(57)【要約】【課題】粉体を定量的かつ確実に供給することができる粉体供給方法およびその方法に使用する粉体供給装置を提供すること。【解決手段】  粉体供給方法は、粉体８を定量的に供給する方法であって、キャビティ７を減圧する減圧工程、減圧されたキャビティ７が、粉体８を吸引する吸引工程、粉体８が吸引されたキャビティ７を加圧する加圧工程、および、加圧しながら、粉体８をキャビティ７から排出する排出工程を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
粉体を定量的に供給する方法であって、
キャビティを減圧する減圧工程、
減圧された前記キャビティが、前記粉体を吸引する吸引工程、
前記粉体が吸引された前記キャビティを加圧する加圧工程、および、
加圧しながら、前記粉体をキャビティから排出する排出工程
を備えることを特徴とする、粉体供給方法。
【請求項２】
前記キャビティが、前記減圧工程、前記吸引工程、前記加圧工程および前記排出工程を繰り返すように移動することを特徴とする、請求項１に記載の粉体供給方法。
【請求項３】
前記キャビティが複数、移動ユニットに設けられ、
少なくとも２つの前記キャビティは、同時に、異なる周期の工程に供されることを特徴とする、請求項２に記載の粉体供給方法。
【請求項４】
前記キャビティが複数、移動ユニットに設けられ、
少なくとも２つの前記キャビティは、同時に、同一周期の工程に供されることを特徴とする、請求項２または３に記載の粉体供給方法。
【請求項５】
キャビティと、
前記キャビティを減圧するように構成される減圧ユニットと、
粉体を供給するように構成されるホッパーユニットと、
前記キャビティを加圧するように構成される加圧ユニットと、
前記粉体を前記キャビティから排出するように構成される排出ユニットと
を備えることを特徴とする、粉体供給装置。
【請求項６】
前記キャビティは、前記減圧ユニット、前記ホッパーユニット、前記加圧ユニットおよび前記排出ユニットを順次連通するように移動することを特徴とする、請求項５に記載の粉体供給装置。
【請求項７】
前記キャビティは、回転軸線周りに周回移動可能であり、
前記減圧ユニット、前記ホッパーユニット、前記加圧ユニットおよび前記排出ユニットは、前記キャビティと連通可能なように、前記回転軸線周りに、順次配置されていることを特徴とする、請求項５または６に記載の粉体供給装置。
【請求項８】
前記キャビティは、前記加圧ユニットおよび前記排出ユニットの両方と同時に連通できることを特徴とする、請求項７に記載の粉体供給装置。
【請求項９】
前記キャビティは、前記排出ユニットと連通しているときには、前記減圧ユニットと連通できないことを特徴とする、請求項７または８に記載の粉体供給装置。
【請求項１０】
前記キャビティが複数、移動ユニットに設けられ、
少なくとも２つの前記キャビティは、一方のキャビティが、前記減圧ユニット、前記ホッパーユニット、前記加圧ユニットおよび前記排出ユニットのいずれかのユニットと連通したときに、他方のキャビティが、一方の前記キャビティが連通している前記ユニットとは異なるいずれかのユニットに連通するように、回転軸線周りに配置されていることを特徴とする、請求項７〜９のいずれか一項に記載の粉体供給装置。
【請求項１１】
前記キャビティが複数、移動ユニットに設けられ、
少なくとも２つの前記キャビティは、一方のキャビティが、前記減圧ユニット、前記ホッパーユニット、前記加圧ユニットおよび前記排出ユニットのいずれかのユニットと連通したときに、他方のキャビティが、一方の前記キャビティが連通している前記ユニットと同じ前記ユニットと連通するように、回転軸線周りに配置されていることを特徴とする、請求項７〜１０のいずれか一項に記載の粉体供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粉体供給方法およびその方法に使用する粉体供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、金属粒子、セラミックス粒子、有機粒子などの粉体を定量的に供給するために、種々の粉体供給装置（フィーダー）が開発され、幅広く普及している。
【０００３】
これらの粉体供給装置は、一般的に、粉体として、粘着性を有する粉体や流動性が低い粉体を用いると、これらの粉体の一部が粉体供給装置の内部に付着し、定量的な粉体の供給が困難となったり、内部に詰まりを生じたりする。そのため、例えば、特許文献１の粉体定量供給装置が提案されている。
【０００４】
特許文献１には、回転体と、回転体に形成される定量用凹部と、回転体の上側に配置される粉体フィード部と、回転体の下側に配置される粉体落下部と備えている粉体定量供給装置が記載されている。この粉体定量供給装置では、粉体フィード部から回転体の定量凹部に投入した粉体を、回転体の回転および重力の落下によって、粉体落下部に供給して、粉体を定量的に供給することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平９−７７２５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１の粉体定量供給装置では、粉体フィード部から、回転体の定量凹部に投入する際にも、粉体の重力による自由落下を利用している。そのため、粉体が粘着性を有する場合またはやサブミクロン粒子である場合、粉体が粉体フィード部の出口周辺などに付着する場合や、出口周辺に付着した付着物が塊として大きくなって、その塊が定量凹部に落下（投入）する場合には、目的とする量が定量凹部に投入できないという不具合が生じる。したがって、特許文献１の粉体定量供給装置では、定量的な供給が不十分となる場合がある。
【０００７】
本発明の目的は、粉体を定量的かつ確実に供給することができる粉体供給方法およびその方法に使用する粉体供給装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明［１］は、粉体を定量的に供給する方法であって、キャビティを減圧する減圧工程、減圧された前記キャビティが、前記粉体を吸引する吸引工程、前記粉体が吸引された前記キャビティを加圧する加圧工程、および、加圧しながら、前記粉体をキャビティから排出する排出工程を備える粉体供給方法を含んでいる。
【０００９】
この粉体供給方法によれば、減圧工程において減圧されたキャビティが、吸引工程において粉体を吸引するため、粉体をキャビティに定量的に収容することができる。また、排出工程において加圧しながらキャビティから粉体を排出することができるため、キャビティ内の粉体を定量的にキャビティ外に排出することができる。したがって、粉体を定量的かつ確実に供給することができる。特に、粘着性を有する粉体やサブミクロン粉体に対しても、定量的かつ確実に供給することができる。
【００１０】
本発明［２］は、前記キャビティが、前記減圧工程、前記吸引工程、前記加圧工程および前記排出工程を繰り返すように移動する［１］に記載の粉体供給方法を含んでいる。
【００１１】
この粉体供給方法によれば、上記一連の工程を繰り返すように移動するため、連続して定量的に粉体を供給することができる。
【００１２】
本発明［３］は、前記キャビティが複数、移動ユニットに設けられ、少なくとも２つのキャビティが、同時に、異なる周期の工程に供される［２］に記載の粉体供給方法を含んでいる。
【００１３】
この粉体供給方法によれば、少なくとも２つのキャビティが互いに異なる工程に供されるため、短い間隔で定量的に粉体を供給することができる。
【００１４】
本発明［４］は、前記キャビティが複数、移動ユニットに設けられ、少なくとも２つの前記キャビティは、同時に、同一周期の工程に供されることを特徴とする［２］または［３］に記載の粉体供給方法を含んでいる。
