(57)【要約】【課題】短時間で乾燥できる乾燥機と乾燥方法とを提供すること。【解決手段】乾燥機の本体と、熱風を供給する熱源と、上記本体内に位置する複数の保持部と、上記熱源からの上記熱風を吹き出す開口部と、を有し、上記開口部から上記保持部へ直接、上記熱風を吹き出すことで、衝突気流を抑制し効率の良い乾燥を達成可能な熱風乾燥機を用いる。また、上記乾燥機を用いた乾燥方法において、上記熱風を第１温度にして供給する第１工程と、上記第１工程後、上記熱風を上記第１温度より低い第２温度にして供給する第２工程と、を含むようにする。【選択図】図１
2017172960.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
乾燥機の本体と、
熱風を供給する熱源と、
前記本体内に位置する複数の保持部と、
前記熱源からの前記熱風を吹き出す開口部と、を有し、
前記開口部から前記保持部へ直接、前記熱風を吹き出すことで、衝突気流を抑制し効率の良い乾燥を達成可能な熱風乾燥機。
【請求項２】
前記保持部のそれぞれにおいて、前記熱風を吹き付けるノズルが存在する請求項１に記載の乾燥機。
【請求項３】
前記複数の保持部の間に位置し、前記熱源からの前記熱風を吹き出す前記開口部を有するパイプと、を含み、
前記パイプは平板状で、両面に前記開口部があり、一方の面の前記開口部で第１保持部へ前記熱風を照射し、他方の面の前記開口部で、第２保持部へ前記熱風を照射する請求項１または２記載の乾燥機。
【請求項４】
前記複数の保持部のそれぞれに個別に前記熱風を供給する前記開口部と、を含み、
前記複数の保持部が傾斜して配置されている請求項１記載の乾燥機。
【請求項５】
さらに、各複数の保持部へ前記熱源からの前記熱風を吹き付ける前記ノズルが、各保持部の入口にある請求項４記載の乾燥機。
【請求項６】
さらに、前記保持部の側面に前記熱風を制御する制御部と、を含む請求項１〜５のいずれか１項に記載の乾燥機。
【請求項７】
さらに、各制御部に前記熱源からの前記熱風を直接取り入れる取り入れ部がある請求項６記載の乾燥機。
【請求項８】
さらに、前記保持部のそれぞれにおいて、前記熱風を排出する排気口を有する請求項１〜７のいずれか１項に記載の乾燥機。
【請求項９】
さらに、各保持部のそれぞれにおいて、前記基板の両側から前記熱風を吹き付ける前記ノズルを有する請求項１〜８のいずれか１項に記載の乾燥機。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項に記載の乾燥機を用いた乾燥方法において、
前記熱風を第１温度にして供給する第１工程と、
前記第１工程後、前記熱風を前記第１温度より低い第２温度にして供給する第２工程と、を含む乾燥方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、乾燥機と乾燥方法に関する。特に、現像後の対象物を乾燥する乾燥機と乾燥方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
沸点が低い溶剤を使用して、現像をしてきた。しかし、環境問題から、低い沸点の有害なハロゲン系溶剤は使用できなくなってきた。代替溶剤として炭化水素系溶剤を使用しつつある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−０００４４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、炭化水素系溶剤の場合、沸点が高く、乾燥に時間がかかる。約１５０℃〜２００℃で約２時間かかる。結果、トータル時間が長くなる。
本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであり、短時間で乾燥できる乾燥機と乾燥方法とを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、乾燥機の本体と、熱風を供給する熱源と、上記本体内に位置する複数の保持部と、上記熱源からの上記熱風を吹き出す開口部と、を有し、上記開口部から上記保持部へ直接、上記熱風を吹き出すことで、衝突気流を抑制し効率の良い乾燥を達成可能な熱風乾燥機を用いる。
