(57)【要約】【課題】金属部品の表面の微粉を低コストで確実に除去する。アルミナフリーを実現する。【解決手段】スペーサＳ（金属部品）の表面処理方法は、スペーサＳとメディアＭａ，Ｍｂ，Ｍｃ，ＭｄとからなるマスＭをバレル槽１１，３１，４１内で流動させながら洗浄液Ｗを給排水することでスペーサＳの表面を研磨する研磨工程を、少なくとも１回実行する。少なくとも１回の研磨工程のうち最終仕上げ研磨工程で用いる最終仕上げ用のメディアＭｄを、砥粒が非含有であるものとする。また、最終仕上げ用のメディアＭｈを、砥粒を含まない合成樹脂製の母材のみからなるもの、又は含有率が１０重量％以下の砥粒を合成樹脂製の結合材で結合し且つアルミナが非含有のものとする。【選択図】図４
2017164886.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属部品とメディアとからなるマスをバレル槽内で流動させながら洗浄液を給排水することで前記金属部品の表面を研磨する研磨工程を、少なくとも１回実行し、
前記少なくとも１回の研磨工程のうち最終仕上げ研磨工程で用いる最終仕上げ用の前記メディアを、砥粒が含まれないものとすることを特徴とする金属部品の表面処理方法。
【請求項２】
前記最終仕上げ用のメディアを、シリカを主成分とし且つシリカより硬度の高い砥粒が非含有であるものとすることを特徴とする請求項１記載の金属部品の表面処理方法。
【請求項３】
金属部品とメディアとからなるマスをバレル槽内で流動させながら洗浄液を給排水することで前記金属部品の表面を研磨する研磨工程を、少なくとも１回実行し、
前記少なくとも１回の研磨工程のうち最終仕上げ研磨工程で用いる最終仕上げ用の前記メディアを、砥粒を含まない合成樹脂製の母材のみからなるもの、又は含有率が１０重量％以下の砥粒を合成樹脂製の結合材で結合し且つアルミナが非含有のものとすることを特徴とする金属部品の表面処理方法。
【請求項４】
前記最終仕上げ研磨工程では、
同軸状に配した略水平な一対の中空支持軸により回転可能に支持され、前記マスに雪崩状の流動を生じさせる最終仕上げ用の前記バレル槽を用い、
一方の前記中空支持軸を通して洗浄液を前記最終仕上げ用のバレル槽内に供給するとともに、前記最終仕上げ用のバレル槽内の洗浄液を他方の前記中空支持軸を通して排出することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項記載の金属部品の表面処理方法。
【請求項５】
前記最終仕上げ研磨工程より前に中仕上げ研磨工程を実行し、
前記中仕上げ研磨工程では、筒状の中仕上げ用固定槽の下端の開口を塞ぐように配された中仕上げ用回転盤を回転させることで前記マスに渦流を生じさせる中仕上げ用の前記バレル槽を用いることを特徴とする請求項４記載の金属部品の表面処理方法。
【請求項６】
前記中仕上げ用のバレル槽を、前記中仕上げ用回転盤が前記中仕上げ用固定槽の下端縁に摺接しながら回転するものとすることを特徴とする請求項５記載の金属部品の表面処理方法。
【請求項７】
前記中仕上げ研磨工程より前に粗仕上げ研磨工程を実行し、
前記粗仕上げ研磨工程では、筒状の粗仕上げ用固定槽と、前記粗仕上げ用固定槽の下端の開口を塞ぐように配されて前記粗仕上げ用固定槽と非接触の状態で回転する粗仕上げ用回転盤とを備えた粗仕上げ用の前記バレル槽を用いることを特徴とする請求項５又は請求項６記載の金属部品の表面処理方法。
【請求項８】
前記最終仕上げ研磨工程より前に中仕上げ研磨工程を実行し、
前記中仕上げ研磨工程では、シリカより硬度の高い砥粒が非含有である中仕上げ用の前記メディアを用いることを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか１項に記載の金属部品の表面処理方法。
【請求項９】
前記最終仕上げ研磨工程より前に中仕上げ研磨工程を実行し、
前記中仕上げ研磨工程では、含有率が３０重量％以下の砥粒を結合材で結合した中仕上げ用の前記メディアを用い、
前記中仕上げ用の前記メディアの前記結合材を合成樹脂とすることを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか１項に記載の金属部品の表面処理方法。
【請求項１０】
前記最終仕上げ用の前記メディアの前記砥粒及び/又は前記中仕上げ用の前記メディアの前記砥粒が、炭化珪素、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素、ジルコン、ジルコニア、シリカ、炭化ホウ素、酸化鉄、酸化クロムのいずれかからなり、且つアルミナが非含有のものであることを特徴とする請求項９記載の金属部品の表面処理方法。
【請求項１１】
前記最終仕上げ用の前記メディアの前記結合材及び／又は前記中仕上げ用の前記メディアの前記結合材が、不飽和ポリエステルであることを特徴とする請求項９又は請求項１０記載の金属部品の表面処理方法。
【請求項１２】
前記最終仕上げ用の前記メディアの前記砥粒及び／又は前記中仕上げ用の前記メディアの前記砥粒のメジアン径は、１０μｍ以下であることを特徴とする請求項９ないし請求項１１のいずれか１項記載の金属部品の表面処理方法。
【請求項１３】
前記中仕上げ研磨工程を複数回実行し、
初回の前記中仕上げ研磨工程から最終回の前記中仕上げ研磨工程に至る過程で、前記中仕上げ用のメディアの比重を順に軽くすることを特徴とする請求項８ないし請求項１２のいずれか１項記載の金属部品の表面処理方法。
【請求項１４】
前記中仕上げ用のメディアは、粒径が３ｍｍ以下の球形をなしていることを特徴とする請求項８記載の金属部品の表面処理方法。
【請求項１５】
前記中仕上げ研磨工程より前に粗仕上げ研磨工程を実行し、
前記粗仕上げ研磨工程では、シリカよりも硬度の高い砥粒を含有する粗仕上げ用の前記メディアを用いることを特徴とする請求項５ないし請求項１４のいずれか１項記載の金属部品の表面処理方法。
【請求項１６】
前記最終仕上げ研磨工程に先だって実行される前記粗仕上げ研磨工程と前記中仕上げ研磨工程を順次に進める過程では、各研磨工程で用いられる前記メディアにおける砥粒の含有率を順次に低くすることを特徴とする請求項１５記載の金属部品の表面処理方法。
【請求項１７】
前記最終仕上げ研磨工程の後に、前記金属部品の表面を超音波洗浄により洗浄することを特徴とする請求項１ないし請求項１６のいずれか１項に記載の金属部品の表面処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属部品の表面処理方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスク装置の磁気ディスク間に介装されるスペーサは、プレスや切削等によって所定の形状に加工され、その後、スペーサのバリを除去するためにバレル研磨が施される。バレル研磨の際には、スペーサや研磨材から発生した微粉が、研磨時の押圧力によってスペーサの表面に突き刺さるため、研磨中或いは研磨後に、超音波洗浄によって微粉を除去することが行われる。しかし、スペーサの表面には研磨によってミクロン単位の凹みや溝が残り、この凹部や溝に微粉が入り込むため、超音波洗浄で微粉を完全に除去することは非常に困難である。特に、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）砥粒の微粉は、硬くて容易に取りきれないため、業界では忌み嫌われることもあり、所謂「アルミナフリー」の研磨材による工程管理が望まれている。
【０００３】
その対策として、特許文献１には、スペーサの表面に金属製又はセラミック製の皮膜を形成し、スペーサの表面に付着した微粉を皮膜の中に閉じ込めておく表面処理方法が開示されている。この方法によれば、スペーサの表面に微粉が露出したままで残留することを防止することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−０７４３５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、スペーサの表面に付着した微粉を皮膜の中に閉じ込めておく表面処理方法は、コストが高くつくという問題がある。
【０００６】
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、金属部品の表面の微粉を低コストで確実に除去することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の発明は、
金属部品とメディアとからなるマスをバレル槽内で流動させながら洗浄液を給排水することで前記金属部品の表面を研磨する研磨工程を、少なくとも１回実行し、
前記少なくとも１回の研磨工程のうち最終仕上げ研磨工程で用いる最終仕上げ用の前記メディアを、砥粒が含まれないものとするところに特徴を有する。
第２の発明は、
金属部品とメディアとからなるマスをバレル槽内で流動させながら洗浄液を給排水することで前記金属部品の表面を研磨する研磨工程を、少なくとも１回実行し、
