(57)【要約】【課題】可動部の周縁を接触させながら可動部をヨー軸周りに回転させる偏向器において、可動部が支持点から滑った状態で回転することを抑制することが可能な技術を提供する。【解決手段】本明細書が開示する偏向器は、基準面と、基準面から上方にオフセットした支持点を有する基部と、支持点に支持された可動部であって、ピッチ軸、ロール軸およびヨー軸の三軸に関して揺動可能であって、かつ支持点に対してスライド可能な可動部と、反射面がヨー軸に直交するように可動部に形成された反射部と、可動部の周縁を基準面に接触させながら可動部をヨー軸周りに回転駆動する駆動機構を備えている。その偏向器では、可動部に、可動部の重心を支持点に近づけるための重量付加部が形成されている。【選択図】図１
2017151364.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準面と、基準面から上方にオフセットした支持点を有する基部と、
支持点に支持された可動部であって、ピッチ軸、ロール軸およびヨー軸の三軸に関して揺動可能であって、かつ支持点に対してスライド可能な可動部と、
反射面がヨー軸に直交するように可動部に形成された反射部と、
可動部の周縁を基準面に接触させながら可動部をヨー軸周りに回転駆動する駆動機構を備えており、
可動部に、可動部の重心を支持点に近づけるための重量付加部が形成されている、偏向器。
【請求項２】
ヨー軸に直交する面で見たときに、可動部の周縁が楕円形状である、請求項１の偏向器。
【請求項３】
支持点が、下端を基部に固定された磁性材料から成る支柱の上端に設けられており、
可動部の下面の支持点と接触する箇所に、永久磁石が設けられている、請求項１または２の偏向器。
【請求項４】
ヨー軸に直交する面で見たときに、永久磁石の周縁が可動部の周縁と相似形状である、請求項３の偏向器。
【請求項５】
重量付加部が、第１の材料からなる第１重量付加部と、第１の材料よりも比重量が大きい第２の材料からなる第２重量付加部を備えており、
可動部において第２重量付加部が第１重量付加部より下方に配置されている、請求項１から４の何れか一項の偏向器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書は、偏向器に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に、偏向器が開示されている。この偏向器は、基準面と、基準面から上方にオフセットした支持点を有する基部と、支持点に支持された可動部であって、ピッチ軸、ロール軸およびヨー軸の三軸に関して揺動可能であって、かつ支持点に対してスライド可能な可動部と、反射面がヨー軸に直交するように可動部に形成された反射部と、可動部の周縁を基準面に接触させながら可動部をヨー軸周りに回転駆動する駆動機構を備えている。この偏向器では、駆動機構によって可動部を回転駆動することで、反射角度を任意の方位角に調整することができる。また、この偏向器では、可動部の周縁が楕円形状であるため、可動部が１周回転するごとに、同一の方位角に対して異なる迎角が実現される。この偏向器によれば、経度方向と緯度方向の２方向にスキャンすることができる。なお、本明細書でいう方位角とは、基部の基準面内において基準線となす角度をいう。本明細書でいう経度方向とは、方位角が増減する方向をいう。また、本明細書でいう迎角とは、基部の基準面となす角度をいう。本明細書でいう緯度方向とは、迎角が増減する方向をいう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−２４６３８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
図２１は、上記のような基部１０２と、可動部１０４を備える偏向器１００において、可動部１０４の周縁を基部１０２の基準面Ｐに接触させながら可動部１０４をヨー軸周りに回転させるときの様子を示している。この場合、可動部１０４の重心Ｇには、支持点Ｓからのオフセット量ｄに応じた大きさの遠心力Ｆが作用する。可動部１０４は支持点Ｓに対してスライド可能に支持されているので、遠心力Ｆの作用によって、可動部１０４は支持点Ｓから斜め下方に滑った状態で回転する。このため、可動部１０４の迎角が設計上想定している迎角よりも小さくなってしまう。
【０００５】
