(57)【要約】【課題】保護プレートが接合されたノズルプレートを、アクチュエータプレートに精度よく接合することができ、吐出不良を防止できると共に、製造コストの増大を抑えることができるインクジェットヘッド、および液体噴射記録装置を提供する。【解決手段】複数のノズル孔４３ａを有するノズルプレート４３と、インクが充填されると共にノズル孔４３ａに連通する複数の液体噴射チャネル４５Ａを有するアクチュエータプレート４０と、ノズルプレート４３のアクチュエータプレート４０側の背面で、かつアクチュエータプレートプレート接合面を避けた位置に設けられた補強プレート６２と、ノズルプレート４３の吐出面４３ｃに設けられ、ノズル孔４３ａに対応する位置に、ノズル孔４３ａに連通する貫通孔６１ａが形成されている保護プレート６１と、を備え、少なくとも補強プレート６２は、ノズルプレート４３よりも剛性の高い材料で形成されている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズル孔からなるノズル列を有するノズルプレートと、
インクが充填されると共に前記ノズル孔に連通する複数のチャネルを有するアクチュエータプレートと、
前記ノズルプレートの前記アクチュエータプレート側の背面で、かつ該アクチュエータプレートとの接合面を避けた位置に設けられた補強プレートと、
前記ノズルプレートの前記背面とは反対側の吐出面に設けられ、前記ノズル孔に対応する位置に、該ノズル孔に連通する貫通孔が形成されている保護プレートと、
を備え、
少なくとも前記補強プレートは、前記ノズルプレートよりも剛性の高い材料で形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記補強プレートは、前記接合面の周囲を取り囲むように形成されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記補強プレートの厚さは、前記保護プレートの厚さ以上に設定されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記保護プレートおよび前記補強プレートは、それぞれステンレスにより形成されていることを特徴とする請求項１〜請求項３の何れか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記補強プレートに、該補強プレートの剛性を高める補強部を設けたことを特徴とする請求項１〜請求項４の何れか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記補強部は、前記補強プレートに形成された凸部であることを特徴とする請求項５に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
請求項１〜請求項６の何れか１項に記載のインクジェットヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、インクジェットヘッド、および液体噴射記録装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液体噴射記録装置、例えば各種印刷を行うインクジェットプリンタは、被記録媒体を搬送する搬送装置と、インクジェットヘッドと、を備えている。ここで用いられるインクジェットヘッドは、インクタンクからインク供給管を介してインクジェットヘッドにインクを供給し、インクジェットヘッドに設けられたヘッドチップのノズル孔からインクを被記録媒体に吐出することで記録を行っている。
【０００３】
上述したヘッドチップは、複数のノズル孔からなるノズル列を有するノズルプレートと、このノズルプレートに接合され、ノズル孔に連通する複数のチャネルを有するアクチュエータプレートと、を備えている。このアクチュエータプレートに、インクが充填される。また、ノズルプレートは、ノズル孔を精度よく加工するために樹脂により形成される場合が多い。
【０００４】
ここで、ノズルプレートの吐出面を保護したり、ノズル孔の熱変形を抑制したりするために、さまざまな技術が開示されている。
例えば、ノズルプレートのインク吐出面に、金属製の保護プレートを設ける技術が開示されている（例えば、特許文献１参照）。保護プレートは、ノズルプレートの吐出面全体を覆うように形成されている。そして、保護プレートのノズル孔に対応する位置に、このノズル孔に連通する貫通孔が形成されている。また、ノズルプレートと保護プレートは、接着剤を用いて接合されたり、熱圧着により接合されたりしている。
【０００５】
また、ノズルプレートを２つのノズル層で構成し、これら２つのノズル層の間に、各ノズル孔の周囲を取り囲むように、ストッパ層を介装させた技術が開示されている（例えば、特許文献２参照）。ストッパ層は、ノズル孔毎に設けられている。これにより、ノズル孔の熱変形を抑制すると共に、複数層で形成されるノズルプレートの反りを低減しようとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１４−６５２２０号公報
