(57)【要約】【課題】基板を把持する部品である受け部品（受け部材）をハンド本体にねじ止めにより固定する必要がなく、受け部品の着脱を容易に行うことができる基板搬送用ハンドを提供する。【解決手段】基板を受け部材と把持部材によって挟んで固定するように構成された基板搬送用ハンドにおいて、受け部材３は、ハンド本体１上に取り付けられる部分であって板状の支持部３１と、支持部３１に支持されている部分であって基板の外周を保持する基板外周保持部３２と、支持部３１の下面から下方に突出している係合突部３３とを備え、ハンド本体１は、端部に開口部が形成された係合溝１ｇを備え、係合突部３３を開口部から係合溝１ｇに挿入し、係合突部３３を係合溝１ｇに係合させて、受け部材３３をハンド本体１上に固定する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状のハンド本体と、ハンド本体上に設けられ基板のエッジを保持するための複数の受け部材と、ハンド本体に対して可動に設けられ基板のエッジを把持する把持部材とを備え、前記把持部材をアクチュエータにより移動させ、基板を前記受け部材と前記把持部材によって挟んで固定するように構成された基板搬送用ハンドにおいて、
前記受け部材は、前記ハンド本体上に取り付けられる部分であって板状の支持部と、支持部に支持されている部分であって基板の外周を保持する基板外周保持部と、支持部の下面から下方に突出している係合突部とを備え、
前記ハンド本体は、端部に開口部が形成された係合溝を備え、
前記係合突部を前記開口部から前記係合溝に挿入し、前記係合突部を前記係合溝に係合させて、前記受け部材を前記ハンド本体上に固定することを特徴とする基板搬送用ハンド。
【請求項２】
前記係合突部は逆Ｔ字状断面を有した突部からなり、前記係合溝は逆Ｔ字状断面を有した溝からなることを特徴とする請求項１記載の基板搬送用ハンド。
【請求項３】
前記係合突部は台形状断面を有した突部からなり、前記係合溝はあり溝からなることを特徴とする請求項１記載の基板搬送用ハンド。
【請求項４】
前記係合溝は、前記ハンド本体の幅方向に延びるか、または前記ハンド本体の長手方向に延びることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の基板搬送用ハンド。
【請求項５】
前記係合突部および前記係合溝は、基板搬送用ハンドに基板が把持されているときの基板の中心を中心とする円弧に沿って湾曲して形成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の基板搬送用ハンド。
【請求項６】
前記係合溝は、一端が開口部であり、他端が閉塞されて壁面であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の基板搬送用ハンド。
【請求項７】
前記基板外周保持部において、基板の外周に接触して基板を保持する部分は、基板の外周に沿った円弧面からなることを特徴とする請求項１記載の基板搬送用ハンド。
【請求項８】
前記支持部は、基板の下面を保持する傾斜面を有することを特徴とする請求項１記載の基板搬送用ハンド。
【請求項９】
平板状のハンド本体と、ハンド本体上に設けられ基板のエッジを保持するための複数の受け部材と、ハンド本体に対して可動に設けられ基板のエッジを把持する把持部材とを備え、前記把持部材をアクチュエータにより移動させ、基板を前記受け部材と前記把持部材によって挟んで固定するように構成された基板搬送用ハンドにおいて、
前記受け部材は、前記ハンド本体上に取り付けられる部分であって板状の支持部と、支持部に支持されている部分であって基板の外周を保持する基板外周保持部と、支持部の下面から下方に突出している複数の固定用ピンとを備え、
前記ハンド本体は、上面から下面に延びる複数の貫通孔を備え、
前記複数の固定用ピンを前記複数の貫通孔に挿入し、前記複数の固定用ピンの先端部にある係合部を前記ハンド本体の下面又は下面にある凹部に係合させて、前記受け部材を前記ハンド本体上に固定することを特徴とする基板搬送用ハンド。
【請求項１０】
前記固定用ピンは樹脂材からなり、前記固定用ピンの係合部は、前記貫通孔に挿入する際にその外径が縮小するように変形可能であることを特徴とする請求項９記載の基板搬送用ハンド。
【請求項１１】
前記基板外周保持部において、基板の外周に接触して基板を保持する部分は、基板の外周に沿った円弧面からなることを特徴とする請求項９記載の基板搬送用ハンド。
【請求項１２】
前記支持部は、基板の下面を保持する傾斜面を有することを特徴とする請求項９記載の基板搬送用ハンド。
【請求項１３】
ハンド本体と、ハンド本体に設けられ基板のエッジを保持するための受け部材と、ハンド本体に対して可動に設けられ基板のエッジを把持する把持部材とを備え、前記把持部材をアクチュエータにより移動させ、基板を前記受け部材と前記把持部材によって挟んで固定するように構成された基板搬送用ハンドにおいて、
前記受け部材は、前記ハンド本体上に取り付けられる部分であって板状の支持部と、支持部に支持されている部分であって基板の外周を保持する基板外周保持部と、支持部の下面から下方に突出して設けられ、軸部と軸部の下端にあって軸部より大径の係合部とを有した軸状部材とを備え、
前記ハンド本体は、上面から下面に貫通するだるま穴を備え、
前記軸状部材を前記だるま穴の大径部から挿入した後に前記だるま穴の小径部側に移動させ、前記係合部を前記ハンド本体の下面又は下面にある凹部に係合させて、前記受け部材を前記ハンド本体上に固定することを特徴とする基板搬送用ハンド。
【請求項１４】
前記軸状部材の軸部は、対向する平坦な２面を有し、前記平坦な２面を前記だるま穴の小径部に嵌合させて前記軸状部材を位置決めすることを特徴とする請求項１３記載の基板搬送用ハンド。
