(57)【要約】      （修正有）【課題】極圧潤滑性を有する揮発性潤滑剤を使用した真空装置の金属部品の組立及び分解方法と、真空装置の製造方法との提供。【解決手段】第１接触部を有する第1金属部品４０と、第１接触部と第２接触部とを有する第２金属部品５０と、を組立及び分解する方法で、少なくともフッ素を除くハロゲン原子を含む脂肪族ハロゲン化物、好ましくはＣ１−４の脂肪族ハロゲン化物を主成分とする液体を潤滑剤Ｌとして、第１接触部と第２接触部との少なくとも一方に塗布し、液体を塗布した後に、第１接触部と前記第２接触部とを摺動させる、真空装置の金属部品の組立と分解方法。前記液体は、揮発性を有し、好ましくはその沸点が３９〜１１０℃である装置の組立と分解方法。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１接触部を有する第1金属部品と、前記第１接触部と接触する第２接触部とを有する第２金属部品とを真空装置の金属部品の組立及び分解する方法であって、
少なくともフッ素を除くハロゲン原子を含む脂肪族ハロゲン化物を主成分とする液体を潤滑剤として、前記第１接触部と前記第２接触部との少なくとも一方に塗布し、
前記液体を塗布した後に、前記第１接触部と前記第２接触部とを摺動させる、ことを特徴とする真空装置の金属部品の組立及び分解方法。
【請求項２】
前記液体は、揮発性を有する請求項１に記載の真空装置の金属部品の組立及び分解方法。
【請求項３】
前記液体の沸点は、３９℃以上、１１０℃以下である請求項２に記載の真空装置の金属部品の組立及び分解方法。
【請求項４】
前記液体は、前記第１接触部と前記第２接触部との間に介在する場合に、前記第１接触部と前記第２接触部との間に生じる摩擦を軽減し、所定の時間経過後に揮発する請求項２又は請求項３に記載の真空装置の金属部品の組立及び分解方法。
【請求項５】
前記液体は、発がん性のない又は発がんのおそれがない物質で構成される、請求項１乃至請求項４のいずれか１に記載の真空装置の金属部品の組立及び分解方法。
【請求項６】
前記液体は、暴露許容濃度が１５０ｐｐｍ以上である請求項１乃至請求項５のいずれか１に記載の真空装置の金属部品の組立及び分解方法。
【請求項７】
前記脂肪族ハロゲン化物は、分子式中の炭素原子の合計数に対するフッ素を除くハロゲン原子の合計数の割合をＸとするとき、フッ素を除くハロゲン原子としてＣｌ原子のみを含む場合は、Ｘは０．５以上、フッ素を除くハロゲン原子としてＢｒ原子を含む場合は、Ｘは、１．５以上、フッ素を除くハロゲン原子としてＩ原子を含む場合は、Ｘは、０．３３以上である請求項１に記載の真空装置の金属部品の組立及び分解方法。
【請求項８】
前記液体は、ヘプタフルオロ２ヨードプロパン、テトラフルオロ１ヨードエタン、ヘプタフルオロ１ヨードプロパン、trans−１，２−ジクロロエチレン、１，２−ジクロロテトラフルオロ−１−プロペン、１，２−ジクロロ−３，３，３−トリフルオロ−１−プロペン、２，３−ジクロロオクタフルオロブタン、ヨードエタン、クロロジブロモトリフルオロエタン、ジブロモメタン、およびトリブロモフルオロメタンの少なくとも１つを含む、請求項１に記載の真空装置の金属部品の組立及び分解方法。
【請求項９】
前記第１金属部品と前記第２金属部品とは、ネジ締結して組立てられる、請求項１乃至請求項８のいずれか１に記載の真空装置の金属部品の組立及び分解方法。
【請求項１０】
前記第１金属部品と前記第２金属部品とは、圧入して組立てられる、請求項１乃至請求項８のいずれか１に記載の真空装置の金属部品の組立及び分解方法。
【請求項１１】
前記第１金属部品及び前記第２金属部品を組立てた後に、前記第１接触部と前記第２接触部との隙間に前記潤滑剤を注入し、
前記潤滑剤を前記隙間に注入した後に、組立てられた前記第１金属部品及び前記第２金属部品を分解する、請求項１乃至請求項１０のいずれか１に記載の真空装置の金属部品の組立及び分解方法。
【請求項１２】
前記第１金属部品及び前記第２金属部品は、それぞれ、鉄、鉄合金、鉄―ニッケル合金、及びこれらの表面にニッケルメッキ、クロムメッキ、クロメート処理を施した材料、ニッケル、ニッケル合金、ステンレス、モリブデン、モリブデン合金、タングステン、タングステン合金、およびチタンの少なくとも１つから構成される、請求項１乃至請求項１１のいずれか１に記載の真空装置の金属部品の組立及び分解方法。
【請求項１３】
開放型の真空装置内で、前記第１金属部品、及び前記第２金属部品を組立て又は分解する、請求項１乃至請求項１２のいずれか１に記載の真空装置の金属部品の組立及び分解方法。
【請求項１４】
第１接触部を有する第１金属部品と、前記第１接触部と接触する第２接触部を有する第２金属部品とが組み込まれる真空装置の製造方法であって、
少なくともフッ素を除くハロゲン原子を含む脂肪族ハロゲン化物を主成分とする揮発性の液体を潤滑剤として、前記第１接触部と前記第２接触部との少なくとも一方に塗布し、
前記液体を塗布した後に、前記第１接触部と前記第２接触部と摺動させる、ことを特徴とする真空装置の製造方法。
【請求項１５】
前記第１接触部と前記第２接触部とを摺動させる際に、前記第1金属部品及び前記第２金属部品の少なくとも一方の成分と前記液体とから生成された反応生成物によって生じた潤滑性を利用して、前記第１金属部品及び前記第２金属部品のいずれか一方を回転させ、
前記第１金属部品と前記第２金属部品とを組立てる、ことを特徴とする請求項１４に記載の真空装置の製造方法。
【請求項１６】
前記第１接触部と前記第２接触部とを摺動させる際に、前記第1金属部品及び前記第２金属部品の少なくとも一方の成分と前記液体とから生成された反応生成物によって生じた潤滑性を利用して、前記第１金属部品及び前記第２金属部品のいずれか一方を回転させ、
前記第１金属部品と前記第２金属部品とを分解する、ことを特徴とする請求項１４に記載の真空装置の製造方法。
【請求項１７】
前記第１金属部品と前記第２金属部品とを組立てた後に、前記液体を揮発させる、ことを特徴とする請求項１５に記載の真空装置の製造方法。
【請求項１８】
前記液体は、沸点が、３９℃以上、１１０℃以下である請求項１４乃至１７のいずれか１に記載の真空装置の製造方法。
【請求項１９】
前記第１金属部品、及び前記第２金属部品は、それぞれ、鉄、鉄合金、鉄―ニッケル合金、及びこれらの表面にニッケルメッキ、クロムメッキ、クロメート処理を施した材料、ニッケル、ニッケル合金、ステンレス、モリブデン、モリブデン合金、タングステン、タングステン合金、およびチタンの少なくとも１つから構成される、ことを特徴とする請求項１４乃至請求項１８のいずれか１に記載の真空装置の製造方法。
【請求項２０】
非開放型の真空装置内に、前記第１金属部品及び前記第２金属部品を組み込む、ことを特徴とする請求項１４乃至請求項１９のいずれか１に記載の真空装置の製造方法。
【請求項２１】
前記第１接触部と前記第２接触部とを摺動させる際に、前記第1金属部品及び前記第２金属部品の少なくとも一方の成分と前記液体とから生成された反応生成物によって生じた潤滑性を利用して、前記第１金属部品及び前記第２金属部品のいずれか一方をもう一方に圧入して組立てる、ことを特徴とする請求項１４に記載の真空装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
実施形態は、真空装置の金属部品の組立及び分解方法と、真空装置の製造方法とに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、Ｘ線管装置は、真空容器内に、種々の部品、例えば、鉄、鉄合金、ニッケル、ニッケル合金、モリブデン、やモリブデン合金などの金属部品が組み込まれ、これら部品によって構成されている。これらＸ線管装置を構成する部品は、真空容器に組み込む前に、脱脂洗浄や、さらに水素中で行われる酸化被膜還元除去のための加熱処理や、真空中で行われる脱ガスのための加熱処理などが実行される。例えば、これら部品をネジやナット等で締結するときに、潤滑剤が使用される。このとき、潤滑油などを潤滑剤として使用して締結した部品を真空容器中に設置した場合、これらの部品は、潤滑剤が残った状態で、真空容器中に設置されることになる。このように、潤滑剤が、真空雰囲気の真空容器中に存在すると、真空容器中の真空度が低下する可能性がある。したがって、真空容器において、使用後に残留する潤滑剤を部品等に使用することは、望ましくない。このため、真空容器の部品の組立工程では、組立後に、揮発して消失する潤滑剤（以下、揮発性潤滑剤）が、通常、使用される。
【０００３】
例えば、真空容器の部品の組立工程において、エタノール（化学式：Ｃ２Ｈ６Ｏ）が、揮発性潤滑剤として利用され得る。エタノールは、他の揮発性潤滑剤と比べて、揮発性が低く（沸点が７８℃）、且つ、安全性が高い。また、エタノールは、乾燥して揮発するときに、空気中の水分を吸収する。このため、揮発性潤滑剤としてエタノールを使用した場合、締結した部品に水分が、残留する可能性がある。その結果、これら締結した部品に残留した水分により、真空容器中の真空度が、低下し得る。
【０００４】
また、例えば、ＨＦＣ（Hydro Fluoro Carbon）や、ＨＦＥ（Hydro Fluoro Ether）等のフッ素系液体が、揮発性潤滑剤として利用されている。ＨＦＣやＨＦＥは、適度な安全性を有し、且つ、エタノールと比べて揮発性が高い。
【０００５】
