(57)【要約】【課題】  液室周辺での吐出口形成部材と液体吐出ヘッド用基板との間における剥がれや浮きの発生を抑制する。【解決手段】  液体吐出ヘッドは、液体を溜める液室を形成する壁を備える液室壁部材と、液体を吐出するためのエネルギーを発生する素子が形成された面を備える基体と、第１の層と、第１の層の上に配され、壁と接し、第１の層より液室壁部材との密着性が高い第２の層と、が積層され、液室壁部材と共に液室を形成する液体吐出ヘッド用基板と、を有する。ここで、第１の層は、面に垂直な第１の方向から見て、第２の層から露出し、壁と第２の層とが接する部分よりも壁の内面に垂直な第２の方向に液室から離れた位置において液室壁部材と接する部分を備え、第１の層の部分の第２の方向における長さは０．３μｍ以上である。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を溜める液室を形成する壁を備える液室壁部材と、
液体を吐出するためのエネルギーを発生する素子が形成された面を備える基体と、
第１の層と、
前記第１の層の上に配され、前記壁と接し、前記第１の層より前記液室壁部材との密着性が高い第２の層と、
が積層され、前記液室壁部材と共に前記液室を形成する液体吐出ヘッド用基板と、
を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記第１の層は、前記面に垂直な第１の方向から見て、前記第２の層から露出し、前記壁と前記第２の層とが接する部分よりも前記壁の内面に垂直な第２の方向に前記液室から離れた位置において前記液室壁部材と接する部分を備え、前記第１の層の前記部分の前記第２の方向における長さは０．３μｍ以上であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記長さは２．０μｍ以下である請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記第１の方向に関する断面において前記部分は４５°以下の角度で傾斜している請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記第１の層は複数の層からなり、前記部分は前記複数の層からなる請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記複数の層は前記液室壁部材との密着性が異なる請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記第１の層は、貴金属元素またはそれらの合金を含む層を備える請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記第２の層はシリコンを含む請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記第１の層は、第３の層と、前記第３の層の両面に配され、前記第３の層よりも前記液室壁部材との密着性が高い第４の層と、を有し、
前記部分は前記第３の層及び前記第４の層を含む請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記第１の層は、前記素子を覆う保護層である請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法において、
マスクを用いて前記第２の層をエッチングする工程と、
前記マスクを用いて前記第１の層をエッチングする工程と、
を有する液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出する液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インク等の液体を吐出する液体吐出ヘッドの一般的な構成としては、吐出口が形成された吐出口形成部材と、液体を吐出させるためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を有する液体吐出ヘッド用基板とを有する構成がある。エネルギー発生素子は電気的絶縁性を有する絶縁層により、液体や各素子間での絶縁性が確保されている。このエネルギー発生素子を駆動することにより素子上方の液体との接触部分（熱作用部）において液体が急激に加熱されて発泡する。この発泡に伴う圧力によって液体を吐出口から吐出させ、メディア表面に記録を行うことができる。
