(57)【要約】【課題】検査対象の内部欠陥を、検査効率を向上させつつ高精度に検出できること。【解決手段】移動車両１１の移動中に加振装置１２及び振動計測装置１３を動作させ、振動計測装置の計測データに基づいて検査対象１の内部欠陥を検査する移動検査装置１０であって、振動計測装置が計測点１９の位置を変更可能とする計測点位置変更機構部２１を介して移動車両に搭載されると共に、加振装置と検査対象との距離Ｌｐを計測する距離計測装置２２と、移動車両の移動速度Ｖｃを計測する移動速度計測装置２３とが移動車両に搭載され、計測点制御装置２４は、距離Ｌｐ及び移動速度Ｖｃに基づいて、振動計測装置１３の計測点１９を、加振装置１２により加振された検査対象の加振点１７に一致させるべく振動計測装置の位置を制御するための制御量θを演算し、この制御量に対応する動作指令を計測点位置変更機構部２１へ送信して、振動計測装置１３の位置を制御する。【選択図】  図３
2017040605.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象に対して移動する移動体と、
前記移動体に搭載されて予め定めた領域を点加振させる加振装置と、
前記移動体に搭載されて前記検査対象の計測点の振動を計測する振動計測装置と、
前記加振装置と前記検査対象との距離を計測する距離計測装置と、
前記距離計測装置が計測した前記距離及び前記移動体の移動速度に基づいて前記加振装置及び前記振動計測装置の少なくともいずれかの位置を制御するための制御量を演算し出力する制御装置と、
前記制御装置の出力する前記制御量に基づき前記加振装置及び前記振動計測装置の少なくともいずれかの位置を調整する位置変更機構部と、を備え、
前記移動体の移動中に前記加振装置及び前記振動計測装置を動作させ、この振動計測装置の計測データに基づいて前記検査対象の内部欠陥を検出することを特徴とする移動検査装置。
【請求項２】
前記位置変更機構部は、前記振動計測装置の前記計測点の位置を変更可能とするように構成され、
前記移動体の移動速度を計測する移動速度計測装置をさらに備え、
前記制御装置は、前記距離及び前記移動速度計測装置により計測された移動速度に基づいて、前記加振装置により点加振される前記検査対象の前記領域に前記振動計測装置の計測点を一致させるような前記制御量を演算するよう構成され、
前記位置変更機構部は、前記制御量に基づき、前記振動計測装置の位置を調整するよう構成されたことを特徴とする請求項１記載の移動検査装置。
【請求項３】
前記加振装置及び前記振動計測装置が前記移動体上に垂直方向を向けて設置され、
前記制御装置が演算する前記制御量は、前記加振装置の動作開始から前記検査対象が加振されるまでの間に移動する前記移動体の移動量である設置間距離であり、
前記位置変更機構部は、前記設置間距離に応じて前記加振装置と前記振動計測装置との設置位置を調整可能に構成されたことを特徴とする請求項１記載の移動検査装置。
【請求項４】
前記加振装置は、音波を照射する音響システムであり、また、前記振動計測装置は、レーザ光を照射して計測点の振動を計測するレーザドップラー振動計であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の移動検査装置。
【請求項５】
前記距離計測装置は、検査対象における内部欠陥の検査前に動作する加振装置及び距離計測装置であり、前記加振装置の動作開始時点から前記振動計測装置による前記検査対象の振動計測時点までの時間に基づいて、前記加振点と前記検査対象との距離が演算により計測されることを特徴とする請求項３に記載の移動検査装置。
【請求項６】
予め定めた領域を点加振する加振装置と、検査対象の計測点の振動を計測する振動計測装置とを搭載し、前記加振装置及び前記振動計測装置を動作させ、この振動計測装置の計測データに基づいて前記検査対象の内部欠陥を検出する移動検査装置を用いた移動検査方法であって、
前記移動検査装置を移動させるステップと、
