(57)【要約】【課題】電源電圧の揺れを適切に測定できるようにし、測定した電源電圧の揺れを用いて電源電圧の揺れに起因するノイズを除去できるようにする。【解決手段】行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、行単位で重複しない異なるタイミングで画素信号がアナログデジタル変換されるとき、対応する画素に供給する電源の電圧をサンプリングさせる。本開示は、固体撮像素子に適用することができる。【選択図】図３
2017200151.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射光の光量に応じて画素信号を生成する複数の画素が２次元のアレイ状に配設された撮像素子と、
前記画素信号を行単位で読み出して、前記行単位の画素信号を順次アナログデジタル変換する画素信号アナログデジタル変換部と、
電力を供給する電源の電圧をサンプリングするサンプリング部と、
前記サンプリング部の動作を制御する動作制御部とを含み、
前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で重複しない異なるタイミングで、前記動作制御部は、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をサンプリングさせる
固体撮像素子。
【請求項２】
前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で直前の処理でサンプリングされたタイミングとずれたタイミングで、前記動作制御部は、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をサンプリングさせる
請求項１に記載の固体撮像素子。
【請求項３】
前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で直前の処理でサンプリングされた前記タイミングと隣接するタイミングで、前記動作制御部は、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をサンプリングさせる
請求項１に記載の固体撮像素子。
【請求項４】
前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で重複しない異なるタイミングでアナログデジタル変換されるとき、前記動作制御部は、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をサンプリングさせ、前記行単位で重複しない異なる全てのタイミングのサンプリング結果より、前記電源の電圧の行内変動と行間変動とを含む波形を求めて記憶する
請求項１に記載の固体撮像素子。
【請求項５】
前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で直前の処理でサンプリングされたタイミングと同一のタイミングで、前記動作制御部は、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をさらにサンプリングさせる
請求項１に記載の固体撮像素子。
【請求項６】
前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で直前の処理でサンプリングされたタイミングと同一のタイミングで、前記動作制御部は、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をさらにサンプリングさせ、サンプリング結果より前記電源の電圧の行間変動波形を求めて記憶する
請求項１に記載の固体撮像素子。
【請求項７】
前記動作制御部は、
前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で重複しない異なるタイミングで、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をサンプリングさせ、前記行単位で重複しない異なる全てのタイミングのサンプリング結果より、前記電源の電圧の行内変動と行間変動とを含む波形を求めて記憶し、
前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で直前の処理でサンプリングされたタイミングと同一のタイミングで、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をさらにサンプリングさせ、サンプリング結果より前記電源の電圧の行間変動波形を求めて記憶し、
前記行内変動と行間変動とを含む波形より、前記行間変動波形を減算することで、前記行内変動波形を求め、
前記行内変動波形を用いて前記電源の電圧の振幅を補正する
請求項１に記載の固体撮像素子。
【請求項８】
前記サンプリング部によりサンプリングされた前記電源の電圧の振幅をアナログデジタル変換する電源電圧アナログデジタル変換部をさらに含み、
前記動作制御部は、前記サンプリング部に、直前にサンプリングさせた電源の電圧が、前記電源電圧アナログデジタル変換部によりアナログデジタル変換された後に、次の電源の電圧をサンプリングさせる
請求項１に記載の固体撮像素子。
【請求項９】
前記動作制御部は、前記サンプリング部に、直前にサンプリングさせた電源の電圧が、前記電源電圧アナログデジタル変換部によりアナログデジタル変換された後であって、前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で重複しない異なるタイミングでアナログデジタル変換されるとき、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をサンプリングさせる
請求項８に記載の固体撮像素子。
【請求項１０】
入射光の光量に応じて画素信号を生成する複数の画素が２次元のアレイ状に配設された撮像素子と、
前記画素信号を行単位で読み出して、前記行単位の画素信号を順次アナログデジタル変換する画素信号アナログデジタル変換部と、
電力を供給する電源の電圧をサンプリングするサンプリング部と、
前記サンプリング部の動作を制御する動作制御部とを含む固体撮像素子の動作方法であって、
前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で重複しない異なるタイミングで、前記動作制御部は、前記サンプリング部に、前記画素に供給する電源の電圧をサンプリングさせる
固体撮像素子の動作方法。
【請求項１１】
入射光の光量に応じて画素信号を生成する複数の画素が２次元のアレイ状に配設された撮像素子と、
前記画素信号を行単位で読み出して、前記行単位の画素信号を順次アナログデジタル変換する画素信号アナログデジタル変換部と、
電力を供給する電源の電圧をサンプリングするサンプリング部と、
前記サンプリング部の動作を制御する動作制御部とを含み、