【０００３】
ところで、特許文献１には、吐出口形成部材と液体吐出ヘッド用基板との密着性を向上させるため、保護層の熱作用部以外の領域の上に密着層を設ける構成が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−１６８０４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
現在、液体吐出ヘッドのさらなる長尺化が検討されているが、ヘッドの長尺化により吐出口形成部材の膨潤や素子基板の変形が大きくなるため、吐出口形成部材と液体吐出ヘッド用基板との密着性が低下する恐れがある。そのため、上記のように吐出口形成部材と保護層との間に密着層を設けていても、吐出口形成部材と液体吐出ヘッド用基板との間で剥がれや浮きが生じやすくなる懸念がある。
【０００６】
図２に従来の液体吐出ヘッドの模式図を示す。図２（ａ）は液体吐出ヘッドの断面模式図、（ｂ）はその一部の上面図を示し、液体吐出ヘッド用基板１００との接合面における吐出口形成部材１２０の位置を説明するために吐出口形成部材１２０を透視して示している。特に、吐出口形成部材１２０のパターンの端部にあたる液室１２３周辺に応力が集中しやすいため、この領域で吐出口形成部材１２０の剥がれや浮きが起こりやすい。液室１２３周辺で吐出口形成部材１２０の剥がれや浮きが発生すると液体吐出ヘッドの吐出特性が低下し、液体吐出ヘッドの信頼性を損ねる恐れがあるという課題がある。
【０００７】
そこで、本発明は、液室周辺での吐出口形成部材（液室壁部材）と液体吐出ヘッド用基板との間における剥がれや浮きの発生を抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、液体を溜める液室を形成する壁を備える液室壁部材と、液体を吐出するためのエネルギーを発生する素子が形成された面を備える基体と、第１の層と、前記第１の層の上に配され、前記液室壁部材と接し、前記第１の層より前記液室壁部材との密着性が高い第２の層と、が積層され、前記液室壁部材と共に前記液室を形成する液体吐出ヘッド用基板と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、前記第１の層は、前記面に垂直な第１の方向から見て、前記第２の層から露出し、前記液室壁部材と前記第２の層とが接する部分よりも前記液室から前記壁に垂直な第２の方向に離れた位置において前記液室壁部材と接する部分を備え、前記第１の層の前記部分の前記第２の方向における長さは０．３μｍ以上であることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によると、第１の層は第２の層よりも吐出口形成部材との密着性が低く、また、第１の層が第２の層から露出し吐出口形成部材と接しているため、吐出口形成部材が液体吐出ヘッド用基板と接する面に水平な方向に滑ることが可能である。これにより、吐出口形成部材の膨潤や液体吐出ヘッド用基板の変形に伴って液室周辺に集中する応力が緩和され、吐出口形成部材と液体吐出ヘッド用基板との間における剥がれや浮きの発生を抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッドの斜視図である。
【図２】従来の形態に係る液体吐出ヘッドを示す図である。
【図３】第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドを示す図である。
【図４】第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドを示す図である。
【図５】第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドの製造方法を説明するための図である。
【図６】第３の実施形態に係る液体吐出ヘッドを示す図である。
【図７】第４の実施形態に係る液体吐出ヘッドを示す図である。
【図８】第５の実施形態に係る液体吐出ヘッドを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
【００１２】
（第１の実施形態）
