(57)【要約】      （修正有）【課題】優れた透湿性およびガスバリア性を有し、かつ、優れた耐薬品性、透明性、屈曲性および耐熱性を有する積層フィルムを提供する。【解決手段】積層フィルム１００は、基材１０と、ＺｎＯ、ＡｌおよびＳｉＯ２を含む第１の酸化物層２０と、ＳｉＯ２で構成された第２の酸化物層３０と、をこの順に有し、第１の酸化物層２０の厚みは１０〜１００ｎｍであり、第２の酸化物層３０の厚みは１０〜１００ｎｍであり、積層フィルム１００は、透湿度が３．０×１０−２ｇ／ｍ２／２４ｈｒ以下であり、可視光の全光線透過率が８４％以上である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材と、ＺｎＯ、ＡｌおよびＳｉＯ２を含む第１の酸化物層と、ＳｉＯ２で構成された第２の酸化物層と、をこの順に有する、積層フィルム。
【請求項２】
前記第１の酸化物層の厚みが１０ｎｍ〜１００ｎｍである、請求項１に記載の積層フィルム。
【請求項３】
前記第２の酸化物層の厚みが１０ｎｍ〜１００ｎｍである、請求項１または２に記載の積層フィルム。
【請求項４】
透湿度が１．０×１０−１ｇ／ｍ２／２４ｈｒ未満であり、可視光の全光線透過率が８４％以上である、請求項１から３のいずれかに記載の積層フィルム。
【請求項５】
ガスバリア性が１．０×１０−７ｇ／ｍ２／２４ｈｒ〜０．５ｇ／ｍ２／２４ｈｒである、請求項４に記載の積層フィルム。
【請求項６】
２％の水酸化ナトリウム溶液（ｐＨ１３．７）滴下後の透湿度が１．０×１０−１ｇ／ｍ２／２４ｈｒ未満である、請求項１から５のいずれかに記載の積層フィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層フィルムに関する。より詳細には、本発明は、基材上に２つの酸化物層を有する積層フィルムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、画像表示装置（例えば、液晶表示装置、有機エレクトロルミネセンス（ＥＬ）表示装置）や太陽電池（例えば、フィルム型太陽電池、薄膜太陽電池）には、バリアフィルムが用いられている。このようなバリアフィルムの開発において、製膜速度が速く、屈折率が低く、良好なガスバリア性を有するバリアフィルムとして、Ａｌ−Ｚｎ−Ｏ（アルミニウム添加酸化亜鉛）膜にＳｉＯ２を添加した透明酸化物膜（フィルム）が提案されている（特許文献１）。しかし、この透明酸化物膜は、耐薬品性（例えば、耐酸性、耐アルカリ性）がきわめて不十分であり、さらに、透明性についても改善が望まれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−１８９６５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は上記従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、優れた透湿性およびガスバリア性を有し、かつ、優れた耐薬品性、透明性、屈曲性および耐熱性を有する積層フィルムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の積層フィルムは、基材と、ＺｎＯ、ＡｌおよびＳｉＯ２を含む第１の酸化物層と、ＳｉＯ２で構成された第２の酸化物層と、をこの順に有する。
１つの実施形態においては、上記第１の酸化物層の厚みは１０ｎｍ〜１００ｎｍである。
１つの実施形態においては、上記第２の酸化物層の厚みは１０ｎｍ〜１００ｎｍである。
１つの実施形態においては、上記積層フィルムは、透湿度が１．０×１０−１ｇ／ｍ２／２４ｈｒ未満であり、可視光の全光線透過率が８４％以上である。
