(57)【要約】【課題】本発明は、複数の貫通孔が形成されている板に光学部材を固定する場合に比べて、各レンズの光軸に対する各貫通孔の位置精度のばらつきが小さい光学部品の製造方法の提供を目的とする。【解決手段】光学部品の製造方法は、複数のレンズを有する光学部材を板に固定する工程と、該工程後に光源からの光を該レンズで集光させて該板に複数の貫通孔を形成する工程と、を含む。【選択図】図６Ｃ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のレンズを有する光学部材を板に固定する工程と、
該工程後に光源からの光を該レンズで集光させて該板に複数の貫通孔を形成する工程と、
を含む光学部品の製造方法。
【請求項２】
該複数の貫通孔を形成する工程では、該光源を該レンズに対して光軸方向に相対的に移動させる、
請求項１に記載の光学部品の製造方法。
【請求項３】
該複数の貫通孔を形成する工程では、該光源に光を間欠的に照射させる、
請求項１又は２に記載の光学部品の製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか１項に記載の方法で光学部品を製造する工程と、
該光学部品と、発光素子又は受光素子が配置された基板とが対向するように、該光学部品及び該基板を筐体に固定する工程と、
を含む光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学部品の製造方法及び光学装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、２個のレンズアレイ１０を遮光部材２０を挟んで互いに表裏が逆となるように対向させて遮光部材２０に位置決めしたレンズユニット１が記載されている。また、特許文献１には、レンズアレイ１０はシクロオレフィン系樹脂を射出して成形され、遮光部材２０はポリカーボネートを射出して成形されることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第５５８４２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
複数のレンズを有する光学部材の各レンズを、複数の貫通孔が形成されている板の各貫通孔に位置合わせした状態で、光学部品を板に固定する光学部品の製造方法が知られている。上記の方法では、各レンズ同士の位置関係のばらつきを考慮して、各貫通孔を大きく形成する必要がある。
【０００５】
本発明は、複数の貫通孔が形成されている板に光学部材を固定する場合に比べて、各レンズの光軸に対する各貫通孔の位置精度のばらつきが小さい光学部品の製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の光学部品の製造方法は、複数のレンズを有する光学部材を板に固定する工程と、該工程後に光源からの光を該レンズで集光させて該板に複数の貫通孔を形成する工程と、を含む。
【０００７】
請求項２に記載の光学部品の製造方法は、請求項１に記載の光学部品の製造方法であって、該複数の貫通孔を形成する工程では、該光源を該レンズに対して光軸方向に相対的に移動させる。
【０００８】
請求項３に記載の光学部品の製造方法は、請求項１又は２に記載の光学部品の製造方法であって、該複数の貫通孔を形成する工程では、該光源に光を間欠的に照射させる。
【０００９】
請求項４に記載の光学装置の製造方法は、請求項１〜３の何れか１項に記載の方法で光学部品を製造する工程と、該光学部品と、発光素子又は受光素子が配置された基板とが対向するように、該光学部品及び該基板を筐体に固定する工程と、を含む。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１に記載の光学部品の製造方法によれば、複数の貫通孔が形成されている板に光学部材を固定する場合に比べて、各レンズの光軸に対する各貫通孔の位置精度のばらつきが小さい光学部品を製造することができる。
【００１１】
請求項２に記載の光学部品の製造方法によれば、光源をレンズに対して光軸方向に相対的に移動させない場合に比べて、短時間で光学部品を製造することができる。
【００１２】
請求項３に記載の光学部品の製造方法によれば、光源に光を連続的に照射させる場合に比べて、板の熱変形を抑制することができる。
【００１３】
