧電体１１を導電性接着剤にて弾性体１２に接着する。ここで、凹部１８ａを成形する際に、樹脂硬化膜１８の平面度は整えられているため、硬化処理後の研磨処理工程を省くことができる。
【００２７】
なお、硬質アルマイト皮膜１９は、陽極酸化処理後に耐摩耗性を保ちつつ耐食性を確保するために半封孔処理を行う。その後、硬質アルマイト皮膜１９の表面をＧＣ（グリーンカーボランダム）研磨紙を用いて研磨して平坦にする。
【００２８】
次に、樹脂硬化膜１８が形成された弾性体１２に圧電体１１を接合し、振動子１３を形成する。振動子１３の樹脂硬化膜１８と移動体１５の硬質アルマイト皮膜１９とが接触するように振動子１３と移動体１５とを配置し、各部材を組み立てる。これらの工程を経て、超音波モータ１０が作製される。
【００２９】
型押し加工されて凹部１８ａが形成された樹脂硬化膜１８は、他の表面処理膜に比べて、硬さ、耐塑性変形性、密着性や剥離強度、耐摩耗性、耐熱性等の点において優れている。そのため、本実施形態によると、以下のような効果が得られる。
【００３０】
（１）樹脂硬化膜１８に凹部１８ａを設ける型押し加工を行うことにより、樹脂硬化膜１８の密度が高く、硬くなるため、移動体１５（硬質アルマイト皮膜１９）との接触面の耐摩耗性・耐塑性変形性を向上できる。また硬質アルマイト被膜１９との摩擦摺動により摩耗粉が発生しても型押しによる隙間に摩耗粉が逃げることができ、異音（突発音及びモータ駆動時の定常音）の発生を防ぐことができる。
【００３１】
（２）樹脂硬化膜１８の剥離強度や振動子１３（弾性体１２）に対する密着性が向上し、樹脂硬化膜１８の耐久性が向上する。
【００３２】
（３）樹脂硬化膜１８は耐熱温度が約２５０℃のため、超音波モータ１０の駆動時に発生する一時的な摩擦熱によって、樹脂硬化膜１８が変質することを防止できる。
【００３３】
（４）樹脂硬化膜１８に凹部１８ａを設ける型押し加工を行うことにより、接触する硬質アルマイト皮膜１９との接触面積が減る。このため、樹脂硬化膜１８と硬質アルマイト被膜１９とがくっつきにくくなる。また硬質アルマイト被膜１９との摩擦摺動により摩耗粉が発生しても型押しによる隙間に摩耗粉が逃げることができ、摩擦摩耗特性が向上し、超音波モータ１０の耐久寿命が向上する。
【００３４】
（５）樹脂硬化膜１８に凹部１８ａを設ける型押し加工を行うことにより、硬質アルマイト皮膜１９との隙間が増えるため、移動体が高速で回転する際に発生する風切り音が減少する。
【００３５】
（６）樹脂硬化膜１８に凹部１８ａを設ける型押し加工を行うことにより、塗装時の表面張力に起因する塗膜の変形を抑え、塗膜の平面度を所望の値にすることができる。なお、研磨により平面度を所望の値にする場合と比べ、研磨工程が不要であるので、製造コストを下げることができる。
【００３６】
（７）樹脂硬化膜１８を塗布する際、図６のように弾性体１２のベース部１２ｂに塗布し、マスキングの実施により非塗装部を設けることにより、弾性体１２金属の歯切り工程を省くことができる。また図７のような型押し加工で、摺動面につけるエンボスだけでなく歯切り部を形成することもできる。
【００３７】
［変形形態］
図５、図６及び図７は第１実施形態の変形形態を示した図である。
第１実施形態の弾性体１２は、ベース部１２ｂと櫛歯部１２ａとを有し、櫛歯部１２ａの先端面１２ｃに樹脂硬化膜１８を形成する形態を説明した。しかし、本実施形態はこれに限定されない。
【００３８】
例えば、図５に示す変形形態１の弾性体１２は、ベース部１２ｂのみの構成とし、櫛歯部１２ａは樹脂硬化膜１８で製造し、その先端面１２ｃに凹部１８ａを形成してもよい。
さらに、図６に示す変形形態２の弾性体１２は、変形形態１に加えてさらに溝部１２ｄの表面も樹脂硬化膜１８で覆う構成としてもよい。図６の場合も、櫛歯部１２ａは樹脂硬化膜１８で製造され、その先端面１２ｃに凹部１８ａが形成されている。
【００３９】
また、第１実施形態及び変形形態１，２では、図７（ａ）に示すように樹脂硬化膜１８に凹部１８ａを形成する例について説明した。しかし、本第１実施の形態及び変形形態１，２はこれに限定されない。図７（ｂ）で示すように、樹脂硬化膜１８に凸部１８ｂを形成してもよい。
