(57)【要約】【課題】界磁磁石の吸引力によるバックヨークの倒れを抑制しうるリニアモータを提供する。【解決手段】リニアモータにおいて、固定子２０は、可動子と対向して設けられる界磁磁石２４と、界磁磁石２４から第１方向側に離間して設けられるベースヨーク２８と、界磁磁石２４が固定されるバックヨーク２３ａと、を含む。バックヨーク２３ａは、ベースヨーク２８の端面２８ａに設けられた締結部に締結具が結合されることでベースヨーク２８の端面２８ａに固定され、バックヨーク２３ａを梃子とし界磁磁石２４が生じる磁気的吸引力を力点荷重としたとき、締結部は、端面２８ａにあらわれる支点を挟んで、力点荷重と平衡する作用点荷重である締結力を発揮し、締結部は、端面２８ａを第１方向に二分した場合における支点があらわれる側と反対側に設けられる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動子と対向して設けられる界磁磁石と、
前記界磁磁石から第１方向側に離間して設けられるベースヨークと、
前記界磁磁石が固定されるバックヨークと、
を含む固定子を備え、
前記バックヨークは、前記ベースヨークの端面に設けられた締結部に締結具が結合されることで前記ベースヨークの端面に固定され、
前記バックヨークを梃子とし前記界磁磁石が生じる磁気的吸引力を力点荷重としたとき、
前記締結部は、前記端面にあらわれる支点を挟んで、前記力点荷重と平衡する作用点荷重である締結力を発揮し、
前記締結部は、前記端面を前記第１方向に二分した場合における前記支点があらわれる側と反対側に設けられることを特徴とするリニアモータ。
【請求項２】
前記第１方向において、前記端面における前記締結部の中心は、前記端面を二分した場合における前記支点があらわれる側と反対側に位置することを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ。
【請求項３】
前記第１方向において、前記端面における前記締結部の中心は、前記端面を三等分した場合における前記支点があらわれる領域から最も遠い領域に位置することを特徴とする請求項１または２に記載のリニアモータ。
【請求項４】
前記第１方向において、前記締結具の範囲は、前記端面を二分した場合における前記支点があらわれる側と反対側の範囲に含まれることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のリニアモータ。
【請求項５】
前記締結部は前記端面に穿設されたねじ孔であり、前記締結具は前記ねじ孔に螺合されるボルトであることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のリニアモータ。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載のリニアモータを備えることを特徴とするステージ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアモータに関する。
【背景技術】
【０００２】
電気エネルギーを直線運動に変換するためにリニアモータが利用される。例えば、特許文献１には、磁気的空隙を介して対向配置される固定子と可動子を備えるリニアモータが記載されている。
【０００３】
特許文献１に記載のリニアモータは、固定子に平板状の界磁ヨークと界磁ヨークに並べて固定された複数の界磁磁石とを備えている。界磁ヨークは、センターヨークと、センターヨークの両端から上側に伸びる一対のサイドヨークを含んでおり、複数の界磁磁石は一対のサイドヨークのそれぞれの内側側面に固定されている。特許文献１に記載のリニアモータは、センターヨークの形状を工夫することでサイドヨークの撓み量を低減している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２３７０８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ベースヨークと、ベースヨークの両端から上側に伸びるバックヨークを備えるリニアモータの固定子について、バックヨークをそれぞれベースヨークの両端面にボルトにより締結する構成が考えられる。しかし、このような構成の場合、ボルトの締結力が不足すると、バックヨークの内側側面に設けた界磁磁石の磁気的な吸引力により、バックヨークが内側に倒れる問題がある。バックヨークが内側に倒れると、その部分で可動子の通路が狭くなり、最悪の場合には可動子が界磁磁石に接触する懸念がある。
