(57)【要約】【課題】斜め振動などの不要振動を抑制可能な振動デバイスを提供する。【解決手段】駆動振動腕の突出方向をＹ軸、Ｙ軸と直交し駆動振動腕の並ぶ方向をＸ軸とし、駆動振動腕は、Ｘ軸およびＹ軸に沿った表面および裏面と、表面と裏面とを繋ぐ第１の側面および第２の側面とを有し、第１の側面は、第１の側面に沿った第２仮想線と、表面に沿った第１仮想線との第１交差角を９０°未満として設けられ、第２の側面は、第２の側面に沿った第３仮想線と、表面に沿った第１仮想線との第２交差角を９０°以上として設けられ、表面および裏面の少なくとも一方に、駆動振動腕のＹ軸に沿った第１の重心線に対して、駆動振動腕のＹ軸に沿った第２の重心線が第２の側面側に位置するように配置された錘部を有する振動デバイス。【選択図】図２
2017150964.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、前記基部から突出する二つの駆動振動腕と、を備え、
前記駆動振動腕の突出方向をＹ軸とし、前記Ｙ軸と直交し前記駆動振動腕の並ぶ方向をＸ軸としたとき、
前記駆動振動腕をＹ軸に沿って見たときに、前記駆動振動腕は、前記Ｘ軸および前記Ｙ軸に沿った表面および裏面と、前記Ｘ軸に沿って並んでおり、前記表面と前記裏面とを繋ぐ第１の側面および第２の側面と、を有し、
前記駆動振動腕をＹ軸に沿って見たときに、前記第１の側面は、前記第１の側面に沿った第２仮想線と、前記表面に沿った第１仮想線との第１交差角を９０°未満として設けられ、
前記駆動振動腕をＹ軸に沿って見たときに、前記第２の側面は、前記第２の側面に沿った第３仮想線と、前記表面に沿った第１仮想線との第２交差角を９０°以上として設けられ、
前記表面および前記裏面の少なくとも一方に、前記駆動振動腕の前記Ｙ軸に沿った第１の重心線に対して、前記駆動振動腕の前記Ｙ軸に沿った第２の重心線が前記第２の側面側に位置するように配置された錘部を有している振動デバイス。
【請求項２】
前記第１の側面と、前記第２の側面とは、略平行に配置されている請求項１に記載の振動デバイス。
【請求項３】
前記錘部は、金属材料から構成されている請求項１または請求項２に記載の振動デバイス。
【請求項４】
前記錘部は、前記駆動振動腕の前記基部から離れた側の端部に設けられている請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の振動デバイス。
【請求項５】
前記駆動振動腕の突出方向と反対方向に、前記基部から突出する二つの検出振動腕を備えている請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の振動デバイス。
【請求項６】
基部と、前記基部から突出する駆動振動腕および検出振動腕と、前記駆動振動腕に設けられた駆動電極と、前記検出振動腕に設けられた検出電極と、を備えた振動片を準備する工程と、
前記駆動振動腕の端部に錘部を形成する工程と、
前記駆動振動腕を励振させた状態で、前記検出電極に発生する信号を計測しながら、前記錘部の質量を変化させ、前記信号が小さくなるように調整する工程と、
を含む振動デバイスの製造方法。
【請求項７】
前記振動片を準備する工程では、
前記駆動振動腕の表裏面を繋ぐ第１の側面を、前記第１の側面に沿った第２仮想線と、前記表面に沿った第１仮想線との第１交差角を９０°未満として形成し、前記駆動振動腕の前記表裏面を繋ぐ第２の側面を、前記第２の側面に沿った第３仮想線と、前記表面に沿った第１仮想線との第２交差角を９０°以上として形成し、
前記錘部を形成する工程では、
前記表面および前記裏面の少なくとも一方に、前記駆動振動腕の突出方向に沿った第１の重心線に対して、前記駆動振動腕の突出方向に沿った第２の重心線が前記第２の側面側に位置するように錘部を形成する請求項６に記載の振動デバイスの製造方法。
【請求項８】
前記振動片を準備する工程では、ドライエッチング法を用いて水晶基板から前記振動片の外形形状を形成する請求項６または請求項７に記載の振動デバイスの製造方法。
【請求項９】
請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の振動デバイスを備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の振動デバイスを備えていることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動デバイス、振動デバイスの製造方法、電子機器、および移動体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、振動デバイスとしてのジャイロセンサーに用いられている振動片において、振動片を形成する際に駆動振動腕の側面に発生する突起部などに起因する重心の移動によって、例えばウォークタイプ振動（斜め振動）などの不要振動が発生し、それによる出力がノイズとして検出されてしまうことがあった。そのような課題に対して、例えば特許文献１には、駆動振動腕の一部の質量を削除することによって、ウォークタイプ振動（斜め振動）を抑制することができる振動片の調整方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１６３１４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に開示されているような調整方法では、駆動振動腕の一部の質量を削除することにより駆動振動腕の強度が低下してしまうため、ウォークタイプ振動（斜め振動）を抑制するため必要な質量の削除を十分に行うことができなかったり、駆動振動腕が削除されることによって、主振動の振動特性に対して影響を生じてしまったりする虞を有していた。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例に係る振動デバイスは、基部と、前記基部から突出する二つの駆動振動腕と、を備え、前記駆動振動腕の突出方向をＹ軸とし、前記Ｙ軸と直交し前記駆動振動腕の並ぶ方向をＸ軸としたとき、前記駆動振動腕をＹ軸に沿って見たときに、前記駆動振動腕は、前記Ｘ軸および前記Ｙ軸に沿った表面および裏面と、前記Ｘ軸に沿って並んでおり、前記表面と前記裏面とを繋ぐ第１の側面および第２の側面と、を有し、前記駆動振動腕をＹ軸に沿って見たときに、前記第１の側面は、前記第１の側面に沿った第２仮想線と、前記表面に沿った第１仮想線との第１交差角を９０°未満として設けられ、前記駆動振動腕をＹ軸に沿って見たときに、前記第２の側面は、前記第２の側面に沿った第３仮想線と、前記表面に沿った第１仮想線との第２交差角を９０°以上として設けられ、前記表面および前記裏面の少なくとも一方に、前記駆動振動腕の前記Ｙ軸に沿った第１の重心線に対して、前記駆動振動腕の前記Ｙ軸に沿った第２の重心線が前記第２の側面側に位置するように配置された錘部を有している。
【０００７】
本適用例によれば、駆動振動腕の表裏面との交差角を規定して設けられた二つの側面と、駆動振動腕の表裏面の少なくとも一方に、重心線が第２の側面側に位置する（第２の重心線に相当する）ように配置された錘部とにより、駆動振動腕の主振動方向の断面二次モーメントに対して、斜め方向の断面二次モーメントを大きくすることができる。これにより、駆動振動腕が斜め方向に振動する、いわゆるウォークタイプ振動（斜め振動）を起こり難くすることができる。したがって、主振動に対する影響を生じさせることなく、容易にウォークタイプ振動（斜め振動）を抑制することができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例に記載の振動デバイスにおいて、前記第１の側面と、前記第２の側面とは、略平行に配置されていることが好ましい。
【０００９】
本適用例によれば、第１の側面と第２の側面とが略平行に配置されていることにより、第１の側面および第２の側面の形成を同一方向から行うことができるなど、駆動振動腕を容易に形成することができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例に記載の振動デバイスにおいて、前記錘部は、金属材料から構成されていることが好ましい。
【００１１】
本適用例によれば、質量の大きな金属材料により、錘部の体積を小さくすることが可能となり、錘部の配置などの利便性を向上させることができる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例に記載の振動デバイスにおいて、前記錘部は、前記駆動振動腕の前記基部から離れた側の端部に設けられていることが好ましい。
【００１３】
本適用例によれば、錘部を駆動振動腕の端部に設けることにより、例えば駆動振動腕の駆動電極との重畳配置を避けることができ、電極の配置を行い易くすることができる。
【００１４】
［適用例５］上記適用例に記載の振動デバイスにおいて、前記駆動振動腕の突出方向と反対方向に、前記基部から突出する二つの検出振動腕を備えていることが好ましい。
【００１５】
