(57)【要約】【課題】簡素な構造で大きな計測角度範囲を有するレーザ光の波面センサの提供。【解決手段】波面センサは、入射角度に応じて反射率が異なる角度選択フィルタと、該角度選択フィルタを介して到来する光を受光する光検出器と、を含む。【選択図】図１
2017181038.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射角度に応じて反射率が異なる角度選択フィルタと、
該角度選択フィルタを介して到来する光を受光する光検出器と、
を含む波面センサ。
【請求項２】
前記光検出器は、前記角度選択フィルタで分離された光を受光する複数の光検出器として構成される、
請求項１に記載の波面センサ。
【請求項３】
前記角度選択フィルタに前置されるビームスプリッタを含み、
該角度選択フィルタは、該ビームスプリッタを透過した光を受光する第１の角度選択フィルタ及び該ビームスプリッタを反射した光を受光する第２の角度選択フィルタとして構成され、
前記複数の光検出器は、該第１の角度選択フィルタで分離された光を受光する第１の光検出器及び該第２の角度選択フィルタで分離された光を受光する第２の光検出器として構成され、
該第１の角度選択フィルタと該第２の角度選択フィルタは、該第１の角度選択フィルタの入射面と該第２の角度選択フィルタの入射面が互いに交差する方向に配向されるよう、配置される、
請求項２に記載の波面センサ。
【請求項４】
前記第１の光検出器は、前記第１の角度選択フィルタで分離された光を受光する複数の光検出器として構成され、及び、
前記第２の光検出器は、前記第２の角度選択フィルタで分離された光を受光する複数の光検出器として構成される、
請求項３に記載の波面センサ。
【請求項５】
前記光検出器は空間分解能を有する、
請求項１乃至４の何れかに記載の波面センサ。
【請求項６】
前記角度選択フィルタに入射する光の偏光を特定の偏光状態に変換する偏光制御素子を含む、
請求項１乃至５の何れかに記載の波面センサ。
【請求項７】
前記光検出器の測定データに基づいて当該波面センサに入射する光の波面形状を求める演算部を含む、
請求項１乃至６の何れかに記載の波面センサ。
【請求項８】
前記演算部は、前記波面形状を求めるために、同じ角度選択フィルタから得られる複数の測定データを比較する、
請求項７に記載の波面センサ。
【請求項９】
入射する光の伝搬方向を制御する可動ミラーと、
入射する光の波面形状を制御する可変形状ミラーと、
該可動ミラー又は該可変形状ミラーから到来する光を分割するビームスプリッタと、
該ビームスプリッタによって分割された光の一方を受光する請求項１乃至６の何れかに記載の波面センサと、
を含む、
光空間通信装置。
【請求項１０】
前記波面センサの角度選択フィルタの光学特性と該波面センサの光検出器の複数の測定データに基づいて前記可動ミラーの指向方向と前記可変形状ミラーの反射面形状を制御する演算部を含む、
請求項９に記載の光空間通信装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、とりわけレーザ光の波面形状の測定に用いられる、波面センサに関する。本発明は、更に、そのような波面センサを含む光空間通信装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、人工衛星や航空機を用いた上空からの地上観測に対する要求高度化に伴い、それらに搭載された測定器から出力される測定データのボリュームが増加している。このため、必然的に、人工衛星や飛行機と地上との通信能力の増強が必要となっている。しかしながら、周波数資源に制約を持つ従来のマイクロ波通信では今後伝送容量を大幅に拡大することは困難であり、新しい技術の登場が強く望まれている。
【０００３】
光空間通信技術は無線伝送容量を大幅に拡大する技術として期待されるものの１つである。この技術は、変調した信号光を自由空間へ出射する送信器と、伝搬してきた信号光を集光し受信する受信器を利用する。高速な光空間通信の実現には、これまで地上の光ファイバ通信システムで培われてきた光送信技術の使用、例えば低雑音の光増幅技術やコヒーレント検波を用いた高感度受信技術の利用は特に有効である。これらの技術は信号光がシングルモード光ファイバ内にあることを前提としているため、光空間通信においてこれらの技術を使用するには、受信器において自由空間を伝搬してきた信号光をシングルモード光ファイバへ結合させることが必要である。
【０００４】
シングルモード光ファイバのコア径は１０ミクロン程度と非常に小さい。このため、受光した信号光を高効率で結合させるためには、信号光であるレーザ光を集光したビームスポットを、光ファイバのコア部に高い精度で位置合わせすることが必要である。ここで、受信器を地上に設置する場合、地表付近の大気によりレーザ光の伝搬方向や波面形状が時々刻々と変化し、これにより、通信の不安定性、いわゆる大気ゆらぎによるフェードが生じるという重大な問題が生じる。伝搬方向の変化は、レーザ光を集光したビームスポットが光ファイバのコア部から位置ずれする要因となる。また、波面形状の変化は、ビームスポットの集光性を劣化させ、レーザ光とシングルモード光ファイバの結合効率が低下する要因となる。
【０００５】
そのような問題を解決する１つの方策として、高速駆動する平面ミラーや、反射面の形状を任意に変化させることができる可変形状ミラーを用いて、レーザ光の指向方向や波面のゆがみを補正する、アダプティブオプティクス（ＡＯ、適用光学）と呼ばれる技術がある。このＡＯシステムは、レーザ光の波面を補正するミラーの制御量を決定するために、レーザ光の波面形状を測定する波面センサを用いる。ここで、ＡＯシステムが光ファイバを用いた光空間通信装置に使用された場合について説明する。信号光であるレーザ光の波面の傾きは、平面ミラーによる指向方向の制御で除去され、ビームスポットの集光位置が光ファイバのコア部に高精度に調整される。平面ミラーでは補正できない高次の波面のゆがみは、そのゆがみを打ち消すように反射面形状が変形された可変形状ミラーによって補正され、ビームスポットの集光性を高めることで光ファイバとの結合効率を改善する。
【０００６】
