(57)【要約】【課題】互いに隣接するフレーム要素に隙間を埋めるための特別な部材を設けることなく、マスクフレームの開口部のサイズを変更しても、各フレーム要素の間に隙間が生じない構成する。【解決手段】矩形状の開口部を有するマスクフレームであって、開口部の４辺それぞれに対応した長手方向を有する４つのフレーム要素を備え、各フレーム要素における長手方向一端側の端辺部と、当該端辺部に隣接するフレーム要素における長手方向に沿った開口部側辺部とが、平面視において隙間を空けずに、対向して配置されており、４つのフレーム要素が、平面視においてそれぞれの長手方向に対して傾斜したそれぞれのスライド方向にスライド移動可能に設けられており、前記４つのフレーム要素をスライド移動させることにより前記開口部の開口サイズが変更可能に構成されている。【選択図】図２
2017172028.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形状の開口部を有するマスクフレームであって、
前記開口部の４辺それぞれに対応した長手方向を有する４つのフレーム要素を備え、
前記各フレーム要素における長手方向一端側の端辺部と、当該端辺部に隣接するフレーム要素における長手方向に沿った開口部側辺部とが対向して配置されており、
前記４つのフレーム要素が、平面視においてそれぞれの長手方向に対して傾斜したそれぞれのスライド方向にスライド移動可能に設けられており、
前記４つのフレーム要素をスライド移動させることにより前記開口部の開口サイズが変更可能に構成されているマスクフレーム。
【請求項２】
前記４つのフレーム要素が、平面視においてそれぞれの長手方向に対して４５度傾斜したスライド方向にスライド移動可能に設けられている請求項１記載のマスクフレーム。
【請求項３】
前記フレーム要素を支持する支持部材を備え、
前記フレーム要素及び前記支持部材の間に前記フレーム要素のスライド移動を可能にするスライドガイド機構が設けられている請求項１又は２記載のマスクフレーム。
【請求項４】
前記スライドガイド機構は、前記フレーム要素の長手方向一端側及び長手方向他端側にそれぞれ設けられている請求項３記載のマスクフレーム。
【請求項５】
前記フレーム要素は、締結部材により前記支持部材に固定されるものであり、
前記締結部材が挿通される前記フレーム要素の挿通孔又は前記支持部材の挿通孔の何れか一方が、前記スライド方向に沿った傾斜長孔であり、
前記締結部材及び前記傾斜長孔とされた挿通孔により前記スライドガイド機構が構成される請求項３又は４記載のマスクフレーム。
【請求項６】
前記フレーム要素の前記開口部側辺部は、その上面が開口部側に向かって下り勾配を有する第１傾斜面を有しており、
前記フレーム要素の前記端辺部は、前記第１傾斜面に対応した第２傾斜面を有している請求項１乃至５の何れか一項に記載のマスクフレーム。
【請求項７】
前記フレーム要素は、長手方向一端部が固定されるとともに、当該長手方向一端部を起点として長手方向他端側に長手方向に沿って熱膨張による移動が可能となるように構成されている請求項１乃至６の何れか一項に記載のマスクフレーム。
【請求項８】
前記フレーム要素の長手方向他端側に締結部材が挿通される挿通孔が形成されており、
前記締結部材が頭部を有するものであり、
前記挿通孔が長手方向に沿った長孔であり、
前記締結部材は、前記頭部と前記フレーム要素の上面との間に隙間を空けて前記長手方向他端側を固定するものである請求項７記載のマスクフレーム。
【請求項９】
前記１乃至８の何れか一項に記載のマスクフレームを有する真空処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板への処理範囲を制御するマスクフレーム及び当該マスクフレームを用いた真空処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の真空処理装置としては、特許文献１に示すように、基板の周縁部をマスキングして基板上の成膜範囲を制御するマスク体と、このマスク体が固定されるマスク体取付板とを備えたものがある。
【０００３】
