(57)【要約】【課題】振動波モータの圧電素子の分極により圧電素子が凹形状に変形し、弾性体との接着界面に空気が溜まり、振動効率が低下し、安定したモータ性能が得られない。【解決手段】分極領域１０３ａ、１０３ｂと非分極領域１０３ｄとを有し、印加される交流電圧によって振動を発生する圧電素子１０３と、接触部１０２ｃ、及び圧電素子１０３と固着する固着面１０２ａを有する弾性体１０２と、接触部１０２ｃと接触する接触面１０１ａを有し、弾性体１０２に対して相対移動する摩擦部材１０１と、を有する振動波モータ１００において、固着面１０２ａで圧電素子１０３と弾性体１０２とは固着され一体化して振動子１０９を形成し、固着面１０２ａに固着の際に巻き込まれる空気を排出する手段が設けられている。【選択図】  図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
分極領域と非分極領域とを有し、印加される交流電圧によって振動を発生する圧電素子と、
接触部、及び前記圧電素子と固着する固着面を有する弾性体と、
前記接触部と接触する接触面を有し、前記弾性体に対して相対移動する摩擦部材と、
を有する振動波モータにおいて、
前記固着面で前記圧電素子と前記弾性体とは固着され一体化して振動子を形成し、
前記固着面に前記固着の際に巻き込まれる空気を排出する手段を設けることを特徴とする、振動波モータ。
【請求項２】
前記手段は、前記固着面に設けられる溝部または孔部であることを特徴とする、請求項１に記載の振動波モータ。
【請求項３】
前記溝部または前記孔部は、前記圧電素子の前記非分極領域の近傍に位置することを特徴とする、請求項２に記載の振動波モータ。
【請求項４】
前記分極領域は、前記圧電素子で２つに分極された領域であり、前記非分極領域は２つの前記分極領域の間にあることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の振動波モータ。
【請求項５】
前記振動は、１次の曲げ振動と２次の曲げ振動の合成振動であり、前記溝部または前記孔部は該１次の曲げ振動の腹位置の近傍に設けられることを特徴とする、請求項２乃至４のいずれか１項に記載の振動波モータ。
【請求項６】
前記振動は、１次の曲げ振動と２次の曲げ振動の合成振動であり、前記溝部または前記孔部は該２次の曲げ振動の節位置の近傍に設けられることを特徴とする、請求項２乃至４のいずれか１項に記載の振動波モータ。
【請求項７】
前記振動は超音波振動であり、前記振動波モータは、前記超音波振動する超音波モータであることを特徴とする、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の振動波モータ。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の振動波モータを有するレンズ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、押圧された振動子に楕円運動を発生させることにより摩擦部材を駆動する振動波モータと、その振動波モータを使用したレンズ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
超音波モータでは、圧電素子が固着された弾性体の接触部が摩擦部材に加圧接触状態となっている。その加圧接触状態において、分極された圧電素子に２相の電圧を印加することにより、当該弾性体に２相の超音波振動を励起すると、弾性体の接触部に楕円運動が生じ、摩擦部材が弾性体に対して相対的に移動する。特許文献１には、振動子の摩擦接触部が押圧方向に振動する１次の曲げ振動モードと、駆動方向に振動する２次の曲げ振動モードとを合成して、摩擦接触部に楕円運動を発生させた超音波モータが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−７２９８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１に開示された超音波モータでは、圧電素子板が分極による残留歪で分極方向に膨張し、分極領域及び非分極領域における膨張率の差によって反りかえるように変形し、圧電素子板に凹部が生じる。そして、圧電素子板と振動板とを接着等で固着する際に、空気が巻き込まれ、その空気が前述の凹部に溜まり、固着面積が減って振動効率が低下するという問題があった。また、その空気の影響を受けて安定したモータ性能が得られないという問題があった。
【０００５】
本発明は、上述の問題を解決するためになされたものであり、圧電素子と弾性体との接着界面に溜まった空気を排出することにより、振動効率の低下を防止し、安定したモータ性能を有する振動波モータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の振動波モータは、分極領域と非分極領域とを有し印加される交流電圧によって振動を発生する圧電素子と、接触部、及び圧電素子と固着する固着面を有する弾性体と、接触部と接触する接触面を有し弾性体に対して相対移動する摩擦部材と、を有する振動波モータにおいて、固着面で圧電素子と弾性体とは固着され一体化して振動子を形成し、固着面に固着の際に巻き込まれる空気を排出する手段が設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、圧電素子と弾性体との接着界面に溜まった空気を排出することにより、振動効率の低下を防止し、安定したモータ性能を有する振動波モータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の振動波モータ１００の分解斜視図である。
【図２】（Ａ）本発明の振動波モータ１００の平面図である。（Ｂ）正面図である。
【図３】弾性体１０２と支持部材１１４の接合状態を示す拡大斜視図である。
【図４】（Ａ）本発明の振動波モータ１００を移動方向Ｘに沿って切断した断面図である。（Ｂ）Ｙ方向に沿って切断した断面図である。
