(57)【要約】【課題】探針やポリマー鎖のような微細物を矯正する。【解決手段】レンズによって集光させたレーザー光Ｌにより微細物（探針Ｗａ）を矯正する。その方法は、微細物（探針Ｗａ）を矯正させたい方向と、前記レンズから集光位置に向かうレーザー光Ｌの軸方向とを一致させ、集光させたレーザー光Ｌをこの微細物（探針Ｗａ）に対して照射する。この際、微細物（探針Ｗａ）の先端側の変形部の変形方向と、レーザー光Ｌの軸方向とが交差するようにして、前記集光位置に対して微細物（探針Ｗａ）を配置し、この微細物（探針Ｗａ）に対して集光させたレーザー光Ｌを、前記変形方向と異なる方向に前記軸方向が向くようにして、照射する。【選択図】      図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レンズによって集光させたレーザー光により微細物を矯正する方法であって、
前記微細物を矯正させたい方向と、前記レンズから集光位置に向かう前記レーザー光の軸方向と、を一致させ、
集光させた前記レーザー光を当該微細物に対して照射する、矯正方法。
【請求項２】
前記微細物は、顕微鏡で用いられるカンチレバーの探針であり、
前記探針の先端側の変形部の変形方向と前記軸方向とが交差するようにして、前記集光位置に対して前記探針を配置し、
当該探針に対して集光させたレーザー光を、前記変形方向と異なる方向に前記軸方向が向くようにして、照射する、請求項１に記載の矯正方法。
【請求項３】
前記微細物は、ブラシ構造に含まれるポリマー鎖であり、
前記ポリマー鎖の変形方向と前記軸方向とが交差するようにして、前記集光位置に対して前記ポリマー鎖を配置し、
当該ポリマー鎖に対して集光させたレーザー光を、前記変形方向と異なる方向に前記軸方向が向くようにして、照射する、請求項１に記載の矯正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズによって集光させたレーザー光により、微細物を矯正する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）ではカンチレバーが使用されており、このカンチレバーには、素材として窒化シリコン（ＳｉＮ）やシリコン（Ｓｉ）が用いられている。観察のためにカンチレバーを継続して使用していると、カンチレバーが有する探針の先端が変形することがあり、この場合、得られる画像が不鮮明になる。
そこで、従来では、カンチレバーを定期的に交換しているが、この場合、経済的ではない。
【０００３】
また、リビングラジカル重合法等により、物体表面にポリマー鎖等のブラシ構造を形成し、その物体表面の低摩擦化を図るという技術が知られている。つまり、物体表面を前記ブラシ構造とすることで、ぬれ性や接触面改善による低摩擦化等の機能向上を図ることが可能であることが知られている。
しかし、前記ブラシ構造を得るために、物体表面に対して垂直な方向にポリマー鎖を配向させるのが好ましいが、それは難しく、安定した低摩擦性能を有する物体表面を得ることは困難である。また、継続して使用することでポリマー鎖が倒れてしまい、その性能維持特性についても問題となることがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−３０８６５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本発明は、前記のような探針やポリマー鎖のような微細物の矯正を可能とする矯正方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、レンズによって集光させたレーザー光により微細物を矯正する方法であって、前記微細物を矯正させたい方向と、前記レンズから集光位置に向かう前記レーザー光の軸方向と、を一致させ、集光させた前記レーザー光を当該微細物に対して照射する。
