(57)【要約】【課題】シート状フィルムが薄くなったり、低張力状態で加熱されたりするような状態でも、適切に蛇行修正が可能となる、蛇行修正装置を提供する。【解決手段】供給側案内ローラと、排出側案内ローラと、これらの案内ローラの少なくとも一方の姿勢を変更する姿勢変更装置と、を備え、供給側案内ローラを通過した後段階であって、排出側案内ローラを通過する前段階のシート状フィルム１０に向けてエアを供給するエア供給装置３２が備えられている蛇行修正装置３０である。これにより供給側ローラと排出側案内ローラとの間に位置するシート状フィルム１０の弛みをなくすことができる。よってシート状フィルム１０の蛇行を修正し、案内ローラ上のシート状フィルム１０の左右位置を正常にし、折れしわの発生を防止することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状フィルム供給側で、該シート状フィルムの案内を行う供給側案内ローラと、
前記シート状フィルムの排出側で、該シート状フィルムの案内を行う排出側案内ローラと、
前記供給側案内ローラと前記排出側案内ローラとの少なくとも一方の姿勢を変更する姿勢変更装置と、を備える蛇行修正装置であって、
前記供給側案内ローラを通過した後段階であって、前記排出側案内ローラを通過する前段階の前記シート状フィルムに向けてエアを供給するエア供給装置が備えられている、
ことを特徴とする蛇行修正装置。
【請求項２】
前記エア供給装置は、
スリット状のノズルを備え、
前記スリットの長手方向が、前記シート状フィルムの走行方向に垂直に設けられている、
ことを特徴とする請求項１記載の蛇行修正装置。
【請求項３】
前記エア供給装置は、
前記ノズルに供給するエアの圧縮装置を備えている、
ことを特徴とする請求項２記載の蛇行修正装置。
【請求項４】
前記エア供給装置は、
該エア供給装置に送られる圧縮エアの減圧装置を備えている、
ことを特徴とする請求項２記載の蛇行修正装置。
【請求項５】
前記エア供給装置は、
２以上の回転ファンが備えられ、
該２以上の回転ファンが前記シート状フィルムの走行方向に垂直に並べられている、
ことを特徴とする請求項１に記載の蛇行修正装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載の蛇行修正装置が備えられている、
ことを特徴とするめっき処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蛇行修正装置、およびめっき処理装置に関する。さらに詳しくは、シート状フィルムを搬送する際に、シート状フィルムの蛇行を修正する蛇行修正装置、およびこの蛇行修正装置を備えているめっき処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、２層めっき基板などのシート状フィルムを処理する装置では、シート状フィルムの蛇行を修正して、シート状フィルムを正常な状態で搬送するために蛇行修正装置が備えられている。この蛇行修正装置は、例えば特許文献１の図１０に記載のように、シート状フィルムを案内する２本のロールと、これら２本のロールの姿勢を変更するためのセンタピボット式の姿勢変更機構と、が備えられており、この姿勢変更機構によりロールの姿勢が、変更されることで、シート状フィルムの蛇行を修正することができる。
【０００３】
図６から図８は、従来の蛇行修正装置５０を説明するための図である。図６は蛇行修正装置５０の概略の構成を示す三面図であり、図６（Ａ）は蛇行修正装置５０の正面図、図６（Ｂ）は側面図、図６（Ｃ）は平面図である。図６（Ｃ）は、わかりやすいように、下部に位置する案内ローラは省略している。
【０００４】
図６に示す蛇行修正装置５０は、シート状フィルム１０が、矢印Ｓの方向に、複数の案内ローラ３１ａ〜３１ｆに巻き付けられて搬送されている図である。ここで複数の案内ローラ３１ａ〜３１ｆのうち、上部に位置する第３案内ローラ３１ｃと第４案内ローラ３１ｄとが、同じフレームに設けられており、シート状フィルム１０の端部を測定する端部測定センサ３５からの端部の位置情報に基づいて、フレームの姿勢が変更され、シート状フィルム１０の蛇行が修正される。なお、端部測定センサ３５の端部測定部３５ａは、超音波によりシート状フィルム１０の幅方向の端部を測定する。また、本明細書ではシート状フィルム１０の搬送方向Ｓに向いた状態で、左右と称する。
