(57)【要約】 【課題】ドア・ガイドおよびシールを備えたウェーハ容器を提供する。【解決手段】特に４５０ｍｍ直径以上のウェーハ用の容器でこれらの問題を経験するときに、装填による過剰な容器壁面偏向および過剰な粒子状物質生成に関連する問題の１つまたは複数を少なくするまたは軽減するウェーハ容器。容器は、容器表面の偏向を最小限に抑えるために、ドアへの張力負荷の伝達を可能にする連動機構を備えたエンクロージャおよびドアを有する。容器は、連動機構と適合するガスケット配置を備えることができる。容器は、ドア設置中にドアのセンタリングを改善し、粒子状物質を少なくするために低粒子生成材料で作られている取り外し可能なドア・ガイドを備えることができる。【選択図】図１３
2017059840.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上壁面、底壁面、１対の側壁面、後壁面、および前記後壁面と反対側のドア・フレームを含むエンクロージャ部であって、前記ドア・フレームは前部開口部を画定し、前記ドア・フレームは該ドア・フレームの複数の隅部の間に延びる側壁面によって画定され、それぞれの側壁面は前記ドア・フレームの隣接する複数の隅部の中間の傾斜部を画定し、前記ドア・フレームはそれぞれの傾斜部よりも内側に設けられ、および前記前部開口部の前端と平行に延びるリセスを画定する、エンクロージャ部と、
前記前部開口部を閉じるために前記ドア・フレーム内に取り外し可能に受け入れられるドアであって、４つの交差する周面を有する本体部を備えたドアと、  複数のドア・ガイドであって、それぞれの前記ドア・ガイドは前記ドアの別個の１つの前記周面の上に設けられ、それぞれの前記ドア・ガイドは係合構造を画定し、前記ドアが前記ドア・フレームに受け入れられたときに前記ドアを前記エンクロージャ部に連結させるために、前記ドア・ガイドの係合構造は前記リセス内に係合する、ドア・ガイドとを備えた、半導体ウェーハ用の前部開口容器。
【請求項２】
前記ドア・フレームによって画定されたリセスは係合表面を呈し、前記ドア・ガイドの前記係合構造は、該ドア・ガイドの前記係合構造が前記リセス内に受け入られたときに前記リセスの前記係合表面に直面するように一致して配置された係合表面を有する、請求項１に記載の半導体ウェーハ用の前部開口容器。    
【請求項３】
前記ドアの本体部の前記複数の周面はそれぞれ、一対のドア・ガイド・リセスを画定し、前記ドア・ガイドは前記一対のドア・ガイド・リセスのそれぞれのドア・ガイド・リセス内に受け入れられる、請求項１に記載の容器。    
【請求項４】
それぞれの前記ドア・ガイドは少なくとも１つの係合構造を有し、前記少なくとも１つの係合構造は前記ドアに画成される前記ドア・ガイド・リセスのうちの対応する係合構造によって受け入れられる、請求項３に記載の容器。
【請求項５】
前記ドア・ガイドは、低粒子生成材料から作られている、請求項１に記載の容器。    
【請求項６】
前記低粒子生成材料は、アセタールまたはＰＢＴを含んでいる、請求項１に記載の容器。
【請求項７】
前記ドアは、前記ドアが前記エンクロージャ部を気密に密封するように前記ドア・フレーム内に受け入れられる場合に、前記ドア・フレーム上の構造と係合する、前記ドアの周面周りに延びているエラストマー・シールをさらに備えている、請求項１に記載の容器。
【請求項８】
前記ドアは一定の幅を有したリセスであって該リセス内に係合したエラストマー・シールを備えたリセスをさらに備え、前記エラストマー・シールは前記ドア・フレームに係合するための切欠部と、前記リセスの幅よりも大きい長さを有する少なくとも１対の横方向に伸びる突出部とを含んでなる、請求項１に記載の容器。
【請求項９】
エラストマー・シールは指部をさらに備え、前記指部と前記切欠部は共に中空部を画定し、前記ドア・フレームの内面は前記ドアが前記ドア・フレームに受取られたときに前記指部の外面と接触する、、請求項１に記載の容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハなどの高感度基板用容器に関し、詳細には、このような容器のドアおよびドア・フレーム・インターフェースに関する。
【背景技術】
【０００２】
コンピュータ・チップなどの集積回路は、半導体ウェーハから製造されている。これらのウェーハは、集積回路を作る工程中に多くのステップにさらされる。これは普通、専門機器による処理のために、１つのワークステーションから別のワークステーションまで複数のウェーハを輸送することが必要である。処理手順の一部として、ウェーハを、容器内に一時的に保管または容器に入れて他の設備またはエンド・ユーザに発送する可能性がある。このような設備内および設備外移動は、潜在的にウェーハを損なう汚染物質を生成するか、そのような汚染物質にウェーハをさらす可能性がある。ウェーハへの汚染物質の悪影響を少なくするために、汚染物質の生成を最小限に抑え、かつ、ウェーハを容器外部の汚染物質から隔離する専門容器が開発された。これらの容器に共通の主要な特徴は、内部のウェーハへのアクセスを可能にするために取り外し可能なドアまたはクロージャを備えているということである。
【０００３】
工程ステップの間でウェーハを輸送および保管するために、プラスチック容器が数十年間使用されてきた。このような容器は、処理機器と、容器を輸送する機器／ロボットとインターフェース接続するための許容範囲を高度に制御してきた。さらに、このようなプラスチック容器内では、金属ファスナは挿入および取り外しの際に粒子生成を引き起こす可能性があるので、ねじなどの金属ファスナを使用することなく取り付けおよび取り外し可能な構成部品を使用することが望ましい。
【０００４】
半導体ウェーハを輸送および／または保管するための容器の追加の所要のまたは望ましい特徴としては、軽量、剛性、清浄度、限られたガス放出、および費用効果的な製造可能性が挙げられる。容器は、容器が閉じられている場合に、ウェーハの気密または気密に近い隔離を行なう。簡単に述べると、このような容器は、ウェーハを清潔に、汚染されないように、および損傷を受けないように保つ必要がある。加えて、担体は、容器の上部に位置決めされたロボット・フランジによって担体を持ち上げることを含む、ロボット処理の困難のもとで、能力を維持する必要がある。
【０００５】
前部開口ウェーハ容器は、大径の３００ｍｍウェーハを輸送および保管するための工業基準となった。このような容器では、前部ドアは、容器部のドア・フレーム内に掛けることが可能であり、ウェーハがこれを通してロボット制御で挿入および取り外される、前部アクセス開口部を閉じる。容器にウェーハが十分装填されると、ドアは容器部のドア・フレーム内に挿入され、そこに掛けられる。着座する場合、ドア上のクッションは、ウェーハに対して上向き、下向き、および内向きの制約を与える。
