(57)【要約】【目的】  本発明は、収納した基板の動きを押えることができる基板収納容器を提供することを目的とする。【構成】  本発明の基板収納容器は、一端に開口部を有し、他端に前記開口部と対向し基板が重ねて収納される搭載部と、前記搭載部に、前記基板を収納する収納部を区画する側壁部が間隔を開けて設けられた容器本体と、前記開口部を塞ぐ蓋体と、を備える基板収納容器であって、前記容器本体における前記側壁部は、少なくとも固定側壁部を有するものであり、前記固定側壁部の端部には、適宜可動側壁部を設けており、前記可動側壁部は、側壁部の少なくとも３箇所に設け、かつ、前記容器本体の中心方向から外側に湾曲している湾曲部と先端部とを有し、前記蓋体は、前記開口部を塞ぐ蓋体上面部と、前記可動側壁部の湾曲部外側を前記容器本体の中心方向に押し圧するための押圧部を有する、ことを特徴とする。【選択図】        図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端に開口部を有し、他端に前記開口部と対向し基板が重ねて収納される搭載部と、前記搭載部に、前記基板を収納する収納部を区画する側壁部が間隔を開けて設けられた容器本体と、前記開口部を塞ぐ蓋体と、を備える基板収納容器であって、
前記容器本体における前記側壁部は、少なくとも固定側壁部を有するものであり、
前記固定側壁部の端部には、適宜可動側壁部を設けており、
前記可動側壁部は、側壁部の少なくとも３箇所に設け、かつ、前記容器本体の中心方向から外側に湾曲している湾曲部と先端部とを有し、
前記蓋体は、前記開口部を塞ぐ蓋体上面部と、前記可動側壁部の湾曲部外側を前記容器本体の中心方向に押し圧するための押圧部を有することを特徴とする基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板を収納する基板収納容器として、例えば特許文献１に開示された半導体ウエハを収納する容器がある。
特許文献１に開示された基板収納容器は、容器本体上に筒状の基板収納部を備え、基板収納部の最上段と最下段にクッション材等を設け、上下のクッション材の間にウエハ（基板）とスペーサーシート（合成樹脂製シートまたは無塵紙または合成樹脂製成形品等）とを交互に介在させて収納し、蓋体を被せるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平０９−１２９７１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、特許文献１の基板収納容器では、ウエハを収納するために、ウエハの外径に対し、基板収納部の内径を大きくしておく必要があり、基板収納部とウエハとの隙間によって輸送中の振動・衝撃等でウエハが水平方向に動いてしまう。
このため、ウエハと直接接触するスペーサーシート等と擦れ、傷や割れ等による破損、発塵、あるいは化学的成分によるウエハへの汚染等の問題がある。
【０００５】
本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、収納した基板の動きを押えることができる基板収納容器を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明にかかる基板収納容器は、
一端に開口部を有し、他端に前記開口部と対向し基板が重ねて収納される搭載部と、前記搭載部に、前記基板を収納する収納部を区画する側壁部が間隔を開けて設けられた容器本体と、前記開口部を塞ぐ蓋体と、を備える基板収納容器であって、
前記容器本体における前記側壁部は、少なくとも固定側壁部を有するものであり、
前記固定側壁部の端部には、適宜可動側壁部を設けており、
前記可動側壁部は、側壁部の少なくとも３箇所に設け、かつ、前記容器本体の中心方向から外側に湾曲している湾曲部と先端部とを有し、
