(57)【要約】    【課題】接触による電極層への損傷を抑制でき、しかも比較的安定に通電可能な通電部材等を提供する。    【解決手段】基材上に形成された電極層に、前記基材を把持しつつ通電することが可能な一対の把持部を備え、前記一対の把持部は、デュロメータＡ硬度が５０以上７５以下である導電性体を有する第１の把持部と、デュロメータＡ硬度が５０以上７５以下、且つ、熱伝導率が０．３８Ｗ／ｍ・Ｋ以上１．００Ｗ／ｍ・Ｋ以下である伝熱性体を有する第２の把持部とを有し、前記第１の把持部が前記電極層に接触しつつ前記第１の把持部と前記第２の把持部とが前記基材を把持するように構成されている、通電部材。【選択図】  図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材上に形成された電極層に、前記基材を把持しつつ通電することが可能な一対の把持部を備え、
前記一対の把持部は、
デュロメータＡ硬度が５０以上７５以下である導電性体を有する第１の把持部と、
デュロメータＡ硬度が５０以上７５以下、且つ、熱伝導率が０．３８Ｗ／ｍ・Ｋ以上１．００Ｗ／ｍ・Ｋ以下である伝熱性体を有する第２の把持部とを有し、
前記第１の把持部が前記電極層に接触しつつ前記第１の把持部と前記第２の把持部とが前記基材を把持するように構成されている、通電部材。
【請求項２】
前記電極層が、有機ＥＬデバイスの電極層であり、
前記有機ＥＬデバイスは、前記基材と、該基材上に形成された前記電極層を有する有機ＥＬ素子とを備えている、請求項１に記載の通電部材。
【請求項３】
有機ＥＬデバイスの検査装置であって、
前記有機ＥＬデバイスは、基材と、該基材上に形成された電極層を有する有機ＥＬ素子とを有しており、
請求項２に記載の通電部材と、
前記通電部材によって前記電極層に通電されている前記有機ＥＬ素子を検査する検査部とを備えている、有機ＥＬデバイスの検査装置。
【請求項４】
有機ＥＬデバイスの検査方法であって、
前記有機ＥＬデバイスは、基材と、該基材上に形成された電極層を有する有機ＥＬ素子とを有しており、
請求項３に記載の有機ＥＬデバイスの検査装置を用い、前記通電部材によって前記電極層に通電する工程と、
前記通電部材によって前記電極層に通電されている有機ＥＬ素子を検査する工程とを備えている、有機ＥＬデバイスの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、通電部材、並びに、有機ＥＬデバイスの検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、次世代の低消費電力の発光表示装置に用いられるデバイスとして有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）素子を備えたものが用いられている。有機ＥＬ素子は、互いに反対の極性を有する第１及び第２の電極層と、これらの間に配された有機ＥＬ層とを有するように、基材上に形成される。また、第１及び第２の電極層に、それぞれ対応した電流が供給（通電）されることによって、第１及び第２の電極層と重なり合っている有機ＥＬ層が発光するようになっている。
【０００３】
この種の有機ＥＬデバイスでは、第１及び第２の電極層を、金属材料から形成された針状のコンタクトプローブ上に載置し、該コンタクトプローブを介してこれら電極層に通電することによって、短絡電流の発生、発光状態等の検査が行われている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−２２９１４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１に示すようなコンタクトプローブは、金属製の針状であるため、第１及び第２の電極層に傷等の損傷を引き起こす場合があり、また、第１及び第２の電極層の抵抗値が変動して安定な通電が行われず、精度良く検査を行うことができない場合がある。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑み、接触による電極層への損傷を抑制でき、しかも比較的安定に通電することが可能な通電部材、該通電部材を備えた有機ＥＬデバイスの検査装置、及び、該検査装置を用いた有機ＥＬデバイスの検査方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る通電部材は、
基材上に形成された電極層に、前記基材を把持しつつ通電することが可能な一対の把持部を備え、
前記一対の把持部は、
デュロメータＡ硬度が５０以上７５以下である導電性体を有する第１の把持部と、
デュロメータＡ硬度が５０以上７５以下、且つ、熱伝導率が０．３８Ｗ／ｍ・Ｋ以上１．００以下Ｗ／ｍ・Ｋである伝熱性体を有する第２の把持部とを有し、
前記第１の把持部が前記電極層に接触しつつ前記第１の把持部と前記第２の把持部とが前記基材を把持するように構成されている。
【０００８】
ここで、導電性とは、体積抵抗率が０．０５Ω・ｍ以下であることを意味する。この体積抵抗率は、日本ゴム協会標準規格（ＳＲＩＳ）−２３０１−１９６９「導電性ゴムおよびプラスチックの体積抵抗率試験方法」によって測定された値である。
デュロメータＡ硬度は、ＪＩＳ  Ｋ  ６２４９−２００３「未硬化及び硬化シリコーンゴムの試験方法によって測定された値である。
熱伝導率は、ＩＳＯ  ２２００７−２：２００８「ホットディスク法」によって測定された値である。
【０００９】
かかる構成によれば、第１の把持部が導電性を有することによって、第１の把持部と第２の把持部とで基材を把持しつつ、第１の把持部から電極層に通電することができる。
また、第１の把持部が、デュロメータＡ硬度が５０以上７５以下である導電性体を有することによって、金属製の部材が電極層と接触する場合と比較して、低硬度であることから、電極層への損傷を抑制し得る。
さらに、第２の把持部が、デュロメータＡ硬度が５０以上７５以下であり、熱伝導率が０．３８Ｗ／ｍ・Ｋ以上１．００Ｗ／ｍ・Ｋ以下である伝熱性体を有することによって、電極層に通電したときに発生する抵抗熱を、該電極層から伝熱性体に伝導させる（移動させて逃がす）ことができるため、電極層での抵抗値の上昇及び抵抗値の変動を抑制することができる。これにより、電極層に安定して通電することができる。
このように、通電部材が、接触による電極層への損傷を抑制でき、しかも比較的安定に通電することが可能なものとなる。
【００１０】
また、上記構成の通電部材においては、
前記電極層が、有機ＥＬデバイスの電極層であり、
前記有機ＥＬデバイスは、前記基材と、該基材上に形成された前記電極層を有する有機ＥＬ素子とを備えていることが好ましい。
【００１１】
かかる構成によれば、接触による電極層への損傷を抑制しつつ、有機ＥＬデバイスの電極層に比較的安定して通電することが可能となるため、通電部材がより有用なものとなる。
【００１２】
本発明の有機ＥＬデバイスの検査装置は、
有機ＥＬデバイスの検査装置であって、
前記有機ＥＬデバイスは、基材と、該基材上に形成された電極層を有する有機ＥＬ素子とを有しており、
前記通電部材と、
前記通電部材によって前記電極層に通電されている前記有機ＥＬ素子を検査する検査部とを備える。
【００１３】
かかる構成によれば、接触による電極層への損傷を抑制しつつ、有機ＥＬデバイスの電極層に比較的安定して通電しながら、有機ＥＬ素子を検査することができる。これにより、比較的精度良く該有機ＥＬデバイスを検査することが可能となる。