請求項４に記載の光学装置の製造方法によれば、複数の貫通孔が形成されている板に光学部材を固定する場合に比べて、各レンズを通過して集光する光の光量のばらつきが小さい光学装置を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本実施形態の露光装置の製造方法により製造される露光装置の概略図（断面図）である。
【図２】本実施形態の露光装置を構成する発光基板の概略図（平面図）である。
【図３】本実施形態の露光装置を構成するリレーレンズの斜視図である。
【図４】本実施形態のリレーレンズの平面図である。
【図５】本実施形態の露光装置を構成する遮光板の平面図である。
【図６Ａ】本実施形態のリレーレンズの製造方法を説明するための図であって、貫通孔が形成されていない板に２個のレンズアレイを位置決めした後、光源から光をレンズで板の上面の位置に集光させて板に貫通孔を形成している状態を示す模式図である。
【図６Ｂ】本実施形態のリレーレンズの製造方法を説明するための図であって、図８Ａの状態の後、光源を光軸方向のレンズ側に移動させて光源から光をレンズで板の上面と下面との間の位置に集光させて板に貫通孔を形成している状態を示す模式図である。
【図６Ｃ】本実施形態のリレーレンズの製造方法を説明するための図であって、図８Ｂの状態の後、さらに光源を光軸方向のレンズ側に移動させて光源から光をレンズで板の下面の位置に集光させて板に貫通孔を形成している状態を示す模式図である。
【図６Ｄ】本実施形態のリレーレンズの製造方法を説明するための図であって、図８Ｃの状態の後、光源を光軸方向のレンズ側と反対側かつリレーレンズの短手方向一端側に移動させて光源から光を他のレンズで板の上面の位置に集光させて板に他の貫通孔を形成している状態を示す模式図である。
【図７】本実施形態の露光装置の製造方法に含まれるリレーレンズの製造方法を説明するための図であって、（Ａ）はレーザー加工を開始する前の遮光板用の基材の平面図、（Ｂ）はレーザー加工を開始して１つ目の貫通孔を形成した状態の基材の平面図、（Ｃ）はレーザー加工の開始後複数の貫通孔を形成した状態の基材の平面図、及び、（Ｄ）はレーザー加工が終了した状態の基材（すなわち遮光板）の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
≪概要≫
以下、本実施形態について説明する。まず、本実施形態の露光装置１０（図１参照）の製造方法により製造される露光装置１０の構成について説明する。次いで、本実施形態の露光装置１０の製造方法について説明する。次いで、本実施形態の作用効果について説明する。
【００１６】
≪露光装置の構成≫
露光装置１０は、図１に示されるように、画像形成装置（図示省略）を構成する感光体ドラムＰＤに光ＬＢを照射して潜像を形成する機能を有する。ここで、露光装置１０は、光学装置の一例である。露光装置１０は、発光基板２０と、筐体３０と、リレーレンズ４０と、を含んで構成されている。また、リレーレンズ４０は、光学部品の一例である。なお、露光装置１０は、長尺とされている。また、発光基板２０、筐体３０及びリレーレンズ４０は、何れも長尺とされており、互いに長手方向を沿わせた状態で露光装置１０を構成している（図１参照）。以下の説明では、露光装置１０の長手方向を矢印Ｘ方向、露光装置１０の短手方向を矢印Ｙ方向、露光装置１０の高さ方向（長手方向及び短手方向に直交する方向）を矢印Ｚ方向とする。また、以下、露光装置１０の各要素の説明は、特に断りがない限り、露光装置１０を構成している状態についてのものとする。
【００１７】
＜発光基板＞
発光基板２０は、画像形成装置の制御部（図示省略）から送られる画像データに応じて、光ＬＢを照射する機能を有する。発光基板２０は、図２に示されるように、長尺な基板２２と、複数のＬＥＤアレイ２４とを含んで構成されている。ここで、ＬＥＤアレイ２４は、発光素子の一例である。各ＬＥＤアレイ２４は、長尺とされている。複数のＬＥＤアレイ２４は、基板２２の長手方向に沿って、基板２２の表面に千鳥状に配置されている。すなわち、発光基板２０は、発光素子が配置された基板の一例といえる。また、各ＬＥＤアレイ２４は、その長手方向に並ぶ複数のＬＥＤ２４Ａを有している。なお、ＬＥＤは、Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅのことである。
【００１８】
＜筐体＞
