(57)【要約】【課題】電極の剥離によって電位差の測定に不具合が生じるおそれが低減されている固体電解質センサを提供する。【解決手段】固体電解質センサ１の構成を、筒状のプローブ本体２０と、プローブ本体が一端側で閉塞されることにより形成された有底筒状体３０の少なくとも底部を構成しているセンサ素子１０と、その底部の内側でセンサ素子の表面に設けられている内側電極１２と、内側電極との間でセンサ素子に生じる起電力を検出するための外側電極１１と、有底筒状体の内部に挿入されている長棒状部材４０と、長棒状部材を有底筒状体の底部に向かって付勢している付勢部材とを具備する構成とする。付勢部材は、長棒状部材において突出しているフランジ部４５と、長棒状部材を挿通させた状態でプローブ本体に固定される固定プレート７０と、フランジ部と固定プレートとの間に介装された弾性体（圧縮コイルバネ５０）とから構成されている。【選択図】図１
2017116275.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固体電解質をセンサ素子とする固体電解質センサであって、
筒状のプローブ本体と、
該プローブ本体が一端側で閉塞されることにより形成された有底筒状体の少なくとも底部を構成しているセンサ素子と、
前記有底筒状体の底部における内側で前記センサ素子の表面に設けられている内側電極と
該内側電極との間で前記センサ素子に生じる起電力を検出するための外側電極と、
前記有底筒状体の内部に挿入されている長棒状部材と、
該長棒状部材を前記底部に向かって付勢している付勢部材と
を具備することを特徴とする固体電解質ガスセンサ。
【請求項２】
前記長棒状部材は、熱電対及びリード線の少なくとも一方を支持している
ことを特徴とする請求項１に記載の固体電解質ガスセンサ。
【請求項３】
前記長棒状部材は、ヒータである
ことを特徴とする請求項１に記載の固体電解質ガスセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体電解質をセンサ素子としてガス濃度を測定する固体電解質センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
固体電解質をセンサ素子として、水素ガス、酸素ガス、炭酸ガス、水蒸気などのガス濃度を測定する固体電解質センサが種々提案されており、本出願人も過去に複数の提案を行っている（例えば、特許文献１〜３参照）。固体電解質センサは、同一イオンの濃度差により電位差が生じる濃淡電池の原理を使用したものであり、固体電解質を挟んだ二つの空間で測定対象のガス濃度が異なる場合に、固体電解質に生じる起電力を測定する。一方の空間のガス濃度が既知であれば、ネルンストの式により、測定された起電力と測定環境の温度から他方の空間におけるガス濃度を知ることができる。
【０００３】
従って、固体電解質センサでは、固体電解質によって二つの空間が仕切られている必要があり、上記の従来技術では、筒状の部材の一端を固体電解質のセンサ素子によって閉塞することにより有底筒状体とし、或いは、センサ素子自体を有底筒状体とすることにより、二つの空間を仕切っている。そして、有底筒状体の内部と外部のそれぞれにおいて固体電解質に電極を設け、電極間の電位差を測定する。電極は、一般的に、白金、金、ニッケル、パラジウム等の金属の薄膜であり、例えば、金属ペーストを固体電解質に塗布した後、加熱処理することにより形成される。或いは、電解めっき、ＰＶＤ法、ＣＶＤ法によって、膜状の電極が形成される。
【０００４】
ところが、上記のように形成された膜状の電極は、剥離しやすいという難点がある。特に、有底筒状体の内部側の電極（内側電極）が剥離すると、修復や再形成の作業が困難であるという問題があった。電極が固体電解質から剥離してしまえば当然ながら電位差の測定はできず、電極が固体電解質から剥離しかけていれば、接触不良により電位差を安定的に測定できないという不具合を生じる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−３１８９７４号公報
【特許文献２】特開２０１１−１７４８３２号公報
【特許文献３】特開平８−２２００６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで、本発明は、上記の実情に鑑み、電極の剥離によって電位差の測定に不具合が生じるおそれが低減されている固体電解質センサの提供を、課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明にかかる固体電解質センサは、
