(57)【要約】【課題】ボールネジを用いた移動体送り機構において、部材の損傷を抑制しつつ、移動体の可動域を確保可能であり、かつ、ボールネジから潤滑油が周辺へと飛散することを抑制する。【解決手段】移動体送り機構６０は、基台に設置された一対のガイドレール６１と、一対のガイドレール６１の間に設けられパルスモータ６２で回転するボールネジ６３と、ボールネジ６３に螺合する雌ネジを有しガイドレール６１に沿って移動するスライダ６５と、ガイドレール６１及びボールネジ６３に沿って延在しガイドレール６１及びボールネジ６３を覆ってボールネジ６３に塗布された潤滑油の飛散を防ぐカバー手段６４と、を備え、カバー手段６４は、ボールネジ伸展方向Ａに延在する蓋体６４１ａと蓋体６４１ａの両側に配設されボールネジ伸展方向Ａに延在する側板６４１ｂとを有する樋状部材６４１を有し、樋状部材６４１にスライダ６５が接触せずに移動する。【選択図】図３
2017180602.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台に設置された一対のガイドレールと、該一対のガイドレールの間に設けられモータで回転するボールネジと、該ボールネジに螺合する雌ネジを有し該ガイドレールに沿って移動するスライダと、該ガイドレール及びボールネジに沿って延在し該ガイドレール及びボールネジを覆って該ボールネジに塗布された潤滑油の飛散を防ぐカバー手段と、を備える移動体送り機構であって、
該カバー手段は、
ボールネジ伸展方向に延在する蓋体と該蓋体の両側に配設されボールネジ伸展方向に延在する側板とを有し、断面が略コの字型の樋状部材と、
該樋状部材をボールネジ伸展方向の両端部で該基台に固定しつつ、該コの字型の内側で該ガイドレール及びボールネジを覆い、該コの字型の先端が該基台と隙間が空くよう該樋状部材を位置付ける固定部と、を備え、
該スライダは、
該ボールネジに螺合し該ガイドレールと摺動する本体部と、
該本体部から該ガイドレールの両外側に延在し、該基台と該樋状部材との該隙間をくぐって該側板に沿って立ち上がるブラケット部と、
立ち上がった該ブラケット部の両端部に渡って、該樋状部材を跨ぎ固定される移動体と、から構成され、
飛散する該潤滑油を受けるコの字型の該樋状部材に、該スライダが接触せずに移動する移動体送り機構。
【請求項２】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、該チャックテーブルと該加工手段とを相対移動させる移動手段と、を備える加工装置であって、
該移動手段は、請求項１記載の移動体送り機構を有する加工装置。
【請求項３】
請求項２記載の加工装置であって、
該複数の被加工物を収容するカセットを載置するカセット載置部と、該加工手段で加工した被加工物を洗浄する洗浄手段と、該カセット載置部に載置された該カセットと、該チャックテーブルと、該洗浄手段との間で該被加工物を搬送する搬送手段と、を備え、該搬送手段は請求項１記載の移動体送り機構で移動する加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ボールネジを用いた直動機構である移動体送り機構および加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、各種工作機械などの装置において、被加工物を加工する加工ユニットを移動させる手段や被加工物を搬送する搬送手段などに、ボールネジを用いた直動機構としての移動体送り機構が多く用いられている。例えば、特許文献１には、静止基台上に設けられ、被加工物を保持するチャックテーブルの支持基台が移動可能に嵌合される案内レールと、支持基台と螺合するボールネジとを有する切削送り機構を備えた切削装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第５８０１０７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ボールネジを用いた移動体送り機構は、複数のボールを介してネジと螺合するナットが移動体としてのスライダに一体化されており、複数のボールとナットとの間を潤滑するため、ネジにグリス等の潤滑油が塗布される。