(57)【要約】【課題】高精度にタッチ検出を可能なタッチパネル及び表示装置を提供する。【解決手段】タッチパネルは、第１方向に延在する複数の第１電極と、第２方向に延在する複数の第２電極と、前記複数の第１電極と前記複数の第２電極との間に配置された絶縁膜と、を含み、各第１電極及び各第２電極は、メッシュ状の複数の導電線からなり、各第１電極及び前記各第２電極において、複数の第１電極と複数の第２電極とが平面視で交差しない非交差領域のメッシュ密度は、複数の第１電極と複数の第２電極とが平面視で交差する交差領域のメッシュ密度より大きい。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１方向に延在する複数の第１電極と、
第２方向に延在する複数の第２電極と、
前記複数の第１電極と前記複数の第２電極との間に配置された絶縁膜と、
を含み、
前記各第１電極及び前記各第２電極は、メッシュ状の複数の導電線からなり、
前記各第１電極及び前記各第２電極において、前記複数の第１電極と前記複数の第２電極とが平面視で交差しない非交差領域のメッシュ密度は、前記複数の第１電極と前記複数の第２電極とが平面視で交差する交差領域のメッシュ密度より大きい、
ことを特徴とするタッチパネル。
【請求項２】
前記各第１電極及び前記各第２電極において、前記非交差領域のメッシュ密度は、前記交差領域のメッシュ密度の２倍である、
ことを特徴とする請求項１に記載のタッチパネル。
【請求項３】
平面的に見て前記第１電極及び前記第２電極が形成されない領域に、前記第１電極及び前記第２電極のいずれとも導通しないダミー電極が形成される、
ことを特徴とする請求項１に記載のタッチパネル。
【請求項４】
前記タッチパネルを平面的に見たときに、前記複数の第１電極と前記複数の第２電極とで構成されるメッシュ状の複数の導電線それぞれの間隔が、前記交差領域と前記非交差領域とで等しい、
ことを特徴とする請求項１に記載のタッチパネル。
【請求項５】
前記タッチパネルを平面的に見たときに、前記交差領域において前記第１電極を構成する複数の導電線と、前記第２電極を構成する複数の導電線とは、互いに導電線の間隔の半分だけずれて配置されている、
ことを特徴とする請求項１に記載のタッチパネル。
【請求項６】
請求項１に記載のタッチパネルと、画像を表示する表示パネルとを含む、
ことを特徴とする表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はタッチパネル及び表示装置に関し、より詳しくは静電容量方式のタッチパネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、表示パネルとタッチパネルとを組み合わせた表示装置が提案されている。例えば、静電容量方式のタッチパネルは、接触物とセンサ電極との間での静電容量の変化から接触物の位置を検出する。また、静電容量方式のセンサ電極としては、銅等の低電気抵抗の導電体の線条パターンからなるメッシュ状センサ電極が提案されている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−１８６６８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載のメッシュ状センサ電極によりセンサ電極を低電気抵抗にすることができるが、近年の表示装置の大画面化に伴いセンサ電極の電気抵抗をより低くしてタッチ検出の精度を向上することが求められている。
【０００５】
本発明は、上記課題に鑑みて為されたものであり、その目的は、高精度にタッチ検出を可能なタッチパネル及び表示装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るタッチパネルは、上記課題を解決するために、第１方向に延在する複数の第１電極と、第２方向に延在する複数の第２電極と、前記複数の第１電極と前記複数の第２電極との間に配置された絶縁膜と、を含み、前記各第１電極及び前記各第２電極は、メッシュ状の複数の導電線からなり、前記各第１電極及び前記各第２電極において、前記複数の第１電極と前記複数の第２電極とが平面視で交差しない非交差領域のメッシュ密度は、前記複数の第１電極と前記複数の第２電極とが平面視で交差する交差領域のメッシュ密度より大きい、ことを特徴とする。
