(57)【要約】【課題】  特許文献１の除塵装置を改良し、より効果的な除塵を実現する【解決手段】  除塵装置は、ケーシング（１１０）内で、ワーク（Ｗ）表面に略平行に延在し、かつ前記表面に対して相対的に移動するエアブローパイプから、相対的移動方向に対して斜め方向の、ワーク（Ｗ）表面に向かう方向にエアを吐出し、エアブローパイプと略平行に延在し、内部が負圧のダクトで、エアブローパイプから吐出されたエアによって吹き払われた異物を回収する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
端面に対して充分大きな面積の表面を持つ略平面状被除塵物体（以下、ワークという。）のための除塵装置において、
前記ワークの前記表面に略平行に延在し、かつ前記表面に対して相対的に移動するエアブローパイプであって、前記相対的移動方向に対して傾斜した横方向であり、かつ前記表面に向かう方向に、エアを吐出するエアブローノズルを備えたエアブローパイプと、
前記エアブローパイプと略平行に延在し、内部が負圧のダクトであって、前記エアブローパイプから吐出されたエアによって吹き払われた異物を負圧によって回収するように前記ワークに向かって開口するダクトと、
を備えた除塵装置。
【請求項２】
前記表面に対する相対的な移動に関して、前記エアブローパイプに後続するように、前記エアブローパイプの近傍で、前記エアブローパイプに略平行に延在するイオナイザをさらに有することを特徴とする請求項１記載の除塵装置。
【請求項３】
前記イオナイザの近傍で、前記表面に対する相対的な移動に関して、前記イオナイザに後続するように、前記イオナイザに略平行に延在するとともに、前記イオナイザに清浄エアを供給する清浄エア供給フードをさらに有することを特徴とする請求項２記載の除塵装置。
【請求項４】
前記エアブローパイプから吐出されたエアによって吹き払われた異物を吸引して、異物を除去し、かつ異物が除去されたエアを排出する集塵機をさらに備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の除塵装置。
【請求項５】
前記エアブローパイプから吐出するエアを、前記エアブローパイプに供給する送風機をさらに備え、前記集塵機から排出されたエアは、前記送風機に供給されることを特徴とする請求項４記載の除塵装置。
【請求項６】
前記表面に対する相対的な移動に関して、前記エアブローパイプに先行する部分から外気を取り込み、前記エアブローパイプに後続する部分から清浄エアを排出することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の除塵装置。
【請求項７】
前記エアブローパイプから吐出されたエアが衝突する前記ワーク表面の位置から、１０ｍｍ以内の距離で、前記ワーク表面に超音波を照射、超音波照射装置をさらに備えることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の除塵装置。
【請求項８】
相前後するワークの間隙の位置で、前記エアブローパイプから吐出されたエアを前記ダクトの方向に案内するエア回収受け皿がさらに設けられたことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の除塵装置。
【請求項９】
前記エア回収受け皿は、前記相対的な移動の方向に対して略直行する方向に延在し、前記エア回収受け皿内には、前記エア回収受け皿の延在方向のエアの流れを前記ダクトの方向に案内する仕切がさらに設けられたことを特徴とする請求項８記載の除塵装置。
【請求項１０】
前記除塵装置は固定され、前記ワークは除塵装置に対して直線的に搬送されることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の除塵装置。
【請求項１１】
前記ワークに対して前記除塵装置を移動させる移動装置がさらに設けられていることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の除塵装置。
【請求項１２】
