(57)【要約】【課題】質問器の位置に応じて、ＲＦ−ＩＤタグを移動できる基板収納容器を提供すること。【解決手段】複数の基板を収納可能な基板収納容器１であって、一方に開口部を有する容器本体２と、開口部を密閉する蓋体１１と、容器識別部を有する識別部材３と、ＲＦ−ＩＤタグ５を保持するＲＦ−ＩＤ保持部材４と、を備え、識別部材３は、容器本体２に着脱自在に取付けられ、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、識別部材３に連結されるとともに、基板収納容器１の最大外形の内側となる第一の位置Ａと、基板収納容器１の最大外形の外側となる第二の位置Ｂとの間で、着脱されることなく移動可能であること。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を収納可能な基板収納容器であって、
一方に開口部を有する容器本体と、
前記開口部を密閉する蓋体と、
容器識別部を有する識別部材と、
ＲＦ−ＩＤタグを取付けるＲＦ−ＩＤ保持部材と、を備え、
前記識別部材は、前記容器本体に着脱自在に取付けられ、
前記ＲＦ−ＩＤ保持部材は、前記容器本体の底面側から背面側へ回転可能に前記識別部材に連結されるとともに、
前記基板収納容器の最大外形の内側となる第一の位置と、前記基板収納容器の最大外形の外側となる第二の位置との間で、着脱されることなく移動可能である
ことを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記ＲＦ−ＩＤ保持部材は、前記基板収納容器が輸送されるとき、前記第一の位置で保持される
ことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記ＲＦ−ＩＤ保持部材は、
前記第一の位置では、水平方向に固定され、
前記第二の位置では、垂直方向に固定される
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記識別部材又は前記ＲＦ−ＩＤ保持部材のいずれか一方に、少なくとも一つの突起が設けられ、
前記識別部材又は前記ＲＦ−ＩＤ保持部材の他方に、前記突起と対となり、前記突起に係合する係合溝が設けられる
ことを特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記識別部材と前記ＲＦ−ＩＤ保持部材とは、別部材で形成され、連結ピンで回転可能に連結される
ことを特徴とする請求項１から４までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハなどの基板を収納する基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体の製造工程において、工場間・工程間の搬送や保管のために、半導体ウェハなどの基板を収納する基板収納容器が使用されている。半導体の製造工程では、各種装置により、基板収納容器に収納されている基板の種類や数量、特性などを識別し、効率的に工程管理を行うため、基板収納容器にはバーコード、ＲＦ−ＩＤ（Ｒａｄｉｏ  Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ  ＩＤｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）タグ、インフォパッドなどの識別部品が取付けられている。
【０００３】
識別部品が取付けられた基板収納容器として、例えば、特許文献１には、基部と基部から立ち上がる背面壁部及び側壁部とを有する識別部品の保持部材を有するものが記載されている。この基板収納容器は、背面壁部に、バーコードを表示する壁面と、カードケースを保持するカードケース保持部とが設けられ、基部及び／又は背面壁部には、必要に応じて、ＲＦ−ＩＤタグを保持するＲＦ−ＩＤ保持部材が少なくとも１箇所形成されることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−０６８８８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ＳＥＭＩ規格では、ＲＦ−ＩＤタグの基板収納容器に対する取付け範囲が規定されているが、ＲＦ−ＩＤタグ用の質問器（リーダ／ライタ）の位置は、工場や加工装置によって異なっている。そのため、ＲＦ−ＩＤタグを基板収納容器の所定の１箇所に取付けるだけでは、別の質問器で情報を読取又は書込を行えないことがあり、基板収納容器を扱う工場や加工装置ごとに、質問器の位置（あるいは、質問器の読取又は書込可能な範囲）に合わせて、基板収納容器からＲＦ−ＩＤタグを一旦取外し、対応する位置に付け替える必要があった。
