(57)【要約】【課題】  被処理物のサイズに応じて大型化が可能であり、且つ、密閉性に優れた熱処理容器を提供する。【解決手段】  加熱処理される被処理物３を収納する熱処理容器１０であり、複数のパネル２０ａ〜２０ｄが支持部材３１ａ〜３１ｄ及び接着剤Ｓにより連結される。支持部材３１ａは、２枚のパネル２０ａ及び２０ｂの夫々の端縁部２０１ａ及び２０１ｂが面方向に挿入される２つの凹部３１１ａ及び３１２ａを有する。２つの凹部３１１ａ及び３１２ａの夫々には、パネル２０ａ及び２０ｂの厚み方向において、パネル２０ａ及び２０ｂの外面側との間に、接着剤Ｓが介在する所定の間隔が設けられる。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加熱処理される被処理物を収納し、複数のパネルが支持部材及び接着剤により連結される熱処理容器であって、
前記支持部材は、側壁を構成するパネルのうち２枚のパネルの夫々の端縁部が面方向に挿入される２つの凹部を有しており、
前記２つの凹部の夫々には、前記パネルの厚み方向において、前記パネルの外面側との間に所定の間隔が設けられており、
前記接着剤は、前記所定の間隔に介在する熱処理容器。
【請求項２】
前記２つの凹部の夫々が有する内側面のうち前記パネルの厚み方向に平行な面と、前記側壁を構成するパネルのうち２枚のパネルの夫々の端縁部の側部との間には、隙間が設けられている請求項１に記載の熱処理容器。
【請求項３】
前記２つの凹部は、前記側壁を構成するパネルのうち２枚のパネルの夫々の端縁部が挿入される面方向が互いに異なるように配置されている請求項１又は２に記載の熱処理容器。
【請求項４】
前記側壁を構成するパネルの夫々の上端縁部によって形成される開口部を覆う天板と、
前記天板を支持する天板支持部材と、
を備え、
前記天板支持部材は、前記側壁を構成するパネルの夫々の上端縁部が挿入される凹部を有しており、
前記支持部材及び前記天板支持部材の何れか一方の端部に凸部が設けられ、前記凸部は他方が有する前記凹部に挿入される請求項１〜３の何れか１項に記載の熱処理容器。
【請求項５】
前記支持部材は、連結部材を備え、前記連結部材が有する前記２つの凹部は、平行に配置されている請求項１〜４の何れか１項に記載の熱処理容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、被処理物に熱処理を行うための熱処理装置に配設される熱処理容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、特にディスプレイ分野において、大型の処理基板の需要が増加傾向にある。また、被処理物を熱処理する際、パーティクルの侵入を防止するため、熱処理容器の密閉性を確保することは重要である。
【０００３】
従来、ネジを介して互いに着脱自在に固定される複数の板状体（本発明のパネルに相当する。）に分割して構成した熱処理室があった（例えば、特許文献１参照。）。複数の板状体は、ネジによって互いに着脱自在に固定される。このため、熱処理室の大容量化に対応することができるとともに、熱処理装置の運搬時等に、熱処理室を複数の板状体に分解することができるため、利便性が向上する、とされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１３６０９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の熱処理室は、熱処理装置内への塵埃の侵入を防止するため、圧力差を利用する。しかし、複数の板状体をネジで着脱自在に固定しているだけであるため、ネジが緩むと、隙間が生じて塵埃が侵入する虞がある。このため、熱処理室を確実に密閉することは困難である。
【０００６】
上記のような隙間を生じさせないように、複数の板状体を接着剤で連結することも考えられる。しかし、単に接着剤を複数の板状体に塗布しただけでは、接着剤が熱処理室の内部に漏洩して、被処理物を汚損する虞がある。
【０００７】
