(57)【要約】【課題】簡単な構成で、長尺部材を複数の部位に分けて撮影できる、長尺部材の撮影装置、その撮影装置を含む表示ユニット及びその表示ユニットを含む製造装置を提供する【解決手段】撮影装置は、撮影部と、第１分割光学部と、第２分割光学部とを備える。撮影部は、光束が照射された長尺部材をレンズを介して撮影する。第１分割光学部は、前記長尺部材において、その長手方向に沿って並ぶ第１領域及び第２領域のうち前記第１領域からの光束を前記撮影部に導く。第２分割光学部は、前記第２領域からの光束を前記撮影部に導く。前記長尺部材と、前記第１分割光学部及び前記第２分割光学部と、前記撮影部とが前記レンズのレンズ軸に沿って、この順に配置されている。【選択図】図４
2017173759.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光束が照射された長尺部材をレンズを介して撮影する撮影部と、
前記長尺部材において、その長手方向に沿って並ぶ第１領域及び第２領域のうち前記第１領域からの光束を前記撮影部に導く第１分割光学部と、
前記第２領域からの光束を前記撮影部に導く第２分割光学部と、
を備え、
前記長尺部材と、前記第１分割光学部及び前記第２分割光学部と、前記撮影部とが前記レンズのレンズ軸に沿って、この順に配置されている、
撮影装置。
【請求項２】
前記レンズは、第１撮影領域及び第２撮影領域を有し、
前記第１分割光学部は、第１光学部材及び第１導光部を含み、
前記第１光学部材は、前記長尺部材の前記第１領域からの光束の軌道を前記レンズのレンズ軸に対して第１の方向に移動させた後、前記第１導光部に導き、
前記第１導光部は、前記第１光学部材からの光束を、前記レンズの第１撮影領域に導き、
前記第２分割光学部は、第２光学部材及び第２導光部を含み、
前記第２光学部材は、前記長尺部材の前記第２領域からの光束の軌道を前記レンズ軸に対して前記第１の方向とは反対の第２の方向に移動させた後、前記第２導光部に導き、
前記第２導光部は、前記第２光学部材からの光束を、前記レンズの第２撮影領域に導く、
請求項１に記載の撮影装置。
【請求項３】
前記第１光学部材は、前記長尺部材の第１領域からの光束を屈折させて前記第１導光部に導き、
前記第２光学部材は、前記長尺部材の第２領域からの光束を、前記第１導光部とは反対側に同じ角度だけ屈折させて前記第２導光部に導く、
請求項２に記載の撮影装置。
【請求項４】
前記第１導光部は、少なくとも１つの反射部材を有し、当該反射部材により、前記第１光学部材から入射した光束を反射して、前記撮影部の第１撮影領域に導入するように構成され、
前記第２導光部は、少なくとも１つの反射部材を有し、当該反射部材により、前記第２光学部材から入射した光束を反射して、前記撮影部の第２撮影領域に導入するように構成され、
前記第１導光部の反射部材と、前記第２導光部の反射部材とは、前記レンズのレンズ軸に対し対称に配置されている、
請求項２又は３に記載の撮影装置。
【請求項５】
前記長尺部材が載置される載置台をさらに備え、
前記載置台は、前記長尺部材の長手方向において直線状部分を有し、
前記長尺部材は、前記直線状部分に載置される、
請求項１〜４のいずれかに記載の撮影装置。
【請求項６】
前記長尺部材を挟んで、前記撮影部と対向する位置に配置されており、少なくとも前記長尺部材と前記載置台との間に光束を照射する光照射装置をさらに備え、
前記撮影部は、前記長尺部材と前記載置台との接触位置を撮影する、
請求項５に記載の撮影装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載の撮影装置と、
前記撮影装置が撮影した前記長尺部材の画像を表示するモニタ、及び前記モニタへの前記長尺部材の画像の表示を制御する表示制御部、を含む表示装置と、
を備え、
前記モニタは、前記長尺部材の第１領域を表示する第１表示領域と、前記長尺部材の第２領域を表示する第２表示領域と、を備え、
前記表示制御部は、前記第１及び第２表示領域を、前記長尺部材の長手方向とは直交する方向に並べて表示する、表示ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、長尺部材の撮影装置及びその撮影装置を含む表示ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、長尺部材は長手方向に長いため、長尺部材から離れた位置のカメラから長尺部材全体を撮影し、表示装置に表示していた。しかし、長尺部材全体を一画面に収めるように表示すると、長尺部材が小さく表示されてしまう。そこで、特許文献１の表示ユニットでは、長尺部材の長手方向に２等分して、２つの部分それぞれを１つのカメラで撮影する。そして、２つの部分それぞれを、モニタの一画面に上下に並べて表示する。これにより、長尺部材全体を一画面に表示する場合に比べて、長尺部材の２つの部分それぞれを拡大して表示することができる。
【０００３】
このような表示を行うために、特許文献１の表示ユニットは、第１反射ミラーと第２反射ミラーとを有する。第１反射ミラーは長尺部材の一の部分からの光を反射してカメラに導入し、第２反射ミラーは長尺部材の残りの部分からの光を反射してカメラに導入する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−２８７７６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記の特許文献１では、第１反射ミラー及び第２反射ミラーに対して、長尺部材及びカメラは同方向に位置している。そのため、長尺部材の各部分からの光をカメラに導くために、長尺部材の第１部分に対する第１反射ミラーの傾斜角度と、長尺部材の第２部分に対する第２反射ミラーの傾斜角度とを異ならせている。つまり、長尺部材に対して、第１反射ミラーの傾斜角度と第２反射ミラーの傾斜角度とが異なる。
【０００６】
