(57)【要約】【課題】ポンプ真空側への潤滑油蒸気の移動を防止することができる真空ポンプの提供。【解決手段】ターボ分子ポンプ１は、回転翼３０および円筒部３１を有する回転体ユニットＲと、回転翼３０および円筒部３１と協働して排気作用を生成する固定翼２０およびステータ２１と、回転体ユニットＲのシャフト１０を支持するボールベアリング８と、ボールベアリング８が収納され、シャフト１０が貫通する貫通孔１１４ｐが形成されたベアリングハウジング１１４と、シャフト１０の外周面に形成され、対向する内周面１１４ｄと協働してボールベアリング８の方向への排気作用を生成するネジ溝部１００と、ボールベアリング８を挟んで貫通孔１１４ｐとは反対側のベアリングハウジング１１４の内部に設けられ、ボールベアリング８に潤滑油を供給する潤滑油貯蔵部１１１と、を備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転側排気機能部を有する回転体と、
前記回転側排気機能部と協働して排気作用を生成する固定側排気機能部と、
前記回転体の回転軸を支持する転がり軸受と、
前記転がり軸受が収納され、前記回転軸が貫通する貫通孔が形成された軸受ハウジングと、
互い対向する前記貫通孔の内周面および前記回転軸の外周面のいずれか一方の面に形成され、対向する面と協働して前記転がり軸受の方向への排気作用を生成するネジ溝排気部と、
前記転がり軸受を挟んで前記貫通孔とは反対側の前記軸受ハウジングの内部に設けられ、前記転がり軸受に潤滑油を供給する潤滑油供給部と、を備える真空ポンプ。
【請求項２】
請求項１に記載の真空ポンプにおいて、
前記ネジ溝排気部の上流側または前記ネジ溝排気部と、前記潤滑油供給部が設けられた空間と、を連通する通路を備える、真空ポンプ。
【請求項３】
請求項２に記載の真空ポンプにおいて、
前記通路は、前記回転軸を貫通して前記ネジ溝排気部の上流側または前記ネジ溝排気部に連通する貫通孔を含む、真空ポンプ。
【請求項４】
請求項２または３に記載の真空ポンプにおいて、
前記潤滑油供給部が設けられた空間から前記通路に流入する気体に含まれる潤滑油蒸気を除去する潤滑油蒸気凝縮部を備える、真空ポンプ。
【請求項５】
請求項４に記載の真空ポンプにおいて、
真空ポンプのケーシングの一部を構成し、外周面に放熱フィンが形成された放熱器を備え、
前記潤滑油蒸気凝縮部は前記放熱器に設けられている、真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
転がり軸受を用いている真空ポンプでは、高速回転の高負荷、長時間の連続運転に耐えるように、油潤滑やグリース潤滑が採用されている。長時間の連続運転を可能にするためには、長期に亘って転がり軸受の潤滑状態が維持されている必要がある。
【０００３】
ところで、高速回転する転がり軸受の発熱により潤滑油は蒸発し、潤滑油蒸気が、真空ポンプの内部の圧力勾配によりポンプ作用構造部分の方向に移動する（例えば、特許文献１参照）。そのため、特許文献１に記載の真空ポンプでは、回転軸を囲むように冷却体を含む凝縮要素を設けて、回転軸の隙間を流れる潤滑油蒸気を凝縮し、凝縮した潤滑油を潤滑油貯蔵装置に戻すようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−２４７２５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、潤滑油蒸気は圧力勾配によりポンプ作用構造部分の方向へ移動する傾向にある。