(57)【要約】【課題】光半導体素子を封止層によって封止する工程（２）において、光半導体素子と感圧接着層との間に、封止層が進入することを抑制することができるとともに、封止光半導体素子を感圧接着層から剥離する工程（３）において、感圧接着層が、封止光半導体素子における光半導体素子の電極面に付着することを抑制することのできる、封止光半導体素子および発光装置の製造方法を提供すること。【解決手段】封止光半導体素子１１の製造方法は、電極６が設けられる電極面３を有する光半導体素子１の電極６を、感圧接着層９に感圧接着する工程（１）、工程（１）の後に、光半導体素子１を封止層１０によって封止する工程（２）、および、工程（２）の後に、封止光半導体素子１１を感圧接着層９から剥離する工程（３）を備える。感圧接着層９の剥離接着力ＰＳが、２２０ｍＮ／１０ｍｍ２以上、３００ｍＮ／１０ｍｍ２以下である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極が設けられる電極面を有する光半導体素子の前記電極面を、感圧接着層に感圧接着する工程（１）、
前記工程（１）の後に、前記光半導体素子を封止層によって封止することにより、前記光半導体素子と前記封止層とを備える封止光半導体素子を作製する工程（２）、および、
前記工程（２）の後に、前記封止光半導体素子を前記感圧接着層から剥離する工程（３）を備え、
前記感圧接着層の剥離接着力が、２２０ｍＮ／１０ｍｍ２以上、３００ｍＮ／１０ｍｍ２以下であることを特徴とする、封止光半導体素子の製造方法。
【請求項２】
前記封止層は、ホットメルト樹脂組成物からなり、
前記工程（２）において、前記封止層を加熱することを特徴とする、請求項１に記載の封止光半導体素子の製造方法。
【請求項３】
前記工程（２）では、前記封止層を前記光半導体素子および前記感圧接着層に向けて、０．０１ｍｍ／秒以上、０．３ｍｍ／秒以下の速度で、プレスすることを特徴とする、請求項１または２に記載の封止光半導体素子の製造方法。
【請求項４】
前記工程（２）では、前記封止層を前記光半導体素子および前記感圧接着層に向けて、０．５ＭＰａ以上、２．０ＭＰａ以下の圧力で、プレスすることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載の封止光半導体素子の製造方法。
【請求項５】
前記感圧接着層は、仮固定シートに備えられており、
前記仮固定シートは、厚み方向を貫通する貫通孔を有する支持基板と、
前記支持基板の厚み方向一方側に配置され、前記貫通孔を被覆する前記感圧接着層とを備え、
前記工程（１）では、前記光半導体素子を、厚み方向に投影したときに、前記貫通孔に重複するように、前記電極面を前記感圧接着層に感圧接着し、
前記工程（３）では、押圧部材を前記貫通孔に挿入して、前記貫通孔に対応する前記感圧接着層を押圧することによって、前記封止光半導体素子を前記支持基板に対して相対移動させながら、前記封止光半導体素子を前記感圧接着層から剥離し、
前記封止層の６０℃における溶融粘度が、５０Ｐａ・ｓ以上、１５００Ｐａ・ｓ以下であることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載の封止光半導体素子の製造方法。
【請求項６】
前記光半導体素子は、
前記電極面に対して間隔を隔てて対向配置され、発光層が設けられる発光面と、
前記発光面および前記電極面の周端縁を連結する連結面と
をさらに有し、
前記工程（２）では、前記封止層によって、前記発光面と前記連結面とを被覆することを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一項に記載の封止光半導体素子の製造方法。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の封止光半導体素子の製造方法により、封止光半導体素子を製造する工程（４）、および、
前記封止光半導体素子を基板に実装する工程（５）
を備えることを特徴とする、発光装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、封止光半導体素子および発光装置の製造方法、詳しくは、封止光半導体素子の製造方法、および、その製造方法を備える発光装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、支持板と、その上に積層される粘着層とを備える支持シートの粘着層に、ＬＥＤを貼着し、その後、蛍光体層によってＬＥＤを被覆して、蛍光体層被覆ＬＥＤを製造し、その後、蛍光体層被覆ＬＥＤを支持シートから剥離し、続いて、蛍光体層被覆ＬＥＤを発光波長や発光効率に応じて選別した後、選別された蛍光体層被覆ＬＥＤを基板に実装することが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
特許文献１では、ＬＥＤの下面には、電極（バンプ）が形成されており、かかる下面を、仮固定シートの粘着層に対して直接接触させて、ＬＥＤを粘着層に貼着している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−８０５６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかるに、蛍光体層をＬＥＤに被覆するときに、粘着層およびＬＥＤに向けて圧着するときに、図４Ａに示すように、蛍光体層（１０１）が、ＬＥＤ（１０２）の下面と、粘着層（１０３）の上面との間に進入する（潜る）場合がある。その場合には、図４Ｂに示すように、蛍光体層被覆ＬＥＤ（１０４）を仮固定シート（１０５）から剥離すると、ＬＥＤ（１０２）の下面に蛍光体層（１０１）が存在するので、図４Ｃに示すように、蛍光体層被覆ＬＥＤ（１０４）を基板（１０６）に実装しても、電極（１０７）が基板（１０６）の端子（１０８）に対して電気的に接続することができないという不具合がある。
【０００６】
一方、図５Ａに示すように、蛍光体層被覆ＬＥＤ（１０４）を仮固定シート（１０５）から剥離するときに、粘着層（１０３）の一部が、電極（１０７）の下面に付着してしまう（糊残りしてしまう）場合がある。その場合には、図５Ｂに示すように、蛍光体層被覆ＬＥＤ（１０４）を基板（１０６）に実装しても、電極（１０７）が基板（１０６）の端子（１０８）に対して電気的に接続することができないという不具合がある。
【０００７】
本発明の目的は、光半導体素子を封止層によって封止する工程（２）において、光半導体素子と感圧接着層との間に、封止層が進入することを抑制することができるとともに、封止光半導体素子を感圧接着層から剥離する工程（３）において、感圧接着層が、封止光半導体素子における光半導体素子の電極面に付着することを抑制することのできる、封止光半導体素子および発光装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
［１］本発明は、電極が設けられる電極面を有する光半導体素子の前記電極面を、感圧接着層に感圧接着する工程（１）、前記工程（１）の後に、前記光半導体素子を封止層によって封止することにより、前記光半導体素子と前記封止層とを備える封止光半導体素子を作製する工程（２）、および、前記工程（２）の後に、前記封止光半導体素子を前記感圧接着層から剥離する工程（３）を備え、前記感圧接着層の剥離接着力が、２２０ｍＮ／１０ｍｍ２以上、３００ｍＮ／１０ｍｍ２以下であることを特徴とする、封止光半導体素子の製造方法である。
【０００９】
この方法によれば、感圧接着層の剥離接着力が上記した下限以上であるので、工程（２）において、光半導体素子の電極面と感圧接着層との間に、封止層が進入することを抑制することができる。
【００１０】
また、感圧接着層の剥離接着力が上記した上限以下であるので、封止光半導体素子を感圧接着層から剥離する工程（３）において、感圧接着層が、封止光半導体素子における光半導体素子の電極面に付着することを抑制することができる。
【００１１】
そのため、本発明により得られる封止光半導体素子では、電極面における封止層の存在が抑制されて、電極面が露出するので、これを基板の端子と電気的に接続すれば、信頼性に優れる発光装置を得ることができる。
【００１２】
［２］本発明は、前記封止層は、ホットメルト樹脂組成物からなり、前記工程（２）において、前記封止層を加熱することを特徴とする、上記［１］に記載の封止光半導体素子の製造方法である。
【００１３】
この方法によれば、封止層がホットメルト樹脂組成物からなっているので、工程（２）において、封止層を加熱する簡便な方法で、封止層を溶融（ホットメルト）させて、光半導体素子を被覆することができる。さらに、溶融した封止層は、光半導体素子の電極面と感圧接着層との間に、封止層が進入し易いところ、感圧接着層の剥離接着力が上記した下限以上であるので、封止層の、上記した光半導体素子の電極面と感圧接着層との間への進入を抑制することができる。
