(57)【要約】【課題】  本発明は、試料が不必要な影響を受けることなしに応力下での観察することが可能な試料設置部材、前記試料設置部材を備えた試料ホルダー先端部、及び前記試料ホルダー先端部を有する試料ホルダーを提供することを目的とする。【解決手段】  本発明の試料設置部材は、補強部と、前記補強部に隣接する基板と、を有する試料設置部材であって、前記基板は、第一のスリットと、伸縮部と、前記第一のスリットの一部に設置された試料設置部と、を有することを特徴とする。また、本発明の試料設置部材の好ましい実施態様において、前記第一のスリットは、試料の引張方向を軸として、前記軸方向で基板を分断して、構成されていることを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
補強部と、前記補強部に隣接する基板と、を有する試料設置部材であって、前記基板は、第一のスリットと、伸縮部と、前記第一のスリットの一部に設置された試料設置部と、を有することを特徴とする試料設置部材。
【請求項２】
前記第一のスリットは、試料の引張方向を軸として、前記軸方向で基板を分断して、構成されている請求項１記載の試料設置部材。
【請求項３】
前記試料設置部は、前記試料の引張方向を軸として、前記軸方向で基板が分断されている部分に、試料が設置され、前記第一のスリットを挟んだ分断部分の基板で試料を固定する請求項１又は２に記載の試料設置部材。
【請求項４】
前記伸縮部は、前記第一のスリットとは異なる第二のスリットにより構成されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の試料設置部材。
【請求項５】
前記試料設置部は、前記補強部と反対側に存在する請求項１〜４のいずれか１項に記載の試料設置部材。
【請求項６】
前記伸縮部は、コの字型、S字型、ジグザグ構造、曲線型、蛇腹型から選択される少なくとも１種からなる請求項１〜５のいずれか１項に記載の試料設置部材。
【請求項７】
前記伸縮部は、１又はそれ以上のコの字型を有し、前記コの字型は、前記第二のスリットにより形成されている請求項１〜６のいずれか1項に記載の試料設置部材。
【請求項８】
前記補強部と、前記基板との境は、折り曲げ又は切り離し可能であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか1項に記載の試料設置部材。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の試料設置部材を有する試料ホルダー先端部。
【請求項１０】
前記試料ホルダー先端部は、前記試料設置部材を固定する第一の固定手段と、少なくとも４つの支点と、前記少なくとも４つの支点により構成されるリンク機構と、を有する試料設置部材用カートリッジを有することを特徴とする請求項９記載の試料ホルダー先端部。
【請求項１１】
請求項９又は１０に記載の試料ホルダー先端部を有する試料ホルダー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料設置部材、当該試料設置部材を備えた試料ホルダー先端部、及び当該試料ホルダー先端部を有する試料ホルダーに関し、特に、試料が不必要な影響を受けることなしに応力下での観察をすることが可能な試料設置部材、当該試料設置部材を備えた試料ホルダー先端部、及び当該試料ホルダー先端部を有する試料ホルダーに関する。
【背景技術】
【０００２】
TEM(透過型電子顕微鏡)等の電子顕微鏡で試料を観察するためには、試料ホルダー（単に、Holderともいう。）へ試料を所定の試料設置位置へ配する。当該試料は、通常、試料メッシュと呼ばれる、試料設置部材の上に取り付けられる。
【０００３】
近年、収束イオンビーム（Focused Ion Beam。以下、FIBともいう。）の普及によって大きさ（縦横それぞれ）数十μm、厚み100 nm前後の薄膜の加工が可能になり、任意の場所から任意の形状をもったTEM観察用試料を容易に作製できるようになってきている。例えば、透過型電子顕微鏡用試料を支持するためのメッシュで、試料の加工時に高精度の位置合せが可能で、収束イオンビームによる加工が容易なメッシュが知られている（特許文献１）。具体的に、当該技術は、透過型電子顕微鏡用試料を支持するメッシュにおいて、６０°以上１８０°以下の切りかけ部と、位置合せ用の凹部または凸部を有することを特徴とする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平11−329325号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献1は、FIB試験片をメッシュに取り付けるためには、FIBプロセスに対応しているものの、すなわち、半月メッシュなどプローブがアクセスできる解放された空間が存在するものの、以下の問題点を有する。