筐体３０は、発光基板２０と、リレーレンズ４０とが対向するように、発光基板２０及びリレーレンズ４０を固定する機能を有する。また、筐体３０には、図１に示されるように、その高さ方向に貫通し、かつ、その長手方向に沿う長尺の貫通孔３２が形成されている。筐体３０は、貫通孔３２における上側（感光体ドラムＰＤ側）の短手方向の対向面でリレーレンズ４０を挟んで、リレーレンズ４０を固定している。また、筐体３０は、貫通孔３２における下側に形成されている平面に発光基板２０の表面（複数のＬＥＤアレイ２４が配置されている側の面）に接触させて、発光基板２０を固定している。そのため、筐体３０は、リレーレンズ４０と、発光基板２０とが対向するように、リレーレンズ４０及び発光基板２０を固定している。
【００１９】
＜リレーレンズ＞
リレーレンズ４０は、発光基板２０から照射される光ＬＢを感光体ドラムＰＤで結像させる機能を有する。リレーレンズ４０は、図１及び図３に示されるように、一対のレンズアレイ５０と、遮光板６０とを含んで構成されている。ここで、レンズアレイ５０は、光学部材の一例である。レンズアレイ５０及び遮光板６０は、長尺とされている。そして、一対のレンズアレイ５０は、その長手方向を遮光板６０の長手方向に沿わせてかつ遮光板６０の厚み方向両側から遮光板６０を挟んだ状態で、遮光板６０に固定されている。なお、リレーレンズ４０は、遮光板６０の厚み方向を露光装置１０の高さ方向に沿わせた状態で、筐体３０に固定されている。
【００２０】
〔レンズアレイ〕
レンズアレイ５０は、図１及び図３に示されるように、レンズ本体５２（以下、本体５２という。）と、一対の側板５４とを含んで構成されている。ここで、レンズ本体５２は、光学部材の他の一例である。なお、以下、レンズアレイ５０についての具体的な説明は、特に断りがない限り、一対のレンズアレイ５０のうち上方のレンズアレイ５０についてのものとする。
【００２１】
（上方のレンズアレイ５０の）本体５２は、図１及び図３に示されるように、長尺の直方体５２Ａと、複数の凸部５２Ｂとを含んで構成されている。複数の凸部５２Ｂは、図１に示されるように、直方体５２Ａの一対の対向面（上面及び下面）に形成されている。複数の凸部５２Ｂは、図３及び図４に示されるように、直方体５２Ａの長手方向に沿って、一例として４列の千鳥状に並んで配置されている。また、複数の凸部５２Ｂは、半球状とされており、それぞれ高さ方向外側に突起している。なお、本体５２（レンズアレイ５０）をその高さ方向から透視すると、上面に配置されているすべての凸部５２Ｂと、下面に配置されているすべての凸部５２Ｂとは、一対ずつ重なっている。
【００２２】
以上のとおり、本体５２を、直方体５２Ａと、複数の凸部５２Ｂとに分けて説明したが、本体５２については別の観点から説明することもできる。具体的には、直方体５２Ａの上面及び下面にそれぞれ形成されている一対の凸部５２Ｂと、当該一対の凸部５２Ｂに挟まれている直方体５２Ａの円柱の部分とで構成される構成体は、レンズＬＳを構成している。そして、レンズＬＳは、本体５２の長手方向に沿って、千鳥状に並んで配置されている。そうすると、本体５２は、その長手方向に千鳥状に並ぶ複数のレンズＬＳと、複数のレンズＬＳ以外の部分とで構成されているといえる。以上の観点によれば、本実施形態の本体５２（レンズアレイ５０）は、複数のレンズＬＳを有している。なお、各レンズＬＳの光軸は、露光装置１０（本体５２及びリレーレンズ４０）の高さ方向に沿っている。
【００２３】
一対の側板５４は、本体５２の短手方向両端に配置されている。一対の側板５４は、図３及び図４に示されるように、それぞれ長尺とされており、本体５２と同等の長さを有している。そして、一対の側板５４は、その両端を本体５２の長手方向両端に合わせた状態で、本体５２の短手方向両端に本体５２と一体的に固定されている。また、一対の側板５４は、図１に示されるように、本体５２の上面及び下面よりも高さ方向、すなわち光軸方向に張り出している。ここで、一対の側板５４における本体５２の上面よりも張り出した部分を張り出し部分５４Ａ、本体５２の下面よりも張り出した部分を張り出し部分５４Ｂとする。
【００２４】
以上が、上方のレンズアレイ５０についての具体的な構成についての説明であるが、下方のレンズアレイ５０は、上方のレンズアレイ５０と同様の構成とされている。ただし、下方のレンズアレイ５０は、図１及び図３に示されるように、上方のレンズアレイ５０に対して、上下を反転させた姿勢とされている。
【００２５】
〔遮光板〕
