(57)【要約】      （修正有）【課題】直動部品のストロークの検出精度を向上させたストローク検出装置を提供する。【解決手段】スケール６０によって変化する磁界に応じた信号を出力する磁気検出器５０を備える。磁気検出器５０は、磁束の変化を検出する第１ホール素子５１と、第１磁界Ｍ１を発生させる第１磁石５２と、第２磁界Ｍ２を発生させる第２磁石５３と、を有する。第１磁石５２及び第２磁石５３は、第１磁界Ｍ１と第２磁界Ｍ２とが第１ホール素子５１において相殺されるように配置される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１部材に対して進退自在に設けられる第２部材の表面に、前記第２部材の進退方向に沿って設けられるスケールと、
前記スケールに対向するように前記第１部材に設けられ、前記スケールによって変化する磁界に応じた信号を出力する磁気検出器と、を備え、
前記磁気検出器は、
前記第２部材の進退方向に直交する方向の磁束の変化を検出する第１磁束検出部と、
第１磁界を発生させる第１磁界発生部と、
第２磁界を発生させる第２磁界発生部と、を有し、
前記第１磁界発生部と前記第２磁界発生部とは、前記磁気検出器が前記スケールに対向していない状態において、前記第１磁界と前記第２磁界とが、前記第１磁束検出部において相殺されるように配置されることを特徴とするストローク検出装置。
【請求項２】
前記第１磁界発生部と前記第２磁界発生部とが並ぶ方向における前記スケールの長さは、前記第１磁界発生部と前記第２磁界発生部との内側端間の長さよりも長く、前記第１磁界発生部と前記第２磁界発生部との外側端間の長さよりも短いことを特徴とする請求項１に記載のストローク検出装置。
【請求項３】
前記第１磁界発生部と前記第２磁界発生部とが並ぶ方向と前記第２部材の進退方向とは平行であり、
前記スケールは、所定の間隔で複数設けられることを特徴とする請求項１または２に記載のストローク検出装置。
【請求項４】
前記第１磁束検出部は、前記第１磁界発生部と前記第２磁界発生部との外側端間であって、前記第１磁界発生部と前記第２磁界発生部とが並ぶ方向に直交する方向に、前記第１磁界発生部及び前記第２磁界発生部から離れた位置に配置されることを特徴とする請求項３に記載のストローク検出装置。
【請求項５】
前記第１磁界発生部と前記第２磁界発生部とが並ぶ方向と前記第２部材の進退方向とは直交しており、
前記スケールは、前記第２部材の進退方向に対して傾斜する帯状に形成されることを特徴とする請求項１または２に記載のストローク検出装置。
【請求項６】
前記第１磁束検出部は、前記第１磁界発生部と前記第２磁界発生部との間に配置されることを特徴とする請求項５に記載のストローク検出装置。
【請求項７】
前記磁気検出器は、前記第１部材に複数設けられ、
複数の前記磁気検出器は、異なるストローク量おいてピーク値が出力されるようにそれぞれ配置されることを特徴とする請求項１から６の何れか１つに記載のストローク検出装置。
【請求項８】
前記磁気検出器は、前記第２部材の進退方向に直交する方向の磁束の変化を検出する第２磁束検出部と、前記第２部材から前記第２磁束検出部へ向かう第３磁界を発生させる第３磁界発生部と、をさらに有し、
前記第３磁界発生部は、前記磁気検出器が前記スケールに対向していない状態において、前記第２磁界と前記第３磁界とが、前記第２磁束検出部において相殺されるように前記第２磁束検出部に対して配置されることを特徴とする請求項１から７の何れか１つに記載のストローク検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ストローク検出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、シリンダなどの直動部品のストロークを検出するためにストローク検出装置が用いられている。特許文献１には、シリンダチューブに設けられた磁気検出部が、ピストンロッドの表面に設けられたスケールを検出することによってシリンダのストロークを検出するストローク検出装置が開示されている。このストローク検出装置の磁気検出器は、スケールに対向して配置される磁気検出素子と、磁気検出素子のスケールに対向する側とは反対側に配設される磁石と、を有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−２８６６６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された磁気検出素子は、磁石が発生する磁界の強さに合せて最大検出範囲が設定される。このように、磁気検出素子の検出範囲が大きく設定されると分解能が低くなるため、ストロークの変化量がわずかであって、磁界の変化が小さい場合には、磁界の変化を検出することが困難となる。この結果、ストロークの検出精度が低下するおそれがある。
【０００５】
本発明は、このような技術的課題に鑑みてなされたものであり、直動部品のストロークの検出精度を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１の発明は、第１磁界発生部が発生する第１磁界と第２磁界発生部が発生する第２磁界とが、第１磁束検出部において相殺されるように第１磁束検出部に対して第１磁界発生部と第２磁界発生部とが配置される磁気検出器を備えることを特徴とする。
【０００７】
第１の発明では、第１磁界発生部が発生する第１磁界と第２磁界発生部が発生する第２磁界とは、第１磁束検出部において相殺される。このため、第１磁束検出部の最大検出範囲は、各磁界発生部が発生する磁界の大きさではなく、ストロークの変化に応じて変化する磁界の大きさの差に合せて設定される。
【０００８】
第２の発明は、第１磁界発生部と第２磁界発生部とが並ぶ方向におけるスケールの長さが、第１磁界発生部と第２磁界発生部との内側端間の長さよりも長く、第１磁界発生部と第２磁界発生部との外側端間の長さよりも短いことを特徴とする。
【０００９】
第２の発明では、第１磁界発生部と第２磁界発生部とが並ぶ方向におけるスケールの長さは、所定の長さに設定される。このため、スケールによって変化する磁界を検出する磁気検出器の出力は、ストローク量に応じて変化する。この結果、ストロークの検出精度を向上させることができる。
【００１０】