前記少なくとも１回の研磨工程のうち最終仕上げ研磨工程で用いる最終仕上げ用の前記メディアを、砥粒を含まない合成樹脂製の母材のみからなるもの、又は含有率が１０重量％以下の砥粒を合成樹脂製の結合材で結合し且つアルミナが非含有のものとするところに特徴を有する。
尚、本願の発明において、「アルミナが非含有のもの」とは、「結合材や砥粒に研磨材料としてのアルミナを意図的には含有させていないもの」であると定義する。
【発明の効果】
【０００８】
第１の発明によれば、最終仕上げ研磨工程では、最終仕上げ用のメディアが砥粒を含有していないので、金属部品の表面粗さを小さく仕上げることができる。また、研磨時に金属部品や最終仕上げ用のメディアからは微粉が発生し難い。微粉が発生したとしても、最終仕上げ研磨では金属部品の表面粗さが小さくなって金属部品の表面に微粉が付着し難いことと、洗浄液による洗浄力とにより、微粉は金属部品の表面から確実に除去される。
第２の発明によれば、最終仕上げ研磨工程で使用する最終仕上げ用のメディアが、砥粒を含まない合成樹脂製の母材のみからなるもの、又は含有率が１０重量％以下の砥粒を合成樹脂製の結合材で結合し且つアルミナが非含有のものなので、金属部品の表面にアルミナが残留することはなく、所謂「アルミナフリー」を実現することができる。
第１及び第２の発明の研磨方法によれば、メッキ処理が不要なので、コスト低減を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施例１の表面処理方法を実行するための装置の配置をあらわした平面図
【図２】粗仕上げ用渦流バレル研磨機の断面図
【図３】中仕上げ用渦流バレル研磨機の断面図
【図４】最終仕上げ用回転バレル研磨機の断面図
【図５】スペーサ（金属部品）の斜視図
【図６】粗仕上げ用メディアの斜視図
【図７】中仕上げ用第１メディアの斜視図
【図８】中仕上げ用第２メディアの斜視図
【図９】最終仕上げ用メディアの斜視図
【図１０】中仕上げ用第１メディアの斜視図
【図１１】中仕上げ用第２メディアの斜視図
【図１２】最終仕上げ用メディアの斜視図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明は、前記最終仕上げ用のメディアを、シリカを主成分とし且つシリカより硬度の高い砥粒が非含有であるものとしてもよい。この構成によれば、最終仕上げ研磨工程では、メディアの主成分であるシリカの研磨力が小さいので、金属部品の表面粗さを小さく仕上げることができる。また、研磨時に発生するシリカの微粉は、形状が鋭利ではないので、金属部品に突き刺さり難い。
【００１１】
本発明は、前記最終仕上げ研磨工程では、同軸状に配した略水平な一対の中空支持軸により回転可能に支持され、前記マスに雪崩状の流動を生じさせる最終仕上げ用の前記バレル槽を用い、一方の前記中空支持軸を通して洗浄液を前記最終仕上げ用のバレル槽内に供給するとともに、前記最終仕上げ用のバレル槽内の洗浄液を他方の前記中空支持軸を通して排出してもよい。この構成によれば、バレル槽を支持するための中空支持軸を洗浄液の給排水用経路として利用したので、バレル研磨機の構造を簡素化できる。
【００１２】
本発明は、前記最終仕上げ研磨工程より前に中仕上げ研磨工程を実行し、前記中仕上げ研磨工程では、筒状の中仕上げ用固定槽の下端の開口を塞ぐように配された中仕上げ用回転盤を回転させることで前記マスに渦流を生じさせる中仕上げ用の前記バレル槽を用いてもよい。この構成によれば、マスに渦流を生じさせるバレル槽の研磨力は、雪崩状の流動を生じさせるバレル槽よりも高いので、バリ取りやＲ付け等のための粗仕上げ工程で金属部品に形成された傷や凹凸を、効率的に平滑化することができる。
【００１３】
本発明は、前記中仕上げ用のバレル槽を、前記中仕上げ用回転盤が前記中仕上げ用固定槽の下端縁に摺接しながら回転するものとしてもよい。この構成によれば、中仕上げ用メディアが中仕上げ用固定槽と中仕上げ用回転盤との隙間に詰まったり噛み込んだする虞がないので、粒径の小さい中仕上げ用のメディアを使用することができる。この小径の中仕上げ用のメディアで研磨することにより、金属部品の表面粗さを小さく仕上げることができる。
【００１４】
本発明は、前記中仕上げ研磨工程より前に粗仕上げ研磨工程を実行し、前記粗仕上げ研磨工程では、筒状の粗仕上げ用固定槽と、前記粗仕上げ用固定槽の下端の開口を塞ぐように配されて前記粗仕上げ用固定槽と非接触の状態で回転する粗仕上げ用回転盤とを備えた粗仕上げ用の前記バレル槽を用いてもよい。この構成によれば、粗仕上げ研磨で粒径の大きいメディアを使用できるので、バリ取りやＲ付け等を効率良く実行することができる。
【００１５】
本発明は、前記最終仕上げ研磨工程より前に中仕上げ研磨工程を実行し、前記中仕上げ研磨工程では、シリカより硬度の高い砥粒が非含有である中仕上げ用の前記メディアを用いてもよい。この構成によれば、中仕上げ研磨工程において、メディアからの微粉の発生量を抑制できるとともに、金属部品の表面粗さを小さくすることができる。
【００１６】
本発明は、前記最終仕上げ研磨工程より前に中仕上げ研磨工程を実行し、  前記中仕上げ研磨工程では、含有率が３０重量％以下の砥粒を結合材で結合した中仕上げ用の前記メディアを用い、前記中仕上げ用の前記メディアの前記結合材を合成樹脂としてもよい。この構成によれば、中仕上げ用のメディアは軟らかくて軽い上に砥粒の含有率が低いので、金属部品の表面にアルミナや異物を叩き込み難い。
【００１７】
本発明は、前記最終仕上げ用の前記メディアの前記砥粒及び/又は前記中仕上げ用の前記メディアの前記砥粒が、炭化珪素、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素、ジルコン、ジルコニア、シリカ、炭化ホウ素、酸化鉄、酸化クロムのいずれかからなり、且つアルミナが非含有のものであってもよい。この構成によれば、最終仕上げ用のメディアの砥粒及び／又は中仕上げ用のメディアの砥粒は、アルミナを含まないので、これらの研磨工程の後、金属部品の表面にアルミナが残留することはない。
【００１８】
本発明は、前記中仕上げ用の前記メディアの前記結合材が不飽和ポリエステルであってもよい。この構成によれば、結合材として用いる不飽和ポリエステルは、安価で成形し易いという利点がある。
【００１９】
本発明は、前記最終仕上げ用の前記メディアの前記砥粒及び／又は前記中仕上げ用の前記メディアの前記砥粒のメジアン径が、１０μｍ以下であってもよい。この構成によれば、メディアが軟らかくて軽い上に、微細な砥粒で金属部品を研磨するので、表面粗さがきめ細かくなる。
【００２０】
本発明は、前記中仕上げ研磨工程を複数回実行し、初回の前記中仕上げ研磨工程から最終回の前記中仕上げ研磨工程に至る過程で、前記中仕上げ用のメディアの比重を順に軽くしてもよい。この構成によれば、初回の中仕上げ研磨工程では表面粗さよりも研磨力が最優先され、中仕上げ研磨工程が進むほど表面粗さが優先されるので、効率よく研磨を行うことができるとともに、表面粗さの仕上がりが良好となる。
【００２１】
本発明は、前記中仕上げ用のメディアは、粒径が３ｍｍ以下の球形をなしていてもよい。この構成によれば、金属部品の表面粗さを小さくして、中仕上げ用のメディア自体からの微粉の発生を抑えることができる。
【００２２】
本発明は、前記中仕上げ研磨工程より前に粗仕上げ研磨工程を実行し、前記粗仕上げ研磨工程では、シリカよりも硬度の高い砥粒を含有する粗仕上げ用の前記メディアを用いてもよい。この構成によれば、粗仕上げ研磨では、砥粒を含有するメディアを使用できるので、バリ取りやＲ付け等を効率良く短時間で完了させることができる。
【００２３】
本発明によれば、前記最終仕上げ研磨工程に先だって実行される前記粗仕上げ研磨工程と前記中仕上げ研磨工程を順次に進める過程では、各研磨工程で用いられる前記メディアにおける砥粒の含有率を順次に低くしてもよい。この構成によれば、研磨工程が進む過程で、メディアの砥粒の含有率を順次に低くしたので、金属部品の表面の平滑度を効率的に高めていくことができる。
【００２４】
本発明は、前記最終仕上げ研磨工程の後に、前記金属部品の表面を超音波洗浄により洗浄してもよい。この構成によれば、金属部品の表面に微粉が残留することを、確実に防止できる。
【００２５】
＜実施例１＞
以下、本発明を具体化した実施例１を図１〜図９を参照して説明する。本実施例１の表面処理方法は、例えばハードディスク装置の磁気ディスク間に介装される円環形のスペーサＳ等のような精密機器の金属部品を処理対象としている。本実施例１では、金属部品がスペーサＳである場合について説明する。スペーサＳは、プレスや切削等によって所定の形状に加工され、その後、スペーサＳのバリ除去や表面粗さの向上等のためにバレル研磨が施される。バレル研磨の際には、研磨材として４種類のメディアＭａ，Ｍｂ，Ｍｃ，Ｍｄが用いられる。
【００２６】
