(57)【要約】【課題】  検査にかかる時間を短縮するとともに部材の気密性を高精度に検査可能な部材の気密検査装置を提供する。【解決手段】  リークテスタ１は、圧力が所定のテスト圧の加圧用気体をラジエータ９０の内部空間に供給可能な空気供給部１０、圧力が所定のテスト圧であってかつ温度が外気温度と同じテスト用気体を貯留可能に形成されテスト用気体をラジエータ９０の内部空間に供給可能な気体貯留部２２、気体貯留部２２とラジエータ９０との間に設けられテスト用気体が流通可能な第一連通管２４、ラジエータ９０の内部空間の圧力変化を検出可能な漏れ検出部２０、ラジエータ９０の内部空間の気体をラジエータ９０の外部に排出可能な第二連通管２６、および、制御部２８を備える。制御部２８は、ラジエータ９０の内部空間に供給された加圧用気体をテスト用気体に替えたあと漏れ検出部２０によって内部空間の圧力変化を検出する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワーク（９０）の内部空間に所定のテスト圧の気体を封入し前記ワークの気密性を検査する気密検査装置（１、２、３、４、５、６、７）であって、
圧力が前記所定のテスト圧の加圧用気体を前記内部空間に供給可能な加圧用気体供給部（１０、１４）と、
前記加圧用気体供給部と前記ワークとの間に設けられ、前記加圧用気体供給部から前記ワークに向かって前記加圧用気体が流通可能な加圧用供給管（１２）と、
前記加圧用供給管に設けられ、前記加圧用供給管における気体の流通を許容または遮断する加圧用バルブ（１６）と、
圧力が前記所定のテスト圧であってかつ温度が外気温度と同じテスト用気体を貯留可能に形成され、前記テスト用気体を前記内部空間に供給可能なテスト用気体供給部（２２、３２、６０）と、
前記テスト用気体供給部と前記ワークとの間に設けられ、前記テスト用気体が流通可能なテスト用供給管（２４）と、
前記テスト用供給管に設けられ、前記テスト用供給管における気体の流通を許容または遮断するテスト用バルブ（２５）と、
前記内部空間の圧力変化を検出可能な漏れ検出部（２０、４０）と、
前記漏れ検出部と前記ワークとの間に設けられ、前記内部空間の気体が流通可能な検出用連通管（１２）と、
前記検出用連通管に設けられ、前記検出用連通管における気体の流通を許容または遮断する検出用バルブ（１６）と、
前記内部空間の気体を前記ワークの外部に排出可能な排出管（２６）と、
前記排出管に設けられ、前記排出管における気体の流通を許容または遮断する排出用バルブ（２７）と、
前記加圧用バルブ、前記テスト用バルブ、前記漏れ検出部、前記検出用バルブ、および、前記排出用バルブと電気的に接続し、前記内部空間に供給された前記加圧用気体を前記テスト用気体に替えたあと前記漏れ検出部によって前記内部空間の圧力変化を検出するよう前記加圧用バルブ、前記テスト用バルブ、前記漏れ検出部、前記検出用バルブ、および、前記排出用バルブの作動を制御する制御部（２８）と、
を備える気密検査装置。
【請求項２】
前記テスト用供給管に設けられ、前記テスト用供給管を流れる気体の温度を外気温度にすることが可能な第一熱交換部（２４１）をさらに備える請求項１に記載の気密検査装置。
【請求項３】
前記テスト用供給管を流れる気体の流速を制御可能な流速制御部（３２４）をさらに備える請求項１または２に記載の気密検査装置。
【請求項４】
前記排出管は、前記テスト用気体供給部と前記ワークとの間に設けられ、
前記テスト用気体供給部は、前記テスト用気体を貯留可能に形成され前記テスト用供給管を介して前記内部空間と連通可能な第一室（２２４、６０４）、および、前記排出管を介して前記内部空間と連通可能なよう形成され前記第一室とは気密を維持するよう区画されている第二室（２２５、６０５）を有する請求項１〜３のいずれか一項に記載の気密検査装置。
【請求項５】
前記排出管に設けられ、前記排出管を流れる気体の温度を外気温度にすることが可能な第二熱交換部（２６１）をさらに備える請求項４に記載の気密検査装置。
【請求項６】
前記テスト用気体供給部は、前記テスト用供給管および前記排出管において気体が流れる方向を交互に切替可能である請求項５に記載の気密検査装置。
【請求項７】
気体の漏れ量が所定の基準値以下であるマスタ（９５）と、
前記漏れ検出部と前記マスタとの間に設けられ、前記マスタのマスタ内部空間の気体が流通可能なマスタ検出用連通管（４２、６２、７２）と、
前記マスタ検出用連通管に設けられ、前記マスタ検出用連通管における気体の流通を許容または遮断するマスタ検出用バルブ（４６、６６、７６）と、
前記マスタ検出用バルブと電気的に接続し、前記マスタ検出用バルブの作動を制御するマスタ制御部（２８）と、
をさらに備え、
前記漏れ検出部は、前記マスタ内部空間の気体の圧力と前記内部空間の気体の圧力との差によって前記内部空間の圧力変化を検出可能に形成されている請求項１〜６のいずれか一項に記載の気密検査装置。
【請求項８】
圧力が前記所定のテスト圧のマスタ加圧用気体を前記マスタ内部空間に供給可能なマスタ加圧用気体供給部（１０、１４）と、
前記マスタ加圧用気体供給部と前記マスタとの間に設けられ、前記マスタ加圧用気体供給部から前記マスタに向かって前記マスタ加圧用気体が流通可能なマスタ加圧用供給管（４２、６２）と、
前記マスタ加圧用供給管に設けられ、前記加圧用供給管における気体の流通を許容または遮断するマスタ加圧用バルブ（４６、６６）と、
圧力が前記所定のテスト圧であってかつ温度が外気温度と同じマスタテスト用気体を貯留可能に形成され前記マスタ内部空間と連通可能なマスタ用第一室（５２４）、および、前記マスタ用第一室とは気密を維持するよう区画されているマスタ用第二室（５２５）を有し、前記マスタテスト用気体を前記マスタ内部空間に供給可能なマスタテスト用気体供給部（５２）と、
前記マスタテスト用気体供給部と前記マスタとの間に設けられ、前記マスタテスト用気体が流通可能なマスタテスト用供給管（５４）と、
前記マスタテスト用供給管に設けられ、前記マスタテスト用供給管における気体の流通を許容または遮断するマスタテスト用バルブ（５５）と、
前記マスタテスト用供給管とは別異に前記マスタテスト用気体供給部と前記マスタとの間に設けられ、前記マスタ用第二室と前記マスタ内部空間とを連通可能に形成され、前記マスタ内部空間の気体を前記マスタ用第二室に排出可能なマスタ排出管（５６）と、
前記マスタ排出管に設けられ、前記マスタ排出管における気体の流通を許容または遮断するマスタ排出用バルブ（５７）と、
をさらに備え、
前記マスタ制御部は、前記マスタ加圧用バルブ、前記マスタテスト用バルブ、および、前記マスタ排出用バルブと電気的に接続し、前記マスタ内部空間に供給された前記マスタ加圧用気体を前記マスタテスト用気体に替えたあとに前記漏れ検出部によって前記内部空間の圧力変化を検出するよう前記マスタ加圧用バルブ、前記マスタテスト用バルブ、および、前記マスタ排出用バルブの作動を制御する請求項７に記載の気密検査装置。
【請求項９】
前記排出管に設けられ、前記マスタ内部空間と前記内部空間との間の気体の流通を許容または遮断する中間バルブ（６９）をさらに備え、
前記排出管は、前記加圧用供給管の前記加圧用バルブと前記ワークとの間の部位（Ｐａ６１）と前記テスト用気体供給部とを接続し、
前記マスタは、前記排出管に設けられ、
前記制御部は、前記中間バルブと電気的に接続し、前記中間バルブの作動を制御する請求項７に記載の気密検査装置。
【請求項１０】
ワーク（９０）の内部空間に所定のテスト圧の気体を封入し前記ワークの気密性を検査する気密検査方法であって、
前記内部空間に圧力が前記所定のテスト圧の加圧用気体を供給する加圧工程（Ｓ１０２、Ｓ３０２、Ｓ５０２、Ｓ６０２、Ｓ７０２）と、
前記加圧工程の後、前記内部空間の前記加圧用気体を圧力が前記所定のテスト圧であってかつ温度が外気温度と同じテスト用気体に替える入れ替え工程（Ｓ１０８、Ｓ３０８、Ｓ５０８、Ｓ６０８、Ｓ７０８）と、
前記入れ替え工程の後、前記内部空間の圧力変化を検出する漏れ検出工程（Ｓ１１２、Ｓ３１２、Ｓ５１２、Ｓ６１２、Ｓ７１２）と、
を含む気密検査方法。
【請求項１１】
前記入れ替え工程において、前記内部空間における気体が流れる方向を交互に切り替える請求項１０に記載の気密検査方法。
【請求項１２】
前記漏れ検出工程において、気体の漏れ量が所定の基準値以下であるマスタ（９５）のマスタ内部空間の気体の圧力と前記内部空間の気体の圧力との差によって前記内部空間の圧力変化を検出する請求項１０または１１に記載の気密検査方法。
【請求項１３】
前記漏れ検出工程の前に、前記ワークと同じ形状をなし気体の漏れ量が所定の基準値以下であるマスタ（９５）のマスタ内部空間に前記加圧用気体を供給するマスタ加圧工程（Ｓ５０２、Ｓ６０２）と、
前記マスタ加圧工程の後であって前記漏れ検出工程の前に、前記マスタ内部空間の前記加圧用気体を圧力が前記所定のテスト圧であってかつ温度が外気温度と同じマスタテスト用気体に替えるマスタ入れ替え工程（Ｓ５０８、Ｓ６０８）と、
をさらに含む請求項１０〜１２のいずれか一項に記載の気密検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークの内部空間に所定のテスト圧の気体を封入しワークの気密性を検査する気密検査装置、および、気密検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
