(57)【要約】【課題】ワーク乾燥時における洗浄室の到達圧力が低い真空洗浄装置および真空洗浄方法を提供することを課題とする。また、エゼクタポンプの作動流体に要するコストを削減可能な真空洗浄装置および真空洗浄方法を提供することを課題とする。【解決手段】真空洗浄装置１は、洗浄対象物が付着したワークＷを洗浄液Ａにより洗浄し、乾燥させる。真空洗浄装置１は、ワークＷが配置される洗浄室２０と、作動流体の蒸気を発生させる蒸気発生器５と、作動流体の蒸気を用いて、洗浄室２０を減圧し洗浄液Ａを蒸発させるエゼクタポンプ４と、エゼクタポンプ４の背圧を下げる真空ポンプ６と、洗浄室２０と真空ポンプ６との間に配置される凝縮器７、４１と、を備える。作動流体は洗浄液Ａである。凝縮器７、４１は、洗浄液Ａの蒸気を凝縮して洗浄液Ａを生成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄対象物が付着したワークを洗浄液により洗浄し、乾燥させる真空洗浄装置であって、
前記ワークが配置される洗浄室と、
作動流体の蒸気を発生させる蒸気発生器と、
前記作動流体の蒸気を用いて、前記洗浄室を減圧し前記洗浄液を蒸発させるエゼクタポンプと、
前記エゼクタポンプの背圧を下げる真空ポンプと、
前記洗浄室と前記真空ポンプとの間に配置される凝縮器と、
を備え、
前記作動流体は前記洗浄液であり、
前記凝縮器は、前記洗浄液の蒸気を凝縮して前記洗浄液を生成することを特徴とする真空洗浄装置。
【請求項２】
前記凝縮器が生成した前記洗浄液を回収し、前記ワークの洗浄用として再利用する請求項１に記載の真空洗浄装置。
【請求項３】
前記凝縮器と前記蒸気発生器との間に配置され、前記凝縮器が生成した前記洗浄液を回収する回収室を備える請求項２に記載の真空洗浄装置。
【請求項４】
前記凝縮器は、前記洗浄室と前記エゼクタポンプとの間に配置される水冷バッフルである請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の真空洗浄装置。
【請求項５】
直列に複数の前記エゼクタポンプが配置される請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の真空洗浄装置。
【請求項６】
洗浄室に配置されたワークを洗浄液により洗浄する洗浄工程と、
前記洗浄液の蒸気を作動流体として用いるエゼクタポンプと、前記エゼクタポンプの背圧を下げる真空ポンプと、を用いて前記洗浄室を減圧し、前記ワークに付着した前記洗浄液を蒸発させると共に、前記真空ポンプよりも上流側で前記洗浄液の蒸気を凝縮して前記洗浄液を生成する乾燥工程と、
を有する真空洗浄方法。
【請求項７】
前記乾燥工程において生成された前記洗浄液を回収し、次回の前記洗浄工程で再利用する請求項６に記載の真空洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空洗浄装置および真空洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の真空洗浄装置においては、洗浄後のワークが配置された洗浄室を、機械式の真空ポンプ（油回転真空ポンプ、メカニカルブースターポンプ、ルーツ式ドライ真空ポンプ、油拡散ポンプ、ターボ分子ポンプなど）で減圧することにより、ワークを乾燥させている。しかし、真空ポンプが、洗浄後のワークに付着した洗浄液や焼入れ油の蒸気を吸い込むと、排気性能が低下してしまう。
【０００３】
