(57)【要約】【課題】  音叉型圧電振動片が超小型になっても振動漏れを有効に低減し、良好な特性を有する音叉型圧電振動片および当該音叉型圧電振動片を用いた音叉型圧電振動子を提供することを目的とする。【解決手段】  音叉型水晶振動片２は、基部２０と、基部２０の一端側２０１から同一方向に伸長する一対の振動腕２１，２２を備えている。一対の振動腕２１，２２の各々の少表裏主面には、前記振動腕の伸長方向に伸びる長溝Ｇ，Ｇが形成されている。長溝Ｇの一端側は基部２０にまで延長されており、長溝Ｇの一端側に基部２０の幅方向の外側に向かって伸長方向が変化する外方延長部Ｇ１が設けられている。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、当該基部の一端側から同一方向に伸長する一対の振動腕を備えた音叉型圧電振動片であって、
前記一対の振動腕の各々の少なくとも一主面には、当該振動腕の伸長方向に伸びる長溝が形成されてなり、
前記長溝の一端側は前記基部にまで延長されるとともに、当該長溝の前記一端側に、基部の幅方向の外側に向かってその伸長方向が変化する外方延長部を備えることを特徴とする音叉型圧電振動片。
【請求項２】
前記長溝の前記一端側が複数の方向に分岐するとともに、当該長溝の一端側に前記外方延長部が含まれることを特徴とする請求項１に記載の音叉型圧電振動片。
【請求項３】
前記長溝の前記一端側が、前記外方延長部と、前記基部の幅方向の内側に向かってその伸長方向が変化する内方延長部とを備えることを特徴とする請求項２に記載の音叉型圧電振動片。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の音叉型圧電振動片が、容器に設けられた凹部に収容され、前記凹部の開口端を覆うように蓋が接合された音叉型圧電振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は音叉形状からなる圧電振動片と、当該圧電振動片を用いた音叉型圧電振動子に関する。
【背景技術】
【０００２】
音叉型水晶振動子等の圧電振動子は基準クロック源として様々な電子機器に用いられている。例えば表面実装型の音叉型水晶振動子（以下、水晶振動子と略）は、基部と当該基部の一端側から同一方向に伸長する一対の振動腕を備えた音叉型水晶振動片が、絶縁性容器の凹部に収容され、当該凹部の開口端に平板状の蓋が接合された構成となっている（特許文献１乃至２参照）。前記一対の振動腕には振動腕を駆動させるための励振電極等が形成されている。
【０００３】
前記水晶振動子では、音叉型水晶振動片の基部の他端側が、前記容器の凹部の内底面に形成された電極パッド上に、導電性の接合材を介して導電接合される。ここで振動腕の振動が基部と接合材との接合部へ漏れて伝搬することによって、水晶振動子の発振周波数が不安定になったり、等価直列抵抗値の低下を招くことがある（いわゆる、振動漏れ）。この振動漏れを防止するには、基部の長さ方向における寸法（基部の振動腕の伸長方向における全長）を、振動腕の幅（振動腕の伸長方向と直交する方向における寸法）に対して充分長く（例えば４倍以上）確保することによって、振動漏れの影響を低減できることが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２６１５７５号
【特許文献２】特許第３８９６５８５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前記水晶振動子が超小型（例えば平面視矩形の水晶振動子の外形寸法が１．６ｍｍ×１．０ｍｍ以下）になってくると、これに使用される音叉型水晶振動片もより小型になる。超小型の水晶振動子において等価直列抵抗値を小さくするためには、振動腕の伸長方向における寸法を長く確保する必要がある。そのため、基部の長さ方向における寸法を充分に確保することが困難になってくる。すなわち、基部の長さ方向における寸法を振動腕の幅に対して充分長く確保することが困難になるため、振動漏れの影響を受け易くなり、水晶振動子の特性が劣化するという問題が生じてくる。