【００１５】
この粉体供給方法によれば、少なくとも２つのキャビティが、同時に、同一周期の工程に供されるため、キャビティ複数分の多量の粉体を定量的に供給することができる。
【００１６】
本発明［５］は、キャビティと、前記キャビティを減圧するように構成される減圧ユニットと、粉体を供給するように構成されるホッパーユニットと、前記キャビティを加圧するように構成される加圧ユニットと、前記粉体を前記キャビティから排出するように構成される排出ユニットとを備える粉体供給装置を含んでいる。
【００１７】
この粉体供給装置によれば、減圧ユニットによって減圧されたキャビティが、ホッパーユニットから粉体を吸引する。そのため、粉体をキャビティに定量的に収容することができる。また、加圧ユニットによって加圧しながらキャビティから粉体を排出ユニットで排出することができるため、キャビティ内の粉体をキャビティ外に定量的に排出することができる。したがって、粉体を定量的かつ確実に供給することができる。特に、粘着性を有する粉体やサブミクロン粉体に対しても、定量的かつ確実に供給することができる。
【００１８】
本発明［６］は、前記キャビティは、前記減圧ユニット、前記ホッパーユニット、前記加圧ユニットおよび前記排出ユニットを順次連通するように移動する［５］に記載の粉体供給装置を含んでいる。
【００１９】
この粉体供給装置によれば、減圧ユニットによって減圧されたキャビティが、ホッパーユニットの粉体を直ちに吸引することができ、また、キャビティに収容された粉体を加圧ユニットによって加圧しながら、排出ユニットによって確実に排出することができる。そのため、粉体をより確実に定量的に供給することができる。
【００２０】
本発明［７］は、前記キャビティは、回転軸線周りに周回移動可能であり、前記減圧ユニット、前記ホッパーユニット、前記加圧ユニットおよび前記排出ユニットは、前記キャビティと連通可能なように、前記回転軸線周りに、順次配置されている粉体供給装置を含んでいる。
【００２１】
この粉体供給装置によれば、キャビティは、回転軸線周りに周回移動可能であり、各ユニットが、回転軸線周りに順次配置されているため、装置構成をコンパクトにすることができる。また、各ユニットを連続的に連通することができるため、連続して粉体を定量的に供給することができる。
【００２２】
本発明［８］は、前記キャビティは、前記加圧ユニットおよび前記排出ユニットの両方と同時に連通できる［７］に記載の粉体供給装置を含んでいる。
【００２３】
この粉体供給装置によれば、加圧ユニットによってキャビティ内の粉体を加圧しながら、排出ユニットによって粉体をキャビティから排出することができる。そのため、粉体を解砕できるとともに、キャビティ内の粉体をより確実に排出することができる。また、キャビティ内の粉体が確実に排出されるため、排出後のキャビティ内をクリーンな状態にすることができる。
【００２４】
本発明［９］は、前記キャビティは、前記排出ユニットと連通しているときには、前記減圧ユニットと連通できない［７］または［８］に記載の粉体供給装置を含んでいる。
【００２５】
この粉体供給装置によれば、より確実にキャビティを減圧することができる。そのため、ホッパーユニットから粉体をキャビティ内に、より確実に吸引することができる。  
【００２６】
本発明［１０］は、前記キャビティが複数、移動ユニットに設けられ、少なくとも２つの前記キャビティは、一方のキャビティが、前記減圧ユニット、前記ホッパーユニット、前記加圧ユニットおよび前記排出ユニットのいずれかのユニットと連通したときに、他方のキャビティが、一方の前記キャビティが連通している前記ユニットとは異なるいずれかのユニットに連通するように、回転軸線周りに配置されている［７］〜［９］のいずれか一項に記載の粉体供給装置を含んでいる。
【００２７】
この粉体供給装置によれば、少なくとも２つのキャビティが互いに異なるユニットに連通するため、短い間隔で定量的に粉体を供給することができる。
【００２８】
本発明［１１］は、前記キャビティが複数、移動ユニットに設けられ、少なくとも２つの前記キャビティは、一方のキャビティが、前記減圧ユニット、前記ホッパーユニット、前記加圧ユニットおよび前記排出ユニットのいずれかのユニットと連通したときに、他方のキャビティが、一方の前記キャビティが連通している前記ユニットと同じ前記ユニットと連通するように、回転軸線周りに配置されている［７］〜［１０］のいずれか一項に記載の粉体供給装置を含んでいる。
【００２９】
この粉体供給装置によれば、少なくとも２つのキャビティが同時に排出ユニットに連通することができるため、キャビティ複数分の多量の粉体を定量的に供給することができる。
【発明の効果】
【００３０】
本発明の粉体供給方法および粉体供給装置によれば、粉体を定量的かつ確実に供給することができる。特に、粘着性を有する粉体やサブミクロン粉体に対しても、定量的かつ確実に供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】図１は、本発明の粉体供給装置の第一実施形態の概略構成図を示す。
【図２】図２は、図１に示す粉体供給装置の回転部を示し、図２Ａは、側断面図、図２Ｂは、斜視図を示す。
【図３】図３は、図１に示す粉体供給装置のホッパーユニットを示す。
【図４】図４Ａ〜図４Ｄは、図１に示す粉体供給装置を用いた本発明の粉体供給方法の一実施方法を示し、図４Ａは、第１キャビティにおける減圧工程、図４Ｂは、第１キャビティにおける吸引工程、図４Ｃは、第１キャビティにおける加圧工程、図４Ｄは、第１キャビティにおける排出工程を示す。
【図５】図５は、図１に示す粉体供給装置の回転部の変形例（軸線方向にキャビティが複数設けられている形態）を示す。
【図６】図６は、図１に示す粉体供給装置のホッパーユニットの変形例（攪拌機を用いた形態）を示す。
【図７】図７は、本発明の粉体供給装置の第二実施形態の概略構成図を示す。
【図８】図８Ａおよび図８Ｂは、図７に示す粉体供給装置の回転部を示し、図８Ａは、側断面図、図８Ｂは、斜視図を示す。
【図９】図９は、図７に示す粉体供給装置の回転部の変形例（軸線方向にキャビティが複数設けられている形態）を示す。
【図１０】図１０は、図１に示す粉体供給装置が装備される粉体コーティング装置の概略構成図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
１．第一実施形態
図１において、紙面上下方向は、上下方向（第１方向）であり、紙面上側が上側（第１方向一方側）、紙面下側が下側（第１方向他方側）である。紙面左右方向は、前後方向（第１方向に直交する第２方向）であり、紙面右側が前側（第２方向一方側）、紙面左側が後側（第２方向他方側）である。紙厚方向は、左右方向（第１方向および第２方向に直交する第３方向、軸線方向）であり、紙面手前側が左側（第３方向一方側）、紙面奥側が右側（第３方向他方側）である。図１以外の図面についても図１の方向に準拠する。
【００３３】
（粉体供給装置）
本発明の第一実施形態の粉体供給装置１は、図１に示すように、移動ユニット２、ホッパーユニット３、加圧ユニット４、排出ユニット５、減圧ユニット６、拡散ユニット１０およびノズルユニット１１を備えている。
【００３４】
移動ユニット２は、ケーシング１２と、ケーシング１２に収容される回転部１３とを備えている。
【００３５】
ケーシング１２は、回転部１３に収容するための軸線が左右方向に沿って延びる円筒部２０を備えている。
【００３６】
ケーシング１２には、ケーシング１２の外側から円筒部２０に連通する４つの開口部、すなわち、投入開口部１４、排出開口部１５、加圧開口部１６および減圧開口部１７が形成されている。
