(57)【要約】【課題】受光素子層上に遮光体を配した構造を有するイメージセンサの低背化を実現する。【解決手段】本開示の第１の側面であるイメージセンサは、遮光壁と前記遮光壁間に充填されている透光部とから成る遮光体と、前記遮光体の前記透光部を介して入力された入射光に応じて光電変換を行う多数の受光素子が配列された受光素子層とを備え、前記遮光体を成す透光部の少なくとも一部は、レンズ状に形成されている。本開示は、例えば、複眼光学系に適用できる。【選択図】図２
2017022200.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
遮光壁と前記遮光壁間に充填されている透光部とから成る遮光体と、
前記遮光体の前記透光部を介して入力された入射光に応じて光電変換を行う多数の受光素子が配列された受光素子層と
を備え、
前記遮光体を成す透光部の少なくとも一部は、レンズ状に形成されている
イメージセンサ。
【請求項２】
前記遮光体と前記受光層とを接合する接合層を
さらに備える
請求項１に記載のイメージセンサ。
【請求項３】
前記遮光体の入射側を平坦化する保護膜を
さらに備える請求項２に記載のイメージセンサ。
【請求項４】
前記遮光体を成す透光部の前記受光素子側は、レンズ状に形成されている
請求項２に記載のイメージセンサ。
【請求項５】
前記遮光体を成す透光部の光の入射側は、レンズ状に形成されている
請求項２に記載のイメージセンサ。
【請求項６】
前記遮光体を成す透光部の前記受光素子側および光の入射側は、それぞれレンズ状に形成されている
請求項２に記載のイメージセンサ。
【請求項７】
前記遮光体を成す透光部は、球レンズ状に形成されている
請求項２に記載のイメージセンサ。
【請求項８】
前記遮光体を成す透光部には、高屈折率の透明材から成る第１の層と、前記高屈折率の透明材から放射されるα線を遮蔽する遮蔽材から成る第２の層が積層されている
請求項２に記載のイメージセンサ。
【請求項９】
前記第１の層を成す透明材には、重金属が含有されている
請求項８に記載のイメージセンサ。
【請求項１０】
前記第２層は、SiＯ２から成る
請求項８に記載のイメージセンサ。
【請求項１１】
イメージセンサが搭載された電子機器において、
前記イメージセンサは、
遮光壁と前記遮光壁間に充填されている透光部とから成る遮光体と、
前記遮光体の前記透光部を介して入力された入射光に応じて光電変換を行う多数の受光素子が配列された受光素子層と
を備え、
前記遮光体を成す透光部の少なくとも一部は、レンズ状に形成されている
電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、イメージセンサ、および電子機器に関し、特に、例えば、複眼光学系に用いて好適なイメージセンサ、および電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば複眼光学系に用いるイメージセンサとして、マイクロレンズと受光素子との間に遮光体を設ける構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
図１は、マイクロレンズと受光素子との間に遮光体を設けた、従来のイメージセンサの構成の一例を示している。
【０００４】
このイメージセンサ１０は、受光素子層１１、透明絶縁層１３、遮光体１４、およびマイクロレンズアレイ１７が積層されて構成される。受光素子層１１は、縦横に配置された多数の受光素子１２から成る。遮光体１４は、黒顔料樹脂から成る遮光壁１５と、光重合性樹脂から成る透光部１６から成る。マイクロレンズアレイ１７は、マイクロレンズの上面にカバーガラスなどを積層して平坦化されている。
【０００５】
イメージセンサ１０によれば、マイクロレンズアレイ１７により受光素子層１１の各区画に入射光を集光することができる。また、遮光体１４により、集光された入射光が隣接する区画に漏れ出すことを抑止できる。さらに、遮光体１４を成す遮光壁１５間に透光部１６が配置されているので、温度変化等の周囲の環境変化によって遮光壁１５の側面が発生することを防止できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−７２６６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述したイメージセンサ１０の場合、遮光体１４の上にマイクロレンズアレイ１７を形成する必要があることに加え、マイクロレンズアレイ１７をカバーガラスなどの積層によって平坦化する場合、イメージセンサ１０の全体としての高さが高くなってしまい、低背化が困難であった。
