(57)【要約】      （修正有）【課題】構成が簡単で、複数の対象物を効率良く搬送方向に搬送する搬送装置を提供する。【解決手段】対象物８を搬送方向に移動させる二つの第１移動機構１１と、第１移動機構を制御する制御部９０とを有し、二つの第１移動機構は搬送方向に対して平行に移動するように配置される。制御部は二つの第１移動機構をそれぞれ個別に制御し、複数の対象物を効率良く搬送方向に搬送する。搬送装置間の複雑なガイド構成が不要で、同一の搬送装置を併設するだけで任意に搬送経路を増減する。【選択図】図１
2017119560.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物を搬送方向に搬送する搬送装置であって、
前記対象物を搬送方向に移動させる二つの第１移動機構と、
前記第１移動機構を制御する制御部と、
を有し、
前記二つの第１移動機構は、搬送方向に対して平行に移動するように配置され、
前記制御部は、前記二つの第１移動機構を、それぞれ個別または同時に制御する搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の搬送装置であって、
前記制御部は、前記二つの第１移動機構の一方により前記対象物を搬送方向下流側に移動させた後、前記二つの第１移動機構の他方により前記対象物をさらに搬送方向下流側に移動させる搬送装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の搬送装置であって、
前記第１移動機構は、
前記対象物を保持する第１保持機構と、
前記第１保持機構を搬送方向に沿って移動させる第１稼動機構と、
を有する搬送装置。
【請求項４】
請求項３に記載の搬送装置であって、
前記第１保持機構は、搬送方向に直交する上下方向の移動により、前記対象物の保持および解除を切り替える搬送装置。
【請求項５】
請求項４に記載の搬送装置であって、
前記対象物は、第１凹部を有し、
前記第１保持機構は、第１凸部を有し、
前記第１凸部が前記第１凹部に挿入されることで前記対象物が保持される搬送装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の搬送装置であって、
前記対象物を、搬送方向と水平方向に直交する搬出方向に移動させる、第２移動機構をさらに有し、
前記制御部は、前記第２移動機構をさらに制御する搬送装置。
【請求項７】
請求項６に記載の搬送装置であって、
前記第２移動機構は、
前記対象物を保持する第２保持機構と、
前記第２保持機構を搬出方向に沿って移動させる第２稼動機構と、
を有し、
前記第２稼動機構は、少なくとも一つの第２稼動部を有する搬送装置。
【請求項８】
請求項７に記載の搬送装置であって、
前記第２稼動機構は、搬出方向に稼動する、二つの前記第２稼動部が上下に配置される搬送装置。
【請求項９】
請求項７に記載の搬送装置であって、
前記第２保持機構は、搬送方向に直交する上下方向の移動により、前記対象物の保持および解除を切り替える搬送装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の搬送装置であって、
前記対象物は、複数の第２凹部を有し、
前記第２保持機構は、第２凸部を有し、
前記第２凸部が前記第２凹部に挿入されることで前記対象物が保持される搬送装置。
【請求項１１】
請求項１から請求項１０までのいずれか１項に記載の搬送装置であって、
前記二つの第１移動機構の間に配置され、前記対象物を搬送方向に直交する上下方向に移動させる一つ以上の第３移動機構をさらに有し、
前記制御部は前記第３移動機構をさらに制御する搬送装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の搬送装置であって、
前記第３移動機構は、前記対象物を少なくとも一箇所支持する第３保持機構と、
前記第３保持機構を上下方向に移動させる第３稼動機構と、
を有する搬送装置。
【請求項１３】
請求項１から請求項１２までのいずれか１項に記載の搬送装置であって、
前記二つの第１移動機構の間に配置され、前記対象物の下面を支持する支持部をさらに有し、
