(57)【要約】【課題】内部に空気の気流を流入させる際に、機器の静電破壊や機器の誤動作等のトラブルを防ぐことができる低風量ドラフトチャンバーを提供する。【解決手段】低風量ドラフトチャンバー１は、作業空間２０で作業を行うために、開口部を通じて空気を作業空間２０内の作業面２１に送る低風量ドラフトチャンバーであって、作業空間２０の作業面２１に空気を送るための気流Ｌを作りながら気流Ｌの静電気をイオンで中和して除電を行う静電気除去器２３０を備える。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
作業空間で作業を行うために、開口部を通じて空気を作業空間内の作業面に送る低風量ドラフトチャンバーであって、
前記作業空間の前記作業面に空気を送るための気流を作りながら前記気流の静電気をイオンで中和して除電を行う静電気除去器を備えることを特徴とする低風量ドラフトチャンバー。
【請求項２】
前記静電気除去器は、前記気流を作るためのファンと、前記気流の静電気を前記イオンで中和して除電を行う放電電極部を有することを特徴とする請求項１に記載の低風量ドラフトチャンバー。
【請求項３】
除電した前記気流の速度を上げるための空気案内部材を有することを特徴とする請求項１または２に記載の低風量ドラフトチャンバー。
【請求項４】
除電した前記気流の速度をあげた後に、前記気流を均一にして前記作業空間の作業面に送る整流部材を有することを特徴とする請求項３に記載の低風量ドラフトチャンバー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、作業空間を用いて実験や作業を行う際に、空気を低風量ドラフトで通過させる低風量ドラフトチャンバーに関する。
【背景技術】
【０００２】
ドラフトチャンバーは、その作業空間において作業者により器具類を用いて実験や作業を行うのに用いられる。この種のドラフトチャンバーは、特許文献１に開示されている。
【０００３】
特許文献１に開示されているドラフトチャンバーの作業台は、天板とその前端に設けたフロントガイド体とで構成されており、フロントガイド体の上方には、エアロフォイルが配置されている。ファンからの空気は、ホースからエアロフォイルを通じて送られ、空気は、エアロフォイルからの噴気流に引かれた状態で、エアロフォイルの上下から、ドラフトチャンバー内に流入するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２８８２４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、ドラフトチャンバーの作業空間内に流入する空気は、静電気帯電を伴う粒子を含んでいる。このため、静電気帯電を伴う粒子が作業空間内に入ると、ドラフトチャンバー内に配置された機器の静電破壊や機器の誤動作等のトラブルの原因となる場合がある。
【０００６】
本発明は、上記に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、内部に空気の気流を流入させる際に、機器の静電破壊や機器の誤動作等のトラブルを防ぐことができる低風量ドラフトチャンバーを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を達成するため、請求項１に記載の低風量ドラフトチャンバーは、作業空間で作業を行うために、開口部を通じて空気を前記作業空間内の前記作業面に送る低風量ドラフトチャンバーであって、前記作業空間の前記作業面に前記空気を送るための気流を作りながら前記気流の静電気をイオンで中和して除電を行う静電気除去器を備えることを特徴とする。
【０００８】
請求項１に記載の低風量ドラフトチャンバーでは、作業空間の作業面に空気を送るための気流を作りながら、気流の静電気をイオンで中和して除電を行うことができるので、内部に空気を流入させる際に、静電気による作業面にある機器の静電破壊や機器の誤動作等のトラブルを防ぐことができる。
