(57)【要約】      （修正有）【課題】異物の存在および異物の位置の検出が容易である光学素装置及び光学素子を提供する。【解決手段】光学装置２は、筐体部２２の開口部を塞ぐ蓋部２３の光学窓２３ａに、光学素子２１が使用する信号光を透過させ、信号光とは波長が異なる検査光に対する反射率が信号光に対する反射率よりも高く、第２の検査光に対する反射率が第１の検査光に対する反射率よりも低い第１および第２の反射防止膜２４，２５が設けられている。【選択図】図２
2017111092.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体部と、
前記筐体部に収納された光学素子と、
光学窓を有し、前記筐体部の開口部を塞ぐ蓋部とを備えている光学装置において、
前記光学窓には、前記光学素子が使用する信号光を透過させ、前記信号光とは波長が異なる検査光に対する反射率が前記信号光に対する反射率よりも高く、前記検査光としての第２の検査光に対する反射率が前記検査光としての第１の検査光に対する反射率よりも低い第１の反射防止膜が設けられていることを特徴とする光学装置。
【請求項２】
前記第１の反射防止膜は、前記信号光に対する反射率が１％以下であり、前記第１の検査光に対する反射率が８０％以上であり、前記第２の検査光に対する反射率が４０％以下であることを特徴とする請求項１に記載の光学装置。
【請求項３】
前記光学素子の前記信号光の入射面には、前記検査光としての第３の検査光に対する反射率が前記第２の検査光に対する反射率よりも低い第２の反射防止膜が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の光学装置。
【請求項４】
前記第１の反射防止膜は、前記信号光に対する反射率が１％以下であり、前記第１の検査光に対する反射率が８０％以上であり、前記第２および第３の検査光に対する反射率が４０％以下であり、
前記第２の反射防止膜は、前記信号光に対する反射率が１％以下であり、前記第２の検査光に対する反射率が８０％以上であり、前記第３の検査光に対する反射率が４０％以下であることを特徴とする請求項３に記載の光学装置。
【請求項５】
信号光の入射面を有する光学素子において、
前記入射面には、前記信号光を透過させ、前記信号光とは波長が異なる検査光に対する反射率が前記信号光に対する反射率よりも高く、前記検査光としての第２の検査光に対する反射率が前記検査光としての第１の検査光に対する反射率よりも低い反射防止膜が設けられていることを特徴とする光学素子。
【請求項６】
前記反射防止膜は、前記信号光に対する反射率が１％以下であり、前記第１の検査光に対する反射率が８０％以上であり、前記第２の検査光に対する反射率が４０％以下であることを特徴とする請求項５に記載の光学素子。
【請求項７】
請求項１または２に記載の光学装置の前記光学窓から前記光学装置の内部へ向かう方向へ、前記第１および第２の検査光を照射する照明部と、
前記光学窓に対向する方向から前記光学装置を撮影し、前記第１の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第１の画像を取得し、前記第２の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第２の画像を取得する撮影部と、
前記第１の画像および前記第２の画像を記憶する記憶部と、
前記第１の画像および前記第２の画像から、前記光学装置の内部での異物の有無を判定する判定部とを備えていることを特徴とする光学装置の検査装置。
【請求項８】
請求項３または４に記載の光学装置の前記光学窓から前記光学装置の内部へ向かう方向へ、前記第１および第２の検査光を照射する照明部と、
前記光学窓に対向する方向から前記光学装置を撮影し、前記第１の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第１の画像を取得し、前記第２の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第２の画像を取得する撮影部と、
前記第１および第２の画像を記憶する記憶部と、
前記第１の画像および前記第２の画像から前記光学装置の内部での異物の有無を判定する判定部とを備えていることを特徴とする光学装置の検査装置。
【請求項９】
請求項３または４に記載の光学装置の前記光学窓から前記光学装置の内部へ向かう方向へ、前記第１、第２および第３の検査光を照射する照明部と、
前記光学窓に対向する方向から前記光学装置を撮影し、前記第１の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第１の画像を取得し、前記第２の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第２の画像を取得し、前記第３の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第３の画像を取得する撮影部と、
前記第１から第３の画像を記憶する記憶部と、
前記第１の画像および前記第２の画像から前記光学装置の内部での異物の有無を判定し、前記第２の画像および前記第３の画像から前記光学素子の内部での異物の有無を判定する判定部とを備えていることを特徴とする光学装置の検査装置。
【請求項１０】
前記検査光は可視光であることを特徴とする請求項７から９のいずれか１項に記載の光学装置の検査装置。
【請求項１１】
請求項５に記載の光学素子の前記入射面から前記光学素子の内部へ向かう方向へ、前記第１および第２の検査光を照射する照明部と、
前記入射面に対向する方向から前記光学素子を撮影し、前記第１の検査光が照射された状態にて前記光学素子を撮影して第１の画像を取得し、前記第２の検査光が照射された状態にて前記光学素子を撮影して第２の画像を取得する撮影部と、
前記第１の画像および前記第２の画像を記憶する記憶部と、
前記第１の画像および前記第２の画像から、前記光学素子の内部での異物の有無を判定する判定部とを備えていることを特徴とする光学素子の検査装置。
【請求項１２】
請求項１または２に記載の光学装置の前記光学窓から前記光学装置の内部へ向かう方向へ、前記第１および第２の検査光を照射する照明工程と、
前記光学窓に対向する方向から前記光学装置を撮影し、前記第１の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第１の画像を取得し、前記第２の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第２の画像を取得する撮影工程と、