この発明の目的は、被処理物のサイズに応じて大型化が可能であり、密閉性に優れ、さらに、被処理物を汚損することのない熱処理容器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明は、加熱処理される被処理物を収納する熱処理容器であって、複数のパネルが支持部材及び接着剤により連結される。支持部材は、側壁を構成するパネルのうち２枚のパネルの夫々の端縁部が面方向に挿入される２つの凹部を有する。２つの凹部の夫々には、パネルの厚み方向において、パネルの外面側との間に所定の間隔が設けられる。接着剤は、この所定の間隔に介在する。
【０００９】
上記の構成により、側壁を構成するパネルは、支持部材を介して連結される。連結の際に用いる接着剤は、上記の所定の間隔に介在しているため、被処理物を加熱処理している最中、熱によって接着剤が溶解し、熱処理容器の内部に漏洩することを防止できる。
【００１０】
また、２つの凹部の夫々が有する内側面のうちパネルの厚み方向に平行な面と、側壁を構成するパネルのうち２枚のパネルの夫々の端縁部の側部との間には、隙間が設けられている。この構成により、パネルの熱膨張を抑制することができる。
【００１１】
また、２つの凹部の夫々が有する内側面のうちパネルの厚み方向に平行な面と、側壁を構成するパネルのうち２枚のパネルの夫々の端縁部の側部との間には、隙間が設けられている。この構成により、複数のパネルが支持部材を介して次々と連結される。これにより、被処理物のサイズに応じてパネルを連結して、所望の大きさの熱処理容器を形成することができる。
【００１２】
上記の構成は、側壁を構成するパネルの夫々の上端縁部によって形成される開口部を覆う天板と、天板を支持する天板支持部材とを備える。天板支持部材は、側壁を構成するパネルの夫々の上端縁部が挿入される凹部を有しており、支持部材及び天板支持部材の何れか一方の端部に凸部が設けられ、この凸部は他方が有する凹部に挿入される。この構成により、支持部材と天板支持部材とが嵌合する。これにより、熱処理容器の密閉性を一層高めることができる。
【００１３】
また、支持部材は、連結部材を備える。連結部材が有する２つの凹部は、平行に配置されている。この構成により、連結部材が有する２つの凹部に挿入された２枚のパネルは、平行又は同一直線上に配置される。これにより、連結部材を介して熱処理容器の高さ方向や横方向にパネルを連結すれば、被処理物のサイズに応じた熱処理容器を形成することができる。
【発明の効果】
【００１４】
この発明によれば、被処理物のサイズに応じて大型化が可能であり、密閉性に優れ、さらに、被処理物を汚損することのない熱処理容器とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態に係る熱処理装置の構成を示す正面視断面図である。
【図２】第１実施形態に係る熱処理容器の全体構成を示す斜視図である。
【図３】第１実施形態に係る熱処理容器の要部の分解斜視図である。
【図４】第１実施形態に係る熱処理容器における接着剤の配置に関する説明図である。（Ａ）は、支持部材の上面視断面図である。（Ｂ）は、天板支持部材を長手方向に見たときの側面視断面図である。
【図５】第２実施形態に係る熱処理容器の全体構成を示す斜視図である。
【図６】第２実施形態に係る熱処理容器の要部の分解斜視図である。
【図７】第２実施形態に係る熱処理容器における接着剤の配置に関する説明図であり、熱処理容器の外部から見たときの要部の側面視断面図である。
【図８】第３実施形態に係る熱処理容器の全体構成を示す斜視図である。
【図９】第３実施形態に係る熱処理容器の構成を説明する図である。（Ａ）は、要部の分解斜視図である。（Ｂ）は、熱処理容器の外部から見たときの支持部材、縦連結部材、及び横連結部材の側面視断面図である。
【図１０】第３実施形態に係る熱処理容器における接着剤の配置に関する説明図である。（Ａ）は、縦連結部材を長手方向に見たときの側面視断面図である。（Ｂ）は、横連結部材を長手方向に見たときの側面視断面図である。
【図１１】第４実施形態に係る熱処理容器における支持部材の連結に関する説明図である。