【０００６】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、音叉型圧電振動片が超小型になっても振動漏れを有効に低減し、良好な特性を有する音叉型圧電振動片および当該音叉型圧電振動片を用いた音叉型圧電振動子を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために請求項１に係る発明は、基部と、当該基部の一端側から同一方向に伸長する一対の振動腕を備えた音叉型圧電振動片であって、前記一対の振動腕の各々の少なくとも一主面には、当該振動腕の伸長方向に伸びる長溝が形成されてなり、前記長溝の一端側は前記基部にまで延長されるとともに、当該長溝の前記一端側に、基部の幅方向の外側に向かってその伸長方向が変化する外方延長部を備えることを特徴とする。
【０００８】
上記発明によれば、長溝の一端側が基部にまで延長されるとともに、当該長溝の一端側に、基部の幅方向の外側に向かってその伸長方向が変化する外方延長部が設けられているため、振動腕の振動を基部の幅方向の外側に伝搬させることができる。これにより、振動腕の伸長方向に沿って直線状に形成されている長溝に比べて、基部と接合材との接合部への振動漏れの影響を低減させることができる。
【０００９】
なお基部の幅方向における寸法が、一対の振動腕の両外縁間の距離よりも大きくなるように設定してもよい。つまり、基部の側端部が、振動腕の外縁に対して外側にはみ出すようにすることにより、振動腕から伝搬した振動を基部の幅方向の外側により伝搬させることができる。これにより、基部と接合材との接合部への振動漏れの影響をより低減させることができる。
【００１０】
前記長溝の一端側に前記外方延長部のみが設けられた構成の場合、振動腕の振動を基部の幅方向の外側にのみ伝搬するように迂回させることができる。これにより、振動腕の伸長方向に沿ってのみ直線状に形成されている長溝に比べて、振動腕の振動の前記接合部までの伝搬経路をより長く確保することができる。その結果、前記接合部への振動漏れの影響を低減させることができる。
【００１１】
前記長溝の一端側に前記外方延長部のみが設けられた構成において、基部の側端部が振動腕の外縁に対して外側にはみ出すようにしてもよい。このような構成とすることによって、振動腕の振動の前記接合部までの伝搬経路を更に長く確保することができるため、基部と接合材との接合部への振動漏れの影響をより低減させることができる。
【００１２】
また、上記目的を達成するために請求項２に係る発明は、前記長溝の前記一端側が複数の方向に分岐するとともに、当該長溝の一端側に前記外方延長部が含まれている。
【００１３】
上記発明によれば、基部と接合材との接合部への振動漏れの影響を低減させることができる。これは前記外方延長部によって、振動腕の振動を基部の幅方向の外側に伝搬させつつ、長溝の一端側が複数の方向に分岐していることによって振動腕から伝搬した振動を分散させることができるからである。
【００１４】
また、上記目的を達成するために請求項３に係る発明は、前記長溝の前記一端側が、前記外方延長部と、前記基部の幅方向の内側に向かってその伸長方向が変化する内方延長部とを備えることを特徴とする。
【００１５】
上記発明によれば、基部と接合材との接合部への振動漏れの影響を低減させることができる。これは、外方延長部で振動腕の振動を基部の幅方向の外側に伝搬させつつ、内方延長部で振動腕の振動を基部の幅方向の中央側へ誘導して、一対の振動腕の各々からの振動が互いに打ち消され易くすることができるからである。また、長溝の一端側が外方延長部と内方延長部とに分岐していることによって、振動腕の振動を基部における振動腕の振動の節点（Ｎｏｄａｌ  Ｐｏｉｎｔ）に伝搬し難くすることができる。以上によって、安定した特性を有する音叉型圧電振動子を得ることができる。
【００１６】
また、上記目的を達成するために請求項４に係る発明は、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の音叉型圧電振動片が、容器に設けられた凹部に収容され、前記凹部の開口端を覆うように蓋が接合された音叉型圧電振動子となっている。
