(57)【要約】【課題】電解質部の変形の阻害を抑制しつつ防湿性を確保できるアクチュエータおよびこのアクチュエータの製造方法を提供する。【解決手段】アクチュエータ１は、棒状の電解質部１１と、電解質部１１を間に挟んで対向するように電解質部１１の表面に重ねられた一対の電極板部１５、１６と、を有している。そして、アクチュエータ１は、電解質部１１および一対の電極板部１５、１６を全体にわたって覆う無機膜層２７をさらに有しており、この無機膜層２７の厚さが、５ｎｍ〜２００ｎｍである。【選択図】図３
2017028841.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状または棒状の電解質部と、
前記電解質部を間に挟んで対向するように前記電解質部の表面に重ねられた一対の電極板部と、
前記電解質部および前記一対の電極板部を全体にわたって覆う無機膜層と、を有し、
前記無機膜層の厚さが、５ｎｍ〜２００ｎｍである
アクチュエータ。
【請求項２】
前記電解質部および前記一対の電極板部と前記無機膜層との間に設けられた絶縁性の粘着剤層をさらに有している
請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記無機膜層が、金属膜で構成されている
請求項２に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記金属膜が、チタン、ニッケル、銅、パラジウム、銀、白金および金の中から選択された１または複数の金属で構成されている
請求項３に記載のアクチュエータ。
【請求項５】
剥離ライナが両面に貼られた２枚のシート状の粘着剤のそれぞれの一方の面の前記剥離ライナを剥離し、前記２枚の粘着剤のそれぞれの前記一方の面に枠材を貼り付ける工程、
前記２枚の粘着剤のそれぞれの他方の面の前記剥離ライナを剥離し、前記２枚の粘着剤のそれぞれの前記他方の面における前記枠材の内側の部分に、板状または棒状の電解質部および前記電解質部を間に挟んで対向するように前記電解質部の表面に重ねられた一対の電極板部を挟むようにして前記２枚の粘着剤のそれぞれの前記他方の面を互いに貼り合わせる工程、および、
前記粘着剤の外表面に前記無機膜を成膜する工程、を含む
アクチュエータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状または棒状の電解質部と、この電解質部を間に挟んで対向するように電解質部の表面に重ねられた一対の電極板部と、を有するアクチュエータ、およびこのアクチュエータの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種電子機器において、小型かつ軽量で柔軟性を有する高分子アクチュエータが採用されている。このような高分子アクチュエータは、例えば、電解質部とこの電解質部を間に挟む一対の電極板部とを有している。高分子アクチュエータは、一対の電極板部に電圧を印加することにより電解質部内でイオンの分布に偏りが生じて電解質部が変形することでアクチュエータとして機能する。
【０００３】
高分子アクチュエータは、電解質部に水や有機溶媒、イオン液体などを用いたものがあり、蒸発もしくは吸湿による電解質部の水分量の変化など、外部との水分移動による動作への影響を抑制するために防湿性を高める封止構造を必要とする場合がある。そして、特許文献１に、このような封止構造を有する高分子アクチュエータが開示されている。
【０００４】
特許文献１に開示されている高分子アクチュエータ９００を図８に示す。高分子アクチュエータ９００は、高分子電解質ゲルからなる本体９１５と、本体９１５を挟んで配設された電極９２５ａおよび電極９２５ｂと、を備えている。さらに高分子アクチュエータ９００は、電極９２５ａおよび電極９２５ｂの外側に配設された金属層９４４と、電極９２５ａおよび電極９２５ｂに電圧を印加する導電線９４２と、それら全体を包むように被覆する封止フィルム９３０と、を備えている。
【０００５】