【０００８】
本開示はこのような状況に鑑みてなされたものであり、受光素子層上に遮光体を配した構造を有するイメージセンサの低背化を実現できるようにするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本開示の第１の側面であるイメージセンサは、遮光壁と前記遮光壁間に充填されている透光部とから成る遮光体と、前記遮光体の前記透光部を介して入力された入射光に応じて光電変換を行う多数の受光素子が配列された受光素子層とを備え、前記遮光体を成す透光部の少なくとも一部は、レンズ状に形成されている。
【００１０】
本開示の第１の側面であるイメージセンサは、前記遮光体と前記受光層とを接合する接合層をさらに備えることができる。
【００１１】
本開示の第１の側面であるイメージセンサは、前記遮光体の入射側を平坦化する保護膜をさらに備えることができる。
【００１２】
前記遮光体を成す透光部の前記受光素子側は、レンズ状に形成されているようにすることができる。
【００１３】
前記遮光体を成す透光部の光の入射側は、レンズ状に形成されているようにすることができる。
【００１４】
前記遮光体を成す透光部の前記受光素子側および光の入射側は、それぞれレンズ状に形成されているようにすることができる。
【００１５】
前記遮光体を成す透光部は、球レンズ状に形成されているようにすることができる。
【００１６】
前記遮光体を成す透光部には、高屈折率の透明材から成る第１の層と、前記高屈折率の透明材から放射されるα線を遮蔽する遮蔽材から成る第２の層が積層されているようにすることができる。
【００１７】
前記第１の層を成す透明材には、重金属が含有されているようにすることができる。
【００１８】
前記第２層は、SiＯ２から成るようにすることができる。
【００１９】
本開示の第２の側面である電子機器は、イメージセンサが搭載された電子機器において、前記イメージセンサが、遮光壁と前記遮光壁間に充填されている透光部とから成る遮光体と、前記遮光体の前記透光部を介して入力された入射光に応じて光電変換を行う多数の受光素子が配列された受光素子層とを備え、前記遮光体を成す透光部の少なくとも一部は、レンズ状に形成されている。
【００２０】
本開示の第１および第２の側面においては、遮光体を成す透光部に形成されているレンズ形状の部位を介して、入射光が受光素子層に入射される。
【発明の効果】
【００２１】
本開示の第１および第２の側面によれば、イメージセンサの低背化を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】従来のイメージセンサの構成の一例を示す断面図である。
【図２】本開示を適用したイメージセンサの第１の構成例を示す断面図である。
【図３】本開示を適用したイメージセンサの第２の構成例を示す断面図である。
【図４】本開示を適用したイメージセンサの第３の構成例を示す断面図である。
【図５】本開示を適用したイメージセンサの第４の構成例を示す断面図である。
【図６】本開示を適用したイメージセンサの第５の構成例を示す断面図である。
【図７】本開示を適用したイメージセンサの第６の構成例を示す断面図である。
【図８】本開示を適用した電子装置の使用例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本開示を実施するための最良の形態（以下、実施の形態と称する）について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２４】
＜本開示の実施の形態であるイメージセンサの第１の構成例＞
図２は、本開示の実施の形態であるイメージセンサの第１の構成例を示している。
【００２５】
このイメージセンサ２０は、別途生成された受光素子層２１と遮光体２３が薄膜接合樹脂層２２により接合されて形成される。
【００２６】
受光素子層２１は、縦横に配置された多数の受光素子から成る。薄膜接合樹脂層２２は、透明材から成り、受光素子層２１と遮光体２３を隙間なく接合するために配される。
【００２７】