気密検査装置は、ワークの内部空間に封入された気体の圧力を大気圧に比べ高い所定のテスト圧にした後、内部空間を封鎖した状態で内部空間の気体の圧力変化をセンサで検出することによって、ワークの気密性を検査する装置である。気密検査装置を用いた気密検査方法では、最初に内部空間に加圧した気体を供給する。このとき、断熱圧縮によって内部空間の気体の温度が上昇し、外気温度に比べ高い温度となる。外気温度に比べ高い温度となっている内部空間は温度が変化するため、圧力が徐々に変化し精度良く圧力変化を検出することができない。そこで、内部空間の気体の温度を迅速に外気温度まで低下させることによって高精度の圧力検出を可能とする。例えば、特許文献１には、ワークの内部空間にテスト圧まで加圧した気体を供給可能な気体供給部、ワーク内の圧力を検出可能な圧力センサ、および、内部空間の気体の循環させることが可能なファンを備える気密検査装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２３６５４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の気密検査装置では、外気温度に比べ温度が高くなっている内部空間の気体を循環させるため、内部空間の気体の温度が外気温度で安定するまでにかかる時間は比較的長くなる。このため、気密検査にかかる時間が比較的長くなる。
【０００５】
本発明は、検査にかかる時間を短縮するとともに部材の気密性を高精度に検査可能な気密検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、ワーク内に所定のテスト圧の気体を封入しワークの気密性を検査する気密検査装置であって、加圧用気体供給部、加圧用供給管、加圧用バルブ、テスト用気体供給部、テスト用供給管、テスト用バルブ、漏れ検出部、検出用連通管、検出用バルブ、排出管、排出用バルブ、および、制御部を備える。
加圧用気体供給部は、圧力が所定のテスト圧の加圧用気体を内部空間に供給可能である。
加圧用供給管は、加圧用気体供給部とワークとの間に設けられ、加圧用気体供給部からワークに向かって加圧用気体が流通可能である。
加圧用バルブは、加圧用供給管に設けられ、加圧用供給管における気体の流通を許容または遮断する。
テスト用気体供給部は、圧力が所定のテスト圧であってかつ温度が外気温度と同じテスト用気体を貯留可能に形成され、テスト用気体を内部空間に供給可能である。
テスト用供給管は、テスト用気体供給部とワークとの間に設けられ、テスト用気体が流通可能である。
テスト用バルブは、テスト用供給管に設けられ、テスト用供給管における気体の流通を許容または遮断する。
漏れ検出部は、内部空間の圧力変化を検出可能である。
検出用連通管は、漏れ検出部とワークとの間に設けられ、内部空間の気体が流通可能である。
検出用バルブは、検出用連通管に設けられ、検出用連通管における気体の流通を許容または遮断する。
排出管は、内部空間の気体をワークの外部に排出可能である。
排出用バルブは、排出管に設けられ、排出管における気体の流通を許容または遮断する
制御部は、加圧用バルブ、テスト用バルブ、漏れ検出部、検出用バルブ、および、排出用バルブと電気的に接続している。制御部は、内部空間に供給された加圧用気体をテスト用気体に替えたあと漏れ検出部によって内部空間の圧力変化を検出するよう加圧用バルブ、テスト用バルブ、漏れ検出部、検出用バルブ、および、排出用バルブの作動を制御する。
【０００７】
本発明の気密検査装置は、ワークの内部空間に供給された加圧用気体と入れ替え可能なテスト用気体を供給可能なテスト用気体供給部を備える。テスト用気体は、圧力が所定のテスト圧であってかつ温度が外気温度と同じになっている。本発明の気密検査装置では、ワークの内部空間に供給された加圧用気体をテスト用気体に替えることによって、ワークの内部空間の気体の温度を迅速に外気温度と同じ温度とし、ワークの内部空間の気体の温度が外気温度まで低下するまでの時間を短縮することができる。また、ワークの内部空間の気体の温度が外気温度と同じになっているため、ワークの気密検査中にワークの内部空間の気体の温度が変化することを防止できる。これにより、ワークの内部空間の気体の温度変化による検査精度の低下を防止することができる。
【０００８】
また、本発明は、ワークの内部空間に所定のテスト圧の気体を封入しワークの気密性を検査する気密検査方法であって、加圧工程、入れ替え工程、および、漏れ検出工程を含む。最初に、加圧工程において、ワークの内部空間に圧力が所定のテスト圧の加圧用気体を供給した後、入れ替え工程において、当該内部空間の加圧用気体を圧力が所定のテスト圧であってかつ温度が外気温度と同じテスト用気体に替える。入れ替え工程の後、漏れ検出工程において、内部空間の圧力変化を検出する。
【０００９】
本発明の気密検査方法では、入れ替え工程において、ワークの内部空間に供給された加圧用気体をテスト用気体に替え、ワークの内部空間の気体の温度を迅速に外気温度と同じ温度とする。これにより、ワークの内部空間の気体の温度が外気温度まで低下するまでの時間を短縮することができる。また、ワークの気密検査中にワークの内部空間の気体の温度が変化することを防止できるため、ワークの内部空間の気体の温度変化による検査精度の低下を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第一実施形態による気密検査装置の模式図である。
【図２】本発明の第一実施形態による気密検査方法のフローチャートである。
【図３】本発明の第一実施形態による気密検査方法におけるタイムチャートである。
【図４】本発明の第一実施形態による気密検査装置の効果を説明する特性図である。
【図５】本発明の第二実施形態による気密検査装置の模式図である。
【図６】本発明の第三実施形態による気密検査装置の模式図である。
【図７】本発明の第三実施形態による気密検査方法のフローチャートである。
【図８】本発明の第三実施形態による気密検査方法におけるタイムチャートである。
【図９】本発明の第四実施形態による気密検査装置の模式図である。
【図１０】本発明の第五実施形態による気密検査装置の模式図である。
【図１１】本発明の第五実施形態による気密検査方法のフローチャートである。
【図１２】本発明の第五実施形態による気密検査方法におけるタイムチャートである。
【図１３】本発明の第六実施形態による気密検査装置の模式図である。
【図１４】本発明の第六実施形態による気密検査方法のフローチャートである。
【図１５】本発明の第六実施形態による気密検査方法におけるタイムチャートである。
【図１６】本発明の第七実施形態による気密検査装置の模式図である。
【図１７】本発明の第七実施形態による気密検査方法のフローチャートである。
【図１８】本発明の第七実施形態による気密検査方法におけるタイムチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の複数の実施形態について図面に基づいて説明する。
【００１２】
（第一実施形態）
本発明の第一実施形態による気密検査装置および気密検査方法を図１〜４を参照して説明する。第一実施形態による「気密検査装置」としてのリークテスタ１は、内燃機関を備える車両に搭載される「ワーク」としてのラジエータ９０の気密性検査に用いられる。ラジエータ９０は、ラジエータ液を貯留可能な二つのタンク９１、９２、および、タンク９１とタンク９２とを接続するラジエータコア９３を有する。以下、二つのタンク９１、９２、および、ラジエータコア９３のラジエータ液が流通可能な空間をラジエータ９０の内部空間という。
【００１３】
リークテスタ１は、空気供給部１０、「加圧用供給管」および「検出用連通管」としての配管１２、圧力調整バルブ１４、「加圧用バルブ」および「検出用バルブ」としての供給バルブ１６、圧力センサ１８、漏れ検出部２０、「テスト用気体供給部」としての気体貯留部２２、「テスト用供給管」としての第一連通管２４、「テスト用バルブ」としての第一バルブ２５、「排出管」としての第二連通管２６、「排出用バルブ」としての第二バルブ２７、および、制御部２８を備える。
【００１４】
空気供給部１０は、例えば、空気を加圧可能なコンプレッサであって、所定のテスト圧以上に加圧された空気を供給可能である。空気供給部１０には、配管１２が接続している。空気供給部１０が供給する空気は、配管１２に設けられている圧力調整バルブ１４において所定のテスト圧に調整される。空気供給部１０および圧力調整バルブ１４は、特許請求の範囲に記載の「加圧用気体供給部」に相当する。また、空気供給部１０および圧力調整バルブ１４によって圧力が所定のテスト圧に調整された気体は、特許請求の範囲に記載の「加圧用気体」に相当する。
【００１５】
配管１２は、空気供給部１０とラジエータ９０との間に設けられている。配管１２は、後述する第一連通管２４と空気供給部１０とを接続している。配管１２は、空気供給部１０の図示しない空気が貯留されているタンク内と第一連通管２４が有する第一連通路とを連通可能な供給通路を有する。供給通路には、空気供給部１０が供給する空気がラジエータ９０に向かって流れるとともに、ラジエータ９０に漏れがある場合、気密検査プロセスにおいて漏れ検出部２０からラジエータ９０に向かって空気が流れる。
