(57)【要約】【課題】複数の弾性表面波センサによる測定を狭い帯域で行うこと。【解決手段】親機１１０は、検出信号を無線送信する。子機１２１は、測定対象の物理量の所定範囲の変化に対して第１帯域で共振周波数が変化し、親機１１０から無線送信された検出信号に対して自センサの共振周波数の応答信号を無線送信する。子機１２２は、同じ物理量の所定範囲の変化に対して第１帯域と互いの一部が重複する第２帯域で共振周波数が変化し、親機１１０から無線送信された検出信号に対して自センサの共振周波数の応答信号を無線送信する。親機１１０は、子機１２１、１２２から無線送信された各応答信号の周波数に基づいて、各応答信号に対応する子機１２１、１２２を判定し、判定した子機１２１、１２２における物理量を算出する。【選択図】図１
2017181462.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
無線送信された検出信号に対してそれぞれ自センサの共振周波数の応答信号を無線送信する複数の弾性表面波センサであって、測定対象の物理量の所定範囲の変化に対して第１帯域で共振周波数が変化する第１弾性表面波センサと、前記物理量の前記所定範囲の変化に対して前記第１帯域と互いの一部が重複する第２帯域で共振周波数が変化する第２弾性表面波センサと、を含む複数の弾性表面波センサと、
前記検出信号を無線送信し、無線送信した前記検出信号に対して前記複数の弾性表面波センサから無線送信された各応答信号の周波数に基づいて、前記各応答信号に対応する前記弾性表面波センサを判定し、判定した前記複数の弾性表面波センサのそれぞれにおける前記物理量を算出し、算出した前記物理量を示す情報を出力する測定装置と、
を含むことを特徴とする測定システム。
【請求項２】
前記第１弾性表面波センサの共振周波数が所定周波数となる前記物理量と、前記第２弾性表面波センサの共振周波数が前記所定周波数となる前記物理量と、の間の差が所定差より大きい
ことを特徴とする請求項１に記載の測定システム。
【請求項３】
前記所定差は、所定の測定環境における前記第１弾性表面波センサにおける前記物理量と前記第２弾性表面波センサにおける前記物理量との間の最大の差である
ことを特徴とする請求項２に記載の測定システム。
【請求項４】
前記測定装置は、前記各応答信号の周波数の低い順又は高い順に、前記各応答信号のうちの前記第１弾性表面波センサ及び前記第２弾性表面波センサが無線送信した応答信号をそれぞれ判定し、判定した結果に基づいて前記第１弾性表面波センサ及び前記第２弾性表面波センサにおける前記物理量を算出する
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の測定システム。
【請求項５】
前記測定装置は、前記検出信号に対して無線送信され受信した応答信号の数に基づいて、前記第１弾性表面波センサ及び前記第２弾性表面波センサから無線送信された各応答信号を受信したか否かを判断し、前記第１弾性表面波センサ及び前記第２弾性表面波センサから無線送信された各応答信号を受信していないと判断した場合は前記検出信号を再送信する
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の測定システム。
【請求項６】
前記検出信号は、前記第１帯域及び前記第２帯域を含む周波数の信号である
ことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の測定システム。
【請求項７】
前記複数の弾性表面波センサは、前記物理量の前記所定範囲の変化に対して前記第１帯域と互いの一部が重複する帯域で変化する複数の共振周波数を有し、前記検出信号に対して前記複数の共振周波数の各応答信号を無線送信する第３弾性表面波センサを含み、
前記測定装置は、前記複数の共振周波数の少なくともいずれかに基づいて前記第３弾性表面波センサにおける前記物理量を算出し、前記複数の共振周波数の少なくともいずれかに基づいて、受信した前記各応答信号のうちの前記第１弾性表面波センサ及び前記第２弾性表面波センサから無線送信された応答信号をそれぞれ判定し、判定した各応答信号の周波数に基づいて前記第１弾性表面波センサ及び前記第２弾性表面波センサにおける前記物理量を算出する
ことを特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに記載の測定システム。
【請求項８】
前記測定装置は、前記受信した各応答信号の周波数に前記複数の共振周波数が含まれている場合に、
前記複数の共振周波数の少なくともいずれかに基づいて前記第３弾性表面波センサにおける前記物理量を算出し、
前記第１弾性表面波センサ及び前記第２弾性表面波センサから無線送信された応答信号として判定した各応答信号の周波数に基づいて、前記第１弾性表面波センサ及び前記第２弾性表面波センサにおける前記物理量を算出する
ことを特徴とする請求項７に記載の測定システム。
【請求項９】
前記測定装置は、前記受信した各応答信号の周波数に前記複数の共振周波数が含まれているか否かを、前記受信した各応答信号の周波数に、差分が所定値以下となる各周波数が含まれているか否かに基づいて判断する
ことを特徴とする請求項７または８に記載の測定システム。
【請求項１０】
前記測定装置は、前記受信した各応答信号の周波数に前記複数の共振周波数が含まれているか否かを、前記受信した各応答信号の周波数に、前記複数の共振周波数の間の所定比と同じ比の各周波数が含まれているか否かに基づいて判断する
ことを特徴とする請求項７〜９のいずれか一つに記載の測定システム。
【請求項１１】
前記複数の弾性表面波センサは、前記物理量の前記所定範囲の変化に対して前記第１帯域及び前記第２帯域と重複しない第３帯域で共振周波数が変化する第３弾性表面波センサを含み、
前記測定装置は、
前記第３帯域の周波数に基づいて前記第３弾性表面波センサにおける前記物理量を算出し、
受信した前記各応答信号の周波数に含まれる前記第３帯域の周波数に基づいて、前記受信した各応答信号のうちの前記第１弾性表面波センサ及び前記第２弾性表面波センサから無線送信された応答信号をそれぞれ判定し、判定した各応答信号の周波数に基づいて前記第１弾性表面波センサ及び前記第２弾性表面波センサにおける前記物理量を算出する
ことを特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに記載の測定システム。
【請求項１２】
前記測定装置は、前記受信した各応答信号の周波数に前記第３帯域の周波数が含まれている場合に、
前記第３帯域の周波数に基づいて前記第３弾性表面波センサにおける前記物理量を算出し、
前記第１弾性表面波センサ及び前記第２弾性表面波センサから無線送信された応答信号として判定した各応答信号の周波数に基づいて、前記第１弾性表面波センサ及び前記第２弾性表面波センサにおける前記物理量を算出する
ことを特徴とする請求項１１に記載の測定システム。
【請求項１３】
前記測定装置は、前記第３弾性表面波センサの共振周波数と、前記第１弾性表面波センサ及び前記第２弾性表面波センサの各共振周波数と、の間の関係を示す情報に基づいて、前記受信した各応答信号のうちの前記第１弾性表面波センサ及び前記第２弾性表面波センサから無線送信された応答信号をそれぞれ判定する
ことを特徴とする請求項７〜１２のいずれか一つに記載の測定システム。
【請求項１４】
無線送信された検出信号に対してそれぞれ自センサの共振周波数の応答信号を無線送信する複数の弾性表面波センサであって、測定対象の物理量の所定範囲の変化に対して第１帯域で共振周波数が変化する第１弾性表面波センサと、前記物理量の前記所定範囲の変化に対して前記第１帯域と互いの一部が重複する第２帯域で共振周波数が変化する第２弾性表面波センサと、を含む複数の弾性表面波センサへ前記検出信号を無線送信する送信部と、
前記送信部によって送信された前記検出信号に対して前記複数の弾性表面波センサから無線送信された各応答信号を受信する受信部と、
前記受信部によって受信された前記各応答信号の周波数に基づいて、前記各応答信号に対応する前記複数の弾性表面波センサを判定し、判定した前記複数の弾性表面波センサのそれぞれにおける前記物理量を算出する算出部と、
前記算出部によって算出された前記物理量を示す情報を出力する出力部と、
を備えることを特徴とする測定装置。
【請求項１５】
無線送信された検出信号に対してそれぞれ自センサの共振周波数の応答信号を無線送信する複数の弾性表面波センサであって、測定対象の物理量の所定範囲の変化に対して第１帯域で共振周波数が変化する第１弾性表面波センサと、前記物理量の前記所定範囲の変化に対して前記第１帯域と互いの一部が重複する第２帯域で共振周波数が変化する第２弾性表面波センサと、を含む複数の弾性表面波センサへ前記検出信号を無線送信し、
送信した前記検出信号に対して前記複数の弾性表面波センサから無線送信された各応答信号を受信し、
受信した前記各応答信号の周波数に基づいて、前記各応答信号に対応する前記複数の弾性表面波センサを判定し、判定した前記複数の弾性表面波センサのそれぞれにおける前記物理量を算出し、
算出した前記物理量を示す情報を出力する
ことを特徴とする測定方法。
【請求項１６】
測定装置から無線送信された検出信号に対して自センサの共振周波数の応答信号を無線送信する複数の弾性表面波センサを選別する選別装置であって、
測定対象の物理量の前記複数の弾性表面波センサの間における所定差を示す情報を取得する取得部と、
前記取得部によって取得された前記情報に基づいて、選別候補の各弾性表面波センサの中から、前記物理量の所定範囲の変化に対して第１帯域で共振周波数が変化する第１弾性表面波センサと、前記物理量の前記所定範囲の変化に対して前記第１帯域と互いの一部が重複する第２帯域で共振周波数が変化する第２弾性表面波センサであって、前記第１弾性表面波センサの共振周波数が所定周波数となる前記物理量と、前記第２弾性表面波センサの共振周波数が前記所定周波数となる前記物理量と、の間の差が前記所定差より大きくなる第２弾性表面波センサと、を含む前記複数の弾性表面波センサを選別する選別部と、
前記選別部によって選別された前記複数の弾性表面波センサを示す情報を出力する出力部と、
を備えることを特徴とする選別装置。
【請求項１７】
測定装置から無線送信された検出信号に対して自センサの共振周波数の応答信号を無線送信する複数の弾性表面波センサを選別する選別方法であって、
測定対象の物理量の前記複数の弾性表面波センサの間における所定差を示す情報を取得し、
取得した前記情報に基づいて、選別候補の各弾性表面波センサの中から、前記物理量の所定範囲の変化に対して第１帯域で共振周波数が変化する第１弾性表面波センサと、前記物理量の前記所定範囲の変化に対して前記第１帯域と互いの一部が重複する第２帯域で共振周波数が変化する第２弾性表面波センサであって、前記第１弾性表面波センサの共振周波数が所定周波数となる前記物理量と、前記第２弾性表面波センサの共振周波数が前記所定周波数となる前記物理量と、の間の差が前記所定差より大きくなる第２弾性表面波センサと、を含む前記複数の弾性表面波センサを選別し、
