(57)【要約】【課題】透光性を有する電子部品のクラック、欠け又は疵の有無を安定的に検出可能な外観検査装置を提供する。【解決手段】対向する面Ｐ、Ｑ及び対向する面Ｒ、Ｓを備えた透光性を有する電子部品Ｗの面Ｐを外観検査する外観検査装置１０において、面Ｐを撮像する撮像手段１１と、電子部品Ｗの面Ｑ側に光を照射する第１の照明手段１２と、第１の照明手段１２から面Ｒに向かう光及び第１の照明手段１２から面Ｓに向かう光を遮る第１の遮光領域３１、３２、及び、第１の照明手段１２から面Ｑに向かう光を通過させる第１の非遮光領域３３を有する第１の光路制限手段２４とを備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する面Ｐ、Ｑ及び対向する面Ｒ、Ｓを備えた透光性を有する電子部品の該面Ｐを外観検査する外観検査装置において、
前記面Ｐを撮像する撮像手段と、
前記電子部品の前記面Ｑ側に光を照射する第１の照明手段と、
前記第１の照明手段から前記面Ｒに向かう光及び該第１の照明手段から前記面Ｓに向かう光を遮る第１の遮光領域、及び、前記第１の照明手段から前記面Ｑに向かう光を通過させる第１の非遮光領域を有する第１の光路制限手段とを備えることを特徴とする外観検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の外観検査装置において、前記非遮光領域は、開口部からなることを特徴とする外観検査装置。
【請求項３】
請求項２記載の外観検査装置において、前記開口部はスリットであることを特徴とする外観検査装置。
【請求項４】
請求項１記載の外観検査装置において、前記非遮光領域は、光を透過させる透光部からなることを特徴とする外観検査装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１に記載の外観検査装置において、
前記電子部品の前記面Ｐ側に光を照射する第２の照明手段と、
前記第２の照明手段から前記面Ｒに向かう光及び該第１の照明手段から前記面Ｓに向かう光を遮る第２の遮光領域、及び、前記第２の照明手段から前記面Ｐに向かう光を通過させる第２の非遮光領域を有する第２の光路制限手段と、
光の進行方向を変える光路調整手段とを、更に備え、
前記撮像手段は、前記第１の照明手段が点灯し前記第２の照明手段が消灯した状態で、前記光路調整手段を介して前記面Ｐを撮像し、前記第１の照明手段が消灯し前記第２の照明手段が点灯した状態で、前記光路調整手段を介して前記面Ｑを撮像することを特徴とする外観検査装置。
【請求項６】
対向する面Ｐ、Ｑ及び対向する面Ｒ、Ｓを備えた透光性を有する電子部品の該面Ｐを外観検査する外観検査装置において、
前記面Ｐを撮像する撮像手段と、
前記電子部品の前記面Ｑ側に光を照射する照明手段と、
光の進行方向によって通過させる光を制限して、前記照明手段から前記面Ｒに向かう光及び該照明手段から前記面Ｓに向かう光を遮断あるいは減少させる光透過制限手段とを備えることを特徴とする外観検査装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１に記載の外観検査装置において、前記電子部品を保持する支持手段と、前記支持手段が昇降可能に取り付けられ、上昇位置に配された該支持手段によって保持された前記電子部品を、前記面Ｐの撮像位置の上方に搬送する搬送手段と、前記上昇位置に配された前記支持手段を押し下げて、該支持手段に保持されている前記電子部品を前記撮像位置に配する押下手段とを、更に備えることを特徴とする外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品の外観検査を行う外観検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
表面弾性波（ＳＡＷ）フィルタ、受光素子、コンデンサ、インダクタ、ＣＳＰ（Ｃｈｉｐ  Ｓｉｚｅ  Ｐａｃｋａｇｅ）等の各種電子部品は、出荷前に、外観検査によって、クラック、欠け及び疵の有無が調べられる。クラック、欠け及び疵の有無の検査は、出荷される電子部品の品質向上のため重要である。
特許文献１には、電子部品を撮像して外観検査する装置の具体例が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２５４７２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の装置は、透光性のある電子部品に対し、クラック、欠け及び疵の検出が不安定であるという課題があった。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされるもので、透光性を有する電子部品のクラック、欠け又は疵の有無を安定的に検出可能な外観検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記目的に沿う第１の発明に係る外観検査装置は、対向する面Ｐ、Ｑ及び対向する面Ｒ、Ｓを備えた透光性を有する電子部品の該面Ｐを外観検査する外観検査装置において、前記面Ｐを撮像する撮像手段と、前記電子部品の前記面Ｑ側に光を照射する第１の照明手段と、前記第１の照明手段から前記面Ｒに向かう光及び該第１の照明手段から前記面Ｓに向かう光を遮る第１の遮光領域、及び、前記第１の照明手段から前記面Ｑに向かう光を通過させる第１の非遮光領域を有する第１の光路制限手段とを備える。
【０００６】
第１の発明に係る外観検査装置において、前記非遮光領域は、開口部からなるのが好ましい。
【０００７】
第１の発明に係る外観検査装置において、前記開口部はスリットであるのが好ましい。
【０００８】
第１の発明に係る外観検査装置において、前記非遮光領域は、光を透過させる透光部からなるのが好ましい。
【０００９】
第１の発明に係る外観検査装置において、前記電子部品の前記面Ｐ側に光を照射する第２の照明手段と、前記第２の照明手段から前記面Ｒに向かう光及び該第１の照明手段から前記面Ｓに向かう光を遮る第２の遮光領域、及び、前記第２の照明手段から前記面Ｐに向かう光を通過させる第２の非遮光領域を有する第２の光路制限手段と、光の進行方向を変える光路調整手段とを、更に備え、前記撮像手段は、前記第１の照明手段が点灯し前記第２の照明手段が消灯した状態で、前記光路調整手段を介して前記面Ｐを撮像し、前記第１の照明手段が消灯し前記第２の照明手段が点灯した状態で、前記光路調整手段を介して前記面Ｑを撮像するのが好ましい。
【００１０】
前記目的に沿う第２の発明に係る外観検査装置は、対向する面Ｐ、Ｑ及び対向する面Ｒ、Ｓを備えた透光性を有する電子部品の該面Ｐを外観検査する外観検査装置において、前記面Ｐを撮像する撮像手段と、前記電子部品の前記面Ｑ側に光を照射する照明手段と、光の進行方向によって通過させる光を制限して、前記照明手段から前記面Ｒに向かう光及び該照明手段から前記面Ｓに向かう光を遮断あるいは減少させる光透過制限手段とを備える。
【００１１】
第１、第２の発明に係る外観検査装置において、前記電子部品を保持する支持手段と、前記支持手段が昇降可能に取り付けられ、上昇位置に配された該支持手段によって保持された前記電子部品を、前記面Ｐの撮像位置の上方に搬送する搬送手段と、前記上昇位置に配された前記支持手段を押し下げて、該支持手段に保持されている前記電子部品を前記撮像位置に配する押下手段とを、更に備えるのが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
第１、第２の発明に係る外観検査装置は、照明手段から電子部品の面Ｒ及び面Ｓに向かう光を遮るので、電子部品の面Ｐに形成されたクラック、欠け又は疵が面Ｒ又は面Ｓから電子部品内に進入した光で視認しづらくなるのと回避し、安定的に検出できるようにする。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る外観検査装置の平面図である。
【図２】撮像位置Ｔ１で電子部品の面Ｐ、Ｑが撮像される様子を示す説明図である。
【図３】撮像位置Ｔ１で電子部品の面Ｐ、Ｑが撮像される様子を示す説明図である。
【図４】クラックのある電子部品の説明図である。
【図５】撮像位置Ｔ２で電子部品の面Ｒ、Ｓが撮像される様子を示す説明図である。
【図６】撮像位置Ｔ２で電子部品の面Ｒ、Ｓが撮像される様子を示す説明図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態に係る外観検査装置の説明図である。
【図８】本発明の第３の実施の形態に係る外観検査装置の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。
図１〜図３に示すように、本発明の第１の実施の形態に係る外観検査装置１０は、対向する面Ｐ、Ｑ及び対向する面Ｒ、Ｓを備えた透光性を有する電子部品Ｗの面Ｐを外観検査する装置であって、面Ｐを撮像する撮像手段１１と、電子部品Ｗの面Ｑ側に光を照射する照明手段１２（第１の照明手段）とを備えている。以下、詳細に説明する。
【００１５】
本実施の形態において、外観検査の対象である電子部品Ｗは、図４に示すように、直方体状（平面視して矩形状あるいは正方形状）の表面弾性波フィルタであり、透光性を有する。電子部品Ｗには、４つの側面が存在し、その４つの側面が、それぞれ外観検査の対象となる面Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓである。面Ｐ、Ｑは平行であり、面Ｒ、Ｓも平行である。
【００１６】
外観検査装置１０は、図１、図３、図５に示すように、複数（本実施の形態では、１２個であるがこれに限定されない）の支持手段１３が昇降可能に取り付けられた円形の回転テーブル（搬送手段の一例）１４と、支持手段１３をそれぞれ押し下げる複数の押下手段１５を備えている。
水平配置された回転テーブル１４は、図１に示すように、中心に回転軸１６が連結され、図示しないサーボモータから回転軸１６を介して駆動力を与えられ間欠的に所定角度回転する。本実施の形態において、回転テーブル１４は、一回の回転動作で３０°回転する。
【００１７】
支持手段１３は、回転テーブル１４の外周部に周方向に沿って等間隔に設けられたノズルであり、真空圧によって、図３、図５に示すように、電子部品Ｗの上面を吸着して電子部品Ｗを保持し、真空破壊によって電子部品Ｗを保持した状態を解除する。支持手段１３によって保持された電子部品Ｗは、図１、図２に示すように、面Ｐ、Ｑが回転テーブル１４の径方法外側及び内側にそれぞれ配置され、面Ｓ、Ｒが回転テーブル１４の回転方向の上流側及び下流側にそれぞれ配置される。
【００１８】
支持手段１３は、回転テーブル１４の間欠的な回転によって、回転テーブル１４の周方向に沿った移動と一次停止を繰り返す。支持手段１３によって保持された電子部品Ｗは、図１に示すように、回転テーブル１４の回転によって、電子部品Ｗの撮像がなされる撮像位置Ｔ１、Ｔ２の上方に順次搬送され、一次停止する。
【００１９】
押下手段１５は、図１、図３、図５に示すように、支持手段１３が一次停止する位置の回転テーブル１４の上方に設けられ、図示しないサーボモータの駆動力を利用して支持手段１３に下向きの力を作用させる。
支持手段１３は、図示しない弾性体によって上方に付勢された状態で、回転テーブル１４に取り付けられている。そのため、支持手段１３は、押下手段１５から下向きの力を与えられていない状態で、最上位置（上昇位置の一例）に配され、押下手段１５から下向きの力を与えられることによって、所定の高さ位置まで押し下げられる。
【００２０】
電子部品Ｗは、支持手段１３が最上位置に配された状態で、回転テーブル１４の回転によって撮像位置Ｔ１の上方に搬送され、撮像位置Ｔ１の上方に設けられた押下手段１５の作動によって、支持手段１３と共に降下して撮像位置Ｔ１に配される。支持手段１３は、支持している電子部品Ｗの支持手段１３に対する配置を変えることなく、電子部品Ｗを撮像位置Ｔ１に配置する。
この撮像位置Ｔ１における電子部品Ｗの動きは、撮像位置Ｔ２においても同じであり、本実施の形態では、撮像位置Ｔ１、Ｔ２に電子部品Ｗが同じタイミングで配される。撮像位置Ｔ１は電子部品Ｗの面Ｐ、Ｑが撮像される位置であり、撮像位置Ｔ２は電子部品Ｗの面Ｒ、Ｓが撮像される位置である。
【００２１】
外観検査装置１０は、図１〜図３、図５、図６に示すように、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｐ、Ｑを撮像する撮像手段１１、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｐ側及び面Ｑ側にそれぞれ光を照射する照明手段１７（第２の照明手段）及び照明手段１２、撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗの面Ｒ、Ｓを撮像する撮像手段１８、撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗの面Ｒ側及び面Ｓ側に向かってそれぞれ光を照射する照明手段１９、２０を備えている。
【００２２】
撮像手段１１、１８は、図１に示すように、平面視して、回転テーブル１４の外側に設けられ、撮像方向が、回転テーブル１４の内側中心に向けられている。
外観検査装置１０は、更に、光の進行方向を変える光路調整手段２１、２２及び通過する光を制限する光路制限手段２３、２４（第２、第１の光路制限手段）、２５、２６を具備している。光路調整手段２１及び光路制限手段２３、２４は、撮像位置Ｔ１の近傍に配され、光路調整手段２２及び光路制限手段２５、２６は、撮像位置Ｔ２の近傍に配されている。
【００２３】
光路調整手段２１は、図２、図３に示すように、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｐからの光を複数回反射して下向きに進行させるプリズムブロック２７、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｑからの光を複数回反射して下向きに進行させるプリズムブロック２８、及び、プリズムブロック２７、２８から下向きに進む光が進入するプリズム２９を備えている。プリズム２９内に進入した光は、反射によって進路が水平方向に変えられて撮像手段１１に向かう。従って、光路調整手段２１は、光の進行方向を変えて、撮像手段１１に面Ｐ、Ｑを撮像させることができる。
