(57)【要約】【課題】クラックの進行を抑制して、信頼性に優れた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】アクチュエータプレート４０において、Ｘ方向に交互に配列された吐出チャネル及びダミーチャネル４５と、アクチュエータプレート４０のうち尾部４７の表面に形成され、Ｙ方向に窪む第２凹部６３と、吐出チャネルの内面に形成された共通電極と、ダミーチャネル４５の内側面に形成された個別電極５２と、尾部４７の表面のうち、Ｚ方向における第２凹部６３と吐出チャネルとの間に位置する部分に形成され、共通電極に接続された共通端子と、第２凹部６３の底面に形成され、吐出チャネルを間に挟んでＸ方向で対向する個別電極５２同士を架け渡すブリッジ電極７０と、を備え、第２凹部６３の底面のうち、ブリッジ電極７０に対して吐出チャネル寄りに位置する部分には、Ｙ方向に膨出する荷重伝達抑制部６５が形成されている。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクチュエータプレートと、
前記アクチュエータプレートの表面上において、第１方向に沿って延設されるとともに、前記第１方向に直交する第２方向に交互に配列された噴射チャネル及びダミーチャネルと、
前記アクチュエータプレートのうち、前記噴射チャネルに対して前記第１方向の外側であって、前記第２方向で隣り合う前記ダミーチャネル間に位置する尾部の前記表面に形成され、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向に窪む凹部と、
前記噴射チャネルの内面に形成された共通電極と、
前記ダミーチャネルの内面に形成された個別電極と、
前記尾部の前記表面のうち、前記第１方向における前記凹部と前記噴射チャネルとの間に位置する部分に形成され、前記共通電極に接続された共通端子と、
前記凹部の底面に形成され、前記噴射チャネルを間に挟んで前記第２方向で対向する前記個別電極同士を架け渡すブリッジ電極と、を備え、
前記凹部の前記底面のうち、前記ブリッジ電極に対して前記第１方向で前記噴射チャネル寄りに位置する部分には、前記第３方向に膨出する荷重伝達抑制部が形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記荷重伝達抑制部は、前記第１方向における前記噴射チャネル側に向かうに従い前記第３方向での膨出高さが高くなるとともに、前記第１方向で前記凹部の内側面に連なっていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項２に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記荷重伝達抑制部は、前記第１方向における前記噴射チャネル側に向かうに従い前記第３方向での膨出高さが段々と高くなる階段状に形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項２に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記荷重伝達抑制部は、前記第１方向における前記噴射チャネル側に向かうに従い前記第３方向での膨出高さが漸次高くなっていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記荷重伝達抑制部は、前記凹部の内側面に対して前記第１方向で離間していることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項６】
請求項１から請求項５の何れか１項に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、を備えていることを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、記録紙等の被記録媒体に液滴状のインクを吐出して、被記録媒体に画像や文字を記録する装置として、インクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタがある。インクジェットヘッドは、吐出チャネル及びダミーチャネルが交互に並設されたアクチュエータプレートを備えている。各チャネルのうち、吐出チャネルの内面には共通電極が形成されている。一方、ダミーチャネルの内側面には個別電極が形成されている。
【０００３】
アクチュエータプレートのうち、チャネル延在方向における吐出チャネルよりも外側に位置する部分（以下、単に尾部という。）の表面には、共通電極に接続された共通端子が形成されている。また、尾部の表面のうち、チャネル延在方向における共通端子よりも外側に位置する部分には、吐出チャネルを間に挟んで対向する個別電極同士を架け渡すブリッジ電極が形成されている。
