(57)【要約】【課題】複数のシャフトを除電することができる軽量の搬送装置を提供すること。また、ガラス基板の重量により生じる撓みの小さな搬送装置を提供すること。【解決手段】搬送装置１は、アルミニウムを含んで構成される複数の搬送シャフト１０、複数の搬送シャフト１０のそれぞれを回転可能に支持する支持装置２０、及び複数の搬送シャフト１０のそれぞれをアースに接続する導電部材３０を含んで構成される。導電部材３０により複数の搬送シャフト１０をアースに接続することで、それら複数の搬送シャフト１０を除電することができる。それにより、ガラス基板５０のように帯電し得る被搬送体を搬送することが可能となる。また、２つの支持部材２２と２４の高さを調整して搬送シャフト１０を反らせ、ガラス基板５０の重量により生じる撓みを小さくすることができる。【選択図】図１
2017001814.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被搬送体を搬送する搬送装置であって、
アルミニウムを含んで構成される複数のシャフトと、
前記複数のシャフトのそれぞれを回転可能に支持する支持装置と、
前記複数のシャフトのそれぞれをアースに接続する導電部材と、
を備えることを特徴とする、搬送装置。
【請求項２】
前記複数のシャフトの表面は、導電性材料によりカバーされ、
前記導電部材は、前記複数のシャフトの表面に摺動可能に当接することを特徴とする、請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記支持装置は、前記複数のシャフトのうちの少なくとも１つのシャフトの少なくとも一方の端部を互いに前記少なくとも１つのシャフトの軸方向に離間して支持する２つの支持部材を有し、
前記２つの支持部材のうちの少なくとも一方の支持部材は、前記少なくとも一方の端部の鉛直方向の位置を調整することを特徴とする、請求項１又は２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記２つの支持部材は、前記複数のシャフトのそれぞれの少なくとも一側の端部を支持することを特徴とする、請求項３に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被搬送体を搬送する搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置の製造工場では、液晶パネルの大型化に伴い、これを構成するガラス基板を搬送する搬送装置が活用されている。例えば特許文献１には、それぞれが回転駆動される複数の駆動軸（搬送シャフトとも呼ぶ）が搬送方向に配列された搬送装置が開示されている。ここで、搬送シャフトは、通常、ステンレス、鉄等の高剛性材料を用いて構成されるが、近年はガラス基板が大型化し、これに伴って大型となる搬送装置全体の軽量化が求められている。このためには、搬送シャフトに高剛性材料でなくアルミニウムを用いる（或いはアルミニウム合金等のアルミニウム材料を含む）ことが好ましい。
【０００３】
しかし、軽量化のためにアルミニウムを含んで搬送シャフトを構成すると、幾つかの問題が生ずる。特に、（１）ガラス基板が帯電すると液晶パネルに悪影響を及ぼすので、十分な導電性を有する搬送シャフトによって除電することが行われていた。しかし、アルミニウムに一般的なアルマイト処理を施した場合、導電性を得ることができない。（２）アルミニウムは、曲げ強度（ヤング率）が小さい。アルミニウムの比重が小さいため、ガラス基板を載置しない場合の変形はステンレスのそれにほぼ等しいが、搬送シャフトがガラス基板を支持すると、その重量により大きな撓みが生ずる。撓みは、搬送されるガラス基板の損傷につながることがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２１４０３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、複数のシャフトを除電することができる軽量の搬送装置を提供することを課題とする。また、ガラス基板の重量により生じる撓みの小さな搬送装置を提供することを副次的な課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の搬送装置は、
被搬送体を搬送する搬送装置であって、
アルミニウムを含んで構成される複数のシャフトと、
前記複数のシャフトのそれぞれを回転可能に支持する支持装置と、
前記複数のシャフトのそれぞれをアースに接続する導電部材と、
を備えることを特徴とする。
【０００７】
この特徴によれば、支持装置に支持された複数のシャフトが回転することで、被搬送体がそれら複数のシャフト上をそれらが並ぶ方向に搬送され、導電部材により複数のシャフトをアースに接続することで、それら複数のシャフトを除電することができる。
【０００８】
本発明の搬送装置は、
前記複数のシャフトの表面は、導電性材料によりカバーされ、
前記導電部材は、前記複数のシャフトの表面に摺動可能に当接することを特徴とする。