前記制御部は前記支持部をさらに制御する搬送装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の搬送装置であって、
前記支持部は、前記対象物を上下に延びる軸を中心に回転させる回転機構を有する搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
モータなどの工業製品の製造工程では、搬送方向に対象物を搬送しつつ、順次部品の組立や検査等の処理を行うモジュール型自動機が使用される。このようなモジュール型自動機では、製品の生産効率を高めるために、複数の対象物を、連続的に効率よく搬送方向へと搬送する搬送技術が求められる。また、搬送経路内の対象物を、一時的に搬送経路外の処理室に搬出し、再び搬送経路へと戻し、さらに搬送方向へと搬送させるという複雑な動作を、効率的に実現できる搬送技術が求められる。
【０００３】
従来の搬送技術については、例えば、特開２００５−１８９７７５号公報に記載されている。当該公報に記載の露光装置の搬送技術では、分割された２台のＸ軸移動テーブルの裏面に、それぞれリニアガイド装置が取り付けられている。また、２台のＸ軸移動テーブルが、案内レールに沿ってＸ軸方向に移動可能に支持されている。そして、案内レールを各Ｘ軸移動テーブル毎に専用に平行配置し、左側のＸ軸移動テーブル専用の案内レールをベース上にＸ軸方向に沿って平行に設置するとともに、右側のＸ軸移動テーブル専用の案内レールを、左側のＸ軸移動テーブル専用の案内レールの外側に位置させて、ベース上にＸ軸方向に沿って平行に設置されている（段落００１０，００２０、図３参照）。
【０００４】
また、特開２００５−１８９７７５号公報では、Ｙ軸移動テーブルの裏面にも、リニアガイド装置が取り付けられ、Ｙ軸移動テーブルが、案内レールに沿ってＹ軸方向に移動可能に支持されている。これにより、基板ステージのＸ軸およびＹ軸の２軸の移動が可能となっている（段落００２６、図６参照）。
【特許文献１】特開２００５−１８９７７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特開２００５−１８９７７５号公報の技術では、ベースおよび案内レールが双方に入り組んだ構造となる。また、搬送方向に対象物を搬送するためには、２種類のベースを用意する必要がある。このため、複数の処理を連続的に行うモジュール型自動機に、当該搬送技術を適用すると、搬送システムの構成が複雑となる。したがって、同一種類の搬送装置を搬送方向に配列することで、搬送システムを構築できることが要求される。
【０００６】
さらに、特許文献１の技術では、リニアガイド装置は、ベースに対して１ユニットしか設けられていない。したがって、Ｘ軸方向の搬送時には、リニアガイド装置の往復動作の時間を要する。このため、当該リニアガイド装置の往復動作を効率化できれば、対象物の搬送時間を短縮でき、生産効率をより向上できる。
【０００７】
本発明の目的は、同一種類の搬送装置を搬送方向に配列することで搬送システムを容易に構成でき、搬送時間を短縮できる技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本願の例示的な第１発明は、対象物を搬送方向に搬送する搬送装置であって、前記対象物を搬送方向に移動させる二つの第１移動機構と、前記第１移動機構を制御する制御部と、を有し、前記二つの第１移動機構は、搬送方向に対して平行に移動するように配置され、前記制御部は、前記二つの第１移動機構を、それぞれ個別または同時に制御する。
【発明の効果】
【０００９】
本願の例示的な第１発明によれば、二つの第１移動機構は個別に駆動することができるため、複数の対象物を効率良く搬送方向に搬送できる。また、搬送装置間の複雑なガイド構成が不要となり、同一の搬送装置を併設するだけで、任意に搬送経路を増減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、搬送システムの上面図である。
【図２】図２は、対象物の上面図である。
【図３】図３は、対象物が搬送方向に搬送される様子を示す図である。
【図４】図４は、対象物が搬送方向に搬送される様子を示す図である。
