(57)【要約】【課題】本発明は、プローブの配置の温度変化による歪みを抑制することができる電気検査ヘッドを提供することを課題とする。【解決手段】本発明に係る電気検査ヘッドは、互いに平行に配設される複数の針状のプローブと、このプローブに垂直に配置され、プローブがそれぞれ貫通する複数のガイド孔を有する板状のガイド部材とを備える電気検査ヘッドであって、前記ガイド部材の平面視でガイド部材の質量を二等分する案分線上に配設され、前記案分線に沿う方向、ガイド部材の法線方向及びこれらに垂直な方向のガイド部材の移動を規制する第１支持部材と、平面視で前記案分線上に配設され、ガイド部材の前記案分線に沿う方向の移動のみを許容する第２支持部材とをさらに備えることを特徴とする。前記ガイド部材の平面視で前記案分線から離間する位置に配設され、ガイド部材の法線方向の移動のみを規制する第３支持部材をさらに備えるとよい。【選択図】図１
2017173102.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに平行に配設される複数の針状のプローブと、このプローブに垂直に配置され、プローブがそれぞれ貫通する複数のガイド孔を有する板状のガイド部材とを備える電気検査ヘッドであって、
前記ガイド部材の平面視でガイド部材の質量を二等分する案分線上に配設され、前記案分線に沿う方向、ガイド部材の法線方向及びこれらに垂直な方向のガイド部材の移動を規制する第１支持部材と、
平面視で前記案分線上に配設され、ガイド部材の前記案分線に沿う方向の移動のみを許容する第２支持部材と
をさらに備えることを特徴とする電気検査ヘッド。
【請求項２】
前記第１支持部材が、
前記プローブと平行に配設され、先端面でガイド部材に当接する支柱と、
この支柱の先端面に垂直に螺合するねじとを有し、
前記第２支持部材が、
前記プローブと平行に配設され、先端面でガイド部材に当接する支柱と、
この支柱の先端面に垂直に螺合するねじと、
このねじの外周に嵌装されるスリーブとを有し、
前記ガイド部材が、
前記第１支持部材のねじが貫通する固定孔と、
前記第２支持部材のスリーブが嵌合し、前記案分線に沿って延在する長孔と
を有する請求項１に記載の電気検査ヘッド。
【請求項３】
前記ガイド部材の平面視で前記案分線から離間する位置に配設され、ガイド部材の法線方向の移動のみを規制する第３支持部材をさらに備える請求項１又は請求項２に記載の電気検査ヘッド。
【請求項４】
前記ガイド部材に配設されるヒーターをさらに備える請求項１、請求項２又は請求項３に記載の電気検査ヘッド。
【請求項５】
前記ガイド部材の平面形状が略長方形状であり、前記案分線がガイド部材の長辺に平行な中心線である請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の電気検査ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気検査ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体ウェハやプリント基板等の製造現場では、これらの製品を検査対象とし、複数のプローブ（電気接触子）を接触させて検査対象の電気的な特性を検査する電気検査ヘッドが使用されている。
【０００３】
このような電気検査ヘッドの中には、複数のプローブを検査対象の測定点にそれぞれ正確に接触させるために、特開２０１５−５２５１１号公報に記載されるように、検査時に検査対象に近接するよう支持され、プローブをそれぞれ案内する複数の貫通孔を有する板状のガイド部材を有するものがある。
【０００４】
このように、ガイド部材によって複数のプローブの相対位置を正確に定めても、検査ヘッドを検査対象に正確に正対させることができなければ、複数のプローブを検査対象の測定点に正確に当接させられない。そこで、特開２０１５−５２５１１号公報は、複数のプローブを検査対象の測定点に対して正確に位置決めするために、検査ヘッドにカメラを配設し、画像処理によって検査対象の測定点の位置を認識して、複数のプローブを検査対象の測定点に対して正確に正対させる電気検査装置を提案している。
