(57)【要約】      （修正有）【課題】専用電極を用いずに簡素な部品を用いた、新規追加要素のない簡易な構成によって、安価かつ確実に動作診断を行うことのできる角速度センサを提供する。【解決手段】角速度センサ１０は、発振電極１と角速度により発生する電荷を検出する検出電極２を具備するセンサ素子３と、発振電極１に接続されセンサ素子３を発振させる発振回路４と、検出電極２に接続されその出力信号を処理する検出回路５を備え、検出電極２には検出回路５の基準電圧との間に抵抗およびコンデンサが接続されている角速度センサ１０であり、センサ素子３の出力を変化せしめる出力変化構造８を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
発振電極と角速度により発生する電荷を検出するための検出電極とを具備するセンサ素子と、該発振電極に接続され該センサ素子を発振させる発振回路と、該検出電極に接続されその出力信号を処理する検出回路を備え、該検出電極には該検出回路の基準電圧との間に抵抗およびコンデンサが接続されている角速度センサであって、該センサ素子の出力を変化せしめる出力変化構造を備え、これにより自身の動作状態を確認することを特徴とする、角速度センサ。
【請求項２】
前記出力変化構造は前記コンデンサ容量を変化させる構造であることを特徴とする、請求項１に記載の角速度センサ。
【請求項３】
前記出力変化構造は、前記検出電極に接続されているコンデンサに対して並列に接続された一以上の別のコンデンサであることを特徴とする、請求項２に記載の角速度センサ。
【請求項４】
前記コンデンサ容量の変化は、前記別のコンデンサの接続がスイッチを用いて断続することによりなされることを特徴とする、請求項３に記載の角速度センサ。
【請求項５】
前記検出電極として、角速度印加時の検出電位が相互に逆電位となる二の検出電極を備え、それぞれに前記検出回路の基準電圧との間の抵抗およびコンデンサが接続され、該二のコンデンサによって前記出力変化構造が構成されており、該二のコンデンサの少なくともいずれか一方を変化させることによって前記センサ素子の出力が変化することを特徴とする、請求項１ないし４のいずれかに記載の角速度センサ。
【請求項６】
前記二のコンデンサの合計容量を一定値とし、これにより前記検出電極の負荷インピーダンスを不変とすることを特徴とする、請求項５に記載の角速度センサ。
【請求項７】
前記検出電極として、角速度印加時の検出電位が相互に逆電位となる二の検出電極を備え、それぞれに前記検出回路の基準電圧との間の抵抗およびコンデンサが接続されるとともに、スイッチによって両検出電極の一方に接続可能なコンデンサを一以上備え、かつ全コンデンサの合計容量を一定値とし、これらのコンデンサによって前記出力変化構造が構成されており、スイッチを用いた接続変更によって前記センサ素子の出力が変化することを特徴とする、請求項１ないし４のいずれかに記載の角速度センサ。
【請求項８】
前記コンデンサ容量の変化は、前記検出電極からの出力信号または前記検出回路の出力値が所定値となるように調整されることを特徴とする、請求項２ないし７のいずれかに記載の角速度センサ。
【請求項９】
前記出力変化構造は前記抵抗値を変化させる構造であることを特徴とする、請求項１に記載の角速度センサ。
【請求項１０】
前記抵抗は前記検出電極の等価回路上の容量とによりハイパスフィルタを構成しており、その抵抗値は該ハイパスフィルタのカットオフ周波数が前記センサ素子の発振周波数の１／２以下になるように設定されていることを特徴とする、請求項９に記載の角速度センサ。
【請求項１１】
前記検出電極に接続された抵抗およびコンデンサの間に別の抵抗が設けられ、これにより該コンデンサおよび該別の抵抗とでローパスフィルタが構成されていることを特徴とする、請求項１ないし１０のいずれかに記載の角速度センサ。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の角速度センサにおいて、前記出力変化構造を変化させることによって前記センサ素子の出力を変化せしめ、これにより動作状態を診断することを特徴とする、角速度センサ動作診断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は角速度センサおよびその動作診断方法に係り、特に、センサが動作しているかどうかの診断を、簡易な構成を用いてより低コストで行うことのできる、角速度センサおよびその動作診断方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