前記蓋体は、前記開口部を塞ぐ蓋体上面部と、前記可動側壁部の湾曲部外側を前記容器本体の中心方向に押し圧するための押圧部を有する、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の基板収納容器によれば、収納した基板の動きを押えることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の基板収納容器の一実施の形態の容器本体１０にかかり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は前記（ｂ）の平面図における右側面図である。
【図２】本発明の基板収納容器の一実施の形態の係止片１６にかかり、（ａ）は図１（ｂ）中のＡ矢視図、（ｂ）は図１（ｂ）中のＢ−Ｂ断面図である。
【図３】本発明の基板収納容器の一実施の形態の蓋体２０にかかり、（ａ）は蓋体２０の上（外側）からみた斜視図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は前記（ｂ）の平面図における右側面図である。
【図４】本発明の基板収納容器の一実施の形態の蓋体２０にかかり、（ａ）は蓋体２０の下（内側）から見た斜視図、（ｂ）は平面図である。
【図５】本発明の基板収納容器の一実施の形態にかかる蓋体２０の押圧部２４と、容器本体１０の可動側壁体１５における湾曲部１５ａの動作を説明する図である。
【図６】本発明の基板収納容器の一実施の形態にかかる可動側壁体１５の動作を説明する図である。
【図７】本発明の基板収納容器の一実施の形態にかかる容器本体１０に蓋体２０を被せる前の図である。
【図８】本発明の基板収納容器の一実施の形態にかかる容器本体１０に蓋体２０を被せた後の図である。
【図９】本発明の基板収納容器の一実施の形態にかかる基板Ｗの収納工程の説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の基板収納容器の一実施の形態について図面に基づき詳細に説明する。
本発明の基板収納容器１は、
一端に開口部１１を有し、他端に前記開口部１１と対向し基板Ｗが重ねて収納される搭載部１２ａと、前記搭載部１２ａに、前記基板Ｗを収納する収納部Ｓを区画する側壁部１３が間隔を開けて設けられた容器本体１０と、前記開口部１１を塞ぐ蓋体２０と、を備える基板収納容器１であって、
前記容器本体１０における前記側壁部１３は、少なくとも固定側壁部１４を有するものであり、
前記固定側壁部１４の端部には、適宜可動側壁部１５を設けており、
前記可動側壁部１５は、側壁部１３の少なくとも３箇所に設け、かつ、前記容器本体１０の中心方向から外側に湾曲している湾曲部１５ａと先端部１５ｂとを有し、
前記蓋体２０は、前記開口部１１を塞ぐ蓋体上面部２１と、前記可動側壁部１５における湾曲部１５ａの外側を前記容器本体１０の中心方向に押し圧するための押圧部２４を有することを特徴とする。
これにより、容器本体１０に蓋体２０を被せるようにすると、容器本体１０の可動側壁部１５における湾曲部１５ａが、蓋体２０の押圧部２４によって外側から内側に押し圧され、可動側壁部１５が容器本体１０の中心方向へ移動され、結果、収納部Ｓに重ねられた基板Ｗの少なくとも３箇所を可動側壁部１５における先端部１５ｂで押えることで、基板Ｗの水平方向の動きを抑制する。
なお、基板収納容器１に基板Ｗを重ねて収納し、蓋体２０を被せた収納完了後は、基板Ｗがどのような状態（基板Ｗの向きが、例えば水平や垂直等）で、搬送などが行われても良いものである。
【００１０】
［容器本体］
本発明の容器本体１０は、基板Ｗが重ねて収納される搭載部１２ａを含む底面板１２を備える。底面板１２は、図１（ａ）および（ｂ）に示すように、正方形の４隅を面取りした略四角形状に形成されている。なお、底面板１２は、正方形の４隅を切り欠いた略八角形状に形成されてもよい。
また、搭載部１２ａには、基板Ｗを収納する収納部Ｓを区画する側壁部１３が上方に突き出すように形成され、基板Ｗの形状に合わせて円筒の一部をなす複数、例えば３つの円弧状に形成され、円周に沿って間隔Ｌや間隔Ｍを開け、搭載部１２ａと一体に形成されている。これにより、側壁部１３の上端部が容器本体１０の開口部１１となり、側壁部１３で区画された空間が基板Ｗの収納部Ｓとなる。