第３の発明は、第１磁界発生部と第２磁界発生部とが並ぶ方向と第２部材の進退方向とが平行であり、スケールが、所定の間隔で複数設けられることを特徴とする。
【００１１】
第３の発明では、第１部材に配置される磁気検出器の第１磁界発生部と第２磁界発生部とが並ぶ方向と第２部材の進退方向とが平行であり、第２部材には、所定の間隔で複数のスケールが設けられる。このため、第２部材のストロークに応じて、磁気検出器に対向するスケールの面積が変化するとともに、第１磁界と第２磁界とが第１磁束検出部に及ぼす影響が変化する。この結果、磁気検出器の出力に基づいて、第２部材の正確なストローク量を検出することができる。
【００１２】
第４の発明は、第１磁束検出部が、第１磁界発生部と前記第２磁界発生部との外側端間であって、第１磁界発生部と第２磁界発生部とが並ぶ方向に直交する方向に、第１磁界発生部及び第２磁界発生部から離れた位置に配置されることを特徴とする。
【００１３】
第４の発明では、第１磁束検出部が、第１磁界発生部と第２磁界発生部とが並ぶ方向に直交する方向に、第１磁界発生部及び第２磁界発生部から離れた位置に配置される。このため、第１磁界発生部と第２磁界発生部とが並ぶ方向、すなわち、第２部材の進退方向における磁気検出器の長さは短くなる。この結果、磁気検出器の取付スペースが制限される場合であっても容易に設置することができる。
【００１４】
第５の発明は、第１磁界発生部と第２磁界発生部とが並ぶ方向と第２部材の進退方向とが直交しており、スケールが、第２部材の進退方向に対して傾斜する帯状に形成されることを特徴とする。
【００１５】
第５の発明では、第１部材に配置される磁気検出器の第１磁界発生部と第２磁界発生部とが並ぶ方向と第２部材の進退方向とが直交しており、第２部材には、第２部材の進退方向に対して傾斜する帯状に形成されるスケールが設けられる。このため、第２部材のストロークに応じて、磁気検出器に対向するスケールの面積が変化するとともに、第１磁界と第２磁界とが第１磁束検出部に及ぼす影響が変化する。この結果、磁気検出器の出力に基づいて、第２部材の正確なストローク量を検出することができる。
【００１６】
第６の発明は、第１磁束検出部が、第１磁界発生部と第２磁界発生部との間に配置されることを特徴とする。
【００１７】
第６の発明では、第１磁束検出部が、第１磁界発生部と第２磁界発生部との間に配置される。このため、第１磁界発生部と第２磁界発生部とが並ぶ方向に直交する方向、すなわち、第２部材の進退方向における磁気検出器の長さは短くなる。この結果、磁気検出器の取付スペースが制限される場合であっても容易に設置することができる。
【００１８】
第７の発明は、磁気検出器が、第１部材に複数設けられ、複数の磁気検出器は、異なるストローク量おいてピーク値が出力されるようにそれぞれ配置されることを特徴とする。
【００１９】
第７の発明では、複数の磁気検出器が、異なるストローク量おいてピーク値が出力されるようにそれぞれ、第１部材に対して取り付けられる。このように、複数の磁気検出器から異なる出力波形が得られるため、第２部材のストローク方向や絶対的なストローク量を容易に演算することが可能となる。
【００２０】
第８の発明は、磁気検出器が、第２部材の進退方向に直交する方向の磁束の変化を検出する第２磁束検出部と、第２部材から第２磁束検出部へ向かう第３磁界を発生させる第３磁界発生部と、をさらに有し、第３磁界発生部は、磁気検出器がスケールに対向していない状態において、第２磁界と第３磁界とが、第２磁束検出部において相殺されるように第２磁束検出部に対して配置されることを特徴とする。
【００２１】
第８の発明では、第２磁界発生部が発生する第２磁界と第３磁界発生部が発生する第３磁界とが第２磁束検出部において相殺される。つまり、第２磁界発生部は、第２磁束検出部から第２部材へ向かう磁界を発生させる磁界発生部として兼用される。このように、磁束検出部ごとに磁界発生部を二つずつ配置する必要がないため、ストローク検出装置の製造コストを低減することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、直動部品のストロークの検出精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の第１実施形態に係るストローク検出装置の構成図である。
【図２】図１のII−II線に沿う断面図である。
【図３】図２のIII−III線に沿う断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係るストローク検出装置における磁界の変化を説明するための図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係るストローク検出装置の磁気検出器の出力を示すグラフである。
【図６】本発明の第１実施形態の第１変形例に係るストローク検出装置の磁気検出器を拡大して示した図である。
【図７】図６のVII−VII線に沿う断面図である。
【図８】本発明の第１実施形態の第２変形例に係るストローク検出装置の磁気検出器を拡大して示した図である。
【図９】図８のIX−IX線に沿う断面図である。
【図１０】本発明の第２実施形態に係るストローク検出装置の構成図である。
【図１１】図１０のXI−XI線に沿う断面図である。
【図１２】本発明の第２実施形態に係るストローク検出装置おける磁界の変化を説明するための図である。
【図１３】本発明の第２実施形態に係るストローク検出装置の磁気検出器の出力を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。
【００２５】
＜第１実施形態＞
図１から図３を参照して、本発明の第１実施形態に係るストローク検出装置１００について説明する。図１に示されるシリンダ１０は、図示しない油圧ポンプから吐出される作動油によって作動する油圧シリンダである。ストローク検出装置１００は、このシリンダ１０に設けられる。
【００２６】
シリンダ１０は、シリンダ１０の本体である第１部材としてのシリンダチューブ２０と、シリンダチューブ２０に対して進退自在に設けられる第２部材としてのピストンロッド３０と、を備える。つまり、シリンダ１０は、シリンダチューブ２０に対してピストンロッド３０が進退運動する直動部品である。
【００２７】
