(57)【要約】【課題】シールをより確実にする。【解決手段】流体特性センサ１０は、ハウジング１１とセンサ体１２と保護部１４とを備える。ハウジング１１には、中心軸線ＣＡに対して非平行な面あってキャビティ１１４と支持孔１１５との間にてキャビティ１１４と対向する第一シール対向面１１６が形成されている。保護部１４は、センサ体１２におけるセンサ素子部１２１とは異なる部分を覆う樹脂モールド部であって、第一シール対向面１１６と近接対向する面である第二シール対向面１４２を有する段差部１４１と、中心軸線ＣＡに沿って段差部１４１から先端方向に延びキャビティ１１４内に収容された大径部１４３と、中心軸線ＣＡに沿って段差部１４１から基端方向に延び支持孔１１５に収容された小径部１４４とを有する。【選択図】図１
2017211312.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を導入可能な内部空間である測定空間（Ｍ）を有し、前記測定空間内の前記流体の特性に応じた電気信号を出力するように構成された、流体特性センサ（１０）において、
前記測定空間を構成するキャビティ（１１４）と、前記キャビティと接続するように設けられた貫通孔であって所定の中心軸線（ＣＡ）を有する支持孔（１１５）と、前記中心軸線に対して非平行な面あって前記キャビティと前記支持孔との間にて前記キャビティと対向するように設けられた第一シール対向面（１１６）とが形成された、ハウジング（１１）と、
前記測定空間内の前記流体に露出することで前記特性に応じた電気出力を発生するように構成されたセンサ素子部（１２１）を有し、前記センサ素子部が前記測定空間に露出するように前記ハウジング内に収容された、センサ体（１２）と、
前記センサ体における前記センサ素子部とは異なる部分を覆うように設けられた樹脂モールド部であって、前記第一シール対向面と近接対向する面である第二シール対向面（１４２）を有する段差部（１４１）と、前記中心軸線に沿って前記段差部から前記センサ素子部に向かう先端方向に延び、前記キャビティ内に収容された大径部（１４３）と、前記中心軸線に沿って前記段差部から前記先端方向とは反対の基端方向に延び、前記支持孔に収容された小径部（１４４）とを有する、保護部（１４）と、
を備えた流体特性センサ。
【請求項２】
前記保護部における前記基端方向の端部から露出するように設けられ、前記保護部の内部にて前記センサ体と電気的に接続された、リードフレーム（１３）と、
一端部が前記リードフレームに固定され他端部が前記基端方向に延びるように設けられたコイルスプリングである、接点部（１６）と
を更に備えた、請求項１に記載の流体特性センサ。
【請求項３】
前記第一シール対向面は、前記中心軸線を中心とする切頭円錐内面状に形成され、
前記第二シール対向面は、前記中心軸線を中心とする切頭円錐外面状に形成された、請求項１又は２に記載の流体特性センサ。
【請求項４】
前記第一シール対向面と前記第二シール対向面との間に設けられた合成樹脂層である、接着層（１５）を更に備えた、請求項１〜３のいずれか１つに記載の流体特性センサ。
【請求項５】
前記センサ素子部は、前記測定空間内の前記流体の圧力に応じた前記電気出力を発生するように構成された、請求項１〜４のいずれか１つに記載の流体特性センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体特性センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、ウエハレベルパッケージにより形成された圧力測定エレメントと、この圧力測定エレメントと外部とを電気的に接続するリードと、圧力測定エレメントとリードとの接続部位を覆う保護部とを有する構成を開示する。圧力測定エレメントにおけるダイアフラムを含む部位は、被測定媒体に晒されるように、保護部から露出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−１９１２７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この種の流体特性センサにおいて、シールをより確実にすることが求められている。