(57)【要約】【課題】作業者の安全を確保しつつ、メンテナンスなどを行う際の作業効率を高めることが可能な電子部品搬送装置および電子部品検査装置。【解決手段】電子部品搬送装置１００は、電子部品（ＩＣデバイス９０）を搬送可能な搬送部６と、冷媒によって冷却され、搬送された電子部品を冷却可能な冷却部と、冷却部としての温度調整部１２が配置された第１室と、冷媒の放出先を切り替え可能な切り替え部８６０と、を備えている【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を搬送可能な搬送部と、
冷媒によって冷却され、搬送された前記電子部品を冷却可能な冷却部と、
前記冷却部が配置された第１室と、
前記冷媒の放出先を切り替え可能な切り替え部と、
前記切り替え部の切り替えを制御する制御部と、を備えていることを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項２】
前記冷媒の放出先を切り替える指示を受付ける指示受付部を備え、
前記制御部は、前記指示受付部が前記指示を受け付けると前記切り替え部を制御して、前記冷媒の放出先を切り替えることを特徴とする請求項１に記載の電子部品搬送装置。
【請求項３】
前記切り替え部は、
前記指示受付部が前記指示を受け付けていない場合は、前記冷媒を前記第１室に放出し、
前記指示受付部が前記指示を受け付けた場合は、前記冷媒を前記第１室の室外に放出することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の電子部品搬送装置。
【請求項４】
前記冷媒は、液体窒素、および液体窒素から生成された窒素ガスの少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項５】
前記第１室と異なる第２室を備え、
前記切り替え部は、
前記指示受付部が前記指示を受け付けた場合は、前記冷媒を前記第２室に放出することを特徴とする請求項２ないし請求項４のいずれか一項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項６】
前記第２室は、前記第１室より、鉛直方向上方に配置されていることを特徴とする請求項５に記載の電子部品搬送装置。
【請求項７】
前記第１室の少なくとも一部を開閉する開閉部を備え、
前記指示受付部は、前記開閉部の近傍に配置されていることを特徴とする請求項２ないし請求項６のいずれか一項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項８】
前記指示受付部は、ボタンスイッチであることを特徴とする請求項７に記載の電子部品搬送装置。
【請求項９】
報知装置を備え、
前記報知装置は、前記指示受付部への指示の有無を報知することを特徴とする請求項２ないし請求項８のいずれか一項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１０】
前記報知装置は、光および音のうちの少なくとも１つを用いて報知することを特徴とする請求項９に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１１】
電子部品を搬送可能な搬送部と、
冷媒によって冷却され、搬送された前記電子部品を冷却する冷却部と、
前記冷却部が配置された第１室と、
前記冷媒の放出先を切り替え可能な切り替え部と、
前記切り替え部の切り替えを制御する制御部と、
前記電子部品を検査する検査部と、を備えていることを特徴とする電子部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品搬送装置および電子部品検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えばＩＣデバイス等の電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置が知られており、この電子部品検査装置には、ＩＣデバイスを搬送するための電子部品搬送装置が組み込まれている（例えば、特許文献１参照）。
また、電子部品検査装置では、複数のＩＣデバイスをトレイに載置し、トレイごと装置内に入れることにより、トレイが、搬送部によって検査が行われる検査部まで搬送される。そして、検査が終わると、ＩＣデバイスは、トレイに載置され、搬送部によってトレイごと搬送され、装置外に排出される。
【０００３】
このような電子部品搬送装置では、最外装のカバーに扉（開閉部）が設けられており、例えば、電子部品のジャムが生じたときや、メンテナンスを行う際に、オペレーター（作業者）は、扉を開けることがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−１１１８０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
例えば、電子部品検査装置内に冷却ガス（冷媒）が充満していたり、内部の温度が比較的高くなっていたりする場合、この状態でオペレーター（作業者）が扉を開けるのは好ましくない。したがって、オペレーター（作業者）は、冷却ガス（冷媒）の濃度が下がるまで扉を開けることができず、例えば電子部品のジャムが生じたときやメンテナンスなどを行う際の作業効率が悪かった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例に係る電子部品搬送装置は、電子部品を搬送可能な搬送部と、冷媒によって冷却され、搬送された前記電子部品を冷却可能な冷却部と、前記冷却部が配置された第１室と、前記冷媒の放出先を切り替え可能な切り替え部と、前記切り替え部の切り替えを制御する制御部と、を備えていることを特徴とする。
【０００８】
本適用例に記載の電子部品搬送装置によれば、制御部の制御に基づいて、切り替え部により冷媒の放出先を切り替えることができるため、冷却部の配置された第１室に充満する冷媒の濃度が低下するまでにかかる時間を短縮することができ、例えば電子部品のジャムが生じたときやメンテナンスなどを行う際の作業効率を向上させることができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記冷媒の放出先を切り替える指示を受付ける指示受付部を備え、前記制御部は、前記指示受付部が前記指示を受け付けると前記切り替え部を制御して、前記冷媒の放出先を切り替えることが好ましい。
【００１０】
本適用例によれば、例えば、オペレーター（作業者）が指示受付部に対して行う指示に基づいて、冷媒の放出先が切り替わることから、より的確に、且つ確実に切り替えを行うことができる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記切り替え部は、前記指示受付部が前記指示を受け付けていない場合は、前記冷媒を前記第１室に放出し、前記指示受付部が前記指示を受け付けた場合は、前記冷媒を前記第１室の室外に放出することが好ましい。
【００１２】
本適用例によれば、冷却部に冷媒を供給しつつ、切り替え部によって第１室の室外に冷媒の放出先を切り替えるため、冷却部の冷媒濃度が低下するまでにかかる時間を短縮することができ、作業効率を向上させることができる。また、冷却部が昇温しないため、電子部品の冷却を続けることができる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記冷媒は、液体窒素、および液体窒素から生成された窒素ガスの少なくとも一方を含むことが好ましい。
【００１４】
本適用例によれば、冷媒として容易に入手可能な液体窒素、および液体窒素から生成できる窒素ガス（冷却ガス）を用いることで、簡易な構成で容易に電子部品の冷却を行うことができる。
【００１５】
［適用例５］上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記第１室と異なる第２室を備え、前記切り替え部は、前記指示受付部が前記指示を受け付けた場合は、前記冷媒を前記第２室に放出することが好ましい。
【００１６】