【００２４】
プリズムブロック２７は、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗと同じ高さに、同電子部品Ｗの面Ｐからの光が進入する側壁部２７ａを有している。プリズムブロック２８も、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗと同じ高さに、同電子部品Ｗの面Ｑからの光が進入する側壁部２８ａを有している。側壁部２７ａと側壁部２８ａは、図２、図３に示すように、平行である。
撮像位置Ｔ１において、電子部品Ｗは、側壁部２７ａ、２８ａの間に配された状態で面Ｐ、Ｑが撮像される。
【００２５】
撮像位置Ｔ１において、電子部品Ｗの面Ｐ、Ｑは、側壁部２７ａ、２８ａに対向して配置される。
本実施の形態において、撮像手段１１がプリズム２９及びプリズムブロック２７を介し、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｐを側壁部２７ａから撮像する撮像方向は、電子部品Ｗの面Ｐに対し垂直であり、撮像手段１１がプリズム２９及びプリズムブロック２８を介し、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｑを側壁部２８ａから撮像する撮像方向は、電子部品Ｗの面Ｑに対し垂直である。
【００２６】
このため、撮像手段１１は、図２に示すように、電子部品Ｗの面Ｐを正面視した画像３０ｐ及び電子部品Ｗの面Ｑを正面視した画像３０ｑを撮像することとなる。
撮像手段１１は、照明手段１２が点灯し、照明手段１７が消灯した状態で、光路調整手段２１を介して、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｐを撮像し、照明手段１７が点灯し、照明手段１２が消灯した状態で、光路調整手段２１を介して、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｑを撮像する。
【００２７】
照明手段１２、１７は、図２、図３に示すように、撮影位置Ｔ１に配された電子部品Ｗと同じ高さに配されている。照明手段１２において、光を照射する照射部１２ａは、電子部品Ｗの面Ｑに対して平行に配され、照明手段１７において、光を照射する照射部１７ａは、電子部品Ｗの面Ｐに対して平行に配される。照射部１２ａ、１７ａは、図２に示すように、平面視して、電子部品Ｗの面Ｑ、Ｐよりそれぞれ長く、各中心が、面Ｑ、Ｐの中心に対向してそれぞれ配置されている。
【００２８】
照明手段１２は、図２、図３に示すように、電子部品Ｗの面Ｐを撮像する際に面Ｐの撮像方向とは逆の方向から（面Ｑ側に）プリズムブロック２８越しに電子部品Ｗに向かって光を照射し、照明手段１７は、電子部品Ｗの面Ｑを撮像する際に面Ｑの撮像方向とは逆の方向から（面Ｐ側に）プリズムブロック２７越しに電子部品Ｗに向かって光を照射する。
照射部１２ａは、図２に示すように、平面視して電子部品Ｗの面Ｑより長いため、照射部１２ａからは、電子部品Ｗの面Ｑに向かって進む光Ｌ１に加え、面Ｒ、Ｓに向かって進む光Ｌ１’が照射される。照射部１７ａは、平面視して電子部品Ｗの面Ｐより長いため、照射部１７ａからは、電子部品Ｗの面Ｐに向かって進む光Ｌ２に加え、面Ｒ、Ｓに向かって進む光Ｌ２’が照射される。
【００２９】
照射部１２ａと電子部品Ｗの面Ｑの間には、照射部１２ａに平行に配された板状の光路制限手段２４が設けられ、照射部１７ａと電子部品Ｗの面Ｐの間には、照射部１７ａに平行に配された板状の光路制限手段２３が設けられている。
光路制限手段２４は、左右方向の長さが照射部１２ａの左右方向の長さ以上であり、左右にそれぞれ設けられた光を通さない非透光材からなる遮光領域３１、３２及び遮光領域３１、３２の間に形成された開口部からなる非遮光領域３３を有している。本実施の形態では、遮光領域３１、３２が第１の遮光領域であり、非遮光領域３３が第１の非遮光領域である。
【００３０】
遮光領域３１、３２は、照射部１２ａから照射される光のうち、照射部１２ａから電子部品Ｗの面Ｓに向かう光Ｌ１’及び照射部１２ａから電子部品Ｗの面Ｒに向かう光Ｌ１’をそれぞれ遮る。従って、遮光領域３１、３２が無い場合に比べ、照射部１２ａから照射され電子部品Ｗに到達する光Ｌ１’の量を低減させることができる。
なお、本実施の形態では、遮光領域３１、３２が照射部１２ａから電子部品Ｗの面Ｑに向かう光Ｌ１の一部も遮る。
【００３１】
非遮光領域３３は、左右方向の長さが、電子部品Ｗの面Ｑの左右方向の長さより短い。非遮光領域３３は、平面視して、電子部品Ｗの面Ｑの中心に対向配置され、照射部１２ａから照射されて電子部品Ｗの面Ｑに向かう光Ｌ１を通過させることができる。
そのため、電子部品Ｗの面Ｐを撮像する際、照射部１２ａから照射された光が面Ｒ、Ｓを通過して電子部品Ｗ内に進入するのを抑制することができる。
【００３２】
ここで、実験的検証によって、電子部品Ｗ内に、面Ｒ、Ｓを通過した光の進入を抑制させ、面Ｑを通過した光を進入させた場合、電子部品Ｗにおいて面Ｐから内側に向かって形成された図４に示すクラックＣを、クラックの無い領域に比べ、画像３０ｐ内で安定的に暗くできることが確認されている。そのため、画面３０ｐにおいて、暗い領域を探索することで、面Ｐに形成されたクラックを確実に検出することができる。
一方、電子部品Ｗ内への面Ｒ、Ｓを通過した光の進入を抑制しない場合、クラックＣは、画像３０ｐにおいて、クラックの無い領域と同レベルの明度で表示され、クラックＣの検出精度が低下することが確認されている。
【００３３】
光路制限手段２３は、左右方向の長さが、照射部１７ａの左右方向の長さ以上であり、左右にそれぞれ設けられた光を通さない非透光材からなる遮光領域３５、３６及び遮光領域３５、３６の間に形成された開口部からなる非遮光領域３７を有している。本実施の形態においては、遮光領域３５、３６が第２の遮光領域であり、非遮光領域３７が第２の非遮光領域である。
【００３４】
遮光領域３５、３６は、照射部１７ａから照射される光のうち、照射部１７ａから電子部品Ｗの面Ｒに向かう光Ｌ２’及び照射部１７ａから電子部品Ｗの面Ｓに向かう光Ｌ２’をそれぞれ遮る。従って、照射部１７ａから照射され電子部品Ｗに到達する光Ｌ２’の量を低減させることができる。
なお、本実施の形態では、遮光領域３５、３６が照射部１７ａから電子部品Ｗの面Ｐに向かう光Ｌ２の一部も遮る。
【００３５】
非遮光領域３７は、左右方向の長さが、電子部品Ｗの面Ｐの左右方向の長さより短い。非遮光領域３７は、平面視して、電子部品Ｗの面Ｐの中心に対向配置され、照射部１７ａから照射されて電子部品Ｗの面Ｐに向かう光Ｌ２を通過させることができる。
そのため、電子部品Ｗの面Ｑを撮像する際、照射部１７ａから照射された光が面Ｒ、Ｓを通過して電子部品Ｗ内に進入するのを抑制することができ、面Ｑから電子部品Ｗの内側に向かって形成されたクラックを安定的に検出可能である。
そして、撮像位置Ｔ１で面Ｐ、Ｑの撮像が完了した電子部品Ｗは、最上位置に配された後、回転テーブル１４の回転によって撮像位置Ｔ２の上方に搬送され、撮像位置Ｔ２の上方に設けられた押下手段１５の作動によって、撮像位置Ｔ２に配される。
【００３６】
なお、撮像手段１１の撮像方向が電子部品Ｗの面Ｐ、Ｑに対して垂直である必要はなく、撮像手段１１の撮像方向が電子部品Ｗの面Ｐ、Ｑに対し非垂直であってもよい。
外観検査装置１０においては、回転テーブル１４の径方向に沿って、撮像手段１１、光調整手段２１、照明手段１２、１７及び光路制限手段２３、２４が配置されていたのに対し、図７に示す本発明の第２の実施の形態に係る外観検査装置においては、撮像手段１１、光調整手段２１、照明手段１２、１７及び光路制限手段２３、２４が、回転テーブル１４の径方向に対して傾いた方向に沿って配置されている。
【００３７】
このため、図７に示す第２の実施の形態では、撮像手段１１の撮像方向が、撮像位置Ｔ１’に配された電子部品Ｗの面Ｐ、Ｑに対し非垂直であり、撮像手段１１は、電子部品Ｗの面Ｐ、Ｓを撮像した画像３０ｔ及び電子部品Ｗの面Ｑ、Ｒを撮像した画像３０ｕを得ることとなる。
電子部品Ｗは、照明手段１２から照射された光が、光路制限手段２４の遮光領域３１、３２によって、面Ｓ、Ｒから電子部品Ｗ内に進入するのを抑制された状態で面Ｐが撮像され、照明手段１７から照射された光が、光路制限手段２３の遮光領域３５、３６によって、面Ｒ、Ｓから電子部品Ｗ内に進入するのを抑制した状態で面Ｑが撮像される。
【００３８】
また、外観検査装置１０において、撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗに対応する光路調整手段２２は、図５、図６に示すように、撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗの面Ｓからの光を反射によって下向きに進行させるプリズムブロック３８、同電子部品Ｗの面Ｒからの光を反射によって下向きに進行させるプリズムブロック３９、及び、プリズムブロック３８、３９から下向きに進む光が進入するプリズム４０を備えている。プリズム４０内に進入した光は、反射によって進路が水平方向に変えられ、撮像手段１８に向かう。従って、光路調整手段２２は、光の進行方向を変えて、撮像手段１８に電子部品Ｗの面Ｒ、Ｓを撮像させることができる。
【００３９】
撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗの面Ｓ、プリズムブロック３８、照明手段２０及び光路制限手段２６の関係は、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｐ、プリズムブロック２７、照明手段１７及び光路制限手段２３の関係と同様であり、撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗの面Ｒ、プリズムブロック３９、照明手段１９及び光路制限手段２５の関係は、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｑ、プリズムブロック２８、照明手段１２及び光路制限手段２４の関係と同様である。
【００４０】
一方、光路調整手段２１のプリズムブロック２７、２８が、図１、図２に示すように、回転テーブル１４の径方向に沿って配されているのに対し、光路調整手段２２のプリズムブロック３８、３９は、図１、図６に示すように、回転テーブル１４の周方向に沿って配されている点で異なり、図３、図５に示すように、プリズムブロック２７、２８に対するプリズム２９の光を反射する方向と、プリズムブロック３８、３９に対するプリズム４０の光を反射する方向は相異する。
プリズムブロック３８は、図５、図６に示すように、撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗの高さ位置に、同電子部品Ｗの面Ｓからの光が進入する側壁部３８ａを備え、プリズムブロック３９は、同電子部品Ｗの高さ位置に、同電子部品Ｗの面Ｒからの光が進入する側壁部３９ａを備えている。
【００４１】
電子部品Ｗは、撮像位置Ｔ２の上方に搬送された後、押下手段１５によって支持手段１３と共に降下して撮像位置Ｔ２に配されるため、プリズムブロック３８、３９に接触することなく、撮像位置Ｔ２に配される。
プリズムブロック３８及びプリズム４０は、撮像手段１８が、撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗの面Ｓを正面から撮像するように光路を調整し、プリズムブロック３９及びプリズム４０は、撮像手段１８が、撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗの面Ｒを正面から撮像するように光路を調整する。従って、撮像手段１８は、図６に示すように、電子部品Ｗの面Ｒ、Ｓをそれぞれ正面視した画像３０ｒ、３０ｓを撮像することができる。
【００４２】
照明手段１９、２０は、図５に示すように、撮影位置Ｔ２に配された電子部品Ｗと同じ高さに光を照射する照射部１９ａ、２０ａをそれぞれ備えている。照射部１９ａは、図５、図６に示すように、撮影位置Ｔ２に配された電子部品Ｗの面Ｒに対して平行に配され、照射部２０ａは、同電子部品Ｗの面Ｓに対して平行に配される。照射部１９ａ、２０ａは、図６に示すように、平面視して、電子部品Ｗの面Ｒ、Ｓよりそれぞれ長く、各中心が、面Ｒ、Ｓの中心に対向してそれぞれ配置されている。
【００４３】
照明手段１９は、図５、図６に示すように、電子部品Ｗの面Ｓを撮像する際に面Ｓの撮像方向とは逆の方向から（面Ｒ側に）プリズムブロック３９越しに電子部品Ｗに向かって光を照射し、照明手段２０は、電子部品Ｗの面Ｒを撮像する際に面Ｒの撮像方向とは逆の方向から（面Ｓ側に）プリズムブロック３８越しに電子部品Ｗに向かって光を照射する。
照射部１９ａは、図６に示すように、平面視して電子部品Ｗの面Ｒより長いため、照射部１９ａからは、電子部品Ｗの面Ｒに向かって進む光Ｌ３に加え、面Ｐ、Ｑに向かって進む光Ｌ３’が照射される。照射部２０ａは、平面視して電子部品Ｗの面Ｓより長いため、照射部２０ａからは、電子部品Ｗの面Ｓに向かって進む光Ｌ４に加え、面Ｐ、Ｑに向かって進む光Ｌ４’が照射される。
【００４４】
照射部１９ａと電子部品Ｗの面Ｒの間には、照射部１９ａに平行に配された板状の光路制限手段２５が設けられ、照射部２０ａと電子部品Ｗの面Ｓの間には、照射部２０ａに平行に配された板状の光路制限手段２６が設けられている。
光路制限手段２５は、左右方向の長さが、照射部１９ａの左右方向の長さ以上であり、左右にそれぞれ設けられた光を通さない非透光材からなる遮光領域４１、４２及び遮光領域４１、４２の間に形成された開口部からなる非遮光領域４３を有している。
【００４５】
遮光領域４１、４２は、照射部１９ａから照射される光のうち、照射部１９ａから電子部品Ｗの面Ｑに向かう光Ｌ３’及び照射部１９ａから電子部品Ｗの面Ｐに向かう光Ｌ３’をそれぞれ遮る。
非遮光領域４３は、左右方向の長さが、電子部品Ｗの面Ｒの左右方向の長さより短い。非遮光領域４３は、平面視して、電子部品Ｗの面Ｒの中心に対向配置され、照射部１９ａから照射されて電子部品Ｗの面Ｒに向かう光Ｌ３を通過させることができる。