角速度センサは回転速度を測定するセンサであり、カーナビゲーションや自動車、ロボットの姿勢制御、カメラ等の手ぶれ補正等に使用されており、用途が年々拡大してきている。特に自動車用途では、センサが正常に動作しているかをセンサ自身が診断する機能等を要求されるケースが多い。
【０００３】
センサが動作しているかどうかの診断を行う場合、センサ素子に診断専用の電極を設ける方法や、検出回路に擬似信号を入力する方法が考えられる。センサ素子に専用電極を設ける場合は、専用電極と回路を接続させるとともに、専用電極の出力を処理する回路を設ける構成となる。また、検出回路に擬似信号を入力する方法の場合は、擬似信号を生成する回路を設ける構成とし、これにより検出回路を診断対象として診断することができる。
【０００４】
なお、角速度センサについては従来、技術的な提案も多くなされている。たとえば後掲特許文献１には、センサの損傷を外部から検出できるようにし、使用時の信頼性を一段と向上させた角速度センサとして、センス電極からの出力が加えられる一対のカレントアンプと、その出力差を増幅する差動増幅器と、その出力をモニタ信号に同期し検波することで角速度信号を出力する同期復調器を構成する９０度移相器ならびに同期検波器と、制御端子からの外部診断要求信号に基づきコンデンサを介してカレントアンプの入力端子にモニタ信号を加えることにより異常を検出するための診断信号を出力するように構成した角速度センサが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−２６７４４８号公報「角速度センサ」
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
さて、センサ動作診断方法としてセンサ素子に専用電極を設ける方法では、専用電極と回路を接続させる必要があるため、新たな故障の発生箇所を増やすこととなる。さらに、専用電極の出力を処理する回路が必要となる場合もあり、この場合には費用増となる。一方、検出回路に擬似信号を入力する方法では、擬似信号を生成する回路が必要となる上、診断できるのは検出回路のみであり、センサ素子やその他の部分の診断は別途必要である。
【０００７】
そこで本発明が解決しようとする課題は、かかる従来技術の問題点を踏まえ、専用電極などを用いずに比較的簡素な部品を用いた、新規追加要素のほとんどない簡易な構成によって、より安価かつ確実に角速度センサの動作診断を行うことのできる、角速度センサおよびその動作診断方法を提供することである。また、専用電極使用等による新たな故障を発生させることなく、コスト軽減でき、検出回路のみならずセンサ全体としての診断を可能とする、角速度センサおよびその動作診断方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本願発明者は上記課題について検討した結果、センサ素子の検出電極に接続する負荷容量または抵抗値を変化させることによってセンサが動作しているかどうかを容易に診断できることを見出し、これに基づいて本発明を完成するに至った。すなわち、上記課題を解決するための手段として本願で特許請求される発明、もしくは少なくとも開示される発明は、以下の通りである。
【０００９】
〔１〕  発振電極と角速度により発生する電荷を検出するための検出電極とを具備するセンサ素子と、該発振電極に接続され該センサ素子を発振させる発振回路と、該検出電極に接続されその出力信号を処理する検出回路を備え、該検出電極には該検出回路の基準電圧との間に抵抗およびコンデンサが接続されている角速度センサであって、該センサ素子の出力を変化せしめる出力変化構造を備え、これにより自身の動作状態を確認することを特徴とする、角速度センサ。
〔２〕  前記出力変化構造は前記コンデンサ容量を変化させる構造であることを特徴とする、〔１〕に記載の角速度センサ。
〔３〕  前記出力変化構造は、前記検出電極に接続されているコンデンサに対して並列に接続された一以上の別のコンデンサであることを特徴とする、〔２〕に記載の角速度センサ。
【００１０】
〔４〕  前記コンデンサ容量の変化は、前記別のコンデンサの接続がスイッチを用いて断続することによりなされることを特徴とする、〔３〕に記載の角速度センサ。