【０００６】
すなわち、メッシュの強度とボンディングの強度から生じる問題である。すなわち、半月形メッシュに試験片を取り付けた場合、半月形メッシュは、その両端を試料台座に固定（ボンディング）した後、引張を行う。すると、メッシュ自体が固すぎるため先にボンディングが破壊され、試験片を引張るに至らないという問題点を有する。
【０００７】
このように、上述の特許文献1を含め、電子顕微鏡内での引張試験においては、未だ、FIB試料そのものを引張試験片としたものがなく、その理由の一つとして、FIBで加工した試験片に対応した専用のメッシュがないためでもある。
【０００８】
仮に何らかの方法で試験片をメッシュに固定したとしても、既存の技術では、メッシュが引張り方向と垂直方向に縮むので、試料はメッシュからの縮み影響をうけることになる。例えば、方法を問わず、市販のφ３（直径３ｍｍ）の銅グリッドに試験片を取り付けた場合、引張ると楕円状に変形する。楕円状になるということは銅グリッド自体が引張り方向と垂直方向に縮んだことを意味する。銅グリッドの縮みは、試験片に応力として働くことになり、そのため、試験片そのものの引張応力に対する挙動を観察し評価することは困難であるという問題点を有する。
【０００９】
また、仮に何らかの方法で試験片を円形メッシュ上に固定したとしても、固定した後にメッシュの一部（上下）を切り離す必要がある。しかしながら、メッシュの一部を切り離すために、（１）カッターの刃などを使う場合、切り離す際に左右方向にメッシュに応力がかかり、その応力が試験片に伝わるので、カッター等は使うことが出来ない問題を有する。また、（２）FIBで切り離す方法は可能であるが非常に時間（数時間から半日）を要するため、切り離し部の距離があまりにも長いため現実的な方法ではない。
【００１０】
そこで、上記問題点を解決すべく、本発明は、試料が不必要な影響を受けることなしに応力下での観察することが可能な試料設置部材、前記試料設置部材を備えた試料ホルダー先端部、及び前記試料ホルダー先端部を有する試料ホルダーを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明者は、引張方向以外の伸縮の影響について鋭意検討を行った結果、本発明を見出すに至った。
【００１２】
すなわち、本発明の試料設置部材は、補強部と、前記補強部に隣接する基板と、を有する試料設置部材であって、前記基板は、第一のスリットと、伸縮部と、前記第一のスリットの一部に設置された試料設置部と、を有することを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の試料設置部材の好ましい実施態様において、前記第一のスリットは、試料の引張方向を軸として、前記軸方向で基板を分断して、構成されていることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の試料設置部材の好ましい実施態様において、前記試料設置部は、前記試料の引張方向を軸として、前記軸方向で基板が分断されている部分に、試料が設置され、前記第一のスリットを挟んだ分断部分の基板で試料を固定することを特徴とする。
【００１５】
また、本発明の試料設置部材の好ましい実施態様において、前記伸縮部は、前記第一のスリットとは異なる第二のスリットにより構成されることを特徴とする。
【００１６】
また、本発明の試料設置部材の好ましい実施態様において、前記試料設置部は、前記補強部と反対側に存在することを特徴とする。
【００１７】
また、本発明の試料設置部材の好ましい実施態様において、前記伸縮部は、コの字型、S字型、ジグザグ構造、曲線型、蛇腹型から選択される少なくとも１種からなることを特徴とする。
【００１８】
また、本発明の試料設置部材の好ましい実施態様において、前記伸縮部は、１又はそれ以上のコの字型を有し、前記コの字型は、前記第二のスリットにより形成されていることを特徴とする。
【００１９】
また、本発明の試料設置部材の好ましい実施態様において、前記補強部と、前記基板との境は、折り曲げ又は切り離し可能であることを特徴とする。
