(57)【要約】【課題】平滑な吐出口面を有するエネルギ効率の高い薄型の液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】屈折率ｎ１を有する樹脂層Ｂに凹部１２を形成し、当該凹部１２を覆うようにｎ１よりも小さな屈折率ｎ２を有する感光材料層を積層する。その上で、感光材料層の表面を照射光が凹部を通過するように露光し、更に現像する。これにより、樹脂層および感光材料層を貫通する吐出口２が、テーパ形状部２ｂと直線形状部２ｃを有する状態で形成される。【選択図】図５
2017094636.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液流路より供給された液体にエネルギ発生素子を用いてエネルギを付与することにより、テーパ形状部と直線形状部が連結してなる管状部の吐出口から液体を吐出させる液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記エネルギ発生素子が配置された基板の前記エネルギ発生素子を覆う位置に、第１の樹脂層を形成する工程と、
前記基板の表面の前記第１の樹脂層を覆う位置に、屈折率ｎ１を有する感光性材料を用いて第２の樹脂層を形成する工程と、
前記第２の樹脂層の表面のうち前記エネルギ発生素子に対応する領域を除いた領域を露光し、更に熱処理を施すことによって、前記第２の樹脂層の前記エネルギ発生素子に対応する領域に凹部を形成する工程と、
前記凹部が形成された前記第２の樹脂層を覆うように、ｎ１よりも小さな屈折率ｎ２を有する感光性材料を塗布することによって、平滑な表面を有する感光材料層を形成する工程と、
前記感光材料層の表面のうち前記凹部に対応する領域を、照射光が前記凹部を通過するように露光し、更に現像することによって、前記第２の樹脂層および前記感光材料層を貫通して前記第１の樹脂層まで延在する前記管状部を形成する吐出口形成工程と、
有し、
前記直線形状部は、前記吐出口形成工程における照射光が前記感光材料層を進行する領域に形成され、前記テーパ形状部は、当該照射光が前記凹部を通過する際に屈折したのち前記第２の樹脂層を進行する領域に形成されることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記屈折率ｎ１およびｎ２は、ｎ１／ｎ２≦３の関係を満たすことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記管状部の液体が吐出する方向において、前記テーパ形状部は前記直線形状部よりも長いことを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記液流路に液体を供給するための液体供給室を、前記基板に形成する工程と、
溶剤に浸して前記第１の樹脂層を除去することにより、前記液流路を形成する工程と、を更に有することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記感光材料層は、撥水性を有することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記吐出口形成工程において露光の際に使用されるマスクは、照射される領域が円形とならないようなマスクであることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記エネルギ発生素子は電気熱変換体で構成され、
前記電気熱変換体の発熱に伴って液体の中に生成される泡の成長エネルギによって、前記吐出口から液体が吐出されることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
液流路より供給された液体にエネルギ発生素子を用いてエネルギを付与することにより、テーパ形状部と直線形状部が連結してなる管状部の吐出口から液体を吐出させる液体吐出ヘッドであって、
前記エネルギ発生素子が配置された基板の前記エネルギ発生素子を覆う位置に、第１の樹脂層を形成する工程と、
前記基板の前記第１の樹脂層を覆う位置に、屈折率ｎ１を有する感光性材料を用いて第２の樹脂層を形成する工程と、
