(57)【要約】【課題】液体室内の圧力変化に対するコンプライアンス部材の変位量をより大きく確保することが可能な液体噴射ヘッド、液体噴射装置、および、液体噴射装置の制御方法を提供する。【解決手段】液体を噴射するノズル（３０）に連通する圧力室（３３）と、当該圧力室に連通する液体室（４３）と、当該液体室の一部を区画して可撓性を備えるコンプライアンス部材（４４）と、液体室に供給する液体の供給圧力を弁（５７）の開閉により調整する圧力調整機構（２１）と、を備え、圧力調整機構が、コンプライアンス部材の変位を調整可能であることを特徴とする。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズルに連通する圧力室と、
当該圧力室に連通する液体室と、
当該液体室の一部を区画して可撓性を備えるコンプライアンス部材と、
前記液体室に供給する液体の供給圧力を調整する圧力調整機構と、
を備え、
前記圧力調整機構が、前記コンプライアンス部材の変位を調整可能であることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
液体を噴射するノズルに連通する圧力室と、
前記圧力室に連通する液体室と、
前記液体室の一部を区画して可撓性を備えるコンプライアンス部材と、
を備え、
前記コンプライアンス部材の前記液体室とは反対側に、当該コンプライアンス部材の変位を許容するコンプライアンス空間が設けられ、
前記コンプライアンス空間に当該コンプライアンス空間の圧力を調整する圧力調整機構が接続されたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
液体を噴射するノズルに連通する圧力室、当該圧力室に連通する液体室、および、当該液体室の一部を区画して可撓性を備えるコンプライアンス部材を有する液体噴射ヘッドと、
前記液体室に供給する液体の供給圧力を調整する圧力調整機構と、
を備え、
前記圧力調整機構が、前記コンプライアンス部材の変位を調整可能であることを特徴とする液体噴射装置。
【請求項４】
前記圧力調整機構よりも液体の供給経路の上流側に液体を貯留する液体貯留容器が設けられ、
前記液体貯留容器内の液体が加圧機構により生じる圧力によって前記液体噴射ヘッド側に送られることを特徴とする請求項３に記載の液体噴射装置。
【請求項５】
前記加圧機構が、ポンプであることを特徴とする請求項４に記載の液体噴射装置。
【請求項６】
前記加圧機構が、前記液体噴射ヘッドと前記液体貯留容器との鉛直方向における相対位置を調整して前記ノズルにおけるメニスカスの水頭を調整する水頭調整機構であることを特徴とする請求項４に記載の液体噴射装置。
【請求項７】
前記圧力調整機構は、液体の供給経路を開閉することにより液体の供給圧力を調整する弁と、当該弁よりも下流側に設けられて液体を貯留する貯留空部と、当該貯留空部の一部を区画する可撓性を有する受圧部材と、当該受圧部材を前記貯留空部側に押圧して前記弁を開くことが可能な押圧機構と、を有することを特徴とする請求項３から請求項６の何れか一項に記載の液体噴射装置。
【請求項８】
液体を噴射するノズルに連通する圧力室と、
前記圧力室に連通する液体室と、
前記液体室の一部を区画して可撓性を備えるコンプライアンス部材と、
を備え、
前記コンプライアンス部材の前記液体室とは反対側に、当該コンプライアンス部材の変位を許容するコンプライアンス空間が設けられ、
前記コンプライアンス空間に当該コンプライアンス空間の圧力を調整する圧力調整機構が接続されたことを特徴とする液体噴射装置。
【請求項９】
前記コンプライアンス空間と前記圧力調整機構との間に圧力調整路が設けられ、
前記圧力調整路は、前記液体噴射ヘッドの前記ノズルを有するノズル面に設けられて前記ノズルを露出させる開口部において大気と連通し、
前記圧力調整機構が、前記開口部を経て前記コンプライアンス部と接続されたことを特徴とする請求項８に記載の液体噴射装置。
【請求項１０】
前記圧力調整路が、前記コンプライアンス空間側から外部への気体の流通を許容する一方、外部から前記コンプライアンス空間側への気体の流通を阻止する逆止弁を有することを特徴とする請求項９に記載の液体噴射装置。
【請求項１１】
前記圧力調整機構が、前記開口部を内包した状態で前記ノズル面を封止可能な封止部材と接続されていることを特徴とする請求項９または請求項１０に記載の液体噴射装置。
【請求項１２】
液体を噴射するノズルに連通する圧力室、当該圧力室に連通する液体室、および、当該液体室の一部を区画して可撓性を備えるコンプライアンス部材を有する液体噴射ヘッドと、前記液体室に供給する液体の供給圧力を調整する圧力調整機構と、を備えた液体噴射装置の制御方法であって、
前記圧力調整機構によるコンプライアンス部材の変位調整を、記録媒体において記録が行われる記録領域から外れた非記録領域で行うことを特徴とする液体噴射装置の制御方法。
【請求項１３】
前記記録媒体に対して前記液体噴射ヘッドを移動させつつ前記ノズルから液体を噴射させる記録動作において、前記コンプライアンス部材の変位調整を、前記非記録領域において前記液体噴射ヘッドの移動方向が反転する過程で行うことを特徴とする請求項１２に記載の液体噴射装置の制御方法。
【請求項１４】
ライン型の液体噴射ヘッドにおいて、前記ノズルが前記非記録領域と対向する間に前記コンプライアンス部材の変位調整を行うことを特徴とする請求項１２に記載の液体噴射装置の制御方法。
【請求項１５】
液体を噴射するノズルに連通する圧力室、当該圧力室に連通する液体室、および、当該液体室の一部を区画して可撓性を備えるコンプライアンス部材を有する液体噴射ヘッドと、前記液体室に供給する液体の供給圧力を調整する圧力調整機構と、前記コンプライアンス部材の前記液体室とは反対側に設けられたコンプライアンス空間と、を備えた液体噴射装置の制御方法であって、
前記コンプライアンス空間と前記圧力調整機構との間に設けられた圧力調整路は、前記液体噴射ヘッドの前記ノズルを有するノズル面に設けられて前記ノズルを露出させる開口部において大気と連通し、
前記圧力調整機構が、前記ノズル面を封止する封止部材を介して前記ノズルから液体を吸引する吸引機構であり、
前記開口部を内包する状態で前記ノズル面を前記封止部材で封止して前記吸引機構によって吸引することにより、前記コンプライアンス部材の変位を調整することを特徴とする液体噴射装置の制御方法。
【請求項１６】
液体を噴射するノズルに連通する圧力室、当該圧力室に連通する液体室、および、当該液体室の一部を区画して可撓性を備えるコンプライアンス部材を有する液体噴射ヘッドと、前記液体室に供給する液体の供給圧力を調整する圧力調整機構と、を有する液体噴射装置の制御方法であって、
前記記録媒体に対して前記ノズルから液体を噴射させる記録動作において、噴射予定の液体の量に応じて前記圧力調整機構が前記コンプライアンス部材の変位を調整することを特徴とする液体噴射装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット式記録ヘッドなどの液体噴射ヘッド、これを備えた液体噴射装置、および、液体噴射装置の制御方法に関し、特に、液体流路内の圧力変動を抑制するコンプライアンス部材を有する液体噴射ヘッド、液体噴射装置、および、液体噴射装置の制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置は液体噴射ヘッドを備え、この液体噴射ヘッドから各種の液体を噴射（吐出）する装置である。この液体噴射装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。
【０００３】
上記の液体噴射ヘッドとしては、ノズルが複数開設されたノズルプレート、各ノズルに連通する圧力室が複数形成された基板、各圧力室に共通な液体が導入される液体室（リザーバーあるいはマニホールドとも呼ばれる）が形成された基板、圧力室内の液体に圧力変動を生じさせる圧電素子等の駆動素子等を備えたものがある（例えば、特許文献１参照）。このような構成の液体噴射ヘッドにおいては、液体室内の液体に生じる圧力変動を吸収するコンプライアンス部が設けられている。特許文献１の構成では、液体室の一部が可撓性を備えるコンプライアンス部材（コンプライアンスシート）で封止され、このコンプライアンス部材が液体室内の圧力変動に応じて変形することで、液体室内の液体に生じた圧力変動を吸収する。このコンプライアンス部材としては、樹脂製のシートや薄手の可撓性を有するステンレスシート等が用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１８４３３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、従来の液体噴射ヘッドでは、液体噴射動作を開始する前においてノズルの内部における液体の表面（メニスカス）の位置が、当該ノズルの液体が噴射される側の開口よりも少し圧力室側となるように、液体室や圧力室を含む液体流路が、大気圧を基準（０〔Ｐａ〕）として（以下、同様）当該大気圧よりも低い圧力（例えば、−１〔ｋＰａ〕）に調整される。このため、上記のコンプライアンス部材は、上記の液体噴射動作が行われる前の初期状態では、液体室側に突出するように撓んでいる。そして、この初期状態から液体噴射ヘッドにおいて液体噴射動作が行われると、液体室内の圧力は最大で−数十〔ｋＰａ〕まで減圧される場合がある。この従来の構成では、コンプライアンス部材が初期状態で液体室側に撓んでいる分、コンプライアンス部材の変位量が不足し、より大きな圧力変動に十分に対応できない場合があった。その結果、各ノズルから噴射される液滴の重量や飛翔速等の噴射特性がばらつき、記録画像等の画質の低下を招く問題があった。また、コンプライアンス部材の変位量の不足分を補うべく、コンプライアンス部材の寸法を拡大したり、コンプライアンス部材を別途追加したりする構成では、液体噴射ヘッドのサイズが大きくなってしまうという問題があった。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、液体室内の圧力変化に対するコンプライアンス部材の変位量をより大きく確保することが可能な液体噴射ヘッド、液体噴射装置、および、液体噴射装置の制御方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液体噴射ヘッドは、上記目的を達成するために提案されたものであり、液体を噴射するノズルに連通する圧力室と、
