(57)【要約】【課題】液晶表示装置の製造時における光配向処理工程に用いられる偏光紫外線照射装置において、ランプハウス内の温度上昇を避けながら、紫外線ランプより放射される紫外線を効率良く基板に照射することができる。【解決手段】本発明の偏光紫外線照射装置１０においては、紫外線ＵＡを放射するランプ４と、ランプ４の背面側の一部にランプハウス３の外側に通じる開口６が設けられた反射板５とを備え、この反射板５は、当該開口６の設けられる部分も含め、ランプ４より背面側に向う光路の全体に渡って、ランプ４より放射される紫外線ＵＡを正面側とランプハウスの内側の何れかの方向に反射する向きに配置される。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
紫外線を放射するランプと、前記ランプの背面側に配置され当該ランプより前記背面側に放射される紫外線を反射する反射板を備えたランプハウスと、前記ランプより被照射物に向う正面側に配置され前記紫外線を直線偏光にするための偏光子と、を備えた偏光紫外線照射装置において、
前記反射板には、前記ランプの背面側の一部に、当該ランプハウスの外側に通じる通気経路となる開口が設けられ、当該反射板は、当該開口の設けられる部分も含め、前記ランプより背面側に向う光路の全体に渡って、当該ランプから放射される紫外線を前記ランプハウスより前記正面側と前記ランプハウスの内側の何れかの方向に反射する向きに配置されることを特徴とする偏光紫外線照射装置。
【請求項２】
前記開口の設けられる部分に配置される前記反射板は、
前記ランプから放射される紫外線を当該ランプに向う方向以外の方向に反射する向きに配置されることを特徴とする請求項１に記載の偏光紫外線照射装置。
【請求項３】
前記開口の設けられる部分に配置される前記反射板は、
前記開口の設けられる部分以外に配置される前記反射板と分離して設けられ、前記ランプハウスの内側に配置されることを特徴とする請求項１或いは請求項２に記載の偏光紫外線照射装置。
【請求項４】
前記開口の設けられる部分に配置される前記反射板は、
前記開口の設けられる部分以外に配置される前記反射板と一体化してランプハウスが構成されることを特徴とする請求項１或いは請求項２に記載の偏光紫外線照射装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４の何れか１項に記載の偏光紫外線照射装置を用いた配向処理工程を備えることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置の製造における、配向膜に光を照射して配向処理を行う光配向技術、そこで用いられる偏光紫外線照射装置及び当該偏光紫外線照射装置を用いた液晶表示装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶配向膜材料として、偏光光に対する光化学的感度を得るために光反応基を導入した高分子化合物を用い、当該配向膜材料に対して、例えば、偏光素子を通過させた紫外線などの偏光光を照射することにより配向処理を行い、液晶配向膜（以下、光配向膜と呼ぶ）を得る光配向技術と呼ばれる技術が知られており、この光配向技術を用い形成される光配向膜は、近年、非接触で液晶分子配向を誘発することが可能であることから、ラビング時の発塵による汚染、或いは摩擦による静電ダメージを回避することができる点において有効であるとして、液晶表示パネルの液晶配向膜として応用され始めている。
【０００３】
この光配向技術で用いられる光配向処理用の偏光紫外線照射装置は、例えば、特許文献１に記載されるとおり、線状の光源である紫外線ランプと、光出射側とは反対側において紫外線ランプを包囲する半円筒形状の反射板とを有した照射ユニット（ランプハウス）と、被照射物である基板に対向配置される偏光素子とを備えており、紫外線ランプより放射される紫外線が、前記の反射板により反射される反射光も含めて当該偏光素子を介して被照射物に対して照射されることで、偏光光が被照射物上の配向膜に照射され、配向膜の配向処理を行なうものである。また、別の特許文献２においては、同様の紫外線ランプと、紫外線ランプの背面側において分割された一対の平行型の放物ミラーにより構成される反射板と、反射板の両側に、更に、一対の補助の紫外線ランプを備えた偏光紫外線照射装置が開示されている。
【０００４】
ここで、光配向処理工程のタクトタイムは、基板に対しての偏光紫外線照射装置による紫外線の照射時間（基板を搬送しながら紫外線照射が行われるタイプの装置の場合には、当該装置内での搬送時間に対応する）により決められており、その紫外線の照射時間については、当該紫外線の照射時間内において当該装置により基板に対して照射される紫外線の積算光量について、所望の積算光量が得られることによって決まることになる。タクトタイムを短くして生産性を向上するためには、偏光紫外線照射装置における光源（紫外線ランプ）から放射される紫外線の光量を上げるか、光源より放射される紫外線を効率よく基板に照射できれば、所望の積算光量を短時間に得ることができ、偏光紫外線照射装置による紫外線の照射時間、つまり、タクトタイムが短縮できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−１０４０８号公報
【特許文献２】特開２０１４−１９１０７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
然しながら、上記特許文献１に開示された偏光紫外線照射装置においては、紫外線ランプの背面側に配置される半円筒形状の反射板は、背面側において紫外線ランプを包囲する形状とされていることから、紫外線ランプから発する熱が、照射ユニット（ランプハウス）内に、こもり易い構造を有している。一方、紫外線ランプは、特に放射される紫外線の光量を上げていくと、より高温になるため、特許文献１の構成の場合には、紫外線ランプから発する熱が照射ユニット（ランプハウス）内に蓄積され紫外線ランプや照射装置自体を損傷してしまうおそれがある。また、照射ユニット（ランプハウス）を所定温度以下とするためには、紫外線の光量をあまり上げない範囲で使うしかなく、タクトタイムの短縮を行うことが難しくなる。なお、特許文献１においては、タクトタイムの短縮を行うために、特定範囲の波長領域に高い吸収特性を有した配向膜を用いて、その特定範囲の波長の紫外線を紫外線照射装置から多く出力させるといった偏光紫外線照射装置構成以外において対策を行っているが、用途が特定の配向膜に限られる方法であって汎用性がある方法ではない。また、紫外線の光量を上げることができないという根本的な問題を解決していないことから、充分にタクトタイムを短縮できるものではない。
【０００７】
一方、上記特許文献２に開示された偏光紫外線照射装置においては、紫外線ランプの背面側において分割された一対の平行型の放物ミラーにより構成される反射板を用いたランプハウスの構造を用いていることから、紫外線ランプの背面側の反射板に形成される開口部より、適宜、ランプハウス内を排気することで、ランプハウス内の温度上昇を避けながら紫外線の光量を上げることも可能であり、ある程度の範囲においては、タクトタイムの短縮が可能となる。然しながら、紫外線の光量を上げることは、当然のこととして、消費電力が大きくなることにつながる。また、この特許文献２の様に、紫外線ランプの背面側の反射板に開口部を形成した場合、この開口部より紫外線ランプ上面（ランプハウスの外側）に抜ける紫外線は基板に照射されない。つまり、光源より放射される紫外線のうち、基板への偏光光の照射に寄与せず無駄になってしまう部分が発生し、紫外線ランプより放射される紫外線を効率よく基板に照射することはできない。結果として、充分にタクトタイムを短縮することについても実現できないことになる。
【０００８】
本発明は、上記説明の様な課題を解決するためになされたものであり、本発明の目的は、ランプハウス内の温度上昇を避けながら、紫外線ランプより放射される紫外線を効率よく基板に照射し、光配向処理時において充分にタクトタイムを短縮することのできる偏光紫外線照射装置或いはそれを用いた液晶表示装置の製造方法を得るものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の偏光紫外線照射装置においては、紫外線を放射するランプと、当該ランプの背面側の一部にランプハウスの外側に通じる開口が設けられた反射板とを備え、この反射板は、当該開口の設けられる部分も含め、前記ランプより背面側に向う光路の全体に渡って、当該ランプから放射される紫外線を正面側とランプハウスの内側の何れかの方向に反射する向きに配置されるものである。
