(57)【要約】      （修正有）【課題】走査型プローブ顕微鏡の測定探針を簡単に損傷から保護して取り扱うことができる固定装置を提供する。【解決手段】固定装置２０が、その中に測定探針１１を導入することができる導入装置２２、工具なしで作動できる固定機構２４上にマスター力を選択的に行使するためのマスター力装置３４および導入装置２２中に導入された測定探針１１を解除および／または固定するためのマスター力装置３４を使って工具なしで作動できる固定機構２４を具有する、走査型プローブ顕微鏡の測定探針１１を選択的に固定するための固定装置２０。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
走査型プローブ顕微鏡（１）の測定探針（１１）を選択的に固定するための固定装置（２０）であって、前記固定装置（２０）が、
導入装置（２２）であって、その中に測定探針（１１）を導入することができる導入装置（２２）と、
工具なしで作動できる固定機構（２４）上にマスター力を選択的に行使するためのマスター力装置（３４）と、
前記導入装置（２２）中に導入された前記測定探針（１１）を解除および／または固定するための前記マスター力装置（３４）を使って工具なしで作動できる前記固定機構（２４）と、
を備える固定装置（２０）。
【請求項２】
前記マスター力装置（３４）が、設定可能なマスター力の行使により解除および／または固定を制御し、特に解除および／または固定を選択的に有効または無効にするように形成される請求項１に記載の固定装置（２０）。
【請求項３】
前記固定機構（２４）が、マスター力がオフのとき固定が有効になり、マスター力がオンのとき前記測定探針（１１）の前記導入装置（２２）への導入のための、または前記測定探針（１１）の前記導入装置（２２）からの取り出しのために固定が無効になるように形成される請求項１または請求項２に記載の固定装置（２０）。
【請求項４】
前記マスター力装置（３４）は、グループから選択され、前記グループは、特に可動マスター力永久磁石を使って、または電気的に活性化可能なマスター力電磁石、油圧マスター力、空気圧マスター力、電気マスター力、熱的マスター力および機械的マスター力を使って、もたらすことができる、磁気マスター力の行使のためのマスター力装置（３４）から成る、請求項１〜３のいずれか一項に記載の固定装置（２０）。
【請求項５】
前記導入装置（２２）が湾曲した特に球状に湾曲した保持力伝達面を有する保持力強化部材（３６）を備え、それが前記測定探針（１１）が前記導入装置（２２）に導入された状態で前記保持力伝達面を使って特に点状に好適には上から直接前記測定探針（１１）の上に作用する請求項１〜４のいずれか一項に記載の固定装置（２０）。
【請求項６】
前記固定機構（２４）が少なくとも２つの磁性部材（３０、３２）を備え、それらの磁気相互作用力が前記導入装置（２２）に導入された前記測定探針（１１）を前記導入装置（２２）の中で挟持固定するように形成された請求項１〜５のいずれか一項に記載の固定装置（２０）。
【請求項７】
前記２つの磁性部材（３０、３２）が、それらの磁気相互作用力の結果反発し合い、前記導入装置（２２）に導入された前記測定探針（１１）の上にそれが前記導入装置（２２）の中で挟持固定される作用をするように、形成される請求項６に記載の固定装置（２０）。
【請求項８】
前記２つの磁性部材（３０、３２）が、前記固定装置（２０）の２つの互いに向かい合う固定体（４６、４８）の同じものの中および／またはそれに接して配置され、それらの間に前記測定探針（１１）が前記導入装置（２２）に導入された状態で配置される請求項７に記載の固定装置（２０）。
【請求項９】
前記２つの磁性部材（３０、３２）のそれぞれが、前記固定装置（２０）の２つの互いに向かい合う固定体（４６、４８）のもう１つのものの中および／またはそれに接して配置され、それらの間に前記測定探針（１１）が前記導入装置（２２）の中に導入された状態で配置され、前記導入装置（２２）の中での前記測定探針（１１）の挟持固定が旋回レバ機構を使って達成されることができる請求項７に記載の固定装置（２０）。
【請求項１０】
前記２つの磁性部材（３０、３２）が、それらの磁気相互作用力の結果引き合い、前記導入装置（２２）の中に導入された前記測定探針（１１）の上に、それが前記導入装置（２２）の中で挟持固定される作用をするように形成される請求項６に記載の固定装置（２０）。
【請求項１１】
前記２つの磁性部材（３０、３２）のそれぞれが、前記固定装置（２０）の２つの互いに向かい合う固定体（４６、４８）のもう１つのものの中および／またはそれに接して配置され、それらの間に前記測定探針（１１）が 前記導入装置（２２）に導入された状態で配置される請求項１０に記載の固定装置（２０）。
【請求項１２】
前記磁性部材（３０、３２）の１つが可動に、前記磁性部材（３０、３２）のもう１つが不動に前記固定装置（２０）の中および／またはそれに接して軸支される請求項６〜１１のいずれか一項に記載の固定装置（２０）。
【請求項１３】
前記磁性部材（３０、３２）の１つが空隙を有する磁気回路の一部を成形し、前記磁性部材（３０、３２）のもう１つが可動に前記空隙の中に配置され、この空隙から磁力の影響の元で引き出されることができる請求項６〜１２のいずれか一項に記載の固定装置（２０）。
【請求項１４】
前記固定機構（２４）が前記マスター力装置（３４）を使って生成されたマスター力の不在において湾曲した部材を備え、その部材は前記マスター力が作用するとき少なくとも部分的に湾曲が除去され、それによって前記測定探針（１１）の挟持固定形成の元で前記導入装置（２２）中の前記測定探針（１１）の収容孔空間まで延びるように形成されている請求項１〜５のいずれか一項に記載の固定装置（２０）。
【請求項１５】
前記湾曲部材（２４）が磁性材料、特に前記マスター力装置（３４）を使って生成された磁気マスター力が作用する際少なくとも部分的に湾曲を除去される強磁性材料を備える請求項１４に記載の固定装置（２０）。
【請求項１６】
前記湾曲部材（２４）が、前記マスター力装置（３４）を使って生成される熱的マスター力が作用する際少なくとも部分的に湾曲が除去される形状記憶を有する物質を備える請求項１４に記載の固定装置（２０）。
【請求項１７】
前記固定機構（２４）が磁性部材（３０）および前記磁性部材（３０）を前記導入装置（２２）中の前記測定探針（１１）の収容孔空間中に付勢する特に非磁性の付勢部材（３８）を備え、前記磁性部材（３０）は前記マスター力装置（３４）を使って生成された磁気マスター力を使って前記収容孔空間から導出可能である請求項１〜５のいずれか一項に記載の固定装置（２０）。
【請求項１８】
前記非磁性付勢部材（３８）が、機械ばね、油圧付勢部材および空気圧付勢部材から成るグループから選択される請求項１７に記載の固定装置（２０）。
【請求項１９】
試料体（６）の表面情報を前記試料体（６）表面のラスター走査によって検出するための走査型プローブ顕微鏡（１）であって、前記走査型プローブ顕微鏡（１）が、
前記試料体（６）表面のラスター走査のために設置される測定探針（１１）と、
前記測定探針（１１）を選択的に固定するための請求項１〜１８のいずれか一項に記載の固定装置（２０）と、
を備える走査型プローブ顕微鏡（１）。
【請求項２０】
原子間力顕微鏡として形成された請求項１９に記載の走査型プローブ顕微鏡（１）。
