(57)【要約】      （修正有）【課題】オイルピット等の凹部が形成された被測定面の表面性状を高精度に測定可能とする情報処理装置、情報処理方法、及びプログラムを提供する。【解決手段】情報処理装置２００は、入力部と、設定部とを具備する。入力部には、複数の凹部を有する被測定物Ｍの被測定面の形状データが入力される。設定部は、入力された形状データをもとに複数の凹部の各々を検出し、検出された凹部ごとに、凹部を含む除去対象領域を設定する。【選択図】図１
2017151090.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の凹部を有する被測定面の形状データが入力される入力部と、
前記入力された形状データをもとに前記複数の凹部の各々を検出し、前記検出された前記凹部ごとに、前記凹部を含む除去対象領域を設定する設定部と
を具備する情報処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の情報処理装置であって、
前記設定部は、前記検出された凹部の面積をもとに、前記除去対象領域を設定する
情報処理装置。
【請求項３】
請求項２に記載の情報処理装置であって、
前記設定部は、前記検出された凹部の面積と略等しい面積を有する基準図形を設定し、前記基準図形の寸法を基準として前記除去対象領域を設定する
情報処理装置。
【請求項４】
請求項３に記載の情報処理装置であって、
前記設定部は、前記基準図形の寸法と前記基準図形の寸法に所定の拡大率を積算した積算値との差を拡大量として前記凹部を拡大した領域を、前記除去対象領域として設定する
情報処理装置。
【請求項５】
請求項３又４に記載の情報処理装置であって、
前記基準図形は前記検出された凹部の面積と略等しい面積を有する円であり、前記寸法は前記円の径である
情報処理装置。
【請求項６】
請求項３又は４に記載の情報処理装置であって、
前記基準図形は前記凹部の幅と略等しい幅を有する矩形であり、前記寸法は前記矩形の幅寸法である
情報処理装置。
【請求項７】
請求項２に記載の情報処理装置であって、
前記設定部は、前記検出された凹部の面積に所定の拡大率を積算した積算値と、前記除去対象領域の面積とが略等しくなるように、前記除去対象領域を設定する
情報処理装置。
【請求項８】
請求項１から７のうちいずれか１項に記載の情報処理装置であって、
前記設定部は、前記被測定面の形状データに対して基準高さを設定し、前記基準高さよりも所定の閾値以上低い部分を、前記凹部として検出する
情報処理装置。
【請求項９】
請求項８に記載の情報処理装置であって、
前記設定部は、前記入力された形状データを平面に展開し、前記展開された前記形状データに対して前記基準高さを設定し、前記凹部を検出する
情報処理装置。
【請求項１０】
請求項８又は９に記載の情報処理装置であって、
前記基準高さは、前記形状データをもとに算出される前記被測定面の平均高さである
情報処理装置。
【請求項１１】
請求項１から１０のうちいずれか１項に記載の情報処理装置であって、
前記複数の凹部を有する被測定面は、複数のピットを有するシリンダの内壁面である
情報処理装置。
【請求項１２】
請求項１から１０のうちいずれか１項に記載の情報処理装置であって、
前記複数の凹部を有する被測定面は、クロスハッチが形成されたシリンダの内壁面である
情報処理装置。
【請求項１３】
請求項１から１２のうちいずれか１項に記載の情報処理装置であって、さらに、
前記設定された除去対象領域を除く領域の表面粗さを測定する測定部を具備する
情報処理装置。
【請求項１４】
複数の凹部を有する被測定面の形状データを取得し、
前記取得された形状データをもとに前記複数の凹部の各々を検出し、前記検出された前記凹部ごとに、前記凹部を含む除去対象領域を設定する
ことをコンピュータが実行する情報処理方法。
【請求項１５】
複数の凹部を有する被測定面の形状データを取得するステップと、
前記取得された形状データをもとに前記複数の凹部の各々を検出し、前記検出された前記凹部ごとに、前記凹部を含む除去対象領域を設定するステップと
をコンピュータに実行させるプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばエンジンシリンダ等の内壁の測定に適用可能な情報処理装置、情報処理方法、及びプログラムに関する。