ＨＦＣの一例として、ＨＦＣ−３６５ｍｆｃを主成分とする旭化成ケミカルズ株式会社のエルノバＶＲ３（登録商標）、および株式会社ソルベックスのソルブ５５（登録商標）、ＨＦＣ−４３−１０ｍｅｅを主成分とするデュポン社のバートレルＸＦがある。しかし、ＨＦＣ−３６５ｍｆｃ、やＨＦＣ−４３−１０ｍｅｅは、近年、環境規制対象、詳細には、温室効果ガスとして削減対象にあげられている。また、ＨＦＥの一例として、住友スリーエム株式会社のノベック７１００がある。ノベック７１００は、現在、環境規制対象ではなく、且つ、揮発性が適度に高い（沸点が６１℃である）。したがって、ノベック７１００は、他のフッ素系液体よりも揮発性潤滑剤として、よく利用されている。
【０００６】
その他のフッ素系液体の揮発性潤滑剤として、ＰＦＣ（Perfluoro Carbon）がある。ＰＦＣは、安全性が高く、環境規制対象ではない。ＰＦＣの一例として、住友スリーエム株式会社のフロリナート（FLUORINERT）ＦＣ−３２８３がある。フロリナートＦＣ−３２８３は、ノベック７１００に比べて揮発性が低い（沸点が約１２８℃である）が、エタノールと違って、空気中の水分を吸収し難い。したがって、ＦＣ３２８を揮発性潤滑剤として使用した場合、水分が部品に残留しないため、真空容器の真空度が、低下することがない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】国際公開第２０１３／１６１７２３号
【特許文献２】特開２００２−１７５７６８号公報
【特許文献３】特開平９−１１５４６８号公報
【特許文献４】特開２００３−３４７９６号公報
【特許文献５】特開昭６３−２８３８９５号公報
【特許文献６】特許第５０８００８６号公報
【特許文献７】特表２０１１−５１０１３６号公報
【特許文献８】特表２０１３−５０４６５５号公報
【特許文献９】米国特許第４６９２９８８号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、これらの従来の揮発性潤滑剤は、極圧潤滑性が低かったり、環境規制の対象であったりと十分な特性を備えていない可能性がある。真空容器の部品の組立工程では、部品同士の締結作業、圧入（圧入組立）作業等の組立作業が実行される。組立作業において、極圧潤滑性が低い揮発性潤滑剤を使用して、ネジやナット等で部品同士を締結する場合、ネジやナット等に加えるトルク値を上げると、雄ネジと雌ネジ、またはネジ以外の摺動面同士が固着して動かなくなる状態（かじり、又は焼き付き）が、発生する。このため、最適なトルク値をネジやナット等に加えて、部品同士を締結することが困難であり、十分な強度で部品同士を締結することができない場合があり得る。
【０００９】
また、組立工程では、本来の組立作業以外に、現物の組み合わせ作業や、手直し修正作業や、寿命となった部品の回収、再生利用、及び新部品への交換作業等を目的とした分解作業が必要となる場合もある。分解作業において、極圧潤滑性が低い揮発性潤滑剤を使用して、ネジやナット等を取り外す場合にも、かじりが、発生し得る。  
このように、組立工程（組立作業）や、分解工程（分解作業）等において、かじりが発生することで、例えば、回転陽極型Ｘ線管装置において、陽極ターゲットが、正常に回転できなくなる可能性がある。その結果、金属部品が組み込まれる回転陽極型Ｘ線管装置の品質を維持できない可能性がある。また、部品の回収歩留りの低下や、新部品への交換作業ができなくなるといった損失が発生する可能性がある。
【００１０】
本発明の実施形態は、このような点を鑑みなされたもので、極圧潤滑性を有する揮発性潤滑剤を使用した真空装置の金属部品の組立及び分解方法と、真空装置の製造方法とを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の真空装置の金属部品の組立及び分解方法は、第１接触部を有する第1金属部品と、前記第１接触部と接触する第２接触部とを有する第２金属部品とを組立て及び分解する方法であって、少なくともフッ素を除くハロゲン原子を含む脂肪族ハロゲン化物を主成分とする液体を潤滑剤として、前記第１接触部と前記第２接触部との少なくとも一方に塗布し、前記液体を塗布した後に、前記第１接触部と前記第２接触部とを摺動させる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、実施形態のＸ線管の一例を示す概要図である。
【図２】図２は、実施形態の陽極構体の一例を示す縦断面図である。
【図３】図３は、真空外囲器１内の部品の組立工程での使用に適切な潤滑剤を選定するための条件の一覧を示す図である。
【図４Ａ】図４Ａは、締結及び分解する場合の極圧潤滑性の評価をするためのＸ線管の部品の一部を模した実験装置の一例を示す断面図である。
【図４Ｂ】図４Ｂは、締結及び分解する場合の極圧潤滑性の評価をするためのＸ線管の部品の一部を模した実験装置の一例を示す上面図である。
【図５】図５は、圧入する場合の極圧潤滑性の評価をするためのＸ線管の部品の一部を模した実験装置の一例を示す図である。
【図６】図６は、実施形態で選択した潤滑剤の条件に関連する評価結果の一覧を示す図である。
【図７】図７は、真空外囲器内の部品の締結方法の一例のフローチャートである。
【図８】図８は、真空外囲器内の部品の分解方法の一例のフローチャートである。
【図９】図９は、真空外囲器内の部品の圧入方法の一例のフローチャートである。
【図１０】図１０は、Ｘ線管の製造方法の一例のフローチャートである。
【図１１】図１１は、変形例のＸ線管装置の一例を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照しながら実施形態に係るＸ線管について詳細に説明する。  
（実施形態）  
真空装置の一例として、図１および図２を参照して、Ｘ線管１００について説明する。  
図１は、本実施形態のＸ線管１００の一例を示す概要図であり、図２は、本実施形態の陽極構体９０の一例を示す縦断面図である。
【００１４】
Ｘ線管１００は、真空外囲器１と、陰極２と、陽極構体９０と、陰極支持体２００とを備えている。Ｘ線管１００は、回転陽極型のＸ線管である。以下で、陽極ターゲット３と回転機構４とをまとめて陽極構体９０と称する場合もある。なお、Ｘ線管１００の中心軸を管軸ＴＡと称する。管軸ＴＡに従う方向（以下、軸方向と称す）において、陰極２の設置位置に向かう方向を前方と称し、前方と反対側を後方と称する。また、管軸ＴＡに対して垂直な方向（以下、半径方向と称す）において、管軸ＴＡから離れる方向を外側と称し、管軸ＴＡに向かう方向を内側と称する。Ｘ線管１００は、非開放型（封じ切り）の真空容器である真空外囲器１を含む構成である。
【００１５】
真空外囲器１は、例えば、ガラス製のガラスバルブで形成されている。真空外囲器１は、高真空に排気された内部に、陰極２と、陽極構体９０とを含む。真空外囲器１内で、陰極２と、陽極ターゲット３とは、互いに対向配設されている。陰極２は、陰極支持体２００の先端部に固定され、電子（電子ビーム）を陽極構体９０に向けて射出する。
【００１６】
陽極構体９０は、略傘状の陽極ターゲット（ターゲットディスク）３と、回転機構４と、陽極ターゲット用の固定ナット（以下、単に、固定ナットと称す）３００と、を備えている。固定ナット３００は、中心部に雌ネジ構造（以下、ネジ穴）ＳＨ１を備える。陽極構体９０は、管軸ＴＡに沿って、前方に陽極ターゲット３を備え、後方に回転機構４を備えている。
【００１７】
陽極ターゲット３は、傘状の略円板形状に形成され、中心に穴部Ｈ１を備えている。陽極ターゲット３は、傘状部の表面に、陰極２から射出された電子ビームが衝撃することで、Ｘ線を放射する。陽極ターゲット３は、回転機構４によって支持され、且つ回転可能に設置されている。詳細は後述するが、陽極ターゲット３は、固定ナット３００によって回転機構４に固定されている。陽極ターゲット３は、例えば、タングステン合金で形成され、Ｘ線を放射するターゲット層と、ターゲット層を支持するモリブデン合金（ＴＺＭ）で形成されるターゲット基体とから構成されている。
【００１８】
回転機構４は、回転円筒（ロータ）５と、回転円筒５に同軸的に取付けられた支持柱６と、回転軸７と、取り付けネジ９と、玉軸受（ボールベアリング）１１、１２と、筒状スペーサ１３と、固定ネジ１４、１５と、固定ナット１６と、固定リング１７と、陽極固定体１８とを備えている。ここで、固定ネジ１４、１５は、雄ネジである。固定ナット１６は、ネジ穴ＳＨ２を備えている。なお、回転機構４は、陽極ターゲット３と、固定ナット３００とを含んでもよい。  
回転円筒５は、管軸ＴＡを中心軸とする円筒状に形成されている。回転円筒５は、前方の底部が支持柱６と略同軸に固定されている。  
支持柱６は、先端部６ａと、柱状部６ｂと、底部６ｃとで構成されている。支持柱６は、管軸ＴＡに沿って、前方の端部に先端部６ａを備え、後方の端部に底部６ｃを備え、先端部６ａ及び底部６ｃの間に柱状部６ｂと備える。先端部６ａは、外周部にネジ構造（雄ネジ構造）を備える。先端部６ａの外周部には、固定ナット３００のネジ穴ＳＨ１と螺合するようにネジ溝が、形成されている。柱状部６ｂは、陽極ターゲット３の穴部Ｈ１に嵌合する径に形成された小径部と、陽極ターゲット３の穴部Ｈ１よりも大きい径に形成された大径部とを備える。柱状部６ｂの小径部は、陽極ターゲット３の穴部Ｈ１の径よりも僅かに大きい径で形成されていてもよい。支持柱６は、固定ナット３００により柱状部６ｂの大径部に締結して固定された陽極ターゲット３を支持する。なお、支持柱６は、締結された陽極ターゲット３と略同軸で固定されている。
【００１９】
支持柱６の底部６ｃは、略円板状に形成されている。底部６ｃは、取り付けネジ９で回転軸７に固定するために、複数の穴部を備える。底部６ｃは、取り付けネジ９によって、管軸ＴＡに沿って、後方の表面に回転軸７が固定されている。また、底部６ｃは、回転軸７が固定された表面よりも外側の表面に回転円筒５の底部が固定されている。
【００２０】