本適用例によれば、二つの検出振動腕から出力される信号を測定することにより、容易に角速度を検出することができる。
【００１６】
［適用例６］本適用例に係る振動デバイスの製造方法は、基部と、前記基部から突出する駆動振動腕および検出振動腕と、前記駆動振動腕に設けられた駆動電極と、前記検出振動腕に設けられた検出電極と、を備えた振動片を準備する工程と、前記駆動振動腕の端部に錘部を形成する工程と、前記駆動振動腕を励振させた状態で、前記検出電極に発生する信号を計測しながら、前記錘部の質量を変化させ、前記信号が小さくなるように調整する工程と、を含む。
【００１７】
本適用例によれば、駆動振動腕を励振させた状態で、検出電極に発生する信号を計測しながら錘部の質量を変化させ、信号が小さくなるように調整することにより、不要振動である、例えばウォークタイプ振動（斜め振動）を、容易に抑制することができる。
【００１８】
［適用例７］上記適用例に記載の振動デバイスの製造方法において、前記振動片を準備する工程では、前記駆動振動腕の表裏面を繋ぐ第１の側面を、前記第１の側面に沿った第２仮想線と、前記表面に沿った第１仮想線との第１交差角を９０°未満として形成し、前記駆動振動腕の前記表裏面を繋ぐ第２の側面を、前記第２の側面に沿った第３仮想線と、前記表面に沿った第１仮想線との第２交差角を９０°以上として形成し、前記錘部を形成する工程では、前記表面および前記裏面の少なくとも一方に、前記駆動振動腕の突出方向に沿った第１の重心線に対して、前記駆動振動腕の突出方向に沿った第２の重心線が前記第２の側面側に位置するように錘部を形成することが好ましい。
【００１９】
本適用例によれば、駆動振動腕の表裏面との交差角を規定して形成する二つの側面と、駆動振動腕の表裏面に少なくとも一方に重心線が第２の側面側に位置する（第２の重心線に相当する）ように形成する錘部とにより、駆動振動腕の主振動方向の断面二次モーメントに対して、斜め方向の断面二次モーメントを大きくすることができる。これにより、駆動振動腕が斜め方向に振動する、即ちウォークタイプ振動（斜め振動）を、容易に起こり難くすることができる。
【００２０】
［適用例８］上記適用例に記載の振動デバイスの製造方法において、前記振動片を準備する工程では、ドライエッチング法を用いて水晶基板から前記振動片の外形形状を形成することが好ましい。
【００２１】
本適用例によれば、振動特性の良好な水晶振動片であって、表裏面に対して所定の角度に傾斜させた両側面を備える駆動振動腕を容易に形成することができる。
【００２２】
［適用例９］本適用例に係る電子機器は、上記適用例１ないし適用例５のいずれか一例に記載の振動デバイスを備えていることを特徴とする。
【００２３】
本適用例によれば、不要振動が抑制され、安定した検出信号を得ることのできる振動デバイスを用いることにより、信頼性を向上させた電子機器とすることができる。
【００２４】
［適用例１０］本適用例に係る移動体は、上記適用例１ないし適用例５のいずれか一例に記載の振動デバイスを備えていることを特徴とする。
【００２５】
本適用例によれば、不要振動が抑制され、安定した検出信号を得ることのできる振動デバイスを用いることにより、信頼性を向上させた移動体とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の振動デバイスの第１実施形態に係る振動片としてのジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）の概略を示す平面図。
【図２】第１実施形態に係る振動片としてのジャイロ素子の電極構成を説明する図であり、図１のＡ−Ａ断面図。
【図３】幅広部（駆動振動腕）の錘部の構成を説明する図であり、図１のＢ−Ｂ断面図。
【図４】第１実施形態に係る振動片としてのジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）の電極構成を説明する図であり、図１のＣ−Ｃ断面図。
【図５】検出振動腕に形成されている電極の電気的接続状態を示す図。
【図６Ａ】比較例としての従来の駆動振動腕の断面二次モーメントの説明図。
【図６Ｂ】錘部の形成されていない駆動振動腕の断面二次モーメントを説明する図。
【図６Ｃ】錘部が形成された駆動振動腕の断面二次モーメントを説明する図。
【図７Ａ】第１実施形態に係る振動片としてのジャイロ素子の製造方法を示す工程フロー図。
【図７Ｂ】ジャイロ素子の製造方法における錘部の調整方法の説明図。
【図８】駆動振動腕（幅広部）の断面形状の変形例を示す断面図。
【図９】錘部の変形例を示す断面図。
【図１０】本発明に係る振動デバイスの第２実施形態に係るジャイロセンサーの概略構成を示す正断面図。
【図１１】電子機器の一例としてのモバイル型のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図。
【図１２】電子機器の一例としての携帯電話機の構成を示す斜視図。
【図１３】電子機器の一例としてのデジタルスチールカメラの構成を示す斜視図。
【図１４】移動体の一例としての自動車の構成を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明に係る振動デバイス、電子機器、および移動体の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、各図では、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を図示しているものがある。また、本明細書においては、３つの軸を、各実施形態における振動片の切り出し角度を考慮して、Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸を示している。また、以下の説明では、説明の便宜上、図中Ｚ軸方向から見たときの平面視を単に「平面視」とも言う。さらに、説明の便宜上、図中Ｚ軸方向から見たときの平面視において、＋Ｚ軸方向の面を表面、−Ｚ軸方向の面を裏面として説明することがある。
【００２８】
（第１実施形態）
本発明の振動デバイスの第１実施形態に係る振動片としてのジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）について説明する。先ず、図１、図２、図３、図４、図５、および図６Ａ〜図６Ｃを参照して、振動片としてのジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）の構成を説明する。図１は、振動デバイスの第１実施形態に係る振動片としてのジャイロ素子の概略を示す平面図である。図２は、ジャイロ素子の駆動振動腕の電極構成を説明する図であり、図１のＡ−Ａ断面図である。図３は、ジャイロ素子の幅広部の錘部を説明する図であり、図１のＢ−Ｂ断面図である。図４は、ジャイロ素子の検出振動腕の電極構成を説明する図であり、図１のＣ−Ｃ断面図である。図５は、ジャイロ素子の検出振動腕に形成されている検出電極の電気的接続状態を示す図であり、図１のＣ−Ｃ断面図に相当する図である。図６Ａ〜図６Ｃは、駆動振動腕の振動に係る断面二次モーメントを説明する図であり、図６Ａは、比較例としての従来の駆動振動腕の断面二次モーメントの説明図、図６Ｂは、錘部の形成されていない駆動振動腕の断面二次モーメントを説明する図、図６Ｃは、錘部が形成された駆動振動腕の断面二次モーメントを説明する図である。
【００２９】
１．ジャイロ素子の構成
図１および図２に示すように、第１実施形態に係るジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）３００は、基部１と、駆動振動腕２ａ，２ｂおよび検出振動腕３ａ，３ｂとを有している。なお、基部１、駆動振動腕２ａ，２ｂ、および検出振動腕３ａ，３ｂは、素材（主要部分を構成する材料）を加工することにより一体に形成されている。
【００３０】
本実施形態のジャイロ素子３００では、素材として圧電体材料である水晶を用いた例を示して説明する。水晶は、電気軸と呼ばれるＸ軸、機械軸と呼ばれるＹ軸および光学軸と呼ばれるＺ軸を有している。本実施形態では、水晶結晶軸において直交するＸ軸およびＹ軸で規定される平面に沿って切り出されて平板状に加工され、平面と直交するＺ軸方向に所定の厚さを有した所謂水晶Ｚ板を基材として用いている。また、ジャイロ素子３００を形成する平板は、水晶からの切り出し角度の誤差を、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸の各々につき多少の範囲で許容できる。例えば、Ｘ軸を中心に０°から２°の範囲で回転して切り出したものを使用することができる。Ｙ軸およびＺ軸についても同様である。
【００３１】
