(57)【要約】【課題】浮遊容量に起因する電気的ノイズを抑制し、動作信頼性に優れた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】Ｚ方向に延びるノズル孔がＸ方向に複数並設されたノズル列を有するノズルプレートと、ノズルプレートに対して＋Ｚ方向に配置され、ノズル孔に各別に連通する吐出チャネルを有するヘッドチップと、インク流路７１が形成された導電性の流路部材７２を有するとともに、ヘッドチップを支持するマニホールド５２と、マニホールド５２に支持されるとともに、ヘッドチップに電気的に接続された駆動基板と、を備え、流路部材７２とヘッドチップとの間には、絶縁シート８６が介在している。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１方向に延びる噴射孔が前記第１方向に直交する第２方向に複数並設された噴射孔列を有する噴射孔プレートと、
前記噴射孔プレートに対して前記第１方向の一方に配置され、前記噴射孔に各別に連通するチャネルを有するヘッドチップと、
前記チャネルに連通する液体流路が形成された流路部材を有するとともに、前記ヘッドチップを支持するマニホールドと、
前記マニホールドに支持されるとともに、前記ヘッドチップに電気的に接続された駆動基板と、を備え、
前記流路部材と前記ヘッドチップとの間には、絶縁体が介在していることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記マニホールドは、
前記流路部材と、
前記流路部材に重ね合わされ、前記液体流路を閉塞する流路カバーと、を備え、
前記絶縁体は、前記流路カバーと前記ヘッドチップとの間に介在していることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記マニホールドは、
前記流路部材と、
前記流路部材に重ね合わされ、前記液体流路を閉塞する流路カバーと、を備え、
前記流路カバーが前記絶縁体であることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記絶縁体は、前記流路部材及び前記ヘッドチップよりも軟質な材料により形成されていることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記絶縁体は、ポリイミドにより形成されていることを特徴とする請求項４に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記ヘッドチップ及び前記絶縁体は、セラミックスにより形成されていることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記ヘッドチップ及び前記駆動基板は、前記マニホールドにおける前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向を向く第１面に支持されていることを特徴とする請求項１から請求項６の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
請求項１から請求項７の何れか１項に記載の液体噴射ヘッドを備えていることを特徴とする液体噴射装置。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、記録紙等の被記録媒体に液滴状のインクを吐出して、被記録媒体に画像や文字を記録する装置として、インクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタがある。インクジェットヘッドは、例えば各色に対応する複数のヘッドモジュールがキャリッジに搭載されて構成されている（例えば、下記特許文献１）。
【０００３】
上述したヘッドモジュールは、例えばインクを吐出するヘッドチップや、ヘッドチップにインクを供給するインク流路が形成されたマニホールド、ヘッドチップを駆動させる駆動基板がベース部材に搭載されて構成されている。
上述したヘッドチップは、インクが充填される吐出チャネルが複数並設されたアクチュエータプレートを備えている。アクチュエータプレートのうち、吐出チャネルを画成する駆動壁には駆動電極が形成されている。ヘッドチップでは、駆動電極に駆動電圧を印加することで、駆動壁が変形して吐出チャネル内の容積が変化する。これにより、吐出チャネルに連通するノズル孔を通してインクが吐出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−１２０２６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、インクジェットヘッドにあっては、ベース部材が例えば導電性を有する材料により形成されている場合、駆動電極とベース部材との間に浮遊容量ができてしまう。このため、駆動電極に印加した駆動電圧の高周波成分が浮遊容量を介してベース部材に伝わり電気的ノイズになる場合がある。さらに、駆動基板がベース部材に固定されている場合は、電気的ノイズが駆動基板に伝わり電気回路に誤動作等を引き起こす原因となる。そのため、従来のインクジェットヘッドでは、ヘッドチップの動作信頼性を向上させる点で未だ改善の余地があった。
【０００６】
本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、浮遊容量に起因する電気的ノイズを抑制し、動作信頼性に優れた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために本発明の一態様に係る液体噴射ヘッドは、第１方向に延びる噴射孔が前記第１方向に直交する第２方向に複数並設された噴射孔列を有する噴射孔プレートと、前記噴射孔プレートに対して前記第１方向の一方に配置され、前記噴射孔に各別に連通するチャネルを有するヘッドチップと、前記チャネルに連通する液体流路が形成された流路部材を有するとともに、前記ヘッドチップを支持するマニホールドと、前記マニホールドに支持されるとともに、前記ヘッドチップに電気的に接続された駆動基板と、を備え、前記流路部材と前記ヘッドチップとの間には、絶縁体が介在している。
【０００８】
この構成によれば、ヘッドチップと流路部材との間に絶縁体が介在しているため、ヘッドチップと流路部材とを電気的に分離できる。そのため、ヘッドチップの駆動時にヘッドチップと流路部材との間に発生する浮遊容量を低減できる。これにより、駆動基板への電気的ノイズを抑えることができ、液体噴射ヘッドの動作信頼性を確保できる。
【０００９】
上記態様において、前記マニホールドは、前記流路部材と、前記流路部材に重ね合わされ、前記液体流路を閉塞する流路カバーと、を備え、前記絶縁体は、前記流路カバーと前記ヘッドチップとの間に介在していてもよい。
本態様によれば、絶縁体をマニホールドとは別体で設けることで、絶縁体がマニホールドの一部を構成する場合と異なり、絶縁体の材料選択や設計等の自由度を向上させることができる。
【００１０】
上記態様において、前記マニホールドは、前記流路部材と、前記流路部材に重ね合わされ、前記液体流路を閉塞する流路カバーと、を備え、前記流路カバーが前記絶縁体であってもよい。
本態様によれば、絶縁体がマニホールドの一部を構成するので、マニホールドとは別に絶縁体を設ける場合に比べて部品点数の削減等を図ることができる。
【００１１】
上記態様において、前記絶縁体は、前記流路部材及び前記ヘッドチップよりも軟質な材料により形成されていてもよい。
