(57)【要約】【課題】光の回折による干渉効果を利用し、生産性を低下させることなく安定した受光信号を得ることができるロータリエンコーダを提供する。【解決手段】光を放射する発光ダイオード、及び当該発光ダイオードの光を平行化するレンズを有する光源装置と、中心から放射状に、周方向に回折格子を形成する第１スリットを有する回転スリット板と、中心から放射状に、周方向に回折格子を形成する第２スリットを有する固定スリット板と、第１及び第２スリットを通過した光源装置からの光を受光する受光部とを備え、回転スリット板と固定スリット板との間の距離は、第１スリットあるいは第２スリットを通過した光が回折によって干渉し、回転スリット板上あるいは固定スリット板上にスリット像が形成される距離であり、発光ダイオードの発光径を、第１スリットあるいは第２スリットの間隔の６倍より大きく１３倍以下としている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を放射する発光ダイオード、及び当該発光ダイオードの光を平行化するレンズを有する光源装置と、
中心から放射状に、周方向に回折格子を形成する第１スリットを有する回転スリット板と、
中心から放射状に、周方向に回折格子を形成する第２スリットを有する固定スリット板と、
前記第１及び第２スリットを通過した前記光源装置からの光を受光する受光部と
を備え、
前記回転スリット板と前記固定スリット板との間の距離は、前記第１スリットあるいは前記第２スリットを通過した光が回折によって干渉し、前記回転スリット板上あるいは前記固定スリット板上にスリット像が形成される距離であり、
前記発光ダイオードの発光径を、前記第１スリットあるいは前記第２スリットの間隔の６倍より大きく１３倍以下とすることを特徴とするロータリエンコーダ。
【請求項２】
前記発光ダイオードの光の波長は、６１０ｎｍ〜７５０ｎｍの範囲内であることを特徴とする請求項１記載のロータリエンコーダ。
【請求項３】
前記回転スリット板には、前記第１スリットよりも前記中心側であって、当該中心から放射状に、かつ周方向に配置され、光の回折による干渉を起こさない幅を有する第３スリットが少なくとも設けられ、
前記固定スリット板には、前記第２スリットよりも内側に中心から放射状に、かつ周方向に配置され、光の回折による干渉を起こさない幅を有する第４スリットが設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載のロータリエンコーダ。
【請求項４】
前記回転スリット板には、前記第１スリットよりも外周側であって、前記中心から放射状に、かつ周方向に配置され、光の回折による干渉を起こさない幅を有する第３スリットが少なくとも設けられ、
前記固定スリット板には、前記第２スリットよりも外側に中心から放射状に、かつ周方向に配置され、光の回折による干渉を起こさない幅を有する第４スリットが設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載のロータリエンコーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、光源をＬＥＤとするロータリエンコーダに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
分解能が高く、製造が容易で高温環境でも使用可能なロータリエンコーダとして、光源装置の光源にＬＥＤを使用し、固定スリット板と回転スリット板の各スリットピッチとそのスリット幅をできるだけ小さくし、さらに、そのＬＥＤの発光径をスリットピッチの６倍以下としたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−１１１８４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、スリットピッチとスリット幅をある一定以下、例えば１０μｍよりも小さくした場合には、固定スリットを通過した光が回折現象により拡がり、光のコントラストが低下し、十分な受光信号を得ることができなくなる。そこで、光の回折現象により光のコントラストが低下することのないスリットピッチとスリット幅にて得られる受光信号を、電気逓倍により高分解能化する方法があるが、電気的な誤差が生じ、出力であるパルス信号の精度が低下することがある。
