(57)【要約】      （修正有）【課題】把持する部品に傷を付けず、汚染せず、確実に把持することができる、部品把持具を提供する。【解決手段】把持操作用の把持部１０の少なくとも把持対象物と接触する部分に繊維状柱状構造体２０が備えられた部品把持具１００であって、該繊維状柱状構造体のガラス表面に対する、温度２３℃、湿度５０％、荷重２００ｇ、引張速度１００ｍｍ／分、摩擦面積４ｃｍ２における静摩擦係数が０．５以上である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
把持操作用の把持部の少なくとも把持対象物と接触する部分に繊維状柱状構造体が備えられた部品把持具であって、
該繊維状柱状構造体のガラス表面に対する、温度２３℃、湿度５０％、荷重２００ｇ、引張速度１００ｍｍ／分、摩擦面積４ｃｍ２における静摩擦係数が０．５以上である、
部品把持具。
【請求項２】
前記繊維状柱状構造体が、複数のカーボンナノチューブを備えるカーボンナノチューブ集合体を含む、請求項１に記載の部品把持具。
【請求項３】
前記繊維状柱状構造体が、厚み６００μｍ以上の繊維状柱状構造体が厚み４００μｍ以下の繊維状柱状構造体に圧縮されたものである、請求項１または２に記載の部品把持具。
【請求項４】
曲面を有する部品の把持具である、請求項１から３までのいずれかに記載の部品把持具。
【請求項５】
ピンセットであり、把持操作用の把持部の先端部分に繊維状柱状構造体が備えられた、ピンセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品把持具に関する。詳細には、曲面を有する微小な部品の把持に好適な、ピンセットに代表される部品把持具に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子製品や光学製品などの組み立てに際し、それらの材料である電子部品や光学部品などの中には、微小な部品が数多くある。電子製品や光学製品などの組み立てにおいて、このような微小な部品を把持するために、従来、ピンセットに代表される部品把持具が用いられている。
【０００３】
しかし、曲面を有する微小な部品を把持しようとすると、通常の金属製ピンセットでは滑って把持できなかったり、無理に把持した場合には部品に傷がついてしまったりするという問題がある。
【０００４】
最近、樹脂製の先端部分を有する部品把持具が提案されている（例えば、特許文献１−３参照）。このような樹脂製の先端部分を有する部品把持具において、樹脂製の先端部分の表面が滑りやすいものであると、金属製ピンセットと同様、曲面を有する微小な部品を把持しようとすると滑って把持できないという問題がある。他方、樹脂としてゴムやテフロン（登録商標）などの先端部分を有する部品把持具においては、該樹脂製の先端部分の表面が滑りにくいため、曲面を有する微小な部品を把持できる場合がある。
【０００５】
しかしながら、部品把持具の先端部分が樹脂製の場合、把持による摩擦によって、樹脂かすが発生することが避けられず、把持する微小な部品が該樹脂かすによって汚染されてしまうという問題が生じる。把持する微小な部品が電子部品や光学部品などの精密製品の部品である場合、このような汚染は避けなければならない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平８−０３９４４１号公報
【特許文献２】特開２００３−１３６４１４号公報
【特許文献３】特開２００４−２１６４９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の課題は、把持する部品に傷を付けず、汚染せず、確実に把持することができる、部品把持具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の部品把持具は、
把持操作用の把持部の少なくとも把持対象物と接触する部分に繊維状柱状構造体が備えられた部品把持具であって、
該繊維状柱状構造体のガラス表面に対する、温度２３℃、湿度５０％、荷重２００ｇ、引張速度１００ｍｍ／分、摩擦面積４ｃｍ２における静摩擦係数が０．５以上である。
【０００９】
一つの実施形態においては、上記繊維状柱状構造体が、複数のカーボンナノチューブを備えるカーボンナノチューブ集合体を含む。
【００１０】
一つの実施形態においては、上記繊維状柱状構造体が、厚み６００μｍ以上の繊維状柱状構造体が厚み４００μｍ以下の繊維状柱状構造体に圧縮されたものである。
【００１１】
一つの実施形態においては、本発明の部品把持具は、曲面を有する部品の把持具である。
【００１２】