遮光板６０は、その厚み方向の両側にレンズアレイ５０を固定する機能を有する。遮光板６０は、レンズアレイ５０と同等の長さ及び幅を有する板とされている（図１及び図３参照）。なお、遮光板６０の他の機能については、後述するリレーレンズの全体構成の説明の中で説明する。
【００２６】
遮光板６０には、図１及び図５に示されるように、複数の貫通孔６２が形成されている。複数の貫通孔６２は、図５に示されるように、遮光板６０の長手方向に沿って、一例として４列の千鳥状に並んで配置されている。各貫通孔６２同士の位置関係は、レンズアレイ５０における各凸部５２Ｂの位置関係と同等の関係とされている。また、各貫通孔６２の径は、各凸部５２Ｂの径と同等とされている。
【００２７】
〔リレーレンズの全体構成（一対のレンズアレイと遮光板との関係）〕
次に、一対のレンズアレイ５０と遮光板６０との関係について説明する。一対のレンズアレイ５０は、前述のとおり、遮光板６０の厚み方向（上下方向）両側から遮光板６０を挟んだ状態で、遮光板６０に固定されている（図３参照）。
【００２８】
下方のレンズアレイ５０は、上下方向から見ると、その長手方向両端及び短手方向両端を遮光板６０の長手方向両端及び短手方向両端に合わせて、張り出し部分５４Ｂを遮光板６０に接触させた状態で、遮光板６０に固定されている（図１及び図３参照）。
【００２９】
上方のレンズアレイ５０は、上下方向から見ると、その短手方向両端を遮光板６０の短手方向両端に合わせて、張り出し部分５４Ｂを遮光板６０に接触させた状態で、遮光板６０に固定されている（図１及び図３参照）。
【００３０】
各レンズアレイ５０は、それぞれの長手方向一端側（製造時に樹脂が射出する側）を同じ側にして配置されている。また、各レンズアレイ５０は、各レンズアレイ５０が有するすべてのレンズＬＳのうち長手方向両端側の部分以外のレンズＬＳ（すなわち、長手方向に並ぶ複数のレンズＬＳのうち中央部分のレンズＬＳ）の光軸Ｌが重なるように配置されている。具体的には、リレーレンズ４０を構成する各レンズアレイ５０のうち上方のレンズアレイ５０は、下方のレンズアレイ５０に対して、長手方向に並ぶ凸部５２Ｂ（レンズＬＳ）の半ピッチ分ずれた状態で対向している。そのため、上方のレンズアレイ５０は、図３に示されるように、下方のレンズアレイ５０に対して、長手方向にずれた状態で、遮光板６０に固定されている。
【００３１】
本実施形態のリレーレンズ４０を上下方向から見ると、遮光板６０のすべての貫通孔６２の外縁は、各レンズアレイ５０のすべてのレンズＬＳの外縁に対して、それぞれ重なっている。すなわち、すべてのレンズＬＳの光軸Ｌは、各レンズＬＳが対応するすべての貫通孔６２の各貫通孔６２内を定められた位置精度で通った状態とされている。
【００３２】
ここで、遮光板６０の他の機能は、下方のレンズアレイ５０のレンズＬＳを通過した光ＬＢが当該レンズＬＳに対向していない上方のレンズアレイ５０のレンズＬＳに到達しないようにすることである。別言すれば、当該他の機能は、各レンズアレイ５０の対向面間において、下方から上方に向かう光ＬＢの成分のうち上下方向に交差する方向に向かう成分を遮光することである。
【００３３】
なお、遮光板６０の上面及び下面の四隅にはピン（図示省略）が設けられており、各レンズアレイ５０の張り出し部分５４Ｂの長手方向両端側には、孔（図示省略）が形成されている。そして、各レンズアレイ５０の孔には遮光板６０のピンが嵌め込まれて、各レンズアレイ５０は遮光板６０に位置決めされている。また、各レンズアレイ５０の張り出し部分５４Ｂの短手方向の外面及び遮光板６０の短手方向の端面における、長手方向の複数の部分の重なる位置には、一例として、それぞれ凹み（図示省略）が形成されている。そして、各凹みに付着された接着剤（図示省略）により、各レンズアレイ５０は、遮光板６０に固定されている。この場合、接着剤はリレーレンズ４０の短手方向の端（各レンズアレイ５０の短手方向の各凹み以外の外面）からはみ出していない。
【００３４】
以上が、露光装置１０の構成についての説明である。
【００３５】
≪露光装置の製造方法≫
次に、露光装置の製造方法について図面を参照しつつ説明する。露光装置の製造方法は、以下に説明する第１工程と、第２工程と、第３工程と、第４工程とを含んでいる。
【００３６】
＜第１工程＞
