(57)【要約】【課題】モスアイ構造による反射防止物品に関して、反射防止物品の表面に損傷を与えることなく、意図する曲面形状にモスアイ構造による反射防止層を作製することができる。【解決手段】反射防止を図る電磁波の波長帯域の最短波長以下の間隔で微小突起又は微細穴を密接配置した微細凹凸形状を備えた凹凸面層１２を有し、前記凹凸面層１２は、硬化性樹脂の硬化物により形成され、前記硬化性樹脂の硬化物は、温度２５℃における貯蔵弾性率（Ｅ’）が１×１０８Ｐａ以上５×１０９Ｐａ以下であり、かつ温度２５℃における貯蔵弾性率（Ｅ’）に対する損失弾性率（Ｅ”）の比（ｔａｎδ（＝Ｅ”／Ｅ’））が０．３以下である反射防止物品の賦型用金型。【選択図】図３
2017170853.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
反射防止を図る電磁波の波長帯域の最短波長以下の間隔で微小突起又は微細穴が密接配置された微細凹凸形状を備えた凹凸面層を有し、
前記凹凸面層は、
硬化性樹脂の硬化物により形成され、
前記硬化性樹脂の硬化物は、
温度２５℃における貯蔵弾性率（Ｅ’）が１×１０８Ｐａ以上５×１０９Ｐａ以下であり、かつ温度２５℃における貯蔵弾性率（Ｅ’）に対する損失弾性率（Ｅ”）の比（ｔａｎδ（＝Ｅ”／Ｅ’））が０．３以下である
反射防止物品の賦型用金型。
【請求項２】
前記凹凸面層が、
弾性を有する弾性変形層を介して、基材に配置された
請求項１に記載の反射防止物品の賦型用金型。
【請求項３】
前記凹凸面層の表面に金属薄膜を備える金属薄膜を備える
請求項１又は請求項２に記載の反射防止物品の賦型用金型。
【請求項４】
反射防止を図る電磁波の波長帯域の最短波長以下の間隔で微小突起又は微細穴が密接配置された微細凹凸形状を備えた反射防止層を、賦型処理により賦型対象に作製して反射防止物品を製造する反射防止物品の製造方法において、
前記反射防止層の微細凹凸形状に対応する表面形状の凹凸面層を備えた賦型用金型に、賦型用樹脂の塗工液を塗工する塗工工程と、
前記賦型対象の押圧により、前記凹凸面層の表面形状を変形させて、前記凹凸面層の表面形状を前記賦型対象の表面形状に倣わせた状態で、前記塗工工程で塗工した前記賦型用樹脂を硬化させ、前記賦型対象に前記反射防止層を作製する硬化工程と、
前記賦型対象と一体に反射防止層を剥離する剥離工程とを備える
反射防止物品の製造方法。
【請求項５】
前記凹凸面層は、
硬化性樹脂の硬化物により形成され、
前記硬化性樹脂の硬化物は、
温度２５℃における貯蔵弾性率（Ｅ’）が１×１０８Ｐａ以上５×１０９Ｐａ以下であり、かつ温度２５℃における貯蔵弾性率（Ｅ’）に対する損失弾性率（Ｅ”）の比（ｔａｎδ（＝Ｅ”／Ｅ’））が０．３以下である
請求項４に記載の反射防止物品の製造方法。
【請求項６】
微細凹凸形状を備えた原版を使用した賦型処理により前記凹凸面層を作製した後、剥離して前記賦型用金型を作製する賦型用金型の作成工程を備える
請求項４又は請求項５に記載の反射防止物品の製造方法。
【請求項７】
前記賦型用金型の作成工程は、
前記原版を使用した賦型処理により微細凹凸面を作製した後、当該微細凹凸面に金属薄膜を作製し、
前記金属薄膜を有する微細凹凸面を賦型処理して、前記凹凸面層を作製する
請求項６に記載の反射防止物品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、反射防止を図る電磁波の波長帯域の最短波長以下の間隔で多数の微小突起を密接配置して反射防止を図る反射防止物品に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、フィルム形状の反射防止物品である反射防止フィルムに関して、透明基材（透明フィルム）の表面に多数の微小突起を密接して配置することにより、反射防止を図る方法が提案されている（特許文献１〜３参照）。この方法は、モスアイ（ｍｏｔｈ  ｅｙｅ（蛾の目））構造の原理を利用したものであり、入射光に対する屈折率を基板の厚み方向に連続的に変化させ、これにより屈折率の不連続界面を消失させて反射防止を図るものである。
【０００３】
このモスアイ構造に係る反射防止物品では、隣接する微小突起の間隔ｄが、反射防止を図る波長帯域の最短波長Λｍｉｎ以下（ｄ≦Λｍｉｎ）となるよう、微小突起が密接して配置される。また各微小突起は、透明基材に植立するように、さらに透明基材より先端側に向かうに従って徐々に断面積が小さくなるように（先細りとなるように）作製される。
【０００４】
このような反射防止物品に関して、特許文献４には、モスアイ構造に係る凹凸形状に比してピッチ及び振幅が大きな凹凸形状面に、モスアイ構造に係る微細凹凸形状を設けた反射防止物品が開示されている。
【０００５】
ところで特許文献４に開示のように、モスアイ構造に係る凹凸形状に比してピッチ及び振幅が大きな凹凸形状面にモスアイ構造に係る微細凹凸形状を設けた構成は、例えばレンズ面にモスアイ構造の反射防止層を作製する場合等に適用することができ、この種の反射防止物品の適用範囲を一段と拡大することができる。
【０００６】
しかしながら特許文献４に開示の構成は、反射防止物品の表面に損傷を与えたり、さらには意図する表面形状にモスアイ構造による反射防止層を作製することが難しかったりし、これらにより実用上未だ不充分な問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開昭５０−７００４０号公報
【特許文献２】特表２００３−５３１９６２号公報
【特許文献３】特許第４６３２５８９号公報
【特許文献４】特表２００１−５１７３１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、モスアイ構造による反射防止物品に関して、反射防止物品の表面に損傷を与えることなく、意図する曲面形状にモスアイ構造による反射防止層を作製できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者は、上記課題を解決するために鋭意研究を重ね、柔軟性、復元性を有する凹凸面層を使用して賦型用金型を作製する、との着想に至り、本発明を完成するに至った。
【００１０】
具体的には、本発明では、以下のようなものを提供する。
【００１１】
（１）  反射防止を図る電磁波の波長帯域の最短波長以下の間隔で微小突起又は微細穴が密接配置された微細凹凸形状を備えた凹凸面層を有し、
前記凹凸面層は、
硬化性樹脂の硬化物により形成され、
前記硬化性樹脂の硬化物は、
温度２５℃における貯蔵弾性率（Ｅ’）が１×１０８Ｐａ以上５×１０９Ｐａ以下であり、かつ温度２５℃における貯蔵弾性率（Ｅ’）に対する損失弾性率（Ｅ”）の比（ｔａｎδ（＝Ｅ”／Ｅ’））が０．３以下である