前記加振装置と前記検査対象との距離及び前記移動体の移動速度に基づいて、前記加振装置及び前記振動計測装置の少なくともいずれかの位置を調整するステップと、
を有することを特徴とする移動検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、例えばコンクリート構造物などの検査対象の内部欠陥を、検査対象に対して移動しながら、検査対象を加振し計測点の振動を計測することで検出する移動検査装置及びこれを用いた移動検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
トンネル等のようなコンクリート構造物の内部状況検査は、熟練した検査員がハンマーで打撃し、その際に発生する音を聞いて欠陥の有無を判定する打音検査が現在主流である。しかしながら、打音検査は、検査対象に近接する必要があるため、検査箇所が高所にある場合には足場を組んだり、高所作業車を利用する必要があり、作業量が膨大になる。また、熟練検査員の判定が必要になって、今後老朽化を迎えるトンネル数の増大に対して、物理的に対応できなくなる可能性がある。
【０００３】
これに対して様々な工夫がなされており、例えば上述の打音検査を自動化する方法がある。また、打音検査に代わる方法として、赤外線カメラを用いて内部剥離を検出する方法や、電磁波レーダを用いた方法など多数の方法が考えられており、実証のフェーズに入っている手法もある。
また、打音検査を非接触で代替できる技術として、ハンマーで打撃を与える代わりにスピーカなどの音響システムでコンクリートを加振し、レーザ振動計でコンクリート表面に発生した振動を計測して信号処理により欠陥の有無を判定する手法も知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−２４７７３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
コンクリート構造物の欠陥は様々な深さや大きさで存在するため、音でコンクリートを加振しコンクリート表面に発生した振動をレーザ振動計で計測・処理して欠陥の有無を判定する手法では、広い範囲の周波数成分を含む音でコンクリートを加振することが望ましいと考えられる。広い周波数成分を含む音を瞬時に発生する代表的な加振形態はインパルス、すなわち点加振であると考えられる。
【０００６】
しかしながら、点加振を行うと、移動により加振点と計測点とに「ずれ」が生じ、移動しながらの検査では精度のよい欠陥計測ができなくなる可能性がある。例えば、検査対象が１０ｍ先にあり、時速５０ｋｍ／ｈで移動しながらの検査する場合には、加振のための音波が到達するまでに約３０μｓが必要となり、計測点は加振点と約０．４ｍの「ずれ」が生じることになって、精度のよい欠陥検査を実施できない可能性がある。
【０００７】
本発明の実施形態は、上述の事情を考慮してなされたものであり、検査対象の内部欠陥を、検査効率を向上させつつ高精度に検出できる移動検査装置及びこれを用いた検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の実施形態に係る移動検査装置は、検査対象に対して移動する移動体と、前記移動体に搭載されて予め定めた領域を点加振させる加振装置と、前記移動体に搭載されて前記検査対象の計測点の振動を計測する振動計測装置と、前記加振装置と前記検査対象との距離を計測する距離計測装置と、前記距離計測装置が計測した前記距離及び前記移動体の移動速度に基づいて前記加振装置及び前記振動計測装置の少なくともいずれかの位置を制御するための制御量を演算し出力する制御装置と、前記制御装置の出力する前記制御量に基づき前記加振装置及び前記振動計測装置の少なくともいずれかの位置を調整する位置変更機構部と、を備え、前記移動体の移動中に前記加振装置及び前記振動計測装置を動作させ、この振動計測装置の計測データに基づいて前記検査対象の内部欠陥を検出することを特徴とするものである。
【０００９】
