(57)【要約】【課題】  環状磁性体を回転させながら着磁ヨークを用いてＮ極、Ｓ極を交互に着磁する構成のものにおいて、機構を簡素化でき、かつ着磁時の段取り工数を削減できる磁気エンコーダの着磁装置および着磁方法を提供する。【解決手段】  着磁装置１Ａは、一対のヨーク端部２１，２２を有する着磁ヨーク２と、この着磁ヨーク２に巻回された励磁コイル３と、流れ方向が交互に切り替わる着磁電流を励磁コイル３に供給する着磁電源４と、環状磁性体１０を把持して回転軸Ｏ回りに回転するチャック５とを備える。着磁ヨーク２の一方のヨーク端部２１は、一定の隙間Ｗを介して環状磁性体１０の未着磁の磁気エンコーダトラック１２に対峙する。着磁ヨーク２の他方のヨーク端部２２は、隙間Ｗよりも広い距離Ｇを隔ててチャック５に対峙する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
環状の芯金に未着磁の磁気エンコーダトラックが設けられた環状磁性体を回転させつつ円周方向の一部ずつ着磁して、前記磁気エンコーダトラックに磁気パターンが形成された磁気エンコーダを得る着磁装置であって、
一対のヨーク端部を有し、これら一対のヨーク端部のうちの一方のヨーク端部が前記環状磁性体の前記未着磁の磁気エンコーダトラックに一定の隙間を介して対峙する着磁ヨークと、この着磁ヨークに巻回された励磁コイルと、流れ方向が交互に切り替わる着磁電流を前記励磁コイルに供給する着磁電源と、前記環状磁性体を把持して前記磁気エンコーダトラックの中心軸と一致する回転軸回りに回転するチャックとを備え、
前記一対のヨーク端部のうちの他方のヨーク端部は、前記一方のヨーク端部と前記未着磁の磁気エンコーダトラック間の前記隙間よりも広い距離を隔てて前記チャックに対峙することを特徴とする磁気エンコーダの着磁装置。
【請求項２】
請求項１に記載の磁気エンコーダの着磁装置において、前記芯金および前記チャックが磁性体からなる磁気エンコーダの着磁装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の磁気エンコーダの着磁装置において、前記他方のヨーク端部と前記チャック間の前記距離を調整する調整手段を設けた磁気エンコーダの着磁装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の磁気エンコーダの着磁装置において、前記環状磁性体は、前記未着磁の磁気エンコーダトラックを互いに隣り合う配置で複列有し、これら複列の磁気エンコーダトラックのうちの着磁対象の磁気エンコーダトラックだけに磁束が流れるように定められた範囲外の磁束の流れを遮蔽する磁気シールドを設けた磁気エンコーダの着磁装置。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の磁気エンコーダの着磁装置を用いて行う着磁方法であって、
前記チャックで前記環状磁性体を把持した状態で、前記一方のヨーク端部を前記未着磁の磁気エンコーダトラックに前記隙間を開けて対峙させ、かつ前記他方のヨーク端部を前記チャックに前記距離を開けて対峙させ、この状態で、前記チャックを前記回転軸回りに回転させながら、前記着磁電源により前記励磁コイルに前記着磁電流を流すことにより、前記未着磁の磁気エンコーダトラックにＮ極およびＳ極を交互に着磁することを特徴とする磁気エンコーダの着磁方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、各種機器の回転検出、回転角度検出に使用する磁気エンコーダの着磁装置および着磁方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に、磁気エンコーダを構成するトーンホイールの着磁方法および着磁装置が開示されている。この着磁方法は、トーンホイールの磁性体製補強環（芯金）を非磁性の固定治具（チャック）に固定し、着磁ヨークの一方の開環端を磁性体製補強環に貼着された未着磁の円環状被着磁体に近接させ、他方の開環端を磁性体製補強環の円筒部に向けて配置し、着磁ヨークに巻かれたコイルに流す電流の向きを切り換えながらＮ極とＳ極とを交互に着磁する。