【０００５】
また、良好な受光信号を得るためには、回転スリット板と固定スリット板との間のギャップを狭くする必要がある。しかし、固定スリット板と回転スリット板との間のギャップを狭くした場合、ロータリエンコーダの生産上、固定スリット板と回転スリット板との間のギャップは、公差Δｇを有しており、その公差Δｇを小さくした場合には、著しく生産性を低下させることになる。
干渉効果が理想的である場合、固定スリット板と回転スリット板との間の特定なギャップで、受光信号は良好なＳ／Ｎ比を得るが、干渉効果が理想的であればあるほど、ギャップを含む組立公差Δｇの範囲で、Ｓ／Ｎ比の差が大きくなり、受光信号が安定しないという課題がある。
【０００６】
本発明は、前述のような課題を解決するためになされたもので、光の回折による干渉効果を利用し、生産性を低下させることなく安定した受光信号を得ることができるロータリエンコーダを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るロータリエンコーダは、光を放射する発光ダイオード、及び当該発光ダイオードの光を平行化するレンズを有する光源装置と、中心から放射状に、周方向に回折格子を形成する第１スリットを有する回転スリット板と、中心から放射状に、周方向に回折格子を形成する第２スリットを有する固定スリット板と、第１及び第２スリットを通過した光源装置からの光を受光する受光部とを備え、回転スリット板と固定スリット板との間の距離は、第１スリットあるいは第２スリットを通過した光が回折によって干渉し、回転スリット板上あるいは固定スリット板上にスリット像が形成される距離であり、発光ダイオードの発光径を、第１スリットあるいは第２スリットの間隔の６倍より大きく１３倍以下としている。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、回転スリット板と固定スリット板との間の距離を、第１スリットあるいは第２スリットを通過した光が回折によって干渉し、回転スリット板上あるいは固定スリット板上にスリット像が形成される距離とし、発光ダイオードの発光径を、第１スリットあるいは第２スリットの間隔の６倍より大きく１３倍以下としている。これにより、公差Δｇの範囲で安定した受光信号を得ることができるので、ロータリエンコーダの生産性を低下させることがない。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施の形態１に係るロータリエンコーダの概略構成を示す斜視図。
【図２】図１のロータリエンコーダに用いる光源装置の概略構成を示す断面図。
【図３】赤色ＬＥＤにおける回転スリット板と固定スリット板間のギャップとＳ／Ｎ比との相関を示す受光信号の曲線図。
【図４】本発明の実施の形態２に係るロータリエンコーダの実装例を示す部分断面図。
【図５】図４のロータリエンコーダの概略構成を示す斜視図。
【図６】図５のロータリエンコーダの出力の一例を示す波形図。
【図７】赤色ＬＥＤにおける回転スリット板と固定スリット板間のギャップと受光量との相関を示す、干渉効果を利用しない受光信号の曲線図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
実施の形態１．
図１は本発明の実施の形態１に係るロータリエンコーダの概略構成を示す斜視図、図２は図１のロータリエンコーダに用いる光源装置の概略構成を示す断面図、図３は赤色ＬＥＤにおける回転スリット板と固定スリット板間のギャップとＳ／Ｎ比との相関を示す受光信号の曲線図である。
本実施の形態１に係るロータリエンコーダは、図１に示すように、光源装置１０と、円形状に形成された回転スリット板２０と、四角形状に形成された固定スリット板３０と、例えばフォトダイオードにより構成された受光部４０とを備えている。回転スリット板２０と固定スリット板３０は、中心から放射状に、かつ周方向に回折格子を形成するスリット２１、３１（第１スリット、第２スリット）を有している。なお、回転スリット板２０と固定スリット板３０の形状あるいは材料については限定されるものではない。
