(57)【要約】【課題】  被検物とマッチング液の屈折率を正確に一致させて屈折率分布または屈折率を正確に測定すること。【解決手段】  被検物と媒質の境界における位相差の変化量と閾値とを比較し、透過波面と被検物の厚みに基づいて被検物と媒質の屈折率差を計算し、屈折率差を低減するように媒質の屈折率を調整し、被検物と媒質の境界における位相差の変化量が閾値よりも小さいときに計測された透過波面を用いて被検物の屈折率分布または屈折率を算出する。【選択図】  図３
2017190959.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
媒質中に配置された被検物に対して光を入射させて透過波面を計測するステップと、
前記透過波面を用いて、前記被検物と前記媒質の境界における位相差の変化量と閾値とを比較するステップと、
前記透過波面と前記被検物の厚みに基づいて前記被検物と前記媒質の屈折率差を計算するステップと、
前記屈折率差を低減するように前記媒質の屈折率を調整するステップと、
前記被検物と前記媒質の境界における位相差の変化量が前記閾値よりも小さいときに計測された前記透過波面を用いて前記被検物の屈折率分布または屈折率を算出するステップとを含む測定方法。
【請求項２】
前記被検物と前記媒質の境界における位相差の変化量が前記閾値よりも小さくなるまで、前記透過波面を計測するステップと、前記被検物と前記媒質の屈折率差を計算するステップと、前記媒質の屈折率を調整するステップとを繰り返すことを特徴とする請求項１に記載の測定方法。
【請求項３】
媒質中に配置された被検物に対して光を入射させて透過波面を計測するステップと、
前記透過波面を用いて、前記被検物と前記媒質の境界における位相差の変化量と閾値とを比較するステップと、
前記透過波面と前記被検物の厚みに基づいて前記被検物と前記媒質の屈折率差を計算するステップと、
前記被検物と前記媒質の屈折率差に基づいて前記透過波面を補正するステップと、
前記被検物と前記媒質の屈折率差に基づいて補正された透過波面を用いて前記被検物の屈折率分布または屈折率を算出するステップとを含むことを特徴とする測定方法。
【請求項４】
前記透過波面を計測するステップにおいて、前記被検物に対して互いに異なる角度で光を入射させて複数の透過波面を計測することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の測定方法。
【請求項５】
前記被検物と前記媒質の屈折率差は、前記被検物の周辺部における透過波面と前記被検物の厚みに基づいて計算されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の測定方法。
【請求項６】
媒質中に配置された既知の屈折率と既知の形状を有する基準被検物に光を入射させて透過波面を計測するステップと、前記基準被検物の屈折率と形状に基づいて、媒質の屈折率を算出するステップを有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の測定方法。
【請求項７】
光学素子をモールドするステップと、
請求項１から６のいずれか１項に記載の計測方法を用いて前記光学素子の屈折率分布または屈折率を計測することによって、モールドされた光学素子の光学性能を評価するステップと、を含むことを特徴とする光学素子の製造方法。
【請求項８】
媒質中に配置された被検物に対して光を入射させて透過波面を計測する計測手段と、
前記透過波面を用いて前記被検物の屈折率分布または屈折率を演算する演算手段と、
前記媒質の屈折率を調整する調整手段を有し、
前記演算手段は、前記計測手段により計測された前記透過波面を用いて、前記被検物と前記媒質の境界における位相差の変化量と閾値とを比較し、前記透過波面と前記被検物の厚みに基づいて前記被検物と前記媒質の屈折率差を計算し、前記屈折率差を低減するように前記調整手段を介して前記媒質の屈折率を調整し、前記被検物と前記媒質の境界における位相差の変化量が前記閾値よりも小さいときに計測された前記透過波面を用いて前記被検物の屈折率分布または屈折率を算出することを特徴とする計測装置。
【請求項９】
媒質中に配置された被検物に対して光を入射させて透過波面を計測する計測手段と、
前記透過波面を用いて前記被検物の屈折率分布または屈折率を演算する演算手段を有し、