【００１７】
上記発明によれば、基部と接合材との接合部への振動漏れの影響を低減した良好な特性を有する音叉型圧電振動子を得ることができる。
【発明の効果】
【００１８】
以上のように本発明によれば、音叉型圧電振動片が超小型になっても振動漏れを有効に低減し、良好な特性を有する音叉型圧電振動片および当該音叉型圧電振動片を用いた音叉型圧電振動子を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態に係る音叉型水晶振動子の封止前の上面模式図
【図２】図１のＡ−Ａ線における断面模式図
【図３】本発明の実施形態に係る音叉型水晶振動片の一主面側の平面模式図
【図４】本発明の実施形態に係る音叉型水晶振動片の他主面側の平面模式図
【図５】本発明の実施形態の変形例を表す音叉型水晶振動片の平面模式図
【図６】本発明の実施形態の変形例を表す音叉型水晶振動片の平面模式図
【図７】本発明の実施形態の変形例を表す音叉型水晶振動片の平面模式図
【図８】本発明の実施形態の変形例を表す音叉型水晶振動片の平面模式図
【図９】本発明の実施形態の変形例を表す音叉型水晶振動片の平面模式図
【図１０】本発明の実施形態の変形例を表す音叉型水晶振動片の平面模式図
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態を音叉型水晶振動子を例に挙げ、図面を参照しながら説明する。本実施形態における音叉型水晶振動子（以下、水晶振動子と略）は略直方体状のパッケージ構造からなる表面実装型の水晶振動子である。本実施形態ではその平面視の外形寸法は縦１．６ｍｍ、横１．０ｍｍとなっている。なお、水晶振動子の平面視の外形寸法は当該寸法に限定されるものではない。本発明は、基部の長さ方向における寸法を充分に長く確保することが困難となる，超小型の外形寸法（１．６ｍｍ×１．０ｍｍ以下）の水晶振動子に対して好適である。
【００２１】
本発明の実施形態に係る水晶振動子１は、図１乃至２に示すように凹部５を有する絶縁材料からなる容器３と、音叉型水晶振動片２（以下、水晶振動片２と略）と、凹部５を封止する平板状の蓋４が主な構成部材となっている。なお図１では説明の便宜上、前記蓋を取り除いた状態で表している。また図１乃至２では水晶振動片に形成される各種電極の記載は省略している。水晶振動片２は、容器３の凹部５の内部に収容された後、蓋４が凹部５を覆うように容器３の開口端に接合されることによって気密に封止される。ここで容器３と蓋４とは図示しない封止材を介して接合される。
【００２２】
容器３はアルミナ等のセラミックを主体とした絶縁材料から成る箱状体であり、２枚のセラミックグリーンシートを積層して一体焼成することによって成形されている（図２参照）。容器３は枠状の堤部３０の内側に平面視矩形状の凹部５を有している。堤部３０の上面３００には図示しない封止材が平面視で枠状に形成されており、前記接合材は蓋４の外周部分と対応している。
【００２３】
凹部５の内底面３０１の一短辺側には、水晶振動片２と導電接合される２つの電極パッド６，７が、互いに隙間を空けた状態で並列して形成されている。２つの電極パッド６，７は、図示しない内部配線およびビアを介して容器３の外底面３０２の４隅に設けられた４つの外部接続端子８（図２では２つのみ図示）のうちの２つの端子と電気的に接続されている。これら２つの電極パッド６，７は互いに異極となっている。
【００２４】
本実施形態では２つの電極パッド６，７は、タングステンメタライズ層の上面に金をメッキ等の手法を用いて積層することによって形成されている。なお前記メタライズ層として、タングステンの代わりにモリブデンを用いてもよい。
【００２５】
電極パッド６，７のタングステン部分はメタライズの最小単位厚みの点から２段に重ね塗りされている。これは、本実施形態では水晶振動子の薄型化を図るために容器３を２層構成としたことによって凹部５の内底面３０１に段部を形成することができないため、水晶振動片２の搭載後の状態で、水晶振動片の下面（内底面３０１に対向する面）と前記内底面３０１との間に或る程度の隙間を確保するためである。
【００２６】
