(57)【要約】【課題】溶剤蒸気の損失を抑制可能なワーク洗浄装置を提供すること。【解決手段】ワーク洗浄装置１は、搬入搬出室８と、この下に配置した処理室９とを備え、搬入搬出室８の搬入搬出口４は外扉６によって封鎖され、搬入搬出室８と処理室９の連通口５０は内扉である内扉１１によって封鎖されている。処理室９内の底側には洗浄槽１２が配置され、その上側に蒸気洗浄領域１４が形成され、その上側に冷却コイルを備えた冷却乾燥領域１６が形成されている。外扉５と内扉である内扉１１を独立に開閉制御して、洗浄動作中に、処理室９が搬入搬出室８を介して外部に連通した状態が形成されないようにする。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの搬入搬出口を備えた搬入搬出室と、
前記搬入搬出口を開閉する外扉と、
前記搬入搬出室に連通口を介して連通している処理室と、
前記連通口を開閉する内扉と、
前記処理室の内部に配置された溶剤を貯留する洗浄槽と、
前記処理室の内部において前記洗浄槽の上側に設けた蒸気洗浄領域と、
前記処理室の内部において前記蒸気洗浄領域の上側に設けられ、前記連通口に面している冷却乾燥領域と、
ワークを、前記連通口を介して、前記搬入搬出室および前記処理室に搬送する搬送機構と、
前記蒸気洗浄領域に溶剤蒸気を供給するための蒸気発生槽と
を有しているワーク洗浄装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記搬入搬出口は、ワークの搬入口およびワークの搬出口に分かれており、
前記外扉として、前記搬入口を開閉する搬入側外扉および前記搬出口を開閉する搬出側外扉を備えているワーク洗浄装置。
【請求項３】
請求項１において、
前記連通口は、ワークを前記処理室に搬送する搬入側連通口およびワークを前記処理室から搬出する搬出側連通口に分かれており、
前記内扉として、前記搬入側連通口を開閉する搬入側内扉および前記搬出側連通口を開閉する搬出側内扉を備えているワーク洗浄装置。
【請求項４】
請求項１において、
前記搬入搬出口は、ワークの搬入口およびワークの搬出口に分かれており、
前記外扉として、前記搬入口を開閉する搬入側外扉および前記搬出口を開閉する搬出側外扉を備えており、
前記連通口は、ワークを前記処理室に搬送する搬入側連通口およびワークを前記処理室から搬出する搬出側連通口に分かれており、
前記外扉として、前記搬入口を開閉する搬入側外扉および前記搬出口を開閉する搬出側外扉を備えており、
前記内扉として、前記搬入側連通口を開閉する搬入側内扉および前記搬出側連通口を開閉する搬出側内扉を備えているワーク洗浄装置。
【請求項５】
請求項１において、
前記搬入搬出室は、搬入室および搬出室に分かれており、
前記搬入搬出口は、前記搬入室に形成したワークの搬入口および前記搬出室に形成したワークの搬出口に分かれており、
前記外扉として、前記搬入口を開閉する搬入側外扉および前記搬出口を開閉する搬出側外扉を備えており、
前記連通口は、前記搬入室と前記処理室を連通している搬入側連通口および前記搬出口と前記処理室を連通している搬出側連通口に分かれており、
前記内扉として、前記搬入側連通口を開閉する搬入側内扉および前記搬出側連通口を開閉する搬出側内扉を備えているワーク洗浄装置。
【請求項６】
請求項５において、
前記蒸気発生槽は、前記処理室の内部において、前記洗浄槽に対して横方向に隣接した
位置に配置されており、
前記搬送機構は、前記搬入側連通口を介してワークを昇降する第１昇降機構、前記搬出側連通口を介してワークを昇降する第２昇降機構、および、前記蒸気洗浄領域内においてワークを横方向に搬送して前記第１昇降機構から前記第２昇降機構に引き渡す横搬送機構を備えているワーク洗浄装置。
【請求項７】
請求項５において、
前記洗浄槽として、少なくとも、横方向に隣接配置した第１洗浄槽および第２洗浄槽を備えており、
前記蒸気発生槽は、前記処理室の内部において、前記第２洗浄槽に対して、前記第１洗浄槽とは反対側に隣接して配置されており、
前記第１洗浄槽の真上の位置が前記搬入側連通口を介してワークが搬入される搬入位置であり、前記蒸気発生槽の真上の位置が前記搬出側連通口を介してワークが搬出される搬出位置であり、
前記搬送機構は、
前記搬入側連通口を介して前記搬入室から前記搬入位置にワークを搬入する搬入機構と、
前記搬入位置に搬入されたワークを、前記冷却乾燥領域、前記蒸気洗浄領域および前記第１洗浄槽に搬送する第１昇降機構と、
前記蒸気洗浄領域および前記第２洗浄槽にワークを搬送する第２昇降機構と、
前記蒸気洗浄領域、前記冷却乾燥領域および前記搬出位置にワークを搬送する第３昇降機構と、
前記搬出側連通口を介して前記搬出位置から前記搬出室にワークを搬出する搬出機構と、
前記蒸気洗浄領域内においてワークを横方向に搬送して前記第１昇降機構から前記第２、第３昇降機構に順次に引き渡す横搬送機構と
を備えているワーク洗浄装置。
【請求項８】
請求項５において、更に、
前記処理室の内部における前記冷却乾燥領域の上側に形成されたワーク搬入搬出領域を有しており、
前記洗浄槽として、少なくとも、横方向に隣接配置した第１洗浄槽および第２洗浄槽を備えており、
前記蒸気発生槽は、前記処理室の内部において、前記第２洗浄槽に対して、前記第１洗浄槽とは反対側に隣接して配置されており、
前記ワーク搬入搬出領域において、前記第１洗浄槽の真上の位置が前記搬入側連通口を介してワークが搬入される搬入位置であり、前記蒸気発生槽の真上の位置が前記搬出側連通口を介してワークが搬出される搬出位置であり、
前記搬送機構は、
前記搬入側連通口を介して前記搬入室から前記搬入位置にワークを搬入する搬入機構と、
前記搬入位置に搬入されたワークを、前記冷却乾燥領域、前記蒸気洗浄領域および前記第１洗浄槽に搬送する第１昇降機構と、
前記蒸気洗浄領域および前記第２洗浄槽にワークを搬送する第２昇降機構と、
前記蒸気洗浄領域、前記冷却乾燥領域および前記搬出位置にワークを搬送する第３昇降機構と、
前記搬出側連通口を介して前記搬出位置から前記搬出室にワークを搬出する搬出機構と、
前記蒸気洗浄領域内においてワークを横方向に搬送して前記第１昇降機構から前記第２、第３昇降機構に順次に引き渡す横搬送機構と
を備えているワーク洗浄装置。
【請求項９】
請求項８において、
前記ワーク搬入搬出領域における前記搬出位置と前記搬出側連通口との間には、乾燥領域が配置されており、
前記搬出機構は、ワークを前記搬出位置から前記乾燥領域を経由して搬出するようになっているワーク洗浄装置。
【請求項１０】
請求項１ないし９のうちのいずれか一つの項において、更に、
前記搬入搬出室内の気体を、熱交換機を介して循環させることにより、前記気体に含まれる溶剤を冷却して液化させて回収する溶剤回収機構を有しているワーク洗浄装置。
【請求項１１】
請求項７、８または９において、
前記第１洗浄槽は炭化水素系洗浄剤を貯留する洗浄槽であり、
前記第２洗浄槽はフッ素系洗浄剤を貯留する洗浄槽である
ワーク洗浄装置。
【請求項１２】
請求項１ないし４のうちのいずれか一つの項において、更に、
前記搬入搬出口を介して前記処理室に搬入される前のワークを洗浄するために、少なくとも１槽の前段側洗浄槽を有しているワーク洗浄装置。
【請求項１３】
請求項１２において、
前記前段側洗浄槽は、炭化水素系溶剤を用いてワークを洗浄する洗浄槽であり、
前記処理室内の前記洗浄槽は、フッ素系溶剤を用いてワークを洗浄する洗浄槽であるワーク洗浄装置。
【請求項１４】
請求項１ないし１３のうちのいずれか一つの項において、
前記内扉は、前記処理室と前記搬入搬出室の間の前記連通口を遮断する遮断位置および前記連通口を開放する開放位置までの間をスライド可能な内扉であり、
前記内扉は、その両側の縁部分が、前記開放位置から前記遮断位置に向かう前進方向に対して鋭角に傾斜した傾斜面となっており、
前記遮断位置にある前記内扉の前記縁部分が対峙する前記連通口の両側の開口縁部分は、前記縁部分が当接した状態で乗り上げ可能な相補的な傾斜面形状をしているワーク洗浄装置。
【請求項１５】
請求項１に記載のワーク洗浄装置を用いたワーク洗浄方法であって、
前記処理室と前記搬入搬出室の間の前記連通口を閉じた状態で、前記搬入搬出口から洗浄対象のワークを前記搬入搬出室に搬入し、
前記搬入搬出口を閉じた後に前記連通口を開き、前記搬入搬出室から前記処理室内の洗浄槽に貯留されている溶剤に浸漬する位置までワークを降下させて、当該ワークの洗浄処理を行い、
洗浄後に前記蒸気洗浄領域および前記冷却乾燥領域を経由してワークを前記搬入搬出室まで持ち上げた後に、前記連通口を閉じ、
前記搬入搬出室内の気体を、熱交換機を介して循環させて、前記気体に含まれる溶剤を冷却して液化して回収し、
その後に前記搬入搬出口を開き、処理後のワークを搬出するワーク洗浄方法。
【請求項１６】
請求項６に記載のワーク洗浄装置を用いたワーク洗浄方法であって、
前記搬入側連通口を閉じた状態で、前記搬入口から洗浄対象のワークを前記搬入搬出室に搬入し、
前記搬入口を閉じた後に、前記搬入側連通口を開き、前記搬入室から前記処理室内の前記洗浄槽に貯留されている溶剤に浸漬する位置までワークを降下させて、当該ワークに洗浄処理を施し、
洗浄後のワークを前記蒸気洗浄領域まで引き上げ、前記蒸気洗浄領域内を、前記蒸気発生槽の真上の位置となるまで横方向に搬送し、当該蒸気洗浄領域内においてワークに蒸気洗浄を施し、