そのため、電子部品Ｗの面Ｓを撮像する際、照射部１９ａから照射された光が面Ｐ、Ｑを通過して電子部品Ｗ内に進入するのを抑制でき、面Ｓに形成されたクラックを安定的に検出可能である。
【００４６】
光路制限手段２６は、左右方向の長さが、照射部２０ａの左右方向の長さ以上であり、左右にそれぞれ設けられた光を通さない非透光材からなる遮光領域４５、４６及び遮光領域４５、４６の間に形成された開口部からなる非遮光領域４７を有している。
遮光領域４５、４６は、照射部２０ａから照射される光のうち、照射部２０ａから電子部品Ｗの面Ｐに向かう光Ｌ４’及び照射部２０ａから電子部品Ｗの面Ｑに向かう光Ｌ４’をそれぞれ遮る。
【００４７】
非遮光領域４７は、左右方向の長さが、電子部品Ｗの面Ｓの左右方向の長さより短い。非遮光領域４７は、平面視して、電子部品Ｗの面Ｓの中心に対向配置され、照射部２０ａから照射されて電子部品Ｗの面Ｓに向かう光Ｌ４を通過させることができる。
そのため、電子部品Ｗの面Ｒを撮像する際、照射部２０ａから照射された光が面Ｐ、Ｑを通過して電子部品Ｗ内に進入するのを抑制でき、面Ｒに形成されたクラックを安定的に検出可能である。
【００４８】
本実施の形態において、非遮光領域３３、３７、４３、４７は、縦に長いスリットであるが、これに限定されず、縦横の長さが同じ開口部、あるいは、横に長い開口部であってもよい。更に、光路制限手段２３、２４、２５、２６の代わりに、光が透過可能な素材（例えば、透光性のある樹脂）で形成された透光部からなる非遮光領域を具備した光路制限手段を採用してもよい。
【００４９】
撮像位置Ｔ２で面Ｒ、Ｓの撮像が完了した電子部品Ｗは、最上位置に配された後、回転テーブル１４の回転によって下流側に搬送される。
撮像手段１１、１８によって撮像された画像３０ｐ、３０ｑ、３０ｒ、３０ｓは、図示しない情報処理機による面Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓに対するクラック等の有無の判定に用いられる。
外観検査装置１０には、図１に示すように、回転テーブル１４の回転方向に沿って撮像位置Ｔ２の下流側に、面Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓにクラック等が発見されなかった電子部品Ｗをテーピングに収容するテーピングユニット４８、及び、面Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓにクラック等が発見された電子部品Ｗを不良品として排出するソータ４９が設けられている。
【００５０】
次に、光路制限手段２３、２４、２５、２６の代わりに、光の進行方向によって通過させる光を制限する図８に示す光透過制限手段５１、５２を利用した本発明の第３の実施の形態に係る外観検査装置について説明する。なお、外観検査装置１０と同様の構成については、同じ符号を付して詳細な説明を省略する。
光透過制限手段５１は、図８に示すように、照射部１２ａと側壁部２８ａの間に配置され、照射部１２ａから撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｑに垂直な方向（実質的に垂直な方向）に進む光Ｌ５を通過させ、照明部１２ａから面Ｒに向かう光及び面Ｓに向かう光を遮断（あるいは減少）させる。このため、照射部１２ａから照射され電子部品Ｗの面Ｒ、Ｓを通過して電子部品Ｗ内に進入する光は実質的に存在しなくなり（あるいは減少し）、電子部品Ｗの面Ｐに形成されたクラックを安定的に検出できる。
【００５１】
光透過制限手段５２は、照射部１７ａと側壁部２７ａの間に配置され、照射部１７ａから撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｐに垂直な方向（実質的に垂直な方向）に進む光Ｌ６を通過させ、照明部１７ａから面Ｒに向かう光及び面Ｓに向かう光を遮断（あるいは減少）させる。このため、照射部１７ａから照射され電子部品Ｗの面Ｒ、Ｓを通過して電子部品Ｗ内に進入する光は実質的に存在しなくなり（あるいは減少し）、電子部品Ｗの面Ｑに形成されたクラックを安定的に検出可能である。
【００５２】
光透過制限手段５１、５２は、マイクロルーバを用いて形成することができる。なお、本実施の形態では、光透過制限手段５１、５２がそれぞれ、照明手段１２、１７から離れた位置に設けられているが、照明手段１２、１７に密着していてもよい。
そして、撮像位置Ｔ２の近傍にも、光透過制限手段５１、５２と同構造の光透過制限手段が、照射部１９ａと側壁部３９ａの間及び照射部２０ａと側壁部３８ａの間に設けられている。従って、撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗについては、照射部１９ａ、２０ａから照射され面Ｐ、Ｑを通過して電子部品Ｗ内に進入する光が実質的に存在しない状態で面Ｒ、Ｓの撮像が行われる。
【００５３】
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明は、上記した形態に限定されるものでなく、要旨を逸脱しない条件の変更等は全て本発明の適用範囲である。
例えば、外観検査の対象である電子部品は、透光性を有すればよく、表面弾性波フィルタに限定されず、電子部品の形状は、平面して四角形に限定されない。
また、外観検査装置は、回転テーブルを備えている必要はなく、回転テーブルを備えている場合も、回転テーブルの回転軸は鉛直に配されている必要はなく、例えば、水平に配されていてもよい。
【００５４】
そして、電子部品は、面Ｐ、Ｑ（面Ｒ、Ｓについても同じ）がそれぞれ異なる位置で撮像されてもよい。更に、面Ｐ、Ｑ（面Ｒ、Ｓについても同じ）の撮像を、異なる撮像手段によって行ってもよい。また、電子部品の撮像対象面は、面Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓ全てである必要はなく、例えば、面Ｐのみであってもよい。
また、光路制限手段は板状である必要は無い。
【符号の説明】
【００５５】
１０：外観検査装置、１１：撮像手段、１２：照明手段、１２ａ：照射部、１３：支持手段、１４：回転テーブル、１５：押下手段、１６：回転軸、１７：照明手段、１７ａ：照射部、１８：撮像手段、１９：照明手段、１９ａ：照射部、２０：照明手段、２０ａ：照射部、２１、２２：光路調整手段、２３、２４、２５、２６：光路制限手段、２７：プリズムブロック、２７ａ：側壁部、２８：プリズムブロック、２８ａ：側壁部、２９：プリズム、３０ｐ、３０ｑ、３０ｒ、３０ｓ、３０ｔ、３０ｕ：画像、３１、３２：遮光領域、３３：非遮光領域、３５、３６：遮光領域、３７：非遮光領域、３８：プリズムブロック、３８ａ：側壁部、３９：プリズムブロック、３９ａ：側壁部、４０：プリズム、４１、４２：遮光領域、４３：非遮光領域、４５、４６：遮光領域、４７：非遮光領域、４８：テーピングユニット、４９：ソータ、５１、５２：光透過制限手段、Ｗ：電子部品、Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓ：面、Ｔ１、Ｔ１’、Ｔ２：撮像位置、Ｌ１、Ｌ１’、Ｌ２、Ｌ２’、Ｌ３、Ｌ３’、Ｌ４、Ｌ４’、Ｌ５、Ｌ６：光、Ｃ：クラック
【図１】
2017106824.tif 000003
【図２】
2017106824.tif 000004
【図３】
2017106824.tif 000005
【図４】
2017106824.tif 000006
【図５】
2017106824.tif 000007
【図６】
2017106824.tif 000008
【図７】
2017106824.tif 000009
【図８】
2017106824.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】平成28年9月14日(2016.9.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する面Ｐ、Ｑ及び対向する面Ｒ、Ｓを備えた透光性を有する電子部品の該面Ｐを外観検査する外観検査装置において、
前記面Ｐを撮像する撮像手段と、
前記電子部品の前記面Ｑ側に光を照射する第１の照明手段と、
前記第１の照明手段と前記面Ｑの間に設けられ、前記第１の照明手段から前記面Ｒに向かう光及び該第１の照明手段から前記面Ｓに向かう光を遮る第１の遮光領域、及び、前記第１の照明手段から前記面Ｑに向かう光を通過させる第１の非遮光領域を有する第１の光路制限手段とを備え、
前記面Ｐ、Ｒ、Ｑ、Ｓは連続して設けられ、該面Ｑの該面Ｒ側から該Ｓ側向きの方向をＸ方向として、前記第１の光路制限手段の該Ｘ方向長さは、該面Ｑの該Ｘ方向長さ及び前記第１の照明手段の光を照射する照射部の該Ｘ方向長さ以上であり、前記第１の非遮光領域は、該面Ｑの該Ｘ方向長さの中心に対向して配置され、該第１の非遮光領域の該Ｘ方向長さは、該面Ｑの該Ｘ方向長さより短いことを特徴とする外観検査装置。
【請求項２】
対向する面Ｐ、Ｑ及び対向する面Ｒ、Ｓを備えた透光性を有する電子部品の該面Ｐを外観検査する外観検査装置において、
前記面Ｐを撮像する撮像手段と、
前記電子部品の前記面Ｑ側に光を照射する第１の照明手段と、
前記第１の照明手段と前記面Ｑの間に設けられ、前記第１の照明手段から前記面Ｒに向かう光及び該第１の照明手段から前記面Ｓに向かう光を遮る第１の遮光領域、及び、前記第１の照明手段から前記面Ｑに向かう光を通過させる第１の非遮光領域を有する第１の光路制限手段とを備え、
前記面Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓはそれぞれ、前記電子部品の側面であって、前記第１の光路制限手段の左右方向長さは、前記面Ｑの左右方向長さ及び前記第１の照明手段の光を照射する照射部の左右方向長さ以上であり、前記第１の非遮光領域は、該面Ｑの左右方向中心に対向して配置され、該第１の非遮光領域の左右方向長さは、該面Ｑの左右方向長さより短いことを特徴とする外観検査装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載の外観検査装置において、前記非遮光領域は、開口部からなることを特徴とする外観検査装置。
【請求項４】
請求項３記載の外観検査装置において、前記開口部はスリットであることを特徴とする外観検査装置。
【請求項５】
請求項１又は２記載の外観検査装置において、前記非遮光領域は、光を透過させる透光部からなることを特徴とする外観検査装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１に記載の外観検査装置において、
前記電子部品の前記面Ｐ側に光を照射する第２の照明手段と、
前記第２の照明手段から前記面Ｒに向かう光及び該第２の照明手段から前記面Ｓに向かう光を遮る第２の遮光領域、及び、前記第２の照明手段から前記面Ｐに向かう光を通過させる第２の非遮光領域を有する第２の光路制限手段と、
光の進行方向を変える光路調整手段とを、更に備え、
前記撮像手段は、前記第１の照明手段が点灯し前記第２の照明手段が消灯した状態で、前記光路調整手段を介して前記面Ｐを撮像し、前記第１の照明手段が消灯し前記第２の照明手段が点灯した状態で、前記光路調整手段を介して前記面Ｑを撮像することを特徴とする外観検査装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１に記載の外観検査装置において、前記電子部品を保持する支持手段と、前記支持手段が昇降可能に取り付けられ、上昇位置に配された該支持手段によって保持された前記電子部品を、前記面Ｐの撮像位置の上方に搬送する搬送手段と、前記上昇位置に配された前記支持手段を押し下げて、該支持手段に保持されている前記電子部品を前記撮像位置に配する押下手段とを、更に備えることを特徴とする外観検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品の外観検査を行う外観検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
表面弾性波（ＳＡＷ）フィルタ、受光素子、コンデンサ、インダクタ、ＣＳＰ（Ｃｈｉｐ  Ｓｉｚｅ  Ｐａｃｋａｇｅ）等の各種電子部品は、出荷前に、外観検査によって、クラック、欠け及び疵の有無が調べられる。クラック、欠け及び疵の有無の検査は、出荷される電子部品の品質向上のため重要である。
特許文献１には、電子部品を撮像して外観検査する装置の具体例が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２５４７２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の装置は、透光性のある電子部品に対し、クラック、欠け及び疵の検出が不安定であるという課題があった。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされるもので、透光性を有する電子部品のクラック、欠け又は疵の有無を安定的に検出可能な外観検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記目的に沿う第１の発明に係る外観検査装置は、対向する面Ｐ、Ｑ及び対向する面Ｒ、Ｓを備えた透光性を有する電子部品の該面Ｐを外観検査する外観検査装置において、前記面Ｐを撮像する撮像手段と、前記電子部品の前記面Ｑ側に光を照射する第１の照明手段と、前記第１の照明手段と前記面Ｑの間に設けられ、前記第１の照明手段から前記面Ｒに向かう光及び該第１の照明手段から前記面Ｓに向かう光を遮る第１の遮光領域、及び、前記第１の照明手段から前記面Ｑに向かう光を通過させる第１の非遮光領域を有する第１の光路制限手段とを備え、前記面Ｐ、Ｒ、Ｑ、Ｓは連続して設けられ、該面Ｑの該面Ｒ側から該Ｓ側向きの方向をＸ方向として、前記第１の光路制限手段の該Ｘ方向長さは、該面Ｑの該Ｘ方向長さ及び前記第１の照明手段の光を照射する照射部の該Ｘ方向長さ以上であり、前記第１の非遮光領域は、該面Ｑの該Ｘ方向長さの中心に対向して配置され、該第１の非遮光領域の該Ｘ方向長さは、該面Ｑの該Ｘ方向長さより短い。
