(57)【要約】【課題】薄いフィルムを容易に且つ低コストで接着することができ、フィルムの剥離を抑制した構造体、ＭＥＭＳデバイス、液体噴射ヘッド及びフィルム接着方法を提供する。【解決手段】凹部４２を有する第１部材４０と、前記第１部材４０に第１接着剤１４０を介して接着されて、前記凹部４２を区画する樹脂材料で形成されたフィルム１３０と、前記フィルム１３０の前記第１部材４０とは反対面側に第２接着剤１４１を介して接着された第２部材１５０と、を具備し、前記第１部材４０及び前記第２部材１５０が、金属ではない部材である。【選択図】図３
2017132074.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
凹部を有する第１部材と、
前記第１部材に第１接着剤を介して接着されて、前記凹部を区画する樹脂材料で形成されたフィルムと、
前記フィルムの前記第１部材とは反対面側に第２接着剤を介して接着された第２部材と、を具備し、
前記第１部材及び前記第２部材が、金属ではない部材であることを特徴とする構造体。
【請求項２】
前記第１部材が、樹脂であることを特徴とする請求項１記載の構造体。
【請求項３】
前記第２部材が、樹脂であることを特徴とする請求項１又は２記載の構造体。
【請求項４】
前記第１部材の前記凹部が流路であると共に、前記第１部材には、前記フィルムの接着面側に開口して前記凹部に連通する導入口を有し、
前記第２部材には、前記導入口に連通する連通路が設けられており、
前記フィルムの端面は、前記導入口及び前記連通路内に露出しないように前記第１接着剤及び前記第２接着剤の少なくとも一方で覆われていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の構造体。
【請求項５】
前記第１部材の前記導入口の開口縁部には、周方向に亘って接着剤逃がし溝が設けられていることを特徴とする請求項４記載の構造体。
【請求項６】
前記フィルムの厚さが１５μｍ以下であることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の構造体。
【請求項７】
前記第１部材と前記第２部材とが同じ材料で形成されていることを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の構造体。
【請求項８】
請求項１〜７の何れか一項に記載の構造体を具備することを特徴とするＭＥＭＳデバイス。
【請求項９】
請求項１〜７の何れか一項に記載の構造体を具備し、
前記凹部が、液体を噴射するノズルに連通する複数の圧力室に共通して連通する共通液室であることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項１０】
厚さが１５μｍ以下のフィルムと、ベース部材とを接着してなる接着体を形成する接着体形成工程と、
前記フィルム側から半抜き型で前記接着体をハーフカットするハーフカット工程と、
ハーフカットした前記接着体の前記フィルムと凹部を有する第１部材とを接着してなる構造体を形成する構造体形成工程と、
前記構造体形成工程の後、前記構造体から前記ベース部材を剥がす剥離工程と、を有することを特徴とするフィルム接着方法。
【請求項１１】
前記構造体形成工程において、
前記フィルムと前記第１部材とが紫外線硬化型接着剤を用いて固定され、
前記第１部材には、前記ベース部材の一部が剥離されずに残っていることを特徴とする請求項１０記載のフィルム接着方法。
【請求項１２】
前記剥離工程によって、前記構造体に接着された前記フィルムは、前記第１部材の前記フィルムが接着される面における当該第１部材の外周以下の面積であることを特徴とする請求項１０又は１１に記載のフィルム接着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルムを有する構造体、構造体を有するＭＥＭＳデバイス、構造体を有する液体噴射ヘッド及びフィルム接着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドとしては、例えば、圧力発生手段の圧力変化を利用してノズルからインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが知られている。インクジェット式記録ヘッドでは、インク滴を吐出するノズルと連通する流路の壁の一部を、インクの圧力変化に応じて変形する可撓性を有するプレート（フィルム）で形成したものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この特許文献１のインクジェット式記録ヘッドは、レーザー加工やエッチング加工によって凹部又は開口を形成した金属からなるプレートを積層することで流路を形成し、積層したプレートに樹脂又は金属からなる可撓性を有するプレート（フィルム）を接着することで形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−１０６３９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、厚さの薄いフィルムを単体で被接着部材に接着するのは困難であるという問題がある。特に、厚さの薄い高機能フィルムは高価であり、面積の大きなフィルムを小さな部材に接着すると、無駄な領域が多く高コストになってしまうという問題がある。
【０００６】
また、金属からなる剛性部材にフィルムをラミネートした接着体を用いて、フィルムを被接着部材に接着することもできるが、剛性部材を用いることで、材料コストが高くなってしまうという問題がある。また、特許文献１のように剛性部材をそのまま流路を構成する部材として用いる場合であっても、剛性部材にフィルムをラミネートした後、剛性部材の余分な部分をエッチングやレーザー加工等によって除去しなくてはならず、製造コストが高くなってしまうという問題がある。
【０００７】
さらに、特許文献１のように、フィルムを接着する被接着体として金属を用いると、フィルムを接着する接着剤と金属との接着界面における接着強度が低く、剥離等が発生する虞があるという問題がある。
【０００８】
また、特許文献１のように金属からなるプレートとフィルムを接着する場合、プレートにフィルムをラミネートした後、プレートの余分な領域をエッチングしなければならず、コストが高くなってしまう。
【０００９】
