(57)【要約】      （修正有）【課題】切断精度を高め、適用範囲を広範にする。【解決手段】固定テーブル６ａ上においてシート材Ｓを拘束する下パレット１０、上パレット２０と、シート材Ｓを吸着する吸着パッド６ｄ、６ｄ…と、下パレット１０、上パレット２０と一体のシート材Ｓを切断する回転刃とを備える。縦横のガイド溝を有する下パレットをテーブル上にクランプし、シート材を下パレット上に吸着して保持し、縦または横の一方向のガイド溝を有する上パレットを下パレット上にクランプしてシート材を拘束し、下パレット、上パレットの互いに対応するガイド溝に沿って下パレット、上パレットと一体のシート材を回転刃により切断する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
縦横のガイド溝を有する下パレットをテーブル上にクランプし、シート材を下パレット上に吸着して保持し、縦または横の一方向のガイド溝を有する上パレットを下パレット上にクランプしてシート材を拘束し、下パレット、上パレットの互いに対応するガイド溝に沿って下パレット、上パレットと一体のシート材を回転刃により切断することを特徴とするシート材の切断方法。
【請求項２】
シート材の切断後、シート材を吸着しながら上パレットを縦または横の他方向のガイド溝を有する別の上パレットと組換し、下パレット、上パレットと一体のシート材を再度切断することを特徴とする請求項１記載のシート材の切断方法。
【請求項３】
シート材を拘束するためのテーブルを固定テーブルとし、シート材を切断するためのテーブルを可動テーブルとすることを特徴とする請求項１または請求項２記載のシート材の切断方法。
【請求項４】
テーブルと、該テーブル上においてシート材を拘束する下パレット、上パレットと、シート材を前記下パレット上に吸着して保持する吸着パッドと、前記下パレット、上パレットと一体のシート材を切断する回転刃とを備えてなり、前記下パレットは、縦横のガイド溝を有し、前記上パレットは、縦または横の一方向のガイド溝を有し、前記回転刃は、前記下パレット、上パレットの互いに対応するガイド溝に沿ってシート材を切断することを特徴とするシート材の切断装置。
【請求項５】
縦または横の他方向のガイド溝を有する別の上パレットをさらに備え、シート材の切断後、前記上パレットを前記別の上パレットと組換してシート材を再度切断することを特徴とする請求項４記載のシート材の切断装置。
【請求項６】
前記テーブルは、シート材を拘束するための固定テーブルと、シート材を切断するための可動テーブルとに分離することを特徴とする請求項４または請求項５記載のシート材の切断装置。
【請求項７】
請求項４ないし請求項６のいずれか記載のシート材の切断装置と、シート材を吸着して搬送するシート材搬送装置と、前記下パレット、上パレットを搬送するパレット搬送装置とを備えてなるシート材の切断システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、難切削性のシート材を切断加工する際に有用なシート材の切断方法と、その装置、それを使用するシート材の切断システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば金属半導体用のウエーハや、焼結磁石などの焼結体、各種の繊維強化複合材料などの難切削性のシート材は、ダイヤモンドソーなどの回転刃（いわゆる外周スライサ）を用いて切断加工するのが普通である。
【０００３】
回転刃により切断加工するシート材は、適切な定盤などに安定に固定することが必要不可欠である。切断加工中のシート材が不安定であると、切断精度が低下するばかりでなく、回転刃やシート材が周囲に飛散したりして極めて危険な事態になりかねないからである。そこで、シート材を縦横のガイド溝付きの平坦な吸着治具の表面に吸着させたり、水平に対向する一対のガイド溝付きのチャック間にシート材を挟持したりして、切断加工の対象となるシート材を安定に保持することが提案されている（特許文献１、２）。なお、シート材を平坦な使い捨ての支持基板上に接着して固定する方法は、古くから知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２０２３１１号公報