に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車用エンジン等の開発や生産において、シリンダブロックに設けられたシリンダ内壁の観察、検査、解析は非常に重要である。例えば特許文献１には、ピストンとの摩擦を緩和するためにシリンダ内壁に形成された突出部の分布及び体積を算出し、これに基づいてシリンダ内壁を検査する検査方法について開示されている（特許文献１の明細書段落［００１８］図１等）。
【０００３】
また特許文献２に記載のように、シリンダブロックのボア内周面（シリンダ内壁）には、エンジンオイルの溜まり孔として機能するオイルピットが形成される。これによりピストンとの間で油膜を形成することが可能な量のオイルが保持され、シリンダ内壁とピストンとの摺動抵抗を低減することが可能となる（特許文献２の明細書段落［０００２］［００１６］図１等）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−５７３４４号公報
【特許文献２】特開２００５−１４４４７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記したオイルピット等が形成されたシリンダの内壁面について、表面性状を高精度に測定することを可能とする技術が求められている。
【０００６】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、オイルピット等の凹部が形成された被測定面の表面性状を高精度に測定可能とする情報処理装置、情報処理方法、及びプログラムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る情報処理装置は、入力部と、設定部とを具備する。
前記入力部には、複数の凹部を有する被測定面の形状データが入力される。
前記設定部は、前記入力された形状データをもとに前記複数の凹部の各々を検出し、前記検出された前記凹部ごとに、前記凹部を含む除去対象領域を設定する。
【０００８】
この情報処理装置では、複数の凹部の各々が検出され、凹部ごとに除去対象領域が設定される。これにより被測定面の表面性状として、凹部を除いた領域の表面粗さを高精度に測定することが可能となる。
【０００９】
前記設定部は、前記検出された凹部の面積をもとに、前記除去対象領域を設定してもよい。
凹部の面積に応じた除去対象領域を設定することで、凹部を除いた領域の表面粗さを高精度に測定することが可能となる。
【００１０】
前記設定部は、前記検出された凹部の面積と略等しい面積を有する基準図形を設定し、前記基準図形の寸法を基準として前記除去対象領域を設定してもよい。
これにより除去対象領域として、凹部の大きさを基準とした領域を設定することが可能となり、表面粗さの測定精度を向上させることが可能となる。
【００１１】
前記設定部は、前記基準図形の寸法と前記基準図形の寸法に所定の拡大率を積算した積算値との差を拡大量として前記凹部を拡大した領域を、前記除去対象領域として設定してもよい。
これにより除去対象領域として、適当な割合で凹部を拡大した領域を設定することが可能となり、表面粗さの測定精度を向上させることが可能となる。
【００１２】
前記基準図形は前記検出された凹部の面積と略等しい面積を有する円であり、前記寸法は前記円の径であってもよい。
これにより凹部の大きさを基準とした除去対象領域を簡単に設定することが可能となり、表面粗さの測定精度を向上させることが可能となる。
【００１３】
前記基準図形は前記凹部の幅と略等しい幅を有する矩形であり、前記寸法は前記矩形の幅寸法であってもよい。
これにより凹部の大きさを基準とした除去対象領域を簡単に設定することが可能となり、表面粗さの測定精度を向上させることが可能となる。
【００１４】
前記設定部は、前記検出された凹部の面積に所定の拡大率を積算した積算値と、前記除去対象領域の面積とが略等しくなるように、前記除去対象領域を設定してもよい。
これにより除去対象領域として、凹部を所定の拡大率で拡大した領域を設定することが可能となり、表面粗さの測定精度を向上させることが可能となる。
【００１５】
前記設定部は、前記被測定面の形状データに対して基準高さを設定し、前記基準高さよりも所定の閾値以上低い部分を、前記凹部として検出してもよい。
これにより高い精度で凹部を検出することができる。
【００１６】
前記設定部は、前記入力された形状データを平面に展開し、前記展開された前記形状データに対して前記基準高さを設定し、前記凹部を検出してもよい。