【図５】図５は、対象物が幅方向に搬送される様子を示す図である。
【図６】図６は、制御部のブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の例示的な実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下では、搬送装置が配列される方向を「搬送方向」、搬送方向と水平方向の直交する方向に、対象物が搬出される搬出方向を「幅方向」、搬送方向に直交する上下方向を「高さ方向」として説明する。
【００１２】
＜１．搬送システム＞
図１は、本実施形態に係る搬送装置を備える搬送システム１の上面図である。搬送システム１は、対象物８を搬送方向に搬送しつつ、一時的に幅方向や、高さ方向にも移動させるシステムである。搬送システム１は、例えば、対象物８を搬送しつつ、対象物８に対して部品の組立や検査等の処理を連続的に行うことでモータを製造する、モジュール型自動機に使用される。ただし、搬送システム１は、モータ以外の、他の工業製品を製造する製造装置に用いられてもよい。
【００１３】
図１に示すように、搬送システム１では、搬送方向に沿って、第１搬送装置１０、第２搬送装置２０、および第３搬送装置３０が併設されている。また、処理室６は、第２搬送装置２０の幅方向に併設されている。対象物８は、第１搬送装置１０に搬入されると、まず、第１搬送装置１０から第２搬送装置２０へと送られる。次に、第２搬送装置２０に搬入された対象物８は、幅方向の処理室６へと送られて処理される。そして、処理完了後、対象物８は、処理室６から再び第２搬送装置２０へと送られる。その後、対象物８は、第２搬送装置２０から第３搬送装置３０へと送られる。このように、対象物８は、搬送方向に送られつつ種々の処理を受ける。これにより、モータが組み立てられていく。なお、本実施形態では、第２搬送装置２０に処理室６が接続されているが、処理室６は、第１搬送装置１０、さらには第３搬送装置３０にも別々に接続されていてもよい。本明細書では、第２搬送装置２０に処理室６が接続されている例について説明する。
【００１４】
＜２．第１搬送装置について＞
次に、本実施形態に係る第１搬送装置１０について説明する。図２は対象物８の上面図である。図３は、対象物８が搬送方向に搬送される様子を上面から見た図である。図４は、対象物８が搬送方向に搬送される様子を側面から見た図である。
【００１５】
第１搬送装置１０は、対象物８を搬送方向に搬送する装置である。なお、搬送システム１における、第１搬送装置１０と、第３搬送装置３０とは、同一の装置である。第１搬送装置１０は、一対の第１ガイド１４１と、二つの第１移動機構１１と、制御部９０とを有する。一対の第１ガイド１４１は、互いに平行に配置され、搬送方向に向けて延びる部材である。対象物８は、第１搬送装置１０に搬入されると、一対の第１ガイド１４１上に載置される。そして、対象物８は一対の第１ガイド１４１上で、搬送方向に移動可能に係合される。
【００１６】
二つの第１移動機構１１は、対象物８を保持しつつ搬送方向に送る機構である。二つの第１移動機構１１は、一対の第１ガイド１４１にそれぞれ配置され、搬送方向に対して平行に移動する。そして、二つの第１移動機構１１は、それぞれ個別に動作する。
【００１７】
図３（ａ１）に示すように、第１搬送装置１０内に搬入された対象物８は、二つの第１移動機構１１の少なくとも一方と、上下方向に重なり、第１移動機構１１に保持される。そして、図３（ａ２）に示すように、対象物８を保持した第１移動機構１１が、搬送方向に移動することで、対象物８は、搬送方向に送られる。このとき、対象物８は、隣接する第２搬送装置２０に配置された二つの第１移動機構２１の少なくとも一方と、上下方向に重なる位置まで搬送される。そして、図３（ａ３）に示すように、対象物８と上下方向に重なる第１移動機構２１が、対象物８を保持し搬送方向に移動することで、対象物８はさらに搬送方向に送られる。その後、図３（ａ４）に示すように、第２搬送装置２０の二つの第１移動機構２１の他方が、対象物８をさらに搬送方向へ搬送する。
【００１８】
