(57)【要約】【課題】真空雰囲気のチャンバ内で被搬送物を確実に冷却しながら搬送できる簡単な構成の冷却構造を持つ搬送装置を提供する。【解決手段】少なくとも２個のローラ２０，３０に巻き掛けられ、外表面に基板Ｓを積載して周回走行される搬送ベルト１０を備える。各ローラ間に位置して互いに逆方向に走行される搬送ベルトの部分のうち被搬送物が積載される一方の部分を上ベルト部Ｕｖ、他方の部分を下ベルト部Ｄｖ、上ベルト部と下ベルト部とが向かい合う方向を上下方向として、上ベルト部の下面と下ベルト部の上下面との少なくとも一面に、上下方向に所定間隔を置いて搬送ベルトの幅と同等以上の長さを有する冷却パネル４０が対向配置される。冷却パネルを冷却する冷却手段５と、冷却パネルと搬送ベルトとで区画される空間６０に不活性ガスを供給するガス供給手段７０とを更に備える。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空雰囲気のチャンバ内で被搬送物を冷却しながら搬送するための搬送装置であって、
少なくとも２個の回転部材に巻き掛けられ、外表面に被搬送物を積載して周回走行される搬送ベルトを備え、
各回転部材間に位置して互いに逆方向に走行される搬送ベルトの部分のうち被搬送物が積載される一方の部分を上ベルト部、他方の部分を下ベルト部、上ベルト部と下ベルト部とが向かい合う方向を上下方向として、上ベルト部の下面と下ベルト部の上下面との少なくとも一面に、上下方向に所定間隔を置いて搬送ベルトの幅と同等以上の長さを有する冷却パネルが対向配置され、
冷却パネルを冷却する冷却手段と、冷却パネルと搬送ベルトとで区画される空間に不活性ガスを供給するガス供給手段とを更に備えることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
請求項１記載の搬送装置の２個をその上ベルト部が対面するように配置し、両上ベルト部で被搬送物をその上下方向から挟持した状態で搬送ベルトが周回走行されるように構成したことを特徴とする搬送装置。
【請求項３】
前記空間の周囲を囲って当該空間をチャンバ内から雰囲気分離する雰囲気分離手段を備えることを特徴とする請求項１または請求項２記載の搬送装置。
【請求項４】
前記冷却パネルは、その搬送ベルト側の面が黒色化加工され、その搬送ベルトに背向する側の面が鏡面加工されたものであることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記ガス供給手段は、前記冷却パネルに開設した孔に嵌挿されるガス管を有することを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空雰囲気のチャンバ内で被搬送物（主として、基板）を冷却しながら搬送するための搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の搬送装置は例えば特許文献１で知られている。このものでは、ゲートバルブを介して互いに連設された複数個の真空雰囲気のチャンバ内を被搬送物としての基板がトレイに保持された状態で順次搬送され、その搬送経路の途中に設けた冷却用チャンバにて基板が冷却されるようになっている。冷却用チャンバ内には、複数本の冷却ローラが搬送方向に所定間隔で並設されると共に、各冷却ローラに夫々対峙させて複数本の押えローラが並設されている。そして、各冷却ローラと各押えローラとでトレイをその両面から挟持した状態で両ローラを回転駆動することで、搬送方向上流側から下流側に向かってトレイが搬送され、その間、冷却ローラとの熱伝導による熱交換でトレイが冷却され、結果として、基板が冷却されながら搬送される。