例えば被測定面がシリンダ等の内壁等である場合に、形状データを平面に展開することで、高い精度で凹部を検出することができる。
【００１７】
前記基準高さは、前記形状データをもとに算出される前記被測定面の平均高さであってもよい。
これにより平均高さから所定の閾値以上低い部分を、凹部として精度よく検出することが可能となる。
【００１８】
前記複数の凹部を有する被測定面は、複数のピットを有するシリンダの内壁面であってもよい。
これによりシリンダの内壁面の複数のピットを除いた領域の表面粗さを高精度に測定することが可能となる。
【００１９】
前記複数の凹部を有する被測定面は、クロスハッチが形成されたシリンダの内壁面であってもよい。
これによりシリンダの内壁面のクロスハッチを除いた領域の表面粗さを高精度に測定することが可能となる。
【００２０】
前記情報処理装置は、さらに、前記設定された除去対象領域を除く領域の表面粗さを測定する測定部を具備してもよい。
被測定面の表面性状として、凹部を除いた領域の表面粗さを高精度に測定することが可能となる。
【００２１】
本発明の一形態に係る情報処理方法は、コンピュータにより実行される情報処理方法であって、複数の凹部を有する被測定面の形状データを取得することを含む。
前記取得された形状データをもとに前記複数の凹部の各々が検出され、前記検出された前記凹部ごとに、前記凹部を含む除去対象領域が設定される。
【００２２】
本発明の一形態に係るプログラムは、コンピュータに以下のステップを実行させる。
複数の凹部を有する被測定面の形状データを取得するステップ。
前記取得された形状データをもとに前記複数の凹部の各々を検出し、前記検出された前記凹部ごとに、前記凹部を含む除去対象領域を設定するステップ。
【発明の効果】
【００２３】
以上のように、本発明によれば、オイルピット等の凹部が形成された被測定面の表面性状を高精度に測定することが可能となる。なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれかの効果であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１は、一実施形態に係る内壁測定装置の外観を模式的に示す図である。
【図２】図２は、図１に示すＰＣのハードウェア構成例を示す概略図である。
【図３】図３は、プローブヘッド部の構成例を示す概略図である。
【図４】図４Ａ及びＢは、被測定面の形状データの算出例を説明するための模式図である。
【図５】図５は、ピット周辺領域の設定及び除去の処理例を示すフローチャートである。
【図６】図６は、入力される形状データの一例を模式的に示す図である。
【図７】図７Ａ及びＢは、内壁面についての平面形状データを模式的に示す図である。
【図８】図８Ａ、Ｂ及びＣは、ピット周辺領域の設定例を説明するための模式的な平面図である。
【図９】図９は、ピット周辺領域の設定例を説明するための模式的な断面図である。
【図１０】図１０は、ピットの縁部の拡大例を示す模式図である。
【図１１】図１１は、除去対象領域の他の設定例を説明するための模式的な平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明に係る実施形態を、図面を参照しながら説明する。
【００２６】
［内壁測定装置の構成］
図１は、本発明の一実施形態に係る内壁測定装置の外観を模式的に示す図である。図２は、本実施形態に係る情報処理装置として機能するＰＣ（Personal Computer）のハードウェア構成例を示す概略図である。なおＰＣ以外のコンピュータが用いられてもよい。
【００２７】
図１に示すように、内壁測定装置５００は、３次元座標測定機１００と、ＰＣ２００とを有する。３次元座標測定機１００は、基体部１０と、３軸移動機構２０と、ステージ３０と、ヘッドカバー４０と、プローブヘッド部５０（図３参照）とを有する。基体部１０により、３軸移動機構２０が支持される。
【００２８】
３軸移動機構２０は、Ｘ軸移動機構２１と、Ｙ軸移動機構２２と、Ｚ軸移動機構２３とを有する。Ｘ軸移動機構２１は、ステージ３０をＸ方向に沿って移動可能に支持する。Ｙ軸移動機構２２は、Ｘ軸移動機構２１を、Ｙ方向に沿って移動可能に支持する。Ｚ軸移動機構２３は、ヘッドカバー４０及びプローブヘッド部５０を、Ｚ軸方向に沿って移動させる。
【００２９】