本発明のピンセットは、把持操作用の把持部の先端部分に繊維状柱状構造体が備えられたものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、把持する部品に傷を付けず、汚染せず、確実に把持することができる、部品把持具を提供することができる。したがって、例えば、傷の発生や汚染を避けなければならない微小な電子部品や光学部品、特に、曲面を有する微小な電子部品や光学部品であっても、傷を付けず、汚染せず、確実に把持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一つの実施形態における部品把持具の概略斜視図である。
【図２】本発明の一つの実施形態における部品把持具が備える繊維状柱状構造体の一例の概略断面図である。
【図３】本発明の一つの実施形態における部品把持具が備える繊維状柱状構造体の別の一例の概略断面図である。
【図４】繊維状柱状構造体が複数のカーボンナノチューブを備えるカーボンナノチューブ集合体を含む場合の、本発明の一つの実施形態における部品把持具が備える繊維状柱状構造体の一例の概略断面図である。
【図５】繊維状柱状構造体が複数のカーボンナノチューブを備えるカーボンナノチューブ集合体を含む場合の、本発明の一つの実施形態における部品把持具が備える繊維状柱状構造体の別の一例の概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
≪部品把持具≫
本発明の部品把持具は、把持操作用の把持部の少なくとも把持対象物と接触する部分に繊維状柱状構造体が備えられた部品把持具である。把持操作用の把持部の少なくとも把持対象物と接触する部分としては、好ましくは、先端部分が挙げられる。図１は、本発明の部品把持具の一つの実施形態を示す概略斜視図である。図１において、本発明の部品把持具１００は、把持操作用の把持部１０の先端部分に繊維状柱状構造体２０を備える。把持部１０の先端部分とは、把持部１０の先端１０ａを含む部分である。
【００１６】
本発明の部品把持具は、好ましくは、曲面を有する部品の把持具である。
【００１７】
本発明の部品把持具は、好ましくは、ピンセットである。
【００１８】
本発明のピンセットは、把持操作用の把持部の先端部分に繊維状柱状構造体が備えられたものである。
【００１９】
把持部１０の材料は、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な材料を採用し得る。このような材料としては、例えば、アルミ、チタン、ステンレス、リン青銅のような金属、ナイロン、ポリプロピレン、フェノール樹脂のようなプラスチック、竹、木のような天然材料、ジルコニアのようなセラミックなどが挙げられる。
【００２０】
把持部１０の少なくとも把持対象物と接触する部分に繊維状柱状構造体２０が備えられるための手段としては、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な手段を採用し得る。このような手段としては、例えば、把持部１０の先端部分に繊維状柱状構造体２０を直接に接着する手段、把持部１０の先端部分に繊維状柱状構造体２０を任意の適切な層を介して接着する手段などが挙げられる。上記接着の手段としては、例えば、接着剤による接着、両面テープによる接着などが挙げられる。上記層としては、プラスチックフィルム、金属フィルム、不織布などが挙げられる。
【００２１】
把持部の先端部分の長さは、例えば、図１における把持部１０の先端１０ａからの長さであり、好ましくは０．０１ｍｍ〜５０ｍｍであり、より好ましくは０．１ｍｍ〜３０ｍｍであり、さらに好ましくは０．５ｍｍ〜２０ｍｍであり、特に好ましくは１ｍｍ〜１０ｍｍである。把持部の先端部分の長さを上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品をより確実に把持することができる。
【００２２】
本発明の部品把持具は、それが備える繊維状柱状構造体のガラス表面に対する、温度２３℃、湿度５０％、荷重２００ｇ、引張速度１００ｍｍ／分、摩擦面積４ｃｍ２における静摩擦係数が０．５以上であり、好ましくは０．５〜１０であり、より好ましくは０．５〜７であり、さらに好ましくは０．５〜５であり、特に好ましくは０．５〜３である。上記静摩擦係数を上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品に傷を付けず、汚染せず、確実に把持することができる。
【００２３】
繊維状柱状構造体は、複数の繊維状柱状物を備える構造体である。
【００２４】