【０００７】
本発明に係るタッチパネルは、前記各第１電極及び前記各第２電極において、前記非交差領域のメッシュ密度は、前記交差領域のメッシュ密度の２倍であってもよい。
【０００８】
本発明に係るタッチパネルは、平面的に見て前記第１電極及び前記第２電極が形成されない領域に、前記第１電極及び前記第２電極のいずれとも導通しないダミー電極が形成されてもよい。
【０００９】
本発明に係るタッチパネルは、前記タッチパネルを平面的に見たときに、前記複数の第１電極と前記複数の第２電極とで構成されるメッシュ状の複数の導電線それぞれの間隔が、前記交差領域と前記非交差領域とで等しくてもよい。
【００１０】
本発明に係るタッチパネルは、前記タッチパネルを平面的に見たときに、前記交差領域において前記第１電極を構成する複数の導電線と、前記第２電極を構成する複数の導電線とは、互いに導電線の間隔の半分だけずれて配置されてもよい。
【００１１】
本発明に係る表示装置は、上記のタッチパネルと、画像を表示する表示パネルとを含む、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、静電容量方式のタッチパネルにおいてタッチ検出の精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本実施形態に係るタッチパネルを有するタッチパネル装置の全体構成を示す図である。
【図２】図２は、本実施形態に係る第１電極の構成を示す平面図である。
【図３】本実施形態に係る第２電極の構成を示す平面図である。
【図４】本実施形態に係る第１電極及び第２電極を重ね合わせた状態を示す平面図である。
【図５】図４の一部を拡大した概略図である。
【図６】図４のＡ−Ａ´断面図である。
【図７】第１電極を構成する導電線のメッシュ形状の一例を示す図である。
【図８】第２電極を構成する導電線のメッシュ形状の一例を示す図である。
【図９】タッチパネルを平面的に見た場合の第１電極及び第２電極を構成する導電線のメッシュ形状の一例を示す図である。
【図１０】タッチパネルを平面的に見た場合の交差領域を示す図である。
【図１１】ダミー電極が配置された状態での第１電極周辺を示す平面図である。
【図１２】本実施形態に係るタッチパネルを有する表示装置の全体構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、図面については、同一又は同等の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００１５】
図１は、本実施形態に係るタッチパネル１０１を有するタッチパネル装置１００の全体構成を示す図である。図１に示すように、タッチパネル装置１００は、例えば、タッチパネル１０１と、駆動信号生成部１０２と、検出処理部１０３と、を含んで構成される。なお、駆動信号生成部１０２と、検出処理部１０３とは、１のコントローラで構成されてもよい。
【００１６】
タッチパネル１０１は、行方向（第１方向）に延在する複数の第１電極ＸＰ（ＸＰ１〜ＸＰｎ）と、列方向（第２方向）に延在する第２電極ＹＰ（ＹＰ１〜ＹＰｍ）とを含む。第１電極ＸＰと第２電極ＹＰとの間には絶縁膜などが形成されており、第１電極ＸＰと第２電極ＹＰとは、平面的に見て、交差するように配置されている。ここで、ｎ，ｍは１以上の整数である。
【００１７】
以下の説明において、第１電極ＸＰ〜ＸＰｎにおいて共通の構成を説明するときは単に第１電極ＸＰと表記することとする。同様に、第２電極ＹＰ〜ＹＰｍにおいて共通の構成を説明するときは単に第２電極ＹＰと表記することとする。
【００１８】
駆動信号生成部１０２は、電極を駆動するための駆動信号（パルス信号）を複数の第１電極ＸＰへ順次出力する。具体的には、駆動信号生成部１０２は、例えば、第１電極ＸＰ１から第１電極ＸＰｎに順にパルス信号を出力する。
