(57)【要約】      （修正有）【課題】凸版印刷装置で有機機能性素子を印刷製造する際に、少ないインキ量で濃度ムラがなく循環を行うことができ、それにより膜厚ムラの少ない有機機能性素子を、安定的に作製可能にする印刷装置を提供する。【解決手段】アニロックスロール、インキチャンバー３、ドクタリング機構からなるドクタリングユニットを具備した有機機能性素子用凸版印刷装置であって、前記インキチャンバー３の、アニロックスロールにインキングするアニックスロール領域１１と、ドクタリングユニットを伝って戻ってくるドクタリング機構領域１２とを、開口部１４を設けた隔壁１３により区分し、インキを、前記開口部１４を通してドクタリング機構領域１２からアニックスロール領域１１に移動させる。【選択図】図１
2017001203.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アニロックスロール、インキチャンバー、ドクタリング機構からなるドクタリングユニットを具備した凸版印刷装置であって、
前記インキチャンバーの、アニロックスロールにインキングするアニックスロール領域と、ドクタリングユニットを伝って戻ってくるドクタリング機構領域とを、開口部を設けた隔壁により区分し、
インキを、前記開口部を通してドクタリング機構領域からアニックスロール領域に移動させることを特徴とする凸版印刷装置。
【請求項２】
前記インキチャンバーのアニックスロール領域が、インキが隔壁側に流れるように傾斜を持っていることを特徴とする請求項１に記載の凸版印刷装置。
【請求項３】
インキが隔壁側に流れるように設けられた前記傾斜の傾斜角度が、７５°以下であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の凸版印刷装置。
【請求項４】
前記ドクタリング機構領域表面のインキとの接触角が９０°以上であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の凸版印刷装置。
【請求項５】
前記ドクタリング機構領域表面の材質が、フッ素樹脂を含んでいることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の凸版印刷装置。
【請求項６】
前記ドクタリング機構が、ドクターロールであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の凸版印刷装置。
【請求項７】
前記隔壁に設けられた開口部の面積が、両端部に比べ中央部が大きいことを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の凸版印刷装置。
【請求項８】
前記隔壁に設けられた開口部が、複数の開口からなっており、開口のサイズを両端部に比べ中央部を大きくするか、または開口の分布量を多くすることにより、前記隔壁に設けられた開口部の面積を両端部に比べ中央部を大きくすることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の凸版印刷装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項に記載の凸版印刷装置を用いて製造されたことを特徴とする有機機能性素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機機能性素子を製造するための凸版印刷装置に関し、特には少量の有機機能性材料でも印刷可能で、スムーズなインキ循環を行うことができる、有機機能性材料印刷用の凸版印刷装置、および凸版印刷装置を用いて製造された有機機能性素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子部材の薄層軽量化やフレキシブル化を目指した、有機機能性材料を用いた有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）素子や有機太陽電池、有機薄膜トランジスタなどの有機機能性素子の開発が盛んに行われている。
【０００３】
これらの有機機能性素子は、一般に数ｎｍから数μｍ程度の膜厚を有する有機機能層を基板上にパターン形成する必要がある。
【０００４】
