(57)【要約】      （修正有）【課題】測定チャネルを貫流する流動媒体の少なくとも１つのパラメータ、特に、内燃機関の吸気質量流量を決定するためのセンサを提供する。【解決手段】センサは、センサハウジング、即ち特に、流体管路に導入され又は導入可能な差込みフィーラであって、測定チャネル２４を有するチャネル構造１４がその内部に形成された上記差込みフィーラと、流動媒体のパラメータを決定するための、測定チャネル２４内に配置された少なくとも１つのセンサチップと、を有する。センサハウジングは、流動媒体の主流れ方向の方を向いた、チャネル構造１４への入口１６と、チャネル構造１４からの少なくとも１つの出口２８と、を有する。チャネル構造１４は、壁部分５０により画定される。壁部分５０は、少なくとも部分的に電気的絶縁特性を有する。センサハウジングの、壁部分５０に隣接する領域５２は、導電特性を有する。【選択図】図３
2017211384.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定チャネル（２４）を貫流する流動媒体の少なくとも１つのパラメータ、特に、内燃機関の吸気質量流量を決定するためのセンサ（１０）であって、前記センサ（１０）は、センサハウジング（１２）、即ち特に、流体管路に導入され又は導入可能な差込みフィーラであって、前記測定チャネル（２４）を有するチャネル構造（１４）がその内部に形成された前記差込みフィーラと、前記流動媒体の前記パラメータを決定するための、前記測定チャネル（２４）内に配置された少なくとも１つのセンサチップ（３４）と、を有し、前記センサハウジング（１２）は、前記流動媒体の主流れ方向（１８）の方を向いた、前記チャネル構造（１４）への入口（１６）と、前記チャネル構造（１４）からの少なくとも１つの出口（２８）と、を有し、前記チャネル構造（１４）は、壁部分（５０）により画定される、前記センサ（１０）において、
前記壁部分（５０）は、少なくとも部分的に電気的絶縁特性を有し、前記センサハウジング（１２）の、前記壁部分（５０）に隣接する領域（５２）は、導電特性を有することを特徴とする、センサ（１０）。
【請求項２】
前記センサハウジング（１２）は、測定チャネルカバー（４８）を有し、前記チャネル構造（１４）は、前記測定チャネルカバー（４８）に形成される、請求項１に記載のセンサ（１０）。
【請求項３】
前記壁部分（５０）は、電気絶縁材料で製造され、前記センサハウジング（１２）の、前記壁部分（５０）に隣接する前記領域（５２）は、導電材料で製造される、請求項１又又は２に記載のセンサ（１０）。
【請求項４】
前記壁部分（５０）と、前記センサハウジング（１２）の、前記壁部分（５０）に隣接する前記領域（５２）とは、互いに形状結合している、請求項３に記載のセンサ（１０）。
【請求項５】
前記電気絶縁材料は、絶縁性プラスチックであり、前記導電材料は、導電性プラスチックである、請求項３又は４に記載のセンサ（１０）。
【請求項６】
前記壁部分（５０）と、前記センサハウジング（１２）の、前記壁部分（５０）に隣接する前記領域（５２）とは、２構成材料‐射出成形品として構成される、請求項５に記載のセンサ（１０）。
【請求項７】
前記壁部分（５０）と、前記センサハウジング（１２）の、前記壁部分（５０）に隣接する前記領域（５２）とは、電気絶縁材料で製造され、前記センサハウジング（１２）の、前記壁部分（５０）に隣接する前記領域（５２）は被膜（５６）を有し、前記被膜（５６）は、導電材料で製造される、請求項１又は２に記載のセンサ（１０）。
【請求項８】
前記電気絶縁材料は、絶縁性プラスチックである、請求項７に記載のセンサ（１０）。
【請求項９】
前記壁部分（５０）と、前記センサハウジング（１２）の、前記壁部分（５０）に隣接する前記領域（５２）とは、導電材料で製造され、前記壁部分は被膜（６０）を有し、前記被膜（６０）は、電気絶縁材料で製造される、請求項１又は２に記載のセンサ（１０）。
【請求項１０】
前記センサハウジング（１２）の、前記壁部分（５０）に隣接する前記領域（５２）は、固定の電位と電気的に接続され、特にセンサ接地と電気的に接続される、請求項１〜９のいずれか１項に記載のセンサ（１０）。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
