(57)【要約】【課題】簡単かつ安価な装置構成であっても被測定物の測定を効率よく実行することができる測定機および測定システムの提供。【解決手段】測定機１は、試料Ｓを載置するステージ２と、試料Ｓの特性を測定する測定部３と、を備える測定機１であって、測定情報が記憶されたＵＳＢメモリ６を装着するための装着部７と、装着部に装着されたＵＳＢメモリ６から測定情報を読み込む読込み部１１と、測定情報に基づいてステージ２および測定部３を実行させる制御部８と、を備えることを特徴とする。制御部８はＵＳＢメモリ６に記憶された測定情報を読込み部１１から読み込み、読み込んだ測定情報に基づき測定を実行する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物を載置するステージと、被測定物の特性を測定する測定部と、を備える測定機であって、
測定情報が記憶された外部記憶装置を装着するための装着部と、
前記装着部に装着された前記外部記憶装置から前記測定情報を読み込む読込み部と、
前記測定情報に基づいて前記ステージおよび前記測定部を制御して測定を実行させる制御部と、を備えることを特徴とする測定機。
【請求項２】
請求項１に記載された測定機において、
前記外部記憶装置が前記装着部に装着されたことを検出する検出部をさらに備え、
前記制御部は、前記検出部が検出した前記外部記憶装置に記憶された前記測定情報を前記読込み部を介して自動で読み込み、前記測定部に測定を実行させることを特徴とする測定機。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載された測定機において、
前記測定情報は、前記ステージを駆動制御するための複数の位置情報を含み、
前記制御部は、前記位置情報に基づいて前記ステージを駆動制御し、前記ステージに載置された被測定物の複数箇所を測定することを特徴とする測定機。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載された測定機において、
前記測定情報は、前記測定部を駆動制御するための条件情報を含み、
前記制御部は、前記条件情報に基づき前記測定部を制御し、被測定物を測定することを特徴とする測定機。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載された測定機において、
測定結果を前記外部記憶装置に書き込む書込み部をさらに備えることを特徴とする測定機。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載された複数の測定機と、外部記憶装置と、コンピュータと、を備えた測定システムであって、
前記コンピュータによって前記外部記憶装置に測定情報を記憶させるとともに、前記外部記憶装置を前記複数の測定機それぞれの装着部に装着して前記測定情報を読み込ませ、前記複数の測定機それぞれによって被測定物の特性を測定させることを特徴とする測定システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定機および測定システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被測定物を載置するステージと、被測定物の特性を測定する測定部と、を備える測定機として、硬さ測定機や顕微鏡等が知られている。測定機が測定する特性とは、例えば、被測定物の形状、被測定物の表面の状態、および被測定物の硬さ等である。
硬さ測定機を一例として説明すると、硬さ測定機は、被測定物である試料を載置するステージと、試料の表面にくぼみを形成する圧子と、試料の表面に形成されたくぼみを撮像する撮像部と、を備えている。硬さ測定機には、例えばパーソナルコンピュータ（コンピュータ）が外部接続されており、コンピュータに搭載された画像処理プログラム等によって、撮像された画像を基に試料の硬さを測定し、測定結果をコンピュータの記憶領域（メモリやハードディスク等）に保存する。
【０００３】