【００２０】
また、本発明の試料ホルダー先端部は、本発明の試料設置部材を有することを特徴とする。
【００２１】
また、本発明の試料ホルダー先端部は、前記試料設置部材を固定する第一の固定手段と、少なくとも４つの支点と、前記少なくとも４つの支点により構成されるリンク機構と、を有する試料設置部材用カートリッジを有することを特徴とする。
【００２２】
また、本発明の試料ホルダーは、本発明の試料ホルダー先端部を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の試料設置装置によれば、試料へ不必要な伸縮の影響を与えることがなく、正確な観察・計測を行うことが可能であるという有利な効果を奏する。また、本発明の試料設置装置によれば、FIB（Focused Ion Beam）加工した試料をも引張可能にすることができるという有利な効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１は、本発明の一実施態様における試料ホルダー先端部の応力伝達リンク構造の概念を示す図である。図１（a）は、インデント試験等の圧縮試験として用いる場合のリンク概念の一例を示す図である。図１（ｂ）は、ニュートラル状態のリンク概念の一例を示す図である。図１（ｃ）は、引張試験として用いる場合のリンク概念の一例を示す図である。
【図２】図２は、本発明の一実施態様における試料設置部材(試料メッシュともいう)を示す図である。
【図３】図３は、本発明の一実施態様における試料設置部材(試料メッシュともいう)をカートリッジに設置した状態の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
本発明の試料設置部材は、補強部と、前記補強部に隣接する基板と、を有する試料設置部材であって、前記基板は、第一のスリットと、伸縮部と、前記第一のスリットの一部に設置された試料設置部と、を有することを特徴とする。試料設置部材とは、いわゆる試料メッシュともよばれているものであり、試料を設置するための部材である。本発明の試料設置部材は、電子顕微鏡用に好ましく用いることができる。前記補強部は、前記基板を補強するもの、ひいては、試料が試料先端部へ固定されるまでの間、試料の変形、破壊等を防止するためである。すなわち、正確な観察・計測を行うためには試験片へ縮みの影響を与えない構造が望まれ、理想的には、試験片の引張り方向以外に、部材がない構造が望ましい。
【００２６】
しかしながら、このような構造では、試料ホルダーに取り付けるまでに、試料が変形などする可能性がある。また、試料を固定した後に、試料設置部材の一部を切り離す必要がある場合には、切り離しの応力を受け試料が変形し、又はメッシュ試料は自重で変形する可能性がある。
【００２７】
ゴムのような可逆の変形過程を有する材料では、問題ないが、金属などの変形は塑性変形を伴い、不可逆的であるので観察前の試料の変形は無視できない。
【００２８】
かかる観点から、本発明においては、補強部を有する。補強部の材質、形状、寸法、個数等については、前記補強の機能を有する限り、特に限定されない。
【００２９】
また、本発明においては、前記補強部に隣接する基板を有する。前記基板の材質、形状等についても特に限定されないが、基板及び／又は補強部の材質としては、加工しやすく、薄膜状態で強度があるという観点から、例えば、燐青銅、アルミニウム。ベリリウム銅等を使用することができる。
【００３０】
本発明において、前記基板は、第一のスリットと、伸縮部と、前記第一のスリットの一部に設置された試料設置部と、を有する。前記第一のスリットは、前記試料を設置するためのものである。正確な観察・計測を行うためには試験片へ縮みの影響を与えない構造が望まれ、理想的には、試験片の引張り方向以外に、部材がない構造が望ましいことは上述の通りであるが、前記第一のスリットによって、試料の引張方向以外に部材をなくす構造とすることができる。
【００３１】
好ましい実施態様において、前記第一のスリットは、試料の引張方向を軸として、前記軸方向で基板を分断して、構成されていることを特徴とする。すなわち、試料の引張試験を行いながら、観察したい場合に、試料の引張方向以外の部材をなくすために、試料設置部では、基板を分断する必要がある。第一のスリットは、試料の引張方向と垂直方向又は傾斜方向でもよい。要するに、基板を分断していればよい。そして、分断された基板を跨いで観察したい試料を固定すれば、より正確な引張試験下での観察が可能となる。