この矯正方法によれば、レーザー光をレンズにより集光させ、矯正させたい微細物を集光位置に設けることで、レンズから集光位置に向かうレーザー光の軸方向と直交する方向に作用する勾配力（光圧力の前記軸方向に垂直な成分力）により、微細物の形状を矯正することができる。なお、レーザー光の「軸方向」は、レンズの中心から集光位置に向かうレーザー光の照射方向を意味している。
【０００７】
また、前記微細物は、顕微鏡で用いられるカンチレバーの探針であり、前記探針の先端側の変形部の変形方向と前記軸方向とが交差するようにして、前記集光位置に対して前記探針を配置し、当該探針に対して集光させたレーザー光を、前記変形方向と異なる方向に前記軸方向が向くようにして、照射するのが好ましい。
これにより、先端側が変形した探針を、レンズから集光位置に向かうレーザー光の軸方向と直交する方向に作用する勾配力により、矯正することが可能となる。
【０００８】
また、前記微細物は、ブラシ構造に含まれるポリマー鎖であり、前記ポリマー鎖の変形方向と前記軸方向とが交差するようにして、前記集光位置に対して前記ポリマー鎖を配置し、当該ポリマー鎖に対して集光させたレーザー光を、前記変形方向と異なる方向に前記軸方向が向くようにして、照射するのが好ましい。
これにより、変形して（曲がって）直線的に配向していないポリマー鎖を、レンズから集光位置に向かうレーザー光の軸方向と直交する方向に作用する勾配力により、矯正することが可能となる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、レンズから集光位置に向かうレーザー光の軸方向と直交する方向に作用する勾配力により、微細物を矯正することができ、これにより、微細物を再利用したり、微細物による性能を維持したりすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】光トラップの原理を説明する説明図である。
【図２】レーザー光による勾配力の作用を説明する説明図である。
【図３】本発明の矯正方法を行うための装置の全体構成を説明する説明図である。
【図４】探針の矯正方法を説明する説明図である。
【図５】探針の矯正方法を説明する説明図である。
【図６】探針の矯正方法を説明する説明図である。
【図７】ポリマー鎖の矯正方法を説明する説明図である。
【図８】ポリマー鎖の矯正方法を説明する説明図である。
【図９】ポリマー鎖の矯正方法を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図３は、本発明の矯正方法を行うための装置（矯正装置）１の全体構成を説明する説明図である。この矯正方法は、微細物を矯正する方法であり、レーザー光を用いていわゆる光ピンセット技術による微粒子の光トラップの原理を応用した方法である。
【００１２】
レーザー光による微粒子の光トラップの原理に基づく本発明の矯正方法ついて概略を説明すると、次のとおりである。
図１に示すように、レーザー光Ｌによる微粒子Ｃのトラップ力は、レーザー光Ｌのような空間的な強度分布をもった電場中に作用する勾配力Ｆｇｒａｄ、照射したレーザー光Ｌの光子が微粒子Ｃに対して作用する散乱力Ｆｓｃａｔ、及び吸収力Ｆａｂｓを含み、このトラップ力（Ｆ）を、式「Ｆ＝Ｆｇｒａｄ＋Ｆｓｃａｔ＋Ｆａｂｓ」により表現することができる。なお、散乱力Ｆｓｃａｔと吸収力Ｆａｂｓとは勾配力Ｆｇｒａｄに比べて小さい。そこで、このようなトラップ力の原理を応用して用いる本発明の矯正方法では、勾配力Ｆｇｒａｄに着目したものである。なお、この勾配力Ｆｇｒａｄは、レーザー光Ｌが微粒子（微細物）中を透過し、反射と屈折とが行われることによる運動量変化で生じる力として考えられる。