本明細書は上記課題を解決する技術を提供する。本明細書では、可動部の周縁を接触させながら可動部をヨー軸周りに回転させる偏向器において、可動部が支持点から滑った状態で回転することを抑制することが可能な技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本明細書が開示する偏向器は、基準面と、基準面から上方にオフセットした支持点を有する基部と、支持点に支持された可動部であって、ピッチ軸、ロール軸およびヨー軸の三軸に関して揺動可能であって、かつ支持点に対してスライド可能な可動部と、反射面がヨー軸に直交するように可動部に形成された反射部と、可動部の周縁を基準面に接触させながら可動部をヨー軸周りに回転駆動する駆動機構を備えている。その偏向器では、可動部に、可動部の重心を支持点に近づけるための重量付加部が形成されている。
【０００７】
上記の偏向器では、可動部に重量付加部が形成されているので、重量付加部がない場合に比べて、可動部の重心を支持点に近づけることができる。これによって、可動部の周縁を基準面に接触させながら可動部をヨー軸周りに回転させる際に可動部に作用する遠心力を低減することができる。可動部が支持点から滑った状態で回転することを抑制することができる。
【０００８】
上記の偏向器は、ヨー軸に直交する面で見たときに、可動部の周縁が楕円形状であるように構成することができる。
【０００９】
上記の偏向器によれば、可動部の周縁が楕円形状であるため、可動部が１周回転するごとに、同一の方位角に対して異なる迎角が実現される。上記の偏向器によれば、経度方向と緯度方向の２方向にスキャンすることができる。
【００１０】
上記の偏向器は、支持点が、下端を基部に固定された磁性材料から成る支柱の上端に設けられており、可動部の下面の支持点と接触する箇所に、永久磁石が設けられているように構成することができる。
【００１１】
上記の偏向器によれば、永久磁石と支柱の間に作用する磁気吸着力によって、可動部を支持点に吸着することができる。可動部が支持点から外れてしまうことを抑制することができる。
【００１２】
上記の偏向器は、ヨー軸に直交する面で見たときに、永久磁石の周縁が可動部の周縁と相似形状であるように構成することができる。
【００１３】
上記の偏向器によれば、可動部の安定した回転動作を実現することができる。
【００１４】
上記の偏向器は、重量付加部が、第１の材料からなる第１重量付加部と、第１の材料よりも比重量が大きい第２の材料からなる第２重量付加部を備えており、可動部において第２重量付加部が第１重量付加部より下方に配置されているように構成することができる。
【００１５】
上記の偏向器によれば、第１の材料からなる重量付加部のみを可動部に形成する場合に比べて、可動部の重心をさらに支持点に近づけることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本明細書が開示する技術によれば、可動部の周縁を接触させながら可動部をヨー軸周りに回転させる偏向器において、可動部が支持点から滑った状態で回転することを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施例に係る偏向器２の概略の構成を示す縦断面図である。
【図２】実施例に係る偏向器２の可動部６の平面図である。
【図３】実施例に係る偏向器２の基部４の平面図である。
【図４】実施例に係る偏向器２において、基部４から見た接触点の方位角θと、可動部６の反射面の迎角φの関係を示す図である。
【図５】実施例に係る偏向器２において、可動部６が１周回転することによる、基部４と可動部６の位相のずれを示す図である。
【図６】実施例に係る偏向器２において、基部４から見た接触点の方位角θと、可動部６から見た接触点の位相角αの間に位相ずれが生じる原理を説明する図である。
【図７】実施例に係る偏向器２における、可動部６の変形形態を示す上面図である。
【図８】実施例に係る偏向器２における、可動部６の別の変形形態を示す上面図である。
【図９】実施例に係る偏向器２における、可動部６のさらに別の変形形態の断面図および上面図を示す図である。
【図１０】実施例に係る偏向器２における、可動部６のさらに別の変形形態の断面図および上面図を示す図である。
【図１１】実施例に係る偏向器２における、可動部６のさらに別の変形形態の断面図および上面図を示す図である。
【図１２】実施例に係る偏向器２における、可動部６のさらに別の変形形態の断面図および上面図を示す図である。
【図１３】実施例に係る偏向器２における、可動部６のさらに別の変形形態の断面図および上面図を示す図である。
