(57)【要約】【課題】プローブ構造及びプローブ装置を提供することを課題とする。【解決手段】本発明は、筒状本体とピンとを含むプローブ構造を開示する。筒状本体は、中心軸を具え、第１剛性部位と第１弾性部位と第２剛性部位と第２弾性部位とを含む。第１弾性部位は、中心軸を囲んで中心軸に沿って延伸し、第１弾性部位の両端が各々第１剛性部位の一端と第２剛性部位の一端に連接する。第２弾性部位は、中心軸を囲んで中心軸に沿って延伸し、その一端が第２剛性部位の他端に連接し、また第２弾性部位のばね定数が第１弾性部位のばね定数と異なる。ピンは、筒状本体内に貫設され、第１剛性部位に突出するヘッド部位を具え、かつヘッド部位が第１剛性部位に固着する。【選択図】図８
2017120265.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１剛性部位と、中心軸を囲んで前記中心軸に沿って延伸し、前記第１剛性部位の一端に連接する一端を具える第１弾性部位と、前記第１弾性部位の他端に連接する一端を具える第２剛性部位と、前記中心軸を囲んで前記中心軸に沿って延伸し、前記第２剛性部位の他端に連接する一端を具え、前記第１弾性部位のばね定数と異なるばね定数を具える第２弾性部位と、を包括し、前記中心軸を具えた筒状本体と、
前記筒状本体内に貫設され、前記第１剛性部位から突出するヘッド部位を具え、かつ前記ヘッド部位が前記第１剛性部位に固着されたピンと、
を含むことを特徴とするプローブ構造。
【請求項２】
前記第１弾性部位のばね定数及び前記第２弾性部位のばね定数が比較的小さい場合、複数の第１曲面部位と複数の第２曲面部位とを含み、前記第１弾性部位のばね定数及び前記第２弾性部位のばね定数が比較的大きい場合、複数の第３曲面部位を含み、前記第１曲面部位の両端が前記中心軸に沿う第１距離を有し、前記第２曲面部位の両端が前記中心軸に沿う第２距離を有し、前記第１曲面部位が前記第２曲面部位と互いに相互間隔をあけ、かつ互いに連接し、前記第１距離は前記第２距離より小さいことを特徴とする請求項１に記載のプローブ構造。
【請求項３】
中心軸を具えた筒状本体を包括するプローブ構造であって、
前記筒状本体は、前記中心軸を囲んで前記中心軸に沿って延伸し、複数の第１曲面部位と複数の第２曲面部位とを含み、前記第１曲面部位が前記第２曲面部位と互いに相互間隔をあけ、かつ互いに連接し、前記第１曲面部位両端の前記中心軸に沿う第１距離は前記第２曲面部位両端の前記中心軸に沿う第２距離より小さい弾性部位を含むことを特徴とするプローブ構造。
【請求項４】
第２弾性部位を更に含み、前記弾性部位が第１弾性部位とし、前記第２弾性部位のばね定数が前記第１弾性部位のばね定数より大きいことを特徴とする請求項３に記載のプローブ構造。
【請求項５】
上部表面と下部表面と少なくとも１つの案内通路とを含み、前記少なくとも１つの案内通路がプローブホルダーを貫通して前記上部表面から前記下部表面まで延伸し、前記少なくとも１つの案内通路と前記下部表面の連接箇所にネッキングゾーンを形成する前記プローブホルダーと、
前記少なくとも１つの案内通路内に設けられ、前記筒状本体の前記第１剛性部位の外径が前記ネッキングゾーンの内径より大きいことで、前記ネッキングゾーンに当接し、前記ピンの前記ヘッド部位が前記下部表面に突出する少なくとも１つの請求項１または２に記載のプローブ構造と、
を含むことを特徴とするプローブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブ構造とプローブ装置に関し、特に、半導体ウェハテストに適したプローブ構造とプローブ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
集積回路をテストする時、テスターは、プローブカードを測定対象集積回路に電気的に接触させ、信号伝送及び信号の解析を進めることによって測定対象集積回路の測定結果を求める。従来のプローブカードは回路基板及びプローブ装置から構成されるか、それらおよびスペーストランスフォーマから構成される。スペーストランスフォーマは回路基板とプローブ装置との間に配置される。プローブ装置は測定対象集積回路の電気接点に対応するように配列された複数のプローブを有し、それらプローブによって測定対象の電気接点にプロービングを行う。
