(57)【要約】【課題】混色を抑制しつつ光の取り出し効率を向上させることができる有機ＥＬ表パネルの提供。【解決手段】基板１０３と、複数の駆動回路１０２による凹凸を平坦化する平坦化膜１０４と、平坦化膜１０２の表面に配置される第一バンク１５１と、第一バンク１５１の間に配置される陽極膜１１１と、第一バンク１５１の上部に配置され、第一バンク１５１よりも撥液性の高い第二バンク１５２とを備える有機ＥＬ表示パネル。【選択図】図２
2017091802.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の有機ＥＬ素子と、前記有機ＥＬ素子を駆動する駆動回路とを備える有機ＥＬ表示パネルであって、
基板と、
前記基板上に設けられた複数の前記駆動回路による凹凸を平坦化する絶縁性の平坦化膜と、
前記平坦化膜の表面に突出状態で配置される複数の第一バンクと、
隣り合う前記第一バンクの間の前記平坦化膜上に配置され、前記駆動回路とそれぞれ接続される複数の陽極膜と、
前記第一バンクの上部に配置され、前記第一バンクよりも撥液性の高い複数の第二バンクと
を備える有機ＥＬ表示パネル。
【請求項２】
前記平坦化膜の表面に対する前記第二バンクのテーパ面の傾斜角は、第一バンクのテーパ面の傾斜角よりも大きい
請求項１に記載の有機ＥＬ表示パネル。
【請求項３】
前記陽極膜の端縁部は、前記第一バンクのテーパ面に乗り上がった状態で配置される
請求項１または２に記載の有機ＥＬ表示パネル。
【請求項４】
前記第二バンクは、前記有機ＥＬ素子が放射する光に対し透明であり、前記陽極膜の端縁を覆うように配置される
請求項１〜３のいずれか一項に記載の有機ＥＬ表示パネル。
【請求項５】
前記第一バンクは前記平坦化膜と一体である
請求項１〜４のいずれか一項に記載の有機ＥＬ表示パネル。
【請求項６】
複数の有機ＥＬ素子と、前記有機ＥＬ素子を駆動する駆動回路とを備える有機ＥＬ表示パネルの製造方法であって、
基板上に複数の前記駆動回路を形成する駆動回路形成ステップと、
前記基板上に設けられた複数の前記駆動回路による凹凸を平坦化する絶縁性の平坦化膜を形成する平坦化膜形成ステップと、
前記平坦化膜から突出する複数の第一バンクを形成する第一バンク形成ステップと、
隣り合う前記第一バンクの間に前記駆動回路と接続される陽極膜を形成する陽極形成ステップと、
前記第一バンクの上部に前記第一バンクよりも撥液性の高い第二バンクを形成する第二バンク形成ステップと
を含む有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬ表示パネル及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ表示パネルは、基板上にマトリクス状に配置される複数の駆動回路と、駆動回路にそれぞれ接続される複数の有機ＥＬ素子を備えている。各有機ＥＬ素子は、陽極と陰極からなる電極対と、電極対に挟まれた有機発光層などの機能層を備えている。また、駆動回路と有機ＥＬ素子との間には、駆動回路による凹凸を平坦化する平坦化膜が形成されている。
【０００３】
有機発光層を塗布法によって形成する場合には、平坦化膜から突出状に形成されるバンクで規定された領域に液状物質を充填し、それを乾燥させることによってバンクの間に所望の膜厚の有機発光層を形成する。
【０００４】
有機発光層の膜厚は、発光輝度などに影響があるため、例えば特許文献１には、バンクのテーパ面の上部表面に撥液性の膜を設けて液状物質が付着する部分のぬれ性を制御し、有機発光層の膜厚の均一化を図っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−９７９５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが昨今では、有機ＥＬ表示パネルの高精細化が進んでおり、隣り合うバンク間の距離も狭くなる傾向にある。このようにバンク間の距離が狭くなると、光を取り出す開口面積が小さくなるため、光の取り出し効率が低下する。
【０００７】
また、光の取り出し効率を改善するためにバンクを透明にすると、光がバンクを透過して混色することになる。
