(57)【要約】【課題】分割された複数のパッケージを容易に検査することができるパッケージ検査方法を提供すること。【解決手段】本発明のパッケージ検査方法は、複数の分割予定ライン（１５）で区画されたパッケージ基板（１０）を個々のパッケージ（１８）に分割した後、パッケージを検査する方法であり、分割された個々のパッケージを光学顕微鏡（３５）の撮像光に対して透過可能な収容トレー（２０）に収容するパッケージ収容ステップと、パッケージ収容ステップの実施後、光学顕微鏡により収容トレーを介して各パッケージの収容面（１８ａ）を検査する検査ステップとを行う構成にした。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上の交差する複数の分割予定ラインで区画されたパッケージ基板を個々のパッケージに分割後にパッケージを検査するパッケージ検査方法であって、
該パッケージ基板の複数の分割予定ラインに沿って分割された個々のパッケージを検査用撮像手段の撮像光に対して透過可能な収容トレーに収容するパッケージ収容ステップと、
該パッケージ収容ステップを実施した後に、該検査用撮像手段により該収容トレーを介して各パッケージの収容面を検査する検査ステップと、から構成されるパッケージ検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のパッケージを順次検査するパッケージ検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、ＬＥＤパッケージなどのパッケージ基板は、切削装置により分割予定ラインに沿って個片化されて個々のデバイスパッケージに分割される（特許文献１参照）。特許文献１の製造プロセスでは、デバイスパッケージとして表面側にドーム状の凸部を有するチップを製造している。このようなチップを加工後、品質チェックのために検査を行う場合、まず、１チップずつピックアップし、表面側の凸部を収容する治具等でチップを位置決めする。この位置決めによって、チップの裏面側を上向きとして表出させ、かかる裏面を顕微鏡で観察することで検査を行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−１５６５２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような検査では、チップを一つずつピックアップしてから観察するので、煩雑で時間を要してしまう、という問題がある。また、ピックアップしてから治具で位置決めするときに、チップの位置情報や観察する向き等の取扱いに負担が強いられる、という問題がある。
【０００５】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、分割された複数のパッケージを容易に検査することができるパッケージ検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のパッケージ検査方法は、基板上の交差する複数の分割予定ラインで区画されたパッケージ基板を個々のパッケージに分割後にパッケージを検査するパッケージ検査方法であって、パッケージ基板の複数の分割予定ラインに沿って分割された個々のパッケージを検査用撮像手段の撮像光に対して透過可能な収容トレーに収容するパッケージ収容ステップと、パッケージ収容ステップを実施した後に、検査用撮像手段により収容トレーを介して各パッケージの収容面を検査する検査ステップと、から構成されることを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、個片化後のパッケージを収容トレーに収容した後、収容トレーを通じて各パッケージの収容面つまり収容トレーに載置した面側を観察して検査することができる。従って、収容トレーに並んで配置された複数のパッケージの載置面側を一括して観察することができる。これにより、従来のように一つずつピックアップするような煩雑な作業を極力なくして作業の容易化を図ることができ、観察時間を大幅に短縮してスループット向上を図ることができる。また、パッケージを一つずつ治具で位置決めする手間もなくすことができ、かかるパッケージの取扱いに要する負担を軽減することができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、検査用撮像手段の撮像光に対して透過可能な収容トレーに個々のパッケージを収容し、収容トレーを介して各パッケージの収容面を検査するので、分割された複数のパッケージを容易に検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施の形態に用いるパッケージ基板の概略斜視図である。
【図２】パッケージの概略斜視図である。
【図３】本実施の形態に係るパッケージ収容ステップの説明図である。
【図４】本実施の形態に係る検査ステップの説明図である。
【図５】変形例に係る検査ステップの説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して、本実施の形態に係るパッケージ検査方法について説明する。先ず、図１を参照して、パッケージを形成するためのパッケージ基板について説明する。図１は、本実施の形態に用いるパッケージ基板の概略斜視図である。
【００１１】
図１に示すように、パッケージ基板１０は、複数のＬＥＤをリードフレーム等のフレーム基板（基板）１２にマウントしてボンディングし、各ＬＥＤをエポキシ等の透明樹脂から形成されたドーム状突起物１４で封止して形成されている。パッケージ基板１０上は、格子状に交差する複数の分割予定ライン１５で区画されており、分割予定ライン１５によって区画された各領域にドーム状突起物１４が形成されている。
【００１２】
このようなパッケージ基板１０は、切削装置によって分割予定ライン１５が切削されて図２に示すような個々のパッケージ１８に分割される。パッケージ基板１０の分割に際し、パッケージ基板１０が切削装置（不図示）の吸引テーブル上に吸引保持された状態で、複数の分割予定ライン１５に沿った切削が実施され、パッケージ基板１０が個々のパッケージ１８に分割される。
【００１３】