【０００３】
図１及び図２を参照すると、各々従来のプローブ構造１１を示す分解図及び従来のプローブカードの局部を示す断面図であり、従来のプローブ構造１１及び従来のプローブカード１４の一部分が各々示されている。従来のプローブ構造１１は、ピン１２とピン１２の外側に被さるスプリングスリーブ１３とを含み、スプリングスリーブ１３が２つの弾性部位１３８を有し、２個の弾性部位１３８の間に１つの非弾性部位で仕切る。従来のプローブカード１４は、回路基板１５とプローブ装置１６とを含み、回路基板１５が回路基板またはスペーストランスフォーマとすることができ、プローブ装置１６がプローブホルダー１７及び複数のプローブ構造１１とを含む。説明の便をはかるため、図２には一部分の回路基板１５、プローブホルダー１７及びプローブ構造１１のみを示す。
【０００４】
プローブ構造１１を組み立てる時、ピン１２をスプリングスリーブ１３内に挿入し、そしてプレス加工によってスプリングスリーブ１３の一端にある嵌合部位１３２と、ピン１２とを結合させ、そのうち溶接によって固定する。嵌合部位１３２は前記プレス及び溶接の工程によって変形し、２つの突出部位１３４を形成する。各突出部位１３４はスプリングスリーブ１３上のプレス加工された部位以外の外側面１３６に突出する。
【０００５】
プローブホルダー１７は、主に上ガイドプレート１７１、中ガイドプレート１７２及び下ガイドプレート１７３（または上ガイドプレート１７１及び下ガイドプレート１７３のみ）に分けることができる。上ガイドプレート１７１、中ガイドプレート１７２及び下ガイドプレート１７３は、垂直に重なり、かつプローブ構造１１を格納するために用いられる複数の格納孔１７４（図２は、格納孔１７４のみを示す）を形成する。一方、組み立てが完了したプローブホルダー１７の先端面１７５からプローブ構造１１を格納孔１７４に格納し、かつ測定対象物にプロービングを行う際、格納孔１７４内のプローブ構造１１を自由回転させるため、格納孔１７４は突出部位１３４とプローブ構造１１の中心との間の最大距離より半径が大きい円孔に設計される。
【０００６】
プローブ装置１６の組み立てが完成した後、該回路基板１５はプローブホルダー１７の先端面１７５に固定される。スプリングスリーブ１３の末端が回路基板１５の電気接点に電気的に接続される。ピン１２の先端によって測定対象物の電気接点にプロービングを行う。末端が回路基板１５に当接するスプリングスリーブ１３は二つの弾性的に圧縮できる弾性部位１３８を有する。ピン１２は下方部位がスプリングスリーブ１３の先端部の嵌合部位１３２に固定され、かつピン１２の末端と回路基板１５（スプリングスリーブ１３の末端）との間に隙間１８があるため、ピン１２の先端が測定対象物の電気接点に当接すると、ピン１２は後退し、スプリングスリーブ１３を圧縮する。このときプローブ構造１１は測定対象物の電気接点に確実に接触し、電気的導通を進めることができるだけでなく、スプリングスリーブ１３によって緩衝機能を果たし、接触力が大き過ぎることが原因で測定対象物の電気接点またはピンを損壊させたり過度に摩損させたりすることを抑制することができる。
【０００７】
図３を参照すると、プローブ装置１６の組み立てが完成した後、スプリングスリーブ１３がｘ１の長さに圧縮され、スプリングスリーブ１３に対応する弾性力はｆ１となる。ピン１２の先端が測定対象物の半田パッド表面（或いは電気接点）を少し刺し通してテスト状態にある時、スプリングスリーブ１３全体がｘ２の長さに圧縮され、この時スプリングスリーブ１３に対応する弾性力がｆ１からｆ２にまで上がる。
【０００８】
