(57)【要約】      （修正有）【課題】被加工物の研削時において研削屑を充分に排出することができる砥石及び研削ホイールを提供する。【解決手段】砥石２２は、研削面２２０から反対側の反対面２２０’に貫通する２以上の貫通孔２５を含んで構成される。該貫通孔２５は、略円柱形状または角柱形状が集合したメッシュ形状や、六角柱形状からなるハニカム構造を有しており、該貫通孔２５を通じて研削水を砥石２２と板状ワークＷとが接触する加工点に、充分にいきわたらせることができ、研削屑の排出を促進させて、効果的に研削屑を排出することができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を研削する砥石であって、
該砥石の研削面から反対の面に貫通する２以上の貫通孔を含み、該貫通孔を通じて研削水が供給される砥石。
【請求項２】
前記貫通孔は略円柱形状または角柱形状であり、該貫通孔が集合したメッシュ形状の請求項１に記載の砥石。
【請求項３】
前記貫通孔は六角柱形状であり、ハニカム構造の請求項１に記載の砥石。
【請求項４】
前記砥石の前記研削面が多角形状である請求項１から３のいずれか１項に記載の砥石。
【請求項５】
被加工物を研削する研削ホイールであって、
ホイールマウントに装着されるホイールマウント装着面を有する環状基台と、
該環状基台の自由端部にリング状に配設された請求項１から４のいずれか１項に記載の砥石と、を含み、
該環状基台から前記貫通孔を通じて被加工物の被研削面に研削水を供給する研削ホイール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を研削する砥石及び砥石が装着された研削ホイールに関する。
【背景技術】
【０００２】
板状ワークなどの被加工物は、例えば研削装置によって研削されることにより薄化される（例えば、下記の特許文献１を参照）。研削装置は、板状ワークを保持するチャックテーブルと、板状ワークを研削する砥石を備える研削ホイールとを備えている。研削ホイールの内部には、研削水が流れる連通路が形成され、連通路は研削ホイールの下面に形成された供給口に連通している。この研削装置では、連通路を介して供給口からチャックテーブルに保持される板状ワークに向けて研削水を供給することにより、研削時に発生する研削屑を排出しながら、砥石によって板状ワークを所望の厚みに研削することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−０８６２１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１に示す従来の研削ホイールにおいては、砥石で板状ワークを研削する際に、研削ホイールの下部に環状に並べられて固着された砥石の内側に形成された供給口からチャックテーブルに保持された板状ワークに向けて研削水を供給することが可能となっているが、砥石と板状ワークとが接触する加工点に研削水がいきわたらず、研削屑を充分に排出することができないという問題がある。
【０００５】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、被加工物の研削時において研削屑を充分に排出できるようにすることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、被加工物を研削する砥石であって、該砥石の研削面から反対の面に貫通する２以上の貫通孔を含み、該貫通孔を通じて研削水が供給される構成となっている。
【０００７】
上記貫通孔は略円柱形状または角柱形状であり、該貫通孔が集合したメッシュ形状で構成してもよい。
【０００８】
上記貫通孔は六角柱形状であり、ハニカム構造で構成してもよい。
【０００９】
上記砥石の上記研削面を多角形状で構成してもよい。
【００１０】
また、本発明は、被加工物を研削する研削ホイールであって、ホイールマウントに装着されるホイールマウント装着面を有する環状基台と、該環状基台の自由端部にリング状に配設された上記砥石と、を含み、該環状基台から上記貫通孔を通じて被加工物の被研削面に研削水を供給することができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明にかかる砥石は、砥石の研削面から反対の面に貫通する２以上の貫通孔を含んで構成したため、貫通孔を通じて研削水を砥石と被加工物とが接触する加工点にいきわたらせることができ、研削屑の排出を促進させ研削屑を充分に排出することができる。