前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で重複しない異なるタイミングで、前記動作制御部は、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をサンプリングさせる
撮像装置。
【請求項１２】
入射光の光量に応じて画素信号を生成する複数の画素が２次元のアレイ状に配設された撮像素子と、
前記画素信号を行単位で読み出して、前記行単位の画素信号を順次アナログデジタル変換する画素信号アナログデジタル変換部と、
電力を供給する電源の電圧をサンプリングするサンプリング部と、
前記サンプリング部の動作を制御する動作制御部とを含み、
前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で重複しない異なるタイミングで、前記動作制御部は、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をサンプリングさせる
電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、固体撮像素子および固体撮像素子の動作方法、撮像装置、および電子機器に関し、特に、電源電圧の揺れによる影響を低減できるようにした固体撮像素子および固体撮像素子の動作方法、撮像装置、および電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
CIS（CMOS（Complementary Metal Oxide Semiconductor）Image Sensor）では、画素信号の読み出しは、一般的に行単位で同時読み出しされ、この行単位の読出し制御を繰り返すことで１枚の画像を生成する。
【０００３】
この画素信号には、様々なノイズが含まれており、この除去方法が提案されている。
【０００４】
画素信号には、例えば、トランジスタ特性のばらつきや電源電圧の揺れに起因して生じるノイズが含まれている。
【０００５】
そこで、このトランジスタのばらつきに起因した画素信号のノイズを低減する技術が提案されている（特許文献１参照）。
【０００６】
また、近年においては、ロジック回路が動作する際の電源電圧揺れがノイズとして画質に影響を与えるケースが生じており、画質向上のハードルになっている。
【０００７】
従来、この電源電圧の揺れに対しては、外部部品や基板配線の強化で揺れ自身を抑える対策がとられてきた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００７−１８０６５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、電源電圧の揺れ自身を検出することができるようになれば、制御上の工夫で発生源をコントロールできる情報を持てるようになるため、より簡単な対策ができるようになる。
【００１０】
そのためには、この電源電圧の揺れを適切に検出する必要がある。
【００１１】
一般的には、f=100MHzのSin波を復元するには2倍の200MHzのサンプリングデータを必要とするが、行単位の読み出し期間が5us程度の場合、１行の読出しにおける電源電圧の揺れを復元するには1000ポイントのデータを取る必要がある。
【００１２】
1ポイント=5nsでAD変換することはスピード上、非現実的なので、複数配置のAD変換部が必要となるが、この場合、実装面積に限界があり、やはり現実的なものではなかった。
【００１３】
本開示は、このような状況に鑑みてなされたものであり、特に、簡単な装置構成で、電源電圧の揺れを適切に測定できるようにし、測定した電源電圧の揺れを用いて電源電圧の揺れに起因するノイズを除去できるようにするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本開示の一側面の固体撮像素子は、入射光の光量に応じて画素信号を生成する複数の画素が２次元のアレイ状に配設された撮像素子と、前記画素信号を行単位で読み出して、前記行単位の画素信号を順次アナログデジタル変換する画素信号アナログデジタル変換部と、電力を供給する電源の電圧をサンプリングするサンプリング部と、前記サンプリング部の動作を制御する動作制御部とを含み、前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で重複しない異なるタイミングで、前記動作制御部は、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をサンプリングさせる固体撮像素子である。
【００１５】
前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で直前の処理でサンプリングされたタイミングとずれたタイミングで、前記動作制御部には、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をサンプリングさせることができる。
【００１６】
前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で直前の処理でサンプリングされた前記タイミングと隣接するタイミングで、前記動作制御部には、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をサンプリングさせることができる。
【００１７】
前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で重複しない異なるタイミングでアナログデジタル変換されるとき、前記動作制御部には、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をサンプリングさせ、前記行単位で重複しない異なる全てのタイミングのサンプリング結果より、前記電源の電圧の行内変動と行間変動とを含む波形を求めて記憶させるようにすることができる。
【００１８】
前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で直前の処理でサンプリングされたタイミングと同一のタイミングで、前記動作制御部には、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をさらにサンプリングさせるようにすることができる。
【００１９】
前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で直前の処理でサンプリングされたタイミングと同一のタイミングで、前記動作制御部には、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をさらにサンプリングさせ、サンプリング結果より前記電源の電圧の行間変動波形を求めて記憶させるようにすることができる。
【００２０】
