(57)【要約】【課題】監視範囲内の物体を精度良く検出することができる監視装置を提供すること。【解決手段】本発明の監視装置１は、監視範囲に検出光３４を照射し、監視範囲にて反射された検出光３４の反射光３６に基づいて監視範囲内の物体４を検出する監視装置１であって、光３２を２次元走査して検出光３４を生成する光スキャナー３０と、光スキャナー３０にて生成された検出光３４を反射し、監視範囲に検出光３４を照射する反射部１８と、を有し、反射部１８が環状である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
監視範囲に検出光を照射し、前記監視範囲にて反射された前記検出光の反射光に基づいて前記監視範囲内の物体を検出する監視装置であって、
光を２次元走査して前記検出光を生成する光スキャナーと、
前記光スキャナーにて生成された前記検出光を反射し、前記監視範囲に前記検出光を照射する反射部と、を有し、
前記反射部が環状であることを特徴とする監視装置。
【請求項２】
前記光スキャナーがラスター走査方式で前記光を走査することを特徴とする請求項１に記載の監視装置。
【請求項３】
前記光スキャナーがベクター走査方式で前記光を走査することを特徴とする請求項１に記載の監視装置。
【請求項４】
前記反射部が２重以上の環状であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の監視装置。
【請求項５】
前記反射部を支持する支持部を有し、前記支持部は前記検出光および前記反射光を透過することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の監視装置。
【請求項６】
前記光スキャナーにて生成された前記検出光を拡散する拡散部を有し、
前記拡散部からの反射光に基づいて、物体までの距離を検出することを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の監視装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、監視装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザー光を利用し監視範囲内における物体等を検出する方法として、レーザーセンサーを監視範囲内において水平方向や垂直方向へスキャンし、検出する方法が知られている。
一般的に、レーザーセンサーは、監視範囲をスキャンしているため、照射距離が近い部分ではレーザー光が密であり、照射距離が遠い部分ではレーザー光が疎であるという特徴がある。従って、遠距離（例えば、数百メートル先）における分解能が低下するため、従来のスキャン方法では、広範囲かつ高精度の監視が困難であった。また、遠距離における分解能を向上させようとすれば、水平方向の走査速度（スイング速度）を遅くしなければならず、監視範囲の走査に時間がかかってしまい、適切な監視ができないという問題があった。そのため、特許文献１では、レーザー光の垂直方向の走査速度を水平方向の走査速度よりも高速とすることで、人間のような縦長の物体に対して垂直方向に複数の計測点を容易に抽出することができ、垂直方向に一定以上の大きさを有する点群を容易に抽出することができ、監視対象物とノイズとを容易に分別することができ、監視範囲内における物体の検出漏れを抑制することができる監視装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１８９３６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の監視装置は、レーザー光を所定の角度範囲に投光し監視範囲内における物体を検出しているため、監視装置の回りを全周に亘って監視することができないという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例に係る監視装置は、監視範囲に検出光を照射し、前記監視範囲にて反射された前記検出光の反射光に基づいて前記監視範囲内の物体を検出する監視装置であって、光を２次元走査して前記検出光を生成する光スキャナーと、前記光スキャナーにて生成された前記検出光を反射し、前記監視範囲に前記検出光を照射する反射部と、を有し、前記反射部が環状であることを特徴とする。
【０００７】
本適用例によれば、２次元走査できる光スキャナーによって、検出光を環状の反射部に照射することにより、反射部で反射した検出光が監視装置の全周に亘って照射することができる。そのため、監視装置の全周に亘って監視範囲内にある物体を検出することができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例に記載の監視装置において、前記光スキャナーがラスター走査方式で前記光を走査することが好ましい。
【０００９】
本適用例によれば、光を走査する光スキャナーがラスター走査方式であるため、２次元走査して検出光を反射部に精度良く照射することができる。そのため、反射部で反射した検出光が監視装置の全周に亘って照射することができ、監視装置の全周に亘って監視範囲内にある物体を検出することができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例に記載の監視装置において、前記光スキャナーがベクター走査方式で前記光を走査することが好ましい。
【００１１】
本適用例によれば、光を走査する光スキャナーがベクター走査方式であるため、検出光を反射部の形状に沿って効率良く走査することができる。そのため、複雑な形状の反射部であっても検出光を照射することができ、例えば、反射部の形状を長方形や楕円形の環状とすることで監視装置からの距離が異なる監視範囲内の物体を検出することができる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例に記載の監視装置において、前記反射部が２重以上の環状であることが好ましい。
【００１３】
本適用例によれば、反射部が２重以上の環状とすることで、最外周の反射部における検出光と最内周の反射部における検出光とが到達する監視装置からの距離が異なるため、監視装置から物体までの遠近を検出することができる。
【００１４】
