(57)【要約】      （修正有）【課題】平坦品上の反射領域またはエンボス領域の検査を可能にする。【解決手段】試験試料１２である平坦品１４の表面外観を検査する装置であって、スポットライト光源２０によってスポット照明され、試験領域１６を照明する受動照明体２２、および試験領域１６に向けられた少なくとも１つの光学センサ３０を備える、検査装置１０において、照明体２２は、部分的に伝送可能に構成され、光学センサ３０は、試験領域１６を基準として光学的に照明体２２の後ろに配置されて照明体２２を通して試験領域１６を検知すること、および／またはスポットライト光源２０は、照明体２２に向けられること、および照明体２２は、試験または検査する平坦品１４の表面に対して垂直に立つ断面平面で少なくとも１２０°にわたって連続的に広がることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試験試料（１２）である平坦品（１４）の表面外観を検査する装置であって、スポットライト光源（２０）によってスポット照明され、試験領域（１６）を照明する受動照明体（２２）、および前記試験領域（１６）に向けられた少なくとも１つの光学センサ（３０）を備える、検査装置（１０）において、前記照明体（２２）は、部分的に伝送可能に構成され、前記光学センサ（３０）は、前記試験領域（１６）を基準として光学的に照前記明体（２２）の後ろに配置されて前記照明体（２２）を通して前記試験領域（１６）を検知すること、および／または前記スポットライト光源（２０）は、前記照明体（２２）に向けられること、および前記照明体（２２）は、試験または検査する前記平坦品（１４）の表面に対して垂直に立つ断面平面で少なくとも１２０°にわたって連続的に広がりることを特徴とする、検査装置（１０）。
【請求項２】
前記照明体（２２）は、半伝送可能なミラー（４６）であり、かつ／または光伝送可能な、特に孔を有する拡散体または反射体（４７、４８）であることを特徴とする、請求項１に記載の検査装置（１０）。
【請求項３】
反射の度合いまたは光伝送能力の度合い、特に孔の密度、および／または反射は、前記照明体（２２）の広がりにわたって変動することを特徴とする、請求項２に記載の検査装置（１０）。
【請求項４】
前記スポットライト光源（２０）は、前記照明体（２２）に向けられ、かつ／またはそのビーム角度（２４）が前記照明体（２２）の広がりに限定されることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載の検査装置（１０）。
【請求項５】
前記照明体（２２）は、少なくとも楕円形断面（２５）を有する領域（２３）に広がること、および前記楕円形断面（２５）の一方の焦点（２６）は、前記試験領域（１６）にあり、前記楕円形断面（２５）のもう一方の焦点（２６）は前記スポットライト光源（２０）にあることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載の検査装置（１０）。
【請求項６】
前記検査装置（１０）は、少なくとも２つのスポットライト光源（２０）を有し、前記照明体（２２）は、少なくとも２つの領域（２３）に広がり、各領域は楕円形断面（２５）を有すること、および各事例で、前記２つの楕円形断面（２５）それぞれの一方の焦点（２６）は、前記試験領域（１６）にあり、各事例で、前記楕円形断面（２５）それぞれのもう一方の焦点（２６）は、２つのスポットライト光源（２０）のうちの一方にあることを特徴とする、請求項５に記載の検査装置（１０）。
【請求項７】
試験試料（１２）である平坦品（１４）の表面外観を検査する装置であって、試験領域（１６）に向けられた少なくとも１つの直接光源（５０）、および前記試験領域（１６）に向けられた少なくとも１つの光学センサ（３０）を備える、検査装置（１０）において、サイドミラー（５２）によって、前記試験試料（１２）が前記検査装置を通過する機械方向（１８）に平行な向きに設置され、試験または検査する前記平坦品（１４）の表面に対して垂直に設置された前記少なくとも１つの直接光源（５０）は、前記試験領域（１６）に向けられることを特徴とする、検査装置（１０）。
【請求項８】
前記少なくとも１つの直接光源（５０）は、その光が前記光学センサ（３０）のごく近傍で反射するように、前記試験領域（１６）に向けられることを特徴とする、請求項７に記載の検査装置（１０）。
【請求項９】
前記少なくとも１つの直接光源（５０）は、前記試験領域（１６）の上方、または前記試験領域（１６）の幅を１０％以下の分だけ超える幅に配置され、好ましくは、前記直接光源（５０）はすべて、前記試験領域（１６）の上方、または前記試験領域（１６）の幅を１０％以下の分だけ超える幅に配置されることを特徴とする、請求項７または８に記載の検査装置（１０）。
【請求項１０】
前記サイドミラー（５２）は平面状であることを特徴とする、請求項７〜９のいずれか一項に記載の検査装置（１０）。
【請求項１１】
前記直接光源（５０）および前記スポットライト光源（２０）は、例えばその極性、波長またはタイミングに基づいて分離可能な光を放出すること、および／または前記直接光源（５０）の光も前記スポットライト光源（２０）の光も両方とも、共通の光学センサ（３０）を用いて検知されるか、あるいは前記直接光源（５０）の光および前記スポットライト光源（２０）の光は、互いに異なる少なくとも２つの光学センサ（３０）を用いて検知されることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一項または請求項７〜１０のいずれか一項に記載の検査装置（１０）。
【請求項１２】
試験試料（１２）である平坦品の表面外観（１４）を検査する方法であって、試験領域（１６）が、スポットライト光源（２０）によってスポット照明される受動照明体（２２）によって間接的に照明され、前記試験領域（１６）から来る光が少なくとも１つの光学センサ（３０）によって検知される、方法において、前記光学センサ（３０）は、前記照明体（２２）を通して前記試験領域（１６）を検すること、および／または前記試験領域（１６）は、試験または検査する前記平坦品（１４）の表面に対して垂直に立つ断面平面で少なくとも１２０°にわたって連続的に照明されることを特徴とする、検査方法。
【請求項１３】
所定の輝度値範囲内の輝度値が前記光学センサ（３０）によって検知された場合、前記試験領域（１６）、または前記試験領域（１６）にある前記試験試料（１２）の表面外観に光沢領域が存在すると結論付けられることを特徴とする、請求項１２に記載の検査方法。
【請求項１４】