【図１４】実施例に係る偏向器２における、可動部６のさらに別の変形形態の断面図および上面図を示す図である。
【図１５】実施例に係る偏向器２における、可動部６のさらに別の変形形態の断面図および上面図を示す図である。
【図１６】実施例に係る偏向器２における、可動部６のさらに別の変形形態の断面図および上面図を示す図である。
【図１７】実施例に係る偏向器２における、可動部６のさらに別の変形形態の断面図および上面図を示す図である。
【図１８】実施例に係る偏向器２における、可動部６のさらに別の変形形態の断面図および上面図を示す図である。
【図１９】実施例に係る偏向器２における、可動部６のさらに別の変形形態の断面図および上面図を示す図である。
【図２０】実施例に係る偏向器２における、可動部６のさらに別の変形形態の断面図および上面図を示す図である。
【図２１】従来技術に係る偏向器１００の概略の構成を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
（実施例）
図１は本実施例の偏向器２を示している。偏向器２は、基部４と、可動部６と、駆動機構８を備えている。
【００１９】
基部４は、支持基板１０と、支持層１２と、表面基板１４と、支柱１６を備えている。支持基板１０は、例えばシリコンウェハから形成されている。支持基板１０の上面には、支持層１２が接合されている。支持層１２は、例えばシリコンウェハから形成されている。支持層１２には、支柱１６が貫通する中央孔１２ａと、駆動機構８を収容する収容孔１２ｂが形成されている。支持層１２の上面には、表面基板１４が接合されている。表面基板１４は、例えばアクリルなどの非磁性体から形成されている。以下では表面基板１４の上面を、基準面Ｐともいう。以下では、基準面Ｐ内において互いに直交する方向をＸ方向およびＹ方向といい、基準面Ｐに対して直交する方向をＺ方向という。表面基板１４には、支柱１６が貫通する中央孔１４ａが形成されている。支柱１６は、磁性体からなる棒状部材である。支柱１６の下端は、支持基板１０に固定されている。支柱１６は、支持層１２の中央孔１２ａおよび表面基板１４の中央孔１４ａを貫通して、表面基板１４の上面側に突出している。支柱１６は、上端近傍において、上端に近づくほど断面積が小さくなる形状に形成されている。以下では、支柱１６の上端を支持点Ｓともいう。基部４は、基準面Ｐと、基準面Ｐから上方にオフセットした支持点Ｓを有していると言える。
【００２０】
図１、図２に示すように、可動部６は、楕円状の平板形状に形成された反射板１８と、反射板１８の下面に固定された円柱形状の永久磁石２０を備えている。以下では、反射板１８の楕円の長軸方向を可動部６のピッチ軸とし、反射板１８の楕円の短軸方向を可動部６のロール軸とし、反射板１８に直交する方向を可動部６のヨー軸とする。反射板１８は、磁性体から形成されている。反射板１８の上面には、入射光を反射する反射膜１８ａが形成されている。反射膜１８ａは、例えばＡｌ等の蒸着膜である。可動部６をヨー軸方向から平面視した時に、反射板１８の周縁は、可動部６の周縁をなす。
【００２１】
永久磁石２０は、例えばネオジム磁石である。可動部６をヨー軸方向から平面視したときに、永久磁石２０の周縁は反射板１８の周縁に内包されている。永久磁石２０は、可動部６をヨー軸方向から平面視したときに、永久磁石２０の中心と反射板１８の中心が一致するように配置されている。また、永久磁石２０は、磁力の極性の向きが可動部６のヨー軸方向と一致するように配置されている。可動部６は、支柱１６の上端の支持点Ｓに永久磁石２０の下面が接触することによって、基部４に支持されている。永久磁石２０と支柱１６の間に作用する磁気吸着力によって、可動部６は支柱１６の上端の支持点Ｓに吸着している。可動部６は、支柱１６の上端の支持点Ｓに対して、ピッチ軸、ロール軸およびヨー軸の三軸に関して揺動可能に支持されている。また、可動部６は支持点Ｓに対して、ピッチ軸方向およびロール軸方向にスライド可能に支持されている。
【００２２】
