(57)【要約】      （修正有）【課題】物体の多孔性を低減するとともに密度を高めるために、物体を熱間等方圧加圧法の提供。【解決手段】規定の融点を有する材料から製造される物体を処理する方法、及び、対応する装置であって、物体は、その多孔性を低減するとともに密度を高めるために、熱間等方圧加圧法に供される装置。この方法は、物体を圧力チャンバ２の内部キャビティ６内に配置すること、物体を、キャビティ６内に入れられるとともにキャビティ６を部分的に満たす液体中に浸漬すること、液体を、融点未満の第１の温度まで加熱すること、液体を、自由な液体表面１８の上の内部キャビティ６の一部１２に加圧ガスを提供することによって加圧すること、物体を液体中で維持すること、及び、物体を、自由な液体表面１８の上の内部キャビティ６の一部１２において液体の外側に配置することを含む、方法。【選択図】図２ａ
2017104857.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
規定の融点を有する材料から、特に付加製造によって製造される物体（１９、１１９）を処理する方法であって、
−前記物体（１９、１１９）を、該物体（１９、１１９）の多孔性を低減するとともに密度を高めるように熱間等方圧加圧法に供するステップであって、前記熱間等方圧加圧法は、
−前記物体（１９、１１９）を、圧力チャンバ（２、１０２）の内部キャビティ（６、１０６）内に配置すること（２０２）、
−前記内部キャビティ（６、１０６）の一部（１２、１１２）が上に位置する自由な液体表面（１８、１１８）を有するように、前記内部キャビティ（６、１０６）内に入れられるとともに前記内部キャビティ（６、１０６）を部分的に満たす液体中に前記物体（１９、１１９）を浸漬すること（２０３）、
−前記液体を、前記融点未満の第１の温度まで加熱すること（２０４）、
−前記自由な液体表面（１８、１１８）の上の前記内部キャビティ（６、１０６）の一部（１２、１１２）に加圧ガスを提供することによって前記液体を加圧すること（２０５）、
−前記物体（１９、１１９）を、前記第１の温度まで加熱されるとともに前記加圧ガスによって加圧される前記液体内で維持すること（２０６）、
−前記物体（１９、１１９）を、前記自由な液体表面（１８、１１８）の上の前記内部キャビティ（６、１０６）の一部（１２、１１２）において前記液体の外側に配置すること（２０７）
を含む、ステップ、
−その後、前記液体を、前記融点を上回る第２の温度まで加熱するステップ（２０８）、
−前記液体が前記第２の温度まで加熱された後で、前記物体（１９、１１９）の表面粗さを低減するために、該物体（１９、１１９）を、前記自由な液体表面（１８、１１８）の上の前記内部キャビティ（６、１０６）の一部（１２、１１２）から前記液体中に移動させる（２０９）とともに、前記物体（１９、１１９）を、前記液体内に再び浸漬するステップ、及び続いて
−前記物体（１９、１１９）を、前記液体から引き出す（２１０）とともに、前記自由な液体表面（１８、１１８）の上の前記内部キャビティ（６、１０６）の一部（１２、１１２）に移動させるステップ
を含む、方法。
【請求項２】
前記液体を第１の温度まで加熱するステップは、前記物体（１９、１１９）を前記液体中に浸漬する前に行う、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記方法は、前記物体（１９、１１９）を支持構成（１３、１１３）によって支持するステップであって、前記支持構成（１３、１１３）は、前記内部キャビティ（６、１０６）内に位置付けられ、該内部キャビティ（６、１０６）内で移動可能であり、それによって、前記物体（１９、１１９）を前記液体中に選択的に浸漬することを可能にする、ステップ、前記物体（１９、１１９）を、前記自由な液体表面（１８、１１８）の上の前記内部キャビティ（６、１０６）の一部（１２、１１２）において前記液体の外側に配置するステップ、及び、前記物体（１９、１１９）を、前記液体から引き出すとともに、前記自由な液体表面（１８、１１８）の上の前記内部キャビティ（６、１０６）の一部（１２、１１２）に移動させるステップを更に含み、
−前記液体が前記第２の温度まで加熱された後で、前記物体（１９、１１９）を前記液体内に浸漬するステップ、及び
−前記物体（１９、１１９）を、前記液体から引き出すとともに、前記自由な液体表面（１８、１１８）の上の前記内部キャビティ（６、１０６）の一部（１２、１１２）に移動させるステップ
は、前記支持構成（１３、１１３）を前記内部キャビティ（６、１０６）内で移動させることによって行う、請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
−前記物体（１９、１１９）を、前記第１の温度まで加熱された前記液体中に浸漬するステップ、又は
−前記物体（１９、１１９）を、前記自由な液体表面（１８、１１８）の上の前記内部キャビティ（６、１０６）の一部（１２、１１２）において前記液体の外側に配置するステップ、或いは
その両方
は、前記支持構成（１３、１１３）を前記内部キャビティ（６、１０６）内で移動させることによって行う、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記支持構成（１３）を前記内部キャビティ（６）内で移動させることは、該支持構成（１３）を、直線的な経路に沿って第１の位置と第２の位置との間で移動させることによって行う、請求項３又は４に記載の方法。
【請求項６】
前記支持構成（１１３）を前記内部キャビティ（１０６）内で移動させることは、該支持構成（１１３）を、回転軸（１１３ａ）を中心に回転させることによって行う、請求項３又は４に記載の方法。
【請求項７】
前記物体（１９、１１９）を、前記液体を前記第２の温度まで加熱する間に該液体から熱的に遮蔽するステップを更に含む、請求項１〜６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８】
