(57)【要約】【課題】製造が容易なフローセンサを提供する。【解決手段】表面に複数の位置合わせマーク１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄが複数箇所に設けられたセンサチップ１００と、センサチップ１００表面に、位置合わせマーク１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄに沿って固定された、センサチップ１００によって内部を流れる流体の流量が検出される計測配管部２０と、を備えるフローセンサ。当該フローセンサを製造する際には、表面に位置合わせマーク１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄが設けられたセンサチップ１００を用意し、センサチップ１００表面に、位置合わせマーク１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄに沿って、センサチップ１００によって内部を流れる流体の流量が検出される計測配管部２０を固定する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に位置合わせマークが設けられたセンサチップと、
前記センサチップ表面に、前記位置合わせマークに沿って固定された、前記センサチップによって内部を流れる流体の流量が検出される計測配管部と、
を備えるフローセンサ。
【請求項２】
前記位置合わせマークが、前記センサチップに含まれる導線と同じ材料からなる、請求項１に記載のフローセンサ。
【請求項３】
前記位置合わせマークが、前記センサチップに含まれる導線と異なる材料からなる、請求項１に記載のフローセンサ。
【請求項４】
表面に位置合わせマークが設けられた回路基板と、
前記回路基板表面に固定された、前記回路基板に電気信号を送るセンサチップと、
前記センサチップ表面に、前記位置合わせマークに沿って固定された、前記センサチップによって内部を流れる流体の流量が検出される計測配管部と、
を備えるフローセンサ。
【請求項５】
前記位置合わせマークが、前記回路基板に含まれる導線と同じ材料からなる、請求項４に記載のフローセンサ。
【請求項６】
前記位置合わせマークが、前記回路基板に含まれる導線と異なる材料からなる、請求項４に記載のフローセンサ。
【請求項７】
前記位置合わせマークが、平行に配置された複数のパターンを含み、前記複数のパターンの長さがそれぞれ異なる、請求項１から４のいずれか１項に記載のフローセンサ。
【請求項８】
前記複数のパターンのそれぞれが長方形である、請求項７に記載のフローセンサ。
【請求項９】
表面に位置合わせマークが設けられたセンサチップを用意することと、
前記センサチップ表面に、前記位置合わせマークに沿って、前記センサチップによって内部を流れる流体の流量が検出される計測配管部を固定することと、
を備えるフローセンサの製造方法。
【請求項１０】
前記位置合わせマークが、前記センサチップに含まれる導線と同じ材料からなる、請求項９に記載のフローセンサの製造方法。
【請求項１１】
前記位置合わせマークが、前記センサチップに含まれる導線と異なる材料からなる、請求項９に記載のフローセンサの製造方法。
【請求項１２】
表面に位置合わせマークが設けられた回路基板を用意することと、
前記回路基板表面に、前記回路基板に電気信号を送るセンサチップを固定することと、
前記センサチップ表面に、前記位置合わせマークに沿って、前記センサチップによって内部を流れる流体の流量が検出される計測配管部を固定することと、
を備えるフローセンサの製造方法。
【請求項１３】
前記位置合わせマークが、前記回路基板に含まれる導線と同じ材料からなる、請求項１２に記載のフローセンサの製造方法。
【請求項１４】
前記位置合わせマークが、前記回路基板に含まれる導線と異なる材料からなる、請求項１２に記載のフローセンサの製造方法。
【請求項１５】
