(57)【要約】【課題】反りや撓みのある平板状の被測定物の厚みを正確に測定することが可能な厚み測定装置を提供すること。【解決手段】上面に板状の被測定物Ｍを載置する平坦な載置面１ａを有する載置台１と、載置台１の上方に固定されており、先端に測定子２ｂを有するシャフト２ａが直動可能に下方に突き出たリニアゲージ２と、載置面１ａに載置された被測定物Ｍの厚み測定箇所を上方から押圧する突起部３ｂを下面に有するとともに突起部３ｂと対向する上面に測定子２ｂの先端が当接する当接部を有する押圧治具３と、を具備する厚み測定装置１０である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に板状の被測定物を載置する平坦な載置面を有する載置台と、該載置台の上方に固定されており、先端に測定子を有するシャフトが直動可能に下方に突き出たリニアゲージと、前記載置面に載置された前記被測定物の厚み測定箇所を上方から押圧する突起部を下面に有するとともに該突起部と対向する上面に前記測定子の先端が当接する当接部を有する押圧治具と、を具備することを特徴とする厚み測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状の被測定物の厚みを測定するための厚み測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図４に示すように、従来、板状の被測定物の厚みを測定するための厚み測定装置２０は、主として載置台１１とリニアゲージ１２とを備えている。
【０００３】
載置台１１は、上面に平坦な載置面１１ａを有している。載置台１１の上面の一角には、支柱１３が立設されている。支柱１３からは載置台１１の中央部に向けて固定腕１４が延びている。
【０００４】
リニアゲージ１２は、固定椀１４により載置台１１の上方に固定されている。リニアゲージ１２は、直動可能に下方に突き出たシャフト１２ａを有している。シャフト１２ａの先端には、測定子１２ｂが取り付けられている。
【０００５】
この厚み測定装置２０を用いた厚み測定は、次のようにして行う。
【０００６】
先ず、載置面１１ａに測定子１２ｂの先端を当接させた状態でリニアゲージ１２の測定値をゼロリセットする。
【０００７】
次に、図５に示すように、測定子１２ｂの先端を上方に持ち上げた状態で、載置面１１ａに被測定物Ｍを載置する。
【０００８】
次に、図６に示すように、測定子１２ｂの先端を被測定物Ｍの厚み測定箇所の上面に当接させる。このときのリニアゲージ１２の測定値を被測定物Ｍの厚み測定箇所における厚みとする。
【０００９】
しかしながら、図７に示すように、被測定物Ｍに反りや撓みがある場合、被測定物Ｍの厚み測定箇所と載置面１１ａとの間に隙間が形成されて正確な厚みを測定できない場合がある。
【００１０】
また、被測定物Ｍの厚み測定箇所と載置面１１ａとを密着させるためにシャフト１２ａ先端の測定子１２ｂを被測定物Ｍに大きな力で当接させると、図８に示すように、被測定物Ｍの厚み測定箇所と載置面１１ａとは密着するものの、シャフト１２ａに歪みが発生してしまい、そのため正確な厚みを測定できない場合がある。
【００１１】
なお、被測定物を載置台に真空吸着により被測定物を載置面に密着させた状態で被測定物の厚みを測定する方法が提案されている。しかしながら、被測定物が貫通孔を有する場合などは、この方法を適用することができない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開昭６２−７５２０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、反りや撓みのある平板状の被測定物の厚みを正確に測定することが可能な厚み測定装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の厚み測定装置は、上面に板状の被測定物を載置する平坦な載置面を有する載置台と、該載置台の上方に固定されており、先端に測定子を有するシャフトが直動可能に下方に突き出たリニアゲージと、前記載置面に載置された前記被測定物の厚み測定箇所を上方から押圧する突起部を下面に有するとともに該突起部と対向する上面に前記測定子の先端が当接する当接部を有する押圧治具と、を具備することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の厚み測定装置によれば、載置面に載置された被測定物の厚み測定箇所を押圧治具の突起部で上方から大きな力で押圧して厚み測定箇所と載置面とを密着させることができる。そしてその状態で押圧治具の上面の当接部にリニアゲージの測定子を小さな力で当接させることによりリニアゲージのシャフトに歪を発生させることなく厚み測定箇所の厚みを正確に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本発明の厚み測定装置の実施形態の一例を示す概略断面図である。
