(57)【要約】【課題】プロービング機構に対して正確かつ容易に取付け可能なプローブユニットを提供する。【解決手段】プローブピン１１と、プローブピン１１を支持する支持部１２とを備え、支持部１２は、プロービング機構３に取り付けるためのユニット側取付部と、プロービング機構３によるプロービングの向きとは逆向きへのプローブピン１１の直動または近似的な直動を許容する弾性変形部１２ｂとを備え、ユニット側取付部は、プロービング機構３に設けられた機構側基準面に対して面的に接触させられる基準面Ｆ２がプロービング機構３によるプロービングの向きと交差するように設けられた基部１２ａと、基準面Ｆ２に立設されたボルト１４ａとを備えると共に、ボルト１４ａの頭部を基準面Ｆ２に接近させて頭部と基準面Ｆ２との間にプロービング機構３の被挟持部４０を挟み込むことによってプロービング機構３に取付け可能に構成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブ本体と、当該プローブ本体を支持する支持部とを備えたプローブユニットであって、
前記支持部は、当該プローブユニットをプロービング機構に取り付けるためのユニット側取付部と、前記プロービング機構によって当該プローブ本体がプロービング対象にプロービングさせられる際のプロービングの向きとは逆向きへの当該プローブ本体の直動または近似的な直動を許容する弾性変形部とを備え、
前記ユニット側取付部は、前記プロービング機構に設けられた機構側基準面に対して面的に接触させられるユニット側基準面が当該プロービング機構による前記プロービングの向きと交差するように設けられた基部と、軸部および当該軸部の径よりも広い広径部を有してユニット側基準面に立設された固定部材とを備えると共に、前記広径部を前記ユニット側基準面に接近させて当該広径部と当該ユニット側基準面との間に前記プロービング機構の取付け用被挟持部を挟み込むことによって当該プローブユニットを当該プロービング機構に取付け可能に構成されているプローブユニット。
【請求項２】
前記ユニット側基準面には、前記プローブ本体に対して電気的に接続されると共に、前記プロービング機構の前記機構側基準面に設けられている機構側接続用電極に接触させられるユニット側接続用電極が設けられている請求項１記載のプローブユニット。
【請求項３】
前記ユニット側基準面には、前記プロービング機構の前記機構側基準面に配設された機構側位置決め用ピンを挿入可能なユニット側位置決め用穴、および前記プロービング機構の前記機構側基準面に配設された機構側位置決め用穴に挿入可能なユニット側位置決め用ピンの少なくとも一方が配設されている請求項１または２記載のプローブユニット。
【請求項４】
プローブ本体と、当該プローブ本体を支持する支持部とを備えたプローブユニットを取付け可能に構成されて当該プローブ本体をプロービング対象にプロービング可能に構成されたプロービング機構であって、
当該プロービング機構に取り付けるためのユニット側取付部と、前記プローブ本体が前記プロービング対象にプロービングさせられる際のプロービングの向きとは逆向きへの当該プローブ本体の直動または近似的な直動を許容する弾性変形部とを有して前記支持部が構成された前記プローブユニットを取付け可能な機構側取付部を備え、
前記機構側取付部は、軸部および当該軸部の径よりも広い広径部を有して前記ユニット側取付部の基部に設けられたユニット側基準面に立設されている固定部材の当該広径部と当該ユニット側基準面との間に挟み込まれる取付け用被挟持部を備えると共に、前記ユニット側基準面が面的に接触させられる機構側基準面が前記プロービングの向きと交差するように前記取付け用被挟持部に設けられて、前記広径部が前記ユニット側基準面に接近させられて前記取付け用被挟持部が当該広径部と当該ユニット側基準面との間に挟み込まれることで当該機構側取付部に前記プローブユニットを取付け可能に構成されているプロービング機構。
【請求項５】
前記機構側基準面には、前記プローブユニットの前記ユニット側基準面に設けられて前記プローブ本体に対して電気的に接続されたユニット側接続用電極に接触させられる機構側接続用電極が設けられている請求項４記載のプロービング機構。
【請求項６】
前記機構側基準面には、前記プローブユニットの前記ユニット側基準面に配設されたユニット側位置決め用穴に挿入可能な機構側位置決め用ピン、および前記プローブユニットの前記ユニット側基準面に配設されたユニット側位置決め用ピンを穴に挿入可能な機構側位置決め用穴の少なくとも一方が配設されている請求項４または５記載のプロービング機構。
【請求項７】
前記取付け用被挟持部は、前記機構側基準面が設けられると共に前記軸部の挿通が可能な第１挿通部が設けられた第１部材と、前記軸部の挿通が可能な第２挿通部が設けられて前記第１部材の前記機構側基準面とは逆側の面に対向配置された第２部材と、前記第１部材および前記第２部材の間に配設されて当該第１部材および当該第２部材を相互に離間する向きに付勢する付勢部材と、前記機構側位置決め用ピンとを備えると共に、当該機構側位置決め用ピンの基端部が前記第２部材に固定され、かつ前記機構側位置決め用ピンの先端部を挿通可能な第３挿通部が前記第１部材に設けられて、当該取付け用被挟持部が前記ユニット側基準面と前記広径部との間に挟み込まれていない状態において前記機構側位置決め用ピンの先端部が前記機構側基準面よりも前記第２部材寄りに位置すると共に、当該取付け用被挟持部が前記ユニット側基準面と前記広径部との間に挟み込まれて前記第２部材が前記第１部材に接近させられた状態において前記機構側位置決め用ピンの前記先端部が前記第３挿通部における前記機構側基準面側の口縁部から突出して前記ユニット側位置決め用穴に挿入されるように構成されている請求項６記載のプロービング機構。
【請求項８】
請求項１記載のプローブユニットと、請求項４記載のプロービング機構とを備え、前記プロービング対象としての検査対象基板を検査可能に構成されている基板検査装置。
【請求項９】
請求項２記載のプロービング機構と、請求項５記載のプローブユニットとを備え、前記プロービング対象としての検査対象基板を検査可能に構成されている基板検査装置。
【請求項１０】
請求項３記載のプロービング機構と、請求項６または７記載のプローブユニットとを備え、前記プロービング対象としての検査対象基板を検査可能に構成されている基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブ本体および支持部を備えたプローブユニット、そのようなプローブユニットを取付け可能に構成されたプロービング機構、並びに、プローブユニットとプロービング機構とを備えて構成された基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種のプローブユニットおよびプロービング機構を備えた基板検査装置として、出願人は、プローブユニットおよびプローブ案内機構を備えて検査対象の回路基板を電気的に検査可能に構成された回路基板検査装置を下記の特許文献に開示している。
【０００３】
この場合、出願人が開示している回路基板検査装置のプローブユニットでは、プリント基板およびベース部を備えて構成されたプローブ保持部によって一対のコンタクトプローブが保持されている。また、プリント基板は、ベース部をプローブ案内機構に固定する固定具としての機能に加え、両コンタクトプローブのプローブピンをプローブ案内機構に対して電気的に接続する接続具としての機能を有するように構成されている。具体的には、プリント基板には、プローブ案内機構に固定するための取付用ねじを挿通可能な取付用孔と、プローブ案内機構に配設されている位置決め用ピンを挿通可能な位置決め用孔とが形成されると共に、後述するようにプローブ案内機構に配設されている接続用パターンに接してこれに電気的に接続される接続用パターンが形成されて両プローブピンが信号ケーブルを介して接続されている。