「固体電解質をセンサ素子とする固体電解質センサであって、
筒状のプローブ本体と、
該プローブ本体が一端側で閉塞されることにより形成された有底筒状体の少なくとも底部を構成しているセンサ素子と、
前記底部の内側で前記センサ素子の表面に設けられている内側電極と
該内側電極との間で前記センサ素子に生じる起電力を検出するための外側電極と、
前記有底筒状体の内部に挿入されている長棒状部材と、
該長棒状部材を前記底部に向かって付勢している付勢部材と
を具備する」ものである。
【０００８】
センサ素子が「プローブ本体が一端側で閉塞されることにより形成された有底筒状体の少なくとも底部を構成している」態様としては、センサ素子がプローブ本体の一端側を直接的に閉塞している態様、プローブ本体を一端側で閉塞している部材の一部がセンサ素子で構成されている態様、センサ素子が筒状のホルダの一端を閉塞するように保持されており、そのホルダがプローブ本体に挿入された状態でプローブ本体の内周面とホルダの外周面との間がシールされている態様、を例示することができる。なお、センサ素子の形状としては、平板状、柱状、有底筒状を例示することができ、有底筒状の場合のセンサ素子の開口は、有底筒状体の内側の空間に向かって開放していても、外側の空間に向かって開放していてもよい。
【０００９】
「長棒状部材」は、中実または中空の部材とすることができる。また、「長棒状部材」は、単一の部材で構成されていても、複数の部材を連結して構成されていてもよい。
【００１０】
本構成では、長棒状部材が付勢部材によって有底筒状体の底部に向かって押し付けられている。そして、有底筒状体の底部の内側には、内側電極が設けられている。従って、長棒状部材の底部側の端部（以下、「長棒状部材の先端」と称することがある）が、常に内側電極に圧接されている。これにより、内側電極は、長棒状部材によって常時センサ素子に向かって押された状態にあるため、内側電極の剥離が抑制される。また、仮に、内側電極の一部が剥離しかけても、長棒状部材の先端によってセンサ素子に押し付けられているため、内側電極とセンサ素子との接触が維持される。
【００１１】
本発明にかかる固体電解質センサは、上記構成において、「前記長棒状部材は、熱電対及びリード線の少なくとも一方を支持している」ものとすることができる。
【００１２】
本構成では、固体電解質センサによる測定のために必要な部材を支持する構成が、内側電極をセンサ素子に向かって押し付ける部材を兼ねている。従って、電極の剥離によって電位差の測定に不具合が生じるおそれを低減するという目的の作用効果を、簡易かつ無駄のない構成によって実現することができる。
【００１３】
加えて、電極が膜状である場合、リード線を電極に固定することは難しい。これに対し、長棒状部材にリード線を支持させた本構成では、リード線を内側電極に固定しなくても、長棒状部材によってリード線を内側電極に圧接させることができる。
【００１４】
本発明にかかる固体電解質センサは、上記構成において、「前記長棒状部材は、ヒータである」ものとすることができる。
【００１５】
本構成では、内側電極をセンサ素子に向かって押し付ける部材が、センサ素子を加熱するヒータを兼ねている。ヒータを備えることにより、センサ素子の温度を一定に保つ制御が可能となる。上記のように、固体電解質をセンサ素子とするガス濃度の検出は、温度依存性を有するため、センサ素子の温度が変動していると正確な検出ができない。従って、本構成では、電極の剥離によって電位差の測定に不具合が生じるおそれを低減するという目的で設けた長棒状部材を、ヒータとするという簡易かつ無駄のない構成によって、ガス濃度をより正確に検出できるという、更なる作用効果を得ることができる。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように、本発明の効果として、電極の剥離によって電位差の測定に不具合が生じるおそれが低減されている固体電解質センサを、提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第一実施形態の固体電解質センサの断面図である。
【図２】図１の固体電解質センサの要部の構成を示す分解図である。
【図３】図１の固体電解質センサのプローブ本体の断面図である。
【図４】図１の固体電解質センサの斜視図である。
【図５】本発明の第二実施形態の固体電解質センサの断面図である。
【図６】図５の固体電解質センサの要部の構成を示す分解図である。
【図７】本発明の第三実施形態の固体電解質センサの要部の構成を示す分解図である。