【０００９】
請求項２に記載の低風量ドラフトチャンバーでは、前記静電気除去器は、前記気流を作るためのファンと、前記気流の静電気を前記イオンで中和して除電を行う放電電極部を有することを特徴とする。
【００１０】
請求項２に記載の低風量ドラフトチャンバーでは、ファンが作った気流中の静電気を、イオンで中和して除電を行って、作業空間の作業面へ送ることができる。
【００１１】
請求項３に記載の低風量ドラフトチャンバーは、除電した前記気流の速度を上げるための空気案内部材を有する。
【００１２】
請求項３に記載の低風量ドラフトチャンバーでは、空気案内部材が、除電した気流の速度を上げることができるので、静電気除去器が作る気流の速度が小さくても、気流の速度を上げて気流を作業面側に安定して供給できる。
【００１３】
請求項４に記載の低風量ドラフトチャンバーでは、除電した前記気流の速度をあげた後に、前記気流を均一にして前記作業空間の前記作業面に送る整流部材を有することを特徴とする。
【００１４】
請求項４に記載の低風量ドラフトチャンバーでは、整流部材は、除電した気流の速度をあげた後に、気流を均一にして作業空間の作業面に送ることができ、内部に空気の気流を流入させる際に、気流には静電気が起こらないので、作業面にある機器の静電破壊や機器の誤動作等のトラブルを防ぐことができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、内部に空気の気流を流入させる際に、機器の静電破壊や機器の誤動作等のトラブルを防ぐことができる低風量ドラフトチャンバーを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の低風量ドラフトチャンバーの実施形態を示す正面図である。
【図２】図１に示す低風量ドラフトチャンバーのＡ−Ａ線における内部構造例を示す断面図である。
【図３】図２に示す低風量ドラフトチャンバーのＡ−Ａ線における内部構造例において、さらに低風量の空気供給を示す矢印Ｌで示す気流、矢印ＬＬで示す均質化された空気の気流、矢印Ｍで示す気流、矢印Ｎで示す排気の気流を付加して示す断面図である。
【図４】図３に示す低風量ドラフトチャンバーのドラフト庫内における円形部分Ｒの詳細を示す図である。
【図５】図４に示すドラフト庫内における矢印Ｌで示す気流、矢印ＬＬで示す均質化された空気の気流、矢印Ｍで示す気流、矢印Ｎで示す排気の気流を、より詳細に示す図である。
【図６】図４と図５に示す静電気除去器と、空気案内部材の一部を含む領域の構造例を拡大して示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を用いて、本発明を実施するための形態(以下、実施形態と称する)を説明する。
【００１８】
図１は、本発明の低風量ドラフトチャンバーの実施形態を示す正面図である。図２は、図１に示す低風量ドラフトチャンバー１のＡ−Ａ線における内部構造例を示す縦方向の断面図である。
【００１９】
図１と図２に示す低風量ドラフトチャンバー１は、研究者や実験者等の作業者が例えば微生物等の試料の無菌操作作業や化学実験作業等、器具類を用いて実験や作業を行うために用いられる。低風量ドラフトチャンバー１は、実験や作業における被処理物を内部の作業空間において処理する際に、作業者が被処理物の影響を受けないように、内部の作業空間の雰囲気を外部から隔離する構造を有している。この低風量ドラフトチャンバー１は、作業者を有害物質から保護することを目的とした局所排気装置であり、危険物質や有害物質の封じ込め機能と、排気機能を有した囲われた作業空間を持っている。
【００２０】
一般に、ドラフトチャンバーとは、化学実験等を行う作業者を有害な雰囲気から保護をする局所排気装置のことを指し、使用される薬品や用途により幾つかの法規制が適用される。法規制は、一般的には実験作業を行う開口部分の排気風速を確保する事により満たされるものであり、定められた排気風速を維持する事により有害な雰囲気が局所排気装置（ドラフトチャンバー）から作業者の側に漏洩しない様になる。