ワークを移動可能に支持するワーク支持ローラが、エア回収受け皿内に設けられたことを特徴とする請求項８乃至１０のいずれか１項に記載の除塵装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、端面に対して充分大きな面積の表面を持つ略平面状被除塵物体（以下、ワークという。）のための除塵装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、このようなワークに対する除塵装置は、ワークが流れてくる方向（上流方向）、あるいは流れ去る方向（下流方向）にエアブローして異物を吹払い、吹払った異物を平面物体の上部に開口した負圧で吸引、回収していた。しかし、エアブローにより吹払った異物と空気は平面物体から離れて上空方向へ跳ね上がることができないため、上方から吸引、回収することは難しかった。そのため、上流に吹き払った異物は、累積的に蓄積し、やがては、エアブローをすり抜けて除塵処理後のワーク表面に再付着した。
また、異物を下流へ吹き払った場合も、上方に回収できず、ワーク表面に再付着することが多かった。
【０００３】
本願発明者は、特許文献１の横方向除塵装置を開発、提案した。この除塵装置は、ワーク表面に平行に、表面の片側から横方向にエアブローし、異物を横方向に吹き払うものである。
これによって従来のように、吹き上げられた異物がワーク表面に再付着するという問題は大幅に解消された。
しかし、ワークが適用される製品の品質向上の要求は高く、さらなる除塵効果が望まれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１６−３６７５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、このような要求にこたえるべく創案されたもので、特許文献１の除塵装置を改良し、より効果的な除塵を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、請求項１記載の除塵装置は、端面に対して充分大きな面積の表面を持つ略平面状被除塵物体（以下、ワークという。）のための除塵装置であって、前記ワークの前記表面に略平行に延在し、かつ前記表面に対して相対的に移動するエアブローパイプであって、前記相対的移動方向に対して傾斜した横方向であり、かつ前記表面に向かう方向に、エアを吐出するエアブローノズルを備えたエアブローパイプと、前記エアブローパイプと略平行に延在し、内部が負圧のダクトであって、前記エアブローパイプから吐出されたエアによって吹き払われた異物を負圧によって回収するように前記ワークに向かって開口するダクトとを備える。
これによって、吹き払われた異物を効率的に回収できる。
【０００７】
請求項２記載の除塵装置は、前記表面に対する相対的な移動に関して、前記エアブローパイプに後続するように、前記エアブローパイプの近傍で、前記エアブローパイプに略平行に延在するイオナイザをさらに有する。イオナイザはワークの静電気を除去して、異物をワークから除去し易くするとともに、異物のワークへの再付着を防止し得る。
【０００８】
請求項３記載の除塵装置は、前記イオナイザの近傍で、前記表面に対する相対的な移動に関して、前記イオナイザに後続するように、前記イオナイザに略平行に延在するとともに、前記イオナイザに清浄エアを供給する清浄エア供給フードをさらに有する。これによって、前記イオナイザから放出されるイオンを含んだ空気（エア）と除塵装置から排出されるエアはほぼ完全に浄化されたものとなる。
【０００９】
請求項４記載の除塵装置は、前記エアブローパイプから吐出されたエアによって吹き払われた異物を吸引して、異物を除去し、かつ異物が除去されたエアを排出する集塵機をさらに備える。これによって、集塵装置からの排気が周囲の異物を舞い上げて環境を破壊することを防止し得る。
【００１０】
請求項５記載の除塵装置は、前記エアブローパイプから吐出するエアを、前記エアブローパイプに供給する送風機をさらに備え、前記集塵機から排出されたエアは、大部分前記送風機に供給される。これによって、循環する外気を効率的に活用した除塵が可能であり、除塵のためのエア供給、環境汚染を最小限に抑え得る。
【００１１】
請求項６記載の除塵装置は、前記表面に対する相対的な移動に関して、前記エアブローパイプに先行する部分から外気を取り込み、前記エアブローパイプに後続する部分から清浄エアを排出する。これによって、除塵処理後のワークに対する異物の再付着を防止し得る。
【００１２】
請求項７記載の除塵装置は、前記エアブローパイプから吐出されたエアが衝突する前記ワーク表面の位置から、１０ｍｍ以内の距離で、前記ワーク表面に超音波を照射、超音波照射装置をさらに備える。これによって、異物のワークからの離脱の効率が高まる。