【請求項１５】
前記基板外周保持部において、基板の外周に接触して基板を保持する部分は、基板の外周に沿った円弧面からなることを特徴とする請求項１３記載の基板搬送用ハンド。
【請求項１６】
前記支持部は、基板の下面を保持する傾斜面を有することを特徴とする請求項１３記載の基板搬送用ハンド。
【請求項１７】
請求項１乃至１６のいずれか１項に記載の基板搬送用ハンドを備えた基板搬送機構と、
前記基板搬送機構により搬送された基板を処理する処理部とを備えたことを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハや液晶ガラス等の基板のエッジを把持して基板を搬送する基板搬送用ハンドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスや液晶等の製造工程において半導体ウェハや液晶ガラス等の基板を搬送する際には、ロボットのハンドで基板の下面を吸着して保持し、ロボットおよびハンドを移動させ、基板を次の工程に搬送している。この基板の下面を吸着する方式では、吸着する際に基板の下面にキズが付いたりパーティクルが付着する恐れがある。
基板を凹状の収納部に落とし込むことにより基板の外周部を保持できるハンドもあるが、基板の外周部と基板を受ける収納部との間にスキマ（隙間）を設ける必要があるため、基板の位置がずれたり、基板が落下する恐れがあり、高速で基板を搬送できないという問題がある。
【０００３】
そのため、最近は基板の外周部を把持するエッジグリップ方式のハンドが主流になってきている。エッジグリップ方式のハンドは、ハンドの先端および後端に基板を受けるための受け部品（爪）があり、これら受け部品と把持部品とで基板を挟み込んで搬送する。受け部品（爪)は、基板に直接触れるため極力小さな形状ではあるが、基板と接触する以上摩耗は避けられず、ある一定時期を過ぎれば交換が必要になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１４１４０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したエッジグリップ方式のハンドにおいては、受け部品は、通常、平板状のハンド本体にねじ止めにより固定されている。
図１１（ａ），（ｂ）は、受け部品（爪）をハンド本体にねじ止めで固定している従来例を示す斜視図である。図１１（ａ），（ｂ）においては、平板状のハンド本体３０１に受け部品３０２を皿ねじ３０３で固定する例が示されている。
図１１（ａ）に示す例においては、受け部品３０２のねじ挿通孔（図示せず）に上側から皿ねじ３０３を挿通し、皿ねじ３０３をハンド本体３０１に形成された雌ねじ（図示せず）に螺合することにより、受け部品３０２をハンド本体３０１に固定している。
図１１（ｂ）に示す例においては、ハンド本体３０１のねじ挿通孔（図示せず）に下側から皿ねじ３０３を挿通し、皿ねじ３０３を受け部品３０２に形成された雌ねじに螺合することにより、受け部品３０２をハンド本体３０１に固定している。
【０００６】
図１１（ａ），（ｂ）に示すように、受け部品３０２はハンド本体３０１にねじ止めにより固定されているが、受け部品３０２を固定するためのねじはサイズが小さく、交換の際に受け部品の着脱に手間がかかるという問題がある。すなわち、小さなねじや部品の取外し等が発生すると、それらを不注意により落としてしまうことで探す時間が掛かり、交換が手間になる。あるいは、小さなねじや部品を落とすまいと気を使うことになり、作業者の疲労につながる。またハンドを複数持つロボットでは、最上下段以外のハンドの受け部品の交換は容易ではない。摩耗以外でも、汚れ・汚染等で受け部品を交換する場合もあり、手間がかかる。
【０００７】
上述の問題点に加えて、図１１（ａ）に示すように、上からねじ止めする場合、洗浄ロボット（ウェット雰囲気で使用）では、ねじの上に薬液が乗る可能性がある。これに対し、図１１（ｂ）に示すように、下からねじ止めする場合、交換時にあるいは稼働中にねじが落下する恐れがある。
【０００８】
本発明は、上述した事情に鑑みなされたもので、基板を把持する部品である受け部品（受け部材）をハンド本体にねじ止めにより固定する必要がなく、受け部品の着脱を容易に行うことができる基板搬送用ハンドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述の目的を達成するため、本発明の基板搬送用ハンドの第１の態様は、平板状のハンド本体と、ハンド本体上に設けられ基板のエッジを保持するための複数の受け部材と、ハンド本体に対して可動に設けられ基板のエッジを把持する把持部材とを備え、前記把持部材をアクチュエータにより移動させ、基板を前記受け部材と前記把持部材によって挟んで固定するように構成された基板搬送用ハンドにおいて、前記受け部材は、前記ハンド本体上に取り付けられる部分であって板状の支持部と、支持部に支持されている部分であって基板の外周を保持する基板外周保持部と、支持部の下面から下方に突出している係合突部とを備え、前記ハンド本体は、端部に開口部が形成された係合溝を備え、前記係合突部を前記開口部から前記係合溝に挿入し、前記係合突部を前記係合溝に係合させて、前記受け部材を前記ハンド本体上に固定することを特徴とする。
【００１０】
本発明の好ましい態様は、前記係合突部は逆Ｔ字状断面を有した突部からなり、前記係合溝は逆Ｔ字状断面を有した溝からなることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記係合突部は台形状断面を有した突部からなり、前記係合溝はあり溝からなることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記係合溝は、前記ハンド本体の幅方向に延びるか、または前記ハンド本体の長手方向に延びることを特徴とする。