シリンダチューブ２０は円筒形であり、シリンダチューブ２０の内部には軸方向に摺動自在であるピストン３１が設けられる。また、シリンダチューブ２０の端部には、ピストンロッド３０が摺動自在に挿通するシリンダヘッド２０ａが設けられる。シリンダチューブ２０の内部は、ピストン３１によって二つの油室１１，１２に区画される。
【００２８】
二つの油室１１，１２は、図示しない切換弁を通じて図示しない油圧ポンプ又はタンクに接続される。二つの油室１１，１２の一方が油圧ポンプに接続された場合には、他方がタンクに接続される。シリンダ１０は、油圧ポンプから二つの油室１１，１２の何れかに作動油が導かれてピストンロッド３０が軸方向に移動することによって伸縮作動する。シリンダ１０は複動式のシリンダであるが、単動式であってもよい。また、シリンダ１０は、油圧式に限定されず、空気式，水圧式または電動機械式等であってもよい。また、シリンダ１０は、アクチュエータとして作動するものに限定されず、緩衝器等として作動するものであってもよい。
【００２９】
ピストンロッド３０は、基端部３０ａがピストン３１に固定され、先端部３０ｂがシリンダチューブ２０から露出する円柱形の磁性部材である。ピストンロッド３０は、ピストン３１に作用する油圧の力によって作動する。
【００３０】
次に、シリンダ１０に設けられるストローク検出装置１００について説明する。
【００３１】
ストローク検出装置１００は、ピストンロッド３０が挿通するシリンダヘッド２０ａに配設される磁気検出器５０と、ピストンロッド３０の側面３０ｃにピストンロッド３０の進退方向に沿って形成される複数のスケール６０と、を備える。
【００３２】
磁気検出器５０は、ピストンロッド３０の進退方向に直交する方向の磁束の変化を検出する第１磁束検出部としての第１ホール素子５１と、ピストンロッド３０から第１ホール素子５１へ向かう方向の第１磁界Ｍ１を発生させる第１磁界発生部としての第１磁石５２と、第１ホール素子５１からピストンロッド３０へ向かう方向の第２磁界Ｍ２を発生させる第２磁界発生部としての第２磁石５３と、第１ホール素子５１と第１磁石５２と第２磁石５３とが結合されるヨーク５５と、を有する。
【００３３】
第１ホール素子５１は、ホール効果を利用して磁界の大きさと方向とを出力する素子である。第１ホール素子５１は、スケール６０が設けられるピストンロッド３０の側面３０ｃに対向するように配置され、ピストンロッド３０の軸方向に直交する方向における磁界の大きさである磁束密度を検出し、検出量及び検出方向に応じた電圧を出力する。第１ホール素子５１の出力は、図示しないアンプにより増幅され、図示しないストローク演算装置に入力される。
【００３４】
第１磁石５２及び第２磁石５３は、ネオジム磁石やフェライト磁石といった永久磁石である。第１磁石５２は、Ｎ極がピストンロッド３０側を向くように配置され、第２磁石５３は、Ｓ極がピストンロッド３０側を向くように配置される。また、第１磁石５２と第２磁石５３とは、図２に示されるように、磁気検出器５０がスケール６０に対向していない状態において、第１磁石５２が発生する第１磁界Ｍ１と第２磁石５３が発生する第２磁界Ｍ２とが、第１ホール素子５１において相殺されるように第１ホール素子５１に対してそれぞれ配置される。
【００３５】
第１磁石５２が発生する第１磁界Ｍ１の大きさと第２磁石５３が発生する第２磁界Ｍ２の大きさとが同じであれば、第１磁石５２と第２磁石５３との間のちょうど中間に第１ホール素子５１を配置することにより、第１ホール素子５１における磁界は相殺され、第１ホール素子５１の出力電圧はゼロになる。つまり、第１ホール素子５１では、第１ホール素子５１が設けられる位置における第１磁界Ｍ１の大きさと第２磁界Ｍ２の大きさとの差分である磁束密度が検出される。
【００３６】
第１ホール素子５１と第１磁石５２との間と、第１ホール素子５１と第２磁石５３との間には、各磁石５２，５３の磁気が第１ホール素子５１に直接作用することを防止するためにそれぞれ空間が設けられる。これらの空間には、磁気を遮断することが可能な樹脂が充填されてもよい。
【００３７】
なお、磁界発生部としては、磁石に限定されず、鉄材にコイルを巻き回した電磁石であってもよい。この場合、コイルに流す電流を調整することによって発生する磁界の大きさを変更させることができるため、第１ホール素子５１において磁界を相殺させることが容易となる。また、磁束検出部としては、ホール素子に限定されず、軸心がピストンロッド３０の進退方向に直交する方向に配置されたコイルであってもよい。この場合、励磁されたコイルのインピーダンスは、磁束密度に応じて変化するため、インピーダンスを検出することにより、磁界の変化を把握することができる。
【００３８】
ヨーク５５は、第１ホール素子５１と第１磁石５２との間と、第１ホール素子５１と第２磁石５３との間とに磁気回路を形成する鉄材である。また、第１ホール素子５１と第１磁石５２と第２磁石５３とは、ヨーク５５によって一体化される。
【００３９】
また、第１ホール素子５１のピストンロッド３０側には、ヨーク５５と同様に、磁気回路を形成するための対向部５６が設けられる。対向部５６は、鉄材で形成され、対向部５６のピストンロッド３０と対向する面は、ピストンロッド３０の側面３０ｃの形状に合わせて、凹状に形成される。第１磁石５２と第２磁石５３とのピストンロッド３０側にもそれぞれ対向部５７，５８が設けられる。上記構成の対向部５６〜５８を設けることにより、曲面状の表面を有するピストンロッド３０に対して磁気検出器５０をできるだけ接近させることができる。
【００４０】
対向部５７，５８を設けた構成に代えて、各磁石５２，５３のピストンロッド３０と対向する面を、ピストンロッド３０の側面３０ｃの形状に合わせて凹状に加工した構成としてもよい。また、磁気検出器５０が対向するピストンロッド３０の表面が平坦状であれば、対向部５６〜５８を設けなくてもよい。
【００４１】
スケール６０は、磁性体であるピストンロッド３０の外周に溝状に形成される非磁性体である。スケール６０は、ピストンロッド３０の外周面を局所加熱装置としてのレーザー装置によって照射されるレーザーにより溶融するとともにＮｉやＭｎを添加してオーステナイト化することによって形成される。
【００４２】
なお、ピストンロッド３０は、非磁性体からなるものであってもよく、この場合、スケール６０は、ピストンロッド３０をレーザー装置によって溶融するとともにＳｎ等を添加することにより磁性体として形成される。局所的に加熱する手段は、レーザーに限定されず、電子ビームや高周波誘導加熱，アーク放電など、局所的に加熱可能な手段であればどのような手段であってもよい。
