(57)【要約】【課題】摩耗や摩耗に伴う発塵を抑制することができ、しかも製造する製品の種類に応じて可動部配線用ケーブルの仕様やエアチューブの本数を柔軟に変更することが可能な可動部配線用フラットケーブルを提供する。【解決手段】可動部配線用ケーブル１０１が挿抜可能に形成された丸型チューブ１０２と支持部材１０３が挿入されている角型チューブ１０４とを並列に配置させてなる可動部配線用フラットケーブル１００である。【選択図】図１
2017021903.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動部配線用ケーブルが挿抜可能に形成された丸型チューブと支持部材が挿入されている角型チューブとを並列に配置させてなる可動部配線用フラットケーブルであって、
前記丸型チューブは、円筒形状に形成されると共にポリウレタン樹脂からなる高弾性チューブと、前記高弾性チューブの外周に形成されると共にフッ素ゴムとフッ素樹脂とを含有する絶縁材料からなる外層と、を備えており、
前記角型チューブは、角筒形状に形成されると共にポリウレタン樹脂からなる高弾性チューブと、前記高弾性チューブの外周に形成されると共にフッ素ゴムとフッ素樹脂とを含有する絶縁材料からなる外層と、を備えており、
前記丸型チューブと前記角型チューブとが前記外層で相互に固定されていることを特徴とする可動部配線用フラットケーブル。
【請求項２】
可動部配線用ケーブルが挿抜可能に形成された丸型チューブと支持部材が挿入されている角型チューブとを並列に配置させてなる可動部配線用フラットケーブルであって、
前記丸型チューブは、円筒形状に形成されると共にポリウレタン樹脂からなる高弾性チューブと、前記高弾性チューブの外周に形成されると共に導電性微粒子と絶縁樹脂とを含有する半導電性材料からなる中間層と、前記中間層の外周に形成されると共にフッ素ゴムとフッ素樹脂とを含有する絶縁材料からなる外層と、を備えており、
前記角型チューブは、角筒形状に形成されると共にポリウレタン樹脂からなる高弾性チューブと、前記高弾性チューブの外周に形成されると共に導電性微粒子と絶縁樹脂とを含有する半導電性材料からなる中間層と、前記中間層の外周に形成されると共にフッ素ゴムとフッ素樹脂とを含有する絶縁材料からなる外層と、を備えており、
前記丸型チューブと前記角型チューブとが前記外層で相互に固定されていることを特徴とする可動部配線用フラットケーブル。
【請求項３】
前記導電性微粒子がカーボンブラックであると共に、前記絶縁樹脂が塩化ビニル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、又はポリオレフィン樹脂である請求項２に記載の可動部配線用フラットケーブル。
【請求項４】
前記絶縁材料は、９５：５〜２０：８０の質量比で前記フッ素ゴムと前記フッ素樹脂とを含有する請求項１から３の何れか一項に記載の可動部配線用フラットケーブル。
【請求項５】
前記フッ素樹脂は、９９．５：０．５〜７５：２５の質量比でポリテトラフルオロエチレンと溶融性フッ素樹脂とを含有する請求項４に記載の可動部配線用フラットケーブル。
【請求項６】
前記丸型チューブと前記角型チューブは、前記高弾性チューブの内周に形成されると共にフッ素樹脂からなる内層を更に備えている請求項１から５の何れか一項に記載の可動部配線用フラットケーブル。
【請求項７】
前記可動部配線用ケーブルは、フッ素樹脂からなる最外層を備えている請求項１から６の何れか一項に記載の可動部配線用フラットケーブル。
【請求項８】
前記支持部材は、一方向に一定曲率半径でしか屈曲しないチェーンからなる請求項１から７の何れか一項に記載の可動部配線用フラットケーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、繰り返しＵ字屈曲を受ける可動部配線用フラットケーブルに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体等を製造するための精密製造ラインにおいては、面実装装置等の動作に合わせて繰り返しＵ字屈曲を受ける可動部配線用ケーブルの断線を防止するため、可動部配線用ケーブルをケーブルベア(登録商標)に保持させている（例えば、特許文献１を参照）。このとき、可動部配線用ケーブルの繰り返しＵ字屈曲を実現するため、可動部配線用ケーブルとエアチューブとを並列に接着させて可動部配線用フラットケーブルとすることがある（例えば、特許文献２を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２４３８３９号公報