３軸移動機構２０がＰＣ２００により制御されることで、ＸＹＺの３軸で構成される測定座標区間内で、プローブヘッド部５０を走査することが可能となる。すなわちステージ３０に載置される測定対象物Ｍに対して、互いに直交するＸＹＺの３軸方向に沿って、プローブヘッド部５０を相対的に移動させることが可能となる。
【００３０】
ＸＹＺの各移動機構２１、２２及び２３の具体的な構成は限定されない。また３軸移動機構２０の構成も、ＸＹＺの各方向に沿ってプローブヘッド部５０を走査可能であるのならば、任意の構成が採用さてよい。
【００３１】
３次元座標測定機１００には、ＸＹＺの各方向に対して、リニアエンコーダ等の図示しない位置検出機構が設置される。位置検出機構により、測定対象物Ｍに対するプローブヘッド部５０の相対的な変位や位置のデータが、ＰＣ２００に出力される。
【００３２】
ステージ３０は、水平方向（ＸＹ平面方向）に平行な載置面３１を有する。載置面３１に測定対象物Ｍが載置される。本実施形態では、測定対象物Ｍとして、載置面３１に自動車等に搭載されるシリンダブロックが載置される。ヘッドカバー４０に覆われたプローブヘッド部５０を制御することで、シリンダブロックに設けられたシリンダの内壁を測定することが可能である。プローブヘッド部５０については、後に詳しく説明する。
【００３３】
図２に示すように、ＰＣ２００は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）２０１、ＲＯＭ（Read Only Memory）２０２、ＲＡＭ（Random Access Memory）２０３、入出力インタフェース２０５、及びこれらを互いに接続するバス２０４を備える。入出力インタフェース２０５には、表示部２０６、操作部２０７、記憶部２０８、通信部２０９、Ｉ/Ｆ（インタフェース）部２１０等が接続される。
【００３４】
表示部２０６は、例えば液晶、ＥＬ（Electro-Luminescence）等を用いた表示デバイスである。操作部２０７は、例えばキーボード、ポインティングデバイス、タッチパネル（表示部２０６と一体構造）、その他の操作装置である。記憶部２０８は、不揮発性の記憶デバイスであり、例えばＨＤＤ（Hard Disk Drive）等が用いられる。
【００３５】
通信部２０９は、ＬＡＮ（Local Area Network）やＷＡＮ（Wide Area Network）等のネットワークを介して他のデバイスと通信するための通信モジュールである。Bluetooth（登録商標）等の近距離無線通信用の通信モジュールが備えられてもよい。またモデムやルータ等の通信機器が用いられてもよい。
【００３６】
Ｉ／Ｆ部２１０は、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）端子やＨＤＭＩ（登録商標）（High-Definition Multimedia Interface）端子等の、他のデバイスや種々のケーブルが接続されるインタフェースである。表示部２０６、操作部２０７又は通信部２０９等が、Ｉ／Ｆ部２１０を介してＰＣ２００に接続されてもよい。
【００３７】
本実施形態では、通信部２０９又はＩ／Ｆ部２１０を介して、有線又は無線により、３次元座標測定機１００とＰＣ２００とが接続される。従ってこれらのブロックを介して、被測定面の形状データが、３次元座標測定機１００からＰＣ２００へ入力される。
【００３８】
ＰＣ２００による情報処理は、例えばＣＰＵ２０１が、ＲＯＭ２０２や記憶部２０８等に記憶された所定のプログラムを、ＲＡＭ２０３にロードして実行することにより実現される。図１に示すように、本実施形態では、ＣＰＵ２０１が所定のプログラムを実行することで、駆動制御部２１１、表面測定部２１２、及びピット周辺領域設定部２１３が実現される。各ブロックを実現するために専用のハードウェアが用いられてもよい。
【００３９】
駆動制御部２１１は、３次元座標測定機１００内の各機構の駆動を制御する。表面測定部２１２は、３次元座標測定機１００から出力される測定データ等をもとに、測定対象物Ｍの表面性状等を測定する。本実施形態では、ピット周辺領域設定部２１３により設定されたピット周辺領域を除く領域の表面粗さが測定される。ピット周辺領域とは、オイルピット及びその周辺を含む領域であり、本実施形態において、除去対象領域に相当する。ピット周辺領域の設定については、後に詳しく説明する。
【００４０】