【００１４】
［３］本発明は、前記工程（２）では、前記封止層を前記光半導体素子および前記感圧接着層に向けて、０．０１ｍｍ／秒以上、０．３ｍｍ／秒以下の速度で、プレスすることを特徴とする、上記［１］または［２］に記載の封止光半導体素子の製造方法である。
【００１５】
この方法によれば、工程（２）におけるプレスの速度が上記した下限以上であるので、封止光半導体素子の生産性の低下を抑制することができるとともに、プレスの速度が上記した上限以下であるので、光半導体素子の電極面と感圧接着層との間に、封止層が進入することをより一層抑制することができる。
【００１６】
［４］本発明は、前記工程（２）では、前記封止層を前記光半導体素子および前記感圧接着層に向けて、０．５ＭＰａ以上、２．０ＭＰａ以下の圧力で、プレスすることを特徴とする、上記［１］〜［３］のいずれか一項に記載の封止光半導体素子の製造方法である。
【００１７】
この方法によれば、工程（２）におけるプレスの圧力が上記した下限以上であるので、光半導体素子の電極面と感圧接着層との間に、封止層が進入することをより一層抑制することができるとともに、プレスの圧力が上記した上限以下であるので、光半導体素子が感圧接着層に対して埋没し、その後、封止光半導体素子を感圧接着層から剥離しにくくなることを抑制することができる。
【００１８】
［５］本発明は、前記感圧接着層は、仮固定シートに備えられており、前記仮固定シートは、厚み方向を貫通する貫通孔を有する支持基板と、前記支持基板の厚み方向一方側に配置され、前記貫通孔を被覆する前記感圧接着層とを備え、前記工程（１）では、前記光半導体素子を、厚み方向に投影したときに、前記貫通孔に重複するように、前記電極面を前記感圧接着層に感圧接着し、前記工程（３）では、押圧部材を前記貫通孔に挿入して、前記貫通孔に対応する前記感圧接着層を押圧することによって、前記封止光半導体素子を前記支持基板に対して相対移動させながら、前記封止光半導体素子を前記感圧接着層から剥離し、前記封止層の６０℃における溶融粘度が、５０Ｐａ・ｓ以上、１５００Ｐａ・ｓ以下であることを特徴とする、上記［１］〜［４］のいずれか一項に記載の封止光半導体素子の製造方法である。
【００１９】
この方法によれば、封止層の溶融粘度が上記した下限以上であるので、光半導体素子の電極面と感圧接着層との間に、封止層が進入することをより一層抑制することができるとともに、封止層の溶融粘度が上記した上限以下であるので、封止層によって光半導体素子を確実に封止することができる。
【００２０】
［６］本発明は、前記光半導体素子は、前記電極面に対して間隔を隔てて対向配置され、発光層が設けられる発光面と、前記発光面および前記電極面の周端縁を連結する連結面とをさらに有し、前記工程（２）では、前記封止層によって、前記発光面と前記連結面とを被覆することを特徴とする、上記［１］〜［５］のいずれか一項に記載の封止光半導体素子の製造方法である。
【００２１】
この方法では、工程（２）において、封止層によって、発光面と連結面とを被覆するので、封止光半導体素子における光半導体素子の信頼性を確実に向上させることができる。
【００２２】
［７］本発明は、上記［１］〜［６］のいずれか一項に記載の封止光半導体素子の製造方法により、封止光半導体素子を製造する工程（４）、および、前記封止光半導体素子を基板に実装する工程（５）を備えることを特徴とする、発光装置の製造方法。
【００２３】
この方法によれば、電極面における封止層の存在が抑制された封止光半導体素子の電極面を基板の端子と電気的に接続するので、発光装置は、信頼性に優れる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明により得られる封止光半導体素子では、電極面に封止層が存在せず、露出するので、これを基板の端子と電気的に接続した本発明の発光装置は、信頼性に優れる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】図１Ａ〜図１Ｄは、本発明の封止光半導体素子および発光装置の製造方法の第１実施形態を示す工程図であり、図１Ａは、光半導体素子を感圧接着層に感圧接着する工程（１）、図１Ｂは、光半導体素子を封止層によって封止する工程（２）、図１Ｃは、封止光半導体素子を感圧接着層から剥離する工程（３）、図１Ｄは、封止光半導体素子を基板に実装する工程を示す。
【図２】図２Ａ〜図２Ｄは、本発明の封止光半導体素子および発光装置の製造方法の第２実施形態を示す工程図であり、図２Ａは、光半導体素子を、貫通孔を有する支持基板に支持される感圧接着層に感圧接着する工程（１）、図２Ｂは、光半導体素子を封止層によって封止する工程（２）、図２Ｃは、封止光半導体素子を感圧接着層から剥離する工程（３）、図２Ｄは、封止光半導体素子を基板に実装する工程を示す。
【図３】図３Ａ〜図３Ｄは、本発明の封止光半導体素子および発光装置の製造方法の第３実施形態を示す工程図であり、図３Ａは、光半導体素子を感圧接着層に、電極が感圧接着層に埋没しないように、感圧接着する工程（１）、図３Ｂは、光半導体素子を封止層によって封止する工程（２）、図３Ｃは、封止光半導体素子を感圧接着層から剥離する工程（３）、図３Ｄは、封止光半導体素子を基板に実装する工程を示す。
【図４】図４Ａ〜図４Ｃは、従来技術に対応する比較例１および２の工程図であり、図４Ａは、光半導体素子を封止層によって封止する工程（２）であって、その際、封止樹脂組成物が光半導体素子と感圧接着シートとの間に潜り込む状態、図４Ｂは、封止光半導体素子を感圧接着層から剥離する工程（３）、図４Ｃは、封止光半導体素子を基板に実装する工程を示す。
【図５】図５Ａ〜図５Ｃは、従来技術に対応する比較例３の工程図であり、図５Ａは、封止光半導体素子を感圧接着層から剥離する工程（３）であって、光半導体素子１に感圧接着剤が残る状態、図５Ｂは、封止光半導体素子を基板に実装する工程を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
図１Ａ〜図１Ｄにおいて、紙面上下方向は、上下方向（第１方向、厚み方向の一例）であり、紙面上側が上側（第１方向一方側、厚み方向一方側の一例）、紙面下側が下側（第１方向他方側、厚み方向他方側）である。紙面左右方向は、左右方向（第１方向に直交する第２方向）であり、紙面左側が左側（第２方向一方側）、紙面右側が右側（第２方向他方側）である。紙厚方向は、前後方向（第１方向および第２方向に直交する第３方向）であり、紙面手前側が前側（第３方向一方側）、紙面奥側が後側（第３方向他方側）である。具体的には、各図の方向矢印に準拠する。
【００２７】
＜第１実施形態＞
この方法は、光半導体素子１を感圧接着層９に感圧接着する工程（１）（図１Ａ参照）、光半導体素子１を封止層１０によって封止することにより、光半導体素子１と封止層１０とを備える封止光半導体素子１１を作製する工程（２）（図１Ｂ参照）、および、封止光半導体素子１１を感圧接着層９から剥離する工程（３）（図１Ｃ参照）を備える。
【００２８】
以下、各工程について詳述する。
【００２９】
１．工程（１）
工程（１）では、図１Ａに示すように、光半導体素子１を感圧接着層９に感圧接着する。
【００３０】
光半導体素子１を感圧接着層９に感圧接着するには、まず、光半導体素子１、および、感圧接着層９を用意する。
【００３１】
１−１．  光半導体素子
光半導体素子１は、例えば、電気エネルギーを光エネルギーに変換するＬＥＤやＬＤである。好ましくは、光半導体素子１は、青色光を発光する青色ＬＥＤ（発光ダイオード素子）である。一方、光半導体素子１は、光半導体素子とは技術分野が異なるトランジスタなどの整流器を含まない。
【００３２】
光半導体素子１は、前後方向（縦方向）および左右方向（横方向）に沿う略平板形状を有している。光半導体素子１は、電極面３と、発光面４と、周側面５とを有している。
【００３３】
電極面３は、光半導体素子１における下面であって、電極６が設けられた面である。
【００３４】
電極６は、電極面３に２つ、左右方向に間隔を隔てて隣接配置されている。電極６は、電極面３から下方に突出する形状を有している。
【００３５】
発光面４は、光半導体素子１における上面であって、電極面３に対して上側に間隔を隔てて対向配置されている。発光面４には、図示しない発光層が設けられている。
【００３６】
周側面５は、電極面３の周端縁と、発光面４の周端縁とを連結している。
【００３７】
光半導体素子１の寸法は、適宜設定されており、具体的には、厚み（高さ）が、例えば、０．１μｍ以上、好ましくは、０．２μｍ以上であり、また、例えば、５００μｍ以下、好ましくは、２００μｍ以下である。
【００３８】
１−２．  感圧接着シート
感圧接着層９は、仮固定シート７に備えられている。
【００３９】
仮固定シート７は、支持基板８と、支持基板８に支持される感圧接着シート２とを備えている。
【００４０】
１−２−１．  支持基板
