(57)【要約】【課題】液晶表示装置の製造のためのベーク工程で使用されるオーブンなどから排出される揮発性有機化合物を少ないエネルギーで効率的に除去するとともに、熱汚染をも低減する。【解決手段】本発明の一実施形態による揮発性有機化合物の除去装置は、揮発性有機化合物を含む汚染空気を提供する汚染空気供給部、前記汚染空気が流入し、前記汚染空気を冷却させる冷却部、前記冷却部を経た汚染空気が流入し、前記汚染空気に含まれた前記揮発性有機化合物を吸着するフィルタ部を含む。【選択図】図２
2017170427.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
揮発性有機化合物を含む汚染空気を提供する汚染空気供給部と、
前記汚染空気が流入し、前記汚染空気を冷却させる冷却部と、
前記冷却部を経た汚染空気が流入し、前記汚染空気に含まれた前記揮発性有機化合物を吸着するフィルタ部を含む揮発性有機化合物の除去装置。
【請求項２】
前記冷却部は、外部空気と前記汚染空気を熱交換させる熱交換器を含む請求項１に記載の揮発性有機化合物の除去装置。
【請求項３】
前記冷却部は、前記汚染空気を冷却させる冷却コイルを含む請求項１に記載の揮発性有機化合物の除去装置。
【請求項４】
前記冷却部によって前記汚染空気の少なくとも一部が液化され、前記液化された汚染空気を処理するドレイン装置をさらに含む請求項１〜３のいずれかに記載の揮発性有機化合物の除去装置。
【請求項５】
前記フィルタ部は少なくとも一つのフィルタを含み、前記フィルタは化学吸着剤を適用したフィルタ、物理吸着剤を適用したフィルタ、多孔性物質からなるフィルタ、及び、触媒が適用されたフィルタからなる群より選ばれた一つ以上を含む請求項１〜４のいずれかに記載の揮発性有機化合物の除去装置。
【請求項６】
揮発性有機化合物を含む汚染空気を提供するオーブンと、
前記汚染空気が流入され、前記汚染空気を冷却させる冷却部と、
前記冷却部を経た前記汚染空気が流入し、前記汚染空気に含まれた揮発性有機化合物を吸着する第１フィルタと、
前記オーブンと連結され、前記オーブンから提供された前記汚染空気を送り出し、前記冷却部及び前記第１フィルタを経て外気と連通される第１管路と、
前記外気と連通され前記冷却部へと外部空気を送り渡す第２管路を含む揮発性有機化合物の除去装置。
【請求項７】
前記冷却部は、前記外部空気と前記汚染空気を熱交換させる熱交換器を含む請求項６に記載の揮発性有機化合物の除去装置。
【請求項８】
前記熱交換器内で前記第１管路と前記第２管路とが直接接触する請求項７に記載の揮発性有機化合物の除去装置。
【請求項９】
前記第１管路と前記第２管路とが、互いに撚（よ）り合わされるか、または、側面同士が突き合わされて共に折り曲げられた形の少なくとも一つの折曲部を有するようにして互いに接する請求項８に記載の揮発性有機化合物の除去装置。
【請求項１０】
前記第２管路の一端は前記外気と連通され、前記第２管路の他端は前記オーブンと連結される請求項６に記載の揮発性有機化合物の除去装置。
【請求項１１】
前記第１フィルタは、化学吸着剤を適用したフィルタ、物理吸着剤を適用したフィルタ、多孔性物質からなるフィルタ、及び、触媒が適用されたフィルタからなる群より選ばれたいずれか一つを含む請求項６〜１０のいずれかに記載の揮発性有機化合物の除去装置。
【請求項１２】
前記冷却部によって前記汚染空気の少なくとも一部が液化され、前記液化された汚染空気を処理するドレイン装置をさらに含む請求項６〜１１のいずれかに記載の揮発性有機化合物の除去装置。
【請求項１３】
前記ドレイン装置と連結された回収タンク及び前記熱交換器、前記ドレイン装置及び前記回収タンクを繋げる第３管路をさらに含み、
前記第３管路の一端は前記熱交換器と連結され、前記第３管路の他端は前記第１管路と連結される請求項１２に記載の揮発性有機化合物の除去装置。
【請求項１４】
前記冷却部は少なくとも一つの冷却コイルを含む請求項６〜１３のいずれかに記載の揮発性有機化合物の除去装置。
【請求項１５】
前記第１フィルタと隣接する第２フィルタをさらに含み、
前記冷却コイルは第１冷却コイルと第２冷却コイルを含み、
前記第１管路に沿って前記第１冷却コイル、前記第１フィルタ、前記第２フィルタ及び前記第２冷却コイルが、流れ方向に、この順に配置される請求項１４に記載の揮発性有機化合物の除去装置。
【請求項１６】
前記冷却部は熱交換器及び冷却コイルを含み、前記熱交換器及び前記冷却コイルが前記第１管路に沿って配置される請求項６〜１３のいずれかに記載の揮発性有機化合物の除去装置。
【請求項１７】
前記第１管路に沿って配置され、前記オーブンと前記冷却部との間に配置される前段フィルタをさらに含む請求項６〜１６のいずれかに記載の揮発性有機化合物の除去装置。
【請求項１８】
揮発性有機化合物を含む汚染空気を提供する段階と、
前記提供された汚染空気を冷却させる段階と、
前記冷却された汚染空気をフィルタ部に流入させて前記汚染空気に含まれた揮発性有機化合物を吸着する段階を含む揮発性有機化合物の除去方法。
【請求項１９】
前記提供された汚染空気を冷却させる段階は熱交換器を利用して外部の空気と前記汚染空気を熱交換させる段階を含む請求項１８に記載の揮発性有機化合物の除去方法。
【請求項２０】
前記汚染空気を冷却させることによって前記汚染空気のうち少なくとも一部が液化され、前記液化された汚染空気を処理して貯蔵する段階をさらに含む請求項１８に記載の揮発性有機化合物の除去方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は揮発性有機化合物の除去装置及び揮発性有機化合物の除去方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