【０００４】
ここで、例えば下記特許文献１には、尾部の表面に凹部を形成する構成が開示されている。この構成によれば、凹部の底面にブリッジ電極を形成することで、ブリッジ電極と共通端子とを電気的に分断できると考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−２４６２８号公報
【特許文献２】特開２０１４−１８３０５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上述したアクチュエータプレートには、製造時等において、尾部の表面と凹部の内側面とのなす角部に対して荷重が作用する場合がある。すると、角部に作用した荷重によってアクチュエータプレート自体や個別電極等にクラックが発生するおそれがある。この場合、クラックが例えば個別電極を横断すると、個別電極が断線等して導通不良に繋がるという課題がある。
【０００７】
例えば、上記特許文献２には、アクチュエータプレートのうち電極が重ならない部分に空隙又は凹凸が形成された構成が開示されている。
しかしながら、特許文献２の構成は、アクチュエータプレート自体の破壊を未然に防止するためのものであって、各電極（特に個別電極）でのクラックの進行については考慮されていない。
【０００８】
本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、クラックの進行を抑制して、信頼性に優れた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために本発明の一態様に係る液体噴射ヘッドは、アクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートの表面上において、第１方向に沿って延設されるとともに、前記第１方向に直交する第２方向に交互に配列された噴射チャネル及びダミーチャネルと、前記アクチュエータプレートのうち、前記噴射チャネルに対して前記第１方向の外側であって、前記第２方向で隣り合う前記ダミーチャネル間に位置する尾部の前記表面に形成され、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向に窪む凹部と、前記噴射チャネルの内面に形成された共通電極と、前記ダミーチャネルの内面に形成された個別電極と、前記尾部の前記表面のうち、前記第１方向における前記凹部と前記噴射チャネルとの間に位置する部分に形成され、前記共通電極に接続された共通端子と、前記凹部の底面に形成され、前記噴射チャネルを間に挟んで前記第２方向で対向する前記個別電極同士を架け渡すブリッジ電極と、を備え、前記凹部の前記底面のうち、前記ブリッジ電極に対して前記第１方向で前記噴射チャネル寄りに位置する部分には、前記第３方向に膨出する荷重伝達抑制部が形成されていることを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、製造時等において、周辺部材を荷重伝達抑制部に優先的に接触させることで、凹部の内側面と尾部の表面とのなす角部に荷重が局所的に作用するのを抑制できる。これにより、仮に尾部にクラックが発生したとしても、クラックが第３方向（個別電極を横断する方向）に進行するのを抑制できる。そのため、個別電極が断線等して導通不良に繋がるのを抑制し、信頼性に優れた液体噴射ヘッドを提供できる。
【００１１】
上記態様において、前記荷重伝達抑制部は、前記第１方向における前記噴射チャネル側に向かうに従い前記第３方向での膨出高さが高くなるとともに、前記第１方向で前記凹部の内側面に連なっていてもよい。
上記態様において、前記荷重伝達抑制部は、前記第１方向における前記噴射チャネル側に向かうに従い前記第３方向での膨出高さが段々と高くなる階段状に形成されていてもよい。
上記態様において、前記荷重伝達抑制部は、前記第１方向における前記噴射チャネル側に向かうに従い前記第３方向での膨出高さが漸次高くなっていてもよい。
この構成によれば、凹部の内側面と尾部の表面とがなす角部のみに周辺部材が接触するのに比べて、アクチュエータプレートと周辺部材との接触面積を増加させることができる。これにより、尾部に作用する荷重を分散できるので、第３方向へのクラックの進行を確実に抑制できる。
【００１２】
上記態様において、前記荷重伝達抑制部は、前記凹部の内側面に対して前記第１方向で離間していてもよい。
この構成によれば、周辺部材を荷重伝達抑制部に優先的に接触させることで、荷重伝達抑制部に荷重が集中することになる。この場合、仮に荷重伝達抑制部にクラックが発生したとしても、このクラックが尾部を伝播するのを抑制できる。これにより、第３方向へのクラックの進行を確実に抑制できる。