【図５】（Ａ）圧電素子１０３の平面図である。（Ｂ）圧電素子１０３の正面図である。（Ｃ）圧電素子１０３の底面図である。
【図６】（Ａ）乃至（Ｃ）分極による歪で圧電素子１０３が変形した状態を示す図である。
【図７】（Ａ）乃至（Ｃ）本発明の実施例１における弾性体１０２の詳細を示す図である。
【図８】（Ａ）乃至（Ｃ）本発明の実施例１における振動子１０９を示す図である。
【図９】（Ａ）本発明の実施例１における２次の曲げ振動モードの振動の節と腹の位置を示す図である。（Ｂ）１次の曲げ振動モードの振動の節と腹の位置を示す図である。
【図１０】（Ａ）本発明の実施例１における２次の曲げ振動モードの歪の特性を示す図である。（Ｂ）１次の曲げ振動モードの歪の特性を示す図である。
【図１１】振動波モータ１００を有するレンズ装置１及びレンズ装置１に取り付けられた撮像装置２７の断面図である。
【図１２】（Ａ）、（Ｂ）本発明の実施例２における弾性体２０２の詳細を示す図である。
【図１３】（Ａ）本発明の実施例２における２次の曲げ振動モードの振動の節と腹の位置を示す図である。（Ｂ）１次の曲げ振動モードの振動の節と腹の位置を示す図である。
【図１４】本発明の実施例３における弾性体３０２の詳細を示す斜視図である。
【図１５】（Ａ）乃至（Ｃ）従来例の弾性体１３２において発生する空気溜まりを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図１乃至図４を用いて本発明の実施形態の振動波モータ１００について説明する。なお、本実施形態の振動波モータ１００は、デジタルカメラ用のレンズ鏡筒などの駆動用アクチュエータとしてユニット化した直動駆動型モータを例に説明するが、使用用途はこれに限られるものではない。
【００１０】
図１は、本発明の実施形態である振動波モータ１００の分解斜視図である。なお、全ての図において同一部材は同一記号で示される。本明細書中において、後述する振動子１０９に発生する楕円運動により、振動子１０９が移動する方向をＸ方向と定義する。また、後述するバネ部材１０７による加圧方向をＺ方向と定義する。Ｚ方向において、振動子１０９が後述する摩擦部材１０１から遠ざかる向きを＋Ｚ方向、振動子１０９が摩擦部材１０１に近づく方向を−Ｚ方向と定義し、適宜＋Ｚ方向を上方向または上側、−Ｚ方向を下方向または下側として説明に用いる。さらに、Ｘ方向とＺ方向に垂直な方向をＹ方向と定義する。
【００１１】
固定台１１０は、振動波モータ１００の全体を保持すると共に、振動波モータ１００をユニット化している。固定台１１０には、振動子１０９が加圧接触する接触面１０１ａを備えた摩擦部材１０１が２本の固定ビス１１１で固定されている。摩擦部材１０１の接触面１０１ａには、弾性体１０２が押圧により加圧されて接触している。弾性体１０２の一方の面（下側の面）には、突起部１０２ｂ（図３参照）が備えられており、他方の面（上側の面）には接着剤などにより圧電素子１０３が圧着されている。この突起部１０２ｂが摩擦部材１０１の接触面１０１ａに接触している。そして、弾性体１０２に圧電素子１０３が圧着された状態で、圧電素子１０３に電圧を印加することにより超音波領域の周波数の振動（超音波振動）を発生させ、弾性体１０２に楕円運動を発生させることができる。本発明の振動波モータ１００では、弾性体１０２と圧電素子１０３とで振動子１０９を構成している。
【００１２】
圧電素子１０３の上側の面には、遮断部材１１５が備えられている。遮断部材１１５は、圧電素子１０３の超音波振動を減衰させることなく、遮断部材１１５の上側に備えられた小基台１０４への超音波振動の伝播を防ぐ機能を有している。そして、小基台１０４は、遮断部材１１５を介してバネ部材１０７による加圧力を圧電素子１０３に伝える機能を有している。本実施形態では、圧電素子１０３は遮断部材１１５を介して小基台１０４に面接触している。なお、遮断部材１１５の材質としては、フェルト生地が適している。
【００１３】
小基台１０４の上側には加圧部材１０６が備えられている。加圧部材１０６は円盤形状を有する円盤部と当該円盤部からＺ方向に延出する嵌合軸部１０６ｂとを有する。加圧部材１０６の上側には加圧受け部材１０８が備えられ、加圧受け部材１０８は、中央に嵌合孔部１０８ａを有する円盤形状をしており、当該円盤形状を形成している外周側面にはネジ部１０８ｂが形成されている。そして、加圧部材１０６の嵌合軸部１０６ｂが嵌合孔部１０８ａに嵌合し、摩擦部材１０１の接触面１０１ａに対して概ね垂直な方向にのみ移動可能に保持される。
【００１４】
加圧部材１０６の円盤部と加圧受け部材１０８との間には、圧縮コイルバネで構成されたバネ部材１０７が配置されている。バネ部材１０７は、摩擦部材１０１の接触面１０１ａの垂線方向に押圧力を発生する。その押圧力により振動子１０９と摩擦部材１０１とを加圧接触させる。加圧部材１０６は、バネ部材１０７が発生する押圧力を小基台１０４と遮断部材１１５とを介して振動子１０９に伝え、振動子１０９を摩擦部材１０１に加圧接触させる機能を有する。そして、この加圧部材１０６とバネ部材１０７とが本発明の加圧手段となる。
【００１５】
小基台１０４、加圧手段、振動子１０９周りの部品は、保持部材１０５によって保持されている。加圧受け部材１０８のネジ部１０８ｂが保持部材１０５のネジ孔部１０５ｂに螺合することにより、加圧受け部材１０８が固定される。なお、保持部材１０５の機能については、後述で詳細に説明する。
【００１６】
振動子１０９の下側には、支持部材１１４と押さえ板１１３とが備えられている。支持部材１１４は、薄板形状をしており、Ｘ方向よりもＺ方向において弱い剛性の特性を有する。支持部材１１４は振動子１０９を支持し、押さえ板１１３により２本の固定ビス１１２で保持部材１０５に共締め固定される。この支持部材１１４は、保持部材１０５に対して、弾性体１０２のＺ方向の振動を許容するものの、Ｘ方向のガタを生じさせないように弾性体１０２を固定する機能を有している。また、押さえ板１１３は、振動子１０９と所定量の隙間を設けて配置されているため、振動子１０９が−Ｚ方向に所定量以上振動すると、振動子１０９は押さえ板１１３に当接して、それ以上変位できない構成になっている。即ち、この押さえ板１１３は、振動子１０９が−Ｚ方向に所定量以上に変位することを規制する機能を有している。