【００１１】
本発明の好ましい態様は、前記係合突部および前記係合溝は、基板搬送用ハンドに基板が把持されているときの基板の中心を中心とする円弧に沿って湾曲して形成されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記係合溝は、一端が開口部であり、他端が閉塞されて壁面であることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記基板外周保持部において、基板の外周に接触して基板を保持する部分は、基板の外周に沿った円弧面からなることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記支持部は、基板の下面を保持する傾斜面を有することを特徴とする。
【００１２】
本発明の基板搬送用ハンドの第２の態様は、平板状のハンド本体と、ハンド本体上に設けられ基板のエッジを保持するための複数の受け部材と、ハンド本体に対して可動に設けられ基板のエッジを把持する把持部材とを備え、前記把持部材をアクチュエータにより移動させ、基板を前記受け部材と前記把持部材によって挟んで固定するように構成された基板搬送用ハンドにおいて、前記受け部材は、前記ハンド本体上に取り付けられる部分であって板状の支持部と、支持部に支持されている部分であって基板の外周を保持する基板外周保持部と、支持部の下面から下方に突出している複数の固定用ピンとを備え、前記ハンド本体は、上面から下面に延びる複数の貫通孔を備え、前記複数の固定用ピンを前記複数の貫通孔に挿入し、前記複数の固定用ピンの先端部にある係合部を前記ハンド本体の下面又は下面にある凹部に係合させて、前記受け部材を前記ハンド本体上に固定することを特徴とする。
【００１３】
本発明の好ましい態様は、前記固定用ピンは樹脂材からなり、前記固定用ピンの係合部は、前記貫通孔に挿入する際にその外径が縮小するように変形可能であることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記基板外周保持部において、基板の外周に接触して基板を保持する部分は、基板の外周に沿った円弧面からなることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記支持部は、基板の下面を保持する傾斜面を有することを特徴とする。
【００１４】
本発明の基板搬送用ハンドの第３の態様は、ハンド本体と、ハンド本体に設けられ基板のエッジを保持するための受け部材と、ハンド本体に対して可動に設けられ基板のエッジを把持する把持部材とを備え、前記把持部材をアクチュエータにより移動させ、基板を前記受け部材と前記把持部材によって挟んで固定するように構成された基板搬送用ハンドにおいて、前記受け部材は、前記ハンド本体上に取り付けられる部分であって板状の支持部と、支持部に支持されている部分であって基板の外周を保持する基板外周保持部と、支持部の下面から下方に突出して設けられ、軸部と軸部の下端にあって軸部より大径の係合部とを有した軸状部材とを備え、前記ハンド本体は、上面から下面に貫通するだるま穴を備え、前記軸状部材を前記だるま穴の大径部から挿入した後に前記だるま穴の小径部側に移動させ、前記係合部を前記ハンド本体の下面又は下面にある凹部に係合させて、前記受け部材を前記ハンド本体上に固定することを特徴とする。
【００１５】
本発明の好ましい態様は、前記軸状部材の軸部は、対向する平坦な２面を有し、前記平坦な２面を前記だるま穴の小径部に嵌合させて前記軸状部材を位置決めすることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記基板外周保持部において、基板の外周に接触して基板を保持する部分は、基板の外周に沿った円弧面からなることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記支持部は、基板の下面を保持する傾斜面を有することを特徴とする。
【００１６】
本発明の基板処理装置は、上記に記載の基板搬送用ハンドのいずれかを備えた基板搬送機構と、前記基板搬送機構により搬送された基板を処理する処理部とを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明は、以下に列挙する効果を奏する。
（１）基板を把持する部品である受け部品（受け部材）をハンド本体にねじ止めにより固定する必要がなく、受け部品（受け部材）の着脱を容易に行うことができる。
（２）受け部品（受け部材）の着脱が容易であるため、受け部品（受け部材）の交換作業が容易となり、作業者の労力軽減となる。
（３）受け部品（受け部材）をハンド本体に逆Ｔ字状溝やあり溝等の抜け止め手段を用いて固定しているため、受け部品（受け部材）の抜け落ちを防止することができる。
（４）洗浄ロボットに使用する場合でも、薬液が溜まる箇所がなく、また、交換時や稼働中に起こっていたねじの落下がなくなる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１（ａ），（ｂ）は、本発明に係る基板搬送用ハンドを示す図であり、図１（ａ）は基板搬送用ハンドの模式的平面図、図１（ｂ）は基板搬送用ハンドの模式的正面図である。
【図２】図２（ａ），（ｂ），（ｃ）は、受け部材およびハンド本体の第１の態様を示す図であり、図２（ａ）は受け部材をハンド本体に取り付けた状態を示す斜視図、図２（ｂ）は受け部材の斜視図、図２（ｃ）はハンド本体の斜視図である。
