(57)【要約】【課題】サンプル間や測定環境によるばらつきを考慮し、検査精度を向上することができる検査装置を提供する。【解決手段】本発明の一態様は、第１導電体と第２導電体とを含む一対の導電対が第１主面に複数設けられた検査対象物のうち、前記一対の導電対のそれぞれについて電気的特性データを取得する電気的特性データ取得部と、複数の前記検査対象物から取得される電気的特性データのうち、前記第１主面において設けられた位置が対応する電気的特性データの各検査対象物のそれぞれに基づいて統計処理を行い、検査対象領域ごとの基準特性データを算出する基準特性データ算出部と、を備えることを特徴とする検査装置である。【選択図】図２
2017181274.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１導電体と第２導電体とを含む一対の導電対が第１主面に複数設けられた検査対象物のうち、前記一対の導電対のそれぞれについて電気的特性データを取得する電気的特性データ取得部と、
複数の前記検査対象物から取得される電気的特性データのうち、前記第１主面において設けられた位置が対応する電気的特性データの各検査対象物のそれぞれに基づいて統計処理を行い、検査対象領域ごとの基準特性データを算出する基準特性データ算出部と、
を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記統計処理は、複数の前記検査対象物の前記電気的特性データの中央値であることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記統計処理は、複数の前記検査対象物の前記電気的特性データの平均値であることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項４】
第１導電体と第２導電体とを含む一対の導電対が第１主面に複数設けられた検査対象物のうち、前記一対の導電対のそれぞれについて電気的特性データを取得する電気的特性データ取得工程と、
複数の前記検査対象物から取得される電気的特性データのうち、前記第１主面において設けられた位置が対応する電気的特性データの各検査対象物のそれぞれに基づいて統計処理を行い、検査対象領域ごとの基準特性データを算出する基準特性データ算出工程と、
を備えることを特徴とする検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
タッチ位置を検出するタッチパネル装置の一種として、いわゆる静電容量方式のものが知られている。静電容量式タッチパネル装置のセンサパネルは、例えば、ガラス等で形成された透明な基板に、第１のパターン透明導電層（第１電極）と、第２のパターン透明導電層（第２電極）と、が設けられた構造を有している。このパターン透明導電層は、例えば酸化インジウムスズ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ、ＩＴＯ）を用いて成膜することにより形成される。
【０００３】
静電容量方式のタッチパネルの構成としては、第１電極を直線状にＭ個並べて配置し、それとは垂直な方向に第２電極をＮ個並べて配置し、第１電極と第２電極とを、センサパネルの厚み方向の隙間を挟んで対向させ、かつ互いに垂直に交差させた所謂ダブルレイヤー型のタッチパネルが主流となっている。ダブルレイヤー型のタッチパネルにおいて、第１電極と第２電極との交差部分には一種のコンデンサが形成され、このコンデンサの静電容量が、導電性物体（例えば人体）が接近あるいは接触することで変化する。タッチパネル装置は、この静電容量の変化を検出することにより、センサパネルにタッチされた位置を検出することができる。しかしながら、このダブルレイヤー型のタッチパネルでは、厚み方向のコンパクト化が困難で、薄型化、軽量化の要求に応えるには限界がある。
【０００４】