［適用例５］上記適用例に記載の監視装置において、前記反射部を支持する支持部を有し、前記支持部は前記検出光および前記反射光を透過することが好ましい。
【００１５】
本適用例によれば、反射部を支持する支持部が検出光および反射光を透過するため、検出光および反射光の輝度を低下させることがなく、監視装置周囲の物体を高精度で検出することができる。
【００１６】
［適用例６］上記適用例に記載の監視装置において、前記光スキャナーにて生成された前記検出光を拡散する拡散部を有し、前記拡散部からの反射光に基づいて、物体までの距離を検出することが好ましい。
【００１７】
本適用例によれば、光スキャナーの距離が既知である拡散部を備えているため、検出光を拡散部に照射し、拡散部からの反射光の到達時間を測定することで、距離の基準とすることができる。そのため、物体からの反射光の到達時間を測定することで、物体の検出だけでなく、監視装置の周囲温度変化の影響を受けずに精度良く物体までの距離を測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１実施形態に係る監視装置を使用した監視システムの構成を示す概略側面図。
【図２】図１の監視システムの構成を示す概略平面図。
【図３】本発明の第１実施形態に係る監視装置の構成を示す概略断面図。
【図４】図３の保持部の概略平面図。
【図５】本発明の第１実施形態に係る監視装置に用いられる光スキャナーの構成を示す概略平面図。
【図６】図５に示す光スキャナーのＸ軸に沿った概略断面図。
【図７】図５に示す光スキャナーが備える駆動部の電圧印加部を説明するためのブロック図。
【図８】図７に示す第１電圧発生部での発生電圧の一例を示す図。
【図９】図７に示す第２電圧発生部での発生電圧の一例を示す図。
【図１０】本発明の第２実施形態に係る監視装置に用いられる光スキャナーの構成を示す概略平面図。
【図１１】図１０に示す光スキャナーが有する連結部の概略斜視図。
【図１２】本発明の第３実施形態に係る監視装置の構成を示す概略断面図。
【図１３】図１２に示す監視装置が有する保持部の概略平面図。
【図１４】本発明の第４実施形態に係る監視装置の構成を示す概略断面図。
【図１５】図１４に示す監視装置が有する保持部の概略平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に示す各図においては、各構成要素を図面上で認識され得る程度の大きさとするため、各構成要素の寸法や比率を実際の構成要素とは適宜に異ならせて記載する場合がある。
【００２０】
［監視装置］
＜第１実施形態＞
先ず、本発明の第１実施形態に係る監視装置を使用した監視システムの構成について、図１および図２を参照して説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る監視装置を使用した監視システムの構成を示す概略側面図である。図２は、図１の監視システムの構成を示す概略平面図である。
【００２１】
本発明の監視装置１を使用した監視システムは、図１に示すように、組立装置等の装置２の上方に設けられた支持柱３に備えられた監視装置１から装置２の全周に亘って検出光３４を照射し、監視範囲にある物体４からの反射光３６を監視装置１で受光することで、監視範囲内の物体４を検出している。なお、監視範囲の最大値は、図２に示すように、装置２の全周に亘り装置２が設置された床上の検出光３４の軌跡３４ａとなる。
【００２２】
次に、本発明の第１実施形態に係る監視装置について、図３および図４を参照して説明する。
図３は、本発明の第１実施形態に係る監視装置の構成を示す概略断面図である。図４は、図３の保持部の概略平面図である。なお、図３および図４では、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示し、Ｚ軸は光スキャナー３０と保持部１６とが重なる厚さ方向を示す軸である。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」という。更に、＋Ｚ軸側を「上」もしくは「上方」、−Ｚ軸側を「下」もしくは「下方」ともいう。
【００２３】
監視装置１は、図３に示すように、筐体１０と、反射部１８と、光源２８と、光スキャナー３０と、を含み構成されている。
筐体１０は、内部に回路１２を備えており、上方に反射部１８が備えられた保持部１６を支持する支持部１４と、光源２８と、光スキャナー３０と、が配置されている。
【００２４】
支持部１４は、円筒状であり、光スキャナー３０で生成された検出光３４と物体４で反射した反射光３６とを透過する透明材料で構成されている。支持部１４の上方には保持部１６が配置されている。
保持部１６は、筐体１０側の面に、図４に示すように、円形で環状の反射部１８が配置されている。保持部１６の中央部には、円形の第２開口部２２が設けられており、Ｚ軸方向からみたときに（以下、平面視ともいう）、反射部１８と第２開口部２２とは同心円状となるように配置されている。言い換えれば、反射部１８の環状形状の中心位置に第２開口部２２が配置されている。また、反射部１８の外周と支持部１４の内側との間に円形の第１開口部２０が設けられている。なお、本実施形態では円形の反射部１８を用いているが、これに限定されることはなく、反射部１８の形状は矩形や五角形以上の多角形でも構わない。また、第１開口部２０と第２開口部２２の形状についても円形に限定されることはなく、矩形や五角形以上の多角形でも構わない。
【００２５】
光源２８は、レーザー光等の光３２を出射し、第１開口部２０と対向する位置に配置されている。また、光源２８は、物体４で反射した反射光３６を受光する受光部２８ａを備えている。
光スキャナー３０は、ラスター走査方式で光３２を走査して検出光３４を生成し、第２開口部２２と対向する位置に配置されている。
【００２６】
次に、光源２８から出射された光３２がどのような光路で光源２８内の受光部２８ａに入射されるかについて説明する。
光源２８から上方（＋Ｚ軸方向）に出射された光３２は、保持部１６の第１開口部２０を通過して第１開口部２０の上方に設けられた第１反射ミラー２４で反射し、＋Ｘ軸方向に進む。その後、第２開口部２２の上方に設けられた第２反射ミラー２６で反射し、下方（−Ｚ軸方向）に進み、保持部１６の第２開口部２２を通過して光スキャナー３０に照射される。