揮発性有機化合物（ＶＯＣｓ、Volatile Organic Compound）とは、蒸気圧が高いため大気中に蒸発されやすい液体または気体状の有機化合物を総称するものである。揮発性有機化合物は呼吸器から吸入されることより障害を起こす発癌物質であって、人体に白血病、中枢神経障害、染色体異常などを誘発する。また、揮発性有機化合物はオゾン層破壊、地球温暖化及び揮発性有機化合物の連鎖反応によって生成された光化学酸化物によって発生する光化学スモッグなど環境問題を発生させ得る。これに加えて揮発性有機化合物は、多くは刺激的でかつ不快な臭いを含有しており、大気に流出される際は生活環境に莫大な被害を与える。揮発性有機化合物の大部分は人間の産業活動によって人為的に多く発生し、主に石油化学工場、塗装工場及び自動車排気ガスなどの発生原因もまた多様である。このような揮発性有機化合物が有する有害性は特に人々が密集している大都市地域でより深刻に受け止められており、これを減らすために各分野で研究及び努力が行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開2011-224490号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明が解決しようとする課題は、工程中に発生する揮発性有機化合物を除去できる揮発性有機化合物の除去装置を提供することにある。
【０００５】
本発明が解決しようとする他の課題は、高温の汚染空気が有する熱によって大気の熱汚染が発生することを防止する揮発性有機化合物の除去装置を提供することにある。
【０００６】
本発明の課題は以上で言及した技術的課題に制限されず、言及されていないまた他の技術的課題は次の記載から当業者に明確に理解できるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一実施形態による揮発性有機化合物の除去装置は、(1)揮発性有機化合物を含む汚染空気を提供する汚染空気供給部、(2)前記汚染空気が流入し、前記汚染空気を冷却させる冷却部、(3)前記冷却部を経た汚染空気が流入し、前記汚染空気に含まれた前記揮発性有機化合物を吸着するフィルタ部を含む。
【０００８】
また、前記冷却部は外部空気と前記汚染空気を熱交換させる熱交換器を含み得る。
【０００９】
また、前記冷却部は前記汚染空気を冷却させる冷却コイルを含み得る。
【００１０】
また、前記冷却部によって前記汚染空気の少なくとも一部が液化され、前記液化された汚染空気を処理するドレイン装置をさらに含み得る。
【００１１】
また、前記フィルタ部は少なくとも一つのフィルタを含み、前記フィルタは化学吸着剤を適用したフィルタ、物理吸着剤を適用したフィルタ、多孔性物質からなるフィルタ及び触媒が適用されたフィルタからなる群より選ばれた一つ以上を含み得る。
【００１２】
本発明の他の実施形態による揮発性有機化合物の除去装置は、(1)揮発性有機化合物を含む汚染空気を提供するオーブン、(2)前記汚染空気が流入し、前記汚染空気を冷却させる冷却部、(3)前記冷却部を経た前記汚染空気が流入し、前記汚染空気に含まれた揮発性有機化合物を吸着する第１フィルタ、(4)前記オーブンと連結されて前記オーブンから提供された前記汚染空気を送り渡し、前記冷却部及び前記第１フィルタを経て外気と連通される第１管路、及び、(5)前記外気と連通され前記冷却部に外部空気を送り渡す第２管路を含む。
【００１３】
また、前記冷却部は前記外部空気と前記汚染空気を熱交換させる熱交換器を含み得る。
【００１４】
また、前記熱交換器内で前記第１管路と前記第２管路は直接接触し得る。
【００１５】
また、前記第１管路と前記第２管路は互いに撚（よ）り合わ（ツイスト）されるか、または、側面同士が突き合わされて共に折り曲げられた形の少なくとも一つ以上の折曲部を有するようにして互いに接し得る。
【００１６】
また、前記第２管路の一端は前記外気と連通され、前記第２管路の他端は前記オーブンと連結され得る。
【００１７】
また、前記第１フィルタは化学吸着剤を適用したフィルタ、物理吸着剤を適用したフィルタ、多孔性物質からなるフィルタ、及び、触媒が適用されたフィルタからなる群より選ばれたいずれか一つを含み得る。
【００１８】
また、前記冷却部によって前記汚染空気の少なくとも一部が液化され、前記液化された汚染空気を処理するドレイン装置をさらに含み得る。
【００１９】
また、前記ドレイン装置と連結された回収タンク及び前記熱交換器、前記ドレイン装置及び前記回収タンクを繋げる第３管路をさらに含み、前記第３管路の一端は前記熱交換器と連結され、前記第３管路の他端は前記第１管路と連結され得る。
【００２０】
また、前記冷却部は少なくとも一つの冷却コイルを含み得る。
【００２１】
また、前記第１フィルタと隣接する第２フィルタをさらに含み、前記冷却コイルは第１冷却コイルと第２冷却コイルを含み、前記第１管路に沿って前記第１冷却コイル、前記第１フィルタ、前記第２フィルタ及び前記第２冷却コイルが順次に配置され得る。
【００２２】
また、前記冷却部は熱交換器及び冷却コイルを含み、前記熱交換器及び前記冷却コイルは前記第１管路に沿って配置され得る。
【００２３】
また、前記第１管路に沿って配置され、前記オーブンと前記冷却部との間に配置される前端フィルタをさらに含み得る。
【００２４】
本発明の一実施形態による揮発性有機化合物の除去方法は揮発性有機化合物を含む汚染空気を提供する段階、前記提供された汚染空気を冷却させる段階及び前記冷却された汚染空気をフィルタ部に流入させて前記汚染空気に含まれた揮発性有機化合物を吸着する段階を含み得る。
【００２５】
また、前記提供された汚染空気を冷却させる段階は熱交換器を利用して外部の空気と前記汚染空気を熱交換させる段階を含み得る。
【００２６】
また、前記汚染空気を冷却させることによって前記汚染空気のうち少なくとも一部が液化され、前記液化された汚染空気を処理して貯蔵する段階をさらに含み得る。
【発明の効果】
【００２７】
本発明の実施形態によれば、揮発性有機化合物が含まれた汚染空気から揮発性有機化合物を吸着して除去することができる。
【００２８】
高温の汚染空気が有する熱による大気熱汚染を防止することができる。
【００２９】
本発明の実施形態による効果は以上で例示した内容によって制限されず、さらに多様な効果が本明細書内に含まれている。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の一実施形態による揮発性有機化合物の除去装置のブロック・工程フロー図である。
【図２】本発明の一実施形態による揮発性有機化合物の除去装置の装置構成図である。
【図３】本発明の一実施形態による揮発性有機化合物の除去装置の熱交換器の部分拡大図である。
【図４】図３の変形例による揮発性有機化合物の除去装置の熱交換器の部分拡大図である。
【図５】本発明の他の実施形態による揮発性有機化合物の除去装置の装置構成図である。
【図６】本発明の他の実施形態による揮発性有機化合物の除去装置の装置構成図である。