【０００３】
また、特許文献２に、磁気エンコーダの着磁方法が開示されている。この着磁方法は、芯金の円筒部の外周面に固定した未着磁の磁性部材を固定部材（チャック）に固定し、磁性部材の外周面に着磁ヨークの着磁端を対向させた状態で、磁性部材を回転させながら着磁ヨークに巻かれたコイルに電流を流すことで、磁性部材を順に着磁する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４８０３７８６号
【特許文献２】特許第５５７３５９２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の着磁方法では、着磁ヨークと、円環状被着磁体と、磁性体製補強環とで磁気ループが形成されるように、予め着磁ヨークの２つの開環端（ヨーク端部）を、それぞれ円環状被着磁体と磁性体製補強環に近接配置するように隙間調整を行う必要があり、段取り工数が増える。また、他方の開環端を磁性体製補強環の円筒部に向けて配置させる場合、押圧手段により開環端を磁性体製補強環に軽く押し当てるため、開環端の摩耗が懸念される。さらに、機構が複雑になるという課題がある。
【０００６】
特許文献２の着磁方法では、特許文献１と同様に、着磁ヨークと、未着磁の磁性部材と、芯金と、磁性体からなるチャックとで磁気ループが形成されるように、予め着磁ヨークの各着磁端と磁性部材、芯金との隙間を調整する必要があり、段取り工数が増える。また、アキシアル型の磁気エンコーダを着磁する際には、抑えばねを用いて中継部材を芯金に押え付け、中継部材を磁気ループとして用いており、中継部材の摩耗が懸念される。さらに、機構が複雑になるという課題がある。
【０００７】
この発明の目的は、環状磁性体を回転させながら着磁ヨークを用いてＮ極、Ｓ極を交互に着磁する構成のものにおいて、機構を簡素化でき、かつ着磁時の段取り工数を削減できる磁気エンコーダの着磁装置および着磁方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明の磁気エンコーダの着磁装置は、環状の芯金に未着磁の磁気エンコーダトラックが設けられた環状磁性体を回転させつつ円周方向の一部ずつ着磁して、前記磁気エンコーダトラックに磁気パターンが形成された磁気エンコーダを得る着磁装置であって、一対のヨーク端部を有し、これら一対のヨーク端部のうちの一方のヨーク端部が前記環状磁性体の前記未着磁の磁気エンコーダトラックに一定の隙間を介して対峙する着磁ヨークと、この着磁ヨークに巻回された励磁コイルと、流れ方向が交互に切り替わる着磁電流を前記励磁コイルに供給する着磁電源と、前記環状磁性体を把持して前記磁気エンコーダトラックの中心軸と一致する回転軸回りに回転するチャックとを備え、前記一対のヨーク端部のうちの他方のヨーク端部は、前記一方のヨーク端部と前記未着磁の磁気エンコーダトラック間の前記隙間よりも広い距離を隔てて前記チャックに対峙することを特徴とする。
【０００９】
この構成によると、環状磁性体を把持したチャックを磁気エンコーダトラックの中心軸と一致する回転軸回りに回転させつつ、着磁電源により、流れ方向が交互に切り替わる着磁電流を励磁コイルに供給する。これにより、一方のヨーク端部→磁気エンコーダトラック→芯金→チャックの順に磁束が流れる貫通磁束と、この逆の順に磁束が流れる貫通磁束とが交互に発生する。磁束が未着磁の磁気エンコーダトラックを通過する際に、磁気エンコーダトラックに含有されている磁性粉が励磁されて磁気エンコーダトラックが着磁される。このとき、磁気エンコーダトラックが回転軸回りに回転しているため、周方向にＮ極およびＳ極が交互に並ぶ状態に着磁される。
【００１０】