【請求項２１】
前記測定探針（１１）が前記固定装置（２０）を使って固定をするための探針体（７）および特にカーボンナノチューブを有する表面走査のための測定先端部（５）を備える請求項１９または請求項２０に記載の走査型プローブ顕微鏡（１）。
【請求項２２】
前記測定先端部（５）に向けられた前記探針体（７）の表面が導電性であり前記固定装置（２０）に固定された状態で導電的に前記試料体（６）の電気特性が示す情報を検出するための前記走査型プローブ顕微鏡（１）の電気的測定装置（４５）と結合される請求項２１に記載の走査型プローブ顕微鏡（１）。
【請求項２３】
前記探針体（７）が電気回路、特に回路基板を備える請求項２１または請求項２２に記載の走査型プローブ顕微鏡（１）。
【請求項２４】
前記探針体（７）が前記走査型プローブ顕微鏡（１）の電磁測定放射線を反射するための反射膜（８２）を備える請求項２１〜２３のいずれか一項に記載の走査型プローブ顕微鏡（１）。
【請求項２５】
走査型プローブ顕微鏡（１）の測定探針（１１）を選択的に固定する方法であって、前記方法が、
前記走査型プローブ顕微鏡（１）の導入装置（２２）に前記測定探針（１１）を導入することと、
前記導入装置（２２）に導入された前記測定探針（１１）の解除および／または固定のためのマスター力を使って固定機構（２４）を工具なしで作動することと、
を含む方法。
【請求項２６】
補助体に取り付けられずに、裸の前記測定探針（１１）が前記導入装置（２２）に導入され前記固定機構（２４）を使って固定される請求項２５に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は固定装置、走査型プローブ顕微鏡および走査型プローブ顕微鏡の測定探針を固定する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
原子間力顕微鏡は主に表面の横方向あるいは垂直方向の高分解能調査（特に表面の地形学的調査）に使用される。そのとき測定探針（例えばカンチレバとも呼ばれる板ばね）はナノスケールの小さい針（測定先端部または測定探針先端部とも呼ばれる）で表面上を案内され（すなわち走査され）カンチレバと表面との相互作用に基づきカンチレバの偏向を検出する。試料の表面仕上げによってカンチレバの偏向が位置によって、あるいは探針の追跡が記録あるいは走査される。カンチレバあるいは先端部の偏向は容量的に（特に圧電的に）または光学センサを使って測定される。この方法は試料表面の構造検査を原子分解まで可能にする。カンチレバの検査されるべき試料の表面への間隔は非常に正確に設定されることができる。それによって例えばコンタクトモード（ｃｏｎｔａｃｔ  ｍｏｄｅ）、非コンタクトモード（ｎｏｎ  ｃｏｎｔａｃｔ  ｍｏｄｅ）、タッピングＡＦＭモード（Ｔａｐｐｉｎｇ  Ｍｏｄｅ）などの様々な測定方法が実現されることができる。
【０００３】
試料表面の地形学的または化学的情報を得るために作動モードによって引力による長距離のファンデルワールス力および毛管力の他に短距離の強い反発力も利用される。さらに導電率、表面電荷、弾性率、密着性、電気化学ポテンシャル、圧電特性、赤外線吸収および／または温度相転移などの試料特性を決めることができる。付加的に原子間力顕微鏡は磁気力顕微鏡、摩擦力顕微鏡、電流電圧顕微鏡または走査ケルビン顕微鏡としても使用される。走査型プローブ顕微鏡の使用目的によってケイ素あるいは窒化ケイ素から成る測定探針の他に様々な被覆された測定探針（例えば金、白金または炭素によって被覆された測定探針）を使用することができる。測定探針の被膜は通常下面で、つまり測定先端部にある面で行われる。全ての測定探針が被膜される被膜プロセスは通常上面と下面との間の貫通した接触を保証しない。そのとき試料の下面の走査型プローブ顕微鏡との電気接触が実現される。そのとき走査型プローブ顕微鏡と測定探針の間の接触抵抗が機器の寿命に渡って大幅に変化しないことが保証されるべきである。
【０００４】
一般的な従来技術に関して走査型プローブ顕微鏡への測定探針の据え付けは特許文献１および特許文献２で開示されている。
【０００５】
走査型プローブ顕微鏡の再現性および作動時の正確さを損ねずに走査型プローブ顕微鏡の高感度の測定探針を取り扱い、必要に応じて交換することは未だに従来からの課題である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】欧州特許第１，０１２，８６２号
【特許文献２】米国特許第５，７１７，１３２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の課題は走査型プローブ顕微鏡の測定探針を簡単に損傷から保護して取り扱うことができる可能性を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この課題は独立請求項に記載の特徴を有する対象によって達成される。さらなる実施形態例は従属請求項に示される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の実施形態例では走査型プローブ顕微鏡の測定探針の選択的固定のための固定装置が製造され、固定装置はその中に測定探針を導入できる導入装置、工具なしで作動可能な固定機構上にマスター力を選択的に行使するためのマスター力装置（特に導入装置から分離した必要に応じてマスター力を生成するための装置）およびこの導入装置に導入された測定探針の解除および／または固定のためのマスター力装置を使って工具なしで作動できる固定機構を備える。
【００１０】
本発明のさらなる実施形態例では試料体表面のラスター走査によって試料体の表面情報を検出するための走査型プローブ顕微鏡が提供され、走査型プローブ顕微鏡は試料体表面のラスター走査のために設置される測定探針および測定探針を固定するための上記の特徴を有する固定装置を備える。
【００１１】
さらなる典型的な実施形態例では走査型プローブ顕微鏡の測定探針の固定のための方法が提供され、この方法では測定探針が走査型プローブ顕微鏡の導入装置に導入され、導入装置に導入された測定探針の解除および／または固定のための固定機構が（特に外部の）マスター力を使って工具なしで作動される。
【００１２】
本出願の枠内で「マスター力装置」という概念は特に力生成装置と理解され、その力生成装置は（好適には導入装置および／または固定装置から分離して）一時的に作用するマスター力を必要に応じて（例えば機械制御または使用者制御で）生成するために形成される。これは接触のない、工具不要のおよび／あるいは補助体不要のおよびそれによって良好に再現可能な測定探針の導入装置への固定または測定探針の導入装置からの解除を可能にする。そのようなマスター力は選択的にオンまたはオフにすることができる。
【００１３】
本出願の枠内で「工具なしで作動可能」という概念は特に使用者が測定探針を固定装置に取り付けるためおよび測定探針を固定装置から取り出すために工具（例えばねじ回し）または固定装置の外のその他の補助手段を使わなくてよいことと理解される。
【００１４】