側壁部１３の内径は、基板Ｗの収納や取り出しに支障のない大きさに形成され、基板Ｗの大きさ（直径）、例えば５インチ、６インチ、８インチ、１２インチ等のサイズに比べて大きく（例えば、直径で１〜２ｍｍ程度）してある。なお、側壁部１３の間隔Ｌは、基板Ｗの取り出しの際のロボットアームの挿入口とされる。
【００１１】
容器本体１０は、図１および図２に示すように、底面板１２の４隅近傍であり、かつ側壁部１３よりも外側４箇所に、先端内側に爪部１６ａが設けられた係止片１６が底面板１２と一体に上方に突き出して形成されている。係止片１６の爪部１６ａを、蓋体２０に係止することで容器本体１０と蓋体２０との連結状態を保持できるようにしてある。蓋体２０の詳細については、後述する。
なお、図２（ａ）に示す点線部は、反対側に形成された係止片１６における爪部１６ａを象った線である。
【００１２】
［側壁部］
容器本体１０は、図１に示すように、側壁部１３は少なくとも固定側壁部１４を有するものであり、固定側壁部１４の端部には適宜可動側壁部１５を設けており、可動側壁部１５は側壁部１３の少なくとも３箇所に設け、かつ、前記容器本体１０の中心方向から外側に湾曲している湾曲部１５ａと先端部１５ｂとを有する。
【００１３】
［固定側壁部］
固定側壁部１４は、基板を収納する収納部を区画し、かつ該固定側壁部１４の端部に適宜設けた可動側壁部１５を支える部位である。
そして、固定側壁部１４は、図１および図２に示すように、固定側壁部１４の両端部に可動側壁部１５を設ける場合、或いは固定側壁部１４の一端部のみに可動側壁部１５を設ける場合、或いは固定側壁部１４の端部に可動側壁体１５を設ける場合がある。そして、後述する可動側壁部１５は、側壁部１３において少なくとも３箇所に設けるようにすればよい。
【００１４】
［可動側壁部］
可動側壁部１５は、図１に示すように、固定側壁部１４の端部に適宜設ける部位である。具体的には固定側壁部１４の端部から、固定側壁部１４の円弧に略沿って突出すると共に、該可動側壁部の下面と容器本体１０の搭載部１２ａの面との間にクリアランスがあり、かつ、図１や図６に示すように、容器本体１０の中心方向から外側に湾曲している湾曲部１５ａと、先端部１５ｂとを有する部位である。
【００１５】
可動側壁部１５の下面は、容器本体１０の搭載部１２ａの面との間にクリアランスがあり、可動側壁部１５における湾曲部１５ａが後述する蓋体２０の押圧部２４によって外側から内側に押し圧されると、可動側壁部１５が容器本体１０の中心方向へ移動され、収納部Ｓに重ねられた基板Ｗを可動側壁部１５における先端部１５ｂで押え、基板Ｗの水平方向の動きを抑制する。なお、可動側壁部１５の下面と、搭載部１２ａの面との間に設けられたクリアランスは、高さ２．５ｍｍ以下であり、好ましくは、２．０ｍｍ以下である。
可動側壁部１５の上面は、側壁部１３で区画された空間に収納された基板Ｗにおける最上段の基板Ｗの高さと同等、或いは最上段の基板Ｗの高さを超える高さに設定される。それ故に、可動側壁部１５における先端部１５ｂにより基板Ｗが押えられ、基板Ｗの水平方向の動きを抑制する。
【００１６】
なお、容器本体１０は、図１および図２に示すように、搭載部１２ａを含む底面板１２、固定側壁部１４を含む側壁部１３等の部材に、補強や他の工程でのハンドリング等のため、必要に応じて凹凸部や補強リブが形成されていてもよい。
【００１７】
［蓋体］
蓋体２０は、図７および図８に示すように、容器本体１０の開口部１１を塞ぐように被せられるもので、外形が底面板１２と同一形状の略四角形状の天面板となる蓋体上面部２１を備えている。なお、蓋体上面部２１は、正方形の４隅を切り欠いた略八角形状に形成されてもよい。
そして、蓋体上面部２１の端縁部から、下方へ突き出して外壁部２２が形成され、容器本体１０の底面板１２の最外周囲と接するようになっている。