また、上記乾燥機において、上記熱風を第１温度にして供給する第１工程と、上記第１工程後、上記熱風を上記第１温度より低い第２温度にして供給する第２工程と、を含む乾燥方法を用いる。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、短時間で現像後の基板の乾燥をすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】（ａ）〜（ｂ）実施の形態１の乾燥機を説明する断面図
【図２】実施の形態２の乾燥機を説明する断面図
【図３】（ａ）実施の形態２の乾燥機のパイプを説明する断面図、（ｂ）（ａ）の平面図
【図４】実施の形態３の乾燥機を説明する断面図
【図５】（ａ）従来の乾燥機の温度プロファイル、（ｂ）実施の形態４の乾燥機の温度プロファイル、（ｃ）〜（ｄ）実施の形態４の乾燥機のプロセスを説明する基板の断面図
【図６】実施の形態５の乾燥機の断面図
【図７】実施の形態６の乾燥機の断面図
【図８】（ａ）〜（ｂ）実施の形態７の乾燥機の断面図
【発明を実施するための形態】
【０００８】
（製造プロセス）
始めにフレキソ印刷用樹脂板の製造プロセスを説明する。
フレキソ印刷用樹脂板は、感光性樹脂版の感光性樹脂層を画像露光、現像、乾燥して作製される。
【０００９】
上記感光性樹脂層を形成する組成物としては、熱可塑性エラストマー、光重合性不飽和単量体および光重合開始剤を主成分とする組成物である。
上記熱可塑性エラストマーとしては、例えば、スチレン等のモノビニル置換芳香族炭化水素と、ブタジエン、イソプレン等の共役ジエンとの共重合体が例示される。具体例としては、スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体、スチレン−イソプレン−スチレンブロック共重合体、スチレン−イソプレン／ブタジエン−スチレンブロック共重合体が挙げられる。熱可塑性エラストマーは一種単独で用いてもよいし、二種類以上を組み合わせて用いてもよい。
【００１０】
前記熱可塑性エラストマーは感光性樹脂組成物中に３０〜９５重量％、好ましくは５０〜８５重量％の割合で配合される。前記配合量が３０重量％未満ではゴム弾性に優れた組成物が得られず、また配合量が９５重量％を超えると再現性に優れたパターンの形成が困難となる。
【００１１】
また、光重合性不飽和単量体としては、重合性不飽和単量体としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、フマル酸、マレイン酸等のエステル類、アクリルアミドやメタクリルアミドの誘導体、アリルエステル、スチレン、スチレン誘導体、Ｎ置換マレイミド化合物が挙げられる。具体的には、エタンジオール、プロパンジオール、ブタンジオール、ヘキサンジオール、ノナンジオール等のアルカンジオールのジアクリレートおよびジメタクリレート；ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、ポリエチレングリコール等のジアクリレートおよびジメタクリレート；トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジメチロールトリシクロデカンジ（メタ）アクリレート、イソボロニル（メタ）アクリレート、フェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ペンタエリトリットテトラ（メタ）アクリレート、ジアクリルフタレート；フマル酸ジエチルエステル、フマル酸ジブチルエステル、フマル酸ジオクチルエステル、フマル酸ジステアリルエステル、フマル酸ブチルオクチルエステル、フマル酸ジフェニルエステル、フマル酸ジベンジルエステル、フマル酸ビス（３−フェニルプロピル）エステル、フマル酸ジラウリルエステル、フマル酸ジベヘニルエステル；マレイン酸ジブチルエステル、マレイン酸ジオクチルエステル；Ｎ，Ｎ’−ヘキサメチレンビスアクリルアミドおよびメタクリルアミド；トリアリルシアヌレート；ビニルトルエン、ジビニルベンゼン；Ｎ−ラウリルマレイミド；が挙げられる。重合性不飽和単量体は一種単独で用いてもよいし、二種類以上を組み合わせて用いてもよい。
