(57)【要約】【課題】本発明は、実用的な電波透過性を有しつつ、赤外線反射性が高い電波透過性赤外線反射積層体を提供することを課題とする。【解決手段】本発明においては、電波透過性および赤外線反射性を有し、基材と、上記基材上に配置された金属層と、を有する積層体であって、上記金属層が、線状の開口部を有し、上記金属層の面積に対する上記開口部の面積の割合が、０．７％以上、２％以下であることを特徴とする積層体を提供することにより、上記課題を解決する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電波透過性および赤外線反射性を有し、基材と、前記基材上に配置された金属層と、を有する積層体であって、
前記金属層が、線状の開口部を有し、
前記金属層の面積に対する前記開口部の面積の割合が、０．７％以上、２％以下であることを特徴とする積層体。
【請求項２】
隣り合う前記開口部の中心間距離が、０．２ｍｍ以上、５ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の積層体。
【請求項３】
前記金属層が、第一金属層および第二金属層を有し、
厚さ方向において、前記基材、前記第一金属層、誘電体層および前記第二金属層が、この順に配置されていることことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の積層体。
【請求項４】
赤外線反射率が７０％以上であり、電波遮蔽係数が１０ｄＢ以下であることを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれかの請求項に記載の積層体。
【請求項５】
構造体の開口部に配置される閉鎖部材であって、
請求項１から請求項４までのいずれかの請求項に記載の積層体を有することを特徴とする閉鎖部材。
【請求項６】
前記開口部の長手方向が、水平方向に対して±４５°の範囲内にあることを特徴とする請求項５に記載の閉鎖部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、実用的な電波透過性を有しつつ、赤外線反射性が高い電波透過性赤外線反射積層体に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、自動車、電車等の導電性躯体から構成される構造体においては、窓のみが電波の出入り口になる場合がある。このような窓に、遮熱または断熱を目的して、薄い金属層を有する赤外線反射積層体を設けると、電波が遮蔽されてしまう。そのため、赤外線を反射しつつも、電波を透過する積層体が求められている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、基材と金属層とを備え、金属層が島状の金属皮膜を多数配置して形成されており、金属皮膜に被覆されていない部分の面積率が１１〜８０％である熱線遮蔽材が開示されている。この技術は、可視光線の透過性能、熱線の遮蔽性能、電磁波の透過性能に優れ、外観にも優れた熱線遮蔽材を提供することを目的としている。
【０００４】
また、特許文献２には、少なくとも基材と、複数の不連続に配置されている金属膜を有する２層以上の不連続金属層とを有し、該不連続金属層の少なくとも１層の該不連続に配置されている金属膜の一部と、該金属膜を有さない開口部の一部とが、他方の不連続金属層の金属膜を覆う構成である熱線遮断用基材が開示されている。この技術は、高い可視光透過性、近赤外から中赤外領域にかけての高い熱線反射性（熱線遮断性）、及び高い電磁波透過性を有する熱線遮断用基材を提供することを目的としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第２０１５／０２５９６３号
【特許文献２】特開２０１１−１８０５６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
電波透過性および赤外線反射性を高いレベルで両立することが求められている。本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、実用的な電波透過性を有しつつ、赤外線反射性が高い電波透過性赤外線反射積層体を提供することを主目的とする。なお、本発明においては、電波透過性赤外線反射積層体を、単に「積層体」と称する場合がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明においては、電波透過性および赤外線反射性を有し、基材と、上記基材上に配置された金属層と、を有する積層体であって、上記金属層が、線状の開口部を有し、上記金属層の面積に対する上記開口部の面積の割合が、０．７％以上、２％以下であることを特徴とする積層体を提供する。