そこで、特許文献１には、第１電極及び第２電極を１つの層に配置した、所謂シングルレイヤー型のタッチパネルが開示されている。シングルレイヤー型のタッチパネルでは、第１電極と第２電極が近接している部分において一種のコンデンサが形成され、このコンデンサの静電容量が、導電性物体（例えば人体）が接近あるいは接触することで変化する。これにより、タッチ位置を検出することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−１５２５３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、タッチパネル装置の製造者にとって、センサパネルの検査を行うことは、不良品の混入を回避して製品の品質を確保するために極めて重要である。そこで、特許文献１に記載されている検査装置では、第１電極、第１電極と第２電極との電極近接部分、第２電極と経由する回路における第１電極と第２電極との近接部分における静電容量、第１電極及び第２電極の抵抗値を測定して、製品が良品であるか否かを判定している。
【０００７】
しかしながら、特許文献１に記載されている検査装置では、製品が良品であるか否かを判定する際、判定の基準値として予め設計において計算された値を用いて判定を行っている。
そのため、製品（サンプル）間の製造ばらつきにより、線幅の太りや細りが発生する場合、第１電極と第２電極とのスペースが変動して、静電容量の値も変動してしまい、検査精度の向上を図ることができないという課題がある。
また、微小な静電容量の変化を検知する場合、測定環境（温度や湿度等）により、静電容量の値も変動してしまい、検査精度の向上を図ることができないという課題がある。
【０００８】
本発明は、上記の事情を考慮してなされたものであり、サンプル間や測定環境によるばらつきを考慮し、検査精度を向上することができる検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明の一態様は、第１導電体と第２導電体とを含む一対の導電対が第１主面に複数設けられた検査対象物のうち、前記一対の導電対のそれぞれについて電気的特性データを取得する電気的特性データ取得部と、複数の前記検査対象物から取得される電気的特性データのうち、前記第１主面において設けられた位置が対応する電気的特性データの各検査対象物のそれぞれに基づいて統計処理を行い、検査対象領域ごとの基準特性データを算出する基準特性データ算出部と、を備えることを特徴とする検査装置である。
【００１０】
また、本発明の本発明の一態様は、上記の検査装置であって、前記統計処理は、複数の前記検査対象物の前記電気的特性データの中央値であることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の本発明の一態様は、上記の検査装置であって、前記統計処理は、複数の前記検査対象物の前記電気的特性データの平均値であることを特徴とする。
【００１２】
上記課題を解決するため、本発明の一態様は、第１導電体と第２導電体とを含む一対の導電対が第１主面に複数設けられた検査対象物のうち、前記一対の導電対のそれぞれについて電気的特性データを取得する電気的特性データ取得工程と、複数の前記検査対象物から取得される電気的特性データのうち、前記第１主面において設けられた位置が対応する電気的特性データの各検査対象物のそれぞれに基づいて統計処理を行い、検査対象領域ごとの基準特性データを算出する基準特性データ算出工程と、を備えることを特徴とする検査方法である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、基準特性データ算出部が、複数の検査対象物から取得される電気的特性データのうち、第１主面において設けられた位置が対応する電気的特性データの各検査対象物のそれぞれに基づいて統計処理を行い、検査対象領域ごとの基準特性データを算出する。検査装置は、製品が良品であるか否かを判定する際、判定の基準値として基準特性データを用いて判定を行う。これによれば、サンプル間や測定環境によるばらつきを考慮し、検査精度を向上することができる検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】シングルレイヤー型タッチパネル装置のセンサパネルにおける電極パターンを模式的に示す平面図である。