【００１７】
転動ボール１１６は、保持部材１０５に形成された溝部１０５ｄと天板１１７に形成された溝部１１７ｂ（図４（Ｂ）参照）との間に介在することで、保持部材１０５が天板１１７に対して相対移動可能となるように転動支持されている。天板１１７は、４本の固定ビス１１８で固定台１１０に固定されている。振動波モータ１００には、上述の各部材が組込まれ、振動波モータ１００がユニット化して構成される。
【００１８】
図２（Ａ）は、本発明の振動波モータ１００の平面図であり、図２（Ｂ）は、正面図である。固定台１１０には、二本の固定ビス１１１で摩擦部材１０１が固定されている。さらに天板１１７が四隅を４本の固定ビス１１８で固定台１１０に固定されている。天板１１７の中央には長方形開口１１７ａが空いており、保持部材１０５の突出部１０５ｃが露出している。
【００１９】
弾性体１０２の突起部１０２ｂが摩擦部材１０１に当接した状態で、振動子１０９は摩擦部材１０１の上に載置されている。弾性体１０２は、薄板形状の支持部材１１４を介して保持部材１０５に固定されている。そのため、弾性体１０２は、支持部材１１４の変形により、保持部材１０５に対してＺ方向には自由に振動することができるが、Ｘ方向にはガタなく位置を固定できる構成になっている。
【００２０】
図１を参照すると、振動子１０９と摩擦部材１０１との間にＸ方向の相対的な移動が発生した場合、固定台１１０、摩擦部材１０１、固定ビス１１１、天板１１７及び固定ビス１１８が固定部となる。一方、振動子１０９を含めた、遮断部材１１５、小基台１０４、固定ビス１１２、押さえ板１１３、支持部材１１４、加圧部材１０６、バネ部材１０７及び加圧受け部材１０８、そしてそれらを保持する保持部材１０５が可動部となる。つまり本発明の振動波モータ１００は、駆動源である振動子１０９自身が可動する自走式のモータユニットとなっている。なお、実際のレンズ鏡筒などに組み込まれる際には、保持部材１０５をフォーカス機構やズーム機構に連結して駆動する。
【００２１】
次に、振動波モータ１００の構成部材の詳細について説明する。図３は、図１及び図２における弾性体１０２と支持部材１１４の接合状態を説明するための拡大斜視図で、摩擦部材１０１側（下側）から見た図である。まず、弾性体１０２の構成について説明する。弾性体１０２には、２つの突起部１０２ｂが形成される。突起部１０２ｂの上端面には接触部１０２ｃが形成され、この接触部１０２ｃは、摩擦部材１０１の接触面１０１ａと当接する部分である。一方、弾性体１０２の＋Ｚ方向側の面（即ち、２つの突起部１０２ｂが形成されている面と反対の側の面）には圧電素子１０３が接着剤などにより圧着されている（不図示）。なお、弾性体１０２と圧電素子１０３の圧着は、圧着されればよく、その方法は限定されない。
【００２２】
この圧電素子１０３は、単層で構成されている。そして、この単層で構成された圧電素子１０３に所望の交流電圧を印加して励振させ、圧電素子１０３が圧着された弾性体１０２に２つの振動モードを励起する。このとき２つの振動モードの振動位相を所望の位相差となるように設定することで、接触部１０２ｃには、図３の矢印で示すような楕円運動が発生する。この楕円運動を図１に示すような振動子１０９で発生させ、摩擦部材１０１の接触面１０１ａに伝達することで、摩擦部材１０１に対して振動子１０９自身が直動駆動することが可能となる。
【００２３】
次に、支持部材１１４の構成について説明する。支持部材１１４のＸ方向における両側には、支持部材１１４が弾性体１０２と当接及び接合するため段差部１１４ａが形成されている。そして、当該段差部１１４ａにおいて溶接や接着などの手段により弾性体１０２と支持部材１１４とが接合される。なお、弾性体１０２と支持部材１１４とは接合できればよく、その接合方法は溶接や接着などに限定されない。また、支持部材１１４のＹ方向における両側には、支持部材１１４を保持部材１０５に共締め固定するための固定ビス１１２が貫通する孔部１１４ｂが形成されている。
【００２４】
弾性体１０２は、Ｘ方向よりもＺ方向において弱い剛性の特性を有する薄板形状の支持部材１１４を介して保持部材１０５に固定される。これにより弾性体１０２は、加圧方向であるＺ方向には保持部材１０５に対して自由に振動可能であるが、駆動方向であるＸ方向には保持部材１０５に対して位置ずれなく固定される。
【００２５】
次に、小基台１０４及び保持部材１０５の構成について説明する。図４（Ａ）は、図２（Ａ）の断面線４Ａ−４Ａにおける断面図であって、Ｙ方向の軸に垂直な面で加圧部材１０６の中心を通るような面における断面図である。図４（Ｂ）は、図２（Ｂ）の断面線４Ｂ−４Ｂにおける断面図であって、Ｘ方向の軸に垂直な面で加圧部材１０６の中心を通るような面における断面図である。中心線２０１は、弾性体１０２の重心を通過し、摩擦部材１０１の接触面１０１ａの法線を含む線である。
【００２６】
小基台１０４には、Ｚ方向に延出する２つの軸部１０４ｃが形成されている。また、保持部材１０５には、孔部１０５ａが２か所に設けられ、２つの孔部１０５ａはＺ方向に伸びた長孔形状になっている。小基台１０４の２つの軸部１０４ｃは、孔部１０５ａに遊嵌しており、小基台１０４の傾斜が許容されている。
【００２７】