従来の波面センサとして、シャックハルトマン波面センサがある（例えば、非特許文献１“ヘクト  光学Ｉ−基礎と幾何光学−”, Eugene Hecht著, 尾崎・朝倉訳, pp.343-348）。シャックハルトマン波面センサは、マイクロレンズアレイとそれぞれのマイクロレンズに対応するように区画が分割されたエリアセンサアレイからなる。波面センサに入射したレーザ光は、マイクロレンズアレイによって複数の光束に分割されたのち、マイクロレンズの焦点面に設置されたエリアセンサアレイ上で複数のビームスポットに集光される。レーザ光の波面が理想的な平面であれば、複数のビームスポットは個々のエリアセンサの中心部に集光される。一方、マイクロレンズの開口内で波面に傾きがある場合は、エリアセンサ上のスポット位置に中心部からの“ずれ”が生じる。そのずれ量と、マイクロレンズの焦点距離の比から、マイクロレンズ開口範囲内での波面の傾き量を検出することができる。同様に、２次元に配列されたマイクロレンズアレイで形成されるエリアセンサアレイ上のビームスポットの分布から、レーザ光全体の波面形状を測定することができる。
【０００７】
波面形状を測定する手段として提案された、シャックハルトマン波面センサ以外の波面センサとしては、例えば、特許文献１に記載された波面検出装置がある。この波面検出装置は、基板に形成された複数のダブルモード導波路と、それぞれのダブルモード導波路の出射端に設置された、光の非対称性を検出する手段からなる。複数のダブルモード導波路には、入射した波面の傾斜による位相の非対称性に応じて２つのモード光が励振される。このため、検出手段は、それぞれのダブルモード導波路の位置における波面の傾斜を検出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０００−６５６４６号公報
【非特許文献】
【０００９】
【非特許文献１】ヘクト光学Ｉ（原著：OPTICS, 4th Edition, Eugene Hecht著、尾崎・朝倉訳）pp.343-348
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
以下の分析は、本発明によって与えられたものである。なお、上記各先行技術文献の全開示内容はその引用を以って本書に繰り込み記載されているものとする。
【００１１】
シャックハルトマン波面センサはマイクロレンズアレイを用いているため以下のような問題がある。一つ目は、測定可能な波面形状が制限されることである。波面傾きが大きくなるとビームスポットの変位量が大きくなり、隣接するエリアセンサにまたがることがある。このとき、エリアセンサはどのマイクロレンズで集光されたビームスポットであるかを判断することができず、波面形状の測定ができない。また、波面を測定する空間分解能は、マイクロレンズのアレイ数で決定される。このように、シャックハルトマン波面センサは、検出可能な波面の傾き量及び空間分解能がマイクロレンズアレイの光学特性によって制限される。二つ目は、マイクロレンズアレイや光学系全体を高精度に製造する必要があるため、構造が複雑で高価になることである。
【００１２】
特許文献１に記載の波面検出装置は、簡素な構造で波面形状の２次元分布を測定可能であるが、以下のような問題がある。一つ目は、空間分解能を得るためには基板に多数のダブルモード導波路を形成する必要があり、それに対応するだけの検出装置が必要になる。二つ目は、検出する波面の面積に対して導波路の開口面積が小さいため、測定できるエネルギーが小さいことである。
【００１３】
本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、簡素な構造で大きな計測角度範囲を有するレーザ光の波面センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の第１の視点により、入射角度に応じて反射率が異なる角度選択フィルタと、該角度選択フィルタを介して到来する光を受光する光検出器と、を含む波面センサが提供される。
【００１５】
本発明の第２の視点により、入射する光の伝搬方向を制御する可動ミラーと、入射する光の波面形状を制御する可変形状ミラーと、該可動ミラー又は該可変形状ミラーから到来する光を分割するビームスプリッタと、該ビームスプリッタによって分割された光の一方を受光する本発明の波面センサと、を含む光空間通信装置が提供される。
【００１６】
本発明の第３の視点により、入射する光の伝搬方向を制御する可動ミラーと、入射する光の波面形状を制御する可変形状ミラーと、入射角度に依存して入射する光を分離する角度選択フィルタと、を含む光空間通信装置の制御方法であって、該光空間通信装置に入射し、該可動ミラー及び該可変形状ミラーを介して到来する外部空間からの外部光を前記角度選択フィルタで分離すること、該角度選択フィルタで分離された複数の分離光の信号強度を求めること、該角度選択フィルタの（予め記憶された）光学特性と、該複数の分離光の信号強度に基づいて該可動ミラーと該可変形状ミラーの制御量を求めること、該制御量に基づいて該可動ミラーの指向方向と該可変形状ミラーの反射面形状を変更すること、を含む制御方法が提供される。
【００１７】
本発明の第４の視点により、入射角度に依存して光を分離する角度選択フィルタによって入射光を複数の分離光に分離すること、該複数の分離光の信号強度を比較すること、を含む、入射光の波面形状の決定方法が提供される。
【００１８】
本発明の第５の視点により、入射する光の伝搬方向を制御する可動ミラーと、入射する光の波面形状を制御する可変形状ミラーと、入射角度に依存して入射する光を分離する角度選択フィルタと、を含む光空間通信装置に入射する外部空間からの外部光の波面の補正方法であって、該光空間通信装置に入射し、該可動ミラー及び該可変形状ミラーを介して到来する外部空間からの外部光を前記角度選択フィルタで分離すること、該角度選択フィルタで分離された複数の分離光の信号強度を求めること、該角度選択フィルタの（予め記憶された）光学特性と、該複数の分離光の信号強度に基づいて該可動ミラーの指向方向と該可変形状ミラーの反射面形状を変更すること、を含む補正方法が提供される。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の第１の視点により、簡素な構造で大きな計測角度範囲を有する波面センサを提供することができる。更に、本発明の第２の視点により、信号光の波面に傾きや歪みがあっても安定した大容量通信を可能にする光空間通信装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】第１実施形態による波面センサの模式図である。