図２に、本発明の一つの実施形態における部品把持具が備える繊維状柱状構造体の一例の概略断面図を示す。図２において、繊維状柱状構造体２０は、基材１と、複数の繊維状柱状物２の集合体を備える。繊維状柱状物２の片端２ａは、基材１に固定されている。繊維状柱状物２は、長さＬの方向に配向している。繊維状柱状物２は、好ましくは、基材１に対して略垂直方向に配向している。ここで、「略垂直方向」とは、基材１の面に対する角度が、好ましくは９０°±２０°であり、より好ましくは９０°±１５°であり、さらに好ましくは９０°±１０°であり、特に好ましくは９０°±５°である。
【００２５】
図３に、本発明の一つの実施形態における部品把持具が備える繊維状柱状構造体の別の一例の概略断面図を示す。図３に示すように、繊維状柱状構造体２０は、複数の繊維状柱状物２の集合体であってもよい。すなわち、繊維状柱状構造体２０は基材１を備えていなくてもよい。この場合、複数の繊維状柱状物２は、互いに、例えば、ファンデルワールス力によって、集合体として存在し得る。
【００２６】
繊維状柱状物の長さＬは、好ましくは４００μｍ以下であり、より好ましくは１０μｍ〜４００μｍであり、さらに好ましくは５０μｍ〜３００μｍであり、特に好ましくは１００μｍ〜３００μｍであり、最も好ましくは１００μｍ〜２５０μｍである。繊維状柱状物の長さＬを上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。
【００２７】
繊維状柱状物は、好ましくは、長さ６００μｍ以上の繊維状柱状物が長さ４００μｍ以下の繊維状柱状物に圧縮されたものである。繊維状柱状物としてこのように圧縮された繊維状柱状物（圧縮繊維状柱状物）を採用することにより、繊維状柱状物の密度を適度に高くすることができ、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。上記圧縮前の繊維状柱状物の長さは、好ましくは６００μｍ〜５０００μｍであり、より好ましくは６００μｍ〜３０００μｍであり、さらに好ましくは６００μｍ〜１５００μｍであり、特に好ましくは６００μｍ〜１０００μｍであり、最も好ましくは６００μｍ〜８００μｍである。上記圧縮前の繊維状柱状物の長さを上記範囲内に調整することにより、圧縮後の繊維状柱状物の密度を適度に高くすることができ、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。
【００２８】
上記圧縮の圧縮率は、長さ６００μｍ以上から長さ４００μｍ以下への圧縮率であれば、用途に応じて、任意の適切な圧縮率に設定すればよい。
【００２９】
繊維状柱状物の直径は、好ましくは０．２ｎｍ〜１０００ｎｍであり、より好ましくは０．５ｎｍ〜５００ｎｍであり、さらに好ましくは１ｎｍ〜１００ｎｍであり、特に好ましくは２ｎｍ〜５０ｎｍであり、最も好ましくは２ｎｍ〜２０ｎｍである。上記繊維状柱状物の直径を上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。
【００３０】
繊維状柱状物の材料としては、任意の適切な材料を採用し得る。例えば、アルミ、鉄などの金属；シリコンなどの無機材料；カーボンナノファイバー、カーボンナノチューブなどのカーボン材料；エンジニアリングプラスチック、スーパーエンジニアリングプラスチックなどの高モジュラスの樹脂；などが挙げられる。樹脂の具体例としては、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、アセチルセルロース、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアミドなどが挙げられる。樹脂の分子量などの諸物性は、本発明の目的を達成しうる範囲において、任意の適切な物性を採用し得る。
【００３１】
基材としては、目的に応じて、任意の適切な基材を採用し得る。例えば、石英ガラス、シリコン（シリコンウェハなど）、エンジニアリングプラスチック、スーパーエンジニアリングプラスチックなどが挙げられる。エンジニアリングプラスチックおよびスーパーエンジニアリングプラスチックの具体例としては、ポリイミド、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、アセチルセルロース、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリアミドなどが挙げられる。これらの基材の分子量などの諸物性は、本発明の目的を達成し得る範囲において、任意の適切な物性を採用し得る。基材の厚みは、目的に応じて、任意の適切な値に設定され得る。
【００３２】
基材の表面は、隣接する層との密着性，保持性などを高めるために、慣用の表面処理、例えば、クロム酸処理、オゾン暴露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理などの化学的または物理的処理，下塗剤（例えば、上記粘着性物質）によるコーティング処理が施されていてもよい。
