(57)【要約】【課題】電子部品の裏面に粘着剤などが残らないように、シートから電子部品をピックアップする。【解決手段】ピックアップ装置において、開口上に素子が位置するようにシートが第１ステージ上に配置され、素子はシートの下側から第２ステージにより支持される。第２ステージの載置面は素子よりも小さいので、素子はその一部が第２ステージにより支持され、それ以外の領域では支持されていない状態となる。そして、シートに対して圧力を加えることにより、シートが素子から部分的に引き剥がされる。この状態で、吸着ノズルが素子を吸引してピックアップする。【選択図】図１
2017005222.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
素子が貼り付けられたシートが載置され、開口を有する第１ステージと、
前記開口の内部に設けられ、前記素子よりも小さい載置面を有し、前記シートの下側から前記素子を支持する第２ステージと、
前記シートに対して圧力を与える圧力付与手段と、
前記シートに対して圧力が与えられた状態で、前記素子を吸着してピックアップする吸着ノズルと、
を備えることを特徴とするピックアップ装置。
【請求項２】
前記圧力付与手段は、前記シートに対して圧力を与えることにより、当該シートを前記開口側へ引き剥がし、
前記吸着ノズルは、前記素子が前記シートから部分的に剥がされた状態で、前記素子を吸着してピックアップすることを特徴とする請求項１に記載のピックアップ装置。
【請求項３】
前記開口は、前記素子よりも大きいことを特徴とする請求項１又は２に記載のピックアップ装置。
【請求項４】
前記第１ステージの開口内には貫通孔が設けられており、
前記圧力付与手段は、前記貫通孔を通じて前記開口の内部の空気を吸引する排気装置であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のピックアップ装置。
【請求項５】
前記貫通孔は前記開口の外周付近に設けられており、
前記圧力付与手段は、前記素子の端部側から前記シートを引き剥がすことを特徴とする請求項４に記載のピックアップ装置。
【請求項６】
前記圧力付与手段は、前記シートの上方から当該シートに対して空気圧を与える装置であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のピックアップ装置。
【請求項７】
前記圧力付与手段は、前記シートの上方から、当該シートを部分的に前記開口側へ押し出す押圧力を与える機構であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のピックアップ装置。
【請求項８】
前記開口の外周縁は鈍角の断面形状を有することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載のピックアップ装置。
【請求項９】
前記第２ステージが複数設けられていることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載のピックアップ装置。
【請求項１０】
前記第２ステージには突上げピンが通過する穴が設けられており、
前記穴を通じて、前記素子を押し上げるように前記突上げピンを上下移動させる突上げ機構を備えることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか一項に記載のピックアップ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品をシートからピックアップする手法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品を使用する製品の製造工程においては、一般的に電子部品はシートに貼り付けられた状態で供給され、電子部品をピックアップする装置によりシートから剥がして使用される。一般的な装置は、電子部品を吸着ノズルにより吸着しつつ、シートの裏側から突上げピンで電子部品を突上げてシートから剥がし、吸着ノズルにより吸着した状態で電子部品を作業位置に搬送する。
【０００３】
特許文献１には、ウェハシートから電子部品をピックアップする突上げ装置の一例が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−１９７６９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のような装置により、シートに貼り付けられた電子部品を突上げピンで下から上へ突上げ、シートを破って素子をピックアップすると、シートを破ったピン先に残る粘着剤やシートの一部などが電子部品の裏面に付着し、残ってしまうという問題がある。
