(57)【要約】【課題】可動部の下端を基準面上で転がしながら可動部を回転させる偏向器において、可動部の迎角が予期せぬ変動をしてしまうことを抑制することが可能な技術を提供する。【解決手段】本明細書が開示する偏向器は、下側基準面を有する下側基部と、上側基準面を有する上側基部と、下側基準面と上側基準面の間に配置されており、下端が磁気吸着力によって下側基準面と接触し、上端が磁気吸着力によって上側基準面と接触する可動部と、可動部に設けられた反射部と、可動部の下端を下側基準面上で転がし、かつ可動部の上端を上側基準面上で転がしながら、可動部を回転させる駆動部を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
下側基準面を有する下側基部と、
上側基準面を有する上側基部と、
下側基準面と上側基準面の間に配置されており、下端が磁気吸着力によって下側基準面と接触し、上端が磁気吸着力によって上側基準面と接触する可動部と、
可動部に設けられた反射部と、
可動部の下端を下側基準面上で転がし、かつ可動部の上端を上側基準面上で転がしながら、可動部を回転させる駆動部を備える偏向器。
【請求項２】
可動部が磁性体を備えており、
上側基部および下側基部の一方が永久磁石を備えている、請求項１の偏向器。
【請求項３】
上側基部および下側基部の他方が別の永久磁石を備えている、請求項２の偏向器。
【請求項４】
可動部が二軸線対称形状の平板である、請求項１から３の何れか一項の偏向器。
【請求項５】
可動部が楕円形状の平板である、請求項４の偏向器。
【請求項６】
反射部が可動部の両面に設けられている、請求項１から５の何れか一項の偏向器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書は、偏向器に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に、偏向器が開示されている。この偏向器は、基準面と、基準面から上方にオフセットした支持点を有する基部と、支持点に載置された可動部と、可動部に設けられた反射部と、可動部の下端を基準面上で転がしながら可動部を回転させる駆動部を備えている。この偏向器では、駆動部によって可動部を回転させることで、反射角度を任意の方向に調整することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−２４６３８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
図１２は、上記のような基部１０２と、可動部１０４を備える偏向器１００において、可動部１０４の下端を基部１０２の基準面Ｐ上で転がしながら可動部１０４を回転させるときの様子を示している。この場合、可動部１０４の重心Ｇには、支持点Ｓからのオフセット量ｄに応じた大きさの遠心力Ｆが作用し、図１３に示すように、可動部１０４が支持点Ｓに対してずれてしまい、可動部１０４の重心Ｇのオフセット量ｄ’は増加する。このように可動部１０４が支持点Ｓに対してずれた状態では、可動部１０４の迎角φ’は、設計上想定している迎角φとは異なるものとなってしまう。
【０００５】
また、上記した遠心力Ｆ以外にも、可動部１０４の下端を基準面Ｐ上で転がしながら可動部１０４を回転させている時に、外部からの力やモーメントが偏向器１００に作用して、可動部１０４が支持点Ｓに対してずれた状態で可動部１０４が回転してしまうことがある。この場合も、可動部１０４の迎角φ’が設計上想定している迎角φとは異なるものとなってしまう。
【０００６】
本明細書は上記課題を解決する技術を提供する。本明細書では、可動部の下端を基準面上で転がしながら可動部を回転させる偏向器において、可動部の迎角が予期せぬ変動をしてしまうことを抑制することが可能な技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本明細書が開示する偏向器は、下側基準面を有する下側基部と、上側基準面を有する上側基部と、下側基準面と上側基準面の間に配置されており、下端が磁気吸着力によって下側基準面と接触し、上端が磁気吸着力によって上側基準面と接触する可動部と、可動部に設けられた反射部と、可動部の下端を下側基準面上で転がし、かつ可動部の上端を上側基準面上で転がしながら、可動部を回転させる駆動部を備えている。