【図２】検査装置の全体的な構成を示す概念図である。
【図３】検査装置における基準特性データ算出部が行う統計処理を示した図である。
【図４】検査装置における処理フローの一例を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。図１は、シングルレイヤー型タッチパネル装置のセンサパネルにおける電極パターンを模式的に示す平面図である。
検査対象物としてのセンサパネル５０は、タッチパネル装置の主要な構成部品であって、ガラス等からなる透明な基板上に、第１電極（第１導電体）５１と、第２電極（第２導電体）５２と、を設けた構成になっている。このセンサパネル５０は、以下に述べるように、シングルレイヤー型に構成されている。
【００１６】
図１に示すタッチパネル装置のセンサパネル５０においては、複数（Ｍ＝２）の第１電極５１が、図１においてＸ方向に並べて配置されている。第１電極５１のそれぞれは、当該第１電極５１が並べられる方向と垂直な方向（図１のＹ方向）に細長い長尺状部３を有している。また、センサパネル５０では、複数（Ｎ＝３）の第２電極５２が、第１電極５１が並べられるＸ方向と、長尺状部３に沿うＹ方向とで、マトリクス状（Ｍ×Ｎ個）に並べて配置されている。
これにより、センサパネル５０は、第１電極５１及び第２電極５２のうち何れかによって、タッチ位置検出可能な領域（以下、タッチ領域と呼ぶことがある。）のほぼ全体が覆われている。
タッチ領域においては、マトリクス状に配置された第１電極５１と第２電極５２との関係で、センサ座標系が設定されている。この座標系は、ｘ方向及びｙ方向の座標で表すことができる。具体的には、図１におけるタッチ領域の左下隅にある第２電極５２の導電部４の対応部分が（１、１）、右上隅にある対応部分が（Ｍ＝２、Ｎ＝３）に設定されている。
なお、この例に限定されず、Ｍ及びＮの個数は適宜増減させることができる。
【００１７】
続いて、第１電極５１及び第２電極５２の形状について、以下に説明する。
図１に示すように、それぞれの第２電極５２は、第１電極５１が並べられるＸ方向と垂直なＹ方向で対応するように配置された４つの導電部４を備えている。従って、このセンサパネル５０は、Ｘ方向にＭ個、Ｙ方向に４×Ｎ個の導電部４が配列されているということができる。それぞれの導電部４は矩形状に構成されている。
【００１８】
第１電極５１には、並べられた４×Ｎ個の導電部４の間を隔てるように、長尺状部３の幅方向（Ｘ方向）から垂直に突出する複数の突出部５が形成されている。この結果、第１電極５１は、多数の凹部を有する、全体として櫛形のような形に構成されており、１つ１つの凹部の内側に第２電極５２の導電部４が配置されるレイアウトとなっている。それぞれの第２電極５２は引出し部６を備えており、この引出し部６は、同一の第２電極５２に属する４つの導電部４同士を互いに電気的に接続しつつ、第１電極５１が並べられるＸ方向と垂直なＹ方向に、センサパネル５０の縁部に向かって引き出されている。
【００１９】
第１電極５１及び第２電極５２は、上記ＩＴＯを用いて、スパッタリングや蒸着等の公知の方法でパターン透明導電層を形成することにより構成される。ただし、電極の材料としてはＩＴＯを用いることに限定されず、例えば酸化インジウム亜鉛（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｚｉｎｃ  Ｏｘｉｄｅ、ＩＺＯ）等、種々の材料を用いることができる。
図１に示すセンサパネル５０は、以上説明した構成で、第１電極５１と第２電極５２が近接している部分においてコンデンサが形成される。そして、このコンデンサの静電容量が、導電性物体（例えば人体）が接近あるいは接触することで変化する。これにより、導電性物体がタッチした位置を検出することができる。また、第１電極５１と第２電極５２とが交差する箇所がない構成であるため、２つの電極を物理的に単一の層に配置することができ、タッチデバイスの薄型化、構成の簡素化を実現することができる。
【００２０】