そのため、移動する潤滑油蒸気を凝縮要素により効果的に凝縮するためには、隙間寸法を非常に小さくしたり、凝縮要素の温度を低くための冷却器を設けたりする必要があり、実用上、特許文献１に記載の構成では、潤滑油蒸気のポンプ作用構造部分方向への移動は避けられない。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の好ましい実施形態による真空ポンプは、回転側排気機能部を有する回転体と、前記回転側排気機能部と協働して排気作用を生成する固定側排気機能部と、前記回転体の回転軸を支持する転がり軸受と、前記転がり軸受が収納され、前記回転軸が貫通する貫通孔が形成された軸受ハウジングと、互い対向する前記貫通孔の内周面および前記回転軸の外周面のいずれか一方の面に形成され、対向する面と協働して前記転がり軸受の方向への排気作用を生成するネジ溝排気部と、前記転がり軸受を挟んで前記貫通孔とは反対側の前記軸受ハウジングの内部に設けられ、前記転がり軸受に潤滑油を供給する潤滑油供給部と、を備える。
さらに好ましい実施形態では、前記ネジ溝排気部の上流側または前記ネジ溝排気部と前記潤滑油供給部が設けられた空間とを連通する通路を備える。
さらに好ましい実施形態では、前記通路は、回転軸を貫通して前記ネジ溝排気部の上流側または前記ネジ溝排気部に連通する貫通孔を含む。
さらに好ましい実施形態では、前記潤滑油供給部が設けられた空間から前記通路に流入する気体に含まれる潤滑油蒸気を除去する潤滑油蒸気凝縮部を備える。
さらに好ましい実施形態では、真空ポンプのケーシングの一部を構成し、外周面に放熱フィンが形成された放熱器を備え、前記潤滑油蒸気凝縮部は前記放熱器に設けられている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、転がり軸受からポンプ真空側への潤滑油蒸気の移動を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は本発明に係る真空ポンプの第１の実施の形態を示す図である。
【図２】図２は、ベアリングホルダの部分の構成を詳細に示す図である。
【図３】図３は、第１の実施の形態の変形例を示す図である。
【図４】図４は、本発明による真空ポンプの第２の実施の形態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。
−第１の実施の形態−
図１は本発明に係る真空ポンプの第１の実施の形態を示す図であり、ターボ分子ポンプ１の断面図である。なお、ターボ分子ポンプ１には電力を供給する電源ユニットが接続されるが、図１では図示を省略した。
【００１０】
図１に示すターボ分子ポンプ１は、排気機能部として、タービン翼を備えたターボポンプ部Ｐ１と、螺旋型の溝を備えたHolweckポンプ部Ｐ２とを備えている。もちろん、本発明は、排気機能部にターボポンプ部Ｐ１およびHolweckポンプ部Ｐ２を備えた真空ポンプに限らず、タービン翼のみを備えた真空ポンプや、ジーグバーンポンプやHolweckポンプなどのドラッグポンプのみを備えた真空ポンプや、それらを組み合わせた真空ポンプにも適用することができる。
【００１１】
ターボポンプ部Ｐ１は、ポンプロータ３に形成された複数段の回転翼３０とベース２およびポンプケーシング１２側に配置された複数段の固定翼２０とで構成される。一方、ターボポンプ部Ｐ１の排気下流側に設けられたHolweckポンプ部Ｐ２は、ポンプロータ３に形成された円筒部３１とベース２側に配置されたステータ２１とで構成されている。円筒状のステータ２１の内周面には螺旋溝が形成されている。複数段の回転翼３０と円筒部３１とが回転側排気機能部を構成し、複数段の固定翼２０とステータ２１とが固定側排気機能部を構成する。