本態様によれば、ヘッドチップと流路部材との熱膨張係数の違いに起因してヘッドチップと流路部材とに作用する応力を緩和できる。これにより、例えばヘッドチップと流路部材との熱膨張係数差に起因してヘッドチップの変形や割れ、流路部材からの剥離、マニホールドに対するヘッドチップの位置ずれ等が発生するのを抑制できる。
【００１２】
上記態様において、前記絶縁体は、ポリイミドにより形成されていてもよい。
本態様によれば、加工性や接着性に優れた絶縁体を提供できる。
【００１３】
上記態様において、前記ヘッドチップ及び前記絶縁体は、セラミックスにより形成されていてもよい。
本態様によれば、ヘッドチップ及び絶縁体の熱膨張係数差を小さくすることができるので、温度変化に伴うヘッドチップ、マニホールド及び絶縁体の相対変位を抑制できる。そのため、ヘッドチップと流路部材との熱膨張係数差に起因して、例えばヘッドチップの変形や割れ、流路部材からの剥離、マニホールドに対するヘッドチップの位置ずれ等が発生するのを抑制できる。
【００１４】
上記態様において、前記ヘッドチップ及び前記駆動基板は、前記マニホールドにおける前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向を向く第１面に支持されていてもよい。
本態様によれば、マニホールドの第１面にヘッドチップ及び駆動基板が支持されているため、例えばヘッドチップに対して第３方向の両側にマニホールド及び駆動基板が別々に配置されている構成に比べて液体噴射ヘッドの第３方向での小型化が可能になる。
【００１５】
本発明の一態様に係る液体噴射装置は、上記態様に係る液体噴射ヘッドを備えている。
本態様によれば、動作信頼性に優れた液体噴射装置を提供できる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の一態様によれば、動作信頼性に優れた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施形態に係るインクジェットプリンタの概略構成図である。
【図２】実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視図である。
【図３】実施形態に係るインクジェットヘッドの一部を取り外した状態を示す斜視図である。
【図４】実施形態に係る第１ヘッドモジュールの斜視図である。
【図５】実施形態に係るヘッドチップの分解斜視図である。
【図６】実施形態に係るマニホールドの分解斜視図である。
【図７】実施形態に係るベース部材、ノズルプレート及びノズルガードの分解斜視図である。
【図８】実施形態に係るインクジェットヘッドを−Ｚ方向から見た部分底面図である。
【図９】実施形態の変形例に係るヘッドモジュールの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明に係る実施形態について図面を参照して説明する。以下の実施形態では、インク（液体）を利用して被記録媒体に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）を例に挙げて説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００１９】
［プリンタ］
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すように、本実施形態のプリンタ１は、一対の搬送機構２，３と、インク供給機構４と、インクジェットヘッド５Ａ，５Ｂと、走査機構６と、を備えている。なお、以下の説明では、必要に応じてＸ，Ｙ，Ｚの直交座標系を用いて説明する。この場合、Ｘ方向（第２方向）は被記録媒体Ｐ（例えば、紙等）の搬送方向（副走査方向）に一致している。Ｙ方向（第３方向）は走査機構６の走査方向（主走査方向）に一致している。Ｚ方向（第１方向）は、Ｘ方向及びＹ方向に直交する高さ方向を示している。以下の説明では、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のうち、図中矢印方向をプラス（＋）方向とし、矢印とは反対の方向をマイナス（−）方向として説明する。
【００２０】
搬送機構２，３は、被記録媒体Ｐを＋Ｘ方向に搬送する。具体的に、搬送機構２は、Ｙ方向に延設されたグリットローラ１１と、グリットローラ１１に平行に延設されたピンチローラ１２と、グリットローラ１１を軸回転させるモータ等の駆動機構（不図示）と、を備えている。同様に、搬送機構３は、Ｙ方向に延設されたグリットローラ１３と、グリットローラ１３に平行に延設されたピンチローラ１４と、グリットローラ１３を軸回転させる駆動機構（不図示）と、を備えている。
【００２１】
インク供給機構４は、インクが収容されたインクタンク１５と、インクタンク１５とインクジェットヘッド５Ａ，５Ｂとを接続するインク配管１６と、を備えている。
本実施形態において、インクタンク１５は、Ｘ方向に複数並べられている。各インクタンク１５には、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクが各別に収容されている。
インク配管１６は、例えば可撓性を有するフレキシブルホースである。インク配管１６は、各インクタンク１５と各インクジェットヘッド５Ａ，５Ｂとの間を接続している。
【００２２】
走査機構６は、インクジェットヘッド５Ａ，５ＢをＹ方向に往復走査させる。具体的に、走査機構６は、Ｙ方向に延設された一対のガイドレール２１，２２と、一対のガイドレール２１，２２に移動可能に支持されたキャリッジ２３と、キャリッジ２３をＹ方向に移動させる駆動機構２４と、を備えている。
【００２３】
駆動機構２４は、Ｘ方向におけるガイドレール２１，２２の間に配設されている。駆動機構２４は、Ｙ方向に間隔をあけて配設された一対のプーリ２５，２６と、一対のプーリ２５，２６間に巻回された無端ベルト２７と、一方のプーリ２５を回転駆動させる駆動モータ２８と、を備えている。
【００２４】
キャリッジ２３は、無端ベルト２７に連結されている。キャリッジ２３には、複数のインクジェットヘッド５Ａ，５ＢがＹ方向に並んだ状態で搭載されている。各インクジェットヘッド５Ａ，５Ｂは、一つのインクジェットヘッド５Ａ，５Ｂにつき二色のインクを吐出可能に構成されている。したがって、本実施形態のプリンタ１では、各インクジェットヘッド５Ａ，５Ｂそれぞれが互いに異なる二色のインクを吐出することで、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクを吐出可能に構成されている。
【００２５】
＜インクジェットヘッド＞
図２は、インクジェットヘッド５Ａの斜視図である。なお、インクジェットヘッド５Ａ，５Ｂは、供給されるインクの色以外は何れも同等の構成である。そのため、以下の説明ではインクジェットヘッド５Ａについて説明し、インクジェットヘッド５Ｂの説明を省略する。
図２に示すように、本実施形態のインクジェットヘッド５Ａは、ヘッドモジュール３０Ａ〜３０Ｄやダンパ３１、ノズルプレート（噴射孔プレート）３２、ノズルガード（噴射孔ガード）３３等がベース部材３８に搭載されて構成されている。なお、図２では、ヘッドモジュール３０Ａ〜３０Ｄやダンパ３１等を覆うカバー等の図示を省略している。
【００２６】
（ベース部材）
図３は、インクジェットヘッド５Ａの一部を取り外した状態を示す斜視図である。