前記位置合わせマークが、平行に配置された複数のパターンを含み、前記複数のパターンの長さがそれぞれ異なる、請求項９から１４のいずれか１項に記載のフローセンサの製造方法。
【請求項１６】
前記複数のパターンのそれぞれが長方形である、請求項１５に記載のフローセンサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は計測技術に関し、フローセンサ及びフローセンサの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
流体の流量を計測するフローセンサは、様々な場面で使用されている。例えば、医療現場においては、カテーテルや点滴チューブ内を流れる薬液や血液等の流体の流量を監視するために、フローセンサが用いられている。また、半導体装置製造現場においては、チューブ内を流れる薬液等の流体の流量を監視するために、フローセンサが用いられている。フローセンサにおいては、流体が流れる配管の外表面に、センサチップを配置することが提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第０１／８４０８７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明者らは、フローセンサを製造する際において、通常、センサチップは配管の下に隠れるため、センサチップに対して配管が正確に配置されたか否かの確認が困難であることが、フローセンサの製造を困難にしていることを見出した。そこで、本発明は、製造が容易なフローセンサ及びフローセンサの製造方法を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の態様によれば、（ａ）表面に位置合わせマークが設けられたセンサチップと、（ｂ）センサチップ表面に、位置合わせマークに沿って固定された、センサチップによって内部を流れる流体の流量が検出される計測配管部と、を備えるフローセンサが提供される。当該フローセンサにおいて、位置合わせマークが、センサチップに含まれる導線と同じ材料からなっていてもよいし、異なる材料からなっていてもよい。
【０００６】
また、本発明の態様によれば、（ａ）表面に位置合わせマークが設けられた回路基板と、（ｂ）回路基板表面に固定された、回路基板に電気信号を送るセンサチップと、（ｃ）センサチップ表面に、位置合わせマークに沿って固定された、センサチップによって内部を流れる流体の流量が検出される計測配管部と、を備えるフローセンサが提供される。当該フローセンサにおいて、位置合わせマークが、回路基板に含まれる導線と同じ材料からなっていてもよいし、異なる材料からなっていてもよい。
【０００７】
上記のフローセンサにおいて、位置合わせマークが、平行に配置された複数のパターンを含み、複数のパターンの長さがそれぞれ異なっていてもよい。複数のパターンのそれぞれが長方形であってもよい。
【０００８】
さらに、本発明の態様によれば、（ａ）表面に位置合わせマークが設けられたセンサチップを用意することと、（ｂ）センサチップ表面に、位置合わせマークに沿って、センサチップによって内部を流れる流体の流量が検出される計測配管部を固定することと、を備えるフローセンサの製造方法が提供される。当該フローセンサの製造方法において、位置合わせマークが、センサチップに含まれる導線と同じ材料からなっていてもよいし、異なる材料からなっていてもよい。
【０００９】
またさらに、本発明の態様によれば、（ａ）表面に位置合わせマークが設けられた回路基板を用意することと、（ｂ）回路基板表面に、回路基板に電気信号を送るセンサチップを固定することと、（ｃ）センサチップ表面に、位置合わせマークに沿って、センサチップによって内部を流れる流体の流量が検出される計測配管部を固定することと、を備えるフローセンサの製造方法が提供される。当該フローセンサの製造方法において、位置合わせマークが、回路基板に含まれる導線と同じ材料からなっていてもよいし、異なる材料からなっていてもよい。