〔５〕  前記検出電極として、角速度印加時の検出電位が相互に逆電位となる二の検出電極を備え、それぞれに前記検出回路の基準電圧との間の抵抗およびコンデンサが接続され、該二のコンデンサによって前記出力変化構造が構成されており、該二のコンデンサの少なくともいずれか一方を変化させることによって前記センサ素子の出力が変化することを特徴とする、〔１〕ないし〔４〕のいずれかに記載の角速度センサ。
〔６〕  前記二のコンデンサの合計容量を一定値とし、これにより前記検出電極の負荷インピーダンスを不変とすることを特徴とする、〔５〕に記載の角速度センサ。
【００１１】
〔７〕  前記検出電極として、角速度印加時の検出電位が相互に逆電位となる二の検出電極を備え、それぞれに前記検出回路の基準電圧との間の抵抗およびコンデンサが接続されるとともに、スイッチによって両検出電極の一方に接続可能なコンデンサを一以上備え、かつ全コンデンサの合計容量を一定値とし、これらのコンデンサによって前記出力変化構造が構成されており、スイッチを用いた接続変更によって前記センサ素子の出力が変化することを特徴とする、〔１〕ないし〔４〕のいずれかに記載の角速度センサ。
〔８〕  前記コンデンサ容量の変化は、前記検出電極からの出力信号または前記検出回路の出力値が所定値となるように調整されることを特徴とする、〔２〕ないし〔７〕のいずれかに記載の角速度センサ。
〔９〕  前記出力変化構造は前記抵抗値を変化させる構造であることを特徴とする、〔１〕記載の角速度センサ。
【００１２】
〔１０〕  前記抵抗は前記検出電極の等価回路上の容量とによりハイパスフィルタを構成しており、その抵抗値は該ハイパスフィルタのカットオフ周波数が前記センサ素子の発振周波数の１／２以下になるように設定されていることを特徴とする、〔９〕に記載の角速度センサ。
〔１１〕  前記検出電極に接続された抵抗およびコンデンサの間に別の抵抗が設けられ、これにより該コンデンサおよび該別の抵抗とでローパスフィルタが構成されていることを特徴とする、〔１〕ないし〔１０〕のいずれかに記載の角速度センサ。
〔１２〕  〔１〕ないし〔１１〕のいずれかに記載の角速度センサにおいて、前記出力変化構造を変化させることによって前記センサ素子の出力を変化せしめ、これにより動作状態を診断することを特徴とする、角速度センサ動作診断方法。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の角速度センサおよびその動作診断方法は上述のように構成されるため、これらによれば、専用電極などを用いずにコンデンサという比較的簡素な部品を用いて、すなわち新規追加要素のほとんどない簡易な構成によって、より安価かつ確実に、角速度センサの動作診断を行うことができる。また、専用電極使用等による新たな故障を発生させることなく、センサの一部のみならずセンサ全体としての診断を行うことができる。
【００１４】
なお、上記特許文献１開示技術は、コンデンサを接続する点では本発明と共通する点があるが、基本的に故障診断の際にコンデンサを介して外部から信号を入力する方法であり、コンデンサ容量等を変化させることによってセンサ動作の有無を容易に診断できる本発明とは異なるものである。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明角速度センサの基本構成を示す概念図である。
【図２】本発明角速度センサの回路構成例を示す説明図である。
【図２−２】本発明角速度センサの構造例を示す説明図である。
【図３】負荷容量変化を用いた本発明角速度センサの要部を示す回路図である。
【図４】負荷容量変化による出力変化を示すグラフである。
【図５】負荷容量変化を用いた本発明角速度センサの例を示す回路図である。
【図６】負荷容量変化を用いた本発明角速度センサであって二の検出電極を備えているセンサの例を示す回路図である。
【図７】図６に示した本発明角速度センサの別の例を示す回路図である。
【図８】図６に示した本発明角速度センサのまた別の例を示す回路図である。
【図９】抵抗値変化を用いた本発明角速度センサの要部を示す回路図である。
【図１０】バンドパスフィルタの構成を有する本発明角速度センサの例を示す回路図である。
【図１１】本発明角速度センサに係るセンサ素子の例を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面により本発明を詳細に説明する。
