(57)【要約】【課題】  感光性導電フィルムを用いて透明電極パターンを形成する場合、感光性導電フィルムと透明粘着剤の間の膨れを抑制し、信頼性の向上した感光性導電フィルム及びそれを用いた導電膜・導電パターンの形成方法を提供する。【解決手段】  支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた導電膜及び該導電膜上に設けられた感光性樹脂層を備える感光性導電フィルムであって、前記感光性樹脂層は、（ａ）バインダーポリマー、（ｂ）エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物、（ｃ）光重合開始剤を含有し、さらに、シランカップリング剤の含有量が（ａ）と（ｂ）の合計１００質量部に対して、０〜１００ｐｐｍである感光性導電フィルム。【選択図】  図３
2017049331.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた導電膜及び該導電膜上に設けられた感光性樹脂層を備える感光性導電フィルムであって、
前記感光性樹脂層は、（ａ）バインダーポリマー、（ｂ）エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物、（ｃ）光重合開始剤を含有し、さらに、シランカップリング剤の含有量が（ａ）と（ｂ）の合計１００質量部に対して、０〜１００ｐｐｍである感光性導電フィルム。
【請求項２】
請求項１に記載の感光性導電フィルムを、基板上に前記感光性樹脂層が密着するようにラミネートするラミネート工程と、
前記基板上の前記感光性樹脂層に活性光線を照射する露光工程と、
を備える、導電膜の形成方法。
【請求項３】
請求項１に記載の感光性導電フィルムを、基板上に前記感光性樹脂層が密着するようにラミネートする工程と、
前記基板上の前記感光性樹脂層の所定部分に活性光線を照射する露光工程と、
露光した前記感光性樹脂層を現像することにより導電パターンを形成する現像工程と、を備える、導電パターンの形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性導電フィルム及び導電膜・導電パターンの形成方法に関する。より詳細には、液晶表示素子等のフラットパネルディスプレイ、タッチスクリーン、太陽電池等の装置の電極配線として用いられる導電パターンの形成方法及びそれに用いる感光性導電フィルムに関する。
【背景技術】
【０００２】
パソコンやテレビ等の大型電子機器、カーナビゲーション、携帯電話、電子辞書等の小型電子機器、ＯＡ・ＦＡ機器等の表示機器では、液晶表示素子やタッチスクリーンが用いられている。これら液晶表示素子やタッチスクリーン、太陽電池等のデバイスでは、透明配線、画素電極又は端子の一部に透明導電膜が用いられている。
【０００３】
透明導電膜の材料としては、従来、可視光に対して高い透過率を示すことから、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ−Ｔｉｎ−Ｏｘｉｄｅ）、酸化インジウム、酸化スズ等が用いられている。液晶表示素子用基板等の電極では、前記の材料からなる透明導電膜をパターニングしたものが主流になっている。
【０００４】
透明導電膜のパターニング方法としては、透明導電膜を形成後、フォトリソグラフィー法によりレジストパターンを形成し、ウエットエッチングにより導電膜の所定部分を除去して導電パターンを形成する方法が一般的である。ＩＴＯ及び酸化インジウム膜の場合、エッチング液は塩酸と塩化第二鉄の２液よりなる混合液が一般に用いられている。
【０００５】
ＩＴＯ膜や酸化スズ膜は一般にスパッタ法により形成される。しかし、この方法は、スパッタ方式の違い、スパッタパワーやガス圧、基板温度、雰囲気ガスの種類等によって透明導電膜の性質が変わりやすい。スパッタ条件の変動による透明導電膜の膜質の違いは、透明導電膜をウエットエッチングする際のエッチング速度のばらつきの原因となり、パターンニング不良による製品の歩留り低下を招きやすい。また、前記の導電パターンの形成方法は、スパッタ工程、レジスト形成工程及びエッチング工程を経ていることから、工程が長く、コスト面でも大きな負担となっている。
【０００６】
最近、前記の問題を解消するために、ＩＴＯ、酸化インジウム、酸化スズ等に替わる材料を用いて透明導電パターンを形成する試みがなされている。
例えば、下記特許文献１には、基板上に、銀繊維等の金属繊維を含有する導電層を形成した後、導電層上に感光性樹脂層を形成し、その上からパターンマスクを介して露光し、現像する導電パターンの形成方法が開示されている。
【０００７】