蒸気洗浄後のワークを、前記冷却乾燥領域まで引き上げて、乾燥処理を施し、
乾燥後のワークを、前記搬出室に搬出した後に、前記搬出側連通口を閉じ、
前記搬出室内の気体を、熱交換機を介して循環させることにより、当該気体から溶剤を冷却液化して回収し、
しかる後に、前記搬出口を開けて、前記ワークを搬出するワーク洗浄方法。
【請求項１７】
請求項９に記載のワーク洗浄装置を用いたワーク洗浄方法であって、
前記搬入側連通口を閉じた状態で、前記搬入口から洗浄対象のワークを前記搬入搬出室に搬入し、
前記搬入口を閉じた後に、前記搬入側連通口を開き、前記搬入室から前記処理室内の前記第１洗浄槽に貯留されている溶剤に浸漬する位置までワークを降下させて、当該ワークに粗洗浄処理を施し、
洗浄後のワークを前記蒸気洗浄領域まで引き上げ、前記蒸気洗浄領域内を、前記第２洗浄槽の真上の位置となるまで横方向に搬送し、
前記蒸気洗浄領域から前記第２洗浄槽に貯留されている溶剤に浸漬する位置までワークを降下させて、当該ワークに仕上げ洗浄処理を施し、
洗浄後のワークを前記蒸気洗浄領域まで引き上げ、前記蒸気発生槽の真上の位置となるまで横方向に搬送し、当該蒸気洗浄領域内においてワークに蒸気洗浄を施し、
蒸気洗浄後のワークを、前記ワーク搬入搬出領域の前記搬出位置まで引き上げた後に、前記乾燥領域まで横方向に搬送し、
前記乾燥領域でワークに乾燥処理を施し、
乾燥後のワークを、前記搬出室に搬出した後に、前記搬出側連通口を閉じ、
前記搬出室内の気体を、熱交換機を介して循環させることにより、当該気体から溶剤を冷却液化して回収し、
しかる後に、前記搬出口を開けて、前記ワークを搬出するワーク洗浄方法。
【請求項１８】
請求項１５、１６または１７において、
前記溶剤はフッ素系洗浄剤であるワーク洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品、金属部品などの各種のワークの洗浄に用いるワーク洗浄装置およびワーク洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワーク洗浄装置としては、特許文献１に開示の１槽式のワーク洗浄装置が知られている。この特許文献１に開示のワーク洗浄装置では、そのタンク本体内の下部に溶剤を貯留する洗浄槽が配置され、洗浄槽の溶剤液面の上側に蒸気洗浄領域が形成され、その上側に冷却コイルが配置された冷却領域が形成され、冷却領域の上側が乾燥領域となっている。乾燥領域にはワーク出入口が形成されている。
【０００３】
この構成のワーク洗浄装置では、蒸気洗浄を行うときのみ蒸気溶剤を蒸気発生槽の側から蒸気洗浄領域に供給することにより、溶剤蒸気を常時供給する場合に比べて溶剤消費量を抑制できるようにしている。また、蒸気洗浄領域における冷却領域の側の部分から蒸気溶剤を吸引して回収することにより、冷却領域の上側に持ち出されてしまう蒸気溶剤のロスを抑制している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−７４３１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、蒸気洗浄領域は冷却領域を介してその上側の乾燥室あるいはワーク出入室と連通しているので、蒸気洗浄領域の溶剤蒸気量を制御し、溶剤蒸気を吸引制御しても、依然として、ワーク出入り口が形成されている側に溶剤蒸気が漏出するおそれがある。また、溶剤蒸気の供給制御を行うための制御機構、溶剤蒸気を吸引するための吸引機構を付設する必要があるので、製造コストが上昇してしまう。
【０００６】
例えば、ワーク洗浄装置の洗浄剤として用いる溶剤としては、フッ素系溶剤が使用される。フッ素系溶剤は揮発性が高く乾燥性が良いので、ワーク出入り口を介して大気中に漏出しやすい。フッ素系溶剤は高価であるので、蒸気発生に伴う損出量を可能な限り抑制できることが望まれる。
【０００７】
本発明の課題は、このような点に鑑みて、溶剤蒸気の損失を抑制可能な１槽式あるいは多槽式のワーク洗浄装置および洗浄方法を提案することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のワーク洗浄装置は、
ワークの搬入搬出口を備えた搬入搬出室と、
前記搬入搬出口を開閉する外扉と、
前記搬入搬出室に連通口を介して連通している処理室と、
前記連通口を開閉する内扉と、
前記処理室の内部に配置された溶剤を貯留する洗浄槽と、
前記処理室の内部において前記洗浄槽の上側に設けた蒸気洗浄領域と、
前記処理室の内部において前記蒸気洗浄領域の上側に設けられ、前記連通口に面している冷却乾燥領域と、
ワークを、前記連通口を介して、前記搬入搬出室および前記処理室に搬送する搬送機構と、
前記蒸気洗浄領域に溶剤蒸気を供給するため蒸気発生槽と
を有していることを特徴としている。
【０００９】
また、本発明は、上記構成のワーク洗浄装置を用いたワーク洗浄方法であって、
前記処理室と前記搬入搬出室の間の前記連通口を閉じた状態で、前記搬入搬出口から洗浄対象のワークを前記搬入搬出室に搬入し、
前記搬入搬出口を閉じた後に前記連通口を開き、前記搬入搬出室から前記処理室内の洗浄槽に貯留されている溶剤に浸漬する位置までワークを降下させて、当該ワークの洗浄処理を行い、
洗浄後に前記蒸気洗浄領域および前記冷却乾燥領域を経由してワークを前記搬入搬出室まで持ち上げた後に、前記連通口を閉じ、
前記搬入搬出室内の気体を、熱交換機を介して循環させて、前記気体に含まれる溶剤を冷却して液化して回収し、
その後に前記搬入搬出口を開き、処理後のワークを搬出することを特徴としている。
【００１０】
本発明では、搬入搬出口が開いている状態では、必ず、処理室と、その上の搬入搬出室との間が遮断される。溶剤蒸気が存在する処理室内部の蒸気洗浄領域および冷却乾燥領域が、搬入搬出室を介して外部と連通状態になることが阻止される。よって、外部への溶剤蒸気の漏出を確実に防止でき、溶剤蒸気の損失を可能な限り少なくすることができる。
【００１１】
搬入搬出室の搬入搬出口の開閉と、搬入搬出室と処理室の間の連通口の開閉とを行うだけで溶剤蒸気の損失を低減でき、開閉機構を廉価に構成することにより、装置コストの上昇も抑えることができる。
【００１２】
また、搬入搬出口はワーク搬入・搬出時のみ開放すればよいので、搬入搬出口を介して外部からの空気の侵入量も少なくて済む。外部から侵入する空気に含まれる水分が、搬入搬出室を介して処理室内に進入すると、冷却乾燥領域において冷却されて冷却コイルなどの表面に結露が生じ、その冷却効率が低下するなどの弊害が生じる。このような弊害も解消あるいは抑制できる。
【００１３】
ここで、前記搬入搬出口を、ワークの搬入口およびワークの搬出口に分け、外扉として、搬入口を開閉する搬入側外扉と搬出口を開閉する搬出側外扉を配置することができる。前記連通口を、ワークを処理室に搬送する搬入側連通口およびワークを処理室から搬出する搬出側連通口に分け、内扉として、搬入側連通口を開閉する搬入側内扉および搬出側連通口を開閉する搬出側内扉を配置することもできる。また、前記搬入搬出口をワークの搬入口およびワークの搬出口に分けて、搬入口を開閉する搬入側外扉および搬出口を開閉する搬出側外扉を配置すると共に、前記連通口を搬入側連通口および搬出側連通口に分けて、搬入口を開閉する搬入側外扉および搬出口を開閉する搬出側外扉を配置することもできる。
【００１４】
処理室内に、２槽あるいは、それ以上の洗浄槽等の処理槽が配置される多槽式のワーク洗浄装置などの場合には、前記搬入搬出室を搬入室および搬出室に分けて、搬入室に形成した搬入口を開閉する搬入側外扉と、搬出室に形成した搬出口を開閉する搬出側外扉を配置し、搬入室と処理室を連通している搬入側連通口を開閉する搬入側内扉と、搬出口と処理室を連通している搬出側連通口を開閉する搬出側内扉を配置することが望ましい。
【００１５】
本発明において、処理室内に、洗浄槽と蒸気発生槽とが配置された２槽式の構成を採用することができる。例えば、蒸気発生槽を、処理室の内部において、洗浄槽に対して横方
向に隣接した位置に配置する。この場合には、搬送機構として、搬入側連通口を介してワークを昇降する第１昇降機構、搬出側連通口を介してワークを昇降する第２昇降機構、および、蒸気洗浄領域内においてワークを横方向に搬送して第１昇降機構から第２昇降機構に引き渡す横搬送機構を配置することができる。
【００１６】
本発明において、処理室内に、複数の洗浄槽が配置された多槽式の構成を採用することができる。例えば、洗浄槽として、少なくとも、第１洗浄槽および第２洗浄槽を横方向に隣接配置し、蒸気発生槽を、処理室の内部において、第２洗浄槽に対して、第１洗浄槽とは反対側に隣接配置した３槽式の構成を採用することができる。
【００１７】
この場合には、例えば、第１洗浄槽の真上の位置を、搬入側連通口を介してワークが搬入される搬入位置とし、蒸気発生槽の真上の位置を、搬出側連通口を介してワークが搬出される搬出位置とする。また、例えば、搬送機構として、搬入側連通口を介して前記搬入室から前記搬入位置にワークを搬入する搬入機構と、搬入位置に搬入されたワークを、冷却乾燥領域、蒸気洗浄領域および第１洗浄槽に搬送する第１昇降機構と、蒸気洗浄領域および第２洗浄槽にワークを搬送する第２昇降機構と、蒸気洗浄領域、冷却乾燥領域および搬出位置にワークを搬送する第３昇降機構と、搬出側連通口を介して搬出位置から搬出室にワークを搬出する搬出機構と、蒸気洗浄領域内においてワークを横方向に搬送して第１昇降機構から第２、第３昇降機構に順次に引き渡す横搬送機構を配置することができる。