前記動作制御部には、前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で重複しない異なるタイミングで、前記動作制御部は、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をサンプリングさせ、前記行単位で重複しない異なる全てのタイミングのサンプリング結果より、前記電源の電圧の行内変動と行間変動とを含む波形を求めて記憶させ、前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で直前の処理でサンプリングされたタイミングと同一のタイミングで、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をさらにサンプリングさせ、サンプリング結果より前記電源の電圧の行間変動波形を求めて記憶させ、前記行内変動と行間変動とを含む波形より、前記行間変動波形を減算することで、前記行内変動波形を求め、前記行内変動波形を用いて前記電源の電圧の振幅を補正させるようにすることができる。
【００２１】
前記サンプリング部によりサンプリングされた前記電源の電圧の振幅をアナログデジタル変換する電源電圧アナログデジタル変換部をさらに含ませるようにすることができ、前記動作制御部には、前記サンプリング部に、直前にサンプリングさせた電源の電圧が、前記電源電圧アナログデジタル変換部によりアナログデジタル変換された後に、次の電源の電圧をサンプリングさせるようにすることができる。
【００２２】
前記動作制御部には、前記サンプリング部に、直前にサンプリングさせた電源の電圧が、前記電源電圧アナログデジタル変換部によりアナログデジタル変換された後であって、前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で重複しない異なるタイミングでアナログデジタル変換されるとき、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をサンプリングさせるようにすることができる。
【００２３】
本開示の一側面の固体撮像素子の動作方法は、入射光の光量に応じて画素信号を生成する複数の画素が２次元のアレイ状に配設された撮像素子と、前記画素信号を行単位で読み出して、前記行単位の画素信号を順次アナログデジタル変換する画素信号アナログデジタル変換部と、電力を供給する電源の電圧をサンプリングするサンプリング部と、前記サンプリング部の動作を制御する動作制御部とを含む固体撮像素子の動作方法であって、前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で重複しない異なるタイミングで、前記動作制御部は、前記サンプリング部に、前記画素に供給する電源の電圧をサンプリングさせる固体撮像素子の動作方法である。
【００２４】
本開示の一側面の撮像装置は、入射光の光量に応じて画素信号を生成する複数の画素が２次元のアレイ状に配設された撮像素子と、前記画素信号を行単位で読み出して、前記行単位の画素信号を順次アナログデジタル変換する画素信号アナログデジタル変換部と、電力を供給する電源の電圧をサンプリングするサンプリング部と、前記サンプリング部の動作を制御する動作制御部とを含み、前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で重複しない異なるタイミングで、前記動作制御部は、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をサンプリングさせる撮像装置である。
【００２５】
本開示の一側面の電子機器は、入射光の光量に応じて画素信号を生成する複数の画素が２次元のアレイ状に配設された撮像素子と、前記画素信号を行単位で読み出して、前記行単位の画素信号を順次アナログデジタル変換する画素信号アナログデジタル変換部と、電力を供給する電源の電圧をサンプリングするサンプリング部と、前記サンプリング部の動作を制御する動作制御部とを含み、前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で重複しない異なるタイミングで、前記動作制御部は、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をサンプリングさせる電子機器である。
【００２６】
本開示の一側面においては、複数の画素が２次元のアレイ状に配設された撮像素子により、入射光の光量に応じて画素信号を生成され、前記画素信号を行単位で読み出して、前記行単位の画素信号が順次アナログデジタル変換され、電力を供給する電源の電圧がサンプリングされ、前記サンプリングの動作が制御され、前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で重複しない異なるタイミングで、前記電源の電圧がサンプリングされる。
【発明の効果】
【００２７】
本開示の一側面によれば、電源電圧の揺れを適切に測定できるようにし、測定した電源電圧の揺れを用いて電源電圧の揺れに起因するノイズを除去することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】画素信号がAD変換されるとき電源電圧が変動する（揺れる）ことを説明する図である。
【図２】電源電圧の揺れを直接測定することが困難であることを説明する図である。
【図３】本開示の技術を適用した電源電圧の揺れの測定の概要を説明する図である。
【図４】本開示の技術を適用した固体撮像素子の構成例を説明する図である。
【図５】図４の画素アレイ内の画素の構成例を説明する図である。
【図６】水平方向電源電圧振幅測定処理を説明するフローチャートである。
【図７】水平方向電源電圧振幅測定処理を説明する図である。
【図８】水平方向電源電圧振幅測定処理を説明する図である。
【図９】垂直方向電源電圧振幅測定処理を説明するフローチャートである。
【図１０】垂直方向電源電圧振幅測定処理を説明する図である。
【図１１】補正処理を説明するフローチャートである。
【図１２】本開示のカメラモジュールを適用した電子機器としての撮像装置の構成例を示すブロック図である。
【図１３】本開示の技術を適用したカメラモジュールの使用例を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下に添付図面を参照しながら、本開示の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００３０】
＜本開示の電源電圧の揺れの測定の概要＞
本開示の技術を説明するに当たって、まず、本開示の電源電圧の揺れの測定の概要を説明する。
【００３１】
例えば、図１の左部の顔Ｆ１が含まれる画像Ｐ１がＸ列×Ｙ行の画素配列からなる撮像素子により撮像された場合、画素信号は、１行ずつ上の行から順次行単位で読み出される。このとき、各行の画素信号は画素単位で同時に読み出される。
【００３２】
この結果、時系列には、図１の右上部で示されるように、n行目の画素信号が読み出される（Read: n line）と、次に、（n+1）行目の信号が読み出され、この処理がＹ行分繰り返されることで、1枚の画像についての画素信号が読み出されることになる。
【００３３】