【００２７】
光スキャナー３０に照射された光３２は、光スキャナー３０で２次元走査され検出光３４として、反射部１８に照射される。なお、検出光３４は、光スキャナー３０がラスター走査方式であるため、図４に動作軌跡３４ｂとして示すように、先ず、反射部１８の＋Ｙ軸方向の端部側のＡ点から＋Ｘ軸方向に走査される。その後、反射部１８の＋Ｘ軸方向の端部に達すると−Ｙ軸方向に走査され、次に、−Ｘ軸方向に走査される。その後、反射部１８の−Ｘ軸方向の端部に達すると−Ｙ軸方向に走査され、次に、＋Ｘ軸方向に走査される。この走査を反射部１８の−Ｙ軸方向の端部まで繰り返すことで、検出光３４が反射部１８の全ての領域に照射される。そのため、反射部１８で反射された検出光３４は、装置２（図２参照）の全周に亘って照射される。
【００２８】
検出光３４の進行方向に物体４があると、検出光３４は物体４で反射し反射光３６となり、反射部１８へ照射され、反射部１８で反射された反射光３６は光スキャナー３０に照射される。次に、反射光３６は光スキャナー３０で反射し上方（＋Ｚ軸方向）に進み、第２開口部２２を通過して第２反射ミラー２６で反射し、−Ｘ軸方向に進む。その後、第１反射ミラー２４で反射し、下方（−Ｚ軸方向）に進み、光源２８に備えられている受光部２８ａに入射される。
【００２９】
受光部２８ａに入射された反射光３６の情報は、回路１２に送られて処理され、物体４の位置情報が検出される。物体４の検出に伴い、警報を発したり、装置を緊急停止させたりすることで安全を確保することができる。
【００３０】
次に、本発明の第１実施形態に係る監視装置１に用いられる光スキャナー３０について、図５〜図９を参照して説明する。
図５は、本発明の第１実施形態に係る監視装置に用いられる光スキャナーの構成を示す概略平面図である。図６は、図５に示す光スキャナーのＸ軸に沿った概略断面図である。図７は、図５に示す光スキャナーが備える駆動部の電圧印加部を説明するためのブロック図である。図８は、図７に示す第１電圧発生部での発生電圧の一例を示す図である。図９は、図７に示す第２電圧発生部での発生電圧の一例を示す図である。なお、図５および図６では、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示し、Ｚ軸は可動ミラー部１１１と支持部１１５とが重なる方向を示す軸である。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」という。更に、＋Ｚ軸側を「上」、−Ｚ軸側を「下」という。
光スキャナー３０は、ラスター走査方式で光３２を走査することができ、図５および図６に示すように、可動ミラー部１１１と、１対の軸部１１２ａ，１１２ｂ（第１軸部）と、枠体部１１３と、２対の軸部１１４ａ，１１４ｂ，１１４ｃ，１１４ｄ（第２軸部）と、支持部１１５と、永久磁石１２１と、コイル１３１と、磁心１３２と、電圧印加部１０４と、を備えている。
【００３１】
ここで、可動ミラー部１１１、１対の軸部１１２ａ，１１２ｂは、軸部１１２ａ，１１２ｂを軸としてＹ軸（第１の軸）周りに揺動（往復回動）する第１の振動系を構成する。また、可動ミラー部１１１、１対の軸部１１２ａ，１１２ｂ、枠体部１１３、２対の軸部１１４ａ，１１４ｂ，１１４ｃ，１１４ｄ、および永久磁石１２１は、Ｘ軸（第２の軸）周りに揺動（往復回動）する第２の振動系を構成する。
また、永久磁石１２１、コイル１３１、および電圧印加部１０４は、前述した第１の振動系および第２の振動系を駆動（即ち、可動ミラー部１１１をＸ軸およびＹ軸周りに揺動）させる駆動部を構成する。
【００３２】
可動ミラー部１１１は、基部（可動部）２１１と、スペーサー２１２を介して基部２１１に固定された光反射板２１３と、を有する。
光反射板２１３の上面（一方の面）には、光反射性を有する光反射部２１４が設けられている。
【００３３】
この光反射板２１３は、軸部１１２ａ，１１２ｂに対して光反射板２１３の板厚方向に離間するとともに、平面視において、軸部１１２ａ、１１２ｂの全体を覆うように重なって設けられている。
【００３４】
また、光反射板２１３は、平面視において、枠体部１１３および軸部１１４ａ，１１４ｂ，１１４ｃ，１１４ｄの全体を覆うように形成されている。言い換えると、枠体部１１３および軸部１１４ａ，１１４ｂ，１１４ｃ，１１４ｄは、それぞれ、平面視において、光反射板２１３の外周に対して内側に位置している。
【００３５】
本実施形態では、光反射板２１３は、平面視において、円形をなしている。なお、光反射板２１３の平面視形状は、これに限定されず、例えば、楕円形、四角形等の多角形であってもよい。
このような光反射板２１３の下面（他方の面、光反射板２１３の基部２１１側の面）には、硬質層２１５が設けられている。
【００３６】
硬質層２１５は、光反射板２１３本体の構成材料よりも硬質な材料であり、例えば、ダイヤモンドなどで構成されている。これにより、光反射板２１３の剛性を高めることができる。そのため、光反射板２１３の揺動時における撓みを防止又は抑制することができる。また、光反射板２１３の厚さを薄くし、光反射板２１３のＸ軸およびＹ軸周りの揺動時における慣性モーメントを抑えることができる。
【００３７】
また、光反射板２１３の下面は、スペーサー２１２を介して基部２１１に固定されている。これにより、軸部１１２ａ、１１２ｂ、枠体部１１３、および軸部１１４ａ、１１４ｂ、１１４ｃ、１１４ｄとの接触を防止しつつ、光反射板２１３をＹ軸周りに揺動させることができる。
【００３８】
枠体部１１３は、枠状をなし、前述した可動ミラー部１１１の基部２１１を囲んで設けられており、軸部１１４ａ，１１４ｂ，１１４ｃ，１１４ｄを介して支持部１１５に支持されている。また、可動ミラー部１１１の基部２１１は、軸部１１２ａ，１１２ｂを介して枠体部１１３に支持されている。
【００３９】
軸部１１２ａ，１１２ｂおよび軸部１１４ａ，１１４ｂ，１１４ｃ，１１４ｄは、それぞれ、弾性変形可能である。
そして、軸部１１２ａ，１１２ｂは、可動ミラー部１１１をＹ軸（第１の軸）周りに揺動（回動）可能とするように、可動ミラー部１１１と枠体部１１３を連結している。また、軸部１１４ａ，１１４ｂ，１１４ｃ，１１４ｄは、枠体部１１３をＹ軸に直交するＸ軸（第２の軸）周りに揺動（回動）可能とするように、枠体部１１３と支持部１１５を連結している。