このような硬さ測定機において、複数の試料に対して同じ手順で連続的な測定を行うようにしたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載された硬さ測定機における測定手順としては、先ず、ユーザの操作により最初の試料を所定位置に設定する。そして、例えば圧子の測定圧や測定時間といった試料を測定する手順（測定情報）を外部接続されたコンピュータに記憶させる。次に、２番目以降の試料を測定する際に、最初の試料にて記憶した測定情報を呼び出す。そして、その測定情報に基づいて２番目以降の複数の試料に対して測定が繰り返し実行される。また、最初の試料を測定する際に撮像部にて撮像された表面画像を２番目以降の試料を所定位置に設定する際に、２番目以降の試料の画像と重なるようにディスプレイ等に表示することで、最初の試料の位置と２番目以降の試料との位置を合わせ、同じ位置にて測定する補助ができる。従って、複数の試料に対する同じ測定の作業性を向上させることができるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−０７８３０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の測定機では、複数の被測定物に対して連続的な測定をさせるために、外部接続したコンピュータによって制御する必要があり、装置構成が大型化かつ複雑化するという問題がある。また、コンピュータ等を用いずに測定機内部のメモリにプログラムおよび測定情報を保存する場合、大きな記憶領域が必要となるとともに、測定機毎に、測定情報を入力する必要があり、測定作業の効率が低下してしまうという問題がある。
【０００６】
本発明は、簡単かつ安価な装置構成であっても被測定物の測定を効率よく実行することができる測定機および測定システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の測定機は、被測定物を載置するステージと、被測定物の特性を測定する測定部と、を備える測定機であって、測定情報が記憶された外部記憶装置を装着するための装着部と、前記装着部に装着された前記外部記憶装置から前記測定情報を読み込む読込み部と、前記測定情報に基づいて前記ステージおよび前記測定部を制御して測定を実行させる制御部と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
このような本発明によれば、制御部は、予め測定情報が記憶された外部記憶装置から読込み部を介して測定情報を読み込み、その測定情報に従って測定部に測定を実行させる。これにより、コンピュータを外部接続する必要がなくなり、装置構成を簡単かつ安価にすることができる。さらに、外部記憶装置に記憶された測定情報を用いることで、測定毎に測定情報を手動で入力し測定を実行する必要がなくなるため、測定作業の効率を向上させることができる。
また、コンピュータを外部接続する必要がなくなるため、省スペース化が実現できる。さらに、外部記憶装置を用いることで、測定機内部に備えるメモリ容量も少なくすることができ、コスト削減を図ることができる。
ここで、外部記憶装置とは、ＵＳＢ(Universal Serial Bus)メモリや各種メモリカード等のフラッシュメモリや、その他の記憶媒体であればよい。
【０００９】
この際、前記外部記憶装置が前記装着部に装着されたことを検出する検出部をさらに備え、前記制御部は、前記検出部が検出した前記外部記憶装置に記憶された前記測定情報を前記読込み部を介して自動で読み込み、前記測定部に測定を実行させることが好ましい。
【００１０】
このような構成によれば、検出部によって装着部に外部記憶装置が装着されたことが検出された後、制御部は読込み部を介して自動的に測定情報を読み込むとともに測定部に測定を実行させることで、測定機に手動で測定情報の入力を行わなくてもよくなり、測定作業効率をさらに向上させることができる。
【００１１】
この際、前記測定情報は、前記ステージを駆動制御するための複数の位置情報を含み、前記制御部は、前記位置情報に基づいて前記ステージを駆動制御し、前記ステージに載置された被測定物の複数箇所を測定することが好ましい。
【００１２】
