(57)【要約】【課題】中央空隙と外部とに連通する周縁空隙から異物が侵入しない構造を有する光学フィルタ等を提供する。【解決手段】エタロンフィルタ１０は、第一外側面１１ａ及び第一内側面１１ｂを有する第一透光体１１と、第二外側面１２ａ及び第二内側面１２ｂを有する第二透光体１２と、第一内側面１１ｂの周縁側と第二内側面１２ｂの周縁側とに挟まれ第一透光体１１と第二透光体１２とを接合する金属層１３１〜１３４と、第一内側面１１ｂの中央側と第二内側面１２ｂの中央側とに挟まれた中央空隙１４と、第一内側面１１ｂの周縁側と第二内側面１２ｂの周縁側とに挟まれ中央空隙１４と外部とに連通する周縁空隙１５１〜１５４と、周縁空隙１５１〜１５４及び中央空隙１４に満たされた透光樹脂２３と、を備えている。【選択図】図１
2017207659.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射面となる第一外側面及びその背面の第一内側面を有する第一透光体と、
出射面となる第二外側面及びその背面の第二内側面を有する第二透光体と、
前記第一内側面の周縁側と前記第二内側面の周縁側とに挟まれ、前記第一透光体と前記第二透光体とを接合する金属層と、
前記第一内側面の中央側と前記第二内側面の中央側とに挟まれた中央空隙と、
前記第一内側面の周縁側と前記第二内側面の周縁側とに挟まれ、前記中央空隙と外部とに連通する周縁空隙と、
前記周縁空隙及び前記中央空隙に満たされた透光樹脂と、
を備えた光学フィルタ。
【請求項２】
前記透光樹脂は接着剤である、
請求項１記載の光学フィルタ。
【請求項３】
前記透光樹脂の屈折率は、前記第一透光体及び前記第二透光体の少なくとも一方の屈折率に等しい、
請求項１記載の光学フィルタ。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一つに記載の光学フィルタを製造する方法であって、
複数の前記第一透光体となる第一基板の一方の面及び複数の前記第二透光体となる第二基板の一方の面をメタルマスクで覆い、前記メタルマスクで覆われていない領域にのみ前記金属層となる金属膜を形成する工程と、
前記第一基板に形成された前記金属膜と前記第二基板に形成された前記金属膜とを突き合わせて接合することにより、前記金属層、前記中央空隙及び前記周縁空隙を形成する工程と、
前記中央空隙及び前記周縁空隙に液状の前記透光樹脂を充填した後に当該透光樹脂を固化する工程と、
前記中央空隙及び前記周縁空隙に前記透光樹脂が充填かつ固化された前記第一基板及び前記第二基板を複数に切断することにより、複数の前記光学フィルタを得る工程と、
を含む光学フィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、二つの対向する反射面の多重干渉を利用した光学フィルタ、及びその製造方法に関する。本明細書では、そのような光学フィルタの一例としてエタロンフィルタを採り上げる。
【背景技術】
【０００２】
エタロンフィルタは、例えば、大容量光伝送システムに必要不可欠な波長可変レーザモジュールにおいて、光波長が安定して発振されているか否かをモニタする部品として用いられる。図６［Ａ］は関連技術１のエタロンフィルタ（例えば特許文献１参照）を示す一部を切り欠いた正面図、図６［Ｂ］は図６［Ａ］におけるVIｂ−VIｂ線断面図、図７は図６［Ｂ］の部分拡大図である。以下、これらの図面に基づき説明する。
【０００３】
関連技術１のエタロンフィルタ８０は、第一外側面８１ａ及び第一内側面８１ｂを有する第一透光体８１と、第二外側面８２ａ及び第二内側面８２ｂを有する第二透光体８２と、第一内側面８１ｂの周縁側と第二内側面８２ｂの周縁側とに挟まれるとともに第一透光体８１と第二透光体８２とを接合する金属層８３１〜８３４と、第一内側面８１ｂの中央側と第二内側面８２ｂの中央側とに挟まれた中央空隙８４と、第一内側面８１ｂの周縁側と第二内側面８２ｂの周縁側とに挟まれるとともに中央空隙８４と外部とに連通する周縁空隙８５１〜８５４と、を基本的に備えている。