【０００６】
前記目的に沿う第２の発明に係る外観検査装置は、対向する面Ｐ、Ｑ及び対向する面Ｒ、Ｓを備えた透光性を有する電子部品の該面Ｐを外観検査する外観検査装置において、前記面Ｐを撮像する撮像手段と、前記電子部品の前記面Ｑ側に光を照射する第１の照明手段と、前記第１の照明手段と前記面Ｑの間に設けられ、前記第１の照明手段から前記面Ｒに向かう光及び該第１の照明手段から前記面Ｓに向かう光を遮る第１の遮光領域、及び、前記第１の照明手段から前記面Ｑに向かう光を通過させる第１の非遮光領域を有する第１の光路制限手段とを備え、前記面Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓはそれぞれ、前記電子部品の側面であって、前記第１の光路制限手段の左右方向長さは、前記面Ｑの左右方向長さ及び前記第１の照明手段の光を照射する照射部の左右方向長さ以上であり、前記第１の非遮光領域は、該面Ｑの左右方向中心に対向して配置され、該第１の非遮光領域の左右方向長さは、該面Ｑの左右方向長さより短い。
第１、第２の発明に係る外観検査装置において、前記非遮光領域は、開口部からなるのが好ましい。
【０００７】
第１、第２の発明に係る外観検査装置において、前記開口部はスリットであるのが好ましい。
【０００８】
第１、第２の発明に係る外観検査装置において、前記非遮光領域は、光を透過させる透光部からなるのが好ましい。
【０００９】
第１、第２の発明に係る外観検査装置において、前記電子部品の前記面Ｐ側に光を照射する第２の照明手段と、前記第２の照明手段から前記面Ｒに向かう光及び該第２の照明手段から前記面Ｓに向かう光を遮る第２の遮光領域、及び、前記第２の照明手段から前記面Ｐに向かう光を通過させる第２の非遮光領域を有する第２の光路制限手段と、光の進行方向を変える光路調整手段とを、更に備え、前記撮像手段は、前記第１の照明手段が点灯し前記第２の照明手段が消灯した状態で、前記光路調整手段を介して前記面Ｐを撮像し、前記第１の照明手段が消灯し前記第２の照明手段が点灯した状態で、前記光路調整手段を介して前記面Ｑを撮像するのが好ましい。
【００１０】
【００１１】
第１、第２の発明に係る外観検査装置において、前記電子部品を保持する支持手段と、前記支持手段が昇降可能に取り付けられ、上昇位置に配された該支持手段によって保持された前記電子部品を、前記面Ｐの撮像位置の上方に搬送する搬送手段と、前記上昇位置に配された前記支持手段を押し下げて、該支持手段に保持されている前記電子部品を前記撮像位置に配する押下手段とを、更に備えるのが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
第１、第２の発明に係る外観検査装置は、照明手段から電子部品の面Ｒ及び面Ｓに向かう光を遮るので、電子部品の面Ｐに形成されたクラック、欠け又は疵が面Ｒ又は面Ｓから電子部品内に進入した光で視認しづらくなるのと回避し、安定的に検出できるようにする。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る外観検査装置の平面図である。
【図２】撮像位置Ｔ１で電子部品の面Ｐ、Ｑが撮像される様子を示す説明図である。
【図３】撮像位置Ｔ１で電子部品の面Ｐ、Ｑが撮像される様子を示す説明図である。
【図４】クラックのある電子部品の説明図である。
【図５】撮像位置Ｔ２で電子部品の面Ｒ、Ｓが撮像される様子を示す説明図である。
【図６】撮像位置Ｔ２で電子部品の面Ｒ、Ｓが撮像される様子を示す説明図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態に係る外観検査装置の説明図である。
【図８】本発明の第３の実施の形態に係る外観検査装置の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。
図１〜図３に示すように、本発明の第１の実施の形態に係る外観検査装置１０は、対向する面Ｐ、Ｑ及び対向する面Ｒ、Ｓを備えた透光性を有する電子部品Ｗの面Ｐを外観検査する装置であって、面Ｐを撮像する撮像手段１１と、電子部品Ｗの面Ｑ側に光を照射する照明手段１２（第１の照明手段）とを備えている。以下、詳細に説明する。
【００１５】
本実施の形態において、外観検査の対象である電子部品Ｗは、図４に示すように、直方体状（平面視して矩形状あるいは正方形状）の表面弾性波フィルタであり、透光性を有する。電子部品Ｗには、４つの側面が存在し、その４つの側面が、それぞれ外観検査の対象となる面Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓである。面Ｐ、Ｑは平行であり、面Ｒ、Ｓも平行である。
【００１６】
外観検査装置１０は、図１、図３、図５に示すように、複数（本実施の形態では、１２個であるがこれに限定されない）の支持手段１３が昇降可能に取り付けられた円形の回転テーブル（搬送手段の一例）１４と、支持手段１３をそれぞれ押し下げる複数の押下手段１５を備えている。
水平配置された回転テーブル１４は、図１に示すように、中心に回転軸１６が連結され、図示しないサーボモータから回転軸１６を介して駆動力を与えられ間欠的に所定角度回転する。本実施の形態において、回転テーブル１４は、一回の回転動作で３０°回転する。
【００１７】
支持手段１３は、回転テーブル１４の外周部に周方向に沿って等間隔に設けられたノズルであり、真空圧によって、図３、図５に示すように、電子部品Ｗの上面を吸着して電子部品Ｗを保持し、真空破壊によって電子部品Ｗを保持した状態を解除する。支持手段１３によって保持された電子部品Ｗは、図１、図２に示すように、面Ｐ、Ｑが回転テーブル１４の径方向外側及び内側にそれぞれ配置され、面Ｓ、Ｒが回転テーブル１４の回転方向の上流側及び下流側にそれぞれ配置される。
【００１８】
支持手段１３は、回転テーブル１４の間欠的な回転によって、回転テーブル１４の周方向に沿った移動と一次停止を繰り返す。支持手段１３によって保持された電子部品Ｗは、図１に示すように、回転テーブル１４の回転によって、電子部品Ｗの撮像がなされる撮像位置Ｔ１、Ｔ２の上方に順次搬送され、一次停止する。
【００１９】
押下手段１５は、図１、図３、図５に示すように、支持手段１３が一次停止する位置の回転テーブル１４の上方に設けられ、図示しないサーボモータの駆動力を利用して支持手段１３に下向きの力を作用させる。
支持手段１３は、図示しない弾性体によって上方に付勢された状態で、回転テーブル１４に取り付けられている。そのため、支持手段１３は、押下手段１５から下向きの力を与えられていない状態で、最上位置（上昇位置の一例）に配され、押下手段１５から下向きの力を与えられることによって、所定の高さ位置まで押し下げられる。
【００２０】
電子部品Ｗは、支持手段１３が最上位置に配された状態で、回転テーブル１４の回転によって撮像位置Ｔ１の上方に搬送され、撮像位置Ｔ１の上方に設けられた押下手段１５の作動によって、支持手段１３と共に降下して撮像位置Ｔ１に配される。支持手段１３は、支持している電子部品Ｗの支持手段１３に対する配置を変えることなく、電子部品Ｗを撮像位置Ｔ１に配置する。
この撮像位置Ｔ１における電子部品Ｗの動きは、撮像位置Ｔ２においても同じであり、本実施の形態では、撮像位置Ｔ１、Ｔ２に電子部品Ｗが同じタイミングで配される。撮像位置Ｔ１は電子部品Ｗの面Ｐ、Ｑが撮像される位置であり、撮像位置Ｔ２は電子部品Ｗの面Ｒ、Ｓが撮像される位置である。
【００２１】
外観検査装置１０は、図１〜図３、図５、図６に示すように、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｐ、Ｑを撮像する撮像手段１１、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｐ側及び面Ｑ側にそれぞれ光を照射する照明手段１７（第２の照明手段）及び照明手段１２、撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗの面Ｒ、Ｓを撮像する撮像手段１８、撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗの面Ｒ側及び面Ｓ側に向かってそれぞれ光を照射する照明手段１９、２０を備えている。
【００２２】
撮像手段１１、１８は、図１に示すように、平面視して、回転テーブル１４の外側に設けられ、撮像方向が、回転テーブル１４の内側中心に向けられている。
外観検査装置１０は、更に、光の進行方向を変える光路調整手段２１、２２及び通過する光を制限する光路制限手段２３、２４（第２、第１の光路制限手段）、２５、２６を具備している。光路調整手段２１及び光路制限手段２３、２４は、撮像位置Ｔ１の近傍に配され、光路調整手段２２及び光路制限手段２５、２６は、撮像位置Ｔ２の近傍に配されている。
【００２３】
光路調整手段２１は、図２、図３に示すように、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｐからの光を複数回反射して下向きに進行させるプリズムブロック２７、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｑからの光を複数回反射して下向きに進行させるプリズムブロック２８、及び、プリズムブロック２７、２８から下向きに進む光が進入するプリズム２９を備えている。プリズム２９内に進入した光は、反射によって進路が水平方向に変えられて撮像手段１１に向かう。従って、光路調整手段２１は、光の進行方向を変えて、撮像手段１１に面Ｐ、Ｑを撮像させることができる。
【００２４】
プリズムブロック２７は、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗと同じ高さに、同電子部品Ｗの面Ｐからの光が進入する側壁部２７ａを有している。プリズムブロック２８も、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗと同じ高さに、同電子部品Ｗの面Ｑからの光が進入する側壁部２８ａを有している。側壁部２７ａと側壁部２８ａは、図２、図３に示すように、平行である。
撮像位置Ｔ１において、電子部品Ｗは、側壁部２７ａ、２８ａの間に配された状態で面Ｐ、Ｑが撮像される。
【００２５】
撮像位置Ｔ１において、電子部品Ｗの面Ｐ、Ｑは、側壁部２７ａ、２８ａに対向して配置される。
本実施の形態において、撮像手段１１がプリズム２９及びプリズムブロック２７を介し、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｐを側壁部２７ａから撮像する撮像方向は、電子部品Ｗの面Ｐに対し垂直であり、撮像手段１１がプリズム２９及びプリズムブロック２８を介し、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｑを側壁部２８ａから撮像する撮像方向は、電子部品Ｗの面Ｑに対し垂直である。
【００２６】
このため、撮像手段１１は、図２に示すように、電子部品Ｗの面Ｐを正面視した画像３０ｐ及び電子部品Ｗの面Ｑを正面視した画像３０ｑを撮像することとなる。
撮像手段１１は、照明手段１２が点灯し、照明手段１７が消灯した状態で、光路調整手段２１を介して、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｐを撮像し、照明手段１７が点灯し、照明手段１２が消灯した状態で、光路調整手段２１を介して、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｑを撮像する。
【００２７】
照明手段１２、１７は、図２、図３に示すように、撮影位置Ｔ１に配された電子部品Ｗと同じ高さに配されている。照明手段１２において、光を照射する照射部１２ａは、電子部品Ｗの面Ｑに対して平行に配され、照明手段１７において、光を照射する照射部１７ａは、電子部品Ｗの面Ｐに対して平行に配される。照射部１２ａ、１７ａは、図２に示すように、平面視して、電子部品Ｗの面Ｑ、Ｐよりそれぞれ長く、各中心が、面Ｑ、Ｐの中心に対向してそれぞれ配置されている。
【００２８】
照明手段１２は、図２、図３に示すように、電子部品Ｗの面Ｐを撮像する際に面Ｐの撮像方向とは逆の方向から（面Ｑ側に）プリズムブロック２８越しに電子部品Ｗに向かって光を照射し、照明手段１７は、電子部品Ｗの面Ｑを撮像する際に面Ｑの撮像方向とは逆の方向から（面Ｐ側に）プリズムブロック２７越しに電子部品Ｗに向かって光を照射する。
照射部１２ａは、図２に示すように、平面視して電子部品Ｗの面Ｑより長いため、照射部１２ａからは、電子部品Ｗの面Ｑに向かって進む光Ｌ１に加え、面Ｒ、Ｓに向かって進む光Ｌ１’が照射される。照射部１７ａは、平面視して電子部品Ｗの面Ｐより長いため、照射部１７ａからは、電子部品Ｗの面Ｐに向かって進む光Ｌ２に加え、面Ｒ、Ｓに向かって進む光Ｌ２’が照射される。
【００２９】
照射部１２ａと電子部品Ｗの面Ｑの間には、照射部１２ａに平行に配された板状の光路制限手段２４が設けられ、照射部１７ａと電子部品Ｗの面Ｐの間には、照射部１７ａに平行に配された板状の光路制限手段２３が設けられている。
光路制限手段２４は、左右方向の長さが照射部１２ａの左右方向の長さ以上であり、左右にそれぞれ設けられた光を通さない非透光材からなる遮光領域３１、３２及び遮光領域３１、３２の間に形成された開口部からなる非遮光領域３３を有している。本実施の形態では、遮光領域３１、３２が第１の遮光領域であり、非遮光領域３３が第１の非遮光領域である。
【００３０】
遮光領域３１、３２は、照射部１２ａから照射される光のうち、照射部１２ａから電子部品Ｗの面Ｓに向かう光Ｌ１’及び照射部１２ａから電子部品Ｗの面Ｒに向かう光Ｌ１’をそれぞれ遮る。従って、遮光領域３１、３２が無い場合に比べ、照射部１２ａから照射され電子部品Ｗに到達する光Ｌ１’の量を低減させることができる。
なお、本実施の形態では、遮光領域３１、３２が照射部１２ａから電子部品Ｗの面Ｑに向かう光Ｌ１の一部も遮る。
【００３１】
非遮光領域３３は、左右方向の長さが、電子部品Ｗの面Ｑの左右方向の長さより短い。非遮光領域３３は、平面視して、電子部品Ｗの面Ｑの中心に対向配置され、照射部１２ａから照射されて電子部品Ｗの面Ｑに向かう光Ｌ１を通過させることができる。