前記第２の樹脂層の表面のうち前記エネルギ発生素子に対応する領域を除いた領域を露光し、更に熱処理を施すことによって、前記第２の樹脂層の前記エネルギ発生素子に対応する領域に凹部を形成する工程と、
前記凹部が形成された前記第２の樹脂層を覆うように、ｎ１よりも小さな屈折率ｎ２を有する感光性材料を塗布することによって、平滑な表面を有する感光材料層を形成する工程と、
前記感光材料層の表面のうち前記凹部に対応する領域を、照射光が前記凹部を通過するように露光し、更に現像することによって、前記第２の樹脂層および前記感光材料層を貫通して前記第１の樹脂層まで延在する前記管状部を形成する吐出口形成工程と、
有する製造方法によって製造され、
前記直線形状部は、前記吐出口形成工程における照射光が前記感光材料層を進行する領域に形成され、前記テーパ形状部は、当該照射光が前記凹部を通過する際に屈折したのち前記第２の樹脂層を進行する領域に形成されることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク等の液体を吐出するための液体吐出ヘッドおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置などに搭載される液体吐出ヘッドには、液体を滴として吐出するための吐出口と、当該吐出口まで液体を導くための液路、および吐出口から吐出するエネルギを液体に付与するためのエネルギ発生素子が高密度に配備されている。このような液体吐出ヘッドでは、エネルギ発生素子で生成したエネルギをいかに効率的に吐出エネルギに変換するかが、エネルギ効率の観点で重要になる。
【０００３】
この際、エネルギ発生素子からエネルギが付与されたインクは、吐出口の方向と当該インク供給されてきた液路の方向との２方向に移動可能である。よって、エネルギ効率を高めるためには、エネルギが付与されたインクをなるべく吐出口の方向に誘導する工夫が求められる。
【０００４】
例えば特許文献１や特許文献２には、インクにエネルギを付与する圧力室から吐出口へ向かう管状部をテーパ形状とし、吐出口方向への流抵抗を低く抑え、吐出口の方向に優先的にインクを誘導する構成が開示されている。特許文献１によれば、そのようなテーパ形状を電鋳加工を用いて形成する液体吐出ヘッドの製造方法が開示されている。また、特許文献２には、そのようなテーパ形状を、フォトリソグラフィを採用して形成する液体吐出ヘッドの製造方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−２３１３０９号公報
【特許文献２】米国特許第７５８５６１６号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１では、テーパ形状の管状部を有する吐出口を吐出口プレートに複数形成した後、当該吐出口プレートをエネルギ発生素子が形成された基板に貼り付ける必要があり、吐出口プレートの薄膜化は困難である。特に、近年のように高解像の画像が要求されるインクジェット記録ヘッドでは、吐出口を高密度に多数配列しなければならず、薄膜化を優先させてしまうと貼り付けに必要な強度を確保することができなくなってしまう。
【０００７】
一方、フォトリソグラフィを採用して液体吐出ヘッドを製造する特許文献２では、特許文献１のような貼り付けの工程がないので、薄膜化は比較的容易である。しかし、特許文献２の構成では、結果的に個々の吐出口が吐出口プレートの窪みに形成されることになる。このため、ワイパーを用いて吐出口面をクリーニングしても、ワイパーが吐出口の位置まで届かず、吐出口近傍にインクの固着物などが残り、その後の吐出の妨げになるおそれがある。
【０００８】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものである。よってその目的とするところは、平滑な吐出口面を有するエネルギ効率の高い薄型の液体吐出ヘッドを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
