(57)【要約】【課題】熱伝導性、耐電圧性、及び靱性に優れる複合熱伝導シート及びそれを用いた放熱システムを提供する。【解決手段】絶縁樹脂シートと、該絶縁樹脂シートの片面又は両面に位置する、異方性を有する黒鉛粉を含有する基材シートと、を有する複合熱伝導シート。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁樹脂シートと、該絶縁樹脂シートの片面又は両面に位置する、異方性を有する黒鉛粉を含有する基材シートと、を有する複合熱伝導シート。
【請求項２】
前記異方性を有する黒鉛粉の長軸が、前記基材シートの厚さ方向に配向している請求項１に記載の複合熱伝導シート。
【請求項３】
前記基材シートが、室温で弾性を示すバインダー成分を更に含有する請求項１又は請求項２に記載の複合熱伝導シート。
【請求項４】
前記バインダー成分が、ガラス転移温度が５０℃以下である熱可塑性ゴム成分を含む請求項３に記載の複合熱伝導シート。
【請求項５】
前記バインダー成分が、ガラス転移温度が５０℃以下である熱可塑性ゴム成分と、熱硬化性ゴム成分と、該熱硬化性ゴム成分に架橋可能な熱硬化型ゴム硬化剤と、を含む請求項３に記載の複合熱伝導シート。
【請求項６】
前記基材シートの厚さ方向の熱伝導率が２０Ｗ／（ｍ・Ｋ）〜８０Ｗ／（ｍ・Ｋ）である請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載の複合熱伝導シート。
【請求項７】
前記絶縁樹脂シートの厚さ方向の熱伝導率が２Ｗ／（ｍ・Ｋ）〜１２Ｗ／（ｍ・Ｋ）である請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載の複合熱伝導シート。
【請求項８】
前記基材シートの平均厚さが１００μｍ〜１０００μｍである請求項１〜請求項７のいずれか一項に記載の複合熱伝導シート。
【請求項９】
前記絶縁樹脂シートの平均厚さが５０μｍ〜３００μｍである請求項１〜請求項８のいずれか一項に記載の複合熱伝導シート。
【請求項１０】
前記絶縁樹脂シートの少なくとも一方の面に位置する基材シートの端部が、前記絶縁樹脂シートの端部より１ｍｍ以上内側に位置する請求項１〜請求項９のいずれか一項に記載の複合熱伝導シート。
【請求項１１】
耐電圧が１ｋＶ以上である請求項１〜請求項１０のいずれか一項に記載の複合熱伝導シート。
【請求項１２】
厚さ方向の熱伝導率が１Ｗ／（ｍ・Ｋ）〜１０Ｗ／（ｍ・Ｋ）である請求項１〜請求項１１のいずれか一項に記載の複合熱伝導シート。
【請求項１３】
一方の面に発熱体が接する請求項１〜請求項１２のいずれか一項に記載の複合熱伝導シートと、該複合熱伝導シートの他方の面に接する放熱体と、を有する放熱システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複合熱伝導シート及びそれを用いた放熱システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ハイブリッド電気自動車（Hybrid Electric Vehicle；ＨＥＶ）、電気自動車（ＥＶ）等の自動車用又は産業用のパワーモジュールにおける小型化及び高出力化に対応するため、発熱素子の冷却方式の高効率化及び使用する材料の耐熱性向上が図られている。これらのパワーモジュールの放熱機構には、高耐電圧性と高熱伝導性とを両立させるために、使用する材料及び構造の選択に制約が掛かる。このため、組み立て作業性及び歩留まりを犠牲にし、且つ、高価な材料を使用しなくてはならないことが多い。
【０００３】
パワーモジュールの放熱機構としては、パワーモジュールの熱をアルミニウム製のヒートシンクへ伝える機構が知られている。アルミニウム製のヒートシンクは、水冷、風冷等により強制的に冷却することで、パワーモジュールの冷却性能を向上させている。
【０００４】
パワーモジュールの熱をアルミニウム製のヒートシンクへ伝える伝熱部には、高耐電圧性と高熱伝導性との両方の特性が要求される。
耐電圧性を確保するため、伝熱部には、絶縁抵抗が高く熱伝導性に優れる窒化珪素製又はアルミナ製のセラミック板が使われることが多い。セラミック板は、パワーモジュール及びヒートシンクに面接触させると接触面における接触熱抵抗が高くなるため、通常は、グリ−スを介して熱を伝導させている。
【０００５】
グリースは、バルクの熱伝導率が低く、厚塗りでは熱伝導率が低くなるため、薄く均一な塗布が要求される。また、グリースは、ヒートサイクルによって面圧が変化すると、ポンプアウトにより流出し、熱伝導性が確保できなくなることがある。更に、グリースは、塗布して直ぐに放熱システムを組み立てると、粘度が低く端部へと流れ、グリース面の確保が難しくなることがある。このため、用途によっては、グリースの塗布後、数時間放置して適度な粘度になった後に放熱システムを組み立てる等の管理が必要となり、作業性の低下に繋がることがある。
【０００６】
また、セラミック板は、靱性が低いため、実装時に割れるおそれがある。特に、パワーモジュールの両面にアルミニウム製のヒートシンクを配置する多層構造の場合、両面におけるセラミック板の平行度が低いと、セラミック板に偏荷重が掛かり、セラミック板が割れる問題が生じ易くなる。
【０００７】
これらの課題への対策として、従来、種々の技術が提案されている。
例えば、特許文献１では、パワーモジュールを冷却器にねじ止めして固定する際にグリースがねじ穴へ流れ出すのを防ぐため、ねじ穴周辺にグリースを塗布せず、且つ、パワーモジュール及び冷却器の少なくとも一方にグリースの拡散を防止する拡散防止部を設ける技術が提案されている。
また、特許文献２では、セラミック板とヒートシンクとの間の熱伝導性を高めるために、ヒートシンクのセラミック板側の面に、高熱伝導性の髭状体（カーボンナノチューブ等）からなる層を形成する技術が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特許第３６４４４２８号公報
【特許文献２】特開２０１０−１９２７１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、特許文献１の技術は、特性改善の効果が少なく、特許文献２の技術は、コスト的に実現が難しいという問題がある。
【００１０】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、熱伝導性、耐電圧性、及び靱性に優れる複合熱伝導シート及びそれを用いた放熱システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するための具体的な手段には、以下の実施態様が含まれる。
＜１＞  絶縁樹脂シートと、該絶縁樹脂シートの片面又は両面に位置する、異方性を有する黒鉛粉を含有する基材シートと、を有する複合熱伝導シート。
【００１２】
＜２＞  前記異方性を有する黒鉛粉の長軸が、前記基材シートの厚さ方向に配向している＜１＞に記載の複合熱伝導シート。
【００１３】
＜３＞  前記基材シートが、室温で弾性を示すバインダー成分を更に含有する＜１＞又は＜２＞に記載の複合熱伝導シート。
【００１４】
＜４＞  前記バインダー成分が、ガラス転移温度が５０℃以下である熱可塑性ゴム成分を含む＜３＞に記載の複合熱伝導シート。
【００１５】
＜５＞  前記バインダー成分が、ガラス転移温度が５０℃以下である熱可塑性ゴム成分と、熱硬化性ゴム成分と、該熱硬化性ゴム成分に架橋可能な熱硬化型ゴム硬化剤と、を含む＜３＞に記載の複合熱伝導シート。
【００１６】
＜６＞  前記基材シートの厚さ方向の熱伝導率が２０Ｗ／（ｍ・Ｋ）〜８０Ｗ／（ｍ・Ｋ）である＜１＞〜＜５＞のいずれか一項に記載の複合熱伝導シート。
【００１７】
＜７＞  前記絶縁樹脂シートの厚さ方向の熱伝導率が２Ｗ／（ｍ・Ｋ）〜１２Ｗ／（ｍ・Ｋ）である＜１＞〜＜６＞のいずれか一項に記載の複合熱伝導シート。
【００１８】
＜８＞  前記基材シートの平均厚さが１００μｍ〜１０００μｍである＜１＞〜＜７＞のいずれか一項に記載の複合熱伝導シート。
【００１９】
＜９＞  前記絶縁樹脂シートの平均厚さが５０μｍ〜３００μｍである＜１＞〜＜８＞のいずれか一項に記載の複合熱伝導シート。
【００２０】
＜１０＞  前記絶縁樹脂シートの少なくとも一方の面に位置する基材シートの端部が、前記絶縁樹脂シートの端部より１ｍｍ以上内側に位置する＜１＞〜＜９＞のいずれか一項に記載の複合熱伝導シート。
【００２１】
＜１１＞  耐電圧が１ｋＶ以上である＜１＞〜＜１０＞のいずれか一項に記載の複合熱伝導シート。
【００２２】
＜１２＞  厚さ方向の熱伝導率が１Ｗ／（ｍ・Ｋ）〜１０Ｗ／（ｍ・Ｋ）である＜１＞〜＜１１＞のいずれか一項に記載の複合熱伝導シート。
【００２３】