【０００４】
また、第一外側面８１ａは第一反射膜９１ａで覆われ、第二外側面８２ａは第二反射膜９２ａで覆われ、第一内側面８１ｂは第一反射防止膜９１ｂで覆われ、第二内側面８２ｂは第二反射防止膜９２ｂで覆われている。レーザ光Ｌは、第一外側面８１ａから入射し中央空隙８４を通って第二外側面８２ａから出射する。このとき、レーザ光Ｌが第一外側面８１ａと第二外側面８２ａとの間で多重干渉を生じることにより、光周波数に対して透過率が周期的に変化するフィルタ特性が得られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−１３２７８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
周縁空隙８５１〜８５４が存在する理由の一つとして、金属層８３１〜８３４の成膜時にメタルマスクを使用することが挙げられる。つまり、金属層８３１〜８３４の成膜時にメタルマスクで覆われた領域が、中央空隙８４及び周縁空隙８５１〜８５４となる。このとき、メタルマスクの一つの円形状の中央部が中央空隙８４に対応し、その中央部を支持する四つ矩形状の周縁部が周縁空隙８５１〜８５４に対応する。
【０００７】
しかしながら、周縁空隙８５１〜８５４は、外部に連通しているため、外部から異物９３１〜９３４が侵入することがあった。特に、金属層８３１〜８３４を介して接合された二枚の基板をダイシングによって切断し、多数のエタロンフィルタ８０を得る際に、切断で使用するオイルや洗浄液が異物９３１〜９３４として周縁空隙８５１〜８５４から中央空隙８４に入り込む。その結果、異物９３１〜９３４がレーザ光Ｌの進行を妨害するため、エタロンフィルタ８０の特性や信頼性に悪影響を及ぼすことになる。
【０００８】
そこで、本発明の目的は、中央空隙と外部とに連通する周縁空隙から異物が侵入しない構造を有する光学フィルタ及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る光学フィルタは、
入射面となる第一外側面及びその背面の第一内側面を有する第一透光体と、
出射面となる第二外側面及びその背面の第二内側面を有する第二透光体と、
前記第一内側面の周縁側と前記第二内側面の周縁側とに挟まれ、前記第一透光体と前記第二透光体とを接合する金属層と、
前記第一内側面の中央側と前記第二内側面の中央側とに挟まれた中央空隙と、
前記第一内側面の周縁側と前記第二内側面の周縁側とに挟まれ、前記中央空隙と外部とに連通する周縁空隙と、
この周縁空隙及び前記中央空隙に満たされた透光樹脂と、
を備えたものである。
【００１０】
本発明に係る光学フィルタの製造方法は、
本発明に係る光学フィルタを製造する方法であって、
複数の前記第一透光体となる第一基板の一方の面及び複数の前記第二透光体となる第二基板の一方の面をメタルマスクで覆い、このメタルマスクで覆われていない領域にのみ前記金属層となる金属膜を形成する工程と、
前記第一基板に形成された前記金属膜と前記第二基板に形成された前記金属膜とを突き合わせて接合することにより、前記金属層、前記中央空隙及び前記周縁空隙を形成する工程と、
前記中央空隙及び前記周縁空隙に液状の前記透光樹脂を充填した後に当該透光樹脂を固化する工程と、
前記中央空隙及び前記周縁空隙に前記透光樹脂が充填かつ固化された前記第一基板及び前記第二基板を複数に切断することにより、複数の前記光学フィルタを得る工程と、
