(57)【要約】【課題】処理液の管路に設けられるフィルタの状態を検知することができる薬液供給システムを提供する。【解決手段】実施形態によれば、薬液を処理対象上に供給する薬液供給装置２０と、監視装置３０と、を備える薬液供給システムが提供される。薬液供給装置２０は、ノズル２４と、フィルタ２６と、第１圧力計２７と、第２圧力計２８と、を有する。ノズル２４は、薬液を処理対象上に供給する。フィルタ２６は、配管に設けられる。第１圧力計２７と第２圧力計２８は、それぞれフィルタ２６の薬液の供給源側の配管と薬液の吐出側の配管に設けられる。監視装置３０は、第１圧力計から得られる第１圧力値と、第２圧力計から得られる第２圧力値と、の差分である差圧を、ノズル２４への薬液の圧送開始から所定の時間経過した時点までに取得した第１差圧−時間情報を用いて、フィルタ２６の状態を判定する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
薬液を処理対象上に供給する薬液供給装置と、監視装置と、を備える薬液供給システムであって、
前記薬液供給装置は、
配管を介して供給される前記薬液を、前記処理対象上に供給するノズルと、
前記配管に設けられるフィルタと、
前記フィルタの前記薬液の供給源側の前記配管に設けられる第１圧力計と、
前記フィルタの前記薬液の吐出側の前記配管に設けられる第２圧力計と、
を有し、
前記監視装置は、前記第１圧力計から得られる第１圧力値と、前記第２圧力計から得られる第２圧力値と、の差分である差圧を、前記ノズルへの前記薬液の圧送開始から所定の時間経過した時点までに取得した第１差圧−時間情報を用いて、前記フィルタの状態を判定する薬液供給システム。
【請求項２】
前記監視装置は、
前記第１差圧−時間情報の差圧が正常状態時の第２差圧−時間情報の差圧と同じである場合に、前記フィルタの状態が正常であると判定し、
前記第１差圧−時間情報の差圧が前記第２差圧−時間情報の差圧と同じでない場合に、前記フィルタの状態が異常であると判定するとともに、異常を出力する請求項１に記載の薬液供給システム。
【請求項３】
前記監視装置は、
前記差圧が前記正常状態の差圧範囲よりも高い場合に、前記フィルタの目詰まりが発生したと判定し、
前記差圧−時間情報の差圧が前記正常状態時の差圧−時間情報の差圧よりも低い場合に、前記フィルタの破過が発生した、あるいは前記フィルタ内に気泡が存在すると判定する請求項２に記載の薬液供給システム。
【請求項４】
前記監視装置は、前記フィルタが取り付けられた後、または前記フィルタが交換された後、前記差圧が所定の差圧範囲内に達した場合に、前記フィルタの立ち上がり完了を検知する請求項１に記載の薬液供給システム。
【請求項５】
薬液を処理対象上に供給する薬液供給方法において、
薬液を供給源から前記処理対象上に供給する配管に圧送する薬液圧送工程と、
前記配管に設けられるフィルタの前記供給源側の第１配管圧力、および前記処理対象側の第２配管圧力を計測する圧力計測工程と、
前記第１配管圧力と前記第２配管圧力との差圧を算出する差圧算出工程と、
前記薬液の圧送開始から所定の時間経過した時点までの間、前記差圧を、前記第１配管圧力および前記第２配管圧力の測定時刻とともに記録した第１差圧−時間情報を生成する差圧−時間情報生成工程と、
前記第１差圧−時間情報の差圧と前記フィルタが正常状態時の第２差圧−時間情報の差圧とを比較して前記フィルタの状態を判定するフィルタ状態判定工程と、
