(57)【要約】【課題】樹脂を含む複合材が使用された流路の壁に施された耐エロージョン層の剥離を防ぐことのできるインペラを提供すること。【解決手段】インペラ１０の流路１４を区画する壁１５に、樹脂を含む複合材が使用されている。インペラ１０は、流路１４の壁１５に、耐エロージョン性を付与する耐エロージョン層２１と、耐エロージョン層２１、および複合材からなる複合材表面部２３の間に介在する中間層２２とを備えている。中間層２２の硬さは、耐エロージョン層２１の硬さと、複合材表面部２３の樹脂部分の硬さとの間に定められている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも流路の壁に、樹脂を含む複合材が使用されたインペラであって、
前記流路を区画する前記壁に、
耐エロージョン性を付与する耐エロージョン層と、
前記耐エロージョン層、および前記複合材からなる複合材表面部の間に介在する中間層と、を備え、
前記中間層の硬さは、前記耐エロージョン層の硬さと、前記複合材表面部の樹脂部分の硬さとの間に定められている、
ことを特徴とするインペラ。
【請求項２】
前記中間層は、前記複合材表面部にめっきされている、
ことを特徴とする請求項１に記載のインペラ。
【請求項３】
前記耐エロージョン層は、
ＤＬＣ（Diamond‐Like Carbon）、ＣｒＮ、およびＴｉＮのいずれかを用いて形成されている、
ことを特徴とする請求項１または２に記載のインペラ。
【請求項４】
前記耐エロージョン層の硬さは、
ナノインデンテーション法に基づく硬さとして、２０ＧＰａ以上であり、
前記中間層の硬さは、
ナノインデンテーション法に基づく硬さとして、５〜１５ＧＰａである、
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のインペラ。
【請求項５】
少なくとも流路の壁に、樹脂を含む複合材を用いてインペラを成形する工程と、
前記流路を区画する前記壁において前記複合材から形成された複合材表面部にめっき層を施す工程と、
前記めっき層の上に、耐エロージョン性を付与する耐エロージョン層を施す工程と、を備える、
ことを特徴とするインペラの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インペラおよびその製造方法に関し、複合材の使用と、耐エロージョン性の付与に関する。
【背景技術】
【０００２】
遠心圧縮機等を構成するインペラ（羽根車）は、ハブと、シュラウドと、複数のブレードとを備えている。インペラには、ハブと、シュラウドと、隣り合うブレードとで囲まれた流路が形成されている。
インペラにより圧縮される流体には、水滴や塵埃、配管由来の異物等の粒子が含まれており、その粒子がインペラの流路の壁に衝突することで、粒子エロージョンといってインペラの流路の壁が摩耗、減肉する現象が発生する。
特許文献１では、インペラの流路の壁に、溶射により硬い被膜を施すことで、粒子エロ―ジョンの抑止に足りる耐エロージョン性を付与している。
【０００３】
従来、インペラには鋼材等の金属材料が使用されてきたが、近年は、比強度の高さから、炭素繊維強化樹脂やガラス繊維強化樹脂等の複合材の使用も検討されており、かかる複合材からなるインペラが開発されている（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１６９７９９号公報
【特許文献２】特表２０１４−５２７５８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
複合材からなるインペラの実用化が期待されており、具体的な材料や製法、好適な構造および用途等の種々の観点から開発が行われている。
複合材からなるインペラは、特に、比重が小さいため高速で回転させる必要がある低分子量のガス（例えば、水素ガス）を圧縮する遠心圧縮機のインペラとして有望である。
【０００６】
複合材は、炭素繊維やガラス繊維と比べて硬さに劣る樹脂を含んでいる。複合材の樹脂部分に集中的に粒子エロージョンが発生することを避けるため、実用化にあたっては、複合材からなるインペラの流路の壁面に耐エロージョン性を十分に付与する硬い被膜を施す必要がある。
