(57)【要約】【課題】ボンドコートとセラミック皮膜とを備えたガスタービン部品のための処理プロセス、酸化物形成処理組成物及び被処理部品を提供する。【解決手段】セラミック皮膜を処理組成物と接触させる。処理組成物は、担体と、担体中に懸濁した酸化物形成粒状材料とを含む。酸化物形成粒状材料はイットリア酸化物、アンチモン又は酸化錫の１つ以上である。処理組成物は加熱され、セラミック皮膜上に酸化物オーバーレイ皮膜を形成する。被処理部品はセラミック皮膜と、腐食抑制剤及び腐食抑制剤を有する酸化物形成処理組成物によって形成される酸化物の片方もしくは両方とを含む。【選択図】図２
2017057498.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボンドコートとセラミック皮膜とを含むガスタービン部品のための処理プロセスであって、
セラミック皮膜を処理組成物に接触させる工程であって、処理組成物が、担体と、担体中に懸濁した酸化物形成粒状材料とを含んでいて、酸化物形成粒状材料が、イットリア酸化物、アンチモン、酸化錫及びその組合せからなる群から選択される、工程と、
処理組成物を加熱して、セラミック皮膜上に酸化物オーバーレイ皮膜を形成する工程と
を含む、処理プロセス。
【請求項２】
接触させる工程は、刷毛塗り、浸漬、噴射、凝縮、噴霧及びその組合せからなる群から選択される技術によって処理組成物を施工する工程を含む、請求項１に記載の処理プロセス。
【請求項３】
処理組成物を加熱する工程が約８００°Ｆ〜約１２００°Ｆの温度まで行われる、請求項１に記載の処理プロセス。
【請求項４】
形成される酸化物オーバーレイ皮膜が、セラミック皮膜の一部であって、クラック、細孔、凹凸、機械加工された特徴部、剥離部及びその組合せからなる群から選択される部分に浸透する、請求項１に記載の処理プロセス。
【請求項５】
セラミック皮膜はガスタービン部品の高温ガス経路内にある、請求項１に記載の処理プロセス。
【請求項６】
ガスタービンを運転した後に処理組成物を再施工し、処理組成物を加熱する工程をさらに含む、請求項１に記載の処理プロセス。
【請求項７】
ガスタービンを原油燃料によって運転する工程をさらに含む、請求項１に記載の処理プロセス。
【請求項８】
請求項１に記載の処理プロセスによって処理された部品であって、
基材上のセラミック皮膜と、
セラミック皮膜上の酸化物オーバーレイ皮膜であって、イットリア酸化物、酸化アンチモン、酸化錫又はその組合せを含む皮膜と
を含んでおり、腐食抑制剤と酸化物形成処理組成物がセラミック皮膜内に存在する、部品。
【請求項９】
セラミック皮膜がガスタービンの高温ガス経路内にある、請求項１４に記載の被処理部品。
【請求項１０】
酸化物形成処理組成物であって、
担体と、
担体中に懸濁した酸化物形成粒状材料と
を含んでおり、酸化物形成粒状材料がイットリア酸化物、アンチモン、酸化錫又はその組合せからなる群から選択される、酸化物形成処理組成物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製造部品及び製造部品の処理を対象とする。より具体的には、本発明は、腐食作用に対して耐性を与えるための処理プロセス、処理及び被処理部品を対象とする。
【背景技術】
【０００２】
近年の高効率燃焼タービンは燃焼温度が約２０００°Ｆ（１０９３℃）を超える。エンジンの効率向上に対する要求は止まらないため、燃焼温度は上がり続けている。燃焼室及びタービンの「高温ガス経路」セクションを構成する多くの部品は、侵食作用の強い高温燃焼ガスに直接さらされる。そのような部品として、例えば、燃焼室ライナ、燃焼セクションとタービンセクションの間のトランジションダクト、タービンの静翼及び動翼、並びにその周囲のリング部品が挙げられる。上記及び他の部品は、熱応力のほか機械的応力や負荷にもさらされ、部品はそれによってさらに摩耗する。
【０００３】