前記第１の画像および前記第２の画像から、前記光学装置の内部での異物の有無を判定する判定工程とを備えていることを特徴とする光学装置の検査方法。
【請求項１３】
請求項３または４に記載の光学装置の前記光学窓から前記光学装置の内部へ向かう方向へ、前記第１および第２の検査光を照射する照明工程と、
前記光学窓に対向する方向から前記光学装置を撮影し、前記第１の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第１の画像を取得し、前記第２の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第２の画像を取得する撮影工程と、
前記第１の画像および前記第２の画像から前記光学装置の内部での異物の有無を判定する判定工程とを備えていることを特徴とする光学装置の検査方法。
【請求項１４】
請求項３または４に記載の光学装置の前記光学窓から前記光学装置の内部へ向かう方向へ、前記第１、第２および第３の検査光を照射する照明工程と、
前記光学窓に対向する方向から前記光学装置を撮影し、前記第１の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第１の画像を取得し、前記第２の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第２の画像を取得し、前記第３の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第３の画像を取得する撮影工程と、
前記第１の画像および前記第２の画像から前記光学装置の内部での異物の有無を判定し、前記第２の画像および前記第３の画像から前記光学素子の内部での異物の有無を判定する判定工程とを備えていることを特徴とする光学装置の検査方法。
【請求項１５】
請求項５に記載の光学素子の前記入射面から前記光学素子の内部へ向かう方向へ、前記第１および第２の検査光を照射する照明工程と、
前記入射面に対向する方向から前記光学素子を撮影し、前記第１の検査光が照射された状態にて前記光学素子を撮影して第１の画像を取得し、前記第２の検査光が照射された状態にて前記光学素子を撮影して第２の画像を取得する撮影工程と、
前記第１の画像および前記第２の画像から、前記光学素子の内部での異物の有無を判定する判定工程とを備えていることを特徴とする光学素子の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、信号光を使用する光学素子および光学素子を備える光学装置、光学素子および光学装置の検査装置、並びに光学素子および光学装置の検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図６は従来の光学装置の構成を示す縦断面図である。図７は、図６に示した光学装置における入射光の波長と反射率との関係を示すグラフである。
【０００３】
従来、図６に示すように、内部に光学素子１１１を備え、光学窓から光学素子１１１に信号光を入射させる光学装置１０１が知られている。光学装置１０１は、方形の容器状の筐体部１１２の底部に光学素子１１１が固定され、筐体部１１２の上に接合された蓋部１１３により、筐体部１１２が封止されている。光学素子１１１へは、蓋部１１３に形成された光学窓１１３ａから信号光が入射する。このような光学装置１０１は、例えば特許文献１に示されている。
【０００４】
光学装置１０１の光学窓１１３ａには、使用する信号光の反射を抑制する反射防止膜１１５，１１６が設けられることがある。反射防止膜１１５，１１６では、図７に示すように、設計上、可視光領域の波長の光への対応については考慮されていない。
【０００５】
光学装置１０１では、筐体部１１２に蓋部１１３を接合した状態にて、光学装置１０１の内部に残留している異物の有無が検査される。この検査には観察用光学系を有する検査装置を使用し、検査装置は、観察用光学系の合焦位置にて異物の有無を判定する。
【０００６】
観察用光学系は、光学倍率や開口数（ＮＡ）、撮像素子の仕様から定まる被写界深度を有し、物体が被写界深度に収まった場合、物体をはっきりとらえる。一方、物体が被写界深度から外れるほど、ピントがぼけて物体が見えなくなる。
【０００７】
検査装置では、従来、観察用光学系の被写界深度を浅くし、例えば光学窓１１３ａの厚さよりも薄い範囲にしか焦点が合わないように調整する。この場合、観察用光学系は、光学窓１１３ａの外面（外側の表面）と蓋部１１３の内部とに同時に合焦させることができない。したがって、観察用光学系を光学窓１１３ａの外面に合焦させたときに観察された異物は、光学窓１１３ａの外側に存在すると判断できる。一方、観察用光学系を光学窓１１３ａの内面（内側の表面）に合焦させたときに観察された異物は、光学窓１１３ａの内側に存在していると判断できる。さらに、観察用光学系を光学素子１１１の外面に合焦させたときに観察された異物は、光学素子１１１の外面に存在すると判断できる。このように、従来の検査装置では、観察用光学系の合焦位置を移動させていくことにより、光学装置１０１における異物の有無および異物の位置を検出するようにしている。
【０００８】
また、特許文献２には、透明板の第１の表面、第２の表面および透明板の媒質中の欠陥の位置を検知する方法が開示されている。この方法では、透明板の媒質中の欠陥に対し、直接内部照明により透明板の側面から光を照射し、かつ外部照明により透明板の法線方向に対して所定の角度から光を照射し、第１の焦点はずれ位置、および第２の焦点はずれ位置に焦点を合わせて、それぞれ画像を撮影している。さらに、これら画像に示される欠陥の信号レベルを比較することにより、透明板における欠陥の高さ位置（透明板の法線方向における欠陥の位置）を算出するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００６−１２８５１４号公報（２００６年５月１８日公開）
【特許文献２】特表２００１−５１９８９０号公報（２００１年１０月２３日公表）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上記従来の検査装置では、観察用光学系の被写界深度を浅くし、観察用光学系を光学窓１１３ａの外面に合焦させたときに観察された異物は、光学窓１１３ａの外側に存在していると判定する。また、観察用光学系を光学窓１１３ａの内面に合焦させたときに観察された異物は、光学窓１１３ａの内側に存在している判定する。さらに、観察用光学系を光学素子１１１の外面に合焦させたときに観察された異物は、光学素子１１１の外面に存在すると判定している。
【００１１】