本出願の枠内で「解除可能な固定」という概念は特に、測定探針が固定装置の固定状態で固定的に導入装置に設置され、試料体表面の走査時に力が作用するとき望ましくなく導入装置から解除されないこと；および固定装置の解除状態で測定探針が破壊されることなく（すなわち固定装置、測定探針および／または他の構成要素が破壊されることなく）および実質的に力を必要とせずに固定装置の導入装置から取り外されることができることと理解される。
【００１５】
本出願の枠内で「走査型プローブ顕微鏡」という概念は特に、それにおいて試料体の画像またはその他の表面情報が光学的または電子光学撮像（つまりレンズの使用の元で）によってではなく、測定探針の試料体との相互作用を介して生成される顕微鏡と理解される。検査されるべき試料表面はこの測定探針を使って走査プロセス中で点から点へと走査される。全ての個々の点に発生した測定値はその後画像にまとめられ、または他の方法で評価されることができる。
【００１６】
本発明の典型的な実施形態例では走査型プローブ顕微鏡の測定探針のための堅固な固定装置が提供され、それは同時に走査型プローブ顕微鏡の多くの様々な測定探針タイプあるいは測定方法のために使用可能であり、測定探針を破壊することなく交換可能にする。本発明の実施形態は使用者に、外部工具（例えばねじ回し）またはその他の据え付け補助体（例えば固定クリップまたはレバ）あるいは極小の固定手段（例えばねじ）を使用する必要なく測定探針を交換することを可能にする。これは測定探針の据え付けおよび交換に関して使用者の快適性を高める。直感的に取り扱うことができる導入装置、可逆的に作用する固定機構および固定機構の力を基礎とした制御のための好適に接触なしで作用するマスター力装置の相互作用により測定探針の取り扱いは簡略化され、固定装置の望ましくない機械的破壊は阻止され測定探針の置き間違いは不可能になる。本発明の実施形態例はこの目的のために導入装置に対して別に設置されるマスター力装置によって固定力をオンおよび／またはオフにする固定機構が上位に置かれたマスター力で印加され、その影響の元で測定探針が選択的に固定機構を使って固定されるかまたはそれから解除されることができる動作原理を備える。マスター力装置を使って生成されたマスター力はそのとき、測定探針上にその後結果として生じた固定力がもはや作用せず、測定探針がそれによって解除されるように固定機構の固定力に重畳される（特にこれを弱化しそれどころか排除しながら重畳される）ことができる。
【００１７】
以下に固定装置、走査型プローブ顕微鏡および方法の付加的典型的な実施形態例が説明される。
【００１８】
一実施形態ではマスター力装置が残りの機器（つまり残りの走査型プローブ顕微鏡）からは独立してそのまたはこの機器の中に統合されることができる。それに対して固定機構は通常必ずしもではないがこの機器の一部を成す。
【００１９】
本発明の実施形態例では設定可能なマスター力の行使によって解除および／または固定を制御するマスター力装置が形成されることができ、特に解除が（例えば磁気マスター力の生成のための電磁石の通電のために電源を入れることによって、または永久磁石を固定装置に空間的に近づけることによって）選択的に有効にされ、または（例えば電源を切ることによって、または永久磁石を固定装置から空間的に遠ざけることによって）無効にされる。このような方法でそれぞれ作用するマスター力の精密な設定が可能である。過大なまたは過小な測定探針に作用する力を行使することはそのような自動制御によって不可能になりうる。高感度の測定探針はこのようにして損傷から保護されることができる。
【００２０】
本発明の実施形態例では固定機構がマスター力がオフのとき固定が有効になり、マスター力がオンのとき測定探針を導入装置に導入するためまたは測定探針を導入装置から取り外すための固定が無効になるように形成されることができる。そのとき外部のマスター力も選択的に完全にオフにされることもでき、その間固定が維持されることができる。その後外部のマスター力の能動的な入力により初めて測定探針の解除が達成される。このような制御論理により測定探針の（例えば停電による）望ましくないかあるいは意図されない解除は回避される。なぜならその後能動的な制御措置が初めて解除を引き起こすからである。代換的に制御論理は反転されることができ、そうするとマスター力がオフのとき測定探針は自由であり、マスター力がオンのとき測定探針は固定装置に固定されている。
【００２１】
本発明の実施形態例ではマスター力の行使のためのマスター力装置が１つのグループから選択されることができ、そのグループは（特に可動マスター力永久磁石を使ってまたは電気的に活性化できるマスター力電磁石を使ってもたらされる）磁気マスター力を生成する磁気マスター力装置から成り、油圧マスター力の生成のための油圧マスター力装置、空気圧マスター力の生成のための空気圧マスター力装置、電気マスター力の生成のための電気マスター力装置、熱的マスター力の生成のための熱的マスター力装置および機械的マスター力の生成のための機械的マスター力装置から成る。全てのこれらの力生成機構は制御技術的に実装されることができるため、過剰なまたは過小な固定力は有利に不可能となることができる。別の表現をすると、このような導入装置から機能的に分離した力生成機構は客観的には正しい力量を消費され、高感度な測定探針の誤操作はあり得ない。
【００２２】
本発明の実施形態例では導入装置が湾曲した、特に球状に湾曲した保持力強化部材（例えば動力伝達球）を備え、それが測定探針が導入装置に導入された状態で湾曲した、特に球状に湾曲した面で、直接特に測定探針の上面上に作用する。これは、保持力強化部材を介した測定探針への力作用が実質的に点状に行われることができるため、固定機構に行使される固定力が正確な位置で空間的に強く濃縮あるいは収束した作用により測定探針上に働くことができるという利点を有する。さらなる利点は、これによって測定探針と下面（測定先端部を含む面）との簡単な電気接触が可能になることである。これは測定探針の確かな固定を保証する。
【００２３】
本発明の実施形態例では固定機構が少なくとも２つの磁性部材を備え、それらの磁気相互作用力が導入装置に導入された測定探針を導入装置の中で挟持して固定するように形成される。そのような実施形態例は例えば図２に示される。２つの磁性部材の１つが（例えばハウジングのまたは固定体の凹部の中で）不動化され、２つの磁性部材のもう１つが（例えばハウジングのまたは固定体の凹部の中で）可動自在であるとき、２つの磁性部材の磁気相互作用力によって導入装置に導入された測定探針を固定する作用をする力が生成される。測定探針を導入装置から取り出すことができるように、付属するマスター力装置としてさらなる磁場生成装置（例えば可動永久磁石または電磁石）が使用されることができ、その磁場生成装置はすでに作用する磁力に高いレベルの磁力を重畳し、その磁力によって直接または間接的に測定探針に作用する磁性部材が測定探針の解除の元で引き戻される。
【００２４】
本発明の実施形態例では２つの磁性部材が形成され、それらの磁気相互作用力の結果反発し、導入装置に導入された測定探針に、これが導入装置に挟持されて固定されるように作用する。別の表現をすると、２つの磁性部材間の反発力は測定探針に作用する挟圧力に変換されることができる。
【００２５】
本発明の実施形態例では２つの磁性部材が固定装置の２つの互いに向かい合う固定体のうちの同じものの中および／またはそれに接して配置されることができ、それらの間で測定探針が導入装置の中に導入された状態で配置される。そのような実施形態例は例えば図２に示される。さらに特に２つの磁性部材は導入装置の上部に配置されることができる。すると電気信号を測定探針から検出するため、または測定探針先端部の電位を前もって定めるために、導入装置の下部は必要に応じて導電性材料から成ることができる。