前記演算手段は、前記計測手段により計測された前記透過波面を用いて、前記被検物と前記媒質の境界における位相差の変化量と閾値とを比較し、前記透過波面と前記被検物の厚みに基づいて前記被検物と前記媒質の屈折率差を計算し、前記被検物と前記媒質の屈折率差に基づいて前記透過波面を補正し、前記被検物と前記媒質の屈折率差に基づいて補正された透過波面を用いて前記被検物の屈折率分布または屈折率を算出することを特徴とする計測装置。
【請求項１０】
前記計測手段は、マッハツェンダ干渉計を有することを特徴とする請求項８または９に記載の計測装置。
【請求項１１】
前記計測手段は、シャックハルトマンセンサを有することを特徴とする請求項８または９に記載の計測装置。
【請求項１２】
前記計測手段は、シアリング干渉計を有することを特徴とする請求項８または９に記載の計測装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学素子の屈折率分布または屈折率の測定に関する。
【背景技術】
【０００２】
デジタルカメラ等の光学機器に用いられる光学素子の屈折率分布および屈折率は光学機器の光学特性に大きな影響を及ぼすため、光学素子の屈折率分布および屈折率を高精度に測定することが求められている。
【０００３】
光学素子の屈折率分布を非破壊で測定する方法として、光学素子（被検物）と同じ屈折率を有するマッチング液（媒質）の中に被検物を配置して、被検物の透過波面を測定する方法が知られている（特許文献１、２）。特許文献１、２の測定方法では、被検物と媒質の屈折率差が大きい場合、被検物と媒質の界面において透過波面が変形するため、屈折率分布の測定精度が低下する。
【０００４】
特許文献３は、被検物とマッチング液の温度を変化させて、被検物とマッチング液の屈折率を整合させる測定方法を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平８−１２２２１０号公報
【特許文献２】特開平３−２１８４３２号公報
【特許文献３】特開２０１１−２５２７６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献３の測定方法では、被検物とマッチング液の屈折率差による透過波面の変形と、被検物の屈折率分布による透過波面の変形とを明確に区別することができず、被検物とマッチング液の屈折率を正確に一致させることが難しい。すなわち、被検物の屈折率分布に起因する透過波面の変形の一部を、被検物とマッチング液の屈折率差に起因する透過波面の変形（波面ノイズ）として測定することにより、屈折率分布の測定精度が低下してしまう。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の実施形態としての測定方法は、媒質中に配置された被検物に対して光を入射させて透過波面を計測するステップと、前記透過波面を用いて、前記被検物と前記媒質の境界における位相差の変化量と閾値とを比較するステップと、前記透過波面と前記被検物の厚みに基づいて前記被検物と前記媒質の屈折率差を計算するステップと、前記屈折率差を低減するように前記媒質の屈折率を調整するステップと、前記被検物と前記媒質の境界における位相差の変化量が前記閾値よりも小さいときに計測された前記透過波面を用いて前記被検物の屈折率分布または屈折率を算出するステップとを含むことを特徴とする。
【０００８】
本発明の実施形態としての測定方法は、媒質中に配置された被検物に対して光を入射させて透過波面を計測するステップと、前記透過波面を用いて、前記被検物と前記媒質の境界における位相差の変化量と閾値とを比較するステップと、前記透過波面と前記被検物の厚みに基づいて前記被検物と前記媒質の屈折率差を計算するステップと、前記被検物と前記媒質の屈折率差に基づいて前記透過波面を補正するステップと、前記被検物と前記媒質の屈折率差に基づいて補正された透過波面を用いて前記被検物の屈折率分布または屈折率を算出するステップとを含むことを特徴とする。
【０００９】
なお、レンズをモールドするステップと、上記の計測方法を用いてレンズの屈折率分布または屈折率を計測することによって、モールドされたレンズの光学性能を評価するステップとを含むレンズの製造方法も、本発明の一実施形態である。
【００１０】
本発明の実施形態としての測定装置は、媒質中に配置された被検物に対して光を入射させて透過波面を計測する計測手段と、前記透過波面を用いて前記被検物の屈折率分布または屈折率を演算する演算手段と、前記媒質の屈折率を調整する調整手段を有し、前記演算手段は、前記計測手段により計測された前記透過波面を用いて、前記被検物と前記媒質の境界における位相差の変化量と閾値とを比較し、前記透過波面と前記被検物の厚みに基づいて前記被検物と前記媒質の屈折率差を計算し、前記屈折率差を低減するように前記調整手段を介して前記媒質の屈折率を調整し、前記被検物と前記媒質の境界における位相差の変化量が前記閾値よりも小さいときに計測された前記透過波面を用いて前記被検物の屈折率分布または屈折率を算出することを特徴とする。