図３に示すように、ベース部材３８は、Ｚ方向を厚さ方向とし、Ｘ方向を長手方向とする板状に形成されている。ベース部材３８は、各ヘッドモジュール３０Ａ〜３０Ｄを保持するモジュール保持部４１と、ベース部材３８をキャリッジ２３（図１参照）に固定するためのキャリッジ固定部４２と、を有している。なお、本実施形態において、ベース部材３８は、金属材料により一体で形成されている。
【００２７】
モジュール保持部４１は、Ｚ方向から見た平面視で枠状に形成されている。すなわち、モジュール保持部４１のうちＸＹ平面における中央部には、ベース部材３８をＺ方向に貫通する取付開口部４４が形成されている。モジュール保持部４１のうち、Ｘ方向の両側に位置する一対の短辺部４５には、差込溝４６がそれぞれ形成されている。本実施形態の差込溝４６は、各短辺部４５に形成された差込溝４６のうち、Ｘ方向で対向する差込溝４６同士を一組として、Ｙ方向に間隔をあけて複数組（例えば、四組）形成されている。
【００２８】
各差込溝４６は、短辺部４５の内周面に対してＸ方向に窪むとともに、短辺部４５をＺ方向に貫通している。すなわち、差込溝４６は、取付開口部４４に連通している。Ｘ方向で対向する各組の差込溝４６内には、ヘッドモジュール３０Ａ〜３０Ｄがそれぞれ差込可能とされている。各組の差込溝４６のうち、一方の差込溝４６の内面には、他方の差込溝４６に向けてヘッドモジュール３０Ａ〜３０ＤをＸ方向の一方に付勢する第１付勢部材（不図示）が配設されている。本実施形態において、第１付勢部材は、板ばね状に形成されている。
【００２９】
キャリッジ固定部４２は、モジュール保持部４１の＋Ｚ方向端部からＸＹ平面に張り出している。キャリッジ固定部４２には、ベース部材３８をキャリッジ２３（図１参照）に取り付けるための取付孔等が形成されている。
【００３０】
（ヘッドモジュール）
図２に示すように、ヘッドモジュール３０Ａ〜３０Ｄは、インクタンク１５（図１参照）から供給されるインクを被記録媒体Ｐに向けて吐出可能に構成されている。ヘッドモジュール３０Ａ〜３０Ｄは、ベース部材３８上にＹ方向に間隔をあけて複数搭載されている。本実施形態では、第１ヘッドモジュール３０Ａ、第２ヘッドモジュール３０Ｂ、第３ヘッドモジュール３０Ｃ及び第４ヘッドモジュール３０Ｄの四つのヘッドモジュールがベース部材３８上に搭載されている。
【００３１】
本実施形態のインクジェットヘッド５Ａでは、四つのヘッドモジュール３０Ａ〜３０Ｄのうち、二つのヘッドモジュールで一色のインクを吐出するようになっている。具体的に、第１ヘッドモジュール３０Ａ及び第２ヘッドモジュール３０Ｂが同色のインクを吐出可能に構成され、第３ヘッドモジュール３０Ｃ及び第４ヘッドモジュール３０Ｄが同色のインクを吐出可能に構成されている。なお、ベース部材３８上に搭載されるヘッドモジュール３０Ａ〜３０Ｄの数や、ヘッドモジュール３０Ａ〜３０Ｄから吐出するインクの種類等は、適宜変更が可能である。また、各ヘッドモジュール３０Ａ〜３０Ｄは、それぞれ対応する構成からなるため、以下の説明では第１ヘッドモジュール３０Ａを例にして説明する。
【００３２】
図４は、第１ヘッドモジュール３０Ａの斜視図である。
図４に示すように、第１ヘッドモジュール３０Ａは、ヘッドチップ５１と、マニホールド５２と、駆動基板５３と、を主に備えている。
【００３３】
（ヘッドチップ）
図５は、ヘッドチップ５１の分解斜視図である。
図５に示すように、ヘッドチップ５１は、後述する吐出チャネル５７における延在方向（Ｚ方向）の端部からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプのものである。具体的に、ヘッドチップ５１は、アクチュエータプレート５５及びカバープレート５６がＹ方向に重ね合わされて構成されている。
【００３４】
アクチュエータプレート５５は、分極方向が厚さ方向（Ｙ方向）に沿って一方向に設定された、いわゆるモノポール基板である。なお、アクチュエータプレート５５は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等からなるセラミックス基板が好適に用いられている。また、アクチュエータプレート５５は、分極方向がＹ方向で異なる２枚の圧電基板を積層して形成しても構わない（いわゆる、シェブロンタイプ）。
【００３５】
アクチュエータプレート５５のうち、＋Ｙ方向を向く面（以下、「表面」という）には、複数のチャネル５７，５８がＸ方向に間隔をあけて並設されている。各チャネル５７，５８は、それぞれＺ方向に沿って直線状に形成されている。各チャネル５７，５８は、アクチュエータプレート５５における−Ｚ方向端面上で開口し、アクチュエータプレート５５における＋Ｚ方向端部で終端している。なお、各チャネル５７，５８は、Ｚ方向に対して傾いて延在していても構わない。
【００３６】
上述した複数のチャネル５７，５８は、インクが充填される吐出チャネル５７、及びインクが充填されない非吐出チャネル５８である。吐出チャネル５７及び非吐出チャネル５８は、Ｘ方向に交互に並んで配置されている。各チャネル５７，５８は、アクチュエータプレート５５からなる駆動壁６１によってそれぞれＸ方向に仕切られている。なお、チャネル５７，５８の内面には、図示しない駆動電極が形成されている。
【００３７】
カバープレート５６は、Ｙ方向から見た正面視で矩形状に形成されている。カバープレート５６は、アクチュエータプレート５５の＋Ｚ方向端部を突出させた状態で、アクチュエータプレート５５の表面に接合されている。
【００３８】
カバープレート５６は、＋Ｙ方向を向く面（以下、「表面」という）に形成された共通インク室６２と、−Ｙ方向を向く面（以下、「裏面」という）に形成された複数のスリット６３と、を有している。
共通インク室６２は、Ｚ方向において、吐出チャネル５７の＋Ｚ方向端部と同等の位置に形成されている。共通インク室６２は、カバープレート５６の表面から−Ｙ方向に向けて窪むとともに、Ｘ方向に延設されている。共通インク室６２には、上述したマニホールド５２を通してインクが流入する。
スリット６３は、共通インク室６２のうち、吐出チャネル５７とＹ方向で対向する位置に形成されている。スリット６３は、共通インク室６２内と各吐出チャネル５７内とを各別に連通している。一方、非吐出チャネル５８は、共通インク室６２内には連通していない。
【００３９】
図４に示すように、上述したアクチュエータプレート５５のうち、−Ｙ方向を向く面（以下、「裏面」という）には、伝熱板６５が取り付けられている。伝熱板６５は、熱伝導性に優れた材料（例えば、アルミニウム等）により形成されている。伝熱板６５は、アクチュエータプレート５５の裏面において各チャネル５７，５８の全域を覆うように設けられている。なお、伝熱板６５の大きさや位置は、適宜変更が可能である。
【００４０】
（マニホールド）
図３に示すように、マニホールド５２は、上述したヘッドチップ５１に向けてインクが流通するインク流路７１（図６参照）を有している。マニホールド５２は、全体としてＹ方向を厚さ方向とする板状に形成されている。マニホールド５２は、上述した差込溝４６のうちＸ方向で対向する一組の差込溝４６内に差し込まれることで、＋Ｚ方向に起立した状態でベース部材３８に保持されている。図４に示すように、マニホールド５２の−Ｚ方向端部において、Ｘ方向の両端部には、第２付勢部材７０が設けられている。第２付勢部材７０は、差込溝４６内において、差込溝４６の内面とマニホールド５２との間に介在して、第１ヘッドモジュール３０Ａを−Ｙ方向に付勢する。本実施形態において、第２付勢部材７０は、板ばね状に形成されている。