【００３２】
また、本発明の試料設置部材の好ましい実施態様において、前記試料設置部は、前記試料の引張方向を軸として、前記軸方向で基板が分断されている部分に、試料が設置され、前記第一のスリットを挟んだ分断部分の基板で試料を固定することを特徴とする。構造上、引張方向において、基板―スリットー基板の構成になり、スリットを挟む両側の基板で観察したい試料を固定すれば、試料の引張方向以外に部材をなくす構造とすることができる。
【００３３】
また、本発明において、伸縮部は、観察したい試料の引張方向において、伸縮可能であれば足りる。伸縮部は、観察したい試料の引張方向へ伸縮可能な機能を有すれば、前記伸縮部の材質、寸法等は、特に限定されない。製造工程の簡素化という観点から、基板の材質と同一のものが望ましいが、別途異なる材質の伸縮部を形成してもよい。
【００３４】
また、本発明の試料設置部材の好ましい実施態様において、前記伸縮部は、前記第一のスリットとは異なる第二のスリットにより構成される。伸縮部は、スリット以外でも、引張方向に伸縮できれば足りるが、製造工程の簡素化という点から、スリットにより伸縮機能を付与してもよい。
【００３５】
また、本発明の試料設置部材の好ましい実施態様において、前記試料設置部は、前記補強部と反対側に存在することを特徴とする。前記補強部は、試料観察時には、切り離されたり、折り曲げたりして使用されることから、試料設置部が補強部と反対側にあれば、当該切り離し、折り曲げ等の試料への影響を抑えることができる。
【００３６】
また、本発明の試料設置部材の好ましい実施態様において、前記伸縮部は、コの字型、S字型、ジグザグ構造、曲線型、蛇腹型から選択される少なくとも１種からなることを特徴とする。好ましい実施態様において、前記伸縮部は、１又はそれ以上のコの字型を有し、前記コの字型は、前記第二のスリットにより形成されていることを特徴とする。略コの字型を有することにより伸縮が可能となる。試料の引張試験を行う場合には、前記伸縮部は、少なくとも、試料の引張方向に伸縮することができればよい。試料の圧縮試験でも同様である。試験したい方向に対して伸縮効果を発揮すれば、伸縮部としては十分である。
【００３７】
また、本発明の試料設置部材の好ましい実施態様において、前記補強部と、前記基板との境は、折り曲げ又は切り離し可能であることを特徴とする。補強部は、試験片取り付け部の強度を保つ（倒れない）ために必要である。補強部は、伸縮することが可能である。補強部は、伸びるがそれ自身のために引張り方向（観察したい試料を引張る方向）に（ねじれなどの）影響を与えないことが好ましい。また、本発明の試料設置部材は、FIB台座に取り付け可能である。また、試料を固定後、補強部は、簡単に取り外すことが可能である。補強部と、基板との境は、カッターを用いることにより分断することができる。これにより、補強部と基板とは分断されるが、試料を一度、試料ホルダー先端部に固定すれば、当該試料を変形させることはないので、補強部が切り取られても、この場合には、観察に影響を与える心配はない。
【００３８】
また、本発明の試料ホルダー先端部は、上述の本発明の試料設置部材を有することを特徴とする。本発明の試料設置部材についての説明については、上述の説明を参照することができる。
【００３９】
また、本発明の試料ホルダー先端部は、前記試料設置部材を固定する第一の固定手段と、少なくとも４つの支点と、前記少なくとも４つの支点により構成されるリンク機構と、を有する試料設置部材用カートリッジを有することを特徴とする。当該カートリッジの内容については、本出願と同一出願人による特願２０１３−１９４９９３に詳細が記載されており、本明細書に組み込むことが可能である。
【００４０】
簡単に説明すれば、適用可能なカートリッジは、試料ホルダーへ試料設置部材を設置するためのカートリッジであって、試料設置部材用カートリッジへ、前記試料設置部材を固定する第一の固定手段と、少なくとも４つの支点と、前記少なくとも４つの支点により構成されるリンク機構とを有することを特徴とする。試料設置部材用カートリッジは、試料設置部材を設置、固定するためのカートリッジである。
【００４１】
試料設置部材を前記カートリッジへ固定する第一の固定手段としては、特に限定されず、例えば、ピン、ネジ、接着剤、蒸着、デポジション、又はボンディング等により固定することができる。試料の脱落を防止するという観点から、これらを単独または併用して試料等を固定してもよい。