を含む薬液供給方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、薬液供給システムおよび薬液供給方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、半導体デバイスの製造工程では、処理対象としての半導体ウェハ（以下、ウェハという）にフォトレジストを塗布し、フォトリソグラフィ技術を用いて回路パターンを縮小してフォトレジストに転写し、これを現像する一連の処理が施される。このような工程では、ウェハ等にレジスト液または現像液等の処理液が供給される。処理液には、様々な原因によって気泡またはパーティクルが混入する。気泡またはパーティクルが混入した処理液がウェハ等に供給されると塗布異常または欠陥が発生する。
【０００３】
そのため、処理液中に混在する気泡またはパーティクルを除去するフィルタが、処理液の管路に設けられる（たとえば、特許文献１参照）。フィルタの取り付けにあたっては、フィルタ内に気泡が残存しないように処理される。また、フィルタの交換にあたっては、フィルタの破過が生じる前にフィルタの交換が行われる。しかし、従来では、フィルタの破過またはフィルタ内の気泡の存在などのフィルタの状態を検知する技術が十分ではなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３１６６０５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の一つの実施形態は、処理液の管路に設けられるフィルタの状態を検知することができる薬液供給システムおよび薬液供給方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一つの実施形態によれば、薬液を処理対象上に供給する薬液供給装置と、監視装置と、を備える薬液供給システムが提供される。前記薬液供給装置は、ノズルと、フィルタと、第１圧力計と、第２圧力計と、を有する。前記ノズルは、配管を介して供給される前記薬液を、前記処理対象上に供給する。前記フィルタは、前記配管に設けられる。前記第１圧力計は、前記フィルタの前記薬液の供給源側の前記配管に設けられる。前記第２圧力計は、前記フィルタの前記薬液の吐出側の前記配管に設けられる。前記監視装置は、前記第１圧力計から得られる第１圧力値と、前記第２圧力計から得られる第２圧力値と、の差分である差圧を、前記ノズルへの前記薬液の圧送開始から所定の時間経過した時点までに取得した第１差圧−時間情報を用いて、前記フィルタの状態を判定する。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】図１は、第１の実施形態による薬液供給システムの概略構成の一例を示す図である。
【図２】図２は、二次側圧力計が圧力制御機能を有しない場合の差圧と時間との間の関係を模式的に示す図である。
【図３】図３は、二次側圧力計が圧力制御機能を有する場合の差圧と時間との間の関係を模式的に示す図である。
【図４】図４は、フィルタ装着時の薬液通液処理の手順の一例を示すフローチャートである。
【図５】図５は、第１の実施形態によるフィルタ状態判定方法の処理手順の一例を示すフローチャートである。
【図６】図６は、第２の実施形態による薬液供給システムの概略構成の一例を示す図である。
【図７】図７は、第２の実施形態によるフィルタ状態判定方法の処理手順の一例を示すフローチャートである。
【図８】図８は、監視装置のハードウェア構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下に添付図面を参照して、実施形態にかかる薬液供給システムおよび薬液供給方法を詳細に説明する。なお、これらの実施形態により本発明が限定されるものではない。
【０００９】
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態による薬液供給システムの概略構成の一例を示す図である。薬液供給システムは、薬液供給装置２０と、監視装置３０と、を備える。薬液供給装置２０は、薬液供給部２１、薬液バッファ２２、薬液供給配管２３、ノズル２４、ポンプ２５、フィルタ２６、一次側圧力計２７および二次側圧力計２８を備える。