また、複数の第１電極５１には、それぞれ第１タブ配線部７が個別に接続される。それぞれの第１タブ配線部７は、対応する第１電極５１が有する長尺状部３の一端に接続される。また、複数の第２電極５２にも、それぞれ第２タブ配線部８が個別に接続される。それぞれの第２タブ配線部８は、対応する第２電極５２が有する引出し部６の一端に接続される。
第１タブ配線部７及び第２タブ配線部８は、導電性を有するペースト材料（具体的には、銀ペースト）を用いて、スクリーン印刷により形成されている。ただし、この構成に限られず、銀ペーストに代えて例えば銅ペーストを用いたり、スクリーン印刷に代えて例えばインクジェット印刷等の他の印刷方法を用いたりしても良い。また、導電性を有する各種の金属膜を蒸着した後に選択的なエッチングを行うことで、第１タブ配線部７及び第２タブ配線部８のパターンを形成することもできる。
【００２１】
図２は、検査装置の全体的な構成を示す概念図である。図２に示す検査装置１は、センサパネル５０が製品として良品であるか否かを判定するために用いられる。検査装置１は、電気的特性データ取得部１１と、基準特性データ算出部１２と、電気的特性データ判定部１３と、を含んで構成されている。
【００２２】
電気的特性データ取得部１１は、１つのセンサパネル５０における位置（以下、位置座標（ｍ，ｎ）で表す）に対応する静電容量値Ｃｍｎと抵抗値Ｒｍｎ（電気的特性データ）を測定する。静電容量値Ｃｍｎは、センサパネル５０の位置座標（ｍ、ｎ）における第１電極５１と第２電極５２と（一対の導電対）の間に形成される静電容量の値である。また、抵抗値Ｒｍｎは、センサパネル５０の位置座標（ｍ、ｎ）における第１電極５１及び第２電極５２の抵抗の値である。
ここで、ｍは１≦ｍ≦Ｍで示す整数であり、ｎは１≦ｎ≦Ｎで示す整数である。
電気的特性データ取得部１１は、複数の（Ｍ個の）第１ケーブル３７（以下、第１ケーブル３７ｍで表す）を有している。第１ケーブル３７ｍは、導電性を有する電線で構成される。第１ケーブル３７ｍは、センサパネル５０が検査装置１にセットされると、センサパネル５０の第１タブ配線部７（第１タブ配線部７ｍとする）を介して、第１電極５１のうち、センサパネル５０の位置座標（ｍ、ｎ）における第１電極５１に電気的に接続される。
また、電気的特性データ取得部１１は、複数の（Ｍ×Ｎ個の）第２ケーブル３８（以下、第２ケーブル３８ｍｎで表す）を有している。第２ケーブル３８ｍｎは、導電性を有する電線で構成される。第２ケーブル３８ｍｎは、センサパネル５０が検査装置１にセットされると、センサパネル５０の第２タブ配線部８（第２タブ配線部８ｍｎとする）を介して、第２電極５２のうち、センサパネル５０の位置座標（ｍ、ｎ）における第２電極５２に電気的に接続される。
【００２３】
また、電気的特性データ取得部１１は、１つのセンサパネル５０における位置座標（ｍ、ｎ）に対応する静電容量値Ｃｍｎと抵抗値Ｒｍｎを測定するためのシグナル供給部と電流検出部とを備えている。
シグナル供給部は、所定の電圧の交流信号を供給する交流電源として構成されている。シグナル供給部は電気的特性データ取得部１１に接続されており、電気的特性データ取得部１１からの制御指令に基づいて、交流信号を発生させることができる。また、電気的特性データ取得部１１は、Ｍ個の第１ケーブル３７のうち、任意の第１ケーブル３７を選択して、選択された第１ケーブル３７と交流電源とを電気的に接続することができる。
また、電流検出部は、第２ケーブル３８に流れる電流を測定する電流計として構成されている。電流検出部は電気的特性データ取得部１１に接続されており、電気的特性データ取得部１１からの制御指令に基づいて、測定した電流値を電気的特性データ取得部１１に送信する。また、電気的特性データ取得部１１は、Ｍ×Ｎ個の第２ケーブル３８のうち、任意の第２ケーブル３８を選択して、選択された第２ケーブル３８と電流計とを電気的に接続することができる。
