(57)【要約】【課題】平坦部のみならず、側面部の端部（末端）の強度にも優れたカバーガラスを提供する。【解決手段】平坦部及び前記平坦部の外周縁に設けられた側面部を有するガラス板と、前記ガラス板に積層された無機物からなる無機膜とを含むカバーガラスであって、前記無機膜は、前記ガラス板の前記平坦部の表面側の全面に積層され、かつ、前記側面部の少なくとも一部の領域において表面側から裏面側にかけて連続的に積層されており、前記無機膜の膜厚が一定である、カバーガラス。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平坦部及び前記平坦部の外周縁に設けられた側面部を有するガラス板と、前記ガラス板に積層された無機物からなる無機膜とを含むカバーガラスであって、
前記無機膜は、前記ガラス板の前記平坦部の表面側の全面に積層され、かつ、前記側面部の少なくとも一部の領域において表面側から裏面側にかけて連続的に積層されており、
前記無機膜の膜厚が一定である、カバーガラス。
【請求項２】
前記側面部が面取りされた形状である、請求項１に記載のカバーガラス。
【請求項３】
前記側面部が裏面側に湾曲している、請求項１に記載のカバーガラス。
【請求項４】
前記無機膜がＳｉ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｔａ及びＺｒからなる群より選ばれる少なくとも１の窒化物又は酸化物からなる膜である、請求項１〜３のいずれか１項に記載のカバーガラス。
【請求項５】
前記ガラス板が表層に圧縮応力層を有する化学強化ガラス板である、請求項１〜４のいずれか１項に記載のカバーガラス。
【請求項６】
電子端末用である、請求項１〜５のいずれか１項に記載のカバーガラス。
【請求項７】
車載表示装置用である、請求項１〜５のいずれか１項に記載のカバーガラス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はカバーガラスに関し、特に、カバーガラスの側面の強度も向上したカバーガラスに関する。
【背景技術】
【０００２】
デジタルカメラ、携帯電話または携帯情報端末ＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ａｓｓｉｓｔａｎｔｓ）等のフラットパネルディスプレイ装置やタッチパネルディスプレイ装置において、ディスプレイの保護および美観を高めるために、画像表示部分よりも広い領域となるように薄い板状のカバーガラスをディスプレイの前面に配置することが行われている。ガラスは理論強度が高いものの、傷が付くことで強度が大幅に低下するため、強度が求められるカバーガラスには、イオン交換等によりガラス表裏面に圧縮応力層を形成した化学強化ガラスが用いられている。
【０００３】
カバーガラスの表面に高い硬度や耐傷性が求められる場合、耐衝撃性を有する層がその最表層に成膜されることがある。例えば、強化ガラスの表面に非対称耐衝撃性を有するコーティングを備えた強化ガラス積層体が知られている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２０１５−５０７５８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の強化ガラス積層体は自動車又は航空機の窓への応用を想定しており、厚いガラス板が用いられ、主面が強化されていればよい。一方で、携帯電話または携帯情報端末ＰＤＡといった電子端末用のカバーガラスや、車載表示装置用のカバーガラスにおいては、近年、電子端末や表示装置の筐体よりも前面にはみ出し、端部に曲面加工がなされた、２．５Ｄタイプや擬似３Ｄタイプ、３Ｄタイプ等と呼ばれる形状のカバーガラスが上市されている。該カバーガラスは平坦部のみならず、その外周縁にある側面部も表面に露出している。そのため、該側面部も平坦部と同様に強化処理がなされる必要がある。