このように、二つの第１移動機構１１が交互に動作することで、対象物８は、搬送方向の上流から下流へと搬送されていく。こうすることで、一方の第１移動機構１１が、対象物８を搬送している間に、他方の第１移動機構１１は、対象物８の保持を解除して初期位置へと戻ることができる。したがって、第１移動機構１１が初期位置へと戻るために要する時間を、対象物８を搬送する時間とは別に確保する必要はない。これにより、複数の対象物８を効率よく搬送できる。また、一対の第１ガイド１４１のそれぞれに第１移動機構１１が配置されているため、搬送装置間の複雑なガイド構成が不要となる。すなわち、同一の第１搬送装置１０を併設するだけで、任意に搬送経路を増減することができる。したがって、複数の処理を施すためのモジュール型自動機を構成しやすくなる。
【００１９】
図４（ｂ１）に示すように、本実施形態の第１移動機構１１は、第１保持機構１２１および第１稼動機構１３１を有する。第１保持機構１２１は、対象物８を保持する機構である。第１保持機構１２１は、一対の第１ガイド１４１に沿って、それぞれ配置される。そして、第１保持機構１２１は、第１ガイド１４１に沿って、それぞれ搬送方向と平行に移動する。本実施形態では、第１保持機構１２１は、第１凸部１２２およびエアシリンダ１２３を有する。
【００２０】
図２に示すように、本実施形態の対象物８は、二つの第１凹部８１を有する。第１凹部８１は、貫通孔であってもよく、凹みであってもよい。対象物８が、一対の第１ガイド１４１上に配置されると、二つの第１凹部８１のうち少なくとも一つは、一対の第１ガイド１４１に沿って配置された第１保持機構１２１の上方にそれぞれ配置される。また、第１凹部８１は、第１凸部１２２の移動経路と上下に重なるようにそれぞれ配置される。たとえば、凸部は、凹部へ係合するピンである。
【００２１】
第１凸部１２２は、エアシリンダ１２３のシリンダ本体に供給される空気圧によって上下に移動する。図４（ｂ２）に示すように、上昇した第１凸部１２２は、対象物８の第１凹部８１に挿入される。これにより、対象物８は、搬送方向に相対移動不能に固定される。このように、第１保持機構１２１は、第１凸部１２２の上下方向の移動により、対象物８の保持および解除を切り替える。
【００２２】
第１稼動機構１３１は、第１保持機構１２１を搬送方向と平行に移動させる機構である。対象物８は、第１保持機構１２１により保持されつつ、第１保持機構１２１が搬送方向と平行に移動することで、搬送方向へと送られる。図４（ｂ１）に示すように、本実施形態の第１稼動機構１３１は、それぞれ、駆動源であるモータ１３２と、ボールねじ１３３と、ナット部材１３４とを有する。
【００２３】
ボールねじ１３３は、第１移動機構１１における対象物８の移動方向と平行に延び、その一端がモータ１３２に接続されている。ナット部材１３４は、ボールねじ１３３の外周面に設けられた螺旋状のねじ溝と噛み合うように、ボールねじ１３３に取り付けられている。ナット部材１３４の上方には、第１保持機構１２１が固定されている。モータ１３２を駆動させると、ボールねじ１３３がその軸心周りに回転する。これにより、ナット部材１３４が、ボールねじ１３３に沿って移動する。すなわち、モータ１３２の回転運動が、ボールねじ１３３を介してナット部材１３４の直進運動に変換される。
【００２４】
図４（ｂ３）に示すように、第１凸部１２２が第１凹部８１に挿入された状態で、モータ１３２を駆動させると、ナット部材１３４に固定された第１保持機構１２１とともに対象物８が、ボールねじ１３３と平行に移動する。これにより、対象物８は、搬送方向に送られる。また、エアシリンダ１２３により第１凸部１２２を下降させると、第１凹部８１から、第１凸部１２２が引き抜かれる。その結果、対象物８の固定が解除される。そして、モータ１３２を駆動させることで、第１保持機構１２１はボールねじ１３３と平行に移動し、初期位置へと戻る。
【００２５】
＜３．第２搬送装置について＞
次に、第２搬送装置２０について説明する。第２搬送装置２０は、対象物８を搬送方向または幅方向に搬送する装置である。図１に示すように、第２搬送装置２０は、一対の第１ガイド２４１、第１移動機構２１、第２移動機構２２、第３移動機構２３、および制御部９０を有する。なお、第１移動機構２１の構成は上記の第１移動機構１１と同様であるため、説明を省略する。また、一対の第１ガイド２４１は、併設された第１搬送装置１０の第１ガイド１４１と、第３搬送装置３０の第１ガイド３４１との間において、搬送方向に向けて延びる。