当該圧力室に連通する液体室と、
当該液体室の一部を区画して可撓性を備えるコンプライアンス部材と、
前記液体室に供給する液体の供給圧力を調整する圧力調整機構と、
を備え、
前記圧力調整機構が、前記コンプライアンス部材の変位を調整可能であることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズルに連通する圧力室と、
前記圧力室に連通する液体室と、
前記液体室の一部を区画して可撓性を備えるコンプライアンス部材と、
を備え、
前記コンプライアンス部材の前記液体室とは反対側に、当該コンプライアンス部材の変位を許容するコンプライアンス空間が設けられ、
前記コンプライアンス空間に当該コンプライアンス空間の圧力を調整する圧力調整機構が接続されたことを特徴とする。
【０００９】
本発明の液体噴射ヘッドによれば、圧力調整機構によってコンプライアンス部材の変位を調整することができるので、液体室内における圧力変化に対するコンプライアンス部材の変位量をより大きく確保することが可能となる。その結果、液体室における圧力変動がより確実に抑制されるので、各ノズルにおける噴射特性のばらつきが低減される。また、コンプライアンス部材を拡大したり、別途追加したりする必要がないので、液体噴射ヘッドの小型化に対応することができる。
【００１０】
本発明の液体噴射装置は、液体を噴射するノズルに連通する圧力室、当該圧力室に連通する液体室、および、当該液体室の一部を区画して可撓性を備えるコンプライアンス部材を有する液体噴射ヘッドと、
前記液体室に供給する液体の供給圧力を調整する圧力調整機構と、
を備え、
前記圧力調整機構が、前記コンプライアンス部材の変位を調整可能であることを特徴とする。
【００１１】
本発明の液体噴射装置によれば、圧力調整機構によってコンプライアンス部材の変位を調整することができるので、液体室内における圧力変化に対するコンプライアンス部材の変位量をより大きく確保することが可能となる。その結果、液体室における圧力変動がより確実に抑制されるので、各ノズルにおける噴射特性のばらつきが低減される。
【００１２】
上記構成において、前記圧力調整機構よりも液体の供給経路の上流側に液体を貯留する液体貯留容器が設けられ、
前記液体貯留容器内の液体が加圧機構により生じる圧力によって前記液体噴射ヘッド側に送られる構成を採用することができる。
【００１３】
この構成によれば、液体貯留容器内の液体を液体噴射ヘッド側に送る加圧機構による圧力を利用してコンプライアンス部材の変位を調整することができる。これにより、加圧機構を別途設ける必要がなく、コンプライアンス部材の変位を調整するための構成を簡素化することが可能となる。
【００１４】
上記構成において、前記加圧機構が、ポンプである構成を採用することができる。
【００１５】
また、前記加圧機構が、前記液体噴射ヘッドと前記液体貯留容器との鉛直方向における相対位置を調整して前記ノズルにおけるメニスカスの水頭を調整する水頭調整機構である構成を採用することもできる。
【００１６】
さらに、上記構成において、前記圧力調整機構は、液体の供給経路を開閉することにより液体の供給圧力を調整する弁と、当該弁よりも下流側に設けられて液体を貯留する貯留空部と、当該貯留空部の一部を区画する可撓性を有する受圧部材と、当該受圧部材を前記貯留空部側に押圧して前記弁を開くことが可能な押圧機構と、を有する構成を採用することが望ましい。
【００１７】
この構成によれば、押圧機構により受圧部材を貯留空部側に押圧して弁を開くことにより、コンプライアンス部材の変位を任意のタイミングでより精度よく調整することができる。
【００１８】
また、本発明の液体噴射装置は、液体を噴射するノズルに連通する圧力室と、
前記圧力室に連通する液体室と、
前記液体室の一部を区画して可撓性を備えるコンプライアンス部材と、
を備え、
前記コンプライアンス部材の前記液体室とは反対側に、当該コンプライアンス部材の変位を許容するコンプライアンス空間が設けられ、
前記コンプライアンス空間に当該コンプライアンス空間の圧力を調整する圧力調整機構が接続されたことを特徴とする。
【００１９】
本発明の液体噴射装置によれば、圧力調整機構によってコンプライアンス部材の変位を調整することができるので、液体室内における圧力変化に対するコンプライアンス部材の変位量をより大きく確保することが可能となる。その結果、液体室における圧力変動がより確実に抑制されるので、液体室に連通する各ノズルにおける噴射特性のばらつきが低減される。
【００２０】
また、上記構成において、前記コンプライアンス空間と前記圧力調整機構との間に圧力調整路が設けられ、
前記圧力調整路は、前記液体噴射ヘッドの前記ノズルを有するノズル面に設けられて前記ノズルを露出させる開口部において大気と連通し、
前記圧力調整機構が、前記開口部を経て前記コンプライアンス部と接続された構成を採用することができる。
【００２１】
また、上記構成において、前記圧力調整路が、前記コンプライアンス空間側から外部への気体の流通を許容する一方、外部から前記コンプライアンス空間側への気体の流通を阻止する逆止弁を有する構成を採用することが望ましい。
【００２２】
この構成によれば、逆止弁によりコンプライアンス空間の減圧された状態が維持されるので、記録動作中における液体室の圧力変化をより長時間に亘って緩和することができる。また、コンプライアンス部の変位調整を行う頻度を低減することができるので、その分、液体噴射装置のターンアラウンドタイムを削減することが可能となる。
【００２３】
また、上記構成において、前記圧力調整機構が、前記開口部を内包した状態で前記ノズル面を封止可能な封止部材と接続されている構成を採用することが望ましい。
【００２４】
この構成によれば、ノズル面を封止部材で封止して開口部に露出されたノズルから液体等を排出させるメンテナンス動作を行う圧力調整機構を利用してコンプライアンス部材の変位を調整することができる。これにより、コンプライアンス部材の変位を調整するための構成を別途設ける必要が無い。また、メンテナンス動作の実行と同時にコンプライアンス部材の変位を調整することができるので、その分、液体噴射装置のターンアラウンドタイムを削減することが可能となる。
【００２５】
また、本発明の液体噴射装置の制御方法は、液体を噴射するノズルに連通する圧力室、当該圧力室に連通する液体室、および、当該液体室の一部を区画して可撓性を備えるコンプライアンス部材を有する液体噴射ヘッドと、前記液体室に供給する液体の供給圧力を調整する圧力調整機構と、を備えた液体噴射装置の制御方法であって、
前記圧力調整機構によるコンプライアンス部材の変位調整を、記録媒体において記録が行われる記録領域から外れた非記録領域で行うことを特徴とする。
【００２６】
本発明の制御方法によれば、記録媒体において記録が行われる記録領域から外れた非記録領域で圧力調整機構によってコンプライアンス部材の変位を調整することができるので、コンプライアンス部材の変位調整に伴って液体室内の圧力が変動することによる記録動作への悪影響を防止しつつ、液体室内における圧力変化に対するコンプライアンス部材の変位量をより大きく確保することが可能となる。その結果、液体室における圧力変動がより確実に抑制されるので、液体室に連通する各ノズルにおける噴射特性のばらつきが低減される。
【００２７】
上記制御方法において、前記記録媒体に対して前記液体噴射ヘッドを移動させつつ前記ノズルから液体を噴射させる記録動作において、前記コンプライアンス部材の変位調整を、前記非記録領域において前記液体噴射ヘッドの移動方向が反転する過程で行うようにすることができる。
【００２８】
これにより、非記録領域において液体噴射ヘッドの移動方向が反転する毎にコンプライアンス部材の変位調整が行われるので、一連の記録動作中における各ノズルの噴射特性のばらつきがより確実に低減される。
【００２９】
また、上記制御方法において、ライン型の液体噴射ヘッドにおいて、前記ノズルが前記非記録領域と対向する間に前記コンプライアンス部材の変位調整を行う構成を採用することができる。
【００３０】
この方法によれば、ライン型の液体噴射ヘッドであっても当該液体噴射ヘッドのノズルが非記録領域と対向する毎にコンプライアンス部材の変位調整が行われるので、一連の記録動作中における各ノズルの噴射特性のばらつきがより低減される。
【００３１】
また、本発明の液体噴射装置の制御方法は、液体を噴射するノズルに連通する圧力室、当該圧力室に連通する液体室、および、当該液体室の一部を区画して可撓性を備えるコンプライアンス部材を有する液体噴射ヘッドと、前記液体室に供給する液体の供給圧力を調整する圧力調整機構と、前記コンプライアンス部材の前記液体室とは反対側に設けられたコンプライアンス空間と、を備えた液体噴射装置の制御方法であって、
前記コンプライアンス空間と前記圧力調整機構との間に設けられた圧力調整路は、前記液体噴射ヘッドの前記ノズルを有するノズル面に設けられて前記ノズルを露出させる開口部において大気と連通し、
前記圧力調整機構が、前記ノズル面を封止する封止部材を介して前記ノズルから液体を吸引する吸引機構であり、
前記開口部を内包する状態で前記ノズル面を前記封止部材で封止して前記吸引機構によって吸引することにより、前記コンプライアンス部材の変位を調整することを特徴とする。