【図３】図３（ａ），（ｂ）は、図２（ａ），（ｂ），（ｃ）に示す第１の態様の受け部材およびハンド本体の変形例を示す斜視図である。
【図４】図４（ａ），（ｂ），（ｃ）は、受け部材およびハンド本体の第２の態様を示す図であり、図４（ａ）は受け部材をハンド本体に取り付けた状態を示す斜視図、図４（ｂ）は受け部材の斜視図、図４（ｃ）はハンド本体の斜視図である。
【図５】図５は、係合突部と係合溝との寸法関係を示す模式図である。
【図６】図６（ａ），（ｂ），（ｃ）は、受け部材およびハンド本体の第３の態様を示す図であり、図６（ａ）は受け部材をハンド本体に取り付けた状態を示す断面図、図６（ｂ）は受け部材の斜視図、図６（ｃ）はハンド本体の斜視図である。
【図７】図７（ａ），（ｂ），（ｃ）は、受け部材およびハンド本体の第４の態様を示す図であり、図７（ａ）は受け部材をハンド本体に取り付けた状態を示す断面図、図７（ｂ）は受け部材の斜視図、図７（ｃ）はハンド本体の斜視図である。
【図８】図８（ａ），（ｂ），（ｃ）は、受け部材およびハンド本体の第５の態様を示す図であり、図８（ａ）は受け部材の斜視図、図８（ｂ）はハンド本体の斜視図、図８（ｃ）は図８（ｂ）のＢ矢視図である。
【図９】図９は、本発明の基板搬送用ハンドを備えた基板搬送機構（搬送ロボット）を用いて基板を複数の処理部に順次搬送しつつ基板の処理を行う基板処理装置の全体構成を示す平面図である。
【図１０】図１０（ａ）は洗浄部を示す平面図であり、図１０（ｂ）は洗浄部を示す側面図である。
【図１１】図１１（ａ），（ｂ）は、受け部品（爪）をハンド本体にねじ止めで固定している従来例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明に係る基板搬送用ハンドの実施形態を図１乃至図１０を参照して説明する。図１乃至図１０において、同一または相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。
図１（ａ），（ｂ）は、本発明に係る基板搬送用ハンドを示す図であり、図１（ａ）は基板搬送用ハンドの模式的平面図、図１（ｂ）は基板搬送用ハンドの模式的正面図である。
図１（ａ），（ｂ）に示すように、基板搬送用ハンドは、半導体ウェハ等の基板Ｗを保持するハンド本体１と、ハンド本体１を支持するとともにロボットのアームに（図示せず）に取り付けられる取付部２とから構成されている。ハンド本体１は略矩形の平板状の部材から構成され、ハンド本体１にはＶ字状の切り込み１ａが形成されており、先端側が二股に分かれている。ハンド本体１には、二股に分かれた先端部に基板Ｗの先端側エッジを保持するための受け部材３Ａ，３Ｂが設けられている。また、ハンド本体１の後部（取付部側）には、基板Ｗの後端側エッジを保持するための受け部材４Ａ，４Ｂが設けられている。
【００２０】
ハンド本体１を支持する取付部２には、クランプ機構５が設けられている。クランプ機構５は、ハンド本体１の後端部の中央部に位置しており、受け部材４Ａ，４Ｂの中間に配置されている。クランプ機構５は、基板Ｗの後端側エッジに当接して基板Ｗのエッジを把持するための把持部材６を備えており、把持部材６はエアーシリンダー等のアクチュエータ（図示せず）によって前後進するように構成されている。すなわち、クランプ機構５は、アクチュエータを備え、アクチュエータを作動させて把持部材６を基板側に向かって前進させることにより、基板Ｗを先端側の受け部材３Ａ，３Ｂと把持部材６とによって挟んで固定（クランプ）するように構成されている。
【００２１】
次に、基板Ｗの先端側エッジを保持するための受け部材３Ａ，３Ｂおよび後端側エッジを保持するための受け部材４Ａ，４Ｂとハンド本体１との関係について説明する。基板Ｗの先端側エッジを保持するための２つの受け部材３Ａ，３Ｂの形状は、図１（ａ）において基板Ｗの中心Ｏを通る中心線Ｌに対して線対称の関係にある。したがって、受け部材３Ａの形状を特定すれば、この特定された形状を基準として、図１（ａ）において基板Ｗの中心Ｏを通る中心線Ｌに対して線対称の形状が他方の受け部材３Ｂの形状になる。また、基板Ｗの先端側エッジを保持するための受け部材３Ａ，３Ｂと後端側エッジを保持するための受け部材４Ａ，４Ｂとは、取付方向が異なるだけでそれぞれ同一部材を使用することができる。したがって、以下の説明においては、添え字Ａ，Ｂを用いることなく受け部材を代表して受け部材３として説明する。
【００２２】
図２（ａ），（ｂ），（ｃ）は、受け部材３およびハンド本体１の第１の態様を示す図であり、図２（ａ）は受け部材３をハンド本体１に取り付けた状態を示す斜視図、図２（ｂ）は受け部材３の斜視図、図２（ｃ）はハンド本体１の斜視図である。図２（ａ），（ｂ）に示すように、受け部材３は、略矩形の平面形状を有する板状の支持部３１と、支持部３１に支持されている部分であって基板Ｗの外周（エッジ）を保持する基板外周保持部３２と、支持部３１より下方に突出している部分であって逆Ｔ字状断面を有する係合突部３３とを備えている。
【００２３】
図２（ａ），（ｃ）に示すように、ハンド本体１は、ハンド本体１の幅方向（図１（ａ）および図２（ａ）においてＡ方向）に沿って設けられ、端部に開口部が形成された逆Ｔ字状断面を有する係合溝１ｇを備えている。受け部材３における逆Ｔ字状断面の係合突部３３がハンド本体１における開口部から逆Ｔ字状断面の係合溝１ｇに挿入され、係合突部３３が係合溝１ｇに係合（または嵌合）することにより、受け部材３はハンド本体１に固定される。このとき、受け部材３の支持部３１は、支持部３１の下面がハンド本体１の上面に接触した状態でハンド本体１に固定される。係合突部３３と係合溝１ｇとは、逆Ｔ字状断面による係合（または嵌合）であるため、受け部材３がハンド本体１から抜けることがなく、受け部材３の抜け落ちを防止することができる。基板外周保持部３２の内面は基板Ｗの外周と同一曲率の円弧面３２Ｓになっており、円弧面３２Ｓは基板Ｗの外周と接触して基板Ｗの外周を保持するようになっている。円弧面３２Ｓは支持部３１の上面から垂直方向に延びている。支持部３１の上面は傾斜面３１Ｓになっており、傾斜面３１Ｓは基板Ｗの下面と接触して基板Ｗの下面を保持するようになっている。