【００４１】
図６は、マニホールド５２の分解斜視図である。
図６に示すように、マニホールド５２は、流路部材７２と、流路部材７２にＹ方向で重ね合わされた流路カバー７３と、を有している。
流路部材７２は、熱伝導性に優れた材料により一体で形成されている。本実施形態において、流路部材７２の材料には、導電性の金属材料（例えば、アルミニウム等）が好適に用いられている。
【００４２】
流路部材７２は、流路板７５と、流入ポート７６と、を備えている。
流路板７５は、Ｙ方向を厚さ方向とする矩形板状に形成されている。流路板７５のうち−Ｙ方向を向く面には、インク流路７１が形成されている。インク流路７１は、＋Ｙ方向に窪む溝状に形成されている。具体的に、インク流路７１は、蛇行部７９と、連通部８０と、を有している。
【００４３】
蛇行部７９は、Ｘ方向に蛇行しながらＺ方向に延在している。蛇行部７９における＋Ｚ方向端部は、流入ポート７６内に連通している。一方、蛇行部７９における−Ｚ方向端部は、流路板７５におけるＸ方向の中央部において、連通部８０に連通している。なお、蛇行部７９の蛇行する向きは、蛇行部７９と流入ポート７６との連通部分、及び蛇行部７９と連通部８０との連通部分の間を結ぶ直線に対して長くなるように蛇行していれば適宜変更が可能である。例えば、蛇行部７９は、Ｚ方向に蛇行しながらＸ方向に延在する構成であっても構わない。
連通部８０は、流路板７５の−Ｚ方向端部において、Ｘ方向に延在している。連通部８０は、Ｙ方向から見た正面視で上述した共通インク室６２と同等の形状をなしている。
【００４４】
第１ヘッドモジュール３０Ａでは、流入ポート７６は、流路板７５の＋Ｚ方向端面のうち、−Ｘ方向の端部に設けられている。流入ポート７６は、流路板７５から＋Ｚ方向に向けて突設された筒状に形成されている。流入ポート７６の−Ｚ方向端部は、上述した蛇行部７９に連通している。
【００４５】
流路カバー７３は、Ｙ方向から見た正面視で流路板７５と同等の外形を有し、かつＹ方向の厚さが流路板７５よりも薄い矩形板状に形成されている。流路カバー７３は、流路板７５のうち−Ｙ方向を向く面に固定され、上述したインク流路７１を−Ｙ方向から閉塞している。流路カバー７３のうち、Ｙ方向から見て連通部８０と重なり合う位置には、連通部８０を開放させる連通孔８２が形成されている。連通孔８２は、Ｙ方向から見た正面視で連通部８０と同等の形状をなしている。
【００４６】
なお、本実施形態において、流路カバー７３は、熱伝導性に優れた導電性の金属材料（例えば、ステンレス等）により形成されている。また、本実施形態では、流路部材７２のみに溝状のインク流路７１を形成した場合について説明したが、この構成のみに限らず、少なくとも流路部材７２及び流路カバー７３のうち少なくとも一方にインク流路が形成されていれば構わない。この場合、例えば流路部材７２と流路カバー７３のそれぞれに溝部を形成し、流路部材７２及び流路カバー７３の溝部を重ね合わせてインク流路を形成しても構わない。
【００４７】
流路カバー７３の−Ｙ方向を向く面には、絶縁シート（絶縁体）８６が設けられている。絶縁シート８６は、Ｙ方向から見た正面視で枠状に形成されている。絶縁シート８６は、流路カバー７３の−Ｙ方向を向く面において、連通孔８２の周囲を取り囲んでいる。絶縁シート８６は、流路カバー７３における−Ｙ方向を向く面に接着等により固定されている。なお、本実施形態において、絶縁シート８６は、例えばポリイミドが好適に用いられている。但し、絶縁シート８６の材料は、浮遊容量を十分に小さくすることができる特性（誘電率が低い材質や、僅かな空間距離で誘電率を低下させることができる材質等）や耐インク性（耐溶出性）を有し、かつヘッドチップ５１やマニホールド５２よりも軟質（ヤング率が小さい）な材料（例えば、樹脂材料（プラスチック）やゴム材料）により形成されていれば適宜変更が可能である。
【００４８】
ここで、図４、図６に示すように、上述したヘッドチップ５１は、絶縁シート８６を間に挟んで流路カバー７３の−Ｙ方向を向く面（第３方向を向く第１面）上に固定されている。具体的に、ヘッドチップ５１は、カバープレート５６の表面（マニホールド５２との対向面）を絶縁シート８６に向けた状態で絶縁シート８６に接着等により固定されている。この際、カバープレート５６の共通インク室６２は、連通孔８２を通して連通部８０に連通している。これにより、インク流路７１内を流通したインクがヘッドチップ５１に供給される。なお、ヘッドチップ５１は、マニホールド５２に固定された状態において、マニホールド５２に対して−Ｚ方向に突出している。また、図４に示す例において、ヘッドチップ５１におけるＸ方向の長さは、マニホールド５２におけるＸ方向の長さに比べて短くなっている。
【００４９】
図２に示すように、流路部材７２（流路板７５）のうち、＋Ｙ方向を向く面（第３方向を向く第２面）には、ヒータ８５が配置されている。ヒータ８５は、流路部材７２を通じてインク流路７１内を加熱することで、インク流路７１内を流通するインクを所定の温度範囲内に保持（保温）する。
【００５０】
図４に示すように、駆動基板５３は、いわゆるフレキシブルプリント基板であって、ベースフィルム上に配線パターンや各種電子部品が実装されて構成されている。駆動基板５３は、マニホールド５２に支持されたモジュール制御部８８と、モジュール制御部８８とヘッドチップ５１とを接続するチップ接続部８９と、を有している。なお、駆動基板５３は、少なくともチップ接続部８９がフレキシブル基板により構成されていれば、モジュール制御部８８にリジッド基板等を用いても構わない。
【００５１】
モジュール制御部８８は、Ｙ方向から見た正面視で矩形状に形成されている。モジュール制御部８８には、ドライバＩＣ等の電子部品が実装されている。モジュール制御部８８は、流路カバー７３の−Ｙ方向を向く面において、ヘッドチップ５１に対して＋Ｚ方向に位置する部分にサポートプレート９０を間に挟んでマニホールド５２に固定されている。なお、サポートプレート９０は、熱伝導性に優れた材料（例えば、金属材料）により形成されている。なお、サポートプレート９０は、設けなくても構わない。すなわち、モジュール制御部８８がマニホールド５２に直接固定されている構成であっても構わない。
【００５２】
図２に示すように、駆動基板５３は、モジュール制御部８８から＋Ｚ方向に引き出された引出部９１を介して外部接続基板９２に電気的に接続されている。外部接続基板９２は、プリンタ１に搭載されているメイン制御基板（不図示）から出力される各ヘッドモジュール３０Ａ〜３０Ｄ（ドライバＩＣ）への制御信号や駆動電圧を中継している。そして、駆動基板５３は、外部接続基板９２で中継された制御信号や駆動電圧に基づいてヘッドチップ５１を駆動させる。
【００５３】
図４に示すように、チップ接続部８９は、流路カバー７３に対してＹ方向に隙間をあけた状態で、モジュール制御部８８から−Ｚ方向に延設されている。チップ接続部８９の−Ｚ方向端部は、上述したアクチュエータプレート５５の＋Ｚ方向端部に圧着等により固定されている。これにより、駆動基板５３とヘッドチップ５１の駆動電極とが電気的に接続される。
【００５４】
駆動基板５３は、モジュール制御部８８の＋Ｘ方向端部から引き出されたセンサ接続部９３を備えている。センサ接続部９３は、Ｙ方向から見て上述した伝熱板６５と重なり合う位置まで引き延ばされている。センサ接続部９３の先端部には、吐出チャネル５７内のインク温度を検出する温度センサ９４（例えば、サーミスタ等）が実装されている。温度センサ９４は、アクチュエータプレート５５の裏面に伝熱板６５を間に挟んで配設されている。