【０００８】
本発明によれば、金属層の面積に対する開口部の面積の割合が特定の範囲内にあることから、実用的な電波透過性を有しつつ、赤外線反射性が高い積層体とすることができる。
【０００９】
上記発明においては、隣り合う上記開口部の中心間距離が、０．２ｍｍ以上、５ｍｍ以下であっても良い。
【００１０】
上記発明においては、上記金属層が、第一金属層および第二金属層を有し、厚さ方向において、上記基材、上記第一金属層、誘電体層および上記第二金属層が、この順に配置されていても良い。
【００１１】
上記発明においては、赤外線反射率が７０％以上であり、電波遮蔽係数が１０ｄＢ以下であることが好ましい。
【００１２】
また、本発明においては、構造体の開口部に配置される閉鎖部材であって、上述した積層体を有することを特徴とする閉鎖部材を提供する。
【００１３】
本発明によれば、上述した積層体を用いることで、電波透過性および赤外線反射性を両立した構造体とすることができる。
【００１４】
上記発明においては、上記開口部の長手方向が、水平方向に対して±４５°の範囲内にあっても良い。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の積層体は、実用的な電波透過性を有しつつ、赤外線反射性を高くできるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の積層体の一例を示す概略断面図である。
【図２】本発明の積層体の一例を示す概略平面図である。
【図３】本発明における金属層を説明する概略平面図である。
【図４】本発明における金属層を説明する概略平面図である。
【図５】本発明における金属層を説明する概略平面図である。
【図６】本発明の積層体を例示する概略断面図である。
【図７】本発明の積層体を例示する概略断面図である。
【図８】本発明の積層体を例示する概略断面図である。
【図９】本発明の積層体の製造方法の一例を示す概略断面図である。
【図１０】本発明の閉鎖部材を説明する概略斜視図である。
【図１１】本発明の閉鎖部材の一例を示す模式図である。
【図１２】開口部の長手方向と、直線偏波との関係を説明する概略斜視図である。
【図１３】参考例１〜３における、金属部の面積率と電波透過率との関係を示すグラフである。
【図１４】参考例４〜６における、金属部の面積率と電波透過率との関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の積層体および閉鎖部材について詳細に説明する。なお、本発明を明確に説明するため、下記図面における厚さ、幅、形状等は、模式的に示されており、本発明は、図面に限定されるものではない。
【００１８】
Ａ．積層体
図１は、本発明の積層体の一例を示す概略断面図である。図１に示すように、本発明の積層体１０は、赤外線Ａを反射する性質と、電波Ｂを透過する性質とを兼ね備えた積層体である。また、積層体１０は、通常、透明な積層体である。「透明」とは、可視光線を透過する性質をいう。積層体１０の可視光線透過率は、波長３８０ｎｍ〜７８０ｎｍの可視光線に対して、例えば５０％以上であり、７０％以上であることが好ましく、９０％以上であることがより好ましい。また、図１に示される積層体１０は、基材１と、基材１上に配置された金属層２と、金属層２を覆うように配置された誘電体層３とを有する。
【００１９】
図２は、本発明の積層体の一例を示す概略平面図である。なお、図２のＸ−Ｘ断面図が図１に該当する。積層体１０に用いられる金属層２は、金属部２ｘと、線状の開口部２ｙとから構成される。本発明においては、金属層２の面積に対する開口部２ｙの面積の割合が特定の範囲内にあることを大きな特徴とする。なお、金属層の面積とは、開口部の面積を含む金属層全体の面積をいい、金属層の面積に対する開口部の面積の割合は、開口部の開口率と表現することもできる。
【００２０】