【００２６】
第２移動機構２２は、対象物８を保持しつつ幅方向に送る機構である。図５は、対象物８が幅方向に搬送される様子を示す図である。図５（ｃ１）に示すように、本実施形態の第２移動機構２２は、第２保持機構２３２および第２稼動機構２４２を有する。第２保持機構２３２は、幅方向の移動時に、対象物８を保持する機構である。第２保持機構２３２は、第２凸部２３３およびエアシリンダ２３４を有する。第２凸部２３３は、エアシリンダ２３４のシリンダ本体に供給される空気圧によって上下に移動する。
【００２７】
図２に示すように、本実施形態の対象物８は、第２凹部８２を有する。対象物８が、第２搬送装置２０の第１ガイド２４１上の搬送方向の略中央に配置されると、第２凹部８２は、第２保持機構２３２の下方に配置される。また、第２凹部８２は、第２凸部２３３と上下に重なる。エアシリンダ２３４により第２凸部２３３が下降すると、下降した第２凸部２３３は、対象物８の第２凹部８２に挿入される。これにより、対象物８は、第２保持機構２３２に対して、幅方向に相対移動不能に固定される。また、エアシリンダ２３４により第２凸部２３３が上昇すると、第２凹部８２から、第２凸部２３３が引き抜かれる。このように、第２凸部２３３を第２凹部８２に対して、上下方向に移動させることで、対象物８の保持状態と解除状態とを容易に切り替えることができる。
【００２８】
第２稼動機構２４２は、第２保持機構２３２を幅方向に移動させる機構である。図５（ｃ１）に示すように、本実施形態の第２稼動機構２４２は、稼動部である幅方向に伸縮するエアシリンダ２４３によって構成される。第２保持機構２３２は、エアシリンダ２４３の幅方向への伸縮に伴って、幅方向に移動する。特に、本実施形態の第２稼動機構２４２は、直列に接続された二つのエアシリンダ２４３を有する。第２保持機構２３２は、二つのエアシリンダ２４３の伸縮量の合計値に応じて、幅方向に移動する。また、第２稼動機構２４２の二つのエアシリンダ２４３は、上下に重ねられて配置される。このように、二つのエアシリンダ２４３を上下に重ねることで、第２稼動機構２４２の装置面積を小さくすることができる。さらに、上下に重ねられたエアシリンダ２４３を伸縮させることで、第２保持機構２３２の幅方向への移動距離を長くすることができる。なお、上下に重ねられるエアシリンダ２４３の数は、三つ以上であってもよい。また、エアシリンダ２４３の数は、一つであってもよい。
【００２９】
第３移動機構２３は、対象物８を保持しつつ高さ方向に移動させる機構である。図１に示すように、第３移動機構２３は、二つの第１移動機構２１の間に配置される。図５（ｃ１）に示すように、本実施形態の第３移動機構２３は、第３保持機構２５３と、第３稼動機構２６３とを有する。第３保持機構２５３は、対象物８の裏面を二箇所以上において支持する。これにより、対象物８は、第３保持機構２５３に対して、高さ方向に相対移動不能に固定される。第３保持機構２５３は、第３稼動機構２６３であるエアシリンダのシリンダ本体に供給される空気圧によって上下に移動する。対象物８は、第３保持機構２５３に支持されつつ、第３保持機構２５３が上下に移動することで、高さ方向に移動する。
【００３０】
なお、本実施形態では、第３移動機構２３は、対象物８の裏面を二箇所において支持する。これにより、対象物８を安定的に高さ方向に移動させることができる。ただし、第３移動機構２３が対象物８を支持する箇所は一つであってもよく、三つ以上であってもよい。
【００３１】
図５（ｃ２）に示すように、第２搬送装置２０によって対象物８が幅方向に搬送されるときは、先ず、第３移動機構２３が対象物８を上昇させる。第２搬送装置２０に併設された処理室６には、幅方向に平行に延びる一対の第２ガイド６２が設けられている。一対の第２ガイド６２は、第１ガイド２４１より上方に配置される。第３移動機構２３は、対象物８を第２ガイド６２上に載置できる位置まで上昇させる。
【００３２】