このマスク体は、図１２に示すように、開口部の各辺に対応して分割された帯状の４個のフレーム要素（マスク素体）Ｘ１〜Ｘ４から構成されている。具体的にマスク体は、互いに対向する２つのフレーム要素Ｘ１、Ｘ２（図１２では左右のフレーム要素）と、それらのフレーム要素Ｘ１、Ｘ２に直交して配置されて互いに対向する２つのフレーム要素Ｘ３、Ｘ４（図１２では上下のフレーム要素）とを有している。また、互いに対向する左右のフレーム要素Ｘ１、Ｘ２の両端部それぞれが、互いに対向する上下のフレーム要素Ｘ３、Ｘ４に突き合わされて配置されている。
【０００４】
そして、各フレーム要素Ｘ１〜Ｘ４は、個々に位置変更が可能な取付状態でマスク体取付板に固定されている。具体的にフレーム要素は、マスク体取付板に設けられた調整ねじによって、フレーム要素の長手方向に直交する方向に位置変更が可能となるように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−６０６２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述したマスク体では、４つのフレーム要素Ｘ１〜Ｘ４がそれぞれの長手方向に直交する方向に移動するため、開口サイズの変更後（成膜領域の変更後）において、各フレーム要素の端部間に隙間Ｇが生じてしまう。そうすると、成膜後の基板の四隅の膜が不均一になってしまうという問題がある。
【０００７】
また、上記の特許文献１では、一方のフレーム要素の端部に防着板を設け、他方のフレーム要素の端部に前記防着板を受け入れることができるガイド用段部を設けて、前記隙間Ｇを埋めるように構成している。
【０００８】
しかしながら、この構成であっても、フレーム要素の角部上面に凹部が形成されてしまうことから、成膜後の基板の四隅の膜が不均一になってしまうという問題がある。
【０００９】
そこで本発明は、上記問題点を解決すべくなされたものであり、各フレーム要素の端部に隙間を埋めるための特別な部材を設けることなく、開口サイズを変更しても各フレーム要素間に隙間が生じない構成として、基板処理の均一性を向上することをその主たる課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
すなわち本発明に係るマスクフレームは、矩形状の開口部を有するマスクフレームであって、前記開口部の４辺それぞれに対応した長手方向を有する４つのフレーム要素を備え、前記各フレーム要素の長手方向一端側の端辺部と、当該端辺部に隣接するフレーム要素の長手方向に沿った開口部側辺部とが対向して配置されており、前記４つのフレーム要素が、平面視においてそれぞれの長手方向に対して傾斜したそれぞれのスライド方向にスライド移動可能に設けられており、前記４つのフレーム要素をスライド移動させることにより前記開口部の開口サイズが変更可能に構成されていることを特徴とする。
【００１１】
このようなマスクフレームであれば、各フレーム要素の長手方向一端側の端辺部と、当該端辺部に隣接するフレーム要素の長手方向に沿った開口部側辺部とが対向して配置されているので、開口サイズを変更しても、各フレーム要素の長手方向一端側の端辺部と、当該端辺部に隣接するフレーム要素の長手方向に沿った開口部側辺部との位置関係を維持することができる。したがって、互いに隣接するフレーム要素に隙間を埋めるための特別な部材を設けることなく、開口サイズを変更しても、各フレーム要素の間に平面視において隙間が生じない構成とすることができる。具体的には、各フレーム要素の長手方向一端側の端辺部と、当該端辺部に隣接するフレーム要素の長手方向に沿った開口部側辺部とが接触又は近接した状態を維持しつつ、開口サイズを変更することができる。
【００１２】
より詳細には、互いに隣接するフレーム要素において、一方のフレーム要素のスライド方向の傾斜角度と、他方のフレーム要素のスライド方向の傾斜角度との和が９０度となるように設定されることが望ましい。
この構成であれば、各フレーム要素の長手方向一端側の端辺部と、当該端辺部に隣接するフレーム要素の長手方向に沿った開口部側辺部との位置関係を変化させることなく、４つのフレーム要素をスライド移動させることで開口サイズを変更することができる。
【００１３】