【００１６】
配管１２は、漏れ検出部２０を迂回する供給バイパス管１３を有する。供給バイパス管１３は、供給バイパス通路を有する。供給バイパス管１３には、供給バイパス通路を流れる空気の流通を許容または遮断するバイパスバルブ１３１が設けられている。バイパスバルブ１３１は、制御部２８と電気的に接続している。バイパスバルブ１３１は、制御部２８の指令に基づいて開閉する。これにより、バイパスバルブ１３１は、供給バイパス通路を流れる空気の流通を許容または遮断することが可能である。
【００１７】
供給バルブ１６は、配管１２の漏れ検出部２０と圧力センサ１８との間に設けられている。供給バルブ１６は、制御部２８と電気的に接続している。供給バルブ１６は、制御部２８の指令に基づいて開閉する。これにより、供給バルブ１６は、供給通路を流れる空気の流通を許容または遮断することが可能である。
【００１８】
圧力センサ１８は、配管１２の供給バルブ１６よりラジエータ９０側であって配管１２と第一連通管２４とが接続している部位（図１の部位Ｐａ１）側に設けられている。圧力センサ１８は、ラジエータ９０の内部空間の気体の圧力を検出可能である。圧力センサ１８は、当該検出した圧力に応じた電気信号を電気的に接続している制御部２８に出力する。
【００１９】
漏れ検出部２０は、配管１２において供給バルブ１６と圧力調整バルブ１４との間に設けられている。漏れ検出部２０は、オリフィスを有する差圧式の流量計であって、供給バルブ１６が開いているとき、漏れ検出部２０を流れる空気の流量を検出する。漏れ検出部２０は、検出した空気の流量に応じた電気信号を電気的に接続する制御部２８に出力する。これにより、制御部２８は、ラジエータ９０の内部空間の圧力変化を算出可能である。
【００２０】
気体貯留部２２は、第一連通管２４および第二連通管２６のそれぞれを介してラジエータ９０と接続されている。気体貯留部２２は、シリンダ２２１、ピストン２２２、駆動部２２３、入替用供給管２３などを有する。
シリンダ２２１は、ピストン２２２を往復移動可能に収容している。シリンダ２２１の内部は、ピストン２２２によって第一連通管２４が接続されている側の「第一室」としての空間２２４と第二連通管２６が接続されている側の「第二室」としての空間２２５とに区画されている。
ピストン２２２は、制御部２８と電気的に接続している駆動部２２３と連結している。駆動部２２３は、制御部２８からの指令に基づいてピストン２２２を往復移動可能な駆動力を発生する。これにより、気体貯留部２２は、第一連通管２４を介して空間２２４の空気をラジエータ９０の内部空間に供給することが可能である。
【００２１】
入替用供給管２３は、一端が配管１２の圧力調整バルブ１４と漏れ検出部２０との間に接続している。他端は、二つに分かれており、他端の一方は、シリンダ２２１の第一連通管２４が接続している側の端部に接続している。また、他端の他方は、シリンダ２２１の第二連通管２６が接続している側の端部に接続している。入替用供給管２３は、空気供給部１０が供給する空気が流通可能な流路を有する。入替用供給管２３の流路は、空間２２４、２２５に連通している。
入替用供給管２３には、入替供給バルブ２３１、２３２が設けられている。入替供給バルブ２３１は、入替用供給管２３の他端の一方に設けられている。入替供給バルブ２３２は、入替用供給管２３の他端の他方に設けられている。入替供給バルブ２３１、２３２は、制御部２８と電気的に接続している。入替供給バルブ２３１、２３２は、制御部２８からの指令に基づいて開閉する。これにより、入替供給バルブ２３１、２３２は、入替用供給管２３における空気の流通を許容または遮断することが可能である。
【００２２】
第一連通管２４は、気体貯留部２２とラジエータ９０とを接続している。第一連通管２４は、空間２２４とラジエータ９０の内部空間とを連通する第一連通路を有する。
第一バルブ２５は、第一連通管２４に設けられている。第一バルブ２５は、制御部２８と電気的に接続している。第一バルブ２５は、制御部２８からの指令に基づいて開閉する。これにより、第一バルブ２５は、第一連通路を流れる空気の流通を許容または遮断することが可能である。
【００２３】
第二連通管２６は、第一連通管２４とは別異に気体貯留部２２とラジエータ９０とを接続している。第二連通管２６は、空間２２５とラジエータ９０の内部空間とを連通する第二連通路を有する。
第二バルブ２７は、第二連通管２６に設けられている。第二バルブ２７は、制御部２８と電気的に接続している。第二バルブ２７は、制御部２８からの指令に基づいて開閉する。これにより、第二バルブ２７は、第二連通路を流れる空気の流通を許容または遮断することが可能である。
【００２４】
制御部２８は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを中心に構成される周知のマイクロコンピュータからなる。制御部２８は、圧力センサ１８が出力する電気信号に基づいてバイパスバルブ１３１、供給バルブ１６、入替供給バルブ２３１、２３２、駆動部２２３、第一バルブ２５、および、第二バルブ２７の作動を制御する。また、制御部２８は、漏れ検出部２０が出力する流量に基づいてラジエータ９０の漏れ量を算出する。
【００２５】
次に、リークテスタ１における「気密検査方法」としてのラジエータ９０の気密検査プロセスについて、図２、３に基づいて説明する。図２には、気密検査プロセスのフローチャートを示す。図３には、図２に示すフローチャートに沿ったか各バルブ、気体貯留部２２、および、漏れ検出部２０の作動のタイムチャートを示す。
【００２６】
ここで、図２に示すラジエータ９０の気密検査プロセスを実行する前のリークテスタ１の状態について説明する。
リークテスタ１では、バイパスバルブ１３１、供給バルブ１６、第一バルブ２５、および、第二バルブ２７は閉じられている。一方、入替供給バルブ２３１は開かれており、所定のテスト圧の空気が空間２２４に供給されている。気密検査プロセスを実行する前のリークテスタ１では、空間２２４に所定のテスト圧の空気が供給されてから十分な時間が経過している。このため、空間２２４の空気は、圧力が所定のテスト圧であって、かつ、温度が「外気温度」としての室温と同じになっている。空間２２４の空気は、特許請求の範囲に記載の「テスト用気体」に相当する。
【００２７】
最初に、ステップ（以下、「Ｓ」という）１０１において、ラジエータ９０をリークテスタ１に取り付ける。具体的には、ラジエータ９０のタンク９１と第一連通管２４とを接続する。また、ラジエータ９０のタンク９２と第二連通管２６とを接続する。
【００２８】
次に、「加圧工程」としてのＳ１０２において、バイパスバルブ１３１および供給バルブ１６を開く（図３の時刻ｔ１０２）。制御部２８がバイパスバルブ１３１および供給バルブ１６を開くと、空気供給部１０が供給する所定のテスト圧に調整された空気がラジエータ９０の内部空間に供給される。このとき、ラジエータ９０では、空気の断熱圧縮によって発熱し温度が上昇する。この空気の断熱圧縮による発熱は、空気供給部１０が供給する空気が流れる方向において下流側、すなわち、第一実施形態では、タンク９２において顕著であるため、タンク９２の温度上昇は、他の部位の温度上昇に比べて大きい。
【００２９】
次に、Ｓ１０３において、ラジエータ９０の内部空間のワーク圧力Ｐｗを圧力センサ１８によって検出する。圧力センサ１８が検出した圧力は、電気信号に変換され制御部２８に出力される。
【００３０】
次に、Ｓ１０４において、Ｓ１０３において検出したワーク圧力Ｐｗが所定のテスト圧Ｐｔであるか否かを判定する。制御部２８は、Ｓ１０３で圧力センサ１８が出力した電気信号に基づいてワーク圧力Ｐｗがテスト圧Ｐｔであるか否かを判定する。ワーク圧力Ｐｗがテスト圧Ｐｔである場合、Ｓ１０５に移行する。ワーク圧力Ｐｗがテスト圧Ｐｔとなっていない場合、Ｓ１０３に戻り、再度ワーク圧力Ｐｗを圧力センサ１８によって検出する。
【００３１】
次に、Ｓ１０５において、バイパスバルブ１３１および供給バルブ１６を閉じる（図３の時刻ｔ１０５）。このとき、ラジエータ９０の内部空間は、圧力がテスト圧Ｐｔであって温度が室温に比べて高い空気によって満たされている。
【００３２】
次に、Ｓ１０６において、入替供給バルブ２３１、２３２を閉じる（図３の時刻ｔ１０６）。これにより、空気供給部１０から空間２２４への空気の流れは遮断される。
【００３３】
次に、Ｓ１０７において、第一バルブ２５および第二バルブ２７を開く（図３の時刻ｔ１０７）。これにより、気体貯留部２２の空間２２４が第一連通管２４を介してタンク９１と連通し、気体貯留部２２内の第二連通管２６側の空間２２５が第二連通管２６を介してタンク９２と連通する。
【００３４】
次に、「入れ替え工程」としてのＳ１０８において、ピストン２２２を移動する（図３の時刻ｔ１０８以降）。このとき、ピストン２２２は、空間２２４の空気を押し出すよう位置０から位置Ｐ１まで白抜き矢印Ｆ１の方向に移動する（図１、３参照）。これにより、空間２２４の空気は、第一連通管２４を通って移動し（図１の実線矢印Ｆ１１）、タンク９１側からラジエータ９０の内部空間に流入する。ラジエータ９０では、タンク９１側から空気が流入すると、元々ラジエータ９０の内部空間にあった空気がタンク９２側から第二連通管２６に押し出される。ラジエータ９０の内部空間から押し出された空気は、第二連通管２６を通って移動し（図１の実線矢印Ｆ１２）、一部は空間２２５に流入する。