そのために本発明は、液流路より供給された液体にエネルギ発生素子を用いてエネルギを付与することにより、テーパ形状部と直線形状部が連結してなる管状部の吐出口から液体を吐出させる液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記エネルギ発生素子が配置された基板の前記エネルギ発生素子を覆う位置に、第１の樹脂層を形成する工程と、前記基板の表面の前記第１の樹脂層を覆う位置に、屈折率ｎ１を有する感光性材料を用いて第２の樹脂層を形成する工程と、前記第２の樹脂層の表面のうち前記エネルギ発生素子に対応する領域を除いた領域を露光し、更に熱処理を施すことによって、前記第２の樹脂層の前記エネルギ発生素子に対応する領域に凹部を形成する工程と、前記凹部が形成された前記第２の樹脂層を覆うように、ｎ１よりも小さな屈折率ｎ２を有する感光性材料を塗布することによって、平滑な表面を有する感光材料層を形成する工程と、前記感光材料層の表面のうち前記凹部に対応する領域を、照射光が前記凹部を通過するように露光し、更に現像することによって、前記第２の樹脂層および前記感光材料層を貫通して前記第１の樹脂層まで延在する前記管状部を形成する吐出口形成工程と、有し、前記直線形状部は、前記吐出口形成工程における照射光が前記感光材料層を進行する領域に形成され、前記テーパ形状部は、当該照射光が前記凹部を通過する際に屈折したのち前記第２の樹脂層を進行する領域に形成されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、平滑な吐出口面を有するエネルギ効率の高い薄型の液体吐出ヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】（ａ）および（ｂ）は本発明で使用可能な液体吐出ヘッドの図である。
【図２】（ａ）および（ｂ）は、第１実施形態の吐出素子を説明するための図である。
【図３】（ａ）および（ｂ）は、比較例としての吐出素子を説明するための図である。
【図４】（ａ）および（ｂ）は、比較例としての吐出素子を説明するための図である。
【図５】（ａ）〜（ｉ）は、液体吐出ヘッドの製造工程を説明するための図である。
【図６】吐出口形成工程における照射状態を説明するための拡大図である。
【図７】相対屈折率とテーパ角度の関係を示す図である。
【図８】（ａ）および（ｂ）は、第２実施形態の吐出素子を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１（ａ）および（ｂ）は本実施形態で使用可能な液体吐出ヘッドの斜視図および切断面図である。図１（ｂ）は、同図（ａ）図１における線分Ａ−Ａ’での断面図である。本実施形態の液体吐出ヘッド１００は、基板３４、流路構成部４、および吐出口プレート８の３層構造を有している。
【００１３】
基板３４をＺ方向に貫通しＹ方向に延在する液体供給室１０は、その＋Ｚ方向の開口において、流路構成部４内でＹ方向に延在する供給口３と連結している。供給口３にはそのＸ方向の両側に複数の液流路７が接続されており、液流路７がＸ方向に延びた先の端部には圧力室５が配備されている。圧力室５は吐出口プレート８に形成された吐出口２に接続しており、圧力室５を介して吐出口２と対向する基板３４上の位置には、エネルギ発生素子１が配備されている。このような、吐出口２、圧力室５およびエネルギ発生素子の組み合わせにより、液体を滴として吐出するための１つの吐出素子２００が構成される。本実施形態において、複数の吐出素子２００はＹ方向に６００ｄｐｉ（ドット／インチ）の密度で配列している。吐出素子についての詳細な構成については後で説明する。
【００１４】
液体供給室１０から供給口３、共通液室６を経てそれぞれの圧力室５に供給された液体は、所定のタイミングでエネルギ発生素子１からエネルギが付与されることにより、吐出口２より吐出される。本実施形態において、エネルギ発生素子１は、電圧パルスの印加に伴って発熱する電気熱変換体（ヒータ）とする。電圧パルスが印加されるとエネルギ発生素子１は急激に発熱し、圧力室５内で液体の膜沸騰が生じ、生成された泡の成長エネルギによって圧力室５内の液体が吐出口２へと誘導され、吐出される仕組みになっている。
【００１５】
図２（ａ）および（ｂ）は、本実施形態における吐出素子２００の詳細な構成を説明するための、拡大上面図および断面図である。図２（ａ）に示すように、吐出口２は直径２０μｍの円形であり、エネルギ発生素子１（ヒータ）は３０×３０μｍの正方形である。
【００１６】