【０００６】
本発明の解決しようとする課題としては、上記のものが一例として挙げられる。本発明は、電子部品の裏面に粘着剤などが残らないように、シートから電子部品をピックアップすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の発明は、ピックアップ装置であって、素子が貼り付けられたシートが載置され、開口を有する第１ステージと、前記開口の内部に設けられ、前記素子よりも小さい載置面を有し、前記シートの下側から前記素子を支持する第２ステージと、前記シートに対して圧力を与える圧力付与手段と、前記シートに対して圧力が与えられた状態で、前記素子を吸着してピックアップする吸着ノズルと、を備えることを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１実施例に係るピックアップ装置の概略構成を示す。
【図２】吸着テーブルを上方から見た状態を模式的に示す。
【図３】吸着テーブルのピックアップ部の構造を示す。
【図４】第１実施例に係るピックアップ装置の動作を示す。
【図５】ピックアップ部に素子を配置した状態の一例を示す。
【図６】第２実施例に係るピックアップ装置の構成を示す。
【図７】第２実施例に係るピックアップ装置の動作を示す。
【図８】変形例１に係る吸着テーブルの構造を示す。
【図９】変形例２に係る吸着テーブルの構造を示す。
【図１０】変形例３に係るピックアップ装置の例を示す。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明の好適な実施形態では、ピックアップ装置は、素子が貼り付けられたシートが載置され、開口を有する第１ステージと、前記開口の内部に設けられ、前記素子よりも小さい載置面を有し、前記シートの下側から前記素子を支持する第２ステージと、前記シートに対して圧力を与える圧力付与手段と、前記シートに対して圧力が与えられた状態で、前記素子を吸着してピックアップする吸着ノズルと、を備える。
【００１０】
上記のピックアップ装置においては、開口上に素子が位置するようにシートが第１ステージ上に配置され、素子はシートの下側から第２ステージにより支持される。第２ステージの載置面は素子よりも小さいので、素子はその一部が第２ステージにより支持され、それ以外の領域では支持されていない状態となる。そして、シートに対して圧力を加え、吸着ノズルにより素子をピックアップする。
【００１１】
上記のピックアップ装置の一態様では、前記圧力付与手段は、前記シートに対して圧力を与えることにより、当該シートを前記開口側へ引き剥がし、前記吸着ノズルは、前記素子が前記シートから部分的に剥がされた状態で、前記素子を吸着してピックアップする。この態様では、シートに対して与えられた圧力によりシートが素子から部分的に引き剥がされる。素子から剥がされたシートは、第１ステージと第２ステージの開口方向に伸び、再度、素子に貼り付くことが無い。この状態で、吸着ノズルが素子を吸引してピックアップする。シートに強い圧力を加え、第２ステージにより支持された領域以外の領域でシートを素子から剥がしてから吸着するので、素子が剥がしやすくなり、さらにシートから剥がされた素子に粘着剤などが残ることを防止することができる。なお、仮にシートの一部が剥がれないような条件下でも、シートを強い力で吸着するので、素子が剥がしやすくなる。
【００１２】
上記のピックアップ装置の他の一態様では、前記開口は、前記素子よりも大きい。これにより、素子の外周側からシートを剥がしていくことができる。
【００１３】
上記のピックアップ装置の他の一態様では、前記第１ステージの開口内には貫通孔が設けられており、前記圧力付与手段は、前記貫通孔を通じて前記開口の内部の空気を吸引する排気装置である。この態様では、シートの開口内に位置する部分に吸引力を与えることにより、シートを素子から剥がしていく。
【００１４】
好適な例では、前記貫通孔は前記開口の外周付近に設けられており、前記圧力付与手段は、前記素子の端部側から前記シートを引き剥がす。
【００１５】
上記のピックアップ装置の他の一態様では、前記圧力付与手段は、前記シートの上方から当該シートに対して空気圧を与える装置である。この態様では、シートの上方からエアブローなどにより空気圧を与えて、シートを素子から剥がしていく。
【００１６】
上記のピックアップ装置の他の一態様では、前記圧力付与手段は、前記シートの上方から、当該シートを部分的に前記開口側へ押し出す押圧力を与える機構である。この態様では、シートに当接する物体により押圧力を与えてシートを素子から剥がしていく。
【００１７】
上記のピックアップ装置の他の一態様では、前記開口の外周縁は鈍角の断面形状を有する。この態様では、開口の外周縁に当接するシートの部分が変形することを防止できる。