前記４つのフレーム要素が、平面視においてそれぞれの長手方向に対して４５度傾斜した方向にスライド移動可能に設けられていることが望ましい。
この構成であれば、開口サイズの変更前後において開口形状の縦横比を維持することができる。
【００１４】
前記４つのフレーム要素を支持する支持部材を備え、前記フレーム要素及び前記支持部材の間に前記フレーム要素のスライド移動を可能にするスライドガイド機構が設けられていることが望ましい。
この構成であれば、各フレーム要素のスライド移動を容易にすることができる。また、各フレーム要素の長手方向一端側の端辺部と、当該端辺部に隣接するフレーム要素の長手方向に沿った開口部側辺部とが接触する構成の場合には、１つのフレーム要素を移動させると、その移動に連動して、その他のフレーム要素を移動させることができ、開口サイズの変更を容易にすることができる。
【００１５】
前記スライドガイド機構は、前記フレーム要素の長手方向一端側及び長手方向他端側にそれぞれ設けられていることが望ましい。
この構成であれば、スライドガイド機構がフレーム要素の長手方向一端側及び他端側にそれぞれ設けられているので、フレーム要素の姿勢を保ったままのスライド移動が容易となる。この構成はフレーム要素が長くなるほど、その効果が顕著となる。また、複数のフレーム要素を連動して移動させるときに、それらを安定して移動させることができる。
【００１６】
前記フレーム要素は、締結部材により前記支持部材に固定されるものであり、前記締結部材が挿通される前記フレーム要素の挿通孔又は前記支持部材の挿通孔の何れか一方が、前記スライド方向に沿った傾斜長孔であり、前記締結部材及び前記傾斜長孔とされた挿通孔により前記スライドガイド機構が構成されることが望ましい。
この構成であれば、締結部材がスライドガイド機構を兼ねることになり、マスクフレームの構成を簡単にすることができる。また、開口サイズの調整後に締結部材を締結させるだけで良く、開口サイズの調整からフレーム要素の固定までの作業を容易にすることができる。
【００１７】
前記フレーム要素の前記開口部側辺部は、その上面が開口部側に向かって下り勾配を有する第１傾斜面を有しており、前記フレーム要素の前記端辺部は、前記第１傾斜面に対応した第２傾斜面を有していることが望ましい。
この構成であれば、各フレーム要素に第１傾斜面を設けることによって、マスクフレーム近傍に位置する基板への処理の不均一を解消することができる。また、フレーム要素の端辺部が第２傾斜面を有するので、隣接するフレーム間の隙間を簡単な構成により確実に埋めることができる。
【００１８】
前記フレーム要素は、長手方向一端部が固定されるとともに、当該長手方向一端部を起点として長手方向他端側に長手方向に沿って熱膨張による移動が可能となるように構成されていることが望ましい。
この構成であれば、フレーム要素が熱膨張により生じる撓みによる処理の不均一を解消することができ、処理の均一性を向上させることができる。
【００１９】
前記フレーム要素の長手方向他端側に締結部材が挿通される挿通孔が形成されており、前記締結部材が頭部を有するものであり、前記挿通孔が長手方向に沿った長孔であり、前記締結部材は、前記頭部と前記フレーム要素の上面との間に隙間を空けて前記長手方向他端側を固定するものであることが望ましい。
【００２０】
この構成であれば、フレーム要素の挿入孔を長孔にするだけで、熱膨張による撓みを解消することができ、その構成を簡単にすることができる。
【発明の効果】
【００２１】
このように構成した本発明によれば、互いに隣接するフレーム要素に隙間を埋めるための特別な部材を設けることなく、マスクフレームの開口部のサイズを変更しても、各フレーム要素の間に隙間が生じない構成として、基板処理の均一性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本実施形態の真空処理装置の構成を模式的に示す断面図である。
【図２】同実施形態のマスクフレームの平面図である。
【図３】同実施形態のマスクフレームの分解部分斜視図である。
【図４】同実施形態の長手方向一端側の固定機構を示す断面図及び平面図である。