燃焼タービンエンジンの高温ガス経路セクションに用いられる燃焼タービン部品の多くは、従来からコバルト基及びニッケル基超合金材料を用いて製造されている。そのような超合金材料の多くは、遮熱コーティング又は金属オーバーレイ皮膜で部品を被覆することによって高温のガス流から断熱している。それにより、このような侵食作用の強い高温燃焼環境中において長期運用を実現している。
【０００４】
遮熱コーティング系は、多くの場合、金属基材、金属ボンドコート、熱成長酸化物層及びセラミックトップコートの４層からなる。セラミックトップコートは一般にイットリア安定化ジルコニア（ＹＳＺ）で構成される。ＹＳＺが望ましい理由は、実際の用途で一般的に見られる通常の動作温度において安定でありながら、熱伝導率がきわめて低いことによる。しかし、かかるセラミックトップコートは施工費用が高価である及び／又は施工方法が限られる場合がある。
【０００５】
ＹＳＺは、高温用途に用いる金属の性能向上を目的に使用される材料として広く知られている。ＹＳＺは一般に高温の溶射被覆工程によって施工される。ＹＳＺによって高温基材金属の動作温度が上昇する。さらに、このＹＳＺと高温金属との間にボンドコートが施工される。それにより、ＹＳＺと高温金属との熱膨張の違いが低減され、耐スポーリング性が向上する。
【０００６】
ガスタービンエンジンは様々な燃料を用いて運転できる。そうした燃料はエンジンの燃焼室部分において２０００°Ｆ（１０９３℃）以上の温度で燃やされ、エンジンの燃焼室部分の後段に設けられたエンジンのタービンセクションが燃焼によるガスによって回転する。燃焼時の高温ガスからエネルギーが取り出され、回転するタービンセクションによって電力が生成される。ガスタービンエンジンを入手可能なうち最も安価な燃料を用いて運転すれば一般に経済的である。他より豊富に存在し、かつ安価な石油燃料として、原油燃料がある。原油燃料が経済的な燃料である理由のひとつは精製処理が少ないことにある。一方で、精製処理が少ない分、不純物をいくらか含む。そのような不純物にバナジウムがある。バナジウムは燃焼時の高温下で酸化バナジウム（Ｖ2Ｏ5）を形成する。ＭｇＯが燃料添加剤として添加され、それが遮熱コーティングの外面上又は外面付近に不活性なバナジン酸マグネシウム化合物を形成することにより、バナジウム化学種の反応抑制剤として作用する。しかし、ＹＳＺ遮熱コーティングに対する腐食作用がＭｇＯによって完全に防止されるわけではない。なぜなら、Ｖ2Ｏ5は遮熱コーティング中のミクロクラックや細孔に浸透可能であり、そうしたミクロクラックや細孔によってＹＳＺ遮熱コーティングだけでなくその下にあるボンドコートにまで到達しうるからである。Ｖ2Ｏ5は酸性酸化物であり、かかる遮熱コーティング内に生じるクラックや細孔中に存在するＹＳＺからイットリアを浸出させることができる。この腐食作用の仕組みは次式の反応で表される。
【０００７】
ＺｒＯ2（Ｙ2Ｏ3）＋Ｖ2Ｏ5  →  ＺｒＯ2（単斜晶系）＋２ＹＶＯ4
したがって、ＹＳＺを急速に腐食させる能力をＶ2Ｏ5は依然として保っている。そのため、ＹＳＺは高温ガス流によって劣化し、除去される。遮熱コーティングが消失すると、基材金属並びに残ったボンドコートが燃焼時の高温ガスにさらされる。この高温下、基材金属及びボンドコートは燃焼時の高温ガスによる腐食を受け、それぞれ寿命が縮まる。その結果、燃焼室やタービンブレード等の部品はより短期間での交換が必要になる。このことは、発電動作が止まる保守期間がタービンにおいて増えることを意味する。このような短所ゆえ、原油燃料は蒸気ボイラ（定期的に廃棄できる安価な部品を有する）において用いられてきた。
【０００８】
原油燃料の使用におけるこうした短所は、ガスタービン中のセラミック皮膜の組成物を変更することによって部分的には克服可能である。例えば、ＹＳＺに替えてジルコン酸ガドリニウムを用いる方法がある。かかるセラミック皮膜はアルミノケイ酸カルシウムマグネシウム（ＣＭＡＳ）による腐食作用に対して耐性を有するが、バナジウムの腐食作用に対する耐性はない。また、ジルコン酸ガドリニウムを用いると、ＹＳＺを用いる場合と比べて物理特性が変わってしまう。