支持基板８は、仮固定シート７の下部に配置されている。支持基板８は、前後方向および左右方向に延びる略平板形状を有している。支持基板８としては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリエステルフィルム（ＰＥＴなど）などのポリマーフィルム、例えば、セラミックスシート、例えば、金属箔などが挙げられる。支持基板８の厚みは、例えば、１００μｍ以上、好ましくは、３００μｍ以上であり、また、例えば、２０００μｍ以下、好ましくは、１０００μｍ以下である。
【００４１】
１−２−２．  感圧接着シート
感圧接着シート２は、支持基板８に支持されており、具体的には、仮固定シート７の上面全面に配置されている。
【００４２】
また、感圧接着シート２は、感圧接着剤を含んでいる。具体的には、感圧接着シート２は、処理によって感圧接着力が低減するように構成される感圧接着層９を備えている。詳しくは、感圧接着シート２は、２つの感圧接着層９と、２つの感圧接着層９の上下方向途中（具体的には、中央部）に介在される支持シート２３とを備えている。２つの感圧接着層９のうち、支持シート２３の上に配置される層が、第１感圧接着層２１であり、支持シート２３の下に配置される層が、第２感圧接着層２２である。つまり、感圧接着層９は、第１感圧接着層２１と、第２感圧接着層２２とを備えている。好ましくは、感圧接着層９は、第１感圧接着層２１と、第２感圧接着層２２とのみからなる。
【００４３】
１−２−３．  第１感圧接着層
第１感圧接着層２１は、感圧接着シート２の上部に位置している。第１感圧接着層２１は、支持シート２３の上面全面に配置（支持）されている。
【００４４】
第１感圧接着層２１は、処理によって感圧接着力が低減するように構成されている。具体的には、第１感圧接着層２１は、活性エネルギー線が照射されることによって、感圧接着力が低減する感圧接着剤から、シート状（層状）に形成されている。第１感圧接着層２１の厚みは、後述する感圧接着シート２の剥離接着力ＰＳが所望範囲となるように適宜設定され、例えば、５μｍ以上、好ましくは、１０μｍ以上であり、また、例えば、１００μｍ以下、好ましくは、５０μｍ以下である。
【００４５】
１−２−４．  第２感圧接着層
第２感圧接着層２２は、感圧接着シート２の下部に位置している。第２感圧接着層２２は、支持シート２３の下面全面に配置されている。
【００４６】
第２感圧接着層２２は、処理によって感圧接着力が低減するように構成されている。具体的には、第２感圧接着層２２は、第１感圧接着層２１と同一の感圧接着剤から、シート状（層状）に形成されている。第２感圧接着層２２の厚みは、後述する感圧接着シート２の剥離接着力ＰＳが所望範囲となるように適宜設定され、例えば、３μｍ以上、好ましくは、５μｍ以上であり、また、例えば、３０μｍ以下、好ましくは、２０μｍ以下である。また、感圧接着層９の厚み、つまり、第１感圧接着層２１および第２感圧接着層２２の総厚みは、例えば、８μｍ以上、好ましくは、１５μｍ以上であり、また、例えば、１３０μｍ以下、好ましくは、７０μｍ以下である。
【００４７】
１−２−５．  感圧接着剤
感圧接着剤としては、例えば、炭素−炭素二重結合が導入された樹脂組成物などが挙げられる。樹脂組成物は、炭素−炭素二重結合を有するポリマーが挙げられる。
【００４８】
１−２−６．  感圧接着剤の調製
ポリマーは、例えば、以下の方法によって、調製される。
【００４９】
すなわち、例えば、主ビニルモノマーと、第１官能基を有する副ビニルモノマーとを含有するモノマー成分を、第１官能基が消失しないように、共重合して、第１官能基を有する前駆体ポリマーを調製する。別途、第１官能基と反応することができる第２官能基と、炭素−二重結合とを有する化合物を準備する。その後、この化合物を前駆体ポリマーに配合して、第１官能基と第２官能基とを反応させる。
【００５０】
第１官能基と第２官能基との組合せとして、例えば、ヒドロキシル基とイソシアネート基との組合せなどが挙げられる。第１官能基として、好ましくは、ヒドロキシル基が挙げられる。第２官能基として、好ましくは、イソシアネート基が挙げられる。
【００５１】
主モノマーとしては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｓ−ブチル（メタ）アクリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、イソペンチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、ヘプチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート（２ＥＨＡ／２ＥＨＭＡ）、オクチル（メタ）アクリレート、イソオクチル（メタ）アクリレート、ノニル（メタ）アクリレート、イソノニル（メタ）アクリレート、デシル（メタ）アクリレート、イソデシル（メタ）アクリレート、ウンデシル（メタ）アクリレート、ドデシル（メタ）アクリレート、トリデシル（メタ）アクリレート、テトラデシル（メタ）アクリレート、ペンタデシル（メタ）アクリレート、ヘキサデシル（メタ）アクリレート、ヘプタデシル（メタ）アクリレート、オクタデシル（メタ）アクリレート、ノナデシル（メタ）アクリレート、エイコシル（メタ）アクリレートなどの、アルキル部分の炭素数が１〜２０であるアルキル（メタ）アクリレートが挙げられる。好ましくは、２−エチルヘキシルアクリレート（２ＥＨＡ）が挙げられる。これらは、単独使用または併用することができる。主モノマーの、モノマー成分における配合割合は、例えば、７０質量％以上、好ましくは、９０質量％以上であり、また、例えば、９９質量％以下である。
【００５２】
副ビニルモノマーは、主ビニルモノマーとして共重合することができるビニルモノマーである。副ビニルモノマーとしては、例えば、カルボキシ基含有モノマー、エポキシ基含有モノマー、ヒドロキシル基含有モノマー、イソシアネート基含有モノマーなどが挙げられ、好ましくは、ヒドロキシル基含有モノマーが挙げられる。
【００５３】
ヒドロキシル基含有モノマーとしては、例えば、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート（２−ＨＥＡ／ＨＥＭＡ）、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレートなどのヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートなどが挙げられる。好ましくは、２−ヒドロキシエチルアクリレート（２−ＨＥＡ）が挙げられる。これらは、単独使用または併用することができる。副ビニルモノマーの、モノマー成分における配合割合は、例えば、３０質量％以下であり、また、例えば、１質量％以上である。
【００５４】
化合物としては、イソシアネート基含有化合物が挙げられ、具体的には、（メタ）アクリロイルイソシアネート、２−（メタ）アクリロイルオキシエチルイソシアネート、ｍ−イソプロペニル−α，α−ジメチルベンジルイソシアネートなどの、イソシアネート基含有ビニルモノマーが挙げられる。好ましくは、２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネートが挙げられる。
【００５５】
化合物の配合割合は、ポリマーにおける二重結合の導入量が、例えば、０．０１ミリモル／ｇ以上、好ましくは、０．２ミリモル／ｇ以上となり、また、例えば、１０．０ミリモル／ｇ以下、好ましくは、５．０ミリモル／ｇ以下となるように、調整される。
【００５６】
前駆体ポリマーを調製するには、上記したモノマー成分を、上記した割合で、重合開始剤の存在下で、例えば、溶液重合させる。
【００５７】
重合開始剤としては、例えば、過酸化物、過硫酸塩、レドックス系開始剤などが挙げられる。これらは、単独使用または併用することができる。好ましくは、過酸化物が挙げられる。過酸化物としては、例えば、ジアシルパーオキサイド、パーオキシエステル、パーオキシジカーボネート、モノパーオキシカーボネート、パーオキシケタール、ジアルキルパーオキサイド、ハイドロパーオキサイド、ケトンパーオキサイドなどが挙げられ、好ましくは、ジアシルジパーオキサイドが挙げられる。
【００５８】
ジアシルジパーオキサイドとしては、例えば、ジベンゾイルパーオキサイド（ＢＰＯ）、ジ−ｐ−ニトロベンゾイルパーオキサイド、ジ−ｐ−クロロベンゾイルパーオキサイド、ジ（３，５，５−トリメチルヘキサノイル）パーオキサイド、ジ−ｎ−オクタノイルパーオキサイド、ジデカノイルパーオキサイド、ジラウロイルパーオキサイドなどが挙げられる。好ましくは、ジベンゾイルパーオキサイド（ＢＰＯ）が挙げられる。
【００５９】
重合開始剤の配合割合は、モノマー成分１００質量部に対して、例えば、０．００５質量部以上、例えば、１質量部以下である。
【００６０】