従来のプローブ構造１１自体のスプリングスリーブ１３の２つの弾性部位１３８の個別に圧縮できる行程は均しくプローブ構造１１をプローブホルダー１７と回路基板１５に組み立てる時に必要な予圧行程にプローブで半田パッド表面に加圧した時による圧縮行程をより遥かに大きい。つまり図３に示すように、プロービング過程において、スプリングスリーブ１３の２つの弾性部位１３８は、いずれも自由に圧縮できる状態にあり、よってピン１２で半田パッド表面にかける作用力Ｆがスプリングスリーブ１３の圧縮量Ｘに対して線形関係となる。図内の直線の傾きは、２つの弾性部位１３８の等価ばね定数である。例を挙げると、２つの弾性部位１３８のばね定数が各々ＫｘとＫｙで、２つの弾性部位１３８が直結するため、等価ばね定数Ｋｅは、次で表される。
【０００９】
【数１】
2017120265.tif 000003
【００１０】
前記組み立て・予圧は、組み立てた後の各ピン１２の針先平面度を上げるため、つまり針先を同じ水平面上に位置させ、これ以外に、スプリングスリーブ１３のばね定数は大きすぎることができず、さもなければ予圧を終えた後のプローブホルダーに反りの現象が発生する可能性がある。しかしながら、プロービングを行う時、ピン１２の針先は測定対象物の半田パッド表面の酸化層を刺し通しなければならず、スプリングスリーブ１３のばね定数が十分に大きくなかった場合、スプリングスリーブ１３は比較的長い行程に圧縮されてから十分な反作用力を提供してピン１２の針先に半田パッド表面の酸化層を刺し通させることができる。逆に、スプリングスリーブ１３のばね定数が十分に大きかった場合、スプリングスリーブ１３は少しの圧縮だけで十分な反作用力を提供でき、ピン１２の針先に半田パッド表面の酸化層を刺し通させることができる。つまり、組み立て・予圧段階のばね定数に対する要求は、実際のプロービング過程のばね定数に対する要求とは逆行するものである。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上記従来技術の問題点に鑑み、鋭意研究を重ねた結果、以下の発明を完成するに至った。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、中心軸を具えた筒状本体と筒状本体内を貫設するピンと、を含むプローブ構造を提供する。筒状本体は、第１剛性部位と第１弾性部位と第２剛性部位と第２弾性部位とを含む。第１弾性部位は、中心軸を囲んで中心軸に沿って延伸し、その一端が第１剛性部位のいずれかの一端に連接する。第２剛性部位の一端は第１弾性部位の他端に連接し、第２弾性部位の一端が第２剛性部位の他端に連接し、第２弾性部位のばね定数が第１弾性部位のばね定数と異なる。ピンは、筒状本体内に貫設され、第１剛性部位に突出するヘッド部位を具え、かつヘッド部位が第１剛性部位に固着する。
【００１３】
本発明は、筒状本体を含む別のプローブ構造も提出する。筒状本体が中心軸を具え、かつ弾性部位を含む。弾性部位は中心軸を囲んで中心軸に沿って延伸し、複数の第１曲面部位と複数の第２曲面部位とを含み、第１曲面部位が第２曲面部位と互いに相互間隔を空け、かつ互いに連接し、第１曲面部位両端の中心軸に沿う第１距離は第２曲面部位両端の中心軸に沿う第２距離より小さい。
【００１４】
本発明は、更にプローブホルダーと、筒状本体とピンとを包括するプローブ構造とを含むプローブ装置を提供する。プローブホルダーは上部表面と下部表面と案内通路とを含み、案内通路が該プローブホルダーを貫通して上部表面から下部表面まで延伸し、案内通路と下部表面の連接箇所にネッキングゾーンを形成する。プローブ構造が案内通路内に設けられ、筒状本体の第１剛性部位の外径がネッキングゾーンの内径より大きいことで、ネッキングゾーンに当接し、ピンのヘッド部位が下部表面に突出する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】従来のプローブ構造の分解図である。
【図２】従来のプローブ装置の一部分の断面を示す模式図である。
【図３】従来のプローブ構造の加力（Ｆ）の圧縮行程（Ｘ）に対する関係図である。
【図４】本発明の実施例１に係るプローブ構造を示す模式図である。
【図５】図４の２Ａゾーンの部分拡大図である。
【図６】図４の２Ｂゾーンの部分拡大図である。
【図７Ａ】本発明の実施例１に係る第１弾性部位の側面図である。
【図７Ｂ】本発明の実施例１に係る第１曲面部位の展開図である。
