(57)【要約】【課題】対象物が撮像領域の予め設定された関心領域内から位置ずれを起こして配置されても、予め設定された関心領域と同じ配置及び面積で欠落なく画像データを出力可能な撮像装置および撮像システム並びに外観検査装置および製造方法を提供する。【解決手段】撮像素子の一部領域の画像データのみを出力可能な撮像装置で、対象物を含む第１の関心領域の座標データおよび第１の関心領域に対応した第１の画像データを予め記憶する記憶手段と、同じ面積で変位する第２の関心領域の座標データを変更する位置変更手段と、変更された第２の関心領域における撮像素子の画像データを第２の画像データとして読み出す読出し手段と、第２の画像データと第１の画像データとの類似度を表す評価値を算出する評価値算出手段と、算出された評価値が所定の閾値以上であるとき第２の画像データを出力する出力手段と、を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像素子の撮像領域のうち、一部領域の画像データのみを出力可能な撮像装置であって、
前記撮像領域における対象物を含む第１の関心領域の座標データおよび前記第１の関心領域に対応した第１の画像データを予め記憶する記憶手段と、
前記第１の関心領域と同じ面積で変位する第２の関心領域の座標データを変更する位置変更手段と、
前記位置変更手段で変更された前記第２の関心領域における前記撮像素子の画像データを第２の画像データとして読み出す読出し手段と、
前記第２の画像データと前記第１の画像データとの類似度を表す評価値を算出する評価値算出手段と、
前記評価値算出手段により算出された前記評価値が所定の閾値以上であるとき、前記第２の画像データを出力する出力手段と、
を有することを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
前記第１の関心領域は、複数の対象物に対し対象物ごとに複数設けられることを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項３】
前記第１の関心領域は、複数の対象物を含むように設けられることを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項４】
前記第１及び第２の画像データは、デジタル変換されたデータであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項５】
撮像素子の撮像領域のうち、一部領域の画像データのみを出力可能な撮像装置と、該撮像装置からの画像データを受信する外部機器と、を含む撮像システムであって、
前記撮像領域における対象物を含む第１の関心領域の座標データおよび前記第１の関心領域に対応した第１の画像データを予め記憶する記憶手段と、
前記第１の関心領域と同じ面積で変位する第２の関心領域の座標データを変更する位置変更手段と、
前記位置変更手段で変更された前記第２の関心領域における前記撮像素子の画像データを第２の画像データとして読み出す読出し手段と、
前記第２の画像データと前記第１の画像データとの類似度を表す評価値を算出する評価値算出手段と、
前記評価値算出手段により算出された前記評価値が所定の閾値以上であるとき、前記第２の画像データを出力する出力手段と、
を有し、
前記評価値の算出を前記外部機器において行うことを特徴とする撮像システム。
【請求項６】
前記第１の関心領域は、複数の対象物に対し対象物ごとに複数設けられることを特徴とする請求項５に記載の撮像システム。
【請求項７】
前記第１の関心領域は、複数の対象物を含むように設けられることを特徴とする請求項５に記載の撮像システム。
【請求項８】
前記第１及び第２の画像データは、デジタル変換されたデータであることを特徴とする請求項５乃至７のいずれか１項に記載の撮像システム。
【請求項９】
第１の関心領域における対象物を基準とし、前記第１の関心領域と同じ面積で変位する第２の関心領域における類似の対象物と前記基準との照合を外観検査として行う外観検査装置であって、
前記第１及び第２の関心領域を含む撮像領域を備える撮像素子と、
前記第１の関心領域の座標データおよび前記第１の関心領域に対応した第１の画像データを予め記憶する記憶手段と、
前記第２の関心領域の座標データを変更する位置変更手段と、