また、溶液重合では、重合溶媒が用いられる。重合溶媒としては、例えば、トルエン、キシレンなど芳香族炭化水素、例えば、ヘキサンなどの脂肪族炭化水素などが挙げられる。好ましくは、芳香族炭化水素が挙げられる。
【００６１】
そして、主ビニルモノマーと、副ビニルモノマーとを含有するモノマー成分を、副ビニルモノマーの第１官能基が消失しないように、共重合させて、第１官能基を有する前駆体ポリマーを調製する。
【００６２】
続いて、前駆体ポリマーに、上記した化合物を配合する。好ましくは、ヒドロキシル基を含有する前駆体ポリマーに、イソシアネート基含有化合物を配合して、ヒドロキシル基とイソシアネート基とを反応させて、ウレタン結合を形成する。そして、得られたポリマーには、化合物が有する炭素−炭素二重結合が導入される。
【００６３】
その後、ポリマーに、光重合開始剤を配合する。
【００６４】
光重合開始剤は、後述する工程（２）（図１Ｃ参照）において活性エネルギー線が感圧接着層９に照射されたときに、ラジカルを発生させて、樹脂組成物に導入された炭素−炭素二重結合を互いに反応させるための光重合触媒である。光重合開始剤の１０時間半減期温度は、例えば、２０℃以上、好ましくは、５０℃以上であり、また、例えば、１０７℃以下、好ましくは、１００℃以下である。
【００６５】
光重合開始剤としては、例えば、ケタール系光重合開始剤、アセトフェノン系光重合開始剤、ベンゾインエーテル系光重合開始剤、アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤、α−ケトール系光重合開始剤、芳香族スルホニルクロリド系光重合開始剤、光活性オキシム系光重合開始剤、ベンゾイン系光重合開始剤、ベンジル系光重合開始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、チオキサントン系光重合開始剤などが挙げられる。これらは、単独使用または併用することができる。好ましくは、チオキサントン系光重合開始剤が挙げられる。チオキサントン系光重合開始剤としては、例えば、１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）−フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン、２−ヒドロキシ−１−｛４−［４−（２−ヒドロキシ−２−メチル−プロピオニル）−ベンジル］フェニル｝−２−メチル−プロパン−１−オンが挙げられる。好ましくは、２−ヒドロキシ−１−｛４−［４−（２−ヒドロキシ−２−メチル−プロピオニル）−ベンジル］フェニル｝−２−メチル−プロパン−１−オンが挙げられる。
【００６６】
光重合開始剤の配合割合は、ポリマー１００質量部に対して、例えば、０．１質量部以上、好ましくは、０．５質量部以上であり、また、例えば、１０質量部以下、好ましくは、５質量部以下である。
【００６７】
また、ポリマーには、架橋剤などの添加剤を適宜の割合で配合することができる。架橋剤としては、例えば、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、オキサゾリン系架橋剤、アジリジン系架橋剤、メラミン系架橋剤、過酸化物系架橋剤、尿素系架橋剤、金属アルコキシド系架橋剤、金属キレート系架橋剤、金属塩系架橋剤、カルボジイミド系架橋剤、アミン系架橋剤などが挙げられる。好ましくは、イソシアネート系架橋剤が挙げられる。
【００６８】
架橋剤の配合割合は、後述する感圧接着シート２の剥離接着力ＰＳが所望範囲となるように適宜設定され、ポリマー（固形分）１００質量部に対して、例えば、１質量部以上、好ましくは、５質量部以上であり、また、例えば、１０質量部以下、好ましくは、７．５質量部以下である。
【００６９】
１−２−７．  支持シート
支持シート２３は、感圧接着シート２において、面方向（前後方向および左右方向）に沿って延びるシート状を有している。支持シート２３は、感圧接着シート２において、感圧接着層９（具体的には、第１感圧接着層２１および第２感圧接着層２２）を支持する。支持シート２３は、感圧接着シート２の上下方向中央部に位置する。支持シート２３は、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリエステルフィルム（ＰＥＴフィルムなど）などのポリマーフィルムからなる。支持シート２３の厚みは、例えば、２０μｍ以上、好ましくは、３０μｍ以上であり、また、例えば、１２０μｍ以下、好ましくは、１００μｍ以下である。
【００７０】
１−２−８．  感圧接着シートの形成
感圧接着層９（具体的には、第１感圧接着層２１および第２感圧接着層２２）を支持シート２３の上下両面に配置するには、図１Ａに示すように、感圧接着剤を、支持シート２３の上下両面に塗布し、その後、乾燥させる。乾燥温度は、例えば、４０℃以上、好ましくは、６０℃以上であり、また、例えば、１５０℃以下、好ましくは、１３０℃以下である。乾燥温度は、例えば、５分以下である。
【００７１】
その後、必要により、感圧接着剤をエージングする。エージング温度は、例えば、２５℃以上、好ましくは、４０℃以上であり、また、例えば、７０℃以下、好ましくは、６０℃以下である。エージング時間は、例えば、１０時間以上、また、例えば、１２０時間以下である。
【００７２】
これにより、支持シート２３、第１感圧接着層２１および第２感圧接着層２２からなる感圧接着シート２を作製する。
【００７３】
その後、作製した感圧接着シート２の第２感圧接着層２２を、支持基板８の上面に貼り合わせる。
【００７４】
なお、感圧接着シート２は、支持基板８とともに、支持基板付感圧接着シート１５を構成する。
【００７５】
１−２−９．  感圧接着シートの物性（剥離接着力）
感圧接着シート２の剥離接着力ＰＳは、２２０ｍＮ／１０ｍｍ２以上、好ましくは、２３０ｍＮ／１０ｍｍ２以上であり、また、３００ｍＮ／１０ｍｍ２以下、好ましくは、２９０ｍＮ／１０ｍｍ２以下である。
【００７６】
感圧接着シート２の剥離接着力ＰＳが上記した下限未満であれば、後述するが、図４Ａの工程（２）と比較例１および２が参照されるように、封止層１０を形成する封止組成物が光半導体素子１の電極面３と感圧接着シート２の第１感圧接着層２１との間に潜り込む（封止組成物の潜り込みの発生）。
【００７７】
しかし、感圧接着シート２の剥離接着力ＰＳが上記した下限以上であれば、封止組成物の上記した潜り込みを抑制することができる。
【００７８】
一方、感圧接着シート２の剥離接着力ＰＳが上記した上限を超えれば、後述するが、図５Ａの工程（３）および比較例３が参照されるように、光半導体素子１の電極面３に第１感圧接着層２１を形成する感圧接着剤が残る（糊残りの発生）。
【００７９】
しかし、感圧接着シート２の剥離接着力ＰＳが上記した上限以下であれば、上記した糊残りを抑制することができる。
【００８０】
感圧接着シート２の剥離接着力ＰＳは、感圧接着層が含有する架橋剤の配合割合、種類、第１感圧接着層２１および第２感圧接着層２２のそれぞれの厚みなどによって、調整される。
【００８１】
具体的には、感圧接着シート２の剥離接着力ＰＳが感圧接着層が含有する架橋剤の配合割合、第１感圧接着層２１および第２感圧接着層２２のそれぞれの厚みによって、上記した所望の範囲に設定されるときに、架橋剤の配合割合は、ポリマー（固形分）１００質量部に対して、例えば、２質量部以上、好ましくは、８質量部以下であり、かつ、第１感圧接着層２１および第２感圧接着層２２のそれぞれの厚みが、例えば、１５μｍ以上、好ましくは、２５μｍ以下である。
【００８２】
１−２−１０．  光半導体素子の感圧接着シートへの感圧接着
そして、この工程（１）において、図１Ａに示すように、複数の光半導体素子１を感圧接着シート２の上に感圧接着するには、複数の光半導体素子１の電極面３を感圧接着シート２の上面１５（第１感圧接着層２１の上面１５）に載置する（接触させる）。これにより、光半導体素子１を感圧接着シート２に仮固定する。
【００８３】
この際、電極６は、第１感圧接着層２１に対してめり込む（埋没する）。つまり、電極６の下面は、周囲の第１感圧接着層２１の上面１５に対して、下側に位置する。これによって、電極面３における電極６の周囲の部分は、第１感圧接着層２１に対して直接接触している。なお、電極面３における電極６の周囲の下面１３は、第１感圧接着層２１において光半導体素子１の周囲の上面１５と、面方向に投影したときに、同一位置に位置している。
【００８４】
これにより、複数の光半導体素子１を感圧接着層９に感圧接着する。つまり、複数の光半導体素子１を仮固定シート７に仮固定する。
【００８５】
光半導体素子１の前後方向および／または左右方向における長さＬ１は、例えば、０．２ｍｍ以上、好ましくは、０．５ｍｍ以上であり、また、例えば、１．５ｍｍ以下、好ましくは、１．２ｍｍ以下である。また、隣接する光半導体素子１の間の間隔（前後方向および／または左右方向における間隔）Ｌ０は、例えば、０．０５ｍｍ以上、好ましくは、０．１ｍｍ以上であり、また、例えば、１．０ｍｍ以下、好ましくは、０．８ｍｍ以下である。また、隣接する光半導体素子１のピッチＬ２、具体的には、上記した長さＬ１および間隔Ｌ０の和（Ｌ１＋Ｌ０）は、例えば、０．２５ｍｍ以上、好ましくは、０．６ｍｍ以上であり、また、例えば、２．５ｍｍ以下、好ましくは、２．０ｍｍ以下である。