【０００５】
図７は、従来の蛇行修正装置５０のシート状フィルム１０の状態説明図である。シート状フィルム１０は、全体に亘って均一の性質を有することが望まれる。しかし、搬送時に与えられた張力や、表面に付与される材料の不均一によって、複数のガイドローラでシート状フィルム１０を搬送しようとすると、シート状フィルム１０の幅方向でシートの状態が異なる状態、すなわち図７に示すように、左側ではシート状フィルムがピンと張られているのに対し、右側では弛みが生じているような状態になることがある。この状態を放置すると、図７の場合シート状フィルム１０が、案内ローラ上を右へ移動し、シート状フィルム１０の搬送ができなくなったり、弛みの部分が搬送中に折りこまれ、折れしわが発生したりする。
【０００６】
図８には、従来の蛇行修正装置５０の作用説明図を示す。図８（Ａ）は、蛇行修正装置５０を構成する姿勢変更機構が、第３案内ローラ３１ｃ等を、上から見たときに反時計回りに回転させた場合を示した図、図８（Ｂ）は、第３案内ローラ３１ｃ等を、上から見たときに時計回りに回転させた場合を示した図である。図８ではわかりやすいように、回転角度が通常よりも大きく表現されている。第３案内ローラ３１ｃ等が、図８（Ａ）のような状態になると、シート状フィルム１０は図８（Ａ）の矢印Ｔの方向へ移動させられ、第３案内ローラ３１ｃ等が、図８（Ｂ）のような状態になると、シート状フィルム１０は図８（Ｂ）の矢印Ｕの方向へ移動させられる。このように第３案内ローラ３１ｃ等の姿勢を変更することで、案内ローラ上のシート状フィルム１０の左右位置を正常にし、折れしわの発生を防止している。
【０００７】
しかるに、シート状フィルム１０の厚さが薄くなった場合などに、従来の蛇行修正装置５０の可動範囲だけでは、蛇行修正ができないことがある。特に、電子部品の配線材料として用いられている２層めっき基板（多くは、ポリイミドフィルム等の有機樹脂フィルム上に薄い金属層を形成し、その金属層上に更に数μｍ〜数十μｍの厚みで銅を電気めっきしたもの）では、めっきされた銅の再結晶の最適化のため加熱工程でシート状フィルム１０を低張力状態（めっきされるときに付与される張力よりも小さい張力が与えられている状態）で搬送する場合があり、図７で示したような弛みの量が多くなり、シート状フィルム１０の正常な搬送が困難になる場合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平０３−２５６９６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は上記事情に鑑み、シート状フィルムが薄くなったり、低張力状態で加熱されたりするような、従来の蛇行修正装置では、蛇行修正が難しいような状態であっても、適切に蛇行修正が可能となる、蛇行修正装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
第１発明の蛇行修正装置は、シート状フィルム供給側で、該シート状フィルムの案内を行う供給側案内ローラと、シート状フィルムの排出側で、該シート状フィルムの案内を行う排出側案内ローラと、供給側案内ローラと排出側案内ローラとの少なくとも一方の姿勢を変更する姿勢変更装置と、を備える蛇行修正装置であって、供給側案内ローラを通過した後段階であって、排出側案内ローラを通過する前段階のシート状フィルムに向けてエアを供給するエア供給装置が備えられていることを特徴とする。
第２発明の蛇行修正装置は、第１発明において、エア供給装置は、スリット状のノズルを備え、スリットの長手方向が、シート状フィルムの走行方向に垂直に設けられていることを特徴とする。
第３発明の蛇行修正装置は、第２発明において、エア供給装置は、ノズルに供給するエアの圧縮装置を備えていることを特徴とする。
第４発明の蛇行修正装置は、第２発明において、エア供給装置は、該エア供給装置に送られる圧縮エアの減圧装置を備えていることを特徴とする。
第５発明の蛇行修正装置は、第１発明において、エア供給装置は、２以上の回転ファンが備えられ、該２以上の回転ファンがシート状フィルムの走行方向に垂直に並べられていることを特徴とする。