【００１８】
ここで、処理室の内部における冷却乾燥領域の上側に、ワーク搬入搬出領域を設けることができる。この場合には、ワーク搬入搬出領域において、第１洗浄槽の真上の位置を搬入側連通口を介してワークが搬入される搬入位置とし、蒸気発生槽の真上の位置を搬出側連通口を介してワークが搬出される搬出位置とすることができる。
【００１９】
この場合には、搬入搬出領域における搬出位置と搬出側連通口との間に乾燥領域を設け、搬出機構により、ワークを搬出位置から乾燥領域に搬送して乾燥させた後に、搬出するようにしてもよい。
【００２０】
次に、本発明において、前記搬入搬出室内の気体を、熱交換機を介して冷却しながら循環させるようにしてもよい。このようにすれば、冷却乾燥領域から搬入搬出室（搬出室）に引き上げられるワークと共に搬入搬出室（搬出室）に進入した溶剤蒸気を、熱交換機において冷却して液化させることにより、確実に回収することができる。
【００２１】
本発明において、溶剤としてフッ素系溶剤を用いることができる。フッ素系溶剤は他の溶剤に比べて高価であるが、本発明の方法によれば、外部への溶剤の損出を減らすことができるので、従来に比べてランニングコストを低減できる。
【００２２】
また、処理室内に複数の洗浄槽が配置されている場合には、例えば、第１洗浄槽を、炭化水素系洗浄剤を用いて洗浄を行う洗浄槽として、第２洗浄槽をフッ素系洗浄剤を用いて洗浄を行う洗浄槽とすることができる。
【００２３】
ここで、搬入搬出口を介して処理室に搬入される前のワークを洗浄するために、少なくとも１槽の前段側洗浄槽を配置して、多槽式のワーク洗浄装置を構成することもできる。この場合には、例えば、前段側洗浄槽を、炭化水素系溶剤を用いてワークを洗浄する洗浄槽とし、処理室内の洗浄槽を、フッ素系溶剤を用いてワークを洗浄する洗浄槽とすることができる。
【００２４】
次に、本発明の装置において、内扉を開閉する内扉開閉機構として、搬出搬入室（搬入室、搬出室）と処理室との間の連通口（搬入側連通口、搬出側連通口）を遮断する遮断位
置および連通口を開放する開放位置までの間をスライド可能な内扉を用いることができる。この場合、内扉における両側の縁部分を、開放位置から遮断位置に向かう前進方向に対して鋭角に傾斜した傾斜縁部分とし、遮断位置にある内扉の傾斜縁部分が対峙する連通口の両側の開口縁部分を、傾斜縁部分が当接した状態で乗り上げ可能な相補的な傾斜面形状とすることが望ましい。
【００２５】
内扉を閉じると、内扉の両側の傾斜縁部分が連通口の両側の開口縁部分に当接した状態で乗り上げる。これらの縁部分の傾斜面相互の係合によって、内扉の外周縁部分が確実に連通口の開口縁部分に押し付けられる。ガタ付きなく、確実に連通口の遮断状態が形成される。
【００２６】
なお、ワーク洗浄装置には、洗浄室に溶剤を補充する溶剤タンク、冷却乾燥領域において凝縮して液化した溶剤を回収し、回収した溶剤から水分を分離して再生する水分離器などが配置される。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明を適用した１槽式のワーク洗浄装置の内部構造を示す正面構成図、側面構成図および平面構成図である。
【図２】ワーク洗浄装置の配管系統図である。
【図３】ワーク洗浄装置の概略構成図、洗浄動作の一例を示す説明図および搬入搬出室と連通口の別の配置例を示す説明図である。
【図４Ａ】ワーク洗浄装置の昇降機構を示す正面図、側面図および平面図である。
【図４Ｂ】昇降機構の別の例を示す正面図、矢印ｂの方向から見た場合の説明図、矢印ｃの方向から見た場合の説明、および、矢印ｄの方向から見た場合の説明図である。
【図５Ａ】ワーク洗浄装置の搬入搬出口の外扉開閉機構を示す平面図、正面図および側面図である。
【図５Ｂ】外扉開閉機構の別の例を示す説明図である。
【図６】ワーク洗浄装置の内扉開閉機構を示す平面図、正面図および側面図である。
【図７】本発明を適用した２槽式のワーク洗浄装置を示す構成図および動作説明図である。
【図８】本発明を適用した３槽式のワーク洗浄装置を示す構成図および動作説明図である。
【図９】本発明を適用した４槽式のワーク洗浄装置を示す構成図および動作説明図である。
【図１０】本発明を適用したワーク洗浄装置を示す構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下に、図面を参照して、本発明を適用した１槽式および多槽式のワーク洗浄装置の実施の形態を説明する。これらの実施の形態は、本発明の適用例を示すものであり、これらの実施の形態に本発明を限定することを意図したものではない。また、以下の各実施の形態では溶剤としてフッ素系溶剤を使用しているが、使用可能な溶剤は、フッ素系溶剤以外の溶剤を使用してもよく、炭化水素系溶剤、アルコール系溶剤、その他の揮発性の非水系溶剤を使用することができる。
【００２９】
［実施の形態１］
図１（ａ）、図１（ｂ）および図１（ｃ）は、実施の形態１に係るワーク洗浄装置の内部構成を示す正面構成図、側面構成図および平面構成図である。図２はワーク洗浄装置の配管系統図である。まず、図１を参照して説明すると、ワーク洗浄装置１は全体として直方体形状の装置ハウジング２を備えている。装置ハウジング２の前面の一方の端部分には操作表示盤３が取り付けられており、前面の中央上端側の部分には矩形輪郭をしたワーク
の搬入搬出口４が開口している。搬入搬出口４は外扉開閉機構によって動作する外扉６によって開閉可能である。
【００３０】
装置ハウジング２の内部には、その上部の前側部分にワークの搬入搬出室８が配置されている。搬入搬出室８の下側には、上下方向に延びる処理室９が配置されている。搬入搬出口４は搬入搬出室８に開口している。搬入搬出室８と処理室９との間は連通口５０を介して連通している。連通口５０は、内扉開閉機構によって動作する内扉によって開閉可能である。本例では、内扉開閉機構として内扉開閉機構１０が配置され、内扉開閉機構１０は、内扉として配置した内扉１１をスライドさせて連通口５０を開閉する。
【００３１】
下側の処理室９の内部には、図２から分かるように、その最も下側に溶剤を貯留する洗浄槽１２が配置されている。洗浄槽１２の溶剤液面１３の上側は、蒸気洗浄領域１４となっている。蒸気洗浄領域１４の上側には、矩形枠状に巻かれている冷却コイル１５によって規定される冷却乾燥領域１６となっている。本例では溶剤としてフッ素系洗浄液が使用される。
【００３２】
処理室９の装置幅方向の一方の側には、蒸留装置兼用の蒸気発生槽１７が配置されている。蒸気発生槽１７は、処理室９に外付けされており、その上端側の部分が、処理室９の側面に形成した連通口を介して、処理室内の蒸気洗浄領域１４に連通している。処理室９における蒸気発生槽１７とは反対側には、洗浄槽１２からオーバーフローした溶剤を回収するオーバーフロータンク６３が付設されている。オーバーフロータンク６３の側方には、水分離器１８が配置されている。
【００３３】
装置ハウジング２内における背面側には、図１に示すように、装置幅方向の一方の側に、溶剤であるフッ素系洗浄液を貯留したフッ素系タンク２１が配置され、その下側には冷凍機２２が配置されている。装置幅方向の他方の側には、搬入搬出室８内の気体を冷却しながら循環させるための熱交換機２３が配置されている。
【００３４】
装置ハウジング２の天面には昇降機構２５（ワーク搬送機構）が取り付けられている。昇降機構２５は、装置ハウジング２の天面に対して、下向き状態で垂直に取り付けられたパワーシリンダ２６を備えている。パワーシリンダ２６から下方に延びる伸縮ロッド２７は処理容器７を貫通して搬入搬出室８内に延びている。伸縮ロッド２７の下端部には直方体形状のワーク搬送カゴ２８を載せるための受け台２９が吊り下げられている。昇降機構２５の代わりに、各種の昇降機構を用いることができる。例えば、後述のように（図４Ｂ参照）、ラック・ピニオンからなる昇降機構を用いることができる。
【００３５】
図２を参照して更に説明すると、洗浄対象のワークは、ワーク搬送カゴ２８（バスケット）に入れて搬入搬出口４から搬入搬出室８に搬入され、昇降機構２５に渡される。昇降機構２５によって、ワーク搬送カゴ２８は搬入搬出室８内の位置から連通口５０を介して洗浄槽１２内の位置まで降下可能である。洗浄槽１２には一定量の溶剤が貯留される。溶剤液面１３が設定レベルを下回ると、フッ素系タンク２１から補充ライン３１を通って溶剤が補充され、溶剤液面１３のレベルが一定に保持される。フッ素系タンク２１内の上部空間と、処理室９における洗浄槽１２の上側の内部空間とは、連通ライン６８ａを介して連通しており、内圧差が生じないようになっている。
【００３６】
洗浄槽１２の底には超音波振動子３２が配置されている。洗浄槽１２の貯留溶剤に浸漬された位置にあるワーク搬送カゴ２８のワーク（図示せず）に超音波洗浄を施すことができる。洗浄槽１２からオーバーフローする溶剤はオーバーフロータンク６３に回収される。オーバーフロータンク６３において、洗浄槽１２からオーバーフローした溶剤は冷却されて、オーバーフロータンク６３の底面に開口する連通口から、ポンプ３３によって還流
