(57)【要約】【課題】レンズの高信頼な光軸調整と固定を短時間に実現できる波長多重レーザダイオードモジュールを得る。【解決手段】レーザダイオードキャリア２は取り付け平面２ａと第１及び第２の接着面２ｂ，２ｃを有する。第１及び第２のレーザダイオード４，５が取り付け平面上に配置されている。第１のコリメートレンズ７が第１のレーザダイオード４の出射光路上に配置され、第１の接着面２ｂに接着されている。第２のコリメートレンズ８が第２のレーザダイオード５の出射光路上に配置され、第２の接着面２ｃに接着されている。合波器１５が第１及び第２のコリメートレンズ７，８からの２つの平行光を偏波多重する。第１の接着面２ｂと第２の接着面２ｃは直交する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
取り付け平面と第１及び第２の接着面を有するレーザダイオードキャリアと、
前記取り付け平面上に配置された第１及び第２のレーザダイオードと、
前記第１のレーザダイオードの出射光路上に配置され、前記第１の接着面に接着された第１のコリメートレンズと、
前記第２のレーザダイオードの出射光路上に配置され、前記第２の接着面に接着された第２のコリメートレンズと、
前記第１及び第２のコリメートレンズからの２つの平行光を多重する合波器とを備え、
前記第１の接着面と前記第２の接着面は直交することを特徴とする波長多重レーザダイオードモジュール。
【請求項２】
前記合波器は偏波多重する偏光ビーム合波器であることを特徴とする請求項１項に記載の波長多重レーザダイオードモジュール。
【請求項３】
前記合波器は波長フィルタであることを特徴とする請求項１項に記載の波長多重レーザダイオードモジュール。
【請求項４】
前記レーザダイオードキャリアは前記第１及び第２の接着面において山型形状であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の波長多重レーザダイオードモジュール。
【請求項５】
前記レーザダイオードキャリアは前記第１及び第２の接着面においてＶ溝形状であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の波長多重レーザダイオードモジュール。
【請求項６】
前記第２の接着面は前記レーザダイオードキャリアの前記取り付け平面に対して平行であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の波長多重レーザダイオードモジュール。
【請求項７】
取り付け平面と第１及び第２の接着面を有するレーザダイオードキャリアと、
前記取り付け平面上に配置された第１及び第２のレーザダイオードと、
前記第１のレーザダイオードの出射光路上に配置され、前記第１の接着面に接着された第１のコリメートレンズと、
前記第２のレーザダイオードの出射光路上に配置され、前記第２の接着面に接着された第２のコリメートレンズと、
前記第１及び第２のコリメートレンズからの２つの平行光を多重する合波器とを備え、
前記第１の接着面と前記第２の接着面のなす角が３５°〜１４５°の範囲内にあることを特徴とする波長多重レーザダイオードモジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズの高信頼な光軸調整と固定を短時間に実現できる波長多重レーザダイオードモジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
１本のファイバを用いて１００Ｇｂｐｓの信号を２〜４０ｋｍ伝送するために、それぞれ２５Ｇｂｐｓで変調をかけられた４つの異なる波長のレーザダイオード出射光を合波する波長多重レーザダイオードモジュールが用いられている。従来の波長多重レーザダイオードモジュールでは、変調光を高効率でファイバ内に導くために、マルチモード干渉型合波器（MMI: Multi-mode interference coupler）と、偏光ビーム合波器（PBC: Polarization Beam Combiner）とが組み合わせられている（例えば、特許文献１（第１０−１２頁、第４図）参照）。
【０００３】
このような波長多重レーザダイオードモジュールの製造においては、まず、片方のレーザダイオードからの出射ビームがファイバと結合するようにＣＬ−０の光軸調整を行なった上でＵＶ樹脂により固定する。次に、もう一方のレーザダイオードからの出射ビームをレンズの３次元的な調心によって光軸調整した後にＵＶ硬化型接着剤の硬化等の手段で固定する（例えば、非特許文献１（第１９８７頁、III-B TOSA fabrication）参照）。
【０００４】
より高信頼な溶接技術を使った従来例として、レーザダイオードの近傍に置かれた複数のレンズをそれぞれ３次元的に光軸調整した後、０．１μｍ以下精度で微調し溶接により固定する場合もある（例えば、非特許文献２（第２２７６頁、第１図）参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−１３８８４８号公報
【非特許文献】
【０００６】
【非特許文献１】J. Lightwave Tech., Vol.33, No.10, May 15, 2015.