本実施形態において電極パッド６，７は平面視で矩形状となっており、その平面視における面積が異なっている。すなわち電極パッド７は電極パッド６よりも、その平面視の面積が相対的に大きくなっている。これは後述する水晶振動片２の形状と対応させるための構成となっている。なお、本発明の適用は、平面視における面積が異なった電極パッドに限定されるものではなく、２つの電極パッドが同一の面積であってもよい。
【００２７】
蓋４はコバールを基体とする平面視矩形状の金属性の蓋体であり、当該蓋の表裏面にはニッケルメッキ層が形成されている。また蓋４の容器との接合面側には、前記ニッケルメッキ層の上に金属からなるロウ材が全面に亘って形成されている。本実施形態では前記ロウ材として銀ロウが使用されている。
【００２８】
次に本実施形態における水晶振動片について図３乃至４を参照しながら説明する。なお説明の便宜上、水晶振動片２の対向する２つの主面（２ａ，２ｂ）のうち、容器に搭載される際に電極パッド６，７に対面する側の主面を裏面２ｂとし、当該裏面に対向する反対側の主面を表面２ａとして説明する。図３は水晶振動片の表面側（２ａ）から見た平面模式図を、図４は水晶振動片の裏面側（２ｂ）から見た平面模式図をそれぞれ表している。
【００２９】
図３乃至４に示すように、水晶振動片２は音叉形状であり、基部２０と、基部２０の一端側２０１から同一方向に伸長する一対の振動腕２１，２２と、基部の他端側２０２の一側面から基部２０の幅方向（図３乃至４で符号Ｘで示す軸方向における基部の寸法）の一方に向かって突出した突出部２４とから成っている。
【００３０】
前記一対の振動腕２１，２２の各々の先端側には、振動腕２１，２２の腕幅（振動腕の伸長方向に対して直交する方向における腕の寸法）よりも幅広となる幅広部２３，２３が形成されている。幅広部２３，２３は、振動腕の伸長方向に向かって漸次拡幅する拡幅部（符号省略）を介して、振動腕２１，２２の先端部分と一体で成形されている。前記拡幅部と前記幅広部とは、振動腕と一体で成形されている。なお幅広部２３，２３の各々の先端側２１１，２２１の各隅部は面取り状（Ｃ面状）に加工されている。振動腕２１，２２と拡幅部と幅広部２３，２３は、対向する一対の主面２ａ，２ｂと対向する一対の側面（符号省略）を有している。
【００３１】
一対の振動腕２１，２２の各々の表裏主面には、等価直列抵抗値（Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｉｍｐｅｄａｎｃｅ。以下、ＣＩ値と略）をより低下させる目的で、長溝Ｇが互いに対向するように形成されている。長溝Ｇは一対の振動腕２１，２２の各々の表裏主面に所定の深さで形成されており、その一端側は基部２０の一端側２０１の領域まで延長されている。一方、長溝Ｇの他端側は、振動腕と拡幅部との境界に対して振動腕の付け根側に位置している。
【００３２】
長溝Ｇの一端側には、基部２０の幅方向の外側に向かって、その伸長方向が変化する外方延長部Ｇ１が設けられている。具体的に前記外方延長部Ｇ１は、所定の曲率で基部２０の幅方向の外側に向かって連続的に湾曲している。すなわち、一対の外方延長部Ｇ１，Ｇ１は、基部の長さ方向において他端側２０２に近づくにつれて互いに漸次離間するように基部２０の幅方向の外方に向かって湾曲しており、基部２０の幅方向の略中央を通る仮想直線ＣＬを基準として線対称に形成されている。このように外方延長部Ｇ１が基部の幅方向の外側に連続的に湾曲する構成の場合、溝内に角部が存在しないため振
動腕の振動を基部の幅方向の外側へ伝搬させ易くすることができる。これにより、振動腕の伸長方向に沿ってのみ直線状に形成されている長溝に比べて、振動腕の振動の基部と接合材との接合部までの伝搬経路をより長く確保することができる。その結果、前記接合部への振動漏れの影響を低減させることができる。なお、外方延長部の形態は基部の幅方向の外側に湾曲したものに限定されるものではなく、振動腕の伸長方向から基部の幅方向の外側に向かって直角に屈曲した形態であってもよい。
【００３３】