前記位置変更手段で変更された前記第２の関心領域における前記撮像素子の画像データを第２の画像データとして読み出す読出し手段と、
前記第２の画像データと前記第１の画像データとの類似度を表す評価値を算出する評価値算出手段と、
前記評価値算出手段により算出された前記評価値が所定の閾値以上であるとき、前記第２の画像データを出力する出力手段と、
を有することを特徴とする外観検査装置。
【請求項１０】
前記撮像素子を含む装置筐体を有し、
前記評価値の算出を前記装置筐体の内部において行うことを特徴とする請求項９に記載の外観検査装置。
【請求項１１】
前記撮像素子を含む装置筐体を有し、
前記装置筐体の外部に前記撮像素子からの画像データを受信する外部機器を有し、
前記評価値の算出を前記外部機器において行うことを特徴とする請求項９に記載の外観検査装置。
【請求項１２】
複数の部品から構成される装置を製造する製造方法であって、
前記複数の部品のうちの少なくとも一つを、請求項９乃至１１のいずれか１項に記載の外観検査装置を用いて検査する検査工程と、
前記検査工程の検査結果に基づいて、前記複数の部品を組み立てる組立工程と、
を備えることを特徴とする製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撮像装置および撮像システム並びに外観検査装置および製造方法に関し、特に部分読出し機能を有するものに関する。
【背景技術】
【０００２】
工場の製造ラインでは、流れ作業の中で検査者が部品等の外観検査を行う目視検査の代わりに、画像入力用の撮像装置とコンピュータやデジタル入出力機器とを接続して検査を行うシステムが導入されている。これらのシステムに使用される撮像装置は、マシンビジョンカメラと呼ばれ、近年では、検査精度を向上させるために、１０００万以上の画素を有する撮像素子（イメージセンサ）を搭載したものが使用されるようになってきた。
【０００３】
このような撮像装置で被検査物（対象物）を撮像し、撮像素子の全画素から信号を読み出す場合、画素数が多いため、各画素から信号を読み出すための時間が長くなる。
【０００４】
そこで、特許文献１では、撮像素子の全画素の一部を関心領域として指定し、該当する関心領域のみを読み出しする、所謂部分読み出しを行うことにより、画素から信号を読み出すための時間を短縮する技術が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−０２３２５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述の特許文献１に開示された従来技術では、部品等の被検査物（対象物）の位置が撮像装置の指定された関心領域内からずれて配置される度に、被検査物（対象物）の一部しか表示されないこととなる。そこで、検査者は、その都度、流れ作業を止めて撮像装置の関心領域を変更するか、被検査物の位置を変更する（調整する）か、いずれかの作業を行う必要があった。
【０００７】
本発明の目的は、対象物が撮像領域の予め設定された関心領域内から若干ずれて位置した場合であっても、予め設定された関心領域と同じ配置及び面積で欠落なく画像データを出力可能な撮像装置および撮像システム並びに外観検査装置および製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明に係る撮像装置は、撮像素子の撮像領域のうち、一部領域の画像データのみを出力可能な撮像装置であって、前記撮像領域における対象物を含む第１の関心領域の座標データおよび前記第１の関心領域に対応した第１の画像データを予め記憶する記憶手段と、前記第１の関心領域と同じ面積で変位する第２の関心領域の座標データを変更する位置変更手段と、前記位置変更手段で変更された前記第２の関心領域における前記撮像素子の画像データを第２の画像データとして読み出す読出し手段と、前記第２の画像データと前記第１の画像データとの類似度を表す評価値を算出する評価値算出手段と、前記評価値算出手段により算出された前記評価値が所定の閾値以上であるとき、前記第２の画像データを出力する出力手段と、を有することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明に係る撮像システムは、撮像素子の撮像領域のうち、一部領域の画像データのみを出力可能な撮像装置と、該撮