【特許文献２】特開２００５−６６８９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、上述の特許文献１にあっては、ノズルプレートと保護プレートとがそれぞれ異種材料で形成されているので、これらノズルプレートと保護プレートとを接合する際に両者が反発し合って反りが発生してしまう。このため、保護プレートが接合されたノズルプレートを、アクチュエータプレートに精度よく接合できず、吐出不良を生じる可能性があった。
【０００８】
ここで、保護プレートの目的に鑑みると、ノズルプレートの吐出面全体を保護プレートで覆うことが望ましいが、この分、ノズルプレートが反りやすくなってしまう。
また、ノズルプレートが反ってしまうことを抑制可能な程度まで保護プレートを厚く形成することも考えられる。しかしながら、保護プレートは、貫通孔にインクのメニスカスが形成できない厚さに制限されるため、厚く形成しにくい。
【０００９】
この点、上述の特許文献２では、ノズルプレートの反りを抑制できるが、局所的（ノズル孔の周囲のみ）に反りを抑制できるだけで、ノズルプレート全体の反りを効果的に低減しにくい可能性があった。
しかも、ノズルプレートを２つのノズル層で構成し、これら２つのノズル層の間にストッパ層を設けなければならないので製造工程が煩雑になり、コストが増大するという課題があった。
【００１０】
そこで、この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、保護プレートが接合されたノズルプレートを、アクチュエータプレートに精度よく接合することができ、吐出不良を防止できると共に、製造コストの増大を抑えることができるインクジェットヘッド、および液体噴射記録装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するために、本発明に係るインクジェットヘッドは、複数のノズル孔からなるノズル列を有するノズルプレートと、インクが充填されると共に前記ノズル孔に連通する複数のチャネルを有するアクチュエータプレートと、前記ノズルプレートの前記アクチュエータプレート側の背面で、かつ該アクチュエータプレートとの接合面を避けた位置に設けられた補強プレートと、前記ノズルプレートの前記背面とは反対側の吐出面に設けられ、前記ノズル孔に対応する位置に、該ノズル孔に連通する貫通孔が形成されている保護プレートと、を備え、少なくとも前記補強プレートは、前記ノズルプレートよりも剛性の高い材料で形成されていることを特徴とする。
【００１２】
このように、ノズルプレートの背面に補強プレートを設けることにより、効果的にノズルプレートの反りを抑制することができる。しかも、補強プレートは、ノズルプレートの背面におけるアクチュエータプレートとの接合面を避けた位置に設けられているので、補強プレートによって、ノズルプレートとアクチュエータとの接合が阻害されることがない。
また、補強プレートは、ノズルプレートの背面に設けられるので、製造工程が煩雑になることもなく、製造コストを抑えることができる。
【００１３】
本発明に係るインクジェットヘッドにおいて、前記補強プレートは、前記接合面の周囲を取り囲むように形成されていることを特徴とする。
【００１４】
このように構成することで、補強プレートによって、さらに確実にノズルプレートの反りを抑制することができる。
【００１５】
本発明に係るインクジェットヘッドにおいて、前記補強プレートの厚さは、前記保護プレートの厚さ以上に設定されていることを特徴とする。
【００１６】
このように構成することで、保護プレートよりも補強プレートの剛性を高めることができるので、より確実にノズルプレートの反りを抑制することができる。
【００１７】
本発明に係るインクジェットヘッドにおいて、前記保護プレートおよび前記補強プレートは、それぞれステンレスにより形成されていることを特徴とする。
【００１８】
このように構成することで、保護プレートおよび補強プレートの熱変形を抑制でき、かつ、保護プレートおよび補強プレートの防錆効果や耐インク性を高めることができる。
【００１９】
本発明に係るインクジェットヘッドにおいて、前記補強プレートに、該補強プレートの剛性を高める補強部を設けたことを特徴とする。
【００２０】
このように、補強プレートの剛性をさらに高めることにより、確実にノズルプレートの反りを抑制できる。
【００２１】
本発明に係るインクジェットヘッドにおいて、前記補強部は、前記補強プレートに形成された凸部であることを特徴とする。
【００２２】
このように構成することで、補強部を簡素な構造とすることができ、補強プレートの製造コストが増大してしまうことを抑制できる。
【００２３】
本発明に係る液体噴射記録装置は、上記に記載のインクジェットヘッドを備えたことを特徴とする。
【００２４】
このように構成することで、保護プレートが接合されたノズルプレートを、アクチュエータプレートに精度よく接合することができる。このため、液体噴射記録装置の吐出不良を防止できる。