【００２１】
特に、低風量ドラフトチャンバーの定義は、次の通りである。近年は、エネルギーコスト低減を目的として、少ないランニングコストで局所排気装置（ドラフトチャンバー）の運転ができることが望まれている。その様な市場のニーズにより、排気風量を少なくして、一般的なドラフトチャンバーよりも低い前面風速で有害な雰囲気の漏洩防止が可能となる製品開発を行っている。そのためには、低い前面風速においても局所排気装置（ドラフトチャンバー）内から有害な雰囲気が漏洩しない様に、効率よい排気経路の形成やスムーズな気流の制御技術が必要となる。低風量ドラフトチャンバーとして分類される製品は、一般的なドラフトチャンバーに比較して４０〜６０％減の排気風量で製品として成立している。
【００２２】
そこで、図１と図２の低風量ドラフトチャンバー１は、空気の通常の風量ドラフトを作業空間内に送るいわゆる標準ドラフトチャンバーに比較して、空気の低風量ドラフトを内部の作業空間内に送ることができる。これにより、低風量ドラフトチャンバー１は、従来の通常ドラフトに比べて少ない風量ドラフトで運転して安全性を確保できる。この安全性とは、ドラフト庫内の危険雰囲気が、ドラフト庫内から外部に漏れてこないことである。
【００２３】
このように、低風量ドラフトチャンバー１内の作業空間内に低風量ドラフトで空気を送ることで、通常の風量ドラフトを作業空間内に送る場合に比べて、低風量ドラフトチャンバー１の作動時の省エネルギー化（エコ化）や、低騒音化を図ることができる。すなわち、低風量ドラフトチャンバー１は、風量ドラフト運転エネルギーの低減を図っており、空気の低い風量ドラフトにより空気の低排気量となることから、低ランニングコストが得られる。
【００２４】
低い空気の風速下では、外乱等により低風量ドラフトチャンバー１内の作業空間内の雰囲気が、低風量ドラフトチャンバー１の外部に漏れ易くなる。このような状況では、低風量ドラフトチャンバー１内の作業空間、特に作業面上に滞留している雰囲気（例えば有害ガス）が低風量ドラフトチャンバー１の外部に漏れる量は、低風量ドラフトチャンバー１内の作業空間内に押し込まれるプッシュエアーの質により左右される。このプッシュエアーの質とは、空気を作業空間内に均一に分散して均質流として送ることができる程度をいう。
【００２５】
低風量ドラフトチャンバー１内のドラフト庫内の作業空間内に押し込まれるプッシュエアーを低風量化する場合には、ドラフト庫内１９には、作業空間２０内に押し込まれるプッシュエアーと作業空間２０内から押し出されるプルエアーを形成する必要がある。このため、低風量ドラフトチャンバー１では、プッシュエアーをドラフト庫内１９の作業空間２０内に送り込む機構が必要になる。そこで、プッシュエアーの質、すなわち均質流のプッシュエアーの送り込みが、低風量ドラフトチャンバーの性能確保に大きく影響する。
【００２６】
次に、図１と図２を参照して、低風量ドラフトチャンバー１の構造例を説明する。
【００２７】
図１と図２に示す低風量ドラフトチャンバー１は、箱状の囲い部分である本体部２を有し、この本体部２の前面部３には、前面開口部（開口部の一例）４が設けられている。この前面開口部４には、開閉シャッタ５が設けられている。この開閉シャッタ５は前面開口部４内が見えるように透明板である。この開閉シャッタ５は、図１では図示しない駆動部のモータを駆動することで、電動によりＺ方向（上下方向）に移動可能にすることで、開閉シャッタ５は、前面開口部４を開閉可能である。
【００２８】
図１と図２に示すように、本体部２は、前面部３と、左右の壁面６，７と、背面部８と、天井面９と、底面１０を有している。本体部２では、例えば空気から微粒子を除去する例えばＨＥＰＡフィルタ（高性能フィルタ）等で空気を清浄化して排気し続けるようになっており、低風量の空気は、前面開口部４を通じて本体部２の内部からＨＥＰＡフィルタを通して外部に向かって排気される。