【００１８】
好適な例では、ピックアップ装置には複数の第２ステージが設けられている。第２ステージを複数個設けることにより、個々の第２ステージの面積が小さくても、素子を安定的に支持することができる。
【００１９】
上記のピックアップ装置の他の一態様では、前記第２ステージには突上げピンが通過する穴が設けられており、前記穴を通じて、前記素子を押し上げるように前記突上げピンを上下移動させる突上げ機構を備える。この態様では、突上げ機構により、素子からのシートの剥離を促進することができる。
【実施例】
【００２０】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施例について説明する。
【００２１】
［第１実施例］
図１は、第１実施例に係るピックアップ装置の概略構成を示す断面図である。ピックアップ装置１は、ダイシングシート（以下、単に「シート」と呼ぶ。）２０上に多数配列された電子部品又は電子素子（以下、単に「素子」と呼ぶ。）２５を１つずつピックアップし、所定の場所へ移動する。なお、図１において、シート２０の外周部にはウエハリング２１が設けられている。
【００２２】
ピックアップ装置１は、筐体（本体）２と、排気装置４と、吸着ノズル５と、吸着テーブル１０とを備える。筐体２は、円筒形状であり、シート２０を載置するための土台となる。筐体２の上部には円板状の吸着テーブル１０が設けられており、シート２０は吸着テーブル１０の上に配置される。
【００２３】
筐体２の内部には、筐体２の内壁と吸着テーブル１０によりチャンバー（空間）３が形成されている。また、筐体２の側壁には、排気装置４が取り付けられている。排気装置４は、チャンバー３内の空気を外部へ排出することにより、チャンバー３の内部を減圧する。詳細は後述するが、吸着テーブル１０には、チャンバー３に通じた複数の貫通孔が設けられており、排気装置４を駆動してチャンバー３内部の空気を外部へ排気することにより吸引力を発生させてシート２０を吸着テーブル１０へ吸着する。
【００２４】
吸着ノズル５は、上下に移動し、シート２０上の素子２５をピックアップする。具体的には、対象となる素子２５が直下に位置する状態で吸着ノズル５が下降し、素子２５を吸着する。その後、吸着ノズル５は上昇し、水平移動して素子２５を所定の場所まで搬送した後、吸引を停止することにより素子２５を開放し、所定の場所に配置する。
【００２５】
シート２０は、図示しない水平移動機構により水平方向に移動する。これにより、シート２０に貼り付けられた素子２５が１つずつ順に吸着テーブル１０の中央のピックアップ位置へ移動する。即ち、吸着ノズル５が１つの素子２５をピックアップすると、シート２０が水平移動して次の素子２５がピックアップ位置へ移動し、吸着ノズル５は次の素子２５をピックアップする。これを繰り返すことにより、シート２０上の複数の素子２５が順に所定の場所へ移動される。
【００２６】
図２（Ａ）は、吸着テーブル１０の周辺を図１における上方から見た状態を模式的に示す。なお、図２（Ａ）では図示の便宜上、シート２０を省略している。図２（Ａ）に示すように、吸着テーブル１０上には複数の素子２５が配置されている。
【００２７】
図２（Ｂ）は、図２（Ａ）においてシート２０が載置されていない状態、即ち、素子２５が存在しない状態の吸着テーブル１０の平面図である。破線４０に示すように、吸着テーブル１０の中央のピックアップ位置には、吸着ノズル５により素子２５をピックアップするための部分（構造）１１が設けられている。この部分１１を、以下「ピックアップ部」と呼ぶ。吸着ノズル５は、ピックアップ部１１において上方から下降し、シート２０上の素子２５を吸着する。吸着テーブル１０において、ピックアップ部１１よりも外側の部分を「周辺部１５」と呼ぶ。
【００２８】
次に、吸着テーブル１０のピックアップ部１１の構造を説明する。図３（Ａ）は、ピックアップ部１１の斜視図である。なお、図３（Ａ）は、図２（Ｂ）における破線４０の内部を拡大したものである。
【００２９】
図示のように、ピックアップ部１１には矩形の開口（凹部）１２が形成されている。開口１２の底面は、開口１２より外側の部分である周辺部１５よりも下方に窪んだ状態となっている。一方、吸着テーブル１０において、開口１２より外側の領域である周辺部１５は、均一な高さの平面となっている。
【００３０】
開口１２の中央付近には、島状の支持部１３が設けられている。支持部１３は、シート２０及びその上に貼り付けられた素子２５を下方から支持する役割を有する。支持部１３の上面の高さは、周辺部１５の高さと一致している。また、開口１２の底面には、複数の貫通孔１４が形成されている。
【００３１】