【００１３】
請求項８記載の除塵装置は、相前後するワークの間隙の位置で、前記エアブローパイプから吐出されたエアを前記ダクトの方向に案内するエア回収受け皿がさらに設けられる。これによって、除塵装置からの無用なエア漏出を抑制でき、エア効率を高め得るとともに、環境汚染を最小限に抑え得る。
【００１４】
請求項９記載の除塵装置は、前記エア回収受け皿は、前記相対的な移動の方向に対して略直行する方向に延在し、前記エア回収受け皿内には、前記エア回収受け皿の延在方向のエアの流れを前記ダクトの方向に案内する仕切がさらに設けられる。これによって、エアの回収効率をさらに高めることができる。
【００１５】
請求項１０記載の除塵装置は固定され、前記ワークは除塵装置に対して直線的に搬送される。これによって、工場等の一定位置で除塵処理を実行でき、除塵処理の作業環境を最適化し得る。
【００１６】
請求項１１の除塵装置は、前記ワークに対して前記除塵装置を移動させる移動装置がさらに設けられる。これによって大重量のワーク、極めて大きいワーク等、除塵のための移動操作が容易でないワークの除塵が可能である。
【００１７】
請求項１２の除塵装置は、ワークを移動可能に支持するワーク支持ローラが、エア回収受け皿内に設けられる。これによって、エア回収受け皿が、ワーク移動のための支持装置を兼ねることになり、薄手の素材よりなるワーク等の垂れ下りを防止できる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は、特許文献１の除塵装置を改良し、特許文献１の除塵装置を改良し、より効果的な除塵を実現し得る。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係る除塵装置の実施例１を示す縦断面図である。
【図２】図１の除塵装置の全体構成を示すブロック図である。
【図３】図１の除塵装置におけるエアブロ−パイプを示す斜視図である。
【図４】本発明に係る除塵装置の実施例２を示す縦断面図である。
【図５】本発明に係る除塵装置の実施例３を示す縦断面図である。
【図６】図５の除塵装置の全体構成を示すブロック図である。
【図７】本発明に係る除塵装置の実施例４を示す縦断面図である。
【図８】図７の除塵装置の全体構成を示すブロック図である。
【図９】図７の除塵装置における異物回収カップを示す斜視図である。
【図１０】本発明に係る除塵装置の実施例５を示す縦断面図である。
【図１１】本発明に係る除塵装置の実施例６を示す縦断面図である。
【図１２】本発明に係る除塵装置の実施例７における空吹きエア回収受け皿を示す正面図である。
【図１３】図１２の縦断面図である。
【図１４】本発明に係る除塵装置の実施例８における空吹きエア回収受け皿を示す正面図である。
【図１５】図１４の縦断面図である。
【図１６】本発明に係る除塵装置の実施例９を概念的に示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
【実施例】
【００２１】
次に、本発明に係る除塵装置の実施例１を、図１〜図３を参照しつつ説明する。
（実施例１）
図１に示すように、除塵装置１００はケーシング１１０内に、エアブローパイプ１２０およびダクト１３０を備え、略平面状被除塵物体（ワーク）Ｗの上方に配置されている。
図１では、除塵装置１００は一定位置に固定され、ワークＷは除塵装置１００に対して水平に、図１の右方向（矢印Ｄ１）に搬送されて、その表面が順次除塵される。ワークＷとしては、平板、シート、フィルム等、端面に対して充分大きな面積の表面を持つ多様な略平面状被除塵物体が対象となる。また、図１では、除塵装置１００を固定し、ワークＷを搬送しているが、ワークＷを固定し、除塵装置１００をワークＷに対して移動させても、ワークＷの全面の除塵処理が可能である。
【００２２】
エアブローパイプ１２０はケーシング１１０の下部に収納され、ワークＷに近接配置される。エアブローパイプ１２０は、ワークＷの搬送方向Ｄ１に直行する水平方向に、ワークＷの全幅に渡って延在しており、その下部には、方向Ｄ１の反対方向で、Ｄ１に対して傾斜した方向にエアを吐出するエアブローノズル１２２が穿設されている（図１、図３）。
【００２３】
エアブローノズル１２２のエア吐出方向は、方向Ｄ１に対して傾斜した横方向であり、かつワークＷ表面に向かう方向に、エアを吐出するので、そのエアブローは異物ＤＴをワークＷの横方向に吹き払うことになり、ワークＷ上、あるいは上方に滞留させることはなく、異物ＤＴはワークＷに再付着しない。