【図２】角度選択フィルタの一例の反射率の入射角度依存性を示すグラフである。
【図３】空間分解能を有する光検出器を用いた第１実施形態による波面センサによる平面波の測定結果を模式的に示すグラフである。
【図４】空間分解能を有する光検出器を用いた第１実施形態による波面センサによる球面波の測定結果を模式的に示すグラフである。
【図５】空間分解能を有する光検出器を用いた第１実施形態による波面センサによる高次の波面ゆらぎの測定結果を模式的に示すグラフである。
【図６】空間分解能を有する光検出器を用いた第１実施形態による波面センサによるエネルギー分布を有する波面の測定結果を模式的に示すグラフである。
【図７】空間分解能を有する光検出器を用いた第１実施形態による波面センサによる波面の空間分解能の差異を模式的に示すグラフである。
【図８】第２実施形態による波面センサの模式図である。
【図９】図８の波面センサの一部を、図８とは異なる角度から見た模式図である。
【図１０】第２実施形態の波面センサを含む光空間通信装置の一例の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明の基本的実施形態の概要について説明する。なお、概要に付記する図面参照符号は専ら理解を助けるためのものであり、本発明を図示の態様に限定することを意図するものではない。
【００２２】
本発明の基本的実施形態の波面センサは、当該波面センサに入射する光を受光する角度選択フィルタと、角度選択フィルタを介して到来する光を受光する光検出器とを含む。なお、本書において、「光」は、とりわけ「レーザ光」を意味するが、これに限定されない。また、本書において、「レーザ光」は、波面に傾きや歪みが生じ得る光の一例に過ぎない。
【００２３】
この角度選択フィルタは、入射角度に応じて反射率が異なり、例えば図２に示した反射率の入射角度依存性（以下「反射率入射角度特性」ともいう）を有する。なお、図２の角度選択フィルタは、入射角度が４４度以下の光をすべて透過し、４６度以上の光をすべて反射し、４４度から４６度までの光を入射角度に応じて透過成分と反射成分に連続的に変化する分離比で分離する。
【００２４】
更に、例えば図１に示したように、角度選択フィルタ２０に入射する光１０の透過成分１００及び反射成分１０１を夫々受光する光検出器３０及び３１を該角度選択フィルタ２０に後置する。角度選択フィルタ２０として図２に示した特性を有する角度選択フィルタを使用し、波面に傾きが無い状態の光が角度選択フィルタ２０に対し４５度の角度で入射するよう角度選択フィルタ２０を配向する。角度選択フィルタ２０によって分離された光を受光した光検出器３０及び３１の信号を比較する。入射光１０の波面の傾きはこれらの信号強度の大小関係によって決定することができる。また、この傾きの絶対値はこれらの信号強度の比率から決定することができる。かくして、入射光１０の波面形状を求めることができる。なお、本書において、角度選択フィルタによって透過成分と反射成分が１：１で分離される入射角度を「理想的な角度」とも称する。例えば、図２の特性を有する角度選択フィルタの場合では、「理想的な角度」は４５度である。また、理想的な角度で角度選択フィルタに入射する光であって、波面に傾きが無い状態の光（レーザ光等を含む）を「理想的な光」とも称する。そして、理想的な角度に対する傾きを「波面の傾き」とも称する。また、「ＡをＢに後置する」とは、光の進行方向に関し、ＡをＢの下流側に配置することをいい、「ＡをＢに前置する」とは、光の進行方向に関し、ＡをＢの上流側に配置することをいう。
【００２５】
更に、例えば図１に示した波面センサにおいて、角度選択フィルタ２０として例えば図２に示した反射率入射角度特性を有する角度選択フィルタを使用し、角度選択フィルタ２０を例えば入射光１０の光軸の周りで回転可能に構成することも可能である。そして角度選択フィルタをその回転軸の周りで１８０度回転させることにより、光検出器３０及び３１の何れか一方を省いても即ち１つの角度選択フィルタに１つの光検出器を割り当てるだけでも、入射光１０の波面形状を求めることができる。例えば、図１に示した状態において、入射光１０の波面の傾きをαとする。角度選択フィルタ２０をその回転軸の周りで１８０度回転した場合、角度選択フィルタの反射面の法線方向が入射面内で９０度回転する。そのため、波面の傾きは−αとなり、この配向状態の角度選択フィルタ２０の透過成分は図１の配向状態の角度選択フィルタ２０の反射成分に対応する。このため、この回転前後の角度選択フィルタ２０の透過成分を光検出器３０で受光し、これらの信号を比較すれば、入射光１０の波面形状を求めることができる。従って、光検出器３１を省いても、即ち、角度選択フィルタ２０に光検出器３０のみを割り当てるだけでも、入射光１０の波面形状を求めることができる。或いは、１つの光検出器を例えば図１に示した光検出器３０及び３１のための２つの位置の間で移動可能にすることによっても、１つの角度選択フィルタに１つの光検出器を割り当てるだけで、入射光の波面形状を求めることができる。
【００２６】
なお、入射光１０の波面の傾き及びその絶対値の決定は、演算部４０（図１参照）で行うことができる。演算部４０は波面センサ自体が備えることができる。或いは、波面センサと演算部４０とを含む波面センサユニットを構成することも可能である。或いは、波面センサと、演算部４０をその構成要素又はその機能として含む制御装置等を組み合わせた波面センサシステムを構成することも可能である。
【００２７】
かくして、本発明の基本的実施形態によれば、入射光の波面形状を求めるために使用される光を、角度選択フィルタを介して、光検出器が受光することにより、マイクロレンズアレイを使用するシャックハルトマン波面センサ等と比べて、簡素な構造及び大きな計測角度範囲で、入射光の波面形状を求めることができる。
【００２８】
以下に、本発明の具体的実施形態を、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の実施形態に付記する図面参照符号は専ら理解を助けるためのものであり、本発明を図示の態様に限定することを意図するものではない。
【００２９】
［第１実施形態］
図１は、第１実施形態による波面センサの模式図である。この波面センサは、波面センサに入射するレーザ光１０を受光する角度選択フィルタ２０と、角度選択フィルタ２０を介して到来するレーザ光を受光する２つの光検出器３０及び３１とを有する。
【００３０】