【００５５】
図３に示すように、第１ヘッドモジュール３０Ａは、上述したようにマニホールド５２が差込溝４６内に差し込まれた状態で、取付開口部４４内に挿入されている。この際、第１ヘッドモジュール３０Ａは、ヘッドチップ５１が−Ｙ方向を向き、かつヘッドチップ５１の−Ｚ方向端面がベース部材３８（モジュール保持部４１）の−Ｚ方向端面と面一になるようにベース部材３８に保持されている。
【００５６】
図２、図３に示すように、第２ヘッドモジュール３０Ｂは、第１ヘッドモジュール３０Ａのマニホールド５２が差し込まれた差込溝４６に対して−Ｙ方向で隣接する差込溝４６内に差し込まれた状態で、取付開口部４４に挿入されている。この際、第２ヘッドモジュール３０Ｂは、ヘッドチップ５１が第１ヘッドモジュール３０Ａのヘッドチップ５１をＹ方向で対向させた状態で、ベース部材３８に保持されている。また、第１ヘッドモジュール３０Ａ及び第２ヘッドモジュール３０Ｂの流入ポート７６は、Ｘ方向で同等の位置に配置されている。
【００５７】
なお、第２ヘッドモジュール３０Ｂのヘッドチップ５１は、第１ヘッドモジュール３０Ａのヘッドチップ５１に対して吐出チャネル５７の配列ピッチが半ピッチずれて（千鳥状）配列されている。これにより、第１ヘッドモジュール３０Ａ及び第２ヘッドモジュール３０Ｂのヘッドチップ５１が協働して一色のインクを吐出することで、被記録媒体Ｐに記録される文字や画像の高密度記録化が可能になっている。なお、第１ヘッドモジュール３０Ａ及び第２ヘッドモジュール３０Ｂにおいて、ヘッドチップ５１の吐出チャネル５７の配列ピッチは、適宜変更が可能である。
【００５８】
また、図２に示すように、第３ヘッドモジュール３０Ｃ及び第４ヘッドモジュール３０Ｄは、それぞれのヘッドチップ５１を向い合わせた状態で、上述した第１ヘッドモジュール３０Ａや第２ヘッドモジュール３０Ｂと同様の方法によりベース部材３８に保持されている。なお、各ヘッドモジュール３０Ａ〜３０Ｄは、ベース部材３８から＋Ｚ方向に立設された図示しないステーを介してベース部材３８に固定される。なお、第３ヘッドモジュール３０Ｃ及び第４ヘッドモジュール３０Ｄの流入ポート７６は、第１ヘッドモジュール３０Ａ及び第２ヘッドモジュール３０Ｂの流入ポート７６に対してＸ方向の反対側（流路板７５における＋Ｘ方向の端部）に位置している。
【００５９】
（ダンパ）
ダンパ３１は、ヘッドモジュール３０Ａ〜３０Ｄに対して＋Ｚ方向に、インクの色に対応して設けられている。すなわち、本実施形態のダンパ３１は、二つのヘッドモジュール（例えば、ヘッドモジュール３０Ａ，３０Ｂ）につき、一つ設けられている。各ダンパ３１は、Ｙ方向に並んで設けられている。なお、各ダンパ３１は、供給されるインクの色以外は何れも同等の構成である。そのため、以下の説明では、一方のダンパ３１（ヘッドモジュール３０Ａ，３０Ｂ用のダンパ）について説明し、他方のダンパ３１の説明を省略する。
【００６０】
ダンパ３１は、ベース部材３８に固定された図示しないステーを介してヘッドモジュール３０Ａ，３０Ｂに対して＋Ｚ方向に取り付けられている。ダンパ３１は、入口ポート１００と、圧力緩衝部１０１と、出口ポート１０２と、を有している。なお、ダンパ３１は、インクジェットヘッド５Ａとは別に設けても構わない。
【００６１】
入口ポート１００は、圧力緩衝部１０１から＋Ｚ方向に突設された筒状に形成されている。入口ポート１００には、上述したインク配管１６（図１参照）が接続される。入口ポート１００は、インクタンク１５内のインクがインク配管１６内を通して流入する。
圧力緩衝部１０１は、箱型に形成されている。圧力緩衝部１０１は、その内部に可動膜等が収納されて構成されている。圧力緩衝部１０１は、インクタンク１５（図１）とヘッドモジュール３０Ａ，３０Ｂとの間に配置されて、入口ポート１００を通してダンパ３１に供給されるインクの圧力変動を吸収する。
出口ポート１０２は、圧力緩衝部１０１から−Ｘ方向に突設された筒状に形成されている。出口ポート１０２内には、圧力緩衝部１０１内から排出されたインクが流入する。
【００６２】
出口ポート１０２には、フィルタユニット１１０が接続されている。フィルタユニット１１０は、その内部に図示しないフィルタが収納されている。フィルタユニット１１０は、ダンパ３１から排出されたインク中に含まれる気泡や異物等をフィルタによって除去する。フィルタユニット１１０は、ダンパ３１から排出されたインクを二又に分岐させる分岐部１１１，１１２を有している。一方の分岐部１１１は、接続チューブ１１３を介して第１ヘッドモジュール３０Ａの流入ポート７６に接続されている。他方の分岐部１１２は、接続チューブ１１４を介して第２ヘッドモジュール３０Ｂの流入ポート７６に接続されている。なお、フィルタユニット１１０は、図示しないステーを介してベース部材３８に固定されている。また、Ｙ方向で対向する各ダンパ３１同士の間には、上述した外部接続基板９２が配置されている。
【００６３】
図７は、ベース部材３８、ノズルプレート３２及びノズルガード３３の分解斜視図である。
図７に示すように、上述したベース部材３８のうち、モジュール保持部４１の−Ｚ方向端面（プレート配置面）には、スペーサ１２０が固定されている。スペーサ１２０は、ポリイミドやＳＵＳ等により形成されている。スペーサ１２０は、モジュール保持部４１の−Ｚ方向端面に軟質接着剤を用いて接着されている。なお、軟質接着剤としては、シリコーン系接着剤（例えば、スリーボンド社製：１２１１）等が好適に用いられている。
【００６４】
スペーサ１２０は、モジュール保持部４１の−Ｚ方向端面を−Ｚ方向から覆っている。スペーサ１２０のうち、Ｚ方向から見て各ヘッドモジュール３０Ａ〜３０Ｄのヘッドチップ５１に重なり合う位置には、ヘッドチップ５１を−Ｚ方向に露出させるスペーサ開口部１２１が形成されている。本実施形態において、スペーサ開口部１２１は、ヘッドチップ５１を各色ごとに（例えば、第１ヘッドモジュール３０Ａ及び第２ヘッドモジュール３０Ｂのヘッドチップ５１）まとめて露出させている。なお、スペーサ開口部１２１は、各ヘッドモジュール３０Ａ〜３０Ｄのヘッドチップ５１をまとめて露出させてもよく、各ヘッドチップ５１をそれぞれ露出させても構わない。
【００６５】
（ノズルプレート）
上述したノズルプレート３２は、ポリイミド等の樹脂材料により形成されている。ノズルプレート３２は、その＋Ｚ方向端面（ベース部材３８との対向面）が上述したスペーサ１２０やヘッドチップ５１の−Ｚ方向端面に硬質接着剤により固定されている。硬質接着剤は、上述した軟質接着剤に比べて例えばショア硬度で硬質な材料により形成されている。このような材料としては、エポキシ系接着剤（例えば、エイブルスティック社製：９３１−１Ｔ１Ｎ１）等が好適に用いられている。なお、ノズルプレート３２は、軟質接着剤を用いてベース部材３８に直接接着しても構わない。
【００６６】
図２、図７に示すように、ノズルプレート３２は、各ヘッドモジュール３０Ａ〜３０Ｄのヘッドチップ５１を−Ｚ方向からまとめて覆っている。ノズルプレート３２には、Ｘ方向に延びる複数のノズル列（第１ノズル列１３０Ａ〜第４ノズル列１３０Ｄ）がＹ方向に間隔をあけて形成されている。
各ノズル列（噴射孔列）１３０Ａ〜１３０Ｄは、ノズルプレート３２のうち、対応するヘッドモジュール３０Ａ〜３０Ｄのヘッドチップ５１にＺ方向で対向する位置にそれぞれ形成されている。
【００６７】