また、製造コストの増大を抑えることが可能な液体噴射記録装置を提供できる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、ノズルプレートの背面に補強プレートを設けることにより、効果的にノズルプレートの反りを抑制することができる。しかも、補強プレートは、ノズルプレートの背面におけるアクチュエータプレートとの接合面を避けた位置に設けられているので、補強プレートによって、ノズルプレートとアクチュエータとの接合が阻害されることがない。
また、補強プレートは、ノズルプレートの背面に設けられるので、製造工程が煩雑になることもなく、製造コストを抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の実施形態における液体噴射記録装置の構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施形態におけるインクジェットヘッドの斜視図である。
【図３】本発明の実施形態におけるヘッドチップの斜視図である。
【図４】本発明の実施形態におけるヘッドチップの分解斜視図である。
【図５】本発明の実施形態におけるノズルプレートを、吐出面側からみた平面図である。
【図６】図５のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図７】本発明の実施形態におけるノズルプレートを、背面側からみた平面図である。
【図８】本発明の実施形態の変形例におけるノズルプレートを、背面側からみた平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
次に、この発明の実施形態を、図面を参照して説明する。
【００２８】
（液体噴射記録装置）
図１は、液体噴射記録装置１の構成を示す斜視図である。なお、以下の図では、説明を分かり易くするために各部材の縮尺を適宜変更している。
同図に示すように、液体噴射記録装置１は、記録紙等の被記録媒体Ｓを搬送する一対の搬送手段２，３と、被記録媒体Ｓに図示しないインクを噴射するインクジェットヘッド４と、インクジェットヘッド４にインクを供給するインク供給手段５と、インクジェットヘッド４を被記録媒体Ｓの搬送方向Ｙと直交する走査方向Ｘに走査させる走査手段６と、を備えている。
なお、本実施形態では、搬送方向Ｙおよび走査方向Ｘの２方向に直交する方向を上下方向Ｚとする。
【００２９】
一対の搬送手段２，３は、搬送方向Ｙに間隔をあけて配置されており、一方の搬送手段２が搬送方向Ｙの上流側に位置し、他方の搬送手段３が搬送方向Ｙの下流側に位置している。これら搬送手段２，３は、走査方向Ｘに延設されたグリッドローラ２ａ，３ａと、このグリッドローラ２ａ，３ａに対して平行に配置されると共に、グリッドローラ２ａ，３ａとの間で被記録媒体Ｓを挟み込むピンチローラ２ｂ，３ｂと、グリッドローラ２ａ，３ａをその軸回りに回転させるモータ等の図示しない駆動機構と、をそれぞれ備えている。
そして、一対の搬送手段２，３のグリッドローラ２ａ，３ａを回転させることで、被記録媒体Ｓを搬送方向Ｙに沿った矢印Ｂ方向に搬送することが可能とされている。
【００３０】
インク供給手段５は、インクが収容されたインクタンク１０と、インクタンク１０とインクジェットヘッド４とを接続するインク配管１１と、を備えている。
図示の例では、インクタンク１０は、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｂ）の四色のインクがそれぞれ収容されたインクタンク１０Ｙ、１０Ｍ、１０Ｃ、１０Ｂが搬送方向Ｙに並んで配置されている。インク配管１１は、例えば可撓性を有するフレキシブルホースであり、インクジェットヘッド４を支持するキャリッジ１６の動作（移動）に追従可能とされている。
【００３１】
走査手段６は、走査方向Ｘに延び、搬送方向Ｙに間隔をあけて互いに平行に配置された一対のガイドレール１５と、これら一対のガイドレール１５に沿って移動可能に配置されたキャリッジ１６と、このキャリッジ１６を走査方向Ｘに移動させる駆動機構１７と、を備えている。
駆動機構１７は、一対のガイドレール１５の間に配置され、走査方向Ｘに間隔をあけて配置された一対のプーリ１８と、これら一対のプーリ１８の間に巻回されて走査方向Ｘに移動する無端ベルト１９と、一方のプーリ１８を回転駆動させる駆動モータ２０と、を備えている。
【００３２】
キャリッジ１６は、無端ベルト１９に連結されており、一方のプーリ１８の回転駆動による無端ベルト１９の移動に伴って走査方向Ｘに移動可能とされている。また、キャリッジ１６には、複数のインクジェットヘッド４が走査方向Ｘに並んだ状態で搭載されている。
図示の例では、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｂ）の各インクをそれぞれ噴射する４つのインクジェットヘッド４、すなわちインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂが搭載されている。
