(57)【要約】【課題】有機エレクトロニクス素子及び有機ＥＬ素子の発光効率及び発光寿命などの素子特性を高めることができる有機エレクトロニクス材料及びインク組成物を提供すること。【解決手段】芳香族炭化水素のみからなる３価以上の構造単位を含む電荷輸送性ポリマーを構成し、有機エレクトロニクス材料として使用する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
３方向以上に分岐した構造を有する電荷輸送性ポリマーを含む有機エレクトロニクス材料であって、
前記電荷輸送性ポリマーが、置換基を有してもよい芳香族炭素水素のみからなる３価以上の構造単位を有する、有機エレクトロニクス材料。
【請求項２】
前記電荷輸送性ポリマーが、さらに２価の構造単位を含み、前記２価の構造単位が、置換又は非置換の、芳香族アミン構造、カルバゾール構造、及びチオフェン構造、ベンゼン構造、及びフルオレン構造からなる群から選ばれる、請求項１に記載の有機エレクトロニクス材料。
【請求項３】
前記電荷輸送性ポリマーが、前記３価以上の構造単位の１つに対し、前記２価の構造単位が３つ以上結合した部分構造を含む、請求項２に記載の有機エレクトロニクス材料。
【請求項４】
前記電荷輸送性ポリマーが、分子内に１以上の重合性官能基を有する、請求項１〜３のいずれか１項に記載の有機エレクトロニクス材料。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の有機エレクトロニクス材料と、溶剤とを含む、インク組成物。
【請求項６】
基板と、請求項５に記載のインク組成物を用いて形成された有機層とを有する、有機エレクトロニクス素子。
【請求項７】
前記基板が、樹脂フィルムである、請求項６に記載の有機エレクトロニクス素子。
【請求項８】
請求項５に記載のインク組成物を用いて形成された有機層を有する、有機エレクトロルミネセンス素子。
【請求項９】
前記有機層が正孔輸送層である、請求項８に記載の有機エレクトロルミネセンス素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、有機エレクトロニクス材料及び該材料を含むインク組成物に関する。また、本発明の他の実施形態は、上記インク組成物を用いて作製される有機エレクトロニクス素子及び有機エレクトロルミネセンス素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機エレクトロニクス素子は、有機物を用いて電気的な動作を行う素子であり、省エネルギー、低価格、柔軟性といった特長を発揮できると期待され、従来のシリコンを主体とした無機半導体に替わる技術として注目されている。
【０００３】
有機エレクトロニクス素子の一例としては、有機エレクトロルミネセンス素子（以下、「有機ＥＬ素子」ともいう）、有機光電変換素子、有機トランジスタなどが挙げられる。
【０００４】
有機エレクトロニクス素子の中でも有機ＥＬ素子は、例えば、白熱ランプ、ガス充填ランプの代替えとして、大面積ソリッドステート光源用途として注目されている。また、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）分野における液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）に置き換わる最有力の自発光ディスプレイとしても注目されており、製品化が進んでいる。
【０００５】
有機ＥＬ素子は、用いる有機材料から、低分子型有機ＥＬ素子と、高分子型有機ＥＬ素子との２種に大別される。これまで双方の素子について、発光効率及び素子寿命といった素子特性の改善に向けて様々な研究が行われている。
例えば、有機ＥＬ素子の有機層を多層化することによって素子特性を高める方法が知られている。低分子型有機ＥＬ素子では、低分子量の有機材料が使用され、主に真空系の蒸着法に従って成膜が行われる。そのため、用いる有機材料を順次変更しながら蒸着を行うことで容易に多層化が達成できる。
一方、高分子型有機ＥＬ素子では、高分子量の有機材料が使用され、印刷やインクジェットといった湿式プロセスに従って成膜が行われる。高分子型有機ＥＬ素子は、真空系での成膜が必要な低分子型有機ＥＬ素子と比較して、印刷やインクジェットなどの簡易な方法での成膜が可能であるため、今後の大画面有機ＥＬディスプレイには不可欠な素子として期待されている。しかし、湿式プロセスに従って多層の有機層を作製する場合、上層を塗布する際に下層が溶解してしまい多層化が困難となる傾向がある。
【０００６】
これに対し、多層の有機層を有する高分子型有機ＥＬ素子について、いくつかの報告がある。非特許文献１は、溶解度の大きく異なる化合物を利用した３層構造の素子を開示している。また、特許文献１は、ＰＥＤＯＴ：ＰＳＳ上にインターレイヤー層と呼ばれる層を導入した３層構造の素子を開示している。さらに、非特許文献２〜４及び特許文献２は、薄膜を溶剤に対して不溶化することを目的として、シロキサン化合物、又はオキセタン基及びビニル基などの重合性官能基を含む化合物を用いた素子を開示している。
しかし、特に、水溶性のＰＥＤＯＴ：ＰＳＳを使用した場合には、水分によって素子が劣化し易いため、薄膜中に残存する水分を除去する必要がある。また、シロキサン化合物を使用した場合にも、化合物が空気中の水分に対して不安定であり、素子が劣化しやすい傾向がある。このように、高分子型有機ＥＬ素子の分野では、発光効率及び素子寿命といった素子特性のさらなる改善が求められている。
【０００７】
そもそも、優れた素子特性を有する高分子型有機ＥＬ素子を簡便な方法で製造するためには、湿式プロセスに適した高分子量の有機材料が必要であり、さらにその有機材料の特性を向上させることが必要である。特性のなかでも、発光効率を改善するためには、例えば、正孔輸送材としてバンドギャップが広い有機材料が望まれる。これに対し、特許文献３は、トリフェニルアミン構造中の１つのフェニル基に対して２つのフルオレニル基を導入した化合物を開示している。より具体的には、フェニル基に対して、２つのフルオレニル基を互いにメタ位の位置関係になるように導入した化合物に関する。特許文献３は、このような化合物によれば、フルオレニル基による高い移動度、及び高いＴｇ(ガラス転移温度)を確保しながら、広いバンドギャップが得られることを開示している。しかし、開示された化合物は低分子量の化合物であるため、このような化合物を使用して湿式プロセスを実施することは困難である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００７−１１９７６３号公報
【特許文献２】国際公開第２００８／０１０４８７号
【特許文献３】特開２００７−２９１０６４号
【非特許文献】
【０００９】
【非特許文献１】Y. Goto, T. Hayashida, M. Noto, IDW ‘04 Proceedings of The 11th International Display Workshop, 1343-1346(2004)
【非特許文献２】H. Yan, P. Lee, N. R. Armstrong, A. Graham, G. A. Evemenko, P. Dutta, T. J. Marks, J. Am. Chem. Soc., 127, 3172-4183(2005)
【非特許文献３】E. Bacher, M.Bayerl, P. Rudati, N. Reckfuss, C. David, K. Meerholz, O.  Nuyken, Macromolecules, 38, 1640(2005)
【非特許文献４】M. S. Liu, Y. H. Niu, J. W. Ka, H. L. Yip, F. Huang, J. Luo, T. D. Wong, A. K. Y. Jen, Macromolecules, 41, 9570(2008)
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上述のように、高分子型有機ＥＬ素子の分野では、素子特性のさらなる改善に向けて、湿式プロセスに適した高分子量の有機材料の開発が望まれている。例えば、バンドギャップが広く、発光効率及び発光寿命を向上することができる有機エレクトロニクス材料の実現が望まれている。したがって、本発明の実施形態は、有機ＥＬ素子の発光効率及び発光寿命といった素子特性を向上することができる有機エレクトロニクス材料及びインク組成物を提供することを目的とする。また、本発明の別の実施形態は、上記有機エレクトロニクス材料及びインク組成物を用いて、優れた素子特性を有する有機エレクトロニクス素子及び有機ＥＬ素子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者らは、鋭意検討した結果、特定の構造単位を有する電荷輸送性ポリマーが、有機エレクトロニクス材料として好適であることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は以下に記載の事項に関する。
