(57)【要約】【課題】集塵効率を向上させる等のために、超音波を用いる集塵装置であって複数の振動子により生じる超音波の相互干渉を抑制し得る集塵装置を提供する。【解決手段】微粒子を含む空気における微粒子を凝集する集塵装置１０は、相対向する振動板６１及び反射板６２と、振動板６１と反射板６２との間に定在波５を発生させるように、振動板６１の第１部分を超音波により振動させる第１超音波発信器１１０と、振動板６１の第１部分以外の部分における反射板側の面に配置された吸音材７０ａ、７０ｂ等とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
微粒子を含む空気における微粒子を凝集する集塵装置であって、
相対向する振動板及び反射板と、
前記振動板と前記反射板との間に定在波を発生させるように、前記振動板の第１部分を超音波により振動させる第１超音波発信器と、
前記振動板の前記第１部分以外の部分における前記反射板側の面に配置された吸音材とを備える
集塵装置。
【請求項２】
前記集塵装置は更に、前記振動板と前記反射板との間に更なる定在波を発生させるように、前記振動板における、前記第１部分と離れた第２部分を、超音波により振動させる第２超音波発信器を備え、
前記吸音材は、前記振動板の前記第１部分と前記第２部分との間の部分における前記反射板側の面に配置される
請求項１記載の集塵装置。
【請求項３】
前記集塵装置は更に、前記振動板の前記第１部分に接続した第１共鳴体と前記第２部分に接続した第２共鳴体とを備え、
前記第１超音波発信器は、超音波により前記第１共鳴体を介して前記振動板の前記第１部分を振動させ、
前記第２超音波発信器は、超音波により前記第２共鳴体を介して前記振動板の前記第２部分を振動させ、
前記吸音材は、前記振動板において前記第１共鳴体及び前記第２共鳴体の各接続部分を除いて前記反射板側の面に配置される
請求項２記載の集塵装置。
【請求項４】
前記吸音材は、板状であり、前記振動板に重ねて配置される
請求項１〜３のいずれか一項に記載の集塵装置。
【請求項５】
前記吸音材は、表面に凹凸を有する
請求項１〜４のいずれか一項に記載の集塵装置。
【請求項６】
前記吸音材は、ウレタン系樹脂材料を含む
請求項１〜５のいずれか一項に記載の集塵装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空気中の微粒子を集める集塵装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、集塵装置として、含塵気流（微粒子を含んだ空気の流れ）の流路に放電電極を設けることで、含塵気流の流れを滞らせることなく、微粒子を帯電させて、帯電した微粒子の凝集により、集塵効率を向上させる技術が知られている（特許文献１参照）。また、塵埃の集塵に必要な音圧レベルの超音波を放射するために複数個の超音波発生素子で発生した超音波を変調波に重畳させて放射する技術が知られている（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２３４１２号公報
【特許文献２】国際公開第２０１０／０２９７８２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に係る集塵装置では、含塵気流の流路において電極の付近を流れる微粒子のみが帯電され、電極から離れたところを流れる微粒子が帯電されない。また、集塵に超音波を利用すべく特許文献２に係る技術を用いても、複数の超音波発生素子（超音波振動子）それぞれの発する超音波の干渉が生じて、有効に超音波が放射できない。
【０００５】