【００３３】
（インクジェットヘッド）
次に、インクジェットヘッド４について詳細に説明する。
図２は、インクジェットヘッド４の斜視図である。
同図に示すように、インクジェットヘッド４は、キャリッジ１６に固定される固定プレート２５と、この固定プレート２５上に固定されたヘッドチップ２６と、インク供給手段５から供給されたインクを、ヘッドチップ２６の後述するインク導入孔４１ａにさらに供給するインク供給部２７と、ヘッドチップ２６に駆動電圧を印加する制御手段２８と、を備えている。
【００３４】
インクジェットヘッド４は、駆動電圧が印加されることで、各色のインクを所定の噴出量で吐出する。このとき、インクジェットヘッド４が走査手段６により走査方向Ｘに移動することにより、被記録媒体Ｓにおける所定範囲に記録を行うことができる。この走査を、搬送手段２，３により被記録媒体Ｓを搬送方向Ｙに搬送しながら繰り返し行うことで、被記録媒体Ｓの全体に記録を行うことが可能となる。
【００３５】
固定プレート２５には、アルミ等の金属製のベースプレート３０が上下方向Ｚに沿って起立した状態で固定されていると共に、ヘッドチップ２６の後述するインク導入孔４１ａにインクを供給する流路部材３１が固定されている。流路部材３１の上方には、インクを貯留する貯留室を内部に有する圧力緩衝器３２がベースプレート３０に支持された状態で配置されている。そして、流路部材３１と圧力緩衝器３２は、インク連結管３３を介して連結され、圧力緩衝器３２にはインク配管１１が接続されている。
【００３６】
このような構成のもと、圧力緩衝器３２は、インク配管１１を介してインクが供給されると、このインクを内部の貯留室内に一旦貯留した後、所定量のインクをインク連結管３３および流路部材３１を介してインク導入孔４１ａに供給する。
なお、これら流路部材３１、圧力緩衝器３２およびインク連結管３３は、上記インク供給部２７として機能する。
【００３７】
また、固定プレート２５には、ヘッドチップ２６を駆動するための集積回路等の制御回路（駆動回路）３５が搭載されたＩＣ基板３６が取り付けられている。この制御回路３５と、ヘッドチップ２６の後述するコモン電極（駆動電極）およびダミー電極（何れも不図示）は、図示しない配線パターンがプリント配線されたフレキシブル基板３７を介して電気接続されている。これにより、制御回路３５は、フレキシブル基板３７を介してコモン電極とダミー電極との間に、駆動電圧を印加することが可能とされる。
なお、これら制御回路３５が搭載されたＩＣ基板３６、およびフレキシブル基板３７は、上記制御手段２８として機能する。
【００３８】
（ヘッドチップ）
続いて、ヘッドチップ２６について詳細に説明する。
図３は、ヘッドチップ２６の斜視図、図４は、ヘッドチップ２６の分解斜視図である。
図３、図４に示すように、ヘッドチップ２６は、アクチュエータプレート４０、カバープレート４１、支持プレート４２、ノズルプレート４３、保護プレート６１、および補強プレート６２を備えている。ヘッドチップ２６は、後述する液体噴射チャネル４５Ａの長手方向端部に臨むノズル孔４３ａからインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプとされている。
【００３９】
アクチュエータプレート４０は、第１アクチュエータプレート４０Ａおよび第２アクチュエータプレート４０Ｂの２枚のプレートを積層した、いわゆる積層プレートとされている。なお、アクチュエータプレート４０は、積層プレートに限らず、１枚のプレートで構成してもよい。
【００４０】
第１アクチュエータプレート４０Ａおよび第２アクチュエータプレート４０Ｂは、共に厚さ方向に分極処理された圧電基板、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）セラミックス基板であり、互いの分極方向を反対に向けた状態で接合されている。
このアクチュエータプレート４０は、厚さ方向Ｌ１に直交する第１方向（配列方向）Ｌ２に長く、厚さ方向Ｌ１および第１方向Ｌ２に対して直交する第２方向Ｌ３に短い、平面視略長方形状に形成されている。
【００４１】
なお、本実施形態のヘッドチップ２６はエッジシュート対応であるので、厚さ方向Ｌ１が液体噴射記録装置１における走査方向Ｘに一致し、かつ第１方向Ｌ２が搬送方向Ｙ、第２方向Ｌ３が上下方向Ｚに一致する。すなわち、例えばアクチュエータプレート４０の側面のうち、ノズルプレート４３に対向する側面（インクが吐出される側の側面）は、下端面４０ａとなり、この下端面４０ａとは第２方向Ｌ３の反対側に位置する側面は、上端面４０ｂとなる。以下の説明では、この上下方向に則して、単に下側、上側と称して説明する場合がある。しかしながら、通常、上下方向については、液体噴射記録装置１の設置角度に応じて変化してしまうことは言うまでもない。
【００４２】