【特許文献２】特開２００９−２４６２８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、可動部配線用ケーブルの断線を防止すべく、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）樹脂、ポリウレタン（ＰＵ）樹脂、又はポリオレフィン（ＰＯ）樹脂等の柔軟性が高い樹脂からなるジャケットを採用して可動部配線用フラットケーブルの可撓性を向上させているため、繰り返しＵ字屈曲を受ける際に可動部配線用フラットケーブルの直進性を維持することが困難であり、可動部配線用フラットケーブルが垂れてケーブルベア等の構造物と接触してしまうことがある。そうすると、可動部配線用フラットケーブルが摩耗したり摩耗に伴う発塵が増加したりするため、精密製造ラインにおける製品不良の頻発が懸念されることになる。
【０００５】
更に、近年は、単一の精密製造ラインを使用して複数種類の製品を製造するマルチパーパス生産方式の採用が進められており、製造する製品の種類に応じて可動部配線用ケーブルの仕様やエアチューブの本数を柔軟に変更する必要があるが、可動部配線用ケーブルとエアチューブとを一体化させているため、可動部配線用ケーブルの仕様やエアチューブの本数を後から変更することはできない。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、摩耗や摩耗に伴う発塵を抑制することができ、しかも製造する製品の種類に応じて可動部配線用ケーブルの仕様やエアチューブの本数を柔軟に変更することが可能な可動部配線用フラットケーブルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、可動部配線用ケーブルが挿抜可能に形成された丸型チューブと支持部材が挿入されている角型チューブとを並列に配置させてなる可動部配線用フラットケーブルであって、前記丸型チューブは、円筒形状に形成されると共にポリウレタン樹脂からなる高弾性チューブと、前記高弾性チューブの外周に形成されると共にフッ素ゴムとフッ素樹脂とを含有する絶縁材料からなる外層と、を備えており、前記角型チューブは、角筒形状に形成されると共にポリウレタン樹脂からなる高弾性チューブと、前記高弾性チューブの外周に形成されると共にフッ素ゴムとフッ素樹脂とを含有する絶縁材料からなる外層と、を備えており、前記丸型チューブと前記角型チューブとが前記外層で相互に固定されている可動部配線用フラットケーブルである。
【０００８】
また、本発明は、可動部配線用ケーブルが挿抜可能に形成された丸型チューブと支持部材が挿入されている角型チューブとを並列に配置させてなる可動部配線用フラットケーブルであって、前記丸型チューブは、円筒形状に形成されると共にポリウレタン樹脂からなる高弾性チューブと、前記高弾性チューブの外周に形成されると共に導電性微粒子と絶縁樹脂とを含有する半導電性材料からなる中間層と、前記中間層の外周に形成されると共にフッ素ゴムとフッ素樹脂とを含有する絶縁材料からなる外層と、を備えており、前記角型チューブは、角筒形状に形成されると共にポリウレタン樹脂からなる高弾性チューブと、前記高弾性チューブの外周に形成されると共に導電性微粒子と絶縁樹脂とを含有する半導電性材料からなる中間層と、前記中間層の外周に形成されると共にフッ素ゴムとフッ素樹脂とを含有する絶縁材料からなる外層と、を備えており、前記丸型チューブと前記角型チューブとが前記外層で相互に固定されている可動部配線用フラットケーブルである。
【０００９】
前記導電性微粒子がカーボンブラックであると共に、前記絶縁樹脂が塩化ビニル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、又はポリオレフィン樹脂であることが望ましい。
【００１０】
前記絶縁材料は、９５：５〜２０：８０の質量比で前記フッ素ゴムと前記フッ素樹脂とを含有することが望ましい。
【００１１】