【００１１】
光源装置１０は、図２に示すように、例えば円筒状に形成されたレンズ支持部１１と、レンズ支持部１１内に嵌め込まれて支持されたレンズ１２と、レンズ支持部１１の軸心上に配置された例えば赤色ＬＥＤチップ１３（発光ダイオード）と、赤色ＬＥＤチップ１３を支持するチップ支持部１４とを備えている。レンズ１２は、赤色ＬＥＤチップ１３から放射された赤色光を、赤色ＬＥＤチップ１３の光軸Ｘに対して平行性を有する平行光を照射する。なお、光源装置１０の光源として、赤色ＬＥＤチップ１３を用いたことを述べたが、これに代えて、赤外光を発光する赤外ＬＥＤチップを光源として用いても良い。
【００１２】
赤色ＬＥＤチップ１３は、回転スリット板２０及び固定スリット板３０の各スリットピッチＰを例えば１０μｍとし、そのスリットピッチＰの６倍より大きく１３倍以下の発光径Ｄを有している。また、この赤色ＬＥＤチップ１３は、リード線（図示せず）が電気的に接続されており、点灯時には波長が６１０ｎｍ〜７５０ｎｍの赤色光を発光する。
【００１３】
回転スリット板２０は、被測定物に回転自在に装着され、中心から放射状に、かつ周方向に等間隔（スリットピッチＰ）にスリット２１が設けられている。固定スリット板３０は、固定されており、回転スリット板２０のスリット２１と同じ間隔（スリットピッチＰ）でスリット３１が設けられている。つまり、回転スリット板２０と固定スリット板３０の各スリット２１、３１は、共に同じスリットピッチＰであり、スリット幅は共に同じである。なお、固定スリット板３０のスリット幅を、回転スリット板２０のスリット幅と比べ、狭くあるいは広くしても良い。
【００１４】
回転スリット板２０と固定スリット板３０との間のギャップＧは、赤色光の波長をλ、自然数をｎ（１、２、３・・・）として、
Ｇ＝ｎＰ２／λ  ・・・（１）
の関係になるように設定されている。つまり、回転スリット板２０と固定スリット板３０との間の距離Ｇは、スリット２１を通過した光が回折によって干渉し、固定スリット板３０上にスリット像が形成される距離である。
【００１５】
前述した従来技術（特許文献１）においては、光の回折による干渉効果（タルボット効果）を良好に得るために、スリット幅をスリットピッチＰ（１０μｍ）の１／２とし、ＬＥＤの発光径をスリットピッチＰの６倍以下の小径とし、その波長λを例えば８６０ｎｍと長くしている。この従来技術による理想的な干渉効果は、図３に示すように、回転スリット板と固定スリット板間の特定なギャップＧの範囲ｂ内において良好なＳ／Ｎ比の受光信号ｃが得られるが、干渉効果が理想的であるため、ギャップＧを含む組立公差Δｇの範囲での受光信号ｃはＳ／Ｎ比の差が大きくなり、受光信号ｃから得られるパルス信号が安定しない。
【００１６】
これに対して本実施の形態１においては、前述したように、赤色ＬＥＤチップ１３の発光径ＤをスリットピッチＰ（１０μｍ）の６倍より大きく１３倍以下の大径とし、波長λを６１０ｎｍ〜７５０ｎｍの範囲とし、光の回折による干渉効果を利用している。
【００１７】
つまり、赤色ＬＥＤチップ１３の発光径Ｄを従来よりも大きくし、波長λを従来よりも短くして干渉効果を抑えるようにしている。これにより、図３に示すように、回転スリット板２０と固定スリット板３０間の特定なギャップＧの範囲ｂにおいて、受光信号ｄは最低限必要なＳ／Ｎ比を確保すると共に、Ｓ／Ｎ比の変動を小さく抑えることができる。この受光信号ｄのＳ／Ｎ比の変動を抑えることで、ギャップＧの範囲ｂを広く取れる。なお、図３に示すラインａは、ロータリエンコーダとして使用可能な受光信号ｄのＳ／Ｎ比の下限値である。
【００１８】
以上のように本実施の形態１によれば、赤色ＬＥＤチップ１３の発光径ＤをスリットピッチＰ（１０μｍ）の６倍より大きく１３倍以下とし、波長λを６１０ｎｍ〜７５０ｎｍの範囲としている。
【００１９】
この構成により、回転スリット板２０と固定スリット板３０間の特定なギャップＧの範囲ｂにおいて、受光信号ｄの最低限必要なＳ／Ｎ比の変動を小さく抑えることができ、ギャップＧの範囲ｂを広く取れる。これにより、受光部４０により生成される受光信号を電気逓倍により高分解能化する必要がなくなる。