また、外壁部２２の内側には、円筒状の円筒部２３が天面部となる蓋体上面部２１から、下方へ突き出して形成され、容器本体１０の搭載部１２ａの周囲であり、かつ側壁体１３よりも外側の底面板１２と接して密封状態でシールできるようになっている。
【００１８】
また、図３および図４に示すように、蓋体上面部２１の４隅、すなわち容器本体１０の係止片１６の配置に対応する４箇所に、係止部２５が形成されている。そして、容器本体１０の底面板１２から上方に突き出す係止片１６の爪部１６ａが、係止部２５における係止孔２５ａを乗り越えた際、蓋体上面部２１の最表面から突き出さないように爪部１６ａの下端水平面が係止されるよう係止凹部２５ｃが設けられている。
これにより、図８に示すように、容器本体１０に蓋体２０を被せた場合、容器本体１０側の係止片１６における爪部１６ａが、蓋体２０側の係止部２５における係止孔２５ａを乗り越え、爪部１６ａの下端水平面が係止凹部２５ｃの面に係止される。
この係止状態では、容器本体１０と蓋体２０とによって基板Ｗの収納部Ｓが密閉状態でシールされた状態となる。
一方、係止状態の解放は、係止凹部２５ｃにおける係止面中央部の凹部２５ｂを利用することで、確実に係止片１６を中心側から外側に押し戻すことができ、簡単に行うことができる。
【００１９】
［押圧部］
蓋体２０は、図４に示すように、基板Ｗの外側部の所定位置に押圧部２４を備えている。押圧部２４は、容器本体１０に蓋体２０を被せた際、容器本体１０の可動側壁部１５における湾曲部１５ａを容器本体１０の中心方向へ押し圧する位置に適宜設ければよい。
また、押圧部２４は、例えば四角柱状に形成され、天面部となる蓋体上面部２１の内側から下方に突き出し、蓋体上面部２１の中心方向と直交するように一体に形成されている。なお、図５に示すように、押圧部２４の先端をテーパー状にしてもよい。
これにより、容器本体１０に蓋体２０を被せた際、蓋体２０の押圧部２４が、容器本体１０の可動側壁部１５における湾曲部１５ａを容器本体１０の中心方向へ押し圧し、結果、可動側壁部１５が容器本体１０の中心方向へ移動し、可動側壁部１５の先端部１５ｂが、収納部Ｓに重ねられた基板Ｗを押さえることで、基板Ｗの水平方向への動きを抑制する。
【００２０】
押圧部２４は、容器本体１０に蓋体２０を被せる場合に、被せ始めの初期（図５（ａ）参照）では、押圧部２４が湾曲部１５ａの略上側に位置し、蓋体２０を被せていくにしたがって湾曲部１５ａが押圧部２４により容器本体１０の中心方向へ押し圧され、完全に被せた終期（図５（ｂ）参照）では、押圧部２４の内側面が湾曲部１５ａの外側に接すると共に、湾曲部１５ａが容器本体１０の中心方向へ移動され、結果、可動側壁体１５が容器本体１０の中心方向へ移動され、可動側壁体１５における先端部１５ｂが基板Ｗを押さえることで、基板Ｗの水平方向の移動を抑制する。
【００２１】
次に、容器本体１０に蓋体２０を被せた際、可動側壁体１５のみの動きを模式的に表した図６を使って説明する。
図６（ａ）は、容器本体１０に基板Ｗを収納させた状態の図である。
図６（ｂ）は、前記図６（ａ）における点線部の部分拡大図であり、かつ容器本体１０に蓋体２０を被せる前の可動側壁体１５のみを示す図である。
図６（ｃ）は、前記図６（ａ）における点線部の部分拡大図であり、かつ容器本体１０に蓋体２０を被せた後の可動側壁体１５のみを示す図である。
そして、図示しないが、蓋体の押圧部２４により、可動側壁体１５における湾曲部１５ａが容器本体１０の中心方向（基板Ｗ側）に押し圧され、結果、図６（ｃ）に示すように、先端部１５ｂが基板Ｗを押さえることで、基板Ｗの水平方向の移動を抑制する。なお、図６（ｃ）における点線部は、図６（ｂ）の状態の可動側壁体１５の位置である。
【００２２】
また、押圧部２４は、蓋体２０を取り外した容器本体１０には存在しないので、容器本体１０への基板Ｗの収納は、押圧部２４に邪魔されることなくこれまで通りに行うことができる。すなわち、図１（ｂ）に示すように容器本体１０における対向した間隔Ｌ同士を利用して、容器本体１０での基板Ｗの収納の際や取り出しの際に、可動側壁部１５が全く邪魔にならず、これまでと同様に収納や取り出しを行うことができる。なお、容器本体１０における対向した間隔Ｌ同士を利用してロボットアームの挿入口とし、基板Ｗの取り出しに利用することもできる。