【００４０】
軸部１１２ａ，１１２ｂは、可動ミラー部１１１の基部２１１を介して互いに対向するように配置されている。また、軸部１１２ａ，１１２ｂは、それぞれ、Ｙ軸に沿った方向に延在する長手形状をなす。そして、軸部１１２ａ，１１２ｂは、それぞれ、一端部が基部２１１に接続され、他端部が枠体部１１３に接続されている。また、軸部１１２ａ，１１２ｂは、それぞれ、中心軸がＹ軸に一致するように配置されている。
このような軸部１１２ａ，１１２ｂは、それぞれ、可動ミラー部１１１のＹ軸周りの揺動に伴ってねじれ変形する。
【００４１】
軸部１１４ａ，１１４ｂおよび軸部１１４ｃ，１１４ｄは、枠体部１１３を介して互いに対向するように配置されている。また、軸部１１４ａ，１１４ｂ，１１４ｃ，１１４ｄは、それぞれ、Ｘ軸に沿った方向に延在する長手形状をなす。そして、軸部１１４ａ，１１４ｂ，１１４ｃ，１１４ｄは、それぞれ、一端部が枠体部１１３に接続され、他端部が支持部１１５に接続されている。また、軸部１１４ａ，１１４ｂは、Ｘ軸を介して互いに対向するように配置され、同様に、軸部１１４ｃ，１１４ｄは、Ｘ軸を介して互いに対向するように配置されている。
このような軸部１１４ａ，１１４ｂ，１１４ｃ，１１４ｄは、枠体部１１３のＸ軸周りの揺動に伴って、軸部１１４ａ，１１４ｂ全体および軸部１１４ｃ，１１４ｄ全体がそれぞれねじれ変形する。
【００４２】
このように、可動ミラー部１１１をＹ軸周りに揺動可能とするとともに、枠体部１１３をＸ軸周りに揺動可能とすることにより、可動ミラー部１１１（換言すれば光反射板２１３）を互いに直交するＸ軸およびＹ軸の２軸周りに揺動（回動）させることができる。
なお、前述したような基部２１１、軸部１１２ａ，１１２ｂ、枠体部１１３、軸部１１４ａ，１１４ｂ，１１４ｃ，１１４ｄ、および支持部１１５は、一体的に形成されている。
【００４３】
本実施形態では、基部２１１、軸部１１２ａ、１１２ｂ、枠体部１１３、軸部１１４ａ，１１４ｂ，１１４ｃ，１１４ｄ、および支持部１１５は、第１のＳｉ層（デバイス層）と、ＳｉＯ2層（ボックス層）と、第２のＳｉ層（ハンドル層）と、がこの順に積層したＳＯＩ基板をエッチングすることにより形成されている。これにより、第１の振動系および第２の振動系の振動特性を優れたものとすることができる。
そして、基部２１１、軸部１１２ａ，１１２ｂ、および軸部１１４ａ，１１４ｂ，１１４ｃ，１１４ｄは、それぞれ、ＳＯＩ基板の第１のＳｉ層で構成されている。これにより、軸部１１２ａ，１１２ｂおよび軸部１１４ａ，１１４ｂ，１１４ｃ，１１４ｄの弾性を優れたものとすることができる。また、基部２１１がＹ軸周りに回動する際に枠体部１１３に接触するのを防止することができる。
【００４４】
また、枠体部１１３および支持部１１５は、それぞれ、ＳＯＩ基板の第１のＳｉ層、ＳｉＯ2層、および第２のＳｉ層からなる積層体で構成されている。これにより、枠体部１１３および支持部１１５の剛性を優れたものとすることができる。また、枠体部１１３のＳｉＯ2層および第２のＳｉ層は、枠体部１１３の剛性を高めるリブとしての機能だけでなく、可動ミラー部１１１が永久磁石１２１に接触するのを防止する機能も有する。
【００４５】
また、本実施形態では、スペーサー２１２および光反射板２１３も、ＳＯＩ基板をエッチングすることにより形成されている。そして、スペーサー２１２は、ＳＯＩ基板のＳｉＯ2層および第２のＳｉ層からなる積層体で構成されている。また、光反射板２１３は、ＳＯＩ基板の第１のＳｉ層で構成されている。
【００４６】
このようなスペーサー２１２は、例えば、接着剤、ろう材等の接合材（図示せず）により基部２１１に接合されている。
前述した枠体部１１３の下面（光反射板２１３とは反対側の面）には、永久磁石１２１が接着剤などを用いて接合されている。
なお、永久磁石１２１は、平面視において、Ｘ軸およびＹ軸に対して傾斜する方向に磁化されている。
【００４７】
本実施形態では、永久磁石１２１は、Ｘ軸およびＹ軸に対して傾斜する方向に延在する長手形状（棒状）をなす。そして、永久磁石１２１は、その長手方向に磁化されている。即ち、永久磁石１２１は、一端部をＳ極とし、他端部をＮ極とするように磁化されている。また、永久磁石１２１は、平面視において、Ｘ軸とＹ軸との交点を中心として対称となるように設けられている。
【００４８】
永久磁石１２１の直下には、コイル１３１が設けられている。即ち、枠体部１１３の下面に対向するように、コイル１３１が設けられている。これにより、コイル１３１から発生する磁界を効率的に永久磁石１２１に作用させることができる。
【００４９】
コイル１３１は、電圧印加部１０４に電気的に接続されており、電圧印加部１０４によりコイル１３１に電圧が印加されることで、コイル１３１からＸ軸およびＹ軸に直交する磁束を有する磁界が発生する。
電圧印加部１０４は、図７に示すように、可動ミラー部１１１をＹ軸周りに回動させるための第１の電圧Ｖ１を発生させる第１の電圧発生部１４１と、可動ミラー部１１１をＸ軸周りに回動させるための第２の電圧Ｖ２を発生させる第２の電圧発生部１４２と、第１の電圧Ｖ１と第２の電圧Ｖ２とを重畳する電圧重畳部１４３とを備え、電圧重畳部１４３で重畳した電圧をコイル１３１に印加する。
【００５０】
第１の電圧発生部１４１は、図８に示すように、周期Ｔ１で周期的に変化する第１の電圧Ｖ１（水平走査用電圧）を発生させるものである。即ち、第１の電圧発生部１４１は、第１周波数（１／Ｔ１）の第１の電圧Ｖ１を発生させるものである。
第１の電圧Ｖ１は、正弦波のような波形をなしている。そのため、光スキャナー３０は効果的に光を主走査することができる。なお、第１の電圧Ｖ１の波形は、これに限定されない。
また、第１周波数（１／Ｔ１）は、水平走査に適した周波数であれば、特に限定されないが、１０〜４０ｋＨｚであるのが好ましい。
【００５１】
本実施形態では、第１周波数は、可動ミラー部１１１、１対の軸部１１２ａ，１１２ｂで構成される第１の振動系（捩じり振動系）の捩じり共振周波数（ｆ１）と等しくなるように設定されている。つまり、第１の振動系は、その捩じり共振周波数ｆ１が水平走査に適した周波数になるように設計（製造）されている。これにより、可動ミラー部１１１のＹ軸周りの回動角を大きくすることができる。
