(57)【要約】【課題】保持対象物品を保持する治具であって、保持機構の占有面積を狭小化することができる治具を提供する。【解決手段】治具は、保持対象物品１００を保持する治具であって、保持対象物品１００の底面側部分が内部に設置される凹部１１が、一方の主面に形成された第１の板体１と、保持対象物品１００を保持するための押圧力を生ずる片持ちの板ばね部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃを有し、第１の板体１から取り外し得るように第１の板体１の前記一方の主面側へ押し付けられる第２の板体２と、を備える。【選択図】図７
2017022340.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
保持対象物品を保持する治具であって、
前記保持対象物品の底面側部分が内部に設置される凹部が、一方の主面に形成された第１の板体と、
前記保持対象物品を保持するための押圧力を生ずる片持ちの板ばね部を有し、前記第１の板体から取り外し得るように前記第１の板体の前記一方の主面側へ押し付けられる第２の板体と、
を備えたことを特徴とする治具。
【請求項２】
前記板ばね部は、前記保持対象物品が前記凹部に設置されかつ前記第２の板体が前記第１の板体の前記一方の主面側へ押し付けられたときに、前記保持対象物品に対して、前記押圧力として、前記底面と平行な一方向への押圧力成分及び前記底面側へ押し付ける方向への押圧力成分を持つ押圧力を与えるように、構成されたことを特徴とする請求項１記載の治具。
【請求項３】
前記板ばね部は、前記保持対象物品が前記凹部に設置されかつ前記第２の板体が前記第１の板体の前記一方の主面側へ押し付けられたときに、前記保持対象物品の前記底面とは反対側の面の外周部の一部と当接するように、構成されたことを特徴とする請求項１又は２記載の治具。
【請求項４】
前記凹部は、前記第１の板体において複数形成され、
前記板ばね部は、前記第２の板体において前記第１の板体の前記凹部の１つに対応して１つ以上設けられたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の治具。
【請求項５】
前記板ばね部は、前記第２の板体において前記第１の板体の前記凹部の１つに対応して複数設けられ、
前記第２の板体が前記第１の板体から取り外された状態で、前記第１の板体の前記凹部の１つに対応して設けられた前記複数の板ばね部のうちの少なくとも２つの板ばね部の、前記第２の板体の前記主面の法線方向から見た基端側から先端側へ向かう向きが、互いに交差する向きであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の治具。
【請求項６】
前記第２の板体に接合された第３の板体を備え、
前記第３の板体は、前記板ばね部の動きを阻害しないように前記板ばね部から逃げる逃げ部を有する、
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の治具。
【請求項７】
保持対象物品を保持しつつ、前記保持対象物品に対して所定の処理又は所定の検査を行う工程を備えた物品の製造方法であって、
前記工程において、請求項１乃至６のいずれかの記載の治具を用いて前記保持対象物品を保持することを特徴とする物品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、保持対象物品を保持する治具及びこれを用いた物品の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
下記特許文献１には、半製品等の電子部品などの保持対象物品を保持する治具として、板体に設けられた凹部内に電子部品を設置固定する位置決め装置であって、前記凹部と接続され、前記電子部品の外周形状の一部に対応する形状を有し、当該電子部品を位置決めする位置決め部と、当該位置決め部の両端から互いに離隔する方向に伸長したのち、湾曲して互いに近接する２つの弾性アームと、当該伸長した弾性アームの先端を連結するとともに、前記位置決め部に対向し挟持時に電子部品の一部と接し、かつ前記板体とは独立して動作する押圧部とを有し、前記電子部品の位置決め部と前記押圧部との対向する面の距離を、設置される電子部品の挟持方向寸法より小となるよう弾性アームの寸法、形状を設定している電子部品用位置決め装置が開示されている。