【００２４】
図３（ａ），（ｂ）は、図２（ａ），（ｂ），（ｃ）に示す第１の態様の受け部材３およびハンド本体１の変形例を示す斜視図である。変形例においては、図３（ａ），（ｂ）に示すように、逆Ｔ字状断面を有する係合突部３３と、逆Ｔ字状断面を有する係合溝１ｇは、基板搬送用ハンドに基板Ｗが把持されているときの基板Ｗの中心を中心とする円弧に沿って湾曲して形成されている。すなわち、係合突部３３および係合溝１ｇの中心線（一点鎖線で示す）は、図１（ａ）に示す基板Ｗの中心Ｏを中心とする半径Ｒの円弧上に位置している。このように、係合突部３３と係合溝１ｇとを湾曲させることにより、係合突部３３が係合溝１ｇに対してずれても、基板Ｗを把持する際の相対的な位置関係は変わることなく、基板外周保持部３２の内面は基板Ｗの外周と線接触可能である。
【００２５】
また、図３（ａ），（ｂ）に示す受け部材３およびハンド本体１においては、係合突部３３の一端面３３ｅ（図３（ａ）において手前側）は支持部３１の端面より凹んでいて内側にあり、係合溝１ｇの一端面（図３（ｂ）において手前側）は閉塞されていて壁面１Ｗになっている。そのため、受け部材３の係合突部３３をハンド本体１の開口部（図３（ａ）において奥側）から係合溝１ｇに挿入して、係合突部３３の端面３３ｅを係合溝１ｇの壁面１Ｗに当接させることにより、受け部材３がハンド本体１から抜け落ちることを防止することができる。図３（ａ），（ｂ）に示す受け部材３およびハンド本体１のその他の構成は、図２（ａ）〜（ｃ）に示す受け部材３およびハンド本体１と同様である。
【００２６】
図４（ａ），（ｂ），（ｃ）は、受け部材３およびハンド本体１の第２の態様を示す図であり、図４（ａ）は受け部材３をハンド本体１に取り付けた状態を示す斜視図、図４（ｂ）は受け部材３の斜視図、図４（ｃ）はハンド本体１の斜視図である。図４（ａ），（ｂ）に示すように、受け部材３は、略矩形の平面形状を有する板状の支持部３１と、支持部３１に支持されている部分であって基板Ｗの外周（エッジ）を保持する基板外周保持部３２と、支持部３１より下方に突出している部分であって台形状断面を有する係合突部３３とを備えている。
【００２７】
図４（ａ），（ｃ）に示すように、ハンド本体１は、ハンド本体１の幅方向（図１（ａ）および図４（ａ）においてＡ方向）に沿って設けられ、端部に開口部が形成された台形状断面を有する係合溝１ｇを備えている。係合溝１ｇは、いわゆるあり溝からなり、係合突部３３は、あり溝に対応する台形状断面を有している。受け部材３における台形状断面の係合突部３３がハンド本体１における開口部からあり溝状の係合溝１ｇに挿入され、係合突部３３が係合溝１ｇに係合（または嵌合）することにより、受け部材３はハンド本体１に固定される。このとき、受け部材３の支持部３１は、支持部３１の下面がハンド本体１の上面に接触した状態でハンド本体１に固定される。係合突部３３と係合溝１ｇとは、あり溝による係合（または嵌合）であるため、受け部材３がハンド本体１から抜けることがなく、受け部材３の抜け落ちを防止することができる。基板外周保持部３２の内面は基板Ｗの外周と同一曲率の円弧面３２Ｓになっており、円弧面３２Ｓは基板Ｗの外周と接触して基板Ｗの外周を保持するようになっている。円弧面３２Ｓは支持部３１の上面から垂直方向に延びている。支持部３１の上面は傾斜面３１Ｓになっており、傾斜面３１Ｓは基板Ｗの下面と接触して基板Ｗの下面を保持するようになっている。
【００２８】
次に、係合突部３３と係合溝１ｇに、あり溝形状（台形の断面形状）を使用した場合において、係合突部３３と係合溝１ｇ間のガタ（遊び）を最小とする寸法関係について図５を参照して説明する。図５において、下側の図はハンド本体１の先端部、特に係合溝１ｇおよびその周辺を示す正面図であり、上側の図は受け部材３の一部、特に係合突部３３およびその周辺を示す正面図である。図５では、台形状断面の頂点より更に上に延びる２本の直線部ＳＬ，ＳＬが形成された例が示されているが、この直線部ＳＬ，ＳＬはあっても無くてもよい。直線部ＳＬ，ＳＬが無い場合には、台形状断面の係合突部３３の短辺が支持部３１の下面と同一面上に位置し、係合溝１ｇの短辺がハンド本体１の上面と同一面上に位置する。
【００２９】
図５に示すように、係合突部３３の長辺の長さをＬ１、係合突部３３の短辺の長さをｌ１、係合突部３３の２つの斜辺を延長した２本の線が交わってできる頂角をθ１とし、同様に係合溝１ｇの長辺の長さをＬ２、係合溝１ｇの短辺の長さをｌ２、係合溝１ｇの２つの斜辺を延長した２本の線が交わってできる頂角をθ２とすると、以下の関係式が成立する場合に、係合突部３３と係合溝１ｇ間のガタを最小にすることができる。
ｌ１≧ｌ２、かつθ１＞０°（あるいはＬ１＞ｌ２）
すなわち、ｌ１≧ｌ２の条件で、係合突部３３と係合溝１ｇ間の左右のガタツキがなくなる。かつ、θ１＞０°の条件で係合突部３３と係合溝１ｇ間の上下のガタツキがなくなる。θ１＞０°の代わりにＬ１＞ｌ２であっても、上下のガタツキがなくなる。
【００３０】
図６（ａ），（ｂ），（ｃ）は、受け部材３およびハンド本体１の第３の態様を示す図であり、図６（ａ）は受け部材３をハンド本体１に取り付けた状態を示す断面図、図６（ｂ）は受け部材３の斜視図、図６（ｃ）はハンド本体１の斜視図である。