【００１２】
さらに、光重合開始剤は、非赤外放射線に感応して重合性不飽和単量体の重合を開始する能力を有する限り特に制限はなく、目的とする感光性樹脂層（Ｂ）の物性に応じて適宜選択することができる。例えば、ベンゾフェノン等の芳香族ケトン類、ベンジルジメチルケタール、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のベンゾインエーテル類、α−ヒドロキシケトン類、α−アミノケトン類、オキシムエステル類、アシルホスフィンオキサイド系化合物が挙げられる。光重合開始剤は一種単独で用いてもよいし、二種類以上を組み合わせて用いてもよい。
【００１３】
上記の感光性樹脂組成物には、感光性樹脂層（Ｂ）には、上記成分以外に、可塑剤、加工安定剤、液状ゴム、熱重合禁止剤、増感剤、着色剤、紫外線吸収剤、ハレーション防止剤、耐オゾン劣化剤、無機フィラー、難燃剤等の添加剤を、要求される性能に応じて、１種または２種以上配合してもよい。
【００１４】
感光性樹脂層は、種々の方法で形成することができ、例えば、熱可塑性エラストマーと、重合性不飽和単量体と、光重合開始剤とを含有する感光性樹脂組成物から形成される。例えば上述のような組成であれば、配合される原料を適当な溶媒、例えばクロロホルム、テトラクロルエチレン、メチルエチルケトン、トルエン等の溶媒に溶解させて混合し、型枠の中に流延して溶媒を蒸発させ、そのまま感光性樹脂板とすることができる。また溶媒を用いず、ニーダーあるいはロ−ルミルで混練し、押出機、射出成形機、プレス等により、所望の厚さの感光性樹脂板に成形することができる。
感光性樹脂層（Ｂ）の厚みは、通常０．１ｍｍ〜１０．０ｍｍの範囲内である。
【００１５】
叙上のようにして得られた感光性樹脂層は、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン、ポリプロピレン等の樹脂フィルムまたはシート、鉄、アルミニウム、銅等の金属板等に圧着し、必要に応じて予備露光を行ったのち、ネガマスクを介して活性光線を選択的に照射し画像露光を行い、未露光部分を現像液で洗い出し、それを乾燥してゴム弾性を有するフレキソ印刷用レリーフ版を製造する。
【００１６】
前記画像露光には、超高圧水銀灯、ケミカルランプ等の光源を用いて２〜２０分程度照射することにより行われる。露光後現像処理が行われるが、使用する現像液としては、芳香族系溶剤やこれにパラフィン系溶剤やナフテン系溶剤を添加したものが好適であり、これにさらに水及び界面活性剤を加えたエマルション溶剤としたものも好適に用いられる。前記芳香族系溶剤としては、例えばトルエン、キシレン、メチルエチルベンゼン、プロピルベンゼン、イソプロピルベンゼン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン、ｔｅｒｔーブチルベンゼン、ジエチルベンゼン、アミルベンゼン、ジアミルベンゼン、アミルトルエン、シメン等、またはこれらの混合物（例、原油または石炭乾留ナフサ）等が挙げられ、これらの化合物の単独あるいは２種以上の混合物が使用される。