【００４３】
スケール６０は、図２に拡大して示すように、ピストンロッド３０の進退方向に沿って所定の幅Ｗ１を有し、ピストンロッド３０の進退方向に沿って所定の間隔Ｐ１で設けられる。スケール６０の幅Ｗ１とスケール６０が設けられる間隔Ｐ１とは同じ長さに設定される。
【００４４】
スケール６０に対して磁気検出器５０は、図２に示されるように、第１磁石５２と第２磁石５３とが並ぶ方向がピストンロッド３０の進退方向と平行になるように配置される。そして、スケール６０の幅Ｗ１は、第１磁石５２と第２磁石５３とが対向する側のそれぞれの端面の間の長さ（内側端間の長さ）をＬ１とし、第１磁石５２と第２磁石５３とが対向する側と反対側のそれぞれの端面の間の長さ（外側端間の長さ）をＬ２とした場合に、Ｌ１＜Ｗ１＜Ｌ２の関係を満たすように設定される。
【００４５】
なお、スケール６０の幅Ｗ１とは、第１磁石５２と第２磁石５３とが並ぶ方向、すなわち、ピストンロッド３０の進退方向であって、磁気検出器５０に対向するスケール６０の長さがピストンロッド３０の進退に応じて変化する方向におけるスケール６０の長さを意味する。スケール６０の幅Ｗ１が上記関係を満たすように設定されることによって、後述のように、磁気検出器５０の出力は、ストローク量に応じて変化することになる。
【００４６】
次に、図４及び図５を参照して、ストローク検出装置１００によってピストンロッド３０のストローク量が検出される過程について説明する。図４は、シリンダ１０が伸張するときの磁気検出器５０とスケール６０との位置関係を示している。図５は、シリンダ１０が図４の（ａ）から（ｅ）にかけて伸張したときの磁気検出器５０の出力の変化を示したグラフである。
【００４７】
まず、図４の（ａ）の状態では、磁気検出器５０は、第１磁石５２から第２磁石５３にかけての部分が、スケール６０が設けられていないピストンロッド３０の側面３０ｃに対向した状態となる。ピストンロッド３０は磁性体であるため、第１磁石５２が生じる第１磁界Ｍ１と第２磁石５３が生じる第２磁界Ｍ２とは、それぞれ第１ホール素子５１を通過するように形成される。ここで第１磁界Ｍ１と第２磁界Ｍ２とは、上述のように、第１ホール素子５１が設けられる位置において相殺されるように形成される。したがって、第１ホール素子５１が設けられる位置における磁束密度はほぼゼロとなり、第１ホール素子５１の電圧出力、すなわち、磁気検出器５０の出力値はゼロとなる。
【００４８】
図４の（ａ）の状態からシリンダ１０がわずかに伸張し、図４の（ｂ）の状態となると、第２磁石５３から第１ホール素子５１にかけての部分がスケール６０に対向した状態となる。このように、第２磁石５３から第１ホール素子５１にかけての部分が非磁性体であるスケール６０に対向すると、第２磁石５３が生じる第２磁界Ｍ２が非磁性体によって遮断され、第２磁界Ｍ２が第１ホール素子５１に及ぼす影響が小さくなる。一方、第１磁界Ｍ１は、ピストンロッド３０を通じて第１ホール素子５１を通過するように形成される。このため、第１ホール素子５１が設けられる位置における磁束密度は、ピストンロッド３０から第１ホール素子５１へ向かう方向に大きい状態となる。この結果、磁気検出器５０の出力値は、ピストンロッド３０から第１ホール素子５１へ向かう磁束密度の方向をプラス方向とした場合、プラス側に最大となる。
【００４９】
なお、図４の（ａ）の状態から（ｂ）の状態になるまでの間、第１ホール素子５１における第１磁界Ｍ１の大きさは変化しない一方、第２磁界Ｍ２の大きさは、スケール６０が第２磁石５３に徐々に対向することによって、徐々に小さくなる。つまり、（ａ）の状態から（ｂ）の状態になるまでの間、第１ホール素子５１が設けられる位置における磁束密度は、ピストンロッド３０から第１ホール素子５１へ向かう方向において次第に大きくなる。このため、（ａ）の状態から（ｂ）の状態となるまでの間、磁気検出器５０の出力値は、図５に実線で示されるように、徐々に増加する。
【００５０】
さらにシリンダ１０がわずかに伸張し、図４の（ｃ）の状態となると、第１磁石５２から第２磁石５３にかけての部分がスケール６０に対向した状態となる。このように、第１磁石５２から第２磁石５３にかけての部分が非磁性体であるスケール６０に対向すると、第１磁界Ｍ１と第２磁界Ｍ２との両方が遮断される。この結果、磁気検出器５０の出力値はゼロとなる。なお、実際には、第１ホール素子５１には、第１磁界Ｍ１と第２磁界Ｍ２とが弱い状態で形成されると考えられるが、第１磁界Ｍ１と第２磁界Ｍ２とは同程度の強さとなるため、結局、第１ホール素子５１が設けられる位置において相殺されることになる。
【００５１】
そして、図４の（ｄ）の状態となると、第１磁石５２から第１ホール素子５１にかけての部分がスケール６０に対向した状態となる。このように、第１磁石５２から第１ホール素子５１にかけての部分が非磁性体であるスケール６０に対向すると、第１磁石５２が生じる第１磁界Ｍ１が非磁性体によって遮断され、第１磁界Ｍ１が第１ホール素子５１に及ぼす影響が小さくなる。一方、第２磁界Ｍ２は、ピストンロッド３０を通じて第１ホール素子５１を通過するように形成される。このため、第１ホール素子５１が設けられる位置における磁束密度は、第１ホール素子５１からピストンロッド３０へ向かう方向に大きい状態となる。この結果、磁気検出器５０の出力値は、ピストンロッド３０から第１ホール素子５１へ向かう磁束密度の方向をプラス方向とした場合、マイナス側に最大となる。
【００５２】
図４の（ｅ）の状態は、（ａ）の状態と同じであり、磁気検出器５０の出力値はゼロとなる。このように、磁気検出器５０の出力値は、ピストンロッド３０のストローク量に応じて正弦波状に変化する。このため、ピストンロッド３０のストローク量に対する磁気検出器５０の出力値の変化に基づいて、シリンダチューブ２０に対するピストンロッド３０の絶対的なストローク量を演算することができる。
【００５３】
なお、スケール６０の幅Ｗ１が外側端間の長さＬ２以上であると、第１磁石５２から第２磁石５３にかけての部分がスケール６０に対向する期間が長くなる。つまり、ピストンロッド３０が変位しているにも関わらず、磁気検出器５０の出力値がゼロに維持される期間が生じてしまい、結果として、磁気検出器５０の出力をストローク量に応じて変化させることが不可能となる。