アクチュエータプレート４０の一方の主面（カバープレート４１が重なる面）４０ｃには、第１方向Ｌ２に所定の間隔をあけて並んだ複数のチャネル４５が形成されている。これら複数のチャネル４５は、一方の主面４０ｃ側に開口した状態で第２方向Ｌ３に沿って直線状に延びる溝部であり、長手方向の一方側がアクチュエータプレート４０の下端面４０ａ側に開口している。これら複数のチャネル４５の間には、断面略矩形状で第２方向Ｌ３に延びる駆動壁（圧電隔壁）４６が形成されている。この駆動壁４６によって、各チャネル４５はそれぞれ区分けされている。
【００４３】
また、複数のチャネル４５は、インクが充填される液体噴射チャネル（液体吐出溝）４５Ａと、インクが充填されないダミーチャネル（液体非吐出溝）４５Ｂと、に大別される。そして、これら液体噴射チャネル４５Ａとダミーチャネル４５Ｂは、第１方向Ｌ２に交互に並んで配置されている。
このうち、液体噴射チャネル４５Ａは、アクチュエータプレート４０の上端面４０ｂ側に開口することなく、下端面４０ａ側にだけ開口した状態で形成されている。一方、ダミーチャネル４５Ｂについては、アクチュエータプレート４０の下端面４０ａ側だけでなく、上端面４０ｂ側にも開口するように形成されている。
【００４４】
液体噴射チャネル４５Ａの内壁面、すなわち第１方向Ｌ２に向かい合う一対の側壁面および底壁面には、不図示のコモン電極が形成されている。このコモン電極は、液体噴射チャネル４５Ａに沿って第２方向Ｌ３に延び、アクチュエータプレート４０の一方の主面４０ｃ上に形成されたコモン端子（電極端子部）５１に導通している。
一方、ダミーチャネル４５Ｂの内壁面のうち、第１方向Ｌ２に向かい合う一対の側壁面には、不図示のダミー電極がそれぞれ形成されている。これらダミー電極は、ダミーチャネル４５Ｂに沿って第２方向Ｌ３に延び、アクチュエータプレート４０の一方の主面４０ｃ上に形成されたダミー端子（電極端子部）５３に導通している。
【００４５】
なお、ダミー端子５３は、アクチュエータプレート４０の一方の主面４０ｃ上におけるコモン端子５１よりも上端面４０ｂ側に形成されている。そして、液体噴射チャネル４５Ａを挟んだ両側に位置するダミー電極同士（異なるダミーチャネル４５Ｂ内に形成されたダミー電極同士）を、接続するように形成されている。
【００４６】
このような構成のもと、フレキシブル基板３７を介して制御回路３５がコモン端子５１およびダミー端子５３を通じて、コモン電極とダミー電極との間に駆動電圧を印加すると、駆動壁４６が変形する。そして、液体噴射チャネル４５Ａ内に充填されたインクに圧力変動が生じる。これにより、液体噴射チャネル４５Ａ内のインクをノズル孔４３ａより吐出することができ、被記録媒体Ｓに文字や図形等の各種情報を記録することが可能となる。
【００４７】
アクチュエータプレート４０の一方の主面４０ｃ上には、カバープレート４１が重ね合わされている。このカバープレート４１には、インク導入孔４１ａが第１方向Ｌ２に長い平面視略矩形状に形成されている。
このインク導入孔４１ａには、流路部材３１を介して供給されてきたインクを液体噴射チャネル４５Ａ内に導入させ、かつダミーチャネル４５Ｂ内への導入を規制する複数のスリット５５ａが形成されたインク導入板５５が形成されている。つまり、複数のスリット５５ａは、液体噴射チャネル４５Ａに対応する位置に形成されており、各液体噴射チャネル４５Ａ内にのみインクを充填することが可能とされる。
【００４８】
なお、カバープレート４１は、例えばアクチュエータプレート４０と同じＰＺＴセラミックス基板で形成され、アクチュエータプレート４０と同じ熱膨張をさせることで、温度変化に対する反りや変形を抑制している。但し、この場合に限られず、アクチュエータプレート４０とは異なる材料でカバープレート４１を形成しても構わないが、熱膨張係数が近い材料を用いることが好ましい。
【００４９】
支持プレート４２は、重ね合されたアクチュエータプレート４０およびカバープレート４１を支持していると共に、ノズルプレート４３を同時に支持している。支持プレート４２は、アクチュエータプレート４０に対応するように、第１方向Ｌ２に長く形成された略長方形状の板材で、中央の大部分に、厚さ方向に貫通する嵌合孔４２ａが形成されている。この嵌合孔４２ａは、第１方向Ｌ２に沿って略長方形状に形成されており、重ね合されたアクチュエータプレート４０およびカバープレート４１を嵌合孔４２ａ内に嵌め込んだ状態で支持している。
【００５０】
また、支持プレート４２は、その外形状が厚さ方向下端に向かうに従って段差により小さくなるように段付き板状に形成されている。すなわち、支持プレート４２は、厚さ方向上端側に位置するベース部４２Ａと、ベース部４２Ａの下端面に配置され、このベース部４２Ａよりも外形状が小さくなるように形成された段差部４２Ｂと、が一体成形されたものである。そして、支持プレート４２は、段差部４２Ｂの端面がアクチュエータプレート４０の下端面４０ａより、補強プレート６２の厚さＴ２（図６参照）分だけ凹むように組み合わされている。
【００５１】
（ノズルプレート）
