(57)【要約】【課題】可動部材を高精度に所定位置まで移動することが可能で、小型・軽量化が可能な手振れ補正装置を提供する。【解決手段】第１の固定部2と、第１の固定部2に組み付けられる第２の固定部5と、光軸方向に沿って第１の固定部2と第２の固定部5との間に配置され、光軸と直交する面内で回動可能に支持される、補正レンズを保持する可動部3と、第１の固定部2(可動部3でもよい)に設置されるハルバッハ配列を有する３個の駆動磁石61a、61b、61c及び駆動コイル62a、62b、62cを有する、複数のボイスコイルモータを6a、6b、6c有し、  第１の固定部2は、光軸方向から見て駆動磁石61a、61b、61cの外周側の一部に当設し、駆動磁石より薄い壁部25a、25b、25cを有する第１の固定枠20を有すると共に、第１の固定枠20は、各壁部の上部に接着剤溜26a、26b、26cを有する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部と、光軸方向に沿って固定部と配置され、光軸と直交する面内で回動可能に支持される、補正レンズを保持する可動部と、前記固定部又は前記可動部に設置されるハルバッハ配列を有する３個の駆動用磁石及び駆動用コイルを有する、複数のボイスコイルモータを有し、
前記固定部又は前記可動部は、光軸方向から見て前記駆動磁石の外周側の一部に当設し、前記駆動用磁石より薄い壁部を有すると共に、前記壁部の上部に接着剤溜を有する、ことを特徴とする手振れ補正装置。
【請求項２】
前記接着剤溜にアクリル系接着剤（より好ましくは嫌気性接着剤）を充填することを特徴とする請求項１に記載の手振れ補正装置。
【請求項３】
前記固定部又は前記可動部に設置される、光軸方向から見て前記各ボイスコイルモータの中間に設置される複数の検出用磁石と、前記検出用磁石に対向する磁界検出素子を有する複数の位置検出部を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の手振れ補正装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固定部に対して可動部を移動させるボイスコイルモータと磁界検出素子を含む位置検出部材を備えた手振れ補正装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
精密機器、例えばデジタルカメラなどの撮像用光学機器では、撮影レンズの長焦点化や高倍率ズーム化に伴い、高画質の写真を撮影するために、カメラボディーや交換レンズに例えば光学式手振れ補正装置を搭載することが一般的になっている。光学式手振れ補正装置では、光軸と垂直な平面上で補正レンズ又は撮像素子をボイスコイルモータ（以下「ＶＣＭ」という。）により二次元方向に移動させるとともに、位置検出装置を搭載して、サーボ制御することが一般的である。
【０００３】
例えば特許文献１には、振れ補正レンズを保持するシフト枠とシフトベースとの間に転動可能なボールを挟持し、可動コイル形のボイスコイルモータにより、シフト枠を光軸直交面内でピッチ方向及びヨー方向に駆動し、ボイスコイルモータを構成する磁石とヨークとの間に作用する磁気的な吸引力により、シフト枠をベース側へ付勢するとともに、シフト枠に固定された検出用磁石とシフトベースに固定されたホール素子を含む位置検出手段を備えた像振れ補正装置が記載されている。
【０００４】