回転軸７は、管軸ＴＡに沿って、前方の先端部に設けられた円板７ａと、円板７ａの中心から垂直に後方に延長する円柱部７ｂとを備えている。円板７ａは、支持柱６の底部６ｃの複数の穴と重なる位置に、複数のネジ穴ＳＨ３を備えている。円板７ａは、これら複数のネジ穴ＳＨ３の各々に螺合された取り付けネジ９を介して、支持柱６の底部６ｃの底面に締結して固定されている。円板７ａは、締結された支持柱６と略同軸で固定されている。したがって、回転軸７の回転に従って、支持柱６に固定された回転円筒５が高速回転する。また、円柱部７ｂは、管軸ＴＡに沿った後方の端部の外周部に、固定ナット１６と螺合するネジ構造（雄ネジ構造）を備えている。
【００２１】
玉軸受１１、１２は、それぞれ、内側のリング状の内輪と外側のリング状の外輪との間に転動体（ボール）が設置されている。転動体には転動体が正しく回転するように保持器が装着されていても良い。
【００２２】
玉軸受１１、１２は、回転円筒５と、陽極固定体１８とを支持する。玉軸受１１、１２は、それぞれ、円柱部７ｂと陽極固定体１８の内周面との間に固定されている。例えば、玉軸受１１、１２は、円柱部７ｂの前方の先端部と、円柱部７ｂの後方の先端部とにそれぞれ設けられている。ここで、回転軸７の外周部、且つ玉軸受１１と、玉軸受１２との間に、円柱部７ｂの側部に沿って筒状スペーサ１３が、設けられている。
【００２３】
玉軸受１１は、外輪が固定ネジ１４と陽極固定体１８の内周部に形成された段差とで固定され、且つ内輪が円柱部７ｂの外周部の前方に形成された段差と筒状スペーサ１３とで固定されている。
【００２４】
また、玉軸受１２は、外輪が固定ネジ１５により固定された固定リング１７と、陽極固定体１８の内周部に形成された段差とで固定され、且つ内輪が固定ナット１６と筒状スペーサ１３とで固定されている。
【００２５】
陽極固定体１８は、有底円筒状の磁性体で構成されている。軸方向において、陽極固定体１８は、開口部が前方を向いて配置され、底部が後方に配置されるように設けられる。陽極固定体１８は、固定ネジ１４が螺合されるネジ穴ＳＨ４と、固定ネジ１５が螺合されるネジ穴ＳＨ５とを備えている。ネジ穴ＳＨ４、及びネジ穴ＳＨ５は、それぞれ、陽極固定体１８の内側に貫通している。また、半径方向において、陽極固定体１８は、回転円筒５の内周面と対向する位置に設置されている。陽極固定体１８は、開口部から円柱部７ｂを挿入するように設置されている。陽極固定体１８は、内側に玉軸受１１、１２及び筒状スペーサ１３等を内包する。本実施形態において、陽極固定体１８は、磁性体で形成された金属部材である。例えば、陽極固定体１８に含まれる磁性体は、ＦｅまたはＦｅ合金である。ここで、陽極固定体１８は、ステータコイル（図示せず）と対向する位置に設置されている。また、陽極固定体１８は、一端部が玉軸受１２を固定するように設置されている。
【００２６】
前述の陽極構体９０は、固定ナット３００により支持柱６に締結された陽極ターゲット３を含む回転円筒（ロータ）５から構成される第１アセンブリと、第１アセンブリおよび取り付けネジ９以外の部分で構成される第２アセンブリと、に大別できる。
【００２７】
さらに、Ｘ線管１００は、ステータコイル（図示せず）が、真空外囲器１の外側に配設されている。ステータコイル（図示せず）は、電源（図示せず）から電流を供給されることによって磁場を発生し、発生した磁場により回転機構４を駆動させる。ステータコイル（図示せず）は、回転円筒５を挟んで磁性体で形成される磁性部材（陽極固定体１８）と磁気回路を構成している。一般的に、磁気回路によって回転円筒５を通過する磁束密度が高められ、効率よく回転円筒５を回転させることが可能である。
【００２８】
Ｘ線管１００において、所定の部品、例えば、第１金属部品と、その他の部品、例えば、第２金属部品とを、締結、嵌合（嵌合締結）、又は分解する場合、所定の部品は、その他の部品に対して摺動する。そのために、所定の部品とその他の部品との間に生じる摩擦により、かじりが発生する。このような、かじりの発生を防止するために、所定の部品とその他の部品とを、締結（ネジ締結）、嵌合（具体的には、圧入）、又は分解するときに、潤滑剤が使用される。ここで、部品は、Ｘ線管１００を構成する全ての構成部材を含む。また、「締結」は、「圧入」を含む意味で使用する場合もある。例えば、部品は、それぞれ、鉄、鉄合金、鉄―ニッケル合金、及びこれらの表面にニッケルメッキ、クロムメッキ、クロメート処理を施した材料、ニッケル、ニッケル合金、ステンレス、モリブデン、モリブデン合金、タングステン、タングステン合金、およびチタンの少なくとも１つを含む部材で構成される。
【００２９】
例えば、第１アセンブリにおいて、固定ナット３００（第１金属部品）により陽極ターゲット３が、支持柱６に締結される。この場合、固定ナット３００の雌ネジ（第１接触部）と支持柱６の先端部６ａ（第２金属部品）の雄ネジ（第２接触部）との少なくとも一方に潤滑剤が塗布される。また固定ナット３００の下面（第１接触部）と陽極ターゲット３（第３金属部品）の上面部（第３接触部）との少なくとも一方に潤滑剤が塗布される。潤滑剤が塗布された後に、固定ナット３００がトルクレンチ等で締め付けられることにより、陽極ターゲット３が、支持柱６に締結される。
【００３０】
さらに、例えば、第２アセンブリにおいて、玉軸受１１及び玉軸受１２が、回転軸７及び陽極固定体１８に嵌合される。この場合、玉軸受１１（第１金属部品）の内周部（第１接触部）と回転軸７の円柱部７ｂ（第２金属部品）の外周部（第２接触部）との少なくとも一方に潤滑剤が塗布される。潤滑剤が塗布された後に、回転軸７が、玉軸受１１に圧入されて締結される。
【００３１】
また、玉軸受１１（第１金属部品）の外周部（第１接触部）と、陽極固定体１８（第２金属部品）の内周部（第２接触部）との少なくとも一方に潤滑剤が塗布される。潤滑剤が塗布された後に、玉軸受１１が陽極固定体１８に圧入されて締結される。玉軸受１１と同様に、玉軸受１２も、潤滑剤を使用して、回転軸７及び陽極固定体１８に圧入されて締結される。
【００３２】
極圧潤滑性が低い潤滑剤を使用して、回転軸７を玉軸受１１に圧入して嵌合する場合、回転軸７と玉軸受１１との接触部に、かじりが発生し得る。したがって、極圧潤滑性が低い潤滑剤を使用する場合、ゼロ又はマイナス隙間（しめしろ）での嵌合、すなわち、しまり嵌めや、中間嵌め等の圧入による嵌合は、採用されず、プラス隙間での嵌合、すなわち、すきま嵌め等の嵌合が、採用される。従来の潤滑剤の一例であるノベック７１００や、フロリナートＦＣ−３２８３は、極圧潤滑性が低い。そのため、Ｘ線管１００において、ノベック７１００や、フロリナートＦＣ−３２８３を潤滑剤として使用して、嵌合する場合には、通常、すきま嵌めが、採用されている。
【００３３】
陽極構体９０は、管軸ＴＡを基準として組立誤差（軸ブレ）が、小さいほど好ましい。特に、玉軸受１１及び玉軸受１２、回転軸７、及び陽極固定体１８の組立精度（軸ブレ）は、玉軸受１１及び玉軸受１２の回転特性、振動特性、騒音特性、及びその寿命に大きく影響する。そのため、玉軸受１１及び玉軸受１２と回転軸７とを嵌合する場合、玉軸受１１及び玉軸受１２と、回転軸７との隙間は、すきま（プラスの隙間）ではなく、しめしろ（ゼロまたはマイナスの隙間）であることが望ましい。同様に、玉軸受１１及び玉軸受１２と陽極固定体１８との隙間も、しめしろであることが望ましい。すなわち、玉軸受１１及び玉軸受１２と回転軸７とは、圧入して組立てることが好ましい。同様に、玉軸受１１及び玉軸受１２と陽極固定体１８とは、圧入して組立てることが好ましい。
【００３４】
（潤滑剤の選定）  
真空雰囲気に維持される空間、例えば、真空外囲器１内の部品の組立工程での使用に適切な潤滑剤の選定方法について記載する。  
図３は、真空外囲器１内の部品の組立工程での使用に適切な潤滑剤を選定するための条件の一覧を示す図である。  
はじめに、真空外囲器１内の部品の組立工程での使用に適切な潤滑剤（以下、対象潤滑剤と称する）を選定するために、図３に示すように、７つの条件を設定した。条件１から条件７について、以下で説明する。
【００３５】
［条件１］：対象潤滑剤は、常温で液体であり、適度な沸点である。好適には、対象潤滑剤は、沸点が３９℃以上１１０℃以下である。すなわち、対象潤滑剤は、揮発性を有する液体（以下、揮発性潤滑剤）である。さらに、好適には、対象潤滑剤は、常温の空気雰囲気中（大気中）に放置した場合に、２４時間以内に揮発して消失する液体が望ましい。  
［条件２］：対象潤滑剤は、ハロゲンとして塩素、臭素、及びヨウ素の少なくとも一つを有する脂肪族ハロゲン化物である。ここで、脂肪族ハロゲン化物は、脂肪族炭化水素のハロゲン化物のみではなく、エーテル類なども含むものする。
【００３６】
［条件３］：対象潤滑剤は、作業者に対して安全な物質である。ここで、安全な物質は、例えば、暴露許容濃度が高い（１５０ｐｐｍ（parts per million）以上）や、発がん性や発がんのおそれがない物質とする。ここで、暴露許容濃度は、作業者が作業空間で暴露される場合に、健康上の悪影響がみられないと判断される作業空間の物質の濃度である。  
［条件４］：対象潤滑剤は、従来の潤滑剤よりも、極圧潤滑性が高い。好適には、従来の潤滑剤の一例であるノベック７１００やフロリナートＦＣ−３２８３よりも、対象潤滑剤は、２倍以上の極圧潤滑性であることが望ましい。  
［条件５］：対象潤滑剤は、モントリオール議定書が指定する削減対象オゾン層破壊物質ではない。  
［条件６］：対象潤滑剤は、京都議定書が指定する削減対象温室効果物質ではない。  
［条件７］：対象潤滑剤は、市場流通性が高く、安価に入手可能である。
【００３７】