【０００３】
また、下記特許文献１には、この電子部品用位置決め装置を用いて、電子部品位置決めならびに位置決め解除する方法として、前記押圧部を前記電子部品位置決め部と離隔する方向に引っ張り、これにより拡張された空間に電子部品を設置する過程と、設置後前記押圧部の引っ張り作業を解除し、電子部品を前記位置決め部に固定する過程と、所定の製造作業を終了した後、前記押圧部を前記電子部品位置決め部と離隔する方向に引っ張り、電子部品に加えられていた挟持力を解除し、この電子部品を位置決め部から取り出す過程を有する方法が、開示されている。
【０００４】
そして、この方法を実現するべく、前記弾性アームの弾性力に抗して前記押圧部を引っ張るために、前記押圧部に挿入孔が設けられている。この挿入孔にピンのような可動腕を挿入することで、前記可動腕によって前記押圧部を引っ張ることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第３２７５４８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前記従来の装置では、電子部品を保持する保持機構として前記２つの弾性アーム及び前記押圧部が用いられているので、当該保持機構の占有面積を狭小化することは困難である。
【０００７】
また、前記従来の装置では、電子部品の保持やその解除を行うためには、前述した電子部品位置決めならびに位置決め解除する方法を行わなければならず、前記押圧部に挿入孔を設けておく必要があるので、前記押圧部をある程度以上小さくすることは困難であり、この点からも、前記保持機構の占有面積を狭小化することは困難である。
【０００８】
これらの事情は、保持対象物品が半製品等の電子部品である場合のみならず他の物品である場合も、同様である。
【０００９】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、保持対象物品を保持する治具であって、保持機構の占有面積を狭小化することができる治具、及び、これを用いた物品の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記課題を解決するための手段として、以下の各態様を提示する。第１の態様による治具は、保持対象物品を保持する治具であって、前記保持対象物品の底面側部分が内部に設置される凹部が、一方の主面に形成された第１の板体と、前記保持対象物品を保持するための押圧力を生ずる片持ちの板ばね部を有し、前記第１の板体から取り外し得るように前記第１の板体の前記一方の主面側へ押し付けられる第２の板体と、を備えたものである。
【００１１】
この第１の態様によれば、保持対象物品を保持する保持機構として前記片持ちの板ばね部が用いられているので、前記従来の装置において保持機構として用いられている前記２つの弾性アーム及び前記押圧部に比べて、保持機構の占有面積を狭小化することができる。
【００１２】
第２の態様による治具は、前記第１の態様において、前記板ばね部は、前記保持対象物品が前記凹部に設置されかつ前記第２の板体が前記第１の板体の前記一方の主面側へ押し付けられたときに、前記保持対象物品に対して、前記押圧力として、前記底面と平行な一方向への押圧力成分及び前記底面側へ押し付ける方向への押圧力成分を持つ押圧力を与えるように、構成されたものである。
【００１３】
この第２の態様によれば、前記底面と平行な一方向への押圧力成分によって、前記凹部に設置された前記保持対象物品が当該一方向へ押し付けられて当該一方向への位置決めが行われて保持される。また、前記第２の態様によれば、前記底面側へ押し付ける方向への押圧力成分によって、前記保持対象物品が前記凹部から飛び出さないように保持される。
【００１４】
このように、前記第２の態様によれば、前記板ばね部が保持対象物品に与える押圧力の各成分によって、前記底面と平行な一方向へ位置決め保持と、前記保持対象物品が前記凹部から飛び出さないようにする保持とが同時に行われる。
【００１５】
第３の態様による治具は、前記第１又は第２の態様において、前記板ばね部は、前記保持対象物品が前記凹部に設置されかつ前記第２の板体が前記第１の板体の前記一方の主面側へ押し付けられたときに、前記保持対象物品の前記底面とは反対側の面の外周部の一部と当接するように、構成されたものである。