ここで、硬い被膜を施すために、樹脂の軟化点を超える高温のプロセスを用いると、熱により樹脂が変形して形状変化を起こすので、軟化点よりも低い温度で被膜処理を行う必要がある。この観点では、例えば、無電解ニッケル−りんめっき等が考えられるが、無電解ニッケル−りんめっきは、粒子エロージョンに耐えられるだけの硬さには不足する。
【０００７】
硬さの十分な被膜を得るため、典型的にはＰＶＤ（Physical Vapor Deposition）やＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）等の蒸着プロセスが用いられる。処理温度が高温になりがちな蒸着プロセスにあって、樹脂の軟化点以下で被膜処理できたとする。ところが、十分に硬い被膜が、樹脂を含む複合材に施されていると、ガス中の粒子が高速で流路の壁面に衝突した際の複合材樹脂部分の変形に、硬い被膜が追従できないため、剥離に繋がる。
【０００８】
そこで、本発明は、樹脂を含む複合材が使用された流路の壁に、耐エロージョン性を付与するために施された被膜の剥離を防ぐことのできるインペラ、およびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、少なくとも流路の壁に、樹脂を含む複合材が使用されたインペラであって、流路を区画する壁に、耐エロージョン性を付与する耐エロージョン層と、耐エロージョン層、および複合材からなる複合材表面部の間に介在する中間層と、を備え、中間層の硬さは、耐エロージョン層の硬さと、複合材表面部の樹脂部分の硬さとの間に定められていることを特徴とする。
【００１０】
本発明における中間層は、複合材表面部にめっきすることができる。
【００１１】
本発明における耐エロージョン層は、ＤＬＣ（Diamond‐Like Carbon）、ＣｒＮ、およびＴｉＮのいずれかを用いて形成することができる。
【００１２】
本発明における耐エロージョン層の硬さは、ナノインデンテーション法に基づく硬さとして２０ＧＰａ以上であり、中間層の硬さは、ナノインデンテーション法に基づく硬さとして５〜１５ＧＰａであることが好ましい。
「５〜１５ＧＰａ」は、５ＧＰａ以上、１５ＧＰａ以下を意味する。
本明細書に記載された数値全般について、「Ａ〜Ｂ」は、Ａ以上、Ｂ以下を意味する。
ナノインデンテーション法に基づく硬さは、ISO14577及びJIS Z 2255に定められている。
【００１３】
本発明のインペラの製造方法は、少なくとも流路の壁に、樹脂を含む複合材を用いてインペラを成形する工程と、流路を区画する壁において複合材から形成された複合材表面部にめっき層を施す工程と、めっき層の上に、耐エロージョン性を付与する耐エロージョン層を施す工程と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、耐エロージョン層と複合材表面部との中間の硬さである中間層が、耐エロージョン層と複合材表面部との間に介在しており、流路の壁に衝突する粒子が中間層を適度に変形させる。そのことにより、中間層が複合材表面部の変形に追従でき、耐エロージョン層が中間層の変形に追従できるので、層間に過大な応力が作用せず、耐エロージョン層から複合材表面部に掛けての応力分布が緩やかとなる。このため、耐エロージョン層および中間層の剥離を避け、耐エロージョン性を維持することができる。
それに加えて、中間層の変形により衝突の荷重が吸収されることで、複合材表面部の変形量が減少するため、流路の壁を平滑に維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態に係る複合材インペラを示す斜視図である。
【図２】（ａ）は、図１に示す複合材インペラの流路を示す断面図である。ブレードの図示を省略している。（ｂ）は、流路の壁に備えられた被膜構造を示す拡大断面図である。
【図３】（ａ）および（ｂ）は、比較例を示す模式図である。
【図４】被膜構造を備えた複合材インペラの製造工程を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、添付図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。
まず、図１を参照し、インペラ１０の基本的な構成を簡単に説明する。