【００１１】
本発明の実施形態としての測定装置は、媒質中に配置された被検物に対して光を入射させて透過波面を計測する計測手段と、前記透過波面を用いて前記被検物の屈折率分布または屈折率を演算する演算手段と、前記媒質の屈折率を調整する調整手段を有し、前記演算手段は、前記計測手段により計測された前記透過波面を用いて、前記被検物と前記媒質の境界における位相差の変化量と閾値とを比較し、前記透過波面と前記被検物の厚みに基づいて前記被検物と前記媒質の屈折率差を計算し、前記屈折率差を低減するように前記調整手段を介して前記媒質の屈折率を調整し、前記被検物と前記媒質の境界における位相差の変化量が前記閾値よりも小さいときに計測された前記透過波面を用いて前記被検物の屈折率分布または屈折率を算出することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、被検物の屈折率分布および屈折率を高精度に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の屈折率分布測定装置の構成例の概略図である。
【図２】本発明の屈折率分布測定装置の変形例の概略図である。
【図３】本発明の実施例１の屈折率分布測定方法を示すフローチャートである。
【図４】位相とびの判定方法の説明図である。
【図５】被検物の回転角と透過波面の変化量の関係を示す図である。
【図６】本発明の屈折率測定装置の概略図である。
【図７】実施例２の屈折率分布測定方法を示すフローチャートである。
【図８】本発明の実施例３の光学素子の製造方法の製造工程を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施例について説明する。
【実施例１】
【００１５】
図１は、本発明の測定装置の構成例の概略図である。
【００１６】
光源１は単色の可干渉光を発する。光源１から射出された光は、ピンホール２に入射する。ピンホール２を透過して発散光となった光は、コリメータレンズ３で平行光にコリメートされる。コリメート光は、ビームスプリッタ４で透過光（被検光）と反射光（参照光）に分割される。
【００１７】
ビームスプリッタ４において反射した参照光は、ミラー７で反射してビームコンバイナ５へ至る。ミラー７は、図１の矢印方向にミラー７を駆動する駆動機構８に接続されている。駆動機構８は、参照光と被検光の光路長差を変化させる光路長変更手段として機能し、コンピュータ１２によって制御される。駆動機構８としては、例えばピエゾ素子を用いることができる。
【００１８】
媒質（マッチング液）１４と被検物１５は容器１３に収容されており、被検物１５は媒質中に配置されている。ビームスプリッタ４を透過した被検光は、媒質（マッチング液）１４と被検物１５を収容している容器１３に入射する。被検光の一部の光は媒質１４および被検物１５を透過する。被検光の残りの光は媒質１４のみを透過する。容器１３を透過したそれぞれの光は、ミラー６で反射し、ビームコンバイナ５において参照光と干渉して干渉光を形成する。ミラー６は、被検光と参照光の傾きを調整する調整手段９を有する。調整手段９は、例えば送りねじを用いることができる。
【００１９】
結像レンズ１０は前記重畳された光により形成される干渉縞像を検出器１１の検出面に結像し、検出器１１は検出面に結像された干渉縞を撮像する。検出器１１は、例えばＣＣＤやＣＭＯＳセンサを用いることができる。検出器１１で検出された干渉縞像は、コンピュータ１２に送られる。
【００２０】
容器１３の内部に配置された被検物１５は、被検物１５を回転させる回転機構１６を備える不図示の保持部により保持される。回転機構１６は、例えば、被検物１５を平行光に対して直交する軸周りに回転させることができる。回転機構１６は、被検物１５の向きを変更するために、コンピュータ１２によって制御される。
【００２１】
容器１３の内部に配置された媒質１４と被検物１５の温度は、媒質１４と被検物１５の屈折率が等しくなるように温度調整部１７を用いて調整される。温度調整部１７はコンピュータ１２によって制御される。
【００２２】