【００１２】
本発明の一実施形態は、３方向以上に分岐した構造を有する電荷輸送性ポリマーを含む有機エレクトロニクス材料であって、上記電荷輸送性ポリマーが、置換基を有してもよい芳香族炭素水素のみからなる３価以上の構造単位を有する、有機エレクトロニクス材料に関する。
ここで、上記電荷輸送性ポリマーは、さらに２価の構造単位を含み、上記２価の構造単位は、置換又は非置換の、芳香族アミン構造、カルバゾール構造、及びチオフェン構造、ベンゼン構造、及びフルオレン構造からなる群から選ばれることが好ましい。一実施形態において、上記電荷輸送性ポリマーは、上記３価以上の構造単位の１つに対し、上記２価の構造単位が３つ以上結合した部分構造を含むことが好ましい。一実施形態において、上記電荷輸送性ポリマーは、分子内に１以上の重合性官能基を有することが好ましい。
【００１３】
本発明の一実施形態は、有機エレクトロニクス材料と、溶剤とを含む、インク組成物に関する。
本発明の一実施形態は、基板と、上記インク組成物を用いて形成された有機層とを有する、有機エレクトロニクス素子に関する。ここで、上記基板は、樹脂フィルムであることが好ましい。
本発明の一実施形態は、上記インキ組成物を用いて形成された有機層を有する、有機エレクトロルミネセンス素子に関する。ここで、上記有機層は、正孔輸送層であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の実施形態である有機エレクトロニクス材料及びインク組成物によれば、有機ＥＬ素子の発光効率及び素子寿命といった素子特性を向上させることができる。また、本発明の別の実施形態によれば、上記有機エレクトロニクス材料及び上記インク組成物を用いて、優れた素子特性を有する有機エレクトロニクス素子及び有機ＥＬ素子を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の有機ＥＬ素子の一実施形態を示す模式的断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態について説明する。
＜有機エレクトロニクス材料＞
本発明の有機エレクトロニクス材料は、電荷輸送性を有し、かつ３方向以上に分岐した構造を有する電荷輸送性ポリマーを含む。上記電荷輸送性ポリマーは、分子内に分岐構造を有することによって、分子量の変化に対してポリマー溶液の粘度が変化し難く分子量の調整が容易となり、また、有機エレクトロニクス素子の耐久性を向上することも容易となる。上記有機エレクトロニクス材料は、上記電荷輸送性ポリマーを１種のみ含有しても、又は２種以上含有してもよい。以下、電荷輸送性ポリマーの実施形態について、より具体的に説明する。
【００１７】
（電荷輸送性ポリマー）
上記電荷輸送性ポリマーにおいて、「３方向以上に分岐した構造」とは、電荷輸送性ポリマー１分子中の種々の鎖の中で、最も重合度の大きくなる鎖を主鎖とした時に、主鎖に対して重合度が同じか、それよりは重合度の小さい、１以上の側鎖が存在することを意味する。本発明において上記重合度とは、電荷輸送性ポリマーを合成する際に用いられるモノマーの単位が、電荷輸送性ポリマー１分子当たりにいくつ含まれるかを表す。本発明において側鎖は、電荷輸送性ポリマーの主鎖とは異なる鎖であり、少なくとも１つ以上の構造単位を有しているものをいい、それ以外は側鎖ではなく置換基とみなす。
【００１８】
本発明において、上記電荷輸送性ポリマーは、先に説明した「３方向以上に分岐した構造」の分岐部を構成する３価以上の構造単位Ｂを含み、上記構造単位Ｂとして、置換基を有してもよい、芳香族炭化水素のみからなる３価以上の構造単位Ｂ１を含む。電荷輸送性ポリマーは、上記特定の構造単位Ｂ１を有することによって、バンドギャップが広くなり、発光効率及び素子寿命といった各種特性を向上させることが容易となる。以下、構造単位Ｂ１について具体的に説明する。
【００１９】
（構造単位Ｂ１）
「芳香族炭化水素のみからなる３価以上の構造単位Ｂ１」において、「３価以上」の用語は、構造単位内に、他の構造単位との結合部位が３以上存在することを意味する。構造単位Ｂ１は、好ましくは６価以下であり、より好ましくは３価又は４価である。また、「芳香族炭化水素のみからなる」とは、上記３価以上の構造単位Ｂ１の主骨格にヘテロ元素（例えばＯ、Ｆ、Ｓ、Ｎ等の元素）が導入されていないことを意図する。すなわち、上記構造単位Ｂ１は、少なくとも１つのベンゼン環を含む、Ｃ及びＨのみからなる主骨格を有する。上記構造単位Ｂ１は、２以上のベンゼン環から構成されてもよく、ナフタレン等の縮環構造を含んでよいが、主骨格にヘテロ元素は含まないことを意図する。すなわち、上記構造単位Ｂ１において、２以上のベンゼン環が存在する場合には、ビフェニル構造のようにヘテロ元素の介在なしにベンゼン環同士が互いに結合した構造を有することを意図する。上記構造単位Ｂ１において、主骨格を構成するベンゼン環は置換基を有してもよい。この場合、上記主骨格はヘテロ元素を含まないが、置換基はヘテロ元素を含んでもよい。
【００２０】
上記芳香族炭化水素のみからなる３価以上の構造単位Ｂ１の具体例として、以下が挙げられる。
【化１】
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【００２１】
上記各式中、Ｒは、それぞれ独立して、水素原子であるか又は置換基を表す。置換基は、ハロゲン原子、炭素数１〜２２個の直鎖、環状もしくは分岐のアルキル基、アルコキシ基、アルキルカルボニル基、及びアルキルアミド基、並びに炭素数６〜３０個のアリール基からなる群から選択される置換基であってよい。また、隣接するＲ同士が結合して環を形成していてもよい。ここで、Ｒがアリール基である場合、アリール基は置換基を有していてもよい。上記アリール基に対する置換基は、アルキル基、アルコキシル基、アミノ基、イミド基、スルホ基、カルボキシル基、及びホスホニル基から選択される置換基であってよい。
【００２２】
一実施形態において、好ましくは、Ｒは、水素原子であるか、又はハロゲン原子、炭素数１〜８個の直鎖、環状もしくは分岐の、アルキル基、アルコキシ基、アルキルカルボニル基、及びアルキルアミド基、並びに炭素数６〜１２のアリール基からなる群から選択される基を示す。より好ましくは、Ｒは水素原子である。
【００２３】
一実施形態において、上記３価以上の構造単位Ｂ１は、置換基を有してもよい１以上のベンゼン環のみから構成される主骨格を有する。但し、広いバンドギャップを得る観点から構造単位内にナフタレン等の縮環構造は含まないことが好ましい。一実施形態において、上記３価以上の構造単位Ｂ１は、置換基を有してもよい１〜６個のベンゼン環のみから構成されることがより好ましく、１〜５個のベンゼン環のみから構成されることがさらに好ましい。ベンゼン環の結合形式は、直線状であっても、非直線状であってもよい。
【００２４】
上記３価以上の構造単位Ｂ１の好ましい具体例として、以下に示すベンゼン構造の骨格を有する３価又は４価の構造単位が挙げられる。
【化２】
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【００２５】
他の例として、４個のベンゼン環から構成されるトリフェニルベンゼン骨格を有する３価又は４価の構造単位が挙げられ、３価の構造単位がより好ましい。より具体的には、以下に示すトリフェニルベンゼン骨格を有する３価の構造単位が挙げられる。
【００２６】
【化３】
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【００２７】
式中Ｒは、先の説明と同様に水素原子又は置換基であってもよく、水素原子であることが好ましい。トリフェニルベンゼン骨格における３つの結合部位の位置は、特に限定されない。一実施形態において、構造単位Ｂ１は、以下に示す構造を有することが好ましい。
【００２８】
【化４】
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【００２９】
（電荷輸送性ポリマーの構造）
一実施形態において、電荷輸送性ポリマーは、分岐部を構成する３価以上の構造単位Ｂとして上記構造単位Ｂ１を含み、さらに、少なくとも末端部を形成する１価の構造単位Ｔを含む。別の実施形態において、電荷輸送性ポリマーは、上記３価以上の構造単位Ｂとして上記構造単位Ｂ１を含み、さらに、電荷輸送性を有する２価の構造単位Ｌと、上記１価の構造単位Ｔとを含む。電荷輸送性ポリマーは、各構造単位を、それぞれ１種のみ含んでいても、又は、それぞれ複数種含んでもよい。電荷輸送性ポリマーにおいて、各構造単位は、「１価」〜「３価以上」の結合部位において互いに結合している。
【００３０】