図１は本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドとしての液体吐出ヘッド１１０の斜視図である。
【００１３】
液体吐出ヘッド１１０は、複数の吐出口１２１が形成された吐出口形成部材（以下、液室壁部材とも称する）１２０とインク等の液体との接触部分である複数の熱作用部８が形成された液体吐出ヘッド用基板１００とが接合されている構成である。液体吐出ヘッド用基板１００にその両面を連通して形成された供給口１２２から熱作用部８に液体が供給され、熱作用部８上で熱エネルギーによって液体に発泡が生じ、各熱作用部８に対応する吐出口１２１から液体が吐出される。
【００１４】
図３は、本発明の第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド１１０を示す模式図である。図３（ａ）は図１のＸ−Ｘ´線における断面模式図である。また、図３（ｂ）、図３（ｃ）は図３（ａ）の部分上面図であり、液体吐出ヘッド用基板１００との接合面における吐出口形成部材１２０の位置を説明するために吐出口形成部材１２０を透視して示している。
【００１５】
図３（ａ）を用いて液体吐出ヘッド用基板１００及び液体吐出ヘッド１１０の層構成について説明する。
【００１６】
トランジスタ等の駆動素子が設けられたシリコンからなる基体１の上には、基体１の一部を熱酸化して設けた熱酸化層２（好ましくは厚さ０．５μｍ〜２μｍ）と、シリコン化合物からなる蓄熱層４（好ましくは厚さ０．５μｍ〜２μｍ）とが設けられている。
【００１７】
さらに、蓄熱層４の上に、通電することで発熱する材料（例えばＴａＳｉＮやＷＳｉＮなど）からなる発熱抵抗層５（好ましくはシート抵抗１００〜１０００Ω／□）が設けられている。発熱抵抗層５に接するように、発熱抵抗層５より電気抵抗の低いアルミニウムなどを主成分とする材料からなる一対の電極６（好ましくは厚さ０．１μｍ〜２μｍ）が設けられている。一対の電極６の間に電圧を印加し、発熱抵抗層５の一対の電極６の間に位置する部分を発熱させることで、この発熱抵抗層５の部分をエネルギー発生素子５０として用いる。発熱抵抗層５と一対の電極６は、液体との絶縁を図るために、ＳｉＮ等のシリコン化合物などの絶縁性材料からなる絶縁層７（好ましくは厚さ０．１μｍ〜０．５μｍ）で被覆されている。
【００１８】
さらに、絶縁層７上には、液体の発泡時に生じるキャビテーションによる衝撃からエネルギー発生素子５０を保護するための保護層９が設けられている。保護層９は、Ｉｒ、Ｐｔ等の貴金属元素やＴａなどの材料からなる単層膜、またはこれらの材料からなる層が複数積層された積層膜で構成されている（好ましくは厚さ０．１μｍ〜０．５μｍ）。
【００１９】
さらに、吐出口形成部材１２０との密着性を向上させるため、エネルギー発生素子５０に対応する領域以外の保護層９上に、ＳｉＯ２やＳｉＮ、ＳｉＣＮ等からなる密着層１０（好ましくは厚さ０．０５μｍ〜０．２μｍ）が形成されている。ここで、密着層１０は保護層９よりも有機樹脂材料で形成された吐出口形成部材１２０との密着性が高い。本実施形態では、エネルギー発生素子５０の上方に位置する保護層９の部分が液体と接触し、熱作用部８として作用する。
【００２０】
また、液体吐出ヘッド用基板１００のエネルギー発生素子５０が形成された面に垂直な方向（第１の方向とも称する）から見て、密着層１０は、密着層１０のパターン端部から保護層９のパターン端部が露出するように形成されている。以下、密着層１０から露出する保護層９の部分を露出領域１４と称する。なお、本実施形態では、第２の層としての密着層１０から一部が露出する第１の層の例として保護層９を用いて説明する。
【００２１】
さらに、液体吐出ヘッド用基板１００の密着層１０が形成された面側には、吐出口形成部材１２０が設けられている。
【００２２】
図３（ｂ）に示すように、保護層９は複数のエネルギー発生素子５０に対応する領域を少なくとも覆うように帯状に設けられている。さらに、上述したように、保護層９のエネルギー発生素子５０に対応する領域と保護層９のパターン端部とを除く保護層９上には密着層１０が形成されている。したがって、液体吐出ヘッド用基板１００の面に垂直な方向から見て、保護層９の露出領域１４は複数の熱作用部８の配列される方向に沿って形成されている。
【００２３】