【００３２】
この制御方法によれば、ノズル面を封止部材で封止して開口部に露出されたノズルから液体等を排出させるメンテナンス動作を行う吸引機構（圧力調整機構）を利用してコンプライアンス部材の変位を調整することができる。これにより、液体室内における圧力変化に対するコンプライアンス部材の変位量をより大きく確保することが可能となる。その結果、液体室における圧力変動がより確実に抑制されるので、液体室に連通する各ノズルにおける噴射特性のばらつきが低減される。また、メンテナンス動作の実行と同時にコンプライアンス部材の変位を調整することができるので、その分、液体噴射装置のターンアラウンドタイムを削減することが可能となる。
【００３３】
そして、本発明の液体噴射装置の制御方法は、液体を噴射するノズルに連通する圧力室、当該圧力室に連通する液体室、および、当該液体室の一部を区画して可撓性を備えるコンプライアンス部材を有する液体噴射ヘッドと、前記液体室に供給する液体の供給圧力を調整する圧力調整機構と、を有する液体噴射装置の制御方法であって、
前記記録媒体に対して前記ノズルから液体を噴射させる記録動作において、噴射予定の液体の量に応じて前記圧力調整機構が前記コンプライアンス部材の変位を調整することを特徴とする。
【００３４】
この制御方法によれば、液体噴射ヘッドの噴射予定の液体の量に応じて圧力調整機構がコンプライアンス部材の変位を調整するので、急激な圧力変化にもコンプライアンス部材が十分に対応して当該圧力変化を緩和することが可能となる。その結果、液体室における圧力変動がより確実に抑制されるので、液体室に連通する各ノズルにおける噴射特性のばらつきが一層確実に低減される。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】液体噴射装置の構成を説明する平面図である。
【図２】液体噴射ヘッドの断面図である。
【図３】図２における領域Ｘの拡大図である。
【図４】コンプライアンス部材の拡大図である。
【図５】圧力変化とコンプライアンス部材の変位量との関係を示すグラフである。
【図６】液体噴射装置の液体の供給経路について説明する図である。
【図７】液体噴射装置の電気的な構成を説明するブロック図である。
【図８】液体噴射装置の記録動作について説明するタイミングチャートである。
【図９】第２の実施形態の構成について説明する図である。
【図１０】第３の実施形態の構成について説明する図である。
【図１１】第４の実施形態の構成について説明する図である。
【図１２】第５の実施形態の構成について説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明の液体噴射装置として、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）１０を搭載したインクジェット式プリンター（以下、プリンター）１を例に挙げて行う。
【００３７】
図１は、インクジェット式記録装置（以下、プリンターという）の構成を示す平面図である。本実施形態におけるプリンター１は、記録用紙、布、あるいは樹脂フィルム等の記録媒体（液体の着弾対象：図示せず）の表面に記録ヘッド１０から液体状のインク（本発明における液体の一種）を噴射させて画像やテキスト等の記録を行う装置である。このプリンター１は、フレーム２と、このフレーム２内に配設されたプラテン３と、を備えており、搬送機構８１（図７参照）によってプラテン３上に記録媒体が搬送される。また、フレーム２内には、プラテン３と平行にガイドロッド４が架設されており、このガイドロッド４には、記録ヘッド１０を収容したキャリッジ５が摺動可能に支持されている。このキャリッジ５は、キャリッジ移動機構８０（図７参照）によってガイドロッド４に沿って紙送り方向と直交する主走査方向に往復移動するように構成されている。このキャリッジ移動機構８０は、パルスモーター６と、このパルスモーター６の駆動により回転する駆動プーリー７と、この駆動プーリー７とはフレーム２における反対側に設けられた遊転プーリー８と、駆動プーリー７および遊転プーリー８の間に架設されたタイミングベルト９とを有する。本実施形態におけるプリンター１は、記録媒体に対してキャリッジを相対的に往復移動させながら記録ヘッド１０のノズル３０（図２参照）からインクを噴射させて記録動作（液体噴射動作）を行う。
【００３８】
フレーム２の一側には、インクカートリッジ１３（本発明における液体貯留容器の一種）を着脱可能に搭載するカートリッジホルダー１４が設けられている。インクカートリッジ１３は、エアーチューブ１５を介してエアーポンプ１６と接続されており、このエアーポンプ１６（本発明における加圧機構およびポンプの一種）からの空気が各インクカートリッジ１３内に供給される。そして、この加圧空気によってインクカートリッジ１３内に配設されたインクパック１３′（図６参照）が加圧されることにより、インクパック１３′内のインクがインク供給チューブ１７を通じて記録ヘッド１０側に供給（圧送）される。インクカートリッジ１３からインク供給チューブ１７から送られてくるインクは、まず、キャリッジ５に搭載された圧力調整弁機構２１（本発明における圧力調整機構の一種であり、内部の圧力変化に応じて圧力調整弁５７（図６参照）を開閉するため自己封止弁とも呼ばれる。）に導入される。圧力調整弁機構２１に導入されたインクは、後述するフィルター５５を通って、圧力調整部５８において供給圧力が調整されて記録ヘッド１０内部のインク流路に供給される。なお、液体貯留容器としては、例示したものには限られず、カートリッジ型、パック型、タンク型等、種々の構成のものを採用することができる。
【００３９】
インク供給チューブ１７は、例えば、合成樹脂で作製された可撓性を有する中空部材であり、このインク供給チューブ１７の内部には、各インクカートリッジ１３に対応するインク流路が形成されている。また、プリンター１本体側と記録ヘッド１０側との間には、プリンター１本体側の制御部（図示せず）から記録ヘッド１０側に駆動信号等を伝送するＦＦＣ（フレキシブルフラットケーブル）１８が配線されている。
【００４０】
フレーム２の内側において、記録ヘッド１０の移動範囲における一側（カートリッジホルダー１４側）に設けられたホームポジションには、記録ヘッド１０のノズル面を封止するキャップ１２（本発明における封止部材の一種）を有するキャッピング機構１１（本発明における吸引機構の一種）が配設されている。キャッピング機構１１は、ホームポジションで待機状態にある記録ヘッド１０のノズル面（ノズル３０を有する面であり、ノズルプレート２４および固定板２３を含む記録ヘッド１０の底面）をキャップ１２により封止してノズル３０からインクの溶媒が蒸発することを抑制する。また、キャッピング機構１１は、記録ヘッド１０のノズル面を封止した状態で封止空部内を吸引ポンプ９５（図１１参照）によって負圧化し、ノズル３０からインクや気泡を強制的に吸引するクリーニング動作（メンテナンス動作）を行うことができる。
【００４１】
次に、本実施形態における記録ヘッド１０の構成について説明する。
図２は、記録ヘッド１０の断面図であり、図３は、図２における領域Ｘの拡大図である。また、図４は、コンプライアンス部材の拡大図である。本実施形態における記録ヘッド１０は、固定板２３、ノズルプレート２４、連通板２５、アクチュエーター基板２６、コンプライアンス基板２７、ケース２８等の複数の構成部材が積層されて接着剤等によって接合されてユニット化され、当該ユニットをホルダー２２（図６参照）に取り付けて構成されている。なお、以下においては、記録ヘッド１０の各構成部材の積層方向を、適宜上下方向として説明する。
【００４２】
本実施形態におけるアクチュエーター基板２６は、ノズルプレート２４に形成されたノズル３０と連通する圧力室３３が形成された圧力室形成基板２９と、各圧力室３３内のインクに圧力変動を生じさせる駆動素子としての圧電素子３１と、これらの圧力室形成基板２９および圧電素子３１を保護する保護基板３２とを積層した状態で備えている。保護基板３２の平面視における略中央部には、駆動ＩＣ３８を実装したフレキシブル基板３９が挿通される配線空部４０が開設されている。この配線空部４０内に、圧電素子３１のリード電極が配置され、このリード電極にフレキシブル基板３９の配線端子が電気的に接続される。圧電素子３１のリード電極に接続されたフレキシブル基板３９の他端側の端子は、ホルダー２２に設けられた回路基板１９（図６参照）の端子と電気的に接続されている。プリンターコントローラー７６からＦＦＣ１８を通じて送られてくる駆動信号等は、回路基板１９およびフレキシブル基板３９を通じて圧電素子３１に供給される。なお、フレキシブル基板３９としては、駆動ＩＣ３８を備えるものには限られず、当該駆動ＩＣ３８が封止板３２ｂの上部に所謂インターポーザーを介して別途配置され、当該フレキシブル基板３９には駆動ＩＣ３８が設けられない構成を採用することもできる。
【００４３】
アクチュエーター基板２６の圧力室形成基板２９は、シリコン単結晶基板から作製されている。この圧力室形成基板２９には、圧力室３３となる空間が各ノズル３０に対応して複数列設されている。この圧力室３３は、ノズル列に交差（本実施形態においては直交）する方向に長尺な空部である。この圧力室３３の長手方向の一側の端部には、ノズル連通口３４が連通し、他側の端部に個別連通口３５が連通する。本実施形態における圧力室形成基板２９には、圧力室３３の列が２列形成されている。
【００４４】
圧力室形成基板２９の上面（連通板２５側とは反対側の面）には、振動板３６が積層され、この振動板３６によって圧力室３３の上部開口が封止されている。すなわち、振動板３６により、圧力室３３の一部が区画されている。この振動板３６は、例えば、圧力室形成基板２９の上面に形成された二酸化シリコン（ＳｉＯ２）からなる弾性膜と、この弾性膜上に形成された酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）からなる絶縁体膜と、から成る。そして、この振動板３６上における各圧力室３３に対応する領域に圧電素子３１がそれぞれ積層されている。