ジャイロ素子３００は、中心部分に位置する略矩形状の基部１と、基部１のＹ軸方向の一方の端部（図中＋Ｙ軸方向の端部）からＹ軸に沿って突出し、並行するように延伸された一対の駆動振動腕２ａ，２ｂと、基部１の他方の端部（図中−Ｙ軸方向の端部）からＹ軸に沿って突出し、並行するように延伸された一対の検出振動腕３ａ，３ｂと、を有している。換言すれば、駆動振動腕２ａ，２ｂは、検出振動腕３ａ，３ｂの突出方向（−Ｙ軸）と反対方向（＋Ｙ軸方向）に基部１から延出されている。このように、基部１の両端部から反対方向に向かって、一対の駆動振動腕２ａ，２ｂと、一対の検出振動腕３ａ，３ｂとが、それぞれ同軸方向に延伸されている。このような形状から、本実施形態に係るジャイロ素子３００は、Ｈ型ジャイロ素子と呼ばれることがある。Ｈ型のジャイロ素子３００は、駆動振動腕２ａ，２ｂと検出振動腕３ａ，３ｂとが、基部１の同一軸方向（Ｙ軸方向）の両端部からそれぞれ延伸されているので、駆動系と検出系が分離される。ジャイロ素子３００は、このように駆動系と検出系が分離されることにより、駆動系と検出系の電極間あるいは配線間の静電結合が低減され、検出感度が安定するという特徴を有する。
【００３２】
Ｈ型のジャイロ素子３００は、一対の駆動振動腕２ａ，２ｂを所定の共振周波数で面内方向（＋Ｘ軸方向と−Ｘ軸方向）に振動させた状態で、Ｙ軸回りに角速度ωが加わると、駆動振動腕２ａ，２ｂにコリオリ力が発生し、駆動振動腕２ａ，２ｂが面内方向と交差する面外方向（＋Ｚ軸方向と−Ｚ軸方向）に、互いに逆方向に屈曲振動する。そして、検出振動腕３ａ，３ｂは、駆動振動腕２ａ，２ｂの面外方向の屈曲振動に共振して、同じく面外方向に屈曲振動する。この時、圧電効果により検出振動腕３ａ，３ｂに設けられている検出電極に電荷が発生する。ジャイロ素子３００は、この電荷を検出することによりジャイロ素子３００に加わる角速度ωを検出することができる。
【００３３】
基部１から延伸された一対の駆動振動腕２ａ，２ｂは、駆動系の振動腕である。図２に示すように、一方の駆動振動腕２ａは、表面２ａｆと、表面２ａｆと反対側に設けられた裏面２ａｒと、表面２ａｆと裏面２ａｒとを繋ぐ（接続する）第１の側面１４ｂおよび第２の側面１４ａと、を備えている。加えて、駆動振動腕２ａは、中央部に貫通孔５９ａを備えている。貫通孔５９ａは、駆動振動腕２ａの延在方向（Ｙ軸方向）に沿って配置され、第１の内壁面１５ｂと第２の内壁面１５ａとを備えている。他方の駆動振動腕２ｂは、表面２ｂｆと、表面２ｂｆと反対側に設けられた裏面２ｂｒと、表面２ｂｆと裏面２ｂｒとを繋ぐ（接続する）第１の側面１６ｂおよび第２の側面１６ａと、を備えている。加えて、駆動振動腕２ｂは、中央部に貫通孔５９ｂを備えている。貫通孔５９ｂは、駆動振動腕２ｂの延在方向（Ｙ軸方向）に沿って配置され、第１の内壁面１７ｂと第２の内壁面１７ａを備えている。
【００３４】
なお、駆動振動腕２ａ，２ｂの第１の側面１４ｂ，１６ｂおよび第２の側面１４ａ，１６ａは、互いに略平行となるように配置されている。また、駆動振動腕２ａ，２ｂの＋Ｘ方向側に向いた第１の側面１４ｂ，１６ｂは、表面２ａｆ，２ｂｆもしくは裏面２ａｒ，２ｂｒのいずれかの面、本形態では、図２に示すように、表面２ａｆ，２ｂｆに対して、交差角である第１交差角αだけ傾けて設けられている。また、駆動振動腕２ａ，２ｂの−Ｘ方向側に向いた第２の側面１４ａ，１６ａは、表面２ａｆ，２ｂｆに対して、交差角である第２交差角βだけ傾けて設けられている。このような、駆動振動腕２ａ，２ｂの図１に示すＡ−Ａ視における断面形状は、平行四辺形に近似している。
【００３５】
換言すれば、第１の側面１４ｂ，１６ｂは、第１の側面１４ｂ，１６ｂに概ね沿った第２仮想線ｋｓ２０と、表面２ａｆ，２ｂｆに沿った第１仮想線ｋｓ１０との交差角である第１交差角αを、９０°未満（α＜９０°）として設ける。また、第２の側面１４ａ，１６ａは、第２の側面１４ａ，１６ａに概ね沿った第３仮想線ｋｓ３０と、表面２ａｆ，２ｂｆに沿った第１仮想線ｋｓ１０との交差角である第２交差角βを、９０°以上（β≧９０°）として設ける。
【００３６】
また、貫通孔５９ａの第１の内壁面１５ｂおよび第２の内壁面１５ａと、貫通孔５９ｂの第１の内壁面１７ｂおよび第２の内壁面１７ａとは、第１の側面１４ｂ，１６ｂまたは第２の側面１４ａ，１６ａと同様に、第１交差角αまたは第２交差角βによって、表面２ａｆ，２ｂｆに対して傾斜して設けられていることが好ましい。このような傾斜角とすることにより、第１の内壁面１５ｂ，１７ｂおよび第２の内壁面１５ａ，１７ａを、第１の側面１４ｂ，１６ｂまたは第２の側面１４ａ，１６ａと同じ工程で形成することができ効率的である。
【００３７】
なお、表面２ａｆ，２ｂｆおよび裏面２ａｒ，２ｂｒ、第２の側面１４ａ，１６ａおよび第１の側面１４ｂ，１６ｂは、面の一部に切り欠きが形成されていたり、突起が形成されていたりするものや、製造精度により外縁に微小な凹凸が形成されているもの、もしくは交差部に面取り状の凹みなどが形成されているもの等を含んでいてもよい。したがって、これらの切り欠き、突起、凹凸などを排除して、本来の面に沿ったそれぞれの延長線（仮想線）を、第１仮想線ｋｓ１０、第２仮想線ｋｓ２０、および第３仮想線ｋｓ３０としている。
【００３８】
また、駆動振動腕２ａ，２ｂの基部１側の一端とは反対側に位置する他端側に位置する先端部には、駆動振動腕２ａ，２ｂより幅が広い（Ｘ軸方向の寸法が大きい）略矩形状の幅広部５２ａ，５２ｂが設けられている（図１および図３参照）。このように、駆動振動腕２ａ，２ｂに、幅広部５２ａ，５２ｂが設けられていることにより、駆動振動腕２ａ，２ｂの長さ（Ｙ軸方向の寸法）の増大を抑えながら所定の駆動振動を得ることができるため、ジャイロ素子を小型化することが可能となる。
【００３９】
図１および図３に示すように、一方の幅広部５２ａは、表面５４ｆと、表面５４ｆと反対側に設けられた裏面５４ｒと、表面５４ｆと裏面５４ｒとを繋ぐ（接続する）第１の側面５４ｂおよび第２の側面５４ａと、を備えている。他方の幅広部５２ｂは、表面５５ｆと、表面５５ｆと反対側に設けられた裏面５５ｒと、表面５５ｆと裏面５５ｒとを繋ぐ（接続する）第１の側面５５ｂおよび第２の側面５５ａと、を備えている。なお、第１の側面５４ｂ，５５ｂおよび第２の側面５４ａ，５５ａは、互いに略平行となるように配置されている。
【００４０】
幅広部５２ａ，５２ｂは、駆動振動腕２ａ，２ｂと同様に、幅広部５２ａ，５２ｂの＋Ｘ方向側に向いた第１の側面５４ｂ，５５ｂは、表面５４ｆ，５５ｆもしくは裏面５４ｒ，５５ｒのいずれかの面、本形態では、図３に示すように、表面５４ｆ，５５ｆに対して、交差角である第１交差角αだけ傾けて設けられている。また、幅広部５２ａ，５２ｂの−Ｘ方向側に向いた第２の側面５４ａ，５５ａは、表面５４ｆ，５５ｆに対して、交差角である第２交差角βだけ傾けて設けられている。このような、幅広部５２ａ，５２ｂの図１に示すＢ−Ｂ視における断面形状は、平行四辺形に近似している。
【００４１】
換言すれば、幅広部５２ａ，５２ｂの第１の側面５４ｂ，５５ｂは、第１の側面５４ｂ，５５ｂに概ね沿った第２仮想線ｋｓ２と、表面５４ｆ，５５ｆに沿った第１仮想線ｋｓ１との交差角である第１交差角αを、９０°未満（α＜９０°）として設ける。また、第２の側面５４ａ，５５ａは、第２の側面５４ａ，５５ａに概ね沿った第３仮想線ｋｓ３と、表面５４ｆ，５５ｆに沿った第１仮想線ｋｓ１との交差角である第２交差角βを、９０°以上（β≧９０°）として設ける。
【００４２】
なお、駆動振動腕２ａ，２ｂと同様に、表面５４ｆ，５５ｆおよび裏面５４ｒ，５５ｒ、第１の側面５４ｂ，５５ｂおよび第２の側面５４ａ，５５ａは、面の一部に切り欠きが形成されていたり、突起が形成されていたりするものや、製造精度により外縁に微小な凹凸が形成されているもの、もしくは交差部に面取り状の凹みなどが形成されているもの等を含んでいてもよい。したがって、これらの切り欠き、突起、凹凸などを排除して、本来の面に沿ったそれぞれの延長線（仮想線）を、第１仮想線ｋｓ１、第２仮想線ｋｓ２、および第３仮想線ｋｓ３としている。
【００４３】
加えて、幅広部５２ａ，５２ｂの表面５４ｆ，５５ｆには、駆動振動腕２ａ，２ｂの重心Ｇ１を通り、Ｙ軸に沿った第１の重心線ＧＬ１に対して、幅広部５２ａ，５２ｂの第２の側面５４ａ，５５ａ側に移動した重心Ｇ２を通り、Ｙ軸に沿った第２の重心線ＧＬ２が配置されるように錘部５６ａ，５６ｂが設けられている。換言すれば、錘部５６ａ，５６ｂは、駆動振動腕２ａ，２ｂの重心Ｇ１が重心Ｇ２に移動するように、幅広部５２ａ，５２ｂの第２の側面５４ａ，５５ａ側に偏って配置される。なお、錘部５６ａ，５６ｂは、表面５４ｆ，５５ｆおよび裏面５４ｒ，５５ｒの少なくとも一方に設けられていればよい。
【００４４】
錘部５６ａ，５６ｂは、例えば金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銅（Ｃｕ）チタン（Ｔｉ）、ニッケル（Ｎｉ）などの金属材料を用いて形成することが好ましい。このように、錘部５６ａ，５６ｂに質量の大きな金属材料を用いることにより、錘部５６ａ，５６ｂの体積を小さくすることが可能となり、錘部５６ａ，５６ｂの配置などの利便性を向上させることができる。
【００４５】