１つの実施形態においては、上記積層フィルムは、ガスバリア性が１．０×１０−７ｇ／ｍ２／２４ｈｒ〜０．５ｇ／ｍ２／２４ｈｒである。
１つの実施形態においては、上記積層フィルムは、２％の水酸化ナトリウム溶液（ｐＨ１３．７）滴下後の透湿度が１．０×１０−１ｇ／ｍ２／２４ｈｒ未満である。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の実施形態によれば、ＺｎＯ、ＡｌおよびＳｉＯ２を含む第１の酸化物層とＳｉＯ２で構成された第２の酸化物層との積層構造を採用することにより、優れた透湿性およびガスバリア性を有し、かつ、優れた耐薬品性、透明性、屈曲性および耐熱性を有する積層フィルムを実現することができる。このような多くの特性を同時に満足するということは、ＺｎＯ、ＡｌおよびＳｉＯ２を含む第１の酸化物層とＳｉＯ２で構成された第２の酸化物層とを実際に組み合わせて用いることにより初めて得られた知見であり、予期せぬ優れた効果である。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の１つの実施形態による積層フィルムの概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明の代表的な実施形態について説明するが、本発明はこれらの実施形態には限定されない。
【０００９】
Ａ．積層フィルムの全体構成
図１は、本発明の１つの実施形態による積層フィルムの概略断面図である。本実施形態の積層フィルム１００は、基材１０と第１の酸化物層２０と第２の酸化物層３０とをこの順に有する。第１の酸化物層２０は、ＺｎＯ、ＡｌおよびＳｉＯ２を含む。第２の酸化物層３０は、ＳｉＯ２で構成されている。第１の酸化物層２０の厚みは、好ましくは１０ｎｍ〜１００ｎｍである。第２の酸化物層３０の厚みは、好ましくは１０ｎｍ〜１００ｎｍである。
【００１０】
積層フィルムは、水分およびガス（例えば酸素）に対するバリア性を有する。積層フィルムの４０℃、９０％ＲＨ条件下での水蒸気透過率（透湿度）は、好ましくは１．０×１０−１ｇ／ｍ２／２４ｈｒ未満である。バリア性の観点からは、透湿度の下限は低いほど好ましい。透湿度の測定限界は、例えば０．１×１０−６ｇ／ｍ２／２４ｈｒ程度である。１つの実施形態においては、デバイス構成物から経時的に発生するアウトガス（例えば、太陽電池封止樹脂（ＥＶＡ）の加水分解によって生じる酢酸）を放出するという観点から、透湿度の下限は、例えば０．１×１０−４ｇ／ｍ２／２４ｈｒである。透湿度の好ましい上限は、用途によって変動し得る。透湿度の上限は、例えば室内の画像表示装置（例えば、ＰＣディスプレー）用途では５．０×１０−２ｇ／ｍ２／２４ｈｒであり、屋外の画像表示装置（デジタルサイネージ）用途では３．０×１０−２ｇ／ｍ２／２４ｈｒであり、車載ディスプレー等の室内過酷環境用途では１．０×１０−２ｇ／ｍ２／２４ｈｒである。積層フィルムの６０℃、９０％ＲＨ条件下でのガスバリア性は、好ましくは１．０×１０−７ｇ／ｍ２／２４ｈｒ〜０．５ｇ／ｍ２／２４ｈｒであり、より好ましくは１．０×１０−７ｇ／ｍ２／２４ｈｒ〜０．１ｇ／ｍ２／２４ｈｒである。透湿度およびガスバリア性がこのような範囲であれば、積層フィルムを対象物（例えば、画像表示装置、太陽電池）に貼り合わせた場合に、当該対象物を空気中の水分および酸素から良好に保護し得る。なお、透湿度およびガスバリア性はいずれも、ＪＩＳ  Ｋ７１２６−１に準じて測定され得る。
【００１１】