【０００６】
普通はエラストマー材料の連続ループの形のシールは、密封するように、ドアの周面上に締め付けられている。典型的には、このようなシールは、ドアの周面上の溝に基部を挿入すること、および／またはシール内の穴を通して延びるペグ上にシールを固定することによって取り付けられる。しばしば、シール材料の「ループ」は、溝の周囲より小さい。これにより、丸みを帯びた隅部上に優れたシール保持を与えることが証明されたが、シール内の張力は、ドアの上部、底部、および側部の大きな直線拡張部内の溝にシールを保持することにほとんど効果がない。特に、ウェーハ容器内の開口部が増大して、より大きなウェーハを収納するときに、密封の均一性および一貫性の問題に直面した。
【０００７】
半導体産業は現在、さらにより大きな、４５０ｍｍ直径のウェーハを使用する方向に向かっている。より大きな直径のウェーハは、費用効率を提供するが、脆性を増大させ、重量をより重くし、プラスチックで作られた容器内でより大きなウェーハを処理および保管することに関連する未だ知られていない問題を提示する。上部、底部、側部、前部および後部のプラスチックの拡張部に関連する偏向および関連問題が悪化する。というのは、容器表面の偏向によるドア−ドア・フレーム・インターフェースの不均一なシールおよび歪みによるドア密封の問題であるからである。
【０００８】
半導体ウェーハの寸法の増大に伴って、ウェーハ上に形成された回路の密度もまた、増大してきており、回路がますます小さな粒子および他の汚染物質による欠陥の影響をより受けやすくなっている。要するに、ウェーハの寸法が大きくなったので、容器の寸法も大きくなり、ウェーハがより小さな粒子および他の汚染物質の影響をより受けやすいことにより、ウェーハを清潔および汚染されないように保持するための要件がより厳しくなった。
【０００９】
粒子状物質生成に関連する従来のウェーハ処理デバイスまたは容器に関連するいくつかの欠点がある。容器の使用寿命中、クロージャまたはドアは、ロボットおよび手動手段の両方によって多数回取り付けられ、取り外される。各取り付けおよび取り外しでは、ドア縁部の一部が、容器のドア・フレームを削る可能性がある。この結果、入れられているウェーハ上に留まるように浮遊するようになる可能性がある遊離した粒子が生成される可能性がある。同様に重要なことに、ウェーハ処理デバイスまたは容器のドアは典型的には、ウェーハ縁部に接触し、これを支持するクッションまたはチャネルを備えている。最適には、このようなクッションまたはチャネルは、複数のウェーハをしっかり保持するために、容器内のウェーハ受けチャネルに合わせて動作するように設計されている。ドアをドア・フレーム内に正確におよび繰り返し中心に置かない、また置くことができない場合、ドア・クッションまたはチャネルとウェーハの間の過剰な接触およびその後の粒子生成が生じる可能性がある。
【００１０】
粒子生成の問題はまた、ドアおよび容器が製造される工程に原因がある可能性がある。容器およびドアは普通、ポリカーボネートなどのプラスチックでの射出成型によって形成される。このような成型における固有なものは、成型された部品の収縮および反りである。プラスチック射出成型技術は極めて先進的であるが、同じ金型からの異なる構成部品間の個別の偏差がまだある可能性がある。僅かな偏差は普通、容器を閉じる際のドアの機能を劣化させないが、ドアとドア・フレームの間の接触（および得られる粒子生成）が増大する程度に、作業寸法を変える可能性がある。寸法変化はまた、通常の摩耗および裂けの結果として、金型自体によって生じる可能性がある。この問題は、ドアおよび容器の構成部品の許容誤差が積み重ねられたまたは追加された場合に強調される。
【００１１】
これらのウェーハ担体はロボット制御で開閉されるので、さらに別の欠点が生じる。担体は、それぞれ異なるようにセットアップされる可能性がある多数の機器によって開かれる。また、このような機器は、調節されなくなる可能性があり、摩耗および裂けの影響を受ける。このような機器はその後、完全には位置合わせされず、その結果、望ましくないおよび／または過剰なドア・フレーム接触、および過剰な摩滅および／または粒子生成の状況につながる可能性がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
したがって、特に、４５０ｍｍ直径以上のウェーハ用の容器に対して存在するときに、これらの問題の１つまたは複数に対処するウェーハ容器に対する需要が当業界には存在す
る。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の実施形態は、特に４５０ｍｍ直径以上のウェーハ用の容器でこれらの問題を経験するときに、装填による過剰な容器壁面偏向および過剰な粒子状物質生成に関連する問題の１つまたは複数を少なくするまたは軽減するウェーハ容器に対する、当業界の需要に対処する。
【００１４】
１実施形態では、大径ウェーハに適した前部開口ウェーハ容器は、丸みを帯びた隅部を備えた矩形フレームとして構成および成形されたエラストマー・ガスケットを使用する。エラストマー材料を、ガスケット保持フレームとドア・ハウジング部材の間に挟むことができる。本発明の１実施形態では、ガスケット保持フレームは、ドアの内面の実質的部分を覆っている。本発明の１実施形態では、ガスケット保持フレームは、ドアの周面周りに延び、ドアがドア・フレームに挿入されたときに完全に位置合わせされない場合にガイド動作を行なうように、ドア・フレーム上の同様の構造と協働し、それによって構成部品間の摩擦接触による粒子状物質生成を抑制するドア・ガイド部材を有する。ドア・ガイド部材および協働するドア・フレーム部はそれぞれ、互いに協働および係合するテーパ状表面を有する可能性がある。
【００１５】
本発明の１実施形態では、ガスケット材料は、比較的均一な厚さを有するシート材料として構成されている。シールの露出先端は、エンクロージャ部のドア・フレームの側壁に係合するように外向きに延びている。他の実施形態では、ガスケットは、ガスケット材料が成型された状態で比較的均一な厚さではない。本発明の１実施形態では、ガスケット保持フレームワークを、ウェーハ・クッションと一体的に形成することができる。別の実施形態では、ガスケット材料は、ガスケット保持フレーム上でオーバモールドされている。
【００１６】
１実施形態では、ウェーハ・クッションとシールの中間にある前部ドアの内側表面が、ガスケット層の上にある単一の単位フレームによって提供され、ガスケット材料の周縁部は、ドア・フレームの内向き表面と係合するように、ドアから径方向外向きに突起している。
【００１７】
