(57)【要約】【課題】モスアイ構造による反射防止物品等に関して、賦型処理により微細凹凸形状を繰り返し転写する場合に、この賦型処理による賦型用樹脂版の劣化を低減する。【解決手段】反射防止を図る電磁波の波長帯域の最短波長以下の間隔で微小突起又は微細穴が密接配置された微細凹凸形状面を備えた凹凸面層２４を備える賦型用樹脂版３０であって、凹凸面層２４の微細凹凸形状面に設けられた厚み１０ｎｍ以上５０ｎｍ以下の金属薄膜２４Ａを備える。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
反射防止を図る電磁波の波長帯域の最短波長以下の間隔で微小突起又は微細穴が密接配置された微細凹凸形状面を備えた凹凸面層を備える賦型用樹脂版であって、
前記凹凸面層の微細凹凸形状面に設けられた厚み１０ｎｍ以上５０ｎｍ以下の金属薄膜とを備える
反射防止物品の賦型用樹脂版。
【請求項２】
前記金属薄膜は、
アルミニウム又は銀による薄膜である
請求項１に記載の反射防止物品の賦型用樹脂版。
【請求項３】
反射防止を図る電磁波の波長帯域の最短波長以下の間隔で微小突起又は微細穴が密接配置された微細凹凸形状を備える賦型用樹脂版の製造方法において、
前記微細凹凸形状に対応する形状を備えた金型原版に、硬化性樹脂を塗工して賦型樹脂層を作製する塗工工程と、
前記賦型樹脂層を硬化させて微細凹凸形状を備えた凹凸面層を作製する硬化工程と、
前記凹凸面層を前記金型原版から剥離する剥離工程と、
前記剥離工程で剥離した前記凹凸面層の表面に、厚み１０ｎｍ以上５０ｎｍ以下により金属薄膜を作製する金属薄膜作製工程とを備える
賦型用樹脂版の製造方法。
【請求項４】
反射防止を図る電磁波の波長帯域の最短波長以下の間隔で微小突起又は微細穴を密接配置した微細凹凸形状を備えた反射防止物品の製造方法において、
前記反射防止物品の微細凹凸形状に対応する微細凹凸形状を備えた金型原版から第１の賦型用樹脂版を作製する第１の賦型用樹脂版作製工程と、
前記第１の賦型用樹脂版から第２の賦型用樹脂版を作製する第２の賦型用樹脂版作製工程と、
前記第２の賦型用樹脂版を使用した賦型処理により前記反射防止物品を作製する賦型工程とを備え、
前記第１の賦型用樹脂版作製工程は、
前記金型原版に硬化性樹脂を塗工して第１の賦型樹脂層を作製する第１の塗工工程と、
前記第１の賦型樹脂層を硬化させて微細凹凸形状を備えた第１の凹凸面層を作製する第１の硬化工程と、
前記第１の凹凸面層を前記金型原版から剥離する第１の剥離工程と、
前記第１の剥離工程で剥離した前記第１の凹凸面層の表面に、厚み１０ｎｍ以上５０ｎｍ以下により金属薄膜を作製する金属薄膜作製工程とを備える
反射防止物品の製造方法。
【請求項５】
前記金属薄膜が、
アルミニウム又は銀による薄膜である
請求項４に記載の反射防止物品の製造方法。
【請求項６】
前記第２の賦型用樹脂版作製工程は、
前記第１の賦型用樹脂版に硬化性樹脂を塗工して第２の賦型樹脂層を作製する第２の塗工工程と、
前記第２の賦型樹脂層を硬化させて前記第１の凹凸面層に対応する第２の凹凸面層を作製する第２の硬化工程と、
前記第２の凹凸面層を第１の賦型用樹脂版から剥離する第２の剥離工程とを備え、
前記第２の凹凸面層により前記第２の賦型用樹脂版を作製し、
前記第２の硬化工程では、
前記第１の賦型用樹脂版とは逆側から紫外線を照射して前記第２の賦型樹脂層を硬化させる
請求項４又は請求項５に記載の反射防止物品の製造方法。
【請求項７】
前記第２の賦型用樹脂版作製工程は、
前記第１の賦型用樹脂版に硬化性樹脂を塗工して第２の賦型樹脂層を作製する第２の塗工工程と、
前記第２の賦型樹脂層を硬化させて前記第１の凹凸面層に対応する第２の凹凸面層を作製する第２の硬化工程と、
前記第２の凹凸面層を第１の賦型用樹脂型から剥離する第２の剥離工程とを備え、
前記第２の硬化工程では、
前記第１の賦型用樹脂版の側から前記第１の賦型用樹脂版を透過させて前記第２の賦型樹脂層に赤外線を照射する
請求項４、請求項５、請求項６の何れかに記載の反射防止物品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、反射防止を図る電磁波の波長帯域の最短波長以下の間隔で多数の微小突起を密接配置して反射防止を図る反射防止物品に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、フィルム形状の反射防止物品である反射防止フィルムに関して、透明基材（透明フィルム）の表面に多数の微小突起を密接して配置することにより、反射防止を図る方法が提案されている（特許文献１〜３参照）。この方法は、モスアイ（ｍｏｔｈ  ｅｙｅ（蛾の目））構造の原理を利用したものであり、入射光に対する屈折率を基板の厚み方向に連続的に変化させ、これにより屈折率の不連続界面を消失させて反射防止を図るものである。
【０００３】
このモスアイ構造に係る反射防止物品では、隣接する微小突起の間隔ｄが、反射防止を図る波長帯域の最短波長Λｍｉｎ以下（ｄ≦Λｍｉｎ）となるよう、微小突起が密接して配置される。また各微小突起は、透明基材に植立するように、さらに透明基材より先端側に向かうに従って徐々に断面積が小さくなるように（先細りとなるように）作製される。
【０００４】
このような反射防止物品に関して、特許文献４には、陽極酸化処理とエッチング処理ととにより微細凹凸構造を備えた金型原版を作成し、この金型原版を使用した賦型処理により反射防止物品の作製に供する賦型用樹脂版を作製する構成が開示されている。またこの特許文献４には、金型原版から第１の賦型用樹脂版を作製し、さらにこの第１の賦型用樹脂版を使用した賦型処理により第２の賦型用樹脂版を作製し、この第２の賦型用樹脂版を使用して反射防止物品を作製する構成が開示されている。この特許文献４に開示の構成によれば、金型原版から多数の賦型用樹脂版を作製できることにより、生産効率を向上することができる。
【０００５】
ところでこのような賦型用樹脂版の作成に使用する賦型処理は、紫外線硬化性樹脂を使用して実行することが一般的である。また紫外線硬化性樹脂は、硬化後、繰り返しの紫外線の照射により劣化して脆くなる。これによりこのように第１の賦型用樹脂版を使用した賦型処理により第２の賦型用樹脂版を作製する場合にあっては、この第２の賦型用樹脂版を作製する際の繰り返しの紫外線の照射により、第１の賦型用樹脂版が徐々に劣化する問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開昭５０−７００４０号公報
【特許文献２】特表２００３−５３１９６２号公報
【特許文献３】特許第４６３２５８９号公報