【００４０】
図８は、本実施形態の比較形態における、弾性体１２と移動体１５との摩擦接触面を拡大した図である。図示するように、比較形態では、樹脂硬化膜１８に凹凸が設けられていない。
【００４１】
表１は、本実施形態の超音波モータ１０と、比較形態の超音波モータとの最小異音回転数、最大トルク、最低起動電圧、摩耗特性等の超音波モータ１０の駆動性能について調べた結果である。
【００４２】
【表１】
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表１において、最大トルクとは、駆動可能な負荷トルクの最大値、すなわち、最大負荷トルクである。消費電力は、この値が小さいほど小電力で駆動が可能となる。
最低起動電圧とは、駆動可能な最低電圧であり、この値が小さいほど小電力で駆動が可能となる。
【００４３】
異音発生回転数とは、超音波モータ１０を所定の駆動条件下で駆動した場合の異音が発生する最小の回転数を調べたものである。通常、超音波モータ１０は、異音発生回転数以上の回転数で異音が発生するため、異音発生回転数がなるべく大きい（規定の異音発生回転数を１としたとき、１以上の回転数で異音が発生する）ものが好ましい。
【００４４】
摺動音圧とは、異音発生状態ではない定常状態で所定の負荷トルク及び回転数（負荷トルク２０Ｎ・ｍｍ、回転数６０ｒｐｍ）における、摺動部から発生する音圧で、実施例図５の音圧を１としたときの比である。
【００４５】
磨耗量とは、超音波モータ１０を所定の負荷トルク及び回転数（負荷トルク２０Ｎ・ｍｍ、回転数６０ｒｐｍ）で、５００００回転させた場合（この場合は軟らかく摩耗しやすい方の移動体側の接触膜）の磨耗量を、磨耗深さとして測定し、評価したものである。この磨耗深さとは、５００００回転させる前の弾性体１２の厚みを基準としたときの回転駆動後の弾性体１２の厚みとの差である。この磨耗深さが小さい方が、駆動によって生じた磨耗量が小さく、耐久性が良好である。
【００４６】
表１に示すように、最大トルクは、第１実施形態、変形形態１、変形形態２、及び比較形態は同様であった。すなわち、本実施形態のように凹凸をつけても、最大トルクが低下することはない。
【００４７】
また、消費電力は、第１実施形態の場合、比較形態より良好であった。これは凹凸が設けられていることにより、摩擦熱がこもりにくいこと、磨耗粉が凹凸部に落下して摺動面に残らないこと、等によるものと考えられる。
なお、変形形態１及び変形形態２では、櫛歯部１２ａ，１２Ａも熱硬化製樹脂で製造されているため、弾性体１２で製造されている場合に比べて振動効率が若干低下するためと考えられる。
【００４８】
異音は、本実施形態及び変形形態において、比較形態よりも高回転になるまで発生しなかった。
摺動音圧も、本実施形態及び変形形態において、比較形態よりも良好であった。
膜の磨耗量も、本実施形態及び変形形態において、比較形態よりも良好であった。
以上、本実施形態及び変形形態の超音波モータ１０を測定した結果、最大トルク、最低起動電圧、消費電力、異音発生回転数、摺動音圧、摩耗量は良好であった。
【００４９】
これらのことから、摩擦摺動材の摩擦接触面に型押し加工を施した樹脂硬化膜１８と硬質アルマイトを用いれば、所望する最大トルクを満たし、所要電力を低減させ、起動性を向上し、摺動音・異音や摩耗を防止する観点から好ましいことがわかる。
【００５０】
［第２実施形態］
図４は、第２実施形態に係る超音波モータ２０を示す断面図である。
第２実施形態に係る超音波モータ２０は、上記第１実施形態の超音波モータ１０と同様のカメラ１のレンズ鏡筒３に設けられ、フォーカス動作を行なう際のレンズ４を駆動する駆動源として用いられている。
この超音波モータ２０は、不図示のギアを介して駆動力を不図示のカム筒に伝え、このカム筒に保持されるレンズ４を駆動する形態となっている点が第１実施形態とは異なる。
【００５１】