【００３７】
投入開口部１４は、ケーシング１２の上端部に配置されている。投入開口部１４は、ケーシング１２の上端部から、径方向（すなわち上下方向）に、円筒部２０まで貫通するように形成されている。また、投入開口部１４は、その軸線方向長さ（左右方向長さ）が、後述するキャビティ７の軸線方向長さと略同一の長さとなるように、形成されている。
【００３８】
排出開口部１５は、ケーシング１２の下端部に、投入開口部１４と上下方向に間隔を隔てて対向配置されている。排出開口部１５は、ケーシング１２の下端部から、径方向（すなわち上下方向）に、円筒部２０まで貫通するように形成されている。また、排出開口部１５は、その軸線方向長さ（左右方向長さ）が、後述するキャビティ７の軸線方向長さと略同一の長さとなるように、形成されている。
【００３９】
加圧開口部１６は、ケーシング１２の後側に配置されている。すなわち、加圧開口部１６は、投入開口部１４に対してキャビティ７の周回移動方向（図１に示す矢印方向。回転軸線方向。以下、単に周回移動方向という。）の下流側、かつ、排出開口部１５に対して周回移動方向の上流側に配置されている。具体的には、加圧開口部１６は、投入開口部１４から排出開口部１５への周回移動方向中間（後端部）よりも、わずかに、排出開口部１５側（下側）に配置されている。加圧開口部１６は、ケーシング１２の後端部から、径方向（すなわち前後方向）に、円筒部２０まで貫通するように形成されている。また、加圧開口部１６は、その軸線方向長さ（左右方向長さ）が、後述するキャビティ７の軸線方向長さと略同一の長さとなるように、形成されている。
【００４０】
減圧開口部１７は、ケーシング１２の前側に配置されている。すなわち、減圧開口部１７は、排出開口部１５に対して周回移動方向下流側、かつ、投入開口部１４に対して周回移動方向上流側に配置されている。具体的には、減圧開口部１７は、排出開口部１５から投入開口部１４への周回移動方向中間（前端部）に配置されている。減圧開口部１７は、ケーシング１２の前端部から、径方向（すなわち前後方向）に、円筒部２０まで貫通するように形成されている。
【００４１】
回転部１３は、図１、図２Ａおよび図２Ｂに示すように、回転体１８と、回転軸１９とを備えている。
【００４２】
回転体１８は、軸線が左右方向に延びる円柱形状を有している。回転体１８の側面視における外径形状は、ケーシング１２の円筒部２０と略同一となるように形成されている。回転体１８は、回転軸線周りに回転可能なように、すなわち、図１の矢印が示す方向（反時計方向）に回転可能なように、ケーシング１２内に収容されている。
【００４３】
回転体１８には、その外周面から径方向内側に向かって凹む３つのキャビティ７（具体的には、第１キャビティ７ａ、第２キャビティ７ｂ、第３キャビティ７ｃとする）が設けられている。キャビティ７は、側断面視において、外周面から、径方向内側に向かって円弧状に切り欠かれる円弧形状を有している。３つのキャビティ７は、互いに同一形状に形成され、回転体１８の外周面において、周方向に等間隔で均等配置されている。キャビティ７は、回転体１８を回転させることにより、図１の矢印に示すように、回転軸線周りに周回移動する。
【００４４】
また、３つのキャビティ７は、第１キャビティ７ａが、減圧ユニット６、ホッパーユニット３、加圧ユニット４および排出ユニット５のいずれかのユニットと連通しているとき、第２キャビティ７ｂおよび第３キャビティ７ｃは、第１キャビティ７ａと連通しているユニットとは異なるいずれかのユニットに連通するように、回転軸線周りに配置されている。例えば、第１キャビティ７ａが、減圧ユニット６と連通しているとき、第２キャビティ７ｂは、加圧ユニット４および／または排出ユニット５と連通し、第３キャビティ７ｃは、ホッパーユニット３と連通するように、３つのキャビティ７は、配置されている。
【００４５】
また、回転体１８の外周面において、図２に示すように、各キャビティ７の円周距離Ｄ１は、２つのキャビティ７間における非キャビティ部分３６の円周距離Ｄ２よりも長い。
【００４６】
キャビティ７の円周距離Ｄ１は、図１および図２Ａに示すように、減圧開口部１７の周回移動方向下流側端縁Ｐ１から投入開口部１４の周回移動方向上流側端縁Ｐ２までの円周距離Ｄ３よりも短い。すなわち、キャビティ７は、減圧開口部１７（すなわち、減圧ユニット６）と連通しているときには、投入開口部１４（すなわち、ホッパーユニット３）と連通できないように構成されている。
【００４７】
キャビティ７の円周距離Ｄ１は、投入開口部１４の周回移動方向下流側端縁Ｐ３から加圧開口部１６の周回移動方向上流側端縁Ｐ４までの円周距離Ｄ４よりも短い。すなわち、キャビティ７は、投入開口部１４（すなわち、ホッパーユニット３）と連通しているときには、加圧開口部１６（すなわち、加圧ユニット４）と連通できないように構成されている。
【００４８】
キャビティ７の円周距離Ｄ１は、排出開口部１５の周回移動方向下流側端縁Ｐ５から減圧開口部１７の周回移動方向上流側端縁Ｐ６までの円周距離Ｄ５よりも短い。すなわち、キャビティ７は、排出開口部１５（すなわち、排出ユニット５）と連通しているときには、減圧開口部１７（すなわち、減圧ユニット５）と連通できないように構成されている。
【００４９】
キャビティ７の円周距離Ｄ１は、加圧開口部１６の周回移動方向上流側端縁Ｐ４から排出開口部１５の周回移動方向下流側端縁Ｐ５までの円周距離Ｄ６よりも長い。すなわち、キャビティ７は、加圧開口部１６および排出開口部１５の両方と同時に連通できるように構成されている。
【００５０】
回転軸１９は、軸線が左右方向に延びる小径の円柱形状を有しており、回転体１８の径方向中心（回転軸線）を左右方向に貫通するように配置されている。回転軸１９は、回転体１８と一体的（相対回転不能）に設けられている。回転軸１９の左側一端は、ケーシング１２から突出し、図示しない回転駆動源（モータ）に接続されている。回転駆動源を駆動させることにより、回転体１８が回転軸線周りに回転する。
【００５１】
ホッパーユニット３は、図１および図３に示すように、移動ユニット２の上側に配置されており、ホッパー部２２と、投入管２３とを備えている。
【００５２】
ホッパー部２２は、第１収容部２４と、第２収容部２５と、メッシュ２６と、振動部２７と、供給弁２１とを備えている。
【００５３】
第１収容部２４は、ホッパー部２２の上側に配置され、上下方向に開口する幅広の筒状（例えば、円筒形状、角筒形状）に形成されている。
【００５４】
第２収容部２５は、ホッパー部２２の下側に配置されている。第２収容部２５は、その上端部が第１収容部２４の下端部と一体的に連続し、下側に向かうに従って狭まる断面視略テーパ形状を有している。すなわち、第２収容部２５は、上端および下端を開口し、下側に向かって狭まる形状（例えば、略円錐形状、略角錐形状）を有している。第２収容部２５の内周面には、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルムなどの、滑り性を向上させるためのフィルム２８が配置されている。
【００５５】
メッシュ２６は、第１収容部２４と第２収容部２５との連結部に配置されている。メッシュ２６は、面方向（前後方向および左右方向）に延びる略平板形状を有している。メッシュ２６は、第１収容部２４に収容されているメッシュ内側部２９と、メッシュ内側部２９と連続し、第１収容部２４の外側に突出するメッシュ突出部３０とを備えている。メッシュ内側部２９の平面視形状は、第１収容部２４の内径形状よりもわずかに小さい形状（例えば、略円形状、略矩形形状）を有している。メッシュ２６の目開きは限定されず、目的とする粉体を通過できる程度とすることができる。
【００５６】