角度選択フィルタ２０は、理想的なレーザ光が当該角度選択フィルタ２０に対し４５度の角度で入射するよう配向されており、レーザ光１０（ないしその波面）の入射角度に応じて透過成分１００と、反射成分１０１とに分離する。透過成分１００は光検出器３０によって受光され、反射成分１０１は光検出器３１によって受光される。光検出器３０及び３１の測定データは演算部４０が受け取る。演算部４０は、これらの測定データに基づいてレーザ光の波面の傾きを計算する。
【００３１】
光検出器３０及び３１に光を供給する角度選択フィルタ２０は、更に、図２に示した反射率入射角度特性を有する。
【００３２】
図２は、第１実施形態の角度選択フィルタ２０の反射率入射角度特性即ち角度選択フィルタ２０に入射する光の入射角度と該角度選択フィルタ２０の反射率の関係を示す。なお、図２において、横軸は角度選択フィルタ２０に対する光の入射角度を示し、縦軸は反射率を示す。
【００３３】
図２に示されているように、角度選択フィルタ２０は、入射角度が４４度以下の光はすべて透過し、４６度以上の光はすべて反射し、４４度超４６度未満の光は入射角度に応じて透過成分と反射成分に連続的に変化する分離比で分離する。
【００３４】
角度選択フィルタ２０によって分離された透過成分１００及び反射成分１０１は夫々対応する光検出器３０及び３１において受光される。光検出器３０及び３１は、受光した光のエネルギーを電気信号に変換して演算部４０に伝送する。なお、このような光電変換を行う素子としてはＰＤ（Photodiode）等がある。
【００３５】
入射光（ないしその波面）の入射角度が４４度超４６度未満の場合、演算部４０は、光検出器３０及び３１から得た信号を比較し、これらの信号強度の大小に基づいて波面の傾きの方向を決定し、これらの信号強度の比率から傾きの絶対値を決定する。これに対し、入射光（ないしその波面）の入射角度が４４度以下又は４６度以上の場合であっても、入射光が角度選択フィルタ及び光検出器の有効範囲内にあれば、演算部４０は、絶対値の決定はできないものの、波面の傾きの方向は、どちらの光検出器が受光しているかで判定することができる。このため、本発明の波面センサは、簡素な構造で波面の傾きを大きな範囲で計測できるのみならず、シャックハルトマン波面センサのように測定可能な波面の傾き量が制限されている波面センサの補助的な役割を果たすこともできる。
【００３６】
［角度選択フィルタ］
角度選択フィルタ２０は、レーザ光が入射する領域全体において、正確に波面の入射角度に応じて透過成分と反射成分とに分離することができ、コーティング面積はスケーラビリティを有する。レーザ光の入射面積を大きくすると、エネルギー密度が低下するため、検出感度の高い光検出器が必要となる。しかしながら、これにより、開口面積の大きい波面センサが実現可能になる。また、誘電体多層膜による光の吸収は、コーティングの膜総数にも依存するがおおむね１％程度と小さい。このため、誘電体多層膜を有する角度選択フィルタを使用することにより、エネルギーロスの少ない高効率な波面センサを実現することができる。
【００３７】
角度選択フィルタ２０のような、入射角度に対して透過成分と反射成分に分離する光学特性を実現する手段としては、例えば、誘電体多層膜や、基板表面にナノ〜マイクロオーダーの微細周期構造を形成した回折光学素子がある。
【００３８】
本発明の波面センサでは、レーザ光が入射する領域の面内の光学特性の均質性が重要なパラメータとなる。これに関し、誘電体多層膜により光学フィルタをコーティングする場合、真空蒸着法やスパッタ方式を用いることで広範囲に均質にコーティングを形成する技術が実用化されている。
【００３９】
なお、図２に示した光学特性は、理解の容易化のために、角度選択の幅を２度とし、入射角度依存性が直線的になるように設定した。しかしながら、光学フィルタの光学特性は膜の設計によって微細に調整することができる。例えば、レーザ光の波面の微小な入射角度の変化を検出するための、急峻な入射角度依存性を実現することもできる。かくして、本発明の波面センサは、アプリケーションごとに要求される光学特性に従って、角度選択フィルタ設計のカスタマイズが可能である。
【００４０】
また、角度選択フィルタは、上述したものと同様の効果が得られるものであればよく、図示の平行平板に限定されない。従って、角度選択フィルタは、例えば、三角プリズムを２つ貼り合わせたプリズムとして構成することも可能である。
【００４１】
更に、角度選択フィルタの角度選択の幅は図２に示した２度に限定されず、角度選択フィルタに対する理想的な角度も図２に示した４５度に限定されない。
【００４２】
［光検出器］
光検出器は、空間分解能を有するエリアセンサ、例えばＣＣＤ（Charge Coupled Device）、として構成することも可能である。
【００４３】
以下に、図１に示す第１実施形態の波面センサの光検出器が空間分解能を有する場合に得られる結果について、具体的な波面形状の例を挙げて説明する。ここで、光検出器で測定されるエネルギーの空間分布の取り扱いに関する注意点を述べる。光検出器３１が受光するレーザ光は角度選択フィルタでの反射成分のため、波面の空間分布が入射面方向で反転する。そのため、光検出器３０及び３１を受光するレーザ光の伝搬方向に対して同じ軸方向で配置し、光検出器分解能の範囲内で波面の傾きを計算するためには、光検出器３０と３１の同じ画素を比較するのではなく、演算部４０において何れか一方の光検出器の空間分布を角度選択フィルタ２０の入射面方向で反転する必要がある。ここでは、理解の容易化のために、光検出器３１の空間分布を入射面方向である紙面に平行方向で反転した結果を図示する。
【００４４】
（１）波面が傾いた平面波
レーザ光が、その波面は凹凸のない平面であるが、理想的な角度に対してその波面が傾いている場合について説明する。図３は、波面が傾いている平面波の光検出器の測定データ及びレーザ光の波面の傾きを計算した結果を示す概略図である。レーザ光の波面の傾きを示す図中の破線は、理想的な角度を示しており、この破線と測定結果の実線の差分からレーザ光の形状が決定される。角度選択フィルタに入射するレーザ光の波面の傾きは、角度選択フィルタ全面で等しくなるため、光検出器３０及び３１が受光するエネルギー分布は一定となる。しかし、透過成分と反射成分のエネルギーは角度選択フィルタの入射角度依存性にしたがって分離されるため、光検出器の強度の比率を計算することによってレーザ光の波面の傾きを検出できる。
【００４５】
