(57)【要約】【課題】ウエハ照明ユニット用スペーサー変位装置及びウエハ照明ユニットを提供する。【解決手段】発明は、ウエハ照明ユニット（１０）用のスペーサー変位装置（３０）に関し、このスペーサー変位装置は、アクチュエーター（３４）と、アクチュエーター（３４）によって作用位置と非動作位置との間で変位可能なスペーサー（３２）と、アクチュエーター（３４）につながれた力伝達エレメント（４８）とを備え、力伝達エレメント（４８）がワイヤーで構成されていることを特徴とする。この発明はまた、このタイプのスペーサー変位装置を備えたウエハ照明ユニット（１０）に関する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハ照明ユニット（１０）用のスペーサー変位装置（３０）であって、
アクチュエーター（３４）と、
アクチュエーター（３４）によって作用位置と非動作位置との間で変位可能なスペーサー（３２）と、
アクチュエーター（３４）につながれた力伝達エレメント（４８）と、を備え、
力伝達エレメント（４８）がワイヤーで構成されていることを特徴とするスペーサー変位装置。
【請求項２】
ワイヤー（４８）は、定方向のワイヤーであることを特徴とする、請求項１に記載のスペーサー変位装置。
【請求項３】
スペーサー（３２）は、旋回エレメント（４４）に取り付けられていることを特徴とする、請求項１又は２に記載のスペーサー変位装置。
【請求項４】
旋回エレメント（４４）は、ワイヤー（４８）につながれていることを特徴とする、請求項３に記載のスペーサー変位装置。
【請求項５】
ワイヤー（４８）は、旋回エレメント（４４）の開口に掛けられていることを特徴とする、請求項４に記載のスペーサー変位装置。
【請求項６】
旋回エレメント（４４）に接続される保持アーム（４２）にスペーサー（３２）は取り付けられていることを特徴とする、請求項３から５のいずれかに記載のスペーサー変位装置。
【請求項７】
保持アーム（４２）は、ワイヤーで構成されていることを特徴とする、請求項６に記載のスペーサー変位装置。
【請求項８】
スペーサー（３２）は、ワイヤー（４２）に取り付けられていることを特徴とする、請求項７に記載のスペーサー変位装置。
【請求項９】
保持アーム（３２）は、高さ調節可能な状態で旋回エレメント（４２）に取り付け可能であることを特徴とする、請求項６から８のいずれかに記載のスペーサー変位装置。
【請求項１０】
旋回エレメント（４２）は、保持アーム（４２）が異なる高さで配置可能である複数の開口（８０）を設けていることを特徴とする、請求項９に記載のスペーサー変位装置。
【請求項１１】
旋回エレメント（４２）は、保持アーム（４２）を異なる高さに固定可能な窪み（９０）を設けていることを特徴とする、請求項９に記載のスペーサー変位装置。
【請求項１２】
保持アーム（４２）を旋回エレメント（４２）の適所に留めることを可能にする固定ネジ（８２）を設けたことを特徴とする、請求項１０又は１１に記載のスペーサー変位装置。
【請求項１３】
旋回エレメント（４４）と協働する較正エレメント（５４）を設けたことを特徴とする、請求項３から１２のいずれかに記載のスペーサー変位装置。
【請求項１４】
較正エレメント（５４）は、止め面（５６）と協働することを特徴とする、請求項１３に記載のスペーサー変位装置。
【請求項１５】
アクチュエーター（３４）とスペーサー（３２）との間に配置されワイヤー（４８）に作用する偏向デバイス（６０）を設けたことを特徴とする、請求項１又は２に記載のスペーサー変位装置。
【請求項１６】
偏向デバイス（６０）は、複数の偏向ローラ（６２）を備えることを特徴とする、請求項１５に記載のスペーサー変位装置。
【請求項１７】
偏向デバイスは、ワイヤー案内ケーシングを備えたことを特徴とする、請求項１５に記載のスペーサー変位装置。
【請求項１８】
偏向デバイスは、案内ダクト（７０）を備えたことを特徴とする、請求項１５に記載のスペーサー変位装置。
【請求項１９】
アクチュエーター（３４）は、ワイヤー（４８）がつながれたピストン（３６）を備えることを特徴とする、請求項１から１８のいずれかに記載のスペーサー変位装置。
【請求項２０】