振動部２７は、メッシュ突出部３０と接続するように、第１収容部２４および第２収容部２５の外側に配置されている。振動部２７は、メッシュ突出部３０を左右方向に振動可能な加振器を備えている。
【００５７】
供給弁２１は、第２収容部２５の下端部に設けられ、開状態では、第２収容部２５と投入管２３とが連通され、閉状態では、第２収容部２５と投入管２３とが遮断される。
【００５８】
投入管２３は、上下方向に延びるように形成され、ホッパー部２２および投入開口部１４の間に配置されている。投入管２３の上端は、第２収容部２５の下端の開口と連通し、その下端は、投入開口部１４と連通している。また、投入管２３の内周縁には、滑り性を向上させるためのフィルム２８が配置されている。
【００５９】
加圧ユニット４は、移動ユニット２の後側に配置されており、加圧管３１と、加圧ポンプ（コンプレッサー）３２とを備えている。
【００６０】
加圧管３１の一端は、加圧開口部１６と連通し、その他端は、加圧ポンプ３２と接続している。
【００６１】
加圧ポンプ３２は、圧縮空気などを、加圧管３１を介して、ケーシング１２内のキャビティ７に送り込み、キャビティ７の内部を加圧する。
【００６２】
排出ユニット５は、移動ユニット２の下側に配置され、排出管３３を備えている。
【００６３】
排出管３３は、上下方向に延びるように形成されている。排出管３３の上端は、排出開口部１５と連通し、その下端は、後述する拡散ユニット１０のノズル導出管４１と連通している。
【００６４】
減圧ユニット６は、移動ユニット２の前側に配置されており、減圧管３４と、吸引ポンプ３５とを備えている。
【００６５】
減圧管３４の一端は、加圧開口部１６と連通し、その他端は、吸引ポンプ３５と接続している。
【００６６】
吸引ポンプ３５は、キャビティ７内の空気を吸い込み、キャビティ７の内部を減圧する。
【００６７】
拡散ユニット１０は、排出管３３の下側に設けられている。拡散ユニット１０は、ノズル導出管４１と、複数の拡散部材４２と、排出送風管４３と、送風ポンプ４４とを備えている。
【００６８】
ノズル導出管４１は、前後方向延び、前端部において下側に向かって延びる略Ｌ字管からなる。ノズル導出管４１の後部の上端部は、排出管３３の下端部と連通している。
【００６９】
複数（２つ）の拡散部材４２は、ノズル導出管４１内に配置されており、第１拡散部材４２ａおよび第２拡散部材４２ｂを備えている。
【００７０】
第１拡散部材４２ａは、排出管３３の下側であって、ノズル導出管４１内の底部と接触するように配置されている。第１拡散部材４２ａは、前後方向に延びる三角柱形状を有している。第１拡散部材４２ａは、その斜辺が、後端から前端に向かうに従って上側に傾斜するように、形成されている。
【００７１】
第２拡散部材４２ｂは、ノズル導出管４１内の前端縁に接触するように配置されている。第２拡散部材４２ｂは、左右方向に延びる三角柱形状を有している。第２拡散部材４２ｂは、その斜辺が、上端から下端に向かうに従って後側に傾斜するように、形成されている。
【００７２】
排出送風管４３の一端は、ノズル導出管４１の後端縁と連通し、その他端は、送風ポンプ４４と接続している。
【００７３】
ノズルユニット１１は、ノズル導出管４１の下側に配置され、前後方向に延びるように形成されている。ノズルユニット１１の中央部の上端縁は、ノズル導出管４１の下端縁と連通している。ノズルユニット１１の前端縁には、前側に向かって粉体を噴出するためのスリット４５が形成されている。
【００７４】
（粉体供給方法）
次いで、以下に、この粉体供給装置１を用いた粉体供給方法を説明する。
【００７５】
粉体供給方法は、粉体供給装置１を作動させることにより、ノズルユニット１１から粉体８を噴出して、粉体８を供給することができる。具体的には、粉体供給装置１の作動方法は、まず、準備工程として、投入工程、回転工程およびポンプ駆動工程を実施する。
【００７６】
投入工程では、ホッパーユニット３に粉体８を投入する。なお、このとき、供給弁２１は、閉状態である。
【００７７】
粉体８は限定されず、公知または市販のものを使用することができ、例えば、無機粒子、有機粒子などが挙げられる。
【００７８】
無機粒子を構成する無機物としては、例えば、酸化アルミニウム、シリカ、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化鉄などの酸化物；例えば、水酸化アルミニウムなどの水酸化物；例えば、炭酸カルシウム、炭酸バリウムなどの炭酸化合物；例えば、ケイ酸リチウムなどのケイ酸塩；例えば、リン酸リチウム、リン酸鉄リチウムなどのリン酸塩；例えば、チタン酸バリウム、リチウムコバルト酸化物など複合酸化物；例えば、窒化ホウ素、窒化ケイ素、窒化アルミニウムなどの窒化物；例えば、銅、アルミニウムなどの金属または合金；などが挙げられる。
【００７９】
有機粒子を構成する有機物としては、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）などのフッ素樹脂、例えば、フェニル系シリコーン樹脂、メチル系シリコーン樹脂、フェニル−メチル系シリコーン樹脂などのシリコーン樹脂、例えば、アクリル樹脂などが挙げられる。
【００８０】
粉体８としては、特に、粘着性を有する粒子、サブミクロン粒子（サブミクロン粉体）を使用することもできる。粘着性を有する粒子としては、好ましくは、ＰＴＦＥ（［ＣＦ２−ＣＦ２］ｎ）、ＥＴＦＥ（［（ＣＦ２−ＣＦ２）ｘ（ＣＨ２−ＣＨ２）ｙ］ｎ））などが挙げられる。サブミクロン粒子としては、好ましくは、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、シリカ（ＳｉＯ２）、酸化チタン（ＴｉＯ２）、ケイ酸リチウム（Ｌｉ４ＳｉＯ４）、リン酸リチウム（Ｌｉ３ＰＯ４）、リン酸鉄リチウム（ＬｉＦｅＰＯ４）、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）、リチウムコバルト酸化物（Ｌｉ２ＣｏＯ２）、Ａｌ−Ｓｉアロイなどが挙げられる。
【００８１】
粉体８の形状は限定されず、例えば、バルク状、針形状、板形状などであってもよい。バルク形状には、例えば、球形状、直方体形状、破砕状またはそれらの異形形状が含まれる。
【００８２】
粉体８の平均一次粒子径は限定されず、例えば、３ｎｍ以上、好ましくは、５ｎｍ以上であり、また、例えば、５μｍ以下、好ましくは、１μｍ未満である。
【００８３】
まず、粉体８を、ホッパーユニット３に投入して、第１収容部２４、具体的には、メッシュ内側部２９の上面に配置する。続いて、振動部２７を駆動し、メッシュ２６を面方向に振動させる。これにより、粉体８がメッシュ内側部２９を通過して、第２収容部２５に粉体８が少量ずつ落下する。このとき、第２収容部２５に配置された粉体８は、空気を含んでおり、粉体８は、上方向からの圧縮が低減されている。このため、これらの粉体８は、不均一な塊状に凝集することが抑制され、均一な密度で配置されている。その結果、粉体８を、キャビティ７内に容易かつ確実に吸引させることができる。
【００８４】
一方、回転工程では、キャビティ７を回転軸方向に周回移動させる。具体的には、回転駆動源を駆動し、図１の矢印に示すように、回転軸１９を回転させることにより、回転体１８を回転軸線周りに回転させる。
【００８５】
ポンプ駆動工程では、減圧ユニット６においては、吸引ポンプ３５を駆動させ、減圧管３４内の空気を吸引する。加圧ユニット４においては、加圧ポンプ３２を駆動させて、減圧管３４内に空気を送り込む。また、拡散ユニット１０においては、送風ポンプ４４を駆動させて、排出送風管４３を介して、ノズル導出管４１内に空気を送り込む。
【００８６】