そこで、本発明は、微粒子を管内の電極の付近に流れ易くして集塵効率を向上させる等のために、超音波を用いる集塵装置であって複数の振動子により生じる超音波の相互干渉を抑制し得る集塵装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために本発明の一態様に係る集塵装置は、微粒子を含む空気における微粒子を凝集する集塵装置であって、相対向する振動板及び反射板と、前記振動板と前記反射板との間に定在波を発生させるように、前記振動板の第１部分を超音波により振動させる第１超音波発信器と、前記振動板の前記第１部分以外の部分における前記反射板側の面に配置された吸音材とを備える。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、超音波の相互干渉を抑制でき、適切に超音波により定在波を発生させ得る。このため、定在波により、例えば微粒子を電極の付近に流れ易くして集塵効率を向上させ得る。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施の形態１に係る集塵装置の構成図である。
【図２】実施の形態１に係る振動板に配置された吸音材と、振動子（超音波振動子）及び共鳴体（増幅ホーン）との位置関係の一例を示す図である。
【図３】実施の形態１に係る集塵装置の角管（ダクト）における吸音材と、振動子及び共鳴体との位置関係の一例を示す図である。
【図４】実施の形態２に係る集塵装置の円管（ダクト）における吸音材と、振動子及び共鳴体との位置関係の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで示す実施の形態は、いずれも本発明の一具体例を示すものである。従って、以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置及び接続形態等は、一例であって本発明を限定するものではない。以下の実施の形態における構成要素のうち、独立請求項に記載されていない構成要素については、任意に付加可能な構成要素である。また、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。
【００１０】
（実施の形態１）
以下、本発明の一実施形態に係る集塵装置１０について説明する。
【００１１】
集塵装置１０は、微粒子（塵埃等）を含む空気中のその微粒子の凝集等を行う装置である。集塵装置１０は、電気集塵装置において超音波による空気の振動を用いて微粒子の凝集を行い、例えば、電気掃除機、空気清浄機等の全体又は一部を構成し得る。微粒子（塵埃等）は、例えば、粉粒体、化合物の集合体、分子、原子、粒子状物質（ＰＭ：Particulate Matter）等である。
【００１２】
図１は、実施の形態１に係る集塵装置１０の概略的な構成図である。集塵装置１０は、管（ダクト）６０と、気流形成部５０と、フィルタ４０と、高圧電源３０と、正電極３１と、負電極３２と、第１超音波発信器１１０と、第２超音波発信器１２０と、振動板６１と、反射板６２と、吸音材７０ａ〜７０ｃとを含んで構成される。振動板６１及び反射板６２の少なくとも一方は管６０の管壁の一部であってもよい。集塵装置１０は、管６０の中（含塵気流の流路）において超音波振動による定在波を発生させる部分を複数段設けている。
【００１３】
管６０は、微粒子を含む空気（含塵気流）の流路となるダクトであり、形状は、円管、角管或いはその他いかなる形状であってもよい。管６０の管壁は、例えばアルミ、ステンレス、チタン等で構成され、管壁の厚みは例えば３ｍｍである。図１では、例えば角管の場合の相対向する２つの管壁それぞれを振動板６１、反射板６２として機能させた例を６０ａ、６０ｂを示し、他の管壁を省略している。
【００１４】
気流形成部５０は、管６０に空気を導入する機構、つまり管６０の内部に空気の流れを形成する機構であり、例えば羽根を回転させるファン等である。これにより、図１において矢印で表したように左から右へ、管６０に含塵気流が流れ込む。含塵気流の流速は、例えば０．１〜１ｍ／ｓである。
【００１５】