【００８６】
複数の光半導体素子１と、感圧接着シート２とは、素子部材３６を構成する。
【００８７】
１−３．工程（２）
工程（２）は、工程（１）の後に実施される。工程（２）では、図１Ｂに示すように、光半導体素子１を封止層１０によって封止する。
【００８８】
光半導体素子１を封止層１０によって封止するには、まず、図１Ａに示すように、封止層１０が備えられた封止部材１４を用意する。
【００８９】
具体的には、まず、剥離層１２と、剥離層１２の下面に配置される封止層１０とを備える封止部材１４とを用意する。封止部材１４は、好ましくは、剥離層１２と、封止層１０とのみからなる。封止部材１４は、部品単独で流通し、産業上利用可能なデバイスである。
【００９０】
剥離層１２は、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリエステルフィルム（ＰＥＴなど）などのポリマーから、シート状に形成されている。剥離層１２の厚みは、例えば、１μｍ以上、好ましくは、１０μｍ以上であり、また、例えば、２，０００μｍ以下、好ましくは、１，０００μｍ以下である。
【００９１】
封止層１０は、剥離層１２の下面全面に形成される層状を有している。封止層１０は、ホットメルト樹脂組成物などの封止組成物から形成されている。
【００９２】
ホットメルト樹脂組成物は、例えば、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などのホットメルト樹脂を含有する。
【００９３】
熱硬化性樹脂としては、例えば、２段反応硬化性樹脂、１段反応硬化性樹脂が挙げられる。
【００９４】
２段反応硬化性樹脂は、２つの反応機構を有しており、第１段の反応で、Ａステージ状態からＢステージ化（半硬化）し、次いで、第２段の反応で、Ｂステージ状態からＣステージ化（完全硬化）することができる。つまり、２段反応硬化性樹脂は、適度の加熱条件によりＢステージ状態となることができる熱硬化性樹脂である。Ｂステージ状態は、熱硬化性樹脂が、液状であるＡステージ状態と、完全硬化したＣステージ状態との間の状態であって、硬化およびゲル化がわずかに進行し、圧縮弾性率がＣステージ状態の弾性率よりも小さい半固体状態または固体状態である。
【００９５】
１段反応硬化性樹脂は、１つの反応機構を有しており、第１段の反応で、Ａステージ状態からＣステージ化（完全硬化）することができる。このような１段反応硬化性樹脂は、第１段の反応の途中で、その反応が停止して、Ａステージ状態からＢステージ状態となることができ、その後のさらなる加熱によって、第１段の反応が再開されて、Ｂステージ状態からＣステージ化（完全硬化）することができる熱硬化性樹脂である。つまり、かかる熱硬化性樹脂は、Ｂステージ状態となることができる熱硬化性樹脂である。そのため、１段反応硬化性樹脂は、１段の反応の途中で停止するように制御できず、つまり、Ｂステージ状態となることができず、一度に、Ａステージ状態からＣステージ化（完全硬化）する熱硬化性樹脂を含まない。
【００９６】
要するに、熱硬化性樹脂は、Ｂステージ状態となることができる熱硬化性樹脂である。
【００９７】
熱硬化性樹脂としては、例えば、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂などが挙げられる。熱硬化性樹脂としては、好ましくは、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂が挙げられ、より好ましくは、シリコーン樹脂が挙げられる。
【００９８】
シリコーン樹脂としては、例えば、フェニル基を分子内に含むフェニル系シリコーン樹脂などが挙げられる。
【００９９】
上記した熱硬化性樹脂は、同一種類または複数種類のいずれでもよい。
【０１００】
熱可塑性樹脂としては、例えば、アクリル樹脂、スチレン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリオレフィン樹脂、熱可塑性シリコーン樹脂などが挙げられる。これらは、単独使用または併用することができる。
【０１０１】
ホットメルト樹脂としては、好ましくは、熱硬化性樹脂が挙げられる。
【０１０２】
また、封止樹脂組成物は、さらに、フィラーおよび／または蛍光体を含有することができる。
【０１０３】
フィラーとしては、例えば、光拡散性粒子が挙げられる。光拡散性粒子としては、例えば、無機粒子、有機粒子などが挙げられる。
【０１０４】
無機粒子としては、例えば、シリカ（ＳｉＯ２）、タルク（Ｍｇ３（Ｓｉ４Ｏ１０）（ＨＯ）２）、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、酸化ホウ素（Ｂ２Ｏ３）、酸化カルシウム（ＣａＯ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化ストロンチウム（ＳｒＯ）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）、酸化バリウム（ＢａＯ）、酸化アンチモン（Ｓｂ２Ｏ３）などの酸化物、例えば、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）などの窒化物などの無機物粒子（無機物）が挙げられる。また、無機粒子として、例えば、上記例示の無機物から調製される複合無機物粒子が挙げられ、具体的には、酸化物から調製される複合無機酸化物粒子（具体的には、ガラス粒子など）が挙げられる。
【０１０５】
無機粒子として、好ましくは、シリカ粒子、ガラス粒子が挙げられる。
【０１０６】
有機粒子の有機材料としては、例えば、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、アクリル−スチレン系樹脂、シリコーン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ベンゾグアナミン系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂などが挙げられる。
【０１０７】
フィラーは、単独使用または併用することができる。
【０１０８】
フィラーの含有割合は、封止組成物に対して、例えば、１質量％以上、好ましくは、３質量％以上であり、また、例えば、８０質量％以下、好ましくは、７５質量％以下である。また、フィラーのホットメルト樹脂１００質量部に対する配合割合は、例えば、１０質量部以上、好ましくは、３０質量部以上であり、また、例えば、１，０００質量部以下、好ましくは、２００質量部以下である。
【０１０９】
蛍光体としては、例えば、青色光を黄色光に変換することのできる黄色蛍光体、青色光を赤色光に変換することのできる赤色蛍光体などが挙げられる。
【０１１０】
黄色蛍光体としては、例えば、（Ｂａ，Ｓｒ，Ｃａ）２ＳｉＯ４：Ｅｕ、（Ｓｒ，Ｂａ）２ＳｉＯ４：Ｅｕ（バリウムオルソシリケート（ＢＯＳ））などのシリケート蛍光体、例えば、Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２：Ｃｅ（ＹＡＧ（イットリウム・アルミニウム・ガーネット）：Ｃｅ）、Ｔｂ３Ａｌ３Ｏ１２：Ｃｅ（ＴＡＧ（テルビウム・アルミニウム・ガーネット）：Ｃｅ）などのガーネット型結晶構造を有するガーネット型蛍光体、例えば、Ｃａ−α−ＳｉＡｌＯＮなどの酸窒化物蛍光体などが挙げられる。
【０１１１】
赤色蛍光体としては、例えば、ＣａＡｌＳｉＮ３：Ｅｕ、ＣａＳｉＮ２：Ｅｕなどの窒化物蛍光体などが挙げられる。
【０１１２】
蛍光体として、好ましくは、黄色蛍光体、より好ましくは、ガーネット型蛍光体が挙げられる。
【０１１３】
蛍光体の形状としては、例えば、球状、板状、針状などが挙げられる。
【０１１４】
蛍光体の最大長さの平均値（球状である場合には、平均粒子径）は、例えば、０．１μｍ以上、好ましくは、１μｍ以上であり、また、例えば、２００μｍ以下、好ましくは、１００μｍ以下でもある。
【０１１５】
蛍光体は、単独使用または併用することができる。
【０１１６】
蛍光体の配合割合は、封止組成物に対して、例えば、５質量％以上、好ましくは、１０質量％以上であり、また、例えば、８０質量％以下、好ましくは、７０質量％以下である。また、蛍光体の配合割合は、ホットメルト樹脂１００質量部に対して、例えば、０．１質量部以上、好ましくは、０．５質量部以上であり、例えば、９０質量部以下、好ましくは、８０質量部以下である。
【０１１７】
封止層１０を調製するには、例えば、上記したホットメルト樹脂と、必要により配合されるフィラーおよび／または蛍光体とを配合して、封止組成物のワニスを調製し、続いて、それを、剥離層１２の表面に塗布する。