このような構成によれば、外部記憶装置に記憶された複数の位置情報に従い、被測定物を載置したステージを駆動制御しつつ複数の位置で測定を実行することで、複数箇所の測定を連続的に実行することができる。すなわち、複数箇所の位置情報を予め外部記憶装置に記憶させておき、制御部は、外部記憶装置から読込み部を介して読み込んだ複数箇所の位置情報に基づきステージを駆動制御するため、複数箇所の位置情報をユーザが手動で設定しなくても連続的に測定をすることができる。これにより、作業の効率化を図ることができる。
【００１３】
また、前記測定情報は、前記測定部を駆動制御するための条件情報を含み、前記制御部は、前記条件情報に基づき前記測定部を制御し、被測定物を測定することが好ましい。
【００１４】
ここで、条件情報とは、硬さ測定機を一例として説明すると、圧子の測定圧や、測定時間、撮像部および圧子の種類、同一座標上での測定回数等、測定部を駆動制御する各種条件を含んだ情報である。
このような構成によれば、制御部は、予め外部記憶装置に記憶された条件情報に基づき測定部に測定を実行させることで、測定毎に必要な測定時間や測定回数等の各種設定作業を省くことができる。従って、効率的に測定を実行することができ、測定にかかる作業時間をさらに短縮することができる。
【００１５】
この際、測定結果を前記外部記憶装置に書き込む書込み部をさらに備えることが好ましい。
【００１６】
ここで、測定結果とは、計測された数値や撮像部等により撮像された画像等である。
このような構成によれば、測定実行後に書込み部により外部記憶装置に測定結果が書き込まれるため、その外部記憶装置を介してコンピュータ等に測定結果を移動させることができる。これによりコンピュータ等で測定結果が扱えるようになることで、測定結果に基づき表やグラフを作成したり、測定結果を解析したりすることができるようになるため、汎用性および利便性を向上させることができる。
【００１７】
本発明の測定システムは、複数の測定機と、外部記憶装置と、コンピュータと、を備えた測定システムであって、前記コンピュータによって前記外部記憶装置に測定情報を記憶させるとともに、前記外部記憶装置を前記複数の測定機それぞれの装着部に装着して前記測定情報を読み込ませ、前記複数の測定機それぞれによって被測定物の特性を測定させることを特徴とする。
【００１８】
このような本発明によれば、複数の測定機の測定情報を記憶した外部記憶装置を装着し、測定情報を読み込ませて測定を実行させることで、１つの外部記憶装置で複数の測定機を制御することができ、効率化を図ることができる。すなわち、外部記憶装置は、測定機が測定をしている間、常時装着している必要はなく、測定情報の読み込みが終わった時点で装着部から取り外し、別の測定機に装着して、別の測定機の測定を実行させることができる。従って、複数の測定機にて連続的に測定を実行することができるため、作業の効率化を図ることができる。
【００１９】
また、外部記憶装置が複数あった場合、それぞれの外部記憶装置にコンピュータにより同一の測定情報を記憶させることで、複数箇所に測定機が設置されていたとしても、外部記憶装置を装着し測定情報を読み込ませることで測定を実行させることができるため、利便性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る硬さ測定機を示す図
【図２】前記硬さ測定機の概略構成図
【図３】前記硬さ測定機の測定情報に基づく動作を示す図
【図４】前記硬さ測定機の手動操作時の動作を示すフローチャート
【図５】本発明の第２実施形態に係る硬さ測定機の自動操作時の動作を示すフローチャート
【図６】本発明の各実施形態に係る測定システムを示す図
【発明を実施するための形態】
【００２１】
〔第１実施形態〕
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、図面において測定機の幅方向をＸ、奥行き方向をＹ、高さ方向をＺとする。
図１は、本発明の第１実施形態に係る硬さ測定機を示す図である。
被測定物の特性の１つである硬さを測定する硬さ測定機１は、図１に示すように、被測定物である試料Ｓを載置するステージ２と、試料Ｓを測定する測定部３と、測定部３を操作するためのボタン４と、硬さ測定機１に関する情報を表示する表示部５と、外部記憶装置であるＵＳＢメモリ６を装着する装着部７と、を備えている。
