(57)【要約】      （修正有）【課題】測定対象物によらずに光変位センサを取付可能な技術を提供する。【解決手段】ネジ部材によって台座部を第１保持部材のＺ軸方向下面に装着するステップＳ０１と、第１保持部材に装着された台座部を測定対象物に接着剤によって接着するステップＳ０２と、ネジ部材を取り外すことにより、測定対象物に接着された台座部から第１保持部材を取り外すステップＳ０３と、本体部を第２保持部材に装着するステップＳ０４と、第２保持部材に装着された本体部を台座部にネジ部材によって固定するステップＳ０５と、ネジ部材を取り外すことにより、台座部に固定された本体部から第２保持部材を取り外すステップＳ０６より構成される。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１及び第２本体部を有し、前記第１及び第２本体部の相対位置の変化を検出可能に構成された光変位センサと、
測定対象物に接着される第１及び第２接着面と、前記第１及び第２本体部を固定可能な第１及び第２固定面と、を有する第１及び第２台座部と、
前記第１及び第２台座部に対して着脱可能に構成され、前記第１及び第２台座部を位置決めする第１位置決め部を有する第１保持部材と、
前記第１及び第２本体部に対して着脱可能に構成され、前記第１及び第２本体部を位置決めする第２位置決め部を有する第２保持部材と、
を具備する光変位センサキット。
【請求項２】
請求項１に記載の光変位センサキットであって、
前記第１保持部材は、前記第１及び第２台座部を同一平面上に保持し、
前記第２保持部材は、前記第１及び第２本体部を同一平面上に保持する
光変位センサキット。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の光変位センサキットであって、
前記第１及び第２本体部を前記第１及び第２固定面に固定するための締結部材を更に具備する
光変位センサキット。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の光変位センサキットであって、
前記第１本体部は、発光素子と、受光素子と、第１光学素子と、を有し、
前記第２本体部は、前記第１光学素子と対向する第２光学素子を有し、
前記光変位センサは、前記発光素子が発した光が、前記第１及び第２光学素子を経由し、前記受光素子に入射するように構成されている
光変位センサキット。
【請求項５】
請求項４に記載の光変位センサキットであって、
前記光変位センサは、前記第１及び第２光学素子の光軸に直交する方向の相対位置の変化を検出可能に構成されている
光変位センサキット。
【請求項６】
第１及び第２本体部を有し、前記第１及び第２本体部の相対位置の変化を検出可能に構成された光変位センサを測定対象物に取り付ける光変位センサの取付方法であって、
第１及び第２台座部の各固定面を第１保持部材に固定することで、前記第１及び第２台座部を位置決めし、
位置決めされた前記第１及び第２台座部の各接着面を前記測定対象物に接着し、
前記測定対象物に接着された前記第１及び第２台座部から前記第１保持部材を取り外し、
前記第１及び第２本体部を第２保持部材に固定することで、前記第１及び第２本体部を位置決めし、
位置決めされた前記第１及び第２本体部を前記第１及び第２台座部に固定し、
前記第１及び第２台座部に固定された前記第１及び第２本体部から前記第２保持部材を取り外す
光変位センサの取付方法。
【請求項７】
請求項６に記載の光変位センサの取付方法であって、
前記第１及び第２台座部を前記測定対象物に接着するときに、前記第１及び第２台座部と前記測定対象物との間に接着層を介在させる