しかしながら、下記特許文献１に記載の方法では、基板と導電パターンとの接着性を確保しつつ導電パターンの表面抵抗率の低抵抗率化を図ることが困難であることが本発明者らの検討により判明している。また、前記導電パターンを配線、画素電極又は端子として使用する場合には、感光性樹脂層を除去する工程が必要であり、導電パターン形成の工程が煩雑化するという問題がある。
【０００８】
前記問題を鑑みて、下記特許文献２には、支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた導電性繊維を含有する導電層と、該導電層上に設けられた感光性樹脂層とを備えた感光性導電フィルムを、基板上に感光性樹脂層が密着するようにラミネートし、これを露光、現像する、導電パターンの形成方法が開示されている。この方法は、簡便な工程で基板との接着性が充分であり、且つ表面抵抗率が小さい導電パターンを充分な解像度で形成することを可能としている。
【０００９】
また、下記特許文献３には、１回目の露光を、マスクを用いて支持フィルムを介して行い、２回目の露光を、マスクと支持フィルムを除去した酸素存在下で行うという２段回の露光方法を用いることで、１回目の露光工程においてマスクで遮光した部分が樹脂硬化層となり、１回目の露光工程においてマスクで遮光せずに光照射した部分が導電パターンとなり、導電パターン部分と樹脂硬化層の高低差を小さくする手法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】米国特許公開第２００７／００７４３１６号明細書
【特許文献２】国際公開第２０１０／０２１２２４号
【特許文献３】国際公開第２０１３／０５１５１６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、タッチセンサーの透明電極の製造時に前記特許文献に記載の感光性導電フィルムを使用する場合、２層の感光性導電フィルムで導電パターンを形成し、透明粘着剤を介してガラスと貼り合わせる構造がある。その構造で信頼性試験（８５℃、８５％ＲＨ）を実施した際に、感光性導電フィルムと透明粘着剤の間で膨れが発生するという問題がある。この膨れによって信頼性が低下したり、凹凸で視認性が悪化する、といった不具合が発生する。
【００１２】
本発明は、前記従来技術が有する問題に鑑みてなされたものであり、感光性導電フィルムを用いて透明電極パターンを形成する場合において、感光性導電フィルムと透明粘着剤の間の膨れを抑制し、信頼性の向上した感光性導電フィルム及び導電膜・導電パターンの形成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するため本発明は、下記の手段を提供する。
＜１＞  支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた導電膜及び該導電膜上に設けられた感光性樹脂層を備える感光性導電フィルムであって、
前記感光性樹脂層は、（ａ）バインダーポリマー、（ｂ）エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物、（ｃ）光重合開始剤を含有し、さらに、シランカップリング剤の含有量が（ａ）と（ｂ）の合計１００質量部に対して０〜１００ｐｐｍである感光性導電フィルム。
＜２＞  上記＜１＞に記載の感光性導電フィルムを、基板上に前記感光性樹脂層が密着するようにラミネートするラミネート工程と、
前記基板上の前記感光性樹脂層に活性光線を照射する露光工程と、
を備える、導電膜の形成方法。
＜３＞  上記＜１＞に記載の感光性導電フィルムを、基板上に前記感光性樹脂層が密着するようにラミネートする工程と、
前記基板上の前記感光性樹脂層の所定部分に活性光線を照射する露光工程と、
露光した前記感光性樹脂層を現像することにより導電パターンを形成する現像工程と、
を備える、導電パターンの形成方法。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、感光性導電フィルムと透明粘着剤間の膨れを改善することができ、様々な環境下でタッチパネルモジュールを使用できることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】感光性導電フィルムの一実施形態を示す模式断面図である。
【図２】感光性導電フィルムの一実施形態を示す一部切欠き斜視図である。
【図３】信頼性試験（膨れ）の一実施形態を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。ただし、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。なお、本明細書において、「（メタ）アクリル酸」とは、アクリル酸又はメタクリル酸を意味し、「（メタ）アクリレート」とは、アクリレート又はそれに対応するメタクリレートを意味する。「Ａ又はＢ」とは、ＡとＢのどちらか一方を含んでいればよく、両方とも含んでいてもよい。また、例示材料は特に断らない限り単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００１７】