【図７】本発明の他の実施形態による揮発性有機化合物の除去装置の装置構成図である。
【図８】本発明の他の実施形態による揮発性有機化合物の除去装置の装置構成図である。
【図９】本発明の他の実施形態による揮発性有機化合物の除去装置の装置構成図である。
【図１０】本発明の他の実施形態による揮発性有機化合物の除去装置の装置構成図である。
【図１１】本発明の他の実施形態による揮発性有機化合物の除去装置の装置構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
本発明の利点及び特徴、これらを達成する方法は添付する図面と共に詳細に後述する実施形態において明確になるであろう。しかし、本発明は、以下で開示する実施形態に限定されるものではなく、互いに異なる多様な形態で実現されるものであり、本実施形態は、単に本発明の開示を完全にし、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者に発明の範疇を完全に知らせるために提供されるものであり、本発明は、請求項の範囲によってのみ定義される。
【００３２】
「第１」、「第２」などの表現が多様な素子、構成要素を叙述するために使用されるが、これらの素子や構成要素はこれらの用語によって制限されないことはいうまでもない。これらの用語は、単に一つの構成要素を他の構成要素と区別するために使用するものである。したがって、以下で言及される第１構成要素は本発明の技術的思想内で第２構成要素であり得ることは勿論である。
【００３３】
以下、添付された図面を参照して本発明の実施形態について説明する。ただし、本明細書では本発明による表示装置を例に挙げて説明するが、これに制限されず、有機発光表示装置の場合にも適用され得る。
【００３４】
図１は本発明の一実施形態による揮発性有機化合物の除去装置のブロック図である。
【００３５】
図１を参照すると、本発明の一実施形態による揮発性有機化合物の除去装置は、(1)揮発性有機化合物を含む汚染空気を提供する汚染空気供給部ＯＶ、(2)汚染空気が流入し、この汚染空気を冷却する冷却部ＲＥ、及び、(3)冷却部ＲＥを経た汚染空気が流入し、汚染空気に含まれた揮発性有機化合物を吸着するフィルタ部ＦＩを含む。
【００３６】
汚染空気供給部ＯＶは、揮発性有機化合物（ＶＯＣ、Volatile Organic Compound）を含む汚染空気を生成することができる。本明細書において、揮発性有機化合物（ＶＯＣ、Volatile Organic Compound）は、蒸気圧が高いために、大気中へと蒸発しやすい液体及び気体状の有機化合物を総称するものとして理解することができる。例えば、揮発性有機化合物（ＶＯＣ、Volatile Organic Compound）は、ベンゼン（Ｂｅｎｚｅｎｅ、Ｃ６Ｈ６）、ホルムアルデヒド（Ｆｏｒｍａｌｄｅｈｙｄｅ、ＨＣＨＯ）、トルエン（Ｔｏｌｕｅｎｅ、Ｃ７Ｈ８）、キシレン（Ｘｙｌｅｎｅ、Ｃ６Ｈ４（ＣＨ３））、エチレン（Ｅｔｈｙｌｅｎｅ、ＣＨ２＝ＣＨ２）、スチレン（Ｓｔｙｒｅｎｅ、Ｃ８Ｈ８）及びアセトアルデヒド（Ａｃｅｔａｌｄｅｈｙｄｅ、ＣＨ３ＣＨＯ）からなる群より選ばれたいずれか一つ以上の物質を含み得る。これに加えて、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）が大気中に悪臭を誘発させる臭い誘発物質を含み得る。
【００３７】
汚染空気供給部ＯＶは高温の汚染空気を排出し得る。例示的な実施形態で汚染空気の温度は１００℃ないし６００℃の範囲内であり得る。ただし、汚染空気の温度はこれに制限されず、本明細書において、「高温の汚染空気」とは、特定工程で加熱する過程を含むことによって発生し得る、常温より高い温度（例えば60℃以上または８０℃以上）を有する気体を総称する。
【００３８】
汚染空気供給部ＯＶは、加熱機能を有するオーブンを含み得る。本明細書において、オーブンは、対象体の温度を加熱するあらゆる手段を含む装置を意味し、その具体的な加熱方法によって制限されない。
【００３９】
汚染空気供給部ＯＶから提供される汚染空気は冷却部ＲＥに流入し得る。冷却部ＲＥは汚染空気の温度を低くする役割を果たす。例示的に、冷却部ＲＥは汚染空気の温度を４０℃以下に下げることができる。この過程で汚染空気の一部は凝縮されて液化され得る。本発明の一実施形態による揮発性有機化合物の除去装置は前記液化された汚染空気を処理するためのドレイン装置をさらに含み得る。これについての詳しい説明は後述する。
【００４０】
冷却部ＲＥは、汚染空気供給部ＯＶから流入された汚染空気の温度を低くするための手段として、熱交換器を含み得る。熱交換器は、外部の空気を利用して汚染空気を冷却させる空冷式熱交換器であり得る。これについてより詳細に説明すると、熱交換器は、外部の空気と汚染空気の熱を交換させて両者の熱平衡状態を誘導することによって、汚染空気の温度を低くすることができる。言い換えると、熱交換器の内部には、汚染空気を流入させる管路と、外部の空気が流入される管路が配置されるが、ここで、汚染空気を流入させる管路と、外部の空気が流入される管路とを接触させることによって、両者の熱交換を誘導することができる。この場合、二つの空気は混ざらず、管路を介する熱伝導によって熱平衡が誘導され得る。すなわち、汚染空気の温度が外部空気によって相対的に低くなって、外部空気の温度は汚染空気の温度によって相対的に高くなる。
【００４１】
熱交換器で温度が低くなった汚染空気は後述するフィルタ部ＦＩに流入し得る。熱交換器にて温度が高くなった外部空気は、再び外部へと排出されるか、汚染空気供給部に流入して再使用され得る。これについての詳細な説明は後述する。
【００４２】
他の例示的な実施形態で、冷却部ＲＥは汚染空気供給部ＯＶから流入された汚染空気の温度を低くするために冷却コイルを含み得る。汚染空気は冷却コイルを通過しながら冷却され得る。具体的には、フレオン（商標：フロン）などの冷媒が冷却コイルの内部を流れるようになり、高温の汚染空気は、冷却コイルの配置箇所を通過しながら温度が徐々に低くなる。このうち一部または全部が凝縮され得るのであり、液化された汚染空気を処理するためにドレイン装置をさらに含み得る。ドレイン装置については詳細に後述する。
【００４３】
本発明のいくつかの実施形態において、冷却部ＲＥは、一つ以上の熱交換器及び／または一つ以上の冷却コイルを含み得る。すなわち、冷却部ＲＥは、一つまたはそれ以上の熱交換器を含んでなるか、一つまたはそれ以上の冷却コイルを含んでなる。また、冷却部ＲＥは一つ以上の熱交換器と一つ以上の冷却コイルを同時に含むこともできる。