しかしながら、この潤滑油の塗布量が多すぎると、スライダの移動に伴いネジとナットとが噛み合う際に潤滑油が周辺に飛散することがある。この結果、被加工物の表面に潤滑油が付着してしまい、被加工物の品質向上を妨げるおそれがある。この対策として、ボールネジを覆う蛇腹状のカバーをスライダの両側に取り付ける手法が考えられるが、この手法では、蛇腹状のカバーの最小厚さ（折りたたまれた状態での幅）分だけスライダの可動域が減少してしまう。また、長期の使用により蛇腹状のカバーに損傷が生じやすいといった問題があった。
【０００５】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、ボールネジを用いた移動体送り機構において、部材の損傷を抑制しつつ、移動体の可動域を確保可能であり、かつ、ボールネジから潤滑油が周辺へと飛散することを抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる移動体送り機構は、基台に設置された一対のガイドレールと、該一対のガイドレールの間に設けられモータで回転するボールネジと、該ボールネジに螺合する雌ネジを有し該ガイドレールに沿って移動するスライダと、該ガイドレール及びボールネジに沿って延在し該ガイドレール及びボールネジを覆って該ボールネジに塗布された潤滑油の飛散を防ぐカバー手段と、を備える移動体送り機構であって、該カバー手段は、ボールネジ伸展方向に延在する蓋体と該蓋体の両側に配設されボールネジ伸展方向に延在する側板とを有し、断面が略コの字型の樋状部材と、該樋状部材をボールネジ伸展方向の両端部で該基台に固定しつつ、該コの字型の内側で該ガイドレール及びボールネジを覆い、該コの字型の先端が該基台と隙間が空くよう該樋状部材を位置付ける固定部と、を備え、該スライダは、該ボールネジに螺合し該ガイドレールと摺動する本体部と、該本体部から該ガイドレールの両外側に延在し、該基台と該樋状部材との該隙間をくぐって該側板に沿って立ち上がるブラケット部と、立ち上がった該ブラケット部の両端部に渡って、該樋状部材を跨ぎ固定される移動体と、から構成され、飛散する該潤滑油を受けるコの字型の該樋状部材に、該スライダが接触せずに移動する。
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる加工装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、該チャックテーブルと該加工手段とを相対移動させる移動手段と、を備える加工装置であって、該移動手段は、上記本発明の移動体送り機構を有する。
【０００８】
また、本発明にかかる加工装置は、該複数の被加工物を収容するカセットを載置するカセット載置部と、該加工手段で加工した被加工物を洗浄する洗浄手段と、該カセット載置部に載置された該カセットと、該チャックテーブルと、該洗浄手段との間で該被加工物を搬送する搬送手段とを備え、該搬送手段は上記本発明の移動体送り機構で移動することが好ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明にかかる移動体送り機構および加工装置は、ボールネジを用いた移動体送り機構において、部材の損傷を抑制しつつ、移動体の可動域を確保可能であり、かつ、ボールネジから潤滑油が周辺へと飛散することを抑制することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、実施形態にかかる加工装置の概略を示す斜視図である。
【図２】図２は、図１の加工装置に含まれる切削手段の概略を示す斜視図である。
