(57)【要約】【課題】装置の大型化を抑制することができるシート剥離装置を提供すること。【解決手段】シート剥離装置１０は、被着体ＷＦの一方の面に接着シートＡＳが貼付された積層物ＷＫと相対移動することで、接着シートＡＳの側部ＡＳ１に当接して当該接着シートＡＳが被着体ＷＦと共に移動することを抑制し、当該接着シートＡＳを被着体ＷＦから剥離する剥離手段２０を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着体の一方の面に接着シートが貼付された積層物と相対移動することで、前記接着シートの側部に当接して当該接着シートが前記被着体と共に移動することを抑制し、当該接着シートを前記被着体から剥離する剥離手段を備えていることを特徴とするシート剥離装置。
【請求項２】
前記剥離手段と前記接着シートの側部との位置合わせを行う位置合せ手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。
【請求項３】
前記剥離手段は、前記被着体と接着シートとの間に入り込む剥離補助手段を備えていることを特徴とする請求項１または２に記載のシート剥離装置。
【請求項４】
前記剥離手段は、剥離した前記接着シートを折り返すように誘導する折り返し誘導手段を備えていることを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載のシート剥離装置。
【請求項５】
前記剥離手段は、剥離した前記接着シートを巻回するように誘導する巻回誘導手段を備えていることを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載のシート剥離装置。
【請求項６】
前記剥離手段は、前記接着シートの剥離に伴う前記被着体の移動を規制する移動規制手段を備えていることを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載のシート剥離装置。
【請求項７】
被着体の一方の面に接着シートが貼付された積層物における当該接着シートの側部に剥離手段を当接させる当接工程と、
前記積層物と剥離手段とを相対移動させることで、前記接着シートが前記被着体と共に移動することを抑制し、当該接着シートを前記被着体から剥離する剥離工程とを含むことを特徴とするシート剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート剥離装置および剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被着体に貼付された接着シートをヒートシール等の剥離用テープを用いずに剥離するシート剥離装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−２０４３８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された従来のシート剥離装置では、接着シートを把持するクランプ手段（把持手段）を要するため、装置が大型化するという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、装置の大型化を抑制することができるシート剥離装置および剥離方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明のシート剥離装置は、被着体の一方の面に接着シートが貼付された積層物と相対移動することで、前記接着シートの側部に当接して当該接着シートが前記被着体と共に移動することを抑制し、当該接着シートを前記被着体から剥離する剥離手段を備えていることを特徴とする。
【０００７】
この際、本発明のシート剥離装置では、前記剥離手段と前記接着シートの側部との位置合わせを行う位置合せ手段を備えていることが好ましい。
また、本発明のシート剥離装置では、前記剥離手段は、前記被着体と接着シートとの間に入り込む剥離補助手段を備えていることが好ましい。
さらに、本発明のシート剥離装置では、前記剥離手段は、剥離した前記接着シートを折り返すように誘導する折り返し誘導手段を備えていることが好ましい。
また、本発明のシート剥離装置では、前記剥離手段は、剥離した前記接着シートを巻回するように誘導する巻回誘導手段を備えていることが好ましい。
さらに、本発明のシート剥離装置では、前記剥離手段は、前記接着シートの剥離に伴う前記被着体の移動を規制する移動規制手段を備えていることが好ましい。
【０００８】
一方、本発明のシート剥離方法は、被着体の一方の面に接着シートが貼付された積層物における当該接着シートの側部に剥離手段を当接させる当接工程と、前記積層物と剥離手段とを相対移動させることで、前記接着シートが前記被着体と共に移動することを抑制し、当該接着シートを前記被着体から剥離する剥離工程とを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、接着シートを把持する把持手段が不要となるため、装置の大型化を抑制することができる。