小基台１０４の上側中央には、当接部１０４ｂが設けられている。この当接部１０４ｂは、図４（Ａ）の断面図において略円弧形状を有すると共に、Ｙ方向に延在する形状、即ち略円筒の一部からなる形状をしている。そして、この当接部１０４ｂには、加圧部材１０６の下端面１０６ａが接触している。この下端面１０６ａの形状は、平面となっているため、下端面１０６ａと当接部１０４ｂとの接触は、Ｙ方向（図４（Ａ）の紙面奥行方向、図４（Ｂ）においては左右方向）に長さを有する線接触となる。したがって、図４（Ａ）における断面図を参照すると、小基台１０４はＹ方向に平行な軸を中心にして、ある程度傾くことが可能となっている。この構成は、仮に製造時の寸法誤差や組み立て誤差、また外乱により部材に傾きが生じた場合でも、摩擦部材１０１の接触面１０１ａに弾性体１０２の接触部１０２ｃが倣うように小基台１０４が傾くことを許容している。小基台１０４が傾斜することにより良好な加圧接触状態が維持される。
【００２８】
保持部材１０５には、ネジ孔部１０５ｂが形成されており、加圧受け部材１０８の外径側面に設けられたネジ部１０８ｂが螺合する。部品のばらつき等が生じた場合でも、加圧受け部材１０８のねじ込み量を変えることにより、このばらつきに応じた加圧力の調整を行うことができる。加圧受け部材１０８の中央に形成された嵌合孔部１０８ａに加圧部材１０６の嵌合軸部１０６ｂが嵌合保持されることで、加圧部材１０６がＺ方向にのみ移動可能な構成となっている。
【００２９】
保持部材１０５には溝部１０５ｄが４つ形成され、天板１１７には各溝部１０５ｄに対応する溝部１１７ｂが４つ形成される。溝部１０５ｄと対応する溝部１０７ｂとの間に転動ボール１１６を挟持することにより、保持部材１０５は天板１１７に対して転動支持されている。そして、天板１１７は、固定台１１０に固定され、バネ部材１０７の付勢力で弾性体１０２の接触部１０２ｃを摩擦部材１０１の接触面１０１ａに加圧接触させたときの反力を受ける役割を担っている。この構成により、Ｚ方向の加圧接触の反力を受けながら、Ｘ方向に移動する際の摩擦抵抗を極力小さくすることができる。また、保持部材１０５の溝部１０５ｄと天板１１７の溝部１１７ｂとに転動ボール１１６が挟まれることで、Ｙ方向に位置決めができるようになる。本発明の振動波モータ１００では、４つの転動ボール１１６を備えてバネ部材１０７の付勢力を受けており、保持部材１０５を天板１１７に対して傾くことなく転動支持することが可能となっている。
【００３０】
圧電素子１０３と小基台１０４との間には、遮断部材１１５が挟み込まれている。遮断部材１１５には、振動を阻害することなく、振動の伝播を遮断する機能を有する材料が用いられている。そのため、圧電素子１０３の超音波振動が阻害されることなく、小基台１０４への振動の伝播を抑えることができる。遮断部材１１５に適した材質として、例えばフェルト生地などが挙げられる。
【００３１】
弾性体１０２の接触部１０２ｃを摩擦部材１０１の接触面１０１ａに加圧接触させるための加圧力を伝えるにあたり、振動子１０９はＺ方向に自由に変位することができる必要がある。また、保持部材１０５には、フォーカス機構やズーム機構が連結されるので保持部材１０５を精度よく駆動するにあたり、振動子１０９は保持部材１０５にガタなく保持されている必要がある。そこで、振動子１０９を薄板形状で形成された支持部材１１４を介して保持部材１０５に固定することにより、振動子１０９はＺ方向の運動の自由度を確保すると共に、Ｘ方向にガタなく保持されることが達成される。
【００３２】
次に、圧電素子１０３について説明する。図５（Ａ）は圧電素子１０３の平面図、図５（Ｂ）は圧電素子１０３の正面図、図５（Ｃ）は圧電素子１０３の底面図である。圧電素子１０３の＋Ｚ方向側の表面には、２つの電極膜１０３ａと１０３ｂが形成されると共に、該電極膜１０３ａと該電極膜１０３ｂの間にＧＮＤ電極膜１０３ｃ１が形成されている。
【００３３】
電極膜１０３ａは、圧電素子１０３の＋Ｚ方向側の面において圧電素子１０３の長辺を等分する線に対し、−Ｘ方向側の略全域に渡って形成され、他方、電極膜１０３ｂも同様に、＋Ｘ方向側の略全域に渡って形成されている。図５（Ａ）において、電極膜１０３ａと電極膜１０３ｂの間隔は、６Ａ−６Ａ線上及び６Ａ’−６Ａ’線上に比べて、６Ｂ−６Ｂ線上で狭くなっている。
【００３４】
ＧＮＤ電極膜１０３ｃ１は、圧電素子１０３の−Ｙ方向側の端部まで延在している（図５（Ａ）参照）。そして、ＧＮＤ電極膜１０３ｃ２が圧電素子１０３の壁面部（−Ｙ方向の側面）の一部を＋Ｚ方向の端部から−Ｚ方向の端部まで延在している（図５（Ｂ）参照）。さらにＧＮＤ電極膜１０３ｃ３が２つの電極膜１０３ａと１０３ｂとが形成された面の反対側の面（−Ｚ方向の面）の一部に設けられている（図５（Ｃ）参照）。この−Ｚ方向の面には、略一面を覆うようにＧＮＤ電極膜１０３ｃが形成されている。そして、−Ｚ方向の面のＧＮＤ電極膜１０３ｃと＋Ｚ方向の面のＧＮＤ電極膜１０３ｃ１とは、壁面のＧＮＤ電極膜１０３ｃ２とＧＮＤ電極膜１０３ｃ３とを介して導通されている。
【００３５】
次に、分極処理について説明する。電極膜１０３ａとＧＮＤ電極膜１０３ｃとの間、及び電極膜１０３ｂとＧＮＤ電極膜１０３ｃとの間に電圧をかけることで分極処理が行なわれる。そして、電極膜１０３ａと電極膜１０３ｂとに対応する領域が分極される。一方、電極膜１０３ａと電極膜１０３ｂの間の領域は、非分極領域１０３ｄであり、分極されない。電極膜１０３ａと電極膜１０３ｂとが特許請求の範囲に記載された２つの分極領域に相当する。
【００３６】
図６（Ａ）乃至（Ｃ）は、上述の分極により歪が残留し、圧電素子１０３が反って凹むような変形が生じる様子を示している。図６（Ａ）は、図５（Ａ）の断面線６Ａ−６Ａ、及び断面線６Ａ’−６Ａ’において分極による歪が圧電素子１０３に影響する様子を示している。分極処理は、電極膜１０３ａとＧＮＤ電極膜１０３ｃとの間、及び電極膜１０３ｂとＧＮＤ電極膜１０３ｃとの間に電圧をかけて行われる。分極処理後は、圧電素子１０３に歪が残留して電圧を印加した方向に圧電素子１０３が膨張する。
【００３７】