を含む。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係る光学フィルタによれば、周縁空隙及び中央空隙が透光樹脂で満たされていることにより、異物が外部から周縁空隙を通って中央空隙へ侵入することを阻止できるので、歩留り及び信頼性を向上できる。
【００１２】
本発明に係る光学フィルタの製造方法によれば、貼り合された第一基板及び第二基板を複数に切断する際に、周縁空隙及び中央空隙に透光樹脂が充填されていることにより、異物が外部から周縁空隙を通って中央空隙へ侵入することを阻止できるので、歩留り及び信頼性を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施形態１のエタロンフィルタを示し、図１［Ａ］は一部を切り欠いた正面図、図１［Ｂ］は図１［Ａ］におけるＩｂ−Ｉｂ線断面図である。
【図２】図１［Ｂ］の部分拡大図である。
【図３】実施形態１のエタロンフィルタを示す斜視図である。
【図４】実施形態２の製造方法を示す平面図であり、図４［Ａ］、図４［Ｂ］の順に工程が進行する。
【図５】実施形態２の製造方法を示す概略図であり、図５［Ａ］、図５［Ｂ］、図５［Ｃ］、図５［Ｄ］、図５［Ｅ］、図５［Ｆ］の順に工程が進行する。
【図６】関連技術１のエタロンフィルタを示し、図６［Ａ］は一部を切り欠いた正面図、図６［Ｂ］は図６［Ａ］におけるVIｂ−VIｂ線断面図である。
【図７】図６［Ｂ］の部分拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、添付図面を参照しながら、本発明を実施するための形態（以下「実施形態」という。）について説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の構成要素については同一の符号を用いる。また、図面に描かれた形状は、当業者が理解しやすいように描かれているため、実際の寸法及び比率とは必ずしも一致していない。
【００１５】
図１［Ａ］は実施形態１のエタロンフィルタを示す一部を切り欠いた正面図、図１［Ｂ］は図１［Ａ］におけるＩｂ−Ｉｂ線断面図、図２は図１［Ｂ］の部分拡大図、図３は実施形態１のエタロンフィルタを示す斜視図である。以下、これらの図面に基づき説明する。
【００１６】
本実施形態１のエタロンフィルタ１０は、入射面となる第一外側面１１ａ及びその背面の第一内側面１１ｂを有する第一透光体１１と、出射面となる第二外側面１２ａ及びその背面の第二内側面１２ｂを有する第二透光体１２と、第一内側面１１ｂの周縁側と第二内側面１２ｂの周縁側とに挟まれるとともに第一透光体１１と第二透光体１２とを接合する金属層１３１〜１３４と、第一内側面１１ｂの中央側と第二内側面１２ｂの中央側とに挟まれた中央空隙１４と、第一内側面１１ｂの周縁側と第二内側面１２ｂの周縁側とに挟まれるとともに中央空隙１４と外部とに連通する周縁空隙１５１〜１５４と、周縁空隙１５１〜１５４及び中央空隙１４に満たされた透光樹脂２３と、を基本的に備えている。
【００１７】
また、第一外側面１１ａは第一反射膜２１ａで覆われ、第二外側面１２ａは第二反射膜２２ａで覆われ、第一内側面１１ｂは第一反射防止膜２１ｂで覆われ、第二内側面１２ｂは第二反射防止膜２２ｂで覆われている。レーザ光Ｌは、第一外側面１１ａから入射し中央空隙１４を通って第二外側面１２ａから出射する。このとき、レーザ光Ｌが第一外側面１１ａと第二外側面１２ａとの間で多重干渉を生じることにより、光周波数に対して透過率が周期的に変化するフィルタ特性が得られる。なお、図３では、エタロンフィルタ１０内の構造のうち、金属層１３１〜１３４、中央空隙１４及び周縁空隙１５１〜１５４のみを破線で示している。
【００１８】
次に、エタロンフィルタ１０の構成について、更に詳しく説明する。
【００１９】