【００３３】
基材は単層であってもよいし、多層であってもよい。
【００３４】
繊維状柱状構造体は、好ましくは、複数のカーボンナノチューブを備えるカーボンナノチューブ集合体を含む。この場合、繊維状柱状物は、好ましくは、カーボンナノチューブである。
【００３５】
図４に、繊維状柱状構造体が複数のカーボンナノチューブを備えるカーボンナノチューブ集合体を含む場合の、本発明の一つの実施形態における部品把持具が備える繊維状柱状構造体の一例の概略断面図を示す。図４において、繊維状柱状構造体２０は、基材１と、複数のカーボンナノチューブ２２の集合体を備える。カーボンナノチューブ２２の片端２２ａは、基材１に固定されている。カーボンナノチューブ２２は、長さＬの方向に配向している。カーボンナノチューブ２２は、好ましくは、基材１に対して略垂直方向に配向している。ここで、「略垂直方向」とは、基材１の面に対する角度が、好ましくは９０°±２０°であり、より好ましくは９０°±１５°であり、さらに好ましくは９０°±１０°であり、特に好ましくは９０°±５°である。
【００３６】
図４に示す実施形態において、カーボンナノチューブ２２が基材１に固定される手段としては、任意の適切な手段を採用し得る。例えば、カーボンナノチューブ集合体の製造に使用した基板を基材１としてそのまま用いてもよい。また、基材１に接着剤層を設けてカーボンナノチューブ２２の片端２２ａに固定してもよい。さらに、基材１が熱硬化性樹脂の場合は、硬化反応前の状態で該熱硬化性樹脂の薄膜層を作製し、カーボンナノチューブ２２の片端２２ａを該薄膜層に圧着させた後、硬化反応を行って固定してもよい。また、基材１が熱可塑性樹脂や金属などの場合は、溶融した状態でカーボンナノチューブ２２の片端２２ａを圧着させた後、室温まで冷却して固定してもよい。
【００３７】
図５に、繊維状柱状構造体が複数のカーボンナノチューブを備えるカーボンナノチューブ集合体を含む場合の、本発明の一つの実施形態における部品把持具が備える繊維状柱状構造体の別の一例の概略断面図を示す。図５に示すように、繊維状柱状構造体２０は、複数のカーボンナノチューブ２２の集合体であってもよい。すなわち、繊維状柱状構造体２０は基材１を備えていなくてもよい。この場合、複数のカーボンナノチューブ２２は、互いに、例えば、ファンデルワールス力によって、集合体として存在し得る。
【００３８】
≪カーボンナノチューブ集合体≫
カーボンナノチューブ集合体の好ましい実施形態としては、下記に示すような第１の好ましい実施形態および第２の好ましい実施形態が挙げられる。
【００３９】
＜第１の好ましい実施形態＞
カーボンナノチューブ集合体の好ましい実施形態の１つ（以下、第１の好ましい実施形態と称することがある）は、複数のカーボンナノチューブを備え、該カーボンナノチューブが複数層を有し、該カーボンナノチューブの層数分布の分布幅が１０層以上であり、該層数分布の最頻値の相対頻度が２５％以下であり、該カーボンナノチューブの長さが１０μｍより大きい。このようなカーボンナノチューブ集合体を採用することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。
【００４０】
カーボンナノチューブの層数分布の分布幅は１０層以上であり、好ましくは１０層〜３０層であり、より好ましくは１０層〜２５層であり、さらに好ましくは１０層〜２０層である。上記カーボンナノチューブの層数分布の分布幅を上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。
【００４１】
カーボンナノチューブの層数分布の「分布幅」とは、カーボンナノチューブの層数の最大層数と最小層数との差をいう。
【００４２】
カーボンナノチューブの層数、層数分布は、任意の適切な装置によって測定すれば良い。好ましくは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）や透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）によって測定される。例えば、カーボンナノチューブ集合体から少なくとも１０本、好ましくは２０本以上のカーボンナノチューブを取り出してＳＥＭあるいはＴＥＭによって測定し、層数および層数分布を評価すれば良い。
【００４３】
カーボンナノチューブの層数の最大層数は、好ましくは５層〜３０層であり、より好ましくは１０層〜３０層であり、さらに好ましくは１５層〜３０層であり、特に好ましくは１５層〜２５層である。カーボンナノチューブの層数の最大層数を上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。