そのため、電子部品Ｗの面Ｐを撮像する際、照射部１２ａから照射された光が面Ｒ、Ｓを通過して電子部品Ｗ内に進入するのを抑制することができる。
【００３２】
ここで、実験的検証によって、電子部品Ｗ内に、面Ｒ、Ｓを通過した光の進入を抑制させ、面Ｑを通過した光を進入させた場合、電子部品Ｗにおいて面Ｐから内側に向かって形成された図４に示すクラックＣを、クラックの無い領域に比べ、画像３０ｐ内で安定的に暗くできることが確認されている。そのため、画面３０ｐにおいて、暗い領域を探索することで、面Ｐに形成されたクラックを確実に検出することができる。
一方、電子部品Ｗ内への面Ｒ、Ｓを通過した光の進入を抑制しない場合、クラックＣは、画像３０ｐにおいて、クラックの無い領域と同レベルの明度で表示され、クラックＣの検出精度が低下することが確認されている。
【００３３】
光路制限手段２３は、左右方向の長さが、照射部１７ａの左右方向の長さ以上であり、左右にそれぞれ設けられた光を通さない非透光材からなる遮光領域３５、３６及び遮光領域３５、３６の間に形成された開口部からなる非遮光領域３７を有している。本実施の形態においては、遮光領域３５、３６が第２の遮光領域であり、非遮光領域３７が第２の非遮光領域である。
【００３４】
遮光領域３５、３６は、照射部１７ａから照射される光のうち、照射部１７ａから電子部品Ｗの面Ｒに向かう光Ｌ２’及び照射部１７ａから電子部品Ｗの面Ｓに向かう光Ｌ２’をそれぞれ遮る。従って、照射部１７ａから照射され電子部品Ｗに到達する光Ｌ２’の量を低減させることができる。
なお、本実施の形態では、遮光領域３５、３６が照射部１７ａから電子部品Ｗの面Ｐに向かう光Ｌ２の一部も遮る。
【００３５】
非遮光領域３７は、左右方向の長さが、電子部品Ｗの面Ｐの左右方向の長さより短い。非遮光領域３７は、平面視して、電子部品Ｗの面Ｐの中心に対向配置され、照射部１７ａから照射されて電子部品Ｗの面Ｐに向かう光Ｌ２を通過させることができる。
そのため、電子部品Ｗの面Ｑを撮像する際、照射部１７ａから照射された光が面Ｒ、Ｓを通過して電子部品Ｗ内に進入するのを抑制することができ、面Ｑから電子部品Ｗの内側に向かって形成されたクラックを安定的に検出可能である。
そして、撮像位置Ｔ１で面Ｐ、Ｑの撮像が完了した電子部品Ｗは、最上位置に配された後、回転テーブル１４の回転によって撮像位置Ｔ２の上方に搬送され、撮像位置Ｔ２の上方に設けられた押下手段１５の作動によって、撮像位置Ｔ２に配される。
【００３６】
なお、撮像手段１１の撮像方向が電子部品Ｗの面Ｐ、Ｑに対して垂直である必要はなく、撮像手段１１の撮像方向が電子部品Ｗの面Ｐ、Ｑに対し非垂直であってもよい。
外観検査装置１０においては、回転テーブル１４の径方向に沿って、撮像手段１１、光調整手段２１、照明手段１２、１７及び光路制限手段２３、２４が配置されていたのに対し、図７に示す本発明の第２の実施の形態に係る外観検査装置においては、撮像手段１１、光調整手段２１、照明手段１２、１７及び光路制限手段２３、２４が、回転テーブル１４の径方向に対して傾いた方向に沿って配置されている。
【００３７】
このため、図７に示す第２の実施の形態では、撮像手段１１の撮像方向が、撮像位置Ｔ１’に配された電子部品Ｗの面Ｐ、Ｑに対し非垂直であり、撮像手段１１は、電子部品Ｗの面Ｐ、Ｓを撮像した画像３０ｔ及び電子部品Ｗの面Ｑ、Ｒを撮像した画像３０ｕを得ることとなる。
電子部品Ｗは、照明手段１２から照射された光が、光路制限手段２４の遮光領域３１、３２によって、面Ｓ、Ｒから電子部品Ｗ内に進入するのを抑制された状態で面Ｐが撮像され、照明手段１７から照射された光が、光路制限手段２３の遮光領域３５、３６によって、面Ｒ、Ｓから電子部品Ｗ内に進入するのを抑制した状態で面Ｑが撮像される。
【００３８】
また、外観検査装置１０において、撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗに対応する光路調整手段２２は、図５、図６に示すように、撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗの面Ｓからの光を反射によって下向きに進行させるプリズムブロック３８、同電子部品Ｗの面Ｒからの光を反射によって下向きに進行させるプリズムブロック３９、及び、プリズムブロック３８、３９から下向きに進む光が進入するプリズム４０を備えている。プリズム４０内に進入した光は、反射によって進路が水平方向に変えられ、撮像手段１８に向かう。従って、光路調整手段２２は、光の進行方向を変えて、撮像手段１８に電子部品Ｗの面Ｒ、Ｓを撮像させることができる。
【００３９】
撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗの面Ｓ、プリズムブロック３８、照明手段２０及び光路制限手段２６の関係は、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｐ、プリズムブロック２７、照明手段１７及び光路制限手段２３の関係と同様であり、撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗの面Ｒ、プリズムブロック３９、照明手段１９及び光路制限手段２５の関係は、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｑ、プリズムブロック２８、照明手段１２及び光路制限手段２４の関係と同様である。
【００４０】
一方、光路調整手段２１のプリズムブロック２７、２８が、図１、図２に示すように、回転テーブル１４の径方向に沿って配されているのに対し、光路調整手段２２のプリズムブロック３８、３９は、図１、図６に示すように、回転テーブル１４の周方向に沿って配されている点で異なり、図３、図５に示すように、プリズムブロック２７、２８に対するプリズム２９の光を反射する方向と、プリズムブロック３８、３９に対するプリズム４０の光を反射する方向は相異する。
プリズムブロック３８は、図５、図６に示すように、撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗの高さ位置に、同電子部品Ｗの面Ｓからの光が進入する側壁部３８ａを備え、プリズムブロック３９は、同電子部品Ｗの高さ位置に、同電子部品Ｗの面Ｒからの光が進入する側壁部３９ａを備えている。
【００４１】
電子部品Ｗは、撮像位置Ｔ２の上方に搬送された後、押下手段１５によって支持手段１３と共に降下して撮像位置Ｔ２に配されるため、プリズムブロック３８、３９に接触することなく、撮像位置Ｔ２に配される。
プリズムブロック３８及びプリズム４０は、撮像手段１８が、撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗの面Ｓを正面から撮像するように光路を調整し、プリズムブロック３９及びプリズム４０は、撮像手段１８が、撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗの面Ｒを正面から撮像するように光路を調整する。従って、撮像手段１８は、図６に示すように、電子部品Ｗの面Ｒ、Ｓをそれぞれ正面視した画像３０ｒ、３０ｓを撮像することができる。
【００４２】
照明手段１９、２０は、図５に示すように、撮影位置Ｔ２に配された電子部品Ｗと同じ高さに光を照射する照射部１９ａ、２０ａをそれぞれ備えている。照射部１９ａは、図５、図６に示すように、撮影位置Ｔ２に配された電子部品Ｗの面Ｒに対して平行に配され、照射部２０ａは、同電子部品Ｗの面Ｓに対して平行に配される。照射部１９ａ、２０ａは、図６に示すように、平面視して、電子部品Ｗの面Ｒ、Ｓよりそれぞれ長く、各中心が、面Ｒ、Ｓの中心に対向してそれぞれ配置されている。
【００４３】
照明手段１９は、図５、図６に示すように、電子部品Ｗの面Ｓを撮像する際に面Ｓの撮像方向とは逆の方向から（面Ｒ側に）プリズムブロック３９越しに電子部品Ｗに向かって光を照射し、照明手段２０は、電子部品Ｗの面Ｒを撮像する際に面Ｒの撮像方向とは逆の方向から（面Ｓ側に）プリズムブロック３８越しに電子部品Ｗに向かって光を照射する。
照射部１９ａは、図６に示すように、平面視して電子部品Ｗの面Ｒより長いため、照射部１９ａからは、電子部品Ｗの面Ｒに向かって進む光Ｌ３に加え、面Ｐ、Ｑに向かって進む光Ｌ３’が照射される。照射部２０ａは、平面視して電子部品Ｗの面Ｓより長いため、照射部２０ａからは、電子部品Ｗの面Ｓに向かって進む光Ｌ４に加え、面Ｐ、Ｑに向かって進む光Ｌ４’が照射される。
【００４４】
照射部１９ａと電子部品Ｗの面Ｒの間には、照射部１９ａに平行に配された板状の光路制限手段２５が設けられ、照射部２０ａと電子部品Ｗの面Ｓの間には、照射部２０ａに平行に配された板状の光路制限手段２６が設けられている。
光路制限手段２５は、左右方向の長さが、照射部１９ａの左右方向の長さ以上であり、左右にそれぞれ設けられた光を通さない非透光材からなる遮光領域４１、４２及び遮光領域４１、４２の間に形成された開口部からなる非遮光領域４３を有している。
【００４５】
遮光領域４１、４２は、照射部１９ａから照射される光のうち、照射部１９ａから電子部品Ｗの面Ｑに向かう光Ｌ３’及び照射部１９ａから電子部品Ｗの面Ｐに向かう光Ｌ３’をそれぞれ遮る。
非遮光領域４３は、左右方向の長さが、電子部品Ｗの面Ｒの左右方向の長さより短い。非遮光領域４３は、平面視して、電子部品Ｗの面Ｒの中心に対向配置され、照射部１９ａから照射されて電子部品Ｗの面Ｒに向かう光Ｌ３を通過させることができる。
そのため、電子部品Ｗの面Ｓを撮像する際、照射部１９ａから照射された光が面Ｐ、Ｑを通過して電子部品Ｗ内に進入するのを抑制でき、面Ｓに形成されたクラックを安定的に検出可能である。
【００４６】
光路制限手段２６は、左右方向の長さが、照射部２０ａの左右方向の長さ以上であり、左右にそれぞれ設けられた光を通さない非透光材からなる遮光領域４５、４６及び遮光領域４５、４６の間に形成された開口部からなる非遮光領域４７を有している。
遮光領域４５、４６は、照射部２０ａから照射される光のうち、照射部２０ａから電子部品Ｗの面Ｐに向かう光Ｌ４’及び照射部２０ａから電子部品Ｗの面Ｑに向かう光Ｌ４’をそれぞれ遮る。
【００４７】
非遮光領域４７は、左右方向の長さが、電子部品Ｗの面Ｓの左右方向の長さより短い。非遮光領域４７は、平面視して、電子部品Ｗの面Ｓの中心に対向配置され、照射部２０ａから照射されて電子部品Ｗの面Ｓに向かう光Ｌ４を通過させることができる。
そのため、電子部品Ｗの面Ｒを撮像する際、照射部２０ａから照射された光が面Ｐ、Ｑを通過して電子部品Ｗ内に進入するのを抑制でき、面Ｒに形成されたクラックを安定的に検出可能である。
【００４８】
本実施の形態において、非遮光領域３３、３７、４３、４７は、縦に長いスリットであるが、これに限定されず、縦横の長さが同じ開口部、あるいは、横に長い開口部であってもよい。更に、光路制限手段２３、２４、２５、２６の代わりに、光が透過可能な素材（例えば、透光性のある樹脂）で形成された透光部からなる非遮光領域を具備した光路制限手段を採用してもよい。
【００４９】
撮像位置Ｔ２で面Ｒ、Ｓの撮像が完了した電子部品Ｗは、最上位置に配された後、回転テーブル１４の回転によって下流側に搬送される。
撮像手段１１、１８によって撮像された画像３０ｐ、３０ｑ、３０ｒ、３０ｓは、図示しない情報処理機による面Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓに対するクラック等の有無の判定に用いられる。
外観検査装置１０には、図１に示すように、回転テーブル１４の回転方向に沿って撮像位置Ｔ２の下流側に、面Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓにクラック等が発見されなかった電子部品Ｗをテーピングに収容するテーピングユニット４８、及び、面Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓにクラック等が発見された電子部品Ｗを不良品として排出するソータ４９が設けられている。
【００５０】
次に、光路制限手段２３、２４、２５、２６の代わりに、光の進行方向によって通過させる光を制限する図８に示す光透過制限手段５１、５２を利用した本発明の第３の実施の形態に係る外観検査装置について説明する。なお、外観検査装置１０と同様の構成については、同じ符号を付して詳細な説明を省略する。
光透過制限手段５１は、図８に示すように、照射部１２ａと側壁部２８ａの間に配置され、照射部１２ａから撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｑに垂直な方向（実質的に垂直な方向）に進む光Ｌ５を通過させ、照明部１２ａから面Ｒに向かう光及び面Ｓに向かう光を遮断（あるいは減少）させる。このため、照射部１２ａから照射され電子部品Ｗの面Ｒ、Ｓを通過して電子部品Ｗ内に進入する光は実質的に存在しなくなり（あるいは減少し）、電子部品Ｗの面Ｐに形成されたクラックを安定的に検出できる。
【００５１】
光透過制限手段５２は、照射部１７ａと側壁部２７ａの間に配置され、照射部１７ａから撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｐに垂直な方向（実質的に垂直な方向）に進む光Ｌ６を通過させ、照明部１７ａから面Ｒに向かう光及び面Ｓに向かう光を遮断（あるいは減少）させる。このため、照射部１７ａから照射され電子部品Ｗの面Ｒ、Ｓを通過して電子部品Ｗ内に進入する光は実質的に存在しなくなり（あるいは減少し）、電子部品Ｗの面Ｑに形成されたクラックを安定的に検出可能である。
【００５２】
光透過制限手段５１、５２は、マイクロルーバを用いて形成することができる。なお、本実施の形態では、光透過制限手段５１、５２がそれぞれ、照明手段１２、１７から離れた位置に設けられているが、照明手段１２、１７に密着していてもよい。
そして、撮像位置Ｔ２の近傍にも、光透過制限手段５１、５２と同構造の光透過制限手段が、照射部１９ａと側壁部３９ａの間及び照射部２０ａと側壁部３８ａの間に設けられている。従って、撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗについては、照射部１９ａ、２０ａから照射され面Ｐ、Ｑを通過して電子部品Ｗ内に進入する光が実質的に存在しない状態で面Ｒ、Ｓの撮像が行われる。