【００１０】
この際、位置合せ手段を備えれば、剥離手段を接着シートの側部に確実に当接させて、被着体から接着シートを剥離することができる。
また、剥離手段が剥離補助手段を備えれば、被着体から接着シートを確実に剥離することができる。
さらに、剥離手段が折り返し誘導手段を備えれば、剥離した接着シートを綺麗に剥離してそれらがかさばることを防止することができる。
また、剥離手段が巻回誘導手段を備えれば、剥離した接着シートを綺麗にしかも小型化して回収することができる。
さらに、剥離手段が移動規制手段を備えれば、被着体が接着シートの剥離に伴って移動し破損することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート剥離装置の側面図。
【図２】（Ａ）〜（Ｃ）は、シート剥離装置の動作説明図。
【図３】（Ａ）〜（Ｅ）は、シート剥離装置の変形例を示す側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１３】
図１において、シート剥離装置１０は、被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）ＷＦの一方の面（上面）に接着シートＡＳが貼付された積層物としてのシート付ウエハＷＫと相対移動することで、接着シートＡＳの側部ＡＳ１に当接して当該接着シートＡＳがウエハＷＦと共に移動することを抑制し、当該接着シートＡＳをウエハＷＦから剥離する剥離手段２０と、剥離手段２０と接着シートＡＳの側部ＡＳ１との位置合わせを行う位置合せ手段３０と、ウエハＷＦからの接着シートＡＳの剥離を促進させる剥離促進手段としての超音波振動装置４０とを備え、シート付ウエハＷＫを搬送する搬送手段５０の上方に配置されている。
【００１４】
剥離手段２０は、前後方向の長さがウエハＷＦの前後方向の最大長さよりも長く設定された棒状の剥離部材２１を備え、当該剥離部材２１の左下の角部を左斜め下方向に尖らせることで先鋭部２１Ａが形成され、当該先鋭部２１ＡがウエハＷＦと接着シートＡＳとの間に入り込む剥離補助手段として機能するようになっている。
【００１５】
位置合せ手段３０は、駆動機器としての直動モータ３１の出力軸３１Ａに支持され、ウエハＷＦの上面の位置を検知可能なカメラ等の撮像手段や光学センサ等の検知手段３２と、その出力軸３３Ａで超音波振動装置４０を介して剥離部材２１を支持し、検知手段３２の検知結果を基にして先鋭部２１Ａの先端部２１ＢをウエハＷＦの上方所定位置に移動させる駆動機器としての直動モータ３３とを備えている。
【００１６】
搬送手段５０は、駆動機器としてのリニアモータ５１のスライダ５１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段で吸着保持が可能な支持面５２Ａを有するテーブル５２を備えている。
【００１７】
以上のシート剥離装置１０において、ウエハＷＦに貼付された接着シートＡＳを剥離する手順を説明する。
先ず、各部材が初期位置で待機する図１中実線で示すシート剥離装置１０に対し、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力する。そして、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない移送手段によって、接着シートＡＳが上方となる状態でシート付ウエハＷＫが支持面５２Ａ上に載置されると、搬送手段５０が図示しない減圧手段を駆動し、シート付ウエハＷＫの吸着保持を開始する。その後、位置合せ手段３０が直動モータ３１を駆動し、図１中二点鎖線で示すように、検知手段３２を昇降させてウエハＷＦの上面の位置を検知した後、直動モータ３３を駆動し、先端部２１ＢがウエハＷＦの上方所定位置となるように、剥離部材２１を移動させる。なお、本実施形態の場合、１００μｍの厚みを有する接着シートＡＳが採用されているので、先端部２１Ｂを配置させるウエハＷＦの上方所定位置は、ウエハＷＦの上面から０．０５ｍｍ上方の位置となっている。
【００１８】
そして、搬送手段５０がリニアモータ５１を駆動し、テーブル５２を右方向に移動させると、図２（Ａ）に示すように、接着シートＡＳの側部ＡＳ１が先端部２１Ｂに当接する。このときから、剥離促進手段が超音波振動装置４０を駆動し、ウエハＷＦからの接着シートＡＳの剥離を促進させるとよい。その後もテーブル５２の右方向への移動が続行されると、接着シートＡＳは、図２（Ｂ）に示すように、ウエハＷＦと共に移動することが抑制され、徐々にウエハＷＦから剥離される。
【００１９】