本発明の１実施形態では、前部開口ウェーハ容器用ドアにおいて、ドアの周面は、周面で露出された３つのはっきり異なる層、ドア基部、エラストマー・シール、およびガスケット・フレームを有する。
【００１８】
本発明の１実施形態では、密封部材は、ドア開口部周りに延びる周溝に挿入される連動部を提供する。密封部材は、ドアに固定された被保持部を備えた本体部と、被保持部から延びている外向きに延びる部分とを有する。外向きに延びる部分はＬ字形であり、径方向に延びる部分、および軸方向に延びる部分を備えることができ、軸方向に延びる部分は連動部を画定する。密封部材は無端、すなわち、ループ形であってもよい。密封部材は、ドア・フレーム、特にドア・フレームの中間上部および中間底部を固定することができるドア・フレーム伸び抵抗特性を有することができ、それによって、密封部材に関連するドアは、容器が容器部の上部、例えば、そこに取り付けられたロボット・フランジによって支持される場合、特に、容器にウェーハが装填された場合に、ドア・フレームの垂直伸びを抑制する。実施形態の特定の態様は、密封部材の効果的なデュロメータを増大させ、外向きに延びている部分の径方向膨張に耐えるように径方向に延びる部分の抵抗を大きくすることができる、周張力を受けている密封部材を備えることができる。このような径方向膨張は、上向きに、および容器部から離れる方向に回転する軸方向に延びる部分によって生じる可能性がある。前記回転を起きないようにするまたは小さくするために、延びている部分の容器部側と反対に剛性止め部を位置決めすることができる。エラストマー・シール
の本体部の非エラストマー性、またはより少ないエラストマー特徴の材料の角付きストリップを利用して、軸方向に延びる部分がドア・フレーム内の伸び応力によって生じる上向きおよび容器部から離れる回転に耐えるのをさらに助けることができる。
【００１９】
１実施形態では、ガスケット保持フレームワークはまた、「ｚ」方向に突出し、突出部の内側表面上のテーパを備えたドアの周面周りに延びる突出部を備えた周面ドア・ガイドおよびフレーム型リテーナを形成する。周面ドア・ガイドは、ドア・フレーム上の適合しているテーパ状表面に対応するほぼＶ字形のリセスを係合させるように構成されている。
【００２０】
１実施形態では、半導体ウェーハ担体は、ウェーハの挿入および取り外し用開口部を画定するドア・フレームを備えたエンクロージャと、前記開口部を閉じ、密封するためのドアと、前記ドアとエンクロージャの間のインターフェースを制御するための別々に形成されたドア・ガイドとを有する。いくつかの実施形態では、ドア・ガイドはそれぞれ、ドアの周囲に沿って延び、ドアの１つ、２つまたは４つの周側表面上で中心に位置決めされた細長い部材を備えている。それぞれ位置決め、すなわち、「ｘ」および「ｙ」方向両方の位置決め機能を行なう（「ｚ」方向は、ドアのドア・フレーム内への挿入およびドア・フレームからの取り外し方向である）。
【００２１】
１実施形態では、ドア・ガイドは、ドア・フレーム内のスロット内に嵌合する周方向に延びる細長く薄いリブを有する。各ドア・ガイドは、Ｕ字の脚部が縁部を位置決めする際にガイドを提供するように傾斜しているＵ字型開口部を有することができ、Ｕ字はドアがドア・フレーム内に挿入される前に、およびそのときに、エンクロージャおよびエンクロージャ・ドア・フレームに向かって「ｚ」方向に内側に向いている。スロットに嵌合しているリブを着座させる、すなわち、ドア・フレームと接触および係合させることができる、または分離させ、ドア・フレームと直接接触しないようにすることができる。好ましい１実施形態では、ドアは垂直および水平中心線を有し、ドア・ガイドは、ドア中心線周りで中心に置かれた上部周面側に位置決めされている。ドア・ガイドは同様に、それぞれのドア中心線周りにそれぞれ中心に置かれた、横周面側および底部周面側に位置決めすることができる。各ドア・ガイドは、ｘおよびｙ方向にドアを位置決めするためのそれぞれ提供ガイド表面を備えた２つの位置決め部を有することができる。
【００２２】
１実施形態では、各ドア・ガイドは、ドア・フレーム内のスロットに係合する、戻り止め、例えば、舌形の戻り止めを有することができる。各ドア・ガイドは２つの戻り止めを有することができる。さらに、各ドア・ガイドは、ドア・フレーム上の突出部に係合するための、またはその逆の受入れ装置を有することができる。突出部および受入れ装置は、最終的および誘導係止位置を提供するように楔形をしている可能性がある。したがって、実施形態では、ガイドはドアの周縁部に沿って延び、別のファスナなしで取り付けられる。
【００２３】
１実施形態では、ガイドは、ポリブチレン・テレフタラート（ＰＢＴ）またはアセタールを含む混合物から形成されている。これらの材料は、この内容では、ドア−縁部からドア−フレーム係合中の粒子生成を最小限に抑える、有利な低粒子生成特徴を有するように見える。
【００２４】
代替実施形態では、ガイドを、ドアに加えて、またはドアよりむしろ、ドア・フレームに取り付けることができる。ガイドがドアおよびドア・フレームの両方に取り付けられる場合、ガイドをオフセットまたは対面協働関係で取り付けることができる。ガイドは、両方とも全体的に本願明細書に援用する、米国特許第６，２０６，１９６号および第６，４６４，０８１号に開示されたような隅部ガイドで、またはなしで利用することができる。
【００２５】
１実施形態によると、半導体ウェーハ用の前部開口容器は、上壁面、底壁面、１対の側壁面、後壁面、および後壁面と反対側のドア・フレームを含むエンクロージャ部であって、ドア・フレームは前部開口部を画定し、ドア・フレームは複数のドア・フレーム隅部を形成する複数の交差側壁面を有し、各側壁面は隣接するドア・フレーム隅部の中間の傾斜部を画定するエンクロージャ部と、前部開口部を閉じるためにドア・フレーム内に取り外し可能に受け入れられるドアであって、複数の交差周面を呈する本体部を備えたドアとを備えている。容器はさらに、複数のドア・ガイドを備えており、各ドア・ガイドは周面の別の１つの上に配置されており、それによって、ドアがドア・フレーム内に受け入れられた場合に、各ドア・ガイドがドア・フレームの傾斜部の別の１つと係合される。
【００２６】
１実施形態によると、ドア・フレームは、各傾斜部から内向きに、前部開口部の前縁部と平行に延びる外向きリセスを画定することができる。各ドア・ガイドは縁部を画定することができ、ドア・ガイドの縁部は、ドアがドア・フレーム内に受け入れられた場合に、ドアをエンクロージャ部と連動させるように、リセス内に係合している。リセスはほぼＶ字形をしており、係合表面を呈することができ、ドア・ガイドの縁部は、ドア・ガイドの縁部がリセス内に受け入れられた場合に、リセスの係合表面に直面するように一致して配置された係合表面を有することができる。
【００２７】
