(57)【要約】【課題】長期間にわたってエッチング液に対して高品質な濾過を行うことが可能なエッチングシステムを提供する。【解決手段】エッチングシステム１０は、エッチング装置１２、ＭＦ濾過装置１６、フィルタープレス１８および送液制御装置２２を少なくとも備える。エッチング装置１２は、エッチング液槽１４に収容されたエッチング液をガラス基板１００に接触させることでエッチング処理するように構成される。ＭＦ濾過装置１６およびフィルタープレス１８はエッチング液槽１４に収容されたエッチング液を濾過するように構成される。送液制御装置２２は、エッチング液槽１４、ＭＦ濾過装置１６およびフィルタープレス１８における送液を制御するように構成され、ＭＦ濾過装置１６に備え付けられた供給液収容送３２に収容されるエッチング液のＳＳ濃度を３０００〜４５０００ｍｇ/Ｌの範囲になるように制御する。【選択図】図６
2017066012.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板に対しエッチング処理を行うためのエッチングシステムであって、
少なくともエッチング液槽を備え、エッチング液槽に収容されたエッチング液をガラス基板に接触させることによりエッチング処理を行うように構成されたエッチング装置と、
前記エッチング液槽に接続されており、前記エッチング液槽に収容されたエッチング液を濾過するように構成された膜式濾過装置と、
前記膜式濾過装置に接続されており、前記膜式濾過装置にて捕捉されたスラリを受け入れ可能な被捕捉物収容槽を有する後処理部と、
前記エッチング液槽、前記膜式濾過装置、および前記後処理部における送液を制御する送液制御手段と、
を少なくとも備え、
前記膜式濾過装置は、
エッチング液を濾過するように構成された膜モジュールと、
前記膜モジュールに供給されるべきエッチング液を収容する供給液収容部と、
前記膜モジュールを通過後のエッチング液を送出する濾過液送出部と、
前記膜モジュールの目詰まりを防止するための目詰まり防止手段と、
を備え、
前記送液制御手段は、前記膜式濾過装置の前記供給液収容部内のＳＳ濃度が３０００〜４５０００ｍｇ/Ｌの範囲になるように前記エッチング液槽、前記膜式濾過装置、および前記後処理部における送液を制御することを特徴とするエッチングシステム。
【請求項２】
前記送液制御手段は、前記エッチング液槽のＳＳ濃度が３０００ｍｇ/Ｌ未満のときに前記エッチング液槽から前記供給液収容部への送液、前記濾過液送出部からエッチング液槽への送液および前記膜式濾過装置から前記後処理部への送液を停止し、濾過後のエッチング液を前記濾過液送出部から前記供給液収容部へ循環させることを特徴とする請求項１に記載のエッチングシステム。
【請求項３】
前記送液制御手段は、前記供給液収容部内のＳＳ濃度が４００００ｍｇ/Ｌを超えているときに前記膜式濾過装置にて捕捉されたスラリを前記後処理部に排出し、前記供給液収容部内のＳＳ濃度が５０００ｍｇ/Ｌ未満になると排出を停止することを特徴とする請求項１に記載のエッチングシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板に対してエッチング処理を行うように構成されたエッチングシステムに関し、特にエッチング液中のスラッジを効果的に濾過することが可能なエッチングシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイに利用されるガラス基板は、薄型化の要請がある。フラットパネルディスプレイ用ガラス基板を薄型化する処理として、一般的にフッ酸を含むエッチング液をガラス基板に接触させるエッチング処理が広く用いられてきた。このようなエッチング処理としては、処理すべきガラス基板をエッチング液が入れられた槽に浸漬したり、エッチング液を処理すべきガラス基板に吹き付けたりする方法がある。
【０００３】