【００１２】
ポンプロータ３は回転軸であるシャフト１０に締結されており、そのシャフト１０はモータ４により回転駆動される。モータ４には例えばＤＣブラシレスモータが用いられ、ベース２にモータステータ４ａが設けられ、シャフト１０側にはモータロータ４ｂが設けられている。シャフト１０とポンプロータ３とから成る回転体ユニットＲは、永久磁石６ａ，６ｂを用いた永久磁石磁気軸受６と転がり軸受であるボールベアリング８とにより回転自在に支持されている。
【００１３】
永久磁石６ａ，６ｂは、軸方向に磁化されたリング状の永久磁石である。ポンプロータ３に設けられた複数の永久磁石６ａは、同極同士が対向するように軸方向に複数配置されている。一方、固定側の複数の永久磁石６ｂは、ポンプケーシング１２に固定された磁石ホルダ１１に装着されている。これらの永久磁石６ｂも、同極同士が対向するように軸方向に複数配置されている。ポンプロータ３に設けられた永久磁石６ａの軸方向位置は、その内周側に配置された永久磁石６ｂの位置よりも若干上側となるように設定されている。すなわち、回転側の永久磁石の磁極は、固定側の永久磁石の磁極に対して軸方向に所定量だけずれている。この所定量の大きさによって、永久磁石磁気軸受６の支持力が異なる。図１に示す例では、永久磁石６ａの方が図示上側に配置されているため、永久磁石６ａと永久磁石６ｂとの反発力により、ラジアル方向の支持力と軸方向上向き（ポンプ排気口側方向）の力とが回転体ユニットＲに働いている。
【００１４】
磁石ホルダ１１の中央には、ボールベアリング９を保持するベアリングホルダ１３が固定されている。図１では、ボールベアリング８，９に深溝玉軸受を用いているが、これに限らず、例えばアンギュラコンタクトの軸受を用いても良い。ボールベアリング９は、シャフト上部のラジアル方向の振れを制限するタッチダウンベアリングとして機能するものである。定常回転状態ではシャフト１０とボールベアリング９とが接触することはなく、大外乱が加わった場合や、回転の加速時または減速時にシャフト１０の振れ回りが大きくなった場合に、シャフト１０がボールベアリング９に接触する。
【００１５】
ボールベアリング８は、ベース２にボルト固定されるベアリングハウジング１１４に収納され、外輪がベアリングハウジング１１４に保持されている。ボールベアリング８は油潤滑式の転がり軸受である。ベアリングハウジング１１４は、ボールベアリング８に潤滑油を供給するための潤滑油貯蔵部１１１を備えている。ベアリングハウジング１１４の下部には、放熱フィン１５０が形成されたアキシャルカバー１５が固定されている。
【００１６】
図２は、ベアリングハウジング１１４の部分の構成を詳細に示す図である。ボールベアリング８は、内輪がコーン型ナット１０２によりシャフト１０に固定されている。コーン型ナット１０２は、雄ネジが形成されたシャフト１０の下端に着脱自在に設けられている。ボールベアリング８の外周側にはリング状のラジアルダンパー１１６が設けられている。ラジアルダンパー１１６の材料にはゴム等のエラストマーが用いられる。
【００１７】
ボールベアリング８の外輪は、ベアリング押え１１２によってベアリングハウジング１１４に固定されている。ベアリング押さえ１１２は筒状部材であって、外周に雄ネジ１１２ｂが形成されている。この雄ネジ１１２ｂをベアリングハウジング１１４の内周に形成された雌ねじ１１４ｃと螺合させることにより、ベアリング押さえ１１２がベアリングハウジング１１４に取り付けられると共に、ベアリング押さえ１１２の上端に形成されたフランジ部１１２ａがボールベアリング８の外輪に当接する。
【００１８】