本発明によれば、金属層の面積に対する開口部の面積の割合が特定の範囲内にあることから、実用的な電波透過性を有しつつ、赤外線反射性が高い積層体とすることができる。例えば、金属層が開口を全く有しない場合、赤外線反射性は高いものの、電波が遮蔽されてしまい、電波障害等が生じる。一方、金属層が大きな開口を有する場合、電波透過性は向上するものの、赤外線反射性が低下してしまう。本発明においては、電波障害が生じない程度の電波透過性を得るために必要最低限の開口を設けることで、赤外線反射率の低下を抑制でき、赤外線反射性を最大化することが可能となる。
以下、本発明の積層体について、構成ごとに説明する。
【００２１】
１．基材
本発明における基材は、後述する金属層等を保持する部材である。基材の材料は特に限定されないが、例えば、樹脂を挙げることができる。樹脂としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリテトラフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体等が挙げられ、中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリカーボネートが好ましい。
【００２２】
基材の厚さは、例えば、１０μｍ以上であり、２０μｍ以上であっても良い。基材の厚さが小さすぎると、金属層または誘電体層を形成する際に、ハンドリング性が悪化する場合がある。一方、基材の厚さは、例えば、２００μｍ以下であり、１００μｍ以下であっても良い。基材の厚さが大きすぎると、可視光線透過率が低下する場合がある。
【００２３】
基材の製造方法は特に限定されないが、例えば、原料の樹脂をフィルム状に溶融押出しするか、溶液押出しすることで、フィルム状に成形する方法を挙げることができる。得られたフィルムに対して、必要に応じて、延伸処理、熱固定処理、および、熱弛緩処理の少なくとも一つの処理を行っても良い。また、延伸処理は、長手方向の処理であっても良く、幅方向の処理であっても良く、長手方向および幅方向の処理であっても良い。
【００２４】
２．金属層
本発明における金属層は、基材上に配置された層である。なお、「基材上に配置された」とは、基材に直接配置された場合、および、基材に他の層を介して間接的に配置された場合の両方をいう。他の層としては、例えば、後述する誘電体層を挙げることができる。また、金属層は、金属部と、線状の開口部とから構成される。複数の金属部は、それぞれ、開口部により電気的に独立していても良く、電気的に独立していなくても良いが、前者が好ましい。電波透過性の低下を抑制できるからである。
【００２５】
金属層の材料は特に限定されないが、例えば、Ａｇ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｎｉ、Ｂｉ、Ｇｅ、Ｇａ等の金属、および、これらの金属の少なくとも一種を含有する合金を挙げることができる。中でも、銀、銀合金、アルミニウム、アルミニウム合金、銅、銅合金が好ましい。これらは、高い自由電子密度を有するため、薄膜であっても、高い赤外線反射性を得ることができる。
【００２６】
本発明においては、金属層の面積に対する開口部の面積の割合が特定の範囲内にある。この割合を、開口率と称する。また、後述するように、積層体が２層以上の金属層を有する場合、開口率は、各々の金属層における開口率をいう。上記開口率は、通常、０．７％以上であり、１％以上であっても良い。一方、上記開口率は、通常、２％以下である。
【００２７】
また、図３に示すように、隣り合う開口部２ｙの中心間距離をＤとし、開口部２ｙの幅をＷとする。Ｄの値は、例えば、０．１ｍｍ以上であり、０．２ｍｍ以上であっても良い。一方、Ｄの値は、例えば、５ｍｍ以下であり、３ｍｍ以下であっても良い。Ｗの値は、例えば、１０ｎｍ以上であり、１００ｎｍ以上であっても良い。一方、Ｗの値は、例えば、５００μｍ以下であり、２００μｍ以下であっても良く、１００μｍ以下であっても良く、６０μｍ以下であっても良い。
【００２８】
開口部は、通常、線状である。線状としては、例えば、直線状、曲線状を挙げることができる。複数の開口部の長手方向は、それぞれ、同じであっても良く、異なっていても良い。例えば、図４（ａ）では、複数の開口部２ｙの長手方向ＤＡが、それぞれ、同じである。一方、図４（ｂ）では、複数の開口部２ｙの長手方向ＤＡが、それぞれ、異なっており、ランダムである。
【００２９】