【０００９】
この特徴によれば、導電部材が、導電性材料によりカバーされた複数のシャフトの表面に摺動可能に当接することで、複数のシャフトの回転を妨げることなくそれらを除電することができる。
【００１０】
本発明の搬送装置は、
前記支持装置は、前記複数のシャフトのうちの少なくとも１つのシャフトの少なくとも一方の端部を互いに前記少なくとも１つのシャフトの軸方向に離間して支持する２つの支持部材を有し、
前記２つの支持部材のうちの少なくとも一方の支持部材は、前記少なくとも一方の端部の鉛直方向の位置を調整することを特徴とする。
【００１１】
この特徴によれば、複数のシャフトのうちの少なくとも１つのシャフトの少なくとも一方の端部を互いにそのシャフトの軸方向に離間する２つの支持部材により支持し、少なくとも一方の支持部材により一方の端部の鉛直方向の位置を調整することで、そのシャフトを上向きに反らせることができる。それにより、シャフトの自重、さらに被搬送体の重量による撓みを抑えることができる。
【００１２】
本発明の搬送装置は、
前記２つの支持部材は、前記複数のシャフトのそれぞれの少なくとも一側の端部を支持することを特徴とする。
【００１３】
この特徴によれば、２つの支持部材が複数のシャフトのそれぞれの少なくとも一側の端部を支持することで、複数のシャフトのそれぞれを上向きに反らせるモーメントを与えることでシャフトの撓みを大幅に補正することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の搬送装置によれば、軽量の搬送装置で、帯電し得る被搬送体を除電しつつ搬送することが可能となる。また、シャフトの撓みを軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、搬送装置の構成を示す図である。
【図２】図２は、搬送シャフトの撓み防止の原理を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の一実施形態について説明する。
【００１７】
図１に、一実施形態に係る搬送装置１の構成を示す。図１（Ａ）及び（Ｂ）は、それぞれ、搬送装置１の側面及び上面を示す側面図及び上面図である。これらの図には、搬送装置１は、被搬送体の一例であるガラス基板５０が搬送装置１上を搬送されている状態で示されている。なお、図１（Ａ）及び（Ｂ）における横方向を搬送方向とする。搬送装置１は、ガラス基板５０を搬送する装置であり、複数の搬送シャフト１０、支持装置２０、及び導電部材３０を含んで構成される。
【００１８】
複数の搬送シャフト１０は、ガラス基板５０を搬送するための回転シャフトであり、アルミニウム（或いはアルミニウム合金）を含んで丸棒状に成形されている。さらに、カーボン等、その他の材料を含めてもよい。それにより、複数の搬送シャフト１０を軽量且つ高剛性に構成することができる。
【００１９】
複数の搬送シャフト１０の表面は、導電性材料によりカバーされている。導電性材料として、ニッケル、チタンなどを採用することができる。表面をカバーするために、これらの導電性材料を用いて複数の搬送シャフト１０をメッキ処理することができる。それにより、複数の搬送シャフト１０に高い導電性が得られる。
【００２０】
支持装置２０は、複数の搬送シャフト１０を回転可能に支持する装置であり、３つの支持部材２２，２４，２６及び６つの脚部２２ａ，２４ａ，２６ａを含んで構成される。
【００２１】
３つの支持部材２２，２４，２６は、一軸方向を長手とする柱状の部材であり、それらの内部に、長手方向に等間隔に、複数の搬送シャフト１０を回転可能に受けるボールベアリング２８が固定されている（図２参照）。３つの支持部材２２，２４，２６は、搬送方向に平行に、ただし、支持部材２２，２４は互いに離間して、搬送方向に直交する方向の一側（図１（Ｂ）における下側）、支持部材２６は直交する方向の他側（図１（Ｂ）における上側）に並設される。このとき、支持部材２２，２４，２６のそれぞれに固定されたボールベアリング２８の搬送方向についての位置は、互いに等しくなっている。
【００２２】
脚部２２ａ，２４ａ，２６ａは、床面Ｆ上で３つの支持部材２２，２４，２６を支持する柱状の部材であり、脚部２２ａがそれぞれ支持部材２２の両端（図１（Ａ）における左端及び右端）を支持し、脚部２４ａがそれぞれ支持部材２４の両端を支持し、脚部２６ａがそれぞれ支持部材２６の両端を支持する。ここで、少なくとも脚部２２ａは、支持部材２２の高さ（鉛直方向の位置）をボルト（不図示）等を用いて調整することができる。なお、その他の脚部２４ａ，２６ａも、同様に、それぞれ支持部材２４，２６の高さを調整することができるよう構成してもよい。また、各脚部２２ａ，２４ａ，２６ａは、それぞれ支持部材２２，２４，２６と一体的に構成してもよい。
【００２３】