【０００３】
各冷却ローラには、冷却手段に通じる往路管と復路管とが夫々接続されている。トレイの搬送時、冷却手段から往路管を介して冷媒が各冷却ローラに夫々供給され、冷媒が各冷却ローラの内部通路を流れた後、復路管を介して冷却手段に戻るようにしている。ここで、上記従来例の構成では、例えば被搬送物としての基板の面積が比較的大きい場合、これに応じて冷却ローラを長く形成でき、ひいては、内部通路も長くなるため、冷却ローラを効果的に冷却できる。然し、例えば基板の面積が比較的小さい場合、装置の小型化等を考慮すると、冷却ローラ自体も短くせざるを得ない。このため、内部通路が短くなって冷却ローラを効果的に冷却できないという問題があり、これでは、基板を所定温度以下に冷却できない虞がある。また、真空雰囲気のチャンバ内で複数本の冷却ローラに冷媒を夫々供給する構成を採用した場合、リップシールなどの部品が必要となって装置構成が複雑になるという問題もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２１４０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、以上の点に鑑み、真空雰囲気のチャンバ内で被搬送物を確実に冷却しながら搬送できる簡単な構成の冷却構造を持つ搬送装置を提供することをその課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、真空雰囲気のチャンバ内で被搬送物を冷却しながら搬送するための本発明の搬送装置は、少なくとも２個の回転部材に巻き掛けられ、外表面に被搬送物を積載して周回走行される搬送ベルトを備え、各回転部材間に位置して互いに逆方向に走行される搬送ベルトの部分のうち被搬送物が積載される一方の部分を上ベルト部、他方の部分を下ベルト部、上ベルト部と下ベルト部とが向かい合う方向を上下方向として、上ベルト部の下面と下ベルト部の上下面との少なくとも一面に、上下方向に所定間隔を置いて搬送ベルトの幅と同等以上の長さを有する冷却パネルが対向配置され、冷却パネルを冷却する冷却手段と、冷却パネルと搬送ベルトとで区画される空間に不活性ガスを供給するガス供給手段とを更に備えることを特徴とする。
【０００７】
本発明の別態様においては、上記搬送装置の２個をその上ベルト部が対面するように配置し、両上ベルト部で被搬送物をその上下方向から挟持した状態で搬送ベルトが周回走行されるように構成したことを特徴とする。
【０００８】
以上によれば、搬送ベルトがこれに対向する冷却パネルからの輻射によりその幅方向全長に亘って冷却され、これに加えて、空間に供給された不活性ガスが冷却パネルで冷却され、この冷却された不活性ガスが搬送ベルトに衝突することで熱交換により更に搬送ベルトが冷却される。そして、被搬送物が搬送ベルトに積載された状態、または、上下一対の搬送ベルトで挟持された状態で搬送方向上流側から下流側に向かって搬送される間、上記の如く、冷却された搬送ベルトとの熱伝導による熱交換で被搬送物が効果的に冷却される。この場合、チャンバ内にて搬送ベルトに対向するように冷却パネルを配置するだけであるため、上記従来例の如く、複数本の冷却ローラに冷媒を夫々供給する構成を採用するものと比較して装置構成は簡単で済む。ここで、冷却手段が、例えば、冷却ヘッドと、圧縮器、凝縮器及び膨張弁を備える冷凍機本体とで構成され、熱交換機から冷凍機本体に供給・循環された冷媒で冷却されることにより冷却パネルを含む冷却ヘッドを所定温度に冷却することができる。この場合、冷却ヘッドのみをチャンバ内に配置すればよく、より装置構成を簡素化できる。なお、搬送ベルトと冷却パネルとの上下方向における間隔は、被搬送物を冷却しながら搬送するときのチャンバ内の真空度（圧力）や不活性ガス（原子や分子）の平均自由行程等を考慮して適宜設定される。