上述のガラス基板に対するエッチング処理を行う場合、使用中または使用後のエッチング液の処理が重要となる。従来は排液をフィルタ等の濾材を通して吸引することで、エッチング液中に混在したスラリまたはスラッジを捕捉しエッチング液が濾過されてきた（例えば、特許文献１参照。）。このようにすることで、エッチング液からスラリまたはスラッジが分離できるだけでなく、下部からバブリング等でフィルタに圧力を加えることで捕捉されたスラリまたはスラッジをフィルタから除去することができ、長期的にエッチング液の濾過を行うことが可能であるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許５７４７０４６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述の特許文献１に係る技術では、時間の経過とともに濾過装置のパフォーマンスが低下するという不具合が発生することがあった。例えば、エッチング液に含まれる微細なスラリまたはスラッジがフィルタを通り抜けてしまってフィルタの後段の領域にて堆積してしまったり、巨大化したスラリまたはスラッジがフィルタの縫い目に付着してバブリングでは除去できなくなってしまったりすることがあった。その結果として、フィルタの目詰まりによる濾過処理能力の低下が発生したり、フィルタの交換等のメンテナンスの実施を余儀なくされたりする等の不都合が起こることがあった。
【０００６】
この発明の目的は、長期間にわたってエッチング液に対して高品質な濾過を行うことが可能なエッチングシステムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るエッチングシステムは、ガラス基板に対しエッチング処理を行うように構成される。エッチングシステムはエッチング装置、膜式濾過装置、後処理部および送液制御手段を備える。エッチング装置は少なくともエッチング液槽を備え、エッチング液をガラス基板に接触させることによりエッチング処理を行うように構成される。エッチング装置の例として、搬送ローラ等によって搬送されるガラス基板に対しスプレーノズルからガラス基板の上面および下面にエッチング液を噴射する枚葉式エッチング装置や、エッチング液が収容されたエッチング液槽にガラス基板を浸漬させる浸漬式エッチング装置が挙げられる。
【０００８】
膜式濾過装置は、膜モジュール、供給液収容部、濾過液送出部および目詰まり防止手段を備える。膜モジュールは、エッチング液を濾過するように構成される。この膜モジュールの例としては、ＭＦ（マイクロフィルタ）が挙げられる。供給液収容部には、エッチング装置で使用されたエッチング液であって膜モジュールに供給されるべきエッチング液を収容するように構成される。濾過液送出部は、供給液収容部に供給されたエッチング液を膜モジュールによって濾過されたエッチング液を受け入れるように構成される。目詰まり防止手段は、膜モジュールによって捕集されるスラリ（泥状を呈するもの全般を意味し、固形状のいわゆるスラッジと称されるものも含む）を膜モジュールより脱離させるようになっている。目詰まり防止手段の例として、膜モジュールにバブリング等の圧力を加える機器が挙げられる。
【０００９】
後処理部は、膜式濾過装置で捕集したスラッジおよびスラリを受け入れ可能な被捕捉物収容槽を備える。この後処理部は、スラッジおよびスラリを脱水処理できる固液分離機構を備えることが好ましい。後処理部の例として、フィルタープレスが挙げられる。
【００１０】
送液制御手段は、エッチング液槽、膜式濾過装置および後処理部における送液を制御するようになっている。各送液通路間に自動弁等の弁を設けることで送液の量を調整できるようになっている。また、送液制御手段は、供給液収容部内のＳＳ濃度（浮遊物質（Suspended Solids））が３０００〜４５０００ｍｇ/Ｌの範囲になるように送液を制御するようになっている。