本発明は、上記の点に鑑みてなされたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１に記載の発明は、流体を導入可能な内部空間である測定空間（Ｍ）を有し前記測定空間内の前記流体の特性に応じた電気信号を出力するように構成された流体特性センサ（１０）において、前記測定空間を構成するキャビティ（１１４）と、前記キャビティと接続するように設けられた貫通孔であって所定の中心軸線（ＣＡ）を有する支持孔（１１５）と、前記中心軸線に対して非平行な面あって前記キャビティと前記支持孔との間にて前記キャビティと対向するように設けられた第一シール対向面（１１６）とが形成されたハウジング（１１）と、前記測定空間内の前記流体に露出することで前記特性に応じた電気出力を発生するように構成されたセンサ素子部（１２１）を有し前記センサ素子部が前記測定空間に露出するように前記ハウジング内に収容されたセンサ体（１２）と、前記センサ体における前記センサ素子部とは異なる部分を覆うように設けられた樹脂モールド部であって、前記第一シール対向面と近接対向する面である第二シール対向面（１４２）を有する段差部（１４１）と前記中心軸線に沿って前記段差部から前記センサ素子部に向かう先端方向に延び前記キャビティ内に収容された大径部（１４３）と前記中心軸線に沿って前記段差部から前記先端方向とは反対の基端方向に延び前記支持孔に収容された小径部（１４４）とを有する保護部（１４）とを備える。
【０００６】
上記構成において、前記センサ体における前記センサ素子部は、前記測定空間内の前記流体に露出する。これにより、前記測定空間内の前記流体の圧力が、前記センサ素子部に作用する。このとき、前記センサ体における前記センサ素子部とは異なる部分を覆う前記保護部の、前記段差部から前記先端方向に延びる前記大径部は、前記測定空間を構成する前記キャビティ内にて前記流体と対向する。故に、前記大径部は、前記圧力の作用で、前記基端方向に付勢される。すると、前記ハウジングにて前記キャビティと対向するように設けられた面である前記第一シール対向面と、前記保護部における前記段差部にて前記第一シール対向面と近接対向するように設けられた面である前記第二シール対向面とが、互いに押し合うような応力状態が生じる。即ち、前記保護部に作用する前記流体の前記圧力により、前記第一シール対向面と前記第二シール対向面との間のシール状態が確保されるような態様の前記応力状態が、前記第一シール対向面と前記第二シール対向面との間に生じる。したがって、上記構成によれば、前記保護部周りのシールをより確実にすることが可能となる。
【０００７】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係の一例を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施形態の流体特性センサの概略構成を示す側断面図である。
【図２】図１に示されたハウジングの側断面図である。
【図３】図１に示されたセンサ本体及び保護部の側面図である。
【図４】図３に示された保護部の内部の構成を透視して示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態を、図面に基づいて説明する。なお、実施形態と後述の変形例とにおいて、互いに同一又は均等である部分には同一符号を付す。
【００１０】
（実施形態の構成）
図１を参照すると、本実施形態に係る流体特性センサ１０は、圧力センサ、特に、車両に搭載される流体圧センサであって、車両内の流体（即ち車両内を通流する流体又は車両内にて貯留された流体）を導入可能な内部空間である測定空間Ｍを有している。流体特性センサ１０は、測定空間Ｍ内に導入された流体圧力（例えば、燃料圧、ブレーキ油圧、水素ガス圧力、等。）に応じた電気信号（例えば電圧）を出力するように構成されている。具体的には、流体特性センサ１０は、ハウジング１１と、センサ体１２と、リードフレーム１３と、保護部１４と、接着層１５と、接点部１６と、サイドカバー１７と、接点カバー１８とを備えている。
【００１１】
図１及び図２を参照すると、ハウジング１１は、金属等によって形成された筒状部材であって、導入部１１１と支持部１１２とを有している。本実施形態においては、導入部１１１と支持部１１２とは継ぎ目無く一体に形成されている。導入部１１１は、流体特性センサ１０の装着対象（例えば、ブレーキフルード経路、エンジンブロック、等。）に固定される略円筒状の部分であって、外壁面側に固定部１１３が形成されている。固定部１１３は、例えば、雄ネジ部又はメタルフロー結合部である。固定部１１３がメタルフロー結合部である場合、ハウジング１１は、鉄鋼材料（例えば、鉄−ニッケル−コバルト合金等の合金鋼、ＳＵＳ４０３等のマルテンサイト系ステンレス鋼、等。）、セラミックス、等の高硬度材料によって形成され得る。