図８は、インクジェットヘッド５Ａを−Ｚ方向から見た部分底面図である。
図８に示すように、各ノズル列１３０Ａ〜１３０Ｄは、ノズルプレート３２をＺ方向に貫通するノズル孔（第１ノズル孔１３１Ａ〜第４ノズル孔１３１Ｄ）を有している。例えば、第１ノズル孔（噴射孔）１３１Ａは、ノズルプレート３２のうち、第１ヘッドモジュール３０Ａにおけるヘッドチップ５１の吐出チャネル５７にＺ方向で対向する位置に各別に形成されている。すなわち、複数の第１ノズル孔１３１ＡがＸ方向に間隔をあけて直線状に形成されることで、第１ノズル列１３０Ａを構成している。
なお、第２ノズル孔１３１Ｂ、第３ノズル孔１３１Ｃ及び第４ノズル孔１３１Ｄは、上述した第１ノズル孔１３１Ａと同様に、ノズルプレート３２のうち、対応するヘッドモジュール３０Ｂ〜３０Ｄにおけるヘッドチップ５１の吐出チャネル５７にＺ方向で対向する位置に各別に形成されている。
【００６８】
図７に示すように、ノズルプレート３２のうち、Ｙ方向で第２ノズル列１３０Ｂと第３ノズル列１３０Ｃとの間に位置する部分には、ノズルプレート３２をＺ方向に貫通するスリット１３５が形成されている。本実施形態において、スリット１３５は、Ｙ方向に間隔をあけて２列形成されている。スリット１３５は、Ｘ方向に沿ってノズル列１３０Ａ〜１３０Ｄと平行に延在している。また、スリット１３５のＸ方向における長さは、ノズル列１３０Ａ〜１３０Ｄよりも長くなっている。但し、スリット１３５の長さは、ノズルプレート３２のＸ方向の長さよりも短ければ適宜変更が可能である。また、スリット１３５の数は、二列に限らず適宜変更が可能である。
【００６９】
なお、ノズルプレート３２は、樹脂材料に限らず、金属材料（ステンレス等）で形成してもよく、樹脂材料と金属材料の積層構造としても構わない。但し、ノズルプレート３２は、スペーサ１２０と同等の熱膨張係数を有する材料であることが好ましい。また、ノズルプレート３２の−Ｚ方向端面には、撥液処理が施されている。本実施形態では、一枚のノズルプレート３２が各ヘッドモジュール３０Ａ〜３０Ｄをまとめて覆う構成について説明したが、この構成のみに限らず、複数枚のノズルプレート３２で各ヘッドモジュール３０Ａ〜３０Ｄを個別に覆う構成でも構わない。なお、ノズルプレート３２は、撥液処理が施されていなくても構わない。
【００７０】
（ノズルガード）
ノズルガード３３は、例えばステンレス等の板材にプレス加工が施されて形成されている。ノズルガード３３は、ノズルプレート３２やスペーサ１２０を間に挟んだ状態で、モジュール保持部４１を−Ｚ方向から覆っている。
【００７１】
ノズルガード３３のうち、上述したノズル列１３０Ａ〜１３０ＤにＺ方向で対向する位置には、ノズル列１３０Ａ〜１３０Ｄを外部に露出させる露出孔１４１が形成されている。露出孔１４１は、ノズルガード３３をＺ方向に貫通するとともに、Ｘ方向に延在するスリット状に形成されている。本実施形態の露出孔１４１は、同色のインクを吐出するノズル列１３０Ａ〜１３０Ｄに対応してＹ方向に間隔をあけて２列形成されている。すなわち、一方の露出孔１４１は、第１ノズル列１３０Ａ及び第２ノズル列１３０Ｂを外部に露出させている。また、他方の露出孔１４１は、第３ノズル列１３０Ｃ及び第４ノズル列１３０Ｄを外部に露出させている。
【００７２】
図８に示すように、ノズルガード３３は、上述したスペーサ１２０に接着等により固定されている。具体的に、ノズルガード３３は、スペーサ１２０のうち、Ｚ方向から見た平面視でノズルプレート３２よりも外側に位置する部分に接着されている（以下、「第１接着領域１５０」という）。第１接着領域１５０は、ノズルプレート３２の周囲を全周に亘って取り囲む枠状に設定されている。なお、第１接着領域１５０は、少なくともノズルプレート３２の外側でスペーサ１２０に接着されていれば、ノズルプレート３２の外周縁に接着されていても構わない。
【００７３】
また、ノズルガード３３は、スペーサ１２０のうち、ノズルプレート３２の上述したスリット１３５を通して露出した部分に接着されている（以下、「第２接着領域１５１」という）。すなわち、第２接着領域１５１は、Ｘ方向に沿ってノズル列１３０Ａ〜１３０Ｄと平行に延在している。これにより、第２接着領域１５１は、各ノズル列１３０Ａ〜１３０Ｄのうち、異色のノズル列間（第２ノズル列１３０Ｂ及び第３ノズル列１３０Ｃ間）を仕切っている。
【００７４】
［プリンタの動作方法］
次に、上述したプリンタ１を利用して、被記録媒体Ｐに情報を記録する方法について説明する。
図１に示すように、プリンタ１を作動させると、搬送機構２，３のグリットローラ１１，１３が回転することで、これらグリットローラ１１，１３及びピンチローラ１２，１４間を被記録媒体Ｐが＋Ｘ方向に搬送される。また、これと同時に駆動モータ２８がプーリ２６を回転させて無端ベルト２７を走行させる。これにより、キャリッジ２３がガイドレール２１，２２にガイドされながらＹ方向に往復移動する。
この間に、各インクジェットヘッド５Ａ，５Ｂにおいて、ヘッドチップ５１の駆動電極に駆動電圧を印加する。これにより、駆動壁６１に厚みすべり変形を生じさせ、吐出チャネル５７内に充填されたインクに圧力波を発生させる。この圧力波により、吐出チャネル５７の内圧が高まり、インクがノズル孔１３１Ａ〜１３１Ｄを通して吐出される。そして、インクが被記録媒体Ｐ上に着弾することで、各種情報が被記録媒体Ｐ上に記録される。
【００７５】
ここで、本実施形態では、例えば第１ヘッドモジュール３０Ａにおいて、インク流路７１を有するマニホールド５２にヘッドチップ５１及び駆動基板５３が支持された構成とした。
この構成によれば、ヘッドチップ５１及び駆動基板５３を支持する部材と、インク流路７１と、がヘッドチップ５１に対してＹ方向の一方に配置されたマニホールド５２に一体化されている。これにより、従来のようにヘッドチップに対してＹ方向の一方にヘッドチップ及び駆動基板を支持する部材を配置し、ヘッドチップに対してＹ方向の他方にインク流路を有する部材を別々に配置する構成に比べて第１ヘッドモジュール３０ＡのＹ方向（主走査方向）での小型化を図ることができる。これにより、インクジェットヘッド５ＡのＹ方向での小型化が可能になる。
また、ヘッドチップ５１や駆動基板５３で発生した熱は、マニホールド５２を介して外部に放熱されることになる。これにより、ヘッドチップ５１及び駆動基板５３の放熱性能を確保できる。
さらに、インク流路７１を有するマニホールド５２にヘッドチップ５１及び駆動基板５３が支持されているので、ヘッドチップ５１や駆動基板５３で発生してマニホールド５２に伝達された排熱を用いてインク流路７１を流れるインクを加熱（保温）することもできる。これにより、インクを所望の温度（粘度）でヘッドチップ５１に供給することができ、優れた印字特性を得ることができる。
しかも、本実施形態では、ヘッドモジュール３０Ａ〜３０ＤのＹ方向での小型化が可能になるので、各ヘッドチップ５１それぞれにマニホールド５２を設けることができる。そのため、高密度記録化を図るために、一つのヘッドモジュール３０Ａ〜３０Ｄに複数のヘッドチップ５１を搭載する構成に比べて各ヘッドチップ５１の放熱性能を確保できる。
【００７６】
本実施形態では、マニホールド５２に対して＋Ｚ方向にダンパ３１が配置されているため、ダンパ３１とマニホールド５２とがＹ方向に並んで設けられる構成に比べてインクジェットヘッド５ＡのＹ方向での小型化を図ることができる。
【００７７】