【００１２】
上記貫通孔が略円柱形状または角柱形状であり、砥石の研削面において複数の貫通孔が集合したメッシュ形状により構成した場合は、砥石で被加工物を研削するときに、複数の貫通孔を通じて研削水を上記の加工点に向けて供給することができるため、効果的に研削屑の排出を促進することができる。
【００１３】
上記貫通孔が六角柱形状であり、砥石が複数の貫通孔が集合したハニカム構造で構成した場合は、砥石で被加工物を研削するときに、複数の貫通孔を通じて研削水を上記の加工点に向けて効率よく供給することができるため、研削屑の排出をより促進することができる。
【００１４】
上記砥石の上記研削面を多角形状により構成した場合は、複数の上記貫通孔を通じて研削水を上記の加工点に向けて供給しつつ、砥石により被加工物を精度よく研削することができる。
【００１５】
また、本発明にかかる研削ホイールは、ホイールマウントに装着されるホイールマウント装着面を有する環状基台と、環状基台の自由端部にリング状に配設された上記砥石と、を含み、環状基台から上記貫通孔を通じて被加工物の被研削面に研削水を供給できるように構成したため、被加工物の研削中は、貫通孔を通じて常に加工点に向けて研削水が効率よく流れていくため、研削屑が充分に排出され、砥石の研削面に研削屑が付着するのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】研削装置の構成を示す斜視図である。
【図２】研削ホイールの第１例によってチャックテーブルに保持された板状ワークを研削する状態を示す一部拡大断面図である。
【図３】（ａ）は研削ホイールの第１例の構成を示す斜視図である。（ｂ）は角柱形状の貫通孔が形成された直方体形状の砥石の構成を示す斜視図である。（ｃ）は角柱形状の貫通孔が形成された直方体形状の砥石の構成を示す底面図である。
【図４】略円柱形状の貫通孔が形成された直方体形状の砥石の構成を示す斜視図である。
【図５】（ａ）は研削ホイールの第２例の構成を示す斜視図である。（ｂ）は六角柱形状の貫通孔が形成された円柱形状の砥石の構成を示す斜視図である。（ｃ）は六角柱形状の貫通孔が形成された円柱形状の砥石の構成を示す底面図である。
【図６】（ａ）は研削ホイールの第３例の構成を示す斜視図である。（ｂ）は六角柱形状の貫通孔が形成された直方体形状の砥石の構成を示す斜視図である。（ｃ）は六角柱形状の貫通孔が形成された直方体形状の砥石の構成を示す底面図である。
【図７】三角形状の研削面を有する砥石の構成を示す底面図である。
【図８】研削ホイールの第４例であって、自由端部における三角形状の研削面を有する砥石の配置例を示す部分拡大底面図である。
【図９】卵形状の研削面を有する砥石の構成を示す底面図である。
【図１０】研削ホイールの第５例であって、自由端部における卵形状の研削面を有する砥石の配置例を示す部分拡大底面図である。
【図１１】五角形状の研削面を有する砥石の構成を示す底面図である。
【図１２】階段形状の研削面を有する砥石の構成を示す底面図である。
【図１３】大きさの異なる貫通孔が複数形成された砥石の構成を示す底面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
図１に示す研削装置１は、Ｙ軸方向に延在する装置ベース２と、装置ベース２のＹ軸方向後部に立設されたコラム３とを有している。装置ベース２の上面には、被加工物を吸引保持する保持面４ａを有するチャックテーブル４が配設されている。チャックテーブル４の周囲はカバー５によって覆われている。チャックテーブル４は、図示しないＹ軸方向移動手段によりＹ軸方向に往復移動することができる。
【００１８】
