(57)【要約】【課題】  台車に乗せた物品を装置の筐体に形成された開口部から離れた位置に供給可能な台車を提供することである。【解決手段】  物品を装置に供給するための台車であって、複数の車輪が配設された物品を搭載する荷台と、該荷台の一端部に設置され作業者が把持する把持部を有するハンドルと、該ハンドルを、立設状態と該荷台と反対側に倒れた展開状態に位置付けるハンドル位置付け手段と、を備え、該装置に物品を供給する際は、該ハンドルを該展開状態に位置付けて該ハンドルの該把持部と該台車の他端部との距離を該立設状態と比較して長くすることを特徴とする。【選択図】図２
2017165246.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品を装置に供給するための台車であって、
複数の車輪が配設された物品を搭載する荷台と、
該荷台の一端部に設置され作業者が把持する把持部を有するハンドルと、
該ハンドルを、立設状態と該荷台と反対側に倒れた展開状態に位置付けるハンドル位置付け手段と、を備え、
該装置に物品を供給する際は、該ハンドルを該展開状態に位置付けて該ハンドルの該把持部と該台車の他端部との距離を該立設状態と比較して長くすることを特徴とする台車。
【請求項２】
該位置付け手段は、該ハンドルを該立設状態と該展開状態で固定するロック機構を有する請求項１記載の台車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、環状フレーム等の物品を装置に供給するための台車に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等のウェーハの裏面と環状フレームに粘着テープを貼着し、粘着テープを介してウェーハを環状フレームで支持するフレームユニットを形成する粘着テープ貼着装置が知られている（例えば、特開２０１１−２３６０２４号公報）。
【０００３】
粘着テープ貼着装置の内のいくつかでは、ウェーハの裏面を研削する際にデバイス面を保護する保護テープの剥離も合わせて行う機能も備え、研削装置の側方に設置され、共通の搬送機構で研削装置に連結されている。
【０００４】
近年、半導体ウェーハの大口径化が進んでおり、現在ではφ３００ｍｍの半導体ウェーハが対応されており、更に次世代としてφ４５０ｍｍの半導体ウェーハの使用も計画されている。
【０００５】
このように大口径の半導体ウェーハでフレームユニットを形成するためには、大径の環状フレームが必要となり、それに伴って重量が増加する。そこで、この重量に対応するため、環状フレームを粘着テープ貼着装置に供給するのに、環状フレームをワゴン等の台車で粘着テープ貼着装置に投入する装置も知られている(例えば、特開２００５−０３３１１９号公報参照)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１１−２３６０２４号公報
【特許文献２】特開２００５−０３３１１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、装置周辺には、作業者が歩く程度のスペースしかなく、台車を取り回すには最低限のスペースしかない。これにより、環状フレーム供給部は、台車が取り回せる部分に設置するしかなく、設計の自由度が限られていた。
【０００８】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、台車に乗せた物品を装置の筐体に形成された開口部から離れた位置に供給可能な台車を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明によると、物品を装置に供給するための台車であって、複数の車輪が配設された物品を搭載する荷台と、該荷台の一端部に設置され作業者が把持する把持部を有するハンドルと、該ハンドルを、立設状態と該荷台と反対側に倒れた展開状態に位置付けるハンドル位置付け手段と、を備え、該装置に物品を供給する際は、該ハンドルを該展開状態に位置付けて該ハンドルの該把持部と該台車の他端部との距離を該立設状態と比較して長くすることを特徴とする台車が提供される。
【００１０】
好ましくは、位置付け手段は、ハンドルを立設状態と展開状態で固定するロック機構を有している。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の台車は、ハンドルを倒して物品を供給することで、物品供給部が装置側方から離間した位置に設定されていても、台車の長さを長くしたりすることなく、装置への物品の供給が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１（Ａ）はハンドルが立設状態の台車の側面図、図１（Ｂ）はその上面図である。
【図２】図２（Ａ）はハンドルが展開状態に位置付けられた台車の側面図、図２（Ｂ）はその上面図である。
【図３】図３（Ａ）はハンドルを立設状態で固定したロック機構の側面図、図３（Ｂ）はハンドルを展開状態で固定したロック機構の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１（Ａ）を参照すると、ハンドル１４を立設状態に位置付けた台車２の側面図が示されている。図１（Ｂ）は図１（Ａ）に示した台車２の上面図である。