また、本発明の実施形態に係る移動検査装置を用いた移動検査方法は、予め定めた領域を点加振する加振装置と、検査対象の計測点の振動を計測する振動計測装置とを搭載し、前記加振装置及び前記振動計測装置を動作させ、この振動計測装置の計測データに基づいて前記検査対象の内部欠陥を検出する移動検査装置を用いた移動検査方法であって、前記移動検査装置を移動させるステップと、前記加振装置と前記検査対象との距離及び前記移動体の移動速度に基づいて前記加振装置及び前記振動計測装置の少なくともいずれかの位置を調整するステップと、を有することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の実施形態によれば、検査対象の内部欠陥を、検査効率を向上させつつ高精度に検出できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１実施形態に係る移動検査装置を示す構成図。
【図２】図１の移動検査装置の計測点制御機構を作動させないで検査対象の内部欠陥を検査する状況を示し、（Ａ）は移動車両の静止時の説明図、（Ｂ）は移動車両の移動時の説明図。
【図３】図１の移動検査装置の計測点制御機構を作動させて検査対象の内部欠陥を検査する状況を説明する説明図。
【図４】図３の移動計測装置の位置を制御するための制御量を算出する過程を概念的に示す説明図。
【図５】図１の計測点制御装置及び制御・処理装置が行う動作を示すフローチャート。
【図６】本発明の第２実施形態に係る移動検査装置を示す構成図。
【図７】図６の設置間距離演算装置及び制御・処理装置が行う動作を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明を実施するための実施形態を図面に基づき説明する。
［Ａ］第１実施形態（図１〜図５）
図１は、本発明の第１実施形態に係る移動検査装置を示す構成図である。この図１に示す移動検査装置１０は、移動体としての移動車両１１の検査対象１に対する移動中に、この移動車両１１に搭載された加振装置１２及び振動計測装置１３によって検査対象１の内部欠陥を検出するものであり、上述の移動車両１１、加振装置１２及び振動計測装置１３、並びに制御・処理装置１４及び計測点制御機構１５を有して構成される。
【００１３】
検査対象１は、例えばトンネルなどのコンクリート構造物であり、移動検査装置１０は、このコンクリート構造物の内部に生じた剥離や浮きなどの内部欠陥を検出する。この検査対象１に対して移動する移動車両１１は、本実施形態では自動車の例を示すが、電車などであってもよい。また、この移動車両１１は、検査対象１の内部欠陥検査の際には等速で直線状に移動することが好ましいが、計測点制御機構１５の計測点制御装置２４（後述）において移動車両１１の移動量Ｌｍ（図３）を演算可能であれば、その移動状況が制限されることはない。
【００１４】
加振装置１２は、検査対象１の狭い範囲、すなわち予め定めた領域を選択的に加振するものであり、音波１６を照射するスピーカなどの音響システムが好ましいが、物理的に小さな物体（例えば小球）を検査対象１に打ち付ける装置であってもよい。音響システムとしては、照射する音波１６の指向性を制御可能なフェーズドアレイスピーカやパラメトリックスピーカ、またはパラボラ形状の集束型スピーカが用いられる。更に、この音響システムによる検査対象１の加振形態は、コンクリート構造物の内部欠陥が様々な深さや大きさで存在することから、広い範囲の周波数成分を含む音を瞬時に発生する加振形態、即ち点加振（インパルス）が好ましい。検査対象１において加振装置１２から照射される音波１６により加振される点を加振点１７と称する。
【００１５】
振動計測装置１３は、検査対象１へレーザ光１８を照射して、このレーザ光１８が照射された検査対象１の計測点１９の振動を計測するレーザドップラー振動計である。検査対象１であるコンクリート構造物の内部に剥離や浮きなどの内部欠陥が存在する場合には、加振装置１２から照射される音波１６によって検査対象１が加振されると、内部欠陥に起因する撓み振動が検査対象１の表面に発生する。振動計測装置１３は、この撓み振動を主に計測する。
【００１６】