【００２６】
本発明の実施形態例では２つの磁性部材のそれぞれが固定装置の２つの互いに向かい合う固定体のうちのもう１つのものの中および／またはそれに接して配置されることができ、それらの間に測定探針が導入装置の中に導入された状態で配置される。該当する実施形態例は図３または図６に示される。そのとき２つの磁性部材は両方可動か、または１つは定常でありもう１つが可動である。導入装置の下部にまたは下部として形成された磁性部材は好適には定常である。さらに測定探針の電気信号を検出することもできるように、それは（特に導電性強磁性部材として永久磁石と組み合わせて）導電性磁石としても形成されることができる。
【００２７】
未だ前述の実施形態例に関連して測定探針の導入装置中での挟持固定は回転レバ機構を使って行うことができる。該当する実施形態例は図６に示される。回転レバによる導入装置の測定先端部から近い端領域への力の伝達の後、測定探針の２つの互いに向かい合う主表面をそれらが嵌合する元で挟持固定するために、導入装置の測定先端部から遠い端領域の２つの磁性部材は互いに磁気反発して形成されることができる。
【００２８】
本発明の実施形態例では、それらの磁気相互作用力の結果引き合い、導入装置に導入された測定探針上にこれが導入装置の中で挟持固定されるように作用する２つの磁性部材が形成されることができる。すると導入装置からの測定探針の解除は２つの磁性部材の磁気引力に反発するマスター力、特に反発する磁気マスター力を重畳する。
【００２９】
本発明の実施形態例では２つの磁性部材のそれぞれが固定装置の２つの互いに向かい合う固定体のうちのもう１つのものの中および／またはそれに接して配置されることができ、それらの間に測定探針が導入装置の中に導入された状態で配置される。それによって異なる固定体間で磁性部材を収容するための場所の需要が均等に配分されることができる。
【００３０】
本発明の実施形態例では磁性部材の１つが可動に磁性部材のもう１つが不動に固定装置の中および／またはそれに接して支持されることができる。可動部品数の削減は固定装置の製造のための機械的複雑さをも有利に削減する。
【００３１】
本発明の実施形態例では磁性部材の１つが空隙を有する磁気回路の一部となり、磁性部材のもう１つが空隙の中に可動に配置され、この空隙から磁力の影響の元で引き出されることができる。該当する実施形態例は図７に示される。その後そのようなシステムは測定探針を固定する状態に付勢される。このようなシステムは外部の磁気マスター力装置を使って固定力を過剰補償する付加的な磁力を行使することによって測定探針を解除できる。
【００３２】
本発明の実施形態例では固定機構がマスター力装置を使って生成されたマスター力の不在において湾曲した部材を備え、その部材はマスター力が作用するとき少なくとも部分的に湾曲が除去され、それによって測定探針の挟持固定形成の元で導入装置中の測定探針の収容孔空間まで延びるように形成されている。そのような湾曲した部材は明確に、まずマスター力が活性化されるとき湾曲の元で導入装置の収容空間の中に延びそれによって測定探針を挟持固定する板ばねとして作用することができる。このマスター力の遮断は湾曲部材を湾曲状態に戻し、それによって測定探針の挟持固定を解除する。
【００３３】
本発明の実施形態例では湾曲部材が、マスター力装置を使って生成される磁気マスター力が作用する際少なくとも部分的に湾曲が除去される磁性部材を備えることができる。そのような実施形態例は図７に示される。例えば湾曲部材は永久磁石および／または強磁性物質から成ることができる。
【００３４】
本発明の実施形態例では湾曲部材が、マスター力装置を使って生成される熱的マスター力が作用する際少なくとも部分的に湾曲が除去される、形状記憶を有する物質（例えばニチノール）を具有できる。そのような実施形態例は図８で示される。例えば付属するマスター力装置は熱源として形成されることができ、それは必要に応じて活性化されることができそれによって湾曲部材の温度を閾値温度以上に上昇させ、その閾値温度以上になると湾曲部材が形状記憶が保存される別の湾曲状態に変換され、その湾曲状態で部材は導入装置の収容孔空間の中に突出し、それによって測定探針を挟持固定する。加熱停止またはしかも能動冷却は部材をその後湾曲状態に逆変換し測定探針を解除する。
【００３５】
本発明の実施形態例では固定機構が磁性部材および磁性部材を導入装置の中の測定探針の収容孔空間に付勢する非磁性付勢部材を具有し、磁性部材は磁気マスター力を使って収容孔空間から導出可能である。該当する実施形態例は図１０および図１１に示される。磁性部材は磁気マスター力装置によってその後解除される測定探針との嵌合を外されることができる。
【００３６】
本発明の実施形態例では非磁性付勢部材が、機械ばね（例えばコイルばね、図１０参照）、油圧付勢部材および 空気圧付勢部材（図１１参照）から成るグループから選択されることができる。
【００３７】
本発明の実施形態例では走査型プローブ顕微鏡が原子間力顕微鏡として形成されることができる。原子的顕微鏡または原子力顕微鏡（ＡＦＭ）とも呼ばれる原子間力顕微鏡は特殊な走査型プローブ顕微鏡である。それは界面化学の道具として用いられ、表面の機械的走査およびナノメータスケール上の原子力の測定に使われる。
【００３８】
本発明の実施形態例では測定探針は固定装置を使って固定するための探針体および表面の走査のための（例えばカーボンナノチューブから形成されることができる）測定先端部を備えまたはそれらから成ることができる。
【００３９】
本発明の実施形態例では測定先端部に向けられた探針体の表面が導電性であり、固定装置に固定された状態で導電的に試料体の電気特性が示す情報を検出するための走査型プローブ顕微鏡の電気的測定装置と結合されることができる。特に探針体はその中に電気作用を統合することができる回路基板（例えばＰＣＢ）も備えることができる。
【００４０】
本発明の実施形態例では裸の測定探針を固定装置に固定することが可能である。測定の再現性を損なう測定探針の収容のための補助体の使用はそこでは免除されることができる。実施形態例ではつまり補助体に取り付けられていないむきだしの測定探針が導入装置に導入され固定機構を使って固定されることができる。このようにして一体的な測定探針が直接導入装置に導入されることができる。これによって使用者は、補助体および測定探針から成る構成物が固定装置に取り付けられる前に、小さな測定探針を（例えばクランプまたはそれに類する）補助体に取り付けるための複雑でエラーが発生しやすい取り扱い工程を省略できる。補助体が測定の再現性に悪影響を及ぼしかねない妨害質量を示すため、測定探針を補助体なしで固定装置に固定することが走査型プローブ顕微鏡による測定の精度にとってさらに有利である。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の典型的な実施形態例の走査型プローブ顕微鏡を示す。
【図２】本発明の典型的な実施形態例の異なる固定装置を示す。
【図３】本発明の典型的な実施形態例の異なる固定装置を示す。
【図４】本発明の典型的な実施形態例の異なる固定装置を示す。