＜１３＞  一方の面に発熱体が接する請求項１〜請求項１２のいずれか一項に記載の複合熱伝導シートと、該複合熱伝導シートの他方の面に接する放熱体と、を有する放熱システム。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、熱伝導性、耐電圧性、及び靱性に優れる複合熱伝導シート及びそれを用いた放熱システムを提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本実施形態の複合熱伝導シート及びそれを用いた放熱システムの一例について詳細に説明する。但し、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。以下の実施形態において、その構成要素（要素ステップ等も含む）は、特に明示した場合を除き、必須ではない。数値及びその範囲についても同様であり、本発明を制限するものではない。
【００２６】
本明細書において「工程」との語には、他の工程から独立した工程に加え、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の目的が達成されれば、当該工程も含まれる。
本明細書において「〜」を用いて示された数値範囲には、「〜」の前後に記載される数値がそれぞれ最小値及び最大値として含まれる。
本明細書中に段階的に記載されている数値範囲において、一つの数値範囲で記載された上限値又は下限値は、他の段階的な記載の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本明細書中に記載されている数値範囲において、その数値範囲の上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。
本明細書において組成物中の各成分の含有率は、組成物中に各成分に該当する物質が複数種存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数種の物質の合計の含有率を意味する。
本明細書において組成物中の各成分の粒子径は、組成物中に各成分に該当する粒子が複数種存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数種の粒子の混合物についての値を意味する。
本明細書において「層」との語には、当該層が存在する領域を観察したときに、当該領域の全体に形成されている場合に加え、当該領域の一部にのみ形成されている場合も含まれる。
本明細書において「積層」との語は、層を積み重ねることを示し、二以上の層が結合されていてもよく、二以上の層が着脱可能であってもよい。
【００２７】
本明細書において「平均粒径（Ｄ５０）」は、体積平均粒径を意味し、レーザー回折式粒度分布測定装置を用いて測定することができる。
本明細書において「重量平均分子量」及び「数平均分子量」は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）により、標準ポリスチレンの検量線を用いて測定することができる。
本明細書において、複合熱伝導シート、基材シート、又は絶縁樹脂シートの平均厚さは、厚さゲージを用いて測定した同一シート内の任意の５点における厚さの平均値を意味する。厚さゲージとしては、デジタルダイヤルゲージ（例えば、株式会社ミツトヨ製、デジマチックインジケータＩＤ−Ｃ１１２Ｃ）が挙げられる。
本明細書において「常温」とは１５℃〜３０℃を示し、「室温」とは２５℃を示す。
【００２８】
＜複合熱伝導シート＞
本実施形態の複合熱伝導シートは、絶縁樹脂シートと、該絶縁樹脂シートの片面又は両面に位置する、異方性を有する黒鉛粉を含有する基材シートと、を有する。
本実施形態の複合熱伝導シートは、絶縁樹脂シートと基材シートとが積層された構成を有するため、熱伝導性、耐電圧性、及び靱性に優れる。
【００２９】
本実施形態の複合熱伝導シートにおいて、絶縁樹脂シートと基材シートとの寸法関係は特に制限されない。例えば、絶縁樹脂シートの主面と基材シートの主面が同寸法であってもよく、いずれか一方の寸法が他方より小さくてもよい。また、本実施形態の複合熱伝導シートは、例えば、絶縁樹脂シートの少なくとも一方の面に位置する基材シートの端部が、絶縁樹脂シートの端部より１ｍｍ以上内側に位置していてもよい。このような構成により、縁面の電流リークに対する耐電圧性が向上する傾向にある。
【００３０】
本実施形態の複合熱伝導シートの耐電圧は、例えば、１ｋＶ以上であってもよく、３ｋＶ以上であってもよく、５ｋＶ以上であってもよい。
本実施形態の複合熱伝導シートの厚さ方向の熱伝導率は、例えば、１Ｗ／（ｍ・Ｋ）〜１０Ｗ／（ｍ・Ｋ）であってもよく、３Ｗ／（ｍ・Ｋ）〜２０Ｗ／（ｍ・Ｋ）であってもよい。
本実施形態の複合熱伝導シートの平均厚さは、例えば、０．３ｍｍ〜２．０ｍｍであってもよく、０．４ｍｍ〜０．６ｍｍであってもよい。
【００３１】
以下、本実施形態の複合熱伝導シートを構成する基材シート及び絶縁樹脂シートについて詳細に説明する。
【００３２】
［基材シート］
基材シートは、異方性を有する黒鉛粉（以下、「異方性黒鉛粉」ともいう。）を含有する。本明細書において「異方性を有する黒鉛粉」とは、アスペクト比が１ではない形状をしている黒鉛粉を意味する。このような黒鉛粉が基材シートに配合されると、黒鉛粉が配向することにより、熱伝導率の異方性を生じ得る。
より具体的に、走査型電子顕微鏡により１００個の黒鉛粉を観察した際の長軸の長さに対する短軸の長さのアスペクト比（短軸の長さ／長軸の長さ）の平均値は、例えば、１／２以下であってもよく、１／１０〜１／２であってもよい。ここで、長軸の長さとは、走査型電子顕微鏡により二次元視野内に投影された黒鉛粉を平行な２本の接線で挟んだときに接線間の距離が最大となる部分の長さを意味する。また、短軸の長さとは、長軸の長さを測定する際に用いた２本の接線と直交する平行な２本の接線で黒鉛粉を挟んだときの接線間の距離を意味する。
【００３３】
異方性黒鉛粉の長軸は、基材シートの厚さ方向に配向していてもよい。異方性黒鉛粉の長軸が基材シートの厚さ方向に配向することで、基材シートの厚さ方向の熱伝導性が向上する。その結果、複合熱伝導シートが発熱体と放熱体との間に設けられる場合に、発熱体の熱を放熱体へと効率よく伝熱させることができる傾向にある。
異方性黒鉛粉の長軸が「基材シートの厚さ方向に配向する」とは、基材シートを正八角形に切った各辺の厚さ方向での断面を走査型電子顕微鏡で観察し、いずれか１辺の断面において、任意の５０個の異方性黒鉛粉の長軸が基材シートの表面に対してなす角度（９０度以上の場合は補角を採用する）を測定し、その平均値が６０度〜９０度の範囲内にある状態をいう。
【００３４】
基材シートは、室温で弾性を示すバインダー成分（以下、単に「バインダー成分」ともいう。）を更に含有していてもよい。「室温で弾性を示す」とは、２５℃において柔軟性を示すことを意味する。
【００３５】
以下、基材シートに含有される成分について説明する。
【００３６】
（異方性黒鉛粉）
異方性黒鉛粉としては、例えば、放熱性に優れるものを用いることができる。異方性黒鉛粉としては、膨張黒鉛成型シートからの粉砕粉であってもよく、膨張黒鉛成型シートからの粉砕粉の中で薄片針枝状又は樹枝状の形状を有する粉砕粉であってもよい。異方性黒鉛粉の形状が薄片針枝状又は樹枝状であることにより、異方性黒鉛粉同士の接触確率が増大し、熱伝導性に優れる基材シートが得られる傾向にある。
本明細書において「薄片針枝状」とは、針葉樹のような尖った葉を平らにした形状を指す。また、本明細書において「樹枝状」とは、木の枝のような形状で、複数の小枝が絡み合った形状を指す。なお、これらの形状の確認は、走査型電子顕微鏡を用いて行う。
【００３７】
膨張黒鉛成型シートの粉砕粉は、例えば、下記の工程を経て作製される。
（１）膨張黒鉛を作製する工程。
（２）膨張黒鉛により、膨張黒鉛成型シートを作製する工程。
（３）膨張黒鉛成型シートを粉砕する工程。
（４）分級により粉砕粉の粒度を揃える工程。
【００３８】
上記（１）の工程において、膨張黒鉛を作製する方法は特に制限されない。膨張黒鉛は、例えば、原料黒鉛としての天然黒鉛等を酸性物質及び酸化剤を含む溶液中に浸漬して黒鉛層間化合物を生成させる工程の後に、黒鉛層間化合物を加熱して黒鉛結晶のｃ軸方向を膨張させて膨張黒鉛とする工程を経て製造することができる。この方法により、膨張した黒鉛が虫状短繊維となり複雑に絡み合った形態となる。
【００３９】
膨張黒鉛の膨張倍率は特に制限されない。放熱特性を考慮すると、膨張黒鉛の膨張倍率は、１０倍以上であってもよく、５０倍〜５００倍であってもよい。膨張倍率が１０倍以上の膨張黒鉛を使用すると、得られる膨張黒鉛成形シートの強度に優れ、膨張倍率が５００倍以下の膨張黒鉛を使用すると、膨張黒鉛成型シートを作製する際の作業性に優れる傾向にある。また必要に応じて、膨張黒鉛を更に高い温度で熱処理し、膨張黒鉛中に含まれる不純物を除去してもよい。
【００４０】
膨張黒鉛の原料黒鉛は特に制限されない。原料黒鉛としては、天然黒鉛、キッシュ黒鉛、熱分解黒鉛等の、高度に結晶が発達した黒鉛が好ましいものとして挙げられる。得られる特性と経済性との観点からは、原料黒鉛としては天然黒鉛を用いてもよい。用いる天然黒鉛は特に制限されず、Ｆ４８Ｃ（日本黒鉛工業（株）製）、Ｈ−５０（（株）中越黒鉛工業所製）等の市販品を用いることができる。これらの天然黒鉛は、鱗片状の性状形態であってもよい。
【００４１】