したがって、筐体部１１２に蓋部１１３を接合した後で、上記各部の異物の有無を検査する場合、各観察対象面に対して観察用光学系を正確に合焦させる必要がある。また、観察対象面が変わるたびに、観察用光学系の合焦位置の調整に伴い、検査装置や観察対象面の高さを調整する必要がある。このため、これらの作業が非常に面倒である。特に、観察対象が透明な光学窓１１３ａである場合、光学窓１１３ａ自体に焦点を合わせることは容易ではない。
【００１２】
また、観察用光学系の被写界深度の理論式は、被写界深度＝許容散乱円径／（ＮＡ×光学倍率）であり、一般に、被写界深度の浅い光学系は、倍率の高い光学系とする方が構成し易い。このため、観察用光学系により広い範囲を観察する必要がある場合には、観察対象である光学装置１０１を水平面内で移動させながら繰り返し観察する必要があり、観察に長時間を要することになる。
【００１３】
一方、特許文献２に記載の構成では、２枚の画像から異物の高さ位置を測定できるという利点がある。しかしながら、特許文献２に記載の構成では、２種類の照明をそれぞれ異なる状態に配置する必要があり、特に、直接内部照明については、検査対象に細工を施して取り付ける必要がある。このため、光学装置１０１に対しては容易に適用し難いという問題点を有している。
【００１４】
したがって、本発明は、異物の存在および異物の位置の検出が容易である光学素子および光学装置、光学素子および光学装置の検査装置、並びに光学素子および光学装置の検査方法の提供を目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の光学装置は、筐体部と、前記筐体部に収納された光学素子と、光学窓を有し、前記筐体部の開口部を塞ぐ蓋部とを備えている光学装置において、前記光学窓には、前記光学素子が使用する信号光を透過させ、前記信号光とは波長が異なる検査光に対する反射率が前記信号光に対する反射率よりも高く、前記検査光としての第２の検査光に対する反射率が前記検査光としての第１の検査光に対する反射率よりも低い第１の反射防止膜が設けられていることを特徴としている。
【００１６】
上記の構成によれば、光学窓に設けられている第１の反射防止膜は、光学素子が使用する信号光を透過させ、信号光とは波長が異なる第１および第２の検査光に対する反射率が信号光に対する反射率よりも高く、第２の検査光に対する反射率が第１の検査光に対する反射率よりも低くなっている。
【００１７】
したがって、第１および第２の検査光を照射して光学装置を観察することにより、光学装置の内部における異物の有無を検査することができる。
【００１８】
すなわち、第１の検査光は、例えば第１の反射防止膜にてほぼ反射される波長に設定し、第２の検査光は、例えば第１の反射防止膜をほぼ透過する波長に設定すれば、光学装置の外部（光学窓の上面または光学窓の上方）および光学装置の内部に異物が存在する場合、第１の検査光を照射して撮影される光学装置の第１の画像には、光学装置の外部に存在する異物が含まれ、光学装置の内部に存在する異物は含まれない。一方、第２の検査光を照射して撮影される光学装置の第２の画像には、光学装置の外部および内部に存在する異物が含まれる。
【００１９】
そこで、第２の画像から第１の画像を差し引いた第１の差分画像を取得すれば、第１の差分画像には光学装置の内部に存在する異物のみが含まれる。これにより、光学装置の内部における異物の有無を検査することができる。
【００２０】
上記の光学装置において、前記第１の反射防止膜は、前記信号光に対する反射率が１％以下であり、前記第１の検査光に対する反射率が８０％以上であり、前記第２の検査光に対する反射率が４０％以下である構成としてもよい。
【００２１】
上記の構成によれば、第１の反射防止膜の反射率は、信号光に対する反射率、並びに第１および記第２の検査光に対する反射率が、信号光に基づいて光学素子が動作する上、並びに第１および第２の検査光に基づいて光学装置の内部における異物の有無を検査する上において、適切となっている。
【００２２】
上記の光学装置において、前記光学素子の前記信号光の入射面には、前記検査光としての第３の検査光に対する反射率が前記第２の検査光に対する反射率よりも低い第２の反射防止膜が設けられている構成としてもよい。
【００２３】
上記の構成によれば、光学素子の信号光の入射面に設けられている第２の反射防止膜は、第３の検査光に対する反射率が第２の検査光に対する反射率よりも低くなっている。したがって、第２および第３の検査光を照射して光学装置を観察することにより、光学装置の内部に収納された光学素子の内部における異物の有無を検査することができる。
【００２４】
すなわち、第２の検査光は、例えば第１の反射防止膜をほぼ透過し、かつ第２の反射防止膜にてほぼ反射される波長に設定し、第３の検査光は、例えば第３の反射防止膜をほぼ透過する波長に設定すれば、光学素子の外部（光学素子の入射面の上面または入射面の上方）および光学素子の内部に異物が存在する場合、第２の検査光を照射して撮影される光学装置の第２の画像には、光学装置の外部、および光学装置の内部（光学素子の外部）に存在する異物が含まれ、光学素子の内部に存在する異物は含まれない。一方、第２の検査光を照射して撮影される光学装置の第３の画像には、光学装置の外部、光学装置の内部（光学素子の外部）および光学素子の内部に存在する異物が含まれる。
【００２５】
そこで、第３の画像から第２の画像を差し引いた第２の差分画像を取得すれば、第２の差分画像には光学素子の内部に存在する異物のみが含まれる。これにより、さらに光学素子の内部における異物の有無を検査することができる。
【００２６】
上記の光学装置において、前記第１の反射防止膜は、前記信号光に対する反射率が１％以下であり、前記第１の検査光に対する反射率が８０％以上であり、前記第２および第３の検査光に対する反射率が４０％以下であり、前記第２の反射防止膜は、前記信号光に対する反射率が１％以下であり、前記第２の検査光に対する反射率が８０％以上であり、前記第３の検査光に対する反射率が４０％以下である構成としてもよい。
【００２７】
上記の構成によれば、第１および第２の反射防止膜の反射率は、信号光に対する反射率、および第１から第３の検査光に対する反射率が、信号光に基づいて光学素子が動作する上、第１および第２の検査光に基づいて光学装置の内部における異物の有無を検査する上、並びに第２および第３の検査光に基づいて光学素子の内部における異物の有無を検査する上において、適切となっている。
【００２８】
本発明の光学素子は、信号光の入射面を有する光学素子において、前記入射面には、前記信号光を透過させ、前記信号光とは波長が異なる検査光に対する反射率が前記信号光に対する反射率よりも高く、前記検査光としての第２の検査光に対する反射率が前記検査光としての第１の検査光に対する反射率よりも低い反射防止膜が設けられていることを特徴としている。