しかし、特許文献１では、第１反射ミラー及び第２反射ミラーは上面視において同一位置に配置され、各反射ミラーの長尺部材に対する傾斜角度のみが異なっていることが示されている。この場合に、各反射ミラーの長尺部材に対する傾斜角度が異なると、例えばカメラのレンズ面の位置において、第１反射ミラーから反射された長尺部材の第１部分からの反射光の投影範囲と、第２反射ミラーから反射された長尺部材の第２部分からの反射光の投影範囲とは異なるものとなるはずである。これは、反射ミラーの傾斜角度が異なると、光の反射ミラーへの入射角度及び反射角度が異なるためである。よって、カメラのレンズ面の位置において、長尺部材の各部分の画像を取得するためには、第１反射ミラーと第２反射ミラーとの相対位置及び長尺部材に対する傾斜角度等を微細に調整する必要がある。そのため、特許文献１の表示ユニットを構成する部材では、各部材の長尺部材に対する角度及び各部材間の相対位置等の調整が煩雑である。
【０００７】
そこで、本発明は、簡単な構成で、長尺部材を複数の部位に分けて撮影できる、長尺部材の撮影装置、その撮影装置を含む表示ユニット及びその表示ユニットを含む製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１観点に係る撮影装置は、撮影部と、第１分割光学部と、第２分割光学部とを備える。撮影部は、光束が照射された長尺部材をレンズを介して撮影する。第１分割光学部は、前記長尺部材において、その長手方向に沿って並ぶ第１領域及び第２領域のうち前記第１領域からの光束を前記撮影部に導く。第２分割光学部は、前記第２領域からの光束を前記撮影部に導く。前記長尺部材と、前記第１分割光学部及び前記第２分割光学部と、前記撮影部とが前記レンズのレンズ軸に沿って、この順に配置されている。
【０００９】
本発明の第２観点に係る撮影装置は、第１観点に係る撮影装置であって、前記レンズは、第１撮影領域及び第２撮影領域を有する。前記第１分割光学部は、第１光学部材及び第１導光部を含む。前記第１光学部材は、前記長尺部材の前記第１領域からの光束の軌道を前記レンズのレンズ軸に対して第１の方向に移動させた後、前記第１導光部に導く。前記第１導光部は、前記第１光学部材からの光束を、前記レンズの第１撮影領域に導く。前記第２分割光学部は、第２光学部材及び第２導光部を含む。前記第２光学部材は、前記長尺部材の前記第２領域からの光束の軌道を前記レンズ軸に対して前記第１の方向とは反対の第２の方向に移動させた後、前記第２導光部に導く。前記第２導光部は、前記第２光学部材からの光束を、前記レンズの第２撮影領域に導く。
【００１０】
本発明の第３観点に係る撮影装置は、第２観点に係る撮影装置であって、前記第１光学部材は、前記長尺部材の第１領域からの光束を屈折させて前記第１導光部に導く。前記第２光学部材は、前記長尺部材の第２領域からの光束を、前記第１導光部とは反対側に同じ角度だけ屈折させて前記第２導光部に導く。
【００１１】
本発明の第４観点に係る撮影装置は、第２又は第３観点に係る撮影装置であって、前記第１導光部は、少なくとも１つの反射部材を有し、当該反射部材により、前記第１光学部材から入射した光束を反射して、前記撮影部の第１撮影領域に導入するように構成される。前記第２導光部は、少なくとも１つの反射部材を有し、当該反射部材により、前記第２光学部材から入射した光束を反射して、前記撮影部の第２撮影領域に導入するように構成される。前記第１導光部の反射部材と、前記第２導光部の反射部材とは、前記レンズのレンズ軸に対し対称に配置されている。
【００１２】
本発明の第５観点に係る撮影装置は、第１〜第４観点のいずれかに係る撮影装置であって、前記長尺部材が載置される載置台をさらに備える。前記載置台は、前記長尺部材の長手方向において直線状部分を有する。前記長尺部材は、前記直線状部分に載置される。
【００１３】
本発明の第６観点に係る撮影装置は、第５観点に係る撮影装置であって、前記長尺部材を挟んで、前記撮影部と対向する位置に配置されており、少なくとも前記長尺部材と前記載置台との間に光束を照射する光照射装置をさらに備える。前記撮影部は、前記長尺部材と前記載置台との接触位置を撮影する。
【００１４】
本発明の第７観点に係る表示ユニットは、第１〜第６観点のいずれかに係る撮影装置と、表示装置とを備える。表示装置は、前記撮影装置が撮影した前記長尺部材の画像を表示するモニタ、及び前記モニタへの前記長尺部材の画像の表示を制御する表示制御部を含む。前記モニタは、前記長尺部材の第１領域を表示する第１表示領域と、前記長尺部材の第２領域を表示する第２表示領域と、を備える。前記表示制御部は、前記第１及び第２表示領域を、前記長尺部材の長手方向とは直交する方向に並べて表示する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、簡単な構成で、長尺部材を複数の部位に分けて撮影できる、長尺部材の撮影装置、その撮影装置を含む表示ユニット及びその表示ユニットを含む製造装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】転写ローラ２０の側面図。
【図２】図１において支持棒１５を除いた場合のＩ−Ｉ断面図。
【図３】表示ユニット２００を示す構成図。
【図４】カバー部９０を外した撮影装置１００の斜視図。
【図５】図４の撮影装置１００の上面図。
【図６】図４の撮影装置１００の側面図。
【図７】図４の撮影装置１００のうち、第１導光部７１及び第１光学部材８１に着目した側面図。
【図８】図４の撮影装置１００のうち、第２導光部７３及び第２光学部材８３に着目した側面図。
【図９】レンズ５１の側面図。
【図１０】レンズ５１の正面図。
【図１１】撮影装置１００における光束の進み方を示す平面図。
【図１２】モニタ１１０の表示領域１１１を示す模式図。
【図１３】転写ローラ２０において、第１領域２０ａの一部と第２領域２０ｂの一部とが重複している例を示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照しつつ、本発明の一実施形態に係る長尺部材を撮影するための撮影装置を含む表示ユニットについて説明する。また、当該表示ユニットを含む製造装置についても説明する。本実施形態に係る表示ユニットは、長尺状の転写ローラの長手方向の真直度を検査するものである。そこで、以下では、まず、本実施形態での検査対象である長尺部材について説明し、その後、表示ユニットについて説明する。なお、以下の説明で用いる図面では、各部材を支持する支持部材は、各部材の構成を理解し易くするため省略している。