１実施形態では、本体部の複数の周面はそれぞれ、ドア・ガイド・リセスを画定し、ドア・ガイドの別の１つは各ドア・ガイド・リセス内に受け入れられる。各ドア・ガイドは、少なくとも１つの係合構造を有することができ、少なくとも１つの係合構造は、ドア・ガイド・リセス内の対応する係合構造によって受け入れられる。少なくとも１つの係合構造は、係合タブである可能性があり、対応する係合構造は開口部である可能性がある。
【００２８】
１実施形態では、容器のドアは、ドアの周面周りに延びているエラストマー・シールを備えることができ、エラストマー・シールは、ドアがエンクロージャ部を気密に密封するようにドア・フレーム内に受け入れられる場合に、ドア・フレーム上の構造と係合する。容器はまた、ドアの後側に配置されたウェーハ・クッションを備えることができる。ドア・ガイドは、アセタールまたはＰＢＴである可能性がある、低粒子生成材料から作ることができる。
【００２９】
別の実施形態では、半導体ウェーハ用の前部開口容器は、上壁面、底壁面、１対の側壁面、後壁面、および後壁面と反対側のドア・フレームを有するエンクロージャ部を備えている。ドア・フレームは、前部開口部、およびドア・フレームの前縁部と平行にドア・フレームの内周面周りに延びる前向きリセスを画定する。ドアは、前部開口部を閉じるように、ドア・フレーム内に取り外し可能に受け入れられる。ドアは、後側を呈する本体部と、後側に配置されたガスケット・アセンブリとを備えている。ガスケット・アセンブリは、ガスケット・フレームおよびガスケットを備えている。ガスケット・フレームは、ドアの周面周りに延びている細長い突出部を画定し、ガスケットはガスケット・フレームと本体部の間に保持されている。ガスケットは、横方向に突出する密封部を備えている。ガスケット・フレームの突出部は、ドアがドア・フレーム内に受け入れられた場合にドアをドア・フレームと連動させるように、ドア・フレームのリセス内に受け入れられ、ガスケットの横方向に突出する密封部は、ドアがドア・フレーム内に受け入れられた場合に、ドア・フレームの側壁面に係合し、これを密封する。１実施形態では、ガスケット・アセンブリは、一体的に形成されたウェーハ・クッションを備えている。いくつかの実施形態では、ガスケット・アセンブリは実質的に、ドアの本体部の後側全体を覆っている。別の実施形態では、ガスケットをガスケット・フレーム上にオーバモールドすることができる。
【００３０】
１実施形態では、前向きリセスは、ほぼＶ字形であり、係合表面を呈し、ガスケット・アセンブリの突出部は、突出部がリセス内に受け入れられた場合に、リセスの係合表面に
直面するように一致して配置された係合表面を有する。
【００３１】
別の実施形態では、半導体ウェーハ用の前部開口容器は、上壁面、底壁面、１対の側壁面、後壁面、および後壁面と反対側の矩形ドア・フレームを有するエンクロージャ部を備えており、ドア・フレームは前部開口部を画定し、側壁面によって画定されるドア・フレームは矩形のドア・フレームの隅部の間に延びており、各側壁面は隣接する隅部の中間にある傾斜部を画定する。矩形ドアは、前部開口部を閉じるように、ドア・フレーム内に取り外し可能に受け入れられ、ドアは４つの交差周面を呈する本体部を備えている。容器はさらに、複数のドア・ガイドを備えており、各ドア・ガイドは周面の別の１つに配置されており、それによって、ドアがドア・フレーム内に受け入れられた場合に、各ドア・ガイドがドア・フレームの傾斜部の別の１つと係合される。
【００３２】
１実施形態では、ドア・フレームは、各傾斜部から内向きに、前部開口部の前縁部と平行に延びる外向きリセスを画定する。各ドア・ガイドは係合構造を画定し、ドア・ガイドの係合構造は、ドアがドア・フレーム内に受け入れられた場合に、ドアをエンクロージャ部と連動させるように、リセス内に係合している。いくつかの実施形態では、リセスはほぼＶ字形をしており、係合表面を呈し、ドア・ガイドの係合構造は、ドア・ガイドの係合構造がリセス内に受け入れられた場合に、リセスの係合表面に直面するように一致して配置された係合表面を有する。いくつかの別の実施形態では、本体部の複数の周面はそれぞれ、ドア・ガイド・リセスを画定し、ドア・ガイドの別の１つは各ドア・ガイド・リセス内に受け入れられる。各ドア・ガイドは、少なくとも１つの係合構造を有することができ、少なくとも１つの係合構造は、ドア・ガイド・リセス内の対応する係合構造によって受け入れられる。
【００３３】
本発明の利点および特性は、衝撃吸収特徴が、ドア基部との間にガスケット層を有するドアのドア・フレーム係合部を有することによって提供されることである。これにより、容器部内へのラッチ機構の動作などによる衝撃波の伝達が小さくなり、このような衝撃波は、その後、容器部の内側表面から粒子を放出させることができる。
【００３４】
本発明の利点および特性は、ガスケットが、ｚ−ｘ平面またはｚ−ｙ平面内に実質的に延びる密封表面と係合することである。ドア周面から延びるガスケット・リップは、密封表面とほぼ通常に係合するように外向きに延びている。密封完全性に影響を与えるドア・フレーム内の僅かな歪みの影響が、最小限に抑えられる。
【００３５】
本発明の実施形態の利点および特性は、エラストマー本体部材、およびその周りに延び、そこに付着される剛性化ストリップ部材を備えた周面シールである。剛性化ストリップ部材は、異なるデュロメータ硬度を有する。
【００３６】
本発明の実施形態の利点および特性は、ループ形状をしており、エラストマー本体部材およびループの長さ周りに延びるストリップ部材を備えた周面シールである。ストリップ部材は、係合表面を提供することができる。
【００３７】
本発明の実施形態の利点および特性は、ウェーハ容器のドアにドアの周面上で中心に置かれた取り外し可能なドア・ガイドを設けることである。
本発明の実施形態の利点および特性は、ドアとドア・フレームの間の摩擦接触によって生成される粒子状物質の量を少なくすることである。
【００３８】
本発明の実施形態の利点および特性は、ドア・フレーム内のドアのセンタリングを容易にすることである。
本発明の実施形態の利点および特性は、ドアに取り付けられたクッションと半導体ウェ
ーハ縁部の間の摩擦接触によって生成される粒子状物質の量を少なくすることである。
【００３９】
本発明の実施形態の利点および特性は、ドアとドア・フレームの間の許容誤差を大きくすることである。
本発明の実施形態の利点および特性は、ガイドをドア上の様々な場所に取り外し可能に取り付けることができることである。
【００４０】
本発明の実施形態の利点および特性は、ガイドが摩耗に耐える比較的硬く、低摩擦材料で製造されていることである。
本発明の実施形態の利点および特性は、容器のドアをエンクロージャ部と連動させることによって、容器エンクロージャの上部、底部、側部、および／または前部の偏向を少なくすることである。