従来技術では、流動媒体、即ち液体及び／又は気体の少なくとも１つの流体特性を決定するための数多くの方法及び装置が知られている。ここで、想定されるパラメータとしての流体特性とは、任意の物理的及び／又は化学的に測定可能な特性値であって、流動媒体の流れを評価し又は数値化する上記特性値のことである。この特性値は特に、流速及び／又は質量流量及び／又は体積流量でありうる。
【０００２】
本発明は、以下では特に、例えばコンラート・ライフ（Ｋｏｎｒａｄ  Ｒｅｉｆ）編による「自動車内のセンサ」（Ｓｅｎｓｏｒｅｎ  ｉｍ  Ｋｒａｆｔｆａｈｒｚｅｕｇ）（２０１０年、第１版、１４６〜１４８ページ）で開示されているような、所謂ホットフィルムエアマスメータ（Ｈｅｉｓｓｆｉｌｍｌｕｆｔｍａｓｓｅｎｍｅｓｓｅｒ）に関して記載される。このようなホットフィルムエアマスメータは通常、流れている流動媒体が流過可能な測定表面又はセンサ領域としてのセンサ膜を例えば有するセンサチップ、特にシリコンセンサチップに基づいている。センサチップは通常、例えばセンサチップの測定表面に配置される少なくとも２つの温度センサ及び少なくとも１つの加熱要素を含み、その際に、１の温度センサは、加熱要素の上流側に置かれ、他の温度センサは、加熱要素の下流側に置かれる。温度センサにより検知可能な温度プロフィールであって、流動媒体の流れに影響を受ける上記温度プロフィールの非対称性から、流動媒体の質量流量及び／又は体積流量を推測することが可能である。
【０００３】
ホットフィルムエアマスメータは、通常、固定的に又は交換可能に流体管路に導入されうる差込みフィーラとして構成される。上記流体管路は、例えば、内燃機関の吸気管路でありうる。
【０００４】
ここでは、媒体の一部の流れが、ホットフィルムエアマスメータの内部に設けられた少なくとも１つの主チャネルを通って流れる。主チャネルの入口と出口との間には、バイパスチャネルが形成される。特にバイパスチャネルは、主チャネルの入口を通って進入した媒体の一部の流れの方向を変向させるための湾曲した区間を有するように形成され、この湾曲した区間は、さらに進むと、センサチップが配置された区間へと移行する。後者の区間は、本来の測定チャネルであり、この中にセンサチップが配置されている。
【０００５】
このようなホットフィルムエアマスメータは、現場では、複数の要件を満たす必要がある。適切な流体動力学的な構成によりホットフィルムエアマスメータ全体の圧力低下を低減するという目標と並んで、主要な課題のうちの１つは、信号品質と、油滴及び水滴、並びに、煤、塵粒、及びそれ以外の固体粒子による汚染に対する上記装置の堅牢性と、をさらに改善することである。上記の信号品質は、例えば、センサチップへと案内する測定チャネルを通る媒体の質量流量、並びに、場合によっては、信号のドリフト（Ｓｉｇｎａｌｄｒｉｆｔ）の低減、及び、信号対雑音比の改善に関連している。その際に、信号のドリフトは、実際に発生する質量流量と、製造時に校正の枠組みにおいて定められた、出力すべき信号と、の間の特性曲線関係の変化という意味における、例えば媒体の質量流量のずれに関する。信号対雑音比を定める際には、時系列において早期に出力された信号が観察されるが、これに対して、特性曲線又は信号のドリフトは平均値の変化に関連している。
【０００６】
上記の形態による従来のホットフィルムエアマスメータでは通常、センサチップが取り付けられ又は導入されているセンサ支持体が、測定チャネルへと突入している。例えば、センサチップは、センサ支持体に貼り付けられ又は貼設されうる。センサ支持体は、例えば、電子部品、（例えば回路基板、特にプリント基板を有する）制御及び評価回路も貼設可能な金属製の底板と共に、１つのユニットを形成することが可能である。例えば、センサ支持体は、電子モジュールの一体成形されたプラスチック部品として構成されうる。センサチップ、並びに、制御及び評価回路は、例えばボンディング結合によって互いに接続されうる。このようにして作成された電子モジュールは、例えば、センサハウジングに張り付けられ、差込みフィーラ全体がカバーで閉鎖されうる。
【０００７】