ピストン（３６）は、加圧媒体によって負荷をかけることができる圧力チャンバの範囲を定めるものであることを特徴とする、請求項１９に記載のスペーサー変位装置。
【請求項２１】
圧力チャンバの範囲を定め、ピストン（３６）の初期位置を較正可能な調節エレメント（３９）を設けたことを特徴とする、請求項１９又は２０に記載のスペーサー変位装置。
【請求項２２】
リターンスプリング（５０）を設けたことを特徴とする、請求項１９から２１のいずれかに記載のスペーサー変位装置。
【請求項２３】
リターンスプリング（５０）は、ピストン（３６）に作用するものであることを特徴とする、請求項２２に記載のスペーサー変位装置。
【請求項２４】
請求項１から２３のいずれかに記載のスペーサー変位装置（３０）を備えたウエハ照明ユニット（１０）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエーターと、アクチュエーターによって作用位置と非動作位置との間で変位可能なスペーサーと、アクチュエーターにつながれた力伝達エレメントとを備えた、ウエハ照明ユニット用のスペーサー変位装置に関する。本発明はまた、このタイプのスペーサー変位装置を備えたウエハ照明ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
フォトリソグラフィ工程において、ウエハ照明ユニットは、ウエハに塗布されたフォトレジストを照らすために使用することができる。この照明は、マスクを通して行われ、マスクの影に従いフォトレジストの特定領域が照らされないように行われる。照明の機能として、フォトレジストの物理的性質は、後のステップでその一部分が除去可能であるように変化し、その結果、マスクの（ポジあるいはネガの）フォトレジスト・イメージがウエハの表面に残る。
【０００３】
後のステップにおいて、ウエハは三次元構造を生産するために続いて処理することができる。このようにして、例えば、半導体チップあるいはＭＥＭＳ（微小電気機械システム）が生産可能である。
【０００４】
フォトレジストの正確な照明のために、ウエハから正確に規定された距離にマスクが位置決めされることは重要である。この目的のために、マスクを位置決めするようにスペーサーが必要とされるとき、スペーサー変位装置によって非動作位置から作用位置へ変位される複数のスペーサーが使用されてもよい。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
図１及び図２は、既知のウエハ照明ユニット１０を示し、ここで使用されるスペーサー変位装置と共に示されている。合計３つのスペーサー変位装置１２、１４、１６がウエハ照明ユニットの基体１１に取り付けられている。これらの各々は、旋回アーム２０があてがわれたアクチュエーター１８を含む。それぞれにおいて、スペーサー、例えばスペーサーボール（「プロキシミティボール」）、ディスク、ローラーなど、は、旋回アーム２０の自由端、旋回軸から遠い、に取り付けられている。
【０００６】
図１に示す非動作位置から図２に示す作用位置へ旋回アーム２０を変位させるために、各アクチュエーター１８は、歯車セグメント２２に作用する歯付きロッドを備え、歯車セグメント２２は、それぞれの旋回アーム２０の旋回軸と同心で各旋回アーム２０に取り付けられている。歯付きロッドがアクチュエーター１８の内部での並進運動において変位するとき、これは旋回アーム２０の旋回運動をもたらす。
【０００７】
既知の構造は、比較的複雑である。
【０００８】
したがって発明の目的は、より単純な構造で、より信頼できて動作するスペーサー変位装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この目的を達成するために、上述のタイプのスペーサー変位装置において、発明は、力伝達エレメントがワイヤーから構成されることを提供する。このタイプの力伝達エレメントは、入り組んだ複雑な伝達を必要とせずにアクチュエーターの変位動作をスペーサーへ直接に伝達することを可能にする。歯付きロッドが省略される結果として、フォトリソグラフィ工程あるいはスペーサー調節ユニットの生産において使用される材料の結果としての、歯付きロッドの詰まり（jamming）のリスクはもはや存在しない。