（２）曲率をもつ発散又は収束球面波
レーザ光の波面に曲率がある場合は、レーザ光が発散波か収束波のいずれかであり、曲率の符号によって区別される。図４は、波面が曲率を持つ球面波の場合の光検出器の測定データ及びレーザ光の波面の傾きを計算した結果を示す概略図である。レーザ光の波面の傾きを示す図中の破線は、理想的な角度を示しており、この破線と測定結果の実線の差分からレーザ光の形状が決定される。曲率を持つ波面が角度選択フィルタに入射すると、入射角度はレーザ光が入射する領域で連続的に変換する。したがって、透過成分と反射成分に分離される比率が空間的に連続的に変化し、光検出器が検出するエネルギー分布は単純増加、もしくは単純減少となる。その傾き量は波面の曲率の大きさに依存し、傾きが大きい場合は曲率が大きく、傾きが小さい場合はより平面波に近い。また、曲率の方向、つまり発散波か収束波であるかは、光検出器の空間分布の傾きの符号から判定することができる。
【００４６】
（３）凹凸を含む波面形状
レーザ光の波面が空間的に複雑な形状の場合であっても、光検出器が空間分解能を有していることで微小領域内の波面の傾きの方向及び絶対値を検出することができる。図５は、波面が凹凸を含む波面歪みを有する場合の光検出器の測定データ及びレーザ光の波面の傾きを計算した結果を示す概略図である。レーザ光の波面の傾きを示す図中の破線は、理想的な角度を示しており、この破線と測定結果の実線の差分からレーザ光の形状が決定される。
【００４７】
（４）エネルギー分布を有する波面
上記（１）〜（３）の波面の傾きの計算結果は、レーザ光のエネルギー分布が一定であることを前提としている。そのため、どちらかの検出器の空間分布と波面の入射角度が同じ分布となり、２つの検出器を用いるメリットはないように見える。しかしながら、実際の使用状況においてはレーザ光の面内のエネルギー分布が一定でないこともある。図６は、エネルギー分布が正規分布の球面発散波が入射したときの測定データ及びレーザ光の波面の傾きを計算した結果を示す概略図である。レーザ光の波面の傾きを示す図中の破線は、理想的な角度を示しており、この破線と測定結果の実線の差分からレーザ光の形状が決定される。光検出器３０及び３１では、レーザ光のエネルギー分布の影響が球面波による空間分布特性に重畳していることがわかる。このため、光検出器３０単独で波面形状を計算しても、球面であるとは判定できない。参考として、光検出器３０及び３１の計測データを足し合わせると、レーザ光のエネルギー分布である正規分布が得られる。このように、本発明の波面センサではレーザ光のエネルギー分布が一定でない場合であっても、角度選択フィルタの透過成分と反射成分をどちらも測定して波面形状を計算するため、波面形状を正しく測定することが可能である。したがって、大気の影響でレーザ光の面内が不均一になったとしても、高精度の波面形状の計測が可能である。
【００４８】
（５）波面形状計算の空間分解能の調整
本発明では、波面センサに要求される波面の空間的な解像度に応じて波面を計算するときの空間分解能を変更することができる。図７は、波面形状の空間分布の空間分解能による波面形状計測結果の差を示す概略図である。レーザ光の波面の傾きを示す図中の破線は、理想的な角度を示しており、この破線と測定結果である実線の差分からレーザ光の形状が決定される。また、実線が分解能の高い波面の傾きの計算結果で、一点鎖線が分解能の低い波面の傾きの計算結果である。波面を測定する領域内での波面形状の変化に対して適切な分解能を設定することで、計算プロセスの過剰な負荷を避けることができる。もっとも単純にレーザ光の波面全体の傾きを検出する場合は、光検出器の受光したエネルギーの合計値を比較することで演算部での波面計算プロセスは波面形状の空間分布を計算する場合と比較して簡略化され、高速な波面の傾き計測が可能となる。また、波面の形状をより詳細に計測する必要がある場合は、演算部において光検出器の測定結果をより細かく区画し波面を計算することで、高精細な波面形状を得ることができる。このように、本発明の波面センサは、簡便な構成でありながらアプリケーションの要求によって幅広い波面計測特性を得ることができる。
【００４９】
［波面センサに入射するレーザ光の偏光の制御］
第１実施形態の波面センサにおいて、角度選択フィルタに偏光制御部を前置することも可能である。偏光制御部は、レーザ光の偏光を、設計時の角度選択フィルタの偏光に一致させることができる。
【００５０】
一般的に、誘電体多層膜の光学フィルタは偏光依存性を有するため、入射するレーザ光の偏光を限定することで、反射率の入射角度依存性をより高精度に設計することができる。
【００５１】
［第２実施形態］
図８は、第２実施形態による波面センサの模式図である。
【００５２】
第２実施形態の波面センサは、ビームスプリッタ５０と、ビームスプリッタ５０に後置された第１の角度選択フィルタ２１及び第２の角度選択フィルタ２２と、第１の角度選択フィルタ２１に割り当てられた２つの光検出器３２及び３３と、第２の角度選択フィルタ２２に割り当てられた２つの光検出器３４及び３５と、を有する。なお、第１及び第２の角度選択フィルタ２１、２２及び光検出器３２、３３、３４、３５としては、第１実施形態について説明した角度選択フィルタ及び光検出器を使用することができる。また、第１の角度選択フィルタ２１及び／又は第２の角度選択フィルタ２２には、第１実施形態について説明した偏光制御部を前置することができる。
【００５３】
波面センサに入射したレーザ光１０は、ビームスプリッタ５０によって透過成分１０２と反射成分１０３とに分割される。ビームスプリッタ５０の透過成分１０２は、第１の角度選択フィルタ２１によって透過成分１０４と反射成分１０５とに分離される。ビームスプリッタ５０の反射成分１０３は、第２の角度選択フィルタ２２によって透過成分１０６と反射成分１０７とに分離される。第１の角度選択フィルタ２１によって分離された透過成分１０４及び反射成分１０５は夫々光検出器３２及び３３によって受光される。第２の角度選択フィルタ２２によって分離された透過成分１０６及び反射成分１０７は夫々光検出器３４及び３５によって受光される。光検出器３２、３３、３４、３５の測定データは演算部４０が受け取る。演算部４０は、これらの測定データに基づいてレーザ光１０の波面の傾き量を決定する。
【００５４】
ビームスプリッタ５０は、理想的なレーザ光１０が当該ビームスプリッタ５０に対し４５度の角度で入射するよう配向されている。更に、ビームスプリッタ５０は、レーザ光１０の波面形状に影響を与えることなくエネルギーのみを分割し、この分割比が５０：５０の時はいわゆるハーフミラーとして機能する。