ステージ２は、試料Ｓを載置する試料台２０と、試料台２０をＸＹ方向に移動させるＸＹステージ２１と、ＸＹステージ２１をＺ方向に昇降させる昇降部２２と、を備えている。
測定部３は、試料Ｓの表面にくぼみを形成する圧子３０と、圧子３０を支持する圧子軸３１と、対物レンズ３２とを備え、回転することにより圧子３０と対物レンズ３２とを切り替るターレット３３と、試料Ｓの表面を撮像する図示しないＣＣＤカメラと、を備える。
【００２２】
ボタン４は、硬さ測定機１で測定を行う際のユーザによる入力操作を受けつける。ボタン４により所定の入力操作がされると、その入力操作に応じた指令が制御部８に伝達される。具体的には、ボタン４は、ＵＳＢメモリ６に記憶された測定情報の選択および決定、測定条件の設定の入力操作を受けつけることができる。また、ボタン４は、測定情報の選択および決定を手動で行う手動モードと、測定情報の選択および決定を自動で行う自動モードと、を切り替える入力操作を受けつけることができる。
表示部５は、例えば、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）等の表示装置により構成され、ボタン４によって入力された硬さ測定機１の測定条件の設定内容、測定結果、ＣＣＤカメラにより撮像された試料Ｓの表面や試料Ｓの表面に形成されるくぼみの画像等を表示する。
【００２３】
ＵＳＢメモリ６は、ユニバーサルシリアルバス（ＵＳＢ）を用いてコンピュータに接続してデータの読み書きを行う半導体メモリを用いた単体で動作する外部記憶装置であって、このＵＳＢメモリ６には、図示しないコンピュータによって、硬さ測定機１に測定を実行させる測定情報が記憶されている。このＵＳＢメモリ６を装着部７に装着することで、制御部８は読込み部１１を介して測定情報を読み込み、測定を実行することができる。
装着部７は、ＵＳＢメモリ６を装着可能なポートである。なお、外部記憶装置は、ＵＳＢメモリ６に限らず、フラッシュメモリや、その他の可搬性記憶媒体等の任意の記憶媒体であってもよく、その場合に装着部７は、任意の外部記憶装置が装着可能な形態であればよい。
【００２４】
図２は、前記硬さ測定機の概略構成図である。
硬さ測定機１は、図２に示すように、ステージ２と、測定部３と、ボタン４と、表示部５と、装着部７と、を備え、さらに、ステージ２，測定部３に測定を実行させる制御部８と、一時的にデータを格納するメモリ９と、ＵＳＢメモリ６が装着部７に装着されたことを検出する検出部１０と、制御部８からの指令によりＵＳＢメモリ６から測定情報を読み込む読込み部１１と、制御部８からの指令により測定結果をＵＳＢメモリ６に書き込む書込み部１２と、を備えている。
ＵＳＢメモリ６に記憶された測定情報としては、具体的には、圧子３０が試料Ｓの表面にくぼみをつける測定点となる複数の座標から構成される位置情報６Ａと、硬さ測定機１の設定情報や測定部３の動作を制御するため等の情報から構成される条件情報６Ｂ、等が含まれる。
【００２５】
制御部８は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等で構成され、メモリ９に記憶されたプログラムによって、ステージ２のＸＹステージ２１および昇降部２２や測定部３を駆動制御し、測定を実行させる。また、装着部７に装着されたＵＳＢメモリ６を検出する検出部１０からの信号により読込み部１１に測定情報を読み込ませたり、各種情報を表示部５に表示させたり、メモリ９に測定結果を保存したり、メモリ９に記憶された情報を書込み部１２によってＵＳＢメモリ６に書き込ませたり、等といった指令を出力することにより、硬さ測定機１を制御している。
メモリ９は、硬さ測定機１の内部に設けられ、制御部８が直接アクセスすることができる主記憶装置である。制御部８は、メモリ９にＵＳＢメモリ６から読み込んだ測定情報を一時的に格納したり、制御部８から書き込まれる測定結果を保存したりする。
【００２６】
図３は、前記硬さ測定機の測定情報に基づく動作を示す図である。
図３に示すように、ＵＳＢメモリ６は測定情報として、試料Ｓ上の測定点の位置である位置情報６Ａと測定部３を制御する各種条件である条件情報６Ｂとを記憶している。
制御部８は、読込み部１１を介してＵＳＢメモリ６から位置情報６Ａおよび条件情報６Ｂを読み込み、読み込んだ測定情報に基づき試料Ｓに対する測定を実行する。