【０００４】
一方、プローブ案内機構には、プローブユニットを取り付けるための上記の取付用ねじをねじ込み可能なねじ穴が形成され、かつプローブユニットの位置決め用孔に挿入される位置決め用ピンが配設されると共に、プローブユニットの接続用パターンに接して電気的に接続される接続用パターンが形成されたプリント基板が取り付けられている。なお、以下の説明においては、プローブユニットのプリント基板を「ユニット側基板」ともいい、プローブ案内機構のプリント基板を「機構側基板」ともいう。
【０００５】
このプローブ案内機構にプローブユニットを取り付ける際には、まず、プローブユニットを持ってプローブ案内機構の位置決め用ピンを位置決め用孔に挿通させるようにして機構側基板にユニット側基板を当接させる。この際には、機構側基板の接続用パターンとユニット側基板の接続用パターンとが接して両パターンおよび信号ケーブルを介してプローブピンがプローブ案内機構に接続された状態になると共に、ユニット側基板の取付用孔とプローブ案内機構のねじ穴とが連通した状態となる。次いで、一方の手でプローブユニットを押さえて機構側基板にユニット側基板を当接させた状態を維持しつつ、他方の手で取付用ねじを持ち、その先端部を取付用孔に挿通させてねじ穴にねじ込む。
【０００６】
続いて、一方の手でプローブユニットを押さえた状態を維持しつつ、他方の手でドライバを持って取付用ねじを規定のトルクで締め込む。これにより、位置決め用孔に挿通させられている位置決め用ピンによってプローブユニットがプローブ案内機構に対して位置決めされた状態で、ねじ穴にねじ込んだ取付用ねじによってプローブ案内機構からのプローブユニットの離脱が規制された状態となる。以上により、プローブ案内機構に対するプローブユニットの取付けが完了する。この後、プローブ案内機構によってプローブユニットが任意のＸ−Ｙ−Ｚ方向に案内されて（移動させられて）検査対象の回路基板上の導体パターンにプローブピンがプロービングされ、回路基板が電気的に検査される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００１−４１９７５号公報（第３−６頁、第１−６図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところが、出願人が上記特許文献に開示している回路基板検査装置（プローブユニットおよびプローブ案内機構）には、以下のような改善すべき課題が存在する。すなわち、出願人が開示している回路基板検査装置では、ユニット側基板の取付用孔を挿通させた取付用ねじをプローブ案内機構のねじ穴にねじ込んで締め付けることでプローブ案内機構にプローブユニットを取り付ける構成が採用されている。
【０００９】
この場合、出願人が開示している回路基板検査装置では、プローブ案内機構においてプローブユニットに接する面（「機構側基板」の表面：以下、「機構側基準面」ともいう）、およびプローブユニットにおいてプローブ案内機構に接する面（「ユニット側基板」の表面：以下、「ユニット側基準面」ともいう）が、プローブ案内機構によるプローブユニットの案内方向（プロービングの向き）と平行になるようにそれぞれ規定されている。また、出願人が開示している回路基板検査装置では、プローブ案内機構に対するプローブユニットのスムーズな着脱を可能とするために、位置決め用ピンの周面と、位置決め用孔の内面との間に僅かな隙間が生じるようにプローブ案内機構およびプローブユニットがそれぞれ構成されている。
【００１０】
このため、出願人が開示している回路基板検査装置では、位置決め用ピンと位置決め用孔との間に生じた上記の僅かな隙間に起因して、プローブ案内機構に対してプローブユニットが僅かに傾いた状態で取り付けられるおそれがある。また、出願人が開示している回路基板検査装置では、プローブ案内機構による案内に従ってプローブピンの先端部をプロービングの向きとは逆向きに直動または近似直動させるようにプローブユニットが構成されているものの、プローブ案内機構に対してプローブユニットが傾いた状態で取り付けられている場合には、回路基板の基板面に大きな接触痕（プローブピンの先端部の引摺り痕）が形成されるおそれがある。
【００１１】
具体的には、図１５に示すように、プローブ案内機構に対してプローブユニット２ｘが角度θだけ傾いた状態で取り付けられた場合には、そのプローブユニット２ｘがプローブ案内機構によって矢印Ａの向きに案内させられてプローブピン１１ｘの先端部１１ａｘが回路基板（導体パターン）に当接し、その状態からプローブ案内機構によって矢印Ａの向きにさらに移動させられたときに、プローブピン１１ｘを保持している「弾性変形部（図示せず）」の弾性変形により、同図に破線で示すようにプローブピン１１ｘが「基部（図示せず）」に対して矢印Ｂ２の向き（矢印Ａの向きの逆向きに対して角度θだけ傾いた向き）に相対的に移動させられる。
【００１２】
このため、プローブピン１１ｘ（先端部１１ａｘ）が直動または近似直動するようにプローブユニット２ｘが構成され、かつ、プローブ案内機構がそのプローブユニット２ｘを回路基板の基板面に対して垂直な矢印Ａの向きに移動させているにも拘わらず、プローブピン１１ｘの先端部１１ａｘが回路基板の基板面上を矢印Ｃの向きに距離Ｌｘだけ移動させられる結果、回路基板の基板面（導体パターン）に距離Ｌｘの接触痕（先端部１１ａｘの引摺り痕）が形成されるおそれがある。したがって、出願人が開示している回路基板検査装置では、プローブ案内機構に対してプローブユニットが傾かないように取り付ける必要があり、プローブ案内機構に対するプローブユニットの取り付け作業が煩雑になっている。したがって、この点を改善するのが好ましい。
【００１３】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、プロービング機構に対して正確かつ容易に取付け可能なプローブユニット、プローブユニットを容易に取付け可能なプロービング機構、およびそれらを備えた基板検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成すべく、請求項１記載のプローブユニットは、プローブ本体と、当該プローブ本体を支持する支持部とを備えたプローブユニットであって、前記支持部は、当該プローブユニットをプロービング機構に取り付けるためのユニット側取付部と、前記プロービング機構によって当該プローブ本体がプロービング対象にプロービングさせられる際のプロービングの向きとは逆向きへの当該プローブ本体の直動または近似的な直動を許容する弾性変形部とを備え、前記ユニット側取付部は、前記プロービング機構に設けられた機構側基準面に対して面的に接触させられるユニット側基準面が当該プロービング機構による前記プロービングの向きと交差するように設けられた基部と、軸部および当該軸部の径よりも広い広径部を有してユニット側基準面に立設された固定部材とを備えると共に、前記広径部を前記ユニット側基準面に接近させて当該広径部と当該ユニット側基準面との間に前記プロービング機構の取付け用被挟持部を挟み込むことによって当該プローブユニットを当該プロービング機構に取付け可能に構成されている。
【００１５】