【００１９】
検出処理部１０３は、タッチの有無に基づく第１電極ＸＰと第２電極ＹＰとの間の静電容量変化に基づいて、タッチパネル１０１に対するタッチの有無やタッチされた位置を検出する。具体的には、第１電極ＸＰに入力されたパルス信号に基づいて第１電極ＸＰと第２電極ＹＰとの間に静電容量（電極間容量）が生じるが、当該電極間容量はタッチパネル１０１へのタッチの有無により変動する。例えば指等の接触物がタッチパネル１０１にタッチされると、接触物と各電極との間に静電容量（タッチ容量）が生じるため、当該タッチ容量に応じて電極間容量が小さくなる。そこで、電極間容量の変化を検出することによりタッチパネル１０１に対するタッチの有無やタッチされた位置を検出する。
【００２０】
ここで、本実施形態に係る第１電極ＸＰ及び第２電極ＹＰの構成の一例について説明する。図２は、本実施形態に係る第１電極ＸＰの構成を示す平面図である。図３は、本実施形態に係る第２電極ＹＰの構成を示す平面図である。図４は、本実施形態に係る第１電極ＸＰ及び第２電極ＹＰを重ね合わせた状態を示す平面図である。図５は、図４の一部を拡大した概略図である。図６は、図４のＡ−Ａ´断面図である。
【００２１】
図１では、便宜上、第１電極ＸＰ及び第２電極ＹＰを直線で示したが、図２に示すように、第１電極ＸＰは、行方向に延在するとともに列方向の幅が周期的に変化する形状であってもよい。同様に、図３に示すように、第２電極ＹＰは、列方向に延在するとともに行方向の幅が周期的に変化する形状であってもよい。具体的には、図２に示すように、第１電極ＸＰは、行方向に、菱形形状であって幅の広い広幅部（第１電極部１１１）と、幅の短い短幅部（第１配線部１１２）とが交互に並ぶように形成されている。同様に、図３に示すように、第２電極ＹＰは、列方向に、菱形形状であって幅の広い広幅部（第２電極部１２１）と、幅の短い短幅部（第２配線部１２２）とが交互に並ぶように形成されている。また、図５に示すように、第１電極部１１１と第２電極部１２１とは平面的に見て重畳することなく配置され、第１配線部１１２の一部と第２配線部１２２の一部とが平面的に見て交差するように配置されている。なお、第１配線部１１２の全体と第２配線部１２２の全体とが平面的に見て交差するように配置されていてもよい。ここでは、第１電極ＸＰ及び第２電極ＹＰにおいて第１電極ＸＰと第２電極ＹＰが交差する領域（図５においては第１配線部１１２の一部と第２配線部１２２の一部とが交差する領域）を交差領域１３０とする。また第１電極ＸＰ及び第２電極ＹＰにおいて第１電極ＸＰと第２電極ＹＰとが交差しない領域を非交差領域１３１とする。また第１電極ＸＰ及び第２電極ＹＰのいずれも形成されない領域を電極非形成領域１４０とする。
【００２２】
また、図６に示すように、第１電極ＸＰは絶縁膜２００の一方の面に形成され、第２電極ＹＰは絶縁膜２００の他方の面に形成されている。第１電極ＸＰの下方には、第１電極ＸＰを覆うように下側絶縁層２０１が形成されている。第２電極ＹＰの上方には、第２電極ＹＰを覆うように上側絶縁層２０２が形成されている。このように第１電極ＸＰと第２電極ＹＰとは絶縁膜２００を介して離間して形成されている。なお、第１電極ＸＰの配置位置と第２電極ＹＰの配置位置とが逆となってもよい。
【００２３】
本実施形態に係る第１電極ＸＰ及び第２電極ＹＰは、銅、銀等の導電率の高い導電性材料からなる複数の導電線によりメッシュ状に形成される。図７及び図８を用いて、第１電極ＸＰ及び第２電極ＹＰを構成する導電線のメッシュ形状について説明する。図７は、第１電極ＸＰを構成する導電線のメッシュ形状の一例を示す図である。図８は、第２電極ＹＰを構成する導電線のメッシュ形状の一例を示す図である。
【００２４】