プログラムは、例えば種々の記録媒体を介してＰＣ２００にインストールされる。あるいは、インターネット等を介してプログラムがＰＣ２００にインストールされてもよい。なお本実施形態に係る情報処理装置として、ＰＣ以外のコンピュータが用いられてもよい。
【００４１】
図３は、プローブヘッド部５０の構成例を示す概略図である。プローブヘッド部５０は、ベース部５１と、タッチプローブ５２と、画像プローブ５３と、プローブ支持機構５４とを有する。ベース部５１は、Ｚ軸移動機構２３に接続され、Ｚ方向に沿って移動される。ベース部５１が移動すると、タッチプローブ５２、画像プローブ５３、及びプローブ支持機構５４も一体的に移動する。
【００４２】
タッチプローブ５２は、ベース部５１に、先端球５５を有するスタイラス５６がＺ方向に延在するように取付けられる。タッチプローブ５２は、測定対象物Ｍに対して走査され、測定対象物Ｍと先端球５５との接触が検知される際のＸＹＺの座標情報が算出される。その算出結果をもとに、測定対象物Ｍの形状や高さ等が測定される。タッチプローブ５２の具体的な構成は限定されず、任意のタッチプローブが用いられてよい。
【００４３】
画像プローブ５３は、ベース部５１に、プローブ支持機構５４を介して取付けられる。本実施形態では、画像プローブ５３として、白色光干渉計が用いられる。従って図３に示すように、画像プローブ５３内には、光干渉光学系５７が構成される。なお画像プローブ５３として白色光干渉計以外のプローブが用いられる場合でも、本技術は適用可能である。
【００４４】
光干渉光学系５７は、測定対象物Ｍが載置される載置面３１に平行な方向（ＸＹ平面方向）を撮影方向として、測定対象物Ｍを撮影可能なように構成されている。すなわち画像プローブ５３によりＺ方向に平行な垂直面を測定することが可能である。これにより、シリンダ等の内壁の表面性状等を、高精度に測定することが可能となる。
【００４５】
プローブ支持機構５４は、回転駆動部６０と、直線駆動部６１とを有する。回転駆動部６０は、例えば図示しない接続部材等を介して、ベース部５１に回転可能に配置される。回転駆動部６０は、載置面３１に垂直な方向であるＺ方向に延在するθ軸を回転軸として、画像プローブ５３を回転させることが可能である。回転駆動部６０の具体的な構成は限定されず、例えばモータ等の駆動源や回転トルクを伝達する回転部材等により構成される。
【００４６】
直線駆動部６１は、回転駆動部６０に取付けられ、１方向に延在するＷ軸に沿って、画像プローブ５３を移動させることが可能である。直線駆動部６１には、画像プローブ５３が、撮影光軸の方向がＷ軸の方向と等しくなるように取付けられる。従って直線駆動部６１により、画像プローブ５３を撮影方向に沿って移動させることが可能となる。直線駆動部６１の具体的な構成は限定されず、任意に設計されてよい。
【００４７】
図４は、３次元座標測定機１００による被測定面の形状データの算出例を説明するための模式図である。以下、測定対象物Ｍを、シリンダブロックＷと記載して説明を行う。被測定面は、シリンダブロックＷが有するシリンダ７０の内壁面７１である。
【００４８】
タッチプローブ５２によりシリンダブロックＷが測定される。これによりシリンダブロックＷの上面の高さや各シリンダ７０の中心位置Ｃ及び内径等が測定される。図４Ａに示すように、両プローブのオフセット量をもとに、内壁面７１上の所定の測定ポイントＵに、画像プローブ５３の焦点位置Ｐが配置されるように、画像プローブ５３が移動される。オフセット量は、例えば校正用治具等を用いて予め算出可能である。
【００４９】
具体的な画像プローブ５３の移動方法は限定されない。例えばシリンダ７０の中心位置Ｃに画像プローブ５３が配置され、測定ポイントＵに向けてＷ軸が延在するように回転駆動部６０が回転する。そして測定ポイントＵに向けてフォーカスが合うように、直線駆動部６１により、Ｗ軸上の所定のＷ座標の位置に画像プローブ５３が移動される。
【００５０】
図４Ａに示すように、Ｗ軸に沿って画像プローブ５３がスキャニングされる。また図４Ｂに示すように、回転駆動部６０の回転方向においても、画像プローブ５３がスキャニングされる。これにより内壁面７１の測定ポイントＵを中心とした領域の形状データを算出することが可能となる。例えば測定対象の範囲が予め指定されており、当該指定範囲分の点群データが、形状データとして算出される。
【００５１】