【００２９】
上記の構成によれば、入射面に設けられている反射防止膜は、信号光を透過させ、信号光とは波長が異なる第１および第２の検査光に対する反射率が信号光に対する反射率よりも高く、第２の検査光に対する反射率が第１の検査光に対する反射率よりも低くなっている。
【００３０】
したがって、第１および第２の検査光を照射して光学素子を観察することにより、光学素子の内部における異物の有無を検査することができる。
【００３１】
すなわち、第１の検査光は、例えば第１の反射防止膜にてほぼ反射される波長に設定し、第２の検査光は、例えば第１の反射防止膜をほぼ透過する波長に設定すれば、光学素子の外部（入射面の上面または入射面の上方）および光学素子の内部に異物が存在する場合、第１の検査光を照射して撮影される光学素子の第１の画像には、光学素子の外部に存在する異物が含まれ、光学素子の内部に存在する異物は含まれない。一方、第２の検査光を照射して撮影される光学素子の第２の画像には、光学素子の外部および内部に存在する異物が含まれる。
【００３２】
そこで、第２の画像から第１の画像を差し引いた第１の差分画像を取得すれば、第１の差分画像には光学素子の内部に存在する異物のみが含まれる。これにより、光学素子の内部における異物の有無を検査することができる。
【００３３】
上記の光学素子において、前記反射防止膜は、前記信号光に対する反射率が１％以下であり、前記検査光に対する反射率が８０％以上であり、前記検査光に対する反射率が４０％以下である構成としてもよい。
【００３４】
上記の構成によれば、反射防止膜の反射率は、信号光に対する反射率、並びに第１および記第２の検査光に対する反射率が、信号光に基づいて光学素子が動作する上、並びに第１および第２の検査光に基づいて光学素子の内部における異物の有無を検査する上において、適切となっている。
【００３５】
本発明の光学装置の検査装置は、請求項１または２に記載の光学装置の前記光学窓から前記光学装置の内部へ向かう方向へ、前記第１および第２の検査光を照射する照明部と、前記光学窓に対向する方向から前記光学装置を撮影し、前記第１の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第１の画像を取得し、前記第２の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第２の画像を取得する撮影部と、前記第１の画像および前記第２の画像を記憶する記憶部と、前記第１の画像および前記第２の画像から、前記光学装置の内部での異物の有無を判定する判定部とを備えていることを特徴としている。
【００３６】
上記の構成によれば、撮影部は、光学窓に対向する方向から光学装置を撮影し、第１の検査光が照射された状態にて光学装置を撮影して第１の画像を取得し、第２の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第２の画像を取得する。判定部は、第１の画像および第２の画像から、光学装置の内部での異物の有無を判定する。
【００３７】
すなわち、第１の検査光は、例えば第１の反射防止膜にてほぼ反射される波長に設定し、第２の検査光は、例えば第１の反射防止膜をほぼ透過する波長に設定すれば、光学装置の外部（光学窓の上面または光学窓の上方）および光学装置の内部に異物が存在する場合、第１の検査光を照射して撮影される光学装置の第１の画像には、光学装置の外部に存在する異物が含まれ、光学装置の内部に存在する異物は含まれない。一方、第２の検査光を照射して撮影される光学装置の第２の画像には、光学装置の外部および内部に存在する異物が含まれる。
【００３８】
そこで、第２の画像から第１の画像を差し引いた第１の差分画像を取得すれば、第１の差分画像には光学装置の内部に存在する異物のみが含まれる。これにより、光学装置の内部における異物の有無を検査することができる。
【００３９】
本発明の光学装置の検査装置は、請求項３または４に記載の光学装置の前記光学窓から前記光学装置の内部へ向かう方向へ、前記第１および第２の検査光を照射する照明部と、前記光学窓に対向する方向から前記光学装置を撮影し、前記第１の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第１の画像を取得し、前記第２の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第２の画像を取得する撮影部と、前記第１および第２の画像を記憶する記憶部と、前記第１の画像および前記第２の画像から前記光学装置の内部での異物の有無を判定する判定部とを備えていることを特徴としている。
【００４０】
上記の構成によれば、撮影部は、光学窓に対向する方向から光学装置を撮影し、第１の検査光が照射された状態にて光学装置を撮影して第１の画像を取得し、第２の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第２の画像を取得する。判定部は、第１の画像および第２の画像から光学装置の内部での異物の有無を判定する。
【００４１】
すなわち、第１の検査光は、例えば第１の反射防止膜にてほぼ反射される波長に設定し、第２の検査光は、例えば第１の反射防止膜をほぼ透過し、かつ第２の反射防止膜にてほぼ反射される波長に設定する。これにより、光学装置の外部（光学窓の上面または光学窓の上方）および光学装置の内部に異物が存在する場合、第１の検査光を照射して撮影される光学装置の第１の画像には、光学装置の外部に存在する異物が含まれ、光学装置の内部に存在する異物は含まれない。また、第２の検査光を照射して撮影される光学装置の第２の画像には、光学装置の外部および光学装置の内部（光学素子の外部）に存在する異物が含まれ、光学素子の内部に存在する異物は含まれない。
【００４２】
そこで、第２の画像から第１の画像を差し引いた第１の差分画像を取得すれば、第１の差分画像には光学装置の内部に存在する異物のみが含まれる。これにより、光学装置の内部における異物の有無をさらに高精度に検査することができる。
【００４３】
本発明の光学装置の検査装置は、請求項３または４に記載の光学装置の前記光学窓から前記光学装置の内部へ向かう方向へ、前記第１、第２および第３の検査光を照射する照明部と、前記光学窓に対向する方向から前記光学装置を撮影し、前記第１の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第１の画像を取得し、前記第２の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第２の画像を取得し、前記第３の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第３の画像を取得する撮影部と、前記第１から第３の画像を記憶する記憶部と、前記第１の画像および前記第２の画像から前記光学装置の内部での異物の有無を判定し、前記第２の画像および前記第３の画像から前記光学素子の内部での異物の有無を判定する判定部とを備えていることを特徴としている。