【００４１】
本発明の実施形態の利点および特性は、ドアがエンクロージャ部から取り外された場合に、容器に入る空気の速度を低くし、それによってエンクロージャの内側への粒子状物質の拡散を抑制することである。
【００４２】
本発明の実施形態は、添付の図面と合わせて、様々な実施形態の以下の詳細な説明を検討することにより、より完全に理解することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の１実施形態による前部開口部ウェーハ容器の展開等角正面図。
【図２】図１の容器用の前部ドア・アセンブリの１実施形態の展開等角図。
【図３】図１の容器用の前部ドア・アセンブリの別の実施形態の展開等角図。
【図４】エンクロージャ部のドア・フレームに係合した前部ドア・アセンブリを示す、図１の容器の断片断面図。
【図５】ドア本体上に配置するために見当合わせされたウェーハ・クッション・アセンブリを示す、前部ドア・アセンブリの展開図。
【図６】ドアの内向き表面のほぼ全体にわたって延びるクッション材料を備えた前部ドア・クッション・アセンブリの等角図。
【図７】図６の前部ドア・クッション・アセンブリの後側の等角図。
【図８】前部ドア・アセンブリがドア・フレーム内への挿入の第１段階である、容器部および前部ドア・アセンブリの隅部を通る断面図。
【図９】前部ドア・アセンブリがドア・フレーム内への挿入の第２段階である、図８に示す容器部および前部ドア・アセンブリの隅部の断面図。
【図１０】前部ドア・アセンブリがドア・フレームに完全に着いている、図８に示す容器部および前部ドア・アセンブリの隅部の断面図。
【図１１】図１の断面１１−１１に沿った断片断面図。
【図１２】本発明の代替実施形態による、容器部のドア・フレームに係合したドアの断片断面図。
【図１３】本発明の別の実施形態による、前部開口部ウェーハ容器の展開等角正面図。
【図１４】図１３の前部開口部ウェーハ容器の組立等角正面図。
【図１５】傾斜ドア・ガイド係合部および連動機構を示す、図１３の容器のドア・フレームの底縁部の等角図。
【図１６】図１３のウェーハ容器のドア・アセンブリの後側の等角図。
【図１７】図１６のドア・アセンブリの側部ドア・ガイドの１つの詳細図。
【図１８】図１６のドアの上部ドア・ガイドの詳細図。
【図１９】図１４の断面１９−１９に沿った、底部ドア・ガイドを通る部分断面図。
【図２０】ドア・ガイド係合開口部を示すためにドア・ガイドを省略した、図１６のドアの後側の等角図。
【図２１】受け入れリセス内への挿入のために見当合わせされた位置のドア・ガイドを示す、図１６のドアの側部の部分等角図。
【図２２】図１６のドア・アセンブリのドア・ガイドの内側の等角図。
【図２３】図２２のドア・ガイドの外側の等角図。
【発明を実施するための形態】
【００４４】
本発明は、様々な変更形態および代替形態に補正可能であるが、その詳細は、図面に例として示したものであり、詳細に説明される。しかし、記載した特定の実施形態に本発明を限定することを意図したものではないことを理解されたい。むしろ、本発明の精神および範囲から逸脱することなく、全ての変更形態、同等物、および代替形態を含むことを意図している。
【００４５】
本応用例の目的では、相対的方向を、「ｘ」、「ｙ」および「ｚ」方向に関して記載することができ、容器の部品に対するこれらの指定は、図１、１３および１４の一部として提供される方向的手がかりにしたがうものであることを意図している。
【００４６】
次に図１を参照すると、前部開口部ウェーハ容器２０は普通、エンクロージャ部２２および前部ドア２４を備えている。エンクロージャ部２２は普通、上壁面２６、底壁面２７、側壁面２８、３０、後壁面３２、および前部開口部３６を画定するドア・フレーム３４を備えている。加えて、ラッチ・ボルト・リセス５６は、ドア・フレーム３４の上側４２および底側４６それぞれ内に画定されている。各ラッチ・ボルト・リセス５６は、持ち上げられた部分５８によって囲まれている。外向き連動溝５５は、ドア・フレーム３４の内側縁部５７で画定される。ウェーハ支持構造６０を、複数のスロット６２内にウェーハを受け入れるために、エンクロージャ部２２の内側に設けることができる。当技術分野で知られているように、ロボット持ち上げフランジ６４および運動学的継手６６は、エンクロージャ部２２の上部および底部外側表面にそれぞれ設けることができる。
【００４７】
前部ドア２４は普通、後側７０、前側７２、上部周面７４、側部周面７６、７８、および底部周面８０を呈する本体部６８を備えている。１対のラッチ・リセス（図示せず）は、前側７２内に画定されており、前部パネル８２に覆われている。各ラッチ・リセスは、ラッチ・ボルト８６を選択的に伸張および格納させ、容器部２２のラッチ・ボルト・リセス５６と係合して、ドア・フレーム３４内に前部ドア２４を固定するために、前部パネル８２内のキー開口部８４を通して挿入可能なキーによって動作可能なラッチ機構（図示せず）を受ける。ラッチ機構は普通、全て、本出願の所有権者によって所有され、全てを本願明細書に援用する、米国特許第４，９９５，４３０号、第７，１８２，２０３号、または第７，１６８，５８７号に開示されているように構成することができる。
【００４８】
図２に示す１実施形態では、前部ドア２４は、複数のウェーハ係合部９０を備えたウェーハ・クッション８８を有するウェーハ・クッション部材８７を備えている。ウェーハ・クッション部材８７は、本体部６８の後側７０に位置決めされ、ガスケット部材９２が２つの間に介在している。特に、ウェーハ・クッション部材８７は、図示する実施形態では、後側７０のほぼ全体を覆っている。ウェーハ・クッション８８は、本体部６８内に形成され、ドアの上部からドアの底部まで延びているリセス９２内に受け入れられ、ドアの左右側に関して中心に位置決めされている。リセスは異なる深さを有し、最も深い部分はリセス９２の垂直中間線に沿って延びている。ウェーハ・クッション部材８７は、その周面全体周りに前向きに突出するリップ８９を画定する。
【００４９】
図３を参照すると、前部ドア２４の代替実施形態が示されている。ガスケット・フレーム・アセンブリ９４は普通、ガスケット・フレーム９６およびガスケット９８を備えてい
る。ガスケット９８を、図示するように、ガスケット・フレーム９６から別々に形成する、または普通に知られているオーバモールド技術を使用してガスケット・フレーム９６上にオーバモールドすることができる。ガスケット・フレーム９６は、その周面全体周りに前向きに突出するリップ９７を画定する。ウェーハ・クッション部材１００は、ガスケット・フレーム・アセンブリ９４から離れており、複数のウェーハ係合部９０を有するウェーハ・クッション８８を備えている。ウェーハ・クッション部材１００は、ガスケット・フレーム・アセンブリ９４と本体部６８の間に挟まれている。また、ウェーハ・クッション８８は、本体部６８内に形成されたリセス９２内に受け入れられる。
