(57)【要約】 【課題】  簡単な構成で２種類の台車が物品を受け渡しできる搬送システムを提供する。【構成】  搬送システムは、複数の高さの側方位置へ物品を移載自在な第１の台車と、複数の高さの側方位置へ物品を移載自在でかつ下方への物品の移載が自在な第２の台車とを備え、さらに第１の台車の走行路と第２の台車の走行路との間に配置され、かつ第１の台車と第２の台車とが共に物品を移載自在な棚、を有する。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の台車と棚とを備える搬送システムであって、
複数の高さの側方位置へ物品を移載自在な第１の台車と、
複数の高さの側方位置へ物品を移載自在でかつ下方への物品の移載が自在な第２の台車と、
第１の台車の走行路と第２の台車の走行路との間に配置され、かつ第１の台車と第２の台車とが共に物品を移載自在な棚、とを有する搬送システム。
【請求項２】
前記第１の台車は、ロードポートに対応するセルと、他の棚あるいはストッカとの間で物品を搬送するように構成され、
前記第２の台車は、ロードポート及びロードポートに対応するセルの間で、物品を搬送するように構成されている、ことを特徴とする請求項１の搬送システム。
【請求項３】
前記棚は上下１段の棚で、棚での物品の載置面は台車が搬送中の物品の底面よりも所定長だけ低く、
かつ前記第１の台車と前記第２の台車は、共通の高さに物品を保持して走行するように配置されていることを特徴とする、請求項２の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は２種類の台車と棚とを有する搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１（JP4296601B）は、ベイ間搬送用の天井走行車の走行レールの直下にバッファを設けると共に、ベイ間搬送用の走行レールと平行に、ベイ内搬送用の天井走行車の走行レールを設けることを開示している。そしてベイ間搬送用の天井走行車は下方との間で物品を移載でき、ベイ内搬送用の天井走行車は、下方との間及び側方との間で、物品を移載できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】JP4296601B
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この発明の課題は、簡単な構成で２種類の台車が物品を受け渡しできる搬送システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明の搬送システムは、
複数の高さの側方位置へ物品を移載自在な第１の台車と、
複数の高さの側方位置へ物品を移載自在でかつ下方への物品の移載が自在な第２の台車と、
第１の台車の走行路と第２の台車の走行路との間に配置され、かつ第１の台車と第２の台車とが共に物品を移載自在な棚、とを有する。
【０００６】
このようにすると、簡単な構成で第１の台車と第２の台車とが物品を受け渡しできる。
【０００７】
好ましくは、前記第１の台車は、ロードポートに対応するセルと、他の棚あるいはストッカとの間で物品を搬送するように構成され、
前記第２の台車は、ロードポート及びロードポートに対応するセルの間で、物品を搬送するように構成されている。
【０００８】
第１の台車は、棚と棚との間、あるいは棚とストッカとの間の搬送を行うので、高速で物品を搬送できる。またロードポートとの移載のために、昇降台を昇降させながら停止する必要がないので、渋滞を起こすことが少ない。第２の台車は棚とロードポートとの間で物品を搬送するので走行距離が短く、ロードポートに物品を速やかに搬出入できる。
【０００９】
特に好ましくは、前記棚は上下１段の棚で、棚での物品の載置面は台車が搬送中の物品の底面よりも所定長だけ低く、
かつ前記第１の台車と前記第２の台車は、共通の高さに物品を保持して走行するように配置されている。
【００１０】
このようにすると、第１の台車と第２の台車は、短い距離の昇降と横移動とで、棚へ物品を搬出入できる。また第１の台車と第２の台車の一方が棚との間で物品を受け渡ししても、他方の台車の走行に影響しない。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施例の搬送システムの要部拡大平面図
【図２】実施例の搬送システムの要部拡大正面図
【図３】変形例の搬送システムの要部拡大正面図
【図４】実施例の搬送システムの要部平面図
【図５】第１の台車とその走行レールの側面図
【図６】第１の台車とその走行レールの正面図
【図７】第２の台車とその走行レールの側面図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。この発明の範囲は、特許請求の範囲の記載に基づき、明細書の記載とこの分野での周知技術とを参酌し、当業者の理解に従って定められるべきである。
【実施例】
【００１３】
図１〜図７に実施例の搬送システム２を示す。長距離搬送用の走行レール１０に沿って長距離搬送用の第１の台車４が走行し、短距離搬送用の走行レール１２に沿って短距離搬送用の第２の台車６が走行する。走行レール１０，１２は共に支柱１４により建屋の天井９側から支持されている。台車４，６は共に天井走行車であり、横移載装置と昇降装置とを備えて、キャリア８等の物品を搬送しかつ移載する。なお第１の台車４は側方へキャリア（物品）８を移載し、第２の台車６は側方と下方へキャリア（物品）８を移載する。このため第２の台車６はホイストをさらに備えている。またキャリア８は半導体ウェハー、レチクル等のキャリアで、搬送する物品の種類は任意である。
【００１４】
図２に示すように、台車４，６はキャリア８を共通の高さに保持して搬送する。そして走行レール１０，１２間に、台車４，６のいずれからも、横移動と昇降とを組み合わせてキャリア８を移載できるように、上下１段の棚２０が設けられている。２１は棚２０のセル、２２は支柱である。セル２１は台車４，６が搬送中のキャリア８の底面よりも所定長だけ低い載置面を備え、台車４，６はスライドフォーク等の横移載装置を横移動させるとともに短い高さ距離だけキャリア８を昇降させると移載できる。
【００１５】