選別した前記複数の弾性表面波センサを示す情報を出力する
ことを特徴とする選別方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定システム、測定装置、測定方法、選別装置及び選別方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、弾性表面波（ＳＡＷ：Ｓｕｒｆａｃｅ  Ａｃｏｕｓｔｉｃ  Ｗａｖｅ）を利用してワイヤレスでセンシングを行う弾性表面波センサが知られている。また、高周波信号が入力されると領域ごとに異なる周波数帯域内で温度に基づく周波数信号を送り返す弾性表面波センサをウェハ上に複数配置し、ウェハの温度分布を測定する技術が知られている（たとえば、下記特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１７１０４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した従来技術では、複数の共振型の弾性表面波センサによる測定を行う場合に、たとえば各弾性表面波センサの使用帯域が同じであると、各弾性表面波センサから無線送信された共振周波数の応答信号を識別することができない。これに対して、各弾性表面波センサの使用帯域を重複しないように設定することが考えられるが、そのためには広い帯域を要するという問題がある。
【０００５】
本発明は、上述した従来技術による問題点を解消するため、複数の弾性表面波センサによる測定を狭い帯域で行うことができる測定システム、測定装置、測定方法、選別装置及び選別方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するため、本発明にかかる測定システム、測定装置及び測定方法によれば、無線送信された検出信号に対してそれぞれ自センサの共振周波数の応答信号を無線送信する複数の弾性表面波センサであって、測定対象の物理量の所定範囲の変化に対して第１帯域で共振周波数が変化する第１弾性表面波センサと、前記物理量の前記所定範囲の変化に対して前記第１帯域と互いの一部が重複する第２帯域で共振周波数が変化する第２弾性表面波センサと、を含む複数の弾性表面波センサへ前記検出信号を無線送信し、送信した前記検出信号に対して前記複数の弾性表面波センサから無線送信された各応答信号を受信し、受信した前記各応答信号の周波数に基づいて、前記各応答信号に対応する前記弾性表面波センサを判定し、判定した前記複数の弾性表面波センサのそれぞれにおける前記物理量を算出し、算出した前記物理量を示す情報を出力する測定システム、測定装置及び測定方法が提供される。
【０００７】
これにより、第１弾性表面波センサの第１帯域及び第２弾性表面波センサの第２帯域で使用される帯域を狭くしつつ、第１弾性表面波センサ及び第２弾性表面波センサにおける各物理量を算出することができる。
【０００８】
また、本発明にかかる選別装置及び選別方法によれば、測定装置から無線送信された検出信号に対して自センサの共振周波数の応答信号を無線送信する複数の弾性表面波センサを選別する際に、測定対象の物理量の前記複数の弾性表面波センサの間における所定差を示す情報を取得し、取得した前記情報に基づいて、選別候補の各弾性表面波センサの中から、前記物理量の所定範囲の変化に対して第１帯域で共振周波数が変化する第１弾性表面波センサと、前記物理量の前記所定範囲の変化に対して前記第１帯域と互いの一部が重複する第２帯域で共振周波数が変化する第２弾性表面波センサであって、前記第１弾性表面波センサの共振周波数が所定周波数となる前記物理量と、前記第２弾性表面波センサの共振周波数が前記所定周波数となる前記物理量と、の間の差が前記所定差より大きくなる第２弾性表面波センサと、を含む前記複数の弾性表面波センサを選別し、選別した前記複数の弾性表面波センサを示す情報を出力する選別装置及び選別方法が提供される。
【０００９】
これにより、第１弾性表面波センサの第１帯域及び第２弾性表面波センサの第２帯域で使用される帯域を狭くしつつ各物理量を算出できる複数の弾性表面波センサを選別することができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の一側面によれば、複数の弾性表面波センサによる測定を狭い帯域で行うことができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、実施の形態１にかかる測定システムの一例を示す図である。
【図２】図２は、実施の形態１にかかる各子機の応答信号の使用帯域の一例を示す図である。
【図３】図３は、実施の形態１にかかる子機の共振周波数インピーダンス特性の温度変化の一例を示す図である。
【図４】図４は、実施の形態１にかかる子機の温度共振周波数特性の一例を示す図である。
【図５】図５は、実施の形態１にかかる親機の一例を示す図である。
【図６】図６は、実施の形態１にかかる親機のハードウェア構成の一例を示す図である。
【図７】図７は、実施の形態１にかかる子機が有するＳＡＷ共振子の一例を示す図である。
【図８】図８は、実施の形態１にかかる子機の一例を示す図である。
【図９】図９は、実施の形態１にかかる子機の組立工程の一例を示す図（その１）である。
【図１０】図１０は、実施の形態１にかかる子機の組立工程の一例を示す図（その２）である。
【図１１】図１１は、実施の形態１にかかる子機の組立工程の一例を示す図（その３）である。
【図１２】図１２は、実施の形態１にかかる親機による処理の一例を示すフローチャートである。
【図１３】図１３は、実施の形態１にかかる測定システムのリフロー炉への適用の一例を示す図である。
【図１４】図１４は、実施の形態２にかかる各子機の応答信号の使用帯域の一例を示す図である。
【図１５】図１５は、実施の形態２にかかる一部の子機が有するＳＡＷ共振子の一例を示す図である。
【図１６】図１６は、実施の形態２にかかる親機による処理の一例を示すフローチャートである。
【図１７】図１７は、実施の形態２にかかる親機による応答信号の送信元の子機の判定処理の一例を示すフローチャートである。
【図１８】図１８は、実施の形態３にかかる各子機の応答信号の使用帯域の一例を示す図である。
【図１９】図１９は、実施の形態３にかかる親機による処理の一例を示すフローチャートである。
【図２０】図２０は、実施の形態４にかかる選別装置の一例を示す図である。
【図２１】図２１は、実施の形態４にかかる選別装置による処理の一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に図面を参照して、本発明にかかる測定システム、測定装置、測定方法、選別装置及び選別方法の実施の形態を詳細に説明する。
【００１３】
（実施の形態１）
（実施の形態１にかかる測定システム）
図１は、実施の形態１にかかる測定システムの一例を示す図である。図１に示すように、実施の形態１にかかる測定システム１００は、親機１１０と、子機１２１〜１２４（Ａ〜Ｄ）と、を含む。子機１２１〜１２４は、測定領域１０１においてそれぞれ異なる位置に設けられている。測定領域１０１は、一例としては半導体などの基板である。
【００１４】
親機１１０は、子機１２１〜１２４を用いて、測定領域１０１において子機１２１〜１２４が設けられた各位置における物理量を測定する測定装置である。物理量は、温度、圧力、ガス、磁気等の各種の物理量とすることができる。ここでは、一例として、親機１１０が測定する物理量が温度である場合について説明する。
【００１５】
子機１２１〜１２４のそれぞれは、温度によって共振周波数が変化する共振型のＳＡＷセンサ（弾性表面波センサ）である。また、子機１２１〜１２４は、同一温度における共振周波数がそれぞれ異なるように、温度に対する共振周波数の特性（温度共振周波数特性）がそれぞれ設定されている。子機１２１〜１２４の温度共振周波数特性の設定については後述する（たとえば図２〜図４参照）。
【００１６】
親機１１０は、子機１２１〜１２４が受信可能な検出信号を無線送信する。親機１１０が無線送信する検出信号は、測定対象の温度範囲でとり得る子機１２１〜１２４の共振周波数を含む無線信号である。たとえば、親機１１０が無線送信する検出信号は、測定対象の温度範囲でとり得る子機１２１〜１２４の共振周波数の範囲内で、時間的に周波数が変化する周波数掃引信号である。又は、親機１１０が無線送信する検出信号は、測定対象の温度範囲でとり得る子機１２１〜１２４の共振周波数の範囲の各周波数を含む無線信号であってもよい。
【００１７】
子機１２１〜１２４のそれぞれは、自センサの共振周波数を含む検出信号を親機１１０から受信すると、自センサの共振周波数の応答信号を親機１１０へ無線送信する。親機１１０は、子機１２１〜１２４から無線送信された各応答信号の周波数に基づいて、子機１２１〜１２４における温度を算出する。これにより、測定領域１０１において子機１２１〜１２４が設けられた各位置における温度を測定することができる。親機１１０による温度の算出については後述する。
【００１８】
（実施の形態１にかかる各子機の応答信号の使用帯域）
図２は、実施の形態１にかかる各子機の応答信号の使用帯域の一例を示す図である。図２において、横軸は子機１２１〜１２４から親機１１０への応答信号の周波数［Ｈｚ］を示し、縦軸は子機１２１〜１２４から親機１１０への応答信号の強度を示す。図２に示す例では、測定対象の温度範囲（所定範囲）を０〜３００［℃］とする。また、子機１２１〜１２４の各位置における温度差は１００［℃］未満であるとする。
【００１９】
上述したように、子機１２１〜１２４のそれぞれは、温度によって共振周波数が変化し、親機１１０からの検出信号に対して共振周波数の応答信号を無線送信する。また、子機１２１〜１２４は、同一温度における共振周波数がそれぞれ異なるように温度共振周波数特性がそれぞれ設定されている。応答信号２０１〜２０４は、親機１１０からの検出信号に対してそれぞれ子機１２１〜１２４が送信する応答信号である。
【００２０】
使用帯域２１１（周波数Ｆ１〜Ｆ４）は、子機１２１（Ａ）が使用する周波数帯域であって、測定対象の温度範囲である０〜３００［℃］において子機１２１の共振周波数が変化する範囲である。すなわち、子機１２１の温度が０〜３００［℃］の範囲で変化する場合に、子機１２１の共振周波数は周波数Ｆ１〜Ｆ４の範囲で変化する。
【００２１】
一例としては、子機１２１の共振周波数は、０［℃］において周波数Ｆ１となり、温度が高くなるほど線形に周波数が高くなり、３００［℃］において周波数Ｆ４となる。ただし、子機１２１の温度共振周波数はこれに限らず、たとえば温度が高くなるほど共振周波数が非線形に高くなる温度共振周波数などであってもよい。
【００２２】
使用帯域２１２（周波数Ｆ２〜Ｆ５）は、子機１２２（Ｂ）が使用する周波数帯域であって、測定対象の温度範囲である０〜３００［℃］において子機１２２の共振周波数が変化する範囲である。すなわち、子機１２２の温度が０〜３００［℃］の範囲で変化する場合に、子機１２２の共振周波数は周波数Ｆ２〜Ｆ５の範囲で変化する。