【図５】同実施形態の長手方向他端側の固定機構を示す断面図、平面図及び底面図である。
【図６】同実施形態の開口部の開口サイズ調整時の各フレーム要素の動きを示す図である。
【図７】同実施形態の熱膨張吸収時の各フレーム要素の動きを示す図である。
【図８】変形実施形態の真空処理装置の構成を模式的に示す断面図である。
【図９】変形実施形態のマスクフレームの部分斜視図及び断面図である。
【図１０】変形実施形態のマスクフレームの平面図である。
【図１１】変形実施形態の隣接するフレーム要素の端部を示す平面図である。
【図１２】従来のマスクフレームの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下に、本発明に係るマスクフレームを用いた真空処理装置の一実施形態について、図面を参照して説明する。
【００２４】
本実施形態の真空処理装置１００は、プラズマ中のイオンによってターゲットをスパッタして矩形状の基板に薄膜を形成するスパッタリング装置である。
【００２５】
具体的にこの真空処理装置１００は、図１に示すように、内部が真空に排気される処理容器２と、この処理容器２内に処理容器２から電気的に絶縁して設けられたスパッタ電極３と、このスパッタ電極３に電気的に接続して取り付けられたターゲット４と、このターゲット４に対向した状態で基板Ｗを支持する基板支持部５とを備えている。
【００２６】
処理容器２には、ガス導入部２１が設けられており、このガス導入部２１から、放電用ガスが導入される。なお、放電用ガスは、例えばアルゴンガス等の不活性ガスである。また、処理容器２には、内部を真空に排気するための排気部２２が設けられており、この排気部２２には、図示しない真空ポンプが接続されている。
【００２７】
スパッタ電極３には、電源部６が接続されており、当該電源部６により高周波電力が供給される。
【００２８】
基板支持部５は、ターゲット４に対する基板Ｗの位置を調整できるように構成されており、本実施形態では、複数の支持ピン５１と、当該支持ピン５１を上下移動させる駆動部５２とを備えている。なお、基板支持部５と処理容器２との間は、ベローズ等のシール部材７によって遮蔽されている。なお、処理容器２及び基板支持部５は、電気的に接地されている。
【００２９】
そして、前記ガス導入部２１から放電用ガスを導入し、電源部６によりスパッタ電極３に高周波電力を供給すると、当該スパッタ電極３から高周波放電が生じる。この高周波放電によって放電用ガスが電離されてプラズマが生成される。このプラズマ中のイオンがターゲット４をスパッタし、ターゲット４から飛び出したスパッタ粒子が基板Ｗに入射堆積して、基板Ｗ上に薄膜が形成される。なお、真空処理装置１００は、電源部６によりスパッタ電極３に直流電力を供給し、当該スパッタ電極３から生じる直流放電によって、プラズマを生成するものであっても良い。
【００３０】
しかして本実施形態の真空処理装置１００は、図１及び図２に示すように、基板Ｗの周縁部をターゲット４からマスキングするマスクフレーム８を備えている。
【００３１】
このマスクフレーム８は、特に図２に示すように、矩形状の開口部８Ｘを有するものであり、当該開口部８Ｘの４辺それぞれに対応した長手方向を有する４つのフレーム要素８１ａ〜８１ｄと、当該４つのフレーム要素８１ａ〜８１ｄを支持する支持部材８２とを備えている。
【００３２】
なお、４つのフレーム要素８１ａ〜８１ｄにより形成される開口部８Ｘは、矩形状の基板サイズよりも小さく設定されている。本実施形態の支持部材８２は、処理容器２に設けられており、矩形状の基板サイズよりも大きい矩形状の開口部８２Ｘを有する矩形枠状をなすものである。そして、この支持部材８２の上面に４つのフレーム要素８１ａ〜８１ｄが固定される。
【００３３】
各フレーム要素８１ａ〜８１ｄは、平面視において長尺状（矩形状）をなすものであり、長手方向に沿った一対の側辺部８１１、８１２と、長手方向に直交する方向に沿った一対の端辺部８１３、８１４とを有する。本実施形態では、一対の側辺部８１１、８１２及び一対の端辺部８１３、８１４はともに、平面視において直線状をなしている。また、各フレーム要素８１ａ〜８１ｄの長手方向に直交する断面形状は、矩形状である。