前記物体（１９、１１９）を、前記液体を前記第２の温度まで加熱する間に該液体から熱的に遮蔽するステップは、該物体（１９、１１９）が前記自由な液体表面（１８、１１８）の上の前記内部キャビティ（６、１０６）の一部（１２、１１２）において前記液体の外側に配置されたときに、移動可能な遮熱体（１５、１１５）を、前記自由な液体表面（１８、１１８）と前記物体（１９、１１９）との間の位置に配置するように移動させることによって行う、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記遮熱体（１５、１１５）は、前記支持構成（１３、１１３）の一部であり、前記物体（１９、１１９）が前記自由な液体表面（１８、１１８）の上の前記内部キャビティ（６、１０６）の一部（１２、１１２）において前記液体の外側に配置されたときに、前記自由な液体表面（１８、１１８）と前記物体（１９、１１９）との間の位置に配置されるような前記遮熱体（１５、１１５）の移動は、前記支持構成（１３、１１３）を前記内部キャビティ（６、１０６）内で移動させることによって行い、前記液体が前記第２の温度まで加熱された後で、前記物体（１９、１１９）を前記液体内に浸漬するステップは、前記支持構成（１３、１１３）を前記内部キャビティ（６、１０６）内で移動させることによって前記遮熱体（１５、１１５）を移動させることを含む、請求項３〜６及び８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１０】
前記物体（１９、１１９）を、前記第２の温度まで加熱された前記液体内に再び浸漬し、その後、該物体（１９、１１９）を、前記液体から引き出すとともに前記自由な液体表面（１８、１１８）の上の前記内部キャビティ（６、１０６）の一部（１２、１１２）に移動させた後で、前記液体を冷却し、又は、前記内部キャビティ（６、１０６）を減圧し、或いはその両方を行う、請求項１〜９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１１】
物体（１９、１１９）を製造する方法であって、
−物体（１９、１１９）を特に付加製造によって製造すること（２０１）、及び
−その後、前記物体（１９、１１９）を、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の方法を使用して処理すること
を含む、方法。
【請求項１２】
請求項１〜１０のいずれか一項に記載の方法を行う装置であって、
内部キャビティ（６、１０６）を有する圧力チャンバ（２、１０２）、
物体（１９、１１９）を支持するように適合されており、前記内部キャビティ（６、１０６）内に位置付けられ、前記内部キャビティ（６、１０６）内で第１の位置と第２の位置との間で移動可能であり、それによって、前記物体（１９、１１９）を、前記内部キャビティ（６、１０６）を部分的に満たす液体中に選択的に浸漬すること、及び、前記物体（１９、１１９）を前記液体から引き出すことを可能にする、支持構成（１３、１１３）、
前記内部キャビティ（６、１０６）を部分的に満たす液体を、少なくとも２つの異なる温度まで加熱するように適合されている加熱手段（１０、１１０）、並びに
ガスを、前記内部キャビティ（６、１０６）に選択的に導入し、該内部キャビティ（６、１０６）から放出するときに通すことができるガス入口及び出口
を備える、装置。
【請求項１３】
前記支持構成（１３）は、前記第１の位置と前記第２の位置との間で直線的に移動可能であるように前記内部キャビティ（６）内に取り付けられる、請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】
前記支持構成（１１３）は、固定された回転軸を中心に前記第１の位置と前記第２の位置との間で回転移動可能であるように、前記内部キャビティ（１０６）内に回転可能に取り付けられる、請求項１２に記載の装置。
【請求項１５】
前記支持構成（１３、１１３）は、該支持構成（１３、１１３）とともに移動するように適合されており、前記支持構成（１３、１１３）の少なくとも前記第１の位置において、前記内部キャビティ（６、１０６）を２つの部分に分割する遮熱部分（１５、１１５）を備え、前記支持構成（１３、１１３）は、前記遮熱部分（１５、１１５）の一方の側において前記物体（１９、１１９）を支持するように適合されており、それによって、前記支持構成（１３、１１３）を前記第１の位置に移動させることは、前記遮熱部分（１５、１１５）が前記物体（１９、１１９）と前記自由な液体表面（１８、１１８）との間に位置決めされた状態で、前記物体（１９、１１９）を、前記内部キャビティ（６、１０６）を部分的に満たす液体の自由な液体表面の上に位置決めすることを可能にする、請求項１２〜１４のいずれか一項に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願は、規定の融点を有する材料から、特に付加製造によって製造される物体を処理する方法であって、処理は、物体の多孔性を低減するとともに密度を高めるために、物体を熱間等方圧加圧法に供することを含む、方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
生成的又は付加製造方法は、プロトタイプ又は完成した構成要素を非常に迅速に製造するためにますます使用されている。例えばフライス加工、切削、穿孔又は他の機械加工プロセスによって材料のブロックから材料を除去することを含む従来の製造プロセスに比して、付加製造方法は、物体のデジタル記述又は表現に基づいて、所望の三次元物体を直接的に層毎に構築する。それらは、３Ｄプリンティング又はラピッドプロトタイピングとしても既知である。
【０００３】
付加製造方法の特定の例は、いわゆる選択的レーザ溶融（ＳＬＭ）、並びに、レーザビーム及び電子ビームをそれぞれ使用して、支持体に連続的に適用される材料の層の選択された部分を照射して溶融させる、いわゆる選択的電子ビーム溶融である。別の例は、いわゆる熱溶解積層法であり、これは、加熱され移動可能な押出ノズルが、溶融材料を吐出して所望の物体を作る。概して、多くの付加製造方法は、溶融可能な材料、特に金属又は熱可塑性材料を溶融又は溶解させて固化させることに基づく。
【０００４】
上記で説明したような特定のタイプの付加製造方法に関係なく、物体は、三次元で層毎に直接的に構成される。これは、同じデバイスにおいて、様々な材料、特に金属であるがプラスチック材料からも、また特に熱可塑性材料及びセラミック材料から、様々なかなり複雑な物体を効率的かつ迅速に製造することを可能にする。例えば、かなり複雑な格子若しくはハニカム構造、又は、他のプロセスを使用して生成することができないか若しくは困難を伴わずには生成することができない他のかなり複雑な構造体を、容易に製造することができる。従来の製造プロセスに比して、物体の複雑さは、製造コストに対して限られた影響しか与えない。
【０００５】