上記（１）の工程において、黒鉛の処理に用いられる酸性物質は、黒鉛層間に浸入して十分な膨張能力を有する酸性根（陰イオン）を発生可能な、硫酸等が使用される。酸性物質としての硫酸は、適度な濃度で使用され、９５質量％以上の濃度であってもよく、濃硫酸を使用してもよく、９８質量％以上の濃硫酸を使用してもよい。酸性物質の使用量については特に制限はなく、目的とする膨張倍率に応じて決定され、例えば、原料黒鉛１００質量部に対して１００質量部〜１０００質量部で使用することができる。
【００４２】
また、酸性物質とともに用いられる酸化剤は、過酸化水素、過塩素酸カリウム、過マンガン酸カリウム、重クロム酸カリウム等の過酸化物、又は硝酸等の酸化作用のある酸を用いることができる。良好な特性の膨張黒鉛を得やすいという観点から、酸化剤としては過酸化水素を用いてもよい。
酸化剤として過酸化水素を用いる場合には、水溶液として用いてもよい。水溶液中の過酸化水素の濃度は特に制限されず、例えば、２０質量％〜４０質量％の範囲であってもよい。過酸化水素水の使用量についても特に制限されず、例えば、原料黒鉛１００質量部に対して５質量部〜６０質量部の範囲であってもよい。
【００４３】
上記（２）の工程において、得られた膨張黒鉛を成型してシート化する方法は特に制限されず、常温でのロール、プレス等によりシート化することができる。また、得られる膨張黒鉛成型シート層の嵩密度は、膨張黒鉛の充填量と成形圧力の大きさとを変えることで調整することができる。
【００４４】
膨張黒鉛成型シートの嵩密度は特に制限されず、例えば、０．０７ｇ／ｃｍ３〜１．５ｇ／ｃｍ３の範囲であってもよく、０．１ｇ／ｃｍ３〜１．５ｇ／ｃｍ３の範囲であってもよい。嵩密度が０．０７ｇ／ｃｍ３以上であると、膨張黒鉛成型シートの強度が充分となり、嵩密度が１．５ｇ／ｃｍ３以下であると、成型時に膨張黒鉛擬集物が破壊するのが抑えられる傾向にある。
【００４５】
膨張黒鉛成型シートは上記製法により得ることもでき、また下記に示す市販品を入手して使用することも可能である。膨張黒鉛成型シートの市販品としては、日立化成（株）製のカーボフィットＨＧＰ−１０５、ＨＧＰ−２０７等が挙げられる。
【００４６】
上記（３）及び（４）の工程で使用する装置に制限はなく、一般的な乾式粉砕機及び乾式分級機が使用でき、形状が薄片針枝状又は樹枝状の異方性黒鉛粉を得ることができる。
【００４７】
異方性黒鉛粉の平均粒径（Ｄ５０）は、例えば、５０μｍ〜２０００μｍの範囲であってもよい。異方性黒鉛粉の平均粒径が５０μｍ以上であると、黒鉛粉の異方性が充分となり、異方性黒鉛粉同士の接触確率が増大し、放熱特性が向上する傾向にある。また、異方性黒鉛粉の平均粒径が２０００μｍ以下であると、バインダー成分と均一に混合しやすく、基材シートの伝熱特性及び物性が均一化しやすい傾向にある。
【００４８】
異方性黒鉛粉の含有率は、基材シート全体に対して、２０質量％〜７０質量％であってもよく、２５質量％〜６０質量％であってもよい。異方性黒鉛粉の含有率が２０質量％以上であると、放熱効果が充分となり、異方性黒鉛粉の含有率が７０質量％以下であると、基材シートが硬くなりすぎるのが防止される傾向にある。
【００４９】
（バインダー成分）
バインダー成分としては、室温で弾性を示すものであれば特に制限されない。バインダー成分としては、例えば、ガラス転移温度が５０℃以下である熱可塑性ゴム成分（以下、単に「熱可塑性ゴム成分」ともいう。）を含んでいてもよく、ガラス転移温度が−７０℃〜２０℃である熱可塑性ゴム成分を含んでいてもよい。バインダー成分として、ガラス転移温度が５０℃以下である熱可塑性ゴム成分を含むと、柔軟性に優れ、発熱体、放熱体、及び絶縁樹脂シートに対する密着性が良好な基材シートが得られる傾向にある。
なお、熱可塑性ゴム成分のガラス転移温度は、示差走査熱量装置（ＤＳＣ）を用いて測定することができる。
【００５０】
使用される熱可塑性ゴム成分は特に制限されず、アクリル酸エステル（アクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、アクリル酸２−エチルヘキシル等のアクリル酸エステル）と他のモノマーとの共重合で得られるアクリルゴム；エチレンとプロピレンとを触媒にて反応させて得られるエチレン−プロピレンゴム；イソブチレンとイソプレンとの共重合で得られるブチルゴム；ブタジエンとスチレンとの共重合で得られるスチレンブタジエンゴム；アクリロニトリルとブタジエンとの共重合で得られるアクリロニトリルブタジエンゴムなどが挙げられる。
【００５１】
上記熱可塑性ゴム成分は、１種を単独で又は２種以上を組み合わせて使用できる。熱可塑性ゴム成分の重量平均分子量は、１０万〜２００万の範囲であってもよく、２０万〜１５０万の範囲であってもよい。熱可塑性ゴム成分の重量平均分子量が１０万以上であると、最終的に得られる基材シートのガラス転移温度の低下が抑制され、電子機器内部の温度変化に伴う複合熱伝導シートの物性の変動が抑えられて熱伝導性の変動が抑えられる傾向にある。また、熱可塑性ゴム成分の重量平均分子量が２００万以下であると、異方性黒鉛粉との混合性が向上し、且つ、タック性及び弾性に優れる基材シートが得られる傾向にある。
【００５２】
基材シートがバインダー成分として熱可塑性ゴム成分を含有する場合、熱可塑性ゴム成分の含有量は特に制限されない。熱可塑性ゴム成分の含有量は、例えば、基材シート１００質量部に対し、５質量部〜７０質量部であってもよく、５質量部〜６０質量部であってもよい。この範囲内にあると上述のシート特性が維持される傾向にある。
【００５３】
熱可塑性ゴム成分としては、具体的に、アクリルゴムとして、商品名：ＴＨＲ−８１１ＤＳ、重量平均分子量：５０万、ナガセケムテックス（株）製；商品名：ＴＨＲ−８１１ＤＲ、重量平均分子量：５０万、ナガセケムテックス（株）製；商品名：Ｎｉｐｏｌ  ＡＲ３１、日本ゼオン（株）製；商品名：Ｎｉｐｏｌ  ＡＲ５１、日本ゼオン（株）製；商品名：Ｎｉｐｏｌ  ＡＲ７１、日本ゼオン（株）製；商品名：Ｎｉｐｏｌ  ＡＲ３２、日本ゼオン（株）製；商品名：Ｎｉｐｏｌ  ＡＲ４２Ｗ、日本ゼオン（株）製；等が例示できる。
【００５４】
一般に、複合熱伝導シートは、発熱体と放熱体とに挟まれ、一定の圧力が加えられるとともに使用環境の温度が変化する状況で使用される。そのため、使用環境下での圧力負荷に耐え得るよう、バインダー成分として、上述の熱可塑性ゴム成分に加えて熱硬化性ゴム成分を併用してもよい。
また、バインダー成分は、ガラス転移温度が５０℃以下である熱可塑性ゴム成分と、熱硬化性ゴム成分と、該熱硬化性ゴム成分に架橋可能な熱硬化型ゴム硬化剤（以下、単に「熱硬化型ゴム硬化剤」ともいう。）と、を含んでいてもよい。
【００５５】
なお、本明細書において「熱硬化性ゴム成分」とは、硬化前の成分を意味し、熱硬化型ゴム硬化剤と熱処理することにより、硬化した成分となる。
【００５６】
本明細書において、熱硬化性ゴム成分は、熱硬化型ゴム硬化剤と架橋することにより、複合熱伝導シートの使用温度によっても分子鎖運動の変化が少なくなり、取り扱い性が向上（強度向上）し、また、使用環境の急激な高温側への変化において安定した熱伝導性を得ることができる。
【００５７】
熱硬化性ゴム成分としては特に制限されず、例えば、熱硬化型ゴム硬化剤と架橋可能な官能基を有する変性合成ゴムが挙げられる。熱硬化性ゴム成分を選択する際には、熱硬化型ゴム硬化剤の種類を適宜選択することができる。
【００５８】
ゴムの架橋（加硫）剤としては、一般的な硫黄、硫黄化合物、過酸化物等を使用することができる。環境（臭気）、安全衛生、及びゴムとの架橋性の維持の観点からは、後述する熱硬化型ゴム硬化剤を用いてもよい。
【００５９】
熱硬化性ゴム成分の架橋は、架橋によって熱硬化性ゴム成分の分子量が増加し、基材シートの強度が高くなるという、分子量の増加のみを単純に考えるのではなく、組み込まれる熱硬化性ゴム成分及び熱硬化型ゴム硬化剤の構造及びその特徴を、架橋により得られた基材シートの特性に反映させるよう設計することが望ましい。この点から、熱硬化性ゴム成分は、熱硬化型ゴム硬化剤に対して架橋できる官能基を有するものを用いることができる。
【００６０】
上記の目的を考慮すると、熱硬化性ゴム成分において、熱硬化型ゴム硬化剤と反応する官能基としては、カルボキシ基、水酸基、アミノ基等が挙げられる。熱硬化性ゴム成分としては、これらの官能基で変性された変性合成ゴムを使用することができる。シート特性及びコストの面からは、カルボキシ基を有する、アクリロニトリルとブタジエンとメタクリル酸との共重合体であるＮＢＲ、及びアクリル酸ブチルとアクリロニトリルとアクリル酸との共重合で得られるアクリルゴムを用いてもよい。
【００６１】
なお、熱硬化性ゴム成分として、常温で固体である成分（以下、「固形ゴム」ともいう。）と、常温で液体である成分（以下、「液状ゴム」ともいう。）と、を併用してもよい。固形ゴムは、強度及び耐熱性に優れ、液状ゴムは、柔軟性に優れることから、これら両方の配合により、耐熱性と柔軟性とをバランスよく得ることができる。
【００６２】
固形ゴムとしては、カルボキシ基、水酸基、アミノ基等で変性された変性合成ゴムであってもよく、固形のカルボキシ基変性合成ゴムであってもよい。
液状ゴムとしては、カルボキシ基、水酸基、アミノ基等で変性された変性合成ゴムであってもよく、液状のカルボキシ基変性合成ゴムであってもよい。
【００６３】