【００１３】
具体的に説明すると、本発明の矯正方法では、前記のようなレーザー光Ｌによる勾配力Ｆｇｒａｄを用いることで、微細物を矯正する。つまり、光トラップでは、図２に示すように、細長い微細物Ｗの長手方向が、レーザー光Ｌの軸方向（照射方向）に対して傾いている場合、前記勾配力によってその長手方向の向きをレーザー光Ｌの軸方向と一致させるように変えて、微細物Ｗはレーザー光Ｌにより捕捉される。そこで、本発明の矯正方法では、この特性を用いて、細長い構造部Ｗ（の一部又は全部）の長手方向が、レーザー光Ｌの軸方向に対して傾いている場合（変形している場合）において、前記勾配力によってその長手方向の向きをレーザー光Ｌの軸方向と一致させるように変えて、微細物Ｗ（の一部又は全部）を矯正する。つまり、本発明の矯正方法で用いられるレーザー光Ｌは、レーザー光Ｌの軸方向に沿って物体を配向させる作用に基づく。
【００１４】
この矯正方法の説明において、レーザー光Ｌの「照射」は、レーザー光Ｌを集光させるレンズの中心から集光位置（ビームウエスト）に向かう照射を意味しており、また、レーザー光Ｌの「軸方向」は、前記レンズの中心から集光位置に向かう照射方向を意味している。
【００１５】
以下、矯正方法に関して、前記微細物Ｗを、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）で用いられるカンチレバーの「探針Ｗａ」とする場合（図４参照）と、リビングラジカル重合法等により形成されているブラシ構造物Ｍの表面の「ポリマー鎖Ｗｂ」とする場合（図７参照）とを説明する。なお、これら探針Ｗａ及びポリマー鎖Ｗｂは、レーザー光Ｌを透過させる性質を有している。また、矯正の対象となる微細物Ｗは、他の物であってもよく、その大きさは、例えば幅寸法が数μｍ程度、長さが数十μｍ程度の物である。
【００１６】
〔装置１について〕
まず、本発明の矯正方法を実施するための装置１の構成について説明する。
図３に示すように、装置１は、レーザー光用の光源１０、導光手段(２１〜２７)、第一レンズ２８、照明用の光源３０、第二レンズ３１、装置ベース４５、ステージ４６、駆動手段４８、撮像手段５０、及び制御手段６０を含む。
【００１７】
図３に示す装置１の場合、作業床に固定状態にある装置ベース４５に対してステージ４６が駆動手段４８によって移動可能として構成されており、その他の機器である光源１０、レンズ２８，３１、撮像手段５０等は装置ベース４５に固定状態として設けられており、これらは装置ベース４５に対して移動しない。なお、図３に示す形態とは異なって、ステージ４６は固定であり、レンズ２８の焦点（レーザー光Ｌの集光点）が移動する構成であってもよい。
【００１８】
光源１０は、レーザー光（レーザービーム）Ｌを出射するレーザー装置であり、制御手段６０からの制御信号に基づいて第一波長のレーザー光Ｌを出射する。前記制御信号には、レーザー光Ｌを出力するための電流値に関する情報が含まれており、この制御信号（電流値に関する情報）に従ってレーザー光Ｌの出力を高低変更することができる。光源１０から照射されレンズ２８で集光させたレーザー光Ｌによって、ステージ４６に搭載されている保持部材４７に保持されている微細物Ｗの矯正が行われる。
【００１９】
導光手段(２１〜２７)は、光源１０から出射させたレーザー光Ｌを、第一レンズ２８へと導くためのものである。導光手段(２１〜２７)を順に説明する。