このように、表面２ａｆ，２ｂｆに対する交差角を規定した二つの側面（第１の側面１４ｂ，１６ｂ，５４ｂ，５５ｂと第２の側面１４ａ，１６ａ，５４ａ，５５ａ）と、錘部５６ａ，５６ｂが設けられていない場合の駆動振動腕２ａ，２ｂの重心Ｇ１および第１の重心線ＧＬ１に対して、重心Ｇ２および第２の重心線ＧＬ２が幅広部５２ａ，５２ｂの第２の側面５４ａ，５５ａ側に位置するように配置された錘部５６ａ，５６ｂとにより、駆動振動腕２ａ，２ｂの主振動方向（Ｘ軸方向）の断面二次モーメントＩｙ１（図６Ａ参照）に対して、斜め方向の断面二次モーメントＩｙ２（図６Ｂ参照）が大きくなり、斜め方向の振動を起こり難くすることができる。換言すれば、図６Ｃに示すように、駆動振動腕２ａ，２ｂの主振動方向（Ｘ軸方向）の断面二次モーメントＩｙ３に対して、斜め方向の断面二次モーメントＩｙ４の値を大きくすることができる。これにより、駆動振動腕２ａ，２ｂが斜め方向に振動する、即ちウォークタイプ振動（斜め振動）を起こり難くすることができる。したがって、主振動に対する影響を生じさせることなく、容易にウォークタイプ振動（斜め振動）を抑制することが可能となる。以下、このことについて、図６Ａ〜図６Ｃを参照して詳細に説明する。
【００４６】
なお、ここで用いている水平方向（Ｘ軸方向）の断面二次モーメントＩｙは、部材の変形のし難さを表しており、その値が小さいと撓みやすく座屈し易いことを示している。断面二次モーメントＩｙは、振動部（駆動振動腕２ａ，２ｂ）の幅寸法をＷ、厚さをｈ、としたとき、次式（１）によって求められるものである。
【００４７】
【数１】
2017150964.tif 000003
【００４８】
図６Ａは、比較例として、両側の側面が表裏面に対して略垂直な従来の幅広部５２ａ（駆動振動腕２ａ）を例示している。図６Ａに示す幅広部５２ａ（駆動振動腕２ａ）では、表裏面に対して垂直（θ５＝９０°）な仮想線ｋｓ５に対して両側面が略平行、即ち両側面が表裏面に対して略垂直である。このときの断面二次モーメントＩｙ１は、グラフに示すように、薄肉方向となる仮想線ｋｓ５（両側面）に対して９０°（直交する）方向（Ｘ軸方向）が最も小さくなる。したがってこの場合は、本来の振動方向であるＸ軸方向の振動が起き易くなることになる。
【００４９】
図６Ｂは、本実施形態に係る幅広部５２ａ（駆動振動腕２ａ）表裏面に対してして傾斜する両側面を有する場合を示している。図６Ｂに示す幅広部５２ａ（駆動振動腕２ａ）では、表裏面に対して角度θ１で交差する仮想線ｋｓ４に対して両側面（第１の側面５４ｂ，第２の側面５４ａ）が略平行に形成されている。換言すれば、両側面（第１の側面５４ｂ，第２の側面５４ａ）が表裏面に対して角度θ１で交差している。このときの断面二次モーメントＩｙ２は、グラフに曲線Ｐ２で示されているように、幅広部５２ａの幅の小さな薄肉方向となる交差角θ１の仮想線ｋｓ４（両側面）に対して直交する方向（仮想線ｋｓ７で示す方向）が最も小さくなる。したがって、この場合は角度θ１の方向の斜め振動が起き易くなることになる。
【００５０】
これに対し、図６Ｃに示す本実施形態に係る幅広部５２ａ（駆動振動腕２ａ）では、幅広部５２ａ（駆動振動腕２ａ）自体は図６Ｂに示す例と同様であり、加えて上述した実施形態のような錘部５６ａが、一方の側面である第２の側面５４ａ側の表面に設けられている。この錘部５６ａが設けられることによって、断面二次モーメントＩｙは曲線Ｐ３で示されているように、仮想線ｋｓ６（仮想線ｋｓ６と平行な第１の側面５４ｂ，第２の側面５４ａ）の表裏面に対して交差する角度θ６の場合が最も小さくなるように移動する。したがって、図６Ｃに示す本実施形態に係る幅広部５２ａ（駆動振動腕２ａ）における断面二次モーメントＩｙ４は、図６Ｂでの説明と同様な曲線Ｐ２で示されている両側面（第１の側面５４ｂ，第２の側面５４ａ）が角度θ１の傾きを有するときの断面二次モーメントと、図６Ｃで説明した曲線Ｐ３で示されている錘部５６ａを有するときの断面二次モーメントとを加算した曲線Ｐ４によって表される。
【００５１】
上述のように、曲線Ｐ２に示されている両側面（第１の側面５４ｂ，第２の側面５４ａ）に角度θ１の傾きを有する幅広部５３ａ（駆動振動腕２ａ）の、両側面（第１の側面５４ｂ，第２の側面５４ａ）に対して直交する方向（Ｘ軸方向）の断面二次モーメントＩｙ３の方が、曲線Ｐ４で示されている錘部５６ａを加えたときに最も小さくなる断面二次モーメントＩｙ４よりも小さくなる。したがって、本実施形態に係る構成の、両側面（第１の側面５４ｂ，第２の側面５４ａ）に角度θ１の傾きを有し、第２の側面５４ａ側の表面に錘部５６ａが設けられている幅広部５２ａ（駆動振動腕２ａ）においては、仮想線ｋｓ５（両側面）に対して９０°（直交する）方向（Ｘ軸方向）に振動を生じ易くすることが可能となる。なお、両側面（第１の側面５４ｂ，第２の側面５４ａ）に角度θ１の傾きを与えても、振動特性（例えばＣＩ値）に対しての影響は殆んど見られない。したがって、両側面（第１の側面５４ｂ，第２の側面５４ａ）に角度θ１の傾きを形成し、加えて錘部５６ａを加えることによって、主振動における振動特性（例えばＣＩ値）に影響を与えることなく、斜め方向への振動（不要振動）を抑制することが可能となる。
【００５２】
なお、錘部５６ａの質量や重心位置を変化させることによって、曲線Ｐ３の頂点位置（頂点の位置する角度）を遷移させることができる。これにより、曲線Ｐ２と曲線Ｐ３とを加算した曲線Ｐ４において、９０°のときの断面二次モーメントが最も小さくなるように頂点位置を調整することができる。なお、本例において、上記頂点位置は、各曲線Ｐ３，Ｐ４の最下点位置と言い換えることができる。
【００５３】
また、上述のように錘部５６ａ，５６ｂは、駆動振動腕２ａ，２ｂの端部に配置されている幅広部５２ａ，５２ｂの表面５４ｆ，５５ｆに設けられていることが好ましい。このように、錘部５６ａ，５６ｂを駆動振動腕２ａ，２ｂの端部に設けることにより、例えば駆動振動腕２ａ，２ｂの後述する駆動電極との重畳配置を避けることができ、電極の配置を行い易くすることができる。
【００５４】
基部１から延伸された一対の検出振動腕３ａ，３ｂは、検出系の振動腕であり、図４に示すように、表面３ａｆ，３ｂｆと、表面３ａｆ，３ｂｆと反対側に設けられた裏面３ａｒ，３ｂｒと、表面３ａｆ，３ｂｆと裏面３ａｒ，３ｂｒとを接続する側面３ｈ，３ｉ，３ｊ，３ｋと、を備えている。さらに、検出振動腕３ａ，３ｂには、基部１側の一端とは反対側の他端側に位置する先端部に検出振動腕３ａ，３ｂより幅が広い（Ｘ軸方向の寸法が大きい）略矩形状の幅広部５３ａ，５３ｂが設けられている（図１参照）。このように、検出振動腕３ａ，３ｂにおいても、幅広部５３ａ，５３ｂが設けられていることにより、検出振動腕３ａ，３ｂの長さ（Ｙ軸方向の寸法）の増大を抑えながら所定の検出振動を得ることができるため、ジャイロ素子３００を小型化することが可能となる。
【００５５】
また、一対の検出振動腕３ａ，３ｂには、それぞれの中央部に貫通孔５８ａ，５８ｂが設けられている。具体的に、一方の検出振動腕３ａには、貫通孔５８ａが設けられ、他方の検出振動腕３ｂには、貫通孔５８ｂが設けられている。貫通孔５８ａ，５８ｂは、検出振動腕３ａ，３ｂの表面と裏面とを貫通し、検出振動腕３ａ，３ｂの延在方向（Ｙ軸方向）に沿って、基部１との接続部近傍から幅広部５３ａ，５３ｂとの接続部近傍まで配設されている。貫通孔５８ａ，５８ｂは、一対の検出振動腕３ａ，３ｂの平面視中央部において表裏面を貫通している。この貫通孔５８ａ，５８ｂにより、検出振動腕３ａ，３ｂは、貫通孔５８ａ，５８ｂを挟み幅方向（Ｘ軸方向）の両側に壁部３ｄ，３ｅ，３ｆ，３ｇが設けられる。具体的に、検出振動腕３ａは、貫通孔５８ａを挟む両側に壁部３ｄ，３ｅを有し、検出振動腕３ｂは、貫通孔５８ｂを挟む両側に壁部３ｆ，３ｇを有している。
【００５６】
なお、一対の検出振動腕３ａ，３ｂの側面３ｈ，３ｉ，３ｊ，３ｋ、および貫通孔５８ａ，５８ｂは、図４に示すように、前述の駆動振動腕２ａ，２ｂと同様に、表面３ａｆ，３ｂｆに対して、傾斜して形成されている。ここで、側面３ｈ，３ｉ，３ｊ，３ｋ、および貫通孔５８ａ，５８ｂの表面３ａｆ，３ｂｆに対する傾斜角度は、駆動振動腕２ａ，２ｂの傾斜角と同様とすることが好ましい。このような、検出振動腕３ａ，３ｂの図１に示すＣ−Ｃ視における断面形状は、平行四辺形に近似している。
【００５７】
基部１の中央は、ジャイロ素子３００の重心とすることができる。そして、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸は、互いに直交し、重心を通るものとする。ジャイロ素子３００の外形は、重心を通るＹ軸方向の仮想の中心線に対して線対称とすることができる。これにより、ジャイロ素子３００の外形はバランスのよいものとなり、ジャイロ素子３００の特性が安定して、検出感度が向上するので好ましい。このようなジャイロ素子３００の外形形状は、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチング（ウェットエッチングまたはドライエッチング）により形成することができる。なお、ジャイロ素子３００は、１枚の水晶ウエハーから複数個取りすることが可能である。
【００５８】
２．ジャイロ素子の電極配置
次に、ジャイロ素子３００の電極配置の一実施形態について、図２、図４、および図５を参照して説明する。