固形のカルボキシ基変性合成ゴムの分子量は、常温で固体であれば特に制限はなく、重量平均分子量が１０万以上であってもよく、１５万〜５０万であってもよい。
液状のカルボキシ基変性合成ゴムの分子量は、常温で液体であれば特に制限はなく、重量平均分子量が９万以下であってもよく、３万〜９万であってもよい。
【００６４】
固形のカルボキシ基変性合成ゴムと液状のカルボキシ基変性合成ゴムとは、各々単独で、或いは混合して使用することができる。混合して使用する場合の比率は、要求特性により任意に決定される。なお、固形ゴムを多く用いると、強度及び耐熱性が高まる傾向にあり、液状ゴムを多く用いると柔軟性が高まる傾向にある。
【００６５】
固形ゴムとしては、具体的に、カルボキシ基変性ＮＢＲ（商品名：Ｎｉｐｐｏｌ  １０７２、重量平均分子量：２５万、カルボキシ基濃度：０．７５（ＫＯＨｍｇ／ｇ）、日本ゼオン（株）製）等が例示できる。
【００６６】
液状ゴムとしては、具体的に、カルボキシ基変性ＮＢＲ（商品名：Ｎｉｐｐｏｌ  ＤＮ６０１、重量平均分子量：６．８万、カルボキシ基濃度：０．７５（ＫＯＨｍｇ／ｇ）、日本ゼオン（株）製）、Ｘ７５０、Ｘ７４０、Ｘ１４６、Ｘ１６０（ＪＳＲ（株）製）等が例示できる。
【００６７】
基材シートがバインダー成分として熱硬化性ゴム成分を含有する場合、熱硬化性ゴム成分の含有量は特に制限されない。熱可塑性ゴム成分の含有量は、例えば、バインダー成分中の熱可塑性ゴム成分と熱硬化性ゴム成分との総量１００質量部に対し、１０質量部〜７０質量部であってもよく、１０質量部〜６０質量部であってもよい。この範囲内であるとバランスのとれた基材シートが得られやすい傾向にある。
【００６８】
なお、熱硬化性ゴム成分としての水酸基を有する変性合成ゴムと、熱硬化型ゴム硬化剤としてのイソシアネート（ＮＣＯ）化合物とを併用する方法も採用し得るが、イソシアネート化合物は水分とも瞬時に反応するため、取り扱い性及び反応のコントロールの観点からはイソシアネート化合物以外のものを用いてもよい。
【００６９】
熱硬化型ゴム硬化剤としては特に制限されない。熱硬化型ゴム硬化剤としては、例えば、熱硬化性ゴム成分が有するカルボキシ基、水酸基、アミノ基等の官能基と容易に反応し、安定した物性を有する材料であってもよい。
【００７０】
熱硬化性ゴム成分としてカルボキシ基変性合成ゴム又はアミノ基変性合成ゴムを使用する場合、熱硬化型ゴム硬化剤としては、エポキシ基含有化合物であってもよく、エポキシ基を２つ以上有するエポキシ基含有化合物であってもよい。エポキシ基含有化合物は、基材シートの接着力及び耐熱性の向上、バインダー成分と異方性黒鉛粉との混合性の向上等の働きもある。よって、エポキシ基含有化合物を使用した基材シートでは、使用するエポキシ基含有化合物の特徴が一部反映した物性を有したものとなる。
【００７１】
エポキシ含有化合物の分子量及び構造は特に制限されない。熱可塑性ゴム成分と熱硬化性ゴム成分との相溶性、耐熱性、コスト等を考慮すると、エポキシ含有化合物としては、数平均分子量（Ｍｎ）が５００以下である、エピクロルヒドリンとビスフェノールＡとで構成されるエポキシ含有化合物を用いてもよい。
【００７２】
特に、熱硬化性ゴム成分がカルボキシ基変性合成ゴム又はアミノ基変性合成ゴムであるときの、熱硬化型ゴム硬化剤としてのエポキシ基含有化合物の含有量は、熱硬化性ゴム成分に含まれるカルボキシ基濃度又はアミノ基濃度とエポキシ基含有化合物の分子量及びエポキシ基の数（当量）とで決定される。カルボキシ基変性合成ゴム又はアミノ基変性合成ゴム１００質量部に対し、エポキシ基含有化合物は、１質量部〜３０質量部であってもよい。エポキシ基含有化合物の含有量が１質量部以上であると、エポキシ基含有化合物を介した架橋密度が向上し、タック性及びバインダー成分と異方性黒鉛粉との混合性が向上する傾向にある。また、エポキシ基含有化合物の含有量が３０質量部以下であると、添加したエポキシ基含有化合物の全体が架橋に充分寄与し、耐熱性及びシート特性が向上する傾向にある。
【００７３】
また必要に応じて、イソシアネート又はアミン化合物等の硬化促進剤が使用される。
【００７４】
熱硬化型ゴム硬化剤と熱硬化性ゴム成分との反応では、熱処理を行ってもよい。熱処理条件に特に制限はないが、１５０℃、６０分間の熱処理で完全硬化する。赤外分光法により、カルボキシ基、水酸基、アミノ基等の官能基の完全消失が確認されたとき、完全硬化した状態と判断できる。したがって、基材シート中の硬化ひずみを少なくしたい場合は、低温且つ長時間の熱処理条件とすることができ、また、生産性向上を図るなら高温且つ短時間の熱処理条件とすることができる。
【００７５】
熱硬化型ゴム硬化剤と熱硬化性ゴム成分との架橋により得られる架橋密度は、熱処理条件により任意に設定できる。熱処理条件によりバインダー成分中に含まれる熱硬化性ゴム成分と熱硬化型ゴム硬化剤との架橋密度を変えることができるため、所望の要求に合わせた性状の基材シートを提供することができる。
【００７６】
（その他の成分）
基材シートは、必要に応じて、異方性黒鉛粉及びバインダー成分以外のその他の成分を含有していてもよい。その他の成分としては、難燃剤、可塑剤等が挙げられる。
【００７７】
難燃剤としては特に制限されない。難燃剤は、基材シートのバインダー成分の一部として機能するため、バインダー成分との相溶性、耐熱性、及び得られる基材シートの物性を考慮して選択することができる。
難燃剤としては、一般的なハロゲン化化合物が挙げられる。シート特性のバランスを考慮すると、燐酸エステル系の難燃剤を用いてもよい。燐酸エステル系の難燃剤としては、例えば、トリメチルホスフェート、トリエチルホスフェート等の脂肪族燐酸エステル、トリフェニルホスフェート、トリクレジルホスフェート等の芳香族燐酸エステル、及びビスフェノールＡビス（ジフェニルホスフェート）等の芳香族縮合燐酸エステルが挙げられ、これらは単独又は混合して使用できる。燐酸エステルの一例としては、芳香族縮合燐酸エステル（大八化学工業（株）製のＣＲ−７４１）等が挙げられる。
【００７８】
基材シートが難燃剤を含有する場合、難燃剤の含有量は、基材シート中のバインダー成分１００質量部に対し、５質量部〜５０質量部であってもよく、異方性黒鉛粉の含有量によって適宜決定される。難燃剤の含有量が５質量部以上であると、目標とする難燃性が得られやすく、５０質量部以下であると、得られる基材シートの柔軟性が急激に低下するのが抑えられる傾向にある。
【００７９】
また、可塑剤としては各種低分子化合物が使用され、例えば、ポリブテン（日油（株）製、商品名：０Ｎ、３Ｎ、５Ｎ、１０Ｎ、３０Ｎ、２００Ｎ）等が挙げられる。
【００８０】
（基材シートの平均厚さ、熱伝導率等）
基材シートの平均厚さは、１００μｍ〜１０００μｍであってもよく、１００μｍ〜５００μｍであってもよい。基材シートの平均厚さが上記範囲内にあると、取り扱い性及び熱伝導性に優れる傾向にある。
【００８１】
基材シートの厚さ方向の熱伝導率は、２０Ｗ／（ｍ・Ｋ）〜８０Ｗ／（ｍ・Ｋ）であってもよく、４０Ｗ／（ｍ・Ｋ）〜８０Ｗ／（ｍ・Ｋ）であってもよい。基材シートの厚さ方向の熱伝導率が２０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上であると、複合熱伝導シートとしたときの厚さ方向の熱伝導率が充分なものとなり、複合熱伝導シートが発熱体と放熱体との間に設けられる場合に、発熱体の熱を放熱体へと効率よく伝熱させることができる傾向にある。また、基材シートの厚さ方向の熱伝導率が８０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以下であると、取り扱い性及び柔軟性に優れる傾向にある。
【００８２】
基材シートは、熱処理して硬化した硬化シートであってもよいし、熱処理せずに未架橋の状態のシートであってもよい。
未架橋の基材シートは、後述の絶縁樹脂シートを積層し、複合熱伝導シートを作製した後に、熱処理を施してもよい。
【００８３】
［絶縁樹脂シート］
絶縁樹脂シートは、熱硬化性樹脂及び熱可塑性樹脂からなる群より選択される少なくとも１種の樹脂を含む樹脂組成物を用いて製造することができる。
熱硬化性樹脂としては、特に制限されず、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、不飽和イミド樹脂、シアネート樹脂、イソシアネート樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、オキセタン樹脂、アミノ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、アリル樹脂、ジシクロペンタジエン樹脂、シリコーン樹脂、トリアジン樹脂、メラミン樹脂等が挙げられる。例えば、熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂を含んでいてもよい。
熱可塑性樹脂としては、特に制限されず、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂、ポリベンゾイミダゾール樹脂、これらの何れかの樹脂の化学構造を有する共重合体等が挙げられる。例えば、熱可塑性樹脂としては、ポリアミドイミド樹脂を含んでいてもよい。