本適用例によれば、冷媒を第２室に放出することにより、冷媒を装置外に徐々に排出することができ、多量の冷媒が一気に装置外に排出されることを防止することができる。
【００１７】
［適用例６］上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記第２室は、前記第１室より、鉛直方向上方に配置されていることが好ましい。
【００１８】
本適用例によれば、第２室を第１室より鉛直方向上方に配置することにより、大気より軽い冷媒、例えば窒素ガスが、床面付近に滞留することを抑制することができる。
【００１９】
［適用例７］上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記第１室の少なくとも一部を開閉する開閉部を備え、前記指示受付部は、前記開閉部の近傍に配置されていることが好ましい。
【００２０】
本適用例によれば、指示受付部は、開閉部の近傍に配置することにより、第１室の状況を確認しながら指示受付部に対して操作を行うことができるため、誤操作の防止や作業効率の向上などを図ることができる。
【００２１】
［適用例８］上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記指示受付部は、ボタンスイッチであることが好ましい。
【００２２】
本適用例によれば、ボタンスイッチを押すことにより指示ができるため、容易に且つ的確に指示を行うことができる。
【００２３】
［適用例９］上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、報知装置を備え、前記報知装置は、前記指示受付部への前記指示の有無を報知することが好ましい。
【００２４】
本適用例によれば、オペレーター（作業者）は、報知装置からの報知により、指示受付部からの指示の有無を確実に覚知することができる。
【００２５】
［適用例１０］上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記報知装置は、光および音のうちの少なくとも１つを用いて報知するのが好ましい。
【００２６】
本適用例によれば、オペレーター（作業者）に、指示受付部からの指示が有るか否かを高い確度で認識させることができる。
【００２７】
［適用例１１］本適用例に係る電子部品検査装置は、電子部品を搬送可能な搬送部と、冷媒によって冷却され、搬送された前記電子部品を冷却する冷却部と、前記冷却部が配置された第１室と、前記冷媒の放出先を切り替え可能な切り替え部と、前記切り替え部の切り替えを制御する制御部と、前記電子部品を検査する検査部と、を備えていることを特徴とする。
【００２８】
本適用例に記載の電子部品検査装置によれば、制御部の制御に基づいて、切り替え部により冷媒の放出先を切り替えることができるため、冷却部に充満する冷媒濃度が低下するまでにかかる時間を短縮することができ、例えば電子部品のジャムが生じたときやメンテナンスなどを行う際の作業効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の電子部品検査装置（第１実施形態）を正面側から見た概略斜視図。
【図２】図１に示す電子部品検査装置の平面図。
【図３】図１に示す電子部品検査装置のブロック図。
【図４】図１に示す電子部品検査装置が備える開閉部および報知部を示す図。
【図５】図１に示す電子部品検査装置が備える開閉部および報知部を示す図。
【図６】図１に示す電子部品検査装置が備える開閉部および報知部を示す図。
【図７】図１に示す電子部品検査装置が備える開閉部および報知部を示す図。
【図８】図１に示す電子部品検査装置が備える開閉部および指示部を示す図。
【図９】図１に示す電子部品検査装置の冷媒の放出先の切り替えを示す概略配置図。
【図１０】図１に示す電子部品検査装置の制御動作の一例を示すフローチャート。
【図１１】本発明の電子部品検査装置（第２実施形態）が備える開閉部および報知部を示す図。
【図１２】図１１に示す電子部品検査装置が備える開閉部および報知部を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００３１】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の電子部品検査装置（第１実施形態）を正面側から見た概略斜視図である。図２は、図１に示す電子部品検査装置の平面図である。図３は、図１に示す電子部品検査装置のブロック図である。図４〜図７は、図１に示す電子部品検査装置が備える開閉部および報知部を示す図である。図８は、図１に示す電子部品検査装置が備える開閉部および指示部を示す図である。図９は、図１に示す電子部品検査装置の冷媒の放出先の切り替えを示す概略配置図である。図１０は、図１に示す電子部品検査装置の制御動作の一例を示すフローチャートである。
【００３２】
以下、図１〜図１０を参照して、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第１実施形態について説明する。なお、以下では、説明の便宜上、図１、図２および図４〜図８（第２実施形態における図１１および図１２についても同様）に示すように、互いに直交する３つの軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とする。また、Ｘ軸とＹ軸を含むＸＹ平面が水平となっており、Ｚ軸が鉛直となっている。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ方向」とも言い、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ方向」とも言い、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ方向」とも言う。また、各方向の矢印が向いた方向を「正」、その反対方向を「負」と言う。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干（例えば５°未満程度）傾いた状態も含む。
【００３３】
図１、図２に示す検査装置２（電子部品検査装置）は、電子部品搬送装置１００を内蔵するものであり、例えば、ＢＧＡ（Ball Grid Array）パッケージであるＩＣデバイス等の電子部品を搬送し、その搬送過程で電気的特性を検査・試験（以下単に「検査」と言う）する装置である。
【００３４】
検査装置２は、電子部品搬送装置１００と、電子部品の検査を行う検査部１６と、これらの動作を制御する制御部８０と、を備えている。なお、制御部８０は、低温検査時に用いる冷媒の供給を制御する冷媒制御部８４（図３参照）を含んでいる。
【００３５】
電子部品搬送装置１００は、電子部品を搬送可能な搬送部６と、開閉可能な開閉部４と、搬送部６の作動状態を表示可能な表示部としてのモニター３００と、開閉部４が開閉可能か否かを報知する報知装置としての報知部５と、冷媒によって冷却され、搬送された電子部品を冷却する冷却部としての温度調整部１２と、冷媒制御部８４に冷媒流路の切り替え指示を入力する指示受付部８７と、を備えている。
【００３６】
なお、以下では、説明の便宜上、電子部品としてＩＣデバイスを用いる場合について代表して説明し、これを「ＩＣデバイス９０」とする。ＩＣデバイス９０は、トレイ２００である載置部材上に載置される。
【００３７】
検査装置２は、トレイ供給領域Ａ１と、デバイス供給領域（以下単に「供給領域」と言う）Ａ２と、検査領域Ａ３と、デバイス回収領域Ａ４（以下単に「回収領域」と言う）と、トレイ除去領域Ａ５と、回収領域Ａ４の鉛直方向上側（図１のＺ方向の正側）に設けられた制御領域Ａ６と、に分けられている。そして、ＩＣデバイス９０は、トレイ供給領域Ａ１からトレイ除去領域Ａ５まで上記各領域を矢印α90方向に順に経由し、途中の検査領域Ａ３で検査が行われる。このように検査装置２は、各領域でＩＣデバイス９０を搬送する電子部品搬送装置１００（ハンドラー）と、検査領域Ａ３内で検査を行なう検査部１６と、を備えたものとなっている。また、その他、検査装置２は、報知装置の一例としてのシグナルランプ４００と、操作パネル７００とを備えている。