トポロジーが最適化された設計と組み合わせた付加製造は、航空機のような構造体の重量を削る可能性を提供する。特に、剛性、強度及び安定性等の要件を考慮しながら、最低限の重量に関する最適化が可能である。
【０００６】
しかし、付加製造によって製造される物体は通常、比較的高い多孔性及び比較的高い表面粗さを有する。製造される物体の疲労特性を更に向上させるために、多孔性及び表面粗さを可能な限り低減することが望ましい。同じことが、他の方法によって製造される物体にも当てはまり得る。
【０００７】
熱間等方圧加圧法は、物体の多孔性を低減することによって物体の機械的特性及び加工性を向上させる既知のプロセスである。このために、物体は、圧力チャンバ内に配置され、例えば、物体を油等の加熱及び加圧される液体中に配置することによって、高温及び高等方圧の双方に供される。高等方圧は、全ての方向から物体に印加されるため、物体は、その形状を変えることなく緻密化される。
【０００８】
表面粗さを低減する種々のプロセスが一般的に知られているが、それらのプロセスは、複雑な形状を有する物体、特に、物体が、アクセスするのが難しい内面を有する場合に、適用するのが難しい。
【０００９】
典型的な既知の表面平滑化方法は、研磨媒体、化学的若しくは電気化学的研磨、又は、研磨液体を使用する、機械的な研削又は研磨を伴う。付加製造を使用して製造される中空の構造体は、特に、中空の構造体が、構造体の壁又は他の部分によって内部のサブスペースに分割される場合に、これらの方法によって到達することがほぼできない内面を有する。電気化学的研磨又は研磨液体のみが、中空の構造体への十分なアクセスを提供する可能性を有する。しかし、電気化学的研磨は、陽極と陰極との間の距離が変化し、研磨液体が、全ての小さい角部に均等に到達することができないか、又は、構造的なレイアウトに応じて表面全体にわたって同じ摩耗レベルを有するため、均質な結果をもたらさない傾向にある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
したがって、本発明の目的は、物体、特に付加製造によって製造される物体を処理し、多孔性及び表面粗さを低減する方法であって、行うのが簡単であり、均質な結果をもたらす、方法を提供すること、並びに、この方法を行う装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
この目的は、請求項１に記載の方法、及び、請求項１２に記載の装置によって達成される。この方法及び装置の有利な実施形態は、それぞれの従属項の主題である。
本発明は、規定の融点を有する材料から製造される物体を処理する、好ましくは、規定の融点を有する材料から付加製造によって製造される物体を処理する方法を提供する。この方法は概して、物体の多孔性の低減及び物体の密度の増大を達成するために、熱間等方圧加圧法を行う第１の段階又はステージ、及び、物体の表面粗さを低減する後続の第２の段階又はステージを含む。
【００１２】
物体を熱間等方圧加圧法に供することは、物体を、圧力チャンバの内部キャビティ内に配置すること、及び、物体を、内部キャビティ内に入れられる液体中に浸漬することを含む。重要なことには、液体は、内部キャビティを部分的にしか満たさず、それによって、液体は、内部キャビティの一部、すなわち、液体によって満たされないスペースが上に位置する自由な液体表面を有する。自由な液体表面の上の内部キャビティの部分が、例えば、内部キャビティ内に液体を追加すること又は内部キャビティから液体の幾らかを除去することに起因して、方法の過程で、自由な液体表面の変化するレベル又は位置とともに変化し得ることに留意されたい。内部キャビティ内の液体の量が変化しない場合であっても、自由な液体表面のレベル又は位置は概して、物体が液体中に浸漬されない場合に比して、物体が液体中に浸漬される場合には異なる。さらに、物体を浸漬することは、最初に液体を内部キャビティ内に満たすか若しくは液体を内部キャビティに提供し、次に、物体を、自由な液体表面の上の内部キャビティの一部から、自由な液体表面を通して液体中に移動させるか、又は、最初に、物体を、内部キャビティ内の、満たされる液体に対応する位置に配置し、次に液体を満たすことによって行うことができることにも留意されたい。液体は、融点未満の第１の温度まで加熱され、自由な液体表面の上の内部キャビティの一部に加圧ガスを提供することによって加圧される。加熱及び加圧ステップのそれぞれは、物体を液体中に浸漬する前後に行うことができる。さらに、内部キャビティ内で液体を加熱することが好ましいが、内部キャビティ外で液体を加熱し、次に、液体を内部キャビティ内に導入することも可能である。
【００１３】
液体が第１の温度まで加熱されて加圧ガスによって加圧され、物体が液体中に浸漬された後で、物体は、液体内に維持されるため、液体によって物体に印加される等方圧によって、物体の多孔性が低減され、密度が増大される。このステージの間に、液体の温度は好ましくは、適切な加熱によって第１の温度に制御及び維持される。次に、物体は、自由な液体表面の上の内部キャビティの一部において液体の外側に配置され、それによって、熱間等方圧加圧法を終了する。これは、好ましくは、物体を液体から引き出すとともに自由な液体表面の上の内部キャビティの一部に移動させること、及び／又は、自由な液体表面のレベル若しくは位置を低下させるために内部キャビティから液体の一部を除去することによって行うことができる。物体が液体に浸漬されて等方圧が物体に印加される時間周期は、多孔性の所望の低減に依存し、好ましくは予め定められる。
【００１４】
この熱間等方圧加圧法ステージに続いて、物体が自由な液体表面の上の内部キャビティの一部において液体の外側に配置されている間に、液体は、その表面が処理されるべきである物体の融点を上回る第２の温度まで加熱される。液体が第２の温度まで加熱された後で、物体は、自由な液体表面の上の内部キャビティの一部から液体中に移動されるため、液体内に再び浸漬される。第２の温度が融点を上回ることに起因して、この浸漬によって、物体が、表面の層から開始して溶融され、それによって、物体の表面粗さが低減される。表面粗さの所望の低減が達成されると、物体は液体から引き出され、自由な液体表面の上の内部キャビティの一部に再び移動される。換言すると、物体は、その他の点では物体の形状を維持しながらも、表面粗さを低減するために、融点を上回る温度を有する液体中に「短時間浸される」。時間周期は、物体の断面全体ではなく、粗い表面及び可能な小さい亀裂のみが影響を受け、すなわち、物体が全体的に変形しないように選択される。時間周期は好ましくは予め定められる。第２の温度は好ましくは、浸漬ステップ中及び物体の表面が融点に達する前に、液体の温度が融点を下回らないほど高く選択される。代替的には、浸漬ステップ中に、液体の温度は、適切な加熱によって、第２の温度、又は、融点と第２の温度との間の或る温度若しくは温度範囲に制御及び維持されることができる。