【００１６】
この第３の態様によれば、前記板ばね部が前記保持対象物品の前記底面とは反対側の面の外周部の一部と当接するので、前記板ばね部のバネ力を、前記保持対象物品に対してその位置決めと保持に適した方向に加えることができる。
【００１７】
第４の態様による治具は、前記第１乃至第３のいずれかの態様において、前記凹部は、前記第１の板体において複数形成され、前記板ばね部は、前記第２の板体において前記第１の板体の前記凹部の１つに対応して１つ以上設けられたものである。
【００１８】
この第４の態様によれば、複数の保持対象物品を同時に保持することができる。そして、前述したように保持機構の占有面積を狭小化することができるので、前記第４の態様によれば、前記凹部の分布密度ひいては保持対象物品の分布密度を高めることができ、より多くの保持対象物品を同時に保持することができる。
【００１９】
第５の態様による治具は、前記第１乃至第４のいずれかの態様において、前記板ばね部は、前記第２の板体において前記第１の板体の前記凹部の１つに対応して複数設けられ、前記第２の板体が前記第１の板体から取り外された状態で、前記第１の板体の前記凹部の１つに対応して設けられた前記複数の板ばね部のうちの少なくとも２つの板ばね部の、前記第２の板体の前記主面の法線方向から見た基端側から先端側へ向かう向きが、互いに交差する向きであるものである。
【００２０】
この第５の態様によれば、前記凹部に設置された前記保持対象物品を複数の方向に対して位置決めすることができる。
【００２１】
第６の態様による治具は、前記第１乃至第５のいずれかの態様において、前記第２の板体に接合された第３の板体を備え、前記第３の板体は、前記板ばね部の動きを阻害しないように前記板ばね部から逃げる逃げ部を有するものである。
【００２２】
この第６の態様によれば、前記第３の板体を備えているので、前記第２の板体を厚くしなくても、前記第２の板体を前記第１の板体の前記一方の主面側へ適切に押し付けることができる。したがって、前記第２の板体の厚さや材質は、前記板ばね部の所望の特性のみを考慮して定めることができる。
【００２３】
なお、前記第６の態様では、前記第３の板体は前記第２の板体と接合しているが、前記第１乃至第６の態様では、前記第３の板体を用いる場合であっても、前記第３の板体は前記第２の板体と必ずしも接合しておかなくてもよい。
【００２４】
第７の態様による物品の製造方法は、保持対象物品を保持しつつ、前記保持対象物品に対して所定の処理又は所定の検査を行う工程を備えた物品の製造方法であって、前記工程において、前記第１乃至第６のいずれかの態様による治具を用いて前記保持対象物品を保持するものである。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、保持対象物品を保持する治具であって、保持機構の占有面積を狭小化することができる治具、及び、これを用いた物品の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の一実施の形態による治具の基板を示す一部省略概略平面図である。
【図２】図１中の１つの凹部の付近を拡大して示す一部拡大概略平面図である。
【図３】図２中のＸ１−Ｘ２矢視図である。
【図４】図１乃至図３に示す基板の１つの凹部に保持対象物品を設置した状態の一例を示す一部拡大概略平面図である。
【図５】図４中のＸ３−Ｘ４矢視図である。
【図６】本発明の前記実施の形態による治具の、保持対象物品を設置した状態の基板、バネ板及び補強板を、主面方向の位置合わせ後の状態でかつ互いに分離した状態で、主面の法線方向から見た一部拡大概略図である。
【図７】図６中のＸ５−Ｘ６矢視図である。
【図８】図７中のバネ板を単独で示す一部拡大概略平面図である。
【図９】図８中のＸ７−Ｘ８矢視図である。
【図１０】図７中の補強板を単独で示す一部拡大概略平面図である。
【図１１】図１０中のＸ９−Ｘ１０矢視図である。
【図１２】本発明の前記実施の形態による治具の、保持対象物品を保持した状態を示す一部拡大概略平面図である。
【図１３】図１２中のＸ１１−Ｘ１２矢視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明による治具について、図面を参照して説明する。