試料Ｓは、例えば、第１試料Ｓ１と、第２試料Ｓ２と、第３試料Ｓ３と、第４試料Ｓ４とがあり、これらは、試料台２０に載置されている。
制御部８は、ＵＳＢメモリ６に記憶された位置情報６Ａに基づき、圧子３０の真下に試料Ｓの測定点が来るように、ＸＹステージ２１と昇降部２２とを駆動制御して試料台２０の位置を調節する。
【００２７】
位置情報６Ａは、測定点の位置を表すＸ座標とＹ座標とＺ座標から構成される。制御部８は、Ｘ座標とＹ座標に基づいてＸＹステージ２１を駆動制御し、Ｚ座標に基づいて昇降部２２を駆動制御する。例えば、第１試料Ｓ１における測定点Ｓ１ａを測定する場合、位置情報６ＡとしてＸ座標Ｘ１ａ，Ｙ座標Ｙ１ａ，Ｚ座標Ｚ１ａがＵＳＢメモリ６に記憶されている。制御部８は、Ｘ座標Ｘ１ａとＹ座標Ｙ１ａに基づいてＸＹステージ２１を駆動制御し、Ｚ座標Ｚ１ａに基づいて昇降部２２を駆動制御する。
【００２８】
図３に示す例では、硬さ測定機１は、第１試料Ｓ１および第２試料Ｓ２の測定が完了し、第３試料Ｓ３の測定中であり、第３試料Ｓ３の後に第４試料Ｓ４の測定を実行する。具体的には、第１試料Ｓ１および第２試料Ｓ２には、すでに圧子３０によるくぼみが形成されて測定が完了した測定点（図中●印で示す点）が各々６箇所ずつに形成され、第３試料Ｓ３には、測定が完了した１つの測定点Ｓ３ａが形成され、これから測定される測定点（例えば、測定点Ｓ３ｂであり図中〇印で示す点）が５箇所に設定され、第４試料Ｓ４には、これから測定される測定点が６箇所に設定されている。これら第１〜第４の各試料Ｓ１〜Ｓ４において、それぞれ６箇所の測定点は、各試料Ｓ１〜Ｓ４内の座標として位置情報６Ａに記憶されている。また、例えば第１試料Ｓ１における測定順としては、最初に測定点Ｓ１ａが形成され、続いて測定点Ｓ１ｂ、測定点Ｓ１ｃ…の順に形成されるようになっている。
【００２９】
ここで、第３試料Ｓ３の測定を一例とすると、制御部８は、読込み部１１を介してＵＳＢメモリ６に記憶された位置情報６Ａから測定点Ｓ３ａの情報を読み込み、その座標Ｘ３ａ，Ｙ３ａ，Ｚ３ａに基づき、圧子３０の真下に測定点Ｓ３ａが来るようにＸＹステージ２１と昇降部２２とを駆動制御する。測定点Ｓ３ａが圧子３０の真下に来たら、制御部８は、測定部３に指令を出して、圧子３０を第３試料Ｓ３に圧接してくぼみである測定点Ｓ３ａを形成する。次に、制御部８は、測定点Ｓ３ｂの座標Ｘ３ｂ，Ｙ３ｂ，Ｚ３ｂに基づき、圧子３０の真下に測定点Ｓ３ｂが来るようにＸＹステージ２１と昇降部２２とを駆動制御する。測定点Ｓ３ｂが圧子３０の真下に来たら、制御部８は、測定部３に指令を出して、圧子３０を第３試料Ｓ３に圧接してくぼみである測定点Ｓ３ｂを形成する。このように位置情報６Ａに基づき、ＸＹステージ２１と昇降部２２との駆動による試料Ｓの移動と、測定部３の駆動による圧子３０の圧接と、を繰り返すことで、第１〜第４の各試料Ｓ１〜Ｓ４にそれぞれ６箇所ずつの測定点が形成される。
以下、硬さ測定機１における詳細な測定手順について、図４を参照して説明する。
【００３０】
図４は、前記硬さ測定機の手動操作時の動作を示すフローチャートである。
硬さ測定機１は、図４に示すように、測定情報をユーザの選択によって設定し試料Ｓの測定を実行するためステップＳＴ０１〜ＳＴ０８を実行する。
先ず、硬さ測定機１の装着部７にＵＳＢメモリ６を装着する。ＵＳＢメモリ６を装着すると、検出部１０はＵＳＢメモリ６が装着されたこととＵＳＢメモリ６に記憶された測定情報とを検出して制御部８に伝達する（ステップＳＴ０１）。
次に、制御部８は、検出部１０により検出された測定情報を表示部５に表示させる。表示部５に表示された測定情報に基づいて、ユーザはボタン４を操作し、測定に必要な測定情報を選択する（ステップＳＴ０２）。
【００３１】
続いて、制御部８は、選択された測定情報を読み込むように読込み部１１に指令を出し、読込み部１１は、制御部８から指令を受けた測定情報である位置情報６Ａおよび条件情報６Ｂを読み込む。読み込んだ測定情報は、制御部８を介してメモリ９に一時的に格納される（ステップＳＴ０３）。