一方のヨーク端部と未着磁の磁気エンコーダトラック間の隙間よりも他方のヨーク端部とチャック間の距離を広くしたことにより、他方のヨーク端部とチャック間の磁気抵抗が大きくなり、一方のヨーク端部から、磁気エンコーダトラック、芯金、およびチャックを経由して、他方のヨーク端部に戻る磁気ループが弱まるか、または前記磁気ループが形成されなくなる。しかし、その場合でも前記貫通磁束が発生するため、磁気エンコーダトラックへの着磁が可能である。
【００１１】
特許文献１，２を一例とする従来の着磁方法では、一方のヨーク端部と環状磁性体間の隙間と、他方のヨーク端部とチャック間の距離とがほぼ同程度であるのに対し、この発明の構成では、一方のヨーク端部と環状磁性体間の隙間よりも、他方のヨーク端部とチャック間の距離を広くした。寸法が小さい一方のヨーク端部と環状磁性体間の隙間の調整は精度良く行う必要があるが、寸法が大きい他方のヨーク端部とチャック間の距離は細かい調整が不要である。そのため、着磁装置の機構を簡素化でき、かつ磁気エンコーダトラックに着磁する際の段取り工数を削減することができる。
【００１２】
この発明において、前記芯金および前記チャックが磁性体からなるのが望ましい。
芯金およびチャックが磁性体からなると、前記貫通磁束がより強くなり、磁気エンコーダトラックの着磁強度が強まる。
【００１３】
この発明において、前記他方のヨーク端部と前記チャック間の前記距離を調整する調整手段を設けても良い。
この場合、着磁される環状磁性体の寸法、形状や求められる着磁強さ等の種々の状況に応じて、調整手段により可動体を移動させて、他方のヨーク端部とチャック間の距離を調整することができる。
【００１４】
この発明において、前記環状磁性体が、前記未着磁の磁気エンコーダトラックを互いに隣り合う配置で複列有する場合、これら複列の磁気エンコーダトラックのうちの着磁対象の磁気エンコーダトラックだけに磁束が流れるように定められた範囲外の磁束の流れを遮蔽する磁気シールドを設けると良い。
磁気シールドを設けることで、着磁対象の磁気エンコーダトラックに隣り合う磁気エンコーダトラックに対して、一方のヨーク端部からの漏れ磁束の影響を与えないようにできる。
【００１５】
この発明の磁気エンコーダの着磁方法は、前記いずれかの磁気エンコーダの着磁装置を用いて行う着磁方法であって、前記チャックで前記環状磁性体を把持した状態で、前記一方のヨーク端部を前記未着磁の磁気エンコーダトラックに前記隙間を開けて対峙させ、かつ前記他方のヨーク端部を前記チャックに前記距離を開けて対峙させ、この状態で、前記チャックを前記回転軸回りに回転させながら、前記着磁電源により前記励磁コイルに前記着磁電流を流すことにより、前記未着磁の磁気エンコーダトラックにＮ極およびＳ極を交互に着磁することを特徴とする。
【００１６】
この着磁方法によると、環状磁性体を把持したチャックを磁気エンコーダトラックの中心軸と一致する回転軸回りに回転させつつ、着磁電源により流れ方向が交互に切り替わる着磁電流を励磁コイルに流す。これにより、一方のヨーク端部→磁気エンコーダトラック→芯金→チャックの順に磁束が流れる貫通磁束と、この逆の順に磁束が流れる貫通磁束とが交互に発生する。磁束が未着磁の磁気エンコーダトラックを通過する際に、磁気エンコーダトラックに含有されている磁性粉が励磁されて磁気エンコーダトラックが着磁される。このとき、磁気エンコーダトラックが回転軸回りに回転しているため、周方向にＮ極およびＳ極が交互に並ぶ状態に着磁される。
【００１７】
一方のヨーク端部と環状磁性体間の隙間よりも、他方のヨーク端部とチャック間の距離が広いため、前記同様の理由により、着磁装置の機構を簡素化でき、かつ磁気エンコーダトラックに着磁する際の段取り工数を削減することができる。
【発明の効果】
【００１８】