第１工程は、樹脂を射出してレンズアレイ５０（図３及び図４の符号５０）を成形する工程である。具体的に、第１工程では、射出成形装置（図示省略）に金型（図示省略）をセットし、金型に形成されているキャビティ（図示省略）に樹脂を射出して、前述した構成のレンズアレイ５０（図１、図３及び図４参照）を成形する。なお、キャビティはレンズアレイ５０と同様に長尺にとされているが、金型には、キャビティの長手方向一端側から樹脂を射出するゲート（図示省略）が設けられている。そのため、第１工程は、キャビティの長手方向一端側から樹脂を射出して当該一端側をレンズアレイ５０の一端側とするレンズアレイ５０を形成する。そして、複数のレンズアレイ５０を成形すると、第１工程は終了する。
【００３７】
＜第２工程＞
第２工程は、第１工程で製造した一対のレンズアレイ５０を板７０（図６Ａ及び図７（Ａ）参照）に固定する工程である。第２工程は、第１工程の後に行われる。ここで、板７０は、遮光板６０（図５参照）と同じ素材で形成されており、遮光板５０と同等の長さ、幅及び厚みを有する。板７０の上面及び下面の四隅には、ピン（図示省略）が設けられている。
【００３８】
具体的に、作業者は、板７０の上面及び下面のピンに各レンズアレイ５０の孔（図示省略）を嵌め込んで、板７０に各レンズアレイ５０を位置決めする。その結果、板７０の両面には、各レンズアレイ５０のすべてのレンズＬＳの光軸Ｌが定められた範囲内で重なった状態で、各レンズアレイ５０が位置決めされる。また、この状態では、一方のレンズアレイ５０は、他方のレンズアレイ５０に対して、長手方向にずれた状態で、板７０に位置決めされる（図３参照）。次いで、作業者は、板７０と、板７０に位置決めされている各レンズアレイ５０との各凹みに接着剤を付着させて、板７０に各レンズアレイ５０を固定する。そして、各凹みに付着させた接着剤が乾燥すると、第２工程は終了する。なお、以下の説明では、第２工程において、板７０と、板７０に位置決めされて固定された各レンズアレイ５０との組み合わせを、中間体４０Ａとする。
【００３９】
＜第３工程＞
第３工程は、板７０に複数の貫通孔６２を形成する工程である。第３工程は、第２工程の後に行われる。具体的に、第３工程は、レーザー装置８０（図６Ａ〜Ｄ参照）を用いて、レーザー装置８０の光源８２からの光ＬＢ２をレンズアレイ５０のレンズＬＳで板７０に集光させることで行う。また、第３工程では、光源８２をレンズアレイ５０（レンズＬＳ）に対してレンズＬＳの光軸方向に相対的に移動させることで行う。
【００４０】
ここで、レーザー装置８０について説明すると、レーザー装置８０は、図６Ａ〜Ｄに示されるように、固定台（図示省略）と、光源８２と、移動装置８４と、制御装置８６とを含んで構成されている。固定台は、中間体４０Ａを定められた姿勢（一方のレンズアレイ５０を上方の向けた姿勢）で中間体４０Ａを固定するためのものである。光源８２は、一例としてＣＯ２レーザーとされており、照射する光ＬＢ２によりレンズアレイ５０を溶かすことはないが、板７０を溶かすようになっている。移動装置８４は、光源８２を上下方向（レンズアレイ５０の光軸方向）及び上下方向に交差する方向に光源８２を移動させるようになっている。制御装置８６は、光源８２及び移動装置８４を制御するようになっている。
【００４１】
まず、第３工程では、作業者が、中間体４０Ａを固定台に固定する。次いで、制御装置８６により制御される移動装置８４は、光源８２を初期位置に移動させる。ここで、初期位置とは、上下方向において、レンズアレイ５０で集光される光ＬＢ２を板７０の上面に集光させる位置であって、各レンズＬＳのうち長手方向の一端かつ短手方向の一端の角に配置されているレンズＬＳの上方の位置とされている（図６Ａ参照）。次いで、制御装置８６により制御される光源８２は光ＬＢ２を照射する。その結果、当該レンズＬＳで集光された光ＬＢ２は、板７０の上面で集光して、板７０を溶かす（図７Ａ）。次いで、移動装置８４は、定められた移動速度で、光源８２を下方に移動させて光ＬＢ２の集光位置を下方にずらす（図６Ｂ及び図６Ｃ参照）。そして、移動装置８４は集光位置が板７０の下面となる位置まで光源８２を移動させると、板７０には貫通孔６２が形成される（図６Ｄ及び図７（Ｂ）参照）。なお、制御装置８６は、光源８２からの光ＬＢ２が板７０で集光している期間、光源８２による光ＬＢ２を間欠的に照射させるようになっている。次いで、移動装置８４は、光源８２を、上下方向の初期位置かつ初期位置の下方のレンズＬＳに隣接するレンズＬＳの上方に移動させ、再度光源８２を下方に移動させて（図６Ｄ参照）、他の貫通孔６２を形成する（図７（Ｃ）参照）。そして、板７０にレンズＬＳの数と同数の貫通孔６２が形成されると、遮光板６０（及びリレーレンズ４０）が製造されて（図７（Ｄ）参照）、第３工程が終了する。