【図３】図３は、実施形態にかかる移動体送り機構を示す斜視図である。
【図４】図４は、実施形態にかかる移動体送り機構を示す分解斜視図である。
【図５】図５は、実施形態にかかる移動体送り機構を示す断面図である。
【図６】図６は、比較例としての移動体送り機構を示す斜視図である。
【図７】図７は、比較例としての移動体送り機構を示す断面図である。
【図８】図８は、変形例にかかる移動体送り機構を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に、本発明にかかる移動体送り機構および加工装置の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１２】
図１は、実施形態にかかる加工装置１の概略を示す斜視図であり、図２は、加工装置１に含まれる切削手段４０を示す斜視図である。加工装置１は、被加工物に対して切削加工を施す装置である。加工装置１は、筐体２と、被加工物を収容する図示しないカセットが載置されるカセット載置部１０と、被加工物を保持する保持手段２０と、被加工物を洗浄する洗浄手段３０と、筐体２の内部に配置されると共に被加工物を切削する切削手段４０（図２参照）と、カセット載置部１０、保持手段２０および洗浄手段３０の間で被加工物を搬送する搬送手段５０とを備える。なお、図１においては、カセット載置部１０、保持手段２０、洗浄手段３０および搬送手段５０を示すために、筐体２の一部の記載を省略している。
【００１３】
ここで、被加工物は、特に限定されないが、例えば、シリコン、サファイア、ガリウム等を母材とする板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハ、セラミックス、ガラス、サファイア系の板状の無機材料基板、金属や樹脂等の板状の延性材料等、各種の板状の加工材料である。
【００１４】
カセット載置部１０は、複数の被加工物を一枚ずつＺ軸方向に区分けして収納する収納部を有する図示しないカセットを載置可能とされている。カセット載置部１０は、Ｚ軸方向において昇降自在な、いわゆるカセットエレベータであり、図示しないカセットをＺ軸方向における所定位置に位置付けさせる。
【００１５】
保持手段２０は、被加工物を搬出入する図１に示す搬出入位置と、被加工物を切削加工する図２に示す加工位置との間をＸ軸方向に移動可能に構成されている。保持手段２０は、図２に示すように、被加工物を保持可能なチャックテーブル２１と、チャックテーブル２１を回転させる回転手段２２と、回転手段２２を介してチャックテーブル２１を支持するチャックテーブル支持基台２３と、チャックテーブル２１をＸ軸方向（加工送り方向）に移動させる加工送り手段２４とを有する。更に、保持手段２０は、図１に示すように、チャックテーブル２１を囲む矩形状のカバープレート２５と、カバープレート２５のＸ軸方向の両側に取り付けられた蛇腹状カバー２６とを有する。なお、図２においては、カバープレート２５および蛇腹状カバー２６の記載を省略する。
【００１６】
チャックテーブル２１は、例えばポーラスセラミックで構成され、被加工物を吸着して保持する円盤状の保持面２１ａを有している。保持面２１ａは、水平方向に平行で、かつ平坦に形成されている。回転手段２２は、モータ等の図示しない駆動源を有し、チャックテーブル２１をＺ軸周りに水平面内で回転させる。チャックテーブル支持基台２３は、筐体２にＸ軸方向に沿って形成された一対のガイドレール２４ａに摺動自在に支持されている。加工送り手段２４は、上記一対のガイドレール２４ａと、一対のガイドレール２４ａの間をＸ軸方向に延びるボールネジ２４ｂと、駆動源としてのパルスモータ２４ｃとを有しており、チャックテーブル支持基台２３を筐体２に対してＸ軸方向（加工送り方向）に相対移動させる。カバープレート２５は、チャックテーブル２１に固定されており、チャックテーブル２１と共にＸ軸方向に移動する。蛇腹状カバー２６は、布などの折り畳み自在な適宜の材料で構成され、チャックテーブル２１およびカバープレート２５の移動領域を覆い、チャックテーブル支持基台２３の移動に伴ってＸ軸方向に沿って伸縮する。切削加工時に生じる切削屑や切削水は、カバープレート２５および蛇腹状カバー２６によって加工送り手段２４側に落下することが防がれる。