【００５４】
また、スケール６０の幅Ｗ１が内側端間の長さＬ１以下であると、第１磁石５２から第２磁石５３にかけての部分が同時にスケール６０に対向する期間がなくなる。このため、第１ホール素子５１が設けられる位置において、第１磁界Ｍ１の大きさと第２磁界Ｍ２の大きさとに差が生じにくくなるとともに、磁束密度の方向の変化が頻繁となる。この結果、磁気検出器５０の出力値もストローク量に対して頻繁に変化することになり、磁気検出器５０の出力をストローク量に応じて変化させることが困難となる。このような理由から、スケール６０の幅Ｗ１は、上述の関係を満たすように設定される。
【００５５】
以上の第１実施形態によれば、以下に示すような効果を奏する。
【００５６】
ストローク検出装置１００では、第１磁石５２が発生する第１磁界Ｍ１と第２磁石５３が発生する第２磁界Ｍ２とは、第１ホール素子５１において相殺される。このため、第１ホール素子５１の最大検出範囲は、各磁石５２，５３が発生する磁界の大きさではなく、ストロークの変化に応じて変化する第１磁界Ｍ１の大きさと第２磁界Ｍ２の大きさとの差に合せて設定される。この結果、第１ホール素子５１の分解能を高めることが可能となり、ストロークの変化量がわずかであり、磁界の変化が小さい場合であっても磁界の変化を検出することができる。
【００５７】
また、第１磁石５２と第２磁石５３とが並ぶ方向におけるスケール６０の長さＷ１は、第１磁石５２と第２磁石５３との内側端間の長さＬ１と外側端間の長さＬ２とに基づいて設定される。このため、磁気検出器５０の出力は、ストローク量に応じて変化する。このように、ストローク検出装置１００では、上記構成の磁気検出器５０と、上記設定のスケール６０と、を備えることにより、ストロークの検出精度を向上させることができる。
【００５８】
次に、図６及び図７を参照して、本発明の第１実施形態に係るストローク検出装置１００の第１変形例について説明する。
【００５９】
上記第１実施形態では、第１ホール素子５１は、第１磁石５２と第２磁石５３との間に配置される。これに代えて、第１ホール素子５１は、第１磁石５２と第２磁石５３とが並ぶ方向に直交する方向に、第１磁石５２と第２磁石５３とから離れた位置に配置されてもよい。
【００６０】
このような配置であっても、上記実施形態と同様に、第１磁石５２が発生する第１磁界Ｍ１と第２磁石５３が発生する第２磁界Ｍ２とは、第１ホール素子５１において相殺される。また、スケール６０の幅Ｗ１は、第１磁石５２と第２磁石５３とが対向する側のそれぞれの端面の間の長さ（内側端間の長さ）をＬ１とし、第１磁石５２と第２磁石５３とが対向する側と反対側のそれぞれの端面の間の長さ（外側端間の長さ）をＬ２とした場合、Ｌ１＜Ｗ１＜Ｌ２の関係を満たすように設定される。
【００６１】
このため、上記実施形態と同様の効果を奏するとともに、ピストンロッド３０の進退方向における磁気検出器５０の長さＬ２が上記実施形態と比較して短くされるため、取付スペースが制限される場合であっても容易に設置することが可能となる。
【００６２】
次に、図５，図８及び図９を参照して、本発明の第１実施形態に係るストローク検出装置１００の第２変形例について説明する。
【００６３】
上記第１実施形態では、磁気検出器５０は１つだけ設けられる。これに代えて、磁気検出器５０を複数配置してもよい。この場合、複数の磁気検出器５０は、異なるストローク量おいてピーク値が出力されるようにそれぞれ配置されることが好ましい。例えば、磁気検出器５０に加えて他の磁気検出器５０が設けられる場合、他の磁気検出器５０の出力は、図５において破線で示されるように、磁気検出器５０の出力である実線と比較して、ピーク値が出力されるストローク量が異なるようにシリンダチューブ２０に対して取り付けられる。このように、異なるストローク量おいてピーク値が出力される複数の磁気検出器５０を設けることによって、ピストンロッド３０のストローク方向や絶対的なストローク量を容易に演算することが可能となる。
【００６４】
複数の磁気検出器５０は、例えば、ピストンロッド３０の進退方向に沿って、連続して配置されてもよいし、所定の間隔をあけて配置されてもよい。また、一部がピストンロッド３０の周方向において重なるように配置されてもよい。このように複数の磁気検出器５０が用いられる場合は、上記第１変形例に示される形状の磁気検出器５０を用いることによって、コンパクトに配置することができる。
【００６５】
また、複数の磁気検出器５０が用いられる場合には、図８及び図９に示される磁気検出器５０が用いられてもよい。この磁気検出器５０は、第１磁束検出部としての第１ホール素子５１ａと、第２磁束検出部としての第２ホール素子５１ｂと、の二つのホール素子を有するとともに、ピストンロッド３０から第２ホール素子５１ｂへ向かう第３磁界Ｍ３を発生させる第３磁界発生部としての第３磁石５４を有する。
【００６６】
上記構成の磁気検出器５０では、第１ホール素子５１ａからピストンロッド３０へ向かう磁界を発生させる第２磁石５３が、第２ホール素子５１ｂからピストンロッド３０へ向かう磁界を発生させる磁石として兼用される。このように、ホール素子５１ａ，５１ｂごとに磁石を二つずつ配置する必要がないため、磁気検出器５０の製造コストを低減することができるとともに、磁気検出器５０をコンパクトな構造とすることができる。
【００６７】
＜第２実施形態＞
次に、図１０及び図１１を参照して、本発明の第２実施形態に係るストローク検出装置２００について説明する。以下では、第１実施形態と異なる点を中心に説明し、第１実施形態と同様の構成には、同一の符号を付し説明を省略する。
【００６８】
ストローク検出装置２００の基本的な構成は、第１実施形態に係るストローク検出装置１００と同様である。ストローク検出装置２００は、スケール２６０が、ピストンロッド３０の軸方向に沿って螺旋状に設けられ、磁気検出器２５０が、ピストンロッド３０のストローク量に応じて周方向に変位するスケール２６０に対向するように配置される点でストローク検出装置１００と相違する。
【００６９】
磁気検出器２５０は、磁束の変化を検出する第１磁束検出部としての第１ホール素子２５１と、第１磁界Ｍ１を発生させる第１磁界発生部としての第１磁石２５２と、第２磁界Ｍ２を発生させる第２磁界発生部としての第２磁石２５３と、第１ホール素子２５１と第１磁石２５２と第２磁石２５３とが結合されるヨーク２５５と、を有する。これらの構成は、上記第１実施形態の磁気検出器５０と同様であるため、各構成の詳細な説明は省略する。