積層フィルムは、可視光（例えば、波長５５０ｎｍの光）の全光線透過率が好ましくは８４％以上であり、より好ましくは８７％以上であり、さらに好ましくは９０％以上である。本発明によれば、ＺｎＯ、ＡｌおよびＳｉＯ２を含む第１の酸化物層（以下、ＡＺＯ膜と称する場合がある）とＳｉＯ２で構成された第２の酸化物層との積層構造を採用することにより、ＡＺＯ膜単独よりも厚みが厚くなるにもかかわらずＡＺＯ膜単独の構成よりも透明性を増大させることができる。その結果、積層フィルムは視認性を損なわないので、画像表示装置のバリアフィルムとして非常に好適に用いることができる。
【００１２】
積層フィルムは、好ましくは耐薬品性を有する。より詳細には、積層フィルムは、好ましくは耐酸性および耐アルカリ性を有する。本明細書において「耐酸性」とは、２％の塩酸溶液（ｐＨ０．３）を積層フィルムに滴下し、１０分後に塩酸溶液を拭き取った後の透湿度が１．０×１０−１ｇ／ｍ２／２４ｈｒ未満であることをいう。また、「耐アルカリ性」とは、２％の水酸化ナトリウム溶液（ｐＨ１３．７）を積層フィルムに滴下し、１０分後に水酸化ナトリウム溶液を拭き取った後の透湿度が１．０×１０−１ｇ／ｍ２／２４ｈｒ未満であることをいう。上記のような所望のバリア性および透明性を維持しつつ、このような優れた耐薬品性を実現したことが、本発明の成果の１つである。
【００１３】
積層フィルムは、好ましくは曲率半径７ｍｍ、より好ましくは曲率半径５ｍｍで屈曲しても割れおよびクラックが生じないような屈曲性を有する。上記所定の第１の酸化物層と第２の酸化物層との積層構造を採用することにより、優れた耐薬品性と優れた屈曲性および耐熱性（後述）とを両立することができる。
【００１４】
積層フィルムは、９５℃で好ましくは５００時間、より好ましくは６００時間、さらに好ましくは７００時間加熱しても透湿度が１．０×１０−１ｇ／ｍ２／２４ｈｒ未満であるような耐熱性を有する。上記所定の第１の酸化物層と第２の酸化物層との積層構造を採用することにより、優れた耐薬品性と優れた屈曲性および耐熱性とを両立することができる。
【００１５】
１つの実施形態においては、本発明の積層フィルムは長尺状である。長尺状の積層フィルムは、例えば、ロール状に巻回されて保管および／または運搬され得る。積層フィルムは屈曲性に優れるので、ロール状に巻回されても不具合は生じない。
【００１６】
以下、積層フィルムの構成要素について説明する。
【００１７】
Ｂ．基材
基材１０は、好ましくは透明である。基材は、可視光（例えば、波長５５０ｎｍの光）の全光線透過率が、好ましくは８５％以上であり、より好ましくは９０％以上であり、さらに好ましくは９５％以上である。
【００１８】
基材１０は、１つの実施形態においては、光学的に等方性である。このような構成であれば、積層フィルムを画像表示装置に適用した場合に当該画像表示装置の表示特性に対する悪影響を防止できる。本明細書において「光学的に等方性」とは、面内位相差Ｒｅ（５５０）が０ｎｍ〜１０ｎｍであり、厚み方向の位相差Ｒｔｈ（５５０）が−１０ｎｍ〜＋１０ｎｍであることをいう。基材の面内位相差Ｒｅ（５５０）は好ましくは０ｎｍ〜５ｎｍであり、厚み方向の位相差Ｒｔｈ（５５０）は好ましくは−５ｎｍ〜＋５ｎｍである。なお、「Ｒｅ（５５０）」は、２３℃における波長５５０ｎｍの光で測定したフィルムの面内位相差であり、フィルムの厚みをｄ（ｎｍ）としたとき、式：Ｒｅ＝（ｎｘ−ｎｙ）×ｄによって求められる。「Ｒｔｈ（５５０）」は、２３℃における波長５５０ｎｍの光で測定したフィルムの厚み方向の位相差であり、フィルムの厚みをｄ（ｎｍ）としたとき、式：Ｒｅ＝（ｎｘ−ｎｚ）×ｄによって求められる。ここで、「ｎｘ」は面内の屈折率が最大になる方向（すなわち、遅相軸方向）の屈折率であり、「ｎｙ」は面内で遅相軸と直交する方向（すなわち、進相軸方向）の屈折率であり、「ｎｚ」は厚み方向の屈折率である。