図３に示すように、駆動機構８は、６つの電磁石２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ、２２ｅ、２２ｆを備えている。電磁石２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ、２２ｅ、２２ｆは、いずれも、基部４の収容孔１２ｂ内に収容されている。電磁石２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ、２２ｅ、２２ｆは、基部４をＺ方向から平面視したときに、支柱１６の支持点Ｓを中心とする円の円周を６等分する位置に配置されている。電磁石２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ、２２ｅ、２２ｆは、その磁力の極性の向きが、表面基板１４の基準面Ｐに直交する方向と一致するように配置されている。電磁石２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ、２２ｅ、２２ｆによる磁力の発生は、個別に制御可能である。
【００２３】
例えば、駆動機構８の１つの電磁石２２ａに磁力を発生させると、磁性体である反射板１８に電磁石２２ａに向けた磁気吸着力が作用し、可動部６が揺動する。これにより、図１に示すように、反射板１８の周縁が電磁石２２ａの近傍の基準面Ｐに接触する。次いで、電磁石２２ａでの磁力の発生を停止し、電磁石２２ａの隣に配置された電磁石２２ｂに磁力を発生させると、反射板１８に電磁石２２ｂに向けた磁気吸着力が作用し、反射板１８は周縁を基準面Ｐに接触させながらヨー軸周りに回転し、反射板１８の周縁が電磁石２２ｂの近傍の基準面Ｐに接触する状態に移行する。このように、磁力を発生させる電磁石２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ、２２ｅ、２２ｆを順に切り替えていくことで、反射板１８は周縁を基準面Ｐに接触させながら、ヨー軸周りに回転し続ける。
【００２４】
図４は、反射板１８の周縁を基準面Ｐに接触させながら反射板１８をヨー軸周りに回転させるときの、基部４から見た接触点の方位角θ（図３参照）と、反射板１８の反射面の迎角φ（図１参照）の関係を示している。ここで、方位角θは基準面Ｐ内でのＸ軸からの回転角度を示しており、迎角φはＸＹ面（すなわち基準面Ｐ）に対する傾斜角度を示している。反射板１８は、中心から周縁までのヨー軸に直交する方向の距離が、位相角α（図２参照）に応じて変化する形状に形成されている。ここで、位相角αはヨー軸に直交する面内でのピッチ軸からの回転角度を示している。従って、基部４から見た接触点の方位角θの変化に応じて、反射板１８から見た接触点の位相角αも変化し、それに応じて反射板１８の反射面の迎角φも変化する。基部４から見た接触点の方位角θと、反射板１８の反射面の迎角φにより、偏向器２の反射角度が規定される。
【００２５】
図５に示すように、本実施例の偏向器２では、反射板１８の基準点（例えば長軸方向の一方の端部）が基準面Ｐに接触した状態から、反射板１８をヨー軸周りに１周回転させて、再び基準点が基準面Ｐに接触した状態となると、基部４に対して反射板１８は所定角度δだけ位相がずれる。これは、次のような理由による。
【００２６】
図６に示すように、反射板１８が周縁を基準面Ｐに接触させながらヨー軸周りに回転して、基部４から見た接触点の方位角θが微小角度ｄθだけ変化し、反射板１８から見た接触点の位相角αが微小角度ｄαだけ変化する場合、反射板１８と基準面Ｐの間に滑りが生じないとすると、幾何学的な関係から次式が成り立つ。
【００２７】
【数１】
2017151364.tif 000003
【００２８】
従って、基部４から見た接触点の方位角θと、反射板１８から見た接触点の位相角αの間の角度のずれ量を位相ずれδとすると、以下の関係が成り立つ。
【００２９】
【数２】
2017151364.tif 000004
【００３０】
従って、基部４から見た接触点の方位角θが２π増加する間に生じる位相ずれδは、次式で与えられる。
【００３１】
【数３】
2017151364.tif 000005
【００３２】
上記のような方位角θと位相角αの位相ずれδに起因して、図４に示すように、可動部６が１周回転する毎に、同一の方位角θに対して異なる迎角φが実現される。これにより、本実施例の偏向器２によれば、可動部６を繰り返し回転させることで、任意の方位角θと迎角φの組み合わせを実現することができる。本実施例の偏向器２によれば、経度方向と緯度方向の２方向にスキャンすることが可能となる。
【００３３】
なお、反射板１８のヨー軸に直交する面で見たときの形状は、上述のような楕円形状以外にも、種々の形状とすることができる。
【００３４】
例えば、反射板１８は、円形状とすることもできる。あるいは、図７に示すように、反射板１８を多角形状とすることもできる。あるいは、図８に示すように、反射板１８をルーローの多角形状とすることもできる。あるいは、図示はしていないが、反射板１８をハート型や星型などの形状とすることもできる。