図６（ａ），（ｂ），（ｃ）に示す第３の態様においては、受け部材３が下面に２本の固定用ピン３５，３５を備え、ハンド本体１が固定用ピン３５，３５を挿入するための２個の貫通孔１ｈ，１ｈを備え、受け部材３の固定用ピン３５，３５をハンド本体１の貫通孔１ｈ，１ｈに挿入することにより、受け部材３をハンド本体１に固定している。
【００３１】
固定用ピン３５は、ＰＥＥＫ等の樹脂材からなり、先端に軸部から半径方向に突出したテーパー状の係合部３５ａを有している。係合部３５ａの上端と軸部との間には、係合段部３５ｄが形成されている。係合部３５ａには、縦方向に複数のすり割り３５ｓが形成されており、係合部３５ａが半径方向内方に押圧されたときに係合部３５ａが変形して、その外径が縮小可能になっている。したがって、受け部材３の下面に形成された固定ピン３５をハンド本体１の貫通孔１ｈに挿入する際に、係合部３５ａは変形して、その外径が縮小し、係合部３５ａが貫通孔１ｈを通過したときに係合部３５ａの変形が元に戻り、その外径が拡大する。これにより、図６（ａ）に示すように、係合部３５ａの係合段部３５ｄがハンド本体１の下面に形成された凹部１ｃの平坦面と係合し、受け部材３をハンド本体１に固定することができる。これにより、受け部材３がハンド本体１から抜けることがなく、受け部材３の抜け落ちを防止することができる。なお、ハンド本体１の下面に凹部１ｃを形成しない場合には、係合部３５ａの係合段部３５ｄはハンド本体１の下面に係合する。図６（ａ），（ｂ），（ｃ）に示す受け部材３およびハンド本体１のその他の構成は、図２（ａ）〜（ｃ）に示す受け部材３およびハンド本体１と同様である。
【００３２】
図７（ａ），（ｂ），（ｃ）は、受け部材３およびハンド本体１の第４の態様を示す図であり、図７（ａ）は受け部材３をハンド本体１に取り付けた状態を示す断面図、図７（ｂ）は受け部材３の斜視図、図７（ｃ）はハンド本体の斜視図である。
図７（ａ），（ｂ），（ｃ）に示す第４の態様においては、受け部材３は、円板状の係合部３６ａを下端に有した軸状部材３６を備えており、ハンド本体１はだるま穴１ｄｈを備えている。円板状の係合部３６ａの外径はだるま穴１ｄｈの大径部の内径より小さく設定されており、円板状の係合部３６ａを有した軸状部材３６は、だるま穴１ｄｈの大径部に挿入された後に小径部側に移動される。図７（ｂ）の左側の軸状部材３６の断面図に示すように、軸状部材３６は、円形断面ではなく、対向する平坦な２面３６Ｓ，３６Ｓが形成された略長円形断面になっており、軸状部材３６をだるま穴１ｄｈの大径部から小径部に移動させて対向する平坦な２面３６Ｓ，３６Ｓをだるま穴１ｄｈの小径部に嵌合させることにより、受け部材３はハンド本体１に対して位置決めおよび回り止めされる。このとき、軸状部材３６の先端にある円板状の係合部３６ａはハンド本体１の下面に形成された凹部１ｃの平坦面と係合する。これにより、受け部材３がハンド本体１から抜けることがなく、受け部材３の抜け落ちを防止することができる。なお、ハンド本体１の下面に凹部１ｃを形成しない場合には、係合部３６ａはハンド本体１の下面に係合する。図７（ａ），（ｂ），（ｃ）に示す受け部材３およびハンド本体１のその他の構成は、図２（ａ）〜（ｃ）に示す受け部材３およびハンド本体１と同様である。
【００３３】
図８（ａ），（ｂ），（ｃ）は、受け部材３およびハンド本体１の第５の態様を示す図であり、図８（ａ）は受け部材３の斜視図、図８（ｂ）はハンド本体１の斜視図、図８（ｃ）は図８（ｂ）のＢ矢視図である。
図８（ａ），（ｂ），（ｃ）に示す第５の態様は、あり溝の方向をハンド本体１の長手方向とした態様である。すなわち、図８（ａ），（ｂ）に示すように、受け部材３における台形状断面の係合突部３３は受け部材３の長手方向に延び、ハンド本体１におけるあり溝状の係合溝１ｇはハンド本体１の長手方向に延びている。係合溝１ｇは、一端が開口して矩形状の挿入孔１ｓｈに連通し、他端が閉塞されていて壁面１Ｗになっている。そのため、受け部材３の係合突部３３をハンド本体１の挿入孔１ｓｈから係合溝１ｇに挿入して、係合突部３３の端面３３ｅを係合溝１ｇの壁面１Ｗに当接させることにより、受け部材３がハンド本体１から抜け落ちることを防止することができる。
【００３４】
図２乃至図８に示す受け部材３および図１に示す把持部材６は、導電性ＰＥＥＫまたは高密度ポリエチレンなどのプラスチックからなる。このように、基板接触部品に導電性を持たせたので、基板への粒子帯電付着による汚染を防止できる。
【００３５】
図９は、本発明の基板搬送用ハンドを備えた基板搬送機構（搬送ロボット）を用いて基板を複数の処理部に順次搬送しつつ基板の処理を行う基板処理装置の全体構成を示す平面図である。図１乃至図８に示す構成の基板搬送用ハンドは、図９および図１０に示す基板処理装置で用いられている搬送ロボットの全てに適用可能である。図９に示すように、基板処理装置は、略矩形状のハウジング１０１を備えており、ハウジング１０１の内部は隔壁１０１ａ，１０１ｂによってロード／アンロード部１０２と研磨部１０３と洗浄部１０４とに区画されている。これらのロード／アンロード部１０２、研磨部１０３、および洗浄部１０４は、それぞれ独立に組み立てられ、独立に排気される。また、基板処理装置は、基板処理動作を制御する制御部１０５を備えている。
【００３６】
ロード／アンロード部１０２は、多数のウェハ（基板）をストックするウェハカセットが載置される２つ以上（本実施形態では４つ）のフロントロード部１２０を備えている。これらのフロントロード部１２０はハウジング１０１に隣接して配置され、基板処理装置の幅方向（長手方向と垂直な方向）に沿って配列されている。フロントロード部１２０には、オープンカセット、ＳＭＩＦ（Standard  Manufacturing  Interface）ポッド、またはＦＯＵＰ（Front  Opening  Unified  Pod）を搭載することができるようになっている。ここで、ＳＭＩＦ、ＦＯＵＰは、内部にウェハカセットを収納し、隔壁で覆うことにより、外部空間とは独立した環境を保つことができる密閉容器である。