【００７０】
また、第１ホール素子５１のピストンロッド３０側には、ヨーク２５５と同様に、磁気回路を形成するための対向部２５６が設けられる。対向部２５６は、鉄材で形成され、対向部２５６のピストンロッド３０と対向する面は、ピストンロッド３０の側面３０ｃの形状に合わせて、凹状に形成される。第１磁石２５２と第２磁石２５３とのピストンロッド３０側にもそれぞれ対向部２５７，２５８が設けられる。このため、磁気検出器２５０のピストンロッド３０に対向する面は、円弧状となる。上記構成の対向部２５６〜２５８を設けることにより、曲面状の表面を有するピストンロッド３０に対して磁気検出器２５０をできるだけ接近させることができる。
【００７１】
スケール２６０は、ピストンロッド３０の表面に形成される帯状の非磁性体であり、ピストンロッド３０の進退方向に対して傾斜して設けられる。具体的には、スケール２６０は、円柱状のピストンロッド３０の表面に、軸方向に沿って螺旋状に形成される。
【００７２】
スケール２６０に対して磁気検出器２５０は、図１１に示されるように、第１磁石２５２と第２磁石２５３とが並ぶ方向がピストンロッド３０の進退方向に対して直交するように配置される。そして、スケール２６０の幅Ｗ２は、第１磁石２５２と第２磁石２５３とが対向する側のそれぞれの端面の間の長さ（内側端間の長さ）をＬ３とし、第１磁石２５２と第２磁石２５３とが対向する側と反対側のそれぞれの端面の間の長さ（外側端間の長さ）をＬ４とした場合に、Ｌ３＜Ｗ２＜Ｌ４の関係を満たすように設定される。
【００７３】
なお、スケール２６０の幅Ｗ２とは、第１磁石２５２と第２磁石２５３とが並ぶ方向、すなわち、ピストンロッド３０の周方向であって、磁気検出器２５０に対向するスケール２６０の長さがピストンロッド３０の進退に応じて変化する方向におけるスケール２６０の長さを意味する。スケール２６０の幅Ｗ２が上記関係を満たすように設定されることによって、後述のように、磁気検出器２５０の出力は、ストローク量に応じて変化することになる。
【００７４】
次に、図１２及び図１３を参照して、ストローク検出装置２００によってピストンロッド３０のストローク量が検出される過程について説明する。図１２は、シリンダ１０が伸張するときの磁気検出器２５０とスケール２６０との位置関係を示している。なお、磁気検出器２５０及びスケール２６０は、図１１に示すようにピストンロッド３０の周方向に沿った形状を有しているが、図１２では、直線上に展開した状態を示している。図１３は、シリンダ１０が図１２の（ａ）から（ｅ）にかけて伸張したときの磁気検出器２５０の出力の変化を示したグラフである。
【００７５】
まず、図１２の（ａ）の状態では、磁気検出器２５０は、第１磁石２５２から第２磁石２５３にかけての部分が、スケール２６０が設けられていないピストンロッド３０の側面３０ｃに対向した状態となる。ピストンロッド３０は磁性体であるため、第１磁石２５２が生じる第１磁界Ｍ１と第２磁石２５３が生じる第２磁界Ｍ２とは、それぞれ第１ホール素子２５１を通過するように形成される。ここで第１磁界Ｍ１と第２磁界Ｍ２とは、第１ホール素子２５１が設けられる位置において相殺されるように形成される。したがって、第１ホール素子２５１が設けられる位置における磁束密度はほぼゼロとなり、第１ホール素子２５１の電圧出力、すなわち、磁気検出器２５０の出力値はゼロとなる。
【００７６】
図１２の（ａ）の状態からシリンダ１０がわずかに伸張し、図１２の（ｂ）の状態となると、第２磁石２５３から第１ホール素子２５１にかけての部分がスケール２６０に対向した状態となる。このように、第２磁石２５３から第１ホール素子２５１にかけての部分が非磁性体であるスケール２６０に対向すると、第２磁石２５３が生じる第２磁界Ｍ２が非磁性体によって遮断され、第２磁界Ｍ２が第１ホール素子２５１に及ぼす影響が小さくなる。一方、第１磁界Ｍ１は、ピストンロッド３０を通じて第１ホール素子２５１を通過するように形成される。このため、第１ホール素子２５１が設けられる位置における磁束密度は、ピストンロッド３０から第１ホール素子２５１へ向かう方向に大きい状態となる。この結果、磁気検出器２５０の出力値は、ピストンロッド３０から第１ホール素子２５１へ向かう磁束密度の方向をプラス方向とした場合、プラス側に最大となる。
【００７７】
なお、図１２の（ａ）の状態から（ｂ）の状態になるまでの間、第１ホール素子２５１における第１磁界Ｍ１の大きさは変化しない一方、第２磁界Ｍ２の大きさは、スケール２６０が第２磁石２５３に徐々に対向することによって、徐々に小さくなる。つまり、（ａ）の状態から（ｂ）の状態になるまでの間、第１ホール素子２５１が設けられる位置における磁束密度は、ピストンロッド３０から第１ホール素子２５１へ向かう方向において次第に大きくなる。このため、（ａ）の状態から（ｂ）の状態となるまでの間、磁気検出器２５０の出力値は、図１３に実線で示されるように、徐々に増加する。
【００７８】
さらにシリンダ１０がわずかに伸張し、図１２の（ｃ）の状態となると、第１磁石２５２から第２磁石２５３にかけての部分がスケール２６０に対向した状態となる。このように、第１磁石２５２から第２磁石２５３にかけての部分が非磁性体であるスケール２６０に対向すると、第１磁界Ｍ１と第２磁界Ｍ２との両方が遮断される。この結果、磁気検出器２５０の出力値はゼロとなる。なお、実際には、第１ホール素子２５１には、第１磁界Ｍ１と第２磁界Ｍ２とが弱い状態で形成されると考えられるが、第１磁界Ｍ１と第２磁界Ｍ２とは同程度の強さとなるため、結局、第１ホール素子２５１が設けられる位置において相殺されることになる。
【００７９】
そして、図１２の（ｄ）の状態となると、第１磁石２５２から第１ホール素子２５１にかけての部分がスケール２６０に対向した状態となる。このように、第１磁石２５２から第１ホール素子２５１にかけての部分が非磁性体であるスケール２６０に対向すると、第１磁石２５２が生じる第１磁界Ｍ１が非磁性体によって遮断され、第１磁界Ｍ１が第１ホール素子２５１に及ぼす影響が小さくなる。一方、第２磁界Ｍ２は、ピストンロッド３０を通じて第１ホール素子２５１を通過するように形成される。このため、第１ホール素子２５１が設けられる位置における磁束密度は、第１ホール素子２５１からへピストンロッド３０向かう方向に大きい状態となる。この結果、磁気検出器２５０の出力値は、ピストンロッド３０から第１ホール素子２５１へ向かう磁束密度の方向をプラス方向とした場合、マイナス側に最大となる。