【００１０】
好ましくは、ワイヤーは、定方向のワイヤー（directed wire）であり、言い換えるとワイヤーは、無負荷のとき曲率を有さず真っ直ぐに延在する。このことは、高精度を達成することを可能にする。
【００１１】
発明の１つの実施形態では、スペーサーは、旋回エレメントに取り付けられる。これは、スペーサーが旋回エレメントの旋回軸から非常に大きな距離で取り付けられている場合には、アクチュエーターの比較的小さなストロークをスペーサーの比較的大きな調節距離に変換することを可能にする。
【００１２】
好ましくは、この場合、旋回エレメントは、中間要素なしで、アクチュエーターのストロークを旋回エレメントの旋回運動に変換するようにワイヤーにつながれる。
【００１３】
この場合、ワイヤーは、信頼できるカップリングが単純な組み立てで達成されるような方法において旋回エレメントの開口に掛けられてもよい。
【００１４】
好ましくは、スペーサーは、旋回エレメントに接続される保持アームに取り付けられる。その結果、異なる保持アームが同じ旋回エレメントに取り付け可能であるようにモジュール構造は設けられる。
【００１５】
発明の１つの実施形態では、保持アームはワイヤーから構成される。これは、コスト効率の良い構造に帰着する。
【００１６】
スペーサーは、ワイヤーに直接取り付けられてもよい。これは、さらに低い製造コストにつながる。特に、スペーサーは、ワイヤーに通され接着可能である。これは、フォトリソグラフィ工程で使用される腐食性化学物質（aggressive chemicals）用の接着部位での小さなアクションエリア（action area）に帰着する。
【００１７】
単純な方法で異なる応用例にスペーサー変位装置を適応可能なように、保持アームは、好ましくは高さ調節可能な方法で旋回エレメントに取り付けられている。
【００１８】
この目的のために、１つの実施形態では、保持アームが配置可能な複数の開口が異なる高さで旋回エレメントに設けられてもよい。開口は、すべての位置において保持アームの信頼できる案内を保証する。
【００１９】
あるいはまた、旋回エレメントは、保持アームが異なる高さに固定可能な凹みを設けてもよい。その結果、保持アームの高さは、（ほぼ）連続的に調節することができる。
【００２０】
旋回エレメントにおいて保持アームを確実に固定可能なように、一方、もし要求されれば単純な方法でそれを解放しかつ異なる位置に再び装着可能なように、旋回エレメントにおける適所に保持アームを留めることができる固定ネジが好ましくは設けられる。
【００２１】
発明の好ましい実施形態において、止め面を備えた較正エレメントが設けられる。これは、作用位置においてスペーサーの配置を直接較正することを可能にする。
【００２２】
この場合、較正エレメントが止め面と協働するということが提供されてもよい。このことは、間に置かれる部品が必要ではないので、より単純な組み立て及び高精度に帰着する。
【００２３】
代替の実施形態では、アクチュエーターとスペーサーとの間に配置され、ワイヤーに作用する偏向デバイスが設けられる。この実施形態では、間に置かれた連結要素が必要なく、動作主体（actor）のストロークは、スペーサーの対応するストロークに直接変換される。
【００２４】
発明の１つの実施形態では、偏向デバイスは、複数の偏向ローラを備える。これは、ほとんど摩擦なくワイヤーをそらす、つまり偏向することを可能にする。
【００２５】
代わりの実施形態では、偏向デバイスは案内ダクトを備える。この変形は、より単純な組み立てとなることで区別される。
【００２６】
発明の１つの実施形態では、アクチュエーターは、ワイヤーが連結されるピストンを備える。その結果、ピストンのストロークは、ワイヤーのストロークに直接変換される。
【００２７】
ピストンは、加圧媒体によって負荷がかけられる圧力チャンバの範囲を定める。その結果、ピストンは、圧力チャンバに例えば真空あるいは圧縮空気を適用することにより、単純な方法で調節することができる。
【００２８】
原理上は、ピストンが電磁的に調節されることはさらに考えられる。
【００２９】