制御部８は、メモリ９に格納した測定情報を基に、例えば位置情報６Ａを用いて、圧子３０が試料Ｓの表面にくぼみをつける測定点となる複数の座標（例えば、図３の位置情報６Ａ参照）を測定順に設定し、条件情報６Ｂを用いて、圧子３０の測定圧や測定時間等を設定する（ステップＳＴ０４）。
【００３２】
ステップＳＴ０４により測定情報を設定した後、制御部８は、位置情報６Ａに基づいてステージ２に指令を出し、設定された測定位置へＸＹステージ２１と昇降部２２とを駆動制御して試料Ｓを移動させる。そして、制御部８は、条件情報６Ｂに基づいて設定された条件に従って測定部３に測定を実行させる（ステップＳＴ０５）。
測定によって得られた測定結果は制御部８を介して一時的にメモリ９に保存される（ステップＳＴ０６）。
ここで、位置情報６Ａによって設定された座標が例えば５つあった場合、測定は継続される（ステップＳＴ０７でＹＥＳ）。制御部８は、残り４つの座標における測定結果を得るために、ステージ２および測定部３に４回ステップＳＴ０５〜ＳＴ０７を繰り返し実行させ、得られた測定結果をメモリ９に保存する。すなわち、ステップＳＴ０４において位置情報６Ａによって設定された座標の数だけ、制御部８は、ステップＳＴ０５〜ＳＴ０７を繰り返すことで、連続的に測定を実行させ、設定された座標の数の測定結果をメモリ９に保存する。
【００３３】
設定された座標の数だけ測定が完了し、それ以上の測定点がない場合、制御部８は、測定を継続せず（ステップＳＴ０７でＮＯ）、書込み部１２に指令を出してメモリ９に保存された測定結果をＵＳＢメモリ６に書き込ませる（ステップＳＴ０８）。ここで、測定結果が５つあった場合、５つの測定結果が一括してＵＳＢメモリ６に書き込まれる。
また、メモリ９に保存された測定結果は、書込み部１２によってＵＳＢメモリ６に測定結果が書き込まれた後、制御部８によって削除されてもよいし、ユーザによるボタン４の操作によって選択的に削除されてもよいし、一定期間保存した後、自動的に削除されてもよい。
以上のステップＳＴ０１〜ＳＴ０８によって、硬さ測定機１を手動で操作する際の測定が完了する。
【００３４】
このような本実施形態によれば、以下の作用・効果を奏することができる。
（１）制御部８は、予め測定情報が記憶されたＵＳＢメモリ６から読込み部１１を介して測定情報を読み込み、読み込んだ測定情報に従って測定部３に測定を実行させる。これにより、コンピュータを外部接続する必要がなくなり、硬さ測定機１の装置構成を簡単かつ安価にすることができる。
（２）ＵＳＢメモリ６に記憶された測定情報を用いることで、測定毎に測定情報をボタン４を操作して手動で入力し測定を実行する必要がなくなるため、作業効率を向上させることができる。
【００３５】
（３）ＵＳＢメモリ６を用いることで、外部接続したコンピュータを用いる必要がなくなるため、省スペース化が実現できる。
（４）ＵＳＢメモリ６を用いることで、硬さ測定機１が備えるメモリ９の容量も少なくすることができ、コスト削減を図ることができる。
（５）ステージ２上に複数の試料Ｓ１〜Ｓ４を載置し、ＵＳＢメモリ６に記憶された位置情報６Ａに従って制御部８が測定を実行することで、複数の試料Ｓ１〜Ｓ４を載置し直すことなく、連続的に測定することができる。
【００３６】
（６）制御部８は、予めＵＳＢメモリ６に記憶された条件情報６Ｂに基づき測定部３に測定を実行させることで、測定毎に必要な測定時間や測定回数等の各種設定作業を省くことができるので、効率的に測定を実行することができ、測定にかかる作業時間をさらに短縮することができる。
（７）制御部８の指令で書込み部１２によりＵＳＢメモリ６に測定結果が書き込まれるため、ＵＳＢメモリ６を介してコンピュータ等で測定結果が扱えるようになることで、測定結果に基づきグラフを作成したり、測定結果を解析したりすることができるようになるため、汎用性および利便性を向上させることができる。
【００３７】
〔第２実施形態〕
以下、本発明の第２実施形態を図面に基づいて説明する。
前記第１実施形態では、測定情報の選択を手動で行っていたが、装着部７にＵＳＢメモリ６が装着されたことを検出部１０が検出した後、制御部８は、自動で読込み部１１を介して読み込んだ測定情報を基に連続的な測定を実行してもよい。
図５は、本発明の第２実施形態に係る硬さ測定機の自動操作時の動作を示すフローチャートである。