【０００６】
そこで、本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、質問器の位置に応じて、ＲＦ−ＩＤタグを移動できる基板収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）本発明に係る一つの態様は、複数の基板を収納可能な基板収納容器であって、一方に開口部を有する容器本体と、前記開口部を密閉する蓋体と、容器識別部を有する識別部材と、ＲＦ−ＩＤタグを取付けるＲＦ−ＩＤ保持部材と、を備え、前記識別部材は、前記容器本体に着脱自在に取付けられ、前記ＲＦ−ＩＤ保持部材は、前記容器本体の底面側から背面側へ回転可能に前記識別部材に連結されるとともに、前記基板収納容器の最大外形の内側となる第一の位置と、前記基板収納容器の最大外形の外側となる第二の位置との間で、着脱されることなく移動可能であること。
【０００８】
（２）上記（１）の態様において、前記ＲＦ−ＩＤ保持部材は、前記基板収納容器が輸送されるとき、前記第一の位置で保持されてもよい。
【０００９】
（３）上記（１）又は（２）の態様において、前記ＲＦ−ＩＤ保持部材は、前記第一の位置では、水平方向に固定され、前記第二の位置では、垂直方向に固定されてもよい。
【００１０】
（４）上記（１）から（３）までのいずれか一つの態様において、前記識別部材又は前記ＲＦ−ＩＤ保持部材のいずれか一方に、少なくとも一つの突起が設けられ、前記識別部材又は前記ＲＦ−ＩＤ保持部材の他方に、前記突起と対となり、前記突起に係合する係合溝が設けられてもよい。
【００１１】
（５）上記（１）から（４）までのいずれか一つの態様において、前記識別部材と前記ＲＦ−ＩＤ保持部材とは、別部材で形成され、連結ピンで回転可能に連結されてもよい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、質問器の位置に応じて、ＲＦ−ＩＤタグを移動できる基板収納容器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態に係る基板収納容器１を示す背面側の斜視図である。
【図２】容器本体２を示す背面側の斜視図である。
【図３】識別部材３を示す、（ａ）下方からの斜視図、（ｂ）上方からの斜視図、である。
【図４】ＲＦ−ＩＤ保持部材４を示す、（ａ）斜視図、（ｂ）別角度からの斜視図、（ｃ）Ｄ−Ｄ線で切断した断面図、である。
【図５】連結ピン６を示す斜視図である。
【図６】ＲＦ−ＩＤ保持部材４の各状態（ａ）から（ｃ）を示す上方からの斜視図である。
【図７】ＲＦ−ＩＤ保持部材４の各状態（ａ）から（ｃ）を示す下方からの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
＜＜本発明の実施形態＞＞
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。また、前後は、容器本体の開口部側と背面側とを結ぶ方向を指し、左右は、容器本体の開口部側から見た状態を指すものとする。
【００１５】
＜基板収納容器＞
図１は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１を示す背面側の斜視図であり、図２は、容器本体２を示す背面側の斜視図である。
図１に示される基板収納容器１は、図示されない複数の基板を収納可能なものであり、容器本体２と、蓋体１１（図示なし）とを備える。
【００１６】
［容器本体］
図２に示される容器本体２は、前面などの一方の開口部（図示なし）と、天井面２ａと、背面２ｂと、左右の側面２ｃと、底面２ｄとを有する略立方体のものである。開口部は、後述する蓋体１１により密閉される。
【００１７】
容器本体２の天井面２ａは、工程内及び工程間を走行する天井走行台車の吊下装置で吊下げられる、ロボティックフランジなどが設けられてもよい。
【００１８】
容器本体２の背面２ｂは、開口部の反対側に位置するものであり、底面２ｄから天井面２ａにかけて、左右一対の突出部２１が形成されている。この一対の突出部２１は、容器本体２の背面２ｂ側の最大外形となる。