【００１４】
本発明の有機ＥＬデバイスの検査方法は、
有機ＥＬデバイスの検査方法であって、
前記有機ＥＬデバイスは、基材と、該基材上に形成された電極層を有する有機ＥＬ素子とを有しており、
前記有機ＥＬデバイスの検査装置を用い、前記通電部材によって前記電極層に通電する工程と、
前記通電部材によって前記電極層に通電されている有機ＥＬ素子を検査する工程とを備える。
【００１５】
かかる構成によれば、接触による電極層への損傷を抑制しつつ、有機ＥＬデバイスの電極層に比較的安定して通電しながら、有機ＥＬ素子を検査することができる。これにより、比較的精度良く該有機ＥＬデバイスを検査することが可能となる。
【発明の効果】
【００１６】
以上の通り、本発明によれば、接触による電極層への損傷を抑制でき、しかも比較的安定に通電することが可能な通電部材、該通電部材を備えた有機ＥＬデバイスの検査装置、及び、該検査装置を用いた有機ＥＬデバイスの検査方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態に係る有機ＥＬデバイスの検査装置で用いられる有機ＥＬデバイスを模式的に示す上面図
【図２】本実施形態で用いられる有機ＥＬデバイスを図１の左方から模式的に示す側面図
【図３】本発明の一実施形態に係る有機ＥＬデバイスの検査装置を概略的に示す側面図
【図４】本実施形態の有機ＥＬデバイスの検査装置を図３の上方から概略的に示す上面図
【図５】本実施形態の有機ＥＬデバイスの検査装置に備えられた通電部材を上方から概略的に示す上面図
【図６】本実施形態の通電部材の一対の把持部が互いに離間している状態、及び、互いに接触している状態を図５の下方から概略的に示す正面図
【図７】本実施形態の通電部材の一対の把持部が互いに離間している状態、及び、互いに接触している状態を図６の左方から概略的に示す正面図
【図８】本実施形態の検査装置において、通電部材の一対の把持部が基材を把持していない状態を概略的に示す側面図
【図９】本実施形態の検査装置において、通電部材の一対の把持部が基材を把持している状態を概略的に示す側面図
【図１０】本発明の他の実施形態に係る有機ＥＬデバイスの検査装置に用いられる有機ＥＬデバイスを概略的に示す上面図
【図１１】本発明の他の実施形態に係る有機ＥＬデバイスの検査装置に用いられる有機ＥＬデバイスを概略的に示す上面図
【図１２】本実施形態の有機ＥＬデバイスの検査装置が適用される有機ＥＬデバイスの製造装置を概略的に示す側面図
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明に係る通電部材、有機ＥＬデバイスの検査装置及び検査方法の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００１９】
まず、本実施形態の通電部材を備えた有機ＥＬデバイスの検査装置について説明する。
【００２０】
図１、図２、図４に示すように、本実施形態の有機ＥＬデバイスの検査装置１で検査される有機ＥＬデバイス２０は、可撓性を有する帯状の基材２１と、該基材２１上に長手方向に沿って形成された複数の有機ＥＬ素子１９とを有している。
有機ＥＬ素子１９は、第１の通電領域２３ａを有する第１の電極層２３と、前記第１の電極層２３と反対の極性を有し、且つ、第２の通電領域２７ａを有する第２の電極層２７と、これら第１及び第２の電極層２３、２７間に配された有機ＥＬ層２５とを有し、前記第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電されることによって発光するように構成されている。
【００２１】
具体的には、有機ＥＬ素子１９は、可撓性を有する帯状の基材２１上に、第１の電極層２３、有機ＥＬ層２５、及び第２の電極層２７が、この順に形成されてなる。第１の電極層２３が陽極層である場合、第２の電極層２７は陰極層であり、第１の電極層２３が陰極層である場合、第２の電極層２７は陽極層である。
また、基材２１は、その主体をなす支持基材２１ａと、該支持基材２１ａ上に積層された絶縁層２１ｂとの積層体であり、基材２１の絶縁層２１ｂ上に有機ＥＬ素子１９が形成されている。
さらに、有機ＥＬ素子１９は、保護フィルム２８によって覆われており、具体的には、第１の通電領域２３ａ及び第２の通電領域２７ａの一部が露出するように、第１の電極層２３、有機ＥＬ層２５及び第２の電極層２７が、保護フィルム２８によって覆われている。
【００２２】
また、有機ＥＬ素子１９は、第１の電極層２３、有機ＥＬ層２５及び第２の電極層２７の重なり合う領域が、有機ＥＬ層２５が発光する発光領域Ａを構成しており、該発光領域Ａよりも外側にそれぞれ突出するように形成されて露出している第１の電極層２３及び第２の電極層２７の部分が、それぞれ第１の通電領域２３ａ及び第２の通電領域２７ａを構成している。そして、かかる第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電されることによって、発光領域Ａが発光するようになっている。
なお、有機ＥＬ素子１９は、図１、図２の構成に特に限定されるものではない。
また、第１の電極層２３、第２の電極層２７及び有機ＥＬ層２５の形成材料も、特に限定されるものではない。
【００２３】
図３、図４、図５に示すように、本実施形態の有機ＥＬデバイス２０の検査装置１は、第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａ（すなわち、第１及び第２の電極層２３、２７）に通電する通電部材４３と、通電部材４３によって第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａ（すなわち、第１及び第２の電極層２３、２７）に通電されている有機ＥＬ素子１９を検査する検査部４７とを備えている。
また、通電部材４３は、基材２１上に形成された第１及び第２の電極層２３、２７に、基材２１を把持しつつ通電することが可能な一対の把持部４５ａ、４５ｂを備え、該一対の把持部４５ａ、４５ｂは、デュロメータＡ硬度が５０以上７５以下である導電性体を有する第１の把持部４５ａと、デュロメータＡ硬度が５０以上７５以下、且つ、熱伝導率が０．３８Ｗ／ｍ・Ｋ以上１．００Ｗ／ｍ・Ｋ以下である伝熱性体を有する第２の把持部４５ｂとを有し、第１の把持部４５ａが第１及び第２の電極層２３、２７に接触しつつ第１の把持部４５ａと第２の把持部４５ｂとが基材２１を把持するように構成されている。
【００２４】
また、本実施形態の有機ＥＬデバイス２０の検査装置１は、複数の有機ＥＬ素子１９が形成された基材２１が巻回されてなる（有機ＥＬデバイス２０が巻回されてなる）ロール体３０から、有機ＥＬ素子１９と共に基材２１を繰り出して通電部材４３に供給する第１の供給部４１と、通電部材４３によって通電されつつ検査部４７によって検査された有機ＥＬ素子１９を基材２１と共に巻き取って回収する第１の回収部４９と、通電部材４３及び検査部４７が収容される収容部５１とを備える。
【００２５】
第１の供給部４１は、上記ロール体３０から、有機ＥＬ素子１９と共に基材２１を繰り出して通電部材４３に供給するものである。かかる第１の供給部４１は、通電部材４３による基材２１の送り速度（すなわち有機ＥＬ素子１９の移動速度）に応じて、基材２１を繰り出すようになっている。