ただ特許文献１に記載された像振れ補正装置は、光軸方向から見てボイスコイルモータのコイルと検出用磁石が重なるように配置されているので、コイルの磁界の影響を受けて、位置検出精度が低下するといった問題がある。又、光軸方向で位置検出磁石と駆動磁石は重なるように配置されており、可動する位置検出磁石と固定側の駆動磁石の間には常に磁気的吸引力が働いており、その磁気的吸引力は可動部の位置を光軸中心位置に保持しようとする力であり、像振れ補正する本来の制御動作の際には可動部の動きを阻害するといった問題もある。更に、磁石同士の吸引力は非常に強いため、可動部のシフトベースに対する吸引保持力を調整する場合には、位置検出磁石と駆動磁石の光軸方向の距離は遠ざけざるを得ず、その結果厚み方向の寸法が大きくなり、小型化できないといった問題も生じ得る。
【０００５】
最近の手振れ補正装置では、補正効果（シャッター速度の段数）の向上と大口径レンズの使用及び小型化が必要となる。しかるに単純にVCMを使用しても推力の向上は困難で、小型ができない。そこで、レンズ駆動手段として、ハルバッハ配列を有する磁気回路構造を有するVCMを使用することが考えられる。ハルバッハ配列を有する駆動手段は、例えば特許文献２に記載されている。
【０００６】
特許文献２には、バックヨークやハブ等の磁石固定部材を不要とし、ムービングマグネット形のリニアモータの可動子を軽量化することために、可動子は、固定子に垂直な方向に磁化された直方体状の主磁極永久磁石と可動子の移動方向に磁化されて磁束を流通させる直方体状の補磁極永久磁石とを、移動方向に沿って交互に配列するハルバック配列により、少なくとも３個以上の奇数個配列した平盤状の多極界磁磁極と、平盤状の多極界磁磁極の側面及び移動方向端面を保持する非磁性ホルダと、を備え、平盤状の多極界磁磁極には、移動方向端面間を貫通する複数の貫通孔が形成され、非磁性ホルダには、複数の貫通孔に対向する夫々の穴が形成され、多極界磁磁極の前記貫通孔を貫通して移動方向端面から突出する締結棒の端部が、非磁性ホルダの穴に嵌合されていることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許第４００６１７８号公報
【特許文献２】特許第５３００３２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかるにハルバッハ配列形の磁気回路を構成しようとすると、磁化方向が異なる永久磁石を組み合わせるために、同極反発作用に起因して永久磁石が磁石固定部からが浮き上がるという不具合がある。半導体製造装置のように大型のリニアモータでは、治具などを用いて磁気回路を組み立てることができるので、磁石の浮き上がりを防止できるが、手振れ補正装置のような小型の精密機器では磁石の浮き上がり防止は困難となる。
【０００９】
したがって本発明の目的は、推力を向上しかつ可動部を高精度で所定位置まで直線的に移動することが可能で、かつ小型・軽量化が可能な手振れ補正装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の手振れ補正装置は、
固定部と、光軸方向に沿って前記固定部と対向して配置され、光軸と直交する面内で回動可能に支持される、補正レンズを保持する可動部と、前記固定部又は前記可動部に設置されるハルバッハ配列を有する３個の駆動用磁石及び駆動用コイルを有する、複数のボイスコイルモータを有し、
前記固定部又は前記可動部は、光軸方向から見て前記駆動用磁石の外周側の一部に当設し、前記駆動用磁石より薄い壁部を有すると共に、前記壁部の上部に接着剤溜を有する、
ことを特徴とするものである。
【００１１】
本発明において、前記接着剤溜の少なくとも一部にアクリル系接着剤（より好ましくは嫌気性接着剤）を充填することが好ましい。