【０００９】
バナジウムによる腐食作用は、皮膜系に対して追加層を追加することによって最初に低減もしくは抑止できる。例えば、ＹＳＺに対して不浸透性の遮断層を追加することによって重油（ＨＦＯ）中のバナジウムによる腐食作用を最初に低減もしくは抑止できる。同様に、ＹＳＺの上面をレーザグレージングしてシールを形成すれば、原油燃料中のバナジウムによる腐食作用を最初に低減もしくは抑止できる。しかし、そのような追加層を追加すると、ガスタービンの運転に伴う熱膨張・収縮においてクラック発生の傾向が高まる恐れがある。そうしたクラックは、追加層、ＹＳＺ及び／又は皮膜系の他の層を損ない、腐食作用をもたらす恐れがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】米国特許出願公開第２０１４／００９４３５６号
【発明の概要】
【００１１】
例示的な一実施形態では、ボンドコートとセラミック皮膜とを含むガスタービン部品向けの、本開示に係る処理プロセスは、セラミック皮膜を処理組成物に接触させる工程を含む。処理組成物は、担体と、担体中に懸濁した酸化物形成粒状材料とを含む。酸化物形成粒状材料は、イットリア酸化物、アンチモン又は酸化錫の１つ以上である。セラミック皮膜上に酸化物オーバーレイ皮膜を形成するために処理組成物は加熱される。
【００１２】
別の例示的実施形態では、本開示に係る再生プロセスは、ガスタービン部品の高温ガス経路表面を、水を含むすすぎ洗浄組成物に接触させる工程を含む。さらに、ガスタービン部品の高温ガス経路表面は処理組成物と接触する。処理組成物は、担体と、担体中に懸濁した酸化物形成粒状材料とを含む。酸化物形成粒状材料は、イットリア酸化物、酸化アンチモン又は酸化錫の１つ以上である。高温ガス経路表面上に酸化物オーバーレイ皮膜を形成するために処理組成物は加熱される。
【００１３】
さらに別の例示的実施形態では、本開示に係る酸化物形成処理組成物は、担体と、担体中に懸濁した酸化物形成粒状材料とを含む。酸化物形成粒状材料は、イットリア酸化物、アンチモン又は酸化錫の１つ以上である。
【００１４】
本発明の他の特徴や利点は、好ましい実施形態に関する下記の詳細な説明を、本発明の原理を例示した添付の図面と併せて参照することによって明らかになるだろう。
【００１５】
図中、同様の部分には可能な限り同一の参照番号を用いている。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】例示的な処理プロセスによって処理される、本開示に係る例示的な部品の概略図である。
【図２】方向２−２に沿った図１の部品の概略断面図である。
【図３】本開示に係る例示的な処理プロセスの概略図である。
【図４】本開示に係る例示的な再生プロセスの概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
上記の短所の１つ以上をもたない例示的な処理プロセス、酸化物形成処理組成物及び被処理部品を提供する。本開示の様々な実施形態は、以下の事項：（例えばバナジウム化合物からの）セラミック皮膜成分の浸出の低減又は抑制、ガスタービン内での原油燃料の燃焼による腐食効果の低減又は抑制、ガスタービンでの燃焼温度の高温化と、それに伴う効率の向上、ガスタービン内の高温ガス経路部品の有効寿命の延長、皮膜系の各層（例えば、金属基材、金属ボンドコート、熱成長酸化物層、セラミックトップコート及びそれらの組合せ）の保護、イットリア安定化ジルコニア（ＹＳＺ）皮膜の有用性の向上、熱膨張・収縮に対する耐性向上、或いはこれらの組合せを実現する。
【００１８】