【０００６】
しかしながら、強度向上のためのコーティングは従来スパッタリングによって形成されることが一般的であり、該スパッタリングはガラス板主面に対して正面方向にターゲット材料が位置する。そのため、ターゲット粒子のガラス板への堆積方向はガラス板の主面に対して垂直となり、側面部の端部（末端）まで覆われるようにコーティングすることはできなかった。そのため、コーティングされなかったガラス板の側面部の端部における強度が低く、例えば電子端末や表示装置を落とした場合に、強度の低い当該箇所を起点に破損することが多い。
また、当該コーティングの厚みの違いにより、該カバーガラスへの映り込みが発生する場合があった。
【０００７】
そこで本発明では、平坦部のみならず、平坦部の外周縁に設けられた側面部の端部（末端）の強度にも優れたカバーガラスであって、かつ映りこみの少ない低反射のアンチグレア膜となる無機膜が積層されたカバーガラスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは鋭意研鑽を積んだ結果、カバーガラスの平坦部の全面と平坦部の外周縁に設けられた側面部の表面側から裏面側にかけて連続的に無機膜を積層し、かつ前記無機膜の膜厚を一定にすることにより、平坦部のみならず、側面部の端部（末端）の強度にも優れ、かつ映りこみの少ない低反射カバーガラスが得られることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００９】
すなわち、本発明は下記＜１＞〜＜７＞に関するものである。
＜１＞
平坦部及び前記平坦部の外周縁に設けられた側面部を有するガラス板と、前記ガラス板に積層された無機物からなる無機膜とを含むカバーガラスであって、
前記無機膜は、前記ガラス板の前記平坦部の表面側の全面に積層され、かつ、前記側面部の少なくとも一部の領域において表面側から裏面側にかけて連続的に積層されており、
前記無機膜の膜厚が一定である、カバーガラス。
＜２＞
前記側面部が面取りされた形状である、前記＜１＞に記載のカバーガラス。
＜３＞
前記側面部が裏面側に湾曲している、前記＜１＞に記載のカバーガラス。
＜４＞
前記無機膜がＳｉ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｔａ及びＺｒからなる群より選ばれる少なくとも１の窒化物又は酸化物からなる膜である、前記＜１＞〜＜３＞のいずれか１に記載のカバーガラス。
＜５＞
前記ガラス板が表層に圧縮応力層を有する化学強化ガラス板である、前記＜１＞〜＜４＞のいずれか１に記載のカバーガラス。
＜６＞
電子端末用である、前記＜１＞〜＜５＞のいずれか１に記載のカバーガラス。
＜７＞
車載表示装置用である、前記＜１＞〜＜５＞のいずれか１に記載のカバーガラス。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、カバーガラスの平坦部のみならず、平坦部の外周縁に設けられた側面部の端部（末端）の強度も向上することができる。さらには映りこみの少ない低反射のカバーガラスとすることができる。そのため、電子端末や表示装置の筐体よりも前面にはみ出し、端部に曲面加工がなされた、２．５Ｄタイプや擬似３Ｄタイプ、３Ｄタイプ等と呼ばれる形状のカバーガラスとして用いた際、表面に露出している面の全面の強度に優れ、さらには映りこみの少ないアンチグレア効果を有するカバーガラスを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、２．５Ｄタイプと称されるカバーガラスの模式断面図である。
【図２】図２は、擬似３Ｄタイプ又は３Ｄタイプと称されるカバーガラスの模式断面図である。
【図３】図３は、従来の、無機膜が積層された２．５Ｄタイプのカバーガラスの模式断面図である。