有機機能層の形成方法は、用いる材料や基材などによって異なるが、大きくはドライコーティング法とウェットコーティング法に分類することができ、真空蒸着法等のドライコーティング法によって成膜を行うことが一般的であったが、大面積化やコスト低減の観点から、ウェットコーティング法による成膜方法の研究が盛んになっている。
【０００５】
ウェットコーティング法としては、スピンコート法、バーコート法、突出コート法、ディップコート法等が比較的簡易な方法ではあるが、機能性素子に求められることが多いパターニング性や材料の塗り分けを行うことは困難であり、そのため装置やプロセスが若干複雑になるが種々の印刷法等を用いた方法が注目されている。
【０００６】
有機機能性材料の印刷であっても、一般的な印刷手法を用いることができる。例えば、凸版印刷、凹版印刷、平版印刷、孔版印刷、インキジェット印刷、オフセット印刷など、それぞれの印刷の特徴と要求される特性値をマッチングさせることで有機機能性素子の作成方法として用いることができる。
【０００７】
それらの中でも、基材としてガラスや傷つき易いようなものを用いる場合では、ゴム製の印刷用ブランケットを用いたオフセット印刷法や、ゴムやその他の樹脂を主成分とした感光性樹脂版を用いるフレキソ印刷法等が扱いやすい印刷法と考えられる。
【０００８】
フレキソ印刷では、版へのインキ供給にアニロックスを用いられる。アニロックスには板状の平板アニロックスやロール状のアニロックスロールがあるが、連続での印刷を考えた場合、アニロックスロールを用いる方が、工程を簡便にしやすい。
【０００９】
アニロックスロールを用いた一般的なフレキソ印刷装置の一例を図６に示す。アニロックス６は、一般に金属の板、もしくはロールの表面に微細な彫刻がなされており、その彫刻の凹部をセル、凹部容積をセル容積と呼び、セル容積は、版へのインキ供給量の調整を行うパラメータの一つとして用いることができる。
【００１０】
アニロックスロール６では、アニロックスロール６へのインキング方法として、インキ５の入ったインキチャンバー３にアニロックスロール６の一部を浸して、余剰のインキ５をドクターブレードやドクターロール９などからなるドクタリングユニット４で掻き取るといった工程を用いることが一般的である。
【００１１】
その他にも、ディスペンサーやダイコーター、リップコーターなどを用いて直接アニロ
ックスロール６にインキを塗布する手法もあるが、これらの手法では毎回アニロックスロール６を洗浄する必要があることが多く、連続での印刷を考えた場合、アニロックスロール６を浸す方式の方が簡便である。
【００１２】
インキチャンバー３にアニロックスロール６を浸すのには、図７に示すように、インキチャンバー３の上からアニロックスロール６下部を浸す方式（図７．ａ）（特許文献１）や、インキチャンバー３とアニロックスロール６を密封系にしてアニロックスロール６側面をインキチャンバー３に浸す方式（図７．ｂ）（特許文献２）など様々なものが研究されているが、アニロックスロール６下部を浸す方式が最も簡易である。
【００１３】
図６に示す一般的な凸版印刷装置の一例を用いて、インキング工程について説明する。まず、アニロックスロール６の一部がインキチャンバー３に満たされたインキ５に浸漬することでアニロックスロール６セル内にインキ５が充填される。
【００１４】
アニロックスロール６に供給されたインキ５のうち余剰なインキ５は、ドクタリングユニット４により除去され、アニロックスロール６には形成されたセル構造により均一にインキ５を保持する。
【００１５】
余剰なインキ５の除去が適切に行われるのであれば、ドクタリングユニット４にはドクターブレード、ドクターロール等どのようなものを選択してもよい。図６は、１枚毎に被印刷基板にインキパターンを形成する枚葉式の凸版印刷装置であるが、被印刷基板が対応する場合には、ロール・トゥー・ロール方式など、その他の方式にも用いることもできる。
【００１６】
一例として、ドクタリング機構としてドクターロール、下浸漬方式のインキチャンバー、アニロックスロールを用いたインキング工程を図８に示す。インキチャンバー３にアニロックスロール６を浸した状態にする（図８．ａ）。
【００１７】
アニロックスロール６を回転させると、インキ５がアニロックスロール６に付着したままの状態で回転する（図８．ｂ）。
【００１８】
ドクターロール９によって、アニロックスロール６セルから溢れた余剰インキ５が掻き取られ、ドクターロール９とアニロックスロール６間に溜まる（図８．ｃ）。
【００１９】