前記フッ素樹脂は、９９．５：０．５〜７５：２５の質量比でポリテトラフルオロエチレンと溶融性フッ素樹脂とを含有することが望ましい。
【００１２】
前記丸型チューブと前記角型チューブは、前記高弾性チューブの内周に形成されると共にフッ素樹脂からなる内層を更に備えていることが望ましい。
【００１３】
前記可動部配線用ケーブルは、フッ素樹脂からなる最外層を備えていることが望ましい。
【００１４】
前記支持部材は、一方向に一定曲率半径でしか屈曲しないチェーンからなることが望ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、摩耗や摩耗に伴う発塵を抑制することができ、しかも製造する製品の種類に応じて可動部配線用ケーブルの仕様やエアチューブの本数を柔軟に変更することが可能な可動部配線用フラットケーブルを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の可動部配線用フラットケーブルを示す断面図である。
【図２】可動部配線用ケーブルの一例を示す断面図である。
【図３】可動部配線用ケーブルの一例を示す断面図である。
【図４】支持部材の一例を示す側面図と部分斜視図である。
【図５】本発明の可動部配線用フラットケーブルを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に順って説明する。
【００１８】
図１に示す通り、本発明の実施の形態に係る可動部配線用フラットケーブル１００は、可動部配線用ケーブル１０１が挿抜可能に形成された丸型チューブ１０２と支持部材１０３が挿入されている角型チューブ１０４とを並列に配置されて融着（例えば、熱風融着）等の方法により固定させてなる。この丸型チューブ１０２の内径は、可動部配線用ケーブル１０１が挿抜可能な大きさに形成され、複数本の丸型チューブ１０２のうち、一部をエア駆動のためのエアチューブとし利用しその他に可動部配線用ケーブル１０１を挿入しても、全てに可動部配線用ケーブル１０１を挿入しても（エアチューブとして利用するもの無し）、一部を未使用であっても構わない。
【００１９】
以下では、エアチューブと可動部配線用ケーブルとを混在して用いる可動部配線用フラットケーブル１００で説明を行う。可動部配線用ケーブル１０１が挿入されている丸型チューブ１０２と可動部配線用ケーブル１０１が挿入されていない丸型チューブ１０２と支持部材１０３が挿入されている角型チューブ１０４とを如何なる順番で配置するかは任意であり、また１本の丸型チューブ１０２に何本の可動部配線用ケーブル１０１を挿入するかも任意である。但し、バランスの観点からは、角型チューブ１０４が可動部配線用ケーブル１０１の両側や中央に配置されていることが望ましい。
【００２０】
ここで、可動部配線用ケーブル１０１が挿入されていない丸型チューブ１０２に空気を導入したり、空気を排出したりすることにより、可動部配線用フラットケーブル１００が取り付けられる装置のエア駆動源として用いることができる。
【００２１】
可動部配線用ケーブル１０１は、電気ケーブルでも光ケーブルでも良いが、例えば、図２に示す通り、複数本の導体１０５を撚り合わせてなる撚導体１０６の周囲に最外層となる絶縁体１０７を被覆してなる。
【００２２】
このとき、絶縁体１０７は、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）樹脂、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）樹脂、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）樹脂、又はポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）樹脂等の発塵性の低いフッ素樹脂からなることが望ましい。
【００２３】
これにより、可動部配線用ケーブル１０１が挿入されている丸型チューブ１０２において、可動部配線用ケーブル１０１と丸型チューブ１０２との接触に伴う摩耗や摩耗に伴う発塵を抑制することが可能となる。
【００２４】