【図７Ｃ】本発明の実施例１に係る第２曲面部位の展開図である。
【図８】本発明の実施例２に係るプローブ構造を示す模式図（一）である。
【図９】本発明の実施例２に係るプローブ構造を示す模式図（二）である。
【図１０】本発明の実施例３に係るプローブ装置の一部分の断面を示す模式図である。
【図１１】本発明の実施例４に係るプローブ構造を示す模式図。
【図１２】本発明の実施例５に係るプローブ構造を示す模式図（一）である。
【図１３】本発明の実施例５に係るプローブ構造を示す模式図（二）である。
【図１４】本発明のプローブ構造の加力（Ｆ）の圧縮行程（Ｘ）に対する関係図である。
【図１５】本発明の実施例６に係るプローブ構造を示す模式図（一）である。
【図１６】本発明の実施例６に係るプローブ構造を示す模式図（二）である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
≪実施例１≫
図４乃至図７Ｃを参照すると、各々本発明の実施例１に係るプローブ構造を示す模式図、２Ａゾーンの部分拡大図、２Ｂゾーンの部分拡大図、第１弾性部位の側面図、第１曲面部位と第２曲面部位の展開図である。本実施例のプローブ構造２０は、中心軸Ｃ１を具えた筒状本体２１を含み、筒状本体２１の一端から他端まで順次に第１剛性部位２２１、第１弾性部位２１１、第２剛性部位２２２、第２弾性部位２１２、及び第３剛性部位２２３に分けることができる。
【００１７】
第１弾性部位２１１は、複数の第１曲面部位２１１１と複数の第２曲面部位２１１２とを含み、第１曲面部位２１１１と第２曲面部位２１１２が相互間隔をあけ、かつ頭尾が連接することにより共同で第１弾性部位２１１を構成する。第１弾性部位２１１が中心軸Ｃ１を囲んで中心軸Ｃ１に沿って湾曲するよう延伸する。第１剛性部位２２１の一端は第１弾性部位２１１の一端に連接し、他端が自由端となる。第２剛性部位２２２の両端が各々第１弾性部位２１１の他端及び第２弾性部位２１２の一端に連接する。第３剛性部位２２３の一端が第２弾性部位２１２の他端に連接し、第３剛性部位２２３の他端が自由端となる。
【００１８】
第１曲面部位２１１１両端の中心軸Ｃ１に沿う第１距離は、第２曲面部位２１１２両端の中心軸Ｃ１に沿う第２距離Ｗ２より小さい。本実施例において、第１距離をゼロとし、第２距離はゼロに等しくないため、図内に第１距離を示していない。第１距離がゼロの意味は、第１曲面部位２１１１が中心軸Ｃ１を囲んだ時、同じ平面上で囲むだけであって、中心軸Ｃ１の方向に沿って延伸するものではないことを指す。図７Ａに示すように、第１曲面部位２１１１は、実質的に中心軸Ｃ１を半周囲み、その両端の中心点が各々Ｐ１とＰ２とし、Ｐ１とＰ２の２点をつなぐ線で構成されるベクトルは、中心軸Ｃ１方向に沿う分力を含まず、つまり前記第１距離がゼロとするという意味である。同様に、第２距離Ｗ２とは、各第２曲面部位２１１２が中心軸Ｃ１を囲んだ時、その頭尾両端の中心点Ｑ１とＱ２の２点をつなぐ線で構成されるベクトルの中心軸Ｃ１方向に沿う分力の絶対値の大きさを定義する。次に、図７Ｂ及び図７Ｃに示すように、第１曲面部位２１１１と第２曲面部位２１１２を個別に平らに展開して見ると、第１曲面部位２１１１全体は直線を呈し、第２曲面部位２１１２全体が直線でないことで曲線を呈する或いは曲線と直線で構成される線分となる。
【００１９】
図４及び図６に示されるように、第２弾性部位２１２は、複数の第３曲面部位２１２１を含み、第３曲面部位２１２１が中心軸Ｃ１を囲んで中心軸Ｃ１に沿って湾曲しながら延伸し、各第３曲面部位２１２１が実質的に中心軸Ｃ１を１周囲む。本実施例において、第２弾性部位２１２のばね定数は、第１弾性部位２１１のばね定数より大きい。
【００２０】