【００１２】
導入部１１１には、測定空間Ｍを構成するキャビティ１１４が形成されている。本実施形態においては、キャビティ１１４は、中心軸線ＣＡを中心とした略円柱状の空間であって、中心軸線ＣＡと平行な方向における一端（即ち図中下端）が開口して外部と連通するように形成されている。以下、中心軸線ＣＡと平行な方向であって、測定空間Ｍ即ちキャビティ１１４が開口する方向を「先端方向」と称する。また、先端方向とは反対の方向を、以下「基端方向」と称する。各図面において、先端方向は図中下方向であり、基端方向は図中上方向である。本実施形態においては、キャビティ１１４は、導入部１１１の先端（即ち図中下端）から基端（即ち図中上端）に向かって平面視（即ち中心軸線ＣＡと平行な視線で見た場合）にて略円形の孔を形成することによって設けられ得る。
【００１３】
支持部１１２は、導入部１１１の基端（即ち図中上端）から基端方向に延びる略円筒状の部分であって、保護部１４を側方から支持するように設けられている。本実施形態においては、支持部１１２は、導入部１１１の外径よりも小さな外径に形成されている。支持部１１２には、支持孔１１５が形成されている。支持孔１１５は、キャビティ１１４と接続するように設けられた貫通孔であって、中心軸線ＣＡを有している。即ち、支持部１１２の内側には、支持孔１１５によって形成された略円柱状の空間が設けられている。
【００１４】
ハウジング１１の内壁面における、キャビティ１１４と支持孔１１５との間の位置には、第一シール対向面１１６が形成されている。第一シール対向面１１６は、中心軸線ＣＡに対して非平行な面あって、キャビティ１１４と対向するように設けられている。具体的には、第一シール対向面１１６は、いわゆるテーパ面であって、中心軸線ＣＡを中心とする切頭円錐内面状に形成されている。第一シール対向面１１６の切頭円錐面における母線と中心軸線ＣＡとのなす角（即ち図１における第一シール対向面１１６に対応する外形線と中心軸線ＣＡとのなす角）は、例えば、４５〜８５度程度に設定され得る。
【００１５】
センサ体１２は、先端部にセンサ素子部１２１を有している。センサ素子部１２１は、測定空間Ｍ内の流体に露出して流体圧力を受けることで、当該流体圧力に応じた電気出力（例えばセンサ素子部１２１が圧電素子を備える場合は電荷又は当該電荷に基づく電圧）を発生するように構成されている。センサ体１２は、センサ素子部１２１が測定空間Ｍに露出するように、ハウジング１１内に収容されている。センサ体１２は、いわゆるウエハレベルパッケージ構造を有している。ウエハレベルパッケージ構造を有するセンサ体１２の構成として、例えば、特開２０１１−１９１２７３号公報、特開２０１６−２３９８３号公報、等に開示された構成を採用することが可能である。
【００１６】
図３及び図４を参照すると、リードフレーム１３は、金属板によって形成された導電性部材であって、本実施形態においては配線基板１３１に固定されている。配線基板１３１には、センサ体１２の基端部（即ち図中上端部）が固定されている。図４に示されているように、配線基板１３１には、制御素子１３２、コンデンサ素子１３３、等の回路素子が実装されている。制御素子１３２は、センサ素子部１２１にて発生した電気出力を増幅する増幅回路を含む、各種演算回路を有している。なお、図示の簡略化のため、図４において、ボンディングワイヤの図示は省略されている。リードフレーム１３は、接地端子１３４、入出力端子１３５、等の外部端子を備えている。本実施形態においては、接地端子１３４は、図４における左右一対設けられている。また、リードフレーム１３には、複数の入出力端子１３５が設けられている。
【００１７】
保護部１４は、樹脂モールド部であって、センサ体１２の基端部と配線基板１３１との接続部と、配線基板１３１に実装された制御素子１３２等の回路素子と、リードフレーム１３における外部端子以外の部分とを覆うように設けられている。即ち、センサ体１２とリードフレーム１３とは、保護部１４の内部にて電気的に接続されている。また、リードフレーム１３における入出力端子１３５は、保護部１４における基端方向の端部から露出するように設けられている。
【００１８】
