(57)【要約】【課題】押さえ圧力を均一に被検査体に加えることができ、検査体押さえの帯電を抑制することができる検査体押さえ機構を得る。【解決手段】硬質材料で構成された検査体押さえ２を支持部３が支持する。検査体押さえ２には、被検査体４を押さえる面とは反対の面に円錐形突起５が設けられている。支持部３には、円錐形突起５の先端が接触する部分（支持部３の中心点）にＶ字溝６が設けられている。Ｖ字溝６の角度は円錐形突起５の先端角度より大きい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性の硬質材料で構成された検査体押さえと、
前記検査体押さえを支持する支持部とを備え、
前記検査体押さえには、被検査体を押さえる面とは反対の面に円錐形突起が設けられ、
前記支持部には、前記円錐形突起の先端が接触する部分にＶ字溝が設けられ、
前記Ｖ字溝の角度は前記円錐形突起の先端角度より大きいことを特徴とする検査体押さえ機構。
【請求項２】
導電性の硬質材料で構成された検査体押さえと、
前記検査体押さえを支持する支持部と、
前記支持部にねじ込まれて固定されたネジ切り棒とを備え、
前記ネジ切り棒の先端には円錐形突起が設けられ、
前記検査体押さえには、被検査体を押さえる面とは反対の面において前記円錐形突起の先端が接触する部分にＶ字溝が設けられ、
前記Ｖ字溝の角度は前記円錐形突起の先端角度より大きいことを特徴とする検査体押さえ機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子デバイスの電気特性検査治具における検査体押さえ機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、ＣＤＭＡをはじめとする携帯電話基地局用電力増幅器として、ＬＤＭＯＳ、ＧａＮ−ＨＥＭＴ、ＧａＡｓ−ＨＢＴが広く用いられている。一般的に、基地局用電力増幅器には基地局の大きさに応じて、数Ｗから数百Ｗの出力電力が求められるが、出力電力に比例して電力増幅器の発熱量が増加する。このため、電力増幅器の電気特性の検査の際には熱による被検査体の破壊対策として被検査体が動作した際に発生させる熱の効率的な放熱対策が不可欠となる。
【０００３】
基地局用電力増幅器の電気特性検査において、電力増幅器のパッケージ形状により、被検査体をネジで固定する方法又は被検査体を放熱体に押さえつける方法等がある。このうち、放熱体である評価基板に被検査体を押さえつける方法において、被検査体が発生させた熱を効率的に放熱させるためには一般的に被検査体と放熱体の密着度を上げることが効果的であると考えられている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
被検査体と放熱体の密着度を上げるひとつの方法として、放熱体に対して垂直方向から被検査体を押さえる方法があるが、押さえ圧が不十分な場合又は検査体押さえの被検査体に対する傾き、被検査体の反り等により、検査体押さえが被検査体へ片当たりした場合、被検査体と電気特性を測るための接続端子間で接触不良が発生する。このため、被検査体の電気特性を検査する場合には被検査体の反りも考慮する必要がある。また、被検査体が高周波・電子デバイスであることから静電気放電（ＥＳＤ）対策も重要となってくる。
【０００５】
図５及び図６は、従来の検査体押さえ機構を示す断面図である。検査体押さえ１００で被検査体１０１を評価基板１０２に押さえつけて評価端子１０３に接触させ電気特性を測定する。図５では、検査体押さえ１００はゴムやウレタン等の軟質系材料で構成される。図６では、検査体押さえ１０４は導電性樹脂等の硬質系材料で構成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平６−２８７６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
図５のように検査体押さえ１００に軟質系材料を用いることで被検査体１０１の反りがあっても検査体押さえ１００からの押さえ圧力は被検査体１０１に均一に伝わる。このため、被検査体１０１と評価端子１０３の接触性は良好である。しかし、ゴムやウレタンの軟質系材料は帯電しやすいためＥＳＤの問題から高周波・電子デバイスへの使用は注意が必要となる。
【０００８】
一方、図６にように検査体押さえ１０４に導電性の材料を用いることでＥＳＤの問題を解決することができる。しかし、検査体押さえ１０４が硬質なため、デバイスの反り量が大きい場合や検査体押さえ１０４の被検査体１０１に対する傾き等により被検査体１０１の評価端子１０３への片当たりが発生し、安定した被検査体評価を阻害する要因となる。
【０００９】