【００４５】
本実施形態の圧電素子３１は、所謂撓みモードの圧電素子である。この圧電素子３１は、例えば、振動板３６上に、下電極層、圧電体層および上電極層（いずれも図示せず）が順次積層されてなる。このように構成された圧電素子３１は、下電極層と上電極層との間に両電極の電位差に応じた電界が付与されると、上下方向に撓み変形する。本実施形態では、２列に形成された圧力室３３の列に対応して、圧電素子３１の列が２列形成されている。なお、下電極層および上電極層は、両側の圧電素子３１の列から当該列の間の配線空部４０内までリード電極として延在され、上述したようにフレキシブル基板３９と電気的に接続されている。
【００４６】
保護基板３２は、２列に形成された圧電素子３１の列を覆うように振動板３６上に積層されている。保護基板３２の内部には、圧電素子３１の列を収容可能な長尺な収容空間４１が形成されている。この収容空間４１は、保護基板３２の下面側（振動板３６側）から上面側（ケース２８側）に向けて保護基板３２の高さ方向途中まで形成された窪みである。本実施形態における保護基板３２には、配線空部４０の両側に収容空間４１がそれぞれ形成されている。
【００４７】
アクチュエーター基板２６の下面には、このアクチュエーター基板２６よりも広い面積を有する連通板２５が接合される。この連通板２５は、圧力室形成基板２９と同様にシリコン単結晶基板から作製されている。本実施形態における連通板２５には、圧力室３３とノズル３０とを連通するノズル連通口３４と、各圧力室に共通に設けられたリザーバー４３と、このリザーバー４３と圧力室３３とを連通する個別連通口３５と、が形成されている。リザーバー４３（本発明における液体室に相当。マニホールドとも呼ばれる。）は、ノズル列方向に沿って延在する空部であり、連通板２５において、ノズルプレート２４のノズル列毎に対応して２つ形成されている。すなわち、リザーバー４３は、インクの種類毎に設けられている。個別連通口３５は、各圧力室３３にそれぞれ対応してノズル列方向に沿って複数形成されている。この個別連通口３５は、圧力室３３の長手方向における他側（ノズル連通口３４とは反対側）の端部と連通する。
【００４８】
上記の連通板２５の下面の略中央部分には、複数のノズル３０が形成されたノズルプレート２４が接合される。本実施形態におけるノズルプレート２４は、連通板２５およびアクチュエーター基板２６よりも小さい外形の板材であり、シリコン単結晶基板から構成されている。このノズルプレート２４は、連通板２５の下面において、リザーバー４３の開口から外れた位置であって、ノズル連通口３４が開口した領域に、これらのノズル連通口３４と複数のノズル３０とがそれぞれ連通する状態で接着剤等により接合される。本実施形態におけるノズルプレート２４には、複数のノズル３０が列設されてなるノズル列が合計２条形成されている。
【００４９】
また、連通板２５の下面において、ノズルプレート２４の周囲を囲むように、当該ノズルプレート２４の外形に倣った形状の貫通開口４６が中央部に形成されたコンプライアンス基板２７が接合される。このコンプライアンス基板２７の貫通開口４６は、固定板２３の貫通口２３ａと連通して、その内側にノズルプレート２４が配置されるように構成されている。貫通開口４６およびこれと連通する貫通口２３ａは、本発明における開口部に相当する。
【００５０】
コンプライアンス基板２７は、連通板２５の下面に位置決めされて接合された状態で、連通板２５の下面におけるリザーバー４３の開口を封止する。本実施形態におけるコンプライアンス基板２７は、図３および図４に示すように、コンプライアンスシート４４（本発明におけるコンプライアンス部材に相当）と、これを支持する支持板４５とが接合されて構成されている。連通板２５の下面には、コンプライアンス基板２７のコンプライアンスシート４４が接合されて、連通基板２５と支持板４５との間にコンプライアンスシート４４が挟まれた状態となる。コンプライアンスシート４４は、可撓性を有する薄膜、例えばポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等の合成樹脂材料により作製されている。支持板４５は、コンプライアンスシート４４よりも剛性が高く且つ厚みのあるステンレス鋼等の金属材料で形成されている。この支持板４５のリザーバー４３に対向する領域には、このリザーバー４３の下面開口に倣った形状に支持板４５の一部が除去されたコンプライアンス開口４８が形成されている。このため、リザーバー４３の下面側の開口は、可撓性を有するコンプライアンスシート４４のみで封止されている。換言すると、コンプライアンスシート４４は、リザーバー４３の一部を区画している。
【００５１】
支持板４５の下面におけるコンプライアンス開口４８に対応する部分は、固定板２３によって封止される。これにより、コンプライアンスシート４４の可撓領域と、これに対向する固定板２３との間には、コンプライアンス空間４７が形成されている。そして、このコンプライアンス空間４７におけるコンプライアンスシート４４の可撓領域が、インク流路内、特にリザーバー４３内の圧力変動に応じてリザーバー４３側またはコンプライアンス空間４７側に変位する。したがって、支持板４５の厚みは、コンプライアンス空間４７として必要な高さに応じて定められている。
【００５２】
アクチュエーター基板２６及び連通板２５は、ケース２８に固定されている。ケース２８は、平面視において連通板２５と略同一形状を呈し、その下面側にはアクチュエーター基板２６を収容する収容空部４９が形成されている。そして、収容空部４９にアクチュエーター基板２６が収容された状態でケース２８の下面が連通板２５によって封止される。図２に示すように、このケース２８の平面視における略中央部分には、収容空部４９と連通する挿通空部５０が開設されている。この挿通空部５０は、アクチュエーター基板２６の配線空部４０とも連通する。上記のフレキシブル基板３９は、挿通空部５０を通じて配線空部４０に挿入されるように構成されている。また、ケース２８の内部において、挿通空部５０および収容空部４９の両側には、連通板２５のリザーバー４３と連通する液室空部５１が形成されている。また、ケース２８の上面には、各液室空部５１と連通する導入口５２がそれぞれ開設されている。導入口５２は、ホルダー２２に設けられた流路部材の導入流路２０（図６参照）を介して圧力調整弁機構２１における導出口６４と連通する。このため、圧力調整弁機構２１から送られてきたインクは、導入口５２、液室空部５１、およびリザーバー４３へと導入され、リザーバー４３から個別連通口３５を通じて各圧力室３３に供給される。
【００５３】
固定板２３は、例えば、ステンレス鋼等の金属製の板材である。本実施形態における固定板２３には、ノズルプレート２４に対応する位置に、当該ノズルプレート２４に形成されたノズル３０を露出させるため、ノズルプレート２４の外形に倣った形状の貫通口２３ａが厚さ方向を貫通する状態で形成されている。上述したように、この貫通口２３ａは、コンプライアンス基板２７の貫通開口４６と連通する。本実施形態では、この固定板２３における固定板２３の下面と貫通口２３ａにおけるノズルプレート２４の露出部分とにより、本発明におけるノズル面が構成されている。この固定板２３は、アクチュエーター基板２６及び連通板２５が固定されたケース２８が収容されるホルダー２２（図６参照）に接着剤等により接合されている。
【００５４】
そして、上記構成の記録ヘッド１０では、液室空部５１からリザーバー４３および圧力室３３を通ってノズル３０に至るまでの流路内がインクで満たされた状態で、駆動ＩＣ３８からの駆動信号に従い圧電素子３１が駆動されることにより、圧力室３３内のインクに圧力変動が生じ、この圧力振動によって所定のノズル３０からインクが噴射される。また、記録ヘッド１０の記録動作（液体噴射動作）に伴ってインク流路内（リザーバー４３内）で生じた圧力変動に伴って上記コンプライアンスシート４４が変位する（撓む）ことで、当該圧力変動が吸収される。これにより、例えば、一のノズル３０からインクを噴射させる際に圧力室３３で生じた圧力変動が個別連通口３５からリザーバー４３に伝わり、さらに他のノズル３０側の圧力室３３に伝播することによる噴射特性（ノズル３０から噴射されるインク滴の量や飛翔速度）の変動が抑制される。
【００５５】
図５は、リザーバー４３の内部の圧力変化とコンプライアンスシート４４の変位量との関係について説明するグラフであり、横軸がリザーバー４３内部の圧力〔ｋＰａ〕（大気圧基準）、縦軸がコンプライアンスシート４４の変位量〔％〕である。コンプライアンスシート４４の変位量に関し、当該コンプライアンスシート４４がフラットな状態（コンプライアンスシート４４が封止しているリザーバー４３の開口面と概ね平行な状態）が０〔％〕、当該コンプライアンスシート４４の中央部分がリザーバー４３の内側に最大限まで変位した状態が−１００〔％〕、当該コンプライアンスシート４４の中央部分がリザーバー４３とは反対側の外側（コンプライアンス空間４７側）に最大限まで変位した状態が１００〔％〕として示されている。
【００５６】
ここで、記録ヘッド１０による記録動作の際、リザーバー４３内の圧力Ｐが、例えば初期値の−Ｐａ〔ｋＰａ〕から最大値の−Ｐｘ〔ｋＰａ〕まで変化するものとし（図中白抜きの矢印で示す範囲）、記録動作が開始される直前の初期状態（圧力Ｐが初期値−Ｐａ〔ｋＰａ〕である状態）においてコンプライアンスシート４４がフラット（０〔％〕）であるとすると（図中Ａで示す曲線（実線））、この例では最大値の−Ｐｘ〔ｋＰａ〕まで圧力Ｐが変化したときにコンプライアンスシート４４が−１００〔％〕まで変位することができるので、当該圧力Ｐの上記範囲の変化に対応することが可能である。ここで、コンプライアンスシート４４の変化によるリザーバー４３の体積変化分をΔＶ、リザーバー４３における圧力の変化分をΔＰとすると、コンプライアンスシート４４によるコンプライアンス量Ｃは、Ｃ＝ΔＶ／ΔＰで表される。このＡの場合、圧力Ｐの上記範囲の変化に対して、コンプライアンスシート４４が変位可能な範囲（−１００〜１００〔％〕）のうち（１）で示す範囲（−１００〜０〔％〕）でコンプライアンスシート４４が変位するので、コンプライアンスシート４４の性能の約５０〔％〕を使用していると言える。