【００３８】
なお、検査装置２は、トレイ供給領域Ａ１、トレイ除去領域Ａ５が配された方、すなわち、図２中の下側（Ｙ方向の負側）が正面側となり、検査領域Ａ３が配された方、すなわち、図２中の上側（Ｙ方向の正側）が背面側として使用される。
【００３９】
トレイ供給領域Ａ１は、未検査状態の複数のＩＣデバイス９０が配列されたトレイ２００が供給される給材部である。トレイ供給領域Ａ１では、多数のトレイ２００を積み重ねることができる。
【００４０】
供給領域Ａ２は、トレイ供給領域Ａ１から搬送されたトレイ２００上の複数のＩＣデバイス９０がそれぞれ検査領域Ａ３まで供給される領域である。なお、トレイ供給領域Ａ１と供給領域Ａ２とを跨ぐように、トレイ２００を１枚ずつ水平方向に搬送するトレイ搬送機構１１Ａ，１１Ｂが設けられている。トレイ搬送機構１１Ａは、トレイ２００を、当該トレイ２００に載置されたＩＣデバイス９０ごとＹ方向の正側、すなわち、図２中の矢印α11Aに移動させることができる移動部である。これにより、ＩＣデバイス９０を安定して供給領域Ａ２に送り込むことができる。また、トレイ搬送機構１１Ｂは、空のトレイ２００をＹ方向の負側、すなわち、図２中の矢印α11Bに移動させることができる移動部である。これにより、空のトレイ２００を供給領域Ａ２からトレイ供給領域Ａ１に移動させることができる。
【００４１】
供給領域Ａ２には、温度調整部（ソークプレート（英語表記：soak plate、中国語表記（一例）：均温板））１２と、デバイス搬送ヘッド１３と、トレイ搬送機構１５と、濃度センサー８００と、が設けられている。
【００４２】
温度調整部１２は、複数のＩＣデバイス９０を載置して、これらＩＣデバイス９０を一括して加熱または冷却することができるものであり、「ソークプレート」と呼ばれる。このソークプレートにより、検査部１６で検査される前のＩＣデバイス９０を予め加熱または冷却して、当該検査（高温検査または低温検査）に適した温度に調整することができる。本実施形態の温度調整部１２は、液体窒素、および液体窒素から生成された窒素ガスの少なくとも一方を含む冷媒を用いて、搬送されたＩＣデバイス９０を冷却することが可能な冷却部としての機能を有している。なお、図２に示す構成では、温度調整部１２は、Ｙ方向に２つ配置、固定されている。そして、トレイ搬送機構１１Ａによってトレイ供給領域Ａ１から搬入されたトレイ２００上のＩＣデバイス９０は、いずれかの温度調整部１２まで搬送される。
【００４３】
デバイス搬送ヘッド１３は、供給領域Ａ２内でＸ方向およびＹ方向、さらにＺ方向にも移動可能に支持されている。これにより、デバイス搬送ヘッド１３は、トレイ供給領域Ａ１から搬入されたトレイ２００と温度調整部１２との間のＩＣデバイス９０の搬送と、温度調整部１２と後述するデバイス供給部１４との間のＩＣデバイス９０の搬送とを担うことができる。なお、図２中では、デバイス搬送ヘッド１３のＸ方向の移動を矢印α13Xで示し、デバイス搬送ヘッド１３のＹ方向の移動を矢印α13Yで示している。
【００４４】
トレイ搬送機構１５は、全てのＩＣデバイス９０が除去された状態の空のトレイ２００を供給領域Ａ２内でＸ方向の正側、すなわち、矢印α15方向に搬送する機構である。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、トレイ搬送機構１１Ｂによって供給領域Ａ２からトレイ供給領域Ａ１に戻される。
【００４５】
濃度センサー８００は、供給領域Ａ２内の冷媒として用いた窒素の濃度を検出するものである。濃度センサー８００は、制御部８０と電気的に接続されており、濃度センサー８００が検出した濃度の情報は、制御部８０に送信される。
【００４６】
検査領域Ａ３は、ＩＣデバイス９０を検査する領域である。この検査領域Ａ３には、検査部１６と、デバイス搬送ヘッド１７とが設けられている。また、供給領域Ａ２と検査領域Ａ３とを跨ぐように移動するデバイス供給部１４と、検査領域Ａ３と回収領域Ａ４とを跨ぐように移動するデバイス回収部１８も設けられている。
【００４７】
デバイス供給部１４は、温度調整部１２で温度調整されたＩＣデバイス９０が載置され、当該ＩＣデバイス９０を検査部１６近傍まで搬送することができる載置部として構成され、「供給用シャトルプレート」または単に「供給シャトル」と呼ばれる。
【００４８】
また、デバイス供給部１４は、供給領域Ａ２と検査領域Ａ３との間をＸ方向、すなわち、矢印α14方向に沿って往復移動可能に支持されている。図２に示す構成では、デバイス供給部１４は、Ｙ方向に２つ配置されており、温度調整部１２上のＩＣデバイス９０は、いずれかのデバイス供給部１４まで搬送される。また、デバイス供給部１４は、温度調整部１２と同様に、当該デバイス供給部１４に載置されたＩＣデバイス９０を加熱または冷却可能に構成されている。これにより、温度調整部１２で温度調整されたＩＣデバイス９０に対して、その温度調整状態を維持しつつ、検査領域Ａ３の検査部１６近傍まで搬送することができる。
【００４９】
デバイス搬送ヘッド１７は、前述した温度調整状態が維持されたＩＣデバイス９０が把持され、当該ＩＣデバイス９０を検査領域Ａ３内で搬送する動作部である。このデバイス搬送ヘッド１７は、検査領域Ａ３内でＹ方向およびＺ方向に往復移動可能に支持され、「インデックスアーム」と呼ばれる機構の一部となっている。これにより、デバイス搬送ヘッド１７は、供給領域Ａ２から搬入されたデバイス供給部１４上のＩＣデバイス９０を検査部１６上に搬送し、載置することができる。なお、図２中では、デバイス搬送ヘッド１７のＹ方向の往復移動を矢印α17Yで示している。また、デバイス搬送ヘッド１７は、Ｙ方向に往復移動可能に支持されているが、これに限定されず、Ｘ方向にも往復移動可能に支持されていてもよい。
【００５０】
また、デバイス搬送ヘッド１７は、温度調整部１２と同様に、把持したＩＣデバイス９０を加熱または冷却可能に構成されている。これにより、ＩＣデバイス９０における温度調整状態を、デバイス供給部１４から検査部１６まで継続して維持することができる。
【００５１】
検査部１６は、電子部品であるＩＣデバイス９０を載置して、当該ＩＣデバイス９０の電気的特性を検査・試験する（検査する）載置部として構成されている。この検査部１６には、ＩＣデバイス９０の端子部と電気的に接続される複数のプローブピンが設けられている。そして、ＩＣデバイス９０の端子部とプローブピンとが電気的に接続される、すなわち、接触することにより、ＩＣデバイス９０の検査を行なうことができる。ＩＣデバイス９０の検査は、制御部８０の記憶部８３（図３参照）に記憶されているプログラムに基づいて行われる。なお、検査部１６でも、温度調整部１２と同様に、ＩＣデバイス９０を加熱または冷却して、当該ＩＣデバイス９０を検査に適した温度に調整することができる。
【００５２】
デバイス回収部１８は、検査部１６での検査が終了したＩＣデバイス９０が載置され、当該ＩＣデバイス９０を回収領域Ａ４まで搬送することができる載置部として構成され、「回収用シャトルプレート」または単に「回収シャトル」と呼ばれる。
【００５３】
また、デバイス回収部１８は、検査領域Ａ３と回収領域Ａ４との間をＸ方向、すなわち、矢印α18方向に沿って往復移動可能に支持されている。また、図２に示す構成では、デバイス回収部１８は、デバイス供給部１４と同様に、Ｙ方向に２つ配置されており、検査部１６上のＩＣデバイス９０は、いずれかのデバイス回収部１８に搬送され、載置される。この搬送は、デバイス搬送ヘッド１７によって行なわれる。
【００５４】
回収領域Ａ４は、検査が終了した複数のＩＣデバイス９０が回収される領域である。この回収領域Ａ４には、回収用トレイ１９と、デバイス搬送ヘッド２０と、トレイ搬送機構２１とが設けられている。また、回収領域Ａ４には、空のトレイ２００も用意されている。
【００５５】
回収用トレイ１９は、検査部１６で検査されたＩＣデバイス９０が載置される載置部として構成され、回収領域Ａ４内で移動しないよう固定されている。これにより、デバイス搬送ヘッド２０等の各種可動部が比較的多く配置された回収領域Ａ４であっても、回収用トレイ１９上では、検査済みのＩＣデバイス９０が安定して載置されることとなる。なお、図２に示す構成では、回収用トレイ１９は、Ｘ方向に沿って３つ配置されている。