【特許文献４】特開２００５−１５６６９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、モスアイ構造による反射防止物品等に関して、賦型処理により微細凹凸形状を繰り返し転写する場合に、この賦型処理による賦型用樹脂版の劣化を低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者は、上記課題を解決するために鋭意研究を重ね、賦型処理に供する樹脂版表面に金属薄膜を作製し、賦型処理に供する紫外線を遮光する、との着想に至り、本発明を完成するに至った。
【０００９】
具体的には、本発明では、以下のようなものを提供する。
【００１０】
（１）  反射防止を図る電磁波の波長帯域の最短波長以下の間隔で微小突起又は微細穴が密接配置された微細凹凸形状面を備えた凹凸面層を備える賦型用樹脂版であって、
前記凹凸面層の微細凹凸形状面に設けられた厚み１０ｎｍ以上５０ｎｍ以下の金属薄膜を備える反射防止物品の賦型用樹脂版。
【００１１】
（１）によれば、金属薄膜により、賦型処理時に照射される紫外線を遮光できることにより、紫外線の照射による凹凸面層の劣化を防止することができ、これにより賦型処理による賦型用樹脂版の劣化を低減することができる。
【００１２】
（２）  （１）において、
前記金属薄膜は、
アルミニウム又は銀による薄膜である反射防止物品の賦型用樹脂版。
【００１３】
（２）によれば、より具体的構成により賦型処理による賦型用樹脂版の劣化を低減することができる。またこの構成では、赤外線を透過できることにより、賦型処理時、赤外線を補助光源として利用することができる。
【００１４】
（３）  反射防止を図る電磁波の波長帯域の最短波長以下の間隔で微小突起又は微細穴が密接配置された微細凹凸形状面を備える賦型用樹脂版の製造方法において、
前記微細凹凸形状面に対応する形状を備えた金型原版に、硬化性樹脂を塗工して賦型樹脂層を作製する塗工工程と、
前記賦型樹脂層を硬化させて微細凹凸形状を備えた凹凸面層を作製する硬化工程と、
前記凹凸面層を前記金型原版から剥離する剥離工程と、
前記剥離工程で剥離した前記凹凸面層の表面に、厚み１０ｎｍ以上５０ｎｍ以下により金属薄膜を作製する金属薄膜作製工程とを備える賦型用樹脂版の製造方法。
【００１５】
（３）によれば、金属薄膜により、賦型処理時に照射される紫外線を遮光できることにより、紫外線の照射による凹凸面層の劣化を防止することができ、これにより賦型処理による賦型用樹脂版の劣化を低減することができる。
【００１６】
（４）  反射防止を図る電磁波の波長帯域の最短波長以下の間隔で微小突起又は微細穴を密接配置した微細凹凸形状を備えた反射防止物品の製造方法において、
前記反射防止物品の微細凹凸形状に対応する微細凹凸形状を備えた金型原版から第１の賦型用樹脂版を作製する第１の賦型用樹脂版作製工程と、
前記第１の賦型用樹脂版から第２の賦型用樹脂版を作製する第２の賦型用樹脂版作製工程と、
前記第２の賦型用樹脂版を使用した賦型処理により前記反射防止物品を作製する賦型工程とを備え、
前記第１の賦型用樹脂版作製工程は、
前記金型原版に硬化性樹脂を塗工して第１の賦型樹脂層を作製する第１の塗工工程と、
前記第１の賦型樹脂層を硬化させて微細凹凸形状を備えた第１の凹凸面層を作製する第１の硬化工程と、
前記第１の凹凸面層を前記金型原版から剥離する第１の剥離工程と、
前記第１の剥離工程で剥離した前記第１の凹凸面層の表面に、厚み１０ｎｍ以上５０ｎｍ以下により金属薄膜を作製する金属薄膜作製工程とを備える反射防止物品の製造方法。
【００１７】
（４）によれば、金属薄膜により、第２の賦型用樹脂版作製工程で照射される紫外線を遮光できることにより、紫外線の照射による凹凸面層の劣化を防止することができ、これにより賦型処理による第１の賦型用樹脂版の劣化を低減することができる。
【００１８】
（５）  （４）において、
前記金属薄膜が、
アルミニウム又は銀による薄膜である反射防止物品の製造方法。
【００１９】
（５）によれば、より具体的構成により賦型処理による賦型用樹脂版の劣化を低減することができる。またこの構成では、赤外線を透過できることにより、賦型処理時、赤外線を補助光源として利用することができる。
【００２０】
（６）  （４）又は（５）において、
前記第２の賦型用樹脂版作製工程は、
前記第１の賦型用樹脂版に硬化性樹脂を塗工して第２の賦型樹脂層を作製する第２の塗工工程と、
前記第２の賦型樹脂層を硬化させて前記第１の凹凸面層に対応する第２の凹凸面層を作製する第２の硬化工程と、
前記第２の凹凸面層を第１の賦型用樹脂版から剥離する第２の剥離工程とを備え、
前記第２の凹凸面層により前記第２の賦型用樹脂版を作製し、
前記第２の硬化工程では、
前記第１の賦型用樹脂版とは逆側から紫外線を照射して前記第２の賦型樹脂層を硬化させる反射防止物品の製造方法。
【００２１】
（６）によれば、より具体的構成により、第２の賦型用樹脂版作製工程で照射される紫外線を金属薄膜により遮光できることにより、第１の賦型用樹脂版の劣化を低減することができる。
【００２２】
（７）  （４）又は（５）において、
前記第２の賦型用樹脂版作製工程は、
前記第１の賦型用樹脂版に硬化性樹脂を塗工して第２の賦型樹脂層を作製する第２の塗工工程と、
前記第２の賦型樹脂層を硬化させて前記第１の凹凸面層に対応する第２の凹凸面層を作製する第２の硬化工程と、
前記第２の凹凸面層を第１の賦型用樹脂型から剥離する第２の剥離工程とを備え、
前記第２の硬化工程では、
前記第１の賦型用樹脂版の側から前記第１の賦型用樹脂版を透過させて前記第２の賦型樹脂層に赤外線を照射する反射防止物品の製造方法。
【００２３】
（７）によれば、赤外線を透過する金属薄膜の特性を有効利用して、補助の硬化源を提供することができ、これにより工程設計の自由度を増大させ、さらに硬化に要する時間の短縮により生産効率を向上することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、モスアイ構造による反射防止物品等に関して、賦型処理により微細凹凸形状を繰り返し転写する場合に、この賦型処理による賦型用樹脂版の劣化を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の第１実施形態に係る反射防止物品の説明に供する断面図である。
【図２】図１の反射防止物品に係るレンズシートと賦型用樹脂版との説明に供する図である。
【図３】反射防止物品の製造工程を示すフローチャートである。
【図４】金型原版作製工程を示すフローチャートである。
【図５】図３の各工程の説明に供する断面図である。
【図６】図５の続きの説明に供する断面図である。
【図７】図１の反射防止物品の製造工程の説明に供する断面図である。
【図８】実施例、比較例の説明に供する図である。
【図９】図８の実施例、比較例の透過率を示す特性曲線図である。