【００２９】
図１と図２に示すように、本体部２の内部には、ドラフト庫内１９が形成されている。このドラフト庫内１９は、作業空間２０を有している。この作業空間２０は、卓状の作業面２１を有している。作業空間２０では、例えば天井面９の内面には照明器具が取り付けられている。
【００３０】
図１に示すように、ドラフト庫内１９の作業空間２０は、本体部２の左右幅方向（Ｘ方向）に沿って形成され、しかも図２に示すように、本体部２の前後幅方向（Ｙ方向）に沿って形成され、Ｚ方向に沿って形成されている閉鎖空間である。図２に示すように、作業空間２０の作業面２１は、作業空間２０の下面部を形成している。この作業面２１は、作業者が作業用の椅子に座った状態で手指を入れて、所定の作業ができる高さに設けられている。
【００３１】
図１と図２に示すように、ドラフトのエプロン部分２２が、本体部２の前面部３において、作業面２１の前部の位置に設けられている。このエプロン部２２は、Ｘ方向に沿って形成されている。このエプロン部２２は、空気の気流を送り込むための気流の送り込み用流通路８０を有している。気流の送り込み用流通路８０には、静電気除去器（イオナイザ）３０が配置されている。
【００３２】
エプロン部２２の気流の送り込み用流通路８０は、この静電気除去器３０により作られた除電されたプッシュエアーを、本体部２の外部に漏れないようにして、作業空間２０の作業面２１側へ送り込むための閉鎖型の通路である。静電気除去器２３０の好ましい構造例は、後で図６を参照して説明する。
【００３３】
このエプロン部分２２の下部には、空間部ＳＰが設けられている。この空間部ＳＰには、作業用の椅子に座った作業者の膝を入れるようになっている。
【００３４】
図３は、図２に示す低風量ドラフトチャンバー１の内部構造例において、さらに低風量の空気供給を示す矢印Ｌで示す気流、矢印ＬＬで示す均質化された気流、別に取り入れる矢印Ｍで示す気流、そして矢印Ｎで示す排気の気流を付加して示している。
【００３５】
図３に示す矢印Ｌで示す気流と、矢印ＬＬで示す均質化された気流は、ドラフト庫内１９の作業空間２０の作業面２１上に、空気の層流を作るために人為的に発生させているプッシュエアーの気流を示している。矢印Ｍで示す気流は、外部の空気を、前面開口部４を通じてドラフト庫内１９内に取り込むプッシュエアーを示している。さらに、矢印Ｎで示す気流は、ドラフト庫内１９から外部に排気するプルエアーを示している。
【００３６】
図４は、図３に示す低風量ドラフトチャンバー１のドラフト庫内１９における円形部分Ｒの詳細を示す図である。図５は、図４に示すドラフト庫内１９における矢印Ｌで示す気流、矢印ＬＬで示す均質化された気流、矢印Ｍで示す気流、矢印Ｎで示す排気の気流を、より詳細に示している。なお、ドラフト庫内１９においては、矢印Ｌで示す気流、矢印ＬＬで示す均質化された気流、矢印Ｍで示す気流は、プッシュエアーであり、矢印Ｎで示す排気の気流は、プルエアーである。
【００３７】
まず、図３と図４を参照して、低風量ドラフトチャンバー１のドラフト庫内１９付近の構造例を、さらに詳しく説明する。
【００３８】
図１に示すように、本体部２のドラフト庫内１９は、前面部３と背面部８と左右の側面部６，７により形成されている。ドラフト庫内１９の作業空間２０の下面部が、作業面２１である。この作業面２１は、図１に示す本体部２の左右幅方向（Ｘ方向）と図３に示す本体部２の前後幅方向（Ｙ方向）に沿って形成されている面である。作業者は、この作業面２１の上で、必要な作業を行うことができる。
【００３９】