フィルタ４０は、含塵気流から微粒子（塵埃等）を取り除くためのエアフィルタである。フィルタ４０は、例えば、中性能フィルタである。フィルタ４０で微粒子を捕集するため、図１においてフィルタ４０の左側（上流側）に比べて右側（下流側）は、単位体積あたりの微粒子の量が少なくなる。管６０に導入される含塵気流における微粒子の濃度は、例えば、０．５〜１．５万個／Ｌ（リットル）であり、フィルタ４０の下流における微粒子の濃度は、０．５万個／Ｌ未満である。
【００１６】
高圧電源３０は、管６０の内部に配置された正電極３１と近傍の接地電極（不図示）との間に、例えば１０ｋＶの高電圧を印加する。同様に高圧電源３０は、管６０の内部に配置された接地電極（不図示）と近傍の負電極３２との間に、例えば１０ｋＶの高電圧を印加する。これにより、正電極３１と接地電極との間、及び、接地電極と負電極３２との間に放電が生じ、正電極３１或いは負電極３２の近傍を通過する含塵気流中の微粒子（つまり電極に接近した微粒子）を帯電させる。正電極３１と負電極３２との極性を逆にしているため、正電極３１の近傍を流れる微粒子と負電極３２の近傍を流れる微粒子とはそれぞれ異なる極性に帯電する。これにより、異なる極性に帯電した微粒子相互間に引き合う力が生じて、微粒子同士が結合する。つまり、微粒子が凝集される。なお、フィルタ４０は、含塵気流の流路において正電極３１及び負電極３２より下流に配置されている。また、正電極３１、負電極３２それぞれは、例えば球状、針状、板状その他の形状であり、例えば、含塵気流の流れを滞らせないために比較的小さい形状が有用である。
【００１７】
振動板６１と反射板６２とは、管６０の中の含塵気流の流路の少なくとも一部を挟む相対向する面をそれぞれ有するように配置される部材である。図１の例では角管である管６０の相対向する２つの管壁が振動板６１と反射板６２とである例を示した。しかし、振動板６１と反射板６２との少なくとも一方は、管６０とは別の、管６０の中へ配置される部材（例えばアルミ、ステンレス、チタン或いはアクリル樹脂等による板状部材等）であってもよい。振動板６１及び反射板６２の厚みは、例えば３ｍｍである。
【００１８】
第１超音波発信器１１０及び第２超音波発信器１２０は、超音波により振動板６１の互いに異なる部分を振動させる装置である。
【００１９】
図２は、実施の形態１に係る振動板６１に配置された吸音材７０ａ〜７０ｃと、振動子（超音波振動子）及び共鳴体（増幅ホーン）との位置関係の一例を示す図である。また、同図は、第１超音波発信器１１０及び第２超音波発信器１２０の構成を示している。
【００２０】
図２に示すように、第１超音波発信器１１０は、セラミック等の圧電素子（piezoelectric element）である振動子（超音波振動子）１１１と、圧電素子に電圧を印加し周期的に電圧を変動させる回路１１２とを備える。例えば振動子１１１とボルト等で締めて連結されることで接続された共振体である増幅ホーン（第１共鳴体）１１３を介して第１超音波発信器１１０は振動板６１の一部を振動させる。増幅ホーン１１３の振動子１１１側とは反対の一端が振動板６１の一部と接続されている。増幅ホーン１１３は、ステンレス、アルミ合金、チタン合金等の金属で形成される。増幅ホーン１１３の形状は、例えば円錐、円柱、或いは、指数曲線、双曲線、放物線等を母線とする回転体等であり、回転体の中心軸方向の長さは、超音波に係る振動を生じる振動子１１１の振動エネルギーを効率的に伝搬するために超音波の半波長の整数倍である。第２超音波発信器１２０は、第１超音波発信器１１０と同様の構成を有する。第２超音波発信器１２０は、回路１２２で電圧を変動させて圧電素子である振動子１２１を振動させ、振動子１２１とボルト等で連結されることで接続された増幅ホーン（第２共鳴体）１２３を介して振動板６１の一部を振動させる。なお、第２超音波発信器１２０は、例えば振動子１２１への電圧の印加のために第１超音波発信器１１０における回路１１２を共用してもよい。