【図４】図４は、従来の、無機膜が積層された擬似３Ｄタイプ又は３Ｄタイプのカバーガラスの模式断面図である。
【図５】図５は、本発明に係る無機膜が積層された２．５Ｄタイプのカバーガラスの模式断面図である。
【図６】図６は、本発明に係る無機膜が積層された擬似３Ｄタイプ又は３Ｄタイプのカバーガラスの模式断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明を詳細に説明するが、本発明は以下の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、任意に変形して実施することができる。
また本明細書において数値範囲を示す「〜」とは、その前後に記載された数値を下限値及び上限値として含む意味で使用される。
【００１３】
＜カバーガラス＞
本発明に係るカバーガラスは、平坦部及び前記平坦部の外周縁に設けられた側面部を有するガラス板と、前記ガラス板に積層された無機物からなる無機膜とを含むカバーガラスであって、前記無機膜は、前記ガラス板の前記平坦部の表面側の全面に積層され、かつ、前記側面部の少なくとも一部の領域において表面側から裏面側にかけて連続的に積層されており、さらには前記無機膜の膜厚が一定であることを特徴とする。
なお本明細書では、筐体にカバーガラスが取り付けられた際に表面に露出する側を、「表面側」と称し、筐体側に位置する側を「裏面側」と称する。
【００１４】
例えばカバーガラスが面取りされていない矩形のガラス板からなる場合、本発明に係るカバーガラスは表面側の第１主面と裏面側の第２主面と４つの端面とを有し、第１主面の全面が無機膜で覆われ、さらに、４つの端面の少なくとも一部の領域において表面側から裏面側にかけて連続して無機膜で覆われている。この場合、平坦部とは第１主面及び第２主面を意味し、側面部とは４つの端面を意味する。
【００１５】
カバーガラスは、側面部が面取りされた形状、又は、側面部が裏面側に湾曲している形状が好ましい。
側面部が面取りされた形状のカバーガラス３としては、例えば図１に示すような曲面を有する形状（２．５Ｄタイプ）が挙げられる。この場合、「平坦部」とは、図１における上方の平坦部分である符号ａよりも中心側を意味し、「側面部」とは曲面部分である符号ａからｂにかけての領域を意味する。この側面部は、平坦部の表面側の外周縁に設けられる。矩形のカバーガラス３からなる場合、この側面部は４つ存在し、少なくとも一つの側面部が面取り加工されている。
その他、テーパー状や、曲線と直線の組合せにより面取りされた形状等が挙げられる。
【００１６】
側面部が裏面側に湾曲しているカバーガラス３とは、例えば図２に示すような形状（擬似３Ｄタイプ、３Ｄタイプ）が挙げられる。この場合、「平坦部」とは、図２における上方の平坦部分である符号ａよりも中心側を意味し、「側面部」とは曲面部分のうち、符号ａからｂにかけての領域を意味する。この側面部は、平坦部の表面側の外周縁に設けられる。矩形のカバーガラス３からなる場合、この側面部は４つ存在し、少なくとも一つの側面部が裏面側に湾曲加工されている。
また、図２において湾曲している曲面が、直角に曲がっていてもよい。
【００１７】
（ガラス）
本発明に係るカバーガラスを構成するガラス板の厚さは、その用途から１ｍｍ以下が好ましく、０．８ｍｍ以下が好ましく、０．６ｍｍ以下がより好ましい。
また下限は０．２ｍｍ以上が好ましく、０．３ｍｍ以上がより好ましい。
【００１８】
ガラス板のガラスの種類は特に限定されないが、化学強化（イオン交換）処理を行い、表層に圧縮応力層を有する化学強化ガラス板とすることが好ましい。イオン交換を行う場合、ガラス板はリチウム及びナトリウムの少なくともいずれか一方を含むことが好ましく、ナトリウムを含むことがより好ましい。これは、化学強化処理におけるイオン交換する工程において、ガラスの表面をイオン交換し、圧縮応力が残留する表面層を形成させるためである。
【００１９】