【図２】図２は、本発明の厚み測定装置の実施形態の一例に被測定物を載置した状態を示す概略断面図である。
【図３】図３は、本発明の厚み測定装置の実施形態の一例により被測定物の厚みを測定している状態を示す概略断面図である。
【図４】図４は、従来の厚み測定装置の概略断面図である。
【図５】図５は、従来の厚み測定装置に被測定物を載置した状態を示す概略断面図である。
【図６】図６は、従来の厚み測定装置により被測定物の厚みを測定している状態を示す概略断面図である。
【図７】図７は、従来の厚み測定装置により反りのある被測定物の厚みを測定している状態を示す概略断面図である。
【図８】図８は、従来の厚み測定装置により反りのある被測定物の厚みを大きな力をかけて測定している状態を示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
次に、本発明の厚み測定装置の実施形態の一例を添付の図面を基に説明する。本例の厚み測定装置１０は、図１に示すように、主として載置台１と、リニアゲージ２と、押圧治具３とを備えている。
【００１８】
載置台１の上面は、平坦な載置面１ａとなっている。載置台１の一角には、支柱５が立設されている。支柱５の中腹には、載置台１の中央部に向けて突出する固定腕６が設けられている。支柱５の上端部には、固定腕６の上方に突出する固定ブロック７が設けられている。固定ブロック７の下面には、リニアガイド８が下方に突き出るように設けられている。固定ブロック７の先端面には駆動シリンダー４が固定されている。駆動シリンダー４は、直動可能に下方に突き出たシリンダー軸４ａを有している。駆動シリンダー４は、例えば空気圧で作動する。
【００１９】
リニアゲージ２は、固定椀６により載置台１の上方に固定されている。リニアゲージ２は、直動可能に下方に突き出たシャフト２ａを有している。シャフト２ａの先端には、測定子２ｂが取り付けられている。測定子２ｂの先端は例えば球面あるいは水平な平面をしている。
【００２０】
押圧治具３は、駆動シリンダー４のシリンダー軸４ａに固定されてリニアガイド８により鉛直方向に直動可能に保持されている。押圧治具３は、剛性を有するＬ字型の部材であり、下端部にリニアゲージ２の下方に突出する平板状の押圧腕３ａを有している。押圧腕３ａの上面には、リニアゲージ２の測定子２ｂが当接する当接部を有している。押圧腕３ａの下面には、測定子２ｂとの当接部に対向する位置に突起部３ｂが設けられている。突起部３ｂの先端は、例えば球面あるいは水平な平面をしている。
【００２１】
この厚み測定装置１０を用いた厚み測定は、次のようにして行う。
【００２２】
先ず、載置面１ａに押圧治具３の突起部３ｂの先端を当接させるとともにリニアゲージ２の測定子２ｂの先端を押圧腕３ａの上面の当接部に当接させたた状態でリニアゲージ２の測定値をゼロリセットする。
【００２３】
次に、図２に示すように、測定腕３ａを上方に持ち上げた状態で、載置面１ａに被測定物Ｍを載置する。被測定物Ｍは反りを有している。
【００２４】
次に、図３に示すように、押圧治具３をリニアゲージ２のシャフト２ａとともに下降させて被測定物Ｍの厚み測定箇所を突起部３ｂで上方から押圧して厚み測定箇所と載置面１ａとを密着させる。このときのリニアゲージ２の測定値を被測定物Ｍの測定箇所における厚みとする。
【００２５】
このとき、本例の厚み測定装置１０によれば、載置面１ａに載置された被測定物Ｍの厚み測定箇所を押圧治具３の突起部３ａで上方から大きな力で押圧して厚み測定箇所と載置面１ａとを密着させることができる。そしてその状態で押圧腕３ａの上面の当接部にリニアゲージ２の測定子２ｂを小さな力で当接させることによりリニアゲージ２のシャフト２ａに歪を発生させることなく厚み測定箇所の厚みを正確に測定することができる。
【００２６】
なお、本発明の厚み測定装置は、上述の実施形態の一例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変更は可能である。例えば上述の実施形態の一例では、押圧治具３は空気圧により駆動シリンダー４により駆動されたが、押圧治具３は油圧によるシリンダーやサーボモーター等の他の駆動手段により駆動されてもよい。
【符号の説明】
【００２７】
１    載置台
１ａ  載置面
２    リニアゲージ
２ａ  シャフト
２ｂ  測定子
３    押圧治具
３ｂ  突起部
Ｍ    被測定物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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