また、請求項２記載のブローブユニットは、請求項１記載のプローブユニットにおいて、前記ユニット側基準面には、前記プローブ本体に対して電気的に接続されると共に、前記プロービング機構の前記機構側基準面に設けられている機構側接続用電極に接触させられるユニット側接続用電極が設けられている。
【００１６】
さらに、請求項３記載のプローブユニットは、請求項１または２記載のプローブユニットにおいて、前記ユニット側基準面には、前記プロービング機構の前記機構側基準面に配設された機構側位置決め用ピンを挿入可能なユニット側位置決め用穴、および前記プロービング機構の前記機構側基準面に配設された機構側位置決め用穴に挿入可能なユニット側位置決め用ピンの少なくとも一方が配設されている。
【００１７】
また、請求項４記載のプロービング機構は、プローブ本体と、当該プローブ本体を支持する支持部とを備えたプローブユニットを取付け可能に構成されて当該プローブ本体をプロービング対象にプロービング可能に構成されたプロービング機構であって、当該プロービング機構に取り付けるためのユニット側取付部と、前記プローブ本体が前記プロービング対象にプロービングさせられる際のプロービングの向きとは逆向きへの当該プローブ本体の直動または近似的な直動を許容する弾性変形部とを有して前記支持部が構成された前記プローブユニットを取付け可能な機構側取付部を備え、前記機構側取付部は、軸部および当該軸部の径よりも広い広径部を有して前記ユニット側取付部の基部に設けられたユニット側基準面に立設されている固定部材の当該広径部と当該ユニット側基準面との間に挟み込まれる取付け用被挟持部を備えると共に、前記ユニット側基準面が面的に接触させられる機構側基準面が前記プロービングの向きと交差するように前記取付け用被挟持部に設けられて、前記広径部が前記ユニット側基準面に接近させられて前記取付け用被挟持部が当該広径部と当該ユニット側基準面との間に挟み込まれることで当該機構側取付部に前記プローブユニットを取付け可能に構成されている。
【００１８】
また、請求項５記載のプロービング機構は、請求項４記載のプロービング機構において、前記機構側基準面には、前記プローブユニットの前記ユニット側基準面に設けられて前記プローブ本体に対して電気的に接続されたユニット側接続用電極に接触させられる機構側接続用電極が設けられている。
【００１９】
さらに、請求項６記載のプロービング機構は、請求項４または５記載のプロービング機構において、前記機構側基準面には、前記プローブユニットの前記ユニット側基準面に配設されたユニット側位置決め用穴に挿入可能な機構側位置決め用ピン、および前記プローブユニットの前記ユニット側基準面に配設されたユニット側位置決め用ピンを穴に挿入可能な機構側位置決め用穴の少なくとも一方が配設されている。
【００２０】
また、請求項７記載のプロービング機構は、請求項６記載のプロービング機構において、前記取付け用被挟持部は、前記機構側基準面が設けられると共に前記軸部の挿通が可能な第１挿通部が設けられた第１部材と、前記軸部の挿通が可能な第２挿通部が設けられて前記第１部材の前記機構側基準面とは逆側の面に対向配置された第２部材と、前記第１部材および前記第２部材の間に配設されて当該第１部材および当該第２部材を相互に離間する向きに付勢する付勢部材と、前記機構側位置決め用ピンとを備えると共に、当該機構側位置決め用ピンの基端部が前記第２部材に固定され、かつ前記機構側位置決め用ピンの先端部を挿通可能な第３挿通部が前記第１部材に設けられて、当該取付け用被挟持部が前記ユニット側基準面と前記広径部との間に挟み込まれていない状態において前記機構側位置決め用ピンの先端部が前記機構側基準面よりも前記第２部材寄りに位置すると共に、当該取付け用被挟持部が前記ユニット側基準面と前記広径部との間に挟み込まれて前記第２部材が前記第１部材に接近させられた状態において前記機構側位置決め用ピンの前記先端部が前記第３挿通部における前記機構側基準面側の口縁部から突出して前記ユニット側位置決め用穴に挿入されるように構成されている。
【００２１】
また、請求項８記載の基板検査装置は、請求項１記載のプローブユニットと、請求項４記載のプロービング機構とを備え、前記プロービング対象としての検査対象基板を検査可能に構成されている。
【００２２】
また、請求項９記載の基板検査装置は、請求項２記載のプロービング機構と、請求項５記載のプローブユニットとを備え、前記プロービング対象としての検査対象基板を検査可能に構成されている。
【００２３】
また、請求項１０記載の基板検査装置は、請求項３記載のプロービング機構と、請求項６または７記載のプローブユニットとを備え、前記プロービング対象としての検査対象基板を検査可能に構成されている。
【発明の効果】
【００２４】
請求項１記載のプローブユニットでは、プロービング機構の機構側基準面に対して面的に接触させられるユニット側基準面がプロービング機構によるプロービングの向きと交差するように設けられた基部と、軸部および広径部を有してユニット側基準面に立設された固定部材とを備えると共に、広径部をユニット側基準面に接近させて広径部とユニット側基準面との間にプロービング機構の取付け用被挟持部を挟み込むことによってプローブユニットをプロービング機構に取付け可能にユニット側取付部が構成されている。
【００２５】
また、請求項４記載のプロービング機構では、プローブユニットの固定部材における広径部とユニット側基準面との間に挟み込まれる取付け用被挟持部を備えると共に、ユニット側基準面が面的に接触させられる機構側基準面がプロービングの向きと交差するように取付け用被挟持部に設けられて、広径部がユニット側基準面に接近させられて取付け用被挟持部が広径部とユニット側基準面との間に挟み込まれることで機構側取付部にプローブユニットを取付け可能に構成されている。
【００２６】
さらに、請求項８記載の基板検査装置では、請求項１記載のプローブユニットと、請求項４記載のプロービング機構とを備えてプロービング対象としての検査対象基板を検査可能に構成されている。
【００２７】
したがって、請求項１記載のプローブユニット、請求項４記載のプロービング機構、および請求項８記載の基板検査装置によれば、プローブユニットのユニット側基準面が接する機構側基準面に沿ってプローブユニットがプロービング機構に対して回動した状態となっても、プロービング機構に対してプローブユニットが傾いた状態で取り付けられる事態が回避されるため、プロービング機構に対するプローブユニットの取り付けに際して傾きが生じないように慎重に作業を行う必要がなくなる結果、プロービング機構に対してプローブユニットを正確かつ容易に取り付けることができる。また、プロービング機構に対する傾きが生じない状態でプローブユニットが取り付けられることにより、プロービングに際して支持部の弾性変形部が基部に対してプローブ本体を直動または近似直動させることで、プローブ本体の先端部をプロービング対象（検査対象基板）に対して大きく移動させることなくプロービング対象に先端部を接触させた状態を維持できるため、大きな接触痕を形成せずにプロービングを行って検査することができる。
【００２８】
また、請求項２記載のプローブユニットでは、プローブ本体に対して電気的に接続されると共に、プロービング機構の機構側基準面に設けられている機構側接続用電極に接触させられるユニット側接続用電極がユニット側基準面に設けられている。また、請求項５記載のプロービング機構では、プローブユニットのユニット側基準面に設けられてプローブ本体に対して電気的に接続されたユニット側接続用電極に接触させられる機構側接続用電極が機構側基準面に設けられている。さらに、請求項９記載の基板検査装置では、請求項２記載のプロービング機構と、請求項５記載のプローブユニットとを備えてプロービング対象としての検査対象基板を検査可能に構成されている。