【非特許文献２】IEEE Photonics Technology Letters,Vol.26,No.22,Nov.15, 2014.
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来の波長多重レーザダイオードモジュールでは、３次元の自由度を持った状態で個々のレンズの光軸調整を行ない、かつ、光軸調整後の最適位置で固定後に軸ズレが０．１μｍも生じないよう高い信頼性を持って固定することが必要であった。
【０００８】
しかし、調整時に３次元的な自由度を持たせることと、固定後に軸ズレが生じない構造設計とは相反するものであり、製造コストと量産性を損なうという問題があった。例えば、ＹＡＧ溶接により金属ホルダを溶接固定する場合には、非特許文献１に示すような複雑な構造を持った複数の金属ホルダを溶接した後に、追加のレーザ放射を繰り返すことによって時間をかけて微調しなければならなかった。
【０００９】
また、接着剤によりレンズを固定する場合にも、接着剤の硬化収縮と硬化後の形状の経時変化の影響を抑制することが難しく、製造時間と歩留に影響を与えるという問題があった。
【００１０】
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的はレンズの高信頼な光軸調整と固定を短時間に実現できる波長多重レーザダイオードモジュールを得るものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係る波長多重レーザダイオードモジュールは、取り付け平面と第１及び第２の接着面を有するレーザダイオードキャリアと、前記取り付け平面上に配置された第１及び第２のレーザダイオードと、前記第１のレーザダイオードの出射光路上に配置され、前記第１の接着面に接着された第１のコリメートレンズと、前記第２のレーザダイオードの出射光路上に配置され、前記第２の接着面に接着された第２のコリメートレンズと、前記第１及び第２のコリメートレンズからの２つの平行光を多重する合波器とを備え、前記第１の接着面と前記第２の接着面は直交することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明では、第１の接着面と第２の接着面を直交させる。これにより、それぞれの接着面における接着層厚を概ね１０μｍ以下に保ったままＺＸ’平面内、及びＺＹ’平面内で各２軸×２面の合計４軸の調整を行なうことができる。従って、接着層厚の硬化収縮と経時変化の影響を受けないレンズの高信頼な光軸調整と固定を、一回の樹脂硬化作業で短時間に実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施の形態１に係る波長多重レーザダイオードモジュールを示す平面図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る波長多重レーザダイオードモジュールのレーザダイオードキャリア付近を示す平面図である。
【図３】図２の構成を光軸方向から見た側面図である。
【図４】Ｘ軸・Ｙ軸ズレ量に対する光学的結合効率を示す図である。
【図５】Ｚ軸ズレ量に対する光学的結合効率を示す図である。
【図６】紫外線（ＵＶ）硬化型接着剤の硬化過程における収縮量の測定例を示す図である。
【図７】第１及び第２の二波長集積レーザダイオードと第１及び第２のコリメートレンズの中心とが最初から狙った位置に実装されて軸ズレが無い場合の位置関係をＺ軸方向から見た図である。
【図８】コリメートレンズ光軸調整後の位置関係をＺ軸方向から見た図である。
【図９】第１及び第２の二波長集積レーザダイオードの実装位置が色々な方向に±１５μｍずれた実装ズレに対するコリメートレンズ位置調整結果を示す図である。
【図１０】本発明の実施の形態２に係る波長多重レーザダイオードモジュールのレーザダイオードキャリア付近を示す平面図である。
【図１１】図１０の構成を光軸方向から見た側面図である。