この第１の供給部４１は、基材２１の繰り出し、及び、繰り出しの停止を行うことができるようになっている。すなわち、有機ＥＬ素子１９が一対の把持部４５ａ、４５ｂ間に挿入されるように基材２１を供給するときには、第１の供給部４１によって基材２１を繰り出し、一対の把持部４５ａ、４５ｂに有機ＥＬ素子１９が挿入された状態で該一対の把持部４５ａ、４５ｂによって基材２１が把持され、有機ＥＬ素子１９が検査部４７で検査されるときには、第１の供給部４１による基材２１の繰り出しが停止するようになっている。また、検査部４７での検査が終了し、一対の把持部４５ａ、４５ｂが基材２１を放したとき（把持することを停止したとき）、第１の供給部４１による基材２１の繰り出しが再開されるようになっている。
【００２６】
第１の回収部４９は、第１の供給部４１から供給され、通電部材４３によって通電されつつ検査部４７で検査を通過した基材２１を、検査部４７で検査された有機ＥＬ素子１９と共に巻き取って回収するようになっている。すなわち、第１の供給部４１及び第１の回収部４９によって、基材２１が繰り出され且つ巻き取られるようになっている。さらに換言すれば、第１の供給部４１及び第１の回収部４９によって、有機ＥＬデバイス２０が繰り出され且つ巻き取られるようになっている。
この第１の回収部４９は、基材２１の巻き取り、及び、巻き取りの停止を行うことができるようになっている。すなわち、有機ＥＬ素子１９が一対の把持部４５ａ、４５ｂ間に挿入されるように基材２１を供給するときには、第１の供給部４１によって基材２１を繰り出すと共に第１の回収部４９によって基材２１を巻き取り、一対の把持部４５ａ、４５ｂに有機ＥＬ素子１９が挿入された状態で該一対の把持部４５ａ、４５ｂによって基材２１が掴まれ、有機ＥＬ素子１９が検査部４７で検査されるときには、第１の供給部４１による基材２１の繰り出しが停止すると共に第１の回収部４９による基材２１の巻き取りが停止するようになっている。
また、検査部４７での検査が終了し、一対の把持部４５ａ、４５ｂが基材２１を放したとき（把持することを停止したとき）、第１の供給部４１による基材２１の繰り出しと共に、第１の回収部４９による基材２１の巻き取りが再開されるようになっている。
【００２７】
通電部材４３は、基材２１上に形成された第１及び第２の電極層２３、２７に、基材２１を把持しつつ通電することが可能な一対の把持部４５ａ、４５ｂを備え、該一対の把持部４５ａ、４５ｂは、デュロメータＡ硬度が５０以上７５以下である導電性体を有する第１の把持部４５ａ（図３、図６の上側の治具）と、デュロメータＡ硬度が５０以上７５以下、且つ、熱伝導率が０．３８Ｗ／ｍ・Ｋ以上１．００Ｗ／ｍ・Ｋ以下である伝熱性体を有する第２の把持部４５ｂ（図３、図６の下側の治具）とを有し、第１の把持部４５ａが第１及び第２の電極層２３、２７に接触しつつ第１の把持部４５ａと第２の把持部４５ｂとが基材２１を把持するように構成されている。
【００２８】
通電部材４３は、かかる一対の把持部４５ａ、４５ｂに加え、さらに、該一対の把持部４５ａ、４５ｂ（すなわち、第１の把持部４５ａ及び第２の把持部４５ｂ）を互いに接近する方向と互いに離間する方向とに移動させる駆動機構４４を備えている。
【００２９】
かかる通電部材４３は、駆動機構４４で第１の把持部４５ａ及び第２の把持部４５ｂを互いに接近するように移動させることによって、少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに第１の把持部４５ａが接触しつつ、第１の把持部４５ａと第２の把持部４５ｂとが（すなわち、一対の把持部４５ａ、４５ｂが）供給された前記基材２１を把持することが可能であり、且つ、このように前記基材２１を把持した状態で第１の把持部４５ａによって前記第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電させて有機ＥＬ素子１９（すなわち、上記発光領域Ａに位置する有機ＥＬ層２５）を発光させるように構成されている。
【００３０】
具体的には、かかる通電部材４３を介して、少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに同時に通電されることによって、該少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９が発光するようになっている。
なお、本実施形態では、１つの有機ＥＬ素子１９の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに第１の把持部４５ａが接触するように、一対の把持部４５ａ、４５ｂが基材２１を把持する態様を示すが、本発明においては、２つ以上の有機ＥＬ素子１９の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに第１の把持部４５ａが接触するように、一対の把持部４５ａ、４５ｂが基材２１を把持する態様を採用してもよい。すなわち、一対の把持部４５ａ、４５ｂが、複数の有機ＥＬ素子１９を１ユニットとして把持してもよい。
【００３１】
本実施形態では、図５〜図７に示すように、一対の把持部４５ａ、４５ｂのうち、第１の把持部４５ａは、第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと対向するように配され、第２の把持部４５ｂは、基材２１における第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと反対の側と対向するように配されている。
【００３２】
より具体的には、第１の把持部４５ａは、基材２１上に形成された有機ＥＬ素子１９に対向する側（図６、図７の上方）に配されており、その主体をなす矩形のフレーム状の第１の基体部４５ａａと、該第１の基体部４５ａａから基材２１側（図６、図７の下方）に向かって、且つ、第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触し得るように突出している２つの導電部４５ａｂとを有している。
【００３３】
第１の基体部４５ａａがフレーム状に形成されていることによって、その開口を通して、有機ＥＬ素子１９の発光領域Ａを検査部４７に向けて露出させるようになっている。
また、導電部４５ａｂは、第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触し得るように、基材２１の幅方向に離間した位置において、長手方向に延びている。
【００３４】
第１の基体部４５ａａの形成材料としては、例えば、導電性材料が挙げられる。かかる導電性材料としては、例えば、ニッケル、アルミニウム等の金属材料や、カーボン等の非金属材料等が挙げられる。
【００３５】
導電部４５ａｂは、デュロメータＡ硬度が５０以上７５以下である導電性体によって形成されている。この導電部４５ａｂに、第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに接触している状態で不図示の電流供給部からそれぞれ対応する極性を有する電流が供給されて、該導電部４５ａｂを介して該第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電されるようになっている。
【００３６】
導電性とは、体積抵抗率が０．０５Ω・ｍ以下であることを意味する。この体積抵抗率は、日本ゴム協会標準規格（ＳＲＩＳ）−２３０１−１９６９「導電性ゴムおよびプラスチックの体積抵抗率試験方法」によって測定された値である。