図７に示すように、第１電極ＸＰは、複数の交点を有するように相互に交差する方向に延伸するメッシュ形状の複数の第１導電線１１３からなる。例えば、複数の第１導電線１１３は、２本の対角線の一方の長さがＤＶ、他方の長さがＤＨの複数の四角形からなるメッシュ形状を構成している。本実施形態では第１電極ＸＰにおける非交差領域１３１の総面積に対する第１導電線１１３の占める割合（メッシュ密度）は、第１電極ＸＰにおける交差領域１３０の総面積に対する第１導電線１１３の占める割合（メッシュ密度）より大きくなる。具体的には、第１電極ＸＰにおける非交差領域１３１のメッシュ密度は、第１電極ＸＰにおける交差領域１３０のメッシュ密度の２倍とする。図７においては、交差領域１３０における複数の第１導電線１１３それぞれの間隔を、非交差領域１３１における複数の第１導電線１１３それぞれの間隔の２倍にしている。
【００２５】
図８に示すように、第２電極ＹＰは、複数の交点を有するように相互に交差する方向に延伸するメッシュ状の複数の第２導電線１２３からなる。複数の第２導電線１２３は、第１電極ＸＰと同様に２本の対角線の一方の長さがＤＶ、他方の長さがＤＨの複数の四角形からなるメッシュ形状を構成している。本実施形態では第２電極ＹＰにおける非交差領域１３１の総面積に対する第２導電線１２３の占める割合（メッシュ密度）は、第２電極ＹＰにおける交差領域１３０の総面積に対する第２導電線１２３の占める割合（メッシュ密度）より大きくなる。具体的には、第２電極ＹＰにおける非交差領域１３１のメッシュ密度は、第２電極ＹＰにおける交差領域１３０のメッシュ密度の２倍となる。図８においては、交差領域１３０における複数の第２導電線１２３それぞれの間隔を、非交差領域１３１における複数の第２導電線１２３それぞれの間隔の２倍にしている。なお、第１電極ＸＰと、第２電極ＹＰとは同一のメッシュ形状を有しており、非交差領域１３１における第１電極ＸＰのメッシュ密度と第２電極ＹＰのメッシュ密度とが等しくなる。また交差領域１３０における第１電極ＸＰのメッシュ密度と第２電極ＹＰのメッシュ密度とが等しくなる。
【００２６】
このように、第１電極ＸＰにおける非交差領域１３１のメッシュ密度が、第１電極ＸＰにおける交差領域１３０のメッシュ密度の２倍になると、第１電極ＸＰの非交差領域１３１の電気抵抗値は第１電極ＸＰの交差領域１３０の電気抵抗値の１／２になる。同様に、第２電極ＹＰにおける非交差領域１３１のメッシュ密度が、第２電極ＹＰにおける交差領域１３０のメッシュ密度の２倍になると、第２電極ＹＰの非交差領域１３１の電気抵抗値は第２電極の交差領域１３０の電気抵抗値の１／２になる。したがって本実施形態によれば、交差領域１３０と非交差領域１３１とでメッシュ密度が等しい場合と比較して、第１電極ＸＰの電気抵抗値及び第２電極ＹＰの電気抵抗値が小さくなる。そして第１電極ＸＰの電気抵抗値及び第２電極ＹＰの電気抵抗値が小さいほど、各電極は高周波数の信号を伝送することができるので、例えば駆動信号生成部１０２から第１電極ＸＰに出力するパルス信号の周波数を高く設定することが可能となり、タッチ検出の精度が向上する。また、本実施形態によれば、アクティブペン等から出力される高周波数の信号であっても良好に伝送することが可能となるので、アクティブペン等の高感度のタッチ検出が要求される場合にも適用することが可能となる。
【００２７】
また、本実施形態によれば第１電極ＸＰ及び第２電極ＹＰにおける非交差領域１３１のメッシュ密度が大きくなるため、指等の接触物がタッチパネル１０１にタッチされたときに生じるタッチ容量が大きくなる。したがって、接触物がタッチパネル１０１にタッチされたときの電極間容量の変化が大きくなりタッチ検出の精度が向上する。
【００２８】
また、図７に示したメッシュ形状を有する第１電極ＸＰと、図８に示したメッシュ形状を有する第２電極ＹＰとが配置されたタッチパネル１０１を平面的に見た場合には、図９に示すように交差領域１３０のメッシュ密度と非交差領域１３１のメッシュ密度とが等しくなる。図９は、タッチパネル１０１を平面的に見た場合の第１電極ＸＰ及び第２電極ＹＰを構成する導電線のメッシュ形状の一例を示す図である。図９に示すように、タッチパネル１０１を平面的に見た場合に、第１電極ＸＰを構成する複数の第１導電線１１３及び第２電極ＹＰを構成する複数の第２導電線１２３それぞれの間隔が、交差領域１３０と非交差領域１３１とで等しくなる。