図５に示すように、すでに説明したように、気流の送り込み用流通路８０には、静電気除去器２３０が設けられている。この静電気除去器２３０は、作業面２１上に矢印ＬＬで示す均質化された気流を形成するために、矢印Ｌで示す気流を発生させる電動の気流発生手段である。しかも、この静電気除去器２３０は、作業空間２０の作業面２１等に配置されている静電破壊や機器の誤動作等のトラブルの原因となる静電気を、イオンで中和して除電を行うための装置でもある。
【００４０】
図１と図５に示すように、作業面２１の前側部分には、Ｘ方向に沿ってドラフト庫内１９のエプロン部分（空気ロホイル部分）２２が設けられている。このエプロン部分２２は、すでに説明したように、静電気除去器２３０により作られた矢印Ｌで示す気流から矢印ＬＬで示す均質化された気流を、本体部２の外部に漏れないようにして、作業面２１側に送り込むことができる。
【００４１】
エプロン部分２２の上側には、前面部３の下部の位置において、空気の分岐部５５が形成されている。空気の分岐部５５がエプロン部分２２に設けられていると、空気の分岐部５５は、静電気除去器２３０から送られてくる除電された矢印Ｌで示す気流を、整流部材４０を通すことにより整流して、矢印ＬＬで示す均質化された空気の気流（層流気流）とした後の一部を、分岐することができる。これにより、矢印ＬＬで示す均質化された気流（層流気流）は、作業面２１上に層流を形成する矢印ＬＬで示す均質化された気流と、ドラフト庫内１９の中央付近へのプッシュエアーの気流と、に分岐することができる。
【００４２】
空気の分岐部５５は、折角発生させたプッシュエアーを分岐させて、作業面２１上に層流を形成する気流を減量させてしまうことにはなるが、分岐させてドラフト庫内１９の中央付近へ斜め上方にプッシュエアーを押し込むことにより、ドラフト庫内１９内の雰囲気が外部に漏れることを抑える効果がある。すなわち、この斜め上方へのプッシュエアーの供給が、低風量ドラフトチャンバー１における雰囲気の外部への漏れの抑制の性能確保に役割を果たしている。
【００４３】
次に、図４を参照して、静電気除去器２３０と空気案内部材３１と整流部材４０について、説明する。
【００４４】
図４に示すように、空気案内部材３１の前端部３３内には、空気の整流手段としての整流部材４０が配置されている。この整流部材４０は、静電気除去器２３０からの気流Ｌを整流することで、プッシュエアーの均質化を行って、矢印ＬＬで示す均質化された気流を形成するための整流格子である。
【００４５】
整流部材４０は、図４において空気案内部材３１の前端部３３内で、本体部２の左右幅方向（Ｘ方向）に沿って、好ましくは着脱可能に配置されている。この整流部材４０の好ましい構造例としては、例えば複数の六角形のハニカムから成るハニカム材であり、プッシュエアーを均質化するのに用いられる。このように、整流部材４０の構造例として例えば六角形のハニカム構造を採用することにより、構造的に強度が見込め、組立時に加わる外力に対す変形についても強いというメリットがある。
【００４６】
図４に示すように、この整流部材４０の下流側の空気の通路は、ドラフトのエプロン部分２２を通じて、ドラフト庫内１９の作業面２１につながっている。しかも、図２と図３に示すように、背面部８の内側には、空気の排気経路部４４，４５，４６が設けられている。
【００４７】
図４に示す空気案内部材３１は、後端部３２と、前端部３３と、中間部３４を有している。この空気案内部材３１は、作業面２１の下部であって、本体部２の左右幅方向（Ｘ方向）に沿って形成されている。静電気除去器２３０は、空気案内部材３１の後端部３２に取り付けられている。
【００４８】
図４に示すように、空気案内部材３１の後端部３２のＺ方向の高さ寸法Ｓ１は、前端部３３のＺ方向の高さ寸法Ｓ２に比べて大きく設定されており、中間部３４は、後端部３２から前端部３３にかけて空間が細くなるように傾斜して形成されている。空気案内部材３１と静電気除去器２３０は、作業面２１の下部に収容するようにして配置されている。このため、空気案内部材３１と静電気除去器２３０は、本体部２の前面側に突出して設けられておらずに納められているので、本体部２の小型化が図れる。