また、開口部は、屈曲部を有していても良く、有していなくても良い。例えば、図４（ｃ）では、開口部２ｙが、屈曲部２ａを有している。また、開口部は、曲線状であっても良い。曲線状とは、開口部が曲線部を少なくとも有することをいう。例えば、図４（ｄ）では、開口部２ｙが、波形の曲線状である。この場合、曲線の進行方向Ｐを、開口部２ｙの長手方向ＤＡとする。
【００３０】
開口部は、連続的形状であっても良く、不連続的形状であっても良い。連続的形状としては、例えば図４に示した形状を挙げることができる。一方、不連続的形状としては、例えば、ドット状を挙げることができる。図５（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ図４（ａ）〜（ｄ）に示す形状が不連続的形状である場合に該当する。
【００３１】
本発明においては、複数の開口部が、開口部の長手方向に交差する方向にそれぞれ配置されていることで、パターンが得られる。複数の開口部から構成されるパターン形状としては、例えば、ストライプ状を挙げることができる。
【００３２】
金属層の厚さは特に限定されないが、例えば、５ｎｍ以上、５０ｎｍ以下である。金属層の厚さが小さすぎると、赤外線反射性が低下する場合があり、金属層の厚さが大きすぎると、可視光線透過率が低下する場合がある。
【００３３】
３．誘電体層
本発明の積層体は、誘電体層を有していても良い。誘電体層は金属層との干渉効果により、可視光線透過率を向上させることができる。誘電体層の材料は、可視光線に対する屈折率が、例えば１．４以上であることが好ましい。良好な干渉効果が得られるからである。誘電体層の材料としては、例えば、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｎ、Ａｌ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｔｌ、Ｇａ、Ｓｎ、Ｓｉ等の金属の酸化物、および、これらの金属の少なくとも一種を含有する複合酸化物を挙げることができ、中でも、ＴｉＯ２、ＺｎＯおよびＳｉＯ２が好ましい。
【００３４】
誘電体層の配置場所は特に限定されない。例えば図６に示すように、誘電体層３が、基材１および金属層２の間に配置されていても良く、金属層２を覆うように配置されていても良い。後者の場合、金属部２ｘの頂面部および開口部２ｙに、誘電体層３が配置されることが好ましい。また、後述するように、金属層が２層以上存在する場合には、各金属層の間に誘電体層が配置されていても良い。また、誘電体層の厚さは、例えば５ｎｍ〜１００ｎｍの範囲内であることが好ましい。
【００３５】
４．積層体
本発明の積層体は、赤外線反射性および電波透過性を有する。赤外線反射性は、例えば、波長１５００ｎｍ〜２２００ｎｍにおける平均光線反射率を測定することにより、評価することができる。平均光線反射率は、例えば、６０％以上であり、７０％以上であることが好ましい。一方、電波透過性は、例えば、電波遮蔽係数を測定することにより、評価することができる。電波遮蔽係数は、例えば、１０ｄＢ以下であり、７ｄＢ以下であることが好ましい。
【００３６】
本発明の積層体は、金属層を１層有していても良く、２層以上有していても良い。例えば、本発明の積層体が金属層を２層有する場合、それらを第一金属層および第二金属層と称する。
【００３７】
ここで、図７に示すように、本発明の積層体は、金属層２として、第一金属層２１および第二金属層２２を有し、厚さ方向において、基材１、第一金属層２１、第二金属層２２がこの順に配置されていても良い。なお、図７において、第一金属層２１および第二金属層２２の間には第一誘電体層３ａが配置され、第二金属層２２の表面を覆うように第二誘電体層３ｂが配置されている。
【００３８】
また、第一金属層の開口部と、第二金属層の開口部とは、平面視上、完全に重複していても良く、一部重複していても良く、全く重複していなくても良い。中でも、両者は、全く重複していないことが好ましい。赤外線反射率の低下を抑制でき、また、色ムラの発生も抑制できるからである。
【００３９】
また、図８（ａ）に示すように、本発明の積層体は、金属層２として、第一金属層２１および第二金属層２２を有し、厚さ方向において、第一金属層２１、基材１、第二金属層２２がこの順に配置されていても良い。なお、図８（ａ）において、第一金属層２１の表面を覆うように第一誘電体層３ａが配置され、第二金属層２２の表面を覆うように第二誘電体層３ｂが配置されている。