【図１２】本発明の実施の形態３に係る波長多重レーザダイオードモジュールのレーザダイオードキャリア付近を示す平面図である。
【図１３】図１２の構成を光軸方向から見た側面図である。
【図１４】本発明の実施の形態４に係る波長多重レーザダイオードモジュールのレーザダイオードキャリア付近を示す平面図である。
【図１５】図１４の構成を光軸方向から見た側面図である。
【図１６】第１の接着面と第２の接着面が直交する実施の形態１の場合において、２波長集積レーザダイオードの実装ずれがＸ方向に±１５μｍ、Ｙ方向に±１．５μｍ発生した場合のコリメートレンズ調整後のレーザダイオード及びレンズの位置関係を表した図である。
【図１７】第１の接着面と第２の接着面のなす角が１４５°である実施の形態４の場合に図１６と同様の実装ずれに対する光軸調整後のオフセット量を示した図である。
【図１８】第１の接着面と第２の接着面のなす角の最適値が、レーザダイオードのＹ軸方向の実装精度ΔＹによってどのように変わるかを計算した結果を示す図である。
【図１９】本発明の実施の形態５に係る波長多重レーザダイオードモジュールを示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の実施の形態に係る波長多重レーザダイオードモジュールについて図面を参照して説明する。同じ又は対応する構成要素には同じ符号を付し、説明の繰り返しを省略する場合がある。
【００１５】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係る波長多重レーザダイオードモジュールを示す平面図である。パッケージ１内において、コバール製のレーザダイオードキャリア２上にサブマウント３が金錫はんだにより固定されている。第１及び第２の二波長集積レーザダイオード４，５がサブマウント３上に金錫はんだにより固定されている。第１及び第２の二波長集積レーザダイオード４，５を外気から遮断するために、パッケージ１内に乾燥窒素が封入されている。
【００１６】
レーザダイオードキャリア２上において、第１のコリメートレンズ７が第１の二波長集積レーザダイオード４の出射光路上に配置されている。第１のコリメートレンズ７はガラス製であり、焦点距離が６５０μｍである。第２のコリメートレンズ８が第２の二波長集積レーザダイオード５の出射光路上に配置されている。
【００１７】
第１のコリメートレンズ７は、第１の二波長集積レーザダイオード４から拡がりながら出射されたレーザ光をコリメートビームである第１の平行光９に変換して出射する。第２のコリメートレンズ８は、第２の二波長集積レーザダイオード５から拡がりながら出射されたレーザ光をコリメートビームである第２の平行光１０に変換して出射する。
【００１８】
第１の光アイソレータ１１が、第１のコリメートレンズ７から出射された第１の平行光９の光路上に配置されている。第２の光アイソレータ１２が、第２のコリメートレンズ８から出射された第２の平行光１０の光路上に配置されている。ペルチェクーラー１３がレーザダイオードキャリア２及び第１及び第２の光アイソレータ１１，１２の下に配置されている。１／２波長板１４が第２の平行光１０の光路上に配置され、通過する光の偏光を９０°回転する。
【００１９】
偏光ビーム合波器１５が、第１及び第２のコリメートレンズ７，８からの第１及び第２の平行光９，１０を偏波多重する。レセプタクル１６は短尺ファイバ１７を取り囲み、図示されていない光コネクタに嵌合される。偏光ビーム合波器１５の出力光は、焦点距離１．８ｍｍの集光レンズ１８により集光され、その集光位置に端面が配置された短尺ファイバ１７に入射される。
【００２０】
図２は、本発明の実施の形態１に係る波長多重レーザダイオードモジュールのレーザダイオードキャリア付近を示す平面図である。図３は図２の構成を光軸方向から見た側面図である。
【００２１】
第１の二波長集積レーザダイオード４は、発振波長１２９５．５６ｎｍの第１の分布帰還型レーザダイオード１９と、発振波長１３００．０５ｎｍの第２の分布帰還型レーザダイオード２０と、それらの出射側導波路上に形成された第１のＭＭＩ２１とが半導体プロセスによりモノリシック集積されたものである。