このような導電性体としては、弾性材料に上記導電性材料製のフィラーが含有されてなる材料から形成されたものが挙げられ、例えば、シリコーンゴムに、ニッケル、カーボン、アルミニウム等から形成された導電性材料製フィラーが含有されてなる材料から形成されたものが挙げられる。
体積抵抗率は、０．０５Ω・ｍ以下であればよく、また、より低い方が好ましい。
【００３７】
導電部４５ａｂが、導電性材料によって形成されていることによって、第１の把持部４５ａと第２の把持部４５ｂとで基材２１を挟持しつつ、第１の把持部４５ａから第１及び第２の電極層２３、２７に通電することができる。
また、導電部４５ａｂが、デュロメータＡ硬度が５０以上７５以下であるように形成されていることによって、金属製の部材で第１及び第２の電極層２３、２７と接触する場合と比較して、低硬度であることから、第１及び第２の電極層２３、２７の損傷を抑制し得る。
【００３８】
かかる第１の基体部４５ａａ、導電部４５ａｂの大きさや形状は、特に限定されるものではない。また、第１の基体部４５ａａにおける導電部４５ａｂの配置も、特に限定されるものではない。
【００３９】
また、導電部４５ａｂは、例えば導電性を有する両面テープによって第１の基体部４５ａａに固定され得るが、第１の基体部４５ａａに対する導電部４５ａｂの固定方法は、特に限定されるものではない。
【００４０】
第２の把持部４５ｂは、その主体をなす第２の基体部４５ｂａと、該第２の基体部４５ｂａから基材２１側（図６、図７の上方）に突出して基材２１（の有機ＥＬ素子１９が形成されていない面）と接触し得るように突出しているグリップ部４５ｂｂとを有している。
【００４１】
第２の基体部４５ｂａの形成材料としては、例えば、上記したような導電性材料等が挙げられる。
【００４２】
グリップ部４５ｂｂは、デュロメータＡ硬度が５０以上７５以下、且つ、熱伝導率が０．３８Ｗ／ｍ・Ｋ以上１．００Ｗ／ｍ・Ｋ以下である伝熱性体によって形成されている。
【００４３】
このような伝熱性体としては、弾性材料に、上記したような導電性材料製のフィラー等の導電性材料が含有されてなる材料から形成されたものが挙げられ、例えば、ゴム材料やスポンジ材料に、ニッケル、カーボン、アルミニウム等から形成された導電性材料製フィラーが含有されてなる材料から形成されたものが挙げられる。
【００４４】
グリップ部４５ｂｂが、デュロメータＡ硬度が５０以上７５以下であり、且つ、熱伝導率が０．３８Ｗ／ｍ・Ｋ以上１．００Ｗ／ｍ・Ｋ以下である伝熱性体によって形成されていることによって、第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電したときに発生する抵抗熱を、該第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａからグリップ部４５ｂｂに伝導させる（移動させて逃がす）ことができるため、第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａでの抵抗値の上昇及び抵抗値の変動を抑制することができる。これにより、第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに安定して通電することができる。
また、グリップ部４５ｂｂが、デュロメータＡ硬度が５０以上７５以下であるように形成されていることによって、比較的低硬度であることから、該グリップ部４５ｂｂとの接触による基材２１への損傷を抑制し得る。
【００４５】
かかる第２の基体部４５ｂａ及びグリップ部４５ｂｂの大きさや形状は、特に限定されるものではない。また、第２の基体部４５ｂａにおけるグリップ部４５ｂｂの配置も、特に限定されるものではない。
【００４６】
また、グリップ部４５ｂｂは、例えば両面テープによって第２の基体部４５ｂａに固定され得るが、第２の基体部４５ｂａに対するグリップ部４５ｂｂの固定方法は、特に限定されるものではない。
【００４７】
駆動機構４４は、第１の把持片４５ａ及び第２の把持片４５ｂを、これらの少なくとも一方（ここでは双方）が、互いに相対的に接近する（両者の間隔が狭くなる）方向に移動させるように、且つ、これらの少なくとも一方（ここでは双方）が、互いに相対的に離間する（両者の間隔が広くなる）方向に移動させるように構成されている。駆動機構４４によって、第１の把持部４５ａ及び第２の把持部４５ｂの少なくとも一方（ここでは双方）が、互いに相対的に接近する方向に移動することによって、第１の把持部４５ａ及び第２の把持部４５ｂが、基材２１を把持するようになっている。また、駆動機構４４によって、第１の把持部４５ａ及び第２の把持部４５ｂの少なくとも一方（ここでは双方）が、互いに相対的に離間する方向に移動することによって、第１の把持部４５ａ及び第２の把持部４５ｂが、把持した基材２１を放すようになっている。
なお、第１及び第２の把持部４５ａ、４５ｂの一方が駆動機構４４によって移動される場合には、他方は固定されていればよい。
このような駆動機構４４は、第１及び第２の把持部４５ａ、４５ｂを上記各方向に移動させることができるものであればよく、特に限定されるものではない。例えば、駆動機構４４としては、電気（電力）を駆動源とする駆動機構や、エア（エア圧）を駆動源とする駆動機構等、従来公知の駆動機構が挙げられる。
【００４８】
このように、通電部材４３が、上記一対の把持部４５ａ、４５ｂと駆動機構４４とを有していることによって、少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９（ここでは１つの有機ＥＬ素子１９）の第１及び第２の通電領域２３、２７に第１の把持部４５ａの導電部４５ａｂが接触しつつ、基材２１の裏面（第１及び第２の電極層２３、２７とは反対の側の面）に第２の把持部４５ｂのグリップ部４５ｂｂが接触しつつ、一対の把持部４５ａ、４５ｂが、第１の供給部４１から供給された基材２１を把持し、該一対の把持部４５ａ、４５ｂによって第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電させて有機ＥＬ素子１９を発光させ、該発光させた有機ＥＬ素子１９を検査部４７によって検査可能な状態にすることができる。
このとき、上記したように、第１の供給部４１による基材２１の繰り出し、及び、第１の回収部４９による基材２１の巻き取りを停止しつつ、駆動機構４４によって一対の把持部４５ａ、４５ｂが基材２１を把持し、検査終了後、駆動機構４４によって一対の把持部４５ａ、４５ｂが基材２１を放しつつ、第１の供給部４１による基材２１の繰り出し、及び、第１の回収部４９による基材２１の巻き取りを再開するようになっている。また、この一連の動作を繰り返すことによって、一対の把持部４５ａ、４５ｂで有機ＥＬ素子１９を順次把持し、検査部４７で検査できるようになっている。
なお、第１の供給部４１によって基材２１を繰り出す及び繰り出しを停止するタイミング、第１の回収部４９によって基材２１を巻き取る及び巻き取りを停止するタイミング、一対の把持部４５ａ、４５ｂによって基材２１を把持する及び放すタイミングは、有機ＥＬ素子１９の大きさ、有機ＥＬ素子１９同士の間隔、検査部４７の配置等に応じて適宜設定することができる。
【００４９】
検査部４７は、通電部材４３による通電によって発光している有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査するものである。
具体的には、かかる検査部４７は、発光している有機ＥＬ素子１９を撮影し、撮影結果を電子信号に変換して、不図示の制御部に送信するようになっている。
【００５０】