【００１２】
本発明において、前記固定部及び前記可動部に複数の位置検出部を構成する部材を設け、前記位置検出部は検出用磁石及びそれに対向する磁界検出素子を有することができる。
【００１３】
本発明において、前記固定部は、バックヨークを介して前記駆動用磁石と前記磁界検出素子が設置される第１の固定枠とこの固定枠との間に前記可動部が配置される第２の固定枠を含み、前記可動部は、前記駆動用コイルと前記検出用磁石を有することができる。
【００１４】
本発明において、前記位置検出用磁石及び前記磁界検出素子は軸方向から見て、円周方向に沿って等角度間隔で配置することが好ましい。
【００１５】
本発明において、前記球状体は、軸方向からみて、前記駆動用磁石と重ならない位置に設置されることが好ましい。
【００１６】
本発明において、前記第２の固定部に固設され、前記駆動用磁石から発生する磁束が流入する対向ヨークと前記検出用磁石から発生する磁束が流入する吸引ヨークとを設けることができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、可動部材を高速で所定の位置まで移動できるとともに、小型・軽量化が可能な手振れ補正装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施の形態に係わる手振れ補正装置の分解斜視図である。る
【図２】図１に示す手振れ補正装置における第１の固定部を示す分解斜視図である。
【図３】図１に示す手振れ補正装置における可動部を示す分解斜視図である。
【図４】図１に示す手振れ補正装置における第２の固定部を示す分解斜視図である。
【図５】図１に示す手振れ補正装置の主要部材の位置関係を示すための概略平面図である。
【図６】図１に示す手振れ補正装置の断面図（図２のＡ−Ａ線断面図に相当）である。
【図７】図６の拡大図である。
【図８】比較例に係わる手振れ補正装置の断面図（図６の一部を変更）である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明の詳細を添付図面により説明する。
【００２０】
＜第１の実施の形態＞
【００２１】
手振れ補正装置１は、図１に示すように、第１の固定部２と、そこに固定された第２の固定部５を含む固定部１０と、第１の固定部２と第２の固定部５との間に介装された円環状の可動部３と、可動部３を中心軸と直交する面内で摺動自在に支持する複数（例えば３つ）の球状体（例えば鋼球）４ａ、４ｂ、４ｃを有する。この手振れ補正装置１は、図示しない光学素子（例えば補正レンズ）を有する可動部３を中心軸（Ｚ軸、本例では光軸）に対して垂直な面内で駆動するために、駆動用磁石６１ａ、６１ｂ、６１ｃ及び駆動用コイル（空心コイル）６２ａ、６２ｂ、６２ｃを有する３つの可動コイル形のボイスコイルモータ（以下「ＶＣＭ」という）６ａ、６ｂ、６ｃを有する。駆動用コイル６２ａ、６２ｂ、６２ｃはフレキシブルプリント基板（以下「ＦＰＣ」という）９（図３参照）を介して制御回路（不図示）に接続されている。ＶＣＭは可動磁石形でもよく、また２個でもよい。
【００２２】
この手振れ補正装置１は、可動部３の移動量を検出するために、磁界検出素子８０ａ、８０ｂ、８０ｃ及び検出用磁石８１ａ、８１ｂ、８１ｃを有する位置検出部８ａ、８ｂ、８ｃ（図３参照）を有する。磁界検出素子８０ａ、８０ｂ、８０ｃはＦＰＣ７を介して制御回路（不図示）に接続されている。検出用磁石は省略することができる（駆動用磁石で兼用してもよい）。
【００２３】