【００５９】
先ず、図２を参照しながら、駆動振動腕２ａ，２ｂに設けられた、駆動振動腕２ａ，２ｂを駆動させるための駆動電極１１ａ，１１ｂ，１２ｃ，１２ａ，１２ｂ，１１ｃについて説明する。図２に示すように、駆動振動腕２ａの一方の主面である表面２ａｆには駆動電極１１ａが、および他方の主面である裏面２ａｒには駆動電極１１ｂが、幅広部５２ａ（図１参照）までの間に形成されている。また、駆動振動腕２ａの一方の側面（第２の側面１４ａ）、および他方の側面（第１の側面１４ｂ）には駆動電極１２ｃが、駆動振動腕２ａの幅広部５２ａ（図１参照）までの間に形成されている。同様に、駆動振動腕２ｂの一方の主面である表面２ｂｆには駆動電極１２ａが、および他方の主面である裏面２ｂｒには駆動電極１２ｂが、幅広部５２ｂ（図１参照）までの間に形成されている。また、駆動振動腕２ｂの一方の側面（第２の側面１６ａ）、および他方の側面（第１の側面１６ｂ）には駆動電極１１ｃが、駆動振動腕２ｂの幅広部５２ｂ（図１参照）までの間に形成されている。
【００６０】
駆動振動腕２ａ，２ｂに形成された駆動電極１１ａ，１１ｂ，１２ｃ，１２ａ，１２ｂ，１１ｃは、駆動電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃが同電位であり、これと異なる電位であって駆動電極１２ａ，１２ｂ，１２ｃが同電位となるように、駆動振動腕２ａ，２ｂを介して対向配置される。また、図示しないが、駆動電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃが、接続される図示しない接続パッド、および駆動電極１２ａ，１２ｂ，１２ｃが接続される図示しない接続パッドを通して駆動電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃと駆動電極１２ａ，１２ｂ，１２ｃとの間に電位差を交互に与えることにより駆動振動腕２ａ，２ｂは、Ｘ軸方向に沿ったいわゆる屈曲振動が励振される。
【００６１】
次に、検出振動腕３ａ，３ｂに形成され、検出振動腕３ａ，３ｂが振動することによって基材である水晶に発生する歪みを検出する検出電極について図４を参照して説明する。図４に示すように、検出振動腕３ａ，３ｂには、前述したように、表面３ａｆ，３ｂｆと裏面３ａｒ，３ｂｒをつなぐ側面３ｈ，３ｉ，３ｊ，３ｋ、および検出振動腕３ａ，３ｂの平面視中央部において表面３ａｆ，３ｂｆと裏面３ａｒ，３ｂｒを貫通する貫通孔５８ａ，５８ｂが設けられている。
【００６２】
検出振動腕３ａには、壁部３ｄ側の側面３ｈに、検出振動腕３ａの厚み方向（Ｚ軸方向）の略中央に有って検出振動腕３ａの延伸方向（Ｙ軸方向）に沿って設けられた電極分割部２９ｈによって分割された、表面側の第１検出電極２１ａと裏面側の第４検出電極２２ｂとが並設されている。
【００６３】
さらに、検出振動腕３ａには、側面３ｈに設けられた第１検出電極２１ａおよび第４検出電極２２ｂと対向する貫通孔５８ａの壁部３ｄ側の内側面２６ｈに、検出振動腕３ａの厚み方向（Ｚ軸方向）の略中央に有って検出振動腕３ａの延伸方向（Ｙ軸方向）に沿って設けられた電極分割部２６ｄによって分割された、表面側の第３検出電極２２ａと裏面側の第２検出電極２１ｂとが並設されている。
【００６４】
また、検出振動腕３ａには、側面３ｈとは反対側である壁部３ｅ側の側面３ｉに、検出振動腕３ａの厚み方向の略中央に有って検出振動腕３ａの延伸方向（Ｙ軸方向）に沿って設けられた電極分割部２９ｉによって分割された、表面側の第３検出電極２２ａと裏面側の第２検出電極２１ｂとが並設されている。
【００６５】
さらに、検出振動腕３ａには、側面３ｉに設けられた第３検出電極２２ａおよび第２検出電極２１ｂと対向する貫通孔５８ａの壁部３ｅ側の内側面２６ｉに、検出振動腕３ａの厚み方向（Ｚ軸方向）の略中央に有って検出振動腕３ａの延伸方向（Ｙ軸方向）に沿って設けられた電極分割部２６ｆによって分割された、表面側の第１検出電極２１ａと裏面側の第４検出電極２２ｂとが並設されている。
【００６６】
そして、第１検出電極２１ａと、第２検出電極２１ｂとは、電気的に接続（短絡）されている。また、第３検出電極２２ａと、第４検出電極２２ｂとは、電気的に接続（短絡）されている。そして、第１検出電極２１ａと第２検出電極２１ｂ、および第３検出電極２２ａと第４検出電極２２ｂは、図示しない配線を介して図示しない外部接続パッドに、それぞれが電気的に接続されている。
【００６７】
同様に、図４に示す検出振動腕３ｂには、壁部３ｆ側の側面３ｊに、検出振動腕３ｂの厚み方向（Ｚ軸方向）の略中央に有って検出振動腕３ｂの延伸方向（Ｙ軸方向）に沿って設けられた電極分割部２９ｊによって分割された、表面側の第５検出電極３１ａと裏面側の第８検出電極３２ｂとが並設されている。
【００６８】
さらに、検出振動腕３ｂには、側面３ｊに設けられた第５検出電極３１ａおよび第８検出電極３２ｂと対向する貫通孔５８ｂの壁部３ｆ側の内側面３６ｊに、検出振動腕３ｂの厚み方向（Ｚ軸方向）の略中央に有って検出振動腕３ｂの延伸方向（Ｙ軸方向）に沿って設けられた電極分割部３６ｄによって分割された、表面側の第７検出電極３２ａと裏面側の第６検出電極３１ｂとが並設されている。
【００６９】
また、検出振動腕３ｂには、側面３ｊとは反対側である壁部３ｇ側の側面３ｋに、検出振動腕３ｂの厚み方向の略中央に有って検出振動腕３ｂの延伸方向に沿って設けられた電極分割部２９ｋによって分割された、表面側の第７検出電極３２ａと裏面側の第６検出電極３１ｂとが並設されている。
【００７０】
さらに、検出振動腕３ｂには、側面３ｋに設けられた第７検出電極３２ａおよび第６検出電極３１ｂと対向する貫通孔５８ｂの壁部３ｇ側の内側面３６ｋに、検出振動腕３ｂの厚み方向（Ｚ軸方向）の略中央に有って検出振動腕３ｂの延伸方向（Ｙ軸方向）に沿って設けられた電極分割部３６ｆによって分割された、表面側の第５検出電極３１ａと裏面側の第８検出電極３２ｂとが並設されている。
【００７１】
そして、第５検出電極３１ａと、第６検出電極３１ｂとは、電気的に接続（短絡）されている。また、第７検出電極３２ａと、第８検出電極３２ｂとは、電気的に接続（短絡）されている。そして、第５検出電極３１ａと第６検出電極３１ｂ、および第７検出電極３２ａと第８検出電極３２ｂは、図示しない配線を介して図示しない外部接続パッドに、それぞれが電気的に接続されている。
【００７２】
ここで、図５を参照しながら、検出振動腕３ａ，３ｂに形成されている電極の電気的接続状態について説明する。図５に示すように、検出振動腕３ａにおいては、第１検出電極２１ａと第２検出電極２１ｂとは同電位となるように接続され、第３検出電極２２ａと第４検出電極２２ｂとは同電位となるように接続されている。具体的に、第１検出電極２１ａおよび第２検出電極２１ｂは、接続端子Ｅ１に接続され、第３検出電極２２ａおよび第４検出電極２２ｂは、接続端子Ｅ２に接続されている。そして、検出振動腕３ａの振動によって生じる歪みを、第１検出電極２１ａおよび第２検出電極２１ｂと、第３検出電極２２ａおよび第４検出電極２２ｂとの電極間の電位差を検出することにより検出することができる。
【００７３】
また、同様に、検出振動腕３ｂにおいては、第５検出電極３１ａと第６検出電極３１ｂとは同電位となるように接続され、第７検出電極３２ａと第８検出電極３２ｂとは同電位となるように接続されている。具体的に、第５検出電極３１ａおよび第６検出電極３１ｂは、接続端子Ｅ２に接続され、第７検出電極３２ａおよび第８検出電極３２ｂは、接続端子Ｅ１に接続されている。そして、検出振動腕３ｂの振動によって生じる歪みを、第５検出電極３１ａおよび第６検出電極３１ｂと、第７検出電極３２ａおよび第８検出電極３２ｂとの電極間の電位差を検出することにより検出することができる。
【００７４】
なお、上述した駆動電極１１ａ，１１ｂ，１２ｃ，１２ａ，１２ｂ，１１ｃ、第１検出電極２１ａ、第２検出電極２１ｂ、第３検出電極２２ａ、第４検出電極２２ｂ、第５検出電極３１ａ、第６検出電極３１ｂ、第７検出電極３２ａ、および第８検出電極３２ｂの構成は、特に限定されず、導電性を有し、薄膜形成が可能であればよい。具体的な構成としては、例えば、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等の金属材料、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）等の導電材料により形成することができる。
【００７５】
また、本形態においてジャイロ素子３００は、水晶により形成された例を用いたが、水晶以外にも、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の様々な圧電単結晶材料を用いることができる。
【００７６】