エタロンフィルタ１０は、全体として直方体状である。ここで言う直方体には、立方体はもちろんのこと、実質的に直方体として扱える平行六面体なども含まれる。正面から見て、第一外側面１１ａ及び第二外側面１２ａは正方形、レーザ光Ｌが透過する中央空隙１４は円形、中央空隙１４の周囲の周縁空隙１５１〜１５４は矩形である。また、中央空隙１４の周囲には接合用の四つの金属層１３１〜１３４がある。金属層１３１〜１３４の各境界は、周縁空隙１５１〜１５４になっている。周縁空隙１５１〜１５４は、金属層１３１〜１３４の成膜時に用いたメタルマスクの保持跡である。
【００２０】
中央空隙１４及び周縁空隙１５１〜１５４を満たす透光樹脂２３は、液状の光学用樹脂として市販され、光又は熱によって固化するものが好ましい。そのような光学用樹脂は、主成分によってエポキシ系、アクリル系、ビニル系などに分類され、光路結合用接着剤や光部品用シール材など様々な用途に使われる。また、光学用樹脂の屈折率は、成分を調整することによって所望の値を選択できる。
【００２１】
第一透光体１１は、温度上昇変化に対する光路長の変化が正（特性指数が正）の材料からなる。第二透光体１２は、温度上昇変化に対する光路長の変化が負（特性指数が負）の材料からなる。なお、図１では、特性指数が正の材料を入射側に配置し、特性指数が負の材料を出射側に配置しているが、これとは逆に、特性指数が負の材料を入射側に配置し、特性指数が正の材料を出射側に配置してもよい。特性指数が正の材料としては、例えば、水晶（ＳｉＯ２）を挙げることができる。また、特性指数が負の材料としては、例えば、チタン酸ストロンチウム（ＳｒＴｉＯ３）を挙げることができる。このように、第一透光体１１と第二透光体１２とを貼り合せてエタロンフィルタ１０としたことにより、エタロンフィルタ１０の光路長が温度変化に対して一定になる。
【００２２】
金属層１３１〜１３４は、第一透光体１１の第一内側面１１ｂ（第一反射防止膜２１ｂ）にスパッタリング等により付した金属膜と、第二透光体１２の第二内側面１２ｂ（第二反射防止膜２２ｂ）にスパッタリング等により付した金属膜とを、突き合わせて接合したものである。この接合に際しては、薄い金属膜でも充分な接合強度が得られる原子拡散接合法が用いられている。これにより、薄膜であるにもかかわらず充分な接合強度を備えた金属層１３１〜１３４が形成される。
【００２３】
これらの各金属膜は、例えば、第一反射防止膜２１ｂ側又は第二反射防止膜２２ｂ側から、クロム（Ｃｒ）又はタンタル（Ｔａ）と金（Ａｕ）とが積層されたものである。そして、一対の金属膜は、Ａｕ同士が原子拡散により接合されることにより、互いに接合されている。このように、第一反射防止膜２１ｂ及び第二反射防止膜２２ｂ（又は第一透光体１１及び第二透光体１２）との接合を強固にするＣｒ又はＴａと、金属同士の接合を強固にするＡｕとの積層構造にすることにより、第一透光体１１と第二透光体１２との固定が好適になされる。
【００２４】
第一反射防止膜２１ｂは第一透光体１１と透光樹脂２３との界面における反射を抑制し、第二反射防止膜２２ｂは第二透光体１２と透光樹脂２３との界面における反射を抑制する。また、第一反射防止膜２１ｂの屈折率はその両側に位置する第一透光体１１及び透光樹脂２３の屈折率の幾何平均に、第二反射防止膜２２ｂの屈折率はその両側に位置する第二透光体１２及び透光樹脂２３の屈折率の幾何平均に、それぞれ一致又は近似することが好ましい。なお、透光樹脂２３の屈折率が第一透光体１１の屈折率に等しい場合は第一反射防止膜２１ｂを省略でき、透光樹脂２３の屈折率が第二透光体１２の屈折率に等しい場合は第二反射防止膜２２ｂを省略できる。
【００２５】