【０００５】
一方、検査対象が例えば高温環境で使用される製品に使用される場合等、検査対象を加熱した状態で電気的な特性を検査することが望ましいことがある。このため、特許第４９６５４２５号公報に記載の検査装置では、複数のプローブを有する基板（プローブカード）が装着されるヘッドプレートにヒーターを配設している。また、特許第４９６５４２５号公報は、ヘッドプレートを形状記憶合金で形成することにより、ヘッドプレートの歪みを矯正することを提案している。
【０００６】
しかしながら、ヘッドプレートをヒーターで加熱する場合、ヘッドプレートの歪みを防止して、基板の歪を抑制することはできるが、検査対象に近接するよう支持されるガイド部材を有する場合、このガイド部材が温度変化により歪みを生じて、複数のプローブの相対位置が不正確となるおそれがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１５−５２５１１号公報
【特許文献２】特許第４９６５４２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
前記不都合に鑑みて、本発明は、プローブの配置の温度変化による歪みを抑制することができる電気検査ヘッドを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するためになされた発明は、互いに平行に配設される複数の針状のプローブと、このプローブに垂直に配置され、プローブがそれぞれ貫通する複数のガイド孔を有する板状のガイド部材とを備える電気検査ヘッドであって、前記ガイド部材の平面視でガイド部材の質量を二等分する案分線上に配設され、前記案分線に沿う方向、ガイド部材の法線方向及びこれらに垂直な方向のガイド部材の移動を規制する第１支持部材と、平面視で前記案分線上に配設され、ガイド部材の前記案分線に沿う方向の移動のみを許容する第２支持部材とをさらに備えることを特徴とする電気検査ヘッドである。
【００１０】
当該電気検査ヘッドは、前記ガイド部材の平面視でガイド部材の質量を二等分する案分線上に配設され、前記案分線に沿う方向、ガイド部材の法線方向及びこれらに垂直な方向の移動を規制する第１支持部材と、平面視で前記案分線上に配設され、ガイド部材の前記案分線に沿う方向のガイド部材の移動のみを許容する第２支持部材とを備えるので、温度が変化するとガイド部材が第１支持部材での支持点を中心に、案分線に沿う方向に自由に伸縮することができる。このため、当該電気検査ヘッドは、温度が変化してもガイド部材の撓みを抑制できるので、プローブの配置の歪みを抑制することができる。
【００１１】
前記第１支持部材が、前記プローブと平行に配設され、先端面でガイド部材に当接する支柱と、この支柱の先端面に垂直に螺合するねじとを有し、前記第２支持部材が、前記プローブと平行に配設され、先端面でガイド部材に当接する支柱と、この支柱の先端面に垂直に螺合するねじと、このねじの外周に嵌装されるスリーブとを有し、前記ガイド部材が、前記第１支持部材のねじが貫通する固定孔と、前記第２支持部材のスリーブが嵌合し、前記案分線に沿って延在する長孔とを有するとよい。このように、第１支持部材が前記支柱及びねじを有し、前記第２支持部材が前記支柱、ねじ及びスリーブを有し、前記ガイド部材が前記固定孔及び長孔を有することによって、比較的簡単な構成で、ガイド部材を案分線に沿う方向に自由に伸縮することができるよう支持することができるので、プローブの配置の温度変化による歪みを比較的容易かつ確実に抑制することができる。
【００１２】
前記ガイド部材の平面視で前記案分線から離間する位置に配設され、ガイド部材の法線方向の移動のみを規制する第３支持部材をさらに備えるとよい。このように、前記ガイド部材の平面視で前記案分線から離間する位置に配設され、ガイド部材の法線方向の移動のみを規制する第３支持部材をさらに備えることによって、ガイド部材の前記案分線を中心とする揺動を効果的に防止することができる。