コンピュータ１２は、駆動機構８により参照光と被検光の光路長差を異ならせて複数の干渉縞像を検出器１１で取得し、干渉縞像から参照光と被検光の位相差を算出する。干渉縞像から得られる参照光と被検光の位相差は−πからπの間に分布しているため、Ｍを整数としたとき（２Ｍ＋１）πを通る度に２πの計算上の位相とびが生じる。そこで、コンピュータ１２は、計算上の位相とびを検出する度に２πまたは−２πを加えて位相接続（アンラップ）を行う。以下の式（１）に示すように、参照光と被検光の位相差φについて計算上の位相とびを接続した後、２πで除算し、光源１の波長λを乗算することにより、波面計測値Ｗに換算することができる。
【００２３】
【数１】
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【００２４】
また、コンピュータ１２は、回転機構１６を用いて被検物１５を回転させながら計測した透過波面と被検物１５の厚み情報とに基づいて被検物１５と媒質（マッチング液）１４の屈折率差を計算することができる。
【００２５】
また、被検物１５の３次元屈折率分布を測定する場合、回転機構１６によって被検物１５を回転させて複数の方位から被検物１５の透過波面を計測する。そして、コンピュータ１２が複数の透過波面に対してＣＴ（Ｃｏｍｐｕｔｅｄ  Ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ）解析を行うことによって３次元屈折率分布を計算することができる。
【００２６】
なお、本実施例ではマッハツェンダ干渉計を用いて被検物１５の透過波面を測定しているが、図２に示すように、被検物１５を透過した被検光を結像レンズ１０で波面センサ１８に結像することにより測定することもできる。波面センサ１８は、トールボット干渉計やラテラルシアリング干渉計等のシアリング型干渉計を用いてもよいし、シャックハルトマンセンサを用いてもよい。波面センサ１８を用いて被検物１５の透過波面を測定することにより、比較的大きい収差を含む透過波面を測定することができる。
【００２７】
図３は、本発明の実施例１の測定方法を示すフローチャートである。
【００２８】
ステップＳ０１において、容器１３の媒質（マッチング液）１４の中に被検物１５を配置する。ステップＳ０２において、被検物１５を回転機構１６で回転させながら透過波面Ｗ（θ）を計測する。θは、被検物１５の光軸と被検物１５に入射する平行光がなす角を表している。ステップＳ０２における透過波面Ｗ（θ）の測定は、サブフローであるステップＡに従って行われる。
【００２９】
ステップＡについて説明する。ステップＳ１０１では、回転機構１６を用いて被検物１５を所定の角度に回転させる。ステップＳ１０２において、ｉ枚目の透過波面を計測する。ステップＳ１０３では、透過波面の計測が指定回数に到達しているか否かを判定する。透過波面の計測回数が不足している場合はステップＳ１０１に戻り、計測回数が指定回数に到達するまでステップＳ１０１とＳ１０２を繰り返す。
【００３０】
ステップＳ１０３における指定回数としては、少なくとも２回を指定する。ステップＳ０２で計測した複数の透過波面Ｗ（θ）は、被検物１５の３次元屈折率分布を測定するための透過波面として用いることができる。この場合、被検物１５に対する平行光の入射方向を１８０度あるいは３６０度の角度範囲において一定角度ピッチで変化させて各回転角における透過波面を測定する。例えば、平行光の入射方向の範囲を１８０度とし、角度ピッチを１０度とした場合、ステップＳ１０３における指定回数は１９回となる。
【００３１】
後述する実在の位相とびは、原理的には、被検物１５に対する平行光の入射方向と被検物の光軸方向とを異ならせて計測した１つの透過波面で検出可能である。しかしながら、被検物１５の周辺部における微小な屈折率分布や媒質（マッチング液）１４の屈折率分布を考慮すると、被検物１４を回転させながら計測した複数の透過波面を用いた方が実在の位相とびを高精度に検出することができる。
【００３２】
ステップ１０３において、透過波面の計測回数が指定回数に到達したと判定された場合は、ステップＳ０３に進む。
【００３３】
ステップＳ０３において、コンピュータ１２は、被検物１５を回転させながら測定した複数の透過波面Ｗ（θ）を用いて、被検物１５と媒質（マッチング液）１４の境界における位相とびの有無を判定する（Ｓ０３）。被検物１５と媒質（マッチング液）１４の境界における位相とびは、被検物１５と媒質（マッチング液）１４の屈折率差に起因する。
【００３４】
図４は位相とびの判定方法の説明図である。図４（ａ）および図４（ｂ）は、レンズの姿勢と位相とび判定で着目する領域とを示している。図４（ｃ）および図４（ｄ）は、位相とび判定で着目する領域における位相分布を示している。
