(57)【要約】【課題】効率良く空気中にプラズマを供給することができるプラズマ生成装置を提供する。【解決手段】プラズマ生成装置１０１は、入口３および出口４を有する筐体１と、筐体１の内部に配置され、放電が生じることでプラズマを生成する面状の放電電極２とを備える。筐体１は、入口３から出口４に至る非直線状の流路を内部に有している。この流路は、入口３から入った空気が出口４に向かって前記流路を進行する途中で前記空気が放電電極２を複数回通過するように配置されている。【選択図】図１
2017157298.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入口および出口を有する筐体と、
前記筐体の内部に配置され、放電が生じることでプラズマを生成する面状の放電電極とを備え、
前記筐体は、前記入口から前記出口に至る非直線状の流路を内部に有しており、
前記流路は、前記入口から入った空気が前記出口に向かって前記流路を進行する途中で前記空気が前記放電電極を複数回通過するように配置されている、プラズマ生成装置。
【請求項２】
前記流路は、前記筐体内に螺旋状に設定されており、前記入口および前記出口の少なくとも一方は、この螺旋形状の延長上に配置されている、請求項１に記載のプラズマ生成装置。
【請求項３】
全体が筒形状部をなすように並んで配置された複数の線状の放電電極と、
前記複数の線状の放電電極の外周面をそれぞれ筒状に覆いつつ前記複数の放電電極を一括して包み、全体として前記筒形状部に沿う形状である誘電体部とを備え、
前記誘電体部の互いに隣接する前記放電電極同士の間に対応する部分は、前記筒形状部の外周面に比べて内周面においてより大きく凹んでいる、プラズマ生成装置。
【請求項４】
前記誘電体部は、前記筒形状部の内側に向かって尖った形状の部分を含む、請求項３に記載のプラズマ生成装置。
【請求項５】
前記複数の線状の放電電極は、全体がねじれた形状となるように配置されている、請求項３または４に記載のプラズマ生成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマ生成装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プラズマ生成装置の一例が、特開２００８−１３０３４３号公報（特許文献１）に記載されている。
【０００３】
金属製の棒状導電体を誘電体で被覆した電極を円環状に配列した構造が、特開平８−１８５９５５号公報（特許文献２）に記載されている。
【０００４】
プラズマを生成し、空気中にプラズマを供給するためには、装置の空気取入れ口や装置内の流路の途中において平面状の放電電極を気流に対して垂直な方向に配置することが行なわれる。放電電極ではプラズマが発生し、気流が放電電極を通過する際に気流に対してプラズマが供給される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−１３０３４３号公報
【特許文献２】特開平８−１８５９５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
装置の空気取入れ口や装置内の流路の途中において平面状の放電電極を気流に対して垂直な方向に配置しただけでは、気流は放電電極に１回しか接触する機会がなく、気流中にプラズマを供給する上で、効率が悪い。
【０００７】
そこで、本発明は、効率良く空気中にプラズマを供給することができるプラズマ生成装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明に基づくプラズマ生成装置は、入口および出口を有する筐体と、上記筐体の内部に配置され、放電が生じることでプラズマを生成する面状の放電電極とを備え、上記筐体は、上記入口から上記出口に至る非直線状の流路を内部に有しており、上記流路は、上記入口から入った空気が上記出口に向かって上記流路を進行する途中で上記空気が上記放電電極を複数回通過するように配置されている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、空気が流路を進行する途中で、放電電極を複数回通過するので、効率良く空気中にプラズマを供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明に基づく実施の形態１におけるプラズマ生成装置の斜視図である。