【００１０】
薬液供給部２１は、薬液を貯留し、薬液を供給する容器である。薬液は、たとえばレジスト液、現像液または洗浄液である。薬液供給部２１は、圧力によって略変形しない強度を有する。薬液供給部２１は、薬液バッファ２２と薬液供給配管２３ａによって接続される。また、薬液供給部２１には、加圧ガス供給配管２９の一端が接続されている。加圧ガス供給配管２９の他端には、図示しない加圧ガス供給部が接続される。加圧ガスとして窒素ガスなどを用いることができる。このような構成によって、加圧ガス供給配管２９から加圧ガスが供給されると、薬液供給部２１の内部から薬液バッファ２２へと薬液供給配管２３ａを介して薬液が供給される。
【００１１】
薬液バッファ２２は、薬液供給部２１からの薬液を一時貯留する容器である。薬液供給部２１内の薬液が無くなった場合でも、薬液バッファ２２に貯留されている薬液をノズル２４に供給することができるように、薬液バッファ２２は設けられる。つまり、薬液バッファ２２は、薬液供給部２１の交換時における予備容器としての役割を果たす。
【００１２】
薬液供給配管２３ｂは、薬液バッファ２２からノズル２４へと薬液を供給する配管である。ノズル２４は、薬液を処理対象上に吐出する。処理対象として、半導体基板またはガラス基板等が例示される。ポンプ２５は、薬液バッファ２２内の薬液を、薬液供給配管２３ｂを介して、ノズル２４に向けて供給する。フィルタ２６は、薬液から気泡またはパーティクルを除去する。フィルタ２６は、薬液バッファ２２とノズル２４との間を結ぶ薬液供給配管２３ｂ上に設けられる。
【００１３】
一次側圧力計２７は、フィルタ２６の上流側に設けられ、二次側圧力計２８は、フィルタ２６の下流側に設けられる。一次側圧力計２７は、フィルタ２６の一次側の配管圧力を計測し、二次側圧力計２８は、フィルタ２６の二次側の配管圧力を計測する。一次側圧力計２７と二次側圧力計２８の圧力の計測結果は、監視装置３０へと出力される。
【００１４】
監視装置３０は、一次側圧力計２７で計測されたフィルタ２６の一次側の配管圧力Ｐ１と、二次側圧力計２８で計測されたフィルタ２６の二次側の配管圧力Ｐ２と、からフィルタ２６の状態を判定するフィルタ状態判定部３１を有する。フィルタ状態判定部３１は、フィルタ２６の一次側の配管圧力Ｐ１と二次側の配管圧力Ｐ２とからフィルタ２６の膜抵抗の変化を検出する。フィルタ２６前後の一次側の配管圧力Ｐ１と二次側の配管圧力Ｐ２との差圧ΔＰは、次式（１）で示すことができる。ただし、αは、大気圧変動等の日間差による影響を考慮した定数である。
ΔＰ＝（膜抵抗＋配管抵抗）×薬液粘度＋α  ・・・（１）
【００１５】
（１）式に示されるように、配管抵抗と薬液粘度とが一定であると仮定すると、フィルタ２６の膜抵抗が増加すると差圧ΔＰは増加し、フィルタ２６の膜抵抗が低下すると差圧ΔＰは低下する。図２は、二次側圧力計が圧力制御機能を有しない場合の差圧と時間との間の関係を模式的に示す図である。この図において、横軸は、ポンプ２５作動時からの時間の経過を示し、縦軸は、フィルタ２６の一次側の配管圧力と二次側の配管圧力との差圧ΔＰを示している。フィルタ２６が正常状態の場合には、曲線Ｌｎで示されるように、ポンプ２５作動時から徐々に差圧ΔＰが上昇していき、ある時点を超えると差圧ΔＰは略一定の値ΔＰｎとなる。
【００１６】
一方、フィルタ２６の膜抵抗が増加する場合には、曲線Ｌｉで示されるように、ポンプ２５作動時から差圧ΔＰが上昇していき、ある時点を超えると、差圧ΔＰは略一定の値ΔＰｉとなる。ΔＰｉはΔＰｎよりも大きくなる。これは、大きな圧力をかけないと、フィルタ２６中を薬液が流れないことを示している。このような状態の原因として、フィルタ２６の目詰まりが考えられる。
【００１７】