【００１１】
上述の構成において、送液制御手段が、エッチング液槽のＳＳ濃度が３０００ｍｇ/Ｌ未満のときにエッチング液槽から供給液収容部への送液の停止、濾過液送出部からエッチング液槽の送液の停止および膜式濾過装置から後処理部への送液を停止し、濾過後のエッチング液を前記濾過液送出部から前記供給液収容部へ循環させるようにすることが好ましい。エッチング液槽のＳＳ濃度３０００ｍｇ/Ｌ未満のエッチング液を供給液収容部へ送液を停止することで供給液収容部内のＳＳ濃度が３０００〜４５０００ｍｇ/Ｌの範囲を維持させることができる。
【００１２】
また、送液制御手段が、供給液収容部内のＳＳ濃度が４００００ｍｇ/Ｌを超えているときに膜式濾過装置にて捕捉されたスラリまたはスラッジを後処理部に排出するようにすることが好ましい。この場合、スラリおよびスラッジは供給液収容部内のＳＳ濃度が５０００ｍｇ/Ｌ未満になると排出を停止するようにすると良い。供給液収容部内のＳＳ濃度が４００００ｍｇ/Ｌを超えているときに捕捉されたスラリおよびスラッジを排出することで供給液収容部内のＳＳ濃度を低減させることができ、供給液収容部内のＳＳ濃度が５０００未満になると停止するようにすることで供給液収容部内のＳＳ濃度が３０００〜４５０００ｍｇ/Ｌの範囲を維持させることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、長期間にわたってエッチング液に対して高品質な濾過を行うことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態に係るエッチングシステムの概略を示す図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るエッチングシステムの概略を示す図である。
【図３】ＭＦ濾過装置の供給液収容部の内部を表した斜視図である。
【図４】ＭＦ濾過装置の吸引濾過中のＭＦを表した側面図である。
【図５】送液制御手段の制御部を表したブロック図である。
【図６】送液制御手段によって制御されるエッチングシステムの送液経路を表した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
図１〜図３を用いて、本発明のエッチングシステムの一実施形態に係るエッチングシステム１０を説明する。エッチングシステム１０は、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネル用ガラス基板に対してエッチング処理を実行するように構成される。エッチングシステム１０は、エッチング装置１２、ＭＦ（マイクロフィルタ）濾過装置１６、フィルタープレス１８、汚泥収容部２０および送液制御装置２２（図５参照。）を備える。エッチング装置１２は、エッチング液槽１４を備える。ＭＦ濾過装置１６は、ＭＦ３０、供給液収容部３２、濾過液送出部３４および散気管３６を備える。フィルタープレス１８は、被捕捉物収容槽を備える。この実施形態においては、ＭＦ濾過装置１６およびフィルタープレス１８はそれぞれ本発明の膜式濾過装置および後処理部に対応する。散気管３６は本発明の目詰まり防止手段に対応する。
【００１６】
エッチング装置１２は、搬送ローラによって搬送されるガラス基板１００に対してエッチング液槽１４に収容されたエッチング液をスプレーノズルからガラス基板１００の上面と下面に向けて噴射するように構成された枚葉式エッチング装置である。スプレーノズルから噴射されたエッチング液はガラス基板１００に接触した後、エッチング液槽１４へと戻される。本実施形態では枚葉式エッチング装置を採用しているが、エッチング液槽にガラス基板１００を浸漬する浸漬式エッチング装置を採用することも可能である。
【００１７】