図３（Ｂ）は、ピックアップ部１１における素子２５の位置を破線で示している。図示のように、支持部１３の上面は、素子２５の面積よりも小さい。また、開口１２は、素子２５の面積よりも大きい。これにより、素子２５は、支持部１３上により支持された状態で、開口１２の内側に収まる。なお、支持部１３は素子２５よりも小さいため、素子２５の中央付近は支持部１３により支持されているが、素子２５の外周付近は支持部１３により支持されていない状態となる。
【００３２】
図３（Ｃ）は、図３（Ｂ）におけるＡ−Ａ’断面図であり、吸着テーブル１０上にシート２０が配置された状態を示している。シート２０を吸着テーブル１０に載置した状態で、シート２０の下面は、周辺部１５及び支持部１３に当接して支持される。より詳しくは、開口１２の内側においてはシート２０の下面は支持部１３の上面のみと当接し、それ以外の領域ではシート２０の下方に開口１２の深さだけ空間ができる。
【００３３】
開口１２の底面には、複数の貫通孔１４が形成されている。貫通孔１４は、吸着テーブル１０を貫通し、図１に示すチャンバー３と通じている。よって、排気装置４を駆動すると、シート２０と開口１２との間の空間内にある空気が貫通孔１４を通じてチャンバー３へ排出される。これにより、開口１２内では、シート２０を下方へ引っ張る吸引力が生じる。詳細は後述するが、この吸引力によりシート２０が素子２５の下面から部分的に引き剥がされる。
【００３４】
なお、上記の構成において、吸着テーブル１０の周辺部１５は本発明の第１ステージに相当し、支持部１３は本発明の第２ステージに相当する。また、排気装置４、チャンバー３、貫通孔１４は本発明の圧力付与手段に相当する。
【００３５】
次に、ピックアップ装置１の動作について説明する。図４は、ピックアップ装置１により１つの素子２５をピックアップする工程を示す。なお、前提として、吸着テーブル１０上にシート２０が配置され、ピックアップの対象となる素子２５が吸着テーブル１０のピックアップ部１１上に配置されているものとする。
【００３６】
まず、工程１において、矢印５１に示すように吸着ノズル５が下降し、対象となる素子２５の上面を吸着する。
【００３７】
次に、工程２において、排気装置４が動作して吸着テーブル１０の下方のチャンバー３が減圧され、矢印５２に示すように開口１２内の空気が貫通孔１４を通じてチャンバー３へ排出される。これにより、素子２５の周辺部分においてシート２０には矢印５３に示す吸引力が与えられる。
【００３８】
こうして、工程３に示すように、シート２０は開口１２内で矢印５４に示すように下方へ引っ張られ、素子２５の下面から引き剥がされていく。ここで、図３（Ｂ）を参照して説明したように、支持部１３は素子２５より小さいので、シート２０は素子２５の外周側から徐々に引き剥がされていく。そして、工程Ｎに示すように、シート２０は支持部１３により支持されている領域のみを残して、素子２５の下面から剥がされる。なお、この状態では、矢印５４で示す引っ張り力は、シート２０の支持部１３により支持された領域においてほぼ水平方向となる。
【００３９】
こうして、支持部１３に当接する領域を除いてシート２０が素子２５の下面から剥がされると、工程Ｘ〜工程Ｙにおいて、矢印５１に示すように吸着ノズル５が上昇し、素子２５をシート２０から剥がしてピックアップする。この際、工程Ｎに示すように、素子２５は支持部１３に当接する領域以外においては既にシート２０から剥がれているため、吸着ノズル５の吸着力がそれほど大きくなくても、容易に素子２５をピックアップすることができる。なお、工程Ｙにおいては、吸着ノズル５が素子２５をピックアップした後、排気装置４が停止される。
【００４０】
このように、第１実施例のピックアップ装置１では、排気装置４により生じる吸引力により、支持部１３に当接する領域以外の領域でシート２０を素子２５の下面から引き剥がすことができるので、吸着ノズル５の吸着力が小さくても、容易に素子２５をシート２０からピックアップすることができる。また、吸着ノズル５の上昇により、支持部１３の領域において素子２５の下面をシート２０から剥がすことができるので、粘着剤などが素子２５の下面に付着したまま素子２５をピックアップすることを防止することができる。
【００４１】
次に、支持部１３の大きさ（上面の面積）について検討する。上述のように、排気装置４により生じる吸引力により、支持部１３に当接する領域以外の領域でシート２０は素子２５の下面から剥がされるので、支持部１３の上面の面積を小さくした方が、吸着ノズル５によるピックアップ前に、シート２０のより多くの領域を素子２５から剥がしておくことができる。その一方で、支持部１３はシート２０及びその上の素子２５を支持する役割を有するので、その面積を小さくしすぎると、支持部１３による素子２５の支持が不安定となり、吸着ノズル５による吸着動作に支障が生じる可能性がある。従って、支持部１３の面積は、吸着ノズル５による吸着動作時に必要となる安定性が確保できる範囲内で、できるだけ小さくすることが好ましい。