本発明はこのような事情に鑑み、薄いフィルムを容易に且つ低コストで接着することができ、フィルムの剥離を抑制した構造体、ＭＥＭＳデバイス、液体噴射ヘッド及びフィルム接着方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決する本発明の態様は、凹部を有する第１部材と、前記第１部材に第１接着剤を介して接着されて、前記凹部を区画する樹脂材料で形成されたフィルムと、前記フィルムの前記第１部材とは反対面側に第２接着剤を介して接着された第２部材と、を具備し、前記第１部材及び前記第２部材が、金属ではない部材であることを特徴とする構造体にある。
かかる態様では、第１部材、フィルム及び第２部材において、金属と接着剤との界面を減少させて、接着強度を向上することができる。また、第１部材及び第２部材として金属以外の材料を用いることで、コストを低減することができる。
【００１１】
ここで、前記第１部材が、樹脂であることが好ましい。これによれば、第１部材を安価に形成することが可能である。
【００１２】
また、前記第２部材が、樹脂であることが好ましい。これによれば、第２部材を安価に形成することができる。
【００１３】
また、前記第１部材の前記凹部が流路であると共に、前記第１部材には、前記フィルムの接着面側に開口して前記凹部に連通する導入口を有し、前記第２部材には、前記導入口に連通する連通路が設けられており、前記フィルムの端面は、前記導入口及び前記連通路内に露出しないように前記第１接着剤及び前記第２接着剤の少なくとも一方で覆われていることが好ましい。これによれば、フィルムと接着剤との接着界面が液体に接することがなく、接着界面に液体が接触することによる接着強度の低下を抑制することができる。
【００１４】
また、前記第１部材の前記導入口の開口縁部には、周方向に亘って接着剤逃がし溝が設けられていることが好ましい。これによれば、流路内に接着剤が流出するのを抑制して、異物の発生を低減することができる。
【００１５】
また、前記フィルムの厚さが１５μｍ以下であることが好ましい。これによれば、よりや縮みが発生し易い比較的薄いフィルムを用いることができる。
【００１６】
また、前記第１部材と前記第２部材とが同じ材料で形成されていることが好ましい。これによれば、第１部材と第２部材との線膨張係数の差を低減して、線膨張係数差による第１部材及び第２部材の反りや剥離を抑制すると共にフィルムのよりや剥離を抑制することができる。
【００１７】
さらに、本発明の態様は、上記態様の構造体を具備することを特徴とするＭＥＭＳデバイスにある。
かかる態様では、コストを低減してフィルムの剥離を抑制したＭＥＭＳデバイスを実現できる。
【００１８】
また、本発明の他の態様は、上記態様の構造体を具備し、前記凹部が、液体を噴射するノズルに連通する複数の圧力室に共通して連通する共通液室であることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、コストを低減してフィルムの剥離を抑制した液体噴射ヘッドを実現できる。
【００１９】
さらに、本発明の他の態様は、厚さが１５μｍ以下のフィルムと、ベース部材とを接着してなる接着体を形成する接着体形成工程と、前記フィルム側から半抜き型で前記接着体をハーフカットするハーフカット工程と、ハーフカットした前記接着体の前記フィルムと凹部を有する第１部材とを接着してなる構造体を形成する構造体形成工程と、前記構造体形成工程の後、前記構造体から前記ベース部材を剥がす剥離工程と、を有することを特徴とするフィルム接着方法にある。
かかる態様では、１５μｍ以下の薄いフィルムを容易に第１部材に接着することができる。また、金属等で形成された剛性部材が不要となってコストを低減することができる。
【００２０】
ここで、前記構造体形成工程において、前記フィルムと前記第１部材とが紫外線硬化型接着剤を用いて固定され、前記第１部材には、前記ベース部材の一部が剥離されずに残っていることが好ましい。これによれば、フィルムを紫外線硬化型接着剤で第１部材に仮固定することができるため、フィルムを押さえる治具等が不要となって製造効率を向上し、コストを低減することができる。
【００２１】
また、前記剥離工程によって、前記構造体に接着された前記フィルムは、前記第１部材の前記フィルムが接着される面における当該第１部材の外周以下の面積であることが好ましい。これによれば、比較的面積の小さなフィルムを第１部材に容易に且つ低コストで接着することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの要部平面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図５】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。
【図６】本発明の実施形態１に係るフィルム接着方法を示す断面図である。
【図７】本発明の実施形態１に係るフィルム接着方法を示す断面図である。
【図８】本発明の実施形態１に係るフィルム接着方法を示す断面図である。
【図９】本発明の実施形態１に係るフィルム接着方法を示す断面図である。
【図１０】本発明の実施形態２に係る記録ヘッドの要部断面図である。
【図１１】本発明の実施形態３に係る記録ヘッドの要部断面図である。
【図１２】本発明の一実施形態に係る記録装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドの流路形成基板の要部平面図であり、図３は、図２のＡ−Ａ′線断面図であり、図４は、図３のＢ−Ｂ′線断面図であり、図５は、図４の要部を拡大した図である。
【００２４】
図示するように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１（以下、単に記録ヘッド１とも言う）を構成する流路形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力室１２がインクを吐出する複数のノズル２１が並設される方向に沿って並設されている。以降、この方向を圧力室１２の並設方向、又は第１の方向Ｘと称する。また、流路形成基板１０には、圧力室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力室１２の列が複数列設された列設方向を、以降、第２の方向Ｙと称する。さらに、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの両方に直交する方向を第３の方向Ｚと称し、第３の方向Ｚにおいて、記録ヘッド１の詳しくは後述するホルダー１５０側をＺ１側、ノズル２１側をＺ２側と称する。なお、第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ及び第３の方向Ｚは、互いにそれぞれ直交する方向としたが、特にこれに限定されず、直交以外の角度で交差する方向であってもよい。