【図１２】第５実施形態に係る熱処理容器における支持部材の連結に関する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図１に示すように、熱処理装置１は、筒状体の縦型ヒータ２の内部に、本発明の熱処理容器１０を配置して構成されている。縦型ヒータ２は、この発明に係る加熱用ヒータであり、一例として、側面の夫々の内側面に上下方向について４つのゾーンに分割されたヒータを備えている。縦型ヒータ２は、上面が閉塞されている一方、底面に開口部が形成されている。
【００１７】
熱処理容器１０は、縦型ヒータ２の開口部から内部に挿入されており、外側面に縦型ヒータ２のヒータが対向している。熱処理容器１０の底面は開口しており、熱処理容器１０に収納されて加熱処理される被処理物である複数枚の基板３は、当該開口部から熱処理容器１０内に図示しないエレベータを介して挿入される。熱処理容器１０内に複数枚の基板３の挿入が完了すると、当該開口部は閉塞される。
【００１８】
複数枚の基板３は、熱処理容器１０に対して昇降するエレベータフロア４の上面に断熱材５を介して載置された基板保持架台６上に、基板保持治具７を介して水平方向に所定の間隔を設けて並べて保持される。なお、複数枚の基板３は上下方向に所定の間隔を設けて積層して保持されるものであってもよい。
【００１９】
［第１実施形態］
図２に示すように、本発明の第１実施形態に係る熱処理容器１０は、パネル２０ａ〜２０ｄと、天板２１と、支持部材３１ａ〜３１ｄと、天板支持部材３２ａ〜３２ｄと、後述する接着剤Ｓとから構成される。図２では、一例として、直方体状の熱処理容器１０を示している。
【００２０】
パネル２０ａ〜２０ｄは、被処理物３の周囲を囲むように支持部材３１ａ〜３１ｄを介して連結され、熱処理容器１０の側壁を構成する。パネル２０ａ〜２０ｄは、被処理物３のサイズに応じた大きさの矩形の板状体である。天板２１は、パネル２０ａ〜２０ｄの上端縁部によって形成される開口部を覆う矩形の板状体である。パネル２０ａ〜２０ｄ及び天板２１の材質として、石英、ガラス、及びセラミックス等が挙げられる。これらのうち、石英は不純物が少なく高温下での熱変形が非常に小さいため、熱処理容器１０の材料として好適である。
【００２１】
支持部材３１ａ〜３１ｄは、パネル２０ａ〜２０ｄと連結され、熱処理容器１０を高さ方向に支持する長尺状の部材である。天板支持部材３２ａ〜３２ｄは、パネル２０ａ〜２０ｄの上端縁部と連結されるとともに、天板２１を支持する長尺状の部材である。
【００２２】
熱処理容器１０における各部材の連結について、一例として、図２に示した熱処理容器１０のうち、パネル２０ａ、パネル２０ｂ、天板２１、支持部材３１ａ、天板支持部材３２ａ、及び天板支持部材３２ｂに着目して、図３に基づいて説明する。図３に示すように、支持部材３１ａは、凹部３１１ａ及び凹部３１２ａを有している。
【００２３】
天板支持部材３２ａは、長手方向に沿って凹部３２１ａを有しており、短手方向にある側面３２２ａ及び側面３２３ａに夫々凸部３２４ａ及び凸部３２５ａが設けられている。また、図２及び図３に示すように、天板支持部材３２ａは、支持部材３１ａと天板支持部材３２ａとを連結したとき、支持部材３１ａの上面部３１３ａと同じ位置となる水平面３２６ａを天板支持部材３２ａの長手方向に有する。さらに、水平面３２６ａから熱処理容器１０の高さ方向に延在する壁部３２７ａを有する。このように、天板支持部材３２ａは、短手方向の断面形状がＬ字型状の長尺部材として構成される。
【００２４】
この構成は、天板支持部材３２ｂも同様である。天板支持部材３２ｂは、長手方向に沿って凹部３２１ｂと、短手方向にある側面３２２ｂ及び側面３２３ｂに夫々設けられた凸部３２４ｂ及び凸部３２５ｂと、長手方向にある水平面３２６ｂと、水平面３２６ｂから熱処理容器１０の高さ方向に延在する壁部３２７ｂとを有する。
【００２５】
支持部材３１ａの凹部３１１ａには、パネル２０ａの端縁部２０１ａ及び天板支持部材３２ａの凸部３２４ａが挿入される。同様に、凹部３１２ａには、パネル２０ｂの端縁部２０１ｂ及び天板支持部材３２ｂの凸部３２４ｂが挿入される。また、天板支持部材３２ａの凹部３２１ａに、パネル２０ａの上端縁部である端縁部２０２ａが挿入される。同様に、天板支持部材３２ｂの凹部３２１ｂに、パネル２０ｂの上端縁部である端縁部２０２ｂが挿入される。このように、支持部材３１ａの凹部３１１ａ及び凹部３１２ａの夫々には、パネル２０ａ及びパネル２０ｂの夫々の端縁部が互いに異なる面方向に挿入される。