ドクタリングし続けると、溜まったインキ５がドクターロール９表面、もしくはアニロックスロール６表面を伝って垂れ、インキチャンバー３内に戻る（図８．ｄ）。
【００２０】
ドクタリング時に、インキ５が不足しないように、アニロックスロール６に付着する分も含めてインキチャンバー３内にインキ５を投入する必要がある。そのため、アニロックスロール６の径が大きくなると、投入するインキ量も格段に増加する。
【００２１】
インキチャンバー３の形状を図９に示すように、アニロックスロール６と曲面を合わせることで、アニロックスロール６の径によるインキ量の増加を抑えることができ、インキ５の省液化が可能である。
【００２２】
しかしながら、それによってインキチャンバー３内にアニロックスロール６とインキ５が接触するアニックスロール領域１１、ドクタリングされた余剰インキが戻ってくるドクタリング機構領域１２、それらを画定する隔壁１３のような形になるため、そのままではドクタリングによって掻き取られたインキがドクタリング機構領域１２からアニックスロール領域１１に戻らなくなる（図１０．ａ）。
【００２３】
対策としては、アニックスロール領域１１にインキ５が戻ってくるように、ポンプ１０などの外部装置を用いてインキ５を循環させる（図１０．ｂ）。この場合、循環中のインキ５とドクタリング機構領域１２のインキ５は、直接アニロックスロール６に触れていないインキ５であるため、本質的には無駄なインキ量を消費することになる。
【００２４】
しかしながら、アニロックスロール６をインキ５に浸すためには、インキチャンバー３を多量のインキ５で満たす必要があるため、インキ５の初期使用量は直接インキを塗布する手法に比べて多くなり易く、印刷回数が増えた場合、回数によっては総インキ使用量では逆転することが有り得るが、いずれにせよインキ５を多く必要とする。
【００２５】
一方で、一般的に有機機能性材料については研究・開発段階のものが多く、良い特性を得られるものについては高価であり、製造素子の生産コスト全体に対して材料コストが多くを占める。ウェットコーティング法の利点の一つである低コスト性を活かすためには、インキ使用量がより少なくて済むプロセスの構築が不可欠である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２６】
【特許文献１】特許第４７９３６８８号公報
【特許文献２】特表２０１４−５３４０９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２７】
本発明は、上述のような問題を解決するためになされたものであり、その目的は凸版印刷法で有機機能性素子を印刷製造する際に、少ないインキ量で濃度ムラがなく循環を行うことができ、それにより膜厚ムラの少ない有機機能性素子を、安定的に作製可能にする印刷装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２８】
上記の課題を解決するための手段として、請求項１に記載の発明は、アニロックスロール、インキチャンバー、ドクタリング機構からなるドクタリングユニットを具備した凸版印刷装置であって、
前記インキチャンバーの、アニロックスロールにインキングするアニックスロール領域と、ドクタリングユニットを伝って戻ってくるドクタリング機構領域とを、開口部を設けた隔壁により区分し、
インキを、前記開口部を通してドクタリング機構領域からアニックスロール領域に移動させることを特徴とする凸版印刷装置である。
【００２９】
また、請求項２に記載の発明は、前記インキチャンバーのアニックスロール領域が、インキが隔壁側に流れるように傾斜を持っていることを特徴とする請求項１に記載の凸版印刷装置である。
【００３０】
また、請求項３に記載の発明は、インキが隔壁側に流れるように設けられた前記傾斜の傾斜角度が、７５°以下であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の凸版印刷装置である。
【００３１】
また、請求項４に記載の発明は、前記ドクタリング機構領域表面のインキとの接触角が９０°以上であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の凸版印刷装置である。
【００３２】
また、請求項５に記載の発明は、前記ドクタリング機構領域表面の材質が、フッ素樹脂を含んでいることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の凸版印刷装置である。