【０００８】
上記の偏向器では、可動部の下端が磁気吸着力によって下側基準面に接触し、かつ可動部の上端が磁気吸着力によって上側基準面に接触した状態で、可動部を回転させる。従って、可動部を回転させているときに、遠心力や外乱が作用した場合でも、可動部の下端が下側基準面に接触し、かつ可動部の上端が上側基準面に接触した状態が維持される。この場合、可動部の迎角は、下側基準面と上側基準面の間隔と、可動部の下端と下側基準面の接触点から可動部の上端と上側基準面の接触点までの距離によって、幾何学的に一意に定まる。従って、可動部の迎角が予期せぬ変動をしてしまうことを抑制することができる。なお、ここでいう迎角とは、可動部の基準面（例えば反射部の反射面）が下側基部の下側基準面となす角度をいう。
【０００９】
上記の偏向器は、可動部が磁性体を備えており、上側基部および下側基部の一方が永久磁石を備えているように構成することができる。
【００１０】
上記の偏向器によれば、簡素な構成によって、可動部の上端と上側基準面の間または可動部の下端と下側基準面の間を、磁気吸着力によって接触させることができる。
【００１１】
上記の偏向器は、上側基部および下側基部の他方が別の永久磁石を備えているように構成することができる。
【００１２】
上記の偏向器によれば、簡素な構成によって、可動部の上端と上側基準面の間および可動部の下端と下側基準面の間を、磁気吸着力によって接触させることができる。
【００１３】
上記の偏向器は、可動部が二軸線対称形状の平板であるように構成することができる。
【００１４】
上記の偏向器によれば、可動部を回転させる際に、可動部の重心と回転中心を一致させることができるので、可動部に遠心力が作用して可動部が移動してしまうことを抑制することができる。
【００１５】
上記の偏向器は、可動部が楕円形状の平板であるように構成することができる。
【００１６】
上記の偏向器では、可動部の回転に伴い可動部の迎角が変化する。上記の偏向器では、楕円形状の長径方向の両端部が下側基準面および上側基準面と接触しているときに、可動部の迎角が最も小さくなり、楕円形状の短径方向の両端部が下側基準面および上側基準面と接触しているときに、可動部の迎角が最も大きくなる。また、上記の偏向器によれば、可動部が１周回転するごとに、同一の方位角に対して異なる迎角が実現される。従って、上記の偏向器によれば、経度方向と緯度方向の２方向にスキャンすることができる。なお、ここでいう方位角とは、下側基準面において基準線となす角度のことをいい、経度方向とは、方位角が増加する方向をいう。また、ここでいう緯度方向とは、迎角が増加する方向をいう。
【００１７】
上記の偏向器は、反射部が可動部の両面に設けられているように構成することができる。
【００１８】
上記の偏向器によれば、２つの反射部それぞれで別個に光を反射することができるので、２倍の解像度またはフレームレートでのスキャンを行なうことができる。
【発明の効果】
【００１９】
本明細書が開示する技術によれば、可動部の下端を基準面上で転がしながら可動部を回転させる偏向器において、可動部の迎角が予期せぬ変動をしてしまうことを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】実施例１に係る偏向器２の外観を示す斜視図である。
【図２】実施例１に係る偏向器２の縦断面図である。
【図３】実施例１に係る偏向器２の下側基部４の平面図である。
【図４】実施例１の変形例に係る偏向器２の可動部８の平面図である。
【図５】実施例１の別の変形例に係る偏向器２の可動部８の平面図である。
【図６】実施例１のさらに別の変形例に係る偏向器２の可動部８の平面図である。
【図７】実施例１のさらに別の変形例に係る偏向器２の縦断面図である。
【図８】実施例１のさらに別の変形例に係る偏向器２の縦断面図である。
【図９】実施例１のさらに別の変形例に係る偏向器２の縦断面図である。
【図１０】実施例１のさらに別の変形例に係る偏向器２の縦断面図である。