【図８】本発明の第四実施形態の固体電解質センサの要部の構成を示す分解図である。
【図９】本発明の他の実施形態の固体電解質センサの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の第一実施形態〜第四実施形態である固体電解質センサ１〜４について説明する。ここでは、気相中のガス濃度を測定する固体電解質センサに、本発明を適用した場合を例示する。
【００１９】
固体電解質センサ１〜４は、何れも、固体電解質をセンサ素子１０とする固体電解質センサであって、筒状のプローブ本体２０と、プローブ本体２０が一端側で閉塞されることにより形成された有底筒状体３０の少なくとも底部を構成しているセンサ素子１０と、有底筒状体３０の底部の内側でセンサ素子１０の表面に設けられている内側電極１２と、内側電極１２との間でセンサ素子１０に生じる起電力を検出するための外側電極１１と、有底筒状体３０の内部に挿入されている長棒状部材と、長棒状部材を有底筒状体３０の底部に向かって付勢している付勢部材とを、具備している。そして、付勢部材は、長棒状部材において外方に突出しているフランジ部と、長棒状部材を挿通させた状態でプローブ本体２０に固定される固定プレートと、フランジ部と固定プレートとの間に圧縮または引き伸ばされた状態で介装された弾性体とから構成されている。
【００２０】
まず、第一実施形態の固体電解質センサ１について、図１乃至図４を用いて説明する。固体電解質センサ１では、付勢部材は、長棒状部材４０において外方に突出しているフランジ部４５と、長棒状部材４０を挿通させた状態でプローブ本体２０に固定される固定プレート７０と、フランジ部４５と固定プレート７０との間に介装された弾性体とから構成されている。そして、固体電解質センサ１では、弾性体は圧縮コイルバネ５０である。固定プレート７０は、フランジ部４５より長棒状部材４０の上端側にあり、圧縮コイルバネ５０を圧縮しつつ長棒状部材４０をプローブ本体２０に固定している。
【００２１】
より詳細に説明すると、筒状のプローブ本体２０は径が単一の円筒状の主筒部２１と、主筒部２１の一端に設けられた椀状の拡開筒部２２と、主筒部２１の他端に筒状連結部２３を介して連結された、主筒部２１より径の小さな円筒状である縮径筒部２４とを備えている。本実施形態では、拡開筒部２２、主筒部２１、筒状連結部２３、及び縮径筒部２４のうち、少なくとも拡開筒部２２及び主筒部２１は、導電性を有する金属製である。また、拡開筒部２２と主筒部２１との境界には、主筒部２１の開口に沿って開口縁部２６が形成されており、開口縁部２６には複数のネジ孔２７が形成されている。
【００２２】
また、拡開筒部２２には、基準ガスまたは測定ガスを導入するためのガス導入口２８と、配線用の複数の端子が設けられた端子台９１を嵌め込むための配線用孔部２９が設けられている。
【００２３】
センサ素子１０は有底筒状であり、その開口がプローブ本体２０の内部側で開放するように、縮径筒部２４の内部に取り付けられており、縮径筒部２４の内周面とセンサ素子１０の外周面との間はシール部材９５によって気密に封止されている。つまり、プローブ本体２０と、プローブ本体２０の一端側で縮径筒部２４を閉塞しているセンサ素子１０及びシール部材９５によって、有底筒状体３０が形成されている。そして、有底筒状体３０の底部であるセンサ素子１０において、その有底筒状の底部の内側に、内側電極１２が設けられている。
【００２４】
一方、外側電極１１は、センサ素子１０における底部の外側に設けられている。この外側電極１１に一端が接続されたリード線６１ａは、縮径筒部２４及び筒状連結部２３の内部を通り、導電性の主筒部２１に接続されている。また、主筒部２１の拡開筒部２２側の端部からは、主筒部２１を介してリード線６１ａと電気的に接続されるリード線６１ｂが延びており、このリード線６１ｂは端子台９１の端子の一つに接続されている。
【００２５】
本実施形態の長棒状部材４０は、一端から他端まで貫通する孔部を複数有する細長い円柱状の部材であり、アルミナ等の電気絶縁性の材料で形成されている。長棒状部材４０は、有底筒状体３０の内部に挿入されており、先端がセンサ素子１０に達していると共に、他端は拡開筒部２２と主筒部２１との境界を越えて拡開筒部２２の内部まで延びている。
【００２６】
長棒状部材４０の複数の孔部のうちの二つには、熱電対６０を構成する二本の金属線がそれぞれ挿通されており、熱電対６０の熱接点部は長棒状部材４０の先端から突出している。また、熱電対６０を構成する二本の金属線の他端は、長棒状部材４０の拡開筒部２２側の端部からそれぞれ引き出され、端子台９１の端子の二つにそれぞれ接続されている。