【００１４】
台車２は、物品を搭載する荷台４を備えており、荷台４の上面４ａには物品固定手段としての一対の離間したロッド６が立設されている。一対のロッド６間の距離は環状フレーム８が所定の余裕度を持って挿入される距離に設定されている。
【００１５】
環状フレーム８は、外周部が環状フレーム８に貼着された粘着テープにウェーハの裏面を貼着して構成されるフレームユニットを形成するための環状フレームであり、ウェーハの口径が大きくなるにつれて大径となり、相当な重量を有している。
【００１６】
一対のロッド６が環状フレーム８の内径を通過するように複数の環状フレーム８が荷台４上に重ねて搭載されている。一対のロッド６は荷台４上に搭載された環状フレーム８の水平方向の動きを規制する物品固定手段として作用する。
【００１７】
本実施形態では、荷台４上に搭載する物品はフレームユニットを構成する環状フレーム８であるとして説明するが、荷台４上に搭載する物品は環状フレーム８に限定されるものではなく、基板や液体（薬液）等の他の物品を搭載するようにしてもよい。ここでは、粘着テープ貼着装置に台車２を使用して環状フレーム８を供給する実施形態について説明する。
【００１８】
荷台４の下面４ｂに車輪（キャスター）１０を回転自在に支持する複数の支持部材９が固定されている。本実施形態では、車輪１０は４個設けられている。環状フレーム８が載置された荷台４の反対側の端部の上面４ａには一対のブラケット１２が固定されている。
【００１９】
台車２で粘着テープ貼着装置１８に複数の環状フレーム８を供給する際には、図１（Ａ）に示すように、ハンドル１４を立設状態で固定し、作業者１６がハンドル１４の把持部１４ａを把持して複数の環状フレーム８を搭載した台車２で環状フレーム８を粘着テープ貼着装置１８まで運搬する。粘着テープ貼着装置１８まで台車２を移動してから、作業者１６はＵ形状ハンドル１４を図２（Ａ）の矢印Ａに示すように回動して展開状態に位置付ける。
【００２０】
図２（Ａ）に示すように、粘着テープ貼着装置１８の筐体２０には比較的高さの低い開口部２２が形成されており、作業者１６は台車２のハンドル１４が図１（Ａ）に示すように立設状態では、粘着テープ貼着装置１８の奥側まで環状フレーム８を供給することはできない。
【００２１】
然し、本実施形態の台車２では、Ｕ形状ハンドル１４を立設状態と展開状態に位置付けることができるので、図２（Ａ）に示すように、ハンドル１４を展開状態に位置付けた状態で筐体２０の開口部２２を通して作業者１６がハンドル１４の把持部１４ａを把持して台車２を押すことにより、粘着テープ貼着装置１８の奥側まで環状フレーム８を供給することができる。
【００２２】
次に、図３を参照して、ハンドル１４のロック機構について説明する。図３（Ａ）はハンドル１４を立設状態で固定した状態を示している。ブラケット１２には固定ピン２４と可動ピン２６が配設されている。固定ピン２４と可動ピン２６との間隔はハンドル１４の幅より僅かばかり大きくなるように設定されている。
【００２３】
可動ピン２６は図示しないバネ等の付勢手段によりブラケット１２の外側方向に突出するように付勢されており、可動ピン２６の内側端部は、図３に示す可動ピン２６の付勢状態でも、ブラケット１２の内側から突出している。
【００２４】
図３（Ａ）に示すハンドル１４の立設状態では、固定ピン２４と突出方向に付勢された可動ピン２６とでハンドル１４を挟んで立設状態で固定している。ハンドル１４を展開状態に位置付けるためには、作業者が可動ピン２６の内側端部を引っ張って可動ピン２６の外側端部をブラケット１２内に埋没させる。
【００２５】
この状態でハンドル１４を図２（Ａ）で矢印Ａ方向に回動して展開状態に位置付け、内側方向に引っ張っていた可動ピン２６を離すことにより、図３（Ｂ）に示すように、付勢手段により可動ピン２６をブラケット１２の外側に突出させ、可動ピン２６でハンドル１４を展開状態でロックする。
【００２６】
上述した実施形態の台車２によると、Ｕ形状ハンドル１２を、図１（Ａ）に示す立設状態と図２（Ａ）に示す展開状態でロック機構によりそれぞれ固定することができる。従って、図２（Ａ）に示すように、台車２の荷台４上に搭載された環状フレーム８を供給する位置が粘着テープ貼着装置１８の奥側であっても、ハンドル１４を展開状態で固定することにより、環状フレーム搭載部とハンドル１４の把持部１４ａとの距離を長くすることができる。
【００２７】
従って、作業者１６がハンドル１４の把持部１４ａを把持して開口部２２を通して台車２を粘着テープ供給装置１８内に押し動かすことにより、台車２の荷台４の長さを長くすることなく、環状フレーム８を筐体２０の開口部２２から相当離れた奥側の位置まで供給することができる。
【符号の説明】
【００２８】
２    台車
４    荷台
６    ロッド
８    環状フレーム
１０    車輪（キャスター）
１２    ブラケット
１４    Ｕ形状ハンドル
１４ａ    把持部
１６    作業者
１８    粘着テープ貼着装置
２０    筐体
２２    開口部
２４    固定ピン
２６    可動ピン
【図１】
2017165246.tif 000003
【図２】
2017165246.tif 000004
【図３】
2017165246.tif 000005