この発明の磁気エンコーダの着磁装置は、環状の芯金に未着磁の磁気エンコーダトラックが設けられた環状磁性体を回転させつつ円周方向の一部ずつ着磁して、前記磁気エンコーダトラックに磁気パターンが形成された磁気エンコーダを得る着磁装置であって、一対のヨーク端部を有し、これら一対のヨーク端部のうちの一方のヨーク端部が前記環状磁性体の前記未着磁の磁気エンコーダトラックに一定の隙間を介して対峙する着磁ヨークと、この着磁ヨークに巻回された励磁コイルと、流れ方向が交互に切り替わる着磁電流を前記励磁コイルに供給する着磁電源と、前記環状磁性体を把持して前記磁気エンコーダトラックの中心軸と一致する回転軸回りに回転するチャックとを備え、前記一対のヨーク端部のうちの他方のヨーク端部は、前記一方のヨーク端部と前記未着磁の磁気エンコーダトラック間の前記隙間よりも広い距離を隔てて前記チャックに対峙するため、機構を簡素化でき、かつ着磁時の段取り工数を削減できる。
【００１９】
この発明の磁気エンコーダの着磁方法は、上記磁気エンコーダの着磁装置を用いて行う着磁方法であって、前記チャックで前記環状磁性体を把持した状態で、前記一方のヨーク端部を前記未着磁の磁気エンコーダトラックに前記隙間を開けて対峙させ、かつ前記他方のヨーク端部を前記チャックに前記距離を開けて対峙させ、この状態で、前記チャックを前記回転軸回りに回転させながら、前記着磁電源により前記励磁コイルに前記着磁電流を流すことにより、前記未着磁の磁気エンコーダトラックにＮ極およびＳ極を交互に着磁するため、この着磁方法に用いる着磁装置の機構を簡素化でき、かつ着磁時の段取り工数を削減できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】この発明の第１の実施形態にかかる着磁装置の概略構成を示す断面図に、着磁電源のブロック図を付加した図である。
【図２】図１のII−II断面図である。
【図３】同着磁装置のチャックの平面図である。
【図４】この発明の第２の実施形態にかかる着磁装置の概略構成を示す断面図である。
【図５】この発明の第３の実施形態にかかる着磁装置の概略構成を示す断面図である。
【図６】この発明の第４の実施形態にかかる着磁装置の概略構成を示す断面図である。
【図７】この発明の第５の実施形態にかかる着磁装置の概略構成を示す断面図である。
【図８】この発明の第６の実施形態にかかる着磁装置の概略構成を示す断面図である。
【図９】図８のIX−IX断面図である。
【図１０】（Ａ）はラジアル型の磁気エンコーダの断面図、（Ｂ）はその要部の展開図である。
【図１１】アキシアル型の磁気エンコーダの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
この発明の第１の実施形態を図１ないし図３と共に説明する。
この磁気エンコーダの着磁装置１Ａは、例えば、各種機器の回転検出、回転角度検出に使用する磁気エンコーダの着磁装置に適用される。この着磁装置１Ａにより得られる磁気エンコーダは、図１０（Ａ）に示すようなラジアル型の磁気エンコーダＲＥである。この磁気エンコーダ用の環状磁性体１０は、つば付き円筒状の芯金１１の外周面に未着磁の磁気エンコーダトラック１２を設けたものである。磁気エンコーダトラック１２を着磁することで、磁気エンコーダトラック１２がＮ極およびＳ極が円周方向に交互に並ぶ磁気パターンの磁石となる。
【００２２】
芯金１１は、厚さ０．５ｍｍから１ｍｍ程度のプレス金属板、焼結金属板等の磁性体からなる。溶製材や鋼材の加工品であってもよい。なお、芯金１１の肉厚が１ｍｍ以下の場合、非磁性体であっても磁気回路に及ぼす影響が小さいため、芯金１１に非磁性体を用いても良い。磁気エンコーダトラック１２は、例えば、磁性粉を含むゴム、プラスチック、焼結体等であり、着磁によって磁石となる。磁石の種類としては、フェライト磁石、ネオジム磁石、ボンド磁石等である。
【００２３】
図１に示すように、この着磁装置１Ａは、環状磁性体１０を回転させながらＮ極、Ｓ極を交互に着磁するインデックス着磁装置である。着磁装置１Ａは、環状磁性体１０の未着磁の磁気エンコーダトラック１２に着磁する着磁ヨーク２と、この着磁ヨーク２に巻かれた励磁コイル３と、この励磁コイル３に着磁電流を供給する着磁電源４と、前記環状磁性体１０を把持して回転軸Ｏの回りに回転するチャック５とを備える。