また、段差部４２Ｂの端面に、保護プレート６１および補強プレート６２が接合されたノズルプレート４３が、例えば接着等により固定されている。
ノズルプレート４３は、例えばポリイミド等のフィルム材からなるシートで、その外形状は、段差部４２Ｂの外形状に対応する大きさに形成されている。すなわち、第１方向Ｌ２に長くなるように略長方形状に形成されている。
【００５２】
また、ノズルプレート４３には、第１方向Ｌ２に所定の間隔をあけて複数のノズル孔４３ａが形成されている。これらノズル孔４３ａは、複数の液体噴射チャネル４５Ａに対してそれぞれ対向する位置に形成され、一列に並んでノズル列４３ｂを構成している。そして、各ノズル孔４３ａは、それぞれ対応する液体噴射チャネル４５Ａ内に連通している。なお、通常時にノズル孔４３ａからインクが吐出されないように、各ノズル孔４３ａにおいて適切なメニスカスが保たれている。
そして、このように構成されたノズルプレート４３の吐出面（アクチュエータプレート４０とは反対側の面）４３ｃに、保護プレート６１が設けられている。
【００５３】
（保護プレート）
図５は、ノズルプレート４３を、吐出面４３ｃ側からみた平面図、図６は、図５のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
図３〜図６に示すように、保護プレート６１は、ノズルプレート４３を保護したり熱変形を防止したりするためのものである。保護プレート６１は、ステンレスからなる薄板材にプレス加工やエッチング加工を施して形成されたものであって、ノズルプレート４３の吐出面４３ｃに熱圧着や接着剤等を用いた接着により貼付固定されている。
【００５４】
また、保護プレート６１の外形状は、ノズルプレート４３の外形状に対応するように第１方向Ｌ２に長くなるように略長方形状に形成されている。これにより、ノズルプレート４３の吐出面４３ｃの全体が、保護プレート６１によって覆われる。
なお、保護プレート６１のノズルプレート４３とは反対側の表面に、撥水膜を塗布することが望ましい。これにより、保護プレート６１上にインクが付着して残留してしまうことを抑制できる。しかしながら、これに限られるものではなく、保護プレート６１のノズルプレート４３とは反対側の表面を、親水性としてもよい。
【００５５】
また、保護プレート６１には、ノズル孔４３ａに対応する位置に、それぞれ厚さ方向に貫通する貫通孔６１ａが形成されている。貫通孔６１ａの直径は、ノズル孔４３ａの直径よりも若干大きくなるように設定されている。なお、保護プレート６１の厚さＴ１は、貫通孔６１ａにインクのメニスカスが形成されないような厚さに設定されている。
一方、ノズルプレート４３の吐出面４３ｃとは反対側（アクチュエータプレート４０側）の背面４３ｄに、補強プレート６２が設けられている。
【００５６】
（補強プレート）
図７は、ノズルプレート４３を、背面４３ｄ側からみた平面図である。
ここで、ノズルプレート４３の背面４３ｄは、アクチュエータプレート４０の下端面４０ａに対応する領域（図７におけるドットハッチ部参照）が、この下端面４０ａと接合されるアクチュエータ接合面４３ｅとされている。
【００５７】
図３、図４、図６、図７に示すように、補強プレート６２は、ノズルプレート４３を補強して、ノズルプレート４３の反りを防止するためのものである。補強プレート６２は、ステンレスからなる薄板材にプレス加工やエッチング加工を施して形成されたものであって、ノズルプレート４３の背面４３ｄに熱圧着や接着剤等を用いた接着により貼付固定されている。
【００５８】
また、補強プレート６２の外形状は、ノズルプレート４３の外形状に対応するように第１方向Ｌ２に長くなるように略長方形状に形成されている。そして、補強プレート６２には、ノズルプレート４３のアクチュエータ接合面４３ｅに対応する位置に、開口部６２ａが形成されている。すなわち、補強プレート６２は、ノズルプレート４３のアクチュエータ接合面４３ｅを避け、このアクチュエータ接合面４３ｅの周囲を取り囲むように形成されている。これにより、アクチュエータプレート４０の下端面４０ａに、ノズルプレート４３のアクチュエータ接合面４３ｅが接合されると共に、支持プレート４２の段差部４２Ｂの端面に、補強プレート６２が接合される。
【００５９】
なお、アクチュエータプレート４０の下端面４０ａとノズルプレート４３のアクチュエータ接合面４３ｅとの接合、および支持プレート４２の段差部４２Ｂの端面と補強プレート６２との接合は、それぞれ接着剤を用いて行われる。このため、補強プレート６２の表面は、親水性であることが望ましい。
また、補強プレート６２の厚さＴ２は、保護プレート６１の厚さＴ１よりも厚く設定されていることが望ましい。このように設定することにより、補強プレート６２の剛性を高めることができ、保護プレート６１がノズルプレート４３に及ぼす影響を、できる限り抑制することができる。
【００６０】