【００２８】
本発明の一実施の形態による治具は、保持対象物品１００を保持する治具であって、第１の板体としての基板１と、第２の板体としてのバネ板２と、バネ板２に接合された第３の板体としての補強板３とを備えている。
【００２９】
図１は、本実施の形態による治具の基板１を示す一部省略概略平面図である。図２は、図１中の１つの凹部１１の付近を拡大して示す一部拡大概略平面図である。図３は、図２中のＸ１−Ｘ２矢視図である。図４は、図１乃至図３に示す基板１の１つの凹部１１に保持対象物品１００を設置した状態の一例を示す一部拡大概略平面図である。図５は、図４中のＸ３−Ｘ４矢視図である。
【００３０】
図１乃至図５に示すように、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸を定義する。Ｘ軸方向のうち矢印の向きを＋Ｘ方向又は＋Ｘ側、その反対の向きを−Ｘ方向又は−Ｘ側と呼び、Ｙ軸方向及びＺ軸方向についても同様である。基板１の主面が、ＸＹ平面と平行な面となっている。Ｚ軸は基板１の主面の法線方向と一致している。これらの点は、後述する図についても同様である。
【００３１】
本実施の形態では、基板１の一方の主面（＋Ｚ側の主面）には、保持対象物品１００の底面側部分（−Ｚ側部分）が内部に設置される凹部１１が、形成されている。
【００３２】
本実施の形態では、保持対象物品１００は、Ｚ軸方向の高さが比較的低い直方体形状を有しており、Ｚ軸方向から見ると長辺及び短辺を有する長方形状を有し、−Ｚ側の面が底面となっている。保持対象物品１００は、例えば、半製品の圧電振動子等の電子部品や特性検査対象の電子部品などである。もっとも、本発明では、保持対象物品１００はこれに限らない。ただし、本発明による治具は、３次元の各寸法（例えば、長さ、幅及び高さ）がそれぞれ４ｍｍ以下（特に、２．５ｍｍ以下）の小形の保持対象物品を保持する治具として、特に有用である。
【００３３】
凹部１１のＺ軸方向から見た形状は、保持対象物品１００の形状に合わせて長方形状とされている。凹部１１は、ＸＹ平面と平行な長方形状の底面（−Ｚ側の面）１１ａと、ＹＺ平面と平行な−Ｘ側の側面１１ｂ及び＋Ｘ側の側面１１ｄと、ＸＺ面と平行な−Ｙ側の側面１１ｃ及び＋Ｙ側の側面１１ｅとを有している。側面１１ｂ，１１ｄは保持対象物品１００の短辺に対応し、側面１１ｃ，１１ｅは保持対象物品１００の長辺に対応している。本実施の形態では、凹部１１のＺ軸方向の深さは、保持対象物品１００のＺ軸方向の高さよりも小さく設定されている。
【００３４】
凹部１１のＺ軸方向から見た長方形状の寸法は、保持対象物品１００の寸法誤差を考慮して、保持対象物品１００のＺ軸方向から見た長方形状よりも若干大きくなるように設定されている。したがって、保持対象物品１００を凹部１１に設置すると、例えば、保持対象物品１００のＺ軸方向から見た長方形状が凹部１１のＺ軸方向から見た長方形状に対して、図４に示すようにＺ軸回りに反時計方向に若干傾いたり、Ｚ軸回りに時計方向に若干傾いたり、−Ｘ側又は＋Ｘ側に片寄ったり、−Ｙ側又は＋Ｙ側に片寄ったりする。本実施の形態では、直交する２つの側面１１ｂ，１１ｃが、保持対象物品１００を位置決めするための基準面となっている。これらの側面１１ｂ，１１ｃの位置は、高い精度で設定されている。
【００３５】
本実施の形態では、凹部１１は、図１に示すように、２次元マトリクス状に多数形成され、多数の保持対象物品１００を設置し得るようになっている。もっとも、本発明では、基板１における凹部１１の数（すなわち、保持し得る保持対象物品１００の数）は何ら限定されない。
【００３６】
また、本実施の形態では、図１に示すように、基板１にはその周辺部において、位置合わせ用ピン１２及びねじ孔１３が設けられている。
【００３７】
本実施の形態では、基板１は、積層された２枚の金属板１Ａ，１Ｂによって構成されている。金属板１Ａ，１Ｂとして比較的厚いステンレス鋼などの金属板が用いられ、基板１は十分な剛性を持っている。凹部１１は、＋Ｚ側に積層された金属板１Ａの＋Ｚ側の面に形成されている。もっとも、基板１は、例えば、１枚の金属板で構成してもよいし、３枚以上の金属板で構成してもよい。なお、凹部１１は、例えば、エッチング技術等により形成することができる。