図５に示すように、上記の手振れ補正装置１においては、ＶＣＭ６ａ、６ｂ、６ｃは、軸方向から見て、円周方向に沿って等角度間隔（１２０°）をおいて配置されるとともに、位置検出部８ａ、８ｂ、８ｃは、円周方向に沿って各ＶＣＭの中間に位置しかつ等角度間隔（１２０°）をおいて配置される。本例では、球状体４ａ、４ｂ、４ｃは、軸方向から見て駆動用磁石と重ならない位置（ＶＣＭと位置検出部の間）に配置される。
【００２４】
図２〜８も含めて手振れ補正装置１の各部の詳細を説明する。
【００２５】
図２に示すように（図５も参照）、第１の固定部２は、支持板部２１と、第２の固定部５を支持するためのフランジ部２２からなる円環状の固定枠２０を有する。支持板部２１は、円周方向に沿って等角度間隔（１２０°）をおいて形成された、駆動用磁石保持部２３ａ、２３ｂ、２３ｃ及び球状体４ａ、４ｂ、４ｃの一部が入り込む深さを有する円環部２４ａ、２４ｂ、２４ｃを有する。駆動用磁石保持部２３ａ、２３ｂ、２３ｃには、強磁性体（例えば鉄鋼材料）からなるバックヨーク６３ａ、６３ｂ、６３ｃ及び駆動用磁石６１ａ、６１ｂ、６１ｃが設置される。駆動用磁石は、公知の永久磁石で形成することができるが、少ない消費電力で高推力を得るために、希土類焼結磁石（例えば希土類・鉄・ボロン系磁石）で形成することが好ましい。ＦＰＣ７は、円環部から放射状に延出する受部７０ａ、７０ｂ，７０ｃを有する。磁界検出素子８０ａ、８０ｂ、８０ｃは、受部７０ａ、７０ｂ，７０ｃに実装された状態で支持板部２１に設置される。
【００２６】
本発明では、図５及び図６に示すように、各磁石は、厚さ方向に磁化された一対の永久磁石と、これらの永久磁石と磁化方向が異なる（例えば直交）永久磁石からなる、ハルバッハ配列の磁気回路を構成する。すなわち一対の永久磁石は、異なる極性の磁極が駆動用磁石の表面に対向するとともに、磁化方向が異なる他の永久磁石は、同極性の磁極が一対の永久磁石を構成する永久磁石の磁極と隣接するように配置される。このハルバッハ配列により、駆動用磁石の表面（駆動用コイルに対向する側）では、各磁極に磁束が集中するので、磁気ギャップの磁束密度が向上し、もってＶＣＭの推力を向上することができる。
【００２７】
さらに本発明では、各永久磁石は、特定の接着剤を用いて、かつ特定の構造で固定枠２０に固着される。図７のハルバッハ配列では、永久磁石６１１ｂのＮ極と永久磁石６１３ｂのＮ極（永久磁石６１３ｂのＳ極と永久磁石６１２ｂのＳ極）とが反発するので、この反発力を抑えこむことが必要となる。そこでアクリル系で好ましくは嫌気性を有する（紫外線硬化型でもよい）接着剤を使用することにより、接着強度を向上することができる。また図７に示すように、各駆動用磁石を構成する時に、厚さ方向に磁化した永久磁石６１１ｂ及び６１２ｂの外側に壁部２５ｂを当接し、壁部２５ｂの厚さ（ｔ２）を永久磁石の厚さ（ｔ１）の１／２程度とすることに加え、壁部の上に接着剤溜り２６ｂを設けてそこの少なくとも１部に接着剤を充填し、各永久磁石とバックヨーク６３ｂの間にも接着剤を介在させる。接着剤溜り２６ｂの厚さｔ３は、駆動用磁石６１ｂの厚さｔ１の半分以下でよい。これにより、永久磁石６１１ｂ及び６１２ｂが浮き上がるのを防止することができる。
【００２８】