【００２９】
したがって、請求項２記載のプローブユニット、請求項５記載のプロービング機構、および請求項９記載の基板検査装置によれば、プロービング機構にプローブユニットを取り付けるだけでユニット側接続用電極および機構側接続用電極を介してプローブ本体がプロービング機構に電気的に接続されるため、信号ケーブル等を配線する作業が不要となる分だけ、プロービング機構に対するプローブユニットの取付け作業を一層容易にすることができる。また、プロービング機構からプローブユニットを取り外すだけでプローブ本体とプロービング機構との電気的な接続が解除されるため、信号ケーブル等を取り外す作業が不要となる分だけ、プロービング機構からのプローブユニットを容易に取り外すことができる。
【００３０】
また、請求項３記載のプローブユニットでは、プロービング機構の機構側基準面に配設された機構側位置決め用ピンを挿入可能なユニット側位置決め用穴、およびプロービング機構の機構側基準面に配設された機構側位置決め用穴に挿入可能なユニット側位置決め用ピンの少なくとも一方がユニット側基準面に配設されている。また、請求項６記載のプロービング機構では、プローブユニットのユニット側基準面に配設されたユニット側位置決め用穴に挿入可能な機構側位置決め用ピン、およびプローブユニットのユニット側基準面に配設されたユニット側位置決め用ピンを穴に挿入可能な機構側位置決め用穴の少なくとも一方が機構側基準面に配設されている。さらに、請求項１０記載の基板検査装置では、請求項３記載のプロービング機構と、請求項６記載のプローブユニットとを備えてプロービング対象としての検査対象基板を検査可能に構成されている。
【００３１】
したがって、請求項３記載のプローブユニット、請求項６記載のプロービング機構、および請求項１０記載の基板検査装置によれば、位置決め用のピンや位置決め用の孔が存在しない構成とは異なり、プローブユニットにおける固定部材の軸部、および軸部が挿通させられる各挿通部の存在と相俟ってプロービング機構に対するプローブユニットの取付け姿勢が一義的に定まる結果、プロービング機構に対してプローブユニットをどのような向きで取り付けるべきかを悩むことなく、これを正確かつ容易に取り付けることができる。また、機構側基準面に沿ったプロービング機構に対するプローブユニットの回動を好適に阻止することができるため、多数回のプロービングを行う際に、プロービング機構に対してプローブユニットが機構側基準面に沿って回動してプローブ本体の先端部が意図しない位置にプロービングされる状態となることを好適に回避することができる。
【００３２】
また、請求項７記載のプロービング機構では、取付け用被挟持部が、機構側基準面が設けられると共に第３挿通部が形成された第１部材と、第１部材に対向配置された第２部材と、付勢部材と、第２部材に固定された機構側位置決め用ピンとを備え、取付け用被挟持部がユニット側基準面と広径部との間に挟み込まれていない状態において機構側位置決め用ピンの先端部が機構側基準面よりも第２部材寄りに位置すると共に、取付け用被挟持部がユニット側基準面と広径部との間に挟み込まれて第２部材が第１部材に接近させられた状態において機構側位置決め用ピンの先端部が第３挿通部における機構側基準面側の口縁部から突出してユニット側位置決め用穴に挿入されるように構成されている。
【００３３】
したがって、請求項７記載のプロービング機構、そのようなプロービング機構に取り付け可能に構成された請求項３記載のプローブユニット、およびそのようなプローブユニットとプロービング機構とを備えて構成された請求項１０記載の基板検査装置によれば、プロービング機構に対するプローブユニットの取付け時、およびプロービング機構からのプローブユニットの取外し時に、機構側位置決め用ピンの先端部が機構側基準面よりも第２部材側（第３挿通部内）に位置した状態となり、これにより、プロービング機構に対するプローブユニットの移動が機構側位置決め用ピンによって妨げられない状態となるため、プロービング機構に対してプローブユニットを一層容易に着脱することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】基板検査装置１におけるプローブユニット２およびプロービング機構３の外観斜視図である。
【図２】プローブユニット２の外観斜視図である。
【図３】プローブユニット２の平面図である。
【図４】プローブユニット２の分解斜視図である。
【図５】プローブユニット２の断面図である。
【図６】プローブユニット２が取り付けられていない状態のプロービング機構３の外観斜視図である。
【図７】プロービング機構３の分解斜視図である。
【図８】プローブユニット２が取り付けられていない状態のプロービング機構３の正面図である。
【図９】プローブユニット２が取り付けられていない状態で昇降プレート４２を下降させた状態のプロービング機構３の正面図である。
【図１０】プローブユニット２が取り付けられていない状態のプロービング機構３の底面図である。
【図１１】プロービング機構３に対してプローブユニット２を取り付ける際の手順について説明するための基板検査装置１の正面図である。
【図１２】プローブユニット２の支持部１２にボルト１４ａを締め込んだ状態の基板検査装置１（プローブユニット２が取り付けられた状態のプロービング機構３）の正面図である。
【図１３】プローブユニット２の支持部１２にボルト１４ａを締め込んだ状態の基板検査装置１（プローブユニット２が取り付けられた状態のプロービング機構３）の側面図である。
【図１４】プロービング機構３によるプロービング時におけるプローブユニット２（プローブピン１１）の動作を正面側から見た概念図である。
【図１５】傾きが生じた状態のプローブユニット２ｘ（プローブピン１１ｘ）のプロービング時における動作を正面側から見た概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
以下、プローブユニット、プロービング機構および基板検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００３６】
図１に示す基板検査装置１は、「基板検査装置」の一例であって、プローブユニット２およびプロービング機構３、並びに図示しない測定装置や制御装置などを備えて検査対象の回路基板（「プロービング対象」の一例：図示せず）を電気的に検査可能に構成されている。
【００３７】
プローブユニット２は、「プローブユニット」の一例であって、図２〜５に示すように、「プローブ本体」の一例であるプローブピン１１と、「支持部」の一例である支持部１２と、プローブピン１１および支持部１２を相互に接続する信号ケーブル１３とを備えてプロービング機構３に取付け可能に構成されている。この場合、プローブピン１１は、先端部１１ａが尖った円柱状に形成され、プロービング機構３によってプローブユニット２が移動させられたときにプロービング対象の回路基板における導体パターンに先端部１１ａがプロービング（接触）させられる。
【００３８】
また、支持部１２は、「基部」の一例である基部１２ａ、および「弾性変形部」の一例である弾性変形部１２ｂと、「固定部材」の一例であるボルト１４ａおよびナット１４ｂとを備え、プローブピン１１を支持可能に構成されると共にプローブユニット２をプロービング機構３に対して取付け可能に構成されている。なお、本例のプローブユニット２では、基部１２ａ、ボルト１４ａおよびナット１４ｂが相俟って「ユニット側取付部」が構成されている。この場合、上記の支持部１２は、接続用基板２１、取付用ブロック２２、プローブ保持具２３および固定用ネジ２４，２５を備えて構成されている。