第一反射ミラー２１は、光源１０からのレーザー光Ｌを反射して第一絞り２２へ入射させる。第一絞り２２は、入射したレーザー光Ｌの径を絞って第一コリメートレンズ２３へ出射する。第一コリメートレンズ２３は、レーザー光Ｌの径を拡大して第二コリメートレンズ２４へ出射する。第二コリメートレンズ２４は、径が拡大されたレーザー光Ｌを平行光に変換して第二絞り２５へ出射する。第二絞り２５は、平行光とされたレーザー光Ｌの径を絞って第一ミラー２６に向けて出射する。第一ミラー２６は、入射するレーザー光Ｌを第二ミラー２７に向けて反射する。第二ミラー２７は、入射するレーザー光Ｌを第一レンズ２８に向けて反射する。
【００２０】
第一レンズ２８は、第二ミラー２７から入射するレーザー光Ｌを保持部材４７に設定した焦点位置に向けて集光する。このレンズ２８により集光させたレーザー光Ｌによって、その集光点（レンズ２８の焦点）にある微細物Ｗを矯正することができる。
【００２１】
照明用の光源３０は例えばＬＥＤ照明であり、制御手段６０からの制御信号に基づいて第二波長の照明光Ｓを出射する。保持部材４７には、微細物Ｗを含む物（前記カンチレバー、前記ブラシ構造物Ｍ）が保持されており、照明光Ｓは、微細物Ｗを観測する撮像手段５０のための照明となる。照明光Ｓは、第二レンズ３１によって集光され、その後、第一レンズ２８を透過し、第二ミラー２７によって反射され、第一ミラー２６を透過し、撮像手段５０に到達する。なお、照明光Ｓの入射方向及び撮像手段５０による撮像方向については、図３に示す方向以外とすることができる。
【００２２】
ステージ４６は、保持部材４７を搭載している。保持部材４７は、矯正の対象となる微細物Ｗ（微細物Ｗを含む物）の他に、流体を保持することができ、この流体に微細物Ｗ（微細物Ｗを含む物）が含まれる。流体の屈折率（ｎ１）は、微細物Ｗの屈折率（ｎ２）よりも小さい（ｎ１＜ｎ２）。
【００２３】
ステージ４６は、前後、左右、上下に移動可能として支持されており、駆動手段４８がステージ４６を前後、左右、上下に移動させる。図１では、前後方向、左右方向、及び上下方向をそれぞれＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向として示している。
以下に説明する矯正方法では、矯正処理中において、保持部材４７を静止させる場合と、移動させる場合とがある。移動させる場合、制御手段６０からの制御信号に基づいて、駆動手段４８が、ステージ４６をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の内の少なくとも一方向に移動させる。これにより保持部材４７は同方向に移動することができる。
【００２４】
駆動手段４８は、例えばピエゾ素子を用いたアクチュエータからなる。駆動手段４８は、Ｘ軸方向にステージ４６を移動させるピエゾ素子と、Ｙ軸方向にステージ４６を移動させるピエゾ素子と、Ｚ軸方向にステージ４６を移動させるピエゾ素子とを有している。制御手段６０からの制御信号（制御電圧）に基づいてピエゾ素子それぞれが所定の軸方向に変形することでステージ４６をその軸方向に移動させることができる。
【００２５】
また、この装置１は、ステージ４６の移動を検出するセンサを備えている。本実施形態では、前記センサとしてひずみゲージを備えており、ステージ４６のＸ軸方向の移動量を検出するためのひずみゲージと、ステージ４６のＹ軸方向の移動量を検出するためのひずみゲージと、ステージ４６のＺ軸方向の移動量を検出するためのひずみゲージとを備えている。ひずみゲージそれぞれから出力される検出信号（電圧信号）は増幅され、その信号を、コンピュータ装置からなる制御手段６０は取得可能である。
【００２６】
このように、ステージ４６を移動させる駆動手段４８は、ピエゾ素子を有しており、このピエゾ素子の変形をステージ４６の移動のための動力とする機構としている。そして、装置１は、更に、ステージ４６の移動量を検出するためのひずみゲージを有しており、制御手段６０は、このひずみゲージの検出信号に基づいてステージ４６の移動量を求める構成となっている。この構成により、ひずみゲージからの検出信号を用いてフィードバック制御することで、ステージ４６の移動を高分解能で制御することが可能となる。ステージ４６（保持部材４７）の移動速度及び移動距離はこれらピエゾ素子及びひずみゲージを用いて調整可能となっている。