【００１５】
上記の方法は、研磨が、処理される物体の全てのエリアに確実かつ迅速に到達することが可能である高温の液体によって非常に効率的に行われるため、中空の構造体の内面でさえも、液体が入ることができてガスが出ることができる穴を有する限り、湿潤されるという利点を提供する。したがって、既知のプロセスとは異なり、複雑な構造体の表面粗さを均一に低減することができる。物体の表面上における溶融された材料の表面張力に起因して、表面粗さの低減が確実に達成され、表面の開放した孔又はクラックが溶融された材料で満たされる。さらに、表面から突出するとともに表面に機械的に取着する表面の不規則部が平らになる。第２の温度の値は、特に、物体の寸法及び形状に応じて決定することができる。熱間等方圧加圧法との組み合わせは、方法を特に簡単で迅速かつ効率的にし、これらは一緒に、製造される物体の疲労特性を、特に物体が付加製造によって製造される場合に向上させるように役立つ。
【００１６】
好ましい実施形態では、物体は支持構成によって支持され、支持構成は、内部キャビティ内に位置付けられるとともに内部キャビティ内で移動可能であり、それによって、物体を液体中に選択的に浸漬すること、物体を、自由な液体表面の上の内部キャビティの一部において液体の外側に配置すること、及び、物体を液体から引き出すとともに自由な液体表面の上の内部キャビティの一部に移動させ、すなわち、物体を、浸漬される位置と自由な液体表面の上の位置との間で上述したように選択的に変化又は移動させることを可能にする。支持構成は有利には、例えばケージ若しくは他のレセプタクルであるか又はケージ若しくは他のレセプタクルを含むことができ、ケージ又は他のレセプタクル内に物体が位置付けられて支持され、ケージ又は他のレセプタクルは、液体がケージ又は他のレセプタクルに出入りするときに通ることができる複数のスロット又は他の開口を含む。粗さ低減ステージの間に、液体を第２の温度まで加熱した後で物体を液体中に浸漬するステップ、及び、物体を液体から引き出すとともに自由な液体表面の上の内部キャビティの一部に移動させる後続のステップは、支持構成を内部キャビティ内で移動させることによって行われる。好ましくは、熱間等方圧加圧法ステージ中に、物体を、第１の温度まで加熱される液体中に浸漬するステップ、及び／又は、物体を、自由な液体表面の上の内部キャビティの一部において液体の外側に配置するステップは同様に、支持構成を内部キャビティ内で移動させることによって行われるか又は移動させることを伴う。
【００１７】
この実施形態では、支持構成の上述した移動、すなわち、物体を液体中に選択的に浸漬し、物体を液体から引き出すとともに自由な液体表面の上の内部キャビティの一部に移動させるための移動、また可能性としては、熱間等方圧加圧法ステージ中に、物体を第１の温度まで加熱された液体中に浸漬し、及び／又は、物体を、自由な液体表面の上の内部キャビティの一部において液体の外側に配置するための移動は好ましくは、第１の位置と第２の位置との間の並進移動経路、好ましくは直線状の経路に沿って支持構成を移動させることによって行うことができる。第１の位置はこの場合、支持構成全体、又は、少なくとも支持構成によって支持される物体全体が、液体から引き出されるか又は液体の外側に配置され、自由な液体表面の上の内部キャビティの一部に配置される位置であるものとすることができ、第２の位置は、支持構成全体、又は、少なくとも支持構成によって支持される物体全体が液体中に浸漬される位置であるものとすることができる。
【００１８】
代替的には、支持構成の上述した移動、すなわち、物体を液体中に選択的に浸漬し、物体を液体から引き出すとともに自由な液体表面の上の内部キャビティの一部に移動させるための移動、また可能性としては、熱間等方圧加圧法ステージ中に、物体を第１の温度まで加熱された液体中に浸漬し、及び／又は、物体を、自由な液体表面の上の内部キャビティの一部において液体の外側に配置するための移動は好ましくは、回転軸を中心に支持構成を回転させることによって行うことができる。支持構成はこの場合、回転軸を中心に回転可能であるように内部キャビティ内に取り付けられ、好ましくは、支持構成が回転軸を中心に回転するときに、物体が回転軸を中心に第１の位置と第２の位置との間で円形の経路に沿って移動するように物体を支持することができるよう構成されている。第１の位置はこの場合、物体全体、また可能性としては支持構成全体が、液体から引き出されるか又は液体の外側に配置され、自由な液体表面の上の内部キャビティの一部に配置される位置であるものとすることができ、第２の位置は、物体全体、また可能性としては支持構成の一部が液体中に浸漬される位置であるものとすることができる。好ましくは、支持構成は、３６０°超にわたって連続的に回転可能であるため、支持構成を１つの回転方向に回転させることによって、第１の位置から第２の位置に移動し、第１の位置に再び移動することが可能である。支持構成の回転移動は、２つ以上の物体が支持構成によって支持されるときに、全ての物体が同じ持続時間にわたって液体中に浸漬されることを保証することが非常に簡単であるという利点を提供する。「支持構成を」液体「中で」連続的に「回転させる」ことで足りる。
【００１９】
好ましい実施形態では、物体は、液体を第２の温度まで加熱する間に、すなわち、物体が、熱間等方圧加圧法ステージの後で自由な液体表面の上の内部キャビティの一部に配置されている間に、液体から熱的に遮蔽される。
【００２０】
概して、液体を第２の温度まで加熱する間に物体を液体から熱的に遮蔽するステップは、物体が自由な液体表面の上の内部キャビティの一部において液体の外側に配置されているときに、移動可能な遮熱体を、自由な液体表面と物体との間の位置に配置するように移動させることによって行われる。遮熱体は次に、液体が第２の温度まで加熱された後で、自由な液体表面と物体との間の位置から離間されるように、すなわち、そのような位置にないように移動される。
【００２１】