上記電荷輸送性ポリマーに含まれる部分構造の一例として、以下が挙げられる。上記電荷輸送性ポリマーは、以下の部分構造を有するものに限定されない。部分構造中、「Ｂ」は構造単位Ｂを、「Ｌ」は構造単位Ｌを、「Ｔ」は構造単位Ｔを表す。「＊」は、他の構造単位との結合部位を表す。以下の部分構造中、複数のＢは、互いに同一の構造単位であっても、互いに異なる構造単位であってもよい。Ｔ及びＬについても、同様である。
【００３１】
【化５】
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【００３２】
特に限定するものではないが、一実施形態において、電荷輸送性ポリマーは、３価以上の構造単位Ｂとして、芳香族炭化水素のみからなる３価以上の構造単位Ｂ１を含み、上記構造単位Ｂ１の１つに対して、電荷輸送性を有する２価の構造単位Ｌが３つ以上結合した部分構造を含むことが好ましい。以下、各構造単位について、具体的に説明する。
【００３３】
（構造単位Ｂ）
構造単位Ｂは、３方向以上に分岐する構造を有する電荷輸送性ポリマーにおいて、分岐部を形成する３価以上の構造単位である。構造単位Ｂは、有機エレクトロニクス素子の耐久性向上の観点から、好ましくは６価以下であり、より好ましくは３価又は４価である。上記構造単位Ｂは、電荷輸送性を有する単位であることが好ましい。本発明において、上記構造単位Ｂは、上記芳香族炭化水素のみからなる３価以上の構造単位Ｂ１を少なくとも含み、必要に応じて、その他の電荷輸送性を有する３価以上の構造単位Ｂ２を含んでもよい。
【００３４】
耐久性及び発光効率の向上といった効果を得る観点から、一実施形態において上記電荷輸送性ポリマーにおける上記構造単位Ｂ１の割合は、１モル％以上が好ましく、３モル％以上がより好ましく、５モル％以上が最も好ましい。一方、上記電荷輸送性ポリマーの電荷輸送性をより高める観点から、電荷輸送性ポリマーは、上記構造単位Ｂ１に加えて、優れた電荷輸送性を有する他の構造単位を含むことが好ましい。このような観点から、一実施形態において上記電荷輸送性ポリマーにおける上記構造単位Ｂ１の割合は、９５モル％以下が好ましく、９０モル％以下がより好ましく、８５モル％以下が最も好ましい。
【００３５】
上記構造単位Ｂ１の割合が上記範囲内である電荷輸送性ポリマーを含む有機エレクトロニクス材料を使用することで、優れた耐久性及び発光効率を有する有機ＥＬ素子を容易に得ることができる。また、上記構造単位Ｂ１の割合が上記範囲内となるように調整された電荷輸送性ポリマーは、有機エレクトロニクス材料として適度な分子量を有する点でも好ましい。
【００３６】
上記電荷輸送性ポリマーにおける上記構造単位Ｂ１の割合は、上記電荷輸送性ポリマーの調製時に、上記構造単位Ｂ１を有するモノマー化合物の仕込み量を調整することによって、達成することができる。上記構造単位Ｂ１の割合は、原料として使用する各種モノマー化合物の仕込み量の合計に対する、上記構造単位Ｂ１を有するモノマー化合物の比（モル比）から算出することができる。また、上記構造単位Ｂ１の割合は、電荷輸送性ポリマーのＮＭＲを測定し、特徴となるピークの積分比から算出することもできる。
【００３７】
一実施形態において、上記電荷輸送性ポリマーは、３価以上の構造単位Ｂとして、上記構造単位Ｂ１に加えて、その他の３価以上の構造単位Ｂ２を含んでもよい。ここで、構造単位Ｂ１及びＢ２の合計量に対する上記構造単位Ｂ１の割合は、好ましくは１０％以上、より好ましく２０％以上、さらに好ましくは３０％以上である。上記構造単位Ｂ１の割合を上記範囲内に調整することによって、優れた電荷輸送性に加えて、芳香族炭化水素のみからなる構造単位Ｂ１による利点を得ることが容易となる。上記３価以上の構造単位Ｂにおける上記構造単位Ｂ１の割合は１００％であってもよい。
【００３８】
構造単位Ｂ２の具体例として、以下が挙げられる。但し、構造単位Ｂ２は、以下に限定されない。
【化６】
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【００３９】
Ｗは、３価の連結基を表し、例えば、炭素数２〜３０個のヘテロアレーントリイル基を表す。ヘテロアレーントリイル基は、芳香族複素環から水素原子３個を除いた原子団である。Ａｒは、それぞれ独立に２価の連結基を表し、例えば、それぞれ独立に、炭素数２〜３０個のヘテロアリーレン基を表す。Ａｒは、好ましくはアリーレン基、より好ましくはフェニレン基である。Ｙは、２価の連結基を表し、例えば、後述する構造単位ＬにおけるＲ（ただし、重合性官能基を含む基を除く。）のうち水素原子を１個以上有する基から、更に１個の水素原子を除いた２価の基が挙げられる。Ｚは、ケイ素原子、又はリン原子のいずれかを表す。構造単位中、ベンゼン環及びＡｒは、置換基を有していてもよく、置換基の例として、後述する構造単位ＬにおけるＲが挙げられる。
【００４０】
（構造単位Ｌ）
構造単位Ｌは、電荷輸送性を有する２価の構造単位である。構造単位Ｌは、電荷を輸送する能力を有する原子団を含んでいればよく、特に限定されない。例えば、構造単位Ｌは、置換又は非置換の、芳香族アミン構造、カルバゾール構造、チオフェン構造、フルオレン構造、ベンゼン構造、ビフェニレン構造、ターフェニレン構造、ナフタレン構造、アントラセン構造、テトラセン構造、フェナントレン構造、ジヒドロフェナントレン構造、ピリジン構造、ピラジン構造、キノリン構造、イソキノリン構造、キノキサリン構造、アクリジン構造、ジアザフェナントレン構造、フラン構造、ピロール構造、オキサゾール構造、オキサジアゾール構造、チアゾール構造、チアジアゾール構造、トリアゾール構造、ベンゾチオフェン構造、ベンゾオキサゾール構造、ベンゾオキサジアゾール構造、ベンゾチアゾール構造、ベンゾチアジアゾール構造、ベンゾトリアゾール構造、及び、これらの１種又は２種以上を含む構造から選択される。上記芳香族アミン構造の中でも、好ましくはトリアリールアミン構造であり、より好ましくはトリフェニルアミン構造である。また、上記ベンゼン構造のなかでも、ｐ−フェニレン構造、ｍ−フェニレン構造が好ましい。
【００４１】
一実施形態において、構造単位Ｌは、優れた正孔輸送性を得る観点から、置換又は非置換の、芳香族アミン構造、カルバゾール構造、チオフェン構造、ビチオフェン構造、ベンゼン構造、及びフルオレン構造からなる群から選ばれることが好ましい。一実施形態において、構造単位Ｌは、置換又は非置換の、芳香族アミン構造、カルバゾール構造、及び、これらの１種又は２種以上を含む構造から選択されることがより好ましい。
他の実施形態において、構造単位Ｌは、優れた電子輸送性を得る観点から、置換又は非置換の、フルオレン構造、ベンゼン構造、フェナントレン構造、ピリジン構造、キノリン構造、及び、これらの１種又は２種以上を含む構造から選択されることが好ましい。
【００４２】
構造単位Ｌの具体例として、以下が挙げられる。但し、構造単位Ｌは、以下に限定されない。
【化７】
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【００４３】
【化８】
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【００４４】
Ｒは、それぞれ独立に、水素原子又は置換基を表す。好ましくは、Ｒは、それぞれ独立に、−Ｒ１、−ＯＲ２、−ＳＲ３、−ＯＣＯＲ４、−ＣＯＯＲ５、−ＳｉＲ６Ｒ７Ｒ８、ハロゲン原子、及び、後述する重合性官能基を含む基からなる群から選択される。Ｒ１〜Ｒ８は、それぞれ独立に、水素原子；炭素数１〜２２個の直鎖、環状又は分岐アルキル基；又は、炭素数２〜３０個のアリール基又はヘテロアリール基を表す。アリール基は、芳香族炭化水素から水素原子１個を除いた原子団である。ヘテロアリール基は、芳香族複素環から水素原子１個を除いた原子団である。アルキル基は、更に、炭素数２〜２０個のアリール基又はヘテロアリール基により置換されていてもよく、アリール基又はヘテロアリール基は、更に、炭素数１〜２２個の直鎖、環状又は分岐アルキル基により置換されていてもよい。Ｒは、好ましくは水素原子、アルキル基、アリール基、アルキル置換アリール基である。Ａｒは、炭素数２〜３０個のアリーレン基又はヘテロアリーレン基を表す。Ａｒは、好ましくはアリーレン基であり、より好ましくはフェニレン基である。ヘテロアリーレン基は、芳香族複素環から水素原子２個を除いた原子団である。Ａｒは、好ましくはアリーレン基であり、より好ましくはフェニレン基である。
【００４５】
芳香族炭化水素としては、単環、縮合環、又は、単環及び縮合環から選択される２個以上が単結合を介して結合した多環が挙げられる。芳香族複素環としては、単環、縮合環、又は、単環及び縮合環から選択される２個以上が単結合を介して結合した多環が挙げられる。
【００４６】
（構造単位Ｔ）