【００３５】
次に、Ｓ１０９において、第一バルブ２５および第二バルブ２７を閉じる（図３の時刻ｔ１０９）。これにより、ラジエータ９０の内部空間と空間２２４、２２５とが遮断される。
【００３６】
次に、Ｓ１１０において、入替供給バルブ２３１、２３２を開く（図３の時刻ｔ１１０）。これにより、空気供給部１０と気体貯留部２２とが連通し、空気供給部１０が供給するテスト圧Ｐｔまで加圧された空気が入替用供給管２３を通って空間２２４に供給される。このとき、位置Ｐ１まで移動したピストン２２２を駆動部２２３によって位置０に戻す。
【００３７】
次に、Ｓ１１１において、供給バルブ１６を開く（図３の時刻ｔ１１１）。これにより、ラジエータ９０の内部空間と漏れ検出部２０内とが連通する。
次に、「漏れ検出工程」としてのＳ１１２において、ラジエータ９０の漏れ量を算出する（図３の時刻ｔ１１２）。Ｓ１１２では、ラジエータ９０に漏れがある場合、ラジエータ９０の内部空間の圧力が低下するため、漏れ検出部２０からラジエータ９０に向かって空気が流れる。漏れ検出部２０では、この空気の流れを流量として検出する。漏れ検出部２０は、検出した結果を制御部２８に出力する、制御部２８は、漏れ検出部２０が出力する流量に応じた電気信号に基づいてラジエータ９０の漏れ量を算出する。
【００３８】
次に、Ｓ１１３において、ラジエータ９０の内部空間の空気を排出する。漏れ検出部２０及び制御部２８によってラジエータ９０の漏れ量が算出された後、ラジエータ９０の内部空間の加圧された空気を外部に排出する。これにより、ラジエータ９０の内部空間の圧力は、大気圧に戻る。
【００３９】
次に、Ｓ１１４において、供給バルブ１６を閉じる（図３の時刻ｔ１１４）。最後に、Ｓ１１５において、ラジエータ９０をリークテスタ１から取り外す。
【００４０】
（ａ）図４に本実施形態の気密検査プロセスにおけるラジエータ９０の内部空間の空気の温度変化を示す。図４には、比較例として、ラジエータ９０の内部空間に加圧しつつ空気を導入したときのラジエータ９０の内部空間の空気の温度変化を示す。図４では、横軸に時間を示し、縦軸にラジエータ９０の内部空間の空気の温度を示す。本実施形態の気密検査プロセスにおける温度変化を実線Ｌ１で示し、比較例の気密検査プロセスにおける温度変化を点線Ｌ０で示す。
【００４１】
図４に示すように、本実施形態の気密検査プロセスおよび比較例の気密検査プロセスのいずれにおいても加圧する前のラジエータ９０の内部空間の空気の温度は室温になっている。ラジエータ９０の内部空間にテスト圧Ｐｔに加圧された空気を供給すると空気の断熱圧縮によって発熱し、空気の温度が上昇する（図４の時刻ｔ００から時刻ｔ０１までの間）。
その後、比較例の気密検査プロセスでは、ラジエータ９０の内部空間の空気の温度は自然冷却によって徐々に低下するが、室温に戻るまでに比較的長い時間がかかる。例えば、図４では、時刻ｔ０４以降であっても室温まで戻っていない。
一方、本実施形態の気密検査プロセスでは、ラジエータ９０の内部空間の空気を圧力がテスト圧Ｐｔであってかつ温度が室温の空間２２４の空気と入れ替える。これにより、ラジエータ９０の内部空間の空気は、比較例に比べ早く室温付近に戻る（図４の時刻ｔ０１から時刻ｔ０２までの間）。本実施形態の気密検査プロセスでは、ラジエータ９０の内部空間の空気が室温で安定した後、ラジエータ９０の内部空間の圧力変化を検出することができる（例えば、図４の時刻ｔ０３から時刻ｔ０４までの間）。
【００４２】
このように、リークテスタ１は、圧力がテスト圧Ｐｔであって温度が室温となっている空間２２４の空気とラジエータ９０の内部空間の空気とを入れ替えることによって、ラジエータ９０の内部空間の空気の温度を迅速に室温とし、ラジエータ９０の内部空間の気体の温度が外気温度まで低下するまでの時間を短縮することができる。
また、ラジエータ９０の内部空間の気体の温度が外気温度と同じになっているため、ラジエータ９０の気密検査中にラジエータ９０の内部空間の気体の温度が変化することを防止できる。これにより、ラジエータ９０の内部空間の気体の温度変化による検査精度の低下を防止することができる。
【００４３】
（ｂ）リークテスタ１では、ラジエータ９０の内部空間に空間２２４の空気を導入するとき、ラジエータ９０において空気供給部１０からの加圧された空気が流れる方向の上流側に位置するタンク９１から空間２２４の空気を導入する。これにより、空気供給部１０からの加圧された空気がラジエータ９０に導入されるとき比較的高温になるタンク９２の空気を先にラジエータ９０の外部に押し出すことができる。したがって、ラジエータ９０の内部空間の空気の温度が室温まで低下するまでの時間をさらに短縮することができる。
【００４４】
（第二実施形態）
次に、本発明の第二実施形態による気密検査装置を図５に基づいて説明する。第二実施形態は、第一連通管に熱交換器を設けられる点が第一実施形態と異なる。なお、第一実施形態と実質的に同一の部位には同一の符号を付し、説明を省略する。
【００４５】
第二実施形態による「気密検査装置」としてのリークテスタ２は、空気供給部１０、配管１２、圧力調整バルブ１４、供給バルブ１６、圧力センサ１８、漏れ検出部２０、気体貯留部２２、第一連通管２４、第一バルブ２５、「第一熱交換部」としての第一熱交換器２４１、第二連通管２６、第二バルブ２７、および、制御部２８を備える。
【００４６】
第一熱交換器２４１は、第一連通管２４の第一バルブ２５とラジエータ９０との間に設けられている。第一熱交換器２４１は、第一連通管２４を流れる空気の温度を室温にすることが可能である。
【００４７】
本実施形態によるリークテスタ２では、第一連通管２４を介して空間２２４の空気をラジエータ９０の内部空間に導入するとき、第一熱交換器２４１によってラジエータ９０の内部空間に導入される空気の温度を確実に室温まで低下させることができる。これにより、第二実施形態は、第一実施形態の効果を奏するとともに、ラジエータ９０の内部空間の気体の温度が室温まで低下するまでの時間をさらに短縮することができる。
【００４８】
（第三実施形態）
次に、本発明の第三実施形態による気密検査装置および気密検査方法を図６〜８に基づいて説明する。第三実施形態は、第二連通管に熱交換器を設けられる点が第二実施形態と異なる。なお、第二実施形態と実質的に同一の部位には同一の符号を付し、説明を省略する。
【００４９】
第三実施形態による「気密検査装置」としてのリークテスタ３は、空気供給部１０、配管１２、圧力調整バルブ１４、供給バルブ１６、圧力センサ１８、漏れ検出部２０、気体貯留部２２、第一連通管２４、第一バルブ２５、第一熱交換器２４１、第二連通管２６、第二バルブ２７、「第二熱交換部」としての第二熱交換器２６１、および、制御部２８を備える。
【００５０】
第二熱交換器２６１は、第二連通管２６の第二バルブ２７とラジエータ９０との間に設けられている。第二熱交換器２６１は、第二連通路を流れる空気の温度を室温にすることが可能である。
【００５１】
次に、リークテスタ３における「気密検査方法」としてのラジエータ９０の気密検査プロセスについて、図７、８に基づいて説明する。図７には、気密検査プロセスのフローチャートを示す。図８には、図７に示すフローチャートに沿ったバルブ、気体貯留部２２、および、漏れ検出部２０の作動のタイムチャートを示す。
【００５２】
リークテスタ３では、ラジエータ９０の気密検査プロセスを実行する前には、第一実施形態と同様に、気体貯留部２２の空間２２４の空気の圧力が所定のテスト圧であって、かつ、温度が室温と同じになっている。
最初に、Ｓ３０１において、第一実施形態のＳ１０１と同様に、ラジエータ９０をリークテスタ１に取り付ける。
次に、「加圧工程」としてのＳ３０２において、第一実施形態のＳ１０２と同様に、バイパスバルブ１３１および供給バルブ１６を開く（図８の時刻ｔ３０２）。
【００５３】
次に、Ｓ３０３において、第一実施形態のＳ１０３と同様に、ラジエータ９０の内部空間のワーク圧力Ｐｗを圧力センサ１８によって検出する。
次に、Ｓ３０４において、第一実施形態のＳ１０４と同様に、Ｓ３０３において検出したラジエータ９０の内部空間の圧力が所定のテスト圧Ｐｔであるか否かを判定する。ラジエータ９０の内部空間の圧力がテスト圧Ｐｔである場合、Ｓ３０５に移行する。ラジエータ９０の内部空間の圧力がテスト圧Ｐｔとなっていない場合、Ｓ３０３に戻り、再度ラジエータ９０の内部空間のワーク圧力Ｐｗを圧力センサ１８によって検出する。
【００５４】
次に、Ｓ３０５において、第一実施形態のＳ１０５と同様に、バイパスバルブ１３１および供給バルブ１６を閉じる（図８の時刻ｔ３０５）。
次に、Ｓ３０６において、第一実施形態のＳ１０６と同様に、入替供給バルブ２３１、２３２を閉じる（図８の時刻ｔ３０６）。
次に、Ｓ３０７において、第一実施形態のＳ１０７と同様に、第一バルブ２５および第二バルブ２７を開く（図８の時刻ｔ３０７）。
【００５５】