遮光体２３は、Ｓｉなどの遮光材から成る遮光壁２５と、ガラスまたは樹脂などの透明材から成る透光部２４と、透光部２４の下辺側（受光素子側）に形成された下方レンズ部２６から成る。遮光壁２５は、Ｓｉなどの遮光材に対してリソグラフィとドライエッチングなどの加工によって貫通孔を開口することにより形成される。透光部２４は、遮光壁２５の間（すなわち、貫通孔）に透明材が充填されることにより形成される。下方レンズ部２６は、透光部２４の透明材がレンズ状に加工されることにより形成される。遮光壁２５の間にそれぞれ形成された下方レンズ部２６は、直下の受光素子層２１に入射光を集光することができる。
【００２８】
保護膜２７は、遮光体２３の入射面側を保護するとともに平坦化する目的で必要に応じて配される。
【００２９】
図２の場合、下方レンズ部２６は下方向（受光素子層２１の方向）に凸形状とされている。透光部２４を成す透明材がガラスである場合、その屈折率は、例えば１．４であり、薄膜接合樹脂層２２の屈折率は透光部２４の屈折率よりも低いことが望ましい。
【００３０】
なお、下方レンズ部２６の形状は、イメージセンサ２０からどのような画像を出力したいかに依存して決められるものであり、受光素子上に必要な結像が得られる形状であれば、図示する凸形状に限るものではなく、例えば凹形状であってもよい。
【００３１】
イメージセンサ２０においては、遮光体２３の透光部２４に入射した光が下方レンズ部２６によって、その直下の受光素子層２１の区画に集光される。したがって、図１に示されたような、マイクロレンズと平坦化膜から成るマイクロレンズアレイ１７が不要となるので、イメージセンサ２０の高さを低背化することが可能となる。
【００３２】
また、受光素子層２１と遮光体２３は薄膜接合樹脂層２２により隙間なく接合されているので、従来その隙間に起こり得た結露を防止することができる。よって、得られる画像の劣化を抑止することができる。
【００３３】
＜本開示の実施の形態であるイメージセンサの第２の構成例＞
次に、図３は、本開示の実施の形態であるイメージセンサの第２の構成例を示している。
【００３４】
なお、該第２の構成例であるイメージセンサ３０の構成要素のうち、上述したイメージセンサ２０の構成要素と共通するものについては、同一の符号を付しているので、その説明は適宜省略する。
【００３５】
このイメージセンサ３０は、別途生成された受光素子層２１と遮光体３１が薄膜接合樹脂層２２により接合されて形成される。
【００３６】
遮光体３１は、Ｓｉなどの遮光材から成る遮光壁２５と、ガラスまたは樹脂などの透明材から成る透光部２４と、透光部２４の上辺側（光の入射側）に形成された上方レンズ部３２から成る。遮光壁２５は、Ｓｉなどの遮光材に対してリソグラフィとドライエッチングなどの加工によって貫通孔を開口することにより形成される。透光部２４は、遮光壁２５の間（すなわち、貫通孔）に透明材が充填されることにより形成される。下方レンズ部２６は、透光部２４の透明材がレンズ状に加工されることにより形成される。遮光壁２５の間にそれぞれ形成された上方レンズ部３２は、直下の受光素子層２１に入射光を集光することができる。
【００３７】
図３の場合、上方レンズ部３２は上方向（光の入射面の方向）に凸形状とされている。透光部２４を成す透明材がガラスである場合、その屈折率は、例えば１．４であり、保護膜２７の屈折率は、透光部２４の屈折率よりも低いことが望ましい。また、透光部２４と接合する薄膜接合樹脂層２２の屈折率は、透光部２４の屈折率とできるだけ近いことが望ましい。
【００３８】
なお、上方レンズ部３２の形状は、イメージセンサ３０からどのような画像を出力したいかに依存して決められるものであり、受光素子上に必要な結像が得られる形状であれば、図示する凸形状に限るものではなく、例えば凹形状であってもよい。
【００３９】
イメージセンサ３０においては、遮光体３１の上方レンズ部３２によって集光された入射光が透光部２４を通ってその直下の受光素子層２１の区画に集光される。したがって、図１に示されたような、マイクロレンズと平坦化膜から成るマイクロレンズアレイ１７が不要となるので、イメージセンサ３０の高さを低背化することが可能となる。
【００４０】
また、受光素子層２１と遮光体３１は薄膜接合樹脂層２２により隙間なく接合されているので、従来その隙間に起こり得た結露を防止することができる。よって、得られる画像の劣化を抑止することができる。
【００４１】
＜本開示の実施の形態であるイメージセンサの第３の構成例＞
次に、図４は、本開示の実施の形態であるイメージセンサの第３の構成例を示している。
【００４２】
なお、該第３の構成例であるイメージセンサ４０の構成要素のうち、上述したイメージセンサ２０，３０の構成要素と共通するものについては、同一の符号を付しているので、その説明は適宜省略する。