【図５】本発明の典型的な実施形態例の異なる固定装置を示す。
【図６】本発明の典型的な実施形態例の異なる固定装置を示す。
【図７】本発明の典型的な実施形態例の異なる固定装置を示す。
【図８】本発明の典型的な実施形態例の異なる固定装置を示す。
【図９】本発明の典型的な実施形態例の異なる固定装置を示す。
【図１０】本発明の典型的な実施形態例の異なる固定装置を示す。
【図１１】本発明の典型的な実施形態例の異なる固定装置を示す。
【図１２】走査型プローブ顕微鏡のための測定探針を、それがどのように直接、付加的構成要素なしで固定装置に本発明の典型的な実施形態例で導入されるかを示す。
【発明を実施するための形態】
【００４２】
以下に本発明の典型的な実施形態例が以下の図を参照して詳細に説明される。
【００４３】
異なる図の中の同じまたは類似の構成要素には同じ符号が付されている。
【００４４】
図に関連して本発明の典型的な実施形態例が説明される前にまだいくつかの本発明の一般的な観点および基礎をなす技術が解説されるべきである：
【００４５】
試料表面の様々な特性を検査することができるように走査型プローブ顕微鏡（ＡＦＭ）の分解能が公知であることは有利である。ＡＦＭ機器の分解能は最終的には測定探針のナノスケールの測定先端部の１０分の１ナノメートルの大きさの曲率半径によって決定される。測定方法あるいは測定時間によって先端部は機械的に強く酷使される。そのため測定探針は定期的に交換される。この理由からＡＦＭ中の測定探針はしばしば消費材としてみなされる。そのため機器中の測定探針の交換は使用者にとってできるだけ簡単に可能であるべきであり、それは測定探針の小ささおよび非常に繊細な測定探針先端部のために問題であり、測定探針の破壊に繋がることがある。
【００４６】
カンチレバはしばしば反磁性材料を有するため、これを直接測定機器の磁石に固定することは不可能である。従来カンチレバは例えば 強磁性カンチレバチップ上に貼着される。
【００４７】
原子間力顕微鏡中のさらなる重要なパラメータは機器中の測定アクチュエータの走査パフォーマンスであるが、それはその共振周波数によって制限される。周波数はｚアクチュエータでの増加する質量とともに低下する。測定機器の構造によって測定されるべき試料および／または測定探針は動くことが可能である。そのことから測定探針の動きは探針質量の動きだけではなく探針固定の動きおよびこの領域の他の機器部品の動きをも意味する。この理由から測定探針固定の低減された質量が望ましい。２つの矛盾する要請（小質量および高剛性）は走査型プローブ顕微鏡の測定動作と測定探針固定の耐久性の間の妥協を強いる。そのことから従来の固定機構の剛性と耐久性は、好適に測定探針固定の部品はカンチレバ先端部の下に突出するべきではないという事実によっても制限される。
【００４８】
測定されるべき試料の電気的特性をＳＰＭ／ＡＦＭで検出するために測定探針は導電性材料を有するかまたは導電性層が塗着されるべきである。さらに走査型プローブ顕微鏡と測定探針の間の電気接触が設けられるべきである。測定探針の製造方法における制限のために、測定探針がケイ素または窒化ケイ素のような半導電性または非導電性材料から製造され、下側（カンチレバ先端部がある側）に金属層を備えることが一般的である。そのため測定探針が走査型プローブ顕微鏡の中に挿嵌された状態で下側と接触すると有利である。例えば測定探針の下側のワイヤとの時間のかかる接合のような、全てのそれぞれの測定探針の変形または汚染は回避されるべきであるため、本発明の典型的な実施形態例は測定探針固定のさらなる発展を示す。さらに粗雑な環境条件の元（例えば変動する温度および／または高湿度の元）での測定時の接着剤の溶解は除外できず、それは接着されたカンチレバによる従来の測定を少なくとも非常に問題のあるものにする。走査型プローブ顕微鏡の中の固定機構が（固定継手を含む）旋回部材を有するとき、これは例えばワイヤまたは導電性ヒンジと橋架されるべきである。そのとき特にワイヤが一日に何度も旋回運動に酷使されると問題が生じる。これはシステムの耐久性に悪影響を与える。導電性ヒンジによる解決法は付加的にシステムの複雑さをもたらし、カンチレバの走査型プローブ顕微鏡の残りの部分との適切な接触および絶縁が困難になる。
【００４９】
全ての従来の解決法は異なる欠点あるいは弱点を有する。説明されたクランプ手段は、無視できる程度の質量を持ち、測定探針の下のいずれにせよごく小さな空間と互換するために、いずれも非常に薄く小さくなくてはならない。しかし僅かなクランプ厚さおよびクランプ手段の僅かな剛性は最大クランプ力をも制限する。測定探針への過大な力はクランプを変形させかねない。そのため旋回軸を可能な限り測定探針に近づけるためにクランプ長さも可能な限り小さく保たれなければならない。
【００５０】
試料の電気的特性（特に導電率、抵抗、圧電特性、表面電位）の走査型プローブ顕微鏡による測定の際、測定探針の電位を制御することが通常有利である。この理由から走査型プローブ顕微鏡と測定探針の下側との間の連続した途切れのない電気的接続が成立するべきである。上記の継手接触またはワイヤ接続による解決法はそれらの小型実施においてエラーが発生しやすい。なぜならそれらが測定工程中に電気的接触を非常に失いやすいためである。
【００５１】
小さなプリント回路（ＰＣＢ、ｐｒｉｎｔｅｄ  ｃｉｒｃｕｉｔ  ｂｏａｒｄ）を下側に有する測定探針は直接担体の中に挿入され上側から固定されることができる。走査型プローブ顕微鏡中にある担体はさらなる実施形態中でプリント回路の相対物でありうる。それによって簡単な電流測定およびそれとともに例えば地形測定が実現される。
【００５２】
有利なことに本発明の典型的な実施形態例にはカンチレバの（すなわち測定探針の）固定が上面から行われるとき空間的制限がない。本発明の好適な実施形態例では例えば磁石またはばねが上から直接測定探針を押圧するため本発明の典型的な実施形態例では機械的継手の必要がない。それによって必要なクランプ力は簡単に達成されることができ、走査型プローブ顕微鏡の測定パフォーマンスは測定探針の質量低減によって向上され、走査型プローブ顕微鏡の剛性は小型継手の省略および簡単な機械的構成によって向上されることができる。導入装置を成形できる固定された担体は例えば３つの縁部を介して測定探針と接続されることができ、それは良好な安定性を保証し、カンチレバの過度な屈曲の場合の問題をもたらさない。それに対してクランプ固定の際測定探針は下から１つの点のみで固定される。
【００５３】
図１は本発明の典型的な実施形態例による原子間力顕微鏡（ａｔｏｍｉｃ  ｆｏｒｃｅ  ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ、ＡＦＭ）として形成される走査型プローブ顕微鏡１を示す。
【００５４】