【図１０】図９の続きを示す特性曲線図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
〔第１実施形態〕
〔反射防止物品〕
図１（Ａ）は、本発明の第１実施形態に係る反射防止物品を示す断面図であり、図１（Ｂ）は、その反射防止層２側を部分的に拡大して示す断面図である。この反射防止物品１は、曲面による平坦でない面（以下、適宜、非平坦面と呼ぶ）を備えた反射防止物品であり、この曲面の反射を反射防止層２により低減する。より具体的に、反射防止物品１は、この曲面がレンズ面１Ａである微小レンズであり、このレンズ面１Ａに反射防止層２が作製されて反射防止が図られる。
【００２７】
ここで反射防止層２は、モスアイ構造の反射防止面の表面形状による微細凹凸面を備えた反射防止層である。モスアイ構造の反射防止面は、反射防止を図る波長帯域の最短波長Λｍｉｎ以下のピッチにより微小突起を密接配置した構成である。従って反射防止層２は、この微小突起３が、反射防止を図る最短波長以下のピッチにより密接配置された微細凹凸面層を備える。これにより反射防止物品１は、モスアイ構造に係る凹凸形状に比してピッチ及び振幅が大きな非平坦面であるレンズ面１Ａの形状に、モスアイ構造に対応する微細凹凸形状を設けられた表面形状により反射防止層２が形成される。
【００２８】
この反射防止物品１は、レンズとして機能する光学部品であることにより、透明部材によりレンズ面１Ａを備えたレンズ本体４が形成される。これにより反射防止物品１は、例えば撮像素子に、他のレンズと組み合わされて配置され、この撮像素子の撮像面に入射光を集光する。ここでレンズ本体４は、例えば硝材の研磨、ポリカーボネート等の透明樹脂材の射出成型等により作製される。この実施形態において、レンズ本体４は、透明樹脂材料の射出成型による多数個取りにより、複数のレンズ本体４が接続された状態で一体に作製され、この状態で、レンズ本体４に反射防止層２を作製した後、個々にレンズ本体４に分離して効率良く作製される。
【００２９】
より具体的には、図２（Ａ）に示すように、レンズ本体４は、マトリックス状に配置されたレンズ本体４の側面を、シート状の接続部４Ａにより接続したシート形状のレンズ集合体によりレンズシート６が形成される。反射防止物品１は、このレンズシート６に設けられたレンズ本体４に纏めて反射防止層２が作製された後、個々にレンズ本体４に分離して作製される。なおレンズ本体４を個々に分離した後に反射防止層２を作製してもよく、またオンチップの手法により反射防止層２を作製してウエハ状態の実装対象にレンズシート６の形態で配置した後、個々に分離してもよく、種々の手法により作製する場合に広く適用することができる。
【００３０】
なお、図２（Ｂ）は、後述にて詳細する、反射防止物品１を製造するため、つまり、反射防止層２を製造するための第２の賦型用樹脂版１０の一例であり、反射防止層２を作製する側の表面に、反射防止層２の表面形状に対応する微細穴の密接配置による微細凹凸形状を備える。この実施形態における第２の賦型用樹脂版１０は、基材１１上に、凹凸面層用基材１３、凹凸面層１２、が積層されている。
【００３１】
反射防止層２は、賦型処理に使用する透明の賦型樹脂層５を賦型処理して形成される。ここでこの実施形態において、この賦型樹脂層５には、光硬化性樹脂である紫外線硬化性樹脂が適用される。反射防止層２は、レンズ本体４の表面形状であるレンズ面１Ａに対してほぼ一定の厚みにより、レンズ面１Ａに倣った曲面形状によりレンズ本体４側面が作製され、このレンズ面１Ａとは逆側面である表側面に、モスアイ構造による反射防止面の微細凹凸面が設けられる。これによりこの実施形態では、このレンズ面１Ａにおける入出射光に関して、反射光を充分に低減できるように構成される。
【００３２】
なお反射防止層２は、このようなレンズ面に配置する以外に、各種の曲面形状による非平坦面を備えた光学部品に配置する場合、曲面以外の非平坦面を備えた光学部品に配置する場合、さらには平坦面を備えたミラー、回折格子等の光学部品に配置する場合等、種々の光学部品、透明部品、非透明の部材に設けて反射防止を図ることができる。
【００３３】
なお反射防止層２は、規則的に微小突起３を密接配置して作製してもよく、また不規則な配置により微小突起３を作製してもよい。また微小突起３は、複数の頂部を備えるように作製してもよく、１つの頂部を備えるように作製してもよい。なお複数の頂部を備えるように作製した場合、頂部が１つだけの場合に比して、反射防止に係る特性を、高さの異なる微小突起による特性を合成した特性とすることができ、反射防止を図る特性を広帯域化することができる。
【００３４】
ここで規則的に微小突起３を配置する場合、この規則的な配置に係る隣接する微小突起３の間隔は、隣接する微小突起３の頂部の間隔である。これによりこの間隔を、反射を制限する波長帯域の最短波長以下とすることにより、充分に反射防止を図ることができる。これに対して微小突起３を不規則な配置により作製する場合、隣接する微小突起３の頂部における間隔を順次計測して平均値を求め、この平均値を、反射を制限する波長帯域の最短波長以下とすることにより反射防止を図ることができる。しかしながら充分に反射防止を図る観点からは、このようにして求めた平均値と標準偏差とから求められる９９％信頼区間の上限値（平均値（ＡＶ）＋標準偏差（３σ））を、反射を制限する波長帯域の最短波長以下とすることにより一段と確実に反射防止を図ることができる。
【００３５】
なお反射防止層２は、モスアイ構造による反射防止面に代えて、モスアイ構造による反射防止面の反転形状により作製してもよい。この場合、微小突起の密接配置の反転形状である微細穴の密接配置により形成されることにより、隣接する微細穴の深さ方向の頂部間の間隔（平均値又は９９％信頼区間の上限値）を、同様に、反射を制限する波長帯域の最短波長以下とすることにより充分に反射防止を図ることができる。
【００３６】
〔反射防止物品の製造工程〕
図３は、反射防止物品１の製造工程を示すフローチャートである。この製造工程は、金型原版作製工程ＳＰ２において、金型原版（マスタ版）が作製され、続く第１の賦型用樹脂版作製工程ＳＰ３において、金型原版を使用した賦型処理により第１の賦型用樹脂版が作製される。また続く第２の賦型用樹脂版作製工程ＳＰ４において、第１の賦型用樹脂版を使用した賦型処理により上述した第２の賦型用樹脂版が作製される。その後、この実施形態では、反射防止物品賦型工程ＳＰ５において、この第２の賦型用樹脂版を使用した賦型処理により反射防止物品１が生産される。つまり、第１の賦型用樹脂版は、第２の賦型用樹脂版を製造するための中間版となっている。
【００３７】
〔金型原版作製工程ＳＰ２〕