図１は、本発明角速度センサの基本構成を示す概念図である。図示するように本角速度センサ１０は、発振電極１と角速度により発生する電荷を検出するための検出電極２とを具備するセンサ素子３と、発振電極１に接続されセンサ素子３を発振させる発振回路４と、検出電極２に接続されその出力信号を処理する検出回路５を備え、検出電極２には検出回路５の基準電圧との間に抵抗およびコンデンサが接続されている角速度センサ１０であって、センサ素子３の出力を変化せしめる出力変化構造８を備えていることを、主たる構成とする。
【００１７】
かかる構成により本発明角速度センサ１０においては、センサ素子３の出力は出力変化構造８によって変化させられ、このことが、センサ自身の動作状態の確認を可能ならしめる。出力変化構造８の具体的な構成例については後述する。
【００１８】
図２は、本発明角速度センサの回路構成例を示す説明図である。また、
図２−２は、本発明角速度センサの構造例を示す説明図である。これらに示すように本発明角速度センサ２１０は、角速度を検知するセンサ素子２３と、センサ素子２３を発振させる発振回路２４およびセンサ素子２３から出力される検出回路２５などを具備する回路などから構成することができる。
【００１９】
センサ素子２３はニオブ酸リチウムなどの圧電体やシリコンを基材とし、基材表面には、発振回路２４と接続していて基材を所定の周波数で発振させる発振電極２１と、検出回路２５と接続していて角速度を検出するための検出電極２２を少なくとも１つ以上有する。なお、検出電極２２は２つ設けて、それぞれ逆電位（逆位相）を検知できるよう配置し、それぞれの差分をとるように処理することで、より高精度なものとすることができる。
【００２０】
発振回路２４は、増幅器２４１、位相回路２４２などからなり、出力や入力信号が一定になるような機能を有する回路を具備する場合もある。検出回路２５は、検出電極２２の信号を入力して増幅するＡＣ増幅回路２５１、発振周波数と同期した信号を取り出す同期検波回路２５２、同期検波回路２５２の出力をＤＣに変換する平滑回路２５３、ＤＣ電圧を増幅するＤＣ増幅回路２５４、出力を調整する調整回路２５５などから構成することができる。
【００２１】
図３は、負荷容量変化を用いた本発明角速度センサの要部を示す回路図である。図示するように本角速度センサでは、検出電極３２と検出回路３５間の配線には、検出回路３５の基準電圧との間に抵抗ＲおよびコンデンサＣが接続されているが、このコンデンサＣの容量を変化させる構造が、出力変化構造３８として機能、作用する。
【００２２】
図４は、負荷容量変化による出力変化を示すグラフである。
コンデンサＣはそもそも、抵抗Ｒとともに不要なノイズを除去する目的で接続されるが、これは負荷インピーダンスとなり、容量値によって、検出電極より出力される信号（検出信号）の大きさに影響する。このため、コンデンサＣの容量値を増減することで、検出信号が増減し（図中（ａ））、その結果、角速度センサの出力（ＤＣ）が変化する（図中（ｂ））。
【００２３】
この変化の有無を確認することで、センサが正常に動作しているか否かを確認することができる。すなわち、検出電極３２に接続されたコンデンサＣの容量を適宜の方法により変化させた際に、これに伴って検出回路３５の出力値が変化することが確認できれば、角速度センサは正常に動作していると判断することができる。一方、コンデンサＣの容量を適宜の方法により変化させても、これに伴う検出回路３５の出力値変化が認められない場合は、角速度センサの動作は正常ではないと判断することができる。このようにして、角速度センサの動作診断を行うことができる。
【００２４】
図５は、負荷容量変化を用いた本発明角速度センサの例を示す回路図である。図示するように本例角速度センサでは、出力変化構造５８は、検出電極５２に接続されているコンデンサＣに対して並列に接続された一以上の別のコンデンサＣである。そして、出力変化構造５８におけるコンデンサ容量の変化は、当該別のコンデンサの接続がスイッチ５７を用いて断続されることによりなされる。
【００２５】
つまり、スイッチ５７のＯＮ／ＯＦＦによって、負荷容量の変化が制御され、これによる出力変化の有無によって、角速度センサの動作診断を行うことができる。なお、前掲図３に示したように、コンデンサＣをバリアブルキャパシタとして容量変化させることで、角速度センサの動作診断を行うことも、もちろん可能である。
【００２６】