像装置からの画像データを受信する外部機器と、を含む撮像システムであって、前記撮像領域における対象物を含む第１の関心領域の座標データおよび前記第１の関心領域に対応した第１の画像データを予め記憶する記憶手段と、前記第１の関心領域と同じ面積で変位する第２の関心領域の座標データを変更する位置変更手段と、前記位置変更手段で変更された前記第２の関心領域における前記撮像素子の画像データを第２の画像データとして読み出す読出し手段と、前記第２の画像データと前記第１の画像データとの類似度を表す評価値を算出する評価値算出手段と、前記評価値算出手段により算出された前記評価値が所定の閾値以上であるとき、前記第２の画像データを出力する出力手段と、を有し、前記評価値の算出を前記外部機器において行うことを特徴とする。
【００１０】
また、本発明に係る外観検査装置は、第１の関心領域における対象物を基準とし、前記第１の関心領域と同じ面積で変位する第２の関心領域における類似の対象物と前記基準との照合を外観検査として行う外観検査装置であって、前記第１及び第２の関心領域を含む撮像領域を備える撮像素子と、前記第１の関心領域の座標データおよび前記第１の関心領域に対応した第１の画像データを予め記憶する記憶手段と、前記第２の関心領域の座標データを変更する位置変更手段と、前記位置変更手段で変更された前記第２の関心領域における前記撮像素子の画像データを第２の画像データとして読み出す読出し手段と、前記第２の画像データと前記第１の画像データとの類似度を表す評価値を算出する評価値算出手段と、前記評価値算出手段により算出された前記評価値が所定の閾値以上であるとき、前記第２の画像データを出力する出力手段と、を有することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明に係る製造方法は、複数の部品から構成される装置を製造する製造方法であって、前記複数の部品のうちの少なくとも一つを、上記外観検査装置を用いて検査する検査工程と、前記検査工程の検査結果に基づいて、前記複数の部品を組み立てる組立工程と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、対象物が撮像領域の予め設定された関心領域内から位置ずれを起こして配置されても、予め設定された関心領域と同じ配置及び面積で欠落なく画像データを出力可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る撮像装置の構成図
【図２】第１の実施形態で基準テンプレートを登録する際のモニタ画面例
【図３】第１の実施形態のフローチャート
【図４】第２の実施形態で基準テンプレートを登録する際のモニタ画面例
【図５】第２の実施形態のフローチャート
【図６】第３の実施形態の構成図
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に、本発明の好ましい実施の形態を、添付の図面に基づいて詳細に説明する。以下の実施形態における外観検査装置は、まず第１の関心領域において対象物（被検査物）の形状（外観、輪郭、外形等）を記憶する。その上で、次の対象物を含む第２の関心領域における対象物の形状と、記憶している第１の関心領域における対象物の形状とを比較して類似度を算出する（得る）。その算出された類似度が所定の閾値以上であれば、第２の関心領域内に位置している対象物は、第１の関心領域内に位置していた対象物と同種の物体（部品）であり、検査の対象（撮像の対象）となる。
【００１５】
このように、類似度が所定の閾値以上に高くなるように、撮像装置が撮影し得る撮像領域（撮像可能な全領域）の中から第２の関心領域を切り出して、この第２の関心領域に対応する位置部分（撮像領域全体ではない）を読み出すようにする。このような動作をすることによって、比較的短時間に（読み出し時間を削減しつつ）外観検査を行うことができる外観検査装置を提供することができる。
【００１６】
尚、以下の実施形態で、第１の関心領域における対象物と、第２の関心領域における類似の対象物との照合を外観検査として行う外観検査装置は、撮像装置で構成される場合や、撮像システム（撮像装置および外部機器）で構成される場合がある。
【００１７】
《第１の実施形態》
（撮像装置）