図４は、金型原版の作製工程を示すフローチャートである。ここで金型原版は、少なくとも表面にアルミニウム層が設けられた平板形状による母材の表面を加工して作製される。この作製工程は、電界研磨工程において、電解溶出作用と、砥粒による擦過作用の複合による電解複合研磨法によって基材の表面を超鏡面化する。ここでこの基材には、例えば銅、ステンレス等の金属材料を適用することができるものの、ガラス板材等の透明基材を適用して、基材側からスタンパの作製に供する紫外線の照射を実行できるようにしてもよい。
【００３８】
続いてこの工程は、アルミニウム層形成工程において、基材の表面にアルミニウムをスパッタリングすることにより、純度の高いアルミニウム層を基材表面に作製し、金型原版作製用の母材を形成する。
【００３９】
この工程は、続いて、陽極酸化工程Ａ１、…、ＡＮ、エッチング工程Ｅ１、…、ＥＮを交互に繰り返して母材を処理する。これによりこの工程は、陽極酸化工程Ａ１、…、ＡＮにより母材表面に微細穴を作製し、さらにこの作製した微細穴を掘り進める。またこのようにして作製、掘り進めた微細穴の穴径をエッチング工程Ｅ１、…、ＥＮ、…により拡大し、これにより深さ方向に徐々に先細りとなる形状に微細穴を整形する。
【００４０】
なお陽極酸化工程では、例えば負極に炭素棒、ステンレス板材等を使用する場合のように、アルミニウムの陽極酸化に適用される各種の手法を広く適用することができる。また溶解液についても、中性、酸性の各種溶解液を使用することができ、より具体的には、例えば硫酸水溶液、シュウ（蓚）酸水溶液、リン酸水溶液等を使用することができる。この製造工程は、この陽極酸化工程Ａ１、…、ＡＮにおける、液温、印加する電圧、陽極酸化に供する時間等の管理により、微細な穴をそれぞれ目的とする深さ及び微小突起形状に対応する形状に作製する。
【００４１】
またエッチング工程は、母材をエッチング液に浸漬して実行され、この種の処理に適用される各種エッチング液を広く適用することができる。より具体的には、例えば硫酸水溶液、シュウ酸水溶液、リン酸水溶液等を使用することができる。なお陽極酸化処理に用いる溶解液と同じ液を、電圧印加無しで用いることにより、溶解液をエッチング液としても兼用してもよい。
【００４２】
この製造工程では、陽極酸化工程Ａ１、…、ＡＮ、エッチング工程Ｅ１、…、ＥＮの交互の繰り返しによりモスアイ構造に対応する微細凹凸形状を母材表面に作製すると、母材を洗浄、乾燥し、これにより金型原版２１が完成する。
【００４３】
〔第１の賦型用樹脂版作製工程ＳＰ３〕
図５は、続く第１の賦型用樹脂版作製工程ＳＰ３の説明に供する断面図である。金型原版作製工程ＳＰ２で金型原版２１を作製すると、続いて、第１の賦型用樹脂版作製工程ＳＰ３における塗工工程ＳＰ３−１において、図５（Ａ）に示すように、賦型用樹脂材の塗工液をダイ等により基材２３に塗工し、賦型樹脂層２２を作製する。ここで賦型樹脂層２２は、賦型処理によりモスアイ構造に係る微細凹凸面を作製する樹脂層であり、凹凸面層用基材２３は、賦型樹脂層２２の支持体である。なおこの塗工液の塗工については、ダイによる場合に限らず、各種の手法を適用することができる。
【００４４】
凹凸面層用基材２３は、賦型樹脂層２２を支持する支持体である。凹凸面層用基材２３は、この種の賦型処理に適用可能な各種のフィルム材、シート材を適用することができ、光硬化性樹脂により凹凸面層２４を作製する場合には、ＰＥＴフィルム、ＴＡＣフィルム等の透明樹脂材を適用することが好ましい。なおこの場合、光硬化性樹脂の硬化に供する光に対して透明であれば、基材２３側から硬化に供する光を照射することができ、工程設計の自由度を向上することができる。
【００４５】
なお、凹凸面層用基材２３と賦型樹脂層２２との間には、密着力を強化する密着力強化層等を設けるようにしてもよく、さらには粗面化処理等の密着力強化処理を実行してもよい。
【００４６】
賦型樹脂層２２は、金型原版２１からの賦型処理によって、微細凹凸形状を備える凹凸面層２４が作製される賦型樹脂層であり、モスアイ構造による微小突起に対応する微細穴が密接配置した微細凹凸形状がこの賦型処理により表面に作製される。これにより凹凸面層２４は、賦型処理に適用可能な各種の硬化性樹脂材料により形成される。ここでこの硬化性樹脂は、例えば光硬化性樹脂を適用することができ、さらには紫外線硬化性樹脂を適用することができる。
【００４７】
硬化性樹脂材料の成分としては、エチレン性不飽和結合を有する化合物を含む組成物であることが好ましく、（メタ）アクリレートを含む組成物であることがより好ましい。硬化性樹脂組成物は、少なくとも硬化性の樹脂材料成分を含有していればよく、必要に応じて、さらに他の成分を含有してもよい。また第１の賦型用樹脂版３０の損傷を防止し、充分に柔軟性を確保する観点から、炭素数１２以上の長鎖アルキル基を有する化合物を含有することが好ましい。
【００４８】
（メタ）アクリレートは、（メタ）アクリロイル基を１分子中に１個有する単官能（メタ）アクリレートであっても、（メタ）アクリロイル基を１分子中に２個以上有する多官能アクリレートであってもよく、単官能（メタ）アクリレートと多官能（メタ）アクリレートとを併用するものであってもよい。中でも、硬化物が上記物性を満たし、高屈折率部が柔軟性と弾性復元性を両立する点から、単官能（メタ）アクリレートと多官能（メタ）アクリレートとを併用することが好ましい。
【００４９】
単官能（メタ）アクリレートの具体例としては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、アリル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、ブトキシエチル（メタ）アクリレート、ブトキシエチレングリコール（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、グリセロール（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、イソボニル（メタ）アクリレート、イソデキシル（メタ）アクリレート、イソオクチル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、２−メトキシエチル（メタ）アクリレート、メトキシエチレングリコール（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、ドデシル（メタ）アクリレート、トリデシル（メタ）アクリレート、ビフェニロキシエチルアクリレート、ビスフェノールＡジグリシジル（メタ）アクリレート、ビフェニリロキシエチル（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド変性ビフェニリロキシエチル（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡエポキシ（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらの単官能（メタ）アクリル酸エステルは、１種単独で、又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００５０】