【００２７】
長棒状部材４０の孔部の他の一つには、リード線６２が挿入されており、その一端は長棒状部材４０の先端から突出するように長棒状部材４０に固定されていると共に、他端は長棒状部材４０の拡開筒部２２側の端部から引き出されて、端子台９１の端子の一つに接続されている。
【００２８】
フランジ部４５は、長棒状部材４０を挿通させた環状の部材で構成されており、拡開筒部２２と主筒部２１との境界より低い位置で、長棒状部材４０に固定されている。なお、フランジ部４５は、長棒状部材４０と一体の構成であってもよい。
【００２９】
固定プレート７０は、略長方形の平板状であり、長棒状部材４０が通過可能な貫通孔部７１が穿設されている。また、固定プレート７０には、プローブ本体２０の開口縁部２６に架け渡された際にネジ孔２７と一致する位置に、留めネジ用孔部７２が貫設されている。そして、長棒状部材４０には、フランジ部４５より拡開筒部２２側で圧縮コイルバネ５０が挿通されている。圧縮コイルバネ５０の外径は、フランジ部４５を通過できない大きさである。
【００３０】
更に、長棒状部材４０には、圧縮コイルバネ５０より拡開筒部２２側で、貫通孔部７１を介して固定プレート７０が挿通されている。貫通孔部７１の内径は、圧縮コイルバネ５０の外径より小さく設定されている。そして、圧縮コイルバネ５０を圧縮した状態で、留めネジ用孔部７２に挿入された留めネジ９９がネジ孔２７に留め付けられることによって、固定プレート７０がプローブ本体２０に固定されている。
【００３１】
本構成では、圧縮コイルバネ５０を圧縮しつつ固定プレート７０がプローブ本体２０に固定されていることにより、フランジ部４５が圧縮コイルバネ５０によって有底筒状体３０の底部に向かって付勢されており、これに伴い、フランジ部４５が一体化された長棒状部材４０が有底筒状体３０の底部に押し付けられている。その結果、長棒状部材４０の先端から突出している熱電対６０及びリード線６２によって、常に内側電極１２がセンサ素子１０に向けて押し付けられている。これにより、内側電極１２がセンサ素子１０の表面から剥離することが抑制される。また、仮に、内側電極１２の一部がセンサ素子１０の表面から剥離しかけても、長棒状部材４０の先端から突出している熱電対６０及びリード線６２が、内側電極１２をセンサ素子１０に押し付けているため、内側電極１２とセンサ素子１０との接触が維持される。
【００３２】
また、測定環境の温度の変動により、固体電解質センサ１を構成する部材が熱膨張及び熱収縮しても、圧縮コイルバネ５０が伸縮することにより、長棒状部材４０の先端から突出している熱電対６０及びリード線６２が、内側電極１２をセンサ素子１０に押し付けている状態が維持される。
【００３３】
特に本実施形態では、固体電解質センサによる測定のために何れも必要な部材である熱電対６０、及び、内側電極１２に接続されるリード線６２が、長棒状部材４０に支持されている。そのため、電極の剥離によって電位差の測定に不具合が生じるおそれを低減するという目的の作用効果が、簡易かつ無駄のない構成によって実現されている。
【００３４】
加えて、長棒状部材４０が有底筒状体３０の底部に押し付けられていることにより、リード線６２を内側電極１２に固定することを要することなく、長棒状部材４０に支持されたリード線６２の端部が内側電極１２に圧接されていると共に、熱電対６０の熱接点をセンサ素子１０に固定することを要することなく、長棒状部材４０に支持された熱電対６０の熱接点がセンサ素子１０に圧接されている。
【００３５】
本構成の固体電解質センサでは、ガス導入口２８に接続されたチューブ９２を介して、有底筒状体３０の内部空間に基準ガスまたは測定ガスの一方を導入して内側電極１２に接触させ、基準ガスまたは測定ガスの他方を外側電極１１に接触させる。そして、外側電極に接続されたリード線６１ａ，６１ｂと内側電極に接続されたリード線６２を介して、センサ素子１０に生じた起電力を測定すると共に、熱電対６０によってセンサ素子１０の温度を測定することにより、測定ガスにおける測定対象ガスの濃度を検出することができる。
【００３６】
次に、第二実施形態の固体電解質センサ２について、図５及び図６を用いて説明する。ここで、固体電解質センサ２において固体電解質センサ１と同様の構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。第二実施形態の固体電解質センサ２も第一実施形態の固体電解質センサ１と同様に、弾性体は圧縮コイルバネ５０である。相違する点は、長棒状部材４０ｂ及びフランジ部の構成である。第二実施形態の長棒状部材４０ｂは、熱電対６０及びリード線６２を支持している点では第一実施形態の長棒状部材４０と同様であるが、第一実施形態の長棒状部材４０が単一の部材で構成されていたのに対し、第二実施形態の長棒状部材４０ｂは複数の部材から構成されている。