ベアリング押さえ１１２の内周側には潤滑油貯蔵部１１１が設けられている。リング状の潤滑油貯蔵部１１１の内周面には、内側に突出した接触部１１１ａが形成されている。この接触部１１１ａはコーン型ナット１０２の外周面に接触している。潤滑油貯蔵部１１１は、潤滑油が保持可能なフェルト状やスポンジ状の部材で構成され、潤滑油を保持している。
【００１９】
コーン型ナット１０２の外周面は、ボールベアリング８の内輪に当接する側から先端に向けて先細りのテーパ面１０２ａとなっている。すなわち、テーパ面１０２ａは、内輪に向かって上り勾配の傾斜面となっている。そのため、コーン型ナット１０２がシャフト１０と一体に高速回転すると、潤滑油貯蔵部１１１の接触部１１１ａが接触することによってテーパ面１０２ａに付着した潤滑油は、遠心力が作用してテーパ面１０２ａ上をボールベアリング８の内輪方向に移動する。その結果、潤滑油貯蔵部１１１の潤滑油がボールベアリング８に供給される。
【００２０】
シャフト１０は、ベアリングハウジング１１４の上端部に形成された貫通孔１１４ｐを貫通して、ベアリングハウジング１１４に保持されたボールベアリング８の内輪に固定されている。貫通孔１１４ｐの内周面１１４ｄに対向するシャフト１０の外周面には、ネジ溝部１００が形成されている。ネジ溝部１００とベアリングハウジング１１４の内周面１１４ｄとの間には、微小なギャップが形成されている。本実施の形態では、シャフト１０に形成されたネジ溝部１００と貫通孔１１４ｐの内周面１１４ｄとによって、ネジ溝ポンプＳＰが構成される。
【００２１】
シャフト１０が回転すると、ネジ溝ポンプＳＰは矢印Ｐの方向に排気するポンプ作用を生成し、ネジ溝ポンプＳＰの上流側と下流側との間に圧力差が生じる。このように、本実施の形態では、ネジ溝ポンプＳＰのポンプ作用により、シャフト１０とベアリングハウジング１１４との隙間を介したモータハウジング２ａの方向への潤滑油蒸気の移動を阻止することができる。
【００２２】
図１に示すように、モータハウジング空間はモータロータ４ｂとモータステータ４ａとの隙間を介してHolweckポンプ部Ｐ２の排気側に連通している。そのため、潤滑油蒸気がモータハウジング側に漏れ出ると、真空排気側への潤滑油蒸気の影響が問題となる。しかし、本実施の形態では、シャフト１０の外周とそれに対向する貫通孔１１４ｐの内周面１１４ｄとでネジ溝ポンプＳＰを構成するようにしたので、モータハウジング側への潤滑油蒸気の移動を防止できる。さらに、ネジ溝ポンプＳＰを通過した潤滑油蒸気が、ボールベアリング８を通って、潤滑油貯蔵部１１１へ戻る循環経路を構成できるため、潤滑油貯蔵部１１１の潤滑油の減少も防止できる。
【００２３】
さらに、本実施の形態では、ベアリングハウジング１１４の内周面に形成された溝１１４ａと、その溝１１４ａに連通する貫通孔１１４ｂとを形成して、ネジ溝ポンプＳＰの上流側であるベアリングハウジング上端部分の外部空間と、ベアリングハウジング１１４の内部空間とを連通するようにしている。ネジ溝ポンプＳＰのポンプ作用によってベアリングハウジング１１４の内外に圧力差が生じると、ベアリングハウジング１１４内の潤滑油蒸気凝縮部１５１が配置されている空間の気体が、破線矢印Ｒ２に示すように溝１１４ａおよび貫通孔１１４ｂを通ってネジ溝ポンプＳＰの上流側に移動する。そして、ネジ溝ポンプＳＰの上流側に移動した気体は、ネジ溝ポンプＳＰによってベアリングハウジング１１４内へと排気される。
【００２４】
ところで、溝１１４ａおよび貫通孔１１４ｂを設けない場合には、ベアリングハウジング空間はネジ溝ポンプＳＰの隙間を除いて密閉状態となる。そのため、ネジ溝ポンプＳＰは、ネジ溝ポンプＳＰの隙間を漏れ出ようとする潤滑油蒸気をベアリングハウジング内に押し戻すという働きをする。