【００４９】
図４に示すように、この後端部３２と中間部３４は、前端部３３に比べて内部容積が大きくなっており、ほぼ断面形状が三角形状に形成されていることから、この部分は、静電気除去器２３０が作り出した空気を、一時的に溜めるための空気溜まり３９として機能する。
【００５０】
整流部材４０は、静電気除去器２３０と、作業面２１との間の気流の流路である気流の送り込み用流通路８０に設定されている。整流部材４０は、静電気除去器２３０から送られる矢印Ｌで示す気流を均一な気流にして、すなわち空気の均質化を本体部２の左右幅方向（Ｘ方向）に沿って図ることにより、結果的に矢印ＬＬで示す気流は、作業面２１上に、均質で安定した空気の層流として送ることができる。
【００５１】
図６は、図４と図５に示す静電気除去器２３０と、空気案内部材３１の一部を含む領域の構造例を拡大して示している。
【００５２】
図６に示す静電気除去器２３０は、除電器ともいう。静電気除去器２３０は、作業面２１上に空気の層流を作るために矢印Ｌで示す気流を発生させて、この矢印Ｌで示す気流を空気案内部材３１の後端部３２内に送り込むことができる。しかも、静電気除去器２３０は、この矢印Ｌで示す気流を空気案内部材３１内に送り込む際に、静電破壊や機器の誤動作等のトラブルの原因となる矢印Ｌで示す気流中の静電気を、イオンで中和して除電を行うことができる。
【００５３】
図６に示す静電気除去器２３０は、図１において破線の円形で例示するように、矢印Ｘ方向に沿って互いに間隔を空けて、例えば３つ設けられている。しかし、矢印ＬＬで示す気流が、作業面２１の全体に行き渡るようにするために、静電気除去器２３０の設定数は、任意に選択できる。
【００５４】
これにより、複数の静電気除去器２３０は、作業面２１上に空気の層流を作るための矢印Ｌで示す気流を発生して、しかも静電気除去器２３０は、この矢印Ｌで示す気流の静電気を、イオンで中和して除電を行うことができる。矢印ＬＬで示す気流は、除電されていることから、作業面２１上に置かれたり、作業面２１の付近に配置されている機器の静電破壊や、機器の誤動作等のトラブルを防ぐことができる。
【００５５】
ここで、図６に示す静電気除去器２３０の好ましい構造例を説明する。
【００５６】
図６に示す静電気除去器２３０は、好ましくはファンを有するブロアタイプの静電気除去器である。静電気除去器２３０は、空気案内部材３１の後端部３２に設けられた取付け部２２０に取り付けられている。静電気除去器２３０は、ファン２３１と、フィルタ２３２と、放電電極部２４０と、プラスチック製のケース２５０を備える。
【００５７】
ケース２５０は、ファン２３１とフィルタ２３２と放電電極部２４０を保持している。ファン２３１は、モータ２３３により連続回転することで、空気ＳＲをケース２５０内に取り込んで矢印Ｌで示す気流を作って、この矢印Ｌで示す気流を空気案内部材３１の後端部３２側に送り込む。フィルタ２３２は、空気ＳＲを空気案内部材３１の後端部３２側へ送り込む際に、空気ＳＲから塵等の不要物質を除去する。このフィルタ２３２は、必要に応じて省くことができる。
【００５８】
図６に示すモータ２３３が、制御部２００の指令により回転する。これにより、ファン２３１は、空気ＳＲをフィルタ２３２に通して、矢印Ｌで示す気流として空気案内部材３１の後端部３２側に送る込むことにより、矢印Ｌで示す気流を空気案内部材３１の後端部３２内に形成することができる。
【００５９】
放電電極部２４０は、制御部２００の指令により、電源２６０から所定の電圧をかけることで、コロナ放電を行い、イオン３００を発生させる。例えば、静電気除去器２３０がＡＣ方式である場合には、電源２６０は、放電電極部２４０の放電針に交流電圧を印加してコロナ放電を行い、プラスイオンとマイナスイオン３００を交互に発生させる。また、例えば、静電気除去器２３０がＤＣ方式である場合には、電源２６０は、放電電極部２４０の放電針に直流電圧を印加してコロナ放電を行い、プラスイオンまたはマイナスイオンのどちらかのイオン３００だけに発生させる。静電気除去器２３０は、ＡＣ方式であっても、ＤＣ方式であっても良い。