条件１は、対象潤滑剤の揮発性に関連する条件を示す。条件１を設定した理由は、常温で液体でない場合、潤滑剤として利用できないためである。また、沸点が３９℃未満である潤滑剤は、部品の組立作業中に蒸発消失する虞が高く、潤滑剤としての十分な効果が期待できない。一方、沸点が１１０℃を超える潤滑剤は、部品の組立作業後に、揮発して消失させるための乾燥工程に時間を必要とする。そのため、沸点１１０℃を超える潤滑剤を使用した場合、組立作業が、効率的に実施できない虞がある。
【００３８】
揮発性潤滑剤は、不揮発性の潤滑油と異なり、組立（締結、及び圧入）及び分解等の後に、揮発するとともに、潤滑性も消失し、組立てられた部品の間の摩擦係数が無潤滑の場合と同程度に増大する。その結果、揮発性潤滑剤は、潤滑性を維持している間に組立てられた部品のゆるみや位置ずれの発生を防止できる。そのため、例えば、ネジ締結する部分に回り止め機構や、緩み止め機構を設けたり、スポット溶接やポンチングを実行したりする必要がない。このように、ネジ締結した部品は、容易に分解でき、かつ分解に必要な費用が安価となる。したがって、揮発性潤滑剤は、使用中に部品のゆるみや、ずれが生じる虞のある機構、例えば、レーザミラーの高速回転機構などの部品の組立工程等に適用することができる。
【００３９】
条件２は、対象潤滑剤の潤滑性に関連する条件を示す。条件２を設定した理由は、脂肪族ハロゲン化物が、良好な潤滑性を生じ得るとの本発明者らの経験則からである。脂肪族ハロゲン化物は、脂肪族ハロゲン化物分子中の塩素原子、臭素原子、又はヨウ素原子が締結、圧入、又は分解時の部品同士の間の摺動部の金属表面に塩化物、臭化物又はヨウ化物を生成し得る。その結果、脂肪族ハロゲン化物は、その極圧剤効果により良好な潤滑性を生じ得る。なお、芳香族ハロゲン化物を除外した理由は、ハロゲン原子が芳香環の炭素原子に付いている場合には化学的に非常に安定しているため、潤滑剤に含まれるハロゲン原子と金属部品との反応性が低い可能性があるためである。  
従来、塩素系フロンガス（ＣＦＣおよびＨＣＦ）を冷凍機や空調機の冷媒として使用した場合、フロンガス分子中の塩素原子が冷媒圧縮機の摺動部の金属表面に塩化物を生成し、生成された塩化物の極圧剤効果により、摺動部の良好な潤滑性が維持されることが知られている。すなわち、その塩化物による極圧剤効果は、冷媒と共存する潤滑油単独よりも優れた潤滑性を示す。  
しかしながら、冷凍機や空調機では冷凍サイクル中を冷媒が循環し、共存する潤滑油とともに冷媒圧縮機の摺動部に定常的に供給されており、本発明の技術分野のように部品同士の摺動部に短時間だけ揮発性潤滑剤が供給される状況とは大きく異なる。  
すなわち、この条件２の重要性は、本発明者らにとって予見されていたものではなく、本発明者らの実験によって初めて明確になった経験則である。
【００４０】
条件３は、対象潤滑剤の安全性に関連する条件であり、条件４は、対象潤滑剤の潤滑性の大きさに関連する条件であり、条件５及び条件６は、対象潤滑剤の環境性に関連する条件であり、条件７は、対象潤滑剤の流通性に関連する条件である。条件３乃至条件７を設定した理由は、記載の通りであるので、その説明を割愛する。
【００４１】
次に、前述の７つの条件の内、条件を満たす物質を段階的に選定した。前述の７つの条件の内、条件１（揮発性）、及び条件２（潤滑性に関する経験則）は、真空外囲器１内に設置される部品の組立工程で使用するために、少なくとも必要である。また、条件３（安全性）も、作業を行う上で重要である。
【００４２】
したがって、はじめに、条件１及び条件２を満たす物質の一例として、２１種類の物質を選定した。さらに、条件１及び条件２を満たす２１種類の物質から、条件３を満たす１４種類の物質を選定した。
【００４３】
以上のように、条件１、条件２、及び条件３を満たす物質の一例として選定した１４種類の物質について、条件２及び条件４に関連する極圧潤滑性を実験（以下、単に、評価実験）により評価した。  
はじめに、図４Ａ、図４Ｂ、及び図５を参照して、評価実験に使用した実験装置の概要について説明する。  
図４Ａ、及び図４Ｂは、締結及び分解する場合の極圧潤滑性の評価をするためのＸ線管１００の一部を模した実験装置９１の一例を示す模式図である。図４Ａは、締結及び分解する場合の極圧潤滑性の評価をするためのＸ線管１００の一部を模した実験装置９１の一例を示す断面図である。図４Ｂは、締結及び分解する場合の極圧潤滑性の評価をするためのＸ線管１００の一部を模した実験装置９１の一例を示す上面図である。図４Ａには、実験装置９１の中心を示す中心軸ＣＡ１を示している。  
図４Ａ、及び図４Ｂに示すように、実験装置９１は、陽極構体９０の第1アセンブリの一部を模している。実験装置９１は、金属部品３０と、支持柱６０と、固定ナット３０１と、固定機器４００と、潤滑剤供給部５００と、を備える。
【００４４】
固定ナット３０１は、固定ナット３００とほぼ同等の構成であり、モリブデン合金（ＴＺＭ）で形成されている。固定ナット３０１は、雌ネジであるネジ穴ＳＨ１０を備える。  
金属部品３０は、陽極ターゲット３の一部を模してモリブデン合金（ＴＺＭ）で形成され、中心に穴部Ｈ２を備えている。
【００４５】
支持柱６０は、支持柱６の一部を模してモリブデン合金（ＴＺＭ）で形成されている。支持柱６０は、先端部６０ａと、柱状部６０ｂとを備えている。先端部６０ａは、支持柱６０の一方の端部に形成され、外周部に固定ナット３０１と螺合するネジ構造（雄ネジ）を備える。柱状部６０ｂは、金属部品３０の穴部Ｈ２に嵌合する径で形成された小径部と、金属部品３０の穴部Ｈ２よりも大きい径に形成された大径部とを備える。支持柱６０は、先端部６０ａに螺合される固定ナット３０１により、柱状部６０ｂの大径部に締結して固定された金属部品３０を支持する。なお、支持柱６０は、締結された金属部品３０と略同軸で固定されている。
【００４６】
固定機器４００は、対向方向に圧力を負荷する。例えば、固定機器４００は、万力である。図４Ａ及び図４Ｂに示すように、固定機器４００は、金属部品３０を両側から把持し、金属部品３０の両側に圧力を負荷することで、金属部品３０を固定する。  
潤滑剤供給部５００は、固定ナット３００を先端部６０ａに締結するときや、固定ナット３００の底面が金属部品３０の表面に接触するときに、潤滑剤Ｌを供給する。潤滑剤供給部５００は、固定ナット３００を先端部６０ａに螺合するときや、固定ナット３００の底面が金属部品３０の表面に接触するときに、常に、潤滑剤Ｌを供給してもよいし、螺合、又は接触する直前に所定の量の潤滑剤Ｌを供給してもよい。
【００４７】
なお、固定ナット３０１、金属部品３０、及び支持柱６０は、それぞれ、鉄、ニッケルメッキを施した鉄、クロムメッキを施した金属、クロメート処理を施した金属、鉄―ニッケル合金、ニッケル、ステンレス、モリブデン、タングステン、およびチタンの内の少なくとも１つで構成されていればよい。
【００４８】
図５は、圧入する場合の極圧潤滑性の評価をするためのＸ線管１００の一部を模した実験装置９２の一例を示す図である。  
実験装置９２は、円筒形状の金属部品４０と、円柱形状の圧入部品５０と、潤滑剤供給部６０１を備えている。実験装置９２は、回転軸７、陽極固定体１８、及び玉軸受１１、又は１２の一部を模している。
【００４９】
金属部品４０は、玉軸受１１、又は１２及び陽極固定体１８の一部のいずれか一方を模した金属部品で形成されている。金属部品４０の穴径と圧入部品５０の外径は所定の寸法差で形成されている。圧入部品５０は、回転軸７と、玉軸受１１、又は１２とのいずれか一方を模した金属部品で形成されている。所定の寸法差は、例えば、しめしろ（ゼロまたはマイナス隙間）である。
【００５０】
潤滑剤供給部６０１及び６０２は、金属部品４０に圧入部品５０を圧入するときに、潤滑剤Ｌを供給する。潤滑剤供給部６０１及び６０２は、圧入部品５０を金属部品４０に圧入する際に、常に、潤滑剤Ｌを供給してもよいし、圧入する直前に所定の量の潤滑剤Ｌを供給してもよい。
【００５１】
なお、金属部品４０と、圧入部品５０とは、それぞれ、モリブデン合金（ＴＺＭ）、鉄、ニッケルメッキを施した鉄、クロムメッキを施した金属、クロメート処理を施した金属、鉄―ニッケル合金、ニッケル、ステンレス、モリブデン、タングステン、およびチタンの内の少なくとも１つで構成されていればよい。
【００５２】
図６は、本実施形態で選択した潤滑剤の条件１乃至条件７に関連する評価結果の一覧を示す図である。  
図６において、前述した７つの条件以外にもいくつかの評価項目を示している。例えば、水性環境有害性と、可燃性ガス及び引火性ガスとについても評価している。これらは、条件３に含まれてもよい。なお、図６に示す物質は、一例であり、前述の７つの条件の内、少なくとも条件１及び条件２を満たす物質であれば、対象潤滑剤の選択肢に加えてもよい。
【００５３】
図６において、評価実験で使用した条件１乃至条件３を満たす１４物質は、［１］ヘプタフルオロ２ヨードプロパン、［２］テトラフルオロ１ヨードエタン、［４］へプタフルオロ１ヨードプロパン、５：trans−１，２−ジクロロエチレン、［７］１，２−ジクロロテトラフルオロ−１−プロペン、［８］１，２−ジクロロ−３，３，３−トリフルオロ−１−プロペン、［９］ＨＣＦＣ−２２５（ジクロロペンタフルオロプロパン）、［１１］２，３−ジクロロオクタフルオロブタン、［１２］ブロモクロロメタン、［１３］２−クロロブタン、［１５］ヨードエタン、［１９］クロロジブロモトリフルオロエタン、［２０］ジブロモメタン、［２１］トリブロモフルオロメタンである。
【００５４】
図４Ａ、図４Ｂ、図５、および図６を参照して、実験装置９１及び実験装置９２を使用した極圧潤滑性の評価実験方法について、説明する。  