光変位センサの取付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光変位センサを測定対象物に取り付けるための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的な光変位センサは、２枚の回折格子を透過した干渉光を検出することにより、２枚の回折格子の光軸に沿った方向の相対的な変位を計測することができる（例えば、特許文献１参照）。しかしながら、このような光変位センサでは、２枚の回折格子の距離が大きくなるにつれて干渉光の振幅が減衰するため、大きい変位を計測することは困難である。
【０００３】
これに対し、特許文献２に記載の光変位センサでは、２枚の回折格子の光軸に直交する方向の相対的な変位を計測する。この光変位センサでは、２枚の回折格子の相対的な変位によって２枚の回折格子の距離が変化しないため、干渉光の振幅が減衰しない。したがって、この光変位センサでは、より広い範囲の変位を計測することが可能である。
【０００４】
近年、光変位センサは、トルク計や荷重計などの各種計測装置のみならず、より広い分野で用いられるようになってきている。一例として、光変位センサは、橋梁に取り付けられ、橋梁に生じる撓みのモニタリングに用いることができる。これにより、橋梁における交通量の把握や過積載車両の検出などが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第２０１１／０４３３５４号パンフレット
【特許文献２】特開２０１５−２１８９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このように、光変位センサには、様々な測定対象物に取り付けるニーズが高まってきている。しかし、測定対象物によっては平滑な面を確保することが困難なものもある。光変位センサを平滑でない面に取り付ける場合、２枚の回折格子の相対位置がずれる場合がある。この場合、２枚の回折格子の変位を正確に計測することができなくなる。
【０００７】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、測定対象物によらずに光変位センサを取付可能な技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る光変位センサキットは、光変位センサと、第１及び第２台座部と、第１及び第２保持部材と、を具備する。
上記光変位センサは、第１及び第２本体部を有し、上記第１及び第２本体部の相対位置の変化を検出可能に構成されている。
上記第１及び第２台座部は、測定対象物に接着される第１及び第２接着面と、上記第１及び第２本体部を固定可能な第１及び第２固定面と、を有する。
上記第１保持部材は、上記第１及び第２台座部に対して着脱可能に構成され、上記第１及び第２台座部を位置決めする第１位置決め部を有する。
上記第２保持部材は、上記第１及び第２本体部に対して着脱可能に構成され、上記第１及び第２本体部を位置決めする第２位置決め部を有する。
【０００９】
この光変位センサキットでは、第１及び第２台座部が、第１保持部材によって位置決めされた状態で、測定対象物に接着される。これにより、第１及び第２台座部が正しい相対位置に配置される。
また、この構成では、第１及び第２本体部が、第２保持部材によって位置決めされた状態で、測定対象物に接着された第１及び第２台座部に固定される。これにより、第１及び第２本体部が正しい相対位置に配置される。
したがって、この光変位センサキットによれば、第１及び第２本体部の相対位置がずれることを防止できるため、第１及び第２本体部の相対的な変位を正確に計測することができる。つまり、この光変位センサキットによれば、光変位センサによる測定対象物の変形量の正確な計測が可能となる。
【００１０】
上記第１保持部材は、上記第１及び第２台座部を同一平面上に保持し、上記第２保持部材は、上記第１及び第２本体部を同一平面上に保持してもよい。
上記光変位センサキットは、上記第１及び第２本体部を上記第１及び第２固定面に固定するための締結部材を更に具備してもよい。
これらの構成では、光変位センサキットをシンプルな構成で実現可能である。
【００１１】