図１は、皮膜系１００が基材１１４上に施された部品１０２を示す。皮膜系１００は、部品１０２の任意の好適な部分に設けられている。図１に示すように、一実施形態では、皮膜系１００は部品１０２の内部１２０で例えば高温ガス経路に沿って存在する。他の実施形態では、皮膜系１００は、部品１０２のうち内部でも高温ガス経路内でもない部分に設けられている。部品１０２は、高温ガスにさらされる任意の好適な部品である。例えば、一実施形態では、部品１０２は燃焼室である。さらに別の実施形態では、部品１０２はガスタービンの燃焼室向けライナである。他の実施形態では、部品１０２は静止もしくは回転翼形部、シュラウド（例えば、静止シュラウド）又は静止高温ガス経路ノズルである。
【００１９】
一実施形態では、皮膜系１００は、基材１１４と、金属ボンドコート１１６（例えばＭＣｒＡｌＹ皮膜）と、セラミック層１１８と、酸化物オーバーレイ皮膜１２２とを含む（例えば図２参照）。本明細書でいう「ＭＣｒＡｌＹ」とは、クロム、アルミニウム、イットリウム及び物質Ｍを含む組成物である。ただし、Ｍは、ニッケル金属、鉄金属、コバルト金属及びその組合せからなる群から選択される金属又は合金である。一実施形態では、基材１１４は、鉄、ニッケル、コバルト、チタン及び他の好適な成分を含有する合金である。好適な合金組成物として、ニッケル及びコバルト基超合金が挙げられる。一実施形態では、基材１１４は、重量基準で、約０．１％のＣ、約２２％のＣｒ、約９％のＭｏ、約０．５％のＷ、約１％のＣｏ、約１９％のＦｅ、残部のＮｉの組成を有する。一実施形態では、基材１１４は、重量基準で、約０．１５％〜約０．１９％のＣ、約１３．７％〜約１４．３％のＣｒ、約９．０％〜１０．０％のＣｏ、約４．８％〜約５．２％のＴｉ、約２．８％〜約３．２％のＡｌ、約３．７％〜約４．３％のＷ、約３．７％〜約４．３％のＭｏ、少なくとも約７．７％のＷとＭｏ、残部のＮｉの組成を有する。一実施形態では、基材１１４は、重量基準で、約５０％〜約５５％のＮｉ、約１７％〜約２１％のＣｒ、約４．７％〜約５．５％のＮｂ／Ｔａ、約２．８％〜約３．３％のＭｏ、約０．６５％〜約１．２％のＴｉ、約０．２０％〜約０．８０％のＡｌ、約１．０％以下のＣｏ、約０．０８％以下のＣ、約０．３５％以下のＭｎ、約０．３５％以下のＳｉ、約０．０１５％以下のＰ、約０．０１５％以下のＳ、約０．００６％以下のＢｏ、約０．３０％以下のＣｕ、残部のＦｅの組成を有する。
【００２０】
ボンドコート１１６はセラミック層１１８を基材１１４に接着する。一実施形態では、ＭＣｒＡｌＹ皮膜１１６は、白金金属、イリジウム金属、イリジウム−ハフニウム金属、イリジウム−白金金属、白金−レニウム金属、白金基合金、イリジウム基合金、イリジウム−ハフニウム基合金、イリジウム−白金基合金、白金−レニウム基合金及びその組合せからなる群から選択される金属又は合金である。一実施形態では、ＭＣｒＡｌＹ皮膜１１６は、厚さが約２ミル（ｍｉｌ）、約４ミル、約６ミル、約１０ミル、約１５ミル、約２ミル〜約４ミル、約４ミル〜約６ミル、約６ミル〜約１０ミル、約１０ミル〜約１５ミル或いはこれらの任意の組合せ又は二次的組合せ又は範囲又は部分範囲である。
【００２１】
セラミック層１１８はＭＣｒＡｌＹ皮膜１１６上に位置し、（例えば部品１０２の高温ガス経路における）高温から基材１１４を保護する。セラミック層１１８とボンドコート１１６との間には、熱成長酸化物層など、遮熱コーティング系に一般に使用されるその他の周知の層等、他の層が存在してもよい。一実施形態では、セラミック層１１８はイットリア安定化ジルコニアを含む。一実施形態では、セラミック層１１８は、厚さが約１ミル、約２ミル、約３ミル、約４ミル、約５ミル、約１ミル〜約２ミル、約１ミル〜約３ミル、約１ミル〜約５ミル、約２ミル〜約３ミル、約３ミル〜約４ミル、約２０ミル〜約４０ミル（例えば、燃焼室及び静止シュラウドでの場合等）、約４０ミル超、約５ミル〜約２０ミル（例えば、翼形部での場合等）或いはこれらの任意の組合せ又は二次的組合せ又は範囲又は部分範囲である。
【００２２】