【００３９】
接続用基板２１は、取付用ブロック２２、およびプローブ保持具２３の固定部３５と相俟って基部１２ａを構成する部材であって、ボルト１４ａをねじ込み可能にナット（インサートナット）１４ｂが固定される（インサート成形時にナット１４ｂが一体化される）と共に、固定用ネジ２５，２５によって取付用ブロック２２の上面に固定されている。この場合、本例のプローブユニット２では、この接続用基板２１の上面に規定された基準面Ｆ２が「ユニット側基準面」に相当する。なお、本例のプローブユニット２（基板検査装置１）では、上記の基準面Ｆ２が、検査対象の回路基板における基板面と平行で、プロービング機構３がプローブユニット２を案内する際のＺ方向（回路基板の基板面に対して垂直な向き）に対して直交するように規定されている。
【００４０】
また、本例のプローブユニット２では、図３に示すように、接続用基板２１の基準面Ｆ２に、電極パターン３１、および「ユニット側位置決め用穴」の一例である位置決め用穴３２，３２が形成されている。なお、本例のプローブユニット２では、電極パターン３１が「ユニット側接続用電極」に相当し、後述するように、接続用基板２１の内層パターン（図示せず）および信号ケーブル１３を介してプローブピン１１に対して電気的に接続されている。
【００４１】
取付用ブロック２２は、接続用基板２１およびプローブ保持具２３を一体化させるための部材であって、正面視（および背面視）逆Ｌ字状に形成されると共に、図４，５に示すように、接続用基板２１に固定されたナット１４ｂのネジ孔Ｈ１４にねじ込んだボルト１４ａの先端部が進入可能に凹部２２ａが上面中央部に設けられている。
【００４２】
プローブ保持具２３は、固定部３５、アーム３６，３７およびヘッド部３８を備えて４節リンク機構が構成されると共に、プローブピン１１を保持可能に構成されて接続用基板２１および取付用ブロック２２に対するプローブピン１１（先端部１１ａ）の近似直動（「プローブ本体の直動または近似的な直動」の一例）を許容するように構成されている。固定部３５は、プローブ保持具２３を取付用ブロック２２に固定するための部位であって、挿通用穴３５ａ，３５ａ（図４参照）を挿通させた固定用ネジ２４，２４をねじ込むことによって取付用ブロック２２に固定されて、前述したように、接続用基板２１および取付用ブロック２２と相まって基部１２ａを構成する。
【００４３】
アーム３６は一端部に形成された円弧切欠き支点３６ａを介して固定部３５に連結されると共に他端部に形成された円弧切欠き支点３６ａを介してヘッド部３８に連結されている。同様にして、アーム３７は一端部に形成された円弧切欠き支点３７ａを介して固定部３５に連結されると共に他端部に形成された円弧切欠き支点３７ａを介してヘッド部３８に連結されている。なお、本例のプローブユニット２では、円弧切欠き支点３６ａ，３６ａが形成されたアーム３６、および円弧切欠き支点３７ａ，３７ａが形成されたアーム３７によって「弾性変形部」に相当する弾性変形部１２ｂが構成されている。
【００４４】
ヘッド部３８は、プローブピン１１を嵌入可能な嵌入用溝３８ａ（図４参照）が形成されると共にアーム３６，３７を介して固定部３５に連結されている。この場合、本例のプローブユニット２では、嵌入用溝３８ａに嵌入された状態のプローブピン１１が、導電性接着剤等によってヘッド部３８に固定されると共に、信号ケーブル１３および接続用基板２１の内層パターンを介して基準面Ｆ２の電極パターン３１に電気的に接続されている。
【００４５】
ボルト１４ａは、前述したようにナット１４ｂと相俟って「固定部材」を構成し、接続用基板２１に固定されたナット１４ｂのネジ孔Ｈ１４に先端部をねじ込まれることで支持部１２に固定されている（「ユニット側基準面に固定部材が立設されている」との構成の一例）。この場合、本例のプローブユニット２では、ボルト１４ａのシャフト部が「軸部」に相当し、かつボルト１４ａの頭部が「広径部」に相当する。なお、上記のような構成に代えて、例えば、接続用基板２１および取付用ブロック２２の間にボルト１４ａの頭部を挟み込み（凹部２２ａ内に頭部を収容し）、接続用基板２１を貫通させたシャフト部の先端部にナット１４ｂを固定することもできる（「ユニット側基準面に固定部材が立設されている」との構成の他の一例：図示せず）。このような構成においては、ナット１４ｂが「広径部」に相当する。
【００４６】
一方、プロービング機構３は、上記のプローブユニット２を取付け可能に構成されると共に、制御装置の制御に従ってプローブユニット２を任意のＸ−Ｙ−Ｚ方向に移動させることによってプローブピン１１の先端部１１ａを検査対象の回路基板における導体パターンにプロービングさせる。この場合、本例のプロービング機構３では、プロービング機構３がプローブユニット２のプローブピン１１を回路基板に対して接触させる向き（図１２，１３における矢印Ａの向き）が「プロービングの向き」に相当し、プロービング機構３がプローブユニット２のプローブピン１１を回路基板から離間させる向き（図１２，１３における矢印Ｂの向き）が「プロービングの向きとは逆向き」に相当する。
【００４７】
このプロービング機構３は、図６〜１０に示すように、基部４１ａ〜４１ｄ、昇降プレート４２、ガイドネジ４３，４３、コイルバネ４４，４４、位置決め用ピン４５，４５および固定用ネジ４６ａ，４６ｂ，４６ｂを備え、これらの構成要素４１ａ〜４１ｄ，４２〜４６ａ，４６ｂ，４６ｂによって「機構側取付部」が構成されている。この場合、本例のプロービング機構３では、基部４１ｂ〜４１ｄ、昇降プレート４２、ガイドネジ４３，４３、コイルバネ４４，４４および位置決め用ピン４５，４５が相俟って「取付け用被挟持部」が構成されている（以下、これらの構成要素を総称して「被挟持部４０」ともいう）。なお、実際のプロービング機構３（基板検査装置１）では、上記の各構成要素（機構側取付部）の他に、基部４１ａを任意のＸ−Ｙ−Ｚ方向に移動させるガイドレールやサーボモータなどを備えているが、「プロービング機構」の構成についての理解を容易とするために、それらについての図示および説明を省略する。
【００４８】
この場合、本例のプロービング機構３では、基部４１ｂ〜４１ｄが相俟って「第１部材」を構成する。この基部４１ｂ〜４１ｄには、図７に示すように、プローブユニット２のボルト１４ａにおけるシャフト部の挿通が可能に「第１挿通部」に相当する切欠き４８がそれぞれ形成されると共に、位置決め用ピン４５，４５を挿通可能に「第３挿通部」に相当する挿通孔４７，４７がそれぞれ形成されている。また、基部４１ｂには、固定用ネジ４６ａを挿通可能な挿通孔４９ａと、ガイドネジ４３，４３をねじ込み可能なねじ孔４９ｂ，４９ｂと、固定用ネジ４６ｂ，４６ｂをねじ込み可能なねじ孔４９ｃ，４９ｃとが形成されている。さらに、基部４１ｃ，４１ｄには、固定用ネジ４６ｂ，４６ｂを挿通可能な挿通孔４９ｄ，４９ｄがそれぞれ形成されている。
【００４９】
なお、本例のプロービング機構３では、基部４１ｃの底面に規定された基準面Ｆ３が「機構側基準面」に相当する。また、本例のプロービング機構３（基板検査装置１）では、上記の基準面Ｆ３が、検査対象の回路基板における基板面と平行で、プロービング機構３がプローブユニット２を案内する際のＺ方向（回路基板に基板面に対して垂直な向き）と直交するように規定されている（「機構側基準面がプロービングの向きと交差するように第１部材に設けられている」との構成の一例）。