【００１３】
本発明の一態様に係る液体噴射装置は、上記一態様に係る液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、を備えていることを特徴とする。
この構成によれば、クラックの進行を抑制して、信頼性に優れた液体噴射装置を提供できる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の一態様によれば、クラックの進行を抑制して、信頼性に優れた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】実施形態に係るインクジェットプリンタの概略構成図である。
【図２】実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視図である。
【図３】実施形態に係るヘッドチップの分解斜視図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線に相当する断面図である。
【図５】図３のＶ−Ｖ線に相当する断面図である。
【図６】尾部の拡大断面図である。
【図７】変形例に係るインクジェットヘッドにおいて、図６に相当する断面図である。
【図８】変形例に係るインクジェットヘッドにおいて、図６に相当する断面図である。
【図９】第２実施形態に係るインクジェットヘッドにおいて、図６に相当する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明に係る実施形態について図面を参照して説明する。以下の実施形態では、本発明の液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置の一例として、インク（液体）を利用して被記録媒体に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）を例に挙げて説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００１７】
（第１実施形態）
［プリンタ］
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すように、本実施形態のプリンタ１は、紙等の被記録媒体Ｐを搬送する一対の搬送機構２，３と、被記録媒体Ｐにインク（液体）を吐出するインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）４と、インクジェットヘッド４にインクを供給するインク供給手段５と、インクジェットヘッド４を被記録媒体Ｐの搬送方向（Ｘ方向）と直交する走査方向（Ｙ方向）に走査させる走査機構６と、を備えている。なお、図中Ｚ方向はＸ方向及びＹ方向と直交する高さ方向を示す。
【００１８】
搬送機構２，３は、Ｘ方向に間隔をあけて配置されている。一方の搬送機構２は、他方の搬送機構３に対してＸ方向の上流側に位置している。一方の搬送機構２は、Ｙ方向に延設されたグリッドローラ２ａと、グリッドローラ２ａに平行に延設されたピンチローラ２ｂと、グリッドローラ２ａを軸回転させるモータ等の駆動機構（不図示）と、を備えている。他方の搬送機構３は、Ｙ方向に延設されたグリッドローラ３ａと、グリッドローラ３ａに平行に延設されたピンチローラ３ｂと、グリッドローラ３ａを軸回転させる駆動機構（不図示）と、を備えている。
【００１９】
インク供給手段５は、インクが収容されたインクタンク１０と、インクタンク１０とインクジェットヘッド４とを接続するインク配管１１と、を備えている。
インクタンク１０は、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクのインクタンク１０Ｙ，１０Ｍ，１０Ｃ，１０ＢがＸ方向に並んで設けられている。
インク配管１１は、例えば可撓性を有するフレキシブルホースである。インク配管１１は、インクジェットヘッド４に追従可能とされている。
【００２０】
走査機構６は、Ｙ方向に延設された一対のガイドレール１５，１６と、一対のガイドレール１５，１６に移動可能に支持されたキャリッジ１７と、キャリッジ１７をＹ方向に移動させる駆動機構１８と、を備えている。駆動機構１８は、一対のガイドレール１５，１６の間に配設された一対のプーリ１９，２０と、一対のプーリ１９，２０間に巻回された無端ベルト２１と、一方のプーリ２０を回転駆動させる駆動モータ２２と、を備えている。なお、走査機構６は、上述した搬送機構２，３とともに移動機構を構成している。
【００２１】