【００３８】
図６は、本実施の形態による治具の、保持対象物品１００を設置した状態の基板１、バネ板２及び補強板３を、主面方向（ＸＹ平面と平行な方向）の位置合わせ後の状態でかつ互いに分離した状態で、主面の法線方向（Ｚ軸方向）から見た一部拡大概略図である。図７は、図６中のＸ５−Ｘ６矢視図である。図８は、図７中のバネ板２を単独で示す一部拡大概略平面図である。図９は、図８中のＸ７−Ｘ８矢視図である。図１０は、図７中の補強板３を単独で示す一部拡大概略平面図である。図１１は、図１０中のＸ９−Ｘ１０矢視図である。図１２は、本実施の形態による治具の、保持対象物品１００を保持した状態を示す一部拡大概略平面図である。図１３は、図１２中のＸ１１−Ｘ１２矢視図である。
【００３９】
図面には示していないが、本実施の形態では、バネ板２のＺ軸方向から見た外形及び補強板３のＺ軸方向から見た外形は、Ｚ軸方向から見た基板１の外形と同じ形状及び大きさを有している。
【００４０】
バネ板２は、保持対象物品１００を保持するための押圧力を生ずる片持ちの板ばね部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃを有し、基板１から取り外し得るように基板１の前記一方の主面（＋Ｚ側の面）側へ押し付けられるものである。
【００４１】
本実施の形態では、バネ板２は、図６及び図７に示すように、基板１の各凹部に対して１対１に、図８及び図９に示す片持ちの板ばね部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ、逃げ孔２２及びスリット２３を有している。
【００４２】
逃げ孔２２は、対応する凹部１１に設置された保持対象物品１００から逃げる孔である。スリット２３は、板ばね部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃを形成するべく、逃げ孔２２に連続するように形成されている。
【００４３】
本実施の形態では、板ばね部２１Ａは、保持対象物品１００が凹部１１に設置されかつバネ板２が図１２及び図１３に示すように基板１の前記一方の主面（＋Ｚ側の面）側へ押し付けられたときに、保持対象物品１００に対して、前記押圧力として、底面１１ａと平行な一方向（−Ｘ方向）への押圧力成分及び底面１１ａ側へ押し付ける方向（−Ｚ方向）への押圧力成分を持つ押圧力を与えるように、構成されている。
【００４４】
また、本実施の形態では、板ばね部２１Ａは、保持対象物品１００が凹部１１に設置されかつバネ板２が図１２及び図１３に示すように基板１の前記一方の主面（＋Ｚ側の面）側へ押し付けられたときに、保持対象物品１００の底面とは反対側の面（＋Ｚ側の面）の外周部の一部（保持対象物品１００の＋Ｚ側の面の＋Ｘ側の短辺の中央付近）と当接するように、構成されている。
【００４５】
具体的には、本実施の形態では、板ばね部２１Ａは、基端側部分２１Ａａと、先端側部分２１Ａｂとを有している。基端側部分２１Ａａは、バネ板２が図７乃至図９に示すように基板１から取り外された状態でバネ板２の主面とほぼ平行になって（ＸＹ平面とほぼ平行になって）、バネ板２の前記主面と交差する方向（ＸＹ平面と交差する方向）に撓み得るものである。先端側部分２１Ａｂは、基端側部分２１Ａａの先端側に位置し、バネ板２が図７乃至図９に示すように基板１から取り外された状態で、先端へ向けて＋Ｚ側へ斜めに立ち上がるものである。
【００４６】
本実施の形態では、先端側部分２１Ａｂは、保持対象物品１００が凹部１１に設置されかつバネ板２が図１２及び図１３に示すように基板１の前記一方の主面（＋Ｚ側の面）側へ押し付けられたときに、保持対象物品１００の底面とは反対側の面（＋Ｚ側の面）の外周部の一部（保持対象物品１００の＋Ｚ側の面の＋Ｘ側の短辺の中央付近）と当接する当接部となっている。
【００４７】
本実施の形態では、バネ板２が図７に示すように基板１から取り外された状態で、バネ板２の主面の法線方向（Ｚ軸方向）から見たときの、板ばね部２１Ａの基端側から先端側へ向かう向きは、−Ｘ方向となっている。
【００４８】
板ばね部２１Ｂは、板ばね部２１Ａと同様に、基端側部分２１Ｂａと、先端側部分２１Ｂｂとを有している。板ばね部２１Ｃも、板ばね部２１Ａと同様に、基端側部分２１Ｃａと、先端側部分２１Ｃｂとを有している。