図２に示すように、ＬＥＤパッケージとなるパッケージ１８は、矩形状の台座１９と、台座１９の中央部に積層されたドーム状突起物１４とから形成される。ドーム状突起物１４は、上述したように透明樹脂からなり、矩形状の台座１９に実装されたＬＥＤを樹脂封止している。
【００１４】
続いて、図３及び図４を参照して、本実施の形態に係るパッケージ検査方法の流れについて説明する。図３及び図４は、パッケージ検査方法における各ステップの説明図である。図３は、パッケージ収容ステップの説明図、図４は、検査ステップの説明図である。なお、図３及び図４に示す各ステップは、あくまでも一例に過ぎず、この構成に限定されるものではない。
【００１５】
図３に示すように、まずパッケージ収容ステップを実施する。パッケージ収容ステップでは、上述のように分割された個々のパッケージ１８が収容トレー２０に収容される。収容トレー２０は、底面部２１と、底面部２１の外周から立設する周面部２２とを備え、底面部２１上に複数のパッケージ１８が直交２方向に整列した状態で収容される。この収容された状態では、各パッケージ１８における台座１９の図３中下面が底面部２１の上面に接触して載置される。かかる台座１９の下面がパッケージ１８における収容面１８ａとなる。
【００１６】
収容トレー２０は、後述する光学顕微鏡３５（検査用撮像手段、図４参照）から照射される撮像光に対して透過可能な材質によって形成される。撮像光が可視光線である場合、収容トレー２０はガラスやアクリル樹脂等の透明な材質とされる。ここで、撮像光は、可視光線だけでなく赤外線や紫外線等の光線としてもよい。この場合、収容トレー２０の材質は撮像光を透過可能なものであればよく、光学顕微鏡３５に代えて撮像光の波長に感度を有する他の検査用撮像手段を使用すればよい。
【００１７】
図４に示すように、パッケージ収容ステップを実施した後には検査ステップが実施される。検査ステップでは、個々のパッケージ１８を収容した収容トレー２０がテーブル３０の天板３１上に載置される。この天板３１においても、光学顕微鏡３５から照射される撮像光に対して透過可能な材質によって形成される。収容トレー２０が天板３１に載置された後、テーブル３０の上下両側に設置された光学顕微鏡３５からパッケージ１８に向かって撮像光が照射される。下方の光学顕微鏡３５から発せられた撮像光は、天板３１及び収容トレー２０を透過してパッケージ１８の収容面１８ａに照射される。収容面１８ａでは、その状態に応じて撮像光が反射光として反射され、反射光が収容トレー２０及び天板３１を透過して光学顕微鏡３５に入光して撮像される。この撮像結果は、例えば、各種処理を実行するプロセッサやメモリ等を含む制御手段（不図示）に出力され、画像処理やディスプレイ等に表示することによって収容面１８ａが観察される。このように、検査ステップでは、各パッケージ１８の収容面１８ａが光学顕微鏡３５によって収容トレー２０を介して観察され、収容面１８ａにおける切削加工後の品質が検査される。
【００１８】
上方の光学顕微鏡３５は、本実施の形態では下方の光学顕微鏡３５の真上に配設され、パッケージ１８のドーム状突起物１４側の面を検査する。２つの光学顕微鏡３５とテーブル３０とは、不図示の移動手段によって収容面１８ａの面方向に相対移動可能に設けられる。一つのパッケージ１８が上述のように検査された後、光学顕微鏡３５とテーブル３０とがパッケージ１８の並び方向に相対移動され、引き続き隣のパッケージ１８が検査される。このようなプロセスを繰り返し行うことで、収容トレー２０に並べて収容された各パッケージ１８が順次検査される。
【００１９】
このような実施の形態によれば、収容トレー２０内の複数のパッケージ１８の収容面１８ａ側を、時間を空けず連続的に一括して観察することができる。これにより、従来のように一つずつパッケージ１８をピックアップして観察する場合に比べ、作業工数を削減して容易に観察でき、観察時間の大幅な短縮化を図ることができる。また、パッケージ１８を一つずつ治具で位置決めする必要もないので、それぞれのパッケージ１８を検査する毎に、その向きや位置を調整する負担をなくして取扱性を高めることができる。
【００２０】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状、方向などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。
【００２１】
例えば、検査ステップは、上記実施の形態の方法に限られず、図５に示す方法に変更してもよい。図５は、変形例に係る検査ステップの説明図である。図５の検査ステップは、収容トレー２０の開口側を蓋体４０で塞いでから、蓋体４０と共に収容トレー２０を上下反転させ、各パッケージ１８の収容面１８ａを上向きとして収容トレー２０を通じて表出させてもよい。これにより、上方の光学顕微鏡３５によってパッケージ１８の収容面１８ａを含む両面を検査でき、また、撮像光を透過しないテーブル４２を利用することができる。
【００２２】
また、本発明のパッケージは、ＬＥＤパッケージに限られるものでなく、種々のデバイスパッケージを採用することができる。従って、ドーム状突起物１４のような突起物がないパッケージや、他の形状の突起物が複数形成されるパッケージとしてもよく、サイズも様々なものが対象とされる。
【００２３】
また、収容トレー２０の下面に透明な樹脂シート等を貼付したり透明な膜を形成し、収容トレー２０の下面を損傷から保護したり、かかる下面での撮像光の散乱を抑制して観察精度の向上を図るようにしたりしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００２４】
以上説明したように、本発明は、複数のパッケージを効率よく容易に検査することができるという効果を有し、特に、突起物が一方の面に形成されたパッケージの他方の面を観察して複数のパッケージを検査する方法に有用である。
【符号の説明】
【００２５】
１０  パッケージ基板
１２  フレーム基板（基板）
１５  分割予定ライン
１８  パッケージ
１８ａ  収容面
２０  収容トレー
３５  光学顕微鏡（検査用撮像手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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