独国特許出願公開第１０２０１００２０２６４号明細書には、電気的な絶縁効果を発揮するプラスチックから成るハウジングであって、流体チャネルがその内部に形成された上記ハウジングと、当該ハウジング内に配置され、流体チャネル内に流入する空気流量を測定するセンサ要素と、を備えたエアマスメータが記載されている。センサには、センサ要素と接続ピンとを接続する導電路が配置されている。流体チャネルの一部は、静電気散逸特性を有する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
例えば塵粒によるセンサの汚染を回避するための従来技術で公知の方法には、数多くの利点があるが、さらに改善の余地がある。従って例えば、流体を案内する部品であって、コンポーネントの接地線と接続された上記部品のために、導電性プラスチックを使用することは、上記汚染を回避するための可能な措置である。これにより、流体を案内する部品の静電気であって、塵粒によるセンサ要素の汚染のリスクを高める上記静電気を低減することが可能である。しかしながら、センサハウジングの、流体を案内するプラスチック部品と、例えばプリント基板等の電子部品の支持体と、を接合するためには、導電材料から成る追加的な部品が必要であり、センサ装置のコストが上昇することになる。さらに、流体を案内する部品の荷電粒子が離され、これにより、荷電粒子はセンサ要素から隔離されるが、測定チャネル内で優勢の流体に影響を与え、このことが、特に測定チャネルの断面積を変更する可能性がある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
従って、チャネルを貫流する流動媒体の少なくとも１つのパラメータを決定するセンサ構成であって、公知の方法及びストラテジの欠点の少なくとも大部分を回避することが可能であり、流体を案内するプラスチック構成要素と例えばプリント基板等の電子部品の支持体との接合が特に別体の部品が無くでも可能となる上記センサ構成が提案される。電子部品の支持体には、コンポーネントの接地線への接続が形成されうる。
【００１０】
本発明の基本構想は、エアマスセンサチップの領域内の力線を以下のように変更することであり、即ち、塵粒を測定チャネルから隔離することにより、静電気を帯びた塵粒によるセンサ要素の表面への塵の堆積が回避されるように、変更することである。
【００１１】
測定チャネルを貫流する流動媒体の少なくとも１つのパラメータ、特に、内燃機関の吸気質量流量を決定するための本発明に係るセンサは、センサハウジング、即ち特に、流体管路に導入され又は導入可能な差込みフィーラであって、測定チャネルを有するチャネル構造がその内部に形成された上記差込みフィーラと、流動媒体のパラメータを決定するための、測定チャネル内に配置された少なくとも１つのセンサチップと、を備える。センサハウジングは、流動媒体の主流れ方向の方を向いた、チャネル構造への入口と、チャネル構造からの少なくとも１つの出口と、を有する。チャネル構造は、壁部分により画定されている。壁部分は、少なくとも部分的に電気的絶縁特性を有する。センサハウジングの、壁部分に隣接する領域は、導電特性を有する。これにより、センサハウジングの領域内の荷電粒子は、チャネル構造の外に堆積する。
【００１２】
センサハウジングは、チャネル構造が形成された測定チャネルカバーを有しうる。このことによって、センサの製造が簡素化され、センサの構成要素を組み立てる際の製造公差が改善される。
【００１３】
壁部分は、電気絶縁材料で製造されうる。センサハウジングの、壁部分に隣接する領域は、導電材料で製造されうる。
【００１４】
壁部分と、センサハウジングの、壁部分に隣接する領域とは、互いに形状結合されうる。形状結合によって、壁部分に隣接する領域からの壁部分の剥離と、気候上の負荷による、センサの、流体を案内する領域の形状の変化と、が防止される。
【００１５】
電気絶縁材料は、絶縁性プラスチックであり、導電材料は、導電性プラスチックでありうる。これにより、壁部分と、センサハウジングの、壁部分に隣接する領域とは、２構成材料‐射出成形品（２‐Ｋｏｍｐｏｎｅｎｔｅｎ‐Ｓｐｒｉｔｚｇｕｓｓｂａｕｔｅｉｌ）として構成されうる。対応して、コストが安価な製造されうる。
【００１６】