【０００６】
このような構成のリニアモータにおいて、界磁磁石の磁気的吸引力によるバックヨークの倒れを減らすために、締結用のボルトの数を増やして、全体の締結力を大きくすることが考えられる。しかし、締結用のボルトの数を増やすと、リニアモータの重量増の問題や、締結孔の加工工数や締結用ボルトの締め付け工数が増えて生産性が低下する問題がある。
つまり、従来のリニアモータでは、重量増や生産性の低下を抑えながら、界磁磁石の吸引力によるバックヨークの倒れを抑制する観点から改善する余地があった。
【０００７】
本発明の目的のひとつは、重量増や生産性の低下を抑えながら、界磁磁石の吸引力によるバックヨークの倒れを抑制しうるリニアモータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明のある態様のリニアモータは、可動子と対向して設けられる界磁磁石と、界磁磁石から第１方向側に離間して設けられるベースヨークと、界磁磁石が固定されるバックヨークと、を含む固定子を備える。バックヨークは、ベースヨークの端面に設けられた締結部に締結具が結合されることでベースヨークの端面に固定され、バックヨークを梃子とし界磁磁石が生じる磁気的吸引力を力点荷重としたとき、締結部は、端面にあらわれる支点を挟んで、力点荷重と平衡する作用点荷重である締結力を発揮し、締結部は、端面を第１方向に二分した場合における支点があらわれる側と反対側に設けられる。
【０００９】
この態様によると、締結部が端面の支点があらわれる側と反対側に設けられるから、締結部の支点からの距離を大きくすることができる。
【００１０】
本発明の別の態様のステージ装置は、上述のリニアモータを備える。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、界磁磁石の吸引力によるバックヨークの倒れを抑制しうるリニアモータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施の形態に係るリニアモータの斜視図である。
【図２】実施の形態に係る固定子の平面図である。
【図３】実施の形態に係る固定子の断面図である。
【図４】実施の形態に係るベースヨークの断面図である。
【図５】比較例に係る固定子の断面図である。
【図６】比較例に係るベースヨークの断面図である。
【図７】実施の形態に係るリニアモータを用いたステージ装置の平面図である。
【図８】第１変形例に係る固定子の断面図である。
【図９】第１変形例に係るベースヨークの断面図である。
【図１０】第２変形例に係る固定子の断面図である。
【図１１】第２変形例に係るベースヨーク部の部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明を好適な実施の形態をもとに図面を参照しながら説明する。各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、各図面における部材の寸法は、理解を容易にするために適宜拡大、縮小して示される。また、各図面において実施の形態を説明する上で重要ではない部材の一部は省略して表示する。また、実施の形態は、発明を限定するものではなく例示であって、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは、必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。