【００２７】
撮像手段５０は、例えばＣＣＤカメラやＣＭＯＳカメラであり、保持部材４７上の領域を撮像する。撮像手段５０は、撮像して得た画像情報を制御手段６０に出力する。制御手段６０は、その画像情報に基づく画像を、モニタ等に出力することができる。
【００２８】
〔探針の矯正について〕
図３に示す装置１によって行われる、探針Ｗａ（図４参照）の矯正方法について説明する。矯正の対象となる探針Ｗａは、図４に示すように、基部１１側から先部１２に向かって長くなっている形状（針形状）を有しており、先部１２側が折れ曲がっている。そこで、この折れ曲がっている部分（折れ曲がり部Ｎ）を矯正する。
【００２９】
この矯正方法では、図５に示すように、探針Ｗａの全体に対してレーザー光Ｌを照射して、探針Ｗａの折れ曲がり部Ｎを、真っ直ぐに矯正する。図５では、矯正前の状態を破線で示し、矯正後の状態を実線で示している。探針Ｗａの材質は、シリコン製であり、レーザー光Ｌに対して透明である。なお、探針Ｗａの材質は、レーザー光Ｌに対して透明であれば、シリコン以外の材質（シリコン以外の樹脂）であってもよい。
【００３０】
矯正方法は、次のようにして行われる。
図４に示すように、レーザー光Ｌの照射前に探針Ｗａを加熱する。探針Ｗａの温度を融点以上の温度でありかつ形状を保つことのできる温度とする。なお、前記の形状を保つことのできる温度とは、自重（重力）等で元の形状を保てなくなる温度以下、という意味である。
【００３１】
そして、図５に示すように、出力の低いレーザー光Ｌを、その軸方向を探針Ｗａの長手方向と同じ方向として照射する。つまり、探針Ｗａの基部１１側から矯正後に望む先端１２ａ側に向かう方向（図５の場合上下方向）と、レーザー光Ｌの軸方向とを一致させるようにして、レーザー光Ｌの集光位置Ｐに対して探針Ｗａを配置する。この場合、探針Ｗａの先端１２ａ側の変形部（折れ曲がり部Ｎ）の変形方向と、レーザー光Ｌの軸方向とは交差する。そして、探針Ｗａに対して集光させたレーザー光Ｌを、前記変形方向と異なる方向にレーザー光Ｌの軸方向が向くようにして、照射する。
【００３２】
探針Ｗａが冷えた状態となるまで、レーザー光Ｌの照射を継続して行う。つまり、探針Ｗａの温度が融点よりも数十度低い温度でありかつレーザー照射を止めた際に元の曲がった形状に戻らない硬さを持つ状態となるまで、レーザー光Ｌの照射を継続する。この温度の管理は、経過時間をカウントすることにより温度を推定してもよく、センサを用いて実際に探針Ｗａの温度を計測してもよい。探針Ｗａが所望の冷えた状態になると、レーザー光Ｌの照射を終える。
【００３３】
これにより、図６に示すように、先部１２側が曲がった探針Ｗａをまっすぐに矯正することができ、元の形状に戻し、この探針Ｗａを再利用することが可能となる。
【００３４】
また、図３に示す装置１によって行われる前記矯正方法を用いて、レーザー光Ｌの軸方向と、探針Ｗａの長手方向とを調整することで、探針Ｗａの先端１２ａの指向方向を制御することが可能となる。つまり、レーザー光Ｌの軸方向に対して探針Ｗａの先部１２における長手方向を傾けることで、探針Ｗａの先部１２側の指向方向を、探針Ｗａの基部１１側における長手方向に対して傾斜させることも可能である。
このように、前記矯正方法によれば、レーザー光Ｌの照射により探針Ｗａはレーザー光Ｌの軸方向に向くことができ、探針Ｗａの長手方向を制御する（矯正する）ことができる。
【００３５】