単官能（メタ）アクリレートの含有量は、硬化性樹脂組成物の全固形分に対して、５〜４０質量％であることが好ましく、１０〜３０質量％であることがより好ましい。
【００５１】
また、多官能アクリレートの具体例としては、例えば、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレンジ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、テトラブロモビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＳジ（メタ）アクリレート、ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、フタル酸ジ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド変性ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、トリス（アクリロキシエチル）イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ウレタントリ（メタ）アクリレート、エステルトリ（メタ）アクリレート、ウレタンヘキサ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート等が挙げられる。中でも、柔軟性及び復元性に優れる点から、アルキレンオキサイドを含む多官能（メタ）アクリレートを用いることが好ましく、エチレンオキサイド変性多官能（メタ）アクリレートを用いることがより好ましく、エチレンオキサイド変性ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、及び、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレートの少なくとも１種を含むことがさらにより好ましい。
【００５２】
上記多官能（メタ）アクリレートの含有量は、硬化性樹脂組成物の全固形分に対して、１０〜７０質量％であることが好ましく、１５〜６５質量％であることがより好ましい。
【００５３】
硬化性樹脂組成物は、必要に応じて光重合開始剤を含有してもよい。当該光重合開始剤の含有量は、通常、硬化性樹脂組成物の全固形分に対して１〜２０質量％であり、２〜１０質量％であることが好ましい。また、樹脂組成物には離型剤（離型性を有する材料）を添加することが好ましい。特に樹脂版からの剥離応力が大きい場合は樹脂詰まりによる樹脂版寿命の低下を招くため、必要に応じてシリコン系、フッ素系、リン酸エステル系などの公知の離型剤から適宜選定して使用することができる。またこれら離型剤は樹脂組成物の架橋構造に固定されるものや遊離した状態で存在するものを用途に応じて選定できる。
【００５４】
その他の添加物としては帯電防止剤や、紫外線吸収剤、赤外線吸収剤、光安定化剤、酸化防止剤などを複数添加することができる。帯電防止剤は加工プロセスや使用時のほこり付着防止に有効であり、紫外線吸収剤、赤外線吸収剤、光安定化剤、酸化防止剤は耐久性向上に有効である。光を吸収する材料を添加する場合は、賦型処理に使用する光の透過等に影響を与えないよう配慮が必要である。また、硬化性樹脂組成物は環境への配慮から溶剤を実質的に含有しないことが好ましいが、基材への密着や粘度調整、面質改善などを考慮して溶剤を含有するものであってもよい。溶剤を含有する場合は基材ないし樹脂版に樹脂を塗布後、溶剤を乾燥させた後に賦型する。
【００５５】
凹凸面層２４は、賦型対象（この実施形態では金型原版２１である）への押圧時、賦型対象の表面形状に倣うように変形し、賦型対象の除去により元の形状に復帰するように、柔軟性、復元性を有する材料により形成される。これによりこの実施形態では、反射防止物品の表面に損傷を与えることのないようにして反射防止物品を作製することができる。また賦型対象の表面形状に倣うように賦型用金型の表面形状が変形することにより、この賦型対象の表面形状を損なうことなく反射防止層を作製することができ、これにより意図する表面形状にモスアイ構造による反射防止層を作製することができる。また復元性により、押圧の終了により元の形状に戻り、これにより繰り返しの賦型処理に使用して、反射防止物品の表面に損傷を与えることなく、意図する曲面形状にモスアイ構造による賦型を行うことができる。
【００５６】
具体的に、この実施形態において、凹凸面層２４は、硬化性樹脂の硬化物により形成され、この硬化物は、温度２５℃における貯蔵弾性率（Ｅ’）が１×１０８Ｐａ以上５×１０９Ｐａ以下であり、かつ温度２５℃における貯蔵弾性率（Ｅ’）に対する損失弾性率（Ｅ”）の比（ｔａｎδ（＝Ｅ”／Ｅ’））が０．３以下であるように作製される。このように作製することにより、凹凸面層２４の損傷を抑制し、離型性を向上し、離型時の変形についても抑制することができる。なお温度２５℃における貯蔵弾性率（Ｅ’）は、好ましくは２×１０８Ｐａ以上４×１０９Ｐａ以下であることが望ましい。
【００５７】
すなわち電子線リソグラフィで作成した微細構造体を金型として用いて検討したところ、硬化性樹脂の貯蔵弾性率（Ｅ’）が５×１０９Ｐａよりも大きいと、離型に必要な荷重が大きくなり、高アスペクト比の部分（面内方向に対して厚み方向の変化の大きい部分）の樹脂が折れることがあった。これは金型の中で硬化した樹脂が金型から抜ける際にある程度変形する必要があることに起因するものと推定される。一方、貯蔵弾性率（Ｅ’）が１×１０８Ｐａよりも小さいと剥離はし易いものの容易に変形するため、離型時の樹脂の伸びに耐え切れず破断したり、耐久性が低下したりすることがあることが分かった。さらに硬化した樹脂のｔａｎδが０．３を越える場合には、離型時の変形が元に戻らなかったり、外部からの力が加わった時に隣り合う高屈折率部がくっついたりすることがあるとの知見を得た。
【００５８】
これらにより凹凸面層２４に係る樹脂材料は、上述した条件を満足することが好ましい。なお貯蔵弾性率（Ｅ’）及び損失弾性率（Ｅ”）は、ＪＩＳ  Ｋ７２４４に準拠して、以下の方法により測定される。まず、試験対象に２０００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を１分以上照射することにより十分に硬化させて、基材及び凹凸形状を有しない、厚さ１ｍｍ、幅５ｍｍ、長さ３０ｍｍの単膜による試験片を作製する。次いで、温度２５℃において、試験片の長さ方向に１０Ｈｚ、１０ｇの周期的外力を加えて動的粘弾性を測定し、これにより温度２５℃における貯蔵弾性率（Ｅ’）及び損失弾性率（Ｅ”）を求めた。測定装置は、例えば、ＵＢＭ製  Ｒｈｅｏｇｅｌ  Ｅ４００を用いることができる。