図６は、負荷容量変化を用いた本発明角速度センサであって二の検出電極を備えているセンサの例を示す回路図である。図示するように本例角速度センサは、検出電極として、角速度印加時の検出電位が相互に逆電位となる二の検出電極６２１、６２２を備え、それぞれに検出回路６５の基準電圧との間の抵抗Ｒ１、Ｒ２、およびコンデンサＣ１、Ｃ２が接続され、これら二のコンデンサＣ１、Ｃ２によって出力変化構造６８が構成されており、二のコンデンサＣ１、Ｃ２の少なくともいずれか一方を変化させることによってセンサ素子６３の出力が変化する構成である。
【００２７】
つまり、本例角速度センサにおいて検出電極は、たとえば、角速度が加わった際に＋に変化する場所に設置する検出電極１（６２１）と、検出電極１（６２１）とは逆電位の箇所に配置する検出電極２（６２２）からなり、各検出電極６２１、６２２に対してコンデンサＣ１、Ｃ２、および抵抗Ｒ１、Ｒ２がそれぞれ接続される。そして、コンデンサＣ１、Ｃ２のいずれか一方または両者を変化させることで、検出電極１（６２１）、検出電極２（６２２）のいずれか一方または両者から出力される信号が変化するため、これにより、センサが正常に動作しているか否かを確認することができる。
【００２８】
図７は、図６に示した本発明角速度センサの別の例を示す回路図である。本例角速度センサは、前記二のコンデンサの合計容量を一定値とし、これにより検出電極７２１、７２２の負荷インピーダンスを不変とすることを、特徴的な構成とする。つまり、検出電極１（７２１）に接続されるコンデンサをＣ１とし、検出電極２（７２２）に接続されるコンデンサをＣ２とすれば、Ｃ１＋Ｃ２を一定値Ｃとする構成である。そして、Ｃ１およびＣ２の容量をそれぞれ増減することで出力を変化させ、動作状態を確認・診断することができる。
【００２９】
検出電極１（７２１）に接続されるコンデンサ（Ｃ１）と検出電極２（７２２）に接続されるコンデンサ（Ｃ２）は、図示するように、その合計値Ｃが、検出電極１（７２１）と検出電極２（７２２）の間に接続されたものと等価であるといえる。本例のように合計値Ｃが一定であれば、検出電極の負荷インピーダンスは変化しないため、角速度検出精度に影響を及ぼすことなく、本発明の効果を得ることができる。
【００３０】
図８は、図６に示した本発明角速度センサのまた別の例を示す回路図である。ここに例示したように本発明角速度センサは、検出電極として、角速度印加時の検出電位が相互に逆電位となる二の検出電極８２１、８２２を備え、それぞれに検出回路８５の基準電圧との間の抵抗およびコンデンサが接続されるとともに、スイッチによって両検出電極８２１、８２２の一方に接続可能なコンデンサを一以上備え、かつ全コンデンサの合計容量を一定値とし、これらのコンデンサによって出力変化構造８８が構成されており、スイッチを用いた接続変更によってセンサ素子８３の出力が変化する、という構成である。なお図は例であり、たとえば設けられるコンデンサの数などがこれに限定されるものではないことは、いうまでもない。
【００３１】
検出電極１と検出電極２から出力される静止時の信号は、センサ素子のバラツキにより異なる。検出電極１と検出電極２の静止時の信号誤差はそのままセンサのバイアス誤差となる。このため、両者から出力される静止時の信号を、極力同等なものとすることが望ましい。コンデンサＣ１、Ｃ２を変化させることで信号の出力は変化するため、Ｃ１およびＣ２で信号を調整することができる。しかし、変化させることにより、検出電極１、検出電極２のいずれか一方または両者における角速度の検出精度に影響が出てしまうため、角速度検出に誤差やバラツキが発生する。
【００３２】
しかし、図８に示した例のように、複数のコンデンサＣ１、Ｃ２、Ｃ３、・・・を備え、それぞれをスイッチＳＷ１、ＳＷ２、・・・にて検出電極１（８２１）または検出電極２（８２２）に接続を変更できるようにする構成とすることで、全コンデンサの合計値Ｃは一定で、かつ、検出電極１（８２１）および検出電極２（８２２）に接続されるコンデンサ容量値を増減変化させることができ、これにより出力を変化させ、動作状態を確認・診断することができる。
なお、動作診断は、複数のスイッチのうち１箇所のみの接続先を変更することによって可能である。
【００３３】
また、本発明角速度センサは、検出電極からの出力信号または検出回路の出力値が所定値となるようにコンデンサ容量の変化が調整される構成とすることができる。図６、７、８のように二の検出電極を備える構成の場合には、コンデンサＣ１およびＣ２は、検出電極１、検出電極２のいずれか、もしくはその両者から出力される信号、または検出回路の出力値が、所定値になるよう調整される構成とすることができる。