【００１９】
基材の平均屈折率は、好ましくは１．７未満であり、より好ましくは１．５９以下であり、さらに好ましくは１．４〜１．５５である。平均屈折率がこのような範囲であれば、裏面反射を抑制でき、高い光透過率を達成できるという利点を有する。
【００２０】
基材を構成する材料としては、上記特性を満足し得る任意の適切な材料を用いることができる。基材を構成する材料としては、例えば、ノルボルネン系樹脂やオレフィン系樹脂などの共役系を有さない樹脂、ラクトン環やグルタルイミド環などの環状構造をアクリル系主鎖中に有する樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂が挙げられる。このような材料であれば、基材を形成した際に、分子鎖の配向に伴う位相差の発現を小さく抑えることができる。
【００２１】
基材は、別の実施形態においては、所定の位相差を有していてもよい。例えば、基材がいわゆるλ／４板として機能し得るような面内位相差を有していてもよい。このような構成であれば、位相差層を別途配置することなく、積層フィルムに良好な円偏光機能が付与されるので、積層フィルムが画像表示装置のバリアフィルムとしてのみならず反射防止フィルムとしても良好に機能し得る。この場合、基材の遅相軸と画像表示装置に用いられる偏光子の吸収軸とのなす角度は、代表的には約４５°である。このような基材は、例えば、ノルボルネン系樹脂やポリカーボネート系樹脂のフィルムを適切な条件で延伸することにより形成され得る。
【００２２】
基材の厚みは、好ましくは１０μｍ〜５０μｍ以下であり、より好ましくは２０μｍ〜３５μｍ以下である。
【００２３】
Ｃ．第１の酸化物層
第１の酸化物層２０は、上記のとおり、ＺｎＯ、ＡｌおよびＳｉＯ２を含む。第１の酸化物層は、全重量に対して、Ａｌを好ましくは２．５重量％〜３．５重量％、ＳｉＯ２を好ましくは２０．０重量％〜６２．４重量％の割合で含む。ＺｎＯは、好ましくは残量である。ＺｎＯをこのような範囲で含有することにより、非晶性、バリア性、屈曲性および耐熱性に優れた層を形成することができる。Ａｌをこのような範囲で含有することにより、第１の酸化物層は代表的にはスパッタリングで形成されるところ、ターゲットの導電率を増大させることができる。ＳｉＯ２をこのような範囲で含有することにより、異常放電を発生させることなく、かつ、バリア性を損なうことなく、第１の酸化物層の屈折率を小さくすることができる。
【００２４】
第１の酸化物層の厚みは、上記のとおり好ましくは１０ｎｍ〜１００ｎｍであり、より好ましくは１０ｎｍ〜６０ｎｍであり、さらに好ましくは２０ｎｍ〜４０ｎｍである。厚みがこのような範囲であれば、高い光透過性と優れたバリア性とを両立できるという利点を有する。
【００２５】
第１の酸化物層の平均屈折率は、好ましくは１．５９〜１．８０である。平均屈折率がこのような範囲であれば、高い光透過性を達成できるという利点を有する。
【００２６】
第１の酸化物層は、好ましくは透明である。第１の酸化物層は、可視光（例えば、波長５５０ｎｍの光）の全光線透過率が、好ましくは８５％以上であり、より好ましくは９０％以上であり、さらに好ましくは９５％以上である。
【００２７】
第１の酸化物層は、代表的にはスパッタリングにより基材上に形成され得る。第１の酸化物層は、例えば、Ａｌ、ＳｉＯ２およびＺｎＯを含むスパッタリングターゲットを用い、酸素を含有させた不活性ガス雰囲気下において、スパッタリング法により形成され得る。スパッタリングの方法としては、マグネトロンスパッタリング法、ＲＦスパッタリング法、ＲＦ重畳ＤＣスパッタリング法、パルススパッタ法、デュアルマグネトロンスパッタリング法などを採用することができる。基板の加熱温度は例えば―８℃〜２００℃である。酸素と不活性ガスとの雰囲気ガス全体に対する酸素のガス分圧は、例えば０．０５以上である。