この点、特許文献１には、真空ポンプを用いない真空洗浄装置が開示されている。同文献記載の真空洗浄装置は、洗浄室と凝縮室と真空弁とを備えている。真空弁は、洗浄室と凝縮室との間に介装されている。同文献の真空洗浄装置においては、真空弁を一気に開き、洗浄後のワークが配置された洗浄室を、予め減圧され、かつ低い温度に保持された凝縮室に、連通させることにより、ワークを乾燥させている。すなわち、真空弁を開くと、洗浄室の蒸気が凝縮室に流入する。蒸気は、凝縮室で凝縮し、液化する。この際、液化した洗浄液は凝縮室で冷却され低温になる。この際の蒸気圧は２８０Ｐａとなる。このため、凝縮室と連通する洗浄室も、圧力が釣り合って２８０Ｐａまで減圧される。したがって、ワークに付着した洗浄液、および蒸気圧２８０Ｐａ以上の油分は、蒸発する。よって、ワークを乾燥させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−１６６６３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の真空洗浄装置によると、洗浄室の圧力が２８０Ｐａで下げ止まってしまう。その理由は、凝縮室の洗浄液（凝縮液）が高い温度を保ったまま２８０Ｐａの蒸気圧で残留するからである。すなわち、ワーク乾燥時においては、凝縮室と洗浄室とが連通している。このため、洗浄室の蒸気圧は、凝縮室の洗浄液の蒸気圧に支配される。また、蒸気圧は、飽和蒸気圧のもとでは蒸気圧線図に沿った温度に支配される。したがって、２８０Ｐａを下回るまで洗浄室を減圧するためには、凝縮室に残留した洗浄液の温度を、低下させる必要がある。
【０００６】
仮に、特許文献１の真空洗浄装置を用いて、２８０Ｐａを下回るまで洗浄室を減圧するためには、真空ポンプを用いて、凝縮室の真空排気を連続的に行う必要がある（この技術は従来技術ではない）。しかし、この場合、洗浄室の減圧つまり洗浄液の温度低下に、比較的長い時間を要してしまう。また、真空ポンプが洗浄液の蒸気を吸い込んでしまうため、排気性能が低下してしまう。
【０００７】
そこで、本発明は、ワーク乾燥時における洗浄室の到達圧力が低い真空洗浄装置および真空洗浄方法を提供することを目的とする。また、本発明は、エゼクタポンプの作動流体に要するコストを削減可能な真空洗浄装置および真空洗浄方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明の真空洗浄装置は、洗浄対象物が付着したワークを洗浄液により洗浄し、乾燥させる真空洗浄装置であって、前記ワークが配置される洗浄室と、作動流体の蒸気を発生させる蒸気発生器と、前記作動流体の蒸気を用いて、前記洗浄室を減圧し前記洗浄液を蒸発させるエゼクタポンプと、前記エゼクタポンプの背圧を下げる真空ポンプと、前記洗浄室と前記真空ポンプとの間に配置される凝縮器と、を備え、前記作動流体は前記洗浄液であり、前記凝縮器は、前記洗浄液の蒸気を凝縮して前記洗浄液を生成することを特徴とする。
【０００９】
また、上記課題を解決するため、本発明の真空洗浄方法は、洗浄室に配置されたワークを洗浄液により洗浄する洗浄工程と、前記洗浄液の蒸気を作動流体として用いるエゼクタポンプと、前記エゼクタポンプの背圧を下げる真空ポンプと、を用いて前記洗浄室を減圧し、前記ワークに付着した前記洗浄液を蒸発させると共に、前記真空ポンプよりも上流側で前記洗浄液の蒸気を凝縮して前記洗浄液を生成する乾燥工程と、を有することを特徴とする。ここで、「洗浄液」とは、主成分が洗浄液の液体をいう。すなわち、「洗浄液」には、ワークに付着していた洗浄対象物（焼入れ油、切削油、グリースなど）が含まれる場合がある。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の真空洗浄装置および真空洗浄方法によると、主ポンプとしてエゼクタポンプを、補助ポンプとして真空ポンプを、用いている。このため、乾燥工程における洗浄室の到達圧力を低くすることができる。
【００１１】
また、本発明の真空洗浄装置および真空洗浄方法によると、ワークを洗浄する洗浄液を、エゼクタポンプの作動流体として、利用している。このため、エゼクタポンプの作動流体として専用の作動油を用いる場合と比較して、ワーク乾燥時に混入する洗浄液が共材であるため、増量分を回収し、洗浄液として使い回しすることができる。したがって、作動流体に要するコストを削減することができる。