【００２２】
第２の二波長集積レーザダイオード５は、発振波長１３０４．５８ｎｍの第３の分布帰還型レーザダイオード２２と、発振波長１３０９．１４ｎｍの第４の分布帰還型レーザダイオード２３と、それらの出射側導波路上に形成された第２のＭＭＩ２４とが半導体プロセスによりモノリシック集積されたものである。
【００２３】
第１から第４のマイクロストリップ線路２５〜２８がそれぞれ第１から第４の金ワイヤ２９〜３２により第１から第４の分布帰還型レーザダイオード１９，２０，２２，２３に接続されている。第１から第４のマイクロストリップ線路２５〜２８はそれぞれ第１から第４の分布帰還型レーザダイオード１９，２０，２２，２３に２５Ｇｂｐｓの高周波電気信号を損失なく伝搬する。
【００２４】
レーザダイオードキャリア２には、取り付け平面２ａと、プレス加工により４５°傾斜した第１及び第２の接着面２ｂ，２ｃとが形成されている。第１の接着面２ｂと第２の接着面２ｃは鏡像関係の４５°傾斜面であるため、両者は直交し、両者のなす角は９０°となっている。
【００２５】
第１及び第２の二波長集積レーザダイオード４，５は、取り付け平面２ａ上にサブマウント３を介して配置されている。第１のコリメートレンズ７が第１の接着面２ｂにＵＶ接着剤により接着固定されている。第２のコリメートレンズ８が第２の接着面２ｃにＵＶ接着剤により接着固定されている。
【００２６】
続いて、本実施の形態に係る波長多重レーザダイオードモジュールの動作を説明する。第１及び第２の分布帰還型レーザダイオード１９，２０により生成された異なる波長で発振するレーザ光は、第１のＭＭＩ２１により合波され、第１のコリメートレンズ７により第１の平行光９に変換される。第１の平行光９は第１の光アイソレータ１１及び偏光ビーム合波器１５の偏光分離膜を通過し、集光レンズ１８にて集光されて短尺ファイバ１７の導波モードとなる。
【００２７】
一方、第３及び第４の分布帰還型レーザダイオード２２，２３により生成された異なる波長で発振するレーザ光は、第２のＭＭＩ２４により合成され、第２のコリメートレンズ８により第２の平行光１０に変換される。第２の平行光１０は第２の光アイソレータ１２を通過した後に、１／２波長板１４により偏光方向が９０°回転する。次に、偏光ビーム合波器１５の全反射膜及び偏光分離膜で２回の反射を繰り返し、第１の平行光９と重ねられる。直交する２つの偏光を合成してファイバ伝搬モードとすることで、理論上は無損失に第１及び第２の二波長集積レーザダイオード４，５からの出力を合成することができる。なお、このように光学的な損失を抑える動作は特許文献１の図４と同様である。
【００２８】
パッケージ１の外部より供給される２５Ｇｂｐｓの変調信号は、パッケージ１に取り付けられたリード線から進入し、第１から第４のマイクロストリップ線路２５〜２８、第１から第４の金ワイヤ２９〜３２を介して第１から第４の分布帰還型レーザダイオード１９，２０，２２，２３に電流信号として供給される。このため、波長多重レーザダイオードモジュールの短尺ファイバ１７から出力される４つの異なる波長の光信号は、それぞれ独立に２５Ｇｂｐｓで点滅を繰り返すデジタル光信号となっている。
【００２９】
波長多重レーザダイオードモジュールの機能において重要なことは、第１から第４の分布帰還型レーザダイオード１９，２０，２２，２３の出射光を低損失で短尺ファイバ１７に導波することである。そのためには、その製造工程において、第１の平行光９と第２の平行光１０ができるだけ平行になるよう第１及び第２のコリメートレンズ７，８を位置調整し、如何なる環境下でも動かないように固定する必要がある。
【００３０】
第１の平行光９の傾斜角度は、第１の二波長集積レーザダイオード４の発光端面位置と第１のコリメートレンズ７との位置関係によって決定される。ここで、第１の平行光９の出射光軸方向をＺ軸、光軸及び活性層に垂直な方向をＹ軸、光軸に垂直で活性層に平行な方向をＸ軸とする。
【００３１】