図７Ａに示すように、第１弾性部位２１１の側面図において、第１曲面部位２１１１は水平線を呈し、つまり第１曲面部位２１１１の両端中心点Ｐ１とＰ２をつなぐ線で構成されるベクトルの中心軸Ｃ１に沿う分力の大きさがゼロとし、第１曲面部位２１１１の両端中心点Ｐ１とＰ２をつなぐ線で構成されるベクトルの中心軸Ｃ１に沿う分力の大きさが第１距離に相当する。第２曲面部位２１１２の両端中心点Ｑ１とＱ２をつなぐ線で構成されるベクトルの中心軸Ｃ１に沿う分力の大きさは、第２距離Ｗ２で、かつＷ２はゼロではない。言い換えると、第１弾性部位２１１の側面図において、第１曲面部位２１１１の傾きはゼロで、第２曲面部位２１１２の傾きがゼロより大きい。上記第１距離がゼロとするのは、例示のみであって、本実施例の説明したい重点は、第１曲面部位２１１１の両端中心点Ｐ１とＰ２をつなぐ線で構成されるベクトルの中心軸Ｃ１の分力の大きさが、第２曲面部位２１１２の両端中心点Ｑ１とＱ２をつなぐ線で構成されるベクトルの中心軸Ｃ１に沿う分力の大きさと異なることである。
【００２１】
≪実施例２≫
図８及び図９を参照し、また図１４を合わせて参照すると、各々本発明の実施例２に係るプローブ構造を示す模式図（一）と模式図（二）及びプローブ構造の加力（Ｆ）の圧縮行程（Ｘ）に対する関係図である。本実施例と実施例１の主な相違点は、プローブ構造３０が筒状本体２１以外に、ピン３１を更に含む。ピン３１は、筒状本体２１内に貫設され、ヘッド部位３１１とテール部位３１２とを具え、ヘッド部位３１１が筒状本体２１の第１剛性部位２２１に突出し、テール部位３１２の端面が筒状本体２１の第３剛性部位２２３よりｄ１の距離低い。図９に示すように、本実施例のピン３１のヘッド部位３１１は、プレスと溶接の工程で筒状本体２１の第１剛性部位２２１に固着することで、固着部２９を形成する。
【００２２】
【数２】
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【００２３】
【数３】
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【００２４】
≪実施例３≫
図１０を参照すると、本発明の実施例３に係るプローブ装置の一部分の断面を示す模式図である。示されているプローブ装置４０は、プローブホルダー４１と少なくとも１個のプローブ構造３０とを有する。プローブホルダー４１は、上部表面４１ａと下部表面４１ｂと案内通路４１ｃとを含み、案内通路４１ｃがプローブホルダー４１全体を貫通して上部表面４１ａから下部表面４１ｂまで延伸する。案内通路４１ｃと下部表面４１ｂの連接箇所にネッキングゾーン４１ｄを形成する。ネッキングゾーン４１ｄの設置を通じて、プローブ構造３０が案内通路４１ｃ内に入られた時、筒状本体２１の第１剛性部位２２１の外径がネッキングゾーン４１ｄの内径より大きいため、ネッキングゾーン４１ｄに当接でき、案内通路４１ｃから脱落しない。
【００２５】
実際にテストを行う時、図１と図２に示すように、プローブホルダー４１の上部表面４１ａに回路基板１５を更に設け、プローブ構造３０を案内通路４１ｃに入れてプローブホルダー４１と回路基板１５の組み立てを行い、筒状本体２１の第３剛性部位２２３が回路基板１５の電気接点に接触する。プローブ構造３０が案内通路４１ｃ内に設けられ時、ピン３１のヘッド部位３１１はプローブホルダー４１の下部表面４１ｂから突出することで、測定対象物に対しプロービングを行うことができる。
【００２６】
≪実施例４≫
図１１を参照すると、本発明の実施例４に係るプローブ構造を示す模式図で、図１１に示されるプローブ構造５０が筒状本体５１を具える。本実施例の筒状本体５１は、実施例１で述べた第１剛性部位２２１と第１弾性部位２１１と第２剛性部位２２２と第２弾性部位２１２と第３剛性部位２２３とを含む以外に、第３弾性部位２１３を更に含む。第３弾性部位２１３の一端が第３剛性部位２２３に連接する。第３弾性部位２１３は中心軸Ｃ２を囲んで中心軸Ｃ２に沿って湾曲しながら延伸し、その一端が第３剛性部位２２３の他端に連接し、本実施例の第３弾性部位２１３のばね定数は第２弾性部位２１２のばね定数より大きいかまたは等しい。
【００２７】
第１弾性部位２１１及び第２弾性部位２１２のばね定数は、上記実施例に限られるものではなく、第１弾性部位２１１のばね定数Ｋ１が第２弾性部位２１２のばね定数Ｋ２より大きくなることもよく、この実施例において、第２弾性部位２１２は複数の第１曲面部位と複数の第２曲面部位とを含み、第１弾性部位２１１が複数の第３曲面部位のみを含む。