【００２３】
同様に、使用帯域２１３、２１４は、それぞれ子機１２３、１２４（Ｃ、Ｄ）が使用する周波数帯域であって、測定対象の温度範囲である０〜３００［℃］においてそれぞれ子機１２３、１２４の共振周波数が変化する範囲である。使用帯域２１１〜２１４に示すように、子機１２１〜１２４は、同一温度における共振周波数がそれぞれ異なるように温度共振周波数特性がそれぞれ設定されている。
【００２４】
また、使用帯域２１１〜２１４のそれぞれは、他の使用帯域との間で互いの一部が重複する重複部分を有する。たとえば、使用帯域２１１、２１２は、互いに周波数Ｆ２〜Ｆ４において重複している。また、使用帯域２１２、２１３は、互いに周波数Ｆ３〜Ｆ５において重複している。また、使用帯域２１３、２１４は、互いに周波数Ｆ４〜Ｆ６において重複している。これにより、たとえば使用帯域２１１〜２１４を重複しないように設定する場合に比べて、使用帯域２１１〜２１４によって利用される周波数帯域（周波数Ｆ１〜Ｆ７）を狭くすることができる。
【００２５】
つぎに、使用帯域２１１〜２１４のそれぞれが互いに重複していても、子機１２１〜１２４からの各応答信号を親機１１０が識別するための、使用帯域２１１〜２１４の条件について説明する。図２に示す例では、子機１２１〜１２４の各位置における温度差が１００［℃］未満であることから、使用帯域２１１〜２１４は、それぞれ所定差として１００［℃］分の周波数でずれるように設定されている。
【００２６】
たとえば、使用帯域２１２は、使用帯域２１１に対して１００℃分の周波数（Ｆ２−Ｆ１）だけ高周波側にずれている。また、使用帯域２１３は、使用帯域２１２に対して１００℃分の周波数（Ｆ３−Ｆ２）だけ高周波側にずれている。使用帯域２１４は、使用帯域２１３に対して１００℃分の周波数（Ｆ４−Ｆ３）だけ高周波側にずれている。すなわち、子機１２１〜１２４の温度共振周波数特性は、同一温度における共振周波数が１００［℃］分の周波数ずつの所定差でずれるようにそれぞれ設定される。
【００２７】
図２に示したように、たとえば、子機１２１〜１２４の各位置における最大の差（＜１００［℃］）よりも大きく使用帯域２１１〜２１４をずらしておく。これにより、使用帯域２１１〜２１４が重複部分を有していても、子機１２１〜１２４から親機１１０への各応答信号の間の周波数の大小関係（高低関係）が一定になる。すなわち、子機１２１〜１２４における各温度差が１００［℃］未満であれば、子機１２１からの応答信号の周波数＜子機１２２からの応答信号の周波数＜子機１２３からの応答信号の周波数＜子機１２４からの応答信号の周波数となる。
【００２８】
このため、親機１１０は、子機１２１〜１２４から送信された各応答信号について、各応答信号の周波数の大小関係によって、各応答信号が子機１２１〜１２４のうちのいずれの子機からの応答信号であるかを判定することができる。したがって、親機１１０は、子機１２１〜１２４の温度を、子機１２１〜１２４から送信された各応答信号の周波数に基づいて算出することができる。
【００２９】
このように、測定システム１００によれば、各子機の使用帯域を一部重複するようにずらし、各子機からの応答信号の周波数の大小関係によって各応答信号の送信元の子機を判定することで、狭い周波数帯域（周波数Ｆ１〜Ｆ７）において子機１２１〜１２４の各位置の温度を測定することが可能になる。
【００３０】
図２においては、測定領域１０１に４個の子機（子機１２１〜１２４）を配置して測定領域１０１における４箇所の測定を行う構成について説明したが、このような構成に限らず、測定領域１０１に配置する子機の数は２以上の任意の数とすることができる。
【００３１】
（実施の形態１にかかる子機の共振周波数インピーダンス特性の温度変化）
図３は、実施の形態１にかかる子機の共振周波数インピーダンス特性の温度変化の一例を示す図である。図３において、横軸は共振型のＳＡＷセンサ（たとえば子機１２１〜１２４）の共振周波数［ＧＨｚ］を示し、縦軸は共振型のＳＡＷセンサのインピーダンス［Ω］を示す。
【００３２】
共振周波数インピーダンス特性３０１〜３１１は、共振型のＳＡＷセンサの温度がそれぞれ２５、３０、３５、４０、４５、５０、５５、６０、６５、７０、７５［℃］である場合の共振型のＳＡＷセンサにおける共振周波数に対するインピーダンスを示す。共振周波数インピーダンス特性３０１〜３１１に示すように、共振型のＳＡＷセンサの共振周波数に対するインピーダンス特性は、共振型のＳＡＷセンサの温度によって変化する。
【００３３】
（実施の形態１にかかる子機の温度共振周波数特性）
図４は、実施の形態１にかかる子機の温度共振周波数特性の一例を示す図である。図４において、横軸は共振型のＳＡＷセンサ（たとえば子機１２１〜１２４）の共振周波数［ＧＨｚ］を示し、縦軸は共振型のＳＡＷセンサ（ＳＡＷセンサ）の温度［℃］を示す。図４においては、７個の共振型のＳＡＷセンサについての温度共振周波数特性４０１〜４０７を示している。図４に示す例では、免許不要のワイヤレス通信帯域の高度化小電力無線における８３．５［ＭＨｚ］幅の２．４［ＧＨｚ］帯に温度共振周波数特性４０１〜４０７を設定している。
【００３４】
温度共振周波数特性４０１〜４０７は、測定領域１０１に配置される７個の共振型のＳＡＷセンサ（たとえば子機１２１〜１２４に加えて３個の別の子機）のそれぞれにおける温度に対する共振周波数の特性を示す。温度共振周波数特性４０１〜４０７に示すように、測定領域１０１に配置される各共振型のＳＡＷセンサは、温度に対する共振周波数の特性が互いに異なる。
【００３５】
たとえば、上述した測定領域１０１の各子機における温度差がおよそ２０［℃］未満であるとすると、各子機において共振周波数が同一となる温度が２０［℃］ずつずれるように温度共振周波数特性４０１〜４０７が設定される。図４に示す例では、温度共振周波数特性４０１〜４０７は、同一温度における共振周波数がそれぞれ約２［ＭＨｚ］ずつずれるように設定されている。また、温度共振周波数特性４０１〜４０７のそれぞれは、温度が高くなるほど共振周波数が線形に高くなるように設定されている。
【００３６】
これにより、各子機における各温度差が２０［℃］未満であれば、各子機からの応答信号の周波数の大小関係を一定にし、各応答信号がいずれの子機からの応答信号であるかを親機１１０が判定することができる。
【００３７】
（実施の形態１にかかる親機）
図５は、実施の形態１にかかる親機の一例を示す図である。図５に示すように、親機１１０は、制御部５０１と、ＲＦ送信部５０２と、アンテナ５０３、５０４と、ＲＦ受信部５０５と、出力部５０６と、を備える。制御部５０１は、検出信号を生成してＲＦ送信部５０２へ出力する。検出信号は、たとえば上述した周波数掃引信号又は複数の周波数成分を含む信号である。
【００３８】
ＲＦ送信部５０２は、制御部５０１から出力された検出信号のＲＦ送信処理を行う。ＲＦ送信部５０２が行うＲＦ送信処理には、たとえば、デジタル信号からアナログ信号への変換、ベースバンド帯からＲＦ（Ｒａｄｉｏ  Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ：高周波）帯への周波数変換、増幅などが含まれる。ＲＦ送信部５０２は、ＲＦ送信処理を行った検出信号をアンテナ５０３へ出力する。アンテナ５０３は、ＲＦ送信部５０２から出力された検出信号を測定領域１０１の各子機へ無線送信する。
【００３９】
アンテナ５０４は、測定領域１０１の各子機から無線送信された、アンテナ５０３によって送信された検出信号に対する各応答信号を受信する。そして、アンテナ５０４は、受信した各応答信号をＲＦ受信部５０５へ出力する。ＲＦ受信部５０５は、アンテナ５０４から出力された各応答信号のＲＦ受信処理を行う。ＲＦ受信部５０５が行うＲＦ受信処理には、たとえば、増幅、ＲＦ帯からベースバンド帯への周波数変換、アナログ信号からデジタル信号への変換などが含まれる。ＲＦ受信部５０５は、ＲＦ受信処理を行った各応答信号を制御部５０１へ出力する。
【００４０】
制御部５０１は、ＲＦ受信部５０５から出力された各応答信号の周波数を比較し、比較結果に基づいて、各応答信号を送信した子機をそれぞれ判定する。たとえば、制御部５０１は、測定領域１０１の各子機の温度共振周波数特性によって決まる、測定領域１０１の各子機からの応答信号の周波数の大小関係を示す情報を記憶している。そして、制御部５０１は、各応答信号の周波数の比較結果と、記憶している大小関係を示す情報と、に基づいて、各応答信号を送信した子機をそれぞれ判定する。
【００４１】
そして、制御部５０１は、子機の判定結果及び各応答信号の周波数に基づいて、測定領域１０１の各子機における温度を算出する。たとえば、制御部５０１は、測定領域１０１の各子機の温度共振周波数特性を示す情報を記憶している。そして、制御部５０１は、各応答信号のそれぞれを対象として、対象の応答信号を送信した子機の温度共振周波数特性に基づいて対象の応答信号の周波数をその子機の温度に換算する処理を行う。これにより、測定領域１０１の各子機における温度を算出することができる。制御部５０１は、測定領域１０１の各子機における温度の算出結果を出力部５０６へ通知する。
【００４２】
出力部５０６は、制御部５０１から通知された算出結果に基づいて、測定領域１０１の各子機の位置における温度を示す温度情報を出力する。出力部５０６による温度情報の出力は、たとえば、画像や音声による親機１１０のユーザへの通知であってもよいし、温度情報を集約して管理する他の通信装置への送信であってもよいし、親機１１０の内部メモリへの書き込みなどであってもよい。
【００４３】
検出信号を無線送信する送信部は、たとえば制御部５０１、ＲＦ送信部５０２及びアンテナ５０３により実現することができる。応答信号を受信する受信部は、たとえばアンテナ５０４、ＲＦ受信部５０５及び制御部５０１により実現することができる。受信した各応答信号の周波数に基づいて物理量を算出する算出部は、たとえば制御部５０１により実現することができる。
【００４４】
図５に示す例では、送信用のアンテナ５０３及び受信用のアンテナ５０４を設ける構成について説明したが、このような構成に限らない。たとえば、デュプレクサを用いて送信信号と受信信号とを分離することにより、送信用のアンテナ及び受信用のアンテナを１個のアンテナにより実現する構成としてもよい。
【００４５】
（実施の形態１にかかる親機のハードウェア構成）
図６は、実施の形態１にかかる親機のハードウェア構成の一例を示す図である。図５に示した親機１１０は、たとえば図６に示す情報処理装置６００により実現することができる。情報処理装置６００は、ＣＰＵ６０１と、メモリ６０２と、ユーザインタフェース６０３と、無線通信インタフェース６０４と、有線通信インタフェース６０５と、を備えるコンピュータである。ＣＰＵ６０１、メモリ６０２、ユーザインタフェース６０３、無線通信インタフェース６０４及び有線通信インタフェース６０５は、バス６０９によって接続される。