また、可動部配線用ケーブル１０１は、例えば、図３に示す通り、複数本の電線１０８を撚り合わせてなる撚線１０９の周囲に介在１１０を介してバインドテープ１１１を巻き付け、その周囲に複数本の素線を編み込んだり巻き付けたりしてなる編組シールドや横巻シールド等のシールド１１２とジャケット１１３とを順番に被覆してなっても構わない。
【００２５】
このうち、ジャケット１１３は、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリウレタン樹脂、又はポリオレフィン樹脂等の柔軟性が高い樹脂からなる内層１１４と、内層１１４の外周に形成されると共にエチレン−テトラフルオロエチレン共重合体樹脂、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体樹脂、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体樹脂、又はポリテトラフルオロエチレン樹脂等の発塵性の低いフッ素樹脂からなり最外層となる外層１１５と、で構成されていることが望ましい。
【００２６】
これにより、可動部配線用ケーブル１０１が挿入されている丸型チューブ１０２において、可動部配線用ケーブル１０１と丸型チューブ１０２との接触に伴う摩耗や摩耗に伴う発塵を抑制することができ、しかも可動部配線用ケーブル１０１に高い可撓性を付与することが可能となる。
【００２７】
なお、ジャケット１１３を設けず、単に複数本の電線１０８をバインドテープ１１１で纏めて可動部配線用ケーブル１０１としても構わないが、最外層であるバインドテープ１１１をエチレン−テトラフルオロエチレン共重合体樹脂、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体樹脂、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体樹脂、又はポリテトラフルオロエチレン樹脂等の発塵性の低いフッ素樹脂で形成することが必要である。
【００２８】
再び図１を参照し、丸型チューブ１０２は、円筒形状に形成されると共にポリウレタン樹脂からなる高弾性チューブ１１６と、高弾性チューブ１１６の外周に形成されると共にフッ素ゴムとフッ素樹脂とを含有する絶縁材料からなる外層１１７と、を備えている。
【００２９】
また、角型チューブ１０４は、角筒形状に形成されると共にポリウレタン樹脂からなる高弾性チューブ１１８と、高弾性チューブ１１８の外周に形成されると共にフッ素ゴムとフッ素樹脂とを含有する絶縁材料からなる外層１１９と、を備えている。
【００３０】
高弾性チューブ１１６，１１８は、丸型チューブ１０２や角型チューブ１０４の柔軟性を向上させて可動部配線用フラットケーブル１００の可撓性を向上させる役割を果たしており、外層１１７，１１９は、丸型チューブ１０２や角型チューブ１０４の柔軟性を維持しながら丸型チューブ１０２や角型チューブ１０４の摩耗性や発塵性を改善させる役割を果たすと共に、フッ素ゴムを含有していることから静電気の発生を小さくすることができる。
【００３１】
ここで、絶縁材料は、９５：５〜２０：８０の質量比でフッ素ゴムとフッ素樹脂とを含有することが望ましく、フッ素樹脂は、９９．５：０．５〜７５：２５の質量比でポリテトラフルオロエチレンと溶融性フッ素樹脂とを含有することが望ましい。これらの条件を満足する絶縁材料としては、ダイキン工業株式会社製のダイエル（登録商標）フルオロＴＰＶが挙げられる。
【００３２】
これにより、フッ素樹脂の持つ高い摩耗性と低い発塵性並びにフッ素ゴムの持つ高い柔軟性と高い弾力性（弾力性は繰り返しＵ字屈曲を受ける際の可動部配線用フラットケーブル１００の直進性を向上させる）とを兼ね備える外層１１７，１１９を形成することが可能となる。
【００３３】
従って、外層１１７，１１９を設けることによって可動部配線用フラットケーブル１００の可撓性や耐繰り返しＵ字屈曲性を損なわずに繰り返しＵ字屈曲を受ける際の可動部配線用フラットケーブル１００の直進性を向上させることが可能となる。
【００３４】
なお、外層１１７，１１９は、フッ素樹脂の持つ高い耐油性と高い耐化学薬品性と高い耐候性をも兼ね備えているため、油環境下、酸性環境下、アルカリ性環境下、及び紫外線曝露環境下等においても可動部配線用フラットケーブル１００を使用することができる。
【００３５】