図４は、Ｘ軸・Ｙ軸ズレ量に対する光学的結合効率を示す図である。Ｘ軸及びＹ軸に対しては±０．３μｍ以下の精度で相対的に調整・固定する必要があることが分かる。相対的という言葉は、第１の平行光９が傾斜していても、第２の平行光１０が同じ方向に同じ量だけ傾斜していれば、問題なく高い光学的な結合を得られることを意味している。
【００３２】
図５は、Ｚ軸ズレ量に対する光学的結合効率を示す図である。Ｚ軸に対しては±２μｍ以下の精度で調整・固定する必要があることが分かる。Ｚ軸については相対的ではなく第１及び第２のコリメートレンズ７，８が共に満たす必要がある。それは、第１及び第２の二波長集積レーザダイオード４，５の出射光をパッケージ１の外部に取り出すために１０ｍｍ以上の長い距離を空間伝搬させる都合上、高い品質のコリメートビームを出射する必要があるためである。
【００３３】
第１及び第２のコリメートレンズ７，８からの出射光を互いに０．０３°以下の平行度に調整する必要がある。これに対して、従来技術では、第１及び第２のコリメートレンズ７，８のＺ軸（光軸）と、第１のコリメートレンズ７を規準にして第２のコリメートレンズ８のＸ軸及びＹ軸（光軸垂直方向の直交する２軸）との合計４軸を０．３μｍ以下の精度で独立に調整してレンズを固定する必要がある。具体的には、第１の二波長集積レーザダイオード４に対して最適な位置に第１のコリメートレンズ７を調整することで、まず第１の平行光９を確定する。次に、第２の平行光１０が第１の平行光９に平行となるよう第２のコリメートレンズ８のＸ・Ｙ・Ｚ軸の３軸を調整した後に固定する。しかし、第２のコリメートレンズ８の固定にＵＶ接着剤を使用すると、３次元的に調整するために１００μｍ程度の接着層厚を±０．３μｍの精度で制御しなければならない。接着剤にはＵＶ硬化前後やその後の経過時間に応じて徐々に体積が減少するという問題があり、軸ズレによる損失を抑える上での妨げとなる。
【００３４】
図６は、紫外線（ＵＶ）硬化型接着剤の硬化過程における収縮量の測定例を示す図である。硬化収縮量約１％のＵＶ接着剤を１００μｍの層厚で塗布し、１０００秒間ＵＶ照射を行った。次に、ＵＶ照射を止めて１２０℃の高温下に４０００秒保存した。ＵＶ照射による硬化収縮は１００秒以内で速やかに鈍化し、初期から１μｍ前後、即ち約１％で収縮を停止する。しかし、高温環境下で保存すると徐々に収縮が進行し、さらに１μｍ程度の収縮が観測されている。このような接着剤の特性を加味した上で、±０．３μｍ以内の精度で接着層厚を制御するのは難しい。
【００３５】
これに対して、本実施の形態によれば、接着層厚を制御しなくても第１の平行光９と第２の平行光１０とのビーム平行度を所望の範囲に調整することができる。図３を参照しながらその作用を説明する。二波長集積レーザダイオードの出射光を規準として光軸方向をＺ軸、出射光軸に垂直で活性層に平行な方向をＸ軸、出射光軸と活性層の両方に垂直な方向をＹ軸とする。また、その座標系をＺ軸を中心に４５°回転させた座標系をＸ’軸、Ｙ’軸とする。
【００３６】
製造の過程では、第１のコリメートレンズ７を第１の接着面２ｂに接した状態で光軸調整する。第１のコリメートレンズ７は、Ｚ軸及びＸ’軸の二次元の自由度を持って調整できる。同様に、第２のコリメートレンズ８についてもＺ軸及びＹ’軸の二次元の自由度を持って調整できる。従って、Ｘ’軸とＹ’軸を調整することで、第１の平行光９と第２の平行光１０とを完全に平行に調整することができる。
【００３７】
図７は、第１及び第２の二波長集積レーザダイオードと第１及び第２のコリメートレンズの中心とが最初から狙った位置に実装されて軸ズレが無い場合の位置関係をＺ軸方向から見た図である。第１の二波長集積レーザダイオード４と第２の二波長集積レーザダイオード５の間隔は２ｍｍである。第１の二波長集積レーザダイオード４の発光点と第１のコリメートレンズ７の中心が一致し、第２の二波長集積レーザダイオード５の発光点と第２のコリメートレンズ８の中心が一致していることが分かる。
【００３８】
