(57)【要約】【課題】セラミックス基板の分割面にクラックや欠けが生じにくい分割装置を提供する。【解決手段】本発明の分割装置（１）は、分割溝が形成された分割前のセラミックス基板（２１）を搭載して搬送する搬送用ベルト（２）と、搬送用ベルトを駆動する第１モータ（３）と、搬送用ベルトに従動して回転する第１の分割用ローラ（４）と、搬送用ベルトに対向する押え用ベルト（５）と、押え用ベルトを駆動する第２モータ（６）と、押え用ベルトに従動して回転する第２の分割用ローラ（７）と、を備えている。第１の分割用ローラと第２の分割用ローラ間にセラミックス基板を挟み込んで通過させることにより、セラミックス基板が分割溝に沿って分割されると共に、第２モータのトルクを第１モータのトルクよりも小さく、かつ、第２モータの回転速度を第１モータの回転速度よりも速く設定した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
分割溝が形成された分割前のセラミックス基板を搭載して搬送する搬送用ベルトと、前記搬送用ベルトを駆動する第１モータと、前記搬送用ベルトに従動して回転する第１の分割用ローラと、前記搬送用ベルトに対向する押え用ベルトと、前記押え用ベルトを駆動する第２モータと、前記押え用ベルトに従動して回転する第２の分割用ローラと、を備え、  前記第１の分割用ローラと前記第２の分割用ローラ間に前記セラミックス基板を挟み込んで通過させることにより、前記セラミックス基板が前記分割溝に沿って分割されると共に、前記第２モータのトルクを前記第１モータのトルクよりも小さく、かつ、前記第２モータの回転速度を前記第１モータの回転速度よりも速く設定したことを特徴とするセラミックス基板の分割装置。
【請求項２】
請求項１の記載において、前記第１および第２の分割用ローラ間から前記セラミックス基板が搬送される方向にかけて、前記搬送用ベルトおよび前記押え用ベルトの延出方向が互いに離反していることを特徴とするセラミックス基板の分割装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チップ部品を多数個取りするために用いられるセラミックス基板の分割装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、セラミックス基板の分割装置として、図５に示す分割装置１００が提案されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の分割装置１００は、多数の分割溝が平行に形成されているセラミックス基板２００を搭載して搬送するための搬送用ベルト１０１と、搬送用ベルト１０１に従動して回転自在な第１の分割用ローラ１０２と、搬送用ベルト１０１に対向して当該搬送用ベルト１０１上のセラミックス基板２００に圧接可能な押え用ベルト１０３と、押え用ベルト１０３に従動して回転自在な第２の分割用ローラ１０４と、によって主として構成されている。
【０００３】
このように構成された分割装置１００において、分割前のセラミックス基板２００を搬送用ベルト１０１に搭載し、モータ１０５により駆動プーリ１０６を図示Ａ方向に回転させると、搬送用ベルト１０１が駆動プーリ１０６〜１０９に支持されて図中の時計回り方向に回動する。これにより、搬送用ベルト１０１はセラミックス基板２００を図示Ｃ方向に搬送し、搬送用ベルト１０１に圧接する第１の分割用ローラ１０２は搬送用ベルト１０１に従動して図示Ｂ方向に回転する。一方、加圧シリンダ１１０は第２の分割用ローラ１０４を第１の分割用ローラ１０２の方向に押圧しているため、第２の分割用ローラ１０４に圧接する押え用ベルト１０３が搬送用ベルト１０１およびセラミックス基板２００に接触することにより、搬送用ベルト１０１の駆動力が押え用ベルト１０３に伝達される。その結果、押え用ベルト１０３は駆動プーリ１１１〜１１３に支持されて図中の反時計回り方向に回動し、押え用ベルト１０３に圧接する第２の分割用ローラ１０４は押え用ベルト１０３に従動して図示Ｄ方向へ回転する。さらに、図示Ｃ方向に搬送されたセラミックス基板２００は、搬送用ベルト１０１と押え用ベルト１０３とによって挟持されながら両分割用ローラ１０２，１０４間に挟み込まれる。このとき、加圧シリンダ１１０からの圧力を付与された第２の分割用ローラ１０４が押え用ベルト１０３を介して搬送用ベルト１０１上のセラミックス基板２００を押圧するため、セラミックス基板２００に曲げ応力を生じさせてセラミックス基板２００が分割溝に沿って分割され、分割後のセラミックス基板２０１が両分割用ローラ１０２，１０４間を通過して駆動プーリ１０９の近傍まで搬送される。