【００１７】
洗浄手段３０は、加工後の被加工物を保持するスピンナテーブル３１と、図示しない洗浄液噴射装置と、図示しない気体噴射装置とを有する。洗浄手段３０は、スピンナテーブル３１を図示しない回転駆動源により回転させつつ洗浄液噴射装置から加工後の被加工物に洗浄液を噴射することで該被加工物を洗浄する。また、洗浄手段３０は、洗浄後の被加工物に気体噴射装置から気体を噴射することで該被加工物を乾燥させる。
【００１８】
切削手段４０は、筐体２に設けられた門型の柱部３上にＹ軸方向およびＺ軸方向に移動可能に取り付けられている。切削手段４０は、図２に示すように、チャックテーブル２１に保持された被加工物を加工する加工手段としての２つの切削ブレード４１と、各切削ブレード４１が装着される２つのスピンドル４２と、各スピンドル４２を支持する２つのハウジング４３と、チャックテーブル２１と各切削ブレード４１とを相対移動させる移動手段としての割り出し送り手段４４および切り込み送り手段４５とを有する。
【００１９】
切削ブレード４１は、極薄の円板状で、かつ環状に形成された切削砥石である。スピンドル４２は、切削ブレード４１を着脱可能に装着する。ハウジング４３は、モータ等の駆動源を有しており、Ｙ軸周りに回転自在にスピンドル４２を支持する。
【００２０】
割り出し送り手段４４および切り込み送り手段４５は、実施形態にかかる移動体送り機構６０を有する。割り出し送り手段４４は、移動体送り機構６０としてのＹ軸移動手段４４ａと、Ｙ軸移動手段４４ａに取り付けられた移動体４４ｂとを有する。Ｙ軸移動手段４４ａは、柱部３に固定された固定子と、当該固定子に取り付けられると共にＹ軸方向に沿って移動可能な移動子とを有する。移動体４４ｂは、Ｙ軸移動手段４４ａの移動子に取り付けられており、移動子と共にＹ軸方向に移動可能とされている。移動体４４ｂには、切り込み送り手段４５が固定されている。
【００２１】
切り込み送り手段４５は、移動体送り機構６０としてのＺ軸移動手段４５ａと、Ｚ軸移動手段４５ａに取り付けられた移動体４５ｂとを有する。Ｚ軸移動手段４５ａは、割り出し送り手段４４の移動体４４ｂに固定された固定子と、当該固定子に取り付けられると共にＺ軸方向に沿って移動可能な移動子とを有する。移動体４５ｂは、Ｚ軸移動手段４５ａの移動子に取り付けられており、当該移動子と共にＺ軸方向に移動可能とされている。移動体４５ｂには、ハウジング４３が固定されている。
【００２２】
上述した構成により、割り出し送り手段４４は、切り込み送り手段４５、ハウジング４３およびスピンドル４２を介して各切削ブレード４１を柱部３（筐体２）に対してＹ軸方向（割り出し送り方向）に相対移動させることができる。また、切り込み送り手段４５は、ハウジング４３およびスピンドル４２を介して各切削ブレード４１を柱部３（筐体２）に対してＺ軸方向（切り込み送り方向）に相対移動させることができる。すなわち、割り出し送り手段４４および切り込み送り手段４５は、加工送り手段２４により筐体２に対して位置決めされるチャックテーブル２１に対して切削ブレード４１を相対移動させることができる。これにより、チャックテーブル２１の保持面２１ａ上に保持された被加工物を切削ブレード４１により切削加工することが可能となる。
【００２３】
搬送手段５０は、第１搬送手段５１、第２搬送手段５２、および第３搬送手段５３を有する。第１搬送手段５１、第２搬送手段５２、および第３搬送手段５３は、実施形態にかかる移動体送り機構６０を有する。
【００２４】