好ましくは、圧力チャンバの範囲を定め、ピストンの初期位置を較正可能にする調節エレメントが設けられる。その結果として、非動作位置においてスペーサーの位置は正確に較正することができる。
【００３０】
発明の１つの実施形態において、リターンスプリングが設けられる。これは、アクチュエーターがもはや動作しないとき、スペーサーが自動的に初期位置に戻されることを保証する。
【００３１】
リターンスプリングは、特にピストンに作用してもよい。これは、低摩擦でのコンパクトな構造に帰着する。
【００３２】
発明はまた、このタイプのスペーサー変位装置を備えたウエハ照明ユニットに関する。結果として生じる利点については、上の説明が参照される。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】図１は、従来技術によるスペーサー変位装置を備えたウエハ照明ユニットを示し、スペーサーが非動作位置にある状態を示している。
【図２】図２は、図１のウエハ照明ユニットを示し、スペーサーが作用位置にある状態を示している。
【図３】発明の第１実施形態によるスペーサー変位装置の部分断面図であり、スペーサーが非動作位置にある状態を示している。
【図４】図４は、図３のスペーサー変位装置を示し、スペーサーが作用位置にある状態を示している。
【図５】図５は、第１実施形態の変形例によるスペーサー変位装置の部分的な平面図であり、スペーサーが非動作位置にある状態を示している。
【図６】図６は、図５のスペーサー変位装置を示し、スペーサーが作用位置にある状態を示している。
【図７】図７は、図５のスペーサー変位装置における異なる断面での平面図を示す。
【図８】図８は、図７の断面での平面において図６のスペーサー変位装置を示す。
【図９】図９は、異なる較正状態における図７及び図８のスペーサー変位装置を示す。
【図１０】図１０は、図５から図９のスペーサー変位装置の側面での断面図である。
【図１１】図１１は、スペーサーが非動作位置にある状態で図５に示すスペーサー変位装置の変形例である。
【図１２】図１２は、スペーサー用の中央位置にある保持アームを備えた図５から図１１によるスペーサー変位装置用の調節エレメントの斜視図である。
【図１３】図１３は、図１２の調節エレメントの断面図である。
【図１４】図１４は、図１２の調節エレメントの斜視図であり、保持アームは下部位置にある。
【図１５】図１５は、図１４の調節エレメントの断面図である。
【図１６】図１６は、別の変形構成における調節エレメントの斜視図であり、保持アームは下部位置に取り付けられている。
【図１７】図１７は、図１６の調節エレメントの断面図である。
【図１８】図１８は、保持アームが中央位置にある状態において、図１６の調節エレメントの斜視図である。
【図１９】図１９は、図１８の調節エレメントの断面図である。
【図２０】図２０は、図１８及び図１９の構成にて使用される高さ調節部分の拡大図である。
【図２１】図２１は、発明の第２実施形態によるスペーサー変位装置の斜視図である。
【図２２】図２２は、図２１のスペーサー変位装置の断面図である。
【図２３】図２３は、第２実施形態の変形例におけるスペーサー変位装置である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
以下では、発明は、添付図面に示される２つの実施形態によって開示される。
図３は、スペーサー３２が図３に示す非動作位置から図４に示す作用位置へ変位することができるスペーサー変位装置３０を示す。
【００３５】
この場合、スペーサー３２は、フォトリソグラフィ工程にて使用されるようなウエハ照明ユニットにおけるウエハに関して規定の距離にマスクを配置するのに使用可能なボールである。
【００３６】
スペーサー変位装置３０は、アクチュエーター３４を備え、スペーサー３２はアクチュエーター３４によって変位することができる。
【００３７】
図３及び図４に示す実施形態において、アクチュエーター３４は、シリンダー３８内で調節可能に配置されるピストン３６を含む。シリンダー３８は、アクチュエーター３４の基体４０に設けられる。
【００３８】
スペーサー３２は、旋回エレメント４４に順に取り付けられる保持アーム４２に取り付けられている。旋回エレメント４４は、基体４０における軸４６の周りに旋回可能に配置されている。