【００４４】
冷却部ＲＥを通過した汚染空気は、管路に沿ってフィルタ部ＦＩに流入し得る。
【００４５】
フィルタ部ＦＩは汚染空気を浄化する。このためにフィルタ部ＦＩは汚染空気に含まれた揮発性有機化合物ＶＯＣ及び／または悪臭を誘発する悪臭誘発物質を濾過（filtration、吸着除去を含む）し得る。揮発性有機化合物ＶＯＣ及び／または悪臭を誘発する悪臭誘発物質を濾過するために、フィルタ部ＦＩは、有機化合物ＶＯＣ及び／または悪臭を誘発する悪臭誘発物質を吸着するフィルタを含み得る。
【００４６】
フィルタ部ＦＩは、一つまたはそれ以上のフィルタを備えることができる。揮発性有機化合物ＶＯＣまたは悪臭誘発物質の種類に応じて、フィルタは、物理吸着剤または化学吸着剤を含み得る。物理吸着剤または化学吸着剤は選択的にまたは併存させて適用し得る。言い換えると、フィルタは、物理吸着剤及び化学吸着剤からなる群より選ばれたいずれか一つ以上を含み得る。
【００４７】
前記した物理吸着剤または化学吸着剤は、水分を含んでなることもできる。物理吸着剤または化学吸着剤が水分を含んでなる場合、水溶性である揮発性有機化合物ＶＯＣの除去が容易になり得る。
【００４８】
フィルタ部ＦＩに適用されるフィルタは揮発性有機化合物ＶＯＣ及び／または悪臭を誘発する悪臭誘発物質を捕集するために多孔性物質を含み得る。例示的に、フィルタは、高分子、ゼオライト、活性炭、金属酸化物及びセラミックのうちより選ばれたいずれか一つ以上の物質を含んでなる。このようにフィルタが多孔性物質を含んでなる場合、汚染空気に含まれた揮発性有機化合物ＶＯＣ及び／または悪臭を誘発する悪臭誘発物質が分子単位でフィルタの多孔性物質に捕集され得る。
【００４９】
フィルタの濾過性能を向上させるためにフィルタは揮発性有機化合物ＶＯＣ及び／または悪臭を誘発する悪臭誘発物質の捕集を助ける触媒を含み得る。例示的には触媒は白金系酸化触媒であり得る。白金系酸化触媒は低温系酸化触媒として、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）と白金（Ｐｔ）を混合（各種の複合化を含む。以下同様）してなる。このような触媒は２００℃ないし３００℃の温度範囲で使用され得る。他の例示として、触媒はニッケル／コバルト系酸化触媒であり得る。ニッケル／コバルト系酸化触媒は、高温系酸化触媒として、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）と、ニッケル及びコバルトの少なくと一方とを混合した材料からなるものであり得る。このような触媒は３００℃以上の温度範囲で使用され得る。
【００５０】
フィルタ部ＦＩは、前記した多様な方式のフィルタを単独で使用するか、前記方式のフィルタを複数組み合わせて使用することができる。すなわち、フィルタ部ＦＩは、互いに異なる機能を遂行する複数のフィルタを含んでなり得る。すなわち、フィルタ部ＦＩは、化学吸着剤を適用したフィルタ、物理吸着剤を適用したフィルタ、多孔性物質からなるフィルタ、及び触媒が適用されたフィルタからなる群より選ばれた一つ以上のフィルタを含み得る。すなわち、フィルタ部ＦＩは互いに異なる機能を有するフィルタの組合せを含み得る。
【００５１】
フィルタ部ＦＩが含む様々な種類のフィルタは温度適合性を有することができる。言い換えると、フィルタは特定温度で向上した濾過性能を発揮することができる。すなわち、上記のように汚染空気が直接フィルタ部ＦＩに送り渡送り渡されるのではなく、冷却部ＲＥを介して送り渡送り渡されることによって、フィルタ部ＦＩの浄化能力を向上させることができる。
【００５２】
以下では、本発明のより具体的な実施形態について説明する。
【００５３】
図２は、本発明の一実施形態による揮発性有機化合物の除去装置の装置構成図である。
【００５４】
図２を参照すると、本発明の一実施形態による揮発性有機化合物の除去装置は、(1)揮発性有機化合物を含む汚染空気を提供するオーブンＯＶ１と、(2)汚染空気が流入し、汚染空気を冷却させる熱交換器ＥＸ１と、熱交換器ＥＸ１を経た汚染空気が流入し、汚染空気に含まれた揮発性有機化合物を吸着する第１フィルタＦＩ１と、(3)オーブンＯＶ１と連結され、オーブンＯＶ１から提供された汚染空気を送り渡送り渡し、熱交換器ＥＸ１及び第１フィルタＦＩ１を経て外気と連通される第１管路Ｌ１と、(4)外気と連通されて熱交換器ＥＸ１に外部空気を送り渡する第２管路Ｌ２とを含む。
【００５５】
オーブンＯＶ１は揮発性有機化合物（ＶＯＣ、Volatile Organic Compound）を含む汚染空気を生成することができる。
【００５６】
オーブンＯＶ１は高温の汚染空気を排出し得る。例示的な実施形態にて汚染空気の温度は１００℃ないし６００℃であり得る。ただし、汚染空気の温度はこれに制限されない。本明細書において、高温の汚染空気とは、特定工程で加熱する過程を含むことによって発生し得る常温より高い温度を有する気体を総称するものと理解することができる。
【００５７】
オーブンＯＶ１は対象体の温度を増加させる手段を含み得うるが、その具体的な方式は制限されない。例示的に、オーブンＯＶ１は、液晶表示装置の製造のためのベーク工程で使用されるオーブン、特には基板上に絶縁膜やレジストパターンなどを形成するためのベーク工程で使用されるオーブンであり得る。この場合、汚染空気の温度は１５０℃ないし２３０℃であり得る。ただし、これは例示的なものであり、本発明の範囲は前記の工程及び温度に制限されない。
【００５８】
オーブンＯＶ１で生成された汚染空気は、後述する第１管路Ｌ１を介して熱交換器ＥＸ１に流入し得る。熱交換器ＥＸ１は、密閉された第１チャンバーＣＨ１の内部に配置され得る。第１チャンバーＣＨ１は、外部空気と遮断された空間を提供し得る。第１チャンバーＣＨ１がこのように外部空気と遮断された空間を提供することによって、予想できない外部空気の流入及び汚染空気の流出による外部空気汚染を防止することができる。
【００５９】