【００１０】
上記のフローセンサの製造方法において、位置合わせマークが、平行に配置された複数のパターンを含み、複数のパターンの長さがそれぞれ異なっていてもよい。複数のパターンのそれぞれが長方形であってもよい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、製造が容易なフローセンサ及びフローセンサの製造方法を提供可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るフローセンサの模式的上面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係るフローセンサのセンサ検出部の模式的拡大上面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係るフローセンサの模式的断面図である。
【図４】フローセンサにおいて、計測配管部がセンサチップ上に正確に配置されなかった場合の模式的上面図である。
【図５】フローセンサにおいて、計測配管部がセンサチップ上に正確に配置されなかった場合の模式的上面図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態に係るフローセンサの模式的上面図である。
【図７】本発明の第３の実施の形態に係るフローセンサの模式的上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
【００１４】
（第１の実施の形態）
第１の実施の形態に係るフローセンサは、図１に示すように、表面に複数の位置合わせマーク１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄが複数箇所に設けられたセンサチップ１００と、センサチップ１００表面に、位置合わせマーク１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄに沿って固定された、センサチップ１００によって内部を流れる流体の流量が検出される計測配管部２０と、を備える。
【００１５】
内部を流量計測の対象となる流体が流れる計測配管部２０の材料は、例えばガラス、ステンレス鋼等の金属、及びポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）等の樹脂であるが、特に限定されない。計測配管部２０の内部を流れる流体は、液体又は気体である。
【００１６】
センサチップ１００は、センサ検出部５を備える。センサ検出部５は、例えば図２に示すように、ヒータ６１を備える。また、センサチップ１００は、ヒータ６１より図１に示す計測配管部２０の上流側に位置する図２に示す上流側測温抵抗素子６２、ヒータ６１より下流側に位置する下流側測温抵抗素子６３、及び上流側測温抵抗素子６２より上流側に設けられた周囲温度センサ６４を備える。
【００１７】
ヒータ６１、上流側測温抵抗素子６２、及び下流側測温抵抗素子６３は、例えば、キャビティを覆う断熱性のダイアフラムに設けられている。ヒータ６１、上流側測温抵抗素子６２、下流側測温抵抗素子６３、及び周囲温度センサ６４のそれぞれの材料には白金（Ｐｔ）等が使用可能であり、リソグラフィ法等により形成可能である。ダイアフラムは、例えば、酸化ケイ素（ＳｉＯ2）等からなる。
【００１８】
図１に示す計測配管部２０は、センサチップ１００のセンサ検出部５の上に配置されており、計測配管部２０の外壁は、ヒータ６１、上流側測温抵抗素子６２、下流側測温抵抗素子６３、及び周囲温度センサ６４と熱接触している。なお、計測配管部２０が、ガラス等の透明材料からなる場合であっても、屈折等により、計測配管部２０の下のセンサ検出部５の位置を正確に視認することは、困難でありうる。計測配管部２０の長手方向から見た断面図である図３に示すように、計測配管部２０の、センサチップ１００と接触する部分は、平坦であってもよい。