本実施形態では、インク流路７１が蛇行して延在しているため、ヘッドチップ５１や駆動基板５３の排熱を、インク流路７１内のインクに効果的に伝達することができる。これにより、インクを所望の温度（粘度）でヘッドチップ５１に供給することができ、優れた印字特性を得ることができる。
【００７８】
本実施形態では、マニホールド５２のうち＋Ｙ方向を向く面（駆動基板５３を支持する面とは反対側の面）にヒータ８５が配設されている構成とした。
この構成によれば、インク流路７１内を流通するインクが、ヘッドチップ５１や駆動基板５３の排熱に加え、ヒータ８５によっても加熱できるので、インクを所望の温度で確実にヘッドチップ５１に供給できる。
【００７９】
本実施形態では、ヘッドチップ５１とマニホールド５２との間に絶縁シート８６が介在しているため、ヘッドチップ５１とマニホールド５２とを電気的に分離できる。そのため、ヘッドチップ５１の駆動時にヘッドチップ５１とマニホールド５２との間に発生する浮遊容量を低減できる。これにより、駆動基板５３への電気的ノイズを抑えることができ、インクジェットヘッド５Ａの動作信頼性を確保できる。
また、絶縁シート８６にポリイミド等の耐インク性を有する材料を用いることで、絶縁シート８６がインクによって溶出するのを抑制し、吐出不良を抑制できる。また、絶縁シート８６をポリイミドにより形成することで、加工性や接着性に優れた絶縁シート８６を提供できる。
【００８０】
さらに、絶縁シート８６にポリイミド等の軟質な材料を用いることで、ヘッドチップ５１とマニホールド５２との熱膨張係数の違いに起因してヘッドチップ５１とマニホールド５２とに作用する応力を緩和できる。これにより、例えばヘッドチップ５１の変形や割れ、マニホールド５２からの剥離、マニホールド５２に対するヘッドチップ５１の位置ずれ等が発生するのを抑制できる。
しかも、絶縁シート８６をマニホールド５２とは別体で設けることで、絶縁シート８６がマニホールド５２の一部を構成する場合と異なり、絶縁シート８６の材料選択や設計等の自由度を向上させることができる。なお、駆動基板５３とマニホールド５２との間に絶縁体を介在させても構わない。
【００８１】
本実施形態では、各ヘッドモジュール３０Ａ〜３０Ｄに対応するノズル列１３０Ａ〜１３０Ｄを有するノズルプレート３２がベース部材３８の−Ｚ方向端面上に配置されている構成とした。
この構成によれば、各ヘッドモジュール３０Ａ〜３０Ｄそれぞれにノズルプレート３２を取り付ける構成に比べてノズル孔１３１Ａ〜１３１Ｄの位置精度向上を図ることができる。
【００８２】
本実施形態では、ノズルプレート３２とベース部材３８との間にスペーサ１２０が介在しているため、ノズルプレート３２とベース部材３８との熱膨張係数の違いに起因してノズルプレート３２とベース部材３８とに作用する応力を緩和できる。
さらに、本実施形態では、スペーサ１２０が軟質接着剤によりベース部材３８に接着されているので、スペーサ１２０とベース部材３８との熱膨張係数の違いに起因してスペーサ１２０とベース部材３８とに作用する応力を確実に緩和できる。
これにより、ノズルプレート３２がヘッドチップ５１から剥離するのを抑制できる。
【００８３】
本実施形態では、ノズルガード３３とスペーサ１２０との第１接着領域１５０がノズルプレート３２の周囲を取り囲むように配置されている構成とした。
この構成によれば、ノズルプレート３２やノズルガード３３の−Ｚ方向端面上に付着したインクがノズルプレート３２とノズルガード３３との隙間を通ってインクジェットヘッド５Ａ内に進入しようとした場合に、第１接着領域１５０でインクを塞き止めることができる。これにより、インクがインクジェットヘッド５Ａの内部に進入するのを抑制できる。
【００８４】
本実施形態では、ノズルガード３３とスペーサ１２０との第２接着領域１５１が各ノズル列１３０Ａ〜１３０Ｄのうち、異色のインクが吐出されるノズル列１３０Ｂ，１３０Ｃ同士の間に配置されている構成とした。
この構成によれば、ノズルプレート３２の−Ｚ方向端面上等に付着した異色のインクが、第２接着領域１５１で遮られることになる。これにより、異色のインクが混じり合ってインクジェットヘッド５Ａの外部に漏れるのを抑制できる。
【００８５】
本実施形態では、ベース部材３８とヘッドモジュール３０Ａ〜３０Ｄとの間に、ベース部材３８とヘッドモジュール３０Ａ〜３０ＤとをＸ方向及びＹ方向の一方に付勢する第１付勢部材及び第２付勢部材７０が介在する構成とした。
この構成によれば、ヘッドモジュール３０Ａ〜３０ＤがＸ方向及びＹ方向の一方に押さえ付けられた状態で、ベース部材３８に保持される。そのため、ベース部材３８に対してヘッドモジュール３０Ａ〜３０Ｄを高精度に位置決めできる。これにより、その後、ステー等を介してヘッドモジュール３０Ａ〜３０Ｄをベース部材３８に固定する際の、組付性を向上させることができる。
【００８６】
本実施形態では、アクチュエータプレート５５の裏面に温度センサ９４が配置されているので、アクチュエータプレート５５から離間した位置に温度センサ９４を配置する場合に比べて吐出チャネル５７のインク温度を正確に検出できる。
特に、本実施形態では、温度センサ９４とアクチュエータプレート５５との間に、各チャネル５７，５８の全域を覆うように伝熱板６５が設けられている。そのため、全吐出チャネル５７での平均的なインク温度を検出できる。
【００８７】
そして、本実施形態のプリンタ１は、上述したインクジェットヘッド５Ａを備えているため、Ｙ方向の小型化を図った上で、信頼性に優れたプリンタ１を提供できる。
【００８８】
なお、上述した実施形態では、比較的軟質な材料によって絶縁シート８６を形成した場合について説明したが、この構成のみに限らず、熱膨張係数がヘッドチップ５１やマニホールド５２に近い材料により絶縁シート８６を形成しても構わない。このような材料としては、セラミックス（特に、マシナブルセラミックス）等を採用することができる。
この構成によれば、ヘッドチップ５１、マニホールド５２及び絶縁シート８６の熱膨張係数差を小さくすることができるので、温度変化に伴うヘッドチップ５１、マニホールド５２及び絶縁シート８６の相対変位を抑制できる。そのため、ヘッドチップ５１、マニホールド５２及び絶縁シート８６の熱膨張係数差に起因して、例えばヘッドチップ５１の変形や割れ、マニホールド５２からの剥離、マニホールド５２に対するヘッドチップ５１の位置ずれ等が発生するのを抑制できる。
【００８９】
上述した実施形態では、マニホールド５２が導電性を有する場合について説明したが、この構成のみに限らず、マニホールド５２が絶縁性を有する材料により形成されていても構わない。絶縁性のマニホールド５２に導電性の部材が取り付けられている場合においても、上述した浮遊容量に起因して駆動基板への電気的ノイズが起こり得る。そのため、上述した実施形態と同様に、ヘッドチップ５１とマニホールド５２との間に絶縁シート８６を介在させることで、電気的ノイズを抑えることができ、インクジェットヘッド５Ａの動作信頼性を確保できる。
【００９０】
上述した実施形態では、絶縁シート８６がマニホールド５２とは別体で設けられた構成について説明したが、この構成のみに限られない。図９に示すヘッドモジュール２３０のマニホールド２５２のように、流路カバー２７３自体が絶縁体により形成されていても構わない。
この構成によれば、絶縁体がマニホールド２５２の一部を構成するので、マニホールド２５２とは別に絶縁体を設ける場合に比べて部品点数の削減等を図ることができる。
【００９１】
本発明の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００９２】