【００３４】
そして、これら４つのフレーム要素８１ａ〜８１ｄは、開口部８Ｘの各辺を形成するように矩形環状に配置されている。具体的には、４つのフレーム要素８１ａ〜８１ｄは、各フレーム要素８１ａ〜８１ｄの長手方向一端側の端辺部８１３（以下、一端辺部８１３という。）と、当該一端辺部８１３に隣接するフレーム要素８１ａ〜８１ｄの長手方向に沿った開口部側辺部８１１とが互いに対向するように配置されている。
【００３５】
本実施形態では、各フレーム要素８１ａ〜８１ｄの一端辺部８１３と、隣接するフレーム要素８１ａ〜８１ｄの開口部側辺部８１１とが互いに接触することによって、平面視において隙間を空けずに配置されている。具体的には、前記一端辺部８１３の側面と、開口部側辺部８１１の側面とが面接触している。
【００３６】
このように配置される４つのフレーム要素８１ａ〜８１ｄは、平面視においてそれぞれの長手方向に対して傾斜したそれぞれのスライド方向にスライド移動可能に設けられている。そして、４つのフレーム要素８１ａ〜８１ｄをスライド移動させることにより開口部８Ｘの開口サイズが変更可能に構成されている。
【００３７】
具体的には、互いに隣接するフレーム要素８１ａ〜８１ｄにおいて、一方のフレーム要素（例えば８１ａ）のスライド方向の傾斜角度と、他方のフレーム要素（例えば８１ｂ）のスライド方向の傾斜角度との和が９０度となるように設定される。本実施形態では、各フレーム要素８１ａ〜８１ｄのスライド方向の傾斜角度は４５度としてある。
【００３８】
そして、マスクフレーム８は、図２に示すように、４つのフレーム要素８１ａ〜８１ｄそれぞれをスライド方向に沿って移動させるためのスライドガイド機構９を有している。本実施形態のスライドガイド機構９は、平面視においてそれぞれの長手方向に対して４５度傾斜したスライド方向にスライド可能にするものである。
【００３９】
具体的にスライドガイド機構９は、各フレーム要素８１ａ〜８１ｄの長手方向一端側及び長手方向他端側のそれぞれに設けられている。本実施形態のスライドガイド機構９は、各フレーム要素８１ａ〜８１ｄをその長手方向一端側及び長手方向他端側それぞれにおいて支持部材８２に固定する固定機構１０ａ、１０ｂを用いて構成されている。
【００４０】
長手方向一端側の固定機構１０ａは、図３及び図４に示すように、フレーム要素８１ａ〜８１ｄの長手方向一端側に形成された一端側挿通孔８１ｈ１に締結部材である締結ボルト１１を挿通して、支持部材８２に形成された雌ねじ孔１２に螺合させることによって、フレーム要素８１ａ〜８１ｄの長手方向一端側が固定されるように構成されている。ここで、フレーム要素８１ａ〜８１ｄに形成された一端側挿通孔８１ｈ１は、フレーム要素８１ａ〜８１ｄのスライド方向（図４において符号ＳＤ）に沿って延びる傾斜長孔としてある。なお、図４における符号ＬＤは、フレーム要素８１ａ〜８１ｄの長手方向を示している。
【００４１】
この構成において、締結ボルト１１を締め付けた状態、つまり締結ボルト１１の頭部１１１と支持部材８２との間でフレーム要素８１ａ〜８１ｄが挟持された状態で、フレーム要素８１ａ〜８１ｄの長手方向一端側が固定される。一方で、締結ボルト１１が緩んだ状態、つまり、締結ボルト１１の頭部１１１がフレーム要素８１ａ〜８１ｄから離間した状態において、フレーム要素８１ａ〜８１ｄが締結ボルト１１に対してスライド方向にスライド移動可能となる。このように、締結ボルト１１と一端側挿通孔８１ｈ１とによりスライドガイド機構９が構成される。つまり、締結ボルト１１が支持部材８２に設けられた固定部となり、一端側挿入孔８１ｈ１が前記固定部に対してスライド移動するスライド部となる。
【００４２】
長手方向他端側の固定機構１０ｂは、図３及び図５に示すように、フレーム要素８１ａ〜８１ｄの長手方向他端側に形成された他端側挿通孔８１ｈ２及び支持部材８２に形成された挿通孔８２ｈに締結ボルト１１を挿通して、支持部材８２の裏面に設けられたナット１２に螺合させることによって、フレーム要素８１ａ〜８１ｄの長手方向他端側が固定されるように構成されている。ここで、図５における符号ＬＤは、フレーム要素８１ａ〜８１ｄの長手方向を示しており、符号ＳＤは、フレーム要素８１ａ〜８１ｄのスライド方向を示している。ここで、支持部材８２の裏面には、ナット１３を収容する座繰り穴８２１が形成されている。そして、支持部材８２に形成された挿通孔８２ｈは、フレーム要素８１ａ〜８１ｄのスライド方向に沿って延びる傾斜長孔としてある。なお、座繰り穴８２１も挿通孔８２ｈと併せてスライド方向に沿って伸びる傾斜長穴としてある。