【００３７】
また、ロード／アンロード部１０２には、フロントロード部１２０の並びに沿って走行機構１２１が敷設されており、この走行機構１２１上にウェハカセットの配列方向に沿って移動可能な１台の搬送ロボット（ローダー）１２２が設置されている。搬送ロボット１２２は走行機構１２１上を移動することによってフロントロード部１２０に搭載されたウェハカセットにアクセスできるようになっている。各搬送ロボット１２２は上下に２つのハンドを備えており、上側のハンドは処理されたウェハをウェハカセットに戻すときに使用され、下側のハンドは処理前のウェハをウェハカセットから取り出すときに使用され、上下のハンドは使い分けることができるようになっている。さらに、搬送ロボット１２２の下側のハンドは、その軸心周りに回転することで、ウェハを反転させることができるように構成されている。
【００３８】
ロード／アンロード部１０２は最もクリーンな状態を保つ必要がある領域であるため、ロード／アンロード部１０２の内部は、基板処理装置外部、研磨部１０３、および洗浄部１０４のいずれよりも高い圧力に常時維持されている。研磨部１０３は研磨液としてスラリーを用いるため最もダーティな領域である。したがって、研磨部１０３の内部には負圧が形成され、その圧力は洗浄部１０４の内部圧力よりも低く維持されている。ロード／アンロード部１０２には、ＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタ、またはケミカルフィルタなどのクリーンエアフィルタを有するフィルタファンユニット（図示せず）が設けられており、このフィルタファンユニットからはパーティクルや有毒蒸気、有毒ガスが除去されたクリーンエアが常時吹き出している。
【００３９】
研磨部１０３は、ウェハの研磨（平坦化）が行われる領域であり、第１研磨ユニット１０３Ａ、第２研磨ユニット１０３Ｂ、第３研磨ユニット１０３Ｃ、第４研磨ユニット１０３Ｄを備えている。これらの第１研磨ユニット１０３Ａ、第２研磨ユニット１０３Ｂ、第３研磨ユニット１０３Ｃ、および第４研磨ユニット１０３Ｄは、図１４に示すように、基板処理装置の長手方向に沿って配列されている。
【００４０】
図９に示すように、第１研磨ユニット１０３Ａは、研磨面を有する研磨パッド１１０が取り付けられた研磨テーブル１３０Ａと、ウェハを保持しかつウェハを研磨テーブル１３０Ａ上の研磨パッド１１０に押圧しながら研磨するためのトップリング１３１Ａと、研磨パッド１１０に研磨液やドレッシング液（例えば、純水）を供給するための研磨液供給ノズル１３２Ａと、研磨パッド１１０の研磨面のドレッシングを行うためのドレッサ１３３Ａと、液体（例えば純水）と気体（例えば窒素ガス）の混合流体または液体（例えば純水）を霧状にして研磨面に噴射するアトマイザ１３４Ａとを備えている。
【００４１】
同様に、第２研磨ユニット１０３Ｂは、研磨パッド１１０が取り付けられた研磨テーブル１３０Ｂと、トップリング１３１Ｂと、研磨液供給ノズル１３２Ｂと、ドレッサ１３３Ｂと、アトマイザ１３４Ｂとを備えている。第３研磨ユニット１０３Ｃは、研磨パッド１１０が取り付けられた研磨テーブル１３０Ｃと、トップリング１３１Ｃと、研磨液供給ノズル１３２Ｃと、ドレッサ１３３Ｃと、アトマイザ１３４Ｃとを備えている。第４研磨ユニット１０３Ｄは、研磨パッド１１０が取り付けられた研磨テーブル１３０Ｄと、トップリング１３１Ｄと、研磨液供給ノズル１３２Ｄと、ドレッサ１３３Ｄと、アトマイザ１３４Ｄとを備えている。
【００４２】
図１０（ａ）は洗浄部１０４を示す平面図であり、図１０（ｂ）は洗浄部１０４を示す側面図である。図１０（ａ）および図１０（ｂ）に示すように、洗浄部１０４は、第１洗浄室１９０と、第１搬送室１９１と、第２洗浄室１９２と、第２搬送室１９３と、乾燥室１９４とに区画されている。第１洗浄室１９０内には、縦方向に沿って配列された上側一次洗浄モジュール２０１Ａおよび下側一次洗浄モジュール２０１Ｂが配置されている。上側一次洗浄モジュール２０１Ａは下側一次洗浄モジュール２０１Ｂの上方に配置されている。同様に、第２洗浄室１９２内には、縦方向に沿って配列された上側二次洗浄モジュール２０２Ａおよび下側二次洗浄モジュール２０２Ｂが配置されている。上側二次洗浄モジュール２０２Ａは下側二次洗浄モジュール２０２Ｂの上方に配置されている。一次および二次洗浄モジュール２０１Ａ，２０１Ｂ，２０２Ａ，２０２Ｂは、洗浄液を用いてウェハを洗浄する洗浄機である。これらの一次および二次洗浄モジュール２０１Ａ，２０１Ｂ，２０２Ａ，２０２Ｂは垂直方向に沿って配列されているので、フットプリント面積が小さいという利点が得られる。
【００４３】
上側二次洗浄モジュール２０２Ａと下側二次洗浄モジュール２０２Ｂとの間には、ウェハの仮置き台２０３が設けられている。乾燥室１９４内には、縦方向に沿って配列された上側乾燥モジュール２０５Ａおよび下側乾燥モジュール２０５Ｂが配置されている。これら上側乾燥モジュール２０５Ａおよび下側乾燥モジュール２０５Ｂは互いに隔離されている。上側乾燥モジュール２０５Ａおよび下側乾燥モジュール２０５Ｂの上部には、清浄な空気を乾燥モジュール２０５Ａ，２０５Ｂ内にそれぞれ供給するフィルタファンユニット２０７，２０７が設けられている。上側一次洗浄モジュール２０１Ａ、下側一次洗浄モジュール２０１Ｂ、上側二次洗浄モジュール２０２Ａ、下側二次洗浄モジュール２０２Ｂ、仮置き台２０３、上側乾燥モジュール２０５Ａ、および下側乾燥モジュール２０５Ｂは、図示しないフレームにボルトなどを介して固定されている。