具体的には、ガラス転移点以下の温度でイオン交換によりガラス板表面のイオン半径が小さなアルカリ金属イオン（Ｌｉイオン、Ｎａイオン）をイオン半径のより大きいアルカリイオン（Ｎａイオン、Ｋイオン）に置換する。これにより、ガラスの表層に圧縮応力が残留し、ガラスの面強度が向上する。
【００２０】
ガラス板のガラス組成は特に限定されないが、例えばアルミシリケートガラス、アルミノボロシリケートガラス又はソーダライムガラス等を好ましく用いることができる。
具体的なガラス組成を以下に示す。
【００２１】
（ｉ）モル％で表示した組成で、ＳｉＯ２を５０〜８０％、Ａｌ２Ｏ３を２〜２５％、Ｌｉ２Ｏを０〜１０％、Ｎａ２Ｏを０〜１８％、Ｋ２Ｏを０〜１０％、ＭｇＯを０〜１５％、ＣａＯを０〜５％およびＺｒＯ２を０〜５％を含むガラス、
（ｉｉ）モル％で表示した組成が、ＳｉＯ２を５０〜７４％、Ａｌ２Ｏ３を１〜１０％、Ｎａ２Ｏを６〜１４％、Ｋ２Ｏを３〜１１％、ＭｇＯを２〜１５％、ＣａＯを０〜６％およびＺｒＯ２を０〜５％含有し、ＳｉＯ２およびＡｌ２Ｏ３の含有量の合計が７５％以下、Ｎａ２ＯおよびＫ２Ｏの含有量の合計が１２〜２５％、ＭｇＯおよびＣａＯの含有量の合計が７〜１５％であるガラス、
（ｉｉｉ）モル％で表示した組成が、ＳｉＯ２を６８〜８０％、Ａｌ２Ｏ３を４〜１０％、Ｎａ２Ｏを５〜１５％、Ｋ２Ｏを０〜１％、ＭｇＯを４〜１５％およびＺｒＯ２を０〜１％含有するガラス、
（ｉｖ）モル％で表示した組成が、ＳｉＯ２を６７〜７５％、Ａｌ２Ｏ３を０〜４％、Ｎａ２Ｏを７〜１５％、Ｋ２Ｏを１〜９％、ＭｇＯを６〜１４％およびＺｒＯ２を０〜１．５％含有し、ＳｉＯ２およびＡｌ２Ｏ３の含有量の合計が７１〜７５％、Ｎａ２ＯおよびＫ２Ｏの含有量の合計が１２〜２０％であり、ＣａＯを含有する場合その含有量が１％未満であるガラス、
（ｖ）質量％で表示した組成が、ＳｉＯ２を６５〜７５％、Ａｌ２Ｏ３を０．１〜５％、ＭｇＯを１〜６％、ＣａＯを１〜１５％含有し、Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏが１０〜１８％であるガラス、
（ｖｉ）質量％で表示した組成が、ＳｉＯ２を６５〜７２％、Ａｌ２Ｏ３を３．４〜８．６％、ＭｇＯを３．３〜６％、ＣａＯを６．５〜９％、Ｎａ２Ｏを１３〜１６％、Ｋ２Ｏを０〜１％、ＴｉＯ２を０〜０．２％、Ｆｅ２Ｏ３を０．０１〜０．１５％、ＳＯ３を０．０２〜０．４％含有し、（Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ）／Ａｌ２Ｏ３が１．８〜５．０であるガラス、
（ｖｉｉ）質量％で表示した組成が、ＳｉＯ２を６０〜７２％、Ａｌ２Ｏ３を１〜１０％、ＭｇＯを５〜１２％、ＣａＯを０．１〜５％、Ｎａ２Ｏを１３〜１９％、Ｋ２Ｏを０〜５％含有し、ＲＯ／（ＲＯ＋Ｒ２Ｏ）が０．２０以上、０．４２以下（式中、ＲＯとはアルカリ土類金属酸化物、Ｒ２Ｏはアルカリ金属酸化物を示す。）であるガラス。
【００２２】
ガラス板の製造方法は特に限定されず、所望のガラス原料を連続溶融炉に投入し、ガラス原料を好ましくは１５００〜１６００℃で加熱溶融し、清澄した後、成形装置に供給した上で溶融ガラスを板状に成形し、徐冷することにより製造することができる。
図１に示すような側面部が面取りされた形状とする場合には、得られた板状のガラス板に対して、面取り機を用いて研磨すること、ブラシ研磨すること等により面取りすることができる。
図２に示すような、側面部が一方の側に湾曲している形状とする場合には、溶融ガラスを成形する際に、板状ではなく型に入れて成形、徐冷を行ってもよいし、研削機を用いて研削することにより成形してもよい。
【００２３】
なお、ガラスの成形には種々の方法を採用することができる。例えば、ダウンドロー法（例えば、オーバーフローダウンドロー法、スロットダウン法およびリドロー法等）、フロート法、ロールアウト法およびプレス法等の様々な成形方法を採用することができる。