走行レール１２は処理装置３０のロードポート３２の直上部を通過し、ロードポート３２に対して向き合うセル２１が存在するように、棚２０が走行レール１０，１２間に配置されている。そして長距離搬送用の第１の台車４は、棚２０と、他の棚２０あるいは図示しないストッカ等の間でキャリア８を搬送し、セル２１等とキャリアを受け渡しする。また短距離搬送用の第２の台車６は、棚２０とロードポート３２間でキャリア８を搬送し、セル２１及びロードポート３２との間でキャリア８を移載する。なお図１に示すように、走行レール１０から見て、棚２０の他側方に追加の棚３４を設けても良い。
【００１６】
図３に示すように、１段の棚２０の代わりに上下多段の棚２４を用いても良い。２５〜２７は例えば上下３段のセルで、キャリアの保管個数が増す。
【００１７】
長距離搬送用の走行レール１０はインターベイルートであり、多数台の第１の台車４が走行し、図４のように、ベイ内でＵ字状に配置されている。第１の台車４は、ホイストによりキャリアを昇降させず、棚２０に面した位置での停止時間は短い。このため、第１の台車４が渋滞を起こすことは少ない。
【００１８】
短距離搬送用の走行レール１２は、ベイ内で、長距離搬送用の走行レール１０の外側に配置され、１台〜数台程度の小数の第２の台車６が走行する。短距離搬送用の第１の台車４が渋滞して、ロードポート３２への到着が遅れることは少なく、走行距離が短いので速やかに所要のロードポート３２に到着してキャリアを搬出入できる。短距離搬送用の走行レール１２は１個のベイ内に限って配置しても、図４のように他のベイまで延びるように配置しても良い。
【００１９】
図５，図６は長距離搬送用の第１の台車４の構造を示す。走行台車１５と受電台車１６とが走行レール１０内を走行し、上部フレーム４０は走行台車１５に軸で支持されている。走行方向に沿って前後一対の第１のサイドプレート５０，５０が上部フレーム４０に支持され、サイドプレート５０に設けられたガイドレール５１に沿って、リニアガイド５２と共に第２のサイドプレート５５が昇降する。横移載装置のスライドフォーク４２を大きなストロークで昇降させるため、第２のサイドプレート５５にさらにガイドレール５６を設けて、リニアガイド５７を昇降させる。
【００２０】
回動機構６０は一対のリニアガイド５７，５７に固定されて昇降し、回動機構６０の下部にスライドフォーク４２が取り付けられている。回動機構６０によりスライドフォーク４２を回動させて、ロードポートに合わせた向きにする。なお回動機構６０は設けなくても良い。そしてスライドフォーク４２では、ベースプレート４３が回動機構６０に固定され、トッププレート４５が第１の台車４の走行方向に水平面内で直角な方向に沿って両側に進退自在で、ミドルプレート４４はトッププレート４５の１/２のストロークで同様に両側に進退する。またトッププレート４５の底部にチャック４６が設けられ、キャリア８のフランジ４８を保持する。なおスライドフォーク４２の代わりにスカラアーム等を用いても良い。図１，図２の棚２０では、スライドフォーク４２の昇降ストロークが小さくても良いので、第２のサイドプレート５５〜リニアガイド５７は設けなくても良い。さらにキャリア８の横移動と昇降を並行して行っても良い。図５，図６に鎖線で、キャリア８を下降させると共に側方へ進出させた姿を示す。
【００２１】
図７は第２の台車６の構造を示す。走行レール１２内に図示しない走行台車と受電台車とを設け、２重のサイドプレート５０，５５とガイドレール５１，５６及びリニアガイド５２，５７により、回動機構６０とスライドフォーク４２を昇降させる。また回動機構６０によりスライドフォーク４２を回動させる。ロードポート３２との間でキャリア８を受け渡すため、トッププレート４５の底部にホイスト６２を設け、ベルト６３等の吊持材により、チャック４６を備える昇降台６４昇降させる。なお回動機構６０は設けなくても良い。図１，図２の棚２０では昇降ストロークが小さくても良いので、第２のサイドプレート５５〜リニアガイド５７は設けなくても良い。スライドフォーク４２はスカラアーム等の他の横移載装置でも良く、キャリア８の横移動と昇降を並行して行っても良い。
【００２２】
実施例には以下の特徴がある。
1)  棚２０を走行レール１０，１２間に配置することにより、第１の台車４は長距離搬送に専念し、第２の台車６は棚２０とロードポート３２間の短距離搬送に専念できる。
2)  棚２０，２４を用いた簡単な構造で、第１の台車４と第２の台車６がキャリアを受け渡しできる。
3)  短距離搬送用の走行レール１２は、少数の第２の台車６しか必要としないので、第２の台車６の渋滞が少ない。
4)  長距離搬送用の第１の台車４はホイストを必要としないので、高速でキャリアを搬送できる。
5)  台車４，６は同じ高さレベルでキャリアを搬送するので、棚２０へ横移動と短い距離の昇降で、棚２０へキャリアを移載できる。また台車４，６の一方が棚２０との間で物品を受け渡ししても、他方の台車の走行に影響しない。
【符号の説明】
【００２３】
２          搬送システム
４          第１の台車
６          第２の台車
８          キャリア
９          天井
１０，１２  走行レール
１４        支柱
１５        走行台車
１６        受電台車
２０        棚
２１        セル
２２        支柱
２４        多段棚
２５〜２７  セル
３０        処理装置
３２        ロードポート
３４        棚
４０        上部フレーム
４２        スライドフォーク
４３        ベースプレート
４４        ミドルプレート
４５        トッププレート
４６        チャック
４８        フランジ
５０，５５  サイドプレート
５１，５６  ガイドレール
５２，５７  リニアガイド
６０        回動機構
６２        ホイスト
６３        ベルト
６４        昇降台     
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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