【００２９】
図１０は、タッチパネル１０１を平面的に見た場合の交差領域１３０を示す図である。図１０においては、第１導電線１１３を実線で示し、第２導電線１２３を点線で示している。図１０に示すように、本実施形態では互いに交差する第１電極ＸＰと第２電極ＹＰとの交差領域１３０において、複数の第１導電線１１３と複数の第２導電線１２３とは互いに導電線の間隔の半分だけずれるように配置されている。したがって、第１電極ＸＰ及び第２電極ＹＰを重ね合わせた状態でタッチパネル１０１を平面的に見たときに、交差領域１３０において複数の第１導電線１１３と複数の第２導電線１２３とは導電線の間隔の半分だけずれるように互い違いに配置されることとなる。また、交差領域１３０の第１導電線１１３の延長上に非交差領域１３１の第１導電線１１３または第２導電線１２３が配置されるようにする。同様に、交差領域１３０の第２導電線１２３の延長上に非交差領域１３１の第１導電線１１３または第２導電線１２３が配置されるようにする。このようにして、交差領域１３０における、複数の第１導電線１１３及び複数の第２導電線１２３それぞれの間隔は、非交差領域１３１における複数の第１導電線１１３それぞれの間隔及び非交差領域１３１における複数の第２導電線１２３それぞれの間隔と等しくなる。そして、第１電極ＸＰ及び第２電極ＹＰを重ね合わせた状態でタッチパネル１０１を平面的に見た場合に、図９に示したような、複数の第１導電線１１３と複数の第２導電線１２３とでタッチパネル１０１全体においてメッシュ密度が均一になるようにメッシュ形状が構成される。
【００３０】
また、第１電極ＸＰと第２電極ＹＰとの積層方向の離間距離は小さいほうが好ましい。本実施形態では、第１電極ＸＰ及び第２電極ＹＰにおいて、交差領域１３０のメッシュ密度を非交差領域１３１のメッシュ密度の１／２としている。そして交差領域１３０において複数の第１導電線１１３と複数の第２導電線１２３とは、導電線の間隔の半分だけずれるように配置されている。そのため、第１電極ＸＰと第２電極ＹＰとの離間距離が大きいと、タッチパネル１０１を斜めから見た場合に交差領域１３０において複数の第１導電線１１３と複数の第２導電線１２３とが重なることがあり、交差領域１３０と非交差領域１３１とでメッシュ密度に差が生じてしまう。このような交差領域１３０と非交差領域１３１とのメッシュ密度の差が生じることにより、導電線による筋状のむらが目視されやすくなる。このような問題は、第１電極ＸＰと第２電極ＹＰとの離間距離を小さくすることで回避することができる。例えば第１電極ＸＰと第２電極ＹＰとの離間距離をメッシュの寸法（ＤＶ，ＤＨ）に比べて十分に小さくすることで、タッチパネル１０１を斜めから見た場合にも交差領域１３０において複数の第１導電線１１３と複数の第２導電線１２３とが重ならずに互い違いに配置されているように見える。これにより、タッチパネル１０１を斜めから見た場合に導電線による筋状のむらが目視されにくくなる。
【００３１】
また、タッチパネル１０１を平面的に見た場合に、第１電極ＸＰ及び第２電極ＹＰのいずれも形成されない電極非形成領域１４０が存在する。電極非形成領域１４０が存在すると、電極が配置される領域（第１電極ＸＰ及び第２電極ＹＰ）と電極非形成領域１４０とでメッシュ密度に差が生じてしまい導電線による筋状のむらが目視されやすくなる。このような問題を回避するため、第１電極ＸＰ及び第２電極ＹＰのいずれも形成されない電極非形成領域１４０にダミー電極ＤＰ（図１１に示す）が形成されてもよい。ダミー電極ＤＰは、絶縁膜２００の一方の面及び他方の面の少なくとも一方に、第１電極ＸＰ及び第２電極ＹＰのいずれとも導通しないように形成されてもよい。図１１は、ダミー電極ＤＰが形成された状態での第１電極ＸＰ周辺を示す平面図である。図１１に示すように、ダミー電極ＤＰは、電極非形成領域１４０に第１電極ＸＰと導通しないように形成される。