【００４６】
ＣＰＵ６０１（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）は、情報処理装置６００の全体の制御を司る。メモリ６０２には、たとえばメインメモリ及び補助メモリが含まれる。メインメモリは、たとえばＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）である。メインメモリは、ＣＰＵ６０１のワークエリアとして使用される。補助メモリは、たとえば磁気ディスク、光ディスク、フラッシュメモリなどの不揮発メモリである。補助メモリには、情報処理装置６００を動作させる各種のプログラムが記憶されている。補助メモリに記憶されたプログラムは、メインメモリにロードされてＣＰＵ６０１によって実行される。
【００４７】
ユーザインタフェース６０３は、たとえば、ユーザからの操作入力を受け付ける入力デバイスや、ユーザへ情報を出力する出力デバイスなどを含む。入力デバイスは、たとえばキー（たとえばキーボード）やリモコンなどにより実現することができる。出力デバイスは、たとえばディスプレイやスピーカなどにより実現することができる。また、タッチパネルなどによって入力デバイス及び出力デバイスを実現してもよい。ユーザインタフェース６０３は、ＣＰＵ６０１によって制御される。
【００４８】
無線通信インタフェース６０４は、無線によって情報処理装置６００の外部との間で通信を行う通信インタフェースである。無線通信インタフェース６０４は、ＣＰＵ６０１によって制御される。有線通信インタフェース６０５は、有線によって情報処理装置６００の外部との間で通信を行う通信インタフェースである。有線通信インタフェース６０５は、ＣＰＵ６０１によって制御される。
【００４９】
図５に示した制御部５０１は、たとえばＣＰＵ６０１により実現することができる。図５に示したＲＦ送信部５０２、アンテナ５０３、５０４及びＲＦ受信部５０５は、たとえば無線通信インタフェース６０４により実現することができる。上述した測定領域１０１の各子機からの応答信号の周波数の大小関係を示す情報や、上述した測定領域１０１の各子機の温度共振周波数特性を示す情報は、たとえばメモリ６０２に記憶される。
【００５０】
図５に示した出力部５０６は、たとえばユーザインタフェース６０３により実現することができる。この場合は、上述した温度情報はユーザインタフェース６０３によってユーザへ出力される。また、この場合は、たとえば有線通信インタフェース６０５を省いた構成としてもよい。
【００５１】
また、出力部５０６は、たとえば無線通信インタフェース６０４により実現することもできる。この場合は、上述した温度情報は、無線通信インタフェース６０４によって他の通信装置へ送信される。また、この場合は、たとえばユーザインタフェース６０３や有線通信インタフェース６０５を省いた構成としてもよい。
【００５２】
また、出力部５０６は、たとえば有線通信インタフェース６０５により実現することもできる。この場合は、上述した温度情報は、有線通信インタフェース６０５によって他の通信装置へ送信される。また、この場合は、たとえばユーザインタフェース６０３を省いた構成としてもよい。
【００５３】
また、出力部５０６による出力は、ＣＰＵ６０１に対するメモリ６０２（たとえば不揮発メモリ）への書き込みにより実現することもできる。この場合は、上述した温度情報はＣＰＵ６０１によってメモリ６０２に書き込まれる。また、この場合は、たとえばユーザインタフェース６０３や有線通信インタフェース６０５を省いた構成としてもよい。
【００５４】
（実施の形態１にかかる子機が有するＳＡＷ共振子）
図７は、実施の形態１にかかる子機が有するＳＡＷ共振子の一例を示す図である。測定領域１０１に配置される子機（たとえば子機１２１〜１２４）のそれぞれは、たとえば図７に示すＳＡＷ共振子７００を有する。ＳＡＷ共振子７００は、圧電基板７０１と、アンテナ７１０と、励振電極７１１、７１２と、反射器７２１、７２２と、を備える。
【００５５】
アンテナ７１０は、親機１１０から無線送信された検出信号を受信し、検出信号を励振電極７１１へ出力する。また、アンテナ７１０は、受信した検出信号に応じて励振電極７１１から出力された共振周波数の信号を、検出信号に対する応答信号として親機１１０へ無線送信する。
【００５６】
励振電極７１１、７１２は、それぞれ櫛歯状の領域を有する。そして、励振電極７１１、７１２は、それぞれの櫛歯間の距離をλ１として互いの櫛歯が交互に配置されるように圧電基板７０１に形成されている。励振電極７１１はアンテナ７１０に接続され、励振電極７１２はグランド（ＧＮＤ）に接続されて接地されている。
【００５７】
アンテナ７１０から励振電極７１１へ検出信号が出力されると、圧電基板７０１に弾性表面波が発生する。そして、アンテナ７１０から励振電極７１１へ出力された検出信号に、励振電極７１１、７１２の間の共振における共振周波数の成分が含まれていると、励振電極７１１、７１２が共振して共振周波数の信号を励振する。励振電極７１１は、励振した共振周波数の信号をアンテナ７１０へ出力する。
【００５８】
距離λ１は、励振電極７１１、７１２の櫛歯状の領域におけるそれぞれの櫛歯の間隔、すなわち櫛歯の周期長であり、発生する弾性表面波の波長に相当する。ある温度における圧電基板７０１の弾性表面波の速度をｖとすると、励振電極７１１、７１２における共振周波数ｆ１１はｆ１１＝ｖ／λ１となる。したがって、励振電極７１１、７１２の櫛歯状の領域における距離λ１の調整により、ＳＡＷ共振子７００の温度共振周波数特性を設定することができる。
【００５９】
反射器７２１、７２２は、励振電極７１１、７１２の弾性表面波の発生領域を挟むように圧電基板７０１の両端付近に設けられており、励振電極７１１、７１２から伝搬した圧電基板７０１の弾性表面波を励振電極７１１、７１２へ向けて反射させる。これにより、励振電極７１１、７１２において発生した圧電基板７０１の弾性表面波を閉じ込め、励振電極７１１、７１２における共振を強めることができる。ただし、反射器７２１、７２２を省き、励振電極７１１、７１２を測定領域１０１の両端付近にまで形成した構成としてもよい。この場合もＳＡＷ共振子７００を共振型のＳＡＷセンサとして用いることができる。
【００６０】
（実施の形態１にかかる子機）
図８は、実施の形態１にかかる子機の一例を示す図である。図８において、図７に示した部分と同様の部分については同一の符号を付して説明を省略する。測定領域１０１に配置される子機（たとえば子機１２１〜１２４）のそれぞれは、たとえば図８に示すＳＡＷセンサ８００により実現することができる。ＳＡＷセンサ８００は、容器８０１と、弾性表面波素子８１０と、蓋部８２１と、アンテナ電極８２２と、グランド電極８２３と、ワイヤ８３１、８３２と、を備える。
【００６１】
容器８０１は、弾性表面波素子８１０を収納する容器である。弾性表面波素子８１０は、印加された電圧に応じた表面弾性波を発生させることにより、共振周波数の信号を出力する素子である。弾性表面波素子８１０は、たとえば図７に示した圧電基板７０１及び励振電極７１１、７１２である。
【００６２】
蓋部８２１は、容器８０１の開口部を塞ぐ蓋である。蓋部８２１にはアンテナ電極８２２及びグランド電極８２３が形成されている。アンテナ電極８２２は、図７に示したアンテナ７１０である。たとえば、アンテナ電極８２２は、蓋部８２１における容器８０１とは反対側の表面に設けられている。また、アンテナ電極８２２は、蓋部８２１における容器８０１の内部側に露出してワイヤ８３１と接続される接続部８２２ａを有する。接続部８２２ａは、ワイヤ８３１を介して弾性表面波素子８１０の励振電極７１１（たとえば図７参照）と接続される。
【００６３】
そして、アンテナ電極８２２は、親機１１０から無線送信された検出信号を受信し、受信した検出信号を、ワイヤ８３１を介して弾性表面波素子８１０の励振電極７１１に印加する。また、アンテナ電極８２２は、弾性表面波素子８１０の励振電極７１１からワイヤ８３１を介して出力された共振周波数の信号を、検出信号に対する応答信号として親機１１０へ無線送信する。
【００６４】
グランド電極８２３は、図７に示した励振電極７１２と接続されたグランド（ＧＮＤ）である。たとえば、グランド電極８２３は蓋部８２１の内部に設けられている。また、グランド電極８２３は、蓋部８２１における容器８０１の内部側に露出してワイヤ８３２と接続される接続部８２３ａを有する。接続部８２３ａは、ワイヤ８３２を介して弾性表面波素子８１０の励振電極７１２（たとえば図７参照）と接続される。
【００６５】
（実施の形態１にかかる子機の組立工程）
図９〜図１１は、実施の形態１にかかる子機の組立工程の一例を示す図である。図９〜図１１において、図８に示した部分と同様の部分については同一の符号を付して説明を省略する。図９〜図１１において、図８に示したＳＡＷセンサ８００（子機）を組み立てる工程について説明する。まず、図９に示すように、弾性表面波素子８１０を収納するための容器８０１を用意する。図９に示す弾性表面波素子８１０は、図面上の下側に向かって開口する開口部９０１を有する。
【００６６】
また、図１０に示すように、蓋部８２１の表面に弾性表面波素子８１０を配置する。そして、弾性表面波素子８１０の励振電極７１１と、蓋部８２１に形成されたアンテナ電極８２２の接続部８２２ａと、をワイヤ８３１により接続する。また、弾性表面波素子８１０の励振電極７１２と、蓋部８２１に形成されたグランド電極８２３の接続部８２３ａと、をワイヤ８３２により接続する。
【００６７】
つぎに、図１１に示すように、容器８０１の開口部９０１に弾性表面波素子８１０が入るように、図９に示した容器８０１に対して図１０に示した蓋部８２１を配置する。容器８０１と蓋部８２１とが互いに接する部分に接着剤や金属接合のための接合層などを形成することにより、容器８０１に対して蓋部８２１を固着することができる。これにより、弾性表面波素子８１０が容器８０１に収納され、弾性表面波素子８１０と接続されたアンテナ電極８２２が蓋部８２１の表面に形成されたＳＡＷセンサ８００を実現することができる。なお、図１１においては、図９、図１０に示した容器８０１、蓋部８２１及びアンテナ電極８２２の上下を反転して図示している。
【００６８】
（実施の形態１にかかる親機による処理）
図１２は、実施の形態１にかかる親機による処理の一例を示すフローチャートである。実施の形態１にかかる親機１１０は、たとえば図１２に示す各ステップを実行する。まず、親機１１０は、測定領域１０１に配置された各子機に対して検出信号（たとえば周波数掃引信号）を送信する（ステップＳ１２０１）。
【００６９】
つぎに、親機１１０は、ステップＳ１２０１によって送信した検出信号に対する各子機からの応答信号の受信処理を行う（ステップＳ１２０２）。ステップＳ１２０２において、たとえば、親機１１０は、各子機の各使用帯域を含む周波数帯域（たとえば図２に示した周波数Ｆ１〜Ｆ７）の無線信号を受信する処理を行う。無線信号を受信する処理は、たとえば電波強度のピークを検出する処理である。