吐出口形成部材１２０には、吐出口１２１が形成された面の裏面側に液室壁１２３ａが形成されており、この液室壁１２３ａは熱作用部８の周囲（三方）を囲うように設けられる。この液室壁１２３ａと液体吐出ヘッド用基板１００の熱作用部８が設けられた面とで液室１２３が形成される。
【００２４】
本実施形態では、吐出口形成部材１２０の液室壁１２３ａは液体吐出ヘッド用基板１００の密着層１０と接合されている。さらに、この液室壁１２３ａと密着層１０との接合部よりも、吐出口形成部材１２０と液体吐出ヘッド用基板１００との接合面に水平な方向に液室１２３から離れた位置において、吐出口形成部材１２０が保護層９の露出領域１４に接している。なお、本実施形態では、露出領域１４は、液室壁１２３ａと密着層１０との接合部よりも、液室壁１２３ａの液室１２３を形成する内面に垂直な方向である第２の方向に液室１２３から離れた位置において吐出口形成部材１２０と接している。
【００２５】
ここで、保護層９は、絶縁層７や密着層１０よりも有機樹脂材料で形成された吐出口形成部材１２０との密着性が低い貴金属元素などで形成されている。このため、保護層９の露出領域１４との接合部において、吐出口形成部材１２０は液体吐出ヘッド用基板１００に対して接合面に水平な方向に滑ることが可能となる。これにより、吐出口形成部材１２０の膨潤や液体吐出ヘッド用基板１００の変形に伴って液室１２３周辺に集中する応力が緩和され、吐出口形成部材１２０と液体吐出ヘッド用基板１００との間における剥がれや浮きの発生を抑制することが可能となる。
【００２６】
本実施形態では、保護層９の露出領域１４の幅ｘ（図３（ａ））、すなわち、液室壁１２３ａの内面に垂直な方向である第２の方向における露出領域１４の長さは０．３μｍ以上が好ましい。これは、露出領域１４の幅ｘが小さいと応力緩和の効果を十分に得られないためである。さらに、吐出口形成部材１２０との密着性の低い露出領域１４の幅ｘが大きいと露出領域１４を起点に液体吐出ヘッド用基板１００と吐出口形成部材１２０との間で浮きが生じる恐れがあるため、露出領域１４の幅は２．０μｍ以下がより好ましい。
【００２７】
また、図３（ｃ）に示すように、保護層９や密着層１０を複数のエネルギー発生素子５０にそれぞれ対応する形状としてもよい。この場合、液体吐出ヘッド用基板１００の面に垂直な方向から見て、保護層９の露出領域１４はエネルギー発生素子５０を囲う形状となり、露出領域１４は隣り合う熱作用部８の間に位置する液室壁１２３ａとも接する。
【００２８】
なお、本実施形態の液体吐出ヘッド用基板１００は以下のように製造する。絶縁層７で被覆されたエネルギー発生素子５０を備える基体１に対し、保護層９を成膜、パターニングした後に、密着層１０をウエハ全面に成膜し、保護層９のパターニングに用いたマスクとは別のマスクを用いてパターニングする。
【００２９】
（第２の実施形態）
図４は本発明の第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド１１０を示しており、図１のＸ−Ｘ´線における断面模式図である。
【００３０】
本実施形態では、上述の実施形態とは異なり、保護層９と密着層１０とを同じマスクを用いてパターニングを行う。
【００３１】
以下、本実施形態の液体吐出ヘッド１１０の製造方法について図５を用いて説明する。なお、下記の液体吐出ヘッド１１０の材料や厚さ等の数値は一例であり、本発明は下記の構成に限定されるものではない。
【００３２】
トランジスタ等の駆動素子が設けられたシリコンからなる基体１の上に、基体１の一部を熱酸化して設けた厚さ１μｍの熱酸化層２を形成し、さらに厚さ１μｍのシリコン酸化膜からなる蓄熱層４を形成する。蓄熱層４の上に、ＴａＳｉＮ（シート抵抗：３００Ω／□）からなる発熱抵抗層５、および、発熱抵抗層５より抵抗の低いアルミニウム合金（Ａｌ−Ｃｕ、１μｍ）をスパッタ法により連続で成膜する。これらの発熱抵抗層５とアルミニウム合金をドライエッチングでパターニングし、電極６を形成し、さらにウェットエッチングでエネルギー発生素子５０となる領域のアルミニウム合金を除去し、一対の電極６を形成する。一対の電極６の間に電圧を供給し、発熱抵抗層５の一対の電極６の間に位置する部分を発熱させることで、発熱抵抗層５の部分をエネルギー発生素子５０として用いる。本実施形態では、エネルギー発生素子５０を２６×２６μｍの大きさとする。
【００３３】