上記構成の長溝によれば、長溝Ｇの一端側が基部２０にまで延長されるとともに、当該長溝の一端側に、基部２０の幅方向の外側に向かってその伸長方向が変化する外方延長部Ｇ１が設けられているため、振動腕の振動を基部の幅方向の外側に伝搬させることができる。これにより、振動腕の伸長方向に沿って直線状に形成されている長溝に比べて、基部と接合材との接合部への振動漏れの影響を低減させることができる。
【００３４】
本実施形態では基部２０の幅方向における寸法が、一対の振動腕２１，２２の両外縁間の距離（一対の振動腕が占めるＸ軸方向における寸法）よりも大きくなっている。すなわち、基部２０の左側端部と右側端部が、振動腕２１，２２の外側面に対して外側にはみ出した構成となっている。このような，はみ出し領域を設けることによって、振動腕から伝搬した振動を基部の幅方向の外側により伝搬させることができる。これにより、基部と接合材との接合部への振動漏れの影響をより低減させることができる。
【００３５】
基部２０には、他端側２０２側が一端側２０１側よりも基部の幅が狭くなる縮幅部２０３が形成されている。この縮幅部２０３の一側面には前述した突出部２４が形成されている。この突出部２４と基部２０とによって平面視では直角に折れ曲がったアルファベットの「Ｌ」字状の部位が形成されている。なお、音叉型水晶振動片は本実施形態における形状に限定されるものではない。例えば前記突出部が、基部の一側面だけでなく基部の他側面（前記一側面と対向する側面）から突出した形状，つまり突出部が基部の両外側に各々突出した形状であってもよい。あるいは前記突出部が、基部から両外側に突出した後、振動腕の伸長方向に向きを変えて、互いに平行に伸長する左右対称の形状であってもよい。また、基部に突出部が形成されていない形状であってもよい。
【００３６】
前述した水晶振動片の外形や溝は、１枚の水晶ウエハからフォトリソグラフィ技術とウェットエッチングを用いて一括同時に多数個が成形される。
【００３７】
水晶振動片２には、異電位で構成された第１の励振電極２５および第２の励振電極２６と、第１の励振電極２５と第２の励振電極２６の各々から引回し電極（後述）を経由して引き出された引出電極２７，２８とが形成されている。
【００３８】
また第１および第２の励振電極２５，２６は、一対の振動腕２１，２２の長溝Ｇ，Ｇの内部の全体に及んで形成されている。前記長溝を形成することにより、水晶振動片を小型化しても一対の振動腕２１，２２の振動漏れが抑制され、良好なＣＩ値を得ることができる。なお、一対の振動腕の長溝Ｇ，Ｇの内部の一部の領域だけに、第１および第２の励振電極だけが形成されていてもよい。この場合、長溝の形成領域のうち、振動腕の領域だけに及ぶように励振電極を形成し、基部の領域には励振電極が及ばないようにしてもよい。このように振動腕の領域だけに及ぶ励振電極を形成することによって、基部における異電位の電界が発生しなくなり、不要な振動の発生を抑制することができる。
【００３９】
第１の励振電極２５は、一方の振動腕２１の表裏主面と、引回し電極（符号省略）を介して他方の振動腕２２の外側面と内側面とに形成されている。同様に第２の励振電極２６は、他方の振動腕２２の表裏主面と、引回し電極（符号省略）を介して一方の振動腕２１の外側面と内側面とに形成されている。
【００４０】
引出電極２７，２８は基部２０および突出部２４（裏面２ｂのみ）に形成されている。基部２０に形成された引出電極２７により、他方の振動腕２２の外側面と内側面の各々に形成された第１の励振電極２５と，引回し電極（符号省略）を経由して、一方の振動腕２１の表裏主面に形成された第１の励振電極２５と接続されている。同様に、基部２０に形成された引出電極２８により、一方の振動腕２１の外側面と内側面の各々に形成された第２の励振電極２６と，引回し電極（符号省略）を経由して、他方の振動腕２２の表裏主面に形成された第２の励振電極２６と接続されている。
【００４１】
引出電極２７，２８は、水晶振動片の表面２ａにおいては基部２０の一端側２０１から縮幅部２０３まで引き出されている。一方、水晶振動片の裏面２ｂにおいては他端側２０２および突出部２４の先端側まで引き出されている。そして図４に示すように、水晶振動片の裏面２ｂにおける基部２０の他端側２０２の領域と突出部２４の先端側の各領域とは、容器３の電極パッド６，７と各々電気機械的に接続される接続電極２７１，２８１となっている。