バレル研磨工程では、スペーサＳやメディアＭａ，Ｍｂ，Ｍｃ，Ｍｄのいずれかから微粉が発生し、この微粉が研磨時の押圧力によってスペーサＳの表面に突き刺さるため、本実施例１の表面処理方法により、スペーサＳの表面から微粉を除去する。本実施例１の表面処理方法では、１回の粗仕上げ研磨工程と、３回の中仕上げ研磨工程と、１回の最終仕上げ研磨工程と、１回の超音波洗浄工程とが、順に実行される。そして、これらの各工程を実行する装置として、図１に示すように、１台の粗仕上げ用渦流バレル研磨機１０と、３台の中仕上げ用渦流バレル研磨機３０と、１台の最終仕上げ用回転バレル研磨機４０と、１台の超音波洗浄装置６０とが用いられる。
【００２７】
＜粗仕上げ用渦流バレル研磨機１０＞
粗仕上げ用渦流バレル研磨機１０は、図２に示すように、軸線を上下方向に向けた粗仕上げ用のバレル槽１１を備えている。粗仕上げ用のバレル槽１１は、円形の皿状支持部材１２に回転規制状態で同軸状に支持された円筒形の粗仕上げ用固定槽１３と、粗仕上げ用固定槽１３の下端の開口を塞ぐように（下端縁に沿うように）配された皿形の粗仕上げ用回転盤１４とを備えている。粗仕上げ用回転盤１４は、皿状支持部材１２を貫通した回転軸１５の上端部に一体回転可能に取り付けられていて、モータ１６（図１を参照）により回転駆動される。粗仕上げ用回転盤１４の外周面（下面）と皿状支持部材１２の内周面（上面）とで区画された空間は、排水空間２１となっている。
【００２８】
粗仕上げ用のバレル槽１１の上方には、粗仕上げ用のバレル槽１１内に洗浄液Ｗを供給するための給水配管１７の下流端が開口している。粗仕上げ用回転盤１４の中央部上面には、センターポール１９が一体回転可能に設けられている。そして、粗仕上げ用回転盤１４のうちセンターポール１９の外周縁に沿った領域には、スペーサＳと粗仕上げ用メディアＭａは通過させないが、洗浄液Ｗと汚水を通すことが可能な複数の連通孔１８が形成されている。連通孔１８は、粗仕上げ用のバレル槽１１の内部と、排水空間２１とを連通させる。連通孔１８は、粗仕上げ用のバレル槽１１内の液体（洗浄液Ｗと汚水）を粗仕上げ用のバレル槽１１の外部へ排出するための排出経路となっている。
【００２９】
粗仕上げ用回転盤１４の上端部は、粗仕上げ用固定槽１３の下端部内周面と対向するように配されているが、粗仕上げ用回転盤１４の上端部外周面と粗仕上げ用固定槽１３の下端部の内周面とは接触しておらず、粗仕上げ用回転盤１４の上端部外周面と粗仕上げ用固定槽１３の下端部内周面との間には排水用スリット２０が空いている。この排水用スリット２０により、粗仕上げ用のバレル槽１１の内部空間と排水空間２１とが連通している。皿状支持部材１２には、上端部が排水空間２１に開口した排水路が取り付けられている。排水用スリット２０と排水路２２は、連通孔１８と同じく、粗仕上げ用のバレル槽１１内の液体を排出するための排出経路となっている。つまり、粗仕上げ用のバレル槽１１内の洗浄液Ｗと汚水は、連通孔１８と排水用スリット２０を通って排水空間２１内に流入し、ここから、排水路２２を通って粗仕上げ用のバレル槽１１の外部へ排出されるようになっている。
【００３０】
＜中仕上げ用渦流バレル研磨機３０＞
３台の中仕上げ用渦流バレル研磨機３０は、同一構造の装置であり、図３に示すように、軸線を上下方向に向けた中仕上げ用のバレル槽３１を備えている。中仕上げ用のバレル槽３１は、円筒形の筒状支持部材３２に回転規制状態で同軸状に支持された円筒形の中仕上げ用固定槽３３と、中仕上げ用固定槽３３の下端の開口を塞ぐように（下端縁に沿うように）配された皿形の中仕上げ用回転盤３４とを備えている。中仕上げ用回転盤３４は、中空回転軸３５の上端部に一体回転可能に取り付けられていて、モータ３６（図１を参照）により回転駆動される。
【００３１】
中仕上げ用のバレル槽３１の上方には、中仕上げ用のバレル槽３１内に洗浄液Ｗを供給するための給水配管３７の下流端が開口している。中空回転軸３５の内部は排水路３８となっており、排水路３８の上端は中仕上げ用回転盤３４の中心部上面に開口している。排水路３８の上端には、スペーサＳ、中仕上げ用第１メディアＭｂ，中仕上げ用第２メディアＭｃ，最終仕上げ用メディアＭｄは通過させないが、洗浄液Ｗのような液体を通過させるフィルタ３９が設けられている。排水路３８は、中仕上げ用のバレル槽３１内の液体（洗浄液Ｗと汚水）を排出するための排出経路となっている。中仕上げ用回転盤３４は、その上端縁を中仕上げ用固定槽３３の下端縁に摺接させながら回転する。したがって、中仕上げ用回転盤３４の上端縁と中仕上げ用固定槽３３の下端縁との間には、中仕上げ用のバレル槽３１内の液体が流出することを許容する隙間は空いていない。
【００３２】
＜最終仕上げ用回転バレル研磨機４０＞
最終仕上げ用回転バレル研磨機４０は、軸線を水平に向けた最終仕上げ用のバレル槽４１を有する。最終仕上げ用のバレル槽４１は、一対のフレーム４２には、同軸状に配された２本の中空支持軸４３が回転可能に取り付けられ、この２本の中空支持軸４３には最終仕上げ用のバレル槽４１が一体回転し得るように支持されている。一方の中空支持軸４３には従動プーリ４４が一体回転可能に取り付けられ、従動プーリ４４とモータ４５の駆動軸４６に固着した駆動プーリ４７との間にＶベルト４８が掛け渡されている。モータ４５の駆動により最終仕上げ用のバレル槽４１が回転するようになっている。
【００３３】
一方の中空支持軸４３の内部空間は給水孔４９となっている。給水孔４９の上流端には給水管５０の下流端が接続され、給水孔４９の下流端は最終仕上げ用のバレル槽４１の内部と連通している。給水孔４９の下流端部には、スペーサＳ、最終仕上げ用メディアＭｄは通さないが、洗浄液Ｗの流通を許容するフィルタ５３が設けられている。他方の中空支持軸４３の内部空間は排水孔５１となっている。排水孔５１の上流端は最終仕上げ用のバレル槽４１の内部と連通し、排水孔５１の下流端には排水管５２の上流端が接続されている。排水孔５１の上流端部には、スペーサＳ、最終仕上げ用メディアＭｄは通さないが、洗浄液Ｗと汚水（図示省略）の流通を許容するフィルタ５４が設けられている。給水管５０から給水孔４９を通して仕上げ用のバレル槽内に供給された洗浄液Ｗは、排水孔５１と排水管５２を通して排出される。
【００３４】
＜超音波洗浄装置６０＞
超音波洗浄装置６０は、超音波発生装置６１と、超音波を伝導するための水、有機溶媒等の洗浄液Ｗを貯留する容器６２とを備えている。スペーサＳを洗浄液Ｗ内に浸漬して超音波を発生させると、洗浄液Ｗ内で微細な泡が発生して短時間に破裂すること（キャビテーション）に伴うエネルギーにより、スペーサＳの表面から微粉が浮き上がるようになっている。
【００３５】
＜粗仕上げ用メディアＭａ＞
粗仕上げ研磨工程で用いられる粗仕上げ用メディアＭａ（図６を参照）は、ジルコンからなる砥粒Ｇを合成樹脂製の結合材Ｂ（ボンド）で結合したものである。砥粒Ｇは、全体として不定形状をなしていて、角部が曲面状に成形されたものである。粗仕上げ用メディアＭａは全体として円錐形をなしていて、その高さと直径は、いずれも、粗仕上げ用回転盤１４の上端縁と粗仕上げ用固定槽１３の下端縁との間の排水用スリット２０の開口寸法より大きい寸法とされている。粗仕上げ用メディアＭａは、スペーサＳのバリを取るとともに、スペーサＳの角縁部にＲ（丸み）を付けるために使用される。また、粗仕上げ研磨工程より前の工程でスペーサＳに生じた切削痕やプレス痕を除去する。
【００３６】
＜中仕上げ用第１メディアＭｂ＞
１回目の中仕上げ研磨工程で用いられる中仕上げ用第１メディアＭｂ（図７を参照）は、砥粒を含まず、アルミナを主成分としてシリカを含有する母材のみで構成される。つまり、中仕上げ用第１メディアＭｂは、球形のセラミックメディアである。このセラミックは、母材の種類を識別するための呼称である。アルミナの重量比率は、８０〜９５重量％であり、シリカの重量比率は、３〜１８重量％である。アルミナとシリカ以外に少量の酸化物も含有する。この中仕上げ用第１メディアＭｂは球形をなし、その粒径は、本実施例１では、３ｍｍであり、粗仕上げ用メディアＭａの高さ及び直径よりも小さい。中仕上げ用第１メディアＭｂの粒径は３ｍｍ以下が好ましい。粒径が３ｍｍ以下であれば、スペーサＳの表面粗さを小さくできるとともに、研磨時における中仕上げ用第１メディアＭｂの微粉の発生量が少なくなる。中仕上げ用第１メディアＭｂの比重は、粗仕上げ用メディアＭａよりも大きい。
【００３７】
また、砥粒を含まない中仕上げ用第１メディアＭｂの研磨力は、粗仕上げ用メディアＭａよりも弱い。しかし、研磨後のスペーサＳの表面粗さは、粗仕上げ用メディアＭａで研磨したものよりも、中仕上げ用第１メディアＭｂで研磨したものの方が小さい。つまり、粗仕上げ用メディアＭａで研磨するよりも中仕上げ用第１メディアＭｂで研磨した方が、スペーサＳの表面の平滑度が高い。
【００３８】
＜中仕上げ用第２メディアＭｃ＞