【００４４】
上記の構成によれば、撮影部は、光学窓に対向する方向から光学装置を撮影し、第１の検査光が照射された状態にて光学装置を撮影して第１の画像を取得し、第２の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第２の画像を取得し、第３の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第３の画像を取得する。判定部は、第１の画像および第２の画像から光学装置の内部での異物の有無を判定し、第２の画像および第３の画像から光学素子の内部での異物の有無を判定する。
【００４５】
すなわち、第１の検査光は、例えば第１の反射防止膜にてほぼ反射される波長に設定し、第２の検査光は、例えば第１の反射防止膜をほぼ透過し、かつ第２の反射防止膜にてほぼ反射される波長に設定し、第３の検査光は、例えば第２の反射防止膜をほぼ透過する波長に設定する。これにより、光学装置の外部（光学窓の上面または光学窓の上方）および光学装置の内部に異物が存在する場合、第１の検査光を照射して撮影される光学装置の第１の画像には、光学装置の外部に存在する異物が含まれ、光学装置の内部に存在する異物は含まれない。また、光学素子の外部（光学素子の入射面の上面または入射面の上方）および光学素子の内部に異物が存在する場合、第２の検査光を照射して撮影される光学装置の第２の画像には、光学装置の外部および光学装置の内部（光学素子の外部）に存在する異物が含まれ、光学素子の内部に存在する異物は含まれない。また、第３の検査光を照射して撮影される光学装置の第３の画像には、光学装置の外部、光学装置の内部（光学素子の外部）および光学素子の内部に存在する異物が含まれる。
【００４６】
そこで、第２の画像から第１の画像を差し引いた第１の差分画像を取得すれば、第１の差分画像には光学装置の内部に存在する異物のみが含まれる。また、第３の画像から第２の画像を差し引いた第２の差分画像を取得すれば、第２の差分画像には光学素子の内部に存在する異物のみが含まれる。これにより、光学装置の内部における異物の有無、および光学素子の内部における異物の有無を検査することができる。
【００４７】
上記の検査装置において、前記検査光は可視光である構成としてもよい。
【００４８】
上記の構成によれば、検査光は可視光であるので、照明部は汎用の光源を使用して容易に構成することができる。
【００４９】
本発明の光学装置の検査装置は、請求項５に記載の光学素子の前記入射面から前記光学素子の内部へ向かう方向へ、前記第１および第２の検査光を照射する照明部と、前記入射面に対向する方向から前記光学素子を撮影し、前記第１の検査光が照射された状態にて前記光学素子を撮影して第１の画像を取得し、前記第２の検査光が照射された状態にて前記光学素子を撮影して第２の画像を取得する撮影部と、前記第１の画像および前記第２の画像を記憶する記憶部と、前記第１の画像および前記第２の画像から、前記光学素子の内部での異物の有無を判定する判定部とを備えていることを特徴としている。
【００５０】
上記の構成によれば、撮影部は、入射面に対向する方向から光学素子を撮影し、第１の検査光が照射された状態にて光学素子を撮影して第１の画像を取得し、第２の検査光が照射された状態にて前記光学素子を撮影して第２の画像を取得する。判定部は、第１の画像および第２の画像から、光学素子の内部での異物の有無を判定する。
【００５１】
すなわち、第１の検査光は、例えば反射防止膜にてほぼ反射される波長に設定し、第２の検査光は、例えば反射防止膜をほぼ透過する波長に設定すれば、光学素子の外部（光学窓の上面または光学窓の上方）および光学素子の内部に異物が存在する場合、第１の検査光を照射して撮影される光学素子の第１の画像には、光学素子の外部に存在する異物が含まれ、光学素子の内部に存在する異物は含まれない。一方、第２の検査光を照射して撮影される光学素子の第２の画像には、光学装素子の外部および内部に存在する異物が含まれる。
【００５２】
そこで、第２の画像から第１の画像を差し引いた第１の差分画像を取得すれば、第１の差分画像には光学素子の内部に存在する異物のみが含まれる。これにより、光学素子の内部における異物の有無を検査することができる。
【００５３】
本発明の光学装置の検査方法は、請求項１または２に記載の光学装置の前記光学窓から前記光学装置の内部へ向かう方向へ、前記第１および第２の検査光を照射する照明工程と、前記光学窓に対向する方向から前記光学装置を撮影し、前記第１の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第１の画像を取得し、前記第２の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第２の画像を取得する撮影工程と、前記第１の画像および前記第２の画像から、前記光学装置の内部での異物の有無を判定する判定工程とを備えていることを特徴としている。
【００５４】
上記の構成によれば、上記の光学装置の検査装置と同様の作用効果を奏する。
【００５５】
本発明の光学装置の検査方法は、請求項３または４に記載の光学装置の前記光学窓から前記光学装置の内部へ向かう方向へ、前記第１および第２の検査光を照射する照明工程と、前記光学窓に対向する方向から前記光学装置を撮影し、前記第１の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第１の画像を取得し、前記第２の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第２の画像を取得する撮影工程と、前記第１の画像および前記第２の画像から前記光学装置の内部での異物の有無を判定する判定工程とを備えていることを特徴としている。
【００５６】
上記の構成によれば、上記の光学装置の検査装置と同様の作用効果を奏する。
【００５７】