【００１９】
容器本体２の左右の側面２ｃは、対向する内面に、支持部材が設けられ、この支持部材には、基板の周縁部を水平に支持する支持部が、垂直方向に所定の間隔で形成されている。
【００２０】
容器本体２の底面２ｄは、後述する識別部材３が着脱自在に取付けられる。具体的には、容器本体２の底面２ｄには、識別部材３を固定するための一対の係止溝２２が底面２ｄから突出するように形成されている。
【００２１】
［蓋体］
図示されない蓋体１１は、容器本体２の開口部を密閉するように取付けられる。なお、蓋体１１は、容器本体２の開口部側に、基板の周縁部を支持する支持部材が設けられている。また、蓋体１１は、容器本体２を密閉した状態で、蓋体１１を容器本体２に固定する施錠機構を備えてもよい。
【００２２】
［識別部材］
図３は、識別部材３を示す、（ａ）下方からの斜視図、（ｂ）上方からの斜視図、である。
図３に示される識別部材３は、インフォパッドプラグ取付部などの容器識別部を有するものであり、容器本体２に着脱自在に取付けられる。この識別部材３は、基部３１と、左右一対の側壁部３２と、縦壁部３３とで形成されている。
【００２３】
基部３１は、板状のもので、幅方向の中心線ＣＬに沿って略Ｕ字状の切欠部３１ａが形成されている。この切欠部３１ａにより前方が左右に分離された基部３１は、異なる半径を有する複数の貫通孔３１ｂが、幅方向の中心線ＣＬを軸として対称にそれぞれ形成されている。貫通孔３１ｂは、同心状である、大きな径をした外周円と、小さな径をした内周円とを有しており、外周円と内周円との間には段差部が形成されている。この段差部は、図示されないインフォパッドプラグに設けられた爪などが嵌合するもので、必要に応じて、インフォパッドプラグが取付けられると、貫通孔３１ｂは閉塞される。
【００２４】
側壁部３２は、側面視Ｌ字状のもので、基部３１の左右端部からそれぞれ立設され、端部に係止爪３２ａが形成されている。この係止爪３２ａが、容器本体２の係止溝２２に係合することにより、識別部材３は、基部３１が容器本体２の底面２ｄと略平行となるように、容器本体２の底面２ｄに取付けられる。
【００２５】
縦壁部３３は、板状のもので、基部３１の後方の端部から上方に向かい、後方に湾曲するように立設されている。縦壁部３３は、中心線ＣＬと略直交する方向の一方側に連結壁３４が形成されている。この連結壁３４には、軸受孔３４ａが形成されており、後述する連結ピン６が挿入される。また、軸受孔３４ａの周囲には、係合溝３５が、少なくとも２箇所に形成されている（図３（ａ）参照）。
【００２６】
［ＲＦ−ＩＤ保持部材］
図４は、ＲＦ−ＩＤ保持部材４を示す、（ａ）斜視図、（ｂ）別角度からの斜視図、（ｃ）Ｄ−Ｄ線で切断した断面図、である。
図４に示されるＲＦ−ＩＤ保持部材４は、図示されないＲＦ−ＩＤタグ５を保持するものである。ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、保持部材本体４１と、軸受部４２とで、略Ｔ字状に形成されている。
【００２７】
保持部材本体４１は、角棒状であり、一面に凹部４１ａが形成されている（図４（ａ）参照）。この凹部４１ａに、ＲＦ−ＩＤタグ５が挿入され固定される。なお、反対側の面の両端付近に凹部４１ａまで貫通する開口を形成し、開口から治具などを挿入することで、ＲＦ−ＩＤタグ５を凹部４１ａから取外すことができるようにしてもよい。
【００２８】
一方、軸受部４２は、保持部材本体４１の凹部４１ａが形成された面とは反対側の面の中心から一方に変位した位置から、他方に向かって角度θ１で傾斜し、突出して形成されている。本実施形態では、角度θ１は１１２°とされるが、ＲＦ−ＩＤ保持部材４を固定する後述の位置・姿勢に応じて任意に設定可能である。
【００２９】
この軸受部４２は、後述する連結ピン６を軸支する軸受孔４２ａが形成されている（図４（ｃ）参照）。また、軸受孔４２ａの周囲には、係合溝３５と対となって係合する突起４３が形成されている（図４（ｂ）参照）。
【００３０】
なお、突起４３はＲＦ−ＩＤ保持部材４に設けられ、係合溝３５は識別部材３に設けられたが、突起４３及び係合溝３５は対となる相対的な関係であるから、逆に、突起４３を識別部材３に設け、係合溝３５をＲＦ−ＩＤ保持部材４に設けるようにしてもよい。
【００３１】