【発明の効果】
【００１０】
液晶表示装置の製造時における光配向処理工程に用いられる偏光紫外線照射装置において、ランプハウス内の温度上昇を避けながら、紫外線ランプより放射される紫外線を効率良く基板に照射することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施の形態１の偏光紫外線照射装置の概略図である。
【図２】本発明の実施の形態１の偏光紫外線照射装置の要部説明図である。
【図３】本発明の実施の形態１の偏光紫外線照射装置の作用説明図である。
【図４】本発明の実施の形態２とその変形例の偏光紫外線照射装置の要部説明図である。
【図５】本発明の実施の形態３とその変形例の偏光紫外線照射装置の要部説明図である。
【図６】本発明の実施の形態４の液晶表示装置における液晶表示パネルの平面図である。
【図７】本発明の実施の形態４の液晶表示装置における液晶表示パネルの断面図である。
【図８】本発明の実施の形態４における液晶表示パネルの製造方法における組み立て工程を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
実施の形態１．
本発明を適用した実施の形態１の偏光紫外線照射装置の構成について図１及び図２を用いて説明する。ここで、図１は本実施の形態１の偏光紫外線照射装置の全体図を示した説明図、図２は偏光紫外線照射装置を構成するランプハウスの詳細を示した説明図であって、特にランプ長手方向に直交する方向の断面図を示したものである。なお、図は模式的なものであり、示された構成要素の正確な大きさなどを反映するものではない。また、図中、既出の図において説明したものと同一の構成には同一の符号を付し、その説明を省略する。以下の図においても同様とする。
【００１３】
図１に示される様に、この偏光紫外線照射装置１０は、ワーク（紫外線の被照射物）である基板１を搬送するとともに順次基板１を移動しながら紫外線の照射を行う搬送機構である搬送ローラ２と、搬送ローラ２上に配置され紫外線を基板１に向う方向に照射するランプハウス（紫外線照射ユニット）３を備えており、ランプハウス３は、紫外線ＵＡを放射する紫外線ランプ４と、紫外線ランプ４の背面側に配置され、特に紫外線ランプ４側の表面に反射面を有することで、紫外線ランプ４より背面側に放射される紫外線ＵＡを反射する反射板５とから構成されている。また、反射板５については、図２の詳細説明図に示されるとおり、紫外線ランプ４の背面側の一部に開口６が設けられた反射板５ａと、開口６の設けられる部分に配置され、紫外線ランプ４より当該開口６に向う紫外線ＵＡを反射する反射板５ｂとから構成されている。
【００１４】
また、図１に示される様に、偏光紫外線照射装置１０は、ランプハウス３より基板１に向う方向、つまり、紫外線ランプ４より基板１に向う正面側に配置され紫外線ＵＡを直線偏光された偏光紫外線ＵＢにするための偏光子７を備えている。また、必須の構成では無いが、紫外線ＵＡ或いは偏光紫外線ＵＢより、光配向処理に不要な波長領域を遮蔽するカットフィルタなどを偏光子７の前側或いは後側に適宜配置しても良い。更に、紫外線や、紫外線により発生するオゾンガスなどが装置外部へ影響することを防止する為に、ランプハウス３や偏光子７、紫外線を照射処理中の基板１などを覆う筺体８などを備えている。また、ランプハウス３の反射板５ａに設けられる開口６の外側部分には、筺体８の外部に熱を排気するように排気ダクトや排気ブロアなどを適宜配置すると良い。
【００１５】
続いて、本実施の形態１の偏光紫外線照射装置１０の基本的な動作について説明する。先ず、図１に、ワーク（紫外線の被照射物）である基板１と、矢印で、その基板１の移動方向が示される様に、紫外線の照射を行われるランプハウス３の下まで、搬送ローラ２により基板１が矢印の方向に搬送される。なお、搬送ローラ２は、基板１を上流側装置より偏光紫外線照射装置１０まで搬送する搬送機構を兼ねて、上流側装置より受け取った基板１をそのままランプハウス３の下まで搬送させる構成としても良いし、偏光紫外線照射装置１０に、別途、上流側装置より、複数の基板１の充填された基板カセットなどを受け取るローダ機構を備え、そのローダ機構で受け取った基板カセットから、搬入ロボットなどを介して、基板１を順次一枚ずつ枚葉処理として搬送ローラ２が受け取り、ランプハウス３の下まで搬送させる構成としても良い。
【００１６】
何れにしても、搬送ローラ２によりランプハウス３の下まで搬送された基板１は、続いて、ランプハウス３の下を順に図中の矢印の方向に、所定の搬送速度で移動しながら、ランプハウス３より紫外線の照射が行われる。具体的な照射処理としては、ランプハウス３より基板１に向う正面側に照射された紫外線ＵＡが、偏光子７を介することで、直線偏光された偏光紫外線ＵＢとされ、基板１に照射される。以上のとおり、所定の照射時間、基板１には偏光紫外線ＵＢが照射されることになるが、その所定の照射時間としては、基板１に対して必要な所定の紫外線の照射エネルギーに対応して、ランプハウス３より正面側に照射される紫外線ＵＡ（或いは、基板１に対して照射される偏光紫外線ＵＢ）の実質的な光量と照射時間の積となる積算光量が決まることから、必要な紫外線の照射エネルギーを当該ランプハウス３より基板１に対して照射される偏光紫外線ＵＢの実質的な光量で除することで、必要な照射時間（所定の照射時間）を見積もることができる。そして、当該照射時間に対応し、所定の搬送速度が決まり、タクトタイムも決まることになる。
【００１７】
続いて、本実施の形態１の偏光紫外線照射装置１０の作用について説明する。特に、偏光紫外線照射装置１０における要部となるランプハウス３の詳細な構成と、それぞれの構成により得られる作用について、図２と図３を用いながら説明を行う。ここで、図３（ａ）は、本実施の形態１の偏光紫外線照射装置１０のランプハウス３の反射板５による紫外線ＵＡの反射機能を説明する説明図であり、図３（ｂ）は、比較例のランプハウス１３の反射板１５による紫外線ＵＡの反射機能を説明する説明図である。
【００１８】
先ず、図２に示されるとおり、本実施の形態１の偏光紫外線照射装置１０のランプハウス３においては、反射板５を構成する紫外線ランプ４の背面側の一部に開口６が設けられた反射板５ａと、開口６の設けられる部分に配置される反射板５ｂとの間に隙間が形成されている。なお、図２は断面図であることから、ランプハウス３の長手方向の形状が示されていないが、基本的な形状としては、図２に対して垂直方向に紫外線ランプ４は長手方向を有しており、ランプハウス３を構成する反射板５、反射板５ａ、反射板５ｂ、及び開口６の何れの構成についても、当該長手方向に沿う方向で、ある一定の長さの範囲において、図２の断面図と同じ構造を有するものである。
【００１９】
以上説明のとおり、本実施の形態１の偏光紫外線照射装置１０のランプハウス３においては、反射板５ａに開口６が設けられるとともに、この反射板５ａと反射板５ｂとの間に隙間が形成されていることから、この隙間部分と開口６により、当該隙間部分と開口６を介してランプハウス３の外側に通じる通気経路が形成され、この通気経路より、矢印で図示されるとおり、ランプハウス３内の熱排気ＨＥを行うことで、紫外線ランプ４から発する熱を放熱することができる。
【００２０】
また、図３（ａ）に示されるとおり、本実施の形態１の偏光紫外線照射装置１０のランプハウス３の反射板５の場合、紫外線ランプ４より全方位に向って放射された紫外線ＵＡは、照射領域を図中に網掛けで示しているが、最終的には、全て、紫外線ランプ４より基板１に向う正面側に照射される。各方位に向って放射された紫外線ＵＡの具体的な照射経路の内訳としては、先ず、紫外線ランプ４より基板１に向う正面側に直接照射される直接光となる紫外線ＵＡ１（図中、経路の一例を点線で示している。）と、紫外線ランプ４より反射板５ａに向って放射され当該反射板５ａにより反射された反射光となる紫外線ＵＡ２（図中、経路の一例を破線で示している。）と、紫外線ランプ４より反射板５ａに設けられる開口６に向う方向に放射され、開口６の設けられる部分に配置される反射板５ｂによりランプハウス３の内側に反射される反射光となる紫外線ＵＡ３（図中、経路の一例を一点鎖線で示している。）とからなる。なお、紫外線ＵＡ３の大部分は、図示されるとおり、反射板５ｂにより反射された後、反射板５ａに向かい反射板５ａにより反射されて正面側に照射される。