前記試験領域（１６）は、好ましくは光強度が１２０°にわたって、特に１３５°にわたって、２０％未満、特に１５％未満で変動する多指向性の光で照明されることを特徴とする、請求項１２または１３に記載の検査方法。
【請求項１５】
第１の測定チャネルが前記スポットライト光源（２０）によって形成されるとともに、エッジの検知または掻き傷の検知が、好ましくは直接光源（５０）によって明視野または暗視野にある第２の測定チャネルによって行われ、かつ／または前記第１の測定チャネルと前記第２の測定チャネルとの輝度比が測定され、前記輝度比が所定の輝度比の範囲内であれば、前記試験領域（１６）、または前記試験領域（１６）内に位置している前記試験試料（１２）の表面外観に光沢領域が存在するという結論が引き出されることを特徴とする、請求項１２〜１４のいずれか一項に記載の検査方法。
【請求項１６】
前記断面平面は、前記光学センサ（３０）およびそのビーム経路（３１）を有し、かつ／または前記機械方向（１８）に平行な向きまたは横断方向（１９）に垂直な向きに設置されることを特徴とする、請求項１〜１５のいずれか一項に記載の検査装置（１０）または検査方法。
【請求項１７】
前記照明体（２２）および／または前記スポットライト光源（２０）は、横断方向（１９）に均一の横断面で広がることを特徴とする、請求項１〜１６のいずれか一項に記載の検査装置（１０）または検査方法。
【請求項１８】
前記平坦品（１４）は、印刷物であることを特徴とする、請求項１〜１７のいずれか一項に記載の検査装置（１０）または検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試験試料である平坦品の表面外観を検査する装置に関し、この検査装置は、スポットライト光源または試験領域に向けられた少なくとも１つの直接光源によって照明され、試験領域を照明する受動照明体、および試験領域に向けられた少なくとも１つの光学センサを備える。また、本発明は、試験試料である平坦品の表面外観を検査する方法であって、試験領域が、スポットライト光源によって照明される受動照明体を用いて間接的に照明され、試験領域から来る光が、少なくとも１つの光学センサを用いて検知される方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
このような検査装置および検査方法、ならびにそれに対して使用できる照明装置または照明方法が、例えば、特許文献１〜１０から知られている。この点で、本質的に三次元構造の調査に役立つ特許文献１を除いて、これらの照明装置および照明方法はすべて、平坦品、特に印刷物、プリント回路基板などの検査に役立つものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】独国特許出願公開第８０２２２９２号明細書
【特許文献２】独国特許出願公開第６０１７９１２号明細書
【特許文献３】独国特許出願公開第６００８２５９号明細書
【特許文献４】独国特許出願公開第６００９５９３号明細書
【特許文献５】独国特許出願公開第５０３１６４７号明細書
【特許文献６】特公昭５７−５５１４４号公報
【特許文献７】特開２００５−１８８９２９号公報
【特許文献８】国際公開第８８／０２９７０号
【特許文献９】米国特許第４８０１８１０号明細書
【特許文献１０】国際公開第２００２／０６７５６７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の課題は、平坦品上の反射領域またはエンボス領域の検査を可能にすることである。
【０００５】
本発明の課題は、独立請求項の特徴を有する検査装置および検査方法によって達成される。その他の有利な実施形態は、場合によってはこれらの特徴とも関係なく、従属請求項および以下の説明の中に見られる。
【０００６】
この点で、本発明は、反射領域またはエンボス領域を、試験試料にかかる光を用いてできる限り多くの角度から検査すべきであるという基本認識に由来している。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
そのため、試験試料である平坦品の表面構造を検査する検査装置であって、スポットライト光源によって照明され試験領域を照明する受動照明体、および試験領域に向けられた少なくとも１つの光学センサを備える検査装置は、検査装置の特徴が、照明体が光学的に部分的に伝送可能に構成され、かつ光学センサが試験領域を基準として光学的に照明体の後ろに配置されて照明体を通して試験領域を検知することである場合に、平坦品上の反射領域またはエンボス領域の検査を可能にする。同じように、試験試料である平坦品の表面外観を検査する検査方法であって、試験領域が、スポットライト光源によって照明される受動照明体によって間接的に照明され、試験領域から来る光が少なくとも１つの光学センサによって検知される検査方法は、検査方法の特徴が、光学センサが照明体を通して試験領域を検知することである場合に、平坦品上の反射領域またはエンボス領域の検査を可能にする。検査装置と検査方法の両方が、試験試料の極めて均質な照明を可能にし、また特に、先行技術から逸脱した例では、それ自体が最も重要な領域であると考えられる領域のセンサの方向からも極めて均質な照明を可能にする。このように、光はできる限り多くの角度から試験試料にかかるべきであるという基本認識も実現できる。
【０００８】
この点で、試験領域と光学センサとの間のビーム経路は照明体に中断され、それによってセンサの方向から来る照明体による照明も初めの段階から確実にできることを強調すべきである。この中断は、照明体の部分的伝送能力によって起こり、これによって、部分的伝送能力に基づいて光学センサが照明体を通して試験領域を見ることが可能になると同時に、照明体が光を正確にセンサの方向から試験領域の方向に反射または分散させることが可能になる。これは先行技術には見当たらず、先行技術では、ビーム経路をそれぞれのセンサに放出する開口がそこの照明体に設けられ、それによってセンサは中断されずに試験領域を検知できるが、具体的にセンサの方向から試験領域または試験試料の方向に放出され得る光はない。ビーム経路をそれぞれのセンサに解放するという先行技術による単純な開口は、ビーム経路内の単純な凝集領域であることを説明しているが、部分的伝送能力は、数学的な意味で試験領域と光学センサとの間にあるビーム経路内の複数の非凝集領域である開口によって備えることができ、したがって、その場合の照明体は、これを補足するビーム経路内にある複数の凝集領域である。
【０００９】