【図２】本発明に基づく実施の形態１におけるプラズマ生成装置の側面図である。
【図３】図２におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線に関する矢視断面図である。
【図４】本発明に基づく実施の形態１におけるプラズマ生成装置に備わる放電電極の部分平面図である。
【図５】放電電極の第１の変形例の部分平面図である。
【図６】放電電極の第２の変形例の部分平面図である。
【図７】放電電極の第３の変形例の部分平面図である。
【図８】筐体内における放電電極の配置の仕方の第１の変形例の説明図である。
【図９】筐体内における放電電極の配置の仕方の第２の変形例の説明図である。
【図１０】筐体内における放電電極の配置の仕方の第３の変形例の説明図である。
【図１１】本発明に基づく実施の形態２におけるプラズマ生成装置の斜視図である。
【図１２】本発明に基づく実施の形態２におけるプラズマ生成装置の断面図である。
【図１３】本発明に基づく実施の形態３におけるプラズマ生成装置の斜視図である。
【図１４】本発明に基づく実施の形態３におけるプラズマ生成装置の断面図である。
【図１５】本発明に基づく実施の形態４におけるプラズマ生成装置の斜視図である。
【図１６】本発明に基づく実施の形態４におけるプラズマ生成装置の一部を切除した状態の斜視図である。
【図１７】本発明に基づく実施の形態５におけるプラズマ生成装置の一部を切除した状態の斜視図である。
【図１８】本発明に基づく実施の形態５におけるプラズマ生成装置の断面図である。
【図１９】本発明に基づく実施の形態６におけるプラズマ生成装置の一部を切除した状態の斜視図である。
【図２０】本発明に基づく実施の形態７におけるプラズマ生成装置の斜視図である。
【図２１】本発明に基づく実施の形態７におけるプラズマ生成装置の断面図である。
【図２２】本発明に基づく実施の形態７におけるプラズマ生成装置の回路図である。
【図２３】本発明に基づく実施の形態７におけるプラズマ生成装置に放電が生じる様子の説明図である。
【図２４】本発明に基づく実施の形態８におけるプラズマ生成装置の斜視図である。
【図２５】本発明に基づく実施の形態８におけるプラズマ生成装置の一部を展開した状態の断面図である。
【図２６】本発明に基づく実施の形態８におけるプラズマ生成装置の第１の変形例の一部を展開した状態の断面図である。
【図２７】本発明に基づく実施の形態８におけるプラズマ生成装置の第２の変形例の一部を展開した状態の断面図である。
【図２８】本発明に基づく実施の形態９におけるプラズマ生成装置の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
（実施の形態１）
（構成）
図１〜図４を参照して、本発明に基づく実施の形態１におけるプラズマ生成装置について説明する。本実施の形態におけるプラズマ生成装置の斜視図を図１に示す。
【００１２】
プラズマ生成装置１０１は、入口３および出口４を有する筐体１と、筐体１の内部に配置され、放電が生じることでプラズマを生成する面状の放電電極２とを備える。筐体１は、矢印９２で示されるように入口３から出口４に至る非直線状の流路を内部に有している。この流路は、入口３から入った空気が出口４に向かって前記流路を進行する途中で、前記空気が放電電極２を複数回通過するように配置されている。
【００１３】
ここで示す例では、筐体１は、ほぼ円柱形状を有している。外周面の１ヶ所に入口３が設けられており、一方の端面の中央に出口４が設けられている。筐体１の中心線に沿って、オゾン除去部５が設けられている。オゾン除去部５は円筒状の外面を有し、筐体１に対して同心状に配置されている。空気は、矢印９１に示すように入口３から筐体１内に入る。筐体１内に入った空気は矢印９２に示すようにオゾン除去部５の周りを螺旋状に進行する。
【００１４】
非直線状の流路が螺旋状である場合、螺旋状の壁などによって逐一隔てられているとは限らず、つながった空間内に想定される仮想的なものであってもよい。たとえば図１に示した例では、筐体１の内部は中心部に円筒形のオゾン除去部５が配置されている他は円筒形の大きな空間となっているが、このようなものであっても、空気が入口３から入ってきたときには空気は筐体１内で螺旋状に流れることとなるので、その場合に出現する空気の通り道は、非直線状の流路の一種である。