【００４２】
なお、デポジションとは、金属あるいはカーボンなどによる成膜をいう。例えば、真空中で、Focused  Ion  Beam（FIB）の光軸へ、金属やカーボンの分子を含みむガスを、流し込むと、FIBが照射されたところに金属やカーボンが蓄積し、成膜効果が生じる。例えば、Focused  Ion  Beam（FIB）とは、数keV〜30keVのエネルギーを持った細いガリウムイオンビームのことであり、通称「デポ」と称されるものである。ナノレベルでの溶接的イメージで接着する手法である。また、ボンディング（ワイヤ・ボンディング（Wire  Bonding））とは、一般的な溶接と原理は同じだが、微小領域に特化した溶着手法を意味する。トランジスタ、集積回路上の電極と、プリント基板、半導体パッケージの電極などを、接続する事で有名原理は直径十数マイクロメートルから数百マイクロメートルの金、アルミニウム、銅などのワイヤを用いて、目的のところに押付けて、電流を瞬間的に流し、前途ワイヤを溶かし溶着される。μレベルでの溶接的イメージで接着する手法である。本発明においては、エポキシやトールシールなど、市販の接着剤を用いても良い。
【００４３】
また、前記カートリッジの材質についても特に限定されない。大きく二つ用途に分けて考えるとすれば、出来るだけ引き裂く応力に反発しない軟質な材料が望ましい場合には、例えば、アルミを、逆に、楔を開くのをやめ、戻りを観察した場合は、靭性、復元力の強い材料、例えば、燐青銅を用いることができる。いずれにしても、電子顕微鏡での観察において磁性の影響は大敵であるので、前記カートリッジの材質は、非磁性であることは言うまでもない。
【００４４】
本発明においては、少なくとも４つの支点と、前記少なくとも４つの支点により構成されるリンク機構とを有する。これによって、試料ホルダーの長手方向に沿った駆動力を利用して、試料に引張り応力、及び圧縮応力を位置ずれを最小限に抑えて付与することができる。すなわち、本発明に適用可能なカートリッジの好ましい実施態様において、前記カートリッジは、試料ホルダーの長手方向の駆動により、前記試料に対して引張り及び／又は圧縮を付与することが可能であることを特徴とする。
【００４５】
ここで、引張応力ベクトル及び圧縮応力ベクトルの定義について説明すると、本発明の一例においては、試料ホルダーのホルダー軸を長手方向とすると、長手方向（X方向）の力を得て長手方向に略垂直な方向（Y方向）に引張り応力及び圧縮応力を与えることができる。
【００４６】
また、本発明に適用可能なカートリッジの好ましい実施態様において、前記試料及び／又は試料メッシュ設置用カートリッジは、試料ホルダーへ固定するための第二の固定手段を有することを特徴とする。第二の固定手段としては、特に限定されず、例えば、ピン、ネジ、接着剤、蒸着、デポジション、ボンディング等により固定することができる。試料の脱落を防止するという観点から、これらを単独または併用して試料等を固定してもよい。前記第二の固定手段近傍のY方向の幅と、適合する試料ホルダーフレームの幅とは、前記カートリッジの設置や除去を容易に行うには、ゆとりがある方が良いが、観察視野ずれを軽減する観点からは、設置可能な程度に近い幅とすることができる。これに対して、試料を設置する部分の幅と、適合する試料ホルダーフレームの幅とは、多少の間隙を有することが、引張り方向への引張り力や、圧縮方向への圧縮力を効果的に与えるという観点から望ましい。もっとも、カートリッジに使用する部材、例えば弾性部材の使用によっては、それほど間隙を設けなくても、少なくとも2つの方向の引張り応力、圧縮応力を付与できる場合もある。このような態様も本発明に含まれる。なお、間隙の大きさについては、引張り試験に要求される試料の引張り度合い、圧縮試験に要求される試料の圧縮度合い等によって、カートリッジ毎に適宜変更することが可能である。
【００４７】
本発明のカートリッジは、支点を有するが、当該支点は、カートリッジに形成されたスリットによって構成されてもよい。
【００４８】
また、本発明に適用可能なカートリッジの好ましい実施態様において、前記カートリッジは、前記少なくとも４つの支点で結ばれる辺の内側に、前記試料設置部材を設置する設置部位を有することを特徴とする。試料等の設置部位は、要求される試験に応じて、本発明に適用可能なカートリッジのスリット位置等を適宜修正変更することによって、変更することができる。スリット位置を変更したりして、最終的にリンク機構を変更すれば、試料ホルダーの駆動力に対して、減速比率を自在にコントロールすることができ、ひいては、微速で微細な移動制御によって、これまで得られない非常に多くの情報を得ることが可能となる。