混合物の市販品としては、例えばソルベッソ１００、ソルベッソ１５０、ソルベッソ２００（以上商品名、エクソン化学社製）、スワゾール１００、スワゾール２００、スワゾール３１０、スワゾール１０００、スワゾール１５００、スワゾール１８００（以上商品名、丸善石油化学社製）などがある。また、パラフィン系炭化水素としては、例えばヘプタン、オクタン、ノナン、メチルオクタン、デカン、ウンデカン、ドデカン、トリデカン等を挙げることができ、これらの化合物の単独でもまた２種以上の混合物でもよい。さらに、ナフテン系炭化水素としては、例えばジメチルシクロヘキサン、メチルエチルシクロヘキサン、プロピルシクロヘキサン、トリメチルシクロヘキサン、ブチルシクロヘキサン等が挙げられ、これらの単独でもまた２種以上の混合物でもよい。特に、これらの溶剤に水、及び高級アルコール硫酸エステルナトリウム塩、脂肪族第四アンモニウム塩、脂肪族アミン塩、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレングリセリン脂肪族エステル、ポリエチレングリコール脂肪族エステル等の界面活性剤を添加したエマルション現像液はレリーフの再現性がよく、安全性が高いため好ましく用いることができる。
【００１７】
上記成分からなる現像液にさらに感光性樹脂層の未露光部を温和に現像することができ、その上芳香を有する化合物、例えばｎ−ブチルイソブチレート、イソブチル−ｎ−ブチレート、イソブチルイソブチレ−ト、イソブチル−２−メチル−ブチレート、イソブチル−３−メチル−ブチレート等を添加することができる。
【００１８】
上記現像液を用いた現像方法としては、ブラシ現像、スプレー現像等の従来の方法が用いられる。
本願の発明は、感光性樹脂の表面もしくは感光性樹脂層に膨潤した現像液を乾燥で除去する工程、装置に関する。
【００１９】
本願発明は、上記フレキソ印刷版の感光性樹脂の表面もしくは感光性樹脂層に膨潤した現像後の現像液の溶媒の乾燥に関するものである。
（実施の形態１）
図１（ａ）は、実施の形態１の乾燥機１４の断面図である。
【００２０】
乾燥機１４は、熱源１５と、熱源１５からの熱風１０の入口１６、出口１７と、基板１２を保持する保持部１３と、熱風１０の方向を制御する制御部１１とを有する。
基板１２と保持部１３とで部屋３０を構成し、複数の部屋３０が積層されている。
熱源１５は、ヒータとファンとからなる。ヒータへファンで空気送り、熱風１０を作製する。熱風１０を乾燥機１４へ送る。
【００２１】
入口１６、出口１７は、熱風１０の乾燥機１４への入口、出口である。
基板１２は、この場合、平板状のフレキソ印刷版であるが、他の基板、対象物でもよい。この実施の形態では、基板１２は、現像液の溶剤を含み、その溶剤を乾燥機１４で取り除く。
【００２２】
保持部１３は、基板１２を保持するところである。単なる台でもよい。乾燥機１４では、複数の保持部１３があり、積層されている。
制御部１１は、保持部１３の側にあり、熱風１０の方向を制御する。円筒形状の凹部があり、その凹部で熱風１０の方向を変える。熱風１０の方向を約３６０度変える。凹部形状は円筒形状でなくとも、角柱形状、台形柱などでもよい。まず、基板１２の下面を熱風１０で加熱し、その後、その熱風１０が基板１２の表面を加熱する。このことで、基板１２の下面の温度が上面より高くなり、基板１２の内部の溶剤が蒸発しやすい。
【００２３】
さらに、ダンパー１９を有する。ダンパー１９は、定期的に開放され、熱風１０を乾燥機１４から放出する。図示しないが、熱源１５の温度、風量を制御する制御器がある。
＜熱風のプロセス＞
熱源１５は、下部にあり、熱風１０を乾燥機１４の内部へ供給する。熱風１０は、複数の保持部１３の下面、上面を通過し、上方へ流れる。
【００２４】
各保持部１３（各部屋３０）の側には制御部１１があり、熱風１０を下方から上方へ導く。
最終、熱風１０は、出口１７から乾燥機１４外へ放出される。初期は、乾燥機１４の下方の温度が高いが、徐々に上部の温度が高くなり、時間の経過とともに全体で温度のむらがなくなる。
図１（ｂ）の断面図に示すように、熱風１０は、出口１７と熱源１５とをつなぐ循環路２３で熱源１５へ戻してもよい。または、出口１７と入口１６とをつなぎ、熱風１０を循環させてもよい。また、循環路２３に溶剤を回収する回収機構２４を設けてもよい。
【００２５】
＜効果＞