＜１．長尺部材＞
【００１８】
以下の実施形態では、長尺部材として転写ローラを例に挙げて説明する。転写ローラは、トナーを転写材に転写するものである。転写ローラは、複写機、ファクシミリ、プリンタ等の機器に用いられている。なお、長尺部材は転写ローラに限定されない。
【００１９】
図１は、転写ローラ２０の側面図である。図２は、図１において支持棒１５を除いた場合のＩ−Ｉ断面図である。図１に示すように、転写ローラ２０は、外筒部１０と支持棒１５とを含む。外筒部１０は、円筒状の構造物であり、側面に円筒状面１０ａを有し、軸心１３ａ方向の両端部に円形平面状の平端面１０ｂ、１０ｃを有する。図２に示すように、外筒部１０には、軸心１３ａに沿って外筒部１０を貫通する円筒状孔１３が形成されている。支持棒１５は、円筒状孔１３に挿入され、転写ローラ２０の回転を支持する。
【００２０】
外筒部１０は、例えば天然ゴム、ウレタンゴム、ＥＰＤＭ（エチレン‐プロピレン‐ジエンゴム）、ネオプレンゴム、シリコーンゴム等の弾性材料で形成されている。支持棒１５は、例えば鉄及びステンレス等の金属から形成されている。
このような転写ローラ２０の外筒部１０は、一例であるが、長さは約２２０ｍｍ、外径は約１５ｍｍである。
＜２．表示ユニット＞
次に、転写ローラ２０を表示するための表示ユニット２００について説明する。図３は、表示ユニット２００を示す構成図である。
【００２１】
表示ユニット２００は、転写ローラ２０を撮影する撮影装置１００と、転写ローラ２０を表示するモニタ１１０とを含む。撮影装置１００の主要な部品は、カバー部９０によって覆われている。そして、撮影装置１００が撮影した画像の信号はモニタ１１０に送信され、表示される。
（１）撮影装置１００
まず、撮影装置１００の全体構成について以下に説明する。
（１−１）撮影装置１００の全体構成
【００２２】
図４は、カバー部９０を外した撮影装置１００の斜視図である。図５は、図４の撮影装置１００の上面図である。図６は、図４の撮影装置１００の側面図である。図７は、図４の撮影装置１００のうち、第１導光部７１及び第１光学部材８１に着目した側面図である。図８は、図４の撮影装置１００のうち、第２導光部７３及び第２光学部材８３に着目した側面図である。図９は、レンズ５１の側面図である。図１０は、レンズ５１の正面図である。図１１は、撮影装置１００における光束７０の進み方を示す平面図である。
【００２３】
撮影装置１００は、光照射装置３０、載置台４０、撮影部５０、第１分割光学部３００、第２分割光学部４００及びカバー部９０を含む。光照射装置３０、載置台４０、及び撮影部５０は、この順で並んでおり、光照射装置３０は、載置台４０に載置された転写ローラ２０に向けて光束７０を照射し、撮影部５０は、内蔵するレンズ５１を介して、転写ローラ２０を撮影する。また、第１分割光学部３００及び第２分割光学部４００は、載置台４０と撮影部５０との間に配置されており、光照射装置３０から照射された光束７０を、撮影部５０に導入するものである。
【００２４】
以下では、レンズ５１の中心軸であるレンズ軸Ａに沿う方向をＸ方向とし、光照射装置３０から撮影部５０に向かう光束７０の進行方向を＋Ｘ方向とし、光束７０の進行方向とは逆方向を−Ｘ方向とする。また、載置台４０上の転写ローラ２０の長手方向をＹ方向とし、光照射装置３０側から転写ローラ２０を見た場合に右方向を＋Ｙ方向とし、左方向を−Ｙ方向とする。また、ＸＹ平面と直交する方向をＺ方向とし、上側を＋Ｚ方向とし、下側を−Ｚ方向とする。
【００２５】
以上の方向に基づくと、レンズ軸Ａに沿って＋Ｘ方向に向かって、光照射装置３０と、載置台４０と、第１分割光学部３００及び第２分割光学部４００と、撮影部５０及び移動部６０とは、この順に配置されている。
【００２６】
なお、以下において、「対称」という場合には、「完全に対称」だけではなく、「概ね対称」も含まれる。また、「平行」には、「完全に平行」である場合だけでなく、「概ね平行」である場合も含まれる。
（１−２）撮影装置１００の各部の構成
次に、撮影装置１００の各部の構成について、説明する。
（ａ）撮影部５０
【００２７】
撮影部５０は、図１１に示すように、第１及び第２分割光学部３００、４００からの光束７０ａ、７０ｂを結像して、転写ローラ２０を撮影する。ここで、撮影部５０のレンズ５１のレンズ面５２は、図９及び図１０に示すように２つの第１撮影領域５２ａ及び第２撮影領域５２ｂに分かれている。第１撮影領域５２ａはレンズ軸Ａに対して＋Ｚ方向側であり、第２撮影領域５２ｂはレンズ軸Ａに対して−Ｚ方向側である。そして、撮影部５０は、撮影した画像の信号をケーブル９５又は無線通信等でモニタ１１０に送信する。この場合、撮影部５０は、第１撮影領域５２ａで撮影した画像の信号と、第２撮影領域５２ｂで撮影した画像の信号とを切り分けて送信してもよい。また、各種撮影機能部では、撮影部５０での撮影を鮮明にするように被写界深度を調整する処理等が行われる。
【００２８】
また、撮影部５０は、直方体状の移動部６０の上に配置されている。この移動部６０は、撮影部５０を移動して、撮影部５０の位置を調整するための駆動部である。
（ｂ）光照射装置３０
【００２９】
光照射装置３０は、図１１に示すように、転写ローラ２０に向かって光束７０を照射する装置であり、上面視において、Ｙ方向に沿った長尺状に形成されている。光照射装置３０の長手方向の長さは、転写ローラ２０の長手方向の長さと同程度であるか、それ以上の長さである。これにより、転写ローラ２０の長手方向の全体に亘って光束７０を照射することができる。光照射装置３０が照射する光束７０は、例えば入射光軸が互いに平行な平行光である。また、光照射装置３０は、図６に示すように、光照射装置３０から出射される光束７０の照射範囲にレンズ軸Ａが含まれる位置に設置される。