【００３９】
この場合、保持アーム４２は、例えば金属、特にワイヤーから構成することができる、長くて真っ直ぐなロッドのように構成される。それは、旋回エレメント４が回転するときに調節されるような方法で、旋回エレメント４４に接続される。保持アーム４２は、例えば、旋回エレメント４４の凹部へ留められてもよい。
【００４０】
旋回エレメント４４は、ワイヤーで構成される力伝達エレメント４８によってピストン３６に接続される。示された実施形態では、真っ直ぐに延在する定方向のワイヤーが使用される。
【００４１】
力伝達エレメント４８は、旋回エレメント４４に旋回可能に接続される。示された実施形態では、力伝達エレメント４８の、ある角度に設定された端部分は、旋回エレメント４４の開口に掛けられる。よってこの接続は、自転車のスポークのわん曲した端部（elbowed end）がハブの開口に収容されるような自転車のスポークとハブとの間の接続に類似する。
【００４２】
旋回エレメント４４から遠い、力伝達エレメント４８の端部分は、耐引張及び耐圧縮の方法でピストン３６に接続される。ピストン３６は、例えば、力伝達エレメント４８が差し込まれる中央の開口を有してもよい。
【００４３】
シリンダー３８において、ピストン３６の、旋回エレメントから遠い側方にリターンスプリング５０が配置され、リターンスプリング５０は、スペーサー３２が非動作位置にある図３に示す初期位置にピストン３６を付勢する。
【００４４】
シリンダー３８に形成されピストン３６によって一端が密閉される圧力チャンバに制御された方法で圧力が印加可能なように、シリンダーは、圧力媒体ターミナル５２に接続される。
【００４５】
図３に示す非動作位置から図４に示す作用位置へスペーサー３２を変位させるために、シリンダー内の圧力チャンバは、圧力媒体ターミナル５２を介して真空に接続される。その結果、ピストン３６は、図３及び図４に対してリターンスプリング５０の動作とは反対方向に上方へ変位される。このストロークは、力伝達エレメント４８を介して旋回エレメント４４に伝達され、したがって（スペーサー３２と共に）時計回りへの旋回運動を実行する。
【００４６】
再び非動作位置にスペーサー３２を戻すために、シリンダー３８内部の圧力チャンバは、圧力媒体ターミナル５２を介して通気される。このことは、リターンスプリング５０の動作の下、ピストン３６が初期位置へ戻り、よって旋回エレメント４４が反時計回りに旋回するという結果を有する。
【００４７】
力伝達エレメント４８によって、ピストン３６のストロークは、旋回エレメント４４へ摩擦なしに直接かつ事実上伝達される。旋回エレメント４４が非動作位置と作用位置との間で調節されるとき、旋回エレメント４４と力伝達エレメント４８との間の接続ポイントによって起こる僅かな横方向の撓みは、ピストンが破壊的な傾動モーメントで付勢されることなく、力伝達エレメント本来の弾性の結果として力伝達エレメントによって受け取ることができる。
【００４８】
図５から図１０は、スペーサー変位装置の第１実施形態における変形例を示している。同じ参照符号が第１実施形態から既知の部品用に使用されており、この点に関して上の記述が参照される。
【００４９】
第１実施形態と、図５から図１０の変形構成との間の主な相違点は、変形構成では、ピストンが真空の使用ではなく圧縮空気（あるいは圧力下の気体）を使用して変位するという点である。
【００５０】
図５及び図６に見ることができるように、ピストン３６及びロックエレメント３９は、シリンダー３８内に配置される。リターンスプリング５０は、圧力ターミナル５２に面するピストン３６の側方、換言するとピストン３６と旋回エレメント４４との間、に配置される。
【００５１】
圧縮空気が圧力ターミナル５２に供給されたとき、スペーサー３２が非動作位置から作用位置へ移されるように、ピストンは、図５に示す初期位置から図６に示す作用位置へ移動される。
【００５２】
非動作位置におけるスペーサー３２の配置は、シリンダー内にロックエレメントがより大きい範囲あるいはより小さい範囲でふさがれることで較正することができる。この目的のために、ロックエレメント３９は、基体４０におけるシリンダー３８の雌ねじに係合する雄ねじを設けてもよい。