インペラ１０は、図示しない回転軸に組み付けられて遠心圧縮機を構成する。遠心圧縮機は、典型的には、同軸に配置される複数のインペラ１０を備えており、それらのインペラ１０を回転させることによりガスを順次圧縮する。
【００１７】
インペラ１０は、図１に示すように、軸孔１１０に図示しない回転軸が通されるハブ１１と、ハブ１１の表面に所定の間隔をおいて対向するシュラウド１２と、複数のブレード１３とを備えている。ハブ１１とシュラウド１２との間の空間が複数のブレード１３で仕切られることにより、複数の流路１４が形成されている。
【００１８】
各流路１４は、ハブ１１と、シュラウド１２と、隣り合うブレード１３，１３との間に区画されている。流路１４を区画していて、ガスが接触する壁１５は、ハブ１１と、シュラウド１２と、ブレード１３とにより構成されている。
壁１５の表面は、ハブ１１の表面１１Ａと、シュラウド１２の内側の面１２Ａと、ブレード１３の腹側の面１３Ａと、それに対向するブレード１３の背側の面１３Ｂとから構成されている。
各流路１４は、インペラ１０の内周側に位置する入口１４１と、インペラ１０の外周側に位置する出口１４２とを有している。
【００１９】
ブレード１３と、ブレード１３，１３間の流路１４は、図１に示すように、インペラ１０の径方向および軸方向のいずれに対しても湾曲した形状となっている。
インペラ１０が、図示しない駆動部により、矢印１０Ｒの向きに回転されると、流路１４内のガスが遠心力により加速されるため、入口１４１から流路１４内にガスが吸入され、図１に破線の矢印Ｆで示す向きに流路１４を流れつつ圧縮され、出口１４２から排出される。
【００２０】
次に、インペラ１０の特徴的な構成を説明する。
インペラ１０は、樹脂を含む複合材を用いて一体に形成されている。
インペラ１０に使用可能な複合材は、繊維強化樹脂（Fiber Reinforced Plastics）に代表される。繊維強化樹脂は、炭素繊維やガラス繊維等の強化繊維と、マトリクス樹脂とを含んで構成される。繊維強化樹脂を用いると、比強度が高い部材を得ることができる。
【００２１】
本実施形態のインペラ１０は、水素ガス等の低分子量のガスを圧縮する遠心圧縮機に好適である。それは、低分子量のガスが、エチレンやプロピレン、メタンといった高分子量のガスのようには圧縮比が上がらないことによる。低分子量のガスを圧縮する場合、所望の圧縮比を得るため、インペラ１０の数を増やして圧縮段数を多くするとともに、回転数を増大させる必要がある。しかし、インペラが金属材料から形成されていると、遠心強度から決まる周速の上限を超えるおそれがある。
【００２２】
複合材に含まれる樹脂としては、例えば、エポキシ、ポリイミド、ポリウレタン、不飽和ポリエステル等の熱硬化性樹脂を用いることができ、それらの樹脂は、炭素繊維やガラス繊維と比べて硬度が低い。そのため、流路１４の壁１５に複合材が露出していると、ガスに含まれる粒子の衝突により複合材の樹脂部分に集中的に粒子エロージョンが起き易い。
【００２３】
本明細書では、流路１４を流れるガスに含まれる水滴や塵埃、配管由来の異物等の粒子が流路１４の壁１５に衝突することにより、壁１５が摩耗、減肉したり、粒子により侵食されることを「粒子エロージョン」というものとする。また、粒子エロージョンの抑止に足りる耐性のことを「耐エロージョン性」というものとする。
【００２４】
本実施形態のインペラ１０は、流路１４の壁１５に、複合材の樹脂部分における粒子エロージョンをも抑止可能な十分な耐エロージョン性を付与する被膜構造を備えていることを特徴としている。
かかる被膜構造２０は、図２（ａ）および（ｂ）に示すように、耐エロージョン層２１と、中間層２２との２つの層からなる。
中間層２２は、耐エロージョン層２１と、インペラ１０の母材である複合材の表面部２３との間に介在している。表面部２３は複合材からなる。
【００２５】
流路１４の壁１５に耐エロージョン性を付与するため、まず、被膜構造２０には硬さが要求される。耐エロージョン層２１および中間層２２のいずれも、複合材（ＦＲＰ）の樹脂部分よりも硬い。
【００２６】