第１搬送手段５１は、移動体送り機構６０としてのＹ軸移動手段５１ａと、Ｙ軸移動手段５１ａに取り付けられたアーム５１ｂとを有する。Ｙ軸移動手段５１ａは、筐体２に固定された固定子と、当該固定子に取り付けられると共にＹ軸方向に沿って移動可能な移動子とを有する。アーム５１ｂは、Ｙ軸移動手段５１ａの移動子に取り付けられており、当該移動子と共にＹ軸方向に沿って移動可能とされている。アーム５１ｂは、先端部に形成されたクランプ５１ｃを有する。クランプ５１ｃは、カセット載置部１０に載置された図示しないカセット内の被加工物の一つを把持可能に形成されている。第１搬送手段５１は、アーム５１ｂのクランプ５１ｃにより把持した被加工物をチャックテーブル２１の両側部に形成された一対の位置決めバー４上に搬送する。ここで、一対の位置決めバー４は、Ｘ軸方向において移動可能に筐体２に取り付けられており、被加工物が載置された状態で互いに接近することにより、被加工物をチャックテーブル２１の上方において保持面２１ａと同心円状に配置することができる。
【００２５】
第２搬送手段５２は、移動体送り機構６０としてのＹ軸移動手段５２ａと、Ｙ軸移動手段５２ａに取り付けられたＺ軸方向に伸縮可能なアーム５２ｂとを有する。Ｙ軸移動手段５２ａは、筐体２に固定された固定子と、当該固定子に取り付けられると共にＹ軸方向に沿って移動可能な移動子とを有する。アーム５２ｂは、Ｙ軸移動手段５２ａの移動子に取り付けられており、当該移動子と共にＹ軸方向に沿って移動可能とされている。アーム５２ｂは、先端部に形成されたＨ型のブラケットの先端に真空吸着式のパッド５２ｃを有する。パッド５２ｃは、被加工物を吸着して保持することができる。第２搬送手段５２は、第１搬送手段５１によって位置決めバー４上に載置された被加工物をパッド５２ｃによって吸着し、チャックテーブル２１の保持面２１ａ上に移動させる。また、第２搬送手段５２は、洗浄手段３０によって洗浄されたスピンナテーブル３１上の被加工物をパッド５２ｃによって吸着し、一対の位置決めバー４上へと搬送する。なお、第２搬送手段５２によって一対の位置決めバー４上へと搬送された洗浄後の被加工物は、第１搬送手段５１によって再び図示しないカセット内へと搬送される。
【００２６】
第３搬送手段５３は、移動体送り機構６０としてのＹ軸移動手段５３ａと、Ｙ軸移動手段５３ａに取り付けられたＺ軸方向に伸縮可能なアーム５３ｂとを有する。Ｙ軸移動手段５３ａは、筐体２に固定された固定子と、当該固定子に取り付けられると共にＹ軸方向に沿って移動可能な移動子とを有する。アーム５３ｂは、Ｙ軸移動手段５３ａの移動子に取り付けられており、当該移動子と共にＹ軸方向に沿って移動可能とされている。アーム５３ｂは、先端部に形成されたＨ型のブラケットの先端に真空吸着式のパッド５３ｃを有する。パッド５３ｃは、被加工物を吸着して保持することができる。第３搬送手段５３は、チャックテーブル２１の保持面２１ａ上の被加工物をパッド５３ｃによって吸着し、洗浄手段３０のスピンナテーブル３１上へと搬送する。
【００２７】
次に、実施形態にかかる移動体送り機構６０について詳細に説明する。上述したように、本実施形態の加工装置１において、移動体送り機構６０は、割り出し送り手段４４のＹ軸移動手段４４ａ、切り込み送り手段４５のＺ軸移動手段４５ａ、第１搬送手段５１のＹ軸移動手段５１ａ、第２搬送手段５２のＹ軸移動手段５２ａ、および第３搬送手段５３のＹ軸移動手段５３ａである。図３は、移動体送り機構６０を示す斜視図であり、図４は、移動体送り機構６０を示す分解斜視図であり、図５は、移動体送り機構６０を示す断面図である。なお、図３および図４においては、移動体送り機構６０の両端部の記載を省略する。
【００２８】