【００３４】
図９は、抵抗値変化を用いた本発明角速度センサの要部を示す回路図である。本角速度センサは、その出力変化構造９８が、抵抗値を変化させる構造であることを特徴的構成とする。図示するように具体的には、抵抗が検出電極の等価回路９６上の容量とによりハイパスフィルタ９９を構成しているものである。かかる構成により、抵抗値を変化させ、ハイパスフィルタ９９のカットオフ周波数を変化させることで、センサ素子の出力が変化することから、この出力変化を利用することによってセンサが正常に動作しているか否かを確認・診断することができる。また、ハイパスフィルタ９９によって低周波成分のノイズが除去される。
【００３５】
なお、ハイパスフィルタ９９のカットオフ周波数がセンサ素子の発振周波数（固有振動数）より高い場合、センサ素子から出力される信号を減衰させるため、感度を減少させる。このため、ハイパスフィルタ９９のカットオフ周波数は、センサ素子の発振周波数より低く設定する必要があり、できれば１／２以下が望ましい。すなわち、抵抗値はハイパスフィルタ９９のカットオフ周波数がセンサ素子の発振周波数の１／２以下になるように設定されることが望ましい。
【００３６】
図１０は、バンドパスフィルタの構成を有する本発明角速度センサの例を示す回路図である。図示するように本例角速度センサは、検出電極に接続された抵抗ＲおよびコンデンサＣの間に別の抵抗Ｒ’が追加して設けられ、これによりコンデンサＣおよび別の抵抗Ｒ’とでローパスフィルタ（ＬＰＦ）１００が構成されていることを特徴とする。これにより、ハイパスフィルタ（ＨＰＦ）１０９と含めバンドパスフィルタ（ＢＰＦ）１１９を構成でき、不要なノイズを除去することができる。
【００３７】
図１１は、本発明角速度センサに係るセンサ素子の例を示す説明図である。図中（ａ）は正面図、図中（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ’間断面図の概略およびセンサ素子に配置した各電極の配線図である。
【００３８】
なお、以上説明した本発明角速度センサにおいて、出力変化構造を変化させることによってセンサ素子の出力を変化せしめ、これにより動作状態を診断する角速度センサ動作診断方法もまた、本発明の範囲内である。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明の角速度センサおよびその動作診断方法によれば、センサ素子の検出電極に接続する負荷容量または抵抗値を変化させるという簡易な構成によって、より安価かつ確実に角速度センサの動作診断を行うことができる。また、新たな故障を発生させることなく、センサ全体としての診断を行うことができる。したがって、角速度センサ製造・使用分野および関連する全分野において、産業上利用性が高い発明である。
【符号の説明】
【００４０】
１、２１、１２１１、１２１２、１２１３、１２１４、１２１５、１２１６、１２１７、１２１８…発振電極
２、２２、３２、５２、６２１、６２２、７２１、７２２、８２１、８２２、１２２１、１２２２…検出電極
３、２３、３３、５３、６３、７３、８３、１２３…センサ素子
４、２４、１２４…発振回路
５、２５、３５、５５、６５、７５、８５、９５、１０５、１２５…検出回路
８、３８、５８、６８、７８、８８、９８、１０８…出力変化構造
１０、２１０…角速度センサ
５７…スイッチ
９６、１０６…検出電極の等価回路
９９…ハイパスフィルタ
１０９…ハイパスフィルタ（ＨＰＦ）
１００…ローパスフィルタ（ＬＰＦ）
１１９…バンドパスフィルタ（ＢＰＦ）
１２３Ｘ、１２３Ｙ…センサ素子の振動子
２１１…ＬＩＤ
２１２…支持台
２１４…保持樹脂
２１５…ＬＳＩ
２１６…セラミックＰＫＧ
２４１…増幅器
２４２…位相回路
２５１…ＡＣ増幅回路
２５２…同期検波回路
２５３…平滑回路
２５４…ＤＣ増幅回路
２５５…調整回路
【図１】
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【図２】
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【図２−２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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