このように電気的特性データ取得部１１は、センサパネル５０が検査装置１にセットされた状態で、シグナル部及び電流検出部に対して制御信号を送って制御する。電気的特性データ取得部１１は、シグナル部に交流信号を発生させた状態で、電流検出部の電流計の出力を位相検波して計算することにより、センサパネル５０における位置座標（ｍ、ｎ）に対応する静電容量値Ｃｍｎと抵抗値Ｒｍｎ（電気的特性データ）を取得することができる。
【００２４】
基準特性データ算出部１２は、複数の（Ｐ個の）センサパネル５０から取得される電気的特性データに基づいて基準特性データを算出する。
図３は、検査装置における基準特性データ算出部が行う統計処理を示した図である。
図３においては、上部にＰ個のセンサパネル５０ｐを表し、下部において基準特性データ算出部が算出する基準特性データを示している。ただし、ｐは１≦ｐ≦Ｐで示す整数である。
基準特性データ算出部１２は、Ｐ個のセンサパネル５０（センサパネル５０１、センサパネル５０２、センサパネル５０３、…、センサパネル５０Ｐ）のそれぞれの位置座標（Ｘ１、Ｙ１）における電気的特性データを統計処理し、位置座標（Ｘ１、Ｙ１）に対応する基準特性データを算出する。基準特性データ算出部１２は、同様に、Ｐ個のセンサパネル５０のそれぞれの位置座標（Ｘ２、Ｙ１）における電気的特性データを統計処理し、位置座標（Ｘ２、Ｙ１）に対応する基準特性データを算出する。基準特性データ算出部１２は、同様に、位置座標（Ｘ３、Ｙ１）等の対応する検査対象領域における電気的特性データを統計処理し、各検査対象領域に対応する基準特性データを算出する。このように、基準特性データ算出部１２は、複数のセンサパネル５０ｐについて、それぞれ対応する検査対象領域毎に統計処理を行う。
【００２５】
ここで、センサパネル５０ｐから取得される電気的特性データを、電気的特性データｍｎｐとする。
基準特性データ算出部１２は、検査対象領域として、電気的特性データｍｎのうちの１つが含まれる領域である場合、Ｍ×Ｎ×Ｐ個ある電気的特性データｍｎｐの全てのデータについて、電気的特性データｍｎ各々の中央値（以下、中央値Ｍｍｎ１とする）を算出する所定の統計処理を行い、Ｍ×Ｎ×Ｐ個の電気的特性データｍｎｐに対応するＭ×Ｎ個の基準特性データＳｍｎ１を算出する。
例えば、電気的特性データとして、静電容量値Ｃｍｎを取得する場合、Ｐ個のセンサパネル５０から取得されるＭ×Ｎ×Ｐ個の静電容量値Ｃｍｎｐの全てのデータについて、静電容量値Ｃｍｎ各々の中央値（以下、中央値ＣＭｍｎ１とする）を算出する所定の統計処理を行い、Ｍ×Ｎ×Ｐ個の静電容量値Ｃｍｎｐに対応するＭ×Ｎ個の基準特性データＳＣｍｎ１を算出する。
また、電気的特性データとして、抵抗値Ｒｍｎを取得する場合、Ｐ個のセンサパネル５０から取得されるＭ×Ｎ×Ｐ個の抵抗値Ｒｍｎｐの全てのデータについて、抵抗値Ｒｍｎ各々の中央値（以下、中央値ＲＭｍｎ１とする）を算出する所定の統計処理を行い、Ｍ×Ｎ×Ｐ個の抵抗値Ｒｍｎｐに対応するＭ×Ｎ個の基準特性データＳＲｍｎ１を算出する。
【００２６】
なお、基準特性データ算出部１２は、検査対象領域が、第１電極５１がｘ方向に２個、第２電極５２がｙ方向に２個からなる領域である場合、すなわち電気的特性データｍｎのうちの４つが含まれる領域である場合、Ｍ×Ｎ×Ｐ個ある電気的特性データｍｎｐの１／４のデータについて、１／４個の電気的特性データｍｎ各々の中央値（以下、中央値Ｍｍｎ４とする）を算出する所定の統計処理を行い、Ｍ×Ｎ×Ｐ／４個の電気的特性データｍｎｐに対応するＭ×Ｎ／４個の基準特性データＳｍｎ４を算出してもよい。このように、検査対象領域を広くすることにより、検査時間の短縮を図ることができる。
【００２７】
また、基準特性データ算出部１２は、基準特性データの算出の際、平均値を算出する処理を行ってもよい。基準特性データ算出部１２は、検査対象領域として、電気的特性データｍｎのうちの１つが含まれる領域である場合、Ｍ×Ｎ×Ｐ個ある電気的特性データｍｎｐの全てのデータについて、電気的特性データｍｎ各々の平均値（以下、平均値ＡＶｍｎ１とする）を算出する所定の統計処理を行い、Ｍ×Ｎ×Ｐ個の電気的特性データｍｎｐに対応するＭ×Ｎ個の基準特性データＳｍｎ１を算出する。