【００５９】
なお試験対象に圧子を押し込み、貯蔵弾性率（Ｅ’）、損失弾性率（Ｅ”）及びｔａｎδを求めようにしてもよい。この場合、測定装置は、例えば、Ｈｙｓｉｔｒｏｎ社製ＴＩ９５０  ＴＲＩＢＯＩＮＤＥＮＴＥＲ＋ｎａｎｏＤＭＡＩＩＩなどを使用することができる。
【００６０】
ここで凹凸面層１２に係る硬化性樹脂材料は、硬化後に上記物性が得られるものが好ましく、また設計した対象波長の光を透過することができれば、硬化後に目視で色がついていても実用上問題はない。
【００６１】
凹凸面層２４は、充分な柔軟性を確保して、賦型対象の外形形状に倣った形状を確保できるように、厚み２０μｍ以上１００μｍ以下により、好ましくは厚み３０μｍ以上９０μｍ以下により、さらにより好ましくは厚み４０μｍ以上７０μｍ以下により作製される。
【００６２】
続いてこの製造工程は、押圧ローラ等により、原版２１に凹凸面層用基材２３を加圧押圧し、これにより凹凸面層用基材２３に賦型用樹脂材を充分に密着させると共に、金型原版２１に形成された微細な凹部に賦型用樹脂材を充分に充填する（図５（Ｂ））。この状態で、続く硬化工程ＳＰ３−２において、紫外線の照射により賦型用樹脂材を半硬化させ、これにより微細な表面凹凸形状を硬化した賦型用樹脂材により作製して凹凸面層２４を作製する。
【００６３】
ここで賦型用樹脂材を充分に硬化させた場合、金型原版２１に形成されたモスアイ構造に係る微細穴が、硬く変形し難い材料であるバルブ金属酸化物の陽極酸化、エッチングにより作製されていることにより、凹凸面層２４と一体に凹凸面層用基材２３を剥離する際に、金型原版２１の表面に形成された微細凹凸形状を損傷させる恐れがある。そこでこの実施形態では、半硬化状態により凹凸面層２４を作製した後、凹凸面層用基材２３と一体に剥離する。
【００６４】
ここでこの半硬化状態は、硬化状態に比して柔軟性を備えた状態であり、これにより原版の損傷を有効に回避することができ、その結果、安定かつ確実に原版から多数の賦型用樹脂版を作製することができる。ここで凹凸面層２４の半硬化状態は、凹凸面層２４を凹凸面層用基材２３と一体に原版２１から剥離する際に、原版２１の表面から転写された微細凹凸形状を保持するのに充分な硬度を保ちつつ、かつ剥離時における応力によっては原版２１の表面の微細凹凸形状に損傷を与えない程度に柔軟性を保つことように設定される。より具体的に、硬度により硬化状態を表して本硬化を１００％とした場合、硬化状態が５０％以上８０％以下となるように、より好ましくは６０％以上７０％以下となるように紫外線が照射される。
【００６５】
尚、硬化状態の測定は、賦型用樹脂におけるラジカル重合性不飽和基の反応率で求めることができ、フーリエ変換赤外分光光度計（ＦＴ−ＩＲ）を使用し、硬化前後のＦＴ−ＩＲチャートのラジカル重合性不飽和基の特性ピークの消失割合から測定することができる。より具体的には、本願実施例の紫外線硬化アクリル樹脂において基準値を約１７３０［ｃｍ−１］に定め、特性ピークを８１０［ｃｍ−１］として消失割合を測定した値である。
【００６６】
このようにして半硬化状態により凹凸面層２４を作製すると、この製造工程は、剥離工程ＳＰ３−３において、凹凸面層２４と一体に凹凸面層用基材２３を剥離する（図５（Ｃ））。続いて積層工程ＳＰ３−４において、このようにして剥離した凹凸面層２４と凹凸面層用基材２３の積層体を第１の賦型用樹脂版３０の基材２６に積層する（図５（Ｄ））。なおこの製造工程は、このようにして基材２６の表面に凹凸面層２４と凹凸面層用基材２３との積層体を配置する際に、紫外線硬化性樹脂等により接着剤層を設けて配置する。
【００６７】
さらに続く本硬化工程ＳＰ３−５において、紫外線（ＵＶ）の照射により、及び又は熱硬化により、凹凸面層２４を本硬化させる。ここでこのように本硬化することにより、この第１の賦型用樹脂版３０を使用した賦型処理により第２の賦型用樹脂版１０を多数作製する場合に、第１の賦型用樹脂版３０の信頼性、寿命を確保することができる。
【００６８】
［金属薄膜作製工程］
次に、本発明の特徴である、第２の賦型用樹脂版１０表面への金属薄膜作製工程について説明する。凹凸面層２４を本硬化させると、続く金属薄膜作製工程ＳＰ３−６において、図５（Ｅ）に示すように、凹凸面層２４に金属薄膜２４Ａを作製する。ここで金属薄膜２４Ａは、アルミニウム、銀等の金属材料により、厚み１０ｎｍ以上５０ｎｍ以下により作製される。なお金属薄膜２４Ａの金属材料は、特に限定されることなく、アルミニウム、銀、銅、金、及び、これらの合金等を用いることができる。ここでこのように可視光域の電磁波の最短波長以下の間隔で微小突起又は微細穴を密接配置した微細凹凸形状面に、厚み１０ｎｍ以上５０ｎｍ以下により配置した金属薄膜２４Ａは、紫外線に対する反射率が高く、これにより紫外線に対して遮光率が高い特徴がある。またさらに波長２０００ｎｍ以下７８０ｎｍ以上の赤外線域においては、透過率が高い特徴がある。なお金属薄膜は、蒸着、スパッタリング等により作製することができる。
【００６９】
これによりこの実施形態では、このようして作製した第１の賦型用樹脂版３０を使用して第２の賦型用樹脂版を多数作製する場合に、第１の賦型用樹脂版３０における凹凸面層２４の、第２の賦型用樹脂版を作製する際の紫外線の照射による損傷を充分に低減し、賦型用樹脂版３０を長寿命化する。また必要に応じて、この第２の賦型用樹脂版１０を作製する際の紫外線硬化性樹脂の硬化時、第１の賦型用樹脂版３０を透過させて赤外線を照射し、第２の賦型用樹脂版における賦型樹脂層の硬化を促進させる。
【００７０】
なおこのように金属薄膜２４Ａを作製することにより、第１の賦型用樹脂版３０は、金属薄膜２４Ａを作製しない場合に比して、凹凸面層１２の機械的強度を向上することができる。またこの種の賦型処理では、剥離に要する力を低減する目的で、界面活性剤等による離型剤を設ける場合があるものの、このように金属薄膜２４Ａを設けた場合には、この離型剤を金属薄膜２４Ａの表面に留めおくことができ、これにより離形性を向上することができる。なお金属薄膜は、第２の賦型用樹脂版１０に設けるようにしてもよい。
【００７１】
この実施形態では、このようして金属薄膜２４Ａを作製して、１つの金型原版２１から多数の第１の賦型用樹脂版３０を作製する。つまり、この製造工程は、この第１の賦型用樹脂版作製工程を必要に応じて繰り返し、これにより１つの原版から多数の第１の賦型用樹脂版３０を作製する。
【００７２】