【００２８】
第１の酸化物層を構成するＡＺＯ膜およびその製造方法の詳細については、例えば特開２０１３−１８９６５７号公報に記載されている。当該公報の記載は、本明細書に参考として援用される。
【００２９】
Ｄ．第２の酸化物層
第２の酸化物層３０は、上記のとおり、ＳｉＯ２で構成される（不可避の不純物も含まれ得る）。このような第２の酸化物層を第１の酸化物層の表面に形成することにより、第１の酸化物層による良好な特性を維持しつつ、積層フィルムの耐薬品性および透明性を格段に向上させることができる。さらに、第２の酸化物層は低屈折率層として機能し得るので、積層フィルムに良好な反射防止特性を付与し得る。
【００３０】
第２の酸化物層の厚みは、上記のとおり好ましくは１０ｎｍ〜１００ｎｍであり、より好ましくは５０ｎｍ〜１００ｎｍであり、さらに好ましくは６０ｎｍ〜１００ｎｍである。厚みがこのような範囲であれば、高い光透過性と優れたバリア性と優れた耐薬品性とを両立できるという利点を有する。
【００３１】
第２の酸化物層の平均屈折率は、好ましくは１．４４〜１．５０である。その結果、第２の酸化物層は、低屈折率層（反射防止層）として良好に機能し得る。
【００３２】
第２の酸化物層は、好ましくは透明である。第２の酸化物層は、可視光（例えば、波長５５０ｎｍの光）の全光線透過率が、好ましくは８５％以上であり、より好ましくは９０％以上であり、さらに好ましくは９５％以上である。
【００３３】
第２の酸化物層は、代表的にはスパッタリングにより第１の酸化物層上に形成され得る。第２の酸化物層は、例えば、Ｓｉ、ＳｉＣ、ＳｉＮまたはＳｉＯをターゲットとし、酸素を含有した不活性ガス（例えば、アルゴン、窒素、ＣＯ、ＣＯ２、およびこれらの混合ガス）を用いてスパッタを行うことにより形成され得る。第１の酸化物層および第２の酸化物層はいずれもＳｉＯ２を含むので、第１の酸化物層と第２の酸化物層との密着性は非常に優れたものとなる。このことから、第１の酸化物層と第２の酸化物層との界面で十分なバリア機能を発現させるためには、第１の酸化物層の厚みは、上記のとおり１０ｎｍ以上であることが好ましい。その理由としては、成長初期膜である、いわゆるインキュベーションレイヤーの割合を十分小さくでき、目的の物性を有する酸化物層を形成できるからである。また、第１の酸化物層と第２の酸化物層とのトータル厚みは、好ましくは２００ｎｍ以下であり、より好ましくは１４０ｎｍ以下である。
【００３４】
Ｅ．積層フィルムの用途
本発明の積層フィルムは、例えば、画像表示装置、電子ペーパー、太陽電池のバリア層（バリアフィルム）として好適に用いられ得る。より詳細には、本発明の積層フィルムは、液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置、有機発光表示素子、電気泳動方式表示素子、トナー表示素子、フィルム型太陽電池、薄膜太陽電池等のバリア層（バリアフィルム）として好適に用いられ得る。本発明の積層フィルムは、好ましくは有機ＥＬ表示装置、より好ましくは屈曲可能な有機ＥＬ表示装置のバリア層（バリアフィルム）として用いられ得る。
【実施例】
【００３５】
以下、実施例によって本発明を具体的に説明するが、本発明はこれら実施例によって限定されるものではない。なお、各特性の測定方法は以下の通りである。
【００３６】
（１）厚み
第１の酸化物層および第２の酸化物層の厚みは、透過型電子顕微鏡（日立製作所製Ｈ−７６５０）を用いて断面を観察し、測定を行なった。基材の厚みは膜厚計（Ｐｅａｃｏｃｋ社製デジタルダイアルゲージＤＧ−２０５）を用いて測定した。
