(57)【要約】【課題】プローブカードと保護ケースの接触による針先破損を防止し、針先状態を良好に保つプローブカード保護ケースを提供する。【解決手段】プローブカードをスライドさせて収納するプローブカード保護ケースであって、収納部の中空部にプローブと接触するクリーニングシートを有している。さらに、自立部を設けることで省スペースにも貢献する。【選択図】図１
2017135333.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブカードを収納するための収納部とガイドから成るプローブカード保護ケースであって、
前記収納部は平面視的に矩形であり、
前記矩形の周囲を構成している第１面と第２面と第３面と、
前記周囲の第４面にあたるプローブカードの出し入れ口と、
前記出し入れ口と対向する前記第２面にかけて設けられた凸部である、前記第１面に平行な第１側面と前記第３面に平行な第２側面を両側に有する中空部と、
前記第１側面の下辺と前記第１面の上辺と前記第２面と前記出し入れ口に囲まれた第１天板部と、
前記第２側面の下辺と前記第３面の上辺と前記第２面と前記出し入れ口に囲まれた第２天板部と、
前記第１面と第２面と第３面のそれぞれの下辺に渡り設けられた底部と、
を有しており、
前記ガイドは、第１面と第２面と第３面に渡って、前記収納部の内側に設けられており、
前記中空部にクリーニングシートを有することを特徴とするプローブカード保護ケース。
【請求項２】
前記クリーニングシートは、前記中空部の中央部に設けられることを特徴とする請求項１記載のプローブカード保護ケース。
【請求項３】
前記クリーニングシートは、前記中空部の中央部と前記第４面との間に設けられることを特徴とする請求項１記載のプローブカード保護ケース。
【請求項４】
さらに、前記中空部にクリーニングブラシを有することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載のプローブカード保護ケース。
【請求項５】
さらに、前記出し入れ口の両側に、前記第１面および前記第３面に連続して、下方に延伸された自立部を有することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載のプローブカード保護ケース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブカードを保護する機構を有する保護ケースに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハー上に形成された半導体デバイスの特性検査にはプロービング装置が用いられる。プロービング装置にはプローブカードが装着され、このプローブカード上に設けられたプローブを半導体デバイスに接触させて測定を行っている。プローブカード上には多数のプローブが設けられているが、これらが同時に半導体デバイスに接触する必要があり、高さが同じになるように調整されている。しかしながら、様々なストレスによりダメージを受け、この高さが不均一になることもあり慎重に扱う必要がある。そのため、プローブカードを保管する場合、プローブカードの針先を保護するための保護カバーを取り付け保管していた。（例えば、特許文献１参照）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−１０３３５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、保護カバーを取り付ける際に、保護カバー自体にプローブカードのプローブの針先を接触させ、破損させてしまうという問題があった。
本発明は、上記も問題の解決に鑑みなされたもので、プローブカードの針先の破損を防止することが可能なプローブカード保護ケースを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題の解決のために、本発明では以下の構成を有するプローブカード保護ケースとする。
収納部とガイドから成るプローブカード保護ケースであって、
前記収納部は平面視的に矩形であり、
前記矩形の周囲を構成している第１面と第２面と第３面と、
前記周囲の第４面にあたるプローブカードの出し入れ口と、
前記出し入れ口と対向する前記第２面にかけて設けられた凸部である、前記第１面に平行な第１側面と前記第３面に平行な第２側面を両側に有する中空部と、
前記第１側面の下辺と前記第１面の上辺と前記第２面と前記出し入れ口に囲まれた第１天板部と、
前記第２側面の下辺と前記第３面の上辺と前記第２面と前記出し入れ口に囲まれた第２天板部と、
前記第１面と第２面と第３面のそれぞれの下辺に渡り設けられた底部と、
を有しており、
前記ガイドは、第１面と第２面と第３面に渡って、前記収納部の内側に設けられており、
前記中空部にクリーニングシートを有することを特徴とするプローブカード保護ケースとした。
【発明の効果】
【０００６】
上記構成とすることで、プローブカードと保護ケースの接触による針先破損を防止し、針先状態を良好に保つことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の第１の実施形態のプローブカード保護ケースの図である。
【図２】本発明の第１の実施形態のプローブカード保護ケースにおけるプローブカード出し入れ図である。
【図３】本発明の第２の実施形態のプローブカード保護ケースの図である。
【図４】本発明の第３の実施形態のプローブカード保護ケースの図である。
【図５】本発明の第４の実施形態のプローブカード保護ケースの図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下の図面を参照し、本発明の実施の形態を説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態のプローブカード保護ケースの上面図および断面図である。上面図のＡ−Ａに沿った断面図を上面図の上方に、Ｂ−Ｂに沿った断面図を上面図の右方に示した。本図では、プローブカード保護ケース１にプローブカード３を収納した形で図示している。プローブカード保護ケース１は袋状の収納部３０と収納部の内側に設けられたガイド２とから成っており。収納部３０は透明の樹脂で構成されている。上面図に示すように、プローブカード保護ケース１の外形は収納部３０の形状で決まり、ほぼ矩形の形状となっている。そして、平面視的にプローブカード３より大きいサイズとなっている。