【００４０】
また、図８（ｂ）に示すように、本発明の積層体は、第一基材１ａと、第一基材１ａ上に配置された第一金属層２１とを有する第一部材と、第二基材１ｂと、第二基材１ｂ上に配置された第二金属層２２とを有する第二部材とを備え、第一金属層２１および第二金属層２２が中間層を介して対向していても良い。図８（ｂ）では、中間層の一例として、第一金属層２１の表面を覆うように配置された第一誘電体層３ａと、第二金属層２２の表面を覆うように配置された第二誘電体層３ｂと、第一誘電体層３ａおよび第二誘電体層３ｂを接着する接着層４とを有する中間層を示している。
【００４１】
本発明の積層体の厚さは特に限定されないが、例えば、１ｍｍ以下であり、５００μｍ以下であっても良い。また、本発明の積層体は、フィルム状であることが好ましい。また、本発明の積層体は、電波透過性および赤外線反射性を必要とする任意の用途に用いることができる。中でも、構造体の開口部に配置される閉鎖部材に用いることが好ましい。閉鎖部材としては、例えば窓部材を挙げることができる。閉鎖部材の一部として、本発明の積層体を用いることで、閉鎖部材に電波透過性および赤外線反射性を付与できる。
【００４２】
図９は、本発明の積層体を製造する方法の一例を示す概略断面図である。図９においては、まず、基材１を準備する（図９（ａ））。次に、例えば蒸着法により金属層２を形成する（図９（ｂ））。次に、必要に応じて、金属層２を覆うように誘電体層３を形成する（図９（ｃ））。これにより、本発明の積層体が得られる。
【００４３】
上記金属層を形成する方法は特に限定されないが、例えば、蒸着法を挙げることができる。蒸着法としては、例えば、スパッタリング法、真空蒸着法、ＣＶＤ法、電子線蒸着法等のドライプロセスを挙げることができる。また、マスクを用いた蒸着法により、金属層を形成しても良い。マスクを用いることで、成膜およびパターニングを同時に行うことができる。
【００４４】
上記誘電体層の形成方法は特に限定されないが、例えば、スパッタリング法、真空蒸着法、ＣＶＤ法、電子線蒸着法等のドライプロセスを挙げることができる。なお、金属層の形成と、誘電体層の形成とが、ともにドライプロセスであると、インラインで金属層および誘電体層の形成ができるという利点がある。すなわち、金属層形成工程および誘電体層形成工程が連続的に行われることが好ましい。また、金属層を２層以上形成する場合には、例えば、金属層形成工程および誘電体層形成工程を複数繰り返せば良い。
【００４５】
Ｂ．閉鎖部材
図１０および図１１は、本発明の閉鎖部材の一例を説明する模式図である。なお、図１１（ａ）は、本発明の閉鎖部材の一例を示す概略平面図であり、図１１（ｂ）は、図１１（ｂ）のＸ−Ｘ断面図に該当する。図１０に示すように、本発明の閉鎖部材３０は、構造体４０の開口部に配置される部材であり、典型的には窓部材である。また、図１１（ａ）、（ｂ）に示される閉鎖部材３０は、板状部材３１と、板状部材３１を囲む枠部材３２と、板状部材３１上に配置された積層部材１０とを有する。
【００４６】
本発明によれば、上述した積層体を用いることで、電波透過性および赤外線反射性を両立した構造体とすることができる。
以下、本発明の閉鎖部材について、構成ごとに説明する。
【００４７】
本発明の閉鎖部材は、通常、「Ａ．積層体」に記載した積層体を少なくとも有する。さらに、必要に応じて、板状部材および枠部材を有していても良い。板状部材は、通常、積層体を保持する部材である。板状部材の材料としては、例えば、ガラス板を挙げることができる。板状部材と、積層体の基材とを接着する接着層を設けても良い。なお、積層体の基材が、板状部材を兼ね備えていても良い。一方、枠部材は、通常、板状部材を囲み、閉鎖部材を構造体の開口部に固定する部材である。枠部材の材料としては、例えば、金属を挙げることができる。
【００４８】
本発明の閉鎖部材は、開口部の長手方向が、水平方向に対して±４５°の範囲内にあっても良い。具体的には、図１１（ａ）に示すように、開口部２ｙの長手方向ＤＡが、水平方向ＤＢに対して±４５°の範囲内にあっても良い。これにより、鉛直方向の直線偏波の透過性低下を抑制した閉鎖部材とすることができる。一般的に、電波には、直線偏波と円偏波とが存在する。直線偏波は、例えば、携帯電話、ＶＩＣＳ(Vehicle Information and Communication System)に使用されている。一方、円偏波は、例えば、ＥＴＣ(Electronic Toll Collection system)、ＧＰＳ(Grobal Position System)に使用されている。