【図１１】実施例２に係る偏向器５２の縦断面図である。
【図１２】従来技術に係る偏向器１００の側面図である。
【図１３】従来技術に係る偏向器１００において可動部１０４が支持点Ｓに対してずれた状態の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
（実施例１）
図１は本実施例の偏向器２を示している。偏向器２は、下側基部４と、上側基部６と、可動部８と、駆動部１０（図２参照）を備えている。
【００２２】
図２に示すように、下側基部４は、支持基板１２と、支持層１４と、表面基板１６を備えている。支持基板１２は、例えばシリコンウェハから形成されている。支持基板１２の上面には、支持層１４が接合されている。支持層１４は、例えばシリコンウェハから形成されている。支持層１４には、駆動部１０を収容する収容孔１４ａが形成されている。支持層１４の上面には、表面基板１６が接合されている。表面基板１６は、例えばアクリルなどの非磁性体から形成されている。以下では表面基板１６の上面を、下側基準面Ｐ１ともいう。以下では、下側基準面Ｐ１内において互いに直交する方向をＸ方向およびＹ方向といい、下側基準面Ｐ１に対して直交する方向をＺ方向という。
【００２３】
上側基部６は、永久磁石１８を備えている。永久磁石１８は、例えばネオジム磁石である。以下では永久磁石１８の下面を、上側基準面Ｐ２ともいう。永久磁石１８は、上側基準面Ｐ２が下側基部４の下側基準面Ｐ１と互いに平行に向き合うように、配置されている。永久磁石１８は、その磁力の極性の向きがＺ方向に沿う方向となるように形成されている。永久磁石１８の中央部分には、上側基部６より上方に配置された光源（図示せず）から照射される入射光Ｌ（図２参照）が通過する開口１８ａが形成されている。
【００２４】
可動部８は、円形の平板形状に形成された反射板２０を備えている。反射板２０は、磁性体から形成されている。反射板２０は、下側基部４の下側基準面Ｐ１と上側基部６の上側基準面Ｐ２の間に配置されている。反射板２０を下側基準面Ｐ１と上側基準面Ｐ２の間に配置すると、磁性体である反射板２０に永久磁石１８に向けた磁気吸着力が作用し、反射板２０の上端が上側基準面Ｐ２に接触する。また、後述する駆動部１０によって、磁性体である反射板２０に下側基部４に向けた磁気吸着力が作用し、反射板２０の下端が下側基準面Ｐ１に接触する。反射板２０の上面（上側基部６と対向する側の面）には、入射光Ｌを反射する反射膜２０ａが形成されている。反射膜２０ａは、例えばＡｌ等の蒸着膜である。
【００２５】
図３に示すように、駆動部１０は、６つの電磁石２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ、２２ｅ、２２ｆを備えている。電磁石２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ、２２ｅ、２２ｆは、いずれも、下側基部４の収容孔１４ａ内に収容されている。電磁石２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ、２２ｅ、２２ｆは、下側基部４をＺ方向から平面視したときに、円の円周を６等分する位置に配置されている。電磁石２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ、２２ｅ、２２ｆは、その磁力の極性の向きが、Ｚ方向に沿う方向となるように配置されている。電磁石２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ、２２ｅ、２２ｆによる磁力の発生は、制御装置（図示せず）によって個別に制御可能である。
【００２６】
例えば、駆動部１０の１つの電磁石２２ａに磁力を発生させると、磁性体である反射板２０に電磁石２２ａに向けた磁気吸着力が作用し、反射板２０の下端が電磁石２２ａの近傍の下側基準面Ｐ１に接触する。この際の偏向器２の反射角度は、下側基部４から見た下側基準面Ｐ１における反射板２０の接触点の方位角θ（図３参照）と、反射板２０の反射面の迎角φ（図２参照）により規定される。