コラム３のＹ軸方向前方には、被加工物に研削を施す研削手段１０と、チャックテーブル４に対して接近及び離反する研削送り方向（Ｚ軸方向）に研削手段１０を昇降させる研削送り手段３０とが配設されている。研削送り手段３０は、Ｚ軸方向に延在するボールネジ３１と、ボールネジ３１の一端に接続されたモータ３２と、ボールネジ３１と平行に延在する一対のガイドレール３３と、一方の面が研削手段１０に固定された昇降板３４とを備える。一対のガイドレール３３には昇降板３４の他方の面が摺接し、昇降板３４の内部に形成されたナットにはボールネジ３１が螺合している。モータ３２によってボールネジ３１を回動させることにより、昇降板３４とともに研削手段１０をＺ軸方向に昇降させることができる。
【００１９】
研削手段１０は、Ｚ軸方向の軸心を有するスピンドル１１と、スピンドル１１の外周を囲繞するスピンドルハウジング１２を保持するホルダ１３と、スピンドル１１の一端に取り付けられたモータ１４と、スピンドル１１の下端にホイールマウント１５を介して装着され被加工物を研削する研削ホイール２０とを備える。モータ１４がスピンドル１１を所定の回転速度で回転させることにより、研削ホイール２０を所定の回転速度で回転させることができる。
【００２０】
図２に示すように、研削ホイール２０は、研削ホイールの第１例であって、ホイールマウント１５に装着されるホイールマウント装着面２１０を有する環状基台２１と、環状基台２１の自由端部２１１においてリング状に配設された砥石２２とを含んで構成されている。研削ホイール２０をホイールマウント１５に装着する際には、環状基台２１のホイールマウント装着面２１０にホイールマウント１５の下面を密着させた状態で、ホイールマウント１５に形成されたネジ穴にボルト１６を挿入するとともに、環状基台２１に形成されたネジ穴でボルト１６を締結することにより、研削ホイール２０がホイールマウント１５に装着される。
【００２１】
砥石２２は、図２の部分拡大図に示すように、被加工物を研削する研削面２２０から反対側の反対面２２０’に貫通する２以上、好ましくは３以上の貫通孔２５を含む構成となっている。環状基台２１の自由端部２１１には、砥石２２を嵌め込むためのリング状の凹部２１４が形成されている。そして、砥石２２は、凹部２１４に嵌め込まれており、例えば接着材により接着固定されている。
【００２２】
スピンドル１１の内部には、その中央を貫通して鉛直方向に延在する流水路１１０が形成され、流水路１１０の一端には研削水供給源６が接続されている。ホイールマウント１５の内部には、流水路１１０の他端に接続される連通路１５０が形成されている。さらに、環状基台２１の内部には、連通路１５０に連通する研削水供給孔２１２と、研削水供給孔２１２に連通し環状基台２１の内側部材２１５により分岐された供給流路２１３ａ，２１３ｂとが形成されている。供給流路２１３ａは、砥石２２の反対面２２０’側に連通しており、供給流路２１３ｂは、砥石２２の側面側に連通している。
【００２３】
ここで、研削水供給孔２１２は、内側部材２１５の端部２１５ａが研削水供給孔２１２の中心の下方に位置するように形成するとよい。これにより、研削水供給孔２１２から下方に流出する研削水が供給流路２１３ａ，２１３ｂに流れ込むため、供給流路２１３ａから貫通孔２５を通じて砥石２２と被加工物とが接触する加工点に向けて研削水を供給することができるとともに、供給流路２１３ｂを通じて加工点に近い位置（砥石２２の側面側）に向けて研削水を供給することができる。
【００２４】
研削ホイール２０では、図３（ａ）に示すように、環状基台２１の自由端部２１１において等間隔をあけて複数の砥石２２がリング状に配設されている。隣り合う砥石２２の間の間隔をあけすぎると、被加工物の研削結果（例えば被加工物の面粗さ）に悪影響をもたらすことが想定されるため、被加工物の材質・大きさや砥石２２の材質等に応じて、隣り合う砥石２２の間の間隔を適宜設定するとよい。また、複数の砥石２２は、自由端部２１１において隣接するように配置してもよい。なお、砥石２２の個数は特に限定されるものではない。
【００２５】