【００５２】
一方、第２の電圧発生部１４２は、図９に示すように、周期Ｔ１と異なる周期Ｔ２で周期的に変化する第２の電圧Ｖ２（垂直走査用電圧）を発生させるものである。即ち、第２の電圧発生部１４２は、第２周波数（１／Ｔ２）の第２の電圧Ｖ２を発生させるものである。
第２の電圧Ｖ２は、鋸波のような波形をなしている。そのため、光スキャナー３０は効果的に光を垂直走査（副走査）することができる。なお、第２の電圧Ｖ２の波形は、これに限定されない。
【００５３】
第２周波数（１／Ｔ２）は、第１周波数（１／Ｔ１）と異なり、かつ、垂直走査に適した周波数であれば、特に限定されないが、３０〜１２０Ｈｚ（６０Ｈｚ程度）であるのが好ましい。このように、第２の電圧Ｖ２の周波数を６０Ｈｚ程度とし、前述したように第１の電圧Ｖ１の周波数を１０〜４０ｋＨｚとすることで、可動ミラー部１１１を互いに直交する２軸（Ｘ軸およびＹ軸）のそれぞれの軸周りに回動させることができる。ただし、可動ミラー部１１１をＸ軸およびＹ軸のそれぞれの軸周りに回動させることができれば、第１の電圧Ｖ１の周波数と第２の電圧Ｖ２の周波数との組み合わせは、特に限定されない。
【００５４】
本実施形態では、第２の電圧Ｖ２の周波数は、可動ミラー部１１１、１対の軸部１１２ａ，１１２ｂ、枠体部１１３、２対の軸部１１４ａ，１１４ｂ，１１４ｃ，１１４ｄ、および永久磁石１２１で構成された第２の振動系（捩じり振動系）の捩じり共振周波数（共振周波数）と異なる周波数となるように調整されている。
このような第２の電圧Ｖ２の周波数（第２周波数）は、第１の電圧Ｖ１の周波数（第１周波数）よりも小さいことが好ましい。即ち、周期Ｔ２は、周期Ｔ１よりも長いことが好ましい。これにより、より確実かつより円滑に、可動ミラー部１１１をＹ軸周りに第１周波数で回動させつつ、Ｘ軸周りに第２周波数で回動させることができる。
【００５５】
また、第１の振動系の捩じり共振周波数をｆ１［Ｈｚ］とし、第２の振動系の捩じり共振周波数をｆ２［Ｈｚ］としたとき、ｆ１とｆ２とが、ｆ２＜ｆ１の関係を満たすことが好ましく、ｆ１≧１０ｆ２の関係を満たすことがより好ましい。これにより、より円滑に、可動ミラー部１１１を、Ｙ軸周りに第１の電圧Ｖ１の周波数で回動させつつ、Ｘ軸周りに第２の電圧Ｖ２の周波数で回動させることができる。
【００５６】
このような第１の電圧発生部１４１および第２の電圧発生部１４２は、それぞれ、制御部１０７に接続され、この制御部１０７からの信号に基づき駆動する。このような第１の電圧発生部１４１および第２の電圧発生部１４２には、電圧重畳部１４３が接続されている。
電圧重畳部１４３は、コイル１３１に電圧を印加するための加算器１４３ａを備えている。加算器１４３ａは、第１の電圧発生部１４１から第１の電圧Ｖ１を受けるとともに、第２の電圧発生部１４２から第２の電圧Ｖ２を受け、これらの電圧を重畳しコイル１３１に印加するようになっている。
【００５７】
次に、光スキャナー３０の駆動方法について説明する。なお、本実施形態では、前述したように、第１の電圧Ｖ１の周波数は、第１の振動系の捩じり共振周波数と等しく設定されており、第２の電圧Ｖ２の周波数は、第２の振動系の捩じり共振周波数と異なる値に、かつ、第１の電圧Ｖ１の周波数よりも小さくなるように設定されている（例えば、第１の電圧Ｖ１の周波数が１８ｋＨｚ、第２の電圧Ｖ２の周波数が６０Ｈｚに設定されている）。
【００５８】
例えば、図８に示すような第１の電圧Ｖ１と、図９に示すような第２の電圧Ｖ２とを電圧重畳部１４３にて重畳し、重畳した電圧をコイル１３１に印加する。
すると、第１の電圧Ｖ１によって、永久磁石１２１の一端部（Ｎ極）をコイル１３１に引き付けようとするとともに、永久磁石１２１の他端部（Ｓ極）をコイル１３１から離間させようとする磁界（この磁界を「磁界Ａ１」という）と、永久磁石１２１の一端部（Ｎ極）をコイル１３１から離間させようとするとともに、永久磁石１２１の他端部（Ｓ極）をコイル１３１に引き付けようとする磁界（この磁界を「磁界Ａ２」という）とが交互に切り換わる。
【００５９】
ここで、上述したように、永久磁石１２１は、それぞれの端部（磁極）が、Ｙ軸で分割される２つの領域に位置するように配置される。即ち、平面視において、Ｙ軸を挟んで一方側に永久磁石１２１のＮ極が位置し、他方側に永久磁石１２１のＳ極が位置している。そのため、磁界Ａ１と磁界Ａ２とが交互に切り換わることで、枠体部１１３にＹ軸周りの捩じり振動成分を有する振動が励振され、その振動に伴って、軸部１１２ａ，１１２ｂを捩れ変形させつつ、可動ミラー部１１１が第１の電圧Ｖ１の周波数でＹ軸周りに回動する。
【００６０】
また、第１の電圧Ｖ１の周波数は、第１の振動系の捩じり共振周波数と等しい。そのため、第１の電圧Ｖ１によって、効率的に、可動ミラー部１１１をＹ軸周りに回動させることができる。即ち、前述した枠体部１１３のＹ軸周りの捩じり振動成分を有する振動が小さくても、その振動に伴う可動ミラー部１１１のＹ軸周りの回動角を大きくすることができる。
【００６１】
一方、第２の電圧Ｖ２によって、永久磁石１２１の一端部（Ｎ極）をコイル１３１に引き付けようとするとともに、永久磁石１２１の他端部（Ｓ極）をコイル１３１から離間させようとする磁界（この磁界を「磁界Ｂ１」という）と、永久磁石１２１の一端部（Ｎ極）をコイル１３１から離間させようとするとともに、永久磁石１２１の他端部（Ｓ極）をコイル１３１に引き付けようとする磁界（この磁界を「磁界Ｂ２」という）とが交互に切り換わる。
【００６２】
ここで、上述したように、永久磁石１２１は、それぞれの端部（磁極）が、Ｘ軸で分割される２つの領域に位置するように配置される。即ち、平面視において、Ｘ軸を挟んで一方側に永久磁石１２１のＮ極が位置し、他方側に永久磁石１２１のＳ極が位置している。そのため、磁界Ｂ１と磁界Ｂ２とが交互に切り換わることで、軸部１１４ａ，１１４ｂおよび軸部１１４ｃ，１１４ｄをそれぞれ捩れ変形させつつ、枠体部１１３が可動ミラー部１１１とともに、第２の電圧Ｖ２の周波数でＸ軸周りに回動する。
【００６３】