【００５０】
図４は、断片断面で、ドア・フレーム３４に完全に係合した前部ドア２４を示している。ウェーハ・クッション部材  ８７の前向きに突出するリップ８９は、ドア・フレーム３４のほぼＶ字形の連動溝５５内に受け入れられ、リップ８９の傾斜した係合表面８９ａが、連動溝５５の傾斜した係合表面５５ａに当接する。ウェーハ・クッション部材８７と本体部６８の間に挟まれたガスケット部材９２は、横方向に突出するリップ２０４を備えた突出部２０２を有する。リップ２０４は、ドア・フレーム３４の側壁面２０５を係合し、これを密封する。ウェーハ・クッション部材８７の内向き表面２０６を、本体部６８の外向き表面２０８から僅かに異なる角度で角度付けして、ガスケット部材９２を圧縮し、ガスケット部材９２を定位置により良く固定し、ガスケット部材９２のあらゆる滑りまたはずれを防ぐためにクランプ力を与えることができることが理解されよう。
【００５１】
傾斜表面５５ａおよび傾斜表面８９ａの当接係合は、前部ドア２４と容器部２２の間の連動を形成し、上壁面２６、底壁面２７、側壁面２８、３０、ドア・フレーム３４、および前部ドア２４の外向き偏向に耐える傾向があることが理解されよう。例えば、容器２０にウェーハが装填され、容器がロボット持ち上げフランジ６４で持ち上げられると、ウェーハの重量が、力を加え、特に前部開口部３６で、上壁面２６および底壁面２７を互いに離れるように偏向させる傾向がある。図４に示すように前部ドア２４をドア・フレーム３４に係合した状態で、連動溝５５内のウェーハ・クッション部材８７の前向きに突出するリップ８９の係合により、ドア２４に張力を加え、それによって、上壁面２６および底壁面２７の偏向に耐えることが可能になる。
【００５２】
図８〜１０は、ドア・フレーム３４内への係合の連続した段階の前部ドア２４を示している。図８では、前部ドア２４は、ガスケット部材９２の突出部２０２がドア・フレーム３４の外縁部５４の内側にある状態で、ドア・フレーム３４と見当合わせされている。前部ドア２４が、図９に示すようにドア・フレーム３４内で前進させられると、ウェーハ２１０の先端縁部は、ウェーハ係合部９０の下側傾斜表面２１２と係合し、ウェーハを上向きに進ませる。突出部２０２は、ドア・フレーム３４の側壁面２０５と係合し始める。図１０では、前部ドア２４が前進してドア・フレーム３４内に完全に係合すると、ウェーハ２１０の縁部が、Ｖ字形のウェーハ係合部９０内に着く。ウェーハ・クッション部材８７の前向きに突出するリップ８９は、連動溝５５内に受け入れられ、リップ８９の傾斜表面８９ａが連動溝５５の傾斜表面５５ａに当接する。リップ２０４は、ドア・フレーム３４の側壁面２０５と係合し、これを密封し、それによってエンクロージャ部２２の内部およびウェーハ２１０を外部汚染物質から密封する。
【００５３】
図５〜７に示すように、複数の係合構造２１４がウェーハ・クッション部材８７上の対応するフック２１６に係合する、各側周面７６、７８に近接して後側７０に配置された状態で、本体部６８の後側７０にウェーハ・クッション部材８７を固定することができる。所望の場合、さらにウェーハ・クッション部材８７を定位置に固定するために、ウェーハ・クッション部材８７上の対応して配置されたフックと係合可能に、後側７０の横方向中間点のより近くに追加の係合構造２１８を設けることができる。
【００５４】
本発明の特定の実施形態のウェーハ・クッション部材８７の別の有利な態様が、図２および１１に示されている。ウェーハ・クッション８８の各ウェーハ係合部９０は、弾力性があり、ウェーハが完全に係合されている場合に、ウェーハを定位置に保持し、ウェーハに対する物理的ショックを和らげるように、各ウェーハへ限られた力を加えるように、ばねとして働く。図示した実施形態によると、各ウェーハ係合部９０は、外側縁部に近接して傾斜突起２２０を有する。この傾斜突起２２０は、ウェーハ・クッション部材８７が本体部６８上に配置されている場合に、前部ドア２４のラッチ機構２２２に近接して配置されている。傾斜突起２２０の上部側は、前部ドア２４がドア・フレーム３４内に前進されるときに、ウェーハ２１０の第１の接触点である。より大きな力が各ウェーハ２１０によってウェーハ係合部９０に加えられるので、ウェーハ係合部９０は偏向する。初期接触が傾斜突起２２０で起こるので、ウェーハ係合部９０のばね動作によって加えられる力によるクッション装填のより多くが、ラッチ機構２２２に沿って本体部６８に加えられ、ここで前部ドア２４はラッチ・ボルト・リセス５６内へのラッチ・ボルト８６の係合により、外向き偏向に耐えることがより可能になる。したがって、クッション装填による容器２０の歪みは比較的最小限に抑えられる。他の実施形態では、傾斜突起２２０の底縁部とのウェーハ２１０の第１の初期接触点が同じ効果を達成することが理解されよう。
【００５５】
特定の実施形態の別の有利な態様が、各ラッチ・ボルト・リセス５６周りで持ち上げられた部分５８によって提供される。ドア・フレーム３４の側壁面２０５の僅かに外向きの傾斜に結合されたこれらの持ち上げられた部分５８により、前部ドア２４を、特に外縁部３５で、ドア・フレーム３４から離れるように間隔を置いて配置することが可能になる。使用の際、前部ドア２４がドア・フレーム３４内で取り外され、交換される場合、気密密封によるエンクロージャ部２２内向きへの空気の移動がある可能性がある。ドア・フレーム３４からさらに離れて、前部ドア２４に間隔をあけることによって設けられるより大きな間隙は、空気の速度をそうでなければあるものから低くさせ、それによって粒子状物質が空気内に巻き込まれ、エンクロージャ部２２内に運ばれて、内部でウェーハを汚染する可能性を低くすることができる。さらに、持ち上げられた部分５８は、ラッチ位置での前部ドア２４とドア・フレーム３４の間の間隙を最小限に抑え、それによって、ラッチ・ボルト・リセス５６に係合された場合に、ラッチ・ボルト８６の支持されていない長さを最小限に抑え、「ｚ」方向への前部ドア２４の可能性のある偏向を少なくすることができる。
【００５６】