【特許文献２】特開２００７−４４８０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
かかる従来技術の前者によるときは、吸着によって実現し得るシート材の保持力が必ずしも十分でなく、切断加工中にシート材が横ずれして切断精度を損うおそれがあり、後者によるときは、適用対象がチャックの挟持力に耐え得る剛性のシート材に限られるため、一般的な薄い平板状のシート材に適用することが必ずしも容易でなく、適用範囲が極めて狭いという問題があった。また、シート材を接着する方法は、接着剤の硬化時間が長く、作業効率がよくない上、支持基板や接着剤の消費に伴うランニングコストの問題がある。
【０００６】
そこで、この発明の目的は、かかる従来技術の問題に鑑み、ガイド溝を有する下パレット、上パレットの間にシート材を挟み込んで拘束したまま切断加工することによって、切断精度が高い上、適用範囲が広範であり、格別な消費材を要しないシート材の切断方法と、その装置、それを使用するシート材の切断システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
かかる目的を達成するための請求項１の発明の構成は、縦横のガイド溝を有する下パレットをテーブル上にクランプし、シート材を下パレット上に吸着して保持し、縦または横の一方向のガイド溝を有する上パレットを下パレット上にクランプしてシート材を拘束し、下パレット、上パレットの互いに対応するガイド溝に沿って下パレット、上パレットと一体のシート材を回転刃により切断することをその要旨とする。
【０００８】
なお、シート材の切断後、シート材を吸着しながら上パレットを縦または横の他方向のガイド溝を有する別の上パレットと組換し、下パレット、上パレットと一体のシート材を再度切断することができ、シート材を拘束するためのテーブルを固定テーブルとし、シート材を切断するためのテーブルを可動テーブルとすることができる。
【０００９】
請求項４の発明の構成は、テーブルと、テーブル上においてシート材を拘束する下パレット、上パレットと、シート材を下パレット上に吸着して保持する吸着パッドと、下パレット、上パレットと一体のシート材を切断する回転刃とを備えてなり、下パレットは、縦横のガイド溝を有し、上パレットは、縦または横の一方向のガイド溝を有し、回転刃は、下パレット、上パレットの互いに対応するガイド溝に沿ってシート材を切断することをその要旨とする。
【００１０】
なお、縦または横の他方向のガイド溝を有する別の上パレットをさらに備え、シート材の切断後、上パレットを別の上パレットと組換してシート材を再度切断することができ、テーブルは、シート材を拘束するための固定テーブルと、シート材を切断するための可動テーブルとに分離することができる。
【００１１】
請求項７の発明の構成は、請求項４ないし請求項６のいずれかのシート材の切断装置と、シート材を吸着して搬送するシート材搬送装置と、下パレット、上パレットを搬送するパレット搬送装置とを備えることをその要旨とする。
【発明の効果】
【００１２】
かかる請求項１の発明の構成によるときは、切断対象としてのシート材は、テーブル上にクランプされている下パレット上に吸着して保持された上、下パレット上にクランプする上パレットと下パレットとの間に挟み込まれて拘束されるため、少なくとも上パレットを介して拘束されるまでの間に不用意に横ずれしてしまうおそれがない。また、回転刃により切断加工中のシート材は、依然として上パレットを介して下パレット上に継続して拘束されており、同様に横ずれするおそれがない。よって、シート材は、十分高い切断精度を容易に実現することができる上、薄い平板状である限り、適用範囲に何ら格別な制約がなく、格別な消費材も不要である。ただし、上パレットには、たとえばばねを介して下パレット上のシート材を押圧して拘束する複数の押圧部材が内蔵されている。そこで、シート材は、その厚さに拘らず、上パレットの押圧部材を介して必要十分に強力に拘束することができる。