【００１９】
図２に示す周囲温度センサ６４は、図１に示す計測配管部２０の温度を測定する。図２に示すヒータ６１は、計測配管部２０を、周囲温度センサ６４が計測した温度よりも一定温度高くなるよう、加熱する。上流側測温抵抗素子６２はヒータ６１より上流側の計測配管部２０の温度を検出するために用いられ、下流側測温抵抗素子６３はヒータ６１より下流側の計測配管部２０の温度を検出するために用いられる。
【００２０】
ここで、図１に示す計測配管部２０中の流体が静止している場合、図２に示すヒータ６１で加えられた熱は、上流方向と下流方向へ対称的に拡散する。したがって、上流側測温抵抗素子６２及び下流側測温抵抗素子６３の温度は等しくなり、上流側測温抵抗素子６２及び下流側測温抵抗素子６３の電気抵抗は等しくなる。これに対し、図１に示す計測配管部２０中の流体が上流から下流に流れている場合、図２に示すヒータ６１で加えられた熱は、下流方向に運ばれる。したがって、上流側測温抵抗素子６２の温度よりも、下流側測温抵抗素子６３の温度が高くなる。そのため、上流側測温抵抗素子６２の電気抵抗と、下流側測温抵抗素子６３の電気抵抗に差が生じる。下流側測温抵抗素子６３の電気抵抗と上流側測温抵抗素子６２の電気抵抗の差は、図１に示す計測配管部２０中の流体の流速と相関関係がある。そのため、図２に示す下流側測温抵抗素子６３の電気抵抗と上流側測温抵抗素子６２の電気抵抗の差から、図１に示す計測配管部２０を流れる流体の流量が求められる。
【００２１】
図１に示す位置合わせマーク１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄは、図２に示すヒータ６１、上流側測温抵抗素子６２、下流側測温抵抗素子６３、及び周囲温度センサ６４が正確に図１に示す計測配管部２０と接触するように設けられている。
【００２２】
位置合わせマーク１Ａは、例えば、平行に配置された複数のパターン１０Ａ、１１Ａ、１２Ａを含み、複数のパターン１０Ａ、１１Ａ、１２Ａの長さがそれぞれ異なる。例えば、複数のパターン１０Ａ、１１Ａ、１２Ａのそれぞれは長方形であり、パターン１０Ａが最も短く、パターン１１Ａが２番目に短く、パターン１２Ａが最も長い。
【００２３】
位置合わせマーク１Ｂは、当該位置合わせマーク１Ｂの延伸方向において、位置合わせマーク１Ａと平行に設けられている。位置合わせマーク１Ｂは、例えば、平行に配置された複数のパターン１０Ｂ、１１Ｂ、１２Ｂを含み、複数のパターン１０Ｂ、１１Ｂ、１２Ｂの長さがそれぞれ異なる。例えば、複数のパターン１０Ｂ、１１Ｂ、１２Ｂのそれぞれは長方形であり、パターン１０Ｂが最も短く、パターン１１Ｂが２番目に短く、パターン１２Ｂが最も長い。
【００２４】
上方から見た場合に、計測配管部２０の延伸方向の一方の輪郭線と、位置合わせマーク１Ａ、１Ｂと、が平行になるよう、計測配管部２０はセンサチップ１００上に配置されている。計測配管部２０の延伸方向の一方の輪郭線と、パターン１０Ａ、１０Ｂの輪郭線と、が一致してもよい。
【００２５】
位置合わせマーク１Ｃは、位置合わせマーク１Ａの延伸方向に対して垂直な方向において、位置合わせマーク１Ａと対向するように設けられている。位置合わせマーク１Ｃは、例えば、平行に配置された複数のパターン１０Ｃ、１１Ｃ、１２Ｃを含み、複数のパターン１０Ｃ、１１Ｃ、１２Ｃの長さがそれぞれ異なる。例えば、複数のパターン１０Ｃ、１１Ｃ、１２Ｃのそれぞれは長方形であり、パターン１０Ｃが最も短く、パターン１１Ｃが２番目に短く、パターン１２Ｃが最も長い。
【００２６】
位置合わせマーク１Ｄは、当該位置合わせマーク１Ｃの延伸方向において、位置合わせマーク１Ｃと平行に設けられている。また、位置合わせマーク１Ｄは、位置合わせマーク１Ｂの延伸方向に対して垂直な方向において、位置合わせマーク１Ｂと対向するように設けられている。位置合わせマーク１Ｄは、例えば、平行に配置された複数のパターン１０Ｄ、１１Ｄ、１２Ｄを含み、複数のパターン１０Ｄ、１１Ｄ、１２Ｄの長さがそれぞれ異なる。例えば、複数のパターン１０Ｄ、１１Ｄ、１２Ｄのそれぞれは長方形であり、パターン１０Ｄが最も短く、パターン１１Ｄが２番目に短く、パターン１２Ｄが最も長い。