【００２６】
図２及び図３に示すように、天板２１の端縁部２１１は、天板支持部材３２ａの壁部３２７ａに当接しながら水平面３２６ａに載置される。同様に、端縁部２１２は、天板支持部材３２ｂの壁部３２７ｂに当接しながら水平面３２６ｂに載置される。
【００２７】
上記した各部材の構成及び連結は、他の部材も同様である。
【００２８】
上記のようにして各部材を連結すれば、熱処理容器１０を形成することができるが、熱処理容器１０の密閉性を向上させるため、接着剤Ｓを使用する。接着剤Ｓの配置に関して、支持部材３１ａ及び天板支持部材３２ａに着目して図４に基づいて説明する。なお、図４では、説明の便宜上、支持部材３１ａと天板支持部材３２ａとに直接接しているパネル２０ａ〜２０ｂ、及び天板２１の夫々の端縁部のみを表示しており、その他の部分は省略する。また、接着剤Ｓを黒塗りで示す。
【００２９】
支持部材３１ａの凹部３１１ａの内側面全部に接着剤Ｓを塗布し、パネル２０ａの端縁部２０１ａを挿入すれば、支持部材３１ａとパネル２０ａとが強固に連結され、熱処理容器１０の密閉性が高まると考えられる。しかし、接着剤Ｓが溶解する等して熱処理容器１０の内部へ漏洩する虞がある。また、熱処理容器１０の密閉性は確保しなければならないが、密閉性が高過ぎると、内圧が上昇して、熱処理容器１０の内部に過大な応力が掛かり、側壁を構成するパネル２０ａ〜２０ｄ及び天板２１の破損や、被処理物３にクラックが生じる等の虞がある。
【００３０】
そこで、本発明では、図４（Ａ）に示すように、凹部３１１ａの内側面のうち、パネル２０ａの厚み方向において、端縁部２０１ａの外面側との間に所定の間隔を設けることとする。接着剤Ｓは、この所定の間隔に介在する。また、パネル２０ａの厚み方向における接着剤Ｓの厚みは、１ｍｍを超えないことが好ましい。このように構成すれば、上記の問題が生じることはない。
【００３１】
また、凹部３１１ａの内側面のうち、パネル２０ａの厚み方向に平行な面３１１１ａと、端縁部２０１ａの側部２０１１ａとの間に隙間を設ける。この隙間のサイズは、パネル２０ａ及び天板２１の剛性や強度に影響を及ぼすことがないように設定される。本実施形態においては、隙間の距離Ｄは、少なくとも１ｍｍとする。
【００３２】
上記の構成は、図４（Ａ）において、凹部３１２ａに関しても同様である。凹部３１２ａの内側面のうちパネル２０ｂの厚み方向において、端縁部２０１ｂの外面側との間に接着剤Ｓが介在する。上記と同様に、接着剤Ｓの厚みは、１ｍｍを超えないことが好ましい。そして、凹部３１２ａの内側面のうち、パネル２０ｂの厚み方向に平行な面３１２１ａと端縁部２０１ｂの側部２０１１ｂとの間に距離Ｄの隙間を設ける。
【００３３】
天板支持部材３２ａとパネル２０ａとの連結に関しては、図４（Ｂ）に示すように、天板支持部材３２ａの凹部３２１ａの内側面のうち、パネル２０ａの厚み方向において、端縁部２０２ａの外面側との間に所定の間隔が設けられる。接着剤Ｓは、この所定の間隔に介在する。パネル２０ａの厚み方向における接着剤Ｓの厚みは、１ｍｍを超えないことが好ましい。
【００３４】
天板支持部材３２ａの凹部３２１ａの内側面のうち、パネル２０ａの厚み方向に平行な面３２１１ａと、端縁部２０２ａの側部２０２１ａとの間にも距離Ｄの隙間を設けることができる。この場合、上記と同様の理由により１ｍｍを超えないことが好ましい。また、天板支持部材３２ａとパネル２０ａとは高さ方向に連結されるため、凹部３２１ａに端縁部２０２ａが挿入されると、天板支持部材３２ａの自重により隙間は形成されず、面３２１１ａに側部２０２１ａが当接する場合もある。
【００３５】
図４（Ｂ）に示すように、天板２１の端縁部２１１と天板支持部材３２ａとは、壁部３２７ａとの間に接着剤Ｓが介在する。接着剤Ｓの厚みは、１ｍｍを超えないことが好ましい。
【００３６】
上記した接着剤Ｓの配置や隙間に関しては、他の部材も同様である。