熱交換器ＥＸ１は、オーブンＯＶ１から流入した汚染空気の温度を低くすることができる。すなわち、熱交換器ＥＸ１は、外部の空気を利用して汚染空気の温度を低くする空冷式熱交換器であり得る。具体的には、熱交換器ＥＸ１は、外部の空気と汚染空気との間で熱を交換させて両者の熱平衡状態を誘導することによって、汚染空気の温度を低くすることができる。これについて再度説明すると、後述する第２管路Ｌ２を介して、常温を有する外部の空気が熱交換器ＥＸ１に流入し得る。熱交換器ＥＸ１の内部にて、汚染空気が移動する第１管路Ｌ１と、外部の空気が移動する第２管路Ｌ２とが物理的に接触し得る。第１管路Ｌ１と第２管路Ｌ２の物理的接触によって両者の熱交換が起こり得る。すなわち、第１管路Ｌ１と第２管路Ｌ２との接触による熱伝導によって両者の間での熱平衡が誘導され得る。すなわち、第１管路Ｌ１と第２管路Ｌ２とが直接、または金属板などを介して間接に接触することによって、相対的に高温を有する第１管路Ｌ１の温度が低くなり、相対的に低温を有する第２管路Ｌ２の温度が高くなる。これによって、第１管路Ｌ１を通過する汚染空気の温度が低くなり、第２管路Ｌ２を通過する外部空気の温度が高くなる。すなわち、このような方式を採用することによって、汚染空気と外部空気とは、混ざらずに熱交換が行われ得る。
【００６０】
熱交換器ＥＸ１内で第１管路Ｌ１と第２管路Ｌ２が接触する方式を説明するために図３及び図４を参照する。
【００６１】
図３は本発明の一実施形態による揮発性有機化合物の除去装置の熱交換器の部分拡大図である。
【００６２】
図３を参照すると、第１管路Ｌ１と第２管路Ｌ２は熱交換器ＥＸ１内で互いに直接的に接し得る。
【００６３】
前述したように、第１管路Ｌ１と第２管路Ｌ２は、熱伝導方式により熱を交換し得る。これによって第１管路Ｌ１と第２管路Ｌ２の接触面積が広いほど熱交換が容易である。第１管路Ｌ１と第２管路Ｌ２の接触面積を広げるため、第１管路Ｌ１と第２管路Ｌ２とを、一定の長さだけ互いに、よ（撚）り合わせられる。言い換えると、相互ツイスト（ｔｗｉｓｔ）され得る。
【００６４】
図４は、図３の変形例による揮発性有機化合物の除去装置の熱交換器の部分拡大図である。
【００６５】
図４を参照すると、第１管路Ｌ１と第２管路Ｌ２は、互いに接した状態で一つ以上の折曲部を有して延長され得る。前述したように第１管路Ｌ１と第２管路Ｌ２の接触面積を広げるために多様な方式が採用され得る。例示的には、第１管路Ｌ１と第２管路Ｌ２は一つ以上の折曲部を有して延長され得る。言い換えると、第１管路Ｌ１と第２管路Ｌ２は一定の長さで互いに接するが、接する部分が少なくても部分的に屈曲部分を含み得る。すなわち、第１管路Ｌ１と第２管路Ｌ２は、一側面で互いに突き合わされるとともに、このように互いにまとめられた状態で、ひだ状、または縮れた形状をなすように折り曲げまたは湾曲されつつ延びるようにすることで、接触する実質的な長さを増大させることができる。また、ここで、第１管路Ｌ１と第２管路Ｌ２は、互いに接触する箇所にて扁平化され、広い面積で接するようにすることができる。例えば、第１管路Ｌ１と第２管路Ｌ２は、互いに接する箇所で、断面がいずれも半円状に形成され、組み合わさった状態で断面が円形をなすのであっても良い。また、例えば、第１管路Ｌ１と第２管路Ｌ２は、共に、断面が、角を丸めた矩形状であっても良い。
【００６６】
再び、図２を参照して本発明の一実施形態による揮発性有機化合物の除去装置の他の構成について説明する。
【００６７】
熱交換器ＥＸ１を経た汚染空気は、第１管路Ｌ１を介して第１フィルタＦＩ１に流入し得る。第１フィルタＦＩ１は密閉された第２チャンバーＣＨ２内に配置され得る。第２チャンバーＣＨ２は、外部空気から遮断された空間を提供し得る。第２チャンバーＣＨ２がこのように外部空気と遮断された空間を提供することによって、予想できない外部空気の流入及び汚染空気の流出による空気汚染を防止することができる。
【００６８】
第２チャンバーＣＨ２は第１チャンバーＣＨ１と連通され得る。すなわち、第１チャンバーＣＨ１と第２チャンバーＣＨ２が密閉された空間を共有し得る。ただし、これに制限されず、第２チャンバーＣＨ２と第１チャンバーＣＨ１が独立的に外部と遮断された空間を提供することもできる。
【００６９】
第１フィルタＦＩ１は流入した汚染空気を浄化する役割を果たし得る。このために第１フィルタＦＩ１は揮発性有機化合物ＶＯＣまたは悪臭誘発物質の種類に応じて物理吸着剤または化学吸着剤を含み得る。物理吸着剤または化学吸着剤は選択的にまたは併存させて適用され得る。すなわち、第１フィルタＦＩ１は物理吸着剤及び化学吸着剤からなる群より選ばれたいずれか一つ以上を含み得る。
【００７０】
前記した物理吸着剤または化学吸着剤は水分を含んでなることもできる。物理吸着剤または化学吸着剤が水分を含んでなる場合、水溶性である揮発性有機化合物ＶＯＣの除去が容易になる。
【００７１】
第１フィルタＦＩ１は揮発性有機化合物ＶＯＣ及び／または悪臭を誘発する悪臭誘発物質を捕集するために多孔性物質を含み得る。
【００７２】
例示的には、第１フィルタＦＩ１は高分子、ゼオライト、活性炭、金属酸化物及びセラミックのうちから選ばれたいずれか一つ以上の物質を含んでなる。このようにフィルタが多孔性物質を含んでなる場合、汚染空気に含まれた揮発性有機化合物ＶＯＣ及び／または悪臭を誘発する悪臭誘発物質が分子単位で、第１フィルタＦＩ１に含まれた多孔性物質により捕集され得る。
【００７３】
第１フィルタＦＩ１の濾過性能を向上させるために、第１フィルタＦＩ１は、揮発性有機化合物ＶＯＣ及び／または悪臭を誘発する悪臭誘発物質の捕集を助ける触媒を含み得る。例示的には触媒は白金系酸化触媒であり得る。白金系酸化触媒は低温系酸化触媒として、例えば酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）に白金（Ｐｔ）を担持させるなどして複合化してなる。このような触媒は２００℃ないし３００℃の温度の範囲で使用され得る。他の例示として、触媒はニッケル／コバルト系酸化触媒であり得る。ニッケル／コバルト系酸化触媒は高温系酸化触媒として、例えば酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）にニッケル及びコバルトの少なくとも一方（酸化物、水酸化物、金属などの状態のものを含む）を担持させるなどして複合化した材料からなる。このような触媒は３００℃以上の温度範囲で使用され得る。
【００７４】
すなわち、第１フィルタＦＩ１は、化学吸着剤を適用したフィルタ、物理吸着剤を適用したフィルタ、多孔性物質からなるフィルタ、及び、触媒が適用されたフィルタからなる群より選ばれた一つのフィルタであり得る。
【００７５】