第一反射防止膜２１ｂ及び第二反射防止膜２２ｂは、例えば、屈折率が互いに異なる複数の薄膜の積層体である。複数の薄膜は、所望の光学特性（例えば反射率）が得られるように、その材料、積層数及び厚みが設計されている。各薄膜の材料は例えば誘電体であり、その誘電体は例えば、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、二酸化チタン（ＴｉＯ２）、五酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）である。複数の薄膜の積層数は、例えば１０以下である。複数の薄膜は互いに密着して固定され、第一反射防止膜２１ｂは第一透光体１１に密着して固定され、第二反射防止膜２２ｂは第二透光体１２に密着して固定されている。
【００２６】
第一反射膜２１ａ及び第二反射膜２２ａは、例えば、屈折率が互いに異なる複数の薄膜の積層体である。複数の薄膜は、所望の光学特性（例えば反射率）が得られるように、その材料、積層数及び厚みが設計されている。各薄膜の材料は例えば誘電体であり、その誘電体は例えば二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、二酸化チタン（ＴｉＯ２）、五酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）である。複数の薄膜の積層数は、例えば１０以下である。複数の薄膜は互いに密着して固定され、第一反射膜２１ａは第一透光体１１に密着して固定され、第二反射膜２２ａは第二透光体１２に密着して固定されている。
【００２７】
次に、エタロンフィルタ１０の作用及び効果について説明する。
【００２８】
エタロンフィルタ１０によれば、周縁空隙１５１〜１５４及び中央空隙１４が透光樹脂２３で満たされていることにより、異物が外部から周縁空隙１５１〜１５４を通って中央空隙１４へ侵入することを阻止できるので、歩留り及び信頼性を向上できる。
【００２９】
透光樹脂２３が接着剤である場合は、金属層１３１〜１３４による接合力に、透光樹脂２３による接着力が加わることにより、第一透光体１１と第二透光体１２との貼り合せ強度を向上できる。しかも、金属層１３１〜１３４の膜厚によって中央間隙１４の厚みが決まるので、透光樹脂２３の接着剤のみを用いて第一透光体１１と第二透光体１２とを貼り合せた場合に比べて、例えばＦＳＲ（Free Spectral Range）特性のバラツキを抑制できる。
【００３０】
透光樹脂２３の屈折率が第一透光体１１及び第二透光体１２の少なくとも一方の屈折率に等しい場合は、第一反射防止膜２１ｂ及び第二反射防止膜２２ｂの少なくとも一方を省略できるので、エタロンフィルタ１０の製造の容易化及び製造コストの低減を達成できる。
【００３１】
次に、エタロンフィルタ１０を製造する方法の一例を、実施形態２の製造方法として説明する。図４は実施形態２の製造方法を示す平面図であり、図４［Ａ］、図４［Ｂ］の順に工程が進行する。図５は、実施形態２の製造方法を示す概略図であり、図５［Ａ］、図５［Ｂ］、図５［Ｃ］、図５［Ｄ］、図５［Ｅ］、図５［Ｆ］の順に工程が進行する。以下、図１乃至図３に図４及び図５を加えて説明する。
【００３２】
本実施形態２の製造方法は、エタロンフィルタ１０を製造する方法であって、次の工程を含む。
【００３３】
複数の第一透光体１１となる第一基板３１の一方の面３１ｂ及び複数の第二透光体１２となる第二基板３２の一方の面３２ｂをメタルマスク４０で覆い、メタルマスク４０で覆われていない領域にのみ金属層１３１〜１３４となる金属膜５１，５２を形成する第一工程（図４［Ａ］〜図４［Ｂ］）。
【００３４】
第一基板３１に形成された金属膜５１と第二基板３２に形成された金属膜５２とを突き合わせて接合することにより、金属層１３１〜１３４、中央空隙１４及び周縁空隙１５１〜１５４を形成する第二工程（図４［Ｂ］の矢印）。