図１２を参照すると、容器部１０６のドア・フレーム１０４に係合した前部ドア１０２を有する代替実施形態が示されている。ラッチ部材１０８は、ドア・フレーム内にドアを取り外し可能に固定するように、ドア・フレーム１０４内で受入れ装置１０９内に伸張および格納される。密封部材１１０またはガスケットは、ドアのフレームまたは基部１１７と内側保持フレーム１２０の間に挟められることによって、保持される被保持部１１１を備えたエラストマー本体１１３を有する。エラストマー本体１１３はまた、非保持で外向きに延びる部分１１２を有する。外向きに延びる部分１１２は、径方向に延びる部分１１６および軸方向に延びる部分１１４を有する。非エラストマーであってもよく、径方向斜視図では、エラストマー・ガスケット１１０の内向き（容器部に向かう）垂直面１３６の上に、そこに接着させることができる内側保持フレームから外向きに延びる、その後、内向きに角度付けされ、リセス１４４内への挿入のためにエラストマー・ガスケットの角度付けされた内向き面１４０に接着される、異なる材料、好ましくはポリマー材料で形成されたストリップ部１３０が、シールの容器部側に位置決めされている。ストリップ部は、エラストマー本体部よりむしろ、ドアに基本的にまたは排他的に接触するように、ドア・フレーム係合部を形成することができる。ドア・フレーム係合ストリップ部１３０は、ドア・フレームの内側周面周りで周方向に延び、ドア・フレーム１０４の外向きに延びている角度付けされた突起１４８と係合する。図示するように、ストリップ部はここで係合するドア・フレームの形状と一致する可能性がある。エラストマー本体およびドア・フレー
ム係合ストリップ部は、密封部１５０を画定する。ドア・フレーム係合ストリップ部は、ポリマー材料の剛性および弾力性のあるストリップで形成することができ、好ましくは、ドア周りで無端状に延び、オーバモールディングなどによってエラストマー・ガスケット材料に接着される。係合ストリップ部は、ドアとの密封部の係合の全体を形成することができる、またはエラストマー・ガスケットの一部はまた、ドアと直接接触し、これを密封することができる。係合ストリップ部はしたがって、ドア・フレームにあまり接着しない密封係合を行なって、エラストマー・ガスケット材料と比べて、ドアの取り外しをより容易にすることができる。
【００５７】
図１２はまた、内側保持フレーム１２０とドアの基部１１７の間のガスケット１１１の固定の別の実施形態を図示している。フレーム１２０は、ドア基部１１７の内向きに（容器部に向かって）延びる突起１６０上に固定され、密封部材１１０はまた、フレーム１２０内のリセス１６４でフレームと突起の間に挟まれ、またその中で圧縮される。断面だけがドアの上部に図示されているが、密封部材、ストリップ部、突起、リセスなどのインターフェース構成部品および機構は、好ましくは、ドアの外周面およびドア・フレームの内周面全体周りに延びている。
【００５８】
ウェーハ容器２０の構成部品のいずれかまたは全ては普通、半導体ウェーハで典型的に使用されるポリマーで射出成型することができることが理解されよう。このような材料としては、これに限らないが、ポリカーボネート、フルオロポリマー、およびポリエーテルエーテルケトンが挙げられる。
【００５９】
本発明の別の実施形態によるウェーハ容器３００が、図１３〜２３に示されており、普通は、エンクロージャ部３０２およびドア３０４を備えている。エンクロージャ部３２２は普通、図１３および１４に示すように、底壁面３０６、上壁面３０８、側壁面３１０、３１２、後壁面３１４、およびドア３０４を受け入れるための開口部３１８を画定するエンクロージャの前側のドア・フレーム３１６を備えている。傾斜部３２０は、それぞれ、図１３で注釈がつけられているように、「ｚ」軸方向で外縁部３３０に向かって傾斜する、ドア・フレーム３１６の各側３２２、３２４、３２６、３２８の中間点に近接して、ドア・フレーム３１６の内周面上で画定されている。各傾斜部３２０に隣接して、またこれから内向きに、細長い突出部３３２は、「ｚ」軸方向に外向きに延びて、ドア・フレーム３１６の外縁部３３０と平行に延びるほぼＶ字形のリセス３３４を画定する。加えて、ラッチ・ボルト・リセス３３６は、ドア・フレーム３１６の底部側３２２および上部側３２８それぞれ内で画定される。各ラッチ・ボルト・リセス３３６は、持ち上げられた部分３３８によって囲まれている。ウェーハ支持構造（図示せず）を、構造内で画定された複数のスロット内にウェーハ（図示せず）を受け入れるように、エンクロージャ部３０２内側に設けることができる。当技術分野で知られているように、ロボット持ち上げフランジ３４０および運動学的継手３４２は、エンクロージャ３０２の上部および底部外側表面にそれぞれ設けることができる。
【００６０】
図１３〜２３に示すように、ドア３０４は普通、後側３４６、前側３４８、上部周面３５０、側部周面３５２、３５４、および底部周面３５６を呈する本体部３４４を備えている。１対のラッチ・リセス（図示せず）は、前側３４８内に画定されており、前部パネル３５８に覆われている。各ラッチ・リセスは、ラッチ・ボルト３６１を選択的に伸張および格納させるために、前部パネル３５８内のキー開口部３６０を通して挿入可能なキーによって動作可能なラッチ機構（図示せず）を受ける。ウェーハ・クッション５００が、後ろ側３４６に配置されている。
【００６１】
本発明の１実施形態によると、上部周面３５０、側部周面３５２、３５４、および底部周面３５６はそれぞれ、ドア・ガイド・リセス３６２を画定する。上部周面３５０および
底部周面３５６内のリセス３６２は、垂直ドア中心線３６４上で中心に置かれ、側部周面３５２、３５４内のリセス３６２は、水平ドア中心線３６６上で中心に置かれている。
【００６２】
各ドア・ガイド・リセス３６２は、図２０に示すように、内壁面３６８、側壁面３７０、３７２、および底壁面３７４によって画定されている。溝３７６は、側壁面３７０、３７２、および底壁面３７４それぞれ内で画定され、リセス３６２の周面周りに延びている。底壁面３７４はまた、ガイド係合開口部３７８、３８０、および中心ガイド係合開口部３７９を画定する。１対のガイド・タブ３８２は、リセス３６２の各端部に近接して、内壁面３６８から外向きに延びている。
【００６３】
本体部３４４はまた、ドア３０４の各隅部３８６、３８８、３９０、３９２で、隅部ドア・ガイド受入れリセス３８４を画定することができる。各リセス３８４は、ドア・フレーム３１６内にドア３０４を配置するのを助けるように、当技術分野で知られているように、隅部ドア・ガイド（図示せず）を受け入れることができる。
【００６４】
ドア・ガイド３９４が図に示されており、普通は、ＰＢＴまたはアセタールの混合物などの、低摩擦係数および望ましくは低粒子生成特徴を有するポリマー材料から形成された一体的な細長い本体部３９６を備えている。タブ３９８は、各端部４００、４０２から横方向外向きに延びている。リブ４０４が底縁部４０６上に設けられ、中心リブ４０４は中心位置決めタブ４０８を備えている。係合タブ４１０は、各端部４００、４０２に近接して下向きに延びており、戻り止め４１２を備えている。内側４１４はまた、各端部４００、４０２に近接して画定された楔形突出部４１６を有し、各突出部４１６は溝４１８を画定する。上縁部４２０は、脚部４２２と４２４の間のほぼＵ字形の開口部内に画定される。Ｕ字形の開口部の側部４２６は、図示するように僅かに傾斜していてもよい。