【００３５】
上記のように反射板１８の周縁を基準面Ｐに接触させながらヨー軸周りに回転させると、可動部６には、基準面Ｐに沿う方向の遠心力が作用する。反射板１８は支持点Ｓに対してスライド可能に支持されているので、この遠心力の作用によって、可動部６は支持点Ｓから斜め下方に滑った状態で回転する。このため、反射板１８の迎角φが、設計上想定している迎角φよりも小さくなってしまう。
【００３６】
図１に示すように、本実施例の偏向器２では、反射板１８の下面に、重量付加部２４が形成されている。本実施例では、重量付加部２４は、永久磁石２０を取り囲む円筒形状のリブ２６を備えている。リブ２６は、例えば磁性体から形成されている。図２に示すように、可動部６をヨー軸方向から平面視したときに、リブ２６の内側の周縁は永久磁石２０の周縁と同一の形状となっており、リブ２６の外側の周縁は永久磁石２０の周縁と相似の形状となっている。
【００３７】
本実施例の偏向器２では、反射板１８の下面に重量付加部２４を形成することによって、重量付加部２４が存在しない場合に比べて、可動部６の重心Ｇを支持点Ｓに近づけることができる。これによって、反射板１８の周縁を基準面Ｐに接触させながらヨー軸周りに回転させる際に、可動部６に作用する遠心力を低減することができる。可動部６が支持点Ｓから滑った状態で回転することを抑制することができる。
【００３８】
上記の可動部６は、種々の形態とすることができる。
【００３９】
例えば、可動部６を、図９に示す構成としてもよい。図９に示す構成では、重量付加部２４であるリブ２８は、反射板１８の下面において永久磁石２０が取り付けられている領域を除く全ての領域にわたって形成されている。図９に示す構成では、可動部６をヨー軸方向から平面視したときに、リブ２８の内側の周縁は永久磁石２０の周縁と同一の形状となっており、リブ２８の外側の周縁は反射板１８の周縁と同一の形状となっている。リブ２８をこのような形状とすることによって、可動部６の安定した回転動作を実現することができる。図９に示す構成では、リブ２８は、反射板１８からの高さが均一である。リブ２８は、例えば磁性体から形成されている。
【００４０】
あるいは、可動部６を、図１０に示す構成としてもよい。図１０に示す構成では、重量付加部２４であるリブ３０は、反射板１８の下面において、反射板１８の周縁近傍のみに形成されている。図１０に示す構成では、可動部６をヨー軸方向から平面視したときに、リブ３０の内側の周縁は反射板１８の周縁と相似の形状となっており、リブ３０の外側の周縁は反射板１８の周縁と同一の形状となっている。リブ３０をこのような形状とすることによって、可動部６の安定した回転動作を実現することができる。図１０に示す構成では、リブ３０は、反射板１８からの高さが均一である。リブ３０は、例えば磁性体から形成されている。
【００４１】
あるいは、可動部６を、図１１に示す構成としてもよい。図１１に示す構成では、重量付加部２４であるリブ３２は、反射板１８の下面において、永久磁石２０の近傍のみに形成されている。図１１に示す構成では、可動部６をヨー軸方向から平面視したときに、リブ３２の内側の周縁は永久磁石２０の周縁と同一の形状となっており、リブ３２の外側の周縁は反射板１８の周縁と相似の形状となっている。リブ３２をこのような形状とすることによって、可動部６の安定した回転動作を実現することができる。図１１に示す構成では、リブ３２は、反射板１８からの高さが均一である。リブ３２は、例えば磁性体から形成されている。
【００４２】
あるいは、可動部６を、図１２に示す構成としてもよい。図１２に示す構成では、重量付加部２４であるリブ３４は、反射板１８の下面において、永久磁石２０の近傍のみに形成されている。図１２に示す構成では、可動部６をヨー軸方向から平面視したときに、リブ３４の内側の周縁は永久磁石２０の周縁と同一の円形状となっており、リブ３４の外側の周縁は反射板１８の周縁と相似ではない楕円形状となっている。図１２に示す構成では、リブ３４は、反射板１８からの高さが均一である。リブ３４は、例えば磁性体から形成されている。
【００４３】
あるいは、可動部６を、図１３に示す構成としてもよい。図１３に示す構成では、重量付加部２４であるリブ３６は、反射板１８の下面において、永久磁石２０の近傍のみに形成されている。図１３に示す構成では、可動部６をヨー軸方向から平面視したときに、リブ３４の内側の周縁は永久磁石２０の周縁と同一の円形状となっており、リブ３６の外側の周縁は正方形状となっている。図１３に示す構成では、リブ３６は、反射板１８からの高さが均一である。リブ３６は、例えば磁性体から形成されている。