構造単位Ｔは、電荷輸送性ポリマーの末端部を構成する１価の構造単位である。構造単位Ｔは、特に限定されず、例えば、置換又は非置換の、芳香族炭化水素構造、芳香族複素環構造、及び、これらの１種又は２種以上を含む構造から選択される。一実施形態において、構造単位Ｔは、電荷の輸送性を低下させずに耐久性を付与するという観点から、置換又は非置換の芳香族炭化水素構造であることが好ましく、置換又は非置換のベンゼン構造であることがより好ましい。また、他の実施形態において、後述するように、電荷輸送性ポリマーが末端部に重合性官能基を有する場合、構造単位Ｔは重合可能な構造（すなわち、例えば、ピロール−イル基等の重合性官能基）であってもよい。構造単位Ｔは、構造単位Ｌ及び／又はＢと同じ構造を有していても、又は、異なる構造を有していてもよい。
【００４７】
構造単位Ｔの具体例として、以下が挙げられる。但し、構造単位Ｔは、以下に限定されない。
【化９】
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【００４８】
Ｒは、構造単位ＬにおけるＲと同様である。電荷輸送性ポリマーが末端部に重合性官能基を有する場合、好ましくは、Ｒのいずれか少なくとも１つが、重合性官能基を含む基である。
【００４９】
（重合性官能基）
一実施形態において、重合反応により硬化させ、溶剤への溶解度を変化させる観点から、上記電荷輸送性ポリマーは、分子内に、重合性官能基を少なくとも１つ有することが好ましい。「重合性官能基」とは、熱及び／又は光を加えることにより、互いに結合を形成し得る官能基をいう。
【００５０】
重合性官能基としては、炭素−炭素多重結合を有する基（例えば、ビニル基、アリル基、ブテニル基、エチニル基、アクリロイル基、アクリロイルオキシ基、アクリロイルアミノ基、メタクリロイル基、メタクリロイルオキシ基、メタクリロイルアミノ基、ビニルオキシ基、ビニルアミノ基等）、小員環を有する基（例えば、シクロプロピル基、シクロブチル基等の環状アルキル基；エポキシ基（オキシラニル基）、オキセタン基（オキセタニル基）等の環状エーテル基；ジケテン基；エピスルフィド基；ラクトン基；ラクタム基等）、複素環基（例えば、フラン−イル基、ピロール−イル基、チオフェン−イル基、シロール−イル基）などが挙げられる。重合性官能基としては、特に、ビニル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、エポキシ基、及びオキセタン基が好ましく、反応性及び有機エレクトロニクス素子の特性の観点から、ビニル基、オキセタン基、又はエポキシ基がより好ましい。
【００５１】
重合性官能基の自由度を上げ、重合反応を生じさせやすくする観点からは、電荷輸送性ポリマーの主骨格と重合性官能基とが、アルキレン鎖で連結されていることが好ましい。また、例えば、電極上に有機層を形成する場合、ＩＴＯ等の親水性電極との親和性を向上させる観点からは、エチレングリコール鎖、ジエチレングリコール鎖等の親水性の鎖で連結されていることが好ましい。さらに、重合性官能基を導入するために用いられるモノマーの調製が容易になる観点からは、電荷輸送性ポリマーは、アルキレン鎖及び／又は親水性の鎖の末端部、すなわち、これらの鎖と重合性官能基との連結部、及び／又は、これらの鎖と電荷輸送性ポリマーの骨格との連結部に、エーテル結合又はエステル結合を有していてもよい。前述の「重合性官能基を含む基」とは、重合性官能基それ自体、又は、重合性官能基とアルキレン鎖等とを合わせた基を意味する。重合性官能基を含む基として、例えば、国際公開第ＷＯ２０１０／１４０５５３号に例示された基を好適に用いることができる。
【００５２】
特に限定するものではないが、一実施形態において、好ましい構造単位Ｔの具体例として以下が挙げられる。
【化１０】
2017059718.tif 000012
【００５３】
重合性官能基は、電荷輸送性ポリマーの末端部（すなわち、構造単位Ｔ）に導入されていても、末端部以外の部分（すなわち、構造単位Ｌ又はＢ）に導入されていても、末端部と末端以外の部分の両方に導入されていてもよい。硬化性の観点からは、少なくとも末端部に導入されていることが好ましく、硬化性及び電荷輸送性の両立を図る観点からは、末端部のみに導入されていることが好ましい。また、重合性官能基は、電荷輸送性ポリマーの主鎖に導入されていても、側鎖に導入されていてもよく、主鎖と側鎖の両方に導入されていてもよい。
【００５４】
重合性官能基は、溶解度の変化に寄与する観点からは、電荷輸送性ポリマー中に多く含まれる方が好ましい。一方、電荷輸送性を妨げない観点からは、電荷輸送性ポリマー中に含まれる量が少ない方が好ましい。重合性官能基の含有量は、これらを考慮し、適宜設定できる。
【００５５】
例えば、電荷輸送性ポリマー１分子あたりの重合性官能基数は、十分な溶解度の変化を得る観点から、２個以上が好ましく、３個以上がより好ましい。また、重合性官能基数は、電荷輸送性を保つ観点から、１，０００個以下が好ましく、５００個以下がより好ましい。
【００５６】
電荷輸送性ポリマー１分子あたりの重合性官能基数は、電荷輸送性ポリマーを合成するために使用した、重合性官能基の仕込み量（例えば、重合性官能基を有するモノマーの仕込み量）、各構造単位に対応するモノマーの仕込み量、電荷輸送性ポリマーの重量平均分子量等を用い、平均値として求めることができる。また、重合性官能基の数は、電荷輸送性ポリマーの１Ｈ  ＮＭＲ（核磁気共鳴）スペクトルにおける重合性官能基に由来するシグナルの積分値と全スペクトルの積分値との比、電荷輸送性ポリマーの重量平均分子量等を利用し、平均値として算出できる。簡便であることから、仕込み量が明らかである場合は、好ましくは、仕込み量を用いて求めた値を採用する。
【００５７】
（数平均分子量）
電荷輸送性ポリマーの数平均分子量は、溶剤への溶解性、成膜性等を考慮して適宜、調整できる。数平均分子量は、電荷輸送性に優れるという観点から、５００以上が好ましく、１，０００以上がより好ましく、２，０００以上が更に好ましい。また、数平均分子量は、溶媒への良好な溶解性を保ち、インク組成物の調製を容易にするという観点から、１，０００，０００以下が好ましく、１００，０００以下がより好ましく、５０，０００以下が更に好ましい。
【００５８】
（重量平均分子量）
電荷輸送性ポリマーの重量平均分子量は、溶剤への溶解性、成膜性等を考慮して適宜、調整できる。重量平均分子量は、電荷輸送性に優れるという観点から、１，０００以上が好ましく、５，０００以上がより好ましく、１０，０００以上が更に好ましい。また、重量平均分子量は、溶媒への良好な溶解性を保ち、インク組成物の調製を容易にするという観点から、１，０００，０００以下が好ましく、７００，０００以下がより好ましく、４００，０００以下が更に好ましい。
【００５９】
数平均分子量及び重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）により、標準ポリスチレンの検量線を用いて測定することができる。
【００６０】
（構造単位の割合）
【００６１】
電荷輸送性ポリマーに含まれる構造単位Ｂの割合は、有機エレクトロニクス素子の耐久性向上の観点から、全構造単位を基準として、１モル％以上が好ましく、５モル％以上がより好ましく、１０モル％以上が更に好ましい。また、構造単位Ｂの割合は、粘度の上昇を抑え、電荷輸送性ポリマーの合成を良好に行う観点、又は、十分な電荷輸送性を得る観点から、５０モル％以下が好ましく、４０モル％以下がより好ましく、３０モル％以下が更に好ましい。ここで、上記構造単位Ｂの割合は、芳香族炭化水素のみからなる３価以上の構造単位Ｂ１と、その他任意の電荷輸送性を有する３価以上の構造単位Ｂ２との合計を意味する。
【００６２】
電荷輸送性ポリマーに含まれる構造単位Ｌの割合は、十分な電荷輸送性を得る観点から、全構造単位を基準として、１０モル％以上が好ましく、２０モル％以上がより好ましく、３０モル％以上が更に好ましい。また、構造単位Ｌの割合は、構造単位Ｔ及び必要に応じて導入される構造単位Ｂを考慮すると、９５モル％以下が好ましく、９０モル％以下がより好ましく、８５モル％以下が更に好ましい。
【００６３】
電荷輸送性ポリマーに含まれる構造単位Ｔの割合は、有機エレクトロニクス素子の特性向上の観点、又は、粘度の上昇を抑え、電荷輸送性ポリマーの合成を良好に行う観点から、全構造単位を基準として、５モル％以上が好ましく、１０モル％以上がより好ましく、１５モル％以上が更に好ましい。また、構造単位Ｔの割合は、十分な電荷輸送性を得る観点から、６０モル％以下が好ましく、５５モル％以下がより好ましく、５０モル％以下が更に好ましい。
【００６４】
電荷輸送性ポリマーが重合性官能基を有する場合、重合性官能基の割合は、電荷輸送性ポリマーを効率よく硬化させるという観点から、全構造単位を基準として、０．１モル％以上が好ましく、１モル％以上がより好ましく、３モル％以上が更に好ましい。また、重合性官能基の割合は、良好な電荷輸送性を得るという観点から、７０モル％以下が好ましく、６０モル％以下がより好ましく、５０モル％以下が更に好ましい。なお、ここでの「重合性官能基の割合」とは、重合性官能基を有する構造単位の割合をいう。
【００６５】