＜感光性導電フィルム＞
図１は、本発明の感光性導電フィルムの一実施形態を示す模式断面図である。また、図２は該実施形態の一部切欠き斜視図である。
感光性導電フィルム１０は、支持フィルム１と、支持フィルム１上に設けられた導電膜２と、導電膜２上に設けられた感光性樹脂層３とを備える。尚、導電膜２及び感光性樹脂層３を纏めて感光層４という。
以下、感光性導電フィルム１０を構成する支持フィルム１、導電膜２及び感光性樹脂層３のそれぞれについて詳細に説明する。
【００１８】
（支持フィルム）
支持フィルム１としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリカーボネートフィルム等の耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムが挙げられる。これらのうち、透明性や耐熱性の観点からは、ポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。尚、これらの重合体フィルムは、後に感光層から除去可能な範囲で表面処理が施されたものであってもよい。
【００１９】
支持フィルム１のヘーズ値は、感度及び解像度を良好にできる観点から、０．０１〜５．０％であることが好ましく、０．０１〜３．０％であることがより好ましく、０．０１〜２．０％であることがさらに好ましく、０．０１〜１．１％であることが特に好ましい。尚、ヘーズ値はＪＩＳ  Ｋ  ７１０５（プラスチックの光学特性試験方法）に準拠して測定することができ、例えば、ＮＤＨ−５０００（日本電色工業株式会社製、商品名）等の市販の濁度計（ヘーズメーター）で測定が可能である。
【００２０】
（導電膜）
導電膜２は、導電性を有する膜であり、導電性繊維を含有することが好ましい。導電性繊維としては、金、銀、白金等の金属繊維、カーボンナノチューブ等の炭素繊維等が挙げられる。本発明では、導電性繊維として金属繊維を用いることが好ましく、銀繊維がより好ましい。
【００２１】
金属繊維は、例えば、金属イオンをＮａＢＨ４等の還元剤で還元する方法、又は、ポリオール法により調製することができる。カーボンナノチューブは、Ｕｎｉｄｙｍ社のＨｉｐｃｏ単層カーボンナノチューブ等の市販品を使用することができる。
【００２２】
金属繊維の繊維径は、１〜５０ｎｍであることが好ましく、２〜２０ｎｍであることがより好ましく、３〜１０ｎｍであることがさらに好ましい。また、金属繊維の繊維長は、導電性を維持する観点より１〜１００μｍであることが好ましく、１０〜５０μｍであることがより好ましく、２０〜４０μｍであることがさらに好ましい。繊維径及び繊維長は、走査型電子顕微鏡により測定することができる。
【００２３】
導電膜２の厚みは、形成される導電膜、導電パターンの用途や求められる導電性によっても異なるが、１μｍ以下であることが好ましく、１ｎｍ〜０．５μｍであることがより好ましく、５ｎｍ〜０．１μｍであることがさらに好ましい。導電膜２の厚みが１μｍ以下であると、４５０〜６５０ｎｍの波長域での光透過率が高く、パターン形成性にも優れ、特に透明電極の作製に好適なものとなる。
【００２４】
導電膜２は、導電性繊維同士が接触してなる網目構造を有することが好ましい。このような網目構造を有する導電膜２は、感光性樹脂層３の支持フィルム側表面に形成されていてもよいが、支持フィルムを剥離したときに露出する表面においてその面方向に導電性が得られるのであれば、感光性樹脂層３の支持フィルム１側表層に含まれる形態で形成されていてもよい。尚、網目構造を有する導電膜２の厚みは、走査型電子顕微鏡写真によって測定される値を指す。
【００２５】
導電性繊維を含有する導電膜２は支持フィルム１上に、上述した導電性繊維を水又は有機溶剤、界面活性剤等の分散安定剤などを加えた導電性繊維分散液を塗工した後、乾燥することにより形成することができる。乾燥後、支持フィルム１上に形成した導電膜２は、必要に応じてラミネートされてもよい。
塗工は、ロールコート法、コンマコート法、グラビアコート法、エアーナイフコート法、ダイコート法、バーコート法、スプレーコート法等の公知の方法で行うことができるが、膜厚分布が良好であることや密閉系で塗液への異物混入が少ないという観点からダイコート法が好ましい。
【００２６】