【００１３】
前記ガイド部材に配設されるヒーターをさらに備えるとよい。このように、前記ガイド部材に配設されるヒーターをさらに備えることによって、検査対象を比較的効率よく加熱することができ、検査対象の高温下での電気的特性を比較的容易に検査できる。
【００１４】
前記ガイド部材の平面形状が略長方形状であり、前記案分線がガイド部材の長辺に平行な中心線であるとよい。このように、前記ガイド部材の平面形状が略長方形状であることによって、温度変化によるガイド部材の平面視での伸縮が案分線に沿う方向及び案分線に垂直な方向に均等となる。これによって、ガイド部材全体の歪みをより確実に抑制することができる。
【発明の効果】
【００１５】
以上のように、本発明の電気検査ヘッドは、プローブの配置の温度変化による歪みを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態の電気検査ヘッドの構成を示す模式的側面図である。
【図２】図１の電気検査ヘッドの底面（検査対象への対向面）図である。
【図３】図１の電気検査ヘッドの第１支持部材の構成を示す案分線に垂直な平面での部分断面図である。
【図４】図１の電気検査ヘッドの第２支持部材の構成を示す案分線に垂直な平面での部分断面図である。
【図５】図１の電気検査ヘッドの第３支持部材の構成を示す案分線に垂直な平面での部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を詳説する。
【００１８】
［電気検査ヘッド］
図１に示す本発明の一実施形態に係る電気検査ヘッドは、例えばプリント基板等の検査対象の電気的特性を検査するために使用される。
【００１９】
当該電気検査ヘッドは、ベースプレート１と、複数の針状のプローブ２と、この複数のプローブ２が貫通する板状の第１ガイド部材３及び第２ガイド部材４と、第２ガイド部材４に配設されるヒーター５とを備える。第１ガイド部材３はベースプレート１の下側に、ベースプレート１と平行に配設され、第２ガイド部材４は、第１ガイド部材３のさらに下側に、ベースプレート１及び第１ガイド部材３と平行に配置される。なお、本明細書における「上」及び「下」とは、当該電気検査ヘッドの一般的な使用態様における上限関係を便宜的に用いて相対位置を特定するものであって、当該電気検査ヘッドの使用時の向きを限定するものではない。
【００２０】
また、当該電気検査ヘッドは、ベースプレート１の下側面に配設され、第１ガイド部材３を支持するスペーサー６と、第１ガイド部材３の下側面に配設され、第２ガイド部材３を支持する第１支持部材７、第２支持部材８及び複数の第３支持部材９とさらに備える。
【００２１】
第１支持部材７は、図２に示すように、第２ガイド部材４の平面視で第２ガイド部材４の質量を二等分する案分線Ｌ上に配設され、案分線Ｌに沿う方向、第２ガイド部材４の法線方向及びこれらに垂直な方向の第２ガイド部材４の移動を規制、つまり第１支持部材７に対して全ての方向に相対移動できないよう固定する。
【００２２】
第２支持部材８は、第２ガイド部材４の平面視で前記案分線Ｌ上に配設され、第２ガイド部材４の案分線Ｌに沿う方向の移動のみを許容する。つまり、第２支持部材８は、第２ガイド部材４の法線方向と、この法線方向及び案分線Ｌに沿う方向に垂直な方向との第２ガイド部材４の第２支持部材８に対する相対移動を規制する。
【００２３】
第３支持部材９は、第２ガイド部材４の平面視で前記案分線Ｌから離間する位置に配設され、第２ガイド部材４の法線方向の第３支持部材９に対する相対移動のみを規制する。つまり、第２支持部材８は、第２ガイド部材４の案分線Ｌに沿う方向と、この案分線に沿う方向及び第２ガイド部材４の法線方向に垂直な方向の第２ガイド部材の第３支持部材９に対する相対移動を許容する。
【００２４】
＜検出基板＞
ベースプレート１は、当該電気検査ヘッドを例えばロボット等の位置決め装置（不図示）に取り付ける際、位置決め装置に保持される部材である。従って、ベースプレート１は、例えば金属等の剛性を有する材質で形成される。