例えば、電気的特性データとして、静電容量値Ｃｍｎを取得する場合、Ｐ個のセンサパネル５０から取得されるＭ×Ｎ×Ｐ個の静電容量値Ｃｍｎｐの全てのデータについて、静電容量値Ｃｍｎ各々の平均値（以下、平均ＣＡＶｍｎ１とする）を算出する所定の統計処理を行い、Ｍ×Ｎ×Ｐ個の静電容量値Ｃｍｎｐに対応するＭ×Ｎ個の基準特性データＳＣｍｎ１を算出する。
また、電気的特性データとして、抵抗値Ｒｍｎを取得する場合、Ｐ個のセンサパネル５０から取得されるＭ×Ｎ×Ｐ個の抵抗値Ｒｍｎｐの全てのデータについて、抵抗値Ｒｍｎ各々の平均値（以下、平均値ＲＡＶｍｎ１とする）を算出する所定の統計処理を行い、Ｍ×Ｎ×Ｐ個の抵抗値Ｒｍｎｐに対応するＭ×Ｎ個の基準特性データＳＲｍｎ１を算出する。
【００２８】
なお、基準特性データ算出部１２は、中央値または平均値を採用する場合に、最大値を表す電気的特性データから所定の個数を削除し、最小値を表す電気的特性データから所定の個数を削除した電気的特性データの中央値または平均値を、基準特性データとして算出するというステップを踏む、或いは踏まない構成としてもよい。中央値を採用する場合に上記ステップを踏まない構成としても、平均値を採用する場合に上記ステップを踏む構成とした場合に比べて、基準特性データ算出部１２が算出する基準特性データの電気的特性データ判定部１３への影響度を比較的小さいものにできる。
【００２９】
電気的特性データ判定部１３は、取得される電気的特性データが基準特性データから所定の閾値の範囲内にあるとき、取得される電気的特性データが正しいと判定し、取得される電気的特性データが基準特性データから所定の閾値の範囲外にあるとき、取得される電気的特性データが正しくないと判定する。
例えば、電気的特性データとして、静電容量値Ｃｍｎを取得する場合、電気的特性データ判定部１３は、センサパネル５０ｐから取得されるＭ×Ｎ個の静電容量値Ｃｍｎのうち、全てが中央値ＣＭｍｎ１から所定の閾値の範囲内にあるとき、センサパネル５０ｐは良品であると判定する。また、電気的特性データ判定部１３は、良品であるセンサパネル５０ｐにおける位置座標（ｍ、ｎ）の静電容量値Ｃｍｎｐを入手することができる。一方、電気的特性データ判定部１３は、センサパネル５０ｐから取得されるＭ×Ｎ個の静電容量値Ｃｍｎｐのうち、１つでも中央値ＣＭｍｎ１から所定の閾値の範囲外にあるとき、センサパネル５０ｐは不良品であると判定する。また、電気的特性データ判定部１３は、不良である位置座標（ｍ、ｎ）を入手することができる。
また、電気的特性データとして、抵抗値Ｒｍｎを取得する場合、電気的特性データ判定部１３は、センサパネル５０ｐから取得されるＭ×Ｎ個の抵抗値Ｒｍｎｐのうち、全てが中央値ＲＭｍｎ１から所定の閾値の範囲内にあるとき、センサパネル５０ｐは良品であると判定する。また、電気的特性データ判定部１３は、良品であるセンサパネル５０ｐにおける位置座標（ｍ、ｎ）の抵抗値Ｒｍｎｐを入手することができる。一方、電気的特性データ判定部１３は、センサパネル５０ｐから取得されるＭ×Ｎ個の抵抗値Ｒｍｎｐのうち、１つでも中央値ＲＭｍｎ１から所定の閾値の範囲外にあるとき、センサパネル５０ｐは不良品であると判定する。また、電気的特性データ判定部１３は、不良である位置座標（ｍ、ｎ）を入手することができる。
【００３０】
図４は、検査装置における処理フローの一例を示した図である。
図４に示す処理フローは、検査装置１が、Ｐ個のセンサパネル５０を検査する際の処理について示す図である。初期状態において、図４のステップＳＴ２に示すＱの値はＱ＝０となっている。
検査装置１は、センサパネル５０ｐから電気的特性データを取得する（ステップＳＴ１）。
具体的には、検査装置１における電気的特性データ取得部１１は、ｐ個目のセンサパネル５０ｐから電気的特性データを取得する。また、電気的特性データ取得部１１は、センサパネル５０ｐからの電気的特性データの取得が終了すると、Ｑ＝Ｑ＋１とする。
検査装置１は、ＱがＰと等しいか否かを判定する（ステップＳＴ２）。検査装置１は、ＱがＰと等しい場合（ステップＳＴ２−Ｙｅｓ）、Ｐ個のセンサパネル５０ｐから電気的特性データが取得されたので、ステップＳＴ３へ進む。一方、ＱがＰと等しくない場合（ステップＳＴ２−Ｎｏ）、ステップＳＴ１へ戻る。検査装置１における電気的特性データ取得部１１は、ｐ＋１個目のセンサパネル５０ｐから電気的特性データを取得する。