２回目の中仕上げ研磨工程で用いられる中仕上げ用第２メディアＭｃ（図８を参照）は、砥粒を含まず、アルミナとシリカを主成分とする母材のみで構成される。つまり、中仕上げ用第２メディアＭｃは、球形のセラミックメディアである。このセラミックは、母材の種類を識別するための呼称である。アルミナの重量比率は、５０〜８０重量％であり、シリカの重量比率は、１５〜４５重量％である。アルミナとシリカ以外に少量の酸化物も含有する。この中仕上げ用第２メディアＭｃの粒径は、本実施例１では、３ｍｍであり、中仕上げ用第１メディアＭｂと同じ寸法である。中仕上げ用第２メディアＭｃの粒径は、３ｍｍ以下が好ましい。粒径が３ｍｍ以下であれば、スペーサＳの表面粗さを小さくできるとともに、研磨時における中仕上げ用第２メディアＭｃの微粉の発生量が少なくなる。また、中仕上げ用第２メディアＭｃの比重は、中仕上げ用第１メディアＭｂより小さい。
【００３９】
また、シリカは、アルミナに比べると研削力が弱く、鋭利さも低いので、アルミナとシリカを主成分とする中仕上げ用第２メディアＭｃの研磨力は、アルミナを主成分とする中仕上げ第１メディアＭｂよりも弱い。しかし、研磨後のスペーサＳの表面粗さは、中仕上げ用第１メディアＭｂで研磨したものよりも、中仕上げ用第２メディアＭｃで研磨したものの方が小さい。つまり、中仕上げ用第１メディアＭｂで研磨するよりも中仕上げ用第２メディアＭｃで研磨した方が、スペーサＳの表面の平滑度が高い。
【００４０】
＜最終仕上げ用メディアＭｄ＞
３回目の中仕上げ研磨工程と最終仕上げ研磨工程で用いられる最終仕上げ用メディアＭｄ（図９を参照）は、砥粒を含まず、シリカを主成分とする母材のみで構成される。つまり、最終仕上げ用メディアＭｄは、中仕上げ用第２メディアＭｃと同じく球形のセラミックメディアである。このセラミックは、母材の種類を識別するための呼称である。シリカの重量比率は、７０〜１００重量％であり、アルミナの重量比率は、０〜２５重量％である。シリカとアルミナの合計比率を９５重量％とし、残りを粘土成分とすれば、成形が容易である。この最終仕上げ用メディアＭｄの粒径は、本実施例１では、３ｍｍであり、中仕上げ用第１メディアＭｂ及び中仕上げ用第２メディアＭｃと同じ寸法である。最終仕上げ用メディアＭｄの粒径は、３ｍｍ以下が好ましい。粒径が３ｍｍ以下であれば、スペーサＳの表面粗さを小さくできるとともに、研磨時における最終仕上げ用メディアＭｄの微粉の発生量が少なくなる。また、最終仕上げ用メディアＭｄの比重は、中仕上げ用第２メディアＭｃより小さい。
【００４１】
上記のようにシリカは、アルミナに比べると研削力が弱く、鋭利さも低いので、シリカを主成分とする最終仕上げ用メディアＭｄの研磨力は、アルミナとシリカを主成分とする中仕上げ第２メディアＭｃよりも弱い。しかし、研磨後のスペーサＳの表面粗さは、中仕上げ用第２メディアＭｃで研磨したものよりも、最終仕上げ用メディアＭｄで研磨したものの方が小さい。つまり、中仕上げ用第２メディアＭｃで研磨するよりも最終仕上げ用メディアＭｄで研磨した方が、スペーサＳの表面の平滑度が高い。
【００４２】
＜表面処理工程＞
次に、スペーサＳの製造過程における表面処理の工程を説明する。プレスや切削によって所定形状のスペーサＳを成形した後、そのスペーサＳには、厚さを均一にするために表裏両面又は表裏いずれか一方の面に対してラップ研磨が施される。このラップ研磨工程では、平面状の研磨面を有する研磨材（図示省略）を押圧しながら往復移動や回転移動させて研磨を行う。
【００４３】
その後、スペーサＳのバリ取りとＲ付け（角縁におけるテーパ面や曲面の形成）のための粗仕上げ研磨工程と、スペーサＳの表裏両面を平行にするためのラップ研磨工程がスペーサＳの表裏両面又は表裏いずれか一方の面に対して実行される。次に、スペーサＳの表面粗さを小さくするために、３回の中仕上げ研磨工程と１回の最終仕上げ研磨工程を実行する。尚、スペーサＳの厚さを均一にするためのラップ研磨工程、粗仕上げ研磨工程、スペーサＳの表裏両面を平行にするためのラップ研磨工程は、スペーサＳに求められる精度如何では、不要である。
【００４４】
＜粗仕上げ研磨工程＞
粗仕上げ研磨工程では、粗仕上げ用渦流バレル研磨機１０のバレル槽１１にスペーサＳと粗仕上げ用メディアＭａを投入し、バレル槽１１内に洗浄液Ｗを供給しながら、粗仕上げ用回転盤１４を回転させる。すると、バレル槽１１内では、スペーサＳと粗仕上げ用メディアＭａとからなるマスＭが渦流となって流動し、スペーサＳの表面が粗仕上げ用メディアＭａによって研磨される。
【００４５】
粗仕上げ用渦流バレル研磨機１０は、バレル槽１１内のマスＭに渦流を生じさせるので、最終仕上げ用回転バレル研磨機４０よりも研磨力が強い。また、粗仕上げ用メディアＭａの研磨力は、中仕上げ用第１メディアＭｂ、中仕上げ用第２メディアＭｃ及び最終仕上げ用メディアＭｄのいずれよりも強い。したがって、５回の研磨工程の中では粗仕上げ研磨工程の研磨力が最も強い。この強い研磨力により、スペーサＳの表面に対するバリ取りやＲ付け等が効率的に行われる。
【００４６】
しかし、研磨力が強い分、研磨によってスペーサＳから発生する微粉が、スペーサＳの表面に突き刺さり易い。また、研磨力が強いために、研磨に伴ってスペーサＳの表面に形成される凹凸は、５回の研磨工程のうちで最も粗いので、研磨によってスペーサＳから発生する微粉は、凹凸に引っ掛かって残り易い。しかも、粗仕上げ用メディアＭａは砥粒Ｇを含んでいるので、砥粒Ｇから発生する微粉も、スペーサＳの表面に突き刺さったり凹凸に引っ掛かったりし易い。粗仕上げ研磨工程では、洗浄液Ｗが、バレル槽１１内に常時供給されるとともに、微粉を含んだ汚水が、常時排出されるのであるが、凹凸が大きいので洗浄液Ｗによる洗浄だけでは、凹凸に引っ掛かって残った微粉を充分に除去することはできない。
【００４７】
＜１回目の中仕上げ研磨工程＞
そこで、粗仕上げ研磨工程の後に、１回目の中仕上げ研磨を行う。１回目の中仕上げ研磨工程では、中仕上げ用渦流バレル研磨機３０のバレル槽３１にスペーサＳと中仕上げ用第１メディアＭｂを投入し、バレル槽３１内に洗浄液Ｗを供給しながら、中仕上げ用回転盤３４を回転させる。すると、バレル槽３１内では、スペーサＳと中仕上げ用第１メディアＭｂとからなるマスＭが渦流となって流動し、スペーサＳの表面が中仕上げ用第１メディアＭｂによって研磨される。
【００４８】
中仕上げ用渦流バレル研磨機３０は、粗仕上げ用渦流バレル研磨機１０と同じく、バレル槽３１内のマスＭに渦流を生じさせるので、最終仕上げ用回転バレル研磨機４０よりも研磨力が強い。また、中仕上げ用第１メディアＭｂの研磨力は、中仕上げ用第２メディアＭｃ及び最終仕上げ用メディアＭｄよりも強い。したがって、５回の研磨工程では、１回目の中仕上げ研磨工程の研磨力が、粗仕上げ研磨工程に次いで２番目に強い。この強い研磨力により、粗仕上げ研磨工程で生じたスペーサＳの凹凸を小さくして、スペーサＳの表面を効率よく、滑らかにすることができる。
【００４９】
しかし、研磨力が強い分、スペーサＳから発生する微粉の量が多い。また、中仕上げ用第１メディアＭｂはアルミナを主成分としているため、中仕上げ用第１メディアＭｂからアルミナの微粉が発生する。スペーサＳの表面の凹凸は小さくなるものの、スペーサＳとアルミナの微粉がスペーサＳの表面に突き刺さったり凹凸に引っ掛かって残ったりすることは避けられない。１回目の中仕上げ研磨工程でも、粗仕上げ研磨工程と同じく、洗浄液Ｗが、バレル槽３１内に常時供給されるとともに、微粉を含んだ汚水が、常時排出されるのであるが、洗浄液Ｗによる洗浄だけでは、突き刺さった微粉を完全に除去することはできない。
【００５０】
＜２回目の中仕上げ研磨工程＞
そこで、１回目の中仕上げ研磨工程の後に、２回目の中仕上げ研磨を行う。２回目の中仕上げ研磨工程では、中仕上げ用渦流バレル研磨機３０のバレル槽３１にスペーサＳと中仕上げ用第２メディアＭｃを投入し、バレル槽３１内に洗浄液Ｗを供給しながら、中仕上げ用回転盤３４を回転させる。すると、バレル槽３１内では、スペーサＳと中仕上げ用第２メディアＭｃとからなるマスＭが渦流となって流動し、スペーサＳの表面が中仕上げ用第２メディアＭｃによって研磨される。
【００５１】
上述したように、中仕上げ用渦流バレル研磨機３０の研磨力は最終仕上げ用回転バレル研磨機４０よりも強い。また、中仕上げ用第２メディアＭｃの研磨力は、中仕上げ用第１メディアＭｂより弱いが、最終仕上げ用メディアＭｄよりは強い。したがって、５回の研磨工程では、２回目の中仕上げ研磨工程の研磨力は、１回目の中仕上げ研磨工程に次いで３番目に強い。この研磨力により、１回目の中仕上げ研磨工程で小さくしたスペーサＳの凹凸を、更に小さくして、スペーサＳの表面を更に滑らかにする。
【００５２】
２回目の中仕上げ研磨工程の研磨力は、粗仕上げ研磨工程や１回目の中仕上げ研磨工程より弱いが、研磨する以上、スペーサＳからは微粉が発生する。また、中仕上げ用第２メディアＭｃはアルミナを含んでいるため、アルミナの微粉も発生する。スペーサＳの表面の凹凸は１回目の中仕上げ研磨工程より小さくなるものの、スペーサＳとアルミナの微粉がスペーサＳの表面に突き刺さったり凹凸に引っ掛かって残ったりすることは避けられない。２回目の中仕上げ研磨工程でも、粗仕上げ研磨工程及び１回目の中仕上げ研磨工程と同じく、洗浄液Ｗが、バレル槽３１内に常時供給されるとともに、微粉を含んだ汚水が、常時排出されるのであるが、洗浄液Ｗによる洗浄だけでは、突き刺さった微粉を完全に除去することはできない。