このような第１実施形態に係る振動片としてのジャイロ素子３００によれば、駆動振動腕２ａ，２ｂの表面２ａｆ，２ｂｆとの交差角α，βを規定した二つの側面（第１の側面１４ｂ，１６ｂおよび第２の側面１４ａ，１６ａ）を有する駆動振動腕２ａ，２ｂの断面形状と、駆動振動腕２ａ，２ｂの表面２ａｆ，２ｂｆに、重心Ｇ２および第２の重心線ＧＬ２が第２の側面１４ａ，１６ａ側に位置するように配置された錘部５６ａ，５６ｂとにより、駆動振動腕２ａ，２ｂの主振動方向（Ｘ軸方向）の断面二次モーメントに対して、斜め方向の断面二次モーメントを大きくすることができる。これにより、駆動振動腕２ａ，２ｂが斜め方向に振動する、いわゆるウォークタイプ振動（斜め振動）を起こり難くすることができる。したがって、主振動に対する影響（例えばＣＩ値などの振動特性）を生じさせることなく、容易にウォークタイプ振動（斜め振動）を抑制することができる。
なお、駆動振動腕２ａ，２ｂの表面２ａｆ，２ｂｆは、幅広部５２ａ，５２ｂの表面５４ｆ，５５ｆと言い換えることができ、この場合の側面とは、第１の側面５４ｂ，５５ｂおよび第２の側面５４ａ，５５ａである。
【００７７】
また、駆動振動腕２ａ，２ｂと、検出振動腕３ａ，３ｂとが、基部１の同一軸方向（Ｙ軸方向）の両端部から反対方向にそれぞれ延伸されていることから、駆動系および検出系の振動腕を基部１によって分離することができる。このように駆動系と検出系が分離されることにより、駆動系と検出系の電極間あるいは配線間の静電結合が低減され、検出感度を安定させることができる。また、二つの検出振動腕３ａ，３ｂから出力される信号を測定することにより、容易に角速度を検出することができる。
【００７８】
３．ジャイロ素子の製造方法
次に、上述した振動片の第１実施形態に係るジャイロ素子３００の製造方法の一例を、図７Ａ、および図７Ｂを参照して説明する。図７Ａは、第１実施形態に係るジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）の製造方法を示す工程フロー図である。図７Ｂは、ジャイロ素子の製造方法における錘部の調整方法の一例を示す説明図である。なお、図７Ｂでは、一方の駆動振動腕２ａの錘部５６ａを例示して説明するが、他方の駆動振動腕２ｂの錘部５６ｂにおいても適用することができる。また、以下の説明では、ジャイロ素子３００の構成部位については、図１から図５を参照し、同符号を用いて説明する。また、以下に説明する製造方法は、一例であって、他の製造方法を適用してジャイロ素子３００を製造することもできる。
【００７９】
図７Ａの工程フロー図に示すように、ジャイロ素子３００の製造方法は、以下の工程を含む。ジャイロ素子３００の製造方法は、基材を準備する工程（ステップＳ１１０）と、駆動振動腕に錘部を形成する工程（ステップＳ１２０）と、錘部の質量を変化させ、検出信号を調整する工程（ステップＳ１３０）と、を含んでいる。なお、基材を準備する工程（ステップＳ１１０）は、基板を準備する工程（ステップＳ１１０ａ）と、外形を形成する工程（ステップＳ１１０ｂ）と、電極を形成する工程（ステップＳ１１０ｃ）と、を含んでいる。以下、工程フローに沿って、各工程の詳細について順次説明する。
【００８０】
［基材を準備する工程（ステップＳ１１０）］
先ず、基材を準備する工程（ステップＳ１１０ｂ）では、ジャイロ素子３００の基材となる基板（水晶ウェハー）を用意する（ステップＳ１１０ａ）。基板を用意する工程（ステップＳ１１０ａ）において、基板（水晶ウェハー）は、水晶結晶軸であるＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸からなる直交座標系において、Ｘ軸およびＹ軸で規定される平面に沿って切り出されて平板状に加工され、平面と直交するＺ軸方向に所定の厚さを有した所謂水晶Ｚ板（水晶基板）である。なお、基板（水晶ウェハー）は、切り出した水晶Ｚ板を所定の厚みに切断研磨することによって形成する。そして、例えばドライエッチング法などを用いることによって、用意された水晶Ｚ板（水晶基板）である基板（水晶ウェハー）をエッチング加工し、ジャイロ素子３００の外形形状を形成する（ステップＳ１１０ｂ）。
【００８１】
なお、外形形状を形成する（ステップＳ１１０）では、ドライエッチング法を用いてジャイロ素子３００の外形形状を形成することが好ましい。ドライエッチング法を用いることにより、後述するような、水晶基板（水晶ウェハー）の表裏面に対して所定の角度に傾斜させた外形（例えば側面や貫通孔の内壁面）を、容易に形成することができる。
【００８２】
このとき、外形形状の断面、即ち駆動振動腕２ａ，２ｂの二つの側面（第１の側面１４ｂ，１６ｂおよび第２の側面１４ａ，１６ａ）などは、駆動振動腕２ａ，２ｂの表面２ａｆ，２ｂｆとの交差角α，βによって、表面２ａｆ，２ｂｆに対して傾斜させて形成する。以下、詳細に説明する。
【００８３】
幅広部５２ａ，５２ｂを含む駆動振動腕２ａ，２ｂの、＋Ｘ方向側に向いた第１の側面１４ｂ，１６ｂは、表面２ａｆ，２ｂｆに対して、交差角である第１交差角αを有するように傾けて形成する。また、駆動振動腕２ａ，２ｂの−Ｘ方向側に向いた第２の側面１４ａ，１６ａは、表面２ａｆ，２ｂｆに対して、交差角である第２交差角βを有するように傾けて形成する。
【００８４】
さらに詳述すると、図２に示されているように、第１の側面１４ｂ，１６ｂは、第１の側面１４ｂ，１６ｂに概ね沿った第２仮想線ｋｓ２０と、表面２ａｆ，２ｂｆに沿った第１仮想線ｋｓ１０との交差角である第１交差角αを、９０°未満（α＜９０°）として形成する。また、第２の側面１４ａ，１６ａは、第２の側面１４ａ，１６ａに概ね沿った第３仮想線ｋｓ３０と、表面２ａｆ，２ｂｆに沿った第１仮想線ｋｓ１０との交差角である第２交差角βを、９０°以上（β≧９０°）として形成する。
【００８５】
なお、幅広部５２ａ，５２ｂの第１の側面５４ｂ，５５ｂおよび第２の側面５４ａ，５５ａにおいても、図３に示されているように、上述の駆動振動腕２ａ，２ｂと同様な傾斜（第１交差角α、第２交差角β）を有して形成する。
【００８６】
次に、外形形状が画定されたジャイロ素子３００の電極を形成する（ステップＳ１１０ｃ）。電極を形成する工程（ステップＳ１１０ｃ）では、外形形状が画定されたジャイロ素子３００の基材において露出している面（外表面）に、後に電極となる導電材料としての金属膜を、例えば、スパッタリング法や蒸着法などを用いて形成する。金属膜を構成する材料としては、例えば、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等の金属材料、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）等の導電材料を用いることができる。また、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、ニッケル（Ｎｉ）などの下地層を設けてもよい。そして、フォトリソグラフィー法やドライエッチング法などを用いることによって、所定のパターンの電極を形成する。
【００８７】
このような、基板（水晶ウェハー）を用意する工程（ステップＳ１１０ａ）、外形を形成する工程（ステップＳ１１０ｂ）、電極を形成する工程（ステップＳ１１０ｃ）を含む基材を準備する工程（ステップＳ１１０）によって、外形形状および電極が画定されたジャイロ素子３００の基材が準備される。
【００８８】
［駆動振動腕に錘部を形成する工程（ステップＳ１２０）］
次に、駆動振動腕２ａ，２ｂに錘部５６ａ，５６ｂを形成する工程（ステップＳ１２０）では、駆動振動腕２ａ，２ｂの先端部に設けられた幅広部５２ａ，５２ｂに、例えば金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銅（Ｃｕ）、チタン（Ｔｉ）、ニッケル（Ｎｉ）などの金属材料を用いて形成する。なお、錘部５６ａ，５６ｂは、例えば、真空蒸着法やスパッタリング法などを適用することによって形成することができる。
【００８９】
錘部５６ａ，５６ｂは、図３に示されているように、錘部５６ａ，５６ｂの設けられていない場合の駆動振動腕２ａ，２ｂの重心Ｇ１を通り、Ｙ軸に沿った第１の重心線ＧＬ１に対して、錘部５６ａ，５６ｂを設けたときの駆動振動腕２ａ，２ｂの第２の重心線ＧＬ２が、駆動振動腕２ａ，２ｂ（幅広部５２ａ，５２ｂ）の第２の側面１４ａ，１６ａ（幅広部５２ａ，５２ｂでは、第２の側面５４ａ，５５ａ）側に位置するように形成する。なお、錘部５６ａ，５６ｂを設けたときの駆動振動腕２ａ，２ｂの第２の重心線ＧＬ２は、後述する錘部の質量を変化させ、検出信号を調整する工程（ステップＳ１３０）による、レーザー光などの照射による錘部５６ａ，５６ｂの一部の除去によって、遷移させることもできる。
【００９０】
［錘部の質量を変化させ、検出信号を調整する工程（ステップＳ１３０）］