【００４９】
本実施の形態では、バネ板２が図７に示すように基板１から取り外された状態で、Ｚ軸方向から見たときの、板ばね部２１Ｂの基端側から先端側へ向かう向き及び板ばね部２１Ｃの基端側から先端側へ向かう向きは、−Ｙ方向となっている。板ばね部２１Ｂ及び板ばね部２１Ｃは、Ｘ軸方向に互いに間隔をあけて配置されている。
【００５０】
先端側部分２１Ｂｂは、保持対象物品１００が凹部１１に設置されかつバネ板２が図１２及び図１３に示すように基板１の前記一方の主面（＋Ｚ側の面）側へ押し付けられたときに、保持対象物品１００の底面とは反対側の面（＋Ｚ側の面）の外周部の一部（保持対象物品１００の＋Ｚ側の面の＋Ｙ側の長辺の＋Ｘ側の箇所付近）と当接する当接部となっている。先端側部分２１Ｃｂは、保持対象物品１００が凹部１１に設置されかつバネ板２が図１２及び図１３に示すように基板１の前記一方の主面（＋Ｚ側の面）側へ押し付けられたときに、保持対象物品１００の底面とは反対側の面（＋Ｚ側の面）の外周部の一部（保持対象物品１００の＋Ｚ側の面の＋Ｙ側の長辺の−Ｘ側の箇所付近）と当接する当接部となっている。
【００５１】
これにより、板ばね部２１Ｂ及び板ばね部２１Ｃは、保持対象物品１００が凹部１１に設置されかつバネ板２が図１２及び図１３に示すように基板１の前記一方の主面（＋Ｚ側の面）側へ押し付けられたときに、保持対象物品１００に対して、前記押圧力として、底面１１ａと平行な一方向（−Ｙ方向）への押圧力成分及び底面１１ａ側へ押し付ける方向（−Ｚ方向）への押圧力成分を持つ押圧力を与えることになる。
【００５２】
本実施の形態では、先端側部分２１Ａｂは、折り曲げ線ＬＡで基端側部分２１Ａａに対して折り曲げられている。先端側部分２１Ｂｂは、折り曲げ線ＬＢで基端側部分２１Ｂａに対して折り曲げられている。先端側部分２１Ｃｂは、折り曲げ線ＬＣで基端側部分２１Ｃａに対して折り曲げられている。
【００５３】
図面には示していないが、バネ板２には、基板１に突設された位置合わせ用ピン１２が挿通される位置合わせ用孔が設けられている。この位置合わせ用孔に基板１の位置合わせ用ピン１２を挿通させることで、図６に示すように基板１とバネ板２とが、ＸＹ座標位置に関して位置合わせされるようになっている。
【００５４】
また、図面には示していないが、バネ板２には、基板１のねじ孔１３に螺合される取り付けねじが挿通される挿通孔が形成されている。
【００５５】
バネ板２は、例えば、バネ用圧延鋼板を用い、これにエッチング技術等によって、逃げ孔２２、スリット２３、前記位置合わせ用孔及び前記挿通孔を形成し、雄型及び雌型の金型を用いたプレス加工により折り曲げ線ＬＡ，ＬＢ，ＬＣで折り曲げることで、作製することができる。
【００５６】
本実施の形態では、補強板３は、バネ板２に対してＸＹ座標位置に関して位置合わせされて、バネ板２に接合されている。補強板３は、例えば比較的厚いステンレス鋼などの金属板が用いられ、十分な剛性を有している。
【００５７】
本実施の形態では、補強板３は、図６及び図７に示すように、基板１の各凹部に対して１対１に、図１０及び図１１に示す逃げ孔３１，３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃを有している。逃げ孔３１は、対応する凹部１１に設置された保持対象物品１００から逃げる孔である。逃げ孔３１，３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃは、逃げ孔３１に連続するように形成され、板ばね部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃからそれぞれ逃げる孔である。本実施の形態では、逃げ孔３１，３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃが、板ばね部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃの動きを阻害しないように板ばね部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃから逃げる逃げ部を構成している。
【００５８】