【０００９】
本発明においては、前記空間の周囲を囲って当該空間をチャンバ内から雰囲気分離する雰囲気分離手段を備えることが好ましい。これによれば、搬送ベルトに対して冷却された不活性ガスを繰り返し衝突させることができ、冷却パネルの冷却効率を向上することができる。また、冷却パネルは、その搬送ベルト側の面が黒色化加工され、その搬送ベルトに背向する側の面が鏡面加工されたものであることが好ましい。これによれば、冷却パネル自体がより効率よく冷却されるようになり、有利である。更に、前記ガス供給手段は、前記冷却パネルに開設した孔に嵌挿されるガス管を有することが好ましい。これによれば、ガス管が冷却パネルからの熱伝導で冷却されることにより、その内部を通る不活性ガスが上記空間に供給される前に予備的に冷却され、冷却された不活性ガスを搬送ベルトに衝突させることで、冷却効率をより一層向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１実施形態の搬送装置の構成を模式的に示す断面図。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線から視た図。
【図３】図１の一点鎖線で囲う部分の拡大図。
【図４】第１実施形態の変形例を部分的に示す要部斜視図。
【図５】第２実施形態の搬送装置を備える成膜装置の構成を模式的に示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して、被搬送物をガラス基板やシリコンウエハなどの基板Ｓとし、この基板Ｓを真空雰囲気のチャンバ内で冷却しながら搬送するための本発明の搬送装置の実施形態を説明する。以下においては、図１に示す姿勢で搬送装置が設けられるものとし、また、基板Ｓは、図１中、左側から右側に向かって搬送されるものとして説明する。
【００１２】
図１及び図２を参照して、ＴＭ１は、第１実施形態の搬送装置である。搬送装置ＴＭ１は、特に図示して説明しないが、ゲートバルブを介して互いに連設された複数個のチャンバ内のうちその搬送経路の途中にある冷却用チャンバＶｃに設けられている。冷却用チャンバＶｃには真空ポンプＰｕが接続され、所定圧力に真空引きして保持できるようになっている。
【００１３】
搬送装置ＴＭ１は、基板Ｓをその上下両側から挟持して周回走行される上下一対の搬送ベルト１１，１２を備える。図１中、上側に位置する搬送ベルト１１は、基板Ｓの搬送方向に所定間隔を置いて配置された駆動ローラ２ａと従動ローラ２ｂとに夫々巻き掛けられ、駆動ローラ２ａに付設したモータＭ１を回転駆動することで所定の速度で周回走行されるようになっている。図１中、下側に位置する搬送ベルト１２もまた、上下方向で駆動ローラ２ａ及び従動ローラ２ｂに夫々対峙させて配置された駆動ローラ３ａと従動ローラ３ｂとに夫々巻き掛けられ、駆動ローラ３ａに付設したモータＭ２を回転駆動することで搬送ベルト１１に同期して周回走行するようになっている。この場合、各駆動ローラ２ａ,３ａと各従動ローラ２ｂ，３ｂの回転軸２１，３１は、冷却用チャンバＶｃの壁面で軸支され、冷却用チャンバＶｃから外方に突出した各駆動ローラ２ａ，３ａの部分に駆動モータＭ１，Ｍ２が夫々連結されている。なお、例えば、各駆動ローラ２ａ，３ａの回転軸２１，３１にタイミングベルトを巻き掛け、単一のモータで同期して回転駆動するようにしてもよい。