耐エロージョン性を付与する観点だけから言えば、複合材の表面部２３に施されている被膜が硬いほど良い。しかし、図３（ａ）に示すように、単に、複合材の表面部２３に、十分な耐エロージョン性を付与する硬い被膜９１が施されている場合は、図３（ｂ）に示すように粒子Ｐが高速で衝突した際に、衝突荷重によって複合材の表面部２３の樹脂部分が変形する一方で、硬い被膜９１は殆ど変形しないので、樹脂部分の変形に被膜９１が追従できない結果、被膜９１が剥離してしまう。
つまり、複合材からなる壁１５の表面部２３に耐エロージョン性を与え、かつそれを維持するためには、被膜が十分に硬いことはもとより、その硬い被膜の剥離を阻止する必要がある。
【００２７】
上述したように被膜９１が剥離する現象は、複合材の表面部２３の樹脂部分と、被膜９１との硬さの差に起因する。
そこで、本実施形態の被膜構造２０（図２）は、粒子エロージョンの抑止に足りる十分な硬さを有する耐エロージョン層２１と、その硬さを下回る硬さである中間層２２とを備えている。中間層２２の硬さは、耐エロージョン層２１の硬さと表面部２３の樹脂部分の硬さとの間に定められている。
つまり、複合材の表面部２３の樹脂部分、中間層２２、および耐エロージョン層２１の順に、段階的に硬さが増大する。
複合材の表面部２３の樹脂部分の硬さの一例を挙げる。当該樹脂部分が、エポキシ系樹脂である場合は、例えば、HRM 80〜100（ロックウェルM）であり、ポリプロピレンである場合は、例えば、HRR 85〜110（ロックウェルR）であり、ナイロンである場合は、例えば、HRR 110（ロックウェルR）である。
【００２８】
耐エロージョン層２１および中間層２２は、母材である複合材の軟化点以下での処理によって施される必要がある。高い形状精度で平滑に形成されている流路１４の壁１５に形状変化を起こさないようにするためである。複合材の軟化点は、複合材に含まれる樹脂の種類にもよるが、高くても２００℃程度である。
そのため、処理温度の観点から、耐エロージョン層２１は、例えば、ＤＬＣ（Diamond‐Like Carbon）、または窒化クロム（ＣｒＮ）、あるいは、窒化チタン（ＴiＮ）から形成することができる。複合材の軟化点以下の処理温度で形成可能な耐エロージョン層２１の硬さは、ナノインデンテーション法に基づく硬さとして、例えば、２０〜２５ＧＰａである。
ナノインデンテーション法は、試料にダイヤモンド圧子を押し込み、荷重（押し込む強さ）と変位（押し込む深さ）とを測定し、得られた荷重−変位曲線から力学物性を算出する。
【００２９】
耐エロージョン層２１の硬さを中間層２２の硬さが大幅に下回っており、粒子が衝突した際に中間層２２の変形も大きいとすれば、中間層２２と耐エロージョン層２１との間で剥離が生じうる。
また、耐エロージョン層２１の硬さを中間層２２の硬さが少し下回っているだけで、粒子が衝突した際に中間層２２が殆ど変形しないようでは、中間層２２と樹脂部分との間で剥離が生じうるので、中間層２２の存在意義がない。
つまり、耐エロージョン層２１の硬さを下回っており、粒子の衝突時の荷重に対して適度に変形する硬さを中間層２２に与える必要がある。そうすると、粒子の衝突により中間層２２が適度に変形するため、樹脂部分、中間層２２、耐エロージョン層２１の相互の境界部分に過大な応力が作用しないので、剥離が生じない。
【００３０】
剥離を防止できる適度な硬さに加え、中間層２２も、母材に形状変化を生じさせない温度の処理により施される必要がある。
上述した適度な硬さと、処理温度との条件に適合する処理の代表例は、めっきである。本実施形態の中間層２２は、めっきにより形成されためっき層である。所望の硬さに応じて適宜なめっきを選定することができる。
例えば、無電解ニッケル−りんめっき、無電解ニッケル−ボロンめっき、ニッケル−りん−ボロンめっき、電気ニッケルめっき、電気クロムめっき等によって中間層２２を形成することができる。
硬さおよび処理温度の条件に適合するめっき層（中間層２２）の硬さは、一例として、ナノインデンテーション法に基づく硬さとして、例えば、５〜１２ＧＰａである。
【００３１】
剥離防止に寄与できる硬さの範囲内で、硬い中間層２２を形成すると、耐エロージョン層２１に加えて中間層２２も、粒子の衝突による壁１５の摩耗、減肉、侵食の進行阻止を受け持つことができるので、耐エロージョン性を向上させることができる。この目的のためには、中間層２２の硬さは、例えば、５ＧＰａ以上であることが好ましい。例えば、クロムめっきにより、その硬さに適合する中間層２２を形成することができる。