次に、「入れ替え工程」としてのＳ３０８において、ピストン２２２を往復移動する（図８の時刻ｔ３０８以降）。このとき、ピストン２２２は、空間２２４の空気を押し出すよう位置０から位置Ｐ３まで移動した後、位置Ｐ３から位置０に戻るよう移動する（図６の白抜き矢印Ｆ３参照）。Ｓ３０８では、このピストン２２２の往復移動を複数回繰り返し、ラジエータ９０の内部空間の空気が第一熱交換器２４１および第二熱交換器２６１を通るよう移動させる（図６の実線矢印Ｆ３１、Ｆ３２）。Ｓ３０８では、最後にピストン２２２が位置Ｐ３まで移動し、気体貯留部２２の空間２２４にあった空気をラジエータ９０の内部空間に押し込む。
【００５６】
次に、Ｓ３０９において、第一実施形態のＳ１０９と同様に、第一バルブ２５および第二バルブ２７を閉じる（図８の時刻ｔ３０９）。
次に、Ｓ３１０において、第一実施形態のＳ１１０と同様に、入替供給バルブ２３１、２３２を開く（図８の時刻ｔ３１０）。
次に、Ｓ３１１において、第一実施形態のＳ１１１と同様に、供給バルブ１６を開く（図８の時刻ｔ３１１）。
【００５７】
次に、「漏れ検出工程」としてのＳ３１２において、第一実施形態のＳ１１２と同様に、ラジエータ９０の漏れ量を検出する（図８の時刻ｔ３１２）。
次に、第一実施形態のＳ１１３〜Ｓ１１５と同様に、Ｓ３１３においてラジエータ９０の内部空間の空気を排出した後、Ｓ３１４において供給バルブ１６を閉じ（図８の時刻ｔ３１４）、Ｓ３１５においてラジエータ９０をリークテスタ３から取り外す。
【００５８】
本実施形態によるリークテスタ３では、ラジエータ９０の内部空間に導入される空気を第一熱交換器２４１および第二熱交換器２６１に通すことでラジエータ９０の温度をさらに迅速に室温にすることができる。これにより、第三実施形態は、第一実施形態の効果を奏するとともに、ラジエータ９０の内部空間の気体の温度が室温まで低下するまでの時間をさらに短縮することができる。
【００５９】
（第四実施形態）
次に、本発明の第四実施形態による気密検査装置を図９に基づいて説明する。第四実施形態は、空気の流速を制御可能な流速制御部を備える点が第一実施形態と異なる。なお、第一実施形態と実質的に同一の部位には同一の符号を付し、説明を省略する。
【００６０】
第四実施形態による「気密検査装置」としてのリークテスタ４は、空気供給部１０、配管１２、圧力調整バルブ１４、供給バルブ１６、圧力センサ１８、漏れ検出部２０、「テスト用気体供給部」としての気体貯留部３２、第一連通管２４、第一バルブ２５、第二連通管２６、第二バルブ２７、および、制御部２８を備える。
【００６１】
気体貯留部３２は、第一連通管２４および第二連通管２６を介してラジエータ９０と接続されている。気体貯留部３２は、シリンダ２２１、ピストン２２２、駆動部２２３、「流速制御部」としての駆動力制御部３２４、入替用供給管２３などを有する。
【００６２】
駆動力制御部３２４は、駆動部２２３に連結するよう設けられている。駆動力制御部３２４は、駆動部２２３が発生する駆動力の大きさを制御する。これにより、第一連通管２４および第二連通管２６を流れる空気の流速を制御可能となる。
【００６３】
本実施形態によるリークテスタ４では、空気が流れる断面積がタンク９１、９２の断面積に比べ小さいラジエータコア９４を有するラジエータ９０の気密検査を行うことが可能である。ラジエータコア９４の断面積がタンク９１、９２の断面積に比べ比較的小さいと、タンク９１、９２からラジエータコア９４に入替用の空気が導入されるとき、当該空気が断熱圧縮されるため発熱するおそれがある。そこで、本実施形態によるリークテスタ４では、空気の断熱圧縮が発生しない程度に空気の流速を低下させつつラジエータ９０の内部空間に気体貯留部３２の空気を導入する。これにより、リークテスタ４は、比較的断面積が小さいラジエータコア９４を有するラジエータ９０に対してもラジエータ９０の内部空間の空気の温度が室温まで低下するまでの時間を短縮することができる。したがって、第四実施形態は、第一実施形態と同じ効果を奏するとともに、ラジエータコア９４のように空気が流れる流路が絞られている部材に対しても温度変化による気密性の検査精度の低下を防止することができる。
【００６４】
（第五実施形態）
次に、本発明の第五実施形態による気密検査装置を図１０〜１２に基づいて説明する。第五実施形態は、検査対象である部材の比較対象となるマスタを備える点が第一実施形態と異なる。なお、第一実施形態と実質的に同一の部位には同一の符号を付し、説明を省略する。
【００６５】
第五実施形態による「気密検査装置」であるリークテスタ５は、マスタ９５が取付可能に形成されている。ここで、マスタ９５とは、テスト圧に加圧された空気が供給されるとき空気の漏れ量が基準値以下となる部材であって、ラジエータ９０の比較対象となる部材である。マスタ９５は、ラジエータ９０と同じ形状となるよう形成され、二つのタンク９６、９７、および、タンク９６とタンク９７とを接続するラジエータコア９８を有する。以下、二つのタンク９６、９７、および、ラジエータコア９８が有する空間をマスタ９５の内部空間という。リークテスタ５では、マスタ９５に対するラジエータ９０の漏れ量の比較結果に基づいてラジエータ９０の気密性を検査する。
【００６６】
リークテスタ５は、空気供給部１０、配管１２、圧力調整バルブ１４、供給バルブ１６、圧力センサ１８、漏れ検出部４０、気体貯留部２２、第一連通管２４、第一バルブ２５、第二連通管２６、第二バルブ２７、「マスタ検出用連通管」および「マスタ加圧用供給管」としてのマスタ配管４２、「マスタ検出用バルブ」および「マスタ加圧用バルブ」としてのマスタ供給バルブ４６、マスタ圧力センサ４８、「マスタテスト用気体供給部」としてのマスタ気体貯留部５２、「マスタテスト用供給管」としてのマスタ第一連通管５４、「マスタテスト用バルブ」としてのマスタ第一バルブ５５、「マスタ排出管」としてのマスタ第二連通管５６、「マスタ排出用バルブ」としてのマスタ第二バルブ５７、および、「マスタ制御部」としての制御部２８を備える。空気供給部１０および圧力調整バルブ１４は、特許請求の範囲に記載の「マスタ加圧用気体供給部」に相当する。
【００６７】
マスタ配管４２は、漏れ検出部４０とマスタ９５との間に設けられている。マスタ配管４２は、後述するマスタ第一連通管５４と漏れ検出部４０とを接続している。マスタ配管４２は、漏れ検出部４０内とマスタ第一連通管５４が有するマスタ第一連通路とを連通可能なマスタ供給通路を有する。マスタ供給通路には、空気供給部１０が供給する空気が流れる。
【００６８】
マスタ供給バルブ４６は、マスタ配管４２に設けられている。マスタ供給バルブ４６は、制御部２８と電気的に接続している。マスタ供給バルブ４６は、制御部２８の指令に基づいて開閉する。これにより、マスタ供給バルブ４６は、マスタ供給通路を流れる空気の流通を許容または遮断することが可能である。
【００６９】
マスタ圧力センサ４８は、マスタ配管４２のマスタ供給バルブ４６よりマスタ配管４２とマスタ第一連通管５４とが接続している部位（図１０の部位Ｐａ５）側に設けられている。マスタ圧力センサ４８は、マスタ９５の内部空間の気体の圧力を検出可能である。マスタ圧力センサ４８は、当該検出した圧力に応じた電気信号を電気的に接続している制御部２８に出力する。
【００７０】
マスタ気体貯留部５２は、マスタ第一連通管５４およびマスタ第二連通管５６を介してマスタ９５と接続されている。マスタ気体貯留部５２は、シリンダ５２１、ピストン５２２、駆動部５２３、二本のマスタ入替用供給管５３などを有する。
シリンダ５２１は、ピストン５２２を往復移動可能に収容している。シリンダ５２１の内部は、ピストン５２２によってマスタ第一連通管５４が接続されている側の「マスタ用第一室」としての空間５２４とマスタ第二連通管５６が接続されている側の「マスタ用第二室」としての空間５２５とに区画されている。
ピストン５２２は、制御部２８と電気的に接続している駆動部５２３と連結している。駆動部５２３は、制御部２８からの指令に基づいてピストン５２２を往復移動可能な駆動力を発生する。これにより、マスタ気体貯留部５２は、マスタ第一連通管５４を介して空間５２４の空気をマスタ９５の内部空間に供給することが可能である。
【００７１】
二本のマスタ入替用供給管５３のうち一本は、一端が入替用供給管２３に接続し、他端がシリンダ５２１のマスタ第一連通管５４が接続している側の端部に接続している。このマスタ入替用供給管５３は、空間５２４に連通し空気供給部１０が供給する空気が流通可能な流路を有する。
また、二本のマスタ入替用供給管５３のうち他の一本は、一端が入替用供給管２３に接続し、他端がシリンダ５２１のマスタ第二連通管５６が接続している側の端部に接続している。このマスタ入替用供給管５３は、空間５２５に連通し空気供給部１０が供給する空気が流通可能な流路を有する。
二本のマスタ入替用供給管５３のそれぞれには、マスタ入替供給バルブ５３１、５３２が設けられている。マスタ入替供給バルブ５３１、５３２は、制御部２８と電気的に接続している。マスタ入替供給バルブ５３１、５３２は、制御部２８からの指令に基づいて開閉する。これにより、マスタ入替供給バルブ５３１、５３２は、マスタ入替用供給管５３における空気の流通を許容または遮断することが可能である。
【００７２】