本発明の光学装置の検査方法は、請求項３または４に記載の光学装置の前記光学窓から前記光学装置の内部へ向かう方向へ、前記第１、第２および第３の検査光を照射する照明工程と、前記光学窓に対向する方向から前記光学装置を撮影し、前記第１の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第１の画像を取得し、前記第２の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第２の画像を取得し、前記第３の検査光が照射された状態にて前記光学装置を撮影して第３の画像を取得する撮影工程と、前記第１の画像および前記第２の画像から前記光学装置の内部での異物の有無を判定し、前記第２の画像および前記第３の画像から前記光学素子の内部での異物の有無を判定する判定工程とを備えていることを特徴としている。
【００５８】
上記の構成によれば、上記の光学装置の検査装置と同様の作用効果を奏する。
【００５９】
本発明の光学装置の検査方法は、請求項５に記載の光学素子の前記入射面から前記光学素子の内部へ向かう方向へ、前記第１および第２の検査光を照射する照明工程と、前記入射面に対向する方向から前記光学素子を撮影し、前記第１の検査光が照射された状態にて前記光学素子を撮影して第１の画像を取得し、前記第２の検査光が照射された状態にて前記光学素子を撮影して第２の画像を取得する撮影工程と、前記第１の画像および前記第２の画像から、前記光学素子の内部での異物の有無を判定する判定工程とを備えていることを特徴としている。
【００６０】
上記の構成によれば、上記の光学素子の検査装置と同様の作用効果を奏する。
【発明の効果】
【００６１】
本発明の構成によれば、光学装置や光学素子における異物の存在および異物の位置の検出が容易である。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の実施形態の検査装置の構成を示すブロック図である。
【図２】図２の（ａ）は、図１に示した光学装置の縦断面図である。図２の（ｂ）は、図２の（ａ）に示した光学装置の上面から赤色光を照射した場合に図１に示したカメラにて撮影される異物を示す説明図である。図２の（ｃ）は、図２の（ａ）に示した光学装置の上面から青色光を照射した場合に図１に示したカメラにて撮影される異物を示す説明図である。
【図３】図２の（ａ）に示した光学装置における入射光の波長と反射率との関係を示すグラフである。
【図４】本発明の他の実施形態の光学装置の縦断面図である。
【図５】図４に示した光学装置における入射光の波長と反射率との関係を示すグラフである。
【図６】従来の光学装置の構成を示す縦断面図である。
【図７】図６に示した光学装置における入射光の波長と反射率との関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００６３】
〔実施形態１〕
本発明の実施形態を図面に基づいて以下に説明する。
【００６４】
（検査装置１の構成）
図１は、本実施形態の検査装置の構成を示すブロック図である。図１に示すように、検査装置１は、カメラ（撮影部）１１、照明装置（照明部）１２、制御部１３、記憶部１４および判定部１５を備えている。
【００６５】
カメラ１１は、従来周知の撮像装置であり、例えばＣＣＤカメラからである。カメラ１１は、光学装置２を上面側から撮影し、光学装置２の画像（画像データ）を取得する。取得した画像は記憶部１４へ格納する。この場合、カメラ１１は、照明装置１２が照射する複数の複数の色ごとに光学装置２の画像を取得する。
【００６６】
照明装置１２は、例えば、カメラ１１の周囲にリング状に設けられたものである。照明装置１２は、複数の色のＬＥＤ照明を備え、カメラ１１が撮影するときに、被写体である光学装置２に照射する照明の色をその都度選択できるようになっている。本実施形態において、照明装置１２は、赤色光（第１の可視光（第１の検査光））および青色光（第２の可視光（第２の検査光））を照射できるようになっている。
【００６７】
制御部１３は、検査装置１の各部の動作を制御し、カメラ１１が取得した光学装置２の画像を記憶部１４に記憶させる。記憶部１４は、例えば半導体メモリからなる記憶装置である。
【００６８】
判定部１５は、記憶部１４が記憶している光学装置２の複数の画像を比較し、光学装置２における異物の有無、異物が存在する場合の異物の位置（光学装置２のどこに異物が存在するか）、並びに異物のサイズおよび形状を求める。
【００６９】
（光学装置２の構成）
図２の（ａ）は、図１に示した光学装置２の縦断面図である。図２の（ｂ）は、光学装置２の上面から赤色光を照射した場合に図１に示したカメラ１１にて撮影される異物を示す説明図である。図２の（ｃ）は、光学装置２の上面から青色光を照射した場合に図１に示したカメラ１１にて撮影される異物を示す説明図である。図３は、光学装置２における入射光の波長と反射率との関係を示すグラフである。
【００７０】
図２の（ａ）に示すように、光学装置２は、例えば方形の容器状の筐体部２２の底部に光学素子２１が固定されている。筐体部２２の上には蓋部２３が接合され、これにより光学装置２の内部が封止されている。蓋部２３には、光学素子２１への入射光を透過する光学窓２３ａが形成されている。
【００７１】
光学窓２３ａの上面には、窓部反射防止膜（第１の反射防止膜）２４が設けられ、光学窓２３ａの下面には、窓部反射防止膜（第１の反射防止膜）２５が設けられている。窓部反射防止膜２４，２５は、光学装置２が使用する信号光（第１の波長の光）については、反射率が低くなっており、可視光（検査光）に対しては、反射率が高くなっている。
【００７２】
本実施形態において、信号光は、波長が例えば１５５０ｎｍ付近の光である。可視光については、第１の可視光（第１の検査光）と第２の可視光（第２の検査光）とを使用する。第１の可視光は、波長が７７０ｎｍ付近の赤色光である。第２の可視光は、波長が４５０ｎｍ付近の青色光である。したがって、光学装置２が備える窓部反射防止膜２４，２５の波長特性をまとめると次のようになる。
【００７３】
信号光：（例）波長１５５０ｎｍ付近の光、反射率が低、窓部反射防止膜２４，２５を透過（光学装置３の内部へ入射）
赤色光：第１の可視光（第１の検査光）、（例）波長７７０ｎｍ付近の光、窓部第反射防止膜２４，２５にて反射
青色光：第２の可視光（第２の検査光）、（例）波長４５０ｎｍ付近の光、窓部反射防止膜２４，２５を透過
なお、窓部反射防止膜２４，２５の具体的な反射率は、例えば、信号光に対する反射率が１％以下であり、赤色光（第１の検査光）に対する反射率が８０％以上であり、青色光（第２の検査光）に対する反射率が４０％以下である。
【００７４】
また、ここでは窓部反射防止膜２４，２５を同じ特性のものとしているが、窓部反射防止膜２４は、窓部反射防止膜２５よりも可視光の反射率が高くなっていてもよい。また、信号光の波長は、１５５０ｎｍに限らず、光学装置２において実際に使用される信号光の波長であればよい。また、窓部反射防止膜２４，２５は、いずれも必要であるものの、赤色光（第１の検査光）および青色光（第２の検査光）に対する反射特性は、いずれか一方のみが有していればよい。