【００５７】
ところが先述したように、従来の液体噴射ヘッドにおいては、記録動作が行われる前の初期状態でコンプライアンスシートがリザーバー側に突出するように撓んでいる。例えば、このときの変位量が−５０〔％〕であるとすると、図５においてＢで示す曲線（一点鎖線）のように、圧力Ｐが最大値である−Ｐｘ〔ｋＰａ〕より手前（初期値Ｐａ側）の−Ｐｙ〔ｋＰａ〕の状態でコンプライアンスシート４４の変位量が−１００〔％〕となってしまい、それ以上の変位ができない。そうすると、上記式におけるΔＶが上記Ａの場合よりも小さくなり、その結果コンプライアンス量Ｃも低下してしまう。これにより、従来の構成では−Ｐｘ〔ｋＰａ〕までの圧力変化に対応できず、リザーバー４３から圧力室３３へのインクの供給圧が低下してノズルから噴射される液体の噴射特性が変動してしまうおそれがあった。特に、所謂ベタ印刷のように、より高い周波数でより多くのノズル３０からより多くのインクを噴射させるような場合（高ＤＵＴＹ時）において、このような問題が生じやすい。この従来の構成では、（１）よりも狭い（２）で示す範囲でしかコンプライアンスシート４４の性能が発揮されておらず（コンプライアンスシート４４の性能の約２５〔％〕）効率的でない。このような事情に鑑み、本実施形態においては、圧力調整弁機構２１によりリザーバー４３の圧力を調整することにより、少なくとも記録動作（液体噴射動作）が開始される直前の初期状態において、図５においてＣで示す曲線（破線）のように、コンプライアンスシート４４がリザーバー４３とは反対側の外側に変位した状態（撓んだ状態）に調整することで、より広い範囲の圧力変化に対応できるように構成されている。例えば、曲線Ｃの場合、圧力Ｐの上記範囲の変化に対して、コンプライアンスシート４４が変位可能な変位量の範囲のうち（３）で示す範囲（約−１００〜５０〔％〕）でコンプライアンスシート４４が変位するので、上記式におけるΔＶをより大きくしてコンプライアンス量Ｃを増加させることができ、より大きい圧力変化にも対応することができる。以下、この点について説明する。
【００５８】
図６は、インクカートリッジ１３から圧力調整弁機構２１を通って記録ヘッド１０に至るまでのインク供給経路の構成について説明する模式図である。同図においては、一のノズル列に対応する構成が開示されているが、他のノズル列についても同様な構成となっている。本実施形態において、インクカートリッジ１３からインク供給チューブ１７および圧力調整弁機構２１を通り、記録ヘッド１０のリザーバー４３に至るまでの流路が本発明における液体の供給経路に相当する。本実施形態における圧力調整弁機構２１は、合成樹脂等から作製されたケーシング５４内に、フィルター５５が配設されたフィルター室５６と、インクの供給経路を開閉する圧力調整弁５７（本発明における弁の一種）を有する圧力調整部５８と、を備えている。インクカートリッジ１３からインク供給チューブ１７を通じて送られてくるインクは、逆止弁５９を介して圧力調整弁機構２１内のフィルター室５６に導入されてフィルター５５で濾過された後、弁収容室６０に流入する。逆止弁５９は、インク供給チューブ１７側からフィルター室５６内へのインクの流通を許容する一方、その逆へのインクの流通は阻止する。
【００５９】
圧力調整部５８は、圧力調整弁５７が配設された弁収容室６０と、当該弁収容室６０に連通する圧力調整室６１（本発明における貯留空部の一種）と、圧力調整室６１の一側の開口部を封止する状態で配設された受圧部材６２と、を備えて概略構成されている。圧力調整室６１は、ケーシング５４の一方の面（図６における右側の面）から他方の面（同図における左側の面）側に向けて窪んだ空部である。この圧力調整室６１の底部（弁収容室６０との仕切壁）における略中央部には流入口６３が開設されており、当該流入口６３は弁収容室６０と連通している。また、圧力調整室６１において、流入口６３よりも下流側の底部には導出口６４が開設されている。
【００６０】
受圧部材６２は、圧力調整室６１の圧力変化に伴って当該圧力調整室６１の内側（ケーシング５４の他方の側面側）へ弾性変形するフィルム部材６５と、このフィルム部材６５の内側（圧力調整室６１側）に設けられた受圧板６６とにより構成されている。フィルム部材６５は、例えば、可撓性を有する薄手の樹脂製のフィルムから成る。このフィルム部材６５は、圧力調整室６１となる窪みの開口部（即ち、圧力調整室６１の一側の開口面）を密封するようにケーシング５４の一方の側面に接着又は溶着されている。受圧板６６は、圧力調整室６１内にあって一端部６６ａ側をケーシング５４に支持された所謂片持ち梁状態に設けられており、当該一端部６６ａを支点として、フィルム部材６５の変形に伴って回動可能に構成されている。
【００６１】
圧力調整弁５７は、圧力調整室６１へのインクの導入を許容する開弁状態と、圧力調整室６１へのインクの導入を遮断する閉弁状態とに変換可能に構成されており、付勢部材７３によって閉弁位置側へ付勢された状態で弁収容室６０内に配設されている。圧力調整弁５７は、円柱状の軸部５７ａと、この軸部５７ａの途中から側方に延出した略円盤状の鍔部５７ｂとにより構成されている。軸部５７ａの先端部（鍔部５７ｂよりも先端側）は、その外径が流入口６３の内径よりも小さくなるように形成され、流入口６３を通じて圧力調整室６１内に挿入されている。そして、この軸部５７ａと流入口６３の内周面との間の隙間を介して、フィルター室５６側からのインクが圧力調整室６１内に導入されるようになっている。
【００６２】
付勢部材７３は、圧力調整弁５７の鍔部５７ｂに当接して圧力調整弁５７全体を圧力調整室６１側に付勢し、圧力調整室６１が所定圧力に減圧されるまで、または、後述する押圧機構６７からの押圧力を受けるまで、閉弁状態を保持するようになっている。即ち、圧力調整弁５７は、フィルター室５６側からのインクの圧力と付勢部材７３の弾性力との合力に抗する応力を受けない限り、鍔部５７ｂが流入口６３の開口周縁部に密着する閉弁位置に保持される。そして、この閉弁位置では、圧力調整弁５７は、弁収容室６０側から圧力調整室６１側へのインクの流入を遮断する。
【００６３】
圧力調整弁５７が閉弁されることによって圧力調整室６１へのインクの流入が遮断されると、圧力調整弁５７よりも上流側のフィルター室５６では、エアーポンプ１６による加圧よってインクカートリッジ１３からインクが送られてくるので、圧力調整室６１の内部の圧力よりも圧力が高まる。これに対し、圧力調整弁５７よりも下流側の圧力調整室６１の内圧は、記録ヘッド１０によるインクの消費に伴って次第に低下し、圧力調整室６１と受圧部材６２を挟んで外側の空間（大気）との間に圧力差が生じる。これにより、受圧部材６２のフィルム部材６５が圧力調整室６１の内側へ弾性変形し、受圧板６６を底部側（圧力調整弁５７側）へ押圧する。これに伴い、受圧板６６は、閉弁位置にある圧力調整弁５７の軸部５７ａの先端部を押圧し、当該圧力調整弁５７に作用する付勢部材７３の付勢力とフィルター室５６側からのインクの圧力との合力に抗しながら当該圧力調整弁５７を開方向（フィルター室５６側）に移動させる。これにより、鍔部５７ｂが流入口６３の開口周縁部から離間して密着状態が解除された位置（開弁位置）まで圧力調整弁５７が変位する（開弁状態）。
【００６４】
上記の開弁状態では、弁収容室６０側から流入口６３を通じて圧力調整室６１内へのインクの流入が許容される。圧力調整室６１に流入したインクは、導出口６４を通じて記録ヘッド１０のインク流路に流入する。開弁後、圧力調整室６１内にインクが流入すると、これに伴って圧力調整室６１の内圧が次第に上昇する。圧力調整室６１の内圧の上昇により、受圧部材６２が、圧力調整室６１の底部側（圧力調整弁５７側）から開口面側に向かって次第に変位する。最終的には、圧力調整弁５７に作用する付勢部材７３の付勢力とフィルター室５６側からのインクの圧力とによって閉弁位置まで変位し、これにより鍔部５７ｂが流入口６３の開口周縁部に密着して流入口６３を閉塞し、圧力調整室６１へのインクの流入を遮断する。
【００６５】
本実施形態において、フィルム部材６５の外表面には、押圧機構６７が別途設けられている。この押圧機構６７は、プリンターコントローラー７６（図７参照）の制御により作動して受圧部材６２を押圧する機構である。本実施形態における押圧機構６７は、例えばプッシュソレノイドから構成されており、プリンターコントローラー７６からのオン・オフ制御によりプランジャー６８に連結されたシャフト７０をフレーム部材６９に対して圧力調整弁５７の開閉方向に沿って進退させる。シャフト７０の先端は受圧部材６２に当接されており、シャフト７０をフレーム部材６９から突出させるによって受圧部材６２を圧力調整弁５７側に押圧して変位させることができる。そして、プリンターコントローラー７６は、押圧機構６７により受圧部材６２を押圧することにより、コンプライアンスシート４４の変位（後述する初期位置）を調整する。
【００６６】