【００１３】
シート材の切断後、上パレットを別の上パレットと組換してシート材を再度切断することにより、シート材を縦横の２方向に切断することができる。各上パレットは、縦または横の相異なる一方向のガイド溝を有し、回転刃は、各上パレットのガイド溝の方向にシート材を切断することができるからである。なお、このときも、下パレット上のシート材は、組換後の別の上パレットと下パレットとの間に挟み込まれて拘束される。
【００１４】
シート材を拘束するためのテーブルを固定テーブルとし、シート材を切断するためのテーブルを可動テーブルとすれば、シート材を拘束する際の吸着パッドの使用環境と、シート材を切断する際の回転刃用の切削液の供給環境とを物理的に分離し、全体としての動作信頼性を向上させることができる。なお、可動テーブルは、回転刃によるシート材の縦横の切断加工に便利なように、回転刃と平行に直線往復移動するとともに水平旋回可能とする。一方、固定テーブル、可動テーブルに分離しないときの共通のテーブルは、シート材の拘束、切断の双方に共用するものとし、固定テーブルとして切断方向可変の回転刃と組み合わせてもよく、可動テーブルとして切断方向一定の回転刃と組み合わせてもよい。ただし、いずれの場合も、吸着パッドの使用環境、切削液の供給環境を時間的物理的に適切に区分するための対策を併用することが好ましい。
【００１５】
請求項４の発明の構成によるときは、請求項１の発明を円滑に実施することができる。なお、縦または横の他方向のガイド溝を有する別の上パレットをさらに備えれば、シート材を縦横の２方向に切断することができ、テーブルを固定テーブル、可動テーブルに分離すれば、全体の動作信頼性を向上させることができる。
【００１６】
請求項７の発明の構成によるときは、シート材の切断装置と、シート材搬送装置、パレット搬送装置とを組み合わせることにより、シート材の切断システムを構築することができる。ただし、シート材搬送装置は、切断前のシート材の搬入動作、切断済のシート材の搬出動作が可能であり、パレット搬送装置は、シート材に適合する下パレット、上パレットをパレットストッカに対して個別に搬出入する他、下パレット、上パレットと一体の切断前後のシート材を所定位置に搬送することができる。なお、シート材の切断システムには、下パレット、上パレット用のパレットストッカや、切断前のシート材に識別文字などを印字する印字部を設ける他、シート材を拘束するための下パレット、上パレットの組付、分解、上パレットの組換などを実行するパレット処理部をシート材の切断装置の一部として設けることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】全体構成模式平面図
【図２】全体動作フローチャート
【図３】シート材の加工状態説明図
【図４】要部動作説明図（１）
【図５】要部動作説明図（２）
【図６】要部動作説明図（３）
【図７】要部動作説明図（４）
【図８】下パレットの構成説明図
【図９】要部動作説明図（５）
【図１０】上パレットの構成説明図（１）
【図１１】要部動作説明図（６）
【図１２】要部動作説明図（７）
【図１３】要部動作説明図（８）
【図１４】上パレットの構成説明図（２）
【図１５】要部動作説明図（９）
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を以って発明の実施の形態を説明する。
【００１９】
シート材の切断システムは、シート材の切断装置９と、シート材搬送装置２、パレット搬送装置５とを備えてなる（図１）。
【００２０】