【００７５】
上記の構成において、検査装置１による光学装置２の検査工程（異物検出工程）を含む光学装置２の製造工程について以下に説明する。
【００７６】
（光学装置２の製造工程）
光学装置２の製造工程では、筐体部２２の底部に光学素子２１を固定した状態とする。この状態において、筐体部２２の上に蓋部２３を配置し、蓋部２３を筐体部２２に接合して光学装置２を封止する前に、検査装置１により光学装置２の内部における異物の有無を検査する。
【００７７】
検査装置１による検査の結果、光学装置２の内部に異物が存在しなければ、蓋部２３を筐体部２２に接合して、光学装置２を封止する。一方、光学装置２の内部に異物が存在すれば、筐体部２２から蓋部２３を取り外し、光学装置２の内部を清掃して異物を除去した後、蓋部２３を筐体部２２に接合して光学装置２を封止する。なお、光学装置２の内部の清掃後、蓋部２３を筐体部２２に接合する前に、検査装置１による検査を再度行ってもよい。
【００７８】
また、蓋部２３の上に載っている異物は後から除去が可能なため、ここでは問題とならない。すなわち、光学窓２３ａの内面や光学素子２１の上面すなわち入射面に付着している異物のみを検出すればよい。
【００７９】
（光学装置２の検査工程）
検査装置１の光学系すなわちカメラ１１は、被写界深度が深く設定され、光学窓２３ａの外面から光学素子２１の入射面までを合焦状態にとして撮影が可能なものである。カメラ１１による撮影範囲は、光学窓２３ａの全域を含むことが望ましいが、光学窓２３ａよりも狭い範囲しか撮影できない場合は、カメラ１１あるいは光学装置２を移動させて、光学装置２の撮影を繰り返すことにより光学窓２３ａの全域を撮影する。
【００８０】
検査においては、カメラ１１と光学装置２との位置関係を調整した後、まず、照明装置１２から赤色光（第１の検査光）を光学装置２に照射し、カメラ１１にて光学装置２を撮影して第１の画像を取得する。制御部１３は、第１の画像を記憶部１４に格納する。
【００８１】
次に、検査装置１の位置および光学装置２の位置等の一切の位置を変更することなく、照明装置１２から青色光（第２の検査光）を光学装置２に照射し、カメラ１１にて光学装置２を撮影して第２の画像を取得する。制御部１３は、第２の画像を記憶部１４に格納する。なお、赤色光を照射して取得する第１の画像と青色光を照射して取得する第２の画像との取得順序はどちらが先であってもよい。
【００８２】
次に、判定部１５は、記憶部１４に格納されている第１の画像と第２の画像とを比較して、光学装置２内における異物の有無、並びに光学装置２内に異物が存在する場合に、異物のサイズおよび形状を求める。
【００８３】
この場合、赤色光は、窓部反射防止膜２４にて反射される。一方、青色光は、窓部反射防止膜２４および窓部反射防止膜２５を透過して、光学素子２１の表面に照射される。したがって、図２の（ａ）に示すように、光学装置２の内部に異物３１および３３が存在し、光学窓２３ａの外面（光学装置２の上面）に異物３２が存在する場合、赤色光を照射して撮影された第１の画像には、図２の（ｂ）に示すように、異物３２のみが含まれる。一方、青色光を照射して撮影された第２の画像には、図２の（ｂ）に示すように、異物３１〜３３が含まれる。
【００８４】
そこで、判定部１５は、第２の画像（第２の画像データ）から第１の画像（第１の画像データ）を差し引く演算を行って差分画像（差分画像データ）を取得する。図２の（ａ）〜（ｃ）の例では、差分画像に異物３１，３３が含まれるので、判定部１５は、光学装置２の内部に異物が存在すると判定する。一方、差分画像に異物が含まれていない場合、判定部１５は、光学装置２の内部に異物が存在しないと判定する。また、判定部１５は、光学装置２の内部に異物が存在する場合、異物の座標から異物のサイズおよび形状を求める。検査装置１は、判定部１５による判定結果を異物の検出結果として出力する。
【００８５】
（検査装置１の利点）
本実施形態の検査装置１では、検査対象の光学装置２に合わせてカメラ１１の焦点位置を変更することなく、光学装置２の光学窓２３ａの外面から光学素子２１の入射面までの間における異物の有無を検査することができる。これにより、検査装置１は、光学装置２内部の異物の有無の検査のための構成が単純になり、かつこの検査に要する時間を短縮することができる。
【００８６】
光学装置２の光学窓２３ａの外面から光学素子２１の入射面までの間における異物の有無について、カメラ１１により異物に合焦した状態にて異物を観察することができるので、カメラ１１が取得した光学装置２の画像から、異物のサイズおよび形状を高精度に検出することができる。
【００８７】
ここで、異物を検出した場合であっても、実際には、異物のサイズや形状によって、異物の存在が問題にならない場合と、異物の存在が問題になり、異物の除去が必要な場合とがある。例えば、異物の長辺（長い方の辺）の長さは、所定の閾値以上（Ａｍｍ以上）を不可、所定の閾値未満（Ａｍｍ未満）を可とするような場合である。したがって、被写界深度の深い光学系により、異物のサイズおよび形状を検出することは、このような事情に対応することができる。
【００８８】
なお、検査装置１では、照明装置１２が光学装置２へ照射する光は、赤色光（第１の可視光（第１の検査光））、および青色光（第２の可視光（第２の検査光））とし、窓部反射防止膜２４，２５は、可視光の反射率が高く、青色光の反射率が赤色光の反射率よりも低い構成とした。しかしながら、照明装置１２が光学装置２へ照射する検査光（第１の検査光および第２の検査光）は、赤色光および青色光に限定されない。すなわち、検査光（第１の検査光および第２の検査光）は、信号光の波長以外の波長の光であって、第１の検査光が窓部反射防止膜２４，２５での反射率が高く、第２の検査光が窓部反射防止膜２４，２５での反射率が低いものであればよい。この場合、窓部反射防止膜２４，２５の反射率を第１および第２の検査光に合わせて設定してもよい。
【００８９】
また、カメラ１１が撮影する画像には、照明装置１２の映り込みが起こり易くなるため、照明装置１２の光を拡散板を介して光学装置２へ照射するようにしてもよい。
【００９０】
〔実施形態２〕
本発明の他の実施形態を図面に基づいて以下に説明する。
【００９１】
（検査装置１の構成）
本実施形態において、照明装置１２は、複数の色のＬＥＤ照明を備え、赤色光（第１の可視光（第１の検査光））および青色光（第２の可視光（第２の検査光））に加えて、緑色光（第３の可視光（第３の検査光））を光学装置２に照射する。緑色光は、波長が５３０ｎｍ付近の光である。
【００９２】