制御・処理装置１４は、移動車両１１の移動中に加振装置１２及び振動計測装置１３を動作させ、振動計測装置１３の計測データに基づいて検査対象１の内部欠陥を検出する。つまり、制御・処理装置１４は、移動車両１１の移動中に、加振装置１２を間欠的に動作させて検査対象１へ音波１６を間欠的に照射させ、また、振動計測装置１３を連続的に動作させて検査対象１へレーザ光１８を連続的に照射させる。
【００１７】
更に、制御・処理装置１４は、音波１６が照射されてからこの音波１６により検査対象１が加振される時点の前後で、振動計測装置１３により計測された計測データを取り込む。検査対象１に内部欠陥が存在する場合、検査対象１には、音波１６の照射によって内部欠陥に起因する撓み振動が発生する。制御・処理装置１４は、振動計測装置１３から取り込んだ計測データをデータ処理（例えば周波数解析）し、内部欠陥に特有の特徴量を評価することで内部欠陥の有無を判定して、内部欠陥を検出する。
【００１８】
ところで、移動検査装置１０は、加振装置１１が検査対象１に対して静止しているときには、図２（Ａ）に示すように、加振装置１２による加振点１７と振動計測装置１３による計測点１９とを容易に一致させることが可能である。しかしながら、移動車両１１の移動中では、図２（Ｂ）に示すように、振動計測装置１３による計測点１９が加振装置１２による加振点１７に対して「ずれ」て、内部欠陥の検出精度が低下してしまう。計測点制御機構１５は、この「ずれ」を解消して、振動計測装置１３による計測点１９を加振装置１２による加振点１７に一致させるものであり、位置変更機構部としての計測点位置変更機構部２１、距離計測装置２２、移動速度計測装置２３及び計測点制御装置２４を有して構成される。
【００１９】
図１に示すように、計測点位置変更機構部２１は、振動計測装置１３と移動車両１１との間に介在されたものであり、振動計測装置１３の位置を移動車両１１に対し、この移動車両１１の移動方向と同一または逆向きに相対的に変化（本実施形態では揺動）させて、振動計測装置１３による計測点１９の位置を変更可能とする。この計測点位置変更機構部２１は、計測点制御装置２４からの動作指令により動作する。また、距離計測装置２２は移動車両１１に搭載されて、加振装置１２と検査対象１との距離Ｌｐを計測し、その計測値を計測点制御装置２４へ送信する。更に、移動速度計測装置２３は移動車両１１に搭載されて、この移動車両１１の移動速度Ｖｃ（図３）を計測し、その計測値を計測点制御装置２４へ送信する。
【００２０】
計測点制御装置２４は、図１及び図３に示すように、距離計測装置２２により計測された加振装置１２と検査対象１との距離Ｌｐ、加振装置１２から照射された音波１６の音速Ｖｓ、及び移動速度計測装置２３により計測された移動車両１１の移動速度Ｖｃに基づいて、振動計測装置１３によりレーザ光１８が照射された検査対象１の計測点１９を、加振装置１２により音波１６が照射された検査対象１の加振点１７に一致させるべく、計測点位置変更機構部２１を動作させて振動計測装置１３の位置を制御するための制御量θを演算する。更に計測点制御装置２４は、この制御量θに対応する動作指令を計測点位置変更機構部２１へ送信することで、振動計測装置１３の位置を制御し調整する。
なお、本実施の形態において計測点位置変更機構部２１は、振動計測装置１３の位置を調整するように構成しているが、振動計測装置１３の位置ではなく、加振装置１２の位置を調整して加振点１７の位置を計測点１９に一致させるように構成してもよい。
【００２１】
つまり、計測点制御装置２４は、図３に示すように、計測（検査）初期段階で、振動計測装置１３による計測点１９が振動計測装置１３の直上位置にあるように、計測点位置変更機構部２１により振動計測装置１３の位置を設定する。この状態で、計測点制御装置２４は、加振装置１２による音波１６の照射と同時に、距離計測装置２２により、加振装置１２と検査対象１との距離Ｌｐを計測させ、更に、移動速度計測装置２３により移動車両１１の移動速度Ｖｃを計測させる。そして、計測点制御装置２４は、音速Ｖｓを既知として、加振装置１２が音波１６を照射してから検査対象１が振動を開始するまでの時間Ｔｖを、次式（１）から求める。