【００２８】
言い換えると、第１弾性部位のばね定数及び第２弾性部位のばね定数が比較的小さい場合、複数の第１曲面部位と複数の第２曲面部位とを含み、第１弾性部位のばね定数及び第２弾性部位のばね定数が比較的大きい場合、複数の第３曲面部位を含み、第１曲面部位の両端が該中心軸に沿う第１距離を有し、第２曲面部位の両端が中心軸に沿う第２距離を有する。これら第１曲面部位と第２曲面部位が相互間隔をあけ、かつ互いに連接し、第１距離が第２距離より小さい。
【００２９】
上記実施例において、第１弾性部位と第２弾性部位のどれのばね定数が比較的小さいかを問わず、複数の第１曲面部位と複数の第２曲面部位の弾性部位、その第２曲面部位の一端が第２剛性部位に連接する。
【００３０】
≪実施例５≫
図１２及び図１３を参照すると、各々本発明の実施例５に係るプローブ構造を示す模式図（一）と模式図（二）であり、示されているプローブ構造６０は、第１筒状本体６１と第２筒状本体６５とを含む。第１筒状本体６１は、中心軸Ｃ３を具え、第１剛性部位６２１と第１弾性部位６１１と第２剛性部位６２２とを含む。第１弾性部位６１１が筒状本体６１の中心軸Ｃ３を囲んで中心軸Ｃ３に沿って延伸し、その両端が各々第１剛性部位６２１と第２剛性部位６２２に連接される。
【００３１】
図１２と図７Ａを同時に参照すると、本実施例の第１弾性部位６１１と実施例１の第１弾性部位２１１は、同一で、第１弾性部位６１１が複数の第１曲面部位６１１１と複数の第２曲面部位６１１２とを含み、第１曲面部位６１１１と第２曲面部位６１１２が相互間隔をあけ、かつ互いに連接する。第１曲面部位６１１１両端中心点の中心軸Ｃ３に沿う第１距離は、第２曲面部位６１１２両端中心点の中心軸Ｃ３に沿う第２距離Ｗ２より小さい。
【００３２】
第２筒状本体６５は、中心軸Ｃ４を具え、その外径が第１筒状本体６１より大きい。第２筒状本体６５は、第３剛性部位６６１と第２弾性部位６５１と第４剛性部位６６２とを有する。第２弾性部位６５１の両端が各々第３剛性部位６６１と第４剛性部位６６２に連接される。図１２と図１３に示すように、第２筒状本体６５の第４剛性部位６６２、第１筒状本体６１の第１剛性部位６２１及びピン３１のテール部位３１２は、プレスと溶接の工程を通じて一緒に固着されることで、固着部６９ａを形成する。第２弾性部位６５１は、中心軸Ｃ４を囲んで中心軸Ｃ４に沿って湾曲しながら延伸する。
【００３３】
実施例５のプローブ構造６０と前記実施例２のプローブ構造３０の主な相違点は、本実施例が互いに直結する第１筒状本体６１と第２筒状本体６５とを含み、かつ第１筒状本体６１の第１弾性部位６１１のばね定数が第２筒状本体６５の第２弾性部位６５１より大きく、例えば第１弾性部位６１１のばね定数が第２弾性部位６５１のばね定数の１０倍以上とすることができることである。本実施例のプローブ構造６０をテスター（組み立てを行う）に運用した時、第２筒状本体６５の第３剛性部位６６１が図１０に示すネッキングゾーン４１ｄに当接保持できる。
【００３４】
≪実施例６≫
図１５と図１６を参照すると、本発明の実施例６に係るプローブ構造を示す模式図（一）と模式図（二）であり、示されているプローブ構造７０は、第１筒状本体７１と第２筒状本体７５とを含む。本実施例の第１筒状本体７１は、中心軸Ｃ５を具え、第１筒状本体７１の一端から他端まで順次に第１剛性部位７２１、第１弾性部位７１１、第２剛性部位７２２、第２弾性部位７１２、及び第３剛性部位７２３に分けることができる。第１弾性部位７１１は、複数の第１曲面部位７１１１と複数の第２曲面部位７１１２とを含み、第１曲面部位７１１１と第２曲面部位７１１２が相互間隔をあけ、かつ頭尾が連接することで第１弾性部位７１１を共同で構成する。第１弾性部位７１１は、中心軸Ｃ５を囲んで中心軸Ｃ５に沿って湾曲しながら延伸する。第１剛性部位７２１の一端が第１弾性部位７１１の一端に連接し、他端が自由端となる。第２剛性部位７２２の両端が各々第１弾性部位７１１の他端及び第２弾性部位７１２の一端に連接する。第３剛性部位７２３の一端が第２弾性部位７１２の他端に連接し、第３剛性部位７２３の他端が自由端となる。第１曲面部位７１１１と第２曲面部位７１１２の特徴は、実施例１の第１曲面部位２１１１及び第２曲面部位２１１２と同じであるため、ここでその説明を省略する。