図３（図１を下から見た図）に示すように、可動部３は、光学素子（例えば補正レンズ、図示を省略）の外周縁を保持する円筒部３１を含む可動枠３０を有する。可動枠３０は、平板部の外周側に形成された各一対のコイル保持部３２ａ、３２ｂ、３２ｃと球状体の一部が入り込む深さを有する円環部３３ａ、３３ｂ、３３ｃと検出用磁石８１ａ、８１ｂ、８１ｃ及びバックヨーク８２ａ、８２ｂ、８２ｃを保持する検出用磁石保持部３４ａ、３４ｂ、３４ｃを有する。各検出用磁石は、厚さ方向に磁化されかつ半径方向に沿って異極性の磁極が並ぶように配置される。コイル保持部、円環部及び検出用磁石保持部はいずれも、軸方向から見て等角度間隔（１２０°）をおいてかつ検出用磁石８１ａ、８１ｂ、８１ｃと円環部３３ａ、３３ｂ、３３ｃが円周方向に沿って交互に並ぶように構成されている。各円環部３３ａ、３３ｂ、３３ｃは、球状体４ａ、４ｂ、４ｃが所定範囲で転動できるような大きさに形成される。また各コイル保持部３２ａ、３２ｂ、３２ｃには、ＶＣＭ６ａ、６ｂ、６ｃの可動子を構成する、偏平な空芯コイルである駆動用コイル６２ａ、６２ｂ、６２ｃの空心部が嵌装される。
【００２９】
検出用磁石としては、公知の永久磁石を使用することができるが、可動部に設置されるので、軽量化を図るために、永久磁石粉末（表面を樹脂で被覆してもよい）と、この希土類磁石粉末を樹脂又はゴム等の高分子材料で結合した希土類ボンド磁石を使用してもよい。但し磁界検出素子（例えばホール素子）の出力電圧は低下するので、電気的に増幅すればよい。検出用磁石の材質は可動部質量の軽量化を図るために希土類ボンド磁石の方が望ましいが、可動部材の質量が大きい場合には、小型の希土類系焼結磁石でも可動部の軽量化を実質的に阻害しないため、実用上の問題はない。
【００３０】
図４に示すように、第２の固定部５は、中空円板状の第２の固定枠５０と、そこに形成されたヨーク保持部５２ａ、５２ｂ、５２ｃに設置された、強磁性体（ＳＳ材等の鉄鋼材料）からなる対向ヨーク５１ａ、５１ｂ、５１ｃを有する。対向ヨークは、厚さが例えば、１〜２ｍｍの範囲に設定され、また吸引ヨーク２７ａ，２７ｂ，２７ｃと同一の大きさとすることができ、大きさが同じであればプレス抜き金型を共用でき、もって製造コストを低減できる。
【００３１】
図６に示すように、対向ヨーク５１ｂ（５１ａ、５１ｃ）は、駆動用磁石６１ｂ（６１ａ、６１ｃ）から発生する磁束が流入する位置に設けられる。対向ヨーク５１ｂ（５１ａ、５１ｃ）と駆動用磁石６１ｂ（６１ａ、６１ｃ）とのギャップを狭くすることにより、漏洩磁束が低減され、且つパーミアンス係数の向上にもなり、ＶＣＭの推力を向上できる。吸引ヨーク２７ａ（２７ｂ、２７ｃ）は、検出用磁石８１ａ（８１ｂ、８１ｃ）から流出する磁束が流入する位置に設けられるので、可動部３は、軸方向に沿って固定部２から遠ざかる方向に磁気的に吸引される。検出用磁石８１ａ（８１ｂ、８１ｂ）と吸引ヨーク２７ａ（２７ｂ、２７ｃ）とのギャップは、例えば検出用磁石の設置位置を変更することにより調整できる。検出用磁石８１ａ（８１ｂ、８１ｃ）と磁界検出素子８０ａ（８０ｂ、８０ｃ）とのギャップは、例えば磁界検出素子の設置位置を変更することにより調整できる。
【００３２】
可動枠３０は、光軸方向から見て第１の固定枠との間に、複数の球状体が介装されるため、可動枠３０は光軸に対して垂直な平面な位置精度を確保することが可能となる。第１の固定枠２０、可動枠３０及び第２の固定枠５０は、非磁性体（例えばエンジニアリングプラスチック）で形成される。
【００３３】
本実施の形態のように、磁界検出素子の中心が推力中心と反転した位置にあると、現在位置の演算が容易となるため、可動部材を目標位置まで速やかに移動させることが可能である。また、磁界検出素子８０ａ、８０ｂ、８０ｃは、駆動用コイル６２ａ、６２ｂ、６２ｃから大きく離れた位置に存在するため、コイルから発生する磁束の影響を受けず（ノイズを伴わずに）、高精度の位置検出が可能となる。
【００３４】