【００４９】
また、本発明に適用可能なカートリッジの好ましい実施態様において、前記カートリッジは、一つ又はそれ以上のスリットを有し、前記スリットのうち、試料ホルダーの取っ手方向側に最も近い位置にあるスリットは、試料ホルダーの長手方向の動きを伝達する伝達部位を有することを特徴とする。当該伝達部位を利用すれば、試料ホルダーの駆動方向の力を利用して、試料に引張応力又は圧縮応力を容易に付与することができる。
【００５０】
また、本発明に適用可能なカートリッジの好ましい実施態様において、前記支点は、少なくとも4つのリンクを形成し、前記試料ホルダー先端部は、前記少なくとも４つのリンクを有するリンク機構を有することを特徴とする。また、本発明の試料及び／又は試料メッシュ設置用カートリッジの好ましい実施態様において、前記リンク機構は、2組の異なる長さのリンクを有することを特徴とする。
【００５１】
また、本発明の試料ホルダーは、本発明の試料ホルダー先端部を有することを特徴とする。本発明の試料設置部材の試料ホルダー先端部への固定例については、以下の実施例、図３などを参照することができる。また、本発明の試料設置部材を固定した試料ホルダー先端部を有する試料ホルダーは、また、より正確な試料の引張試験等を行うことに役立つ。
【実施例】
【００５２】
ここで、本発明の試料設置部材の一実施例を説明するが、本発明は、下記の実施例に限定して解釈されるものではない。また、本発明の要旨を逸脱することなく、適宜変更することが可能であることは言うまでもない。
【実施例１】
【００５３】
図面を参照して、本発明の試料設置部材、及び前記試料設置部材を有するホルダー先端部の一実施態様を説明すれば以下の通りである。
【００５４】
まず、本発明に適用可能なカートリッジについて図1を用いて説明する。図１は、本発明に適用可能なカートリッジの応力伝達リンク構造の概念を示す図である。図１（a）は、インデント試験等の圧縮試験として用いる場合のリンク概念の一例を示す図である。図１（ｂ）は、ニュートラル状態のリンク概念の一例を示す図である。図１（ｃ）は、引張試験として用いる場合のリンク概念の一例を示す図である。図１中、１はピボットC（支点）、２はニ次リンク、３はピボットB（支点）、４は一次リンク、５はピボットA (支点)、６は試験ブレード固定ネジ用穴（第二の固定手段）、７は試験台プレート（カートリッジ）、８は連結ピン兼押付けピン（動力伝達部材）、９は駆動力伝達ロッド(連結部)、１０は試料ホルダー軸の駆動方向(試料ホルダーの取っ手方向へ)、１１は試料ホルダー軸の駆動方向（電子顕微鏡中心方向へ）を、それぞれ示す。図１の本発明のカートリッジの一例における態様によれば、主として、４つないし５つの支点と、試料を固定する第一の固定手段と、カートリッジを固定する第二の固定手段と、支点によって構成されるリンク機構とで構成されている。この態様によれば、支点は、スリットを利用して形成されている。図１（a）は、インデント試験等の圧縮試験として用いる場合のリンク概念の一例を示しているが、この態様によれば、動力伝達部材８は、カートリッジ７のスリットを利用して、試料ホルダーの連結部と連結している。図１の１０の方向へ試料ホルダーを駆動させれば、図の小さい矢印１３に示すように、試料に圧縮応力を付与することができる。
【００５５】
一方、図１（ｃ）は、引張試験として用いる場合のリンク概念の一例を示す図であるが、この態様によれば、動力伝達部材８は、カートリッジの外側に配置されており、試料ホルダーの連結部と連結している。図１の１１の方向へ試料ホルダーを駆動させれば、図の小さい矢印１４に示すように、試料に引張応力を付与することができる。図１の右側は、応力を加える駆動伝達ロッドまでの取付図の一態様を示している。なお、図1中、右図は応力伝達状態を、左図は応力等価図を、それぞれ示す。
【００５６】