【００１５】
プラズマ生成装置１０１の側面図を図２に示す。図２の右端においては、放電電極２の端は筐体１の端面より後退している。図１において矢印９２で示したように進行した空気は、図２に示すように、筐体１の端で矢印９３に示すように進行し、中心部に配置されたオゾン除去部５に入る。オゾン除去部５は公知技術によって構成されていてよい。オゾン除去部５の円筒の内部は任意の構造であってよい。オゾン除去部５を通過した空気は、矢印９４に示すように出口４から排出される。
【００１６】
図２におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線に関する矢視断面図を図３に示す。放電電極２は、筐体１の端面から見たときに十字状となるように配置されている。図３に示すように、入口３は、筐体１の外周面の接線方向に設けられている。
【００１７】
放電電極２を単独で取り出した部分平面図を図４に示す。放電電極２は、導電性材料を用いて形成された網の構造を含んでいてよい。網を構成する１本１本の糸に相当するものは、導電性材料を誘電体で被覆したものである。網においては、たとえば縦線と横線とが編まれている。電圧を印加した際には、縦線と横線とが交差する点の近傍で放電が起こる。
【００１８】
（作用・効果）
本実施の形態では、入口３から入った空気が出口４に向かって流路を進行する途中で、放電電極２を複数回通過するので、流れる空気と放電電極２の表面に発生したプラズマとの接触回数を多くすることができる。したがって、本実施の形態では、効率良く空気中にプラズマを供給することができる。
【００１９】
本実施の形態で示したように、前記流路は、筐体１内に螺旋状に設定されており、入口３および出口４の少なくとも一方は、この螺旋形状の延長上に配置されていてもよい。このようになっていれば、空気は筐体１内を螺旋状に進行するので、放電電極を繰返し通過させやすい。
【００２０】
本実施の形態では面状の放電電極を用いたが、放電電極は単純な構造であってよいので、メンテナンスが容易となる。図３に示した放電電極２は網状であったが、放電電極２の構造は網状に限らない。面状の放電電極は、網状のものに代えて、図５に示すように、複数の平行な線が配置されたものであってもよい。図５では、導電材料の線材がほぼ等間隔で配置されている。このように平行に張られた線材同士の間には何もなく、風が吹き抜けることができる。
【００２１】
本実施の形態において、面状の放電電極は、図６に示すようなものであってもよい。図６に示した例では、直線状に張られた導電材料の線材の各々から一方の側に向かって針状部分が突出している。この放電電極に電圧を印加したときには、針状部分の先端にプラズマが発生する。
【００２２】
本実施の形態において、面状の放電電極は、図７に示すようなものであってもよい。図７に示した例では、直線状に張られた導電材料の線材の各々から一方の側に向かってブラシ状部分が突出している。この放電電極に電圧を印加したときには、ブラシ状部分の先端にプラズマが発生する。
【００２３】
本実施の形態では、筐体１内で放電電極２は９０°間隔で放射状に４ヶ所に配置されている例を示したが、たとえば図８に示すように放電電極２は１８０°間隔で２ヶ所に配置されていてもよい。
【００２４】
筐体１内で放電電極２は、たとえば図９に示すように６０°間隔で放射状に６ヶ所に配置されていてもよい。筐体１内で放電電極２は、たとえば図１０に示すように４５°間隔で放射状に８ヶ所に配置されていてもよい。
【００２５】
ここでは、放電電極２を放射状に配置する場合の例をいくつか示したが、筐体１内の３６０°の空間を放電電極２によっていくつに区切るかについては、ここで示した数に限らず他の数であってもよい。放電電極２の配置は等角度間隔であることが好ましいが、等角度間隔でなくてもよい。ここでは、中心に配置されたオゾン除去部５の周りに放電電極２が放射状に配置されているものとしたが、オゾン除去部５の存在は必須ではない。プラズマ生成装置にオゾン除去部は備わっていなくてもよい。筐体１内において１周３６０°の中に配置される放電電極２の数が多いほど、通過する空気へのプラズマ付与の効率は上がる。プラズマ生成装置１０１は、入口３または出口４に送風ファンを備えていてもよい。