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的は押さえ圧力を均一に被検査体に加えることができ、検査体押さえの帯電を抑制することができる検査体押さえ機構を得るものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る検査体押さえ機構は、導電性の硬質材料で構成された検査体押さえと、前記検査体押さえを支持する支持部とを備え、前記検査体押さえには、被検査体を押さえる面とは反対の面に円錐形突起が設けられ、前記支持部には、前記円錐形突起の先端が接触する部分にＶ字溝が設けられ、前記Ｖ字溝の角度は前記円錐形突起の先端角度より大きいことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明では、検査体押さえには被検査体を押さえる面とは反対の面に円錐形突起が設けられ、支持部には円錐形突起の先端が接触する部分にＶ字溝が設けられ、Ｖ字溝の角度は円錐形突起の先端角度より大きい。このため、被検査体に反りがある場合、被検査体の傾き分だけ円錐形突起の頂点を起点に検査体押さえがフレキシブルに傾いて被検査体に垂直に当たる。これにより、検査体押さえからの押さえ圧力を均一に被検査体に加えることができる。また、検査体押さえを導電性の硬質材料で構成することにより、検査体押さえの帯電を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施の形態１に係る検査体押さえ機構を示す断面図である。
【図２】図１の検査体押さえ機構の側壁部分を一部開放した斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態２に係る検査体押さえ機構を示す断面図である。
【図４】図３の検査体押さえ機構の側壁部分を一部開放した斜視図である。
【図５】従来の検査体押さえ機構を示す断面図である。
【図６】従来の検査体押さえ機構を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明の実施の形態に係る検査体押さえ機構について図面を参照して説明する。同じ又は対応する構成要素には同じ符号を付し、説明の繰り返しを省略する場合がある。
【００１４】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係る検査体押さえ機構を示す断面図である。図２は、図１の検査体押さえ機構の側壁部分を一部開放した斜視図である。この機構は、電子デバイスの電気特性検査治具における検査体押さえ機構である。
【００１５】
検査体押さえ機構１において、導電性の硬質材料で構成された検査体押さえ２を支持部３が支持している。検査体押さえ２の下端の平坦面が被検査体４を押さえる面である。検査体押さえ２には、被検査体４を押さえる面とは反対の面に円錐形突起５が設けられている。支持部３には、円錐形突起５の先端が接触する部分（支持部３の中心点）にＶ字溝６が設けられている。Ｖ字溝６の角度は円錐形突起５の先端角度より大きい。
【００１６】
続いて、本実施の形態に係る検査体押さえ機構の動作を説明する。放熱体７上に評価基板８が載せられ、その上に被検査体４が載せられている。この被検査体４に対して垂直方向から検査体押さえ機構１を押さえつける。
【００１７】
この際に被検査体４に反りがある場合、検査体押さえ２が円錐形突起５の頂点を起点に被検査体４の傾き分だけフレキシブルに傾いて被検査体４に垂直に当たる。これにより、検査体押さえ２からの押さえ圧力を均一に被検査体４に加えることができる。この結果、放熱体７上の評価基板８の評価端子９に被検査体４を密着させ放熱性を向上させることができる。また、検査体押さえ２を導電性の硬質材料で構成することにより、検査体押さえ２の帯電を抑制することができる。なお、支持部３も導電性の硬質材料で構成されていることが好ましい。
【００１８】
実施の形態２．
図３は、本発明の実施の形態２に係る検査体押さえ機構を示す断面図である。図４は、図３の検査体押さえ機構の側壁部分を一部開放した斜視図である。ネジ切り棒１０が支持部３にねじ込まれて固定されている。ネジ切り棒１０の先端には円錐形突起１１が設けられている。検査体押さえ２には、被検査体４を押さえる面とは反対の面において円錐形突起１１の先端が接触する部分にＶ字溝１２が設けられている。Ｖ字溝１２の角度は円錐形突起１１の先端角度より大きい。
【００１９】
本実施の形態は、実施の形態１の円錐形突起とＶ字溝の位置を入れ替えた構造であるため、実施の形態１と同様の効果が得られる。また、円錐形突起５が劣化した場合でも、円錐形突起５が設けられたネジ切り棒１０ごと交換すればよいため、メンテナンス性が高い。さらに、支持部３へのネジ切り棒１０のねじ込み量を調整することにより、検査体押さえ２の傾き補正量を調整することができる。
【符号の説明】
【００２０】
１  検査体押さえ機構、２  検査体押さえ、３  支持部、４  被検査体、５  円錐形突起、６  Ｖ字溝、８  評価基板、１０  ネジ切り棒、１１  円錐形突起、１２  Ｖ字溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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