【０００８】
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、隣り合う画素間の混色を低減し、光の取り出し効率を向上させることができる有機ＥＬ表示パネル、および、有機ＥＬ表示パネルの製造方法の提供を目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本願発明にかかる有機ＥＬ表示パネルは、複数の有機ＥＬ素子と、前記有機ＥＬ素子を駆動する駆動回路とを備える有機ＥＬ表示パネルであって、基板と、前記基板上に設けられた複数の前記駆動回路による凹凸を平坦化する絶縁性の平坦化膜と、前記平坦化膜の表面に突出状態で配置される複数の第一バンクと、隣り合う前記第一バンクの間の前記平坦化膜上に配置され、前記駆動回路とそれぞれ接続される複数の陽極膜と、前記第一バンクの上部に配置され、前記第一バンクよりも撥液性の高い複数の第二バンクとを備える。
【００１０】
また、上記目的を達成するために、本願発明にかかる有機ＥＬ表示パネルの製造方法は、複数の有機ＥＬ素子と、前記有機ＥＬ素子を駆動する駆動回路とを備える有機ＥＬ表示パネルの製造方法であって、基板上に複数の前記駆動回路を形成する駆動回路形成ステップと、前記基板上に設けられた複数の前記駆動回路による凹凸を平坦化する絶縁性の平坦化膜を形成する平坦化膜形成ステップと、前記平坦化膜から突出する複数の第一バンクを形成する第一バンク形成ステップと、隣り合う前記第一バンクの間に前記駆動回路と接続される陽極膜を形成する陽極形成ステップと、前記第一バンクの上部に前記第一バンクよりも撥液性の高い第二バンクを形成する第二バンク形成ステップとを含むことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明により、第一バンクにより画素間の光の混色を抑制することができる。また、第一バンクに端縁部が覆われることなく陽極膜が形成されるため、光の取り出し効率を向上させることができる。さらに、塗布法により有機発光層を形成する際において、バンク間に塗布された液状物質の形状を第二バンクにより制御することができるため、有機発光層の膜厚を有効に制御することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、有機ＥＬ表示パネルの一部を示す断面図である。
【図２】図２は、有機ＥＬ表示パネルの一画素分を示す断面図である。
【図３】図３は、有機ＥＬ素子を発光させる駆動回路の回路構成図の一例を示す図である。
【図４】図４は、ピニングポイントの高さによる有効膜厚領域の違いを示す図である。
【図５】図５は、有機ＥＬ表示パネルの製造工程を順に示す図である。
【図６】図６は、別態様の有機ＥＬ表示パネルの一画素分を示す断面図である。
【図７】図７は、別態様の有機ＥＬ表示パネルの一画素分を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
次に、本願発明に係る有機ＥＬ表示パネル、および、有機ＥＬ表示パネルの製造方法の実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、以下の実施の形態は、本願発明に係る有機ＥＬ表示パネル、および、有機ＥＬ表示パネルの製造方法の一例を示したものに過ぎない。従って本願発明は、以下の実施の形態を参考に請求の範囲の文言によって範囲が画定されるものであり、以下の実施の形態のみに限定されるものではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、本発明の課題を達成するのに必ずしも必要ではないが、より好ましい形態を構成するものとして説明される。
【００１４】
また、図面は、本願発明を示すために適宜強調や省略、比率の調整を行った模式的な図となっており、実際の形状や位置関係、比率とは異なる場合がある。
【００１５】
＜有機ＥＬ表示パネル＞
図１は、有機ＥＬ表示パネルの一部を示す断面図である。
【００１６】