これらの準備工程（投入工程、回転工程およびポンプ駆動工程）を実施した後、次いで、供給工程を実施する。供給工程では、供給弁２１を開状態とし、軸線周りに回転するキャビティ７に対し、ぞれぞれ、減圧工程、吸引工程、加圧工程、および、排出工程を一サイクルとして、このサイクルが繰り返し実施される。すなわち、各キャビティ７は、減圧ユニット６、ホッパーユニット３、加圧ユニット４および排出ユニット５に順次連通するサイクルが繰り返し実施される。以下、図４Ａ〜図４Ｄを用いて、第１キャビティ７ａに着目して、一サイクルにおける各工程を説明する。
【００８７】
減圧工程では、図４Ａに示すように、第１キャビティ７ａを減圧する。
【００８８】
具体的には、回転体１８の回転により、第１キャビティ７ａを、回転軸線周りに周回移動させて、減圧開口部１７、ひいては、減圧ユニット６と連通させる。これにより、減圧管３４を介して、第１キャビティ７ａ内の空気が吸引ポンプ３５により吸引され、第１キャビティ７ａ内は、大気圧より低い気圧へと減圧される。
【００８９】
吸引工程では、図４Ｂに示すように、第１キャビティ７ａが、粉体８を吸引する。
【００９０】
具体的には、回転体１８の回転により、第１キャビティ７ａを、減圧開口部１７から回転軸線周りに周回移動させて、第１キャビティ７ａを、投入開口部１４、ひいてはホッパーユニット３と連通させる。これにより、第２収容部２５に収容されている粉体８が、投入管２３を介して、減圧されている第１キャビティ７ａ内に吸引され、収容される。
【００９１】
なお、この際、第１キャビティ７ａは、減圧開口部１７および投入開口部１４の両方と同時には連通しない。すなわち、第１キャビティ７ａは、減圧開口部１７との連通が終了した後（減圧工程終了後）に、投入開口部１４と連通する。これにより、第１キャビティ７ａ内に吸引された粉体８が、減圧開口部１７へと流出することを防止できる。また、第１キャビティ７ａをより確実に加圧することができる。
【００９２】
加圧工程では、図４Ｃに示すように、第１キャビティ７ａを加圧する。
【００９３】
具体的には、回転体１８の回転により、第１キャビティ７ａを、投入開口部１４から回転軸線周りに周回移動させて、加圧開口部１６、ひいては加圧ユニット４と連通させる。これにより、粉体８が収容されている第１キャビティ７ａに、加圧ポンプ３２から加圧管３１を介して、空気が送り込まれ、第１キャビティ７ａ内が加圧される。
【００９４】
なお、この際、第１キャビティ７ａは、投入開口部１４および加圧開口部１６の両方と同時には連通しない。すなわち、第１キャビティ７ａは、投入開口部１４との連通が終了した後（吸引工程終了後）に、加圧開口部１６と連通する。これにより、第１キャビティ７ａ内に吸引された粉体８が、投入開口部１４へと逆流することを防止できる。
【００９５】
排出工程では、図４Ｄに示すように、加圧しながら、粉体８を第１キャビティ７ａから排出する。
【００９６】
具体的には、回転体１８の回転により、第１キャビティ７ａを、加圧開口部１６から回転軸線周りに周回移動させて、排出開口部１５、ひいては排出ユニット５と連通させる。排出開口部１５との連通が開始した時点において、第１キャビティ７ａは、加圧開口部１６および排出開口部１５の両方と同時には連通する。これにより、第１キャビティ７ａ内は、加圧ポンプ３２から空気が送り込まれながら、粉体８が、排出開口部１５から排出される。そのため、粉体８を解砕できるとともに、第１キャビティ７ａ内の粉体８をより確実に排出開口部１５へと排出することができる。また、第１キャビティ７ａ内の粉体８が確実に排出されるため、排出後の第１キャビティ７ａ内をクリーンな状態にすることができる。
【００９７】
なお、粉体８は、第１キャビティ７ａが加圧開口部１６および排出開口部１５の両方と連通している間、排出される。より具体的には、第１キャビティ７ａが加圧開口部１６および排出開口部１５と連通している間（すなわち、排出開口部連通時の前半）に、全ての粉体８が、第１キャビティ７ａから排出開口部１５に排出される。そして、第１キャビティ７ａが、加圧開口部１６と連通しなくなった後（すなわち、排出開口部連通時の後半）は、たとえキャビ第１キャビティ７ａが排出開口部１５と連通していても、第１キャビティ７ａ内に粉体８は存在しなくなっているため、粉体８は、排出開口部１５から排出されない。
【００９８】
これらにより、一サイクルが終了し、次いで、次の一サイクルが実施される。すなわち、第１キャビティ７ａは、次のサイクルの減圧工程によって、減圧される。
【００９９】
なお、この際、第１キャビティ７ａは、排出開口部１５および減圧開口部１７の両方と同時には連通しない。すなわち、キャビティ７は、排出開口部１５との連通が終了した後（排出工程終了後）に、減圧開口部１７と連通する。これにより、第１キャビティ７ａをより確実に減圧することができる。そのため、ホッパーユニット３から粉体８を第１キャビティ７ａ内に、より確実に吸引することができる。  
【０１００】
上記は、第１キャビティ７ａについて説明したが、第２キャビティ７ｂおよび第３キャビティ７ｃについても同様に、上記サイクルが繰り返し実施される。
【０１０１】
この際、第１キャビティ７ａ、第２キャビティ７ｂおよび第３キャビティ７ｃは、互いに異なる工程に供されるように、異なる周期で繰り返し移動する。例えば、図４Ａで示すように、第１キャビティ７ａにおいて減圧工程が実施されているとき、第２キャビティ７ｂでは、加圧工程および／または排出工程が実施され、第３キャビティ７ｃでは、吸引工程が実施されている。
【０１０２】
一方、排出開口部１５から排出された粉体８は、排出管３３を通過し、ノズル導出管４１に到達される。
【０１０３】
次いで、排出送風管４３から送風ポンプ４４を介して送風されるガスによって、粉体８は、ノズル導出管４１からノズルユニット１１に搬送される。このとき、ノズル導出管４１内に配置されている複数の拡散部材４２により、粉体８は、搬送方向と直交する方向に拡散されながら、ノズルユニット１１に到達される。すなわち、粉体８は、第１拡散部材４２ａによって、上側に拡散されながら前側に搬送され、次いで、第２拡散部材４２ｂによって、後側に拡散されながら下側搬送される。
【０１０４】
最後に、粉体８は、ノズルユニット１１のスリット４５から前側に噴出され、所望の場所に粉体８が供給される。
【０１０５】
（作用効果）
第１実施形態の粉体供給装置１は、３つのキャビティ７（７ａ、７ｂ、７ｃ）と、キャビティ７を減圧するように構成される減圧ユニット６と、粉体８を供給するように構成されるホッパーユニット３と、キャビティ７を加圧するように構成される加圧ユニット４と、粉体８をキャビティ７から排出するように構成される排出ユニット５とを備えている。
【０１０６】
このため、減圧ユニット６によって減圧されたキャビティ７が、ホッパーユニット３から粉体８を吸引する。そのため、粉体８をキャビティ７に定量的に収容することができる。また、加圧ユニット４によって加圧しながら、キャビティ７から粉体８を排出ユニット５で排出することができるため、キャビティ７内の粉体をキャビティ７外に定量的に排出することができる。したがって、粉体８を定量的かつ確実に供給することができる。特に、減圧による吸引力によって、粉体８をホッパーユニット３からキャビティ７内に強力に吸引することができ、かつ、加圧によって、キャビティ７内から排出ユニット５に強力に排出することができる。このため、粘着性を有する粉体８やサブミクロン粉体８に対しても、定量的かつ確実に供給することができる。
【０１０７】
また、この粉体供給装置１では、キャビティ７は、減圧ユニット６、ホッパーユニット３、加圧ユニット４および排出ユニット５を順次連通するように移動する。
【０１０８】