上記第１本体部は、発光素子と、受光素子と、第１光学素子と、を有してもよい。
上記第２本体部は、上記第１光学素子と対向する第２光学素子を有してもよい。
上記光変位センサは、上記発光素子が発した光が、上記第１及び第２光学素子を経由し、上記受光素子に入射するように構成されていてもよい。
この構成では、受光素子に入射する干渉光により、測定対象物の変形量を計測することができる。
【００１２】
上記光変位センサは、上記第１及び第２光学素子の光軸に直交する方向の相対位置の変化を検出可能に構成されていてもよい。
この構成では、第１及び第２光学素子の変位を広い範囲で検出可能である。
【００１３】
本発明の別の形態に係る光変位センサの取付方法は、第１及び第２本体部を有し、上記第１及び第２本体部の相対位置の変化を検出可能に構成された光変位センサを測定対象物に取り付けることができる。
第１及び第２台座部の各固定面を第１保持部材に固定することで、上記第１及び第２台座部が位置決めされる。
位置決めされた上記第１及び第２台座部の各接着面が上記測定対象物に接着される。
上記測定対象物に接着された上記第１及び第２台座部から上記第１保持部材が取り外される。
上記第１及び第２本体部を第２保持部材に固定することで、上記第１及び第２本体部が位置決めされる。
位置決めされた上記第１及び第２本体部が上記第１及び第２台座部に固定される。
上記第１及び第２台座部に固定された上記第１及び第２本体部から上記第２保持部材が取り外される。
【００１４】
上記第１及び第２台座部を上記測定対象物に接着するときに、上記第１及び第２台座部と上記測定対象物との間に接着層を介在させてもよい。
この構成では、測定対象物の表面の形状の影響を受けることなく、第１及び第２台座部を正しい相対位置に配置することができる。
【発明の効果】
【００１５】
測定対象物によらずに光変位センサを取付可能な技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態に係る光変位センサユニットの斜視図である。
【図２】上記光変位センサユニットのＡ−Ａ'線に沿った断面図である。
【図３】上記光変位センサユニットのＢ−Ｂ'線に沿った断面図である。
【図４】上記光変位センサユニットを測定対象物に取り付けるために利用可能な第１及び第２保持部材の平面図である。
【図５】上記光変位センサユニットの取付方法を示すフローチャートである。
【図６】上記光変位センサユニットの取付方法の過程を示す断面図である。
【図７】上記光変位センサユニットの取付方法の過程を示す断面図である。
【図８】上記光変位センサユニットの取付方法の比較例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。
図面には、適宜相互に直交するＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸が示されている。Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸は全図において共通である。
【００１８】
［光変位センサユニットＵの構成］
（全体構成）
図１，２は、本発明の一実施形態に係る光変位センサユニットＵを示す図である。図１は、光変位センサユニットＵの斜視図である。図２は、光変位センサユニットＵの図１のＡ−Ａ'線に沿った断面図である。図２では、説明の便宜上、光変位センサユニットＵの各構成を図１とは異なる寸法比率で示している。
【００１９】
光変位センサユニットＵは、光変位センサ１と、第１台座部３０と、第２台座部４０と、を具備する。光変位センサ１は、第１本体部１０と、第２本体部２０と、を有する。第１台座部３０は、光変位センサ１の第１本体部１０を保持する土台として構成される。第２台座部４０は、光変位センサ１の第２本体部を保持する土台として構成される。
【００２０】