【００３７】
具体的に長棒状部材４０ｂは、導電性の材料で形成された管状部材４１と、アルミナ等の電気絶縁性の材料で形成された管状部材４２とが、管状部材４２より大径で管状の連結金具４３によって連結されたものであり、連結金具４３がフランジ部を構成している。この長棒状部材４０ｂは、管状部材４１が長棒状部材４０ｂの先端側となるように、有底筒状体３０に挿入されている。熱電対６０の熱接点部及びリード線６２の一端は、それぞれガラスチューブなど電気絶縁性の被覆が施された上で、先端が長棒状部材４０ｂの先端から突出した状態で管状部材４１に固定されている。熱電対６０を構成する金属線の他端及びリード線６２の他端は、第一実施形態と同様に、端子台９１の端子に接続されている。
【００３８】
そして、第二実施形態では、圧縮コイルバネ５０と連結金具４３との間に、アルミナ等の電気絶縁性の材料で形成された円環状の絶縁リング８０が介装されている。絶縁リング８０の孔部は管状部材４２より大径で、且つ、連結金具４３を通過しない大きさである。そして、固体電解質センサ２の付勢部材は、長棒状部材において外方に突出しているフランジ部としての連結金具４３と、長棒状部材４０ｂを挿通させた状態でプローブ本体２０に固定される固定プレート７０と、連結金具４３と固定プレート７０との間に介装された弾性体としての圧縮コイルバネ５０とから構成されている。そして、固定プレート７０がフランジ部としての連結金具４３より長棒状部材４０ｂの上端側にあり、圧縮コイルバネ５０を圧縮しつつプローブ本体２０に固定されている点は、第一実施形態と同様である。固定プレート７０が圧縮コイルバネ５０を圧縮しつつプローブ本体２０に固定されていることにより、絶縁リング８０を介して連結金具４３が、圧縮コイルバネ５０によって有底筒状体３０の底部に向かって付勢されており、これに伴い、連結金具４３が一体化された長棒状部材４０ｂが有底筒状体３０の底部に押し付けられている。
【００３９】
なお、絶縁リング８０を有することにより、固定プレート７０及び圧縮コイルバネ５０が、金属など導電性の材料で形成されていたとしても、外側電極１１と電気的に接続されたプローブ本体２０と、内側電極１２に接続されたリード線６２とが、管状部材４１、連結金具４３、圧縮コイルバネ５０、及び固定プレート７０を介して短絡することが防止されている。
【００４０】
このような構成の固体電解質センサ２においても、固体電解質センサ１と同様に、内側電極１２の剥離を抑制し、内側電極１２とセンサ素子１０との良好な接触を維持している長棒状部材４０ｂが、固体電解質センサ２による測定のために必要な部材である熱電対６０及びリード線６２を支持する部材を兼ねている。
【００４１】
なお、図５及び図６では、リード線６２が管状部材４１の内部に挿入されている態様を例示しているが、リード線６２は管状部材４１の外周面に巻き付けるように配することもできる。その場合、リード線６１ａとリード線６２との短絡することを防止するために、リード線６１ａを電気絶縁性の材料で被覆する。
【００４２】
次に、第三実施形態の固体電解質センサについて説明する。第三実施形態は、第一実施形態または第二実施形態の圧縮コイルバネ５０を、スポンジやゴムなどの弾性材料で円筒状に形成された弾性円筒体５０ｂに置換した構成である。第一実施形態の固体電解質センサ１において圧縮コイルバネ５０を弾性円筒体５０ｂに置換した場合の要部構成を、図７に例示する。
【００４３】
つまり、第三実施形態の付勢部材は、長棒状部材４０において外方に突出しているフランジ部４５と、長棒状部材４０を挿通させた状態でプローブ本体２０に固定される固定プレート７０と、フランジ部４５と固定プレート７０との間に介装された弾性体とから構成されており、弾性体は弾性円筒体５０ｂである。固定プレート７０は、フランジ部４５より長棒状部材４０の上端側にあり、弾性円筒体５０ｂを圧縮しつつプローブ本体２０に固定されている。
【００４４】
このような構成によっても、弾性円筒体５０ｂを圧縮しつつ固定プレート７０がプローブ本体２０に固定されていることにより、長棒状部材４０がセンサ素子１０に向かって押し付けられた状態となるため、第一実施形態及び第二実施形態と同様の作用効果を得ることができる。なお、第三実施形態の長棒状部材として、第二実施形態の長棒状部材４０ｂと同様の構成を採用する場合、弾性円筒体５０ｂが電気絶縁体であれば絶縁リング８０は不要である。