反射防止物品の賦型用金型。
【００１２】
（１）によれば、凹凸面層が柔軟性を備えていることにより、賦型処理における押圧により、賦型対象面の形状に倣って凹凸面層が変形する。これにより反射防止物品の表面に損傷を与えることなく、意図する曲面形状にモスアイ構造による反射防止層を作製することができる。また復元性を備えていることにより、押圧の終了により元の形状に戻り、これにより繰り返しの賦型処理に使用して、反射防止物品の表面に損傷を与えることなく、意図する曲面形状にモスアイ構造による反射防止層を作製することができる。
【００１３】
（２）  （１）において、
前記凹凸面層が、
弾性を有する弾性変形層を介して、基材に配置された反射防止物品の賦型用金型。
【００１４】
（２）によれば、弾性変形層により、凹凸面層の柔軟性、復元性を一段と向上し、賦型対象の外形形状に倣った形状への凹凸面層の変形を補助することができ、一段と確実に、反射防止物品の表面に損傷を与えることなく、意図する曲面形状にモスアイ構造による反射防止層を作製することができる。
【００１５】
（３）  （１）又は（２）において、
前記凹凸面層の表面に金属薄膜を備える反射防止物品の賦型用金型。
【００１６】
（３）によれば、賦型用金型を使用した紫外線硬化性樹脂の賦型処理により量産用の金型、反射防止物品を作製する際に、金属薄膜により紫外線を遮光することができ、凹凸面層の紫外線による損傷を有効に回避することができ、金型を長寿命化することができる。
【００１７】
（４）  反射防止を図る電磁波の波長帯域の最短波長以下の間隔で微小突起又は微細穴が密接配置された微細凹凸形状を備えた反射防止層を、賦型処理により賦型対象に作製して反射防止物品を製造する反射防止物品の製造方法において、
前記反射防止層の微細凹凸形状に対応する表面形状の凹凸面層を備えた賦型用金型に、賦型用樹脂の塗工液を塗工する塗工工程と、
前記賦型対象の押圧により、前記凹凸面層の表面形状を変形させて、前記凹凸面層の表面形状を前記賦型対象の表面形状に倣わせた状態で、前記塗工工程で塗工した前記賦型用樹脂を硬化させ、前記賦型対象に前記反射防止層を作製する硬化工程と、
前記賦型対象と一体に反射防止層を剥離する剥離工程とを備える反射防止物品の製造方法。
【００１８】
（４）によれば、賦型処理時、賦型対象の押圧により、凹凸面層の表面形状を変形させて、凹凸面層の表面形状を賦型対象の表面形状に倣わせた状態で、賦型用樹脂を硬化させ、反射防止層を作製することにより、反射防止物品の表面に損傷を与えることなく、意図する曲面形状にモスアイ構造による反射防止層を作製することができる。
【００１９】
（５）  （４）において、
前記凹凸面層は、
硬化性樹脂の硬化物により形成され、
前記硬化性樹脂の硬化物は、
温度２５℃における貯蔵弾性率（Ｅ’）が１×１０８Ｐａ以上５×１０９Ｐａ以下であり、かつ温度２５℃における貯蔵弾性率（Ｅ’）に対する損失弾性率（Ｅ”）の比（ｔａｎδ（＝Ｅ”／Ｅ’））が０．３以下である反射防止物品の製造方法。
【００２０】
（５）によれば、より具体的構成により凹凸面層を柔軟に形成することができ、これにより一段と確実に反射防止物品の表面に損傷を与えることなく、意図する曲面形状にモスアイ構造による反射防止層を作製することができる。また復元性を備えていることにより、押圧の終了により元の形状に戻り、これにより繰り返しの賦型処理に使用して、反射防止物品の表面に損傷を与えることなく、意図する曲面形状にモスアイ構造による反射防止層を作製することができる。
【００２１】
（６）  （４）又は（５）において、微細凹凸形状を備えた原版を使用した賦型処理により前記凹凸面層を作製した後、剥離して前記賦型用金型を作製する賦型用金型の作成工程を備える反射防止物品の製造方法。
【００２２】
（６）によれば、原版より賦型用金型を作製する場合に、反射防止物品の表面に損傷を与えることなく、意図する曲面形状にモスアイ構造による反射防止層を作製することができる。また原版の損傷も防止することができる。
【００２３】
（７）  （６）において、
前記賦型用金型の作成工程は、
前記原版を使用した賦型処理により微細凹凸面を作製した後、当該微細凹凸面に金属薄膜を作製し、
前記金属薄膜を有する微細凹凸面を賦型処理して、前記凹凸面層を作製する反射防止物品の製造方法。
【００２４】
（７）によれば、紫外線硬化性樹脂等を使用した賦型処理により賦型用金型を作製するようにして、この賦型処理における紫外線を金属薄膜により遮光することができ、紫外線による原版の損傷を有効に回避することができ、原版を長寿命化することができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、モスアイ構造による反射防止物品に関して、反射防止物品の表面に損傷を与えることなく、意図する曲面形状にモスアイ構造による反射防止層を作製することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の第１実施形態に係る反射防止物品の説明に供する断面図である。
【図２】図１の反射防止物品に係るレンズシートと賦型用金型との説明に供する図である。
【図３】図２の賦型用金型の説明に供する図である。
【図４】図１の反射防止物品の製造工程の説明に供する断面図である。
【図５】賦型用金型の製造工程を示すフローチャートである。
【図６】マザー版作製工程を示すフローチャートである。
【図７】図６の各工程の説明に供する断面図である。
【図８】第２実施形態に係る賦型用金型の製造工程を示すフローチャートである。
【図９】図８の各工程の説明に供する断面図である。
【図１０】金属薄膜の説明に供する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
〔第１実施形態〕
〔反射防止物品〕
図１（Ａ）は、本発明の第１実施形態に係る反射防止物品を示す断面図であり、図１（Ｂ）は、その反射防止層２側を部分的に拡大して示す断面図である。この反射防止物品１は、曲面による平坦でない面（以下、適宜、非平坦面と呼ぶ）を備えた反射防止物品であり、この曲面における反射を反射防止層２により低減する。より具体的に、反射防止物品１は、この曲面がレンズ面１Ａである微小レンズであり、このレンズ面１Ａに反射防止層２が作製されて反射防止が図られる。
【００２８】