図２（ｂ）を参照するに、吐出口２は、圧力室５と吐出口面８ａを繋ぐ管状部２ａを有している。そして、この管状部２ａは、液流路側にあるテーパ形状部２ｂと吐出口面８ａ側にある直線形状部２ｃとで構成されている。なお、Ｚ方向において、エネルギ発生素子１から液流路７の天井までの距離Ｌは２０μｍとなっている。また、テーパ形状部２ｂの高さＬ２が１５μｍ、直線形状部２ｃの高さＬ１が１０μｍ、管状部２ａ全体の高さＬはＬ＝１０＋１５＝２５μｍとなっている。
【００１７】
以下、本実施形態のように管状部２ａの一部にテーパ形状部２ｂを有することの効果を説明する。図３（ａ）および（ｂ）、図４（ａ）および（ｂ）は、図２（ａ）および（ｂ）で説明した本実施形態の液体吐出ヘッドと比較するための図である。両図とも、吐出口２の直径、エネルギ発生素子１のサイズ、エネルギ発生素子１から液流路７の天井までの距離Ｌ０、および管状部２ａ全体の高さＬは、図２（ａ）および（ｂ）と等しい。但し、図３（ａ）および（ｂ）では本実施形態のようなテーパ形状部２ｂが備わっておらず、管状部２ａの全てが直線形状部２ｃになっている。一方、図４（ａ）および（ｂ）では直線形状部２ｃが備わっておらず、管状部２ａの全てがテーパ形状部２ａになっている。
【００１８】
吐出口２と圧力室５を連結する管状部２ａにおける流抵抗は、その長さと断面積に依存する。管状部２ａの長さが短いほど、また断面積が大きいほど、その流抵抗は小さくなりエネルギ効率は上がる。よって、テーパ形状部２ｂを有さない図３（ａ）および（ｂ）の構成では、本実施形態や図４（ａ）および（ｂ）の構成に比べて断面積が小さいため、流抵抗が大きくなってしまう。結果、図３（ａ）および（ｂ）の構成は、上記３つの構成の中で最もエネルギ効率が低いものとなってしまう。
【００１９】
一方、管状部２ａの高さＬについては、液体吐出ヘッド１００の製造工程において、どうしてもある程度のばらつきが生じてしまう。この際、本実施形態の管状部２ａのように吐出口面８ａ側に直線形状部２ｃが配されていれば、高さＬが多少変動しても吐出口面８ａにおける吐出口２の大きさは変わらない。しかしながら、図４（ａ）および（ｂ）のように、管状部２ａの全てがテーパ形状になっていると、高さＬの変動に伴って吐出口２の大きさも変わってしまう。吐出口２の大きさは、吐出量や吐出スピードなどに大きく影響するため、図４（ａ）および（ｂ）のような構成では、液体吐出ヘッドごとに、あるいは製造時のロットごとに吐出量がばらつき、結果物の品位を不安定なものにしてしまう。
【００２０】
すなわち、図２（ａ）および（ｂ）で説明したような管状部２ａの構成は、エネルギ効率が高く且つ吐出量ばらつきが抑えられた液体吐出ヘッドを実現するために、有効な構成といえる。
【００２１】
図５（ａ）〜（ｉ）は、本実施形態の液体吐出ヘッド１００の製造工程を説明するための図である。まず、図５（ａ）に示すようにエネルギ発生素子１が形成された基板３４を用意する。本実施形態では基板３４としてシリコン基板を用いる。
【００２２】
次に、ポリメチルイソプロペニルケトン（東京応化工業社製ＯＤＵＲ―１０１０）を２０μｍ塗布し、露光装置ＵＸ３０００（ウシオ電機）で露光する。これにより、図５（ｂ）に示すような、後の液流路７となる樹脂層Ａがパターニングされる。
【００２３】
さらに、樹脂層Ａを覆うように、カチオン重合性の感光性樹脂を基板３４の表面から４０μｍの膜圧で塗布し、所定の温度と時間で熱処理を行う。これにより、図５（ｃ）に示すような、後の流路壁となる樹脂層Ｂが形成される。樹脂層Ｂのための液剤としては、エポキシ樹脂、カチオン重合性開始剤、シランカップリング剤の他、添加剤、溶剤等を含有するものが採用可能である。なお、樹脂層Ｂの屈折率はｎ１とする。
【００２４】
次に、図５（ｄ）に示すように、樹脂層ＢのＺ方向上位に、吐出口２を形成したい位置が非露光部となるようにマスク１１を配置する。そして、マスク１１を介して樹脂層Ｂの表面を２５００Ｊ／ｍ2で露光する。当該工程では、Ｉ線露光ステッパー（キヤノン社製）を用いるものとする。
【００２５】