次に、検出信号を調整する工程（ステップＳ１３０）では、駆動振動腕２ａ，２ｂの先端の幅広部５２ａ，５２ｂに設けられている錘部５６ａ，５６ｂの質量を変化させ、検出信号を調整する。この工程では、駆動振動腕２ａ，２ｂを振動させた状態で、図７Ｂに示すように幅広部５２ａの錘部５６ａに対して、例えばレーザー光などを照射することによって、錘部５６ａの一部を徐々に除去し、質量を変化させる。なお、図７Ｂでは、幅広部５２ａ，５２ｂの内、一方の幅広部５２ａを例示している。このとき、ジャイロ素子３００は、Ｙ軸回りに回転していない状態、換言すれば、Ｙ軸回りの角速度ωが加わっていない状態である。そして、駆動振動腕２ａ，２ｂを励振させた状態で、検出振動腕３ａ，３ｂの検出電極（第１検出電極２１ａ〜第８検出電極３２ｂ）に発生する信号を計測しながら錘部５６ａ，５６ｂの質量を変化させ、信号が小さくなるように調整することにより、不要振動である、例えばウォークタイプ振動（斜め振動）を抑制する。また、駆動振動腕２ａ，２ｂの振動特性を示す検出信号として、例えば駆動振動腕２ａ，２ｂの振動のし易さを示す特性指標としてのＣＩ（Crystal Impedance）値を検出し、ＣＩ値が小さくなるように調整することもできる。
【００９１】
なお、レーザー光の照射は、図７Ｂに示すように、第１の側面５４ｂ側から第２の側面５４ａ側に向かって行う。これによって、第１の側面５４ｂ側の錘部５６ａｓが除去され、残った錘部５６ａを含めた駆動振動腕２ａの第２の重心線ＧＬ２を、第２の側面５４ａ側に遷移させることができる。詳細には、図３に示されているように、残った錘部５６ａは、駆動振動腕２ａの重心Ｇ２を通り、Ｙ軸に沿った第１の重心線ＧＬ１に対して、錘部５６ａを含めた駆動振動腕２ａの第２の重心線ＧＬ２が、幅広部５２ａの第２の側面５４ａ側に位置するように設けられる。
【００９２】
上述したジャイロ素子３００の製造方法によれば、駆動振動腕２ａ，２ｂを励振させた状態で、検出振動腕３ａ，３ｂの検出電極（第１検出電極２１ａ〜第８検出電極３２ｂ）に発生する信号を計測しながら錘部５６ａ，５６ｂの質量を変化させ、例えば信号が小さくなるように調整することにより、不要振動であるウォークタイプ振動（斜め振動）を抑制する。このように、例えばウォークタイプ振動（斜め振動）などの不要振動を、容易に抑制することができる。
【００９３】
また、ジャイロ素子３００の製造方法によれば、駆動振動腕２ａ，２ｂの表面２ａｆ，２ｂｆとの交差角（第１交差角α、第２交差角β）を有して二つの側面（第１の側面１４ｂ，１６ｂおよび第２の側面１４ａ，１６ａ）が形成され、駆動振動腕２ａ，２ｂの表面２ａｆ，２ｂｆの第１の重心線ＧＬ１が第２の側面１４ａ，１６ａ側に位置する第２の重心線ＧＬ２となるように錘部５６ａ，５６ｂが形成される。これにより、駆動振動腕２ａ，２ｂの主振動方向（Ｘ軸方向）の断面二次モーメントに対して、斜め方向の断面二次モーメントを大きくすることができる。これにより、駆動振動腕２ａ，２ｂが斜め方向に振動する、即ちウォークタイプ振動（斜め振動）を、容易に抑制することができる。
【００９４】
（変形例）
なお、上述の第１実施形態の駆動振動腕２ａ，２ｂ（幅広部５２ａ，５２ｂ）では、駆動振動腕２ａ，２ｂの表面２ａｆ，２ｂｆとの交差角が、第１交差角αと第２交差角βとを有し、互いに平行な第１の側面１４ｂ，１６ｂおよび第２の側面１４ａ，１６ａが設けられた、いわゆる平行四辺形の断面形状を例示したが、断面形状はこれに限らない。以下、図８を参照して、断面形状の変形例を説明する。図８は、駆動振動腕２ａ，２ｂ（幅広部５２ａ，５２ｂ）の断面形状の変形例を示す断面図である。なお、図８では、幅広部５２ａを一例として示している。
【００９５】
断面形状の変形例としては、図８に示すように、第１変形例としての幅広部５２ａ１や第２変形例としての幅広部５２ａ２などを例示することができる。第１変形例としての幅広部５２ａ１は、第２の側面５４ａと第１の側面５４ｂとが、平行でない断面形状を有している。また、第２変形例としての幅広部５２ａ２は、第２の側面５４ａの交差角である第２交差角βが９０°であり、第１の側面５４ｂの交差角である第１交差角αが、９０°未満である断面形状を有している。
【００９６】
また、錘部５６ａ，５６ｂは、第２の側面５４ａの交差角である９０°以上（β≧９０°）の第２交差角β側に、第２の重心線ＧＬ２が遷移するように配置されればよく、錘部５６ａ，５６ｂの配置、および形状は、以下のような種々の変形例を例示することができる。以下、図９を参照して錘部５６ａ，５６ｂの配置、および形状の変形例を説明する。なお、図９では、幅広部５２ａおよび錘部５６ａに係る変形例を順次示している。
【００９７】
錘部５６ａ，５６ｂの変形例としては、図９に示すような変形例の錘部５６ａ２，５６ａ３，５６ａ４，５６ａ５，５６ｃ，５６ｃ１，５６ｃ２，５６ｓ，５６ｗを例示することができる。
（１）錘部５６ａ２は、第２の側面５４ａの第２交差角β側に偏った矩形状の厚肉部を備えている。
（２）錘部５６ａ３は、第２交差角β側に配置された厚肉部５６ｈと、厚肉部５６ｈから第２交差角βの反対側に延在した薄肉部５６ｔとを備えている。
（３）錘部５６ａ４は、第２交差角β側に配置された質量の大きな厚肉部５６ｈと、厚肉部５６ｈから第２交差角βの反対側に第１の側面５４ｂまで延在した薄肉部５６ｔとを備えている。
（４）錘部５６ａ５は、第２交差角β側に配置された質量の大きな厚肉部５６ｈと、厚肉部５６ｈから第２交差角βの反対側に第１の側面５４ｂまで延在し、中途に凸部５６ｐを備えた薄肉部とを備えている。
（５）錘部５６ｃは、第２の側面５４ａの第２交差角β側に偏った半球状の厚肉部を備えている。
（６）錘部５６ｃ１は、第２交差角β側に配置された半球状の厚肉部と、厚肉部から第２交差角βの反対側に裾を引いた薄肉部とを備えている。
（７）錘部５６ｃ２は，第２交差角β側にあって、第２交差角β側に裾引きの薄肉部を有する半球状の厚肉部を備えている。
（８）錘部５６ｓは、第２の側面５４ａの第２交差角β側に偏った、先端部が細く尖った厚肉部を備えている。
（９）錘部５６ｗは、第２の側面５４ａの第２交差角β側に偏った半球状の厚肉部５６ｃと、第２交差角βと半球状の厚肉部５６ｃに対して反対側に設けられた二つの質量の小さな半球状の突部５６ｐを備えている。
【００９８】
なお、上述の実施形態では、錘部５６ａ，５６ｂを駆動振動腕２ａ，２ｂの端部に配置されている幅広部５２ａ，５２ｂの表面５４ｆ，５５ｆに設ける構成で説明したが、これに限らない。錘部５６ａ，５６ｂは、例えば幅広部５２ａ，５２ｂ以外の駆動振動腕２ａ，２ｂの表面２ａｆ，２ｂｆまたは裏面２ａｒ，２ｂｒに設けることが可能である。
【００９９】
（第２実施形態）
次に、本発明の振動デバイスの第２実施形態に係るジャイロセンサーについて、図１０を参照しながら説明する。図１０は、本発明に係る振動デバイスの第２実施形態に係るジャイロセンサーの概略構成を示す正断面図である。図１０に示す振動デバイスの第２実施形態に係るジャイロセンサー６００では、前述の第１実施形態で説明したジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）３００を備えた構成を例示している。
【０１００】
図１０に示すように、ジャイロセンサー６００は、パッケージ６１０の凹部に、ジャイロ素子３００を収容し、パッケージ６１０の開口部を蓋体６１６により密閉し、内部を気密に保持されている。パッケージ６１０は、平板状の第１基板６１１と、第２基板６１２と、枠状の第３基板６１３と、実装端子６１４とが積層・固着されて形成されている。実装端子６１４は、第１基板６１１の外部底面に複数形成されている。第２基板６１２は、第１基板６１１の上面に積層され、ジャイロ素子３００を離間させるための凹陥部６１９と、ジャイロ素子３００を支持する支持部６１７とを備えている。なお、第２基板６１２の上面には、実装端子６１４と接続された配線やジャイロ素子３００の電極との接続配線などが設けられているが図示を省略している。第３基板６１３は、中央部が除去された環状体であり、第１基板６１１および第２基板６１２と併せてジャイロ素子３００を収容するキャビティー６２０が形成される。
【０１０１】
第１基板６１１、第２基板６１２、および第３基板６１３は、絶縁性を有する材料で構成されている。このような材料としては、特に限定されず、例えば、酸化物系セラミックス、窒化物系セラミックス、炭化物系セラミックス等の各種セラミックスを用いることができる。また、パッケージ６１０に設けられた、例えば前述の配線や接続配線などの各電極、端子（不図示）、あるいはそれらを電気的に接続する配線パターンや層内配線パターン（不図示）などは、一般的に、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）などの金属配線材料を絶縁材料上にスクリーン印刷して焼成し、その上にニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）などのめっきを施すことにより形成される。
【０１０２】
蓋体６１６は、パッケージ６１０の開口を塞ぎ、封止材６１５により接合されることで、パッケージ６１０のキャビティー６２０を気密封止している。蓋体６１６は、例えばコバール合金などの金属材料で形成することができる。
【０１０３】
パッケージ６１０のキャビティー６２０内に収納されたジャイロ素子３００は、支持部６１７の上面側に接合部材６１８を介して接続されている。接合部材６１８は、例えば、導電性接着剤などの導電性の接合部材を用いることにより、電気的な接続を図るとともに機械的な接続を行うことができる。
【０１０４】