ここで反射防止層２は、モスアイ構造の反射防止面を反転させた形状による微細凹凸面を備えた反射防止層である。モスアイ構造の反射防止面は、反射防止を図る波長帯域の最短波長Λｍｉｎ以下のピッチにより微小突起を密接配置した構成である。従って反射防止層２は、この微小突起に対応する微細穴３が、反射防止を図る最短波長以下のピッチにより密接配置された微細凹凸面層を備える。これにより反射防止物品１は、モスアイ構造に係る凹凸形状に比してピッチ及び振幅が大きな凹凸形状面であるレンズ面１Ａの形状に、モスアイ構造に対応する微細凹凸形状を設けた微細凹凸面により反射防止層２が形成される。
【００２９】
この反射防止物品１は、レンズとして機能する光学部品であることにより、透明部材によりレンズ面１Ａを備えたレンズ本体４が形成される。これにより反射防止物品１は、例えば撮像素子に、他のレンズと組み合わされて配置され、この撮像素子の撮像面に入射光を集光する。ここでレンズ本体４は、例えば硝材の研磨、ポリカーボネート等の透明樹脂材の射出成型等により作製される。この実施形態において、レンズ本体４は、透明樹脂材料の射出成型による多数個取りにより、複数のレンズ本体４が接続された状態で一体に作製され、この状態で、レンズ本体４に反射防止層２を作製した後、個々にレンズ本体４に分離して効率良く作製される。
【００３０】
より具体的には、図２（Ａ）に示すように、レンズ本体４は、マトリックス状に配置してなるレンズ本体４の側面を、シート状の接続部４Ａにより接続したシート形状のレンズ集合体によりレンズシート６が形成される。反射防止物品１は、このレンズシート６に設けられたレンズ本体４に纏めて反射防止層２が作製された後、個々にレンズ本体４に分離して作製される。なおレンズ本体４を個々に分離した後に反射防止層２を作製してもよく、またオンチップの手法により反射防止層２を作製してウエハ状態の実装対象にレンズシート６の形態で配置した後、個々に分離しても良く、種々の手法により作製する場合に広く適用することができる。
【００３１】
反射防止層２は、賦型処理に使用する透明の賦型樹脂層５を賦型処理して形成される。ここでこの実施形態において、この賦型樹脂層５には、光硬化性樹脂である紫外線硬化性樹脂が適用されるものの、この種の光学部品の賦型処理に使用する各種の材料を広く適用することができる。反射防止層２は、レンズ本体４の表面形状であるレンズ面１Ａに対してほぼ一定の厚みにより、レンズ面１Ａに倣った曲面形状によりレンズ本体４側面が作製され、このレンズ面１Ａとは逆側面である表側面に、モスアイ構造による反射防止面の反転形状による微細凹凸面が設けられる。これによりこの実施形態では、このレンズ面１Ａにおける入出射光に関して、反射光を充分に低減できるように構成される。
【００３２】
なお反射防止層２は、このようなレンズ面に配置する以外に、各種の曲面形状による非平坦面、平坦面の組み合わせた形状による非平坦面を備えた光学部品に配置する場合、平坦面による形状を備えたミラー、回折格子等の光学部品に配置する場合等、種々の光学部品、透明部品、非透明の部材に設けて反射防止を図ることができる。
【００３３】
なお反射防止層２は、規則的に微細穴３を密接配置して作製しても良く、また不規則な配置により微細穴３を作製してもよい。また微細穴３は、深さ方向に複数の頂部を備えるように作製してもよく、深さ方向に１つの頂部を備えるように作製してもよい。なお深さ方向に複数の頂部を備えるように作製した場合、深さ方向に頂部が１つだけの場合に比して、反射防止に係る特性を、深さの異なる微細穴による特性を合成した特性とすることができ、反射防止を図る特性を広帯域化することができる。
【００３４】
ここで規則的に微細穴３を配置する場合、この規則的な配置に係る隣接する微細穴３の間隔は、隣接する微細穴３間の深さ方向の頂部の間隔である。これによりこの間隔を、反射を制限する波長帯域の最短波長以下とすることにより、充分に反射防止を図ることができる。これに対して微細穴３を不規則な配置により作製する場合、隣接する微細穴３間の深さ方向の頂部における間隔を順次計測して平均値を求め、この平均値を、反射を制限する波長帯域の最短波長以下とすることにより反射防止を図ることができる。しかしながら充分に反射防止を図る観点からは、このようにして求めた平均値と標準偏差とから求められる９９％信頼区間の上限値（平均値（ＡＶ）＋標準偏差（３σ））を、反射を制限する波長帯域の最短波長以下とすることにより一段と確実に反射防止を図ることができる。
【００３５】
なお反射防止層２は、モスアイ構造による反射防止面の反転形状に代えて、モスアイ構造による反射防止面の形状により作製してもよい。この場合、隣接する微小突起の頂部間の間隔（平均値又は９９％信頼区間の上限値）を、同様に、反射を制限する波長帯域の最短波長以下とすることにより充分に反射防止を図ることができる。
【００３６】
〔賦型用金型〕
図３は、賦型用金型を示す断面図である。反射防止物品１は、この賦型用金型１０を使用した賦型処理により作製される。ここで賦型用金型１０は、レンズシート６との対比により図２（Ｂ）に示すように、反射防止層２を作製する側の表面に、反射防止層２の表面形状に対応するモスアイ構造に係る微細凹凸形状を備える。賦型用金型１０は、基材１１に、凹凸面層１２、凹凸面層用基材１３の積層体を積層して作製される。
【００３７】
ここで基材１１は、この種の賦型処理用の金型に使用することが可能な各種の部材を適用することができ、例えば銅、アルミ、各種の鋼材等による金属材料、ガラス材等を適用することができる。賦型樹脂層２Ａに、紫外線硬化性樹脂等の光硬化性樹脂を使用する場合、基材１１は、ガラス板等の透光性の材料を適応することにより賦型用金型１０側から紫外線等の、賦型樹脂層２Ａの硬化に供する光を照射することができる。これにより紫外線の照射量等を広い範囲で簡易かつ種々に設定、変更することができ、これにより工程設計の自由度を高めることができる。
【００３８】
凹凸面層１２は、原版を使用した賦型処理によって微細凹凸形状が作製された賦型樹脂層であり、モスアイ構造による微小突起を密接配置した微細凹凸形状がこの賦型処理により表面に作製される。これにより凹凸面層１２は、賦型処理に適用可能な各種の硬化性樹脂材料により形成される。ここでこの硬化性樹脂は、例えば光硬化性樹脂を適用することができ、さらには紫外線硬化性樹脂を適用することができる。凹凸面層１２は、後述する作製工程で詳細に説明するように、原版を使用した賦型処理により作製され、原版から引きはがした後、基材１１に配置される。
【００３９】
凹凸面層用基材１３は、凹凸面層１２を作製する際の賦型処理における基材であり、凹凸面層１２を支持する支持体である。凹凸面層用基材１３は、この種の賦型処理に適用可能な各種のフィルム材、シート材を適用することができ、光硬化性樹脂により凹凸面層１２を作製する場合には、ＰＥＴフィルム、ＴＡＣフィルム等の透明樹脂材を適用することが好ましい。なおこの場合、光硬化性樹脂の硬化に供する光に対して透明であれば、基材１３側から硬化に供する光を照射することができ、工程設計の自由度を向上することができる。