【００２５】
このような流路形成基板１０の第３の方向Ｚの一方面側には、連通板１５と、ノズルプレート２０とが順次積層されている。
【００２６】
連通板１５には、圧力室１２とノズル２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このように連通板１５を設けることによってノズルプレート２０のノズル２１と圧力室１２とを離せるため、圧力室１２の中にあるインクは、ノズル２１付近のインクで生じるインク中の水分の蒸発による増粘の影響を受け難くなる。また、ノズルプレート２０は圧力室１２とノズル２１とを連通するノズル連通路１６の開口を覆うだけで良いので、ノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることができ、コストの削減を図ることができる。なお、本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル２１が開口されて、インク滴が吐出される面を液体噴射面２０ａと称する。
【００２７】
また、連通板１５には、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部１８とが設けられている。
第１マニホールド部１７は、連通板１５を第３の方向Ｚに貫通して設けられている。
また、第２マニホールド部１８は、連通板１５を第３の方向Ｚに貫通することなく、連通板１５のノズルプレート２０側に開口して設けられている。
【００２８】
さらに、連通板１５には、圧力室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通する供給連通路１９が、圧力室１２の各々に対して独立して設けられている。この供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と圧力室１２とを連通する。すなわち、供給連通路１９は、マニホールド１００に対して、第１の方向Ｘに並設されている。
【００２９】
ノズルプレート２０には、各圧力室１２とノズル連通路１６を介して連通するノズル２１が形成されている。すなわち、ノズル２１は、同じ種類の液体（インク）を噴射するものが第１の方向Ｘに並設され、この第１の方向Ｘに並設されたノズル２１の列が第２の方向Ｙに２列形成されている。
【００３０】
また、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口する面には、カバー４９が接合されており、第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８の開口は、カバー４９によって塞がれている。
【００３１】
一方、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側には、振動板５０が形成されている。本実施形態では、振動板５０として、流路形成基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５２と、を設けるようにした。なお、圧力室１２等の液体流路は、流路形成基板１０を一方面側（ノズルプレート２０が接合された面側）から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力室１２の他方面は、弾性膜５１によって画成されている。
【００３２】
また、流路形成基板１０の振動板５０上には、第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とを有する圧電アクチュエーター３００が設けられている。本実施形態では、圧電アクチュエーター３００が、詳しくは後述する半導体素子である駆動回路１２１によって駆動される圧力発生手段となっている。ここで、本実施形態では、第１電極６０は、圧力室１２毎に切り分けてあり、詳しくは後述する能動部毎に独立する個別電極を構成する。この第１電極６０は、第１の方向Ｘにおいては、圧力室１２の幅よりも狭い幅で形成されている。すなわち、圧力室１２の第１の方向Ｘにおいて、第１電極６０の端部は、圧力室１２に対抗する領域の内側に位置している。また、第２の方向Ｙにおいて、第１電極６０の両端部は、それぞれ圧力室１２の外側まで延設されている。
【００３３】
圧電体層７０は、第２の方向Ｙが所定の幅となるように、第１の方向Ｘに亘って連続して設けられている。圧電体層７０の第２の方向Ｙの幅は、圧力室１２の第２の方向Ｙの長さよりも広い。このため、圧力室１２の第２の方向Ｙでは、圧電体層７０は圧力室１２の外側まで設けられている。
【００３４】
圧力室１２の第２の方向Ｙにおいて、圧電体層７０のインク供給路側の端部は、第１電極６０の端部よりも外側に位置している。すなわち、第１電極６０の端部は圧電体層７０によって覆われている。また、圧電体層７０のノズル２１側の端部は、第１電極６０の端部よりも内側（圧力室１２側）に位置しており、第１電極６０のノズル２１側の端部は、圧電体層７０に覆われていない。
【００３５】
圧電体層７０は、第１電極６０上に形成される分極構造を有する酸化物の圧電材料からなり、例えば、一般式ＡＢＯ３で示されるペロブスカイト型酸化物からなることができ、鉛を含む鉛系圧電材料や鉛を含まない非鉛系圧電材料などを用いることができる。
【００３６】
このような圧電体層７０には、図２に示すように、各隔壁に対応する凹形状を有する溝部７１が形成されている。この溝部７１の第１の方向Ｘの幅は、各隔壁の第１の方向Ｘの幅と略同一、もしくはそれよりも広くなっている。これにより、振動板５０の圧力室１２の第２の方向Ｙの端部に対抗する部分（いわゆる振動板５０の腕部）の剛性が押さえられるため、圧電アクチュエーター３００を良好に変位させることができる。
【００３７】
第２電極８０は、圧電体層７０の第１電極６０とは反対面側に設けられており、複数の能動部に共通する共通電極を構成する。また、第２電極８０は、溝部７１の内面、すなわち、圧電体層７０の溝部７１の側面内に設けるようにしても良く、設けないようにしてもよい。
【００３８】
