(57)【要約】【課題】圧電素子が収容される圧電素子収容空間等の湿気に弱い空間内に水分が侵入することを抑制できる液体噴射ヘッド、及び、液体噴射ヘッドユニットを提供する。【解決手段】ノズル面（２５）に開口されたノズル（２４）、及び、ノズル（２４）に連通する液体流路（２６）を備え、駆動素子（３２）を駆動させてノズル（２４）から液体を噴射する液体噴射ヘッド（３）であって、液体流路（２６）に対して隔離された第１空間（４７ａ、４７ｂ）と、液体流路（２６）に対して隔離され、第１空間（４７ａ、４７ｂ）よりも液体流路（２６）から水分が侵入し易い第２空間（５６ａ、５６ｂ）と、を備え、第１空間（４７ａ、４７ｂ）を大気開放する第１大気開放路（５９ａ、５９ｂ）は、第２空間（５６ａ、５６ｂ）を大気開放する第２大気開放路（６０ａ、６０ｂ）よりも流路抵抗が高いことを特徴とする液体噴射ヘッド。【選択図】図６
2017140759.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル面に開口されたノズル、及び、前記ノズルに連通する液体流路を備え、駆動素子を駆動させて前記ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッドであって、
前記液体流路に対して隔離された第１空間と、
前記液体流路に対して隔離され、前記第１空間よりも前記液体流路から水分が侵入し易い第２空間と、を備え、
前記第１空間を大気開放する第１大気開放路は、前記第２空間を大気開放する第２大気開放路よりも流路抵抗が高いことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記第１大気開放路と前記第２大気開放路とは、大気と連通する大気開放口から途中の分岐まで共通に形成され、
前記分岐から前記第１空間までの第１分流路は、前記分岐から前記第２空間までの第２分流路よりも流路抵抗が高いことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記第１分流路は、前記第１空間から前記ノズル面に沿って延在する部分流路を備えたことを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記第１分流路のうち少なくとも一部は、前記第１空間と前記ノズル面との間に形成されたことを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
複数のノズルからなる第１ノズル群に連通する第１液体流路と、
前記第１ノズル群と離間して形成された複数のノズルからなる第２ノズル群に連通する第２液体流路と、
前記第１ノズル群のノズル毎に設けられた駆動素子からなる第１駆動素子群と、
前記第２ノズル群のノズル毎に設けられた駆動素子からなる第２駆動素子群と、
前記第１駆動素子群を収容する前記第１空間の一種である第１駆動素子群用第１空間と、
前記第２駆動素子群を収容する前記第１空間の一種である第２駆動素子群用第１空間と、
前記第１駆動素子群用第１空間よりも前記第１液体流路から水分が侵入し易い前記第２空間の一種である第１液体流路側第２空間と、
前記第２駆動素子群用第１空間よりも前記第２液体流路から水分が侵入し易い前記第２空間の一種である第２液体流路側第２空間と、を備え、
前記第１駆動素子群用第１空間を大気開放する第１駆動素子群側第１大気開放路と、前記第２駆動素子群用第１空間を大気開放する第２駆動素子群側第１大気開放路とは、前記第１駆動素子群側第１大気開放路と前記第２駆動素子群側第１大気開放路とに共通な第１空間用大気開放口を介して大気と連通され、
前記第１液体流路側第２空間を大気開放する第１液体流路側第２大気開放路と、前記第２液体流路側第２空間を大気開放する第２液体流路側第２大気開放路とは、前記第１液体流路側第２大気開放路と前記第２液体流路側第２大気開放路とに共通な第２空間用大気開放口を介して大気と連通されたことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記第１ノズル群及び前記第２ノズル群は、第１の方向に沿って配列され、
前記第１空間用大気開放口と前記第２空間用大気開放口とは、前記第１の方向に離間して形成されたことを特徴とする請求項５に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記第１駆動素子群側第１大気開放路は、前記第１駆動素子群用第１空間から前記ノズル面に沿って延在する第１駆動素子群側部分流路を備え、
前記第２駆動素子群側第１大気開放路は、前記第２駆動素子群用第１空間から前記ノズル面に沿って延在する第２駆動素子群側部分流路を備えたことを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
前記第１駆動素子群側第１大気開放路のうち少なくとも一部は、前記第１駆動素子群用第１空間と前記ノズル面との間に形成され、
前記第２駆動素子群側第１大気開放路のうち少なくとも一部は、前記第２駆動素子群用第１空間と前記ノズル面との間に形成されたことを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項９】