壁部分と、センサハウジングの、壁部分に隣接する領域とは、電気絶縁材料で製造されうる。センサハウジングの、壁部分に隣接する領域は、導電材料で製造される被膜を有しうる。電気絶縁材料は、絶縁性プラスチックでありうる。これにより、先に挙げた所望の効果が、安価な材料を用いて実現される。
【００１７】
代替的に、壁部分と、センサハウジングの、壁部分に隣接する領域とは、導電材料で製造されうる。壁部分は、電気絶縁材料で製造された被膜を有しうる。これにより、上記の所望の効果が、安価な材料によって実現される。
【００１８】
センサハウジングの、壁部分に隣接する領域は、固定の電位と電気的に接続され、特にセンサ接地と電気的に接続されうる。これにより、塵粒から電荷担体が簡単に引き出され、従って、塵粒の簡単な中和が行われる。従って、塵粒がもはやセンサ要素には堆積しない。好適な実施形態において、固定の電位とはセンサ接地である。センサ接地は、エアマスメータにとっては中性的な基準電位であり、及び、レベルシフト（Ｐｏｔｅｎｔｉａｌｖｅｒｓｃｈｉｅｂｕｎｇ）を行わずに、大量の電荷担体を吸収することが可能である。
【００１９】
主流れ方向とは、本発明の枠組みにおいて、センサ又はセンサ構成がある場所での流動媒体の局所的な流れ方向として理解され、その際に例えば、乱流のような不規則性は考慮しないでよい。特に、主流れ方向とは、流れている流動媒体の、局所的な平均的な搬送方向として理解されうる。その際に、平均的な搬送方向とは、時間的に平均して、流動媒体が優勢的に流れる搬送方向である。
【００２０】
本発明での利用のために適した導電性プラスチックは、導電性の成分により実現される。導電性の成分、例えば、ポリマー、繊維、及び／又は導電性カーボンブラック等を含むプラスチックは安価であり、上記の導電性の成分は、簡単にプラスチックに取り入れることが可能である。プラスチックに含まれる導電性繊維として、例えば、金属粒子又はカーボン粒子が適している。
【００２１】
導電性の被膜は、例えば、散逸的な被膜でありうる。例えば、この被膜は、直流電気的な（ｇａｌｖａｎｉｓｃｈ）金属膜として形成されうる。さらに、金属スパッタリング、金属蒸着によって被膜を生成し、又は、導電性ラッカーを用いた被覆加工により被膜を生成することも構想されうる。
【００２２】
射出成形品とは、本発明の枠組みにおいては、射出成形により製造された部品として理解される。射出成形は、主にプラスチック加工において使用される一次成形方法である。その際には、射出成形機によって、各材料が液化されて（可塑化されて）、或る形状へと金型に圧力を掛けて射出される。金型内では、冷却によって又は架橋反応によって材料が再び固体の状態に遷移し、金型を開いた後に完成部品として取り出される。その際には、金型の空隙、キャビティが、完成部品の形状及び表面構造を決定する。
【００２３】
先に記載した射出成形の基本方法は、特別な適用目的のために修正され又は拡張される。従って、複数構成材料‐射出成形（Ｍｅｈｒｋｏｍｐｏｎｅｎｔｅｎ−Ｓｐｒｉｔｚｇｉｅｓｓｅｎ）によって、一作業工程での、様々なプラスチックから成る部品の製造が可能となる。複数構成材料‐射出成形は、２つ以上の様々なプラスチックから成る射出成形品の製造のために役立つ。これにより、様々な材料及びこれにより様々な特性を、合目的的に組み合わせることが可能である。
【００２４】
形状結合とは、本発明の枠組みにおいては、少なくとも２つの結合相手が係合することにより生じる結合として理解される。これにより、力の伝達が行われなくても又は力の伝達が中断された際にも、結合相手同士が外れない。換言すれば、形状結合では、１の結合相手が、他の結合相手にとっては邪魔になる。作業負荷が掛かった際には、圧縮力は通常どおりに作用し、即ち、結合相手の平面に対して直角に作用する。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
本発明の更なる別の任意のユニット及び特徴は、図面に概略的に示される好適な実施例についての以下の明細書の記載から明らかとなろう。
【図１】本発明に係るセンサの斜視図を示す。
【図２】閉鎖されていない状態でのセンサ１０の斜視図を示す。
【図３】第１の実施形態に係るセンサの測定チャネルカバーの斜視図を示す。