【００５５】
第１の角度選択フィルタ２１は、ビームスプリッタ５０の理想的な透過光１０２が当該第１の角度選択フィルタ２１に対し４５度の角度で入射するよう配向されている。第２の角度選択フィルタ２２は、ビームスプリッタ５０の理想的な反射光１０３が当該第２の角度選択フィルタ２２に対し４５度の角度で入射するよう配向されている。第１及び第２の角度選択フィルタ２１及び２２は、図２に示す反射率入射角度特性を有する。
【００５６】
第１の角度選択フィルタ２１と第２の角度選択フィルタ２２は、更に、レーザ光１０の波面の傾きが直交する２つの方向（例えば、図８の紙面に対し平行な方向と垂直な方向）において検出可能になるよう、これらの入射面が互いに交差する方向に配向されるよう、配置されている。この配置は、とりわけ、第１の角度選択フィルタ２１と第２の角度選択フィルタ２２がそれらの入射面が互いに対し平行に配向された状態において、第１の角度選択フィルタ２１及び第２の角度選択フィルタ２２の何れか一方を、これに入射する理想的な光の光軸の周りで９０度回転することによって、実現することができる。例えば、図８では、ビームスプリッタ５０の入射面に対し第１の角度選択フィルタ２１の入射面を並行に配向しかつビームスプリッタ５０の入射面に対し第２の角度選択フィルタ２２の入射面を並行に配向した状態において、第２の角度選択フィルタ２２が、ビームスプリッタ５０の理想的な反射光１０３の光軸の周りで時計回りに９０度回転されている。この意味で、第１の角度選択フィルタ２１（ないしその入射面）と第２の角度選択フィルタ２２（ないしその入射面）は直交すると理解することができる。なお、ビームスプリッタ５０、第２の角度選択フィルタ２２、光検出器３４、３５の位置関係を明確にするために、図８の波面センサの一部を図８とは異なる角度から見た模式図を図９に示した。
【００５７】
かくして、第１の角度選択フィルタ２１は、図８の紙面に対し平行な方向の波面の傾きに応じて、ビームスプリッタ５０の透過成分１０２を透過成分１０４と反射成分１０５に分離する。同様に、第２の角度選択フィルタ２２は、図８の紙面と垂直方向の波面の傾きに応じて、ビームスプリッタ５０の反射成分１０３を透過成分１０６と反射成分１０７に分離する。
【００５８】
光検出器３２、３３、３４、３５の測定データは演算部４０が受け取る。演算部４０は、光検出器３２及び３３の測定データを比較して、紙面と平行な方向の波面の傾きを決定するとともに、光検出器３４及び３５の測定データを比較して、紙面と垂直な方向の波面の傾きを決定する。
【００５９】
このように、第２実施形態の波面センサはレーザ光１０の波面の傾きを、互いに直交する２つの方向（例えば図８の紙面に対して平行な方向と垂直な方向）においてそれぞれ検出することができるため、レーザ光の波面の傾きをより高精度に計測できる。
【００６０】
更に、第１の角度選択フィルタ２１と光検出器３２及び３３の構成は、光軸を中心に９０度回転させると、第２の角度選択フィルタ２２と光検出器３４及び３５の構成と一致し、第１の角度選択フィルタ２１と第２の角度選択フィルタ２２に求められる光学特性も同一である。このため、部品種類の増加によるコストの増加を回避することができる。
【００６１】
更に、第２実施形態においても、基本的実施形態において説明したように、角度選択フィルタをその回転軸の周りで回転可能に構成することもできる。そして、角度選択フィルタをその回転軸の周りで１８０度回転させることにより、１つの角度選択フィルタに１つの光検出器を割り当てるだけで、所望の結果を得ることができる。
【００６２】
更に、その回転軸の周りで回転可能に構成された角度選択フィルタを該回転軸の周りで９０度回転させ、その透過成分と反射成分を検出すると、該回転前の波面の傾きの方向と垂直な方向の波面の傾きを決定することができる。この構成は、例えば、図８において、第１角度選択フィルタ２１と光検出器３３をこれらの相対的位置関係を維持したまま９０度回転させるか、又は、光検出器３３のこの回転されるべき位置に追加の光検出器を設けかつ第１角度選択フィルタ２１のみを回転させることによって実現することができる。その結果、図８において、第２角度選択フィルタ２２、２つの光検出器３３、３５を省略することができる。かくして、１つの角度選択フィルタを用いるだけで、レーザ光１０の波面の傾きを、互いに直交する２つの方向においてそれぞれ検出し、以って、レーザ光の波面の傾きをより高精度に計測することができる。
【００６３】
［第３実施形態］
図１０は、第２実施形態の波面センサを搭載する光空間通信装置の模式図である。なお、波面センサとしては、第２実施形態の波面センサに限定されず、例えば第１実施形態の波面センサを使用することも可能である。
【００６４】
第３実施形態の光空間通信装置は、入射する光の伝搬方向を制御する可動ミラー２と、入射する光の波面形状を制御する可変形状ミラー３と、可動ミラー２又は可変形状ミラー３から到来する光を分割するビームスプリッタ４と、ビームスプリッタ４によって分割された光の一方を受光する波面センサ６を有する。光空間通信装置は、更に、自由空間を伝搬して光空間通信装置に到達する信号光を受信する光アンテナ１と、ビームスプリッタ４によって分割された光の他方を受光する光受信部５を有する。なお、図１０では、可変形状ミラー３が可動ミラー２に後置されているが、可動ミラー２が可変形状ミラー３に後置されてもよい。
【００６５】
波面センサ６は、ビームスプリッタ５０と、ビームスプリッタ５０に後置された第１の角度選択フィルタ２１及び第２の角度選択フィルタ２２と、第１の角度選択フィルタ２１に割り当てられた２つの光検出器３２及び３３と、第２の角度選択フィルタ２２に割り当てられた２つの光検出器３４及び３５と、を有する。なお、図１０では、波面センサ６ないし光空間通信装置はその構成要素又はその機能として演算部４０を含んでいる。しかしながら、演算部４０は、例えば、光空間通信装置の外部の制御装置等にその構成要素又はその機能として含まれることも可能である。
【００６６】