移動体送り機構６０は、基台５（図５参照）に設置された一対のガイドレール６１と、駆動源としてのパルスモータ６２と、一対のガイドレール６１の間に設けられ、パルスモータ６２で回転するボールネジ６３と、ガイドレール６１及びボールネジ６３に沿って延在し、ガイドレール６１及びボールネジ６３を覆ってボールネジ６３に塗布された潤滑油の飛散を防ぐカバー手段６４と、ボールネジ６３に螺合する雌ネジを有し、ガイドレール６１に沿って移動するスライダ６５と、を備える。移動体送り機構６０の構成要素のうち、一対のガイドレール６１、パルスモータ６２、ボールネジ６３およびカバー手段６４は、上記固定子であり、スライダ６５は、上記移動子である。また、基台５は、割り出し送り手段４４であれば柱部３であり、切り込み送り手段４５であれば割り出し送り手段４４の移動体４４ｂであり、第１搬送手段５１、第２搬送手段５２、第３搬送手段５３であれば筐体２である。
【００２９】
一対のガイドレール６１は、基台５上にスライダ６５の移動方向Ａ（図３に示す実線矢印参照）に沿って延在する。ボールネジ６３は、スライダ６５の移動方向に沿って一対のガイドレール６１の間を延び、一端が図示しない固定部で基台５に固定される。
【００３０】
カバー手段６４は、図３および図５に示すように、スライダ６５の移動方向Ａ、すなわちボールネジ伸展方向Ａに沿って延在する蓋体６４１ａと、蓋体６４１ａの両側に配設され、ボールネジ伸展方向Ａに沿って延在する側板６４１ｂとを有し、断面が略コの字型（矩形の枠の１辺がない形状）の樋状部材６４１と、樋状部材６４１をボールネジ伸展方向Ａの両端部で基台５に固定しつつ、コの字型の内側でガイドレール６１及びボールネジ６３を覆い、コの字型の先端である側板６４１ｂの先端６４１ｔが基台５と隙間７０が空くよう樋状部材６４１を位置付ける固定部６４２（図１参照）と、を備える。
【００３１】
樋状部材６４１の蓋体６４１ａは、図３に示すように、一対のガイドレール６１に沿って形成されている。蓋体６４１ａは、図５に示すように、ガイドレール６１およびボールネジ６３を基台５とは反対側から覆う。樋状部材６４１の側板６４１ｂは、蓋体６４１ａのボールネジ伸展方向Ａに沿って延びる両縁部から基台５側に向かってボールネジ伸展方向Ａと直行する方向に延出されている。なお、側板６４１ｂは、蓋体６４１ａの両端部から基台５側に向かってボールネジ伸展方向Ａと交差する方向に延出されれば、ボールネジ伸展方向Ａと直行する方向に延出されるものでなくてもよい。すなわち、側板６４１ｂは、蓋体６４１ａの両端部から基台５側に向かってボールネジ伸展方向Ａに対して鋭角または鈍角を成して延出されてもよい。
【００３２】
カバー手段６４は、図１に示すように、固定部６４２において基台５に固定されている。固定部６４２は、樋状部材６４１の側板６４１ｂと基台５との間に上記隙間７０が形成されるものでさえあれば、如何なる構造を有するものであってもよい。例えば、樋状部材６４１の両端部に基台５に向かって延びる図示しない突出部を設けておき、当該突出部を締結具等により基台５に固定する方法や、基台５に樋状部材６４１の側板６４１ｂに向かって延びる図示しない突出部を設けておき、当該突出部を締結具等により樋状部材６４１の側板６４１ｂに固定する方法等が考えられる。
【００３３】
スライダ６５は、ボールネジ６３に螺合し、ガイドレール６１と摺動する本体部６５ａと、本体部６５ａからガイドレール６１の両外側に延在し、基台５と上記樋状部材６４１との該隙間７０をくぐって側板６４１ｂに沿って立ち上がるブラケット部６５ｂと、立ち上がったブラケット部６５ｂの両端部に渡って、上記樋状部材６４１を跨ぎ固定される移動体６５ｃとから構成される。
【００３４】
本体部６５ａは、一対のガイドレール６１に摺動自在に嵌め込まれる一対の凹部６５０を有する。本体部６５ａは、ボールネジ６３と螺合する雌ネジを有する図示しないナットが内部に形成されており、当該図示しないナットとボールネジ６３との間では、図示しない複数のボールが転動するように構成されている。このため、ボールネジ６３には、図示しないナットと複数のボールとの間を潤滑するために例えばグリスといった潤滑油が塗布されている。本体部６５ａと基台５に固定されたカバー手段６４の樋状部材６４１の蓋体６４１ａとの間には、隙間が形成される。