【００２４】
ダクト１３０は、ケーシング１１０における方向Ｄ１の反対がわの端部上部、すなわち除塵装置１００の方向に進行してくるワークＷに向かって前部上部に形成され、内部の負圧により、メッシュ板１３２を介して異物ＤＴを回収する。異物ＤＴは、エアブロー等で吹き上げられる可能性もあるが、その際には、異物ＤＴは直ちにダクト１３０内に回収される。
【００２５】
図２に示すように、除塵装置１００は、集塵機１８０、送風機１９０を備え、ダクト１３０は集塵機１８０の吸い込み側に接続されて、内部が負圧に設定されている。集塵機１８０の排出側はタンク２００を介して、送風機１９０の吸い込み側に接続され、送風機１９０の吐出側はエアブローパイプ１２０に接続されている。
【００２６】
ダクト１３０で回収された異物ＤＴを含むエアは集塵機１８０でろ過され、清浄化されたエアがタンク２００に送給される。送風機１９０は、タンク２００内の清浄エアをさらに昇圧してエアブローパイプ１２０に送給し、エアブローパイプ１２０は清浄エアを、充分な高圧、容量で吐出し得る。
【００２７】
以上の構成により、実施例１は、吹き払われた異物ＤＴを効率的に回収できる。
【００２８】
（実施例２）
次に、実施例２を、図４を参照しつつ説明する。なお、図中、実施例１と同一もしくは相当部分には同一符号を付し、説明を省略する。
【００２９】
実施例２は、実施例１の構成に加え、イオナイザ１５０を備える。イオナイザ１５０は、エアブローパイプ１２０のＤ１側、すなわち進行してくるワークＷに向かって後側に、エアブローパイプ１２０と平行し、ワークＷの全幅に渡って延在する。イオナイザ１５０は、ワークＷの静電気を除去し、異物ＤＴのワークＷから離脱を容易にするとともに、ダクト１３０で回収されずに残留した異物ＤＴのワークＷへの再付着を防止する。
【００３０】
ダクト１３０は、ケーシング１１０内で、エアブローパイプ１２０およびイオナイザ１５０より上の全空間を占めている。ダクト１３０の下面は、エアブローパイプ１２０より前（Ｄ１の反対）の部分にメッシュ板１３２が設けられて、吸気可能である。一方、後（Ｄ１方向）の部分が仕切板１４４によって塞がれ、ダクト１３０内のエアの下方への逆流が防止されている。
【００３１】
以上の構成により、実施例２は、異物ＤＴの集塵効率を高める。
【００３２】
（実施例３）
次に、実施例３を、図５、図６を参照しつつ説明する。なお、図中、実施例１、２と同一もしくは相当部分には同一符号を付し、説明を省略する。
【００３３】
実施例３は、実施例２の構成に加え、清浄エア供給フード１４０を備える。
図５に示すように、清浄エア供給フード１４０は、イオナイザ１５０の上方に形成され、その下部には、イオナイザ１５０のＤ１方向（後方）近傍に、清浄エアを供給するスリット１４２が設けられている。清浄エアはスリット１４２から下方に吐出され、ケーシング１１０内のＤ１側端部の空間が清浄エアで満たされる。これによって、ダクト１３０で回収されなかった残留異物ＤＴがケーシング１１０からＤ１方向に漏出する可能性が低減する。さらに、清浄エアの一部はＤ１の反対方向に、ケーシング１１０内を流れ残留異物ＤＴをダクト１３０に導く。清浄エア供給フード１４０は、方向Ｄ１に関して、イオナイザ１５０の後方に清浄エアを供給し、イオナイザ１５０に後続する位置に清浄エアを供給する。
（清浄エア供給フード１４０の位置はイオナイザ１５０の後方とはいえないようですので、このような表現にしてみました。）
【００３４】
図６に示すように、清浄エア供給フード１４０はタンク２００に接続され、タンク２００から清浄エアが供給される。これによって、清浄エア供給フード１４０より安定した圧力、容量の清浄エアをケーシング１１０内へ送給し得る。
【００３５】
以上の構成により、実施例３は、異物ＤＴの集塵効率を高める。
【００３６】
（実施例４）
次に、実施例４を、図７〜図９を参照しつつ説明する。なお、図中、実施例１と同一もしくは相当部分には同一符号を付し、説明を省略する。
【００３７】
実施例４は、実施例１の構成に加え、異物回収カップ１７０を備える。
エアブローノズル１２２の傾斜方向は、Ｄ１の反対方向に向かって横に傾いた方向であるが、図７、図９に示すように、ケーシング１１０における、Ｄ１の反対方向に向かって左側（ここはいずれの側面かを示したほうがよろしいかと存じます。）の側面には、異物回収カップ１７０が装着されている。
【００３８】