光変位センサ１は、本体部１０，２０の相対位置の変化を計測可能に構成されている。これにより、光変位センサユニットＵが取り付けられた測定対象物Ｓの撓みなどによる変形量を計測可能となる。光変位センサ１における本体部１０，２０の相対位置の変化を計測するための光学系の構成については後述する。
【００２１】
本体部１０，２０は、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸に平行な辺を有する直方体状であり、Ｙ軸方向に間隔をあけて隣接している。つまり、本体部１０，２０は、Ｙ軸方向に相互に対向している。第２本体部２０のＸ軸及びＺ軸方向の寸法は、第１本体部１０と同等である。第２本体部２０のＹ軸方向の寸法は、第１本体部１０よりも小さい。
【００２２】
本体部１０，２０のＺ軸方向上面は、いずれもＸ−Ｙ平面に平行であり、本実施形態では同一平面上に位置している。また、本体部１０，２０のＺ軸方向下面も、いずれもＸ−Ｙ平面に平行であり、本実施形態では同一平面上に位置している。
【００２３】
台座部３０，４０は、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸に平行な辺を有する直方体状であり、Ｘ軸方向に延びる長板状に形成されている。台座部３０，４０のＺ軸方向上面は、本体部１０，２０が固定される固定面として構成される。台座部３０，４０のＺ軸方向下面は、測定対象物Ｓに接着される接着面として構成される。
【００２４】
第１台座部３０は、第１本体部１０の第２本体部２０側とは反対のＹ軸方向端部に設けられ、第１本体部１０のＸ軸方向の全幅にわたって延びている。第２台座部４０は、第２本体部２０のＸ軸及びＹ軸方向の全幅にわたって延びている。台座部３０，４０のＺ軸方向の高さは互いに等しい。
【００２５】
台座部３０，４０のＺ軸方向上面は、いずれもＸ−Ｙ平面に平行であり、本実施形態では同一平面上に位置している。また、台座部３０，４０のＺ軸方向下面も、いずれもＸ−Ｙ平面に平行であり、本実施形態では同一平面上に位置している。
【００２６】
台座部３０，４０のＺ軸方向下部は、接着剤Ｍによって測定対象物Ｓに接着されている。台座部３０，４０と測定対象物Ｓとの間には、接着剤Ｍにより形成された接着層が介在していることが好ましい。これにより、台座部３０，４０を測定対象物Ｓに取り付ける際に、測定対象物Ｓの表面形状の影響を受けることを防止することができる。
【００２７】
第１本体部１０には、Ｚ軸方向上面から下面に向けて延びる２つの座ぐり部１１が設けられている。座ぐり部１１は、第１台座部３０のＺ軸方向上方に配置され、Ｘ軸方向に間隔をあけて配置されている。座ぐり部１１の底面には、第１本体部１０のＺ軸方向下面に貫通する貫通孔が形成されている。
【００２８】
また、第２本体部２０には、Ｚ軸方向上面から下面に向けて延びる２つの座ぐり部２１が設けられている。座ぐり部２１は、第２本体部２０のＹ軸方向中央部に配置され、Ｘ軸方向に間隔をあけて配置されている。座ぐり部２１の底面には、第２本体部２０のＺ軸方向下面に貫通する貫通孔が形成されている。
【００２９】
第１台座部３０のＺ軸方向上面には、第１本体部１０の座ぐり部１１の底面に形成された貫通孔に対応するネジ孔３１が設けられている。第１台座部３０のネジ孔３１には、第１本体部１０の座ぐり部１１の底面に挿通された締結部材であるネジ部材Ｆがねじ込まれている。これにより、第１本体部１０が第１台座部３０に固定されている。
【００３０】
また、第２台座部４０のＺ軸方向上面には、第２本体部２０の座ぐり部２１の底面に形成された貫通孔に対応するネジ孔４１が設けられている。第２台座部４０のネジ孔４１には、第２本体部２０の座ぐり部２１の底面に挿通されたネジ部材Ｆがねじ込まれている。これにより、第２本体部２０が第２台座部４０に固定されている。
【００３１】
このように、光変位センサユニットＵでは、本体部１０，２０が測定対象物Ｓに直接固定されるのではなく、本体部１０，２０が台座部３０，４０を介して測定対象物Ｓに固定される。したがって、光変位センサユニットＵは、本体部１０，２０をネジ部材Ｆによって直接固定することができない測定対象物Ｓにも容易に取り付けることができる。