高分子アクチュエータ９００は、防湿性を有する高分子フィルムからなる封止フィルム９３０によって水分を遮断している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−３５６８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述した高分子アクチュエータ９００では、封止フィルム９３０が高分子フィルムで構成されているので、水分を十分に遮断するためにはある程度の厚さが必要であった。そのため、水分を十分に遮断するために封止フィルム９３０の厚さを大きくすると可撓性が低下して本体９１５の動作（変形）を阻害してしまうことがあり、本体９１５の変形を阻害せずに防湿性を確保することが困難であるといった課題があった。
【０００８】
そこで本発明は、上記従来の課題を解決するためのものであり、電解質部の変形の阻害を抑制しつつ防湿性を確保できるアクチュエータおよびこのアクチュエータの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明の第１の態様においては、板状または棒状の電解質部と、前記電解質部を間に挟んで対向するように前記電解質部の表面に重ねられた一対の電極板部と、前記電解質部および前記一対の電極板部を全体にわたって覆う無機膜層と、を有し、前記無機膜層の厚さが、５ｎｍ〜２００ｎｍであるアクチュエータを提供する。
【００１０】
前記電解質部および前記一対の電極板部と前記無機膜層との間に設けられた絶縁性の粘着剤層をさらに有していてもよい。前記無機膜層が、金属膜で構成されていてもよい。前記金属膜が、チタン、ニッケル、銅、パラジウム、銀、白金および金の中から選択された１または複数の金属で構成されていてもよい。
【００１１】
上記アクチュエータによれば、無機膜層で電解質部および一対の電極板部を全体にわたって覆っており、この無機膜層の厚さが５ｎｍ〜２００ｎｍである。このようにしたことから、無機膜層は、高分子フィルムより小さな厚さで十分な防湿性を発揮することができ、そのため、防湿性と可撓性とを両立できる。
【００１２】
本発明の第２の態様においては、剥離ライナが両面に貼られた２枚のシート状の粘着剤のそれぞれの一方の面の前記剥離ライナを剥離し、前記２枚の粘着剤のそれぞれの前記一方の面に枠材を貼り付ける工程、前記２枚の粘着剤のそれぞれの他方の面の前記剥離ライナを剥離し、前記２枚の粘着剤のそれぞれの前記他方の面における前記枠材の内側の部分に、板状または棒状の電解質部および前記電解質部を間に挟んで対向するように前記電解質部の表面に重ねられた一対の電極板部を挟むようにして前記２枚の粘着剤のそれぞれの前記他方の面を互いに貼り合わせる工程、および、前記粘着剤の外表面に前記無機膜を成膜する工程、を含むアクチュエータの製造方法を提供する。
【００１３】
上記アクチュエータの製造方法によれば、粘着剤層を形成するシート状の粘着剤から剥離ライナを剥離する際に、一方の面に枠材を貼り付けたのち他方の面の剥離ライナを剥離する。このようにしたことから、剥離ライナを剥がす際にシート状の粘着剤にシワや変形が生じることを抑制することができる。そのため、作業性を向上して精度よく粘着剤を電解質部および一対の電極板部の外表面に貼り付けることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、電解質部の変形の阻害を抑制しつつ防湿性を確保できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施形態にかかるアクチュエータを示す斜視図である。
【図２】図１のアクチュエータの平面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図４】粘着剤層を形成するシート状の粘着剤に硬質の枠材を貼り付ける工程を示す断面図である。
【図５】枠材の内側の部分にアクチュエータ本体を挟むように２枚の粘着剤を互いに貼り合わせる工程を示す断面図である。
【図６】アクチュエータ本体の表面全体に粘着剤を貼り付け、粘着剤の外表面に無機膜を成膜する工程を示す断面図である。
【図７】粘着剤および無機膜に一対の電極板部のそれぞれの一部が露出する貫通孔を形成する工程を示す断面図である。
【図８】従来の高分子アクチュエータの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明では、同一の部材には同一の符号を付し、一度説明した部材については適宜その説明を省略する。また、「上下」を示す記載は各部材間の相対的な位置関係を説明するために便宜的に用いているものであり、絶対的な位置関係を示すものではない。