圧電素子１０３の＋Ｚ方向の面では、電極膜１０３ａと電極膜１０３ｂとが所定の間隔だけ離れて形成されているのに対し、−Ｚ方向の面では、ＧＮＤ電極膜１０３ｃが略全面に形成されている。電極膜１０３ａ及びＧＮＤ電極膜１０３ｃによって挟まれている圧電素子１０３の領域には、分極処理によって厚み方向に均一な残留歪ＳＴ１が生じる。電極膜１０３ｂ及びＧＮＤ電極膜１０３ｃによって挟まれている圧電素子１０３の領域も同様に、厚み方向に均一な残留歪ＳＴ１が生じる。一方、電極膜１０３ａと電極膜１０３ｂとの間の圧電素子１０３の領域は、ＧＮＤ電極膜１０３ｃの対向する面に電極膜１０３ａや電極膜１０３ｂがないため、電極膜１０３ａの端部や電極膜１０３ｂの端部との間で分極処理がなされる。そのため、厚み方向に対して傾いた方向に残留歪ＳＴ２が生じる。この厚み方向に対して傾いた残留歪ＳＴ２によって、圧電素子１０３には−Ｚ方向の面の中央が凹むような反りが生じることになる。ここで、断面線６Ａ−６Ａ及び断面線６Ａ’−６Ａ’において、分極処理による圧電素子１０３の変形量を反り量ｄ１とする。
【００３８】
図６（Ｂ）は、図５（Ａ）の断面線６Ｂ−６Ｂにおいて分極による歪が圧電素子１０３に影響する様子を示している。図６（Ａ）で説明したメカニズムと同様に、圧電素子１０３には、−Ｚ方向の面の中央が凹むような反りが生じる。図６（Ａ）の場合と比較して異なることは、断面線６Ｂ−６Ｂにおける電極膜１０３ａと電極膜１０３ｂとの間隔が、断面線６Ａ−６Ａ及び断面線６Ａ’−６Ａ’における間隔より狭くなっていることである。そのため、厚み方向に対して傾いた方向の残留歪ＳＴ３は、圧電素子１０３の長辺の中央に近い領域で発生する。そのため、断面線６Ｂ−６Ｂにおける反り量ｄ２は、断面線６Ａ−６Ａ及び断面線６Ａ’−６Ａ’における反り量ｄ１よりも大きくなる。
【００３９】
図６（Ｃ）は、図５（Ｃ）の断面線６Ｃ−６Ｃにおいて分極による歪が圧電素子１０３に影響する様子を示している。図６（Ａ）及び図６（Ｂ）で説明したように、断面線６Ｂ−６Ｂにおける反り量ｄ２は、断面線６Ａ−６Ａ及び断面線６Ａ’−６Ａ’における反り量ｄ１よりも大きくなる。そのため、断面線６Ｃ−６Ｃにおいても、圧電素子１０３は−Ｚ方向の面の中央が凹むような反りが生じることになる。
【００４０】
図６（Ａ）乃至（Ｃ）で説明したように、圧電素子１０３は、分極処理により−Ｚ方向の表面の中央が凹むように変形する。そして、この変形した面に弾性体１０２が向き合わされ、圧電素子１０３には、弾性体１０２との固着面１０２ａの中央部に空間部が形成される。この空間部が存在すると、圧電素子１０３と弾性体１０２とを接着剤等で固着する際に、固着面１０２ａの中央部に空気を巻き込みやすくなる上、もし空気を巻き込んだ場合、巻き込んだ空気が固着する面の中央に溜まりやすくなる。本発明の実施形態では、圧電素子１０３と弾性体１０２との接着界面に巻き込まれた空気を排出する手段が備えられている。
【００４１】
（従来例）
次に、従来例について説明する。図１５（Ａ）乃至（Ｃ）には、従来例の弾性体１３２を用いた例が示されている。従来例の弾性体１３２と圧電素子１０３とを接着剤等で固着すると、圧電素子１０３の−Ｚ方向の面の中央部が凹んでいるため、その凹部に空気溜まり（空隙１３３）が発生する。この空隙１３３の領域では、圧電素子１０３と弾性体１３２とが固着されていないため、固着面積が減少し圧電素子１０３の振動が弾性体１３２に伝わらず、振動効率が低下していた。なお、空隙１３３は、圧電素子１０３と弾性体１３２との間にあるので実際には見えないが、圧電素子１０３を通して見た場合の空隙１３３が破線で描かれている。
【００４２】
（実施例１）
図７（Ａ）は、本発明の実施例１の弾性体１０２の平面図（＋Ｚ方向の側から見た図）、図７（Ｂ）は、当該弾性体１０２の側面図（＋Ｘ方向の側から見た図）、図７（Ｃ）は、当該弾性体１０２の正面図（−Ｙ方向の側から見た図）である。
【００４３】
弾性体１０２は、圧電素子１０３と固着する固着面１０２ａを有すると共に、圧電素子１０３との固着面１０２ａの反対側の面（−Ｚ方向の側）に突出した２つの突起部１０２ｂを有する。突起部１０２ｂの上端面には、摩擦部材１０１の接触面１０１ａと当接する面の形態を有する接触部１０２ｃが設けられている。固着面１０２ａには、弾性体１０２の短辺を等分する略中央部分においてＸ方向に延びるＶ字の溝の形態を有する溝部１０２ｄが設けられている。
【００４４】
溝部１０２ｄは、圧電素子１０３を弾性体１０２に固着する際に巻き込まれた空気、または固着面１０２ａに溜まった空気を−Ｘ方向の端部もしくは＋Ｘ方向の端部から外部に排出させる機能を有する。これにより、空気溜まりによって固着面積が減少し振動効率が低下してしまうことを防止することが可能となる。
【００４５】
図７（Ｂ）では溝部１０２ｄはＶ字溝の形状で描かれているが、空気を抜く機能を有する溝形状として、例えばＵ字溝、四角溝など他の溝形状を採用することができる。また空気を抜くために溝部１０２ｄを備えているが、空気を抜くことができれば他の手段でも構わない。
【００４６】
本発明の実施形態では、図５に示すような２つの分極領域を有する圧電素子１０３を用いて、分極処理によって発生する反りを説明した。しかし分極処理によって発生する反りは、２つの分極領域に限定されるものではない。分極領域と非分極領域１０３ｄとを有する圧電素子１０３であれば、その境界部において分極による膨張率の差が必ず生じる。そして、境界部近傍では反りが発生し、凹凸が生じてしまう。そのため、任意の複数の分極領域を有する圧電素子１０３についても、非分極領域１０３ｄまたは非分極領域１０３ｄの近傍に位置するような空気を排出する手段（溝または孔）を設けることで、空気溜まりを減少させ、固着面積の減少を防止することができる。そして、振動効率が低下してしまうことを防止することが可能となる。
【００４７】