例えば、上述した実施形態では、液体噴射装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であっても構わない。
【００９３】
上述した実施形態では、ベース部材３８上にヘッドモジュール３０Ａ〜３０Ｄが四つ搭載された構成について説明したが、この構成のみに限られない。ベース部材３８に搭載するヘッドモジュールの数は、一つでも複数でも構わない。
上述した実施形態では、二つのヘッドモジュールで一色のインクを吐出する構成について説明したが、この構成のみに限らず、３つ以上の複数のヘッドモジュールで一色のインクを吐出してもよく、一つのヘッドモジュールで一色のインクを吐出してもよい。
【００９４】
上述した実施形態では、エッジシュートのヘッドチップについて説明したが、これに限られない。例えば、吐出チャネルにおける延在方向の中央部からインクを吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのヘッドチップに本発明を適用しても構わない。
また、インクに加わる圧力の方向と、インク滴の吐出方向と、を同一方向とした、いわゆるルーフシュートタイプのヘッドチップに本発明を適用しても構わない。
【００９５】
上述した実施形態では、ヘッドチップ５１及び駆動基板５３がマニホールドの同一面に支持された構成について説明したが、この構成のみに限られない。例えば、ヘッドチップ５１及び駆動基板５３がマニホールド５２の異なる面（例えば、Ｙ方向を向く両面）に支持されていても構わない。
【００９６】
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせても構わない。
【００９７】
（１）前記マニホールドに対して前記第１方向で前記噴射孔プレートとは反対側には、前記液体流路に接続されるとともに、前記液体流路に供給される液体の圧力変動を吸収するダンパが配設されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【００９８】
（２）前記液体流路は、蛇行して延在していることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【００９９】
（３）前記マニホールドのうち、前記第３方向を向く第２面にはヒータが配設されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【０１００】
（４）前記マニホールドの前記第１面と、前記ヘッドチップのうち前記第３方向を向く前記マニホールドの前記第１面との対向面と、の間には、絶縁シートが介在していることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【０１０１】
（５）前記ヘッドチップ、前記マニホールド及び前記駆動基板は、ヘッドモジュールを構成し、複数の前記ヘッドモジュールが前記第３方向に並んだ状態でベース部材に搭載され、前記噴射孔プレートは、複数の前記ヘッドモジュールにおける前記ヘッドチップに対応して複数の前記噴射孔列を有するとともに、前記ベース部材のうち前記第１方向の他方を向くプレート配置面上に配置されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【０１０２】
（６）前記ベース部材の前記プレート配置面と、前記噴射孔プレートのうち前記第１方向を向く前記ベース部材の前記プレート配置面との対向面と、の間には、スペーサが介在していることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【０１０３】
（７）前記スペーサは、軟質接着剤で前記ベース部材に接着され、前記噴射孔プレートは、前記軟質接着剤に比べて硬質な材料により形成された硬質接着剤で前記スペーサに接着されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【０１０４】
（８）前記噴射孔プレートに対して前記第１方向の他方には、前記噴射孔列を外部に露出させる露出孔を有するとともに、前記噴射孔プレートを前記第１方向の他方から覆う噴射孔ガードが配置され、前記噴射孔プレートは、前記第１方向から見た平面視で前記スペーサの外形よりも小さく形成され、前記噴射孔ガードは、前記第１方向から見た平面視で前記噴射孔プレートよりも外側の領域で前記スペーサに接着され、前記噴射孔ガードと前記スペーサとの接着部分は、前記噴射孔プレートの周囲を取り囲んでいることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【０１０５】
（９）複数の前記ヘッドモジュールは、第１液体を吐出可能な第１ヘッドモジュールと、前記第１液体とは異色の第２液体を吐出可能な第２ヘッドモジュールと、を有し、前記噴射孔プレートのうち、前記第１ヘッドモジュールに対応する第１噴射孔列と、前記第２ヘッドモジュールに対応する第２噴射孔列と、の間に位置する部分には、前記噴射孔プレートを前記第１方向に貫通するとともに、前記第１噴射孔列と前記第２噴射孔列とを仕切るスリットが形成され、前記噴射孔ガードは、前記スリットを通して前記スペーサに接着されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【０１０６】
（１０）前記ベース部材には、前記ベース部材を前記第１方向に貫通するとともに、前記ヘッドモジュールが挿入された取付開口部が形成され、前記ヘッドモジュールと前記ベース部材との間には、前記第２方向及び前記第３方向のうち、少なくとも何れかの方向で前記ヘッドモジュールと前記ベース部材とを付勢する付勢部材が介在していることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【符号の説明】
【０１０７】
１…インクジェットプリンタ（液体噴射装置）
５Ａ，５Ｂ…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
３０Ａ…第１ヘッドモジュール（ヘッドモジュール）
３０Ｂ…第２ヘッドモジュール（ヘッドモジュール、第１ヘッドモジュール）
３０Ｃ…第３ヘッドモジュール（ヘッドモジュール、第２ヘッドモジュール）
３０Ｄ…第４ヘッドモジュール（ヘッドモジュール）
３１…ダンパ
３２…ノズルプレート（噴射孔プレート）
３３…ノズルガード（噴射孔ガード）
３８…ベース部材
４４…取付開口部
５１…ヘッドチップ
５２…マニホールド
５３…駆動基板
５７…吐出チャネル（チャネル）
７０…第２付勢部材（付勢部材）
７１…インク流路（液体流路）
７２…流路部材
７３…流路カバー
７９…蛇行部
８５…ヒータ
８６…絶縁シート（絶縁体）
２５２…マニホールド
２７３…流路カバー（絶縁体）
１２０…スペーサ
１３０Ａ…第１ノズル列（噴射孔列）
１３０Ｂ…第２ノズル列（噴射孔列、第１噴射孔列）
１３０Ｃ…第３ノズル列（噴射孔列、第２噴射孔列）
１３０Ｄ…第４ノズル列（噴射孔列）
１３１Ａ…第１ノズル孔（噴射孔）
１３１Ｂ…第２ノズル孔（噴射孔）
１３１Ｃ…第３ノズル孔（噴射孔）
１３１Ｄ…第４ノズル孔（噴射孔）
１４１…露出孔
１５０…第１接着領域（接着部分） 
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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