【００４４】
あるいは、可動部６を、図１４に示す構成としてもよい。図１４に示す構成では、重量付加部２４であるリブ３８は、反射板１８の下面において、永久磁石２０が取り付けられている領域を除く全ての領域にわたって形成されている。図１４に示す構成では、可動部６をヨー軸方向から平面視したときに、リブ３８の内側の周縁は永久磁石２０の周縁と同一の形状となっており、リブ３８の外側の周縁は反射板１８の周縁と同一の形状となっている。リブ３８をこのような形状とすることによって、可動部６の安定した回転動作を実現することができる。図１４に示す構成では、リブ３８は、中央に近づくほど高くなり、周縁に近づくほど低くなる形状に形成されている。リブ３８をこのような形状とすることによって、可動部６の慣性モーメントの増加を抑制することができる。リブ３８は、例えば磁性体から形成されている。
【００４５】
あるいは、可動部６を、図１５に示す構成としてもよい。図１５に示す構成では、重量付加部２４であるリブ４０は、反射板１８の下面において、永久磁石２０の近傍のみに形成されている。図１５に示す構成では、可動部６をヨー軸方向から平面視したときに、リブ４０の内側の周縁は永久磁石２０の周縁と同一の形状となっており、リブ４０の外側の周縁は反射板１８の周縁と相似の形状となっている。リブ４０をこのような形状とすることによって、可動部６の安定した回転動作を実現することができる。図１５に示す構成では、リブ４０は、中央に近づくほど高くなり、周縁に近づくほど低くなる形状に形成されている。リブ４０をこのような形状とすることによって、可動部６の慣性モーメントの増加を抑制することができる。リブ４０は、例えば磁性体から形成されている。
【００４６】
あるいは、可動部６を、図１６に示す構成としてもよい。図１６に示す構成では、重量付加部２４は、反射板１８の下面に固定された第１重量付加部４２と、第１重量付加部４２の下面に固定された第２重量付加部４４を備えている。第１重量付加部４２は第１の磁性材料からなり、第２重量付加部４４は第２の磁性材料からなる。第２の磁性材料は第１の磁性材料よりも比重量が大きい。従って、第２重量付加部４４は、第１重量付加部４２よりも重量が大きい。図１６に示す構成では、可動部６をヨー軸方向から平面視したときに、第１重量付加部４２と第２重量付加部４４は互いに同一の形状である。可動部６をヨー軸方向から平面視したときに、第１重量付加部４２と第２重量付加部４４の内側の周縁は永久磁石２０の周縁と同一の形状となっており、第１重量付加部４２と第２重量付加部４４の外側の周縁は反射板１８の周縁と相似の形状となっている。図１６に示す構成では、第１重量付加部４２は高さが均一であって、第２重量付加部４４も高さが均一である。このように、第１重量付加部４２と第２重量付加部４４を組み合わせることで、可動部６の重心Ｇを支持点Ｓにより近づけることができる。
【００４７】
あるいは、可動部６を、図１７に示す構成としてもよい。図１７に示す構成では、図１６に示す構成と同様に、重量付加部２４が、第１重量付加部４２と、第２重量付加部４４を備えている。図１７に示す構成では、可動部６をヨー軸方向から平面視したときに、第１重量付加部４２と第２重量付加部４４の内側の周縁は永久磁石２０の周縁と同一の形状となっており、第１重量付加部４２と第２重量付加部４４の外側の周縁は反射板１８の周縁と同一の形状となっている。図１７に示す構成では、第１重量付加部４２は高さが均一であって、第２重量付加部４４も高さが均一である。
【００４８】
あるいは、可動部６を、図１８に示す構成としてもよい。図１８に示す構成では、永久磁石２０が楕円柱形状に形成されており、可動部６をヨー軸方向から平面視したときに、永久磁石２０の周縁は反射板１８の周縁と相似の形状となっている。図１８に示す構成では、重量付加部２４であるリブ４６は、反射板１８の下面において、永久磁石２０が取り付けられている領域を除く全ての領域にわたって形成されている。図１８に示す構成では、可動部６をヨー軸方向から平面視したときに、リブ４６の内側の周縁は永久磁石２０の周縁と同一の形状となっており、リブ４６の外側の周縁は反射板１８の周縁と同一の形状となっている。図１８に示す構成では、リブ４６は、均一な高さに形成されている。リブ４６は、例えば磁性体から形成されている。このように、永久磁石２０を反射板１８と相似な楕円形状とすることによって、可動部６の安定した回転動作を実現することができる。