第６発明のめっき処理装置は、第１発明から第５発明のいずれかの蛇行修正装置が備えられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
第１発明によれば、供給側案内ローラを通過した後段階であって、排出側案内ローラを通過する前段階のシート状フィルムに向けてエア供給装置でエアを吹きつけることにより、供給側案内ローラと排出側案内ローラとの間に位置するシート状フィルムの弛みをなくすことができる。これにより、シート状フィルムの蛇行を修正し、案内ローラ上のシート状フィルムの左右位置を正常にし、折れしわの発生を防止することができる。
第２発明によれば、エア供給装置は、スリット状のノズルを備え、スリットの長手方向が、シート状フィルムの走行方向に垂直に設けられていることにより、スリット状のノズルからのエアを、シート状フィルムの全幅にわたり均一に供給することができる。
第３発明によれば、エア供給装置は、ノズルに供給するエアの圧縮装置を備えていることにより、圧縮装置の容量として、ノズルから供給されるエア量に合わせた適切な大きさのものを選択でき、不必要な大きさの圧縮装置を運転する必要がなく、装置稼働時のランニングコストを削減できる。
第４発明によれば、エア供給装置は、このエア供給装置に送られる圧縮エアの減圧装置を備えていることにより、建屋などにすでに備えられている圧縮装置から圧縮エアを受けることができ、圧縮装置を別途備える必要がなく、装置製作のコストを削減できる。
第５発明によれば、エア供給装置は、２以上の回転ファンが備えられていることにより、１つの回転ファンの容量を小さくすることができる。また、２以上の回転ファンがシート状フィルムの走行方向に垂直に並べられていることにより、圧縮されていないエアを、シート状フィルムの全幅にわたり供給することができる。
第６発明によれば、めっき処理装置が、第１発明から第５発明のいずれかの蛇行修正装置が備えられていることにより、シート状フィルムが薄くなったり、低張力状態で加熱されたりするような場合でも、シート状フィルムの蛇行を修正し、案内ローラ上のシート状フィルムの左右位置を正常にしたり、折れしわの発生を防止したりすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態に係る蛇行修正装置の側面からの構成図である。
【図２】図１の蛇行修正装置を備えているめっき処理装置の全体説明図である。
【図３】図１の蛇行処理装置を備えている低張力加熱装置の構成図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る蛇行修正装置の上方からの斜視説明図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る蛇行修正装置の上方からの斜視説明図である。
【図６】従来の蛇行修正装置の三面図である。
【図７】従来の蛇行修正装置のシート状フィルムの状態説明図である。
【図８】従来の蛇行修正装置の作用説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
（めっき処理装置）
つぎに、本発明の実施形態を図面に基づき説明する。
まず、図２に基づき、本発明の実施形態に係る蛇行修正装置３０を備えているめっき処理装置Ａの基本構成を説明する。めっき処理装置Ａはめっき装置２０と低張力加熱装置１１とを含んで構成されている。
【００１４】
めっき装置２０は、めっき処理前のシート状フィルム１０を供給するフィルム供給装置１、めっき処理後のシート状フィルム１０を巻取るフィルム巻取装置２を備えており、これらは装置全体の前面側に設置されている。３は前処理槽、４はめっき処理槽、５は後処理槽、９はめっき剥離槽で、これらはめっき処理用の設備である。６はエンドレスベルトの折り返し用プーリ、８はエンドレスベルトであって、これらは上部と下部の一対が設けられ、かつめっき装置２０を周回するようになっている（下部のエンドレスベルト等は図示省略している）。そして、上下部のエンドレスベルト８には、搬送クランプ群８ａがエンドレスベルト８の長手方向に沿って取付けられている。シート状フィルム１０は上下の搬送クランプ群８ａでクランプされエンドレスベルト８の走行によって、前処理槽３、化学処理槽４、後処理槽５を通過してめっき処理される。
【００１５】