【００８０】
図１２の（ｅ）の状態は、（ａ）の状態と同じであり、磁気検出器２５０の出力値はゼロとなる。このように、磁気検出器２５０の出力値は、ピストンロッド３０のストローク量に応じて正弦波状に変化する。このため、ピストンロッド３０のストローク量に対する磁気検出器２５０の出力値の変化に基づいて、シリンダチューブ２０に対するピストンロッド３０の絶対的なストローク量を演算することができる。
【００８１】
以上の第２実施形態によれば、以下に示す効果を奏する。
【００８２】
ストローク検出装置２００では、第１磁石２５２が発生する第１磁界Ｍ１と第２磁石２５３が発生する第２磁界Ｍ２とは、第１ホール素子２５１において相殺される。このため、第１ホール素子２５１の最大検出範囲は、各磁石２５２，２５３が発生する磁界の大きさではなく、ストロークの変化に応じて変化する第１磁界Ｍ１の大きさと第２磁界Ｍ２の大きさとの差に合せて設定される。この結果、第１ホール素子２５１の分解能を高めることが可能となり、ストロークの変化量がわずかであり、磁界の変化が小さい場合であっても磁界の変化を検出することができる。
【００８３】
また、第１磁石２５２と第２磁石２５３とが並ぶ方向におけるスケール２６０の長さＷ２は、第１磁石２５２と第２磁石２５３との内側端間の長さＬ３と外側端間の長さＬ４とに基づいて設定される。このため、磁気検出器２５０の出力は、ストローク量に応じて変化する。このように、ストローク検出装置２００では、上記構成の磁気検出器２５０と、上記設定のスケール２６０と、を備えることにより、ストロークの検出精度を向上させることができる。
【００８４】
次に、本発明の第２実施形態に係るストローク検出装置２００の変形例について説明する。
【００８５】
上記第２実施形態では、磁気検出器２５０は１つだけ設けられる。これに代えて、磁気検出器２５０を複数配置してもよい。この場合、複数の磁気検出器２５０は、異なるストローク量おいてピーク値が出力されるようにそれぞれ配置されることが好ましい。例えば、磁気検出器２５０に加えて他の磁気検出器２５０が設けられる場合、他の磁気検出器２５０の出力は、図１３において破線で示されるように、磁気検出器２５０の出力である実線と比較して、ピーク値が出力されるストローク量が異なるようにシリンダチューブ２０に対して取り付けられる。このように、異なるストローク量おいてピーク値が出力される複数の磁気検出器２５０を設けることによって、ピストンロッド３０のストローク方向や絶対的なストローク量を容易に演算することが可能となる。
【００８６】
また、複数の磁気検出器２５０は、例えば、ピストンロッド３０の周方向に沿って、連続して配置されてもよいし、所定の間隔をあけて配置されてもよい。また、一部がピストンロッド３０の進退方向において重なるように配置されてもよい。このように、複数の磁気検出器２５０を周方向に配置することによって、スケール２６０の変位を連続して検出することが可能になる。この結果、ストロークが長い場合であってもストローク量を精度よく検出することができる。
【００８７】
また、複数の磁気検出器２５０を周方向に配置するとともに、スケール２６０の傾斜をピストンロッド３０の進退方向に対して大きくすることで、所定のストロークの変化に対する磁気検出器２５０の出力の変化を大きくすることができる。このように、ストロークの変化に対する出力の変化を大きくすることでストローク量の検出精度を向上させることができる。
【００８８】
また、周方向に複数の磁気検出器２５０を配置する場合には、図８に示される形状の磁気検出器５０を用いることによって、ピストンロッド３０の進退方向及び周方向に対してコンパクトな配置とすることができる。
【００８９】
以下、本発明の実施形態の構成、作用、及び効果をまとめて説明する。
【００９０】
ストローク検出装置１００，２００は、シリンダチューブ２０に対して進退自在に設けられるピストンロッド３０の表面に、ピストンロッド３０の進退方向に沿って設けられるスケール６０，２６０と、スケール６０，２６０に対向するようにシリンダチューブ２０に設けられ、スケール６０，２６０によって変化する磁界に応じた信号を出力する磁気検出器５０，２５０と、を備え、磁気検出器５０，２５０は、ピストンロッド３０の進退方向に直交する方向の磁束の変化を検出する第１ホール素子５１，２５１と、ピストンロッド３０から第１ホール素子５１，２５１へ向かう方向の第１磁界Ｍ１を発生させる第１磁石５２，２５２と、第１ホール素子５１，２５１からピストンロッド３０へ向かう方向の第２磁界Ｍ２を発生させる第２磁石５３，２５３と、を有し、第１磁石５２，２５２と第２磁石５３，２５３とは、磁気検出器５０，２５０がスケール６０，２６０に対向していない状態において、第１磁界Ｍ１と第２磁界Ｍ２とが、第１ホール素子５１，２５１において相殺されるように第１ホール素子５１，２５１に対してそれぞれ配置されることを特徴とする。
【００９１】
この構成では、第１磁石５２，２５２が発生する第１磁界Ｍ１と第２磁石５３，２５３が発生する第２磁界Ｍ２とは、第１ホール素子５１，２５１において相殺される。このため、第１ホール素子５１，２５１の最大検出範囲は、磁石が発生する磁界の大きさではなく、ストロークの変化に応じて変化する第１磁界Ｍ１の大きさと第２磁界Ｍ２の大きさとの差に合せて設定される。この結果、第１ホール素子５１，２５１の分解能を高めることが可能となり、ストロークの変化量がわずかであり、磁界の変化が小さい場合であっても磁界の変化を正確に検出することができる。この結果、ストロークの検出精度を向上させることができる。
【００９２】
また、第１磁石５２，２５２と第２磁石５３，２５３とが並ぶ方向におけるスケール６０，２６０の長さＷ１，Ｗ２は、第１磁石５２，２５２と第２磁石５３，２５３との内側端間の長さＬ１，Ｌ３よりも長く、第１磁石５２，２５２と第２磁石５３，２５３との外側端間の長さＬ２，Ｌ４よりも短いことを特徴とする。
【００９３】