【００２０】
ギャップＧの範囲ｂを広く取れるので、公差Δｇを小さくする必要がなくなり、ロータリエンコーダの生産性を低下させることなく干渉効果を利用した小形化、高分解能なロータリエンコーダを提供できる。
【００２１】
さらに、光源装置１０の光源として、発光径Ｄの大きな赤色ＬＥＤチップ１３を用いているので、その赤色ＬＥＤチップ１３よりも発光径の小さいＬＥＤと比べ発光量を確保できる。また、前述のように、発光径Ｄの大きな赤色ＬＥＤチップ１３を備えた光源装置１０であるため、干渉効果を利用しないロータリエンコーダでも利用でき、光源装置１０の共通利用が可能になる。
【００２２】
実施の形態２．
図４は本発明の実施の形態２に係るロータリエンコーダの実装例を示す部分断面図、図５は図４のロータリエンコーダの概略構成を示す斜視図、図６は図５のロータリエンコーダの出力の一例を示す波形図、図７は赤色ＬＥＤにおける回転スリット板と固定スリット板間のギャップと受光量との相関を示す、干渉効果を利用しない受光信号の曲線図である。なお、本実施の形態２においては、実施の形態１と同様又は相当部分には同じ符号を用いている。
【００２３】
本実施の形態２に係るロータリエンコーダは、例えば、モーターのシャフト６０に連結されている。このロータリエンコーダは、図４に示すように、モーターのシャフト６０に連結されたエンコーダシャフト５０と、エンコーダシャフト５０を回転自在に支持するシャフト支持部５１と、シャフト支持部５１に取り付けられた回路基板５２と、シャフト支持部５１の回路基板５２と対向する面に装着された光源装置１０と、エンコーダシャフト５０の端部に装着された回転スリット板２０と、回転スリット板２０から距離Ｌ３の位置に配置され、回路基板５２から突出する支持部５３に固定された固定スリット板３０と、支持部５３の凹みに設置されて回路基板５２に実装された受光部４０とを備えている。なお、光源装置１０の光源に赤色ＬＥＤチップ１３を用いているが、これに代えて、赤外ＬＥＤチップを光源としても良い。
【００２４】
Ｌ３は、前記の式（１）により算出されたギャップＧに公差Δｇが含まれた許容範囲内の距離で、Ｌ２−Ｌ１の差から求められる。Ｌ１は公差Δｇ１、Ｌ２は公差Δｇ２をそれぞれ含む許容範囲内の寸法である。つまり、Ｌ２−Ｌ１の差から求まる値が距離Ｌ３となるように設定されている。
【００２５】
本実施の形態２における光源装置１０は、実施の形態１と同様に、発光径ＤをスリットピッチＰ（１０μｍ）の６倍より大きく１３倍以下とし、波長を６１０ｎｍ〜７５０ｎｍの赤色光を発光する赤色ＬＥＤチップ１３を光源として備えている。回転スリット板２０は、図５に示すように、中心を同一として、外周側にトラックＡ、内周側にトラックＣ、トラックＡとＣの間にトラックＢが形成されている。
【００２６】
トラックＡ、Ｂ上には、例えば互いに９０°の位相がずれたＡ相、Ｂ相のスリット２１（第１スリット）が周方向に等間隔に設けられている。この場合、Ａ相のスリット２１は、Ｂ相のスリット２１よりも位相が９０°進むように配列されている。これらＡ相、Ｂ相の各スリット２１は、実施の形態１と同様に、光の回折による干渉効果を利用するためにスリット幅を狭くしている。なお、Ａ相、Ｂ相のスリット２１の位相差を９０°としているが、これに限定されるものではなく、９０°以外の位相差でも良い。
【００２７】
トラックＣ上には、Ａ相、Ｂ相の各スリット２１よりもスリット幅の大きいＣ相のスリット２２（第３スリット）が中心から放射状に、かつ周方向に設けられている。つまり、このスリット２２のスリット幅は、干渉効果を利用しない大きさとなっている。Ｃ相のスリット２２は、例えばモーターの磁極数と同じ数となっている。これは、モーターが１回転する毎に磁極と同じ数の出力が得られるようにしたもので、各磁極を検出することができる。これにより、モーターのコイルに流す電流を適切に制御できる。なお、回転スリット板２０上にＣ相のスリット２２を設けることは一例であって、被測定物の用途、仕様に応じてスリット２２の数、スリット幅が異なる。また、回転スリット板２０には、モーターの１回転の原点とする１つのＺ相のスリット２３が設けられている。