【００５３】
＜３回目の中仕上げ研磨工程＞
そこで、２回目の中仕上げ研磨工程の後に、３回目の中仕上げ研磨を行う。３回目の中仕上げ研磨工程では、中仕上げ用渦流バレル研磨機３０のバレル槽３１にスペーサＳと最終仕上げ用メディアＭｄを投入し、バレル槽３１内に洗浄液Ｗを供給しながら、中仕上げ用回転盤３４を回転させる。すると、バレル槽３１内では、スペーサＳと最終仕上げ用メディアＭｄとからなるマスＭが渦流となって流動し、スペーサＳの表面が最終仕上げ用メディアＭｄによって研磨される。
【００５４】
上述したように、中仕上げ用渦流バレル研磨機３０の研磨力は最終仕上げ用回転バレル研磨機４０よりも強いが、３回目の中仕上げ研磨工程で使用する最終仕上げ用メディアＭｄの研磨力は、粗仕上げ用メディアＭａ、中仕上げ用第１メディアＭｂ及び中仕上げ用第２メディアＭｃよりも弱い。したがって、５回の研磨工程において、３回目の中仕上げ研磨工程の研磨力の強さは、２回目の中仕上げ研磨工程に次いで４番目である。この比較的弱い研磨力により、２回目の中仕上げ研磨工程で小さくしたスペーサＳの凹凸を、更に小さくして、スペーサＳの表面を更に滑らかにする。
【００５５】
３回目の中仕上げ研磨工程の研磨力は、粗仕上げ研磨工程や１回目及び２回目の中仕上げ研磨工程より弱いが、研磨する以上、スペーサＳからは微量ではあるが微粉が発生する。スペーサＳの表面の凹凸は２回目の中仕上げ研磨工程より小さくなるものの、スペーサＳの僅かな微粉がスペーサＳの表面に突き刺さったり凹凸に引っ掛かって残ったりすることは完全には避けられない。３回目の中仕上げ研磨工程でも、粗仕上げ研磨工程及び１回目と２回目の中仕上げ研磨工程と同じく、洗浄液Ｗが、バレル槽３１内に常時供給されるとともに、微粉を含んだ汚水が、常時排出されるのであるが、洗浄液Ｗによる洗浄だけでは、突き刺さった微粉を完全に除去することはできない。
【００５６】
＜最終仕上げ研磨工程＞
そこで、３回目の中仕上げ研磨工程の後に、最終仕上げ研磨を行う。最終仕上げ研磨工程では、最終仕上げ用回転バレル研磨機４０のバレル槽４１にスペーサＳと最終仕上げ用Ｍｄを投入し、バレル槽４１内に洗浄液Ｗを供給しながら、バレル槽４１を回転させる。すると、バレル槽４１内では、スペーサＳと最終仕上げ用メディアＭｄとからなるマス（図示省略）が雪崩状に流動し、スペーサＳの表面が最終仕上げ用メディアＭｄによって研磨される。
【００５７】
最終仕上げ研磨工程で使用する最終仕上げ用メディアＭｄは、３回目の中仕上げ用研磨工程と同じものであるが、最終仕上げ用回転バレル研磨機４０の研磨力は中仕上げ用渦流バレル研磨機３０よりも弱い。つまり、最終仕上げ研磨工程の研磨力は、５回の研磨工程の中で最も弱く、３回目の中仕上げ研磨工程の１／１０程度に抑えられている。この弱い研磨力により、３回目の中仕上げ研磨工程の後に残っていたごく僅かな凹凸が、ほぼ完全に平滑化され、スペーサＳの表面が、目標とする表面粗さ（例えば、Ｒａ０．０２μｍ）にまで平滑化される。
【００５８】
最終仕上げ研磨工程の研磨力は、５回の研磨工程の中で最も弱いので、研磨によってスペーサＳから発生する微粉の量はごく僅かである。しかも、マスを雪崩状に流動させる最終仕上げ用回転バレル研磨機４０では、スペーサＳに対する最終仕上げ用メディアＭｄの押圧力が渦流バレル研磨機１０，３０に比べて弱いので、スペーサＳの表面に微粉が突き刺さることはない。また、最終仕上げ研磨工程でも、粗仕上げ研磨工程及び３回の中仕上げ研磨工程と同じく、洗浄液Ｗが、バレル槽４１内に常時供給されるとともに、微粉を含んだ汚水が、常時排出されるので、微粉がスペーサＳの表面に残留する虞もない。
【００５９】
＜超音波洗浄工程＞
最終研磨工程の後は、スペーサＳを超音波洗浄装置６０の洗浄液Ｗ内に浸漬し、超音波発生装置６１を起動させる。すると、洗浄液Ｗ内で微細な泡の発生と破裂が短時間で繰り返され、このキャビテーションのエネルギーがスペーサＳに伝わる。最終研磨工程を経た後にスペーサＳに微粉が残留していたとしても、このキャビテーションのエネルギーにより、微粉がスペーサＳから除去される。尚、超音波発生装置６１で用いる洗浄液Ｗは、上記の粗仕上げ研磨工程〜最終仕上げ研磨工程で使用した洗浄液Ｗと同じ液剤でもよいが、純水や、逆浸透膜で濾過したＲＯ水等でもよい。
【００６０】
＜実施例１と異なる研磨工程との比較＞
本実施例１では５回の研磨工程を実行することによって、最終的にスペーサＳの表面粗さをＲａ０．０２μｍまで小さくすることができた。本実施例１との比較例として、表１に示すように３つの研磨実験を行った。第１の研磨実験では、本実施例１の最終仕上げ研磨工程に相当する研磨工程を省き、本実施例１と同じ条件の粗仕上げ研磨工程から３回目の中仕上げ研磨工程までの４回の研磨工程を実行した。この第１の研磨実験によって得られたスペーサＳの表面粗さは、Ｒａ０．０４μｍであり、本実施例１の研磨方法の方がスペーサＳの表面の平滑度が高かった。
【００６１】
また、第２の研磨実験では、本実施例１と同じ条件の粗仕上げ研磨工程から３回目の中仕上げ研磨工程までの４回の研磨工程に加え、本実施例１とは異なる最終仕上げ研磨工程を実行した。第２の研磨実験の最終仕上げ研磨工程では、本実施例１の最終仕上げ用メディアＭｄと同じ材料のメディア（図示省略）を用いた。但し、この第２の研磨実験の最終仕上げ研磨工程で使用したメディアの粒径は、本実施例１の最終仕上げ用メディアＭｄよりも小さく、２ｍｍである。また、バレル研磨機は、本実施例１の最終仕上げ研磨工程で用いた最終仕上げ用回転バレル研磨機４０ではなく、中仕上げ研磨工程と同じく中仕上げ用渦流バレル研磨機３０を用いた。この第２の研磨実験によって得られたスペーサＳの表面粗さは、Ｒａ０．０３μｍであり、本実施例１の研磨方法の方がスペーサＳの表面の平滑度が高かった。
【００６２】
第３の研磨実験では、本実施例１と同じ条件の粗仕上げ研磨工程から３回目の中仕上げ研磨工程までの４回の研磨工程に加え、本実施例１とは異なる最終仕上げ研磨工程を実行した。第３の研磨実験の最終仕上げ研磨工程では、本実施例１の最終仕上げ用メディアＭｄと同じ材料のメディア（図示省略）を用いた。但し、この第３の研磨実験の最終仕上げ研磨工程で使用したメディアの粒径は、本実施例１の最終仕上げ用メディアＭｄよりも大きく、４ｍｍである。尚、バレル研磨機は、本実施例１の最終仕上げ研磨工程で用いた最終仕上げ用回転バレル研磨機４０と同じである。この第３の研磨実験では、スペーサＳの表面粗さは、第２の研磨実験と同じくＲａ０．０３μｍであり、本実施例１の研磨方法に比べてスペーサＳの表面の平滑度は低かった。
【００６３】
【表１】
2017164886.tif 000003
【００６４】
＜実施例１の作用及び効果＞
本実施例１の表面処理方法は、スペーサＳとメディアＭａ，Ｍｂ，Ｍｃ，ＭｄとからなるマスＭをバレル槽１１，３１，４１内で流動させながら洗浄液Ｗを給排水することでスペーサＳの表面を研磨する研磨工程を、５回（少なくとも１回）実行する。そして、５回の研磨工程のうち最終仕上げ研磨工程で用いる最終仕上げ用メディアＭｄを、砥粒が含まれない母材のみからなるものとしている。
【００６５】
この表面処理方法によれば、最終仕上げ研磨工程では最終仕上げ用メディアＭｄが砥粒を含有していないので、スペーサＳの表面粗さを小さく仕上げることができる。また、最終仕上げ研磨工程ではスペーサＳや最終仕上げ用メディアＭｄからは微粉が発生し難い。たとえ微粉が発生したとしても、最終仕上げ研磨ではスペーサＳの表面粗さが小さくなっていてスペーサＳの表面に微粉が付着し難いことと、洗浄液Ｗによる洗浄力とによって、微粉はスペーサＳの表面から確実に除去される。本実施例１の表面処理方法によれば、メッキ処理が不要なので、コスト低減を実現できる。
【００６６】
また、最終仕上げ用メディアＭｄは、研磨力が比較的弱いシリカを主成分とし且つシリカより硬度の高い砥粒が非含有であるから、最終仕上げ研磨の研磨力は小さい。これにより、スペーサＳの表面粗さを小さく仕上げることができる。また、研磨時に発生するシリカの微粉は、形状が鋭利ではないので、スペーサＳに突き刺さり難い。また、最終仕上げ研磨工程の後に、スペーサＳの表面を超音波洗浄により洗浄しているので、スペーサＳの表面に微粉が残留することを、確実に防止できる。
【００６７】
また、最終仕上げ研磨工程では、同軸状に配した略水平な一対の中空支持軸４３により回転可能に支持され、マスに雪崩状の流動を生じさせる最終仕上げ用のバレル槽４１を用いている。そして、一方の中空支持軸４３を通して洗浄液Ｗを最終仕上げ用のバレル槽４１内に供給し、最終仕上げ用のバレル槽４１内の洗浄液Ｗ（汚水）を他方の中空支持軸４３を通して排出している。この構成によれば、バレル槽４１を支持するための中空支持軸４３を洗浄液Ｗの給排水用経路として利用したので、最終仕上げ用回転バレル研磨機４０の構造を簡素化できる。
【００６８】