【００２７】
上方から見た場合に、計測配管部２０の延伸方向の他方の輪郭線と、位置合わせマーク１Ｃ、１Ｄと、が平行になるよう、計測配管部２０はセンサチップ１００上に配置されている。計測配管部２０の延伸方向の他方の輪郭線と、パターン１０Ｃ、１０Ｄの輪郭線と、が一致してもよい。
【００２８】
例えば、位置合わせマーク１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄは、互いに合同である。位置合わせマーク１Ａと、位置合わせマーク１Ｂと、は、計測配管部２０の延伸方向に対して垂直な線を挟んで対称である。位置合わせマーク１Ｃと、位置合わせマーク１Ｄと、は、計測配管部２０の延伸方向に対して垂直な線を挟んで対称である。
【００２９】
位置合わせマーク１Ａと、位置合わせマーク１Ｃと、は、計測配管部２０の延伸方向と平行な線であって、計測配管部２０の延伸方向に対して垂直方向におけるセンサ検出部５の幅の中心を通る線（以下、「中心線」という。）を挟んで対称である。位置合わせマーク１Ｂと、位置合わせマーク１Ｄと、も、中心線を挟んで対称である。
【００３０】
例えば、位置合わせマーク１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄは、センサチップ１００に含まれるヒータ６１、上流側測温抵抗素子６２、下流側測温抵抗素子６３、及び周囲温度センサ６４等の導線と同じ材料からなっていてもよいし、異なる材料からなっていてもよい。センサチップ１００を製造する際、位置合わせマーク１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄは、ヒータ６１、上流側測温抵抗素子６２、下流側測温抵抗素子６３、及び周囲温度センサ６４と同時に、フォトリソグラフィ技術により形成されてもよい。
【００３１】
計測配管部２０は、例えば、熱伝導性接着剤によって、センサチップ１００上に固定されている。熱伝導性接着剤は、例えば、伝導性フィラーと、バインダー樹脂と、の混合物である。伝導性フィラーには、例えば、銀、銅、鉄、アルミニウム、及びニッケル等の金属微粉末やカーボンブラックが含まれる。また、バインダー樹脂には、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、フェノール樹脂及びイミド樹脂等の樹脂が含まれる。
【００３２】
第１の実施の形態に係るフローセンサを製造する際には、表面に位置合わせマーク１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄが設けられたセンサチップ１００を用意し、センサチップ１００表面に、位置合わせマーク１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄに沿って、センサチップ１００によって内部を流れる流体の流量が検出される計測配管部２０を固定する。
【００３３】
ここで、計測配管部２０が、中心線に沿って正確に配置されると、計測配管部２０を挟んで位置合わせマーク１Ａ、１Ｃの組み合わせ、及び位置合わせマーク１Ｂ、１Ｄの組み合わせが対称的に現れる。
【００３４】
しかし、計測配管部２０が、中心線から平行方向にずれて配置されると、例えば、図４に示すように、位置合わせマーク１Ｃ、１Ｄの一部が計測配管部２０の下に隠れる。この場合、計測配管部２０を、位置合わせマーク１Ａ、１Ｂの方にずらし、位置合わせマーク１Ａ、１Ｃの組み合わせ、及び位置合わせマーク１Ｂ、１Ｄの組み合わせが計測配管部２０を挟んで対称的に現れるようにすると、計測配管部２０が、中心線に沿って正確に配置される。
【００３５】