【００４４】
第１搬送室１９１には、上下動可能な第１搬送ロボット２０９が配置され、第２搬送室１９３には、上下動可能な第２搬送ロボット２１０が配置されている。第１搬送ロボット２０９および第２搬送ロボット２１０は、縦方向に延びる支持軸２１１，２１２にそれぞれ移動自在に支持されている。第１搬送ロボット２０９および第２搬送ロボット２１０は、その内部にモータなどの駆動機構を有しており、支持軸２１１，２１２に沿って上下に移動自在となっている。第１搬送ロボット２０９は、搬送ロボット１２２と同様に、上下二段のハンドを有している。第１搬送ロボット２０９は、図１０（ａ）の点線が示すように、その下側のハンドが仮置き台１８０にアクセス可能な位置に配置されている。第１搬送ロボット２０９の下側のハンドが仮置き台１８０にアクセスするときには、隔壁１０１ｂに設けられているシャッタ（図示せず）が開くようになっている。
【００４５】
第１搬送ロボット２０９は、仮置き台１８０、上側一次洗浄モジュール２０１Ａ、下側一次洗浄モジュール２０１Ｂ、仮置き台２０３、上側二次洗浄モジュール２０２Ａ、下側二次洗浄モジュール２０２Ｂの間でウェハＷを搬送するように動作する。洗浄前のウェハ（スラリーが付着しているウェハ）を搬送するときは、第１搬送ロボット２０９は、下側のハンドを用い、洗浄後のウェハを搬送するときは上側のハンドを用いる。第２搬送ロボット２１０は、上側二次洗浄モジュール２０２Ａ、下側二次洗浄モジュール２０２Ｂ、仮置き台２０３、上側乾燥モジュール２０５Ａ、下側乾燥モジュール２０５Ｂの間でウェハＷを搬送するように動作する。第２搬送ロボット２１０は、洗浄されたウェハのみを搬送するので、１つのハンドのみを備えている。図９に示す搬送ロボット１２２は、その上側のハンドを用いて上側乾燥モジュール２０５Ａまたは下側乾燥モジュール２０５Ｂからウェハを取り出し、そのウェハをウェハカセットに戻す。搬送ロボット１２２の上側ハンドが乾燥モジュール２０５Ａ，２０５Ｂにアクセスするときには、隔壁１０１ａに設けられているシャッタ（図示せず）が開くようになっている。
【００４６】
洗浄部１０４は、２台の一次洗浄モジュールおよび２台の二次洗浄モジュールを備えているので、複数のウェハを並列して洗浄する複数の洗浄ラインを構成することができる。「洗浄ライン」とは、洗浄部１０４の内部において、一つのウェハが複数の洗浄モジュールによって洗浄される際の移動経路のことである。例えば、１つのウェハを、第１搬送ロボット２０９、上側一次洗浄モジュール２０１Ａ、第１搬送ロボット２０９、上側二次洗浄モジュール２０２Ａ、第２搬送ロボット２１０、そして上側乾燥モジュール２０５Ａの順で搬送し（洗浄ライン１参照）、これと並列して、他のウェハを、第１搬送ロボット２０９、下側一次洗浄モジュール２０１Ｂ、第１搬送ロボット２０９、下側二次洗浄モジュール２０２Ｂ、第２搬送ロボット２１０、そして下側乾燥モジュール２０５Ｂの順で搬送することができる（洗浄ライン２参照）。このように２つの並列する洗浄ラインにより、複数（典型的には２枚）のウェハをほぼ同時に洗浄および乾燥することができる。
【００４７】
これまで本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されず、その技術思想の範囲内において、種々の異なる形態で実施されてよいことは勿論である。
【符号の説明】
【００４８】
１        ハンド本体
１ａ      切り込み
１ｇ      係合溝
２        取付部
３        受け部材
３Ａ，３Ｂ，４Ａ，４Ｂ      受け部材
５        クランプ機構
６        把持部材
３１      支持部
３２      基板外周保持部
３２Ｓ    円弧面
３３      係合突部
３５      固定用ピン
３５ａ    係合部
３６      軸状部材
３６ａ    係合部
１０１    ハウジング
１０１ａ，１０１ｂ  隔壁
１０２    ロード／アンロード部
１０３    研磨部
１０３Ａ  第１研磨ユニット
１０３Ｂ  第２研磨ユニット
１０３Ｃ  第３研磨ユニット
１０３Ｄ  第４研磨ユニット
１０４    洗浄部
１０５    制御部
１１０  研磨パッド
１２０  フロントロード部
１２１      走行機構
１２２      搬送ロボット（ローダー）
１３０Ａ，１３０Ｂ，１３０Ｃ，１３０Ｄ    研磨テーブル
１３１      支持部
１３１Ａ，１３１Ｂ，１３１Ｃ，１３１Ｄ    トップリング
１３２Ａ，１３２Ｂ，１３２Ｃ，１３２Ｄ    研磨液供給ノズル
１３３Ａ，１３３Ｂ，１３３Ｃ，１３３Ｄ    ドレッサ
１３４Ａ，１３４Ｂ，１３４Ｃ，１３４Ｄ    アトマイザ
１８０    仮置き台
１９０    第１洗浄室
１９１    第１搬送室
１９２    第２洗浄室
１９３    第２搬送室
１９４    乾燥室
２０１Ａ  上側一次洗浄モジュール
２０１Ｂ  下側一次洗浄モジュール
２０２Ａ  上側二次洗浄モジュール
２０２Ｂ  下側二次洗浄モジュール
２０３    仮置き台
２０５Ａ  上側乾燥モジュール
２０５Ｂ  下側乾燥モジュール
２０９    第１搬送ロボット
２１０    第２搬送ロボット
２１１，２１２    支持軸
３０１    受け部品
３０２    把持部品
Ｗ        基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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