【００３７】
［第２実施形態］
第１実施形態では、天板２１がパネル２０ａ〜２０ｄの夫々の上端縁部によって形成される開口部を覆う構成とした。仮に、天板２１の面積が大きかったり、重量が重いと、天板２１の自重で撓みが生じたり、天板支持部材３２ａ〜３２ｄのみでは支持できず、天板２１が落下する場合がある。そこで、第２実施形態の熱処理容器は、天板２１を確実に支持することができる熱処理容器２０とする。
【００３８】
図５に示すように、熱処理容器２０は、４枚のパネル２０ａ〜２０ｄと、天板２１と、支持部材３１ａ〜３１ｄと、天板支持部材３２ｅ〜３２ｆと、梁部材３３ａと、天板支持部材３４ａ〜３４ｄと、接着剤Ｓとから構成される。
【００３９】
熱処理容器２０における各部材の連結について、一例として、図５に示した熱処理容器２０のうち、パネル２０ａ、パネル２０ｃ、天板２１、支持部材３１ａ、梁部材３３ａ、天板支持部材３４ａ、及び天板支持部材３４ｂに着目して、図６に基づいて説明する。
【００４０】
図６に示すように、天板支持部材３４ａは、天板支持部材３２ａと同様に、長手方向に沿って凹部３４１ａを有しており、短手方向にあって支持部材３１ａ側の側面に凸部３４２ａが設けられている。また、天板支持部材３４ａは、支持部材３１ａと天板支持部材３４ａとを連結したとき、支持部材３１ａの上面部３１３ａと同じ位置となる水平面３４３ａを天板支持部材３４ａの長手方向に有する。さらに、水平面３４３ａから熱処理容器２０の高さ方向に延在する壁部３４４ａを有する。天板支持部材３４ｂも同様に、凹部３４１ｂと、水平面３４３ｂと、壁部３４４ｂとを有する。また、短手方向であって支持部材３１ｂ側の側面に凸部３４２ｂを有する。
【００４１】
梁部材３３ａは、短手方向に凹部３３１ａ及び凹部３３２ａを有している。凹部３３１ａ及び凹部３３２ａの夫々にパネル２０ａの上端縁部である端縁部２０２ａ及びパネル２０ｃの上端縁部である端縁部２０１ｃが挿入されたとき、天板支持部材３４ａの水平面３４３ａ、及び天板支持部材３４ｂの水平面３４３ｂと同じ位置となるように水平面３３３ａを梁部材３３ａの長手方向に有する。また、梁部材３３ａは、水平面３３３ａから熱処理容器２０の高さ方向に延在する壁部３３４ａ及び壁部３３５ａを両端部に有する。
【００４２】
図５〜図７に示すように、パネル２０ａの端縁部２０２ａは、凹部３４１ａ、凹部３４１ｂ、及び凹部３３１ａに夫々挿入される。天板２１の端縁部２１１は、壁部３４４ａ、壁部３４４ｂ、及び壁部３３４ａに当接しながら、水平面３４３ａ及び水平面３４３ｂに載置され、天板２１の内側面２１３は、水平面３３３ａに載置される。上記した各部材の構成及び連結は、他の部材も同様である。
【００４３】
このように構成すれば、天板２１が大面積である場合や、重量が重い場合であっても、天板２１を確実に支持することができる。また、天板２１のサイズに応じて、天板支持部材３４ａ〜３４ｄの長手方向の長さを調整して梁部材３３ａを適宜増加させることもできる。このようにすれば、より一層確実に天板２１を支持することができ、また、熱処理容器２０の強度を高めることもできる。
【００４４】
次に、第２実施形態における接着剤Ｓに関して説明する。パネル２０ａ〜２０ｄ、天板２１、支持部材３１ａ〜３１ｄ、天板支持部材３２ｅ〜３２ｆ、及び天板支持部材３４ａ〜３４ｄに関しては、第１実施形態の熱処理容器１０と同様であるため省略する。図７に示すように、凹部３３１ａの内側面のうち、パネル２０ａの厚み方向において、端縁部２０１ａの外面側との間に所定の間隔が設けられる。接着剤Ｓは、この所定の間隔に介在する。また、パネル２０ａの厚み方向における接着剤Ｓの厚みは、１ｍｍを超えないことが好ましい。これと同様に、凹部３３２ａの内側面のうち、パネル２０ｃの厚み方向において、端縁部２０１ｃの外面側との間に接着剤Ｓが介在する。
【００４５】
天板２１の端縁部２１１と、梁部材３３ａの壁部３３４ａ及び壁部３３５ａとの間に接着剤Ｓが介在する。接着剤Ｓの厚みは、１ｍｍを超えないことが好ましい。
【００４６】
上記のように、接着剤Ｓの厚みが１ｍｍを超えないようにする理由は、第１実施形態の熱処理容器１０と同様の理由による。