異物回収カップ１７０は負圧で、異物ＤＴを吸引、回収するもので、エアブローパイプ１２０によって左側に吹き払われた異物ＤＴは、直ちに、ケーシング１１０側面の異物回収カップ１７０によって回収される。
【００３９】
図８に示すように、異物回収カップ１７０は集塵機１８０の吸い込み側に接続され、内部が負圧に設定されている。従って、異物回収カップ１７０で回収された、異物ＤＴを含むエアは集塵機１８０で除塵される。
【００４０】
実施例４は、ダクト１３０と異物回収カップ１７０の協働により、異物ＤＴを強力かつ効率的に回収する。
【００４１】
（実施例５）
次に、実施例５を、図１０を参照しつつ説明する。なお、図中、実施例１〜３と同一もしくは相当部分には同一符号を付し、説明を省略する。
【００４２】
実施例５は、実施例３の構成に加え、超音波照射端子１６０を備える。
図１０に示すように、超音波照射端子１６０は、超音波発生装置（図示省略）に接続され、ワークＷに超音波を照射し、超音波振動によって異物ＤＴの離脱を促す。この異物離脱効果を高めるために、超音波照射端子１６０は、エアブローノズル１２２からのエアブローがワークＷに衝突する位置（以下、「衝突位置」という。）の近傍に超音波を照射する必要があり、通常、衝突位置から１０ｍｍ以内の位置とされる。
【００４３】
（実施例６）
次に、実施例６を、図１１を参照しつつ説明する。なお、図中、実施例１〜３と同一もしくは相当部分には同一符号を付し、説明を省略する。
【００４４】
図１１に示すように、ワークＷはローラーコンベア２１０によって搬送され、エアブローのワークＷへの「衝突位置」で、隣接ローラ２１２、２１２の間に、エアブローを受け止める空吹きエア回収受け皿２２０が設けられている。空吹きエア回収受け皿２２０はＤ１方向に対して直行する水平方向に、ワークＷの全幅に渡って延在し、上方に向かって開くＶ字状の断面を有する。すなわち、エア回収受け皿２２０はワークＷ全幅で、そのＶ溝２２２により、エアを受け止める。なお、空吹きエア回収受け皿２２０の断面形状はＶ字状に限定されるものではなく、Ｕ字状、台形状等、エアを受け止め得る任意の形状を採用し得る。
【００４５】
複数のワークＷが順次ローラーコンベアによって搬送され、相前後するワークＷの間に間隙が生じることがあるが、仮に、ローラ２１２、２１２間で、エアブローが床面に向かって噴射（空吹き）されれば、エアブローが工場内に広がり、床の塵埃を巻き上げ、巻き上げた塵埃をワークＷに再付着させる可能性等、種々の問題を生じさせる。
空吹きエア回収受け皿２２０はＶ溝２２２によって、ローラ２１２、２１２間の衝突位置で、エアブローを受け止めるので、エアブローの広がりを防止し、前記の問題を解消する。また、空吹きエア回収受け皿２２０はエアブローのエアを上方に案内する効果もあり、エアは大部分ダクト１３０に導かれる。
【００４６】
実施例６は、ワークＷの間隙で生じる空吹きを受け止め、これによる種々の悪影響が生じることを防止する。
【００４７】
（実施例７）
次に、実施例７を、図１２、図１３を参照しつつ説明する。なお、図中、実施例６と同一もしくは相当部分には同一符号を付し、説明を省略する。
【００４８】
図１２、図１３に示すように、実施例６と同様に形成された空吹きエア回収受け皿２２０におけるＶ溝２２２の上部に、ワークＷの搬送方向（Ｄ１）に転動自在な車輪２３０が複数配列され、その上端面はワークＷの底面を支持し得る高さに設定されている。
ワークＷの搬送方向先端が空吹きエア回収受け皿２２０上に到達したときに、ワークＷは車輪２３０によって進行自在に支持される。これによって、ワークＷの先端の垂れ下りが抑制され、空吹きエア回収受け皿２２０への衝突が防止される。
【００４９】
さらに、車輪２３０は、空吹きエア回収受け皿２２０内（Ｖ溝内）を、その延在方向に流れるエア流を抑制する。車輪２３０の抑制効果がないとすると、空吹きエア回収受け皿２２０に流入したエアがケーシング１１０から漏出する可能性がる。漏出したエアは、集塵装置１００の周囲に広がり、異物が飛散する。
異物回収カップ１７０（実施例４）は、このような空吹きエア回収受け皿２２０内のエア流が流入する位置にあり、エア漏出防止に極めて有効である。
すなわち、車輪２３０は、異物回収カップ１７０との協働により、エアの漏出を効果的に防止する。
【００５０】
実施例７は、相前後するワークＷの安定に支持の間隙で生じる空吹きを受け止め、これによる種々の悪影響を阻止する。
【００５１】
（実施例８）