このような第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０で構成される圧電アクチュエーター３００は、第１電極６０と第２電極８０との間に電圧を印加することで変位が生じる。すなわち両電極の間に電圧を印加することで、第１電極６０と第２電極８０とで挟まれている圧電体層７０に圧電歪みが生じる。そして、両電極に電圧を印加した際に、圧電体層７０に圧電歪みが生じる部分を能動部と称する。これに対して、圧電体層７０に圧電歪みが生じない部分を非能動部と称する。また、圧電体層７０に圧電歪みが生じる能動部において、圧力室１２に対向する部分を可撓部と称し、圧力室１２の外側の部分を非可撓部と称する。
【００３９】
本実施形態では、第２の方向Ｙにおいて、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０の全てが圧力室１２の外側まで連続的に設けられている。すなわち能動部が圧力室１２の外側まで連続的に設けられている。このため、能動部のうち圧電アクチュエーター３００の圧力室１２に対向する部分が可撓部となり、圧力室１２の外側の部分が非可撓部となっている。
【００４０】
また、図２に示すように、圧電アクチュエーター３００の第１電極６０からは、引き出し配線である個別配線９１が引き出されている。個別配線９１は、２列の圧電アクチュエーター３００の間に引き出されている。また、第２電極８０からは、引き出し配線である共通配線９２が引き出されている。
【００４１】
そして、このような個別配線９１及び共通配線９２には、フレキシブルケーブル１２０が電気的に接続されている。フレキシブルケーブル１２０は、可撓性を有する配線基板であって、本実施形態では、半導体素子である駆動回路１２１が実装されている。外部からの印刷制御信号は、フレキシブルケーブル１２０を介して駆動回路１２１に供給され、駆動回路１２１からの駆動信号は、フレキシブルケーブル１２０及び個別配線９１、共通配線９２を介して圧電アクチュエーター３００に供給される。
【００４２】
このような流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護するための空間である保持部３１を有する。保持部３１は、第１の方向Ｘに並設された圧電アクチュエーター３００の列の間に第２の方向Ｙに２つ並んで形成されている。また、保護基板３０には、第２の方向Ｙで並設された２つの保持部３１の間に第３の方向Ｚに貫通する貫通孔３２が設けられている。圧電アクチュエーター３００の電極から引き出された個別配線９１及び共通配線９２の端部は、この貫通孔３２内に露出するように延設され、個別配線９１及び共通配線９２とフレキシブルケーブル１２０とは、貫通孔３２内で電気的に接続されている。
【００４３】
また、保護基板３０上には、複数の圧力室１２に連通するマニホールド１００を流路形成基板１０と共に画成する本実施形態の第１部材であるケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されると共に、上述した連通板１５にも接合されている。具体的には、ケース部材４０は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの第１凹部４１を有する。この第１凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、第１凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で第１凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって塞がれている。
【００４４】
また、ケース部材４０には、連通板１５の第１マニホールド部１７と連通する第３マニホールド部４２が形成されている。第３マニホールド部４２は、第３の方向Ｚに貫通する貫通部４２ａと、連通板１５とは反対側であるＺ１側に設けられて、貫通部４２ａの第２の方向Ｙの幅を拡幅した拡幅部４２ｂと、を具備する。拡幅部４２ｂは、本実施形態では、第２の方向Ｙにおいて、圧電アクチュエーター３００側にせり出すように設けられている。つまり、拡幅部４２ｂは、本実施形態では、第３の方向Ｚから平面視した際に、その一部が第１凹部４１に重なる位置に配置されている。これにより、第３マニホールド部４２のＺ１側の開口は、Ｚ２側に比べて広い面積となっている。そして、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８と、ケース部材４０に設けられた第３マニホールド部４２と、によって本実施形態の共通液室であるマニホールド１００が構成されている。マニホールド１００は、圧力室１２の並設方向である第１の方向Ｘに亘って連続して設けられており、各圧力室１２とマニホールド１００とを連通する供給連通路１９は、第１の方向Ｘに並設されている。
【００４５】
また、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通してフレキシブルケーブル１２０が挿通される接続孔４３が設けられている。接続孔４３は、第２の方向Ｙにおいて、２つの第３マニホールド部４２の間に設けられている。
【００４６】
このようなケース部材４０としては、例えば、樹脂、シリコン、ガラス、セラミックス、金属、金属酸化物等が挙げられる。特に、ケース部材４０として樹脂を用いることで、成型によって安価に形成することができる。なお、ケース部材４０として金属を用いた場合、切削加工、エッチング加工、プレス部品の積層等によって形成することができる。
【００４７】
また、ケース部材４０の第３マニホールド部４２が開口するＺ１側の面には、フィルム１３０が第１接着剤１４０を介して接着されており、第３マニホールド部４２のＺ１側の開口はフィルム１３０によって塞がれている。すなわち、本実施形態では、ケース部材４０が第１部材に相当し、ケース部材４０に設けられた第３マニホールド部４２が第１部材の凹部に相当する。ちなみに、本願発明の「凹部」とは、内部に空間が形成されていればよく、第１部材を貫通することなく溝状に形成されたものも、第１部材を貫通して形成されたものも含む。
【００４８】
ここで、フィルム１３０は、可撓性を有する厚さが１５μｍ以下の樹脂からなる。例えば、フィルム１３０としては、例えば、パラ系の芳香族ポリアミドフィルムが挙げられる。また、フィルム１３０は、ケース部材４０のＺ１側の当該フィルム１３０が接着される面の外周以下の面積を有する。すなわち、フィルム１３０は、ケース部材４０よりも外側に突出して設けられていない。また、本実施形態では、２つの第３マニホールド部４２を１つのフィルム１３０で塞ぐように連続して設けられている。もちろん、第３マニホールド部４２毎にフィルム１３０を独立して設けるようにしてもよい。