押圧機構６７が受圧部材６２を押圧すると、受圧部材６２のフィルム部材６５が圧力調整室６１の内側へ弾性変形し、これにより圧力調整室６１の内のインクが加圧される。これに伴い圧力調整弁５７も開かれるが、上記したようにフィルター室５６内の圧力が圧力調整室６１内の圧力より高まっていることに加え、本実施形態においてはフィルター室５６の入り口（インク供給チューブ１７との間）には、逆止弁５９が設けられているので、押圧機構６７が受圧部材６２を押圧することにより高められた圧力調整室６１の圧力が、インクカートリッジ１３側に逃げることがない。これにより、圧力調整室６１と連通するリザーバー４３の内部の圧力も高まる。この圧力変化を受けてコンプライアンスシート４４が、リザーバー４３とは反対側の外側に向けて変位する。すなわち、リザーバー４３内の圧力よりも、当該リザーバー４３とはコンプライアンスシート４４を挟んで反対側のコンプライアンス空間４７における圧力の方が低い状態が形成される。
【００６７】
なお、押圧機構６７により圧力調整弁５７が開かれるタイミングでエアーポンプ１６の作動が停止していてもよいし、エアーポンプ１６が作動されてもよい。前者の場合、上記したように押圧機構６７が受圧部材６２を押圧することによる圧力によってコンプライアンスシート４４の変位を調整することができる。また、後者の場合、押圧機構６７が受圧部材６２を押圧することによる圧力にエアーポンプ１６からの供給圧力も加えられるため、より迅速にコンプライアンスシート４４の変位調整が完了する。この場合においては、逆止弁５９を必ずしも設ける必要がない。また、押圧機構６７が受圧部材６２を押圧することにより圧力調整弁５７の開き度合（圧力調整弁５７をフィルター室５６側への移動量および圧力調整弁５７が開弁している時間）が調整されることにより、コンプライアンスシート４４の変位量を任意に調整することができる。このように、インク供給圧を調整する圧力調整弁機構２１や、インクカートリッジ１３のインクを記録ヘッド１０に送るための加圧機構の一種であるエアーポンプ１６による供給圧力を利用してコンプライアンスシート４４の変位を調整することができるので、別途に加圧機構（圧力発生源）を設ける必要がなく、当該コンプライアンスシート４４の変位を調整するための構成を簡素化することが可能となる。
【００６８】
このような圧力調整弁機構２１は、リザーバー４３ごと（コンプライアンスシート４４ごと）に対応して設けられている。なお、この圧力調整弁機構２１に関し、本実施形態においては、記録ヘッド１０と別部材である構成を例示したが、これには限られず、上記圧力調整弁機構２１に相当する構成が記録ヘッド１０自体に備えられていてもよい。
【００６９】
次に、プリンター１の記録動作について説明する。
図７は、プリンター１の電気的な構成を説明するブロック図である。
外部装置としてのコンピューターＣＰは、プリンター１と通信可能に接続されている。プリンター１に画像を印刷させるため、コンピューターＣＰは、その画像に応じた印刷データをプリンター１に送信する。本実施形態におけるプリンター１は、駆動信号発生成回路７５と、記録ヘッド１０と、プリンターコントローラー７６（制御回路）と、キャリッジ５を記録媒体の紙幅方向（主走査方向）に往復移動させるキャリッジ移動機構８０と、主走査方向に交差（直交）する副走査方向に記録媒体を搬送する紙送り機構８１と、押圧機構６７と、を有している。駆動信号発生成回路７５は、プリンターコントローラー７６から送られた駆動信号の波形に関するデータに基づいて、アナログの電圧信号を生成して増幅することで、駆動信号ＣＯＭを生成する。この駆動信号ＣＯＭは、記録媒体への画像等の記録動作（液体噴射動作）の際に記録ヘッド１０の圧電素子３１に印加されるものであり、駆動信号ＣＯＭの繰り返し周期である単位期間内に駆動パルスを少なくとも１つ以上含む一連の信号である。ここで、駆動パルスとは、記録ヘッド１０のノズル３０から液滴状のインクを噴射させるために、圧電素子３１に所定の動作を行わせるものである。
【００７０】
プリンターコントローラー７６は、プリンターの制御を行うための制御ユニットである。プリンターコントローラー７６は、インターフェース部（Ｉ／Ｆ）７７と、ＣＰＵ７８と、記憶装置７９とを有する。インターフェース部７７は、コンピューターＣＰやその他の外部機器とプリンター１との間でデータの送受信を行う。ＣＰＵ７８は、プリンター全体の制御を行うための演算処理装置である。記憶装置７９は、ＣＰＵ７８のプログラムを格納する領域や作業領域等を確保するためのものであり、ＲＡＭ、ＥＥＰＲＯＭ等の記憶素子を有する。ＣＰＵ７８は、記憶装置７９に格納されているプログラムに従って、各ユニットを制御する。
【００７１】
図８は、上記プリンター１のプリンターコントローラー７６による記録ヘッド１０の記録動作（液体噴射動作）について説明するタイミングチャートである。なお、コンプライアンスシート４４の変位調整とフラッシング動作のタイミングについてはそれぞれ矩形パルスで示している。本実施形態におけるプリンター１では、印刷データを受けて記録ヘッド１０により記録動作が実行されるのに先立ち、上記のように圧力調整弁機構２１の押圧機構６７により受圧部材６２を押圧させることにより、コンプライアンスシート４４の変位が初期位置に調整される。具体的には、図３および図４に示すように、コンプライアンスシート４４がリザーバー４３の開口面と概ね平行なフラットな状態、または、リザーバー４３とは反対側の外側のコンプライアンス空間４７側に変位（突出）した状態に調整される。これにより、上記ΔＶをより大きく確保することができる。つまり、圧力変化を受けたときのコンプライアンスシート４４のストローク量をより大きく確保することができる。この際、プリンターコントローラー７６は、押圧機構６７を制御して、ノズル３０におけるインクの表面（メニスカス）の耐圧（ノズル３０からインクが漏洩しないよう耐え得る圧力）を超えない程度までリザーバー４３の圧力を高める。本実施形態においては、メニスカスの耐圧が５〔ｋＰａ〕として、リザーバー４３の内部の圧力が０以上１〔ｋＰａ〕以下となるように調整される。これにより、ノズル３０から不用意にインクが漏出する等の不具合を抑制しつつ、コンプライアンスシート４４の変位を調整することができる。また、この際、コンプライアンスシート４４が、コンプライアンス空間４７の一部を区画している固定板２３に接触しない程度の変位に調整することが望ましい。すなわち、環境温度によっては、固定板２３が結露することにより若しくはコンプライアンスシート４４自体の粘着性が高まることによりコンプライアンスシート４４が当該固定板２３に付着する可能性があり、コンプライアンスシート４４の変位が阻害されるおそれがあるためである。
【００７２】
記録動作が開始されると、ホームポジションで待機していた記録ヘッド１０は、このホームポジションとはプラテン３を挟んで主走査方向の反対側に向けて移動を開始する。記録ヘッド１０が一定の速度になるまでの加速は非記録領域（記録領域外）で行われる。記録領域内、即ち、プラテン３上に載置された記録媒体における実際に文字や画像等が記録される記録領域に対応する範囲では、記録ヘッド１０は定速移動をしつつ、印刷データに基づいて駆動信号ＣＯＭに含まれる駆動パルスが圧電素子３１に印加されることでノズル３０からインクが噴射されて、記録媒体上に画像等が記録される。この記録動作におけるインクの消費によりリザーバー４３の内圧が次第に低下し、これに対応してコンプライアンスシート４４は、上記調整後の初期位置からリザーバー４３の内側へと変位する。そして、記録ヘッド１０は、記録領域よりも外側の非記録領域に対応する領域に移動すると記録動作を一旦停止して減速し、移動方向を反対方向に切り替える反転動作が行われる。
【００７３】
本実施形態においては、非記録領域で記録ヘッド１０の移動方向を反転させる過程でコンプライアンスシート４４の変位調整が行われる。これにより、記録ヘッド１０によるインクの噴射によってリザーバー４３内の圧力が低下することによりコンプライアンスシート４４が初期位置から変位した場合にも当該初期位置に戻すことが可能となる。これにより、一連の記録動作中における各ノズル３０の噴射特性のばらつきがより確実に低減される。また、本実施形態においては、非記録領域で記録ヘッド１０がフラッシング動作（インクの捨て撃ち動作）を行う場合には、当該フラッシング動作が終了したタイミングでコンプライアンスシート４４の変位調整が行われる。すなわち、フラッシング動作によりノズル３０からインクが噴射されることによりコンプライアンスシート４４がリザーバー４３の内側へと変位するため、フラッシング動作が終了した時点でコンプライアンスシート４４の変位調整が行われることで、コンプライアンスシート４４が初期位置にある状態で記録動作を再開させることができる。同様に、記録動作とは別にキャッピング機構１１によりノズル３０からインクや気泡を強制的にキャップ１２内に排出させるクリーニング動作が行われた場合には、このクリーニング動作後にコンプライアンスシート４４の変位調整が行われることで、コンプライアンスシート４４が初期位置にある状態で記録動作を開始させることができる。なお、コンプライアンスシート４４の変位調整は、記録ヘッド１０が非記録領域で移動方向を反転させるごとに行わなくてもよく、例えば、所定回数のパス（記録ヘッド１０の走査単位）が完了する毎に行うようにすることもできる。
【００７４】