Ｔｖ＝Ｌｐ／Ｖｓ…（１）
【００２２】
次に、計測点制御装置２４は、加振装置１２が音波１６を照射してから検査対象１が振動を開閉するまでの時間Ｔｖの間に移動する移動車両１１の移動量Ｌｍを、移動速度計測装置２３が計測した移動車両１１の移動速度Ｖｃを用いて、次式（２）から求める。
Ｌｍ＝Ｖｃ×Ｔｖ…（２）
【００２３】
次に、計測点制御装置２４は、距離計測装置２２にて計測された加振装置１２と検査対象１との距離Ｌｐと、上述の如く算出した移動車両１１の移動量Ｌｍとから、図３及び図４に示すように、振動計測装置１３による計測点１９を加振装置１２による加振点１７に一致させるために振動計測装置１３の位置を制御する制御量θを、次式（３）から求める。
θ＝ａｒｃｔａｎ（Ｌｍ／Ｌｐ）…（３）
【００２４】
例えば、加振装置１２と検査対象１との距離Ｌｐを１０ｍとし、移動車両１１の移動速度Ｖｃを５０ｋｍ／ｈとし、音波１６の音速Ｖｓを３４０ｍ／ｓとした場合、加振装置１２が音波１６を照射してから検査対象１が振動を開始するまでの時間Ｔｖは２９．４ｍｓとなり、この間の移動車両１１の移動量Ｌｍは０．４１ｍとなる。従って、計測点位置変更機構部２１を動作させることで、振動計測装置１３の位置を移動車両１１の移動方向と逆向きに制御量θ（θ＝２．３ｄｅｇ）だけ制御すれば、振動計測装置１３による計測点１９を、加振装置１２による加振点１７に一致させることが可能になる。
【００２５】
なお、振動計測装置１３がレーザドップラー振動計である場合、レーザ光１８の伝播速度が音波１６の音速Ｖｓや移動車両１１の移動速度Ｖｃに比べて極めて速いので、移動車両１１の移動量Ｌｍを算出する際には、レーザ光１８の伝達速度は無視できる。
【００２６】
次に、図１の制御・処理装置１４及び計測点制御装置２４による検査対象１の内部欠陥の検査動作を、図５を用いて説明する。
計測（検査）開始時に、制御・処理装置１４が加振装置１２を動作させて、この加振装置１２により検査対象１に音波１６を照射させる（Ｓ１）。計測点制御装置２４は、加振装置１２による音波１６の照射と同時に、距離計測装置２２により加振装置１２と検査対象１との距離Ｌｐを計測させ（Ｓ２）、移動速度計測装置２３により移動車両１１の移動速度Ｖｃを計測させる（Ｓ３）。
【００２７】
次に、計測点制御装置２４は、加振装置１２と検査対象１との距離Ｌｐと、既知の音速Ｖｓとを用いて、音波１６が加振装置１２から照射されて検査対象１に到達し、この検査対象１が振動を開始するまでの時間Ｔｖを算出する（Ｓ４）。そして、計測点制御装置２４は、時間Ｔｖの間に移動車両１１が移動する移動量Ｌｍを、移動車両１１の移動速度Ｖｃから算出する（Ｓ５）。
【００２８】
次に、計測点制御装置２４は、距離計測装置２２が計測した加振装置１２と検査対象１との距離Ｌｐと、移動車両１１が時間Ｔｖの間に移動する移動量Ｌｍとから、振動計測装置１３による計測点１９を加振装置１２による加振点１７に一致させるための振動計測装置１３の制御量θを算出する（Ｓ６）。計測点制御装置２４は、この制御量θに対応する移動指令を計測点位置変更機構部２１へ送信することで、振動計測装置１３の位置を制御し、振動計測装置１３による計測点１９を加振装置１２による加振点１７に一致させる（Ｓ７）。
【００２９】
計測点制御装置２４による上述のステップＳ２〜Ｓ７の動作は、加振装置１２が音波１６を照射してから検査対象１が振動を開始するまでの時間Ｔｖの間に実行される。従って、制御・処理装置１４は、加振装置１２が音波１６を照射してから検査対象１が振動を開始する時点の前後で振動計測装置１３により計測された計測データを取り込み、この計測データをデータ処理（例えば周波数解析）して、検査対象１の内部欠陥に特有の特徴量を評価することで、検査対象１の内部欠陥を検出する（Ｓ８）。
【００３０】
以上のように構成されたことから、本第１実施形態によれば、次の効果（１）及び（２）を奏する。