【００３１】
検査装置１は、取得される電気的特性データに対して所定の統計処理を行い、基準特性データを算出する（ステップＳＴ３）。所定の統計処理としては、中央値または平均値を算出する処理により、基準特性データを算出する。
検査装置１は、Ｐ個のセンサパネル５０各々から取得される電気的特性データが基準特性データから所定の閾値の範囲の内か外にあるかを判定して、センサパネル５０ｐが良品であるか否かを判定する（ステップＳＴ４）。なお、良品ではないと判定した場合であっても、センサパネル５０ｐの不良である位置座標（ｍ、ｎ）を入手することができるので、センサパネル５０ｐにおける配線がショート若しくは断線した箇所を検知することができる。
【００３２】
このように、本発明の検査装置１は、第１電極（第１導電体）と第２電極（第２導電体）とを含む一対の導電対が第１主面に複数設けられたセンサパネル５０（検査対象物）のうち、前記一対の導電対のそれぞれについて電気的特性データを取得する電気的特性データ取得部１１と、複数の前記検査対象物から取得される電気的特性データのうち、前記第１主面において設けられた位置が対応する電気的特性データの各検査対象物のそれぞれに基づいて統計処理を行い、検査対象領域ごとの基準特性データを算出する基準特性データ算出部１２と、を備える。
【００３３】
本発明によれば、基準特性データ算出部１２が、複数の検査対象物から取得される電気的特性データのうち、第１主面において設けられた位置が対応する電気的特性データの各検査対象物のそれぞれに基づいて統計処理を行い、検査対象領域ごとの基準特性データを算出する。検査装置１は、製品が良品であるか否かを判定する際、判定の基準値として基準特性データを用いて判定を行う。これによれば、サンプル間や測定環境によるばらつきを考慮し、検査精度を向上することができる検査装置を提供することができる。
【００３４】
以上、本発明の好ましい実施形態を説明したが、本発明はこれら実施形態およびその変形例に限定されることはない。本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、構成の付加、省略、置換、およびその他の変更が可能である。
例えば、検査装置１の機能を実現するための検査プログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより、検査装置１において、基準特性データ算出部１２が行う基準特性データ算出工程、電気的特性データ判定部１３が行う電気的特性データ判定工程を行ってもよい。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、ＯＳや周辺機器等のハードウェアを含むものとする。
また、「コンピュータシステム」は、ＷＷＷシステムを利用している場合であれば、ホームページ提供環境（あるいは表示環境）も含むものとする。
また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムが送信された場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリ（ＲＡＭ）のように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良く、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであってもよい。
【符号の説明】
【００３５】
１…検査装置
１１…電気的特性データ取得部
１２…基準特性データ算出部
１３…電気的特性データ判定部
５０…センサパネル
５１…第１電極
５２…第２電極
【図１】
2017181274.tif 000003
【図２】
2017181274.tif 000004
【図３】
2017181274.tif 000005
【図４】
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