これに関して、移動可能な遮熱体が物体に対して移動可能であるように、すなわち、物体が静止して維持されている間に、物体と自由な液体表面との間の場所に選択的に挿入されるとともに取り出されることができるように、移動可能な遮熱体を設けることが原則として可能である。
【００２２】
しかし、遮熱体が物体とともに移動すれば好ましい。上述した支持構成が使用される特に好ましい実施形態では、遮熱体は支持構成の一部である。遮熱体の移動はこの場合、物体が自由な液体表面の上の内部キャビティの一部において液体の外側に配置されているときに、遮熱体が自由な液体表面と物体との間の位置に配置されるように、支持構成を内部キャビティ内で移動させることによって非常に簡単に行われる。さらに、液体を第２の温度まで加熱した後で物体を液体中に浸漬するステップはこの場合、支持構成を内部キャビティ内で移動させることによって遮熱体を移動させることを同様に含む。この移動は、遮熱体が物体とともに液体中に浸漬されるか、又は、物体が浸漬されている間に遮熱体が少なくとも部分的に液体の外側にあるようなものであり得る。支持構成が並進移動で移動可能である上述した実施形態の場合、遮熱体は有利には、支持構成の底部によって構成されることができ、この底部に、支持される物体が載る。そのような底部が、内部キャビティの少なくとも一部の断面寸法よりも小さい寸法を有し、底部が液体に出入りするときに、液体が底部の縁の周りで流れることが可能となることが好ましい。
【００２３】
好ましい実施形態では、第２の温度まで加熱された液体内に物体を再び浸漬し、その後、物体を液体から引き出すとともに自由な液体表面の上の内部キャビティの一部に移動させた後で、液体は冷却され、及び／又は、内部キャビティは減圧される。これは、物体を内部キャビティから取り出すことを簡略化し、液体の熱が物体に不所望に影響することを防止する。
【００２４】
材料は有利には、金属又は金属合金、特にアルミニウム若しくはアルミニウム合金、チタン若しくはチタン合金、又は、鋼、熱可塑性材料、セラミック材料又はガラス材料であり得る。
【００２５】
液体は例えば油であるものとすることができ、及び／又は、ガスは例えばアルゴンであるものとすることができる。
上記の構成のうちの１つを有する方法は、物体を製造する方法の一部として使用することができる。物体を製造する方法は、物体を製造すること、及びその後、上記の構成のいずれかの方法を使用して物体を処理することを含む。
【００２６】
物体を製造する方法の好ましい実施形態では、物体は付加製造によって製造される。付加製造はこの場合好ましくは、選択的レーザ溶融、選択的レーザ焼結、選択的電子ビーム溶融、選択的電子ビーム焼結及び熱溶解積層法からなる群から選択される。
【００２７】
物体、特に付加製造によって製造される物体を処理する上述した方法は、有利には、内部キャビティ、支持構成、加熱手段並びにガス入口及び出口を有する圧力チャンバを備える装置を使用して行うことができる。
【００２８】
支持構成は、物体を支持するように適合されており、内部キャビティ内に位置付けられる。支持構成は、内部キャビティ内で第１の位置と第２の位置との間で移動可能であり、それによって、内部キャビティを部分的に満たす液体中に物体を選択的に浸漬すること、及び、物体を液体から引き出すことを可能にする。概して、支持構成は、上記で詳細に既に記載した構造のいずれかを有することができる。
【００２９】
加熱手段は、キャビティを部分的に満たす液体を、少なくとも２つの異なる温度、特に上記で詳細に記載した第１の温度及び第２の温度まで加熱するように適合されている。加熱手段は、上記で詳細に述べた加熱ステップを行うように適合されている。
【００３０】
ガス入口及び出口は、ガスを、ガス入口及び出口を通して内部キャビティに選択的に導入して内部キャビティから放出することができるように構成及び配置されている。特に、加圧ガス及び／又は冷却ガスを内部キャビティに導入するか又は内部キャビティから放出することができる。
【００３１】
好ましい実施形態では、装置は、内部キャビティ内でガスを加圧するように適合されている加圧手段を更に備える。
好ましい実施形態では、支持構成は、第１の位置と第２の位置との間で直線的に移動可能であるように内部キャビティ内に取り付けられる。代替的な好ましい実施形態では、支持構成は、固定された回転軸を中心に第１の位置と第２の位置との間で回転移動可能であるように、内部キャビティ内に回転可能に取り付けられる。
【００３２】
好ましい実施形態では、支持構成は、支持構成とともに移動するように適合されている遮熱部分を含む。上述した実施形態による遮熱体を構成するとともに好ましくはプレート形状である遮熱部分は、少なくとも支持構成の第１の位置において、内部キャビティを２つの部分に分割する。２つの部分は、支持構成の位置が変化すると変化する。これに関して、遮熱部分が２つの部分の間にシールを提供する必要がないことが留意される。むしろ、少なくとも第１の位置と第２の位置との間の幾つかの位置に関して、遮熱部分が内部キャビティ内に存在する液体に出入りするときに、２つの部分の間での液体の交換を可能にするために、遮熱部分と内部キャビティを画定する壁との間にスペースが存在することが好ましい。いずれの場合も、支持構成は、遮熱部分の一方の側において物体を支持するように適合されており、それによって、支持構成を第１の位置に移動させることは、遮熱部分が物体と自由な液体表面との間に位置決めされた状態で、物体を、内部キャビティを部分的に満たす液体の自由な液体表面の上に位置決めすることを可能にする。当然ながら、これは、内部キャビティ内の液体の好適な充填レベルを必要とし、すなわち、レベルは、特定の支持構成及びその遮熱部分に適合されなければならない。
【００３３】
以下の例示的な実施形態において、物体を処理する方法及び方法を行う装置を、添付の図面を参照して詳細に記載する。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１ａ】物体、特に付加製造によって製造される物体を加圧液体中で処理する本発明による方法を行う装置の例示的な実施形態の斜視図であり、装置は、物体を装置に挿入するとともに装置から取り出すことができる開状態で示されている。
【図１ｂ】開状態にある図１ａの装置の断面図である。
【図２ａ】装置が閉じ、物体が装置内に存在する液体の上に位置付けられた状態にある、図１ａの装置の別の断面図である。
【図２ｂ】図２ａの断面図に対応する図１ａの装置の斜視図であり、圧力チャンバの内部を見えるようにするために、圧力チャンバのハウジングの一部が取り外されている。