ＭＦ濾過装置１６は、エッチング装置１２でガラス基板１００を処理した使用済みのエッチング液を濾過するように構成される。供給液収容部３２は、エッチング液槽１４から使用済みのエッチング液を受け入れるように構成される。ＭＦ３０は、供給液収容部３２の中に配置され供給液収容部３２に収容されたエッチング液を吸引濾過できるようになっている。濾過液送出部３４は、ＭＦ３０で濾過されたエッチング液を受け入れるように構成される。ＭＦ濾過装置１６の詳しい構成については後述する。
【００１８】
フィルタープレス１８は、ＭＦ濾過装置１６で捕集されたスラッジおよびスラリを被捕捉物収容槽へ受け入れ、受け入れたスラッジおよびスラリを濾過するようになっている。濾過し、得られた濾液は濾過液送出部３４に送液される。濾過した汚泥は、汚泥収容部２０に収容される。フィルタープレス１８は高い濾過圧力を加えることが可能であるため、低含水率の汚泥を得ることができ、廃棄物の処理が行い易くなる。
【００１９】
送液制御装置２２は、エッチング液槽１４から供給液収容部３２への送液、濾過液送出部３４からエッチング液槽１４への送液、濾過液送出部３４から供給液収容部３２への送液および供給液収容部３２からフィルタープレス１８への送液を制御できるようになっている。送液制御装置２２は、エッチング液槽１４および供給液収容部３２に収容されるエッチング液に含まれるスラッジのＳＳ濃度の値によって送液したり、送液を停止したりすることを制御するようになっている。送液制御装置２２の詳しい構成については後述する。
【００２０】
図３は、ＭＦ濾過装置１６の供給液収容部３２内を表した斜視図である。供給液収容部３２内には、ＭＦ３０および散気管３６が配置される。供給液収容部３２の上部にエッチング液槽１４からエッチング液を送液できる配管４２と下部にフィルタープレス１８へとつながる配管４４が設置される。ＭＦ３０は主面とそれと対向する面にフィルタを備え、上部の吸引管４０から吸引できるようになっている。ＭＦ３０はフィルタの面積や配置枚数を変更することが可能であり、エッチング液の処理量や供給液収容部３２の容量によって変更することが可能である。ＭＦ３０は３〜３０ｍｍの間隔で濾過面が両側にくるように立てて配置される。ＭＦ３０の下方に散気管３６が配置される。この散気管３６からバブリングを行いＭＦ３０にスラッジが固着するのを防止する。供給液収容部３２の底部はＭＦ３０で捕集したスラッジを集積できるように中央に向かって傾斜するような構造をとっている。またその中央部には集積したスラッジをフィルタープレス１８に送る配管４４が設置してある。底部の構造は中央に向かって傾斜するものだけではなく、壁側に向かって傾斜するような構造をとっていても良いし、スラッジを集積できればこれら以外の構造をとっていても良い。
【００２１】
供給液収容部３２はエッチング液槽１４からエッチング液が供給されＭＦ３０によって濾過し、後段の濾過液送液部３４に濾過を行ったエッチング液を送液する。エッチング液槽１４から供給液収容部３２に送液される液量はＭＦ３０によって濾過される液量と同じ液量となるように送液することが好ましい。供給液収容部３２の液量が減少し、ＭＦ３０が液面から露出するとＭＦ３０に付着したスラッジが乾燥してしまい再びエッチング液に浸漬させても脱離させることが困難になり、濾過効率を減少させる原因となる。
【００２２】
また、供給液収容部３２の底部には、積層したスラッジを底部で循環するような循環路を設けることが好ましい。底部には、散気管３６が配置されており、底部にスラッジが積層しだすと散気管３６の穴を塞いでしまいバブリングが上手く行えなくなってしまうおそれがある。バブリングが行われないとＭＦ３０によって捕集されたスラッジがＭＦ３０から脱離せずに残ってしまうため濾過の効率が悪くなる。循環路を設けることで散気管３６の穴にスラッジが固着するおそれが低減する。
【００２３】