【００４０】
なお凹凸面層用基材１３を省略して、凹凸面層１２のみ配置するようにしてもよい。このように凹凸面層１２のみ配置する場合、又は基材１３と一体に凹凸面層１２を配置する場合、基材１１との間に紫外線硬化性樹脂等による接着材層を設けて配置されるものの、この基材１１との間に密着力を強化する密着力強化層等を設けるようにしてもよく、さらには粗面化処理等の密着力強化処理を実行してもよい。
【００４１】
凹凸面層１２は、反射防止層２を作製する際の賦型対象（この実施形態ではレンズシート６である）への押圧時、賦型対象の表面形状に倣うように変形し、賦型対象の除去により元の形状に復帰するように、柔軟性、復元性を有する材料により形成される。これによりこの実施形態では、反射防止物品の表面に損傷を与えることのないようにして反射防止物品を作製することができる。また賦型対象の表面形状に倣うように賦型用金型の表面形状が変形することにより、この賦型対象の表面形状を損なうことなく反射防止層を作製することができ、これにより意図する表面形状にモスアイ構造による反射防止層を作製することができる。また復元性により、押圧の終了により元の形状に戻り、これにより繰り返しの賦型処理に使用して、反射防止物品の表面に損傷を与えることなく、意図する曲面形状にモスアイ構造による反射防止層を作製することができる。特に、このように賦型対象の表面形状に倣うように賦型用金型の表面形状が変形する場合にあっては、種々の表面形状の賦型対象に、共通の賦型用金型を使用して反射防止層２を作製することができ、これにより生産性を格段に向上することができる。
【００４２】
具体的に、この実施形態において、凹凸面層１２は、硬化性樹脂の硬化物により形成され、この硬化物は、温度２５℃における貯蔵弾性率（Ｅ’）が１×１０８Ｐａ以上５×１０９Ｐａ以下であり、かつ温度２５℃における貯蔵弾性率（Ｅ’）に対する損失弾性率（Ｅ”）の比（ｔａｎδ（＝Ｅ”／Ｅ’））が０．３以下であるように作製される。このように作製することにより、賦型用金型１０は、凹凸面層１２の損傷を抑制し、反射防止物品１を作製する際における反射防止層２の離型性を向上し、離型時の変形についても抑制することができる。なお温度２５℃における貯蔵弾性率（Ｅ’）は、好ましくは２×１０８Ｐａ以上４×１０９Ｐａ以下であることが望ましい。
【００４３】
すなわち電子線リソグラフィで作成した微細構造体を金型として用いて検討したところ、硬化性樹脂の貯蔵弾性率（Ｅ’）が５×１０９Ｐａよりも大きいと、離型に必要な荷重が大きくなり、高アスペクト比の部分（面内方向に対して厚み方向の変化の大きい部分）の樹脂が折れることがあった。これは金型の中で硬化した樹脂が金型から抜ける際にある程度変形する必要があることに起因するものと推定される。一方、貯蔵弾性率（Ｅ’）が１×１０８Ｐａよりも小さいと剥離はし易いものの容易に変形するため、離型時の樹脂の伸びに耐え切れず破断したり、耐久性が低下したりすることがあることが分かった。さらに硬化した樹脂のｔａｎδが０．３を越える場合には、離型時の変形が元に戻らなかったり、外部からの力が加わった時に隣り合う高屈折率部がくっついたりすることがあるとの知見を得た。
【００４４】
これらにより凹凸面層１２に係る樹脂材料は、上述した条件を満足することが好ましい。なお貯蔵弾性率（Ｅ’）及び損失弾性率（Ｅ”）は、ＪＩＳ  Ｋ７２４４に準拠して、以下の方法により測定される。まず、試験対象に２０００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を１分以上照射することにより十分に硬化させて、基材及び凹凸形状を有しない、厚さ１ｍｍ、幅５ｍｍ、長さ３０ｍｍの単膜による試験片を作製する。次いで、温度２５℃において、試験片の長さ方向に１０Ｈｚ、１０ｇの周期的外力を加えて動的粘弾性を測定し、これにより温度２５℃における貯蔵弾性率（Ｅ’）及び損失弾性率（Ｅ”）を求めた。測定装置は、例えば、ＵＢＭ製  Ｒｈｅｏｇｅｌ  Ｅ４００を用いることができる。
【００４５】
なお試験対象に圧子を押し込み、貯蔵弾性率（Ｅ’）、損失弾性率（Ｅ”）およびｔａｎδを求めようにしてもよい。この場合、測定装置は、例えば、Ｈｙｓｉｔｒｏｎ社製ＴＩ９５０  ＴＲＩＢＯＩＮＤＥＮＴＥＲ＋ｎａｎｏＤＭＡＩＩＩなどを使用することができる。
【００４６】
ここで凹凸面層１２に係る硬化性樹脂材料は、硬化後に上記物性が得られるものが好ましく、また設計した対象波長の光を透過することができれば、硬化後に目視で色がついていても実用上問題はない。
【００４７】
硬化性樹脂材料の成分としては、エチレン性不飽和結合を有する化合物を含む組成物であることが好ましく、（メタ）アクリレートを含む組成物であることがより好ましい。硬化性樹脂組成物は、少なくとも硬化性の樹脂材料成分を含有していればよく、必要に応じて、更に他の成分を含有してもよい。また賦型用金型１０の損傷を防止し、充分に柔軟性を確保する観点から、炭素数１２以上の長鎖アルキル基を有する化合物を含有することが好ましい。
【００４８】
（メタ）アクリレートは、（メタ）アクリロイル基を１分子中に１個有する単官能（メタ）アクリレートであっても、（メタ）アクリロイル基を１分子中に２個以上有する多官能アクリレートであってもよく、単官能（メタ）アクリレートと多官能（メタ）アクリレートとを併用するものであってもよい。中でも、硬化物が上記物性を満たし、高屈折率部が柔軟性と弾性復元性を両立する点から、単官能（メタ）アクリレートと多官能（メタ）アクリレートとを併用することが好ましい。
【００４９】
単官能（メタ）アクリレートの具体例としては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、アリル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、ブトキシエチル（メタ）アクリレート、ブトキシエチレングリコール（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、グリセロール（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、イソボニル（メタ）アクリレート、イソデキシル（メタ）アクリレート、イソオクチル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、２−メトキシエチル（メタ）アクリレート、メトキシエチレングリコール（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、ドデシル（メタ）アクリレート、トリデシル（メタ）アクリレート、ビフェニロキシエチルアクリレート、ビスフェノールＡジグリシジル（メタ）アクリレート、ビフェニリロキシエチル（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド変性ビフェニリロキシエチル（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡエポキシ（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらの単官能（メタ）アクリル酸エステルは、１種単独で、又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００５０】