【００２５】
当該電気検査ヘッドは、ベースプレート１を保持する位置決め装置によって、検査対象のプリント基板に第２ガイド部材４を正対させるよう位置決めされ、プリント基板に圧接されることで、複数のプローブ２をプリント基板の複数の測定点（例えば測定用ランド等）に当接させる。
【００２６】
＜プローブ＞
プローブ２は、上端が不図示の電気回路に例えば可撓性を有するワイヤ等を介して接続され、下端が第２ガイド部材２から下側、つまり検出対象であるプリント基板側に突出する。このプローブ２は、当該電気検査ヘッドがプリント基板に圧接されるとき、プリント基板の測定点に導電接触する。
【００２７】
＜第１ガイド部材＞
第１ガイド部材３は、プローブ２が厚さ方向にそれぞれ貫通する複数のガイド孔１０を有する。
【００２８】
第１ガイド部材３の材質としては、剛性及び絶縁性を有する材質であればよく、例えば樹脂、セラミックス等の無機化合物焼成材料などから形成される。
【００２９】
＜第２ガイド部材＞
第２ガイド部材４は、第２ガイド部材４の平面視で第１ガイド部材３のガイド孔１０と重複し、プローブ２が厚さ方向にそれぞれ貫通する複数のガイド孔１１を有する。このため、複数のプローブ２は、支持部材３及び第２ガイド部材４の間において互いに平行に配置される。換言すると、第１ガイド部材３及び第２ガイド部材４は、複数のプローブ２に垂直に配置される。
【００３０】
第２ガイド部材４は、比較的径が小さく、第１支持部材７が係合する固定孔１２と、前記案分線Ｌに沿って延在し、第２支持部材８が係合する長孔１３と、比較的径が大きく、第３支持部材９が係合する複数の補助孔１４とを有する。これらの固定孔１２、長孔１３及び補助孔１４は、下側が階段状に拡径する座ぐりを有する。
【００３１】
第２ガイド部材４の平面形状としては、前記第１支持部材７による支持点及び第２支持体８による支持点とを含む案分線Ｌを中心に線対称であることが好ましい。第２ガイド部材４は、平面形状が案分線Ｌについて線対称であることによって、温度上昇による膨張及び温度低下による収縮に伴う寸法変化が案分線Ｌの両側で等しいため、温度変化によって案分線Ｌを屈曲させる応力が生じ難い。
【００３２】
さらに、第２ガイド部材４の平面形状は、案分線Ｌに垂直な中心線について線対称であることがより好ましい。第２ガイド部材は、平面形状が２方向に線対称であることによって、温度変化による伸縮が形状の歪みを生じさせ難く、全体として均等な比率で拡大及び縮小するので、案分線Ｌから離れた位置でも、測定位置を正確に定めることができる。
【００３３】
またさらに、第２ガイド部材４の平面形状は、案分線Ｌを長手方向の中心線とする長方形であることがさらに好ましい。第２ガイド部材４は、平面形状が長方形であり、かつその長手方向の中心線上において第１支持部材７及び第２支持体８に支持されることによって、第１支持部材７と第２支持体８との距離を比較的大きくすることができるので、第２ガイド部材４と第２支持体８との間のわずかなガタツキに起因する第２ガイド部材４の平面内での回動を効果的に抑制することができる。
【００３４】
第２ガイド部材４の材質としては、剛性及び絶縁性を有する材質であればよく、例えばセラミックス等の無機化合物焼成材料、樹脂などを用いることができるが、検査対象と線膨張係数が略等しいものが好ましい。
【００３５】
第２ガイド部材４の線膨張係数が検査対象の線膨張係数と略等しい場合は、温度変化による検査対象の測定点間の距離の増減と、当該電気検査ヘッドのプローブ２間の距離の増減とが略等しくなるので、異なる複数の温度における検査対象の電気的特性を正確に検査することができる。
【００３６】
一方、第２ガイド部材４の線膨張係数が検査対象の線膨張係数と異なる場合は、温度変化に起因する第２ガイド部材４及び検査対象の伸縮を考慮して、検査温度においてプローブ２がそれぞれ検査対象の測定点に当接できるよう、第２ガイド部材４のガイド孔１１の配置を決定する。つまり、第２ガイド部材４のガイド孔１１の配置は、温度変化起因するガイド孔１１（ひいてはプローブ２）間の距離の変化と、温度変化起因する検査対象の測定点間の距離の変化とを考慮して、常温における検査対象の測定点の配置とはわずかに異なるものとするとよい。