図３（ｂ）に示すように、砥石２２は、直方体形状に形成されており、被加工物を研削する研削面２２０が四角形状となっている。砥石２２を構成する貫通孔２５は、角柱形状（図示の例では四角柱）に形成されており、複数の貫通孔２５が集合したメッシュ形状となっている。図３（ｃ）に示すように、砥石２２の強度が低下しないように、隣り合う貫通孔２５の壁２３の厚みＨ１は、少なくとも０．５ｍｍにするとよい。砥石２２のサイズは、例えば２〜３インチで構成されることが好ましい。貫通孔２５の数は、本実施形態に示した数に限られず、砥石２２のサイズに合わせて少なくとも２以上となるように増減すればよい。本実施形態に示す砥石２２は、例えば、ポーラス部材により形成されている。これにより、複数の貫通孔２５だけでなく、全てのポーラスを通じて砥石２２全体に研削水をいきわたらせることができ、上記した加工点に向けて研削水を供給することが可能となっている。
【００２６】
図３に示した砥石２２に代えて、図４に示す砥石２２ａを用いることもできる。図４に示す砥石２２ａは、砥石２２と同様に、直方体形状に形成され、被加工物を研削する研削面２２０ａが四角形状となっている。この砥石２２ａを構成する貫通孔２６は、略円柱形状に形成されており、複数の貫通孔２６が集合したメッシュ形状となっている。貫通孔２６の数についても本実施形態に示した数に限られず、砥石２２ａのサイズに合わせて少なくとも２以上となるように増減すればよい。このように、砥石２２，２２ａは、研削面２２０，２２０ａにおいて複数の貫通孔２５，２６が集合したメッシュ形状となっているため、砥石２２，２２ａで被加工物を研削する際に、複数の貫通孔２５，２６を通じて研削水を上記した加工点に効率よく供給することが可能となり、研削屑の排出を促進することができる。
【００２７】
次に、図１に示した研削装置１において、砥石２２が配設された研削ホイール２０を用いて図２に示す板状ワークＷを研削する動作例について説明する。板状ワークＷは、円形板状の被加工物の一例であって、その表面Ｗａには、デバイスを保護するテープＴが貼着されている。一方、表面Ｗａと反対側の裏面Ｗｂは、砥石２２によって研削される被研削面となっている。
【００２８】
チャックテーブル４の保持面４ａに板状ワークＷの表面Ｗａ側を載置して裏面Ｗｂを上向きに露出させる。続いて図示しない吸引源の吸引力を保持面４ａに作用させて板状ワークＷを吸引保持し、板状ワークＷを保持したチャックテーブル４を研削手段１０の下方に移動させる。続いて、チャックテーブル４を例えば矢印ａ方向に回転させるとともに、研削ホイール２０を例えば矢印ａ方向に回転させながら、図１に示した研削送り手段３０によって研削ホイール２０をチャックテーブル４の保持面４ａに接近する方向に下降させる。そして、回転しながら下降する砥石２２を板状ワークＷの裏面Ｗｂに接触させ研削を行う。
【００２９】
板状ワークＷの研削中は、研削水供給源６から砥石２２に向けて研削水を供給し続ける。具体的には、研削水供給源６がスピンドル１１の内部の流水路１１０に研削水を流入させると、研削水が連通路１５０を通じて研削水供給孔２１２から供給流路２１３ａ，２１３ｂに流れ込む。供給流路２１３ａに流れ込んだ研削水は、砥石２２の反対面２２０’側から複数の貫通孔２５を通過して、砥石２２と板状ワークＷの裏面Ｗｂとが接触する加工点に供給される。一方、供給流路２１３ｂに流れ込んだ研削水は、供給流路２１３ｂを通じて砥石２２の側面側に供給される。板状ワークＷの研削中は、常に加工点に向けて研削水が効率よく流れていくことから、研削屑が充分に排出され、砥石２２の研削面２２０に研削屑が付着するのを防止することができる。こうして研削加工を進めていき板状ワークＷが所望の厚さに達したら、研削手段１０をチャックテーブル４の保持面４ａから離反する方向に上昇させて研削加工を終了する。なお、研削水としては、例えば純水を用いる。
【００３０】
図５（ａ）に示す研削ホイール２０Ａは、研削ホイールの第２例であって、環状基台２１ａの自由端部２１１ａにおいて等間隔をあけて複数の砥石２２ｂがリング状に配設されている。自由端部２１１ａは、リング状の平面となっており、例えば接着材により複数の砥石２２ｂが自由端部２１１ａに接着固定されている。図５（ｂ）に示すように、砥石２２ｂは、円柱形状に形成されており、被加工物を研削する研削面２２１が楕円形状となっている。砥石２２ｂは、研削面２２１から反対側の反対面２２１’に貫通する３以上の貫通孔２７を含んでいる。貫通孔２７は、六角柱形状に形成されており、砥石２２ｂは複数の貫通孔２７が集合したハニカム構造となっている。図５（ｃ）に示すように、砥石２２ｂの強度が低下しないように、隣り合う貫通孔２７の壁２４の厚みＨ２は、少なくとも０．５ｍｍにするとよい。砥石２２ｂのサイズは、例えば長径が２〜３インチで構成されることが好ましい。貫通孔２７の数は、本実施形態に示した数に限られず、砥石２２ｂのサイズに合わせて少なくとも２以上となるように増減すればよい。砥石２２ｂは、例えば、ポーラス部材により形成されているため、複数の貫通孔２７だけでなく、全てのポーラスを通じて砥石２２ｂ全体に研削水をいきわたらせることができ、上記した加工点に向けて研削水を供給することが可能となっている。