次に、プラズマ化学気相成長法によりウエハ全面にＳｉＮからなる絶縁層７を形成し、これらの発熱抵抗層５と一対の電極６とを被覆する（図５（ａ））。
【００３４】
次に、図５（ｂ）に示すように、スパッタ法を用いて、保護層９として厚さ０．３μｍのＩｒ膜をウエハ全面に成膜する。さらに、保護層９の上にＳｉＯ２からなる厚さ０．１μｍの密着層１０を、プラズマ化学気相成長法を用いてウエハ全面に形成する。
【００３５】
次に、フォトリソグラフィー法を用いて、所定のパターンにレジストマスクを形成し、ドライエッチング法により密着層１０と保護層９のパターニングを行う。本実施形態では、ＩＣＰ（誘導結合プラズマ）ドライエッチング装置を用いて、以下のように１マスクで２ステップに分けて密着層１０と保護層９とをエッチングする。
【００３６】
まず、Ｃｌ２／ＢＣｌ３混合ガスを用い低バイアス条件（印加Ｐｏｗｅｒ：７５Ｗ）で密着層１０をエッチングする。この条件ではＩｒからなる保護層９はエッチングされないため、保護層９上でエッチングはストップする（図５（ｃ））。
【００３７】
次に、Ａｒ／Ｃｌ２混合ガスを用い高バイアス条件でＩｒからなる保護層９をスパッタエッチする。このときのＡｒ／Ｃｌ２ガス流量比でＡｒ流量比を上げると、エッチング中のレジストマスクや密着層１０の後退を抑制することができ、保護層９のパターン端部のテーパー形状の傾斜角が大きくなる。一方、Ｃｌ２流量比を上げると、エッチング中のレジストマスクや密着層１０がより後退しやすくなり、保護層９のパターン端部のテーパー形状の傾斜角度が小さくなる（図５（ｄ））。このようにＡｒ／Ｃｌ２流量比を変化させることで露出領域１４の幅寸法を変えることができる。ここでは、図５（ｄ）に示す保護層９の幅を６０μｍとし、露出領域１４の幅ｘを１μｍとする。
【００３８】
その後、密着層１０をバッファードフッ酸で選択的に除去し、パッド部を開口させる。
【００３９】
このようにして作成された液体吐出ヘッド用基板１００の上に吐出口形成部材１２０を設け、液体吐出ヘッド１１０を完成させる。なお、本実施形態では、液室１２３底面から吐出口１２１までの距離を３０μｍ、液室１２３の高さを１５μｍ、上面（図３（ｂ））からみた液室１２３の大きさを４０μｍ×４０μｍとする。
【００４０】
（第３の実施形態）
図６は本発明の第３の実施形態に係る液体吐出ヘッド１１０を示しており、図１のＸ−Ｘ´線における断面模式図である。
【００４１】
本実施形態では、第２の実施形態における保護層９を吐出口形成部材１２０との密着性が異なる２層の積層構成として形成している。
【００４２】
具体的には、絶縁層７上にＩｒからなる保護層９ａと、Ｔａからなる保護層９ｂが形成されている。すなわち、Ｉｒからなる保護層９ａと密着層１０との間に、吐出口形成部材１２０との密着性がＩｒからなる保護層９ａよりも高く密着層１０よりも低いＴａからなる保護層９ｂが設けられている。このように露出領域１４が吐出口形成部材１２０との密着性の異なる保護層９ａ、９ｂで形成されていることにより、吐出口形成部材１２０との密着性を確保しつつ、応力緩和の役割を果たすことができ、より信頼性の高い液体吐出ヘッドを提供することができる。
【００４３】
なお、このＴａからなる保護層９ｂは、Ｉｒからなる保護層９ａと密着層１０との間の密着層としての役割もある。
【００４４】
（第４の実施形態）
図７は本発明の第４の実施形態に係る液体吐出ヘッド１１０を示しており、図１のＸ−Ｘ´線における断面模式図である。
【００４５】
本実施形態では、第２の実施形態において保護層９を２層の積層構成としており、具体的には絶縁層７上にＴａからなる保護層９ａと、Ｉｒからなる保護層９ｂが形成されている。すなわち、Ｉｒからなる保護層９ｂと絶縁層７の間に、吐出口形成部材１２０との密着性がＩｒからなる保護層９ｂよりも高く絶縁層７よりも低いＴａからなる保護層９ａが設けられている。このように露出領域１４が吐出口形成部材１２０との密着性の異なる保護層９ａ、９ｂで形成されていることにより、吐出口形成部材１２０との密着性を確保しつつ、応力緩和の役割を果たすことができ、より信頼性の高い液体吐出ヘッドを提供することができる。
【００４６】
なお、このＴａからなる保護層９ａは、Ｉｒからなる保護層９ｂと絶縁層７との間の密着層の役割もある。
【００４７】
（第５の実施形態）
図８は本発明の第５の実施形態に係る液体吐出ヘッド１１０を示しており、図１のＸ−Ｘ´線における断面模式図である。