走査型プローブ顕微鏡１ではカンチレバの振り幅、つまり（カンチレバとも呼ばれる）測定探針１１の位置変化あるいは形状変化が光学センサの助力を借りて検出される。そのとき電磁放射線源２（例えばレーザ光源）が一次電磁ビーム１３（とりわけ光線）を（１つまたは複数の光学レンズによって形成されることができる構造としての）集束装置１２を介して測定探針１１に送る。測定探針１１から反射された二次電磁ビーム３は感光性位置検出器１０に伝播する（特に二次電磁ビーム３は偏向ミラー１４または他の光学的偏向部材を使って位置検出器１０に偏向されることができる）。測定探針１１が （図１における垂直のｚ方向への位置変化を保証することができる）アクチュエータ４を介して作動されおよび／または測定探針１１がその形状を変化させるとき、位置検出器１０のレーザ光の変化が検出される。測定探針１１の（カンチレバ先端部とも呼ばれる）測定先端部５と検査されるべきあるいは特徴付けられるべき試料体６との相互作用によって測定探針１１の振り幅が変化し検出器１０のそれに属する領域には二次電磁ビーム３が当たる。その後検出器の信号は判定手段８で処理される。生成された試料体６の表面の高解像度の画像はその後表示装置９を使って表示される。試料体６の表面は測定先端部５（つまり測定探針１１の高感度の先端部）によって走査される。試料台１７は図１の水平面で（つまりｚ軸に直交するｘ方向とｙ方向に）アクチュエータ１８を使って動かすことができる。このように走査型プローブ顕微鏡１は試料体６についての表面情報を測定探針１１を使った試料体６表面のラスター走査によって検出するために役立つ。
【００５５】
さらに図１で測定探針１１を走査型プローブ顕微鏡１に仮固定するための固定装置２０が概略的に示される。固定装置２０の実施形態例は図２から図１１に詳細に示される。固定装置２０は定義されたマスター力を生成するための（図１では電磁石として形成されている）外部のマスター力装置３４を含み、それによって測定探針１１が選択的に固定装置２０から解除されることができる。固定装置２０はさらに導入装置２２を備え、それは収容孔空間を画定し、その中に測定探針１１が走査型プローブ顕微鏡１に固定される前に使用者によって導入されることができる。それによって工具なしで作動できる固定機構２４が固定装置２０の部分を成形し、導入装置２２に導入された測定探針１１の解除可能な固定に使用される。固定機構２４は導入装置２２に導入され固定された測定探針１１の解除のためのマスター力装置３４を使って工具および接触なしで作動することができる。別の表現をすると、固定解除は設定可能なマスター力の行使によって行われるため、固定は選択的に無効にされることができ、そのときマスター力はマスター力装置３４を使って生成されることができる。固定機構２４はマスター力がオフのとき（つまりマスター力装置３４が非活性状態であるとき）固定を成し遂げ、マスター力がオンのとき（つまりマスター力装置３４が活性状態であるとき）測定探針１１を導入装置２２に導入するための固定の解除または測定探針１１を導入装置２２から除去することを許可するように構成されることができる。マスター力装置３４を使って生成されたマスター力は（例えば電気的に活性化可能なマスター力電磁石を使ってもたらされる）磁気マスター力でありうる。
【００５６】
図１から図１１および最良には図１２でわかるように、測定探針１１は固定装置２０を使った固定のための探針体７および試料体６表面の走査のための測定先端部５を備える。測定先端部５に向き合う測定探針１１の表面は導電性であることができ、固定装置２０に固定された状態で図２に示される走査型プローブ顕微鏡１の電気測定装置４５と導電的に試料体６の電気特性が示す情報の検出のために結合されることができる。測定探針１１の上部、正確に言うと測定探針１１の探針体７の上部は、上述の光学的検出原理を補助するために光学的に反射される特性を持つか光学的に反射される層を設けることができる。
【００５７】
原子間力顕微鏡として形成された走査型プローブ顕微鏡１の別の実施形態例では（容量検出原理に基づいた）自家感応性の測定探針１１が設けられることができる。相応の測定探針１１はその構造中に圧電特性を有することのできる（図示されない）部品を含む。測定探針の偏向が試料体６の表面構造のために変化するとき、そのような測定探針１１はその抵抗／電流特性を変えることができる。作動中の電流／抵抗関係を測定するために、そのような測定探針１１は電気的接触を設ける。相応の測定探針１１は（例えばプリント回路基板、ＰＣＢの形状の）プリント回路をその下面に備える。本発明の典型的な実施形態例ではこのような測定探針１１は修正されずに使用されることができ、固定装置２０の対応部分を使って１つまたは複数の回路が接触されることができる。
【００５８】
固定原理の以下のグループは、測定探針１１あるいはカンチレバが何らかの形の圧力体によって直線的に例えば磁力の作用による偏向なしに上から固定装置２０の接触板に対して押圧されることを特徴とする。これに関連して例えば直接（特に引力および／または反発および／または磁気抵抗を使って）または間接的に（例えばトグルを使用して）実装されることのできる磁性クランプも可能である。代換的あるいは補助的に同様に直接（例えば圧縮ばねを使っておよび／または 空気圧クランプを使って）または間接的に測定探針１１に作用する非磁性クランプも可能である。以下で図２から図１１に関連して、固定装置２０の多数の可能な実施形態を解説するが、本発明はそれらに限定されない。
【００５９】
図２は本発明の好適な実施形態例による固定装置２０を示す。
【００６０】
図２は測定探針１１がどのように導入装置２２の収容軸に収容されるかを示す。ここでは以下で説明される固定機構２４が非活性化される間、測定探針１１が収容軸の中に挿入される。収容軸は試験体から遠い上部固定体４６と試験体から近い下部固定体４８の間の間隙として定義される。固定体４６、４８は走査型プローブ顕微鏡１のハウジングの一部を成形する。電気信号を測定探針１１と交換することができるように（電気測定装置４５参照）下部固定体４８は導電性材料を有するかそれから成ることができる。図２が示すように測定探針１１は裸かあるいはそれとして、つまり測定探針１１に使用される補助体を適用することなく収容軸に挿入される。別の表現をすると、測定探針１１はそれが図１２に示されるように例えばある構成あるいは構造とともに収容軸に導入されることができる。これは高感度の走査測定の再現性がそのような補助体の定義されない重大な追加質量によって改ざんまたは影響されないという利点を持つ。
【００６１】
固定装置２０の固定機構２４が２つのここでは永久磁石（代換的には電磁石）として形成された磁性部材３０、３２を有し、それらは上部固定体４６の中の収容孔空間の中に配置される。それぞれの磁性部材３０、３２の北極は図では「Ｎ」と符号付けられ、それに対してそれぞれの磁性部材３０、３２の南極は図の中で「Ｓ」と符号付けられている。２つの磁性部材３０、３２は図２で導入装置２２の２つの互いに向かい合う固定体４６、４８の同じものの中に配置されている。示された実施形態例では磁性部材３０と３２との間の磁気相互作用力が、導入装置２２に導入される測定探針１１が導入装置２２の中でこの磁気相互作用力によって挟持固定されるように形成されている。図２の符号ＳあるいはＮからわかるように、２つの磁性部材３０、３２は互いに反発し合う。この反発する磁気相互作用力によって磁性部材３０、３２は導入装置２２に導入された測定探針１１に、これが導入装置２２の中で挟持固定されるように作用する。磁性部材３０は固定装置２０の中に不動に支持され、例えばそこで接着される。それに対して磁性部材３２は固定装置２０の中に可動に支持される。そのため反発する磁力の影響の元で磁性部材３２は導入装置２２の収容軸の方向に押圧されそのようにして固定するクランプ力を測定探針１１上に行使する。導入装置２２は付加的に有利に、ただし任意の示された実施形態例で球的あるいは球状の非磁性に形成されうる保持力補強部材３６を備えるが、必須ではない。保持力強化部材３６は磁性部材３２と収容軸に導入された測定探針１１の間の中間部材あるいは力伝送器として作用し、それによって測定探針１１が導入装置２２に導入された状態で球状に湾曲した接触面で直接測定探針１１上を押圧する。測定探針１１はそれによってほとんど点状に強いクランプ力に付勢される。