導電膜２を低抵抗化又は低ヘーズ化する観点では、乾燥工程において、均一な膜を形成するために２０℃以上、６５℃未満で溶媒を揮発させることが好ましい。特に、導電性繊維が銀繊維である場合において、顕著に低抵抗化又は低ヘーズ化を達成することができる。対流が生じてベナールセルを形成することでムラとなり低抵抗な導電膜が形成し難くなることを防ぐ観点から、乾燥温度が６５℃未満であることが好ましい。また、溶媒が揮発するために時間がかかり工程上問題となることを防ぐ観点から、２０℃以上であることが好ましい。乾燥温度は、２５℃以上、６５℃未満がより好ましく、３５℃以上、６５℃未満がさらに好ましく、４０〜６０℃が特に好ましい。
導電膜２において、導電性繊維は界面活性剤や分散安定剤と共存していてもかまわない。
【００２７】
（感光性樹脂層）
感光性樹脂層３は、（ａ）バインダーポリマー、（ｂ）エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物、（ｃ）光重合開始剤を含有し、さらに、シランカップリング剤の含有量が０〜１００ｐｐｍ（parts per million、質量基準の100万分の1の意）である、感光性樹脂組成物から形成される。
【００２８】
（（ａ）成分のバインダーポリマー）
（ａ）成分のバインダーポリマーは、カルボキシル基を有することが好ましい。また、（ａ）成分の酸価は、パターン性に優れる観点から、７５〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましく、７５〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇであることがより好ましく、７５〜１２０ｍｇＫＯＨ／ｇであることがさらに好ましい。
【００２９】
（ａ）成分のバインダーポリマーとしては、アクリル樹脂、スチレン樹脂、エポキシ樹脂、アミド樹脂、アミドエポキシ樹脂、アルキド樹脂、フェノール樹脂、エステル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸の反応で得られるエポキシアクリレート樹脂、エポキシアクリレート樹脂と酸無水物の反応で得られる酸変性エポキシアクリレート樹脂等が挙げられる。
【００３０】
前記の中でも、アルカリ現像性及びフィルム形成性に優れる観点から、アクリル樹脂を用いることが好ましく、そのアクリル樹脂が（メタ）アクリル酸及び（メタ）アクリル酸アルキルエステルに由来するモノマー単位を構成単位として有するとより好ましい。
【００３１】
前記（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、（メタ）アクリル酸メチルエステル、又は（メタ）アクリル酸エチルエステルが好ましい。
また、前記アクリル樹脂は、スチレン、（メタ）アクリル酸ベンジルエステル、又は（メタ）アクリル酸グリシジルエステル等に基づく構成単位を含んでもよい。
【００３２】
（（ｂ）成分のエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物）
（ｂ）成分の光重合性化合物は、エチレン性不飽和結合を有することが好ましい。なかでも、ペンタエリスリトール由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物、ジペンタエリスリトール由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物、及びトリメチロールプロパン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物から選択される少なくとも１種を含むことが好ましく、ジペンタエリスリトール由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物及びトリメチロールプロパン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物から選択される少なくとも１種を含むことがより好ましい。
これらの化合物は、工業的に販売されているものを用いることができる。
【００３３】
（ｂ）成分の含有割合は、（ａ）バインダーポリマー及び（ｂ）光重合性化合物の合計１００質量％に対して、３０〜８０質量％であることが好ましく、４０〜７０質量％であることがより好ましい。光硬化性及び転写した導電膜（導電膜及び感光性樹脂層）の塗膜性に優れる点では、３０質量％以上であることが好ましく、フィルムとして巻き取った場合の保管安定性に優れる点では、８０質量％以下であることが好ましい。
【００３４】
（（ｃ）成分の光重合開始剤）
（ｃ）成分の光重合開始剤は、使用する露光機の光波長と、機能発現に必要な波長とが合うものを選択すれば、特に制限はない。光重合開始剤は、オキシムエステル化合物又はホスフィンオキサイド化合物を含むことが好ましい。