【００３２】
（光変位センサ１の光学系の構成）
図３は、光変位センサユニットＵの図１のＢ−Ｂ'線に沿った断面図である。図３では、図２と同様に、説明の便宜上、光変位センサユニットＵの各構成を図１とは異なる寸法比率で示している。主に図３を参照しながら、光変位センサ１における測定対象物Ｓの変形量を計測するための光学系の構成について説明する。
【００３３】
第１本体部１０には、第２本体部２０とのＹ軸方向対向面からＹ軸方向に窪む第１凹部１３が設けられている。第２本体部２０には、第１本体部１０とのＹ軸方向対向面からＹ軸方向に突出する凸部２３が設けられている。第２本体部２０の凸部２３は、第１本体部１０の第１凹部１３に入り込んでいる。
【００３４】
更に、第１本体部１０の第１凹部１３のＸ軸方向側壁面には、Ｘ軸方向両側にそれぞれ窪む第２凹部１４及び第３凹部１５が設けられている。第２本体部２０の凸部２３には、Ｘ軸方向に貫通する貫通部２４が設けられている。第２凹部１４、貫通部２４、及び第３凹部１５は、Ｘ軸方向に沿って並んでおり、Ｘ軸方向に一連の光路５５を形成している。
【００３５】
第２凹部１４の底面には発光素子５１が設けられ、第３凹部１５の底面には受光素子５４が設けられている。つまり、光路５５には、一方の端部に発光素子５１が配置され、他方の端部に受光素子５４が配置されている。したがって、発光素子５１が発した光は、光路５５に沿ってＸ軸方向に進行し、受光素子５４に入射する。
【００３６】
光路５５における発光素子５１と受光素子５４との間の領域には、第１光学素子５２及び第２光学素子５３が配置されている。より詳細に、第１光学素子５２は、第２凹部１４の第１凹部１３に接続する端部に配置されている。第２光学素子５３は、貫通部２４の第１凹部１３に接続する端部に配置されている。
【００３７】
光学素子５２，５３はいずれも、透明部材で形成され、Ｚ軸方向に平行な格子を有する透過型回折格子として構成される。光学素子５２，５３の光軸はいずれも、Ｘ軸方向を向いている。したがって、発光素子５１が発した光は光学素子５２，５３を透過して干渉光となり、この干渉光が受光素子５４に入射する。
【００３８】
図２を参照すると、測定対象物ＳにＺ軸方向の撓みなどの変形が発生すると、第２本体部２０が第１本体部１０に対してＹ軸方向に変位することがわかる。このとき、図３に示すように、第２本体部２０に設けられた第２光学素子５３が、第１本体部１０に設けられた第１光学素子５２に対してＹ軸方向に変位する。
【００３９】
第２光学素子５３の第１光学素子５２に対するＹ軸方向の変位に応じ、光学素子５２，５３を透過する干渉光が変化し、受光素子５４に入射する光量が変化する。このため、光変位センサ１では、受光素子５４に入射する光量を検出することにより、第２光学素子５３の第１光学素子５２に対する変位を計測することができる。
【００４０】
第２光学素子５３の第１光学素子５２に対する変位は、測定対象物Ｓの変形量に換算することが可能である。したがって、光変位センサ１では、以上のような光学系の構成により、受光素子５４に入射する光量を検出することによって、測定対象物Ｓの変形量の計測が可能となっている。
【００４１】
また、光変位センサ１では、光学素子５２，５３にＹ軸方向の相対的な変位が生じても、光学素子５２，５３のＸ軸方向の距離が変化しないため、光学素子５２，５３を透過する干渉光の減衰が生じない。したがって、光変位センサ１では、測定対象物Ｓの変形量によらずに充分な光量が得られる。
【００４２】
光変位センサ１では、例えば、１０００μｍ以上の光学素子５２，５３の相対的な変位を計測可能である。また、光学素子５２，５３の格子線ピッチは、例えば３．３μｍとすることができる。これにより、光変位センサ１では、例えば、ナノメートルオーダないしマイクロメートルオーダの測定精度が得られる。