また、フィルタ２６の膜抵抗が減少する場合には、曲線Ｌｄで示されるように、ポンプ２５作動時から差圧ΔＰがあまり上昇せず、差圧ΔＰは略一定の値ΔＰｄとなる。ΔＰｄはΔＰｎよりも小さくなる。これは、フィルタ２６中を薬液が流れ易くなっていることを示している。このような状態の原因として、フィルタ２６の破過またはフィルタ２６中の気泡の存在などが考えられる。ここで、破過とは、吸着速度と脱着速度とが釣り合って平衡となり、吸着能力を示さなくなった状態を表す。
【００１８】
なお、図２は、二次側圧力計２８が圧力制御機能を有しない場合であるが、二次側圧力計２８が圧力制御機能を有する場合もある。図３は、二次側圧力計が圧力制御機能を有する場合の差圧と時間との間の関係を模式的に示す図である。フィルタ２６の膜抵抗が増加する場合には、曲線Ｌｉで示されるように、ポンプ２５作動時から差圧ΔＰが急激に上昇していく。これは、二次側圧力計２８で計測される圧力を一定に保つようにする圧力調整機能が働くためである。そして、ある時点で、差圧ΔＰが急激に減少し、その後、差圧ΔＰは略一定の値ΔＰｉとなる。ΔＰｉはΔＰｎよりも大きくなる。このような状態の原因として、フィルタ２６の目詰まりが考えられる。
【００１９】
また、フィルタ２６の膜抵抗が減少する場合には、曲線Ｌｄで示されるように、ポンプ２５作動時から差圧ΔＰが上昇していく。しかし、通常時の差圧ΔＰｎに比較して低い値となる。そして、ある時点以降は、差圧ΔＰは略一定の値ΔＰｄとなる。ΔＰｄはΔＰｎよりも小さくなる。このような状態の原因として、フィルタ２６の破過またはフィルタ２６中の気泡の存在などが考えられる。
【００２０】
このように、薬液供給時の差圧ΔＰを計測することで、フィルタ２６の膜抵抗の変化を検知することができるようになる。また、フィルタ２６の膜抵抗の変化は、フィルタ２６の破過、目詰まり、フィルタ２６内の気泡の有無などによって変化する。そのため、差圧ΔＰを計測することによって、フィルタ２６の状態を直接判別することが可能になる。
【００２１】
フィルタ状態判定部３１は、一次側圧力計２７および二次側圧力計２８で計測された圧力から算出される差圧の時間に対する変化を示す差圧−時間情報を取得して、正常状態時の差圧−時間情報と比較することによって、フィルタ２６の状態を判別し、その結果を出力する。具体的には、フィルタ状態判定部３１は、生成した差圧−時間情報の差圧が、正常状態時の差圧−時間情報の差圧と比較して大きい場合には、フィルタ２６に目詰まりが発生していると判定し、生成した差圧−時間情報の差圧が正常状態時の差圧−時間情報の差圧と比較して小さい場合には、フィルタ２６が破過していたり、フィルタ２６に気泡が存在していたりすると判定する。また、フィルタ状態判定部３１は、生成した差圧−時間情報の差圧が、正常状態時の差圧−時間情報の差圧と比較して、同じである場合には、フィルタ２６は正常であると判定する。なお、正常状態時の差圧−時間情報の各時間における差圧は、フィルタ２６が正常となる幅を有していてもよい。
【００２２】
図２と図３に示されるように、フィルタ２６の膜抵抗が増大する場合の差圧は、正常な場合の差圧に比して大きい値をとり、また、フィルタ２６の膜抵抗が低下する場合の差圧は、正常な場合の差圧に比して小さい値を取る。これより、フィルタ２６が正常な場合の差圧−時間情報の範囲を定義しておくことによって、フィルタ２６の膜抵抗の増減を判定することが可能になる。そのため、取得する差圧−時間情報は、ポンプ２５起動から任意の時刻までとすることができる。
【００２３】
なお、フィルタ状態判定部３１でのフィルタ状態の判定方法として、差圧−時間情報、すなわち取得した時間に対する差圧の状態を示す波形と、基準となる時間に対する差圧の状態を示す波形とを比較する方法のほかに、差圧−時間情報で、ポンプ２５起動から所定時間経過した後の差圧を、正常状態時の差圧と比較する方法を用いることができる。この場合には、図２と図３に示されるように、ポンプ２５起動からある時間が経過すると、正常状態でも異常状態でも、差圧は時間に対して略一定の値を持つ。そのため、所定時間は、略一定の値が得られる値に設定されることが望ましい。