また、試験試料である平坦品の表面外観を検査する検査装置であって、スポットライト光源によって照明され試験領域を照明する受動照明体、および試験領域に向けられた少なくとも１つの光学センサを備える検査装置は、検査装置の特徴が、スポットライト光源が照明体に向けられ、かつ照明体が少なくとも１２０°にわたって連続的に広がることである場合に、平坦品の反射領域またはエンボス領域の検査を可能にする。同じように、試験試料である平坦品の表面外観を検査する検査方法であって、試験領域が、スポットライト光源によって照明される受動照明体によって間接的に照明され、試験領域から来る光が少なくとも１つの光学センサによって検知される検査方法は、検査方法の特徴が、試験領域が少なくとも１２０°にわたって連続的に照明されることである場合に、平坦品の反射領域またはエンボス領域の検査を可能にする。この点で、照明体の広がりの連続性または照明の連続性によって、試験領域への照明およびそこにある試験試料への照明をできる限り均一にでき、これによって次に、できる限り多くの角度から試験試料にかかる光を使用すべきであるという該当する基本認識を実現する。
【００１０】
好ましくは、連続照明は、少なくとも１２０°にわたるだけでなく、むしろ少なくとも１３０°にわたって、またはさらに少なくとも１３５°にわたって行われ、これによって意外にもより良好な結果に至る。
【００１１】
上記および以下にも挙げた角度の情報は、試験または検査する平坦品の表面に対して垂直な断面平面にも当てはまる。具体的な要件に応じて、この断面平面は、光学センサおよびそのビーム経路を特に有するまたは含んでいてもよい。また、以下でさらに詳細に説明するように、断面平面を検査装置の機械方向に平行に、または検査装置の長手の広がり方向に対して垂直に置くことを構想でき、該当する対称性を検査装置に見出せるため、この対称性をこのように考慮できるようにする。
【００１２】
検査方法または検査装置に基づき試験試料に向けられた光の均一性により、一方では、光学センサに入る光の直接反射によって起こることがある過度に高い輝度ピークを回避する、またはこれを低減して最小にすることが可能であり、それによって、光沢領域が存在する可能性があったとしても該当する外観を確認できる。同じように、それに伴って均一になった照明により、特にエンボス方法によってできる可能性のある構造が、検査を中断する特性という点では照明が均一なために最小になるという結果になる。可例えば照明が十分に均一で、かつそれに伴って光学センサの焦点が選択される場合、あらゆる側から来る照明は、可能であれば、試験領域内の反射球を平坦に見せ、それによって該当する表面の検査を行うことができる。
【００１３】
最終的に、好ましくはできる限り均一の照明をあらゆる側から行うべきであり、それによって該当する検査装置を好ましくは試験領域の周りで回転対称に構成でき、この場合、該当する回転軸は対称性という理由から、試験領域に垂直に立つことが好ましいことが理解される。しかしながら、試験領域は、およそ１ｍｍ程度のサイズ、特に２．５ｍｍ〜０．５ｍｍの範囲のサイズであり得るため、一般的なカメラシステムを検討すること、照明および一般的な光源ならびに管理可能な照明体に対して実現可能な値を検討すること、工場で生産された平坦品、例えば一般的な印刷機で印刷されるかエンボスされるかあるいは生産された印刷物などに対して該当する試験をすることは、極めて時間がかかり多大な労力を要する。このような理由から、該当する検査装置が長手方向に広がるように構成され、かつ試験試料がその中を機械方向に沿って通れば有利であり、長手方向の広がり方向は、機械方向に対して垂直で、試験または検査する平坦品の表面に対して垂直になるように選択されることが好ましく、これは横断方向とも呼ばれる。このような配置により、比較的幅広い平坦品を産業規模で迅速かつ動作上信頼できる方法で検査にかけることが可能になる。できる限り多くの角度から一平面上に照明することが既に、このように照明された試験領域を十分良好に均一化することにつながり、それぞれの平坦品に反射領域またはエンボス領域があったとしても検査が可能であることがわかった。
【００１４】
特に、検査装置は、試験領域を少なくとも１２０°にわたって、特に少なくとも１３０°にわたって、あるいは少なくとも１３５°にわたって確実に連続照明するように構成されることができ、これによって均一な外観になる。
【００１５】
照明体は、例えば半伝送可能なミラーであってもよいし、あるいはそのようなミラーを備えていてもよく、それによって半伝送能力を実現することが容易に可能になる。これに加えて、またはこれに代えて、光の伝送が可能な拡散体または反射体を部分的に伝送可能に構成された照明体として使用でき、光伝送能力は、例えば孔またはスロットによって、あるいは開口またはその他の手段によって実現され得る。特に反射体は、部分的に伝送可能に構成されている照明体によって、試験領域にできる限り多くの光を向けるのに特に適していると思われ、これはその反射強度が大きいことが理由であり、この反射強度は、拡散体の反射または後方拡散の度合いをおよそ１等級分上回っている。
【００１６】
光学センサの焦点が概ね合っていて、かつ拡散体または反射体にあるスロットまたは孔などの開口の密度が十分であれば、開口の近くに留まっている拡散体または反射体の拡散領域または反射領域は、カメラの像または光学センサによって検知された像にわずかな影響しか及ぼさず、その結果、それに伴う不都合は、これらの領域に照明が均一に生じることが何よりも重要であるため、容易に許容され得る。
【００１７】
そのため、例えば光学センサは、照明体の比較的近くで設定されてもよく、それによって照明体自体は焦点から遠い外側にあるため、センサへのビーム経路を中断する構造面で関わる影響は、試験領域から検出された像をそれほど害しないか、総合的な減衰の意味で害するだけである。
【００１８】
該当する開口を有する反射体は、特に、損失を伴う半伝送ミラーよりも優れているようにも思われるが、もちろんこれらの組み合わせも使用できる。
【００１９】
しばしば、スポットライト光源の照射強度は、スポットライトが当たっている空間角度に対して変動する。同じように、試験領域から照明体までの距離が様々に異なるほか、試験領域に対する照明体の表面の角度が様々であることで、試験領域に照射される光強度には変動が生じる。この不都合に対抗するために、異なる角度から試験領域に当たる光強度は、できる限り均質または均一になるように、半伝送可能なミラーの反射の度合いまたは光伝送能力の度合い、および／またはその拡散体または反射体の後方拡散は、照明体の広がりに対して変動があってもよい。この点で、光の伝送能力または拡散体または反射体の後方拡散の変動は、設計が簡易になっている特に開口または孔の密度、サイズおよび／または形状による影響を受けることがある。
【００２０】