図８（Ａ）乃至（Ｃ）には、本発明の実施例１の弾性体１０２を備えた振動子１０９における、溜まった空気を排出するメカニズムが示されている。本発明の実施例１の弾性体１０２の固着面１０２ａには、短辺を等分する略中央部分においてＸ方向に延びる溝部１０２ｄが形成されている。そのため、圧電素子１０３の固着の際に空気が巻き込まれて溜まったとしても、矢印で示すように溜まった空気が溝部１０２ｄを介して外部に排出される。そのため本発明の構成では、空隙１３３’は発生しにくく、もし発生したとしても極めて小さい空隙１３３’となる。このように本発明の弾性体１０２では、固着面１０２ａに溝部１０２ｄを設けることで、圧電素子１０３と弾性体１０２とを接着剤等で固着する際に、固着面１０２ａの中央に空気が滞留しないようにしている。そして、空気を溜まりにくくすることで、固着面積が減少して振動効率が低下してしまうことを防止している。
【００４８】
次に、振動子１０９が発生する２つの曲げ振動モードについて説明をする。図９（Ａ）は、Ｘ方向の２次の曲げ振動モードの態様を示している。図９（Ｂ）は、Ｙ方向の１次の曲げ振動モードの態様を示している。弾性体１０２と圧電素子１０３とは固着され一体化されており、振動子１０９を構成している。圧電素子１０３に高周波の交流電圧を印加することで、圧電素子１０３は伸縮するのに対して、弾性体１０２は伸縮しないため、圧電素子１０３と弾性体１０２の伸縮差により振動子１０９にＸ方向の２次の曲げ振動モードが励起される。
【００４９】
まず、図９（Ａ）を参照して２次の曲げ振動モードについて説明する。２次の曲げ振動モードは、振動の節を節位置１２１ａ、節位置１２１ｂ、節位置１２１ｃに有すると共に、振動の腹を腹位置１２２ａ、腹位置１２２ｂに有する。また弾性体１０２の節位置１２１ａ、節位置１２１ｂ、節位置１２１ｃでは、２次の曲げ振動モードによるＺ方向の振動は非常に小さい。前述の弾性体１０２の接触部１０２ｃは、節位置１２１ａと節位置１２１ｃに設けられているため、２次の曲げ振動モードによってＺ方向には振動しないが、Ｘ方向に振動する。このような位置に接触部１０２ｃを設けることで、Ｘ方向の２次の曲げ振動モードにより、接触部１０２ｃにＸ方向の振動を起こすように構成している。
【００５０】
次に、図９（Ｂ）を参照して、Ｙ方向の１次の曲げ振動モードを説明する。１次の曲げ振動モードは、振動の節を節位置１２１ｄ、節位置１２１ｅに有すると共に、振動の腹を腹位置１２２ｃに有する。節位置１２１ｄ、節位置１２１ｅでは、１次の曲げ振動モードによるＺ方向の振動は非常に小さい。一方、腹位置１２２ｃでは、１次の曲げ振動モードによるＺ方向の振動は大きい。前述の接触部１０２ｃは、腹位置１２２ｃに設けられているため、１次の曲げ振動モードによってＸ方向には振動しないが、Ｚ方向には振動する。このような位置に接触部１０２ｃを設けることで、Ｙ方向の１次の曲げ振動モードにより、接触部１０２ｃにＺ方向の振動を起こすように構成している。本発明の振動波モータ１００の振動子１０９は、直交する二つの曲げ振動モードを組み合わせて弾性体１０２の接触部１０２ｃに楕円運動を発生させている。そして、本発明の振動波モータ１００では、溝部１０２ｄが１次の曲げ振動モードの腹位置１２２ｃに形成されている。
【００５１】
次に、図１０（Ａ）、（Ｂ）を参照して、２つの曲げ振動モードにおける歪の大きさについて説明する。図１０（Ａ）は、２次の曲げ振動モードにおける各位置の歪を示している。図１０（Ａ）において、横軸ｘはＸ方向における位置であり、縦軸Ｓｔｒは歪である。Ｘ方向の位置が２次の曲げ振動モードの腹位置１２２ａでは、歪は正の方向の最大値Ｓｔｒ２となり、Ｘ方向の位置が２次の曲げ振動モードの腹位置１２２ｂでは、歪は負の方向の最大値−Ｓｔｒ２となる。腹位置１２２ａと腹位置１２２ｂの中間地点は、節位置１２１ｂであるため、歪はゼロとなる。
【００５２】
図１０（Ｂ）は、１次の曲げ振動モードにおけるＹ方向の歪を示している。図１０（Ｂ）において、横軸ｙはＹ方向における位置であり、縦軸Ｓｔｒは歪である。Ｙ方向の位置が１次の曲げ振動モードの腹位置１２２ｃでは、歪は最大値Ｓｔｒ１となる。図１０（Ａ）と図１０（Ｂ）において、２次の曲げ振動モードの歪の最大値Ｓｔｒ２と１次の曲げ振動モードの歪の最大値Ｓｔｒ１とを比較すると、１次の曲げ振動モードは振動モード次数が小さいので曲がりやすく、結果として歪が大きくなる。つまり、２次の曲げ振動モードにおける歪の最大値Ｓｔｒ２よりも１次の曲げ振動モードにおける歪の最大値Ｓｔｒ１の方が大きい。そのため本発明の振動子１０９では、１次の曲げ振動モードの腹位置１２２ｃにおいて、最大値Ｓｔｒ１の歪が発生する。そして、振動波モータ１００から駆動力を得るために圧電素子１０３は、１次の曲げ振動モードの振動と２次の曲げ振動モードの振動とを合わせた合成振動を発生させている。
【００５３】
本発明の振動波モータ１００では、図９（Ｂ）に示すように溝部１０２ｄは、１次の曲げ振動モードの腹位置１２２ｃに形成される。溝部１０２ｄの部分において、弾性体１０２の剛性は弱くなるので、弾性体１０２は屈曲しやすくなる。この剛性の低下により、弾性体１０２の接触部１０２ｃに発生する楕円運動の振幅が大きくなり、安定したモータ性能を実現することができる。なお、溝部１０２ｄは、１次の曲げ振動モードの腹位置１２２ｃの近傍に形成されていてもよい。
【００５４】
図１１は、本発明の振動波モータ１００が組み込まれたレンズ装置１及びレンズ装置１に取り付けられた撮像装置２７の断面図である。まず、レンズ装置１の主要構成部材について説明する。レンズ装置１はレンズ外筒１１を備え、レンズ外筒１１の−Ｘ方向端部には、第１レンズＬ１及び当該第１レンズＬ１を保持する保持枠１２が取り付けられると共に、＋Ｘ方向端部には、第３レンズＬ３が取り付けられている。レンズ外筒１１の内部には、フォーカスレンズＬ２、当該フォーカスレンズＬ２を保持する保持部材１３、当該保持部材１３を保持する保持軸１４、保持部材１３のＸ軸周りの回転を防止する回転止め軸１５が備えられている。さらに、フォーカスレンズ位置検出手段１６、演算処理部２０及び振動波モータ１００が備えられている。また、レンズ外筒１１の外部表面には、被写体距離表示手段１９が備えられている。
【００５５】