【００４９】
線状の開口部を有する積層体を閉鎖部材に用いた場合、積層体の配置状態によって、鉛直方向の直線偏波の透過性が影響を受ける。例えば、図１２（ａ）に示すように、開口部２ｙの長手方向ＤＡが、水平方向ＤＢに直角である場合、鉛直方向の直線偏波３３は、金属部２ｘを透過できず、開口部２ｙしか透過できない。
【００５０】
これに対して、図１２（ｂ）に示すように、開口部２ｙの長手方向ＤＡが、水平方向ＤＢと一致している場合、鉛直方向の直線偏波３３は、波長が十分に大きいため、金属部２ｘを透過することができる。そのため、鉛直方向の直線偏波の透過性低下を抑制した閉鎖部材とすることができる。ＤＡは、ＤＢに対して、±３０°の範囲内にあることが好ましく、±１５°の範囲内にあることがより好ましい。
【００５１】
同様に、本発明の閉鎖部材は、開口部の長手方向が、鉛直方向に対して±４５°の範囲内にあっても良い。これにより、水平方向の直線偏波の透過性低下を抑制した閉鎖部材とすることができる。その場合、開口部の長手方向ＤＡは、鉛直方向ＤＣに対して、±３０°の範囲内にあることが好ましく、±１５°の範囲内にあることがより好ましい。
【００５２】
また、本発明においては、上述した閉鎖部材を開口部に有する構造体を提供することもできる。構造物としては、例えば、自動車、電車等の移動体、および、建造物等を挙げることができる。特に、構造体が導電性躯体を有する場合、電波は閉鎖部材を介して出入りするため、本発明の積層体が特に有効である。導電性躯体を有する構造体としては、例えば、自動車、電車等を挙げることができる。特に、自動車または電車のフロントガラスに、本発明の積層体を用いることが有効である。
【００５３】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と、実質的に同一の構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなる場合であっても本発明の技術的範囲に包含される。
【実施例】
【００５４】
以下、実施例を用いて、本発明をさらに具体的に説明する。
【００５５】
［実施例１］
（誘電体層の作製）
二軸配向透明ＰＥＴフィルム（東洋紡績社製、Ａ４１００、厚み５０μｍ、Ｔｇ６７℃）をキャノンアネルパ製スパッタ装置ＳＰＣ−３５０ＵＨＶに、ＰＥＴの平滑面側に成膜されるよう設置した。ターゲットをＴiとし、チャンバ内圧力が２．０×１０−３Ｐａ以下となるまで排気し、Ａｒを１０ｓｃｃｍ、Ｏ２を５ｓｃｃｍ導入し、全流量を１５ｓｃｃｍとした。その後、チャンバ内圧力を０．４Ｐａに調節し、直流スパッタリング法を用いて放電電流を０．３Ａとした。この時、基材（ＰＥＴフィルム）温度は室温とした。これにより、ＴｉＯ２を成膜した。
【００５６】
（金属層の作製）
次に、ターゲットをＡｇとし、ターゲットと、蒸着対象物であるＰＥＴとの間に蒸着マスクを挿入した。その後、チャンバ内圧力が２．０×１０−３Ｐａ以下となるまで排気し、放電ガスとしてＡｒを２５ｓｃｃｍ導入した。その後、チャンバ内圧力を０．４Ｐａに調節し、直流スパッタリング法を用いて放電電流を０．２Ａとした。この時、基材（ＰＥＴフィルム）温度は室温とした。これにより、ＰＥＴ上に、ストライプ状の開口部を有する金属層（Ａｇ層）を成膜した。隣り合う開口部の中心間距離Ｄは１ｍｍであり、金属層の面積に対する開口部の面積の割合（開口率）は０．７％であった。
【００５７】
（誘電体層の作製）
次に、ターゲットをＴiに交換し、チャンバ内圧力が２．０×１０−３Ｐａ以下となるまで排気し、Ａｒを１０ｓｃｃｍ、Ｏ２を５ｓｃｃｍ導入し、全流量を１５ｓｃｃｍとした。その後、チャンバ内圧力を０．４Ｐａに調節し、直流スパッタリング法を用いて放電電流を０．３Ａとした。この時、基材（ＰＥＴフィルム）温度は室温とした。これにより、Ａｇ層上にＴｉＯ２を成膜した。これにより、積層体（フィルム）を得た。
【００５８】
［実施例２］
隣り合う開口部の中心間距離Ｄを５ｍｍに変更し、開口率を１％に変更したこと以外は、実施例１と同様にして積層体を得た。
【００５９】
［実施例３、４］