【００７０】
つぎに、親機１１０は、ステップＳ１２０２の受信処理によって受信した応答信号の数（応答信号数ｍ）を算出する（ステップＳ１２０３）。ステップＳ１２０３において、親機１１０は、たとえばステップＳ１２０２の受信処理において検出した電波強度のピークの数を算出する。
【００７１】
つぎに、親機１１０は、ステップＳ１２０３によって算出した応答信号数ｍが、測定領域１０１に配置された子機の数（子機数ｎ）と等しいか否かを判断する（ステップＳ１２０４）。応答信号数ｍが子機数ｎと等しくない場合（ステップＳ１２０４：Ｎｏ）は、測定領域１０１に配置された各子機からの応答信号を親機１１０が正常に受信できなかったと判断することができる。この場合は、親機１１０は、ステップＳ１２０１へ戻る。
【００７２】
ステップＳ１２０４において、応答信号数ｍが子機数ｎと等しい場合（ステップＳ１２０４：Ｙｅｓ）は、親機１１０は、測定領域１０１に配置された各子機からの応答信号を親機１１０が正常に受信できたと判断することができる。この場合は、親機１１０は、ステップＳ１２０２の受信処理において受信した各応答信号の送信元の子機を、各応答信号の周波数に基づいて判定する（ステップＳ１２０５）。
【００７３】
ステップＳ１２０５において、親機１１０は、たとえばステップＳ１２０２の受信処理において受信した各応答信号を、周波数（たとえばピークを検出した周波数）が低い順にソートする。そして、親機１１０は、たとえば図２に示した例においては、周波数が低い順にソートした各応答信号がそれぞれ子機１２１、１２２、１２３、１２４から送信されたと判定する。
【００７４】
つぎに、親機１１０は、ステップＳ１２０５による判定結果に基づいて、測定領域１０１に配置された各子機における物理量（たとえば温度）を算出し（ステップＳ１２０６）、一連の処理を終了する。ステップＳ１２０６によって算出された物理量は、出力部５０６によって出力される。
【００７５】
ステップＳ１２０６において、たとえば、親機１１０は、子機１２１から送信されたと判定した応答信号の周波数を、子機１２１の温度共振周波数特性（たとえば図４に示した温度共振周波数特性４０１）に基づいて温度に換算する。また、親機１１０は、子機１２２から送信されたと判定した応答信号の周波数を、子機１２２の温度共振周波数特性（たとえば図４に示した温度共振周波数特性４０２）に基づいて温度に換算する。同様に、親機１１０は、子機１２３、１２４から送信されたと判定した各応答信号の周波数を、子機１２３、１２４の温度共振周波数特性に基づいて温度に換算する。
【００７６】
上述の説明においては、周波数は低い順にソートしたとして説明を行ったが、周波数が高い順にソートして子機を判定してもよい。
【００７７】
（実施の形態１にかかる測定システムのリフロー炉への適用）
図１３は、実施の形態１にかかる測定システムのリフロー炉への適用の一例を示す図である。図１３に示すリフロー炉１３００は、たとえば、ペースト状又はクリーム状のはんだが塗布又は印刷されて表面実装部品が所定位置に配置されたプリント基板を通過させながら加熱することによりはんだ付けを行う装置である。リフロー炉１３００は、それぞれ温度が異なる加熱ゾーン１３０１、１３０２を有し、加熱ゾーン１３０１、１３０２は仕切部材１３０３によって互いに仕切られている。
【００７８】
加熱ゾーン１３０１を通過したプリント基板１３０５は、仕切部材１３０３の窓部１３０４を介して加熱ゾーン１３０２へ進入し、加熱ゾーン１３０２を通過する。これにより、プリント基板１３０５の複数の温度による加熱を連続して行うことができる。
【００７９】
リーダー部アンテナ１３１１、１３１２は、それぞれ加熱ゾーン１３０１、１３０２に設けられたアンテナである。また、リーダー部アンテナ１３１１、１３１２のそれぞれは、たとえば図５に示したアンテナ５０３、５０４である。この場合に、リーダー部アンテナ１３１１、１３１２のそれぞれは、電気配線等を介してリフロー炉１３００の外部に設けられた親機１１０の本体と接続されている。親機１１０の本体とは、図５に示した親機１１０のうちのアンテナ５０３、５０４を除く構成である。
【００８０】
温度センサ１３２１〜１３２４は、プリント基板１３０５の表面上の各位置に配置されたＳＡＷセンサ８００（たとえば子機１２１〜１２４）である。温度センサ１３２１〜１３２４は、プリント基板１３０５の移動に伴ってリフロー炉１３００の内部を移動する。温度センサ１３２１〜１３２４は、プリント基板１３０５に対して固定されていてもよいし、プリント基板１３０５に対して固定されていなくてもよい。
【００８１】
たとえば、リーダー部アンテナ１３１１をアンテナ５０３、５０４として有する親機１１０は、プリント基板１３０５が加熱ゾーン１３０１に位置する期間において、リーダー部アンテナ１３１１によって検出信号を温度センサ１３２１〜１３２４へ無線送信する。そして、親機１１０は、無線送信した検出信号に対する温度センサ１３２１〜１３２４からの各応答信号に基づいて、温度センサ１３２１〜１３２４における各温度を算出する。これにより、プリント基板１３０５が加熱ゾーン１３０１に位置している期間の、プリント基板１３０５における温度センサ１３２１〜１３２４が配置された各位置の温度を測定することができる。
【００８２】
同様に、リーダー部アンテナ１３１２をアンテナ５０３、５０４として有する親機１１０は、プリント基板１３０５が加熱ゾーン１３０２に位置する期間において、リーダー部アンテナ１３１２によって検出信号を温度センサ１３２１〜１３２４へ無線送信する。そして、親機１１０は、無線送信した検出信号に対する温度センサ１３２１〜１３２４からの各応答信号に基づいて、温度センサ１３２１〜１３２４における各温度を算出する。これにより、プリント基板１３０５が加熱ゾーン１３０２に位置している期間の、プリント基板１３０５における温度センサ１３２１〜１３２４が配置された各位置の温度を測定することができる。
【００８３】
また、リフロー炉１３００において、プリント基板１３０５の各位置の温度差（一例としては５〜１０［℃］）は、リフロー炉１３００の測定対象の温度範囲（一例としては０〜３００［℃］）と比べると非常に小さく、その温度差分以上に各子機の温度共振周波数特性をずらすことで、各子機からの応答信号の周波数の大小関係を一定にすることができる。このため、限られた帯域で、多数の位置における物理量の同時測定が可能になる。
【００８４】
なお、リーダー部アンテナ１３１１をアンテナ５０３、５０４として有する親機１１０と、リーダー部アンテナ１３１２をアンテナ５０３、５０４として有する親機１１０と、は同一の親機であってもよいしそれぞれ異なる親機であってもよい。
【００８５】
また、たとえばリフロー炉１３００のように、親機１１０及び各子機を高温の環境に適用する場合は、親機１１０（特にアンテナ５０３、５０４）及び各子機を耐熱特性の高い材料によって実現することが望ましい。たとえば、親機１１０のアンテナ５０３、５０４や子機の各電極には、金、金クロム、チタンベースのプラチナなどの高耐熱材料を用いることができる。また、子機の圧電基板７０１には、ランガテイトなどの高耐熱材料を用いることができる。
【００８６】
このように、実施の形態１にかかる測定システム１００は、測定対象の物理量（一例としては温度）の所定範囲の変化に対して第１帯域（一例としては使用帯域２１１）で共振周波数が変化する第１弾性表面波センサ（一例としては子機１２１）と、第１帯域と互いの一部が重複する第２帯域で共振周波数が変化する第２弾性表面波センサ（一例としては子機１２２）と、を含む複数の弾性表面波センサを用いて測定を行う。
【００８７】
すなわち、測定装置（一例としては親機１１０）が、第１弾性表面波センサ及び第２弾性表面波センサを含む複数の弾性表面波センサへ検出信号を無線送信し、複数の弾性表面波センサから無線送信された各応答信号の周波数に基づいて、複数の弾性表面波センサにおける物理量をそれぞれ算出することができる。
【００８８】
そして、測定対象の物理量の所定範囲の変化に対して第１弾性表面波センサ及び第２弾性表面波センサの共振周波数が変化する帯域（使用帯域）の互いの一部が重複していることにより、少なくとも第１弾性表面波センサ及び第２弾性表面波センサによる測定を狭い帯域で行うことが可能になる。
【００８９】
また、第１弾性表面波センサ及び第２弾性表面波センサにおける物理量の変化に対する各共振周波数の変化の特性は、第１弾性表面波センサの共振周波数が所定周波数となる第１弾性表面波センサの物理量と、第２弾性表面波センサの共振周波数が同じ所定周波数となる第２弾性表面波センサの物理量と、の間の差が所定差より大きくなるように設定される。これにより、第１弾性表面波センサ及び第２弾性表面波センサにおける各物理量の間の差が所定差未満であれば、第１弾性表面波センサ及び第２弾性表面波センサからの各応答信号の周波数の大小関係を一定にすることができる。
【００９０】
このため、測定装置は、受信した各応答信号の周波数の比較結果に基づいて、受信した各応答信号が第１弾性表面波センサ及び第２弾性表面波センサのいずれからの応答信号であるかを判定することができる。そして、測定装置は、判定の結果に基づいて、第１弾性表面波センサ及び第２弾性表面波センサにおける物理量を算出することができる。上述した所定差は、たとえば、第１弾性表面波センサにおける物理量と第２弾性表面波センサにおける物理量との間の差であって、測定時に想定される最大の差である。
【００９１】
互いに使用帯域の一部が重複する弾性表面波センサとして第１弾性表面波センサ及び第２弾性表面波センサについて説明したが、測定に用いる複数の弾性表面波センサには、互いに使用帯域の一部が重複する弾性表面波センサとしてさらに別の弾性表面波センサ（一例としては子機１２３、１２４）が含まれていてもよい。この場合も、別の子機の使用帯域（一例としては使用帯域２１３、２１４）のそれぞれが、他の使用帯域との間で互いの一部が重複していることにより、狭い帯域で測定を行うことが可能になる。
【００９２】
ただし、測定に用いる複数の弾性表面波センサのうちの一部の弾性表面波センサの使用帯域が他の使用帯域と重複していない構成としてもよい。すなわち、測定に用いる複数の弾性表面波センサの少なくともいずれかの使用帯域が、他の使用帯域との間で互いの一部が重複していればよい。これにより、たとえば測定に用いる複数の弾性表面波センサのすべての使用帯域が互いに重複していない場合と比べて、測定に使用する帯域を狭くすることができる。
【００９３】
（実施の形態２）
実施の形態２について、実施の形態１と異なる部分について説明する。実施の形態２においては、測定領域１０１の各子機のうちの一部の子機に、複数の共振周波数を有する弾性表面波センサを適用して測定を行う構成について説明する。
【００９４】
（実施の形態２にかかる各子機の応答信号の使用帯域）