【００３７】
また、第２ガイド部材４は、本実施形態のようにヒーター５が配設される場合には、ヒーター５の熱を迅速に伝えることができるよう、熱伝導率が比較的大きいことが好ましい。このため、第２ガイド部材４の材質としては、絶縁性を有すると共に熱伝導率が比較的大きい材料、例えば窒化アルミニウムを主成分とするセラミックス、熱伝導性フィラーを含有する樹脂等が好適に用いられる。
【００３８】
＜ヒーター＞
ヒーター５は、第２ガイド部材４の上面に、つまり検査対象と反対側の面に、配設される。ヒーター５は、他の構成要素と緩衝しないような形状を有してもよく、図示するように複数に分割して配設されてもよい。
【００３９】
ヒーター５は、第２ガイド部材４を加熱することにより、検査対象であるプリント基板を間接的に加熱する。これにより、当該電気検査ヘッドは、検査対象の高温環境下での電気的特性を検査することができる。また、第２ガイド部材４に配設されるヒーター５の熱は、ベースプレート１及び第１ガイド部材３には比較的伝わり難いので、検査対象を効率よく加熱することができ、比較的エネルギー効率が高い。
【００４０】
＜スペーサー＞
スペーサー６は、基板１に対して第１ガイド部材３を平行に保持できるものであればよく、第１ガイド部材３を熱膨張による歪みを生じないようすることが好ましい。
【００４１】
＜第１支持部材＞
第１支持部材７は、図３に詳しく示すように、第１ガイド部材３の下面にプローブ２と平行に配設され、先端面で第１ガイド部材４に当接する支柱１５と、この支柱１５の先端面に垂直に螺号するねじ１６とを有する。ねじ１６は、固定孔１２の座ぐり部分の内部に収容され、座ぐり部分の奧端面に当接する頭部１６ａを有する。第１支持部材７は、支柱１５とねじ１６の頭部１６ａとで第２ガイド部材４を挟み込んで、固定孔１２を移動不能に保持する。
【００４２】
また、第１支持部材７は、ねじ１６の緩みを防止するためのバネ座金や、第２ガイド部材４との接触面積を確保する平座金を有してもよい。
【００４３】
＜第２支持部材＞
第２支持部材８は、図４に詳しく示すように、第１ガイド部材３の下面にプローブ２と平行に配設され、先端面で第１ガイド部材４に当接する支柱１７と、この支柱１７の先端面に垂直に螺号するねじ１８と、このねじ１８の外周に嵌装されるスリーブ１９とを有する。スリーブ１９は、長孔１３の座ぐり部分の厚さと略等しい軸方向長さと、長孔１３の座ぐりを除く部分の幅と略等しい外径とを有する。ねじ１８は、長孔１３の座ぐり部分の内部に収容される頭部１８ａを有する。
【００４４】
第２支持部材８は、ねじ１８の頭部１８ａとスリーブ１９との間に挟み込まれ、長孔１３の座ぐり部分の奧端面に当接平座金２０をさらに有することが好ましい。また、第２支持部材８は、ねじ１８の緩みを防止するためのバネ座金（不図示）をさらに有してもよい。つまり、第２支持部材８は、ねじ１８の頭部１８ａ又は平座金２０の径が長孔１３の座ぐりを除く部分の幅よりも大きいことによって、第２ガイド部材４の法線方向に移動することを防止する。
【００４５】
第２支持部材８のスリーブ１９は、第２支持部材８の先端面と平座金２０との間隔を定め、第２ガイド部材４が第２支持部材８から離間することを防止すると共に、平座金２０と第２ガイド部材４の座ぐり部分の奧端面との間に大きな摩擦力が生じることを防止する。これにより、摩擦力によって第２ガイド部材４の第２支持部材８に対する平面方向の移動が阻害されないようにできる。また、スリーブ１９は、長孔１３の座ぐり以外の部分の内壁に当接することにより、平面方向のうちで案分線Ｌに垂直な方向の第２ガイド部材４の移動を防止する。これによって、第２支持部材８は、第２ガイド部材４の案分線Ｌに沿う方向の移動のみを許容する。
【００４６】