【００３３】
また、請求項６に記載の発明は、前記ドクタリング機構が、ドクターロールであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の凸版印刷装置である。
【００３４】
また、請求項７に記載の発明は、前記隔壁に設けられた開口部の面積が、両端部に比べ中央部が大きいことを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の凸版印刷装置である。
【００３５】
また、請求項８に記載の発明は、前記隔壁に設けられた開口部が、複数の開口からなっており、開口のサイズを両端部に比べ中央部を大きくするか、または開口の分布量を多くすることにより、前記隔壁に設けられた開口部の面積を両端部に比べ中央部を大きくすることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の凸版印刷装置である。
【００３６】
また、請求項９に記載の発明は、請求項１〜８のいずれか一項に記載の凸版印刷装置を用いて製造されたことを特徴とする有機機能性素子である。
【発明の効果】
【００３７】
本発明によれば、一般的なインキチャンバーを用いた凸版印刷装置に比べて、使用インキ量を削減した状態で、膜厚ムラのない有機機能性素子を凸版印刷法によって製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の凸版印刷装置におけるインキチャンバーの構成を示した概念図である。
【図２】本発明の凸版印刷装置におけるインキングとドクタリングの機構を示した概念図である。
【図３】本発明の凸版印刷装置のインキチャンバーにおける傾斜角の定義を説明した概念図である。
【図４】本発明の凸版印刷装置におけるインキチャンバーに設けられた隔壁の開口形状の一例を示した概念図である。
【図５】本発明のインキチャンバーを用いて作製した有機薄膜トランジスタ素子の概念図である。
【図６】アニロックスロールを用いた一般的な凸版印刷装置の構成を示した概念図である。
【図７】一般的なアニロックスロールとインキチャンバーの設置状態（ａ.下部を浸す方式、ｂ．側面を浸す方式）を示した概念図である。
【図８】一般的なドクターロールを用いたインキング、ドクタリングの機構を示した概念図である
【図９】一般的な省液インキチャンバーの一例を示した概念図である。
【図１０】一般的な、ドクターロールと省液インキチャンバーを用いた、インキングとドクタリングの様子を示した概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００３９】
以下本発明を実施するための形態を、図面を用いて詳細に説明する。なお、本発明はこれに限るものではなく、本発明に要求される条件を満たすものであれば、いずれも展開が可能である。
【００４０】
図１は、本発明の、凸版印刷装置におけるインキチャンバーの構成を示しており、（図
１．ａ）は上面図、（図１．ｂ）はＸ線における断面図、（図１．ｃ）はＹ線における断面図であり、一般的なものと比べて、隔壁１３にアニックスロール領域１１とドクタリング機構領域１２がつながる開口部１４が形成されていることが特徴である。
【００４１】
図２は、本発明の凸版印刷装置におけるインキングとドクタリングの機構を示しており、（図２．ａ）は、インキチャンバー３にアニロックスロール６を浸した状態であり、（図２．ｂ）は、アニロックスロール６が回転し、インキ５がアニロックスロール６に付着したままの状態で回転する状態である。
【００４２】
（図２．ｃ）は、ドクターロール９によって、アニロックスロール６セルから溢れた余剰のインキ５が掻き取られ、ドクターロール９とアニロックスロール６間に溜まる状態を示しており、（図２．ｄ）は、ドクタリングし続け、溜まったインキ５がドクターロール９表面、もしくはアニロックスロール６表面を伝って垂れ、ドクタリング機構領域１２に戻る状態を示している。
【００４３】
ドクタリング機構領域１２に戻ったインキ５は、傾斜に沿って流動し、隔壁１３の開口部１４を通ってアニックスロール領域１１に流れ込み、ドクタリング機構領域１２とアニックスロール領域１１間のインキ５の循環機能以外は、基本的に一般のインキチャンバー３と同様の工程である。
【００４４】