具体的には、オキシムエステル化合物として、１，２−オクタンジオン，１−［４−（フェニルチオ）−フェニル，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）］、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）等が挙げられ、ホスフィンオキサイド化合物として２，４，６−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド等が挙げられる。これらは、それぞれＩＲＧＡＣＵＲＥ  ＯＸＥ  ０１、ＩＲＧＡＣＵＲＥ  ＯＸＥ  ０２、Ｉｒｇａｃｕｒｅ  ＴＰＯ（いずれもＢＡＳＦ社製、商品名）として商業的に入手可能である。
【００３５】
オキシムエステル化合物の中でも、１，２−オクタンジオン，１−［４−（フェニルチオ）−フェニル，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）］が好ましく、ホスフィンオキサイド化合物として２，４，６−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド好ましい。
【００３６】
（ｃ）成分の含有割合は、（ａ）バインダーポリマー及び（ｂ）光重合性化合物の合計１００質量部に対して、０．１〜２０質量部であることが好ましく、１〜１０質量部であることがより好ましく、１〜５質量部であることがさらに好ましい。光感度に優れる点では、０．１質量部以上であることが好ましく、光硬化性に優れる点では、２０質量部以下であることが好ましい。
【００３７】
（シランカップリング剤）
シランカップリング剤とは、ケイ素原子に、無機化合物や有機化合物と化学的に結びつく反応基を有する材料を指し、膨れを抑制する観点から（ａ）バインダーポリマー及び（ｂ）エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物の合計１００質量部に対して、１００ｐｐｍ以下である。
【００３８】
本発明において、膨れ発生メカニズムは以下に言及する過程を経て発生するものと考えられる。
【００３９】
１）シランカップリング剤中のアルコキシ基が加水分解、縮合することでシラノールを経てポリシロキサン(化合物Ａ)が発生し、これが基材との密着阻害を引き起こす。
【００４０】
【化１】
2017049331.tif 000003
（上記式中、Ｒは、メチル基、エチル基等のアルキル基、Ｙは、アミノ基、エポキシ基、（メタ）アクリル基、ビニル基、メルカプト基等の反応性官能基を示す。）
上記、化合物Ａと膨れ箇所のＩＲスペクトルが一致した。
２）密着阻害が生じた箇所において微量な水分が水蒸気となり、膨れが発生する。
【００４１】
本発明で使用する感光性樹脂組成物には、上述した（ａ）〜（ｃ）成分の他に、必要に応じて、ｐ−トルエンスルホンアミド等の可塑剤、充填剤、消泡剤、難燃剤、安定剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、イメージング剤、熱架橋剤等の添加剤を配合してもよい。
【００４２】
感光性樹脂層３は、上述した感光性樹脂組成物の溶液を塗布、乾燥することにより形成できる。
溶剤としては、メタノール、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテル等が使用できる。
感光性樹脂組成物溶液中の固形分含有率は、１０〜６０質量％程度とすることが好ましい。
【００４３】
感光性樹脂組成物の溶液を、支持フィルム１上に形成した導電膜２上に塗布、乾燥する。但し、この場合、乾燥後の感光性樹脂層中の残存有機溶剤量は、後の工程での有機溶剤の拡散を防止するため、２質量％以下であることが好ましい。
塗工は、ロールコート法、コンマコート法、グラビアコート法、エアーナイフコート法、ダイコート法、バーコート法、スプレーコート法等の公知の方法で行うことができる。塗工後、有機溶剤等を除去するための乾燥は、７０〜１５０℃で５〜３０分間程度、熱風対流式乾燥機等で行うことができる。
【００４４】
感光性樹脂層３の厚みは、用途により異なるが、乾燥後の厚みで０．５〜５０μｍであることが好ましく、０．５〜３０μｍであることがより好ましく、０．５〜１５μｍであることがさらに好ましく、０．５〜１０μｍであることが特に好ましい。この厚みが０．５μｍ未満では塗工が困難となる傾向があり、５０μｍを超えると光透過の低下による感度が不充分となり転写する感光性樹脂層の光硬化性が低下する傾向がある。
【００４５】
本実施形態の感光性導電フィルムにおいて、導電膜２及び感光性樹脂層３の積層体は、両層の合計厚みを１〜１０μｍとしたときに、４５０〜６５０ｎｍの波長域における光透過率が８０％以上であることが好ましく、８５％以上であることがより好ましい。導電膜及び感光性樹脂層がこのような条件を満たす場合、ディスプレイパネル等での視認性が向上する。
【００４６】