【００４３】
なお、光変位センサ１の光学系は、測定対象物Ｓの変形量を計測可能に構成されていればよく、公知の構成を適宜採用可能である。例えば、発光素子５１から受光素子５４までの光路５５は、直線状でなくてもよく、ミラーやプリズムなどにより屈曲していてもよい。また、光学素子５２，５３は、反射型回折格子であってもよい。
【００４４】
また、発光素子５１は、公知の光源を利用可能であり、例えば、レーザーダイオード（ＬＤ：Ｌａｓｅｒ  Ｄｉｏｄｅ）や発光ダイオード（ＬＥＤ：Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）を利用可能である。受光素子５４としては、公知の光検出器（ＰＤ：Ｐｈｏｔｏ  Ｄｉｔｅｃｔｏｒ）を利用可能である。
【００４５】
（光変位センサユニットＵの取付治具）
光変位センサ１では、光学素子５２，５３が正しい相対位置に配置されないと、光学素子５２，５３の相対的な変位を正確に得ることができない。つまり、光学素子５２，５３の相対位置がずれていると、光学素子５２，５３を透過する干渉光の光量に誤差が生じる。これにより、変位の計測が不能になったり、不正確になったりする。
【００４６】
したがって、光学素子５２，５３の相対的な変位を正確に得るためには、光学素子５２，５３が正しい相対位置に配置されるように、光変位センサユニットＵを測定対象物Ｓに取り付ける必要がある。このためには、第１光学素子５２が設けられた第１本体部１０と第２光学素子５３が設けられた第２本体部２０とを正しい相対位置に配置する必要がある。
【００４７】
これに対し、本実施形態では、光変位センサユニットＵを測定対象物Ｓに取り付ける際の取付治具として、保持部材Ｐ１，Ｐ２を用いる。図４（Ａ）は第１保持部材Ｐ１の平面図であり、図４（Ｂ）は第２保持部材Ｐ２の平面図である。保持部材Ｐ１，Ｐ２はいずれも、Ｘ−Ｙ平面に沿って延びる平板状である。
【００４８】
第１保持部材Ｐ１は、光変位センサユニットＵを測定対象物Ｓに取り付ける際に、台座部３０，４０を正しい相対位置に位置決めするために用いられる。第１保持部材Ｐ１には、第１台座部３０を位置決めするための位置決め部である貫通孔Ｈ３１と、第２台座部４０を位置決めするための位置決め部である貫通孔Ｈ４１と、が設けられている。
【００４９】
貫通孔Ｈ３１は、第１台座部３０のネジ孔３１に対応する位置に設けられ、第１保持部材Ｐ１をＺ軸方向に貫通している。貫通孔Ｈ４１は、第２台座部４０のネジ孔４１に対応する位置に設けられ、第１保持部材Ｐ１をＺ軸方向に貫通している。貫通孔Ｈ３１，Ｈ４１は、ネジ孔３１，４１よりやや大きい丸孔として構成される。
【００５０】
第１台座部３０は、貫通孔Ｈ３１を挿通させたネジ部材Ｆ１をネジ孔３１にねじ込むことにより、第１保持部材Ｐ１に固定される。また、第２台座部４０は、貫通孔Ｈ４１を挿通させたネジ部材Ｆ１をネジ孔４１にねじ込むことにより、第１保持部材Ｐ１に固定される。これにより、台座部３０，４０が正しい相対位置に位置決めされる。
【００５１】
第２保持部材Ｐ２は、光変位センサユニットＵを測定対象物Ｓに取り付ける際に、本体部１０，２０を正しい相対位置に位置決めするために用いられる。第２保持部材Ｐ２には、第１本体部１０を位置決めするための位置決め部である貫通孔Ｈ１２と、第２本体部２０を位置決めするための位置決め部である貫通孔Ｈ２２と、が設けられている。
【００５２】
図１に示すように、本体部１０，２０のＺ軸方向上面には、本体部１０，２０を第２保持部材Ｐ２に固定するためのネジ孔１２，２２が２つずつ設けられている。ネジ孔１２は、２つの座ぐり部１１の間の領域にＸ軸方向に並べて配置されている。ネジ孔２２は、２つの座ぐり部２１の間の領域にＸ軸方向に並べて配置されている。
【００５３】
貫通孔Ｈ１２は、第１本体部１０のネジ孔１２に対応する位置に設けられ、第２保持部材Ｐ２をＺ軸方向に貫通している。貫通孔Ｈ２２は、第２本体部２０のネジ孔２２に対応する位置に設けられ、第２保持部材Ｐ２をＺ軸方向に貫通している。貫通孔Ｈ１２，Ｈ２２は、ネジ孔１２，２２よりやや大きい丸孔として構成される。