図１に、本発明の第１の実施形態に係る撮像装置の構成を示す。撮像装置１００は、イメージセンサ（撮像素子）１０１を含む撮像系を有し、センサ駆動制御部１０２、ＡＤ部（Ａ／Ｄ変換部）１０３、アドレス変換部１０４で撮像処理が行われる。
【００１８】
不図示のレンズを通った光束は、撮像装置１００のイメージセンサ１０１に結像する。センサ駆動制御部１０２は、イメージセンサ１０１の蓄積動作や読み出し動作の制御を行う。センサ駆動制御部１０２によってイメージセンサ１０１の撮像処理を行うと、イメージセンサ１０１からはアナログの撮像信号が出力される。アナログの撮像信号は、ＡＤ部１０３にてデジタル変換され、画像データとして後述の画像信号処理部１０８に入力される。尚、ＡＤ部１０３は、イメージセンサ１０１に構成されていても構わない。
【００１９】
アドレス変換部１０４は、センサ駆動制御部１０２がイメージセンサ１０１の蓄積制御と読み出し制御を行う対象画素のアドレスを算出する。イメージセンサ１０１の一部領域から部分読み出しを行う場合は、イメージセンサ１０１の全画素のうち、読み出しを行う画素を対象画素としてアドレス出力し、読み出し対象とならないアドレスはスキップする。
【００２０】
カメラ入力インターフェース部１０６は、撮像装置１００の装置筐体の外部に設けられるＰＣなど外部機器から、撮像装置１００の設定や、部分読み出しを行いたい関心領域の座標データを受信するインターフェースである。また、メモリ１０７は、カメラ入力インターフェース部１０６で入力された撮像装置１００の設定値や、部分読み出しを行いたい関心領域の座標データを保存する。部分読み出し位置設定部１０５は、メモリ１０７から、関心領域の座標データを読み出し、アドレス変換部１０４に送信する。
【００２１】
画像信号処理部１０８は、基準テンプレート保存部１０９、評価値算出部１1０、部分読み出し位置変更部１１１、画像信号出力部１１２から構成されている。基準テンプレート保存部１０９は、ＡＤ部１０３からの出力画像データを基準テンプレートとして登録する場合に、画像データを保存する。尚、基準テンプレートの画像データをメモリ１０７に記憶するようにしても構わない。
【００２２】
評価値算出部１１０は、ＡＤ部１０３からの出力画像が対象物であるかどうかを基準テンプレートと比較し、類似度に基づく評価値（類似度を表す評価値、或いは類似度が高ければ高いほど大きな値を示す評価値）を算出する。この類似度を表す評価値が所定の閾値以上であるときは、基準テンプレートにおける撮影対象物と類似する類似対象物（検査対象）がＡＤ部１０３からの出力画像に存在することとなる。
【００２３】
そして、この類似度を表す評価値が所定の閾値未満であるときは、後に詳述するように部分読み出し位置変更部１１１が、予め設定された関心領域と同じ面積で位置のみを変更するための座標データを算出しメモリ１０７に保存する。
【００２４】
画像信号出力部１１２は、撮像装置１００からの画像をＰＣやモニタ等の外部機器に対応したフォーマットに変換し、出力するためのインターフェースである。尚、ここでいう評価値とは、類似度、或いは一致度、或いは類似度（一致度）の高さ（或いは低さ）を表す何らかの値であればどのような値であっても構わない。
【００２５】
(基準テンプレートの登録)
次に、検査者または操作者が基準テンプレートを登録する方法について説明する。図２は、撮像装置１００を用いて基準テンプレートとなる撮影対象物Ｔ０を含む領域を撮影したときのモニタ画面を示している。なお、本実施形態では、撮影映像の画素数が横１０００×縦１０００としているが、撮影映像の画素数についてはこれに限定されない。また、本実施形態では、撮影映像の左上の座標を（１，１）とし、右下の座標を（１０００，１０００）として説明している。
【００２６】
１）第１の関心領域Ｉｍｇ０の設定
まず、検査者は、図２のようにモニタ画面を見ながら基準テンプレートとして登録したい撮影対象物Ｔ０を含む固定された第１の関心領域Ｉｍｇ０をＰＣや他の操作器で設定する。本実施形態では、第１の関心領域Ｉｍｇ０の左上と右下の座標を与えることで、第１の関心領域Ｉｍｇ０を設定している。図２では、第１の関心領域Ｉｍｇ０は、左上（１００，１００）、右下（８００，８００）の破線で囲まれた領域である。
【００２７】