キャリッジ１７には、複数のインクジェットヘッド４がＹ方向に並んだ状態で搭載されている。本実施形態において、インクジェットヘッド４は、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクをそれぞれ吐出可能なインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂを有している。
【００２２】
＜インクジェットヘッド＞
図２は、インクジェットヘッド４の斜視図である。なお、インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂは、供給されるインクの色以外は何れも同一の構成からなるため、以下の説明ではまとめてインクジェットヘッド４として説明する。
図２に示すように、液体噴射ヘッド４は、キャリッジ１７に固定される固定プレート２５と、固定プレート２５上に固定されたヘッドチップ２６と、インク供給手段５から供給されるインクをヘッドチップ２６に供給するインク供給部２７と、ヘッドチップ２６に駆動電圧を印加する制御部２８と、を備えている。
【００２３】
固定プレート２５には、ベースプレート３０がＺ方向に起立した状態で固定されている。
【００２４】
インク供給部２７は、固定プレート２５に固定された流路部材３１と、ベースプレート３０に固定された圧力緩衝器３２と、流路部材３１及び圧力緩衝器３２間を接続するインク連結管３３と、を主に備えている。
圧力緩衝器３２には、上述したインク配管１１が接続されている。圧力緩衝器３２は、インク配管１１を介してインクが供給されると、インクを内部に一旦貯留する。また、圧力緩衝器３２は、貯留したインクをインク連結管３３及び流路部材３１を介してヘッドチップ２６に供給する。
【００２５】
制御部２８は、ベースプレート３０に固定されたＩＣ基板３５と、ＩＣ基板３５に搭載された制御回路３６と、を主に有している。
制御回路３６は、ヘッドチップ２６を駆動するための集積回路等を有している。制御部２８は、図示しない配線パターンがプリントされたフレキシブル基板３７を介してヘッドチップ２６に電気的に接続されている。
【００２６】
＜ヘッドチップ＞
図３は、ヘッドチップ２６の分解斜視図である。
図３に示すヘッドチップ２６は、後述する吐出チャネル４４におけるチャネル延在方向の先端部からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプのものである。具体的に、ヘッドチップ２６は、アクチュエータプレート４０と、カバープレート４１と、ノズルプレート４２と、を備えている。以下の説明では、Ｙ方向（第３方向）のうち、カバープレート４１側を表側とし、アクチュエータプレート４０側を裏側とする。また、Ｚ方向のうち、ノズルプレート４２側を下方とし、ノズルプレート４２とは反対側を上方として説明する。
【００２７】
アクチュエータプレート４０は、分極方向が厚さ方向（Ｙ方向）に沿って一方向に設定された、いわゆるモノポール基板である。なお、アクチュエータプレート４０は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等からなるセラミックス基板が好適に用いられている。
アクチュエータプレート４０の表面には、少なくとも表面上で開口する複数のチャネル４４，４５が形成されている。各チャネル４４，４５は、Ｚ方向（第１方向）に直線状、かつＸ方向（第２方向）に間隔をあけて交互に形成されている。したがって、各チャネル４４，４５間は、アクチュエータプレート４０からなる駆動壁４６によってそれぞれ画成されている。具体的に、複数のチャネル４４，４５は、インクが充填される吐出チャネル（噴射チャネル）４４、及びインクが充填されないダミーチャネル４５である。
【００２８】
図４は、図３のＩＶ−ＩＶ線に相当する断面図である。
図３、図４に示すように、吐出チャネル４４は、上端部がアクチュエータプレート４０内で終端し、下端部がアクチュエータプレート４０における下端面で開口している。具体的に、吐出チャネル４４は、Ｙ方向における溝深さが一様とされた延在部４４ａと、延在部４４ａの上方に連なり、上方に向かうに従い溝深さが浅くなる切り上がり部４４ｂと、を有している。
【００２９】
図５は、図３のＶ−Ｖ線に相当する断面図である。
図３、図５に示すように、ダミーチャネル４５は、Ｙ方向における溝深さがＺ方向の全体に亘って一様に形成されている。ダミーチャネル４５は、アクチュエータプレート４０をＺ方向に貫通している。
【００３０】
図３、図４に示すように、吐出チャネル４４の内面には、共通電極５０（コモン電極）が形成されている。共通電極５０は、Ｙ方向における幅が吐出チャネル４４の半分程度になっている。図４に示すように、共通電極５０は、各吐出チャネル４４の内面のうち、Ｘ方向で対向する内側面、及び切り上がり部４４ｂの底面上において、表側端縁から中間部分に至る範囲に形成されている。