【００３５】
ステップＳ０２で計測した複数の波面計測値Ｗ（θ）は、以下の式（２）で表される。ただし、被検物１５の屈折率分布をΔＮ、被検物１５の屈折率をＮｌｅｎｓ、被検物１５の光線透過方向の厚みをＺ、媒質（マッチング液）１４の屈折率をＮｏｉｌ、容器１３の光線透過方向の厚みをＺ０とする。座標は、被検光が進む方向を＋ｚ軸とし、ｚ軸に直交し、互いに直交する軸をそれぞれｘ軸、ｙ軸とした。
【００３６】
【数２】
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【００３７】
式（２）から、媒質（マッチング液）１４と被検物１５の屈折率差（Ｎｌｅｎｓ−Ｎｏｉｌ）が大きいと、被検物１５の厚みＺに対する敏感度が大きくなることが分かる。すなわち、検出器１１で撮像される干渉縞の密度が高くなり、測定誤差が生じやすくなる。また、被検物１５の厚み分布が不連続である場合、透過波面が空間的に不連続になる。すなわち、前述の計算上の位相とびとは異なる実在の位相とびが生じる。実在の位相とびは、図４（ｃ）に図示するように、被検物１５の光軸方向から平行光を透過させるとき、被検物１５とマッチング液１４の境界部に生じ、境界部の位相差をΔφｔ、被検物１５の周辺部の厚さをＺｔとするとき、式（３）で表される。
【００３８】
【数３】
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【００３９】
実在の位相とびと、計算上の位相とびとは、位相接続（アンラップ）時に分離しなければならない。しかし、実在の位相とびが２π以上に及ぶと、両者の分離が困難になり、位相接続を正確に行うことができなくなる。従って、実在の位相とびを判定する必要がある。
【００４０】
実在の位相とびは、被検物１５の光軸方向とは異なる方向から平行光を入射させたときの透過波面Ｗ（θ）において、屈折率分布が比較的小さい被検物周辺部に着目して判定する。
【００４１】
図４（ｄ）に示すように、被検物１５を回転させることにより、被検物１５と媒質（マッチング液）１４の境界部の位相が連続的に分布するようになる。図４（ｂ）の着目する領域において、λ／ｃｏｓθを閾値として、波面計測値Ｗ（θ）が式（４）を満たすとき、光軸方向の透過波面において実在の位相とびが２π以上であると判定する。
【００４２】
【数４】
2017190959.tif 000006
【００４３】
一方、被検物１５を回転させながら計測した複数の透過波面に基づいて実在の位相とびの有無を判断する場合、屈折率分布が比較的小さい被検物１５の周辺部に着目して、被検物１５を回転させる度に波面計測値Ｗ（θ）の変化量を特定する。閾値（例えば１λ）以上の透過波面の変化量を検出したときには、実在の位相とびが２πより大きいと判定する。図５において、（Ｎｌｅｎｓ−Ｎｏｉｌ）が５×１０−５であるときは位相とびΔφｔが２π以上であると判定し、（Ｎｌｅｎｓ−Ｎｏｉｌ）が１×１０−５であるときは位相とびΔφｔが２π未満であると判定される。
【００４４】
次に、ステップＳ０４において、コンピュータ１２は、被検物１５を回転させながら計測した透過波面と被検物１５の厚み情報から被検物１５と媒質（マッチング液）１４の屈折率差を計算する。屈折率分布が比較的小さい被検物１５の周辺部に着目する。式（２）において、被検物１５の周辺部では屈折率分布が非常に小さいことから、右辺の第１項をゼロで近似することができ、右辺の第３項は媒質（マッチング液）１４のみを透過してきた領域を基準点とすることで減算することができる。したがって、媒質１４と被検物１５の屈折率差は、以下の式（５）によって計算できる。
【００４５】
【数５】
2017190959.tif 000007
【００４６】
ステップＳ０５において、ステップＳ０４で算出された媒質１４と被検物１５の屈折率差に基づいて、媒質１４と被検物１５の屈折率が等しくなるように（屈折率差を低減するように）コンピュータ１２が温度調整部１７を制御する。
【００４７】
ステップＳ０３において、実在の位相とびΔφｔが２π未満であると判定されるまで、ステップＳ０２からステップＳ０５が繰り返される。
【００４８】
ステップＳ０３において実在の位相とびΔφｔが２π未満であると判定された場合は、ステップＳ０６に進み、コンピュータ１２は、ステップＳ０２で計測された透過波面を用いて被検物１５の屈折率分布および屈折率を測定する。
【００４９】
ステップＳ０６において、光線透過方向に平均化された屈折率分布を測定する場合は、特定の角度θ（例えばθ＝０）における被検物１５の波面計測値Ｗを被検物１５の光線透過方向の厚み分布で除算することにより算出することができる。