同図に示すように、有機ＥＬ表示パネル１００は、画像などを表示するためのパネルであって、マトリクス状に配置された複数の有機ＥＬ素子１０１と、有機ＥＬ素子１０１を駆動する駆動回路１０２とを備えている。なお、本実施の形態の場合、有機ＥＬ表示パネル１００は、トップエミッション型として説明する。
【００１７】
図２は、有機ＥＬ表示パネルの一画素分を示す断面図である。
【００１８】
同図に示すように詳細には、有機ＥＬ表示パネル１００は、基板１０３と、平坦化膜１０４と、第一バンク１５１と、第二バンク１５２と、陽極膜１１１と、正孔注入層１１２と、中間層１１３と、有機発光層１１４と、電子注入層１１５と、陰極膜１１６と、封止膜１０６とを備えている。なお、有機ＥＬ素子１０１は、陽極膜１１１と、正孔注入層１１２と、中間層１１３と、有機発光層１１４と、電子注入層１１５と、陰極膜１１６とを備えており、また、正孔注入層１１２と、中間層１１３と、有機発光層１１４と、電子注入層１１５とを機能層と称する。
【００１９】
基板１０３は、有機ＥＬ表示パネル１００の構造的基礎となる板状の部材である。基板１０３の材質は、特に限定されるものではないが、絶縁性を有するものが好ましい。基板１０３の材質としては、ガラスやＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）、ＰＩ（ポリイミド）などを例示することができる。
【００２０】
駆動回路１０２は、接続される有機ＥＬ素子１０１を要求される電流で駆動し、要求される種類の光を放射させるための回路である。駆動回路１０２は、複数の薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を組み合わせることにより構成されている。
【００２１】
図３は、有機ＥＬ素子を発光させる駆動回路の回路構成図の一例を示す図である。
【００２２】
同図に記載された駆動回路１０２は、駆動トランジスタ２１７と、選択トランジスタ２１８と、コンデンサ２１９とを備える。マトリクス状に配置された有機ＥＬ素子１０１の列ごとにデータ線２３１が配置され、有機ＥＬ素子１０１の行ごとに走査線２４１が配置されている。また、全ての有機ＥＬ素子１０１に共通して正電源線２５１及び負電源線２５２が配置されている。選択トランジスタ２１８のドレイン電極はデータ線２３１に、選択トランジスタ２１８のゲート電極は走査線２４１に、さらに、選択トランジスタ２１８のソース電極は、コンデンサ２１９及び駆動トランジスタ２１７のゲート電極に接続されている。また、駆動トランジスタ２１７のソース電極は正電源線２５１に接続され、ドレイン電極は有機ＥＬ素子１０１の陽極膜１１１（アノード）に接続されている。
【００２３】
平坦化膜１０４は、基板１０３上に設けられた複数の駆動回路１０２による凹凸を平坦化する絶縁性の膜である。平坦化膜１０４の材質は、絶縁性を備えていれば有機材料、無機材料のいずれでもかまわない。具体的には、平坦化膜１０４を構成する材料として、酸化ケイ素などの無機材料、ポリイミド系、アクリル系、シクロテン系、ノボラック系の有機材料を例示することができる。
【００２４】
本実施の形態の場合、平坦化膜１０４は、第一バンク１５１を一体に備えるため、ポジ型の感光性樹脂材料が採用されている。
【００２５】
第一バンク１５１は、平坦化膜１０４の表面に突出状態で配置される隔壁であり、隣り合う有機ＥＬ素子１０１を隔てる部材である。第一バンク１５１は、ピクセルバンクであってもラインバンクであってもよい。
【００２６】
第一バンク１５１は、絶縁性材料により形成されていればよいが、隣り合う有機ＥＬ素子１０１の混色を抑制するため、可視光を遮蔽できるものであることが好ましい。さらに第一バンク１５１は、有機ＥＬ表示パネル１００の製造過程において、エッチング処理、ベーク処理などがされることがあるので、それらの処理に対する耐性の高い材質であることが好ましい。
【００２７】
本実施の形態の場合、第一バンク１５１は、平坦化膜１０４の形成と同じ工程で平坦化膜１０４と一体に形成されるため、平坦化膜１０４と同じポジ型の感光性樹脂材料で形成される。
【００２８】