【００２７】
次いで、電磁石２２ａでの磁力の発生を停止し、電磁石２２ａの隣に配置された電磁石２２ｂに磁力を発生させると、反射板２０に電磁石２２ｂに向けた磁気吸着力が作用する。これによって、反射板２０の下端が下側基準面Ｐ１上で転がり、かつ反射板２０の上端が上側基準面Ｐ２上で転がりながら、反射板２０が回転し、反射板２０の下端が電磁石２２ｂの近傍の下側基準面Ｐ１に接触する状態に移行する。この際の偏向器２の反射角度は、下側基部４から見た下側基準面Ｐ１における反射板２０の接触点の方位角θと、反射板２０の反射面の迎角φにより規定される。このように、磁力を発生させる電磁石２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ、２２ｅ、２２ｆを順に切り替えていくことで、反射板２０は、下端が下側基準面Ｐ１上で転がり、かつ上端が上側基準面Ｐ２上で転がりながら、回転し続ける。これによって、偏向器２の反射角度が変化し続ける。
【００２８】
本実施例の偏向器２では、反射板２０の下端が磁気吸着力によって下側基準面Ｐ１と接触し、反射板２０の上端が磁気吸着力によって上側基準面Ｐ２と接触した状態で、反射板２０が回転する。従って、反射板２０を回転させているときに、遠心力や外乱が作用した場合でも、反射板２０の下端が下側基準面Ｐ１に接触し、かつ反射板２０の上端が上側基準面Ｐ２に接触した状態が維持される。この場合、反射板２０の迎角φは、下側基準面Ｐ１と上側基準面Ｐ２の間隔と、反射板２０の下端と下側基準面Ｐ１の接触点から反射板２０の上端と上側基準面Ｐ２の接触点までの距離によって、幾何学的に一意に定まる。従って、反射板２０の迎角φが予期せぬ変動をしてしまうことを抑制することができる。
【００２９】
なお、反射板２０の形状は、円形の平板形状に限られるものではない。例えば、図４に示すように、反射板２０を楕円形の平板形状としてもよい。反射板２０を楕円形の平板形状とした場合、反射板２０の回転に伴い反射板２０の迎角φが変化する。楕円形状の長径方向の両端部が下側基準面Ｐ１および上側基準面Ｐ２と接触しているときに、反射板２０の迎角φは最も小さくなり、楕円形状の短径方向の両端部が下側基準面Ｐ１および上側基準面Ｐ２と接触しているときに、反射板２０の迎角φは最も大きくなる。また、反射板２０を楕円形の平板形状とした場合、反射板２０が１周回転するごとに、同一の方位角θに対して異なる迎角φが実現される。反射板２０を楕円形の平板形状とすることで、経度方向と緯度方向の２方向にスキャンすることができる。
【００３０】
なお、反射板２０を、上記した円形状や楕円形状といった、二軸線対称形状とした場合には、反射板２０を回転させる際に反射板２０の重心と回転中心を一致させることができるので、反射板２０に遠心力が作用して反射板２０が移動してしまうことを抑制することができる。
【００３１】
あるいは、図５に示すように、反射板２０を多角形の平板形状とすることもできる。あるいは、図６に示すように、反射板２０をルーローの多角形の平板形状とすることもできる。あるいは、図示はしていないが、反射板２０をハート型や星型などの平板形状とすることもできる。
【００３２】
図７や図８に示すように、偏向器２に、脱離防止ストッパ２４，２６を設けてもよい。図７に示す例では、下側基部４に脱離防止ストッパ２４が設けられている。脱離防止ストッパ２４は、下側基準面Ｐ１の中央近傍から上方に突出する樹脂等の弾性部材からなる棒状部材である。反射板２０の下端が磁気吸着力によって下側基準面Ｐ１と接触し、反射板２０の上端が磁気吸着力によって上側基準面Ｐ２と接触した状態で、反射板２０が回転する場合には、脱離防止ストッパ２４は反射板２０と接触することがない。外乱等の作用によって、反射板２０の上端が上側基準面Ｐ２から脱離した場合には、反射板２０が脱離防止ストッパ２４の上端と衝突して、脱離防止ストッパ２４の弾性反力によって反射板２０の上端が再び上側基準面Ｐ２と接触する。このような構成とすることによって、反射板２０の上端が上側基準面Ｐ２からの脱離を抑制することができる。
【００３３】