【００４２】
＜第４工程＞
第４工程は、第３工程で製造したリレーレンズ４０と、発光基板２０（図２参照）とが対向するように、リレーレンズ４０及び発光基板２０を筐体３０（図１参照）に固定する工程である。
【００４３】
具体的に、第４工程では、組立装置（図示省略）を用いて、筐体３０における貫通孔３２の上側の対向面でリレーレンズ４０を短手方向に挟ませて、筐体３０にリレーレンズ４０を固定する。また、第４工程では、組立装置を用いて、貫通孔３２における下側に形成されている平面に発光基板２０の表面（複数のＬＥＤアレイ２４が配置されている側の面）に接触させて、筐体３０に発光基板２０を固定する。なお、リレーレンズ４０は、図１に示されるように、遮光板６０が筐体３０の対向面で挟まれて、上方のレンズアレイ５０の側面と筐体３０とを跨がるように接着剤（図示省略）が付着されて筐体３０の上側の開口周縁に接着されて固定される。また、発光基板２０は、裏面の全周縁に接着剤（図示省略）が付着されて筐体３０の貫通孔３２の下側の部分に接着されて固定される。
【００４４】
以上のとおり、リレーレンズ４０及び発光基板２０を筐体３０に固定すると、露光装置１０が製造されて、第４工程は終了する。
【００４５】
以上が、露光装置１０の製造方法についての説明である。
【００４６】
≪作用効果≫
次に、本実施形態の作用効果（第１〜第３の作用効果）について、以下に説明する各比較形態と比較して説明する。なお、各比較形態において本実施形態で用いた部品等を用いる場合、その部品の符号、名称等をそのまま用いて説明する。
【００４７】
＜第１の作用効果＞
第１の作用効果は、レンズアレイ５０を板７０に固定して、光源８２からの光ＬＢ２をレンズＬＳで集光させて板７０に複数の貫通孔６２を形成することの作用効果である。第１の作用効果については、後述する第１比較形態（図示省略）と比較して説明する。
【００４８】
第１比較形態は、複数の貫通孔６２が形成されている板、すなわち、遮光板６０に、レンズアレイ５０を固定して、リレーレンズ４０及び露光装置１０を製造する。第１比較形態は、上記の点以外、本実施形態と同様とされている。
【００４９】
第１比較形態の場合、レンズアレイ５０の各レンズＬＳが遮光板６０の各貫通孔６２に対して定められた位置精度で対向するように、レンズアレイ５０を遮光板６０に位置決めする必要がある。特に、レンズアレイ５０を本実施形態の第１工程により製造する場合、レンズアレイ５０の長手方向の一端側の各レンズＬＳ同士の位置関係と、他端側の各レンズＬＳ同士の位置関係とには製法に起因するばらつきがある。すなわち、各レンズＬＳ同士の位置関係にはばらつきがある。そのため、第１比較形態の場合、すべてのレンズＬＳと、遮光板６０のすべての貫通孔６２とを定められた位置精度で対向させるためには、遮光板６０の各貫通孔６２を大きめに形成する必要がある。その結果、第１比較形態の場合、各レンズＬＳの光軸Ｌに対する各貫通孔６２の位置精度（各貫通孔６２内での各光軸Ｌが通る位置の精度のことをいう。）がばらつき易くなる。
【００５０】
これに対して、本実施形態の場合、レンズアレイ５０を（貫通孔６２が形成されていない）板７０に固定して、光源８２からの光ＬＢ２をレンズＬＳで集光させて板７０に複数の貫通孔６２を形成する。そのため、板７０にレンズアレイ５０を固定する工程では、そもそも、貫通孔６２に対してレンズＬＳを位置決めする必要がない。また、本実施形態の場合、レンズアレイ５０を板７０に固定した後に、レンズアレイ５０のレンズＬＳを利用して当該レンズＬＳで光が集光する位置に貫通孔６２を形成する（図６Ａ〜Ｄ、図７（Ａ）〜（Ｄ）参照）。そのため、本実施形態の場合、遮光板６０に形成されるすべての貫通孔６２は、すべてのレンズＬＳからの光を通す。
【００５１】
したがって、本実施形態のリレーレンズ４０の製造方法によれば、複数の貫通孔６２が形成されている板（遮光板６０）にレンズアレイ５０を固定する場合に比べて、レンズアレイ５０を板７０に固定するための位置決め精度を低くすることができる。
【００５２】