第一バンク１５１の形状は特に限定されるものではないが、図２に示すように、平坦化膜１０４から遠ざかるに従い隣り合う第一バンク１５１間の距離が拡がるような順テーパ状を例示することができる。なお、図２は、模式図であり、第一バンク１５１の両側面を形成するテーパ面は膨出状の曲面となっている。
【００２９】
第一バンク１５１のテーパ面の傾斜角度θ１は、特に制限されないが、２０°〜９０°の範囲内が好ましく、３０°〜５０°の範囲内であることがさらに好ましい。
【００３０】
また、第一バンク１５１の高さは特に制限されないが、約０．３〜３μｍである。
【００３１】
また第一バンク１５１は、親液性であることが好ましい。平坦化膜１０４、および、第一バンク１５１の表面に陽極膜１１１を成膜する際の密着性などを向上させることができるためである。
【００３２】
第二バンク１５２は、第一バンク１５１の上部に配置され、第一バンク１５１よりも撥液性の高い部材である。
【００３３】
第二バンク１５２は、絶縁性材料により形成されていればよいが、有機発光層１１４を形成する液状物質と接触するものであるため第一バンク１５１よりも有機溶剤耐性が高いことが好ましい。また、第二バンク１５２は、有機ＥＬ素子１０１からの光の取り出し効率を向上させるため、有機ＥＬ素子１０１が放射する光に対し透明であることが好ましい。ここで、有機ＥＬ素子１０１は、赤・緑・青の可視光を放射する場合、第二バンク１５２は、これらのいずれの光に対しても透明であることが好ましい。さらに第二バンク１５２は、第一バンク１５１と同様に、エッチング処理、ベーク処理などに対する耐性の高い材質であることが好ましい。
【００３４】
第二バンク１５２の材質は、樹脂などの有機材料であっても、ガラスなどの無機材料であってもよい。有機材料としては、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂などを例示することができ、無機材料としては、酸化ケイ素や窒化ケイ素を例示することができる。
【００３５】
本実施の形態の場合、第二バンク１５２は、第一バンク１５１と異なるネガ型の感光性樹脂材料が採用されている。これにより、第一バンク１５１上の任意の位置に任意の形状で第二バンク１５２を形成し易くなる。
【００３６】
第二バンク１５２の形状は特に限定されるものではないが、図２に示すように、第一バンク１５１のテーパ面の傾斜角度θ１より第二バンク１５２のテーパ面の傾斜角度θ２が大きいものとなっている。また、第二バンク１５２のテーパ面の傾斜角度θ２は、基板１０３に対し垂直（９０度）であってもよく、さらに、上部が張り出したいわゆるオーバーハング状態（９０度より大）でもかまわない。
【００３７】
本実施の形態の場合、第二バンク１５２は、第一バンク１５１の裾部に乗り上がるように配置される陽極膜１１１の端縁を第一バンク１５１と共に挟むように配置されている。また、第二バンク１５２は、第一バンク１５１の上部をほぼ覆うように（図１参照）配置されている。
【００３８】
第一バンク１５１と第二バンク１５２との高さの合計は特に制限されないが、例えば約０．３〜３μｍの範囲内が好ましい。
【００３９】
また第二バンク１５２の少なくとも表面は撥液性を有することが好ましい。これにより、隣り合う第二バンク１５２の間に液状物質を第二バンク１５２よりも高くなるように充填した場合でも、液状物質の表面張力により第二バンク１５２の外部に液状物質が漏れ出ることを防止できる。
【００４０】
本実施の形態の場合、第二バンク１５２は、撥液性を確保するためフッ素材料を添加した感光性樹脂材料が採用されている。この場合、第二バンク１５２を形成する際にフッ素材料が上方に浮き上がり、第二バンク１５２の上部が比較的強く撥液性を呈することになる。ただし、本実施の形態の場合、第二バンク１５２は、第一バンク１５１に比べて肉薄であり、フッ素材料があまり浮き上がらないため第二バンク１５２の下方にまで撥液性を発揮させることができる。
【００４１】