図８に示す例では、上側基部６に脱離防止ストッパ２６が設けられている。脱離防止ストッパ２６は、上側基準面Ｐ２の中央近傍から下方に突出する樹脂等の弾性部材からなる部材であって、上側基準面Ｐ２の中央に中心軸を有する円筒状の部材である。反射板２０の下端が磁気吸着力によって下側基準面Ｐ１と接触し、反射板２０の上端が磁気吸着力によって上側基準面Ｐ２と接触した状態で、反射板２０が回転する場合には、脱離防止ストッパ２６は反射板２０と接触することがない。外乱等の作用によって、反射板２０の下端が下側基準面Ｐ１から脱離した場合には、反射板２０が脱離防止ストッパ２６の下端と衝突して、脱離防止ストッパ２６の弾性反力によって反射板２０の下端が再び下側基準面Ｐ１と接触する。このような構成とすることによって、反射板２０の下端が下側基準面Ｐ１からの脱離を抑制することができる。
【００３４】
図９や図１０に示すように、偏向器２に、スライド防止ストッパ２８，３０を設けてもよい。図９に示す例では、スライド防止ストッパ２８は下側ストッパ２８ａおよび上側ストッパ２８ｂを備えている。下側ストッパ２８ａおよび上側ストッパ２８ｂは、例えば樹脂等の弾性部材からなる。下側ストッパ２８ａは、下側基部４において下側基準面Ｐ１の周囲を囲うように設けられており、下側基準面Ｐ１から上方に突出するように配置されている。上側ストッパ２８ｂは、上側基部６において上側基準面Ｐ２の周囲を囲うように設けられており、上側基準面Ｐ２から下方に突出するように配置されている。下側ストッパ２８ａは、反射板２０の下端が下側基準面Ｐ１上で下側ストッパ２８ａを超えて外側に移動することを防止する。上側ストッパ２８ｂは、反射板２０の上端が上側基準面Ｐ２上で上側ストッパ２８ｂを超えて外側に移動することを防止する。このような構成とすることによって、外乱等の作用によって反射板２０が外側にスライドして、下側基部４および上側基部６からの吸着力や、駆動部１０からの駆動力が作用しない領域に反射板２０が移動してしまうことを防止することができる。
【００３５】
図１０に示す例では、スライド防止ストッパ３０は、下側基部４から上側基部６まで至る円筒形状の部材であって、下側基準面Ｐ１および上側基準面Ｐ２の周囲を囲うように設けられている。スライド防止ストッパ３０は、例えばガラスやゲルマニウム等の、透明な材料によって構成されている。スライド防止ストッパ３０が透明なので、反射板２０により反射された光はスライド防止ストッパ３０を透過する。このような構成とすることによっても、外乱等の作用によって反射板２０が外側にスライドして、下側基部４および上側基部６からの吸着力や、駆動部１０からの駆動力が作用しない領域に反射板２０が移動してしまうことを防止することができる。
【００３６】
（実施例２）
図１１は本実施例の偏向器５２の構成を示している。本実施例の偏向器５２は、実施例１の偏向器２とほぼ同様の構成を備えている。以下では、本実施例の偏向器５２について、実施例１の偏向器２と相違する点のみについて説明する。
【００３７】
本実施例の偏向器５２では、下側基部４が、表面基板１６の代わりに、永久磁石５４を備えている。本実施例では、永久磁石５４の上面が、下側基準面Ｐ１を構成する。永久磁石５４は、例えばネオジム磁石である。永久磁石５４は、その磁力の極性の向きがＺ方向に沿う方向となるように形成されている。
【００３８】
また、本実施例では、下側基部４において、支持基板１２の中央部分に開口１２ａが形成されており、支持層１４の中央部分に開口１４ｂが形成されており、永久磁石５４の中央部分に開口５４ａが形成されている。また、反射板２０の下面（下側基部４と対向する側の面）には、反射膜２０ｂが形成されている。反射膜２０ｂは、例えばＡｌ等の蒸着膜である。すなわち、本実施例の偏向器５２では、反射板２０の両面に反射膜２０ａ，２０ｂがそれぞれ形成されている。
【００３９】
本実施例の偏向器５２において、反射板２０を下側基準面Ｐ１と上側基準面Ｐ２の間に配置すると、磁性体である反射板２０に永久磁石１８に向けた磁気吸着力が作用し、反射板２０の周縁が上側基準面Ｐ２に接触するとともに、磁性体である反射板２０に永久磁石５４に向けた磁気吸着力が作用し、反射板２０の下端が下側基準面Ｐ１に接触する。
【００４０】