【００４４】
カーボンナノチューブの層数の最小層数は、好ましくは１層〜１０層であり、より好ましくは１層〜５層である。上記カーボンナノチューブの層数の最小層数を上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。
【００４５】
層数分布の最頻値の相対頻度は、２５％以下であり、好ましくは１％〜２５％であり、より好ましくは５％〜２５％であり、さらに好ましくは１０％〜２５％であり、特に好ましくは１５％〜２５％である。上記層数分布の最頻値の相対頻度を上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。
【００４６】
層数分布の最頻値は、好ましくは層数２層から層数１０層に存在し、さらに好ましくは層数３層から層数１０層に存在する。上記層数分布の最頻値を上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。
【００４７】
カーボンナノチューブの形状としては、その横断面が任意の適切な形状を有していれば良い。例えば、その横断面が、略円形、楕円形、ｎ角形（ｎは３以上の整数）等が挙げられる。
【００４８】
カーボンナノチューブの長さは、好ましくは４００μｍ以下であり、より好ましくは１０μｍ〜４００μｍであり、さらに好ましくは５０μｍ〜３００μｍであり、特に好ましくは５０μｍ〜２５０μｍであり、最も好ましくは１００μｍ〜２００μｍである。上記カーボンナノチューブの長さを上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。
【００４９】
カーボンナノチューブは、好ましくは、長さ６００μｍ以上の繊維状柱状物が長さ４００μｍ以下の繊維状柱状物に圧縮されたものである。カーボンナノチューブとしてこのように圧縮されたカーボンナノチューブ（圧縮カーボンナノチューブ）を採用することにより、カーボンナノチューブの密度を適度に高くすることができ、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。上記圧縮前のカーボンナノチューブの長さは、好ましくは６００μｍ〜５０００μｍであり、より好ましくは６００μｍ〜３０００μｍであり、さらに好ましくは６００μｍ〜１５００μｍであり、特に好ましくは６００μｍ〜１０００μｍであり、最も好ましくは６００μｍ〜８００μｍである。上記圧縮前のカーボンナノチューブの長さを上記範囲内に調整することにより、圧縮後のカーボンナノチューブの密度を適度に高くすることができ、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。
【００５０】
上記圧縮の圧縮率は、長さ６００μｍ以上から長さ４００μｍ以下への圧縮率であれば、用途に応じて、任意の適切な圧縮率に設定すればよい。
【００５１】
上記カーボンナノチューブの比表面積、密度は、任意の適切な値に設定され得る。
【００５２】
＜第２の好ましい実施形態＞
カーボンナノチューブ集合体の好ましい実施形態の別の１つ（以下、第２の好ましい実施形態と称することがある）は、複数のカーボンナノチューブを備え、該カーボンナノチューブが複数層を有し、該カーボンナノチューブの層数分布の最頻値が層数１０層以下に存在し、該最頻値の相対頻度が３０％以上である。このようなカーボンナノチューブ集合体を採用することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。
【００５３】
カーボンナノチューブの層数分布の分布幅は、好ましくは９層以下であり、より好ましくは１層〜９層であり、さらに好ましくは２層〜８層であり、特に好ましくは３層〜８層である。上記カーボンナノチューブの層数分布の分布幅を上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。
【００５４】
カーボンナノチューブの層数分布の「分布幅」とは、カーボンナノチューブの層数の最大層数と最小層数との差をいう。
【００５５】
カーボンナノチューブの層数、層数分布は、任意の適切な装置によって測定すれば良い。好ましくは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）や透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）によって測定される。例えば、カーボンナノチューブ集合体から少なくとも１０本、好ましくは２０本以上のカーボンナノチューブを取り出してＳＥＭあるいはＴＥＭによって測定し、層数および層数分布を評価すれば良い。
【００５６】