【図３】物体が液体中に浸漬されている状態にある、図１ａの装置の別の断面図である。
【図４ａ】物体、特に付加製造によって製造される物体を加圧液体中で処理する本発明による方法を行う装置の別の例示的な実施形態の斜視図であり、装置は、物体を装置に挿入するとともに装置から取り出すことができる開状態で示されている。
【図４ｂ】装置が閉じ、物体が装置内に存在する液体の上に位置付けられた状態にある、図４ａの装置の断面図である。
【図５ａ】図４ｂの状態における図４ａの装置の別の断面図であり、物体の支持構成が第２の位置にある。
【図５ｂ】図４ａの装置の断面図であり、支持構成は第１の位置にある。
【図５ｃ】図４ａの装置の断面図であり、支持構成は、図５ｂに示されている第１の位置から第２の位置の方向に回転されている。
【図５ｄ】図４ａの装置の断面図であり、支持構成は、図５ｃの位置から更に回転されており、この場合は第２の位置にある。
【図５ｅ】図４ａの装置の断面図であり、支持構成は、図５ｄに示されている第２の位置から第１の位置の方向に回転されている。
【図６】物体、特に付加製造によって製造される物体を処理する方法を含む、物体を製造する方法のフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
図１ａ〜図３に示されている装置１は、取り外し可能な上側カバー３及び下側カバー４によって両端がそれぞれ閉じられるか又は閉じることができる円筒形の構成要素２ａを有する圧力チャンバ２を備える。圧力チャンバ２内には、圧力チャンバ２の内部キャビティ６を更に画定する断熱要素５が配置されている。圧力チャンバ２は、同様に装置１の一部である支持台８上で支持される。
【００３６】
内部キャビティ６の下側部分１１には、加熱素子構成１０が配置され、動作時に、この下側部分１１は油で満たされ（図１ｂ、図２ａ、図２ｂ及び図３における例証のために油の表面１８のみが概略的に示されている）、加熱素子構成１０は、油を様々な温度まで選択的に加熱するように動作可能である。
【００３７】
内部キャビティ６の残りの部分は、キャビティ６の上側部分１２を構成し、この部分１２は、下側部分１１が油で満たされると、油の表面１８の上に位置付けられる。下側部分１１及び上側部分１２並びにそれらのそれぞれの比率は、内部キャビティ６内の油の充填レベル、及び、油の表面１８の位置の対応する変化とともに変化する。任意の時点で、下側部分１１は、油で満たされる内部キャビティの部分であり、上側部分１２は、自由な液体表面１８の上の内部キャビティの部分である。
【００３８】
キャビティ６内にはケージ１３が配置され、ケージ１３はバー１４によって選択的に移動可能であり、バー１４は、一端がケージ１３に連結され、他端は、内部キャビティ６から上方に、上側カバー３を通って、カバー３の上面に設けられるとともに中空のシリンダの形状を有する延長部１３ａ内に延び、上側カバー３とは反対側の軸方向端は閉じられる。ケージ１３は概ね円筒形であり、開口した上部にワイヤメッシュ側壁１６、及び、断熱性の材料から作られるプレート形状の円形の閉じた底壁１５を備える。
【００３９】
図１ａ及び図１ｂでは、圧力チャンバ２は、上側カバー３が取り外された状態で示されているため、内部キャビティ６は、処理される物体１９を内部キャビティ６に導入するとともに内部キャビティ６から取り出すためにアクセス可能である。より具体的には、物体１９は、物体１９の支持構成として働くケージ１３に導入され、またケージ１３から取り出される。当然ながら、幾つかの物体１９を同時に処理するために、２つ以上の物体１９をケージ１３内に配置することも可能である。ケージ１３内では、１つ又は複数の物体１９が好ましくは底壁１５上で全体的に又は少なくとも部分的に支持される。
【００４０】
内部キャビティ６内で物体１９（単数又は複数）を実際に処理するために、圧力チャンバ２は、図２ａ〜図３に示されているように上側カバー３によって閉じられる。さらに、同様に図２ａ〜図３に示されているように、圧力チャンバ２は台８上に位置付けられ、それによって、Ｕ字形状のブラケット７及び支持台８の一部を含むリング形状の構成要素７、８が、圧力チャンバ２の周りで上部カバー３及び底部カバー４にわたって環状に延び、上部カバー３及び底部カバー４に圧力を印加し、上部カバー３及び底部カバー４を閉位置においてしっかりと維持することを助ける。対照的に、図１ａ及び図１ｂでは、圧力チャンバ２は、リング形状の構成要素７、８によって提供される開口９から取り出されており、上側カバー３の取り外しを可能にするために、Ｕ字形状のブラケットから離間した台８上で支持されている。
【００４１】
圧力チャンバ２のこの閉状態では、ケージ１３は、バー１４によって、図２ａ及び図２ｂに示されている最上の第１の位置と、図３に示されている最下の第２の位置との間で移動可能である。最上の第１の位置では、ケージ１３は、油の表面１８の上、すなわち、内部キャビティ６の上側部分１２に完全に配置される。対照的に、最下の第２の位置では、ケージ１３は油に完全に浸漬される。ケージ１３は上部が開口しており、ワイヤメッシュ側壁１６が複数の開口を提供することに起因して、ケージ１３が第１の位置から油中及び第２の位置に移動すると、油がケージ１３に入ることができる。このために、中空のシリンダの形状を有する断熱要素５は、下側領域よりも上側領域において小さい内径を有し、底壁１５の直径は、上側領域における断熱要素５の内径に対応する。その結果、ケージ１３が第１の位置から油中及び第２の位置に移動するときに底壁１５が下側部分１１に移動すると、油は、底壁１５の周縁の周りを流れることが可能であり、それによって、側壁１６及び開口した上部を通ってケージ１３に入ることができる。同様に、ケージ１３が第２の位置から第１の位置に移動すると、ケージ１３内に存在する油は、側壁１６を通ってケージ１３を出て、底壁１５の周縁の周りを下方に流れることができる。
【００４２】
ケージ１３の底壁１５は、ケージが図２ａ及び図２ｂに示されている最上位置にあるときには、下側部分１１における高温の油に対する遮熱体を構成する。この位置では、断熱要素５の内径は、底壁１５が内部キャビティ６の上側部分１２に配置されるため、底壁１５によって実質的に閉じられ、それによって、ケージ１３の内部、及び、ケージ１３内に位置付けられる任意の物体１９が、油の熱から熱的に遮蔽される。
【００４３】
この装置１によって、物体、特に付加製造によって製造される物体の多孔性及び表面粗さの双方を確実かつ一貫して低減することが非常に簡単かつ効率的に可能である。