【００８４】
絶縁樹脂シートに用いられる樹脂組成物としては、例えば、エポキシ樹脂及びポリアミドイミド樹脂を含んでいてもよい。また、ポリアミドイミド樹脂が全固形分中に５０質量％〜８５質量％であり、エポキシ基を２個〜３個有し且つポリアミドイミド樹脂と相溶するエポキシ樹脂と、エポキシ基と反応する官能基を３個以上有する樹脂とを含む樹脂組成物であってもよい。
【００８５】
絶縁樹脂シートに用いられる樹脂組成物は、無機充填材を含んでいてもよい。無機充填材としては、特に限定されず、例えば、シリカ、アルミナ、硫酸バリウム、タルク、クレー、雲母粉、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、ホウ酸アルミニウム、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウム等の粒子が挙げられる。例えば、無機充填材としては、アルミナ粒子を含んでいてもよい。無機充填材としてアルミナ粒子を用いる場合、異なる平均粒径（Ｄ５０）を有するアルミナ粒子を複数用いてもよい。例えば、平均粒径（Ｄ５０）が７μｍ以上２５μｍ以下である第１のアルミナ粒子群、平均粒径（Ｄ５０）が１μｍ以上７μｍ未満である第２のアルミナ粒子群、及び平均粒径（Ｄ５０）が１μｍ未満である第３のアルミナ粒子群を含んでいてもよい。
【００８６】
樹脂組成物が無機充填材を含む場合、無機充填材の含有率は、全固形分中に５０体積％〜８０体積％であってもよく、６０体積％〜８０体積％であってもよい。無機充填材の含有率が５０体積％以上であると、絶縁樹脂シートの熱伝導性が向上し、無機充填材の含有率が８０体積％以下であると、絶縁樹脂シートを用いた複合熱伝導シートの耐電圧及び柔軟性が向上する傾向にある。
【００８７】
樹脂組成物の製造方法としては、通常行われる樹脂組成物の製造方法を特に制限なく用いることができる。樹脂、必要に応じて用いられる無機充填材等を混合する方法としては、通常の撹拌機、らいかい機、三本ロール、ボールミル等の分散機を適宜組み合わせて行う方法が挙げられる。また、適当な有機溶剤を添加して、分散又は溶解を行うことができる。
【００８８】
絶縁樹脂シートの製造方法は、特に制限されず、通常用いられるシート製造方法から適宜選択することができる。絶縁樹脂シートの製造方法として具体的には、有機溶剤を含む樹脂組成物を、支持体上に、所望の平均厚みとなるように付与して樹脂組成物層を形成し、形成された樹脂組成物層を乾燥処理して有機溶剤の少なくとも一部を除去して樹脂層を形成する方法等を挙げることができる。
【００８９】
樹脂組成物の付与方法及び樹脂組成物層の乾燥方法については特に制限されず、通常用いられる方法から適宜選択することができる。樹脂組成物の付与方法としては、コンマコータ法、ダイコータ法、ディップ塗工法等が挙げられる。また、樹脂組成物層の乾燥方法としては、常圧下又は減圧下での加熱乾燥、自然乾燥、凍結乾燥等が挙げられる。
【００９０】
樹脂組成物層の厚さは、乾燥処理後の樹脂層が所望の平均厚さとなるように適宜選択することができる。乾燥後の樹脂層の平均厚さは５０μｍ〜３００μｍであってもよく、１００μｍ〜３００μｍであってもよい。乾燥後の樹脂層の平均厚さが５０μｍ以上であると、樹脂層内に空洞が形成されにくくなり、作製尤度が大きくなる傾向にある。また、乾燥後の樹脂層の平均厚さが３００μｍ以下であると、樹脂ロールを形成する場合でも、樹脂の粉末が飛散することを抑制できる傾向にある。
【００９１】
絶縁樹脂シートが積層体である場合、樹脂組成物から形成される第１の樹脂層と第２の樹脂層とを重ね合わせて製造することができる。かかる構成であることにより、絶縁耐圧がより向上する。
【００９２】
これは例えば以下のように考えることができる。すなわち、２つの樹脂層を重ねることで、一方の樹脂層中に存在し得る厚さの薄くなる箇所（ピンホール又はボイド）が他方の樹脂層により補填されることになる。これにより、最小絶縁厚みを大きくすることができ、絶縁耐圧がより向上すると考えることができる。絶縁樹脂シートの製造方法におけるピンホール又はボイドの発生確率は高くはないが、２つの樹脂層を重ねることで薄い部分の重なり合う確率はその２乗になり、ピンホール又はボイドの個数はゼロに近づくことになる。絶縁破壊は最も絶縁的に弱い箇所で起こることから、２つの樹脂層を重ねることにより絶縁耐圧がより向上する効果が得られると考えることができる。更に、２つの樹脂層を重ねることにより、無機充填材同士の接触確率も向上し、熱伝導性の向上効果も生じると考えることができる。
【００９３】
樹脂組成物により樹脂層を形成する場合、後述する加熱加圧処理を行う前の積層体の表面は、無機充填材等により凸凹が生じ、平滑ではない場合がある。このような積層体を加熱加圧処理して得られる絶縁樹脂シートの厚さは、樹脂層の厚みの和には一致せずに小さくなる場合がある。これは、例えば、加熱加圧処理の前後で、無機充填材の充填性が変化すること、表面の凸と凹が重ね合わされること、シートの均一性が向上すること、及びボイドが埋まることに拠るものと考えることができる。
【００９４】
絶縁樹脂シートは、有機溶剤の少なくとも一部が除去された樹脂層を更に加熱加圧処理することによって、樹脂層を構成する樹脂組成物を半硬化状態（Ｂステージ）としたものであってもよい。なお、本明細書においては、樹脂組成物から形成された樹脂組成物層を乾燥して得られる樹脂シートをＡステージシート、Ａステージシートを更に加熱加圧処理して得られる樹脂シートをＢステージシートと称する場合がある。なお、Ａステージ、Ｂステージ、及び後述するＣステージについては、ＪＩＳ  Ｋ６９００：１９９４の規定を参照するものとする。
【００９５】
Ｂステージシートは、樹脂組成物が半硬化した状態であってもよい。ここでＢステージシートとは、樹脂シートの粘度が、室温においては１０４Ｐａ・ｓ〜１０９Ｐａ・ｓであり、１００℃においては１０２Ｐａ・ｓ〜１０７Ｐａ・ｓであり、室温から１００℃への温度変化により、粘度が０．００１％〜５０％低下するものである。また、後述する硬化後の絶縁樹脂シートは、加温によっても溶融することはない。なお、上記粘度は、動的粘弾性測定（周波数１ヘルツ、荷重４０ｇ、昇温速度３℃／分）によって測定することができる。
【００９６】
絶縁樹脂シートがＢステージシートであることで、取り扱い性が向上する。これは、Ａステージシートと比較して硬化が進行していることで弾性率が上昇し、強度が向上しているためである。一方で、絶縁樹脂シートの硬化度は、絶縁樹脂シートを柔軟に取り扱いできる程度に抑えてもよい。また、樹脂層を半硬化状態にしてＢステージシートを得る方法としては、例えば、加熱加圧処理する方法を挙げることができる。
【００９７】
樹脂層を加熱加圧処理する方法は、樹脂層を半硬化状態にできれば特に制限はない。例えば、熱プレス及びラミネータを用いて樹脂層を加熱加圧処理することができる。樹脂層を半硬化状態とする加熱加圧条件は、樹脂組成物の構成に応じて適宜選択でき、例えば、加熱温度４０℃〜２００℃、圧力０．１ＭＰａ〜１００ＭＰａ、及び加熱加圧時間０．３分間〜３０分間の条件を挙げることができる。
【００９８】
絶縁樹脂シートは、Ｂステージシートを加熱硬化させたＣステージシートであってもよい。
Ｃステージシートを得るための加熱硬化方法としては、通常用いられる加熱硬化方法を特に制限なく用いることができる。また、Ｃステージシートを得る方法としては、加熱加圧するプレス工程を含むこともまた好ましい。プレス工程における加熱加圧方法は、特に制限されず、プレス装置、ラミネート装置、金属ロールプレス装置、真空プレス装置等を用いて加熱加圧する方法を挙げることができる。
【００９９】
加熱条件は、例えば、８０℃〜２００℃で３６０分間以下とすることができ、１００℃〜１９０℃で２４０分間以下としてもよい。熱伝導性の観点から、硬化物が高次構造を形成し易い温度を含んでもよい。例えば、Ｃステージシートを得るための加熱処理では、１００℃〜１６０℃と１６０℃〜２５０℃との少なくとも２段階の加熱を行ってもよく、上記の温度範囲にて、２段階以上の多段階の加熱を行ってもよい。
【０１００】
加熱加圧条件は、例えば、温度を８０℃〜２００℃とし、圧力を１ＭＰａ〜１００ＭＰａとして、０．１分間〜３６０分間とすることができ、温度を１００℃〜１９０℃とし、圧力を２ＭＰａ〜８０ＭＰａとして、０．５分間〜２４０分間としてもよい。加熱加圧処理は、大気圧（常圧下）で行うことも減圧下で行うことも可能であり、例えば、減圧下で行ってもよい。減圧条件としては、１００００Ｐａ以下であってもよく、５０００Ｐａ以下であってもよい。
【０１０１】
絶縁樹脂シートの平均厚さは、５０μｍ〜３００μｍであってもよく、１００μｍ〜３００μｍであってもよい。絶縁樹脂シートの平均厚さが５０μｍ以上であると、耐電圧性が充分なものとなり、絶縁樹脂シートの平均厚さが３００μｍ以下であると、コストが低下する傾向にある。
【０１０２】