このような構成のもと、液体噴射記録装置１により、被記録媒体Ｓに情報を記録する場合には、図１に示すように、例えば、一対の搬送手段２，３により被記録媒体Ｓを搬送方向Ｙに搬送させながら、走査手段６によりキャリッジ１６を介して各インクジェットヘッド４を走査方向Ｘに往復移動させる。この間に、各インクジェットヘッド４において、制御回路３５がコモン端子５１とダミー端子５３との間に駆動電圧を印加する。
【００６１】
これにより、駆動壁４６に厚みすべり変形を生じさせ、液体噴射チャネル４５Ａ内に充填されたインクに圧力波を発生させる。この圧力波により、液体噴射チャネル４５Ａの内圧が高まるので、インクをノズル孔４３ａから吐出させることができる。この際、インクはノズル孔４３ａを通過する際に液滴状のインク滴となり、保護プレート６１の貫通孔６１ａを介して吐出される。その結果、被記録媒体Ｓに４色のインクを利用して、文字や図形等の各種情報を記録することができる。
【００６２】
ここで、ノズルプレート４３には、保護プレート６１が設けられている。保護プレート６１は、熱変形量の小さいステンレスにより形成されているので、ノズルプレート４３がポリイミド等の樹脂により形成されている場合であってもノズル孔４３ａの熱変形を確実に抑制できる。このため、環境温度等に関わらず、ヘッドチップ２６からのインクの吐出量を安定させることができ、被記録媒体Ｓへの記録を高精度に行うことができる。
【００６３】
（ノズルプレート、保護プレート、および補強プレートの製造方法）
次に、ノズルプレート４３、保護プレート６１、および補強プレート６２の製造方法について説明する。
まず、ノズルプレート４３の吐出面４３ｃに、熱圧着や接着剤等を用いた接着により保護プレート６１を貼り合せると共に、ノズルプレート４３の背面４３ｄに、熱圧着や接着剤等を用いた接着により補強プレート６２を貼り合せる。この時点では、保護プレート６１に貫通孔６１ａが形成されていないと共に、補強プレート６２に開口部６２ａが形成されていない。
【００６４】
次に、エッチングにより保護プレート６１に貫通孔６１ａを形成すると共に、補強プレート６２に開口部６２ａを形成する。
次に、図６に示すように、ノズルプレート４３にレーザ光Ｌを照射する。そして、貫通孔６１ａと同軸上のノズル孔４３ａを形成する。このとき、ノズルプレート４３へのレーザ光Ｌの照射方向は、ノズルプレート４３側からでもよいし（図６における実線矢印参照）、保護プレート６１側から貫通孔６１ａを介してノズルプレート４３にレーザ光Ｌを照射する方向（図６における破線矢印参照）でもよい。
【００６５】
ここで、レーザ光Ｌによってノズルプレート４３が熱せられるが、保護プレート６１が貼り付けられているので、ノズルプレート４３の熱変形が抑制される。これにより、ノズル孔４３ａが精度よく形成される。そして、ノズル孔４３ａを形成してノズルプレート４３、保護プレート６１、および補強プレート６２の製造が完了する。
【００６６】
そして、保護プレート６１および補強プレート６２が貼り付けられたノズルプレート４３を、接着等を用いてアクチュエータプレート４０および支持プレート４２に接合する。
ここで、ノズルプレート４３には、補強プレート６２が設けられているので、ノズルプレート４３の吐出面４３ｃの全面に保護プレート６１が貼り付けられている場合であっても、ノズルプレート４３の反りを抑制できる。このため、アクチュエータプレート４０や支持プレート４２へのノズルプレート４３の接合を容易、かつ正確に行うことができる。
【００６７】
このように、上述の実施形態では、ノズルプレート４３の背面４３ｄに、補強プレート６２が設けられている。また、この補強プレート６２は、ノズルプレート４３よりも剛性の高いステンレスにより形成されている。このため、ノズルプレート４３の反りを効果的に抑制できる。しかも、補強プレート６２は、ノズルプレート４３のアクチュエータ接合面４３ｅを避けるように開口部６２ａを有しているので、補強プレート６２によって、ノズルプレート４３とアクチュエータプレート４０との接合が阻害されることがない。
【００６８】
また、補強プレート６２は、開口部６２ａが形成されているだけでノズルプレート４３のアクチュエータ接合面４３ｅの周囲を取り込むように形成されているので、ノズルプレート４３を確実に補強できる。このため、ノズルプレート４３の反りを確実に抑制できる。
さらに、補強プレート６２は、ノズルプレート４３の背面４３ｄに設けられるので、製造工程が煩雑になることもなく、製造コストを抑えることができる。
【００６９】
そして、補強プレート６２の厚さＴ２を、保護プレート６１の厚さＴ１よりも厚く設定することにより、補強プレート６２の剛性を高めることができる。このため、保護プレート６１がノズルプレート４３に及ぼす影響をできる限り抑制することができ、より確実にノズルプレート４３の反りを抑制することができる。
また、保護プレート６１や補強プレート６２をステンレスにより形成することで、保護プレート６１および補強プレート６２の熱変形を抑制でき、かつ、保護プレート６１および補強プレート６２の防錆効果や耐インク性を高めることができる。
【００７０】
（変形例）
次に、図８に基づいて、本実施形態の変形例について説明する。なお、以下の説明において、前述の実施形態と同一態様には、同一符号を付して説明を省略する。