電荷輸送性、耐久性、生産性等のバランスを考慮すると、構造単位Ｌ及び構造単位Ｔの割合（モル比）は、Ｌ：Ｔ＝１００：１〜７０が好ましく、１００：３〜５０がより好ましく、１００：５〜３０が更に好ましい。また、電荷輸送性ポリマーが構造単位Ｂを含む場合、構造単位Ｌ、構造単位Ｔ、及び構造単位Ｂの割合（モル比）は、Ｌ：Ｔ：Ｂ＝１００：１０〜２００：１０〜１００が好ましく、１００：２０〜１８０：２０〜９０がより好ましく、１００：４０〜１６０：３０〜８０が更に好ましい。ここで、上記構造単位Ｂの割合は、芳香族炭化水素のみからなる３価以上の構造単位Ｂ１と、その他任意の電荷輸送性を有する３価以上の構造単位Ｂ２との合計を意味する。
【００６６】
構造単位の割合は、電荷輸送性ポリマーを合成するために使用した、各構造単位に対応するモノマーの仕込み量を用いて求めることができる。また、構造単位の割合は、電荷輸送性ポリマーの１Ｈ  ＮＭＲスペクトルにおける各構造単位に由来するスペクトルの積分値を利用し、平均値として算出することができる。簡便であることから、仕込み量が明らかである場合は、好ましくは、仕込み量を用いて求めた値を採用する。
【００６７】
一実施形態において、電荷輸送性ポリマーは、芳香族炭化水素のみからなる３価以上の構造単位Ｂ１と、電荷輸送性を有する２価の構造単位Ｌと、１価の構造単位Ｔとを有する。ここで、上記２価の構造単位Ｌは、芳香族アミン構造、カルバゾール構造、及びチオフェン構造からなる群から選ばれる少なくとも１種の構造を有することが好ましい。なかでも、構造単位Ｌは、芳香族アミン構造を有することが好ましい。芳香族アミン構造は、好ましくはトリアリールアミン構造であり、より好ましくはトリフェニルアミン構造である。上記１価の構造単位Ｔは、末端に重合性官能基を有することが好ましい。
【００６８】
（電荷輸送性ポリマーの製造方法）
電荷輸送性ポリマーは、種々の合成方法により製造でき、特に限定されない。例えば、鈴木カップリング、根岸カップリング、園頭カップリング、スティルカップリング、ブッフバルト・ハートウィッグカップリング等の公知のカップリング反応を用いることができる。鈴木カップリングは、芳香族ボロン酸誘導体と芳香族ハロゲン化物の間で、Ｐｄ触媒を用いたクロスカップリング反応を起こさせるものである。鈴木カップリングによれば、所望とする芳香環同士を結合させることにより、電荷輸送性ポリマーを簡便に製造できる。
【００６９】
カップリング反応では、触媒として、例えば、Ｐｄ（０）化合物、Ｐｄ（ＩＩ）化合物、Ｎｉ化合物等が用いられる。また、トリス（ジベンジリデンアセトン）ジパラジウム（０）、酢酸パラジウム（ＩＩ）等を前駆体とし、ホスフィン配位子と混合することにより発生させた触媒種を用いることもできる。電荷輸送性ポリマーの合成方法については、例えば、国際公開第ＷＯ２０１０／１４０５５３号の記載を参照できる。
【００７０】
（原料モノマー化合物）
特に限定するものではないが、鈴木カップリング反応を用いて電荷輸送性ポリマーを調製する場合、各構造単位Ｂ、Ｌ及びＴをそれぞれ誘導可能なモノマー化合物を原料として使用することができる。使用可能な原料モノマーの組合せの一例を示す。
【００７１】
【表１】
2017059718.tif 000013
【００７２】
モノマーＬの例示において、Ｒは、先に構造単位Ｌで説明したＲと同様である。モノマーＬの一実施形態において、Ｒは、炭素数１〜８の直鎖又は分岐のアルキル基であり、好ましくは炭素数１〜４の直鎖のアルキル基である。また、モノマーＢ、Ｌ及びＴにおいて、ブロモ基及びボロン酸といった反応性官能基の位置は特に限定されない。反応性官能基がパラ位に位置する場合、より高い反応性が得られる点で好ましい。上記モノマーの組合せによれば、モノマーにおけるボロン酸基とブロモ基との反応によって、各モノマーから誘導される構造単位Ｌ、Ｂ、及びＴがそれぞれ結合したポリマーが得られる。各モノマーは、互いに反応によって結合を形成することが可能な反応性官能基の組合せを有すればよく、ボロン酸基とブロモ基とを互いに入れ替えた構造であってもよい、反応性官能基は、ボロン酸エステル、又はブロモ基以外のハロゲン基であってもよい。
【００７３】
［ドーパント］
有機エレクトロニクス材料を使用して有機エレクトロニクス素子を構成する場合、有機エレクトロニクス材料は、さらに、周知の添加剤を含んでもよい。一実施形態において、有機エレクトロニクス材料は、ドーパントを更に含有してもよい。ドーパントは、有機エレクトロニクス材料に添加することでドーピング効果を発現させ、電荷の輸送性を向上させ得るものであればよく、特に制限はない。ドーピングには、ｐ型ドーピングとｎ型ドーピングがあり、ｐ型ドーピングではドーパントとして電子受容体として働く物質が用いられ、ｎ型ドーピングではドーパントとして電子供与体として働く物質が用いられる。正孔輸送性の向上にはｐ型ドーピング、電子輸送性の向上にはｎ型ドーピングを行うことが好ましい。有機エレクトロニクス材料に用いられるドーパントは、ｐ型ドーピング又はｎ型ドーピングのいずれの効果を発現させるドーパントであってもよい。また、１種のドーパントを単独で添加しても、複数種のドーパントを混合して添加してもよい。
【００７４】
ｐ型ドーピングに用いられるドーパントは、電子受容性の化合物であり、例えば、ルイス酸、プロトン酸、遷移金属化合物、イオン化合物、ハロゲン化合物、π共役系化合物等が挙げられる。具体的には、ルイス酸としては、ＦｅＣｌ３、ＰＦ５、ＡｓＦ５、ＳｂＦ５、ＢＦ５、ＢＣｌ３、ＢＢｒ３等；プロトン酸としては、ＨＦ、ＨＣｌ、ＨＢｒ、ＨＮＯ５、Ｈ２ＳＯ４、ＨＣｌＯ４等の無機酸、ベンゼンスルホン酸、ｐ−トルエンスルホン酸、ドデシルベンゼンスルホン酸、ポリビニルスルホン酸、メタンスルホン酸、トリフルオロメタンスルホン酸、トリフルオロ酢酸、１−ブタンスルホン酸、ビニルフェニルスルホン酸、カンファスルホン酸等の有機酸；遷移金属化合物としては、ＦｅＯＣｌ、ＴｉＣｌ４、ＺｒＣｌ４、ＨｆＣｌ４、ＮｂＦ５、ＡｌＣｌ３、ＮｂＣｌ５、ＴａＣｌ５、ＭｏＦ５；イオン化合物としては、テトラキス（ペンタフルオロフェニル）ホウ酸イオン、トリス（トリフルオロメタンスルホニル）メチドイオン、ビス（トリフルオロメタンスルホニル）イミドイオン、ヘキサフルオロアンチモン酸イオン、ＡｓＦ６−（ヘキサフルオロ砒酸イオン）、ＢＦ４−（テトラフルオロホウ酸イオン）、ＰＦ６−（ヘキサフルオロリン酸イオン）等のパーフルオロアニオンを有する塩、アニオンとして上記プロトン酸の共役塩基を有する塩など；ハロゲン化合物としては、Ｃｌ２、Ｂｒ２、Ｉ２、ＩＣｌ、ＩＣｌ３、ＩＢｒ、ＩＦ等；π共役系化合物としては、ＴＣＮＥ（テトラシアノエチレン）、ＴＣＮＱ（テトラシアノキノジメタン）等が挙げられる。また、特開２０００−３６３９０号公報、特開２００５−７５９４８号公報、特開２００３−２１３００２号公報等に記載の電子受容性化合物を用いることも可能である。好ましくは、ルイス酸、イオン化合物、π共役系化合物等である。
【００７５】
ｎ型ドーピングに用いられるドーパントは、電子供与性の化合物であり、例えば、Ｌｉ、Ｃｓ等のアルカリ金属；Ｍｇ、Ｃａ等のアルカリ土類金属；ＬｉＦ、Ｃｓ２ＣＯ３等のアルカリ金属及び／又はアルカリ土類金属の塩；金属錯体；電子供与性有機化合物などが挙げられる。
【００７６】
電荷輸送性ポリマーが重合性官能基を有する場合は、有機層の溶解度の変化を容易にするために、ドーパントとして、重合性官能基に対する重合開始剤として作用し得る化合物を用いることが好ましい。
【００７７】
［他の任意成分］
有機エレクトロニクス材料は、電荷輸送性低分子化合物、他のポリマー等を更に含有してもよい。
【００７８】
［含有量］
電荷輸送性ポリマーの含有量は、良好な電荷輸送性を得る観点から、有機エレクトロニクス材料の全質量に対して、５０質量％以上が好ましく、７０質量％以上がより好ましく、８０質量％以上が更に好ましい。１００質量％とすることも可能である。
【００７９】
ドーパントを含有する場合、その含有量は、有機エレクトロニクス材料の電荷輸送性を向上させる観点から、有機エレクトロニクス材料の全質量に対して、０．０１質量％以上が好ましく、０．１質量％以上がより好ましく、０．５質量％以上が更に好ましい。また、成膜性を良好に保つ観点から、有機エレクトロニクス材料の全質量に対して、５０質量％以下が好ましく、３０質量％以下がより好ましく、２０質量％以下が更に好ましい。
【００８０】
＜インク組成物＞
本発明の実施形態であるインク組成物は、上記実施形態の有機エレクトロニクス材料と該材料を溶解又は分散し得る溶媒とを含有する。インク組成物を用いることによって、塗布法といった簡便な方法によって有機層を容易に形成できる。
【００８１】
［溶媒］