上記構造により、乾燥機１４では、熱風１０が、よどみなく、一方向へスムーズに流れ、基板１２を効率的に乾燥させることができる。基板１２を、より短時間で乾燥させることができる。また、制御部１１により熱風１０は衝突気流を発生することなく、流れる。結果、乾燥した溶剤がよどみなく、短時間で基板１２を乾燥できる。
【００２６】
（実施の形態２）
図２は、実施の形態２の乾燥機１４の断面図である。実施の形態１との相違点は、制御部１１がなく、パイプ２０があることである。パイプ２０の構造は、図３（ａ）の断面図、図３（ｂ）の平面図に示す。パイプ２０は、平板状であり、熱風１０を吹き出す開口２１と熱風１０を送る通路２２とがある。上面、下面に多くの開口２１があり熱風１０を基板１２の表面全体に吹きかける。記載しない事項は実施の形態１と同様である。
【００２７】
実施の形態２の乾燥機１４では、積層された保持部１３間に、パイプ２０が配置される。各パイプは上下に開口２１を有して、熱風１０を放出する。最上部、最下部のパイプ２０は、一方の面に開口２１を有する。
保持部１３に保持された基板１２を加熱する。なお、保持部１３は、この場合、網状であり、基板１２の裏面からも熱風１０を基板１２へ照射できる。
【００２８】
パイプ２０は熱源１５からの熱風１０を、複数の開口２１から、基板１２の両面へ均質に照射する。パイプ２０の上面、下面の開口２１は、垂直方向の位置が異なる。それぞれの開口２１から、熱風１０を均質に放出できる。パイプ２０の設置と異なる側の出口１７から、熱風１０は外部へ排出される。
＜効果＞
上記構造により、乾燥機１４では、熱風１０が、基板１２全体に均質に吹きつけられる。その結果、基板１２を効率的に乾燥させることができる。基板１２を、より短時間で乾燥させることができる。パイプ２０により熱風１０は、衝突気流を発生することなく、基板１２に吹き付けられる。結果、乾燥した溶剤がよどみなく、短時間で基板１２を乾燥できる。
【００２９】
（実施の形態３）
図４は、実施の形態２３の乾燥機１４の断面図である。実施の形態１、２との相違点は、保持部１３が傾斜してあることと、入口部２９、熱風分け３３とがあることである。記載しない事項は実施の形態１、２と同様である。入口部２９は、熱風１０を絞り、熱風１０の流速を上げ、基板１２表面へ熱風１０を吹き付ける。熱風１０は図４のような波状となる。なお、入口部２９、熱風分け３３は、熱風１０の量、流れを制御する板状体である。入口部２９は、熱風１０を保持部１３または部屋３０へ入れ込む部分にあり、熱風分け３３は、熱風１０を保持部１３または部屋３０から熱風１０の通路へ出す部分にある。
【００３０】
各部屋３０、または、各保持部１３が、それぞれ別個に熱風１０を受け、各保持部１３（各部屋３０）の基板１２を乾燥させる。入口部２９で熱風１０が絞られ、熱風１０が波となり基板１２を乾燥させる。入口部２９と熱風分け３３とで、部屋３０の空間を絞ることで熱風１０の波を生成し、基板１２の乾燥を速める。
保持部１３は積層されていれ、上部の保持部１３は、下部の保持部１３の熱風１０で温度が上昇し乾燥されやすい。また、１つの保持部１３では、下方の方が、熱風１０の入口に近く、温度が高くなる。基板１２の溶剤も下方へ集まり易い。結果、溶剤が蒸発し易い。
熱風１０が上方へ移動する場合にこの傾斜に沿って移動する。その時に基板１２を乾燥させる。
傾斜の角度は、水平方向に対して５度から４５度が好ましい。傾斜が大きい場合、保持部１３に基板１２保持機構が必要となる。傾け過ぎると、溶剤が集まり過ぎで蒸発にくくなる。
【００３１】
傾斜させることで、基板１２の溶剤が下方へ行き易い。下方の方が熱風１０の温度が高く、溶剤を蒸発させやすい。
基板１２を立てることなく傾斜させるだけであり、容易に設置しやすい。
【００３２】
＜効果＞
上記構造により、乾燥機１４では、基板１２の溶剤が下方へ集められ、温度が高い熱風１０で蒸発される。その結果、基板１２を効率的に乾燥させることができる。基板１２を、より短時間で乾燥させることができる。