本実施形態では、ベース部５１に、タッチプローブ５２と、ＸＹ平面方向で撮影可能な画像プローブ５３とが配置される。画像プローブ５３は回転駆動部６０によりＺ方向を軸として回転される。また直線駆動部６１により、撮影方向に沿って移動される。これによりシリンダ７０等の内壁面７１の形状データを高精度に算出することが可能となる。
【００５２】
［ピット周辺領域］
シリンダ７０の内壁面７１には、例えば１０μｍ程度〜数百μｍの多孔質状の穴（くぼみ）からなる、複数のオイルピット（以下、単にピットと記載する）が形成されている。内壁面７１の表面性状の測定要求として、ピットの数や形状等の測定に加えて、ピットが形成されていない平面領域の表面粗さの測定も挙げられる。内壁面７１の全体に対して表面粗さを測定すると、ピットの部分が粗さとして解析されてしまうので、正確なデータが得られない。本実施形態では、以下に説明するように、ピット及びその周辺の領域を含むピット周辺領域が設定され、これが適宜除去される。
【００５３】
図５は、ピット周辺領域の設定及び除去の処理例を示すフローチャートである。まず複数のピットを有する内壁面７１の形状データが入力される（ステップ１０１）。
【００５４】
図６は、入力される形状データの一例を模式的に示す図である。例えば３次元座標測定機１００により、内壁面７１に設定された測定ポイントＵを中心とした、指定範囲分の形状データＤ１が算出され、ＰＣ２００に入力される。図６に示すように、指定範囲分の形状データＤ１が内壁面７１の周方向に沿って結合されると、内壁面７１の所定の高さにおける１周分の形状データＤ２となる。
【００５５】
図１に示す表面測定部２１２により、１周分の形状データＤ２が平面に展開され、平面形状データＤ３が生成される。生成された平面形状データＤ３は、ピット周辺領域設定部２１３に入力され、ピット周辺領域の設定及び除去が実行される。平面形状データＤ３へ展開することで、高精度にピット周辺領域の設定及び除去を実行することが可能となる。なおピット周辺領域設定部２１３により、平面形状データＤ３への展開が実行されてもよい。
【００５６】
平面形状データＤ３への展開方法は限定されず、任意の技術が用いられてもよい。例えば内壁面７１の内径や曲率等をもとに、平面形状データＤ３を生成することが可能である。その際には、タッチプローブ５２や画像プローブ５３により測定された測定値を用いることで、精度よく平面形状データＤ３を生成することができる。
【００５７】
図７は、平面形状データＤ３を模式的に示す図である。図７Ｂは、図７ＡのＡ−Ａ線における断面図である。図中のＺ'方向が、平面形状データＤ３に対する高さ方向となる。平面形状データＤ３の各点（測定点）の高さは、図３に示すＷ方向の測定値に対応する値となる。
【００５８】
平面形状データＤ３をもとに、内壁面７１上の複数のピット７５が検出される（ステップ１０２）。本実施形態では、基準高さＨ及び閾値Ｔが設定され、基準高さＨよりも閾値Ｔ以上低い部分が、ピット７５として検出される。従って基準高さＨよりも閾値Ｔ低い高さに設定された、Ｘ'Ｙ'平面方向に平行な面よりも低い部分がピット７５として検出される。これにより高い精度でピット７５を検出することが可能となる。
【００５９】
基準高さＨとしては、例えば平面形状データＤ３の全体の高さの平均が用いられる。もちろんこれに限定されず、フィルタ処理等が実行された後の平面形状データＤ３の平均が用いられてもよい。あるいはオペレータ等により、基準高さＨが指定されてもよい。その他、任意の方法が採用されてよい。閾値Ｔの大きさも限定されず、任意に設定されてよい。
【００６０】
検出されたピット７５ごとに、ピット周辺領域８０が設定される（ステップ１０３）。図８及び図９は、ピット周辺領域８０の設定例を説明するための模式図である。図８はピット７５の平面図であり、図９はピット７５の断面図である。図９では、説明を分かりやすくするために、ピット７５の形状が単純化されている。
【００６１】
図８Ａに示すように、検出されたピット７５の面積と略等しい面積を有する基準円Ｏ１が設定される。その基準円Ｏ１の直径をピット径Ｌとすると、当該ピット径Ｌを基準としてピット周辺領域８０が設定される。なお図９に示すように実際のピット７５の断面の幅とピット径Ｌとが必ずしも一致する場合に限定されない。
【００６２】
ピット７５の面積は、例えば周知の技術等を用いて算出可能である。例えば平面形状データＤ３としてＸ'Ｙ'平面上に等間隔で並ぶ点群データが用いられる場合には、ピット７５に含まれる点群の数をカウントすることで、ピット７５の面積を算出することができる。その他、任意の技術によりピット７５の面積が算出されてよい。