図４Ａ及び図４Ｂに示す実験装置９１を使用して、組立工程の締結及び分解工程を模した評価実験を実行した。この締結及び分解工程を模した評価実験では、前述の条件１乃至条件３を満たす１４種類の物質が潤滑剤として使用された。
【００５５】
締結工程を模した評価実験では、はじめに、金属部品３０は、穴部Ｈ２に支持柱６０の先端部６０ａに挿入される。固定ナット３０１のネジ穴ＳＨ１０が、先端部６０ａのネジ構造に緩く螺合される。固定ナット３０１を先端部６０ａに緩く螺合した後に、金属部品３０は、側部を固定機器４００、例えば、万力によって把持されて、固定される。  
次に、固定ナット３０１及び支持柱６の接触部の隙間（ネジ隙間）と、固定ナット３０１及び金属部品３０の接触部の隙間（座面隙間）とに、潤滑剤供給部５００により、選択した潤滑剤Ｌが注入される。  
最後に、例えば、図４Ｂに示すように、回転方向Ｔに向かってトルクレンチ等を使用して、固定ナット３０１が締め付けられる。その結果、固定ナット３０１によって支持柱６と金属部品３０とが固定される。なお、潤滑剤Ｌは、締結する前に、予め、固定ナット３０１のネジ構造及び先端部６０ａのネジ構造の接触部の隙間と、固定ナット３０１及び金属部品３０の隙間とに塗布されていればよい。
【００５６】
締結工程を模した評価実験により、前述の条件１乃至条件３を満たす１４種類の物質の内、条件２及び条件４を満たす極圧潤滑性を有する物質は、１３種類の物質である。ここで、前述の条件１乃至条件３を満たす１４種類の物質の内、条件２及び条件４を満たす１３種類の物質は、図６において、［１］ヘプタフルオロ２ヨードプロパン、［２］テトラフルオロ１ヨードエタン、［４］へプタフルオロ１ヨードプロパン、［５］trans−１，２−ジクロロエチレン、［７］１，２−ジクロロテトラフルオロ−１−プロペン、［８］１，２−ジクロロ−３，３，３−トリフルオロ−１−プロペン、［９］ＨＣＦＣ−２２５（ジクロロペンタフルオロプロパン）、［１１］２，３−ジクロロオクタフルオロブタン、［１２］ブロモクロロメタン、［１５］ヨードエタン、［１９］クロロジブロモトリフルオロエタン、［２０］ジブロモメタン、［２１］トリブロモフルオロメタンである。
【００５７】
これら１３種類の物質の内、条件５及び条件６を満たす物質は、１１種類の物質である。ここで、条件１乃至条件４を満たす物質の内、条件５及び条件６を満たす１１種類の物質は、［１］ヘプタフルオロ２ヨードプロパン、［２］テトラフルオロ１ヨードエタン、［４］へプタフルオロ１ヨードプロパン、［５］trans−１，２−ジクロロエチレン、［７］１，２−ジクロロテトラフルオロ−１−プロペン、［８］１，２−ジクロロ−３，３，３−トリフルオロ−１−プロペン、［１１］２，３−ジクロロオクタフルオロブタン、［１５］ヨードエタン、［１９］クロロジブロモトリフルオロエタン、［２０］ジブロモメタン、［２１］トリブロモフルオロメタンである。
【００５８】
締結工程を模した評価実験の結果、条件１乃至条件４を満たす１３物質は、従来の潤滑剤の一例であるノベック７１００や、フロリナートＦＣ―３２８３よりも優れた極圧潤滑性を示した。従来の潤滑剤の一例であるノベック７１００や、フロリナートＦＣ−３２８３を使用した場合では、トルク値（約３０Ｎ・ｍ）で締め付けた場合、かじりが発生した。しかし、これら１３物質使用した場合では、２倍以上の締め付けトルク値（約７０Ｎ・ｍ）で締め付けた場合であっても、かじりが、発生しなかった。
【００５９】
また、図４Ａ及び図４Ｂに示す実験装置９１を使用して分解工程を模した評価実験を実行した。この分解工程を模した評価実験では、前述の条件１乃至条件３を満たす１４種類の物質が、潤滑剤として使用された。
【００６０】
前述の締結工程を模した評価実験で潤滑剤を使用して支持柱６と金属部品３０とを固定してから所定の時間経過した後、すなわち、潤滑剤が揮発した後に、金属部品３０は、側部を固定機器４００、例えば、万力によって把持されて、固定される。  
次に、締結工程を模した評価実験と同様に、固定ナット３０１及び支持柱６の接触部の隙間（ネジ隙間）と、固定ナット３０１及び金属部品３０の接触部の隙間（座面隙間）とに、潤滑剤供給部５００により、選択した潤滑剤Ｌが注入される。  
最後に、例えば、図４Ｂの回転方向Ｔと逆方向に向かってレンチ等を使用して、固定ナット３０１が緩められる。その結果、支持柱６と金属部品３０とが取り外される。なお、潤滑剤Ｌは、分解する前に、予め、固定ナット３０１及び先端部６０ａの接触部の隙間と、固定ナット３０１及び金属部品３０の接触部の隙間とに塗布されていればよい。
【００６１】
分解工程を模した評価実験により、前述の条件１乃至条件３を満たす１４種類の物質の内、条件２及び条件４を満たす極圧潤滑性を有する物質は、前述の締結工程を模した評価実験の結果と同様に、１３種類の物質である。また、前述の締結工程を模した評価実験の結果と同様に、これら１３種類の物質の内、条件５及び条件６を満たす物質は、１１種類の物質であった。
【００６２】
この分解工程を模した評価実験において、条件１乃至条件６を満たす１１種類の物質は、従来の潤滑剤の一例であるノベック７１００や、フロリナートＦＣ−３２８３よりも優れた極圧潤滑性を示した。なお、潤滑剤が揮発した状態で、レンチ等で固定ナット３０１を緩めると、かじりが、発生した。かじりが発生した場合、固定ナット３０１と、支持柱６０の先端部６０ａ、若しくは金属部品３０とが固着して、固定ナット３０１を回すことができない場合もあった。
【００６３】
図５に示す実験装置９２を使用して組立工程の圧入工程を模した評価実験を実行した。この圧入工程を模した評価実験では、前述の条件１乃至条件６を満たす１１種類の物質が、潤滑剤として使用された。さらに、比較のために、従来の潤滑剤の一例であるノベック７１００やフロリナートＦＣ−３２８３も、潤滑剤として使用された。
【００６４】
圧入工程を模した評価実験では、はじめに、金属部品４０の内壁部と、圧入部品５０の外周部との少なくとも一方に、潤滑剤供給部６０１及び６０２により、潤滑剤Ｌが注入される。最後に、例えば、図５の押圧方向ＰＤに、圧入部品５０を押し込む。なお、潤滑剤Ｌは、圧入する前に、予め、金属部品４０の内壁部と、圧入部品５０の外周部との少なくとも一方に塗布されていればよい。
【００６５】
圧入工程を模した評価実験により、従来の潤滑剤の一例であるノベック７１００や、フロリナートＦＣ−３２８３を使用した場合、圧入する時に、金属部品４０と圧入部品５０との間に、かじりが発生した。
【００６６】
一方、前述の条件１乃至条件６を満たす１１種類の物質を使用した場合、圧入する時に、金属部品４０と圧入部品５０との間に、かじりが、発生しなかった。したがって、条件１乃至条件６を満たす１１種類の物質を潤滑剤として使用することで、玉軸受１１及び１２と回転軸７とを嵌合する際に、圧入することが可能である。すなわち、玉軸受１１及び１２と回転軸７とを、しまり嵌めにより嵌合することが可能である。
【００６７】
同様に、条件１乃至条件６を満たす１１種類の物質を潤滑剤として使用することで、玉軸受１１及び１２と陽極固定体１８とを嵌合する際に、圧入することが可能である。すなわち、玉軸受１１及び１２と陽極固定体１８とを嵌合する際に、しまり嵌めにより嵌合をすることが可能である。
【００６８】
前述の組立（締結、及び圧入）工程、および分解工程を模した評価実験の結果、条件１乃至条件３を満たす１４種類の物質の内の２−クロロブタンは、ノベック７１００と同等の締め付けトルク値で、かじりが発生した。２−クロロブタンは、分子式中のＣ原子の合計数に対するフッ素原子以外のハロゲン原子（Ｃｌ原子のみ）の合計数の割合が、０．２５と小さい値である。
【００６９】
一方、条件１乃至４を満たす１３種類の物質は、分子式中のＣ原子の合計数に対するフッ素原子以外のハロゲン原子の合計数の割合が、Ｃｌ原子のみを含む場合で０．５以上であり、Ｂｒ原子を含む場合で１．５以上であり、Ｉ原子を含む場合で０．３３以上である。
【００７０】
前述の組立工程を模した評価実験と、図６に示すような特性の評価との結果から、条件１乃至条件４を満たす物質は、有機ハロゲン化物中のＣ−Ｆ結合エネルギーに比べて、Ｃ−Ｃｌ、Ｃ−Ｂｒ、及びＣ−Ｉの内に少なくとも１つの結合エネルギーが小さく、不安定であると考えられる。そのため、評価実験に使用した条件２及び条件４を満たす物質は、添加した際に、脱離反応により脱離した反応性の高い、塩素基―Ｃｌ、臭素基―Ｂｒ、および／又はヨウ素基―Ｉが、金属部品、例えば、金属部品３０、および／又は支持柱６０に含まれるの金属原子と反応し、反応生成物を生成し得る。このとき、塩化物、臭化物、及びヨウ化物の内の少なくとも１つの反応生成物が、金属部品の表面に、生成され得る。
【００７１】
具体的には、条件１乃至条件４を満たす物質は、所定の金属部品とその他の金属部品との接触部の金属表面で、接触部同士が摺動する際に生じる摩擦熱によって、分子中の塩素原子、臭素原子、又はヨウ素原子が金属原子と反応して、塩化物、臭化物、またはヨウ化物を生成する。その結果、条件１乃至条件４を満たす物質は、これらの金属分子との間に生成された塩化物、臭化物、又はヨウ化物等の反応生成物の極圧剤効果により良好な潤滑性を示し得る。
【００７２】
以上述べた理由により、条件１乃至条件４を満たす物質は、組立工程を模した評価実験において、優れた潤滑性を示したと考えられる。条件１乃至条件４を満たす物質は、塩素基―Ｃｌ、臭素基―Ｂｒ、及びヨウ素基―Ｉの順に脱離し易い。条件１乃至条件４を満たす物質は、脱離のし易さに応じて、潤滑性も優れていると考えられる。したがって、本実施形態で選択した１３種類の物質のみならず、有機ハロゲン化物中のＣ−Ｆ結合エネルギーに比べて、Ｃ−Ｃ、Ｃ−Ｂｒ、及びＣ−Ｉの内の少なくとも１つの結合エネルギーが小さい物質であれば条件１乃至条件４を満たす物質として選定することが可能である。