このため、減圧ユニット６によって減圧されたキャビティ７が、減圧状態を維持したまま、ホッパーユニット３の粉体８を直ちに吸引することができ、また、キャビティ７に収容された粉体８を加圧ユニット４によって加圧しながら、排出ユニット５によって確実に排出することができる。そのため、粉体８をより確実に定量的に供給することができる。
【０１０９】
また、この粉体供給装置１では、キャビティ７は、回転軸線周りに周回移動可能であり、減圧ユニット６、ホッパーユニット３、加圧ユニット４および排出ユニット５は、キャビティ７と連通可能なように、回転軸線周りに、順次配置されている。
【０１１０】
このため、装置構成をコンパクトにすることができる。また、各ユニットを連続的に連通することができるため、連続して粉体８を定量的に供給することができる。
【０１１１】
また、この粉体供給装置１では、キャビティ７は、加圧ユニット４および排出ユニット５の両方と同時に連通できる。
【０１１２】
このため、加圧ユニット４によってキャビティ７内の粉体を加圧しながら、排出ユニット５によって粉体８をキャビティ７から排出することができる。そのため、粉体８を解砕できるとともに、キャビティ７内の粉体８をより確実に排出することができる。
【０１１３】
また、この粉体供給装置１では、キャビティ７は、排出ユニット５と連通しているときには、減圧ユニット６と連通できない。
【０１１４】
このため、排出ユニット５内の空気が、減圧されている途中のキャビティ７内に、流れ込むことを防止できるため、キャビティ７をより確実に減圧することができる。したがって、ホッパーユニット３から粉体８をキャビティ７内に、より確実に吸引することができる。  
【０１１５】
また、この粉体供給装置１では、３つのキャビティ７（第１キャビティ７ａ、第２キャビティ７ｂ、第３キャビティ７ｃ）が移動ユニット２（回転体１８）に設けられている。また、第１キャビティ７ａが、減圧ユニット６と連通しているとき、第２キャビティ７ｂは、加圧ユニット４および／または排出ユニット５と連通し、第３キャビティ７ｃは、ホッパーユニット３と連通している。
【０１１６】
このため、一サイクルにおいて、第１キャビティ７ａによる粉体排出、第２キャビティ７ｂによる粉体排出、および、第３キャビティ７ｃによる粉体排出が実施される。したがって、短い間隔で定量的に粉体８を供給することができる。
【０１１７】
この粉体供給方法は、粉体８を定量的に供給する方法であって、キャビティ７を減圧する減圧工程、減圧されたキャビティ７が、粉体を吸引する吸引工程、粉体が吸引されたキャビティ７を加圧する加圧工程、および、加圧しながら、粉体８をキャビティ７から排出する排出工程を備える。
【０１１８】
このため、減圧工程において減圧されたキャビティ７が、吸引工程において粉体８を吸引するため、粉体８をキャビティ７に定量的に収容することができる。また、排出工程において加圧しながらキャビティ７から粉体を排出することができるため、キャビティ７内の粉体８を定量的にキャビティ７外に排出することができる。したがって、粉体８を定量的かつ確実に供給することができる。特に、減圧による吸引力によって、粉体８をキャビティ７内に強力に吸引し、かつ、加圧工程および排出工程によって、キャビティ７内から強力に排出することができる。このため、粘着性を有する粉体８やサブミクロン粉体８に対しても、定量的かつ確実に供給することができる。
【０１１９】
この粉体供給方法では、キャビティ７が、減圧工程、吸引工程、加圧工程および排出工程を繰り返すように移動する。
【０１２０】
このため、上記一連の工程を繰り返すように移動するため、連続して定量的に粉体８を供給することができる。
【０１２１】
この粉体供給方法では、３つのキャビティ７（第１キャビティ７ａ、第２キャビティ７ｂ、第３キャビティ７ｃ）が移動ユニット２に設けられている。また、３つのキャビティ７が、同時に、異なる周期の工程に供される。
【０１２２】
このため、一サイクルにおいて、第１キャビティ７ａによる粉体排出、第２キャビティ７ｂによる粉体排出、および、第３キャビティ７ｃによる粉体排出が実施されるため、短い間隔で定量的に粉体８を供給することができる。
【０１２３】
（変形例）
図２Ａおよび図２Ｂに示す実施形態では、回転体１８には、３つのキャビティ７が設けられ、各キャビティ７は、互いに、同一のユニットに同時に連結できないように、配置されているが、例えば、図５に示すように、回転体１８には、各キャビティ７は、互いに同一のユニットに同時に連結できるように、配置することもできる。
【０１２４】
具体的には、図５に示す回転体１８には、軸線方向に等間隔を隔てて、複数（１２列）のキャビティライン５０が設けられている。各キャビティライン５０には、回転軸線方向に等間隔を隔てて、３つのキャビティ７（第１キャビティ７ａ、第２キャビティ７ｂおよび第３キャビティ７ｃ）が設けられている。すなわち、図５に示す回転体１８には、複数（３６個）のキャビティ７が設けられている。
【０１２５】
互いに軸線方向に隣接するキャビティライン５０において、各キャビティ７は、周方向において、ずれるように、配置されている。具体的には、軸線方向最外側の第１キャビティライン５０ａの第１キャビティ７ａは、第１キャビティライン５０ａと軸線方向内側に隣接する第２キャビティライン５０ｂの第１キャビティ７ａに対して、周回移動方向下流側となるように配置されている。特に、軸線方向に互いに隣接するキャビティ７（例えば、第１キャビティ７ａ同士）は、回転軸線周りに約３０度の位相差を有している。これにより、一のキャビティ７は、軸線方向に隣接するキャビティ７に対して、約３０度の位相差を持って、各工程が順次実施される。
【０１２６】
また、第１キャビティライン５０ａは、第５キャビティライン５０ｅおよび第１０キャビティラインｊと、側面視に投影したときに、完全に一致するように形成されている。すなわち、一のキャビティライン５０は、軸線方向において５番目に隣接配置されるキャビティライン５０と同一形状となるように、形成されている。
【０１２７】
すなわち、一のキャビティ７は、一つのキャビティ７が、減圧ユニット６、ホッパーユニット３、加圧ユニット４および排出ユニット５のいずれかのユニットと連通したときに、２つのキャビティが、一のキャビティ７が連通しているユニットと同じユニットと連通するように、回転軸線周りに配置されている。具体的には、第１キャビティライン５０ａの第１キャビティ７ａが、加圧ユニット４に連結しているときは、第５キャビティラインｅの第３キャビティ７ｃおよび第１０キャビティラインの第２キャビティ７ｂが、加圧ユニット４に連結している。
【０１２８】
これにより、３つのキャビティ７が、同時に、同一周期の工程に供される。
【０１２９】
また、図示しないが、図５に示す回転体１８を用いる粉体供給装置１では、ホッパーユニット３、加圧ユニット４、排出ユニット５、減圧ユニット６は、各キャビティライン５０に対応して、軸線方向に、複数（例えば、１２列）並列配置されている。また、加圧ユニット４、減圧ユニット６および排出ユニット５は、回転体１８の幅方向に対応して、軸線方向に幅広となるように形成されている。 
【０１３０】
図５に示す回転体１８を備える粉体供給装置１、および、それを用いた粉体供給方法によれば、３つのキャビティ７が同時に排出ユニット５に連通することができ、また、３つのキャビティ７が、同時に、同一周期の工程に供される。そのため、キャビティ３つ分の多量の粉体８を定量的に供給することができる。
【０１３１】
図３に示すホッパーユニット３では、面方向にメッシュ２６を振動しているが、例えば、図６に示すように、第１収容部２４の下部を撹拌することもできる。
【０１３２】
具体的には、図６に示すホッパーユニット３は、撹拌部５１を備えている。
【０１３３】