以上のように、レンズ２８によって集光させたレーザー光Ｌにより、探針鎖Ｗａを矯正する方法では、探針鎖Ｗａを矯正させたい方向（本実施形態では、探針Ｗａの基部１１側における長手方向）と、レーザー光Ｌの軸方向とを一致させ、集光させたレーザー光Ｌをこの探針Ｗａに対して照射することで行われる。
この矯正方法によれば、レーザー光Ｌをレンズ２８により集光させ、矯正させたい探針鎖Ｗａを集光位置Ｐ及びその近傍に設けることで、レーザー光Ｌの軸方向と直交する方向に作用する勾配力（光圧力の前記軸方向に垂直な成分力）により、探針鎖Ｗａの変形していた部分（折れ曲がり部Ｎ）を元の形状に矯正することができる。
【００３６】
〔ポリマー鎖の矯正について〕
図３に示す装置１によって行われる、ポリマー鎖Ｗｂ（図７参照）の矯正方法について説明する。この矯正方法では、表面にブラシ構造を持つブラシ構造物Ｍにレーザー光Ｌを照射することで、ブラシ構造の配向性を制御する。ブラシ構造物Ｍは、本体部２０と、この本体部２０の表面２０ａから延びている複数のポリマー鎖Ｗｂとを有しており、これらポリマー鎖Ｗｂの配向性を矯正する。図７では、ポリマー鎖Ｗｂの数を３本としているが、実際のブラシ構造物Ｍは多数のポリマー鎖Ｗｂを有している。
【００３７】
各ポリマー鎖Ｗｂは、本体部２０と繋がっている基部１５から先部１６に向かって長くなっている形状（紐形状）を有しており、矯正前の状態では（図７参照）、ポリマー鎖Ｗｂは、その長手方向の全長にわたって湾曲している状態にある。そこで、この湾曲しているポリマー鎖Ｗｂを直線状に矯正する。なお、ポリマー鎖Ｗｂは、レーザー光Ｌに対して透明な材料である。
【００３８】
矯正方法は、次のようにして行われる。
図８に示すように、ブラシ構造物Ｍに対して、出力の低いレーザー光Ｌを照射する。ここでは、レーザー光Ｌを、本体部２０の表面２０ａに直交する方向と一致する方向に照射する。つまり、ポリマー鎖Ｗｂの基部１５側から、矯正後に望む（図９の状態）先端１６ａ側に向かう方向（図８の場合、上下方向）と、レーザー光Ｌの軸方向とが一致するようにして、レーザー光Ｌの集光位置Ｐに対してポリマー鎖Ｗｂ（ブラシ構造物Ｍ）を配置する。この場合、図８に示すように、ポリマー鎖Ｗｂの変形方向と、レーザー光Ｌの軸方向とは交差する。そして、ポリマー鎖Ｗｂに対して集光させたレーザー光Ｌを、前記変形方向と異なる方向にレーザー光Ｌの軸方向が向くようにして、照射する。
これにより、ポリマー鎖Ｗｂを所望の方向に配向させることができる（図９参照）。ポリマー鎖Ｗｂを配向させる方向は、レーザー光Ｌの軸方向と同方向となる。
【００３９】
そして、ブラシ構造物Ｍとレーザー光Ｌとを相対的に移動させる。この移動方向は、複数のポリマー鎖Ｗｂが並んでいる方向である。本実施形態では、ブラシ構造物Ｍを保持している保持部材４７（ステージ４６）が移動する構成であるため、レーザー光Ｌの焦点位置に対してブラシ構造物Ｍが移動する。これにより、ブラシ構造物Ｍの表面に対してレーザー光Ｌを走査することができ、表面全体を順に照射することができ、次から次へとポリマー鎖Ｗｂを矯正することが可能となる。
【００４０】
また、単一のポリマー鎖Ｗｂの矯正を行う際、ブラシ構造物Ｍとレーザー光Ｌとを相対的に往復移動させるのが好ましい。つまり、本実施形態では、図８に示す状態において、ブラシ構造物Ｍを、本体部２０の表面２０ａを含む面内方向に沿って、基部１５側が曲がっている方向である一方向（図８では左方向）に移動させ、その後、この一方向と反対である他方向（図８では右方向）に移動させる。そして、単一のポリマー鎖Ｗｂについて、この往復移動を複数回について繰り返し行う。これにより、複雑に曲がっているポリマー鎖Ｗｂの矯正が容易となる。
また、レーザー光Ｌの幅（ビームウエストの幅）は、隣り合うポリマー鎖Ｗｂの間隔よりも小さく設定されている。