【００３０】
光照射装置３０の光源は、例えばＬＥＤなどの光学素子が長手方向に複数個配置されて構成される。光学素子はこれに限定されず、例えば蛍光灯等であってもよい。
（ｃ）載置台４０
【００３１】
載置台４０は、転写ローラ２０を載置するための台であり、円筒状に形成されている。そして、この載置台４０は、図５等に示すように、上面視において、長手方向がＹ方向を向くように配置されている。この載置台４０は、転写ローラ２０をＹ方向に向けて載置できるように、例えば転写ローラ２０の直径よりも十分に大きく、Ｙ方向の長さも転写ローラ２０よりも大きい。このとき、転写ローラ２０は、レンズ軸Ａを中心として左右の領域が対称に位置するように、載置台４０に載置される。ここで、図５に示すように、転写ローラ２０において、その長手方向の中心を基準として、つまりレンズ軸Ａを中心として＋Ｙ方向側を第１領域２０ａとし、−Ｙ方向側を第２領域２０ｂとする。
【００３２】
また、この載置台４０は、少なくとも転写ローラ２０との接触位置において、Ｙ方向に沿った直線状部分を有している。この直線状部分は真直度が非常に高い部分であり、ほぼ直線であるか、直線である。そのため、この直線状部分に沿って転写ローラ２０を配置した場合、転写ローラ２０が長手方向に真っ直ぐでないと（真直度が低いと）、載置台４０と転写ローラ２０との間に隙間が形成され、光照射装置３０から照射された光束７０は、この隙間を通過し、撮影部５０へと向かって＋Ｘ方向に進む。
【００３３】
よって、撮影部５０に向かって＋Ｘ方向に光束７０を導くために、載置台４０と転写ローラ２０との関係は次のように設計されている。載置台４０及び転写ローラ２０は、円筒状の転写ローラ２０のＺ方向のうち−Ｚ方向の最下点と、載置台４０のＺ方向のうち＋Ｚ方向の最上点とが、図６等に示す点Ｂの位置で接触するように配置されている。より詳細には、図６、図７、図８に示すように、載置台４０と転写ローラ２０との接触位置（点Ｂ）がレンズ軸Ａに位置するように、載置台４０が載置される。このような配置により、載置台４０と転写ローラ２０との隙間から出た光束７０が＋Ｚ方向又は−Ｚ方向に反れ難く、概ね＋Ｘ方向に進み、第１及び第２光学部材８１、８３に入射される。
【００３４】
なお、転写ローラ２０の真直度が大きい場合には、転写ローラ２０の長手方向の大部分が載置台４０の直線状部分と接触する。この場合、転写ローラ２０と載置台４０との隙間が小さいか、存在しない。そのため、光照射装置３０から照射された光は、転写ローラ２０と載置台４０との間を通過しない。
【００３５】
また、転写ローラ２０を経た光束７０は、次に説明する第１分割光学部３００及び第２分割光学部４００に入射される。この場合、転写ローラ２０の第１領域２０ａからの光束７０ａは第１分割光学部３００に入射され、第２領域２０ｂからの光束７０ｂは第２分割光学部４００に入射される。以下の説明では、第１分割光学部３００に入射される光束７０ａを第１光束７０ａと称し、第２分割光学部４００に入射される光束７０ｂを第２光束７０ｂと称することとする。
（ｄ）第１分割光学部３００、第２分割光学部４００
【００３６】
第１分割光学部３００は、第１光学部材８１と第１導光部７１とを備えており、上記のように、転写ローラ２０の第１領域２０ａを経た第１光束７０ａが入射される。第１光学部材は、第１光束７０ａを、上側に向けて屈折させるものであり、第１導光部は、屈折された第１光束７０ａをレンズ面５２の第１撮影領域５２ａに導くものである。一方、第２分割光学部４００は、第２光学部材８３と第２導光部７３とを備えており、上記のように、転写ローラ２０の第２領域２０ｂを経た第２光束７０ｂが入射される。第２光学部材８３は、第２光束７０ｂを、下側に向けて屈折させるものであり、第２導光部７３は、屈折された第２光束７０ｂをレンズ面５２の第２撮影領域５２ｂに導くものである。以下、各光学部材及び各導光部について、詳細に説明する。
（ｄ−１）第１光学部材８１及び第２光学部材８３
次に、図４〜図１１を用いて、第１光学部材８１及び第２光学部材８３について説明する。
【００３７】
第１光学部材８１及び第２光学部材８３には、図１１に示すように、転写ローラ２０を通過した光束７０が入射される。この第１光学部材８１及び第２光学部材８３は、例えばガラス等の材料で形成されており、入射された光を屈折させる直方体状の光学部材である。また、図５に示すように、上面視において、第１光学部材８１及び第２光学部材８３は、レンズ軸Ａを中心として対称に配置されている。より詳細には、第１光学部材８１は、転写ローラ２０の第１領域２０ａに対応するように、レンズ軸Ａを中心として＋Ｙ方向側に配置されている。また、第２光学部材８３は、転写ローラ２０の第２領域２０ｂに対応するように、レンズ軸Ａを中心として−Ｙ方向側に配置されている。
【００３８】
また、図４及び図６に示すように、側面視において、第１光学部材８１及び第２光学部材８３は、Ｘ方向において同位置に配置されているが、レンズ軸Ａを中心とした傾斜方向が異なる。図６に示すように、第１光学部材８１は、第１光束７０ａが入射される第１光学部材入射面８１ａを有し、側面視において、この第１光学部材入射面８１ａは、レンズ軸Ａに対して＋Ｚ方向に角度θａで傾斜している。そのため、図７に示すように、第１光束７０ａは、第１光学部材入射面８１ａに入射されると、レンズ軸Ａに対して＋Ｚ方向に角度θｃで屈折した後、＋Ｘ方向に進行する。これにより、第１光束７０ａは、＋Ｚ方向に位置する第１導光部７１に入射する。
【００３９】
一方、図６に示すように、第２光学部材８３は、第２光束７０ｂが入射される第２光学部材入射面８３ａを有し、側面視において、第２光学部材入射面８３ａは、レンズ軸Ａに対して−Ｚ方向に角度θｂで傾斜している。そのため、図８に示すように、第２光束７０ｂは、第２光学部材入射面８３ａに入射されると、レンズ軸Ａに対して−Ｚ方向に角度θｄで屈折した後、＋Ｘ方向に進行する。これにより、第２光束７０ｂは、−Ｚ方向に位置する第２導光部７３に入射する。
【００４０】