【００１７】
図１は、本発明の一実施形態にかかるアクチュエータを示す斜視図である。図２は、図１のアクチュエータの平面図である。図３は、図２のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【００１８】
各図に示すように、本実施形態のアクチュエータ１は、アクチュエータ本体１０と、アクチュエータ本体１０を覆う封止部２０と、を有している。
【００１９】
アクチュエータ本体１０は、板状の電解質部１１と、この電解質部１１を間に挟んで厚さ方向に対向するように電解質部１１の表面に重ねられた一対の電極板部１５、１６と、を有している。
【００２０】
電解質部１１は、ベースとなるポリマー（樹脂材料）にイオン液体を混合したゲル状のシート材であって、平面視長方形状に形成されている。電解質部１１の厚さは、１０μｍである。電解質部１１の作製は、イオン液体および樹脂材料（ポリマー）を溶媒に溶かしてキャスト液を作製し、型枠にキャスト液をキャスティングした後、真空乾燥して溶媒を蒸発させることにより行われる。電解質部１１のポリマー（樹脂材料）の材質として、例えば、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＧＦ）やポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）等を用いることができる。電解質部１１は、四角柱形状などの棒状に形成されていてもよい。
【００２１】
一対の電極板部１５、１６は、例えば、表面に金メッキが施された厚さ５０μｍのステンレス薄板である。一対の電極板部１５、１６は、電解質部１１の平面視形状と同一幅でかつ半分の長さとなる矩形状に形成されており、電解質部１１の一方の端部（図３において右側寄りの端部）に重ねて配置されている。なお、一対の電極板部１５、１６は、これ以外にも、電解質部１１のベースと同じポリマー（樹脂材料）およびイオン液体中に導電性フィラーを混合したゲル状の電極層を電解質部１１の表面に重ねて形成してもよい。一対の電極板部１５、１６は、さらにこの電極層の表面に金属や導電性炭素材などからなる導電層を重ねることにより構成してもよい。導電性フィラーとして、例えば、カーボンナノチューブ、カーボンファイバー、金粒子、白金粒子、ニッケル粒子等を用いることができ、導電性炭素材として、例えば、グラフェンを用いることができる。
【００２２】
封止部２０は、粘着剤層２１と、無機膜層２７と、を有している。
【００２３】
粘着剤層２１は、例えば、両面に粘着性を有するシート状の粘着剤が、アクチュエータ本体１０（即ち、電解質部１１および一対の電極板部１５、１６）の外表面に貼り付けられることにより形成されている。外表面とは、外部に面する表面を意味する。本実施形態では、テサＳＥ社の２５μｍバリアテープ（品番ｔｅｓａ６１５６２、２５μｍ厚）をシート状の粘着剤として用いている。粘着剤層２１によって一対の電極板部１５、１６が短絡してしまうことを避けるため、粘着剤層２１は絶縁性を有する。そして、このバリアテープである２枚の粘着剤２２、２３が、互いに間にアクチュエータ本体１０を挟んで張り合わされて、アクチュエータ本体１０の外表面全体に貼り付けられている。
【００２４】
粘着剤層２１を形成する粘着剤２２、２３における上記一対の電極板部１５、１６に重ねられた箇所には、これら一対の電極板部１５、１６の一部が露出するように形成された貫通孔２２ａ、２３ａが設けられている。
【００２５】
本実施形態において粘着剤２２、２３として用いている上記テープは、一般的な両面テープに用いられるアクリルフォームなどの基材を有していないので、高い柔軟性を有している。そのため、アクチュエータ本体１０の外表面に貼り付けられた場合でも、アクチュエータ本体１０の変形を阻害しない。粘着剤層２１を形成する材料として、このテープと同程度の柔軟性を有する他の粘着剤を用いてもよい。
【００２６】