この状態から、駆動部１０の１つの電磁石２２ａに磁力を発生させると、磁性体である反射板２０に、永久磁石５４に向けた磁気吸着力に重畳して、電磁石２２ａに向けた磁気吸着力が作用する。これによって、反射板２０の下端が下側基準面Ｐ１上で転がり、かつ反射板２０の上端が上側基準面Ｐ２上で転がりながら、反射板２０が回転し、反射板２０の下端が電磁石２２ａの近傍の下側基準面Ｐ１に接触する状態に移行する。磁力を発生させる電磁石２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ、２２ｅ、２２ｆを順に切り替えていくことで、反射板２０は、下端を下側基準面Ｐ１上で転がし、かつ上端を上側基準面Ｐ２上で転がしながら、回転し続ける。
【００４１】
本実施例の偏向器５２では、反射板２０の上端が永久磁石１８に向けた磁気吸着力によって上側基準面Ｐ２に接触しているとともに、反射板２０の下端が永久磁石５４に向けた磁気吸着力によって下側基準面Ｐ１に接触している。このような構成とすることによって、反射板２０の下端が下側基準面Ｐ１に接触し、かつ反射板２０の上端が上側基準面Ｐ２に接触した状態を確実に維持することができる。反射板２０が下側基準面Ｐ１および上側基準面Ｐ２から脱離してしまうことを抑制することができる。
【００４２】
本実施例の偏向器５２では、反射板２０の上面に反射膜２０ａが形成され、反射板２０の下面に反射膜２０ｂが形成されている。このような構成とすることによって、上側基部６より上方に配置された光源（図示せず）から照射される入射光Ｌ１を反射するとともに、下側基部４より下方に配置された光源（図示せず）から照射される入射光Ｌ２を反射することができる。これによって、２倍の解像度またはフレームレートでのスキャンを行なうことができる。
【００４３】
上記の実施例では、駆動部１０が、磁力を利用して可動部８を回転させる構成について説明したが、駆動部１０は、上記以外にも様々な形態のものを用いることができる。例えば、可動部８の内部に電極を形成し、下側基部４または上側基部６に所定のパターンで電極を複数配置し、可動部８の電極と下側基部４または上側基部６の電極の間に選択的に電圧を印加することで、静電力を利用した駆動部１０を実現することができる。
【００４４】
上記の実施例では、反射板２０の全体が磁性体から形成されている構成について説明した。これとは異なり、反射板２０の周縁近傍のみが磁性体から形成されており、中央近傍が非磁性体から形成されている構成としてもよい。
【００４５】
以上、本発明の実施例について詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
【００４６】
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時の請求項に記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【符号の説明】
【００４７】
２：偏向器；    ４：下側基部；    ６：上側基部；    ８：可動部；    １０：駆動部；    １２：支持基板；    １２ａ：開口；    １４：支持層；    １４ａ：収容孔；    １４ｂ：開口；    １６：表面基板；    １８：永久磁石；    １８ａ：開口；    ２０：反射板；    ２０ａ：反射膜；    ２０ｂ：反射膜；    ２２ａ：電磁石；    ２２ｂ：電磁石；    ２２ｃ：電磁石；    ２２ｄ：電磁石；    ２２ｅ：電磁石；    ２２ｆ：電磁石；    ２４：脱離防止ストッパ；    ２６：脱離防止ストッパ；    ２８：スライド防止ストッパ；    ２８ａ：下側ストッパ；    ２８ｂ：上側ストッパ；    ３０：スライド防止ストッパ；    ５２：偏向器；    ５４：永久磁石；    ５４ａ：開口；    １００：偏向器；    １０２：基部；    １０４：可動部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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