【００３１】
図６（ａ）に示す研削ホイール２０Ｂは、研削ホイールの第３例であって、環状基台２１ｂの自由端部２１１に複数の砥石２２ｃがリング状に配設されている。図６（ｂ）に示すように、砥石２２ｃは、直方体形状に形成されており、被加工物を研削する研削面２２０ｃが四角形状となっている。砥石２２ｃは、上記した六角柱形状の貫通孔２７を含み、砥石２２ｃは複数の貫通孔２７が集合したハニカム構造となっている。図６（ｃ）に示すように、砥石２２ｃの強度が低下しないように、隣り合う貫通孔２７の壁２４ａの厚みＨ３は、少なくとも０．５ｍｍに形成するとよい。このように、砥石２２ｂ、２２ｃは、六角柱形状の貫通孔２７が形成され砥石全体がハニカム構造となっているため、砥石２２ｂ，２２ｃで被加工物を研削する際に、複数の貫通孔２７を通じて研削水を上記した加工点に効率よく供給することが可能となるため、研削屑の排出をより促進することができる。
【００３２】
被加工物を研削する砥石の研削面の形状は、上記した砥石２２〜２２ｃのように、四角形状や円形状に限定されない。すなわち、砥石の研削面は、四角形以外の多角形状に形成してもよいし、非円形状に形成してもよい。以下では、砥石の研削面のバリエーションについて図７〜図１２を参照しながら説明する。
【００３３】
図７に示す砥石２２ｄは、被加工物を研削する研削面２２２が三角形状に形成されている。砥石２２ｄは、被加工物を研削する研削面２２２から反対側の面に貫通する３以上の六角柱形状の貫通孔２７を含み、ハニカム構造となっている。図示の例では、砥石２２ｄの研削面２２２は、正三角形状となっているが、この形状に限定されず、直角三角形状でもよいし、二等辺三角形状に形成してもよい。砥石２２ｄの研削面２２２は、３つの頂点Ａ，Ｂ，Ｃを有し、隣同士の頂点Ａ，Ｂ，Ｃを結んで形成される３つの辺ＡＢ，ＢＣ，ＡＣによって囲まれている。かかる砥石２２ｄは、例えば、図８に示す研削ホイール２０Ｃのように、環状基台２１ｃの自由端部２１１ｃにおいて、砥石２２ｄの３つの頂点Ａ，Ｂ，Ｃのいずれか１点（図示の例では頂点Ａ）を研削ホイール２０Ｃの内周側の内縁部１７に向けるとともに、辺ＡＢ，ＢＣ，ＡＣのいずれか１辺（図示の例では辺ＢＣ）を研削ホイール２０Ｃの外周側の外縁部１８に向け、頂点Ｂ及び頂点Ｃが研削ホイール２０Ｃの周方向に向くように配置するとよい。これにより、研削ホイール２０Ｃを回転させて砥石２２ｄによって被加工物を研削する際に、砥石２２ｄと被加工物との接触回数が多い部分（被加工物の中央部分）に接触する砥石２２ｄの面積が小さくなり、被加工物の中央部分が、被加工物の外縁部分に比べて過度に凹むのを防止するとともに、複数の貫通孔２７を通じて研削水を上記した加工点に供給できるため、研削屑の排出をより促進することができる。なお、砥石２２ｄの３つの頂点Ａ，Ｂ及びＣは、Ｒ形状に成形されていることが好ましい。
【００３４】
図９に示す砥石２２ｅは、被加工物を研削する研削面２２３が卵形状に形成されている。すなわち、研削面２２３の外形は、その端面Ｄから側面Ｆ１，Ｆ２が膨らむようにして形成されている。砥石２２ｅは、被加工物を研削する研削面２２３から反対側の面に貫通する３以上の六角柱形状の貫通孔２７を含み、ハニカム構造となっている。かかる砥石２２ｅは、例えば、図１０に示す研削ホイール２０Ｄのように、環状基台２１ｄの自由端部２１１ｄにおいて、砥石２２ｅの端面Ｄを研削ホイール２０Ｄの内周側の内縁部１７に向け、砥石２２ｅの側面Ｆ１及びＦ２が研削ホイール２０Ｄの周方向に向くように配置するとよい。これにより、砥石２２ｅと被加工物との接触回数が多い部分（被加工物の中央部分）に接触する砥石２２ｅの面積が徐々に小さくなるため、被加工物の被研削面にムラが発生するのを防止するとともに、複数の貫通孔２７を通じて研削水を上記した加工点に供給できるため、研削屑の排出を促進することができる。