（２）透湿度
実施例および比較例で得られた積層フィルムを１０ｃｍΦの円状に切り出し、測定試料とした。この測定試料について、テクノロックス社製「ＤＥＬＴＡＰＥＲＭ」を用いて、４０℃、９０％ＲＨの試験条件で透湿度を測定した。
（３）全光線透過率
実施例および比較例で得られた積層フィルムについて、株式会社日立ハイテクサイエンス製、製品名「Ｕ４１００」を用いて測定した。
（４）屈曲性
外径５ｍｍ、長さ１５０ｍｍの円柱状のアクリルの棒を用意した。実施例および比較例で得られた積層フィルムをこのアクリルの棒に巻き付け、屈曲部が浮かないように端部をテープで固定した。この状態でフィルム両端に１０００ｇの錘をぶら下げて屈曲させた後、透湿度を測定し、以下の基準で評価した。
○：１．０×１０−１ｇ／ｍ２／２４ｈｒ未満
×：１．０×１０−１ｇ／ｍ２／２４ｈｒ以上
（５）耐薬品性
実施例および比較例で得られた積層フィルムを１００ｍｍ×１００ｍｍサイズに切り出し、測定試料とした。２％の水酸化ナトリウム溶液（ｐＨ１３．７）を測定試料に滴下し、１０分後に水酸化ナトリウム溶液を拭き取り、透湿度を測定し、以下の基準で評価した。
○：１．０×１０−１ｇ／ｍ２／２４ｈｒ未満
×：１．０×１０−１ｇ／ｍ２／２４ｈｒ以上
（６）耐熱性
実施例および比較例で得られた積層フィルムを５０ｍｍ×５０ｍｍサイズに切り出し、測定試料とした。この測定試料を石英ガラスに貼りあわせ、９５℃のオーブンに５００時間保管し、保管後の透湿度を測定し、以下の基準で評価した。
○：１．０×１０−１ｇ／ｍ２／２４ｈｒ未満
×：１．０×１０−１ｇ／ｍ２／２４ｈｒ以上
【００３７】
＜実施例１＞
市販のＣＯＰフィルム（日本ゼオン株式会社製、商品名「ゼオノア」、厚み４０μｍ）を基材として、Ａｌ、ＳｉＯ２およびＺｎＯを含むスパッタリングターゲットを用いて、ＤＣマグネトロンスパッタリング法により基材上に第１の酸化物層（厚み３０ｎｍ）を形成した。次に、Ｓｉターゲットを用いて、基材／第１の酸化物層の積層体の第１の酸化物層上に第２の酸化物層（５０ｎｍ）を形成した。このようにして、基材／第１の酸化物層（ＡＺＯ）／第２の酸化物層（ＳｉＯ２）の構成を有する積層フィルムを作製した。得られた積層フィルムを上記（２）〜（６）の評価に供した。結果を表１に示す。
【００３８】
＜実施例２＞
第２の酸化物層の厚みを６０ｎｍとしたこと以外は実施例１と同様にして積層フィルムを作製した。得られた積層フィルムを実施例１と同様の評価に供した。結果を表１に示す。
【００３９】
＜実施例３＞
第２の酸化物層の厚みを８０ｎｍとしたこと以外は実施例１と同様にして積層フィルムを作製した。得られた積層フィルムを実施例１と同様の評価に供した。結果を表１に示す。
【００４０】
＜実施例４＞
第２の酸化物層の厚みを１００ｎｍとしたこと以外は実施例１と同様にして積層フィルムを作製した。得られた積層フィルムを実施例１と同様の評価に供した。結果を表１に示す。
【００４１】
＜実施例５＞
第１の酸化物層の厚みを４０ｎｍとし、第２の酸化物層の厚みを１００ｎｍとしたこと以外は実施例１と同様にして積層フィルムを作製した。得られた積層フィルムを実施例１と同様の評価に供した。結果を表１に示す。
【００４２】
＜実施例６＞
第１の酸化物層の厚みを６０ｎｍとし、第２の酸化物層の厚みを５０ｎｍとしたこと以外は実施例１と同様にして積層フィルムを作製した。得られた積層フィルムを実施例１と同様の評価に供した。結果を表１に示す。
【００４３】
＜実施例７＞