図８は、変形例におけるノズルプレート４３を、背面４３ｄ側からみた平面図であって、前述の実施形態の図７に対応している。
本変形例における補強プレート６２には、開口部６２ａの周囲を取り囲むように、凸部（凸条部）６３が形成されている。この点、前述の実施形態の補強プレート６２と相違する。
【００７１】
凸部６３は、補強プレート６２にプレス加工を施して形成される。また、凸部６３は、支持プレート４２側（図８における手前側）に向かって突出するように形成されている。さらに、凸部６３の突出高さは、補強プレート６２と支持プレート４２との接着に影響を及ぼさない程度の高さに設定されている。
【００７２】
このように、補強プレート６２に凸部６３を形成することにより、簡素な構造で補強プレート６２の剛性をさらに高めることができる。このため、ノズルプレート４３の反りを、さらに確実に抑制できる。
【００７３】
なお、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述の実施形態に種々の変更を加えたものを含む。
【００７４】
例えば、上述の実施形態では、保護プレート６１の外形状は、ノズルプレート４３の外形状に対応するように第１方向Ｌ２に長くなるように略長方形状に形成されている場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、ノズルプレート４３を保護したり熱変形を防止したりできる形状であればよい。
【００７５】
また、上述の実施形態の変形例では、補強プレート６２に、開口部６２ａの周囲を取り囲むように凸部６３を形成し、補強プレート６２の剛性を高める場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、凸部６３に代わって補強用のバー等を設けてもよい。また、補強プレート６２の全周に渡って凸部６３を形成しなくてもよい。
【００７６】
さらに、上述の実施形態では、保護プレート６１および補強プレート６２は、ステンレスからなる薄板材により形成されている場合について説明した。さらに、ノズルプレート４３は、ポリイミド等のフィルム材からなるシートにより形成されている場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、保護プレート６１、補強プレート６２、およびノズルプレート４３に、さまざまな材料を採用することができる。但し、少なくとも補強プレート６２は、ノズルプレート４３よりも剛性の高い材料で形成する。
【００７７】
また、ノズルプレート４３、保護プレート６１、および補強プレート６２の製造方法として、ノズルプレート４３に、保護プレート６１、および補強プレート６２を貼り合せた後、エッチングにより保護プレート６１の貫通孔６１ａと補強プレート６２の開口部６２ａを同時に形成する場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、予め保護プレート６１に貫通孔６１ａを形成したり、補強プレート６２に開口部６２ａを形成した後、これら保護プレート６１、補強プレート６２を、ノズルプレート４３に貼り合せてもよい。
【００７８】
さらに、上述の実施形態では、ヘッドチップ２６は、液体噴射チャネル４５Ａの長手方向端部に臨むノズル孔４３ａからインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプとされている場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、液体噴射チャネル４５Ａの長手方向中央に臨むノズル孔からインクを吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのヘッドチップにも、上述の保護プレート６１や補強プレート６２を採用することができる。
【００７９】
また、上述の実施形態では、補強プレート６２の厚さＴ２を、保護プレート６１の厚さＴ１よりも厚く設定した場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、補強プレート６２の厚さＴ２と保護プレート６１の厚さＴ１とを同一か、または同程度に設定してもよい。
【符号の説明】
【００８０】
１…液体噴射記録装置  ４…インクジェットヘッド  ４０…アクチュエータプレート  ４３…ノズルプレート  ４３ａ…ノズル孔  ４３ｂ…ノズル列  ４３ｃ…吐出面  ４３ｄ…背面  ４３ｅ…アクチュエータ接合面（接合面）  ４５…チャネル  ４５Ａ…液体噴射チャネル（チャネル）  ６１…保護プレート  ６１ａ…貫通孔  ６２…補強プレート  ６２ａ…開口部  ６３…凸部  Ｔ１，Ｔ２…厚さ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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