なお、θａ及びθｂの角度は概ね同一である。よって、側面視において、第１光学部材入射面８１ａと第２光学部材入射面８３ａとはレンズ軸Ａを中心として対称に交差している。また、θａ及びθｂの角度は、第１光学部材８１及び第２光学部材８３に入射された光束７０ａ、７０ｂを所望の角度で屈折できるように、例えば約０度より大きく約９０度より小さい範囲において調整される。
【００４１】
以上のように、第１光学部材８１は、第１光束７０ａを、＋Ｚ方向側に軌道修正するものであり、第２光学部材８３は、第２光束７０ｂを、−Ｚ方向側に軌道修正するものである。よって、これら第１及び第２光学部材８１、８３により、第１光束７０ａ及び第２光束７０ｂは、レンズ軸Ａを挟んで、それぞれ、上側と下側に軌道が変更される。
（ｄ−２）第１導光部７１及び第２導光部７３
次に、図４〜図１１を用いて、第１導光部７１及び第２導光部７３について説明する。
【００４２】
図１１に示すように、第１及び第２導光部７１、７３は、第１及び第２光学部材８１、８３からの第１及び第２光束７０ａ、７０ｂを入反射して、撮影部５０に導入する部材である。図５に示すように、第１導光部７１は、Ｘ方向に対し−Ｙ方向へ約４５度傾いた板状の２枚の反射板、つまり第１外側反射板７１ａ及び第１内側反射板７１ｂを有する。これら２つの反射板７１ａ、７１ｂは平行に配置され、第１外側反射板７１ａは、第１光学部材８１から入射された第１光束７０ａを−Ｙ方向に約９０度反射し、第１内側反射板７１ｂは、第１外側反射板７１ａによって反射された第１光束７０ａを＋Ｘ方向に約９０度反射する。そして、第１内側反射板７１ｂによって反射された第１光束７０ａは、撮影部５０の第１撮影領域５２ａに導入される。したがって、第１導光部７１は、転写ローラ２０からの第１光束７０ａの軌道を−Ｙ方向に移動し、レンズ５１の第１撮影領域５２ａに導入する役割を果たす。
【００４３】
一方、第２導光部７３は、図５に示すように、Ｘ方向に対し＋Ｙ方向へ約４５度傾いた板状の２枚の反射板、つまり第２外側反射板７３ａ及び第２内側反射板７３ｂを有する。これら２つの反射板７３ａ、７３ｂは平行に配置され、第２外側反射板７３ａは、第２光学部材８３から入射された第２光束７０ｂを＋Ｙ方向に約９０度反射し、第２内側反射板７３ｂは、第２外側反射板７３ａによって反射された第２光束７０ｂを＋Ｘ方向に約９０度反射する。そして、第２内側反射板７３ｂによって反射された第２光束７０ｂは、撮影部５０の第２撮影領域５２ｂに導入される。したがって、第２導光部７３は、転写ローラ２０からの第２光束７０ｂの軌道を＋Ｙ方向に移動し、レンズ５１の第２撮影領域５２ｂに導入する役割を果たす。
【００４４】
まず、第１導光部７１の配置について詳しく説明する。図６、図７等に示すように、第１導光部７１は、第１光学部材８１によって＋Ｚ方向側に移動された第１光束７０ａを受光するため、レンズ軸Ａよりも上側、つまり＋Ｚ方向側に配置されている。そして、第１導光部７１は、平行に配置された板状の２枚の反射板、つまり第１外側反射板７１ａ及び第１内側反射板７１ｂを有する。図５及び図１１に示すように、上面視において、第１外側反射板７１ａは、レンズ５１が配置されている部分よりも外側、つまり＋Ｙ方向側に配置されている。また、第１外側反射板７１ａは、第１光学部材８１に対向しつつ、第１光学部材８１のＹ方向の幅に相当する長さを斜めに横切るように配置されている。これにより、第１光学部材８１から入射される第１光束７０ａを受光する。第１光学部材８１から入射された第１光束７０ａを漏れなく受光するため、例えば第１外側反射板７１ａは、レンズ５１よりも外側の第１光学部材８１のＹ方向の幅を完全に覆うように配置されている。図５に示すように、板状の第１外側反射板７１ａとレンズ軸Ａとの成す角度は、例えば角度θｅ（＝約４５度）である。
【００４５】
また、図５及び図１０に示すように、上面視において、第１内側反射板７１ｂは、レンズ５１に対向しつつ、第１及び第２撮影領域５２ａ、５２ｂのＹ方向の長さＬ１の領域を斜めに横切るように配置されている。第１外側反射板７１ａから入射された第１光束７０ａを、撮影部５０に漏れることなく導入するため、例えば第１内側反射板７１ｂはレンズ５１の長さＬ１を完全に覆うように配置されている。図５に示すように、第１内側反射板７１ｂとレンズ軸Ａとの成す角度は、第１外側反射板７１ａと同様に、角度θｅである。
【００４６】
以上のような配置により、第１外側反射板７１ａは、第１光学部材８１から入射された第１光束７０ａを−Ｙ方向に約９０度反射し、第１内側反射板７１ｂは、第１外側反射板７１ａによって反射された第１光束７０ａを＋Ｘ方向に約９０度反射する。そして、第１内側反射板７１ｂによって反射された第１光束７０ａは、撮影部５０の第１撮影領域５２ａに導入される。したがって、第１導光部７１は、第１光束７０ａの軌道を−Ｙ方向に移動し、レンズ５１の第１撮影領域５２ａに導入する役割を果たす。
【００４７】
次に、第２導光部７３の配置について詳しく説明する。図６、図８等に示すように、第２導光部７３は、第２光学部材８３によって−Ｚ方向側に移動された第２光束７０ｂを受光するため、レンズ軸Ａよりも下側、つまり−Ｚ方向側に配置されている。そして、第２導光部７３は、平行に配置された板状の２枚の反射板、つまり第２外側反射板７３ａ及び第２内側反射板７３ｂを有する。図５及び図１１に示すように、上面視において、第２外側反射板７３ａは、レンズ５１が配置されている部分よりも外側、つまり−Ｙ方向側に配置されている。第２外側反射板７３ａは、第２光学部材８３に対向しつつ、第２光学部材８３のＹ方向の幅に相当する長さを斜めに横切るように配置されている。これにより、第２光学部材８３を介して入射される第２光束７０ｂを受光する。第２光学部材８３から入射された光束７０ｂを漏れなく受光するため、例えば第２外側反射板７３ａは、レンズ５１よりも外側の第２光学部材８３のＹ方向の幅を完全に覆うように配置されている。図５に示すように、板状の第２外側反射板７３ａとレンズ軸Ａとの成す角度は、例えば角度θｆ（＝約４５度）である。
【００４８】