マスタ第一連通管５４は、マスタ気体貯留部５２とマスタ９５とを接続している。マスタ第一連通管５４は、マスタ気体貯留部５２内とマスタ９５の内部空間とを連通するマスタ第一連通路を有する。
マスタ第一バルブ５５は、マスタ第一連通管５４に設けられている。マスタ第一バルブ５５は、制御部２８と電気的に接続している。マスタ第一バルブ５５は、制御部２８からの指令に基づいて開閉する。これにより、マスタ第一バルブ５５は、マスタ第一連通路を流れる空気の流通を許容または遮断することが可能である。
【００７３】
マスタ第二連通管５６は、マスタ第一連通管５４とは別異にマスタ気体貯留部５２とマスタ９５とを接続している。マスタ第二連通管５６は、マスタ気体貯留部５２内とマスタ９５の内部空間とを連通するマスタ第二連通路を有する。
マスタ第二バルブ５７は、マスタ第二連通管５６に設けられている。マスタ第二バルブ５７は、制御部２８と電気的に接続している。マスタ第二バルブ５７は、制御部２８からの指令に基づいて開閉する。これにより、マスタ第二バルブ５７は、マスタ第二連通路を流れる空気の流通を許容または遮断することが可能である。
【００７４】
漏れ検出部４０は、配管１２およびマスタ配管４２が接続されている。漏れ検出部４０は、内部に図示しないダイヤフラムを有する。漏れ検出部４０では、ダイヤフラムの両側にラジエータ９０からの空気とマスタ９５からの空気とが流れる。このとき、ラジエータ９０からの空気の圧力とマスタ９５からの空気の圧力との違いによってダイヤフラムが変形する。このダイヤフラムの変形量に基づいてマスタ９５に対するラジエータ９０の漏れ量を算出する。
【００７５】
次に、リークテスタ５における「気密検査方法」としてのラジエータ９０の気密検査プロセスについて、図１１、１２に基づいて説明する。図１１には、気密検査プロセスのフローチャートを示す。図１２には、図１１に示すフローチャートに沿ったバルブ、気体貯留部２２、マスタ気体貯留部５２、および、漏れ検出部４０の作動のタイムチャートを示す。
【００７６】
ここで、図１１に示すラジエータ９０の気密検査プロセスを実行する前のリークテスタ５の状態について説明する。
リークテスタ５では、供給バルブ１６、マスタ供給バルブ４６、第一バルブ２５、マスタ第一バルブ５５、第二バルブ２７、および、マスタ第二バルブ５７は閉じられている。一方、入替供給バルブ２３１およびマスタ入替供給バルブ５３１は開かれており、所定のテスト圧の空気が空間２２４および空間５２４に供給されている。気密検査プロセスを実行する前のリークテスタ５では、空間２２４および空間５２４に所定のテスト圧の空気が供給されてから十分な時間が経過している。このため、空間２２４の空気および空間５２４の空気は、圧力が所定のテスト圧であって、かつ、温度が室温と同じになっている。
【００７７】
最初に、Ｓ５０１において、第一実施形態のＳ１０１と同様に、ラジエータ９０をリークテスタ１に取り付ける。
次に、「加圧工程」および「マスタ加圧工程」としてのＳ５０２において、供給バルブ１６およびマスタ供給バルブ４６を開く（図１２の時刻ｔ５０２）。制御部２８が供給バルブ１６およびマスタ供給バルブ４６を開くと、空気供給部１０が供給する所定のテスト圧に調整された空気がラジエータ９０の内部空間およびマスタ９５の内部空間に流入する。このとき、ラジエータ９０およびマスタ９５では、空気の断熱圧縮によって温度が上昇する。
【００７８】
次に、Ｓ５０３において、ラジエータ９０の内部空間のワーク圧力Ｐｗおよびマスタ９５の内部空間のマスタ圧力Ｐｍを検出する。ワーク圧力Ｐｗは、圧力センサ１８によって検出される。圧力センサ１８が検出した圧力は、電気信号に変換され制御部２８に出力される。また、マスタ圧力Ｐｍは、マスタ圧力センサ４８によって検出される。マスタ圧力センサ４８が検出した圧力は、電気信号に変換され制御部２８に出力される。
【００７９】
次に、Ｓ５０４において、Ｓ５０３において検出したワーク圧力Ｐｗおよびマスタ圧力Ｐｍが所定のテスト圧Ｐｔであるか否かを判定する。制御部２８は、Ｓ５０３で圧力センサ１８およびマスタ圧力センサ４８が出力した電気信号に基づいてワーク圧力Ｐｗおよびマスタ圧力Ｐｍがテスト圧Ｐｔであるか否かを判定する。ワーク圧力Ｐｗおよびマスタ圧力Ｐｍがテスト圧Ｐｔである場合、Ｓ５０５に移行する。ワーク圧力Ｐｗおよびマスタ圧力Ｐｍがテスト圧Ｐｔとなっていない場合、Ｓ５０３に戻り、再度ワーク圧力Ｐｗを圧力センサ１８によって検出し、マスタ圧力Ｐｍをマスタ圧力センサ４８によって検出する。
【００８０】
次に、Ｓ５０５において、供給バルブ１６およびマスタ供給バルブ４６を閉じる（図１２の時刻ｔ５０５）。このとき、ラジエータ９０の内部空間およびマスタ９５の内部空間は、圧力がテスト圧Ｐｔであって温度が室温に比べて高い空気によって満たされている。
【００８１】
次に、Ｓ５０６において、入替供給バルブ２３１、２３２およびマスタ入替供給バルブ５３１、５３２を閉じる（図１２の時刻ｔ５０６）。これにより、空気供給部１０から空間２２４、５２４への空気の流れは遮断される。
【００８２】
次に、Ｓ５０７において、第一バルブ２５、第二バルブ２７、マスタ第一バルブ５５およびマスタ第二バルブ５７を開く。（図１２の時刻ｔ５０７）。これにより、ラジエータ９０の内部空間と気体貯留部２２内とが連通し、マスタ９５の内部空間とマスタ気体貯留部５２内とが連通する。具体的には、気体貯留部２２の空間２２４が第一連通管２４を介してタンク９１と連通し、気体貯留部２２の空間２２５が第二連通管２６を介してタンク９２と連通する。また、マスタ気体貯留部５２の空間５２４がマスタ第一連通管５４を介してタンク９６と連通し、マスタ気体貯留部５２の空間５２５がマスタ第二連通管５６を介してタンク９７と連通する。
【００８３】
次に、「入れ替え工程」および「マスタ入れ替え工程」としてのＳ５０８において、ピストン２２２、５２２をそれぞれ移動する（図１２の時刻ｔ５０８以降）。このとき、ピストン２２２は、空間２２４の空気を押し出すよう位置０から位置Ｐ５２まで白抜き矢印Ｆ５２の方向に移動する。これにより、空間２２４の空気が第一連通管２４を通って移動し、タンク９１側からラジエータ９０の内部空間に導入される。また、ピストン５２２は、空間５２４の空気を押し出すよう位置０から位置Ｐ５５まで白抜き矢印Ｆ５５の方向に移動する。これにより、空間５２４の空気がマスタ第一連通管５４を通って移動し、タンク９６側からマスタ９５内に導入される。
【００８４】
次に、Ｓ５０９において、第一バルブ２５、第二バルブ２７、マスタ第一バルブ５５およびマスタ第二バルブ５７を閉じる（図１２の時刻ｔ５０９）。これにより、ラジエータ９０の内部空間と空間２２４、２２５、および、マスタ９５の内部空間と空間５２４、５２５とが遮断される。
【００８５】
次に、Ｓ５１０において、入替供給バルブ２３１、２３２およびマスタ入替供給バルブ５３１、５３２を開く（図１２の時刻ｔ５１０）。これにより、気体貯留部２２およびマスタ気体貯留部５２にテスト圧Ｐｔまで加圧された空気が供給される。このとき、位置Ｐ５２まで移動したピストン２２２を駆動部２２３によって位置０に戻す。また、位置Ｐ５５まで移動したピストン５２２を駆動部５２３によって位置０に戻す。
【００８６】
次に、Ｓ５１１において、供給バルブ１６およびマスタ供給バルブ４６を開く（図１２の時刻ｔ５１１）。これにより、ラジエータ９０の内部空間およびマスタ９５の内部空間と漏れ検出部４０内とが連通する。
次に、「漏れ検出工程」としてのＳ５１２において、ラジエータ９０の漏れ量を算出する（図１２の時刻ｔ５１２）。Ｓ５１２では、ラジエータ９０の空気の圧力とマスタ９５の空気の圧力とを漏れ検出部４０で比較する。漏れ検出部４０は、検出した結果を制御部２８に出力する。制御部２８は、漏れ検出部４０が出力する電気信号に基づいてラジエータ９０の内部空間の圧力変化を算出する。
【００８７】
次に、Ｓ５１３において、ラジエータ９０の内部空間およびマスタ９５の内部空間の空気を排出する。漏れ検出部４０及び制御部２８によってラジエータ９０の内部空間の圧力変化が算出された後、ラジエータ９０の内部空間の加圧された空気を外部に排出する。これにより、ラジエータ９０の内部空間の圧力は、大気圧に戻る。また、ラジエータ９０の内部空間の圧力変化が算出された後、マスタ９５の内部空間の加圧された空気を外部に排出する。これにより、マスタ９５の内部空間の圧力は、大気圧に戻る。
【００８８】
次に、Ｓ５１４において、供給バルブ１６およびマスタ供給バルブ４６を閉じる（図１２の時刻ｔ５１４）。最後に、Ｓ５１５において、ラジエータ９０をリークテスタ５から取り外す。
【００８９】
本実施形態によるリークテスタ５では、マスタ９５に対するラジエータ９０の差圧に基づいてラジエータ９０の漏れ量を検出することができる。これにより、第五実施形態は、第一実施形態と同じ効果を奏するとともに、差圧式の気密性検査にも適用することができる。
【００９０】
（第六実施形態）
次に、本発明の第六実施形態による気密検査装置を図１３〜１５に基づいて説明する。第六実施形態は、マスタを備え、一つの気体貯留部が貯留するテスト用気体をワークおよびマスタのそれぞれに供給可能である点が第一実施形態と異なる。なお、第一実施形態と実質的に同一の部位には同一の符号を付し、説明を省略する。