【００１４】
（実施の形態）
図１は実施の形態に係るリニアモータ２の斜視図である。リニアモータ２は、固定子２０と、可動子１０と、を備える。固定子２０は、界磁磁石２４と、ベースヨーク２８と、バックヨーク２３ａ、２３ｂと、を主に含む。界磁磁石２４は主磁石２５および補極磁石２６を含む。固定子２０は、磁気的空隙３４に界磁磁界を形成する。可動子１０は固定子２０の磁気的空隙３４に可動方向に可動自在に設けられる。以下、ＸＹＺ直交座標系をもとに説明する。Ｘ軸方向は水平な左右方向に対応し、Ｙ軸方向は水平な前後方向に対応し、Ｚ軸方向は鉛直な上下方向に対応する。Ｙ軸方向およびＺ軸方向はそれぞれＸ軸方向に直交する。Ｘ軸方向は左方向あるいは右方向と、Ｙ軸方向は前方向あるいは後方向と、Ｚ軸方向は上方向あるいは下方向と表記することがある。図１は、可動子１０の可動方向を水平方向（Ｘ軸方向）に設定し、後述するベースヨーク２８を界磁磁石２４の下側に配置した状態を示している。なお、このような方向の表記はリニアモータ２の使用姿勢を制限するものではなく、リニアモータ２は任意の姿勢で使用されうる。
【００１５】
（固定子）
図２は実施の形態に係る固定子２０の平面図である。ベースヨーク２８と、バックヨーク２３ａ、２３ｂとはヨーク２２を構成する。ヨーク２２は、界磁磁石２４を支持すると共に、界磁磁石２４のバックヨークとして磁気回路を構成する。界磁磁石２４は可動子１０と対向して設けられる（図１も参照）。ベースヨーク２８は、界磁磁石２４から第１方向であるＺ軸方向側に離間して設けられる。バックヨーク２３ａ、２３ｂそれぞれには界磁磁石２４が固定される。バックヨーク２３ａ、２３ｂとベースヨーク２８については後述する。
【００１６】
主磁石２５は磁気的空隙３４に界磁磁界を形成する。補極磁石２６は主磁石２５と共にハルバッハ配列構造を構成し、磁気的空隙３４の界磁磁界を補強する。主磁石２５は、バックヨーク２３ａ、２３ｂの内側（磁気的空隙３４側）に、可動子１０の可動方向（Ｘ軸方向）に複数個直線状に並べて接着固定される。補極磁石２６は隣り合う２つの主磁石２５の間に固定される。界磁磁石２４は、例えば希土類元素を含む磁性材料から、一例として焼結法によって形成される。界磁磁石２４はメッキ層などの表面層を有してもよい。界磁磁石２４は、例えば矩形の板状に形成される。なお、本発明は補極磁石２６を備えることは必須ではない。
【００１７】
主磁石２５は、Ｙ軸方向に薄い直方体形状を有し、それぞれ磁極面が形成される正面と背面とを有し、その背面がバックヨーク２３ａ、２３ｂの内側側面Ｓ１ａ、Ｓ１ｂに固定される（図１も参照）。つまり、主磁石２５の磁化方向２５ｍはＹ軸に平行に形成される。補極磁石２６は、Ｙ軸方向に薄い直方体形状を有し、Ｘ軸に平行な正面と背面とを有し、その背面がバックヨーク２３ａ、２３ｂの内側側面Ｓ１ａ、Ｓ１ｂに固定される（図１も参照）。補極磁石２６の両側面にはそれぞれ磁極面が形成される。つまり、補極磁石２６の磁化方向２６ｍはＸ軸に平行に形成される。
【００１８】
図２に示すように、磁気的空隙３４を挟んで互いに対向する２つの界磁磁石２４の正面には、互いに逆極性の磁極が設けられる。このため、これらの界磁磁石２４は互いに引き合う磁気的吸引力を発生する。この磁気的吸引力により、磁気的空隙３４を介して対向するバックヨーク２３ａ、２３ｂにはそれぞれ内側に向かう方向の荷重が入力される。
【００１９】
リニアモータの磁気回路は、バックヨーク２３ａ、２３ｂの飽和を抑制しつつモータの特性を向上するために、主磁石２５の磁界を磁気的空隙３４側に集中可能な構成が望ましい。そこで、実施の形態の補極磁石２６の磁化方向２６ｍは、主磁石２５の磁化方向２５ｍと９０°異なる方向に形成される。このように構成することで、主磁石２５と補極磁石２６とはハルバッハ配列構造を形成し、主磁石２５の磁界を磁気的空隙３４側に集めることができる。