図１及び図３を参照すると、保護部１４は、段差部１４１を有している。段差部１４１は、第一シール対向面１１６と近接対向する面である第二シール対向面１４２を有している。即ち、第二シール対向面１４２は、微小なギャップを隔てて第一シール対向面１１６と対向配置されている。本実施形態においては、第二シール対向面１４２は、いわゆるテーパ面であって、中心軸線ＣＡを中心とする切頭円錐外面状に形成されている。このため、段差部１４１は、テーパ部とも称され得る。第二シール対向面１４２の切頭円錐面における母線と中心軸線ＣＡとのなす角（即ち図１における第二シール対向面１４２に対応する外形線と中心軸線ＣＡとのなす角）は、第一シール対向面１１６の切頭円錐面における母線と中心軸線ＣＡとのなす角と同一にされ得る。即ち、第二シール対向面１４２は、第一シール対向面１１６と平行な面と称され得る。第二シール対向面１４２の切頭円錐面における母線と中心軸線ＣＡとのなす角は、例えば、４５〜８５度程度に設定され得る。
【００１９】
保護部１４には、大径部１４３と小径部１４４とが形成されている。大径部１４３は、中心軸線ＣＡに沿って段差部１４１からセンサ素子部１２１に向かう先端方向に延びるように設けられていて、キャビティ１１４内に収容されている。小径部１４４は、中心軸線ＣＡに沿って段差部１４１から基端方向（即ち先端方向とは反対の方向）に延びるように設けられていて、支持孔１１５に収容されている。本実施形態においては、大径部１４３及び小径部１４４は、中心軸線ＣＡを中心とした略円柱状に形成されている。
【００２０】
接着層１５は、ハウジング１１の内壁面と保護部１４の外壁面とが対向する箇所におけるシールをより確実にするために設けられた合成樹脂層（具体的には硬化した接着剤層）であって、第一シール対向面１１６と第二シール対向面１４２との間のギャップを埋めるように設けられている。また、本実施形態においては、接着層１５は、支持孔１１５の内壁面と小径部１４４の外壁面との間にも設けられている。即ち、接着層１５は、ハウジング１１の内壁面と保護部１４の外壁面とが対向する箇所のうちの、中心軸線ＣＡに沿った方向における少なくとも一部にて、平面視にて中心軸線ＣＡを中心とした円周の全体にわたるように設けられている。
【００２１】
接点部１６は、金属製のコイルスプリングであって、一端部が入出力端子１３５に固定されることでリードフレーム１３に電気的に接続され、他端部が基端方向に延びるように設けられている。本実施形態においては、複数の入出力端子１３５の各々に、接点部１６が１つずつ取り付けられている。
【００２２】
図１を参照すると、サイドカバー１７は、金属製の薄板によって形成された筒状部材であって、保護部１４を側方から覆うように設けられている。サイドカバー１７の先端部（即ち図中下端部）は、ハウジング１１に固定されている。サイドカバー１７は、内壁面にて接地端子１３４と当接することで、接地端子１３４と電気的に接続しつつ、センサ体１２とリードフレーム１３と保護部１４とを含む内部構造を支持するように設けられている。
【００２３】
サイドカバー１７の基端部（即ち図中上端部）には、複数の係合孔１７１が形成されている。係合孔１７１は、径方向にサイドカバー１７を貫通する孔である。径方向とは、中心軸線ＣＡと直交する方向であって、平面視にて中心軸線ＣＡから放射状に拡がる方向である。
【００２４】
接点カバー１８は、流体特性センサ１０の基端側を覆う略円筒状の部材であって、合成樹脂製の板材によって継ぎ目無く一体に形成されている。接点カバー１８の先端側の端部（即ち図中下端部）には、複数の係合片１８１が設けられている。係合片１８１は、対応する係合孔１７１と係合可能に形成された突起であって、接点カバー１８の外壁面から径方向に突出するように設けられている。即ち、複数の係合片１８１の各々が、対応する係合孔１７１と係合することで、接点カバー１８がサイドカバー１７の基端部に固定されている。接点カバー１８の基端側の端部（即ち図中上端部）には、中心軸線ＣＡと直交する円板状の閉塞板部１８２が設けられている。閉塞板部１８２には、複数の接点貫通孔１８３が形成されている。接点貫通孔１８３は、対応する接点部１６における基端方向の端部（即ち末端部）を外部に露出させるように設けられている。
【００２５】
（動作及び効果）