【００４８】
本実施形態では、第２の実施形態において保護層９を３層の積層構成としている。
【００４９】
具体的には、絶縁層７上に、Ｔａからなる保護層９ａ、Ｉｒからなる保護層９ｂと、Ｔａからなる保護層９ｃが形成されている。すなわち、Ｉｒからなる保護層９ｂと密着層１０との間、および、保護層９ｂと絶縁層７の間に、吐出口形成部材１２０との密着性がＩｒよりも高く絶縁層７および密着層１０よりも低いＴａからなる保護層が設けられている。このように露出領域１４が、吐出口形成部材１２０との密着性の異なる保護層９ａ、９ｂ、９ｃで形成されていることにより、吐出口形成部材１２０との密着性を確保しつつ、応力緩和の役割を果たすことができ、より信頼性の高いヘッドを提供することができる。さらに、吐出口形成部材１２０や絶縁層７との密着性が低いＩｒからなる保護層９ｂの両面にＴａからなる保護層９ａ、保護層９ｃが設けられているため、吐出口形成部材１２０や絶縁層７との密着性をより確保することが可能となる。
【００５０】
なお、このＴａ膜は、Ｉｒ膜と密着層１０、および、Ｉｒ膜と絶縁層７間の密着層の役割もある。
【００５１】
（実施例１）
第５の実施形態に係る液体吐出ヘッド１１０を実施例１として作成した。
【００５２】
Ｔａからなる保護層９ａの膜厚を０．０５μｍ、Ｉｒからなる保護層９ｂの膜圧を０．０５μｍ、Ｔａからなる保護層９ｃを０．２μｍとした。すなわち、保護層の総膜厚は０．３μｍとした。また、保護層９の露出領域１４の幅ｘ（図８）を０．３μｍとした。
【００５３】
（実施例２）
実施例１において、保護層９の露出領域１４の幅を１．０μｍとした。
【００５４】
（実施例３）
実施例１において、保護層９の露出領域１４の幅を２．０μｍとした。
【００５５】
（実施例４）
実施例１において、保護層９の露出領域１４の幅を３．０μｍとした。
【００５６】
（比較例１）
実施例１において、保護層９の露出領域１４の幅を０．２μｍとした。
【００５７】
（試験結果）
上述の実施例および比較例において、ＰＣＴ試験（Ｐｒｅｓｓｕｒｅ  ｃｏｏｋｅｒ  Ｔｅｓｔ）で液体吐出ヘッド用基板１００と吐出口形成部材１２０間の密着性を評価した。
【００５８】
各実施例、および比較例で作製した液体吐出ヘッド１１０をインク（ＢＣＩ−７ｅＣ（キヤノン製））に浸漬した。ＰＣＴ試験は、１２１℃、２気圧の条件で３０時間とした。ＰＣＴ試験後に光学顕微鏡で液体吐出ヘッド用基板１００と吐出口形成部材１２０間で剥がれの有無を確認した。
【００５９】
試験結果を表１に記載する。表１において、○は剥がれなし、×は吐出口形成部材１２０の剥がれあり、△は液室１２３周辺では剥がれはないが、保護層９のパターン端部で吐出口形成部材１２０の浮きあり、をそれぞれ示す。
【００６０】
【表１】
2017001217.tif 000003
【００６１】
実施例１〜４では液体吐出ヘッド用基板１００と吐出口形成部材１２０との間で剥がれが観察されなかった。比較例１では、液室１２３周辺で吐出口形成部材１２０に干渉縞が見られ、液体吐出ヘッド用基板１００と吐出口形成部材１２０間で浮きが生じることが確認できた。このように露出領域１４の幅が小さいと十分に応力緩和の効果が得られなかった。実施例４では剥がれは観察されなかったが、露出領域１４を起点に吐出口形成部材１２０の浮きが確認できた。これは吐出口形成部材１２０との密着性が低い露出領域１４が大きすぎたためである。
【００６２】
上記のように、本発明においては保護層９の露出領域１４の幅は０．３μｍ以上が望ましく、２．０μｍ以下がさらに望ましいことが分かった。また、保護層９のパターン端部の傾斜角度が小さい方が吐出口形成部材１２０の水平方向への滑りが起きやすい傾向があることが分かった。上述のＰＣＴ試験の結果から傾斜角度は４５°以下が望ましいことが分かった。
【符号の説明】
【００６３】
１  基体
９  保護層
１０  密着層
１４  露出領域
５０  エネルギー発生素子
１００  液体吐出ヘッド用基板
１１０  液体吐出ヘッド
１２０  吐出口形成部材（液室壁部材）
１２３  液室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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