【００４２】
図４に示すように、２つの接続電極２７１，２８１の各々の上面には、導電性の接合材Ｓ，Ｓが各々形成されている。本実施形態では接合材Ｓは、電解めっき法によって形成された，めっきバンプとなっている。そして水晶振動片２と電極パッド６，７との導電接合は、ＦＣＢ法（Ｆｌｉｐ  Ｃｈｉｐ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）によって行われている。
【００４３】
幅広部２３，２３を構成する一対の主面と一対の側面の全ての面には、前述した引回し電極が各々形成されている。本実施形態において引回し電極は、幅広部２３の全周と、振動腕２１，２２の拡幅部寄りの部位の全周（一対の主面と一対の側面）とに形成されている。
【００４４】
前述した第１および第２の励振電極２５，２６や引出電極２７，２８、引回し電極（符号省略）は、水晶基材上にクロム（Ｃｒ）層が形成され、このクロム層の上に金（Ａｕ）層が積層された層構成となっている。なお前記各種電極の層構成は、クロム層の上に金層が形成された層構成に限らず、他の層構成であってもよい。
【００４５】
第１および第２の励振電極と引出電極や引回し電極は、真空蒸着法やスパッタリング等によって水晶ウエハの主面全体に成膜された後、フォトリソグラフィ技術とメタルエッチングによって所望のパターンに一括同時に成形されている。
【００４６】
図３に示すように本発明の実施形態では、幅広部２３を構成する面のうち一主面のみ（表面２ａ）に周波数調整用金属膜Ｗ（周波数調整用錘）が形成されている。この周波数調整用金属膜Ｗの質量を、レーザービームやイオンビーム等のビーム照射によって削減することによって水晶振動片２の周波数が微調整される。なお周波数調整用金属膜Ｗは幅広部２３，２３の主面における引回し電極よりも、平面視における面積が一回り小さく形成されている。
【００４７】
―本発明の実施形態の変形例―
次に本発明の実施形態の変形例を図５乃至１０を参照しながら説明する。なお前述した本発明の実施形態と同一の構成については説明を割愛する。なお、図５乃至１０に示す本発明の実施形態の変形例の全てにおいて、突出部は基部の両外側に突出した構成となっている。また、図５乃至１０に示す変形例の全てにおいて、励振電極や引出電極の記載は省略している。
【００４８】
図５乃至１０に示す本発明の実施形態の変形例では、長溝の一端側は基部にまで延長されているとともに、当該一端側が複数の方向に分岐している。具体的には図５乃至９に示す変形例では長溝の一端側は２つの方向に分岐しており、図１０に示す変形例では３つの方向に分岐している。
【００４９】
図５に示す変形例では、水晶振動片９の長溝Ｇ２の一端側は基部９０にまで延長されているとともに、当該一端側が外方延長部Ｇ３と内方延長部Ｇ４の２つの方向に分岐している。内方延長部Ｇ４は、所定の曲率で基部９０の幅方向の外方に向かって連続的に湾曲した外方延長部Ｇ３と、長溝Ｇ２の幅方向の略中央を通る仮想線（図５における破線）に対して線対称となっている。２つの内方延長部Ｇ４，Ｇ４はそれぞれ円弧状に湾曲しており、２つの内方延長部Ｇ４，Ｇ４を基部の幅方向中央に近づく方向に延伸させた仮想線同士は互いに交わるようになっている。
【００５０】
図５に示す構成の長溝によれば、基部９０と接合材との接合部への振動漏れの影響を低減させることができる。これは、外方延長部Ｇ３で振動腕の振動を基部の幅方向の外側に伝搬させつつ、内方延長部Ｇ４で振動腕の振動を基部の幅方向の中央側へ誘導して、一対の振動腕の各々からの振動が互いに打ち消され易くすることができるからである。また、長溝Ｇ２の一端側が外方延長部Ｇ３と内方延長部Ｇ４とに分岐していることによって、振動腕の振動を基部における振動腕の振動の節点に伝搬し難くすることができる。以上によって、安定した特性を有する水晶振動子を得ることができる。
【００５１】