【００６３】
図８Ｂに示すように、任意の拡大率を周辺除去率Ｅとして設定し、ピット径Ｌに周辺除去率Ｅが積算される。その積算値Ｌ×Ｅは、基準円Ｏ１を周辺除去率Ｅの２乗の値で拡大した拡大円Ｏ２の直径に相当する。また図８Ｂに示す積算値Ｌ×Ｅにピット径Ｌを引いた値を２で割った値ｄは、基準円Ｏ１の半径と拡大円Ｏ２の半径との差に相当する。すなわち値ｄは、基準円Ｏ１の半径と、基準円Ｏ１の半径に周辺除去率Ｅを積算した積算値との差となる。当該値ｄを、同じ符号を用いて、拡大量ｄと記載する。
【００６４】
図８Ｃに示すように、拡大量ｄを基準として、ピット７５の縁部７６（基準高さに設定された面との交点）を拡大させることで、ピット周辺領域８０が設定される。ピット周辺領域８０は、ピット７５の全体が含まれるように、典型的には、ピット７５の形状に合わせて設定される。
【００６５】
図１０は、拡大量ｄを基準としてピット７５の縁部７６を拡大する方法の一例を示す模式図である。ピット７５の縁部７６から主要なポイント７６Ｐが選択される。当該ポイント７６Ｐを拡大量ｄ分だけ拡大させた拡大ポイント８０Ｐが設定される。ピット７５の形状に合わせて、拡大ポイント８０Ｐが連結されることで、ピット周辺領域８０が設定される。これによりピット周辺領域８０を、ピット７５の形状に合わせて簡単に設定することが可能となる。
【００６６】
ピット７５の縁部７６を拡大する方法は限定されず、任意の方法が採用されてよい。なおピット７５の形状等により拡大円Ｏ２にピット７５の全体が含まれる場合には、拡大円Ｏ２がピット周辺領域８０として設定される場合もあり得る（例えば図９参照）。
【００６７】
図９に示すように、平面領域８５の表面粗さの測定精度を低下させ得るピット７５の周りの部分の大きさは、ピット径Ｌに応じて異なる場合が多い。本実施形態におけるピット周辺領域８０の設定方法では、各々のピット径Ｌに応じて、適当な大きさのピット周辺領域８０を設定することが可能である。これにより平面領域８５が必要以上に大きく除去されてしまったり、ピット７５やピットの周りの部分の一部が平面領域８５として残ってしまうこと等を十分に防止することができる。この結果、平面領域８５の表面粗さを高精度に測定することが可能となる。
【００６８】
ピット周辺領域８０の他の設定方法として、拡大円Ｏ２の面積と略等しい面積となるように、ピット周辺領域８０が設定されてもよい。すなわちピット７５の面積（基準円Ｏ１の面積）に所定の拡大率（本実施形態では周辺除去率Ｅの２乗の値）を積算した積算値と略等しい面積を有するピット周縁領域８０が設定されてもよい。これにより各々のピット７５の面積（ピット径Ｌに対応する）に応じて、適当な大きさのピット周辺領域８０を設定することが可能である。
【００６９】
平面形状データＤ３からピット周辺領域８０が除去される（ステップ１０４）。例えばピット周辺領域８０の点群データが、表面粗さの解析には用いられない無効なデータに設定される。あるいは、ピット周辺領域８０の点群データが、平面形状データＤ３から削除されてもよい。ピット周辺領域８０が除去された平面形状データＤ３は、表面測定部２１２に出力され、表面粗さが測定される。
【００７０】
以上、本実施形態に係る内壁測定装置５００では、ＰＣ２００により、複数のピット７５の各々が検出され、ピット７５ごとにピット周辺領域８０が設定される。これにより内壁面７１の表面性状として、ピット７５を除いた平面領域８５の表面粗さを高精度に測定することが可能となる。また複数のピット７５に対して、ピット周辺領域８０の設定及び除去を一度に自動的に実行することが可能であるので、表面粗さの測定にかかる時間を大幅に短縮することができる。また上記したように、ピット７５の面積をもとに、適宜ピット周辺領域８０を設定することが可能であるので、表面粗さの測定精度を十分に向上させることが可能である。
【００７１】
＜その他の実施形態＞
本発明は、以上説明した実施形態に限定されず、他の種々の実施形態を実現することができる。
【００７２】
上記では、複数の凹部として、複数のピットが形成される場合を例に挙げた。そして除去対象領域（ピット周辺領域）を設定するための基準図形として、基準円が設定された。図８〜図１０を参照して説明したように、基準円の径を基準図形の寸法（サイズ）として、これを基準に簡単に除去対象領域を設定することが可能であった。なお除去対象領域を設定するために用いられる基準図形は、円に限定されず、他の任意の図形が用いられてよい。