【００３５】
各ブラケット部６５ｂは、本体部６５ａの基台５側の端部から、当該基台５とは反対側に向かって延出されている。各ブラケット部６５ｂは、図５に示すように、ボールネジ６３の伸展方向Ａからみて断面Ｌ字形状を呈する。各ブラケット部６５ｂは、基台５に固定されたカバー手段６４の樋状部材６４１の側板６４１ｂとの間に隙間を形成しながら、当該側板６４１ｂの一部を囲んで延びる。このように、各ブラケット部６５ｂと樋状部材６４１の側板６４１ｂとは、隙間を空けながら互いに絡み合って延在する。
【００３６】
移動体６５ｃは、各ブラケット部６５ｂの本体部６５ａとは反対側の端部にネジにより締結されている。なお、ブラケット部６５ｂと移動体６５ｃとの固定方法は、例えば両部材に係合部を形成しておく等、如何なる方法であってもよい。移動体６５ｃには、割り出し送り手段４４であれば移動体４４ｂが取り付けられ、切り込み送り手段４５であれば移動体４５ｂが取り付けられ、第１搬送手段５１であればアーム５１ｂが取り付けられ、第２搬送手段５２であればアーム５２ｂが取り付けられ、第３搬送手段５３であればアーム５３ｂが取り付けられる。図５に示すように、移動体６５ｃと基台５に固定されたカバー手段６４の樋状部材６４１の蓋体６４１ａとの間には、隙間が形成される。
【００３７】
上述した構成により、移動体送り機構６０では、カバー手段６４の樋状部材６４１が有する蓋体６４１ａおよび側板６４１ｂにより、一対のガイドレール６１およびボールネジ６３の基台５とは反対側の領域を覆うことができる。また、移動体送り機構６０では、スライダ６５と基台５に固定されたカバー手段６４の樋状部材６４１との間に隙間が形成されており、スライダ６５は、ボールネジ６３の回転に伴って樋状部材６４１に接触することなく一対のガイドレール６１に沿って移動することができる。
【００３８】
図６は、比較例としてカバー手段６４Ｂを備えた移動体送り機構６０Ｂを示す斜視図であり、図７は、移動体送り機構６０Ｂを示す断面図である。図示するように、移動体送り機構６０Ｂのカバー手段６４Ｂは、カバー手段６４の樋状部材６４１から側板６４１ｂを省略したものである。このように、樋状部材６４１から側板６４１ｂを省略したカバー手段６４Ｂでは、図６および図７に示すように、一対のガイドレール６１と樋状部材６４１との間に隙間８０が形成される。このため、スライダ６５を一対のガイドレール６１に沿って移動させる際に、本体部６５ａの図示しないナットとボールネジ６３との噛み合いによって、図７に実線矢印で示すように、ボールネジ６３に塗布された潤滑油が当該隙間８０を介して移動体送り機構６０Ｂの周辺に飛散してしまうおそれがある。その結果として、被加工物の表面に潤滑油が付着してしまうと、被加工物の品質向上を妨げるおそれがある。
【００３９】
本実施形態の移動体送り機構６０では、カバー手段６４の樋状部材６４１の蓋体６４１ａおよび側板６４１ｂにより、一対のガイドレール６１およびボールネジ６３を基台５とは反対側の領域を覆い、図７に示す隙間８０が形成されないようにすることができる。これにより、樋状部材６４１、特に側板６４１ｂにより、スライダ６５の本体部６５ａの図示しないナットとボールネジ６３との噛み合いによって、ボールネジ６３に塗布された潤滑油が移動体送り機構６０の周辺に飛散することを良好に抑制することができる。また、スライダ６５のブラケット部６５ｂが樋状部材６４１の側板６４１ｂに沿って立ち上がることにより、ブラケット部６５ｂと側板６４１ｂとが隙間を空けながら互いに絡み合うように延在するため、ブラケット部６５ｂと側板６４１ｂとの間から潤滑油が漏れ出すのをより良好に抑制することができる。この結果、被加工物の表面に潤滑油が付着しないようにして、被加工物の品質向上を図ることが可能となる。
【００４０】