【０１１８】
その後、封止組成物が熱硬化性樹脂を含有する場合には、封止組成物を、Ｂステージ化する。具体的には、封止組成物を、加熱する。
【０１１９】
加熱温度は、例えば、５０℃以上、好ましくは、７０℃以上であり、また、例えば、１２０℃以下、好ましくは、１００℃以下である。加熱時間は、例えば、５分以上、好ましくは、１０分以上であり、また、例えば、２０分以下、好ましくは、１５分以下である。
【０１２０】
これによって、図１Ａに示すように、剥離層１２と、封止層１０とを備える封止部材１４を製造する。
【０１２１】
１−３−１．封止層の物性（溶融粘度）
封止層１０の６０℃における溶融粘度ＭＶは、例えば、１０Ｐａ・ｓ以上、好ましくは、５０Ｐａ・ｓ以上であり、また、例えば、２０００Ｐａ・ｓ以下、好ましくは、１５００Ｐａ・ｓ以下、より好ましくは、１０００Ｐａ・ｓ以下である。
【０１２２】
封止層１０の溶融粘度ＭＶが上記した上限以下であれば、封止層１０によって光半導体素子１を確実に封止することができる。封止層１０の溶融粘度ＭＶが上記した下限以上であれば、封止組成物の上記した潜り込みを抑制することができる。
【０１２３】
封止層１０の溶融粘度ＭＶは、Ｅ型粘度計で測定される。
【０１２４】
封止層１０の溶融粘度ＭＶは、例えば、封止樹脂組成物（ホットメルト樹脂）の処方を適宜変更することによって、適宜調整される。
【０１２５】
次いで、図１Ａの矢印および図１Ｂに示すように、封止層１０を、光半導体素子１および仮固定シート７に対して、プレスする。
【０１２６】
具体的には、プレス機２５を用いて、封止部材１４を光半導体素子１および仮固定シート７に向けて、プレスする。
【０１２７】
プレス機２５は、熱源を備える熱プレス機である。プレス機２５は、下板２７と、下板２７の上側に配置され、下板２７に対して下側に熱プレス可能に構成される上板２６とを備える。
【０１２８】
プレス条件は、封止層１０が溶融（可塑化）し、さらには、封止層１０が熱硬化性樹脂を含有する場合には、封止層１０の硬化がわずかに進行する条件に適宜設定される。
【０１２９】
具体的には、プレスの温度は、４０℃以上、好ましくは、４５℃以上であり、また、２００℃以下、好ましくは、１８０℃以下、より好ましくは、１５０℃以下である。
【０１３０】
プレスの圧力（プレス圧）Ｖは、例えば、０．５ＭＰａ以上、好ましくは、０．７ＭＰａ以上であり、また、例えば、２．０ＭＰａ以下、好ましくは、１．５ＭＰａ以下である。
【０１３１】
プレス圧Ｖが上記した下限以上であれば、封止組成物の上記した潜り込み（とりわけ、光半導体素子１が小型である場合（具体的には、縦１０００μｍ以下、横５００μｍ以下のサイズ）における潜り込み）を抑制することができる。プレス圧Ｖが上記した上限以下であれば、光半導体素子１、とりわけ、上記した小型の光半導体素子１が第１感圧接着層２１に対して埋没することを防止することができる。
【０１３２】
プレスの速度Ｓは、下板２７および上板２６が上下方向（プレス方向）に近接する相対速度Ｓであって、例えば、０．０１ｍｍ／秒以上、好ましくは、０．０５ｍｍ／秒以上であり、また、例えば、０．３ｍｍ／秒以下、好ましくは、０．２ｍｍ／秒以下である。
【０１３３】
プレスの速度Ｓが上記した下限以上であれば、封止光半導体素子１１の生産性の低下を抑制することができる。プレスの速度Ｓが上記した上限以下であれば、とりわけ、光半導体素子１が小型である場合における、封止組成物の上記した潜り込みを抑制することができる。
【０１３４】
熱プレスの時間は、例えば、１秒以上、好ましくは、３秒以上であり、また、例えば、２０分以下、好ましくは、１０分以下である。
【０１３５】
これによって、封止層１０が、光半導体素子１の発光面４と周側面５とを被覆する。また、封止層１０は、光半導体素子１から露出する第１感圧接着層２１の上面３４も被覆する。
【０１３６】
一方、封止層１０は、電極面３における電極６の周囲の下面１３と、それに対向する第１感圧接着層２１の上面１５との間に進入しない。そのため、封止層１０は、光半導体素子１の電極面３と、第１感圧接着層２１の上面１５との間には、存在しない。
【０１３７】
その後、封止部材１４および仮固定シート７をプレス機２５から取り外す。
【０１３８】
次いで、図１Ｂの矢印で示すように、剥離層１２を封止層１０から剥離する。
【０１３９】
すると、封止層１０の上面１６は、上側に露出する露出面となる。
【０１４０】
これによって、複数の光半導体素子１と、複数の光半導体素子１を封止する１つの封止層１０とを備える封止光半導体素子１１を、仮固定シート７に仮固定された状態で、得る。この封止光半導体素子１１は、仮固定シート７に仮固定された状態で、仮固定シート７とともに流通することができる。
【０１４１】
１−４．工程（３）
工程（３）は、工程（２）の後に実施される。工程（３）では、図１Ｃに示すように、封止光半導体素子１１を感圧接着層９から剥離する。
【０１４２】
封止光半導体素子１１を感圧接着層９から剥離するには、まず、処理によって感圧接着シート２の感圧接着力を低減させる。
【０１４３】
具体的には、活性エネルギー線を感圧接着シート２（感圧接着層３４）に対して照射する。活性エネルギー線としては、紫外線、電子線などが挙げられる。好ましくは、紫外線が挙げられる。線源としては、例えば、ケミカルランプ、エキシマレーザ、ブラックライト、水銀アーク、炭素アーク、低圧水銀ランプ、中圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、超高圧水銀ランプ、メタルハライドランプなどの照射装置が挙げられる。照射量は、例えば、感圧接着層３４における炭素−炭素二重結合が実質的に反応できる条件、具体的には、光重合開始剤が実質的に反応できる条件に設定される。具体的には、照射量は、例えば、１００ｍＪ／ｃｍ２、好ましくは、４００ｍＪ／ｃｍ２以上であり、また、例えば、２０００ｍＪ／ｃｍ２、好ましくは、１０００ｍＪ／ｃｍ２以下である。
【０１４４】
次いで、図１Ｃの１点破線で示すように、封止層１０を、複数の封止光半導体素子１１のそれぞれが個片化されるように、ダイシングソー３７によって、ダイシング（切断）する。
【０１４５】
これにより、１つの光半導体素子１、および、１つの封止層１０を備える封止光半導体素子１１が、仮固定シート７に仮固定された状態で、複数製造される。
【０１４６】
封止光半導体素子１１の寸法は、適宜設定されており、前後方向および／または左右方向における長さは、例えば、０．２ｍｍ以上、好ましくは、０．３ｍｍ以上であり、また、例えば、３ｍｍ以下、好ましくは、２ｍｍ以下である。
【０１４７】
その後、図示しないピックアップ装置を用いて、１つの封止光半導体素子１１を仮固定シート７から剥離する。具体的には、光半導体素子１の電極面３および封止層１０の下面を、第１感圧接着層２１の上面１５から引き剥がす。
【０１４８】
なお、ピックアップ装置は、押圧部材および吸引部材（後述する図２Ｃ参照）などを備えており、具体的には、特開２０１４−１６８０３２号公報、特開２０１４−１６８０３３号公報、特開２０１４−１６８０３４号公報、特開２０１４−１６８０３５号公報、特開２０１４−１６８０３６号公報などに記載される構成を備える。
【０１４９】
これによって、１つの光半導体素子１、および、１つの封止層１０を備える封止光半導体素子１１が得られる。封止光半導体素子１１は、好ましくは、１つの光半導体素子１、および、１つの封止層１０のみからなる。
【０１５０】
封止光半導体素子１１は、後述する発光装置３０（図１Ｄ参照）ではなく、つまり、発光装置３０に備えられる基板２９（図１Ｄ参照）を含んでいない。つまり、封止光半導体素子１１は、発光装置３０の基板２９に備えられる端子２８（後述）とまだ電気的に接続されないように、構成されている。また、封止光半導体素子１１は、発光装置３０（図１Ｄ参照）の一部品、すなわち、発光装置３０を作製するための部品であり、部品単独で流通し、産業上利用可能なデバイスである。
【０１５１】
１−４．  発光装置の製造
その後、封止光半導体素子１１を基板２９に実装（フリップチップ実装）する。
【０１５２】
基板２９は、左右方向および前後方向に延びる略平板形状を有している。基板２９は、その上面に、封止光半導体素子１１の電極６に対応する端子２８を備える。
【０１５３】
具体的には、電極６と端子２８とを電気的に接続する。
【０１５４】
これによって、基板２９と、それに実装される封止光半導体素子１１とを備える発光装置３０を得る。発光装置３０は、好ましくは、基板２９と、封止光半導体素子１１とのみからなる。
【０１５５】
発光装置３０では、電極６から露出する封止層１０の下面は、基板２９の上面と間隔が隔てられている。
【０１５６】
＜第１実施形態の作用効果＞
この方法によれば、感圧接着シート２の剥離接着力が上記した下限以上であるので、工程（２）において、図１Ｂに示すように、光半導体素子１の電極面３と第１感圧接着層２１との間に、封止層１０が進入することを抑制することができる。