【００１４】
各搬送ベルト１１，１２としては、比熱が小さくて熱伝導が良く、しかも、真空雰囲気での使用に適した材料から適宜選択され、例えば、０．１ｍｍ〜１．２ｍｍの範囲の厚さのスチールベルトを用いることができる。各搬送ベルト１１，１２の幅は、基板Ｓサイズに応じて（即ち、基板Ｓの幅より大きくなるように）適宜設定される。他方、各駆動ローラ２ａ，３ａ及び従動ローラ２ｂ，３ｂの外表面には、ゴムや樹脂などの熱伝導が比較的悪い（断熱効果が高い）材料が設けられ、駆動ローラ２ａ，３ａ及び従動ローラ２ｂ，３ｂから各搬送ベルト１１，１２に熱が伝達されないようにしている。各駆動ローラ２ａ，３ａ及び各従動ローラ２ｂ，３ｂの長さは、各搬送ベルト１１，１２の幅に応じて適宜設定され、また、各駆動ローラ２ａ，３ａ及び各従動ローラ２ｂ，３ｂの間の間隔は基板Ｓの冷却温度に応じて適宜設定される。
【００１５】
ここで、駆動ローラ２ａ，３ａ及び従動ローラ２ｂ，３ｂに夫々位置して互いに逆方向走行される各搬送ベルト１１，１２の部分のうち基板Ｓを挟持する一方の部分を上ベルト部Ｕｖ、他方の部分を下ベルト部Ｄｖとして、冷却用チャンバＶｃには、各搬送ベルト１１，１２の下ベルト部Ｄｖの上方向と下方向とに夫々所定間隔を置いて各搬送ベルト１１，１２の幅と同等以上の長さを有する冷却パネル４ａ，４ｂが対向配置されている。本実施形態では、冷却パネル４ａ，４ｂが、駆動ローラ２ａ，３ａと従動ローラ２ｂ，３ｂとの間に位置する下ベルト部Ｄｖの搬送方向略全長に亘る長さを有するように定寸されている。冷却パネル４ａ，４ｂは、熱伝導のよい材質、例えば銅やアルミニウムから選択される金属またはこれらの金属を主成分とする合金からなる所定厚さの板材で構成されている。冷却パネル４ａ，４ｂは、図３に示すように、その下ベルト部Ｄｖ側の面４１が黒色化加工され、その下ベルト部Ｄｖに背向する側の面４２が鏡面加工されている。そして、冷却パネル４ａ，４ｂが冷凍機５により所定温度（例えば、２００Ｋ）に冷却されるようになっている。
【００１６】
冷凍機５は、冷却パネル４ａ、４ｂに接触する冷却ヘッド５１と、図示省略の圧縮器、凝縮器及び膨張弁を備える冷凍機本体５２とで構成され、図外の熱交換機から冷凍機本体５２に冷媒が供給・循環されて冷却される。冷凍機本体５２は、公知のものが利用できるため、これ以上の詳細な説明は省略する。本実施形態では、基板Ｓの搬送方向上流側（図１中、左側）にずらした位置にて１枚の冷却パネル４ａ，４ｂに対して１個の冷却ヘッド５１を接触させている。なお、冷却パネル４ａ，４ｂに対する冷却ヘッド５１の接触位置は、基板Ｓを搬送ベルト１１，１２で挟持する前に、搬送ベルト１１，１２を所定温度に冷却できるのであれば、特に限定されるものではなく、また、冷却パネル４ａ，４ｂのサイズや基板Ｓの冷却温度等に応じて、基板Ｓの搬送方向に複数個配置するようにしてもよい。
【００１７】
冷却パネル４ａ，４ｂの所定位置には上下方向に貫通する孔４３が夫々開設され、孔４３には、下ベルト部Ｄｖと、冷却パネル４ａ，４ｂとで区画される空間６ａ，６ｂに不活性ガスを供給するガス供給手段の構成部品としてのガス管７ａ，７ｂの先端部分が嵌挿されている。不活性ガスとしては、ヘリウムガスやアルゴンガス等の希ガスや窒素ガスが用いられ、ガス管７ａ，７ｂに介設したガス供給手段の構成部品としてのマスフローコントローラ（図示せず）で所定の流量に調整した状態で空間６ａ，６ｂに供給されるようになっている。
【００１８】