無機膜層２７は、例えば、金属膜などの無機材料からなる無機膜が粘着剤層２１の外表面全体を覆うように成膜されることにより形成されている。無機膜層２７の厚さは、５ｎｍ〜２００ｎｍであることが好ましい。無機膜層２７の厚さが小さすぎると十分な防湿性を確保することができず、また、無機膜層２７の厚さが大きすぎると、電解質部１１の変形を阻害するおそれがあるためである。無機膜層２７を粘着剤層２１の外表面に設けることにより、ねばつきを抑えて取り扱いを容易にしている。
【００２７】
無機膜層２７は、例えば、チタン、ニッケル、銅、パラジウム、銀、白金および金の中から選択された１または複数の金属で構成されている。本実施形態では、スパッタ法により粘着剤層２１の外表面全体に厚さ３０ｎｍのチタン（Ｔｉ）膜を成膜することにより無機膜層２７を形成している。これ以外にも、無機膜層２７は、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）、シリコン窒化炭化膜（ＳｉＣＮ）などで形成してもよく、金属以外の無機材料で形成してもよい。
【００２８】
無機膜層２７における上記一対の電極板部１５、１６に重ねられた箇所には、一対の電極板部１５、１６の一部が露出するように、上記粘着剤層２１の貫通孔２２ａ、２３ａに重なる貫通孔２７ａ、２７ａが設けられている。
【００２９】
ここで、無機膜層の効果を確認するために、無機膜層２７を構成する複数種類の無機材料を有機膜（樹脂フィルム）と組み合わせたときの防湿性能について確認を行った。
【００３０】
具体的には、１．２μｍ厚のＰＰＳ樹脂フィルムの表面に、無機膜を形成した複数の評価サンプル（１）〜（９）を作製し、これら複数の評価サンプルを４０℃・９５％ＲＨ環境下に置いたときの、評価サンプルを通過した水分量の１時間毎の推移について確認を行った。なお、三菱樹脂社製の防湿性の高い樹脂フィルム（商品名Ｘ−ＢＡＲＲＩＥＲ、厚さ２５μｍ、防湿性１ｍｇ／ｍ２／ｄａｙ）を比較サンプル（Ａ）、（Ｂ）とした。
【００３１】
（１）厚さ１００ｎｍの酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜
（２）厚さ２０ｎｍの酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜
（３）厚さ５０ｎｍの酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜
（４）厚さ２００ｎｍの窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）膜
（５）厚さ２０ｎｍのニッケル（Ｎｉ）膜
（６）厚さ２００ｎｍのシリコン窒化炭化膜（ＳｉＣＮ）
（７）厚さ３０ｎｍのチタン（Ｔｉ）膜
（８）厚さ３０ｎｍのアルミニウム（Ａｌ）膜
（９）厚さ２０ｎｍのチタン（Ｔｉ）膜＋厚さ１０ｎｍの金（Ａｕ）膜
【００３２】
上記（１）〜（３）は、２００℃環境下での原子層堆積法（ＡＬＤ法：Ａｔｏｍｉｃ  Ｌａｙｅｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）を用いて成膜した。上記（４）は、２００℃環境下での化学的気相成長法（ＣＶＤ法）を用いて成膜した。上記（５）は、物理的気相成長法の一つである真空蒸着法を用いて成膜した。上記（６）は、２００℃環境下での触媒化学気相成長法（Ｃａｔ−ＣＶＤ法：Ｃａｔａｌｙｔｉｃ  ＣＶＤ）を用いて成膜した。上記（７）〜（９）は、常温環境下でのスパッタ法を用いて成膜した。
【００３３】
以下の表１に各サンプルの無機膜の構成を示し、表２に各サンプルについての水分量の１時間毎の推移を示す。表２において、数値が小さいほど防湿性が高いことを示している。
【００３４】
【表１】
2017028841.tif 000003
【００３５】
【表２】
2017028841.tif 000004
【００３６】
評価サンプル（１）、（４）、（６）、（７）、（９）については、樹脂フィルムの厚さが比較的小さい（１．２μｍ）にも関わらず、厚さが比較的大きい（２５μｍ）樹脂フィルムのみからなる比較サンプル（Ａ）、（Ｂ）と同等の防湿性を確保している。これは、樹脂フィルムの表面に形成した無機膜によって防湿性が補われているものと考えられる。そのため、樹脂フィルムのみで防湿性を確保しようとすると、厚さが大きくなってしまうが、無機膜を採用することで、全体の厚さを小さくすることができる。これにより、厚さが大きくなることにより可撓性が損なわれてしまうことを抑制することができる。