〔第２の賦型用樹脂版作製工程ＳＰ４〕
このようにして第１の賦型用樹脂版３０を作製すると、この製造工程は、続く第２の賦型用樹脂版作製工程ＳＰ４の塗工工程ＳＰ４−１において、図６（Ａ）に示すように、紫外線硬化性樹脂を塗工して賦型樹脂層３１を作製し、さらに第２の賦型用樹脂版に係る凹凸面層用基材１３を配置する。さらに続く硬化工程ＳＰ４−２において、紫外線の照射により賦型樹脂層２２を硬化させ、凹凸面層１２を作製する。
【００７３】
この硬化の際に、図６（Ｂ）に示すように、この実施形態では、凹凸面層用基材１３に紫外線に対して透明なフィルム材を適用して、凹凸面層用基材１３の側から紫外線（ＵＶ）を照射し、これにより賦型樹脂層３１を効率良く硬化させる。すなわちこの場合、凹凸面層用基材１３を透過して入射した紫外線と、賦型樹脂層３１を透過した後、金属薄膜２４Ａで反射する紫外線とにより賦型樹脂層３１を硬化させることができ、これにより紫外線を効率良く利用して硬化させることができる。またこのようにして照射して賦型樹脂層３１を透過して第１の賦型用樹脂版３０の表面に到来する紫外線を、金属薄膜２４Ａによる反射により遮光し、これにより第１の賦型用樹脂版３０における凹凸面層２４の損傷を有効に回避して長寿命化でき、中間版として樹脂版を用いても、多数の第２の賦型用樹脂版１０を効率よく安定的に多数製造することができる。
【００７４】
またこのとき、第１の賦型用樹脂版３０の側に赤外線（ＩＲ）の照射源を配置し、第１の賦型用樹脂版３０を透過させて第２の賦型用樹脂版に係る賦型樹脂層３１に赤外線（ＩＲ）を照射し、これにより賦型樹脂層３１の硬化を促進させる。
【００７５】
このようにして賦型樹脂層３１を硬化させることにより、この工程は、第２の賦型用樹脂版に係る凹凸面層１２を作製する。
【００７６】
この工程は、続く剥離工程Ｓ４−３において、凹凸面層１２を凹凸面層用基材１３と一体に剥離した後、積層工程ＳＰ４−４において、図６（Ｃ）に示すように、第２の賦型用樹脂版１０に係る基材１１に配置し、これにより第２の賦型用樹脂版１０が作製される。
【００７７】
この第２の賦型用樹脂版１０の基材１１、凹凸面層用基材１３、賦型樹脂層３１（凹凸面層１２）としては、それぞれ、前述の第１の賦型用樹脂版３０にて説明した基材２３や基材２６、凹凸面層用基材２３、賦型樹脂層２２（凹凸面層２４）、と同様のものを用いることができるが、両者は、必要に応じて異なる材料を適用してもよい。
【００７８】
ここで基材１１は、この種の賦型処理用の樹脂版に使用することが可能な各種の部材を適用することができ、例えば銅、アルミ、各種の鋼材等による金属材料、ガラス材等を適用することができる。賦型樹脂層２Ａに、紫外線硬化性樹脂等の光硬化性樹脂を使用する場合、基材１１は、ガラス板等の透光性の材料を適応することにより賦型用樹脂版１０側からも紫外線等の、賦型樹脂層２Ａの硬化に供する光を照射することができる。これにより紫外線の照射量等を広い範囲で簡易かつ種々に設定、変更することができ、これにより工程設計の自由度を高めることができる。
【００７９】
特に、この第２の賦型用樹脂版１０において、第１の賦型用樹脂版３０の凹凸面層２４と同様にして凹凸面層１２を構成して、貯蔵弾性率（Ｅ’）及び貯蔵弾性率（Ｅ’）に対する損失弾性率（Ｅ”）の比ｔａｎδを上述した値とすることにより、反射防止物品１の賦型処理において、レンズ面１Ａの表面形状に倣うように、凹凸面層１２を変形させ、その後、元の表面形状に復帰させることができ、これにより非平坦面を備えた反射防止物品を、非平坦面の形状を損なうことなく、効率良く生産することができる。
【００８０】
〔反射防止物品賦型工程ＳＰ５〕
反射防止物品賦型工程ＳＰ５では、レンズシート製造工程において、射出成型によりレンズシート６（図２）が作製される。また第２の賦型用樹脂版１０を使用したレンズシート６への賦型処理により反射防止層２が作製される（図１）。このためこの製造工程は、図７（Ａ）に示すように、反射防止層２の作製に使用する光硬化性樹脂が賦型用樹脂版１０に塗布されて賦型樹脂層２Ａが形成される。なお第２の賦型用樹脂版１０に賦型樹脂層２Ａを作製する代わりに、レンズシート６側に賦型樹脂層２Ａを作製してもよく、賦型用樹脂版１０とレンズシート６の双方に賦型樹脂層２Ａを作製してもよい。賦型用樹脂の塗布は、ダイコート法等、この種の樹脂層の作製に使用する種々の手法を適用することができる。
【００８１】
続いてこの製造工程は、図７（Ｂ）に示すように、押圧ローラを使用した押圧等により、第２の賦型用樹脂版１０にレンズシート６を充分に押し付け、これにより賦型樹脂層２Ａに係る未硬化状態で液状の紫外線硬化性樹脂をレンズシート６に充分に密着させると共に、賦型用樹脂版１０に作製された微細な凹部に充分に充填する。この実施形態では、この押圧により、レンズ面１Ａの表面形状に倣うように、凹凸面層１２を変形させる。
【００８２】
さらにこのように凹凸面層１２を変形された状態で、紫外線（ＵＶ）の照射により賦型樹脂層２Ａを硬化させ、これによりこのレンズシート６に設けられたレンズ本体４のレンズ面１Ａに賦型樹脂層５を配置して賦型処理し、反射防止層２を作製する。
【００８３】
この製造工程では、続いて図７（Ｃ）に示すように、反射防止層２と一体に、レンズシート６を第２の賦型用樹脂版１０から剥離し、その後、個々に反射防止物品１を分離して作製される。なおこのレンズシート６を第２の賦型用樹脂版１０から容易に剥離できるように、反射防止層２を半硬化状態で剥離した後、紫外線の照射、加熱等により硬化を進めるようにして、２段階の紫外線の照射により反射防止層２を作製してもよい。
【００８４】
〔第１の賦型用樹脂版３０における金属薄膜の検証〕
ここで金属薄膜２４Ａの機能を検証した。図８は、この検証に供した各試料を示す図表である。この検証では微細凹凸形状に係る金型原版を作製し、この金型原版を使用した賦型処理により透明フィルム材による基材にモスアイ構造に係る微細凹凸形状を作製した。
【００８５】
具体的に、純度９９．５０％の圧延されたアルミニウム板を、小さいうねりとして表面粗さＲｚが３０ｎｍ、大きいうねりが１μｍとなるように研磨した後、０．０２Ｍシュウ酸水溶液の電解液中で、化成電圧４０Ｖ、２０℃の条件にて１２０秒間、陽極酸化を実施した。次に第一エッチング処理として、陽極酸化後の電解液で６０秒間エッチング処理を行った。続いて、第二エッチング処理として、１．０Ｍリン酸水溶液に１５０秒間浸漬した。さらに、上記処理を繰り返し、これらを合計５回追加実施した。これにより、アルミニウム基板上に陽極酸化アルミニウム膜が形成された。最後に、フッ素系離型剤を塗布し、余分な離型剤を洗浄することで、金型原版を作製した。
【００８６】