ここで、本実施形態のように基板Ｓの搬送方向上流側にずらした位置にて１枚の冷却パネル４ａ，４ｂに対して１個の冷却ヘッド５１を接触させて冷却パネル４ａ，４ｂを冷却する場合、冷却パネル４ａ，４ｂの面積によっては、その面内で温度勾配がつく場合がある。そこで、搬送ベルト１１，１２の幅方向略中央部で基板Ｓの搬送方向下流側（即ち、冷却ヘッド５１の接触位置と搬送方向逆側）にずらした位置に１個の孔４３を開設している（この場合、搬送ベルト１１，１２の幅方向に所定間隔で複数の孔を開設してもよい）。これにより、ガス管７ａ，７ｂの先端部分を嵌挿して下ベルト部Ｄｖと冷却パネル４ａ，４ｂとで区画される空間６ａ，６ｂに不活性ガスを供給すれば、比較的温度が高くなる、冷却ヘッド５１の接触位置から離れた領域でも効果的に搬送ベルト１１，１２が冷却されるようになり、有利である。なお、ガス管７ａ，７ｂが嵌挿される孔４３の数や冷却パネル４ａ，４ｂに対する形成位置は特に限定されるものではなく、冷却パネル４ａ，４ｂに接触させる冷却ヘッド５１の数や下ベルト部Ｄｖの面積に応じて適宜設計される。
【００１９】
また、下ベルト部Ｄｖと冷却パネル４ａ，４ｂとの間の上下方向の間隔Ｄｓは、空間６ａ，６ｂに供給される不活性ガスの種類、流量に応じて適宜設定される。つまり、不活性ガスの種類、流量で空間６ａ，６ｂの熱伝達係数が決まり、これに応じて間隔Ｄｓが決められる。熱伝達係数は大きいほどよく、３．０Ｗ／ｍ２／Ｋ以上が望ましい。例えば、不活性ガスをＡｒとし、空間６ａ，６ｂの圧力が１００Ｐａになるような流量であれば、熱伝達係数が３．０Ｗ／ｍ２／Ｋとなる。また、間隔Ｄｓは小さいほどよく、空間６ａ，６ｂに供給する流量が大きい（空間６ａ，６ｂの圧力が高くなる）ほどよい。
【００２０】
以上の実施形態によれば、搬送ベルト１１，１２がこれに対向する冷却パネル４ａ，４ｂからの輻射によりその幅方向全長に亘って冷却され、これに加えて、空間６ａ，６ｂに供給された不活性ガスが冷却パネル４ａ，４ｂで冷却され、この冷却された不活性ガスが搬送ベルト１１，１２に衝突することで熱交換により更に搬送ベルト１１，１２が冷却される。そして、基板Ｓを搬送ベルト１１，１２で挟持することで基板Ｓの上面及び下面が搬送ベルト１１，１２と面接触し、この状態で搬送方向上流側から下流側に向かって搬送される間、冷却された搬送ベルト１１，１２との熱伝導による熱交換でその上下面から基板Ｓが効果的に冷却される。この場合、冷却用チャンバＶｃ内にて搬送ベルト１１，１２に対向するように冷却パネル４ａ，４ｂを配置すると共に、冷却パネル４ａ，４ｂに夫々冷却ヘッド５１を接触させるだけであるため、装置構成を簡素化できる。しかも、冷却パネル４ａ，４ｂは、その搬送ベルト１１，１２側の面４１が黒色化加工され、その搬送ベルト１１，１２に背向する側の面４２が鏡面加工されたものであるため、冷却パネル４ａ，４ｂ自体がより効率よく冷却され、その上、冷却パネル４ａ，４ｂの孔にガス管７ａ，７ｂを嵌挿しているため、ガス管７ａ，７ｂが冷却パネル４ａ，４ｂで冷却されることで、その内部を通る不活性ガスが空間６ａ，６ｂに供給される前に予備的に冷却され、冷却された不活性ガスを搬送ベルト１１，１２に衝突させることで、冷却効率をより一層向上させることができる。
【００２１】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記のものに限定されるものではない。上記実施形態は、冷却パネル４ａ，４ｂに孔４３を開設し、各孔４３にガス管７ａ，７ｂの先端部分のみを嵌挿したものを例に説明したが、これに限定されるものではなく、搬送ベルト１１，１２の幅方向一側または両側から空間６ａ，６ｂに直接不活性ガスが導入されるように構成することができる。更に、例えば、ガス管７ａ，７ｂの所定長さの部分が冷却パネル４ａ，４ｂの面４２に接触するように配管しておき、空間６ａ，６ｂに不活性ガスを導入する前に、より予備的に冷却されるようにしてもよい。