【００２４】
（無機膜）
本発明に係るカバーガラス３は、図５及び図６に示すように、ガラス板１の平坦部の表面側の全面と、側面部の少なくとも一部の領域において表面側から裏面側にかけて（符号ａからｂにかけて）連続的に、一定の膜厚の無機物からなる無機膜２が積層されている。
「側面部の少なくとも一部の領域において表面側から裏面側にかけて連続的に無機膜２が積層されている」とは、無機膜２が表面側から裏面側に少なくとも一部の領域で途切れることなく、符号ａからｂにかけて形成されていることを意味する。よって、無機膜２が側面部の長手方向の総ての領域で形成されている必要は必ずしもない。もちろん、無機膜２は平坦部の外周縁のすべて（平面視矩形のガラス板１の場合は４つの端面のすべて）に形成されてもよいし、側面部の長手方向（外周縁に沿った方向）における一部に形成されてもよい。例えば、矩形のガラス板１において、４つの端面のうち１面、２面、又は３面のみの全面に形成されてもよい。また端面のうち１面の長手方向に沿った一部の領域に形成されてもよいが、その場合においても、無機膜２は該領域の符号ａからｂにかけて一定の膜厚で連続的に形成されている。
【００２５】
無機膜はカバーガラスを電子端末や表示装置等の筐体に取り付けた際に、該筐体よりも前面にはみ出して露出している面の全面が無機膜で覆われていることが好ましい。すなわち、平坦部の表面側と、平坦部の外周縁に設けられた側面部のすべての領域が露出する場合には、平坦部の表面側の全面と側面部の全面に、無機膜が積層されていることが好ましい。また、平坦部の表面側と、側面部の一部の領域が露出する場合には、平坦部の表面側の全面と側面部の該露出している領域の表面側から裏面側にかけて一定の膜厚で連続的に、無機膜が積層されていることが好ましい。
無機膜が積層されている部分の無機膜の膜厚は一定であり、それにより、アンチグレア効果を奏することができる。
【００２６】
無機物からなる膜としては、好ましくはＳｉ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｔａ及びＺｒからなる群より選ばれる１以上の窒化物又は酸化物からなる膜が挙げられる。これらは単独で用いても、２種以上を用いてもよく、また、無機膜は単層が積層されていても複数層が積層されていてもよい。
無機膜を積層することにより、該無機膜で積層された部分の耐擦傷性を向上し、強度を向上することができる。また、無機膜の組成によって、カバーガラスの反射率を低下させるなどの効果を付与することもできる。
カバーガラス表面に積層されている無機膜の有無は走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）でガラスの断面を観察することによって、確認することができる。
【００２７】
カバーガラスの耐擦傷性の向上の観点から、窒化ケイ素（ＳｉＮＸ）がより好ましく用いられる。また、カバーガラスへの低反射性（アンチグレア効果）の付与の観点からは、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）を含むことがより好ましい。窒化ケイ素からなる膜及び酸化ケイ素からなる膜が少なくとも１層ずつ積層された、複数層からなる無機膜であってもよい。
【００２８】
無機膜は単層が積層された単膜であっても、複数層が積層された積層膜であってもよい。該膜の合計の厚みは４００〜３０００ｎｍが好ましい。４００ｎｍ以上とすることにより、優れた耐擦傷性を得ることができる。該膜の合計の厚みは８５０ｎｍ以上がより好ましく、１０００ｎｍ以上とすることがさらに好ましい。また、カバーガラスに求められる光透過率を得る観点から、２０００ｎｍ以下がより好ましい。
【００２９】