【図４】測定チャネルカバーの一部の断面図を示す。
【図５】第２の実施形態に係るセンサの測定チャネルカバーの断面図を示す。
【図６】第３の実施形態に係るセンサの測定チャネルカバーの断面図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
図１は、測定チャネルを貫流する流動媒体のパラメータを決定するための、本発明に係るセンサ１０の斜視図を示している。センサ１０は、本実施例では、ホットフィルムエアマスメータとして構成され、特に、内燃機関の吸気質量流量を検出すること可能である。本実施例では、センサ１０は、差込みフィーラとして構成され、例えば流体管路、特に内燃機関の吸気管路に差し込むことが可能である。センサ１０は、センサハウジング１２を有する。
【００２７】
センサハウジング１２には、チャネル構造１４が形成され、このチャネル構造１４によって、実装された状態において流動媒体の主流れ方向１８の方を向いた入口１６を介して、流動媒体の典型的流量が流れられる。チャネル構造１４は、図１のセンサハウジング１２に関して下側２２で主流体出口２１（図２）に連通しうる主チャネル２０と、主チャネル２０から分岐したバイパスチャネル又は測定チャネル２４と、を有する。バイパスチャネル又は測定チャネル２４は、本実施例では図１の差込みフィーラの図に関して前面又は端面でありうる表面２６に配置された、バイパスチャネル又は測定チャネル２４の出口２８に連通している。しかしながら、出口２８は、例えば下側２２又は表面３０等の、差込みフィーラ１２の他の表面にも配置されうることが明示的に強調される。
【００２８】
図２は、閉鎖されていない状態でのセンサ構成１０の斜視図を示している。従来のホットフィルムエアマスメータの場合のように、片翼の形状によるセンサ支持体３２が、測定チャネル２４に突入している。センサ支持体３２には、センサチップ３４のセンサ領域として構成されたセンサ膜を流動媒体が流過するように、センサチップ３４が埋め込まれている。センサ支持体３２は、センサチップ３４と共に電子モジュール３６の構成要素である。電子モジュール３６は、センサ支持体３２としての折り曲げられた底板と、その上に取り付けられた、例えば貼り付けられたプリント基板３８であって、制御及び評価回路４０を備えた上記プリント基板３８と、を有する。センサ支持体３２は、例えば、プラスチップ部品として底板と一体成形されうる。センサ支持体３２は、例えば射出成形品として底板に射出され、又はプリント基板３８の底板と一体成形されうるが、このセンサ支持体３２には、丸く面取りして形成されうる前縁が設けられうる。センサチップ３４は、ここではワイヤボンディングとして構成可能な電気接続線４２を介して、制御及び評価回路４０と電気的に接続されている。このように得られた電子モジュール３６は、センサハウジング１２の電子回路室４４に導入され、例えば張り付けられる。このことは、センサ支持体３２がチャネル構造１４へと突入するように、行われる。続いて、電子回路室４４は、電子回路室カバー４６（図１）によって閉鎖される。チャネル構造１４は、測定チャネルカバー４８に形成される。
【００２９】
図３は、本発明の第１の実施形態に係る測定チャネルカバー４８の斜視図を示している。チャネル構造１４は、測定チャネルカバー４８に形成されている。図３は、可能な変形例を示しており、ここでは、主チャネル２０と測定チャネル２４とが共に、端面２６に設けられた出口２８に連通している。図３から分かるように、チャネル構造１４は、壁部分５０によって画定されている。従って、壁部分５０が、チャネル構造１４の形状を設定する。壁部分５０には、センサハウジング１２の、厳密には測定チャネルカバー４８の領域５２が隣接している。壁部分５０は、少なくとも部分的に電気的絶縁特性を有する。これに対して、センサハウジング１２の、厳密には測定チャネルカバー４８の、壁部分５０に隣接する領域５２は、導電特性を有する。例えば、測定チャネルカバー４８は、壁部分５０を除いて、以下に詳細に記載するように導電特性を有する。チャネル構造１４は、少なくとも３つの側面で、測定チャネルカバー４８の内部で壁部分５０によって画定されている。上記画定の第４の側面は、センサハウジング１２の下側２２によって実現されうる。下側２２も同じように、導電特性を有しうる。代替的に、下側２２は、チャネル構造１４寄りの部分では、絶縁特性も有しうる。