溶媒としては、水、有機溶媒、又はこれらの混合溶媒を使用できる。有機溶媒としては、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール等のアルコール；ペンタン、ヘキサン、オクタン等のアルカン；シクロヘキサン等の環状アルカン；ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレン、テトラリン、ジフェニルメタン等の芳香族炭化水素；エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコール−１−モノメチルエーテルアセタート等の脂肪族エーテル；１，２−ジメトキシベンゼン、１，３−ジメトキシベンゼン、アニソール、フェネトール、２−メトキシトルエン、３−メトキシトルエン、４−メトキシトルエン、２，３−ジメチルアニソール、２，４−ジメチルアニソール等の芳香族エーテル；酢酸エチル、酢酸ｎ−ブチル、乳酸エチル、乳酸ｎ−ブチル等の脂肪族エステル；酢酸フェニル、プロピオン酸フェニル、安息香酸メチル、安息香酸エチル、安息香酸プロピル、安息香酸ｎ−ブチル等の芳香族エステル；Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド等のアミド系溶媒；ジメチルスルホキシド、テトラヒドロフラン、アセトン、クロロホルム、塩化メチレンなどが挙げられる。好ましくは、芳香族炭化水素、脂肪族エステル、芳香族エステル、脂肪族エーテル、芳香族エーテル等である。
【００８２】
［重合開始剤］
電荷輸送性ポリマーが重合性官能基を有する場合、インク組成物は、好ましくは、重合開始剤を含有する。重合開始剤として、公知のラジカル重合開始剤、カチオン重合開始剤、アニオン重合開始剤等を使用できる。インク組成物を簡便に調製できる観点から、ドーパントとしての機能と重合開始剤としての機能とを兼ねる物質を用いることが好ましい。そのような物質として、例えば、上記イオン化合物が挙げられる。
【００８３】
［添加剤］
インク組成物は、更に、任意成分として添加剤を含有してもよい。添加剤としては、例えば、重合禁止剤、安定剤、増粘剤、ゲル化剤、難燃剤、酸化防止剤、還元防止剤、酸化剤、還元剤、表面改質剤、乳化剤、消泡剤、分散剤、界面活性剤等が挙げられる。
【００８４】
［含有量］
インク組成物における溶媒の含有量は、種々の塗布方法へ適用することを考慮して定めることができる。例えば、溶媒の含有量は、溶媒に対し電荷輸送性ポリマーの割合が、０．１質量％以上となる量が好ましく、０．２質量％以上となる量がより好ましく、０．５質量％以上となる量が更に好ましい。また、溶媒の含有量は、溶媒に対し電荷輸送性ポリマーの割合が、２０質量％以下となる量が好ましく、１５質量％以下となる量がより好ましく、１０質量％以下となる量が更に好ましい。
【００８５】
＜有機層＞
本発明の実施形態である有機層は、上記実施形態の有機エレクトロニクス材料又はインク組成物を用いて形成された層である。インク組成物を用いることによって、塗布法により有機層を良好に形成できる。塗布方法としては、例えば、スピンコーティング法；キャスト法；浸漬法；凸版印刷、凹版印刷、オフセット印刷、平版印刷、凸版反転オフセット印刷、スクリーン印刷、グラビア印刷等の有版印刷法；インクジェット法等の無版印刷法などの公知の方法が挙げられる。塗布法によって有機層を形成する場合、塗布後に得られた有機層（塗布層）を、ホットプレート又はオーブンを用いて乾燥させ、溶媒を除去してもよい。
【００８６】
電荷輸送性ポリマーが重合性官能基を有する場合、光照射、加熱処理等により電荷輸送性ポリマーの重合反応を進行させ、有機層の溶解度を変化させることができる。溶解度を変化させた有機層を積層することで、有機エレクトロニクス素子の多層化を容易に図ることが可能となる。有機層の形成方法については、例えば、国際公開第ＷＯ２０１０／１４０５５３号の記載を参照できる。
【００８７】
乾燥後又は硬化後の有機層の厚さは、電荷輸送の効率を向上させる観点から、好ましくは０．１ｎｍ以上であり、より好ましくは１ｎｍ以上であり、更に好ましくは３ｎｍ以上である。また、有機層の厚さは、電気抵抗を小さくする観点から、好ましくは３００ｎｍ以下であり、より好ましくは２００ｎｍ以下であり、更に好ましくは１００ｎｍ以下である。
【００８８】
＜有機エレクトロニクス素子＞
本発明の実施形態である有機エレクトロニクス素子は、少なくとも上記実施形態の有機層を有する。有機エレクトロニクス素子として、例えば、有機ＥＬ素子、有機光電変換素子、有機トランジスタ等が挙げられる。有機エレクトロニクス素子は、好ましくは、陽極及び陰極からなる少なくとも一対の電極の間に有機層が配置された構造を有する。
【００８９】
［有機ＥＬ素子］
本発明の実施形態である有機ＥＬ素子は、少なくとも上記実施形態の有機層を有する。有機ＥＬ素子は、通常、発光層、陽極、陰極、及び基板を備えており、必要に応じて、正孔注入層、電子注入層、正孔輸送層、電子輸送層等の他の機能層を備えている。各層は、蒸着法により形成してもよく、塗布法により形成してもよい。有機ＥＬ素子は、好ましくは、有機層を発光層又は他の機能層として有し、より好ましくは機能層として有し、更に好ましくは正孔注入層及び正孔輸送層の少なくとも一方として有する。
【００９０】
図１は、有機ＥＬ素子の一実施形態を示す断面模式図である。図１の有機ＥＬ素子は、多層構造の素子であり、基板８、陽極２、上記実施形態の有機層からなる正孔注入層３及び正孔輸送層６、発光層１、電子輸送層７、電子注入層５、並びに陰極４をこの順に有している。以下、各層について説明する。
【００９１】
［発光層］
発光層に用いる材料として、低分子化合物、ポリマー、デンドリマー等の発光材料を使用できる。ポリマーは、溶媒への溶解性が高く、塗布法に適しているため好ましい。発光材料としては、蛍光材料、燐光材料、熱活性化遅延蛍光材料（ＴＡＤＦ）等が挙げられる。
【００９２】
蛍光材料として、ペリレン、クマリン、ルブレン、キナクドリン、スチルベン、色素レーザー用色素、アルミニウム錯体、これらの誘導体等の低分子化合物；ポリフルオレン、ポリフェニレン、ポリフェニレンビニレン、ポリビニルカルバゾール、フルオレンーベンゾチアジアゾール共重合体、フルオレン−トリフェニルアミン共重合体、これらの誘導体等のポリマー；これらの混合物等が挙げられる。
【００９３】
燐光材料として、Ｉｒ、Ｐｔ等の金属を含む金属錯体などを使用できる。Ｉｒ錯体としては、例えば、青色発光を行うＦＩｒ（ｐｉｃ）（イリジウム（ＩＩＩ）ビス［（４，６−ジフルオロフェニル）−ピリジネート−Ｎ，Ｃ２］ピコリネート）、緑色発光を行うＩｒ（ｐｐｙ）３（ファク  トリス（２−フェニルピリジン）イリジウム）、赤色発光を行う（ｂｔｐ）２Ｉｒ（ａｃａｃ）（ビス〔２−（２’−ベンゾ［４，５−α］チエニル）ピリジナート−Ｎ，Ｃ３〕イリジウム（アセチル−アセトネート））、Ｉｒ（ｐｉｑ）３（トリス（１−フェニルイソキノリン）イリジウム）等が挙げられる。Ｐｔ錯体としては、例えば、赤色発光を行うＰｔＯＥＰ（２、３、７、８、１２、１３、１７、１８−オクタエチル−２１Ｈ、２３Ｈ−フォルフィンプラチナ）等が挙げられる。
【００９４】
発光層が燐光材料を含む場合、燐光材料の他に、更にホスト材料を含むことが好ましい。ホスト材料としては、低分子化合物、ポリマー、又はデンドリマーを使用できる。低分子化合物としては、例えば、ＣＢＰ（４，４’−ビス（９Ｈ−カルバゾール−９−イル）ビフェニル）、ｍＣＰ（１，３−ビス（９−カルバゾリル）ベンゼン）、ＣＤＢＰ（４，４’−ビス（カルバゾール−９−イル）−２，２’−ジメチルビフェニル）、これらの誘導体等が、ポリマーとしては、上記実施形態の有機エレクトロニクス材料、ポリビニルカルバゾール、ポリフェニレン、ポリフルオレン、これらの誘導体等が挙げられる。
【００９５】
熱活性化遅延蛍光材料としては、例えば、Adv. Mater., 21, 4802-4906 (2009);Appl. Phys. Lett., 98, 083302 (2011);Chem. Comm., 48, 9580 (2012);Appl. Phys. Lett., 101, 093306 (2012);J. Am. Chem. Soc., 134, 14706 (2012);Chem. Comm., 48, 11392 (2012);Nature, 492, 234 (2012);Adv. Mater., 25, 3319 (2013);J. Phys. Chem. A, 117, 5607 (2013);Phys. Chem. Chem. Phys., 15, 15850 (2013);Chem. Comm., 49, 10385 (2013);Chem. Lett., 43, 319 (2014)等に記載の化合物が挙げられる。
【００９６】
［電子輸送層、電子注入層］
電子輸送層及び電子注入層に用いる材料としては、例えば、フェナントロリン誘導体、ビピリジン誘導体、ニトロ置換フルオレン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、チオピランジオキシド誘導体、ナフタレン、ペリレンなどの縮合環テトラカルボン酸無水物、カルボジイミド、フルオレニリデンメタン誘導体、アントラキノジメタン及びアントロン誘導体、オキサジアゾール誘導体、チアジアゾール誘導体、ベンゾイミダゾール誘導体、キノキサリン誘導体、アルミニウム錯体等が挙げられる。また、上記実施形態の有機エレクトロニクス材料も使用できる。