絶縁樹脂シートの厚さ方向の熱伝導率は、２Ｗ／（ｍ・Ｋ）〜２０Ｗ／（ｍ・Ｋ）であってもよく、２Ｗ／（ｍ・Ｋ）〜１２Ｗ／（ｍ・Ｋ）であってもよい。絶縁樹脂シートの厚さ方向の熱伝導率が２Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上であると、複合熱伝導シートとしたときの厚さ方向の熱伝導率が充分なものとなり、複合熱伝導シートが発熱体と放熱体との間に設けられる場合に、発熱体の熱を放熱体へと効率よく伝熱させることができる傾向にある。また、絶縁樹脂シートの厚さ方向の熱伝導率が２０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以下であると、取り扱い性及び柔軟性に優れる傾向にある。
【０１０３】
＜複合熱伝導シートの製造方法＞
本実施形態の複合熱伝導シートの製造方法は、特に制限されない。
本実施形態の複合熱伝導シートの製造方法の一例としては、下記の工程を含むものが挙げられる。
（ａ）異方性黒鉛粉とバインダー成分とを含有する組成物を調製する工程。
（ｂ）上記組成物を用いて一次シートを作製する工程。
（ｃ）一次シートを積層又は捲回して成形体を得る工程。
（ｄ）成形体をスライスしてスライスシート（基材シート）を得る工程。
（ｅ）スライスシート（基材シート）をキャリアフィルムに積層し、キャリアフィルム付き基材シートを得る工程。
（ｆ）絶縁樹脂シートの片面又は両面に、キャリアフィルム付き基材シートのキャリアフィルムが設けられていない面を向かい合わせて配置し、貼り付ける工程。
【０１０４】
（（ａ）工程）
（ａ）工程は、異方性黒鉛粉とバインダー成分とを含有する組成物を調製する工程である。
異方性黒鉛粉、バインダー成分、及び適宜その他の成分を混合することで、異方性黒鉛粉とバインダー成分とを含有する組成物を調製することができる。
異方性黒鉛粉、バインダー成分、及びその他の成分の混合方法に特に制限はなく、各成分を変異無く、短時間で均一に混合できる方法を採用することができる。例えば、加熱した加圧型のニーダを使用し混合することができる。
【０１０５】
混合条件も特に制限されず、異方性黒鉛粉の配合量、バインダー成分の分子量等に応じて決定することができる。一般的なニーダへの各成分の投入順序は、バインダー成分として、高分子の固形成分と低分子の液状成分とを使用する場合には、固形成分を最初にニーダに投入し、素練りした状態で液状成分を少量ずつ配合して混合する方法で行われる。こうすることにより、均一なバインダー成分が得られ効果的である。
【０１０６】
また、固形成分及び液状成分のよりいっそうの均一性を望む場合には、固形成分と液状成分とをニーダ及びロールにて均一混合し（このときに他の成分の少量を配合してもよい）、混合物と他の成分とをニーダにて再度混合してもよい。
【０１０７】
また、熱硬化型ゴム成分を使用する場合において、組成物の粘度が高く混合時に摩擦熱が発生し、熱硬化型ゴム硬化剤と熱硬化性ゴム成分との架橋反応の進行が懸念される場合は、混合終了時の１０分〜２０分程度前に熱硬化型ゴム硬化剤をニーダに投入してもよい。組成物の混合の均一性の判断（熱硬化型ゴム硬化剤による架橋反応の進行の確認も含まれる）は、組成物の粘度を、キュラストメーター又はムーニー粘度計で測定することで行う。
【０１０８】
この際の目標とする粘度は、各種の配合系において混合温度又は時間を変える等により予備検討を行い、目的とする物性値の得られた組成物の粘度値としてもよい。なお、ここで目標とする組成物の粘度とは、硬化反応による影響が殆どなく、異方性黒鉛粉とバインダー成分との混合状態のみに起因する粘度である。
【０１０９】
また、必要に応じて有機溶剤を少量添加して、混合性の向上を図ることもできるが、最終的には使用した溶媒を除去することが望ましい。
【０１１０】
（（ｂ）工程）
（ｂ）工程は、上記組成物を用いて一次シートを作製する工程である。
具体的には、（ａ）工程で得た組成物を、圧延成形、プレス成形、押し出し成形、又は塗工することにより、異方性黒鉛粉の長軸が主たる面に沿って配向した一次シートを作製する。異方性黒鉛粉を配向させ易いという点からは、圧延成形又はプレス成形による方法であってもよい。
【０１１１】
シート面内での異方性黒鉛粉の配向の向きは、組成物を成形する際に、組成物の流れる方向を調節することによってコントロールすることができる。
【０１１２】
なお、異方性黒鉛粉は異方性を有する粒子であるため、組成物を圧延成形、プレス成形、押し出し成形、又は塗工すると、通常、異方性黒鉛粉の向きが揃って配置される。
【０１１３】
（（ｃ）工程）
（ｃ）工程は、前記一次シートを積層又は捲回して成形体を得る工程である。
一次シートを積層する方法については特に制限はなく、例えば、複数枚の一次シートを積層する方法、一次シートを折り畳む方法等が挙げられる。
【０１１４】
積層する際は、シート面内での異方性黒鉛粉の向きを揃えて積層する。積層する際の一次シートの形状は、特に制限はなく、例えば矩形状の一次シートを積層した場合は角柱状の成形体が得られ、円形状の一次シートを積層した場合は円柱状の成形体が得られる。
【０１１５】
また、一次シートを捲回する方法も特に制限はなく、一次シートを異方性黒鉛粉の配向方向を軸にして捲回すればよい。捲回の形状も特に制限はなく、例えば、円筒形でも角筒形でもよい。
【０１１６】
一次シートを積層する際の圧力及び捲回する際の引張り力は、この後の工程において一次シート面からの法線に対し４５度〜８０度の角度でスライスする都合上、シート間がうまく接着する程度に強くなるよう調節される。
【０１１７】
通常はこの調節によって積層面又は捲回面間の接着力が充分に得られるが、不足する場合は溶剤又は接着剤等を薄く一次シートに塗布した上で積層又は捲回を行って成形体を得てもよい。また、スライス条件によって発生する応力に対し一次シートの界面剥離が心配な場合は、成形体を熱処理し、一次シート界面の一部硬化及び全硬化して成形体を得た後、スライスすることもできる。この場合、成形体を上下加熱した金属板に挟み、成形体が変形しない程度に圧力を加える方法は有効である。また成形体を熱処理（硬化）後にスライスして得られる伝熱シートは、後工程で熱処理を行わなくてもよい。
【０１１８】
（（ｄ）工程）
（ｄ）工程は、成形体をスライスしてスライスシート（基材シート）を得る工程である。
上記（ｃ）工程により得た成形体をスライスして、スライスシート（基材シート）を得る方法は、特に限定されるものではない。
【０１１９】
例えば、異方性黒鉛粉が厚さ方向に配向している基材シートを得る場合は、以下のように成形体をスライスすればよい。
成形体が積層体である場合は、積層された一次シートの主面に対して垂直又は略垂直となるようにスライスすればよい。
また、成形体が捲回体である場合は、捲回の軸に対して垂直又は略垂直となるようにスライスすればよい。
【０１２０】
スライスする方法は特に制限されず、マルチブレード法、レーザー加工法、ウォータージェット法、ナイフ加工法等が挙げられる。スライスシート（基材シート）の厚さ精度及び切断面の平滑性の点からは、ナイフ加工法であってもよい。
【０１２１】
スライスする際の切断具は、特に制限されず、スリットを有する平滑な盤面と、該スリット部より突出した刃部とを有するスライス部材であって、刃部が、スライスシート（基材シート）の所望の厚さに応じて、スリット部からの突出高さの調節が可能であるものを使用すると、得られるスライスシート（基材シート）の表面近傍のバインダー成分の亀裂或いは異方性黒鉛粉の配向を乱し難く、且つ、所望の厚さの薄いシートも作製し易い傾向にある。
【０１２２】
例えば、上記スライス部材としては、鋭利な刃を備えたカンナ又はスライサーを用いることができる。これらの刃は、スライスシート（基材シート）の所望の厚さに応じて、スリット部からの突出高さを調節可能とすることで、容易に所望の厚みとすることが可能である。
【０１２３】
スライスする温度は、熱可塑性ゴム成分のガラス転移温度と使用する異方性黒鉛粉の配合量及び粒径とにより決定され、通常、成形体表面温度で−５０℃〜５０℃の範囲とすることができる。
５０℃以下のガラス転移温度の成形体は、成形体全体の柔軟性が抑えられてスライスしやすく、結果として、異方性黒鉛粉の配向が乱れることが抑えられ、熱伝導特性に優れる傾向にある。また、スライス温度が−５０℃以上の場合には、成形体が固く脆くなるのが抑えられ、スライス直後に得られたスライスシートの割れが抑えられる傾向にある。
【０１２４】
成形体のスライス厚みは、用途等により任意に決定されるが、０．１ｍｍ〜１ｍｍ程度であってもよい。成形体のスライス厚みが０．１ｍｍ以上であると取り扱いやすく、１ｍｍ以下であると熱伝導性に優れる傾向にある。
【０１２５】
（（ｅ）工程）
（ｅ）工程は、スライスシート（基材シート）をキャリアフィルムに積層し、キャリアフィルム付き基材シートを得る工程である。上記（ｄ）工程により得られたスライスシート（基材シート）をキャリアフィルムに積層し、キャリアフィルム付き基材シートを得ることができる。
【０１２６】
キャリアフィルムとしては、特に限定されず、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル等のポリオレフィンのフィルム、ポリエチレンテレフタレート（以下、「ＰＥＴ」ともいう）、ポリエチレンナフタレート等のポリエステルのフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリイミドフィルムなどの各種プラスチックフィルムが挙げられる。また、銅箔、アルミニウム箔等の金属箔などを使用してもよい。これらの中でも、安価で汎用性が高いという点からは、キャリアフィルムとして、ＰＥＴフィルムを用いてもよい。