図１４は、実施の形態２にかかる各子機の応答信号の使用帯域の一例を示す図である。図１４において、図２に示した部分と同様の部分については同一の符号を付して説明を省略する。実施の形態２にかかる測定システム１００においては、測定領域１０１に配置された子機１２１〜１２４のうちの一部の子機のみが２つの共振周波数を有する。
【００９５】
図１４に示す例では、子機１２１が２つの共振周波数を有することにより、子機１２１（Ａ）の使用帯域２１１、１４１１が存在する。使用帯域１４１１は、使用帯域２１１と同様に、たとえば使用帯域２１２、２１３と互いの一部が重複している。
【００９６】
（実施の形態２にかかる一部の子機が有するＳＡＷ共振子）
図１５は、実施の形態２にかかる一部の子機が有するＳＡＷ共振子の一例を示す図である。図１５において、図７に示した部分と同様の部分については同一の符号を付して説明を省略する。測定領域１０１に配置される子機のうちの、たとえば同一温度における共振周波数が最も低い子機は、たとえば図１５に示すＳＡＷ共振子１５００を有する。測定領域１０１に配置される子機のうちの残りの子機は、たとえば図７に示したＳＡＷ共振子７００を有する。一例としては、図１、図２に示した例において、子機１２１（Ａ）には図１５に示すＳＡＷ共振子１５００を設け、子機１２２〜１２４（Ｂ〜Ｄ）には図７に示したＳＡＷ共振子７００を設ける構成とすることができる。
【００９７】
図１５に示すＳＡＷ共振子１５００は、圧電基板７０１と、アンテナ７１０と、励振電極７１１、７１２、１５１１と、反射器７２１、７２２、１５２１、１５２２と、を備える。アンテナ７１０は、受信した検出信号を励振電極７１１、１５１１へ出力する。また、アンテナ７１０は、受信した検出信号に応じて励振電極７１１、１５１１から出力された共振周波数の信号を、検出信号に対する応答信号として親機１１０へ無線送信する。
【００９８】
励振電極１５１１は、櫛歯状の領域を有し、アンテナ７１０に接続されている。励振電極７１２は、励振電極７１１の櫛歯状の領域と交互に配置される櫛歯状の領域に加えて、励振電極１５１１の櫛歯状の領域と交互に配置される櫛歯状の領域を有する。
【００９９】
アンテナ７１０から励振電極１５１１へ検出信号が出力されると、圧電基板７０１に弾性表面波が発生する。そして、アンテナ７１０から励振電極１５１１へ出力された検出信号に、励振電極７１２、１５１１の間の共振における共振周波数の成分が含まれていると、励振電極７１２、１５１１が共振して共振周波数の信号を励振する。励振電極１５１１は、励振した共振周波数の信号をアンテナ７１０へ出力する。
【０１００】
距離λ２は、励振電極１５１１の櫛歯状の領域におけるそれぞれの櫛歯の間隔、すなわち櫛歯の周期長であり、発生する弾性表面波の波長に相当する。励振電極７１２における励振電極１５１１の側の櫛歯状の領域における櫛歯の周期長は、励振電極１５１１と同じ距離λ２とする。ある温度における圧電基板７０１の弾性表面波の速度をｖとすると、励振電極７１２、１５１１における共振周波数ｆ１２はｆ１２＝ｖ／λ２となる。したがって、励振電極１５１１の櫛歯状の領域における距離λ２の調整により、励振電極７１２、１５１１の温度共振周波数特性を設定することができる。
【０１０１】
励振電極１５１１の櫛歯状の領域における距離λ２は、励振電極７１１の櫛歯状の領域における距離λ１と異なる距離に設定する。図１５に示す例ではλ１＜λ２である。これにより、ある温度における励振電極７１２、１５１１の共振周波数ｆ１２と、同じ温度における励振電極７１１、７１２の共振周波数ｆ１１と、を異なる周波数にすることができる（図１５に示す例ではｆ１１＞ｆ１２）。
【０１０２】
これにより、２つの共振周波数ｆ１１、ｆ１２を有するＳＡＷ共振子７００を実現することができる。また、ＳＡＷ共振子７００が有する２つの共振周波数ｆ１１、ｆ１２は、ＳＡＷ共振子７００の温度によってともに変化するため、共振周波数ｆ１１、ｆ１２の比は常にほぼ一定（ｆ１１／ｆ１２＝λ２／λ１）になる。
【０１０３】
反射器１５２１、１５２２は、励振電極７１２、１５１１を挟むように圧電基板７０１の両端付近に設けられており、励振電極７１２、１５１１から伝搬した圧電基板７０１の弾性表面波を励振電極７１２、１５１１へ向けて反射させる。これにより、励振電極７１２、１５１１において発生した弾性表面波を閉じ込め、励振電極７１２、１５１１における共振を強めることができる。ただし、反射器１５２１、１５２２を省き、励振電極７１２、１５１１を測定領域１０１の両端付近にまで形成した構成としてもよい。この場合もＳＡＷ共振子７００を共振型のＳＡＷセンサとして用いることができる。
【０１０４】
たとえばＳＡＷ共振子７００を子機１２１に適用する場合に、物理量（たとえば温度）の所定範囲の変化に対して子機１２１の共振周波数ｆ１１、ｆ１２が、たとえば子機１２２の共振周波数が変化する帯域（第１帯域）と互いの一部が重複する帯域（第３帯域）で変化するようにＳＡＷ共振子７００の距離λ１、λ２を設定する。
【０１０５】
（実施の形態２にかかる親機による処理）
図１６は、実施の形態２にかかる親機による処理の一例を示すフローチャートである。実施の形態２にかかる親機１１０は、たとえば図１６に示す各ステップを実行する。図１６に示すステップＳ１６０１、Ｓ１６０２は、図１２に示したステップＳ１２０１、Ｓ１２０２と同様である。
【０１０６】
ステップＳ１６０２のつぎに、親機１１０は、ステップＳ１６０２の受信処理によって受信した各応答信号の周波数に、子機１２１（Ａ）に対応する２つの共振周波数ｆ１１、ｆ１２があるか否かを判断する（ステップＳ１６０３）。たとえば、親機１１０は、受信した各応答信号の周波数に、上述したＳＡＷ共振子１５００の距離λ１、λ２に基づく所定比λ２／λ１（＝ｆ１１／ｆ１２）の各周波数があるか否かによって、子機１２１に対応する２つの共振周波数ｆ１１、ｆ１２があるか否かを判断することができる。
【０１０７】
又は、共振周波数ｆ１１、ｆ１２の差分が、十分に小さく、子機間の共振周波数の差分よりも常に低いと想定できる場合には、親機１１０は、受信した各応答信号の周波数に、差分が所定値以下となる周波数の組があるか否かによって、子機１２１に対応する２つの共振周波数ｆ１１、ｆ１２があるか否かを判断することができる。所定値は、共振周波数ｆ１１、ｆ１２の差分の想定される最大値であって、かつ子機間の共振周波数の差分の想定される最小値より低い値である。又は、親機１１０は、受信した各応答信号の周波数に所定比の各周波数があり、かつその各周波数の差分が所定値以下であるか否かによって、子機１２１に対応する２つの共振周波数ｆ１１、ｆ１２があるか否かを判断してもよい。
【０１０８】
ステップＳ１６０３において、共振周波数ｆ１１、ｆ１２がない場合（ステップＳ１６０３：Ｎｏ）は、子機１２１（Ａ）からの応答信号を親機１１０が正常に受信できなかったと判断することができる。この場合は、親機１１０は、ステップＳ１６０１へ戻る。
【０１０９】
ステップＳ１６０３において、共振周波数ｆ１１、ｆ１２がある場合（ステップＳ１６０３：Ｙｅｓ）は、子機１２１（Ａ）からの応答信号を親機１１０が正常に受信できたと判断することができる。この場合は、親機１１０は、ステップＳ１６０２の受信処理において受信した各応答信号の送信元の子機を、子機１２１（Ａ）からの応答信号の周波数に基づいて判定する（ステップＳ１６０４）。ステップＳ１６０４による判定の処理については後述する（たとえば図１７参照）。つぎに、親機１１０は、ステップＳ１６０５へ移行する。ステップＳ１６０５は、図１２に示したステップＳ１２０６と同様である。
【０１１０】
（実施の形態２にかかる親機による応答信号の送信元の子機の判定処理）
図１７は、実施の形態２にかかる親機による応答信号の送信元の子機の判定処理の一例を示すフローチャートである。たとえば図１６に示したステップＳ１６０４において、親機１１０は、たとえば図１７に示す各ステップを実行することによって、受信した各応答信号の送信元の子機を判定する。
【０１１１】
まず、親機１１０は、受信した各応答信号（受信信号のピーク）を、周波数が低い順に応答信号Ｐ１、Ｐ２、…、ＰＭ（Ｍは子機数ｎ以下の自然数）として設定する（ステップＳ１７０１）。ここで、たとえば図１６に示した例では、受信した各応答信号のうちの周波数が最も低い２つの応答信号は子機１２１からの応答信号である。このため、ステップＳ１７０１において、親機１１０は、受信した各応答信号のうちの周波数が最も低い２つの応答信号のうちの一方（たとえば周波数が高い方）を応答信号Ｐ１として設定する。また、親機１１０は、受信した各応答信号のうちの周波数が最も低い２つの応答信号を除く各応答信号を、応答信号Ｐ２、Ｐ３、…、ＰＭとして設定する。
【０１１２】
つぎに、親機１１０は、ｍ、ｋをともに２に設定（ｍ＝２、ｋ＝２）する（ステップＳ１７０２）。ｍは、ステップＳ１７０１によって設定した応答信号Ｐ１、Ｐ２、…、ＰＭのインデックスである（ｍ＝１、２、…、Ｍ）。ｋは、測定領域１０１に配置された各子機のインデックスである（ｋ＝１、２、…、ｎ）。インデックスｋは、たとえば子機ｋが同一温度における共振周波数がｋ番目に低い子機となるように設定されている。
【０１１３】
つぎに、親機１１０は、応答信号Ｐｍの周波数が、応答信号Ｐ１の周波数＋周波数差×（ｋ−２）より大きく、応答信号Ｐ１の周波数＋周波数差×（ｋ−１）より小さい範囲内か否かを判断する（ステップＳ１７０３）。周波数差は、測定領域１０１に配置された各子機における、同一温度での共振周波数の差であって、たとえば図４に示した例では２［ＭＨｚ］である。
【０１１４】
ステップＳ１７０３において、応答信号Ｐｍの周波数が応答信号Ｐ１の周波数＋周波数差×（ｋ−２）より大きく、応答信号Ｐ１の周波数＋周波数差×（ｋ−１）より小さい範囲内でない場合（ステップＳ１７０３：Ｎｏ）は、親機１１０は、子機ｋからの応答信号を検出しなかったと判定する（ステップＳ１７０４）。つぎに、親機１１０は、ｋをインクリメント（ｋ＝ｋ＋１）し（ステップＳ１７０５）、ステップＳ１７０３へ戻る。
【０１１５】
ステップＳ１７０３において、応答信号Ｐｍの周波数が応答信号Ｐ１の周波数＋周波数差×（ｋ−２）より大きく、応答信号Ｐ１の周波数＋周波数差×（ｋ−１）より小さい範囲内である場合（ステップＳ１７０３：Ｙｅｓ）は、親機１１０は、応答信号Ｐｍが子機ｋからの応答信号であると判定する（ステップＳ１７０６）。つぎに、親機１１０は、インデックスｋが、測定領域１０１に配置された子機の数（子機数ｎ）に達したか否かを判断する（ステップＳ１７０７）。
【０１１６】
ステップＳ１７０７において、インデックスｋが子機数ｎに達していない場合（ステップＳ１７０７：Ｎｏ）は、親機１１０は、ｍ、ｋをインクリメント（ｍ＝ｍ＋１、ｋ＝ｋ＋１）し（ステップＳ１７０８）、ステップＳ１７０３へ戻る。インデックスｋが子機数ｎに達した場合（ステップＳ１７０７：Ｙｅｓ）は、親機１１０は、一連の処理を終了する。以上の各ステップにより、親機１１０は、受信した各応答信号の送信元の子機を判定することができる。
【０１１７】