【００４９】
このように、第３マニホールド部４２の開口をフィルム１３０で塞ぐことで、マニホールド１００の壁の一部は、可撓性を有するフィルム１３０で画成された可撓部であるコンプライアンス部１３１となっている。本実施形態では、拡幅部４２ｂを設けて第３マニホールド部４２の開口面積を広げることで、コンプライアンス部１３１の面積を広げることができ、マニホールド１００内のインクの大きな圧力変動をコンプライアンス部１３１で吸収することができる。
【００５０】
なお、図５に示すように、ケース部材４０のフィルム１３０が接着された面には、第３マニホールド部４２に連通する導入口４４が設けられている。導入口４４は、第２の方向Ｙにおいて、２つの第３マニホールド部４２の間側の壁の一方から拡幅部４２ｂ内に突出して設けられた突出部４５に第３の方向Ｚに貫通して設けられている。また、突出部４５の導入口４４が開口する面にもフィルム１３０が第１接着剤１４０を介して接着されている。なお、フィルム１３０には、導入口４４の開口よりも大きな開口を有する開口部１３２が設けられており、フィルム１３０は、導入口４４の開口縁部よりも外側において突出部４５に接着されている。
【００５１】
さらに、突出部４５のフィルム１３０側の面において、導入口４４のＺ１側の開口縁部には、凹形状を有する接着剤逃がし溝４６が導入口４４の周方向に亘って設けられている。すなわち、接着剤逃がし溝４６は、導入口４４に連通して、導入口４４よりも大きな内径を有する孔となっている。
【００５２】
さらに、第３の方向Ｚにおいて、フィルム１３０のケース部材４０とは反対側であるＺ１側には、第２部材であるホルダー１５０が第２接着剤１４１を介して接着されている。ホルダー１５０は、金属以外の材料、例えば、樹脂、シリコン、ガラス、セラミックス、金属酸化物等が挙げられる。すなわち、金属以外の材料とは、金属酸化物を含むものである。特に、ホルダー１５０として、樹脂を用いることで安価に形成することができる。さらに、ホルダー１５０は、ケース部材４０と線膨張係数が同等の材料を用いるのが好ましい。すなわち、ホルダー１５０として、ケース部材４０と線膨張係数が大きく異なる材料を用いた場合、加熱や冷却されることで、ホルダー１５０とケース部材４０との線膨張係数の違いにより反りが生じてしまう。そして、ホルダー１５０とケース部材４０とに反りが生じると、ホルダー１５０とケース部材４０との剥離や、フィルム１３０によれや剥離が発生してしまう。特に、本実施形態のフィルム１３０は、厚さが１５μｍ以下と薄いので、ホルダー１５０とケース部材４０との線膨張係数差による変形の応力が影響しやすい。したがって、ホルダー１５０とケース部材４０とは、線膨張係数が同等の材料を用いるのが好ましく、ホルダー１５０とケース部材４０とを同じ材料で形成するのがより好ましい。これによりホルダー１５０とケース部材４０との剥離やフィルム１３０のよれや剥離が発生するのを抑制することができる。
【００５３】
なお、ホルダー１５０には、フィルム１３０の第３マニホールド部４２に対向する領域、すなわち、コンプライアンス部１３１に対向する領域に開口する第２凹部１５１が設けられている。第２凹部１５１は、フィルム１３０の変形を阻害しない程度の深さを備えており、マニホールド１００内のインクの圧力変化によるフィルム１３０の変形は、第２凹部１５１によって許容される。
【００５４】
さらに、ホルダー１５０には、導入口４４に連通する連通路１５２が設けられており、連通路１５２から供給されたインクは、導入口４４を介してマニホールド１００内に供給される。
【００５５】
また、ホルダー１５０には、フレキシブルケーブル１２０を挿通するための挿通孔１５３が設けられており、ホルダー１５０の挿通孔１５３側から挿入されたフレキシブルケーブル１２０が、ケース部材４０の接続孔４３及び保護基板３０の貫通孔３２を挿通して、流路形成基板１０上で圧電アクチュエーター３００と電気的に接続される。
【００５６】
このようなホルダー１５０がフィルム１３０のＺ１側の面に第２接着剤１４１を介して接着されている。また、ホルダー１５０とフィルム１３０とを接着する第２接着剤１４１によって、フィルム１３０の開口部１３２の開口縁部は、周方向に亘って覆われている。つまり、フィルム１３０の開口部１３２は、導入口４４よりも大きな開口を有するため、ケース部材４０にフィルム１３０を導入口４４よりも外側となるように第１接着剤１４０で接着することで、フィルム１３０の開口部１３２の開口縁部を第２接着剤１４１によって覆うことができる。したがって、導入口４４と連通路１５２との接続部分である流路において、フィルム１３０の端部は露出することなく、第２接着剤１４１によって覆われている。さらに、フィルム１３０の開口部１３２の端面を覆う第２接着剤１４１は、接着剤逃がし溝４６内に充填されるため、余分な第２接着剤１４１が導入口４４と連通路１５２との接続部分である流路内に流れ出るのを抑制することができる。したがって、流出した余分な第２接着剤１４１による異物の発生を抑制して、ノズル２１の目詰まり等を抑制することができる。なお、本実施形態では、接着剤逃がし溝４６内に第２接着剤１４１が充填されるようにしたが、特にこれに限定されず、フィルム１３０をケース部材４０に接着する第１接着剤１４０の流路内への流出も接着剤逃がし溝４６によって抑制することができる。すなわち、接着剤逃がし溝４６内には、第１接着剤１４０及び第２接着剤１４１の少なくとも一方が充填されていればよい。
【００５７】
このような記録ヘッド１では、インクを噴射する際に、インクを連通路１５２から取り込み、マニホールド１００からノズル２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路１２１からの信号に従い、圧力室１２に対応する各圧電アクチュエーター３００に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター３００と共に振動板５０をたわみ変形させる。これにより、圧力室１２内の圧力が高まり所定のノズル２１からインク滴が噴射される。このように連通路１５２からマニホールド１００内にインクが充填された際に、フィルム１３０のコンプライアンス部１３１が可撓変形することで、マニホールド１００内のインクの圧力変化を吸収する。また、ノズル２１からインク滴を噴射した際に生じるマニホールド１００内のインクの圧力変動も、フィルム１３０のコンプライアンス部１３１が変形することで吸収される。したがって、インクの供給特性及び吐出特性を向上して、安定したインク滴の吐出を行うことができる。また、本実施形態では、１５μｍ以下のフィルム１３０を用いることで、マニホールド１００内のインクの圧力変化に対する反応性が高い。したがって、本実施形態の記録ヘッド１では、高周波数でのインク滴の吐出時にもインク吐出特性が低下するのを抑制することができる。