また、最終仕上げ研磨工程より前に実行される１回目〜３回目の中仕上げ研磨工程では、筒状の中仕上げ用固定槽３３の下端の開口を塞ぐように配された中仕上げ用回転盤３４を回転させることでマスＭに渦流を生じさせる中仕上げ用のバレル槽３１を用いている。この構成によれば、マスＭに渦流を生じさせる中仕上げ用のバレル槽３１の研磨力は、雪崩状の流動を生じさせる最終仕上げ用のバレル槽４１よりも高いので、バリ取りやＲ付け等のための粗仕上げ研磨工程でスペーサＳに形成された凹凸を、効率的に平滑化することができる。
【００６９】
また、中仕上げ用のバレル槽３１を、中仕上げ用回転盤３４が中仕上げ用固定槽３３の下端縁に摺接しながら回転する形態としているので、中仕上げ用第１メディアＭｂ，中仕上げ用第２メディアＭｃ及び最終仕上げ用メディアＭｄが中仕上げ用固定槽３３と中仕上げ用回転盤３４との隙間に詰まったり噛み込んだりする虞がない。これにより、中仕上げ用第１メディアＭｂ，中仕上げ用第２メディアＭｃ及び最終仕上げ用メディアＭｄとして粒径の小さいものを使用することができるので、この小径の中仕上げ用第１メディアＭｂ，中仕上げ用第２メディアＭｃ及び最終仕上げ用メディアＭｄで研磨することにより、スペーサＳの表面粗さを小さく仕上げることができる。
【００７０】
また、最終仕上げ研磨工程より前に実行される３回の中仕上げ研磨工程では、シリカより硬度の高い砥粒が非含有である中仕上げ用第１メディアＭｂ、中仕上げ用第２メディアＭｃ、最終仕上げ用メディアＭｄを用いている。この構成によれば、中仕上げ研磨工程において、これらのメディアＭｂ，Ｍｃ，Ｍｄからの微粉の発生量を抑制できるとともに、スペーサＳの表面粗さを小さくすることができる。また、中仕上げ用第１メディアＭｂ、中仕上げ用第２メディアＭｃ、最終仕上げ用メディアＭｄは、粒径（直径）が３ｍｍ以下の球形（ボール状）をなしているが、この粒径と形状も、スペーサＳの表面粗さを小さくすることに大いに寄与している。さらに、中仕上げ用第１メディアＭｂ、中仕上げ用第２メディアＭｃ、最終仕上げ用メディアＭｄ自体からの微粉の発生も抑えられる。
【００７１】
また、本実施例１では中仕上げ研磨工程を３回実行しているが、１回目（初回）の中仕上げ研磨工程から３回目（最終回）の中仕上げ研磨工程に至る過程で、中仕上げ用第１メディアＭｂ、中仕上げ用第２メディアＭｃ、最終仕上げ用メディアＭｄの比重を順に軽くしている。この構成によれば、１回目の中仕上げ研磨工程では表面粗さよりも研磨力が最優先され、中仕上げ研磨工程が進むほど表面粗さが優先されるので、効率よく研磨を行うことができるとともに、表面粗さの仕上がりが良好となる。
【００７２】
中仕上げ研磨工程より前に実行される粗仕上げ研磨工程では、筒状の粗仕上げ用固定槽１３と、粗仕上げ用固定槽１３の下端の開口を塞ぐように配されて粗仕上げ用固定槽１３と非接触の状態で回転する粗仕上げ用回転盤１４とを備えた粗仕上げ用のバレル槽１１を用いている。この構成によれば、粗仕上げ研磨で粒径の大きい粗仕上げ用メディアＭａを使用できるので、バリ取りやＲ付け等を効率良く実行することができる。しかも、この粗仕上げ用メディアＭａは、シリカよりも硬度の高い砥粒Ｇを含有しているので、バリ取りやＲ付け等を更に効率良く短時間で完了させることができる。
【００７３】
＜実施例２＞
以下、本発明を具体化した実施例２を図１０〜図１２を参照して説明する。尚、実施例１と同じ構成及び作用効果については、詳細な説明を省略する。本実施例２の湿式の表面処理方法は、実施例１と同じ金属部品であるスペーサＳを処理対象としており、特に、アルミナフリーの表面処理を実現する場合に有効である。尚、実施例２において、「アルミナが非含有」、「アルミナが含まれない」の文言は、「結合材や砥粒に研磨材料としてのアルミナを意図的には含有させていない」ことを意味する。バレル研磨の際には、研磨材として４種類のメディアＭａ，Ｍｆ，Ｍｇ，Ｍｈが用いられる。バレル研磨工程では、スペーサＳやメディアＭａ，Ｍｆ，Ｍｇ，Ｍｈのいずれかから微粉が発生し、この微粉が研磨時の押圧力によってスペーサＳの表面に突き刺さるため、本実施例２の表面処理方法により、スペーサＳの表面から微粉を除去する。
【００７４】
本実施例２の表面処理方法では、実施例１と同じく１台の粗仕上げ用渦流バレル研磨機１０を用いて１回の粗仕上げ研磨工程を実行し、実施例１と同じく３台の中仕上げ用渦流バレル研磨機３０を用いて３回の中仕上げ研磨工程を実行し、実施例１と同じく１台の最終仕上げ用回転バレル研磨機４０を用いて１回の最終仕上げ研磨工程を実行し、実施例１と同じく１台の超音波洗浄装置６０を用いて１回の超音波洗浄工程を実行する。
【００７５】
＜粗仕上げ用メディアＭａ＞
粗仕上げ研磨工程で用いられる粗仕上げ用メディアＭａは、実施例１と用いられたものと同じプラスチックメディアである。粗仕上げ用メディアＭａの結合材Ｂ（母材）は、不飽和ポリエステルからなり、アルミナを含まない。砥粒Ｇは、ジルコンからなる。粗仕上げ用メディアＭａにおける結合材Ｂの重量比率は３０重量％であり、砥粒Ｇの重量比率は７０重量％である。
【００７６】
＜中仕上げ用第１メディアＭｆ＞
１回目の中仕上げ研磨工程で用いる中仕上げ用第１メディアＭｆは、粒径（メジアン径）が１０μｍのシリカ微粉からなる砥粒Ｇを、不飽和ポリエステルからなりアルミナを含まない結合材Ｂ（ボンド）で結合したプラスチックメディアである。プラスチックは、母材（結合材Ｂ）の種類を識別するための呼称である。図１０に示すように、中仕上げ用第１メディアＭｆは、底面の直径が６ｍｍ、高さが６ｍｍの円錐形をなしている。
【００７７】
中仕上げ用第１メディアＭｆにおける結合材Ｂの重量比率は７０重量％であり、砥粒Ｇの重量比率は３０重量％である。中仕上げ用第１メディアＭｆの砥粒Ｇの重量比率（砥粒Ｇ率）は、粗仕上げ用メディアＭａの砥粒Ｇに比べて低いので、中仕上げ用第１メディアＭｆの研磨力は、粗仕上げ用メディアＭａよりも弱い。したがって、研磨後のスペーサＳの表面粗さは、粗仕上げ用メディアＭａで研磨したものよりも、中仕上げ用第１メディアＭｆで研磨したものの方が小さい。
【００７８】
＜中仕上げ用第２メディアＭｇ＞
２回目の中仕上げ研磨工程で用いられる中仕上げ用第２メディアＭｇは、粒径（メジアン径）が１μｍのシリカ微粉からなる砥粒Ｇを、不飽和ポリエステルからなり且つアルミナを含まない結合材Ｂ（ボンド）で結合したプラスチックメディアである。図１１に示すように、中仕上げ用第２メディアＭｇは、底面の直径が６ｍｍ、高さが６ｍｍの円錐形をなしている。
【００７９】
中仕上げ用第２メディアＭｇにおける結合材Ｂの重量比率は９０重量％であり、砥粒Ｇの重量比率は１０重量％である。中仕上げ用第２メディアＭｇの砥粒Ｇの重量比率（砥粒Ｇ率）は、中仕上げ用第１メディアＭｆの砥粒Ｇに比べて低いので、中仕上げ用第２メディアＭｇの研磨力は、中仕上げ用第１メディアＭｆよりも弱い。加えて、中仕上げ用第２メディアＭｇの比重は、中仕上げ用第１メディアＭｆの比重よりも小さい。したがって、研磨後のスペーサＳの表面粗さは、中仕上げ用第１メディアＭｆで研磨したものよりも、中仕上げ用第２メディアＭｇで研磨したものの方が小さい。
【００８０】
＜最終仕上げ用メディアＭｈ＞
３回目の中仕上げ研磨工程と最終仕上げ研磨工程で用いられる最終仕上げ用メディアＭｈは、砥粒Ｇを含まず、不飽和ポリエステルからなり且つアルミナを含まない母材のみで構成される。つまり、最終仕上げ用メディアＭｈは、中仕上げ用第１メディアＭｆ、中仕上げ用第２メディアＭｇと同じくプラスチックメディアである。プラスチックは、母材又は結合材Ｂの種類を識別するための呼称である。図１２に示すように、最終仕上げ用メディアＭｈは、中仕上げ用のメディアＭｆ、Ｍｇと同じく、底面の直径が６ｍｍ、高さが６ｍｍの円錐形をなしている。
【００８１】
最終仕上げ用メディアＭｈは、砥粒Ｇを含まないので、砥粒Ｇを含む中仕上げ用第２メディアＭｇより研磨力が弱い。加えて、最終仕上げ用メディアＭｈの比重は、中仕上げ用第２メディアＭｇの比重よりも小さい。したがって、研磨後のスペーサＳの表面粗さは、中仕上げ用第３メディアＭｇで研磨したものよりも、最終仕上げ用メディアＭｈで研磨したものの方が小さい。
【００８２】
＜表面処理工程＞
次に、スペーサＳの製造過程における表面処理の工程を説明する。実施例１と同様、プレスや切削によって所定形状に成形されたスペーサＳには、表裏両面又は表裏いずれか一方の面にラップ研磨が施された後、スペーサＳのバリ取りとＲ付け（角縁におけるテーパ面や曲面の形成）のための粗仕上げ研磨工程と、スペーサＳの表裏両面を平行にするためのラップ研磨工程が実行される。その後、スペーサＳの表面粗さを小さくするために、３回の中仕上げ研磨工程と１回の最終仕上げ研磨工程を実行する。
【００８３】
＜粗仕上げ研磨工程＞
粗仕上げ研磨工程では、スペーサＳの表面を粗仕上げ用メディアＭａで研磨する。粗仕上げ用渦流バレル研磨機１０は、バレル槽１１内のマスＭに渦流を生じさせるので、最終仕上げ用回転バレル研磨機４０よりも研磨力が強い。また、粗仕上げ用メディアＭａの研磨力は、他のメディアＭｆ、Ｍｇ及びＭｈのいずれよりも強いので、この強い研磨力により、スペーサＳの表面に対するバリ取りやＲ付け等が効率的に行われる。
【００８４】