入口部２９、熱風分け３３とで、熱風１０の流れを制御し、衝突気流を発生することなく、基板１２に吹き付けられる。結果、乾燥した溶剤がよどみなく、短時間で基板１２を乾燥できる。
【００３３】
（実施の形態４）
図５（ａ）は、従来の乾燥機の温度プロファイルである。図５（ｂ）は、実施の形態４の乾燥機の温度プロファイルである。なお、乾燥機１４は、他の実施の形態の乾燥機を用いることが好ましい。他の実施の形態の効果とこの実施の形態の効果とで相乗効果がでる。
図５（ａ）では、溶剤が蒸発する温度へ一定昇温速度で温度を上げ、一定時間保持する。この結果、溶剤を蒸発させる。しかし、感光性樹脂の表面付近に溶剤の飽和蒸気があり飽和量以上の溶剤の蒸発が起こらない。温度を高くすると、溶剤の蒸発が急速に発生し、基板１２の形状に影響がでる。そのため、温度は高くできない。
【００３４】
図５（ｂ）の実施の形態４では、一端、高めの温度まで上げ、その後、温度を下げ、一定温度を保持する。
これは、図５（ｂ）で示した第１温度の時間帯３１では、図５（ｃ）の基板１２の断面図で示す状態で、基板１２上部の溶剤（現像液３３）を蒸発させるためである。
【００３５】
この後、温度を下げて、図５（ｂ）の第２温度の時間帯３２では、図５（ｄ）の基板１２の断面図で示す状態で、基板１２内部の溶剤を蒸発させる。
つまり、基板１２上部の溶剤を高めの第１温度で蒸発させる。その後、基板１２の内部の溶剤は、温度を下げ、第２温度で蒸発させる。このことで、全体の乾燥時間を１割から３割削減できる。
【００３６】
用いる乾燥機１４としては、上記いずれかの乾燥機１４を用いることができる。
第１温度は、溶剤の沸点より１０℃以上高く設定し、第２温度は、溶剤の沸点から５〜１０℃高く設定するのが好ましい。
また、熱風１０の量、強さに関して、従来の乾燥機では、常に一定量の熱風１０の量、強さであるが、この実施の形態４の乾燥機１４では、第１温度の時間帯３１で、熱風１０の量、強さを高くし、第２温度の時間帯３２で、熱風１０の量、強さを、時間帯３１の時より下げることが好ましい。
このことで、温度が高い時間帯３１では、温度により溶剤を蒸発させ、温度が低い時間帯３２では、熱風１０により蒸発した溶剤を即座に除き、全体の乾燥時間を短くできる。
【００３７】
（実施の形態５）
図６は、実施の形態５の乾燥機１４の断面図である。実施の形態３の変形例である。実施の形態３との相違点は、ノズル２５があることである。記載しない事項は実施の形態１〜４と同様である。
【００３８】
各部屋３０または各保持部１３の熱風１０の入口にノズル２５は配置されている。ノズル２５からの熱風１０は、波状に流れ、基板１２表面を乾燥させる。
ノズル２５は方向を変更でき、熱風１０の波の周期を変えることができる。基板１２に、より垂直方向なら、波の周期が小さく、熱風１０が基板１２に照射される回数が増える。
基板１２の厚みなどで、ノズル２５の角度を最適化し、乾燥させることができる。実施の形態３の効果とともに、よりは早く基板１２を乾燥できる。
【００３９】
（実施の形態６）
図７は、実施の形態６の乾燥機１４の断面図である。実施の形態１の変形例である。実施の形態１との相違点は、取り入れ口２８があることである。記載しない事項は実施の形態１〜５と同様である。
【００４０】
各部屋３０または各保持部１３に取り入れ口２８があることで、熱源１５からの直接の熱風１０ａと、他の各部屋３０または各保持部１３からの熱風１０ｂとは、合体した熱風１０ｃとして、各部屋３０または各保持部１３に導かれる。取り入れ口２８は、熱源１５からの熱風１０の通路において、熱風１０を各部屋３０または各保持部１３へ取り入れる口である。
【００４１】
この実施の形態の乾燥機１４では、実施の形態１と同様の効果があり、さらに、熱の均質性がある。熱風１０が１本の道筋でなく、複数の道筋であり温度が均質化される。特に、熱源１０からの熱風１０ｂが各部屋３０または各保持部１３に導かれるのでそうなる。取り入れ口２８は、制御部１１の上側にあり、熱源１５からの熱風１０ｂと、制御部１１で方向を変更された熱風１０ａとが、合体する。合体後熱風１０ｃは、次の各部屋３０または各保持部１３に導かれ、基板１２を乾燥させる。実施の形態１の効果に加え、より基板１２の乾燥を早くできる、