【００２１】
何れにしても、本実施の形態１の偏光紫外線照射装置１０のランプハウス３の反射板５によれば、紫外線ランプ４より全方位に向って放射された紫外線ＵＡは、紫外線ランプ４より正面側に直接照射される直接光となる紫外線ＵＡ１（反射板５により反射されない紫外線）を除き、特に紫外線ランプ４より背面側に向う光路の全体に渡って、反射板５により反射されて、ランプハウス３の内側の何れかの方向に反射されることになる。
【００２２】
一方、図３（ｂ）に示される比較例のランプハウス１３の反射板１５については、図示されるとおり、紫外線ＵＡを放射する紫外線ランプ１４と、紫外線ランプ１４の背面側の一部に開口１６が設けられた反射板１５により構成されており、本実施の形態１のランプハウス３の反射板５の様に、紫外線ランプより反射板の開口に向う紫外線ＵＡを反射する反射板を備えていない構成とされている。従って、この比較例の反射板１５の場合、紫外線ランプ１４より全方位に向って放射された紫外線ＵＡは、同様に照射領域を図中に網掛けで示しているが、紫外線ランプ１４より正面側に直接照射される直接光となる紫外線ＵＡ１と、紫外線ランプ１４より反射板１５に向って放射され当該反射板１５により反射された反射光となる紫外線ＵＡ２については、図３（ａ）に示される反射板５と同様に紫外線ランプ４より正面側に照射されることとなるが、特に紫外線ランプ１４より反射板１５の開口１６に向って放射された紫外線ＵＡ３については、その経路の一例を一点鎖線で示しているが、そのまま開口１６からランプハウス１３の外側に放射されてしまう。つまり、紫外線ランプ４の正面側への照射に寄与することなく無駄になってしまう。
【００２３】
以上の様にして、本実施の形態１の偏光紫外線照射装置１０のランプハウス３の反射板５によれば、反射板５には、ランプハウス３の外側に通じる通気経路となる開口６が設けられ、更に、反射板５を構成する反射板５ａと反射板５ｂは、開口６の設けられる部分も含めて、紫外線ランプ４より背面側に向う光路の全体に渡って、紫外線ランプ４から放射される紫外線ＵＡを紫外線ランプ４より基板１に向う正面側とランプハウス３の内側の何れかの方向に反射する向きに配置されていることによって、紫外線ランプ４より全方位に向って放射された紫外線ＵＡについて、特に紫外線ランプ４より反射板５の開口６に向って放射された紫外線ＵＡ３も含めて、無駄にすることなく、紫外線ランプ４より基板１に向う正面側に照射されることとなり、偏光子７を介して、偏光紫外線ＵＢとして基板１に対して照射することができる。つまり、紫外線ランプ４より放射される紫外線を効率良く基板１に照射することができることになる。また、反射板５ａと反射板５ｂとの間に形成される隙間と反射板５ａに設けられる開口６により、ランプハウス３の外側に通じる通気経路が形成され、ランプハウス３内の熱排気ＨＥを行うことができることから、紫外線ランプ４から発する熱を放熱することができ、ランプハウス３内の温度上昇を避けることもできる。よって、紫外線ランプ４や装置自体を熱により損傷することも無い。
【００２４】
また、本実施の形態１の偏光紫外線照射装置１０の反射板５では、開口６の設けられる部分に配置される反射板５ｂの形状について、特に図２に示されるとおり、紫外線ランプ４より反射板５の開口６に向う方向に対して、向かって左側と向って右側とで概ね対称形の凹面を形成し、特に凹面が紫外線ランプ４より反射板５の開口６に向う方向に対して傾斜した面に設定している。反射板５ｂの形状或いは配置する向きについて、以上の様に設定することで、紫外線ランプ４から放射される紫外線ＵＡを、ランプハウス３の内側の何れかの方向のうち、特に当該紫外線ランプ４に向う方向以外の方向、つまり、紫外線ランプ４に向う方向以外の反射板５ａに向う方向か正面側方向の何れかの方向に反射することができる。この様にすることで、紫外線ランプ４より反射板５ｂの方向に放射された紫外線について、当該反射板５ｂによって、紫外線ランプ４が妨げとならない向きに反射し、紫外線ランプ４の影となることによって無駄にすることなく、紫外線ランプ４の正面側への照射に寄与させることができる。つまり、紫外線ランプ４より放射される紫外線について、無駄にすることなく、より効率良く基板１に照射することができることになる。
【００２５】
実施の形態２. 
以上説明を行った実施の形態１の偏光紫外線照射装置１０においては、ランプハウス３の構成として、反射板５の熱排気ＨＥを行う開口６の設けられる部分に配置される反射板５ｂについて、開口６の設けられる反射板５ａとは、分離された別の構成として配置した場合について説明を行った。反射板５に熱排気ＨＥを行う開口６を設けたうえで、反射板５の何れかの部分において、当該開口６に向って放射される紫外線ＵＡを反射し、紫外線ランプ４の正面側への照射に寄与させることができれば良いことを考えれば、開口６の設けられる部分に配置される反射板５ｂを開口６の設けられる反射板５ａと一体化して反射板５を構成しても良いことになる。
【００２６】
そこで、反射板５について、開口６が設けられる反射板５の一体化された一部において、当該開口６に向って放射される紫外線ＵＡを反射し、紫外線ランプ４の正面側への照射に寄与させることを可能とした実施の形態２の偏光紫外線照射装置と、その変形例の偏光紫外線照射装置について、以下、図４を用いて説明を行う。なお、ここでは、実施の形態１からの変更点に重点をおいて説明を行うものとする。
【００２７】
ここで、図４（ａ）は、本実施の形態２の偏光紫外線照射装置における実施の形態１より変更した要部となるランプハウス３１の説明図であり、図４（ｂ）は、実施の形態２からの変形例の変更した要部となる偏光紫外線照射装置のランプハウス３２の説明図である。
【００２８】
先ず、本実施の形態２の偏光紫外線照射装置のランプハウス３１においては、図４（ａ）に示されるとおり、この反射板５１を構成する紫外線ランプ４の背面側の一部に開口６１が設けられた反射板５ａ１及び反射板５ａ２を備えており、反射板５ａ１と反射板５ａ２との間に隙間である開口６１が形成されていることから、この開口６１を介してランプハウス３１の外側に通じる通気経路が形成され、この通気経路より、矢印で図示されるとおり、ランプハウス３１内の熱排気ＨＥを行うことで、紫外線ランプ４から発する熱を放熱することができる。
【００２９】
また、本実施の形態２の偏光紫外線照射装置のランプハウス３１の反射板５１の場合においては、開口６１に向って放射される紫外線ＵＡを反射し、紫外線ランプ４の正面側への照射に寄与させる為に、実施の形態１のランプハウス３の様に、別の構成として反射板を配置するのではなく、開口６１が設けられた反射板５１の一体化された一部において、当該機能を持たせている。具体的には、反射板５１を構成する反射板５ａ１のうち、開口６１の設けられる部分に配置される反射板５ａ１の一部、つまり、反射板５ａ１の開口６２近傍の先端一部により、当該機能を持たせている。
【００３０】
また、本実施の形態２の偏光紫外線照射装置のランプハウス３１の反射板５１の場合においても、紫外線ランプ４より全方位に向って放射された紫外線ＵＡは、実施の形態１のランプハウス３と同様に、最終的には、全て、紫外線ランプ４より基板１に向う正面側に照射される。各方位に向って放射された紫外線ＵＡの具体的な照射経路の内訳としては、先ず、紫外線ランプ４より基板１に向う正面側に直接照射される直接光となる紫外線と、紫外線ランプ４より、反射板５１に設けられる開口６１に向う方向以外の反射板５１（反射板５ａ１と反射板５ａ２の何れか）に向って放射され当該反射板５１（反射板５ａ１と反射板５ａ２の何れか）により反射された反射光となる紫外線については、図３を用いて説明したとおり、紫外線ランプ４より基板１に向う正面側に照射されることが明らかであることから、ここでは図示及び説明を省略している。一方、紫外線ランプ４より反射板５１に設けられる開口６１に向う方向に放射される紫外線ＵＡ３については、図中、経路の例（２例）を一点鎖線で示しているとおり、開口６１の設けられる部分に配置される反射板５ａ１の一部によりランプハウス３の内側に反射され、反射板５ａ１或いは反射板５ａ２に向かい反射板５ａ１或いは反射板５ａ２により反射されて正面側に照射される。つまり、紫外線ランプ４の正面側への照射に寄与する。