また、本実施形態では、検査部４７は、通電部材４３によって移動させた有機ＥＬ素子１９が静止している状態で、有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査するようになっている。
【００５１】
また、検査部４７は、２つ配されており、有機ＥＬ素子１９の発光状態を、該有機ＥＬ素子１９に対して垂直な方向（有機ＥＬ素子１９の接線と垂直な方向）と、斜めの方向（有機ＥＬ素子１９の接線と垂直な方向に対して傾斜した方向）とから検査できるようになっている。また、かかる斜めの方向としては、例えば上記垂直な方向に対して３０°傾斜した方向を採用することができる。
【００５２】
また、本実施形態では、上記の通り、第１の供給部４１からの基材２１の供給が停止され（すなわち、基材２１が静止している状態で）、一対の把持部４５ａ、４５ｂが基材２１を把持している状態で第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電させ、静止しながら発光している有機ＥＬ素子１９の発光状態を、検査部４７が検査するようになっている。
【００５３】
このような検査部４７として、本実施形態では、エリアセンサカメラが採用されている。エリアセンサカメラは、複数の受像素子の列が、複数配されており（複数ライン）、所定の領域を１つの画像として一度に撮影し得るものである。かかる構成を採用した場合、一対の把持部４５ａ、４５ｂが基材２１を把持しつつ、第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電させ、静止している有機ＥＬ素子１９を発光させてその画像を撮影し、撮影結果（検査結果）を上記した制御部に電子データとして送信することになる。このような検査部４７としては、市販品を用いることができ、該市販品としては、例えば、株式会社キーエンス製のデジタル高速２１００万画素カラーカメラＸＧ−Ｈ２１００Ｃが挙げられる。
なお、本発明においては、検査部４７は、上記エリアセンサカメラに特に限定されるものではない。
【００５４】
かかる検査部４７によって撮影された結果（検査結果）は、上記の通り、電子信号に変換されて不図示の制御部に送信され、検査部４７から送信された電子信号は、制御部に備えられた分析回路によって分析され、分析された電気信号が、所定の基準信号（閾値）と比較され、該閾値を下回ったとき、発光状態が不良であると判定されるようになっている。例えば、発光状態の指標としては、輝度や彩度等が挙げられる。
【００５５】
収容部５１は、検査部４７が有機ＥＬ素子１９の発光状態を十分に検査できるように、有機ＥＬ素子１９の発光部分及び検査部４７の周囲を暗くするためのものである。本実施形態では、該収容部５１内に、通電部材４３及び検査部４７が配された構成を採用するが、収容部５１内に配されるものは、これらに特に限定されるものではない。
また、収容部５１の形状も、特に限定されるものではない。
【００５６】
次に、上記検査装置１を用いた有機ＥＬ素子デバイス２０の検査方法について説明する。
【００５７】
本実施形態の有機ＥＬデバイス２０の検査方法は、
有機ＥＬデバイス２０の検査方法であって、
前記有機ＥＬデバイス２０は、基材２１と、該基材２１上に形成された第１及び第２の電極層２３、２７を有する有機ＥＬ素子１９とを有しており、
本実施形態の有機ＥＬデバイス２０の検査装置１を用い、通電部材４３によって第１及び第２の電極層２３、２７に通電する工程と、
前記通電部材４３によって前記第１及び第２の電極層２３、２７に通電されている有機ＥＬ素子１９を検査する工程とを備える。
【００５８】
より具体的には、上記通電する工程においては、第１の把持部４５ａが少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９（ここでは１つの有機ＥＬ素子１９）の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触するように、第１の把持部４５ａ及び第２の把持部４５ｂによって基材２１を把持した状態で、第１の把持部４５ａによって第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電させて有機ＥＬ素子１９を発光させる。
また、上記検査する工程においては、通電部材４３によって第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電し、これによって発光している有機ＥＬ素子１９の発光状態を、検査部４７によって検査する。
【００５９】
さらに具体的には、まず、図８に示すように、第１の供給部４１によって、ロール体３０から、有機ＥＬ素子１９が形成された基材２１を繰り出して供給し、第１の回収部４９によって基材２１を巻き取る（第１の工程）。
【００６０】
次に、図９に示すように、少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９（ここでは１つの有機ＥＬ素子１９）が第１の把持部４５ａと第２の把持部４５ｂとの間に位置したとき、第１の供給部４１による基材２１の繰り出し、及び、第１の回収部４９による基材２１の回収を停止する。この状態で、駆動機構４４によって、第１の把持部４５ａと第２の把持部４５ｂとを互いに接近する方向に移動させて、第１の把持部４５ａを第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触させつつ第１の把持部４５ａと第２の把持部４５ｂとで基材２１を把持し、この状態で第１の把持部４５ａによって前記第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電させて前記有機ＥＬ素子１９を発光させる（第２の工程）。
また、かかる通電部材４３による通電によって発光している有機ＥＬ素子１９の発光状態を、検査部４７によって検査する（第３の工程）。このように、第３の工程では、静止している有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査する。
【００６１】
検査後、図８に示すように、通電部材４３による通電を停止し、駆動機構４４によって第１の把持部４５ａと第２の把持部４５ｂとを互いに離間する方向に移動させて、第１の把持部４５ａと第２の把持部４５ｂとに基材２１を放させて、把持を解除させる（第４の工程）。
【００６２】
第４工程の後、第１の供給部４１による基材２１の繰り出しを再開し、第１の回収部４９による検査後の基材２１の巻き取りを再開して第１の工程を実施し、次いで、検査される有機ＥＬ素子１９を、第１の把持部４５ａと第２の把持部４５ｂとの間に位置させて、通電部材４３によって上記と同様にして基材２１を把持しつつ有機ＥＬ素子１９を発光させて第２の工程を実施し、発光している有機ＥＬ素子１９を検査する第３の工程を実施し、基材２１を放して第４の工程を実施する。
このように、第１〜第４の工程を繰り返して、有機ＥＬ素子１９の発光状態を連続して検査する。なお、第１〜第４の工程を繰り返し行う際には、いずれの工程で一連の検査を終了してもよい。
【００６３】
また、最終的に、検査された有機ＥＬ素子１９を、第１の回収部４９によって基材２１と共に巻き取って、ロール体として回収する。すなわち、検査した有機ＥＬデバイス２０を、第１の回収部４９によってロール体として回収する。
【００６４】
上記した通り、本実施形態の通電部材４３は、