セラミック層１１８の上及び／又は内部には酸化物オーバーレイ皮膜１２２がある。酸化物オーバーレイ皮膜１２２は酸化物形成処理組成物１０４の加熱によって形成される。酸化物オーバーレイ皮膜１２２は、少なくとも１種類の酸化物材料を含む皮膜であり、かつその酸化物材料は、ガスタービン内における原油燃料の燃焼による、特にバナジウムの存在に起因する、腐食及び／又は損傷効果を低減もしくは抑止する。酸化物形成処理組成物１０４は処理組成物を含む。処理組成物は、例えば、担体と、担体中に懸濁した酸化物形成粒状材料とを有する懸濁液（例えばコロイド懸濁液）もしくは溶液である。酸化物形成粒状材料は、イットリア酸化物、アンチモン、酸化錫及びその組合せからなる群から選択される材料である。別の実施形態では、酸化物形成粒状材料は酸化マグネシウムをさらに含みうる。酸化物形成処理組成物１０４における好適な形態は、溶液（例えば、水溶液）、コロイド懸濁液、ゲル、ゾル、蒸気又はその組合せを含むが、これには限定されない。
【００２３】
一実施形態では、酸化物形成処理組成物１０４はセラミック層１１８及び／又はＭＣｒＡｌＹ皮膜１１６の一部に浸透して酸化物オーバーレイ皮膜１２２を形成する。例えば、一実施形態では、酸化物オーバーレイ皮膜１２２はクラック、細孔、凹凸、機械加工された特徴部、剥離部又はその組合せに浸透する。一実施形態では、酸化物オーバーレイ皮膜１２２は、バナジウムの腐食作用（例えば、バナジウム含有燃料の使用によって生じる腐食作用）による腐食に対して耐性を有する及び／又はかかる腐食作用からの保護を与える。別の実施形態では、酸化物オーバーレイ皮膜１２２は、硫黄化合物、ナトリウム化合物、リン化合物、バナジウム化合物又はその組合せの腐食作用に対して耐性を有する。
【００２４】
図３は、本開示に係るプロセス３００を概略的に示したものである。図３に示すように、ボンドコート１１６とセラミック層１１８とを有する基材が提供される（ステップ３０２）。図示していないが、他の周知の層（例えば、熱成長酸化物層）も存在しうる。図３に示すプロセス３００は、噴霧装置３１１を用いた噴霧によって酸化物形成処理組成物１０４を施工する工程（ステップ３０４）と、外部熱源３１３を用いて酸化物形成処理組成物１０４を加熱する工程（ステップ３０６）とを含む。プロセス３００は、噴霧装置３１１を用いて酸化物形成処理組成物１０４を再施工する工程（ステップ３０８）をさらに含んでもよい。酸化物形成処理組成物を再施工する実施形態では、ステップ３０６のように同組成物を再度加熱してもいいし、その状態で運用し、その部品の動作中に熱を与えるようにしてもよい。酸化物形成処理組成物１０４の施工工程（ステップ３０４）及び酸化物形成処理組成物１０４の加熱工程（ステップ３０６）によって酸化物オーバーレイ皮膜１２２が皮膜系１００の内部に形成され、こうして被処理部品１０２が作製される。
【００２５】
図４に示すように、別の実施形態では、再生プロセス４００が提供されうる。再生プロセス４００では、基材１１４と、ボンドコート１１６と、セラミック層１１８と、酸化物オーバーレイ皮膜１２２とを含む皮膜系１００を有する部品１０２が、運用から外される（ステップ４０２）。次に、皮膜系１００を有する部品１０２を、例えばすすぎ洗浄ノズル４１１による水溶液との接触によって洗浄及び／又はすすぎ洗浄を行う（ステップ４０４）。図４に示す皮膜系１００は酸化物オーバーレイ皮膜１２２を備えているが、本開示に係る再生プロセス４００は、損傷した酸化物オーバーレイ皮膜１２２又は酸化物オーバーレイ皮膜１２２を欠いた表面、を有する皮膜系１００を含んでいてもよい。その後、再生プロセス４００は、噴霧装置３１１によって酸化物形成処理組成物１０４を部品１０２に施工する工程（ステップ４０６）を含む。図４には示していないが、酸化物形成処理組成物１０４の施工後、部品１０２を運用に戻し、動作中に酸化物形成処理組成物１０４を加熱することによって酸化物オーバーレイ皮膜１２２を形成する。別の実施形態では、部品１０２を運用に戻す前に図３のステップ３０６のように加熱し、酸化物オーバーレイ皮膜１２２を形成する。