上記構成において、センサ体１２におけるセンサ素子部１２１は、測定空間Ｍ内にて流体圧力を受ける。このとき、センサ体１２の基端部及びこれと配線基板１３１との接続部を覆う保護部１４における、段差部１４１から先端方向に延びる大径部１４３は、キャビティ１１４内即ち測定空間Ｍ内にて流体と対向する。故に、大径部１４３は、測定空間Ｍ内の流体圧力の作用で、先端方向とは反対の基端方向に付勢される。すると、ハウジング１１にてキャビティ１１４と対向するように設けられた面である第一シール対向面１１６と、保護部１４における段差部１４１にて第一シール対向面１１６と近接対向するように設けられた面である第二シール対向面１４２とが、接着層１５を挟んで互いに押し合うような応力状態が生じる。即ち、保護部１４に作用する流体圧力により、第一シール対向面１１６と第二シール対向面１４２との間のシール状態が確保されるような態様の応力状態が、第一シール対向面１１６と第二シール対向面１４２との間に生じる。したがって、上記構成によれば、保護部１４周りのシールをより確実にすることが可能となる。
【００２６】
上記構成においては、ウエハレベルパッケージ構造を有するセンサ体１２を保護する保護部１４に対する、測定空間Ｍ内の流体圧力の作用で、ハウジング１１の内壁面と保護部１４の外壁面とが対向する箇所のシールが良好に確保される。即ち、センサ体１２におけるセンサ素子部１２１が設けられた先端部とは反対側の基端部とリードフレーム１３における外部端子以外の部分とを覆うための樹脂モールドである保護部１４の形状を有効に利用して、ハウジング１１の内壁面と保護部１４の外壁面とが対向する箇所の良好なシール性が得られる。したがって、樹脂モールドである保護部１４の耐熱性の観点からガラス材料によるコンプレッションシールの利用が困難な上記構成において、保護部１４周りのシールの確保が、より簡略な構成により良好に達成され得る。
【００２７】
上記構成においては、測定空間Ｍ内の流体圧力により、第一シール対向面１１６には、第二シール対向面１４２から第一シール対向面１１６に向かう方向の押圧力が作用する。すると、第二シール対向面１４２には、第一シール対向面１１６から第二シール対向面１４２に向かう方向の反力が作用する。第二シール対向面１４２は、中心軸線ＣＡに対して傾斜したテーパ面であって、その法線は中心軸線ＣＡに向かう方向となる。このため、上述の反力は、中心軸線ＣＡに向かう方向、即ちセンサ体１２と保護部１４との界面の剥離を抑制する方向に作用する。したがって、上記構成によれば、センサ体１２と保護部１４との界面の剥離が、良好に抑制され得る。
【００２８】
上記構成においては、ウエハレベルパッケージ構造を有するセンサ体１２における先端部のセンサ素子部１２１が、測定空間Ｍ内の流体に露出して直接的に流体圧力を受ける。即ち、センサ素子部１２１と測定空間Ｍ内の流体との間には、測定空間Ｍ内の流体圧力をセンサ素子部１２１に伝達するための中間部材が介在しない。したがって、上記構成によれば、良好な圧力測定精度が得られる。
【００２９】
上記構成においては、ハウジング１１の内壁面と保護部１４の外壁面とが対向する箇所に、接着層１５が設けられている。したがって、保護部１４周りのシールの確保が、より簡略な構成により良好に達成され得る。
【００３０】
上記構成においては、リードフレーム１３における、保護部１４から露出した入出力端子１３５に、コイルスプリングである接点部１６が固定されている。したがって、流体特性センサ１０と外部装置（例えばＥＣＵ）との間の電気信号の伝達経路が、より簡略な構成（即ち例えばより少ない部品点数）により形成され得る。
【００３１】
（変形例）
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、上記実施形態に対しては適宜変更が可能である。以下、代表的な変形例について説明する。以下の変形例の説明においては、上記実施形態と異なる部分についてのみ説明する。したがって、特段の説明がない限り、以下の変形例の説明において、上記実施形態と同一の符号を有する構成要素に関しては、技術的に矛盾しない限り、上記実施形態における説明が適宜援用され得る。
【００３２】
本発明は、圧電タイプの圧力センサに限定されない。即ち、本発明は、圧電タイプとは異なるタイプ（例えば静電容量タイプ）の圧力センサに対しても好適に適用可能である。また、測定対象は、燃料圧、ブレーキ油圧、水素ガス圧力、等のような、高圧流体の圧力に限定されない。
【００３３】
本発明の適用対象は、車載センサに限定されない。また、本発明は、圧力センサに限定されない。即ち、本発明は、測定空間Ｍ内の流体特性（例えば温度）に応じた電気信号を出力するように構成された流体特性センサに対して、好適に適用され得る。但し、ハウジング１１の内壁面と保護部１４の外壁面とが対向する箇所のシール性を確保するという観点からは、ハウジング１１の内壁面と保護部１４の外壁面とが対向する箇所に圧縮応力が作用するように、測定空間Ｍ内に負圧ではなく正圧が作用する場合が好適である。