カーボンナノチューブの層数の最大層数は、好ましくは１層〜２０層であり、より好ましくは２層〜１５層であり、さらに好ましくは３層〜１０層である。上記カーボンナノチューブの層数の最大層数を上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。
【００５７】
カーボンナノチューブの層数の最小層数は、好ましくは１層〜１０層であり、より好ましくは１層〜５層である。上記カーボンナノチューブの層数の最小層数を上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。
【００５８】
層数分布の最頻値の相対頻度は、３０％以上であり、好ましくは３０％〜１００％であり、より好ましくは３０％〜９０％であり、さらに好ましくは３０％〜８０％であり、特に好ましくは３０％〜７０％である。上記層数分布の最頻値の相対頻度を上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。
【００５９】
層数分布の最頻値は、層数１０層以下に存在し、好ましくは層数１層から層数１０層に存在し、より好ましくは層数２層から層数８層に存在し、さらに好ましくは層数２層から層数６層に存在する。上記層数分布の最頻値を上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。
【００６０】
カーボンナノチューブの形状としては、その横断面が任意の適切な形状を有していれば良い。例えば、その横断面が、略円形、楕円形、ｎ角形（ｎは３以上の整数）等が挙げられる。
【００６１】
カーボンナノチューブの長さは、好ましくは４００μｍ以下であり、より好ましくは１０μｍ〜４００μｍであり、さらに好ましくは５０μｍ〜３００μｍであり、特に好ましくは５０μｍ〜２５０μｍであり、最も好ましくは１００μｍ〜２００μｍである。上記カーボンナノチューブの長さを上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。
【００６２】
カーボンナノチューブは、好ましくは、長さ６００μｍ以上の繊維状柱状物が長さ４００μｍ以下の繊維状柱状物に圧縮されたものである。カーボンナノチューブとしてこのように圧縮されたカーボンナノチューブ（圧縮カーボンナノチューブ）を採用することにより、カーボンナノチューブの密度を適度に高くすることができ、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。上記圧縮前のカーボンナノチューブの長さは、好ましくは６００μｍ〜５０００μｍであり、より好ましくは６００μｍ〜３０００μｍであり、さらに好ましくは６００μｍ〜１５００μｍであり、特に好ましくは６００μｍ〜１０００μｍであり、最も好ましくは６００μｍ〜８００μｍである。上記圧縮前のカーボンナノチューブの長さを上記範囲内に調整することにより、圧縮後のカーボンナノチューブの密度を適度に高くすることができ、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。
【００６３】
上記圧縮の圧縮率は、長さ６００μｍ以上から長さ４００μｍ以下への圧縮率であれば、用途に応じて、任意の適切な圧縮率に設定すればよい。
【００６４】
カーボンナノチューブの比表面積、密度は、任意の適切な値に設定され得る。
【００６５】
≪カーボンナノチューブ集合体の製造方法≫
カーボンナノチューブ集合体の製造方法としては、任意の適切な方法を採用し得る。
【００６６】
カーボンナノチューブ集合体の製造方法としては、例えば、平滑な基板の上に触媒層を構成し、熱、プラズマなどにより触媒を活性化させた状態で炭素源を充填し、カーボンナノチューブを成長させる、化学気相成長法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：ＣＶＤ法）によって、基板からほぼ垂直に配向したカーボンナノチューブ集合体を製造する方法が挙げられる。この場合、基板を取り除けば、長さ方向に配向しているカーボンナノチューブ集合体が得られる。このような基板としては、任意の適切な基板を採用し得る。例えば、平滑性を有し、カーボンナノチューブの製造に耐え得る高温耐熱性を有する材料が挙げられる。このような材料としては、例えば、石英ガラス、シリコン（シリコンウェハなど）、アルミニウムなどの金属板などが挙げられる。上記基板は、そのまま、カーボンナノチューブ集合体が備え得る基材として用いることができる。
【００６７】
カーボンナノチューブ集合体を製造するための装置としては、任意の適切な装置を採用し得る。例えば、熱ＣＶＤ装置としては、筒型の反応容器を抵抗加熱式の電気管状炉で囲んで構成されたホットウォール型などが挙げられる。その場合、反応容器としては、例えば、耐熱性の石英管などが好ましく用いられる。