【００５６】
また、空のトレイ２００も、Ｘ方向に沿って３つ配置されている。この空のトレイ２００も、検査部１６で検査されたＩＣデバイス９０が載置される載置部となる。そして、回収領域Ａ４に移動してきたデバイス回収部１８上のＩＣデバイス９０は、回収用トレイ１９および空のトレイ２００のうちのいずれかに搬送され、載置される。これにより、ＩＣデバイス９０は、検査結果ごとに分類されて、回収されることとなる。
【００５７】
デバイス搬送ヘッド２０は、回収領域Ａ４内でＸ方向およびＹ方向、さらにＺ方向にも移動可能に支持されている。これにより、デバイス搬送ヘッド２０は、ＩＣデバイス９０をデバイス回収部１８から回収用トレイ１９や空のトレイ２００に搬送することができる。なお、図２中では、デバイス搬送ヘッド２０のＸ方向の移動を矢印α20Xで示し、デバイス搬送ヘッド２０のＹ方向の移動を矢印α20Yで示している。
【００５８】
トレイ搬送機構２１は、トレイ除去領域Ａ５から搬入された空のトレイ２００を回収領域Ａ４内でＸ方向、すなわち、矢印α21方向に搬送する機構である。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、ＩＣデバイス９０が回収される位置に配されることとなる、すなわち、前述の３つの空のトレイ２００のうちのいずれかとなり得る。
【００５９】
トレイ除去領域Ａ５は、検査済み状態の複数のＩＣデバイス９０が配列されたトレイ２００が回収され、除去される除材部である。トレイ除去領域Ａ５では、多数のトレイ２００を積み重ねることができる。
【００６０】
また、回収領域Ａ４とトレイ除去領域Ａ５とを跨ぐように、トレイ２００を１枚ずつＹ方向に搬送するトレイ搬送機構２２Ａ，２２Ｂが設けられている。トレイ搬送機構２２Ａは、トレイ２００をＹ方向、すなわち、矢印α22A方向に往復移動させることができる移動部である。これにより、検査済みのＩＣデバイス９０を回収領域Ａ４からトレイ除去領域Ａ５に搬送することができる。また、トレイ搬送機構２２Ｂは、ＩＣデバイス９０を回収するための空のトレイ２００をＹ方向の正側、すなわち、矢印α22B方向に移動させることができる。これにより、空のトレイ２００をトレイ除去領域Ａ５から回収領域Ａ４に移動させることができる。
【００６１】
検査装置２は、トレイ供給領域Ａ１と供給領域Ａ２との間が第１隔壁６１によって区切られており、供給領域Ａ２と検査領域Ａ３との間が第２隔壁６２によって区切られており、検査領域Ａ３と回収領域Ａ４との間が第３隔壁６３によって区切られており、回収領域Ａ４とトレイ除去領域Ａ５との間が第４隔壁６４によって区切られている。また、供給領域Ａ２と回収領域Ａ４との間も、第５隔壁６５によって区切られている。
【００６２】
検査装置２は、最外装がカバーで覆われており、当該カバーには、例えばフロントカバー７０、サブフロントカバー７０Ａ，７０Ｂ、サイドカバー７１、サイドカバー７２、リアカバー７３、トップカバー７４がある。フロントカバー７０、サイドカバー７１、サイドカバー７２、リアカバー７３、トップカバー７４を組立てることにより、第１筐体が構成され、第１筐体に開閉部４が形成されている。そして、第１筐体の内部には搬送部６や検査部１６などが配置されている。なお、以下では、第１筐体の内部における供給領域Ａ２を構成する室および検査領域Ａ３を構成する室を第１室、回収領域Ａ４を構成する室を第３室として説明する。
【００６３】
また、トップカバー７４の鉛直方向上側（図１のＺ方向の正側）には、最外装がフロントカバー８６１、サイドカバー８６２、サイドカバー８６３、リアカバー８６５、トップカバー８６６によって囲まれた第２室としての流路制御室８６（制御領域Ａ６）の第２筐体が配置されている。そして、第２筐体の中には、図示しない配管部材などが配置されている。なお、回収領域Ａ４（第１筐体）と、制御領域Ａ６（第２筐体）との間は、トップカバー７４によって区切られている。
【００６４】
図２に示すように、サイドカバー７１には、第１扉７１１と第２扉７１２とが設けられている。第１扉７１１や第２扉７１２を開けることにより、例えば第１室内でのメンテナンスやＩＣデバイス９０におけるジャムの解除等を行なうことができる。なお、第１扉７１１と第２扉７１２とは、図２および図５中矢印α71方向に開閉する構成となっている。
【００６５】
同様に、サイドカバー７２には、第１扉７２１と第２扉７２２とが設けられている。第１扉７２１や第２扉７２２を開けることにより、例えば第３室内での作業を行なうことができる。なお、第１扉７２１と第２扉７２２は、図２中矢印α72方向に開閉する構成となっている。
【００６６】
さらに、リアカバー７３にも、第１扉７３１と第２扉７３２と第３扉７３３とが設けられている。第１扉７３１を開けることにより、例えば温度調整部１２、デバイス搬送ヘッド１３、トレイ搬送機構１５などが配置された供給領域Ａ２（第１室）内での作業を行なうことができる。また、第３扉７３３を開けることにより、例えばデバイス回収部１８、回収用トレイ１９、デバイス搬送ヘッド２０などが配置された回収領域Ａ４内での作業を行なうことができる。また、検査部１６を画成する内側隔壁６６には、第４扉７５が設けられている。そして、第２扉７３２および第４扉７５を開けることにより、例えば検査領域Ａ３内での作業を行なうことができる。
【００６７】
なお、第１扉７３１は、図２中矢印α731方向に開閉し、第２扉７３２は、図２中矢印α732方向に開閉し、第３扉７３３は、図２中矢印α733方向に開閉し、第４扉７５は、図２中矢印α75方向に開閉する。そして、各扉を閉じた状態では、対応する各室での気密性や断熱性を確保することができる。
【００６８】
これらの第１扉７１１、第２扉７１２、第１扉７２１、第２扉７２２、第１扉７３１、第２扉７３２、第３扉７３３、および第４扉７５は、それぞれ、開閉可能な開閉部４で構成されている。
【００６９】
図３に示すように、制御部８０は、駆動制御部８１と、検査制御部８２と、記憶部８３と、冷媒制御部８４と、を有している。
【００７０】
駆動制御部８１は、例えば、図２に示すトレイ搬送機構１１Ａと、トレイ搬送機構１１Ｂと、温度調整部１２と、デバイス搬送ヘッド１３と、デバイス供給部１４と、トレイ搬送機構１５と、検査部１６と、デバイス搬送ヘッド１７と、デバイス回収部１８と、デバイス搬送ヘッド２０と、トレイ搬送機構２１と、トレイ搬送機構２２Ａと、トレイ搬送機構２２Ｂと、の各部の作動を制御する。
【００７１】
検査制御部８２は、記憶部８３に記憶されたプログラムに基づいて、検査部１６に配置されたＩＣデバイス９０の電気的特性の検査等を行なう。
【００７２】
記憶部８３は、例えば、ＲＡＭ等の揮発性メモリー、ＲＯＭ等の不揮発性メモリー、ＥＰＲＯＭ、ＥＥＰＲＯＭ、フラッシュメモリー等の書き換え可能（消去、書き換え可能）な不揮発性メモリー等、各種半導体メモリー（ＩＣメモリー）等で構成される。
【００７３】
制御部８０に含まれる冷媒制御部８４は、検査部１６において低温検査を行う際に、例えば冷却部としての温度調整部１２に供給される冷媒（液体窒素、および液体窒素から生成された窒素ガスなどを含む）の流路の切り替えを指示し、冷媒の放出先を制御する。冷媒制御部８４は、例えばオペレーター（作業者）が冷媒の放出先の切り替えを必要と判断した場合に、指示受付部８７に入力された「切り替え指示」を受付け、切り替え部８６０に冷媒の放出先を切り替える指示を行うことができる。
【００７４】
また、制御部８０は、表示部としてのモニター３００と電気的に接続されている。モニター３００は、搬送部６の作動状態や、検査装置２のその他の部位の作動状態を表示可能に構成されている。なお、図２に示すように、搬送部６は、トレイ搬送機構１１Ａ，１１Ｂ、デバイス搬送ヘッド１３、デバイス供給部１４、トレイ搬送機構１５、デバイス搬送ヘッド１７、デバイス回収部１８、デバイス搬送ヘッド２０、トレイ搬送機構２１、トレイ搬送機構２２Ａ、およびトレイ搬送機構２２Ｂを有するものである。
【００７５】