【００５４】
第１本体部１０は、貫通孔Ｈ１２を挿通させたネジ部材Ｆ２をネジ孔１２にねじ込むことにより、第２保持部材Ｐ２に固定される。また、第２本体部２０は、貫通孔Ｈ２２を挿通させたネジ部材Ｆ２をネジ孔２２にねじ込むことにより、第２保持部材Ｐ２に固定される。これにより、本体部１０，２０が正しい相対位置に位置決めされる。
【００５５】
なお、第１保持部材Ｐ１に用いられるネジ部材Ｆ１と、第２保持部材Ｐ２に用いられるネジ部材Ｆ２と、は共通であってもよい。また、保持部材Ｐ１，Ｐ２は、本体部１０，２０を台座部３０，４０に固定するためのネジ部材Ｆを、ネジ部材Ｆ１，Ｆ２として利用可能なように構成されていてもよい。
【００５６】
［光変位センサユニットＵの取付方法］
図５は、光変位センサユニットＵの取付方法を示すフローチャートである。図６，７は、光変位センサユニットＵの取付方法の過程を示す断面図である。以下、本実施形態に係る光変位センサユニットＵの取付方法について、図５に沿って、図６，７を適宜参照しながら説明する。
【００５７】
（ステップＳ０１）
ステップＳ０１では、台座部３０，４０を第１保持部材Ｐ１に装着する。図６（Ａ）は、台座部３０，４０を第１保持部材Ｐ１に装着した状態を示す断面図である。台座部３０，４０は、第１保持部材Ｐ１のＺ軸方向下面にネジ部材Ｆ１によって固定されている。これにより、台座部３０，４０が正しい相対位置に位置決めされる。
【００５８】
（ステップＳ０２）
ステップＳ０２では、第１保持部材Ｐ１に装着された台座部３０，４０を測定対象物Ｓに接着剤Ｍによって接着する。図６（Ｂ）は、台座部３０，４０が測定対象物Ｓに接着された状態を示す断面図である。このとき、台座部３０，４０と測定対象物Ｓとの間に接着剤Ｍにより形成された接着層を介在させることが好ましい。
【００５９】
これにより、台座部３０，４０と測定対象物Ｓとが直接接触しないため、測定対象物Ｓの表面形状の影響により台座部３０，４０の相対位置がずれることを防止することができる。したがって、接着剤Ｍが硬化すると、第１保持部材Ｐ１に位置決めされた台座部３０，４０が、その相対位置が維持されたまま、測定対象物Ｓ上に固定される。
【００６０】
（ステップＳ０３）
ステップＳ０３では、ネジ部材Ｆ１を取り外すことにより、測定対象物Ｓに接着された台座部３０，４０から第１保持部材Ｐ１を取り外す。図６（Ｃ）は、台座部３０，４０から第１保持部材Ｐ１が取り外された状態を示す断面図である。台座部３０，４０からネジ部材Ｆ１を取り外すことにより、台座部３０，４０のネジ孔３１，４１が開放される。
【００６１】
（ステップＳ０４）
ステップＳ０４では、本体部１０，２０を第２保持部材Ｐ２に装着する。図７（Ａ）は、本体部１０，２０を第２保持部材Ｐ２に装着した状態を示す断面図である。本体部１０，２０は、第２保持部材Ｐ２のＺ軸方向下面にネジ部材Ｆ２によって固定されている。これにより、本体部１０，２０が正しい相対位置に位置決めされる。
【００６２】
（ステップＳ０５）
ステップＳ０５では、第２保持部材Ｐ２に装着された本体部１０，２０を台座部３０，４０にネジ部材Ｆによって固定する。図７（Ｂ）は、本体部１０，２０が台座部３０，４０に接着された状態を示す断面図である。なお、第２保持部材Ｐ２が座ぐり部１１，２１上を覆っていないため、座ぐり部１１，２１にネジ部材Ｆを挿入することが可能である。
【００６３】
（ステップＳ０６）
ステップＳ０６では、ネジ部材Ｆ２を取り外すことにより、台座部３０，４０に固定された本体部１０，２０から第２保持部材Ｐ２を取り外す。図７（Ｃ）は、本体部１０，２０から第２保持部材Ｐ２が取り外された状態を示す断面図である。以上により、光変位センサユニットＵの測定対象物Ｓへの取り付けが完了する。
【００６４】
（比較例）