本発明の一実施形態による揮発性有機化合物の除去装置は第１管路Ｌ１及び第２管路Ｌ２を含み得る。
【００７６】
第１管路Ｌ１の一端は、オーブンＯＶ１と接続され、オーブンＯＶ１から生成された汚染空気を送り渡送り渡し得る。すなわち、第１管路Ｌ１は汚染空気が移動する通路を提供する。第１管路Ｌ１は熱交換器ＥＸ１と連結され、オーブンＯＶ１から生成された汚染空気を熱交換器ＥＸ１に送り渡送り渡し得る。熱交換器ＥＸ１の内部で第１管路Ｌ１の配置は前述した通りであるため、これに関する具体的な説明は省略する。引続き、第１管路Ｌ１は熱交換器ＥＸ１で冷却された汚染空気を第１フィルタＦＩ１に送り渡し得る。すなわち、第１管路Ｌ１は第１フィルタＦＩ１と連結され得る。第１フィルタＦＩ１により濾過された空気は第１管路Ｌ１を介して外部に排出され得る。汚染空気の排出を円滑にするために第１管路Ｌ１の他端には第１排気ファンＦａｎｏ１が配置され得る。第１排気ファンＦａｎｏ１は第１フィルタＦＩ１を経て浄化された汚染空気を外部に排出し得る。
【００７７】
すなわち、第１管路Ｌ１の一端はオーブンＯＶ１と連結され、第１管路Ｌ１の他端は第１排気ファンＦａｎｏ１と連結され得る。言い換えると、第１管路Ｌ１はオーブンＯＶ１と接続され、熱交換器ＥＸ１と第１フィルタＦＩ及び第１排気ファンＦａｎｏ１を経て外部と連通され得る。
【００７８】
第２管路Ｌ２の一端及び他端のうちいずれか一つ以上は外気と連通され得る。このために第２管路Ｌ２の一端には流入ファンＦａｎｉが配置される。流入ファンＦａｎｉは外部空気を第２管路Ｌ２に流入させる役割を果たす。前述したように第２管路Ｌ２を介して流入した外部空気は熱交換器ＥＸ１に流入し得る。熱交換器ＥＸ１を通りつつ第１管路Ｌ１を移動する汚染空気と熱交換を終えた外部空気は第２管路Ｌ２を介して外気に排出され得る。第２管路Ｌ２の外気排出を容易にするために第２管路Ｌ２の他端には第２排気ファンＦａｎｏ２が配置され得る。すなわち、第２管路Ｌ２の一端は流入ファンＦａｎｉを介して外気と連通され、第２管路Ｌ２の他端は第２排気ファンＦａｎｏ２を介して外気と連通され得る。言い換えると、外部空気は、第２管路Ｌ２の一端に配置される流入ファンＦａｎｉを介して流入し、熱交換器ＥＸ１を経て第２管路Ｌ２の他端に配置される第２排気ファンＦａｎｏ２を介して外部に排出され得る。
【００７９】
熱交換器ＥＸ１により常温と近接するように温度が低くなった汚染空気における揮発性汚染物質及び／または悪臭誘発物質が、第１フィルタＦＩ１により濾過・吸着されることによって、外部に排出される空気は常温に近い清浄な空気であり得る。これによって、高温の熱を有する空気が排出されることによって発生する外部空気の熱汚染、及び、揮発性有機化合物及び／または悪臭誘発物質を含む空気が排出することによって発生する外部空気の汚染が防止され得る。
【００８０】
以下では本発明の他の実施形態による揮発性有機化合物の除去装置について説明する。以下の実施形態では既に説明した構成と同じ構成に対しては同じ参照番号を使用し、重複する説明は簡略化または省略する。
【００８１】
図５は本発明の他の実施形態による揮発性有機化合物の除去装置の装置構成図である。
【００８２】
図５を参照すると、本発明の他の実施形態による揮発性有機化合物の除去装置は、第２管路Ｌ２の他端がオーブンＯＶ１と連結される点が図２の実施形態と違う点である。
【００８３】
第２管路Ｌ２の他端はオーブンＯＶ１と連結され得る。前述したように熱交換器ＥＸ１で熱交換が行われると、第１管路Ｌ１を通過する汚染空気の温度は低くなり、第２管路Ｌ２を通過する外部空気の温度は高くなる。第２管路Ｌ２の他端がオーブンＯＶ１と連結される場合、熱交換器ＥＸ１を経て温度が高くなった外部空気をオーブンＯＶ１で再使用することができる。これにより、高温の空気を外部に排出させることによって発生できる熱汚染の問題を防止することができ、廃熱をリサイクルすることによって工程に必要なエネルギを節約することができる。
【００８４】
図６は、本発明の他の実施形態による揮発性有機化合物の除去装置の工程流れ図である。図６を参照すると、本発明の他の実施形態による揮発性有機化合物の除去装置はドレイン装置ＤＲをさらに含み得る。
【００８５】
前述したように熱交換器ＥＸ１により第１管路Ｌ１を移動する汚染空気の一部または全部が凝縮されて液化され得る。この場合、液化された汚染空気はドレイン装置ＤＲを介して回収タンクに貯蔵され得る。このために本発明の他の実施形態による揮発性有機化合物の除去装置は、熱交換器ＥＸ１と連結され、液化された汚染空気をドレイン装置ＤＲに送り渡す第３管路Ｌ３をさらに含み得る。
【００８６】
ドレイン装置ＤＲは、第１ドレイン板（ＤＲ＿１）及び第２ドレイン板（ＤＲ＿２）を含み得る。熱交換器ＥＸ１で冷却によって凝縮された汚染空気は、第３管路Ｌ３を介してドレイン装置ＤＲに送り渡され得る。この過程で、液化された汚染空気は第１ドレインパン（ＤＲ＿１）に貯蔵され得る。第１ドレインパン（drain pan; 例えば平皿状）（ＤＲ＿１）に貯蔵された液化汚染空気は、第３管路Ｌ３を介して第２ドレインパン（ＤＲ＿２）に移動することができる。図面に示していないが、第２ドレインパン（ＤＲ＿２）には第２ドレインパン（ＤＲ＿２）に貯蔵される液化汚染空気の水位を測定する第１水位調節センサＳ１が配置され得る。第２ドレインパン（ＤＲ＿２）に配置される第１水位調節センサＳ１は第２ドレインパン（ＤＲ＿２）が一定水位以上の液化汚染空気を貯蔵する際、その水位を感知することができる。第２ドレインパン（ＤＲ＿２）に貯蔵された液化汚染空気は引続き第３管路Ｌ３を介して回収タンク１００に貯蔵され得る。回収タンク１００には回収タンク１００に貯蔵される液化汚染空気の水位を感知する第２水位調節センサＳ２が配置され得る。第２水位調節センサＳ２は回収タンク１００に貯蔵される液化汚染空気の量をモニターして一定水位以上の液化汚染空気が貯蔵されると、これをユーザに知らせて回収タンク１００の交換を誘導することができる。
【００８７】
回収タンク１００に液化汚染空気が貯蔵されると、一部の液化汚染空気が再び気化して揮発性有機化合物になる。この場合、気化した揮発性有機化合物は再び第３管路Ｌ３を通って移動して、熱交換器ＥＸ１に流入する前の第１管路Ｌ１に流入し得る。すなわち、第３管路Ｌ３の一端は熱交換器ＥＸ１と連結され、第３管路Ｌ３の他端は、熱交換器ＥＸ１に流入する前の第１管路Ｌ１と連結され得る。また、再び気化した揮発性有機化合物が逆流することを防止するために、第３管路Ｌ３にはチェックバルブＶが配置され得る。具体的には、チェックバルブＶは第３管路Ｌ３の回収タンク１００と第１管路Ｌ１との間に配置される。