【００６２】
図２ではつまり直接の磁性クランプが磁性部材３０、３２の間の反発する磁力の使用の元で発生する。この反発の変形では測定探針１１あるいはカンチレバが同様に下部固定体４８の形の接触板と磁性部材３２の形の可動自在な磁石の間で挟持される。可動磁性部材３２を介して固定磁性部材３０が取り付けられ、磁性部材３０、３２は互いに相関して２つの磁性部材３０、３２が反発し合うように方向付けられる。
【００６３】
固定磁性部材３０の磁場にそれに逆行して方向付けられた、測定探針１１の可動磁性部材３２を突き除く磁場が押し付けられることにより、保持力強化部材３６と下部固定体４８の間の測定探針１１のクランプは解除される。示された実施形態例ではこれが空間的に可動であり（二重矢印７７参照）、同様に永久磁石として形成されたマスター力装置３４によって達成され、このマスター力装置３４が、クランプを妨害なく測定探針１１に作用させるために、クランプを解除するため、または磁性部材３０、３２のクランプから除去できるように磁性部材３０、３２に近づけることができる。ここでは永久磁石の磁場強度が間隔が拡大するにつれ縮小するという自然の法則を有利に利用することができる。代換的に可動永久磁石としてマスター力装置３４を設けるために、マスター力装置３４を（例えば定常の）電磁石として形成することも可能であり、測定探針１１が収容軸から（例えばこれを交換するために）取り出されるべきとき、この電磁石はクランプ力を解除する反力を生成するための電気活性化信号を発信することにより作動されることができる。
【００６４】
図２によると固定はつまり反発し合う磁石配置（磁性部材３０、３２参照）を介して達成され、その磁石配置は有利には上から（つまり上部固定体４６に統合され）修正されない測定探針１１の非導電性部分上を押圧し、測定探針１１の導電性の下側を固定された導電性担持体（つまりここでは接触板として形成された下部固定体４８）と走査型プローブ顕微鏡１の中で接続する。下部固定体４８の形のこの担持体はさらに任意に電流／電圧源あるいは測定装置４５と接続される。この実施形態例に任意に設けられる圧電アクチュエータは図２の符号５０によって示される。
【００６５】
固定解除のための磁性部材３２を収容孔空間から取り出すために、図２で示された位置関係では（ここでは磁性部材３０、３２の下に配置された）マスター力装置３４の磁場が磁性部材３２に反発する。しかし図２で示された位置関係に代換的に、マスター力装置３４を使って磁性部材３２を引付ける（図示されない）磁力を生成することも可能である。後者の実施形態では、マスター力装置３４の北極および南極がその後逆転したかのように、マスター力装置３４が２つの磁性部材３０、３２の上に配置されることができる。
【００６６】
図３は本発明の別の典型的な実施形態例による固定装置２０を示す。
【００６７】
図３では２つの磁性部材３０、３２が形成され、それらの磁気相互作用力の結果引付け合い、そのようにして導入装置２２に挿入された測定探針１１上に、これが導入装置２２の中で挟持固定されるように作用する。ここでは２つの磁性部材３０、３２のそれぞれが２つの互いに向かい合う固定体４６、４８のうちのもう１つの中、あるいはその部分として配置される。このとき可動に支持された磁性部材３０は移動可能に上部固定体４６の収容孔空間中に配置され、それに対してこのとき定常な磁性部材３２は下部固定体４８の一部として形成される（図３の中の「Ｆｅ」という符号は、この実施形態では第２磁性部材３２が強磁性材料から成る下部固定体４８を設けることで形成されることを暗示する）。それによって図３では磁気的クランプが測定探針１１をサンドイッチのように挟み込む２つの磁性部材３０、３２の直接の引き付けによって達成される。
【００６８】
測定探針１１あるいはカンチレバを接触板の形の下部固定体４８に対して挟持するため、図３の引き付けモードでは２つの磁性部材３０、３２の間のあるいは磁石と強磁性部材の間の引力が利用される。ここでは接触板が例えばフェライト鋼（例えば 耐食クロム鋼１，１２７４）から製造されることができる。測定探針１１あるいはカンチレバの別の面上には磁性部材３０の形の可動自在な磁石がある。磁石と接触板の間の引力は、双方の間にカンチレバが挟持される結果を生む。クランプを解除するために接触板が外から磁場によって付勢され、これは可動磁石の磁場に対置されこれに反発する。代換的に対置する側に可動自在な磁石を引付ける磁場が設けられることができる。両方の変形は可動な永久磁石のマスター力装置３４を使って、または不動の電磁石的マスター力装置３４を使って実現されることができる。
【００６９】
図４は本発明の別の典型的な実施形態例による固定装置２０を示す。
【００７０】
図４の実施形態は可動磁性部材３０、不動磁性部材３２および付加的に可動磁性部材３０と測定探針１１の間の保持力強化部材３６を開示する。磁性部材３０、３２は、常に引付ける力作用が支配しそれによって測定探針１１が固定されるように配置される。磁性部材３２は保持力強化部材３６を中心に特に管状に配置され固定的に上部固定体４６に植設される。示された実施形態例では保持力強化部材３６が湾曲した作用面あるいは力伝送面を有するピストンとして形成され、それは力を強化しあるいは力を集中して測定探針１１に作用することができる。図４の下部固定体４８は非磁性に形成されることができる。
【００７１】
図５は本発明の別の典型的実施形態例による固定装置２０を示す。
【００７２】
図５の実施形態例は図２のものに大幅に相応し、図５では保持力強化部材３６が省略されている。
【００７３】
図６は本発明のさらに別の典型的実施形態例による固定装置２０を示す。
【００７４】
図６では２つの磁性部材３０、３２のそれぞれが導入装置２２の２つの互いに向かい合う固定体４６、４８のもう１つのものに配置されている。測定探針１１の導入装置２２の中での挟持固定は図６により以下でさらに詳しく説明される回転レバ機構を使って達成される。図６のさらなる反発変形では測定探針１１あるいはカンチレバがまたも接触板の形の下部固定体４８とハウジングの部分としての上部固定体４６の間で挟持される。前述の実施形態例とは異なり図６では磁性部材３２の形の固定磁石が下部固定体４８に取り付けられ、磁性部材３０の形のもう１つの固定磁石が上部固定体４６に設置される。磁性部材３０、３２は ２つの磁性部材３０、３２が反発し合うように互いに対して方向付けられている。下部固定体４８の形で磁性部材３２とともに実現された旋回可能なレバアームは旋回軸受５３を中心に旋回可能に軸支される。磁性部材３０、３２に向かい合う旋回アーム端部は互いに反発し合う磁性部材３０、３２の元で測定探針１１を固定体４６と４８との間で挟持固定する。接触板の中の固定磁石の磁場に、対置して方向付けられた、下部固定体４８あるいは担持体を旋回軸受５３の旋回点を介して上に引っ張る磁場が押し付けられることによりクランプは解除される。クランプの解除はまたもやマスター力装置３４によって行われることができる。