【００２０】
（バックヨーク）
図３は実施の形態に係る固定子２０のＡ−Ａ線断面図である。バックヨーク２３ａ、２３ｂは可動子１０をＹ軸方向に挟み込むように設けられる。バックヨーク２３ａ、２３ｂそれぞれの内側側面に界磁磁石２４が設けられ、界磁磁石２４は磁気的空隙３４を挟んで互いに対向して設けられる。バックヨーク２３ａ、２３ｂは左右方向（Ｘ軸方向）および上下方向（Ｚ軸方向）に延在する板状の部材である。バックヨーク２３ａ、２３ｂそれぞれは、例えばＸ軸方向に長尺な略矩形形状に形成されてもよい。バックヨーク２３ａ、２３ｂそれぞれには、締結具であるボルト２９が嵌められるヨーク孔２３ｈが設けられる。ヨーク孔２３ｈはＹ軸方向に貫通して設けられる。
【００２１】
（ベースヨーク）
図４は実施の形態に係るベースヨーク２８の拡大断面図である。ベースヨーク２８は、界磁磁石２４の下側においてバックヨーク２３ａ、２３ｂの間に挟持される。ベースヨーク２８は、バックヨーク２３ａ、２３ｂの間隔を維持するように、界磁磁石２４の第１方向側であるＺ軸で負方向に設けられる。つまり、バックヨーク２３ａ、２３ｂはベースヨーク２８の両端面に固定されることにより所定の間隔を維持する。ベースヨーク２８はＸ軸方向に長い長尺な直方体形状を有する部材である。ベースヨーク２８はＹ軸に沿った縦断面が略矩形状を有する。ベースヨーク２８はＹ軸方向の両端に端面２８ａを有する。バックヨーク２３ａ、２３ｂは、ベースヨーク２８の端面２８ａに設けられた締結部である孔部２８ｈに締結具であるボルト２９が結合されることでベースヨーク２８の端面２８ａに固定される。孔部２８ｈはベースヨーク２８の端面２８ａに穿設される。端面２８ａはＺ軸方向およびＸ軸方向に沿って延在する。孔部２８ｈはＹ軸方向の貫通孔であってもよく、非貫通孔であってもよい。孔部２８ｈには雌ねじ２８ｓが形成される。孔部２８ｈの雌ねじ２８ｓには締結具であるボルト２９が螺合される。バックヨーク２３ａ、２３ｂは、ヨーク孔２３ｈの外側からボルト２９が挿入されて、孔部２８ｈにねじ込まれることで、ベースヨーク２８の端面２８ａに固定される。
【００２２】
（比較例）
ここで先に、比較例に係るベースヨーク５２８について説明する。図５は比較例のベースヨーク５２８を含む固定子２０のＡ−Ａ線断面図である。図６は比較例のベースヨーク５２８の拡大断面図である。ベースヨーク５２８は、ベースヨーク２８に対して孔部２８ｈの位置が異なる点で相違し、その他の構成は同様である。したがって重複する説明を省き主に相違点について説明する。ベースヨーク５２８では、孔部２８ｈは端面２８ａの上下範囲の中心２８ｍより上側に穿設される。特に、端面２８ａにおける孔部２８ｈの上下範囲の中心２８ｎは、端面２８ａの中心２８ｍより上側に位置する。つまり、図６に示すように、ベースヨーク２８の端面２８ａの上端部２８ｕから孔部２８ｈの中心２８ｎまでの距離Ｌｎは上端部２８ｕから端面２８ａの中心２８ｍまでの距離Ｌｍより小さい。
【００２３】
このようなベースヨーク５２８を固定子２０に使用する場合、ボルト２９がバックヨーク２３ａ、２３ｂをベースヨーク２８側に押しつける力である締結力Ｆｔが不足することがある。ボルト２９の締結力Ｆｔが不足すると、界磁磁石２４の磁気的な吸引力Ｆｍによりバックヨーク２３ａ、２３ｂが内側に倒れる問題がある。このため締結用のボルト２９の数を増やして、それらを合計した締結力Ｆｔを大きくすることが考えられる。しかし、ボルト２９の数を増やすと、ヨーク孔２３ｈおよび孔部２８ｈの加工工数が増え、またボルト２９を装着する工数も増えて生産性が低下する問題がある。
【００２４】