【００５８】
また、本実施形態では、上述したように、金属以外の材料からなるケース部材４０にフィルム１３０を第１接着剤１４０を介して接着し、フィルム１３０のケース部材４０とは反対面側に金属以外の材料からなるホルダー１５０を第２接着剤１４１を介して接着するようにした。このため、ケース部材４０とフィルム１３０とホルダー１５０との接着界面において、金属材料と第１接着剤１４０及び第２接着剤１４１との接着界面を無くすことができる。したがって、ケース部材４０、フィルム１３０及びホルダー１５０の接着強度の低下を抑制して、剥離やそれに伴うインクのリーク等を抑制することができる。すなわち、一般的に、金属以外の材料と接着剤との接着強度は、金属材料と接着剤との接着強度に比べて高いため、金属材料と接着剤との接着部分を減少させることで接着強度を向上することができる。
【００５９】
また、ケース部材４０とホルダー１５０とを金属以外の材料、特に線膨張係数が同等の材料を用いることで、線膨張係数の違いによるケース部材４０及びホルダー１５０の反りや剥離を抑制して、フィルム１３０のよりや剥離を抑制することができる。
【００６０】
さらに、本実施形態では、フィルム１３０の端面、すなわち、開口部１３２の開口縁部を流路内に露出しないように第２接着剤１４１で覆うことで、フィルム１３０の剥離をさらに抑制することができる。すなわち、フィルム１３０の端面が流路内に露出していると、フィルム１３０と第１接着剤１４０及び第２接着剤１４１との接着界面にインクが浸食し、フィルム１３０の接着強度が低下してフィルム１３０の剥離が発生し易い。本実施形態では、フィルム１３０と第１接着剤１４０及び第２接着剤１４１との界面が直接インクに触れないため、フィルム１３０の接着界面の接着強度の低下を抑制して、フィルム１３０の剥離を抑制することができる。
【００６１】
ここで、このようなフィルム１３０の接着方法について図６〜図９を参照して説明する。なお、図６〜図９は、本実施形態のフィルム接着方法を示す断面図である。また、本実施形態では、ケース部材４０にフィルム１３０を接着する方法について説明するが、もちろん、フィルムの接着方法は、記録ヘッド１におけるフィルムの接着方法に限定されるものではなく、広くフィルムを被接着体である第１部材に接着する接着方法に適用することができるものである。
【００６２】
具体的には、図６に示すように、厚さが１５μｍ以下のフィルム１３０と裏打ち材であるベース部材１６０とを第３接着剤１４２を介して接着して接着体を形成する（接着体形成工程）。
【００６３】
このようにフィルム１３０をベース部材１６０に接着して接着体とすることで、接着体のハンドリング性を向上することができる。すなわち、フィルム１３０は、１５μｍ以下の厚さであるためハンドリング性が悪く、実質的にフィルム１３０単体ではハンドリングすることが困難である。このため、フィルム１３０をベース部材１６０に接着して接着体とすることで、フィルム１３０単体に比べて接着体のハンドリング性を向上して、フィルム１３０を扱い易くすることができる。
【００６４】
このような接着体を形成するベース部材１６０としては、接着体のハンドリング性を向上すると共に、後の工程で接着体をケース部材４０に接着し易い材料が好ましく、可撓性を有する材料、特に、樹脂材料を用いるのが好ましい。また、ベース部材１６０は、フィルム１３０よりも硬い樹脂材料を用いるのが好ましい。これにより、接着体のハンドリング性を向上することができると共に、接着体のよれや縮みを抑制することができる。さらに、ベース部材１６０は、フィルム１３０よりも厚い部材を用いるのが好ましい。これによっても、接着体のハンドリング性を向上することができると共に、接着体のよれや縮みを抑制することができる。本実施形態では、ベース部材１６０として、厚さが１００〜２００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）を用いるようにした。
【００６５】
なお、接着体形成工程で形成する接着体のフィルム１３０及びベース部材１６０は、被接着体であるケース部材４０の接着面（接着面側の外周）よりも大きな面積を有するものを用いている。本実施形態では、例えば、ロール状のベース部材１６０とロール状のフィルム１３０とを接着し、それをある程度の大きさで切断することで接着体を形成している。このように、接着体としてケース部材４０との接着面よりも大きな面積のものを用いることハンドリング性を向上して、接着体によれや縮みが生じるのを抑制することができる。
【００６６】
また、フィルム１３０とベース部材１６０とを接着する第３接着剤１４２は、フィルム１３０をベース部材１６０に仮固定して、後の工程で容易に剥離することができる接着剤を用いることができる。つまり、第３接着剤１４２としては、第１接着剤１４０よりも粘着力が弱い接着剤が用いられる。
【００６７】
次に、図７に示すように、接着体をフィルム１３０側から半抜き型１７０でハーフカットする（ハーフカット工程）。このハーフカットでは、フィルム１３０が完全に切断されると共にベース部材１６０が完全に切断されないように、フィルム１３０の表面からベース部材１６０の厚さの途中に達するまで行う。
【００６８】
次に、図８に示すように、ハーフカットした接着体のフィルム１３０とケース部材４０とを第１接着剤１４０を介して接着して構造体を形成する（構造体形成工程）。
第１接着剤１４０は、予めフィルム１３０に塗布しておいてもよく、また、ケース部材４０に塗布しておいてもよい。本実施形態では、ケース部材４０側のフィルム１３０が接着される面に、フィルム１３０側に突出する部材がないため、ケース部材４０側に第１接着剤１４０を容易に塗布することができる。
【００６９】
また、本実施形態では、図５に示すように、ケース部材４０には、接着剤逃がし溝４６が形成されているため、ケース部材４０へのフィルム１３０の位置決めは、接着剤逃がし溝４６を基準として行うことができる。また、フィルム１３０の開口部１３２は、ケース部材４０に接着体を接着する前に、接着体を厚さ方向に貫通して当該開口部１３２を形成しておいてもよい。また、ハーフカット工程によって開口部１３２が形成されるように接着体をハーフカットしておき、後の剥離工程でベース部材１６０を剥離した際に、フィルム１３０に開口部１３２が形成されるようにしてもよい。