ライン３４に吸引され、フィルタ３５を介して異物（汚れ）が除去されて、洗浄槽１２に還流する。また、オーバーフロータンク６３の所定の高さ位置には回収口６３ａが形成されている。洗浄槽１２からオーバーフロータンク６３に流れ落ちる溶剤の一部は、回収口６３ａを通って蒸気発生槽１７に供給される。
【００３７】
洗浄槽１２の上側の蒸気洗浄領域１４には、蒸気発生槽１７においてヒーター加熱によって生成される溶剤蒸気が供給される。超音波洗浄後に洗浄槽１２の溶剤液面１３よりも上側の蒸気洗浄領域に引き上げられたワーク搬送カゴ２８のワークには、蒸気洗浄が施される。蒸気溶剤の一部は、蒸気洗浄領域１４の側方に配置されている回収区画１９ａに流れ込み、回収区画１９ａ内に配置されている冷却コイル１９ｂによって冷却されて凝集して液化する。液化した溶剤は回収区画１９ａの底面に開口している回収ライン１９ｃを介して、水分離器１８に回収される。
【００３８】
蒸気洗浄後のワークは、その上の冷却乾燥領域１６において乾燥処理が施される。冷却乾燥領域１６では、ワークと一緒に引き上げられた溶剤が、冷却乾燥領域１６の外周を取り囲む冷却コイル１５に付着して冷却され、凝集して液化する。ワークに付着していた溶剤が除去されてワークが乾燥する。液化した溶剤は回収区画１９ａに流れ落ち、その底面に開口している回収ライン１９ｃを通って水分離器１８に回収される。
【００３９】
水分離器１８は、第１、第２、第３の槽１８ａ、１８ｂ、１８ｃに区画されている。回収ライン１９ｃから水分離器１８に回収される溶剤（フッ化水素系溶剤）は、第１の槽１８ａに流れ落ちる。第１槽１８ａに流れ落ちた溶剤に含まれている水は、比重差により分離して液面上に浮上する。水分が分離された溶剤は、第１槽１８ａの底側に形成した連通口を介して第２の槽１８ｂに入り、第２の槽１８ｂからオーバーフローして第３の槽１８ｃに流れ落ちる。水が分離されて第３の槽１８ｃに溜まった溶剤は、その底に開口している連通ライン１８ｄを介して、オーバーフロータンク６３に戻される。
【００４０】
冷却乾燥領域１６から、上側の搬入搬出室８にワーク搬送カゴ２８が引き上げた後に、内扉１１を閉じると搬入搬出室８が下側の処理室９から遮断される。この密閉状態で、搬入搬出室８内の気体を、送風ファン３６によって熱交換機２３を介して冷却されながら循環ライン３７を循環させる。この循環流によって、ワークと共に搬入搬出室８に引き上げられた蒸気溶剤があったとしても、そのような蒸気溶剤が熱交換機２３において冷却凝縮して液化し、回収ライン２３ａおよび回収ライン１９ｃを通って、水分離器１８に回収される。よって、蒸気溶剤が確実に除去され、外部に漏れ出ることがない。この後に、外扉６を開くと、洗浄乾燥後のワークが搭載されたワーク搬送カゴ２８を、搬入搬出口４を介して、外部に搬出できる。
【００４１】
なお、冷凍機２２からの冷媒循環ライン３８が、熱交換機２３、冷却乾燥領域１６の冷却コイル１５、冷却コイル１９ｂ、水分離器１８内の冷却コイル、フッ素系タンク２１を経由して引きまわされており、これらの部分が冷却されるようになっている。
【００４２】
（洗浄動作の一例）
図３（ａ）および図３（ｂ）は、上記構成のワーク洗浄装置１の洗浄動作の一例を示すための構成図および動作説明図である。これらの図を参照して説明すると、まず、内扉１１により搬入搬出室８と処理室９との間の連通口５０を遮断した状態で、外扉６を開けて、搬入搬出口４を介して、洗浄対象のワークが搭載されているワーク搬送カゴ２８を搬入し、ワーク搬送カゴ２８を、搬入搬出室８内で待機している昇降機構２５のワーク受け台２９に載せる（図３（ｂ）：バスケット投入）。
【００４３】
次に、外扉６を閉じ（図３（ｂ）：外扉閉）、しかる後に、内扉１１をスライドさせて
連通口５０の遮断を解除して当該連通口５０を開く（図３（ｂ）：内扉開）。そして、搬入搬出室８に搬入してあるワークが搭載されているワーク搬送カゴ２８を、昇降機構２５によって、連通口５０を介して、処理室９の底側に配置されている洗浄槽１２の溶剤に浸漬する位置まで降下させる（図３（ｂ）：下降）。
【００４４】
この状態でワークに対する超音波洗浄を所定時間に亘って行う（図３（ｂ）：超音波洗浄）。超音波洗浄後に、昇降機構２５によりワークが搭載されたワーク搬送カゴ２８を溶剤液面１３の上の位置まで引き上げる（図３（ｂ）：上昇）。蒸気洗浄領域１４に所定時間保持して、ワークに蒸気洗浄を施す（図３（ｂ）：ベーパー洗浄）。
【００４５】
蒸気洗浄後に、昇降機構２５によって、ワークが搭載されているワーク搬送カゴ２８を、蒸気洗浄領域１４から、その上側に設けた冷却乾燥領域１６に引き上げる（図３（ｂ）：上昇）。冷却乾燥領域１６にワークを所定時間保持することにより、ワークは溶剤が除去されて乾燥する（図３（ｂ）：乾燥）。
【００４６】
この後は、連通口５０を介して、搬入搬出室８内までワークを引き上げる（図３（ｂ）：上昇）。しかる後に、内扉１１を移動して連通口５０を閉じて、搬入搬出室８を内外から遮断する（図３（ｂ）：内扉閉）。この状態で、所定時間だけ、送風ファン３６によって搬入搬出室８内の気体を、熱交換機２３を介して、循環させる。これにより、気体に含まれている溶剤が熱交換機２３において冷却されて液化して回収される（図３（ｂ）：回収）。
【００４７】
しかる後に、外扉開閉機構５により外扉６をスライドさせて、搬入搬出口４を開く（図３（ｂ）：外扉開）。この後は、洗浄乾燥処理後のワークが搭載されているワーク搬送カゴ２８を受け台２９から前方に引き出して、搬入搬出口４から装置外に搬出する（図３（ｂ）：バスケット取出し）。
【００４８】
なお、本例では、ワークの搬入搬出を同一位置から行い、搬入搬出室と処理室の間が１つの連通口で繋がっている。この代わりに、図３（ｃ１）に示すように、搬入搬出口を、ワークの搬入口およびワークの搬出口の２つに分け、外扉として、搬入口を開閉する搬入側外扉と搬出口を開閉する搬出側外扉を配置することができる。また、図３（ｃ２）に示すように、連通口を、ワークを処理室に搬送する搬入側連通口およびワークを処理室から搬出する搬出側連通口の２つに分け、内扉として、搬入側連通口を開閉する搬入側内扉および搬出側連通口を開閉する搬出側内扉を配置してもよい。さらに、図３（ｃ３）に示すように、搬入搬出口をワークの搬入口およびワークの搬出口の２つに分けて、搬入口を開閉する搬入側外扉および搬出口を開閉する搬出側外扉を配置すると共に、連通口を搬入側連通口および搬出側連通口の２つに分けて、搬入口を開閉する搬入側外扉および搬出口を開閉する搬出側外扉を配置することもできる。
【００４９】
（昇降機構）
図４Ａ（ａ）は昇降機構２５（ワーク搬送機構）の一例を示す正面図であり、図４Ａ（ｂ）はその側面図であり、図４Ａ（ｃ）はその受け台２９を示す平面図である。昇降機構２５は先に述べたようにパワーシリンダ２６、伸縮ロッド２７および伸縮ロッド２７の下端に取り付けた受け台２９を備えている。
【００５０】
受け台２９は側面視でＬ形状をしており、前方および上方に開口し、両側には三角形の側板が取り付けられている。受け台２９の底面は、前後方向に一定の間隔で、幅方向に平行に取り付けたローラ２９ａによって規定されている。ローラ２９ａにワーク搬送カゴ２８を載せて前方から後方に押し込むことにより、受け台２９にワーク搬送カゴ２８がセットされ、ワーク搬送カゴ２８を前方に引き出すことで受け台２９から取り出すことができ
る。
【００５１】
受け台２９の左右の背面側の縁には上下方向にガイドローラ２９ｂが一定の間隔で配列されている。処理容器７内において、冷却乾燥領域１６および搬入搬出室８には、左右にローラガイドレール２９ｃが上下方向に平行に配置されている。ローラガイドレール２９ｃにガイドされて、受け台２９が昇降する。
【００５２】
（昇降機構の別の例）
図４Ｂ（ａ）は昇降機構２５の別の構成例を示す正面図であり、図４Ｂ（ｂ）〜図４Ｂ（ｄ）は、それぞれ、矢印ｂ〜ｄで示す位置から見た場合の説明図である。本例の昇降機構２５Ａは、ラック・ピニオン式の昇降機構であり、受け台２９の背面に垂直に取り付けた所定長さのラック１０１と、このラック１０１にかみ合っているピニオン１０２とを備えている。ピニオン１０２は、ラック１０１に対して、その上下方向の途中の高さ位置においてラック１０１にかみ合っている。ピニオン１０２は、装置架台に取り付けた昇降用モータ１０３および減速機からなる回転アクチュエータ１０４の出力軸に同軸に固定されている。
【００５３】
回転アクチュエータ１０４によってピニオン１０２を回転させると、ラック１０１が昇降し、ラック１０１に取り付けられている受け台２９がガイドに沿って昇降する。装置架台の天面には、筒状のカバー１０５が垂直に取り付けられており、上昇時に装置架台の天面から上方に突出するラック１０１がカバー１０５の内部を昇降する。
【００５４】
なお、図４Ａ、図４Ｂに示す昇降機構は、後述の実施の形態２〜５のワーク洗浄装置におけるワーク搬送カゴの昇降機構として用いることができる。
【００５５】
（カゴ回転機構）
図４Ｂに示す受け台２９にはカゴ回転機構１１０が付設されている。カゴ回転機構１１０は、ワーク搬送カゴとして用いる筒状の回転カゴ２８Ａを、その中心軸線回りに回転させる機構である。なお、図においては、直方体形状のワーク搬送カゴ２８も想像線で示してある。カゴ回転機構１１０は、受け台２９の一方の側面に、軸受１１１によって回転自在の状態で、垂直に取り付けたスプライン軸１１２を備えている。スプライン軸１１２の下端は一対の傘歯車１１３を介して、受け台２９の底面に水平に配置されている回転軸１１４に連結されている。受け台２９の底面には、後ろ側に回転軸１１４が配置され、前側には、回転軸１１４と平行に、水平軸１１５が配置されている。