【００１２】
また、本発明の真空洗浄装置および真空洗浄方法によると、真空ポンプよりも上流側で、洗浄液の蒸気を凝縮させることができる。このため、真空ポンプが、洗浄液の蒸気を吸い込みにくい。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態の真空洗浄装置の概要図である。
【図２】同真空洗浄装置の洗浄室の圧力の乾燥工程における時間変化の模式図である。
【図３】（ａ）は、同真空洗浄装置の圧力変化の模式図である。（ｂ）は、二つの真空ポンプを備える真空洗浄装置の圧力変化の模式図である。
【図４】（ａ）は、その他の真空洗浄装置（その１）の部分模式図である。（ｂ）は、その他の真空洗浄装置（その２）の部分模式図である。（ｃ）は、その他の真空洗浄装置（その３）の部分模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の真空洗浄装置および真空洗浄方法の実施の形態について説明する。
【００１５】
＜真空洗浄装置＞
まず、本実施形態の真空洗浄装置について説明する。図１に示すように、真空洗浄装置１は、洗浄タンク２と、回収タンク３と、エゼクタポンプ４と、蒸気発生器５と、真空ポンプ６と、水冷バッフル７と、を備えている。
【００１６】
洗浄タンク２は、洗浄室２０と扉２１とを備えている。後述する真空洗浄方法において、洗浄室２０にはワークＷが配置される。ワークＷは、扉２１を介して、外部から洗浄室２０に搬入される。
【００１７】
水冷バッフル７は、バルブＶ１（真空弁）付きの配管を介して、洗浄室２０に接続されている。水冷バッフル７は、後述する真空洗浄方法において洗浄室２０で発生する洗浄液（詳しくは、洗浄液と、ワークＷに付着していた油（洗浄対象物）と、の混合液）Ａの蒸気を、凝縮、捕集可能である。
【００１８】
エゼクタポンプ４は、凝縮機能付きの油拡散エゼクタポンプである。エゼクタポンプ４は、ノズル４０と、ディフューザ４１と、冷却管４２と、を備えている。ディフューザ４１は、本発明の「凝縮器」の概念に含まれる。エゼクタポンプ４は、配管を介して、水冷バッフル７に接続されている。ディフューザ４１は、ノズル４０の下流側に配置されている。ディフューザ４１は、Ｕターン状を呈している。冷却管４２は、ディフューザ４１の外周面に螺旋状に環装されている。冷却管４２には、冷却水が流れている。冷却管４２は、ディフューザ４１を冷却している。
【００１９】
蒸気発生器５は、蒸気発生室５０と、ヒータ５１と、を備えている。後述する真空洗浄方法において、蒸気発生室５０には、洗浄液Ａが貯留される。蒸気発生室５０は、バルブＶ２（洗浄室蒸気導入弁）付きの配管を介して、洗浄室２０の上部に接続されている。また、蒸気発生室５０は、バルブＶ３（蒸気発生室液送弁）付きの配管を介して、洗浄室２０の下部に接続されている。また、蒸気発生室５０は、バルブＶ４（ノズル蒸気導入弁）付きの配管を介して、ノズル４０に接続されている。ヒータ５１は、蒸気発生室５０の洗浄液Ａを加熱可能である。
【００２０】
回収タンク３は、回収室３０を備えている。後述する真空洗浄方法において、回収室３０には、洗浄液Ａが貯留される。回収室３０は、バルブＶ５（エゼクタ回収弁）付きの配管を介して、エゼクタポンプ４に接続されている。また、回収室３０は、バルブＶ６（蒸気発生室回収弁）付きの配管を介して、蒸気発生室５０に接続されている。
【００２１】
真空ポンプ６は、いわゆる油回転真空ポンプである。真空ポンプ６は、バルブＶ７（洗浄室減圧弁）付きの配管を介して、洗浄室２０に接続されている。また、真空ポンプ６は、バルブＶ８（エゼクタポンプ背圧弁）付きの配管を介して、エゼクタポンプ４に接続されている。また、真空ポンプ６は、バルブＶ９（回収室減圧弁）付きの配管を介して、回収室３０に接続されている。また、真空ポンプ６は、バルブＶ１０（蒸気発生室減圧弁）付きの配管を介して、蒸気発生室５０に接続されている。
【００２２】