（低張力加熱装置）
めっき装置２０における後処理槽５とフィルム巻取装置２との間には、低張力加熱装置１１が設けられている。図２においては、この低張力加熱装置１１にフィルム１０を供給するための搬送姿勢変更ローラ１２や張力検出機能を備えた方向転換ローラ１７、低張加熱装置１１を構成する入側駆動ローラ１３などが示されている。
【００１６】
図３に基づき、めっき処理装置Ａを構成する低張力加熱装置１１の概略の機械的構成を説明する。低張力加熱装置１１はエアフローターン部１５と、これに巻き掛けたシート状フィルム１０を加熱する加熱ヒータ１６とを有している。また、低張力加熱装置１１にシート状フィルム１０を送り込む入側駆動ローラ１３と、加熱処理されたシート状フィルム１０を排出する出側駆動ローラ１４とが設けられている。
【００１７】
さらに、入側駆動ローラ１３の上流側（めっき装置２０側）には方向転換ローラ１７，１８ａが上下段違いに配置されている。また、方向転換ローラ１７とめっき処理装置２０との間には、縦向きで送られてきたシート状フィルム１０を、水平に向きを換える搬送姿勢変更ローラ１２が設けられている。
【００１８】
搬送姿勢変更ローラ１２で水平に向きを変えられたシート状フィルム１０は、方向転換ローラ１７に巻き掛けられたあと、さらに上昇して方向転換ローラ１８ａに巻き掛けられ、再び下って駆動ローラ１３へ巻き掛けられる。駆動ローラ１３から送り出されるシート状フィルム１０は入側の加熱ヒータ１６、エアフローターン部１５、出側の加熱ヒータ１６を通り、エアフローターン部１９と蛇行修正装置３０とを通過して出側駆動ローラ１４で排出される。この間に加熱ヒータ１６の間を通ってシート状フィルム１０が加熱され、その表面のめっき皮膜の再結晶が行われる。なお蛇行修正装置３０については、後で詳述する。
【００１９】
前記方向転換ローラ１７には、シート状フィルム１０に作用する張力を検出する第１張力検出器４０が取付けられている。この第１張力検出器４０は、ロードセルや歪ゲージなどで構成されている。
【００２０】
低張力加熱装置１１の入側にある入側駆動ローラ１３には入側サーボモータ４２が取付けられ、出側にある出側駆動ローラ１４には出側サーボモータ４３が取付けられている。
【００２１】
両駆動ローラ１３，１４は、シート状フィルム１０を吸着した状態で回転して、シート状フィルム１０に与える張力を加減する吸着機能をもつものが用いられる。吸着機能をもたせるには、エアーバキューム機構を例示できる。エアーバキューム機構は、ロール内部の空洞を空気吸引装置に接続し、ロール表面に設けた多数の吸引孔から空気を吸着するもので、この吸引力により駆動ローラ１３，１４の表面にシート状フィルム１０を吸着させる。
【００２２】
上記のような吸着機能付き駆動ローラ１３，１４を用いると、駆動ローラ１３，１４の回転にシート状フィルム１０が確実に追随して移動する。このため、入側駆動ローラ１３に結合されている入側サーボモータ４２のトルクを制御することで、めっき装置２０の最終処理槽から低張力加熱装置１１までの間のシート状フィルム１０の張力を制御できる。また、出側駆動ローラ１４に結合されている出側サーボモータ４３のトルクを制御することで、低張力加熱装置１１内を通るシート状フィルム１０の張力を任意に制御することができる。
【００２３】
めっき装置２０における後処理槽５などの最終処理槽を搬出されたフィルム状シート１０は、低張力熱処理装置１１の入側駆動ローラ１３に吸着されながら導入され、出側駆動ローラ１４によって排出されていく。そして、この間に２カ所の加熱ヒータ１６により、既述のごとく、めっき表面の再結晶を目指して加熱される。なお、入側の加熱ヒータ１６を通過したシート状フィルム１０はエアフローターン部１５で反転されて再び出側の加熱ヒータ１６に通されるが、反転されるシート状フィルム１０はエアフローターン部１５ではエア圧により若干浮いた状態となるので、走行抵抗を大幅に低減できる。このため、フィルム表面の結晶構造を傷つけることがない。
【００２４】
めっき装置２０から低張力加熱装置１１までの間を搬送されるシート状フィルム１０には所定の高い張力が加えられる。この所定の高張力は概ね５０〜６０Ｎとされるが、これらの数値に限定されるものではない。
【００２５】