従って、光スキャナー３０では、第１の電圧Ｖ１と第２の電圧Ｖ２とを重畳させた電圧をコイル１３１に印加することで、可動ミラー部１１１を、Ｙ軸周りに第１の電圧Ｖ１の周波数で回動させつつ、Ｘ軸周りに第２の電圧Ｖ２の周波数で回動させることができる。そのため、光スキャナー３０の可動ミラー部１１１をＸ軸周りとＹ軸周りとの２軸周りに回動することにより、光源２８から出射された光３２を可動ミラー部１１１で反射した検出光３４として水平方向（例えばＸ軸方向）や垂直方向（例えばＹ軸方向）にラスター走査し、反射部１８に照射することができる。
【００６４】
なお、本実施形態では、第１の振動系の捩じり共振周波数と第２の振動系の捩じり共振周波数とが異なっているが、これに限定されることはなく、第１の振動系の捩じり共振周波数と第２の振動系の捩じり共振周波数とが等しくても構わない。２つの共振周波数を等しくすることで、検出光３４の動作軌跡３４ｂを円形とすることができる。そのため、動作軌跡３４ｂの長さを短くすることができるため、反射部１８へ照射する時間が短くなり、検出時間の短縮化が図れ、監視範囲内にある物体４をより高精度で検出することができる。
【００６５】
以上述べたように、ラスター走査方式で光３２を２次元走査できる光スキャナー３０によって、検出光３４を環状の反射部１８に照射することにより、反射部１８で反射した検出光３４を監視装置１の全周に亘って照射することができる。そのため、監視装置１の全周に亘って監視範囲内にある物体４を検出することができる。
【００６６】
また、光３２を走査する光スキャナー３０がラスター走査方式であるため、２次元走査して検出光３４を反射部１８の全域に精度良く照射することができる。そのため、反射部１８で反射した検出光３４を監視装置１の全周に亘って照射することができる。
【００６７】
また、反射部１８を支持する支持部１４が検出光３４および反射光３６を透過するため、検出光３４および反射光３６の輝度を低下させることなく、検出光３４を監査範囲内へ照射し、物体４で反射した反射光３６を反射部１８へ照射することができるので、監視装置１の検出精度を向上させることができる。
【００６８】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態に係る監視装置に用いられる光スキャナー３０ａについて、図１０および図１１を参照して説明する。
図１０は、本発明の第２実施形態に係る監視装置に用いられる光スキャナーの構成を示す概略平面図である。図１１は、図１０に示す光スキャナーが有する連結部の概略斜視図である。
以下、第２実施形態に係る光スキャナー３０ａについて、前述した第１実施形態の光スキャナー３０との相違点を中心に説明する。また、同様の構成には、同一符号を付してあり、同様の事項については、その説明を省略する。
【００６９】
第２実施形態に係る光スキャナー３０ａは、ベクター走査方式で光３２を走査することができ、図１０に示すように、可動板３０２と、可動板３０２を支持する支持部３０３および可動板３０２と支持部３０３とを連結する４つの連結部３０４，３０５，３０６，３０７で構成された振動系３１１と、可動板３０２を変位させる変位手段３０８と、を有している。
【００７０】
支持部３０３は、可動板３０２を支持する機能を有し、枠状をなしており、可動板３０２の周囲を囲むように設けられている。
可動板３０２は、平板状をなし、一方の面３２１には、光反射性を有する光反射部３２２が形成されている。また、可動板３０２は、４つの連結部３０４，３０５，３０６，３０７によって支持部３０３に連結されている。
【００７１】
４つの連結部３０４，３０５，３０６，３０７は、平面視において、可動板３０２の周方向に沿って等間隔、即ち９０度間隔で配置されている。４つの連結部３０４，３０５，３０６，３０７のうち、連結部３０４，３０６は、可動板３０２を介してＸ軸方向に対向し且つ可動板３０２に対して対称的に形成されており、連結部３０５，３０７は、可動板３０２を介してＹ軸方向に対向し且つ可動板３０２に対して対称的に形成されている。このような連結部３０４，３０５，３０６，３０７によって可動板３０２を支持することにより、可動板３０２を安定した状態で支持することができる。
【００７２】
４つの連結部３０４，３０５，３０６，３０７は、互いに同様の構成をなしており、具体的には、連結部３０４は、駆動部３４１と、駆動部３４１と可動板３０２とを連結する第１の軸部３４２と、駆動部３４１と支持部３０３とを連結する１対の第２の軸部３４３と、を有している。また、連結部３０５も、駆動部３５１と、駆動部３５１と可動板３０２とを連結する第１の軸部３５２と、駆動部３５１と支持部３０３とを連結する１対の第２の軸部３５３と、を有している。また、連結部３０６も、駆動部３６１と、駆動部３６１と可動板３０２とを連結する第１の軸部３６２と、駆動部３６１と支持部３０３とを連結する１対の第２の軸部３６３と、を有している。また、連結部３０７も、駆動部３７１と、駆動部３７１と可動板３０２とを連結する第１の軸部３７２と、駆動部３７１と支持部３０３とを連結する１対の第２の軸部３７３と、を有している。
【００７３】
各連結部３０４，３０５，３０６，３０７をこのような構成とすることにより、連結部の構成が簡単となるとともに、可動板３０２の回動中心軸Ｘ１，Ｙ１周りの回動等をスムーズに行うことができる。
【００７４】
連結部３０４，３０５，３０６，３０７の構成は、互いに同様であるため、連結部３０４について代表して説明し、他の連結部３０５，３０６，３０７については、その説明を省略する。なお、連結部３０５，３０７は、平面視において、連結部３０４に対して９０度回転した状態で配置されている。そのため、連結部３０５，３０７については、下記の連結部３０４の説明中の「Ｙ軸方向」を「Ｘ軸方向」とし、「Ｘ軸方向」を「Ｙ軸方向」とすることで説明することもできる。
【００７５】
１対の第２の軸部３４３は、図１１に示すように、駆動部３４１を介してＹ軸方向に対向配置されており、駆動部３４１を両持ち支持している。また、１対の第２の軸部３４３は、それぞれ、Ｙ軸方向に延在する棒状をなしている。また、１対の第２の軸部３４３は、中心軸周りに捩じり変形可能となっている。このような１対の第２の軸部３４３は、同軸的に設けられており、この軸（以下、「回動中心軸Ｙ２」とも言う）を中心として、１対の第２の軸部３４３が捩じり変形するとともに駆動部３４１を回動する。
【００７６】