【００２１】
第１超音波発信器１１０は、超音波により振動板６１を振動させる周波数が調整されており、振動板６１における増幅ホーン１１３の接続部分（第１部分）と、反射板６２における対向部分との間に定在波が生じるように超音波を発生して振動板６１を振動させる。周波数は例えば２０ｋＨｚである。図１では第１超音波発信器１１０が発生する超音波により振動板６１と反射板６２との間に生じる定在波５のイメージを表している。
【００２２】
第２超音波発信器１２０は、超音波により振動板６１を振動させる周波数が第１超音波発信器１１０と同一に調整されている。第２超音波発信器１２０は、振動板６１における増幅ホーン１２３の接続部分（第２部分）と、反射板６２における対向部分との間に定在波が生じるように超音波を発生して超音波により振動板６１を振動させる。図１では第２超音波発信器１２０が発生する超音波により振動板６１と反射板６２との間に生じる定在波７のイメージを表している。第２超音波発信器１２０の超音波による定在波７は、第１超音波発信器１１０の超音波による定在波５の下流（図１で右側）に生じる。
【００２３】
定在波５と定在波７との相互干渉を抑制して適切に定在波を発生させるために、吸音材７０ａ〜７０ｃが振動板６１に設置される。
【００２４】
吸音材７０ａ〜７０ｃは、表面に凹凸があることで吸音効果を有する部材であり、例えば、ウレタン系樹脂材料（ポリウレタン）を含み、形状は、例えば、板状であり、厚みは例えば５ｍｍである。ここで、板状は、シート状（薄板状）を含む。吸音材７０ａ〜７０ｃは、振動板６１の一部に重ねて配置され、例えば接着剤で接着することで固定的に設置される。接着剤は例えば両面テープ等であってもよい。
【００２５】
吸音材７０ａ〜７０ｃは、図１に示すように振動板６１における定在波５及び定在波７が形成されない部分の反射板６２側の面に設置される。即ち、吸音材７０ａ〜７０ｃは、振動板６１の第１部分（増幅ホーン１１３に接続された部分）以外の部分における反射板側の面であって、振動板６１の第２部分（増幅ホーン１２３に接続された部分）以外の部分における反射板側の面に、配置されている。より詳しくは、図２に示すように、吸音材７０ｂは、振動板６１の第１部分と第２部分との間の部分における振動板６１の反射板６２側の面に設置される。また、吸音材７０ａ及び吸音材７０ｃのそれぞれは、振動板６１において第１部分と吸音材７０ｂが設置された部分と第２部分とを除いた部分における反射板６２側の面に設置される。なお、吸音材７０ａは第１部分から上流方向に向けて、ある程度の長さ（例えば第１部分の流路方向の長さ程度等）を有することが有用であるが、それより長くてもよい。また、吸音材７０ｃは第２部分から下流方向に向けて、ある程度の長さ（例えば第２部分の流路方向の長さ程度等）を有することが有用であるが、それより短くても長くてもよい。図３は、含塵気流の流路である管６０（角管）を上流側から見て、吸音材７０ａと振動板６１と振動子１１１及び増幅ホーン１１３との位置関係を示す。同図に示すように、管６０の１つの管壁である振動板６１における反射板６２側の面に吸音材７０ａは設置されている。なお、振動板６１において増幅ホーン１１３が接続された部分（定在波５が生じる部分）より図３で手前側（上流側）に吸音材７０ａは位置している（図２参照）。図３の例では、振動板６１の幅方向全域に亘って吸音材７０ａが配置されており、定在波の相互干渉或いは振動板６１の不要な振動の抑制に有用である。吸音材７０ｂ、７０ｃも同様に振動板６１の幅方向全域に亘って配置されていてもよい。
【００２６】
吸音材７０ａ〜７０ｃによって、定在波５と定在波７との相互干渉が抑制され、各定在波が適切に形成されるようになる。また、吸音材７０ａ〜７０ｃにより、振動板６１における不要な振動が抑制されることで騒音の発生が防止され得る。
【００２７】