【００３１】
アクチュエータプレート４０のうち、吐出チャネル４４に対して上方に位置する部分であって、Ｘ方向で隣り合うダミーチャネル４５間に位置する部分（以下、単に尾部４７という。）の表面には、共通端子５１（コモン端子）が形成されている。共通端子５１は、Ｚ方向に延びる帯状に形成されている。共通端子５１は、下端部が共通電極５０に接続され、上端部が尾部上で終端している。
【００３２】
図３、図５に示すように、ダミーチャネル４５の内面には、個別電極５２（アクティブ電極）が形成されている。個別電極５２は、ダミーチャネル４５の内面のうち、Ｘ方向で対向する内側面に各別に形成されている。具体的に、各個別電極５２は、Ｙ方向における幅がダミーチャネル４５の半分程度になっている。図５に示すように、各個別電極５２は、各ダミーチャネル４５の内面のうち、Ｘ方向で対向する内側面において、表側端縁から中間部分に至る範囲に形成されている。この場合、各個別電極５２のうち、同一のダミーチャネル４５内で対向する個別電極５２同士は互いに電気的に分離されている。
【００３３】
図３に示すように、同一のダミーチャネル４５内に形成された各個別電極５２のうち、Ｘ方向の一方側に位置する個別電極５２には、個別端子５３（アクティブ端子）が接続されている。個別端子５３は、尾部４７の表面のうち、ダミーチャネル４５に対してＸ方向の一方側に位置する部分に形成されている。個別端子５３は、上述した各共通端子５１とＺ方向で同等の位置に形成され、共通端子５１とＸ方向で隣り合っている。
【００３４】
尾部４７の表面には、上述したフレキシブル基板３７が圧着されている。フレキシブル基板３７は、共通電極用配線５５及び個別電極用配線５６と、これら配線５５，５６を被覆するカバーレイ５７と、を有している。
【００３５】
各配線５５，５６は、それぞれＺ方向に延びる帯状に形成されている。各配線５５，５６は、Ｘ方向に間隔をあけて交互に形成されている。具体的に、各共通電極用配線５５は、対応する各共通端子５１とＸ方向で同等の位置に形成されている。各共通電極用配線５５は、対応する各共通端子５１にそれぞれ電気的に接続されている。
各個別電極用配線５６は、対応する各個別端子５３とＸ方向で同等の位置に形成されている。各個別電極用配線５６は、対応する各個別端子５３にそれぞれ電気的に接続されている。
【００３６】
図４、図５に示すように、カバーレイ５７は、絶縁性を有する材料により形成されている。カバーレイ５７は、各配線５５，５６の下端部を裏側に露出させた状態で、各配線５５，５６を被覆している。
【００３７】
図３に示すように、カバープレート４１は、Ｚ方向の長さがアクチュエータプレート４０よりも短い板状に形成されている。カバープレート４１は、アクチュエータプレート４０の表面に接着等により固定されている。この場合、カバープレート４１の下端面は、アクチュエータプレート４０の下端面に面一に配置されている。なお、カバープレート４１は、例えばアクチュエータプレート４０と同じＰＺＴセラミックス基板で形成されていることが好ましい。これにより、アクチュエータプレート４０及びカバープレート４１の温度変化に対する反りや変形を抑制している。なお、アクチュエータプレート４０とは異なる材料でカバープレート４１を形成しても構わない。但し、この場合においても、カバープレート４１は、アクチュエータプレート４０と熱膨張係数が近い材料を用いることが好ましい。
【００３８】
カバープレート４１は、表面に形成された共通インク室５８と、裏面に形成されて共通インク室５８及び各吐出チャネル４４間を各別に連通させる複数のスリット５９と、を有している。
共通インク室５８は、カバープレート４１における上端部において裏面側に向けて窪む溝である。共通インク室５８は、Ｘ方向に延設されている。共通インク室５８には、上述した流路部材３１（図２参照）を通してインクが流入する。
【００３９】
図３、図４に示すように、スリット５９は、共通インク室５８内において、吐出チャネル４４とＹ方向で重なる位置に形成されている。スリット５９は、カバープレート４１をＹ方向に貫通している。すなわち、上述した共通インク室５８は、スリット５９を通して各吐出チャネル４４内に各別に連通している。一方、図３、図５に示すように、共通インク室５８は、ダミーチャネル４５には連通していない。
【００４０】
ノズルプレート４２は、アクチュエータプレート４０及びカバープレート４１の下端面に、例えば接着等により固定されている。ノズルプレート４２は、例えばポリイミド等からなるフィルム材により構成されている。