検査装置だけでなく検査方法の具体的な実施形態では、試験領域が、２０％未満、特に１５％未満の様々な光強度で、１２０°にわたって、特に少なくとも１３０°にわたって、あるいはさらに少なくとも１３５°にわたって、多指向性の光または照明体から来る光で照明されれば有利である。
【００２１】
好ましくは、スポットライト光源は照明体に向けられ、それによってより複雑なビーム経路を回避できる。ただし必要であれば、スポットライト光源から来る光の一部を試験領域に直接放出することもできる。
【００２２】
スポットライト光源がその照射角度の点で照明体の広がりに制限されれば、それも有利であり、それによって-スポットライト光源の具体的な実施形態または選択に応じて-照射損失を最小に抑えることができるか、あるいは起こり得る外光のリスクを最小に軽減できる。
【００２３】
具体的な実施形態では、所定の輝度値範囲内の輝度値が光学センサによって検知された場合、試験領域にある光沢領域、または試験領域内にある試験試料の表面外観にある光沢領域に関して結論を引き出すことができる。カメラに検知される最大輝度値が必ずしも光沢領域で見られるわけではないため、輝度値範囲は試験する平坦品の予想される表面外観に基づいて事前に設定されることが好ましい。照明の均一性により、特に反射領域の場合、過剰に過変調された形で、この反射領域を光学センサが検知できないという結果につながる。ただし、検査する平坦品の残りの表面外観の輝度値と比較して輝度値範囲を適切に選択することによって、試験試料表面外観の他の領域と区別できるように、光沢領域を画定でき、必要であれば、それと同時に、光学センサに検知される光のその他の特性、例えば波長または極性などを考慮する。
【００２４】
好ましくは、試験領域は、多指向性の光で、特に光強度が１２０°にわたって、特に少なくとも１３０°にわたって、あるいはさらに少なくとも１３５°にわたって２０％未満、特に１５％未満の変動がある状態で照明され、具体的にはこれで、光学センサによって測定される輝度値に対する過変調を最小に低減する。これによって次に、それに伴って試験領域の均質な照明も引き起こされる。
【００２５】
したがって、照明体がそれに応じて均質になるように構成され、かつ反射の度合いまたは光伝送能力の度合いの変動ができる限り微量になるように選択され、かつ必要であれば、その変動が１つまたは複数のスポットライト光源の非均質性のみに適応されれば有利である。また、反射の度合いまたは光伝送能力の度合いの変動は、１２０°にわたって、特に少なくとも１３０°にわたって、あるいはさらに少なくとも１３５°にわたって２０％未満、特に１５％未満であることが有利と思われる。この点で、孔の密度または開口密度に応じて複数の開口または孔に対して平均値を形成すべきである。特に、また、上記の均質性は、試験領域からセンサまでのビーム経路の領域で、または照明体を通すその他のビーム経路の領域でも維持されて、照明体から来る、または照明体にスポットライトを当てるスポットライト光源から来る、同じくこれらのビーム経路の領域内にある光によって試験領域の均一な照明を実現するべきであることが理解される。
【００２６】
好ましくは、照明体は、少なくとも楕円形断面を有する領域に広がり、楕円形断面の１つの焦点は試験領域内にあり、楕円形断面の他の焦点はスポットライト光源にある。これによって、構造的に簡易な方法で、試験領域のできる限り均一な照明を達成することが可能になる。
【００２７】
特に、検査装置が少なくとも２つのスポットライト光源を有し、かつ照明体が少なくとも２つの領域に広がっていて、各領域が楕円形断面を有していれば、できる限り均一な照明を実現でき、各事例で、２つの楕円形断面それぞれの一方の焦点は試験領域にあり、各事例で、楕円形断面それぞれのもう一方の焦点は、２つのスポットライト光源のうちの一方にある。
【００２８】
特に、試験領域にある２つの焦点は、共通の一点にあってもよいし、あるいは検査装置が線形構成の場合は、線上にあってもよい。
【００２９】
この点で、楕円形断面どうしの間の対称平面または対称軸にカメラを正確に配置することを構想できる。同じように、ここで、設計の点で実用的であると思われる場合は、検査装置の機能方法または検査方法の工程順序をそれぼど損なわずに偏向を選択することもできる。偏向の度合いは４５°未満、特に３０°未満が好ましい。
【００３０】
既に言及したように、特に、照明体の広がりに対する反射の度合いまたは光伝送能力の度合いまたは反射の度合いに変動があることによって、可能性のある移行領域、特に、２つの楕円形断面の間に見られることがある移行領域は、その光学特性の点で、残りの照明体の光学特性に適応させることもできる。
【００３１】
具体的な実施形態に応じて、楕円形断面を有する照明体の生産は比較的複雑であることを証明でき、該当するミラーまたは該当する拡散体または反射体を設計の点で確実に楕円形に形成するのは極めて困難なため、これは特に量産規模が小さい場合に当てはまることである。したがって、照明体が該当する支持体に保持され、その支持体が照明体の楕円形を損なう場合でも有利である。純粋に機械要素を特定の形状にしなければならず、その機械要素、すなわち支持体が照明体に最終形状を施す場合、設計の点で大幅にいっそう簡易になることがわかる。照明体の具体的な実施形態に応じて、例えばこの照明体がホイルまたは薄い金属シートを備えている場合、支持体は照明体と連続的に接触して立っている必要がない。なぜなら、照明体の本来の剛性は、少なくとも短距離にわたって照明体の精密な最終形状に十分に寄与するからである。
【００３２】
例えば、照明体は支持体に固定されてもよく、それによってその固定力は照明体の形状形成にも寄与する。
【００３３】
支持体は、特にくぼみまたは途切れがあってもよく、ランプまたはその他の光源および／または光学センサなどの必要なモジュールは、照明体を通る自由なビーム経路に配置されるか、自由なビーム経路を必要とすると想定されることが理解される。
【００３４】
既に説明したように、照明体による試験領域の比較的均一な照明は、起こり得る表面構造を検知できなくなるか、あるいは相当な困難を伴って検知できるだけか、ほとんど検知できないという結果をもたらす。これはつまり、逆に、エンボス領域の表面外観または光沢領域の表面外観もこの方法で検査できるが、特定の他の試験は不十分な結果または欠陥のある結果にしかならないことを意味するが、最終的に検査できるように当面はこれらの結果を受け入れなければならない。この点で、前述した検査方法および検査装置を用いて、エッジの検査、換言すればエンボスによってもたらされた構造の検査、あるいは引っ掻き傷または掻き傷などの表面の欠陥の検査を実施するのは極めて困難であることがわかる。
【００３５】