＜真空洗浄方法＞
次に、本実施形態の真空洗浄方法について説明する。なお、以下の説明に使用する圧力（蒸気圧含む）、温度、質量、体積、時間などの数値は、発明の理解を容易にするための一例である。これらの数値は、本発明の内容を何等限定するものではない。真空洗浄方法は、洗浄工程と、乾燥工程と、を有している。
【００２３】
［洗浄工程］
本工程においては、洗浄室２０に搬入されたワーク（金属加工部品６５０ｋｇ）Ｗを、洗浄液Ａの蒸気で洗浄する。まず、ワークＷを洗浄室２０に搬入する。ワークＷには、油（洗浄対象物）が付着している。次に、バルブＶ７を開き、真空ポンプ６により、洗浄室２０を１００Ｐａ以下まで減圧する。また、ヒータ５１により、蒸気発生室５０に貯留された洗浄液Ａを加熱する。続いて、バルブＶ２を開き、１２０℃の洗浄液Ａの蒸気を洗浄室２０に導入する。すなわち、ワークＷを蒸気洗浄する。ワークＷは、洗浄液Ａの蒸気の凝縮潜熱により、１２０℃まで加熱される。ワークＷに付着した油は、凝縮した洗浄液Ａにより、置換される。
【００２４】
洗浄室２０に存在する非凝縮性気体（例えば空気など）は、洗浄液Ａの蒸気より軽い。このため、洗浄室２０は、上側の非凝縮性気体と、下側の蒸気と、の上下二層状態になる。上側の非凝縮性気体を、上下二層状態が崩れない程度に、ゆっくりと少量排気することにより、洗浄室２０の圧力は飽和蒸気圧（例えば、洗浄液Ａがダフニークリーナー（出光興産株式会社の商標）ＮＨの場合は８０００〜４０００Ｐａ、洗浄液ＡがＮＳクリーン（ＪＸ日鉱日石エネルギー株式会社の登録商標）２００の場合は１００００〜９０００Ｐａ）に到達し、当該飽和蒸気圧で定常化する。
【００２５】
ワークＷを１２０℃まで加熱するのに、洗浄液Ａの蒸気の凝縮量約１００リットルが必要である。約１００リットルの洗浄液Ａは、ワークＷから洗い落とされた油と一緒に、バルブＶ３を介して、蒸気発生室５０に送り込まれる。
【００２６】
［乾燥工程］
洗浄室２０には、約１０リットルの洗浄液Ａが残留している。洗浄液Ａは、洗浄室２０の壁面、洗浄室２０内部の構造物、ワークＷなどに付着している。また、ワークＷには、洗浄液Ａと置換しきれなかった微量の油が付着している。また、洗浄室２０には、微量の非凝縮性気体が残留している。本工程においては、これらの残液を乾燥させる。並びに、微量の非凝縮性気体を洗浄室２０から排出する。本工程は、第一段階と、第二段階と、を有している。
【００２７】
（第一段階）
第一段階においては、バルブＶ１、Ｖ８を開き、真空ポンプ６により、洗浄室２０を排気する。洗浄液Ａの飽和蒸気は、水温約２５℃の水冷バッフル７で凝縮し、液化する。液化した洗浄液Ａは、エゼクタポンプ４に流れ込む。第一段階開始後１分で、洗浄室２０の圧力は、所定の圧力（洗浄液ＡがダフニークリーナーＮＨの場合は１５０Ｐａ以下、洗浄液ＡがＮＳクリーン２００の場合は５００Ｐａ以下）で定常化する。このことは、洗浄室２０に残留する洗浄液Ａが、未だ５０℃以上であることを示している。このため、第一段階では、表面温度が５０℃未満まで低下した物（洗浄室２０の壁面、洗浄室２０内部の構造物、ワークＷなど）に付着した洗浄液Ａは、乾燥されずに洗浄室２０に残留している。したがって、当該第一段階以降は、洗浄室２０および水冷バッフル７内の洗浄液Ａを、蒸発させながら、徐々に５０℃以下まで冷却する必要がある。すなわち、真空排気で洗浄液Ａを、連続的に蒸発させる必要がある。
【００２８】
（第二段階）
第二段階においては、真空ポンプ６に加えて、エゼクタポンプ４により、洗浄室２０を排気する。ここで、エゼクタポンプ４の作動流体は、洗浄液Ａ（ダフニークリーナーＮＨ、ＮＳクリーン２００など）である。
【００２９】