このとき、各行の画素信号を読み出すと、各画素信号が読み出される際の電源電圧は、本来一定であるべきところ、例えば、図１の右下部で示されるように変動する（揺れる）。尚、図１の右下部においては、n行目の画素信号が読み出される期間における電源電圧の波形を示している。
【００３４】
電源電圧は、本来、一定であるべきものであるので、この電源電圧の揺れが画素信号に対してノイズとして影響することになり、結果として画質の低下を招く恐れがある。
【００３５】
図１の右下部で示される電源電圧の揺れを示す波形は、各行において、略同一の波形を示すことが分かっているので、その波形を測定することができれば、電源電圧の揺れに起因する画素信号に含まれるノイズを除去できるように補正することが可能となる。
【００３６】
そこで、この電源電圧の各行の画素信号がアナログデジタル変換されるときに電源電圧を測定することを考える。
【００３７】
例えば、図２の左部で示されるように、200MHzのクロック信号の場合、クロック信号を用いたロジック動作の最小単位は、5usとなるが、図２の右部で示されるように、１行分の画素信号を読み出してアナログデジタル変換するのに必要とされる時間も5us程度である。すると、この5usで、波形測定に2000ポイント程度の測定結果を得る必要があるが、１台のAD変換（アナログデジタル変換）器を用いて処理した場合、１ポイントあたり2.5ns程度でAD変換する必要があり、AD変換器の性能をどれだけ高速にしても現実的ではない。仮に、複数のAD変換器を用いたとしても、必要とされるAD変換器の数が多く、実装面積そのものを確保することも難しい。
【００３８】
そこで、本開示の技術においては、例えば、図３の右上部で示されるように、１行の読み出し期間のうちの一部のタイミングで、電源電圧を測定し、さらに、各行において、タイミングをずらしながら測定することを繰り返すことで、１行の読み出し期間の全体の測定結果を求め、図３の左上部で示される波形Ｌ１で示されるような電源電圧の揺れを表す波形を求める。
【００３９】
ただし、この波形Ｌ１には、１行の読み出し期間における電源電圧の揺れ（以降において、行内変動とも称する）と共に、異なる行間の電源電圧の揺れと（以降において、行間電圧とも称する）をも含んでいる。そこで、この行間変動については、図３の左下部で示されるように、各行について、画素信号がアナログデジタル変換される期間における同一のタイミングで電源電圧を測定することで、図３の右上部の波形Ｌ２で表される行間変動を求める。
【００４０】
そして、図３の右下部で示されるように、行内変動と行間変動両方の要素を含む波形Ｌ１から、行間変動の要素を含む波形Ｌ２の要素を減算することで、純粋な行内変動を求める。
【００４１】
尚、図３の右下部においては、行内変動の要素を「Ｈ揺れ要素」と称し、行間変動の要素を「Ｖ揺れ要素」と称し、それら両方の揺れを含む要素を「Ｈ＋Ｖ揺れ要素」と称している。
【００４２】
求めたい「Ｈ揺れ要素」からなる行内変動の要素の波形は、１行毎に電源電圧を測定するタイミングをずらしながら各タイミングで測定される「Ｈ＋Ｖ揺れ要素」、すなわち、行内変動および行間変動の要素の両方を含む波形Ｌ１から、１行毎に同一のタイミングで測定される「Ｖ揺れ要素」、すなわち、行間変動の要素を含む波形Ｌ２を減算することにより求められることになる。
【００４３】
尚、図３の右上部および左下部においては、各行である行１Ｈ、２Ｈ、・・・ＮＨにおける電源電圧の揺れを表す波形が示されており、水平方向の測定位置が黒丸で示されている。そして、右上部においては、点線で示されるように、行毎に所定間隔で図中の右方向、すなわち、時間方向に遅れる方向に測定タイミングがずれていることが示されている。また、図３の左下部においても、点線で示されるように、各行である行１Ｈ、２Ｈ、・・・ＮＨにおける電源電圧の測定タイミングが同一であり、行間の電源電圧の揺れ（行間変動）が測定されている。
【００４４】
図３の左上部は、行内変動と行間変動との両方を含む波形Ｌ１と、行間変動を示す波形Ｌ２とが示されている。
【００４５】
＜本開示の一実施の形態の構成例＞
次に、図４を参照して、本開示の固体撮像素子について説明する。
【００４６】
図４で示される固体撮像素子１１は、画素アレイ（PIX）３１、カラムADC（Column ADC（Analog Digital Converter））３２−１，３２−２、垂直転送制御部（VS）３３、バイアス回路（BIAS）３４、DAC（Digital Analog Converter）３５、デジタル回路（DG）３６、AD（Analog Digital 変換回路）３７、サンプリング回路（sampling）３８、PLL（Phase Locked Loop）３９、およびIF（Interface）４０を備えている。
【００４７】
画素アレイ３１には、複数の画素５１が２次元にアレイ状に配置されており、垂直転送制御部３３からの制御信号に応じて、行単位でアナログの画素信号をカラムADC３２−１また３２−２に出力する。
【００４８】
カラムADC３２−１，３２−２は、PLL３９より供給されてくるクロック信号と同期して、それぞれバイアス回路３４より供給されてくる基準電圧と、DAC３５より供給されてくるリファレンス電圧とに基づいて、アナログの画素信号をデジタルの画素信号に変換してデジタル回路３６に出力する。
【００４９】
サンプリング回路３８は、デジタル回路３６によりタイミングが制御されて、指定されたタイミングにおいて電源電圧（図４においては、高電圧（VDDH）、中電圧（VDDM）、および低電圧（VDDL）の３種類の電源電圧）をサンプリングし（測定し）、測定結果をAD３７に供給する。
【００５０】
尚、この例においては、電源電圧として、高電圧電源（VDDH）、中電圧電源（VDDM）、および低電圧電源（VDDL）が同時に測定可能な構成とされているが、いずれか１個、または、２個の電源電圧を測定するようにしてもよい。また、以降においては、これらを特に区別する必要がない場合、単に、電源VDDと称するものとする。
【００５１】
AD（アナログデジタル変換回路）３７は、デジタル回路３６によりタイミングが制御され、サンプリング回路３８より供給されてくるサンプリング結果である電源VDDの電圧のアナログ信号をデジタル信号に変換してデジタル回路３６に供給する。
【００５２】
デジタル回路３６は、PLL３９より供給されてくるクロック信号に同期して、サンプリング回路３８より電源VDDの電圧をサンプリングさせると共に、サンプリング結果をAD３７にAD変換させる。
【００５３】
デジタル回路３６は、デジタル信号に変換された電源VDDの電圧のサンプリング結果を順次記憶して、上述した図３で示される波形Ｌ１，Ｌ２を生成すると共に記憶する。さらに、デジタル回路３６は、生成した波形Ｌ１，Ｌ２に基づいて、カラムADC３２−１，３２−２より供給されてくるデジタル信号からなる画素信号に、電源VDDの電圧が揺れることに起因して生じるノイズを除去して、PLL３９に供給し、所定の信号に同期してIF４０より出力する。
【００５４】
＜画素回路の構成例＞