基材２１上に形成された電極層（ここでは、第１及び第２の電極層）２３、２７に、前記基材２１を把持しつつ通電することが可能な一対の把持部４５ａ、４５ｂを備え、
前記一対の把持部４５ａ、４５ｂは、
デュロメータＡ硬度が５０以上７５以下である導電性体を有する第１の把持部４５ａと、
デュロメータＡ硬度が５０以上７５以下、且つ、熱伝導率が０．３８Ｗ／ｍ・Ｋ以上１．００Ｗ／ｍ・Ｋ以下である伝熱性体を有する第２の把持部４５ｂとを有し、
前記第１の把持部４５ａが前記第１及び第２の電極層２３、２７に接触しつつ前記第１の把持部４５ａと前記第２の把持部４５ｂとが前記基材２１を把持するように構成されている。
【００６５】
かかる構成によれば、第１の把持部４５ａが導電性を有することによって、第１の把持部４５ａと第２の把持部４５ｂとで基材２１を把持しつつ、第１の把持部４５ａから電極層２３、２７に通電することができる。
また、第１の把持部４５ａが、デュロメータＡ硬度が５０以上７５以下である導電性体を有することによって、金属製の部材が第１及び第２の電極層２３、２７と接触する場合と比較して、低硬度であることから、第１及び第２の電極層２３、２７への損傷を抑制し得る。
さらに、第２の把持部４５ｂが、デュロメータＡ硬度が５０以上７５以下であり、且つ、熱伝導率が０．３８Ｗ／ｍ・Ｋ以上１．００Ｗ／ｍ・Ｋ以下である伝熱性体を有することによって、第１及び第２の電極層２３、２７に通電したときに発生する抵抗熱を、該第１及び第２の電極層２３、２７から伝熱性体に伝導させる（移動させて逃がす）ことができるため、第１及び第２の電極層２３、２７での抵抗値の上昇及び抵抗値の変動を抑制することができる。これにより、第１及び第２の電極層２３、２７に安定して通電することができる。
このように、通電部材４３が、接触による第１及び第２の電極層２３、２７への損傷を抑制でき、しかも比較的安定に通電することが可能なものとなる。
加えて、第２の把持部４５ｂが、デュロメータＡ硬度が５０以上７５以下である伝熱性体を有することによって、比較的低硬度であることから、接触による基材２１への損傷も抑制し得る。
【００６６】
また、本実施形態の通電部材４３は、
前記電極層２３、２７が、有機ＥＬデバイス２０の電極層（ここでは第１及び第２の電極層）２３、２７であり、有機ＥＬデバイス２０は、前記基材２１と、該基材２１上に形成された前記第１及び第２の電極層２３、２７を有する有機ＥＬ素子１９とを備えている。
【００６７】
かかる構成によれば、接触による第１及び第２の電極層２３、２７への損傷を抑制しつつ、有機ＥＬデバイス２０の第１及び第２の電極層２３、２７に比較的安定して通電することが可能となるため、通電部材４３がより有用なものとなる。
【００６８】
本実施形態の有機ＥＬデバイス２０の検査装置１は、
有機ＥＬデバイス２０の検査装置１であって、
前記有機ＥＬデバイス２０は、基材２１と、該基材２１上に形成された第１及び第２の電極層２３、２７を有する有機ＥＬ素子１９とを有しており、
前記通電部４３としての通電部材４３と、
前記通電部材４３によって前記第１及び第２の電極層２３、２７に通電されている前記有機ＥＬ素子１９を検査する検査部４７とを備えている。
【００６９】
かかる構成によれば、接触による第１及び第２の電極層２３、２７への損傷を抑制しつつ、有機ＥＬデバイス２０の第１及び第２の電極層２３、２７に比較的安定して通電しながら、有機ＥＬ素子１９を検査することができる。これにより、比較的精度良く該有機ＥＬデバイス２０を検査することが可能となる。
【００７０】
本実施形態の有機ＥＬデバイス２０の検査方法は、
有機ＥＬデバイス２０の検査方法であって、
前記有機ＥＬデバイス２０は、基材２１と、該基材２１上に形成された第１及び第２の電極層２３、２７を有する有機ＥＬ素子１９とを有しており、
前記有機ＥＬデバイス２０の検査装置１を用い、前記通電部材４３によって前記第１及び第２の電極層２３、２７に通電する工程と、
前記通電部材４３によって前記第１及び第２の電極層２３、２７に通電されている有機ＥＬ素子１９を検査する工程とを備える。
【００７１】
かかる構成によれば、接触による第１及び第２の電極層２３、２７への損傷を抑制しつつ、有機ＥＬデバイス２０の第１及び第２の電極層２３、２７に比較的安定して通電しながら、有機ＥＬ素子１９を検査することができる。これにより、比較的精度良く該有機ＥＬデバイス２０を検査することが可能となる。
【００７２】
以上の通り、本実施形態によれば、接触による電極層２３、２７への損傷を抑制でき、しかも比較的安定に通電することが可能な通電部材４３、該通電部材４３を備えた有機ＥＬデバイス２０の検査装置１、及び、該検査装置１を用いた有機ＥＬデバイス２０の検査方法が提供される。
【００７３】
本実施形態の通電部材４３、有機ＥＬデバイス２０の検査装置１及び検査方法は、上記の通りであるが、本発明は上記実施形態に限定されず本発明の意図する範囲内において適宜設計変更可能である。
【００７４】
例えば、上記実施形態の検査装置１では、基材２１の移動を停止させた状態、すなわち、基材２１を静止させた状態で、第１の把持部４５ａと第２の把持部４５ｂとで基材２１を挟持する態様を採用したが、その他、第１の把持部４５ａと第２の把持部４５ｂとを、基材２１を把持しつつ基材２１と共に下流側に移動させながら、第１の把持部４５ａによって第１及び第２の電極層２３、２７に通電しつつ有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査部４７で検査し、検査後、第１の把持部４５ａと第２の把持部４５ｂとが基材２１を放した後、上流側に移動して、次の有機ＥＬ素子１９を把持するような態様を採用してもよい。すなわち、第１の供給部４１による基材２１の繰り出し、及び、第１の回収部４９による基材２１の巻き取りを停止することなく、第１把持部４５ａと第２の把持部４５ｂとで基材２１を把持しつつ第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電して検査を行う態様を採用してもよい。
【００７５】
この場合、検査部４７としては、例えばラインセンサカメラを採用することができる。ラインセンサカメラは、複数の受像素子が一列（１ライン）に配されており、移動する対象物の画像を連続的に一列ずつ撮影し、各列の撮影結果をつなぎ合わせて全体として１つの画像を撮影し得るものである。かかるラインセンサカメラとしては、市販品を用いることができ、該市販品としては、例えば、デジタルカラーラインスキャンカメラＳＵＣＬ２０２５Ｔ３（日本エレクトロセンサリデバイス株式会社製）が挙げられる。また、かかる検査部４７は、上記受像素子が基材２１の幅方向（移動方向と垂直な方向）に沿って位置するように配され、移動している１つの有機ＥＬ素子１９の画像を一列ずつ連続的に撮影し、全体として１つの画像データを得るように構成し得る。
【００７６】
なお、本発明の通電部材が用いられる検査装置は、上記実施形態の検査装置１に特に限定されるものではなく、その他の検査装置にも用いられ得る。
【００７７】
また、有機ＥＬ素子１９における第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａの配置や形状等は、上記実施形態の構成に特に限定されるものではなく、また、通電部材４３の形状等も、適用する有機ＥＬ素子１９における第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａの配置や形状等に応じて適宜設計すればよい。