次に、第１の二波長集積レーザダイオード４がＸ方向に１０μｍ、Ｙ方向に−１０μｍ、第２の二波長集積レーザダイオード５がＸ方向に−１０μｍ、Ｙ方向に１０μｍずれて実装された場合の光軸調整について考える。図８は、コリメートレンズ光軸調整後の位置関係をＺ軸方向から見た図である。第１及び第２のコリメートレンズ７，８の位置を接着面に沿った動きの中で調整することで、レーザダイオードとレンズ中心の位置関係を同じにできることが分かる。よって、第１及び第２の二波長集積レーザダイオード４，５の任意の実装ずれに対して適切な光軸調整を行なうことができる。
【００３９】
図９は、第１及び第２の二波長集積レーザダイオードの実装位置が色々な方向に±１５μｍずれた実装ズレに対するコリメートレンズ位置調整結果を示す図である。調整することによって、レンズが最大で３０μｍオフセットされる。即ち、第１の平行光９と第２の平行光１０が平行な状態を保ったまま第１及び第２のコリメートレンズ７，８は共に２．６°傾斜することとなるが、この傾斜量は集光レンズ１８等での補正が可能であり、結合効率への影響はほとんどない。従って、本実施の形態に係る波長多重レーザダイオードモジュールは、少なくとも±１５μｍ程度の実装ばらつきに対しては、それを補正する形で理想的な光軸調整を行なうことができる。しかも、第１及び第２のコリメートレンズ７，８はレーザダイオードキャリア２の第１及び第２の接着面２ｂ，２ｃに接しているためＵＶ接着剤による固定において接着層厚を１０μｍ以下に抑えることができる。従って、接着剤の硬化収縮による軸ずれをその２％程度以下、即ち０．２μｍ以下にできる。
【００４０】
以上説明したように、本実施の形態では、第１の接着面２ｂと第２の接着面２ｃを直交させる。これにより、それぞれの接着面における接着層厚を概ね１０μｍ以下に保ったままＺＸ’平面内、及びＺＹ’平面内で各２軸×２面の合計４軸の調整を行なうことができる。従って、接着層厚の硬化収縮と経時変化の影響を受けないレンズの高信頼な光軸調整と固定を、一回の樹脂硬化作業で短時間に実現できる。
【００４１】
また、本実施の形態では、レーザダイオードキャリア２は第１及び第２の接着面２ｂ，２ｃにおいてそれぞれ４５°の傾斜面を持った山型形状である。このため、第１及び第２のコリメートレンズ７，８の接着作業時にレンズを吸着する２個のコレットが干渉しにくい構成となり、製造装置が安価に形成できる。
【００４２】
実施の形態２.
図１０は、本発明の実施の形態２に係る波長多重レーザダイオードモジュールのレーザダイオードキャリア付近を示す平面図である。図１１は図１０の構成を光軸方向から見た側面図である。本実施の形態では、レーザダイオードキャリア２は第１及び第２の接着面２ｂ，２ｃにおいてＶ溝形状である。その他の構成は実施の形態１と同様である。
【００４３】
本実施の形態でも第１の接着面２ｂと第２の接着面２ｃは直交し、両者のなす角度は９０°である。このため、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。また、直交する第１の接着面２ｂと第２の接着面２ｃをフライス加工で容易に形成することができるため、レーザダイオードキャリア２を安価に製造できる。
【００４４】
実施の形態３．
図１２は、本発明の実施の形態３に係る波長多重レーザダイオードモジュールのレーザダイオードキャリア付近を示す平面図である。図１３は図１２の構成を光軸方向から見た側面図である。本実施の形態では、レーザダイオードキャリア２は第１及び第２の接着面２ｂ，２ｃにおいてＬ型形状である。第１の接着面２ｂは前記レーザダイオードキャリア２の取り付け平面２ａに対して垂直であり、第２の接着面２ｃは取り付け平面２ａに対して平行である。その他の構成は実施の形態１と同様である。
【００４５】
本実施の形態でも第１の接着面２ｂと第２の接着面２ｃは直交し、両者のなす角は９０°である。このため、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。また、第１及び第２の接着面２ｂ，２ｃが取り付け平面２ａと平行又は垂直の関係にあるため、光軸調整時に直交座標軸を変換させながら考える必要がなく、直感的な理解に基づく光軸調整が可能である。さらに、直交する第１及び第２の接着面２ｂ，２ｃをレーザダイオードキャリア２製造時に刃を持ち替えることなく一度のフライス加工で形成することができるため、レーザダイオードキャリア２を安価に製造できる。