第３支持部材９は、図５に詳しく示すように、第１ガイド部材３の下面にプローブ２と平行に配設され、先端面で第１ガイド部材４に当接する支柱２１と、この支柱２１の先端面に垂直に螺号するねじ２２と、このねじ２２の外周に嵌装されるスリーブ２３とを有する。スリーブ２３は、補助孔１４の座ぐり部分の厚さと略等しい軸方向長さと、補助孔１４の座ぐり部分を除く部分の内径よりも小さい外径とを有する。ねじ２２は、補助孔１４の座ぐり部分の内部に収容され、座ぐり部分の奧端面に当接する頭部２２ａを有する。  
【００４７】
第３支持部材９は、ねじ２２の頭部２２ａとスリーブ２３との間に挟み込まれ、補助孔１４の座ぐり部分の奧端面に当接する平座金２４をさらに有することが好ましい。また、第３支持部材９は、ねじ２１の緩みを防止するためのバネ座金（不図示）をさらに有してもよい。
【００４８】
第３支持部材９のスリーブ２３は、第３支持部材９の先端面と平座金２４との間隔を定め、第２ガイド部材４が第３支持部材９から離間することを防止すると共に、平座金２４と第２ガイド部材４の座ぐり部分の奧端面との間に大きな摩擦力が生じることを防止する。これにより、摩擦力によって第２ガイド部材４の第３支持部材９に対する平面方向の移動が阻害されないようにできる。また、スリーブ２３は、外径が補助孔１４の内径より小さく、補助孔１４の中で第２ガイド部材４の平面方向に移動することができる。これによって、第３支持部材９は、第２ガイド部材４の法線方向の移動のみを規制する。
【００４９】
＜使用方法＞
当該電気検査ヘッドは、ロボットの末端に取り付けられて、検査対象の電気的特性を検査する電気検査装置の一部を構成する。
【００５０】
電気検査装置に用いられるロボットとしては、多関節型ロボットであってもよいが、互いに垂直なＸ方向及びＹ方向に位置決め可能な移動体と、この移動体上に設けられ、Ｘ方向及びＹ方向に垂直なＺ方向の昇降機構とを備える直交座標型ロボットが好適に利用される。
【００５１】
このような電気検査装置において、当該電気検査ヘッドは、前記直交座標型ロボットの末端に、前記昇降機構に保持され、Ｚ方向の回転軸を中心に回転位置決め可能な旋回機構を介して保持されることが好ましい。
【００５２】
また、電気検査装置は、Ｘ方向及びＹ方向に延在する平面上に検査対象を保持するテーブルを備えることが好ましい。
【００５３】
電気検査装置は、移動体のＸ方向及びＹ方向の移動により、当該電気検査ヘッドを検査対象にＺ方向に正対させ、旋回機構によって複数のプローブ２を検査対象の検査点に対向させてから、昇降機構により当該電気検査ヘッドを降下させてプローブ２を検査対象に圧接する。電気検査装置は、検査対象に圧接した複数のプローブ２間の電気抵抗が所定の範囲内であったものを良品と判断し、複数のプローブ２間の電気抵抗が所定範囲外であるものを不良品と判断する。
【００５４】
特に、当該電気検査ヘッドを備える電気検査装置は、ヒーター５によって第２ガイド部材及び検査対象を所定温度に加熱した状態で、プローブ２間の電気抵抗を検出し、高温環境下における検査対象の電気的特性を検査する。
【００５５】
＜利点＞
当該電気検査ヘッドは、第２ガイド部材４の平面視で第２ガイド部材４の質量を二等分する案分線Ｌ上に配設され、前記案分線Ｌに沿う方向、第２ガイド部材４の法線方向（Ｚ方向）及びこれらに垂直な方向の移動を規制する第１支持部材７と、平面視で前記案分線Ｌ上に配設され、第２ガイド部材４の前記案分線Ｌに沿う方向の第２ガイド部材４の移動のみを許容する第２支持部材８とを備えるので、温度が変化した場合には、第２ガイド部材４が第１支持部材７での支持点を中心に、案分線Ｌに沿う方向に自由に伸縮することができる。このため、当該電気検査ヘッドは、温度が変化しても第２ガイド部材４の撓みを抑制できるので、プローブ２の配置の歪みを抑制することができる。
【００５６】
また、当該電気検査ヘッドは、第１支持部材７が支柱１５及びねじ１６を有し、第２支持部材８が支柱１７、ねじ１８及びスリーブ１９を有し、第２ガイド部材４が第１支持部材７に係合する固定孔１２及び第２支持部材８に係合する長孔１３を有する構成とされている。このように当該電気検査ヘッドは、比較的簡単な構成でありながら、第２ガイド部材４を案分線Ｌに沿う方向に自由に伸縮することができるよう支持することができるので、プローブ２の配置の温度変化による歪みを比較的確実に抑制することができる。