単官能（メタ）アクリレートの含有量は、硬化性樹脂組成物の全固形分に対して、５〜４０質量％であることが好ましく、１０〜３０質量％であることがより好ましい。
【００５１】
また、多官能アクリレートの具体例としては、例えば、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレンジ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、テトラブロモビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＳジ（メタ）アクリレート、ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、フタル酸ジ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド変性ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、トリス（アクリロキシエチル）イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ウレタントリ（メタ）アクリレート、エステルトリ（メタ）アクリレート、ウレタンヘキサ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート等が挙げられる。中でも、柔軟性及び復元性に優れる点から、アルキレンオキサイドを含む多官能（メタ）アクリレートを用いることが好ましく、エチレンオキサイド変性多官能（メタ）アクリレートを用いることがより好ましく、エチレンオキサイド変性ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、及び、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレートの少なくとも１種を含むことが更により好ましい。
【００５２】
上記多官能（メタ）アクリレートの含有量は、硬化性樹脂組成物の全固形分に対して、１０〜７０質量％であることが好ましく、１５〜６５質量％であることがより好ましい。
【００５３】
硬化性樹脂組成物は、必要に応じて光重合開始剤を含有してもよい。当該光重合開始剤の含有量は、通常、硬化性樹脂組成物の全固形分に対して１〜２０質量％であり、２〜１０質量％であることが好ましい。また、樹脂組成物には離型剤（離型性を有する材料）を添加することが好ましい。特に金型からの剥離応力が大きい場合は樹脂詰まりによる金型寿命の低下を招くため、必要に応じてシリコン系、フッ素系、リン酸エステル系などの公知の離型剤から適宜選定して使用することができる。またこれら離型剤は樹脂組成物の架橋構造に固定されるものや遊離した状態で存在するものを用途に応じて選定できる。
【００５４】
その他の添加物としては帯電防止剤や、紫外線吸収剤、赤外線吸収剤、光安定化剤、酸化防止剤などを複数添加することができる。帯電防止剤は加工プロセスや使用時のほこり付着防止に有効であり、紫外線吸収剤、赤外線吸収剤、光安定化剤、酸化防止剤は耐久性向上に有効である。光を吸収する材料を添加する場合は、回折光学素子の対象波長に影響を与えないよう配慮が必要である。また、硬化性樹脂組成物は環境への配慮から溶剤を実質的に含有しないことが好ましいが、基材への密着や粘度調整、面質改善などを考慮して溶剤を含有するものであってもよい。溶剤を含有する場合は基材ないし金型に樹脂を塗布後、溶剤を乾燥させた後に賦型する。
【００５５】
凹凸面層１２は、充分な柔軟性を確保して、賦型対象の外形形状に倣った形状を確保できるように、厚み２０μｍ以上１００μｍ以下により、好ましくは厚み３０μｍ以上９０μｍ以下により、さらにより好ましくは厚み４０μｍ以上７０μｍ以下により作製される。
【００５６】
また凹凸面層１２は、図３（Ｂ）に示すように、基材１１及び１３の間に、弾性変形層１４を設けるようにしてもよい。ここで弾性変形層１４は、凹凸面層１２の柔軟性を向上し、賦型対象の外形形状に倣った面形状への凹凸面層１２の表面形状の変形を補助する目的で配置される下地層である。より具体的に、弾性変形層１４は、反射防止層２を作製する際の賦型対象の押圧時、凹凸面層１２と共に変形し、賦型対象の除去により元の形状に復帰することにより、凹凸面層１２の表面形状を賦型対象の表面に倣った形状とする凹凸面層１２の下地層である。
【００５７】
これにより弾性変形層１４は、凹凸面層１２と同一の特性により、より具体的に、温度２５℃における貯蔵弾性率（Ｅ’）が１×１０８Ｐａ以上５×１０９Ｐａ以下であり、かつ温度２５℃における貯蔵弾性率（Ｅ’）に対する損失弾性率（Ｅ”）の比（ｔａｎδ（＝Ｅ”／Ｅ’））が０．３以下であるように作製される。このように凹凸面層１２と同一の特性により作製することにより、弾性変形層１４と凹凸面層１２との界面における界面剥離等の発生を有効に回避することができる。なお、貯蔵弾性率（Ｅ’）やｔａｎδの調整は、例えば、上記の（メタ）アクリレートなどの硬化性モノマーを適宜組み合わせ、モノマー種類や官能基数、配合比などを調整することにより適宜設定できる。
【００５８】
これにより弾性変形層１４は、凹凸面層１２と同一の材料を適用することができ、例えば、事前に、凹凸面層１２を構成する硬化性樹脂材料を基材１１に塗工して硬化させることにより、弾性変形層１４を配置した後、凹凸面層１２と基材１３との積層体を配置してもよい。しかしながら弾性変形層１４は、実用上充分に、凹凸面層１２の柔軟性を補助し、賦型対象の外形形状に倣った面形状への凹凸面層１２の表面形状の変形を補助することができれば、貯蔵弾性率（Ｅ’）、損失弾性率（Ｅ”）、ｔａｎδを上記の範囲外としてもよく、さらには凹凸面層１２とは異なる種々の弾性を有する材料を適用することができる。具体的には、弾性変形層１４は、上記の凹凸面層１２を構成する硬化性樹脂材料と同様のものを用いて、上述した貯蔵弾性率（Ｅ’）、ｔａｎδを確保することができる。