上記の手振れ補正装置１では、各駆動用コイルに供給する電流の極性及び／又は大きさを変えることにより、推力の大きさと向きを調整することができるので、各ＶＣＭに発生する推力を合成することにより、可動部３を中心軸と垂直な面内で任意の方向に駆動することができる。この駆動量を制御回路にフィードバックして、目標位置に可動部材を移動させるサーボ制御を行うことができる。
【００３５】
上記のＶＣＭで可動部材を駆動する場合、可動部３の移動量を検出する位置検出部材８ａ、８ｂ、８ｃが設けられており、可動部３に設置された検出用磁石８１ａ、８１ｂ、８１ｃから発生する磁界を磁界検出素子８０ａ、８０ｂ、８０ｃで検出するので、可動部３の移動量に基づいてフィードバック制御を行うことができる。また第１の固定枠２０には、吸引ヨーク２７ａ、２７ｂ、２７ｃが設けられており、検出磁石から発生する磁束が流入して、検出用磁石と吸引ヨークとの間に磁気吸引力が発生して、可動部３は第１の固定部２側に引きつけられる。即ち、本実施の形態では、検出用磁石８１ａ、８１ｂ、８１ｃは位置検出を行うための磁界発生手段と共に、可動部３を第１の固定部２側に引きつけるための磁界発生手段としての機能も兼ね備えている。
【００３６】
上記の検出用磁石（駆動用磁石も同様）は、厚さ方向に磁化した（単極着磁を施した）一対の平板状の永久磁石であるが、一対の平板状の永久磁石の代りに、厚さ方向に磁化しかつ異極性の磁極が隣接する単一の平板状の永久磁石を使用することができる。
【００３７】
磁界検出素子８０ａ、８０ｂ、８０ｃは各々、可動部３がセンタリングされている初期位置では、その中心が可動部３に固定された検出用磁石８１ａ、８１ｂ、８１ｃの中間（磁極が反転する位置：磁束密度がほぼゼロ）に一致する。したがって各磁界検出素子８０ａ、８０ｂ、８０ｃの表面において、各検出用磁石８１ａ、８１ｂ、８１ｃの一端から他端に向って磁束密度は、検出磁石の中間（ゼロクロス点）を挟んで所定長さの範囲で、磁束密度が直線的に変化する。磁界検出素子は磁束密度に比例した電圧を出力するので、磁石部の寸法及び磁界検出素子と磁石部との距離を適切に設定しておけば、検出用磁石の移動量（磁力変化）に比例した電圧を制御回路に出力することができ、さらに出力電圧のリニアリティーを向上することができるので、高精度の位置決めを行うことができる。
【００３８】
本実施の形態においては、上述したように、中心軸方向に沿って吸引ヨーク、磁界検出素子、検出用磁石、の順に配置されるとともに、中心軸を挟んで、磁界検出素子と点対称となる位置で、バックヨーク、駆動用磁石、可動コイル及び対向ヨークの順に配置されている。このように磁界検出素子は可動コイルに対向せずに、可動コイルから離間した位置に配置されているので、可動コイルから発生する磁束は、磁界検出素子に影響を与えることはない。また吸引ヨークは、検出用磁石から発生する磁束が流入する位置に配置されているので、可動部３はこのヨークに向って磁気的に吸引される。磁気吸引力を可動部の質量に応じた適切な値に設定することにより、可動部２を中心軸と直交する面内で円滑に支持することができる。磁気吸引力の値としては、可動部材の質量の２倍程度であることが好ましく、例えば可動部の質量が約２５〜３０ｇの場合で、５０〜６０ｇｆの範囲にあることが好ましい。
【００３９】
本発明の手振れ補正装置は、例えば、可動部材５の質量が２０〜３０ｇの場合で、推力質量比（最大推力／可動部材の質量）を例えば３．０〜４．０の範囲に収まるように構成することができる。但し推力質量比は４．０以上であってもよい。
【００４０】