【００４９】
あるいは、可動部６を、図１９に示す構成としてもよい。図１９に示す構成では、永久磁石２０が楕円柱形状に形成されており、可動部６をヨー軸方向から平面視したときに、永久磁石２０の周縁は反射板１８の周縁と相似の形状となっている。図１９に示す構成では、重量付加部２４であるリブ４８は、反射板１８の下面において、反射板１８の周縁近傍のみに形成されている。図１９に示す構成では、可動部６をヨー軸方向から平面視したときに、リブ４８の内側の周縁は反射板１８の周縁と相似の形状となっており、リブ４８の外側の周縁は反射板１８の周縁と同一の形状となっている。図１９に示す構成では、リブ４８は、均一な高さに形成されている。リブ４８は、例えば磁性体から形成されている。
【００５０】
あるいは、可動部６を、図２０に示す構成としてもよい。図２０に示す構成では、永久磁石２０が楕円柱形状に形成されており、可動部６をヨー軸方向から平面視したときに、永久磁石２０の周縁は反射板１８の周縁と相似の形状となっている。図２０に示す構成では、重量付加部２４であるリブ５０は、反射板１８の下面において、反射板１８の周縁近傍のみに形成されている。図２０に示す構成では、可動部６をヨー軸方向から平面視したときに、リブ５０の内側の周縁は反射板１８の周縁と相似の形状となっており、リブ５０の外側の周縁は反射板１８の周縁と同一の形状となっている。図２０に示す構成では、リブ５０は、均一な高さに形成されている。図２０に示す構成では、リブ５０は、永久磁石２０と極性の向きが一致する永久磁石である。リブ５０を永久磁石とすることによって、駆動機構８の電磁石２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ、２２ｅ、２２ｆとの間に作用する磁気吸着力を強めることができる。
【００５１】
上記の実施例では、駆動機構８が、磁力を利用して、可動部６の周縁を基準面Ｐに接触させながら可動部６をヨー軸周りに回転駆動する構成について説明したが、駆動機構８は、上記以外にも様々な形態のものを用いることができる。例えば、可動部６の内部に電極を形成し、基部４の表面基板１４を絶縁材料で形成し、基部４の表面基板１４の下方に所定のパターンで電極を複数配置し、可動部６の電極と基部４の電極の間に選択的に電圧を印加することで、静電力を利用した駆動機構８を実現することができる。この場合、基部４の特定の電極と可動部６の電極の間に電圧を印加すると、静電引力によって、その基部４の特定の電極に向けて可動部６の周縁が近づけられて、可動部６の周縁が基準面Ｐに接触する。可動部６の電極との間で電圧を印加する基部４の電極を、次々に切り替えていくことで、可動部６の周縁を基準面Ｐに接触させながら、可動部６をヨー軸周りに回転駆動することができる。
【００５２】
以上、本発明の実施例について詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
【００５３】
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時の請求項に記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【符号の説明】
【００５４】
２：偏向器；    ４：基部；    ６：可動部；    ８：駆動機構；    １０：支持基板；    １２：支持層；    １２ａ：中央孔；    １２ｂ：収容孔；    １４：表面基板；    １４ａ：中央孔；    １６：支柱；    １８：反射板；    １８ａ：反射膜；    ２０：永久磁石；    ２２ａ：電磁石；    ２２ｂ：電磁石；    ２２ｃ：電磁石；    ２２ｄ：電磁石；    ２２ｅ：電磁石；    ２２ｆ：電磁石；    ２４：重量付加部；    ２６：リブ；    ２８：リブ；    ３０：リブ；    ３２：リブ；    ３４：リブ；    ３６：リブ；    ３８：リブ；    ４０：リブ；    ４２：第１重量付加部；    ４４：第２重量付加部；    ４６：リブ；    ４８：リブ；    ５０：リブ；    １００：偏向器；    １０２：基部；    １０４：可動部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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