本発明の感光性導電フィルムにおいて、感光性樹脂層３の支持フィルム１側と反対側の面に接するように保護フィルムを積層することができる。
保護フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンフィルム等の耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムを用いることができる。また、保護フィルムとして上述の支持体フィルムと同様の重合体フィルムを用いてもよい。
【００４７】
保護フィルムと感光層との間の接着力は、保護フィルムを感光層から剥離しやすくするために、感光層４と支持フィルム１との間の接着力よりも小さいことが好ましい。
【００４８】
＜導電膜の形成方法＞
本発明の導電膜の形成方法は、感光性導電フィルムを、基板上に前記感光性樹脂層が密着するようにラミネートするラミネート工程と、前記基板上の前記感光性樹脂層に活性光線を照射する露光工程とを含む。
ここで、露光に用いられる活性光線としては、紫外線、可視光線、電子線、Ｘ線等が挙げられる。これらの中でも特に、紫外線が好ましい。
【００４９】
＜導電パターンの形成方法＞
本発明の導電パターンの形成方法は、基板上に設けられた感光性樹脂層と導電膜にパターン状に活性光線を照射する露光工程と、感光性樹脂層と導電膜の未露光部を除去することにより導電パターンを形成する現像工程とを含む。
【００５０】
＜タッチパネル＞
本発明に係るタッチパネルは、導電パターンが少なくとも２層で透明粘着剤を介してガラスと貼り合わせる構造を有する。静電容量式のタッチパネルの一例では、透明基板の片面にタッチ位置座標を検出するためのタッチ画面があり、この領域の静電容量変化を検出するための２つの透明電極が基板上に設けられている。２つの透明電極は、それぞれタッチ位置のＸ座標及びＹ座標を検出する。このＸ座標及びＹ座標に引き出し配線を含め透明電極として導電パターンを用いる。具体的な作製法は、前記特許文献３に記載されている内容を参照できる。
【実施例】
【００５１】
以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００５２】
製造例１［銀繊維分散液の調製］
（１）ポリオール法による銀繊維の調製
２０００ｍｌの３口フラスコに、エチレングリコール５００ｍｌを入れ、窒素雰囲気下、マグネチックスターラーで撹拌しながらオイルバスにより１６０℃まで加熱した。ここに、別途用意したＰｔＣｌ２２ｍｇを５０ｍｌのエチレングリコールに溶解した溶液を滴下した。４〜５分後、ＡｇＮＯ３５ｇをエチレングリコール３００ｍｌに溶解した溶液と、重量平均分子量が４万のポリビニルピロリドン（和光純薬工業株式会社製）５ｇをエチレングリコール１５０ｍｌに溶解した溶液とを、それぞれの滴下漏斗から１分間で滴下し、その後１６０℃で６０分間撹拌した。
【００５３】
前記反応溶液が３０℃以下になるまで放置してから、アセトンで１０倍に希釈し、遠心分離機により２０００回転／分で２０分間遠心分離し、上澄み液をデカンテーションした。沈殿物にアセトンを加え撹拌後に前記と同様の条件で遠心分離し、アセトンをデカンテーションした。その後、蒸留水を用いて同様に２回遠心分離して、銀繊維を得た。得られた銀繊維を走査型電子顕微鏡で観察したところ、繊維径（直径）は３０ｎｍで、繊維長は３０μｍであった。
【００５４】
（２）銀繊維分散液の調製
純水に、前記（１）で得られた銀繊維を０．２質量％、及び、ドデシル−ペンタエチレングリコールを０．１質量％の濃度となるように分散し、銀繊維分散液１を得た。
【００５５】
製造例２［感光性樹脂組成物の溶液の調製］
表１に示した材料を同表に示す配合量（単位：質量部）で配合し、感光性樹脂組成物の溶液を調製した。
【００５６】
【表１】
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【００５７】
表１中の各成分を下記に示す。
（ａ）バインダーポリマー
・アクリルポリマーＡ：メタクリル酸／メタクリル酸メチル／アクリル酸エチル／スチレン＝２０／５０／２０／１０（モル比）の共重合体の溶液（ＰＭ−３００Ｆ）、重量平均分子量８０，０００
（ｂ）エチレン不飽和結合を有する光重合性化合物
・トリメチロールプロパントリアクリレート（新中村化学工業株式会社製、商品名ＴＭＰＴＡ）
（ｃ）光重合開始剤
・２，４，６−トリメチルベンゾイル-ジフェニル−フォスフィンオキサイド（ＢＡＳＦ社製、商品名「Ｉｒｇａｃｕｒｅ  ＴＰＯ」）
（ｄ）その他
・オクタメチルシクロテトラシロキサン（東レ・ダウコーニング株式会社製、商品名Additive 8032）
【００５８】
（１）感光性導電フィルムの作製