【００５９】
〔反射防止物品の製造工程〕
図４は、この反射防止物品１の製造工程の説明に供する断面図である。この製造工程では、レンズシート製造工程において、射出成型によりレンズシート６が作製される。また賦型用金型１０を使用したレンズシート６への賦型処理により反射防止層２が作製される。このためこの製造工程は、図４（Ａ）に示すように、反射防止層２の作製に使用する光硬化性樹脂が賦型用金型１０に塗布されて賦型樹脂層２Ａが形成される。なお賦型用金型１０に賦型樹脂層２Ａを作製する代わりに、レンズシート６側に賦型樹脂層２Ａを作製しても良く、賦型用金型１０とレンズシート６の双方に賦型樹脂層２Ａを作製してもよい。賦型用樹脂の塗布は、ダイコート法等、この種の樹脂層の作製に使用する種々の手法を適用することができる。
【００６０】
続いてこの製造工程は、図４（Ｂ）に示すように、押圧ローラを使用した押圧等により、賦型用金型１０にレンズシート６を充分に押し付け、これにより賦型樹脂層２Ａに係る未硬化状態で液状の紫外線硬化性樹脂をレンズシート６に充分に密着させると共に、賦型用金型１０に作製された微細な凹部に充分に充填する。この実施形態では、この押圧により、レンズ面１Ａの表面形状に倣うように、凹凸面層１２を変形させる。
【００６１】
さらにこのように凹凸面層１２を変形させた状態で、紫外線（ＵＶ）の照射により賦型樹脂層２Ａを硬化させ、これによりこのレンズシート６に設けられたレンズ本体４のレンズ面１Ａに反射防止層２を作製する。
【００６２】
この製造工程では、続いて図４（Ｃ）に示すように、反射防止層２と一体に、レンズシート６を賦型用金型１０から剥離し、その後、個々に反射防止物品１を分離して作製される。なおこのレンズシート６を賦型用金型１０から容易に剥離できるように、反射防止層２を半硬化状態で剥離した後、紫外線の照射、加熱等により硬化を進めるようにして、２段階の硬化により反射防止層２を作製してもよい。
【００６３】
〔賦型用金型１０の製造工程〕
図５は、賦型用金型１０の製造工程を示すフローチャートである。この製造工程は、原版作製工程ＳＰ２において、原版を作製した後、続く賦型用金型作製工程ＳＰ３において、原版作製工程ＳＰ２で作製した原版から賦型用金型１０を作製する。これによりこの実施形態では、多数の賦型用金型１０を１つの原版より作製して効率良く反射防止物品１を作製できるように構成される。
【００６４】
〔原版作製工程〕
図６は、原版の作製工程を示すフローチャートである。ここで原版は、少なくとも表面にアルミニウム層が設けられた平板形状による母材の表面を加工して作製される。この作製工程は、電界研磨工程において、電解溶出作用と、砥粒による擦過作用の複合による電解複合研磨法によって基材の表面を超鏡面化する。ここでこの基材には、例えば銅、ステンレス等の金属材料を適用することができるものの、ガラス板材等の透明基材を適用してもよい。続いてこの工程は、アルミニウム層形成工程において、基材の表面にアルミニウムをスパッタリングすることにより、純度の高いアルミニウム層を基材表面に作製し、原版作製用の母材を形成する。
【００６５】
この工程は、続いて、陽極酸化工程Ａ１、…、ＡＮ、エッチング工程Ｅ１、…、ＥＮを交互に繰り返して母材を処理する。これによりこの工程は、陽極酸化工程Ａ１、…、ＡＮにより母材表面に微細穴を作製し、さらにこの作製した微細穴を掘り進める。またこのようにして作製、掘り進めた微細穴の穴径をエッチング工程Ｅ１、…、ＥＮ、…により拡大し、これにより深さ方向に徐々に先細りとなる形状に微細穴を整形する。
【００６６】
なお陽極酸化工程では、例えば負極に炭素棒、ステンレス板材等を使用する場合のように、アルミニウムの陽極酸化に適用される各種の手法を広く適用することができる。また溶解液についても、中性、酸性の各種溶解液を使用することができ、より具体的には、例えば硫酸水溶液、シュウ（蓚）酸水溶液、リン酸水溶液等を使用することができる。この製造工程は、この陽極酸化工程Ａ１、…、ＡＮにおける、液温、印加する電圧、陽極酸化に供する時間等の管理により、微細な穴をそれぞれ目的とする深さ及び微小突起形状に対応する形状に作製する。
【００６７】
またエッチング工程は、母材をエッチング液に浸漬して実行され、この種の処理に適用される各種エッチング液を広く適用することができる。より具体的には、例えば硫酸水溶液、シュウ酸水溶液、リン酸水溶液等を使用することができる。なお陽極酸化処理に用いる溶解液と同じ液を、電圧印加無しで用いることにより、溶解液をエッチング液としても兼用してもよい。
【００６８】
この製造工程では、陽極酸化工程Ａ１、…、ＡＮ、エッチング工程Ｅ１、…、ＥＮの交互の繰り返しにより所望する微細凹凸形状を作製すると、母材を洗浄、乾燥し、これにより原版が完成する。
【００６９】
〔賦型用金型作製工程〕
このようにして原版を作製すると、この工程は、図７（Ａ）に示すように、賦型用金型作製工程ＳＰ３の塗工工程ＳＰ３−１において、凹凸面層１２の作製に供する賦型用樹脂材の塗工液をダイ等により基材１３に塗工する。なおこの塗工液の塗工については、ダイによる場合に限らず、各種の手法を適用することができる。これによりこの製造工程では、基材１３に賦型樹脂層２２を作製する。
【００７０】
続いてこの製造工程は、押圧ローラ等により、原版２１に基材１３を加圧押圧し、これにより基材１３に賦型用樹脂材を充分に密着させると共に、原版２１に形成された微細な凹部に賦型用樹脂材を充分に充填する（図７（Ｂ））。この状態で、続く硬化工程ＳＰ３−２において、紫外線の照射により賦型用樹脂材を硬化させ、これにより微細な表面凹凸形状を硬化した賦型用樹脂材により作製して凹凸面層１２を作製する。
【００７１】
この製造工程は、続く剥離工程ＳＰ３−３において、凹凸面層１２と一体に基材１３を剥離する（図７（Ｃ））。ここで原版２１に形成されたモスアイ構造に係る微細穴は、硬く変形し難い材料であるバブル金属の酸化物の陽極酸化、エッチングにより作製されていることにより、凹凸面層１２が充分に固い材料である場合、凹凸面層１２を基材１３と一体に剥離する際に、原版１０の表面に形成された微細凹凸形状を損傷させる恐れがある。
【００７２】
しかしながらこの実施形態では、凹凸面層１２が柔軟性、復元性を備えていることにより、凹凸面層１２を基材１３と一体に原版２１から剥離する際の、原版２１の損傷を充分に防止することができ、これにより原版の信頼性を向上し、生産性を向上することができる。
【００７３】