【００２４】
また、二次側圧力計２８が圧力制御機能を有しない場合には、図２に示されるように、ポンプ２５起動からある時間が経過すると、差圧は時間に対して略一定の値を持つので、差圧の時間に対する傾きが変化した後の差圧を、正常状態時の差圧と比較して、フィルタ２６の状態を判別してもよい。
【００２５】
フィルタ状態判定部３１は、薬液供給システムに設けられる警報器に異常状態を出力してもよいし、監視装置３０に含まれる表示部に異常状態を示す情報を表示させてもよい。
【００２６】
また、フィルタ状態判定部３１は、フィルタ２６の取り付け後、またはフィルタ２６の交換後、フィルタ２６が立ち上がったかのフィルタ２６の状態も判定する。これも、フィルタ２６に薬液が満たされるようにポンプ２５を起動させた後、一次側圧力計２７と二次側圧力計２８との圧力差を計測し、圧力差が立ち上がり完了範囲内に収まった場合に、フィルタ状態判定部３１は、フィルタ２６内に気泡が無くなり、十分に濡れた状態になり、使用可能な立ち上がり状態になったと判断する。
【００２７】
ここで、フィルタ２６の状態判別処理について説明する。まず、フィルタ２６の装着時における薬液通液処理について説明する。これは、フィルタ２６の交換後でフィルタ２６の使用前に行われる処理であり、この際にもフィルタ状態の判定が行われる。図４は、フィルタ装着時の薬液通液処理の手順の一例を示すフローチャートである。加圧ガスが薬液供給部２１内に供給されると、薬液供給部２１内の薬液が薬液バッファ２２へと供給される。薬液バッファ２２内には、所定の量の薬液が保持される状態となる。ついで、ポンプ２５が作動され（ステップＳ１１）、薬液バッファ２２内の薬液がフィルタ２６を介してノズル２４から吐出される。
【００２８】
薬液がフィルタ２６を通過する前後で、フィルタ２６の一次側および二次側の配管圧力が一次側圧力計２７と二次側圧力計２８とで計測され（ステップＳ１２）、その計測値が監視装置３０へと送られる。監視装置３０のフィルタ状態判定部３１では、一次側の圧力と二次側の圧力との差分（差圧）ΔＰを算出し、時間情報とともに保存する（ステップＳ１３）。そして、フィルタ状態判定部３１は、差圧が立ち上がり完了範囲内にあるかを判定する（ステップＳ１４）。立ち上がり完了範囲は、たとえばフィルタ２６に薬液を通しはじめてから、ノズル２４から処理対象上に吐出される薬液を観察し、気泡がなく十分に濡れた状態の薬液が吐出される差圧である。
【００２９】
差圧が立ち上がり完了範囲内にない場合（ステップＳ１４でＮｏの場合）には、薬液通液処理が不十分であり、フィルタ２６内に気泡が残存している状態であるので、ステップＳ１２へと処理が戻る。
【００３０】
また、差圧が立ち上がり完了範囲内にある場合（ステップＳ１４でＹｅｓの場合）には、フィルタ２６内の気泡が無くなり、十分に濡れた状態であるので、フィルタ状態判定部３１は、フィルタ２６が立ち上がったことを検出する（ステップＳ１５）。以上で、処理が終了するが、その後は、ノズル２４の下には、処理対象が配置され、薬液供給システムを用いた薬液供給処理が行われる。
【００３１】
つぎに、薬液供給システムにおけるフィルタ状態判定方法について説明する。図５は、第１の実施形態によるフィルタ状態判定方法の処理手順の一例を示すフローチャートである。まず、処理対象のウェハが薬液処理装置に配置された後、ポンプ２５が作動される（ステップＳ３１）。
【００３２】