【００３１】
続いて、実施の形態２の変形例の偏光紫外線照射装置のランプハウス３２の構成について説明を行う。この偏光紫外線照射装置のランプハウス３２においては、図４（ｂ）に示されるとおり、反射板５２を構成する紫外線ランプ４の背面側の一部に開口６２が設けられた反射板５ａ３及び反射板５ａ４を備えている。
【００３２】
以上説明のとおり、本実施の形態２変形例のランプハウス３２においても、実施の形態２のランプハウス３１と同様に、反射板５ａ３と反射板５ａ４との間に隙間である開口６２が形成されていることから、この開口６２を介してランプハウス３２の外側に通じる通気経路が形成され、この通気経路より、矢印で図示されるとおり、ランプハウス３２内の熱排気ＨＥを行うことで、紫外線ランプ４から発する熱を放熱することができる。
【００３３】
また、本実施の形態２変形例の偏光紫外線照射装置のランプハウス３２の反射板５２の場合においては、実施の形態２のランプハウス３１と同様に、開口６２に向って放射される紫外線ＵＡを反射し、紫外線ランプ４の正面側への照射に寄与させる為に、別の構成として反射板を配置するのではなく、開口６２が設けられた反射板５ａ３或いは反射板５ａ４の一体化された一部において、当該機能を持たせている。特に、本実施の形態２の変形例の反射板５２においては、反射板５ａ３と反射板５ａ４の双方の開口６２近傍の先端一部により、当該機能を持たせている。
【００３４】
また、本実施の形態２変形例の偏光紫外線照射装置のランプハウス３２の反射板５２の場合においても、紫外線ランプ４より全方位に向って放射された紫外線ＵＡは、実施の形態１のランプハウス３或いは実施の形態２のランプハウス３１と同様に、最終的には、全て、紫外線ランプ４より基板１に向う正面側に照射される。各方位に向って放射された紫外線ＵＡの具体的な照射経路に関しては、ここでも、特に問題となる紫外線ランプ４より反射板５２に設けられる開口６２に向う方向に放射される紫外線ＵＡ３についてのみ、図中、経路の例（２例）を一点鎖線で示している。図示されるとおり、この紫外線ＵＡ３は、開口６２の設けられる部分に配置される反射板５ａ３の一部、或いは、開口６２の設けられる部分に配置される反射板５ａ４の一部によりランプハウス３の内側に反射され、反射板５ａ３或いは反射板５ａ４に向かい反射板５ａ３或いは反射板５ａ４により反射されて正面側に照射される。つまり、何れにしても、この開口６２に向う方向に放射される紫外線ＵＡ３は、紫外線ランプ４の正面側への照射に寄与する。
【００３５】
以上の様にして、本実施の形態２の偏光紫外線照射装置のランプハウス３１、或いは、実施の形態２変形例の偏光紫外線照射装置のランプハウス３２の何れにおいても、反射板５１、或いは反射板５２には、ランプハウス３１、或いはランプハウス３２の外側に通じる通気経路となる開口６１、或いは開口６２が設けられ、更に、反射板５１、或いは反射板５２を構成する反射板５ａ１と反射板５ａ２、或いは反射板５ａ３と反射板５ａ４は、開口６１、或いは開口６２の設けられる部分も含めて、紫外線ランプ４より背面側に向う光路の全体に渡って、紫外線ランプ４から放射される紫外線ＵＡを紫外線ランプ４より基板１に向う正面側とランプハウス３１、或いはランプハウス３２の内側の何れかの方向に反射する向きに配置されていることによって、紫外線ランプ４より全方位に向って放射された紫外線ＵＡについて、特に紫外線ランプ４より反射板５１、或いは反射板５２の開口６１、或いは開口６２に向って放射された紫外線ＵＡ３も含めて、無駄にすることなく、紫外線ランプ４より基板１に向う正面側に照射されることとなり、偏光子７を介して、偏光紫外線ＵＢとして基板１に対して照射することができる。つまり、紫外線ランプ４より放射される紫外線を効率良く基板１に照射することができることになる。また、反射板５ａ１と反射板５ａ２との間、或いは、反射板５ａ３と反射板５ａ４の間に形成される隙間に設けられる開口６１、或いは開口６２により、ランプハウス３１、或いはランプハウス３２の外側に通じる通気経路が形成され、ランプハウス３１、或いはランプハウス３２内の熱排気ＨＥを行うことができることから、紫外線ランプ４から発する熱を放熱することができ、ランプハウス３１、或いはランプハウス３２内の温度上昇を避けることもできる。よって、紫外線ランプ４や装置自体を熱により損傷することも無い。
【００３６】
また、本実施の形態２の偏光紫外線照射装置のランプハウス３１、或いは、実施の形態２の変形例の偏光紫外線照射装置のランプハウス３２の何れにおいても、開口６１、或いは開口６２が設けられる反射板５１、或いは反射板５２の一体化された一部において、当該開口６１、或いは開口６２の方向に向って放射された紫外線ＵＡ３を反射し、無駄にすることなく、紫外線ランプ４より基板１に向う正面側に照射させる構成としていることから、ランプハウス３１、或いはランプハウス３２を構成する部品点数を増やすことなく、装置コストを抑えることができる。
【００３７】
また、本実施の形態２のランプハウス３１の反射板５１においては、開口６１の設けられる部分に配置される反射板５ａ１の形状について、特に図４（ａ）に示されるとおり、紫外線ランプ４より反射板５１の開口６１に向う方向に対して、向かって左側と向って右側とで概ね対称形の凹面を形成し、特に凹面が紫外線ランプ４より反射板５１の開口６１の配置される背面側（特に、紫外線ランプ４の真後ろ方向）に向う方向に対して傾斜した面に設定している。開口６１の設けられる部分に配置される反射板５ａ１の形状或いは配置する向きについて、以上の様に設定することで、紫外線ランプ４から放射される紫外線ＵＡを、ランプハウス３１の内側の何れかの方向のうち、特に当該紫外線ランプ４に向う方向以外の方向、つまり、紫外線ランプ４に向う方向以外の反射板５１に向う方向か正面側方向の何れかの方向に反射することができる。この様にすることで、紫外線ランプ４より開口６１の設けられる部分に配置される反射板５ａ１の方向に放射された紫外線について、当該反射板５ａ１によって、紫外線ランプ４が妨げとならない向きに反射し、紫外線ランプ４の影となることによって無駄にすることなく、紫外線ランプ４の正面側への照射に寄与させることができる。つまり、紫外線ランプ４より放射される紫外線について、無駄にすることなく、より効率良く基板１に照射することができることになる。
【００３８】
また、実施の形態２の変形例のランプハウス３２の反射板５２おいても、開口６２の設けられる部分に配置される反射板５ａ３及び反射板５ａ４の形状について、特に図４（ｂ）に示されるとおり、紫外線ランプ４より反射板５２の開口６２に向う方向に対して、向かって左側に配置される反射板５ａ４の開口６２近傍の先端一部と、向って右側に配置される反射板５ａ３の開口６２近傍の先端一部とで、それぞれ逆方向に傾斜した凹面を形成し、特に凹面が紫外線ランプ４より反射板５２の開口６２の配置される背面側（特に、紫外線ランプ４の真後ろ方向）に向う方向に対して傾斜した面に設定している。開口６２の設けられる部分に配置される反射板５ａ３及び反射板５ａ４の形状或いは配置する向きについて、以上の様に設定することで、紫外線ランプ４から放射される紫外線ＵＡを、ランプハウス３２の内側の何れかの方向のうち、特に当該紫外線ランプ４に向う方向以外の方向、つまり、紫外線ランプ４に向う方向以外の反射板５２に向う方向か、正面側方向かの何れかの方向に反射することができる。この様にすることで、紫外線ランプ４より開口６２の設けられる部分に配置される反射板５ａ３及び反射板５ａ４の方向に放射された紫外線について、当該反射板５ａ３及び反射板５ａ４によって、紫外線ランプ４が妨げとならない向きに反射し、紫外線ランプ４の影となることによって無駄にすることなく、紫外線ランプ４の正面側への照射に寄与させることができる。つまり、紫外線ランプ４より放射される紫外線について、無駄にすることなく、より効率良く基板１に照射することができることになる。
【００３９】
実施の形態３. 