【００３２】
耐エロージョン層２１の厚みは、一例として、ＤＬＣの場合、１〜８μmである。
中間層２２の厚みは、一例として、Ｃｒめっきの場合は５〜２０μmであり、無電解ニッケル−りんめっきの場合は２〜３０μmである。
【００３３】
以上で説明した被膜構造２０は、流路１４の壁１５の表面全域に亘り設けることもできるし、粒子エロージョンが生じ易いため耐エロージョン性の付与が特に必要な壁１５の特定の範囲にのみ設けることもできる。粒子エロージョンが生じ易い箇所は、流路１４の形状や運転条件にもよるが、例えば、流路１４の壁１５の曲率半径が小さいところで粒子エロージョンが生じ易い場合は（例えば、図２（ａ）に破線の矢印で示した箇所）、当該箇所およびその近傍にのみ、被膜構造２０を設けることができる。
【００３４】
以下、図４を参照し、インペラ１０の製造方法の一例について説明する。
まず、炭素繊維強化樹脂やガラス繊維強化樹脂等の複合材を用いてインペラ１０を成形する（成形工程Ｓ１）。複合材を用いる成形方法としては、積層した半硬化のプリプレグをオートクレープにより高圧力・高温下で硬化させる方法や、ＶａＲＴＭ（Vacuum assisted Resin Transfer Molding）等を採用することができる。
ＶａＲＴＭは、繊維基材および成形型が配置されたキャビティ内を真空ポンプで吸引して減圧することにより、樹脂の供給源からキャビティ内に樹脂を注入するとともに、キャビティ内と大気との圧力差により加圧しながら樹脂に維基材を含浸させる。その状態で樹脂を加熱して硬化させると、繊維強化樹脂からなる成形物を得ることができる。流路１４に相当する箇所には中子用成形型を配置し、樹脂の硬化後に、中子用成形型を破砕あるいは溶解させることで除去すればよい。
【００３５】
次に、インペラ１０の流路１４の壁１５に、複合材にめっきを施すために必要な前処理を行う（前処理工程Ｓ２）。
この前処理、および次の工程Ｓ３であるめっき、そしてめっき層に重ねる耐エロージョン層の形成（工程Ｓ４）は、流路１４の壁１５において耐エロージョン性の付与が必要な範囲に亘り行えばよい。
【００３６】
前処理工程Ｓ２では、次のめっき工程Ｓ３で行うめっきの材料およびめっきの手法に応じて、適切な前処理を選択できる。
例えば、前処理の一例を図４に示すように、洗浄・脱脂Ｓ２１、エッチング等による表面粗化あるいはプラズマ照射等による表面改質Ｓ２２、触媒金属（パラジウム−すず錯体等）の担持および活性化（金属パラジウム生成）Ｓ２３を行う。
【００３７】
前処理が済んだならば、複合材からなる表面部２３に無電解めっきあるいは電気めっきを施す（めっき工程Ｓ３）。
無電解ニッケル−りんめっき、無電解ニッケル−ボロンめっき等の無電解めっきを行う場合は、金属イオンおよび還元剤を含むめっき液にインペラ１０を浸漬することなどによって、流路１４の壁１５にめっき液を供給し、金属イオンおよび還元剤の化学反応により金属イオンを壁１５上に金属として還元析出させる。壁１５においてめっきする範囲の全域をめっき液に接触させることで、均一な厚みの無電解めっき層を表面部２３に施すことができる。無電解めっきの場合、流路１４の形状に倣った電極は必要ない。
めっき工程Ｓ３では、めっき液の金属イオン濃度等を管理しながら、また、必要に応じてめっき液に流動を与えながら表面部２３にめっきを施すことが好ましい。
めっき工程Ｓ３を経ることで、中間層２２としてのめっき層が複合材の表面部２３に施される。
【００３８】
続いて、中間層２２の上に、耐エロージョン層２１を形成する（耐エロージョン層形成工程Ｓ４）。これによって被膜構造２０が完成する。
ＣＶＤやＰＶＤ等のドライプロセスにより、ＣｒＮ、あるいはＤＬＣからなる被膜として、耐エロージョン層２１を中間層２２の上に形成することができる。ＤＬＣを形成する場合は、硬さを向上させるため、水素含有量を減らすことが好ましい。
ＣｒＮ、あるいはＤＬＣのドライプロセスは、複合材の軟化点以下で行えるため、複合材への入熱による形状変化を起こさずに済む。
以上により、流路１４の壁１５に使用された複合材の表面部２３に、中間層２２および耐エロージョン層２１からなる被膜構造２０を備えたインペラ１０を得ることができる。