【００３５】
図１１に示す砥石２２ｆは、被加工物を研削する研削面２２４が五角形状に形成されている。砥石２２ｆは、被加工物を研削する研削面２２４から反対側の面に貫通する３以上の略円柱形状の貫通孔２６を含み、メッシュ形状となっている。図１２に示す砥石２２ｇでは、被加工物を研削する研削面２２５の外形が階段形状に形成されている。砥石２２ｇは、被加工物を研削する研削面２２５から反対側の面に貫通する３以上の角柱形状の貫通孔２５を含み、メッシュ形状に形成されている。このように、砥石２２ｆ，２２ｇについても、研削面２２４，２２５において複数の貫通孔２６，２５が集合したメッシュ形状となっているため、複数の貫通孔２６，２５を通じて研削水を加工点に供給することができ、研削屑の排出を促進することができる。
【００３６】
上記した貫通孔２５，２６，２７の大きさは、本実施形態に示した構成に限定されない。例えば、図１３に示す砥石２２ｈは、四角形状の研削面２２０から反対側の面に貫通する３以上の六角柱形状の大貫通孔２８と、研削面２２０から反対側の面に貫通する３以上の六角柱形状の小貫通孔２９とを含んで構成されている。このように大きさの異なる貫通孔を複合的に含んだ砥石２２ｈでは、大貫通孔２８から多量の研削水を上記した加工点に供給できるため被加工物の加工品質が向上するとともに、小貫通孔２９の存在によって研削面２２０と被加工物との接触面積が大きくなるため研削効率も向上する。貫通孔２５，２６，２７，大貫通孔２８及び小貫通孔２９のサイズは、φ３〜１０ｍｍの範囲内に設定するとよい。なお、大貫通孔２８及び小貫通孔２９の数は、本実施形態に示した数に限られず、砥石２２ｈのサイズに合わせて少なくとも２以上となるようにそれぞれ増減すればよい。
【００３７】
本実施形態に示した砥石２２〜２２ｈは、例えば押出成形によって製造される。具体的には、例えば、ビトリファイドボンド、アルミナ、レジンボンドのいずれか一つに砥粒を混錬し、所定の型枠において混錬した砥粒にプレス加工を施し、その後、所定の温度で所定時間焼結することにより砥石２２〜２２ｈを製造することができる。特に、ビトリファイドボンドやアルミナをベースとしたボンド材を使用した場合には、精度のよい砥石２２〜２２ｈを取得することができる。レジンボンドとしては、例えば、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂を使用する。また、砥粒にホウ素をドープして砥石２２〜２２ｈを製造することにより、潤滑性及び放熱性を向上させてもよい。なお、砥粒の種類は特に限定されるものではない。
【符号の説明】
【００３８】
１：研削装置  ２：装置ベース  ３：コラム  ４：チャックテーブル  ４ａ：保持面
５：カバー  ６：研削水供給源  １０：研削手段  １１：スピンドル  １１０：流水路  １２：スピンドルハウジング  １３：ホルダ  １４：モータ  １５：ホイールマウント
１５０：連通路  １６：ボルト  １７：内縁部  １８：外縁部
２０，２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ：研削ホイール  ２１：環状基台
２１０：ホイールマウント装着面  ２１１：自由端部  ２１２：研削水供給孔
２１３ａ，２１３ｂ：供給流路  ２１４：凹部  ２１５：内側部材  ２１５ａ：端部
２２，２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ，２２ｅ，２２ｆ，２２ｇ，２２ｈ：砥石
２２０，２２１，２２２，２２３，２２４，２２５：研削面
２３，２４：壁  ２５，２６，２７：貫通孔  ２８：大貫通孔  ２９：小貫通孔
３０：研削送り手段  ３１：ボールネジ  ３２：モータ  ３３：ガイドレール
３４：昇降板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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