ドクタリング機構領域１２からアニックスロール領域１１へのインキ５の循環性を良くするため、インキチャンバー３表面でのインキ５の流動性が重要である。流動性を高めるための施策としては、インキチャンバー３の形状を調整することや、表面状態を調整することが考えられる。
【００４５】
例えば、形状の調整では、ドクタリング機構領域の底を隔壁側に傾斜をつけることでより、開口をインキが通過しやすくできる。また表面状態の調整では、インキとドクタリング機構領域の濡れを変えることでインキ流動を調整できる。他にも、例えばアニックスロール領域とドクタリング機構領域それぞれのインキとの濡れについて、アニックスロール領域の方がドクタリング機構領域よりも濡れが良い場合、インキは濡れが良い側に引っ張られるため、アニックスロール領域側へインキが流動しやすくなることになる。
【００４６】
図３は、本発明の凸版印刷装置のインキチャンバーにおける傾斜角の定義を説明しており、ドクタリング機構領域の傾斜角θについては、隔壁１３の開口部１４とドクタリング機構領域１２との境をＡ点とし、ドクタリングユニットからインキチャンバー３にインキ５が垂れる場所をＢ点として、Ａ点とＢ点をつなげた直線とＡ点を通る鉛直な直線からなる角度とした。
【００４７】
Ｂ点については、ドクタリングユニットがドクターロール９である場合、インキ５の落下地点を決定することはドクターブレードなどに比べて容易であり、ドクターロール９がドクタリング時の位置にある時のドクターロール９の中心を通って鉛直に下ろした直線とインキチャンバー３とが交わる点と決定して問題ない。
【００４８】
インキ５とドクタリング機構領域１２表面の濡れの影響も受けるが、７５°以上あることが望ましい。ドクタリング機構領域１２の傾斜角が７５°未満である場合、インキ５とドクタリング機構領域１２表面の接触角が１２０°を超える強撥液状態であっても、インキ５はその場に留まりやすく、ある程度の量がないと流動しない。
【００４９】
ドクタリング機構の傾斜角については、インキ５とドクタリング機構１２表面の濡れによって、必要な角度が変化する。例えば、インキ５とドクタリング機構１２表面の接触角
１２０°を超える強撥液状態であっても、ドクタリング機構領域１２の傾斜角が７５°を超えている場合、インキ５はその場で滞留し易くなってしまう。そのため、ドクタリング機構領域１２の傾斜角は７５°以下が望ましい。
【００５０】
一方で、傾斜角が４５°以上であれば、インキ５とドクタリング機構領域１２表面の接触角が１０°以下のようなかなり濡れが良い状態であっても、インキ５はある程度の流動性を示す。
【００５１】
しかしながら、凸版印刷装置においては、ドクタリング機構や循環機構など様々な機構を必要とするため、インキチャンバー周りについては十分余裕のあるスペースを確保することが難しい。そのため、インキチャンバーのサイズにも制限があることが多く、特にドクター周りはスペースを確保することが難しいため、十分な傾斜角θを設けることが出来ない場合がある。
【００５２】
その場合は、ドクタリング機構領域表面とインキとの濡れは大変重要である。特に、インキとドクタリング機構領域表面の接触角が１２０°を超える強撥液状態であれば、インキは粒状になりやすく、流動性もとても良化する。一方で、９０°以下ではインキ流動は悪化する。そのため、ドクタリング機構領域に十分な傾斜を形成できない場合は、ドクタリング機構領域表面とインキの接触角は９０°より大きくする必要がある。
【００５３】
ドクタリング機構領域表面とインキとの濡れを変化させる場合、インキについては材料の機能性や印刷性などの観点から変更をすることは容易でない。そのため、インキチャンバー表面材質を調整することが好ましい。例えば、ニッケルとフッ素樹脂を合わせてメッキする方法やクロムとフッ素樹脂を合わせてメッキする方法などを行うことができる。しかしながら、そのような加工を施してもインキとの接触角を１２０°以上にすることは容易ではない。
【００５４】
ドクタリング時には、インキはアニロックスロールの端部から外に逃げようとするため、中央部から外側の方へインキが流動し易く、インキの循環においてはインキが減り易い中央部へ重点的にインキを戻す必要がある。インキをより多く戻すためには、開口面積を広げることで調整できる。そのため、中央部は端部に比べて、より大きい開口面積であることが好ましい。
【００５５】
図４は、本発明の凸版印刷装置におけるインキチャンバーに設けられた隔壁の開口形状の一例を示しており、開口面積の調整方法として、形状を変化させたもの（図４．ａ）、開口の形やサイズを変えたもの（図４．ｂ）のように形状を変化させたり、複数個を色々な形で配列させたりすることができる。