第１から第３の検査光に対応し、カメラ１１は、赤色光による第１の画像、および青色光による第２の画像に加えて、緑色光による第３の画像を取得する。また、判定部１５は、記憶部１４が記憶している光学装置２の第１の画像、第２の画像および第３の画像を比較し、光学装置３における異物の有無、異物が存在する場合の異物の位置（光学装置３のどこに異物が存在するか）、並びに異物のサイズおよび形状を求める。
【００９３】
（光学装置３の構成）
図４は、本実施形態の光学装置３の縦断面図である。図５は、光学装置３における入射光の波長と反射率との関係を示すグラフである。
【００９４】
光学装置３は、光学装置２が備える窓部反射防止膜２４，２５に加えて、素子部反射防止膜（第２の反射防止膜）２６を備えている。素子部反射防止膜２６は、光学素子２１の入射面に設けられている。このように、光学素子２１が例えばフォトディテクタ（ＰＤ）や液晶光スイッチ素子（ＬＣＯＳ(Liquid crystal on silicon)）である場合には、光学素子２１の入射面に反射防止膜が設けられることがある。光学装置３の他の構成は、光学装置２と同様である。
【００９５】
素子部反射防止膜２６は、赤色光（第１の可視光（第１の検査光））および青色光（第２の可視光（第２の検査光））を反射する一方、信号光および緑色光（第３の可視光（第３の検査光））を透過する。したがって、光学装置３が備える窓部反射防止膜２４，２５および素子部反射防止膜２６の波長特性は次のようになる。
【００９６】
信号光：（例）波長１５５０ｎｍ付近の光、反射率が低、窓部反射防止膜２４，２５および素子部反射防止膜２６を透過（光学装置３の内部へ入射）
赤色光：第１の可視光（第１の検査光）、（例）波長７７０ｎｍ付近の光、窓部第反射防止膜２４，２５にて反射
青色光：第２の可視光（第２の検査光）、（例）波長４５０ｎｍ付近の光、窓部反射防止膜２４，２５を透過、素子部反射防止膜２６にて反射
緑色光：第３の可視光（第３の検査光）、（例）波長５３０ｎｍｎｍ付近の光、窓部反射防止膜２４，２５および素子部反射防止膜２６を透過（光学素子２１の内部へ入射）
なお、窓部反射防止膜２４，２５の具体的な反射率は、例えば、信号光に対する反射率が１％以下であり、赤色光（第１の検査光）に対する反射率が８０％以上であり、青色光（第２の検査光）に対する反射率が４０％以下である。また、素子部反射防止膜２６の具体的な反射率は、例えば、青色光に対する反射率が８０％以上であり、緑色光に対する反射率が４０％以下である。
【００９７】
（光学装置３の検査工程）
上記の構成において、検査装置１による光学装置３の検査工程（異物検出工程）について以下に説明する。
【００９８】
検査装置１では、光学装置２の場合と同様にして、光学装置３内における異物の有無、並びに光学装置２内に異物が存在する場合に、異物のサイズおよび形状を求める。
【００９９】
また、青色光（第２の検査光）は、光学素子２１の入射面の素子部反射防止膜２６にて反射されるので青色光を照射した状態での光学装置３の撮影では、光学素子２１の内部を観察できない。そこで、本実施形態において、検査装置１は、緑色光（第３の検査光）を照射し、カメラ１１にて光学装置３を撮影して光学装置３の第３の画像（光学素子２１の内部の画像）を取得する。制御部１３は、第３の画像を記憶部１４に格納する。
【０１００】
次に、判定部１５は、記憶部１４に格納されている第２の画像と第３の画像とを比較して、光学素子２１内における異物の有無を求める。
【０１０１】
この場合、図４に示すように、光学素子２１の入射面に異物３５，３６が存在すれば、青色光を照射して撮影された第２の画像には、異物３５，３６が含まれる。また、光学素子２１の内部に異物３４が存在すれば、緑色光を照射して撮影された第３の画像には、異物３４〜３６が含まれる。
【０１０２】
そこで、判定部１５は、第３の画像（第３の画像データ）から第２の画像（第２の画像データ）を差し引く演算を行って第２の差分画像（差分画像データ）を取得する。図４の例では、第２の差分画像に異物３４が含まれるので、判定部１５は、光学素子２１の内部に異物が存在すると判定する。一方、第２の差分画像に異物が含まれていない場合、判定部１５は、光学素子２１の内部に異物が存在しないと判定する。また、判定部１５は、光学素子２１の内部に異物が存在する場合、異物の座標から異物のサイズおよび形状を求める。検査装置１は、判定部１５による判定結果を異物の検出結果として出力する。
【０１０３】
（検査装置１の利点）
本実施形態の検査装置１では、光学装置３の内部における異物の有無に加えて、光学素子２１の内部における異物の有無を検査することができる。光学装置３の他の利点は、光学装置２と同様である。
【０１０４】
なお本実施形態では、光学素子２１を光学装置２の内部に収納した状態にて光学素子２１の内部における異物の有無を検査した。しかしながら、光学素子２１を光学装置２に収納する前の状態にて、照明装置１２から光学素子２１に対して直接に青色光（ここでは第１の検査光）を照射して光学素子２１を撮影することにより、光学素子２１の画像（ここでは第１の画像）を取得し、照明装置１２から光学素子２１に対して直接に緑色光（ここでは第２の検査光）を照射して光学素子２１を撮影することにより、光学素子２１の画像（ここでは第２の画像）を取得し、これら第１の画像および第２の画像から光学素子２１内における異物の有無を判定してもよい。この場合の検査方法は、光学装置２，３に対して行ったものと同様である。また、ここでは画像の比較から光学素子２１内部の異物を検知する方法について述べているが、光学素子２１内部に正常品と比較して異常がないかを検査したい場合は、第３の検査光を照射して撮影された第３の画像単体を利用することができる。
【０１０５】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【符号の説明】
【０１０６】
１    検査装置
２    光学装置
３    光学装置
１１    カメラ（撮影部）
１２    照明装置（照明部）
１３    制御部
１４    記憶部
１５    判定部
２１    光学素子
２２    筐体部
２３    蓋部
２３ａ  光学窓
２４    窓部反射防止膜（第１の反射防止膜）
２５    窓部反射防止膜（第１の反射防止膜）
２６    素子部反射防止膜（第２の反射防止膜）
31〜36    異物
【図１】
2017111092.tif 000003
【図２】
2017111092.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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