【００６０】
このように、放電電極部２４０がプラスイオンとマイナスイオンを交互に発生させるか、プラスイオンまたはマイナスイオンのどちらかのイオン３００だけに発生させると、イオンは、ファン２３１の回転により、空気案内部材３１の後端部３２側の矢印Ｌで示す気流に供給されるようになっている。
【００６１】
次に、上述した低風量ドラフトチャンバー１の動作例を、図５と図６を参照して説明する。
【００６２】
図６に示す制御部２００が、図１に示す３つの静電気除去器２３０を動作させる。各静電気除去器２３０が動作すると、図６に示す各静電気除去器２３０のファン２３１を回転して空気ＳＲを、フィルタ２３２を通して空気案内部材３１の後端部３２側へ送り込む。
【００６３】
しかも、放電電極部２４０は、制御部２００の指令により、電源２６０から所定の電圧をかけることで、コロナ放電を行い、イオン３００を発生させる。各静電気除去器２３０は、静電破壊や機器の誤動作等のトラブルの原因となる矢印Ｌで示す気流の静電気を、イオンで中和することで、矢印Ｌで示す気流の除電を行う。
【００６４】
図６に示すように、各静電気除去器２３０が発生する矢印Ｌで示す気流は、空気案内部材３１の後端部３２から中間部３４において空気の空気溜まり３９で一度溜められる。図５に示すように、空気の流路が、後端部３２と中間部３４から前端部３３に至るに従って、先細りの断面形状になっている。このため、除電された矢印Ｌで示す気流は、前端部３３の整流部材４０に向けて流速を上げて送ることができ、流速を上げた矢印Ｌで示す気流を整流部材４０に通過させることができる。
【００６５】
これにより、図５に示す整流部材４０は、静電気除去器２３０から送られる除電して流速を上げた矢印Ｌで示す気流を、均一（均質）な矢印ＬＬで示す気流に形成する。この矢印ＬＬで示す均質化した気流は、図１に示す本体部２の左右幅方向（Ｘ方向）に関して供給することができる。その後、図４に示すように、矢印ＬＬで示す均質化された気流は、本体部２の前面部３のドラフトのエプロン部分２２内を通って、上側の空気の分岐部５５に達する。
【００６６】
この空気の分岐部５５は、整流部材４０により整流して矢印ＬＬで示す均質化された空気の気流（層流気流）の一部を分岐して、作業面２１上に矢印ＬＬで示す層流を形成する気流と、ドラフト庫内１９の作業空間２０の中央付近への斜め上方向のプッシュエアーの気流とに分岐する。
【００６７】
図５において、整流部材４０により整流された矢印ＬＬで示す気流（層流気流）が、作業面２１上に層流を形成するプッシュエアーとして送ることができるとともに、作業空間２０の中央付近への斜め上方向のプッシュエアーの気流としても送ることができる。これにより、作業者が実験や作業を行うための作業空間２０内に、空気を低風量ドラフトで通過させて、低風量ドラフトチャンバー１内の雰囲気が外部に漏れないようにすることができる。
【００６８】
矢印ＬＬで示す気流が、既に除電された状態で、作業面２１上に層流を形成するプッシュエアーとして、作業面２１へ送られる。このため、作業面２１上に置かれている機器の静電破壊や、機器の誤動作等のトラブルを防ぐことができる。
【００６９】
また、既に除電された矢印ＬＬで示す気流が、作業空間２０の中央付近への斜め上方向のプッシュエアーの気流として送ることができる。このため、作業面２１から離れた作業面２１の上方位置に配置されている機器の静電破壊や、機器の誤動作等のトラブルを防ぐことができる。
【００７０】
また、矢印ＬＬで示す気流が、既に除電された状態であるので、作業空間２０の作業面２１あるいは作業面２１の上方位置において、静電気帯電を伴う粒子が汚染物質となることを防ぐことができる。
【００７１】