図面には示していないが、補強板３には、基板１に突設された位置合わせ用ピン１２が挿通される位置合わせ用孔が設けられている。この位置合わせ用孔及びバネ板２の前記位置合わせ用孔に基板１の位置合わせ用ピン１２を挿通させることで、図６に示すように基板１とバネ板２及び補強板３とが、ＸＹ座標位置に関して位置合わせされるようになっている。
【００５９】
また、図面には示していないが、補強板３には、基板１のねじ孔１３に螺合される取り付けねじが挿通されるねじ止め用孔が形成されている。
【００６０】
本実施の形態では、図４及び図５に示すように基板１の凹部１１に保持対象物品１００を設置した後に、図６及び図７に示すように、基板１の位置合わせ用ピン１２をバネ板２及び補強板３の前記位置合わせ用孔に挿通させ、補強板３の前記ねじ止め用孔及びバネ板２の前記挿通孔を挿通させたねじ（図示せず）を基板１のねじ孔１３に螺合して、図１２及び図１３に示すように基板１とバネ板２との間が密着するように、ねじ止めする。これにより、バネ板２は、基板１の前記一方の主面（＋Ｚ側の面）側へ押し付けられた状態に保持される。
【００６１】
このようにして、バネ板２が基板１の前記一方の主面（＋Ｚ側の面）側へ押し付けられていくときに、図１２及び図１３に示すように、バネ板２の板ばね部２１Ａの先端側部分２１Ａｂが、保持対象物品１００の＋Ｚ側の面の＋Ｘ側の短辺の中央付近に当接し、板ばね部２１Ａの基端側部分２１Ａａが＋Ｚ側に撓んで、保持対象物品１００のその当接箇所に、−Ｘ方向への押圧力成分を持つ押圧力が与えられる。また、バネ板２の板ばね部２１Ｂの先端側部分２１Ｂｂが、保持対象物品１００の＋Ｚ側の面の＋Ｙ側の長辺の＋Ｘ側の箇所付近に当接し、板ばね部２１Ｂの基端側部分２１Ｂａが＋Ｚ側に撓んで、保持対象物品１００のその当接箇所に、−Ｙ方向への押圧力成分を持つ押圧力が与えられる。さらに、バネ板２の板ばね部２１Ｃの先端側部分２１Ｃｂが、保持対象物品１００の＋Ｚ側の面の＋Ｙ側の長辺の−Ｘ側の箇所付近に当接し、板ばね部２１Ｂの基端側部分２１Ｂａが＋Ｚ側に撓んで、保持対象物品１００のその当接箇所に、−Ｙ方向への押圧力成分を持つ押圧力が与えられる。
【００６２】
その結果、保持対象物品１００は、図１２に示すように、位置決め用基準面である凹部１１の側面１１ｂ，１１ｃに沿うように寄せられて位置決めされ、保持対象物品１００は、この状態で保持される。また、板ばね部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃの保持対象物品１００に対する各押圧力は、−Ｚ方向への押圧力成分を持っているので、その押圧力成分によって、保持対象物品１００は凹部１１から飛び出さないように保持される。
【００６３】
そして、基板１及びバネ板２間が密着するようにねじ止めしていた前記ねじを外して、そのねじ止めを解除すれば、基板１から、互いに接合されているバネ板２及び補強板３を取り外すことができる。これにより、保持対象物品１００の保持は解除され、基板１の凹部１１から保持対象物品１００を取り出すことができる。このとき、板ばね部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃは、図７乃至図９に示す元の状態に復帰する。
【００６４】
なお、本実施の形態では、取り外し可能にバネ板２を基板１に押し付けられた状態に保持するために前述したようなねじ止めを用いているが、本発明ではこれに限らない。例えば、本発明では、クリップを用いたりマグネットを用いたりして、取り外し可能にバネ板２を基板１に押し付けられた状態に保持してもよい。
【００６５】
本実施の形態によれば、保持対象物品１００を保持する保持機構として片持ちの板ばね部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃが用いられているので、前記特許文献１に開示された従来の装置において保持機構として用いられている前記２つの弾性アーム及び前記押圧部に比べて、保持機構の占有面積を狭小化することができる。したがって、本実施の形態によれば、凹部１１の分布密度ひいては保持対象物品１００の分布密度を高めることができ、より多くの保持対象物品１００を同時に保持することができ、より多くの保持対象物品１００を一度に効率良く取り扱うことができる。
【００６６】