硬さ測定機１は、図５に示すように、自動で試料Ｓの測定を実行するためステップＳＴ１１〜ＳＴ１７を実行する。
先ず、硬さ測定機１の装着部７にＵＳＢメモリ６を装着する。ＵＳＢメモリ６を装着すると、検出部１０はＵＳＢメモリ６が装着されたこととＵＳＢメモリ６に記憶された測定情報とを検出して制御部８に伝達する（ステップＳＴ１１）。
【００３８】
次に、制御部８は、検出部１０により検出された測定情報を読み込むように読込み部１１に指令を出し、読込み部１１は、制御部８から指令を受けた測定情報である位置情報６Ａおよび条件情報６Ｂを読み込む。読み込んだ測定情報は、制御部８を介してメモリ９に一時的に格納される（ステップＳＴ１２）。
制御部８は、メモリ９に格納した測定情報を基に、例えば位置情報６Ａを用いて、複数の座標を測定順に設定し、条件情報６Ｂを用いて、測定時に必要な条件を設定する（ステップＳＴ１３）。
【００３９】
ステップＳＴ１３により測定情報を設定した後、制御部８は、位置情報６Ａに基づいて設定された測定位置へステージ２に指令を出し、ＸＹステージ２１と昇降部２２とを駆動制御して試料Ｓを移動させる。そして、制御部８は、条件情報６Ｂに基づいて設定された条件に従って測定部３に測定を実行させる（ステップＳＴ１４）。
測定によって得られた測定結果は制御部８に伝達され、制御部８を介して一時的にメモリ９に保存される（ステップＳＴ１５）。
ここで、位置情報６Ａによって設定された座標が複数あった場合、座標が設定された数だけ測定は継続される（ステップＳＴ１６でＹＥＳ）。制御部８は、ステージ２および測定部３にステップＳＴ０５〜ＳＴ０７を繰り返し実行させ、得られた測定結果をメモリ９に保存する。
【００４０】
設定された座標の数だけ連続的に測定を継続した後（ステップＳＴ１６でＮＯ）、制御部８は、書込み部１２に指令を出してメモリ９に保存された測定結果をＵＳＢメモリ６に書き込ませる（ステップＳＴ１７）。以上のステップＳＴ１１〜ＳＴ１７によって、自動で硬さ測定機１における測定は実行される。
【００４１】
このような本実施形態によれば、以下の作用・効果を奏することができる。
（８）検出部１０によって装着部７にＵＳＢメモリ６が装着されたことが検出された後、制御部８は読込み部１１を介して自動的に測定情報を読み込むとともに測定部３に測定を実行させることで、硬さ測定機１に手動で測定情報の入力を行わなくてもよくなり、測定作業効率を向上させることができる。
【００４２】
〔実施形態の変形〕
なお、本発明は、前記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
【００４３】
例えば、前記各実施形態では、測定機として硬さ測定機１を用いたが、硬さ測定機ではなく、顕微鏡等、被測定物を載置するステージと測定部とを備えた任意の測定機でもよい。
また、外部記憶装置としてＵＳＢメモリ６を用いたが、ＵＳＢメモリ６に限られずメモリカード等のフラッシュメモリや、その他の可搬性記憶媒体を用いてもよい。
前記各実施形態では、制御部８は、測定部３を駆動させることで試料Ｓに圧子３０を圧接して測定を実行したが、昇降部２２を駆動させて試料Ｓに圧子３０を圧接してもよい。
【００４４】
前記各実施形態では、ＵＳＢメモリ６に測定結果を書き込む際、メモリ９に保存された測定結果を一括して書き込んだが、測定結果をメモリ９には保存せず、測定毎に直接ＵＳＢメモリ６に書き込んでもよい。測定機１がメモリ９を有していない場合、制御部８は、ＵＳＢメモリ６をメモリとして用いて、直接、測定情報の読み込みや測定結果の書き込みをしてもよい。
【００４５】
また、ＵＳＢメモリ６に記憶された測定情報は、位置情報６Ａと条件情報６Ｂとであったが、これ以外の測定情報が記憶されていてもよい。
位置情報６Ａを構成する測定点の座標は、座標毎に記憶されていてもよいし、使用する測定機毎または被測定物毎にフォルダにそれぞれまとめて記憶されていてもよい。
さらに、前記各実施形態では、位置情報６Ａと条件情報６Ｂとの両方を読み込んだが、読み込む測定情報は、位置情報６Ａと条件情報６Ｂとのどちらか一方だけでもよいし、位置情報６Ａと条件情報６Ｂとは別の測定情報を読み込んでもよい。