【００４３】
この構成において、締結ボルト１１を締め付けた状態、つまり締結ボルト１１の頭部１１１とナット１３との間でフレーム要素８１ａ〜８１ｄ及び支持部材８２が挟持された状態で、フレーム要素８１ａ〜８１ｄの長手方向他端側が固定される。一方で、締結ボルト１１が緩んだ状態、つまり、締結ボルト１１の頭部１１１及びナット１３がフレーム要素８１ａ〜８１ｄ及び支持部材８２を挟持しない状態で、フレーム要素８１ａ〜８１ｄの他端側挿通孔８１ｈ２に挿通された締結ボルト１１が、支持部材８２に対してスライド方向にスライド移動可能となる。このように、締結ボルト１１と他端側挿通孔８１ｈ２及び座繰り穴８２１とによりスライドガイド機構９が構成される。つまり、他端側挿通孔８１ｈ２及び座繰り穴８２１が支持部材８２に設けられた固定部となり、締結ボルト１１が前記固定部に対してスライド移動するスライド部となる。
【００４４】
さらに本実施形態では、各フレーム要素８１ａ〜８１ｄは、長手方向一端部が固定されるとともに、当該長手方向一端部を起点として長手方向他端側に長手方向に沿って熱膨張による移動が可能となるように構成されている。
【００４５】
具体的には、図３及び図５に示すように、各フレーム要素８１ａ〜８１ｄの他端側挿通孔８１ｈ２が長手方向に沿った長孔としてある。そして、長手方向他端側における固定機構１０ｂの締結ボルト１１は、フレーム要素８１ａ〜８１ｄの長手方向他端側を固定した状態で、頭部１１１の下面とフレーム要素８１ａ〜８１ｄの上面との間に隙間Ｓを有するように構成されている。なお、隙間Ｓを有していても、長手方向一端側が締結ボルト１１で締結されていることから、長手方向他端側では、長手方向に直交する方向への移動ができないように固定されている。
【００４６】
詳細には、図５に示すように、固定機構１０ｂの締結ボルト１１は段付きボルトであり、ナット１３に螺合して、当該段付きボルト１１の段部１１２とナット１３との間で支持部材８２を締め付けた状態、つまり、締結ボルト１１が支持部材８２に固定された状態において、頭部１１１の下面とフレーム要素８１ａ〜８１ｄの上面との間に隙間Ｓが形成される。
【００４７】
この構成により、フレーム要素８１ａ〜８１ｄが熱膨張により長手方向に伸びた場合であっても、フレーム要素８１ａ〜８１ｄの長孔である他端側挿通孔８１ｈ２が締結ボルト１１に対して長手方向に相対移動することができる。
【００４８】
次に、このように構成したマスクフレーム８の開口部８Ｘの開口サイズの調整について、図６を参照して説明する。
図６（Ａ）は、開口部８Ｘの開口サイズが最大の場合を示す図である。
この状態において、長手方向一端側の固定機構１０ａ（スライドガイド機構９）では、フレーム要素８１ａ〜８１ｄの挿通孔８１ｈ１の最も内側に締結ボルト１１が位置している。また、長手方向他端側の固定機構１０ｂ（スライドガイド機構９）において、支持部材８２の挿通孔８１ｈ２及び座繰り穴８２１の最も外側に締結ボルト１１及びナット１３が位置している。さらに、各フレーム要素８１ａ〜８１ｄの一端辺部８１３は、隣接するフレーム要素８１ａ〜８１ｄの開口部側辺部８１１に接触している。
【００４９】
この状態から、開口部８Ｘの開口サイズを小さくする場合には、フレーム要素８１ａ〜８１ｄの長手方向一端側及び他端側の締結ボルト１１を緩める。そして、フレーム要素８１ａ〜８１ｄをスライド方向に沿って内側に移動させる。このとき、各フレーム要素８１ａ〜８１ｄは、接触した状態を維持したまま移動する（図６（Ｂ））。ここで、１つのフレーム要素（例えばフレーム要素８１ａ）をスライド移動させると、４つのフレーム要素８１ａ〜８１ｄの隣接する端部同士が接触しているので、残りの３つのフレーム要素（例えばフレーム要素８１ｂ〜８１ｄ）も連動してスライド移動することになる。なお、２つ以上のフレーム要素を同時に操作してスライド移動させることもできる。