例えば、図１０に示すように、有機ＥＬデバイス２０が、複数の有機ＥＬ素子１９に共通する第２の通電領域２７ａを有するように構成されており、第１の把持部４５ａが、これら複数の有機ＥＬ素子１９の通電領域２７ａと同時に接触するように、これら複数の有機ＥＬ素子１９を１ユニットとして把持するように構成されていてもよい。あるいは、図示しないが、これとは逆に、有機ＥＬデバイス２０が、複数の有機ＥＬ素子１９に共通する第１の通電領域２３ａを有するように構成されており、第１の把持部４５ａが、これら複数の有機ＥＬ素子１９の通電領域と同時に接触するように、これら複数の有機ＥＬ素子１９を１ユニットとして把持するように構成されていてもよい。
また、図１１に示すように、有機ＥＬデバイス２０が、複数の有機ＥＬ素子１９に共通する第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａを有するように構成されており、第１の把持部４５ａが、これら複数の有機ＥＬ素子１９の通電領域と同時に接触するように、これら複数の有機ＥＬ素子１９を１ユニットとして把持するように構成されていてもよい。
【００７８】
また、上記実施形態では、板状の第１及び第２の把持部４５ａ、４５ｂを採用する態様を示したが、本発明においては、第１の把持部が、少なくとも周面部が導電性体によって形成されたローラ体であり、第２の把持部が、少なくとも周面部が伝熱性体によって形成されたローラ体であるような態様を採用してもよい。
【００７９】
また、上記実施形態では、駆動機構４４によって第１及び第２の把持部４５ａ、４５ｂが基材２１を把持する態様を示したが、本発明においては、これら把持部４５ａ、４５ｂが基材２１を把持する態様は、特に限定されるものではない。例えば、使用者の手によって（手動で）、第１及び第２の把持部４５ａ、４５ｂで基材２１を挟み、基材２１を挟んだ状態で第１及び第２の把持部４５ａ、４５ｂをネジ止め等によって固定する態様等を採用してもよい。
【００８０】
また、上記実施形態では、有機ＥＬ素子１９が形成された基材２１を一旦巻き取ってロール体３０とし、該ロール体３０から基材２１を供給して検査を行う態様を示したが、その他、有機ＥＬ素子１９が形成された基材２１を巻き取らず、そのまま通電部材４３へ供給して検査を行う態様を採用してもよい。
【００８１】
すなわち、本実施形態の検査方法を、有機ＥＬデバイス２０の製造方法の一工程として適用してもよい。
【００８２】
かかる態様の有機ＥＬデバイス２０の製造方法は、例えば、可撓性を有する帯状の基材２１上に、第１の通電領域２３ａを有する第１の電極層２３と、前記第１の電極層２３と反対の極性を有し、且つ、第２の通電領域２７ａを有する第２の電極層２７と、これら第１及び第２の電極層２３、２７間に配された有機ＥＬ層２５とを有する有機ＥＬ素子１９を、長手方向に複数形成する工程と、
本実施形態の有機ＥＬデバイス２０の検査装置１を用いて、形成された有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査することによって、検査済みの有機ＥＬデバイス２０を得る工程とを備える。
【００８３】
上記有機ＥＬ素子１９を形成する工程においては、例えば、図１２に示すような製造装置６０を用い、真空チャンバー３内において、ロール状に巻回された基材２１を第２の供給部５から繰り出して供給し、供給した基材２１をキャンローラ７によって支持しつつ下流側に送り、該キャンローラ７に支持されている基材２１上に、スパッタ源や蒸着源等の層形成部９ａ、９ｂ、９ｃによってそれぞれ第１の電極層２３、有機ＥＬ層２５、第２の電極層２７を順次形成して、基材２１上に有機ＥＬ素子１９を連続して複数形成し、第２の回収部６によって、形成された有機ＥＬ素子１９を基材２１と共に有機ＥＬデバイス２０として巻き取って回収して、上記ロール体３０とする。また、当該工程では、第２の供給部５及び第２の回収部６によって、基材２１が繰り出され且つ巻き取られるようになっている。
そして、有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査する工程においては、上記した検査方法を用いて、上記工程で形成されたロール体３０から、有機ＥＬ素子１９と共に基材２１を繰り出して、上記と同様に有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査し、第２の回収部６によって回収する。
【００８４】
かかる有機ＥＬデバイス２０の製造方法によれば、上記有機ＥＬデバイスの検査方法を用いることから、形成された有機ＥＬ素子１９を効率良く検査して、検査済みの有機ＥＬデバイス２０を得ることができる。しかも、第１及び第２の電極層２３、２７の損傷が抑制された、検査済みの有機ＥＬデバイス２０を得ることができる。
【実施例】
【００８５】
次に実施例を挙げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００８６】
（実験例１）
図６、７に示すような第２の把持部４５ｂのグリップ部４５ｂｂを形成する材料について、硬度、熱伝導率、平均電流値、及び、電流が安定するまでの時間を測定した。
具体的には、下記の材料を用い、下記の測定方法によって各材料の上記特性値を測定した。また、平均電流値、及び、電流が安定するまでの時間を、下記の判定基準を用いて判定した。結果を表１に示す。
【００８７】
（使用材料）
金属プローブとして、コンタクトプローブ（ワニ口クリップＷＴＮシリーズ、ＭＩＳＵＭＩ社製）を用いた。
剛性体として、アルミ合金Ａ５０５２製の板（アルミフリープレートＡ５０５２Ｐ、ＭＩＳＵＭＩ社製）を用いた。
非導電性体として、シリコーンゴムスポンジＳＧＮＡＡ（ゴムスポンジ、ＭＩＳＵＭＩ社製）を用いた。
導電性体として、導電性シリコーンゴムＥＣ−Ａ（信越化学工業社製）を用いた。
伝熱性体Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄとして、導電性シリコーンゴムＥＣ−Ａ（信越化学工業社製）、導電性シリコーンゴムＥＣ−ＴＣ（信越化学工業社製）、導電性シリコーンゴムＥＣ−ＢＬ（信越化学工業社製）、導電性シリコーンゴムＥＣ−Ａ（信越化学工業社製）、導電性シリコーンゴムＫＥ−３４９２−Ｇ（ＲＴＶ（Room Temperature Vulcanizing Rubber）シリコーンゴム、信越化学工業社製）を硬化させたものを用いた。
【００８８】
（硬度）
ＪＩＳ  Ｋ  ６２４９−２００３「未硬化及び硬化シリコーンゴムの試験方法によって、デュロメータＡ硬度を測定した。
【００８９】
（熱伝導率）
アルミ合金Ａ５０５２製の板については、ＪＩＳ  Ｒ  １６１１：２０１０「ファインセラミックスのフラッシュ法による熱拡散率・比熱容量・熱伝導率の測定方法」によって、熱伝導率を測定した。
シリコーンゴムスポンジＳＧＮＡＡ、導電性シリコーンゴムＥＣ−Ａ、導電性シリコーンゴムＥＣ−ＴＣ、導電性シリコーンゴムＥＣ−ＢＬ、導電性シリコーンゴムＫＥ−３４９２−Ｇ（硬化体）については、ＩＳＯ  ２２００７−２：２００８「ホットディスク法」によって、熱伝導率を測定した。
【００９０】
（体積抵抗率）
アルミ合金Ａ５０５２製の板については、導電性として、ＪＩＳ  Ｃ  ２５２５：１９９９「金属抵抗材料の導体抵抗及び体積抵抗率試験方法」によって、２０℃での体積抵抗率を測定した。