【００２３】
なお、蓋体２０は、図３および図４に示すように、蓋体上面部２１、外壁部２２、円筒部２３等の部材に、補強や他の工程でのハンドリング等のため、必要に応じて凹凸部等が形成されている。
また、図５に示すように、容器本体１０の搭載部１２ａに収納された基板Ｗを、上下方向に移動しないよう、例えばクッション３１と接する上部押え部２１ａを蓋体上面部２１に設け、結果、該上部押え部２１ａと搭載部１２ａとで、収納部Ｓに収納した基板Ｗの上下方向の動きを抑制する。
【００２４】
基板収納容器１では、容器本体１０および蓋体２０は、導電性プラスチックにより形成することが好ましい。導電性プラスチックとしては、導電性フィラーを添加したプラスチックやポリマーアロイ処理したプラスチック等が挙げられる。導電性フィラーとしては、カーボンブラック、グラファイトカーボン、グラファイト、炭素繊維、金属粉末、金属繊維、金属酸化物の粉末、金属コートした無機質微粉末、有機質微粉末や繊維等が挙げられる。
【００２５】
このように構成した基板収納容器１では、図９に示すように、容器本体１０の側壁部１３で囲まれた収納部Ｓに、最下段のクッション材３１を配置し、その上にスペーサー３２と基板Ｗとを交互に重ね、最上段にクッション材３１を配置して収納する。
容器本体１０に所定枚数の基板Ｗを重ねて収納した後、蓋体２０を被せるようにする。
そして、蓋体２０が容器本体１０に完全に被せられた状態では、押圧部２４は、容器本体１０の可動側壁部１５における湾曲部１５ａを容器本体１０の中心方向へ押し圧し、先端部１５ｂが基板Ｗを容器本体１０の中心方向へ押し圧する。
これにより、先端部１５ｂで、重ねられた基板Ｗの外側が押えられ、水平方向の移動が防止される。
また、重ねられた基板Ｗは、容器本体１０における搭載部１２ａの上面と、蓋体２０の蓋体上面部２１の上部押え部２１ａによって押えられ、上下方向の移動も押えられる。
また、容器本体１０の係止片１６における爪部１６ａが、蓋体２０の係止孔２５ａを乗り越えて係止され、蓋体２０と容器本体１０との連結状態が保持される。
こうして容器本体１０に基板Ｗを重ねて収納し、蓋体２０を被せた後は、収納部Ｓに収納した基板Ｗは、上下および左右方向が押えられているので、基板収納容器１を任意の方向にして搬送しても、基板Ｗは移動せず、基板Ｗと直接接触するスペーサー等と擦れ、傷や割れ等による破損、発塵、あるいは化学的成分による基板Ｗへの汚染等の問題を抑制することができる。
【００２６】
なお、上記実施の形態では、可動側壁部１５を側壁部１３中に３箇所設ける場合を例に説明したが、容器本体１０における対向した間隔Ｌを少なくとも１つ有するように固定側壁部１４や可動側壁部１５を設けることができれば、可動側壁部１５を３箇所以上設けて、確実に基板Ｗを押えてもよい。
【符号の説明】
【００２７】
１        基板収納容器
１０      容器本体
１１      開口部
１２      底面板
１２ａ    搭載部
１３      側壁部
１４      固定側壁部
１５      可動側壁部
１５ａ    湾曲部
１５ｂ    先端部
１６      係止片
１６ａ    爪部
２０      蓋体
２１      蓋体上面部
２１ａ    上部押え部
２２      外壁部
２３      円筒部
２４      押圧部
２５      係止部
２５ａ    係止孔
３１      クッション材
３２      スペーサー
Ｌ、Ｍ    間隔（側壁部同士の間隔）
Ｓ        収納部
Ｗ        基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2017143217.tif 000009
【図８】
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【図９】
2017143217.tif 000011