このように、本実施形態におけるプリンター１では、圧力調整弁機構２１によりコンプライアンスシート４４の変位調整が行われるので、少なくとも記録動作（液体噴射動作）が開始される直前の初期状態においてコンプライアンスシート４４がリザーバー４３の開口面と概ね平行なフラットな状態、または、リザーバー４３とは反対側の外側のコンプライアンス空間４７側に変位した（撓んだ）状態となる。これにより、記録動作におけるコンプライアンスシート４４の変位量をより大きくとることができ、より広い範囲の圧力変化に対応することが可能となる。つまり、上記ΔＰに対するΔＶをより大きく確保することで、コンプライアンス量Ｃを大きくすることが可能となる。その結果、ノズル３０から噴射されるインクの噴射特性が変動することが抑制される。特に、記録媒体の所定の範囲をインクで隙間なく埋めるような所謂ベタ印刷の場合等のように、より多くの数のノズル３０からより多くのインクを噴射させるような記録動作を行う場合であっても、コンプライアンスシート４４が圧力変化に十分に対応することが可能となる。また、本実施形態においては、非記録領域においてコンプライアンスシート４４の変位調整が行われるので、コンプライアンスシート４４の変位調整に伴ってリザーバー４３内の圧力が変動することによる記録動作への悪影響を防止することができる。さらに、本実施形態においては、圧力調整弁機構２１によりコンプライアンスシート４４の変位調整が行われるので、受圧部材６２を押圧する簡単な押圧機構６７を設けることで足り、コンプライアンスシート４４の位置を調整するための機構を別途設ける必要がない。また、押圧機構６７により受圧部材６２を押圧して圧力調整弁５７を開くことにより、コンプライアンスシート４４の変位を任意のタイミングでより精度よく調整することができる。そして、コンプライアンスシート４４のサイズを拡大したり、コンプライアンス部材を別途追加したりする必要がないので、記録ヘッド１０やプリンター１の小型化に対応することができる。
【００７５】
なお、コンプライアンスシート４４の変位調整に関し、上記第１の実施形態で例示したように非記録領域で行う態様には限られない。例えば、記録動作中においてもコンプライアンスシート４４の変位調整が行われてもよい。この場合、一定の間隔毎にコンプライアンスシート４４の変位調整が行われてもよいし、あるいは、記録ヘッド１０におけるインクの消費量が急激に増加するタイミングを把握し、これよりも前のタイミングでコンプライアンスシート４４の変位調整が行われてもよい。後者の場合、例えば、プリンターコントローラー７６は、印刷データに基づいてノズル列毎（１つのノズル列に複数種類のインクが割り当てられる構成においては、インクの種類毎）に単位時間あたりのインク消費量（噴射予定の液体の量）を予め算出し、算出値と予め定められた閾値とを比較し、インク消費量が閾値を超える前のタイミングで、該当するノズル列（インク種類）に対応するコンプライアンスシート４４の変位調整を行う。これにより、急激な圧力変化にもコンプライアンスシート４４が十分に対応することが可能となり、当該圧力変化を緩和することができる。その結果、リザーバー４３に連通する各ノズル３０における噴射特性のばらつきが一層確実に低減される。さらに、加圧機構であるエアーポンプ１６が継続的に駆動されるとともに押圧機構６７により圧力調整弁５７が常に開かれた状態とし、圧力調整弁５７の開き度合が調整されることにより、コンプライアンスシート４４の変位が常に初期位置に近づくように調整することも可能である。これにより、急激な圧力変化を一層確実に緩和することができる。
【００７６】
上記第１の実施形態では、インクカートリッジ１３から記録ヘッド１０にインクを供給する構成として、加圧機構の一種であるエアーポンプ１６の加圧によってインクカートリッジ１３内のインクがインク供給チューブ１７を通じて記録ヘッド１０側に供給される構成を例示したが、これには限られない。例えば、エアーポンプ１６の替わりに、インクカートリッジ１３と記録ヘッド１０との間のインク供給経路（インク供給チューブ１７）にいわゆるしごきポンプ（チューブポンプ）のような送りポンプを加圧機構として設け、当該送りポンプによりインクカートリッジ１３内のインクがインク供給チューブ１７を通じて記録ヘッド１０側に供給される構成を採用することもできる。
【００７７】
また、インクカートリッジ１３から記録ヘッド１０に向かう第１のインク経路と、記録ヘッド１０からインクカートリッジ１３に向かう第２のインク経路を有するインク循環システムを備えたプリンターにおいては、通常の記録動作時に所定の供給圧力で記録ヘッド１０にインクを供給したり、ノズル３０からインクを強制的に排出させるクリーニング動作の際に通常の液体噴射動作時の供給圧力よりも高い供給圧力で記録ヘッド１０にインクを供給したりすることができる。この構成においては、例えば、上記の第２のインク経路を弁により閉じた状態で、第１のインク経路に設けられた加圧機構としてのポンプが駆動されてインクカートリッジからインクが記録ヘッド１０に圧送されることにより記録ヘッドのリザーバーの圧力が高められる。これにより、コンプライアンスシートの変位調整を行うことができる。
【００７８】
さらに、圧力調整機構としては、上記実施形態における圧力調整弁機構２１に限られない。図９は、本発明の第２の実施形態における圧力調整機構の構成を説明する模式図である。本実施形態では、主にインクカートリッジ１３から記録ヘッド１０に供給されるインクを貯留するバッファー空間８４と、当該バッファー空間８４の一部を封止・区画し可撓性を有するバッファーフィルム８５と、をフレーム部材８２に備えたバッファー部材８３が、圧力調整機構としてインクカートリッジ１３から記録ヘッド１０のリザーバー４３までの供給経路に配置されている。このバッファー部材８３は、バッファー空間８４の圧力変化に応じてバッファーフィルム８５が変位することで供給経路におけるインクの圧力変化を緩和する。その他の構成は第１の実施形態と同様である。このバッファー部材８３において、バッファー空間８４のインクが導入される部分に、インク供給チューブ１７側からバッファー部材８３内へのインクの流通を許容しその逆への流通は阻止する逆止弁８７が設けられており、また、上記押圧機構６７と同様の構成を有する押圧機構８６が設けられている。そして、このバッファー部材８３においても、上記の圧力調整弁機構２１と同様に、押圧機構８６によりバッファーフィルム８５を押圧することによりコンプライアンスシートの変位調整を行うことができる。また、押圧機構６７，８７としては、例示したプッシュソレノイドで構成されるものには限られず、受圧部材６２やバッファーフィルム８５を押圧することが可能な構成であれば種々の構成のものを採用することができる。例えば、加圧空気等により受圧部材６２等を押圧する押圧機構を採用してもよい。
【００７９】
図１０は、本発明の第３の実施形態におけるインクカートリッジ１３からインク供給チューブ１７を通って記録ヘッド１０に至るまでのインク供給経路の構成について説明する模式図である。本実施形態においては、インクカートリッジ１３を鉛直方向に沿って昇降させる水頭調整機構８９が加圧機構として設けられている。すなわち、水頭調整機構８９は、インクカートリッジ１３を昇降させて記録ヘッド１０との間に高低差を生じさせることにより、ノズル３０におけるメニスカスに作用する圧力を調整する。本実施形態においては、この水頭調整機構８９によるインクカートリッジ１３と記録ヘッド１０のノズル３０との間の水頭差を利用してコンプライアンスシートの変位調整を行うことができる。その他の構成は第１の実施形態と同様である。
【００８０】
さらに、コンプライアンスシート４４の変位調整の手段としては、リザーバー４３側の圧力を高める（加圧する）ものには限られず、例えば、コンプライアンス空間４７を減圧することによりコンプライアンスシートの変位調整を行う構成を採用することもできる。
【００８１】
図１１は、本発明の第４の実施形態におけるコンプライアンスシート４４の近傍の構成を示す断面図である。本実施形態においては、コンプライアンス基板２７の支持板４５に、コンプライアンス空間４７から貫通開口４６および貫通口２３ａに通じる圧力調整路９０（本発明における圧力調整路）が形成されている。すなわち、コンプライアンス空間４７は、圧力調整路９０を通じて貫通開口４６および貫通口２３ａからなる開口部で大気と連通している。この圧力調整路９０の途中には、逆止弁９１が設けられている。逆止弁９１は、コンプライアンス空間４７側から貫通開口４６側への気体の流通を許容する一方、貫通開口４６側からコンプライアンス空間４７側への気体の流通を阻止する。
【００８２】
本実施形態において、メンテナンス動作の一種であるクリーニング動作を行うためのキャッピング機構１１が、本発明における圧力調整機構としても機能する。キャッピング機構１１のキャップ１２は、エラストマー等の弾性を有する材料により上面側が開口したトレイ状に形成された部材である。このキャッピング時においては、キャップ１２の開口縁（上面）を固定板２３に密着させて記録ヘッド１０のノズル面を封止する。この封止状態でキャップ１２と記録ヘッド１０のノズル面とで区画される封止空部９２には、記録ヘッド１０のノズル面の開口部、すなわち、固定板２３の貫通口２３ａおよびコンプライアンス基板２７の貫通開口４６を通じて、ノズルプレート２４が臨む。したがって、キャップ１２は、開口部を内包する状態でノズル面を封止する。また、封止状態において上記圧力調整路９０も開口部を経て封止空部９２と連通する。キャップ１２の底面には、貫通孔９３が開設されている。貫通孔９３は、排液チューブ９４を介して吸引ポンプ９５に接続されている。吸引ポンプ９５は、例えば、排液チューブ９４をローラーなどで扱くことによりインクを送り出すチューブポンプなどにより構成され、封止空部９２を負圧化してキャップ１２内に排出されたインクや空気等を排出する。吸引ポンプ９５の下流側には、図示しない排出タンクが接続されており、吸引ポンプ９５によって送り出されたインクや空気等は排出タンクに排出される。また、キャップ１２の内部空間は、図示しない大気開放弁を介して大気と連通されている。
【００８３】