以上の比較例の考察を踏まえて、本発明の実施形態に係る固定子２０について説明する。吸引力Ｆｍと締結力Ｆｔの関係は、バックヨーク２３ａ、２３ｂそれぞれを梃子とし界磁磁石２４が生じる磁気的な吸引力Ｆｍを力点荷重としたとき、締結力Ｆｔは、端面２８ａにあらわれる支点を挟んで、力点荷重である吸引力Ｆｍと平衡する作用点荷重として理解することが可能である。この支点は例えばベースヨーク２８の端面２８ａの上端部２８ｕである。つまり、締結部である孔部２８ｈと締結具であるボルト２９は、テコの原理にて界磁磁石２４の吸引力Ｆｍに平衡する荷重である締結力Ｆｔを発揮する。この場合に、力点側の荷重や距離を一定とすると、支点から作用点までの作用点側の距離を大きくすることで、より小さな締結力Ｆｔで吸引力Ｆｍと平衡することができる。つまり、ベースヨーク２８の端面２８ａの上端部２８ｕから締結部である孔部２８ｈまでの作用点側の距離を大きくすることで、平衡可能な締結力Ｆｔを小さくすることが可能になる。
【００２５】
図３および図４を再び参照する。締結部である孔部２８ｈは、端面２８ａを第１方向であるＺ軸方向に二分した場合における支点があらわれる側と反対側に設けられる。特に、Ｚ軸方向において、端面２８ａにおける締結部である孔部２８ｈの中心は、端面２８ａを二分した場合における支点があらわれる側と反対側に位置する。つまり、支点がベースヨーク２８の端面２８ａの上端部２８ｕである場合には、ベースヨーク２８の端面２８ａにおける孔部２８ｈの上下範囲の中心２８ｎは、端面２８ａのＺ軸方向範囲の中心２８ｍより下側に位置する。図４に示すように、ベースヨーク２８の端面２８ａの上端部２８ｕから孔部２８ｈの中心２８ｎまでの距離Ｌｎは上端部２８ｕから端面２８ａの中心２８ｍまでの距離Ｌｍより大きい。孔部２８ｈの中心２８ｎが上端部２８ｕから離れて位置するから、上述の作用点側の距離を大きくして、平衡可能な締結力Ｆｔを小さくすることができる。
【００２６】
平衡可能な締結力Ｆｔを小さくする観点で、上述の作用点側の距離はより大きい方が望ましい。そこで、実施の形態の固定子２０では、ベースヨーク２８の端面２８ａにおける孔部２８ｈの上下範囲は、端面２８ａの上下範囲の中心２８ｍより下側に位置する。孔部２８ｈの範囲が中心２８ｍより下側に位置するから、上述の作用点側の距離はより大きくなり、平衡可能な締結力Ｆｔをより小さくすることができる。
【００２７】
平衡可能な締結力Ｆｔをさらに小さくする観点で、上述の作用点側の距離は一層大きい方が望ましい。そこで、実施の形態の固定子２０では、ベースヨーク２８の孔部２８ｈは、全体としてベースヨーク２８の端面２８ａの上下範囲の中心２８ｍより下側に位置する。つまり、孔部２８ｈ全体が中心２８ｍより下側に位置するから、上述の作用点側の距離は一層大きくなり、平衡可能な締結力Ｆｔを一層小さくすることができる。
【００２８】
次に、このように構成された実施の形態のリニアモータ２の特徴について説明する。
リニアモータ２では、締結部である孔部２８ｈは、端面２８ａを第１方向であるＺ軸方向に二分した場合における支点があらわれる側と反対側に設けられるから、孔部２８ｈが支点があらわれる側に設けられる場合と比較して、バックヨーク２３ａ、２３ｂをこの支点からより離れた位置にてベースヨーク２８側に押付けることができる。この結果、界磁磁石２４の吸引力Ｆｍと平衡可能な締結力Ｆｔを小さくすることができる。平衡可能な締結力Ｆｔが小さいから、バックヨーク２３ａ、２３ｂを締結するためのボルト２９の数を少なくすることができる。ボルト２９の数を減らすことで、リニアモータ２の重量増を抑えることが可能になり、また、ヨーク孔２３ｈおよび孔部２８ｈの加工工数や、ボルト２９の装着工数を減らすことが可能になる。また、より小型のボルト２９を使用することも可能になる。つまり、生産性の低下を抑制しつつ、界磁磁石２４の吸引力Ｆｍによるバックヨーク２３ａ、２３ｂの倒れを抑制することが可能になる。
【００２９】
リニアモータ２では、第１方向であるＺ軸方向において、端面２８ａにおける孔部２８ｈの中心は、端面２８ａを二分した場合における支点があらわれる側と反対側に位置するから、バックヨーク２３ａ、２３ｂをより下側の位置にてベースヨーク２８側に押付けることができる。
【００３０】