［連結ピン］
図５は、連結ピン６を示す斜視図である。
図５に示される連結ピン６は、識別部材３とＲＦ−ＩＤ保持部材４とを連結するものである。連結ピン６は、頭部６ａと軸部６ｂとを有している。頭部６ａは、略円板に形成されている。一方、軸部６ｂは、先端に鉤部６ｃが形成され、全体が半割状態に形成されている。
【００３２】
ここで、上記した容器本体２、蓋体１１、識別部材３、ＲＦ−ＩＤ保持部材４、連結ピン６は、樹脂材料を用いた射出成形などにより形成される。樹脂材料としては、ポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマー、シクロオレフィンポリマーなどの従来公知の合成樹脂やこれらのアロイ樹脂が挙げられる。また、これらの樹脂に、カーボンパウダー、カーボン繊維、カーボンナノチューブなどを添加して、導電性を付与したものを用いてもよい。
【００３３】
＜ＲＦ−ＩＤ保持部材の固定位置及び移動＞
図６は、ＲＦ−ＩＤ保持部材４の各状態（ａ）から（ｃ）を示す上方からの斜視図であり、図７は、ＲＦ−ＩＤ保持部材４の各状態（ａ）から（ｃ）を示す下方からの斜視図である。
【００３４】
連結ピン６は、上述したように、識別部材３とＲＦ−ＩＤ保持部材４とを連結するもので、連結ピン６は、識別部材３の軸受孔３４ａと、ＲＦ−ＩＤ保持部材４の軸受孔４２ａとに挿通され、ＲＦ−ＩＤ保持部材４を回転可能に軸支する。すなわち、連結ピン６の頭部６ａと鉤部６ｃとの間に、識別部材３の連結壁３４と、ＲＦ−ＩＤ保持部材４の軸受部４２とが、この順で挟持され、軸部６ｂで回転可能に軸支されている。
【００３５】
このように連結されることで、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、容器本体２の底面２ｄ側から背面２ｂ側へ回転可能となる。
【００３６】
（ａ）第一の位置Ａ
ＲＦ−ＩＤ保持部材４を、その長手方向が略水平方向に一致するまで容器本体２の底面２ｄ側に回転させ固定する。このとき、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、基板収納容器１の最大外形の内側に位置する。この位置が、ＲＦ−ＩＤ保持部材４を固定する第一の位置Ａとなる（図６（ａ）及び図７（ａ）参照）。
【００３７】
（ｂ）第一の位置Ａから第二の位置Ｂへの回転移動
ＲＦ−ＩＤ保持部材４を、第一の位置Ａから容器本体２の背面２ｂ側に向かって回転させると、連結ピン６の軸線が、ＲＦ−ＩＤ保持部材４の長手方向とは捻れ位置の関係にあることから、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、略水平方向から略垂直方向に向かって捻れながら回転移動する（図６（ｂ）及び図７（ｂ）参照）。
【００３８】
（ｃ）第二の位置Ｂ
ＲＦ−ＩＤ保持部材４を、その長手方向が略垂直方向に一致するまで容器本体２の背面２ｂ側に回転させ固定する。このとき、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、基板収納容器１の最大外形の外側に位置する。この位置が、ＲＦ−ＩＤ保持部材４を固定する第二の位置Ｂとなる（図６（ｃ）及び図７（ｃ）参照）。
【００３９】
したがって、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、基板収納容器１の最大外形の内側となる第一の位置Ａと、基板収納容器１の最大外形の外側となる第二の位置Ｂとの間で、着脱されることなく移動可能となる。
【００４０】
基板収納容器１が輸送されるとき、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、第一の位置Ａに固定される。第一の位置Ａであれば、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、容器本体２の背面２ｂ側の最大外形である一対の突出部２１（基板収納容器１の最大外形）よりも内側に位置することとなり、基板収納容器１が包装・梱包された場合でも、ＲＦ−ＩＤ保持部材４により、輸送用の包装材料や梱包材料が損傷されることがない。
【００４１】