そのため、平坦品の反射領域またはエンボス領域の検査は、試験試料である平坦品の表面外観を検査する検査装置を用いて可能となり得る。この検査装置は、直接光源がサイドミラーによって試験領域に向けられ、このサイドミラーが、試験試料が検査装置を通過する方向である１つの構成要素を有する機械方向に平行な向きに設置され、かつ、試験または検査する平坦品の表面に対して垂直に設置された場合に、試験領域に向けられた少なくとも１つの直接光源、および試験領域に向けられた少なくとも１つの光学センサを備える。したがって、直接光は、サイドミラーによってできる限り多くの角度から試験試料または試験領域にも向けられる。
【００３６】
この点で、エッジ、掻き傷または引っ掻き傷を直接光源によって認識できるように、異なる機構を使用してもよい。そのため、例えば明視野にある直接光で、エッジまたは引っ掻き傷または掻き傷によって生じた暗い領域を認識する試みを例えば行うことができるが、これは、反射領域も試験するという第二の課題およびそれから生じる過変調という点で、全体的にはむしろ満足のいかない結果をもたらす。直接光または直接光源は試験領域を向いているがその試験領域からの反射は光学センサの近くに直接向けられているという暗視野測定は、斜光の測定を含むために遙かに実用的であることがわかっており、両方とも直接光源から来る光がエッジ、掻き傷または引っ掻き傷に偏在する反射円錐に放出されるように向けられ、それによって、直接光源の向きが、各事例で判定される掻き傷を基準に、または各事例で判定されるエッジまたは引っ掻き傷を基準として適切である場合、該当する光フラッシュがカメラにもたらされる。この点で、サイドミラーは、極めて多岐にわたる角度から直接光源の狙いを試験領域に定めることが可能になり、それによって、エッジ、掻き傷または引っ掻き傷が様々な方向かつ試験領域内の様々な場所で起こり得る最大の帯域幅を決定できる。この点で、機械方向に平行な掻き傷または引っ掻き傷は特に重要である。なぜなら、平坦品は機械方向に平行に機械を通過するという機械特性を基準に、該当する欠陥が特定の周波数で予測されるはずだからである。
【００３７】
直接光源は、光が光学センサのごく近傍で反射するように、必要であればサイドミラーを用いて試験領域に向けられていることが好ましい。これによって、すでに上記で言及したように、対応するエッジもしくは引っ掻き傷または対応する掻き傷が直接光源によって照明される試験領域内の領域を通過する場合に、光学センサに光フラッシュが起こる。
【００３８】
できる限り強烈な光フラッシュ、および特にできる限り平坦なエッジ、引っ掻き傷または掻き傷も認識できるように、光の円錐ができる限り小さい直接光源を供給することが有利であり、最終的には、該当する直接光を用いて試験領域全体を十分な程度に照明するためのコスト／利益率の問題であり、直接光源をいくつ使用するかという問題である。この点で、このように、空間条件および全体構成の安定性が許す限り、できる限り多くの直接光源を用いることが有利である。
【００３９】
ただし、特に空間条件に関して制限を設け、それによって直接光源を好ましくはすべて試験領域の上方に配置する。サイドミラーを用いて直接光源を事実上、試験領域の横に配置することもでき、それによって、直接光源を試験領域の幅の１０％を超える幅にわたって確実に検査装置に供給できることが理解され、それにもかかわらずこれらの光源が、試験領域に十分供給されているものとして見える。
【００４０】
１つまたは複数のサイドミラーは平面上に構成されていることが好ましく、それによって直接光源と試験領域との間の光学条件は、それほど複雑にはならない。したがって、サイドミラーは、比較的簡単な方法で、通過する試験領域の上方または通過する試験試料のための空間に配置された事実上側面の直接光源となることができる。これは特に、複数の直接光源がサイドミラーによって側面の直接光源として複製されると想定した場合に当てはまる。
【００４１】
受動照明体を備えたスポットライト光源と直接光源とを組み合わせることは、それ自体で照明が重なることになると仮定でき、それによって各事例で測定結果が損なわれる。この点で、該当する測定を一つずつまたは順次、別々の装置で実行することが有利となり得るが、これは設計の点で比較的複雑である。
【００４２】
ただし、直接光源およびスポットライト光源が、分離可能な光を放出する場合、例えば異なる極性、波長またはタイミングによって実現できるものである場合、測定を共通の検査装置で実行することもできる。
【００４３】
そのため、例えば特定の色を含む光を１つまたは複数の直接光源に使用することを構想でき、この場合は特に、赤外光または紫外光も使用できる。なぜなら、最終的にエッジ、掻き傷または引っ掻き傷は、赤外線範囲または紫外線範囲でも見ることのできる機械的構造であり、それによって可視範囲全体をスポットライト光源に使用でき、これは最終的には光学的な外観を試験すると概ね想定されるからである。
【００４４】
特に、直接光源の光もスポットライト光源の光も両方とも共通の光学センサを用いて検知でき、これによって最終的に評価が容易になり、特に検査装置の構造も容易になる。したがって、その代わりに、特に互いに異なるように構成でき、かつ場合によっては直接光源およびスポットライト光源の分離可能な光に対して適切に最適化できる複数の光学センサを使用することも容易に可能になることが理解され、例えば複数の光学センサを、適切と思われるならば、単にスポットライト光源の光を検知するために使用してもよいことが理解される。
【００４５】
この点で、スポットライト光源を用いて第１の測定チャネルを形成でき、直接光源を用いて第２の測定チャネルを形成できる。
【００４６】
エッジの検知または掻き傷の検知は、明視野または暗視野にある第２の測定チャネルによって行われることが好ましく、第１の測定チャネルと第２の測定チャネルとの輝度比を測定できる。輝度比が所定の輝度比の範囲内であれば、試験領域または試験領域内に位置している試験試料の表面外観に光沢領域が存在すると結論付けることが可能である。
【００４７】
これは、直接照明の場合、掻き傷またはエッジのない光沢領域がカメラの像では比較的明るい非光沢領域よりも暗く見えるという事実を利用するものであり、これは非光沢領域が光をあらゆる方向に散乱させるからである。このように、特に第１の測定チャネルの輝度値、またはスポットライト光源によってもたらされた輝度値を合わせると、光沢領域と、間接的に照明された画像で偶然等しく明るく見えるが光沢のない領域とを、動作上比較的確実な方法で区別することも可能である。
【００４８】