続いてこの製造工程は、積層工程ＳＰ３−４において、このようにして剥離した凹凸面層１２と基材１３との積層体を賦型用金型１０の基材１１に積層する（図７（Ｄ））。この製造工程は、このようにして基材１１の表面に凹凸面層１２と基材１３との積層体を配置する際に、紫外線硬化性樹脂等により接着剤層を設けて配置する。
【００７４】
この実施形態によれば、モスアイ構造に係る反射防止物品に関して、柔軟性、復元性を有する凹凸面層を使用して賦型用金型を作製することにより、反射防止物品の表面に損傷を与えることなく、意図する曲面形状にモスアイ構造による反射防止層を作製することができる。
【００７５】
また弾性変形層を介在させることにより、一段と柔軟性、復元性を確保して、反射防止物品の表面に損傷を与えることなく、意図する曲面形状にモスアイ構造による反射防止層を作製することができる。
【００７６】
〔第２実施形態〕
図８は、本発明の第２実施形態に係る賦型用金型の作製工程を示すフローチャートである。この実施形態では、原版作製工程ＳＰ２において、第１実施形態について上述したと同様にして原版（マスタ版）が作製される。また続く第１賦型版作製工程ＳＰ３において、原版を使用した賦型処理により第１の賦型用金型が作製される。また続く第２賦型版作製工程ＳＰ４において、第１の賦型用金型を使用した賦型処理により第２の賦型用金型が作製される。この実施形態では、この第２の賦型用金型を使用した賦型処理により反射防止物品が生産される。これによりこの実施形態に係る反射防止物品は、反射防止を図る電磁波の波長帯域の最短波長以下の間隔で微小突起を密接配置した微細凹凸形状による反射防止層が形成され、いわゆるモスアイ構造による微細凹凸形状により反射防止が図られる。
【００７７】
ここでこの実施形態において、第１賦型版作製工程ＳＰ３においては、塗工工程ＳＰ３−１において、図９（Ａ）に示すように、凹凸面層用基材１３に賦型処理用の樹脂材である紫外線硬化性樹脂が塗工されて賦型樹脂層２２が作製された後、硬化工程ＳＰ３−２で硬化されて凹凸面層１２が作製される（図９（Ｂ））。また続く剥離工程ＳＰ３−３において、凹凸面層用基材１３と凹凸面層１２との積層体が原版２１から剥離された後（図９（Ｃ））、積層工程ＳＰ３−４において、賦型用金型用基材１１に配置される（図９（Ｄ））。
【００７８】
ここでこれら塗工工程ＳＰ３−１から積層工程ＳＰ３−４は、第１実施形態と同一に構成される。これによりこの実施形態でも、柔軟で復元性を備えた凹凸面層により、原版に損傷を与えることなく、かつ賦型用金型として充分な強度を保持してなるように第１の賦型用金型が作製される。
【００７９】
この実施形態では、続く金属薄膜作製工程ＳＰ３−６において、図９（Ｅ）に示すように、第１の賦型用金型の賦型処理面（凹凸面層１２の表面）に金属薄膜１２Ａが作製される。ここで金属薄膜１２Ａは、アルミニウム、銀等の金属材料により、厚み１０ｎｍ以上５０ｎｍ以下により作製される。なお金属薄膜１２Ａの金属材料は、特に限定されることなく、アルミニウム、銀、銅、金、および、これらの合金等を用いることができる。ここでこのように可視光域の電磁波の最短波長以下の間隔で微小突起又は微細穴を密接配置した微細凹凸形状面に、厚み１０ｎｍ以上５０ｎｍ以下により配置した金属薄膜１２Ａは、紫外線に対する反射率が高い特徴がある。またさらに波長２０００ｎｍ以下７８０ｎｍ以上の赤外線域においては、透過率が高い特徴がある。なお金属薄膜は、蒸着、スパッタリング等により作製することができる。
【００８０】
このように金属薄膜１２Ａを作製することにより、第１の賦型用金型は、金属薄膜１２Ａを作製しない場合に比して、凹凸面層１２の機械的強度を向上することができる。またこの種の賦型処理では、剥離に要する力を低減する目的で、界面活性剤等による離型剤を設ける場合があるものの、このように金属薄膜１２Ａを設けた場合には、この離型剤を金属薄膜１２Ａの表面に留めおくことができ、これにより離形性を向上することができる。
【００８１】
この実施形態では、このようして作製した第１の賦型用金型３０を使用して第２の賦型用金型を多数作製する場合に、第１の賦型用金型３０における凹凸面層１２の、第２の賦型用金型を作製する際の紫外線の照射による損傷を充分に低減し、賦型用金型３０を長寿命化する。また必要に応じて、この第２の賦型用金型を作製する際の紫外線硬化性樹脂の硬化時、第１の賦型用金型３０を透過させて赤外線を照射し、第２の賦型用金型における賦型樹脂層の硬化を促進させる。
【００８２】
すなわちこの実施形態では、このようして金属薄膜１２Ａを作製して第１の賦型用金型３０を作製すると、続く第２賦型用金型作製工程ＳＰ４の塗工工程ＳＰ４−１において、図１０（Ａ）に示すように、紫外線硬化性樹脂を塗工して賦型樹脂層２３を作製し、さらに第２の賦型用金型に係る凹凸面層用基材２４を配置する。さらに続く硬化工程ＳＰ４−２において、紫外線の照射により賦型樹脂層２３を硬化させる。
【００８３】
この硬化の際に、図１０（Ｂ）に示すように、この実施形態では、凹凸面層用基材２４に紫外線に対して透明なフィルム材を適用して、凹凸面層用基材２４の側から紫外線（ＵＶ）を照射し、これにより賦型樹脂層２３を効率良く硬化させる。すなわちこの場合、凹凸面層用基材２４を透過して入射した紫外線と、賦型樹脂層２３を透過した後、金属薄膜１２Ａで反射する紫外線とにより賦型樹脂層２３を硬化させることができ、これにより紫外線を効率良く利用して硬化させることができる。またこのようにして照射して賦型樹脂層２３を透過して第１の賦型用金型３０の表面に到来する紫外線を、金属薄膜１２Ａによる反射により遮光し、これにより第１の賦型用金型３０における凹凸面層１２の損傷を有効に回避する。
【００８４】
また第１の賦型用金型３０の側に赤外線（ＩＲ）の照射源を配置し、第１の賦型用金型３０を透過させて第２の賦型用金型に係る賦型樹脂層２３に赤外線（ＩＲ）を照射し、これにより賦型樹脂層２３の硬化を促進させる。
【００８５】
このようにして賦型樹脂層２３を硬化させることにより、この工程は、第２の賦型用金型に係る凹凸面層２５を作製する。この工程は、続く剥離工程Ｓ４−３において、凹凸面層２５を凹凸面層用基材２４と一体に剥離した後、第１の実施形態について上述した積層工程ＳＰ３−４、本硬化工程ＳＰ３−５と同様にして処理することにより第２の賦型用金型を作製する。
【００８６】
この実施形態によれば、原版から第１の賦型用金型、第２の賦型用金型を順次作製して反射防止物品を作製する場合にあっても、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００８７】