第１の関心領域Ｉｍｇ０の座標データは、ＰＣや他の操作器等の外部機器からカメラ入力インターフェース部１０６を経由して予めメモリ１０７に保存される。そして、第１の関心領域Ｉｍｇ０の座標データは、部分読み出し位置の設定部１０５によりメモリ１０７から読み出される。
【００２８】
２）第１の関心領域Ｉｍｇ０と同じ面積を保って変位可能な第２の関心領域Ｉｍｇの座標データ
部分読み出し位置変更部１１１が第２の関心領域Ｉｍｇの新しい部分読み出し位置座標データを算出し、初期値を更新してメモリ１０７に保存する。
【００２９】
３）変位可能な関心領域Ｉｍｇにおける画像読出し
部分読み出し位置設定部１０５によりメモリ１０７から読み出された座標データに基づき、アドレス変換部１０４は、イメージセンサ１０１の蓄積および読み出しを行うためのアドレス情報（ラインや画素ナンバー）をセンサ駆動制御部１０２に対して発行する。具体的には、アドレス変換部１０４は、以下のように読み飛ばしライン、読み出しライン、読み飛ばし列、読み出し列の画素を算出する。
【００３０】
ａ）読み飛ばしライン  行１〜行９９、行８０１〜１０００
ｂ）読み出しライン  行１００〜行８００
ｃ）読み飛ばし列の画素  列１〜列９９、列８０１〜１０００
ｄ）読み出し列の画素  列１００〜列８００  
その後、センサ駆動制御部１０２は、アドレス変換部１０４から発行されたアドレス情報に基づき、イメージセンサ１０１からアドレスに基づく関心領域の画像読出し（部分読出し）を行う。
【００３１】
４）読み出された画像のデジタル化
関心領域から読み出された対象画素のアナログ信号は、ＡＤ部１０２で既定のビット数（８ビットや１０ビット等）で量子化され、デジタルの画像データとして画像信号処理部１０８に入力される。この画像データを基準テンプレートＴＥＮＰ０として保存する場合は、ＰＣや他の操作器からテンプレート保存のコマンドをカメラ入力インターフェース部１０６に入力することで、基準テンプレート保存部１０９に保存される。
【００３２】
（フローチャート）
図３は、本実施形態におけるフローチャートを示す。本実施形態では、イメージセンサ１０１で撮像された被検査物が、対象物であるか（厳密には対象物に類似するか）を基準テンプレートＴＥＮＰ０とテンプレートマッチングを行い、対象物である場合は、既定のフォーマットで画像出力を行う。
【００３３】
まず、ＰＣや他の操作器等の外部機器から予めメモリ１０７に保存された第１の関心領域Ｉｍｇ０の座標データを、図１の部分読み出し位置設定部１０５から、初期値ＩＮＴ０として読みだす（ステップＳ１）。次に、アドレス変換部１０４は、部分読み出し位置設定部１０５から読み出された初期値ＩＮＴ０に基づき、イメージセンサ１０１から部分読み出しを行う領域の指定アドレスを駆動制御部１０２に対して発行する（ステップＳ２）。イメージセンサ１０１から指定アドレスの対象画素が読み出され（ステップＳ３）、ＡＤ部１０３は、デジタルの画像データを出力する（ステップＳ４）。
【００３４】
そして、ステップＳ５では、評価値算出部１１０で、ＡＤ部１０３からの画像データと、基準テンプレート保存部１０９に保存されている基準テンプレートＴＥＮＰ０とテンプレートマッチングを行う（ステップＳ５）。そして、類似度を表す評価値を算出する（ステップＳ６）。
【００３５】
本実施形態では、基準テンプレートとＡＤ部１０３からの画像データの輝度値で相関マッチングを行っているが、輪郭、カラーマッチング等他のパターン認識技術を使用してマッチングを行っても構わない。
【００３６】
ステップＳ７で評価値（類似度）がある既定値（所定の閾値）以上の時は、ＡＤ１０３からの画像データは、被検査物であると判定し、画像信号出力部１１２で既定のフォーマットに変換され外部に出力される（ステップＳ１０）。
【００３７】
ステップＳ７で評価値がある既定値未満のときは、被検査物の位置が関心領域Ｉｍｇ０内からずれていると判断し、画像データを出力せずに、イメージセンサ１０１の部分読み出し領域の位置を変更する。具体的には、部分読み出し位置変更部１１１が新しい部分読み出し位置座標データを算出し（ステップＳ８）、初期値ＩＮＴ０を更新してメモリ１０７に保存する（ステップＳ９）。このとき、新しい座標データは、初期値ＩＮＴ０で囲まれた領域と同じ面積で、左上、右下の座標のみ異なっている。
【００３８】
その後、ステップＳ７で評価値がある既定値以上になるまでは、ステップＳ１〜Ｓ９を繰り返す。つまり、ＡＤ部１０３からの画像データと基準テンプレートとの評価値が既定値以上になるまで、イメージセンサ１０１の部分読み出し位置を予め設定された関心領域と同じ面積で変更していく。