このようにして、分割装置１００は分割前のセラミックス基板２００を分割溝に沿って分割し、これにより得られた分割後のセラミックス基板２０１がチップ部品となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平６−１２０３６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１に記載の分割装置１００では、搬送用ベルト１０１の駆動力がセラミックス基板２００を介して押え用ベルト１０３に伝達されることにより、押え用ベルト１０３が搬送用ベルト１０１に従動して回動する構成になっているため、押さえ用ベルト１０３が搬送用ベルト１０１に比べて遅れて回転することになる。特に、押え用ベルト１０３の表面が経年劣化等に起因して摩耗してしまい、押え用ベルト１０３がセラミックス基板２００に対してスリップしてしまった場合には、押さえ用ベルト１０３が搬送用ベルト１０１に対して更に遅れを生じることになる。その結果、両分割用ローラ１０２，１０４間でセラミックス基板２００を分割溝に沿って分割する際に、分割溝の底部を始点とするセラミックス基板２００の裏面方向への分割を正常に行うことができず、セラミックス基板２００が変形割れを生じる。
【０００６】
なお、加圧シリンダ１１０による第２の分割用ローラ１０４に対する下方への圧力を増加させて、搬送用ベルト１０１の駆動力を押え用ベルト１０３に伝達しやすくすれば、搬送用ベルト１０１に対する押え用ベルト１０３の遅れを解消することができるが、その場合、セラミックス基板２００に必要以上の圧力がかかってしまいセラミックス基板２００が形状不良となってしまう。
【０００７】
本発明は、上記した従来技術の実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、セラミックス基板の分割面にクラックや欠けが生じにくい分割装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明の分割装置は、分割溝が形成された分割前のセラミックス基板を搭載して搬送する搬送用ベルトと、前記搬送用ベルトを駆動する第１モータと、前記搬送用ベルトに従動して回転する第１の分割用ローラと、前記搬送用ベルトに対向する押え用ベルトと、前記押え用ベルトを駆動する第２モータと、前記押え用ベルトに従動して回転する第２の分割用ローラと、を備え、前記第１の分割用ローラと前記第２の分割用ローラ間に前記セラミックス基板を挟み込んで通過させることにより、前記セラミックス基板が前記分割溝に沿って分割されると共に、前記第２モータのトルクを前記第１モータのトルクよりも小さく、かつ、前記第２モータの回転速度を前記第１モータの回転速度よりも速く設定したことを特徴とする。
【０００９】
このように構成された分割装置には、搬送用ベルトを駆動させる第１モータと押え用ベルトを駆動させる第２モータとが個別に備えられ、第２モータの回転速度は第１モータの回転速度よりも速く、かつ、第２モータのトルクは第１モータのトルクよりも小さく設定されている。これにより、搬送用ベルトに対する押え用ベルトの遅れを防止しつつ、第１モータからの搬送用ベルトの駆動力によりセラミックス基板を両分割用ローラ間に挟み込んで通過させることができる。よって、分割溝の底部を始点とするセラミックス基板の裏面方向への分割を正常に行うことができる。
【００１０】
また、上記構成において、前記第１および第２の分割用ローラ間から前記セラミックス基板が搬送される方向にかけて、前記搬送用ベルトおよび前記押え用ベルトの延出方向が互いに離反していることを特徴とする。
【００１１】