自由空間を伝搬して光空間通信装置に到達した信号光であるレーザ光１０は、光アンテナ１によって受信されたのち、装置内部の光学系の有効径に合わせてビーム径が縮小され、レーザ光１１に変換される。レーザ光１１は可動ミラー２と可変形状ミラー３で反射されたのち、ビームスプリッタ４によって光受信部５で信号光として受信される成分と、波面センサ６で波面形状を計測される成分とに分割される。光受信部５は、信号光を高感度に受信する光ファイバ通信システムに信号光を結合する。演算部４０は、測定した波面形状に基づいて可動ミラー２の偏向角度と可変形状ミラー３の反射面形状の制御量を決定し、可動ミラー２と可変形状ミラー３に制御信号を伝送する。可動ミラー２と可変形状ミラー３は、演算部４０からの制御信号に基づいて夫々偏向角度と反射面形状を変化させることにより、レーザ光１１の伝搬方向及び波面のゆがみを補正することができる。この補正された信号光１３が光受信部５に供給される。
【００６７】
このように構成された光空間通信装置に大気中を伝搬して波面のゆがんだ信号光が入射すると、その一部１２はビームスプリッタ４で反射されて波面センサ６に入射する。分割されたレーザ光１２はビームスプリッタ５０によってさらに分割されたのち、第２実施形態で示したように、レーザ光のエネルギー分布と、直交する２つの方向（例えば、図１０の紙面に対し平行な方向と垂直な方向）の波面形状とが測定される。演算部４０は、レーザ光１２の波面形状の計測結果から、光受信部５の受光エネルギーが最大となるようにレーザ光１１の波面を略平面に補正するための制御信号を生成し、この制御信号を可動ミラー２と可変形状ミラー３に伝送する。
【００６８】
平坦な反射面を有する可動ミラー２の制御量は、図１０の紙面に平行方向の偏向角度（紙面に垂直な回転軸に関する回転角度）と垂直方向の偏向角度（紙面に平行な回転軸に関する回転角度）である。平行方向の波面の傾き量は、光検出器３２及び３３が受光したエネルギー総量（ないしその信号強度）を比較することにより、第１の角度選択フィルタ２１の予め記憶された反射率入射角特性のデータから求められ、垂直方向の波面の傾き量は、光検出器３４及び３５が受光したエネルギー総量（ないしその信号強度）を比較することにより、第２の角度選択フィルタ２２の予め記憶された反射率入射角特性のデータから求められる。そして、可動ミラー２の制御量は、これらの求められた傾き量が打ち消されるように決定される。可変形状ミラー３は、可動ミラー２では除去できない高次の波面のゆがみを打ち消すように演算部４０で計算された制御信号によって、反射面形状を変化させる。このように反射面形状が変化された可変形状ミラー３によって反射されたレーザ光１３はその波面が平面に補正され、平面波１３として光受信部５に供給される。このような波面計測と波面補正のプロセスは通信システムが稼働している期間継続して実行される。
【００６９】
このように、第３実施形態の光空間通信装置は、波面センサ６で計測した波面の傾きとゆがみを逐次補正するため、光受信部５における受光エネルギーが安定する。従って、大気中を伝搬したレーザ光１０を信号光として用いる通信システムであっても、この光空間通信装置を使用することにより、安定した大容量通信を行うことができる。
【００７０】
以下に、本明細書、図面に開示した本発明に関する好ましい形態を付記する。
［形態１］
入射角度に応じて反射率が異なる角度選択フィルタと、
該角度選択フィルタを介して到来する光を受光する光検出器と、
を含む波面センサ。
［形態２］
前記光検出器は、前記角度選択フィルタで分離された光を受光する複数の光検出器として構成される、
形態１に記載の波面センサ。
［形態３］
前記角度選択フィルタに前置されるビームスプリッタを含み、
該角度選択フィルタは、該ビームスプリッタを透過した光を受光する第１の角度選択フィルタ及び該ビームスプリッタを反射した光を受光する第２の角度選択フィルタとして構成され、
前記複数の光検出器は、該第１の角度選択フィルタで分離された光を受光する第１の光検出器及び該第２の角度選択フィルタで分離された光を受光する第２の光検出器として構成され、
該第１の角度選択フィルタと該第２の角度選択フィルタは、該第１の角度選択フィルタの入射面と該第２の角度選択フィルタの入射面が互いに交差する方向に配向されるよう、配置される、
形態２に記載の波面センサ。
［形態４］
前記第１の光検出器は、前記第１の角度選択フィルタで分離された光を受光する複数の光検出器として構成され、及び、
前記第２の光検出器は、前記第２の角度選択フィルタで分離された光を受光する複数の光検出器として構成される、
形態３に記載の波面センサ。
［形態５］
前記光検出器は空間分解能を有する、
形態１乃至４の何れかに記載の波面センサ。
［形態６］
前記角度選択フィルタに入射する光の偏光を特定の偏光状態に変換する偏光制御素子を含む、
形態１乃至５の何れかに記載の波面センサ。
［形態７］
前記角度選択フィルタは、当該角度選択フィルタに入射する光の光軸の周りで回転可能に、とりわけ９０度及び／又は１８０度回転可能に、構成される、
形態１乃至６の何れかに記載の波面センサ。
［形態８］
前記光検出器の測定データに基づいて当該波面センサに入射する光の波面形状を求める演算部を含む
形態１乃至７の何れかに記載の波面センサ。
［形態９］
前記演算部は、前記波面形状を求めるために、同じ角度選択フィルタから得られる複数の測定データを比較する、
形態８に記載の波面センサ。
［形態１０］
前記同じ角度選択フィルタから得られる複数の測定データは、該角度選択フィルタの透過成分を受光した光検出器の信号強度と該角度選択フィルタの反射成分を受光した光検出器の信号強度である、
形態９に記載の波面センサ。
［形態１１］
前記演算部は、前記透過成分を受光した光検出器の信号強度と前記反射成分を受光した光検出器の信号強度の大小関係により波面センサの入射光の波面の傾きを決定し、及び、これらの信号強度の比率から該傾きの絶対値を決定する、
形態１０に記載の波面センサ。
［形態１２］
入射する光の伝搬方向を制御する可動ミラーと、
入射する光の波面形状を制御する可変形状ミラーと、
該可動ミラー又は該可変形状ミラーから到来する光を分割するビームスプリッタと、
該ビームスプリッタによって分割された光の一方を受光する形態１乃至７の何れかに記載の波面センサと、
を含む、
光空間通信装置。
［形態１３］
前記波面センサの角度選択フィルタの（予め記憶された）光学特性と該波面センサの光検出器の複数の測定データに基づいて前記可動ミラーの指向方向と前記可変形状ミラーの反射面形状を制御する演算部を含む、
形態１２に記載の光空間通信装置。
［形態１４］
前記光検出器の複数の測定データは、同じ角度選択フィルタから得られる複数の測定データである、