この構成では、第１磁石５２，２５２と第２磁石５３，２５３とが並ぶ方向におけるスケール６０，２６０の長さＷ１，Ｗ２は、第１磁石５２，２５２と第２磁石５３，２５３との内側端間の長さＬ１，Ｌ３と外側端間の長さＬ２，Ｌ４とに基づいて設定される。このため、磁気検出器５０，２５０の出力は、ストローク量に応じて変化する。このように、ストローク検出装置１００，２００では、上記構成の磁気検出器５０，２５０と、上記設定のスケール６０，２６０と、を備えることにより、ストロークの検出精度をさらに向上させることができる。
【００９４】
また、第１磁石５２と第２磁石５３とが並ぶ方向とピストンロッド３０の進退方向とは平行であり、スケール６０は、所定の間隔で複数設けられることを特徴とする。
【００９５】
この構成では、シリンダチューブ２０には、第１磁石５２と第２磁石５３とが並ぶ方向がピストンロッド３０の進退方向と平行になるように磁気検出器５０が配置され、ピストンロッド３０には、所定の間隔で複数のスケール６０が設けられる。このため、ストロークに応じて、磁気検出器５０に対向するスケール６０の面積が変化するとともに、第１磁界Ｍ１と第２磁界Ｍ２とが第１ホール素子５１に及ぼす影響が変化する。この結果、磁気検出器５０の出力に基づいて、ピストンロッド３０の正確なストローク量を検出することができる。
【００９６】
また、第１ホール素子５１は、第１磁石５２と第２磁石５３との外側端間であって、第１磁石５２と第２磁石５３とが並ぶ方向に直交する方向に、第１磁石５２及び第２磁石５３から離れた位置に配置されることを特徴とする。
【００９７】
この構成では、第１ホール素子５１が、第１磁石５２と第２磁石５３との間に配置されない。このため、第１磁石５２と第２磁石５３とが並ぶ方向、すなわち、ピストンロッド３０の進退方向における磁気検出器５０の長さは短くなる。この結果、磁気検出器５０の取付スペースが制限される場合であっても容易に設置することができるとともに、ストローク検出装置１００をコンパクト化することができる。
【００９８】
また、第１磁石２５２と第２磁石２５３とが並ぶ方向とピストンロッド３０の進退方向とは直交しており、スケール２６０は、ピストンロッド３０の進退方向に対して傾斜する帯状に形成されることを特徴とする。
【００９９】
この構成では、シリンダチューブ２０には、第１磁石２５２と第２磁石２５３とが並ぶ方向がピストンロッド３０の進退方向と直交するように磁気検出器２５０が配置され、ピストンロッド３０には、ピストンロッド３０の進退方向に対して傾斜する帯状に形成されるスケール２６０が設けられる。このため、ストロークに応じて、磁気検出器２５０に対向するスケール２６０の面積が変化するとともに、第１磁界Ｍ１と第２磁界Ｍ２とが第１ホール素子２５１に及ぼす影響が変化する。この結果、磁気検出器２５０の出力に基づいて、ピストンロッド３０の正確なストローク量を検出することができる。
【０１００】
また、第１ホール素子２５１は、第１磁石２５２と第２磁石２５３との間に配置されることを特徴とする。
【０１０１】
この構成では、第１ホール素子２５１が、第１磁石２５２と第２磁石２５３との間に配置される。このため、第１磁石２５２と第２磁石２５３とが並ぶ方向に直交する方向、すなわち、ピストンロッド３０の進退方向における磁気検出器２５０の厚さは薄くなる。この結果、磁気検出器２５０の取付スペースが制限される場合であっても容易に設置することができる。
【０１０２】
また、磁気検出器５０，２５０は、シリンダチューブ２０に複数設けられ、複数の磁気検出器は、異なるストローク量おいてピーク値が出力されるようにそれぞれ配置されることを特徴とする。
【０１０３】
この構成では、複数の磁気検出器が、異なるストローク量おいてピーク値が出力されるようにそれぞれシリンダチューブ２０に対して取り付けられる。このように、複数の磁気検出器から位相の異なる出力波形が得られるため、ピストンロッド３０のストローク方向や絶対的なストローク量を容易に演算することが可能となる。
【０１０４】
また、磁気検出器５０，２５０は、ピストンロッド３０の進退方向に直交する方向の磁束の変化を検出する第２ホール素子５１ｂと、ピストンロッド３０から第２ホール素子５１ｂへ向かう第３磁界Ｍ３を発生させる第３磁石５４と、をさらに有し、第３磁石５４は、磁気検出器５０，２５０がスケール６０，２６０に対向していない状態において、第２磁界Ｍ２と第３磁界Ｍ３とが、第２ホール素子５１ｂにおいて相殺されるように第２ホール素子５１ｂに対して配置されることを特徴とする。
【０１０５】
この構成では、第２磁石５３が発生する第２磁界Ｍ２と第３磁石５４が発生する第３磁界Ｍ３とが第２ホール素子５１ｂにおいて相殺される。つまり、第２磁石５３は、第２ホール素子５１ｂからピストンロッド３０へ向かう磁界を発生させる磁界発生部として兼用される。このように、ホール素子ごとに磁石を二つずつ配置する必要がないため、２つのホール素子を有する磁気検出器５０，２５０の製造コストを低減することができるとともに、磁気検出器５０，２５０をコンパクトな構造とすることができる。
【０１０６】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態は本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上記実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。
【符号の説明】
【０１０７】
１００，２００・・・ストローク検出装置、１０・・・シリンダ、２０・・・シリンダチューブ（第１部材）、３０・・・ピストンロッド（第２部材）、５０，２５０・・・磁気検出器，５１，５１ａ，２５１・・・第１ホール素子（第１磁束検出部）、５１ｂ・・・第２ホール素子（第２磁束検出部）、５２，２５２・・・第１磁石（第１磁界発生部）、５３，２５３・・・第２磁石（第２磁界発生部）、５４・・・第３磁石（第３磁界発生部）、６０，２６０・・・スケール、Ｍ１・・・第１磁界、Ｍ２・・・第２磁界、Ｍ３・・・第３磁界、Ｗ１，Ｗ２・・・スケール幅（スケール長さ）、Ｌ１，Ｌ３・・・内側端間の長さ、Ｌ２，Ｌ４・・・外側端間の長さ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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