複数層が積層された積層膜である場合、各層の厚みは５〜２５０ｎｍの膜が３層以上積層されることが好ましい。各層の厚みが２５０ｎｍ超であると、各層あたりの圧縮応力または引張応力が大きくなりカバーガラスに反りが生じやすくなる。一方、各層の厚みが２５０ｎｍ以下とすると、各層あたりの圧縮応力または引張応力が小さくなり、それら各層が複数積層されても、カバーガラスに反りが生じにくい。
また積層数はガラスの割れ抑制効果の点から２０層以上が好ましく、４０層以上がより好ましい。また積層膜の分布制御の点から１００層以下が好ましく、８０層以下がより好ましい。
なお、無機膜の厚みや単層ごとの厚みはＸ線反射率法（Ｘ−ｒａｙ−Ｒｅｆｌｅｃｔｏｍｅｔｒｙ：ＸＲＲ）によって測定した周期（Δθ）から求めることができる。簡易的には走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）でガラスの断面を観察することによって、層の厚みを確認することも可能である。
無機膜の組成はＸ線光電子分光法（Ｘ−ｒａｙ  Ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）により同定することができる。
【００３０】
無機膜の成膜方法は特に制限されず、例えば静電コート法や後反応スパッタ法等を用いることができる。
静電コート法を行う際には、静電気を印加する（電場をかける）ことにより、無機膜を、ガラス板の側面部の端部（末端）にまで成膜し、かつ、塗布される無機膜の厚みを一定にすることができる。すなわち、図３又は図４に示した符号ａからｃ及び符号ｃからｂの領域についても、平坦部と同じ膜厚で無機膜を成膜することができる。また、前処理として大気圧プラズマ処理、コロナ放電処理をしてもよい。
後反応スパッタ法では、無機膜を積層する際に、平坦部と側面部それぞれに対向する別々のターゲットを準備し、それぞれの成膜条件を別々に制御し、それぞれに調整可能な分布修正板を備えたスパッタリング装置を利用することにより、平坦部と側面部における無機膜の膜厚を均等にすることができる。
後反応スパッタ法や、静電コート法により、ガラス板１の側面部の表面側から裏面側にかけて連続的に、かつ、一定の膜厚で、無機膜２を積層することができるようになる。すなわち、平坦部及び側面部の符号ａからｂの領域全体に渡って、連続的かつ均等な膜厚で無機膜２を積層することができるようになる（図５及び図６参照。）。
【００３１】
無機膜として、例えば窒化ケイ素膜を成膜する場合には、シリコンターゲットとしてｐ−Ｓｉを用い、窒素雰囲気下でスパッタリングを行う。スパッタリングの成膜時間やスパッタ電力、ガス流量、基板温度等を変えることにより、得られる膜の膜厚や結晶構造、特性等が変化するので、適宜調整して最適な条件にて行う。 
【００３２】
＜カバーガラスの評価方法＞
本発明に係るカバーガラスは、フラットパネルディスプレイ装置やタッチパネルディスプレイ装置におけるカバーガラスに好適に用いることができる。特に携帯電話や携帯情報端末ＰＤＡといった電子端末用のカバーガラスや、車載表示装置用のカバーガラスにより好適に用いることができ、中でも筐体よりも前面にはみ出し、側面部の表面側から裏面側にかけて、すなわち、側面部の端部（末端）まで曲面加工がなされた、２．５Ｄタイプや擬似３Ｄタイプ、３Ｄタイプ等と呼ばれる形状のカバーガラスによりさらに好適に用いることができる。
【００３３】
（耐擦傷性）
カバーガラスの耐擦傷性はトラバース式摩耗試験機を用いて行うことができる。具体的には、研磨布（Ｇ＃３２０（ＪＩＳ  Ｒ６２５１：２００６規格適合品））を貼り付けた試験子と試料との間に接触荷重を与えて往復運動摩擦を行い、膜表面への傷の有無を確認する。傷の有無は目視で傷を観察することで評価することができる。観察の結果、傷は３本以下が好ましく、傷がないことがより好ましい。
往復の幅は４０ｍｍで、往復の数は５０回、荷重は１００ｇ、摩耗面積は１ｃｍ２として実施する。
【００３４】
（試験条件）
研磨布：Ｇ＃３２０（ＪＩＳ  Ｒ６２５１：２００６規格適合品）、