【００３０】
第１の実施形態では、壁部分５０は電気絶縁材料で製造されている。電気絶縁材料は、絶縁性プラスチックである。センサハウジング１２の、壁部分５０に隣接する領域５２は、導電材料で製造されている。導電材料は、導電性プラスチックである。壁部分５０と、センサハウジング１２の、壁部分５０に隣接する領域５２とは、２構成材料−射出成形品として構成される。換言すれば、測定チャネルカバー４８は、２構成材料−射出成形品として以下のように形成され、即ち、壁部分５０が、電気絶縁材料又はプラスチックで製造され、残りの領域と、特に壁部分５０に隣接する領域５２とが、導電材料又はプラスチックで製造される。
【００３１】
図４は、測定チャネルカバー４８の一部の断面図を示している。任意に及び好適に、壁部分５０と、センサハウジング１２又は測定チャネルカバー４８の、壁部分５０に隣接する領域５２とは、互いに形状結合している。図４では、チャネル構造１４の断面に分散している３つの形状結合箇所５４が例示されている。対応して、壁部分５０は、チャネル構造１４の側壁で、上記隣接する領域５２と形状結合し、及び、チャネル構造１４の上側で、上記隣接する領域５２と形状結合している。
【００３２】
図５は、本発明の第２の実施形態に係る測定チャネルカバー４８の一部の断面図を占めている。以下では、第１の実施形態との相違点についてのみ記載し、同一の構成要素には同一の符号を付す。第２の実施形態に係る測定チャネルカバー４８では、壁部分５０と、センサハウジング１２の、壁５０に隣接する領域５２とは、例えば絶縁性プラスチック等の電気絶縁材料で製造されている。壁部分５０に隣接する領域５２の導電特性を実現するために、センサハウジング１２の、壁部分５０に隣接する領域５２は、導電材料で製造された被膜５６を有する。被膜５６は、測定チャネルカバー４８の外側５８に成膜され、従って、測定チャネルカバー４８の、チャネル構造１４とは反対の側に成膜される。被膜５６の導電材料は例えば金属であり、スパッタ法によって外側５８に塗布される。例えば、測定チャネルカバー４８は完全に電気絶縁材料で製造されており、外側５８に、被膜５６が設けられる。
【００３３】
図６は、本発明の第３の実施形態に係る測定チャネルカバー４８の一部の断面図を示している。以下では、第１の実施形態との相違点についてのみ記載し、同一の構成要素には同一の符号を付す。第２の実施形態に係る測定チャネルカバー４８では、壁部分５０と、センサハウジング１２の、壁５０に隣接する領域５２とは、例えば導電性プラスチック等の導電材料で製造されている。壁部分５０の絶縁特性を実現するために、センサハウジング１２の壁部分５０は、電気絶縁材料で製造された被膜６０を有する。被膜６０は、チャネル構造１４の方を向いた、測定チャネルカバー４８の内側６２に成膜される。被膜６０の電気絶縁材料は、例えば絶縁性プラスチックであり、溶射被覆により内側６２に塗布される。例えば、測定チャネルカバー４８は完全に導電性プラスチックで製造され、チャネル構造１４の方を向いた内側６２に、被膜６０が設けられる。
【００３４】
先に記載した全ての実施形態において、センサハウジング１２の、壁部分５０に隣接する領域５２は、固定の電位と電気的に接続されている。固定の電位は、好適にセンサ接地である。
【図１】
2017211384.tif 000003
【図２】
2017211384.tif 000004
【図３】
2017211384.tif 000005
【図４】
2017211384.tif 000006
【図５】
2017211384.tif 000007
【図６】
2017211384.tif 000008
【手続補正書】
【提出日】平成29年6月30日(2017.6.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定チャネル（２４）を貫流する流動媒体の少なくとも１つのパラメータを決定するためのセンサ（１０）であって、前記センサ（１０）は、センサハウジング（１２）と、前記流動媒体の前記パラメータを決定するための、前記測定チャネル（２４）内に配置された少なくとも１つのセンサチップ（３４）と、を有し、前記センサハウジング（１２）は、前記流動媒体の主流れ方向（１８）の方を向いた、前記チャネル構造（１４）への入口（１６）と、前記チャネル構造（１４）からの少なくとも１つの出口（２８）と、を有し、前記チャネル構造（１４）は、壁部分（５０）により画定される、前記センサ（１０）において、