（１）図１及び図３に示すように、移動検査装置１０によれば、移動車両１１の移動中に加振装置１２及び振動計測装置１３を動作させて検査対象１の内部欠陥を検査するので、この内部欠陥の検査を効率的に実施できる。
【００３１】
（２）振動計測装置１３による検査対象１の計測点１９を加振装置１２による検査対象１の加振点１７に一致させるべく、計測点位置変更機構部２１によって振動計測装置１３の位置を制御し調整するので、加振装置１２により最も強く振動する加振点１７の振動を振動計測装置１３が計測することができ、この結果、検査対象１の内部欠陥を高精度に検出できる。
【００３２】
［Ｂ］第２実施形態（図６、図７）
図６は、本発明の第２実施形態に係る移動検査装置を示す構成図である。この第２実施形態において、第１実施形態と同様な部分については、同一の符号を付すことにより説明を簡略化し、または省略する。
【００３３】
本第２実施形態における移動検査装置３０の計測点制御機構３１が第１実施形態と異なる点は、第１実施形態の計測点位置変更機構部２１、移動速度計測装置２３及び計測点制御装置２４が省略されると共に、加振装置１２及び振動計測装置１３が検査対象１に対して垂直方向となるように移動車両１１に設置（搭載）され、更に、設置間距離演算装置３２により演算された設置間距離Ｋに応じて、加振装置１２と振動計測装置１３との設置位置が調整可能に構成された点である。加振装置１２と振動計測装置１３の設置位置の調整は、図示しない位置変更機構部により行なわれる。位置変更機構部は、加振装置１２及び振動計測装置１３の少なくともいずれかの設置位置を調整可能に構成されていれば、種々の構成を用いることができる。
【００３４】
加振装置１２、振動計測装置１３が、検査対象１に対して垂直方向に音波１６、レーザ光１８のそれぞれを照射すると、振動計測装置１３は、検査対象１の振動を高感度に計測することが可能になる。このため、計測点制御機構３１では、加振装置１３及び振動計測装置１３は、上述のように検査対象１に対して垂直方向を向くように移動車両１１上に設置されて搭載される。
【００３５】
設置間距離演算装置３２は、移動検査装置３０により検査対象１の内部欠陥を検査する前に、距離計測装置２２により計測された加振装置１２と検査対象１との距離Ｌｐと、加振装置１２から照射される音波１６の音速Ｖｓとに基づいて、加振装置１２が動作を開始して音波１６を照射してから検査対象１が加振されるまでの時間Ｔｖを演算する。更に、設置間距離演算装置３２は、この時間Ｔｖと、予め想定された移動車両１１の移動速度Ｖｑとに基づいて、時間Ｔｖの間に移動車両１１が移動する移動量Ｌｑを演算し、この移動量Ｌｑを、加振装置１２と振動計測装置１３との設置間距離Ｋとする。
【００３６】
加振装置１２と振動計測装置１３との設置位置は、上述の如く設置間距離演算装置３１により演算された設置間距離Ｋ（＝移動量Ｌｑ）に応じて検査対象１の内部欠陥検査前に調整される。このように加振装置１２と振動計測装置１３との設置位置が調整された状態で、移動車両１１を、想定された移動速度Ｖｑで実際に移動させつつ、第１実施形態と同様にして加振装置１２から音波１６を、振動計測装置１３からレーザ光１８をそれぞれ照射し、制御・処理装置１４が振動計測装置１３からの計測データを用いて、検査対象１の内部欠陥を検出する。
【００３７】
次に、図７を用いて、主に設置間距離演算装置３２による検査前準備動作について説明する。
設置間距離演算装置３２は、移動車両１１の静止時に距離計測装置２２を動作させて、加振装置１２と検査対象１との距離Ｌｐを計測させる（Ｓ１１）。次に、設置間距離演算装置３２は、この距離Ｌｐと音速Ｖｓとを用いて、加振装置１２が音波１６を照射してから検査対象１が加振されるまでの時間Ｔｖを演算する（Ｓ１２）。
【００３８】
次に、設置間距離演算装置３２は、この時間Ｔｖと予め想定した移動車両１１の移動速度Ｖｑとを用いて、加振装置１２が音波１６を照射してから検査対象１が加振されるまでの時間Ｔｖの間に移動する移動車両１１の移動量Ｌｑを演算し、この移動量Ｌｑを、加振装置１２と振動計測装置１３との設置間距離Ｋとする（Ｓ１３）。設置間距離演算装置３１により演算された設置間距離Ｋに応じて、位置変更機構部により加振装置１２と振動計測装置１３との設置位置が調整される（Ｓ１４）。上述のステップＳ１１〜Ｓ１４の実行により、検査前準備動作が完了する。