【００４３】
このイメージセンサ４０は、別途生成された受光素子層２１と遮光体４１が薄膜接合樹脂層２２により接合されて形成される。
【００４４】
遮光体４１は、Ｓｉなどの遮光材から成る遮光壁２５と、ガラスまたは樹脂などの透明材から成る透光部２４と、透光部２４の下辺側（受光素子側）に形成された下方レンズ部２６と、透光部２４の上辺側（光の入射側）に形成された上方レンズ部３２から成る。
【００４５】
図４の場合、下方レンズ部２６は下方向（受光素子の方向）に凸形状、上方レンズ部３２は上方向（光の入射面の方向）に凸形状とされている。透光部２４を成す透明材がガラスである場合、その屈折率は、例えば１．４であり、薄膜接合樹脂層２２と保護膜２７の屈折率は、透光部２４の屈折率よりも低いことが望ましい。
【００４６】
イメージセンサ４０においては、遮光体４１の上方レンズ部３２および２６によって集光された入射光がその直下の受光素子層２１の区画に集光される。したがって、図１に示されたような、マイクロレンズと平坦化膜から成るマイクロレンズアレイ１７が不要となるので、イメージセンサ４０の高さを低背化することが可能となる。
【００４７】
また、受光素子層２１と遮光体４１は薄膜接合樹脂層２２により隙間なく接合されているので、従来その隙間に起こり得た結露を防止することができる。よって、得られる画像の劣化を抑止することができる。
【００４８】
＜本開示の実施の形態であるイメージセンサの第４の構成例＞
次に、図５は、本開示の実施の形態であるイメージセンサの第４の構成例を示している。
【００４９】
なお、該第４の構成例であるイメージセンサ５０の構成要素のうち、上述したイメージセンサ２０，３０，４０の構成要素と共通するものについては、同一の符号を付しているので、その説明は適宜省略する。
【００５０】
このイメージセンサ５０は、別途生成された受光素子層２１と遮光体５１が薄膜接合樹脂層２２により接合されて形成される。
【００５１】
遮光体５１は、Ｓｉなどの遮光材から成る遮光壁２５と、ガラスまたは樹脂などの透明材から成る透光部２４と、透光部２４の下辺側（受光素子側）に形成された下方レンズ部５２と、透光部２４の上辺側（光の入射側）に形成された上方レンズ部５３から成る。
【００５２】
透光部２４を成す透明材がガラスである場合、その屈折率は、例えば１．４であり、薄膜接合樹脂層２２と保護膜２７の屈折率は、透光部２４の屈折率よりも低いことが望ましい。
【００５３】
図５の場合、下方レンズ部５２は下方向（受光素子の方向）に凸形状、上方レンズ部５３は上方向（光の入射面の方向）に凸形状とされている。ただし、下方レンズ部５２および５３は、イメージセンサ４０の下方レンズ部２６および３２に比較して、凸形状の曲率が大きく形成されている。これにより、遮光体５１の厚さを、イメージセンサ４０の遮光体４１の厚さに比較して薄く形成することができる。
【００５４】
イメージセンサ５０においては、遮光体５１の上方レンズ部５３および５２によって集光された入射光がその直下の受光素子層２１の区画に集光される。したがって、図１に示されたような、マイクロレンズと平坦化膜から成るマイクロレンズアレイ１７が不要となる。また、上述したように、遮光体５１の厚さも薄く形成することができるので、イメージセンサ５０の高さをより低背化することが可能となる。
【００５５】
また、受光素子層２１と遮光体５１は薄膜接合樹脂層２２により隙間なく接合されているので、従来その隙間に起こり得た結露を防止することができる。よって、得られる画像の劣化を抑止することができる。
【００５６】
＜本開示の実施の形態であるイメージセンサの第５の構成例＞
次に、図６は、本開示の実施の形態であるイメージセンサの第５の構成例を示している。
【００５７】
なお、該第５の構成例であるイメージセンサ６０の構成要素のうち、上述したイメージセンサ２０，３０，４０，５０の構成要素と共通するものについては、同一の符号を付しているので、その説明は適宜省略する。
【００５８】
このイメージセンサ６０は、別途生成された受光素子層２１と遮光体６１が薄膜接合樹脂層２２により接合されて形成される。
【００５９】
遮光体６１は、Ｓｉなどの遮光材から成る遮光壁２５と、ガラスまたは樹脂などの透明材から形成された球レンズ部６２から成る。球レンズ部６２を形成する透明材がガラスである場合、その屈折率は、例えば１．４であり、薄膜接合樹脂層２２と保護膜２７の屈折率は、球レンズ部６２の屈折率よりも低いことが望ましい。
【００６０】