【００２６】
図３及び図４では、酸化物形成処理組成物１０４の施工は噴霧によって行うように描かれている（ステップ３０４と任意選択のステップ３０８及びステップ４０６）が、酸化物形成処理組成物１０４は任意の好適な技術によって施工しうる。好適な技術の例として、刷毛塗り、噴射、凝縮、浸漬、噴霧（例えば、エアロゾル噴霧）及びその組合せからなる群から選択される施工方法が挙げられる。一実施形態では、酸化物形成処理組成物１０４は好適な施工温度で施工される。例えば、刷毛塗り、噴射、浸漬及び／又は噴霧に好適な施工温度は、約３２°Ｆ〜約２１２°Ｆ、約４０°Ｆ〜約１２０°Ｆ、約６０°Ｆ〜約１００°Ｆ、約７０°Ｆ〜約８０°Ｆ、約７０°Ｆ、約７５°Ｆ或いはこれらの任意の組合せ又は二次的組合せ又は範囲又は部分範囲である。例えば、凝縮に好適な施工温度は約２１２°Ｆより高い。
【００２７】
一実施形態では、酸化物形成処理組成物１０４はある加熱温度（例えば、約８００°Ｆ〜約１２００°Ｆ、約８００°Ｆ〜約１０００°Ｆ、約１０００°Ｆ〜約１２００°Ｆ、約９００°Ｆ〜約１１００°Ｆ、約９００°Ｆ、約１０００°Ｆ、約１１００°Ｆ或いはこれらの任意の組合せ又は二次的組合せ又は範囲又は部分範囲まで加熱する（ステップ３０６）。一実施形態では、加熱はある加熱時間（例えば、約１０分〜約２０分、約１０分〜約１５分、約１５分〜約２０分、約１０分、約１５分、約２０分或いはこれらの任意の組合せ又は二次的組合せ又は範囲又は部分範囲の期間）にわたって行う。一実施形態では、加熱は低めの温度（例えば、約８００°Ｆ未満）で長めの加熱時間（例えば、１〜２日間）にわたって実施する。
【００２８】
一実施形態では、酸化物形成処理組成物１０４は、外部加熱源（例えば、電気加熱空気、赤外線ランプ、石英水銀灯、火炎、溶射、トーチ又は任意の他の好適な加熱メカニズム）によって加熱される（ステップ３０６）。一実施形態では、酸化物形成処理組成物１０４の加熱（ステップ３０６）は、例えば、部品１０２をガスタービン（図示せず）の内部に又はガスタービンの一部として位置づけることによって部品１０２を運用状態にし、かつガスタービンを運転することによって行う。
【００２９】
一実施形態では、酸化物形成処理組成物１０４は、例えば部品１０２の使用後ないし運用後に再施工する（プロセス４００）。一実施形態では、部品１０２がガスタービンの内部に又はガスタービンの一部として位置づけられた状態で、酸化物形成処理組成物１０４を部品１０２の寿命にわたって繰り返し再施工する（ステップ３０８）。
【００３０】
以上、本発明について好ましい実施形態を参照しながら説明した。しかし、本発明の範囲を逸脱することなく様々な変更が可能であり、またその要素を均等物で置換可能であることは当業者なら理解できるだろう。さらに、具体的な状況や材料に適合するよう、本発明の本質的な範囲を逸脱することなく本発明の教示に対して多くの改変を行いうる。したがって、本発明は、本発明を実施するにあたって想定され、最良の形態として開示される具体的な実施形態に限定されるものではなく、本発明は、添付の特許請求の範囲の範囲内に含まれるあらゆる実施形態を包含するものである。
【符号の説明】
【００３１】
１００  皮膜系
１０２  部品
１０４  処理組成物
１１４  基材
１１６  ボンドコート
１１８  セラミック層
１２０  内部
１２２  酸化物オーバーレイ皮膜
３１１  噴霧装置
３１３  外部熱源
４００  再生プロセス
４０２  ステップ
４０４  ステップ
４０６  ステップ
４１１  すすぎ洗浄ノズル
【図１】
2017057498.tif 000003
【図２】
2017057498.tif 000004
【図３】
2017057498.tif 000005
【図４】
2017057498.tif 000006
【外国語明細書】
2017057498000001.pdf