【実施例】
【００５６】
＜実施例１＞
図５に示すような有機薄膜トランジスタ２０を作製した。本発明の実施例として、有機薄膜トランジスタ２０作製工程の内、半導体層１９形成工程を本発明による印刷機を用いて印刷を行った。尚、本発明は実施例に限定されるものではなく、本発明を達成できる範囲での改良・変形等は、本発明の趣旨を逸脱するものではない。
【００５７】
＜被印刷基板の作製＞
絶縁性の基板２として、厚さ０．７ｍｍの無アルカリガラスを使用し、ガラス基板１５とした。ガラス基板１５上に、銀ナノ粒子を分散させたインキを、インキジェット法を用いて所望の形状となるように塗布し、２００℃１時間焼成を行い、ゲート電極及びキャパシタ電極１６を形成した。
【００５８】
次に、ゲート電極及びキャパシタ電極１６上に、ダイコート法を用いてアクリル樹脂を塗布し、２３０℃で焼成して、膜厚１μｍのゲート絶縁層１７を形成した。
【００５９】
その上に、銀ナノ粒子を分散させたインキを、インキジェット法を用いて所望の形状となるように塗布し、２００℃１時間焼成を行い、ソース電極及びドレイン電極１８を形成した。それぞれの膜厚は、ともに１００ｎｍとした。
【００６０】
基板を、ペンタフルオロベンゼンチオールをイソプロピルアルコールで１０ｍＭの濃度で調整した溶液に３０分浸漬し、その後洗浄、乾燥を行った。
【００６１】
＜感光性樹脂凸版１０４の作製＞
厚さ２５０μｍのニッケル材を凸版の版基材として、この基材の上に黒色顔料を混錬したアクリルバインダー樹脂溶液を乾燥膜厚が１０μｍになるように塗布して乾燥し、反射防止層を形成した。
【００６２】
水溶性ポリアミドを主成分とし、ラジカル重合性モノマーとしてとしてジペンタエリスリトールヘキサキスアクリレート、光重合開始剤として２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ製）を混錬した感光性樹脂組成物が、基材の表面に版材の総厚が３１０μｍとなるように溶融塗工したものを感光性樹脂層とし、ポリビニルアルコール溶液を乾燥膜厚１μｍになるように塗布したポリエチレンテレフタレートフィルム（フィルム厚み１２５μｍ：帝人デュポンフィルム社製）をラミネートした。
【００６３】
合成石英基材のクロムマスクを樹脂凸版パターンの原版とし、このマスクをプロキシミティ露光装置にセットしたものを用いて樹脂凸版を露光し、ストライプパターンの凸版を作製した。作製した凸部幅は１００μｍ、凸部ピッチは１０００μｍである。
【００６４】
＜有機発光層形成用のインキの作製＞
ポリ（３−アルキルチオフェン）系の有機半導体材料を有機溶媒に溶解させインキ化した。粘度３０ｍＰａ・ｓになるように、濃度を調整した。
【００６５】
＜印刷装置＞
凸版印刷機としては、インキチャンバー以外は図６に示す形のものを使用し、インキチャンバーは、図１に示すようなものを用いた。インキチャンバーのサイズは、内寸で長辺方向が４２０ｍｍのものを用いた。隔壁の開口は両端部と中央で合計３つ形成した。隔壁の開口サイズは、両端部は縦５ｍｍ、幅５０ｍｍ、中央部は縦５ｍｍ、幅２００ｍｍ、傾斜角θは４５°であった。インキチャンバー３表面は、ニッケルテフロンでメッキしてあるものを用いた。インキチャンバー３表面とインキ５との接触角は、１００°程度であった。
【００６６】
＜印刷工程＞
凸版を枚葉式の凸版印刷機の版胴に固定した。アニロックスロール６として、φ２００ｍｍ×４００ｍｍのクロムメッキロールを用いた。形成されるパターンは１辺６５μｍの正方形セルが、７２．５μｍピッチで形成されるスクエアパターンであり、これらのパターンはロール水平線より６０°傾いて形成されている。
【００６７】
次に、アニロックスロール６をセッティングしたインキチャンバー３にインキ５を満たした。投入したインキ量は、アニロックスロール６下部が５ｍｍ浸漬する量とした。インキング工程及びドクタリング工程を行い、インキ５を凸版の凸部にインキングした。
【００６８】
インキングされた凸版８を被印刷基板に押し当てて転動し、被印刷基板２の上にストライプパターンを印刷した。印刷は１枚あたり５分間隔で連続して行い、２０枚の基板に半導体層１９を形成した。印刷を行った後、減圧オーブン内にて１００℃で１時間乾燥を行った。
【００６９】
＜実施例２＞