【００８８】
図７は本発明の他の実施形態による揮発性有機化合物の除去装置の装置構成図である。
【００８９】
図７を参照すると、本発明の他の実施形態による揮発性有機化合物の除去装置は、第１管路Ｌ１上に前段フィルタ（プリフィルタ）ｓＦＩが配置される点が図２の実施形態と違う点である。
【００９０】
第１管路Ｌ１上に、前段フィルタｓＦＩが配置され得る。具体的には、前段フィルタｓＦＩは、オーブンＯＶ１と熱交換器ＥＸ１との間に配置され得る。前段フィルタｓＦＩは、第１管路Ｌ１を通過する汚染空気が熱交換器ＥＸ１に流入される前に、汚染空気を事前に一度フィルタリングする役割を果たすことができる。
【００９１】
前段フィルタｓＦＩはデミスタフィルタ（Ｄｅｍｉｓｔｅｒ  Ｆｉｌｔｅｒ）及び／またはカーボンフィルタ（Ｃａｒｂｏｎ  Ｆｉｌｔｅｒ）を含み得る。本発明の他の実施形態による揮発性有機化合物の除去装置が前段フィルタｓＦＩを含む場合、第１管路Ｌ１を通過する汚染空気の微細有害粒子や悪臭誘発物質を事前に一度フィルタリングすることによって、第１フィルタＦＩ１の負担を緩和することができ、揮発性有機化合物の除去装置の全体における濾過性能を向上させることができる。
【００９２】
図８は本発明の他の実施形態による揮発性有機化合物の除去装置の装置構成図である。
【００９３】
図８は冷却部ＲＥが熱交換器ＥＸ１の代わりに第１冷却コイルＣ１を含む点が図２の実施形態と違う点である。
【００９４】
第１管路Ｌ１を通る汚染空気は第１冷却コイルＣ１に流入され得る。第１冷却コイルＣ１の内部には、フロンガスなどによって冷気が送り渡される。したがって、第１冷却コイルＣ１の箇所を通過する気体の温度を低くすることができる。すなわち、汚染空気は、第１管路Ｌ１を通った後、第１冷却コイルＣ１を経て冷却された状態で第１フィルタＦＩ１に流入し得る。第１冷却コイルＣ１及び第１フィルタＦ１を経た汚染空気は再び第１管路Ｌ１を介して外部に排出され得るのであり、このため、第１管路Ｌ１の他端に第１排気ファンＦａｎｏ１が配置され得るということは前述した通りである。第１冷却コイルＣ１を利用して汚染空気を冷却させる場合、熱交換器ＥＸ１に比べて迅速に汚染空気を冷却させることができ、外気により冷却させる場合よりも、より低い温度まで汚染空気を冷却させることができる。
【００９５】
図９は本発明の他の実施形態による揮発性有機化合物の除去装置の装置構成図である。図９を参照すると、本発明の他の実施形態による揮発性有機化合物の除去装置は、第２冷却コイルＣ２及び第２フィルタＦＩ２をさらに含む点が図８の実施形態と違う点である。
【００９６】
第２冷却コイルＣ２は第１冷却コイルＣ１と実質的に同じ構成を有し得る。例示的な実施形態において、第１管路Ｌ１に沿って第１冷却コイルＣ１、第１フィルタＦＩ１、第２フィルタＦＩ２及び第２冷却コイルＣ２が、流れ方向に、この順に配置され得る。
【００９７】
第２フィルタＦＩ２は、流入した汚染空気を浄化する役割を果たす。このために第２フィルタＦＩ２は揮発性有機化合物ＶＯＣまたは悪臭誘発物質の種類に応じて物理吸着剤または化学吸着剤を含み得る。物理吸着剤または化学吸着剤は選択的にまたは併存させて適用され得る。言い換えると、第２フィルタＦＩ２は物理吸着剤及び化学吸着剤からなる群より選ばれたいずれか一つ以上を含み得る。
【００９８】
前記物理吸着剤または化学吸着剤は水分を含んでなることもできる。物理吸着剤または化学吸着剤が水分を含んでなる場合、水溶性である揮発性有機化合物ＶＯＣの除去が容易になる。
【００９９】
第２フィルタＦＩ２は揮発性有機化合物ＶＯＣ及び／または悪臭を誘発する悪臭誘発物質を捕集するために多孔性物質を含み得る。
【０１００】
例示的に、第２フィルタＦＩ２は高分子、ゼオライト、活性炭、金属酸化物及びセラミックから選ばれたいずれか一つ以上の物質を含んでなる。このようにフィルタが多孔性物質を含んでなる場合、汚染空気に含まれた揮発性有機化合物ＶＯＣ及び／または悪臭を誘発する悪臭誘発物質が分子単位で第２フィルタＦＩ２に含まれた多孔性物質に捕集され得る。
【０１０１】
第２フィルタＦＩ２の濾過性能を向上させるために第２フィルタＦＩ２は揮発性有機化合物ＶＯＣ及び／または悪臭を誘発する悪臭誘発物質の捕集を助ける触媒を含み得る。例示的に触媒は白金系酸化触媒であり得る。白金系酸化触媒は低温系酸化触媒として酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）と白金（Ｐｔ）を混合してなる。このような触媒は２００℃ないし３００℃の温度範囲で使用され得る。他の例示として、触媒はニッケル／コバルト系酸化触媒であり得る。ニッケル／コバルト系酸化触媒は高温系酸化触媒として酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）とニッケル／コバルトを混合した材料からなる。このような触媒は３００℃以上の温度範囲で使用され得る。
【０１０２】
すなわち、第２フィルタＦＩ２は化学吸着剤を適用したフィルタ、物理吸着剤を適用したフィルタ、多孔性物質からなるフィルタ及び触媒が適用されたフィルタからなる群より選ばれた一つのフィルタであり得る。
【０１０３】
第１フィルタＦＩ１と第２フィルタＦＩ２は実質的に同じフィルタであるか、または互いに異なるフィルタであり得る。すなわち、第１フィルタＦＩ１と第２フィルタＦＩ２は同じフィルタであるか、または化学吸着剤を適用したフィルタ、物理吸着剤を適用したフィルタ、多孔性物質からなるフィルタ及び触媒が適用されたフィルタからなる群より選ばれた二つのフィルタの組合せであり得る。
【０１０４】
このように本発明の他の実施形態による揮発性有機化合物の除去装置が第２フィルタＦＩ２をさらに含む場合、フィルタ部ＦＩの濾過性能がより向上することができる。
【０１０５】
また、第２フィルタＦＩ２を経た汚染空気が第２冷却コイルＣ２を経て外部に排出される場合、汚染空気が有する熱による外部空気の熱汚染をさらに確実に防止することができる。
【０１０６】
図１０は本発明の他の実施形態による揮発性有機化合物の除去装置の装置構成図である。
【０１０７】
図１０を参照すると、本発明の他の実施形態による揮発性有機化合物の除去装置は、熱交換器ＥＸ１と第１冷却コイルＣ１とをいずれも含む点が図２の実施形態と違う点である。