【００５０】
さらに、本例のプロービング機構３では、図１０に示すように、プローブユニット２の電極パターン３１に接して電極パターン３１と電気的に接続される電極パターン５１（「機構側接続用電極」の一例）が基部４１ｃ（接続用基板）の基準面Ｆ３に形成されている。
【００５１】
なお、本例のプロービング機構３では、一例として、基部４１ｂに形成された挿通孔４９ａを挿通させた固定用ネジ４６ａを基部４１ａの底面にねじ込むことによって基部４１ｂが基部４１ａに固定されると共に、挿通孔４９ｄ，４９ｄを挿通させた固定用ネジ４６ｂ，４６ｂを基部４１ｂのねじ孔４９ｃ，４９ｃにねじ込むことによって基部４１ｃ，４１ｄが基部４１ｂに固定され、これにより、各基部４１ａ〜４１ｄが一体化されている。このような構成に代えて、例えば、金属材料の切削加工によって基部４１ａ，４１ｂを一体化させたのと同形状の部材を製作し、その部材に基部４１ｃ（接続用基板）および基部４１ｄ（絶縁体）を取り付ける構成を採用することもできる（図示せず）。
【００５２】
昇降プレート４２は、「第２部材」に相当し、図７に示すように、後述するようにプローブユニット２のボルト１４ａにおけるシャフト部の挿通が可能に「第２挿通部」に相当する切欠き４８が形成されると共に、基部４１ｂの上面（「第１部材の機構側基準面とは逆側の面」の一例）に対向配置された状態で基部４１ｂに対して接離可能にガイドネジ４３，４３によって基部４１ｂに取り付けられている。この場合、ガイドネジ４３，４３は、その先端部がねじ孔４９ｂ，４９ｂにねじ込まれて基部４１ｂに固定され、基部４１ｂに対する昇降プレート４２の昇降（上向きおよび下向きへの移動）を案内する。
【００５３】
コイルバネ４４，４４は、「付勢部材」の一例であるコイルバネであって、ガイドネジ４３，４３のシャフト部を挿通させた状態で基部４１ｂおよび昇降プレート４２の間に配設されて基部４１ｂおよび昇降プレート４２を相互に離間する向きに付勢する。位置決め用ピン４５，４５は、「機構側位置決め用ピン」の一例であって、先端部（下端部）が基部４１ｂ〜４１ｄに形成されている挿通孔４７，４７に挿通させられるようにして基端部（上端部）が昇降プレート４２に圧入されて固定されている。
【００５４】
この場合、本例のプロービング機構３では、後述するように、プローブユニット２のボルト１４ａをナット１４ｂのネジ孔Ｈ１４にねじ込むことでボルト１４ａの頭部を接続用基板２１（基準面Ｆ２）に接近させ、これにより、ボルト１４ａの頭部と基準面Ｆ２との間（ボルト１４ａと、接続用基板２１に固定されているナット１４ｂとの間）にプロービング機構３の被挟持部４０を挟み込むことによってプローブユニット２をプロービング機構３に取り付けることができるように構成されている。
【００５５】
また、本例のプロービング機構３では、後述するように、プロービング機構３の被挟持部４０がプローブユニット２の接続用基板２１（基準面Ｆ２）とボルト１４ａの頭部との間に挟み込まれていない状態、すなわち、図８に示すように、コイルバネ４４，４４による付勢力によって昇降プレート４２が基部４１ｂから離間させられている状態において、位置決め用ピン４５，４５の先端部が基準面Ｆ３よりも昇降プレート４２寄りに（基準面Ｆ３よりも上方：挿通孔４７内に）位置するように構成されている。
【００５６】
さらに、本例のプロービング機構３では、被挟持部４０がボルト１４ａの頭部と接続用基板２１（基準面Ｆ２）との間に挟み込まれることで、図９に示すように、昇降プレート４２が基部４１ｂに接近させられた状態（本例では、基部４１ｂに接した状態）において、位置決め用ピン４５，４５の先端部が挿通孔４７における基準面Ｆ３側の口縁部から突出させられてプローブユニット２の位置決め用穴３２，３２に挿入され、これにより、プロービング機構３に対してプローブユニット２が位置決めされるように構成されている。
【００５７】
次に、プロービング機構３に対するプローブユニット２の着脱方法、および基板検査装置１による回路基板の検査方法（プロービング方法）について、添付図面を参照して説明する。
【００５８】
プロービング機構３にプローブユニット２を取り付ける際には、まず、ボルト１４ａの先端部をナット１４ｂに対して軽くねじ込んだ状態とすることにより、基準面Ｆ２からのボルト１４ａの突出長を十分に長くする。具体的には、ナット１４ｂにねじ込まれたボルト１４ａの頭部（頭部の下面）と支持部１２の基準面Ｆ２との間の距離Ｌａ（図５参照）が、コイルバネ４４，４４による付勢力によって基部４１ｂから離間させられている状態における昇降プレート４２の上面と被挟持部４０の基準面Ｆ３との間の距離Ｌｂ（常態における被挟持部４０の厚み：図８参照）よりも長くなるようにナット１４ｂに対するボルト１４ａのねじ込み度合いを調整する。
【００５９】
次いで、図１１に示すように、プローブユニット２におけるボルト１４ａのシャフト部がプロービング機構３における基部４１ｂ〜４１ｄおよび昇降プレート４２の各切欠き４８を挿通させられた状態となるように、プロービング機構３に正面側からプローブユニット２を押し込む（接近させる）。この場合、本例の基板検査装置１では、図８に示すように、コイルバネ４４，４４による付勢力によって昇降プレート４２が基部４１ｂから離間させられている状態において位置決め用ピン４５，４５の先端部が基準面Ｆ３よりも昇降プレート４２寄り（基準面Ｆ３よりも上方：挿通孔４７内）に位置した状態となっている。したがって、位置決め用ピン４５，４５によって阻害されることなく、プロービング機構３に対してプローブユニット２をスムーズに押し込むことが可能となっている。これにより、プローブユニット２における支持部１２の基準面Ｆ２とボルト１４ａの頭部との間にプロービング機構３の被挟持部４０が挿入された状態となる。
【００６０】
続いて、ナット１４ｂに対してボルト１４ａをねじ込むことにより、ボルト１４ａの頭部を基準面Ｆ２（接続用基板２１）に接近させる。この際には、まず、ボルト１４ａのねじ込みによってボルト１４ａの頭部と基準面Ｆ２との間の距離が常態における被挟持部４０の厚みと等しくなったときに、プローブユニット２の基準面Ｆ２（基部１２ａの上面）がプロービング機構３の基準面Ｆ３（被挟持部４０の下面）に接した状態となる。次いで、ボルト１４ａがさらにねじ込まれることにより、昇降プレート４２がコイルバネ４４，４４の付勢力に抗して基部４１ｂに向かって下降する。この際には、昇降プレート４２の下降に伴って、昇降プレート４２に固定されている位置決め用ピン４５，４５が昇降プレート４２と共に下降させられる結果、図９に示すように位置決め用ピン４５，４５の先端部が挿通孔４７，４７における基準面Ｆ３側の口縁部から突出させられて、基準面Ｆ３に接している基準面Ｆ２の位置決め用穴３２，３２に挿入される。
【００６１】
これにより、位置決め用穴３２，３２および位置決め用ピン４５，４５によってプロービング機構３に対するプローブユニット２の基準面Ｆ３に沿ったスライドや回転が規制される。この後、昇降プレート４２の下面が基部４１ｂの上面に接した状態となるまでボルト１４ａをナット１４ｂにねじ込むことにより、図１２，１３に示すように、プローブユニット２の接続用基板２１（基準面Ｆ２）がプロービング機構３における被挟持部４０の基部４１ｃ（基準面Ｆ３）に押し付けられ、かつボルト１４ａの頭部が昇降プレート４２の上面に押し付けられた状態となってプロービング機構３からのプローブユニット２の離脱が規制される。
【００６２】