【００３９】
以上の構成及びフローを行うことで、被検査物をイメージセンサ１０１から探索し、被検査物を予め設定された関心領域と同じ配置及び面積で外部に出力することが可能となる。これにより、部分読み出しを行うことにより、画素から信号を読み出すための時間を短縮できる。そして、対象物が撮像領域の予め設定された関心領域内から位置ずれを起こして配置されても、予め設定された関心領域と同じ配置及び面積で欠落なく画像データを出力可能である。
【００４０】
《第２の実施形態》
第１の実施形態は、一つの関心領域で、一つの基準テンプレートを用いて被検査物（対象物）の部分読み出しを行った。本実施形態は、複数の関心領域で、複数の基準テンプレートを用いて複数の被検査物の部分読み出しを行う点が第１の実施形態と異なる。即ち、本実施形態では、第１の関心領域は、複数の対象物に対し対象物ごとに複数設けられる。
【００４１】
本実施形態の撮像装置の構成図は、第１の実施形態と同じなので省略し、第１の実施形態１と相違のある部分について、以下説明していく。
【００４２】
(基準テンプレートの登録)
まず、複数の基準テンプレートを登録する方法について説明する。本実施形態でも第１の実施形態と同様に、検査者は、図４のようにモニタ画面を見ながら基準テンプレートとして登録したいｎ個の撮影対象物の関心領域を設定する。本実施形態では、説明のため４個にしているが、イメージセンサ１０１が撮影出来る範囲であればこの数に限定されない。
【００４３】
図４で、撮影対象物Ｔ０、Ｔ1、Ｔ2、Ｔ3を含む破線で示された第１の関心領域Ｉｍｇ０、Ｉｍｇ１、Ｉｍｇ２、Ｉｍｇ３の各左上、右下の座標データをＰＣや他の操作器等の外部機器で設定する。そして、第１の実施形態と同様に、それぞれ第１の関心領域の座標データは、カメラ入力インターフェース部１０６を経由してメモリ１０７に保存される。
【００４４】
そして、部分読み出し位置設定部１０５は、メモリ１０７から、各座標データを読み込む。アドレス変換部１０４は、部分読み出し位置設定部１０５から読み出された各座標データに基づき、イメージセンサ１０１の蓄積および読み出しを行うためのアドレス情報であるラインや画素ナンバーをセンサ駆動制御部１０２に対して発行する。
【００４５】
その後、センサ駆動制御部１０２は、アドレス変換部１０４から発行されたアドレス情報に基づき、イメージセンサ１０１から各第１の関心領域のみの対象画素の部分読み出しを行う。
【００４６】
各第１の関心領域から読み出された対象画素のアナログ信号は、ＡＤ部１０２で既定のビット数（８ビットや１０ビット等）で量子化され、複数のデジタル画像データ（本実施形態では４個）として画像信号処理部１０８に入力される。この複数の画像データを基準テンプレートＴＥＮＰ０、ＴＥＮＰ1、ＴＥＮＰ２、ＴＥＮＰ３として、基準テンプレート保存部１０９に保存する。
【００４７】
（フローチャート）
図５は、本実施形態のフローチャートである。まず、ｎ＝０を初期値として（ステップＳ３０）、予めメモリ１０７に保存された第１の関心領域Ｉｍｇ０の座標データＩＮＴ０を図１の部分読み出し位置設定部１０５から読み出す（ステップＳ３１）。 次に、ステップＳ３７で評価値が、既定値以上になるまでは、ステップＳ３２〜ステップＳ３９を繰り返す。尚、ステップＳ３２〜ステップＳ３９は、第１の実施形態のステップＳ２〜Ｓ９と同じなので説明は省略する。
【００４８】
ステップＳ３７で、第１の実施形態で述べたような第１の関心領域と第２の関心領域におけるテンプレートマッチングの評価値が、既定値以上の場合は、ステップＳ４０へ進む。全てのテンプレートマッチングが終了していない場合は、ｎ＝ｎ+1として（ステップＳ４１）、ステップＳ３１〜ステップＳ４１を繰り返す。つまり、複数の対象物が複数の基準テンプレートと類似度が既定値以上になるまで、予め設定された関心領域Ｉｍｇｎ（本実施形態ではＩｍｇ０、Ｉｍｇ１、Ｉｍｇ２、Ｉｍｇ３）と同じ面積で部分読み出し位置を変更する。
【００４９】