前述したように、洗浄工程においては、洗浄室２０から蒸気発生室５０に、使用後の洗浄液Ａが送り込まれる。蒸気発生室５０においては、ヒータ５１により、洗浄液Ａが１２０℃まで加熱される。当該加熱により、蒸気発生室５０に洗浄液Ａの蒸気が発生する。蒸気は、バルブＶ４を介して、ノズル４０に流れ込む。蒸気は、ジェット気流となって、ノズル４０からエゼクタポンプ内部に噴射される。ジェット気流は、洗浄液Ａの蒸気や微量の非凝縮性気体を吸い込みながら、エゼクタポンプ４の下側に向かって流動する。ジェット気流は、２５℃に水冷されたディフューザ４１に衝突する。ジェット気流に吸い込まれた洗浄液Ａの蒸気は、ディフューザ４１で凝縮し、液化する。液化した洗浄液Ａは、バルブＶ５を介して、回収室３０に流れ込む。並びに、水冷バッフル７で液化した洗浄液Ａも、バルブＶ５を介して、回収室３０に流れ込む。すなわち、洗浄工程でワークＷの洗浄に用いた洗浄液Ａは、回収室３０に回収される。回収した洗浄液Ａは、バルブＶ６を介して、蒸気発生室５０に戻すことができる。すなわち、洗浄液Ａを循環使用することができる。
【００３０】
また、ジェット気流に吸い込まれた微量の非凝縮性気体は、バルブＶ８を介して、真空ポンプ６から外部に排気される。このように、洗浄室２０から非凝縮性気体が完全に排気されるため、洗浄室２０は完全飽和蒸気により占められる。よって、洗浄室２０は、さらに凝縮や蒸発が容易な雰囲気になる。
【００３１】
第二段階では、洗浄室２０の圧力は、２〜５分の所要時間で、１００Ｐａ以下の高真空に到達する。このため、表面温度が５０℃未満まで低下した物に付着した洗浄液Ａを、蒸発させることができる。また、ワークＷの洗い残しの油（洗浄液Ａと置換しきれなかった油）を、蒸発させることができる。
【００３２】
＜作用効果＞
次に、本実施形態の真空洗浄装置および真空洗浄方法の作用効果について説明する。図２に、本実施形態の真空洗浄装置の洗浄室の圧力の乾燥工程における時間変化の模式図を示す。曲線α１（実線）は本実施形態の真空洗浄装置を、曲線β１（点線）は従来の単一の真空ポンプ６を備える（エゼクタポンプ４を備えない）真空洗浄装置を、曲線γ１（一点鎖線）は特許文献１の真空洗浄装置を、各々示す。
【００３３】
曲線β１で示すように、従来の真空洗浄装置の場合、乾燥時間Ｔβが長くなる。曲線γ１で示すように、特許文献１の真空洗浄装置の場合、乾燥時間Ｔγは４４秒と短いものの、洗浄室２０の到達圧力は、曲線β１の到達圧力Ｐβと同様に、２８０Ｐａで下げ止まる。
【００３４】
これに対して、本実施形態の真空洗浄装置１は、水冷バッフル７を備えている。このため、曲線α１で示すように、従来の真空洗浄装置（曲線β１）と比較して、乾燥時間（例えば２８０Ｐａに到達するまでの時間）を、Ｔβ−Ｔα分だけ、短縮することができる。
【００３５】
また、本実施形態の真空洗浄装置１は、エゼクタポンプ４を備えている。このため、曲線α１で示すように、従来の真空洗浄装置（曲線β１）、特許文献１の真空洗浄装置（曲線γ１）と比較して、到達圧力を、Ｐβ−Ｐα分だけ、低くすることができる。
【００３６】
このように、本実施形態の真空洗浄装置１および真空洗浄方法によると、主ポンプとしてエゼクタポンプ４を、補助ポンプとして真空ポンプ６を、用いている。このため、乾燥工程における洗浄室２０の到達圧力を低くすることができる。また、水冷バッフル７を用いて蒸気を凝縮している。このため、乾燥時間を短縮することができる。
【００３７】
以下、図２に曲線β１で示す従来の真空洗浄装置において、真空ポンプ６を二つ直列に接続して洗浄室２０を排気する場合を想定する。図３（ａ）に、本実施形態の真空洗浄装置の圧力変化の模式図を示す。図３（ｂ）に、二つの真空ポンプ６を備える真空洗浄装置の圧力変化の模式図を示す。なお、図３（ｂ）には、単一の真空ポンプ６を備える真空洗浄装置の圧力変化も示す。
【００３８】
図３（ａ）、図３（ｂ）に示す上限値Ｐｃは、ポンプが洗浄液Ａを吸い込みやすい圧力範囲の上限値である。圧力が上限値Ｐｃを下回ると、排気中に洗浄液Ａの凝縮液が発生しやすくなる。このため、ポンプが洗浄液Ａを吸い込みやすくなる。
【００３９】