また、試料Ｓにおける測定点を単数測定してもよいし複数の測定点を測定してもよい。複数の測定点を測定する場合、複数の試料に対してでもよいし、単数の試料に対して複数箇所の測定点を測定してもよい。この複数の試料は同種の試料に限らず、異種の試料でもよい。
【００４６】
前記各実施形態では、ステージ２は、制御部８によってＸＹ方向に駆動制御されるＸＹステージ２１とＺ方向に駆動制御される昇降部２２とを備えていたが、この構成に限らず、ＸＹステージ２１と昇降部２２とが一体となったステージであってもよいし、ＸＹステージ２１のみを備えていてもよいし、昇降部２２のみを備えていてもよい。また、制御部８は、ステージ２をＸＹＺ方向に駆動させたが、ＸＹＺ方向のうちＸＹ方向やＸＺ方向、ＹＺ方向といった２方向に限定して駆動させてもよいし、ＸＹＺ方向のいずれか１方向のみに駆動させてもよい。
【００４７】
前記各実施形態では、検出部１０はＵＳＢメモリ６が装着されたこととＵＳＢメモリ６に記憶された測定情報とを検出していたが、検出部１０はなくてもよく、ユーザが操作して測定情報を制御部８に伝達してもよい。
また、制御部８は測定結果をＵＳＢメモリ６に書込み部１２を介して書き込みをしたが、測定結果はＵＳＢメモリ６に書き込まずに、表示部５に表示させるだけでもよい。
前記第２実施形態では、ＵＳＢメモリ６に記憶された測定情報に基づき、制御部８が自動で測定を実行したが、この際、ボタン４の操作によるユーザからの入力信号を、制御部８の自動測定を中断させる非常停止信号とするように設定してあってもよい。
【００４８】
前記各実施形態では、１台の測定機１を用いて測定を実行する場合を説明したが、本発明の測定システムは、複数の測定機を備えたものであってもよい。すなわち、測定システムは、図６に示すように、複数の硬さ測定機１と、コンピュータＣと、ＵＳＢメモリ６とを備えている。この測定システムでは、硬さ測定機１とは外部接続されていないコンピュータＣによってＵＳＢメモリ６に記憶された測定情報に基づいて、複数の硬さ測定機１において自動で連続的な測定が実行される。
【００４９】
具体的には、予め複数の硬さ測定機１のステージ２に試料Ｓを載置するとともに、各試料Ｓに対応した測定情報をコンピュータＣからＵＳＢメモリ６に記憶し、このＵＳＢメモリ６を複数の硬さ測定機１に順次装着し、各硬さ測定機１に測定情報を読み込ませて測定を実行する。このように複数の硬さ測定機１によって測定を実行することで、１つのＵＳＢメモリ６で複数の硬さ測定機１を制御することができ、効率化を図ることができる。ＵＳＢメモリ６は、測定機１が測定をしている間、常時装着部７に装着している必要はないため、測定情報の読み込みが終わった時点で装着部７から取り外し、他の測定機１に装着して測定を実行させればよい。従って、複数の硬さ測定機１にて連続的に測定を実行することができるため、作業の効率化を図ることができる。
【００５０】
また、ＵＳＢメモリ６が複数あった場合、各ＵＳＢメモリ６にコンピュータＣから同一の測定情報を記憶させることで、複数箇所に硬さ測定機１が設置されていたとしても、ＵＳＢメモリ６を装着し測定情報を読み込ませることで測定を実行させることができるため、利便性を向上することができる。この際、各測定機または試料毎に対応するＩＤを測定情報に付しておくことで各測定機または各試料を識別し判別することで測定を実行させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
以上のように、本発明は、簡単かつ安価な装置構成であっても被測定物の測定を効率よく実行することができる測定機および測定システムに好適に利用できる。
【符号の説明】
【００５２】
１    測定機（硬さ測定機）
２    ステージ
３    測定部
５    表示部
６    外部記憶装置（ＵＳＢメモリ）
６Ａ    位置情報
６Ｂ    条件情報
７    装着部
８    制御部
９    メモリ
１０    検出部
１１    読込み部
１２    書込み部
Ｃ    コンピュータ
Ｓ    試料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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