次に、図５（ｃ３）に示すように、第２凸部２３３を下降させる。下降した第２凸部２３３は、対象物８の第２凹部８２に挿入される。これにより、対象物８は、第２保持機構２３２に対して、幅方向に相対移動不能に固定される。そして、図５（ｃ４）に示すように、上下に重ねられたエアシリンダ２４３のうち、下方のエアシリンダ２４３ａが幅方向に伸びる。これにより、対象物８は幅方向に移動し、対象物８の少なくとも一部が、第２ガイド６２上に載置される。そうすると、対象物８は、一対の第２ガイド６２上で、幅方向に移動可能に係合される。
【００３３】
その後、図５（ｃ５）に示すように、上下に重ねられたエアシリンダ２４３のうち、上方のエアシリンダ２４３ｂが幅方向に伸びる。これにより、対象物８が、第２ガイド６２に沿って、さらに幅方向に移動して、処理室６へと送られる。そして、対象物８の処理が終了すると、上段および下段のエアシリンダ２４３ａ，ｂが縮み、対象物８は再び第２搬送装置２０へと戻される。そして、第３移動機構２３は、対象物８を下降させる。そうすると、対象物８は、第２搬送装置２０の第１ガイド上に載置され、搬送方向に移動可能に係合される。そして、対象物８は、第２搬送装置２０の第１移動機構２１によって、第３搬送装置３０へと搬送される。
【００３４】
また、図１に示すように、本実施形態の第２搬送装置２０は、支持部２７をさらに有する。支持部２７は、二つの第１移動機構２１の間に配置される。支持部２７は、例えば、エアシリンダ（図示省略）と接続され、シリンダ本体に供給される空気圧によって上下に移動する。上昇した支持部２７は、対象物８の下面と接触し対象物８を支持する。これにより、対象物８が重量物であっても搬送することができる。また、第２搬送装置２０内で、対象物８に対して、圧入などの高さ方向に力が加わる処理を施すことができる。
【００３５】
また、本実施形態の支持部２７は回転機構２７１を有する。回転機構２７１は、例えば、モータと接続され、モータの動力源によって支持部２７を上下に延びる軸を中心に回転させる。これにより、対象物８は、第２搬送装置２０内で搬送方向に対する向きを変えることができる。つまり、対象物８を処理室６へ搬送する際に、回転機構２７１によって対象物８の向きを変えることによって、異なった向きで対象物８を処理室６へ搬送することができる。
【００３６】
＜４．制御部について＞
次に、制御部９０について説明する。制御部９０は、搬送システム１内の第１搬送装置１０、第２搬送装置２０、および第３搬送装置３０の各部を動作制御するための手段である。図１中に概念的に示したように、制御部９０は、マイクロプロセッサ等の演算処理部９１、ＲＡＭ等のメモリ９２、および不揮発性半導体メモリ等の記憶部９３を有するプログラマブルロジックコントローラにより構成される。記憶部９３内には、対象物８の搬送処理を実行するための制御プログラム９４が、インストールされている。
【００３７】
図６は、制御部９０と、搬送システム１内の各部との接続構成を示したブロック図である。図６に示すように、制御部９０は、第１搬送装置１０の第１移動機構１１のモータ１３２、第１移動機構１１のエアシリンダ１２３、第２搬送装置２０の第１移動機構２１のモータ２３５、第１移動機構２１のエアシリンダ、第２移動機構２２の第２保持機構２３２のエアシリンダ２３４、第２稼動機構２４２のエアシリンダ２４３、第３移動機構２３のエアシリンダ、支持部２７のエアシリンダ、支持部２７の回転機構２７１のモータ、第３搬送装置３０の第１移動機構３１のモータ３３２および第１移動機構３１のエアシリンダ３２３、それぞれ通信可能に接続されている。制御部９０は、記憶部９３に記憶された制御プログラム９４をメモリ９２に一時的に読み出し、当該制御プログラム９４に基づいて、演算処理部９１が演算処理を行うことにより、上記の各部を動作制御する。これにより、複数の対象物８が順次搬送される。
【００３８】
＜５．変形例＞
以上、本発明の例示的な実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではない。
【００３９】