【００２６】
（実施の形態２）
（構成）
図１１〜図１２を参照して、本発明に基づく実施の形態２におけるプラズマ生成装置について説明する。本実施の形態におけるプラズマ生成装置の斜視図を図１１に示す。プラズマ生成装置１０２は、筐体１を備える。筐体１は、入口３と出口４とを有する。入口３および出口４は、筐体１の同じ面に設けられている。空気は矢印９１で示すように入口３から筐体１内に入り、矢印９４で示すように出口４から出てくる。
【００２７】
プラズマ生成装置１０２の断面図を図１２に示す。筐体１の内部には、入口３から出口４に至る非直線状の流路が設けられている。筐体１内の出口４に近い部分にはオゾン除去部５が配置されている。オゾン除去部５は、公知技術によって構成されたものであってよい。オゾン除去部５の内部は、空気が通過することができる構造であれば任意の構造であってよい。流路は、筐体１内をジグザグ状に進行した後に、オゾン除去部５を通過して出口４に至る。
【００２８】
放電電極２は平坦な面状である。放電電極２は、筐体１の外部から抜き差し可能となっていてもよい。放電電極２が一枚物でなおかつ筐体１の外部から抜き差し可能であれば、メンテナンスが容易になる。プラズマ生成装置１０２は、入口３または出口４に送風ファンを備えていてもよい。
【００２９】
（作用・効果）
本実施の形態においても、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。流路に沿って進行する空気は、図１２に示すように、流路の途中で何度も放電電極２を通過することとなる。したがって、筐体１内を通る空気に対して効率良くプラズマを供給することができる。
【００３０】
（実施の形態３）
（構成）
図１３〜図１４を参照して、本発明に基づく実施の形態３におけるプラズマ生成装置について説明する。本実施の形態におけるプラズマ生成装置の斜視図を図１３に示す。プラズマ生成装置１０３は、筐体１を備える。筐体１は、入口３と出口４とを有する。入口３は、筐体１の一方の側面に設けられている。出口４は、筐体１の入口３とは反対側の側面に設けられている。空気は矢印９１で示すように入口３から筐体１内に入り、矢印９４で示すように出口４から出てくる。
【００３１】
プラズマ生成装置１０３の断面図を図１４に示す。筐体１の内部には、入口３から出口４に至る非直線状の流路が設けられている。筐体１内の出口４に近い部分にはオゾン除去部５が配置されている。流路は、筐体１内で分岐して進行した後に、オゾン除去部５を通過しつつ合流して出口４に至る。
【００３２】
放電電極２に関して実施の形態２で述べたことは、本実施の形態でもあてはまる。プラズマ生成装置１０３は、入口３または出口４に送風ファンを備えていてもよい。
【００３３】
（作用・効果）
本実施の形態においても、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。流路に沿って進行する空気は、図１４に示すように、流路の途中で何度も放電電極２を通過することとなる。したがって、筐体１内を通る空気に対して効率良くプラズマを供給することができる。
【００３４】
（実施の形態４）
（構成）
図１５〜図１６を参照して、本発明に基づく実施の形態４におけるプラズマ生成装置について説明する。本実施の形態におけるプラズマ生成装置の斜視図を図１５に示す。プラズマ生成装置１０４は、筐体１を備える。筐体１の長手方向の両端は開放されていてもよい。筐体１の内部には、平坦な網状の放電電極２が筐体１の長手方向に平行に配置されている。プラズマ生成装置１０４の内部構造がわかるように一部を切除した状態の斜視図を図１６に示す。プラズマ生成装置１０４は、筐体１内に軸流ファン６を備える。軸流ファン６は筐体１の入口に近い位置に配置されている。軸流ファン６によって外部の空気が矢印９１に示すように筐体１内に引き込まれる。
【００３５】
なお、図１６では、軸流ファンの羽根車は図示省略されているが、実際には中心部に羽根車が配置されていてもよい。以下の図においても軸流ファンを図示する際には同様に、羽根車は図示省略されている。
【００３６】
（作用・効果）
本実施の形態では、軸流ファン６が配置されているので、筐体１内に整流板がなくても、空気は筐体１内で螺旋状に進行していく。筐体１内で放電電極２は、筐体１の長手方向に平行に配置されているので、筐体１内を螺旋状に進行していく空気は、図１６に示すように、放電電極２を何度も通過することとなる。これにより、放電電極２の１枚当たりのプラズマ供給効率が向上する。