【００４７】
梁部材３３ａとパネル２０ａとの連結に関しては、図７に示すように、凹部３３１ａの内側面のうち、パネル２０ａの厚み方向に平行な面３３１１ａと、端縁部２０１ａの側部２０１１ａとの間にも距離Ｄの隙間を設けることができる。この場合、上記と同様の理由により１ｍｍを超えないことが好ましい。また、梁部材３３ａとパネル２０ａとは高さ方向に連結されるため、凹部３３１ａに端縁部２０２ａが挿入されると、梁部材３３ａの自重により隙間は形成されず、面３３１１ａに側部２０１１ａが当接する場合もある。同様に、凹部３３２ａの内側面のうち、パネル２０ｃの厚み方向に平行な面３３２１ａと、端縁部２０１ｃの側部２０１１ｃとの間にも距離Ｄの隙間を設けることができる。また、
面３３２１ａに側部２０１１ｃが当接する場合もある。
【００４８】
［第３実施形態］
本発明の熱処理容器は、複数のパネルを熱処理容器の高さ方向や横方向に連結させることができる。そこで、第３実施形態は、大型化した熱処理容器３０とする。
【００４９】
図８に示すように、熱処理容器３０は、側壁を構成するパネル２０ｅ〜２０ｔ（パネル２０ｍ〜２０ｔは不図示。）と、天板２１と、支持部材３１ｅ〜３１ｈ（支持部材３１ｈは不図示。）と、梁部材３３ｂと、梁部材３３ｃと、天板支持部材３２ｇ〜３２ｊと、天板支持部材３４ｅ〜３４ｌとから構成される。さらに、熱処理容器３０は、連結部材として、複数のパネルを熱処理容器３０の高さ方向に連結する縦連結部材３５ａ〜３５ｄ（縦連結部材３５ｃ及び縦連結部材３５ｄは不図示。）と、横連結部材３６ａ〜３６ｈ（横連結部材３６ｅ〜３６ｈは不図示。）と、を含む。
【００５０】
支持部材３１ｅ〜３１ｈ、天板支持部材３２ｇ〜３２ｊ、天板支持部材３４ｅ〜３４ｌ、梁部材３３ｂ、及び梁部材３３ｃの構成は、上記した第１実施形態の熱処理容器１０や第２実施形態の熱処理容器２０における支持部材３１ａ、天板支持部材３２ａ、天板支持部材３４ａ、及び梁部材３３ａ等の構成と同様であるため、説明は省略する。
【００５１】
熱処理容器３０における各部材の連結について、一例として、図８に示した熱処理容器３０のうち、パネル２０ｅ〜２０ｈ、支持部材３１ｅ、支持部材３１ｆ、縦連結部材３５ａ、横連結部材３６ａ、及び横連結部材３６ｂに着目して図９及び図１０に基づいて説明する。図９（Ａ）に示すように、縦連結部材３５ａは、凹部３５１ａ及び凹部３５２ａを縦連結部材３５ａの長手方向に沿って有しており、両者は平行に配置されている。
【００５２】
横連結部材３６ａは、凹部３６１ａ及び凹部３６２ａを横連結部材３６ａの長手方向に沿って有しており、両者は平行に配置されている。また、横連結部材３６ａは、横連結部材３６ａの短手方向の側面３６３ａ及び側面３６４ａに、凸部３６５ａ及び凸部３６６ａが夫々設けられている。同様に、横連結部材３６ｂは、凹部３６１ｂ及び凹部３６２ｂを横連結部材３６ｂの長手方向に沿って平行に配置されるように有している。また、横連結部材３６ｂは、横連結部材３６ｂの短手方向の側面３６３ｂ及び側面３６４ｂに、凸部３６５ｂ及び凸部３６６ｂが夫々設けられている。
【００５３】
支持部材３１ｅは、長手方向に沿って凹部３１１ｅ及び凹部３１２ｅを有している。凹部３１１ｅに、パネル２０ｅの端縁部２０１ｅ、パネル２０ｇの端縁部２０１ｇ、及び横連結部材３６ａの凸部３６５ａが挿入される。凹部３１２ｅにも、凹部３１１ｅと同様に、２枚のパネルの夫々の端縁部と、横連結部材の凸部が挿入される（図９では不図示。）。一方、支持部材３１ｆも支持部材３１ｅと同様に、長手方向に沿って凹部３１１ｆ及び凹部３１２ｆを有している。凹部３１１ｆに、パネル２０ｆの端縁部２０１ｆ、パネル２０ｈの端縁部２０１ｈ、及び横連結部材３６ｂの凸部３６６ｂが挿入される。凹部３１２ｆにも、凹部３１１ｆと同様に、２枚のパネルの夫々の端縁部と、横連結部材の凸部とが挿入される（図９では不図示。）。
【００５４】
縦連結部材３５ａの凹部３５１ａに、パネル２０ｅの端縁部２０２ｅ、パネル２０ｇの端縁部２０２ｇ、及び横連結部材３６ａの凸部３６６ａが挿入される。同様に、凹部３５２ａに、パネル２０ｆの端縁部２０２ｆ、パネル２０ｈの端縁部２０２ｈ、及び横連結部材３６ｂの凸部３６５ｂが挿入される。