【００３５】
第２弾性部位７１２の巻き数が第１弾性部位７１１と異なり、本実施例は第２弾性部位７１２が第１弾性部位７１１より短いことを例にする。第２弾性部位７１２は、複数の第１曲面部位７１２１と複数の第２曲面部位７１２２とを含み、第１曲面部位７１２１と第２曲面部位７１２２が相互間隔をあけ、かつ頭尾が連接することで第２弾性部位７１２を共同で構成する。第２弾性部位７１２は、中心軸Ｃ５を囲んで中心軸Ｃ５に沿って湾曲しながら延伸し、本実施例の第２弾性部位７１２の構造と第１弾性部位７１１の構造が同じであり、その相違点は巻き数の多寡のみである。本実施例の別の態様は、第１弾性部位７１１と第２弾性部位７１２の二者のうちの１つが実施例１の第１弾性部位２１１と同一する設計で、もう１つが実施例１の第２弾性部位２１２と同一する設計である。
【００３６】
第２筒状本体７５は、中心軸Ｃ６を具え、その外径が第１筒状本体７１より大きく、第２筒状本体７５が第４剛性部位７６１と第３弾性部位７５１と第５剛性部位７６２とを有する。第２筒状本体７５の主な構造は、実施例５の第２筒状本体６５の主要構造と同じであるため、ここでその説明を省略する。
【００３７】
図１６に示す通り、第２筒状本体７５の第５剛性部位７６２と第１筒状本体７１の第２剛性部位７２２は、プレスと溶接の工程を通じて一緒に固着されることで固着部６９ｂを形成し、固着部６９ｂが第３弾性部位７５１と第２弾性部位７１２の間に位置する。本実施例のプローブ構造７０を更にテスターに運用した時、外径が比較的大きい第２筒状本体７５は、その第４剛性部位７６１を図１０に示すネッキングゾーン４１ｄに当接できる。更に図１と図２を参照すると、回路基板１５が第１筒状本体７１の第３剛性部位７２３の先端面と電気的に接続し、かつ第３弾性部位７５１を圧縮して、第３弾性部位７５１が死点或いは死点近接の状態まで圧縮される。プロービングの実施過程において、第１剛性部位７２１は測定対象物の半田パッド表面に直接加圧し、反作用力の作用において第１筒状本体７１の第１弾性部位７１１及び第２弾性部位７１２を圧縮させることができる。本実施例の第１弾性部位７１１が非死点の状態にあった時、プロービング信号は順次に第１曲面部位７１１１と第２曲面部位７１１２に沿って伝達されなければならない。第１弾性部位７１１が死点状態まで圧縮された時、隣り合う第１曲面部位７１１１が互いに密接するため、プロービング信号の伝達経路が非死点状態に比べて効果的に短縮でき、高周波信号のテストにとって明らかな助けとなる。
【００３８】
上記実施例において、筒状本体の製造方法は、リソグラフィープロセスの方法で形成され、弾性部位が露光と現像の方法で行うため、隣り合う２つの弾性部位間の隙間幅は、リソグラフィープロセスの条件によって決まる。リソグラフィープロセス条件が同じであるという前提のもと、隣り合う２つの弾性部位間の隙間幅は、実質的に同一である。これ以外に、本発明の全ての実施例で指す弾性部位は、シート状構造で構成され、従来のコイルばねとは異なる。
【００３９】
本発明は、必要なばね定数の設計の便をはかるため、筒状本体内の第１曲面部位と第２曲面部位を有する単一弾性部位、つまり上記実施例の弾性部位及び含まれる複数の第１曲面部位と複数の第２曲面部位に対して行う定義を調整することである。更に一歩進んで言うと、弾性部位は、上記実施例の第１弾性部位であり、若しくは弾性部位は第１曲面部位と第２曲面部位とを含む弾性部位をいう。
【００４０】
上述の説明は、単に本発明の最良の実施例を挙げたまでであり、本発明を限定しない。その他本発明の開示する要旨を逸脱することなく完成された同等効果の修飾または置換はいずれも後述の特許請求の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００４１】
１１                                      従来のプローブ構造
１２                                      ピン