【００２４】
着磁ヨーク２は、下側に開口したＣ字状のヨーク本体２０と、このヨーク本体２０の両端に繋がる一対のヨーク端部２１，２２とを有する。
一方のヨーク端部２１は、ヨーク本体２０の一端から側方に延び、チャック５に把持された環状磁性体１０の未着磁の磁気エンコーダトラック１２に、一定の隙間Ｗを介して対峙している。図２に示すように、一方のヨーク端部２１は、平面視において先端に行く程に幅が狭まる尖塔形状である。
【００２５】
図１において、他方のヨーク端部２２は、ヨーク本体２０の他端に設けられた可動体２３の先端に位置し、前記隙間Ｗよりも広い距離Ｇを隔ててチャック５に対峙している。調整手段２４によりヨーク本体２０の他端に対して可動体２３を図１の左右方向に移動させることで、前記距離Ｇを調整することができる。調整手段２４は、可動体２３を移動方向に案内するガイド（図示せず）、ヨーク本体２０に対して任意の位置に可動体２３を固定するボルト（図示せず）等で構成される。
【００２６】
図の例の場合、２つの励磁コイル３，３を有し、これら２つの励磁コイル３，３が着磁ヨーク２のヨーク本体２０における２つの垂直部２０ａ，２０ａにそれぞれ巻かれている。励磁コイル３，３に電流が流れると、一対のヨーク端部２１，２２にＮ極、Ｓ極に対応する磁力が発生する。
【００２７】
前記着磁電源４は、磁気エンコーダトラック１２をＮ極に着磁するパルス状の電流を励磁コイル３に与えるＮ極電源４０と、Ｓ極に着磁するパルス状の電流を励磁コイル３に与えるＳ極電源４１とが個別に設けられ、切替器４２により両電源４０，４１と励磁コイル３との接続の切替えを行う。この切替えのタイミング、電流の強さ等の制御は、図示しない制御装置により行う。
【００２８】
前記チャック５は、例えば図３に示す爪式の構造である。この例の場合、円周方向に３分割された平面形状が扇形の爪５０を３つ有し、各爪５０が径方向に移動可能となっている。環状磁性体１０の芯金１１の内周面に各爪５０の外周面を押し当てることで、環状磁性体１０を把持する。チャック５は、これ以外の構造のものであってもよい。チャック５は、図示しない回転機構により、回転軸Ｏすなわち磁気エンコーダトラック１２の中心軸回りに回転する。この例では、チャック５の全体が磁性体からなる。
【００２９】
この着磁装置１Ａを用いた磁気エンコーダの着磁方法を説明する。
チャック５で環状磁性体１０を把持した状態で、一方のヨーク端部２１を未着磁の磁気エンコーダトラック１２に隙間Ｗを開けて対峙させ、かつ他方のヨーク端部２２をチャック５に距離Ｇを開けて対峙させる。これにより、着磁ヨーク２の一方のヨーク端部２１から、磁気エンコーダトラック１２、芯金１１、およびチャック５を経由して、着磁ヨーク２の他方のヨーク端部２２に戻る磁気ループＬが形成される。
【００３０】
このとき、隙間Ｗと距離Ｇの関係が、Ｗ＜Ｇとなるように設定する。例えば、隙間Ｗを０．１ｍｍに設定した場合には、距離Ｇはその５倍の０．５ｍｍ以上に設定する。このように設定することで、他方のヨーク端部２２側の磁気抵抗が大きくなり、全体の磁気ループＬの形成が弱くなるように調整される。
【００３１】
この状態で、チャック５を回転軸Ｏ回りに回転させながら、着磁電源４により励磁コイル３，３に着磁電流を流す。着磁電流は、制御装置（図示せず）の制御により、短い周期で流れ方向が正逆交互に切り替わる。これにより、磁気ループＬに沿う図１の右回り磁束の流れと左回りの磁束の流れとが繰り返され、一方のヨーク端部２１→磁気エンコーダトラック１２→芯金１１→チャック５の順に磁束が流れる貫通磁束Ｍと、この逆の順に磁束が流れる貫通磁束Ｍとが交互に発生する。磁束が未着磁の磁気エンコーダトラック１２を通過する際に、磁気エンコーダトラック１２に含有されている磁性粉が励磁されて磁気エンコーダトラック１２が着磁される。このとき、磁気エンコーダトラック１２が回転軸Ｏ回りに回転しているため、周方向にＮ極およびＳ極が交互に並ぶ状態に着磁される。