【００３９】
その後、移動車両１１が移動し、制御・処理装置１４は、検査対象１の内部欠陥の検査（計測）を開始して、加振装置１２から音波１６を検査対象１へ向かって垂直方向に間欠的に照射させ（Ｓ１５）、振動計測装置１３からレーザ光１８を検査対象１へ向かって垂直方向に連続的に照射させる。制御・処理装置１４は、次に、加振装置１２から音波１６が照射されてから検査対象１が加振される時点の前後において振動計測装置１３が計測した計測データを取り込み、この計測データをデータ解析（例えば周波数解析）して、検査対象１の内部欠陥を検出する（Ｓ１６）。
【００４０】
以上のように構成されたことから、本第２実施形態によれば、第１実施形態の効果（１）と同様な効果を奏するほか、次の効果（３）を奏する。
【００４１】
（３）加振装置１２から音波１６が照射されてから検査対象１が加振されるまでの時間Ｔｖに移動する移動車両１１の移動量Ｌｑに応じた設置間距離Ｋで、加振装置１２と振動計測装置１３との設置位置が調整されるので、振動計測装置１３による検査対象１の計測点１９を、加振装置１２による検査対象１の加振点１７に一致させることができ、加振装置１２により最も強く振動する加振点１７の振動を振動計測装置１３が計測できる。しかも、加振装置１２及び振動計測装置１３が検査対象１に対して垂直方向に設置されたので、振動計測装置１３による振動の計測を高感度に実施できる。これらのことから、検査対象１の内部欠陥をより一層高精度に検出できる。
【００４２】
なお、本第２実施形態においては距離計測装置２２を省略し、検査対象１の内部欠陥検査前に加振装置１２及び振動計測装置１３を動作させることで、これらの加振装置１２及び振動計測装置１３に距離計測装置２２の機能を兼用させてもよい。つまり、加振装置１２と検査対象１との距離Ｌｐが概ね変化しない場合には、移動車両１１を静止させた状態で加振装置１２及び振動計測装置１３を動作させ、加振装置１２が動作を開始して音波１６を照射してから振動計測装置１３が検査対象１の振動を受信するまでの時間Ｔｖを計測する。この時間Ｔｖに音波１６の音速Ｖｓを乗ずることで、加振装置１２と検査対象１との距離Ｌｐを演算により計測することが可能になる。
【００４３】
以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これらの実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができ、また、それらの置き換えや変更は、発明の範囲や要旨に含まれると共に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【００４４】
例えば、第２実施形態においては、計測点位置変更機構部２１が省略されて、振動計測装置１３が移動車両１１に直接設置（搭載）されている。この場合、振動計測装置１３は、移動車両１１の実際の移動速度が想定した移動速度Ｖｑに対し変動する場合を考慮して、移動車両１１の移動方向と同一または逆向きに微小量調整可能に構成されてもよい。
【符号の説明】
【００４５】
１…検査対象，１０…移動検査装置，１１…移動車両（移動体），１２…加振装置，１３…振動計測装置，１５…計測点制御機構，１６…音波，１７…加振点，１８…レーザ光，１９…計測点，２１…計測点位置変更機構部，２２…距離計測装置，２３…移動速度計測装置，２４…計測点制御装置，３０…移動検査装置，３１…計測点制御機構，３２…設置間距離演算装置，Ｌｐ…距離，Ｌｍ、Ｌｑ…移動量，Ｖｃ、Ｖｑ…移動速度，Ｖｓ…音速，θ…制御量，Ｋ…設置間距離。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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