【００５３】
作用位置におけるスペーサー３２の配置は、旋回エレメント４４と協働することができる較正エレメント５４（図７及び図８を参照）を使用して較正することができる。
【００５４】
示された実施形態では、止め面５６が旋回エレメント４４に設けられ、スペーサー３２、よって旋回エレメント４４が作用位置（図８を参照）にあるとき、止め面５６は較正エレメント５４にぶつかる。
【００５５】
ロックエレメント３９に類似の方法で、較正エレメント５４は、基体４０の雌ねじに係合する雄ねじを設けることができる。
【００５６】
図８で見ることができるように、較正エレメント５４によって、スペーサー３２は、非動作位置と作用位置との間で正確に９０°にて配置されることが保証されるだけでなく、他の旋回角度にも設定可能である。この場合、較正エレメント５４は、スペーサー３２の旋回角度が図７及び図８に示される変形例におけるものよりも小さいように、基体４０内へさらにねじ込まれる。
【００５７】
図１０では、旋回エレメント４４が円筒状に形成され、その周辺面が基体４０のシリンダー凹部５７へ挿入されることを見ることができる。止め面５６は、特別の深さによって旋回エレメントへ延在する溝５８の底として形成される。保持アーム４２は、旋回エレメント４４に設けられた凹部５９内へ留められる。
【００５８】
図１１は、スペーサー変位装置のさらなる変形例を示す。図５から図１０に示される変形例との相違点は、凹部４３を設けたカバーエレメント４１が基体４０に置かれることである。
【００５９】
非常に長い保持アームにスペーサーが取り付けられている場合、スペーサーがスペーサー変位装置３０の外へ自由に突出し保護されないものよりも、カバーエレメント４１に「置かれる」ように、カバーエレメント４１は、基体４０の拡張を形成する。この場合、それ及びスペーサー３２は、機械負荷及び任意の汚れに対して非常に良好に保護される。
【００６０】
カバーエレメント４１は、ねじ４５によって基体４０に解放可能に固定される。このように、調節デバイスは、構成状況にモジュール式に適用可能である。
【００６１】
異なる構成及び応用分野を考慮して、保持アーム４２及び、よってスペーサー３２を異なる高さに調節可能に準備することは望ましい。この目的のために旋回エレメント４４は、単純な方法で使用することができる。
【００６２】
図１２及び図１３は、保持アーム４２の高さを調節するのに適した旋回エレメント４４の構成を示す。旋回エレメント４４は、旋回エレメント４４の円筒状の外面から内側へ延在する複数の開口８０を設けている。
【００６３】
示された実施形態では、開口８０は半径方向に延在する。しかしながら、開口８０は半径方向に斜めに延在することも可能である。
【００６４】
この場合、合計で４つの開口８０が使用されており、それはすべて互いの上に配列されている。その結果、保持アーム４２をそれぞれ所望の高さに配置することができる（比較すると、一方の図１２及び図１３では、保持アーム４２は２つの中央位置のうちの１つに配置され、他方の図１４及び図１５では保持アームは下部位置に存在する）。
【００６５】
それぞれの選択された開口８０に保持アーム４２を固定するために、固定ネジ８２が使用されてもよく、固定ネジは保持アームが確実に適所に固定される程度まで留め穴８４へねじ込まれる。必要に応じて、保持アーム４２が最下位置にない場合には、スペーサー８６（図１３を参照）が真下に置かれてもよい。
【００６６】
図１２及び図１４において、窪み９０も見ることができ、窪み９０には２つの通路９２が開いている。これは、例えば、通路９２の窪み９０との交点に設けられた凹部に力伝達エレメントのボールヘッドを留めることによって、力伝達エレメント４８が旋回エレメント４４に連結される所である。
【００６７】
図１６及び図１７は、図１２から図１５における実施形態の場合のような段階状ではなく、保持アームの高さを（事実上）連続的に調節することができる旋回エレメント４４の変形例を示す。
【００６８】
この目的のために、受入れダクト９４が旋回エレメントに設けられ、かつ開口８０の全体と同じ配向で旋回エレメントを通り延在する。示された実施形態では、受入れダクトは、旋回エレメントの上面から旋回エレメントを直径方向に延在し旋回エレメントの底面の真上で終端する凹みとして構成されている。