【００３２】
一方のヨーク端部２１と磁気エンコーダトラック１２間の隙間Ｗよりも他方のヨーク端部２２とチャック５間の距離Ｇを広くしたことにより、他方のヨーク端部２２とチャック５間の磁気抵抗が大きくなり、磁気ループＬが弱まる。しかし、芯金１１の裏面側に体積の大きい磁性体からなるチャック５が配置されているため、磁気ループＬが弱くても、前記貫通磁束Ｍが発生する。このため、磁気エンコーダトラック１２への着磁が可能である。明確な磁気ループＬが形成されている場合と比べても、同等の着磁強度および着磁精度が得られる。着磁精度は、ピッチ誤差、累計ピッチ誤差等にかかわる精度のことである。
【００３３】
この着磁装置１Ａの場合、芯金１１およびチャック５が磁性体からなるため、磁性体でない場合と比べて貫通磁束Ｍがより強くなり、十分な着磁強度が得られる。なお、芯金１１およびチャック５が非磁性体であっても、貫通磁束Ｍが多少弱くなり、着磁強度が若干弱くなるものの、着磁は可能である。
【００３４】
寸法が小さい一方のヨーク端部２１と環状磁性体１０間の隙間Ｗの調整は精度良く行う必要があるが、寸法が大きい他方のヨーク端部２２とチャック５間の距離は細かい調整が不要である。そのため、一方のヨーク端部２１と環状磁性体１０間の隙間Ｗに比べて他方のヨーク端部２２とチャック５間の距離Ｇを広くすることで、着磁装置１Ａの機構を簡素化でき、かつ磁気エンコーダトラック１２に着磁する際の段取り工数を削減することができる。着磁される環状磁性体１０の寸法、形状や求められる着磁強さ等の種々の状況に応じて、調整手段２４により可動体２３を移動させて、他方のヨーク端部２２とチャック５との距離Ｇを調整する。
【００３５】
図４は、図１〜図３に示す前記第１の実施形態の変形例である第２の実施形態を示す。この着磁装置１Ｂは、着磁ヨーク２が前記第１の実施形態のものと異なっている。すなわち、前記可動体２３が設けられておらず、ヨーク本体２０の他端が他方のヨーク端部２２となっている。他は、前記実施形態と同じである。なお、図４以下の着磁装置１Ｂ〜１Ｆでは、着磁電源４の図示を省略してある。
【００３６】
このように、ヨーク本体２０の他端を他方のヨーク端部２２とすると、他方のヨーク端部２２とチャック５との距離Ｇが非常に広くなり、磁気ループがほとんど形成されなくなる。しかし、未着磁の磁気エンコーダトラック１２を貫通する貫通磁束Ｍ（図２）は発生するので、磁気エンコーダトラック１２への着磁は可能である。この着磁装置１Ｂは、可動体２３が設けられていないので、機構がさらに簡素化される。
【００３７】
図５は、機構をより一層簡素化した例である第３の実施形態を示す。この着磁装置１Ｃは、着磁ヨーク２が棒状で、その両端がそれぞれ一方のヨーク端部２１および他方のヨーク端部２２となっている。着磁ヨーク２の周囲に一つの励磁コイル３が巻かれている。この着磁装置１Ｃも、未着磁の磁気エンコーダトラック１２を貫通する貫通磁束Ｍ（図２）が発生するので、磁気エンコーダトラック１２への着磁は可能である。
【００３８】
前記第１ないし第３の実施形態の着磁装置１Ａ，１Ｂ，１Ｃがラジアル型の磁気エンコーダＲＥ（図１０）用の着磁装置であるのに対し、図６、図７に示す第４、第５の実施形態はアキシアル型の磁気エンコーダＡＥ（図１１）用の着磁装置である。アキシアル型の磁気エンコーダＡＥ用の環状磁性体１０は、中央部に円形孔を有する円板状の芯金１１の表面に未着磁の磁気エンコーダトラック１２が設けられている。アキシアル型の磁気エンコーダ用の着磁装置１Ｄ，１Ｅの場合、環状磁性体１０を磁性体からなる固定部材５１に圧入またはねじ等により固定し、この環状磁性体１０が固定された固定部材５１をチャック５で把持する。
【００３９】