【００６８】
カーボンナノチューブ集合体の製造に用い得る触媒（触媒層の材料）としては、任意の適切な触媒を用い得る。例えば、鉄、コバルト、ニッケル、金、白金、銀、銅などの金属触媒が挙げられる。
【００６９】
カーボンナノチューブ集合体を製造する際、必要に応じて、基板と触媒層の中間にアルミナ／親水性膜を設けても良い。
【００７０】
アルミナ／親水性膜の作製方法としては、任意の適切な方法を採用し得る。例えば、基板の上にＳｉＯ２膜を作製し、Ａｌを蒸着後、４５０℃まで昇温して酸化させることにより得られる。このような作製方法によれば、Ａｌ２Ｏ３が親水性のＳｉＯ２膜と相互作用し、Ａｌ２Ｏ３を直接蒸着したものよりも粒子径の異なるＡｌ２Ｏ３面が形成される。基板の上に、親水性膜を作製することを行わずに、Ａｌを蒸着後に４５０℃まで昇温して酸化させても、粒子径の異なるＡｌ２Ｏ３面が形成され難いおそれがある。また、基板の上に、親水性膜を作製し、Ａｌ２Ｏ３を直接蒸着しても、粒子径の異なるＡｌ２Ｏ３面が形成され難いおそれがある。
【００７１】
カーボンナノチューブ集合体の製造に用い得る触媒層の厚みは、微粒子を形成させるため、好ましくは０．０１ｎｍ〜２０ｎｍであり、より好ましくは０．１ｎｍ〜１０ｎｍである。本発明のカーボンナノチューブ集合体の製造に用い得る触媒層の厚みが上記範囲内にあることによって、該カーボンナノチューブ集合体は優れた機械的特性および高い比表面積を兼ね備えることができ、さらには、該カーボンナノチューブ集合体は優れた粘着特性を示し得る。触媒層の形成方法は、任意の適切な方法を採用し得る。例えば、金属触媒をＥＢ（電子ビーム）、スパッタなどにより蒸着する方法、金属触媒微粒子の懸濁液を基板上に塗布する方法などが挙げられる。
【００７２】
カーボンナノチューブ集合体の製造に用い得る炭素源としては、任意の適切な炭素源を用い得る。例えば、メタン、エチレン、アセチレン、ベンゼンなどの炭化水素；メタノール、エタノールなどのアルコール；などが挙げられる。
【００７３】
カーボンナノチューブ集合体の製造における製造温度としては、任意の適切な温度を採用し得る。たとえば、本発明の効果を十分に発現し得る触媒粒子を形成させるため、好ましくは４００℃〜１０００℃であり、より好ましくは５００℃〜９００℃であり、さらに好ましくは６００℃〜８００℃である。
【実施例】
【００７４】
以下、本発明を実施例に基づいて説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、各種評価や測定は、以下の方法により行った。
【００７５】
＜繊維状柱状物の長さ・直径の測定＞
繊維状柱状物の長さ・直径の測定は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）および／または透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）によって測定した。
【００７６】
＜カーボンナノチューブ集合体におけるカーボンナノチューブの層数・層数分布の評価＞
カーボンナノチューブ集合体におけるカーボンナノチューブの層数および層数分布は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）および／または透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）によって測定した。得られたカーボンナノチューブ集合体の中から少なくとも１０本以上、好ましくは２０本以上のカーボンナノチューブをＳＥＭおよび／またはＴＥＭにより観察し、各カーボンナノチューブの層数を調べ、層数分布を作成した。
【００７７】
＜静摩擦係数の測定＞
温度２３℃、湿度５０％の環境下において、被着体としてのスライドガラス表面に、２ｃｍ×２ｃｍ（４ｃｍ２）の試験片を載せ、その上に２００ｇの重りを載せ、引張速度１００ｍｍ／分で引っ張った時の静摩擦係数を測定した。
【００７８】
＜ガラスピックアップ試験＞
（ピックアップ部品）
表１に示す、頂角α（度）、中心角θ（度）、母線の長さＲ（ｍｍ）、底面の円の半径ｒ（ｍｍ）のＳＵＳ製円錐部品を準備し、それぞれの表面を研磨紙（＃４００、＃１０００、＃２０００）で研磨し、ピックアップ部品（１）、ピックアップ部品（２）、ピックアップ部品（３）、ピックアップ部品（４）、ピックアップ部品（５）、ピックアップ部品（６）、ピックアップ部品（７）、ピックアップ部品（８）、ピックアップ部品（９）とした。