その後、監視装置３０のフィルタ状態判定部３１は、一次側圧力計２７で計測された一次側の配管圧力と、二次側圧力計２８で計測された二次側の配管圧力とを取得し（ステップＳ３２）、差圧ΔＰを算出し、差圧−時間情報を生成する（ステップＳ３３）。ついで、フィルタ状態判定部３１は、ポンプ２５の作動が開始されてから所定の時間が経過したかを判定する（ステップＳ３４）。所定の時間が経過していない場合（ステップＳ３４でＮｏの場合）には、ステップＳ３２へと処理が戻る。
【００３３】
また、所定の時間が経過した場合（ステップＳ３４でＹｅｓの場合）には、フィルタ状態判定部３１は、生成した差圧−時間情報の差圧を、フィルタ２６が正常状態時の差圧−時間情報の差圧と比較する（ステップＳ３５）。算出した差圧−時間情報の差圧が正常状態時の差圧−時間情報の差圧と同じ値を示す場合（ステップＳ３５で正常の場合）には、すなわち、算出した差圧−時間情報の差圧は、正常状態時の差圧−時間情報が示す差圧範囲内にある場合には、フィルタ状態判定部３１は、フィルタ状態は正常であると判定し（ステップＳ３６）、処理が終了する。その後は、薬液が処理対象上に吐出されることになる。
【００３４】
また、生成した差圧−時間情報の差圧が正常状態時の差圧−時間情報の差圧と比較して増加している場合（ステップＳ３５で増加の場合）には、フィルタ状態判定部３１は、フィルタ２６の膜抵抗が増加しており、フィルタ２６が異常であると判定する。具体的には、フィルタ状態判定部３１は、フィルタ２６に目詰まりが発生している状態であると判定する（ステップＳ３７）。
【００３５】
さらに、生成した差圧−時間情報が正常状態時の差圧−時間情報の差圧と比較して減少している場合（ステップＳ３５で減少の場合）には、フィルタ状態判定部３１は、フィルタ２６の膜抵抗が減少しており、フィルタ２６が異常であると判定する。具体的には、フィルタ状態判定部３１は、フィルタ２６の破過またはフィルタ２６に気泡が存在すると判定する（ステップＳ３８）。
【００３６】
ステップＳ３７またはＳ３８の後、フィルタ状態判定部３１は、異常発生を通知し（ステップＳ３９）、処理が終了する。異常発生の通知は、たとえば図示しない表示部にフィルタ２６の異常を、フィルタ２６の状態とともに通知するものであってもよいし、図示しないフィルタ２６の異常を通知するインジケータを用いて通知するものであってもよい。
【００３７】
第１の実施形態では、フィルタ２６の前後に一次側圧力計２７と二次側圧力計２８とを設け、ポンプ２５を作動させてから所定の時間までの一次側圧力計２７と二次側圧力計２８とで計測された圧力値の差圧を示す差圧−時間情報を生成する。そして、生成した差圧−時間情報の差圧と、フィルタ２６の正常状態時の差圧−時間情報の差圧とを比較した。これによって、差圧から、フィルタ２６の破過、目詰まり、またはフィルタ２６内の気泡の有無を含むフィルタ２６の状態を判別することができるという効果を有する。その結果、ノズル２４から処理対象上に実際に吐出された薬液の状態を観察して判定することなく、薬液の処理対象上への吐出前に、異常状態に対する処理を行うことができる。
【００３８】
また、フィルタ２６の交換後、薬液供給を開始してからフィルタ２６の前後の差圧を継続して計測するようにした。これによって、差圧が立ち上がり完了範囲内にある場合に、フィルタ２６の立ち上がりの完了が検出される。その結果、フィルタ２６内に気泡が残存せず、十分に濡れた状態であることを、薬液を処理対象上に吐出することなく確認することができる。
【００３９】
なお、上記した説明では、ポンプ２５を用いて薬液供給配管２３ｂを介してノズル２４へ薬液を圧送しているが、これに限るものではない。たとえば、ポンプ２５を設けずに、Ｎ2ガスなどのガスによって薬液供給配管２３ｂを介してノズル２４へ薬液を圧送することも可能である。
【００４０】
（第２の実施形態）