図３（ｂ）に曲線β３で示すように、二つの真空ポンプ６を用いて洗浄室２０を排気する場合、単一の真空ポンプ６を用いて洗浄室２０を排気する場合（曲線β２）と比較して、洗浄室２０の到達圧力を下げることができる。
【００４０】
しかしながら、曲線β３で示すように、二つの真空ポンプ６を用いて洗浄室２０を排気する場合、補助ポンプ側（下流側）の真空ポンプ６の手前で、排気の圧力が上限値Ｐｃを下回ってしまう。このため、真空ポンプ６が洗浄液Ａを吸い込みやすくなる。
【００４１】
これに対して、図３（ａ）に曲線α２で示すように、本実施形態の真空洗浄装置１の場合、エゼクタポンプ４を通過する際に排気が圧縮されるため、排気の圧力が高くなる。このため、補助ポンプ側（下流側）の真空ポンプ６の手前においても、排気の圧力が上限値Ｐｃを上回っている。したがって、真空ポンプ６が洗浄液Ａを吸い込みにくい。
【００４２】
このように、本実施形態の真空洗浄装置１および真空洗浄方法によると、真空ポンプ６を多段接続して洗浄室２０の到達圧力を下げる場合と比較して、真空ポンプ６が洗浄液Ａを吸い込みにくい。このため、真空ポンプ６の排気性能が低下しにくい。
【００４３】
また、本実施形態の真空洗浄装置１および真空洗浄方法によると、ワークＷを洗浄する洗浄液Ａを、エゼクタポンプ４の作動流体として、利用している。このため、エゼクタポンプ４の作動流体として専用の作動油を用いる場合と比較して、作動流体に要するコスト（購入コスト、廃棄コストなど）を削減することができる。
【００４４】
また、本実施形態の真空洗浄装置１および真空洗浄方法によると、洗浄液Ａを、ワークＷの洗浄用（具体的には、次回実行される真空洗浄方法の洗浄工程用）として、再利用することができる。このため、洗浄液Ａに要するコスト（購入コスト、廃棄コストなど）を削減することができる。
【００４５】
また、本実施形態の真空洗浄装置１および真空洗浄方法によると、凝縮器（水冷バッフル７、ディフューザ４１）で捕集した洗浄液Ａを、一旦、回収室３０に貯留することができる。このため、洗浄液Ａの再利用（エゼクタポンプ４の作動流体用、ワークＷの洗浄用）が容易である。
【００４６】
また、本実施形態の真空洗浄装置１および真空洗浄方法によると、真空ポンプ６よりも上流側の水冷バッフル７およびディフューザ４１で、洗浄液Ａの蒸気を凝縮させることができる。このため、真空ポンプ６が、洗浄液Ａの蒸気を吸い込みにくい。
【００４７】
また、本実施形態の真空洗浄装置１および真空洗浄方法によると、エゼクタポンプ４よりも上流側の水冷バッフル７で、洗浄液Ａの蒸気を凝縮させることができる。このため、エゼクタポンプ４が大量の洗浄液の蒸気を吸い込みにくい。
【００４８】
また、本実施形態の真空洗浄装置１は、水冷バッフル７と、ディフューザ４１付きのエゼクタポンプ４と、真空ポンプ６と、を備えている。このため、乾燥工程において、エゼクタポンプ４、真空ポンプ６の排気作用（洗浄室２０を排気する作用）と、水冷バッフル７、ディフューザ４１の凝縮作用と、を併用して、洗浄室２０を減圧することができる。したがって、特許文献１の真空洗浄装置（減圧性能が凝縮作用だけに依存している真空洗浄装置）と比較して、凝縮器（水冷バッフル７、ディフューザ４１）の伝熱面積を小さくすることができる。よって、真空洗浄装置１の小型化が容易である。
【００４９】
また、本実施形態の真空洗浄装置１および真空洗浄方法によると、特許文献１の真空洗浄装置と比較して、凝縮性の気体（例えば蒸気など）のみならず、非凝縮性の気体（例えば空気、窒素ガスなど）も、洗浄室２０から排気することができる。
【００５０】
また、特許文献１の真空洗浄装置の場合、減圧性能が、ワークの材質に依存してしまう。すなわち、速やかにワークに付着した洗浄液を蒸発させるためには、その前提として、ワークが冷えやすいことが必要になる。このため、ワークの材質が、熱伝導率の高い金属などに限定されてしまう。この点、本実施形態の真空洗浄装置１および真空洗浄方法によると、ワークＷの材質が限定されない。よって、汎用性が高い。
【００５１】