キャリアフィルムの厚さは、特に制限されず、例えば、５０μｍ〜１００μｍとすることができる。キャリアフィルムの厚さが５０μｍ以上であると、後述のハーフカットが容易になる傾向にある。
【０１２７】
基材シートにキャリアフィルムを積層する方法としては、特に制限されず、例えば、ラミネータを使用することができる。使用するラミネータとしては、例えば、ゴムロール式であってもよい。ラミネートの条件としては、特に制限されず、例えば、０℃〜１００℃の温度範囲で行うことができる。ラミネート温度が０℃以上であると、基材シートとキャリアフィルムとの密着性が良好となる傾向にある。また、ラミネート温度が１００℃以下であると、異方性黒鉛の配向性が高まる傾向にある。
【０１２８】
（（ｆ）工程）
（ｆ）工程は、絶縁樹脂シートの片面又は両面に、キャリアフィルム付き基材シートのキャリアフィルムが設けられていない面を向かい合わせて配置し、貼り付け、複合熱伝導シートを得る工程である。
【０１２９】
絶縁樹脂シートとキャリアフィルム付き基材シートとを貼り付ける方法は、特に制限されず、例えば、ラミネータを使用することができる。使用するラミネータとしては、特に制限されず、例えば、ゴムロール式であってもよい。ラミネートの条件としては、特に制限されず、例えば、０℃〜１００℃の温度範囲で行うことができる。ラミネート温度が０℃以上であると、絶縁樹脂シートと基材シートとの密着性が良好となる傾向にある。また、ラミネート温度が１００℃以下であると、異方性黒鉛の配向性が高まる傾向にある。
絶縁樹脂シートは、予め加熱硬化させて、Ｃステージ化したものを用いてもよい。Ｃステージ化した絶縁樹脂シートを用いることで、複合熱伝導シートを実装する際に絶縁樹脂シートを熱硬化させる必要がなく、生産性が向上する傾向にある。
【０１３０】
本実施形態の複合熱伝導シートの製造方法の他の一例としては、下記の工程を含むものが挙げられる。（ａ）工程〜（ｅ）工程は、前述の製造方法の一例と同様である。
（ａ）異方性黒鉛粉とバインダー成分とを含有する組成物を調製する工程。
（ｂ）上記組成物を用いて一次シートを作製する工程。
（ｃ）一次シートを積層又は捲回して成形体を得る工程。
（ｄ）成形体をスライスしてスライスシート（基材シート）を得る工程。
（ｅ）スライスシート（基材シート）をキャリアフィルムに積層し、キャリアフィルム付き基材シートを得る工程。
（ｇ）キャリアフィルム付き基材シートの基材シートに切り込みを入れ、キャリアフィルム付きハーフカット基材シートを得る工程。
（ｈ）絶縁樹脂シートの片面又は両面に、キャリアフィルム付きハーフカット基材シートのキャリアフィルムが設けられていない面を向かい合わせて配置し、貼り付ける工程。
【０１３１】
（（ｇ）工程）
（ｇ）工程は、キャリアフィルム付き基材シートの基材シートに切り込みを入れ、キャリアフィルム付きハーフカット基材シートを得る工程である。
キャリアフィルム付き基材シートの基材シートに切り込みを入れる際の切り込みの深さは、特に制限されない。例えば、キャリアフィルム付き基材シートの基材シート側から切り込みを入れ、キャリアフィルムを完全に切断しない切り込み深さとすることができる（所謂、ハーフカット）。
また、切り込みを入れる方法も特に制限されず、例えば、刃を埋め込んだトムソン型の加工機を用いることができる。
【０１３２】
（（ｈ）工程）
（ｈ）工程は、絶縁樹脂シートの片面又は両面に、キャリアフィルム付きハーフカット基材シートのキャリアフィルムが設けられていない面を向かい合わせて配置し、貼り付け、複合熱伝導シートを得る工程である。貼り付ける方法は特に制限されず、例えば、前述の（ｆ）工程の方法が挙げられる。
【０１３３】
本実施形態の複合熱伝導シートの構成としては、例えば、以下の５つが挙げられる。
（１）ハーフカット基材シート／絶縁樹脂シート／ハーフカット基材シート
（２）ハーフカット基材シート／絶縁樹脂シート／基材シート
（３）ハーフカット基材シート／絶縁樹脂シート
（４）基材シート／絶縁樹脂シート
（５）基材シート／絶縁樹脂シート／基材シート
なお、「ハーフカット基材シート／絶縁樹脂シート／ハーフカット基材シート」の表記は、ハーフカット基材シート、絶縁樹脂シート、及びハーフカット基材シートがこの順に積層されていることを意味する。
【０１３４】
例えば、上記（１）で示される構成において、ハーフカット基材シートと絶縁樹脂シートとは、必ずしもお互いが接して積層されている必要はなく、ハーフカット基材と絶縁樹脂シートとの界面の接着力を補う目的で接着剤を介して積層されていてもよい。用いられる接着剤としては、特に制限されず、例えば、アクリル系の接着剤が挙げられる。接着剤が形成する接着層の厚さは特に制限されず、例えば、０．５μｍ〜３．０μｍであってもよい。接着層の厚さが０．５μｍ以上であると、良好な接着力が得られる傾向にあり、接着層の厚さが３．０μｍ以下であると、熱伝導率の低下が抑制される傾向にある。
【０１３５】
基材シート（ハーフカット基材シートである場合を含む）と絶縁樹脂シートとは、位置決めを行って貼り合わせてもよい。例えば、基材シートの端部が絶縁樹脂シートの端部より１ｍｍ以上内側に位置するように貼り合わせることができる。絶縁樹脂シートの両面に基材シートを積層する場合には、縁面の電流リークに対する耐電圧性の観点から、少なくとも一方の基材シートの端部が、絶縁樹脂シートの端部より１ｍｍ以上内側に位置するように貼り合わせてもよい。
【０１３６】
（その他）
上述のように、バインダー成分の硬化のための熱処理は、（ｂ）工程の後、（ｃ）工程の後、（ｄ）工程の後、及び（ｅ）工程の後のいずれの段階で行ってもよい。（ｂ）工程の後に熱処理工程を行えば、生産性が高まり、（ｃ）工程の後に熱処理工程を行えば、一次シートを積層したときのシート間の密着性が向上し、（ｄ）工程の後に熱処理工程を行えば、スライスシート（基材シート）の一体性が向上し、（ｅ）工程の後に熱処理工程を行えば、スライスシート（基材シート）と絶縁樹脂シートとの密着性が向上する傾向にある。
【０１３７】
＜放熱システム＞
本実施形態の放熱システムは、一方の面に発熱体が接する本実施形態の複合熱伝導シートと、該複合熱伝導シートの他方の面に接する放熱体と、を有する。本実施形態の放熱システムによれば、発熱体の熱を放熱体へと効率よく伝熱させることができる。
【０１３８】
発熱体としては、表面温度が２００℃を超えないものであってもよい。発熱体の表面温度が２００℃以下であると、本実施形態の複合熱伝導シートの柔軟性が急激に低下することが抑えられ、放熱特性の低下が抑制される傾向にある。本実施形態の複合熱伝導シートは、例えば、−２０℃〜１５０℃の範囲で使用することができる。このため、好適な発熱体の例としては、半導体パッケージ、ディスプレイ、ＬＥＤ（発光ダイオード）、電灯等が挙げられる。
【０１３９】
放熱体としては、特に限定されず、放熱システムに適用される代表的なものであってよい。放熱体としては、アルミニウム製又は銅製のフィン、板等を利用したヒートシンク、ヒートパイプに接続されているアルミニウム製又は銅製のブロック、内部に冷却液体をポンプで循環させているアルミニウム製又は銅製のブロック等が挙げられる。
【０１４０】
本実施形態の複合熱伝導シートを発熱体と放熱体との間に配置する方法は、発熱体、複合熱伝導シート、及び放熱体を充分に密着させた状態で固定できる方法であれば特に制限されない。密着を持続させる観点から、発熱体、複合熱伝導シート、及び放熱体を接触及び固定する方法としては、ばねを介してねじ止めする方法、クリップで挟む方法等のように、押し付ける力が持続する方法を採用することができる。
【０１４１】
なお、本実施形態の複合熱伝導シートが、絶縁樹脂シートの片面にのみ基材シートが設けられたものである場合、複合熱伝導シートの基材シート側を放熱体側に配し、絶縁樹脂シート側を発熱体側に配してもよい。その際、絶縁樹脂シート側に絶縁グリースを塗布してもよい。このように絶縁樹脂シート側に絶縁グリースを塗布することで、接触熱抵抗が低減するとともに、絶縁の信頼性が高まる傾向にある。
【実施例】
【０１４２】
以下、実施例に基づき本発明を更に詳細に説明する。なお、本発明は以下の実施例によって限定されるものではない。
【０１４３】
［実施例１］
＜基材シートの作製＞
（１）異方性黒鉛粉（膨張黒鉛成型シートの粉砕粉）の作製
嵩密度０．２ｇ／ｃｍ３の膨張黒鉛成型シート（日立化成（株）製、商品名：カーボフィットＨＧＰ−１０５）を粉砕機（ホソカワミクロン（株）製、商品名：ロートプレツクス）で粉砕し、得られた粉砕粉を振動篩にて分級し、粒度分布５００μｍ〜１０００μｍの異方性黒鉛粉（膨張黒鉛シート粉砕粉）を２ｋｇ作製した。
得られた異方性黒鉛粉の形状を走査型電子顕微鏡で観察し、樹枝状であることを確認した。
【０１４４】
（２）組成物の調製