次に、図５を参照して、画素５１の構成例について説明する。
【００５５】
画素５１は、光電変換素子としてのフォトダイオード７１、転送トランジスタ７２、FD（フローティングディフュージョン）７３、リセットトランジスタ７４、増幅トランジスタ７５、および選択トランジスタ７６を有する。
【００５６】
フォトダイオード７１は、受光した光量に応じた電荷（信号電荷）を生成し、かつ、蓄積する。フォトダイオード７１は、アノード端子が接地されているとともに、カソード端子が転送トランジスタ７２を介して、FD７３に接続されている。
【００５７】
転送トランジスタ７２は、転送信号TRによりオンされたとき、フォトダイオード７１で生成された電荷を読み出し、FD７３に転送する。
【００５８】
FD７３は、フォトダイオード７１から読み出された電荷を保持する。リセットトランジスタ７４は、リセット信号RSTによりオンされたとき、FD７３に蓄積されている電荷がドレイン（電源VDD）に排出されることで、FD７３の電位をリセットする。
【００５９】
増幅トランジスタ７５は、FD７３の電位に応じた画素信号を出力する。すなわち、増幅トランジスタ７５は、垂直信号線７７を介して接続されている定電流源としての負荷MOS（不図示）とソースフォロワ回路を構成し、FD７３に蓄積されている電荷に応じたレベルを示す画素信号が、増幅トランジスタ７５から選択トランジスタ７６と垂直信号線７７を介してカラムADC３２−１，３２−２に出力される。
【００６０】
選択トランジスタ７６は、選択信号SELにより画素５１が選択されたときオンされ、画素５１の画素信号を、垂直信号線７７を介してカラムADC３２−１，３２−２に出力する。転送信号TR、選択信号SEL、及びリセット信号RSTは、垂直転送制御部（VS）３３より供給される。
【００６１】
画素５１は、以上のように構成することができるが、この構成に限定されるものではなく、その他の構成を採用することもできる。
【００６２】
すなわち、各画素５１において、ドレインとなる電源VDDの電圧が読み出すタイミングに応じて揺れることにより、リセットされた電位が変化し、画素信号が変化することで、結果として、ノイズが生じることになる。また、ノイズの発生源となりうる電源VDDは、図５の電源VDDのみならず、カラムADC３２−１，３２−２などの他の装置の電源VDDの変動も含むものである。
【００６３】
＜行内変動＋行間変動測定処理＞
次に、図６のフローチャートを参照して、図４の固体撮像素子１１による行内変動＋行間変動測定処理（図３におけるＨ＋Ｖ揺れ要素である波形Ｌ１の測定処理）について説明する。尚、この処理と並列して、行単位で画素信号が読み出されて、カラムADC３２−１，３２−２によりAD変換処理が繰り返されていることが前提となる。
【００６４】
ステップＳ１１において、デジタル回路３６は、タイミングと行をカウントするカウンタＴ，Ｙを０に初期化する。
【００６５】
ステップＳ１２において、デジタル回路３６は、カラムADC３２−１，３２−２によるＹ行目の画素信号の読み出し期間におけるタイミングＴであるか否か（Ｙ行目の画素信号が読み出される期間に入ってから時間Ｔが経過したか否か）を判定し、Ｙ行目の画素信号が読み出される期間におけるタイミングＴまで同様の処理を繰り返す。そして、ステップＳ１２において、Ｙ行目の画素信号の読み出し期間におけるタイミングＴになった場合、処理は、ステップＳ１３に進む。
【００６６】
ステップＳ１３において、デジタル回路３６は、サンプリング回路３８に対して、電源VDDの電圧をサンプリングさせる。
【００６７】
ステップＳ１４において、デジタル回路３６は、サンプリング回路３８によりサンプリングが完了したか否かを判定し、サンプリングが完了するまで同様の処理を繰り返す。そして、ステップＳ１４において、サンプリング回路３８により、電源VDDの電圧のサンプリングが完了し、サンプリング結果がAD部３７に出力された場合、サンプリングが完了したものとみなし、処理は、ステップＳ１５に進む。
【００６８】
ステップＳ１５において、デジタル回路３６は、AD３７に対して、サンプリング結果となる電源VDDの電圧をアナログ信号からデジタル信号に変換させる。
【００６９】
ステップＳ１６において、デジタル回路３６は、AD３７によりデジタル信号に変換された電源VDDの電圧の情報を、Ｙ行目の画素信号の読み出し期間におけるタイミングＴに対応付けて記憶する。
【００７０】
ステップＳ１７において、デジタル回路３６は、カウンタＴが最大値Ｔｍａｘ（１行の画素信号の読み出し期間の全期間の）であるか否かを判定し、最大値ではない場合、処理は、ステップＳ１８に進む。
【００７１】
ステップＳ１８において、デジタル回路３６は、カウンタＹが最大値Ｙｍａｘ（垂直方向の行数）であるか否かを判定し、最大値ではない場合、処理は、ステップＳ２０に進む。
【００７２】
ステップＳ２０において、デジタル回路３６は、カウンタＹを１インクリメントし、カウンタＴをｔインクリメントし、処理は、ステップＳ１２に戻る。ここで、ｔは、AD３７の変換速度に起因して設定される値であり、ステップＳ１３乃至Ｓ１６の処理が繰り返される際に必要とされる時間となる。すなわち、このｔをAD３７の処理速度に応じて設定することで、様々な処理速度のAD変換器により処理を実現することが可能となる。
【００７３】
一方、ステップＳ１８において、カウンタＹが最大値Ｙｍａｘである場合、ステップＳ１９において、デジタル回路３６は、カウンタＹを０にリセットする。すなわち、全てのタイミングについて処理がなされるまでは、繰り返される処理であるので、画像の垂直方向の全行数について処理が完了した場合については、再び、先頭行から処理を繰り返す。
【００７４】
すなわち、ステップＳ１７において、カウンタＴが最大値Ｔｍａｘになるまで、換言すれば、１行分の画素信号の読み出し期間に相当する全てのタイミングで電源VDDの電圧が測定されるまで、ステップＳ１２乃至Ｓ２０の処理が繰り返される。
【００７５】
そして、ステップＳ１７において、カウンタＴが最大値Ｔｍａｘになると、処理は、ステップＳ２１に進む。
【００７６】
ステップＳ２１において、デジタル回路３６は、タイミングに対応付けて記憶されている電源VDDの電圧の情報に基づいて、行内変動＋行間変動波形、すなわち、図３における波形Ｌ１に対応する波形を復元して記憶する。
【００７７】
以上の一連の処理により、例えば、図７で示されるように、連続するＹ（ｎ−１）行目、Ｙ（ｎ）行目、およびＹ（ｎ＋１）行目のそれぞれにおいて、連続するタイミングＴ１、Ｔ２、Ｔ３の画素の画素信号がAD変換される際の電源VDDの電圧が測定される。尚、図７においては、連続する各行のそれぞれで連続するタイミングＴの画素の電源VDDの電圧が測定される例が示されているが、例えば、AD３７の処理速度が遅いような場合、複数行毎に１タイミングずつ測定し、複数行単位でタイミングをずらしながら電源VDDの電圧を測定するようにしてもよい。
【００７８】
いずれにしても、行単位の処理期間内の全てのタイミングについて電源VDDの電圧が測定されるようにすることで、行内変動＋行間変動波形を測定できればよい。