図４は、ＭＦ３０がエッチング液を吸引濾過するところを表した図である。ＭＦ３０は上部に設置された吸引管４０から濾過されたエッチング液を吸引し、またその圧力でＭＦ３０外にある濾過前のエッチング液をＭＦ３０内に浸透させる。スラッジはＭＦ３０のフィルタによって捕集されるためＭＦ３０内には侵入しない。下方の散気管３６からバブリングを行い、フィルタの表面に圧力を加えてやることでフィルタからスラッジが脱離する。脱離したスラッジはバブリングによって浮遊し、やがて供給液収容部３２の底部に積層する。脱離したスラッジはバブリングによって再びエッチング液中に分散され、一部は底部へと積層する。散気管３６はＭＦ３０で捕集されたスラッジを脱離させるだけでなく、供給液収容部３２内のエッチング液にスラッジを分散させＳＳ濃度を均一化させるようになっている。
【００２４】
フィルタの孔径は細かければ細かいほど粒径の小さなスラッジでも濾過することが可能であるが、その分濾過処理速度が低下してしまう。本実施形態で使用されるＭＦ３０の孔径は０．２５μｍのものを使用しており、濾過流量を考慮するとこれ以上細かいものを使用することは困難である。ガラスをエッチングする際に生成するスラッジは、ＭＦ３０の孔径の０．２５μｍよりも細かくそのままＭＦ３０に通しても濾過することができない。ＭＦ３０の径内に付着したスラッジは、外部からバブリング等の圧力を加えても脱離させることが困難であり、ＭＦ３０の目詰まりが起きてしまい濾過効率の低下や濾過圧力の上昇によるＭＦ３０の破損につながってしまう。エッチング液に含まれるスラッジのＳＳ濃度が高くなってくるとスラッジの粒径が大きくなり、濾過することができ、また、新たに生成された細かいスラッジも大きなスラッジに付着することで共に濾過することが可能である。
【００２５】
エッチング液に含まれるスラッジのＳＳ濃度が３０００ｍｇ/Ｌ未満のスラッジの粒径は０．２５μｍよりも小さいスラッジが多いためにＭＦ３０では濾過しきることができず、目詰まりが発生してしまう。そのため、エッチング液槽１４に収容されるエッチング液が３０００ｍｇ/Ｌ未満の場合は、エッチング液槽１４から供給液収容部３２への送液を停止し、ＭＦ濾過装置１６内にエッチング液を持ち込まないようになっている。エッチング液に含まれるスラッジのＳＳ濃度は、エッチング液槽１４に備え付けられたセンサ７０によって判断しても良いし、また、ガラス基板１００の処理量からスラッジの析出量を予測して判断しても良い。
【００２６】
供給液収容部３２の底部にはＭＦ３０によって濾過されたスラッジが積層されており、また積層されたスラッジがバブリングによって供給液収容部３２内を舞っている状態になっている。エッチング液に含まれるスラッジのＳＳ濃度が４５０００ｍｇ/Ｌを超えると、ＭＦ３０に捕集されるスラッジがバブリングによる脱離が追い付かずにＭＦ３０の目詰まりが起きてしまい濾過効率の低下や濾過圧力の上昇によるＭＦ３０の破損につながってしまう。供給液収容部３２の底部に設置してある配管よりフィルタープレス１８にスラッジおよびスラリを送りだすことで供給液収容部３２内のエッチング液に含まれるスラッジのＳＳ濃度を低減できる。
【００２７】
エッチング装置１２を使用し続けると、エッチング液槽１４から供給液収容部３２へ送液されなかったスラッジがスプレーノズルに詰まることでエッチング液が噴射されなかったり、処理されるガラス基板１００の上面にスラッジが付着したりしてガラス基板１００が均等にエッチングされないためにガラス基板１００表面にムラやうねりが出ることがある。また、エッチング液槽１４に残留したスラッジがエッチング液槽１４の壁面に固着してしまうことを防止するために定期的にエッチング液をエッチング装置１２から抜いてメンテナンスを行う必要がある。エッチング液槽１４から抜いたエッチング液はエッチングシステム１０外部のフィルタープレスやＭＦ濾過装置等で濾過した後、新液や水等加え調整されエッチング液槽１４に戻される。
【００２８】