超音波モータ２０は、振動子２３、移動体２５、出力軸２８、加圧部２９等を備えている。振動子２３は、弾性体２２と、弾性体２２に接合された圧電体２１等を有する略円環形状の部材である。この振動子２３は、圧電体２１の伸縮により進行波が発生する。
【００５２】
弾性体２２は、ステンレス鋼により形成された略円環形状の部材であり、一方の面には圧電体２１が接合され、もう一方の面には周方向に複数の溝を切って形成された櫛歯部２２ａが設けられている。この櫛歯部２２ａの先端面１２ｃは、移動体２５に加圧接触される接触面であり、この面に接する移動体２５を進行波によって駆動する。
【００５３】
振動子２３の移動体２５との接触面には、第１実施形態に示した振動子１３と同様に、型押し加工を施した樹脂硬化膜３１が形成されている。
弾性体２２は、その内周側の径方向に伸ばして形成された鍔状のフランジ部２２ｂを有し、このフランジ部２２ｂにより支持体２６に支持されている。
【００５４】
圧電体２１は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する機能を有する。本実施形態では、第１実施形態と同様に、圧電体２１として、圧電素子を用いているが、電歪素子を用いてもよい。この圧電体２１は、圧電体２１に形成された所定の電極部と電気的に接続されたフレキシブルプリント基板２４から供給される駆動信号により伸縮し、弾性体２２に振動を生じさせる。
【００５５】
フレキシブルプリント基板２４には、超音波モータ２０を備えられるカメラの制御を行う制御装置２０８が接続されている。本実施例において、制御装置２０８には温度センサ２０９が接続されており、温度センサ２０９の検知結果に応じて、回転数が一定となるように、圧電体２１に供給する駆動信号の周波数を調整している。また、予め測定したトルクと連続駆動時間の関係がプログラミングされており、所望のトルクに応じて連続駆動時間を制御することによりトルク制御する。
【００５６】
移動体２５は、振動子２３と加圧接触し、振動子２３の接触面（櫛歯部２２ａの先端面１２ｃ）に生じた進行波による楕円運動によって回転駆動される。移動体２５は、ステンレスにより形成された部材である。移動体２５は、出力軸２８に嵌合している。
本実施形態の移動体２５は、ステンレス合金によって形成され、移動体２５の振動子２３との接触面に硬質アルマイト皮膜３２が形成されている。
従って、移動体２５と振動子２３とが摩擦接触する面は、硬質アルマイト皮膜３２と型押し加工を施した樹脂硬化膜３１とが接する形態となっている。
【００５７】
出力軸２８は、略円筒形状をしており、一方の端部はゴム部材３０を介して移動体２５と嵌合し、もう一方の端部は、ベアリング２７を介して支持体２６に回転自在に取り付けられている。この出力軸２８は、移動体２５と一体に回転して移動体２５の回転運動を不図示のギア等の被駆動部材に伝達する。
【００５８】
加圧部２９は、振動子２３と移動体２５とを加圧する機構である。加圧部２９は、加圧力を発生するバネ２９ａと、ベアリング２７に接して配置され、バネ２９ａの一端を押さえる押さえリング２９ｂと、バネ２９ａの他端を押さえる押さえリング２９ｃと、出力軸２８に形成された溝に挿入され、押さえリング２９ｃの位置を規制するＥリング２９ｄとを備えている。
【００５９】
本実施形態に示すような超音波モータ２０においても、型押し加工して凹部３１ａが設けられた樹脂硬化膜３１が振動子２３の摩擦接触面に形成されている。これにより、磨耗量の低減、異音・擦れ音の低減、耐久性の向上、駆動性能の安定化、起動特性の向上等を図ることができる。なお、本実施形態においても、第１実施形態の変形形態と同様の変形形態が可能である。
【００６０】
さらに、本実施形態に示した超音波モータ２０は、第１実施形態に示した超音波モータ１０に比べて径が小さい小型の超音波モータ１０として作製される場合が多いため、熱の発生が問題となる。
しかし、本実施形態によれば、樹脂硬化膜３１は熱伝導性が良好で、硬質アルマイト皮膜３２も熱伝導性に優れる。
【００６１】
［その他の変形形態］