【００５０】
ステップＳ０６において、被検物１５の３次元屈折率分布を測定する場合、コンピュータ１２は、ステップＳ０２で計測された複数の透過波面に対してＣＴ（Ｃｏｍｐｕｔｅｄ  Ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ）解析を行うことで算出することができる。
【００５１】
図６に示すように、被検物１５の屈折率を測定するときは、既知の屈折率と既知の形状を有する基準被検物１９を媒質（マッチング液）１４の中に配置する。基準被検物１９に平行光を入射させて測定した透過波面と、基準被検物１９の屈折率と形状の情報から、媒質（マッチング液）１４の屈折率を測定することができる。次に、被検物１５の透過波面と、媒質（マッチング液）１４のみを透過した透過波面とを比較することにより、被検物１５の屈折率を算出することができる。
【００５２】
実施例１の測定方法によれば、被検物の厚み分布と同様の屈折率分布がある被検物でも、被検物と媒質（マッチング液）の屈折率差を正確に検出し、マッチング液の屈折率を適切に調整することで、屈折率分布および屈折率を高精度に計測することができる。
【実施例２】
【００５３】
本実施例は、被検物１５と媒質（マッチング液）１４の境界の実在の位相とびを判定し、前記判定結果に基づいて、実在の位相とびに応じて前記波面を補正する点において、実施例１とは異なる。本実施例の測定装置の構成は、コンピュータ１２における演算方法を除いて実施例１と同じであるため、測定装置の構成についての説明は省略する。
【００５４】
図７は、実施例２の測定方法を示すフローチャートである。
【００５５】
ステップＳ１１からステップ１４までは、実施例１のステップＳ０１からステップＳ０４にそれぞれ対応するため、説明を省略する。
【００５６】
ステップＳ１５においては、被検物１５と媒質１４の屈折率差と被検物１５の形状の情報に基づいて、ステップＳ１２で計測された複数の透過波面を補正する。ステップＳ１５における複数の透過波面の補正は、ＷｍをステップＳ１２で計測した透過波面とし、Ｗを補正後の透過波面としたとき、以下の式（６）で表される。
【００５７】
【数６】
2017190959.tif 000008
【００５８】
また、被検物１５の光軸方向に沿って平行光を入射させたとき（θ＝０）の透過波面について、被検物１５とマッチング液１４の境界の実在の位相とびが式（３）で表される量になるように、被検物１５の透過波面のオフセットを調整する。
【００５９】
ステップＳ１６において、コンピュータ１２は、ステップＳ１２で計測された透過波面、またはＳ１５で補正された透過波面を用いて被検物１５の屈折率分布および屈折率を計測する。
【００６０】
実施例２の測定方法によれば、被検物の厚み分布と同様の屈折率分布がある被検物でも、被検物と媒質（マッチング液）の屈折率差を正確に検出し、マッチング液の屈折率を適切に調整することで、屈折率分布および屈折率を高精度に計測することができる。
【実施例３】
【００６１】
実施例１および実施例２にて説明した測定装置および測定方法を用いて計測された結果をレンズ等の光学素子の製造方法にフィードバックすることも可能である。
【００６２】
図８には、モールド成型を利用した光学素子の製造工程の例を示している。
【００６３】
光学素子は、光学素子の設計工程、金型の設計工程および該金型を用いた光学素子のモールド成型工程を経て製造される。成型された光学素子は、その形状精度が評価され、精度不足である場合は金型を補正して再度モールド成型を行う。形状精度が良好であれば、該光学素子の光学性能が評価される。この光学性能の評価工程に、本発明の計測方法を組み込むことで、モールド成型される光学素子を精度良く量産することができる。
【００６４】
なお、光学性能が低い場合は、光学面を補正した光学素子を設計し直す。
【００６５】
以上説明した各実施例は代表的な例にすぎず、本発明の実施に際しては、各実施例に対して種々の変形や変更が可能である。
【符号の説明】
【００６６】
１  光源
４  ビームスプリッタ
５  ビームコンバイナ
６、７  ミラー
１１  検出器
１２  コンピュータ
１３  容器
１４  媒質（マッチング液）
１５  被検物
１６  回転機構
１７  温度調整部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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