吸音材７０ａ〜７０ｃにより適切に形成される、腹と節とを含む定在波５の１つの節６ａと、腹と節とを含む定在波７の１つの節８ａとを結ぶ線分の延長線上（下流側）に、正電極３１が配置される。また、定在波５の１つの節６ｂと定在波７の１つの節８ｂとを結ぶ線分の延長線上（下流側）に負電極３２が配置される。流路としての管６０に導かれた含塵気流中の微粒子のうち、第１超音波発信器１１０による超音波で生じる定在波５の１以上の各節の近傍を通過する微粒子は、幾分かその節に引き寄せられる。また、定在波５の下流に位置する定在波７の１以上の各節の近傍を通過する微粒子は、幾分かその節に引き寄せられる。このため、図１に示すように節６ａ及び節８ａに対応した下流の位置に配置された正電極３１の付近を通過して正電極３１によって帯電させられる微粒子の数、及び、節６ｂ及び節８ｂに対応した下流の位置に配置された負電極３２の付近を通過して負電極３２によって帯電させられる微粒子の数は、定在波５及び定在波７が生じない場合と比べて増加し得る。従って、集塵装置１０では超音波により定在波５及び定在波７を発生させることにより、含塵気流中の微粒子の凝集の度合いが高まる。微粒子が凝集されると、個々の微粒子が結合して粒径の大きな微粒子に変化する。このため、フィルタ４０として、ＨＥＰＡフィルタ（High Efficiency Particulate Air Filter）或いは高性能フィルタより粒子捕集率の低い中性能フィルタを用いて、効率的に捕集を行うことができる。なお、フィルタ４０として、ＨＥＰＡフィルタ、高性能フィルタを用いることも可能である。
【００２８】
（実施の形態２）
以下、実施の形態１に係る集塵装置１０を一部変形した集塵装置１０ａについて説明する。集塵装置１０ａは、図３に例示した角管の集塵装置１０と相違して、円管であり、円管の周方向の相互に異なる位置に複数の振動子及び共鳴体（増幅ホーン）が取り付けられている。
【００２９】
図４は、本実施の形態に係る集塵装置１０ａの円管（ダクト）における吸音材と、振動子及び共鳴体との位置関係を示す。同図は、含塵気流の流路である円管を上流側から見た図である。同図において、実施の形態１で示した集塵装置１０と同様の構成要素については、同じ符号を付している。
【００３０】
集塵装置１０ａにおいて、含塵気流の流路となる管は円管であり、円管の管壁８０の管内側の面において周方向全域のうち定在波が生じる部分以外の部分に吸音材７１ａ〜７１ｆを設置している。集塵装置１０ａでは、円管の中（含塵気流の流路）の流路方向に同一の地点において角度を略６０度ずつ異ならせた３方向からの超音波振動により３つの定在波を発生させる。集塵装置１０ａも、集塵装置１０と同様に、微粒子が定在波における節へ引き寄せられることを利用し、概ね節を通過する微粒子の移動経路上に、実施の形態１で示した正電極３１或いは負電極３２に相当する、微粒子を帯電させるための電極を配置する。集塵装置１０ａにおいても、実施の形態１に係る集塵装置１０と同様に、より多くの微粒子を帯電させて凝集させるべく、相互干渉を抑制して定在波を適切に生成させるために吸音材７１ａ〜７１ｆを用いる。集塵装置１０ａは、ここで説明しない点については、集塵装置１０と同様であり、含塵気流の流路中で電極より下流においては、フィルタ４０及び気流形成部５０を備える。
【００３１】
図４では、振動子１１１、振動子１２１及び振動子１３１のそれぞれに周期的に変動する電圧を印加する回路を省略しているが、各振動子１１１、１２１、１３１は、圧電素子であり、電圧の印加を受けて振動する。振動子１１１及び振動子１２１はそれぞれ実施の形態１で示した第１超音波発信器１１０、第２超音波発信器１２０の一部である。また、振動子１３１は、第１超音波発信器１１０と同様な超音波発信器の一部である。振動子１１１、振動子１２１及び振動子１３１の振動はそれぞれ、増幅ホーン（第１共鳴体）１１３、増幅ホーン（第２共鳴体）１２３、増幅ホーン（第３共鳴体）１３３を介して管壁８０の一部に伝搬される。