【００９１】
第六実施形態による「気密検査装置」であるリークテスタ６は、マスタ９５が取付可能に形成されている。リークテスタ６は、空気供給部１０、配管１２、圧力調整バルブ１４、供給バルブ１６、圧力センサ１８、漏れ検出部４０、「テスト用気体供給部」としての気体貯留部６０、第一連通管２４、第一バルブ２５、第二連通管２６、第二バルブ２７、「マスタ検出用連通管」および「マスタ加圧用供給管」としてのマスタ配管６２、「マスタ検出用バルブ」および「マスタ加圧用バルブ」としてのマスタ供給バルブ６６、マスタ圧力センサ６８、「中間バルブ」としての第三バルブ６９、および、制御部２８を備える。
【００９２】
気体貯留部６０は、シリンダ６０１、ピストン６０２、駆動部６０３、入替用供給管２３などを有する。
シリンダ６０１は、ピストン６０２を往復移動可能に収容している。シリンダ６０１の内部は、ピストン６０２によって第一連通管２４が接続されている側の「第一室」としての空間６０４と第二連通管２６が接続されている側の「第二室」としての空間６０５とに区画されている。空間６０４は、ラジエータ９０の内容積とマスタ９５の内容積とを合計した体積以上の空気を貯留可能に形成されている。
ピストン６０２は、制御部２８と電気的に接続している駆動部６０３と連結している。駆動部６０３は、制御部２８からの指令に基づいてピストン６０２を往復移動可能な駆動力を発生する。
入替用供給管２３の空気供給部１０側とは反対側の端部は、二つに分かれている。当該端部の一方は、シリンダ６０１の第一連通管２４が接続している側の端部に接続している。また、当該端部の他方は、シリンダ６０１の第二連通管２６が接続している側の端部に接続している。入替用供給管２３は、空間６０４、６０５に連通し空気供給部１０が供給する空気が流通可能な流路を有する。入替用供給管２３の空間６０４に連通する側の端部には、入替供給バルブ２３１が設けられている。また、入替用供給管２３の空間６０５に連通する側の端部には、入替供給バルブ２３２が設けられている。
気体貯留部６０は、第一連通管２４を介して空間６０４の空気をラジエータ９０の内部空間に供給することが可能である。
【００９３】
第六実施形態では、第二連通管２６は、ラジエータ９０の第一連通管２４が接続されている側とは反対側に接続されている配管１２に接続されている（図１３の部位Ｐａ６１）。第二連通管２６には、マスタ９５が設けられている。具体的には、マスタ９５は、第二連通管２６において、第二バルブ２７からみて気体貯留部６０とは反対側に設けられている。
【００９４】
マスタ配管６２は、後述する第三バルブ６９とマスタ９５との間の第二連通管２６（図１３の部位Ｐａ６２）と漏れ検出部４０とを接続している。マスタ配管６２は、漏れ検出部４０内と第二連通管２６の第二連通路とを連通可能なマスタ供給通路を有する。
【００９５】
マスタ供給バルブ６６は、マスタ配管６２に設けられている。マスタ供給バルブ６６は、制御部２８と電気的に接続している。マスタ供給バルブ６６は、制御部２８の指令に基づいて開閉する。これにより、マスタ供給バルブ６６は、マスタ供給通路を流れる空気の流れを許容または遮断することが可能である。
【００９６】
マスタ圧力センサ６８は、第二連通管２６の第三バルブ６９とマスタ９５との間に設けられている。マスタ圧力センサ６８は、マスタ９５の内部空間の気体の圧力を検出可能である。マスタ圧力センサ６８は、当該検出した圧力に応じた電気信号を電気的に接続している制御部２８に出力する。
【００９７】
第三バルブ６９は、第二連通管２６において配管１２と第二連通管２６とが接続している部位Ｐａ６１とマスタ配管６２と第二連通管２６とが接続している部位Ｐａ６２との間に設けられている。第三バルブ６９は、制御部２８と電気的に接続している。第三バルブ６９は、制御部２８の指令に基づいて開閉する。これにより、第三バルブ６９は、第二連通管２６を介したラジエータ９０の内部空間とマスタ９５の内部空間との間の空気の流通を許容または遮断することが可能である。
【００９８】
次に、リークテスタ６における「気密検査方法」としてのラジエータ９０の気密検査プロセスについて、図１４、１５に基づいて説明する。図１４には、気密検査プロセスのフローチャートを示す。図１５には、図１４に示すフローチャートに沿ったバルブ、気体貯留部６０、および、漏れ検出部４０の作動のタイムチャートを示す。
【００９９】
ここで、図１３に示すラジエータ９０の気密検査プロセスを実行する前のリークテスタ６の状態について説明する。
リークテスタ６では、供給バルブ１６、マスタ供給バルブ６６、第一バルブ２５、第二バルブ２７、および、第三バルブ６９は閉じられている。一方、入替供給バルブ２３１は開かれており、所定のテスト圧の空気が空間６０４に供給されている。気密検査プロセスを実行する前のリークテスタ６では、空間６０４に所定のテスト圧に調整された空気が供給されてから十分な時間が経過している。このため、空間６０４の空気は、圧力が所定のテスト圧であって、かつ、温度が室温と同じになっている。気密検査プロセスを実行する前のリークテスタ６では、空間６０４の空気の体積は、ラジエータ９０の内容積とマスタ９５の内容積とを合計した体積以上となっている。空間６０４の空気は、特許請求の範囲に記載の「テスト用気体」に相当する。
【０１００】
最初に、Ｓ６０１において、第一実施形態のＳ１０１と同様に、ラジエータ９０をリークテスタ１に取り付ける。
次に、「加圧工程」および「マスタ加圧工程」としてのＳ６０２において、供給バルブ１６およびマスタ供給バルブ６６を開く（図１５の時刻ｔ６０２）。制御部２８が供給バルブ１６およびマスタ供給バルブ６６を開くと、空気供給部１０が供給する所定のテスト圧に調整された空気がラジエータ９０の内部空間およびマスタ９５の内部空間に流入する。
次に、Ｓ６０３において、ラジエータ９０の内部空間のワーク圧力Ｐｗおよびマスタ９５内のマスタ圧力Ｐｍを検出する。圧力センサ１８によって検出されるワーク圧力Ｐｗおよびマスタ圧力センサ６８によって検出されるマスタ圧力Ｐｍは、電気信号に変換され制御部２８に出力される。
【０１０１】
次に、Ｓ６０４において、Ｓ６０３において検出したワーク圧力Ｐｗおよびマスタ圧力Ｐｍが所定のテスト圧Ｐｔであるか否かを判定する。制御部２８は、Ｓ６０３で圧力センサ１８およびマスタ圧力センサ６８が出力した電気信号に基づいてワーク圧力Ｐｗおよびマスタ圧力Ｐｍがテスト圧Ｐｔであるか否かを判定する。ワーク圧力Ｐｗおよびマスタ圧力Ｐｍがテスト圧Ｐｔである場合、Ｓ６０５に移行する。ワーク圧力Ｐｗおよびマスタ圧力Ｐｍがテスト圧Ｐｔとなっていない場合、Ｓ６０３に戻る。
【０１０２】
次に、Ｓ６０５において、供給バルブ１６およびマスタ供給バルブ６６を閉じる（図１５の時刻ｔ６０５）。
次に、Ｓ６０６において、第一実施形態のＳ１０６と同様に、入替供給バルブ２３１、２３２を閉じる（図１５の時刻ｔ６０６）。
【０１０３】
次に、Ｓ６０７において、第一バルブ２５、第二バルブ２７、および、第三バルブ６９を開く。（図１５の時刻ｔ６０７）。これにより、ラジエータ９０の内部空間、マスタ９５の内部空間、および、気体貯留部２２内が第一連通管２４、配管１２、および、第二連通管２６によって連通する。
【０１０４】
次に、「入れ替え工程」および「マスタ入れ替え工程」としてのＳ６０８において、ピストン６０２を移動する（図１５の時刻ｔ６０８以降）。このとき、ピストン６０２は、空間６０４の空気を押し出すよう位置０から位置Ｐ６まで白抜き矢印Ｆ６の方向に移動する。これにより、空間６０４の空気が第一連通管２４を通って移動し、タンク９２側からラジエータ９０の内部空間に導入される（図１３の実線矢印Ｆ６１）。さらに、空間６０４の空気は、ラジエータ９０の内部空間、配管１２、および、第二連通管２６を通ってマスタ９５内に導入される（図１３の実線矢印Ｆ６２）。すなわち、ラジエータ９０の内部空間の空気およびマスタ９５の内部空間の空気は、空間６０４の空気と入れ替わる。このとき、ラジエータ９０の内部空間の空気およびマスタ９５の内部空間の空気は、空間６０５に流入する（図１３の実線矢印Ｆ６３）。
【０１０５】
次に、Ｓ６０９において、第一バルブ２５、第二バルブ２７、および、第三バルブ６９を閉じる（図１５の時刻ｔ６０９）。これにより、ラジエータ９０の内部空間とマスタ９５内と気体貯留部２２内とが遮断される。
【０１０６】
次に、Ｓ６１０において、第一実施形態のＳ１１０と同様に、入替供給バルブ２３１、２３２を開く（図１５の時刻ｔ６１０）。
【０１０７】
次に、Ｓ６１１において、供給バルブ１６およびマスタ供給バルブ６６を開く（図１５の時刻ｔ６１１）。これにより、ラジエータ９０の内部空間およびマスタ９５の内部空間と漏れ検出部４０内とが連通する。
次に、「漏れ検出工程」としてのＳ６１２において、ラジエータ９０の漏れ量を算出する（図１５の時刻ｔ６１２）。Ｓ６１２では、ラジエータ９０の空気の圧力とマスタ９５の空気の圧力とを漏れ検出部４０で比較する。制御部２８は、制御部２８は、漏れ検出部４０が出力する検出結果に応じた電気信号に基づいてラジエータ９０の内部空間の圧力変化を算出する。
【０１０８】