また、上記したように基準面Ｆ２，Ｆ３が互いに接した状態となることにより、プローブユニット２（接続用基板２１）の電極パターン３１がプロービング機構３（基部４１ｃ）の電極パターン５１に接した状態となり、これにより、電極パターン３１に電気的に接続されているプローブピン１１がプロービング機構３に接続された状態となる。
【００６３】
以上により、プロービング機構３に対するプローブユニット２の取付け作業が完了し、プローブユニット２を介して回路基板を電気的に検査する準備が整う。また、基板検査装置１による回路基板の電気的検査に際しては、プロービング機構３が制御装置の制御に従ってプローブユニット２のプローブピン１１における先端部１１ａを回路基板上の任意の導体パターンにプロービングさせ、その状態において測定装置による測定処理が行われると共に、測定結果と検査用基準値との比較によって回路基板の良否が判定される。
【００６４】
この場合、本例の基板検査装置１では、図１４に示すように、プローブユニット２がプロービング機構３によって矢印Ａの向き（「プロービングの向き」の一例：Ｚ方向）に移動させられてプローブピン１１の先端部１１ａが回路基板（導体パターン）に当接し、その状態からプロービング機構３によって矢印Ａの向きにさらに移動させられたときに、弾性変形部１２ｂ（アーム３６，３７における円弧切欠き支点３６ａ，３６ａ，３７ａ，３７ａの部位）の弾性変形により、同図に破線で示すようにプローブピン１１が基部１２ａに対して矢印Ｂ１の向き（矢印Ａの向きの逆向き）に相対的に移動させられる。
【００６５】
この際に、本例の基板検査装置１では、プロービング機構３の基準面Ｆ３、およびプローブユニット２の基準面Ｆ２がプロービングの向き（矢印Ａの向き）に対して直交するように規定されている。このため、前述したような手順に従ってプロービング機構３にプローブユニット２を取り付ける際に、プローブユニット２が基準面Ｆ２，Ｆ３に沿って僅かに回動した状態でボルト１４ａが締め込まれたとしても、プロービング機構３に対してプローブユニット２が傾いた状態で固定される事態が好適に回避される。
【００６６】
したがって、弾性変形部１２ｂの弾性変形によってプローブピン１１（先端部１１ａ）が同図に一点鎖線で示すように近似直動するようにプローブユニット２が構成されている本例の基板検査装置１では、プロービング機構３が回路基板の基板面に対して垂直な矢印Ａの向きにプローブユニット２（基部１２ａ）を移動させることで、プローブピン１１の先端部１１ａが、プロービング機構３によるプローブユニット２（基部１２ａ）の移動方向（矢印Ａ）の向きと真逆の向き（矢印Ｂ１の向き）に相対的に移動する結果、プローブピン１１の先端部１１ａが基板面（導体パターン）上の１点に接した状態が維持される。これにより、回路基板の基板面（導体パターン）に大きな接触痕（先端部１１ａの引摺り痕）が形成される事態が好適に回避される。
【００６７】
一方、多数回のプロービングによってプローブユニット２が劣化したり、不良の回路基板に対するプロービング等によってプローブユニット２が破損したりしたときには、劣化または破損したプローブユニット２をプロービング機構３から取り外して新しいプローブユニット２を取り付ける（プローブユニット２を交換する）。具体的には、まず、プロービング機構３からプローブユニット２を取り外す際には、ナット１４ｂに対してねじ込まれているボルト１４ａを緩める。
【００６８】
この際には、基準面Ｆ２からのボルト１４ａの突出長（ボルト１４ａの頭部と基準面Ｆ２との間の距離）が徐々に長くなるのに伴い、昇降プレート４２がコイルバネ４４の付勢力によって基部４１ｂから離間させられる。また、ボルト１４ａをさらに緩めることにより、ボルト１４ａの頭部と基準面Ｆ２との間の距離が常態における被挟持部４０の厚み（前述した距離Ｌｂ）よりも長くなったときに、位置決め用ピン４５，４５の先端部が基準面Ｆ３よりも昇降プレート４２寄りの位置（挿通孔４７，４７内）に位置した状態となって位置決め用穴３２，３２に対する位置決め用ピン４５，４５の係合（プロービング機構３に対するプローブユニット２の位置決め）が解除される。また、ボルト１４ａをさらに緩めることにより、プローブユニット２の基準面Ｆ２がプロービング機構３（被挟持部４０）の基準面Ｆ３から離間し、各電極パターン３１と各電極パターン５１との接続が解除される。
【００６９】
次いで、プローブユニット２を持って手前側に移動させる（プロービング機構３から引き抜く）。これにより、プロービング機構３からのプローブユニット２の取り外しが完了する。この後、前述した取付け手順に従って新しいプローブユニット２をプロービング機構３に取り付けることにより、プローブユニット２の交換作業が完了する。
【００７０】
このように、このプローブユニット２では、プロービング機構３の基準面Ｆ３に対して面的に接触させられる基準面Ｆ２がプロービング機構３によるプロービングの向きと交差するように（本例では、直交するように）設けられた基部１２ａと、基準面Ｆ２に立設されたボルト１４ａとを備えると共に、ボルト１４ａの頭部を基準面Ｆ２に接近させて頭部と基準面Ｆ２との間にプロービング機構３の被挟持部４０を挟み込むことによってプローブユニット２をプロービング機構３に取付け可能に「ユニット側取付部」が構成されている。
【００７１】
また、このプロービング機構３では、プローブユニット２におけるボルト１４ａの頭部と基準面Ｆ２との間に挟み込まれる被挟持部４０を備えると共に、基準面Ｆ２が面的に接触させられる基準面Ｆ３がプロービングの向きと交差するように被挟持部４０に設けられて、ボルト１４ａの頭部が基準面Ｆ２に接近させられて被挟持部４０がボルト１４ａの頭部と基準面Ｆ２との間に挟み込まれることで「機構側取付部」にプローブユニット２を取付け可能に構成されている。
【００７２】
さらに、この基板検査装置１では、上記のプローブユニット２およびプロービング機構３を備えてプロービング対象としての検査対象基板を検査可能に構成されている。
【００７３】
したがって、このプローブユニット２、プロービング機構３および基板検査装置１によれば、プローブユニット２の基準面Ｆ２が接する基準面Ｆ３に沿ってプローブユニット２がプロービング機構３に対して回動した状態となっても、プロービング機構３に対してプローブユニット２が傾いた状態で取り付けられる事態が回避されるため、プロービング機構３に対するプローブユニット２の取り付けに際して傾きが生じないように慎重に作業を行う必要がなくなる結果、プロービング機構３に対してプローブユニット２を正確かつ容易に取り付けることができる。また、プロービング機構３に対する傾きが生じない状態でプローブユニット２が取り付けられることにより、プロービングに際して支持部１２の弾性変形部１２ｂが基部１２ａに対してプローブピン１１を近似直動させることで、プローブピン１１の先端部１１ａをプロービング対象（回路基板）に対して大きく移動させることなくプロービング対象に先端部１１ａを接触させた状態を維持できるため、大きな接触痕を形成せずにプロービングを行って検査することができる。
【００７４】
また、このプローブユニット２では、プローブピン１１に対して電気的に接続されると共に、プロービング機構３の基準面Ｆ３に設けられている電極パターン５１に接触させられる電極パターン３１が基準面Ｆ２に設けられている。また、このプロービング機構３では、プローブユニット２の基準面Ｆ２に設けられてプローブピン１１に対して電気的に接続された電極パターン３１に接触させられる電極パターン５１が基準面Ｆ３に設けられている。さらに、この基板検査装置１では、上記のプローブユニット２およびプロービング機構３を備えてプロービング対象としての検査対象基板を検査可能に構成されている。