また、この際、位置合わせマーク１Ｃ、１Ｄが、どの程度、計測配管部２０の下に隠れているかによって、計測配管部２０の配置のずれの量を確認することも可能となる。図４に示す例では、パターン１０Ｃ、１０Ｄが計測配管部２０の下に隠れ、パターン１１Ｃ、１２Ｃ、１１Ｄ、１２Ｄが現れていることから、パターン１０Ｃ、１０Ｄの幅と同じ程度、計測配管部２０の位置を調整すればよいことが分かる。
【００３６】
さらに、位置合わせマーク１Ｃに含まれるパターン１０Ｃ、１１Ｃ、１２Ｃの長さが互いに異なり、かつ、位置合わせマーク１Ｄに含まれるパターン１０Ｄ、１１Ｄ、１２Ｄの長さが互いに異なることから、いずれのパターンが計測配管部２０の下に隠れているかの確認も容易となる。
【００３７】
また、計測配管部２０が、中心線から斜めにずれて配置されると、例えば、図５に示すように、位置合わせマーク１Ｂ、１Ｃの一部が計測配管部２０の下に隠れる。この場合、計測配管部２０を回転させ、位置合わせマーク１Ａ、１Ｃの組み合わせ、及び位置合わせマーク１Ｂ、１Ｄの組み合わせが計測配管部２０を挟んで対称的に現れるようにすると、計測配管部２０が、中心線に沿って正確に配置される。
【００３８】
また、この際、対角線的に配置された位置合わせマーク１Ｂ、１Ｃが、どの程度、計測配管部２０の下に隠れているかによって、計測配管部２０の配置の斜めずれ量を確認することも可能となる。図５に示す例では、パターン１０Ｂ、１０Ｃが計測配管部２０の下に隠れ、パターン１１Ｂ、１２Ｂ、１１Ｃ、１２Ｃが現れていることから、パターン１０Ｂ、１０Ｃの幅が表出する程度に、計測配管部２０を回転させればよいことが分かる。
【００３９】
計測配管部２０がセンサチップ１００上に正確に配置されたら、例えば、熱伝導性接着剤によって、計測配管部２０をセンサチップ１００上に固定する。接着剤によって計測配管部２０をセンサチップ１００上に固定した後の不良品検査においても、位置合わせマーク１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄと、センサチップ１００と、の位置関係を観察してもよい。
【００４０】
計測配管部２０が、センサチップ１００からずれて配置されると、フローセンサの感度が低下しうる。これに対し、第１の実施の形態に係るフローセンサの製造方法によれば、センサチップ１００に対する計測配管部２０の位置関係を容易に確認することが可能であり、センサチップ１００に対して、計測配管部２０を正確かつ容易に配置することが可能となる。また、計測配管部２０が、センサチップ１００からずれて配置された場合も、計測配管部２０の配置を容易に調整することが可能となる。
【００４１】
（第２の実施の形態）
第２の実施の形態に係るフローセンサにおいては、図６に示すように、位置合わせマーク１０１Ａ、１０１Ｃの組みが、計測配管部２０の輪郭線を挟むように、センサチップ１００に設けられている。また、位置合わせマーク１０１Ｂ、１０１Ｄの組みも、計測配管部２０の輪郭線を挟むように、センサチップ１００に設けられている。
【００４２】
第２の実施の形態に係るフローセンサにおいて、センサチップ１００上に、計測配管部２０が正確に配置されると、位置合わせマーク１０１Ｃ、１０１Ｄの全体が計測配管部２０の下に隠れ、位置合わせマーク１０１Ａ、１０１Ｂの全体が表出する。また、計測配管部２０は、位置合わせマーク１０１Ａ、１０１Ｂと平行になる。
【００４３】
第２の実施の形態に係るフローセンサにおいて、センサチップ１００上に、計測配管部２０が不正確に配置されると、位置合わせマーク１０１Ｃ、１０１Ｄのパターン１１０Ｃ、１１１Ｃ、１１２Ｃ、１１０Ｄ、１１１Ｄ、１１２Ｄの少なくとも一部が表出しうる。また、位置合わせマーク１０１Ａ、１０１Ｂのパターン１１０Ａ、１１１Ａ、１１２Ａ、１１０Ｂ、１１１Ｂ、１１２Ｂの少なくとも一部が計測配管部２０の下に隠れうる。
【００４４】