また、外層１１７，１１９は、厚さが０．２ｍｍ以上０．４ｍｍ以下であることが望ましい。その理由は、外層１１７，１１９の厚さが０．２ｍｍ未満である場合は、可動部配線用フラットケーブル１００が繰り返しＵ字屈曲を受ける際に外層１１７，１１９が皺になり、最終的に亀裂に進展して高弾性チューブ１１６，１１８が表出する虞があるからである。また、外層１１７，１１９の厚さが０．４ｍｍ超である場合は、繰り返しＵ字屈曲を受ける際の可動部配線用フラットケーブル１００の反発力が高くなり、可動部配線用フラットケーブル１００からケーブルベア等の構造物に掛かる圧力が大きくなるため、ケーブルベア等の構造物の寿命を早める虞があるからである。
【００３６】
更に、外層１１７，１１９の厚さは、高弾性チューブ１１６，１１８の厚さの１／５以上１／２以下であることが望ましい。その理由は、外層１１７，１１９の厚さが高弾性チューブ１１６，１１８の厚さの１／５未満である場合は、可動部配線用フラットケーブル１００とケーブルベア等の構造物とが接触することにより、可動部配線用フラットケーブル１００の使用期間（例えば、５年程度）内に外層１１７，１１９が削れて高弾性チューブ１１６，１１８が表出する虞があるからである。また、外層１１７，１１９の厚さが高弾性チューブ１１６，１１８の厚さの１／２超である場合は、可動部配線用フラットケーブル１００の可撓性が損なわれることにより、耐繰り返しＵ字屈曲性を従来と同等に保つことが困難となるからである。更に、ダイエル（登録商標）フルオロＴＰＶ等の絶縁材料は他の樹脂と比較して高価であるため、余り大量に使用すると、製品コストが著しく増加するからである。
【００３７】
また、丸型チューブ１０２と角型チューブ１０４は、高弾性チューブ１１６，１１８の内周に形成されると共にエチレン−テトラフルオロエチレン共重合体樹脂、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体樹脂、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体樹脂、又はポリテトラフルオロエチレン樹脂等の発塵性の低いフッ素樹脂からなる内層１２０，１２１を更に備えていることが望ましい。
【００３８】
これにより、可動部配線用ケーブル１０１が挿入されている丸型チューブ１０２において、可動部配線用ケーブル１０１と丸型チューブ１０２との接触に伴う摩耗や摩耗に伴う発塵を抑制することができ、また支持部材１０３が挿入されている角型チューブ１０４において、支持部材１０３と角型チューブ１０４との接触に伴う摩耗や摩耗に伴う発塵を抑制することができる。
【００３９】
支持部材１０３は、例えば、図４に示す通り、一方向に一定曲率半径でしか屈曲しないチェーン１２２からなる。チェーン１２２は、繰り返しＵ字屈曲を受ける際に内周側となる部分１２３が台形形状に形成されると共に繰り返しＵ字屈曲を受ける際に外周側となる部分１２４が長方形形状に形成された複数個のチェーンプレート１２５の貫通孔１２６を相互にビス１２７で連結してなる。即ち、チェーン１２２は内周側にしか屈曲せず、チェーン１２２が屈曲するときの曲率半径Ｒは隣接する２つのチェーンプレート１２５が成す角度θに依存して一定となる。
【００４０】
なお、支持部材１０３としては、チェーン１２２に限られず、棒状のものや板状のもの等を可動部配線用フラットケーブル１００の端末部のみに挿入して可動部配線用フラットケーブル１００の垂れを多少なりとも抑制する働きがあれば、如何なる態様のものも使用することができる。
【００４１】
以上の通り、可動部配線用フラットケーブル１００においては、高弾性チューブ１１６，１１８の外周にフッ素ゴムとフッ素樹脂とを含有する絶縁材料からなる外層１１７，１１９を備えているため、繰り返しＵ字屈曲を受ける際の可動部配線用フラットケーブル１００の直進性、摩耗性、及び発塵性を改善させることができる。
【００４２】
また、可動部配線用フラットケーブル１００においては、可動部配線用ケーブル１０１が容易に挿抜可能な大きさで丸型チューブ１０２の内径が形成されているため、丸型チューブ１０２に挿入されている可動部配線用ケーブル１０１を交換したり、丸型チューブ１０２に挿入されている可動部配線用ケーブル１０１を抜いてエアチューブとして利用したり、エアチューブとして利用していた丸型チューブ１０２に新たに可動部配線用ケーブル１０１を挿入することができる。このようにして、可動部配線用ケーブル１０１が挿入されている丸型チューブ１０２と可動部配線用ケーブル１０１が挿入されていない丸型チューブ１０２とを任意の順番と本数で配置することができるため、製造する製品の種類に応じて可動部配線用ケーブル１０１の仕様やエアチューブの本数を柔軟に変更することが可能となる。