図２に、搬送シャフト１０の撓み防止機構の原理を示す。図２において、支持部材２２，２４は互いに図面横方向に離間して、図面左側に並設され、支持部材２６は図面右側に配置されている。これらの支持部材２２，２４，２６のそれぞれに固定された複数のボールベアリング２８のうち、搬送方向についての位置が等しいボールベアリング２８にそれぞれ搬送シャフト１０を嵌入する。それにより、複数の搬送シャフト１０の左端が支持部材２２，２４により回転可能に支持され、右端が支持部材２６により回転可能に支持される。
【００２４】
複数の搬送シャフト１０は、上述のように支持部材２２，２４，２６に支持されて搬送方向に等間隔に並べられる（図１参照）。搬送シャフト１０が動力源（不図示）により回転することで、それらの上をそれらが並ぶ方向、すなわち搬送方向にガラス基板５０が搬送される。
【００２５】
上述のように構成された支持装置２０において、脚部２２ａを用いて支持部材２２の高さを、例えば白抜き矢印を用いて示すように下方に調整する。搬送シャフト１０の両端はそれぞれ支持部材２４，２６により支持され、高さ方向に位置決めされているため、複数の搬送シャフト１０は、黒塗り矢印を用いて示すように、その中央を上方に上げて上向きに反ることとなる。それにより、それぞれの搬送シャフト１０の自重、さらにそれらの上を搬送されるガラス基板５０の重量により、複数の搬送シャフト１０は反りが抑えられる、しかし撓むことなくガラス基板５０を支持する。
【００２６】
出願人の実験によれば、支持部材２４と２６の間隔が２４００ｍｍの大型の搬送装置において、支持部材２２と２４の間隔を１００ｍｍとし、支持部材２２を支持部材２４に対して０．３ｍｍ下げる（搬送シャフト１０を約０．２度傾ける）ことで、搬送シャフト１０の撓みが支持部材２２を下げない場合に対して十分に小さくなった。
【００２７】
なお、支持部材２２，２６の高さを固定し、支持部材２４を上げることで、複数の搬送シャフト１０を反らせてもよい。また、支持部材２６に代えて、支持部材２２，２４と同様に、２つの支持部材により複数の搬送シャフト１０の一端を支持することとしてもよい。ここで、２つの支持部材のうちの少なくとも一方は、支持部材２４と同様に、その高さ（鉛直方向の位置）を調整することができる。さらに、支持部材２２，２４，２６により、複数の搬送シャフト１０のチルトを調整することとしてもよい。
【００２８】
導電部材３０は、複数の搬送シャフト１０を除電するための部材である。本実施形態では、一例として、除電ブラシを採用する。除電ブラシは、例えばステンレス等の導電性材料より構成された繊維を一軸方向に束ねてブラシ部３０ｂを成形し、これをホルダ３０ａにより固定して構成される。
【００２９】
導電部材３０は、図１（Ａ）より分かるように、ブラシ部３０ｂを上方に向けて、ホルダ３０ａの両端をそれぞれ脚部２２ａに固定する。それにより、ブラシ部３０ｂが、支持部材２２から突出する搬送シャフト１０の先端の表面に摺動可能に当接される。ブラシ部３０ｂは、配線３２を介して、アースに接続される。それにより、複数の搬送シャフト１０の回転を妨げることなくそれらを除電することができる。
【００３０】
以上詳細に説明したように、本実施形態の搬送装置１は、アルミニウムを含んで構成される複数の搬送シャフト１０、複数の搬送シャフト１０のそれぞれを回転可能に支持する支持装置２０、及び複数の搬送シャフト１０のそれぞれをアースに接続する導電部材３０を含んで構成される。支持装置２０に支持された複数の搬送シャフト１０が回転することで、ガラス基板５０がそれら複数の搬送シャフト１０上をそれらが並ぶ方向に搬送され、導電部材３０により複数の搬送シャフト１０をアースに接続することで、それら複数の搬送シャフト１０を除電することができる。それにより、ガラス基板５０のように帯電し得る被搬送体を搬送することが可能となる。
【００３１】
なお、本実施形態では、支持部材２２の高さを調整することで、複数の搬送シャフト１０のそれぞれを上向きに反らせることとしたが、支持部材２２に固定されたボールベアリング２８の高さをそれぞれ独立に調整することで、複数の搬送シャフト１０を個別に上向きに反らせることとしてもよい。係る場合、複数の搬送シャフト１０の反りを、それぞれ個別に調整することとしてもよい。
【００３２】
なお、本実施形態では、搬送装置１により搬送される被搬送体としてガラス基板を上げたが、これに限らず、帯電し得るあらゆる物体を被搬送体としてよい。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
軽量で、帯電し得る大型の被搬送体を搬送するのに好適な搬送装置であり、多くの液晶生産者等による利用が考えられる。
【符号の説明】
【００３４】
１    搬送装置
１０    搬送シャフト
２０    支持装置
２２    支持部材
２２ａ  脚部
２４    支持部材
２４ａ  脚部
２６    支持部材
２６ａ  脚部
２８    ボールベアリング
３０    導電部材
３０ａ  ホルダ
３０ｂ  ブラシ部
３２    配線
５０    ガラス基板
【図１】
2017001814.tif 000003
【図２】
2017001814.tif 000004