【００５５】
横連結部材３６ａの凹部３６１ａに、パネル２０ｅの上端縁部である端縁部２０３ｅが挿入され、凹部３６２ａに、パネル２０ｇの端縁部２０３ｇが挿入される。横連結部材３６ｂの凹部３６１ｂに、パネル２０ｆの上端縁部である端縁部２０３ｆが挿入され、凹部３６２ｂに、パネル２０ｈの端縁部２０３ｈが挿入される。
【００５６】
天板支持部材と縦連結部材との連結や、天板支持部材と天板との連結は、第１実施形態及び第２実施形態にて説明したものと同様であるため、省略する。また、熱処理容器３０において、上記した各部材の構成及び連結は、他の部材も同様である。
【００５７】
縦連結部材及び横連結部材が夫々有している２つの凹部は平行に配置されているため、上記のようにして２枚のパネルの端縁部を面方向に夫々の凹部に挿入すると、パネルを熱処理容器３０の高さ方向や横方向に連結することができる。
【００５８】
縦連結部材３５ａ及び横連結部材３６ａにおける接着剤Ｓの配置に関して、図１０に基づいて説明する。なお、図１０では、説明の便宜上、縦連結部材３５ａ及び横連結部材３６ａに直接接しているパネル２０ｅ〜２０ｇの端縁部のみを表示しており、その他の部分は省略する。また、接着剤Ｓを黒塗りで示す。
【００５９】
図１０（Ａ）に示すように、接着剤Ｓは、凹部３５１ａのパネル２０ｅの厚み方向において、端縁部２０２ｅの外面側との間に設けられた所定の間隔に介在する。また、パネル２０ｅの厚み方向における接着剤Ｓの厚みは、１ｍｍを超えないことが好ましい。また、凹部３５１ａの内側面のうち、パネル２０ｅの厚み方向に平行な面３５１１ａと端縁部２０２ｅの側部２０２１ｅとの間に隙間を設ける。この隙間の距離Ｄは、少なくとも１ｍｍである。
【００６０】
上記の構成は、図１０（Ａ）において、凹部３５２ａに関しても同様である。凹部３５２ａの内側面とパネル２０ｆの外面側との間に接着剤Ｓが介在する。凹部３５２ａの内側面のうち、パネル２０ｆの厚み方向に平行な面３５２１ａと端縁部２０２ｆの側部２０２１ｆとの間に設けられる隙間の距離Ｄは、少なくとも１ｍｍである。
【００６１】
横連結部材３６ａとパネル２０ｅとの連結に関しては、図１０（Ｂ）に示すように、凹部３６１ａの内側面のうち、パネル２０ｅの厚み方向において、端縁部２０３ｅの外面側との間に所定の間隔が設けられる。接着剤Ｓは、この所定の間隔に介在する。また、パネル２０ｅの厚み方向における接着剤Ｓの厚みは、１ｍｍを超えないことが好ましい。
【００６２】
横連結部材３６ａの凹部３６１ａの内側面のうち、パネル２０ｅの厚み方向に平行な面３６１１ａと、端縁部２０３ｅの側部２０３１ｅとの間にも距離Ｄの隙間を設けることができる。この場合、上記と同様の理由により１ｍｍを超えないことが好ましい。また、横連結部材３６ａとパネル２０ｅとは高さ方向に連結されるため、凹部３６１ａに端縁部２０３ｅが挿入されると、横連結部材３６ａの自重により隙間は形成されず、面３６１１ａに側部２０３１ａが当接する場合もある。
【００６３】
上記の構成は、図１０（Ｂ）において、凹部３６２ａに関しても同様である。凹部３６２ａの内側面とパネル２０ｇの外面側との間に接着剤Ｓが介在する。凹部３６２ａの内側面のうち、パネル２０ｇの厚み方向に平行な面３６２１ａと端縁部２０３ｇの側部２０３１ｇとの間に距離Ｄの隙間を設けることができる。また、パネル２０ｇの自重により隙間は形成されず、面３６２１ａに側部２０３１ｇが当接する場合もある。
【００６４】
上記した接着剤Ｓの配置や隙間に関しては、他の部材も同様である。
【００６５】
［第４実施形態］
第１〜第３実施形態に係る熱処理容器１０〜３０では、支持部材どうしは連結されない構成とした。第４実施形態の熱処理容器４０は、高さ方向に支持部材どうしを連結する構成とする。一例として、図１に示した第１実施形態の熱処理容器１０に係る支持部材３１ａは、図１１に示すように、支持部材３１ｉ及び支持部材３１ｊから構成されるものとする。支持部材３１ｉ及び支持部材３１ｊは、これらを連結すると、支持部材３１ａが有する凹部３１１ａ及び凹部３１２ａに相当する凹部を夫々有するように構成されている。凹部３１１ａに相当する凹部として、支持部材３１ｉは、凹部３１１ｉを有し、支持部材３１ｊは、凹部３１１ｊを有する。凹部３１２ａに相当する凹部として、支持部材３１ｉは、凹部３１２ｉを有し、支持部材３１ｊは、凹部３１２ｊを有する（凹部３１２ｉは不図示。）。