上記にすでに説明したように、検査装置が機械方向に対して本質的に一貫してまたは一様に垂直になるように構成されていれば有利である。したがって、照明体およびスポットライト光源が横断方向に一定の断面で広がり、機械方向を横断するように構成されていれば有利である。その程度が横断方向に長い幅にわたって要求される限り、同じ事が光学センサにも当てはまる。適切な光学構造の場合、光学センサは、残りの検査装置および、特に照明体またはスポットライト光源の構成よりも横断方向が大幅に短くなるように選択されてもよい。それにもかかわらず、引き続き、光学センサ、照明体、およびスポットライト光源は、好ましくは少なくとも横断方向に、光学センサの幅にわたって、好ましくは一定の断面で広がってできる限り最良の方法でこれらの立体条件を満たすと同時に、照明体、スポットライト光源、および場合によっては光学センサが、横断方向に、試験領域の幅にわたって一定の断面で広がっていれば、その状態で既に有利である
【００４９】
光学センサは、まったく異なるカメラシステムを用いて用意されてもよいことが理解される。特に、線形カメラまたはマトリクスカメラをここで使用でき、場合によっては後者を機械方向に波長を分割するのに使用してもよい。したがって、実際に、光学センサは、互いに隣接して少なくとも横断方向に配置された複数のセンサ素子から形成される。同じように、実際に、スポットライト光源は、横断方向に広がる蛍光管で形成されていない場合、複数の別個の照明源、例えば複数の発光ダイオードを備えていることが多い。
【００５０】
光学センサは、試験領域に垂直に向けられてもよいことが理解される。しかしながら、上記で既に指摘したように、試験結果がこの点で著しく悩まされることなく、より小さい角度の偏向を容易に構想できる。
【００５１】
試験する平坦品は、例えばパッケージングなどの印刷物であることが好ましい。この点で、光沢領域またはエンボスの適用は、印刷技術の手段によってではなく、むしろ、場合によっては、例えばコーティングまたは噴霧などによる別の方法でも確実に実現され得ることが理解される。さらに、平坦品の確認は、印刷物に限定されず、むしろ特に、例えばクレジットカードまたは回路基板などの特定の表面構造を確実に含むことができるその他の平面構成も含まれ得ることが理解される。
【００５２】
上記および特許請求の範囲に記載した解決策の特徴を場合によっては組み合わせて、それに応じて追加される利点を実現できることが理解される。
【００５３】
本発明のその他の利点、目的、および特性は、特に添付の図面にも示した例示的な実施形態についての以下の説明を用いて説明される。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】第１の検査装置の機械方向に沿った概略断面図である。
【図２】第２の検査装置の機械方向に沿った概略断面図である。
【図３】図２による検査装置の概略上面図である。
【図４】図３と同様の図で図２および図３による検査装置の直接光源の場所を示す概略図である。
【図５】第３の検査装置の機械方向に沿った概略断面図である。
【図６】第４の検査装置の機械方向に沿った概略断面図である。
【図７】第５の検査装置の機械方向に沿った概略断面図である。
【図８】第６の検査装置の機械方向に沿った概略断面図である。
【図９】第７の検査装置の機械方向に沿った概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００５５】
各事例で、試験試料１２である平坦品１４は、図示した検査装置１０を機械方向１８に沿って通過する。装置は試験領域１６を有し、この試験領域は本質的に横断方向１９に沿って広がり、横断方向は機械方向１８に対して垂直であると定義する。
【００５６】
断面のみを示している図１、図５、および図６に示した例示的な実施形態は、必要または実用的と思われる場合は、回転対称または本質的に回転対称に構成されてもよいことが理解される。
【００５７】
検査装置はそれぞれスポットライト光源２０を有し、このスポットライト光源は、ビーム経路２１を有する照明体２２に放射し、照明体の方は試験領域１６を照明する。
【００５８】
この点で、図１〜図６に示した検査装置はそれぞれ２つの領域２３を有し、図７〜図９に示した検査装置はそれぞれ１つの領域２３のみを有し、この領域は各事例で、楕円形断面２５（破線で表示）にわたって広がり、その性質からそれぞれ２つの焦点２６を有している。
【００５９】
この点で、各領域２３の焦点２６のうちの一方は、各事例で試験領域１６内にあり、スポットライト光源２０は、それぞれのもう一方の焦点２６に見出すことができる。図１〜図６による例示的な実施形態では、焦点２６はそれぞれ点または線上にあり、その場合それによってこの点または線は均一に照明される。
【００６０】
図１〜図５の例示的な実施形態では、各事例でＬＥＤ列４４がスポットライト光源２０として使用され、図６〜図９による例示的な実施形態では、この点で蛍光管４５が使用されている。
【００６１】
図７〜図９による例示的な実施形態の蛍光管４５は部分的に被覆されており、これによってこれらの蛍光管は、ちょうど図１〜図５による例示的な実施形態のＬＥＤ列４４のように、各事例で、楕円形断面２５を有する関連領域２３に向けられ同領域に限定されるビーム角度４５で照明体２２に照射する。図６による例示的な実施形態では、これは具体的に必要であるとは思われない。なぜなら、ここでも、スポットライト光源の方向から来る光は試験領域１６を均一に照明するために使用されるが、場合によってはこれを省略することが発光の均質性に寄与するのであればそうしてもよい。
【００６２】
率直に明らかなように、照明体２２は、いずれの例示的な実施形態でも、断面を表している図面の平面で少なくとも１３５°にわたって連続的に広がり、この平面は各事例で、試験または検査する平坦品１４の表面に対して垂直に向けられ、機械方向１８に平行または横断方向１９に垂直な断面平面を表している。それにも関わらず、逸脱する例示的な実施形態では、それよりも小さい角度、特に例えば１２０°あるいはそれ以下にわたって広がることを構想することも、それが本検査の課題に十分と思われるのであれば可能であることが理解され、特に図１〜図８による検査装置１０の場合のように照明体２２が部分的に伝送可能なように構成されていれば、これが当てはまる。これらの実施形態では、図１〜図８による例示的な実施形態の場合のように、光学センサ３０を部分的に伝送可能なように構成された照明体を通して試験領域１６に向けることができるため、光学センサ３０の直接視野内にある領域であっても極めて良好な均質が直接起こり、この領域が最も重要な領域である。
【００６３】
この点で、光学センサ３０の視野は、図１、図２、および図５に例として示したように、本質的には光学ビーム経路３１によって画定され、試験領域１６内にある焦点２６にも向けられている。