なお、めっき装置２０内でのシート状フィルム１０の搬送中の保持はクランプによるので加える張力を正確に維持することはできない。また、めっき装置２０から排出される時点でのクランプの解放タイミングのズレなどから、めっき装置２０の出側から低張力加熱装置１１までの間のシート状フィルム１０には張力の変動が生じやすい。しかし、この張力変動を相殺して所定の高張力に保つことが、めっきを正確に行うためには重要である。
【００２６】
また、低張力加熱装置１１を通過するシート状フィルム１０には所定の低い張力が加えられる。この所定の低張力は、概ね５Ｎとされるが、５Ｎ以下と定まったものでは無く、被めっき対象となるフィルム厚みによって異なる。５Ｎ以下に設定するのはフィルム厚みが１２．５μｍ以下の場合の条件であり、フィルム厚みが２５μｍ等まで厚くなってくると、５Ｎ以上の張力を与えても、問題の無いめっき皮膜の再結晶化が可能である。いずれにしろ、低張力加熱装置１１内ではめっき時の前記高張力（５０〜６０Ｎ）よりは低張力で加熱処理が行われる。
【００２７】
以上のように、所定の高張力、たとえば５０〜６０Ｎでめっき装置２０内を通すことにより、シート状フィルム１０に正確な厚みで、かつむら無くめっきが施される。また、所定の低張力、たとえば５Ｎ以下の状態で加熱ヒータ１６に通されてめっき面の再結晶化が行われることで、健全な平滑性を有するフィルム状シート１０が出来上がる。そして、シート状フィルム１０が出側駆動ローラ１４によって外部に導出されて処理が終了する。
【００２８】
（蛇行修正装置）
図１には、本発明の実施形態に係る蛇行修正装置３０の正面からの概略構成図を示す。本実施形態に係る蛇行修正装置３０は、第１案内ローラ３１ａから第６案内ローラ３１ｆまで複数の案内ローラが備えられており、シート状フィルム１０は、これらの案内ローラにより、矢印Ｓの方向に搬送される。蛇行修正装置３０の上部に位置する第３案内ローラ３１ｃと第４案内ローラ６１ｄとが、１つのフレームに回転自在に固定されており、このフレームを数度から十数度回転させることで、シート状フィルム１０の蛇行修正が行われている。
【００２９】
本実施形態では、特許請求の範囲で記載している供給側案内ローラは、シート状フィルム１０の供給側で、シート状フィルム１０の案内を行っている第３案内ローラ３１ｃであり、排出側案内ローラは、シート状フィルム１０の排出側で、シート状フィルム１０の案内を行っている第４案内ローラ３１ｄである。また、本実施形態の蛇行修正装置３０では、第３案内ローラ３１ｃと第４案内ローラ３１ｄとが、図示されていないフレームに回転自在に軸支されており、これら２つの案内ローラ３１ｃ、３１ｄの両方の姿勢が、姿勢変更装置により変更される。
【００３０】
本実施形態では、供給側案内ローラである第３案内ローラ３１ｃを通過した後段階であって、排出側案内ローラである第４案内ローラ３１ｄを通過する前段階のシート状フィルム１０に向けて、エアを供給するエア供給装置３２が備えられている。
【００３１】
供給側案内ローラを通過した後段階であって、排出側案内ローラを通過する前段階のシート状フィルム１０に向けてエアを供給するエア供給装置３２が備えられていることにより、供給されたエアが供給側案内ローラと排出側案内ローラとの間に位置するシート状フィルム１０の弛みをなくすことができる。よってシート状フィルム１０の蛇行を修正し、案内ローラ上のシート状フィルム１０の左右位置を正常にしたり、折れしわの発生を防止したりすることができる。
【００３２】
ここでエア供給装置３２は、シート状フィルム１０を基準としたときに、第３案内ローラ３１ｃ、第４案内ローラ３１ｄがある方向とは逆の方向からエアを供給することが望ましい。エア供給装置３２がこのように配置されることで、シート状フィルム１０のたるんだ部分が、エアにより第３案内ローラ３１ｃ、または第４案内ローラ３１ｄによりまきつき、シート状フィルム１０のより多くの面積が第３案内ローラ３１ｃ、第４案内ローラ３１ｄに巻きつくようになる。
【００３３】
（蛇行修正装置の第１実施形態）
図４に示すように、本発明の第１実施形態では、エア供給装置３２は、スリット状のノズル３３から供給されている。このノズル３３のスリットの出口が、シート状フィルム１０と平行となり、かつスリットの長手方向が、シート状フィルム１０の走行方向に垂直に設けられている。またこのノズル３３には、圧縮空気が供給される。本発明の第１実施形態では、エア供給装置３２に、圧縮エアを製造する、小型のエアの圧縮装置３５が備えられている。