【００６６】
また、支持部材３１ｉの下端部の中央部分に凹部３１３ｉを設け、支持部材３１ｊの上端部の中央部分に凹部３１３ｊを夫々設ける。凹部３１３ｉ及び凹部３１３ｊにピン４１を嵌入することにより、支持部材３１ｉ及び支持部材３１ｊは連結され、支持部材３１ａを構成することができる。このように支持部材３１ａを構成すれば、被処理物３のサイズに対応して大型の熱処理容器を作製する際、熱処理容器の高さ方向の長さに相当する支持部材を別途用意しなくても、ある程度の長さの支持部材を継ぎ足せば良い。このため、大型の熱処理容器を容易に作製することができる。
【００６７】
［第５実施形態］
第４実施形態の熱処理容器４０は、上下に位置する支持部材３１ｉ及び支持部材３１ｊをピン４１で嵌合して連結する構成とした。このとき、ピン４１は、支持部材３１ｉ及び支持部材３１ｊの内部に埋没させていた。第５実施形態の熱処理容器５０は、支持部材の外部に部材を取り付けて連結する構成とする。一例として、図１に示した第１実施形態の熱処理容器１０に係る支持部材３１ａは、図１２に示すように、支持部材３１ｍ及び支持部材３１ｎから構成されるものとする。これらを連結すると、支持部材３１ａが有する凹部３１１ａ及び凹部３１２ａに相当する凹部を夫々有するように構成されている。凹部３１１ａに相当する凹部として、支持部材３１ｍは、凹部３１１ｍを有し、支持部材３１ｎは、凹部３１１ｎを有する（凹部３１１ｍは不図示。）。凹部３１２ａに相当する凹部として、支持部材３１ｍは、凹部３１２ｍを有し、支持部材３１ｎは、凹部３１２ｎを有する（凹部３１２ｍは不図示。）。
【００６８】
また、支持部材３１ｍの下端部に凸部３１３ｍ及び凸部３１４ｍを設け、支持部材３１ｎの上端部に凸部３１３ｎ及び凸部３１４ｎを夫々設ける。凸部３１３ｍ及び凸部３１４ｍには、夫々孔部３１５ｍ及び孔部３１６ｍが形成されている。同様に、凸部３１３ｎ及び凸部３１４ｎには、夫々孔部３１５ｎ及び孔部３１６ｎが形成されている。孔部３１５ｍと孔部３１５ｎにはボルト５１が嵌入され、孔部３１６ｍと孔部３１６ｎにはボルト５２が嵌入される。これにより、支持部材３１ｍ及び支持部材３１ｎは連結され、支持部材３１ａを構成することができる。
【００６９】
このように支持部材３１ａを構成すれば、被処理物３のサイズに対応して大型の熱処理容器を作製する際、熱処理容器の高さ方向に長さに相当する支持部材を別途用意しなくても、ある程度の長さの支持部材を継ぎ足せば良い。このため、大型の熱処理容器を容易に作製することができる。
【００７０】
上記の熱処理容器１０〜５０を構成する各支持部材の材質として、石英が好適に用いられる。また、接着剤Ｓの材料はとくに限定はされないが、セラミック樹脂を含有させたものが好適である。
【００７１】
上記の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００７２】
１…熱処理装置
２…縦型ヒータ（加熱用ヒータ）
３…複数枚の基板（被処理物）
１０、２０、３０、４０、５０…熱処理容器
２０ａ〜２０ｔ…パネル
２１…天板
２０１ａ、２０２ａ、２０１ｂ、２０２ｂ…端縁部
２０２ｅ、２０２ｆ、２０２ｇ、２０２ｈ…端縁部
２０３ｅ、２０３ｆ、２０３ｇ、２０３ｈ…端縁部
３１ａ〜３１ｄ…支持部材
３１１ａ、３１２ａ…凹部
３２ａ〜３２ｄ…天板支持部材
３４ａ〜３４ｄ…天板支持部材
３２４ａ、３２５ａ…凸部
３４２ａ、３４２ｂ…凸部
３５ａ〜３５ｄ…縦連結持部材（支持部材）
３６ａ〜３６ｈ…横連結部材（支持部材）
３５１ａ、３５２ａ…凹部
３６１ａ、３６２ａ、３６１ｂ、３６２ｂ…凹部
Ｄ…隙間の距離
Ｓ…接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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