図６に示すように、第４の実施形態である着磁装置１Ｄは、着磁ヨーク２のヨーク本体２０の一端に下方に延びる一方のヨーク端部２１が設けられ、この一方のヨーク端部２１が、前記環状磁性体１０の未着磁の磁気エンコーダトラック１２の上面に隙間Ｗを介して対峙している。また、ヨーク本体２０の他方のヨーク端部２２に水平の延びる可動体２３が設けられ、この可動体２３の先端が他方のヨーク端部２２となっている。他方のヨーク端部２２は、固定部材５１の下面に、前記隙間Ｗよりも広い距離Ｇを隔てて対峙している。調整手段２４によりヨーク本体２０の他端に対して可動体２３を図６の上下方向に移動させることで、前記距離Ｇを調整することができる。他は、第１の実施形態の着磁装置１Ａと同じである。
【００４０】
このアキシアル型の磁気エンコーダ用の着磁装置１Ｄは、着磁ヨーク２の一方のヨーク端部２１から、磁気エンコーダトラック１２、芯金１１、固定部材５１、およびチャック５を経由して、着磁ヨーク２の他方のヨーク端部２２に戻る磁気ループＬが形成される。ラジアル型の磁気エンコーダ用の着磁装置１Ａと同様に、チャック５を回転軸Ｏ回りに回転させながら、着磁電源（図示せず）により励磁コイル３，３に着磁電流を流すことで、磁気エンコーダトラック１２にＮ極およびＳ極が交互に並ぶ状態に着磁される。
【００４１】
図７に示すように、第５の実施形態である着磁装置１Ｅは、着磁装置１Ｄに対して、前記可動体２３を設けずに、ヨーク本体２０の他端を他方のヨーク端部２２としたものである。図４に示す着磁装置１Ｂと同様に、磁気ループはほとんど形成されない。他は、着磁装置１Ｄと同じである。この場合も、磁気エンコーダトラック１２への着磁が可能である。この着磁装置１Ｅは、可動体２３が設けられていないので、機構が簡素化される。
【００４２】
上記アキシアル型の磁気エンコーダ用の着磁装置１Ｄ，１Ｅを用いて着磁性能を調べる試験を行った。試験体としては、外径３２ｍｍのアキシアル型の磁気エンコーダ１０で、厚さ０．６ｍｍの磁性体（Ｓ４５Ｃ）からなる芯金１１の表面にフェライト系ゴム磁石（１ｍｍ）を加硫接着したものを使用した。この試験体に、３２極対（Ｎ極、Ｓ極合わせて６４極）で着磁した。そして、着磁後に、直径２６ｍｍの位置をエアギャップ０．７ｍｍで着磁強度を測定し、ピッチ誤差、累計ピッチ誤差等の着磁精度を算出した。その試験結果を表１に示す。
【００４３】
【表１】
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【００４４】
表１の「磁気ループ弱め」は着磁装置１Ｄのことであり、「磁気ループほぼなし」は着磁装置１Ｅのことである。比較のため、従来の着磁装置を用いた試験も行った。使用する着磁装置の違いを除けば、他の着磁条件はすべて同じである。チャック５は磁性体（Ｓ４５Ｃ）のものを使用した。
【００４５】
この試験により、磁気ループの形成を弱めた着磁、磁気ループがほぼない状態での着磁であっても、従来着磁と同等の着磁ができることを確認した。具体的には、着磁強度、ピッチ誤差、累計ピッチ誤差がほぼ同等であることを確認した。
【００４６】
着磁装置１Ｄのように磁気ループの形成が弱い条件や、着磁装置１Ｅのように磁気ループがほとんど形成されない条件では、他方のヨーク端部２２からの磁束漏れが大きくなるが、環状磁性体１０の磁気エンコーダトラック１２から離れているので、着磁への影響はない。上記試験はアキシアル型の磁気エンコーダ用の着磁装置１Ｄ，１Ｅについてのものであるが、ラジアル型の磁気エンコーダ用の着磁装置１Ａ，１Ｂについても同様の結果となると考えられる。
【００４７】
図８、図９は、環状磁性体の複列の磁気エンコーダトラックに着磁する第６の実施形態を示す。図８は全体断面図、図９はそのIX−IX断面図である。この着磁装置１Ｆはラジアル型の磁気エンコーダ用の着磁装置であって、環状磁性体１０は、円筒状の芯金１１の外周面に、上下２列で未着磁の磁気エンコーダトラック１２Ａ，１２Ｂが設けられている。
【００４８】