【００４２】
なお、取り入れ口２８は、制御部１１の上下、つまり、保持部１３の側面の上下の少なくとも１方（上か下）に位置する。
なお、上記の時、蒸発した溶剤も、合体され、全体として、均質な溶剤量（溶剤密度）となる。結果、蒸発した溶剤の溜りがなく、基板１２からの溶剤の蒸発を阻害しない。結果、乾燥時間を短くできる。
【００４３】
（実施の形態７）
図８（ａ）、図８（ｂ）は、実施の形態７の乾燥機１４の断面図である。他の実施形態との差は、独立して各部屋３０、それぞれを熱処理すること、ノズル８１と排気口８２が各部屋３０にあることである。記載しない事項は実施の形態１〜６と同様である。
【００４４】
ノズル８１は、熱源に繋がり、熱風１０を吹き出す。ノズル８１は、パイプ部分８１ａと直線部８２ｂとからなる。直線部８２ｂにより層流の熱風１０を吹き出す。
排気口８２は、熱風１０を部屋３０の外部へ導く口である。
【００４５】
図８（ａ）では、基板１２の一方端からノズル８１で基板１２へ熱風１０を吹き付ける。その後、熱風１０は、排気口８２から外部へ放出される。熱風１０は淀みなく、流れる、結果、基板１２からの発生された溶剤などが効率的に外部へ放出される。乾燥が早くなる。基板１２の場所による乾燥むらは少ない。ノズル８１と排気口８２とは、基板１２を挟んで対向する。ノズル８１の熱風１０の吹き出し方向に排気口８２が位置する。
【００４６】
図８（ｂ）では、各部屋３０において、ノズル８１を基板１２の両端の少なくとも１方に設置する。
【００４７】
一方のみにノズル８１をセットする場合、ノズル８１から排出された熱風１０は、基板１２表面全体に照射される。その後、熱風１０は、部屋３０の壁沿いに排気口８２へ流れる。
両方にノズル８１をセットする場合、両端のノズル８１から排出された熱風１０は、基板１２の片方の全体に照射される。基板１２の中央で熱風１０同士が合い、その後、合わさって、熱風１０は、排気口８２へ流れる。
【００４８】
ノズル８１の熱風１０の吹き出し方向と垂直方向に排気口８２がある。
基板１２からの発生される溶剤などが効率的に外部へ放出される。乾燥が早くなる。基板１２の場所による乾燥むらは少ない。
【００４９】
他の実施の形態より、装置としては、少し複雑であるが、より効率的に基板１２を乾燥できる。
【００５０】
（全体を通して）
上記実施の形態は組み合わせることができる。
つまり、図１の制御部１１、図２のパイプ２０、図４の傾斜された保持部１３を、他の実施の形態へ加えてもよい。すべては合体した乾燥炉１４でもよい。いずれか１つ以上を含んだ乾燥炉１４でもよい。
【００５１】
ダンパー１９、熱風１０の循環（図１（ｂ））は、すべての乾燥機１４で使用可能である。乾燥機１４に溶媒除去のフィルター等を付属させてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本願発明は、乾燥機として広く利用される。乾燥対象物として、各種部材を対象とできる。
【符号の説明】
【００５３】
１０、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ…熱風、１１…制御部、１２…基板、１３…保持部、１４…乾燥機、１５…熱源、１６…入口、１７…出口、１９…ダンパー、２０…パイプ、２１…開口、２２…通路、２３…循環路、２４…回収機構、２８…取り入れ口、３０…部屋、３１，３２…時間帯、３３…熱風分け、８１…ノズル、８１ａ…直線部、８１ｂ…パイプ部、８２…排気口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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