第２の実施の形態に係るフローセンサを製造する際も、第１の実施の形態と同様、センサチップ１００に対する計測配管部２０の位置関係を容易に確認することが可能であり、センサチップ１００に対して、計測配管部２０を正確かつ容易に配置することが可能となる。また、計測配管部２０が、センサチップ１００からずれて配置された場合も、計測配管部２０の配置を容易に調整することが可能となる。
【００４５】
（第３の実施の形態）
第３の実施の形態に係るフローセンサは、図７に示すように、表面に位置合わせマーク２０１Ａ、２０１Ｂ、２０１Ｃ、２０１Ｄが設けられた回路基板２００と、回路基板２００表面に固定された、回路基板２００に電気信号を送るセンサチップ１００と、センサチップ１００表面に、位置合わせマーク２０１Ａ、２０１Ｂ、２０１Ｃ、２０１Ｄに沿って固定された、センサチップ１００によって内部を流れる流体の流量が検出される計測配管部２０と、を備える。
【００４６】
回路基板２００は、例えば中継基板であり、センサチップ１００に電気的に接合されている。
【００４７】
位置合わせマーク２０１Ａは、例えば、平行に配置された複数のパターン２１０Ａ、２１１Ａ、２１２Ａを含み、複数のパターン２１０Ａ、２１１Ａ、２１２Ａの長さがそれぞれ異なる。例えば、複数のパターン２１０Ａ、２１１Ａ、２１２Ａのそれぞれは長方形であり、パターン２１０Ａが最も短く、パターン２１１Ａが２番目に短く、パターン２１２Ａが最も長い。
【００４８】
位置合わせマーク２０１Ｂは、当該位置合わせマーク２０１Ｂの延伸方向において、位置合わせマーク２０１Ａと平行に設けられている。位置合わせマーク２０１Ｂは、例えば、平行に配置された複数のパターン２１０Ｂ、２１１Ｂ、２１２Ｂを含み、複数のパターン２１０Ｂ、２１１Ｂ、２１２Ｂの長さがそれぞれ異なる。例えば、複数のパターン２１０Ｂ、２１１Ｂ、２１２Ｂのそれぞれは長方形であり、パターン２１０Ｂが最も短く、パターン２１１Ｂが２番目に短く、パターン２１２Ｂが最も長い。
【００４９】
上方から見た場合に、計測配管部２０の延伸方向の一方の輪郭線と、位置合わせマーク２０１Ａ、２０１Ｂと、が平行になるよう、計測配管部２０は回路基板２００及びセンサチップ１００上に配置されている。計測配管部２０の延伸方向の一方の輪郭線と、パターン２１０Ａ、１０Ｂの輪郭線と、が一致してもよい。
【００５０】
位置合わせマーク２０１Ｃは、位置合わせマーク２０１Ａの延伸方向に対して垂直な方向において、位置合わせマーク２０１Ａと対向するように設けられている。位置合わせマーク２０１Ｃは、例えば、平行に配置された複数のパターン２１０Ｃ、２１１Ｃ、２１２Ｃを含み、複数のパターン２１０Ｃ、２１１Ｃ、２１２Ｃの長さがそれぞれ異なる。例えば、複数のパターン２１０Ｃ、２１１Ｃ、２１２Ｃのそれぞれは長方形であり、パターン２１０Ｃが最も短く、パターン２１１Ｃが２番目に短く、パターン２１２Ｃが最も長い。
【００５１】
位置合わせマーク２０１Ｄは、当該位置合わせマーク２０１Ｃの延伸方向において、位置合わせマーク２０１Ｃと平行に設けられている。また、位置合わせマーク２０１Ｄは、位置合わせマーク２０１Ｂの延伸方向に対して垂直な方向において、位置合わせマーク２０１Ｂと対向するように設けられている。位置合わせマーク２０１Ｄは、例えば、平行に配置された複数のパターン２１０Ｄ、２１１Ｄ、２１２Ｄを含み、複数のパターン２１０Ｄ、２１１Ｄ、２１２Ｄの長さがそれぞれ異なる。例えば、複数のパターン２１０Ｄ、２１１Ｄ、２１２Ｄのそれぞれは長方形であり、パターン２１０Ｄが最も短く、パターン２１１Ｄが２番目に短く、パターン２１２Ｄが最も長い。
【００５２】
上方から見た場合に、計測配管部２０の延伸方向の他方の輪郭線と、位置合わせマーク２０１Ｃ、２０１Ｄと、が平行になるよう、計測配管部２０は回路基板２００及びセンサチップ１００上に配置されている。計測配管部２０の延伸方向の他方の輪郭線と、パターン２１０Ｃ、２１０Ｄの輪郭線と、が一致してもよい。
【００５３】
例えば、位置合わせマーク２０１Ａ、２０１Ｂ、２０１Ｃ、２０１Ｄは、互いに合同である。位置合わせマーク２０１Ａと、位置合わせマーク２０１Ｂと、は、計測配管部２０の延伸方向に対して垂直な線を挟んで対称である。位置合わせマーク２０１Ｃと、位置合わせマーク２０１Ｄと、は、計測配管部２０の延伸方向に対して垂直な線を挟んで対称である。