駆動部３４１は、可動板３０２に対してＸ軸方向に離間して設けられている。また、駆動部３４１は、前述したように１対の第２の軸部３４３によって両持ち支持されている。このような駆動部３４１には、貫通孔４１１が形成されており、この貫通孔４１１に永久磁石８１１が挿通、固定されている。なお、永久磁石８１１は、変位手段３０８の構成の一部である。
【００７７】
駆動部３４１は、第１の軸部３４２によって可動板３０２と連結している。第１の軸部３４２は、全体的にＸ軸方向に延在するように設けられている。このような第１の軸部３４２は、駆動部３４１と可動板３０２との間に設けられた応力緩和部４２１と、応力緩和部４２１と可動板３０２とを連結する可動板側軸部４２２と、応力緩和部４２１と駆動部３４１とを連結する駆動部側軸部４２３と、を有している。
可動板側軸部４２２および駆動部側軸部４２３は、それぞれ、Ｘ軸方向に延在する棒状をなし、同軸的に設けられている。
【００７８】
このような可動板側軸部４２２および駆動部側軸部４２３は、応力緩和部４２１を介して連結されている。応力緩和部４２１は、第１の軸部３４２が屈曲変形する際の節となる機能と、可動板側軸部４２２の捩じり変形により発生トルクを緩和（吸収）し、前記トルクが駆動部側軸部４２３に伝わるのを防止又は抑制する機能と、を有している。
【００７９】
応力緩和部４２１は、図１１に示すように、１対の変形部４２１１，４２１２と、これらの間に設けられた非変形部４２１３と、変形部４２１１を非変形部４２１３に接続する１対の接続部４２１４と、変形部４２１２を非変形部４２１３に接続する１対の接続部４２１５と、を有している。
【００８０】
非変形部４２１３は、Ｙ軸方向に延在する棒状をなしている。このような非変形部４２１３の中心軸Ｙ４を中心に第１の軸部３４２を屈曲させることができ、応力緩和部４２１に節としての機能を確実に発揮させることができ、光スキャナー３０ａを安定して駆動させることができる。
【００８１】
非変形部４２１３に対して対称的に１対の変形部４２１１，４２１２が配置されている。変形部４２１１，４２１２は、それぞれ、Ｙ軸方向に延在する棒状をなし、互いにＸ軸方向に離間して並設されている。このような変形部４２１１，４２１２は、それぞれ、その中心軸周りに捩じり変形可能となっている。
【００８２】
可動板３０２側に位置する変形部４２１１は、その長手方向のほぼ中央にて可動板側軸部４２２の一端と連結しているとともに、その両端部にて１対の接続部４２１４を介して非変形部４２１３に連結している。同様に、駆動部３４１側に位置する変形部４２１２は、その長手方向のほぼ中央にて駆動部側軸部４２３の一端と連結しているとともに、その両端部にて１対の接続部４２１５を介して非変形部４２１３に連結している。
【００８３】
１対の接続部４２１４の一方の接続部は、変形部４２１１および非変形部４２１３の一端部同士を連結し、他方の接続部は、変形部４２１１および非変形部４２１３の他端部同士を連結している。また、１対の接続部４２１５の一方の接続部は、変形部４２１２および非変形部４２１３の一端部同士を連結し、他方の接続部は、変形部４２１２および非変形部４２１３の他端部同士を連結している。
【００８４】
このような各接続部４２１４，４２１５は、Ｘ軸方向に延在する棒状をなし、Ｚ軸方向に湾曲可能で且つその中心軸周りに捩じり変形可能となっている。
以上が、振動系３１１の構成である。
【００８５】
次に、変位手段３０８は、永久磁石８１１、コイル８１２、および電源８１３を有する第１の変位手段３８１と、永久磁石８２１、コイル８２２、および電源８２３を有する第２の変位手段３８２と、永久磁石８３１、コイル８３２、および電源８３３を有する第３の変位手段３８３と、永久磁石８４１、コイル８４２、および電源８４３を有する第４の変位手段３８４と、を有している。
【００８６】
第１の変位手段３８１は、連結部３０４に対応して設けられており、第２の変位手段３８２は、連結部３０５に対応して設けられており、第３の変位手段３８３は、連結部３０６に対応して設けられており、第４の変位手段３８４は、連結部３０７に対応して設けられている。
【００８７】
従って、変位手段３０８を電磁駆動とすることにより、比較的大きな力を発生させることができ、可動板３０２をより確実に回動することができる。また、各連結部３０４，３０５，３０６，３０７に１つの変位手段が設けられているため、コイル８１２，８２２，８３２，８４２に印加する直流電圧の強さを互いに異ならせることで、各連結部３０４，３０５，３０６，３０７を独立して変形させることができる。そのため、可動板３０２を様々な態様で変形させることができる。そのため、光スキャナー３０ａは、ベクター走査方式で光３２を走査することができる。
【００８８】
このような構成とすることにより、光３２を走査する光スキャナー３０ａがベクター走査することができるため、検出光３４を反射部１８の形状に沿って効率良く走査することができる。そのため、複雑な形状の反射部１８であっても検出光３４を照射することができ、例えば、反射部１８の形状を長方形や楕円形の環状とすることで装置２（図１参照）周囲の距離が異なる監視範囲内の物体４を容易に検出することができる。また、検出光３４の動作軌跡３４ｂを短くすることができるので、検出時間の短縮化が図れ、監視範囲内にある物体４をより高精度で検出することができる。
【００８９】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態に係る監視装置１ｂについて、図１２および図１３を参照して説明する。
図１２は、本発明の第３実施形態に係る監視装置の構成を示す概略断面図である。図１３は、図１２に示す監視装置が有する保持部の概略平面図である。
以下、第３実施形態に係る監視装置１ｂについて、前述した第１実施形態の監視装置１との相違点を中心に説明する。また、同様の構成には、同一符号を付してあり、同様の事項については、その説明を省略する。
【００９０】
第３実施形態に係る監視装置１ｂは、図１２および図１３に示すように、保持部１６ｂの光スキャナー３０側の面に円形で環状の第１反射部１８ａおよび第２反射部１８ｂが配置されている。第１反射部１８ａの外周は第２反射部１８ｂの内周より小さく、所謂、第１反射部１８ａは環状の第２反射部１８ｂの内側に配置されている。また、平面視で、第１反射部１８ａ、第２反射部１８ｂ、および第２開口部２２とは同心円状となるように配置されている。