【００７９】
従って、例えば、図８の左部で示されるように、1frm（フレーム）目で水平方向に対して左端部となるタイミングＴａ乃至Ｔｂまでの画素に対応する電源VDDの電圧を測定し、2frm目でタイミングＴｂ乃至Ｔｃまでの画素に対応する電源VDDの電圧を測定し、3frm目でタイミングＴｃ乃至Ｔｄまでの画素に対応する電源VDDの電圧を測定するようにして、図８の右部で示されるような行内変動＋行間変動波形を求めるようにしてもよい。
【００８０】
尚、図８においては、図中の左部で1frm乃至4frmまでの電源VDDの電圧がサンプリングされるタイミングの軌跡が直線で示されており、図中の右部でサンプリングされた電源VDDの電圧の波形が示されている。図８の右部で示される波形が、図３における波形Ｌ１に相当するものである。
【００８１】
＜行間変動測定処理＞
次に、図９のフローチャートを参照して、図４の固体撮像素子１１による行間変動測定処理（図３におけるＶ揺れ要素である波形Ｌ２の測定処理）について説明する。
【００８２】
ステップＳ３１において、デジタル回路３６は、行をカウントするカウンタＹを０に初期化する。
【００８３】
ステップＳ３２において、デジタル回路３６は、カラムADC３２−１，３２−２によるＹ行目の画素信号の読み出し期間における、所定のタイミングＴ（Ｔは任意）であるか否か（Ｙ行目の画素信号の読み出し期間に入ってから時間Ｔが経過したか否か）を判定し、Ｙ行目の画素信号の読み出し期間における、所定のタイミングＴまで同様の処理を繰り返す。そして、ステップＳ３２において、Ｙ行目の画素信号の読み出し期間における、所定のタイミングＴになった場合、処理は、ステップＳ３３に進む。
【００８４】
ステップＳ３３において、デジタル回路３６は、サンプリング回路３８に対して、電源VDDの電圧をサンプリングさせる。
【００８５】
ステップＳ３４において、デジタル回路３６は、サンプリング回路３８によりサンプリングが完了したか否かを判定し、サンプリングが完了するまで同様の処理を繰り返す。そして、ステップＳ３４において、サンプリング回路３８が、電源VDDの電圧のサンプリングを完了し、AD３７に出力した場合、処理は、ステップＳ３５に進む。
【００８６】
ステップＳ３５において、デジタル回路３６は、AD３７に対して、サンプリング結果となる電源VDDの電圧をアナログ信号からデジタル信号に変換させる。
【００８７】
ステップＳ３６において、デジタル回路３６は、AD３７によりデジタル信号に変換された電源VDDの電圧の情報を、Ｙ行目の所定のタイミングＴに対応付けて記憶する。
【００８８】
ステップＳ３７において、デジタル回路３６は、カウンタＹが最大値Ｙｍａｘ（垂直方向の行数）であるか否かを判定し、最大値ではない場合、処理は、ステップＳ３８に進む。
【００８９】
ステップＳ３８において、デジタル回路３６は、カウンタＹを１インクリメントし、処理は、ステップＳ１２に戻る。
【００９０】
すなわち、ステップＳ３７において、カウンタＹが最大値Ｙｍａｘになるまで、換言すれば、垂直方向の行数分だけ、各行の読み出し期間における同一のタイミングでAD変換される際の電源VDDの電圧が測定されるまで、ステップＳ３２乃至Ｓ３８の処理が繰り返される。
【００９１】
そして、ステップＳ３７において、カウンタＹが最大値Ｙｍａｘになると、処理は、ステップＳ３９に進む。
【００９２】
ステップＳ３９において、デジタル回路３６は、Ｙ行目と所定のタイミングＴに対応付けて記憶されている電源VDDの電圧の情報に基づいて、行間変動の波形、すなわち、図３における波形Ｌ２に対応する波形を復元して記憶する。
【００９３】
以上の一連の処理により、例えば、図１０で示されるように、連続するＹ（ｎ−１）行目、Ｙ（ｎ）行目、およびＹ（ｎ＋１）行目のそれぞれにおいて、同一のタイミングＴ１１における電源VDDの電圧が測定される。
【００９４】
尚、図１０においては、連続する各行のそれぞれで連続するタイミングで電源VDDの電圧が測定される例が示されているが、例えば、AD３７の処理速度が遅いような場合、複数行毎に電源VDDの電圧を測定するようにしてもよい。
【００９５】
いずれにしても、全ての行の所定の同一のタイミングで電源VDDの電圧が測定されるようにすることで、垂直方向電源電圧振幅の波形を測定できればよい。
【００９６】
＜補正処理＞
次に、図１１のフローチャートを参照して、上述の処理により取得された水平方向電源電圧振幅波形、および垂直方向電源電圧振幅波形を用いて、カラムADC３２−１，３２−２によりAD変換された画素信号の電源VDDの電圧の揺れにより生じたノイズを除去する補正処理について説明する。尚、この処理は、カラムADC３２−１，３２−２により順次画素信号がAD変換されていることを前提とする。
【００９７】
ステップＳ５１において、デジタル回路３６は、行をカウントするカウンタＹを０にリセットする。
【００９８】
ステップＳ５２において、デジタル回路３６は、Ｙ行目の画素信号の読み出し開始タイミングになったか否かを判定し、開始タイミングになるまで、同様の処理を繰り返す。そして、ステップＳ５２において、開始タイミングになったと判定された場合、処理は、ステップＳ５３に進む。
【００９９】
ステップＳ５３において、デジタル回路３６は、行内変動＋行間変動波形、および行間変動波形を用いて、行内変動波形を求めて、電源電圧VDDに対して、逆位相を掛けて電圧を補正する。
【０１００】
すなわち、図３を参照して説明したように、デジタル回路３６は、図３の波形Ｌ１に対応する行内変動＋行間変動波形より、図３の波形Ｌ２に対応する行間変動波形を減算することにより、行内変動波形を得ることができ、対応する画素位置の電源VDDの電圧の揺れの振幅に対して、行内変動波形の逆位相を掛けることで電源電圧を補正することが可能となる。
【０１０１】
ステップＳ５４において、デジタル回路３６は、カウンタＹが最大値Ｙｍａｘ（垂直方向の行数）であるか否かを判定し、最大値ではない場合、処理は、ステップＳ５５に進む。
【０１０２】
ステップＳ５５において、デジタル回路３６は、カウンタＹを１インクリメントし、処理は、ステップＳ５２に戻る。
【０１０３】
ステップＳ５４において、最大値である場合、処理は、ステップＳ５６に進む。
【０１０４】
ステップＳ５６において、デジタル回路３６は、処理の終了が指示されたか否かを判定し、終了が指示されていない場合、処理は、ステップＳ５１に戻り、以降の処理が繰り返される。そして、ステップＳ５６において、終了が指示された場合、処理は終了する。
【０１０５】
以上の処理により、電源VDDの電圧が揺れることに起因して生じる画素信号へのノイズを除去することが可能となる。
【０１０６】
尚、以上の処理においては、行内変動＋行間変動測定処理、および行間変動測定処理をそれぞれ別途に実施し、それぞれの処理で求められた行内変動＋行間変動波形、および行間変動波形を用いて、電源電圧VDDの変動を補正する例について説明してきたが、行内変動＋行間変動測定処理、および行間変動測定処理をリアルタイムで、並列処理により、繰り返し測定することで、行内変動＋行間変動波形、および行間変動波形の更新をリアルタイムで繰り返し、リアルタイムで更新された最新の行内変動＋行間変動波形、および行間変動波形を用いて電源電圧VDDの揺れを補正するようにしてもよい。