図９に記載の凹凸構造層は、この金型原版を使用した賦型処理により作製したモスアイ構造に係る微小凹凸形状の賦型樹脂層であり、「有り」は賦型処理によりこの微細凹凸形状構造が作製されていることを示し、「無し」はこの微細凹凸形状を備えていないことを示、金型原版を使用した賦型処理が省略されていることを示す。
【００８７】
具体的に試料Ａ１は、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（ＤＰＨＡ）２０重量部、アロニックスＭ―２６０（商品名；東亜合成社製）７０重量部、ヒドロキシエチルアクリレート１０重量部、及び光開始剤としてルシリン（商品名；ＴＰＯ社製）３重量部を溶解させ、紫外線硬化型樹脂組成物を作製した。またこの紫外線硬化型樹脂組成物を塗工膜厚（乾燥厚み）２０μｍにより金型原版に塗工した後、厚さ８０μｍのトリアセチルセルロースフィルム（富士フィルム社製）を透明基材に適用して貼り合わせた後、貼り合わせられた貼合体をゴムローラーで１０Ｎ/ｃｍの加重で圧着した。その後、樹脂版全体に均一な組成物が塗布されたことを確認し、フィルム側から２０００ｍＪ/ｃｍ２のエネルギーで紫外線を照射して紫外線硬化型樹脂組成物を硬化させ、反射防止層を作製した。その後、この反射防止層を透明基材と一体に剥離し、スパッタリングによりアルミニウムによる金属薄膜を厚み１０ｎｍにより作製した。
【００８８】
試料Ａ２は、金属薄膜を厚み３０ｎｍにより作製した点を除いて、試料Ａ１と同一に構成した。試料Ａ３は、金属薄膜を厚み５０ｎｍにより作製した点を除いて、試料Ａ１と同一に構成した。試料Ａ４は、金属薄膜を厚み８０ｎｍにより作製した点を除いて、試料Ａ１と同一に構成した。
【００８９】
試料Ｂ１は、金属薄膜を真空蒸着により作製した点を除いて、試料Ａ１と同一に構成した。試料Ｂ２は、金属薄膜を厚み２０ｎｍにより作製した点を除いて、試料Ｂ１と同一に構成した。
【００９０】
試料Ｃ１は、金属薄膜を銀により作製した点を除いて、試料Ａ１と同一に構成した。試料Ｄ１は、銀を適用して金属薄膜を真空蒸着により作製した点を除いて、試料Ａ１と同一に構成した。試料Ｄ２は、金属薄膜を厚み２０ｎｍにより作製した点を除いて、試料Ｄ１と同一に構成した。試料Ｄ３、Ｄ４は、金属薄膜をそれぞれ厚み４０ｎｍ、８０ｎｍにより作製した点を除いて、試料Ｄ１と同一に構成した。
【００９１】
試料ａ１、ａ２、ａ３、ａ４は、微細凹凸形状を設けることなく、透明基材に金属薄膜を作製した構成であり、試料ｅ１、ｅ２は、透明基材のみによる透過率を計測する試料であり、試料ｅ３は、透明基材に微細凹凸形状のみを設けた場合の透過率の計測に供する試料である。
【００９２】
図９及び図１０に示すように、金属薄膜を厚み１０ｎｍ以上５０ｎｍ以下の範囲で微細凹凸形状面に作製することにより、試料ｅ１と試料Ａ１〜Ｄ３との対比により明確に把握できるように、短波長側で透過率が低下し、これにより紫外線を遮光できることが判る。またこの場合、反射率の計測結果により透過率の低下に対して相補的に反射率の増大を確認することができた。
【００９３】
また試料ｅ１、ｅ２との対比により、この実施形態では、波長２０００ｎｍ以上７８０ｎｍ以上の赤外線域で、透過率が増大することを確認することができた。
【００９４】
これらにより金属薄膜の配置により、紫外線を充分に遮光し、さらに赤外線を透過できることを確認することができる。
【００９５】
この実施形態によれば、モスアイ構造に係る反射防止物品に関して、賦型処理に供する樹脂版表面に金属薄膜を作製し、賦型処理に供する紫外線を遮光することにより、モスアイ構造による反射防止物品等に関して、賦型処理により微細凹凸形状を繰り返し転写する場合に、この賦型処理による賦型用樹脂版の劣化を低減することができる。
【００９６】
〔他の実施形態〕
以上、本発明の実施に好適な具体的な構成を詳述したが、本発明は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述の実施形態の構成を種々に変更することができる。
【００９７】
すなわち上述の実施形態では、陽極酸化処理とエッチング処理との繰り返しにより作製した金型原版を使用して、多数の賦型用樹脂版を作製する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、賦型用樹脂版により作製した反射防止物品を金型原版として使用して賦型用樹脂版を作製する場合にも広く適用することができる。
【００９８】
また上述の実施形態では、陽極酸化処理とエッチング処理との繰り返しにより金型原版を作製する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例えばフォトリソグラフィの手法により作製した微小突起又は微細穴の密接配置による金型原版を使用して、この金型原版から多数の賦型用樹脂版を作製する場合等にも広く適用することができる。
【００９９】
また上述の実施形態では、紫外線硬化性樹脂を使用して賦型処理する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例えば熱硬化性樹脂を使用する場合等、種々の硬化性樹脂を使用して賦型処理する場合に広く適用することができる。
【０１００】
また上述の実施形態では、賦型対象の片面にモスアイ構造に係る微細凹凸形状を作製する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、賦型対象を間に挟んで一対の賦型用樹脂版を対向するように保持して賦型対象の両面に微細凹凸形状を同時に作製する場合、さらには１方の面に微細凹凸形状を賦型処理により作製した後、他方の面に微細凹凸形状を賦型処理により作製することにより、賦型対象の両面に微細凹凸形状を順次作製する場合等にも広く適用することができる。
【０１０１】
また上述の実施形態では、賦型対象にモスアイ構造に係る微細凹凸形状を作製する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、上述の実施形態に係る賦型用樹脂版を、射出成形、ポッティング等の成形用の樹脂版に利用して、モスアイ構造に係る微細凹凸形状と一体に賦型対象を作製する場合にも広く適用することができる。
【符号の説明】
【０１０２】
１  反射防止物品
１Ａ  レンズ面
２  反射防止層
２Ａ、５、２２  賦型樹脂層
３  微細突起
４  レンズ本体
４Ａ  接続部
６  レンズシート
１０、３０  賦型用樹脂版
１１、２３、２６  基材
１２、２４  凹凸面層
１３  凹凸面層用基材
１４  弾性変形層
２１  金型原版
２４Ａ  金属薄膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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