１３                                      スプリングスリーブ
１３２                                    嵌合部位
１３８                                    弾性部位
１４                                      従来のプローブカード
１５                                      回路基板
１６                                      プローブ装置
１７                                      プローブホルダー
１８                                      隙間
２０、３０、５０、６０、７０              プローブ構造
２１、５１                                筒状本体
２Ａ                                      第１弾性部位の部分ゾーン
２Ｂ                                      第２弾性部位の部分ゾーン
２１１、６１１、７１１                    第１弾性部位
２１１１、６１１１、７１１１、７１２１    第１曲面部位
２１１２、６１１２、７１１２、７１２２    第２曲面部位
２１２、６５１、７１２                    第２弾性部位
２１２１                                  第３曲面部位
２１３、７５１                            第３弾性部位
２２１、６２１、７２１                    第１剛性部位
２２２、６２２、７２２                    第２剛性部位
２２３、６６１、７２３                    第３剛性部位
２９、６９、６９ａ、６９ｂ                固着部
３１                                      ピン
３１１                                    ヘッド部位
３１２                                    テール部位
４０                                      プローブ装置
４１                                      プローブホルダー
４１ａ                                    上部表面
４１ｂ                                    下部表面
４１ｃ                                    案内通路
４１ｄ                                    ネッキングゾーン
６１、７１                                第１筒状本体
６５、７５                                第２筒状本体
６６１                                    第３剛性部位
６６２、７６１                            第４剛性部位
７６２                                    第５剛性部位
Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３、Ｃ４、Ｃ５、Ｃ６        中心軸
Ｗ２                                      第２距離
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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