オペレーター（作業者）は、モニター３００を介して、検査装置２の動作条件等を設定したり、確認したりすることができる。このモニター３００は、例えば液晶画面で構成された表示画面３０１を有し、検査装置２の正面側上部に配置されている。図１に示すように、トレイ除去領域Ａ５の図中の右側には、モニター３００に表示された画面を操作する際に用いられるマウスを載置するマウス台６００が設けられている。
【００７６】
また、モニター３００に対して図１の右下方には、操作パネル７００が配置されている。操作パネル７００は、モニター３００とは別に、検査装置２に所望の動作を命令するものである。
【００７７】
また、制御部８０は、報知装置としてのシグナルランプ４００と電気的に接続されている。シグナルランプ４００は、発光する色の組み合わせにより、検査装置２の作動状態等を報知することができる。シグナルランプ４００は、検査装置２の上部に配置されている。なお、検査装置２には、スピーカー５００が内蔵されており、このスピーカー５００によっても検査装置２の作動状態等を報知することもできる。
【００７８】
次に、サイドカバー７１側の第１扉７１１および第２扉７１２について詳細に説明する。第１扉７１１および第２扉７１２は、同様の構成であるため、以下では、第１扉７１１について代表的に説明する。
【００７９】
図４および図５に示すように、第１扉７１１は、サイドカバー７１に形成された開口部７１３に対して開閉可能な扉である。これにより、開閉部４は、閉状態で開口部７１３の半分（図中の左側の部分）を覆うことができ（図４参照）、開状態で開口部７１３を開放させることができる（図５参照）。
【００８０】
この第１扉７１１は、平面視でほぼ四角形状をなす板部材で構成されている。なお、第１扉７１１の大きさとしては、検査装置２の大きさにもよるが、例えば、縦の長さ（Ｚ方向の長さ）、横の長さ（Ｙ方向の長さ）いずれも、４００ｍｍ以上、６００ｍｍ以下であるのが好ましく、４５０ｍｍ以上、５５０ｍｍ以下であるのがより好ましい。
【００８１】
そして、四角形状をなす第１扉７１１は、４つの辺（縁部）４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄのうちの鉛直方向に延びた辺４１ａが２つの回動支持部４２でサイドカバー７１と連結されている。これら２つの回動支持部４２は、Ｚ方向に離間して配置されている。また、各回動支持部４２は、第１扉７１１を回動可能に支持する蝶番で構成されている。これにより、第１扉７１１を鉛直方向、すなわち、Ｚ方向と平行な軸を回動軸として、図２および図５中の矢印α71方向に回動可能に支持することができ、その開閉を円滑に行なうことができる。
【００８２】
また、第１扉７１１および第２扉７１２には、それぞれ、突起で構成された取っ手７１４が設けられている。これにより、第１扉７１１および第２扉７１２の開閉を容易に行うことができる。
【００８３】
図６および図７に示すように、サイドカバー７１の開口部７１３の上部近傍（例えば０ｍｍ以上、５０ｍｍ以下）には、シリンダー７４０が、固定されている。シリンダー７４０は、シリンダーロッド７４０ａが出没自在なものである。そして、シリンダーロッド７４０ａが下方（Ｚ方向の負側）に向かって突出したときに、第１扉７１１の図６中紙面奥側（Ｘ方向の正側）の面に設けられたロック部材４３に係合することができる。このようなシリンダー７４０は、制御部８０と電気的に接続されており、制御部８０によってその作動が制御される。
【００８４】
なお、本実施形態では、シリンダー７４０は、第１扉７１１の閉状態を維持するのみならず、第２扉７１２の閉状態を維持することもできる。すなわち、シリンダー７４０は、シリンダーロッド７４０ａが、第１扉７１１のロック部材４３と、第２扉７１２のロック部材４３とに一括して係合することができる。よって、第１扉７１１および第２扉７１２の閉状態を一括して維持することできる。
【００８５】
また、シリンダーロッド７４０ａが上側方に向かって退避したときに、ロック部材４３との係合が解除されて、第１扉７１１を開くことが可能な状態となる（図７参照）。
【００８６】
このように、検査装置２は、第１扉７１１の閉状態の維持と、閉状態の解除とを切り替えるロック部としてのシリンダー７４０およびロック部材４３を有している。これにより、例えばＩＣデバイス９０の搬送中に検査装置２のオペレーター（作業者）が誤って第１扉７１１を開けてしまうのを防止することができる。
【００８７】
また、第１扉７１１の表側、すなわち、図４中紙面手前側（Ｘ方向の負側）の面には、開閉部４が開閉可能か否かを報知する報知装置としての報知部５が設けられている。報知部５は、円形のＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）により構成されたモニター５１を有している。また、モニター５１は、制御部８０と電気的に接続されており、制御部８０によって、その作動が制御される。
【００８８】
なお、報知部５は、第１扉７１１、第１扉７２１、第１扉７３１、第２扉７３２、および第３扉７３３に設けられているが、以下では、第１扉７１１に設けられた報知部５について代表的に説明する。
【００８９】
図５および図７に示すように、第１扉７１１および第２扉７１２を開くことが可能な状態では、モニター５１には、「ＯＫ」という文字が表示される。一方、図４に示すように、第１扉７１１および第２扉７１２を開くことを規制している状態では、モニター５１には、「ＮＯ」という文字が表示される。
【００９０】
また、モニター５１では、「ＯＫ」を表示しているときの文字の色と、「ＮＯ」を表示しているときの文字の色とが異なっているのが好ましい。また、モニター５１では、「ＯＫ」を表示しているときの文字の背景の色と、「ＮＯ」を表示しているときの文字の背景の色とが異なっているのが好ましい。このような構成とすることにより、オペレーター（作業者）に識別しやすくすることができる。
【００９１】
検査装置２では、モニター５１が開閉部４、すなわち、第１扉７１１に設けられていることにより、オペレーター（作業者）が第１扉７１１、第２扉７１２の開閉作業を行う際に、オペレーター（作業者）に、高い確度で視認させることができる。
【００９２】
また、図４に示すように、モニター５１は、検査装置２が設置される設置面Ｍから６００ｍｍ以上、２０００ｍｍ以下の高さＨの位置に配置されるのが好ましく、９００ｍｍ以上、１７００ｍｍ以下の高さＨの位置に配置されるのがより好ましい。これにより、オペレーター（作業者）の身長によらず、モニター５１を見やすくすることができるとともに、モニター５１をオペレーター（作業者）に高い確度で視認させることができる。
【００９３】
次に、図８を参照して、リアカバー７３側の第２扉７３２、第３扉７３３、第４扉７５、および第２扉７３２と第３扉７３３との間に設けられている指示受付部８７について説明する。なお、リアカバー７３側には、第１扉７３１も設けられているが、第３扉７３３と同様の構成であるため、ここでの説明を省略する。
【００９４】
図８に示すように、リアカバー７３側に設けられた第２扉７３２は、リアカバー７３に形成された開口部７３８に対して開閉可能な扉である。平面視でほぼ四角形状をなす板部材で構成され第２扉７３２は、４つの辺（縁部）４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄのうちの鉛直方向に延びた辺４５ａが２つの回動支持部４２でリアカバー７３と連結されている。これら２つの回動支持部４２は、Ｚ方向に離間して配置されている。また、第２扉７３２には、後述する第４扉７５の対向位置に、第４扉７５が開閉可能な開口部７３９が設けられている。
【００９５】
同様に、リアカバー７３側に設けられた第３扉７３３は、リアカバー７３に形成された開口部７３７に対して開閉可能な扉である。平面視でほぼ四角形状をなす板部材で構成され第３扉７３３は、４つの辺（縁部）４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄのうちの鉛直方向に延びた辺４５ａが２つの回動支持部４２でリアカバー７３と連結されている。これら２つの回動支持部４２は、Ｚ方向に離間して配置されている。