【００５６】
後ろ側の回転軸１１４の両端部には、スプロケット１１６が同軸に取り付けられており、前側の水平軸１１５の両端部には、回転自在の状態で支持ローラ１１７が取り付けられている。ワーク搬送カゴ２８Ａの両端部には、スプロケット１１６に係合可能な係合孔（溝）が円周方向に形成されている係合リング１１８が取り付けられている。
【００５７】
受け台２９にワーク搬送カゴ２８Ａを載せると、係合リング１１８のそれぞれにスプロケット１１６がそれぞれ係合し、また、係合リング１１８のそれぞれが支持ローラ１１７のそれぞれに載った状態になる。
【００５８】
スプライン軸１１２の上端部は、スプライン結合を介して、モータおよび減速機からなる回転アクチュエータ１１９の出力軸に連結されている。回転アクチュエータ１１９は、装置架台の天面に搭載されている。また、装置架台の天面には、円筒状の細長いカバー１２０が垂直に取り付けられており、スプライン軸１１２は、このカバー１２０の内部を昇降する。
【００５９】
回転アクチュエータ１１９を回転駆動すると、その回転がスプライン軸１１２に伝達されて、スプライン軸１１２が回転する。スプライン軸１１２の回転は、一対の傘歯車１１３を介して、受け台２９の回転軸１１４に伝達される。回転軸１１４が回転すると、そのスプロケット１１６も一体となって回転し、スプロケット１１６にかみ合っている係合リング１１８が取り付けられているワーク搬送カゴ２８Ａが回転する。洗浄槽に貯留した洗浄液にワーク搬送カゴに搭載されているワークを浸漬した状態で、ワーク搬送カゴ２８Ａを回転させながら洗浄を行うことができる。
【００６０】
（横搬送機構）
ここで、後述の実施の形態２〜５においては、ワーク搬送カゴを、ワーク洗浄装置の処理室内において横方向に搬送している。このために用いる横搬送機構として、上記のカゴ回転機構と同様な機構を用いることができる。
【００６１】
図４Ｂを参照して説明すると、横搬送機構の場合には、例えば、受け台２９としてチェーンコンベアを用いる。チェーンコンベアのチェーン駆動用のスプロケットを、一対の傘歯車などの伝達機構を介して、垂直に延びるスプライン軸１１２に連結する。スプライン軸１１２を回転アクチュエータ１１９によって回転することで、チェーンコンベアに載っているワーク搬送カゴを横方向に搬送できる。また、スプライン軸１１２はチェーンコンベアと共に昇降可能であるので、昇降機構によって昇降されるチェーンコンベアを駆動することができる。
【００６２】
（外扉開閉機構）
図５Ａ（ａ）、（ｂ）および（ｃ）は、搬入搬出口４の外扉開閉機構５の一例を示す平面図、正面図および側面図である。開閉機構５は、パワーシリンダ４１によって矩形輪郭の外扉６を、装置ハウジング２の天面に固定したガイドレール４２に沿って装置幅方向にスライドさせる。本例では、図に示す搬入搬出口４を開いた開き位置６Ａから搬入搬出口４を閉じた閉じ位置６Ｂまでの間をスライドさせる。外扉６の両側には、それぞれ上下一対の幅方向に延びる係合板４３、４４が取り付けられている。搬入搬出室８の両側の外側面には、上下一対のロック用プランジャ４５、４６（ロック用シリンダ）が取り付けられており、それらの伸縮ロッドが前方に水平に突出している。
【００６３】
外扉６の側の左右の係合板４３、４４の先端には係合溝４３ａ、４４ａが形成されており、外扉６が開き位置６Ａから閉じ位置６Ｂに移動すると、各係合溝４３ａ、４４ａにロック用プランジャ４５、４６の伸縮ロッドの先端部４５ａ、４６ａが側方からはまり込む。外扉６を閉じ位置６Ｂまでスライドさせた後に、ロック用プランジャ４５、４６の伸縮ロッドを引くことにより、外扉６の四周部分が、搬入搬出口４の四周に取り付けたシール用の弾性部材４７に押し付けられる。これにより、搬入搬出口４が気密状態で封鎖される。外扉６を開く操作は、逆にロック用プランジャ４５、４６を押し出してロックを解除し、しかる後に、パワーシリンダ４１によって外扉６をガイドレール４２に沿って開き位置６Ａまで戻せばよい。
【００６４】
（外扉開閉機構の別の例）
図５Ｂは、上記の外扉６をロックするための左右に一対ずつ配置されているロック用プランジャ４５、４６の代わりに使用することのできる複動式のエアシリンダの一例を示す説明図である。
【００６５】
この図には、一例として、一対のロック用プランジャ４６の代わりに用いる一対の複動式のエアシリンダ１３０を示してある。複動式のエアシリンダ１３０は、シリンダ本体１３１と、シリンダ本体１３１を貫通して延びるロッド１３２を備えている。シリンダ本体１３１には、ロッド１３２を前進させる方向１３３の圧縮エアを供給するためのエア配管
１３５およびロッド１３２を後退させる方向１３４の圧縮エアを供給するためのエア配管１３６が接続されている。
【００６６】
シリンダ本体１３１から前方に突出しているロッド１３２の先端部には、外扉６の一方の係合板４４の先端の係合溝４４ａに対して横方から係合可能な係合部１３７が設けられている。シリンダ本体１３１から後方に突出しているロッド１３２の後端部には、ロッドナット１３８によってばね受け１３９が取り付けられている。シリンダ本体１３１の後の側の端面にもばね受け１４０が取り付けられている。これらのばね受け１３９、１４０の間には、ロッド１３２を同軸に取り囲む状態で、圧縮コイルばね１４２が圧縮状態で装着されている。したがって、エアシリンダ１３０のロッド１３２は、常に、圧縮コイルばね１４２によって、後退方向に付勢されている。
【００６７】
エアシリンダ１３０は、例えば、次のように動作する。外扉６が開き位置６Ａにある状態では、圧縮コイルばね１４２によってロッド１３２は最も後退した状態にある。外扉６を閉じる場合には、エアシリンダ１３０のロッド１３２を前進位置まで圧縮コイルばね１４２にばね力に逆らって押し出す。外扉６がスライドして閉まると、その係合板４４の係合溝４４ａに、突出した位置にあるロッド１３２の先端の係合部１３７が横方向から係合してはまり込む。
【００６８】
外扉６が閉じ位置６Ｂまでスライドした後は、エアシリンダ１３０を駆動して、ロッド１３２を後方に引き込める。この結果、外扉６の四周部分が、搬入搬出口４の四周に取り付けたシール用の弾性部材４７に押し付けられ、搬入搬出口４が気密状態で封鎖される。外扉６を開く操作は、逆に、ロッド１３２を前方に押し出し、しかる後に、パワーシリンダ４１によって外扉６をガイドレール４２に沿って開き位置６Ａまで戻せばよい。
【００６９】
エアシリンダ１３０を用いたロック機構は、停電、故障などの非常事態が発生してエアシリンダ１３０が動作不能になった場合に、圧縮コイルばね１４２のばね力によって、外扉６をロック状態に保持できる。すなわち、外扉６を閉じてロックした状態において、停電、故障などが発生してエアシリンダ１３０が動作不能になり、ロッド１３２を引き込み方向に付勢するための圧縮エアの供給が停止することがある。ロック状態では、圧縮エアによる付勢力に加えて圧縮コイルばね１４２のばね力が外扉６のロック用の付勢力としてロッド１３２に作用している。したがって、非常時には、ばね力による付勢力によって外扉６のロック状態（密閉状態）を維持でき、外部への溶剤漏れなどを防止できる。
【００７０】
なお、図５Ａ、図５Ｂに示す外扉開閉機構は、後述の実施の形態２〜５のワーク洗浄装置における外扉開閉機構として用いることができる。
【００７１】
（内扉開閉機構）
図６（ａ）、（ｂ）および（ｃ）は、処理室９と上側の搬入搬出室８との間の連通口５０を遮断する内扉開閉機構１０の一例を示す平面図、正面図および側面図である。内扉開閉機構１０は、内扉として、矩形の連通口５０を封鎖可能な大きさの内扉１１を備えている。内扉１１は内扉取付枠５１に取り付けられている。
【００７２】
連通口５０の両側（装置前後方向の前側および後側の縁）には、それぞれ装置幅方向に平行に延びる一対のガイドレール５２が取り付けられている。内扉取付枠５１にはガイドローラ５６が取り付けられており、ガイドローラ５６はガイドレール５２に沿って転動可能である。また、内扉取付枠５１には内扉移動方向（装置幅方向）に延びるラック５３が取り付けられている。ラック５３にはピニオン５４がかみ合っており、ピニオン５４は、下向き姿勢で装置ハウジング２の側に取付られた内扉開閉用のモータ５５によって回転される。
【００７３】
モータ５５によってピニオン５４が回転すると、内扉取付枠５１がガイドレール５２に沿ってスライドする。これにより、内扉取付枠５１に取り付けられている内扉１１を開き位置１１Ａから連通口５０を遮断する遮断位置１１Ｂに移動させることができる。
【００７４】
内扉１１は、矩形輪郭の内扉本体板部分１１ａと、この内扉本体板部分１１ａの両側の縁を上方に直角に折り曲げた縁板部分１１ｂとを備えている。内扉本体板部分１１ａは、内扉１１が閉じる方向である前進方向に向けて上方に鋭角で傾斜している傾斜板である。これに対して、連通口５０の両側には、内扉本体板部分１１ａの両側の傾斜縁部分が上側から当接した状態で乗り上げる相補的な傾斜面形状をした開口縁部分５０ａが形成されている。
【００７５】
また、ガイドレール５２の上下方向の幅は、ガイドローラ５６の外径よりも僅かに大きな寸法に設定されている。これにより、内扉１１が遮断位置１１Ｂに至り、両側の開口縁部分５０ａに乗り上げた際に、それに追従して、内扉１１の全体が僅かに上方に持ち上がることが可能になっている。