【０１５７】
また、感圧接着シート２の剥離接着力ＰＳが上記した上限以下であるので、封止光半導体素子１１を第１感圧接着層２１から剥離する工程（３）において、図１Ｃに示すように、第１感圧接着層２１が、封止光半導体素子１１における光半導体素子１の電極面３に付着することを抑制することができる。
【０１５８】
そのため、この封止光半導体素子１１では、図１Ｃに示すように、電極面３における封止層１０の存在が抑制されて、電極面３が露出するので、図１Ｄに示すように、電極面３を基板２９の端子２８と電気的に接続すれば、信頼性に優れる発光装置３０を得ることができる。
【０１５９】
また、この方法によれば、封止層１０がホットメルト樹脂組成物からなっているので、工程（２）において、図１Ｂに示すように、封止層１０を加熱する簡便な方法で、封止層１０を溶融（ホットメルト）させて、光半導体素子１を被覆することができる。さらに、溶融した封止層１０は、光半導体素子１の電極面３と第１感圧接着層２１との間に、封止層１０が進入し易いところ、感圧接着シート２の剥離接着力ＰＳが上記した下限以上であるので、封止層１０の、上記した光半導体素子１の電極面３と第１感圧接着層２１との間への進入を抑制することができる。
【０１６０】
また、この方法によれば、工程（２）におけるプレスの速度Ｓが上記した下限以上であれば、封止光半導体素子１１の生産性の低下を抑制することができるとともに、プレスの速度Ｓが上記した上限以下であるので、小型の光半導体素子１の電極面３と第１感圧接着層２１との間に、封止層１０が進入することをより一層抑制することができる。
【０１６１】
また、この方法によれば、工程（２）におけるプレスの圧力Ｖが上記した下限以上にあれば、小型の光半導体素子１の電極面３と第１感圧接着層２１との間に、封止層１０が進入することをより一層抑制することができるとともに、プレスの圧力Ｖが上記した上限以下にあれば、光半導体素子１が第１感圧接着層２１に対して埋没し、その後、封止光半導体素子１１を第１感圧接着層２１から剥離しにくくなることを抑制することができる。
【０１６２】
また、この方法によれば、封止層１０の溶融粘度ＭＶが上記した下限以上にあれば、光半導体素子１の電極面３と第１感圧接着層２１との間に、封止層１０が進入することをより一層抑制することができるとともに、封止層１０の溶融粘度ＭＶが上記した上限以下にあれば、封止層１０によって光半導体素子１を確実に封止することができる。
【０１６３】
また、この方法では、工程（２）において、封止層１０によって、発光面４と周側面５とを被覆するので、封止光半導体素子１１における光半導体素子１の信頼性を確実に向上させることができる。
【０１６４】
また、この方法によれば、電極面３における封止層１０の存在が抑制された封止光半導体素子１１の電極面３を基板２９の端子２８と電気的に接続するので、発光装置３０は、信頼性に優れる。
【０１６５】
＜変形例＞
第１実施形態において、図１Ｂに示すように、剥離層１２を封止層１０から剥離した後、図１Ｃの１点破線で示すように、封止層１０をダイシング（切断）しているが、例えば、図示しないが、封止層１０をダイシング（切断）した後、剥離シート１２を封止層１０から剥離することもできる。
【０１６６】
＜第２実施形態＞
第２実施形態において、上記した第１実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
１．  工程（１）
第２実施形態の工程（１）では、図２Ａに示すように、貫通孔３１が形成された支持基板８を用意する。
【０１６７】
支持基板８は、複数の光半導体素子１に対応する複数の貫通孔３１を有する。
【０１６８】
複数の貫通孔３１は、左右方向および前後方向において、互いに等しい間隔を隔てて配置されている。複数の貫通孔３１のそれぞれは、平面視略円形状を有している。
【０１６９】
貫通孔３１の寸法は、適宜設定されており、その孔径（内径）が、例えば、０．１ｍｍ以上、好ましくは、０．２ｍｍ以上であり、また、例えば、１ｍｍ以下、好ましくは、０．７ｍｍ以下である。
【０１７０】
感圧接着シート２は、複数の貫通孔３１の上端部を閉塞するように、支持基板８の外周縁と同一の外周縁を有している。つまり、感圧接着シート２の下面（第２感圧接着層２２の下面）は、貫通孔３１から下方に露出している。
【０１７１】
２．  工程（３）
工程（３）では、図２Ｃに示すように、ピックアップ装置３２を用いて、封止光半導体素子１１を仮固定シート７から剥離する。
【０１７２】
ピックアップ装置３２は、押圧部材３３と、吸引部材３８とを備える。
【０１７３】
押圧部材３３は、上下方向に延びる形状を有し、上方に尖る針などである。押圧部材３３は、その上端部が上下方向に移動可能であり、かつ、上端部が貫通孔３１から露出する感圧接着シート２を上方に向けて押圧可能に構成されている。
【０１７４】
吸引部材３８は、上下方向に延びる形状を有し、その下端部に吸引口３５を有している。吸引部材３８は、吸引口３５が上下方向に移動可能であり、かつ、吸引口３５が封止光半導体素子１１の上面を吸引可能に構成されている。
【０１７５】
工程（３）では、まず、仮固定シート７と、仮固定シート７に支持されながら個片化された複数の封止光半導体素子１１との積層体を、ピックアップ装置３２に設置する。
【０１７６】
続いて、押圧部材３３を、剥離したい封止光半導体素子１１に対応する貫通孔３１の下側に対向配置させる。
【０１７７】
次いで、押圧部材３３を支持基板８の下側から貫通孔３１に挿入する。
【０１７８】
すると、貫通孔３１に対応する感圧接着シート２が、支持基板８に対して相対的に上側に押圧され、封止光半導体素子１１とともに押し上げられる。
【０１７９】
押し上げられた封止光半導体素子１１を、吸引部材３８の吸引口３５によって吸引する。
【０１８０】
これによって、封止光半導体素子１１を第１感圧接着層２１から剥離する。
【０１８１】
そして、この第２実施形態では、支持基板８が貫通孔３１を有するので、図２Ｂに示すように、工程（２）において、封止組成物が光半導体素子１の電極面３と感圧接着シート２の第１感圧接着層２１との間に潜り込み易い。しかし、封止層１０の６０℃における溶融粘度ＭＶが上記した下限（５０Ｐａ・ｓ、第１実施形態の「１−３−１．封止層の物性（溶融粘度）」欄参照）以上であれば、封止樹脂組成物の上記した潜り込みを抑制することができる。
【０１８２】
また、工程（２）において、封止層１０による光半導体素子１の封止が困難になり易い。しかし、封止層１０の６０℃における溶融粘度ＭＶが上記した上限（例えば、１５００Ｐａ・ｓ、好ましくは、１０００Ｐａ・ｓ、第１実施形態の「１−３−１．封止層の物性（溶融粘度）」欄参照）以下であれば、封止層１０によって、光半導体素子１を確実に封止することができる。
【０１８３】
＜第３実施形態＞
第３実施形態において、上記した第１実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０１８４】
工程（１）では、図３Ａに示すように、電極６は、第１感圧接着層２１に埋没せず、その下面のみが第１感圧接着層２１の上面１５に接触する。電極面３における電極６の周囲の下面１３は、第１感圧接着層２１の上面１５と厚み方向に間隔を隔てている。
【０１８５】
具体的には、光半導体素子１の電極面３を第１感圧接着層２１の上面１５に載置する際に、電極面３が第１感圧接着層２１の上面１５にかかる圧力が、第１実施形態のそれに比べて、小さくなるように、調整する。
【０１８６】
工程（２）では、図３Ｂに示すように、封止層１０は、電極面３における電極６の周囲の下面１３、および、電極６の周側面を被覆する。
【０１８７】
工程（３）では、図３Ｃに示すように、封止光半導体素子１１において、封止層１０の下面と、電極６の下面とは、左右方向および前後方向に面一である。
【０１８８】
また、図３Ｄに示すように、封止光半導体素子１１を基板２９に実装するときに、電極６から露出する封止層１０の下面は、基板２９の上面と直接接触する。
【０１８９】
第３実施形態は、第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【実施例】
【０１９０】
以下の記載において用いられる配合割合（含有割合）、物性値、パラメータなどの具体的数値は、上記の「発明を実施するための形態」において記載されている、それらに対応する配合割合（含有割合）、物性値、パラメータなど該当記載の上限値（「以下」、「未満」として定義されている数値）または下限値（「以上」、「超過」として定義されている数値）に代替することができる。
【０１９１】
また、「部」または「％」は、特に記載がない限り、質量基準である。
【０１９２】
実施例１
＜工程（１）＞
図１Ａに示すように、まず、仮固定シート７を用意した。
【０１９３】
すなわち、仮固定シート７を用意するには、まず、感圧接着剤を調製した。