上記の実施形態では、搬送システム１内において、第１搬送装置、第２搬送装置および第３搬送装置の三つの搬送装置が併設されていた。しかしながら、搬送システム内において併設されている搬送装置の数は、四つ以上であってもよく、二つ以下であってもよい。また、第２搬送装置は、搬送システムの幅方向に併設された他の搬送システムに対象物を送るものであってもよい。
【００４０】
上記の実施形態では、二つの第１移動機構は、それぞれ交互に移動し、対象物を搬送方向に搬送していた。しかしながら、二つの第１移動機構は、同時に搬送方向に移動して対象物を搬送方向に搬送してもよい。これにより、対象物が重量物であっても搬送方向に搬送することができる。
【００４１】
また、上記の実施形態では、第１移動機構の稼動機構に、ボールねじとナット部材による、ボールねじ機構が用いられていた。しかしながら、第１稼動機構に、エアシリンダやベルト駆動機構等の他の機構が用いられてもよい。
【００４２】
また、上記の実施形態では、第１凸部および第２凸部を上下動させるために、エアシリンダが用いられていた。しかしながら、第１凸部および第２凸部は、ボールねじ機構等、他の機構によって上下動するものであってもよい。
【００４３】
また、上記の実施形態では、第３保持機構を上下動させる第３稼動機構にはエアシリンダが用いられていた。しかしながら、第３稼動機構には、ボールねじ機構等の他の機構が用いられてもよい。
【００４４】
また、上記の実施形態では、第２稼動機構は、エアシリンダによって構成されていた。しかしながら、第２稼動機構は、ボールねじ機構等の他の機構によって構成されてもよい。そして、第２稼動機構は、二つ以上のボールねじ機構が上下に重ねられることで、構成されてもよい。
【００４５】
また、上記の実施形態では、第１保持機構および第２保持機構は、凸部を対象物の凹部に挿入することで対象物を保持していた。しかしながら、第１保持機構および第２保持機構は、他の手法によって、対象物を保持してもよい。第１保持機構および第２保持機構は、例えば、フック機構によって対象物を引っ掛けて保持してもよい。また、第１保持機構および第２保持機構は、磁石等を用いた吸着機構によって対象物を吸着して保持してもよい。
【００４６】
また、上記の実施形態では、プレート状の対象物８を搬送する場合について説明した。しかしながら、本発明の搬送装置は、他の形状の対象物を搬送する装置であってもよい。また、上記の実施形態では、対象物８自体に第１凹部８１および第２凹部８２が設けられていた。しかしながら、本発明の搬送装置は、第１凹部および第２凹部を有するプレートの上面に、対象物を載置して搬送する装置であってもよい。
【００４７】
搬送装置の各部を実現するための具体的な構成については、上記の実施形態に示された構成と、相違していてもよい。また、上記の実施形態や変形例に登場した各要素を、矛盾が生じない範囲で、適宜に組み合わせてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明は、搬送装置に利用できる。
【符号の説明】
【００４９】
１  搬送システム
６  処理室
８  対象物
１０  第１搬送装置
１１  第１移動機構
１３  第１凹部
２０  第２搬送装置
２１  第１移動機構
２２  第２移動機構
２３  第３移動機構
２７  支持部
３０  第３搬送装置
３１  第１移動機構
６２  第２ガイド
８１  第１凹部
８２  第２凹部
９０  制御部
１２１  第１保持機構
１２２  第１凸部
１２３  エアシリンダ
１３１  第１稼動機構
１３２  モータ
１３３  ボールねじ
１３４  ナット部材
１４１  第１ガイド
２３２  第２保持機構
２３５  モータ
２３３  第２凸部
２３４  エアシリンダ
２４１  第１ガイド
２４２  第２稼動機構
２４３  エアシリンダ
２５３  第３保持機構
２６３  第３稼動機構
２７１  回転機構
３４１  第１ガイド
【図１】
2017119560.tif 000003
【図２】
2017119560.tif 000004
【図３】
2017119560.tif 000005
【図４】
2017119560.tif 000006
【図５】
2017119560.tif 000007
【図６】
2017119560.tif 000008