【０１０７】
このようにすることで、電源VDDの周辺環境に変化があった場合、周辺環境の変化に対応する行内変動＋行間変動波形、および行間変動波形を保持することが可能となるので、より高精度に画素信号を補正することが可能となる。
【０１０８】
また、行内変動＋行間変動測定処理、および行間変動測定処理を連続的に繰り返し実行することで装置全体の負荷が大きくなる場合については、所定の時間間隔で処理を繰り返して、所定の時間間隔で行内変動＋行間変動波形、および行間変動波形を更新するようにしてもよい。
【０１０９】
さらに、行内変動＋行間変動測定処理、および行間変動測定処理を繰り返し実行する場合については、行間変動測定処理については、例えば、電源VDDの電圧を測定する所定のタイミングＴを繰り返す度に変更するようにしてもよい。
【０１１０】
また、以上においては、行内変動＋行間変動測定処理において、読み出される行が所定の方向で変化する度に、電源VDDの電圧が測定されるタイミングが、所定の時間間隔でずれる例について説明してきたが、ランダムな順序で重複しないタイミングとなるように変化させて電源VDDの電圧が測定されるタイミングを変化させながら測定するようにして、全ての測定が完了した後、並び替えて行内変動＋行間変動波形を復元するようにしてもよい。この点については、行間変動測定処理においても同様である。
【０１１１】
さらに、以上においては、電源VDDの電圧を測定するために別途サンプリング部３８、およびAD３７を設ける例について説明してきたが、その他の構成に含まれているサンプリング部やADを流用して上記の処理を実現するようにしてもよい。このようにすることで、装置構成をより簡易なものとすることができ、コストの上昇を抑制することが可能となる。
【０１１２】
＜電子機器への適用例＞
上述した固体撮像素子１１は、例えば、デジタルスチルカメラやデジタルビデオカメラなどの撮像装置、撮像機能を備えた携帯電話機、または、撮像機能を備えた他の機器といった各種の電子機器に適用することができる。
【０１１３】
図１２は、本技術を適用した電子機器としての撮像装置の構成例を示すブロック図である。
【０１１４】
図１２に示される撮像装置２０１は、光学系２０２、シャッタ装置２０３、固体撮像素子２０４、駆動回路２０５、信号処理回路２０６、モニタ２０７、およびメモリ２０８を備えて構成され、静止画像および動画像を撮像可能である。
【０１１５】
光学系２０２は、１枚または複数枚のレンズを有して構成され、被写体からの光（入射光）を固体撮像素子２０４に導き、固体撮像素子２０４の受光面に結像させる。
【０１１６】
シャッタ装置２０３は、光学系２０２および固体撮像素子２０４の間に配置され、駆動回路１００５の制御に従って、固体撮像素子２０４への光照射期間および遮光期間を制御する。
【０１１７】
固体撮像素子２０４は、上述した固体撮像素子を含むパッケージにより構成される。固体撮像素子２０４は、光学系２０２およびシャッタ装置２０３を介して受光面に結像される光に応じて、一定期間、信号電荷を蓄積する。固体撮像素子２０４に蓄積された信号電荷は、駆動回路２０５から供給される駆動信号（タイミング信号）に従って転送される。
【０１１８】
駆動回路２０５は、固体撮像素子２０４の転送動作、および、シャッタ装置２０３のシャッタ動作を制御する駆動信号を出力して、固体撮像素子２０４およびシャッタ装置２０３を駆動する。
【０１１９】
信号処理回路２０６は、固体撮像素子２０４から出力された信号電荷に対して各種の信号処理を施す。信号処理回路２０６が信号処理を施すことにより得られた画像（画像データ）は、モニタ２０７に供給されて表示されたり、メモリ２０８に供給されて記憶（記録）されたりする。
【０１２０】
このように構成されている撮像装置２０１においても、上述した光学系２０２、シャッタ装置２０３、および固体撮像素子２０４に代えて、固体撮像素子１１を適用することにより、電源VDDの揺れに起因するノイズを抑制することが可能となる。
＜固体撮像素子の使用例＞
【０１２１】
図１３は、上述のカメラモジュール１１を使用する使用例を示す図である。
【０１２２】
上述したカメラモジュールは、例えば、以下のように、可視光や、赤外光、紫外光、X線等の光をセンシングする様々なケースに使用することができる。
【０１２３】
・ディジタルカメラや、カメラ機能付きの携帯機器等の、鑑賞の用に供される画像を撮影する装置
・自動停止等の安全運転や、運転者の状態の認識等のために、自動車の前方や後方、周囲、車内等を撮影する車載用センサ、走行車両や道路を監視する監視カメラ、車両間等の測距を行う測距センサ等の、交通の用に供される装置
・ユーザのジェスチャを撮影して、そのジェスチャに従った機器操作を行うために、TVや、冷蔵庫、エアーコンディショナ等の家電に供される装置
・内視鏡や、赤外光の受光による血管撮影を行う装置等の、医療やヘルスケアの用に供される装置
・防犯用途の監視カメラや、人物認証用途のカメラ等の、セキュリティの用に供される装置
・肌を撮影する肌測定器や、頭皮を撮影するマイクロスコープ等の、美容の用に供される装置
・スポーツ用途等向けのアクションカメラやウェアラブルカメラ等の、スポーツの用に供される装置
・畑や作物の状態を監視するためのカメラ等の、農業の用に供される装置
【０１２４】
尚、本開示は、以下のような構成も取ることができる。
＜１＞  入射光の光量に応じて画素信号を生成する複数の画素が２次元のアレイ状に配設された撮像素子と、
前記画素信号を行単位で読み出して、前記行単位の画素信号を順次アナログデジタル変換する画素信号アナログデジタル変換部と、
電力を供給する電源の電圧をサンプリングするサンプリング部と、
前記サンプリング部の動作を制御する動作制御部とを含み、
前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で重複しない異なるタイミングで、前記動作制御部は、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をサンプリングさせる
固体撮像素子。
＜２＞  前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で直前の処理でサンプリングされたタイミングとずれたタイミングで、前記動作制御部は、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をサンプリングさせる
＜１＞に記載の固体撮像素子。
＜３＞  前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で直前の処理でサンプリングされた前記タイミングと隣接するタイミングで、前記動作制御部は、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をサンプリングさせる