前記壁部分（５０）は、少なくとも部分的に電気的絶縁特性を有し、前記センサハウジング（１２）の、前記壁部分（５０）に隣接する領域（５２）は、導電特性を有することを特徴とする、センサ（１０）。
【請求項２】
前記センサハウジング（１２）は、測定チャネルカバー（４８）を有し、前記チャネル構造（１４）は、前記測定チャネルカバー（４８）に形成される、請求項１に記載のセンサ（１０）。
【請求項３】
前記壁部分（５０）は、電気絶縁材料で製造され、前記センサハウジング（１２）の、前記壁部分（５０）に隣接する前記領域（５２）は、導電材料で製造される、請求項１又又は２に記載のセンサ（１０）。
【請求項４】
前記壁部分（５０）と、前記センサハウジング（１２）の、前記壁部分（５０）に隣接する前記領域（５２）とは、互いに形状結合している、請求項３に記載のセンサ（１０）。
【請求項５】
前記電気絶縁材料は、絶縁性プラスチックであり、前記導電材料は、導電性プラスチックである、請求項３又は４に記載のセンサ（１０）。
【請求項６】
前記壁部分（５０）と、前記センサハウジング（１２）の、前記壁部分（５０）に隣接する前記領域（５２）とは、２構成材料‐射出成形品として構成される、請求項５に記載のセンサ（１０）。
【請求項７】
前記壁部分（５０）と、前記センサハウジング（１２）の、前記壁部分（５０）に隣接する前記領域（５２）とは、電気絶縁材料で製造され、前記センサハウジング（１２）の、前記壁部分（５０）に隣接する前記領域（５２）は被膜（５６）を有し、前記被膜（５６）は、導電材料で製造される、請求項１又は２に記載のセンサ（１０）。
【請求項８】
前記電気絶縁材料は、絶縁性プラスチックである、請求項７に記載のセンサ（１０）。
【請求項９】
前記壁部分（５０）と、前記センサハウジング（１２）の、前記壁部分（５０）に隣接する前記領域（５２）とは、導電材料で製造され、前記壁部分は被膜（６０）を有し、前記被膜（６０）は、電気絶縁材料で製造される、請求項１又は２に記載のセンサ（１０）。
【請求項１０】
前記センサハウジング（１２）の、前記壁部分（５０）に隣接する前記領域（５２）は、固定の電位と電気的に接続される、請求項１〜９のいずれか１項に記載のセンサ（１０）。
【請求項１１】
前記壁部分（５０）に隣接する前記領域（５２）は、センサ接地と電気的に接続される、請求項１０に記載のセンサ（１０）。
【請求項１２】
内燃機関の吸気質量流量を決定するための、請求項１〜１１のいずれか１項に記載のセンサ（１０）。
【請求項１３】
前記センサハウジング（１２）は、流体管路に導入され又は導入可能な差込みフィーラであって、前記測定チャネル（２４）を有するチャネル構造（１４）がその内部に形成された前記差込みフィーラである、請求項１〜１２のいずれか１項に記載のセンサ（１０）。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
図６は、本発明の第３の実施形態に係る測定チャネルカバー４８の一部の断面図を示している。以下では、第１の実施形態との相違点についてのみ記載し、同一の構成要素には同一の符号を付す。第３の実施形態に係る測定チャネルカバー４８では、壁部分５０と、センサハウジング１２の、壁５０に隣接する領域５２とは、例えば導電性プラスチック等の導電材料で製造されている。壁部分５０の絶縁特性を実現するために、センサハウジング１２の壁部分５０は、電気絶縁材料で製造された被膜６０を有する。被膜６０は、チャネル構造１４の方を向いた、測定チャネルカバー４８の内側６２に成膜される。被膜６０の電気絶縁材料は、例えば絶縁性プラスチックであり、溶射被覆により内側６２に塗布される。例えば、測定チャネルカバー４８は完全に導電性プラスチックで製造され、チャネル構造１４の方を向いた内側６２に、被膜６０が設けられる。
【外国語明細書】
2017211384000001.pdf