【００４５】
次に、第四実施形態の固体電解質センサについて、図８を用いて説明する。第四実施形態の付勢部材は、長棒状部材４０において外方に突出しているフランジ部４５ｃと、長棒状部材４０を挿通させた状態でプローブ本体２０に固定される固定プレート７０ｃと、フランジ部４５ｃと固定プレート７０との間に介装された弾性体とから構成されており、弾性体は輪状のゴム体５０ｃである。
【００４６】
第一実施形態〜第三実施形態固定において、固定プレート７０は、フランジ部より長棒状部材の上端側にあり、弾性体を圧縮しつつプローブ本体２０に固定されていたのに対し、第四実施形態では、フランジ部４５ｃの方が固定プレート７０ｃより長棒状部材４０の上端側で長棒状部材４０に固定されており、弾性体としてのゴム体５０ｃを引き伸ばしつつ、固定プレート７０ｃがプローブ本体２０に固定される。
【００４７】
ここで、固定プレート７０ｃとフランジ部４５ｃには、それぞれ対応する位置に切り込み部４８，７８が設けられており、ここにゴム体５０ｃが引掛けられることにより、固定プレート７０ｃとフランジ部４５ｃとの間にゴム体５０ｃが保持される。
【００４８】
このような構成によっても、ゴム体５０ｃが引き伸ばされた状態で固定プレート７０ｃがプローブ本体２０に固定されることにより、フランジ部４５ｃがゴム体５０ｃによって固定プレート７０ｃに向かって常に引っ張られており、フランジ部４５ｃと一体化された長棒状部材４０がセンサ素子１０に向かって押し付けられた状態となる。これにより、第四実施形態によっても、第一実施形態〜第三実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【００４９】
以上、本発明について好適な実施形態を挙げて説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、以下に示すように、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々の改良及び設計の変更が可能である。
【００５０】
例えば、上記の実施形態では、気相におけるガス濃度を測定する固体電解質センサに、本発明を適用した場合を例示したが、これに限定されず、液相におけるガス濃度を測定する固体電解質センサに本発明を適用することができる。その場合、外側電極１１を液相に接触させる。液相が溶融金属である場合、外側電極はセンサ素子の表面に設けられる構成に限定されず、センサ素子には接することなく液相に浸漬される構成であっても良い。
【００５１】
また、上記の実施形態では、長棒状部材４０，４０ｂが熱電対６０及びリード線６２を支持する部材を兼ねている場合を例示したが、長棒状部材４０は専ら内側電極１２をセンサ素子１０に押し付けるための部材であっても、センサ素子１０を加熱するためのヒータを兼ねている部材であってもよい。
【００５２】
更に、上記では、プローブ本体２０の一端側をセンサ素子１０が直接的に閉塞している場合を例示したが、図９に示すように、センサ素子１０が筒状のホルダ９８の端部を閉塞する状態でホルダ９８に保持されており、そのホルダ９８がプローブ本体２０の内部に挿入された状態で、プローブ本体２０の内周面とホルダ９８の外周面との間がシール部材９６で封止されている構成の固体電解質センサ５とすることができる。この場合、プローブ本体２０、ホルダ９８、センサ素子１０、及び、シール部材９６によって、有底筒状体３０が構成されている。
【符号の説明】
【００５３】
１，２，５  固体電解質センサ
１０  センサ素子
１１  外側電極
１２  内側電極
２０  プローブ本体
３０  有底筒状体
４０，４０ｂ  長棒状部材
４３  連結金具（付勢部材）
４５，４５ｃ  フランジ部（付勢部材）
５０  圧縮コイルバネ（弾性体）（付勢部材）
５０ｂ  弾性円筒体（弾性体）（付勢部材）
５０ｃ  ゴム体（弾性体）（付勢部材）
６０  熱電対
７０，７０ｃ  固定プレート（付勢部材）
【図１】
2017116275.tif 000003
【図２】
2017116275.tif 000004
【図３】
2017116275.tif 000005
【図４】
2017116275.tif 000006
【図５】
2017116275.tif 000007
【図６】
2017116275.tif 000008
【図７】
2017116275.tif 000009
【図８】
2017116275.tif 000010
【図９】
2017116275.tif 000011