【００９７】
［陰極］
陰極材料としては、例えば、Ｌｉ、Ｃａ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｉｎ、Ｃｓ、Ｂａ、Ｍｇ／Ａｇ、ＬｉＦ、ＣｓＦ等の金属又は金属合金が用いられる。
【００９８】
［陽極］
陽極材料としては、例えば、金属（例えば、Ａｕ）又は導電性を有する他の材料が用いられる。他の材料として、例えば、酸化物（例えば、ＩＴＯ：酸化インジウム／酸化錫）、導電性高分子（例えば、ポリチオフェン−ポリスチレンスルホン酸混合物（ＰＥＤＯＴ：ＰＳＳ））が挙げられる。
【００９９】
［基板］
基板として、ガラス、プラスチック等を使用できる。基板は、透明であることが好ましく、また、フレキシブル性を有することが好ましい。石英ガラス、光透過性樹脂フィルム等が好ましく用いられる。
【０１００】
樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリフェニレンスルフィド、ポリアリレート、ポリイミド、ポリカーボネート、セルローストリアセテート、セルロースアセテートプロピオネート等からなるフィルムが挙げられる。
【０１０１】
樹脂フィルムを用いる場合、水蒸気、酸素等の透過を抑制するために、樹脂フィルムへ酸化珪素、窒化珪素等の無機物をコーティングして用いてもよい。
【０１０２】
［発光色］
有機ＥＬ素子の発光色は特に限定されるものではない。白色の有機ＥＬ素子は、家庭用照明、車内照明、時計又は液晶のバックライト等の各種照明器具に用いることができるため好ましい。
【０１０３】
白色の有機ＥＬ素子を形成する方法としては、複数の発光材料を用いて複数の発光色を同時に発光させて混色させる方法を用いることができる。複数の発光色の組み合わせとしては、特に限定されるものではないが、青色、緑色及び赤色の３つの発光極大波長を含有する組み合わせ、青色と黄色、黄緑色と橙色等の２つの発光極大波長を含有する組み合わせなどが挙げられる。発光色の制御は、発光材料の種類と量の調整により行うことができる。
【０１０４】
＜表示素子、照明装置、表示装置＞
本発明の実施形態である表示素子は、前記実施形態の有機ＥＬ素子を備えている。例えば、赤、緑及び青（ＲＧＢ）の各画素に対応する素子として、有機ＥＬ素子を用いることで、カラーの表示素子が得られる。画像の形成方法には、マトリックス状に配置した電極でパネルに配列された個々の有機ＥＬ素子を直接駆動する単純マトリックス型と、各素子に薄膜トランジスタを配置して駆動するアクティブマトリックス型とがある。
【０１０５】
また、本発明の実施形態である照明装置は、本発明の実施形態の有機ＥＬ素子を備えている。さらに、本発明の実施形態である表示装置は、照明装置と、表示手段として液晶素子とを備えている。例えば、表示装置は、バックライトとして本発明の実施形態である照明装置を用い、表示手段として公知の液晶素子を用いた表示装置、すなわち液晶表示装置とできる。
【実施例】
【０１０６】
以下、実施例により本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。
【０１０７】
Ｉ．有機エレクトロニクス材料の調製
（Ｐｄ触媒の調製）
窒素雰囲気下のグローブボックス中で、室温下、サンプル管にトリス（ジベンジリデンアセトン）ジパラジウム（７３．２ｍｇ、８０μｍｏｌ）を秤取り、アニソール（１５ｍｌ）を加え、３０分間攪拌した。同様に、サンプル管にトリス（ｔ−ブチル）ホスフィン（１２９．６ｍｇ、６４０μｍｏｌ）を秤取り、アニソール（５ｍｌ）を加え、５分間攪拌した。これらの溶液を混合し室温で３０分間攪拌し、得られた生成物を触媒とした。
【０１０８】
（調製例１）電荷輸送性ポリマー１
三口丸底フラスコに、以下に示すモノマー１（５．０ｍｍｏｌ）、モノマー２（２．０ｍｍｏｌ）、モノマー３（４．０ｍｍｏｌ）と、アニソール（２０ｍｌ）を入れ、さらに、先に調製したＰｄ触媒溶液（７．５ｍｌ）を加えた。これらの原料を３０分撹拌した後、１０％テトラエチルアンモニウム水酸化物水溶液（２０ｍｌ）を加えた。なお、反応に使用する全ての溶媒は、窒素バブルによって３０分以上にわたって脱気した後に使用した。上述のようにして得た反応混合物を２時間にわたって加熱及び還流した。ここまでの全ての操作は、窒素気流下で行った。
【化１１】
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【０１０９】
反応終了後、有機層を水洗し、有機層をメタノール−水（９：１）に注いだ。生じた沈殿を吸引ろ過し、メタノール−水（９：１）で洗浄した。得られた沈殿をトルエンに溶解し、メタノールから再沈殿した。得られた沈殿を吸引ろ過し、トルエンに溶解し、ｔｒｉｐｈｅｎｙｌｐｈｏｓｐｈｉｎｅ，ｐｏｌｙｍｅｒ−ｂｏｕｎｄ  ｏｎ  ｓｔｙｒｅｎｅ−ｄｉｖｉｎｙｌｂｅｎｚｅｎｅ  ｃｏｐｏｌｙｍｅｒ（ｓｔｒｅｍ  ｃｈｅｍｉｃａｌｓ社  、ポリマー１００ｍｇに対して２００ｍｇ）を加えて、一晩撹拌した。撹拌終了後、ｔｒｉｐｈｅｎｙｌｐｈｏｓｐｈｉｎｅ，ｐｏｌｙｍｅｒ−ｂｏｕｎｄ  ｏｎ  ｓｔｙｒｅｎｅ−ｄｉｖｉｎｙｌｂｅｎｚｅｎｅ  ｃｏｐｏｌｙｍｅｒと不溶物をろ過して取り除き、ろ液をロータリーエバポレーターで濃縮した。残さをトルエンに溶解した後、メタノール−アセトン（８：３）から再沈殿した。生じた沈殿を吸引ろ過し、メタノール−アセトン（８：３）で洗浄した。得られた沈殿を真空乾燥し、１．３ｇの有電荷輸送性ポリマー１を得た。
得られた電荷輸送性ポリマー１の数平均分子量は８，９００であり、質量平均分子量は５２，３００であった。電荷輸送性ポリマー１は、構造単位Ｌ（モノマー１に由来）、構造単位Ｂ１（モノマー２に由来）、及び構造単位Ｔ（モノマー３に由来）を有し、それぞれの割合は、順に、４５．５％、１８．２％、及び３６．４％であった。
【０１１０】
数平均分子量及び重量平均分子量は、溶離液としてテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）を用いたＧＰＣ（ポリエチレン換算）によって測定した。測定条件は以下のとおりである。
送液ポンプ：Ｌ−６０５０  （株）日立ハイテクノロジーズ
ＵＶ−Ｖｉｓ検出器：Ｌ−３０００  （株）日立ハイテクノロジーズ
カラム：Ｇｅｌｐａｃｋ（登録商標）  ＧＬ−Ａ１６０Ｓ／ＧＬ−Ａ１５０Ｓ  日立化成（株）
溶離液：ＴＨＦ（ＨＰＬＣ用、安定剤を含まない）  和光純薬工業（株）
流速：１ｍＬ／ｍｉｎ
カラム温度：室温
分子量標準物質：標準ポリスチレン
【０１１１】
（調製例２）電荷輸送性ポリマー２
調製例１のモノマー２を下記に示すモノマー４に変更した以外は、調製例１と同様にして電荷輸送性ポリマー２を得た。得られた電荷輸送性ポリマー２の数平均分子量は４０００であり、質量平均分子量は１４０００であった。電荷輸送性ポリマー２は、構造単位Ｌ（モノマー１に由来）、構造単位Ｂ１（モノマー４に由来）、及び構造単位Ｔ（モノマー３に由来）を有し、それぞれの割合は、順に、４５．５％、１８．２％、及び３６．４％であった。
【化１２】
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【０１１２】
（調製例３）電荷輸送性ポリマー３
調製例１のモノマー２を下記に示すモノマー５に変更した以外は、調製例１と同様にして電荷輸送性ポリマー３を得た。得られた電荷輸送性ポリマー３の数平均分子量は５５００であり、質量平均分子量は４７５００であった。電荷輸送性ポリマー３は、構造単位Ｌ（モノマー１に由来）、構造単位Ｂ１（モノマー５に由来）、及び構造単位Ｔ（モノマー３に由来）を有し、それぞれの割合は、順に、４５．５％、１８．２％、及び３６．４％であった。
【化１３】
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【０１１３】
（調製例４）電荷輸送性ポリマー４
調製例１のモノマー２（２．０ｍｍｏｌ）を下記に示すモノマー６（１．５ｍｍｏｌ）に変更した以外は、調製例１と同様にして電荷輸送性ポリマー４を得た。得られた電荷輸送性ポリマー４の数平均分子量は２８００であり、質量平均分子量は８１００であった。電荷輸送性ポリマー４は、構造単位Ｌ（モノマー１に由来）、構造単位Ｂ１（モノマー６に由来）、及び構造単位Ｔ（モノマー３に由来）を有し、それぞれの割合は、順に、４７．６％、１４．３％、及び３８．１％であった。
【化１４】
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【０１１４】
（調製例５）電荷輸送性ポリマー５
調製例１のモノマー２を下記に示すモノマー７に変更した以外は、調製例１と同様にして電荷輸送性ポリマー５を得た。得られた電荷輸送性ポリマー５の数平均分子量は７８００であり、質量平均分子量は３１０００であった。電荷輸送性ポリマー５は、構造単位Ｌ（モノマー１に由来）、構造単位Ｂ２（モノマー７に由来）、及び構造単位Ｔ（モノマー３に由来）を有し、それぞれの割合は、順に、４５．５％、１８．２％、及び３６．４％であった。