隣り合う開口部の中心間距離Ｄを、それぞれ、１ｍｍ、０．２ｍｍに変更したこと以外は、実施例２と同様にして積層体を得た。
【００６０】
［実施例５］
隣り合う開口部の中心間距離Ｄを５ｍｍに変更し、開口率を２％に変更したこと以外は、実施例１と同様にして積層体を得た。
【００６１】
［実施例６、７］
隣り合う開口部の中心間距離Ｄを、それぞれ、１ｍｍ、０．２ｍｍに変更したこと以外は、実施例５と同様にして積層体を得た。
【００６２】
［比較例１］
開口部を設けなかったこと以外は、実施例１と同様にして積層体を得た。
【００６３】
［比較例２］
隣り合う開口部の中心間距離Ｄを５ｍｍに変更し、開口率を１０％に変更したこと以外は、実施例１と同様にして積層体を得た。
【００６４】
［比較例３、４］
隣り合う開口部の中心間距離Ｄを、それぞれ、１ｍｍ、０．２ｍｍに変更したこと以外は、比較例２と同様にして積層体を得た。
【００６５】
［評価］
実施例１〜７および比較例１〜４で得られた積層体を用いて、赤外線反射性および電波透過性を評価した。赤外線反射率の評価は、波長１５００ｎｍ〜２２００ｎｍにおける平均光線反射率を求めることにより行った。具体的には、紫外可視近赤外分光光度Ｖ−７２００（日本分光製）を用いて測定した。電波透過性の評価は、電波遮蔽係数を求めることにより行った。評価方法としては、ＫＥＣ法を採用した。電波の測定範囲は、３０ＭＨｚ〜１ＧＨｚとし、電波遮蔽係数は、周波数１ＧＨｚにおける数値（ｄＢ）を用いた。その結果を表１に示す。
【００６６】
【表１】
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【００６７】
表１に示すように、比較例１では、金属層が開口部を有しないため、電波遮蔽係数が２５ｄＢと高かった。電波遮蔽係数が１０ｄＢ以下であれば、実用上、電波障害が生じることは少ないため、１０ｄＢ以下が一つの基準になる。これに対して、実施例１〜７では、電波遮蔽係数が１０ｄＢ以下となり、実用上、十分な電波透過性が得られた。さらに、実施例１〜７では、比較例１に対する赤外線反射率の低下割合が、８％以下であった。これに対して、比較例２〜４では、比較例１に対する赤外線反射率の低下割合が、約１６％と高かった。
【００６８】
これらの結果から、実施例１〜７では、実用的な電波透過性を有しつつ、赤外線反射性が高くなることが確認された。また、実施例２〜４の結果、および、実施例５〜７の結果から、隣り合う開口部の中心間距離Ｄは、電波透過性に大きな影響を与えないことが示唆された。
【００６９】
［参考例１］
金属薄膜のパターニングによる面積率と電磁波透過率の関係を明らかにするため、金属薄膜に、鉛直方向のパターンをＤ＝５ｍｍピッチで配置し、金属部の面積率を変化させた際の透過率を電磁界シミュレーションにより計算した。シミュレーションソフトとしては、ＭＷ  Ｓｔｕｄｉｏ２０１５を採用し、ソルバーには時間領域で計算するトランジェントソルバーを使用した。金属薄膜の導電率は１.３３×１０７Ｓ／ｍ、膜厚は１０ｎｍとした。面積率については、５０％、７０％、８０％、９０％の４条件とし、周波数については、１ＧＨｚ、２．５ＧＨｚ、５．８ＧＨｚとした。また、シミュレーション上で金属薄膜に入射する電磁波については、水平方向の直線偏波とした。
【００７０】
［参考例２、３］
隣り合う開口部の中心間距離Ｄを、それぞれ、１ｍｍ、０．２ｍｍに変更したこと以外は、参考例１と同様にして評価した。
【００７１】
［参考例４〜６］
鉛直方向の直線偏波に変更したこと以外は、参考例１〜３と同様にして評価した。
【００７２】
［評価］
得られた結果を図１３および図１４に示す。図１３に示すように、水平偏波の場合は、金属部の面積率に関わらず、各ピッチ・各周波数において透過率はほぼ１００％一定となった。一方、図１４に示すように、垂直偏波の場合は、面積率が大きくなるにしたがって透過率は１０％〜４％程度に下がる傾向が見られた。このように、積層体の配置状態によって、直線偏波の透過性に影響が出た。
【符号の説明】
【００７３】
１…基材
２…金属層
２ｘ…金属部
２ｙ…開口部
２ａ…屈曲部
３…誘電体層
１０…積層体
２１…第一金属層
２２…第二金属層
３０…閉鎖部材
４０…構造体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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