次に、本発明の一例における試料設置部材について図2を用いて説明する。図２は、本発明の一実施態様における試料設置部材(試料メッシュともいう)を示す図である。図２中、２０は補強部、２１は基板、２２は第一のスリット、２３は伸縮部、２４は試料設置部、２５は引張方向、２６は第二のスリット、２７は補強部と基板との境を、それぞれ示す。補強部２０は、第一のスリット２２によって、基板２１が分断されてしまうと、基板のねじれ等が発生するため、試料設置部材をもっぱらカートリッジ等の試料ホルダー先端部へ固定するまでの間、補強する役割を有する。引張方向は矢印２５で示すが、矢印と逆の圧縮試験も可能である。２２は第一のスリットであり、第一のスリット２２は基板２１について、引張方向２５を軸として、当該軸方向を分断している。なお、図２では、楕円で示す伸縮部２３を挟んで、第一のスリット２２とは反対側に、スリットを設けている。また試料は、楕円で示す試料設置部２４の何れかの部分に設置可能である。例えば、FIB等による場合、上端の隙間に試料を取り付けることができる。また、図の態様においては、第二のスリット２６によって、伸縮部２３を構成している。図においては、基板の中央に丸くくりぬいた部分が存在し、両側は、略コの字の左向き側が中央に、右向き側の丸みを帯びた部分を基板の外側になるようにスリットが形成されている。略コの字としているが、S字、略S字、ジグザグ構造、略ジグザグ構造、曲線型、略曲線型、蛇腹型、略蛇腹型等でもよい。要するに、引張方向等の必要な方向に対して伸縮機能を有すれば、特に限定されない。このように図の態様においては、スリットや穴あき部を作製して、コの字、S字の連続により、伸縮機能を付与している。理論的には、コの字が一つでもあれば、引張方向２５において伸縮可能である。図では、６つの略コの字が配置（見方によれば、S字の連続）されている。かかる形状に限定されず、伸縮機能を有すれば、特に限定されないことは上述の通りである。
【００５７】
試料を固定後は、境２７の部分を切り落として、補強部２０を基板２１から切り離すことができる。これによって、引張方向以外に部材が存在しない理想に近い観察が可能となる。
【００５８】
なお、境２７を切り外さずに、折ることによって、既存の引張試験に適用することも可能である。
【００５９】
次に、本発明の試料設置部材をカートリッジに設置した場合について説明する。図３は、本発明の一実施態様における試料設置部材(試料メッシュともいう)をカートリッジに設置した状態の一例を示す図である。図3中、７は試験台プレート（カートリッジ）、３０は試料設置部材、３１は固定部を、それぞれ示す。固定部３１は、黒塗りの楕円部分、白抜きの楕円部分等にボンディング等により固定することができる。
【００６０】
本発明の試料設置部材をカートリッジに設置して、試料ホルダー先端部を作製する場合の一例は以下の通りである。試料設置部２４の上端に、例えば、FIBで試料を取り付ける。図3に示すように、試験台プレート７に本発明の試料設置部材を載せる。固定部３１において、試料設置部材をカートリッジにボンド固定する。試料ホルダーに試料ホルダー先端部を固定する前に、補強部２０と基板２１との境２７を目安として、補強部２０を基板２１から切り離す。その後、試料ホルダー先端部を試料ホルダーに固定する。そして、試料の引張試験を行う。本発明の試料設置部材は、伸縮部２３を有するので、試験片を支持するための部材を配しているにもかかわらず、引張方向に延びることができる。これによって、従来の試料メッシュに固定した試料観察における、試料メッシュによる引張方向以外の方向における伸縮応力の影響を受けることなしに、引張方向のみに特化した試料の引張観察を行うことができる。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
本発明の試料設置部材は、試料メッシュ自体による観察したい方向とは異なる応力を極力排除することができるという有利な効果を奏することから、広範な範囲での分野において有益であることが期待できる。
【符号の説明】
【００６２】
１    ピボットC（支点）
２    ニ次リンク
３    ピボットB（支点）
４    一次リンク
５    ピボットA (支点)
６    試験ブレード固定ネジ用穴
７    試験台プレート（カートリッジ） 
８    連結ピン兼押付けピン
９    駆動力伝達ロッド(駆動力伝達部材)
１０  試料ホルダー軸の駆動方向(取っ手方向へ)
１１  試料ホルダー軸の駆動方向（電子顕微鏡中心方向へ）
２０  補強部
２１  基板
２２  第一のスリット
２３  伸縮部
２４  試料設置部
２５  引張方向
２６  第二のスリット
２７  補強部と基板との境
３０  試料設置部材
３１  固定部
【図１】
2017117537.tif 000003
【図２】
2017117537.tif 000004
【図３】
2017117537.tif 000005