【００６４】
図８および図９に示した例示的な実施形態では、光学センサ３０は照明体２２を通し見ることはせず、スペースの理由から、図９による検査装置１０の光学センサ４０のビーム経路３１にミラー３２が配置され、このミラーに基づいて光学センサ３０を照明体２２を通った後に試験領域１６に向けることができる。このような配置では、それに応じて機械方向１８の設計が短くなっている。
【００６５】
いずれの例示的な実施形態でも、スポットライト光源２０および関連する光学手段またはその他の手段だけでなく、直接または平面のサイドミラー５２を用いて、試験領域１６に向けられる少なくとも１つの直接光源１５も各事例で設けられる。このようなサイドミラー５２を図３および図４に例として示している。逸脱した実施形態では、サイドミラー５２は、平面ではないように構成することもできる。それによって直接光源１５の光学画像が極めて複雑になってしまうおそれがあるが、場合によってはそれが意図的に求められるまたは受け入れられることがある。
【００６６】
直接光源５０は、比較して画定したビーム経路５１を試験領域１６に照射し、エッジ、掻き傷もしくは引っ掻き傷またはその他の三次元構造を認識する役割を果たし、これらをそのままの状態で、スポットライト光源２０および関連する照明体２２を基に、全周照明を用いるか極めて大きい角度範囲にわたって照明することによって識別することは極めて困難である。
【００６７】
そのために、スポットライト光源２０は第１の測定チャネル測定チャネルを形成し、直接光源５０は第２の測定チャネルを形成し、いずれの例示的な実施形態でも、２つの測定チャネルの光源２０、５０はその波長の点で異なっている。このように、両方の測定を同時に実行することが可能であり、必要であれば、図１〜図７および図９の例示的な実施形態を用いて例として示したように、同じ光学センサ３０を使用する。逸脱した例示的な実施形態では、図８に例として示したように、この点で例えば別の光学センサ３０を使用してもよいことが理解される。
【００６８】
逸脱した実施形態では、直接光源５０の光およびスポットライト光源２０の光を、例えばその極性またはタイミングに基づいて別の道に分離できるように選択することもできる。逸脱した実施形態では、別の測定を取り入れることもでき、あるいは、直接光源５０を用いた測定を全面的に省略することが可能であることが理解される。
【００６９】
第２の測定チャネルは、図１、図５〜図７、および図９による例示的な実施形態では、側光を放出する直接光源５０を用いて実現され、それによってこれらの例示的な実施形態の直接光源５０は光学センサ３０の焦点に向けられる。
【００７０】
これは、図２〜図４および図８による例示的な実施形態の事例では異なる。これらの事例では、暗視野測定を実行し、それによって直接光源は、照射領域５３内の試験領域１６に向けられ（例としての図２および図４を参照）、光学センサ３０のすぐ横で反射する。これはつまり、変化した反射方向が、エッジ、掻き傷または引っ掻き傷によって引き起こされたときに光学センサ３０への反射をもたらし、それによって該当する信号が光学センサ３０によって検知され得る、または光学センサによって出力され得るという意味である。
【００７１】
本検査装置１０では、光学センサ３０は、各事例でラインカメラ４２として構成され、ラインカメラ４２は、-具体的な選択に応じて-図３および図４に例として示したように、それぞれの検査装置１０の幅の一部のみにわたって横断方向１９に広がっている。この点で、先行技術からそれ自体が知られている光学から、試験領域１６全体および、特に横断方向１９に広がる検査装置１０の幅、試験試料１２または平坦品１４が横たわっている幅をラインカメラ４２で検知することは確実である。具体的な選択に応じてラインカメラはこれよりも大きい幅を有することもできる。代替実施形態では、ラインカメラの代わりにマトリクスカメラを使用することもでき、その場合、-該当すれば-機械方向１８に交互に配置されるマトリクスカメラのセンサ素子を、スペクトル分析用に、または様々な測定チャネルを検査または測定するために使用してもよい。
【００７２】
図１〜図５による例示的な実施形態では、ＬＥＤ列４４を各事例でスポットライト光源２０としても直接光源５０としても使用し、直接光源ＬＥＤ列４４の個々のＬＥＤは、図４に例として示したように、別々に方向付けられる。このように、直接光源５０のビーム経路５１を、光学センサ３０を基準にして適切な方法で個別に方向付けることができる。
【００７３】
適切な位置を確保するために、ラインカメラ４２も直接光源５０も両方とも適切な支持体６２、６３に配置する。同じことがスポットライト光源２０にも当てはまるが、これらの光源が単なる従来のＬＥＤ列４４であるため、関連する支持体を図面に明確に示してはいない。
【００７４】
図６〜図９による例示的な実施形態では、蛍光管４５をスポットライト光源２０としても直接光源５０としても使用する。必要であれば、ビーム経路２１、５１を適切に制限するためにこれらの蛍光管を遮断する。これらの例示的な実施形態の具体的な実施形態に応じて、ここでも、例えば線形レンズなどのその他の光学装置を使用してもよい。
【００７５】
逸脱した実施形態では、図６〜図９による検査装置１０の光源２０、５０は、必要であればＬＥＤを用いても実現できることが理解される。これは個々の光源にも適用される。同じように、図１〜図５による例示的な実施形態のＬＥＤ列４４を蛍光管を用いて構成することを、それが逸脱した例示的な実施形態で得策または実用的であると思われる場合に構想できる。
【００７６】
図１〜図４による例示的な実施形態の照明体２２は、孔を有する反射体４７として構成され、それによって部分的に伝送可能な照明体２２を利用可能にする。この点で、これらの反射体４７の孔の密度、ならびに光学センサ３０の焦点および直接光源５０の焦点は、反射体４７が対応するビーム経路３１、５１をわずかなだけ与えるように選択される。
【００７７】
図２〜図４による検査装置１０を用いて例として示したように、反射体４７は、反射体４７または照明体２２に形を与える支持体６１によって保持されてもよく、これらの本体２２、４７はそれぞれの支持体６１に固定され、それによってそれぞれの本体は支持体６１に固定される前にその最終形状を概算のみで示す必要がある。その場合、これによって生じる張力および本来の剛性によって、反射体４７または照明体２２が、支持体６１によって、また、番号を付していない光学センサ３０用のくぼみ領域、直接光源５０、およびその他のモジュールで規定された基本形状を仮定する結果になる。逸脱した実施形態では、特に図１による検査装置１０の事例でも、本来剛性である照明体２２を使用できることが理解される。