【００３７】
評価サンプル（７）の厚さ３０ｎｍのチタン膜は、一般的に用いられることの多い評価サンプル（８）のアルミニウム膜と比較して、同一厚さでも高い防湿性を実現している。また、評価サンプル（１）のＡＬＤ法で成膜した酸化アルミニウム膜、評価サンプル（４）のＣＶＤ法で成膜した窒化ケイ素膜、および評価サンプル（６）のＣａｔ−ＣＶＤで成膜したシリコン窒化炭化膜は、成膜時に高温環境を必要とするものである。一方、評価サンプル（７）の厚さ３０ｎｍのチタン膜は、常温環境で成膜することができかつこれら酸化アルミニウム膜、窒化ケイ素膜およびシリコン窒化炭化膜より小さな厚さで同等の防湿性を実現できる。また、評価サンプル（９）のようにチタン膜と金膜とを重ねた構成でも高い防湿性を実現できる。
【００３８】
封止部２０は、上述した構成以外にも、電解質部１１の変形を阻害せず、アクチュエータとしての機能に支障がなければ、本発明の目的に反しない限り、各層の材料や構成などは任意である。
【００３９】
上述したアクチュエータ１は、一方の電極板部１５における封止部２０の貫通孔２２ａ、２７ａを通じて露出している箇所、および、他方の電極板部１６における封止部２０の貫通孔２３ａ、２７ａを通じて露出している箇所に電源を接続して電圧を印加する。アクチュエータ１は、この電圧の印加により、一対の電極板部１５、１６間の電圧に応じた変形を生じさせるように構成されている。
【００４０】
アクチュエータ１の動作原理について説明する。アクチュエータ１は、イオン導電型のアクチュエータである。アクチュエータ１は、対向配置された一対の電極板部１５、１６の間に電解質部１１が設けられており、この電解質部１１の中には、陽イオンと陰イオンが分散して存在している。そして、一対の電極板部１５、１６に電圧が印加されると、これら一対の電極板部１５、１６の間に挟まれている電解質部１１内に電界が生じ、一対の電極板部１５、１６の一方側に陽イオンが移動するとともに、他方側に陰イオンが移動する。
【００４１】
このため、アクチュエータ１の一方の端部（図３において右側寄りの端部）を支持して支点（支持部分）とすると、電解質部１１内の電界の向きに応じて、図３に一点鎖線で示すように、アクチュエータ１の他方の端部（図３において左側寄りの端部）が大きく変形する。そして、このアクチュエータ１の他方の端部を作用点（作用部分）とすると、各種アクチュエータとして利用することができる。図３の紙面内の上下方向がアクチュエータ１の変形方向Ｈとなる。なお、一対の電極板部１５、１６間に生じる電界の向きを変えることで、アクチュエータ１が変形する向きを変えることができ、一対の電極板部１５、１６に印加する電圧の大きさを変えることで、変形量を制御することができる。
【００４２】
次に、アクチュエータ１の製造方法について、図４〜図７を参照して説明する。
【００４３】
図４は、粘着剤層を形成するシート状の粘着剤に硬質の枠材を貼り付ける工程を示す断面図である。図５は、枠材の内側の部分にアクチュエータ本体を挟むように２枚の粘着剤を互いに貼り合わせる工程を示す断面図である。図６は、アクチュエータ本体の表面全体に粘着剤を貼り付け、粘着剤の外表面に無機膜を成膜する工程を示す断面図である。図７は、粘着剤および無機膜に一対の電極板部のそれぞれの一部が露出する貫通孔を形成する工程を示す断面図である。
【００４４】
まず、ポリマーにイオン液体を混合したゲル状のシート材からなる電解質部１１に金メッキを施したステンレス薄板からなる一対の電極板部１５、１６を重ねて、アクチュエータ本体１０を作製する。
【００４５】
次に、図４に示すように、剥離ライナで両面が覆われた２枚のシート状の粘着剤２２、２３の一方の面２２ｓ、２３ｓを覆う剥離ライナ（図示なし）を剥離する。そして、一方の面２２ｓ、２３ｓにそれぞれ平面視四角枠状の硬質の枠材Ｆ１、Ｆ２を貼り付ける（枠材貼り付け工程）。このとき２枚の粘着剤２２、２３の他方の面２２ｒ、２３ｒはそれぞれ他の剥離ライナ２２Ｌ、２３Ｌで覆われている。枠材Ｆ１、Ｆ２は、金属やプラスチック、木材など比較的硬質の材料で構成されており、平面視で枠材Ｆ１、Ｆ２の内側にアクチュエータ本体１０が収まる大きさに形成されている。このような枠材Ｆ１、Ｆ２を貼り付けることにより、剥離ライナを剥離した後でも枠材Ｆ１、Ｆ２が粘着剤２２、２３のシート形状を保持して、粘着剤２２、２３にシワが生じることを防ぐことができる。そして、２枚のシート状の粘着剤２２、２３を、剥離ライナ２２Ｌ、２３Ｌが対向するように互いに間隔をあけて配置し、これら粘着剤２２、２３の間にアクチュエータ本体１０を位置づける。