次に、実施例８を、図１４、図１５を参照しつつ説明する。なお、図中、実施例６と同一もしくは相当部分には同一符号を付し、説明を省略する。
【００５２】
図１４、図１５に示すように、実施例６と同様に形成された空吹きエア回収受け皿２２０におけるＶ溝２２２の底部に、ワークＷの搬送方向（Ｄ１）に沿う仕切板２４０が設けられている。仕切板２４０は空吹きエア回収受け皿２２０の延在方向に略等間隔で配列され、空吹きエア回収受け皿２２０全長に渡って、Ｖ溝２２２延在方向のエア流を抑制しつつ、Ｖ溝２２２外にエアを排出する。仕切板２４０の高さは、Ｖ溝２２２の深さの１／２程度であり、Ｖ溝２２２の上端にまで至っておらず、エア流は仕切板２４０を乗り越えることができる。これによって、エア流流量、エア排出量が適正に調節され、ダクト１３０や異物回収カップ１７０で効果的に回収される。
【００５３】
実施例８は、相前後するワークＷの間隙で生じる空吹きを受け止め、これによる種々の悪影響を阻止できる。
【００５４】
（実施例９）
次に、実施例９を、図１６を参照しつつ説明する。なお、図中、実施例１〜３と同一もしくは相当部分には同一符号を付し、説明を省略する。
【００５５】
実施例９は、固定されたワークＷに対して、除塵装置１００を移動するものであり、ワーク搬送装置が設けられていない環境、ワークが大重量や脆弱な場合、さらには極めて大きい場合等、搬送に適さないとき、除塵装置１００を移動する必要が生じることがある。
【００５６】
図１６に示すように、除塵装置１００はケーシング１１０に走行装置２５０が設けられ、実施例３と同様に、ケーシング１１０内に、ダクト１３０、異物回収カップ１７０、清浄エア供給フード１４０が形成されるとともに、エアブローパイプ１２０、イオナイザ１５０が設けられている。
【００５７】
ケーシング１１０の上面には、集塵機１８０、送風機１９０、タンク２００が設置され、エアブローパイプ１２０は配管２６０を介して送風機１９０に接続されている。ダクト１３０及び異物回収カップ１７０は配管２７０を介して集塵機１８０に接続され、清浄エア供給フード１４０は配管２８０を介してタンク２００に接続されている。
【００５８】
集塵機１８０と送風機１９０のセットは、集塵装置１００に必要な除塵と、送風の機能をクローズドシステムとして実現でき、移動可能な集塵装置１００を容易に実現し得る。さらに、タンク２００は送風エアの圧力、容量を安定化でき、清浄エア供給フード１４０のような比較的低圧の用途にも適用できる。
【００５９】
実施例９は、固定されたワークＷに対しても除塵処理を実行し得る。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
以上の実施例では、ワークＷと除塵装置の相対移動方向は略水平であったが、上下方向に傾斜した方向、上下方向等、多様な方向の相対移動方向に対して、本発明を適用し得ることはいうまでもない。
【符号の説明】
【００６１】
１００  除塵装置
１１０  ケーシング
１２０  エアブローパイプ
１２２  エアブローノズル
１３０  ダクト
１３２  メッシュ板
１４０  清浄エア供給フード
１４２  スリット
１４４  仕切板
１５０  イオナイザ
１６０  超音波照射端子
１７０  異物回収カップ
１８０  集塵機
１９０  送風機
２００  タンク
２１０  ローラーコンベア
２１２  ローラーコンベア
２２０  空吹きエア回収受け皿
２３０  車輪
２４０  仕切板
２５０  走行装置
２６０、２７０、２８０  配管
Ｄ１    搬送方向
ＤＴ    異物
Ｗ      ワーク
【図１】
2017202441.tif 000003
【図２】
2017202441.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2017202441.tif 000008
【図７】
2017202441.tif 000009
【図８】
2017202441.tif 000010
【図９】
2017202441.tif 000011
【図１０】
2017202441.tif 000012
【図１１】
2017202441.tif 000013
【図１２】
2017202441.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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