【００７５】
したがって、このプローブユニット２、プロービング機構３および基板検査装置１によれば、プロービング機構３にプローブユニット２を取り付けるだけで電極パターン３１，５１を介してプローブピン１１がプロービング機構３に電気的に接続されるため、信号ケーブル等を配線する作業が不要となる分だけ、プロービング機構３に対するプローブユニット２の取付け作業を一層容易にすることができる。また、プロービング機構３からプローブユニット２を取り外すだけでプローブピン１１とプロービング機構３との電気的な接続が解除されるため、信号ケーブル等を取り外す作業が不要となる分だけ、プロービング機構３からのプローブユニット２を容易に取り外すことができる。
【００７６】
また、このプローブユニット２では、プロービング機構３の基準面Ｆ３に配設された位置決め用ピン４５，４５を挿入可能な位置決め用穴３２，３２が基準面Ｆ２に配設されている。また、このプロービング機構３では、プローブユニット２の基準面Ｆ２に配設された位置決め用穴３２，３２に挿入可能な位置決め用ピン４５，４５が基準面Ｆ３に配設されている。さらに、この基板検査装置１では、上記のプローブユニット２およびプロービング機構３を備えてプロービング対象としての検査対象基板を検査可能に構成されている。
【００７７】
したがって、このプローブユニット２、プロービング機構３および基板検査装置１によれば、位置決め用のピンや位置決め用の孔が存在しない構成とは異なり、プローブユニット２におけるボルト１４ａのシャフト部、およびシャフト部が挿通させられる各切欠き４８の存在と相俟ってプロービング機構３に対するプローブユニット２の取付け姿勢が一義的に定まる結果、プロービング機構３に対してプローブユニット２をどのような向きで取り付けるべきかを悩むことなく、これを正確かつ容易に取り付けることができる。また、基準面Ｆ３に沿ったプロービング機構３に対するプローブユニット２の回動を好適に阻止することができるため、多数回のプロービングを行う際に、プロービング機構３に対してプローブユニット２が基準面Ｆ３に沿って回動してプローブピン１１の先端部１１ａが意図しない位置にプロービングされる状態となることを好適に回避することができる。
【００７８】
また、このプロービング機構３では、被挟持部４０が、基準面Ｆ３が設けられると共に挿通孔４７，４７が形成された「第１部材（本例では、基部４１ｂ〜４１ｄ）」と、「第１部材」に対向配置された「第２部材（昇降プレート４２）」と、コイルバネ４４，４４と、「第２部材」に固定された位置決め用ピン４５，４５とを備え、被挟持部４０がボルト１４ａの頭部と基準面Ｆ２との間に挟み込まれていない状態において位置決め用ピン４５，４５の先端部が基準面Ｆ３よりも「第２部材」寄りに位置すると共に、被挟持部４０がボルト１４ａの頭部と基準面Ｆ２との間に挟み込まれて「第２部材」が「第１部材」に接近させられた状態において位置決め用ピン４５，４５の先端部が挿通孔４７，４７における基準面Ｆ３側の口縁部から突出して位置決め用穴３２，３２に挿入されるように構成されている。
【００７９】
したがって、このプロービング機構３、そのようなプロービング機構３に取り付け可能に構成されたプローブユニット２、およびそのようなプローブユニット２とプロービング機構３とを備えて構成された基板検査装置１によれば、プロービング機構３に対するプローブユニット２の取付け時、およびプロービング機構３からのプローブユニット２の取外し時に、位置決め用ピン４５，４５の先端部が基準面Ｆ３よりも昇降プレート４２側（挿通孔４７，４７内）に位置した状態となり、これにより、プロービング機構３に対するプローブユニット２の移動が位置決め用ピン４５，４５によって妨げられない状態となるため、プロービング機構３に対してプローブユニット２を一層容易に着脱することができる。
【００８０】
なお、「基板検査装置」（「プローブユニット」および「プロービング機構」）の構成は、上記の基板検査装置１（プローブユニット２およびプロービング機構３）の構成の例に限定されない。例えば、ボルト１４ａおよびナット１４ｂを「固定部材」として備えたプローブユニット２を例に挙げて説明したが、「軸部」に相当する部位および「広径部」に相当する部位を一体形成した「固定部材」を「ユニット側基準面」に立設して「プローブユニット」を構成することもできる（図示せず）。
【００８１】
また、電極パターン３１や電極パターン５１を設けずに、プローブピン１１、またはプローブピン１１に対して電気的に接続されている配線パターン（図示せず）などをプロービング機構３に対して信号ケーブルを介して直接接続する構成を採用することもできる（図示せず）。
【００８２】
さらに、基部４１ｂおよび昇降プレート４２の間に「付勢部材」としてコイルバネ４４（コイルバネ）を配設した構成を例に挙げて説明したが、このような構成に代えて、コイルバネ以外の各種バネ部材（板バネ等）や、シリコンゴム等の各種弾性体を「付勢部材」として配設し、その反発力によって「第１部材」および「第２部材」を相互に離間する向きに付勢する構成を採用することもできる（図示せず）。
【００８３】
また、基部４１ｂ〜４１ｄに対する昇降プレート４２の昇降に伴って位置決め用ピン４５，４５が基部４１ｂ〜４１ｄに対してスライドする構成のプロービング機構３を例に挙げて説明したが、このような構成に代えて、「プローブユニット」の「ユニット側基準面」に設けた「ユニット側位置決め用穴」に挿入可能に「プロービング機構」の「取付け用被挟持部」に「機構側位置決め用ピン」を固定的に配設したり、「プロービング機構」の「取付け用被挟持部」に設けた「機構側位置決め用孔」に挿入可能に「プローブユニット」の「ユニット側基準面」に「ユニット側位置決め用ピン」を固定的に配設したりすることができる（いずれも図示せず）。
【００８４】
さらに、基準面Ｆ２，Ｆ３を「プロービングの向き」と直交するように構成したプローブユニット２およびプロービング機構３を規定した構成を例に挙げて説明したが、「ユニット側基準面」や「機構側基準面」については、直交以外の任意の角度で「プロービングの向き」に対して交差するように規定することができる。また、「プロービング機構」に対する「プローブユニット」の傾きに起因する上記の「接触痕の形成」が、実質的に問題とはならないような用途で使用する場合には、「ユニット側基準面」や「機構側基準面」を「プロービングの向き」と平行に規定することもできる。
【符号の説明】
【００８５】
１  基板検査装置
２  プローブユニット
３  プロービング機構
１１  プローブピン
１１ａ  先端部ａ
１２  支持部
１２ａ  基部
１２ｂ  弾性変形部
１３  信号ケーブル
１４ａ  ボルト
１４ｂ  ナット
２１  接続用基板
２２  取付用ブロック
２３  プローブ保持具
２４，２５  固定用ネジ
３１，５１  電極パターン
３２  位置決め用穴
３５  固定部
３６，３７  アーム
３６ａ，３７ａ  円弧切欠き支点
３８  ヘッド部
４０  被挟持部
４１ａ〜４１ｄ  基部
４２  昇降プレート
４３  ガイドネジ
４４  コイルバネ
４５  位置決め用ピン
４７，４９ａ，４９ｄ  挿通孔
４８  切欠き
４９ｂ，４９ｃ  ねじ孔
Ｆ２，Ｆ３  基準面
Ｈ１４  ネジ孔
Ｌａ，Ｌｂ  距離
θ  角度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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