第１の実施形態では、フィルタを通過する薬液の差圧と正常状態時の差圧とを比較して、フィルタの状態を判別していた。第２の実施形態では、薬液供給システムから吐出される薬液の状態と差圧とを関連付けて、フィルタの状態を判別する場合を説明する。
【００４１】
図６は、第２の実施形態による薬液供給システムの概略構成の一例を示す図である。第２の実施形態による薬液供給システムは、監視装置３０に複数の薬液供給装置２０Ａ，２０Ｂ，・・・が接続される構成を有する。それぞれの薬液供給装置２０Ａ，２０Ｂ，・・・は、第１の実施形態で説明した薬液供給装置２０と同様である。また、監視装置３０に接続される複数の薬液供給装置２０Ａ，２０Ｂ，・・・は、同様の構成を有するものとする。同様の構成とは、たとえば各構成要素が同じ性能を有するような状態である。
【００４２】
監視装置３０は、差圧−塗布状態相関情報記憶部３２と、フィルタ状態判定部３１と、を備える。差圧−塗布状態相関情報記憶部３２は、フィルタ２６前後の差圧と、薬液の処理対象への塗布状態と、を関連付けた差圧−塗布状態相関情報を記憶する。差圧−塗布状態相関情報は、処理対象上への薬液の塗布状態が正常となる差圧範囲と、処理対象上への薬液の塗布状態が異常となる差圧範囲とが定義された情報である。これは、たとえば、監視装置３０に接続される１つの薬液供給装置２０において実験または実際の処理工程で求められる。
【００４３】
フィルタ状態判定部３１は、差圧−塗布状態相関情報を参照して、薬液の塗布状態が正常となる差圧範囲内に、一次側の配管圧力と二次側の配管圧力との差圧があるか否かを判定する。薬液の塗布状態が正常となる差圧範囲内に差圧がある場合には、フィルタ状態判定部３１は、フィルタ２６は正常であると判定し、そのまま処理を継続する。また、薬液の塗布状態が異常となる差圧範囲内に差圧がある場合には、フィルタ状態判定部３１は、フィルタ２６は異常であると判定し、フィルタ２６の交換を促す情報を出力する。たとえば、フィルタ状態判定部３１は、警報器に異常を示す情報を出力してもよいし、監視装置３０に含まれる表示部に異常状態を示す情報またはフィルタ２６の交換を促す情報を表示させてもよい。なお、第１の実施形態と同一の構成要素には同一の符号を付してその説明を省略する。
【００４４】
図７は、第２の実施形態によるフィルタ状態判定方法の処理手順の一例を示すフローチャートである。ここでは、第１薬液供給装置２０Ａで差圧−塗布状態相関情報が取得され、第１薬液供給装置２０Ａと同じ構成を有する第２薬液供給装置２０Ｂで薬液を処理対象上に供給する際に、正常に薬液を供給できるか否かを判定する場合を例に挙げる。
【００４５】
まず、監視装置３０のフィルタ状態判定部３１は、第２薬液供給装置２０Ｂの一次側圧力計２７で計測された一次側の配管圧力と、二次側圧力計２８で計測された二次側の配管圧力とを取得する（ステップＳ５１）。ついで、フィルタ状態判定部３１は、差圧ΔＰを算出する（ステップＳ５２）。
【００４６】
その後、フィルタ状態判定部３１は、差圧−塗布状態相関情報を参照して、算出した差圧が、薬液の塗布状態が正常となる差圧範囲内にあるかを判定する（ステップＳ５３）。算出した差圧が薬液の塗布状態が正常となる差圧範囲内にある場合（ステップＳ５３でＹｅｓの場合）には、フィルタ状態判定部３１は、フィルタ状態は正常であると判定し（ステップＳ５４）、処理が終了する。
【００４７】
一方、算出した差圧が、薬液の塗布状態が正常となる差圧範囲内にない場合（ステップＳ５３でＮｏの場合）には、監視装置３０は、フィルタ状態は異常であると判定する（ステップＳ５５）。そして、監視装置３０は、フィルタ２６が異常であることを出力し（ステップＳ５６）、処理が終了する。
【００４８】
なお、上記した説明では、差圧−塗布状態相関情報は、処理対象上への薬液の塗布状態が正常な差圧範囲と、処理対象上への薬液の塗布状態が異常な差圧範囲とが定義された情報である場合を例に挙げた。しかし、処理対象上への薬液の塗布状態が正常な差圧範囲、あるいは処理対象上への薬液の塗布状態が異常な差圧範囲のいずれかが定義されていればよい。