【０１０８】
本発明のいくつかの実施形態による揮発性有機化合物の除去装置は、熱交換器ＥＸ１と第１冷却コイルＣ１のうちのいずれか一つを含み得るが、両者を同時に含むこともできる。この場合、汚染空気は第１管路Ｌ１を介して熱交換器ＥＸ１及び第１冷却コイルＣ１を順次に通過し得る。熱交換器ＥＸ１と第１冷却コイルＣ１を重複して適用することによって、冷却部ＲＥ１の冷却性能を極大化することができ、これによって汚染空気が有する熱によって発生し得る外部空気の熱汚染を事前に遮断することができる。
【０１０９】
図１１は本発明の他の実施形態による揮発性有機化合物の除去装置の装置構成図である。
【０１１０】
図１１を参照すると本発明の他の実施形態による揮発性有機化合物の除去装置は第２フィルタＦＩ２と第２冷却コイルＣ２をさらに含む点が図１０の実施形態と違う点である。
【０１１１】
前述したように本発明のいくつかの実施形態による揮発性有機化合物の除去装置は熱交換器ＥＸ１と冷却コイルを同時に含み得る。
【０１１２】
第２冷却コイルＣ２は第１冷却コイルＣ１と実質的に同じ構成を有し得る。例示的な実施形態において、第１管路Ｌ１に沿って熱交換器ＥＸ１、第１冷却コイルＣ１、第１フィルタＦＩ１、第２フィルタＦＩ２及び第２冷却コイルＣ２が、流れ方向に、この順に配置され得る。
【０１１３】
このように本発明の他の実施形態による揮発性有機化合物の除去装置が第２フィルタＦＩ２をさらに含む場合、フィルタ部ＦＩの濾過性能がより向上することができる。
【０１１４】
また、第２フィルタＦＩ２を経た汚染空気が第２冷却コイルＣ２を経て外部に排出される場合、汚染空気が有する熱による外部空気の熱汚染をさらに確実に防止することができる。
【０１１５】
以下では本発明の一実施形態による揮発性有機化合物の除去方法について説明する。本発明の一実施形態による揮発性有機化合物の除去方法は、前述した本発明のいくつかの実施形態による揮発性有機化合物の除去装置を利用することができるが、これに制限されない。以下で説明する構成の一部は上記本発明のいくつかの実施形態による揮発性有機化合物の除去装置の構成と同じであり得、重複する説明を避けるために一部の構成に関する説明は省略し得る。
【０１１６】
本発明による一実施形態による揮発性有機化合物の除去方法は、揮発性有機化合物を含む汚染空気を提供する段階、提供された汚染空気を冷却させる段階及び冷却された汚染空気を第１フィルタに流入させて汚染空気に含まれた揮発性有機化合物を吸着する段階を含む。
【０１１７】
先に、揮発性有機化合物を含む汚染空気を提供する段階が行われ得る。揮発性有機化合物は汚染空気供給部から提供され得る。例示的に汚染空気供給部はオーブンを含み得るものであり、オーブンで高温の汚染空気が生成されて提供され得る。汚染空気供給部及びオーブンは上記本発明のいくつかの実施形態による揮発性有機化合物の除去装置で説明した内容と実質的に同様であり得る。したがって、これについては前述した図１、図２の説明をそのまま適用することができる。
【０１１８】
次いで、提供された汚染空気を冷却させる段階が行われる。提供された汚染空気を冷却させる段階は熱交換器ＥＸ１を介して外部空気との熱交換により汚染空気を冷却させる段階または冷却コイルＣを利用して汚染空気を冷却させる段階を含み得る。熱交換器ＥＸ１及び冷却コイルＣは上記本発明のいくつかの実施形態による揮発性有機化合物の除去装置で説明した熱交換器ＥＸ１及び冷却コイルＣと実質的に同じであり得る。したがって、これについては図２及び図９の説明をそのまま適用することができ、これについての詳しい説明は省略する。
【０１１９】
次いで、冷却された汚染空気をフィルタ部に流入させて、前記汚染空気に含まれた揮発性有機化合物を吸着する段階が行われる。フィルタ部は汚染空気に含まれた揮発性有機化合物を吸着する。フィルタ部は本発明のいくつかの実施形態による揮発性有機化合物の除去装置で説明したフィルタ部と実質的に同じであり得る。したがってこれについての詳しい説明は省略する。
【０１２０】
本発明の他の実施形態による揮発上有機化合物除去方法は提供された汚染空気を冷却させる段階に応じて発生する液化汚染空気を回収する段階をさらに含み得る。汚染空気を冷却させることによって汚染空気のうちの少なくとも一部が液化され得る。液化された汚染空気の回収は、ドレイン装置ＤＲにより行われ得る。ドレイン装置ＤＲは、本発明のいくつかの実施形態による揮発性有機化合物の除去装置のドレイン装置ＤＲと実質的に同じあり得る。したがって、これについては図６の説明をそのまま適用し得る。
【０１２１】
以上添付した図面を参照して本発明の実施形態について説明したが、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者は本発明のその技術的思想や必須の特徴を変更しない範囲で他の具体的な形態で実施され得ることを理解することができる。したがって、上記実施形態はすべての面で例示的なものであり、限定的なものではないと理解しなければならない。
【符号の説明】
【０１２２】
ＯＶ        汚染空気供給部
ＲＥ        冷却部
ＦＩ        フィルタ部
ＯＶ１      オーブン
ＣＨ        チャンバー
ＥＸ１      熱交換器
Ｌ１        第１管路
Ｌ２        第２管路
Ｆａｎｉ    流入ファン
Ｆａｎｏ    排気ファン
ＦＩ１      第１フィルタ
ＤＲ        ドレイン装置
ＤＲ＿１    第１ドレインパン
ＤＲ＿２    第２ドレインパン
Ｓ          水（液）位調節センサ
Ｖ          チェックバルブ
１００      回収タンク
Ｃ          冷却コイル
【図１】
2017170427.tif 000003
【図２】
2017170427.tif 000004
【図３】
2017170427.tif 000005
【図４】
2017170427.tif 000006
【図５】
2017170427.tif 000007
【図６】
2017170427.tif 000008
【図７】
2017170427.tif 000009
【図８】
2017170427.tif 000010
【図９】
2017170427.tif 000011
【図１０】
2017170427.tif 000012
【図１１】
2017170427.tif 000013