シート材の切断装置９は、パレット処理部６、切断部７を組み合せて構成されている。また、シート材搬送装置２のレール２ａに沿って排出部８、投入部１、印字部３、パレット処理部６が配置され、パレット搬送装置５のレール５ａに沿って、パレットストッカ４、パレット処理部６、切断部７が配置されている。なお、シート材の切断システムの全体動作は、たとえば図２のフローチャートのとおりである。そこで、以下、図２のフローチャートに従って説明する。
【００２１】
まず、切断対象のシート材Ｓを準備する（図３（Ａ））。切断前のシート材Ｓは、任意のサイズの薄い方形の平板状であり、位置決め用の便宜のために、縦横の中心線Ｓa 、Ｓb が表示されている。
【００２２】
つづいて、シート材Ｓを手動または自動で投入部１の位置決めテーブル１ａ上に投入する（図２のステップ（１）、以下、単に（１）のように記す、図１の矢印Ｋ1 方向、図４）。ただし、図４（Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ上面図、正面図である。
【００２３】
位置決めテーブル１ａには、シート材Ｓを吸着して保持する吸着パッド１ｂ、１ｂ…が組み込まれている。また、位置決めテーブル１ａの上面には、シート材Ｓの位置決め用のマークとしてシート材Ｓの中心線Ｓa 、Ｓb に対応する基線１ｃ、１ｄが表示されている。そこで、シート材Ｓは、中心線Ｓa 、Ｓb を基線１ｃ、１ｄに合わせるようにして位置決めテーブル１ａ上に正しく位置決めして投入すると、吸着パッド１ｂ、１ｂ…を介して位置決めテーブル１ａ上に安定に保持される（図３（Ｂ））。ただし、図３（Ｂ）において、位置決めテーブル１ａ上の基線１ｃ、１ｄは、シート材Ｓの上下左右の位置決めマークＭa 、Ｍa 、Ｍb 、Ｍb として表示されている。
【００２４】
次に、シート材搬送装置２を介してシート材Ｓを投入部１から印字部３に搬送し（図５（Ａ）〜（Ｃ））、シート材Ｓの表面に所定の識別文字Ａ1 、Ａ2 …を印字する（（２）、図３（Ｃ））。なお、図３（Ｃ）の識別文字Ａ1 、Ａ2 …は、シート材Ｓを中心線Ｓa 、Ｓb に沿って切断した後の各切片を識別するためのものであり、図示の文字は、単なる一例である。
【００２５】
シート材搬送装置２の下向き平板状の搬送ヘッド２ｂには、シート材Ｓを吸着する吸着パッド２ｃ、２ｃ…が組み込まれている（図１、図５）。そこで、シート材搬送装置２は、搬送ヘッド２ｂを投入部１の位置決めテーブル１ａ上に移動させ（図５（Ａ））、位置決めテーブル１ａ上のシート材Ｓを吸着させた上（図５（Ｂ））、印字部３の印字テーブル３ａ上に搬送して移載することができる（図５（Ｃ））。ただし、印字部３の印字テーブル３ａにも、シート材Ｓを吸着する吸着パッド３ｂ、３ｂ…が組み込まれている。
【００２６】
なお、図５（Ａ）のように、位置決めテーブル１ａ上のシート材Ｓを搬送ヘッド２ｂ側に吸着させるときは、搬送ヘッド２ｂを位置決めテーブル１ａ上のシート材Ｓの表面に密着させ、搬送ヘッド２ｂ側の吸着パッド２ｃ、２ｃ…を作動させた後に位置決めテーブル１ａ側の吸着パッド１ｂ、１ｂ…を解放させる。また、図５（Ｃ）のように、搬送ヘッド２ｂに吸着されているシート材Ｓを印字テーブル３ａ側に移載するときは、搬送ヘッド２ｂを介してシート材Ｓを印字テーブル３ａ上に置き、印字テーブル３ａ側の吸着パッド３ｂ、３ｂ…を作動させた後に搬送ヘッド２ｂ側の吸着パッド２ｃ、２ｃ…を解放させる。すなわち、いずれの場合も、相対向する２部材のそれぞれに組み込まれている吸着パッド１ｂ、２ｃ、３ｂの前二者、後二者の各一対がともに解放される機会をなくし、シート材Ｓの不用意な位置ずれを防止する。なお、このような一連の動作手順は、吸着パッドを有する２部材間に物品を授受するすべての場合に適用可能である。
【００２７】
そこで、印字テーブル３ａ上にシート材Ｓが吸着されて保持されると、印字部３は、たとえばインクジェットタイプの印字ヘッド３ｃを駆動して（図６の実線、二点鎖線）、シート材Ｓ上に識別文字Ａ1 、Ａ2 …を印字する（（２）、図３（Ｃ））。
【００２８】