さらに、本実施形態の移動体送り機構６０では、スライダ６５と樋状部材６４１とを接触させることなく、スライダ６５を一対のガイドレール６１に沿って移動させることができる。これにより、例えばスライダ６５の両端部にボールネジ６３を覆う蛇腹状のカバーを設ける場合に比べて、スライダ６５の可動域を確保することができる。また、スライダ６５および樋状部材６４１を接触させないようにすることで、スライダ６５および樋状部材６４１が損傷してしまうのを良好に抑制することが可能となる。
【００４１】
以上説明したように、実施形態にかかる移動体送り機構６０および加工装置１では、ガイドレール６１及びボールネジ６３を覆うカバー手段６４の蓋体６４１ａおよび側板６４１ｂを有する樋状部材６４１により、ボールネジ６３に塗布された潤滑油が周辺に飛散することを良好に抑制することができる。また、スライダ６５を樋状部材６４１と接触させずに移動させることができるため、スライダ６５や樋状部材６４１に損傷が発生するのを抑制しつつ、スライダ６５の可動域を確保することができる。
【００４２】
なお、本実施形態では、割り込み送り手段４４、切り込み送り手段４５、第１搬送手段５１、第２搬送手段５２、および第３搬送手段５３に移動体送り機構６０を適用するものとしたが、移動体送り機構６０をこれらの何れかのみに適用するものとしてもよい。
【００４３】
図８は、変形例にかかる移動体送り機構６０Ｃを示す断面図である。図示するように、移動体送り機構６０Ｃは、上記移動体送り機構６０の構成に加えて、基台５から延出された２つの板体６６を有する。２つの板体６６は、スライダ６５のブラケット部６５ｂよりも外側（ブラケット部６５ｂに対して本体部６５ａの反対側）に位置すると共に、当該ブラケット部６５ｂに沿って延びる。これにより、スライダ６５の本体部６５ａの図示しないナットとボールネジ６３との噛み合いによって、ボールネジ６３に塗布された潤滑油が移動体送り機構６０の周辺に飛散することを板体６６により更に良好に抑制することができる。特に、図８における下側が鉛直方向の下側となる場合には、下側に配置された板体６６によって、カバー手段６４の樋状部材６４１の側板６４１ｂで受け止めた潤滑油が下方に垂れ落ちてしまうのを良好に抑制することができる。
【符号の説明】
【００４４】
１  加工装置
２  筐体
３  柱部
４  位置決めバー
５  基台
１０  カセット載置部
２０  保持手段
２１  チャックテーブル
２１ａ  保持面
２２  回転手段
２３  チャックテーブル支持基台
２４  加工送り手段
２４ａ  ガイドレール
２４ｂ  ボールネジ
２４ｃ  パルスモータ
２５  カバープレート
２６  蛇腹状カバー
３０  洗浄手段
３１  スピンナテーブル
４０  切削手段
４１  切削ブレード
４２  スピンドル
４３  ハウジング
４４  割り出し送り手段
４４ａ  Ｙ軸移動手段
４４ｂ，４５ｂ  移動体
４５  切り込み送り手段
４５ａ  Ｚ軸移動手段
５０  搬送手段
５１  第１搬送手段
５１ａ，５２ａ，５３ａ  Ｙ軸移動手段
５１ｂ，５２ｂ，５３ｂ  アーム
５１ｃ  クランプ
５２  第２搬送手段
５２ｃ，５３ｃ  パッド
５３  第３搬送手段
６０，６０Ｂ，６０Ｃ  移動体送り機構
６１  ガイドレール
６２  パルスモータ
６３  ボールネジ
６４，６４Ｂ  カバー手段
６４１  樋状部材
６４１ａ  蓋体
６４１ｂ  側板
６４１ｔ  先端
６４２  固定部
６５  スライダ
６５ａ  本体部
６５ｂ  ブラケット部
６５ｃ  移動体
６５０  凹部
６６  板体
７０，８０  隙間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2017180602.tif 000009
【図８】
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