次に、リニアモータ２の用途を説明する。図７は、実施の形態に係るリニアモータ２を用いたステージ装置１００の平面図である。このステージ装置１００はＸＹステージと称され、対象物をＸ方向、Ｙ方向に位置決めする。
【００３１】
ステージ装置１００は、主としてＹステージ１２０と、Ｘステージ１３０と、定盤１４０と、を備える。Ｙステージ１２０は、一対のスライダ１２４と、一対のスライダ１２４の間に横架する横架材１２２と、を備える。横架材１２２の上には、Ｘステージ１３０をＸ方向に移動させるＸリニアモータ２Ｘが設けられている。Ｘリニアモータ２Ｘは、横架材１２２に固定されＸ方向に延在する固定子２０と、Ｘステージ１３０の下面に結合された可動子（コイル）１０とを備える。かくしてＸリニアモータ２Ｘの可動子１０を制御することにより、Ｘステージ１３０がＸ方向に位置決めされる。
【００３２】
定盤１４０の両端には、一対のＹリニアモータ２Ｙが設けられる。Ｙリニアモータ２Ｙはそれぞれ、可動子１０および固定子２０を備える。Ｙリニアモータ２Ｙの固定子２０には、上述のスライダ１２４が固定される。Ｙリニアモータ２Ｙの可動子１０を制御することによりＹステージ１２０がＹ方向に位置決めされる。
【００３３】
以上がステージ装置１００の構成である。実施の形態に係るリニアモータ２は、ステージ装置１００のＸリニアモータ２ＸあるいはＹリニアモータ２Ｙに好適に用いることができる。ステージ装置１００は、露光装置におけるウェハやガラス基板の位置決めに用いることができ、あるいは走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）に使用されるアクチュエータなどにも利用可能である。
【００３４】
以上、本発明の実施の形態をもとに説明した。これらの実施の形態は例示であり、色々な変形および変更が本発明の特許請求の範囲内で可能なこと、またそうした変形例および変更も本発明の特許請求の範囲にあることは当業者に理解されるところである。従って、本明細書での記述および図面は限定的ではなく例証的に扱われるべきものである。
【００３５】
（第１変形例）
次に、第１変形例について説明する。図８は第１変形例に係るベースヨーク２８を含む固定子２０のＡ−Ａ線断面図である。図９は第１変形例のベースヨーク２８の拡大断面図である。図９では、ベースヨーク２８の端面２８ａの上下範囲を、三等分線２８ｔ１と三等分線２８ｔ２とによって三等分した３つの領域２８ａａ、２８ａｂ、２８ａｃに区分して示している。図８に示すように、この変形例に係るベースヨーク２８では、第１方向であるＺ軸方向において、端面２８ａにおける締結部である孔部２８ｈの中心２８ｎは、端面２８ａを三等分した場合における支点があらわれる領域から最も遠い領域２８ａｃに位置する。また、図８に示すように、この変形例では、Ｚ軸方向において、締結具であるボルト２９の範囲は、端面２８ａを二分した場合における支点があらわれる側と反対側の範囲に含まれる。つまり、ボルト２９がその頭部２９ａを含めて端面２８ａの上下範囲の中心２８ｍより下側に位置する。この変形例においても、実施の形態と共通する構成において同様の効果を得ることができる。加えて、この変形例のベースヨーク２８によれば、上述の作用点側の距離がさらに一層大きくなり、平衡可能な締結力Ｆｔをさらに一層小さくすることができる。
【００３６】
（第２変形例）
実施の形態の説明では、ベースヨーク２８の両方の端面２８ａにバックヨーク２３ａ、２３ｂそれぞれをボルト２９により締結する例について説明したがこれに限られない。一方のバックヨークがベースヨークと一体に形成されてもよい。つまり、バックヨークとベースヨークとが一体に形成されたＬ字状のヨークに、他方のＩ字状のバックヨークを結合するように構成してもよい。図１０は第２変形例に係る固定子２２０の断面図である。図１１はヨーク２２３のベースヨーク部２２８の部分断面図であり、主に端面２８ａの周辺を示す。