また、図５及び図１０に示すように、上面視において、第２内側反射板７３ｂは、レンズ５１に対向しつつ、第１及び第２撮影領域５２ａ、５２ｂのＹ方向の長さＬ１の領域を斜めに横切るように配置されている。第２外側反射板７３ａから入射された第２光束７０ｂを、撮影部５０に漏れることなく導入するため、例えば第２内側反射板７３ｂはレンズ５１の長さＬ１を完全に覆うように配置されている。図５に示すように、第２内側反射板７３ｂとレンズ軸Ａとの成す角度は、第２外側反射板７３ａと同様に、角度θｆである。なお、角度θｆは、前述の角度θｅと同程度である。
【００４９】
以上のような配置により、第２外側反射板７３ａは、第２光学部材８３から入射された第２光束７０ｂを＋Ｙ方向に約９０度反射し、第２内側反射板７３ｂは、第２外側反射板７３ａによって反射された第２光束７０ｂを＋Ｘ方向に約９０度反射する。そして、第２内側反射板７３ｂによって反射された第２光束７０ｂは、撮影部５０の第２撮影領域５２ｂに導入される。したがって、第２導光部７３は、第２光束の軌道を＋Ｙ方向に移動し、レンズ５１の第１撮影領域５２ａに導入する役割を果たす。
【００５０】
なお、図５、図１０を参照すると、レンズ５１の第１及び第２撮影領域５２ａ、５２ｂのＹ方向の長さは長さＬ１である。また、図７、図８、図１０を参照すると、レンズ５１の第１撮影領域５２ａの＋Ｚ方向の長さは長さＬ２ａであり、第２撮影領域５２ｂの−Ｚ方向の長さは長さＬ２ｂである。図５、図７、図８に示すように、第１及び第２導光部７１、７３は、この第１及び第２撮影領域５２ａ、５２ｂに対応するように配置されている。
（ｅ）カバー部９０
【００５１】
カバー部９０は、第１導光部７１、第２導光部７３、第１光学部材８１及び第２光学部材８３を覆うように設けられる。カバー部９０は、外部から光が侵入しないように、例えば黒色の部材から形成されている。これにより、光照射装置３０からの光束７０の進行が阻害されにくく、転写ローラ２０の撮影を精度よく行える。
（２）モニタ１１０
【００５２】
次に、図３及び図１２を用いて、モニタ１１０について説明する。図１２は、モニタ１１０の表示領域１１１を示す模式図である。モニタ１１０は、表示領域１１１及び表示制御部１１５を有する。表示領域１１１は転写ローラ２０の画像を表示する領域であり、表示制御部１１５は表示領域１１１での画像の表示を制御する。表示制御部１１５の制御によって、転写ローラ２０の画像が次のように表示領域１１１に表示される。
【００５３】
まず、図１２に示すように、モニタ１１０の表示領域１１１は、第１表示領域１１１ａ及び第２表示領域１１１ｂを含む。表示制御部１１５は、第１撮影領域５２ａを経て結像された画像の信号に基づいて、第１表示領域１１１ａに転写ローラ２０の第１領域２０ａの画像を表示する。同様に、表示制御部１１５は、第２撮影領域５２ｂを経て結像された画像の信号に基づいて、第２表示領域１１１ｂに転写ローラ２０の第２領域２０ｂの画像を表示する。
（３）転写ローラ２０の検査方法
【００５４】
次に、上記のように構成された表示ユニット２００を用いた転写ローラ２０の検査方法について説明する。上記のように、この検査では、転写ローラ２０の長手方向の真直度を検査する。まず、検査対象となる転写ローラ２０を載置台４０に載置する。次に、光照射装置３０から転写ローラ２０及び載置台４０に向けて光束７０を照射する。この光束７０は、転写ローラ２０及び載置台４０を経て第１及び第２光学部材８１、８３へ入射するが、上記のように、転写ローラ２０の第１領域２０ａを通過した第１光束７０ａは、レンズ軸Ａから＋Ｙ方向側を通過し、第１光学部材８１へ入射する。そして、第１光束７０ａは、レンズ軸Ａに対して＋Ｚ方向へ軌道を変えた後、第１導光部７１へ入射する。第１導光部７１において、第１光束７０ａは−Ｙ方向側へ軌道を変え、撮影部５０の第１撮影領域５２ａに入射する。
【００５５】
一方、転写ローラ２０の第２領域２０ｂを通過した第２光束７０ｂは、レンズ軸Ａから−Ｙ方向側を通過し、第２光学部材８３へ入射する。そして、第２光束７０ｂは、レンズ軸Ａに対して−Ｚ方向へ軌道を変えた後、第２導光部７３へ入射する。第２導光部７３において、第２光束７０ｂは＋Ｙ方向側へ軌道を変え、撮影部５０の第２撮影領域５２ｂに入射する。
【００５６】
そして、第１及び第２光束７０ａ、７０ｂは、撮影部５０において結像され、その画像がモニタ１１０の表示領域１１１に表示される。すなわち、モニタの第１表示領域１１１ａに転写ローラ２０の第１領域２０ａの画像を表示し、第２表示領域１１１ｂに転写ローラ２０の第２領域２０ｂの画像を表示する。これにより、長尺状の転写ローラ２０を長手方向に２分した２つの第１領域２０ａ及び第２領域２０ｂそれぞれが、表示領域１１１の一画面に並べて表示される。
【００５７】
そして、表示領域１１１に表示された転写ローラ２０を観察しながら、その真直度を検査する。例えば、真直度が低い場合には、転写ローラ２０と載置台４０との間の隙間を光束７０が通過するため、表示領域１１１を通して、その光束７０による転写ローラ２０と載置台４０との間の隙間を視認することができる。一方、真直度が高い場合には、転写ローラ２０と載置台４０との間の隙間を光束７０が通過しなかったり、あるいは光束７０の強度が低いため、表示領域１１１を通して、転写ローラ２０と載置台４０との間の隙間を視認することができなかったり、あるいは視認しがたくなる。よって、転写ローラ２０と載置台４０との間の隙間の光束７０の強度を確認することで、転写ローラ２０の真直度を判定することができる。こうして、１つの転写ローラ２０の検査が終了すると、次の転写ローラ２０を載置台４０に載置し、検査を続ける。
＜３．特徴＞
【００５８】
上記構成によれば、一の撮影部５０で、転写ローラ２０の第１領域２０ａ及び第２領域２０ｂがともに撮影される。これにより、長尺状の転写ローラ２０の第１領域２０ａ及び第２領域２０ｂを分離し、これを上下方向に並べて、一つの画面で表示させることができる。よって、転写ローラ２０の全領域を一体的に一つの画面に表示する場合に比べて、転写ローラ２０の第１領域２０ａ及び第２領域２０ｂそれぞれの領域を拡大して表示することができる。これにより、検査者は、転写ローラ２０の真直度の検査が容易となる。