【００５３】
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明は、上記した形態に限定されるものでなく、要旨を逸脱しない条件の変更等は全て本発明の適用範囲である。
例えば、外観検査の対象である電子部品は、透光性を有すればよく、表面弾性波フィルタに限定されず、電子部品の形状は、平面して四角形に限定されない。
また、外観検査装置は、回転テーブルを備えている必要はなく、回転テーブルを備えている場合も、回転テーブルの回転軸は鉛直に配されている必要はなく、例えば、水平に配されていてもよい。
【００５４】
そして、電子部品は、面Ｐ、Ｑ（面Ｒ、Ｓについても同じ）がそれぞれ異なる位置で撮像されてもよい。更に、面Ｐ、Ｑ（面Ｒ、Ｓについても同じ）の撮像を、異なる撮像手段によって行ってもよい。また、電子部品の撮像対象面は、面Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓ全てである必要はなく、例えば、面Ｐのみであってもよい。
また、光路制限手段は板状である必要は無い。
【符号の説明】
【００５５】
１０：外観検査装置、１１：撮像手段、１２：照明手段、１２ａ：照射部、１３：支持手段、１４：回転テーブル、１５：押下手段、１６：回転軸、１７：照明手段、１７ａ：照射部、１８：撮像手段、１９：照明手段、１９ａ：照射部、２０：照明手段、２０ａ：照射部、２１、２２：光路調整手段、２３、２４、２５、２６：光路制限手段、２７：プリズムブロック、２７ａ：側壁部、２８：プリズムブロック、２８ａ：側壁部、２９：プリズム、３０ｐ、３０ｑ、３０ｒ、３０ｓ、３０ｔ、３０ｕ：画像、３１、３２：遮光領域、３３：非遮光領域、３５、３６：遮光領域、３７：非遮光領域、３８：プリズムブロック、３８ａ：側壁部、３９：プリズムブロック、３９ａ：側壁部、４０：プリズム、４１、４２：遮光領域、４３：非遮光領域、４５、４６：遮光領域、４７：非遮光領域、４８：テーピングユニット、４９：ソータ、５１、５２：光透過制限手段、Ｗ：電子部品、Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓ：面、Ｔ１、Ｔ１’、Ｔ２：撮像位置、Ｌ１、Ｌ１’、Ｌ２、Ｌ２’、Ｌ３、Ｌ３’、Ｌ４、Ｌ４’、Ｌ５、Ｌ６：光、Ｃ：クラック
【手続補正書】
【提出日】平成29年1月17日(2017.1.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する面Ｐ、Ｑ及び対向する面Ｒ、Ｓを備えた透光性を有する電子部品の該面Ｐ、Ｑを外観検査する外観検査装置において、
前記面Ｐ、Ｑを撮像する撮像手段と、
前記電子部品の前記面Ｑ側に光を照射する第１の照明手段と、
前記電子部品の前記面Ｐ側に光を照射する第２の照明手段と、
前記第１の照明手段と前記面Ｑの間に設けられ、前記第１の照明手段から前記面Ｒに向かう光及び該第１の照明手段から前記面Ｓに向かう光を遮る第１の遮光領域、及び、前記第１の照明手段から前記面Ｑに向かう光を通過させる第１の非遮光領域を有する第１の光路制限手段と、
前記第２の照明手段と前記面Ｐの間に設けられ、前記第２の照明手段から前記面Ｒに向かう光及び該第２の照明手段から前記面Ｓに向かう光を遮る第２の遮光領域、及び、前記第２の照明手段から前記面Ｐに向かう光を通過させる第２の非遮光領域を有する第２の光路制限手段と、
光の進行方向を変える光路調整手段とを備え、
前記面Ｐ、Ｒ、Ｑ、Ｓは連続して設けられ、該面Ｑの該面Ｒ側から該Ｓ側向きの方向をＸ方向として、前記第１の光路制限手段の該Ｘ方向長さは、該面Ｑの該Ｘ方向長さより長く、前記第１の照明手段の光を照射する照射部の該Ｘ方向長さ以上であり、前記第１の非遮光領域は、該面Ｑの該Ｘ方向長さの中心に対向して配置され、該第１の非遮光領域の該Ｘ方向長さは、該面Ｑの該Ｘ方向長さより短く、前記第１の照明手段の照明部の該Ｘ方向長さは、該面Ｑの該Ｘ方向長さより長く、
前記第２の光路制限手段の該Ｘ方向長さは、該面Ｐの該Ｘ方向長さより長く、前記第２の照明手段の光を照射する照射部の該Ｘ方向長さ以上であり、前記第２の非遮光領域は、該面Ｐの該Ｘ方向長さの中心に対向して配置され、該第２の非遮光領域の該Ｘ方向長さは、該面Ｐの該Ｘ方向長さより短く、前記第２の照明手段の照明部の該Ｘ方向長さは、該面Ｐの該Ｘ方向長さより長く、
前記撮像手段は、前記第１の照明手段が点灯し前記第２の照明手段が消灯した状態で、前記光路調整手段を介して前記面Ｐを撮像し、前記第１の照明手段が消灯し前記第２の照明手段が点灯した状態で、前記光路調整手段を介して前記面Ｑを撮像することを特徴とする外観検査装置。
【請求項２】
対向する面Ｐ、Ｑ及び対向する面Ｒ、Ｓを備えた透光性を有する電子部品の該面Ｐ、Ｑを外観検査する外観検査装置において、
前記面Ｐを撮像する第１の撮像手段と、
前記面Ｑを撮像する第２の撮像手段と、
前記電子部品の前記面Ｑ側に光を照射する第１の照明手段と、
前記電子部品の前記面Ｐ側に光を照射する第２の照明手段と、
前記第１の照明手段と前記面Ｑの間に設けられ、前記第１の照明手段から前記面Ｒに向かう光及び該第１の照明手段から前記面Ｓに向かう光を遮る第１の遮光領域、及び、前記第１の照明手段から前記面Ｑに向かう光を通過させる第１の非遮光領域を有する第１の光路制限手段と、
前記第２の照明手段と前記面Ｐの間に設けられ、前記第２の照明手段から前記面Ｒに向かう光及び該第２の照明手段から前記面Ｓに向かう光を遮る第２の遮光領域、及び、前記第２の照明手段から前記面Ｐに向かう光を通過させる第２の非遮光領域を有する第２の光路制限手段と、
光の進行方向を変える光路調整手段とを備え、
前記面Ｐ、Ｒ、Ｑ、Ｓは連続して設けられ、該面Ｑの該面Ｒ側から該Ｓ側向きの方向をＸ方向として、前記第１の光路制限手段の該Ｘ方向長さは、該面Ｑの該Ｘ方向長さより長く、前記第１の照明手段の光を照射する照射部の該Ｘ方向長さ以上であり、前記第１の非遮光領域は、該面Ｑの該Ｘ方向長さの中心に対向して配置され、該第１の非遮光領域の該Ｘ方向長さは、該面Ｑの該Ｘ方向長さより短く、前記第１の照明手段の照明部の該Ｘ方向長さは、該面Ｑの該Ｘ方向長さより長く、
前記第２の光路制限手段の該Ｘ方向長さは、該面Ｐの該Ｘ方向長さより長く、前記第２の照明手段の光を照射する照射部の該Ｘ方向長さ以上であり、前記第２の非遮光領域は、該面Ｐの該Ｘ方向長さの中心に対向して配置され、該第２の非遮光領域の該Ｘ方向長さは、該面Ｐの該Ｘ方向長さより短く、前記第２の照明手段の照明部の該Ｘ方向長さは、該面Ｐの該Ｘ方向長さより長く、
前記第１の撮像手段は、前記第１の照明手段が点灯し前記第２の照明手段が消灯した状態で、前記光路調整手段を介して前記面Ｐを撮像し、前記第２の撮像手段は、前記第１の照明手段が消灯し前記第２の照明手段が点灯した状態で、前記光路調整手段を介して前記面Ｑを撮像することを特徴とする外観検査装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載の外観検査装置において、前記非遮光領域は、開口部からなることを特徴とする外観検査装置。
【請求項４】
請求項３記載の外観検査装置において、前記開口部はスリットであることを特徴とする外観検査装置。
【請求項５】
請求項１又は２記載の外観検査装置において、前記非遮光領域は、光を透過させる透光部からなることを特徴とする外観検査装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１に記載の外観検査装置において、前記電子部品を保持する支持手段と、前記支持手段が昇降可能に取り付けられ、上昇位置に配された該支持手段によって保持された前記電子部品を、前記面Ｐの撮像位置の上方に搬送する搬送手段と、前記上昇位置に配された前記支持手段を押し下げて、該支持手段に保持されている前記電子部品を前記撮像位置に配する押下手段とを、更に備えることを特徴とする外観検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品の外観検査を行う外観検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
表面弾性波（ＳＡＷ）フィルタ、受光素子、コンデンサ、インダクタ、ＣＳＰ（Ｃｈｉｐ  Ｓｉｚｅ  Ｐａｃｋａｇｅ）等の各種電子部品は、出荷前に、外観検査によって、クラック、欠け及び疵の有無が調べられる。クラック、欠け及び疵の有無の検査は、出荷される電子部品の品質向上のため重要である。
特許文献１には、電子部品を撮像して外観検査する装置の具体例が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２５４７２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の装置は、透光性のある電子部品に対し、クラック、欠け及び疵の検出が不安定であるという課題があった。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされるもので、透光性を有する電子部品のクラック、欠け又は疵の有無を安定的に検出可能な外観検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記目的に沿う第１の発明に係る外観検査装置は、対向する面Ｐ、Ｑ及び対向する面Ｒ、Ｓを備えた透光性を有する電子部品の該面Ｐ、Ｑを外観検査する外観検査装置において、前記面Ｐ、Ｑを撮像する撮像手段と、前記電子部品の前記面Ｑ側に光を照射する第１の照明手段と、前記電子部品の前記面Ｐ側に光を照射する第２の照明手段と、前記第１の照明手段と前記面Ｑの間に設けられ、前記第１の照明手段から前記面Ｒに向かう光及び該第１の照明手段から前記面Ｓに向かう光を遮る第１の遮光領域、及び、前記第１の照明手段から前記面Ｑに向かう光を通過させる第１の非遮光領域を有する第１の光路制限手段と、前記第２の照明手段と前記面Ｐの間に設けられ、前記第２の照明手段から前記面Ｒに向かう光及び該第２の照明手段から前記面Ｓに向かう光を遮る第２の遮光領域、及び、前記第２の照明手段から前記面Ｐに向かう光を通過させる第２の非遮光領域を有する第２の光路制限手段と、光の進行方向を変える光路調整手段とを備え、前記面Ｐ、Ｒ、Ｑ、Ｓは連続して設けられ、該面Ｑの該面Ｒ側から該Ｓ側向きの方向をＸ方向として、前記第１の光路制限手段の該Ｘ方向長さは、該面Ｑの該Ｘ方向長さより長く、前記第１の照明手段の光を照射する照射部の該Ｘ方向長さ以上であり、前記第１の非遮光領域は、該面Ｑの該Ｘ方向長さの中心に対向して配置され、該第１の非遮光領域の該Ｘ方向長さは、該面Ｑの該Ｘ方向長さより短く、前記第１の照明手段の照明部の該Ｘ方向長さは、該面Ｑの該Ｘ方向長さより長く、前記第２の光路制限手段の該Ｘ方向長さは、該面Ｐの該Ｘ方向長さより長く、前記第２の照明手段の光を照射する照射部の該Ｘ方向長さ以上であり、前記第２の非遮光領域は、該面Ｐの該Ｘ方向長さの中心に対向して配置され、該第２の非遮光領域の該Ｘ方向長さは、該面Ｐの該Ｘ方向長さより短く、前記第２の照明手段の照明部の該Ｘ方向長さは、該面Ｐの該Ｘ方向長さより長く、前記撮像手段は、前記第１の照明手段が点灯し前記第２の照明手段が消灯した状態で、前記光路調整手段を介して前記面Ｐを撮像し、前記第１の照明手段が消灯し前記第２の照明手段が点灯した状態で、前記光路調整手段を介して前記面Ｑを撮像する。
【０００６】
前記目的に沿う第２の発明に係る外観検査装置は、対向する面Ｐ、Ｑ及び対向する面Ｒ、Ｓを備えた透光性を有する電子部品の該面Ｐ、Ｑを外観検査する外観検査装置において、前記面Ｐを撮像する第１の撮像手段と、前記面Ｑを撮像する第２の撮像手段と、前記電子部品の前記面Ｑ側に光を照射する第１の照明手段と、前記電子部品の前記面Ｐ側に光を照射する第２の照明手段と、前記第１の照明手段と前記面Ｑの間に設けられ、前記第１の照明手段から前記面Ｒに向かう光及び該第１の照明手段から前記面Ｓに向かう光を遮る第１の遮光領域、及び、前記第１の照明手段から前記面Ｑに向かう光を通過させる第１の非遮光領域を有する第１の光路制限手段と、前記第２の照明手段と前記面Ｐの間に設けられ、前記第２の照明手段から前記面Ｒに向かう光及び該第２の照明手段から前記面Ｓに向かう光を遮る第２の遮光領域、及び、前記第２の照明手段から前記面Ｐに向かう光を通過させる第２の非遮光領域を有する第２の光路制限手段と、光の進行方向を変える光路調整手段とを備え、前記面Ｐ、Ｒ、Ｑ、Ｓは連続して設けられ、該面Ｑの該面Ｒ側から該Ｓ側向きの方向をＸ方向として、前記第１の光路制限手段の該Ｘ方向長さは、該面Ｑの該Ｘ方向長さより長く、前記第１の照明手段の光を照射する照射部の該Ｘ方向長さ以上であり、前記第１の非遮光領域は、該面Ｑの該Ｘ方向長さの中心に対向して配置され、該第１の非遮光領域の該Ｘ方向長さは、該面Ｑの該Ｘ方向長さより短く、前記第１の照明手段の照明部の該Ｘ方向長さは、該面Ｑの該Ｘ方向長さより長く、前記第２の光路制限手段の該Ｘ方向長さは、該面Ｐの該Ｘ方向長さより長く、前記第２の照明手段の光を照射する照射部の該Ｘ方向長さ以上であり、前記第２の非遮光領域は、該面Ｐの該Ｘ方向長さの中心に対向して配置され、該第２の非遮光領域の該Ｘ方向長さは、該面Ｐの該Ｘ方向長さより短く、前記第２の照明手段の照明部の該Ｘ方向長さは、該面Ｐの該Ｘ方向長さより長く、前記第１の撮像手段は、前記第１の照明手段が点灯し前記第２の照明手段が消灯した状態で、前記光路調整手段を介して前記面Ｐを撮像し、前記第２の撮像手段は、前記第１の照明手段が消灯し前記第２の照明手段が点灯した状態で、前記光路調整手段を介して前記面Ｑを撮像する。
第１、第２の発明に係る外観検査装置において、前記非遮光領域は、開口部からなるのが好ましい。
【０００７】
第１、第２の発明に係る外観検査装置において、前記開口部はスリットであるのが好ましい。
【０００８】
第１、第２の発明に係る外観検査装置において、前記非遮光領域は、光を透過させる透光部からなるのが好ましい。
【０００９】
【００１０】
【００１１】