図１７に示したように、親機１１０は、子機１２１の共振周波数ｆ１１、ｆ１２の少なくともいずれかと、子機１２２〜１２４の各共振周波数と、の間の関係を示す情報に基づいて、子機１２１の共振周波数ｆ１１、ｆ１２の少なくともいずれかから、受信した各応答信号のうちの子機１２１からの応答信号を除く応答信号を送信した子機を判定する。この関係を示す情報は、同一温度における子機１２１〜１２４の各共振周波数の関係を示す情報であって、たとえば図４に示した例では、同一温度における子機１２１〜１２４の各共振周波数が、子機１２１から順に２［ＭＨｚ］ずつ高くなることを示す情報である。
【０１１８】
図１６、図１７に示した例では、測定領域１０１に配置される子機のうちの、たとえば同一温度における共振周波数が最も低い子機（たとえば子機１２１）にのみ共振周波数が２つのＳＡＷ共振子１５００を適用する構成について説明したが、このような構成に限らない。たとえば、同一温度における共振周波数が最も高い子機（たとえば子機１２４）にのみＳＡＷ共振子１５００を適用し、残りの子機にＳＡＷ共振子７００を適用する構成としてもよい。
【０１１９】
この場合は、図１６に示したステップＳ１６０３において、親機１１０は、ステップＳ１６０２の受信処理によって受信した各応答信号の周波数に、子機１２４（Ｄ）に対応する２つの共振周波数があるか否かを判断する。また、図１６に示したステップＳ１６０４において、親機１１０は、ステップＳ１６０２の受信処理において受信した各応答信号の送信元の子機を、子機１２４（Ｄ）からの応答信号の周波数に基づいて判定する。
【０１２０】
また、測定領域１０１に配置される子機の一部に２つの共振周波数を有するＳＡＷ共振子１５００を適用する構成について説明したが、このような構成に限らない。たとえば、測定領域１０１に配置される子機の一部に、複数の３つ以上の共振周波数を有するＳＡＷ共振子を適用する構成としてもよい。
【０１２１】
このように、実施の形態２にかかる測定システム１００によれば、第１、第２弾性表面波センサ（一例としては子機１２２、１２３）に加えて、複数の共振周波数を有する第３弾性表面波センサ（一例としては子機１２１）を用いて測定を行うことができる。そして、測定装置は、検出信号に対して無線送信され受信した各応答信号の周波数に第３弾性表面波センサの複数の共振周波数が含まれていない場合は検出信号を再送信する。これにより、第３弾性表面波センサからの応答信号を受信できなかった場合に検出信号を再送信し、応答信号の受信をやり直すことができる。
【０１２２】
また、親機１１０は、検出信号に対して無線送信され受信した各応答信号の周波数に第３弾性表面波センサの複数の共振周波数が含まれている場合は、第３弾性表面波センサの複数の共振周波数の少なくともいずれかに基づいて、受信した各応答信号のうちの第１、第２弾性表面波センサから無線送信された応答信号をそれぞれ判定することができる。これにより、たとえば第１、第２弾性表面波センサの一方からの応答信号を受信できなくても、第１、第２弾性表面波センサのうちの応答信号を受信できた弾性表面波センサにおける物理量については測定を行うことができる。
【０１２３】
また、親機１１０は、たとえば、受信した各応答信号の周波数に第３弾性表面波センサの複数の共振周波数が含まれているか否かを、受信した各応答信号の周波数に、第３弾性表面波センサの複数の共振周波数の間の所定比と同じ比の各周波数が含まれているか否かに基づいて判断することができる。又は、親機１１０は、たとえば、受信した各応答信号の周波数に第３弾性表面波センサの複数の共振周波数が含まれているか否かを、受信した各応答信号の周波数に、差分が所定値以下となる各周波数が含まれているか否かに基づいて判断してもよい。
【０１２４】
（実施の形態３）
実施の形態３について、実施の形態１、２と異なる部分について説明する。実施の形態３においては、測定領域１０１の各子機のうちの一部の子機に、他の子機と使用帯域が重複しない弾性表面波センサを適用して測定を行う構成について説明する。
【０１２５】
（実施の形態３にかかる各子機の応答信号の使用帯域）
図１８は、実施の形態３にかかる各子機の応答信号の使用帯域の一例を示す図である。図１８において、図２に示した部分と同様の部分については同一の符号を付して説明を省略する。図１８に示すように、実施の形態３にかかる測定システム１００においては、測定領域１０１に配置された子機１２１〜１２４のうちの一部の子機の使用帯域が、他の子機の使用帯域と重複しないように設定されている。図１８に示す例では、子機１２１（Ａ）の使用帯域２１１が、子機１２２〜１２４（Ｂ〜Ｄ）の使用帯域２１２〜２１４と重複しないように設定されている。
【０１２６】
（実施の形態３にかかる親機による処理）
図１９は、実施の形態３にかかる親機による処理の一例を示すフローチャートである。実施の形態３にかかる親機１１０は、たとえば図１９に示す各ステップを実行する。図１９に示すステップＳ１９０１、Ｓ１９０２は、図１２に示したステップＳ１２０１、Ｓ１２０２と同様である。
【０１２７】
ステップＳ１９０２のつぎに、親機１１０は、ステップＳ１９０２の受信処理によって受信した各応答信号の周波数に、子機１２１（Ａ）に対応する共振周波数があるか否かを判断する（ステップＳ１９０３）。たとえば、親機１１０は、受信した各応答信号の周波数に、子機１２１（Ａ）の使用帯域２１１の周波数が含まれているか否かによって、子機１２１（Ａ）に対応する共振周波数があるか否かを判断することができる。
【０１２８】
ステップＳ１９０３において、子機１２１（Ａ）に対応する共振周波数がない場合（ステップＳ１９０３：Ｎｏ）は、子機１２１（Ａ）からの応答信号を親機１１０が正常に受信できなかったと判断することができる。この場合は、親機１１０は、ステップＳ１９０１へ戻る。
【０１２９】
ステップＳ１９０３において、子機１２１（Ａ）に対応する共振周波数がある場合（ステップＳ１９０３：Ｙｅｓ）は、子機１２１（Ａ）からの応答信号を親機１１０が正常に受信できたと判断することができる。この場合は、親機１１０は、ステップＳ１９０２の受信処理において受信した各応答信号の送信元の子機を、子機１２１（Ａ）からの応答信号の周波数に基づいて判定する（ステップＳ１９０４）。
【０１３０】
ステップＳ１９０４による判定の処理については、たとえば図１７に示したステップＳ１７０３について「応答信号Ｐｍの周波数が、応答信号Ｐ２の周波数＋周波数差×（ｋ−２）より大きく、応答信号Ｐ２の周波数＋周波数差×（ｋ−１）より小さい」と変更する他は同様のステップである。また、図１９に示す例では、親機１１０が受信した各応答信号のうちの周波数が最も低い応答信号は子機１２１からの応答信号である。このため、図１９に示す例では、図１７に示したステップＳ１７０１において、親機１１０は、受信した各応答信号のうちの周波数が最も低い応答信号を応答信号Ｐ１として設定する。また、親機１１０は、受信した各応答信号のうちの周波数が最も低い応答信号を除く各応答信号を、応答信号Ｐ２、Ｐ３、…、ＰＭとして設定する。
【０１３１】
つぎに、親機１１０は、ステップＳ１９０５へ移行する。ステップＳ１９０５は、図１２に示したステップＳ１２０６と同様である。
【０１３２】
図１９に示した例では、測定領域１０１に配置される子機のうちの、たとえば同一温度における共振周波数が最も低い子機（たとえば子機１２１）の使用帯域（たとえば使用帯域２１１）のみが他の子機の使用帯域と重複しないように設定される構成について説明したが、このような構成に限らない。たとえば、同一温度における共振周波数が最も高い子機（たとえば子機１２４）の使用帯域（たとえば使用帯域２１４）のみが他の子機の使用帯域と重複しないように設定される構成としてもよい。
【０１３３】
この場合は、図１９に示したステップＳ１９０３において、親機１１０は、ステップＳ１９０２の受信処理によって受信した各応答信号の周波数に、たとえば子機１２４（Ｄ）の使用帯域２１４の周波数があるか否かを判断する。また、図１９に示したステップＳ１９０４において、親機１１０は、ステップＳ１９０２の受信処理において受信した各応答信号の送信元の子機を、子機１２４（Ｄ）からの応答信号の周波数に基づいて判定する。
【０１３４】
このように、実施の形態３にかかる測定システム１００によれば、第１、第２弾性表面波センサ（一例としては子機１２２、１２３）に加えて、共振周波数の使用帯域が重複しない第３弾性表面波センサ（一例としては子機１２１）を用いて測定を行うことができる。そして、測定装置は、検出信号に対して無線送信され受信した各応答信号の周波数に第３弾性表面波センサの使用帯域の周波数が含まれていない場合は検出信号を再送信する。これにより、第３弾性表面波センサからの応答信号を受信できなかった場合に検出信号を再送信し、応答信号の受信をやり直すことができる。
【０１３５】
また、親機１１０は、検出信号に対して無線送信され受信した各応答信号の周波数に第３弾性表面波センサの使用帯域の周波数が含まれている場合は、第３弾性表面波センサの共振周波数に基づいて、受信した各応答信号のうちの第１、第２弾性表面波センサから無線送信された応答信号をそれぞれ判定することができる。これにより、たとえば第１、第２弾性表面波センサの一方からの応答信号を受信できなくても、第１、第２弾性表面波センサのうちの応答信号を受信できた弾性表面波センサにおける物理量については測定を行うことができる。
【０１３６】
（実施の形態４）
実施の形態４においては、たとえば上述した実施の形態１〜３にかかる測定システム１００において、温度共振周波数が細かく異なる多数の子機（弾性表面波センサ）の中から、測定領域１０１に配置される各子機（たとえば子機１２１〜１２４）を選別する方法について説明する。
【０１３７】
（実施の形態４にかかる選別装置）
図２０は、実施の形態４にかかる選別装置の一例を示す図である。図２０に示すように、実施の形態４にかかる選別装置２０００は、取得部２００１と、選別部２００２と、出力部２００３と、を備える。取得部２００１は、測定領域１０１に配置される各子機の間における、温度（測定対象の物理量）の所定差を示す情報を取得する。
【０１３８】
所定差は、測定領域１０１に配置される各子機の間において想定される最大の差であって、たとえば図１、図２に示した例においては１００［℃］である。取得部２００１は、取得した所定差を示す情報（最大物理量差情報）を選別部２００２へ出力する。
【０１３９】
選別部２００２は、取得部２００１から出力された所定差を示す情報（最大物理量差情報）に基づいて、温度共振周波数が細かく異なる選別候補の多数の子機の中から、測定領域１０１に配置される各子機を選別する。また、選別部２００２は、少なくとも後述の第１子機（第１弾性表面波センサ）及び第２子機（第２弾性表面波センサ）を含む各子機を、測定領域１０１に配置される各子機として選別する。
【０１４０】
第１子機は、温度の所定範囲の変化に対して第１帯域（一例としては使用帯域２１１）で共振周波数が変化する子機（一例としては子機１２１）と、同じ温度の変化に対して第１帯域と互いの一部が重複する第２帯域（一例としては使用帯域２１２）で共振周波数が変化する子機（一例としては使用帯域２１２）である。