【００６９】
保持アーム４２は、固定ネジ８２によって固定される受入れダクト９４に挿入される。固定ネジは、受入れダクト９４と交差する留め穴８４に設けたねじと係合する。
【００７０】
保持アーム４２が最下位置に固定される場合、固定ネジ８２は、受入れダクト９４の底に対して保持アームを留める（図１６及び図１７を参照）。
【００７１】
保持アームが高位置（図１８及び図１９を参照）に固定される場合には、留めダクトの底に対して突っ張りかつ保持アーム４２がそれに対して続いて位置決めされる高さ調節部分９６が留めダクト及び／又は留め穴に置かれる。よって固定ネジ８２は、高さ調節部分の上面に対して保持アームを留める。
【００７２】
図２０は、高さ調節部分９６の構成を示す。これはシリンダーであり、その外径は、留め穴８４の内径にほぼ相当する。その上面において、高さ調節部分は、保持アームが平らな状態で受け入れられるように半円筒状のへこみ９８を設けている。
【００７３】
保持アームが非常に細かなステップにおいてそれぞれ所望の高さに装着可能な方法において、高さ調節部分９６は、多くの異なる高さに持ち上げることができる。
【００７４】
図２１及び図２２は、第２実施形態を示す。第１実施形態に示した部品に関して同じ参照数字が使用されており、この点に関して上の記述が参照される。
【００７５】
第１実施形態と第２実施形態との間の差異は、第２実施形態では、スペーサー３２が回転の代わりに並進運動にて変位される点である。
【００７６】
第２実施形態において、スペーサー３２は、力伝達エレメント４８に取り付けられている。この場合もまた、力伝達エレメント４８は、定方向のワイヤーによって形成される。力伝達エレメントは偏向デバイス６０を介してアクチュエーター３４のピストン３６から案内される。偏向デバイス６０は、ピストン３６のストロークの方向から外れた方向において非動作位置と作用位置との間でスペーサー３２を変位することを可能にする。これは、利用可能な構成スペースの制限の観点において好都合になり得る。
【００７７】
示された実施形態では、偏向デバイス６０は、力伝達エレメント４８を９０°そらす複数の偏向ローラ６２から構成される。偏向ローラ６２は、力伝達エレメント４８が塑性変形しない十分に大きな曲率半径で案内されるような方法で配列される。
【００７８】
偏向デバイス６０とスペーサー３２との間にワイヤーガイド６４がさらに設けられ、これは、スペーサー変位装置３０の出口部分で力伝達エレメント４８をさらに安定させる。
【００７９】
偏向ローラ６２の代わりに、ボーデンケーブルに類似したワイヤーガイドも所望の方法でワイヤーを案内し偏向するように使用されてもよい。ボーデンケーシングのカウンターベアリングが調節可能な場合には、スペーサー３２の位置は、単純な方法で調節方向において較正することができる。
【００８０】
図２３は、第２実施形態の変形例を示す。第２実施形態に示した部品に関して同じ参照数字が使用されており、この点に関して上の記述が参照される。
【００８１】
図２３に示される変形例と、図２１及び図２２の実施形態との間の主な差異は、図２３では、偏向デバイス６０が偏向ローラを有しておらず、その代りに、基体４０に設けた曲がったダクト７０によって形成されるという点である。
【００８２】
その結果、力伝達エレメント４８は、ピストン３６の変位方向から外れてスペーサー３２用の所望の変位方向へ偏向される。
【００８３】
さらなる相違点は、図２３のスペーサー変位装置では、スペーサー３２が非動作位置では基体４０における凹部７２に「置かれる」という力伝達エレメントが十分に短く構成されるということである。これは、力伝達エレメント４８が同様により短くなり、ワイヤーガイド６４が省略される場合には、原理的に図２１及び図２２に示す実施形態においても可能である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【外国語明細書】
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