具体的には、平面的に見て第１電極ＸＰとダミー電極ＤＰとの間に隙間ができるように、ダミー電極ＤＰが形成される。また、図示は省略するが図１１と同様に、第２電極ＸＰとダミー電極ＤＰとの間にも隙間ができるようにダミー電極ＤＰが形成される。また、タッチパネル１０１全体においてメッシュ密度を均一にするために、ダミー電極ＤＰは、第１電極ＸＰ及び第２電極ＹＰの非交差領域１３１のメッシュ形状と類似した形状で形成されてもよい。これにより、電極が配置される領域と電極非形成領域１４０とでメッシュ密度を均一にすることができ、導電線による筋状のむらが目視されにくくなる。なお、ダミー電極ＤＰは、上側絶縁層２０２または下側絶縁層２０１のなかであって第１電極ＸＰ及び第２電極ＹＰとは異なる層に形成されてもよい。
【００３２】
また、本発明に係るタッチパネル１０１を、液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置等の表示装置に適用することでタッチ検出機能を有する表示装置を実現することが可能となる。図１２は、本実施形態に係るタッチパネル１０１を有する表示装置１０の全体構成を示す図である。図１２に示すように、表示装置１０は、タッチパネル１０１と、駆動信号生成部１０２と、検出処理部１０３と、画像を表示する表示パネル３００と、表示パネル３００を駆動する表示駆動回路３０１と、バックライト装置（図示せず）を含んで構成される。タッチパネル１０１、駆動信号生成部１０２、及び検出処理部１０３については、図１に示したものと同一であるから、この説明についてはここでは省略する。表示パネル３００は、対向基板（図示せず）と、ＴＦＴ基板（図示せず）と、両基板間に挟持された液晶層（図示せず）とで構成され、タッチパネル１０１と重ね合わされて配置される。表示駆動回路３０１は、例えばゲート線駆動回路（図示せず）と、データ線駆動回路（図示せず）とを含んで構成される。タッチパネル１０１は、表示パネル３００の表示面に取り付けられるいわゆる外付け型タッチパネルであってもよいし、タッチパネル１０１を表示パネル３００のガラス基板と偏光板との間に設けるいわゆるオンセル型タッチパネルであってもよい。
【００３３】
なお、上述の説明では、第１電極ＸＰにおける非交差領域１３１のメッシュ密度は、第１電極ＸＰにおける交差領域１３０のメッシュ密度の２倍とし、第２電極ＹＰにおける非交差領域１３１のメッシュ密度は、第２電極ＹＰにおける交差領域１３０のメッシュ密度の２倍としているが、この例に限定されるものではない。各電極の非交差領域１３１のメッシュ密度は、各電極の交差領域１３０のメッシュ密度のｋ（ｋ＞１）倍として構成可能である。
【００３４】
なお、本実施形態に係る第１電極ＸＰ、第２電極ＹＰ、及びダミー電極ＤＰの形成方法としては周知の技術を適用することができ、例えば金属薄膜のフォトリソグラフィを用いたエッチング、印刷レジストを用いたエッチング、導電樹脂材の印刷、リフトオフ等の方法によって形成可能である。
【００３５】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で上記実施の形態から当業者が適宜変更した形態も本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００３６】
１０  表示装置、１００  タッチパネル装置、１０１  タッチパネル、１０２  駆動信号生成部、１０３  検出処理部、１１１  第１電極部、１１２  第１配線部、１１３  第１導電線、１２１  第２電極部、１２２  第２配線部、１２３  第２導電線、１３０  交差領域、１３１  非交差領域、１４０  電極非形成領域、２００  絶縁膜、２０１  下側絶縁層、２０２  上側絶縁層、３００  表示パネル、３０１  表示駆動回路、ＤＰ  ダミー電極、ＸＰ  第１電極、ＹＰ  第２電極。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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