ステップＳ４０で全てのテンプレートマッチングが終了した時は、図１のメモリ１０７に保存された最新の部分読み出し位置座標ＩＮＴｎ（本実施形態では、ＩＮＴ０、ＩＮＴ1、ＩＮＴ2、ＩＮＴ3）を読み出す（ステップＳ４２）。その後、再度、ステップＳ３２〜ステップＳ３４ですべての関心領域の部分読み出しを行い、画像データを出力する。最後に、ステップＳ４３で、ステップＳ４２のフローが終了していることを確認し、第１の実施形態のステップＳ１０と同様に、既定のフォーマットで外部に出力する（ステップＳ４４）。
【００５０】
以上説明してきたように、上述のフローを行うことで複数の被検査物をイメージセンサ１０１から探索し、予め設定された各関心領域と同じ配置及び面積で外部に出力することが可能となる。
【００５１】
《第３の実施形態》
図６は、撮像装置１００および外部機器２００で構成される本実施形態の撮像システムの構成図である。本実施形態では、図１の部分読み出し位置設定部１０５、基準テンプレート保存部１０９、評価値算出部１１０、部分読み出し位置変更部１１１、画像信号出力部１１２を、撮像装置１００に接続されたＰＣ等の外部機器２００に設ける。この点が、第１、第２の実施形態と異なる。
【００５２】
第１、第２の実施形態では、撮像装置１００の装置筐体の内部で基準テンプレートとテンプレートマッチングを行ったが、本実施形態では、撮像装置１００の装置筐体の外部で基準テンプレートとテンプレートマッチングを行う。即ち、本実施形態では、撮像装置１００で部分読み出しを行った画像データを撮像装置１００の装置筐体の外部に設けられるＰＣなど外部機器２００に送信し、外部機器２００内で基準テンプレートとテンプレートマッチングを行う。
【００５３】
そして、評価値が既定値以上になるまで、読み出し位置変更座標を撮像装置１００に送信している。以上の構成をとることで、本実施形態においても第１、第２の実施形態と同様の効果を得ることができる。更に、本実施形態によれば、図１における撮像装置１００に比べ撮像装置１００の処理負荷を軽減することが可能となる。
【００５４】
（変形例）
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
【００５５】
（変形例１）
上述した第２の実施形態で、第１の関心領域は、複数の対象物に対し対象物ごとに複数設けられるものであったが、第１の関心領域は、複数の対象物を含む（第１の関心領域として単一となる）ように設けられるものであっても良い。
【００５６】
（変形例２）
上述の実施形態に記載した外観検査装置、撮像装置、撮像システム（撮像装置および外部機器）は、複数の部品によって構成される様々な装置の製造方法（組み立て方法）に適用することも可能である。
【００５７】
例えば、部品Ａ、部品Ｂ等の複数の部品によって構成される装置を製造する方法において、部品Ａ、部品Ｂを含む複数の部品のうちの少なくとも１つを上述の外観検査装置で検査した上で組み立て（製造）を行うようにする。このようにすれば、短い時間で部品の検査を行うことができるため、高品質な装置（製品）を短時間で（高効率で）製造することが可能となる。
【００５８】
尚、ここで行う検査の結果、問題がある、と判定された部品については、製造ラインから自動的に外しても良いし、或いは自動的に修正加工を行う工程に進めても構わない。いずれにしても、組み立て工程に進む部品は、検査の結果が基準を満たしている（外観上問題が無い、形状のずれが所定の閾値の範囲内である）部品だけ、とすることが望ましい。ただし、装置によっては、検査結果が基準値から外れている（形状のずれが所定の閾値を越えている）場合は、装置への組み込み方（組み立て方）を変えて対応しても構わない。
【００５９】
上述したような、複数の部品から構成される装置を製造する製造方法は、複数の部品のうちの少なくとも一つを上述した外観検査装置を用いて検査する検査工程と、該検査工程の検査結果に基づいて、上記複数の部品を組み立てる組立工程と、を備える。
【符号の説明】
【００６０】
１０１・・イメージセンサ、１０２・・センサ駆動制御部、１０４・・アドレス変換部、１０７・・メモリ、１０９・・基準テンプレート保存部、１１０・・評価値算出部、１１１・・部分読み出し位置変更部、１１２・・画像信号出力部、Ｉｍｇ０・・第１の関心領域、Ｉｍｇ・・第２の関心領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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