【００４３】
従って、本発明によれば、摩耗や摩耗に伴う発塵を抑制することができ、しかも製造する製品の種類に応じて可動部配線用ケーブル１０１の仕様やエアチューブの本数を柔軟に変更することが可能となる。
【００４４】
更に、可動部配線用フラットケーブル１００は、支持部材１０３が挿入されている角型チューブ１０４を備えているため、繰り返しＵ字屈曲を受ける際の直進性が高く、長距離に亘って配線される場合であっても垂れ難いため、ケーブルベアの使用を回避し、面実装装置等の小型化に貢献することが可能である。
【００４５】
なお、本発明は、先の実施の形態に係る可動部配線用フラットケーブル１００に限定される訳では無く、例えば、図５に示す通り、可動部配線用フラットケーブル２００において、丸型チューブ１２８と角型チューブ１２９が高弾性チューブ１１６，１１８と外層１１７，１１９との間に導電性微粒子と絶縁樹脂とを含有する半導電性材料からなる中間層１３０，１３１を備えていても構わない。中間層１３０，１３１は、丸型チューブ１２８と角型チューブ１２９とに導電性を付与して丸型チューブ１２８と角型チューブ１２９の帯電を防止する役割を果たすものである。
【００４６】
ここで、半導電性材料は、その体積抵抗率が０．１〜１０3Ω・ｃｍとなるように、絶縁樹脂中に導電性微粒子を含有することが望ましく、導電性微粒子がカーボンブラックであると共に、絶縁樹脂が塩化ビニル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、又はポリオレフィン樹脂であることが望ましい。
【００４７】
これにより、可動部配線用フラットケーブル２００に静電気が発生しても、その静電気を熱エネルギに変換することができ、静電気を効果的に除去することが可能となる。また、塩化ビニル樹脂は柔軟性が高いため、絶縁樹脂として塩化ビニル樹脂を採用することにより、丸型チューブ１２８と角型チューブ１２９の柔軟性が低下することを抑制することが可能となる。
【００４８】
また、中間層１３０，１３１は、厚さが０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下であることが望ましい。その理由は、中間層１３０，１３１の厚さが０．１ｍｍ未満であると静電気を除去する効果が乏しくなり、中間層１３０，１３１の厚さが０．５ｍｍ超であると全体の外径が太くなり自重によって垂れやすくなるからである。
【００４９】
更に、中間層１３０，１３１の厚さは、高弾性チューブ１１６，１１８の厚さの１／１０以上１／２以下であることが望ましい。その理由は、中間層１３０，１３１の厚さが高弾性チューブ１１６，１１８の厚さの１／１０未満であると高弾性チューブから発生する静電気を除去する効果が乏しくなり、中間層１３０，１３１の厚さが高弾性チューブ１１６，１１８の厚さの１／２超であると高弾性チューブの弾力性を損ないフラットケーブル全体が重く垂れやすくなるからである。
【００５０】
このように、高弾性チューブ１１６，１１８と外層１１７，１１９との間に導電性微粒子と絶縁樹脂とを含有する半導電性材料からなる中間層１３０，１３１を備えることにより、可動部配線用フラットケーブル２００が繰り返しＵ字屈曲を受ける際に発生する静電気を効果的に除去することができる。
【実施例】
【００５１】
次に、本発明の具体例を説明する。
【００５２】
円筒形状に形成されると共にポリウレタン樹脂からなる高弾性チューブの外周にダイエル（登録商標）フルオロＴＰＶを被覆して外層を形成することで６本の丸型チューブを作製し、且つ、角筒形状に形成されると共にポリウレタン樹脂からなる高弾性チューブの外周にダイエル（登録商標）フルオロＴＰＶを被覆して外層を形成することで２本の角型チューブを作製し、これらのうち、２本の角型チューブを両側に配置して並列に融着させた。
【００５３】