先に説明を行った実施の形態１の偏光紫外線照射装置においては、ランプハウス３の構成として、反射板５の熱排気ＨＥを行う開口６の設けられる部分において、特に開口６の設けられる反射板５ａに対して内側に反射板５ａとは分離された別の構成の反射板５ｂを配置した場合について説明を行った。この反射板５ｂについては、当該開口６に向って放射される紫外線ＵＡを反射し、紫外線ランプ４の正面側への照射に寄与させることができれば良いことを考えれば、開口６の設けられる反射板５ａに対して、外側に配置しても良いことになる。そこで、反射板５について、開口６の設けられる反射板５ａに対して、外側に配置された反射板５ｂを備えた実施の形態３の偏光紫外線照射装置と、その変形例の偏光紫外線照射装置について、以下、図５を用いて説明を行う。なお、ここでは、実施の形態１からの変更点、或いは、実施の形態３の変形例においては、実施の形態３からの変更点に重点をおいて説明を行うものとする。
【００４０】
ここで、図５（ａ）は、本実施の形態３の偏光紫外線照射装置における実施の形態１より変更した要部となるランプハウス３３の説明図であり、図５（ｂ）は、実施の形態３からの変形例の変更した要部となる偏光紫外線照射装置のランプハウス３４の説明図である。
【００４１】
先ず、本実施の形態３の偏光紫外線照射装置のランプハウス３３においては、図５（ａ）に示されるとおり、反射板５３を構成する紫外線ランプ４の背面側の一部に開口６３が設けられた反射板５３ａと、開口６１の設けられる部分に配置され、紫外線ランプ４より当該開口６１に向う紫外線ＵＡを反射する反射板５３ｂとから構成されている。特に、本実施の形態３のランプハウス３３においては、この反射板５３ｂが、開口６３が設けられた反射板５３ａに対して、外側に配置されている。
【００４２】
また、実施の形態１のランプハウス３と同様に、この反射板５３を構成する紫外線ランプ４の背面側の一部に開口６３が設けられた反射板５３ａと、開口６３の設けられる部分に配置される反射板５３ｂとの間に隙間が形成されていることから、この隙間部分と開口６３により、当該隙間部分と開口６３を介してランプハウス３３の外側に通じる通気経路が形成され、この通気経路より、矢印で図示されるとおり、ランプハウス３３内の熱排気ＨＥを行うことで、紫外線ランプ４から発する熱を放熱することができる。
【００４３】
また、本実施の形態３の偏光紫外線照射装置のランプハウス３３の反射板５３の場合においては、紫外線ランプ４より全方位に向って放射された紫外線ＵＡは、実施の形態１のランプハウス３或いは実施の形態２のランプハウス３１と同様に、最終的には、全て、紫外線ランプ４より基板１に向う正面側に照射される。各方位に向って放射された紫外線ＵＡの具体的な照射経路に関しては、ここでも、特に問題となる紫外線ランプ４より反射板５３ａに設けられる開口６３に向う方向に放射される紫外線ＵＡ３についてのみ、図中、経路の例（２例）を一点鎖線で示している。図示されるとおり、この紫外線ＵＡ３は、開口６３の設けられる部分の特に反射板５３ａの外側に配置される反射板５３ｂによって、ランプハウス３３の内側に反射され、そのまま、正面側に照射されるか、或いは、反射板５３ａに向かい反射板５３ａにより反射されて正面側に照射される。つまり、何れにしても、この開口６３に向う方向に放射される紫外線ＵＡ３は、紫外線ランプ４の正面側への照射に寄与する。
【００４４】
以上の様にして、本実施の形態３の偏光紫外線照射装置のランプハウス３３の反射板５３によれば、反射板５３には、ランプハウス３３の外側に通じる通気経路となる開口６３が設けられ、更に、反射板５３を構成する反射板５３ａと反射板５３ｂは、開口６３の設けられる部分も含めて、紫外線ランプ４より背面側に向う光路の全体に渡って、紫外線ランプ４から放射される紫外線ＵＡを紫外線ランプ４より基板１に向う正面側とランプハウス３３の内側の何れかの方向に反射する向きに配置されていることによって、紫外線ランプ４より全方位に向って放射された紫外線ＵＡについて、特に紫外線ランプ４より反射板５３の開口６３に向って放射された紫外線ＵＡ３も含めて、無駄にすることなく、紫外線ランプ４より基板１に向う正面側に照射されることとなり、偏光子７を介して、偏光紫外線ＵＢとして基板１に対して照射することができる。つまり、紫外線ランプ４より放射される紫外線を効率良く基板１に照射することができることになる。また、反射板５３ａと反射板５３ｂとの間に形成される隙間と反射板５３ａに設けられる開口６３により、ランプハウス３３の外側に通じる通気経路が形成され、ランプハウス３３内の熱排気ＨＥを行うことができることから、紫外線ランプ４から発する熱を放熱することができ、ランプハウス３３内の温度上昇を避けることもできる。よって、紫外線ランプ４や装置自体を熱により損傷することも無い。
【００４５】
また、本実施の形態３のランプハウス３３の反射板５３においては、開口６３の設けられる部分に配置される反射板５３ｂの形状について、特に図５（ａ）に示されるとおり、紫外線ランプ４より反射板５３の開口６３に向う方向に対して、向かって左側と向って右側とで概ね対称形の凹面を形成した波形形状とされている。特に凹面が紫外線ランプ４より反射板５３の開口６３の配置される背面側（特に、紫外線ランプ４の真後ろ方向）に向う方向に対して傾斜した面に設定している。開口６３の設けられる部分に配置される反射板５３ｂの形状或いは配置する向きについて、以上の様に設定することで、紫外線ランプ４から放射される紫外線ＵＡを、ランプハウス３３の内側の何れかの方向のうち、特に当該紫外線ランプ４に向う方向以外の方向、つまり、紫外線ランプ４に向う方向以外の反射板５３に向う方向か正面側方向の何れかの方向に反射することができる。この様にすることで、紫外線ランプ４より開口６３の設けられる部分に配置される反射板５３ｂの方向に放射された紫外線について、当該反射板５３ｂによって、紫外線ランプ４が妨げとならない向きに反射し、紫外線ランプ４の影となることによって無駄にすることなく、紫外線ランプ４の正面側への照射に寄与させることができる。つまり、紫外線ランプ４より放射される紫外線について、無駄にすることなく、より効率良く基板１に照射することができることになる。
【００４６】
続いて、実施の形態３の変形例の偏光紫外線照射装置のランプハウス３４について、図５（ｂ）を用いて説明を行う。実施の形態３変形例の偏光紫外線照射装置のランプハウス３４においては、図５（ｂ）に示されるとおり、実施の形態３と同様に、開口の設けられる反射板に対して、外側に配置された反射板を備える点では共通しているが、設ける開口の数と、開口の設けられる部分に対応して外側に配置される反射板の数を、複数に増やす変形を行っている。具体的には、ランプハウス３４は、反射板５４を構成する紫外線ランプ４の背面側の一部に、複数の開口６４が設けられた反射板５４ａと、複数の開口６４の設けられる部分に、それぞれ複数配置され、紫外線ランプ４より当該開口６４に向う紫外線ＵＡを反射する反射板５４ｂとから構成されている。複数の開口６４の数は、ここでは、一例として、５ヶ所としており、開口６４に対応して配置される反射板５４ｂについても、５ヶ所としている。また、本実施の形態３変形例においても、実施の形態３の反射板５３ｂと同様に、この複数配置される反射板５４ｂが、複数の開口６４が設けられた反射板５４ａに対して、外側に配置されている。
【００４７】
また、複数設けられる反射板５４ｂのうち、紫外線ランプ４の背面側の特に真後ろに配置される反射板５４ｂのみ、実施の形態３の反射板５３ｂと同様に、図５（ｂ）に示されるとおり、紫外線ランプ４より、当該真後ろに配置される反射板５４ｂ及び開口６４に向う方向に対して、向かって左側と向って右側とで概ね対称形の凹面を形成した波形形状とされている。当該真後ろに配置される反射板５４ｂ及び開口６４以外、その他の開口６４に配置される反射板５４ｂについては、特別な凹面ではなく、概ね反射板５４ａの形状と同様の放物面としている。
【００４８】
また、本実施の形態３変形例のランプハウス３４においては、実施の形態１のランプハウス３と同様に、この反射板５４を構成する紫外線ランプ４の背面側の一部に複数の開口６４が設けられた反射板５４ａと、開口６４の設けられる部分に複数配置される反射板５４ｂとのそれぞれの間に隙間が形成されていることから、この隙間部分と開口６４により、当該隙間部分と開口６４を介してランプハウス３３の外側に通じる通気経路が形成され、この通気経路より、矢印で図示されるとおり、ランプハウス３４内の熱排気ＨＥを行うことで、紫外線ランプ４から発する熱を放熱することができる。
【００４９】
また、本実施の形態３変形例の偏光紫外線照射装置のランプハウス３４の反射板５４の場合においては、紫外線ランプ４より全方位に向って放射された紫外線ＵＡは、実施の形態１のランプハウス３或いは実施の形態３のランプハウス３３と同様に、最終的には、全て、紫外線ランプ４より基板１に向う正面側に照射される。各方位に向って放射された紫外線ＵＡの具体的な照射経路に関しては、ここでも、特に問題となる紫外線ランプ４より反射板５４ａに設けられる開口６４に向う方向に放射される紫外線ＵＡ３についてのみ、図中、経路の例（２例）を一点鎖線で示している。図示されるとおり、この紫外線ＵＡ３は、開口６４の設けられる部分の特に反射板５４ａの外側に配置される反射板５４ｂによって、ランプハウス３４の内側に反射され、そのまま、正面側に照射されるか、或いは、反射板５４ａに向かい反射板５４ａにより反射されて正面側に照射される。つまり、何れにしても、この開口６４に向う方向に放射される紫外線ＵＡ３は、紫外線ランプ４の正面側への照射に寄与する。
【００５０】
以上の様にして、本実施の形態３変形例の偏光紫外線照射装置のランプハウス３４の反射板５４によれば、反射板５４には、ランプハウス３４の外側に通じる通気経路となる開口６４が複数設けられ、更に、反射板５４を構成する反射板５４ａと反射板５４ｂは、開口６４の設けられる部分も含めて、紫外線ランプ４より背面側に向う光路の全体に渡って、紫外線ランプ４から放射される紫外線ＵＡを紫外線ランプ４より基板１に向う正面側とランプハウス３４の内側の何れかの方向に反射する向きに配置されていることによって、紫外線ランプ４より全方位に向って放射された紫外線ＵＡについて、特に紫外線ランプ４より反射板５４の開口６４に向って放射された紫外線ＵＡ３も含めて、無駄にすることなく、紫外線ランプ４より基板１に向う正面側に照射されることとなり、偏光子７を介して、偏光紫外線ＵＢとして基板１に対して照射することができる。つまり、紫外線ランプ４より放射される紫外線を効率良く基板１に照射することができることになる。また、反射板５４ａと反射板５４ｂとの間に形成される隙間と反射板５４ａに設けられる複数の開口６４により、ランプハウス３４の外側に通じる通気経路が形成され、ランプハウス３４内の熱排気ＨＥを行うことができることから、紫外線ランプ４から発する熱を放熱することができ、ランプハウス３４内の温度上昇を避けることもできる。よって、紫外線ランプ４や装置自体を熱により損傷することも無い。特に本実施の形態３変形例の場合には、ランプハウス３４の外側に通じる通気経路となる開口６４が複数設けられることによって、上記の紫外線ランプ４から発する熱を放熱する作用を大きくし、ランプハウス３４内の温度上昇をより効果的に防止することも可能となる。
【００５１】
また、本実施の形態３変形例のランプハウス３４の反射板５４においても、開口６４の設けられる部分に配置される反射板５４ｂの形状について、複数設けられる反射板５４ｂのうち、紫外線ランプ４の背面側の特に真後ろに配置される反射板５４ｂについて、実施の形態３の反射板５３ｂと同様に、紫外線ランプ４より、当該真後ろに配置される反射板５４ｂ及び開口６４に向う方向に対して、向かって左側と向って右側とで概ね対称形の凹面を形成した波形形状とされ、そして、この当該真後ろに配置される反射板５４ｂに形成される凹面が紫外線ランプ４より反射板５４の背面側（特に、紫外線ランプ４の真後ろ方向）に向う方向に対して傾斜した面に設定されていることから、紫外線ランプ４から放射される紫外線ＵＡを、ランプハウス３４の内側の何れかの方向のうち、特に当該紫外線ランプ４に向う方向以外の方向、つまり、紫外線ランプ４に向う方向以外の反射板５４に向う方向か正面側方向の何れかの方向に反射することができる。この様にすることで、紫外線ランプ４より開口６４の設けられる部分に配置される反射板５４ｂの方向に放射された紫外線について、当該反射板５４ｂによって、紫外線ランプ４が妨げとならない向きに反射し、紫外線ランプ４の影となることによって無駄にすることなく、紫外線ランプ４の正面側への照射に寄与させることができる。つまり、紫外線ランプ４より放射される紫外線について、無駄にすることなく、より効率良く基板１に照射することができることになる。
【００５２】
実施の形態４.