また、本実施形態の場合、前述のとおり、レンズアレイ５０を板７０に固定した後に、レンズアレイ５０のレンズＬＳを利用して当該レンズＬＳで光ＬＢ２が集光する位置に貫通孔６２を形成する。そのため、例えば、各レンズＬＳ同士の位置関係にばらつきがあるような場合、そのばらつきに対応した貫通孔６２を形成することができる。この点から、本実施形態は、複数の貫通孔６２が形成されている板（遮光板６０）レンズアレイ５０を固定する場合に比べて、各レンズＬＳの光軸Ｌに対する各貫通孔６２の位置精度のばらつきが小さいリレーレンズ４０を製造することができる。なお、本実施形態では、遮光板６０の貫通孔６２を各レンズＬＳ同士の位置関係のばらつきと同等のばらつきを持った状態で形成することができることから、遮光板６０による遮光性能（ある貫通孔６２を通った光ＬＢ１が、他の貫通孔６２を通った光ＬＢ１の光路内に交差し難くする性能）が高い。そのため、本実施形態によれば、複数の貫通孔６２が形成されている板（遮光板６０）にレンズアレイ５０を固定する場合に比べて、各レンズＬＳを通過して集光する光ＬＢ１の光量のばらつきが小さい露光装置１０（高精度の露光装置１０）を製造することができる。
【００５３】
＜第２の作用効果＞
第２の作用効果は、第３工程において、光源８２をレンズアレイ５０（レンズＬＳ）に対してレンズＬＳの光軸方向に相対的に移動させることの作用効果である。第２の作用効果については、後述する第２比較形態（図示省略）と比較して説明する。
【００５４】
第２比較形態は、第３工程、すなわち、板７０に複数の貫通孔６２を形成する工程において、光源８２をレンズＬＳの光軸方向に移動させない。また、第２比較形態では、レンズＬＳを通過した光ＬＢ２を板７０の厚み方向の中央に集光させる。第２比較形態は、上記の点以外、本実施形態と同様とされている。なお、第２比較形態は、レンズアレイ５０を板７０に固定して、光源８２からの光ＬＢ２をレンズＬＳで集光させて板７０に複数の貫通孔６２を形成するため、前述の第１の作用効果を奏する。すなわち、第２比較形態は、本発明の技術的範囲に属する形態である。
【００５５】
第２比較形態の場合、光源８２をレンズＬＳの光軸方向に移動させずにレンズＬＳを通過した光ＬＢ２を板７０の厚み方向の中央に集光させることから、形成される各貫通孔６２における厚み方向中央の径と、厚み方向上側及び下側の部分の径とを同等にすることができない。
【００５６】
これに対して、本実施形態の場合、光源８２をレンズアレイ５０（レンズＬＳ）に対してレンズＬＳの光軸方向に相対的に移動させる。そのため、本実施形態の場合、板７０の厚み方向における、光ＬＢ２の集光位置をずらしながら各貫通孔６２を形成することができる。
【００５７】
したがって、本実施形態によれば、光源８２をレンズＬＳに対して光軸方向に相対的に移動させない場合に比べて、貫通孔６２を高精度に形成することができる。
【００５８】
また、第２比較形態の場合、前述のとおり、光源８２をレンズＬＳの光軸方向に移動させずにレンズＬＳを通過した光ＬＢ２を板７０の厚み方向の中央に集光させることから、板７０の上面及び下面が溶けるまで光ＬＢ２を板７０の厚み方向の中央に照射しなければならない。これに対して、本実施形態の場合、光源８２をレンズアレイ５０（レンズＬＳ）に対してレンズＬＳの光軸方向に相対的に移動させながら各貫通孔６２を形成する。したがって、本実施形態によれば、光源８２をレンズＬＳに対して光軸方向に相対的に移動させない場合に比べて、短時間で貫通孔６２を形成する（リレーレンズ４０を製造する）ことができる。また、本実施形態によれば、光源８２をレンズＬＳに対して光軸方向に相対的に移動させない場合に比べて、低エネルギーで貫通孔６２を形成する（リレーレンズ４０を製造する）ことができる。
【００５９】
＜第３の作用効果＞
第３の作用効果は、第３工程において、光源８２に光ＬＢ２を間欠的に照射させることの作用効果である。第３の作用効果については、後述する第３比較形態（図示省略）と比較して説明する。
【００６０】
第３比較形態は、第３工程、すなわち、板７０に複数の貫通孔６２を形成する工程において、光源８２に光ＬＢ２を連続的に照射させる。第３比較形態は、上記の点以外、本実施形態と同様とされている。なお、第３比較形態は、レンズアレイ５０を板７０に固定して、光源８２からの光ＬＢ２をレンズＬＳで集光させて板７０に複数の貫通孔６２を形成するため、前述の第１の作用効果を奏する。また、第３比較形態は、第３工程において、光源８２をレンズアレイ５０（レンズＬＳ）に対してレンズＬＳの光軸方向に相対的に移動させるため、前述の第２の作用効果を奏する。すなわち、第３比較形態は、本発明の技術的範囲に属する形態である。
【００６１】