方法の第１のステップでは、熱間等方圧加圧法は、ケージ１３を、ケージ１３内で支持される１つ又は複数の物体１９とともに最下位置に移動させ、それによって、ケージ１３及び１つ又は複数の物体１９をキャビティ６の下側部分１１に入れられる油内に完全に浸漬すること（図３を参照のこと）によって行われる。この状況では、油は、処理される１つ又は複数の物体１９の融点未満の第１の温度まで加熱されているか又は加熱され、内部キャビティ６は加圧されているか又は加圧される。ケージ１３は、上記で詳細に説明したように、１つ又は複数の物体１９の多孔性の所望の低減が達成されるまで、この最下位置に維持される。物体１９は、例えばアルミニウム又はチタンから作ることができる。
【００４４】
その後、熱間等方圧加圧法は、ケージ１３を、１つ又は複数の物体１９とともに、図２ａ及び図２ｂに示されている最上位置に上方に移動させ、その結果、１つ又は複数の物体１９を油から取り出すことによって終了する。この位置では、底壁１５は、１つ又は複数の物体１９を油から分離するとともに、１つ又は複数の物体１９を油の表面１８によって放射される何らかの熱から遮蔽する連続的な閉じた遮熱体を提供する。次に、加熱素子構成１０は、１つ又は複数の物体が作られる材料の融点を上回る第２の温度まで油を更に加熱するのに使用される。この間に、１つ又は複数の物体は、上側部分１２内に存在する加圧ガスによって冷却され、遮熱体１５によって遮蔽されない何らかの熱が１つ又は複数の物体１９に悪影響を与えることを防止することができる。
【００４５】
第２の温度に達すると、ケージ１３は、１つ又は複数の物体とともに、図３に示されている位置に再び移動されて油に短時間浸漬されるか又は浸され、それによって、１つ又は複数の物体１９の最外層のみ又は幾つかの最外層が溶融し、１つ又は複数の物体１９を変形させることなく、表面粗さ及び表面の不規則部の低減が達成されるようにする。例えば、１つ又は複数の物体は、１μｍ以下の表面粗さが達成されるまで油中に維持することができる。次に、１つ又は複数の物体１９は、ケージ１３を図２ａ及び図２ｂに示されている位置に移動させることによって、油から再び引き出され、その後、油は冷却及び減圧される。
【００４６】
図４ａ〜図５ｄは、物体、特に規定の融点を有する材料から付加製造によって製造される物体を処理する方法を行うように適合されている装置１０１の別の例示的な実施形態を示している。装置１０１は、取り外し可能なドーム形状の第１のカバー１０３及び一体的に形成されるドーム形状の第２のカバー１０４によって両端がそれぞれ閉じられるか又は閉じることができる概ね円筒形の部分１０２ａを有する圧力チャンバ１０２を備える。圧力チャンバ１０２内には、圧力チャンバ１０２の内部キャビティ１０６を更に画定する断熱要素１０５が配置されている。圧力チャンバ１０２は、円筒形の部分１０２ａの長手方向軸が水平の向きであるように、脚部１０２ｂ上で支持される。
【００４７】
内部キャビティ１０６の下側部分１１１には、加熱素子構成１１０が配置され、動作時に、この下側部分１１１は油で満たされ（図５ａ〜図５ｅにおける例証のために油の表面１１８のみが概略的に示されている）、加熱素子構成１１０は、油を様々な温度まで選択的に加熱するように動作可能である。
【００４８】
内部キャビティ１０６の残りの部分は、キャビティ１０６の上側部分１１２を構成し、この部分１１２は、下側部分１１１が油で満たされると、油の表面１１８の上に位置付けられる。この場合も同様に、下側部分１１１及び上側部分１１２並びにそれらのそれぞれの比率は、内部キャビティ１０６内の油の充填レベル、及び、油の表面１１８の位置の対応する変化とともに変化する。任意の時点で、下側部分１１１は、油で満たされる内部キャビティの部分であり、上側部分１１２は、自由な液体表面１１８の上の内部キャビティの部分である。
【００４９】
キャビティ１０６内には細長い支持要素１１３が配置され、細長い支持要素１１３は、円筒形の部分１０２ａの長手方向軸１１３ａを中心に回転可能であるように取り付けられる。支持要素１１３は、円筒形のコア１１３ｂ、及び、コア１１３ｂから径方向に延びるとともに互いから離間した複数のディスク形状の取り付けプレート１１３ｃを備える。さらに、断熱性の材料から作られる平面的なプレート形状の壁部分１１５が、コア１１３ｂに固定され、回転軸から離間した位置においてキャビティ１０６の全長に沿って延びる。
【００５０】
図４ａでは、圧力チャンバ１０２は、第１のカバー１０３が取り外された状態で示されているため、内部キャビティ１０６は、処理される複数の物体１１９を内部キャビティ１０６に導入するとともに内部キャビティ１０６から取り出すためにアクセス可能である。より具体的には、物体１１９は、壁部分１１５の一方の側において取り付けプレート１１３ｃに取り付けられる。
【００５１】
内部キャビティ１０６内で物体１１９を実際に処理するために、圧力チャンバ１０２は、図４ｂに示されているようにカバー１０３によって閉じられる。この方法は、図５ａ〜図５ｅとともに図６において説明する。
【００５２】
圧力チャンバ１０２のこの閉状態では、支持要素１１３は、図５ｂに示されている第１の位置から規定された回転方向に、図５ａ及び図５ｄに示されている第２の位置に、また、図５ｃ及び図５ｅに示されている中間の位置を介して第１の位置に再び戻るように回転移動可能である。以下でより詳細に説明するように、熱間等方圧加圧法ステージに対応する図５ａでは、油の充填レベルは、後続の粗さ低減ステージを示す図５ｂ〜図５ｅよりも高い。第２の位置において、図５ａにおけるような充填レベルでは、支持要素１１３に取り付けられている全ての物体１１９が、油に浸漬され、すなわち、油中に完全に配置される。図５ｂ〜図５ｅにおけるような充填レベルでは、第１の位置において、支持要素１１３、及び、支持要素１１３に取り付けられる物体１１９は、油の表面１１８の上、すなわち、内部キャビティ１０６の上側部分１１２内に完全に配置される。対照的に、図５ｂ〜図５ｄに示されている位置のそれぞれでは、物体１１９のうちの少なくとも別の物体１１９が、可能性としては壁部分１１５の一部とともに油に浸漬される。壁部分１１５の寸法は、壁部分１１５が延びる平面における内部キャビティ１０６の内側寸法に概ね対応するが、壁部分１１５の周縁が、キャビティ１０６を画定する圧力チャンバ１０２の内壁から離間するように選択される。その結果、壁部分１１５の部分が油に出入りするように支持要素１１３が図５ａ〜図５ｅの位置を通って回転するときに、油は、壁部分１１５の下に保たれるように、壁部分１１５の周縁の周りを流れることが可能である。