【００５４】
位置合わせマーク２０１Ａと、位置合わせマーク２０１Ｃと、は、中心線を挟んで対称である。位置合わせマーク２０１Ｂと、位置合わせマーク２０１Ｄと、も、中心線を挟んで対称である。
【００５５】
例えば、位置合わせマーク２０１Ａ、２０１Ｂ、２０１Ｃ、２０１Ｄは、回路基板２００に含まれる金等からなる導線と同じ材料からなっていてもよいし、異なる材料からなっていてもよい。回路基板２００を製造する際、位置合わせマーク２０１Ａ、２０１Ｂ、２０１Ｃ、２０１Ｄは、導線と同時に、フォトリソグラフィ技術により形成されてもよい。
【００５６】
第３の実施の形態に係るフローセンサを製造する際には、表面に位置合わせマーク２０１Ａ、２０１Ｂ、２０１Ｃ、２０１Ｄが設けられた回路基板２００を用意し、回路基板２００の表面にセンサチップ１００を配置する。さらに、センサチップ１００表面に、位置合わせマーク２０１Ａ、２０１Ｂ、２０１Ｃ、２０１Ｄに沿って、センサチップ１００によって内部を流れる流体の流量が検出される計測配管部２０を固定する。
【００５７】
第３の実施の形態に係るフローセンサを製造する際も、回路基板２００上に配置されたセンサチップ１００に対する計測配管部２０の位置関係を容易に確認することが可能であり、センサチップ１００に対して、計測配管部２０を正確に配置することが容易に可能となる。また、計測配管部２０が、センサチップ１００からずれて配置された場合も、計測配管部２０の配置を容易に調整することが可能となる。
【００５８】
（その他の実施の形態）
上記のように、本発明を実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施の形態及び運用技術が明らかになるはずである。例えば、センサ検出部５は、ヒータのみ、あるいは測温抵抗素子のみを備えていてもよい。ヒータのみを備えるセンサチップと、測温抵抗素子のみを備えるセンサチップと、を組み合わせることによっても、計測配管部内の流体の流量を測定することが可能である。また、ヒータのみを備えるセンサチップと、測温抵抗素子のみを備えるセンサチップと、の両方に位置合わせマークを設けることにより、複数のセンサチップ上に、計測配管部を正確に配置することが可能である。また、位置合わせマークのパターンの形状は、長方形に限られず、連続的なドットパターンであってもよい。この様に、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。
【符号の説明】
【００５９】
１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ、１０１Ａ、１０１Ｂ、１０１Ｃ、１０１Ｄ、２０１Ａ、２０１Ｂ、２０１Ｃ、２０１Ｄ      位置合わせマーク
５     センサ検出部
１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ、１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄ、１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ、１２Ｄ、１１０Ａ、１１０Ｂ、１１０Ｃ、１１０Ｄ、２１０Ａ、２１０Ｂ、２１０Ｃ、２１０Ｄ、２１１Ａ、２１１Ｂ、２１１Ｃ、２１１Ｄ、２１２Ａ、２１２Ｂ、２１２Ｃ、２１２Ｄ       パターン
２０   計測配管部
６１   ヒータ
６２   上流側測温抵抗素子
６３   下流側測温抵抗素子
６４   周囲温度センサ
１００ センサチップ
２００ 回路基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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