【００７５】
図７は本発明のさらなる典型的実施形態例による固定装置２０を示す。
【００７６】
図７では磁性部材３０が空隙を有する磁気回路を形成するために働く。ここでは球状に形成される別の磁性部材３２が空隙中に可動に配置されこの空隙から磁力の影響の元で引き出されあるいは下に押圧され、その磁力は磁性部材３０および空隙を有する磁気回路のために必然的に成形される。図７の実施形態例ではこのように磁気抵抗の原理を利用して上からの直接の挟持が行われる。この実施形態例では強磁性物質の中に導入された磁気回路が構築され、それは直接測定探針１１あるいはカンチレバに渡って短い空隙を備える。空隙の磁気抵抗がこのような方法で強く減退するため、好適に球体である可動自在な強磁性圧力体は間隙の中に引き込まれる。圧力体によって圧力をカンチレバ上に行使するためにこの効果が利用される。クランプを破棄するために圧力体は再びマスター力装置３４を使って空隙から引き抜かれる。これはマスター力装置３４によって（例えばばねおよび／またはレバを使って）機械的に（例えば圧力体を介した負圧を使って）空気圧的におよび／またはさらなる磁場によって達成されることができる。
【００７７】
以下に間接的磁気クランプが使用される実施形態例が説明される。次の実施形態例のコンセプトは、測定探針１１あるいはカンチレバを下から接触板の形の下部固定体４８に対して押圧するために一種の力偏向に遡る。
【００７８】
図８は本発明の典型的実施形態例による相応の固定装置２０を示す。
【００７９】
図８の固定機構２４はマスター力不在のとき実質的にＣ字型に湾曲した部材を備え、それはマスター力が作用するとき湾曲が除去され（つまりその湾曲を低減し、その結果直線的な構成に近づき）、それによって測定探針１１の挟持固定の形成の元で導入装置２２中の測定探針１１の収容孔空間まで延在するように形成される。図８では湾曲部材２４が形状記憶を有する材料（例えばニチノール）を備え、それは熱的マスター力が作用するとき少なくとも部分的に湾曲が除去される。付属するマスター力装置３４はそのため加熱および／または冷却装置として形成され、それは湾曲部材を合目的的加熱あるいは冷却によって湾曲されたまたは湾曲を除去された構成に変えることができ、それによって「解除」と「固定」の間が相互に切り換えられることができる。このように熱作用の元で定義された変形がなされる形状記憶金属を使用することができる。
【００８０】
図９は本発明のさらなる典型的実施形態例による固定装置２０を示す。図９では湾曲部材２４が磁気マスター力が作用するとき少なくとも部分的に湾曲が除去される磁性材料を備える。つまり図８に代換的に図９で定義された変形をするために磁石によって直立させられる強磁性板を使うことも可能である。カンチレバ上の凹部の中に力のない状態のわずかに湾曲した強磁性板がある。側面から磁場を当てると板は真っ直ぐに曲げられ、直立しそれによってカンチレバを接触板に対し挟持する。それによって図９のコンセプトは図８のコンセプトのようにトグルレバの原理を利用している。
【００８１】
以下に説明される実施形態例は直接非磁性クランプを達成し、カンチレバが何らかの形の圧力体によって直線的に偏向なく下から接触板に対して押圧されることによって特徴付けられる。ただしこの実施形態例では押圧力の供給源は非磁性である。
【００８２】
図１０は本発明のそのような典型的実施形態例による固定装置２０を示す。
【００８３】
図１０の固定機構２４は磁性部材３０および磁性部材３０を導入装置２２中の測定探針１１を収容するための収容孔空間の中に付勢する非磁性付勢部材３８を備える。つまり外部の磁力なしで付勢部材３８は磁性部材３０を測定探針１１の導入のための収容孔空間の中に押し込む。ただし磁性部材３０は磁気マスター力装置３４を使って行使される磁気マスター力を使って収容孔空間から取り出されることができる。非磁性付勢部材３８は図１０で機械ばねである。この変形ではカンチレバが上から − 好適には球体である − 強磁性圧力体を介して機械ばねにより接触板に対して挟持される。磁場を設置することにより圧力体は機械ばねに対して再びカンチレバから引き抜かれることができる。
【００８４】
図１１は本発明の典型的実施形態例による固定装置２０を示す。図１１では非磁性付勢部材３８が空気圧的付勢部材である。この変形ではカンチレバが上から − 好適には球体または球状の表面を備えた部分を有する個体である − 圧力体を介して、圧力体のカンチレバとは逆の側に過圧を加えることで、接触板に対して挟持される。過圧の排除またはそれとも該当する箇所に負圧を設けることで、空気圧マスター力装置３４によって制御され、クランプは解除されることができる。代換的に圧力体は磁場の設置によっても再びカンチレバから引き抜かれることができる。空気圧制御圧はマスター力装置３４を使って生成され圧力管４０を介して固定機構２４の圧力体に伝達されることができる。
【００８５】
図１２は走査型プローブ顕微鏡１のためのカンチレバとも呼ばれる測定探針１１がどのように直接付加部材なしに本発明の典型的実施形態例による固定装置２２に導入されることができるかを示す。測定探針１１は機械的安定性の達成のための核または基体８０を含み、それは例えばケイ素または窒化ケイ素から製造されることができる。基体８０の下側には、検査されるべき試料表面の走査の際の測定探針１１の位置変化の検出のために形成される反射膜８２が設置される。走査型プローブ顕微鏡１が光学的検出に基づいていないとき、反射膜８２は省略されることができる。基体８０の上側は（例えばチタンから成る）光学的接着剤層８４およびその上に設けられた（例えば白金から成る）導電性層８６によって被膜されている。接着剤層８４は 導電性層８６の付着を改善する。導電性層８６は検査されるべき試料体６の表面の走査の際の電気信号の検出に使われ、そのような電気的測定が行われるべきでないときには省略されることができる。測定探針１１はさらに、例えばカーボンナノチューブとして形成されることができる測定先端部５を含む。
【００８６】
補足として「有する」とは他の部材または段階を除外するものではなく、「ひとつの」は複数であることを除外するものではないことを示唆しておきたい。さらに上述の実施形態例の１つを参照に説明された特徴または段階は、上述された他の実施形態例の他の特徴または段階との組み合わせで使用されることもあることを示唆したい。特許請求の範囲の符号は限定するものと見るべきではない。
【図１】
2017040656.tif 000003
【図２】
2017040656.tif 000004
【図３】
2017040656.tif 000005
【図４】
2017040656.tif 000006
【図５】
2017040656.tif 000007
【図６】
2017040656.tif 000008
【図７】
2017040656.tif 000009
【図８】
2017040656.tif 000010
【図９】
2017040656.tif 000011
【図１０】
2017040656.tif 000012
【図１１】
2017040656.tif 000013
【図１２】
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【外国語明細書】
2017040656000001.pdf