また、基板収納容器１が加工装置で使用されるとき、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、第一の位置Ａ又は第二の位置Ｂに固定される。ＲＦ−ＩＤタグ用の質問器の位置に応じて、ＲＦ−ＩＤ保持部材４を第一の位置Ａ又は第二の位置Ｂに固定することで、質問器はＲＦ−ＩＤタグ５との間でデータの読取又は書込が可能となる。
【００４２】
ただし、ＲＦ−ＩＤ保持部材４の固定位置は、本実施形態の位置に限られない。例えば、略垂直方向又は略水平方向だけでなく、水平方向から４５°や６０°傾斜した（捩れた）方向で固定されてもよい。その際、突起４３又は係合溝３５は、ＲＦ−ＩＤ保持部材４の固定位置に対応して設けられる。
【００４３】
以上のとおり、本発明の実施形態に係る基板収納容器１は、一方に開口部を有する容器本体２と、開口部を密閉する蓋体１１と、容器識別部を有する識別部材３と、ＲＦ−ＩＤタグ５を保持するＲＦ−ＩＤ保持部材４と、を備え、識別部材３は、容器本体２に着脱自在に取付けられ、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、容器本体２の底面側から背面側へ回転可能に識別部材３に連結されるとともに、基板収納容器１の最大外形の内側となる第一の位置Ａと、基板収納容器１の最大外形の外側となる第二の位置Ｂとの間で、着脱されることなく移動可能である。
【００４４】
これにより、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、基板収納容器１の最大外形の内側となる第一の位置Ａ又は基板収納容器１の最大外形の外側となる第二の位置Ｂに移動して固定することができるから、質問器の位置に応じて、ＲＦ−ＩＤ保持部材４の位置を変更でき、ＲＦ−ＩＤタグ５の情報の読取又は書込を可能にすることができる。また、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、第一の位置Ａと第二の位置Ｂとの間を回転運動により移動するため、ＲＦ−ＩＤ保持部材４が取外されることがなく、付け忘れが起きないし、さらに、ＲＦ−ＩＤタグ５の付け間違いも起きない。
【００４５】
本実施形態では、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、基板収納容器１が輸送されるとき、第一の位置Ａに保持される。これにより、ＲＦ−ＩＤ保持部材４が、輸送用の包装材料や梱包材料を損傷することを防止することができる。
【００４６】
本実施形態では、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、第一の位置Ａでは、水平方向に固定され、第二の位置Ｂでは、垂直方向に固定される。これにより、ＲＦ−ＩＤ保持部材４が移動する軌跡の領域を小さくすることができる。
【００４７】
本実施形態では、識別部材３又はＲＦ−ＩＤ保持部材４のいずれか一方に、少なくとも一つの突起４３が設けられ、識別部材３又はＲＦ−ＩＤ保持部材４の他方に、突起４３と対となり、突起４３に係合する係合溝３５が設けられる。これにより、突起４３と係合溝３５とが係合することで、輸送時の振動などの外力がＲＦ−ＩＤ保持部材４に作用したとしても、ＲＦ−ＩＤ保持部材４の位置がズレることがない。また、突起４３と係合溝３５とが係合するときのクリック感により、第一の位置Ａ又は第二の位置Ｂに正確に固定されたことを確認できる。
【００４８】
以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。
【符号の説明】
【００４９】
１    基板収納容器
１１  蓋体
２    容器本体、２ａ  天井面、２ｂ  背面、２ｃ  側面、２ｄ  底面
２１  突出部
２２  係止溝
３    識別部材
３１  基部、３１ａ  切欠部、３１ｂ  貫通孔
３２  側壁部、３２ａ  係止爪
３３  縦壁部
３４  連結壁、３４ａ  軸受孔
３５  係合溝
４    ＲＦ−ＩＤ保持部材
４１  保持部材本体、４１ａ  凹部
４２  軸受部、４２ａ  軸受孔
４３  突起
５    ＲＦ−ＩＤタグ
６    連結ピン、６ａ  頭部、６ｂ  軸部、６ｃ  鉤部
Ａ    第一の位置
Ｂ    第二の位置
ＣＬ    中心線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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