また金属薄膜の作製により第２の賦型用金型の作製に供する第１の賦型用金型を長寿命化することができる。なお金属薄膜は、第２の賦型用金型に設けるようにしてもよい。
【００８８】
〔他の実施形態〕
以上、本発明の実施に好適な具体的な構成を詳述したが、本発明は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述の実施形態の構成を種々に組み合わせたり、上述の実施形態の構成を種々に変更することができる。
【００８９】
すなわち上述の実施形態では、陽極酸化処理とエッチング処理との繰り返しにより作製した原版を使用して、多数の賦型用金型を作製する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、賦型用金型により作製した反射防止物品を原版として使用して賦型用金型を作製する場合にも広く適用することができる。
【００９０】
また上述の実施形態では、陽極酸化処理とエッチング処理との繰り返しにより原版を作製する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例えばフォトリソグラフィの手法により作製した微小突起又は微細穴の密接配置による原版を使用して、この原版から多数の賦型用金型を作製する場合等にも広く適用することができる。
【００９１】
また上述の実施形態では、紫外線硬化性樹脂を使用して賦型処理する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例えば熱硬化性樹脂を使用する場合等、種々の硬化性樹脂を使用して賦型処理する場合に広く適用することができる。
【００９２】
また上述の実施形態では、賦型対象の片面にモスアイ構造に係る微細凹凸形状を作製する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、賦型対象を間に挟んで一対の賦型用金型を対向するように保持して賦型対象の両面に微細凹凸形状を同時に作製する場合、さらには１方の面に微細凹凸形状を賦型処理により作製した後、他方の面に微細凹凸形状を賦型処理により作製することにより、賦型対象の両面に微細凹凸形状を順次作製する場合等にも広く適用することができる。
【００９３】
また上述の実施形態では、賦型対象にモスアイ構造に係る微細凹凸形状を作製する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、上述の実施形態に係る賦型用金型を、射出成形、ポッティング等の成形用の金型に利用して、モスアイ構造に係る微細凹凸形状と一体に賦型対象を作製する場合にも広く適用することができる。
【００９４】
〔実験結果〕
以下のようにして原版を作製した。純度９９．５０％の圧延されたアルミニウム板を、小さいうねりとして表面粗さＲｚが３０ｎｍ、大きいうねりが１μｍとなるように研磨した後、０．０２Ｍシュウ酸水溶液の電解液中で、化成電圧４０Ｖ、２０℃の条件にて１２０秒間、陽極酸化を実施した。次に第一エッチング処理として、陽極酸化後の電解液で６０秒間エッチング処理を行った。続いて、第二エッチング処理として、１．０Ｍリン酸水溶液に１５０秒間浸漬した。さらに、上記処理を繰り返し、これらを合計５回追加実施した。これにより、アルミニウム基板による母材に陽極酸化アルミニウム膜を形成して微細穴の密接配置構造を形成した。最後に、フッ素系離型剤を塗布し、余分な離型剤を洗浄することで、原版を作製した。
【００９５】
この原版に、実施例、比較例に係る硬化性樹脂組成物（紫外線硬化性樹脂）を滴下した後、透明基材としてＰＥＴフィルム（東洋紡  コスモシャイン  Ａ４３００、１００μｍ厚）をローラーでラミネートし、硬化性樹脂を均一に押し広げた。この状態で２０００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を原版側から照射し、硬化性樹脂を硬化させて凹凸面層を作製した後に、この凹凸面層を透明基材と一体に原版から剥離して賦型用金型を作製した。また同様にして凹凸面層を透明基材及び原版から剥離した。なお凹凸面層は、厚み５０μｍにより作製した。
【００９６】
このようにして剥離した凹凸面層に、２０００ｍＪ／ｃｍ２の光量による紫外線を１分以上照射して十分に硬化させて、基材及び凹凸形状を有しない、厚さ１ｍｍ、幅５ｍｍ、長さ３０ｍｍの試験用単膜を作製した。次いで、上述した計測方法により貯蔵弾性率Ｅ’、及び損失弾性率Ｅ”を求めた。また当該Ｅ’及びＥ”の結果からｔａｎδを算出した。測定装置はＵＢＭ製  Ｒｈｅｏｇｅｌ  Ｅ４００を用いた。
【００９７】
紫外線硬化性樹脂は、以下の１〜７の単官能（メタ）アクリレートと多官能（メタ）アクリレートとを、それぞれ単独で又は併用して適宜含有する組成物である。
【００９８】
【表１】
2017170853.tif 000003
【００９９】
またこれらの紫外線硬化性樹脂による複製版を使用して、レンズ面を備えた微小レンズに反射防止層を賦型処理により繰り返し作製するようにして、この繰り返しの賦型処理における凹凸面層の変形を観察した。
【０１００】
温度２５℃における貯蔵弾性率（Ｅ’）が１×１０８Ｐａ以上５×１０９Ｐａ以下であり、かつ温度２５℃におけるｔａｎδが０．３以下である実施例１〜４においては、繰り返しの賦型処理においても、凹凸面層が元の形状に復帰し、またレンズ面の形状に応じて変形することが確認された。
【０１０１】
これに対して温度２５℃における貯蔵弾性率（Ｅ’）が１×１０８Ｐａ以上５×１０９Ｐａ以下の範囲を逸脱する比較例１、比較例３にあっては、充分な変形を確保できないことが確認された。またｔａｎδが０．０３より大きな比較例２、比較例３にあっては、復元性が劣り、繰り返しの賦型処理により凹凸面層の変形が元に戻らなくなることが確認された。
【符号の説明】
【０１０２】
１  反射防止物品
１Ａ  レンズ面
２  反射防止層
２Ａ、５、２２、２３  賦型樹脂層
３  微細穴
４  レンズ本体
４Ａ  接続部
６  レンズシート
１０、３０  賦型用金型
１１、１３  基材
１２、２５  凹凸面層
１２Ａ  金属薄膜
１３、２４  凹凸面用基材
２１  原版
【図１】
2017170853.tif 000004
【図２】
2017170853.tif 000005
【図３】
2017170853.tif 000006
【図４】
2017170853.tif 000007
【図５】
2017170853.tif 000008
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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