【００２２】
また、上記実施形態では、駆動ローラ２ａ，３ａと従動ローラ２ｂ，３ｂとの間に搬送ベルト１１，１２を巻き掛けたものを例に説明したが、基板Ｓが搬送される間、基板Ｓと搬送ベルト１１，１２とが常時面接触するように駆動ローラ２ａ，３ａと従動ローラ２ｂ，３ｂとの間に、例えば他のローラを設置してもよい。これにより、基板Ｓが搬送方向上流側から下流側に向かって搬送される間、基板Ｓに対して搬送ベルト１１，１２から加わる面圧が増加し、基板Ｓと搬送ベルト１１，１２とがより確実に面接触して、冷却された搬送ベルト１１，１２と基板Ｓとの熱伝導による熱交換がより効率的になり、基板Ｓを速やかに冷却することができる。また、搬送ベルト１１，１２から基板Ｓに熱を効率的に伝達するために、所謂高熱伝導性ゴムを搬送ベルト１１，１２の基板Ｓとの接触面に設けても良い。
【００２３】
更に、上記実施形態では、冷却パネル４ａ，４ｂを冷却する冷却手段として冷凍機５を用いるものを例に説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、公知の構成のチラーユニットを用い、チラーユニットから冷却パネル内に冷媒を循環させて当該冷却パネル４ａ，４ｂを冷却するようにしてもよい。更に、上記実施形態では、冷却パネル４ａ，４ｂが、下ベルト部Ｄｖの搬送方向略全長に亘る長さを有するものを例に説明したが、これに限定されるものではなく、各搬送ベルト１１，１２の幅と同等以上の長さを有することで搬送ベルト１１，１２がその幅方向全長に亘って冷却されるものであれば、その長さは問わない。また、冷却パネル４ａ，４ｂを各搬送ベルト１１，１２の下ベルトＤｖの上方向と下方向とに夫々所定間隔を置いて対向配置したものを例に説明したが、冷却パネル４ａ，４ｂの位置はこれに限定されるものではない。例えば、上ベルト部Ｕｖと下ベルト部Ｄｖとの間の空間に、両面が黒色化加工された一枚の冷却パネルを設置し、上ベルト部Ｕｖと下ベルト部Ｄｖとを同時に冷却する構成を採用することができる。
【００２４】
ところで、上記実施形態のように、冷却パネル４ａ，４ｂに開設した孔４３を通して不活性ガスを空間６ａ，６ｂに供給した場合、空間６ａ，６ｂに供給された不活性ガスは、冷却パネル４ａ，４ｂの外周縁部と搬送ベルト１１，１２の幅方向端部との間の隙間から冷却用チャンバＶｃ内へと排出されることになるが、この構成に限定されるものではない。例えば、冷却パネル４ａ，ｂの外周縁部と搬送ベルト１１，１２との間の上記隙間（即ち、空間６ａ，６ｂの周囲）を囲って当該空間６ａ，６ｂを冷却用チャンバＶｃから雰囲気分離するために雰囲気分離手段を設けてもよい。雰囲気分離手段としては、例えば、図４に示すように、冷却パネル４ａ，４ｂの周囲に取り付けた金属箔８で構成することができ、その先端側が搬送ベルト１１，１２の近傍までのびるようにしている。これにより、搬送ベルト１１，１２に対して冷却された不活性ガスを繰り返し衝突させることができ、冷却パネル４ａ，４ｂの冷却効率を向上することができる。なお、雰囲気分離手段として金属箔８を用いるものを例に説明するが、搬送ベルトの表面を損傷させない材質であれば、これに限定されるものではなく、例えば、表面にフッ素コーティングを施したゴム板を用いることができる。
【００２５】