続いて、本発明を液晶表示装置とその製造方法に適用した場合の実施形態となる実施の形態４について説明を行う。図６及び図７は、本発明の実施の形態４における液晶表示装置を構成する液晶表示パネルの概略図である。以下、この液晶表示パネルの構成について。図６及び図７を用いて説明する。図６は液晶表示パネル全体を示した平面図、図７は図６における断面線Ａ−Ｂでの断面図を示したものである。
【００５３】
なお、本実施の形態４においては、実施の形態１の偏光紫外線照射装置１０を用いて、配向膜材料に対して光配向処理を行い、液晶表示装置を製造する場合を例に取って説明を行うものとする。また、ここでは、一例としてＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）をスイッチング素子に用いて動作される横電界方式の液晶表示パネルの特にＦＦＳ（Ｆｒｉｎｇｅ  Ｆｉｅｌｄ  Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）方式を用いた液晶表示パネルへ本発明を適用した場合について説明を行うことにする。
【００５４】
図６及び図７に示される様に、この液晶表示パネル１００は、スイッチング素子としてＴＦＴを備えたＴＦＴ基板１１０と、ＴＦＴ基板１１０に対して対向して位置合わせして配置され、画像を表示する表示領域２００を有する対向基板であるカラーフィルタ基板１２０と、表示領域２００に対応する領域を囲うように配置され、カラーフィルタ基板１２０とＴＦＴ基板１１０との間の間隙を密封するシールパターン１３０を備えている。更にＴＦＴ基板１１０とカラーフィルタ基板１２０間には、基板間に所定の一定距離の間隙を形成し保持する柱状スペーサ（図示省略）が表示領域２００内に多数配置される。このシールパターン１３０により密封され、柱状スペーサにより保持されたカラーフィルタ基板１２０とＴＦＴ基板１１０との間の間隙の少なくとも表示領域２００に対応する領域に液晶層１４０が狭持されている。このシールパターン１３０は、表示領域２００に対応する領域外側に配置される額縁領域１９０に形成される。また、ＴＦＴ基板１１０及びカラーフィルタ基板１２０の外形は何れも矩形となっており、ＴＦＴ基板１１０の外形の方が、カラーフィルタ基板１２０の外形よりも大きく、カラーフィルタ基板１２０の外形端面より一部突出する突出部を有して重ね合わせ配置されている。
【００５５】
なお、ここで使用した額縁領域１９０については、液晶表示パネル１００のＴＦＴ基板１１０上、カラーフィルタ基板１２０上、或いは両基板間に挟まれる領域において、表示領域２００外側に位置する表示領域２００を取り囲む額縁状の領域、即ち表示領域２００を除く全ての領域のことを意味し、表示領域２００についても、液晶表示パネル１００のＴＦＴ基板１１０上、カラーフィルタ基板１２０上、或いは両基板間に挟まれる領域の全てにおいて使用することとし、本明細書中においては全て同様の意味にて使用する。
【００５６】
上述のカラーフィルタ基板１２０は、第一の透明基板であるガラス基板１２１の一方の面の上の表示領域２００に対応する領域に液晶を配向させる配向膜１２２と、配向膜１２２の下部に設けられるカラーフィルタ１２４と、このカラーフィルタ１２４間を遮光するため、或いは表示領域２００に対応する領域外側に配置される額縁領域１９０を遮光するために設けられる遮光層１２５などを有している。なお、配向膜１２２については、光配向膜材料に対して光配向処理が行われることにより配向規制力を有した光配向膜が用いられる。この配向膜１２２の形成方法については、別途説明を行うこととする。また、カラーフィルタ１２４としては、樹脂中に顔料などを分散させた色材層が選択でき、赤、緑、青などの特定の波長範囲の光を選択的に透過するフィルタとして機能し、これら異なる色の色材層が規則的に配列して構成される。遮光層１２５としては、酸化クロムなどを用いた金属系の材料や樹脂中に黒色粒子を分散させた樹脂系の材料などを選択することができる。なお、配向膜１２２より下層に、カラーフィルタ１２４と遮光層１２５を覆うように透明樹脂膜よりなるオーバーコート層を設ける構成としても構わない。
【００５７】
また、カラーフィルタ基板１２０は、接地接続される静電気防止用透明導電層１３１をガラス基板１２１の他方の面に備えている。この静電気防止用透明導電層１３１は、ガラス基板１２１の少なくとも表示領域２００を覆い設けられており、横電界方式の液晶表示パネルにおいて静電気による帯電や外部電界による表示不良防止に有効なものとして設けられる。
【００５８】
一方、上述のＴＦＴ基板１１０は、第二の透明基板であるガラス基板１１１のカラーフィルタ基板１２０と対向する側の表面の更に表示領域２００に対応する領域に、液晶を配向させる配向膜１１２と、配向膜１１２の下部に設けられ、ＴＦＴ基板１１０或いはカラーフィルタ基板１２０の基板面と平行な方向の電界を発生し液晶を駆動する電圧を印加する一対の電極である画素電極１１３ｐ及び対向電極１１３ｃと、これら一対の電極の一方である画素電極１１３ｐに電圧を書き込むスイッチング素子であるＴＦＴ１１４と、ＴＦＴ１１４を覆う絶縁膜１１５と、ＴＦＴ１１４に信号を供給する配線である複数のゲート配線１１６ｇ及びソース配線１１６ｓと、これら配線に接続されＴＦＴ１１４を構成するゲート電極（図示省略）及びソース・ドレイン電極（図示省略）などを有している。なお、配向膜１１２については、カラーフィルタ基板１２０に設けられる配向膜１２２と同様に、光配向膜材料に対して光配向処理が行われることにより配向規制力を有した光配向膜が用いられる。この配向膜１１２の形成方法については、別途説明を行うこととする。
【００５９】
また、液晶を駆動する電圧を印加する一対の電極である画素電極１１３ｐと対向電極１１３ｃについては、本実施の形態４においては、一方の電極である画素電極１１３ｐが平板形状の透明導電膜パターンより構成され、他方の電極である対向電極１１３ｃは櫛歯形状や複数並列するスリット状の開口部を有する透明導電膜パターンより構成され、上記の画素電極１１３ｐ上に絶縁層を介して重なって配置される。また、上記構成は必須ではなく、画素電極１１３ｐと対向電極１１３ｃについて、それぞれの形状と配置の上下関係を逆として、画素電極１１３ｐを櫛歯形状や複数並列するスリット状の開口部を有するパターンとして対向電極１１３ｃより上層に配置し、対向電極１１３ｃを平板形状として画素電極１１３ｐより下層に配置し、ＴＦＴ１１４は、櫛歯形状や複数並列するスリット状の開口部を有するパターンよりなる画素電極１１３ｐに接続し電圧を印加する構成としても構わない。なお、画素電極１１３ｐと対向電極１１３ｃの具体的な平面パターン形状の図示説明は省略するが、公知のＦＦＳ方式を用いた液晶表示パネルに用いられる画素電極と対向電極の平面パターン形状を採用すれば良い。
【００６０】
また、ＴＦＴ基板１１０を構成する絶縁膜である絶縁膜１１５、或いは画素電極１１３ｐと対向電極１１３ｃ間に形成される絶縁膜などについては、単層の透明絶縁膜、或いは複数層の透明絶縁膜の積層膜により構成される。また、図６において概略の配置を示しているとおり、表示領域２００に形成されたゲート配線１１６ｇ及びソース配線１１６ｓは、それぞれが平行に複数本配列して配置されており、これら複数本のゲート配線１１６ｇとソース配線１１６ｓは、それぞれが交差して配置されている。また、画素電極１１３ｐ及びＴＦＴ１１４、更にＴＦＴ１１４を構成するゲート電極及びソース・ドレイン電極はこれら複数本のゲート配線１１６ｇとソース配線１１６ｓの交差により囲まれる画素領域に対応してアレイ状に配列して配置されている。また、対向電極１１３ｃに共通電位を供給する共通配線１１６ｃがゲート配線１１６ｇと平行にゲート配線１１６ｇと同数配置され、各画素領域の対向電極１１３ｃに接続され、各画素領域の対向電極１１３ｃの電位を全て共通電位に共通化している。
【００６１】