【００２５】
一方、ベアリングハウジング内の気体がネジ溝ポンプＳＰの上流側に移動できる通路（溝１１４ａおよび貫通孔１１４ｂ）を形成することで、気体が破線矢印Ｒ１，Ｒ２で示すように循環することになる。そのため、ネジ溝ポンプＳＰの隙間を上流側から下流側に流れる気体の量が増加する。このように、上流側から下流側への気体の流れを積極的に形成することで、上流側へ漏れた気体を押し戻す効果が得られるため、上述した密閉状態の場合よりもさらに潤滑油蒸気のモータ４側への漏れを防止することができる。
【００２６】
なお、潤滑油貯蔵部１１１や潤滑油蒸気凝縮部１５１が設けられている空間には潤滑油蒸気も存在するので、溝１１４ａおよび貫通孔１１４ｂを介してネジ溝ポンプＳＰの上流側に戻す気体から潤滑油蒸気を除去するのが好ましい。そのため、本実施の形態では、アキシャルカバー１５の内周面に潤滑油蒸気凝縮部１５１を設けるようにした。潤滑油蒸気凝縮部１５１は、金属メッシュや目の粗い燒結金属などの多孔性部材によって形成される。
【００２７】
外周に放熱フィン１５０が形成されたアキシャルカバー１５は放熱器として機能する部材であり、アキシャルカバー１５の内周面に潤滑油蒸気凝縮部１５１を設けることで潤滑油蒸気凝縮部１５１が冷却される。なお、潤滑油蒸気凝縮部１５１と潤滑油貯蔵部１１１との間には、潤滑油蒸気凝縮部１５１で凝縮した潤滑油を潤滑油貯蔵部１１１へ導く誘導部材１５２が挟持されるように設けられている。誘導部材１５２には金属メッシュや、燒結金属やフェルト等が使用される。
【００２８】
潤滑油貯蔵部１１１が設けられている空間の気体が破線矢印Ｒ２に示すように溝１１４ａに流れ込む場合、気体は潤滑油蒸気凝縮部１５１の内部や表面を通過する際に冷却され、気体中の潤滑油蒸気が凝縮される。その結果、潤滑油蒸気の少ない気体がネジ溝ポンプＳＰの上流側に戻されることになる。本実施の形態では、ネジ溝ポンプＳＰの上流側に戻された気体はネジ溝ポンプＳＰによって矢印Ｐの方向に排気される構成としているが、上述のように気体に含まれる潤滑油蒸気の量は少ない方が好ましい。
【００２９】
（変形例）
図３は、上述した実施の形態の変形例を示す図である。図３（ａ）に示す第１の変形例では、貫通孔１１４ｂの出口をネジ溝ポンプＳＰに配置した。また、潤滑油蒸気凝縮部１５１の上面を潤滑油貯蔵部１１１の下面に接触させるようにした。
【００３０】
図３（ａ）のようにネジ溝ポンプＳＰの隙間にベアリングハウジング１１４内の気体を戻すようにしても、図２の場合と同様にネジ溝ポンプＳＰの上流側から下流側への気体の流れが形成され、シャフト１０と貫通孔１１４ｐとの隙間を通ってベアリングハウジング１１４内の潤滑油蒸気が漏れ出るのを防止することができる。
【００３１】
また、潤滑油蒸気凝縮部１５１の上面を潤滑油貯蔵部１１１の下面に接触させると、潤滑油貯蔵部１１１の内側空間の気体は、破線矢印Ｒ２で示すようにアキシャルカバー１５で冷却された潤滑油蒸気凝縮部１５１の内部を通って溝１１４ａに流入することになる。そのため、気体内に含まれる潤滑油蒸気がより効率的に凝縮される。
【００３２】
図３（ｂ）は、第２の変形例を示す図である。第２の変形例では、ベアリングハウジング１１４の側にネジ溝部１１４ｅを形成し、そのネジ溝部１１４ｅとシャフト１０の外周面１０ａとでネジ溝ポンプＳＰを構成するようにした。なお、図３（ｂ）に示す構成では貫通孔１１４ｂの出口をネジ溝ポンプＳＰの上流側に配置したが、図３（ａ）の場合と同様にネジ溝ポンプＳＰの部分に貫通孔１１４ｂの出口を設けても良い。