【００７０】
次に、図９に示すように、構造体を形成した後、構造体からベース部材１６０を剥離する（剥離工程）。このとき、ハーフカット工程によってフィルム１３０は所定形状に切断されているため、ケース部材４０に第１接着剤１４０によって接着されたフィルム１３０の一部のみを残して、ケース部材４０に第１接着剤１４０によって接着されなかった余分な領域のフィルム１３０をベース部材１６０と同時に除去することができる。なお、剥離工程におけるベース部材１６０の剥離は、フィルム１３０とケース部材４０とを接着する第１接着剤１４０が硬化してから行うようにしてもよく、第１接着剤１４０が完全に硬化する前、すなわち半硬化状態で行ってもよい。
【００７１】
以上説明したフィルム接着方法によれば、厚さが１５μｍ以下の比較的薄いフィルム１３０を第１部材であるケース部材４０に容易に接着することができる。また、ベース部材１６０を用いてハーフカットするだけで１５μｍ以下のフィルム１３０を接着することができるため、フィルム１３０を接着するためのステンレス鋼等の固定部材や、固定部材を所定形状にエッチングする工程が不要となって、コストを低減することができる。特に、ベース部材１６０は、裏打ち材であるため、安価な材料を用いることができ、コストを低減することができる。
【００７２】
なお、上述した工程によって、フィルム１３０を第１接着剤１４０を介してケース部材４０に接着した後は、図３に示すように、フィルム１３０のケース部材４０とは反対側にホルダー１５０を第２接着剤１４１で接着することで、本実施形態の記録ヘッド１とすることができる。ちなみに、フィルム１３０にホルダー１５０を第２接着剤１４１で接着する際には、上述したように第２接着剤１４１を接着剤逃がし溝４６内に充填することで、第２接着剤１４１によってフィルム１３０及び第１接着剤１４０の端面を覆う。なお、第２接着剤１４１を導入口４４や連通路１５２等の流路内に流出しないように接着剤逃がし溝４６内に充填するには、第２接着剤１４１の粘度に合わせて第２接着剤１４１の量及びホルダー１５０を押圧する圧力を適宜設定すればよい。
【００７３】
（実施形態２）
図１０は、本発明の実施形態２に係る記録ヘッドの要部断面図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
図１０に示すように、ケース部材４０には、フィルム１３０が接着される面に突出したかしめ部４７が設けられている。
フィルム１３０は、かしめ部４７が挿通される第１固定孔１３３を有する。また、フィルム１３０のケース部材４０とは反対側には、かしめ部４７の周囲のみにベース部材１６０が形成されている。すなわち、ベース部材１６０は、かしめ部４７の周囲のみに設けられており、ベース部材１６０には、第１固定孔１３３に連通してかしめ部４７が挿通される第２固定孔１６１が設けられている。そして、かしめ部４７は、フィルム１３０の第１固定孔１３３及びベース部材１６０の第２固定孔１６１に挿通された状態で、その先端部が溶融されることで、ケース部材４０にフィルム１３０及びベース部材１６０の一部をかしめ固定している。
【００７４】
このようなケース部材４０に設けられたかしめ部４７によるフィルム１３０及びベース部材１６０のかしめ固定は、フィルム１３０をケース部材４０に接着する第１接着剤１４０を硬化させるまでの間の仮固定として使用される。つまり、かしめ部４７を設けずに、フィルム１３０をケース部材４０に接着する場合には、第１接着剤１４０が硬化するまでの間、治具等で押さえる必要がある。このように治具による固定では、同時に複数の構造体を製造する場合、複数の治具が必要となりコストが高くなる。本実施形態では、かしめ部４７によってケース部材４０とフィルム１３０とをかしめ固定することで、第１接着剤１４０が硬化するまでに押さえる治具が不要となり、コストを低減することができる。すなわち、かしめ部４７によってケース部材４０とフィルム１３０とをかしめ固定することで、第１接着剤１４０が硬化する前に剥離工程を行うことができる。これにより、１つの接合体に記録ヘッド１に用いられるフィルム１３０の領域が複数形成されていても、１つの接合体を使い回すことができ、製造工程の効率化を図ることができる。
【００７５】
なお、本実施形態の構造体も、上述した実施形態１と同様のフィルム接着方法によって形成することができる。すなわち、接着体をケース部材４０に接着する構造体形成工程の後であって、ベース部材１６０をフィルム１３０から剥離する剥離工程の前に、かしめ部４７によって接合体をケース部材４０にかしめ固定すればよい。ちなみに、剥離工程では、ベース部材１６０をレーザー光等で切断することで、かしめ部４７の周囲のみにベース部材１６０を残留させることができる。
【００７６】
また、本実施形態では、ケース部材４０にフィルム１３０及びベース部材１６０をかしめ固定するようにしたが、特にこれに限定されない。例えば、図１１に示すように、ケース部材４０にフィルム１３０及びベース部材１６０を紫外線硬化型接着剤１４３で固定してもよい。すなわち、紫外線硬化型接着剤１４３の周囲にベース部材１６０が残留している。
【００７７】
このように紫外線硬化型接着剤１４３を用いた場合であっても、第１接着剤１４０を硬化するまで押さえる治具が不要となって、コストを低減することができる。つまり、紫外線硬化型接着剤１４３は、紫外線を照射することで硬化するため、第１接着剤１４０の硬化時間よりも短い時間で硬化させることができるため、紫外線硬化型接着剤１４３を用いることで治具を用いることなくフィルム１３０とケース部材４０とを仮固定することができるからである。
【００７８】
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
上述した各実施形態では、ケース部材４０に接着剤逃がし溝４６を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、接着剤逃がし溝４６を設けないようにしてもよい。接着剤逃がし溝４６を設けない場合であっても、フィルム１３０の開口部１３２を導入口４４よりも大きな開口とすることで、フィルム１３０の開口部１３２の開口縁部である端面を第１接着剤１４０及び第２接着剤１４１の少なくとも一方で覆って、フィルム１３０の端面が流路内に露出しないようにすることができる。もちろん、フィルム１３０の端面が流路内に露出していてもよい。すなわち、フィルム１３０の端面が第１接着剤１４０及び第２接着剤１４１の少なくとも一方で覆われていなくてもよい。
【００７９】