概ね、図４での管壁８０の上半分が反射板、下半分が振動板として機能するので、管壁８０の上半分を反射板、下半分を振動板と称して説明する。振動子１１１の振動の伝搬により、管壁８０の振動板における増幅ホーン１１３の接続部分（第１部分）と、管壁８０の反射板における対向部分との間に定在波が生じる。また、振動子１２１の振動の伝搬により、管壁８０の振動板における増幅ホーン１２３の接続部分（第２部分）と、管壁８０の反射板における対向部分との間に別の定在波が生じる。更に、振動子１３１の振動の伝搬により、管壁８０の振動板における増幅ホーン１３３の接続部分（第３部分）と、管壁８０の反射板における対向部分との間にまた別の定在波が生じる。このようにして略６０度ずつずれた角度で生じる３つの定在波のイメージを、図４では円管の中（管壁８０より内側）に表している。なお、各振動子１１１、１２１、１３１は、円管の中（含塵気流の流路）の流路方向に同一の地点に設けられる例を示した。しかし、振動子１１１、振動子１２１及び振動子１３１のそれぞれは、流路方向に互いに異なる各地点に設けられていてもよいし、３つの振動子１１１、１２１、１３１の組が、複数段設けられてもよい（つまり流路方向に異なる複数の位置に設けられてもよい）。
【００３２】
図４に示した３つの定在波の相互干渉を抑制して適切に定在波を発生させるために、振動板及び反射板である管壁８０に吸音材７１ａ〜７１ｆが設置される。
【００３３】
吸音材７１ａ〜７１ｆは、実施の形態１で示した吸音材７０ａ〜７０ｃと同様に、表面に凹凸があることで吸音効果を有する部材であり、例えば、ウレタン系樹脂材料（ポリウレタン）を含み、形状は、例えば、板状である。吸音材７１ａ〜７１ｆは、管壁８０の一部に重ねて配置され、例えば接着剤で接着することで固定的に設置される。
【００３４】
吸音材７１ａ、７１ｂは、図４に示すように振動板における定在波が形成されない部分の反射板側の面（つまり増幅ホーンとの接続部分以外であって管壁８０の内面）に設置される。即ち、吸音材７１ａ、７１ｂは、振動板としての管壁８０の第１部分（増幅ホーン１１３に接続された部分）以外の部分における反射板側の面であって、振動板としての管壁８０の第２部分（増幅ホーン１２３に接続された部分）以外の部分における反射板側の面に、配置されている。吸音材７０ａについては、振動板（管壁８０）の第１部分と第２部分との間の部分における振動板の反射板側の面（つまり円管内側の面）に設置される。また、吸音材７１ｃ〜７１ｆは、管壁８０において定在波を挟む部分（第１部分、第２部分及び第３部分とこれら各部分に対向する部分）を除く部分における管壁８０の内面に配置される。なお、吸音材７１ａ〜７１ｆは、流路方向において第１部分を中心として上流方向及び下流方向のそれぞれに向けて、ある程度の長さ（例えば第１部分の流路方向の長さ程度等）を有することが有用であるが、それより短くても長くてもよい。
【００３５】
吸音材７１ａ〜７１ｆによって、超音波による３つの定在波の相互干渉が抑制され、各定在波が適切に形成されるようになる。また、吸音材７１ａ〜７１ｆにより、管壁８０における不要な振動が抑制されることで騒音の発生が防止され得る。
【００３６】
（他の実施の形態等）
以上、実施の形態１、２により集塵装置１０、１０ａについて説明したが、上述した実施の形態は一例にすぎず、各種の変更、付加、省略等が可能であることは言う迄もない。
【００３７】
上述の実施の形態で示した集塵装置１０、１０ａにおける管（ダクト）は、管壁の一部に空隙等を有していてもよい。
【００３８】
また、上述の実施の形態で示した吸音材７０ａ〜７０ｃ、７１ａ〜７１ｆは、グラスウール、或いは、空気層を挟む構造の段ボール等であってもよい。
【００３９】
また、上述した実施の形態で示した構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明の範囲に含まれる。