【００９１】
光源２８から出射された光３２は、光スキャナー３０で反射され検出光３４となり、第１反射部１８ａおよび第２反射部１８ｂに照射され、第１反射部１８ａおよび第２反射部１８ｂで反射した検出光３４が監視装置１ｂ全周の監視範囲に照射される。
第１反射部１８ａで反射した検出光３４は、第２反射部１８ｂで反射した検出光３４に比べ、監視装置１ｂに近い領域に照射される。従って、監視範囲内の物体４で反射した反射光３６が第１反射部１８ａで反射した検出光３４によるものか、第２反射部１８ｂで反射した検出光３４によるものかを検出することにより、監視装置１ｂから物体４までの遠近を検出することができる。
【００９２】
なお、本実施形態では、環状の第１反射部１８ａと環状の第２反射部１８ｂとの２重の環状を用いて説明しているが、これに限定されることはなく、反射部を２重以上の環状で構成しても構わない。環状の反射部の本数を増やすことで、監視装置１ｂと物体４との距離をより高精度に検出することができる。
【００９３】
このような構成とすることにより、保持部１６ｂに設けられている反射部１８を２重以上の環状とすることで、最外周の第２反射部１８ｂにおける検出光３４と最内周の第１反射部１８ａにおける検出光３４とが到達する監視装置１ｂからの距離が異なるため、複数の監視範囲の監視を行うことができる。これにより、監視装置１ｂから物体４までの遠近を検出することができる。そのため、監視装置１ｂに対する物体４の移動方向を検知することや、監視装置１ｂの全周に亘って監視範囲内にある物体４をより精度良く検出することができる。また、複数の監視範囲の監視情報を用いて、装置２の段階的な制御を行うことも可能である。
【００９４】
＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態に係る監視装置１ｃについて、図１４および図１５を参照して説明する。
図１４は、本発明の第４実施形態に係る監視装置の構成を示す概略断面図である。図１５は、図１４に示す監視装置が有する保持部の概略平面図。
以下、第４実施形態に係る監視装置１ｃについて、前述した第１実施形態の監視装置１との相違点を中心に説明する。また、同様の構成には、同一符号を付してあり、同様の事項については、その説明を省略する。
【００９５】
第４実施形態に係る監視装置１ｃは、図１４および図１５に示すように、保持部１６ｃの光スキャナー３０側の面に拡散部３８が配置されている。拡散部３８は、矩形状であり、平面視で、第２開口部２２と環状の反射部１８の内縁との間に配置されている。また、拡散部３８は、検出光３４を拡散する。
【００９６】
拡散部３８に検出光３４を照射するとほとんどは拡散するが、一部は反射し反射光３６として受光することができる。そのため、拡散部３８と受光部２８ａとの間の光路長と、光源２８から出射した光３２が拡散部３８で反射し、反射光３６として受光部２８ａに到達する時間と、の関係を基準とし、物体４で反射した反射光３６の到達時間を測定することで、物体４を検出するだけでなく、物体４までの距離を検出することができる。また、拡散部３８における反射光３６を常に基準とすることで、監視装置１ｃの周辺の温度が変化した場合でも、物体４までの距離を精度良く検出することができる。
なお、本実施形態では、矩形状の拡散部３８を反射部１８の内縁の内側に配置しているが、これに限定されることはなく、円形や多角形であっても構わず、配置する位置も反射部１８の外縁より外側であっても構わない。また、反射部１８を除く全面に配置しても構わない。
【００９７】
このような構成とすることにより、拡散部３８で反射した反射光３６の受光部２８ａまでの到達時間を基準とし、物体４で反射した反射光３６の受光部２８ａまでの到達時間を測定することにより、物体４の検出だけでなく、監視装置１ｃの周囲温度の影響を受けずに物体４までの距離を精度良く検出することができる。
【００９８】
以上、本発明の監視装置について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、各実施形態を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【００９９】
１，１ｂ，１ｃ…監視装置、２…装置、３…支持柱、４…物体、１０…筐体、１２…回路、１４…支持部、１６，１６ｂ，１６ｃ…保持部、１８…反射部、１８ａ…第１反射部、１８ｂ…第２反射部、２０…第１開口部、２２…第２開口部、２４…第１反射ミラー、２６…第２反射ミラー、２８…光源、３０，３０ａ…光スキャナー、３２…光、３４…検出光、３４ａ…軌跡、３４ｂ…動作軌跡、３６…反射光、３８…拡散部、１０４…電圧印加部、１０７…制御部、１１１…可動ミラー部、１１２ａ，１１２ｂ…軸部、１１３…枠体部、１１４ａ，１１４ｂ，１１４ｃ，１１４ｄ…軸部、１１５…支持部、１２１…永久磁石、１３１…コイル、１３２…磁心、１４１…第１の電圧発生部、１４２…第２の電圧発生部、１４３…電圧重畳部、１４３ａ…加算器、２１１…基部、２１２…スペーサー、２１３…光反射板、２１４…光反射部、２１５…硬質層、３０２…可動板、３０３…支持部、３０４，３０５，３０６，３０７…連結部、３０８…変位手段、３１１…振動系、３２１…一方の面、３２２…光反射部、３４１…駆動部、３４２…第１の軸部、３４３…第２の軸部、３５１…駆動部、３５２…第１の軸部、３５３…第２の軸部、３６１…駆動部、３６２…第１の軸部、３６３…第２の軸部、３７１…駆動部、３７２…第１の軸部、３７３…第２の軸部、３８１…第１の変位手段、３８２…第２の変位手段、３８３…第３の変位手段、３８４…第４の変位手段、４１１…貫通孔、４２１…応力緩和部、４２２…可動板側軸部、４２３…駆動部側軸部、８１１…永久磁石、８１１，８２１，８３１，８４１…永久磁石、８１２，８２２，８３２，８４２…コイル、８１３，８２３，８３３，８４３…電源、４２１１，４２１２…変形部、４２１３…非変形部、４２１４，４２１５…接続部。
【図１】
2017122636.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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