また、本実施の形態によれば、板ばね部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃが基端側部分２１Ａａ，２１Ｂａ，２１Ｃａと先端側部分２１Ａｂ，２１Ｂｂ，２１Ｃｂとを有しているので、板ばね部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃにおける折り曲げ箇所ＬＡ，ＬＢ，ＬＣを１つに抑えつつ、板ばね部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃの保持対象物品１００に対する当接角度や板ばね部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃのバネ力を所望の角度や力に設定することができるので、好ましい。もっとも、板ばね部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃの構造は、本実施の形態の構造に限らず、例えば、各板ばね部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃにおける折り曲げ箇所を２つ以上にしてもよい。
【００６７】
さらに、本実施の形態によれば、バネ板２の主面の法線方向（Ｚ軸方向）から見たときの、板ばね部２１Ａの基端側から先端側へ向かう向きが−Ｘ方向となっている一方で、板ばね部２１Ｂ，２１Ｃの基端側から先端側へ向かう向きは−Ｙ方向となっている。したがって、本実施の形態によれば、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の２方向に対して保持対象物品１００の位置決めを行うことができる。もっとも、本発明では、１方向のみに対して保持対象物品１００の位置決めを行うことができるように構成してもよく、例えば、板ばね部２１Ｂ，２１Ｃを取り除いて、板ばね部２１ＡによるＹ軸方向の位置決めのみを行うことができるようにしてもよい。
【００６８】
なお、板ばね部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃの形状は、必要に応じて適宜変更して、そのバネ特性を変更・調整してもよい。
【００６９】
本発明の一実施の形態による物品の製造方法は、保持対象物品１００を保持しつつ、前記保持対象物品１００に対して所定の処理又は所定の検査を行う工程を備え、前記工程において、前記実施の形態による治具を用いて前記保持対象物品１００を保持する。例えば、保持対象物品１００が半製品（例えば電子部品素子搭載前のパッケージ）である場合には、前記所定の処理として、当該半製品に電子部品素子を搭載する処理を挙げることができる。また、保持対象物品１００が発電振動子等の電子部品等である場合には、前記所定の処理として、周波数調整処理を挙げることができる。さらに、保持対象物品１００が検査対象の電子部品等である場合には、前記所定の検査として特性検査を挙げることができる。
【００７０】
この製造方法によれば、前記治具を用いて保持対象物品１００を保持するので、より多くの保持対象物品１００を同時に保持することができることから、より多くの保持対象物品１００の処理や検査を一度に効率良く行うことができる。したがって、この製造方法によれば、物品を効率良く製造することができ、その製造コストを低減することができる。
【００７１】
以上、本発明の各実施の形態について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。例えば、本発明では、保持対象物品１００は、直方体形状を有する代わりに、円筒形状を有していてよく、これに応じて前記実施の形態を変形してもよい。
【符号の説明】
【００７２】
１  基板（第１の板体）
２  バネ板（第２の板体）
３  補強板（第３の板体）
１１  凹部
２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ  板ばね部
２１Ａａ，２１Ｂａ，２１Ｃａ  基端側部分
２１Ａｂ，２１Ｂｂ，２１Ｃｂ  先端側部分
１００  保持対象物品
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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