遮光体６１内に球レンズ部６２を配したことにより、遮光体６１の厚さを、イメージセンサ５０の遮光体５１の厚さに比較して薄く形成することができる。
【００６１】
イメージセンサ６０においては、遮光体６１の球レンズ部６２によって集光された入射光がその直下の受光素子層２１の区画に集光される。したがって、図１に示されたような、マイクロレンズと平坦化膜から成るマイクロレンズアレイ１７が不要となる。また、上述したように、遮光体６１の厚さも薄く形成することができるので、イメージセンサ６０の高さをより低背化することが可能となる。
【００６２】
また、受光素子層２１と遮光体６１は薄膜接合樹脂層２２により隙間なく接合されているので、従来その隙間に起こり得た結露を防止することができる。よって、得られる画像の劣化を抑止することができる。
【００６３】
＜本開示の実施の形態であるイメージセンサの第６の構成例＞
次に、図７は、本開示の実施の形態であるイメージセンサの第６の構成例を示している。
【００６４】
なお、該第６の構成例であるイメージセンサ７０の構成要素のうち、上述したイメージセンサ２０，３０，４０，５０，６０の構成要素と共通するものについては、同一の符号を付しているので、その説明は適宜省略する。
【００６５】
このイメージセンサ７０は、別途生成された受光素子層２１と遮光体７１が薄膜接合樹脂層２２により接合されて形成される。
【００６６】
遮光体７１は、Ｓｉなどの遮光材から成る遮光壁２５と、通常のガラスに比較して屈折率が高い高屈折率ガラスなどの透明材から成る透光部７２と、SiＯ２などの透明であってα線を遮蔽する遮蔽材から成るα線遮蔽層７３と、透光部７２の上辺側（光の入射側）に形成された上方レンズ部３２から成る。上方レンズ部３２の代わりに、または追加して、透光部７２とα線遮蔽層７３との境界をレンズ状に加工するようにしてもよい。あるいは、透光部７２を球レンズ状に加工してもよい。
【００６７】
遮光壁２５は、Ｓｉなどの遮光材に対してリソグラフィとドライエッチングなどの加工によって貫通孔を開口することにより形成される。透光部７２およびα線遮蔽層７３は、遮光壁２５の間（すなわち、貫通孔）にSiＯ２などと高屈折ガラスなどが充填されることにより形成される。上方レンズ部３２は、透光部７２の透明材がレンズ状に加工されることにより形成される。遮光壁２５の間にそれぞれ形成された上方レンズ部３２は、直下の受光素子層２１に入射光を集光することができる。
【００６８】
なお、上方レンズ部３２および透光部７２を成す高屈折率ガラスは、ガラスに対してウランやトリウムなどの重金属が混合されたものであってα線放射が多くなるが、α線遮蔽層７３を配することにより、透光部７２からのα線放射が受光素子層２１に到達することを防ぐことができる。
【００６９】
遮光体７１の厚さが３００μｍ程度であった場合、SiＯ２から成るα線遮蔽層７３の厚さは、その密度を２．２ｇ／ｃｍ３と仮定したとき、約２０μｍ程度と見積もられる。この場合、α線遮蔽層７３の厚さは、遮光体７１の厚さの１／１５程度の厚さとなるので、遮光体７１の遮光壁２５（Ｓｉ）と、α線遮蔽層７３（SiＯ２）の熱膨張率の差に起因する熱工程での影響は微少であって、イメージセンサ６０の機能に影響しないと考えられる。
【００７０】
ただし、α線遮蔽層７３を配する代わりに、薄膜接合樹脂層２２の厚みを増すことにより、透光部７２から放射されるα線が受光素子層２１に入射することを抑止してもよい。ただし、薄膜接合樹脂層２２の厚みを増した場合、受光素子層２１と遮光体７１とを接合した際にアライメントずれが生じ得る。これに対して、イメージセンサ７０では、α線遮蔽層７３を配したことにより、薄膜接合樹脂層２２の厚みを受光素子層２１と遮光体７１の接合に要する最小限の厚みとすることができるので、両者のアライメントずれの発生を抑止できる。
【００７１】
図７の場合、上方レンズ部３２は上方向（光の入射面の方向）に凸形状とされている。上方レンズ部３２はWLL(Wafer Level Lens)を兼ねることができる。また、上方レンズ部３２と透光部７２が高屈折ガラスであることから、遮光体７１の厚さを、図３に示されたイメージセンサ３０の遮光体３１に比較して薄く形成することができる。したがって、イメージセンサ３０に比較して、全体の高さをより低背化することが可能となる。
【００７２】
また、受光素子層２１と遮光体７１は薄膜接合樹脂層２２により隙間なく接合されているので、従来その隙間に起こり得た結露を防止することができる。よって、得られる画像の劣化を抑止することができる。