【００３５】
中央空隙１４及び周縁空隙１５１〜１５４に液状の透光樹脂２３を充填した後に透光樹脂２３を固化する第三工程（図５［Ａ］〜図５［Ｅ］）。
【００３６】
中央空隙１４及び周縁空隙１５１〜１５４に透光樹脂２３が充填かつ固化された第一基板３１及び第二基板３２を複数に切断することにより、複数のエタロンフィルタ１０を得る第四工程（図５［Ｆ］）。
【００３７】
次に、第一乃至第四工程について更に詳しく説明する。図４及び図５では、複数（図示する例では縦三個×横三個の合計九個。）のエタロンフィルタ１０を同時に製造する工程を示している。
【００３８】
＜第一工程＞まず、図４［Ａ］に示すように、第一基板３１の一方の面３１ｂ及び第二基板３２の一方の面３２ｂを、それぞれメタルマスク４０で覆う。そして、図４［Ｂ］に示すように、第一基板３１の一方の面３１ｂ及び第二基板３２の一方の面３２ｂのメタルマスク４０で覆われていない領域にのみ、それぞれ金属膜５１，５２を形成する。その形成には、蒸着やスパッタリングなどの真空成膜法が好適である。
【００３９】
このとき、第一基板３１及び第二基板３２は、複数のエタロンフィルタ１０を形成可能な面積を有し、厚み研磨や反射防止膜や反射膜などのコーティングが既に施されているものを使用する。メタルマスク４０は、例えば薄いステンレス板からなり、円形状の中央部４４と、中央部４４を支持する矩形状の周縁部４５１〜４５４と、メタルマスク４０の外周を保持する四角枠状の枠部４６とを有する。エタロンフィルタ一個あたり、中央部４４は一個、周縁部４５１〜４５４は四個である。このように、メタルマスク４０を使うことにより、フォトリソグラフィなどの複雑な技術を使わなくても、容易に金属膜５１，５２のパターンを形成できる。
【００４０】
＜第二工程＞第一工程に続いて、図４［Ｂ］の矢印で示すように、金属膜５１と金属膜５２とを突き合わせて接合する。その後、接合面同士が完全に密着するように、第一基板３１及び第二基板３２を介して金属膜５１，５２を加圧する。これと同時に、金属同士の原子拡散を促進するために、第一基板３１及び第二基板３２を介して金属膜５１，５２を加熱してもよい。その加熱温度は、常温〜２５０〔℃〕程度が好ましい。
【００４１】
＜第三工程＞第二工程に続いて、図５［Ａ］〜図５［Ｄ］に示すように、中央空隙１４及び周縁空隙１５１〜１５４に液状の透光樹脂２３を充填する。そして、図５［Ｅ］に示すように、透光樹脂２３を固化する。ここで、第一基板３１と第二基板３２とを第二工程で貼り合せたものを貼り合せ基板３３と呼ぶことにし、透光樹脂２３の充填工程及び固化工程について説明する。なお、図５［Ａ］〜図５［Ｅ］において、貼り合せ基板３３内の構造（すなわち金属層１３１〜１３４、中央空隙１４及び周縁空隙１５１〜１５４）は図示を略す。
【００４２】
まず、図５［Ａ］に示すように、四角形状の貼り合せ基板３３の四辺のうち、三辺を封止材３４で封止し、残りの一辺を注入口３５とする。そして、その貼り合せ基板３３と、液状の透光樹脂２３（紫外線固化型）が入った容器６２とを、真空チャンバ６１内に入れる。続いて、真空チャンバ６１内の空気６３を排出することにより、真空チャンバ６１内を所定の真空度にする。続いて、所定の真空度を保ったまま、図５［Ｂ］に示すように、貼り合せ基板３３の注入口３５を、容器６２内の液状の透光樹脂２３に浸す。続いて、図５［Ｃ］に示すように、真空チャンバ６１内に空気６３を導入することにより、真空チャンバ６１内を大気圧に戻す。すると、貼り合せ基板３３内が減圧されているので、液状の透光樹脂２３が貼り合せ基板３３内に吸い上げられる。続いて、図５［Ｄ］に示すように、貼り合せ基板３３内が液状の透光樹脂２３で満たされると、貼り合せ基板３３の注入口３５を容器６２内の液状の透光樹脂２３から引き上げる。なお、透光樹脂２３の充填時間を短くするには、できるだけ低粘度の透光樹脂２３を使用すればよい。