製造例１で調製した銀繊維分散液１を支持フィルムである１６μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム（東洋紡株式会社製、商品名「Ａ−１５１７」）上に２５ｇ／ｍ２で均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥機で１０分間乾燥し、室温（２５℃）において１０ｋｇ／ｃｍの線圧で加圧した。これにより、支持フィルム上に導電性繊維を含有する導電膜を形成した。尚、導電膜の乾燥後の膜厚は、約０．０１μｍであった。
【００５９】
（実施例１）
製造例２で調製した感光性樹脂組成物の溶液を撹拌後、導電膜が形成された１６μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上に均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥機で１０分間乾燥して感光性樹脂層を形成した。その後、感光性樹脂層を、ポリプロピレン製の保護フィルム（王子エフテックス株式会社製、商品名「ＥＳ−２０１」）で覆い、感光性導電フィルムを得た。尚、感光性樹脂層の乾燥後の膜厚は５μｍであった。
【００６０】
（比較例１）
製造例２で調製した感光性樹脂組成物の溶液にシランカップリング剤（３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、東レ・ダウコーニング株式会社製、商品名「ＯＦＳ−６０３０」）を配合量８．３２質量部添加し、撹拌後、導電膜が形成された１６μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上に均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥機で１０分間乾燥して感光性樹脂層を形成した。その後、感光性樹脂層を、ポリプロピレン製の保護フィルム（王子エフテックス株式会社製、商品名「ＥＳ−２０１」）で覆い、感光性導電フィルムを得た。尚、感光性樹脂層の乾燥後の膜厚は５μｍであった。
【００６１】
（２）膨れ試験方法
図３の構成を用いて膨れの評価を行った。この構成の作製条件を以下に示す。
ＰＥＴ（東洋紡株式会社製、商品名「Ａ４３００」）に前記で得られた支持フィルム、導電膜、感光性樹脂層、保護フィルムがこの順に積層された感光性導電フィルムの保護フィルムを剥離しながら、感光性樹脂層をＰＥＴに対向させて、１１０℃、０．４ＭＰａ、０．６ｍ／分の条件でラミネートした。
次に、１段露光として２０ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射後、支持フィルムを剥離し、２段露光として５０ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射した。その後１Ｊ／ｃｍ２の紫外線を照射し、硬化させ、ＰＥＴ、硬化した感光性樹脂層、導電膜の中間品Ａを作製した（図３参照）。
【００６２】
一方で、ガラスに透明粘着フィルムをハンドローラーで貼り合わせた（中間品Ｂ）を作製した。
【００６３】
中間品Ｂの透明粘着剤のカバーフィルムを剥がし、透明粘着剤と中間品Ａの導電膜が面するようにしてハンドローラーで中間品ＡとＢを貼り合わせた。
【００６４】
作製したサンプルを浸漬するように水をいれ、恒温恒湿試験機（８５℃／８５％ＲＨ）に投入し、７２時間後に膨れの状態を観察した。
表２に膨れの写真と膨れの個数を示した。観察面積は５０×５０ｍｍで実施した。
【００６５】
【表２】
2017049331.tif 000005
【００６６】
表２に示したように、シランカップリング剤を含有する比較例１ではフクレが発生した。これに対し、シランカップリング剤を含有しない実施例１では膨れの発生は見られなかった。実験の結果、シランカップリング剤の配合量は、１００ｐｐｍでは、膨れは見られず良好であった。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
本発明の感光性導電フィルム及び導電膜・導電パターンは、液晶表示素子等のフラットパネルディスプレイ、タッチスクリーン、太陽電池等の装置の電極配線として用いられる導電パターンの形成等に用いることができる。
本発明に係るタッチパネルセンサは、液晶表示素子やタッチスクリーンに用いることができる。
本発明に係るタッチパネルセンサは、電極配線にＩＴＯ基材を使用しないため、大型ディスプレイや湾曲したディスプレイへの適用が可能となり、更なる需要の高まりが期待される。
【符号の説明】
【００６８】
１…支持フィルム
２…導電膜
３…感光性樹脂層
４…感光層
１０…感光性導電フィルム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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