さらに、上述した各実施形態では、厚さが１５μｍ以下のフィルム１３０を有する構造体である記録ヘッド１を例示したが、記録ヘッド１には、厚さが１５μｍより厚いフィルム１３０を有するものであってもよい。つまり、上述したフィルム接着方法において、フィルム１３０の厚さが１５μｍ以下に規定されるものであり、構造体としてのフィルム１３０の厚さは１５μｍ以下に限定されるものではない。
【００８０】
さらに、上述した各実施形態では、マニホールド１００のＺ２側の開口をカバー４９によって塞ぐようにしたが、特にこれに限定されず、カバー４９に代わって上述した実施形態１と同様のフィルム１３０を接着してもよい。これにより、コンプライアンス部１３１の面積を大きくすることができ、さらにマニホールド１００内のインクの大きな圧力変動を吸収することができる。
【００８１】
また、上述した実施形態１では、第１電極６０を各圧電アクチュエーター３００の個別電極とし、第２電極８０を複数の圧電アクチュエーター３００の共通電極としたが、特にこれに限定されず、第１電極６０を複数の圧電アクチュエーター３００の共通電極とし、第２電極８０を各圧電アクチュエーター３００の個別電極としてもよい。
【００８２】
さらに、上述した各実施形態では、圧力室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーター３００を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、駆動素子として、圧力室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズルから液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。
【００８３】
このような記録ヘッド１は、インクジェット式記録装置Ｉに搭載される。図１２は、本実施形態のインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
図１２に示すインクジェット式記録装置Ｉにおいて、記録ヘッド１は、液体供給手段を構成するカートリッジ２が着脱可能に設けられ、この記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。
【００８４】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４には搬送手段としての搬送ローラー８が設けられており、紙等の記録媒体である。
記録シートＳが搬送ローラー８により搬送されるようになっている。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラーに限られずベルトやドラム等であってもよい。
【００８５】
また、上述した例では、インクジェット式記録装置Ｉは、インク供給手段であるカートリッジ２がキャリッジ３に搭載された構成であるが、特にこれに限定されず、例えば、インクタンク等の液体供給手段を装置本体４に固定して、液体供給手段と記録ヘッド１とをチューブ等の供給管を介して接続してもよい。また、液体供給手段がインクジェット式記録装置に搭載されていなくてもよい。
【００８６】
さらに、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、記録ヘッド１がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【００８７】
また、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。また、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置Ｉを挙げて説明したが、上述した他の液体噴射ヘッドを用いた液体噴射装置にも用いることが可能である。
【００８８】
また、本発明は、広くＭＥＭＳデバイスを対象としたものであり、記録ヘッド以外のＭＥＭＳデバイスにも適用することができる。このようなＭＥＭＳデバイスの一例としては、超音波デバイス、モーター、圧力センサー、焦電素子、強誘電体素子などが挙げられる。また、これらのＭＥＭＳデバイスを利用した完成体、たとえば、上記記録ヘッドを利用した液体等噴射装置、上記超音波デバイスを利用した超音波センサー、上記モーターを駆動源として利用したロボット、上記焦電素子を利用したＩＲセンサー、強誘電体素子を利用した強誘電体メモリーなども、ＭＥＭＳデバイスに含まれる。
さらに、本発明は、広く構造体を対象としたものであり、ＭＥＭＳデバイス以外に用いられる構造体にも適用することができる。
【符号の説明】
【００８９】
Ｉ…インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、１…インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、２…カートリッジ、１０…流路形成基板、１２…圧力室、２０…ノズルプレート、２１…ノズル、３０…保護基板、４０…ケース部材（第１部材）、４１…第１凹部、４２…第３マニホールド部（凹部）、４３…接続孔、４４…導入口、４５…突出部、４６…接着剤逃がし溝、４７…かしめ部、４９…カバー、５０…振動板、６０…第１電極、７０…圧電体層、８０…第２電極、９１…個別配線、９２…共通配線、１００…マニホールド、１２０…フレキシブルケーブル、１２０…駆動回路、１３０…フィルム、１３１…コンプライアンス部、１３２…開口部、１３３…第１固定孔、１４０…第１接着剤、１４１…第２接着剤、１４２…第３接着剤、１４３…紫外線硬化型接着剤、１５０…ホルダー（第２部材）、１５１…第２凹部、１５２…連通路、１５３…挿通孔、１６０…ベース部材、１６１…第２固定孔、１７０…半抜き型、３００…圧電アクチュエーター（圧力発生手段）
【図１】
2017132074.tif 000003
【図２】
2017132074.tif 000004
【図３】
2017132074.tif 000005
【図４】
2017132074.tif 000006
【図５】
2017132074.tif 000007
【図６】
2017132074.tif 000008
【図７】
2017132074.tif 000009
【図８】
2017132074.tif 000010
【図９】
2017132074.tif 000011
【図１０】
2017132074.tif 000012
【図１１】
2017132074.tif 000013
【図１２】
2017132074.tif 000014