第１、第２の発明に係る外観検査装置において、前記電子部品を保持する支持手段と、前記支持手段が昇降可能に取り付けられ、上昇位置に配された該支持手段によって保持された前記電子部品を、前記面Ｐの撮像位置の上方に搬送する搬送手段と、前記上昇位置に配された前記支持手段を押し下げて、該支持手段に保持されている前記電子部品を前記撮像位置に配する押下手段とを、更に備えるのが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
第１、第２の発明に係る外観検査装置は、照明手段から電子部品の面Ｒ及び面Ｓに向かう光を遮るので、電子部品の面Ｐ、Ｑに形成されたクラック、欠け又は疵が面Ｒ又は面Ｓから電子部品内に進入した光で視認しづらくなるのと回避し、安定的に検出できるようにする。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る外観検査装置の平面図である。
【図２】撮像位置Ｔ１で電子部品の面Ｐ、Ｑが撮像される様子を示す説明図である。
【図３】撮像位置Ｔ１で電子部品の面Ｐ、Ｑが撮像される様子を示す説明図である。
【図４】クラックのある電子部品の説明図である。
【図５】撮像位置Ｔ２で電子部品の面Ｒ、Ｓが撮像される様子を示す説明図である。
【図６】撮像位置Ｔ２で電子部品の面Ｒ、Ｓが撮像される様子を示す説明図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態に係る外観検査装置の説明図である。
【図８】本発明の第３の実施の形態に係る外観検査装置の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。
図１〜図３に示すように、本発明の第１の実施の形態に係る外観検査装置１０は、対向する面Ｐ、Ｑ及び対向する面Ｒ、Ｓを備えた透光性を有する電子部品Ｗの面Ｐを外観検査する装置であって、面Ｐを撮像する撮像手段１１と、電子部品Ｗの面Ｑ側に光を照射する照明手段１２（第１の照明手段）とを備えている。以下、詳細に説明する。
【００１５】
本実施の形態において、外観検査の対象である電子部品Ｗは、図４に示すように、直方体状（平面視して矩形状あるいは正方形状）の表面弾性波フィルタであり、透光性を有する。電子部品Ｗには、４つの側面が存在し、その４つの側面が、それぞれ外観検査の対象となる面Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓである。面Ｐ、Ｑは平行であり、面Ｒ、Ｓも平行である。
【００１６】
外観検査装置１０は、図１、図３、図５に示すように、複数（本実施の形態では、１２個であるがこれに限定されない）の支持手段１３が昇降可能に取り付けられた円形の回転テーブル（搬送手段の一例）１４と、支持手段１３をそれぞれ押し下げる複数の押下手段１５を備えている。
水平配置された回転テーブル１４は、図１に示すように、中心に回転軸１６が連結され、図示しないサーボモータから回転軸１６を介して駆動力を与えられ間欠的に所定角度回転する。本実施の形態において、回転テーブル１４は、一回の回転動作で３０°回転する。
【００１７】
支持手段１３は、回転テーブル１４の外周部に周方向に沿って等間隔に設けられたノズルであり、真空圧によって、図３、図５に示すように、電子部品Ｗの上面を吸着して電子部品Ｗを保持し、真空破壊によって電子部品Ｗを保持した状態を解除する。支持手段１３によって保持された電子部品Ｗは、図１、図２に示すように、面Ｐ、Ｑが回転テーブル１４の径方向外側及び内側にそれぞれ配置され、面Ｓ、Ｒが回転テーブル１４の回転方向の上流側及び下流側にそれぞれ配置される。
【００１８】
支持手段１３は、回転テーブル１４の間欠的な回転によって、回転テーブル１４の周方向に沿った移動と一次停止を繰り返す。支持手段１３によって保持された電子部品Ｗは、図１に示すように、回転テーブル１４の回転によって、電子部品Ｗの撮像がなされる撮像位置Ｔ１、Ｔ２の上方に順次搬送され、一次停止する。
【００１９】
押下手段１５は、図１、図３、図５に示すように、支持手段１３が一次停止する位置の回転テーブル１４の上方に設けられ、図示しないサーボモータの駆動力を利用して支持手段１３に下向きの力を作用させる。
支持手段１３は、図示しない弾性体によって上方に付勢された状態で、回転テーブル１４に取り付けられている。そのため、支持手段１３は、押下手段１５から下向きの力を与えられていない状態で、最上位置（上昇位置の一例）に配され、押下手段１５から下向きの力を与えられることによって、所定の高さ位置まで押し下げられる。
【００２０】
電子部品Ｗは、支持手段１３が最上位置に配された状態で、回転テーブル１４の回転によって撮像位置Ｔ１の上方に搬送され、撮像位置Ｔ１の上方に設けられた押下手段１５の作動によって、支持手段１３と共に降下して撮像位置Ｔ１に配される。支持手段１３は、支持している電子部品Ｗの支持手段１３に対する配置を変えることなく、電子部品Ｗを撮像位置Ｔ１に配置する。
この撮像位置Ｔ１における電子部品Ｗの動きは、撮像位置Ｔ２においても同じであり、本実施の形態では、撮像位置Ｔ１、Ｔ２に電子部品Ｗが同じタイミングで配される。撮像位置Ｔ１は電子部品Ｗの面Ｐ、Ｑが撮像される位置であり、撮像位置Ｔ２は電子部品Ｗの面Ｒ、Ｓが撮像される位置である。
【００２１】
外観検査装置１０は、図１〜図３、図５、図６に示すように、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｐ、Ｑを撮像する撮像手段１１、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｐ側及び面Ｑ側にそれぞれ光を照射する照明手段１７（第２の照明手段）及び照明手段１２、撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗの面Ｒ、Ｓを撮像する撮像手段１８、撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗの面Ｒ側及び面Ｓ側に向かってそれぞれ光を照射する照明手段１９、２０を備えている。
【００２２】
撮像手段１１、１８は、図１に示すように、平面視して、回転テーブル１４の外側に設けられ、撮像方向が、回転テーブル１４の内側中心に向けられている。
外観検査装置１０は、更に、光の進行方向を変える光路調整手段２１、２２及び通過する光を制限する光路制限手段２３、２４（第２、第１の光路制限手段）、２５、２６を具備している。光路調整手段２１及び光路制限手段２３、２４は、撮像位置Ｔ１の近傍に配され、光路調整手段２２及び光路制限手段２５、２６は、撮像位置Ｔ２の近傍に配されている。
【００２３】
光路調整手段２１は、図２、図３に示すように、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｐからの光を複数回反射して下向きに進行させるプリズムブロック２７、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｑからの光を複数回反射して下向きに進行させるプリズムブロック２８、及び、プリズムブロック２７、２８から下向きに進む光が進入するプリズム２９を備えている。プリズム２９内に進入した光は、反射によって進路が水平方向に変えられて撮像手段１１に向かう。従って、光路調整手段２１は、光の進行方向を変えて、撮像手段１１に面Ｐ、Ｑを撮像させることができる。
【００２４】
プリズムブロック２７は、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗと同じ高さに、同電子部品Ｗの面Ｐからの光が進入する側壁部２７ａを有している。プリズムブロック２８も、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗと同じ高さに、同電子部品Ｗの面Ｑからの光が進入する側壁部２８ａを有している。側壁部２７ａと側壁部２８ａは、図２、図３に示すように、平行である。
撮像位置Ｔ１において、電子部品Ｗは、側壁部２７ａ、２８ａの間に配された状態で面Ｐ、Ｑが撮像される。
【００２５】
撮像位置Ｔ１において、電子部品Ｗの面Ｐ、Ｑは、側壁部２７ａ、２８ａに対向して配置される。
本実施の形態において、撮像手段１１がプリズム２９及びプリズムブロック２７を介し、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｐを側壁部２７ａから撮像する撮像方向は、電子部品Ｗの面Ｐに対し垂直であり、撮像手段１１がプリズム２９及びプリズムブロック２８を介し、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｑを側壁部２８ａから撮像する撮像方向は、電子部品Ｗの面Ｑに対し垂直である。
【００２６】
このため、撮像手段１１は、図２に示すように、電子部品Ｗの面Ｐを正面視した画像３０ｐ及び電子部品Ｗの面Ｑを正面視した画像３０ｑを撮像することとなる。
撮像手段１１は、照明手段１２が点灯し、照明手段１７が消灯した状態で、光路調整手段２１を介して、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｐを撮像し、照明手段１７が点灯し、照明手段１２が消灯した状態で、光路調整手段２１を介して、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｑを撮像する。
【００２７】
照明手段１２、１７は、図２、図３に示すように、撮影位置Ｔ１に配された電子部品Ｗと同じ高さに配されている。照明手段１２において、光を照射する照射部１２ａは、電子部品Ｗの面Ｑに対して平行に配され、照明手段１７において、光を照射する照射部１７ａは、電子部品Ｗの面Ｐに対して平行に配される。照射部１２ａ、１７ａは、図２に示すように、平面視して、電子部品Ｗの面Ｑ、Ｐよりそれぞれ長く、各中心が、面Ｑ、Ｐの中心に対向してそれぞれ配置されている。
【００２８】
照明手段１２は、図２、図３に示すように、電子部品Ｗの面Ｐを撮像する際に面Ｐの撮像方向とは逆の方向から（面Ｑ側に）プリズムブロック２８越しに電子部品Ｗに向かって光を照射し、照明手段１７は、電子部品Ｗの面Ｑを撮像する際に面Ｑの撮像方向とは逆の方向から（面Ｐ側に）プリズムブロック２７越しに電子部品Ｗに向かって光を照射する。
照射部１２ａは、図２に示すように、平面視して電子部品Ｗの面Ｑより長いため、照射部１２ａからは、電子部品Ｗの面Ｑに向かって進む光Ｌ１に加え、面Ｒ、Ｓに向かって進む光Ｌ１’が照射される。照射部１７ａは、平面視して電子部品Ｗの面Ｐより長いため、照射部１７ａからは、電子部品Ｗの面Ｐに向かって進む光Ｌ２に加え、面Ｒ、Ｓに向かって進む光Ｌ２’が照射される。
【００２９】
照射部１２ａと電子部品Ｗの面Ｑの間には、照射部１２ａに平行に配された板状の光路制限手段２４が設けられ、照射部１７ａと電子部品Ｗの面Ｐの間には、照射部１７ａに平行に配された板状の光路制限手段２３が設けられている。
光路制限手段２４は、左右方向の長さが照射部１２ａの左右方向の長さ以上であり、左右にそれぞれ設けられた光を通さない非透光材からなる遮光領域３１、３２及び遮光領域３１、３２の間に形成された開口部からなる非遮光領域３３を有している。本実施の形態では、遮光領域３１、３２が第１の遮光領域であり、非遮光領域３３が第１の非遮光領域である。
【００３０】
遮光領域３１、３２は、照射部１２ａから照射される光のうち、照射部１２ａから電子部品Ｗの面Ｓに向かう光Ｌ１’及び照射部１２ａから電子部品Ｗの面Ｒに向かう光Ｌ１’をそれぞれ遮る。従って、遮光領域３１、３２が無い場合に比べ、照射部１２ａから照射され電子部品Ｗに到達する光Ｌ１’の量を低減させることができる。
なお、本実施の形態では、遮光領域３１、３２が照射部１２ａから電子部品Ｗの面Ｑに向かう光Ｌ１の一部も遮る。
【００３１】
非遮光領域３３は、左右方向の長さが、電子部品Ｗの面Ｑの左右方向の長さより短い。非遮光領域３３は、平面視して、電子部品Ｗの面Ｑの中心に対向配置され、照射部１２ａから照射されて電子部品Ｗの面Ｑに向かう光Ｌ１を通過させることができる。
そのため、電子部品Ｗの面Ｐを撮像する際、照射部１２ａから照射された光が面Ｒ、Ｓを通過して電子部品Ｗ内に進入するのを抑制することができる。
【００３２】
ここで、実験的検証によって、電子部品Ｗ内に、面Ｒ、Ｓを通過した光の進入を抑制させ、面Ｑを通過した光を進入させた場合、電子部品Ｗにおいて面Ｐから内側に向かって形成された図４に示すクラックＣを、クラックの無い領域に比べ、画像３０ｐ内で安定的に暗くできることが確認されている。そのため、画面３０ｐにおいて、暗い領域を探索することで、面Ｐに形成されたクラックを確実に検出することができる。
一方、電子部品Ｗ内への面Ｒ、Ｓを通過した光の進入を抑制しない場合、クラックＣは、画像３０ｐにおいて、クラックの無い領域と同レベルの明度で表示され、クラックＣの検出精度が低下することが確認されている。
【００３３】
光路制限手段２３は、左右方向の長さが、照射部１７ａの左右方向の長さ以上であり、左右にそれぞれ設けられた光を通さない非透光材からなる遮光領域３５、３６及び遮光領域３５、３６の間に形成された開口部からなる非遮光領域３７を有している。本実施の形態においては、遮光領域３５、３６が第２の遮光領域であり、非遮光領域３７が第２の非遮光領域である。
【００３４】
遮光領域３５、３６は、照射部１７ａから照射される光のうち、照射部１７ａから電子部品Ｗの面Ｒに向かう光Ｌ２’及び照射部１７ａから電子部品Ｗの面Ｓに向かう光Ｌ２’をそれぞれ遮る。従って、照射部１７ａから照射され電子部品Ｗに到達する光Ｌ２’の量を低減させることができる。
なお、本実施の形態では、遮光領域３５、３６が照射部１７ａから電子部品Ｗの面Ｐに向かう光Ｌ２の一部も遮る。
【００３５】
非遮光領域３７は、左右方向の長さが、電子部品Ｗの面Ｐの左右方向の長さより短い。非遮光領域３７は、平面視して、電子部品Ｗの面Ｐの中心に対向配置され、照射部１７ａから照射されて電子部品Ｗの面Ｐに向かう光Ｌ２を通過させることができる。
そのため、電子部品Ｗの面Ｑを撮像する際、照射部１７ａから照射された光が面Ｒ、Ｓを通過して電子部品Ｗ内に進入するのを抑制することができ、面Ｑから電子部品Ｗの内側に向かって形成されたクラックを安定的に検出可能である。