【００６５】
ドア・ガイド３９４の１つは、本体部３４４の上部周面３５０、側部周面３５２、３５４、および底部周面３５６内の各ドア・ガイド・リセス３６２内に取り外し可能に受け入れられる。ドア・ガイド３９４は、図２１に示すように、各溝４１８をガイド・タブ３８２の１つと見当合わせし、下向きにドア・ガイドを前進させることによって挿入される。ガイド３９４が下向きに前進されると、タブ３９８は、各側壁面３７０、３７２内に画定された溝３７６内に受け入れられ、その中で摺動する。ガイド３９４が完全に挿入されると、リブ４０４は底壁面３７４内の溝３７６内に受け入れられ、中心位置決めタブ４０８は中心ガイド係合開口部３７９を通して延びている。係合タブ４１０は、ガイド係合開口部３７８、３８０を通して受け入れられ、戻り止め４１２は底壁面３７４の後に係合して、ガイド３９４を定位置に固定する。ガイド３９４が定位置にある状態で、ガイド表面４２８は外向きになっている。
【００６６】
ドア３０４は、図１３に示すように、ドア・フレーム３１６によって画定された開口部にドア３０４を見当合わせすることによって、エンクロージャ部３０２のドア・フレーム３１６内に係合される。ドア３０４がフレーム３１６内に前進させられると、ドア・ガイド３９４のガイド表面４２８は、ドア・フレーム３１６の内周面上の傾斜部３２０と係合し、その上で摺動する。傾斜部３２０の僅かな傾斜が、ガイド・ドア３０４を所望の位置にするのを助ける。さらに、上縁部４２０を画定するＵ字形の開口部の傾斜縁部４２６はまた、「ｘ」および「ｙ」方向でドア・フレーム３１６内にドア３０４を位置決めする、および中心に置くのを助けることができる。ドア３０４がフレーム３１６内に完全に係合されると、ラッチ機構を作動させて、ラッチ・ボルト３６１をラッチ・ボルト・リセス３３６内に移動させて、ドア３０４を定位置に固定することができる。
【００６７】
図１９の断面図に示すように、ドア３０４がフレーム３１６内の完全係合位置にある状態で、ガイド３９４の上縁部４２０はリセス３３４に係合する。上縁部４２０はまた、リ
セス３３４内に着ける、すなわちこれと接触および係合していてもよく、または離れていて、直接接触していなくてもよい。ドア３０４上のリセス４３１内に受け入れられたエラストマー・ガスケット４３０は、ドア・フレーム３１６上のショルダ４３２に係合して、容器の気密密封を行なう。リセス３３４内のガイド３９４の上縁部４２０の係合は、フレーム３１６内でドア３０４を「連動」させるように働いて、ドア３０４の意図しない係脱、および容器への機械的衝撃により起こる気密シールの完全性への損傷を抑制することができる。さらに、リセス３３４内の傾斜した係合表面４３６とのドア・ガイド３９４の上縁部４２０上の傾斜した係合表面４３４の当接係合は、ドア３０４と容器部３０２の間の連結を形成して、上壁面３０８、側壁面３１０、３１２、底壁面３０６、ドア・フレーム３１６、およびドア３０４の外向き偏向に耐える傾向がある可能性があることが理解されよう。例えば、容器３００がウェーハで装填され、ロボット持ち上げフランジ３４０で持ち上げられると、ウェーハの重量が力を加え、特に前部開口部３１８で、上壁面３０８および底壁面３０６を互いに離れるように偏向させる傾向がある。図１９に示すようにドア３０４をドア・フレーム３１６に係合した状態で、リセス３３４内のドア・ガイド３９４の前向きに突出する上縁部４２０の係合により、ドア３０４に張力を加え、それによって、上壁面３０８および底壁面３０６の偏向に耐えることが可能になる。
【００６８】
さらに、垂直ドア中心線３６４上の上部周面３５０および底部周面３５６上へのドア・ガイド３９４の中心位置決め、および水平ドア中心線３６６上の側部周面３５２、３５４上へのドア・ガイド３９４の中心位置決めは、前に知られている隅部ドア・ガイドだけよりも十分に、ドア３０４を「ｘ」、「ｙ」および「ｚ」方向に配置および位置決めするように働くと考えられる。本発明の実施形態によるドア・ガイド３９４を、追加の位置決め精度を与える必要がある場合に、隅部ガイドなしでそれだけで、または隅部ガイドと合わせて使用することができることが理解されよう。
【００６９】
特定の実施形態の別の有利な態様は、各ラッチ・ボルト・リセス３３６周りの持ち上げられた部分３３８によって提供される。その周面全体周りでドア・フレーム３１６の側壁面４９０の僅かに外向きの傾斜に結合された、これらの持ち上げられた部分３３８は、特に外縁部３３０で、ドア３０４をドア・フレーム３１６から離れて置くことを可能にする。使用中に、ドア３０４がドア・フレーム３１６内で取り外され、交換されると、気密密封によるエンクロージャ部３０２内向きへの空気の移動がある可能性がある。ドア３０４をドア・フレーム３１６からさらに間隔をおいて置くことによって提供されるより大きな間隙により、空気の速度をそうでなければあるものから低くさせ、それによって粒子状物質が空気内に巻き込まれ、エンクロージャ部３０２内に運ばれて、内部でウェーハを汚染する可能性を低くすることができる。さらに、持ち上げられた部分３３８は、ラッチ位置でのドア３０４とドア・フレーム３１６の間の間隙を最小限に抑え、それによって、ラッチ・ボルト・リセス３３６に係合された場合に、ラッチ・ボルト３６１の支持されていない長さを最小限に抑え、「ｚ」方向へのドア３０４の可能性のある偏向を少なくすることができる。
【００７０】
前述の説明は、本発明の様々な実施形態の完全な理解を与える多くの特定な詳細を提示している。本願明細書に開示された様々な実施形態を、これらの特定な詳細のいくつかまたは全てなしでも実施することができることは、当業者には自明のことであろう。他の例では、当業者に知られているような構成部品は、本発明を不必要に曖昧にすることを避けるために、本願明細書では詳細には説明しない。様々な実施形態の多くの特徴および利点が、様々な実施形態の構造および機能の詳細と共に前述の説明に記載されているが、この開示は単に例示的なものであることを理解されたい。やはり本発明の原理および精神を利用する他の実施形態を構成することもできる。したがって、この応用例は、本発明のあらゆる適合または変更を含むことを意図している。
【００７１】
本発明の特許請求の範囲を解釈する目的で、米国特許法第１１２条、第６節の規定は、「するための手段」または「するためのステップ」という特定の用語が特許請求の範囲内で言及されていない限り、行使されないことを明示的に意図している。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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