可動部をＶＣＭで駆動し、かつ位置検出素子としてホール素子を使用した場合、可動部材の最大移動距離は、例えば初期位置から±（０．５〜１．０）ｍｍの範囲に設定することができる。この移動範囲で、実際の移動量と磁界検出素子の出力電圧に対応する移動量との差（理論直線に対する誤差量）が少ない（リニアリティーが高い）ことが必要であり、例えば磁界検出素子としてホール素子を使用した場合で、理論直線に対する誤差量が０．０４ｍｍ以内に収まることができる。
【００４１】
本実施の形態では、各対向ヨーク５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、各吸引ヨーク２７ａ、２７ｂ、２７ｃ及び各磁界検出素子８０ａ、８０ｂ、８０ｃの軸方向（Ｚ軸方向）の位置を独立して調整できる。したがって、高い推力が得られながら、しかも推力とは無関係に、検出用磁石による磁気吸引力及び磁界検出素子の出力の直線性をそれぞれ最適な値に調整することができる。
【００４２】
上述した通り、本実施の形態によれば、
（１）ハルバッハ配列を有する３個の永久磁石により、駆動磁石を形成するので、推力が向上するとともに、永久磁石を特定の接着剤を用いてかつ特定の構造で固定枠に固着するので、駆動磁石を固定枠に強固に保持できる。
【００４３】
（２）軸方向に沿って、駆動用磁石、駆動用コイル及び対向ヨークを配置して磁気回路を形成するので、消費電力の増大を伴わずに、磁気特性の大なる固定磁石を使用できることになり、推力質量比の増大を図ることができること、及び駆動用磁石とは別に検出用磁石を用いるので、磁界検出素子の出力電圧の直進性を優先して検出用磁石の寸法を設定できるとともに、磁界検出素子を駆動用コイルから発生する磁束が及ばない位置に配置することが可能で、駆動用コイルにより磁界検出素子に与える影響を無くすことができることに加えて、特に次のような効果を奏し得る。
【００４４】
（３）固定部に２つのヨークを駆動用磁石及び検出用磁石に対向する位置に設けるので、可動部材を駆動するためのＶＣＭの発生推力と、可動部材を固定側部材に吸引するための磁気吸引力並びに磁界検出素子の出力の直線性をいずれも独立して（最適な値に）調整することができる。
【００４５】
＜実験例１＞
図６に示す本発明の磁気回路構造と、図８に示す従来の磁気回路構造について、表面磁束密度及び最大推力の比較を行った。図８は、３個の永久磁石をハルバッハ配列から通常の２極配列(厚さ方向に磁化した２個の永久磁石を異極性の磁極は隣接するように配置)に変更した以外は、図６と同様の構造である。実験条件は、駆動用コイルと駆動用磁石との間隔を０．３ｍｍに設定し、線径φ０．１４ｍｍ、250ターン、抵抗１３．９Ωのコイルに５Ｖの直流電圧を印加し、図６では、幅(ｗ１)３．０ｍｍ、長さ(ｌ１:図２参照)１６ｍｍ、厚さ（ｔ１)３ｍｍの希土類焼結磁石（Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系、（ＢＨ）ｍａｘ＝４８ＭＧＯｅ、Ｂｒ＝１．３５〜１．４１Ｔ）を３個（幅は合計で９ｍｍ）使用し、図８では、幅（ｗ２)４．５ｍｍ、長さ(図６と同様)１６ｍｍ、厚さ（ｔ４）３ｍｍの上記と同様の希土類焼結磁石を２個（幅は合計で９ｍｍ）使用した。図８は、３個の永久磁石をハルバッハ配列から通常の２極配列(厚さ方向に磁化した２個の永久磁石を異極性の磁極が隣接するように配置)に変更した以外は、図６と同様の構造である。
【００４６】
図８の磁気回路では、表面磁束密度は０．４８Ｔ、最大推力が７４０ｍＮであるの対し、図６の磁気回路では、表面磁束密度は０．６４Ｔ、最大推力が９５０ｍＮと、大幅な向上が認められた。
【００４７】
＜実験例２＞