【００４２】
次に、貫通孔１４について検討する。貫通孔１４は、基本的に開口１２内に均等な間隔で複数個設けることが好ましい。シート２０を素子２５の下面から引き剥がすのに必要な吸引力が得られるように、貫通孔１４の個数及び位置、各貫通孔１４の大きさなどが調整される。また、上述のようにシート２０を素子２５の外周側から徐々に剥がしていくためには、貫通孔１４を素子２５の外周に対応する位置、即ち、開口１２における外周付近に形成することが好ましい。
【００４３】
なお、上記の実施例においては、開口１２の大きさを素子２５よりも大きくしている。具体的には、図３（Ｂ）に示すように、開口１２の縦横の長さが矩形の素子２５の縦横の長さより長く、素子２５の外周が開口１２の内側に収まるような大きさとなっている。その代わりに、縦横のいずれか一方のみにおいて開口１２の大きさが素子２５よりも大きくなるようにしてもよい。図５はこの場合の例を示す。矩形の素子２５ａは、図中の縦方向の長さは開口１２より短いが、横方向の長さは開口１２よりも長く、横方向では開口１２の外部にはみ出している。この場合、排気装置４による吸引力を与えても、素子２５の左右の端部においてシート２０を素子２５から剥がすことはできないが、上下の端部においてはシート２０を素子２５から剥がすことができる。また、素子２５の横方向においても、周辺部１５上の領域ではシート２０を素子２５から剥がすことはできないが、それより内側の領域、即ち開口１２内の領域では、吸引力によりシート２０の粘着力を低下させることはできる。従って、必ずしも素子２５全体が開口１２の内側に収まるような大小関係でなくても、排気装置４の吸引力によりシート２０を素子２５から引き剥がす効果を得ることができる。
【００４４】
［第２実施例］
次に、本発明の第２実施例について説明する。第２実施例は、第１実施例に加えて、突上げピン７を利用する点に特徴を有する。
【００４５】
図６（Ａ）は、第２実施例に係るピックアップ装置１ａの構成を示す断面図である。第２実施例のピックアップ装置１ａは、第１実施例のピックアップ装置１に加えて、筐体２内部に突上げピン７が配置されている。突上げピン７は、図示しない機構により、矢印５７に示すように上下移動する。
【００４６】
図６（Ａ）は、ピックアップ装置１ａの吸着テーブル１０ａのピックアップ部１１ａの斜視図である。図３（Ａ）と比較するとわかるように、第２実施例のピックアップ部１１ａにおいては、支持部１３の略中央に貫通孔１３ａが形成されている。貫通孔１３ａは、吸着テーブル１１ａを貫通し、筐体２の内部のチャンバー３に通じている。突上げピン７は、この貫通孔１３ａの下方に位置している。素子２５をシート２０からピックアップするときには、突上げピン７が上昇し、貫通孔１３ａを通過してシート２５の下面を上方に押し上げる。これにより、素子２５が持ち上げられ、シート２０から剥がれやすくなる。即ち、突上げピン７の上昇は、素子２５からのシート２０の剥離を促進する。なお、これ以外の点は、第２実施例のピックアップ装置１ａは第１実施例のピックアップ装置１と同様である。
【００４７】
図７は、ピックアップ装置１ａにより１つの素子２５をピックアップする工程を示す。なお、前提として、吸着テーブル１０ａ上にシート２０が配置され、ピックアップの対象となる素子２５が吸着テーブル１０ａのピックアップ部１１ａに配置されているものとする。
【００４８】
まず、工程１において、矢印５１に示すように吸着ノズル５が下降し、対象となる素子２５の上面を吸着する。
【００４９】
次に、工程２において、排気装置４が動作し、矢印５２に示すように開口１２内の空気が貫通孔１４を通じてチャンバー３へ排出され、素子２５の周辺部分においてシート２０には吸引力が与えられる。また、突上げピン７が上昇し、シート２０の下面に当接する。
【００５０】
工程３において、シート２０は開口１２内で下方へ引っ張られ、素子２５の下面から引き剥がされていく。これに加えて、突上げピン７が上昇してシート２０の下面を持ち上げることにより、シート２０の剥離が促進される。
【００５１】
こうして、支持部１３の領域を除いてシート２０が素子２５の下面から剥がされると、工程Ｘ〜工程Ｙにおいて、矢印５１に示すように吸着ノズル５が上昇し、吸着ノズル５が素子２５をシート２０から剥がしてピックアップする。工程Ｙにおいて、吸着ノズル５が素子２５をピックアップした後、排気装置４は停止される。
【００５２】
以上のように、第２実施例では、突上げピン７でシート２０を上方に持ち上げることにより、素子２５からのシート２０の剥離を促進する。よって、ピックアップされた素子２５に粘着剤などが残ることを防止することができる。