次に、Ｓ６１３において、ラジエータ９０の内部空間およびマスタ９５の内部空間の空気を排出する。漏れ検出部４０及び制御部２８によってラジエータ９０の内部空間の圧力変化が算出された後、ラジエータ９０の内部空間よびマスタ９５の内部空間の加圧された空気を外部に排出し、大気圧に戻す。
【０１０９】
次に、Ｓ６１４において、供給バルブ１６およびマスタ供給バルブ６６を閉じる（図１５の時刻ｔ６１４）。最後に、Ｓ６１５において、ラジエータ９０をリークテスタ６から取り外す。
【０１１０】
本実施形態によるリークテスタ６では、マスタ９５に対する圧力変化に基づいてラジエータ９０の漏れ量を検出することができる。これにより、第六実施形態は、第一実施形態の効果（ａ）を奏するとともに、差圧式の気密性検査にも適用することができる。
また、リークテスタ６では、差圧式の気密性検査において、検査対象のラジエータ９０の内部空間の空気だけでなくマスタ９５の内部空間の空気も一つの気体貯留部６０によって入れ替えることができる。これにより、差圧式の気密検査において、構成する部品の点数を少なくすることができる。
【０１１１】
（第七実施形態）
次に、本発明の第七実施形態による気密検査装置を図１６〜１８に基づいて説明する。第七実施形態は、マスタを備えている点が第一実施形態と異なる。なお、第一実施形態と実質的に同一の部位には同一の符号を付し、説明を省略する。
【０１１２】
第七実施形態による「気密検査装置」であるリークテスタ７は、マスタ９５が取付可能に形成されている。リークテスタ７は、空気供給部１０、配管１２、圧力調整バルブ１４、供給バルブ１６、圧力センサ１８、漏れ検出部４０、気体貯留部２２、第一連通管２４、第一バルブ２５、第二連通管２６、第二バルブ２７、「マスタ検出用連通管」としてのマスタ連通管７２、「マスタ検出用バルブ」としてのマスタ開閉バルブ７６、マスタ圧力センサ７８、および、「マスタ制御部」としての制御部２８を備える。
【０１１３】
マスタ連通管７２は、漏れ検出部４０とマスタ９５との間に設けられている。マスタ連通管７２は、漏れ検出部４０内とマスタ９５内とを連通可能なマスタ供給通路を有する。
【０１１４】
マスタ開閉バルブ７６は、マスタ連通管７２に設けられている。マスタ開閉バルブ７６は、制御部２８と電気的に接続している。マスタ開閉バルブ７６は、制御部２８の指令に基づいて開閉する。これにより、マスタ開閉バルブ７６は、マスタ供給通路を流れる空気の流れを許容または遮断することが可能である。
【０１１５】
マスタ圧力センサ７８は、マスタ連通管７２のマスタ開閉バルブ７６とマスタ９５との間に設けられている。マスタ圧力センサ７８は、マスタ９５内の気体の圧力を検出する。マスタ圧力センサ７８は、当該検出した圧力に応じた電気信号を電気的に接続している制御部２８に出力する。
【０１１６】
次に、リークテスタ７における「気密検査方法」としてのラジエータ９０の気密検査プロセスについて、図１７、１８に基づいて説明する。図１７には、気密検査プロセスのフローチャートを示す。図１８には、図１７に示すフローチャートに沿ったバルブ、気体貯留部２２、および、漏れ検出部４０の作動のタイムチャートを示す。
図１７に示すラジエータ９０の気密検査プロセスを実行する前のリークテスタ７では、第一実施形態と同様に、空間２２４の空気は、圧力が所定のテスト圧であって、かつ、温度が室温と同じになっている。また、マスタ９５の内部空間の空気は、圧力が所定のテスト圧であって、かつ、温度が室温と同じ温度になっている。
【０１１７】
最初に、Ｓ７０１において、第一実施形態のＳ１０１と同様に、ラジエータ９０をリークテスタ７に取り付ける。
次に、「加圧工程」としてのＳ７０２において、第一実施形態のＳ１０２と同様に、供給バルブ１６を開く（図１８の時刻ｔ７０２）。
次に、Ｓ７０３において、ラジエータ９０の内部空間のワーク圧力Ｐｗおよびマスタ９５内のマスタ圧力Ｐｍを検出する。圧力センサ１８によって検出されるワーク圧力Ｐｗおよびマスタ圧力センサ７８によって検出されるマスタ圧力Ｐｍは、電気信号に変換され制御部２８に出力される。
【０１１８】
次に、Ｓ７０４において、Ｓ７０３において検出したワーク圧力Ｐｗおよびマスタ圧力Ｐｍが所定のテスト圧Ｐｔであるか否かを判定する。制御部２８は、Ｓ７０３で圧力センサ１８およびマスタ圧力センサ７８が出力した電気信号に基づいてワーク圧力Ｐｗおよびマスタ圧力Ｐｍがテスト圧Ｐｔであるか否かを判定する。ワーク圧力Ｐｗおよびマスタ圧力Ｐｍがテスト圧Ｐｔである場合、Ｓ７０５に移行する。ワーク圧力Ｐｗおよびマスタ圧力Ｐｍがテスト圧Ｐｔとなっていない場合、Ｓ７０３に戻る。
次に、第一実施形態のＳ１０５〜Ｓ１０７と同様に、Ｓ７０５において、供給バルブ１６を閉じ（図１８の時刻ｔ７０５）、Ｓ７０６において、入替供給バルブ２３１、２３２を閉じた（図１８の時刻ｔ７０６）後、Ｓ７０７において、第一実施形態のＳ１０７と同様に、第一バルブ２５および第二バルブ２７を開く（図１８の時刻ｔ７０７）。
【０１１９】
次に、「入れ替え工程」としてのＳ７０８において、第一実施形態のＳ１０８と同様に、ピストン２２２を移動する（図１８の時刻ｔ７０８以降）。次に、Ｓ７０９において、第一実施形態のＳ１０９と同様に、第一バルブ２５および第二バルブ２７を閉じる（図１８の時刻ｔ７０９）。
【０１２０】
次に、Ｓ７１０において、第一実施形態のＳ１１０と同様に、入替供給バルブ２３１、２３２を開く（図１８の時刻ｔ７１０）。
【０１２１】
次に、Ｓ７１１において、供給バルブ１６およびマスタ開閉バルブ７６を開く（図１８の時刻ｔ７１１）。これにより、ラジエータ９０の内部空間およびマスタ９５の内部空間と漏れ検出部４０内とが連通する。
次に、「漏れ検出工程」としてのＳ７１２において、ラジエータ９０の漏れ量を算出する（図１１８の時刻ｔ７１２）。Ｓ７１２では、ラジエータ９０の空気の圧力とマスタ９５の空気の圧力とを漏れ検出部４０で比較する。制御部２８は、制御部２８は、漏れ検出部４０が出力する検出結果に応じた電気信号に基づいてラジエータ９０の内部空間の圧力変化を算出する。
【０１２２】
次に、Ｓ７１３において、マスタ開閉バルブ７６を閉じる（図１８の時刻ｔ７１３）。これにより、マスタ９５からの空気の流出を止める。
【０１２３】
次に、第一実施形態のＳ１１３〜Ｓ１１５と同様に、Ｓ７１４において、ラジエータ９０の内部空間の空気を排出し、Ｓ７１５において、供給バルブ１６を閉じた（図１８の時刻ｔ７１５）後、Ｓ７１６において、ラジエータ９０をリークテスタ７から取り外す。
【０１２４】
本実施形態によるリークテスタ７では、マスタ９５に対する圧力変化に基づいてラジエータ９０の漏れ量を検出することができる。これにより、第七実施形態は、第一実施形態の効果を奏するとともに、差圧式の気密性検査にも適用することができる。
また、リークテスタ７では、マスタ９５内の空気を入れ替えることなく差圧式の気密性検査を行うことができる、これにより、第一実施形態に比べ、マスタ９５に入替用の空気を導入するための構成が不要となるため、構成する部品の点数を少なくし構成を簡素にすることができる。
【０１２５】
（他の実施形態）
【０１２６】
上述の実施形態では、リークテスタは、「ワーク」としてのラジエータの気密性を検査するとした。しかしながら、リークテスタが気密性を検査可能なワークはこれに限定されない。内部空間を有する部材であればよい。
【０１２７】
上述の実施形態では、気体貯留部またはマスタ気体貯留部は、シリンダ、ピストン、および、駆動部を有するとした。しかしながら、気体貯留部およびマスタ気体貯留部の構成はこれに限定されない。所定のテスト圧であってかつ外気温度と同じ温度のテスト用気体を貯留可能に形成され、テスト用気体をラジエータの内部空間またはマスタの内部空間に供給可能であればよい。
【０１２８】
上述の実施形態では、第二連通管は、ラジエータと気体貯留部とを接続し、ラジエータの内部空間の気体を気体貯留部に戻すとした。しかしながら、第二連通管は、気体貯留部に接続されていなくてもよい。ラジエータの内部空間の空気の圧力を維持しつつ当該内部空間の空気を外部に排出可能であればよい。
【０１２９】
第二実施形態の第一熱交換器、および、第三実施形態の第二熱交換器は、第四〜七実施形態によるリークテスタに適用されてもよい。
【０１３０】
第四実施形態の駆動力制御部は、第五〜七実施形態によるリークテスタに適用されてもよい。
【０１３１】
以上、本発明はこのような実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の形態で実施可能である。
【符号の説明】
【０１３２】
１、２、３、４、５、６、７・・・リークテスタ
９０・・・ラジエータ（ワーク）
１０・・・空気供給部（加圧用気体供給部）
１２・・・配管（加圧用供給管）
１６・・・供給バルブ（加圧用バルブ）
２０、４０・・・漏れ検出部
２２、３２、６０・・・気体貯留部（テスト用気体供給部）
２４・・・第一連通管（テスト用供給管）
２５・・・第一バルブ（テスト用バルブ）
２６・・・第二連通管（排出管）
２７・・・第二バルブ（排出用バルブ）
２８・・・制御部（マスタ制御部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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