その後、図２（Ｃ）に示すように、ウエハＷＦから接着シートＡＳ全体が剥離されると、当該剥離された接着シートＡＳは、テーブル５２の下方に配置された図示しない回収箱や回収袋等の回収手段内に落下して回収される。次いで、接着シートＡＳが剥離されたウエハＷＦの左端が剥離部材２１の右端を通り過ぎて所定位置に到達すると、搬送手段５０がリニアモータ５１および図示しない減圧手段の駆動を停止する。その後、人手または図示しない移送手段がテーブル５２上のウエハＷＦを保持して次工程に搬送した後、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、以降同様の動作が繰り返される。
【００２０】
以上のような実施形態によれば、接着シートＡＳを把持する把持手段が不要となるため、装置の大型化を抑制することができる。
【００２１】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、剥離手段は、被着体の一方の面に接着シートが貼付された積層物と相対移動することで、接着シートの側部に当接して当該接着シートが被着体と共に移動することを抑制し、当該接着シートを被着体から剥離可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
【００２２】
剥離手段２０は、接着シートＡＳの剥離に伴うウエハＷＦの移動を規制する移動規制手段を備えてもよい。このような移動規制手段は、図３（Ａ）に示すように、剥離部材２１の下面側もしくは右下側に位置する押えローラ２２を設けたり、剥離部材２１の下面側から空気やガス等の気体、水や混合液等の液体、ジェル状物等をウエハＷＦに向けて吹き付けたりする構成を採用することができ、これにより、ウエハＷＦが接着シートＡＳの剥離に伴って移動して破損することを防止することができる。なお、押えローラ２２は、その表面がゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成されてもよいし、金属や陶器等の弾性変形しない部材で構成されてもよいし、駆動機器で回転するように構成されてもよい。
剥離部材２１は、前後方向の長さがウエハＷＦの前後方向の最大長さよりも短くてもよいし、ウエハＷＦの前後方向の最大長さと同じ長さでもよいし、金属、ゴム、樹脂、陶器、ガラス等の材質のもので構成されてもよいし、先鋭部２１Ａとその他の部分とが別々の材質のもので構成されてもよいし、同じ材質のもので構成されてもよいし、先鋭部２１Ａとその他の部分とが一体的に構成されてもよいし、一体的に構成されなくてもよいし、図３（Ｂ）に示すように、先鋭部２１Ａがなくてもよいし、その下面は、図１に示すように、ウエハＷＦの上面に対して平行でなくてもよいし、図３（Ｂ）に示すように、ウエハＷＦの上面に対して平行であってもよい。
剥離部材２１は、図３（Ｃ）に示すように、剥離した接着シートＡＳを折り返すように誘導することで、接着シートＡＳを綺麗に剥離してそれらがかさばることを防止することができる折り返し誘導手段２３として、剥離部材２１に凹部２３Ａを形成してもよい。なお、折り返し誘導手段２３は、剥離した接着シートＡＳを折り返すことができればよく、例えば、剥離部材２１から大気やガス等の気体を吹き付けて剥離した接着シートＡＳを折り返すようにしてもよい。
剥離部材２１は、図３（Ｄ）に示すように、剥離した接着シートＡＳを巻回するように誘導することで、剥離した接着シートＡＳを綺麗にしかも小型化して回収することができる巻回誘導手段２４として、剥離部材２１に形成した凹部２４Ａと、剥離部材２１に支持された支点２４Ｂを中心に、自動または手動で回動可能な巻回誘導部材２４Ｃとを設けてもよい。なお、巻回誘導部材２４Ｃは、剥離部材２１に対して不動としてもよいが、剥離部材２１に対して回動可能としたり、剥離部材２１に対して取外し可能としたりすることで巻回した接着シートＡＳを取り出しやすくすることができる。なお、凹部２３Ａ、２４Ａや、当該凹部２４Ａに続く巻回誘導部材２４Ｃの内面は、剥離した接着シートＡＳを折り返しまたは、巻回することができればどんな形状またはどんな構成でもよく、例えば、真円の円弧状でもよいし、楕円の円弧状でもよいし、多角形状でもよい。また、接着シートＡＳの接着面が接する先鋭部２１Ａの上面や、凹部２３Ａ、２４Ａや、当該凹部２４Ａに続く巻回誘導部材２４Ｃの内面は、シリコン樹脂やフッ素樹脂等を積層したり塗布したりすることで、不接着処理を施し、接着シートＡＳの接着面が滑り易くしてもよいし、ローラやエアの吹き付け等で接着シートＡＳを送り易くしてもよい。さらに、折り返し誘導手段２３は、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等によっては、図３（Ｄ）で示した剥離シートのように、巻回されるように誘導される場合がある。
【００２３】