【００７８】
孔を有する反射体４７は、図５による検査装置１０でも使用される。その性質により、その基本形状は、検査装置１０の反射体４７または照明体２２の基本形状からはわずかに逸脱している。ここでも、自己支持型の照明体２２または反射体４７、あるいはその代わりに支持体に保持された照明体２２または反射体４７を使用してもよいことが理解される。
【００７９】
図６および図８に示した検査装置１０では、各事例で孔を有する拡散体４８が照明体２２として使用される。このような拡散体は、試験領域１６の方向にミラーを付けた表面の代わりに、できる限り均一に光を拡散して放出する不透明の表面を備え、この拡散体４８の孔は、反射体４７の孔とほぼ同じで、それぞれの照明体２２を部分的に伝送可能にする役割を果たす。
【００８０】
図６および図８による例示的な実施形態では、拡散体４８の代わりに反射体４７を使用することもでき、図１〜図５による例示的な実施形態では、有利に思われれば、反射体４７の代わりに拡散体４８を使用することもできることが理解される。具体的な実施形態に応じて、拡散体４８は、自己支持型または本来剛性であるように構成されてもよく、一般にこちらの方が反射体４７の事例よりも容易である。拡散体４８には支持体を用いて形を与えて、特定の具体的な実施形態にすることもできることが理解される。
【００８１】
図７による検査装置１０では、反射体または拡散体４７、４８の代わりに半伝送可能なミラー４６を使用し、ここでも、反射体４７または拡散体４８はそれぞれ孔を有し、半伝送可能なミラー４６の代わりに使用されてもよいことが理解される。同じように、半伝送可能なミラー４６を図１〜図６および図８による例示的な実施形態の事例でも使用することを構想できる。また、半伝送可能なミラー４６は、本来剛性であるように構成できることが好ましい。同じように、逸脱した実施形態では、この半伝送可能なミラー４６に別の支持体または外部の支持体を用いて形を与えることを構想できる。
【００８２】
図９による検査装置１０では、半伝送可能に構成された照明体２２を省略し、代わりに拡散体４９を照明体２２として使用している。図９による検査装置１０の照明体２２には光伝送性が欠けている、または伝送性がないため、この例示的な実施形態の光学センサ３０は、このために設けたミラー３２を用いて照明体２２の先を見て、機械方向１８の空間的広がりを最小に抑え、このミラーによって光学センサ３０は試験領域１６内を見る。逸脱した例では、光学センサ３０が試験領域１６内を直接見ることを構想でき、これは図８による例示的な実施形態で例として示した通りである。この検査装置１０の事例では、直接光源５０および関連する光学センサ３０は、図８による検査装置１０の照明体２２を介して、前者が試験領域１６に光を照射して後者が同試験領域を検知する。この例示的な実施形態では、これは暗視野測定によって行われ、図８による検査装置１０の直接光源５０は照射領域（図８では別々の番号を付してはいない）に向けられ、直接光源５０の光は、関連する光学センサ３０の前または後ろで機械方向１８にわずかに反射する。
【００８３】
図８による検査装置１０は、別々の光学センサ３０またはラインカメラ４２を使用して、スポットライト光源２０から放出される光を測定すると同時に、直接光源５０から放出される光も測定するが、これは、図１〜図７および図９による例示的な実施形態では、各事例で同じ光学センサ３０を用いるか、同じラインカメラ４２を用いて行われる。
【００８４】
図１〜図８の例示的な実施形態では、照明体２２の機械方向１８の広がりにわたる孔の分布（逸脱した実施形態では孔の代わりにスロットなどのその他の開口を用いることも可）またはミラー反射は変化し、それによってスポットライト光源２０の光はできる限り均質に試験領域１６に到達する。この点で、均質性は、光強度が１３５°にわたって２０％未満、好ましくは１５％未満の変動があるように選択される。
【００８５】
拡散体４８、４９はさらに、試験領域１６が多指向性の光で照明されるという結果をもたらす。
【００８６】
率直に理解できるように、図１および図５による検査装置１０は、機械方向１８の構造が図５および図６による検査装置１０よりも遙かに短い。これは、楕円形断面２５が著しく大きく重なった状態で選択され、中にスポットライト光源２０があってもよいそれぞれの焦点２６が照明体２２の領域２３のより近くにあり、この領域がそれぞれのもう一方のスポットライト光源２０で照射されるからである。
【００８７】
図１および図５による例示的な実施形態では、直接光源５０は、照明体２２に囲まれた空間の外側に位置しているが、これは図２および図６による例示的な実施形態の事例ではない。
【００８８】
特に、図１および図５〜図７ならびに図９による検査装置１０の直接光源５０は、図２〜図４および図８による例示的な実施形態の事例のように、それぞれの照明体２２を通して照射する必要がない。半伝送可能なミラーの孔または透過度を適切に選択した場合、これはあまり重要ではないことがわかる。
【００８９】
図３および図４を用いて率直に明らかなように、特にサイドミラー５２に基づいて、試験領域１６の幅を１０％未満分だけ超える幅に直接光源をすべて配置することが可能である。
【符号の説明】
【００９０】
１０  検査装置
１２  試験試料
１４  平坦品
１６  試験領域
１８  機械方向
１９  横断方向
２０  スポットライト光源
２１  スポットライト光源２０のビーム経路（一例として番号を付与）
２２  照明体
２３  領域
２４  ビーム角度
２５  楕円形断面
２６  焦点
３０  光学センサ
３１  光学センサ３０のビーム経路（一例として番号を付与）
３２  ミラー
４２  ラインカメラ
４４  ＬＥＤ列
４５  蛍光管
４６  半伝送可能なミラー
４７  孔を有する反射体
４８  孔を有する拡散体
４９  拡散体
５０  直接光源（一例として番号を付与）
５１  直接光源５０のビーム経路（一例として番号を付与）
５２  サイドミラー
５３  照射領域（一例として番号を付与）
６１  照明体２２または反射体４７の支持体（一例として番号を付与）
６２  ラインカメラ４２の支持体
６３  直接光源５０の支持体
【図１】
2017211378.tif 000003
【図２】
2017211378.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2017211378.tif 000009
【図８】
2017211378.tif 000010
【図９】
2017211378.tif 000011
【外国語明細書】
2017211378000001.pdf