【００５３】
支持要素１１３の壁部分１１５は、支持要素１１３が図５ｂに示されている第１の位置にあるときに、下側部分１１１における高温の油に対する遮熱体を構成する。全ての物体１１９がこの位置に位置する上側部分１１２はこの場合、壁部分１１５によって油の熱から熱的に遮蔽される。
【００５４】
この装置１０１を用いて、同様に、物体１１９、特に、付加製造によって製造される物体１１９の多孔性及び表面粗さの双方を確実かつ一貫して低減することが非常に簡単かつ効率的に可能である。
【００５５】
方法の第１のステップでは、熱間等方圧加圧法は、支持要素１１３を、支持要素１１３において支持される物体１１９とともに図５ａに示されている第２の位置に回転させることによって、図５ａにおけるような油の充填レベルによって行われる。この前、間又は後で、油は図５ａのレベルまで満たされ、処理される物体１１９の融点未満の第１の温度まで加熱されているか又は加熱され、内部キャビティ１０６は加圧されているか又は加圧される。このプロセスは、上記で詳細に説明したように物体１１９の多孔性の所望の低減が達成されるまで継続される。物体１１９は、この場合も同様に、例えばアルミニウム又はチタンから作ることができる。
【００５６】
その後、熱間等方圧加圧法は、支持要素１１３を図５ｂに示されている第１の位置に移動させるとともに、充填レベルを図５ｂ〜図５ｅに示されているレベルまで下げ、それによって、物体１１９を油から取り出すことによって終了する。この位置では、壁部分１１５は、上記で既に述べたように、物体１１９を油から分離するとともに、物体１１９を油の表面１１８によって放射される何らかの熱から遮蔽する連続的な実質的に閉じた遮熱体を提供する。加熱素子構成１１０は次に、物体１１９が作られる材料の融点を上回る第２の温度まで油を更に加熱するのに使用される。この間に、物体１１９は、上側部分１１２内に存在する加圧ガスによって冷却され、遮熱体１１５によって遮蔽されない何らかの熱が物体１１９に悪影響を与えることを防止することができる。
【００５７】
第２の温度に達すると、支持要素１１３は、物体１１９とともに、図５ｂ〜図５ｅに示されている位置を通して、規定された回転方向に１回又は複数回回転され、物体１１９のそれぞれを油に短時間浸漬するか又は浸し、それによって、物体１１９の最外層のみ又は幾つかの最外層が溶融するため、物体１１９を変形させることなく、表面粗さ及び表面の不規則部の低減が達成される。例えば、物体１１９は、１μｍ以下の表面粗さが達成されるまで油中に維持することができる。この回転中に、取り付けプレート１１３ｃのそれぞれに実質的に半円形の配置で取り付けられる物体１１９は、キャビティ１０６の下側部分１１１に入れられる油内に次々に完全に浸漬される（図５ｃ〜図５ｅを参照のこと）。次に、物体１１９は、支持要素１１３を図５ｂに示されている位置に移動させるとともにそこで維持することによって油から再び引き出され、その後、油は冷却及び減圧される。油内での物体１１９の処理時間は、支持要素１１３の回転数及び／又は回転速度を変更することによって調整することができることに留意されたい。
【００５８】
その結果、物体１９、１１９を製造する、図６に示されている方法は概して、物体１９、１１９が特に付加製造によって製造されるステップ２０１を含む。その後、物体１９、１１９は、物体１９、１１９の多孔性を低減するとともに密度を高めるために熱間等方圧加圧法に供される。熱間等方圧加圧法は、圧力チャンバ２、１０２の内部キャビティ６、１０６内に物体１９、１１９を配置するステップ２０２、液体が、内部キャビティ６、１０６の一部１２、１１２が上に位置する自由な液体表面１８、１１８を有するように、内部キャビティ６、１０６内に入れられるとともに内部キャビティ６、１０６を部分的に満たす油に物体１９、１１９を浸漬するステップ２０３を含む。さらに、ステップ２０４において、油は、融点未満の第１の温度まで加熱され、ステップ２０５において、油は、加圧ガスを自由な液体表面１８、１１８の上の内部キャビティ６、１０６の一部１２、１１２に提供することによって加圧され、ステップ２０６において、物体１９、１１９は、第１の温度まで加熱されて加圧ガスによって加圧された油内に維持され、ステップ２０７において、物体１９、１１９は、自由な液体表面１８、１１８の上の内部キャビティ６、１０６の一部１２、１１２において油の外側に配置される。その後、ステップ２０８において、油は、融点を上回る第２の温度まで加熱される。油が第２の温度まで加熱された後で、ステップ２０９において、物体１９、１１９は、物体１９、１１９の表面粗さを低減するために、自由な液体表面１８、１１８の上の内部キャビティ６、１０６の一部１２、１１２から油中に移動され、それによって、物体１９、１１９を油中に再び浸漬する。最終的に、ステップ２１０において、物体は、油から引き出され、自由な液体表面１８、１１８の上の内部キャビティ６、１０６の一部１２、１１２に移動される。
【００５９】
チタン（１６６８℃）又はアルミニウム（６６０．３℃）のような金属の融点に達することができるように油又は他の液体を加熱することが可能であるために、非常に高い圧力が必要であることに留意されたい。そのような高い圧力は、有利には、先行する熱間等方圧加圧法ステージに起因して既に存在し、これは一般的に、圧縮アルゴンによって１００ＭＰａ〜２００ＭＰａまで加圧される間に、２０００℃まで油を加熱することを可能にする。
【図１ａ】
2017104857.tif 000003
【図１ｂ】
2017104857.tif 000004
【図２ａ】
2017104857.tif 000005
【図２ｂ】
2017104857.tif 000006
【図３】
2017104857.tif 000007
【図４ａ】
2017104857.tif 000008
【図４ｂ】
2017104857.tif 000009
【図５ａ】
2017104857.tif 000010
【図５ｂ】
2017104857.tif 000011
【図５ｃ】
2017104857.tif 000012
【図５ｄ】
2017104857.tif 000013
【図５ｅ】
2017104857.tif 000014
【図６】
2017104857.tif 000015
【外国語明細書】
2017104857000001.pdf