【００５０】
このようにして４つのフレーム要素８１ａ〜８１ｄを移動させて、最適な位置に位置調整して、締結ボルト１１を締め付けて固定する。
【００５１】
なお、図６（Ｃ）は、開口部８Ｘの開口サイズが最小の場合を示す図である。
この状態において、長手方向一端側の固定機構１０ａ（スライドガイド機構９）では、フレーム要素８１ａ〜８１ｄの挿通孔８１ｈ１の最も外側に締結ボルト１１が位置している。また、長手方向他端側の固定機構１０ｂ（スライドガイド機構９）において、支持部材８２の挿通孔８１ｈ２及び座繰り穴８２１の最も内側に締結ボルト１１及びナット１３が位置している。さらに、各フレーム要素８１ａ〜８１ｄの一端辺部８１３は、隣接するフレーム要素８１ａ〜８１ｄの開口部側辺部８１１に接触している。
【００５２】
次に、各フレーム要素８１ａ〜８１ｄの熱膨張吸収について、図７を参照して説明する。
図７（Ａ）は、熱膨張が生じていない状態（例えば成膜処理前）を示す図である。
この状態において、長手方向他端側の固定機構１０ｂの締結ボルト１１は、フレーム要素８１ａ〜８１ｄの挿通孔８１ｈ２の長手方向他端部に位置している。
【００５３】
そして、処理開始後にフレーム要素８１ａ〜８１ｄが熱膨張すると、フレーム要素８１ａ〜８１ｄの長手方向一端側の固定機構１０ａ（締結箇所）を起点として、長手方向他端側にフレーム要素８１ａ〜８１ｄが伸びる（図７（Ｂ）及び（Ｃ））。そうすると、支持部材８２に固定された締結ボルト１１に対してフレーム要素８１ａ〜８１ｄの他端側挿通孔８１ｈ２が移動して、その伸び量Ｈを吸収する。なお、本実施形態のように各フレーム要素８１ａ〜８１ｄが配置されているので、各フレーム要素８１ａ〜８１ｄが長手方向に伸びても開口サイズが変化することはない。
伸び量Ｈの吸収限界は、フレーム要素８１ａ〜８１ｄの他端側挿通孔８１ｈ２の長手方向に沿った長さによって決まるため（図７（Ｃ））、予め想定される伸び量Ｈに基づいて、他端側挿通孔８１ｈ２の長さを決める必要がある。
【００５４】
＜本実施形態の効果＞
このように構成した真空処理装置１００によれば、各フレーム要素８１ａ〜８１ｄの一端辺部８１３と、隣接するフレーム要素８１ａ〜８１ｄの開口部側辺部８１１とが対向して配置されているので、開口サイズを変更しても、各フレーム要素８１ａ〜８１ｄの一端辺部８１３と、隣接するフレーム要素８１ａ〜８１ｄの開口部側辺部８１１との接触関係を維持することができる。したがって、互いに隣接するフレーム要素８１ａ〜８１ｄに隙間を埋めるための特別な部材を設けることなく、開口サイズを変更しても、各フレーム要素８１ａ〜８１ｄの間に平面視において隙間が生じない構成とすることができる。
【００５５】
各フレーム要素８１ａ〜８１ｄ及び支持部材８２の間にスライドガイド機構９が設けられているので、各フレーム要素８１ａ〜８１ｄのスライド移動を容易にすることができる。また、１つのフレーム要素８１ａを移動させると、その移動に連動して、その他のフレーム要素８１ｂ〜８１ｄを移動させることができ、開口サイズの変更を容易にすることができる。ここで、スライドガイド機構９が長手方向２箇所に設けられているので、フレーム要素８１ａ〜８１ｄの姿勢を保ったままのスライド移動が容易となり、複数のフレーム要素８１ａ〜８１ｄを連動して移動させるときに、それらを安定して移動させることができる。
【００５６】
互いに隣接するフレーム要素８１ａ〜８１ｄにおけるそれぞれの長手方向に対するスライド方向の傾斜角度の和が９０度であるため、各フレーム要素８１ｂ〜８１ｄの一端辺部８１３と、隣接するフレーム要素８１ｂ〜８１ｄの開口部側辺部８１１とを接触させた状態で、開口サイズを変更することができる。ここで、スライド方向が４５度であり、開口サイズの変更前後において開口形状の縦横比を維持することができる。
【００５７】
また、本実施形態では、固定機構１０ａ、１０ｂの締結ボルト１１がスライドガイド機構９を兼ねているので、マスクフレーム８の構成を簡単にすることができる。また、開口サイズの調整後に締結ボルト１１を締結させるだけで良く、開口サイズの調整からフレーム要素８１ａ〜８１ｄの固定までの作業を容易にすることができる。