ここで、隣り合う第二バンク１５２に挟まれた領域内に塗布された液状物質（例えば有機発光層の原料を含むインク）の液滴が、乾燥により臨界濃度に達したときにセルフピンニングするときの位置をピニングポイントＰと称する。図４に示すように、一般的にピニングポイントＰが低いほど隣り合う第二バンク１５２に挟まれた領域内に塗布された液状物質の周縁部がぬれによって第二バンク１５２に沿って持ち上がるいわゆる持ち上がりが低くなり、膜厚が均一な有効膜厚領域Ｓを広くすることができる。そして、このピニングポイントＰは、撥液性と親液性との境界に発生する。本実施の形態の場合、このピニングポイントＰの位置を低くすることができるため、例えば有機発光層１１４の有効膜厚領域Ｓを広くすることができる。従って、高い輝度の有機ＥＬ表示パネル１００を提供することが可能となる。
【００４２】
なお、「撥液性」および「親液性」との語は、相対的な意味で用いており、ピニングポイントＰが存在する位置より上部を撥液性あり、下部を親液性有りとして説明しているが、これらは傾斜状態で変化するため明確な境界が存在するものではない。
【００４３】
陽極膜１１１は、隣り合う第一バンク１５１の間の平坦化膜１０４上に配置され、駆動回路１０２とそれぞれ接続される電極である。
【００４４】
本実施の形態の場合、有機ＥＬ表示パネル１００は、トップエミッション型であり、陽極膜１１１は、光反射性を備えた反射陽極として機能している。光反射性を有する陽極膜１１１は、単層、または、複数層からなるものであり、陽極膜１１１の材質としては、Ａｇ（銀）、ＡＰＣ合金（銀、パラジウム、銅の合金）やＡＲＡ（銀、ルビジウム、金の合金）、ＭｏＣｒ（モリブデンとクロムの合金）、ＮｉＣｒ（ニッケルとクロムの合金）、ＡＬ合金などを例示することができる。
【００４５】
本実施の形態の場合、陽極膜１１１の両端縁部は、隣り合う第一バンク１５１のそれぞれのテーパ面に乗り上がった状態で配置されている。これは、第一バンク１５１が形成された後に陽極膜１１１を形成することにより得られる構造である。当該構造を採用することにより、陽極膜１１１の端縁部も反射面として利用することができ、有機ＥＬ素子１０１から第一バンク１５１や第二バンク１５２に向かって放射される光を反射して光の取り出し効率を向上させることが可能となる。
【００４６】
正孔注入層１１２は、陽極膜１１１からの正孔の注入効率を高める機能を有する。正孔注入層１１２を構成する材料は、ＰＥＤＯＴ−ＰＳＳ（ポリスチレンスルホン酸をドープしたポリエチレンジオキシチオフェン）やポリ３,４-エチレンジオキシチオフェンやその誘導体などの有機材料を例示することができる。
【００４７】
中間層１１３（インターレイヤー）は、有機発光層１１４に効率よく正孔を運ぶ役割を有する層である。中間層１１３の材質の例には、トリフェニルアミンやポリアニリンなどが含まれる。
【００４８】
有機発光層１１４は、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）などの発光色に対応した電力の供給により自発光する有機発光材料を含む層である。また、有機発光層１１４に含まれる有機発光材料としては、ポリフェニレンビニレンおよびその誘導体、ポリアセチレンおよびその誘導体、ポリフェニレンおよびその誘導体、ポリパラフェニレンエチレンおよびその誘導体、ポリ３-ヘキシルチオフェンおよびその誘導体、ポリフルオレンおよびその誘導体などを例示することができる。
【００４９】
電子注入層１１５は、陰極膜１１６から注入された電子を有機発光層１１４へ輸送する層である。電子注入層１１５の材質としては、バリウム、フタロシアニン、フッ化リチウム、これらの組み合わせなどを例示することができる。
【００５０】
陰極膜１１６は、有機発光層１１４に発光のための電子を供給する膜である。本実施の形態の場合、有機ＥＬ表示パネル１００は、トップエミッション型であるため、陰極膜１１６の材質は、可視光が透過しやすいＩＴＯ膜などの透明の材質が採用される。
【００５１】
封止膜１０６は、陰極膜１１６上に配置され、有機ＥＬ素子１０１などが水分に曝されたり、空気に曝されたりすることを抑制するための膜である。封止膜１０６は、第一バンク１５１および第二バンク１５２によって規定された領域を超えて隣り合う有機ＥＬ素子１０１と接続していてもよい。本実施の形態の場合、有機ＥＬ表示パネル１００はトップエミッション型であるため、封止膜１０６は、各有機ＥＬ素子１０１から放射される可視光を透過することができる透明の材料で構成されている。