【００５３】
［変形例］
（変形例１）
第１及び第２実施例では、ピックアップ部１１の開口１２内に１つの支持部１３を設けていたが、その代わりに複数の支持部を設けてもよい。図８は、変形例１に係る吸着テーブル１０ｂのピックアップ部１１ｂを示す。図８の例では、開口１２内に４つの支持部１３ｂを設けている。第１及び第２実施例の支持部１３と同様に、４つの支持部１３ｂはシート２０及び素子２５を下方から支持する。また、４つの支持部１３ｂの間に複数の貫通孔１４が設けられている。この構造により、排気装置４が生成する吸着力によって、４つの支持部１３ｂ以外の領域でシート２０を素子２５の下面から引き剥がすことができる。
【００５４】
なお、図８の例では、４個の支持部１３を設けているが、支持部１３の数はいくつであってもよい。支持部１３を複数個設けることにより、個々の支持部１３の面積が小さくても、素子を安定的に支持することができる。また、複数個設けた支持部１３の回りに貫通孔１４を設けることにより、シート２０の剥離を促進することができる。
【００５５】
（変形例２）
図９（Ａ）は、図３（Ｂ）に示すピックアップ部１１のＡ−Ａ’断面を示している。図示のように、第１、第２実施例及び変形例１では、ピックアップ部１１の開口１２の外周縁部１２ｅは断面がほぼ直角となっている。この場合、排気装置４を駆動してシート２０をチャンバー３側へ吸引すると、吸引力が外周縁部１２ｅの角に集中し、シート２０が部分的に伸びて変形することがある。シート２０が部分的に変形してしまうと、次の素子２５をピックアップ部１１に移動するためにシート２０を水平移動する際に支障が生じる場合がある。
【００５６】
そこで、変形例２では、図９（Ｂ）に示すように、ピックアップ部１１ｃの外周縁部１２ｅｘの断面形状を鈍角とし、なだらかな傾斜とする。これにより、シート２０が吸引されたときに局部的に吸引力が集中してシート２０が部分的に変形することを防止することができる。
【００５７】
（変形例３）
上記の第１、第２実施例及び変形例１、２では、ピックアップ装置１に排気装置４を設け、ピックアップ部１１の開口１２内においてシート２０を下方へ吸引することにより、シート２０を素子２５から引き剥がしている。その代わりに、シート２０の上方から圧力を与えることにより、シート２０を素子２５から引き剥がすようにしてもよい。
【００５８】
例えば、図１０（Ａ）の例では、吸着ノズル５の外周にブロア８を設け、矢印５８に示すように下方へエアー（空気）を吹き付ける、即ち、エアブローを行うことにより、シート２０を素子２５から引き剥がす。ブロア８の断面形状は、素子の平面形状に合わせるのが好ましい。即ち、素子２５の平面形状が矩形であれば、ブロア８の断面形状は素子２５の平面形状よりも少し大きい矩形とするのが好ましい。なお、ブロア８によるエアブローは、ピックアップの対象となる素子２５の外周付近であって、周囲の素子２５には及ばない領域に対して行われることが好ましい。
【００５９】
図１０（Ｂ）の例では、吸着ノズル５の外周に樹脂などの筒状体９を設ける。筒状体９を矢印５９に示すように下降させてシート２０に押し付ける、即ち、押圧力を与えることにより、シート２０を素子２５から引き剥がす。この場合も、筒状体９の断面形状は、素子の平面形状に合わせ、素子２５の平面形状が矩形であれば、筒状体９の断面形状は素子２５の平面形状よりも少し大きい矩形とするのが好ましい。なお、筒状体９は、ピックアップの対象となる素子２５の周囲の素子２５に接触しない大きさとする必要がある。
【符号の説明】
【００６０】
１、１ａ  ピックアップ装置
２  筐体
３  チャンバー
４  排気装置
５  吸着ノズル
７  突上げピン
１０、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ  吸着テーブル
１１、１１ａ、１１ｂ、１１ｃ  ピックアップ部
１２  開口
１３、１３ａ、１３ｂ  支持部
１４  貫通孔
１５  周辺部
２０  シート
２５  電子部品（素子）
【図１】
2017005222.tif 000003
【図２】
2017005222.tif 000004
【図３】
2017005222.tif 000005
【図４】
2017005222.tif 000006
【図５】
2017005222.tif 000007
【図６】
2017005222.tif 000008
【図７】
2017005222.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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