着磁装置１Ｆの着磁ヨーク２は、図４に示す着磁装置１Ｂの着磁ヨーク２と同様に、ヨーク本体２０の一端から一方のヨーク端部２１が側方に突出し、ヨーク本体２０の他端が他方のヨーク端部２２となっている。一方のヨーク端部２１は、チャック５に把持された環状磁性体１０の未着磁の磁気エンコーダトラック１２Ａ，１２Ｂのいずれかに、一定の隙間Ｗを介して対峙している。他方のヨーク端部２２は、チャック５に対して前記隙間Ｗよりも広い距離Ｇを隔てて位置している。図１の着磁装置１Ａの着磁ヨーク２のように、ヨーク本体２０の他端に可動体２３を設け、この可動体２３の先端を他方のヨーク端部２２としても良い（図示せず）。
【００４９】
この着磁装置１Ｆには、複列の磁気エンコーダトラック１２Ａ，１２Ｂのうちの着磁対象の磁気エンコーダトラックだけに磁束が流れるように定められた範囲外の磁束の流れを遮蔽する磁気シールド６０が設けられている。磁気シールド６０は、中央部に貫通孔６１を有し、この貫通孔６１に一方のヨーク端部２１が挿通される。磁気シールド６０の断面形状は、縦断面および横断面共に、貫通孔６１に近づくに従い厚みが連続的に薄くなる形状、つまりナイフエッジ形状である。磁気シールド６０は、基端がヨーク本体２０の他端に固定された一対の支持部材６２に支持されている。
【００５０】
また、この着磁装置１Ｆには、一方のヨーク端部２１が磁気エンコーダトラック１２Ａと対峙する状態と、磁気エンコーダトラック１２Ｂと対峙する状態とに、着磁ヨーク２の上下位置を切り替える切替手段６４が設けられている。図８は、下段の磁気エンコーダトラック１２Ａに着磁する状態を表している。上段の磁気エンコーダトラック１２Ｂに着磁する場合は、図８の状態から、切替手段６４により着磁ヨーク２を上方に所定の距離だけ移動させる。
【００５１】
この構成によると、磁気シールド６０が設けられているため、一方のヨーク端部２１からチャック５へ向かう磁束の流れ、またはその逆方向の磁束の流れのうちの定められた範囲外の磁束の流れが遮蔽される。これにより、着磁される磁気エンコーダトラック１２Ａ（１２Ｂ）に隣合う磁気エンコーダトラック１２Ｂ（１２Ａ）に対して、一方のヨーク端部２１からの漏れ磁束の影響を与えないようにできる。磁気シールド６０に流れた漏れ磁束は、支持部材６２を通って他方のヨーク端部２２に逃がされる。
【００５２】
このように着磁する磁気エンコーダトラック１２Ａ，１２Ｂを切り替えると、着磁ヨーク２の位置によって磁気抵抗が変わり、着磁に影響することが想定される。しかし、この着磁装置１Ｆは、磁気ループが形成されない程度に元々磁気抵抗が高く、着磁する磁気エンコーダトラック１２Ａ，１２Ｂに応じて着磁ヨーク２の位置を変更しても、磁気抵抗はほとんど変わらない。そのため、各磁気エンコーダトラック１２Ａ，１２Ｂの着磁に影響が少なく、例えば磁気オフセットが発生することも抑制される。弱い磁気ループが形成されている場合も、上記同様の理由により、着磁への影響が少ない。
【００５３】
この着磁装置１Ｆを用いて複列の磁気エンコーダトラック１２Ａ，１２Ｂに着磁する場合も、段取り段階では、未着磁の磁気エンコーダトラック１２Ａ，１２Ｂと着磁ヨーク２の一方のヨーク端部２１間の隙間Ｗの調整、および着磁ヨーク２の高さの調整だけで済むため、段取り工数を大幅に削減できる。
【００５４】
以上、実施例に基づいて本発明を実施するための形態を説明したが、ここで開示した実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００５５】
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ，１Ｆ…着磁装置
２…着磁ヨーク
３…励磁コイル
４…着磁電源
５…チャック
１０…環状磁性体
１１…芯金
１２，１２Ａ，１２Ｂ…磁気エンコーダトラック
２１…一方のヨーク端部
２２…他方のヨーク端部
２４…調整手段
６０…磁気シールド
Ｇ…距離
Ｏ…回転軸
Ｗ…隙間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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