保持部材１３は、Ｘ方向に移動可能に配置されており、保持部材１３によって保持されるフォーカスレンズＬ２もまたＸ方向に移動可能となっている。保持部材１３には、Ｘ方向に延びる丸穴１３ａとＵ字穴１３ｂが形成されると共に、ＹＺ平面に対してＸ軸回りに±４５°傾いた２つの斜面からなる切り欠き部１３ｃが形成されている。この切り欠き部１３ｃは、後述する球面部１０５ｅと当接するようになっている。
【００５６】
保持軸１４は、フォーカスレンズＬ２の保持部材１３を保持している。保持軸１４は、保持部材１３に形成された丸穴１３ａと係合することで、保持部材１３をＸ方向に移動可能に保持している。また保持軸１４は、筒状のレンズ外筒１１の壁部と保持枠１２とに挟まれて固定保持されている。回転止め軸１５は、保持部材１３に形成されたＵ字穴１３ｂに係合することにより、保持部材１３のＸ軸周りの回転を防止している。
【００５７】
保持部材１０５は、振動波モータ１００における可動部の部材であり、固定側の部材である固定台１１０に対してＸ方向に相対的に駆動される。振動波モータ１００の駆動力は、保持部材１０５に備えられた球面部１０５ｅに伝えられる。この球面部１０５ｅは、保持部材１３に備えられた切り欠き部１３ｃと当接し、振動波モータ１００のＸ方向の駆動力がこの当接を介して保持部材１３に伝えられる。この駆動力により、フォーカスレンズＬ２がＸ方向に駆動される。固定台１１０は、レンズ外筒１１に固定されている。
【００５８】
球面部１０５ｅは＋Ｚ方向に付勢されて切り欠き部１３ｃに当接することにより、切り欠き部１３ｃと球面部１０５ｅとは、Ｘ方向にガタなく当接することが可能となっている。このような構成とすることで、保持部材１０５と保持部材１３とは、Ｘ方向に一体的に動くことができる。これによりフォーカスレンズＬ２を振動波モータ１００でオーバーシュートなく高精度に駆動制御することができる。
【００５９】
レンズ外筒１１の内部には、フォーカスレンズＬ２の位置を検出するためのフォーカスレンズ位置検出手段１６が備えられており、保持部材１３には、スケール１７が貼り付けられている。スケール１７には、低反射部と高反射部とが所定ピッチで交互に並んだパターンが形成されている。フォーカスレンズ位置検出手段１６は、スケール１７に赤外光１６ａを投光すると共に、スケール１７で反射した反射光を受光する。受光した反射光の強度変化の回数をカウントすることで、フォーカスレンズ位置検出手段１６とスケール１７との相対位置関係を算出する。この算出結果から、保持部材１３に保持されたフォーカスレンズＬ２の位置を検出することができる。
【００６０】
レンズ外筒１１の内部には、演算処理部２０が備えられ、演算処理部２０はレンズ装置１における全ての演算、制御、記憶を担っている。演算処理部２０の記憶領域には、レンズ情報が保存されており、レンズ情報は被写体距離算出時に用いられる。このレンズ情報には、フォーカスレンズ位置検出手段１６の検出結果と被写体距離とが対応したテーブル情報も含まれる。演算処理部２０は、記憶領域に保存されているこのレンズ情報と、フォーカスレンズ位置検出手段１６の検出結果に基づいて、被写体距離を算出する被写体距離算出手段としての機能を果たしている。
【００６１】
演算処理部２０は、フォーカスレンズ位置検出手段１６の検出結果に基づいて、フォーカス駆動信号を生成すると共に、振動波モータ１００を目標位置へ駆動させるように指示する。したがって、演算処理部２０は、フォーカス駆動信号生成手段としての機能も果たしている。なお、レンズ外筒１１の外部には、演算処理部２０で算出された被写体距離を表示する被写体距離表示手段１９が備えられている。
【００６２】
レンズ外筒１１の＋Ｘ方向端部には、撮像装置取付部１８が設けられ、また撮像装置２７の−Ｘ方向端部にはレンズ装置取付部２１が設けられている。撮像装置取付部１８がレンズ装置取付部２１に係合することによって、レンズ装置１は、撮像装置２７に取り付けられる。撮像装置取付部１８とレンズ装置取付部２１とは、Ｘ軸周りのバヨネット連結であり、レンズ装置１と撮像装置２７とが脱着可能な構成となっている。
【００６３】
次に、撮像装置２７の主要構成部材について説明する。撮像装置２７は、カメラ外装２２を有し、当該カメラ外装２２の内部に撮像素子２３、カメラ演算処理部２４、記憶手段２５が備えられている。そして、カメラ外装２２の＋Ｘ方向の外側面には、外部表示手段２６が備えられている。カメラ外装２２の−Ｘ方向端部には、フォーカスレンズＬ２を透過した撮影光束を取り込むための円形開口を有するレンズ装置取付部２１が備えられている。
【００６４】
撮像素子２３は、フォーカスレンズＬ２を透過した撮影光束の結像面近傍に配置されており、結像した被写体像を映像信号に変換する。カメラ演算処理部２４は、撮像装置２７における全ての演算、制御、記憶を担っている。記憶手段２５は、カメラ演算処理部２４からの指令信号に基づいて、撮像素子２３で得られた映像信号を保存する手段としての機能を果たしている。外部表示手段２６は、カメラ演算処理部２４からの指令信号に基づいて、撮像素子２３で得られた映像信号を表示する。
【００６５】
撮像装置２７は、撮像素子２３で得られた映像信号を外部表示手段２６に表示する第１の撮影モードと、撮像素子２３で得られた映像信号を記憶手段２５に保存する第２の撮影モードの少なくとも２つのモードを有する。この撮影モードは、カメラ外装２２に設けられた不図示の入力手段の入力結果に基づいて、カメラ演算処理部２４が判断して切り換えられる。
【００６６】
撮像装置２７にレンズ装置１が取り付けられている状態では、レンズ装置１の演算処理部２０と撮像装置２７のカメラ演算処理部２４とは、通信線が接続されて通信可能となっている。これにより演算処理部２０とカメラ演算処理部２４とは、互いの状態を把握することが可能となる。そして、レンズ装置１の演算処理部２０は、撮像装置２７の撮影モードに応じて、被写体距離表示手段１９に表示する被写体距離を更新する周期を切り替えることが可能となる。
【００６７】