第３比較形態の場合、板７０に複数の貫通孔６２を形成する工程において、光源８２に光ＬＢ２を連続的に照射させることから、板７０が熱変形（例えば、歪む等）する虞がある。
【００６２】
これに対して、本実施形態の場合、光源８２に光ＬＢ２を間欠的に照射させる。そのため、本実施形態の場合、板７０が照射による熱を放熱し易い。
【００６３】
したがって、本実施形態のリレーレンズ４０の製造方法によれば、光源８２に光ＬＢ２を連続的に照射させる場合に比べて、板７０の熱変形を抑制することができる。
【００６４】
以上が、本実施形態の作用効果の説明である。
【００６５】
以上のとおり、本発明を特定の実施形態を例として説明したが、本発明は前述した実施形態に限定されるものではない。例えば、本発明の技術的範囲には、下記のような形態も含まれる。
【００６６】
本実施形態では、露光装置１０が光学装置の一例であるとして説明した。しかしながら、露光装置１０の発光基板２０を構成する複数の光学素子（ＬＥＤアレイ２４）を、例えば受光素子（図示省略）に変更した形態は、密着イメージセンサ（Ｃｏｎｔａｃｔ  Ｉｍａｇｅ  Ｓｅｎｓｏｒ）の画像読取装置となる。この場合、受光素子は光学素子の他の一例であり、画像読取装置は光学装置の一例である。
【００６７】
本実施形態では、第２工程において、板７０の上面及び下面にそれぞれレンズアレイ５０を固定するとして説明した。しかしながら、例えば、板７０の上面及び下面の何れか一方の面にレンズアレイ５０を固定した状態で第３工程を行い、板７０に複数の貫通孔６２を形成して遮光板６０を製造してもよい。この製造方法により製造された、遮光板６０と、遮光板６０の上面及び下面の何れか一方の面に固定されたレンズアレイ５０とを含む組み合せは、光学部品の一例である。
【００６８】
本実施形態では、第３工程において、貫通孔６２は、板７０の長手方向の一端の角から、他端側に形成するとして説明した（図７（Ａ）〜（Ｄ）参照）。しかしながら、レンズＬＳを用いて光ＬＢ２を集光させて板７０に複数の貫通孔６２を形成すれば、形成される貫通孔６２の順番は問わない。
【００６９】
本実施形態では、第３工程において、貫通孔６２は、板７０の長手方向の一端の角から、他端側に１つずつ形成するとして説明した（図７（Ａ）〜（Ｄ）参照）。しかしながら、レンズＬＳを用いて光ＬＢ２を集光させて板７０に複数の貫通孔６２を形成すれば、形成される複数の貫通孔６２を同時に形成してもよい。例えば、すべての貫通孔６２を同時に形成してもよい。この形態の場合、板７０がその長手方向において同時に加熱されることから、１つずつ貫通孔６２を形成する場合に比べて、各貫通孔６２が高精度で形成されるという作用効果がある。
【００７０】
本実施形態では、第２工程において、中間体４０Ｂの短手方向の両端の各凹み（図示省略）に接着剤を付着させて固定するとして説明した。しかしながら、中間体４０Ｂを形成する各レンズアレイ５０及び板７０に凹みを形成せずに、板７０における各レンズアレイ５０の張り出し部分５４Ｂが重なる部分に接着剤を付着させて固定してもよい。この形態の場合、接着剤により、板７０の厚み方向と、各レンズアレイ５０の光軸方向とが交差した状態となる場合がある。しかしながら、この形態の場合、板７０に各レンズアレイ５０が固定された後に各レンズＬＳに対応する各貫通孔６２が形成されることから、板７０の厚み方向と、各レンズアレイ５０の光軸方向とが交差した状態は問題となり難い。この点は、第１比較形態の場合には問題となり得る点で、この形態の作用効果といえる。
【００７１】
本実施形態では、板７０の材質について、ＣＯ２レーザーが照射する光ＬＢ２により溶ける材質であることを説明した。このような材質であればよいが、例えば、板７０の材質として、ポリエチレンテレフタレートであることが好ましい。ポリエチレンテレフタレートであれば、光ＬＢ２が照射されて貫通孔６２が形成される際（溶かされる際）に、ガスが発生し難いためである。
【符号の説明】
【００７２】
１０  露光装置（光学装置の一例）
２０  発光基板（基板の一例）
３０  筐体
５０  レンズアレイ（光学部材の一例）
６２  貫通孔
７０  板
８２  光源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図６Ｄ】
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【図７】
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