本構成によると、搬送用ベルトおよび押え用ベルトの延出方向が互いに離反しているため、両分割用ローラ間でセラミックス基板を分割した後に、この分割されたセラミックス基板に対する搬送用ベルトと押え用ベルトとによる挟持状態を解除することができる。このとき、本構成の分割装置には、押え用ベルトを駆動させる第２モータが搬送用ベルトを駆動させる第１モータと個別に設けられているため、両分割用ローラ間でセラミックス基板を分割した後に、搬送用ベルトと押え用ベルトとの挟持状態をなるだけ早く解除することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の分割装置では、搬送用ベルトを駆動させる第１モータと押え用ベルトを駆動させる第２モータとが個別に備えられ、第２モータの回転速度は第１モータの回転速度よりも速く、かつ、第２モータのトルクは第１モータのトルクよりも小さく設定されているため、搬送用ベルトに対する押え用ベルトの遅れを防止しつつ、搬送用ベルトの駆動力によりセラミックス基板を両分割用ローラ間に通過させることができる。これにより、分割溝の底部を始点とするセラミックス基板の裏面方向への分割を正常に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態例に係る分割装置の概略構成図である。
【図２】大判基板の平面図である。
【図３】短冊状のセラミックス基板の平面図である。
【図４】短冊状のセラミックス基板の側面図である。
【図５】従来の分割装置の概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１５】
図１に示すように、本発明の実施形態例に係る分割装置１は、後述する大判基板から得られるセラミックス基板２１を搭載して搬送する搬送用ベルト２と、搬送用ベルト２を駆動させる第１モータ３と、搬送用ベルト２に従動して回転する第１の分割用ローラ４と、搬送用ベルト２に対向する押え用ベルト５と、押え用ベルト５を駆動させる第２モータ６と、押え用ベルト５に従動して回転する第２の分割用ローラ７と、を備えている。
【００１６】
図２〜図４に示すように、大判基板２０には一次分割溝２０ａと二次割分溝２０ｂとが格子状の配列で形成されており、これら分割溝２０ａ，２０ｂは断面形状が「Ｖ字状」に形成されている。この大判基板２０を一次分割溝２０ａに沿って分割（一次分割）することにより、図３に示す短冊状のセラミックス基板２１が得られる。そして、後述するように、このセラミックス基板２１を二次割分溝２０ｂに沿って分割（二次分割）することにより、チップ状のセラミックス基板が得られる。
【００１７】
搬送用ベルト２は、ゴム等で形成されたベルトであって、複数の駆動プーリ８〜１０にループ状に支持されている。搬送用ベルト２は、駆動プーリ―９側に搭載されたセラミックス基板２１を第１の分割用ローラ４と第２の分割用ローラ７との間を通過させて駆動プーリ１０の近傍まで搬送するものである。第１モータ３は駆動プーリ８の支軸８ａを中心に駆動プーリ８を図示Ａ方向に回転させるものである。駆動プーリ８の図示Ａ方向の回転により、搬送用ベルト２は図中の時計回り方向に回動する。第１の分割用ローラ４は円筒状のローラであって支軸４ａを中心に回転自在となっている。第１の分割用ローラ４は搬送用ベルト２の下面に圧接しており、搬送用ベルト２が図中の時計回り方向に回動することにより、この搬送用ベルト２に従動して図示Ｂ方向に回転する。
【００１８】
押え用ベルト５は、ゴム等で形成されたベルトであって、複数の駆動プーリ１１〜１３にループ状に支持されている。第２モータ６は、駆動プーリ１１の支軸１１ａを中心に駆動プーリ１１を図示Ｃ方向に回転させるものであり、駆動プーリ１１の図示Ｃ方向の回転により、押え用ベルト５は図中の反時計回り方向に回動し、両分割用ローラ４，７間の手前でセラミックス基板２１の上面を圧接する。これにより、搬送用ベルト２および押え用ベルト３はセラミックス基板２１を挟持した状態で両分割用ローラ４，７間にセラミックス基板２１を搬送する。第２の分割用ローラ７は、第１の分割用ローラ４に比べて径寸法が大きい円筒状のローラであって、支軸７ａを中心に回転自在となっている。第２の分割用ローラ７は押え用ベルト５の上面に圧接しており、押え用ベルト５が図中の反時計回り方向に回動することにより、この押え用ベルト５に従動して図示Ｄ方向に回転する。なお、第２の分割用ローラ７に図示せぬ加圧装置が接続されており、この加圧装置は第２の分割用ローラ７に下方への圧力を与える。この圧力が両分割用ローラ４，７間を通過するセラミックス基板２１を押圧することにより、短冊状のセラミックス基板２１を二次分割溝２０ｂに沿って分割する。
【００１９】