【００３４】
キャビティ１１４の先端部（即ち図１における下端部）は、開口部ではなくてもよい。即ち、キャビティ１１４は、先端方向と交差する方向に向かって開口していてもよい。
【００３５】
配線基板１３１は省略され得る。この場合、多数の板状部材を三次元的に組み合わせることによって形成されたリードフレーム１３に対して、センサ体１２、制御素子１３２、コンデンサ素子１３３、等が直接的に実装され得る。かかる変形例によれば、流体特性センサ１０と外部装置との間の電気信号の伝達経路が、より簡略な構成（即ちより少ない部品点数）により形成され得る。
【００３６】
第一シール対向面１１６及び第二シール対向面１４２は、テーパ面に限定されない。即ち、例えば、第一シール対向面１１６及び第二シール対向面１４２は、中心軸線ＣＡに対して垂直な面であってもよい。
【００３７】
保護部１４における樹脂モールドの材料と、接着層１５の材料とを、適宜選択することで、ハウジング１１と接着層１５との密着性、及び保護部１４と接着層１５との密着性が、良好に確保され得る。
【００３８】
大径部１４３は、略円柱状に限定されない。小径部１４４は、略円柱状に限定されない。即ち、大径部１４３及び／又は小径部１４４は、略楕円柱状又は多角柱状に形成され得る。多角柱状の場合、「径」は、大径部１４３及び／又は小径部１４４における外壁面と、中心軸線ＣＡと直交する平面とが交わることによって形成された多角形の外接円の直径に相当する。また、第一シール対向面１１６及び第二シール対向面１４２は、切頭多角錐面状に形成され得る。
【００３９】
接着層１５は、第一シール対向面１１６と第二シール対向面１４２との間の微小なギャップのみに設けられていてもよい。接着層１５は、ハウジング１１の内壁面と保護部１４の外壁面とが対向する箇所の全体に設けられていてもよい。
【００４０】
キャビティ１１４と大径部１４３との嵌め合い公差、支持孔１１５と小径部１４４との嵌め合い公差、保護部１４における樹脂モールドの材料、ハウジング１１における内壁面の表面粗さ、等のパラメータの全部又は一部を適宜設定することにより、接着層１５は、省略され得る。この場合、樹脂モールドによって形成された保護部１４は、金属やセラミックス等の剛体よりも若干の柔軟性を有するため、保護部１４の外壁面がハウジング１１の内壁面に良好に密着し得る。
【００４１】
上記の説明において、互いに継目無く一体に形成されていた複数の構成要素は、互いに別体の部材を貼り合わせることによって形成されてもよい。同様に、互いに別体の部材を貼り合わせることによって形成されていた複数の構成要素は、互いに継目無く一体に形成されてもよい。
【００４２】
上記の説明において、互いに同一の材料によって形成されていた複数の構成要素は、互いに異なる材料によって形成されてもよい。同様に、互いに異なる材料によって形成されていた複数の構成要素は、互いに同一の材料によって形成されてもよい。
【００４３】
変形例も、上記の例示に限定されない。また、複数の変形例が、互いに組み合わされ得る。更に、上記実施形態の全部又は一部と、変形例の全部又は一部とが、互いに組み合わされ得る。
【符号の説明】
【００４４】
１０        流体特性センサ
１１        ハウジング                  １１４      キャビティ
１１５      支持孔                      １１６      第一シール対向面
１２        センサ体                    １２１      センサ素子部
１４        保護部                      １４１      段差部
１４２      第二シール対向面            １４３      大径部
１４４      小径部
ＣＡ        中心軸線                    Ｍ          測定空間
【図１】
2017211312.tif 000003
【図２】
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【図３】
2017211312.tif 000005
【図４】
2017211312.tif 000006