【００５９】
また、上記撮影装置１００においては、転写ローラ２０と、第１及び第２分割光学部３００、４００と、撮影部５０とが同一方向に順に配置されている。よって、第１分割光学部３００及び第２分割光学部４００から見て、転写ローラ２０と撮影部５０とが同一方向側において角度を成して配置される場合に比べて、第１分割光学部３００及び第２分割光学部４００の配置及び角度の調整が容易である。すなわち、第１分割光学部３００及び第２分割光学部４００は、レンズ軸Ａに対して概ね対称となるように配置すればよい。例えば、第１及び第２光学部材８１、８３は、レンズ軸Ａを挟んで、上下に傾斜させる方向が相違するだけで、傾斜角度は同じである。また、第１及び第２導光部７１、７３は、レンズ軸Ａを挟んで、反射板を左右対称に配置すればよい。よって、互いに対称である光束７０の経路の一方の経路をシミュレーションし、一方側の各部材の配置を決めれば、必然的に他方側の各部材の配置も決めることができる。以上より、簡単な構成により、転写ローラ２０の画像を２つの領域に分離するとともに、これらを上下方向に並べて配置することができる。
＜４．変形例＞
【００６０】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、種々の変更が可能である。例えば、以下の変更が可能である。また、以下の変形例の要旨は、適宜組み合わせることができる。
＜４−１＞
【００６１】
上記実施形態では、撮影装置１００には、転写ローラ２０を挟んで、撮影部５０と対向する位置に光照射装置３０が設けられている。しかし、撮影部５０と同じ側に光照射装置３０が設けられていてもよい。この場合、撮影部５０と同じ側の光照射装置３０から転写ローラ２０に光が照射される。転写ローラ２０から反射した光は、第１及び第２光学部材８１、８３と、第１及び第２導光部７１、７３とを通過して撮影部５０に導入される。これにより、転写ローラ２０の撮影が行われる。
また、光照射装置３０が撮影部５０に組み込まれてもよい。
＜４−２＞
【００６２】
上記実施形態では、第１光学部材８１及び第２光学部材８３によって、転写ローラ２０を経た光束７０を第１導光部７１及び第２導光部７３に入射している。しかし、転写ローラ２０を経た光束７０を第１導光部７１及び第２導光部７３に入射できればよく、第１光学部材８１及び第２光学部材８３は必須ではない。よって、撮影装置１００は、例えば、転写ローラ２０に光束７０を照射する光照射装置３０と、第１及び第２導光部７１、７３と、撮影部５０と、を備えていればよい。
【００６３】
また、上面視において、転写ローラ２０と、第１及び第２導光部７１、７３と、撮影部５０とは必ずしも一直線上に配置されている必要はない。例えば、転写ローラ２０と、第１及び第２導光部７１、７３と、撮影部５０とが概ね同一方向に配置されていればよい。さらには、例えば、少なくとも、第１及び第２導光部７１、７３が、転写ローラ２０と撮影部５０との間に配置される。転写ローラ２０と、第１及び第２導光部７１、７３と、撮影部５０とが概ね同一方向に配置されると、その配置方向が転写ローラ２０からの光束７０の進行方向に沿っており、これらの部材の配置及び角度の調整が容易である。
＜４−３＞
【００６４】
上記実施形態では、光照射装置３０は、光照射装置３０から出射される光束７０の照射範囲にレンズ軸Ａが含まれる位置に設置される。この場合、光照射装置３０の光束７０の中心軸が、レンズ軸Ａと一致していてもよい。なお、光束７０の中心軸とは、光束７０の照射範囲の中心の軸をいう。この場合には、第１光学部材８１及び第２光学部材８３の両方について、共通のレンズ軸Ａを基準として傾斜角度を設定するのがさらに容易となる。また、この場合、第１光学部材８１から第１導光部７１に進む第１光束７０ａの量と、第２光学部材８３から第２導光部７３に進む第２光束７０ｂの量とが概ね同程度となる。よって、モニタ１１０の一画面において、転写ローラ２０の第１領域２０ａと第２領域２０ｂの、例えば明度等の表示のされ方を同程度にできる。これにより、第１領域２０ａ及び第２領域２０ｂの表示のされ方の違いによる、転写ローラ２０の真直度の判断のし難さ及び判断の誤りを抑制できる。
【００６５】
なお、上記実施形態では、光照射装置３０は長尺状であるとしたが、転写ローラ２０及び載置台４０に向けて光束７０を照射できればよく、形状は限定されない。
＜４−４＞
【００６６】
上記実施形態では、載置台４０は、載置台４０と転写ローラ２０との接触位置（図６等の点Ｂ）がレンズ軸Ａに位置するように設置される。しかし、載置台４０の設置位置はこれに限定されない。載置台４０と転写ローラ２０との接触位置がレンズ軸Ａよりも＋Ｚ方向又は−Ｚ方向に位置してもよい。この場合、載置台４０と転写ローラ２０との隙間を通過した光束７０が、第１光学部材８１及び第２光学部材８３により屈折されて第１導光部７１及び第２導光部７３に入射され、ひいては撮影部５０に入射ればよい。このとき、例えば、第１光学部材８１及び第２光学部材８３の角度、長さ、厚み、幅及び材質等が適宜調整される。
【００６７】
また、上記実施形態では、載置台４０は円筒状である。しかし、載置台４０の形状は、転写ローラ２０が載置でき、かつその真直度を検査できる形状であれば特に限定されない。例えば、載置台４０は矩形状など多様な形状とすることができる。また、載置台４０の大きさも転写ローラ２０を載置できればよく、限定されない。
＜４−５＞
【００６８】
上記実施形態では、第１光学部材８１と第２光学部材８３は直方体状の光学部材である。しかし、第１光学部材８１と第２光学部材８３は、転写ローラ２０の第１領域２０ａ及び第２領域２０ｂからの光束７０を、第１導光部７１及び第２導光部７３に入射できればよく、直方体状に限定されない。また、第１光学部材８１及び第２光学部材８３の長さ、厚み、幅を含む大きさ、形状及び材質等もまた、光束７０を所望の方向へ屈折できればよく、限定されない。
【００６９】