以上、本発明の実施例１では、圧電素子１０３の非分極領域１０３ｄの位置に対応する弾性体１０２の固着面１０２ａに溝部１０２ｄが設けられている。溝部１０２ｄは、弾性体１０２の固着面１０２ａの中央近傍を通るように設けられている。また、溝部１０２ｄの位置は、１次の曲げ振動モードにおいて歪が最も大きくなる腹位置１２２ｃである。この溝部１０２ｄにより、圧電素子１０３の中央部に空気を溜まりにくくしている。これにより、圧電素子１０３の分極による歪で生じる中央凹部に溜まる空気による振動効率の低下の影響を受けにくくなり、安定したモータ性能を有する振動波モータ１００及び振動波モータ１００を備えたレンズ装置１を実現することができる。
【００６８】
（実施例２）
実施例１では、固着面１０２ａに形成された溝部１０２ｄは、１次の曲げ振動モードにおいて歪が最も大きくなる腹位置１２２ｃに設けられている。実施例２では、空気を排出するための溝部２０２ｄを２次の曲げ振動モードにおいて歪が小さい節位置１２１ｂに設けており、溝部２０２ｄの配置が実施例１と異なっている。なお、実施例１と同一部材のものは、同一記号で図示される。また実施例１と同じところは説明を省略し、実施例１と異なるところだけ説明する。
【００６９】
図１２（Ａ）は、本発明の実施例２の弾性体２０２の平面図（＋Ｚ方向の側から見た図）、図１２（Ｂ）は、当該弾性体２０２の正面図（−Ｙ方向の側から見た図）である。溝部２０２ｄは、固着面２０２ａの長辺を等分する略中央においてＹ方向に延びるＶ字溝であり、固着面２０２ａの−Ｙ方向端部から＋Ｙ方向端部まで形成されている。この溝部２０２ｄを介して、固着面２０２ａに溜まった空気を−Ｙ方向端部もしくは＋Ｙ方向端部から外部に排出することができる。これにより、空気溜まりで固着面積が減少して振動効率が低下してしまうことを防止することが可能となる。
【００７０】
図１３（Ａ）は、Ｘ方向の２次の曲げ振動モードの節と腹の位置を示している。図１３（Ｂ）はＹ方向の１次の曲げ振動モードの節と腹の位置を示している。通常、固着面２０２ａに溝部２０２ｄ等を設けると、固着面積が減少する。そして、固着されていない部分では、圧電素子１０３の伸縮が弾性体２０２に伝わらないため、振動効率が落ちてしまう。そこで本発明の実施例２では、弾性体２０２と圧電素子１０３との固着面積の減少による弊害を可能な限り少なくするために、図１３（Ａ）に示すように歪が最も少ない部位である２次の曲げ振動モードの節位置１２１ｂに溝部２０２ｄを設けている。この構成により、溝部２０２ｄを設けることによる振動効率の低下を抑制することができ、安定したモータ性能を実現することができる。なお、溝部２０２ｄは、２次の曲げ振動モードの節位置１２１ｂの近傍に形成されていてもよい。
【００７１】
以上、本発明の実施例２では、圧電素子１０３の非分極領域１０３ｄの位置に対応する弾性体２０２の固着面２０２ａに溝部２０２ｄが設けられている。溝部２０２ｄは、弾性体２０２の固着面２０２ａの中央近傍を通るように設けられている。また、溝部２０２ｄの位置は、２次の曲げ振動モードにおいて歪が最も少ない節位置１２１ｂである。この溝部２０２ｄにより、圧電素子１０３の中央部に空気を溜まりにくくしている。これにより、圧電素子１０３の分極による歪で生じる中央凹部に溜まる空気による振動効率の低下の影響を受けにくくなり、安定したモータ性能を有する振動波モータ１００及び振動波モータ１００を備えたレンズ装置１を実現することができる。
【００７２】
（実施例３）
実施例１及び実施例２では、溝部１０２ｄ、溝部２０２ｄによって空気を排出させている。実施例３では、固着面３０２ａに孔形状部を設けて空気を排出させており、この孔形状部が実施例１及び実施例２と異なっている。なお、実施例１及び実施例２と同一部材のものは、同一記号で図示される。また実施例１及び実施例２と同じところは説明を省略し、実施例１及び実施例２と異なるところだけ説明する。
【００７３】
図１４は、本発明の実施例３の弾性体３０２を示している。孔部３０２ｄは、固着面３０２ａに設けられており、固着面３０２ａの短辺を等分する位置及び長辺を等分する位置、即ち固着面３０２ａのほぼ中央に設けられ、Ｚ方向に貫通している。この孔部３０２ｄを介して、固着面３０２ａに溜まった空気を弾性体３０２の−Ｚ方向の側へ排出することができる。これにより空気溜まりで固着面積が減少して駆動効率が低下してしまうことを防止することが可能となる。なお、孔部３０２ｄは、１次の曲げ振動モードの腹位置１２２ｃの近傍及び２次の曲げ振動モードの節位置１２１ｂの近傍に形成されていてもよい。
【００７４】
以上、本発明の実施例３では、圧電素子１０３の非分極領域１０３ｄの位置に対応する弾性体３０２の固着面３０２ａに孔部３０２ｄが設けられている。孔部３０２ｄは、弾性体３０２の固着面３０２ａの中央近傍に設けられている。この孔部３０２ｄにより、圧電素子１０３の中央部に空気を溜まりにくくしている。これにより、圧電素子１０３の分極による歪で生じる中央凹部に溜まる空気による振動効率の低下の影響を受けにくくなり、安定したモータ性能を有する振動波モータ１００及び振動波モータ１００を備えたレンズ装置１を実現することができる。以上、本発明の好ましい実施例について説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
【符号の説明】
【００７５】
１        レンズ装置
１００    振動波モータ
１０１    摩擦部材
１０１ａ  接触面
１０２    弾性体
１０２ａ、２０２ａ、３０２ａ  固着面
１０２ｃ  接触部
１０２ｄ  溝部
３０２ｄ  孔部
１０３    圧電素子
１０３ａ、１０３ｂ  電極膜（分極領域）
１０３ｄ  非分極領域
１０９    振動子
１２１ｂ  ２次の曲げ振動モードの節位置
１２２ｃ  １次の曲げ振動モードの腹位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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