【００４１】
以上より、ポリマー鎖Ｗｂの長手方向が、レーザー光Ｌの軸方向と一致するように、このポリマー鎖Ｗｂを矯正することができる。本体部２０の全面についてこのような矯正を行うことで、複数のポリマー鎖Ｗｂは一方向に配向する。つまり、ブラシ構造物Ｍの全面においてポリマー鎖Ｗｂがすべて同じ方向に配向され、ブラシ構造物Ｍは、配向性の高い表面部を有することができる。
【００４２】
このように配向性の高い面を摺動面とするブラシ構造物Ｍは、低い摩擦特性を有することができる。
また、複数のポリマー鎖Ｗｂを有する側を摺動面としてブラシ構造物Ｍを用いていると、ポリマー鎖Ｗｂは折れ曲がったりして直進性が損なわれるが、前記矯正方法を行って各ポリマー鎖Ｗｂの矯正を行うことで、配向性を復活させることができる。
【００４３】
このように、前記矯正方法は、レンズ２８によって集光させたレーザー光Ｌにより、ポリマー鎖Ｗｂを矯正する方法であり、ポリマー鎖Ｗｂを矯正させたい方向（本実施形態では、本体部２０の表面２０ａに直交する方向）と、レーザー光Ｌの軸方向とを一致させ、集光させたレーザー光Ｌをこのポリマー鎖Ｗｂに対して照射することで行われる。
この矯正方法によれば、レーザー光Ｌをレンズ２８により集光させ、矯正させたいポリマー鎖Ｗｂを集光位置Ｐ（集光位置Ｐの近傍）に設けることで、レーザー光Ｌの軸方向と直交する方向に作用する勾配力（光圧力の前記軸方向に垂直な成分力）により、ポリマー鎖Ｗｂの形状を直線状に矯正することができる。
【００４４】
〔その他の応用例〕
また、本発明の矯正方法は、ブラシ構造物Ｍ以外にも有効であり、例えば、配向性を利用して光電効果を得る材料に対しても有効である。
また、本発明の矯正方法は、針状や紐状の微細物に適用できるため、繊維等が植毛されている部品に対しても有効である。
また、本発明の矯正方法は、液中に分散させた針状や紐状の微細物の配向制御も可能である。
このように微細物の配向を行うことで、微細物を含む部品の機能（例えば、摩擦特性、光電特性、放熱特性等）の向上が可能となる。
【００４５】
以上のように、前記の各矯正方法では、レーザー光Ｌを照射した際、集光位置Ｐ及びその近傍にレーザー光Ｌの軸方向に直角する方向の勾配力が発生する。レーザー光Ｌの軸方向とは異なる方向に向いている微細物に、レーザー光Ｌを照射した際、勾配力はレーザー光Ｌの軸方向に沿って微細物の長手方向が向くように作用する。このような微細物が向き直る原理を利用することで、図４〜図６に示すように、ある角度を持って先部１２が曲がった探針Ｗａ等の針部材や、図７〜図９に示すように、ポリマー鎖Ｗｂ等の紐状物をレーザー光Ｌの軸方向に沿って矯正することが可能になる。
【００４６】
また、前記矯正方法で用いられるレーザー光Ｌは、出力が比較的小さく、例えば、出力が５ｍＷ以上であり４０ｍＷ以下とすることができる。なお、この出力は変更可能であり、また、レーザー光Ｌの波長についても変更自在である。
【００４７】
以上のとおり開示した実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。つまり、本発明の矯正方法は、図示する形態に限らず本発明の範囲内において他の形態のものであってもよい。
【符号の説明】
【００４８】
１２ａ：先端                    １６ａ：先端          ２８：レンズ
Ｎ：折れ曲がり部（変形部）      Ｗ：微細物            Ｗａ：探針
Ｗｂ：ポリマー鎖                Ｌ：レーザー光
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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