ＭＦ濾過装置１６内に収容されるエッチング液は、替えることなく元の古いエッチング液をそのまま使用することが好ましい。ＭＦ濾過装置１６内のエッチング液を新しく替えてしてしまうと供給液収容部３２内のエッチング液に含まれるスラッジのＳＳ濃度が０ｍｇ/Ｌからのスタートになってしまうため、比較的ＳＳ濃度の高いエッチング液をエッチング液槽１４から送液されても目詰まりが起きてしまう。供給液収容部３２の液替えを実施する場合はスラッジのＳＳ濃度を３０００ｍｇ/Ｌ以上に調整したものを用いる必要がある。また液替え実施時にＭＦ３０が乾燥してしまうのでＭＦ３０からスラッジを脱離させておく必要がある。
【００２９】
ＭＦ濾過装置１６は、液替え直後やガラス基板１００のエッチング処理の停止などでエッチング液槽１４のＳＳ濃度が低い場合に、エッチング液槽１４から供給液収容部３２の送液を停止して濃度が３０００ｍｇ/Ｌを下回らないように制御しているが、このときＭＦ３０の吸引濾過を停止してはならない。停止してしまうとＭＦ３０の表面にスラッジが固着してしまい、次に動かしたときにＭＦ３０が機能しなくなってしまう。ＭＦ３０を吸引濾過し続けると供給液収容部３２の液量が減ってしまうため、濾過処理し終わり濾過液送出部３４に送液されたエッチング液を供給液収容部３２に再び返送するようにしてやれば供給液収容部の液量が減らずにＭＦ３０の吸引濾過を稼動し続けることができる。濾過液を再び供給液収容部３２に返送しても供給液収容部３２のＳＳ濃度に変化はないため、一定のＳＳ濃度を維持することができる。
【００３０】
図５および図６を用いて送液制御装置２２について説明する。図５は送液制御装置２２の制御を示すブロック図である。送液制御装置２２はＣＰＵ６０およびメモリ６２を備え、自動弁である弁５０、５２、５４、５６およびセンサ７０に接続されている。ＣＰＵ６０は、メモリ６２に格納されたプログラムを読み込みつつ、センサ７０のＳＳ濃度の検出に基づき各弁５０、５２、５４、５６の開閉を自由に行えるようになっている。センサ７０はエッチング液槽１４および供給液収容部３２に設置される。
【００３１】
図６は、エッチングシステム１０の送液経路を表した図である。エッチング液槽１４から供給液収容部３２、濾過液送出部３４からエッチング液槽１４、濾過液送出部３４から供給液収容部３２および供給液収容部３２からフィルタープレス１８を結ぶ経路には、それぞれ弁５０、弁５２、弁５４および弁５６の自動弁が配置してある。送液制御装置２２は、それぞれの自動弁の開閉を行うことでエッチング液の送液を制御している。
【００３２】
供給液収容部３２内のＳＳ濃度が５０００〜４００００ｍｇ/Ｌの範囲にあるときは、弁５０および５２を開状態、弁５４および５６を閉状態にしてエッチング液槽１４、供給液収容部３２および濾過液送出部３４を循環するように送液を制御する。エッチング装置１２でガラス基板１００を処理するとスラッジが生成されるためにエッチング液槽１４は一時的にＳＳ濃度が上昇する。しかし、ＳＳ濃度が上昇したエッチング液を供給液収容部３２へ送液し、濾過液送出部３４から濾過後のエッチング液を受け取るためエッチング液槽１４のＳＳ濃度は一定に維持される。エッチング液槽１４のＳＳ濃度が一定に維持される代わりに、ＭＦ３０によってスラッジが残留する供給液収容部３２内のＳＳ濃度は上昇していく。
【００３３】
供給液収容部３２はＭＦ３０の濾過処理によってＳＳ濃度が上昇していくが、ＳＳ濃度が４００００ｍｇ/Ｌを超えたときに弁５０、弁５２および弁５６を開状態、弁５４を閉状態にしてエッチング液槽１４、供給液収容部３２および濾過液送出部３４を循環するように送液を制御しながら、供給液収容部３２からフィルタープレス１８へ送液するように制御している。供給液収容部３２からフィルタープレス１８へ送液すると供給液収容部３２内のＳＳ濃度が低減する。フィルタープレス１８への送液は供給液収容部３２内のＳＳ濃度が５０００ｍｇ/Ｌ未満になると弁５６を閉状態にし、送液を停止するよう制御される。供給液収容部３２内のＳＳ濃度４００００ｍｇ/Ｌを超えたときに送液を開始、５０００ｍｇ/Ｌ未満のときに送液の停止するように制御することで供給液収容部３２内のＳＳ濃度が３０００〜４５０００ｍｇ/Ｌの範囲を維持することができる。