しかし、研磨力が強い分、研磨によってスペーサＳと粗仕上げ用メディアＭａから発生する微粉が、スペーサＳの表面に突き刺さり易く、研磨に伴ってスペーサＳの表面に形成される凹凸が、５回の研磨工程のうちで最も粗い。そのため、スペーサＳと粗仕上げ用メディアＭａから発生する微粉は、凹凸に引っ掛かって残り易い。粗仕上げ研磨工程では、洗浄液Ｗがバレル槽１１内に常時供給されて、微粉を含んだ汚水が常時排出されるのであるが、スペーサＳの表面の凹凸が大きいので、洗浄液Ｗによる洗浄だけでは、凹凸に引っ掛かって残った微粉を充分に除去することはできない。
【００８５】
＜１回目の中仕上げ研磨工程＞
そこで、粗仕上げ研磨工程の後に、１回目の中仕上げ研磨工程において、スペーサＳの表面を中仕上げ用第１メディアＭｆで研磨する。中仕上げ用渦流バレル研磨機３０は、最終仕上げ用回転バレル研磨機４０より研磨力が強く、中仕上げ用第１メディアＭｆの研磨力は、その後工程で用いる他の２つのメディアＭｇ及びＭｈよりも強い。したがって、５回の研磨工程では、１回目の中仕上げ研磨工程の研磨力が、粗仕上げ研磨工程に次いで２番目に強く、この強い研磨力により、粗仕上げ研磨工程で生じたスペーサＳの凹凸を小さくして、スペーサＳの表面を効率的に平滑化することができる。
【００８６】
しかし、研磨力が強い分、スペーサＳから発生する微粉の量が多い。また、中仕上げ用第１メディアＭｆからは、その砥粒Ｇの材料であるシリカの微粉が発生する。スペーサＳの表面の凹凸は小さくなるものの、スペーサＳとシリカの微粉がスペーサＳの表面に突き刺さったり凹凸に引っ掛かって残ったりすることは避けられない。１回目の中仕上げ研磨工程でも、洗浄液Ｗがバレル槽３１内に常時供給されて、微粉を含んだ汚水が常時排出されるが、洗浄液Ｗによる洗浄だけでは、突き刺さった微粉を完全に除去することはできない。
【００８７】
＜２回目の中仕上げ研磨工程＞
そこで、１回目の中仕上げ研磨工程の後は、２回目の中仕上げ研磨工程において、スペーサＳの表面を中仕上げ用第２メディアＭｇで研磨する。中仕上げ用渦流バレル研磨機３０の研磨力は最終仕上げ用回転バレル研磨機４０よりも強い。また、中仕上げ用第２メディアＭｇの研磨力は、その後工程で用いる最終仕上げ用メディアＭｈより強い。したがって、５回の研磨工程では、２回目の中仕上げ研磨工程の研磨力は３番目に強い。この研磨力により、１回目の中仕上げ研磨工程で小さくしたスペーサＳの凹凸を、更に小さくして、スペーサＳの表面を更に滑らかにする。
【００８８】
２回目の中仕上げ研磨工程においても、研磨する以上、スペーサＳからは微粉が発生し、中仕上げ用第２メディアＭｇの砥粒Ｇの材料であるシリカの微粉が発生する。スペーサＳの表面の凹凸は１回目の中仕上げ研磨工程より小さくなるものの、スペーサＳとシリカの微粉がスペーサＳの表面に突き刺さったり凹凸に引っ掛かって残ったりすることは避けられない。２回目の中仕上げ研磨工程でも、洗浄液Ｗがバレル槽３１内に常時供給されるとともに、微粉を含んだ汚水が常時排出されるが、洗浄液Ｗによる洗浄だけでは、突き刺さった微粉を完全に除去することはできない。
【００８９】
＜３回目の中仕上げ研磨工程＞
そこで、２回目の中仕上げ研磨工程の後は、３回目の中仕上げ研磨工程において、スペーサＳの表面を最終仕上げ用メディアＭｈで研磨する。中仕上げ用渦流バレル研磨機３０の研磨力は最終仕上げ用回転バレル研磨機４０よりも強い。したがって、５回の研磨工程において、３回目の中仕上げ研磨工程の研磨力の強さは４番目である。この比較的弱い研磨力により、２回目の中仕上げ研磨工程で小さくしたスペーサＳの凹凸を、更に小さくして、スペーサＳの表面を更に滑らかにする。
【００９０】
３回目の中仕上げ研磨工程においても、研磨する以上、スペーサＳからは微量ではあるが微粉が発生する。スペーサＳの表面の凹凸は２回目の中仕上げ研磨工程より小さくなるものの、スペーサＳの僅かな微粉がスペーサＳの表面に突き刺さったり凹凸に引っ掛かって残ったりすることは完全には避けられない。３回目の中仕上げ研磨工程でも、洗浄液Ｗがバレル槽３１内に常時供給されて、微粉を含んだ汚水が常時排出されるのであるが、洗浄液Ｗによる洗浄だけでは、突き刺さった微粉を完全に除去することはできない。
【００９１】
＜最終仕上げ研磨工程＞
そこで、３回目の中仕上げ研磨工程の後は、最終仕上げ研磨工程において、スペーサＳの表面を最終仕上げ用メディアＭｈで研磨する。最終仕上げ用回転バレル研磨機４０の研磨力は中仕上げ用渦流バレル研磨機３０よりも弱く、また、最終仕上げ研磨工程で使用する最終仕上げ用メディアＭｈは砥粒Ｇを含まない。したがって、最終仕上げ研磨工程の研磨力は、５回の研磨工程の中で最も弱い。この弱い研磨力により、３回目の中仕上げ研磨工程の後に残っていたごく僅かな凹凸が、ほぼ完全に平滑化され、スペーサＳの表面が、目標とする表面粗さ（例えば、Ｒａ０．０２４μｍ）にまで平滑化される。
【００９２】
最終仕上げ研磨工程の研磨力は、５回の研磨工程の中で最も弱いので、研磨によってスペーサＳから発生する微粉の量はごく僅かである。しかも、マスを雪崩状に流動させる最終仕上げ用回転バレル研磨機４０では、スペーサＳに対する最終仕上げ用メディアＭｈの押圧力が渦流バレル研磨機１０，３０に比べて弱いので、スペーサＳの表面に微粉が突き刺さることはない。また、最終仕上げ研磨工程でも、粗仕上げ研磨工程及び３回の中仕上げ研磨工程と同じく、洗浄液Ｗが、バレル槽４１内に常時供給されるとともに、微粉を含んだ汚水が、常時排出されるので、微粉がスペーサＳの表面に残留する虞もない。最終研磨工程の後は、実施例１と同様、スペーサＳを超音波洗浄装置６０の洗浄液Ｗ内に浸漬して超音波洗浄を行う。
【００９３】
＜実施例２と異なる研磨工程との比較＞
本実施例２では５回の研磨工程を実行することによって、最終的にスペーサＳの表面粗さをＲａ０．０２４μｍまで小さくすることができた。本実施例２との比較例として、表２に示すように第４、第５、第６の３つの研磨実験を行った。
【００９４】
第４の研磨実験では、本実施例２の２回目と３回目の中仕上げ研磨工程と、最終仕上げ研磨工程に相当する研磨工程を省き、本実施例２と同じ条件の粗仕上げ研磨工程及び１回目の中仕上げ研磨工程からなる２回の研磨工程を実行した。この第４の研磨実験によって得られたスペーサＳの表面粗さは、Ｒａ０．０４９μｍであるのに対し、本実施例２によって得られた表面粗さは、Ｒａ０．０２４μｍであるから、本実施例２の研磨方法の方がスペーサＳの表面の平滑度が高い。
【００９５】
第５の研磨実験では、本実施例２の３回目の中仕上げ研磨工程と最終仕上げ研磨工程に相当する研磨工程を省き、本実施例２と同じ条件の粗仕上げ研磨工程から２回目の中仕上げ研磨工程までの３回の研磨工程を実行した。この第５の研磨実験によって得られたスペーサＳの表面粗さは、Ｒａ０．０３８μｍであるのに対し、本実施例２によって得られた表面粗さは、Ｒａ０．０２４μｍであるから、本実施例２の研磨方法の方がスペーサＳの表面の平滑度が高い。しかしながら、本実験例でも十分満足の行く表面清浄度と表面粗さが得られた。
【００９６】
また、第６の研磨実験では、本実施例２の最終仕上げ研磨工程に相当する研磨工程を省き、本実施例２と同じ条件の粗仕上げ研磨工程から３回目の中仕上げ研磨工程までの４回の研磨工程を実行した。この第６の研磨実験によって得られたスペーサＳの表面粗さは、Ｒａ０．０３４μｍであり、本実施例２の研磨方法の方がスペーサＳの表面の平滑度が高かった。しかしながら、本実験例でも十分満足の行く表面清浄度と表面粗さが得られた。
【００９７】
【表２】
2017164886.tif 000004
【００９８】
＜実施例２の作用及び効果＞
本実施例２の表面処理方法は、スペーサＳとメディアＭａ，Ｍｆ，Ｍｇ，ＭｈとからなるマスＭをバレル槽１１，３１，４１内で流動させながら洗浄液Ｗを給排水することでスペーサＳの表面を研磨する研磨工程を、５回（少なくとも１回）実行する。そして、５回の研磨工程のうち３回目の中仕上げ研磨工程と最終仕上げ研磨工程とで用いる最終仕上げ用メディアＭｈを、砥粒Ｇもアルミナも含まれない母材のみからなるものとしている。
【００９９】
この表面処理方法によれば、３回目の中仕上げ研磨工程及び最終仕上げ研磨工程では最終仕上げ用メディアＭｈが砥粒Ｇを含有していないので、スペーサＳの表面粗さを小さく仕上げることができる。また、最終仕上げ研磨工程ではスペーサＳや最終仕上げ用メディアＭｈからは微粉が発生し難い。たとえ微粉が発生したとしても、最終仕上げ研磨ではスペーサＳの表面粗さ粗度が小さくなっていてスペーサＳの表面に微粉が付着し難いことと、洗浄液Ｗによる洗浄力とによって、微粉はスペーサＳの表面から確実に除去される。本実施例２の表面処理方法によれば、金属部品の表面にアルミナが残留することはなく、アルミナフリーの表面処理を実現できる。
【０１００】
次に、本実施例２に特有の作用効果を説明する。最終仕上げ研磨用メディアＭｈは、合成樹脂（不飽和ポリエステル）からなり且つアルミナが非含有のものであるから、最終仕上げ研磨工程の後、スペーサＳの表面にアルミナが残留することはない。