＜１＞または＜２＞に記載の固体撮像素子。
＜４＞  前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で重複しない異なるタイミングでアナログデジタル変換されるとき、前記動作制御部は、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をサンプリングさせ、前記行単位で重複しない異なる全てのタイミングのサンプリング結果より、前記電源の電圧の行内変動と行間変動とを含む波形を求めて記憶する
＜１＞乃至＜３＞のいずれかに記載の固体撮像素子。
＜５＞  前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で直前の処理でサンプリングされたタイミングと同一のタイミングで、前記動作制御部は、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をさらにサンプリングさせる
＜１＞乃至＜４＞のいずれかに記載の固体撮像素子。
＜６＞  前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で直前の処理でサンプリングされたタイミングと同一のタイミングで、前記動作制御部は、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をさらにサンプリングさせ、サンプリング結果より前記電源の電圧の行間変動波形を求めて記憶する
＜１＞乃至＜５＞のいずれかに記載の固体撮像素子。
＜７＞  前記動作制御部は、
前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で重複しない異なるタイミングで、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をサンプリングさせ、前記行単位で重複しない異なる全てのタイミングのサンプリング結果より、前記電源の電圧の行内変動と行間変動とを含む波形を求めて記憶し、
前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で直前の処理でサンプリングされたタイミングと同一のタイミングで、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をさらにサンプリングさせ、サンプリング結果より前記電源の電圧の行間変動波形を求めて記憶し、
前記行内変動と行間変動とを含む波形より、前記行間変動波形を減算することで、前記行内変動波形を求め、
前記行内変動波形を用いて前記電源の電圧の振幅を補正する
＜１＞乃至＜６＞のいずれかに記載の固体撮像素子。
＜８＞  前記サンプリング部によりサンプリングされた前記電源の電圧の振幅をアナログデジタル変換する電源電圧アナログデジタル変換部をさらに含み、
前記動作制御部は、前記サンプリング部に、直前にサンプリングさせた電源の電圧が、前記電源電圧アナログデジタル変換部によりアナログデジタル変換された後に、次の電源の電圧をサンプリングさせる
＜１＞乃至＜７＞のいずれかに記載の固体撮像素子。
＜９＞  前記動作制御部は、前記サンプリング部に、直前にサンプリングさせた電源の電圧が、前記電源電圧アナログデジタル変換部によりアナログデジタル変換された後であって、前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で重複しない異なるタイミングでアナログデジタル変換されるとき、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をサンプリングさせる
＜８＞に記載の固体撮像素子。
＜１０＞  入射光の光量に応じて画素信号を生成する複数の画素が２次元のアレイ状に配設された撮像素子と、
前記画素信号を行単位で読み出して、前記行単位の画素信号を順次アナログデジタル変換する画素信号アナログデジタル変換部と、
電力を供給する電源の電圧をサンプリングするサンプリング部と、
前記サンプリング部の動作を制御する動作制御部とを含む固体撮像素子の動作方法であって、
前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で重複しない異なるタイミングで、前記動作制御部は、前記サンプリング部に、前記画素に供給する電源の電圧をサンプリングさせる
固体撮像素子の動作方法。
＜１１＞  入射光の光量に応じて画素信号を生成する複数の画素が２次元のアレイ状に配設された撮像素子と、
前記画素信号を行単位で読み出して、前記行単位の画素信号を順次アナログデジタル変換する画素信号アナログデジタル変換部と、
電力を供給する電源の電圧をサンプリングするサンプリング部と、
前記サンプリング部の動作を制御する動作制御部とを含み、
前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で重複しない異なるタイミングで、前記動作制御部は、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をサンプリングさせる
撮像装置。
＜１２＞  入射光の光量に応じて画素信号を生成する複数の画素が２次元のアレイ状に配設された撮像素子と、
前記画素信号を行単位で読み出して、前記行単位の画素信号を順次アナログデジタル変換する画素信号アナログデジタル変換部と、
電力を供給する電源の電圧をサンプリングするサンプリング部と、
前記サンプリング部の動作を制御する動作制御部とを含み、
前記画素信号アナログデジタル変換部により前記行単位で順次読み出されてアナログデジタル変換される行単位の期間のうち、前記行単位で重複しない異なるタイミングで、前記動作制御部は、前記サンプリング部に、前記電源の電圧をサンプリングさせる
電子機器。
【符号の説明】
【０１２５】
１１  固体撮像素子，  ３１  画素アレイ（PIX），  ３２−１，３２−２  カラムADC，  ３３  垂直転送回路，  ３４  バイアス回路（BIAS），  ３５  DAC，  ３６  デジタル回路，  ３７  AD，  ３８  サンプリング回路（sampling），  ３９  PLL，  ４０  IF
【図１】
2017200151.tif 000003
【図２】
2017200151.tif 000004
【図３】
2017200151.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2017200151.tif 000008
【図７】
2017200151.tif 000009
【図８】
2017200151.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2017200151.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
2017200151.tif 000015