このとき、丸型チューブにおいては、高弾性チューブの内径を４ｍｍとすると共に外径を６ｍｍとし、外層の厚さを０．２ｍｍとし、最終的に外径を６．４ｍｍとした。また、角型チューブにおいては、高弾性チューブの外寸が６ｍｍ×６ｍｍの断面正方形、且つ肉厚１ｍｍとし、外層の厚さを０．２ｍｍとし、最終的に外寸が６．４ｍｍ×６．４ｍｍの断面正方形とした。
【００５４】
更に、６本の丸型チューブのうちの３本をエアチューブとして利用し、残りの丸型チューブに電源線や信号線等の可動部配線用ケーブルを挿入すると共に、２本の角型チューブにはそれぞれチェーンを挿入して可動部配線用フラットケーブルを作製した。その上で、可動部配線用フラットケーブルをケーブルベアに保持させること無く、そのまま精密製造ラインに配線したところ、繰り返しＵ字屈曲の移動距離を１．５ｍとしても可動部配線用フラットケーブルが垂れることは無かった。また、曲げ半径３８．４ｍｍ（丸型チューブの外径の６倍）、繰り返し速度３０回／分、移動距離１．５ｍの条件で、１０００万回以上の繰り返しＵ字屈曲を実施しても摩耗や摩耗に伴う発塵は生じなかった。
【００５５】
他方、円筒形状に形成されると共にポリウレタン樹脂からなる高弾性チューブの外周にカーボンブラックと塩化ビニル樹脂とを含有する半導電性材料（体積抵抗率１Ω・ｃｍ）とダイエル（登録商標）フルオロＴＰＶとを順番に被覆して中間層と外層とを形成することで６本の丸型チューブを作製し、且つ、角筒形状に形成されると共にポリウレタン樹脂からなる高弾性チューブの外周にカーボンブラックと塩化ビニル樹脂とを含有する半導電性材料（体積抵抗率１Ω・ｃｍ）とダイエル（登録商標）フルオロＴＰＶとを順番に被覆して中間層と外層とを形成することで２本の角型チューブを作製し、これらのうち、２本の角型チューブを両側に配置して並列に融着させた。
【００５６】
このとき、丸型チューブにおいては、高弾性チューブの内径を４ｍｍとすると共に外径を６ｍｍとし、中間層の厚さを０．２ｍｍとし、外層の厚さを０．２ｍｍとし、最終的に外径を６．８ｍｍｍｍとした。また、角型チューブにおいては、高弾性チューブの外寸が６ｍｍ×６ｍｍの断面正方形、且つ肉厚１ｍｍとし、外層の厚さを０．２ｍｍとし、最終的に外寸が６．８ｍｍ×６．８ｍｍの断面正方形とした。
【００５７】
更に、６本の丸型チューブのうちの３本をエアチューブとして利用し、残りの丸型チューブに電源線や信号線等の可動部配線用ケーブルを挿入と共に、２本の角型チューブにはそれぞれチェーンを挿入して可動部配線用フラットケーブルを作製した。その上で、可動部配線用フラットケーブルをケーブルベアに保持させること無く、そのまま精密製造ラインに配線したところ、繰り返しＵ字屈曲の移動距離を１．５ｍとしても可動部配線用フラットケーブルが垂れることは無かった。また、曲げ半径４０．８ｍｍ（丸型チューブの外径の６倍）、繰り返し速度３０回／分、移動距離１．５ｍの条件で１０００万回以上の繰り返しＵ字屈曲を実施しても摩耗や摩耗に伴う発塵は生じなかった。また、繰り返しＵ字屈曲を受ける際に丸型チューブと角型チューブとで発生する静電気を中間層で吸収して除去することができた。
【００５８】
以上の通り、本発明の効果が実証された。
【符号の説明】
【００５９】
１００  可動部配線用フラットケーブル
１０１  可動部配線用ケーブル
１０２  丸型チューブ
１０３  支持部材
１０４  角型チューブ
１０５  導体
１０６  撚導体
１０７  絶縁体
１０８  電線
１０９  撚線
１１０  介在
１１１  バインドテープ
１１２  シールド
１１３  ジャケット
１１４  内層
１１５  外層
１１６  高弾性チューブ
１１７  外層
１１８  高弾性チューブ
１１９  外層
１２０  内層
１２２  チェーン
１２３  繰り返しＵ字屈曲を受ける際に内周側となる部分
１２４  繰り返しＵ字屈曲を受ける際に外周側となる部分
１２５  チェーンプレート
１２６  貫通孔
１２７  ビス
１２８  丸型チューブ
１２９  角型チューブ
１３０  中間層
【図１】
2017021903.tif 000003
【図２】
2017021903.tif 000004
【図３】
2017021903.tif 000005
【図４】
2017021903.tif 000006
【図５】
2017021903.tif 000007