なお、頂角α（度）は、ピックアップ部品の側面からの写真上において分度器で測った頂角である。また、中心角θ（度）、母線の長さＲ（ｍｍ）、底面の円の半径ｒ（ｍｍ）は、ピックアップ部品の展開図における部分円の中心角θ、母線の長さＲ、底面の円の半径ｒであり、θ（度）＝３６０度×（ｒ／Ｒ）である。
（ピックアップ成功回数試験）
部品把持具によってピックアップ部品の曲面部分を把持して５ｃｍの高さまで持ち上げておろす作業を５０回繰り返し、ピックアップに成功した回数を測定した。
（表面観察）
ピックアップ成功回数試験の後、ピックアップ部品の曲面部分を光学顕微鏡で観察し、汚染の有無、傷の有無を観察した。
【００７９】
【表１】
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【００８０】
〔実施例１〕
シリコンウェハ（シリコンテクノロジー製）上に、スパッタ装置（ＵＬＶＡＣ製、ＲＦＳ−２００）により、Ａｌ２Ｏ３薄膜（厚み２０ｎｍ）を形成した。このＡｌ薄膜上に、さらにスパッタ装置（ＵＬＶＡＣ製、ＲＦＳ−２００）にてＦｅ薄膜（厚み１．０ｎｍ）を蒸着した。
その後、この基板を３０ｍｍφの石英管内に載置し、水分７００ｐｐｍに保ったヘリウム／水素（９０／５０ｓｃｃｍ）混合ガスを石英管内に３０分間流して、管内を置換した。その後、電気管状炉を用いて管内を３５分間で段階的に７６５℃まで昇温させ、７６５℃にて安定させた。７６５℃にて温度を保持したまま、ヘリウム／水素／エチレン（８５／５０／５ｓｃｃｍ、水分率７００ｐｐｍ）混合ガスを管内に充填させ、４０分間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させ、カーボンナノチューブが長さ方向に配向しているカーボンナノチューブ集合体（１）を得た。
カーボンナノチューブ集合体（１）が備えるカーボンナノチューブの長さは８００μｍ、直径（平均）は７．１ｎｍであった。
カーボンナノチューブ集合体（１）が備えるカーボンナノチューブの層数分布において、最頻値は２層に存在し、相対頻度は７２％であった。
シリコンウェハ（シリコンテクノロジー製）上に形成したカーボンナノチューブ集合体（１）について、シリコンウエハ（シリコンテクノロジー製）の鏡面側でカーボンナノチューブの上部より荷重をかけることにより、カーボンナノチューブの長さが３００μｍになるまで圧縮し、圧縮カーボンナノチューブが長さ方向に配向しているカーボンナノチューブ集合体（Ｐ１）を得た。
カーボンナノチューブ集合体（Ｐ１）を取り出し、ポリプロピレン基材（旭洋紙パルプ株式会社製、３０μｍ厚）をホットプレート上で２００℃に加熱し、溶融させた。上記カーボンナノチューブ集合体（Ｐ１）が備えるカーボンナノチューブの片端（上端）を溶融させたポリプロピレン樹脂に圧着した後、室温に冷却して固定することにより、ポリプロピレン基材（３０μｍ厚）上にカーボンナノチューブ集合体（Ｐ１）を備えた積層体を得た。
得られた積層体を、ピンセット（ピエゾパーツ株式会社製、商品名：フェザーピックＳＳ−１４０）の先端ゴムパッド部分に、両面テープ（日東電工株式会社製、型番：Ｎｏ．５０００）によって貼り付け、部品把持具（１）を得た。
部品把持具（１）を用いて評価を行った。
結果を表２に示した。
【００８１】
〔比較例１〕
ピンセット（ピエゾパーツ株式会社製、商品名：フェザーピックＳＳ−１４０）を用いて評価を行った。
結果を表２に示した。
【００８２】
〔比較例２〕
ピンセット（(株)エンジニア製、商品名：ＥＳＤ  ＴＷＥＥＺＥＲＳ）を用いて評価を行った。
結果を表２に示した。
【００８３】
〔比較例３〕
金属ピンセット（ＩＤＥＡＬ−ＴＥＫ製、商品名：ＩＤ−ＤＭ）を用いて評価を行った。
結果を表２に示した。
【００８４】
【表２】
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【産業上の利用可能性】
【００８５】
本発明の部品把持具は、傷の発生や汚染を避けなければならない微小な電子部品や光学部品、特に、曲面を有する微小な電子部品や光学部品の把持に利用可能である。
【符号の説明】
【００８６】
部品把持具                  １００
把持部                      １０
把持部の先端                １０ａ
繊維状柱状構造体            ２０
基材                        １
繊維状柱状物                ２
繊維状柱状物の片端          ２ａ
カーボンナノチューブ        ２２
カーボンナノチューブの片端  ２２ａ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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