【００４０】
なお、本発明の包括的又は具体的な各種態様には、装置、システム、方法等の１つ又は複数の組み合わせが含まれる。
【００４１】
以下、本発明の一態様に係る集塵装置についての構成、変形態様、効果等について示す。
【００４２】
（１）本発明の一態様に係る集塵装置は、微粒子を含む空気における微粒子を凝集する集塵装置１０、１０ａであって、相対向する振動板（例えば振動板６１、管壁８０の一部等）及び反射板（例えば反射板６２、管壁８０の他の一部等）と、振動板と反射板との間に定在波（例えば定在波５）を発生させるように、振動板の第１部分を超音波により振動させる第１超音波発信器１１０と、振動板の第１部分以外の部分における反射板側の面に配置された吸音材（例えば吸音材７０ａ、７０ｂ、７１ａ等）とを備える。
【００４３】
これにより、吸音材の作用で超音波の相互干渉等を抑制でき、適切に超音波により定在波を発生させ得る。このため、定在波により、例えば微粒子を帯電させるために電極等の付近に流れ易くすることが可能となり、結果的に集塵効率を向上させ得る。
【００４４】
（２）例えば、集塵装置１０、１０ａは更に、振動板と反射板との間に更なる定在波を発生させるように、振動板における、第１部分と離れた第２部分を、超音波により振動させる第２超音波発信器１２０を備え、前記吸音材（例えば吸音材７０ｂ、７１ａ）は、振動板の第１部分と第２部分との間の部分における反射板側の面に配置されることとしてもよい。なお、前記吸音材は、振動板の第１部分と第２部分との間の部分における反射板側の面に配置された吸音材と、振動板の第１部分と第２部分との間の部分以外の部分における反射板側の面に配置された吸音材との集合であり得る。
【００４５】
これにより、吸音材の作用で、第１超音波発信器１１０により振動板と反射板との間で生じる定在波と、第２超音波発信器１２０により振動板と反射板との間で生じる定在波との干渉を減少させ得る。
【００４６】
（３）例えば、集塵装置１０、１０ａは更に、前記振動板の第１部分に接続した第１共鳴体（増幅ホーン１１３）と第２部分に接続した第２共鳴体（増幅ホーン１２３）とを備え、第１超音波発信器１１０は、超音波により第１共鳴体を介して振動板の第１部分を振動させ、第２超音波発信器１２０は、超音波により第２共鳴体を介して振動板の第２部分を振動させ、吸音材（例えば吸音材７０ａ〜７０ｃ、７１ａ、７１ｂ等）は、振動板において第１共鳴体及び第２共鳴体の各接続部分を除いて反射板側の面に配置されることとしてもよい。
【００４７】
これにより、吸音材が定在波の発生を妨げる位置を除いて配置されるので、集塵装置１０、１０ａは、適切に定在波を発生させ得る。
【００４８】
（４）例えば、前記吸音材は、板状であり、振動板に重ねて配置される。
【００４９】
これにより、振動板に拡がる吸音材によって不要な空気の振動を抑えて定在波の干渉を抑え得る。
【００５０】
（５）例えば、前記吸音材は、表面に凹凸を有することとしてもよい。
【００５１】
これにより、吸音材により不要な空気の振動を抑え得る。
【００５２】
（６）例えば、前記吸音材は、ウレタン系樹脂材料を含むこととしてもよい。
【００５３】
これにより、例えば、多孔質のポリウレタンフォーム等の吸音材等は、空気の振動の抑制に有用であるので、振動板において適切に配置されることで定在波の干渉を効果的に抑制し得る。
【符号の説明】
【００５４】
５、７  定在波
１０、１０ａ  集塵装置
１１０  第１超音波発信器
１１３  増幅ホーン（第１共鳴体）
１２０  第２超音波発信器
１２３  増幅ホーン（第２共鳴体）
６１  振動板
６２  反射板
７０ａ〜７０ｃ、７１ａ〜７１ｆ  吸音材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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