図６に示す変形例では、水晶振動片１０の長溝Ｇ５の一端側は基部１００にまで延長されているとともに、当該一端側が外方延長部Ｇ６と内方延長部Ｇ７の２つの方向に分岐している。図６に示す長溝Ｇ５は、図５に示す長溝Ｇ２に対して外方延長部Ｇ６だけが構成が異なっている。すなわち、外方延長部Ｇ６は基部の幅方向と平行に直線的に外方に伸長している。このような構成であっても、前述した作用効果と同様の効果を得ることができる。
【００５２】
図７に示す変形例では、水晶振動片１１の長溝Ｇ８の一端側は基部１１０にまで延長されているとともに、当該一端側が外方延長部Ｇ９と内方延長部Ｇ１０の２つの方向に分岐している。図７に示す長溝Ｇ８は、外方延長部だけでなく内方延長部も基部の幅方向と平行に直線的に伸長している。つまり、外方延長部と内方延長部とは１８０°伸長方向が異なっている。このような構成であっても、前述した作用効果と同様の効果を得ることができる。
【００５３】
図５に示す長溝の変形例として、図８または図９に示すような平面視で略馬蹄形の長溝であってもよい。具体的には図８の場合、水晶振動片１２の長溝Ｇ１１の基部１２０における一端側が、平面視で半円状に分岐する外方延長部Ｇ１２と内方延長部Ｇ１３とを備えている。また図９の場合、水晶振動片１３の長溝Ｇ１４の一端側が、基部１３０の幅方向に分岐した後、さらに基部１３０の長さ方向に伸長方向が変化した外方延長部Ｇ１５と内方延長部Ｇ１６とを備えている。これらの構成であっても、前述した作用効果と同様の効果を得ることができる。
【００５４】
前述した図５および図７乃至９に示す本発明の実施形態の変形例では、長溝の外方延長部と内方延長部とは、長溝の幅方向の略中央を通る仮想線に対して線対称となっている。このような構成の長溝の場合、振動腕の腕幅方向におけるバランスに優れるため、より安定した振動姿態を得ることができる。
【００５５】
図１０に示す本発明の実施形態の変形例では、水晶振動片１４の長溝Ｇ１７の一端側が３つの方向に分岐している。すなわち、長溝Ｇ１７の一端側には、外方延長部Ｇ１８と内方延長部Ｇ１９と中間延長部Ｇ２０とからなる，３つの延長部が設けられている。
図１０に示す構成の場合、３つの延長部の幅が異なって形成されており、内方延長部Ｇ１９が最も幅広であり、次いで外方延長部Ｇ１８、そして中間延長部Ｇ２０が最も幅狭となっている。なお中間延長部Ｇ２０は基部１４０の幅方向の外側に向かって伸長している。
【００５６】
図１０に示すような構成の場合、基部の幅方向の外側に向かって伝搬する振動腕の振動を中間延長部にも分散させることができる。これにより、振動腕から伝搬した振動をより分散させることができるため、基部と接合材との接合部への振動漏れの影響をより低減させることができる。なお、図１０に示す本発明の実施形態の変形例では、長溝の一端側が３つの方向に分岐していたが、長溝の一端側が３つ以上の方向に分岐していてもよい。
【００５７】
本発明は、その精神または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形で実施することができる。そのため、上述の実施の形態はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、なんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
音叉型圧電振動片および音叉型圧電振動子の量産に適用できる。
【符号の説明】
【００５９】
１    音叉型水晶振動子
２、９、１０、１１、１２、１３、１４    音叉型水晶振動片
２０、９０、１００、１１０、１２０、１３０、１４０    基部
２１、２２    振動腕
２３    幅広部
２４    突出部
２５、２６    励振電極
２７、２８    引出電極
３    容器
Ｇ、Ｇ２、Ｇ５、Ｇ８、Ｇ１１、Ｇ１４、Ｇ１７    長溝
Ｇ１、Ｇ３、Ｇ６、Ｇ９、Ｇ１２、Ｇ１５、Ｇ１８    外方延長部
Ｇ４、Ｇ７、Ｇ１０、Ｇ１３、Ｇ１６、Ｇ１９    内方延長部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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