【００５８】
さらに、各フレーム要素８１ａ〜８１ｄは、長手方向一端部が固定されるとともに、当該長手方向一端部を起点として長手方向他端側に長手方向に沿って熱膨張による移動が可能となるように構成されているので、フレーム要素８１ａ〜８１ｄが熱膨張により生じる撓みによる処理の不均一を解消することができ、処理の均一性を向上させることができる。
【００５９】
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
例えば、前記実施形態では、各フレーム要素８１ａ〜８１ｄの長手方向に直交する断面が矩形状をなすものであったが、図８及び図９に示すように、フレーム要素８１ａ〜８１ｄの開口部側辺部８１１が、その上面が開口部８Ｘ側に向かって下り勾配を有する第１傾斜面８１１ｘを有しており、フレーム要素８１ａ〜８１ｄの一端辺部８１３が、第１傾斜面８１１ｘに対応した第２傾斜面８１３ｘを有しているものであっても良い。
【００６０】
また、前記実施形態では、一端辺部８１３の側面が上面に垂直な平面であり、開口部側辺部８１１の側面も上面に垂直な平面であったが、一端辺部８１３が平面視において開口部側辺部８１１に隙間無く接触する構成であれば、例えば湾曲した面又は屈曲した面であっても良い。
【００６１】
さらに、前記実施形態では、各フレーム要素８１ａ〜８１ｄが同一形状をなすものであったが、直線状の開口側辺部８１１及び当該開口部側辺部に対向する直線状の一端辺部８１３を有するものであれば、残りの２辺は直線形状に限られない。
【００６２】
前記実施形態では、マスクフレームは平面視における正方形状をなすものであったが、図１０に示すように、長方形状をなすものであっても良い。
【００６３】
前記実施形態では、全てのフレーム要素のスライド方向の傾斜角度は４５度であったが、図１１に示すように、互いに隣接するフレーム要素において、一方のフレーム要素のスライド方向ＳＤの傾斜角度θ１が６０度とし、他方のフレーム要素のスライド方向ＳＤの傾斜角度θ２が３０度としても良い。このように、θ１＋θ２＝９０度の関係を満たすものであれば、θ１、θ２の具体的角度は、前記実施形態に限られない。
【００６４】
その上、前記実施形態では、固定機構１０ａ、１０ｂがスライドガイド機構９を兼ねる構成であったが、それらを別々に設けても良い。この場合、スライドガイド機構９は、フレーム要素又は支持部材の一方に設けられた固定部と、前記フレーム要素又は前記支持部材の他方に設けられ、前記固定部に対してスライド方向に沿ってスライドするスライド部とを有する。
【００６５】
加えて、前記実施形態の固定機構は、長手方向一端側と長手方向他端側とで異なる構成であったが、両者を同一の構成としても良い。
【００６６】
さらに加えて、前記実施形態の固定機構は締結ボルトを用いたものであったが、フレーム要素及び支持部材を貫通して設けられる軸部及び頭部を有するピンと、当該ピンの軸部に嵌合して前記頭部との間でフレーム要素及び支持部材を挟持する止め輪とを用いたものであっても良い。その他、固定機構が、フレーム要素及び支持部材を一体的に挟み込んで固定するクランプ部材を用いたものであっても良い。
【００６７】
前記実施形態では、真空処理装置としてスパッタリング装置を例に挙げて説明したが、その他、ＣＶＤ装置等のプラズマを用いた真空処理装置等にも適用可能である。
【００６８】
その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
【符号の説明】
【００６９】
１００・・・真空処理装置
８・・・マスクフレーム
８Ｘ・・・開口部
８１ａ〜８１ｄ・・・フレーム要素
８１１・・・開口部側辺部
８１３・・・長手方向一端側の端辺部
８２・・・支持部材
９・・・スライドガイド機構
１１・・・締結部材
８１ｈ１、８１ｈ２・・・挿通孔
１１１・・・頭部
Ｓ・・・隙間
８１１ｘ・・・第１傾斜面
８１３ｘ・・・第２傾斜面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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