【００２８】
固定スリット板３０には、Ａ相、Ｂ相のスリット２１に対向して配置されたＡ相用、Ｂ相用のスリット３１（第２スリット）、Ｃ相のスリット２２に対向して配置されたＣ相用のスリット３２（第４スリット）、及びＺ相のスリット２３に対向して配置されたＺ相用のスリット３３が設けられている。受光部４０は、Ａ相及びＢ相受光部４１、４２、Ｃ相受光部４３及びＺ相受光部４４より構成されている。これら受光部４１〜４４は、実施の形態１と同様に、例えばフォトダイオードで構成されている。
【００２９】
前記のように構成されたロータリエンコーダにおいて、モーターのシャフト６０の回転によりエンコーダシャフト５０が回転すると、回転スリット板２０がエンコーダシャフト５０の回転方向と同じ方向に回転する。この回転スリット板２０の回転により、回転スリット板２０のＡ相、Ｂ相のスリット２１と固定スリット板３０のＡ相用、Ｂ相用のスリット３１とがそれぞれ重なったときに、光源装置１０からの赤色光が通過し、Ａ相及びＢ相受光部４１、４２に受光される。この場合、各スリット２１を通過した多数の回折光が干渉して得られるスリット像（光の縞模様）がＡ相及びＢ相受光部４１、４２に受光される。Ａ相及びＢ相受光部４１、４２は、受光された受光量に基づいて受光信号ｄを生成する。この受光信号ｄは、図７に示すように、回転スリット板２０と固定スリット板３０間の特定なギャップＧの範囲ｂにおいて、最低限必要なＳ／Ｎ比となる。
【００３０】
Ａ相及びＢ相受光部４１、４２は、それぞれ受光信号に基づいて波形整形し、図６の（１）、（２）に示すパルス信号を回路基板５２に入力する。この場合、Ａ相受光部４１からＡ相のパルス信号が出力されると共に、このＡ相のパルスに対して位相が９０°遅れたＢ相のパルス信号がＢ相受光部４２から出力される。この２つのパルス信号により、モーターの回転方向が検知され、モーターの回転位置や回転速度を測定することができる。
なお、Ａ相及びＢ相受光部４１、４２が、受光量に基づいて受光信号を生成し、生成した受光信号に基づいて波形整形してパルス信号を生成するようにしたが、これに限定されるものではない。例えば、Ａ相及びＢ相受光部４１、４２が、受光量に基づいて受光信号を生成し、この受光信号を回路基板５２に入力するようにしても良い。この場合、回路基板５２には、入力された受光信号に基づいて波形整形し、パルス信号を生成する回路が設けられる。
【００３１】
また、回転スリット板２０のＣ相のスリット２２と固定スリット板３０のＣ相用のスリット３２とが重なったときには、光源装置１０からの赤色光が通過し、Ｃ相受光部４３に受光される。Ｃ相受光部４３は、受光量に基づいて受光信号を生成し、生成した受光信号に基づいて波形整形し、図６の（３）に示すパルス信号を回路基板５２に入力する。このパルス信号の数からモーターのどの磁極が検知されたかを測定することができる。
なお、Ｃ相受光部４３が、受光量に基づいて受光信号を生成し、生成した受光信号に基づいて波形整形してパルス信号を生成するようにしたが、これに限定されるものではない。例えば、Ｃ相受光部４３が、受光量に基づいて受光信号を生成し、この受光信号を回路基板５２に入力するようにしても良い。この場合、回路基板５２には、入力された受光信号に基づいて波形整形し、パルス信号を生成する回路が設けられる。
【００３２】
干渉効果を利用しないＣ相の受光信号は、ギャップＧが大きくなるに連れ低下していき、赤色ＬＥＤチップ１３の発光径Ｄが小さいほど発光量が下がるため、図７のｅ１のように受光量が低下して、下限値であるラインａを下回る。本実施の形態２においては、前述したように、赤色ＬＥＤチップ１３の発光径Ｄが大きく発光量が多いため、受光量が同図のｅ２のように高くなって、ギャップＧの範囲ｂでラインａを上回る状態となる。
【００３３】
さらに、回転スリット板２０の回転により、回転スリット板２０のＺ相のスリット２３と固定スリット板３０のＺ相用のスリット３３とが重なったときに、光源装置１０からの赤色光が通過し、Ｚ相受光部４４に受光される。Ｚ相受光部４４は、受光量に基づいて受光信号を生成し、生成した受光信号に基づいて波形整形し、図６の（４）に示すパルス信号を回路基板５２に入力する。このパルス信号は、モーターの回転位置の原点となる。