【００４６】
実施の形態４．
図１４は、本発明の実施の形態４に係る波長多重レーザダイオードモジュールのレーザダイオードキャリア付近を示す平面図である。図１５は図１４の構成を光軸方向から見た側面図である。実施の形態１〜３では第１の接着面２ｂと第２の接着面２ｃが直交していたが、本実施の形態では両者のなす角が１４５°となっている。その他の構成は実施の形態１と同様である。
【００４７】
このように第１の接着面２ｂと第２の接着面２ｃのなす角を意図的に９０°からやや広角又は狭角にずらしても、第１及び第２のコリメートレンズ７，８からの出射光を互いに平行に調整できる。また、実施の形態１と同様に接着層厚を１０μｍ以下と薄くできることから接着層厚の硬化収縮と経時変化の影響をうけない高信頼な光軸調整と固定を、一回の樹脂硬化作業で短時間に実現できる。その他の効果について以下に説明する。
【００４８】
図１６は、第１の接着面と第２の接着面が直交する実施の形態１の場合において、２波長集積レーザダイオードの実装ずれがＸ方向に±１５μｍ、Ｙ方向に±１．５μｍ発生した場合のコリメートレンズ調整後のレーザダイオード及びレンズの位置関係を表した図である。第１の平行光９と第２の平行光１０を平行にすることができるが、レンズのオフセット量が１５．１μｍ発生していることが分かる。
【００４９】
図１７は、第１の接着面と第２の接着面のなす角が１４５°である実施の形態４の場合に図１６と同様の実装ずれに対する光軸調整後のオフセット量を示した図である。レンズのオフセット量が６．７μｍにまで削減できており、コリメートレンズの光軸調整後のビーム偏角を抑制することができる。この効果は、レーザダイオード実装精度がＸ軸方向とＹ軸方向で異なる場合に、特に大きい。
【００５０】
図１８は、第１の接着面と第２の接着面のなす角の最適値が、レーザダイオードのＹ軸方向の実装精度ΔＹによってどのように変わるかを計算した結果を示す図である。なお、計算において、レーザダイオードのＸ軸方向の実装ずれΔＸは±１５μｍに固定した。また、Ｘ軸方向とＹ軸方向の差異としては１０倍程度、すなわち、±１．５μｍから±１５０μｍ程度までの範囲を考えれば十分である。この計算結果より、Ｘ軸方向とＹ軸方向のレーザダイオード実装精度に応じて、第１の接着面２ｂと第２の接着面２ｃのなす角を３５°〜１４５°の範囲内で製造設備の能力に応じて選択することにより、製造時のビーム偏角のばらつきを抑制できることが分かる。
【００５１】
実施の形態５.
図１９は、本発明の実施の形態５に係る波長多重レーザダイオードモジュールを示す平面図である。本実施の形態では、合波器として偏光ビーム合波器１５に代えて波長フィルタ３３が用いられている。また、偏波を回転させる必要がないため１／２波長板１４が削除されている。その他の構成は実施の形態１と同様である。
【００５２】
本実施の形態でも、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。また、偏波を回転させる必要がないため、１／２波長板が不要となる分だけ安価に製造できる。
【符号の説明】
【００５３】
２  レーザダイオードキャリア、２ａ  取り付け平面、２ｂ  第１の接着面、２ｃ  第２の接着面、４  第１の二波長集積レーザダイオード（第１のレーザダイオード）、５  第２の二波長集積レーザダイオード（第２のレーザダイオード）、７  第１のコリメートレンズ、８  第２のコリメートレンズ、１５  偏光ビーム合波器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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