【００４３】
続いて、図５［Ｅ］に示すように、真空チャンバ６１内から取り出した貼り合せ基板３３に対して、紫外線ランプ６４から紫外線６５を照射する。これにより、貼り合せ基板３３内の液状の透光樹脂２３が固化する。
【００４４】
＜第四工程＞第三工程に続いて、図５［Ｆ］に示すように、貼り合せ基板３３をダイシングによって複数に切断することにより、複数のエタロンフィルタ１０を得る。
【００４５】
次に、本実施形態２の製造方法の作用及び効果について説明する。本実施形態２の製造方法によれば、貼り合された第一基板３１及び第二基板３２を複数に切断する際に、周縁空隙１５１〜１５４及び中央空隙１４に透光樹脂２３が充填されていることにより、切断で使用するオイルや洗浄液などの異物が外部から周縁空隙１５１〜１５４を通って中央空隙１４へ侵入することを阻止できるので、歩留り及び信頼性を向上できる。本実施形態２のその他の構成、作用及び効果は、実施形態１のそれらと同様である。
【００４６】
以上、上記各実施形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記各実施形態に限定されるものではない。例えば、上記各実施形態ではメタルマスクの使用によって周縁空隙が生じる場合を例示したが、これに限らず故意に周縁空隙を形成する場合にも本発明を適用できる。本発明の構成や詳細については、当業者が理解し得るさまざまな変更を加えることができる。また、本発明には、上記各実施形態の構成の一部又は全部を相互に適宜組み合わせたものも含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明は、ソリッド型やエアギャップ型のエタロンフィルタや、水晶以外の透明部材からなるエタロンフィルタなど、二つの対向する反射面の多重干渉を利用した光学フィルタであればどのようなものにも利用可能である。
【符号の説明】
【００４８】
＜実施形態１＞
１０  エタロンフィルタ（光学フィルタ）
１１  第一透光体
１１ａ  第一外側面
１１ｂ  第一内側面
１２  第二透光体
１２ａ  第二外側面
１２ｂ  第二内側面
１３１，１３２，１３３，１３４  金属層
１４  中央空隙
１５１，１５２，１５３，１５４  周縁空隙
２１ａ  第一反射膜
２２ａ  第二反射膜
２１ｂ  第一反射防止膜
２２ｂ  第二反射防止膜
２３  透光樹脂
Ｌ  レーザ光（光軸）
＜実施形態２＞
３１  第一基板
３１ｂ  一方の面
３２  第二基板
３２ｂ  一方の面
３３  貼り合せ基板
３４  封止材
３５  注入口
４０  メタルマスク
４４  中央部
４５１，４５２，４５３，４５４  周縁部
４６  枠部
５１，５２  金属膜
６１  真空チャンバ
６２  容器
６３  空気
６４  紫外線ランプ
６５  紫外線
＜関連技術１＞
８０  エタロンフィルタ
８１  第一透光体
８１ａ  第一外側面
８１ｂ  第一内側面
８２  第二透光体
８２ａ  第二外側面
８２ｂ  第二内側面
８３１，８３２，８３３，８３４  金属層
８４  中央空隙
８５１，８５２，８５３，８５４  周縁空隙
９１ａ  第一反射膜
９２ａ  第二反射膜
９１ｂ  第一反射防止膜
９２ｂ  第二反射防止膜
９３１，９３２，９３３，９３４  異物
【図１】
2017207659.tif 000003
【図２】
2017207659.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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