撹拌部５１は、回転軸５２と、回転羽５３と、振動部２７に代えて回転機構５４とを備えている。
【０１３４】
回転軸５２は、第１収容部２４の平面視略中央に、第１収容部２４の軸方向に延びるように配置されている。回転軸５２は、その下端がメッシュ２６と接触し、その上端が、第１収容部２４の上端よりも上側に位置するように、設けられている。
【０１３５】
回転羽５３は、第１収容部２４の下端に、面方向に回転可能なように配置されている。
【０１３６】
回転機構５４は、第１収容部２４の上側において、回転軸５２の上端と接続するように、配置されている。
【０１３７】
回転機構５４を駆動させることにより、図６の矢印に示すように、回転軸５２および回転羽５３が回転する。これにより、メッシュ２６の上側付近に配置される粉体８が、回転羽５３の回転により、下方に押し出され、その結果、メッシュ２６を通過して、第２収容部２５に収容される。
【０１３８】
また、図１に示すノズルユニット１１は、前後方向に延びるように形成されているが、図示しないが、その方向は限定されず、例えば、左右方向や上下方向に延びるように形成することもできる。
【０１３９】
２．第２実施形態
図７〜図９において、図１に示す第一実施形態と同様の部材については、同一の参照符号を付し、その詳細を省略する。
【０１４０】
本発明の第二実施形態の粉体供給装置１は、図７に示すように、移動ユニット２、ホッパーユニット３、加圧ユニット４、排出ユニット５、減圧ユニット６、拡散ユニット１０およびノズルユニット１１を備えている。
【０１４１】
移動ユニット２において、投入開口部１４は、ケーシング１２の上端部よりもやや前側（周回移動方向上流側）から円筒部２０まで上下方向に貫通するように形成されている。
【０１４２】
排出開口部１５は、ケーシング１２の下端部よりもやや後側（周回移動方向上流側）から円筒部２０まで、上下方向に貫通するように形成されている。
【０１４３】
加圧開口部１６は、ケーシング１２の後端部から円筒部２０まで前後方向に貫通するように形成されている。加圧開口部１６は、前後方向の外側から内側に向かって幅広となるように形成されている。
【０１４４】
減圧開口部１７は、ケーシング１２の前端部よりもやや下側（周回移動方向上流側）から円筒部２０まで前後方向に貫通するように形成されている。
【０１４５】
回転体１８には、図７、図８Ａおよび図８Ｂに示すように、複数（２つ）のキャビティ７（具体的には、第１キャビティ７ａ、第２キャビティ７ｂとする。）が設けられている。
【０１４６】
キャビティ７は、回転体１８を、その径方向と直交する直交方向に貫通するように、直線形状に形成されている。キャビティ７には、２つのキャビティ開口部５５が設けられている。
【０１４７】
キャビティ７の円周距離Ｄ１（２つのキャビティ開口部５５の外側両端間の距離）は、減圧開口部１７の周回移動方向下流側端縁Ｐ１から投入開口部１４の周回移動方向上流側端縁Ｐ２までの円周距離Ｄ３、投入開口部１４の周回移動方向下流側端縁Ｐ３から加圧開口部１６の周回移動方向上流側端縁Ｐ４までの円周距離Ｄ４、および、排出開口部１５の周回移動方向下流側端縁Ｐ５から減圧開口部１７の周回移動方向上流側端縁Ｐ６までの円周距離Ｄ５よりも短い。
【０１４８】
また、キャビティ７の円周距離Ｄ１は、加圧開口部１６の周回移動方向上流側端縁Ｐ４から排出開口部１５の周回移動方向下流側端縁Ｐ５までの円周距離Ｄ６よりも短く、かつ、加圧開口部１６の周回移動方向下流側端縁Ｐ７から排出開口部１５の周回移動方向上流側端縁Ｐ８までの円周距離Ｄ７よりも長い。
【０１４９】
第二実施形態の粉体供給装置１を用いた粉体供給方法も、第一実施形態の粉体供給方法と同様に、粉体供給装置１を作動させることにより、ノズルユニット１１から粉体８を噴出して、粉体８を供給することができる。具体的には、粉体供給装置１を、準備工程（投入工程、回転工程およびポンプ駆動工程）を実施する。次いで、供給工程により、軸線周りに回転するキャビティ７に対し、ぞれぞれ、減圧工程、吸引工程、加圧工程および排出工程を一サイクルとして、このサイクルが繰り返し実施させる。
【０１５０】
第二実施形態の粉体供給装置１およびそれを用いた粉体供給方法についても、第一実施形態の粉体供給装置１およびそれを用いた粉体供給方法と同様の作用効果を奏する。
【０１５１】
なお、この第二実施形態では、各キャビティ７において、加圧工程が実施され、続いて、加圧工程と同時に排出工程が実施される。その後、排出工程が終了し、続いて、加圧工程が終了する。次いで、減圧工程が実施される。すなわち、排出工程が実施されている間は、加圧工程も実施されている。第二実施形態によれば、粉体８が、排出開口部１５から排出される間、絶えず、キャビティ７内に、加圧ポンプ３２から空気が送り込まれる。そのため、粉体８を確実に解砕できるとともに、第１キャビティ７ａ内の粉体８をより一層確実に排出開口部１５へと排出することができる。
【０１５２】
（変形例）
図８Ａおよび図８Ｂに示す実施形態では、回転体１８には、２つのキャビティ７が設けられ、各キャビティ７は、互いに、同一のユニットに同時に連結できないように、配置されているが、例えば、図９に示すように、回転体１８には、各キャビティ７は、互いに同一のユニットに同時に連結できるように、配置することもできる。
【０１５３】
図９に示す回転体１８には、軸線方向に等間隔を隔てて、複数（９個）のキャビティライン５０が設けられている。また、各キャビティライン５０には、回転軸線周りに等間隔を隔てて、２つのキャビティ７（第１キャビティ７ａおよび第２キャビティ７ｂ）が設けられている。すなわち、図９に示す回転体１８には、複数（１８個）のキャビティ７が設けられている。
【０１５４】
互いに軸線方向に隣接するキャビティライン５０において、各キャビティ７は、周方向において、ずれるように、配置されている。具体的には、軸線方向最外側の第１キャビティライン５０ａの第１キャビティ７ａは、第１キャビティライン５０ａと軸線方向内側に隣接する第２キャビティライン５０ｂの第１キャビティ７ａに対して、周回移動方向下流側となるように配置されている。特に、軸線方向に互いに隣接するキャビティ７（例えば、第１キャビティ７ａ同士）は、回転軸線周りに約６０度の位相差を有している。これにより、一のキャビティ７は、軸線方向に隣接するキャビティ７に対して、約６０度の位相差を持って、各工程が順次実施される。
【０１５５】
また、第１キャビティライン５０ａは、第４キャビティライン５０ｄおよび第７キャビティラインｇと、側面視に投影したときに、完全に一致するように形成されている。すなわち、一のキャビティライン５０は、軸線方向において４番目に隣接配置されるキャビティライン５０と同一形状となるように、形成されている。
【０１５６】
すなわち、一のキャビティ７は、一つのキャビティ７が、減圧ユニット６、ホッパーユニット３、加圧ユニット４および排出ユニット５のいずれかのユニットと連通したときに、２つのキャビティが、一のキャビティ７が連通しているユニットと同じユニットと連通するように、回転軸線周りに配置されている。具体的には、第１キャビティライン５０ａの第１キャビティ７ａが、加圧ユニット４に連結しているときは、第４キャビティラインｅの第２キャビティ７ｂが、加圧ユニット４に連結している。
【０１５７】
これにより、２つのキャビティ７が、同時に、同一周期の工程に供される。
【０１５８】
また、図示しないが、図９に示す回転体１８を用いる粉体供給装置１では、ホッパーユニット３、加圧ユニット４、排出ユニット５、減圧ユニット６は、各キャビティライン５０に対応して、軸線方向に、複数（例えば、１２列）並列配置されている。また、加圧ユニット４、減圧ユニット６および排出ユニット５は、回転体１８の幅方向に対応して、軸線方向に幅広となるように形成されている。