図１０は図３に、図１１は図４に対応しており、これらの同一または同等の構成要素には、同一の符号を付する。ヨーク２２３は、バックヨーク部２２３ｂとベースヨーク部２２８とを含む断面がＬ字状のヨークである。固定子２２０は、実施の形態の固定子２０に対して、バックヨーク部２２３ｂとベースヨーク部２２８とが一体に形成される点で相違し、その他の構成は同様である。つまり、バックヨーク部２２３ｂは実施の形態のバックヨーク２３ｂと同様の特徴を具備し、ベースヨーク部２２８は実施の形態のベースヨーク２８と同様の特徴を具備する。したがって、重複する説明を省略し、相違点について重点的に説明する。
【００３７】
図１０に示すように、バックヨーク２３ａは、ヨーク孔２３ｈの外側から締結具であるボルト２９が挿入されて、締結部である孔部２８ｈにねじ込まれることで、ヨーク２２３のベースヨーク部２２８の端面２８ａに固定される。孔部２８ｈは、端面２８ａをＺ軸方向に二分した場合における支点があらわれる側と反対側に設けられる。特に、Ｚ軸方向において、端面２８ａにおける締結部である孔部２８ｈの中心は、端面２８ａを二分した場合における支点があらわれる側と反対側に位置する。つまり、支点がベースヨーク部２２８の端面２８ａの上端部２８ｕである場合には、ベースヨーク部２２８の端面２８ａにおける孔部２８ｈの上下範囲の中心２８ｎは、端面２８ａのＺ軸方向範囲の中心２８ｍより下側に位置する。図１１に示すように、ベースヨーク部２２８の端面２８ａの上端部２８ｕから孔部２８ｈの中心２８ｎまでの距離Ｌｎは上端部２８ｕから端面２８ａの中心２８ｍまでの距離Ｌｍより大きい。孔部２８ｈの中心２８ｎが上端部２８ｕから離れて位置するから、上述の作用点側の距離を大きくして、平衡可能な締結力Ｆｔを小さくすることができる。この変形例においても、実施の形態と共通する構成において同様の効果を得ることができる。加えて、この変形例の固定子２２０によれば、バックヨーク部２２３ｂとベースヨーク部２２８とが一体に形成されるから、これらを結合するための孔の加工工数や、ボルトの装着工数を減らすことが可能になる。
【００３８】
（その他の変形例）
実施の形態の説明では、締結部が雌ねじ２８ｓを有する孔部２８ｈであり、締結具がボルト２９である例について説明したがこれに限られず、これらは他の種類の締結手段であってもよい。例えば、締結具はリベットであり、締結部がリベット孔であってもよい。
実施の形態の説明では、孔部２８ｈがＹ軸方向に平行に設けられる例について説明したがこれに限られず、例えば、孔部２８ｈは傾斜して設けられてもよい。
実施の形態の説明では、バックヨーク２３ａ、２３ｂがボルト２９によってベースヨーク２８の端面２８ａに固定される例について説明したが、これに限られない。ボルト２９に加えて、例えば接着剤などの補助的な固定手段が併用されてもよい。
【００３９】
説明に使用した図面では、部材の関係を明瞭にするために一部の部材の断面にハッチングを施しているが、当該ハッチングはこれらの部材の素材や材質を制限するものではない。
【符号の説明】
【００４０】
２・・リニアモータ、  １０・・可動子、  ２０・・固定子、  ２３ａ・・バックヨーク、  ２４・・界磁磁石、  ２５・・主磁石、  ２６・・補極磁石、  ２８・・ベースヨーク、  ２８ｈ・・孔部、  ２９・・ボルト、  １００・・ステージ装置。
【図１】
2017175764.tif 000003
【図２】
2017175764.tif 000004
【図３】
2017175764.tif 000005
【図４】
2017175764.tif 000006
【図５】
2017175764.tif 000007
【図６】
2017175764.tif 000008
【図７】
2017175764.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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