シリコーンゴムスポンジＳＧＮＡＡ、導電性シリコーンゴムＥＣ−Ａ、導電性シリコーンゴムＥＣ−ＴＣ、導電性シリコーンゴムＥＣ−ＢＬ、導電性シリコーンゴムＫＥ−３４９２−Ｇ（硬化体）については、導電性として、日本ゴム協会標準規格（ＳＲＩＳ）−２３０１−１９６９「導電性ゴムおよびプラスチックの体積抵抗率試験方法」によって、
体積抵抗率を測定した。
【００９１】
（平均電流値、及び、電流が安定するまでの時間）
下記条件で、各材料に４Ｖの一定電圧を印加することによって電流を流し、各材料に流れる電流を経時的に測定した。
・測定条件
測定器：ソースメータ２４００（ケースレー社製）
印加電圧：４Ｖ
通電時間：１８０秒
測定周期：１秒
【００９２】
そして、通電開始（０秒、Ｔ０）から３０秒経過後（Ｔ３０）までの範囲での電流の平均値Ｉａを算出した。一方、通電開始（Ｔ０）から、経過時間Ｔａを順次大きくして、この時間Ｔａから１８０秒経過後（Ｔ１８０）までの範囲での電流の平均値Ｉｂを算出し、この平均値Ｉｂが、開始時の平均電流値Ｉａに対して±１％以内に収まっているような最小の時間Ｔａを、電流が安定するまでの時間として算出した。なお、Ｔａは、０秒以上１８０秒以下である。
【００９３】
具体的には、通電開始時（Ｔ０）において、この通電開始時（Ｔ０）から１８０秒経過後までの間の平均電流値Ｉｂ０（Ｔ０〜Ｔ１８０）を測定し、この平均電流値Ｉｂ０がＩａに対して±１％以内に収まっていれば、０秒（Ｔ０）をＴａと算出する。
このＩｂ０がＩａに対して±１秒以内に収まっていない場合には、１秒経過後、この１秒経過後（Ｔ１）から１８０秒（Ｔ１８０）までの平均電流値Ｉｂ１（Ｔ１〜Ｔ１８０）を算出し、この平均電流値Ｉｂ１がＩａに対して±１％以内に収まっていれば、１秒（Ｔ１）をＴａと算出する。
一方、このＩｂ１がＩａに対して±１秒以内に収まっていない場合には、さらに１秒経過後（すなわち、通電開始から２秒経過後）、上記と同様に、この２秒経過後（Ｔ２）から１８０秒（Ｔ１８０）までの平均電流値Ｉｂ２（Ｔ２〜Ｔ１８０）を算出する。
この平均電流値Ｉｂ２がＩａに対して±１％以内に収まっていれば、２秒（Ｔ２）をＴａと算出する。
このような各経過時間における平均電流値Ｉｂの算出及び該平均電流値ＩｂのＩａとの比較を、得られた平均電流値ＩｂがＩａに対して±１％以内に収まるまで繰り返し、±１％に収まったときの経過時間を、電流が安定するまでの時間として算出する。
【００９４】
（判定基準）
開始時の平均電流値Ｉａについて、以下のように判定した。
平均電流値Ｉａが１０ｍＡ以上である場合、材料の抵抗値が小さく、良好であるとして、「○」と表した。
平均電流値Ｉａが５ｍＡ以上１０ｍＡ未満の場合、材料の抵抗値がやや大きく、やや良好であるとして、「△」と表した。
平均電流値Ｉａが５ｍＡ未満の場合、材料の抵抗値が著しく大きく、不良であるとして、「×」と表した。
電流が安定するまでの時間について、以下のように判定した。
電流が安定するまでの時間が５秒未満の場合、材料の抵抗値の変動が小さく、良好であるとして、「○」と表した。
電流が安定するまでの時間が５秒以上１０秒未満の場合、材料の抵抗値の変動がやや大きく、やや良好であるとして、「△」と表した。
電流が安定するまでの時間が１０秒以上の場合、材料の抵抗値の変動が著しく大きく、不良であるとして、「×」と表した。
【００９５】
【表１】
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【００９６】
表１の結果、伝熱性体Ａ〜Ｄは、電流平均値が良好であり、抵抗値が小さいことがわかった。また、かかる伝熱性体Ａ〜Ｄは、電流が安定するまでの時間が良好であり、抵抗値の変動が小さいことがわかった。これらより、伝熱性体Ａ〜Ｄは、電流を安定して電極層に供給し得ることがわかった。
【００９７】
（実験例２）
図６、図７に示すような一対の把持部４５ａ、４５ｂを作製した。すなわち、第１の基体部４５ａａに、導電性接着剤（ＲＴＶシリコーンゴム、信越化学工業社製）によって、表１に示す金属プローブ、または、導電性体を板状に成形してなる部材を、導電部４５ａｂとして固定することによって、第１の把持部４５ａを作製した。
一方、第２の基体部４５ｂａに、表１に示す材料を、グリップ部４５ｂｂとして載置することによって、第２の把持部４５ｂを作製した。
導電部４５ａｂ及びグリップ部４５ｂｂの硬度、グリップ部４５ｂｂの熱伝導率を、表２に示す。なお、硬度及び熱伝導率として、表１の結果を用いた。
【００９８】
そして、第１の把持部４５ａの導電部４５ａｂを有機ＥＬ素子１９の第１及び第２の電極層２３ａ、２７ａに接触させ、第２の把持部４５ｂのグリップ部４５ｂｂを基材２１の裏面（第１及び第２の電極層２３、２７とは反対の側の面）に接触させつつ、該第１の把持部４５ａと、第２の把持部４５ｂとで基材２１を挟み、実験例１と同様にして、導電部４５ａｂに４Ｖの一定電圧を印加し、第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに流れる電流を経時的に測定した。
このときの、第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａ、及び、基材２１の傷の発生を目視によって確認し、傷が発生していない場合、良好であるとして「○」と表し、傷が確認された場合、不良であるとして「×」と評価した。
また、抵抗値、及び、抵抗値の変動について、下記の判定基準で判定した。結果を表２に示す。
【００９９】
（判定基準）
抵抗値について、以下のように判定した。
平均電流値Ｉａが１０ｍＡ以上である場合、材料の抵抗値が小さく、良好であるとして、「○」と表した。
平均電流値Ｉａが５ｍＡ以上１０ｍＡ以下の場合、材料の抵抗値がやや大きく、やや良好であるとして、「△」と表した。
平均電流値Ｉａが５ｍＡ未満の場合、材料の抵抗値が著しく大きく、不良であるとして、「×」と表した。
抵抗値の変動について、以下のように判定した。
電流が安定するまでの時間が５秒未満の場合、材料の抵抗値の変動が小さく、良好であるとして、「○」と表した。
電流が安定するまでの時間が５秒以上１０秒未満の場合、材料の抵抗値の変動がやや大きく、やや良好であるとして、「△」と表した。
電流が安定するまでの時間が１０秒以上の場合、材料の抵抗値の変動が著しく大きく、不良であるとして、「×」と表した。
【０１００】
【表２】
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【０１０１】
表１に示すように、導電部４５ａｂが導電性体によって形成され、グリップ部４５ｂｂが伝熱性体Ａ〜Ｄによって形成された場合、第１及び第２の電極層２３ａ、２７ａに傷が見られず、また、抵抗値が低く、抵抗値の変動も小さいため、安定して通電し得ることがわかった。
【符号の説明】
【０１０２】
１：有機ＥＬデバイスの検査装置、１９：有機ＥＬ素子、２０：有機ＥＬデバイス、２１：基材、２３：第１の電極層、２３ａ：第１の通電領域、２５：有機ＥＬ層、２７：第２の電極層、２７ａ：第２の通電領域、３０：ロール体、４１：第１の供給部、４３：通電部材、４４：駆動機構、４５ａ：第１の把持部、４５ａａ：第１の基体部、４５ａｂ：導電部、４５ｂ：第２の把持部、４５ｂａ：第２の基体部、４５ｂｂ：グリップ部、４７：検査部、４９：第１の回収部、５１：収容部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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