そして、撮像位置Ｔ１で面Ｐ、Ｑの撮像が完了した電子部品Ｗは、最上位置に配された後、回転テーブル１４の回転によって撮像位置Ｔ２の上方に搬送され、撮像位置Ｔ２の上方に設けられた押下手段１５の作動によって、撮像位置Ｔ２に配される。
【００３６】
なお、撮像手段１１の撮像方向が電子部品Ｗの面Ｐ、Ｑに対して垂直である必要はなく、撮像手段１１の撮像方向が電子部品Ｗの面Ｐ、Ｑに対し非垂直であってもよい。
外観検査装置１０においては、回転テーブル１４の径方向に沿って、撮像手段１１、光調整手段２１、照明手段１２、１７及び光路制限手段２３、２４が配置されていたのに対し、図７に示す本発明の第２の実施の形態に係る外観検査装置においては、撮像手段１１、光調整手段２１、照明手段１２、１７及び光路制限手段２３、２４が、回転テーブル１４の径方向に対して傾いた方向に沿って配置されている。
【００３７】
このため、図７に示す第２の実施の形態では、撮像手段１１の撮像方向が、撮像位置Ｔ１’に配された電子部品Ｗの面Ｐ、Ｑに対し非垂直であり、撮像手段１１は、電子部品Ｗの面Ｐ、Ｓを撮像した画像３０ｔ及び電子部品Ｗの面Ｑ、Ｒを撮像した画像３０ｕを得ることとなる。
電子部品Ｗは、照明手段１２から照射された光が、光路制限手段２４の遮光領域３１、３２によって、面Ｓ、Ｒから電子部品Ｗ内に進入するのを抑制された状態で面Ｐが撮像され、照明手段１７から照射された光が、光路制限手段２３の遮光領域３５、３６によって、面Ｒ、Ｓから電子部品Ｗ内に進入するのを抑制した状態で面Ｑが撮像される。
【００３８】
また、外観検査装置１０において、撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗに対応する光路調整手段２２は、図５、図６に示すように、撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗの面Ｓからの光を反射によって下向きに進行させるプリズムブロック３８、同電子部品Ｗの面Ｒからの光を反射によって下向きに進行させるプリズムブロック３９、及び、プリズムブロック３８、３９から下向きに進む光が進入するプリズム４０を備えている。プリズム４０内に進入した光は、反射によって進路が水平方向に変えられ、撮像手段１８に向かう。従って、光路調整手段２２は、光の進行方向を変えて、撮像手段１８に電子部品Ｗの面Ｒ、Ｓを撮像させることができる。
【００３９】
撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗの面Ｓ、プリズムブロック３８、照明手段２０及び光路制限手段２６の関係は、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｐ、プリズムブロック２７、照明手段１７及び光路制限手段２３の関係と同様であり、撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗの面Ｒ、プリズムブロック３９、照明手段１９及び光路制限手段２５の関係は、撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｑ、プリズムブロック２８、照明手段１２及び光路制限手段２４の関係と同様である。
【００４０】
一方、光路調整手段２１のプリズムブロック２７、２８が、図１、図２に示すように、回転テーブル１４の径方向に沿って配されているのに対し、光路調整手段２２のプリズムブロック３８、３９は、図１、図６に示すように、回転テーブル１４の周方向に沿って配されている点で異なり、図３、図５に示すように、プリズムブロック２７、２８に対するプリズム２９の光を反射する方向と、プリズムブロック３８、３９に対するプリズム４０の光を反射する方向は相異する。
プリズムブロック３８は、図５、図６に示すように、撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗの高さ位置に、同電子部品Ｗの面Ｓからの光が進入する側壁部３８ａを備え、プリズムブロック３９は、同電子部品Ｗの高さ位置に、同電子部品Ｗの面Ｒからの光が進入する側壁部３９ａを備えている。
【００４１】
電子部品Ｗは、撮像位置Ｔ２の上方に搬送された後、押下手段１５によって支持手段１３と共に降下して撮像位置Ｔ２に配されるため、プリズムブロック３８、３９に接触することなく、撮像位置Ｔ２に配される。
プリズムブロック３８及びプリズム４０は、撮像手段１８が、撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗの面Ｓを正面から撮像するように光路を調整し、プリズムブロック３９及びプリズム４０は、撮像手段１８が、撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗの面Ｒを正面から撮像するように光路を調整する。従って、撮像手段１８は、図６に示すように、電子部品Ｗの面Ｒ、Ｓをそれぞれ正面視した画像３０ｒ、３０ｓを撮像することができる。
【００４２】
照明手段１９、２０は、図５に示すように、撮影位置Ｔ２に配された電子部品Ｗと同じ高さに光を照射する照射部１９ａ、２０ａをそれぞれ備えている。照射部１９ａは、図５、図６に示すように、撮影位置Ｔ２に配された電子部品Ｗの面Ｒに対して平行に配され、照射部２０ａは、同電子部品Ｗの面Ｓに対して平行に配される。照射部１９ａ、２０ａは、図６に示すように、平面視して、電子部品Ｗの面Ｒ、Ｓよりそれぞれ長く、各中心が、面Ｒ、Ｓの中心に対向してそれぞれ配置されている。
【００４３】
照明手段１９は、図５、図６に示すように、電子部品Ｗの面Ｓを撮像する際に面Ｓの撮像方向とは逆の方向から（面Ｒ側に）プリズムブロック３９越しに電子部品Ｗに向かって光を照射し、照明手段２０は、電子部品Ｗの面Ｒを撮像する際に面Ｒの撮像方向とは逆の方向から（面Ｓ側に）プリズムブロック３８越しに電子部品Ｗに向かって光を照射する。
照射部１９ａは、図６に示すように、平面視して電子部品Ｗの面Ｒより長いため、照射部１９ａからは、電子部品Ｗの面Ｒに向かって進む光Ｌ３に加え、面Ｐ、Ｑに向かって進む光Ｌ３’が照射される。照射部２０ａは、平面視して電子部品Ｗの面Ｓより長いため、照射部２０ａからは、電子部品Ｗの面Ｓに向かって進む光Ｌ４に加え、面Ｐ、Ｑに向かって進む光Ｌ４’が照射される。
【００４４】
照射部１９ａと電子部品Ｗの面Ｒの間には、照射部１９ａに平行に配された板状の光路制限手段２５が設けられ、照射部２０ａと電子部品Ｗの面Ｓの間には、照射部２０ａに平行に配された板状の光路制限手段２６が設けられている。
光路制限手段２５は、左右方向の長さが、照射部１９ａの左右方向の長さ以上であり、左右にそれぞれ設けられた光を通さない非透光材からなる遮光領域４１、４２及び遮光領域４１、４２の間に形成された開口部からなる非遮光領域４３を有している。
【００４５】
遮光領域４１、４２は、照射部１９ａから照射される光のうち、照射部１９ａから電子部品Ｗの面Ｑに向かう光Ｌ３’及び照射部１９ａから電子部品Ｗの面Ｐに向かう光Ｌ３’をそれぞれ遮る。
非遮光領域４３は、左右方向の長さが、電子部品Ｗの面Ｒの左右方向の長さより短い。非遮光領域４３は、平面視して、電子部品Ｗの面Ｒの中心に対向配置され、照射部１９ａから照射されて電子部品Ｗの面Ｒに向かう光Ｌ３を通過させることができる。
そのため、電子部品Ｗの面Ｓを撮像する際、照射部１９ａから照射された光が面Ｐ、Ｑを通過して電子部品Ｗ内に進入するのを抑制でき、面Ｓに形成されたクラックを安定的に検出可能である。
【００４６】
光路制限手段２６は、左右方向の長さが、照射部２０ａの左右方向の長さ以上であり、左右にそれぞれ設けられた光を通さない非透光材からなる遮光領域４５、４６及び遮光領域４５、４６の間に形成された開口部からなる非遮光領域４７を有している。
遮光領域４５、４６は、照射部２０ａから照射される光のうち、照射部２０ａから電子部品Ｗの面Ｐに向かう光Ｌ４’及び照射部２０ａから電子部品Ｗの面Ｑに向かう光Ｌ４’をそれぞれ遮る。
【００４７】
非遮光領域４７は、左右方向の長さが、電子部品Ｗの面Ｓの左右方向の長さより短い。非遮光領域４７は、平面視して、電子部品Ｗの面Ｓの中心に対向配置され、照射部２０ａから照射されて電子部品Ｗの面Ｓに向かう光Ｌ４を通過させることができる。
そのため、電子部品Ｗの面Ｒを撮像する際、照射部２０ａから照射された光が面Ｐ、Ｑを通過して電子部品Ｗ内に進入するのを抑制でき、面Ｒに形成されたクラックを安定的に検出可能である。
【００４８】
本実施の形態において、非遮光領域３３、３７、４３、４７は、縦に長いスリットであるが、これに限定されず、縦横の長さが同じ開口部、あるいは、横に長い開口部であってもよい。更に、光路制限手段２３、２４、２５、２６の代わりに、光が透過可能な素材（例えば、透光性のある樹脂）で形成された透光部からなる非遮光領域を具備した光路制限手段を採用してもよい。
【００４９】
撮像位置Ｔ２で面Ｒ、Ｓの撮像が完了した電子部品Ｗは、最上位置に配された後、回転テーブル１４の回転によって下流側に搬送される。
撮像手段１１、１８によって撮像された画像３０ｐ、３０ｑ、３０ｒ、３０ｓは、図示しない情報処理機による面Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓに対するクラック等の有無の判定に用いられる。
外観検査装置１０には、図１に示すように、回転テーブル１４の回転方向に沿って撮像位置Ｔ２の下流側に、面Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓにクラック等が発見されなかった電子部品Ｗをテーピングに収容するテーピングユニット４８、及び、面Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓにクラック等が発見された電子部品Ｗを不良品として排出するソータ４９が設けられている。
【００５０】
次に、光路制限手段２３、２４、２５、２６の代わりに、光の進行方向によって通過させる光を制限する図８に示す光透過制限手段５１、５２を利用した本発明の第３の実施の形態に係る外観検査装置について説明する。なお、外観検査装置１０と同様の構成については、同じ符号を付して詳細な説明を省略する。
光透過制限手段５１は、図８に示すように、照射部１２ａと側壁部２８ａの間に配置され、照射部１２ａから撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｑに垂直な方向（実質的に垂直な方向）に進む光Ｌ５を通過させ、照明部１２ａから面Ｒに向かう光及び面Ｓに向かう光を遮断（あるいは減少）させる。このため、照射部１２ａから照射され電子部品Ｗの面Ｒ、Ｓを通過して電子部品Ｗ内に進入する光は実質的に存在しなくなり（あるいは減少し）、電子部品Ｗの面Ｐに形成されたクラックを安定的に検出できる。
【００５１】
光透過制限手段５２は、照射部１７ａと側壁部２７ａの間に配置され、照射部１７ａから撮像位置Ｔ１に配された電子部品Ｗの面Ｐに垂直な方向（実質的に垂直な方向）に進む光Ｌ６を通過させ、照明部１７ａから面Ｒに向かう光及び面Ｓに向かう光を遮断（あるいは減少）させる。このため、照射部１７ａから照射され電子部品Ｗの面Ｒ、Ｓを通過して電子部品Ｗ内に進入する光は実質的に存在しなくなり（あるいは減少し）、電子部品Ｗの面Ｑに形成されたクラックを安定的に検出可能である。
【００５２】
光透過制限手段５１、５２は、マイクロルーバを用いて形成することができる。なお、本実施の形態では、光透過制限手段５１、５２がそれぞれ、照明手段１２、１７から離れた位置に設けられているが、照明手段１２、１７に密着していてもよい。
そして、撮像位置Ｔ２の近傍にも、光透過制限手段５１、５２と同構造の光透過制限手段が、照射部１９ａと側壁部３９ａの間及び照射部２０ａと側壁部３８ａの間に設けられている。従って、撮像位置Ｔ２に配された電子部品Ｗについては、照射部１９ａ、２０ａから照射され面Ｐ、Ｑを通過して電子部品Ｗ内に進入する光が実質的に存在しない状態で面Ｒ、Ｓの撮像が行われる。
【００５３】
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明は、上記した形態に限定されるものでなく、要旨を逸脱しない条件の変更等は全て本発明の適用範囲である。
例えば、外観検査の対象である電子部品は、透光性を有すればよく、表面弾性波フィルタに限定されず、電子部品の形状は、平面して四角形に限定されない。
また、外観検査装置は、回転テーブルを備えている必要はなく、回転テーブルを備えている場合も、回転テーブルの回転軸は鉛直に配されている必要はなく、例えば、水平に配されていてもよい。
【００５４】
そして、電子部品は、面Ｐ、Ｑ（面Ｒ、Ｓについても同じ）がそれぞれ異なる位置で撮像されてもよい。更に、面Ｐ、Ｑ（面Ｒ、Ｓについても同じ）の撮像を、異なる撮像手段によって行ってもよい。また、電子部品の撮像対象面は、面Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓ全てである必要はなく、例えば、面Ｐのみであってもよい。
また、光路制限手段は板状である必要は無い。
【符号の説明】
【００５５】
１０：外観検査装置、１１：撮像手段、１２：照明手段、１２ａ：照射部、１３：支持手段、１４：回転テーブル、１５：押下手段、１６：回転軸、１７：照明手段、１７ａ：照射部、１８：撮像手段、１９：照明手段、１９ａ：照射部、２０：照明手段、２０ａ：照射部、２１、２２：光路調整手段、２３、２４、２５、２６：光路制限手段、２７：プリズムブロック、２７ａ：側壁部、２８：プリズムブロック、２８ａ：側壁部、２９：プリズム、３０ｐ、３０ｑ、３０ｒ、３０ｓ、３０ｔ、３０ｕ：画像、３１、３２：遮光領域、３３：非遮光領域、３５、３６：遮光領域、３７：非遮光領域、３８：プリズムブロック、３８ａ：側壁部、３９：プリズムブロック、３９ａ：側壁部、４０：プリズム、４１、４２：遮光領域、４３：非遮光領域、４５、４６：遮光領域、４７：非遮光領域、４８：テーピングユニット、４９：ソータ、５１、５２：光透過制限手段、Ｗ：電子部品、Ｐ、Ｑ、Ｒ、Ｓ：面、Ｔ１、Ｔ１’、Ｔ２：撮像位置、Ｌ１、Ｌ１’、Ｌ２、Ｌ２’、Ｌ３、Ｌ３’、Ｌ４、Ｌ４’、Ｌ５、Ｌ６：光、Ｃ：クラック