つづいて、パレット処理部６の固定テーブル６ａ上において、下パレット１０、シート材Ｓ、縦切断用の上パレット２０をこの順に組付する（（３）、図７（Ａ））。ただし、下パレット１０、上パレット２０は、いずれもシート材Ｓに適合するものとし、搬送ヘッド５ｂを有するパレット搬送装置５を介してパレットストッカ４から固定テーブル６ａ上に順次搬入される（図１、図２）。また、シート材Ｓは、印字部３にて識別文字Ａ1 、Ａ2 …を印字して、シート材搬送装置２により印字部３から固定テーブル６ａ上の下パレット１０上に搬入される。
【００２９】
下パレット１０は、方形の本体部１１の周囲にフランジ部１２を付設して構成されている（図８）。ただし、図８（Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ上面図、正面図である。
【００３０】
本体部１１の上面には、縦横のガイド溝１３、１３…、１４、１４…が形成されている。また、本体部１１には、丸孔１５、１５…が上下に貫通されている。フランジ部１２の対辺には、それぞれ上向きのエア式のパレットクランプ１６、下向きのクランプ受け１７が配置され、各辺上のパレットクランプ１６、クランプ受け１７は、互いに配置位置が逆になっている。なお、フランジ部１２の各辺には、パレットクランプ１６に連通するエア用の自動連結形のオートカプラ１８が下向きに取り付けられている。
【００３１】
固定テーブル６ａ上には、下パレット１０側のクランプ受け１７、１７、オートカプラ１８、１８にそれぞれ対応する上向きのパレットクランプ６ｂ、６ｂ、オートカプラ６ｃ、６ｃが配設され（図７（Ａ））、下パレット１０側の丸孔１５、１５…に対応する吸着パッド６ｄ、６ｄ…が立設されている。そこで、パレット搬送装置５を介して下パレット１０を固定テーブル６ａ上に適切に位置決めして搬入すると、固定テーブル６ａ側のパレットクランプ６ｂ、６ｂ、下パレット１０側のクランプ受け１７、１７を介して下パレット１０が固定テーブル６ａ上にクランプされる。また、このとき、固定テーブル６ａ側の吸着パッド６ｄ、６ｄ…が下パレット１０の丸孔１５、１５…に進入し、固定テーブル６ａ側のオートカプラ６ｃ、６ｃが下パレット１０側のオートカプラ１８、１８に自動連結される。
【００３２】
なお、パレットクランプ６ｂは、下方のポートからエアを供給すると（図９（Ａ）の矢印Ａ方向）、ばね６ｂ1 に抗してピストン６ｂ2 と一体の笠形のプッシャ６ｂ3 が引き下げられ、ボール６ｂ4 、６ｂ4 …が内向きに収納可能となるため、クランプ受け１７の係合用の段付き穴１７ａに対して着脱自在に解放される。また、パレットクランプ６ｂは、ポートに加えるエアが消失すると（図９（Ｂ））、ばね６ｂ1 を介してプッシャ６ｂ3 が上昇し、ボール６ｂ4 、６ｂ4 …がクランプ受け１７の段付き穴１７ａの最上方のリング状の係合部に押し出され、クランプ受け１７に抜取り不能に連結されてクランプされる。すなわち、パレットクランプ６ｂ、６ｂは、ポートのエアがないときに下パレット１０を固定テーブル６ａ上にクランプし（図７（Ａ））、ポートにエアを加えることにより下パレット１０のクランプを解放する。下パレット１０側のパレットクランプ１６、１６についても同様である。
【００３３】
一方、縦切断用の上パレット２０は、方形の本体部２１の周囲にフランジ部２２を付設して構成されている（図１０）。ただし、図１０（Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ上面図、正面図である。
【００３４】
本体部２１は、下パレット１０の縦のガイド溝１３、１３…に対応する縦のガイド溝２３、２３…を介して区分されている。また、フランジ部２２の対辺には、下パレット１０のパレットクランプ１６、１６に対応する下向きのクランプ受け２４、２４が配設されている。なお、本体部２１の下部は、下パレット１０の本体部１１が収納可能な空間２１ａとなっており、空間２１ａには、各ガイド溝２３を挟むようにして、ばね２５ａを介して下向きに付勢する押圧部材２５、２５…が配設されている（図１０、図１１）。ただし、図１１は、便宜的に、各押圧部材２５、２５を介して下パレット１０上のシート材Ｓを拘束し、切断部７に属する回転刃７ｃによりシート材Ｓを下パレット１０、上パレット２０の縦のガイド溝１３、２３に沿って切断するときの要部拡大図として図示されている。