更にＴＦＴ基板１１０上における額縁領域１９０の特にカラーフィルタ基板１２０の端面よりも一部突出する突出部におけるカラーフィルタ基板１２０の配置される側の表面には、ＴＦＴ１１４に供給される信号を外部から受け入れる信号端子１１８を備えている。信号端子１１８は、図中では一体の構成で示しているが、詳細には複数の信号に対応して分離した複数の図中Ｘ方向に長手方向を有する矩形のパッドが図中Ｙ方向に多数配列した構成となっている。
【００６２】
更に、この信号端子１１８のそれぞれのパッドに対しては、接続配線となるＦＦＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｆｌａｔ  Ｃａｂｌｅ）１３６を介して駆動ＩＣを制御する制御信号などを発生する制御ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）チップなどを装備した制御基板１３５が接続されている。また、制御基板１３５からの制御信号は、信号端子１１８を介して、突出部に取り付けられた駆動ＩＣチップ１３４の入力側に入力され、駆動ＩＣチップ１３４の出力側より出力される出力信号が表示領域２００から引き出された多数の信号引き出し配線（図示省略）を介して、表示領域２００内のＴＦＴ１１４に供給される。
【００６３】
また、カラーフィルタ基板１２０の液晶層１４０に対して外側表面に設けられる静電気防止用透明導電層１３１の上層には偏光板１３２ａを有している。また、ＴＦＴ基板１１０の液晶層１４０に対して外側表面には偏光板１３２ｂを有している。これら偏光板１３２ａ及び偏光板１３２ｂは、それぞれカラーフィルタ基板１２０及びＴＦＴ基板１１０の少なくとも表示領域２００を覆うように配置され、粘着層（図示省略）を介して貼り付けられて固定されている。なお、偏光板１３２ａ及び偏光板１３２ｂは、単板で図示しているが、保護層（ＴＡＣ層）、偏光板（偏光フィルム層）、位相差板、或いは、視野角補正用（ワイドビュ）フィルムなどを貼りあわせた積層構造として構成される。
【００６４】
また、カラーフィルタ基板１２０表面に形成される静電気防止用透明導電層１３１は、接地接続される。ここでは、例えば、ＴＦＴ基板１１０の突出部に、アースパッド１１７を設け、静電気防止用透明導電層１３１とアースパッド１１７間について導電テープ１３３を介して接続している。なお、静電気防止用透明導電層１３１は、大部分が、偏光板１３２ａにより覆われているが、カラーフィルタ基板１２０の端部において、一部、偏光板１３２ａにより覆われない露出部が形成される。その静電気防止用透明導電層１３１の露出部に導電テープ１３３が貼り付けられ静電気防止用透明導電層１３１に接続されている。更に、アースパッド１１７は、信号端子１１８とＦＦＣ１３６を順次介して接地接続されることから、静電気防止用透明導電層１３１は、これら経路を介して接地接続されることとなる。なお、導電テープ１３３としてはＡｌ箔やＣｕ箔などの金属箔よりなる母材に導電粘着剤を塗布したものを使用することができ、一般的な市販品の導電テープを利用することができる。また、導電テープ１３３の代わりに、銀ペーストなどの導電ペーストを静電気防止用透明導電層１３１からアースパッド１１７に跨って塗布することにより接続しても構わない。
【００６５】
以上説明のとおり、本実施の形態４の液晶表示パネル１００は構成される。更に、液晶表示パネル１００に対し、カラーフィルタ基板１２０の表示領域２００に形成される表示面と反対側には、ＴＦＴ基板１１０の基板面に対向して光源となるバックライトユニット（図示省略）が、バックライトユニットからの光を調整する機能を有する光学シート（図示省略）を介して配置され、これら部材と共に表示領域２００の表示面の部分が開放された筐体（図示省略）の中に収納され、本実施の形態４の液晶表示装置が構成される。
【００６６】
以上、構成について説明を行った本実施の形態４の液晶表示装置は次の様に動作する。例えば制御基板１３５から制御信号が入力され、駆動ＩＣチップ１３４が動作し、表示領域２００内の配線を介して信号が画素領域に伝わる。その結果、各画素領域に配置される画素電極１１３ｐ及び対向電極１１３ｃ間にＴＦＴ基板１１０或いはカラーフィルタ基板１２０の基板面と平行な方向の電界（より詳しくは、ＦＦＳ方式では平行方向の電界と平行に近い方向の電界が混在して発生することから、平行方向の成分が主となる電界とも言える。）を発生する所定の駆動電圧が加わり、駆動電圧に合わせて液晶の分子の方向が変わる。そして、バックライトユニットの発する光がＴＦＴ基板１１０、液晶層１４０及びカラーフィルタ基板１２０を介して観察者側に透過或いは遮断されることにより、液晶表示パネル１００のカラーフィルタ基板１２０側の表示領域２００に形成される表示面に映像などが表示される。
【００６７】
続いて、本実施の形態４の液晶表示装置の製造方法について説明を行う。ここでは、本発明において特徴的な液晶表示パネルの製造工程について、図８に示すフローチャートに従って順次各工程の概要説明を行う。
【００６８】
先ず、基板準備工程において、互いに貼り合わされる前のＴＦＴ基板１１０を取り出すマザーＴＦＴ基板とカラーフィルタ基板１２０を取り出すマザー基板であるマザーカラーフィルタ基板を準備する。それぞれのマザー基板上において、所定の枚数の同じ構成のＴＦＴ基板１１０或いはカラーフィルタ基板１２０が配列して形成される。このＴＦＴ基板１１０の構成を備えたマザーＴＦＴ基板と、カラーフィルタ基板１２０の構成を備えたマザーカラーフィルタ基板とは、図６及び図７を用い説明したとおり、ＴＦＴ基板１１０の詳細構成がわかれば、公知のＦＦＳモードの液晶表示装置のＴＦＴ基板及びカラーフィルタ基板の製造方法と公知の成膜工程とパターンニング工程の繰り返しを適宜組み合わせて製造することが可能である。従って、より具体的なマザーＴＦＴ基板及びマザーカラーフィルタ基板自体の製造方法の説明については省略する。
【００６９】
続いて、以上説明のとおり準備されたＴＦＴ基板１１０の形成されたマザーＴＦＴ基板に対して、基板を洗浄する基板洗浄工程を行う（Ｓ１）。次に、配向膜材料塗布工程において、マザーＴＦＴ基板の一方の面に、光配向膜材料を塗布形成する（Ｓ２）。この工程は、例えば、印刷法により光配向膜材料を塗布し、ホットプレートなどにより焼成処理し乾燥させる。なお、光配向膜材料としては、偏光光に対し光化学的感度を有する光反応性基を導入した高分子化合物を用いることができる。その後、光配向処理工程において、偏光紫外線照射装置を用いて、このマザーＴＦＴ基板上に形成された光配向膜材料表面に対し、光配向処理を行いＴＦＴ基板１１０側の配向膜１１２とする（Ｓ３）。このＳ３の光配向処理工程が本発明の特徴的工程であることから、以下説明を補足する。
【００７０】
この光配向処理工程においては、光配向膜材料が塗布形成されたマザーＴＦＴ基板を基板１として、実施の形態１として説明を行った偏光紫外線照射装置１０を用いて光配向処理を行う。紫外線ランプ４より全方位に向って放射された紫外線ＵＡは、特に紫外線ランプ４より反射板の開口に向って放射された紫外線も含めて、紫外線ランプ４より基板１に向う正面側に照射され、更に、偏光子７を介することで、直線偏光された偏光紫外線ＵＢとされ、マザーＴＦＴ基板表面に形成された光配向膜材料に照射される。その結果、偏光紫外線ＵＢが照射されることにより、光配向膜材料には、偏光方向と照射時間に対応した配向規制力が付与され、所望の配向規制力を有した配向膜１１２が得られる。
【００７１】
なお、ここでは、実施の形態１の偏光紫外線照射装置１０を用いていることから、紫外線ランプ４より放射される紫外線について、無駄にすることなく、より効率良く基板１に照射することができ、基板１に対して照射される偏光紫外線ＵＢの実質的な光量について、高い光量が得られる。従って、所望の配向規制力を有した配向膜１１２を得るために必要な照射エネルギーに対して、必要な照射時間を比較的短くすることができる。よって、偏光紫外線照射装置により基板１を処理する際の搬送ローラ２による基板１の搬送速度についても、比較的早い速度に設定し処理を行っている。