【００７３】
また、条件１乃至条件４を満たす物質を塗布して所定の部品とその他の部品とを摺動した際に、少なくとも一方の部品で、前述の反応により、塩化物、臭化物、及びヨウ化物の内の少なくとも１つが生成された場合、かじりを防止することが、可能である。
【００７４】
さらに、条件１乃至条件４を満たす物質が、所定の金属部品の成分と反応し、塩化物、臭化物、及びヨウ化物の内の少なくとも１つを生成した場合、条件１乃至条件４を満たす物質は、その所定の金属部品の金属原子を主成分とする合金とも反応し得る。すなわち、条件１乃至条件４を満たす物質は、塩化物、臭化物、及びヨウ化物等と反応する金属部品の金属原子を主成分とする合金に塗布された場合、組立工程を模した評価実験で示された潤滑性を生じさせることができる。
【００７５】
また、前述の評価実験より、少なくとも前述の条件１乃至条件４を満たす１３種類の物質は、揮発した後、すぐに、塗布した部分、例えば、固定ナット３０１及び支持柱６の接触部や、固定ナット３０１及び金属部品３０の接触部からの潤滑性が消失することが確認された。これは、極圧剤効果により良好な潤滑性を示す金属原子とハロゲン原子との反応生成物が、空気中の成分、例えば、酸素または水分と接触することにより、分解または変質するためと考えられる。
【００７６】
最後に、条件１乃至条件６を満たす１１種類の物質の内の条件７を満たす物質は、３つだった。図６において、条件１乃至条件６を満たす１１種類の物質の内の条件７を満たす３つの物質は、［５］trans−１，２−ジクロロエチレン、［１５］ヨードエタン、および［２０］ジブロモメタンである。
【００７７】
なお、今後、条件５及び条件６に関連して、環境上の規制の行方を注視する必要がある。なぜならば、条件５及び６は、世論や社会情勢の将来の動向によっては変容し得るためである。これらの規制がなくなった場合、図６に示すジクロロペンタフルオロプロパンや、ブロモクロロメタンも潤滑剤として選択可能となるとともに、図６に示していない多くの物質が選択可能となる。また、条件７に関連して、将来市場流通性が高まり、安価に入手可能となった場合には、条件１乃至条件６を満たす１１種類の物質の内の８種類の物質も、潤滑剤として選択可能になる。図６において、条件１乃至条件６を満たす１１種類の物質の内の８種類の物質は、［１］ヘプタフルオロ２ヨードプロパン、［２］テトラフルオロ１ヨードエタン、［４］へプタフルオロ１ヨードプロパン、［７］１,２−ジクロロテトラフルオロ−１−プロペン、［８］１，２−ジクロロ−３，３，３−トリフルオロ−１−プロペン、［１１］２，３−ジクロロオクタフルオロブタン、［１９］クロロジブロモトリフルオロエタン、［２１］トリブロモフルオロメタンである。
【００７８】
以下で、図７乃至図９を参照して、Ｘ線管１００の真空外囲器１の部品の組立方法の一例について説明する。  
（締結方法）  
図７は、真空外囲器１内の部品の締結方法の一例のフローチャートである。  
真空外囲器１内に配置される複数の部品の内、所定の部品、例えば、第１金属部品が、その他の部品、例えば、第２金属部品に緩く締結される（Ｓ７０１）。例えば、支持柱６の柱状部６ｂは、陽極ターゲット３の穴部Ｈ１に嵌合される。そして、陽極ターゲット３が嵌合された支持柱６の先端部６ａに、固定ナット３００が、緩く螺合される。
【００７９】
所定の部品とその他の部品との接触部の間隙に揮発性潤滑剤が、注入される（Ｓ７０２）。例えば、固定ナット３００及び支持柱６の先端部６ａの接触部の隙間（ネジ隙間）と、固定ナット３００及び陽極ターゲット３の接触部の隙間（座面隙間）とに、揮発性潤滑剤が注入される。この揮発性潤滑剤は、前述の条件１乃至条件７の内、少なくとも条件１乃至条件４を満たす物質である。例えば、揮発性潤滑剤は、ヘプタフルオロ２ヨードプロパン、テトラフルオロ１ヨードエタン、へプタフルオロ１ヨードプロパン、trans−１，２−ジクロロエチレン、１，２−ジクロロテトラフルオロ−１−プロペン、１，２−ジクロロ−３，３，３−トリフルオロ−１−プロペン、ＨＣＦＣ−２２５（ジクロロペンタフルオロプロパン）、２，３−ジクロロオクタフルオロブタン、ブロモクロロメタン、ヨードエタン、クロロジブロモトリフルオロエタン、ジブロモメタン、およびトリブロモフルオロメタンの内の少なくとも１つを含む。好適には、揮発性潤滑剤は、trans−１，２−ジクロロエチレン、ヨードエタン、およびジブロモメタンの内の少なくとも１つを含む。なお、揮発性潤滑剤は、締結する前に、予め、固定ナット３００と先端部６０ａとの接触部の隙間と、固定ナット３００と陽極ターゲット３との接触部の隙間に注入されていてもよい。
【００８０】
所定の部品とその他の部品とが、摺動させて締結される（Ｓ７０３）。例えば、トルクレンチ等を使用して、所定のトルク値で固定ナット３００が締め付けられる。陽極ターゲット３が、固定ナット３００を締め付けることにより摺動させて、支持柱６に締結される。
【００８１】
所定の部品とその他の部品とに塗布された揮発性潤滑剤が、乾燥して揮発する（Ｓ７０４）。例えば、固定ナット３００を締め付ける際に塗布された揮発性潤滑剤は、揮発して消失する。揮発性潤滑剤は、所定の時間で、揮発して消失する。好適には、揮発性潤滑剤は、常温の空気雰囲気中（大気中）に放置して２４時間以内に揮発して消失することが望ましい。なお、乾燥室等に締結された陽極ターゲット３と支持柱６を格納して、揮発性潤滑剤が、乾燥することで揮発してもよい。乾燥室等を利用する場合、条件１が緩和され、前述の条件１乃至条件７を満たす物質よりも多くの物質を、真空外囲器１内に設置する部品への使用に適切な潤滑剤として選択することができる。
【００８２】
なお、この締結方法は、支持柱６と回転軸７の円板７ａとが、取り付けネジ９より締結する場合、固定ネジ１４が、陽極固定体１８に螺合される場合や、固定ネジ１５が、陽極固定体１８に螺合される場合等にも使用できる。  
また、この締結方法により締結された部品は、真空雰囲気中に維持される空間、例えば、真空外囲器１に設置される。
【００８３】
（分解方法）  
図８は、真空外囲器１内の部品の分解方法の一例のフローチャートである。  
図８のフローチャートにおいて、真空外囲器１内に設置される複数の部品の内、所定の部品とその他の部品とが、締結されているものとする。例えば、固定ナット３００により、陽極ターゲット３が、支持柱６に締結されている。
【００８４】
所定の部品とその他の部品との接触部の間隙に揮発性潤滑剤を注入する（Ｓ８０１）。例えば、固定ナット３００及び支持柱６の先端部６ａの接触部の隙間（ネジ隙間）と、固定ナット３００及び陽極ターゲット３の接触部の隙間（座面隙間）とに、揮発性潤滑剤が注入される。この揮発性潤滑剤は、前述の条件１乃至条件７の内、少なくとも条件１乃至条件４を満たす物質である。例えば、揮発性潤滑剤は、ヘプタフルオロ２ヨードプロパン、テトラフルオロ１ヨードエタン、へプタフルオロ１ヨードプロパン、trans−１，２−ジクロロエチレン、１，２−ジクロロテトラフルオロ−１−プロペン、１，２−ジクロロ−３，３，３−トリフルオロ−１−プロペン、ＨＣＦＣ−２２５（ジクロロペンタフルオロプロパン）、２，３−ジクロロオクタフルオロブタン、ブロモクロロメタン、ヨードエタン、クロロジブロモトリフルオロエタン、ジブロモメタン、およびトリブロモフルオロメタンの内の少なくとも１つを含む。好適には、揮発性潤滑剤は、trans-１，２-ジクロロエチレン、ヨードエタン、およびジブロモメタンの少なくとも１つを含む。
【００８５】
所定の部品とその他の部品とが、摺動させて分解される（Ｓ８０２）。例えば、陽極ターゲット３と支持柱６とを締結する固定ナット３００が、レンチ等を使用して回転、摺動されて、取り外される。
【００８６】
所定の部品とその他の部品とに塗布された揮発性潤滑剤が、乾燥して揮発する（Ｓ８０３）。例えば、固定ナット３００を取り外す際に塗布された揮発性潤滑剤は、揮発して消失する。揮発性潤滑剤は、所定の時間で、揮発して消失する。好適には、揮発性潤滑剤は、常温の空気雰囲気中（大気中）に放置して２４時間以内に揮発して消失することが望ましい。なお、乾燥室等に締結された陽極ターゲット３と支持柱６を格納して、揮発性潤滑剤が、乾燥することで揮発してもよい。乾燥室等を利用する場合、条件１が緩和され、前述の条件１乃至条件７を満たす物質よりも多くの物質を、真空外囲器１内に設置する部品への使用に適切な潤滑剤として選択することができる。
【００８７】
なお、この分解方法は、取り付けネジ９が取り外される場合、固定ネジ１４が、陽極固定体１８から取り外される場合や、固定ネジ１５が、陽極固定体１８から取り外される場合等にも使用できる。さらに、ネジ締結された部品に対して記載したが、圧入された部品に対しても、この分解方法は、適用することができる。
【００８８】
また、この分解方法により分解された部品は、真空雰囲気中に維持される空間、例えば、真空外囲器１に設置することも可能である。
【００８９】
（圧入方法）  
図９は、真空外囲器１内の部品の圧入方法の一例のフローチャートである。  
真空外囲器１内に配置される複数の部品の内、所定の部品、例えば、第１金属部品が、その他の部品、例えば、第２金属部品に軽く突き当てられる（Ｓ９０１）。このとき、所定の部品とその他の部品との接触部の隙間は、しめしろである。例えば、玉軸受１１及び玉軸受１２は、回転軸７の円柱部７ｂ、又は陽極固定体１８に軽く突き当てられる。
【００９０】