【００９６】
また、各回動支持部４２は、第２扉７３２、および第３扉７３３を回動可能に支持する蝶番で構成されている。これにより、第２扉７３２、および第３扉７３３を鉛直方向（Ｚ方向）と平行な軸を回動軸として、第２扉７３２を矢印α732方向に、また第３扉７３３を矢印α733方向に、回動可能に支持することができる。
【００９７】
第４扉７５は、リアカバー７３側の内側隔壁６６（図２参照）に形成された開口部（不図示）に対して開閉可能な扉である。平面視で、第２扉７３２より小さなほぼ四角形状をなす板部材で構成され第４扉７５は、４つの辺（縁部）４６ａ，４６ｂ，４６ｃ，４６ｄのうちの鉛直方向に延びた辺４６ａが２つの回動支持部４２で内側隔壁６６と連結されている。これら２つの回動支持部４２は、Ｚ方向に離間して配置され、第４扉７５を鉛直方向（Ｚ方向）と平行な軸を回動軸として、矢印α75（図２参照）方向に回動可能に支持することができる。なお、第４扉７５は、第２扉７３２に設けられた開口部７３９の内で回動可能な位置に配設される。
【００９８】
なお、第２扉７３２、第３扉７３３、および第４扉７５には、それぞれ、突起で構成された取っ手７１４が設けられている。これにより、第２扉７３２、第３扉７３３、および第４扉７５の開閉を容易に行うことができる。
【００９９】
また、図８に示すように、リアカバー７３側の第２扉７３２と第３扉７３３との間には、例えばオペレーター（作業者）が冷媒の放出先の切り替えを必要と判断した場合に、切り替えの指示を入力するボタンスイッチである指示受付部８７が設けられている。なお、第２扉７３２と第３扉７３３は、供給領域Ａ２および検査領域Ａ３（第１室）の少なくとも一部を開閉する開閉部４を構成している。このように、指示受付部８７は、供給領域Ａ２および検査領域Ａ３（第１室）の少なくとも一部を開閉する開閉部４の近傍に配設されている。指示受付部８７は、冷媒制御部８４と電気的に接続されており、指示受付部８７にて受付けられた切り替えの指示は、冷媒制御部８４に送られる。
【０１００】
このように、指示受付部８７を開閉部４の近傍に配置することにより、オペレーター（作業者）が供給領域Ａ２（第１室）内や検査領域Ａ３（第１室）内の状況を確認しながら指示受付部８７に対して操作（指示）を行うことができるため、誤操作の防止や作業効率の向上などを図ることができる。また、指示受付部８７がボタンスイッチであることにより、オペレーター（作業者）による指示を、容易に且つ的確に行うことができる。
【０１０１】
前述したように、検査装置２は、高温検査または低温検査を行うものである。特に、低温検査を行う場合、温度調整部１２やＩＣデバイス９０などは、冷却されることにより大気中の水分が結露したり結氷したりする。このような結露や結氷が生じると、例えばデバイス搬送ヘッド１７などの動作に不具合を生じたり、ＩＣデバイス９０の検査が正確にできなかったりする虞がある。これに対処するため、検査装置２内、特に供給領域Ａ２（第１室）内や検査領域Ａ３内（第１室）には、それぞれの領域Ａ２，Ａ３の内側の水分量を減少させる（乾燥状態とする）ように、冷媒として用いた窒素ガスをドライガスとして放出している。
【０１０２】
したがって、温度調整部１２などの冷却時には、特に供給領域Ａ２（第１室）内や検査領域Ａ３（第１室）内は、窒素ガス（冷却ガス）の濃度が高くなっている。このため、例えば電子部品のジャムが生じたときやメンテナンスなどを行う際に、オペレーター（作業者）が、この状態で開閉部４の開操作を行うのは好ましくなく、冷媒の供給を止めて窒素ガスの濃度が下がるまで待機する必要があった。また、冷媒の供給を止めると、温度調整部１２などの温度が上昇してしまう。
【０１０３】
そこで、本実施形態では、上記不都合を防止するのに有効な構成となっている。以下、図９を参照してその構成について説明するが、供給領域Ａ２および検査領域Ａ３を含む室を第１室とし、流路制御室８６（制御領域Ａ６）が収容された室を第２室として説明する。図９は、電子部品検査装置（検査装置２および電子部品搬送装置１００）における、冷媒の放出先の切り替えを示す概略配置図である。なお、以下では、低温検査中に検査装置２を一旦停止させて、第３扉７３３、または第２扉７３２および第４扉７５を開けて、第１室内でのメンテナンスを行う場合を例示して説明する。また、検査装置２の作動中は、図４に示すように、報知部５には、第３扉７３３、または第２扉７３２および第４扉７５などの開閉部４の開閉を行うことができないことを意味する「ＮＯ」という文字が表示されている。
【０１０４】
図９に示すように、本実施形態の構成は、冷媒の放出先を切り替える指示を受付ける指示受付部８７と、指示受付部８７が指示を受け付けた場合、冷媒の放出先を指示する冷媒制御部８４（制御部８０）と、を備えている。さらに、本実施形態の構成は、冷媒の流路を構成する液体窒素タンク１２１と、熱交換器１２２と、搬送されたＩＣデバイス９０を冷却する温度調整部１２と、冷媒制御部８４からの指示によって冷媒の放出先を切り替える切り替え部８６０と、を備えている。
【０１０５】
なお、ここでの冷媒は、液体窒素、および液体窒素から生成された窒素ガス（冷却ガス）の少なくとも一方を含んでいる。このような、冷媒として容易に入手可能な液体窒素、および液体窒素から生成できる窒素ガス（冷却ガス）を用いることで、簡易な構成で容易に冷却を行うことができる。
【０１０６】
先ず、低温検査中では、液体窒素タンク１２１から供給された液体窒素は、熱交換器１２２によって一部が冷却ガス化され、温度調整部１２に供給されている。温度調整部１２を冷却した冷却ガス（窒素ガス）は、指示受付部８７が指示を受け付けていない場合、すなわち通常の低温検査が行われている状態では、前述したように供給領域Ａ２や検査領域Ａ３（第１室）内の水分量を減少させる（乾燥状態とする）ためのドライガスとして、切り替え部８６０を構成する第１バルブ１２３を経て第１室内に設けられている第１放出口１２５から第１室内に放出されている。このとき、切り替え部８６０を構成する第２バルブ１２４は、閉じられている。
【０１０７】
次に、第３扉７３３、または第２扉７３２および第４扉７５を開けて、第１室内でのメンテナンスを行う必要を生じた場合について説明する。このような場合、オペレーター（作業者）は、指示受付部８７であるボタンスイッチを押すことによって、温度調整部１２を冷却した冷媒としての冷却ガス（窒素ガス）の放出先の切り替えを指示する。指示受付部８７に切り替えの指示がなされた場合、冷媒制御部８４からの指示によって切り替え部８６０の第１バルブ１２３が閉じられ、第２バルブ１２４が開く。これによって、温度調整部１２に供給された冷却ガス（窒素ガス）の放出先は、第１室内の第１放出口１２５から、第１室の室外（第１室と別室）である第２室内に設けられた第２放出口１２６に切り替わる。
【０１０８】
このように、指示受付部８７に切り替えの指示がなされた場合、冷却ガス（窒素ガス）の放出先は第１室内から第２室内に切り替わるが、温度調整部１２内には引き続き供給されている状態となる。したがって、温度調整部１２でのＩＣデバイス９０の冷却を維持しつつ、第１室内への冷却ガス（窒素ガス）の放出を停止することにより、第１室内の冷却ガス（窒素ガス）濃度が低下するまでにかかる時間を短縮させることができる。また、不具合が修復され、低温検査を開始する場合でも、改めて温度調整部１２の温度を常温から低温に下げる冷却動作を行う必要が無く、ＩＣデバイス９０の冷却に係る時間を短縮することができる。これらにより、例えばＩＣデバイス９０にジャムなどが生じたときやメンテナンスなどを行う際の作業効率を向上させることができる。
【０１０９】
また、最外装がフロントカバー８６１、サイドカバー８６２、サイドカバー８６３、リアカバー８６５、およびトップカバー８６６による第２筐体によって囲まれた第２室としての流路制御室８６（制御領域Ａ６）に、冷却ガス（窒素ガス）を放出することにより、冷却ガス（窒素ガス）を装置外に徐々に排出することができ、多量の冷却ガス（窒素ガス）が一気に装置外に排出されることを防止することができる。
【０１１０】