ノズルプレート４２には、ノズルプレート４２をＺ方向に貫通するノズル孔６０が形成されている。ノズル孔６０は、ノズルプレート４２のうち上述した吐出チャネル４４にＺ方向で重なる位置に形成されている。すなわち、ノズル孔６０は、Ｘ方向に間隔をあけて複数形成されている。これにより、上述した吐出チャネル４４は、ノズル孔６０を通して外部に連通している。一方、ダミーチャネル４５は、ノズルプレート４２により閉塞されている。
【００４１】
ここで、図４、図５に示すように、アクチュエータプレート４０の各尾部４７には、第１凹部６２が形成されている。第１凹部６２は、尾部４７と周辺部材との干渉を避けるためのものである。第１凹部６２は、尾部４７の表面と上端面とのなす角部を切除するように形成されている。第１凹部６２におけるＹ方向の深さは、ダミーチャネル４５と同等になっている。また、第１凹部６２は、各尾部４７におけるＸ方向の全域に亘って延在している。すなわち、第１凹部６２は、表側、上方及びＸ方向の両側に向けて開放されている。
【００４２】
また、アクチュエータプレート４０の各尾部４７において、第１凹部６２よりも下方に位置する部分には、第２凹部６３が形成されている。第２凹部６３は、Ｘ方向から見た側面視において、上方に向かうに従いＹ方向における深さが段々と深くなる多段形状に形成されている。この場合、第２凹部６３における最大深さは、第１凹部６２の深さよりも浅くなっている。
【００４３】
第２凹部６３の下端部は、アクチュエータプレート４０における吐出チャネル４４よりも上方で終端している。一方、第２凹部６３の上端部は、第１凹部６２内に開口している。第２凹部６３は、各尾部４７におけるＸ方向の全域に亘って延在している。第２凹部６３内には、上述したフレキシブル基板３７のカバーレイ５７が表側から収容されている。
【００４４】
第２凹部６３の底面における下端部には、表側に向けて膨出する荷重伝達抑制部６５が形成されている。荷重伝達抑制部６５は、Ｘ方向から見た側面視において、下方に向かうに従いＹ方向における膨出高さが段々高くなる階段状に形成されている。
【００４５】
荷重伝達抑制部６５の各段部６５ａのうち、最も下方に位置する段部６５ａは、第２凹部６３の内側面（上方を向く面）に上方から連なっている。一方、荷重伝達抑制部６５の各段部６５ａのうち、最も上方に位置する段部６５ａは、第２凹部６３の底面に下方から連なっている。また、荷重伝達抑制部６５は、各尾部４７におけるＸ方向の全域に亘って延在している。なお、荷重伝達抑制部６５の各段部６５ａにおけるＺ方向の幅は、互いに同等になっている。また、Ｚ方向で隣り合う段部６５ａにおけるＹ方向の膨出高さの差は、何れも同等になっている。但し、荷重伝達抑制部６５が階段状に形成されていれば、各段部６５ａの寸法（膨出高さやＺ方向の幅等）は適宜変更が可能である。
【００４６】
第２凹部６３の底面のうち、荷重伝達抑制部６５以外の部分には、ブリッジ電極７０（アクティブブリッジ）が形成されている。ブリッジ電極７０は、吐出チャネル４４を間に挟んでＸ方向で対向する個別電極５２同士の間を架け渡している。すなわち、第２凹部６３の内面において、上述した荷重伝達抑制部６５には電極材料が形成されていない。したがって、ブリッジ電極７０及び上述した共通端子５１は、荷重伝達抑制部６５によってＺ方向において分断されている。なお、ブリッジ電極７０及び上述した共通端子５１が電気的に分断されていれば、荷重伝達抑制部６５に電極材料が付着していても構わない。
【００４７】
なお、第１凹部６２や荷重伝達抑制部６５は、各電極５０，５２，７０及び各端子５１，５３を形成した後、アクチュエータプレート４０に対してダイシングブレード等により切削加工を行うことにより形成することができる。すなわち、アクチュエータプレート４０の尾部４７のうち、第１凹部６２や荷重伝達抑制部６５の形成領域に対してＸ方向に沿ってダイシングブレードを走行させる。これにより、第１凹部６２や荷重伝達抑制部６５の形成領域に付着した電極材料とともに、アクチュエータプレート４０を切削することができる。なお、第１凹部６２や荷重伝達抑制部６５は、切削加工に限らず、サンドブラスト等により形成しても構わない。
【００４８】
［プリンタの動作方法］
次に、上述したように構成されたプリンタ１を利用して、被記録媒体Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
図１に示すように、プリンタ１を作動させると、搬送機構２，３のグリッドローラ２ａ，３ａが回転することで、これらグリッドローラ２ａ，３ａ及びピンチローラ２ｂ，３ｂ間を被記録媒体ＰがＸ方向に向けて搬送される。また、これと同時に駆動モータ２２がプーリ１９，２０を回転させて無端ベルト２１を走行させる。これにより、キャリッジ１７がガイドレール１５，１６にガイドされながらＹ方向に往復移動する。
そしてこの間に、各インクジェットヘッド４より４色のインクを被記録媒体Ｐに適宜吐出させることで、文字や画像等の記録を行うことができる。