このように構成された分割装置１では、第２モータ６の回転速度を第１モータ３の回転速度よりも速く、かつ、第２モータ６のトルクを第１モータ３のトルクより小さく設定した状態で、両分割用ローラ４，７間にセラミックス基板２１を加圧・挟持して通過させる。具体的には、短冊状のセラミックス基板２１は、二次分割溝２０ｂの延出方向が搬送方向に対して直交するように搬送用ベルト２の駆動プーリ９側に搭載されて図示Ｅ方向に搬送される。そして、搬送用ベルト２と押え用ベルト５とによって挟持されたセラミックス基板２１が両分割用ローラ４，７間を通過するとき、加圧装置からの圧力を付与された第２の分割用ローラ７が押え用ベルト５を介して搬送用ベルト２上のセラミックス基板２１を押圧する。このとき、第２モータ６の回転速度が第１モータ３の回転速度よりも速いため、搬送用ベルト２に対する押え用ベルト５の遅れを防止することが可能となり、しかも、第２モータ６のトルクが第１モータ３のトルクより小さく設定されているため、搬送用ベルト２と押え用ベルト５とをほぼ同期させながら回転駆動することが可能となり、両分割用ローラ４，７間においてセラミックス基板２１を搬送用ベルト２の駆動力により通過させることができる。これにより、第２の分割用ローラ７はセラミックス基板２１の二次分割溝２０ｂを開く方向に曲げ応力を生じさせ、この曲げ応力により二次分割溝２０ｂの底部２０ｃ（図４参照）を始点とするセラミックス基板２１の裏面方向への分割（二次分割）を正常に行うことができる。このようにして二次分割されたチップ状のセラミックス基板２２（図１参照）は駆動プーリ１０側まで搬送される。
【００２０】
ここで、搬送用ベルト２および押え用ベルト５はゴム等で形成されているため、両分割用ローラ４，７間で搬送用ベルト２の上面と押え用ベルト５の下面とが互いに擦れ合うことにより、送用ベルト２の上面および押え用ベルト５の下面に静電気が発生しやすくなっている。本実施形態例では、上述のように、第２モータ６の回転速度が第１モータ３の回転速度より速くなるように調整されており、搬送用ベルト２と押え用ベルト５との移送速度をほぼ同期させることが可能であるため、両ベルト２，５の接触面が互いに擦れ合うことを防止して、静電気の発生を抑止することができる。これにより、セラミックス基板２１上に搭載された抵抗体の抵抗値が静電気によって変動してしまうことによる製品へのダメージを軽減することができる。
【００２１】
また、本実施形態例では、両分割用ローラ４，７間からセラミックス基板２１の搬送方向にかけて、搬送用ベルト２および押え用ベルト５は互いに離反する方向に延出しているため、両分割用ローラ４，７間で短冊状のセラミックス基板２１が分割されてチップ状のセラミックス基板２２が得られた後に、これらセラミックス基板２２に対する搬送用ベルト２と押え用ベルト５との挟持状態が解除される。このとき、分割装置１には押え用ベルト５を駆動させる第２モータ６が搬送用ベルト２を駆動させる第１モータ３と個別に設けられているため、搬送用ベルト２と押え用ベルト５との挟持状態をより早く解除することができる。これにより、分割直後のセラミックス基板２２の解放が遅れて分割面の干渉によるクラックや欠けが生じることを防止できる。
【００２２】
しかも、本実施形態例では、各ベルト２，５の接触面に静電気が発生することを抑止できるが、仮に、静電気が発生したとしても、セラミックス基板２１の分割後に搬送用ベルト２と押え用ベルト５との挟持状態がいち早く解除される構成になっているため、搬送ベルト２に搭載された分割後のセラミックス基板２２が押え用ベルト５の下面に発生した静電気の影響をなるだけ受けないようにすることができる。これにより、搬送ベルト２はセラミックス基板２２の整列状態を維持しながら搬送することができる。
【００２３】
なお、短冊状のセラミックス基板２１を分割した後に搬送用ベルト２と押え用ベルト５との挟持状態を解除するための構成として、分割装置１から駆動プーリ１３を取り除く構成、即ち、押え用ベルト５が駆動プーリ１１，１２によってのみ支持される構成であっても良い。
【００２４】
本実施形態例に係る分割装置１では、短冊状のセラミックス基板２１を二次分割溝２０ｂに沿って二次分割する場合に適用しているが、これに限られず、大判基板２０を一次分割溝２０ａに沿って一次分割する場合にも適用できる。
【符号の説明】
【００２５】
１  分割装置
２  搬送用ベルト
３  第１モータ
４  第１の分割用ローラ
５  押え用ベルト
６  第２モータ
７  第２の分割用ローラ
２０  セラミックス基板
２１  短冊状のセラミックス基板
２２  チップ状のセラミックス基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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