【００７３】
図１１は、除去対象領域の他の設定例を説明するための模式的な平面図である。図１１に模式的に示すように、シリンダ内壁には、オイルを保持するためにホーニング加工によりクロスハッチ（網状の溝）９０が形成されることがある。このようなクロスハッチの溝９１を凹部として、本技術を適用することもできる。
【００７４】
図１１に示す例では、基準図形として、クロスハッチの溝９１の延在方向に延在する基準矩形Ｒが設定される。当該基準矩形Ｒの幅寸法（延在方向に略直交する短手方向のサイズ）Ｌを基準図形の寸法として、これを基準に除去対象領域が設定される。
【００７５】
基準矩形Ｒは、クロスハッチの溝９１の面積と略等しい面積となるように設定される。クロスハッチの溝９１は、円形よりも矩形に近い形状を有する。従って、クロスハッチの溝９１の長さに略等しい長さを有し、溝９１の幅（長さに略直交する方向のサイズ）と略等しい幅寸法Ｌを有する矩形を、基準矩形Ｒとして簡単に設定することが可能である。
【００７６】
クロスハッチの溝９１の幅としては、例えば長さ方向における各ポイントの幅の最大値が用いられてもよいし、平均値が用いられてもよい。あるいは長さ方向における所定のポイント（中央等）の幅が、クロスハッチの溝９１の幅として用いられてもよい。その他、基準矩形Ｒの設定方法は限定されず、例えばクロスハッチの溝９１の面積が算出され、その算出値に基づいて設定されてもよい。
【００７７】
除去対象領域は、例えば図１１に示す基準矩形Ｒの幅寸法Ｌを、図８等に示すピット径Ｌとして同様の処理にて設定可能である。例えば、基準矩形Ｒの幅寸法Ｌに周辺除去率Ｅを積算した積算値Ｌ×Ｅを幅寸法とする拡大矩形が設定される。当該拡大矩形の幅寸法と、基準矩形Ｒの幅寸法Ｌを引いた値を２で割った値を拡大量として、溝９１の縁部を拡大する。これにより除去対象領域を、溝９１の形状に合わせて簡単に設定することが可能となる。上記したようにクロスハッチの溝９１は矩形に近いので、拡大矩形に溝９１の全体が含まれることも多い。この場合、拡大矩形を除去対象領域として簡単に設定可能である。その他、基準矩形Ｒの幅寸法Ｌを基準とした任意の方法が採用されてよい。
【００７８】
図１に示す３次元座標測定機１００及びＰＣ２００が一体的に構成されてもよい。この場合、装置内に備えられた入出力インタフェース等が入力部として機能する。もちろん入力部がソフトウェアブロックにより構成されてもよい。
【００７９】
基準高さに代えて、ピットを検出するための閾値となる高さが設定されてもよい。当該閾値となる高さよりも低い部分が、ピットとして検出される。
【００８０】
本技術は、複数のピットやクロスハッチを有する内壁面以外の、被測定面にも適用可能である。すなわち図１に例示した内壁測定装置とは異なる任意の測定装置により測定された、種々の被測定面の形状データに対して、本技術は適用可能である。
【００８１】
例えば所定の目的のために意図的に複数の凹部が形成された被測定面の平面領域、あるいは意図せずにして複数の凹部が形成されている被測定面の平面領域等の表面粗さを、高精度に測定することが可能となる。もちろん平面領域に対して表面粗さの測定以外の処理が実行されてもよい。さらに凹部を含む除去対象領域について所定の測定等が実行されてもよい。
【００８２】
以上説明した各形態の特徴部分のうち、少なくとも２つの特徴部分を組み合わせることも可能である。また上記で記載した種々の効果は、あくまで例示であって限定されるものではなく、また他の効果が発揮されてもよい。
【符号の説明】
【００８３】
Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３…形状データ
Ｅ…周辺除去率
Ｈ…基準高さ
Ｌ…ピット径、幅寸法
Ｍ…測定対象物（シリンダブロック）
Ｏ１…基準円
Ｏ２…拡大円
Ｒ…基準矩形
７０…シリンダ
７１…内壁面
７５…ピット
８０…ピット周辺領域
８５…平面領域
１００…３次元座標測定機
２０９…通信部
２１０…Ｉ／Ｆ部
２１２…表面測定部
２１３…ピット周辺領域設定部
５００…内壁測定装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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