【００３７】
（実施の形態５）
（構成）
図１７〜図１８を参照して、本発明に基づく実施の形態５におけるプラズマ生成装置について説明する。本実施の形態におけるプラズマ生成装置の斜視図を図１７に示す。図１７では、プラズマ生成装置１０５の内部構造がわかるように一部を切除した状態で示している。プラズマ生成装置１０５は、筐体１を備える。筐体１の内部には、平坦な網状の放電電極２が筐体１の長手方向に平行に配置されている。筐体１内の放電電極２より下流側の位置に送風ファンとしての軸流ファン６が配置されている。ここで配置される送風ファンは、軸流ファン以外であってもよい。送風ファンは、筐体１の長手方向の一方の端は底板によって塞がれている。底板によって塞がれている端の近傍には入口３が設けられている。入口３は、筐体１の４つの側面にそれぞれ設けられている。入口３を通るように切ったプラズマ生成装置１０５の断面図を図１８に示す。複数の入口３は、筐体１の長手方向から見たときに点対称な位置に配置されている。
【００３８】
入口３は、筐体１の板材に対して斜めに貫通する孔として設けられている。ここでは、入口３は斜めに貫通する孔として設けられているものとしたが、筐体１の板材に対して垂直に貫通する孔であってもよい。ここでは、入口３は、筐体１の４つの側面にそれぞれ設けられているものとしたが、入口３は、たとえば互いに対向する２つの側面のみに設けられいるものであってもよい。ここでは、入口３は１つの側面当たり２個の開口部として設けられているものとしたが、１つの入口３に含まれる開口部の数は２個とは限らず他の数であってもよい。
【００３９】
（作用・効果）
本実施の形態では、送風ファンによって筐体１内から空気を排出する向きの風が引き起こされると、筐体１内の気圧が下がるので、入口３から空気が筐体１内に引き込まれる。入口３は、筐体１の側面の点対称な位置に設けられているので、筐体１内では螺旋状の気流が生じる。放電電極２が筐体１の長手方向に平行に配置されているので、螺旋状の流れに沿って進行する空気は、図１７に示すように放電電極２を何度も通過する。これにより、放電電極２の１枚当たりのプラズマ供給効率が向上する。
【００４０】
（実施の形態６）
（構成）
図１９を参照して、本発明に基づく実施の形態６におけるプラズマ生成装置について説明する。本実施の形態におけるプラズマ生成装置の斜視図を図１９に示す。図１９では、プラズマ生成装置１０６の内部構造がわかるように一部を切除した状態で示している。プラズマ生成装置１０６は、筐体１を備える。筐体１の長手方向の両端は開放されている。筐体１の内部には、平坦な網状の放電電極２が筐体１の長手方向に平行に配置されている。筐体１内には、螺旋状のリブ７が配置されている。リブ７によって、筐体１内の空間は螺旋状の通路として区切られている。
【００４１】
（作用・効果）
本実施の形態では、筐体１内に螺旋状のリブ７が設けられているので、空気の圧力損失はあるものの、空気が筐体１内で放電電極２を何回通過するかをより正確に決定することができる。
【００４２】
（実施の形態７）
（構成）
図２０〜図２２を参照して、本発明に基づく実施の形態７におけるプラズマ生成装置について説明する。本実施の形態におけるプラズマ生成装置の斜視図を図２０に示す。プラズマ生成装置２０１は筒形状部を含む。プラズマ生成装置２０１の断面図を図２１に示す。プラズマ生成装置２０１では、筒状となった誘電体部１３に囲まれるようにして内部空間１４が規定されている。
【００４３】
プラズマ生成装置２０１は、全体が筒形状部をなすように並んで配置された複数の線状の放電電極１２と、複数の線状の放電電極１２の外周面をそれぞれ筒状に覆いつつ複数の放電電極１２を一括して包み、全体として前記筒形状部に沿う形状である誘電体部１３とを備える。誘電体部１３の互いに隣接する放電電極１２同士の間に対応する部分は、前記筒形状部の外周面１７に比べて内周面においてより大きく凹んでいる。ここでは、外周面１７には全く凹みがないものとして示しているが、外周面１７の放電電極１２同士の間に対応する部分に何らかの凹みがあってもよい。外周面１７の放電電極１２同士の間に対応する部分と内周面の放電電極１２同士の間に対応する部分とを比較したときに後者の凹みの方が大きければよい。本実施の形態で示すように、外周面の放電電極１２同士の間に対応する部分には全く凹みがない構成であってもよい。