【００７２】
以上説明のとおり、マザーＴＦＴ基板に対して行うＳ１〜Ｓ３について説明を行ったが、Ｓ１〜Ｓ３と同様に、カラーフィルタ基板１２０が形成されているマザーカラーフィルタ基板についても、洗浄、配向膜材料の塗布、上記説明のとおり、実施の形態１の偏光紫外線照射装置１０を用いた光配向処理を行うことによりカラーフィルタ基板１２０側の配向膜１２２を形成する。
【００７３】
続いて、シール剤塗布工程において、シールディスペンサ装置を用いて、マザーＴＦＴ基板或いはマザーカラーフィルタ基板の主面に、シール剤をペーストとしてディスペンサノズルより吐出して塗布する。シール剤は、表示領域２００を囲う形状のパターンに塗布され、シールパターン１３０が形成される（Ｓ４）。そして、液晶滴下工程において、マザーＴＦＴ基板或いはマザーカラーフィルタ基板の一方の面に、シールパターン１３０で囲まれる領域内に多数の液滴状の液晶を滴下する（Ｓ５）。具体的には、例えば、マザーカラーフィルタ基板のカラーフィルタ基板１２０に対して、シールパターン１３０で囲まれる領域内に多数の液滴状の液晶を全体で所定量の液晶層１４０が形成される様に滴下する。また、ここでは、所謂、滴下注入法を用いて液晶を充填し、液晶層１４０を形成する方法を一例としたので、この様に形成したが、所謂、真空注入法を用いる場合には、シールパターン１３０は完全に閉じた形状ではなく一部開口させた液晶注入口が形成される。また、液晶は貼り合わせた後に前記液晶注入口より注入されることから、上記説明した液滴状の液晶の形成処理は省略される。
【００７４】
続いて、貼り合わせ工程において、マザーＴＦＴ基板及びマザーカラーフィルタ基板を貼り合わせてセル基板を形成する（Ｓ６）。具体的には、液滴状の液晶を載せた状態でマザーＴＦＴ基板及びマザーカラーフィルタ基板が近接され、位置合わせして重ね合わせられる。その結果、液滴状に形成された液晶がマザーＴＦＴ基板とマザーカラーフィルタ基板間に挟まれて均一に拡がり一体化した液晶層１４０の状態となり、マザーＴＦＴ基板とマザーカラーフィルタ基板間のそれぞれのシールパターン１３０により囲まれる容積内に満たされる。
【００７５】
更に、シール剤硬化工程において、マザーＴＦＴ基板とマザーカラーフィルタ基板を貼り合わせた状態で、シールパターン１３０を形成するシール剤を完全に硬化させる（Ｓ７）。この工程は、例えば、シール剤の材質に合わせて熱を加えることや、紫外線を照射することにより行われる。本実施の形態４では、滴下注入法と相性の良い、紫外線を照射する方法により硬化を行った。この工程によりマザーＴＦＴ基板とマザーカラーフィルタ基板は位置合わせされた位置関係のまま固定される。また、液晶表示パネルを軽量化するために基板を薄型化する場合には、この貼り合わされた状態で薬液や機械的研磨による薄型化処理を実施すると良い。
【００７６】
次に、セル分断工程において、セル基板を多数の個別セルに分断する（Ｓ８）。なお、所謂、真空注入法を用いる場合には、先に説明をしたとおりシールパターン１３０に一部開口させた液晶注入口を形成しておき、上記のセル分断工程後に行う液晶注入工程において、個々の個別セルに対して液晶注入口から液晶を注入する。この工程は、例えば、液晶を液晶注入口から真空注入により充填することにより液晶層１４０の形成が行われる。更に、封止工程において、液晶注入口を封止する。この工程は、例えば、光硬化型樹脂で封じ、光を照射することにより行われる。
【００７７】
この様に個々の液晶表示パネルの形状に分断された後、偏光板貼り付け工程において、個別の液晶セルのカラーフィルタ基板１２０及びＴＦＴ基板１１０のそれぞれの表面に光学フィルム部材として偏光板１３２ａ及び偏光板１３２ｂを貼り付ける（Ｓ９）。
【００７８】
続いて、制御基板実装工程において、制御基板１３５を実装する（Ｓ１０）。この工程は、制御基板１３５の取り付けられたＦＦＣ１３６を信号端子１１８に導通可能に貼り付けられ、導電テープ１３３がカラーフィルタ基板１２０上からＴＦＴ基板１１０上に跨って貼り付けられ、カラーフィルタ基板１２０表面の静電気防止用透明導電層１３１とＴＦＴ基板１１０表面に形成されたアースパッド１１７間が導通される。以上の工程を経て液晶表示パネル１００が完成する。
【００７９】
最後に液晶表示パネル１００に対して、光学シートを介してバックライトユニットを対向して配置し、表示面となる表示領域２００におけるカラーフィルタ基板１２０の外側の部分が開放された筐体中に収納することで、本実施の形態４の液晶表示装置が完成する。
【００８０】
以上説明の様に、本実施の形態４の液晶表示装置とその製造方法では、配向膜１１２及び配向膜１２２を得るための光配向処理工程について、特に実施の形態１の偏光紫外線照射装置１０を用いて行っていることから、ランプハウス内の温度上昇を避けながら、紫外線ランプより放射される紫外線を効率良く基板に照射することができ、その結果、この光配向処理を行うためのタクトタイムを短くすることができ、生産性を向上することができる。また、生産性を向上することは、低コストで液晶表示装置を製造することにつながる。また、その様に、タクトタイムを短く、つまり、紫外線の照射時間を短くしても、所望の配向規制力を有した配向膜１１２或いは配向膜１２２を得ることができる。その結果、製造される液晶表示装置においても、高い表示特性を得ることができることとなり、低コストにて、当該高い表示特性を有した液晶表示装置が得られることになる。また、本実施の形態４においては、横電界方式の特にＦＦＳ方式の液晶表示パネル１００に適用していることから、配向規制力が表示特性（特にコントラスト特性）に及ぼす影響が大きく、より顕著な表示特性（特にコントラスト特性）の改善効果を得ることができる。
【００８１】
なお、上記説明を行った実施の形態４の液晶表示装置とその製造方法では、配向膜１１２及び配向膜１２２を得るための光配向処理工程について、実施の形態１の偏光紫外線照射装置１０を用いて配向処理を行った場合を例に取って説明を行ったが、当該光配向処理工程を、実施の形態２、実施の形態３、及びそれら変形例の何れかの偏光紫外線照射装置を用いて配向処理を行っても良い。その場合においても、各実施の形態或いはそれら変形例において得られる特有の効果に加えて、上記説明の実施の形態４の液晶表示装置とその製造方法において得られる効果と同様の効果を得ることができる。
【符号の説明】
【００８２】
１  基板、１０  偏光紫外線照射装置、２  搬送ローラ、
３，１３，３１，３２，３３，３４  ランプハウス、４，１４  紫外線ランプ、
５，１５，５ａ，５ｂ，５ａ１〜５ａ４，５１，５２，５３，５３ａ，５３ｂ，
５４，５４ａ，５４ｂ  反射板、６，１６，６１，６２，６３，６４  開口、
７  偏光子、８  筺体、
１００  液晶表示パネル、１１０  ＴＦＴ基板、１２０  カラーフィルタ基板、
１１１，１２１  ガラス基板、１１２，１２２  配向膜
１１３ｐ  画素電極、１１３ｃ  対向電極、１１４  ＴＦＴ、１１５  絶縁膜、
１１６ｇ  ゲート配線、１１６ｓ  ソース配線、１１６ｃ  共通配線、
１１７  アースパッド、１１８  信号端子、
１２４  カラーフィルタ、１２５  遮光層、１３０  シール材、
１３１  静電気防止用透明導電層、１３３  導電テープ、
１３４  駆動ＩＣチップ、１３５  制御基板、１３６  ＦＦＣ、
１４０  液晶層、１９０  額縁領域、２００  表示領域、
ＵＡ、ＵＡ１〜ＵＡ３  紫外線、ＵＢ  偏光紫外線、ＨＥ  熱排気。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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