【００３４】
エア供給装置３２は、スリット状のノズル３３を備え、スリットの長手方向が、シート状フィルム１０の走行方向に垂直に設けられていることにより、スリット状のノズル３３からのエアを、シート状フィルム１０の全幅にわたり均一に供給することができる。
【００３５】
エア供給装置３２は、ノズル３３に供給するエアの圧縮装置３５を備えていることにより、圧縮装置３５の容量について、ノズルから供給されるエア量に合わせた適切なものを選択でき、不必要な大きさの圧縮装置３５を運転する必要がなく、装置稼働時のランニングコストを削減できる。
【００３６】
なお、本実施形態では、供給側案内ローラが第３案内ローラ３１ｃ、排出側案内ローラが第４案内ローラ３１ｄであったが、特にこの構成に限定されるものでない。例えば、供給側案内ローラが第４案内ローラ３１ｄ、排出側案内ローラが第５案内ローラ３１ｅである場合もある。この場合、エア供給装置３２は、第４案内ローラ３１ｄを通過した後段階であって、第５案内ローラ３１ｅを通過する前段階のシート状フィルム１０に向けて供給される。この場合、姿勢変更装置によって姿勢が変更されるローラは第４案内ローラ３１ｄのみとなる。
【００３７】
また、本実施形態では、エア供給装置３２は、エアの圧縮装置３５を備えている構成としたが、この構成に限定されない。例えば、エア供給装置３２は、建屋からの圧縮エアの供給を受け、その圧縮エアの減圧装置を備えている場合もある。
【００３８】
エア供給装置３２は、このエア供給装置３２に送られる圧縮エアの減圧装置を備えていることにより、建屋などにすでに備えられている内圧縮装置から圧縮エアを受けることができ、圧縮装置を別途備える必要がなく、装置製作のコストを削減できる。
【００３９】
（蛇行修正装置の第２実施形態）
図５には、本発明の第２実施形態に係る蛇行修正装置３０の上方からの斜視説明図を示す。第２実施形態では、エア供給装置３２には、複数の回転ファン３４が備えられている。これらの回転ファン３４のシート状フィルム１０からの高さは等しく、かつこれらの回転ファン３４は、シート状フィルム１０の走行方向に垂直に並べられている。
【００４０】
なお本発明に係る蛇行修正装置エア供給装置３２は、２以上の回転ファン３４が備えられていることにより、１つの回転ファン３４の容量を小さくすることができる。また、２以上の回転ファン３４がシート状フィルム１０の走行方向に垂直に並べられていることにより、圧縮されていないエアを、シート状フィルム１０の全幅にわたり供給することができる。なお回転ファン３４を備えているエア供給装置３２は、シート状フィルム１０の厚みが、薄くなった場合などに好適である。
【００４１】
なお、蛇行修正装置３０の２つの実施形態について説明したが、本発明は、この実施形態に限定されるものではない。例えば、図１では上から下にエアが供給されるエア供給装置３２が１つ設置されている構成を示したが、これに加えて図１の紙面上の左部分に設置され、図１の紙面上左側から右側へエアを供給するエア供給装置３２をさらに追加することも可能である。なお、この場合、シート状フィルム１０の左右への振れ幅が大きいので、端部測定センサ３５と合わせて、この端部測定センサ３５よりも測定範囲が広く、分解能が大きい広範囲端部測定センサ３６を設けることが望ましい。そしてこの広範囲端部測定センサ３６で測定した結果により、高分解能の端部測定センサ３５を図１の紙面上奥側または手前側に移動させて、シート状フィルム１０の幅方向の端部を測定する構成とすることが望ましい。
【符号の説明】
【００４２】
１０  シート状フィルム
３０  蛇行修正装置
３２  エア供給装置
３３  ノズル
３４  回転ファン
３５  圧縮装置
【図１】
2017132607.tif 000003
【図２】
2017132607.tif 000004
【図３】
2017132607.tif 000005
【図４】
2017132607.tif 000006
【図５】
2017132607.tif 000007
【図６】
2017132607.tif 000008
【図７】
2017132607.tif 000009
【図８】
2017132607.tif 000010