なお、Ｚ相受光部４４が、受光量に基づいて受光信号を生成し、生成した受光信号に基づいて波形整形してパルス信号を生成するようにしたが、これに限定されるものではない。例えば、Ｚ相受光部４４が、受光量に基づいて受光信号を生成し、この受光信号を回路基板５２に入力するようにしても良い。この場合、回路基板５２には、入力された受光信号に基づいて波形整形し、パルス信号を生成する回路が設けられる。
【００３４】
以上のように本実施の形態２によれば、発光径ＤをスリットピッチＰ（１０μｍ）の６倍より大きく１３倍以下としたことで、小径発光径のＬＥＤと比べ発光量を確保でき、干渉効果を利用しないＣ相及びＺ相の出力（パルス信号）も得ることができる。
【００３５】
なお、本実施の形態２では、回転スリット板２０のトラックＡ、Ｂ上に、互いに９０°の位相がずれたＡ相、Ｂ相のスリット２１を周方向に等間隔に設け、固定スリット板３０に、Ａ相、Ｂ相のスリット２１に対向してＡ相用、Ｂ相用のスリット３１を設けるようにしたが、これに限定されるものではない。例えば、トラックＡ、Ｂを含む領域を１つのトラックとし、このトラック上にスリット２１を周方向に等間隔に設けるようにしても良い。この場合、固定スリット板３０上のＡ相用、Ｂ相用のスリット３１を互いに９０°の位相がずれた位置に配置する。
【００３６】
また、本実施の形態２では、回転スリット板２０のトラックＡ、Ｂ上に、互いに９０°の位相がずれたＡ相、Ｂ相のスリット２１を周方向に等間隔に設けるようにしたが、トラックＡ、Ｂの何れか一方をトラックとし、このトラック上にスリット２１を周方向に等間隔に設けるようにしても良い。この場合、固定スリット板３０上においては、左右にＡ相用、Ｂ相用のスリット３１を配置する。つまり、例えば、左側のＡ相用のスリット３１と回転スリット板２０のスリット２１とが重なったときに、右側のＢ相用のスリット３１に対して回転スリット板２０のスリット２１が半分重なるようにする。これにより、図６（１）、（２）に示すようなパルス信号が得られる。
【００３７】
また、固定スリット板３０上においては、左右にそれぞれＡ相用、Ｂ相用のスリット３１を配置するに代えて、例えば、Ａ相用のスリット３１に対して右斜め下、あるいは右斜め上にＢ相用のスリット３１を配置するようにしても良い。この場合も、例えば、左側のＡ相用のスリット３１と回転スリット板２０のスリット２１とが重なったときに、Ｂ相用のスリット３１に対して回転スリット板２０のスリット２１が半分重なるようにする。これにより、図６（１）、（２）に示すようなパルス信号が得られる。
【００３８】
さらに、本実施の形態２では、回転スリット板２０上において、トラックＡ、Ｂを外周側としたが、トラックＣを外周側とし、トラックＡ、ＢをトラックＣとＺとの間に配置するようにしても良い。また、回転スリット板２０上において、トラックＣとＺを外周側とし、トラックＡ、Ｂを内側に配置するようにしても良い。
【００３９】
なお、実施の形態１、２では、光源装置１０側に回転スリット板２０を配置したが、固定スリット板３０を光源装置１０側に配置し、回転スリット板２０を受光部３の前に配置する構成であっても良い。
【符号の説明】
【００４０】
１０  光源装置、１１  レンズ支持部、１２  レンズ、１３  赤色ＬＥＤチップ、１４  チップ支持部、２０  回転スリット板、２１、２２、２３  スリット、３０  固定スリット板、３１、３２、３３  スリット、４０  受光部、４１  Ａ相受光部、４２  Ｂ相受光部、４３  Ｃ相受光部、４４  Ｚ相受光部、５０  シャフト、５１  シャフト支持部、５２  回路基板、５３  支持部、６０  モーターのシャフト、Ｄ  発光径、Ｇ  ギャップ、Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３  距離、Ｘ  光軸。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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