容量１Ｌの加圧機構を備えたニーダ（（株）吉田製作所製、商品名：１１００−Ｓ−１）を８０℃に昇温（バレル温度）し、熱可塑性ゴム成分としてのアクリルゴム（ナガセケムテックス（株）製、商品名：ＨＴＲ−８１１ＤＲ、重量平均分子量：５０万、ガラス転移温度：−４６℃、タック性大、室温で弾性を示す。）３２０ｇと上記（１）で作製した異方性黒鉛粉２５０ｇとを投入し、１０分間混合した。
混合終了後、難燃剤として燐酸エステル（大八化学工業（株）製、商品名：ＣＲ−７４１、粘度：２４００ｍｐａ・ｓ（４０℃））１５０ｇを４回に分け２０分間掛けて（１回毎に５分間混合）、混合物中に混ぜこんだ。
その後、２００ｇの異方性黒鉛粉の残分を投入して２０分間混合し、組成物とした。この組成物において、異方性黒鉛粉の配合量は、全体配合量の４８．９質量％となる。
【０１４５】
また、混合物の粘度は、ムーニー粘度計（（株）上島製作所製、商品名：ＶＲ−１１３０）の値で、２５（６０℃）、１８（８０℃）、１３（１００℃）であった。測定温度を横軸、粘度を縦軸として、温度変化に伴う粘度変化（温度依存性）を確認したところ、両者の関係が直線関係にあり、使用した熱可塑性ゴム成分のムーニー粘度と傾向が一致（粘度の値は異なる）した。以上の結果から、バインダー成分中の異方性黒鉛粉の分散性が良好であること、及び混合時のバインダー成分の性状の変化が少ないものと判断した。
【０１４６】
（３）一次シートの作製
成形体に用いる一次シートは、下記のようにして得た。
まず、離型処理した０．１ｍｍ厚のＰＥＴフィルムに、調製した組成物の５０ｇを挟み、常温のプレス機を使用し、約３ｍｍ厚のシートに加工した。得られた加工シートを８０℃に昇温したロール（ギャップ１．２ｍｍ）に通し、冷却することで、厚み１ｍｍの一次シートを得た。この一次シートの密度は１．４ｇ／ｃｍ３であった。
【０１４７】
（４）一次シートの積層
上記（３）で作製した一次シートを、ロール方向に合わせて５０ｍｍ×２５０ｍｍのサイズに切断したものを５０枚作製し、切断シートの縦横を揃えて積層した積層体を得た。
積層体の最外面である両表面に離型紙を充て、盤面を５０℃の加熱したハンドプレスに乗せた。更に、積層体の両端側に、厚み調整材として厚み４．５ｍｍの金属板を設置した。この状態でプレスを５分間行い、スライス用の成形体を作製した。
【０１４８】
（５）成形体のスライス（基材シートの作製）
食肉ブロック用のスライス機を応用した自家製のスライス装置を使用して、上記（４）で作製した成形体をスライス装置に固定した。成形体の表面温度を−１０℃に冷却した後、定盤に固定した単刃により、成形体のスライド速さ６０ｍｍ／分、厚み方向に対して切削角度３０°の条件でスライスし、平均厚さ０．１５ｍｍのスライスシート（基材シート）を作製した。
【０１４９】
また、基材シートの断面を走査型電子顕微鏡により観察し、任意の５０個の異方性黒鉛粉の長軸が、基材シートの表面に対してなす角度を測定し、その平均値を求めたところ９０度であり、異方性黒鉛粉は基材シートの厚さ方向に配向していることが認められた。
【０１５０】
（６）基材シートのハーフカット
（５）で得られた基材シートを０．１ｍｍ厚のＰＥＴフィルム（キャリアフィルム）に温度６０℃に設定したゴムロールを用いて貼り合わせ、キャリアフィルム付き基材シートを得た。得られたキャリアフィルム付き基材シートのキャリアフィルムが設けられている面とは反対の面から、カミソリ刃が付いたトムソン型の加工機で基材シートのみが打ち抜かれるように切り込みを入れ、キャリアフィルム付きハーフカット基材シートを得た。
【０１５１】
＜複合熱伝導シートの作製＞
（７）絶縁樹脂シートとキャリア付きハーフカット基材シートとの貼り合わせ
Ｃステージ化した絶縁樹脂シートの両面に、キャリアフィルム付きハーフカット基材シートの基材シートを向かい合わせて配置し、温度６０℃に設定したゴムロールで貼り合わせた。その後、キャリアフィルムを剥離し、平均厚さ０．４ｍｍの複合熱伝導シートを得た。
【０１５２】
（８）複合熱伝導シートの打ち抜き
（７）で得られた複合熱伝導シートに０．１ｍｍ厚のＰＥＴフィルム（キャリアフィルム）を貼り合わせ、２０ｍｍ×２０ｍｍの製品形状に打ち抜いた後、キャリアフィルムを剥離し、実施例１の複合熱伝導シートを得た。貼り合わせの位置合わせを行うことで、複合熱伝導シートにおける基材シートの端部は、絶縁樹脂シートの端部より１ｍｍ内側に位置していた。
【０１５３】
［実施例２］
実施例１と同様にして、実施例２の複合熱伝導シートを得た。但し、実施例１の（７）において、絶縁樹脂シートの一方の面には実施例１の（６）で得られるキャリアフィルム付き基材シートを、他方の面にはキャリアフィルム付きハーフカット基材シートを、それぞれの基材シートが絶縁樹脂シートと向かい合うように配置し、温度６０℃に設定したゴムロールで貼り合わせた。得られた実施例２の複合熱伝導シートの一方の面では、絶縁樹脂シートの端部に基材シートの端部が重なっており、他方の面では、ハーフカット基材シートの端部が絶縁樹脂シートの端部より１ｍｍ内側に位置していた。
【０１５４】
［実施例３］
実施例１と同様にして、実施例３の複合熱伝導シートを得た。但し、実施例１の（７）において、絶縁樹脂シートの片面にのみ、実施例１の（６）で得られるキャリアフィルム付きハーフカット基材シートの基材シートを絶縁樹脂シートと向かい合うように配置し、温度６０℃に設定したゴムロールで貼り合わせた。得られた実施例３の複合熱伝導シートにおけるハーフカット基材シートの端部は、絶縁樹脂シートの端部より１ｍｍ内側に位置していた。絶縁樹脂シートのハーフカット基材シートが設けられていない面には、信越化学工業（株）製の絶縁グリースＧ７４６を５０μｍの塗工厚で塗工した。
【０１５５】
［実施例４］
実施例１と同様にして、実施例４の複合熱伝導シートを得た。但し、実施例１の（７）において、絶縁樹脂シートの片面にのみ、実施例１の（６）で得られるキャリアフィルム付き基材シートの基材シートを絶縁樹脂シートと向かい合うように配置し、温度６０℃に設定したゴムロールで貼り合わせた。絶縁樹脂シートの基材シートが設けられていない面には、信越化学工業（株）製の絶縁グリースＧ７４６を５０μｍの塗工厚で塗工した。
【０１５６】
［比較例１］
０．３ｍｍ×２０ｍｍ×２０ｍｍの窒化珪素板の両面に信越化学工業（株）製の絶縁グリースＧ７４６を５０μｍの塗工厚で塗工し、比較例１の熱伝導部材を得た。
【０１５７】
［比較例２］
０．３ｍｍ×２０ｍｍ×２０ｍｍのアルミナ板の両面に信越化学工業（株）製の絶縁グリースＧ７４６を５０μｍの塗工厚で塗工し、比較例２の熱伝導部材を得た。
【０１５８】
＜複合熱伝導シート及び熱伝導部材の評価＞
上記実施例１〜４の複合熱伝導シート及び比較例１、２の熱伝導部材について、下記のようにして特性を評価した。結果を表１に示す。
【０１５９】
〔熱伝導性〕
得られた複合熱伝導シート及び熱伝導部材（２０ｍｍ×２０ｍｍ）をトランジスタ（２ＳＣ２２３３）とアルミニウム放熱ブロックとの間に挟んだ。その際、実施例２の複合熱伝導シートについては、ハーフカット基材の端部を絶縁シートの端部から１ｍｍ内側に位置させた側をトランジスタ側に配し、実施例３、４の複合熱伝導シートについては、絶縁グリースを塗布した絶縁樹脂シート側をトランジスタ側に配した。次いで、０．５ＭＰａの圧力でトランジスタを加圧し電流を通し、トランジスタの温度：Ｔ１（℃）と放熱ブロックの温度：Ｔ２（℃）とを測定し、測定値と印加電力：Ｗ１（Ｗ）とから、次式（１）によって熱抵抗：Ｘ（℃／Ｗ）を算出した。
Ｘ＝（Ｔ１−Ｔ２）／Ｗ１・・・式（１）
【０１６０】
上記式（１）の熱抵抗：Ｘ（℃／Ｗ）、複合熱伝導シート又は熱伝導部材の厚み：ｄ（μｍ）、及び熱伝導率が既知の試料による補正係数：Ｃから、次式（２）により熱伝導率：Ｔｃ（Ｗ／（ｍ・Ｋ））を見積もった。
Ｔｃ＝Ｃ×ｄ／Ｘ・・・式（２）
【０１６１】
〔耐電圧性〕
上記実施例１〜４の複合熱伝導シート及び比較例１、２の熱伝導部材を直径２ｍｍの電極間に挟み込み、０ｋＶから印加速度０．５ｋＶ／分で昇圧させて耐電圧を確認した。
【０１６２】
〔難燃性〕
ＵＬ規格に準じ、ＪＩＳ  Ｚ  ２３９１（１９９９）に従い垂直燃焼試験を行った。このときの試験シートの大きさは、１２５ｍｍ×１３ｍｍとした。難燃性試験合格品について、最も難燃効果の高いレベルをＶ０とし、次いでＶ１、Ｖ２、ＨＢとした。
【０１６３】
〔靭性〕
上記実施例１〜４の複合熱伝導シート及び比較例１、２の熱伝導部材について、間隔１５ｍｍの支点間の中央に設けられた加圧くさびにより荷重を掛ける３点曲げ試験によって、折り曲げ破壊靭性を確認した。加圧くさび部の変形量が２ｍｍで破壊しない場合を「無」、破壊する場合を「有」とした。
【０１６４】
【表１】
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【０１６５】
表１から、実施例１〜４の複合熱伝導シートは、セラミック板を用いた比較例１、２の熱伝導部材と比較して、熱伝導性及び靭性に優れることが分かる。また、実施例１〜４の複合熱伝導シートは、耐電圧性及び難燃性も良好である。実施例１〜４の複合熱伝導シートは、靭性に優れるため、厚さを薄くした場合であっても、実装時にクラック等が生じ難く、放熱システムの薄型化、歩留まりの向上、及び実装の作業性改善が期待できる。