＜その他＞
以上、本発明の真空洗浄装置および真空洗浄方法の実施の形態について説明した。しかしながら、実施の形態は上記形態に特に限定されるものではない。当業者が行いうる種々の変形的形態、改良的形態で実施することも可能である。
【００５２】
図４（ａ）に、その他の真空洗浄装置（その１）の部分模式図を示す。図４（ｂ）に、その他の真空洗浄装置（その２）の部分模式図を示す。図４（ｃ）に、その他の真空洗浄装置（その３）の部分模式図を示す。なお、図１と対応する部位については、同じ符号で示す。
【００５３】
図４（ａ）に示すように、バルブＶ１とエゼクタポンプ４との間に、水冷バッフルを介装しなくてもよい。この場合は、ディフューザ４１だけが、本発明の「凝縮器」の概念に含まれる。また、図４（ｂ）に示すように、真空ポンプ６の手前に、蒸気凝縮用のアフタークーラ８を配置してもよい。こうすると、さらに真空ポンプ６が、洗浄液Ａの蒸気を吸い込みにくい。この場合は、アフタークーラ８が、本発明の「凝縮器」の概念に含まれる。水冷バッフル７、ディフューザ４１、アフタークーラ８は、単独で用いてもよい。また、少なくとも二つを併用してもよい。
【００５４】
図４（ｃ）に示すように、エゼクタポンプ４の段数を、直列二段としてもよい。また、エゼクタポンプ４の段数は、直列三段以上であってもよい。例えば、段数が一段の場合、ディフューザ４１の背圧の１／５〜１／１０の圧力を、洗浄室２０の到達圧力とすることができる。また、段数が直列二段の場合、下流側のエゼクタポンプ４のディフューザ４１の背圧の１／２５〜１／１００の圧力を、洗浄室２０の到達圧力とすることができる。また、段数が直列三段の場合、最下流のエゼクタポンプ４のディフューザ４１の背圧の１／１０００程度の圧力を、洗浄室２０の到達圧力とすることができる。このように、段数を増やすことにより、洗浄室２０の到達圧力を低くすることができる。
【００５５】
上記実施形態においては、凝縮後の洗浄液Ａを蒸気発生室５０で再利用した。しかしながら、凝縮後の洗浄液Ａを廃棄してもよい。この場合であっても、エゼクタポンプ４の作動流体として専用の作動油を用いる場合と比較して、作動流体に要するコストを削減することができる。
【００５６】
また、洗浄工程において、蒸気洗浄の後にシャワー洗浄を行ってもよい。また、蒸気洗浄、シャワー洗浄の回数、順番は特に限定しない。また、シャワー洗浄用として、図１に示す回収室３０の洗浄液Ａを再使用してもよい。
【００５７】
また、真空ポンプ６の種類は特に限定しない。油回転真空ポンプ、メカニカルブースターポンプ、ルーツ式ドライ真空ポンプ、油拡散ポンプ、ターボ分子ポンプなどを使用してもよい。真空ポンプ６としてドライ真空ポンプを用いる場合であっても、エゼクタポンプ４はディフューザ４１を備えているため、ドライ真空ポンプに洗浄液Ａの蒸気が到達しにくい。
【００５８】
洗浄液Ａの種類は特に限定しない。例えば、炭化水素系溶剤であってもよい。洗浄対象物の種類は特に限定しない。例えば、焼入れ油、切削油、潤滑油、防錆油、グリースなどであってもよい。洗浄対象物は、液体、ゲルなどであってもよい。焼入れ油の種類は特に限定しない。ホット油、セミホット油、コールド油などであってもよい。なお、ホット油はＪＩＳＫ２２４２の３種に、セミホット油は２種に、コールド油は１種に、各々相当する。
【符号の説明】
【００５９】
１：真空洗浄装置、２：洗浄タンク、２０：洗浄室、２１：扉、３：回収タンク、３０：回収室、４：エゼクタポンプ、４０：ノズル、４１：ディフューザ（凝縮器）、４２：冷却管、５：蒸気発生器、５０：蒸気発生室、５１：ヒータ、６：真空ポンプ、７：水冷バッフル、８：アフタークーラ（凝縮器）、Ａ：洗浄液、Ｖ１〜Ｖ１０：バルブ、Ｗ：ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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