【００３５】
そこで、固定テーブル６ａ上には、下パレット１０を搬入してパレットクランプ６ｂ、６ｂを介してクランプし（図７（Ｂ））、その後、シート材Ｓを下パレット１０上に搬入して吸着パッド６ｄ、６ｄ…により吸着して保持し、さらに、上パレット２０を下パレット１０、シート材Ｓ上に搬入してパレットクランプ１６、１６を介してクランプする。なお、このとき、下パレット１０上のシート材Ｓは、上パレット２０の押圧部材２５、２５…を介して拘束される。また、各パレットクランプ１６は、自動連結されるオートカプラ６ｃ、１８を介し、必要に応じてエアを供給する。
【００３６】
このようにして下パレット１０、シート材Ｓ、縦切断用の上パレット２０を固定テーブル６ａ上に一体に組付したら、パレット搬送装置５により下パレット１０、シート材Ｓ、上パレット２０を一体のまま固定テーブル６ａから搬出し（図７（Ｃ））、切断部７の可動テーブル７ａ上に搬入してクランプする（図１２（Ａ））。ただし、可動テーブル７ａ上には、下パレット１０側のクランプ受け１７、１７に対応するパレットクランプ７ｂ、７ｂが配置されている。
【００３７】
一方、可動テーブル７ａの上方には、回転刃７ｃが配設されている（図１２（Ｂ）、図１１）。回転刃７ｃは、駆動モータ７ｄとともに、軸方向、上下方向に移動して位置決め可能である（図１２（Ｂ）の実線、二点鎖線）。また、可動テーブル７ａは、図１２（Ｂ）の紙面に垂直方向に直線移動可能であり、水平旋回可能である。そこで、下パレット１０、上パレット２０と一体のシート材Ｓは、回転刃７ｃ、可動テーブル７ａを介して、下パレット１０、上パレット２０の互いに対応する縦のガイド溝１３、１３…、２３、２３…に沿って縦方向に切断することができる（（４）、図３（Ｄ））。ただし、切断中の回転刃７ｃには、ノズル７ｅからの切削液を供給する（図１２（Ｂ））。
【００３８】
その後、パレット搬送装置５を介し、可動テーブル７ａ上の下パレット１０、シート材Ｓ、上パレット２０を搬出してパレット処理部６の固定テーブル６ａ上に搬入してクランプし、上パレット２０を横切断用の上パレット３０と組換する（（５）、図１３（Ａ））。なお、このとき、上パレット２０のクランプを解放するためのパレットクランプ１６、１６用のエアは、各オートカプラ６ｃ、１８を介して供給する。また、上パレット２０を取り外すときは、それに先き立って吸着パッド６ｄ、６ｄ…により下パレット１０上のシート材Ｓを吸着して保持するものとし、上パレット２０は、パレット搬送装置５を介して取り外すと、そのままパレットストッカ４に返送され、パレット搬送装置５は、つづいて横切断用の上パレット３０をパレットストッカ４から搬出して固定テーブル６ａ上に搬送する。
【００３９】
横切断用の上パレット３０は、方形の本体部３１を区分するガイド溝３３、３３…が横方向である点を除き、基本的に縦切断用の上パレット２０と同一に構成されている（図１４（Ａ）、（Ｂ））。ただし、図１４（Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ上面図、正面図であり、図１４の符号３ｉ（ｉ＝１、２…）は、図１０の符号２ｉ（ｉ＝１、２…）に対応している。
【００４０】
そこで、上パレット３０は、固定テーブル６ａ上の下パレット１０のパレットクランプ１６、１６と、クランプ受け３４、３４とを介し、下パレット１０上にクランプして組換を完了することができる（図１３（Ａ））。また、このとき、下パレット１０上のシート材Ｓは、上パレット３０の押圧部材３５、３５…を介して拘束される。その後、パレット搬送装置５は、固定テーブル６ａから下パレット１０、シート材Ｓ、上パレット３０を一体として搬出し（図１３（Ｂ））、切断部７の可動テーブル７ａ上に搬入する。そこで、回転刃７ｃ、可動テーブル７ａを介し、下パレット１０、上パレット３０の互いに対応する横方向のガイド溝１４、１４…、３３、３３…に沿ってシート材Ｓを横方向に切断する（（６）、図３（Ｅ））。ただし、可動テーブル７ａは、シート材Ｓを横方向に切断するに先き立って９０°水平旋回させ、回転刃７ｃによるシート材Ｓの切断方向を変更するものとする。