【０００９】
収納部３０の側面である周囲３面（第１面２１、第２面２２、第３面２３）には内側にガイド２が設けられている。ガイド２が設けられていない手前の第４面に当たる面には開口部である出し入れ口２４が設けられており、プローブカード３の出し入れが可能である。第１面２１および第３面２３に沿ったガイド２には収納されたプローブカード３が外れないように落下防止凸部４が設けられている。落下防止凸部４はプローブカード３が傾いた場合に出し入れ口２４からプローブカード３が滑り出ることを防止するためのものであり、プローブカード３の移動を制限するものである。落下防止凸部４の上面はガイド２の一部となっている。
さらに、収納部を袋状にするために、第１面２１と第２面２２と第３面２３のそれぞれの下辺に渡り底部が設けられている。
【００１０】
プローブカード３の中央部にはセラミック製のリング部７が設けられ、そのリング部７の上に探針の集合体であるプローブ８が設けられている。このプローブ８の先端が半導体素子上に設けられた電極と接触して半導体素子の電気特性を測定することが可能となる。リング部７を覆うようにクリーニングシート５が設けられているが、このクリーニングシート５はプローブカード保護ケース１の構成物である。
【００１１】
上面図上方の断面図は、上面図Ａ−Ａに沿った断面図である。プローブカード保護ケース１は断面視的に段差を有する構造で、その中央部分には凸部である内部に空間を有する中空部１０と、中空部１０の両側に第１天板部１１と第２天板部１２が設けられている。中空部は第１面に平行な第１側面および第３面に平行な第２側面をその両側に有している。第１の天板部は第１側面の下辺と第１面の上辺と第２面と出し入れ口に囲まれている。第２の天板部は第２側面の下辺と第３面の上辺と第２面と出し入れ口に囲まれている。天板部１１および第２天板部１２とプローブカード３の基板との間には、プローブカード３の表面が天板部の裏面と接触しない程度の隙間が設けられている。天板部の裏面とプローブカード表面との隙間は１〜５ｍｍ程度である。中空部１０と第１天板部１１と第２天板部１２とに向かい合って底部１３が第１面２１と第２面２２と第３面２３のそれぞれの下辺に渡り設けられている。
【００１２】
中空部１０は第１天板部１１、第２天板部１２に対し凸形状で、その裏面にクリーニングシートを保持しており、クリーニングシートの下面がプローブ８の先端と接触するようになっている。従って、中空部１０におけるプローブカード３の基板表面と中空部裏面との隙間はプローブカード上のリング部７、プローブ８、クリーニングシート５の高さの和に相当する、または、上述の和よりも僅か（０．１〜１ｍｍ）に小さく設計されている。これはプローブ８とクリーニングシート５との適切な接触によりプローブ８の先端を幾分撓ませ、クリーニング効果を高めるためである。
【００１３】
天板部の側面である第１面乃至第３面にはプローブカード３の基板厚みよりも高さのあるガイド２が設けられており、置台などの平板の上に平置きした場合に置台表面とプローブカードの基板裏面とが接触するおそれはない。
【００１４】
さらに、プローブカード保護ケース１の収納部３０には出し入れ口２４の両側に、第１面および第３面に連続して、下方に延伸された自立部９が付いており、これによってプローブカード保護ケース１を縦置きすることができる。これにより、省スペースにも貢献できる。
【００１５】
図２は、本発明の第１の実施形態のプローブカード保護ケースにおけるプローブカード出し入れ図である。本図はプローブカード保護ケース１の手前の出し入れ口２４からプローブカード３をスライドさせて差し込んでいる状態を示している。プローブカード３を引き抜く場合は、プローブカード保護ケース１の中空部１０におけるプローブカード基板の上面と中空部裏面との隙間を利用して引き抜くことができる。
【００１６】
図３は、本発明の第２の実施形態のプローブカード保護ケースの上面図、断面図である。第１の実施例との違いは、クリーニングシート５の位置である。第１の実施形態ではプローブカード３のプローブ８をクリーニングシート５が接触して収納される形態であったが、本実施形態ではプローブ８の位置に対し、プローブ保護ケース１の出し入れ口２４寄りにクリーニングシート５を設けている。こうすることで、プローブカード３の出し入れに際し、その移動途中でプローブ８とクリーニングシートとが接触するだけで完全に収納されている場合にはプローブ８とクリーニングシートは接触しない。本実施形態であれば、プローブ８と中空部１０裏面の間に空隙があるためプローブカード３をプローブカード保護ケース１に収納して保管しているときに予期しない外力がプローブカード保護ケース１に加わったとしてもプローブ８を傷つけつけるおそれはない。
【００１７】
図４は、本発明の第３の実施形態のプローブカード保護ケースの上面図、断面図である。第１の実施例との違いは、クリーニングシート５に加えてクリーニングブラシ６を設けた点である。クリーニングブラシ６はプローブ８に付着した大きめの金属カスを除去する役目をするが、これをプローブカード保護ケース１の出し入れ口２４に近い部分に設け、プローブ８の表面研磨の役目をするクリーニングシート５は中央部に設け、プローブカードを完全収納した時点でプローブ８と接触するように配置した。このようにすることで、プローブカード３の収納動作時にプローブ８表面に付着した異物が除去でき、良好なプローブ表面を維持することができる。
【００１８】
図５は、本発明の第４の実施形態のプローブカード保護ケースの上面図、断面図である。これは第３の実施形態に第２の実施形態を組合せたもので、クリーニングシート５とクリーニングブラシ６の両方を有するものの、プローブカード３を完全収納した時にクリーニングシート５やクリーニングブラシ６とプローブ８とが接触しないように配置したものである。
【符号の説明】
【００１９】
１  プローブカード保護ケース
２  ガイド
３  プローブカード
４  落下防止凸部
５  クリーニングシート
６  クリーニングブラシ
７  リング部
８  プローブ
９  自立部
１０  中空部
１１  第１天板部
１２  第２天板部
１３  底部
２１  第１面
２２  第２面
２３  第３面
２４  出し入れ口（第４面）
３０  収納部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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