【０１４１】
また、選別部２００２は、第１子機の共振周波数が所定周波数となる温度と、第２子機の共振周波数が同じ所定周波数となる温度と、の間の差が、最大物理量差情報が示す所定差より大きくなるように、測定領域１０１に配置される各子機を選別する。選別部２００２は、選別した各子機を出力部２００３へ通知する。
【０１４２】
出力部２００３は、選別部２００２から通知された各子機を示す情報（子機情報）を出力する。子機情報は、たとえば選別部２００２によって選別された各子機の識別情報を示す情報である。出力部２００３による子機情報の出力は、たとえば、画像や音声による選別装置２０００のユーザへの通知であってもよいし、子機情報を集約して管理する他の通信装置（たとえば選別装置２０００のユーザの情報端末）への送信であってもよい。
【０１４３】
（実施の形態４にかかる選別装置のハードウェア構成）
実施の形態４にかかる選別装置２０００は、たとえば、図６に示した情報処理装置６００により実現することができる。この場合に、図２０に示した選別部２００２は、たとえば図６に示したＣＰＵ６０１により実現することができる。
【０１４４】
また、図２０に示した取得部２００１及び出力部２００３は、たとえば図６に示したユーザインタフェース６０３により実現することができる。この場合は、上述した最大物理量差情報はユーザインタフェース６０３を介してユーザから入力され、上述した子機情報はユーザインタフェース６０３を介してユーザへ出力される。また、この場合は図６に示した無線通信インタフェース６０４及び有線通信インタフェース６０５を省いた構成としてもよい。
【０１４５】
また、図２０に示した取得部２００１及び出力部２００３は、たとえば図６に示した無線通信インタフェース６０４により実現することもできる。この場合は、上述した最大物理量差情報は無線通信インタフェース６０４を介して他の通信装置から受信され、上述した子機情報は無線通信インタフェース６０４を介して他の通信装置へ送信される。また、この場合は図６に示したユーザインタフェース６０３及び有線通信インタフェース６０５を省いた構成としてもよい。
【０１４６】
また、図２０に示した取得部２００１及び出力部２００３は、たとえば図６に示した有線通信インタフェース６０５により実現することもできる。この場合は、上述した最大物理量差情報は有線通信インタフェース６０５を介して他の通信装置から受信され、上述した子機情報は有線通信インタフェース６０５を介して他の通信装置へ送信される。また、この場合は図６に示したユーザインタフェース６０３及び無線通信インタフェース６０４を省いた構成としてもよい。
【０１４７】
また、図２０に示した取得部２００１及び出力部２００３は、図６に示したユーザインタフェース６０３、無線通信インタフェース６０４及び有線通信インタフェース６０５のうちのそれぞれ異なるインタフェースにより実現することもできる。
【０１４８】
（実施の形態４にかかる選別装置による処理）
図２１は、実施の形態４にかかる選別装置による処理の一例を示すフローチャートである。実施の形態４にかかる選別装置２０００は、たとえば図２１に示す各ステップを実行する。まず、選別装置２０００は、測定領域１０１の各位置における測定対象の物理量（たとえば温度）の最大の差ΔＴを示す最大物理量差情報と、測定領域１０１に配置する子機の選別候補の子機の数（子機数ｎ）を示す子機数情報と、の入力を受け付ける（ステップＳ２１０１）。差ΔＴは、たとえば図１、図２に示した例においては１００［℃］より大きい値である。
【０１４９】
つぎに、選別装置２０００は、ステップＳ２１０１によって入力された最大物理量差情報が示す物理量の最大の差ΔＴを、応答信号の周波数差Δｆに変換する（ステップＳ２１０２）。たとえば、図４に示した例のように、温度の変化量に対する共振周波数の変化量の特性が子機間で一定である場合は、その温度の変化量に対する共振周波数の変化量に基づいて、差ΔＴを周波数差Δｆに変換することができる。
【０１５０】
つぎに、選別装置２０００は、ｘ、ｙをともに１に設定（ｘ＝１、ｙ＝１）する（ステップＳ２１０３）。ｘは、測定領域１０１に配置する子機の選別候補の各子機を識別するインデックスである（ｘ＝１、２、…、Ｘ）。Ｘは子機数ｎ以上の自然数である。また、インデックスｘは、選別候補の各子機の基準周波数の順になるように設定される。たとえば、子機１（ｘ＝１）は、選別候補の各子機の中で基準周波数が最も高い又は低い子機である。基準周波数は、ある基準温度における共振周波数である。ｙは、何番目の選別子機を選別中であるかを示すインデックスである（ｘ＝１、２、…、ｎ）。
【０１５１】
つぎに、選別装置２０００は、子機ｘを選別子機ｙとしてメモリに記憶する（ステップＳ２１０４）。ステップＳ２１０４においては、ｘ＝１、ｙ＝１であるため、子機１（ｘ＝１）が選別子機１（ｙ＝１）として記憶されることになる。選別子機ｙとして子機ｘが記憶されるメモリには、たとえば図６に示したメモリ６０２を用いることができる。
【０１５２】
つぎに、選別装置２０００は、インデックスｘ、ｙをインクリメント（ｘ＝ｘ＋１、ｙ＝ｙ＋１）する（ステップＳ２１０５）。つぎに、選別装置２０００は、子機ｘの基準周波数が、選別子機（ｙ−１）の基準周波数から、ステップＳ２１０２によって変換した周波数差Δｆ以上離れているか否かを判断する（ステップＳ２１０６）。選別子機（ｙ−１）は、直前に選別子機として選別した子機である。
【０１５３】
ステップＳ２１０６において、子機ｘの基準周波数が選別子機（ｙ−１）の基準周波数から周波数差Δｆ以上離れていない場合（ステップＳ２１０６：Ｎｏ）は、選別装置２０００は、ｘをインクリメント（ｘ＝ｘ＋１）し（ステップＳ２１０７）、ステップＳ２１０６へ戻る。子機ｘの基準周波数が選別子機（ｙ−１）の基準周波数から周波数差Δｆ以上離れている場合（ステップＳ２１０６：Ｙｅｓ）は、選別装置２０００は、子機ｘを選別子機ｙとしてメモリに記憶する（ステップＳ２１０８）。
【０１５４】
つぎに、選別装置２０００は、インデックスｙが、ステップＳ２１０１によって受け付けた子機数情報が示す子機数ｎに達したか否かを判断する（ステップＳ２１０９）。インデックスｙが子機数ｎに達していない場合（ステップＳ２１０９：Ｎｏ）は、選別装置２０００は、インデックスｘ、ｙをインクリメント（ｘ＝ｘ＋１、ｙ＝ｙ＋１）し（ステップＳ２１１０）、ステップＳ２１０６へ戻る。
【０１５５】
ステップＳ２１０９において、ｙが子機数ｎに達した場合（ステップＳ２１０９：Ｙｅｓ）は、選別装置２０００は、ステップＳ２１０４、Ｓ２１０８により選別子機ｙとして記憶した子機を示す子機情報を出力し（ステップＳ２１１１）、一連の処理を終了する。子機情報は、測定領域１０１に配置する子機の候補としてｎ個の子機をユーザに提示する情報である。このｎ個の子機は、たとえば図１に示した子機１２１〜１２４のように、最大物理量差情報が示す差ΔＴ以上ずつ、温度共振周波数特性がずれた各子機である。
【０１５６】
このように、実施の形態４にかかる選別装置２０００によれば、測定対象の物理量（一例としては温度）の、測定領域１０１に配置される各子機の間における所定差を示す情報に基づいて、狭い帯域で測定を行うことができる複数の弾性表面波センサを選別することができる。
【０１５７】
以上説明したように、測定システム、測定装置、測定方法、選別装置及び選別方法によれば、複数の弾性表面波センサによる測定を狭い帯域で行うことができる。
【０１５８】
このため、たとえば、所定数の位置における物理量を測定するために使用する帯域を狭くし、余った帯域を他の用途に活用することが可能になる。又は、一定幅の帯域を用いて物理量を測定可能な位置の数を多くすることが可能になる。
【０１５９】
たとえば、水晶のあるカット角で作成した弾性表面波素子の周波数の温度特性を４５［ｐｐｍ／℃］とする。この弾性表面波素子を２．４［ＧＨｚ］帯（２４００〜２４８３．５［ＭＨｚ］）で利用することを想定した場合に、１［℃］分の周波数変化量は、２．４４［ＧＨｚ］×４５ｐｐｍ＝０．１１［ＭＨｚ］となる。したがって、測定領域１０１における０〜３００［℃］の範囲の温度を測定する場合は３３［ＭＨｚ］を要する。したがって、たとえば各子機の使用帯域を全く重ならないように設定すると仮定すると、８３．５［ＭＨｚ］÷３３［ＭＨｚ］≒２．５３により、測定領域１０１に２個の子機しか配置できないことになる。
【０１６０】
仮に、温度差（ある環境における最大温度と最小温度の差）が１５［℃］である場合に、１５［℃］分の周波数差は１．６５［ＭＨｚ］となる。さらにマージンをとって、図４の例のように周波数差を２［ＭＨｚ］とすると、たとえば実施の形態１、２の例においては、（８３．５［ＭＨｚ］−３３［ＭＨｚ］）÷２［ＭＨｚ］＝２５．２５により、測定領域１０１に２５個の子機を配置できることになる。ただし、実施の形態２の例においては、２つの共振周波数ｆ１１、ｆ１２の差をどれだけにするかによって、測定領域１０１に配置できる子機の数が若干少なくなる。実施の形態３の例においては、（８３．５［ＭＨｚ］−６６［ＭＨｚ］）÷２［ＭＨｚ］＝８．７５により、測定領域１０１に８個の子機を配置できることになる。
【産業上の利用可能性】
【０１６１】
以上のように、本発明にかかる測定システム、測定装置、測定方法、選別装置及び選別方法は、各種の物理量を測定する測定システム、測定装置、測定方法に有用である。
【符号の説明】
【０１６２】
１００  測定システム
１０１  測定領域
１１０  親機
１２１〜１２４  子機
２０１〜２０４  応答信号
２１１〜２１４、１４１１  使用帯域
３０１〜３１１  共振周波数インピーダンス特性
４０１〜４０７  温度共振周波数特性
５０１  制御部
５０２  ＲＦ送信部
５０３、５０４、７１０  アンテナ
５０５  ＲＦ受信部
５０６、２００３  出力部
６００  情報処理装置
６０１  ＣＰＵ
６０２  メモリ
６０３  ユーザインタフェース
６０４  無線通信インタフェース
６０５  有線通信インタフェース
６０９  バス
７００、１５００  ＳＡＷ共振子
７０１  圧電基板
７１１、７１２、１５１１  励振電極
７２１、７２２、１５２１、１５２２  反射器
８００  ＳＡＷセンサ
８０１  容器
８１０  弾性表面波素子
８２１  蓋部
８２２  アンテナ電極
８２２ａ、８２３ａ  接続部
８２３  グランド電極
８３１、８３２  ワイヤ
９０１  開口部
１３００  リフロー炉
１３０１、１３０２  加熱ゾーン
１３０３  仕切部材
１３０４  窓部
１３０５  プリント基板
１３１１、１３１２  リーダー部アンテナ
１３２１〜１３２４  温度センサ
２０００  選別装置
２００１  取得部
２００２  選別部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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