【００７６】
この構成の内扉開閉機構１０においては、内扉１１を開き位置１１Ａから遮断位置１１Ｂに向けてスライドさせると、その両側の傾斜縁部分が連通口５０の両側の開口縁部分５０ａに当たり、当該開口縁部分５０ａに乗り上げた状態になる。これにより、連通口５０の両側の開口縁部分５０ａに対して、内扉１１の両側の傾斜縁部分が押し付けられて確実に接触する。内扉１１により、処理容器７の内部を上下に確実に遮断できる。また、内扉１１と連通口５０との間において、例えば、上下方向の組み付け誤差があったとしても、双方の傾斜面の係合によって、そのような組み付け誤差に起因するガタ付きを除去でき、確実に連通口５０を遮断することができる。
【００７７】
［実施の形態２］
図７（ａ）は、本発明の実施の形態２に係るワーク洗浄装置を示す概略構成図であり、図７（ｂ）は、その動作の一例を示す説明図である。これらの図に示すワーク洗浄装置は、処理室内に、洗浄槽を備えた第１槽と蒸気発生槽を備えた第２槽とが配置されている２槽式のワーク洗浄装置である。
【００７８】
（全体構成）
図７（ａ）を参照してワーク洗浄装置２００の構成を説明する。ワーク洗浄装置２００は、洗浄対象のワークを搬入する搬入室２０１および洗浄乾燥後のワークを搬出する搬出室２０２を備えている。搬入室２０１および搬出室２０２は、例えば装置幅方向に隣接配置されている。
【００７９】
搬入室２０１は搬入口２０４を備えている。搬入口２０４は、搬入室２０１における搬出室２０２とは反対側の側面に形成されている。搬入口２０４を介して、ワークが搭載されたワーク搬送カゴ２０３（バスケット）を水平方向から搬入室２０１に搬入可能である。搬入口２０４は搬入側外扉２０５によって封鎖されている。搬入側外扉２０５は不図示の外扉開閉機構によって開閉できる。
【００８０】
搬出室２０２における搬入室２０１とは反対側の側面には、ワークが搭載されたワーク搬送カゴ２０３を水平方向に搬出可能な搬出口２０６が形成されている。搬出口２０６は搬出側外扉２０７によって封鎖されている。搬出側外扉２０７は不図示の外扉開閉機構によって開閉できる。搬入側外扉２０５、搬出側外扉２０７の外扉開閉機構として、例えば、図５Ａに示す外扉開閉機構を用いることができる。
【００８１】
搬入室２０１および搬出室２０２の下側には処理室２０８が配置されている。搬入室２０１と処理室２０８との間は、上下方向にワーク搬送カゴ２０３を搬送可能な搬入側連通口２０９を介して連通している。搬入側連通口２０９は搬入側内扉２１０によって封鎖されている。搬入側内扉２１０は不図示の内扉開閉機構によって開閉できるようになっている。
【００８２】
同様に、搬出室２０２と処理室２０８との間は、上下方向にワーク搬送カゴ２０３を搬送可能な搬出側連通口２１１を介して連通している。搬出側連通口２１１は搬出側内扉２１２によって封鎖されている。搬出側内扉２１２は不図示の内扉開閉機構によって開閉できるようになっている。内扉開閉機構として、例えば、図６に示す内扉開閉機構を用いることができる。
【００８３】
処理室２０８の内部における底面側の部分には、搬入側連通口２０９の下方の位置に、溶剤を貯留する洗浄槽２１３が配置されている。洗浄槽２１３の隣には、搬出側連通口２１１の下方の位置に、蒸気発生槽２１４が配置されている。洗浄槽２１３からオーバーフローした溶剤が蒸気発生槽２１４に流れ落ちる。蒸気発生槽２１４では、内部のヒーター２１５によって溶剤が加熱されて蒸気溶剤が生成される。
【００８４】
処理室２０８の内部には、洗浄槽２１３、蒸気発生槽２１４の溶剤液面から所定の高さの位置に、処理室内周面に沿って、上下方向に筒状に巻かれた冷却コイル２１７が配置されている。処理室２０８の内部において、溶剤液面から冷却コイル２１７の下端近傍位置までの間の領域が、蒸気洗浄領域２１８である。蒸気洗浄領域２１８には、下側の蒸気発生槽２１４で生成される蒸気溶剤が供給され、ワークに対して蒸気洗浄が施される。
【００８５】
蒸気洗浄領域２１８の上側において、冷却コイル２１７の下端近傍位置から、搬入側連通口２０９および搬出側連通口２１１が形成されている処理室２０８の天面までの間の領域が、冷却乾燥領域２１９となっている。下側の蒸気洗浄領域２１８から上側の冷却乾燥領域２１９に上昇した蒸気溶剤は、冷却コイル２１７に付着し、冷却されて液化する。ワークに付着している蒸気溶剤は冷却コイル２１７の側に移動して冷却されるので、ワークは冷却乾燥領域内において乾燥する。液化した溶剤は、実施の形態１の場合と同様に、水分離器２２０に回収されて再生される。再生された溶剤は洗浄槽２１３に戻される。
【００８６】
なお、搬出室２０２には、内部の気体を冷却しながら循環させて、気体に含まれている溶剤蒸気を回収する溶剤回収器２２１が付設されている。溶剤回収器２２１は、実施の形態１の場合と同様に、熱交換器および送風ファンを備えた構成とすることができる。また、ここで回収された溶剤は水分離器２２０に回収して再生される。
【００８７】
一方、ワーク洗浄装置２００には、ワークが搭載されたワーク搬送カゴ２０３を搬送するための受け台２２３および受け台２２３を設定した搬送経路に沿って搬送する搬送機構が備わっている。搬送機構は、例えば、搬入側昇降機構、横搬送機構および搬出側昇降機構を備えた構成とすることができる。
【００８８】
搬入側昇降機構は、例えば、チェーンコンベアから構成される受け台２２３を、矢印２３２、２３３で示す経路に沿って昇降させる。横搬送機構は、蒸気洗浄領域２１８内において、ワーク搬送カゴ２０３を、矢印２３４で示す経路に沿って水平に移動させて、搬入側昇降機構の側の受け台２２３から、搬出側昇降機構の側の例えばチェーンコンベアから構成される受け台２２４に引き渡す。搬出側昇降機構は、受け台２２４を、矢印２３５に示すように、蒸気発生槽２１４真上の蒸気洗浄領域２１８の位置から搬出室２０２までの間で昇降させる。
【００８９】
本例では、ワーク搬送カゴ２０３を、図７（ａ）に矢印２３１で示すように水平に移動させて、搬入口２０４を介して、搬入室２０１内に待機している受け台２２３に引き渡す動作を、手動で行っている。チェーンコンベアなどの搬入機構を配置して搬入動作を行うようにしてもよい。同様に、本例では、搬出室２０２内において受け台２２４に載っているワーク搬送カゴ２０３を、矢印２３６で示すように水平に搬送して搬出口２０６から搬出する動作を、手動で行っている。チェーンコンベアなどの搬出機構を配置して搬出動作を行うようにしてもよい。
【００９０】
（動作の一例）
図７（ｂ）は、上記構成のワーク洗浄装置２００の洗浄動作手順の一例を示す説明図である。処理室２０８が搬入室２０１、搬出室２０２を介して外部に連通した状態が形成されることのないように、また、第１槽の側から第２槽の側へのワーク搬送カゴの引き渡し時のタイムロスが発生することのないように、タクトタイムが適切に設定されて、第１、第２槽のそれぞれの側において処理が並行して行われる。なお、以下の動作手順は一例を示すものであり、この動作手順に限定されるものではない。
【００９１】
まず、搬入側内扉２１０を閉じた状態で、搬入側外扉２０５を開け、搬入口２０４を介して、洗浄対象のワークが搭載されているワーク搬送カゴ２０３を搬入し、ワーク搬送カゴ２０３を、搬入室２０１内で待機している受け台２２３に載せる（第１槽：バスケット給材）。
【００９２】
次に、搬入側外扉２０５を閉じ（第１槽：外扉閉）、しかる後に、搬入側内扉２１０を開ける（第１槽：内扉開）。そして、搬入室２０１に搬入してあるワーク搬送カゴ２０３を、搬入側連通口２０９を介して、処理室２０８の底側に配置されている洗浄槽２１３の溶剤に浸漬する位置まで降下させる（第１槽：下降）。この状態でワークに対する超音波洗浄を所定時間に亘って行う（第１槽：超音波洗浄）。
【００９３】
超音波洗浄後に、ワーク搬送カゴ２０３を溶剤液面２１６の上の蒸気洗浄領域２１８まで引き上げ（第１槽：上昇）、蒸気洗浄領域２１８に所定時間保持して、ワークに蒸気洗浄を施す（第１槽：ベーパー洗浄）。次に、ワーク搬送カゴ２０３を、第１槽の側から第２槽の側に横方向に搬送して、蒸気発生槽２１４の真上の位置待機している受け台２２４に引き渡す（第１槽：下横搬送、第２槽：下横搬送）。この位置においてワーク搬送カゴ２０３を所定時間保持して、ワーク対して継続して蒸気洗浄を施す（第２槽：ベーパー洗浄）。
【００９４】
蒸気洗浄領域２１８において空になった受け台２２３は、上側の冷却乾燥領域２１９に引き上げられ（第１槽：上昇）、ここに所定時間保持して乾燥させる（第１槽：受け台乾燥）。次に、受け台を処理室２０８から上側の搬入室２０１に引き上げ（第１槽：上昇）、搬入側内扉２１０を閉じ（第１槽：内扉閉）、搬入側外扉２０５を開き（第１槽：外扉開）、次のワーク搬送カゴの受け入れ待機状態に戻る。
【００９５】
第２槽の側において、蒸気洗浄領域２１８において蒸気洗浄が施された後のワーク搬送カゴ２０３は、蒸気洗浄領域２１８から、その上側の冷却乾燥領域２１９に引き上げられる（第２槽：上昇）。冷却乾燥領域２１９にワークを所定時間保持することにより、ワークは溶剤が除去されて乾燥する（第２槽：乾燥）。
【００９６】
ワーク乾燥後に、処理室２０８から搬出室２０２にワーク搬送カゴ２０３を引き上げる（第２槽：上昇）。しかる後に、搬出側内扉２１２を閉じて搬出室２０２を内外から遮断する（第２槽：内扉閉）。この状態で、所定時間だけ、溶剤回収器２２１を駆動して、搬出室２０２内の気体を循環させて、そこに含まれている溶剤を回収する（第２槽：回収）