【００４６】
次に、図５に示すように、２枚の粘着剤２２、２３のそれぞれの他方の面２２ｒ、２３ｒの剥離ライナ２２Ｌ、２３Ｌを剥離する。そして、２枚の粘着剤２２、２３のそれぞれの他方の面２２ｒ、２３ｒにおける枠材Ｆ１、Ｆ２の内側の部分にアクチュエータ本体１０を挟むようにして２枚の粘着剤２２、２３のそれぞれの他方の面２２ｒ、２３ｒを互いに貼り合わせる（粘着剤貼り合わせ工程）。
【００４７】
次に、図６に示すように、２枚の粘着剤２２、２３をアクチュエータ本体１０の外表面全体を覆うように密着させる。そして、スパッタ法により２枚の粘着剤２２、２３の外表面全体に重ねてチタンからなる無機膜を成膜して無機膜層２７を形成する（無機膜形成工程）。本実施形態では、厚さ３０ｎｍのチタンからなる無機膜を成膜する。
【００４８】
最後に、図７に示すように、２枚の粘着剤２２、２３におけるアクチュエータ本体１０の外表面に密着していない部分を切り取って粘着剤層２１を形成する。そして、粘着剤２２、２３および無機膜層２７のそれぞれにおける一対の電極板部１５、１６に重ねられた箇所にレーザー照射して、これら一対の電極板部１５、１６の一部が露出する粘着剤層２１の貫通孔２２ａ、２３ａおよび無機膜層２７の貫通孔２７ａ，２７ａを形成する（貫通孔形成工程）。このようにして、アクチュエータ１が完成する。
【００４９】
以上より、本実施形態のアクチュエータ１によれば、無機膜層２７で電解質部１１および一対の電極板部１５、１６を全体にわたって覆っており、この無機膜層２７の厚さが５ｎｍ〜２００ｎｍである。このようにしたことから、無機膜層２７は、高分子フィルムより小さな厚さで十分な防湿性を発揮することができ、そのため、防湿性と可撓性とを両立できる。
【００５０】
また、アクチュエータ１の製造方法によれば、粘着剤層２１を形成するシート状の粘着剤２２、２３から剥離ライナを剥離する際に、一方の面２２ｓ、２３ｓに枠材Ｆ１、Ｆ２を貼り付けたのち他方の面２２ｒ、２３ｒの剥離ライナ２２Ｌ、２３Ｌを剥離するので、剥離ライナ２２Ｌ、２３Ｌを剥がす際にシート状の粘着剤２２、２３にシワや変形が生じることを抑制することができる。そのため、作業性を向上して精度よく粘着剤２２、２３を電解質部１１および一対の電極板部１５、１６の外表面に貼り付けることができる。
【００５１】
したがって、電解質部１１の変形の阻害を抑制しつつ防湿性を確保できるアクチュエータ１を提供できる。
【００５２】
なお、上記に本発明の実施形態を説明したが、本発明はこれらの例に限定されるものではない。前述の各実施形態に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除、設計変更を行ったものや、各実施形態の特徴を適宜組み合わせたものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００５３】
１…アクチュエータ、１０…アクチュエータ本体、１１…電解質部、１５、１６…電極板部、２０…封止部、２１…粘着剤層、２２、２３…粘着剤、２２Ｌ、２３Ｌ…剥離ライナ、２２ａ、２３ａ…粘着剤層の貫通孔、２２ｓ、２３ｓ…粘着剤の一方の面、２２ｒ、２３ｒ…粘着剤の他方の面、２７…無機膜層、２７ａ…無機膜層の貫通孔、９００…高分子アクチュエータ、９１５…本体、９２５ａ、９２５ｂ…電極、９３０…封止フィルム、９４２…導電線、９４４…金属層、Ｆ１、Ｆ２…枠材、Ｈ…変形方向。
【図１】
2017028841.tif 000005
【図２】
2017028841.tif 000006
【図３】
2017028841.tif 000007
【図４】
2017028841.tif 000008
【図５】
2017028841.tif 000009
【図６】
2017028841.tif 000010
【図７】
2017028841.tif 000011
【図８】
2017028841.tif 000012