所定の部品とその他の部品との接触部に揮発性潤滑剤が、塗布される（Ｓ９０２）。例えば、玉軸受１１及び玉軸受１２の内周部と、円柱部７ｂの外周部とに、揮発性潤滑剤が塗布される。同様に、玉軸受１１及び玉軸受１２の外周部と、陽極固定体１８の内周部とに、揮発性潤滑剤が塗布される。この揮発性潤滑剤は、前述の条件１乃至条件７の内、少なくとも条件１乃至条件４を満たす物質である。例えば、揮発性潤滑剤は、ヘプタフルオロ２ヨードプロパン、テトラフルオロ１ヨードエタン、へプタフルオロ１ヨードプロパン、trans−１，２−ジクロロエチレン、１，２−ジクロロテトラフルオロ−１−プロペン、１，２−ジクロロ−３，３，３−トリフルオロ−１−プロペン、ＨＣＦＣ−２２５（ジクロロペンタフルオロプロパン）、２，３−ジクロロオクタフルオロブタン、ブロモクロロメタン、ヨードエタン、クロロジブロモトリフルオロエタン、ジブロモメタン、およびトリブロモフルオロメタンの内の少なくとも１つを含む。好適には、揮発性潤滑剤は、trans−１，２−ジクロロエチレン、ヨードエタン、およびジブロモメタンの内の少なくとも１つを含む。なお、揮発性潤滑剤は、圧入する前に、予め、玉軸受１１及び玉軸受１２の内周部と、円柱部７ｂの外周部との少なくとも一方に塗布されていればよい。同様に、揮発性潤滑剤は、圧入する前に、予め、玉軸受１１及び玉軸受１２の外周部と、陽極固定体１８の内周部との少なくとも一方に塗布されていればよい。
【００９１】
所定の部品とその他の部品とが、摺動させて圧入される（Ｓ９０３）。例えば、玉軸受１１及び玉軸受１２は、それぞれ、所定の圧力で、回転軸７の円柱部７ｂに摺動させて圧入される。同様に、玉軸受１１及び玉軸受１２は、それぞれ、所定の圧力で、陽極固定体１８に摺動させて圧入される。
【００９２】
所定の部品とその他の部品とに塗布された揮発性潤滑剤が、乾燥して揮発する（Ｓ９０４）。例えば、回転軸７、又は玉軸受１１及び玉軸受１２を圧入する際に塗布された揮発性潤滑剤は、揮発して消失する。揮発性潤滑剤は、所定の時間で、揮発して消失する。好適には、揮発性潤滑剤は、常温の空気雰囲気中（大気中）に放置して２４時間以内に揮発して消失することが望ましい。なお、乾燥室等に圧入された回転軸７、玉軸受１１及び玉軸受１２、及び陽極固定体１８を格納して、揮発性潤滑剤が、乾燥することで揮発してもよい。乾燥室等を利用する場合、条件１が緩和され、前述の条件１乃至条件７を満たす物質よりも多くの物質を、真空外囲器１内に設置する部品への使用に適切な潤滑剤として選択することができる。
【００９３】
なお、この圧入方法は、玉軸受１１及び玉軸受１２が、回転軸７の円柱部７ｂ、又は陽極固定体１８に圧入される場合以外にも、使用することができる。  
また、この圧入方法により圧入された部品は、真空雰囲気中に維持される空間、例えば、真空外囲器１に設置される。
【００９４】
（Ｘ線管の製造方法）  
図１０は、Ｘ線管１００の製造方法の一例のフローチャートである。Ｘ線管１００の製造方法は、前述の締結方法、分解方法、及び圧入方法を含む。したがって、前述の締結方法、分解方法、及び圧入方法に記載の内容と同等の内容については、その詳細な説明を省略する。
【００９５】
揮発性潤滑剤を使用して、第１アセンブリが、組立てられる。（Ｓ１００１）。  
例えば、以下に記載する組立工程により、第１アセンブリが、組立てられる。  
陽極ターゲット３が嵌合された支持柱６の先端部６ａが、固定ナット３００のネジ穴ＳＨ１に、緩く締結される。固定ナット３００及び支持柱６の先端部６ａの接触部の隙間（ネジ隙間）と、固定ナット３００及び陽極ターゲット３の接触部の隙間（座面隙間）とに、揮発性潤滑剤が注入される。固定ナット３００は、レンチ等を使用して、所定のトルク値を加えられることで、支持柱６の先端部６ａとの接触部で摺動する。このとき、固定ナット３００と、先端部６ａとの少なくとも一方の金属原子と、揮発性潤滑剤とが反応する。潤滑性を発生する反応生成物が、固定ナット３００と、支持柱6の先端部６ａとの接触部に生成される。この反応生成物の潤滑性により、固定ナット３００が、支持柱６の先端部６ａとの接触部で滑らかに回転する。
【００９６】
固定ナット３００が、陽極ターゲット３に接触する際には、固定ナット３００は、陽極ターゲット３との接触部で摺動する。このとき、固定ナット３００、及び陽極ターゲット３の少なくとも一方の金属原子と、揮発性潤滑剤とが反応する。そして、潤滑性を発生する反応生成物が、固定ナット３００と、支持柱６の先端部６ａとの接触部に生成されている。この反応生成物の潤滑性により、固定ナット３００が、陽極ターゲット３との接触部上で滑らかに回転する。固定ナット３００が締め付けられることで、陽極ターゲット３が、支持柱６に締結される。さらに、回転円筒５が、陽極ターゲット３が締結された支持柱６に固定される。以上のように、第1アセンブリが、構成される。
【００９７】
揮発性潤滑剤を使用して、第２アセンブリが、組立てられる。（Ｓ１００２）。  
例えば、以下に記載する組立工程により、第２アセンブリが、組立てられる。  
玉軸受１１が、円柱部７ｂに軽く突き当てられる。玉軸受１１の内周部と、円柱部７ｂの外周部とに、揮発性潤滑剤が塗布される。玉軸受１１は、所定の圧力が加えられることで、回転軸７の円柱部７ｂの接触部で摺動する。このとき、玉軸受１１、及び回転軸７の円柱部７ｂの少なくとも一方の金属原子と、揮発性潤滑剤とが反応する。そして、潤滑性を発生する反応生成物が、玉軸受１１と、回転軸７の円柱部７ｂとの接触部に生成されている。この反応生成物の潤滑性より、玉軸受１１が、回転軸７の円柱部７ｂとの接触部で滑らかに移動する。このとき、玉軸受１１が、回転軸７の円柱部７ｂの前方の先端部まで圧入される。そして、筒状スペーサ１３が、回転軸７の円柱部７ｂに嵌合され、固定リング１７は、回転軸７に通される。
【００９８】
玉軸受１２が、円柱部７ｂに軽く突き当てられる。玉軸受１２の内周部と、円柱部７ｂの外周部とに、揮発性潤滑剤が塗布される。玉軸受１２は、所定の圧力が加えられることで、回転軸７の円柱部７ｂの接触部で摺動する。このとき、玉軸受１２、及び回転軸７の円柱部７ｂの少なくとも一方の金属原子と、揮発性潤滑剤とが反応する。そして、潤滑性を発生する反応生成物が、玉軸受１２と、回転軸７の円柱部７ｂとの接触部に生成されている。この反応生成物の潤滑性より、玉軸受１２は、回転軸７の円柱部７ｂとの接触部で滑らかに移動する。このとき、玉軸受１２は、回転軸７の円柱部７ｂに筒状スペーサ１３に接触するまで圧入される。
【００９９】
円柱部７ｂの端部が、固定ナット１６のネジ穴ＳＨ２に、緩く締結される。円柱部７ｂの端部と固定ナット１６との接触部の間隙（ネジ隙間）に、揮発性潤滑剤が、注入される。固定ナット１６は、回転させられることで、円柱部７ｂの端部との接触部で摺動する。固定ナット１６は、反応生成物の潤滑性により、円柱部７ｂの端部で玉軸受１２を筒状スペーサ１３の端部に締結される。
【０１００】
陽極固定体１８は、玉軸受１２に軽く突き当てられる。このとき、玉軸受１１及び玉軸受１２と陽極固定体１８との接触部の隙間は、しめしろである。玉軸受１１及び玉軸受１２の外周部と、陽極固定体１８との外周部とに、揮発性潤滑剤が塗布される。陽極固定体１８は、所定の圧力が加えられることで、玉軸受１１及び玉軸受１２との接触部で摺動する。反応生成物の潤滑性により、陽極固定体１８は、玉軸受１１及び玉軸受１２との接触部で滑らかに移動する。このとき、回転軸７の円柱部７ｂに固定された玉軸受１１及び玉軸受１２は、陽極固定体１８に圧入される。
【０１０１】
固定ネジ１４が、陽極固定体１８のネジ穴ＳＨ４に、緩く締結される。固定ネジ１４と陽極固定体１８のネジ穴ＳＨ４との接触部（ネジ隙間）の隙間に、揮発性潤滑剤が、注入される。固定ネジ１４は、回転させられることで、ネジ穴ＳＨ４との接触部で摺動する。固定ネジ１４は、反応生成物の潤滑性を利用して、陽極固定体１８のネジ穴ＳＨ４に締結される。また、固定ネジ１５が、陽極固定体１８のネジ穴ＳＨ５に、緩く締結される。固定ネジ１５と陽極固定体１８のネジ穴ＳＨ５との隙間に揮発性潤滑剤が、注入される。固定ネジ１５は、回転させられることで、ネジ穴ＳＨ５との接触部で摺動する。固定ネジ１５は、反応生成物の潤滑性を利用して、陽極固定体１８のネジ穴ＳＨ５に締結される。
【０１０２】
第１アセンブリと第２アセンブリとを接続して、第１アセンブリと第２アセンブリとを貫通するネジ穴ＳＨ３に、取り付けネジ９が、緩く締結される（Ｓ１００３）。取り付けネジ９と、ネジ穴ＳＨ３との接触部の隙間に揮発性潤滑剤が、注入される（Ｓ１００４）。  
取り付けネジ９は、ネジ穴ＳＨ３との接触部で摺動させて締め付けて、第１アセンブリと第２アセンブリとを締結する。（Ｓ１００５）。ここで、取り付けネジ９が、回転させられることで、ネジ穴ＳＨ３との接触部で摺動する。取り付けネジ９は、反応生成物の潤滑性を利用して、ネジ穴ＳＨ３に滑らかに螺合されることで、第１アセンブリと第２アセンブリとを締結する。
【０１０３】
塗布された揮発性潤滑剤が、乾燥して揮発する（Ｓ１００６）。第１アセンブリと第２アセンブリとを組立てて構成された構成体が、真空外囲器１内に組み込まれる（Ｓ１００７）。例えば、この構成体は、陽極構体９０である。  
なお、前述の製造方法において、締結、又は圧入した２以上の部品を分解する場合には、前述の分解方法により、所定の部品とその他の部品とが、分解される。  
前述のＸ線管装置１００の製造方法は、一例であり、前述の締結方法、分解方法、及び圧入方法の少なくとも１つを使用するＸ線管１００、又はＸ線管１００以外の真空装置の製造に応用することもできる。
【０１０４】
本実施形態によれば、真空外囲器１内に設置する部品への使用に適切な潤滑剤が選定された。選定した潤滑剤において、trans−１，２−ジクロロエチレン、１，２−ジクロロテトラフルオロ−１−プロペン、１，２−ジクロロ−３，３，３−トリフルオロ−１−プロペン、２，３−ジクロロオクタフルオロブタンは、分子中の塩素原子がネジ締めや嵌合時の摺動部の金属表面に金属塩化物を生成し、その極圧剤効果により良好な潤滑性を示す。