【０１９４】
具体的には、温度計、攪拌機、窒素導入管を備えた反応容器に、２−エチルヘキシルアクリレート（２ＥＨＡ）１００質量部と、２−ヒドロキシエチルアクリレート（２−ＨＥＡ）１２．６質量部と、ジベンゾイルパーオキサイド（ＢＰＯ、重合開始剤）（商品名「ナイパーＢＷ」、日油社製）０．２５質量部とを、トルエン（重合溶媒）に投入して、窒素ガス気流下６０℃で、モノマー成分を共重合させた。これにより、アクリル系ポリマーの４５質量％トルエン溶液を得た。これに２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート１３．５質量部を配合して、メタクリロイルオキシエチルイソシアネート（イソシアネート基含有化合物）をアクリル系ポリマーに対して付加反応させ、炭素−炭素二重結合を有するアクリル系ポリマーを調製した。また、上記アクリル系ポリマーのトルエン溶液に、アクリル系ポリマーの固形分１００質量部に対して、イソシアネート系架橋剤（商品名「コロネートＬ」、日本ポリウレタン工業社製）７．５質量部と、光重合開始剤（商品名「イルガキュア１２７」、（２−ヒドロキシ−１−｛４−［４−（２−ヒドロキシ−２−メチル−プロピオニル）−ベンジル］フェニル｝−２−メチル−プロパン−１−オン、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）２質量部とを添加した。これによって、炭素−炭素二重結合が導入された樹脂組成物からなる感圧接着剤を調製した。
【０１９５】
続いて、厚み３８μｍのＰＥＴフィルム（大三紙業社製）からなる支持シート２３を用意した。次いで、支持シート２３の上下両面に、上記の感圧接着剤を塗布して、その後、１２０℃で３分間乾燥し、さらに５０℃で２４時間、エージングした。これにより、支持シートと、厚み３０μｍの第１感圧接着層２１と、厚み３０μｍの第２感圧接着層２２とを備える感圧接着シート２を作製した。
【０１９６】
続いて、感圧接着シート２を、厚み７００μｍのガラス板からなる支持基板８に貼り付けた。これにより、感圧接着シート２と、支持基板８とを備える仮固定シート７を用意した。
【０１９７】
次いで、感圧接着シート２の上に、２種類の光半導体素子１、具体的には、通常サイズの光半導体素子１（縦１１４３μｍ、横１１４３μｍ、厚み１５０μｍ、商品名「ＥＤＩ−ＦＡ４５４５Ａ」、Ｅｐｉｓｔａｒ社製）、および、小型サイズの光半導体素子１（縦７６２μｍ、横３５６μｍ、厚み１３０μｍ、商品名「ＥＴｉ−ＫＢ３０６Ａ−ＢＬ」、ＥＴＩ社製）」、Ｅｐｉｓｔａｒ社製）を、それぞれ、１００個配置して、光半導体素子１を第１感圧接着層２１の上面に感圧接着した。
【０１９８】
これにより、仮固定シート７と、複数の光半導体素子１とを備える素子部材３６を用意した。
【０１９９】
＜工程（２）＞
次いで、ＰＥＴフィルムからなる厚み５０μｍの剥離層１２と、剥離層１２の下面に配置され、封止組成物からなる封止層１０とを備える封止部材１４を用意した。封止組成物は、ホットメルト樹脂組成物であって、フェニル系シリコーン樹脂（１段反応硬化性樹脂）５０質量部、ガラス粒子４０質量部、および、蛍光体１０質量部から調製した。封止層１０の厚みは、５００μｍであった。
【０２００】
その後、素子部材３６および封止部材１４をプレス機２５に設置した。具体的には、支持基板８を下板２７の上面に載置するとともに、剥離シート１２を上板２６の下面に取り付けた。
【０２０１】
そして、図１Ｂに示すように、プレス機２５によって、封止部材１４を素子部材３６および仮固定シート７に対して熱プレスした。熱プレスでは、プレス速度Ｓが０．１ｍｍ／秒、プレス圧Ｖが１．１ＭＰａ、温度が９０℃、プレス時間が１０分であった。
【０２０２】
このようにして、封止部材１４によって、複数の光半導体素子１を封止した。
【０２０３】
これによって、半導体素子１および封止層１０とを備える複数の封止光半導体素子１１を、仮固定シート７に支持された状態で、得た。
【０２０４】
続いて、封止部材１４および仮固定シート７をプレス機２５から取り外した。
【０２０５】
その後、剥離シート１２に対して紫外線を照射して感圧接着シート２の感圧接着力を低減させた。
【０２０６】
続いて、図１Ｂの矢印で示すように、剥離シート１２を封止層１０から剥離した。
【０２０７】
次いで、図１Ｃが参照されるように、封止層１０を、複数の封止光半導体素子１１のそれぞれが個片化されるように、ダイシングソー３７によって、ダイシングした。
【０２０８】
これにより、１つの光半導体素子１と、１つの封止層１０とを備える封止光半導体素子１１を、仮固定シート７に仮固定された状態で、得た。
【０２０９】
＜工程（３）＞
次いで、図１Ｃの矢印で示すように、封止光半導体素子１１を、図示しないピックアップ装置を用いて、仮固定シート７から剥離した。
【０２１０】
これにより、１つの光半導体素子１と、１つの封止層１０とからなる光半導体素子１を得た。
【０２１１】
実施例２〜実施例１２および比較例１〜比較例３
光半導体素子１のサイズ、イソシアネート系架橋剤の配合割合、第１感圧接着層２１の厚み、剥離接着力ＰＳ、プレス速度Ｓ、プレス圧Ｖ、溶融粘度ＭＶを、表１に基づいて、変更した以外は、実施例１と同様に処理して、封止光半導体素子１１を製造した。
【０２１２】
実施例１３〜実施例１６
工程（１）において、封止層の溶融粘度ＭＶを表１に基づいて変更した点、および、図２Ａに示すように、複数の光半導体素子１に対応する複数の貫通孔３１を有する支持基板８を用意した点以外は、実施例１と同様に処理して、封止光半導体素子１１を製造した。
【０２１３】
評価
以下の事項を評価した。その結果を表１に示す。
【０２１４】
［封止層の溶融粘度ＭＶ］
封止層の６０℃における溶融粘度ＭＶを、Ｅ型粘度計に基づいて、測定した。
【０２１５】
［感圧接着層の剥離接着力ＰＳ］
感圧接着層の剥離接着力ＰＳを、精密荷重測定器（アイコーエンジニアリング社製ＭＯＤＥＬ−１６０５ＶＣＬ）を用いて感圧接着層を端子で圧縮し、端子が感圧接着層から剥離する際の荷重を端子面積で割ることにより、測定した。
【０２１６】
［潜り込み］
プレス機２５による熱プレス直後の封止光半導体素子１１をデジタルマイクロスコープ（キーエンス社製ＶＨＸ−２０００）にて観察して、以下の基準に基づいて、封止樹脂組成物の潜り込みを評価した。
○：封止樹脂組成物が電極面３と第１感圧接着層２１との間に潜り込んだことを確認できなかった（図１Ｂおよび図２Ｂ参照）。
△：封止樹脂組成物が電極面３と第１感圧接着層２１との間にわずかに潜り込んだことを確認した。
×：封止樹脂組成物が電極面３と第１感圧接着層２１との間に潜り込んでいたことを確認した（図４Ａ参照）。
【０２１７】
［糊残り］
仮固定シート７から剥離した封止光半導体素子１１の電極６の下面を光学顕微鏡で観察して、以下の基準に基づいて、封止樹脂組成物の糊残りを評価した。
○：電極６の下面に感圧接着剤の存在を確認できなかった（図１Ｃおよび図２Ｃ参照）。
△：電極６の下面に感圧接着剤がわずかに残っていることを確認した。
×：電極６の下面に感圧接着剤が残っていることを確認した（図５Ａ参照）。
【０２１８】
［埋没］
プレス機２５による熱プレス直後の封止光半導体素子１１をデジタルマイクロスコープ（キーエンス社製ＶＨＸ−２０００）で観察して、以下の基準に基づいて、光半導体素子１の埋没を評価した。
○：電極６のみが第１感圧接着層２１内に埋没していたが、光半導体素子１全体は第１感圧接着層２１内に埋没していなかった。
△：光半導体素子１全体が第１感圧接着層２１内にわずかに埋没していた。
【０２１９】
［封止性］
プレス機２５による熱プレス直後の封止光半導体素子１１をデジタルマイクロスコープ（キーエンス社製ＶＨＸ−２０００）で観察して、以下の基準に基づいて、封止層１０の封止性を評価した。
○：封止層１０が光半導体素子１の発光面４および周側面５を被覆していた。
△：封止層１０が光半導体素子１の発光面４を被覆していたが、周側面５の下部を被覆していなかった。
【０２２０】
【表１】
2017059577.tif 000003
【符号の説明】
【０２２１】
１     光半導体素子
２     感圧接着シート
３     電極面
４     発光面
５     周側面
６     電極
７     仮固定シート
８     支持基板
９     感圧接着層
１０   封止層
１１   封止光半導体素子
２１   第１感圧接着層
２９   基板
３０   発光装置
３１   貫通孔
３３   押圧部材
ＰＳ   剥離接着力（感圧接着シート）
ＭＶ   溶融粘度（封止層）
Ｓ     プレス速度
Ｖ     プレス圧
【図１】
2017059577.tif 000004
【図２】
2017059577.tif 000005
【図３】
2017059577.tif 000006
【図４】
2017059577.tif 000007
【図５】
2017059577.tif 000008