【００３４】
エッチング液槽１４のＳＳ濃度が３０００ｍｇ/Ｌ未満のときは、弁５０、弁５２および弁５６を閉状態、弁５４を開状態にして供給液収容部３２と濾過液送出部３４を循環するように送液を制御している。このように制御することで供給液収容部３２内のＳＳ濃度を下げることなくＭＦ３０の稼動ができるため、ＭＦ３０がフィルタ詰まりすることはない。エッチング液槽１４の液替え直後はエッチング液槽１４のＳＳ濃度は低いが、液替え時に上記のように切り替えているためそのままの状態でエッチング処理を開始するようにすれば良い。エッチング装置１２でガラス基板１００のエッチング処理を停止しているときにＭＦ濾過装置１６を稼動するとエッチング液槽１４のＳＳ濃度が低下していくので、ガラス基板１００の処理量から予測して切り替えるようにしても良い。
【００３５】
送液制御装置２２は、弁５０および弁５２の開閉の制御はセットで行わなければならない。また、弁５０および弁５２の送液は同量となるように制御しなければならない。どちらかが開どちらかが閉の状態であったり、送液量が同量でなかったりする場合、エッチング液槽１４、供給液収容部３２および濾過液送出部３４の液量のバランスが崩れタンクの容量を超えてしまう漏液や液面の低下が起こってしまうおそれがある。弁５４の送液量もＭＦ３０の濾過量と同量となるようにすれば良い。弁５６からフィルタープレス１８へ送液すると供給液収容部３２の液量が減ってしまうため、弁５６を開状態にする場合のみ弁５０の液量を上げ供給液収容部３２内にあるＭＦ３０がエッチング液面から出ないように制御しなければならない。
【００３６】
送液制御装置２２が５０００〜４００００ｍｇ/Ｌの範囲で制御するのは、供給液収容部３２内のＳＳ濃度５０００ｍｇ/Ｌを切ったときに供給液収容部３２からフィルタープレス１８への送液を停止、または、供給液収容部３２内のＳＳ濃度が４００００ｍｇ/Ｌを超えたときに供給液収容部３２からフィルタープレス１８への送液を開始すると、供給液収容部３２内のＳＳ濃度が３０００〜４５０００ｍｇ/Ｌの範囲内を維持しているというアクションラインである。誤差なく制御できるのであれば、供給液収容部３２内のＳＳ濃度が３０００のときに供給液収容部３２からフィルタープレス１８への送液の停止、または、供給液収容部３２内のＳＳ濃度が４５０００ｍｇ/Ｌのときに供給液収容部３２からフィルタープレス１８への送液の開始を行うことが理想である。
【００３７】
以上のように制御すれば、エッチング装置１２で生成されたスラッジをＭＦ濾過装置１６で目詰まりや破損等することなく効率良く濾過することができる。また、エッチング液の処理量に応じてＭＦ３０のフィルタのサイズや設置枚数を可変できるので、装置規模に合わせた濾過装置を簡単に調整することができる。
【００３８】
上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００３９】
１０−エッチングシステム
１２−エッチング装置
１４−エッチング液槽
１６−ＭＦ濾過装置
１８−フィルタープレス
２０−汚泥収容部
２２−送液制御装置
３０−ＭＦ
３２−供給液収容部
３４−濾過液送出部
３６−散気管
４０−吸引管
４２，４４−配管
５０，５２，５４，５６−弁
６０−ＣＰＵ
６２−メモリ
７０−センサ
【図１】
2017066012.tif 000003
【図２】
2017066012.tif 000004
【図３】
2017066012.tif 000005
【図４】
2017066012.tif 000006
【図５】
2017066012.tif 000007
【図６】
2017066012.tif 000008