【００５２】
＜有機ＥＬ表示パネルの製造方法＞
次に、複数の有機ＥＬ素子１０１と、有機ＥＬ素子１０１を駆動する駆動回路１０２とを備える有機ＥＬ表示パネル１００の製造方法を説明する。
【００５３】
有機ＥＬ表示パネル１００の製造方法を概説すれば以下のステップを含んでいる。
【００５４】
１）基板１０３上に複数の駆動回路１０２を形成する駆動回路形成ステップ、
２）複数の駆動回路１０２による凹凸を平坦化する平坦化膜形成ステップ、
３）平坦化膜１０４から突出する複数の第一バンク１５１を形成する第一バンク形成ステップ、
４）隣り合う第一バンク１５１の間に駆動回路１０２と接続される陽極膜１１１を形成する陽極形成ステップ、
５）第一バンクの上部に前記第一バンクよりも撥液性の高い第二バンクを形成する第二バンク形成ステップ、
６）バンクで規定された領域に、有機発光層を含む機能層を形成する機能層形成ステップ。
【００５５】
＜＜駆動回路形成ステップ＞＞
図５の（ａ）に示すように、駆動回路１０２は、一般的な方法に基づき基板１０３上に形成される。例えば、ガラス基板などの基板１０３の上に物理蒸着法や化学蒸着法を用いてゲート電極を形成し、ゲート電極を覆って基板１０３上にゲート絶縁層を形成する。さらに、ゲート絶縁層上にソース電極及びドレイン電極（以下、これらを併せて「ＳＤ電極」とも記す。）を互いに離れた位置に形成し、ＳＤ電極を覆うように半導体層が形成することにより駆動回路１０２が形成される。
【００５６】
＜＜平坦化膜形成ステップおよび第一バンク形成ステップ＞＞
次に、図５の（ｂ）に示すように、駆動回路１０２が設けられた基板１０３の上に、ポジ型の感光性樹脂材料１４１を液面が平坦になるまで塗布する。そして、ハーフトーンマスク１４２などを用いて感光性樹脂材料１４１の所定の位置に光を当て、図５の（ｃ）に示すように、平坦化膜１０４と第一バンク１５１とを形成する。
【００５７】
なお、平坦化膜１０４と第一バンク１５１とは、別工程で形成してもかまわない。また、平坦化膜１０４、第一バンク１５１の一方、または、両方を化学蒸着法などを用いて無機材料で形成してもかまわない。
【００５８】
＜＜陽極形成ステップ＞＞
次に、図５の（ｄ）に示すように、隣り合う第一バンク１５１の間に、端部が第一バンク１５１のテーパ面に乗り上がるように陽極膜１１１を形成する。陽極膜１１１を形成する方法としては、蒸着、スパッタリング等を例示することができる。また、フォトリソグラフィ法を用いて形成してもかまわない。
【００５９】
＜＜第二バンク形成ステップ＞＞
図５の（ｅ）に示すように、陽極膜１１１が設けられた基板１０３の上に、ネガ型の感光性樹脂材料１５３を液面が第一バンク１５１を越えるまで塗布する。そして、マスク１５４などを用いて感光性樹脂材料１５３の所定の位置に光を当て、図５の（ｆ）に示すように、第二バンク１５２を形成する。
【００６０】
なお、ネガ型の感光性樹脂材料１５３を用いることで、第二バンク１５２のテーパ面の傾斜を容易に調整することが可能となる。例えば、テーパー面を垂直にしたり、オーバーハングさせることも可能であり、さらに、第一バンク１５１のテーパー面に乗り上がった状態で配置される陽極膜１１１の端部の一部を露出させた状態にすることも可能である。
【００６１】
第二バンク１５２のテーパ面の傾斜角度により、ピニングポイントＰの高さを調整することが可能と考えられている。例えば、テーパ面を垂直やオーバーハングさせた状態では、ピニングポイントＰを低く抑えることが可能である。
【００６２】
また、感光性樹脂材料１５３を第一バンク１５１を越えないように塗布することにより、第一バンク１５１の頂上部を露出させた状態とすることも可能である。また、第二バンク１５２を化学蒸着法などを用いて無機材料で形成してもかまわない。
【００６３】
＜＜機能層形成ステップ＞＞