次に、図５参照して、ＦＣは、第２の実施形態の搬送装置ＴＭ２を備える成膜装置である。上記第１実施形態と同一の部材、要素については同一の符号を付して説明すれば、成膜装置ＦＣは、真空ポンプＰｕにより真空引き可能な成膜用チャンバＶｆを備え、成膜用チャンバＶｆの天井面には、スパッタリングカソード等の成膜源Ｆｕが設けられている。そして、成膜源Ｆｕに対向させて成膜用チャンバＶｆの底面に第２実施形態の搬送装置ＴＭ２が設けられている。
【００２６】
搬送装置ＴＭ２は、基板Ｓが積載されて周回走行される搬送ベルト１０を備える。搬送ベルト１０は、基板Ｓの搬送方向に所定間隔を置いて配置された駆動ローラ２０と従動ローラ３０とに夫々巻き掛けられ、駆動ローラ２０に付設したモータ（図示せず）を回転駆動することで所定の速度で周回走行される。搬送ベルト１０としては、上記第１実施形態と同一のものが用いられる。そして、搬送ベルト１０の下ベルト部Ｄｖの下方に所定間隔を置いて搬送ベルト１０の幅と同等以上の長さを有する冷却パネル４０が対向配置されている。冷却パネル４０としては、上記第１実施形態と同一のものが用いられ、冷凍機５により所定温度に冷却される。また、冷却パネル４０の所定位置には上下方向に貫通する孔４３が夫々開設され、孔４３には、下ベルト部Ｄｖと冷却パネル４ａ，４ｂとで区画される空間６０に不活性ガスを供給するガス供給手段の構成部品としてのガス管７０の先端部分が嵌挿されている。また、成膜用チャンバＶｆ内には、上ベルト部Ｕｖから上方に所定間隔を置いて基板Ｓが臨む開口９０を備えた防着板９が設けられている。
【００２７】
基板Ｓに対して成膜処理するのに際しては、搬送方向上流側で搬送ベルト１０に基板Ｓが積載された後、搬送ベルト１０が周回走行させる。このとき、冷却パネル４０は冷凍機５で冷却されると共に空間６０に不活性ガスが供給された状態とする。そして、上下方向で基板Ｓと開口９０とが一致する位置に基板Ｓが到達すると、搬送ベルト１０の駆動が停止され、この状態で成膜源Ｆｕが作動して所定の成膜処理が行われる。成膜処理中、基板Ｓは冷却されたままとなる。そして、成膜処理が終了すると、搬送ベルト１０が再度周回走行され、成膜処理済みの基板Ｓが下流側へと搬送され、その間、基板Ｓは冷却される。なお、搬送ベルト１０の駆動を停止せずに、当該搬送ベルト１０が周回走行した状態で成膜処理するようにしてもよい。また、第２実施形態の搬送装置ＴＭ２は、基板Ｓの一方の面に所定の処理が既に施され、当該面に搬送ベルトを接触することができないような場合に、単に基板を冷却する場合にも適用できる。
【００２８】
なお、上記第２の実施形態では、搬送ベルト１０の下ベルト部Ｄｖの下方に所定間隔を置いて冷却パネル４０を対向配置したものを例に説明したが、これに限定されるものではなく、下ベルト部Ｄｖの下方に代えてまたは下ベルト部Ｄｖの下方に加えて、搬送ベルト１０の上ベルト部Ｕｖの下方に所定間隔を置いて冷却パネル（図示せず）を対向配置することもできる。
【符号の説明】
【００２９】
ＴＭ１，ＴＭ２…搬送装置、Ｓ…基板（被搬送物）、Ｖｃ…冷却用チャンバ（チャンバ）、１１，１２，１０…搬送ベルト、Ｄｖ…下ベルト部、Ｕｖ…上ベルト部、２ａ，３ａ，２０…駆動ローラ（回転部材）、２ｂ，３ｂ，３０…従動ローラ（回転部材）、４ａ，４ｂ，４０…冷却パネル、５…冷凍機、６ａ，６ｂ，６０…空間、７ａ，７ｂ，７０…ガス管（ガス供給手段の構成要素）、８…金属箔（雰囲気分離手段）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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