【００５７】
［その他の実施形態］
前記実施形態は、本発明の構成を限定するものではない。従って、前記実施形態は、本明細書の記載及び技術常識に基づいて前記実施形態各部の構成要素の省略、置換又は追加が可能であり、それらは全て本発明の範囲に属するものと解釈されるべきである。
【００５８】
当該電気検査ヘッドは、ベースプレートに対して第１ガイド部材をその案分線上で第１支持部材及び第２支持部材で支持するものであってもよい。この場合、第１ガイド部材と第２ガイド部材との形状を温度変化による膨張及び収縮が等しくなるものとして、第１ガイド部材と第２ガイド部材との間を相対移動不能に固定してもよい。また、プローブの軸方向を定めることができる程度に厚さを有する単一のガイド部材を、その案分線上で第１支持部材及び第２支持部材で支持してもよい。
【００５９】
当該電気検査ヘッドにおけるベースプレートの平面形状としては、任意の形状とすることができ、線対称とはならない形状であってもよい。第１支持部材及び第２支持部材によるガイド部材の支持位置は、ガイド部材の平面視でガイド部材の質量を二等分する案分線上であればよい。例えば、第１支持部材及び第２支持部材は、長方形状にガイド部材の対角線上に配置されてもよい。
【００６０】
当該電気検査ヘッドは、ガイド部材の案分線上に複数の第２支持部材を備えてもよい。例えば、第１支持部材でガイド部材を支持し、案分線の両側でそれぞれ第２支持部材でガイド部材を支持してもよい。また、第１支持部材の一方側に複数の第２支持部材を配置してもよい。なお、第１支持部材と第２支持部材との間隔を大きくすることによって、ガイド部材の平面内での回転を抑制する効果が大きくなる。
【００６１】
当該電気検査ヘッドは、ヒーターを備えないものであってもよく、第２ガイド板以外の場所にヒーターが配設されていてもよい。当該電気検査ヘッドがヒーターを有しない場合、当該電気検査ヘッド及び検査対象を加熱するヒーターを外部に設けてもよく、当該電気検査ヘッドが配置される空間（部屋又はブース）の温度を調節可能にしてもよい。
【００６２】
当該電気検査ヘッドにおいて、第３支持部材はなくてもよい。具体例として、ガイド部材の案分線に直交する方向の幅に対する第１支持部材又は第２支持部材の支柱の径の比が比較的大きい場合、第３支持部材を省略してもよい。また、当該電気検査ヘッドは、ガイド部材の案分線の一方側にのみ第３支持部材を有してもよい。
【００６３】
当該電気検査ヘッドは、検査対象の下方にガイド部材が検査対象に対向するよう配置され、検査対象の下面の測定点にプローブを当接させてもよい。また、例えば表裏両面に電気回路パターンが形成された両面プリント基板等を検査対象として電気検査を行う場合、検査対象の上下両方に当該電気検査ヘッドをそれぞれ配置して、上下両方からプローブを当接させて検査対象の電気検査を行うようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
当該電気検査ヘッドは、例えばプリント基板等の高温環境下での電気的特性を検査するために特に好適に利用することができる。
【符号の説明】
【００６５】
１  ベースプレート
２  プローブ
３  第１ガイド部材
４  第２ガイド部材
５  ヒーター
６  スペーサー
７  第１支持部材
８  第２支持部材
９  第３支持部材
１０，１１  ガイド孔
１２  固定孔
１３  長孔
１４  補助孔
１５，１７，２１  支柱
１６，１８，２２  ねじ
１６ａ，１８ａ，２２ａ  頭部
１９，２３  スリーブ
２０，２４  平座金
Ｌ  案分線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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