【０１０５】
また、選定した潤滑剤において、クロロジブロモトリフルオロエタン、ジブロモメタン、トリブロモフルオロメタンは、分子中の臭素原子がネジ嵌合時の摺動部の金属表面に金属臭化物を生成し、その極圧剤効果により良好な潤滑性を示す。
【０１０６】
さらに、選定した潤滑剤において、ヘプタフルオロ２ヨードプロパン、テトラフルオロ１ヨードエタン、へプタフルオロ１ヨードプロパン、ヨードエタンは、分子中のヨウ素原子がネジ締めや嵌合時の摺動部の金属表面に金属ヨウ化物を生成し、その極圧剤効果により良好な潤滑性を示す。
【０１０７】
したがって、本実施形態において、選定した潤滑剤を使用した組立方法（締結方法、及び圧入方法等）、及び分解方法は、かじりを発生することなく、部品同士を組立（締結、及び圧入等）、及び分解することができる。また、適切な揮発性潤滑剤を使用して組立てられた部品は、Ｘ線管１００の真空外囲器１内に設置されても、真空外囲器１内の真空雰囲気に影響を与えることがない。その結果、本実施形態の組立方法（締結方法、及び圧入方法等）、及び分解方法により、Ｘ線管１００の品質を維持することができる。
【０１０８】
なお、本実施形態に示した潤滑剤以外にも、条件２、及び条件４を満たす潤滑剤であれば、前述の潤滑剤と同様の潤滑性を示す可能性がある。したがって、条件１乃至条件７を満たす他の物質も、本実施形態の組立方法（締結方法、及び圧入方法等）、及び分解方法に使用される潤滑剤の範囲に含まれる。
【０１０９】
また、本実施形態に示した潤滑剤以外にも、環境規制が変容した場合には、条件１乃至条件７を満たす物質が、増える可能性がある。したがって、現在、条件１乃至条件７を満たしていなくとも、今後、条件１乃至条件７を満たす他の物質も、本実施形態の組立方法（締結方法、及び圧入方法等）、及び分解方法に使用される潤滑剤の範囲に含まれる。
【０１１０】
また、本実施形態に示した物質は、物質単体のみならず、他の物質との混合物であっても良い。この混合物は、共沸混合物であるとより好ましい。例えば、trans−１，２−ジクロロエチレンとＨＦＥとの共沸混合物として、住友スリーエム株式会社が製品化している脱脂洗浄剤ノベック７１ＤＥ、ノベック７１ＤＡ、およびノベック７２ＤＥがある。ノベック７１ＤＥ、ノベック７１ＤＡ、およびノベック７２ＤＥ等は、単体物質のtrans−１，２−ジクロロエチレンと異なり、これらは引火性がないことが大きな利点であり、沸点も５℃〜８℃程低い。
【０１１１】
前述のこれら揮発性潤滑剤は、不揮発性の潤滑油と異なり、組立（締結、及び圧入等）、及び分解の後に、揮発するとともに、潤滑性も消失し、組立られた部品の間の摩擦係数が無潤滑の場合と同程度に増大する。その結果、揮発性潤滑剤は、潤滑性を維持している間に組立てられた部品の組立後（例えば使用時）のゆるみや位置ずれの発生を防止できる。
【０１１２】
摩擦を利用した締結としては、実施形態に示した締結（ネジ締結）、及び圧入（しまり嵌め、中間嵌め)以外に、キー、コッタ、タッピングネジによる締結などにも、本実施形態に示した潤滑剤が、適用できる。
【０１１３】
組立（締結、及び圧入等）工程、及び分解工程等に時間がかかる場合は、沸点が高い、すなわち、揮発性が低い揮発性物質が有利である。このように組立工程及び分解工程に時間がかかる場合、ジブロモメタン、トリブロモフルオロメタンや、クロロジブロモトリフルオロエタンなどが好適である。
【０１１４】
さらに、本実施形態では、沸点が１１０℃以下の物質について説明したが、沸点が１１０℃よりも高い物質も、締結、圧入、又は分解後の乾燥をやや高い温度の恒温槽で揮発を促すことができる。このように恒温槽を利用できる場合、沸点が１１０℃よりも大きい揮発性潤滑剤も、本実施形態の潤滑剤の範囲に含まれる。
【０１１５】
また、本実施形態の締結方法、圧入方法、および分解方法は、Ｘ線管１００の真空外囲器１に限定されるものではなく、クライストロン、送信管、ライナックなどを含む全ての真空管に組み込まれる部品に適用可能である。
【０１１６】
また、真空ポンプで装置内を真空状態に維持するその他の真空装置に組み込まれる部品にも適用することができる。
【０１１７】
さらに、真空装置以外の装置、例えば食品製造装置に組み込まれる部品など油脂などの潤滑剤が残留することが好ましくない部品の締結、圧入、および分解工程にも適用可能である。
【０１１８】
次に実施形態に係るＸ線管の変形例について説明する。実施形態の変形例において、前述した実施形態と同一の部分には同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略する。  
（変形例）  
図１１は、変形例に係る開放型のＸ線管装置９０００の一例を示すブロック図である。  
変形例のＸ線管装置９０００は、開放型（デマウンタブル）のＸ線管９００を備える装置である。開放型Ｘ線管９０００は、真空ポンプでＸ線管を真空状態に維持する方式の開放型のＸ線管装置である。
【０１１９】
開放型Ｘ線管９００の真空容器９０１の内部には、電子銃９１０と回転陽極９２０が設置されている。回転陽極９２０は陽極ターゲット９２１およびロータ９２２を含んでいる。真空容器９０１には、ゲート弁９０５を介してターボ分子ポンプ９０６が接続され、ターボ分子ポンプ９０６には油回転真空ポンプ９０７が接続されている。真空容器９０１には、さらに電離真空計９０８が接続されている。真空容器９０１にはＸ線を取り出すためのＸ線取り出し窓９０３と、メンテナンス時に真空容器９０１を開放するためのフランジ部９０２が設けられている。真空容器９０１の外部にはロータ９２２に対向する位置に、ステータコイル９０４が設置されている。ステータコイル９０４は回転駆動電源９４０に接続され、回転駆動電源９４０は制御装置９９０に接続されている。
【０１２０】
電子銃９１０には高電圧電源９５０が接続されている。高電圧電源９５０は高電圧発生部９５１と高電圧制御部９５２とを含んでいる。高電圧制御部９５２には制御装置９９０が接続されている。電離真空計９０８は、Ａ−Ｄ変換器９８０を経て制御装置９９０に接続されている。ターボ分子ポンプ９０６と油回転真空ポンプ９０７は真空排気制御部９６０で駆動制御され、真空排気制御部９６０は制御装置９９０に接続されている。
【０１２１】
真空容器９０１は、メンテナンスを行う際には、フランジ部９０２を開放して、電子銃９１０、回転陽極９２０などの内部部品を交換することができる。
【０１２２】
回転陽極９２０は、接地電位に保たれている。ステータコイル９０４に回転駆動電源９４０から電流が供給されると、回転陽極９２０は、所定の回転数で回転する。電子銃９１０に高電圧電源から負の高電圧が印加され、かつフィラメントに電流が供給されると、熱電子が放出され、陽極ターゲット９２１に向かって加速され、電子ビームを形成する。電子ビームは陽極ターゲット９２１を衝撃し、陽極ターゲット９２１からＸ線が放射される。放射されたＸ線はＸ線取り出し窓９０３を透過させて利用することができる。
【０１２３】
このような開放型のＸ線管装置９０００にも、前述の実施形態の組立及び分解方法や、製造方法を適用することができる。例えば、真空容器９０１に設置される電子銃９１０や、回転陽極９２０の組立工程や、分解工程に適用することができる。さらに、メンテナンスを行う際に、前述の実施形態の組立工程や、分解工程をＸ線管９００に適用することで、Ｘ線管９００の性能や品質を維持した状態で、部品を交換することができる。
【０１２４】
変形例によれば、前述の実施形態で選定した潤滑剤を使用した組立方法、および分解方法は、開放型のＸ線管装置９０００に適用することで、Ｘ線管装置９０００の性能や品質を維持した状態で、部品を交換することを可能にする。
【０１２５】
なお、この発明は、上記実施形態そのものに限定されるものでなく、その実施の段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具現化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。
【符号の説明】
【０１２６】
１…真空外囲器、２…陰極、３…陽極ターゲット、４…回転機構、５…回転円筒（ロータ）、６…支持柱、７…回転軸、９…取り付けネジ、１１、１２…玉軸受、１３…筒状スペーサ、１４、１５…固定ネジ、１６、３００…固定ナット、１７…固定リング、１８…陽極固定体、９０…陽極構体、１００…Ｘ線管、２００…陰極支持体、９００…開放型Ｘ線管、９０１…真空容器、９０２…フランジ部、９０３…Ｘ線放射窓、９０４…ステータコイル、９０５…ゲート弁、９０６…ターボ分子ポンプ、９０７…油回転真空ポンプ、９０８…電離真空計、９１０…電子銃、９２０…回転陽極、９２１…陽極ターゲット、９２２…ロータ、９４０…回転駆動電源、９５０…高電圧電源、９５１…高電圧発生部、９５２…高電圧制御部、９６０…真空排気制御部、９８０…Ａ−Ｄ変換器、９９０…制御装置、９０００…開放型Ｘ線管装置。
【図１】
2017122197.tif 000003
【図２】
2017122197.tif 000004
【図３】
2017122197.tif 000005
【図４Ａ】
2017122197.tif 000006
【図４Ｂ】
2017122197.tif 000007
【図５】
2017122197.tif 000008
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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