次に、図５の（ｇ）に示すように、第二バンク１５２が規定する領域に正孔注入層１１２と、中間層１１３と、有機発光層１１４と、電子注入層１１５とからなる機能層を順次塗布法により形成する。塗布方法は、機能材料を含むインクを、インクジェット、ディスペンサー、ノズルコート、スピンコート、凹版印刷、凸版印刷などを例示することができる。また、各層を塗布後、乾燥することにより層を形成する。なお、図には各層の厚みが正確には記載されていないが、有機発光層１１４が最も厚く、有効膜厚領域Ｓの大きさは、ほぼ有機発光層１１４の形成時に決定される。
【００６４】
＜＜陰極形成ステップ＞＞
次に、電子注入層１１５の上に、例えばＩＴＯなどの陰極膜１１６（材質：ＩＴＯ、厚さ：１００ｎｍ）を、スパッタ法などにより形成し、最後に、封止膜１０６を基板１０３全体にわたって形成する。
【００６５】
以上によって、有機ＥＬ表示パネル１００が製造される。
【００６６】
以上の有機ＥＬ表示パネル１００、および、有機ＥＬ表示パネルの製造方法によれば、第一バンク１５１を形成後、反射膜として機能する陽極膜１１１を形成するため、平坦化膜１０４を含めた第一バンク１５１の形状によって、陽極膜１１１の形状を容易に制御することが可能となる。従って、有機発光層１１４から放射される光を効果的に反射させる構造を容易に実現することができ、光の取り出し効率を向上させることが可能となる。
【００６７】
また、陽極膜１１１が、陰極膜１１６の近くまで延在する場合でも、第二バンク１５２により絶縁を確保することができるため、ショートなどの不具合の発生を抑制することが可能となる。
【００６８】
また、第一バンク１５１と第二バンク１５２とを異なる材質で形成することで、隣り合う有機ＥＬ素子１０１同士の発光色の混色を第一バンク１５１で防止しつつ、第二バンク１５２を透明とすることで光の取り出し効率を向上させることが可能となる。また、これにより、第一バンク１５１と第二バンク１５２との合計の高さを高くすることができるため、有機発光層１１４を形成する際にバンクを越えて液状物質が混ざり合うことを防止できる。
【００６９】
さらに、第二バンク１５２のテーパ面の傾斜角、および、第二バンク１５２に含まれるフッ素材料により、有機発光層１１４を形成する際のピニングポイントＰを低く抑えることができ、有機発光層１１４の有効膜厚領域Ｓを広くすることが可能となる。
【００７０】
なお、本願発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。例えば、本明細書において記載した構成要素を任意に組み合わせて、また、構成要素のいくつかを除外して実現される別の実施の形態を本願発明の実施の形態としてもよい。また、上記実施の形態に対して本願発明の主旨、すなわち、請求の範囲に記載される文言が示す意味を逸脱しない範囲で当業者が思いつく各種変形を施して得られる変形例も本願発明に含まれる。
【００７１】
例えば、陽極膜１１１端縁は、図６に示すように、第一バンク１５１の裾の部分に乗り上げなくてもかまわない。
【００７２】
また、図７に示すように、第二バンク１５２は、陽極膜１１１と接触しなくてもかまわない。また、第二バンク１５２の下端は、第一バンク１５１のテーパ面の中間位置に存在していてもかまわない。これにより、親液性の第一バンク１５１と撥液性の第二バンク１５２との境界を明確に形成し、ピニングポイントＰを効果的に制御することも可能となる。
【符号の説明】
【００７３】
１００  表示パネル
１０１  素子
１０２  駆動回路
１０３  基板
１０４  平坦化膜
１０６  封止膜
１１１  陽極膜
１１２  正孔注入層
１１３  中間層
１１４  有機発光層
１１５  電子注入層
１１６  陰極膜
１４１  ポジ型の感光性樹脂材料
１４２  ハーフトーンマスク
１５１  第一バンク
１５２  第二バンク
１５３  ネガ型の感光性樹脂材料
１５４  マスク
２１７  駆動トランジスタ
２１８  選択トランジスタ
２１９  コンデンサ
２３１  データ線
２４１  走査線
２５１  正電源線
２５２  負電源線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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