実施例１にて用いたインキチャンバーの傾斜角θが７５°である以外は同一条件で印刷を行なった。
【００７０】
＜実施例３＞
実施例１にて用いたインキチャンバー隔壁の開口を両端部と中央の３つを全て、縦５ｍｍ、幅１００ｍｍに統一した以外は同一条件で印刷を行った。
【００７１】
＜実施例４＞
実施例１にて用いたインキチャンバー隔壁の開口を、縦５ｍｍ、幅４００ｍｍの一つにした以外は同一条件で印刷を行った。
【００７２】
＜実施例５＞
実施例１にて用いたインキチャンバーの表面をニッケルテフロンでメッキ処理を行なわなかったこと以外は同一条件で印刷を行った。尚、インキチャンバー３表面とインキ５との接触角は、１０°程度であった。
【００７３】
＜実施例６＞
実施例１にて用いたインキチャンバーの表面をニッケルテフロンでメッキ処理を行なわなかったこと、傾斜角を７５°としたこと以外は同一条件で印刷を行った。尚、インキチャンバー３表面とインキ５との接触角は、１０°程度であった。
【００７４】
＜比較例１＞
比較例１としてインキングユニットが、図７．ａに示すような一般的なインキチャンバーである印刷装置を使用したこと以外は、実施例１と同一条件で印刷を行なった。使用したインキチャンバーは、傾斜が形成されておらず傾斜角θは９０°であり、また、インキとインキチャンバー表面との接触角は１００°程度であった。
【００７５】
＜比較例２＞
比較例２として、実施例１にて用いたインキチャンバーの傾斜角θが８５°であること以外は同一条件で印刷を行なった。
【００７６】
＜評価＞
評価は、インキ使用量、作製した素子のパネルの半導体層１９の膜厚ばらつき値、インキ粘度のばらつきにより行なった。膜厚ばらつき値は、１枚目及び２０枚目のパネル面内中２０点測定値の標準偏差であり、粘度測定は、チャンバー内のインキを無作為に２０箇所抜き取り、測定を行った値の平均値、ばらつきはその標準偏差である。
【００７７】
結果を表１に示す。
【００７８】
【表１】
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【００７９】
本発明のインキチャンバーを使用することで使用するインキ量を削減できることがわかる。また、使用するインキ量を削減しても、膜厚ムラを引き起こす粘度ムラを抑制することが可能であり、膜厚の測定結果からも膜厚ムラが抑制できていることがわかる。さらに本発明のインキチャンバーを使用すると、使用量が少ないために粘度上昇の影響を強く受けることになるが、粘度バラツキについては低減させることができることがわかる。
【００８０】
実施例１、２、比較例２を比較すると傾斜角が小さいほど膜厚ばらつきや粘度変化、粘度ばらつきが小さいことがわかる。実施例２より、傾斜角７５°以下で効果が得られることがわかるが、傾斜角４５°の実施例１との比較から、傾斜角がより急であるほどより高い効果が得られることがわかる。
【００８１】
実施例１、３、４は、それぞれ隔壁開口の形状を変化させて評価を行なったが、いずれも本特許の効果が得られた。しかしながら、中央部を端部に比べて、より大きい開口面積とした隔壁開口部を設けたものの方が、膜厚ばらつきや粘度変化、粘度ばらつきをより制御できることがわかる。
【００８２】
実施例１、５、６は、インキチャンバー３表面とインキ５との接触角をそれぞれ変えたものであるが、いずれも本特許の効果が得られた。しかしながら、接触角が低くなると若干ではあるが本特許の効果が低くなることがわかる。
【符号の説明】
【００８３】
１・・・ステージ
２・・・基板
３・・・インキチャンバー
４・・・ドクタリングユニット
５・・・インキ
６・・・アニロックスロール
７・・・版胴
８・・・凸版
９・・・ドクターロール
１０・・・ポンプ
１１・・・アニックスロール領域
１２・・・ドクタリング機構領域
１３・・・隔壁
１４・・・開口部
１５・・・ガラス基板
１６・・・ゲート電極及びキャパシタ電極
１７・・・ゲート絶縁層
１８・・・ソース電極及びドレイン電極
１９・・・半導体層
２０・・・有機薄膜トランジスタ
Ａ・・・隔壁の開口部とドクタリング機構領域との境
Ｂ・・・ドクタリングユニットからインキチャンバーにインキが垂れる場所
Ｘ・・・断面線（ｂ）
Ｙ・・・断面線（ｃ）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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