。
【００９７】
しかる後に、搬出側外扉２０７を開けて、搬出口２０６を介して洗浄乾燥処理後のワークが搭載されているワーク搬送カゴ２０３を搬出する（第２槽：バスケット除材）。この後は、搬出側外扉２０７を閉じ（第２槽：外扉閉）、搬出側内扉２１２を開き（第２槽：内扉開）、空になった受け台２２４を搬出室２０２から処理室２０８内の蒸気洗浄領域２１８まで降下させ（第２槽：下降）、第１槽の側からのワーク搬送カゴの受け入れ待機状態に戻る。
【００９８】
［実施の形態３］
図８（ａ）は、本発明の実施の形態３に係るワーク洗浄装置を示す概略構成図であり、図８（ｂ）は、その動作の一例を示す説明図である。これらの図に示すワーク洗浄装置３００は、処理室内に、第１洗浄槽を備えた第１槽と、第２洗浄槽を備えた第２槽と、蒸気発生槽を備えた第３槽とが配置されている３槽式のワーク洗浄装置である。
【００９９】
（全体構成）
図８（ａ）を参照してワーク洗浄装置３００の構成を説明する。ワーク洗浄装置３００は、処理室３０８の上側部分の両側に、洗浄対象のワークを搬入する搬入室３０１および洗浄乾燥後のワークを搬出する搬出室３０２を備えている。
【０１００】
搬入室３０１は搬入口３０４を備えている。搬入口３０４は、搬入室３０１における処理室３０８とは反対側の側面に形成されている。搬入口３０４を介して、ワークが搭載されたワーク搬送カゴ３０３を水平方向から搬入室３０１に搬入可能である。搬入口３０４は搬入側外扉３０５によって封鎖されている。搬入側外扉３０５は不図示の外扉開閉機構によって開閉できる。搬入室３０１と処理室３０８との間は、水平方向にワーク搬送カゴ３０３を搬送可能な搬入側連通口３０９を介して連通している。搬入側連通口３０９は搬入側内扉３１０によって封鎖されている。搬入側内扉３１０は不図示の内扉開閉機構によって開閉できる。
【０１０１】
搬出室３０２の側も同様に構成されている。搬出室３０２における処理室３０８とは反対側の側面には、ワークが搭載されたワーク搬送カゴ３０３を水平方向に搬出可能な搬出口３０６が形成されている。搬出口３０６は搬出側外扉３０７によって封鎖されている。搬出側外扉３０７は不図示の外扉開閉機構によって開閉できる。搬出室３０２と処理室３０８との間は、水平方向にワーク搬送カゴ３０３を搬送可能な搬出側連通口３１１を介して連通している。搬出側連通口３１１は搬出側内扉３１２によって封鎖されている。搬出側内扉３１２は不図示の内扉開閉機構によって開閉できるようになっている。
【０１０２】
搬入側外扉３０５、搬出側外扉３０７の外扉開閉機構として、例えば、図５Ａに示す外扉開閉機構を用いることができる。搬入側内扉３１０、搬出側内扉３１２の内扉開閉機構として、例えば、図６に示す内扉開閉機構を用いることができる。
【０１０３】
処理室３０８の内部構造を説明する。処理室３０８の内部における底面側の部分には、溶剤を貯留する第１洗浄槽３１３が配置されている。第１洗浄槽３１３の隣には同じく溶剤を貯留する第２洗浄槽３１４が配置されている。第２洗浄槽３１４に対して、第１洗浄槽３１３とは反対側には、蒸気発生槽３１５が隣接配置されている。本例においては、第１、第２洗浄槽３１３、３１４は共に超音波洗浄槽であり、第１洗浄槽３１３が粗洗浄槽であり、第２洗浄槽３１４が仕上げ洗浄槽であり、第２洗浄槽３１４からオーバーフローした溶剤が第１洗浄槽３１３に流れ込む。また、第１洗浄槽３１３の規定の溶剤液面３１６の高さ位置に設けた連通口を介して、蒸気発生槽３１５に溶剤が供給される。
【０１０４】
処理室３０８の内部における上下方向の中ほどの高さ位置の部位には、処理室内周面に沿って、上下方向に筒状に巻かれた冷却コイル３１７が配置されている。処理室３０８の内部において、第１、第２洗浄槽３１３、３１４の溶剤液面から冷却コイル３１７の下端近傍位置までの間の領域が、蒸気洗浄領域３１８である。蒸気洗浄領域３１８には、下側の蒸気発生槽３１５で生成される蒸気溶剤が供給され、ワークに対して蒸気洗浄が施される。
【０１０５】
蒸気洗浄領域３１８の上側において、冷却コイル３１７の下側近傍位置から、冷却コイル３１７の上側近傍位置までの間の領域が、冷却乾燥領域３１９となっている。下側の蒸気洗浄領域３１８から上側の冷却乾燥領域３１９に上昇した蒸気溶剤は、冷却コイル３１７に付着し、冷却されて液化する。ワークに付着している蒸気溶剤は冷却コイル３１７の側に移動して冷却されるので、ワークは冷却乾燥領域内において乾燥する。なお、液化した溶剤は、実施の形態１の場合と同様に、水分離器３２０に回収されて再生される。再生された溶剤は第２洗浄槽３１４に戻される。
【０１０６】
処理室３０８の内部において、冷却コイル３１７が配置されている冷却乾燥領域３１９の上側の領域は搬入搬出領域３２１となっている。搬入搬出領域３２１における搬入室３０１側の側面部分には搬入側連通口３０９が位置しており、反対側の側面部分には搬出側連通口３１１が位置している。
【０１０７】
次に、本例では、搬入室３０１、搬出室３０２には、それぞれ、内部の気体を冷却しながら循環させて、気体に含まれている溶剤蒸気を回収する溶剤回収器３２２、３２３が付設されている。溶剤回収器３２２、３２３は、実施の形態１の場合と同様に、熱交換器および送風ファンを備えた構成とすることができる。また、ここで回収された溶剤は水分離器３２０に回収して再生される。
【０１０８】
一方、ワーク洗浄装置３００には、ワークが搭載されたワーク搬送カゴ３０３を設定した搬送経路に沿って搬送する搬送機構が備わっている。搬送機構は、例えば、以下の搬送機構から構成される。
搬入機構：ワーク搬送カゴ３０３を、図８（ａ）に矢印３４１で示すように、装置外のチェーンコンベアなどからなる受け台３６１から、搬入口３０４を介して搬入室３０１の底面を規定しているチェーンコンベア等からなる受け台３６２に送り込む。また、搬入室３０１から、矢印３４２で示すように、搬入側連通口３０９を介して、処理室３０８内の搬入搬出領域３２１内における第１洗浄槽３１３の上方位置である搬入位置に待機しているチェーンコンベア等からなる受け台３３１に引き渡す。
第１昇降機構：処理室３０８内の第１槽の部分において、受け台３３１を、矢印３４３、３４４で示すように昇降させる。
横搬送機構：蒸気洗浄領域３１８内において、ワーク搬送カゴ３０３を、矢印３４５、３４６で示すように、第１昇降機構から第２昇降機構および第３昇降機構に順次に引き渡す。
第２昇降機構：処理室３０８内の第２槽の部分において、チェーンコンベア等からなる受け台３３２を、矢印３４７、３４８で示すように昇降させる。
第３昇降機構：処理室３０８内の第３槽の部分において、チェーンコンベア等からなる受け台３３３を、矢印３４９で示すように、蒸気発生槽３１５の真上の蒸気洗浄領域３１８の位置から搬入搬出領域３２１内の搬出位置までの間で昇降させる。
搬出機構：処理室３０８内の搬出位置にある受け台３３３から、搬出側連通口３１１を介して、搬出室３０２の底面を規定しているチェーンコンベア等からなる受け台３６３に、ワーク搬送カゴ３０３を矢印３５０で示すように送り出す。また、搬出側外扉３０７を介して、ワーク搬送カゴ３０３を、矢印３５１で示すように、装置外のチェーンコンベア、フリーローラコンベア等からなる受け台３６４に水平に搬出する。
【０１０９】
（動作の一例）
図８（ｂ）は、上記構成のワーク洗浄装置３００の洗浄動作手順の一例を示す説明図である。処理室３０８が搬入室３０１、搬出室３０２を介して外部に連通した状態が形成されることのないように、また、第１槽の側から第２槽、第２槽の側から第３槽の側へのワーク搬送カゴの引き渡し時のタイムロス等が発生することのないように、タクトタイムが適切に設定されて、各部において処理が並行して行われる。なお、以下の動作手順は一例を示すものであり、この動作手順に限定されるものではない。
【０１１０】
搬入室３０１の側においては、まず、搬入側内扉３１０を閉じた状態で、搬入側外扉３０５を開けて洗浄対象のワークが搭載されているワーク搬送カゴ３０３を搬入し（搬入室：バスケット給材）し、搬入側外扉３０５を閉じる（搬入室：外扉閉）。次に、搬入側内扉３１０を開け（搬入室：内扉開）、ワーク搬送カゴ３０３を横搬送して、処理室３０８内の搬入搬出領域３２１の搬入位置において待機している受け台３３１に引き渡し（搬入室：横搬送、第１槽：上横搬送）、搬入側内扉３１０を閉じる（搬入室：内扉閉）。この後の搬入室３０１では、溶剤回収器３２２により、密閉状態の搬入室３０１内の気体を冷却しながら循環させて、気体に含まれている溶剤を回収する（搬入室：回収）。この後は、搬入側外扉３０５を開けて次のワーク受け入れのための待機状態に戻る（搬入室：外扉開）。
【０１１１】
第１槽の側においては、ワーク搬送カゴ３０３を受け取った後は（第１槽：上横搬送）、ワーク搬送カゴ３０３を、第１洗浄槽３１３の溶剤に浸漬する位置まで降下させる（第１槽：下降）。この状態でワークに対する粗超音波洗浄を所定時間に亘って行う（第１槽：粗超音波洗浄）。粗超音波洗浄後に、ワーク搬送カゴ３０３を溶剤液面３１６の上方の蒸気洗浄領域３１８まで引き上げ（第１槽：上昇）、ワーク搬送カゴ３０３を第２槽の側に待機している受け台３３２に引き渡す（第１槽：下横搬送、第２槽：下横搬送）。空になった受け台３３１を上方の搬入搬出領域３２１の搬入位置まで上昇させ、搬入側内扉３１０を開けて、次のワーク搬送カゴの受け入れ待機状態に戻る（第１槽：上昇・内扉開）。