【００４４】
図２１に示すように、プラズマ生成装置２０１では、外周に沿って複数の線状の放電電極１２が配置されているが、これらの放電電極１２には、それぞれ図２２に示すように交流電源１６から電気的に接続がなされている。交流電源１６の２つの極が提供する電位を第１の電位および第２の電位とすると、並んでいる複数の放電電極１２においては、第１の電位が印加されるものと第２の電位が印加されるものとが交互に並んでいる。図２２では、本来は丸まって筒形状部をなしている誘電体部１３を、平坦となるように展開して示している。したがって、外周面１７は本来湾曲した面であるが、図２２では平坦に表示されている。
【００４５】
図２０に示すように、プラズマ生成装置２０１においては、何らかの手段で、空気が矢印９５の向きに送り込まれる。プラズマ生成装置２０１の一部としていずれかの箇所に送風ファン（図示せず）を備えることとしてもよい。送風ファンによって空気を送り込むまたは引き込むことによって、結果的に矢印９５の向きの気流を生じさせることとしてもよい。
【００４６】
（作用・効果）
本実施の形態では、筒形状部の外周に沿って隣り合う放電電極１２同士の間では異なる電位が印加されることとなり、ここで生じる電位差によって、互いに隣り合う放電電極１２同士の間で図２３に示すように内周面側の凹みに放電１５が生じる。放電１５は、誘電体バリア放電として生じるものである。実際には誘電体部１３はある程度湾曲しているが、図２３では、説明の便宜のために平らな状態にして表示している。図２３における放電１５は模式的に示したものであり、放電の形状は、ここに示したものに限らない。
【００４７】
矢印９５の向きに内部空間１４に入った空気は、筒形状部の内周面に触れることとなり、放電１５によってプラズマを付与される。こうして、プラズマを含んだ空気として反対側の開口部から出ていく。
【００４８】
本実施の形態では、誘電体部１３の互いに隣接する放電電極１２同士の間に対応する部分は、前記筒形状部の外周面１７に比べて内周面においてより大きく凹んでいるので、誘電体バリア放電は、凹みがより大きい側である内周面において生じやすく、外周面１７においては生じにくくなる。このようにして、内周面に集中して放電を発生させることができるので、無駄な放電を避け、消費電力を抑えて効率良く放電を発生させることができる。こうして、空気に対するプラズマの供給を効率良く行なうことができる。
【００４９】
（実施の形態８）
（構成）
図２４〜図２５を参照して、本発明に基づく実施の形態８におけるプラズマ生成装置について説明する。本実施の形態におけるプラズマ生成装置の斜視図を図２４に示す。プラズマ生成装置２０２は、筒形状部を有する。プラズマ生成装置２０２は筒形状部の内側に空気を送り込むためまたは引き込むための送風ファンを備えていてもよい。プラズマ生成装置２０２は、実施の形態７で述べたプラズマ生成装置２０１に比べて、基本的な構成は共通するが、以下の点で異なる。
【００５０】
本実施の形態では、誘電体部１３は、筒形状部の内側に向かって尖った形状の部分１３ａを含む。尖った形状の部分１３ａは放電電極１２に対応するように配置されている。尖った形状の部分１３ａは、放電電極１２と同様に線状に設けられている。
【００５１】
プラズマ生成装置２０２に含まれる２本の放電電極１２およびその近傍の部材を取り出して展開したところの断面図を図２５に示す。誘電体部１３は、筒形状部の外周面１７となる側は平坦であり、内周面となる側には尖った形状の部分１３ａが並んでいる。尖った形状の部分が並んでいることによって、筒形状部の内周面には、溝が形成されている。溝はたとえば筒形状部の長手方向に平行に延在する。
【００５２】
（作用・効果）
本実施の形態では、空気の流路となる筒形状部の内周面に尖った形状の部分１３ａが設けられているので、部分１３ａによって気流が制御されうる。尖った形状の部分１３ａ同士の間に溝が形成されていれば、気流の少なくとも一部はこの溝に沿うようになり、溝の内部で生じている放電と接しやすくなる。
【００５３】