【００４９】
第２の実施形態による薬液供給システムでは、同様の構成を有する薬液供給装置２０Ａ，２０Ｂ，・・・が複数台設けられる場合に、薬液の塗布状態が異常であるか否かを示す差圧−塗布状態相関情報を共通化した。これによって、各薬液供給装置２０で計測されたフィルタ２６の一次側の配管圧力と二次側の配管圧力とを用いて算出した差圧から、類似の構成を有する薬液供給装置２０で、薬液を処理対象上に正常に塗布することができるか否かを判定することができるという効果を有する。
【００５０】
つぎに、監視装置３０のハードウェア構成について説明する。図８は、監視装置のハードウェア構成を示す図である。監視装置３０は、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）３０１、ＲＯＭ（Read  Only  Memory）３０２、ＲＡＭ（Random  Access  Memory）３０３、表示部３０４、入力部３０５を有している。監視装置３０では、これらのＣＰＵ３０１、ＲＯＭ３０２、ＲＡＭ３０３、表示部３０４、入力部３０５がバスライン３０７を介して接続されている。
【００５１】
ＣＰＵ３０１は、コンピュータプログラムであるフィルタ状態判定プログラム３１１を用いて薬液供給装置２０で使用されるフィルタ状態を判定する。フィルタ状態判定プログラム３１１は、コンピュータで実行可能な、監視装置３０でフィルタ状態を判定するための複数の命令を含むコンピュータ読取り可能かつ非遷移的な記録媒体（non-transitory  computer-readable  recording  medium）を有するコンピュータプログラムプロダクトである。フィルタ状態判定プログラム３１１では、複数の命令が監視装置３０でフィルタ状態を判定することをコンピュータに実行させる。
【００５２】
表示部３０４は、液晶モニタなどの表示装置であり、ＣＰＵ３０１からの指示に基づいて、フィルタ状態の判定結果などを表示する。入力部３０５は、マウスおよび／またはキーボードによって構成され、使用者から外部入力されるコマンドなどの指示情報を入力する。入力部３０５へ入力された指示情報は、ＣＰＵ３０１へ送られる。
【００５３】
フィルタ状態判定プログラム３１１は、ＲＯＭ３０２内に格納されており、バスライン３０７を介してＲＡＭ３０３へロードされる。図８では、フィルタ状態判定プログラム３１１がＲＡＭ３０３へロードされた状態を示している。
【００５４】
ＣＰＵ３０１はＲＡＭ３０３内にロードされたフィルタ状態判定プログラム３１１を実行する。具体的には、監視装置３０では、使用者による入力部３０５からの指示入力に従って、ＣＰＵ３０１がＲＯＭ３０２内からフィルタ状態判定プログラム３１１を読み出してＲＡＭ３０３内のプログラム格納領域にロードして各種処理を実行する。ＣＰＵ３０１は、この各種処理に際して生じる各種データをＲＡＭ３０３内に形成されるデータ格納領域に一時的に記憶させておく。
【００５５】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００５６】
２０，２０Ａ，２０Ｂ  薬液供給装置、２１  薬液供給部、２２  薬液バッファ、２３，２３ａ，２３ｂ  薬液供給配管、２４  ノズル、２５  ポンプ、２６  フィルタ、２７  一次側圧力計、２８  二次側圧力計、２９  加圧ガス供給配管、３０  監視装置、３１  フィルタ状態判定部、３２  差圧−塗布状態相関情報記憶部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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