【００３９】
インペラ１０が組み込まれた遠心圧縮機を運転させると、インペラ１０が高速で回転され、ガスに混入した粒子が流路１４の壁１５に衝突する。
ここで、被膜構造２０によれば、粒子が流路１４の壁１５に衝突した際に、衝突の荷重が耐エロージョン層２１の背面に位置する中間層２２を変形させながら複合材の表面部２３に伝わることとなる。
仮に、中間層２２が存在しない場合は（図３参照）、衝突荷重による表面部２３の変形に耐エロージョン層２１が追従できないため耐エロージョン層２１と表面部２３との境界部分に過大な応力が作用する。それに対して、本実施形態（図２）では耐エロージョン層２１と表面部２３との間に介在し、かつそれらの中間の硬さの中間層２２の存在により、耐エロージョン層２１から表面部２３に掛けて、応力が急激に変化しないで、応力分布が緩やかとなる。その応力分布下では、複合材（ＦＲＰ）の樹脂部分の変形に中間層２２が追従でき、中間層２２の変形に耐エロージョン層２１が追従できるので、樹脂部分からの中間層２２の剥離、および中間層２２からの耐エロージョン層２１の剥離を避けられる。しかも、中間層２２の変形により衝突の荷重が吸収されることで、複合材の表面部２３の変形量が減少するので、粒子の衝突による窪みを作らずに流路１４の壁１５を平滑に維持することができる。
【００４０】
以上で説明した本実施形態によれば、樹脂を含む複合材が使用された流路１４の壁１５に、製造過程で形状変化を起こすことなく十分な耐エロージョン性を有する被膜構造２０を具備することができる上、運転中の粒子の衝突による被膜構造２０の剥離を防いで耐エロージョン性を維持することができる。
【００４１】
上記以外にも、本発明の主旨を逸脱しない限り、上記実施形態で挙げた構成を取捨選択したり、他の構成に適宜変更することが可能である。
上記実施形態の被膜構造２０において、耐エロージョン層２１および中間層２２はそれぞれ単一の層であるが、これらのうちの一方または両方を複数の層から構成することもできる。例えば、複合材の表面部２３の上に、第１の中間層および第２の中間層が順次施されており、第２の中間層の上に、耐エロージョン層２１が施されていてもよい。この場合、複合材の表面部２３の樹脂部分、第１の中間層、第２の中間層、および耐エロージョン層２１の順に、硬さが増大するように、第１、第２の中間層の各々の硬さを設定すればよい。そうすることによって、耐エロージョン層２１から表面部２３に掛けての応力変化がより緩やかとなるので、剥離防止に寄与できる。
複合材の表面部２３の樹脂部分、中間層２２、および耐エロージョン層２１の相互間の硬さの関係が成り立つ限りにおいて、これらの間に、硬さを無視できる程度の薄い層が介在していることも許容される。例えば、中間層２２と耐エロージョン層２１との間に、それらの層の密着力を向上させるためにＳｉやＴｉを含む層を介在させることができる。
【００４２】
本発明においては、樹脂を含む複合材により必ずしもインペラ１０の全体が構成されている必要はない。少なくとも流路１４の壁１５の一部が複合材から構成されていれば、その部分に耐エロージョン性を付与する被膜を施し、その被膜の剥離を防止するために、本発明を利用することができる。
【００４３】
本発明のインペラは、遠心圧縮機の他にも、送風機、遠心ポンプ等の遠心回転機械に適用することができる。
【符号の説明】
【００４４】
１０      インペラ
１０Ｒ    矢印
１１      ハブ
１２      シュラウド
１３      ブレード
１４      流路
１５      壁
２０      被膜構造
２１      耐エロージョン層
２２      中間層（めっき層）
２３      複合材表面部
９１      被膜
１１０    軸孔
１４１    入口
１４２    出口
Ｆ        矢印
Ｐ        粒子
Ｓ１      成形工程
Ｓ２      前処理工程
Ｓ２１    洗浄・脱脂
Ｓ２２    表面改質
Ｓ３      めっき工程
Ｓ４      耐エロージョン層形成工程
【図１】
2017180179.tif 000003
【図２】
2017180179.tif 000004
【図３】
2017180179.tif 000005
【図４】
2017180179.tif 000006