【００３３】
−第２の実施の形態−
図４は、本発明による真空ポンプの第２の実施の形態を示す図である。上述した第１の実施の形態ではベアリングハウジング１１４に溝１１４ａおよび貫通孔１１４ｂを形成して、潤滑油蒸気凝縮部１５１が配置されている空間の気体をネジ溝ポンプＳＰまたはその上流側に導いた。一方、第２の実施の形態では、シャフト１０に貫通孔１０１を形成して、潤滑油蒸気凝縮部１５１が配置されている空間の気体をネジ溝ポンプＳＰの上流側に導く構成とした。
【００３４】
貫通孔１０１は、シャフト１０の下端から軸方向に延在する穴１０１ａと、穴１０１ａの上端に接続されシャフト外周面に開口を有する径方向の穴１０１ｂとで構成される。穴１０１ａの下端は、コーン型ナット１０２の軸芯に形成された貫通孔１０２ｂに連通している。ベアリング押さえ１１２のフランジ部１１２ａとベアリング押さえ１１２に保持された潤滑油蒸気凝縮部１５１との間には、隙間空間１１２ｃが形成されている。また、潤滑油蒸気凝縮部１５１には、その上面から下面に貫通する貫通孔１１１ｂが複数形成されている。もちろん、貫通孔１１１ｂは一つでも良い。
【００３５】
ネジ溝ポンプＳＰのポンプ作用によりネジ溝ポンプＳＰの上流側と下流側との間に差圧が形成されると、破線矢印Ｒ１のようにシャフト１０とベアリングハウジング１１４との隙間を気体が移動すると共に、貫通孔１０１を介してベアリングハウジング１１４内の気体が、ネジ溝ポンプＳＰの上流側に移動する。その結果、破線矢印で示すような気体の循環が生じる。
【００３６】
コーン型ナット１０２の下端は、潤滑油蒸気凝縮部１５１の上面に接触するか、または、僅かな隙間を介して潤滑油蒸気凝縮部１５１の上面と対向している。コーン型ナット１０２の貫通孔１０２ｂに吸い込まれる空気の殆どは、潤滑油蒸気凝縮部１５１の内部を通過して流れ込むものや、潤滑油蒸気凝縮部１５１の表面にそって流れ込むものによって占められる。そのため、貫通孔１０２ｂに流れ込む空気は潤滑油蒸気凝縮部１５１によって冷却され、気体中の潤滑油蒸気が潤滑油蒸気凝縮部１５１で凝縮することになる。その結果、シャフト１０に形成された穴１０１ｂから流出する気体に含まれる潤滑油蒸気の量を非常に少なくすることができ、潤滑油の喪失を防止できる。
【００３７】
なお、図４に示す例では、径方向の穴１０１ｂの出口をネジ溝ポンプＳＰの上流に設けたが、ネジ溝ポンプＳＰの部分に設けても良い。また、本実施の形態の場合も、図３（ｂ）に示した場合と同様に、ベアリングハウジング１１４側にネジ溝部１１４ｅを形成してネジ溝ポンプＳＰを構成するようにしても良い。
【００３８】
上述した実施の形態によれば、次の作用効果が得られる。
（１）ターボ分子ポンプ１は、回転側排気機能部である回転翼３０および円筒部３１を有する回転体ユニットＲと、回転翼３０および円筒部３１と協働して排気作用を生成する固定翼２０およびステータ２１と、回転体ユニットＲのシャフト１０を支持するボールベアリング８と、ボールベアリング８が収納され、シャフト１０が貫通する貫通孔１１４ｐが形成されたベアリングハウジング１１４と、互い対向する貫通孔１１４ｐの内周面１１４ｄおよびシャフト１０の外周面のいずれか一方の面（図２に示す例ではシャフト１０の外周面）に形成され、対向する内周面１１４ｄと協働してボールベアリング８の方向への排気作用を生成するネジ溝部１００と、ボールベアリング８を挟んで貫通孔１１４ｐとは反対側のベアリングハウジング１１４の内部に設けられ、ボールベアリング８に潤滑油を供給する潤滑油供給部である潤滑油貯蔵部１１１およびコーン型ナット１０２と、を備える。
【００３９】