図５に示すように、本体部２の前面開口部４からは、矢印Ｍで示す気流で示すように、外部の空気をドラフト庫内１９内に、気流を取り込む。
【００７２】
そして、作業面２１に沿って通過した矢印ＬＬで示す均質化されしかも除電された気流と、ドラフト庫内１９内を通過した矢印Ｍで示す気流は、図５と図３に示すように矢印Ｎで示す排気の気流をプルエアーとして、空気の排気経路部４４，４５，４６を通じて、本体部２の外部へ排気される。
【００７３】
本発明の実施形態の低風量ドラフトチャンバー１は、作業空間２０で作業を行うために、開口部４を通じて空気を作業空間２０内の作業面２１に送る低風量ドラフトチャンバーである。低風量ドラフトチャンバー１は、作業空間２０の作業面２１に空気を送るための矢印Ｌで示す気流を作りながら、この矢印Ｌで示す気流の静電気をイオンで中和して除電を行う静電気除去器２３０を備える。
【００７４】
これにより、作業空間２０の作業面２１に空気を送るための矢印Ｌで示す気流を作りながら矢印Ｌで示す気流の静電気をイオンで中和して除電を行うことができる。このため、内部に空気を流入させる際に、矢印Ｌで示す気流と矢印ＬＬで示す気流には静電気が起こらないので、例えば作業面にある機器の静電破壊や機器の誤動作等のトラブルを防ぐことができる。
【００７５】
静電気除去器２３０は、矢印Ｌで示す気流を作るためのファン２３１と、矢印Ｌで示す気流の静電気をイオンで中和して除電を行う放電電極部２４０を有する。これにより、作った矢印Ｌで示す気流の静電気をイオンで中和して除電を行って、除電した矢印ＬＬで示す気流を、作業空間２０の作業面２１へ安定して送ることができる。
【００７６】
低風量ドラフトチャンバー１は、除電した気流の速度を上げるための空気案内部材３１を有する。これにより、空気案内部材３１が、除電した矢印Ｌで示す気流の速度を上げることができるので、静電気除去器２３０が作る矢印Ｌで示す気流の速度が小さくても、矢印Ｌで示す気流の速度を上げて、矢印ＬＬで示す気流を作業面２１側に安定して供給できる。
【００７７】
低風量ドラフトチャンバー１は、除電した矢印Ｌで示す気流の速度をあげた後に、矢印Ｌで示す気流を均一にして作業空間２０の作業面２１に送る整流部材４０を有する。これにより、整流部材４０は、除電した矢印Ｌで示す気流の速度をあげた後に、矢印ＬＬで示す気流を均一にして作業空間２０の作業面２１に送ることができる。このため、内部に空気を流入させる際に、矢印Ｌで示す気流と矢印ＬＬで示す気流には静電気が起こらないので、例えば作業面にある機器の静電破壊や機器の誤動作等のトラブルを防ぐことができる。
【００７８】
以上、実施形態を挙げて本発明を説明したが、各実施形態は一例であり、特許請求の範囲に記載される発明の範囲は、発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更できるものである。
【００７９】
図６に示すように、静電気除去器（イオナイザ）２３０は、プラスイオンとマイナスイオンを交互に発生したり、プラスイオンまたはマイナスイオンのいずれかを発生させるものを採用しているが、この方式に限らず、他の形式の静電気除去器を採用しても良い。
【符号の説明】
【００８０】
１      低風量ドラフトチャンバー
２      本体部
３      前面部
４      前面開口部（開口部の例）
１９    ドラフト庫内
２０    作業空間
２１    作業面
２２    ドラフトのエプロン部分（閉鎖型の通路の一例）
３１    空気案内部材
４０    整流部材
４４    空気の排気経路部
２３０  静電気除去器（イオナイザ）
２３１  ファン
２４０  放電電極部
Ｌ      除電された気流
ＬＬ    除電された気流
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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