【００４９】
ここで、各インクジェットヘッド４の動きについて、以下に詳細に説明する。
キャリッジ１７によって往復移動が開始されると、制御部２８はフレキシブル基板３７を介して各電極５０，５２（図３参照）間に駆動電圧を印加する。すると、吐出チャネル４４を画成する２つ駆動壁４６に厚み滑り変形が生じ、これら２つの駆動壁４６がダミーチャネル４５側へ突出するように変形する。すなわち、本実施形態のアクチュエータプレート４０では、駆動電圧を印加することで、駆動壁４６におけるＹ方向の中間位置を中心にしてＶ字状に屈曲変形する。これにより、吐出チャネル４４があたかも膨らむように変形する。
【００５０】
２つの駆動壁４６の変形によって、吐出チャネル４４の容積が増大すると、共通インク室５８内のインクがスリット５９を通って吐出チャネル４４内に誘導される。そして、吐出チャネル４４の内部に誘導されたインクは、圧力波となって吐出チャネル４４の内部に伝搬し、この圧力波がノズル孔６０に到達したタイミングで、各電極５０，５２間に印加した駆動電圧をゼロにする。
これにより、駆動壁４６が復元し、一旦増大した吐出チャネル４４の容積が元の容積に戻る。この動作によって、吐出チャネル４４の内部の圧力が増加し、インクが加圧される。その結果、インクをノズル孔６０から吐出させることができる。この際、インクはノズル孔６０を通過する際に、液滴状のインク滴となって吐出される。これにより、上述したように被記録媒体Ｐに文字や画像等を記録することができる。
【００５１】
図６は、尾部４７の拡大断面図である。
ところで、図６に示すように、上述したアクチュエータプレート４０の尾部４７には、製造時等において、周辺部材との接触により荷重Ｇが作用する場合がある。例えば、ヘッドチップ２６のチップ分割時には、カバープレート４１と尾部４７とが接触することで、尾部４７の表面と第２凹部６３の内側面とのなす角部７１に向けて、Ｘ方向から見た側面視でＹ方向に交差する方向（斜め上方）から荷重Ｇが作用する。
【００５２】
そこで、本実施形態では、第２凹部６３の底面に荷重伝達抑制部６５が形成された構成とした。
この構成によれば、製造時等において、周辺部材がアクチュエータプレート４０の尾部４７に斜め上方から接触する際、周辺部材を荷重伝達抑制部６５に優先的に接触させることで、荷重Ｇが角部７１に局所的に作用するのを抑制できる。これにより、仮に尾部４７にクラックが発生したとしても、クラックが個別電極５２を横断する方向（Ｙ方向）に進行するのを抑制できる。そのため、個別電極５２が断線等して導通不良に繋がるのを抑制し、信頼性に優れたインクジェットヘッド４を提供できる。
【００５３】
特に、本実施形態では、荷重伝達抑制部６５が下方に向かうに従い膨出高さが高くなる階段状に形成されるとともに、第２凹部６３の内側面に連なる構成とした。
この構成によれば、周辺部材が荷重伝達抑制部６５の各段部６５ａに接触することで、周辺部材が角部７１のみに接触するのに比べて、アクチュエータプレート４０と周辺部材との接触面積を増加させることができる。これにより、尾部４７に作用する荷重を分散でき、Ｙ方向へのクラックの進行を確実に抑制できる。
【００５４】
そして、本実施形態のプリンタ１では、上述したインクジェットヘッド４を有しているため、信頼性の高いプリンタ１を提供できる。
【００５５】
（変形例）
上述した実施形態では、荷重伝達抑制部６５を階段状に形成した場合について説明したが、これに限られない。すなわち、周辺部材（カバープレート４１等）からアクチュエータプレート４０に作用する荷重Ｇを分散できる形状であれば、荷重伝達抑制部の形状は適宜変更が可能である。
この場合、例えば図７に示す荷重伝達抑制部１００のように、Ｘ方向から見た側面視において、下方に向かうに従い膨出高さが漸次高くなる三角形状に形成されていても構わない。この場合、荷重伝達抑制部１００は、第２凹部６３の底面と内側面とを接続している。
また、図８に示す荷重伝達抑制部１１０は、Ｘ方向から見た側面視において、下方に向かうに従い膨出高さが漸次高くなる円弧状に形成されていても構わない。図８に示す例において、荷重伝達抑制部１１０は、Ｙ方向の表側に向けて凸の円弧状に形成されている。
【００５６】
なお、荷重伝達抑制部１００，１１０の下端縁での膨出高さ（最大膨出高さ）は、第２凹部６３の内側面における膨出高さと同等になっている。すなわち、荷重伝達抑制部１００，１１０の下端縁は、尾部４７の表面に段差なく連なっている。なお、荷重伝達抑制部１００，１１０の最大膨出高さは、第２凹部６３の内側面における膨出高さよりも低くても構わない。
【００５７】