【０１０１】
また、最終仕上げ研磨工程より前に中仕上げ研磨工程を実行するが、中仕上げ研磨工程では、砥粒Ｇを結合材Ｂで結合した中仕上げ用メディアＭｆ，Ｍｇを用いる。これら中仕上げ用メディアＭｆ，Ｍｇの結合材Ｂは、合成樹脂（不飽和ポリエステル）からなり、且つ砥粒Ｇｔがシリカであるから、アルミナを含まない。したがって、中仕上げ研磨工程の後、スペーサＳの表面にアルミナが残留することはない。
【０１０２】
また、中仕上げ用メディアＭｆ，Ｍｇの砥粒Ｇは、炭化珪素、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素、ジルコン、ジルコニア、シリカ、炭化ホウ素、酸化鉄、酸化クロムのうちのシリカを材料とし、且つアルミナが非含有のものである。したがって、中仕上げ研磨工程の後、スペーサＳの表面にアルミナが残留することはない。
【０１０３】
また、中仕上げ用メディアＭｆ，Ｍｇは、結合材Ｂが不飽和ポリエステルであり、砥粒Ｇの含有率が、夫々、３０重量％以下、１０重量％以下である。結合材Ｂとして用いる不飽和ポリエステルは、安価で成形し易いという利点がある。また、中仕上げ用メディアＭｆ，Ｍｇの砥粒Ｇの含有率を、夫々、３０重量％以下、１０重量％以下に抑えたことにより、中仕上げ研磨工程後のスペーサＳの表面の平滑度が向上する。
【０１０４】
また、最終仕上げ研磨工程に先立って、１回の粗仕上げ研磨工程と３回の中仕上げ研磨工程が順次に実行されるが、その過程において、各研磨工程で用いられるメディアＭａ，Ｍｆ，Ｍｇにおける砥粒Ｇの含有率は、順次に低くなっている。この構成によれば、スペーサＳの表面の平滑度を効率的に高めていくことができる。
【０１０５】
＜他の実施例＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施例に限定されるものではなく、例えば次のような実施例も本発明の技術的範囲に含まれる。
（１）上記実施例１、２では、研磨工程において洗浄液Ｗを連続的に給排水するようにしたが、洗浄液Ｗの給排水は、研磨工程の後半又は終盤だけで行ってもよく、研磨工程の間に間欠的に複数回行ってもよい。
（２）上記実施例１、２では、最終仕上げ研磨工程において、一対の水平な中空支持軸４３により回転可能に支持した回転タイプのバレル槽４１を用いたが、最終仕上げ研磨工程で用いるバレル槽は、固定槽の下端縁に沿って回転盤を回転させる渦流タイプのものであってもよい。
（３）上記実施例１、２では、中仕上げ研磨工程で用いるバレル槽３１は、中仕上げ用回転盤３４が中仕上げ用固定槽３３に摺接しながら回転するものであるが、中仕上げ研磨工程で用いるバレル槽は、中仕上げ用回転盤が中仕上げ用固定槽と接触せずに回転するものであってもよい。
（４）上記実施例１、２では、中仕上げ研磨工程では、筒状の中仕上げ用固定槽３３の下端の開口を塞ぐように配された中仕上げ用回転盤を回転させる渦流タイプのバレル槽３１を用いたが、中仕上げ研磨工程で用いるバレル槽は、略水平な一対の中空支持軸により回転可能に支持された回転タイプのバレル槽であってもよい。
（５）上記実施例１、２では、中仕上げ研磨工程を３回実行したが、中仕上げ研磨工程の実行数は、２回以下でもよく、４回以上でもよい。
（６）上記実施例１では、中仕上げ用のメディアＭｂ，Ｍｃ，Ｍｄは、シリカより硬度の高い砥粒Ｇが非含有のものであるが、中仕上げ用のメディアは、シリカより硬度の高い砥粒Ｇを含むものであってもよい。
（７）上記実施例１、２では、粗仕上げ研磨工程で用いるバレル槽１１は、粗仕上げ用回転盤１４が粗仕上げ用固定槽１３と接触せずに回転するものであるが、粗仕上げ研磨工程で用いるバレル槽は、粗仕上げ用回転盤が粗仕上げ用固定槽に摺接しながら回転するものであってもよい。
（８）上記実施例１では、初回の中仕上げ研磨工程から最終回の中仕上げ研磨工程に至る過程で中仕上げ用のメディアＭｂ，Ｍｃ，Ｍｄの比重を順に軽くするようにしたが、初回の中仕上げ研磨工程から最終回の中仕上げ研磨工程に至る全過程で、中仕上げ用のメディアの比重が一定であってもよい。
（９）上記実施例１、２では、最終仕上げ研磨工程の後に、スペーサＳ（金属部品）の表面を超音波洗浄により洗浄したが、このような超音波洗浄を行わずにスペーサＳ（金属部品）の表面処理を終了してもよい。
（１０）上記実施例１、２では、複数回の研磨工程を実行したが、研磨工程の実行回数は最終仕上げ研磨工程のみの１回だけとしてもよい。
（１１）上記実施例１では、最終仕上げ用メディアＭｄを、シリカを主成分とするセラミックメディアとしたが、最終仕上げ用メディアは、砥粒を含まない熱可塑性樹脂又は熱硬化性樹脂製の母材のみからなるプラスチックメディアや、含有率が１０重量％以下の砥粒を熱可塑性樹脂又は熱硬化性樹脂製の結合材で結合したプラスチックメディアであってもよい。
（１２）上記実施例１、２では、粗仕上げ用渦流バレル研磨機１０の粗仕上げ用固定槽１３の下端部の内周面と粗仕上げ用回転盤１４の上端部外周面とが対向しているが、これに限らず、粗仕上げ用固定槽の下端面と粗仕上げ用回転盤の上端面とが対向するようなものであってもよい。
（１３）上記実施例１、２において、超音波洗浄工程は、１台の超音波洗浄装置６０において洗浄液Ｗを入れ替えて複数回行ってもよい。また、超音波洗浄装置６０を複数台並べて用意し、粗洗浄、中洗浄、仕上げ洗浄等の複数回の洗浄工程を実行してもよい。
（１４）上記実施例２では、中仕上げ用メディアＭｆ，Ｍｇの砥粒Ｇは、シリカからなり且つアルミナを含まないものであったが、中仕上げ用メディアＭｆ，Ｍｇの砥粒Ｇの材料は、炭化珪素、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素、ジルコニア、炭化ホウ素、酸化鉄、酸化クロムのいずれかであってもよい。
（１５）上記実施例２では、最終仕上げ用メディアＭｈの材料を、不飽和ポリエステルからなる熱硬化性樹脂としたが、最終仕上げ用メディアは、不飽和ポリエステル以外の熱可塑性樹脂であってもよい。
（１６）上記実施例２では、中仕上げ用第１メディアＭｆの砥粒Ｇの粒径（メジアン径）を１０μｍとしたが、中仕上げ用第１メディアＭｆの砥粒Ｇの粒径（メジアン径）は、１〜１０μｍであることが好ましく、１〜５μｍであれば更に好ましい。
（１７）上記実施例２では、中仕上げ用第２メディアＭｇの砥粒Ｇの粒径（メジアン径）を１μｍとしたが、中仕上げ用第２メディアＭｇの砥粒Ｇの粒径（メジアン径）は、１〜１０μｍであることが好ましく、１〜５μｍであれば更に好ましい。
（１８）上記実施例２において、粗仕上げ用メディアＭａを、粒径が６ｍｍと小さくした球形のものとしてもよい。通常、湿式の表面処理において用いられるプラスチックメディアの場合、製造上の理由及び価格が上昇するという理由から、底面の直径が１０ｍｍ以上、高さが１０ｍｍ以上の円錐形とする。しかし、粗仕上げ用メディアＭａを底面の直径が６ｍｍ、高さが６ｍｍの円錐形と小さくすれば、スペーサＳの表面の粗さを小さくすることができる。
（１９）上記実施例２では、最終仕上げ用のメディアを、砥粒を含まない合成樹脂製の母材のみからなるものとしたが、最終仕上げ用メディアは、含有率が１０重量％以下の砥粒を合成樹脂製の結合材で結合し且つアルミナが非含有のものとしてもよい。この場合、砥粒は、炭化珪素、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素、ジルコン、ジルコニア、シリカ、炭化ホウ素、酸化鉄、酸化クロムのいずれかからなり、且つアルミナが非含有のものとすることができる。
【符号の説明】
【０１０６】
Ｍａ…粗仕上げ用メディア（粗仕上げ用のメディア）
Ｍｂ…中仕上げ用第１メディア（中仕上げ用のメディア）
Ｍｃ…中仕上げ用第２メディア（中仕上げ用のメディア）
Ｍｄ…最終仕上げ用メディア（最終仕上げ用及び中仕上げ用のメディア）
Ｍｆ…中仕上げ用第１メディア（中仕上げ用のメディア）
Ｍｇ…中仕上げ用第２メディア（中仕上げ用のメディア）
Ｍｈ…最終仕上げ用メディア（最終仕上げ用及び中仕上げ用のメディア）
Ｓ…スペーサ（金属部品）
Ｗ…洗浄液
１１…粗仕上げ用のバレル槽
１３…粗仕上げ用固定槽
１４…粗仕上げ用回転盤
３１…中仕上げ用のバレル槽
３３…中仕上げ用固定槽
３４…中仕上げ用回転盤
４１…最終仕上げ用のバレル槽
４３…中空支持軸 
【図１】
2017164886.tif 000005
【図２】
2017164886.tif 000006
【図３】
2017164886.tif 000007
【図４】
2017164886.tif 000008
【図５】
2017164886.tif 000009
【図６】
2017164886.tif 000010
【図７】
2017164886.tif 000011
【図８】
2017164886.tif 000012
【図９】
2017164886.tif 000013
【図１０】
2017164886.tif 000014
【図１１】
2017164886.tif 000015
【図１２】
2017164886.tif 000016