【化１５】
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【０１１５】
ＩＩ．有機エレクトロニクス材料の評価
先に調製した各電荷輸送性ポリマー１〜５を有機エレクトロニクス材料として使用して、各種特性について検討した。
＜有機ＥＬ素子＞
以下の実施例１〜４及び比較例１では、先に調製した電荷輸送性ポリマー１〜５を用いて構成される正孔輸送層を有する有機ＥＬ素子について検討した。
【０１１６】
（実施例１）
電荷輸送性ポリマー５（１０．０ｍｇ）と、重合開始剤として下記化合物１（０．５ｍｇ）と、トルエン（２．３ｍＬ）とからなる、正孔注入層用のインク組成物を調製した。窒素雰囲気下で、ＩＴＯを１．６ｍｍ幅にパターニングしたガラス基板上に、上記インク組成物を３０００ｍｉｎ−１でスピンコートした。次いで、ホットプレート上で、２２０℃の温度において、１０分間加熱し、塗膜を硬化させることによって、正孔注入層（３０ｎｍ）を形成した。
【０１１７】
【化１６】
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【０１１８】
次に、上記操作で得た正孔注入層の上に、電荷輸送性ポリマー１（２０ｍｇ）と、トルエン（２．３ｍＬ）とからなる、正孔輸送層用のインク組成物を、３０００ｍｉｎ−１でスピンコートした。次いで、ホットプレート上で、１８０℃の温度において、１０分間加熱して乾燥させることによって、正孔輸送層（４０ｎｍ）を形成した。このようにして、ガラス基板／正孔注入層／正孔輸送層の積層体を得た。
【０１１９】
次に、上記のようにして得た積層体を真空蒸着中に移し、上記正孔輸送層の上に、ＣＢＰ：Ｉｒ（ｐｐｙ）３  （９４：６、３０ｎｍ）、ＢＡｌｑ（１０ｎｍ）、Ａｌｑ３（３０ｎｍ）、ＬｉＦ（０．８ｎｍ）、Ａｌ（１００ｎｍ）の順に蒸着法で成膜し、封止処理を行って、有機ＥＬ素子を作製した。得られた有機ＥＬの発光効率及び発光寿命（輝度半減時間）を、輝度計(トップコン製、BM7)及び電流電圧計（YOKOGAWA・HEWLETT・PACKARD製の4140B）を用いて評価した。具体的には、発光輝度を３０００ｃｄ/ｍ２に設定した時の発光効率、及び上記輝度が半減するまでの時間を測定した。その結果を表２に示す。
【０１２０】
（実施例２）
実施例１の正孔輸送層用のインク組成物について、電荷輸送性ポリマー１を電荷輸送性ポリマー２に変更した以外は、全て実施例１と同様にして、有機ＥＬ素子を作製した。得られた有機ＥＬの発光効率を、実施例１と同様にして評価した。その結果を表２に示す。
【０１２１】
（実施例３）
実施例１の正孔輸送層用のインク組成物について、電荷輸送性ポリマー１を電荷輸送性ポリマー３に変更した以外は全て実施例１と同様にして有機ＥＬ素子を作製した。得られた有機ＥＬの発光効率を、実施例１と同様にして評価した。その結果を表２に示す。
【０１２２】
（実施例４）
実施例１の正孔輸送層用のインク組成物について、電荷輸送性ポリマー１を電荷輸送性ポリマー４に変更した以外は、全て実施例１と同様にして有機ＥＬ素子を作製した。得られた有機ＥＬの発光効率を、実施例１と同様にして評価した。その結果を表２に示す。
【０１２３】
（比較例１）
実施例１の正孔輸送層用のインク組成物について、電荷輸送性ポリマー１を電荷輸送性ポリマー５に変更した以外は、全て実施例１と同様にして有機ＥＬ素子を作製した。得られた有機ＥＬの発光効率を、実施例１と同様にして評価した。その結果を表２に示す。
【０１２４】
【表２】
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【０１２５】
実施例１〜４と比較例１との比較から、本発明の有機エレクトロニクス材料（電荷輸送性ポリマー）によれば、高効率かつ長寿命な有機ＥＬ素子を作製できることが分かる。すなわち、電荷輸送性ポリマーの分子内に、電荷輸送性を有する構造単位に加えて、ヘテロ元素を含まない芳香環のみからなる特定の構造単位を導入することによって、発光効率及び発光寿命の改善が図れることが分かる。
【０１２６】
＜耐溶剤性＞
正孔注入層／正孔輸送層の積層構造をモデルとして、有機エレクトロニクス材料として先に調製した電荷輸送性ポリマー１〜４を使用して正孔輸送層を形成する実施形態について検討した。より具体的には、以下の実施例５〜１２では、電荷輸送性ポリマー５を用いて構成される正孔注入層に対して、上記電荷輸送性ポリマー１〜４を含むインク組成物を塗布法により成膜して得られる積層体の耐溶剤性について評価した。
【０１２７】
（実施例５）
先ず、電荷輸送性ポリマー５（１０．０ｍｇ）と、重合開始剤として下記化合物１（０．５ｍｇ）と、トルエン（２．３ｍＬ）とからなるインク組成物１を調製した。このインク組成物１を３０００ｒｐｍで石英板上にスピンコートした。ついで、ホットプレート上で１８０℃において１０分間加熱することによって、石英板に第１の薄膜を形成した。
【化１７】
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【０１２８】
次に、電荷輸送性ポリマー１（１０．０ｍｇ）と、トルエン（２．３ｍＬ）とからなるインク組成物２Ａを調製し、このインク組成物２Ａを３０００ｒｐｍで上記第１の薄膜上にスピンコートした。ついで、ホットプレート上で１８０℃において１０分間加熱することによって、石英板／第１の薄膜／第２の薄膜の積層体を得た。
得られた上記積層体をトルエン中に１分間浸漬し、洗浄をおこなった。洗浄前後の上記積層体のＵＶ−ｖｉｓスペクトルにおける吸収極大（λｍａｘ）の吸光度（Ａｂｓ）の比から、残膜率を測定した。結果を表３に示す。
【０１２９】
（実施例６）
実施例５のインク組成物２Ａについて、電荷輸送性ポリマー１を電荷輸送性ポリマー２に変更した以外は、実施例５と同様にして、インク組成物を調製し、第２の薄膜を形成し、積層体を得た。得られた積層体について、実施例５と同様にして、残膜率を測定した。その結果を表３に示す。
【０１３０】
（実施例７）
実施例５のインク組成物２Ａについて、電荷輸送性ポリマー１を電荷輸送性ポリマー３に変更した以外は、実施例５と同様にして、インク組成物を調製し、第２の薄膜を形成し、積層体を得た。得られた積層体について、実施例５と同様にして、残膜率を測定した。その結果を表３に示す。
【０１３１】
（実施例８）
実施例５のインク組成物２Ａについて、電荷輸送性ポリマー１を電荷輸送性ポリマー４に変更した以外は、実施例５と同様にして、インク組成物を調製し、第２の薄膜を形成し、積層体を得た。得られた積層体について、実施例５と同様にして、残膜率を測定した。その結果を表３に示す。
【０１３２】
（実施例９）
実施例５のインク組成物２Ａについて、電荷輸送性ポリマー１（１０．０ｍｇ）と、重合開始剤として上記化合物１（０．５ｍｇ）と、トルエン（２．３ｍＬ）とからなるインク組成物２Ｂに変更した以外は、全て実施例５と同様にして、第２の薄膜を形成し、積層体を得た。得られた積層体について、実施例５と同様にして、残膜率を測定した。その結果を表３に示す。
【０１３３】
（実施例１０）
実施例９のインク組成物２Ｂについて、電荷輸送性ポリマー１を電荷輸送性ポリマー２に変更した以外は、実施例９と同様にして、インク組成物を調製し、第２の薄膜を形成し、積層体を得た。得られた積層体について、実施例９と同様にして、残膜率を測定した。その結果を表３に示す。
【０１３４】
（実施例１１）
実施例９のインク組成物２Ｂについて、電荷輸送性ポリマー１を電荷輸送性ポリマー３に変更した以外は、実施例９と同様にして、インク組成物を調製し、第２の薄膜を形成し、積層体を得た。得られた積層体について、実施例９と同様にして、残膜率を測定した。その結果を表３に示す。
【０１３５】
（実施例１２）
実施例９のインク組成物２Ｂについて、電荷輸送性ポリマー１を電荷輸送性ポリマー４に変更した以外は、実施例９と同様にして、インク組成物を調製し、第２の薄膜を形成し、積層体を得た。得られた積層体について、実施例９と同様にして、残膜率を測定した。その結果を表３に示す。
【０１３６】
【表３】
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【０１３７】
実施例５〜１２から明らかなように、電荷輸送性ポリマーが分子内に重合性官能基を有することによって、正孔輸送層が不溶化し、高い残膜率が得られることが分かる。このことから、分子内に重合性官能基を有する電荷輸送性ポリマーを使用した場合、湿式プロセスによる有機層の成膜がより容易となり、さらにその上層を湿式プロセスによって形成し、多層化が可能となることが分かる。
【図１】
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