本実施形態においてコンプライアンスシート４４の変位調整のタイミングが到来すると、キャリッジ５がホームポジションに移動し、キャッピング機構１１により記録ヘッド１０のノズル面がキャップ１２によって封止される。そして、この封止状態において吸引ポンプ９５が作動して封止空部９２内が負圧化される。これにより圧力調整路９０を通じてコンプライアンス空間４７が減圧され、この圧力変化を受けてコンプライアンスシート４４がリザーバー４３とは反対側の外側に向けて変位する。このとき、コンプライアンス空間４７の内部の圧力は、例えば−５〔ｋＰａ〕以上−１〔ｋＰａ〕以下に調整される。コンプライアンス空間４７が所定の圧力まで減圧されたならば、上記の大気開放バルブが開かれてキャップ１２内の負圧が解除される。このとき、圧力調整路９０には逆止弁９１が設けられているので、コンプライアンス空間４７の減圧された状態が維持される。その後、キャップ１２が下降してキャップ１２がノズル面から離隔される。この構成によれば、ノズル面をキャップ１２で封止してメンテナンス動作を行うキャッピング機構１１を利用して、コンプライアンスシート４４の変位を調整することができる。これにより、コンプライアンスシート４４の変位を調整するための構成を別途設ける必要がない。また、本実施形態における構成によれば、メンテナンス動作の実行と同時にコンプライアンス部材の変位も同時に調整することができるので、その分、プリンター１が印刷指示を受けてから記録動作を完了するまでのターンアラウンドタイムを削減することが可能となる。さらに、逆止弁９１によりコンプライアンス空間４７の減圧された状態が維持されるので、記録動作中におけるリザーバー４３の圧力変化をより長時間に亘って緩和することができる。これにより、コンプライアンスシート４４の変位調整を行う頻度を低減することができるので、この点においても、上記ターンアラウンドタイムを削減することが可能となる。
【００８４】
図１２は、本発明の第５の実施形態におけるコンプライアンスシート４４の近傍の構成を示す断面図である。上記第４の実施形態では、記録ヘッド１０のメンテナンス動作に用いられるキャップ１２を用いてコンプライアンス空間４７を減圧することによりコンプライアンスシート４４の変位調整を行う構成を例示したが、これには限られない。本実施形態においては、クリーニング動作用のキャップ１２とは別途設けられた調整用キャップ９７を用いてコンプライアンス空間４７を減圧することによりコンプライアンスシート４４の変位調整を行う点で相違している。本実施形態における圧力調整路９０は、支持板４５においてコンプライアンス空間４７から貫通開口４６とは反対側に向かって延びている。この圧力調整路９０のコンプライアンス空間４７側とは反対側の端部は、固定板２３の厚さ方向を貫通して形成された連通路９６と連通している。連通路９６は、固定板２３の下面（ノズル面）においてキャップ１２により封止される領域から外れた位置に開口している。すなわち、コンプライアンス空間４７は、圧力調整路９０および連通路９６を通じて大気開放されている。本実施形態における圧力調整路９０にも上記第３実施形態と同様に、コンプライアンス空間４７側から外部への気体の流通を許容する一方、外部からコンプライアンス空間４７側への気体の流通を阻止する逆止弁９１が設けられている。
【００８５】
本実施形態において、調整用キャップ９７は、キャップ１２と同様にエラストマー等の弾性を有する材料により上面側が開口したトレイ状に形成された部材であり、ノズル面に開口した連通路９６の開口を封止し得る大きさに設定されている。調整用キャップ９７による封止状態において当該調整用キャップ９７と記録ヘッド１０のノズル面（固定板２３）とで区画される封止空部１００には、連通路９６の開口が臨み、これによりコンプライアンス空間４７が連通する。調整用キャップ９７には減圧チューブ９８の一端が接続されており、この減圧チューブ９８の他端は三方弁９９を介してキャッピング機構１１の排液チューブ９４に接続されている。
【００８６】
本実施形態においては、コンプライアンスシート４４の変位調整の際、調整用キャップ９７によってノズル面における連通路９６が開口された領域が封止された状態で、三方弁９９が、封止空部１００と吸引ポンプ９５とを連通する状態に切り替えられる。この状態で吸引ポンプ９５が作動して封止空部１００内が負圧化される。これにより圧力調整路９０を通じてコンプライアンス空間４７が減圧され、この圧力変化を受けてコンプライアンスシート４４がリザーバー４３とは反対側の外側であるコンプライアンス空間４７側に向けて変位する。このように、本実施形態においても第４の実施形態と同様にコンプライアンスシートの変位調整を行うことができる。また、本実施形態においては、クリーニング動作とは別にコンプライアンスシートの変位調整が行われるので、コンプライアンス空間４７の圧力を任意の値に調整しやすい。
【００８７】
また、コンプライアンス空間４７を減圧することによりコンプライアンスシートの変位調整を行う構成に関して、上記第４の実施形態および第５の実施形態で例示したものには限られず、要は、コンプライアンス空間４７を減圧するできる構成であればよい。例えば、記録ヘッド１０のクリーニング動作に用いられる吸引ポンプ９５とは別に減圧用のポンプ等の吸引機構を備え、当該減圧用ポンプを用いてコンプライアンス空間４７を常時減圧することでコンプライアンスシート４４の変位を調整する構成を採用することもできる。
【００８８】
さらに、上記各実施形態では、記録媒体の幅方向に記録ヘッド１０を相対的に移動させつつインクの噴射を行う所謂シリアル型のプリンター１を例示したが、これには限られない。例えば、記録媒体の送り方向に交差する方向にノズルが複数配列されてなるノズル列の全長（複数の記録ヘッドを搭載する構成では、各記録ヘッドのノズル列の合計の長さ）が、プリンターにおいて印刷可能な最大サイズの記録媒体の幅に対応可能な長さに設定され、記録ヘッド（ライン型記録ヘッド）の移動（走査）を行わずに記録媒体の搬送を行いつつ記録動作が行われる所謂ライン型のプリンターにも本発明を適用することが可能である。この場合、例えば、コンプライアンスシートの変位調整のタイミングに関し、一の記録媒体に対する記録動作が完了した後、次の記録媒体がプラテン上に送られているまでの間のように、記録ヘッドが記録媒体の非記録領域（記録媒体上であって記録が行われない領域および記録媒体より外側に外れた（記録媒体が配置されていない）領域を含む）に対向するタイミングでコンプライアンスシートの変位調整が行われるようにすることができる。すなわち、記録媒体がロール紙のような連続紙である場合、記録媒体上であって画像等が実際に記録される記録領域から外れた非記録領域に対向するタイミングでコンプライアンスシートの変位調整が行われる。また、記録媒体がカット紙（枚葉紙）である場合、記録媒体上であって画像等が実際に記録される記録領域から外れた非記録領域に対向するタイミング、または、記録媒体から外れた非記録領域（一の記録媒体を排紙して次の記録媒体が送られてくるまでの間において記録媒体が配置されていない領域）に対向するタイミングでコンプライアンスシートの変位調整が行われるようにすることができる。これにより、記録ヘッドが非記録領域と対向する毎にコンプライアンスシートの変位調整が行われるので、一連の記録動作中における各ノズルの噴射特性のばらつきがより確実に低減される。また、このライン型のプリンターでは、記録ヘッドが移動しないため、圧力調整機構によりコンプライアンスシートの変位調整を行いやすい。このため、記録ヘッドが非記録領域と対向した場合に変位調整を行うのには限られず、例えば、上記第５の実施形態の構成のように調整用キャップ９７と吸引ポンプ９５とを利用してコンプライアンス空間４７を常時減圧する構成を採用することが可能である。
【００８９】
そして、以上では、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド１０（記録ヘッド１０）を例に挙げて説明したが、本発明は、コンプライアンスシート（コンプライアンス部材）を有する他の液体噴射ヘッドおよびこれを備える液体噴射装置にも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を複数備える液体噴射ヘッド、および、これを備える液体噴射装置にも本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００９０】
１…プリンター，２…フレーム，３…プラテン，４…ガイドロット，５…キャリッジ，６…パルスモーター，７…駆動プーリー，８…遊転プーリー，９…タイミングベルト，１０…記録ヘッド，１１…キャッピング機構，１２…キャップ，１３…インクカートリッジ，１４…カートリッジホルダー，１５…エアーチューブ，１６…エアーポンプ，１７…インク供給チューブ，１８…ＦＦＣ，２１…圧力調整弁機構，２３…固定板，２４…ノズルプレート，２５…連通板，２６…アクチュエーター基板，２７…コンプライアンス基板，２８…ケース，２９…圧力室形成基板，３０…ノズル，３１…圧電素子，３２…保護基板，３３…圧力室，３４…ノズル連通口，３５…個別連通口，３６…振動板，３８…駆動ＩＣ，３９…フレキシブル基板，４０…配線空部，４１…収容空間，４３…リザーバー，４４…コンプライアンスシート，４５…支持板，４６…貫通開口，４７…コンプライアンス空間，４８…コンプライアンス開口，４９…収容空部，５０…挿通空部，５１…液室空部，５２…導入口，５４…ケーシング，５５…フィルター，５６…フィルター室，５７…圧力調整弁，５８…圧力調整部，５９…逆止弁，６０…弁収容室，６１…圧力調整室，６２…受圧部材，６３…流入口，６４…導出口，６５…フィルム部材，６６…受圧板，６７…押圧機構，６８…プランジャー，６９…フレーム部材，７０…シャフト，７１…コイル，７３…付勢部材，７５…駆動信号発生回路，７６…プリンターコントローラー，７７…インターフェース部，７８…ＣＰＵ，７９…記録装置，８０…キャリッジ移動機構，８１…搬送機構，８２…フレーム部材，８３…バッファー部材，８４…バッファー空間，８５…バッファーフィルム，８６…押圧機構，８７…逆止弁，８９…水頭調整機構，９０…圧力調整路，９１…逆止弁，９２…封止空部，９３…貫通孔，９４…排液チューブ，９５…吸引ポンプ，９６…圧力調整路，９７…調整用キャップ，９８…減圧チューブ，９９…三方弁，１００…封止空部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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