また、このときの冷却ガス（窒素ガス）の放出先である第２室（流路制御室８６（制御領域Ａ６））は、デバイス回収領域Ａ４の鉛直方向上側（図１のＺ方向の正側）、すなわち第１室より鉛直方向上側に配置されているため、大気より軽い冷却ガス（窒素ガス）は上方（鉛直方向上側）に向かって上昇し、床面付近に滞留することを抑制することができる。
【０１１１】
以下、図１０に示すフローチャートに基づいて、制御部８０の制御動作について説明する。なお、以下では、供給領域Ａ２および検査領域Ａ３を含む室を第１室、流路制御室８６（制御領域Ａ６）が収容された室を第２室として説明する。また、以下では、低温検査中に検査装置２を一旦停止させて、第３扉７３３、または第２扉７３２および第４扉７５を開けて、第１室内でのメンテナンスを行う場合について説明する。また、検査装置２の作動中は、図４に示すように、報知部５には、「ＮＯ」という文字が表示されている。
【０１１２】
まず、ステップＳ１００において、オペレーター（作業者）は、操作パネル７００の操作を行い、検査装置２の作動を停止させ、指示受付部８７のボタンスイッチを押すと共に、シリンダー７４０およびロック部材４３の係合の解除ボタン（図示せず）を押す。これにより、冷却ガス（窒素ガス）の放出先が、第１室から第２室に切り替わる。なお、温度調整部１２には、冷却ガス（窒素ガス）が供給され続けており、温度調整部１２の冷却状態が維持されている。
【０１１３】
また、指示受付部８７のボタンスイッチが押された場合、制御部８０は、指示受付部８７への指示の有無を、例えば光や音などを用いて報知することが好ましい。このような報知は、報知装置としての、例えばモニター５１（報知部５）やシグナルランプ４００によって行うことができる。このような報知がなされることにより、オペレーター（作業者）は、指示受付部８７への指示の有無、すなわち放出先の切り替えの指示がなされたか否かを確実に覚知、認識することができる。
【０１１４】
そして、ステップＳ１０１において、濃度センサー８００により、冷却ガス（窒素ガス）の放出が停止した供給領域Ａ２内の冷却ガスの濃度Ｎを検出する。そして、ステップＳ１０２において、濃度Ｎが記憶部８３に予め記憶された所定値Ｎ0よりも小さくなるまでに要する時間、すなわち、第１扉７１１および第２扉７１２を開くことが可能になるまでの情報としての残り時間を算出する。この算出は、時間の経過とともに濃度Ｎが低下するのを実験して測定し、得られた検量線（図示せず）に基づいて行われる。
【０１１５】
次いで、ステップＳ１０３において、ステップＳ１０２で算出した時間をモニター５１に表示する（図６参照）。なお、図６中では、モニター５１には、「１５」という数字が表示されており、残り時間が１５秒であることを示している。このモニター５１に表示された残り時間は、時間の経過とともにカウントダウンされ、表示された数字が減少していく。
【０１１６】
このように、モニター５１は、第１扉７１１および第２扉７１２を開くことが可能になるまでの情報としての残り時間を表示（報知）する。これにより、例えば、オペレーター（作業者）は、第１扉７１１および第２扉７１２を開くのが可能になるまでの時間を把握することができる。よって、オペレーター（作業者）は、第１扉７１１および第２扉７１２を開く作業を行うまでに他の作業を行うことができ、作業効率の向上を図ることができる。
【０１１７】
そして、ステップＳ１０４において、濃度センサー８００が検出した冷却ガスの濃度Ｎと、記憶部８３に記憶されている所定値Ｎ0とを比較する。なお、所定値Ｎ0は、冷却ガスの濃度を示す値であり、オペレーター（作業者）に対して十分に安全な程度に低い値である。
【０１１８】
ステップＳ１０５において、濃度Ｎが所定値Ｎ0よりも低いと判断した場合、シリンダー７４０およびロック部材４３の係合を解除する（図７参照）。そして、ステップＳ１０６において、第１扉７１１および第２扉７１２を開くことが可能になった旨を報知する。
【０１１９】
本実施形態では、図７に示すように、モニター５１に「ＯＫ」という文字が表示される。これにより、オペレーター（作業者）に、第１扉７１１および第２扉７１２を開くことが可能になったことを認識させることができる。よって、冷却ガスの濃度Ｎの低下が不十分であるにも関わらず、オペレーター（作業者）が第１扉７１１および第２扉７１２を開状態とするのを防止することができる。よって、オペレーター（作業者）の安全を確保することができる。
【０１２０】
なお、シリンダー７４０およびロック部材４３が係合した閉状態でオペレーター（作業者）が第１扉７１１および第２扉７１２を開こうとすると、その力にもよるが、シリンダー７４０およびロック部材４３が破損する可能性が有る。検査装置２では、シリンダー７４０およびロック部材４３の係合が解除されて、第１扉７１１および第２扉７１２を開くのが可能になってから報知部５がその旨を報知するよう構成されている。これにより、シリンダー７４０およびロック部材４３が破損するのを防止することができる。
【０１２１】
また、ステップＳ１０６では、報知部５に、第１扉７１１および第２扉７１２を開くことが可能になった旨を報知するだけでなく、モニター３００にもその旨が表示される。すなわち、モニター３００は、第１扉７１１および第２扉７１２が開閉可能か否かを表示するものである。これにより、オペレーター（作業者）が第１扉７１１および第２扉７１２から離れたところに居たとしても、オペレーター（作業者）に第１扉７１１および第２扉７１２を開くことが可能になった旨を認識させることができる。
【０１２２】
また、検査装置２では、報知部５は、光を用いて報知するものであるため、オペレーター（作業者）に、第１扉７１１および第２扉７１２の開閉が可能か否かを高い確度で認識させることができる。
【０１２３】
また、第１扉７１１および第２扉７１２は、光透過性を有する材料により構成されている。このため、オペレーター（作業者）は、シリンダー７４０およびロック部材４３の作動状態を視認可能になっている。すなわち、報知部５は、シリンダー７４０およびロック部材４３の作動状態を視認可能な窓部を有していると言える。これにより、例えば、モニター５１を省略して報知部５の構成を簡素化したとしても、オペレーター（作業者）は、シリンダー７４０およびロック部材４３の作動状態を視認することにより、第１扉７１１および第２扉７１２の開閉が可能か否かを把握することができる。
【０１２４】
上述した第１実施形態に係る電子部品搬送装置１００によれば、冷媒としての液体窒素や冷却ガス（窒素ガス）の放出先を切り替え部８６０によって第１室から第２室に切り替えることができる。これにより、冷却部としての温度調整部１２の配置された第１室（供給領域Ａ２や検査領域Ａ３）内に充満する冷媒（液体窒素や冷却ガス（窒素ガス））の濃度が低下するまでにかかる時間を短縮することができ、例えばＩＣデバイス９０のジャムが生じたときやメンテナンスなどを行う際の作業効率を向上させることができる。
【０１２５】
また、切り替え部８６０は、冷媒（液体窒素や冷却ガス（窒素ガス））の放出先を切り替える指示を受付ける指示受付部８７への指示に基づいて該冷媒の放出先を切り替える。これにより、例えば、オペレーター（作業者）が指示受付部８７に対して行う指示に基づいて、冷媒（液体窒素や冷却ガス（窒素ガス））の放出先が切り替わることから、より的確に、且つ確実に切り替えを行うことができる。
【０１２６】
また、切り替え部８６０によって、指示受付部８７が指示を受け付けていない場合は、冷媒（液体窒素や冷却ガス（窒素ガス））を第１室に放出し、指示受付部８７が指示を受け付けた場合は、冷媒（液体窒素や冷却ガス（窒素ガス））を第１室の室外（第２室）に放出する。これにより、冷却部としての温度調整部１２の配置された供給領域Ａ２内や検査領域Ａ３などの第１室内の冷媒濃度が低下するまでにかかる時間を短縮することができ、作業効率を向上させることができる。
【０１２７】
また、報知装置としてのモニター５１（報知部５）やシグナルランプ４００によって、切り替え指示の有無や開閉部４が開閉可能か否かをオペレーター（作業者）に認識させることができる。よって、例えば、電子部品搬送装置１００の内側がオペレーター（作業者）にとって好ましくない状態であるにも関わらず、オペレーター（作業者）が開閉部４を開状態とすることを防止することができる。よって、オペレーター（作業者）の安全を確保することができる。