【０１１２】
第２槽の側においては、蒸気洗浄領域３１８内において第１槽の側からワーク搬送カゴ３０３を受け取った後（第２槽：下横搬送）は、ワーク搬送カゴ３０３を、第２洗浄槽３１４の溶剤に浸漬する位置まで降下させる（第２槽：下降）。この状態でワークに対する仕上超音波洗浄を所定時間に亘って行う（第２槽：仕上超音波洗浄）。仕上超音波洗浄後に、ワーク搬送カゴ３０３を上方の蒸気洗浄領域３１８まで引き上げ（第２槽：上昇）、ワーク搬送カゴ３０３を、蒸気洗浄領域３１８に所定時間保持して、ワークに蒸気洗浄を施す（第２槽：ベーパー洗浄）。次に、ワーク搬送カゴ３０３を、第３槽の側から第３槽の側に横方向に搬送して、蒸気発生槽３１５の真上の位置待機している受け台３３３に引き渡す（第２槽：下横搬送、第３槽：下横搬送）。空になった受け台３３２は、この位置において次のワーク搬送カゴが引き渡されるのを待つ。
【０１１３】
第３槽の側においては、受け台３３３に受け入れたワーク搬送カゴ３０３が、蒸気洗浄領域３１８から、その上側の冷却乾燥領域３１９に引き上げられる（第３槽：上昇）。冷却乾燥領域３１９にワークを所定時間保持することにより、ワークは溶剤が除去されて乾燥する（第３槽：乾燥）。ワーク乾燥後に、ワーク搬送カゴ３０３が上側の搬入搬出領域３２１の搬出位置まで引き上げられた後に、搬出側内扉３１２が開く（第３槽：上昇・内扉開）。この後は、ワーク搬送カゴ３０３を横搬送して搬出室３０２に搬出する。空になった受け台３３３を蒸気洗浄領域３１８まで降下させて次のワーク搬送カゴ３０３の待機状態に戻し、搬出側内扉３１２を閉じる（第３槽：下降・内扉閉）。
【０１１４】
搬出室３０２の側においては、ワーク搬送カゴ３０３を受け取り、搬出側内扉３１２が閉じられた後は、溶剤回収器３２２によって搬出室３０２内から溶剤を回収する（搬出室：回収）。この後は、搬出側外扉３０７を開けて（搬出室：外扉開）、洗浄乾燥後のワーク搬送カゴ３０３を搬出し（搬出室：バスケット除材）、搬出後に搬出側外扉３０７を閉じる（搬出室：外扉閉）。
【０１１５】
なお、本例では、粗超音波洗浄、仕上げ超音波洗浄を行っている。超音波洗浄以外の洗浄方法を採用してもよいことは勿論である。また、本例では洗浄槽を２槽としてあるが、３槽以上とすることもできる。例えば、３槽の洗浄槽を配置し、第１洗浄槽において煮沸洗浄を行い、第２洗浄槽において超音波洗浄を行い、第３洗浄槽において浸漬洗浄を行い、この後に、蒸気洗浄および乾燥を行うようにしてもよい。
【０１１６】
［実施の形態４］
図９（ａ）は、本発明の実施の形態４に係るワーク洗浄装置を示す概略構成図であり、図９（ｂ）は、その動作の一例を示す説明図である。これらの図に示すワーク洗浄装置は、処理室内に、第１洗浄槽を備えた第１槽と、第２洗浄槽を備えた第２槽と、蒸気発生槽を備えた第３槽と、乾燥領域を備えた第４槽部分とが配置されている４槽式のワーク洗浄装置である。
【０１１７】
（全体構成）
図９（ａ）を参照してワーク洗浄装置４００の構成を説明する。ワーク洗浄装置４００の基本構成は、図８（ａ）に示す実施の形態３の場合と同様である。したがって、対応する部位には同一の符号を付し、それらの説明は省略する。
【０１１８】
ワーク洗浄装置４００では、処理室３０８の上側部分の搬入搬出領域３２１において、蒸気発生槽３１５の真上の搬出位置と搬出室３０２との間に、１台のワーク搬送カゴ３０３を滞留させて乾燥処理を施すことのできる乾燥槽４０１の領域を設けてある。
【０１１９】
（動作の一例）
図９（ｂ）に示すように、上記構成のワーク洗浄装置４００における第１槽、第２槽での動作手順は、実施の形態３と同様であるので、それらの説明は省略する。第３槽の側においては、受け台３３３に受け入れたワーク搬送カゴ３０３が、蒸気洗浄領域３１８に所定時間保持され、ワークに蒸気洗浄が施される（第３槽：ベーパー洗浄）。次に、ワーク搬送カゴ３０３は、その上側の冷却乾燥領域３１９を経由して上側の搬入搬出領域３２１の搬出位置まで引き上げられる（第３槽：上昇）。この後は、ワーク搬送カゴ３０３は、横搬送されて乾燥槽４０１の領域に待機しているチェーンコンベア等からなる受け台４０２に引き渡す（第３槽：上横搬送）。空になった受け台３３３は、蒸気洗浄領域３１８まで降下して、次のワーク搬送カゴ３０３の待機状態に戻る（第３槽：下降）。
【０１２０】
乾燥槽４０１の領域に移動したワーク搬送カゴ３０３は、所定時間に亘ってその位置に保持されて、乾燥処理が施される（乾燥槽：乾燥）。乾燥後に、搬出側内扉３１２が開き（乾燥槽：内扉開）、ワーク搬送カゴ３０３が横搬送されて、搬出室３０２に搬出される。
【０１２１】
搬出室３０２の側においては、ワーク搬送カゴ３０３を受け取った後は、溶剤回収器３２２によって搬出室３０２内から溶剤を回収する（搬出室：回収）。この後は、搬出側外扉３０７を開けて（搬出室：外扉開）、洗浄乾燥後のワーク搬送カゴ３０３を搬出し（搬出室：バスケット除材）、搬出後に搬出側外扉３０７を閉じる（搬出室：外扉閉）。
【０１２２】
［実施の形態５］
図１０は本発明を適用した実施の形態５のワーク洗浄システムを示す概略構成図である。この図に示すワーク洗浄システム５００は、実施の形態１のワーク洗浄装置と基本的に同一構成のワーク洗浄装置５０１と、この前段に配置した２槽式の前段側洗浄装置５０２とを備えている。
【０１２３】
本例では前段側洗浄装置５０２は、油分の分解除去能力の高い炭化水素系溶剤を用いて超音波洗浄によりワークの粗洗浄を行う第１洗浄槽５０３と、同じく炭化水素系溶剤を用いて超音波洗浄によりワークの仕上げ洗浄を行う第２洗浄槽５０４とを備えている。後段側のワーク洗浄装置５０１は、洗浄後の炭化水素系溶剤が付着しているワークに対して、フッ素系溶剤を用いて仕上げ洗浄を施す。
【０１２４】
ワーク洗浄装置５０１の基本構成は、実施の形態１のワーク洗浄装置１と同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、それらの説明は省略する。ワーク洗浄装置５０１には、洗浄によってフッ素系溶剤に混入している炭化水素系溶剤を分離除去するための炭化水素分離ユニット５０５が、蒸気発生槽に付設されている。
【０１２５】
前段側洗浄装置５０２においては、仕上げ洗浄槽である第２洗浄槽５０４からオーバーフローした炭化水素系溶剤がオーバーフロータンク５０６に流れ込み、その底側の連通口を介して、粗洗浄槽である第１洗浄槽５０３に供給される。第１洗浄槽５０３からオーバーフローした炭化水素系溶剤はオーバーフロータンク５０７に流れ込む。オーバーフロータンク５０７に回収された炭化水素系溶剤は、この底面の回収口から、循環ポンプ５０８によって、フィルタ５０９を備えた循環ライン５１０を介して汚れが除去されて、再び第１洗浄槽５０３に戻される。仕上げ洗浄槽である第２洗浄槽５０４にも、循環ポンプ５１１、フィルタ５１２を備えた循環ライン５１３が付設されている。
【０１２６】
また、オーバーフロータンク５０７に回収される炭化水素系溶剤は、例えば、定期的に、循環ライン５１０および回収ライン５１４を介して真空蒸留機５１５に回収され、ここを介して再生されて再生液タンク５１６に貯留される。再生液タンク５１６から仕上げ槽である第２洗浄槽５０４に再生炭化水素系溶剤が供給されるようになっている。
【符号の説明】
【０１２７】
１    ワーク洗浄装置
２    装置ハウジング
３    操作表示盤
４    搬入搬出口
５    開閉機構
６    外扉
６Ａ  開き位置
６Ｂ  閉じ位置
７    処理容器
８    搬入搬出室
９    処理室
１０  内扉開閉機構
１１  内扉
１１ａ  内扉本体板部分
１１ｂ  縁板部分
１１Ａ  退避位置
１１Ｂ  遮断位置
１２  洗浄槽
１３  溶剤液面
１４  蒸気洗浄領域
１５  冷却コイル
１６  冷却乾燥領域
１７  蒸気発生槽
１８  水分離器
１９  冷却コイル
２１  フッ素系タンク
２２  冷凍機
２３  熱交換機
２５  昇降機構
２６  パワーシリンダ
２７  伸縮ロッド
２８  ワーク搬送カゴ
２９  受け台
３１  補充ライン
３３  ポンプ
３４  還流ライン
３５  フィルタ
３６  送風ファン
３７  循環ライン
３８  冷媒循環ライン
４１  パワーシリンダ
４２  ガイドレール
４３、４４  係合板
４５、４６  ロック用プランジャ
４７  弾性部材
５０  連通口
５０ａ  開口縁部分
５１  内扉取付枠
５２  ガイドレール
５３  ラック
５４  ピニオン
５５  モータ
５６  ガイドローラ
【図１】
2017170424.tif 000003
【図２】
2017170424.tif 000004
【図３】
2017170424.tif 000005
【図４Ａ】
2017170424.tif 000006
【図４Ｂ】
2017170424.tif 000007
【図５Ａ】
2017170424.tif 000008
【図５Ｂ】
2017170424.tif 000009
【図６】
2017170424.tif 000010
【図７】
2017170424.tif 000011
【図８】
2017170424.tif 000012
【図９】
2017170424.tif 000013
【図１０】
2017170424.tif 000014