また、上記実施形態では、第１光学部材８１及び第２光学部材８３はガラスで形成された屈折部材である。しかし、第１領域２０ａからの第１光束７０ａと第２領域２０ｂからの第２光束７０ｂとを分離して、それぞれ第１導光部７１及び第２導光部７３に入射させる光分離部材であってもよい。
【００７０】
また、第１光学部材８１は、第１光束７０ａを第１導光部７１に入射させるように反射する反射部材であってもよい。この場合、第１光学部材８１は、複数枚の反射部材を組み合わせることにより第１光束７０ａを屈折させる構成であってもよい。第２光学部材８３も同様に、第２光束７０ｂを第２導光部７３に入射させるように反射する反射部材であってもよい。
【００７１】
また、上記実施形態では、第１光学部材８１は、レンズ軸Ａよりも＋Ｚ方向側の第１導光部７１に第１光束７０ａを導き、第２光学部材８３は、レンズ軸Ａよりも−Ｚ方向側の第２導光部７３に第２光束７０ｂを導く。しかし、第１及び第２光学部材８１、８３による光の屈折方向は＋Ｚ方向及び−Ｚ方向に限定されず、第１及び第２導光部７１、７３に位置に対応した屈折方向であればよい。
＜４−６＞
【００７２】
上記実施形態では、第１外側反射板７１ａ、第１内側反射板７１ｂ、第２外側反射板７３ａ及び第２内側反射板７３ｂは板状である。しかし、これらの部材は、第１及び第２光学部材８１、８３から入射された光束７０を撮影部５０に導入できればよく、板状に限定されず、例えば湾曲状であってもよい。
＜４−７＞
上記実施形態の撮影装置１００では、ＸＹ平面を底面としている。しかし、撮影装置１００の底面はいずれでもよく、例えばＸＺ平面を底面にしてもよい。
＜４−８＞
【００７３】
上記実施形態では、図５に示すように、転写ローラ２０は、レンズ軸Ａを中心として、＋Ｙ方向側の第１領域２０ａ及び−Ｙ方向側の第２領域２０ｂを有している。しかし、第１領域２０ａの一部と第２領域２０ｂの一部とが重複していてもよい。図１３は、転写ローラ２０において、第１領域２０ａの一部と第２領域２０ｂの一部とが重複している例を示す平面図である。図１３に示すように、第１領域２０ａと第２領域２０ｂとは、レンズ軸Ａを中心として、つまり、転写ローラ２０の中心位置において部分的に重畳している。
【００７４】
このように、第１領域２０ａの一部と第２領域２０ｂの一部が転写ローラ２０の中心位置において重畳しているため、第１領域２０ａからの第１光束７０ａと第２領域２０ｂからの第２光束７０ｂとは一部が重畳している。このような一部が重複された第１及び第２光束７０ａ、７０ｂが、上記実施形態の第１及び第２光学部材８１、８３と、第１及び第２導光部７１、７３とを通過して撮影部５０にて撮影される。よって、モニタ１１０において、第１表示領域１１１ａに表示された第１領域２０ａの一部と、第２表示領域１１１ｂに表示された第２領域２０ｂの一部とが重複している。そのため、転写ローラ２０において表示されない領域が発生するのを抑制できる。
＜４−９＞
【００７５】
上記実施形態では、長尺部材として転写ローラ２０を例に挙げたが、長尺部材はこれに限定されない。長尺部材は、長手方向に所定の長さを有する部材であればく、例えば、ベルトコンベアの回転に用いられる回転ローラであってもよい。
【００７６】
また、上記実施形態では、転写ローラ２０の外筒部１０は、天然ゴム、ウレタンゴム、ＥＰＤＭ、ネオプレンゴム及びシリコーンゴム等の弾性材料により形成されているが、その他の弾性を有する樹脂により形成されてもよい。また、弾性材料にカーボンや酸化亜鉛等を含ませ、導電抵抗を付与して外筒部１０を形成してもよい。また、上記実施形態では、支持棒１５は鉄及びステンレス等の材料で形成されている。しかし、支持棒１５としてある程度の強度のある材料であればよく、例えば銀、金、銅などの金属、木材、プラスチック及び樹脂等が支持棒１５の材料として用いられてもよい。
＜４−１０＞
【００７７】
上記実施形態では、光照射装置３０は、転写ローラ２０に対して入射光軸が互いに平行な平行光を照射する。しかし、照射される光束７０は平行光に限定されず、拡散光であってもよい。ただし、平行光である場合、光束７０が拡散する場合に比べて、転写ローラ２０に照射される光の照度ムラが低減される。よって、照度ムラに起因する検査精度の低下を抑制できる。
＜４−１１＞
【００７８】
上記実施形態では、撮影装置１００は移動部６０を備えている。しかし、撮影部５０が固定されている場合及び撮影部５０の移動が不要な場合は、移動部６０は省略できる。
＜４−１２＞
【００７９】
上記実施形態では、第１導光部７１、第２導光部７３、第１光学部材８１及び第２光学部材８３を覆うカバー部９０が設けられている。しかし、第１導光部７１、第２導光部７３、第１光学部材８１及び第２光学部材８３において、光照射装置３０からの光束７０の進行が阻害されないのであれば、カバー部９０は不要である。
【符号の説明】
【００８０】
２０    転写ローラ
３０    光照射装置
４０    載置台
５０    撮影部
７１    第１導光部
７１ａ    第１外側反射板
７１ｂ    第１内側反射板
７３    第２導光部
７３ａ    第２外側反射板
７３ｂ    第２内側反射板
８１    第１光学部材
８３    第２光学部材
１００  モニタ
【図１】
2017173759.tif 000003
【図２】
2017173759.tif 000004
【図３】
2017173759.tif 000005
【図４】
2017173759.tif 000006
【図５】
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【図６】
2017173759.tif 000008
【図７】
2017173759.tif 000009
【図８】
2017173759.tif 000010
【図９】
2017173759.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
2017173759.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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