【０１２８】
なお、電子部品搬送装置１００と検査部１６とを有する検査装置２においても、上述と同様な効果を奏する。
【０１２９】
なお、上述では、温度調整部１２を冷却した後の冷媒（液体窒素や冷却ガス（窒素ガス））の放出先を切り替える例を示して説明したが、これに限らない。ＩＣデバイス９０を冷却する機能を有する、例えば、デバイス供給部１４、検査部１６、およびデバイス搬送ヘッド１７などにおいても冷却が行われる場合は、温度調整部１２で用いられた冷媒に加えて、デバイス供給部１４、検査部１６、およびデバイス搬送ヘッド１７などにおいて冷却に用いられた冷媒（液体窒素や冷却ガス（窒素ガス））の放出先を切り替えることとしてもよい。
【０１３０】
＜第２実施形態＞
図１１および図１２は、本発明の電子部品検査装置（第２実施形態）が備える開閉部および報知部を示す図である。
【０１３１】
以下、図１１および図１２を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第２実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項は、同符号を付し、その説明を省略する。
【０１３２】
検査装置２Ａでは、報知部５Ａは、窓部としての第１扉７１１に設けられた「ＯＫ」という第１の表示Ｈ１と、第１扉７１１に設けられた「ＮＯ」という第２の表示Ｈ２と、シリンダーロッド７４０ａに連結された識別部としての識別板５２と、を有している。
【０１３３】
第１の表示Ｈ１は、第１扉７１１のＺ方向の正側でかつＹ方向の負側の角部付近に設けられている。この第１の表示Ｈ１は、第１扉７１１および第２扉７１２を開状態とすることが可能であることを示す表示である。
【０１３４】
第２の表示Ｈ２は、第１の表示Ｈ１の異なる位置の一例としてＺ方向の負側に位置している。この第２の表示Ｈ２は、第１扉７１１および第２扉７１２を開状態とするのを規制していることを示す表示である。
【０１３５】
これら第１の表示Ｈ１および第２の表示Ｈ２は、例えば、インクによる印字や、貼着物等により構成されている。また、第１の表示Ｈ１および第２の表示Ｈ２は、例えば、白色等、比較的薄い色であるのが好ましい。
【０１３６】
識別板５２は、シリンダーロッド７４０ａのＺ方向の負側の端部に固定された板部材で構成されている。また、識別板５２は、例えば、黒色等、比較的濃い色を有している。
【０１３７】
図１２に示すように、識別板５２は、シリンダーロッド７４０ａが退避した状態、開状態とすることが可能である状態では、第１扉７１１を介して第１の表示Ｈ１と重なる第１の位置に位置するよう構成されている。一方、識別板５２は、シリンダーロッド７４０ａが突出した状態、すなわち、開状態とするのを規制している状態では、第１扉７１１を介して第２の表示Ｈ２と重なる第２の位置に位置するよう構成されている。
【０１３８】
第１の表示Ｈ１と識別板５２とが重なった状態では、識別板５２によって、第１の表示Ｈ１を第２の表示Ｈ２よりも目立ちやすくすることができる。これにより、オペレーター（作業者）は、開状態とすることが可能であることを容易に認識することができる。一方、第２の表示Ｈ２と識別板５２とが重なった状態では、識別板５２によって、第２の表示Ｈ２を第１の表示Ｈ１よりも目立ちやすくすることができる。これにより、オペレーター（作業者）は、開状態とするのを規制していることを容易に認識することができる。
【０１３９】
このように、識別板５２は、シリンダーロッド７４０ａの作動状態に連動して、第１の位置と第２の位置との間を移動することにより、第１扉７１１および第２扉７１２が開閉可能か否かを識別させることができる。
【０１４０】
このような本実施形態によれば、第１実施形態でのモニター５１を省略することができる。よって、報知部５Ａの構成を簡素にすることができるとともに、低コスト化を図ることができる。
【０１４１】
以上、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、電子部品搬送装置および電子部品検査装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
【０１４２】
また、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置は、上記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
【０１４３】
なお、上記各実施形態では、報知部は、開閉部が開閉可能か否かを報知する、すなわち、開くことが可能な旨と、開くことを禁止する旨との双方を報知するものであったが、本発明ではこれに限定されず、開くことが可能な旨と、開くことを禁止する旨とのうちの少なくとも一方を表示するものであればよい。
【０１４４】
また、上記第１実施形態では、報知部は、光によって報知するものであったが、これに限定されず、光および音の少なくとも一方を用いて報知するものであればよい。すなわち、光による報知を省略し、音のみで報知してもよく、光と音の双方を用いて報知してもよい。
【０１４５】
また、上記各実施形態では、報知装置としての報知部は、開閉部に設けられていたが、本発明ではこれに限定されず、例えば、開閉部の近傍等、開閉部から外れた位置に設けられていてもよい。
【０１４６】
また、報知部の表示部は、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）を用いたディスプレイであってもよい。
【０１４７】
また、上記各実施形態では、開閉部は、回動により開閉するものであったが、本発明では、これに限定されず、例えば、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向のいずれかにスライドすることにより開閉操作が行われるものであってもよい。
【０１４８】
また、上記第１実施形態では、報知部は、開閉部を開くことが可能になるまでの情報の一例として残り時間を表示するものであったが、本発明ではこれに限定されず、例えば、残り時間をパーセント表示により報知するものであってもよい。
【符号の説明】
【０１４９】
２，２Ａ…検査装置、４…開閉部、４２…回動支持部、４３…ロック部材、５，５Ａ…報知部、５１…モニター、５２…識別板、６…搬送部、１１Ａ，１１Ｂ…トレイ搬送機構、１２…温度調整部、１３…デバイス搬送ヘッド、１４…デバイス供給部、１５…トレイ搬送機構、１６…検査部、１７…デバイス搬送ヘッド、１８…デバイス回収部、１９…回収用トレイ、２０…デバイス搬送ヘッド、２１，２２Ａ，２２Ｂ…トレイ搬送機構、６１…第１隔壁、６２…第２隔壁、６３…第３隔壁、６４…第４隔壁、６５…第５隔壁、６６…内側隔壁、７０…フロントカバー、７１…サイドカバー、７１１…第１扉、７１２…第２扉、７２…サイドカバー、７２１…第１扉、７２２…第２扉、７３…リアカバー、７３１…第１扉、７３２…第２扉、７３３…第３扉、７４…トップカバー、７４０…シリンダー、７５…第４扉、８０…制御部、８１…駆動制御部、８２…検査制御部、８３…記憶部、８４…冷媒制御部、８６…流路制御部、８７…指示受付部、９０…電子部品としてのＩＣデバイス、１００…電子部品搬送装置、２００…トレイ、３００…モニター、３０１…表示画面、４００…シグナルランプ、５００…スピーカー、６００…マウス台、７００…操作パネル、８００…濃度センサー、Ａ１…トレイ供給領域、Ａ２…供給領域、Ａ３…検査領域、Ａ４…デバイス回収領域（回収領域）、Ａ５…トレイ除去領域、α11A，α11B，α13X，α13Y，α14，α15，α17Y，α18，α20X，α20Y，α21，α22A，α22B，α71，α72，α731，α732，α733，α75，α90…矢印。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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