形態１３に記載の光空間通信装置。
［形態１５］
前記同じ角度選択フィルタから得られる複数の測定データは、該角度選択フィルタの透過成分を受光した光検出器の信号強度と該角度選択フィルタの反射成分を受光した光検出器の信号強度である、
形態１４に記載の光空間通信装置。
［形態１６］
前記透過成分を受光した光検出器の信号強度と前記反射成分を受光した光検出器の信号強度の大小関係により波面センサの入射光の波面の傾きが決定され、及び、これらの信号強度の比率から該傾きの絶対値を決定される、
形態１５に記載の光空間通信装置。
［形態１７］
当該光空間通信装置に入射する光を受光し、該光を前記可動ミラー又は前記可変形状ミラーに供給する光アンテナを含む、
形態１２乃至１６の何れかに記載の光空間通信装置。
［形態１８］
前記信号光を光ファイバ通信システムに結合する光受信部を含む、
形態１２乃至１７の何れかに記載の光空間通信装置。
［形態１９］
入射する光の伝搬方向を制御する可動ミラーと、入射する光の波面形状を制御する可変形状ミラーと、入射角度に依存して入射する光を分離する角度選択フィルタと、を含む光空間通信装置の制御方法であって、
該光空間通信装置に入射し、該可動ミラー及び該可変形状ミラーを介して到来する外部空間からの外部光を前記角度選択フィルタで分離すること、
該角度選択フィルタで分離された複数の分離光の信号強度を求めること、
該角度選択フィルタの（予め記憶された）光学特性と、該複数の分離光の信号強度に基づいて該可動ミラーと該可変形状ミラーの制御量を求めること、
該制御量に基づいて該可動ミラーの指向方向と該可変形状ミラーの反射面形状を変更すること
を含む、制御方法。
［形態２０］
前記可動ミラーの制御量は、前記角度選択フィルタの（予め記憶された）光学特性と前記複数の分離光の信号強度の比較により求められる前記外部光の波面の傾きが打ち消されるように該可動ミラーの指向方向を変更するよう求められ、
前記可変形状ミラーの制御量は、該可動ミラーの指向方向の変更によっては除去されない前記外部光の波面の歪みが打ち消されるように該可変形状ミラーの反射面形状を変更するよう求められる、
形態１９に記載の制御方法。
［形態２１］
前記複数の分離光は、前記角度選択フィルタの透過成分と反射成分である、
形態１９又は２０に記載の制御方法。
［形態２２］
入射角度に依存して光を分離する角度選択フィルタによって入射光を複数の分離光に分離すること、
該複数の分離光の信号強度を比較すること
を含む、
入射光の波面形状の決定方法。
［形態２３］
前記複数の分離光の信号強度の大小関係により入射光の波面の傾きを決定し、及び、これらの信号強度の比率から該傾きの絶対値を決定する
形態２２に記載の方法。
［形態２４］
前記複数の分離光は、前記角度選択フィルタの透過成分と反射成分である、
形態２２又は２３に記載の方法。
［形態２５］
入射する光の伝搬方向を制御する可動ミラーと、入射する光の波面形状を制御する可変形状ミラーと、入射角度に依存して入射する光を分離する角度選択フィルタと、を含む光空間通信装置に入射する外部空間からの外部光の波面の補正方法であって、
該光空間通信装置に入射し、該可動ミラー及び該可変形状ミラーを介して到来する外部空間からの外部光を前記角度選択フィルタで分離すること、
該角度選択フィルタで分離された複数の分離光の信号強度を求めること、
該角度選択フィルタの（予め記憶された）光学特性と、該複数の分離光の信号強度に基づいて該可動ミラーの指向方向と該可変形状ミラーの反射面形状を変更すること
を含む、補正方法。
［形態２６］
前記可動ミラーの指向方向は、前記角度選択フィルタの（予め記憶された）光学特性と前記複数の分離光の信号強度の比較により求められる前記外部光の波面の傾きが打ち消されるように変更され、
前記可変形状ミラーの反射面形状は、該可動ミラーの指向方向の変更によっては除去されない前記外部光の波面の歪みが打ち消されるように変更される、
形態２５に記載の補正方法。
［形態２７］
前記複数の分離光は、前記角度選択フィルタの透過成分と反射成分である、
形態２５又は２６に記載の補正方法。
【００７１】
本発明の全開示（特許請求の範囲及び図面を含む）の枠内において、さらにその基本的技術思想に基づいて、実施形態の変更・調整が可能である。また、本発明の特許請求の範囲の枠内において種々の開示要素（各請求項の各要素、各実施例の各要素、各図面の各要素等を含む）の多様な組み合わせないし選択が可能である。すなわち、本発明は、特許請求の範囲及び図面を含む全開示、技術的思想にしたがって当業者であればなし得るであろう各種変形、修正を含むことは勿論である。特に、本書に記載した数値範囲については、当該範囲内に含まれる任意の数値ないし小範囲が、別段の記載のない場合でも具体的に記載されているものと解釈されるべきである。
【符号の説明】
【００７２】
１      光アンテナ
２      可動ミラー
３      可変形状ミラー
４      ビームスプリッタ
５      光受信部
６      波面センサ
１０    外部から到来するレーザ光
１１    光アンテナ１で縮径されたレーザ光
１２    レーザ光１１のビームスプリッタ４で反射された成分
１３    波面が補正されたレーザ光
２０    角度選択フィルタ
２１    第１の角度選択フィルタ
２２    第２の角度選択フィルタ
３０    光検出器
３１    光検出器
３２    光検出器
３３    光検出器
３４    光検出器
３５    光検出器
４０    演算部
５０    ビームスプリッタ
１００  角度選択フィルタ２０の透過成分
１０１  角度選択フィルタ２０の反射成分
１０２  ビームスプリッタ５０の透過成分
１０３  ビームスプリッタ５０の反射成分
１０４  第１の角度選択フィルタ２１の透過成分
１０５  第１の角度選択フィルタ２１の反射成分
１０６  第２の角度選択フィルタ２２の透過成分
１０７  第２の角度選択フィルタ２２の反射成分
【図１】
2017181038.tif 000003
【図２】
2017181038.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2017181038.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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