その後、樹脂層Ｂの軟化点以上の温度で熱処理（Ｐｏｓｔ Ｅｘｐｏｓｕｒｅ Ｂａｋｅ）を施す。これにより、樹脂層Ｂの露光部（マスクされていない領域）は硬化が進行して収縮する。一方、エネルギ発生素子１の上方に位置する非露光部（マスクされている領域）は、過熱によって軟化し、周囲の露光部の収縮硬化に伴って引き寄せられる。結果、図５（ｅ）に見るように、マスク１１の穴に相当する樹脂層Ｂの表面に、収縮した体積相当分の凹部１２が形成される。
【００２６】
さらに、凹部１２が形成された樹脂層Ｂの表面に屈折率ｎ２（ｎ１＞ｎ２）を有する感光性材料を塗布する。これにより、図５（ｆ）に示すように、樹脂層Ｂの表面に形成された凹部１２にも新たな感光性材料が流れ込み、平滑な表面を有する感光材料層Ｃが形成される。
【００２７】
次に、図５（ｇ）に示すようにマスクを配し、感光性材料層Ｃの吐出口２を形成したい位置を露光し現像する。これにより、テーパ形状部２ｂと直線形状部２ｃを有する管状部２ａが形成される。
【００２８】
図６は、図５（ｇ）の吐出口形成工程における照射状態を説明するための拡大図である。凹部１２が形成され屈折率ｎ１を有する樹脂層ＢのＺ方向上位に、これより小さな屈折率ｎ２を有する感光材料層Ｃが積層されており、その表面から光が照射されている。屈折率の異なる樹脂層Ｂと樹脂層Ｃの境界面は曲面になっているので、これがレンズの役割を果し、当該境界部を通過する際、照射光は外側に広がるように屈折する。このときの相対屈折角は、樹脂層Ｂの屈折率ｎ１、感光性部材層Ｃの屈折率ｎ２および凹部の傾斜角によって決まる。また、相対屈折率Ｎは、Ｎ＝ｎ１／ｎ２と表すことができる。屈折率Ｎが大きいほど屈折角も大きくなりテーパ形状部２ｂの広がりも大きくなる。
【００２９】
図７は、相対屈折率Ｎとテーパ角度の関係を示す図である。ここでは、凹部１２の角度が１５°、３０°、４５°の場合について示している。相対屈折率Ｎが大きくなるほど、テーパ角度は大きくなり、凹部１２の角度が大きいほど（すなわち境界面の曲率が大きいほど）、テーパ角度は大きくなる。
【００３０】
テーパ角度を大きくするために相対屈折率Ｎを大きくする場合には、樹脂層Ｃの屈折率ｎ２を大きく、樹脂層Ｂの屈折率ｎ１を小さくすれば良い。但し、屈折率ｎ１をあまり大きくすると樹脂層Ｂにおける透過率が小さくなり、感度が下がるおそれがある。図７より、相対屈折率Ｎが大きくなるほどテーパ角度の増加率が小さくなることを鑑みると、相対屈折率はＮ≦３であることが好ましい。
【００３１】
図５に戻る。図５（ｇ）に示すような管状部２ａが形成されると、次に、基板３４の背面に、図５（ｈ）に示すような液体供給室１０を形成する。手法としては、シリコンの結晶方位によるエッチング速度の違いを利用する異方性エッチング技術を用いればよい。
【００３２】
さらに、溶剤に浸して樹脂層Ａを除去すことにより、図５（ｇ）で形成されたノズル２と図５（ｈ）で形成された液体供給室１０を連結する共通液室６、液流路７および圧力室５が形成される。これにより、図５（ｉ）に見るように液体吐出ヘッド１００が完成する。
【００３３】
以上、図５（ａ）〜（ｉ）で説明した工程によれば、吐出開口に向けてテーパ形状を有する吐出素子が高密度に配置された薄型の液体吐出ヘッドを製造することができる。結果、エネルギ効率の高い高密度な吐出動作を実行することが可能となる。
【００３４】
（第２の実施形態）
本実施形態の吐出素子も基本的には第１の実施形態の吐出素子と同じ構成を有している。以下、第１の実施形態の吐出素子と異なる点についてのみ説明する。
【００３５】
図８（ａ）および（ｂ）は、本実施形態における吐出素子２００の詳細な構成を説明するための、拡大上面図および断面図である。図２（ａ）および（ｂ）と異なる点は、吐出口２において、対向する２つの突起部２１が管状部２ａの内壁から突起していることである。突起部２１は、管状部２ａのＺ方向の全域すなわちテーパ形状部２ｂから直線形状部２ｃｂの全域に亘り、その内壁に沿って延在している。
【００３６】
本実施形態において、このような突起部２１は、吐出動作に伴うミストの発生を低減するために設けている。突起部２１を設けることにより、管状部２内には流抵抗が高い部分と低い部分が形成され、本願発明者らの鋭意検討によれば、その流抵抗の差が大きいほどミストの低減効果も高まることが確認されている。すなわち、本実施形態の構成では、管状部内壁からの突起長Ｄを大きくするほど、また直線形状部２ｃの長さＬ１を大きくするほど、管状部２内における流抵抗の落差は大きくなり、ミストの発生を抑えることができる。