図６及び図７に示す磁気回路を組み立てるために、４種類の市販の接着剤[(1)アクリル系瞬間接着剤  ロックタイト4204、(2)常温湿気硬化型シリコーン系接着剤  セメダインSX720B、(3)２液性自然硬化型エポキシ系接着剤  スリーボンドE90-EL、(4)紫外線硬化性アクリル系瞬間接着剤  スリーボンドTB3177、(5)嫌気性紫外線硬化性アクリル系接着剤  スリーボンド  1359G]を使用し、接着強度の評価を行った。
【００４８】
(例１)
各接着剤を塗布後24時間、自然放置した結果、上記(1)及び(2)の接着剤では永久磁石の剥離が発生したが、上記(3)、(4)及び(5)の接着剤では永久磁石の剥離が発生せず、また接着前後の永久磁石の表面磁束密度の変化を±5%以内に収めることができた。
(例２)
上記(3)、(4)、及び(5)の各接着剤を塗布後、70℃、90%RHの高温高湿環境下に168時間放置した結果、(3)及び(4)で永久磁石の剥離が発生し、(5)の接着剤では永久磁石の剥離は発生せず、また接着前後の永久磁石の表面磁束密度の変化を±5%以内に収めることができた。
(例３)
上記(3)、(4)、及び(5)の各接着剤を塗布後、−30°に30分間放置後、70℃に30分間放置を、合計で168時間放置した結果、(3)及び(4)で永久磁石の剥離が発生し、(5)の接着剤では永久磁石の剥離は発生せず、また接着前後の永久磁石の表面磁束密度の変化を±5%以内に収めることができた。
(例４)
上記(4)及び(5)の各接着剤を塗布後24時間、自然放置した後に、振動試験(20〜60Hz、振幅1.0mm、20min.を行った結果、いずれも上記(4)及び(5)の接着剤では永久磁石(3面)の剥離が発生せず、また接着前後の永久磁石の表面磁束密度の変化を±5%以内に収めることができた。
【００４９】
(例５)
上記(4)及び(5)の各接着剤を塗布後24時間、自然放置した後に、落下衝撃試験(重力加速度100G 6面、+200G6面)を行った結果、いずれも上記の接着剤では永久磁石(3面)の剥離が発生せず、また接着前後の永久磁石の表面磁束密度の変化を±5%以内に収めることができた。
上記の全ての試験結果から、本発明では、嫌気性アクリル系接着剤を使用することが好ましく、さらに紫外線硬化型接着剤でもよいことがわかる。
【符号の説明】
【００５０】
１：手振れ補正装置、
１０：固定部
２：第１の固定部、
２０：固定枠、２１：支持板部、２２：フランジ部、２３ａ、２３ｂ、２３ｃ：駆動用磁石保持部、２４ａ、２４ｂ、２４ｃ：円環部、２５ａ、２５ｂ、２５ｃ：壁部、２６ａ、２６ｂ、２６ｃ：接着溜、２７ａ、２７ｂ、２７ｃ：吸引ヨーク
３：可動部、
３０：可動枠、３１：円筒部、３２ａ、３２ｂ、３２ｃ：コイル保持部、３３ａ、３３ｂ、３３ｃ：円環部、３４ａ、３４ｂ、３４ｃ：検出用磁石保持部、
４ａ、４ｂ、４ｃ：球状体、
５：第２の固定部、
５０：第２の固定枠、５１ａ、５１ｂ、５１ｃ：対向ヨーク、５２ａ、５２ｂ、５２ｃ：ヨーク保持部
６ａ、６ｂ、６ｃ：ボイスコイルモータ、
６１ａ、６１ｂ、６１ｃ：駆動用磁石、６２ａ、６２ｂ、６２ｃ：駆動用コイル、６３ａ、６３ｂ、６３ｃ：バックヨーク、
６１１ａ、６１１ｂ、６１１ｃ：駆動用磁石（ハルバッハ配列用）
７、９：フレキシブルプリント基板、
８a、８ｂ、８ｃ：位置検出部、
８０ａ、８０ｂ、８０ｃ：磁界検出素子、
８１ａ、８１ｂ、８１ｃ：検出用磁石、８２ａ、８２ｂ、８２ｃ：検出磁石用バックヨーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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