第１の酸化物層の厚みを１００ｎｍとし、第２の酸化物層の厚みを１００ｎｍとしたこと以外は実施例１と同様にして積層フィルムを作製した。得られた積層フィルムを実施例１と同様の評価に供した。結果を表１に示す。
【００４４】
＜比較例１＞
第２の酸化物層を形成しなかったこと以外は実施例１と同様にして積層フィルムを作製した。得られた積層フィルムを実施例１と同様の評価に供した。結果を表１に示す。
【００４５】
＜比較例２＞
第１の酸化物層の厚みを６０ｎｍとしたこと以外は比較例１と同様にして積層フィルムを作製した。得られた積層フィルムを実施例１と同様の評価に供した。結果を表１に示す。
【００４６】
＜比較例３＞
第１の酸化物層を形成しなかったこと、および、第２の酸化物層の厚みを４０ｎｍとしたこと以外は実施例１と同様にして積層フィルムを作製した。得られた積層フィルムを実施例１と同様の評価に供した。結果を表１に示す。
【００４７】
＜比較例４＞
第２の酸化物層の厚みを６０ｎｍとしたこと以外は比較例３と同様にして積層フィルムを作製した。得られた積層フィルムを実施例１と同様の評価に供した。結果を表１に示す。
【００４８】
＜比較例５＞
第１の酸化物層と第２の酸化物層との積層順序を逆にしたこと以外は実施例６と同様にして、基材／第２の酸化物層（ＳｉＯ２：厚み５０ｎｍ）／第１の酸化物層（ＡＺＯ：厚み６０ｎｍ）の構成を有する積層フィルムを作製した。得られた積層フィルムを実施例１と同様の評価に供した。結果を表１に示す。
【００４９】
【表１】
2017132223.tif 000003
【００５０】
＜評価＞
表１から明らかなように、第１の酸化物層（ＡＺＯ膜）と第２の酸化物層（ＳｉＯ２膜）とを基材側からこの順に有する本発明の実施例の積層フィルムは、優れたバリア性（透湿性およびガスバリア性）、耐薬品性、透明性、屈曲性および耐熱性を同時に満足することがわかる。より詳細には、実施例と比較例１および２とを比較すると明らかなように、実施例の積層フィルムは、ＡＺＯ膜の優れた特性を維持しつつ、耐薬品性および透明性を格段に改善することができる。さらに、実施例６と比較例２とを比較すると明らかなように、第２の酸化物層を形成することにより、ＡＺＯ膜単独よりも厚みが厚くなるにもかかわらずＡＺＯ膜単独の構成よりも透明性を増大させることができる。加えて、実施例６と比較例５とを比較すると明らかなように、第１の酸化物層と第２の酸化物層との積層順序（配置）が非常に重要であることがわかる。
【００５１】
また、実施例の積層フィルムは、比較例の積層フィルムに比べて反射防止機能が顕著に優れていることを確認した。さらに、実施例および比較例の積層フィルムは、製膜速度が速く、スパッタリングにおける取扱い性も良好であった。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明の積層フィルムは、例えば、画像表示装置、電子ペーパー、太陽電池のバリア層（バリアフィルム）として好適に用いられ得る。より詳細には、本発明の積層フィルムは、液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置、有機発光表示素子、電気泳動方式表示素子、トナー表示素子、フィルム型太陽電池、薄膜太陽電池等のバリア層（バリアフィルム）として好適に用いられ得る。本発明の積層フィルムは、好ましくは有機ＥＬ表示装置、より好ましくは屈曲可能な有機ＥＬ表示装置のバリア層（バリアフィルム）として用いられ得る。
【符号の説明】
【００５３】
１０      基材
２０      第１の酸化物層
３０      第２の酸化物層
１００      積層フィルム
【図１】
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