【０１５９】
図９に示す回転体１８を備える粉体供給装置１、および、それを用いた粉体供給方法についても、図６に示す回転体１８を備える粉体供給装置１、および、それを用いた粉体供給方法と同様の作用効果を奏する。
【０１６０】
なお、第二実施形態のホッパーユニット３として、図３および図６に示すいずれの形態を用いることができる。
【０１６１】
３．エアロゾルデポジション装置
図１０を用いて、第一実施形態の粉体供給装置１が装備される粉体コーティング装置の一例としてのエアロゾルデポジション装置６０の一実施形態について説明する。なお、図１０において、図１に示す第一実施形態と同様の部材については、同一の参照符号を付し、その詳細を省略する。
【０１６２】
図１０に示すエアロゾルデポジション装置６０（以下、「ＡＤ装置」と称する。）は、エアロゾルデポジション法（ＡＤ法・ガスデポジション法（気体堆積法））によって、粉体８を被着体である基材７０（仮想線）の上に配置するための装置である。
【０１６３】
ＡＤ装置６０は、成膜チャンバー６１、および、粉体供給装置１を備えている。
【０１６４】
成膜チャンバー６１は、基材７０の表面に、粉体８を配置するための成膜室であって、基板ホルダー６４、成膜チャンバー６１内の温度を測定するための温度計（図示せず）、および、成膜チャンバー６１内の圧力を測定するための圧力計（図示せず）を備えている。
【０１６５】
基板ホルダー６４は、支柱６５、台座６６およびステージ６７を備えている。
【０１６６】
支柱６５は、台座６６およびステージ６７を連結させるために、成膜チャンバー６１の底壁を貫通して上方（鉛直方向上方）に突出するように設けられている。
【０１６７】
台座６６は、基材７０を成膜チャンバー６１内に保持および固定するために、支柱６５の長手方向一端部（上端部）に設けられている。
【０１６８】
ステージ６７は、粉体８を基材７０の上に配置する時において、基材７０を任意の方向（ｘ方向（前後方向）、ｙ方向（左右方向）、ｚ方向（上下方向）およびθ方向（回転方向））に移動可能とするために、成膜チャンバー６１の底壁の下面に設けられ、支柱６５の長手方向他端部（下端部）に接続されている。
【０１６９】
これにより、ステージ６７は、支柱６５を介して台座６６に接続され、ステージ６７により、台座６６を移動可能としている。
【０１７０】
また、成膜チャンバー６１には、メカニカルブースターポンプ６８およびロータリーポンプ６９が接続されている。メカニカルブースターポンプ６８およびロータリーポンプ６９は、成膜チャンバー６１およびノズル導出管４１を減圧するため、成膜チャンバー６１に、順次接続されている。
【０１７１】
粉体供給装置１は、移動ユニット２、排出ユニット５およびノズルユニット１１が、成膜チャンバー６１内の上部に収容され、ホッパーユニット３の一部、加圧ユニット４の一部、および、拡散ユニット１０の一部が、成膜チャンバー６１の外部に位置するように、配置されている。
【０１７２】
ホッパーユニット３は、投入管２３の下端部が成膜チャンバー６１内に収容され、投入管２３の上端部およびホッパー部２２が成膜チャンバー６１の外部に位置するように、配置されている。
【０１７３】
加圧ユニット４は、加圧管３１の他端が成膜チャンバー６１内に収容され、加圧管３１の一端および加圧ポンプ３２が成膜チャンバー６１の外部に位置するように、配置されている。また、加圧ポンプ３２には、図示しないキャリアボンベが、接続されている。キャリアガスボンベは、例えば、酸素ガス、ヘリウムガス、アルゴンガス、窒素ガス、空気などのキャリアガスを貯留するボンベである。また、キャリアボンベには、図示しないガス流量計が接続されている。ガス流量計は、キャリアボンベから加圧ポンプ３２に供給するガスの流量を調整するとともに、その流量を検知するための装置であって、特に制限されず、公知の流量計が用いられる。
【０１７４】
減圧ユニット６は、減圧管３４の一端が成膜チャンバー６１内に収容され、減圧管３４の他端および吸引ポンプ３５が成膜チャンバー６１の外部に位置するように、配置されている。
【０１７５】
拡散ユニット１０は、排出送風管４３の一端、ノズル導出管４１および拡散部材４２が成膜チャンバー６１内に収容され、排出送風管４３の他端および送風ポンプ４４が成膜チャンバー６１の外部に位置するように、配置されている。また、送風ポンプ４４には、図示しないキャリアボンベおよびガス流量計が、接続されている。
【０１７６】
ノズル導出管４１は、その先端（前端部）がノズルユニット１１に接続されるように、成膜チャンバー６１内の中央部付近まで延びるように形成されている。
【０１７７】
ノズル導出管４１には、振動装置６２、および、ノズル導出管４１内の圧力を測定するための圧力計（図示せず）が接続されている。
【０１７８】
振動装置６２は、ノズル導出管４１、および、ノズル導出管４１に排出された粉体８を振動させるための装置であって、公知の振盪器が用いられる。
【０１７９】
ノズルユニット１１は、台座６６の上方に、台座６６と間隔を隔てて配置されている。ノズルユニット１１は、粉体８（エアロゾル）を基材７０の表面に噴き付けるために、スリット４５が鉛直方向下側の台座６６に向かうように、配置されている。具体的には、ノズルユニット１１は、そのスリット４５が台座６６と所定間隔を隔てるように上下方向において対向配置されており、これにより、ホッパーユニット３から投入される粉体８を、エアロゾルとして、基材７０の表面に噴き付け可能としている。
【０１８０】
このようなＡＤ装置６０により基材７０に粉体８を配置するためには、まず、台座６６の上に基材７０を配置する。また、メカニカルブースターポンプ６８およびロータリーポンプ６９を駆動させることにより、成膜チャンバー６１内およびノズル導出管４１内を減圧する。一方、上述したように、粉体供給装置１を作動させる。さらに、振動装置６２により、ノズル導出管４１を振動させる。
【０１８１】
これにより、ノズル導出管４１内で、粉体８をエアロゾル化させるとともに、発生したエアロゾルを、ノズルユニット１１に輸送することができる。
【０１８２】
次いで、この方法では、材料を、ノズルユニット１１のスリット４５から基材７０の表面に向けて噴射する。
【０１８３】
エアロゾル噴射前の成膜チャンバー６１内の圧力は、例えば、５〜８０Ｐａであり、ノズル導出管４１内の圧力は、例えば、５〜８０Ｐａである。
【０１８４】
エアロゾル噴射中の成膜チャンバー６１内の圧力は、例えば、１０Ｐａ以上、好ましくは、３０Ｐａ以上であり、また、例えば、１０００Ｐａ以下、好ましくは、８００Ｐａ以下である。また、エアロゾル噴射中の成膜チャンバー６１内の温度は、例えば、０〜５０℃である。
【０１８５】
このＡＤ装置６０によれば、粉体供給装置１を備えているため、粉体８を定量的にノズルユニット１１から噴射することができるため、基材７０に対して、粉体層（粉体８からなる層）を均一に積層することができる。特に、粘着性を有する粉体８やサブミクロン粉体８に対しても、均一に、粉体層を積層することができる。
【０１８６】
なお、図１０に示すＡＤ装置では、図１に示す粉体供給装置１を備えているが、図示しないが、例えば、図７に示す粉体供給装置１を備えることもできる。
【符号の説明】
【０１８７】
１    粉体供給装置
２    移動ユニット
３    ホッパーユニット
４    加圧ユニット
５    排出ユニット
６    減圧ユニット
７    キャビティ
８    粉体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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