上述した変形例の構成によれば、周辺部材がアクチュエータプレート４０の角部７１のみに接触するのに比べて、接触面積を増加させることができる。これにより、周辺部材から尾部４７に作用する荷重を分散でき、クラックの進行を確実に抑制できる。
【００５８】
（第２実施形態）
図９は、第２実施形態に係るインクジェットヘッド４において、図６に相当する断面図である。本実施形態では、荷重伝達抑制部２００の突起部２０２が第２凹部６３の内側面から離間している点で、上述した第１実施形態と相違している。なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と同様の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。
図９に示すインクジェットヘッド４において、荷重伝達抑制部２００は、台座部２０１と、突起部２０２と、を有している。
【００５９】
台座部２０１は、第２凹部６３の底面からＹ方向の表側に膨出している。台座部２０１は、Ｘ方向から見た側面視で矩形状に形成されている。台座部２０１におけるＹ方向の膨出高さは、第２凹部６３におけるＹ方向の深さに比べて低くなっている。図９の例において、台座部２０１は、第２凹部６３の内側面に連なっている。
【００６０】
突起部２０２は、台座部２０１からＹ方向の表側に向けて膨出している。突起部２０２は、Ｘ方向から見た側面視で矩形状に形成されている。突起部２０２におけるＹ方向の表側端面は、尾部４７の表面とＹ方向で同等の位置に配置されている。また、突起部２０２は、台座部２０１のうち第２凹部６３の内側面に対して上方に離間した位置に形成されている。
【００６１】
この構成によれば、周辺部材がアクチュエータプレート４０の尾部４７に斜め上方から接触する際、周辺部材が突起部２０２に優先的に接触するため、突起部２０２に荷重Ｇが集中することになる。この場合、仮に荷重伝達抑制部２００にクラックが発生したとしても、このクラックが尾部４７を伝播するのを抑制できる。これにより、Ｙ方向へのクラックの進行を確実に抑制できる。なお、上述した第２実施形態では、台座部２０１を介して突起部２０２を形成した場合について説明したが、第２凹部６３の底面に突起部２０２を直接形成しても構わない。すなわち、荷重伝達抑制部２００と第２凹部６３の内側面とをＹ方向の全体に亘って離間させても構わない。
【００６２】
なお、本発明の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００６３】
例えば、上述した実施形態では、液体噴射装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であっても構わない。
【００６４】
上述した実施形態では、ノズル孔６０が一列のインクジェットヘッド４を例にして説明したが、これに限らず、ノズル孔が二列以上のインクジェットヘッド４に本発明を適用しても構わない。
【００６５】
上述した実施形態では、エッジシュートのインクジェットヘッドについて説明したが、これに限られない。例えば、吐出チャネルにおけるチャネル延在方向の中央部からインクを吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッドに本発明を適用しても構わない。
上述した実施形態では、アクチュエータプレートとしてモノポール基板を用いた構成について説明したが、これに限られない。すなわち、分極方向が厚さ方向で異なる二枚の圧電基板が積層されてなる、いわゆるシェブロン基板をアクチュエータプレートとして用いても構わない。
【００６６】
上述した実施形態では、アクチュエータプレート４０の尾部に第１凹部６２及び第２凹部６３が形成された構成について説明したが、これに限らず、少なくとも第２凹部６３が形成されていれば構わない。
【００６７】
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせても構わない。
【符号の説明】
【００６８】
１…プリンタ（液体噴射装置）
２…搬送機構（移動機構）
３…搬送機構（移動機構）
４，４Ｂ，４Ｃ，４Ｍ，４Ｙ…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
６…走査機構（移動機構）
４０…アクチュエータプレート
４４…吐出チャネル（噴射チャネル）
４５…ダミーチャネル
４７…尾部
５０…共通電極
５１…共通端子
５２…個別電極
６３…第２凹部（凹部）
６５…荷重伝達抑制部
７０…ブリッジ電極
１００…荷重伝達抑制部
１１０…荷重伝達抑制部
２００…荷重伝達抑制部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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