【００４１】
つづいて、可動テーブル７ａ上の下パレット１０、シート材Ｓ、上パレット３０をパレット搬送装置５により固定テーブル６ａ上に搬出してクランプし、上パレット３０、切断済のシート材Ｓの切片Ｓ1 、Ｓ1 …、下パレット１０をこの順に分解する（（７）、図３（Ｆ）、図１５）。すなわち、まず、パレット搬送装置５により上パレット３０を搬出してパレットストッカ４に戻し入れ、次に、シート材搬送装置２の搬送ヘッド２ｂの吸着パッド２ｃ、２ｃ…により切片Ｓ1 、Ｓ1 …を吸着させて搬出し、さらに、パレット搬送装置５により下パレット１０を搬出してパレットストッカ４に戻し入れる。なお、シート材搬送装置２は、切片Ｓ1 、Ｓ1 …を排出部８に搬送し、切片Ｓ1 、Ｓ1 …は、以後、切断済のシート材Ｓとして手動または自動で外部に排出される（（８）、図１の矢印Ｋ2 方向）。
【００４２】
以上の説明において、図２のステップ（４）、（６）を入れ換えることにより、シート材Ｓの切断方向を縦方向、横方向の順に代えて、横方向、縦方向の順としてもよい。ただし、このとき、ステップ（３）において、下パレット１０とともに横切断用の上パレット３０を組付し、ステップ（５）において、横切断用の上パレット３０を縦切断用の上パレット２０に組換し、ステップ（７）において、縦切断用の上パレット２０とともに下パレット１０をパレットストッカ４に戻し入れる。
【００４３】
また、パレット処理部６、切断部７を統合し、パレット処理部６の固定テーブル６ａ、切断部７の可動テーブル７ａは、共通の可動式のテーブルとてもよく、共通の固定式のテーブルとしてもよい。いずれの場合も、図２のステップ（３）〜（７）を共通のテーブル上で実施することができる。ただし、共通の可動式のテーブルは、可動テーブル７ａと同様に、回転刃７ｃによるシート材Ｓの切断方向の直線移動と、水平旋回とが可能であればよい。また、共通の固定式のテーブルを採用するときは、回転刃７ｃの切断方向を縦横の２方向に選択可能とするとともに、回転刃７ｃを切断方向にも直線移動可能とし、回転刃７ｃの運動だけでシート材Ｓの縦横の切断動作を実現するものとする。なお、図３（Ｄ）、（Ｅ）のシート材Ｓの切断位置は、下パレット１０、上パレット２０、３０の各ガイド溝１３、１４、２３、３３の位置を変更することにより、適宜変更することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
この発明は、金属半導体用のウエーハや、焼結磁石などの焼結体、各種の繊維強化複合材料などの任意の難切削性のシート材を切断加工する際に、広く好適に適用することができる。
【符号の説明】
【００４５】
Ｓ…シート材
２…シート材搬送装置
５…パレット搬送装置
６ａ…固定テーブル
６ｄ…吸着パッド
７ａ…可動テーブル
７ｃ…回転刃
９…シート材の切断装置
１０…下パレット
１３、１４…ガイド溝
２０、３０…上パレット
２３、３３…ガイド溝
特許出願人      技研株式会社
【図１】
2017030086.tif 000003
【図２】
2017030086.tif 000004
【図３】
2017030086.tif 000005
【図４】
2017030086.tif 000006
【図５】
2017030086.tif 000007
【図６】
2017030086.tif 000008
【図７】
2017030086.tif 000009
【図８】
2017030086.tif 000010
【図９】
2017030086.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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