このように、ボールベアリング８の方向への排気作用を生成するネジ溝部１００を設けてネジ溝ポンプＳＰを構成することにより、潤滑油貯蔵部１１１が設けられた空間から、シャフト外周面とベアリングハウジング１１４の内周面１１４ｄとの隙間を通って漏れ出る潤滑油蒸気の量を低減することができる。
【００４０】
（２）さらに、ネジ溝部１００の上流側またはネジ溝部１００と、潤滑油貯蔵部１１１が設けられたベアリングハウジング１１４の内部空間とを連通する通路である、貫通孔１１４ｂを備えるのが好ましい。このような連通路を設けることにより、ネジ溝部１００によるボールベアリング８の方向への排気作用による気体の流れを効果的に発生させることができる。そのような気体の流れを積極的に発生させることで、潤滑油蒸気は気体の流れによってベアリングハウジング１１４の内部空間へと戻される。その結果、シャフト１０と貫通孔１１４ｐとの隙間を通ってベアリングハウジング１１４の内部空間から漏れ出る潤滑油蒸気を、より低減させることができる。
【００４１】
（３）また、ネジ溝部１００の上流側またはネジ溝部１００と、潤滑油貯蔵部１１１が設けられたベアリングハウジング１１４の内部空間とを連通する通路として、図４に示すようなシャフト１０を貫通する貫通孔１０１（１０１ａ，１０１ｂ）を設けても良い。
【００４２】
（４）さらに、潤滑油貯蔵部１１１が設けられた空間（すなわち、ベアリングハウジング１１４の内部空間）から溝１１４ａや貫通孔１０１へ流入する気体に含まれる潤滑油蒸気を除去する潤滑油蒸気凝縮部として、潤滑油蒸気凝縮部１５１を備えるようにしても良い。潤滑油蒸気凝縮部１５１を設けることで、ネジ溝部１００の上流側またはネジ溝部１００へ移動する気体に含まれる潤滑油蒸気の量を低減することができる。その結果、真空側への潤滑油蒸気の漏洩をより低減することができるとともに、空間中に存在している潤滑油蒸気を効果的に潤滑油貯蔵部１１１に戻すことができるため，潤滑油量の減少をより抑えることができる。
【００４３】
（５）潤滑油蒸気凝縮部１５１は冷却することで潤滑油除去効果がより高まるが、その冷却機構としてターボ分子ポンプ１のケーシングの一部を構成し、外周面に放熱フィン１５０が形成された放熱器としてのアキシャルカバー１５を設けると良い。コストアップを抑えつつ潤滑油除去効果を向上させることができる。もちろん、空冷方式のアキシャルカバー１５に変えて水冷式のアキシャルカバーとしても良いし、電気的な冷却素子を設けたりしても良い。
【００４４】
上記では、種々の実施の形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。例えば、上述した実施の形態ではターボ分子ポンプを例に説明したが、ターボ分子ポンプに限らず種々の真空ポンプにも適用することができる。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。
【符号の説明】
【００４５】
１…ターボ分子ポンプ、３…ポンプロータ、８，９…ボールベアリング、１０…シャフト、１０ａ…外周面、１５…アキシャルカバー、１００，１１４ｅ…ネジ溝部、１０１，１０２ｂ，１１１ｂ，１１４ｂ，１１４ｐ…貫通孔、１０２…コーン型ナット、１０２ａ…テーパ面、１１１…潤滑油貯蔵部、１１１ａ…接触部、１１４…ベアリングハウジング、１１４ａ…溝、１１４ｄ…内周面、１５１…潤滑油蒸気凝縮部、ＳＰ…ネジ溝ポンプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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