上述したジャイロセンサー６００によれば、駆動振動腕２ａ，２ｂと、検出振動腕３ａ，３ｂとが、基部１の同一軸方向（Ｙ軸方向）の両端部から反対方向にそれぞれ延伸され、主振動に対する影響を生じさせることなく、容易にウォークタイプ振動（斜め振動）が抑制されたジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）３００がパッケージ６１０内に収納されているため、外乱などの影響を受け難くなることも含めて、角速度の検出特性などを安定化することが可能となる。
【０１０５】
（電子機器）
次に、図１１、図１２、および図１３を参照して、前述の実施形態に係る振動片を備えた電子機器について説明する。なお、以下の説明では、振動片の一例としてジャイロ素子３００を用いた例について説明する。図１１、図１２、および図１３は、ジャイロ素子３００を備える電子機器の一例を示す斜視図である。
【０１０６】
図１１は、電子機器としてのデジタルビデオカメラ１０００にジャイロ素子３００を適用した例を示す。図１１に示すデジタルビデオカメラ１０００は、受像部１１００、操作部１２００、音声入力部１３００、および表示ユニット１４００を備えている。このようなデジタルビデオカメラ１０００に、上述の実施形態のジャイロ素子３００を搭載する手ぶれ補正機能を具備させることができる。
【０１０７】
図１２は、電子機器としての携帯電話機２０００にジャイロ素子３００を適用した例を示す。図１２に示す携帯電話機２０００は、複数の操作ボタン２１００およびスクロールボタン２２００、並びに表示ユニット２３００を備える。スクロールボタン２２００を操作することによって、表示ユニット２３００に表示される画面がスクロールされる。
【０１０８】
図１３は、電子機器としての情報携帯端末（ＰＤＡ：Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ａｓｓｉｓｔａｎｔｓ）３０００にジャイロ素子３００を適用した例を示す。図１３に示すＰＤＡ３０００は、複数の操作ボタン３１００および電源スイッチ３２００、並びに表示ユニット３３００を備える。電源スイッチ３２００を操作すると、住所録やスケジュール帳といった各種の情報が表示ユニット３３００に表示される。
【０１０９】
このような携帯電話機２０００やＰＤＡ３０００に、上述の実施形態のジャイロ素子３００を搭載することにより、様々な機能を付与することができる。例えば、図１２の携帯電話機２０００に、図示しないカメラ機能を付与した場合に、上記のデジタルビデオカメラ１０００と同様に、手振れ補正を行うことができる。また、図１２の携帯電話機２０００や、図１３のＰＤＡ３０００に、ＧＰＳ（Ｇｌｏｂａｌ  Ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍ）として広く知られる汎地球測位システムを具備した場合に、上述の実施形態のジャイロ素子３００を搭載することにより、ＧＰＳによって、携帯電話機２０００やＰＤＡ３０００の位置や姿勢を認識させることができる。
【０１１０】
なお、本発明の実施形態に係るジャイロ素子３００を一例とする振動片は、図１１のデジタルビデオカメラ１０００、図１２の携帯電話機２０００、および図１３の情報携帯端末３０００の他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、タブレット型パーソナルコンピューター、ルーターやスイッチなどのストレージエリアネットワーク機器、ローカルエリアネットワーク機器、移動体端末基地局用機器、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、リアルタイムクロック装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、有線又は無線の通信機能を有し各種のデータを送信可能なガスメーターや水道メーターや電力量計（スマートメーター）等の各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター、ヘッドマウントディスプレイ、モーショントレース、モーショントラッキング、モーションコントローラー、ＰＤＲ（歩行者位置方位計測）等の電子機器に適用することができる。等の電子機器に適用することができる。
【０１１１】
（移動体）
次に、前述の実施形態に係る振動片を備えた移動体について説明する。なお、以下の説明では、振動片の一例としてジャイロ素子３００を用いた例について説明する。図１４は移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。自動車１５００には、ジャイロ素子３００が搭載されている。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車１５００には、ジャイロ素子３００を内蔵してタイヤなどを制御する電子制御ユニット１５１０が車体に搭載されている。また、ジャイロ素子３００は、他にもキーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Ｔｉｒｅ  Ｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｍｏｎｉｔｏｒｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍ）、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム、等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ  Ｃｏｎｔｒｏｌ  Ｕｎｉｔ）に広く適用できる。
【０１１２】
以上、実施の形態について具体的に説明したが、本発明は上記した実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えることが可能である。例えば、上記実施形態および変形例では、振動片あるいは振動片としてのジャイロ素子の形成材料として水晶を用いた例を説明したが、水晶以外の圧電体材料を用いることができる。例えば、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）や、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ3）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ2Ｂ4Ｏ7）、ランガサイト（Ｌａ3Ｇａ5ＳｉＯ14）などの酸化物基板や、ガラス基板上に窒化アルミニウムや五酸化タンタル（Ｔａ2Ｏ5）などの圧電体材料を積層させて構成された積層圧電基板、あるいは圧電セラミックスなどを用いることができる。
【０１１３】
また、ジャイロ素子としては、例示したＨ型ジャイロ素子に限らず、例えばダブルＴ型ジャイロ素子、音叉型ジャイロ素子などの他の形態のジャイロ素子に適用することができる。また、圧電体材料以外の材料を用いて振動片を形成することができる。例えば、シリコン半導体材料などを用いて振動片を形成することもできる。また、振動片の振動（駆動）方式は圧電駆動に限らない。圧電基板を用いた圧電駆動型のもの以外に、静電気力を用いた静電駆動型や、磁力を利用したローレンツ駆動型などの振動片においても、本発明の構成およびその効果を発揮させることができる。
【符号の説明】
【０１１４】
１…基部、２ａ，２ｂ…駆動振動腕、２ａｆ…表面、２ａｒ…裏面、３ａ，３ｂ…検出振動腕、３ｄ，３ｅ，３ｆ，３ｇ…壁部、３ｈ，３ｉ，３ｊ，３ｋ…側面、１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１２ａ，１２ｂ，１２ｃ…駆動電極、１４ａ，１６ａ…第２の側面、１４ｂ，１６ｂ…第１の側面、１５ａ，１７ａ…第２の内壁面、１５ｂ，１７ｂ…第１の内壁面、２１ａ…第１検出電極、２１ｂ…第２検出電極、２２ａ…第３検出電極、２２ｂ…第４検出電極、３１ａ…第５検出電極、３１ｂ…第６検出電極、３２ａ…第７検出電極、３２ｂ…第８検出電極、５２ａ，５２ｂ，５３ａ，５３ｂ…幅広部、５４ａ…第２の側面、５４ｂ…第１の側面、５４ｆ，５５ｆ…表面、５４ｒ，５５ｒ…裏面、５６ａ，５６ｂ…錘部、５８ａ，５８ｂ…貫通孔、５９ａ，５９ｂ…貫通孔、３００…振動デバイスとしてのジャイロ素子、６００…振動デバイスとしてのジャイロセンサー、１０００…電子機器としてのデジタルビデオカメラ、１５００…移動体としての自動車、２０００…電子機器としての携帯電話機、３０００…電子機器としての情報携帯端末（ＰＤＡ）、α…第１交差角、β…第２交差角、ｋｓ１，ｋｓ１０…第１仮想線、ｋｓ２，ｋｓ２０…第２仮想線、ｋｓ３，ｋｓ３０…第３仮想線、ＧＬ１…第１の重心線、ＧＬ２…第２の重心線。
【図１】
2017150964.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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