技術範囲は上記実施形態及び変形形態に限定されるものではなく、上記実施形態及び変形形態の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。
圧電体１１については、単層の例を示したが、これに限らず積層を使用してもよい。
【００６２】
また、上記各実施形態では、樹脂硬化膜１８としてポリアミドイミドとＰＴＦＥで製作する例を示したが、これに限らずエポキシ樹脂、ＰＥＥＫ樹脂、ＰＢＩ樹脂などの熱硬化する塗料を用いた材料であってもよい。
型押し材も、金属に限らず、樹脂・セラミックス等であってもよい。
エンボスは摩擦接触部の一部だけに形成してもよい。
また、硬質アルマイト皮膜以外でも、樹脂硬化膜１８を著しく攻撃しない材料であれば用いても構わない。
【００６３】
また、上記各実施形態では、振動子１３，２３の接触面（櫛歯部１２ａ，２２ａの先端面１２ｃ）に型押しした樹脂硬化膜３１を形成する例を示したが、これに限らず、移動体１５，２５の型押しした接触面に樹脂硬化膜１８を形成してもよい。
振動子と移動体の両方に型押しした樹脂硬化膜１８を施してもよい。
移動体側接触面が樹脂硬化膜１８、振動子側の接触面が金属または表面処理膜と入れ替わってもよい。
さらに、弾性体１２を使用せずに、圧電体１１と移動体とが摩擦接触する形態の振動アクチュエータに適用してもよい。
【００６４】
また、上記各実施形態では、弾性体２２を形成する材料として、ステンレス鋼を用いたが、その他の鉄系材料を用いてもよい。例えば、Ｓ１５Ｃ、Ｓ５５Ｃ、ＳＣｒ４４５、ＳＮＣＭ６３０等の各種鉄鋼材料を用いてもよいし、リン青銅、銅合金、アルミニウム系合金を用いてもよい。
【００６５】
また、上記各実施形態では、移動体１５，２５は、アルミニウム合金によって形成される例を示したが、これに限らず、鉄系材料（含合金）・アルミニウム合金・銅合金・リン青銅等を用いてもよい。例えば、Ｓ１５Ｃ、Ｓ５５Ｃ、ＳＣｒ４４５、ＳＮＣＭ６３０等の各種鉄鋼材料を用いてもよい。またアルミナやその他のセラミックスやプラスチックで形成してもよい。
【００６６】
また、上記各実施形態では、移動体１５，２５が回転駆動される超音波モータ１０を示したが、これに限らず、移動体が直線方向に駆動されるリニア駆動型の振動アクチュエータとしてもよい。
なお、各実施形態では、移動体１５，２５が回転駆動される回転型（円環型）の超音波モータ１０を例としてあげたが、これは、この型の超音波モータ１０では凝着が問題になることが多く、上記実施形態及び変形形態を適用することにより大きな効果が得られるからである。
【００６７】
また、上記各実施形態では、超音波領域の振動を用いる超音波モータ１０を例に挙げて説明したが、これに限らず、例えば、超音波領域以外の振動を用いる振動アクチュエータに適用してもよい。
【００６８】
また、上記各実施形態では、超音波モータ２０は、カメラのレンズ鏡筒のフォーカス動作を行う駆動源として用いられる例を示したが、これに限らず、例えば、レンズ鏡筒のズーム動作を行う駆動源に用いてもよい。また、超音波モータ２０を、複写機等の駆動源や、自動車のハンドルチルト装置やヘッドレストの駆動部等に用いてもよい。
【００６９】
なお、実施形態及び変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。また、上記実施形態及び変形形態は以上説明した実施形態によって限定されることはない。
【符号の説明】
【００７０】
１：カメラ、２：カメラボディ、３：レンズ鏡筒、４：レンズ、４ａ：レンズ枠、５：カム筒、６：撮像素子、１０，２０：超音波モータ、１１，２１：圧電体、１２，２２：弾性体、１２ａ，２２ａ：櫛歯部、１２ｂ：ベース部、１２ｃ：先端面、１２ｄ：溝部、１３，２３：振動子、１５，２５：移動体、１５ｃ：接触面、１８，３１：樹脂硬化膜、１８ａ，３１ａ：凹部、１８ｂ：凸部、１９，３２：硬質アルマイト皮膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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