図８を参照して、本実施形態に係る光変位センサユニットＵの取付方法の変形例について説明する。図８は、比較例に係る光変位センサユニットＵの取付方法の過程を示す断面図である。比較例に係る光変位センサユニットＵの取付方法では、本実施形態に係る保持部材Ｐ１，Ｐ２を利用しない。
【００６５】
比較例に係る光変位センサユニットＵの取付方法では、台座部３０，４０が個別に測定対象物Ｓに接着されるため、例えば、図８（Ａ）に示すように、台座部３０，４０の少なくとも一方が傾いた状態で測定対象物Ｓに固定される場合がある。このまま、本体部１０，２０を台座部３０，４０に固定すると、図８（Ｂ）に示す状態となる。
【００６６】
すなわち、第２本体部２０が第１本体部１０に対して傾くため、第２本体部２０に設けられた第２光学素子５３と第１本体部１０に設けられた第１光学素子５２とがずれてしまう。これにより、光変位センサ１では、光学素子５２，５３の相対的な変位を正確に得ることができなくなる。
【００６７】
この点、本実施形態に係る取付方法では、保持部材Ｐ１，Ｐ２を用いることにより台座部３０，４０及び本体部１０，２０を正しい相対位置で測定対象物Ｓに取り付けることができる。このため、本実施形態に係る取付方法で取り付けられた光変位センサユニットＵでは、光学素子５２，５３の相対的な変位を正確に得ることができる。
【００６８】
（光変位センサキット）
本実施形態に係る光変位センサユニットＵの取付方法を、ユーザが容易に実施できるようにするために、光変位センサユニットＵを保持部材Ｐ１，Ｐ２とともに光変位センサキットとして提供することが可能である。光変位センサキットには、ネジ部材Ｆ，Ｆ１，Ｆ２や接着剤Ｍが含まれていてもよい。
【００６９】
ユーザは、この光変位センサキットを利用することにより、光変位センサユニットＵを任意の測定対象物Ｓに取り付けることができる。測定対象物Ｓの一例としては、橋梁などのインフラ構造物や自動車などの移動体のボディなどが挙げられる。なお、この光変位センサキットはトルク計や荷重計などの各種計測装置の製造に用いることもできる。
【００７０】
［その他の実施形態］
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく種々変更を加え得ることは勿論である。
【００７１】
例えば、台座部３０，４０の位置決めと本体部１０，２０の位置決めとを、共通の保持部材によって行ってもよい。一例として、図５（Ｂ）に示す第２保持部材Ｐ２を台座部３０，４０の位置決めにも利用することができる。この場合、台座部３０，４０に、第２保持部材Ｐ２の貫通孔Ｈ１２，Ｈ２２に対応するネジ孔を設ける必要がある。
【００７２】
また、保持部材Ｐ１，Ｐ２は、台座部３０，４０及び本体部１０，２０の構成などに応じて適宜形状を変更することができる。例えば、台座部３０，４０の高さが異なる場合には、第１保持部材Ｐ１にＺ軸方向の段差を設けることができる。また、第２保持部材Ｐ２には、本体部１０，２０のＺ軸方向上面ではなく、Ｘ軸方向側面が固定されてもよい。
【００７３】
更に、上記実施形態に係る取付方法は、本体部１０，２０の相対位置の変化を検出する光変位センサ全般に適用可能である。したがって、上記実施形態に係る取付方法は、光学素子５２，５３の光軸に沿った方向の相対的な変位を計測する光変位センサにも適用可能である。
【符号の説明】
【００７４】
１…光変位センサ
１０…第１本体部
１２…ネジ孔
２０…第２本体部
２２…ネジ孔
３０…第１台座部
３１…ネジ孔
４０…第２台座部
４１…ネジ孔
５１…発光素子
５２，５３…光学素子
５４…受光素子
Ｐ１，Ｐ２…保持部材
Ｈ１２，Ｈ２２，Ｈ３１，Ｈ４１…貫通孔（位置決め部）
Ｆ，Ｆ１，Ｆ２…ネジ部材
Ｍ…接着剤
Ｓ…測定対象物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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