位置合せ手段３０は、剥離手段２０を固定しておき、シート付ウエハＷＫを移動させて位置合わせを行ってもよいし、剥離手段２０とシート付ウエハＷＫとの両方を移動させて位置合わせを行ってもよいし、先端部２１Ｂを配置させるウエハＷＦの上方所定位置を当該先端部２１ＢがウエハＷＦに接触する位置としてもよいし、接着シートＡＳの厚み以下であれば、ウエハＷＦの上面から０．０５ｍｍ未満の上方としてもよいし、０．０５ｍｍ以上の上方としてもよいし、ウエハＷＦの上面の位置が一定等の場合、あってもよいし、なくてもよいし、直動モータ３１および３３は、それぞれ単数でもよいし複数でもよい。
検知手段３２は、接着シートＡＳの下面の位置やウエハＷＦと接着シートＡＳとの境界位置を検出するものでもよいし、リミットスイッチ等の接触型センサ、音波（超音波）センサ、圧力センサ、磁気センサ等のセンサであってもよいし、シート付ウエハＷＫの上方、下方、前方、後方、左方および右方さらには、それら方向の成分を含むその他の位置等からウエハＷＦの上面の位置を検出するようにしてもよい。
【００２４】
剥離促進手段は、偏芯モータやバイブレータ等の振動手段、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段、ペルチェ素子やヒートパイプの冷却側等の冷却手段等、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等に応じてウエハＷＦからの接着シートＡＳの剥離を促進させるものであれば何でもよいし、剥離部材２１の内部に設けてもよいし、なくてもよい。なお、振動手段の振動方向は、上下方向、左右方向、前後方向さらには、それら方向の成分を含むその他の直線方向や回転方向であってもよいし、振幅や振動数は、任意に決定することができる。
剥離促進手段は、接着シートＡＳの側部ＡＳ１が先端部２１Ｂに当接する前の段階、当接した段階、当接した後の段階のうちのいずれかの段階から超音波振動装置４０等を駆動してもよいし、図３（Ｅ）に示すように、ウエハＷＦと接着シートＡＳとの間に空気やガス等の気体、水や混合液等の液体、ジェル状物等を吹き付ける吹付け手段４１を採用してもよいし、接着シートＡＳの側部ＡＳ１が先端部２１Ｂに当接する前の段階、当接した段階、当接した後の段階のうちのいずれかの段階で、先端部２１ＢからウエハＷＦと接着シートＡＳとの間に空気やガス等の気体、水や混合液等の液体、ジェル状物等を吹き付ける図示しない吹付け促進手段を採用してもよい。
【００２５】
搬送手段５０は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等でウエハＷＦを支持する構成でもよいし、テーブル５２を移動させることなく剥離手段２０を移動させてもよいし、テーブル５２と剥離手段２０との両方を移動させてもよいし、シート剥離装置１０に対し、他の装置でシート付ウエハＷＫを移動させる場合、なくてもよい。
【００２６】
シート剥離装置１０は、天地反転して配置したり横置きに配置したりして、シート付ウエハＷＫの下面や側面等に貼付された接着シートＡＳを剥離するように構成してもよいし、剥離手段２０で接着シートＡＳを剥離する前段に、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等に応じ、紫外線や赤外線等の電磁波照射手段、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段、ペルチェ素子やヒートパイプの冷却側等の冷却手段、乾燥機、送風機、プラズマ照射機等、接着シートＡＳの接着力を低下させる接着力低下手段を設けてもよい。このような接着力低下手段は、接着シートＡＳの接着力を一括で低下するように構成してもよいし、接着シートＡＳの接着力が部分的に低下するように構成し、シート付ウエハＷＫとの相対移動で当該接着シートＡＳ全体の接着力が低下するように構成してもよい。
【００２７】
本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよいし、その厚みが１００μｍ以上でもよいし、１００μｍ未満でもよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。従って、本発明における積層物は、シート付ウエハＷＫ以外であっても、一方の面に接着シートＡＳが貼付されたものであれば何ら限定されることはない。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００２８】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００２９】
１０…シート剥離装置
２０…剥離手段
２１Ａ…先鋭部（剥離補助手段）
２２…押えローラ（移動規制手段）
２３…折り返し誘導手段
２４…巻回誘導手段
３０…位置合せ手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳ１…側部
ＷＦ…ウエハ（被着体）
ＷＫ…シート付ウエハ（積層物）
【図１】
2017135319.tif 000003
【図２】
2017135319.tif 000004
【図３】
2017135319.tif 000005