荷重：１００ｇ、
往復の幅：４０ｍｍ、
往復の数：５０回、
摩耗面積：１ｃｍ２。
【００３５】
（映りこみ特性評価／低反射性）
蛍光灯下に設置された台の上に、防眩層付き曲げ基材を、防眩層側を上にして置き、防眩層付き曲げ基材への蛍光灯の映り込みを目視により観察し、平坦部での均質性、平坦部と湾曲部での均質性などを下記の基準で判定する。
○：膜ムラや欠点がなく均質である。
△：若干の膜ムラや欠点はあるものの全体としては均一である。
×：不均一である。または膜が形成できていない部位がある。
【００３６】
（低反射性）
分光器（日立ハイテクノロジーズ社製  Ｕ―４１００）を用いて、平坦部と側面部の入射角５度の可視光反射率と、その色味を測定することで測定する。
【実施例】
【００３７】
以下に実施例を挙げ、本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されない。
本実施例における各種評価は上述の評価方法により行った。
【００３８】
＜実施例１＞
（化学強化ガラスの準備）
ステンレススチール（ＳＵＳ）製のカップに硝酸カリウム９７００ｇ、炭酸カリウム８９０ｇ、硝酸ナトリウム４００ｇを加え、マントルヒーターで４５０℃まで加熱して、炭酸カリウム濃度が６ｍｏｌ％、ナトリウム濃度が１００００重量ｐｐｍの溶融塩を調製した。
１００ｍｍ×１００ｍｍ×０．５６ｍｍのアルミノシリケートガラスＡ（比重２．４８）を用意し、２００〜４００℃に予熱した後、４５０℃の溶融塩に２時間浸漬し、イオン交換処理した後、室温付近まで冷却することにより化学強化処理を行った。得られた化学強化ガラスは水洗いし、次の工程に供した。
ガラス組成（モル％表示）：ＳｉＯ２  ６４．４％、Ａｌ２Ｏ３  ８．０％、Ｎａ２Ｏ  １２．５％、Ｋ２Ｏ  ４．０％、ＭｇＯ  １０．５％、ＣａＯ  ０．１％、ＳｒＯ  ０．１％、ＢａＯ  ０．１％、ＺｒＯ２  ０．５％
【００３９】
次いで６．０重量％の硝酸をビーカーに用意し、ウォーターバスを用いて４０℃に温度調整を行った。前記化学強化工程で得られたガラスを、調製した硝酸中に１２０秒間浸漬させ、酸処理を行った。その後、該ガラスは水洗いした。
【００４０】
次に、４．０重量％の水酸化ナトリウム水溶液をビーカーに用意し、ウォーターバスを用いて４０℃に温度調整を行った。酸に接触させる工程の後に洗浄したガラスを、調製した水酸化ナトリウム水溶液中に１２０秒間浸漬させ、アルカリ処理を行った。その後、該ガラスは水洗いした。その後、エアブローにより乾燥した。
以上により、化学強化ガラス板を得た。
【００４１】
（面取り加工・湾曲加工）
曲げ基材として、湾曲部と平坦部を備えた形状のアルミノシリケートガラス（ドラゴントレイル（登録商標）；旭硝子社製、サイズ：ｘ＝１５０ｍｍ、ｙ＝１００ｍｍ（曲げ深さｈ＝１０ｍｍ）、厚さｔ＝１．１ｍｍのガラス基板）を用意した。前記曲げ基材について化学強化処理を行い、ＣＳ７５０ＭＰａ，ＤＯＬ２８μｍの圧縮応力層を形成した。該ガラスの表面を酸化セリウム分散水で洗浄後、イオン交換水でリンスし、乾燥させ、湾曲部と平坦部を備えた化学強化ガラス板を得た。
【００４２】
（無機膜の形成）
次いで、得られた化学強化ガラス板の表面側の平坦部と、外周縁に設けられた側面部に後反応スパッタ法により窒化ケイ素膜と酸化ケイ素膜の積層成膜を実施した。
窒化ケイ素膜の各単膜の厚みは６〜１６２ｎｍとし、酸化ケイ素膜の各単膜の厚みは５〜４２ｎｍとした。酸化ケイ素膜と窒化ケイ素膜の成膜を複数回交互に行い、これらが交互に成膜された、酸化ケイ素膜４５層、窒化ケイ素膜４５層からなる合計の膜厚が３０００ｎｍの、無機物からなる無機膜が形成されたカバーガラスを得た。
平坦部に対向したターゲットと、傾斜部に対向したターゲットを備え、それぞれに調整可能な分布修正板を備えたスパッタリング装置を用いて製造した。平坦部に対向したターゲットと、傾斜部に対向したターゲットにおける成膜条件を別々に制御し、それぞれの分布修正板を別々に調整し、同時に成膜を行うことで製造した。