【００３７】
本実施形態の液体吐出ヘッドについても、基本的には第１の実施形態と同様、図５（ａ）〜（ｉ）で説明した工程で製造することができる。この際、図５（ｇ）の工程で使用するマスクを、単純な円形ではなく円形に突起部形状が付随された形状のマスクに変更すれば、図８（ａ）のような吐出口２を形成することが出来る。そして、このような工程で創造された本実施形態の吐出ヘッドを用いれば、エネルギ効率の高い高密度な吐出動作をミストの抑制された状態で行うことが出来る。
【００３８】
なお、突起部２１の数や吐出口の断面形状については上記形態に限らない。マスクによって対応可能な範囲であれば、円形以外のどのような形状にしても良く、どのような数の突起部を設けても良い。無論、本実施形態において、突起部２１を設けることの目的がミストの低減に限定されるものでもない。どのような目的のためのどのような形状であっても、管状部の一部をテーパ形状とすることにより、その目的に対する性能を維持しながらもエネルギ効率を向上させることができるのが、本実施形態の効果である。
【００３９】
ところで、図５（ａ）〜（ｉ）で説明した工程においては、図５（ｃ）や（ｆ）での塗布量を調整することによって、直線形状部２ｃの長さＬ１、テーパ形状部２ｂの長さＬ２、さらに管状部２ａ全域の長さＬを変化させることができる。また、これら材料の屈折率ｎ１およびｎ２を、ｎ１＞ｎ２の関係を満たす範囲で調整することによって、テーパ形状部２ｂの角度を変更することもできる。さらに、テーパ形状部２ｂの広がり具合は凹部１２の大きさにも依存し、その大きさは、図５（ｄ）で使用するマスク（詳しくは非露光部の形状）のほか、照射時の露光量、熱処理の際の温度や時間によっても調整可能である。本発明においては、以上様々なパラメータを調整することにより、使用する液体の種類や吐出ヘッドにおける吐出素子の配列解像度、吐出周波数など様々な条件に応じた、最適な吐出口が形成されればよい。
【００４０】
例えば、第２の実施形態においては、ミスト低減硬化が十分に得られるように突起長Ｄや直線形状部２ｃの長さＬ１を適正化した上で、所望のエネルギ効率を実現するようにテーパ形状部２ｂの長さＬ２を調整することができる。但し、直線形状部の長さＬ１については、エネルギ効率の観点で見ると、なるべく小さ値に設定することが好ましい。第２の実施形態の場合には、製造公差をカバーしつつミスト低減効果が十分に得られる範囲で、Ｌ１＜Ｌ２となるように設定することが望まれる。
【００４１】
なお、以上２つの実施形態では、基板３４としてシリコン基板を用い、吐出口プレート８と流路構成部４は同一部材で構成している。但し、このような形態は特に限定されるものではない。基板３４については、上述した積層構造を支持しつつ液体の供給を可能な材質であれば、シリコン以外の材質であっても有効活用することができる。
【００４２】
また、吐出口プレート８と流路構成部４についても、上記機能を十分に果すことができれば、これら２つは異なる部材で製造しても構わない。吐出口プレート８となる感光材料層Ｃについては、流路構成部４となる樹脂層Ｂとの間で好適な屈折率の対比が実現できれば、樹脂層Ｂと類似したものを使用することもできる。例えば、感光材料層Ｃが特に吐出口表面に配置されることを鑑み、撥水性を有する材料を含有させて、吐出口面の防汚性を向上させることもできる。
【符号の説明】
【００４３】
１    エネルギ発生素子
２    吐出口
２ａ    管状部
２ｂ    テーパ形状部
２ｃ    直線形状部
４    流路構成部（樹脂層Ｂ）
７    液流路
８    吐出口プレート（感光材料層）
１２    凹部
３４    基板
１００    液体吐出ヘッド
【図１】
2017094636.tif 000003
【図２】
2017094636.tif 000004
【図３】
2017094636.tif 000005
【図４】
2017094636.tif 000006
【図５】
2017094636.tif 000007
【図６】
2017094636.tif 000008
【図７】
2017094636.tif 000009
【図８】
2017094636.tif 000010