図２５では、部分１３ａが二等辺三角形のような断面形状で突出していたが、誘電体部１３の形状は図２５に示したようなものに代えて、図２６に示すようなものであってもよい。図２６に示した例では、誘電体部１３は、長方形のような断面形状で突出する部分１３ｂを含む。
【００５４】
さらに、図２７に示すようなものであってもよい。図２７に示した例では、誘電体部１３は、部分１３ｃを含む。部分１３ｃは、断面で見たとき、尖っている部分の勾配が途中で変化し、先端が鋭くなっている。
【００５５】
（実施の形態９）
（構成）
図２８を参照して、本発明に基づく実施の形態９におけるプラズマ生成装置について説明する。本実施の形態におけるプラズマ生成装置の斜視図を図２８に示す。プラズマ生成装置２０５は、実施の形態７または８で述べたプラズマ生成装置に比べて、基本的な構成は共通するが、以下の点で異なる。
【００５６】
本実施の形態では、複数の線状の放電電極１２は、全体がねじれた形状となるように配置されている。これに伴って、誘電体部１３の突出した部分１３ａもねじれている。互いに隣接する突出した部分１３ａ同士に挟まれて形成された溝をたどると、螺旋形状となっている。部分１３ａ同士の間の溝となる部分は、銃砲の銃砲身の内面にしばしば施される螺旋状の溝、すなわち、ライフリング（施条）と似たものであってよい。
【００５７】
（作用・効果）
本実施の形態では、筒形状部の内周面における突出した部分がねじれた形状となっているので、筒形状部の内部を通過する気流の少なくとも一部がねじれた形状に沿って進行することとなり、放電箇所と気流とが接する長さがより長くなる。これにより、気流に対してより効率的にプラズマを供給することができる。
【００５８】
なお、上記各実施の形態では、プラズマ生成装置の例を示したが、プラズマを空気中に供給することによって空気を浄化することとしてもよく、その場合には、この装置は、プラズマ生成装置ではなく空気浄化装置と呼んでもよい。
【００５９】
なお、上記実施の形態のうち複数を適宜組み合わせて採用してもよい。
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【符号の説明】
【００６０】
１  筐体、２  （面状の）放電電極、３  入口、４  出口、５  オゾン除去部、６  軸流ファン、７  リブ、１２  （線状の）放電電極、１３  誘電体部、１３ａ，１３ｂ，１３ｃ  （尖った形状の）部分、１４  内部空間、１５  放電、１６  交流電源、１７  外周面、９１，９２，９３，９４，９５，９６  矢印、１０１，１０２，１０３，１０４，１０５，１０６，２０１，２０２，２０５  プラズマ生成装置。
【図１】
2017157298.tif 000003
【図２】
2017157298.tif 000004
【図３】
2017157298.tif 000005
【図４】
2017157298.tif 000006
【図５】
2017157298.tif 000007
【図６】
2017157298.tif 000008
【図７】
2017157298.tif 000009
【図８】
2017157298.tif 000010
【図９】
2017157298.tif 000011
【図１０】
2017157298.tif 000012
【図１１】
2017157298.tif 000013
【図１２】
2017157298.tif 000014
【図１３】
2017157298.tif 000015
【図１４】
2017157298.tif 000016
【図１５】
2017157298.tif 000017
【図１６】
2017157298.tif 000018
【図１７】
2017157298.tif 000019
【図１８】
2017157298.tif 000020
【図１９】
2017157298.tif 000021
【図２０】
2017157298.tif 000022
【図２１】
2017157298.tif 000023
【図２２】
2017157298.tif 000024
【図２３】
2017157298.tif 000025
【図２４】
2017157298.tif 000026
【図２５】
2017157298.tif 000027
【図２６】
2017157298.tif 000028
【図２７】
2017157298.tif 000029
【図２８】
2017157298.tif 000030