【００４３】
窒化ケイ素膜の成膜時の後反応スパッタ条件は下記のとおりである。
・ターゲット：ｐ−Ｓｉターゲット
・成膜ガス：Ａｒ  （流量５０ｓｃｃｍ）
・スパッタ電力（平坦部対向ターゲット）：６ｋＷ
・スパッタ電力（側面部対向ターゲット）：８ｋＷ
・窒化源ガス：Ｎ２  （流量１００ｓｃｃｍ）
・窒化源電力：１ｋＷ
・基板温度：常温
・成膜レート：０．２ｎｍ／ｍｉｎ．
【００４４】
酸化ケイ素膜（低屈折率材料からなる膜）成膜時の後反応スパッタ条件は下記のとおりである。
・ターゲット：ｐ−Ｓｉターゲット
・成膜ガス：Ａｒ  （流量４０ｓｃｃｍ）
・スパッタ電力（平坦部対向ターゲット）：６ｋＷ
・スパッタ電力（側面部対向ターゲット）：８ｋＷ
・酸化源ガス：Ｏ２  （流量１００ｓｃｃｍ）
・酸化源電力：１ｋＷ
・基板温度：常温
・成膜レート：０．３ｎｍ／ｍｉｎ．
【００４５】
上記方法で得られた窒化ケイ素膜と酸化ケイ素膜の積層成膜されたカバーガラスに対して、平坦部と側面部の断面ＳＥＭ評価により各部分の膜厚を評価した結果、カバーガラスの平坦部の表面側前面に積層され、かつ、外周縁に設けられた側面部にも表面側から裏面側にかけて膜厚が一定で連続的に成膜され、膜を耐擦傷性よく成膜されていた。
【００４６】
＜比較例１＞
平坦部に対向する一種類のターゲットのみを用いて、側面部も含めて成膜を実施すること以外は、実施例１と同じである。
上記方法で得られた窒化ケイ素膜と酸化ケイ素膜の積層成膜されたカバーガラスに対して、平坦部と側面部の断面ＳＥＭ評価により各部分の膜厚を評価した結果、カバーガラスの平坦部の表面側前面に積層された膜厚は一定に成膜されていたが、側面部の膜厚が一定ではなく、平坦部に比べて薄い成膜となっていた。
【００４７】
上記で得られたカバーガラスについて各種評価を行なった。カバーガラスにおける平坦部の表面側の耐擦傷性及び映りこみ特性／低反射性、側面部の表面側の耐擦傷性及び映りこみ特性／低反射性の評価結果を表１に示す。表中、目視外観が○とは（耐擦傷性）に記載した観察の結果、目視で傷が無いことを示し、△とは傷が１〜３本であることを示し、×とは傷が４本以上であることを示す。
【００４８】
【表１】
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【００４９】
評価結果における反射率の比は１．０に近いほど均質な低反射膜であることを示している。
【００５０】
以上の結果より、従来のスパッタ方式では、ターゲットに対して平行でない面を備えるガラス基板の場合、ターゲットに対して並行でない面に積層される膜厚が平坦部と比べて薄くなる。その結果、膜厚が一定でないことにより、膜が薄い領域の強度が低下し、また、反射率が平坦部と側面部で異なるため、カバーガラスとして映り込み特性が不均一になる。
一方、本発明の複数のターゲットを用いる方式では、平坦部と側面部に一定の膜厚で連続的に積層成膜できることで、耐割性が高く、映り込み特性が優れたカバーガラスを得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明によれば、電子端末用や車載表示装置用等のカバーガラスであって、筐体よりも前面にはみ出し、端部に曲面加工がなされた、２．５Ｄタイプや擬似３Ｄタイプ、３Ｄタイプ等と呼ばれる形状のカバーガラスにおいて、表面に露出した面の全面の強度に優れ、かつ映りこみの少ない優れたカバーガラスを得ることができる。
【符号の説明】
【００５２】
１  ガラス板
２  無機膜
３  カバーガラス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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