【００７３】
＜イメージセンサの使用例＞
図８は、上述したイメージセンサ２０乃至７０を使用する使用例を示す図である。
【００７４】
イメージセンサ２０乃至７０は、例えば、以下のように、可視光や、赤外光、紫外光、X線等の光をセンシングする様々なケースに使用することができる。
【００７５】
・ディジタルカメラや、カメラ機能付きの携帯機器等の、鑑賞の用に供される画像を撮影する装置
・自動停止等の安全運転や、運転者の状態の認識等のために、自動車の前方や後方、周囲、車内等を撮影する車載用センサ、走行車両や道路を監視する監視カメラ、車両間等の測距を行う測距センサ等の、交通の用に供される装置
・ユーザのジェスチャを撮影して、そのジェスチャに従った機器操作を行うために、TVや、冷蔵庫、エアーコンディショナ等の家電に供される装置
・内視鏡や、赤外光の受光による血管撮影を行う装置等の、医療やヘルスケアの用に供される装置
・防犯用途の監視カメラや、人物認証用途のカメラ等の、セキュリティの用に供される装置
・肌を撮影する肌測定器や、頭皮を撮影するマイクロスコープ等の、美容の用に供される装置
・スポーツ用途等向けのアクションカメラやウェアラブルカメラ等の、スポーツの用に供される装置
・畑や作物の状態を監視するためのカメラ等の、農業の用に供される装置
【００７６】
なお、本開示の実施の形態は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
【００７７】
本開示は以下のような構成も取ることができる。
（１）
遮光壁と前記遮光壁間に充填されている透光部とから成る遮光体と、
前記遮光体の前記透光部を介して入力された入射光に応じて光電変換を行う多数の受光素子が配列された受光素子層と
を備え、
前記遮光体を成す透光部の少なくとも一部は、レンズ状に形成されている
イメージセンサ。
（２）
前記遮光体と前記受光層とを接合する接合層を
さらに備える
前記（１）に記載のイメージセンサ。
（３）
前記遮光体の入射側を平坦化する保護膜を
さらに備える前記（１）または（２）に記載のイメージセンサ。
（４）
前記遮光体を成す透光部の前記受光素子側は、レンズ状に形成されている
前記（１）から（３）のいずれかに記載のイメージセンサ。
（５）
前記遮光体を成す透光部の光の入射側は、レンズ状に形成されている
前記（１）から（３）のいずれかに記載のイメージセンサ。
（６）
前記遮光体を成す透光部の前記受光素子側および光の入射側は、それぞれレンズ状に形成されている
前記（１）から（３）のいずれかに記載のイメージセンサ。
（７）
前記遮光体を成す透光部は、球レンズ状に形成されている
前記（１）から（３）のいずれかに記載のイメージセンサ。
（８）
前記遮光体を成す透光部には、高屈折率の透明材から成る第１の層と、前記高屈折率の透明材から放射されるα線を遮蔽する遮蔽材から成る第２の層が積層されている
前記（１）から（７）のいずれかに記載のイメージセンサ。
（９）
前記第１の層を成す透明材には、重金属が含有されている
前記（８）に記載のイメージセンサ。
（１０）
前記第２層は、SiＯ２から成る
前記（８）に記載のイメージセンサ。
（１１）
イメージセンサが搭載された電子機器において、
前記イメージセンサは、
遮光壁と前記遮光壁間に充填されている透光部とから成る遮光体と、
前記遮光体の前記透光部を介して入力された入射光に応じて光電変換を行う多数の受光素子が配列された受光素子層と
を備え、
前記遮光体を成す透光部の少なくとも一部は、レンズ状に形成されている
電子機器。
【符号の説明】
【００７８】
２０  イメージセンサ，  ２１  受光素子層，  ２２  薄膜接合樹脂層，  ２３  遮光体，  ２４  透光部，  ２５  遮光壁，  ２６  下方レンズ部，  ２７  保護膜，  ３０  イメージセンサ，  ３１  遮光体，  ３２  上方レンズ部，  ４０  イメージセンサ，  ４１  遮光体，  ５０  イメージセンサ，  ５１  遮光体，  ５２  下方レンズ部，  ５３  上方レンズ部，  ６０  イメージセンサ，  ６１  遮光体，  ６２  球レンズ部，  ７０  イメージセンサ，  ７１  遮光体，  ７２  透光部，  ７３  α線遮蔽層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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