請求項１から請求項８の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを複数備えた液体噴射ヘッドユニットであって、
隣り合う前記液体噴射ヘッドにおいて、一方の液体噴射ヘッドの前記第２空間が大気と連通する大気開放口と他方の液体噴射ヘッドの前記第２空間が大気と連通する大気開放口との間隔は、同一液体噴射ヘッド内における前記第１空間が大気と連通する大気開放口と前記第２空間が大気と連通する大気開放口との間隔よりも狭いことを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子等の駆動素子を駆動させてノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッド、及び、これを複数備えた液体噴射ヘッドユニットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドが搭載された液体噴射装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置、バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。
【０００３】
上記した液体噴射ヘッドは、複数のノズル、ノズル毎に形成された圧力室、各圧力室へ液体を供給する共通液室（リザーバー或いはマニホールドとも言う。）、及び、各圧力室内の液体に圧力変動を生じさせる圧電素子等の駆動素子を備えている。共通液室を区画する面のうち一部は、弾性を有する膜により形成され、内部の圧力変動を吸収するように構成されている。この膜を挟んで共通液室とは反対側に形成されたコンプライアンス空間は、流路抵抗の高い流路を通じて大気に開放されている。また、駆動素子を内部に収容する圧電素子収容空間も、外気と同程度の湿度になるように大気に開放されている（例えば、特許文献１）。
【０００４】
また、小型化の観点からコンプライアンス空間と圧電素子収容空間とを流路でつないで、一括して大気開放する構成も採用されている。例えば、図１９に示す従来の液体噴射ヘッド９１では、２つのコンプライアンス空間９２ａ、９２ｂと２つの圧電素子収容空間９３ａ、９３ｂとが、上面に形成された１つの大気開放口９４を通じて大気に開放されている。具体的には、２列のノズル列のうち一側（図１９における右側）のノズル列に対応する一側のコンプライアンス空間９２ａ及び一側の圧電素子収容空間９３ａは、液体噴射ヘッド９１内の内部流路９５を通じて他側（図１９における左側）のノズル列に対応する他側のコンプライアンス空間９２ｂに連通されている。また、他側のノズル列に対応する他側の圧電素子収容空間９３ｂもこの内部流路９５に接続され、他側のコンプライアンス空間９２ｂと連通されている。そして、この他側のコンプライアンス空間９２ｂは、大気開放口９４に連通する共通大気開放路９６を介して大気に開放されている。これにより、２つのコンプライアンス空間９２ａ、９２ｂと２つの圧電素子収容空間９３ａ、９３ｂとがこれらに共通の大気開放口９４から大気に開放される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５‐１３１８８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、従来の液体噴射ヘッド９１においては、膜を透過して共通液室からコンプライアンス空間９２ａ、９２ｂ内に侵入した水分（或いは湿気）が、圧電素子収容空間９３ａ、９３ｂ内に侵入する虞があった。特に、一側のコンプライアンス空間９２ａは、内部流路９５を介して共通大気開放路９６と連通されているため、湿気が液体噴射ヘッド９１の外部に逃げにくくなっていた。このため、一側の圧電素子収容空間９３ａ内に湿気が侵入し易くなっていた。このように圧電素子収容空間内に湿気が侵入し、圧電素子収容空間内の湿度が上昇すると、結露の発生等により圧電素子収容空間内に収容された圧電素子に水分が付着して、当該圧電素子が破壊される虞があった。また、特許文献１のように、コンプライアンス空間と圧電素子収容空間とを個別に大気開放することも考えられるが、この様に構成したとしても十分ではなかった。すなわち、コンプライアンス空間や封止空間は多湿環境になり易い液体噴射装置の筐体内の大気に開放されているため、これらを個別に大気開放したとしても圧電素子収容空間内への湿気の侵入を十分に抑制できない虞がある。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、圧電素子が収容される圧電素子収容空間等の湿気に弱い空間内に水分が侵入することを抑制できる液体噴射ヘッド、及び、液体噴射ヘッドユニットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の液体噴射ヘッドは、上記目的を達成するために提案されたものであり、ノズル面に開口されたノズル、及び、前記ノズルに連通する液体流路を備え、駆動素子を駆動させて前記ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッドであって、
前記液体流路に対して隔離された第１空間と、
前記液体流路に対して隔離され、前記第１空間よりも前記液体流路から水分が侵入し易い第２空間と、を備え、
前記第１空間を大気開放する第１大気開放路は、前記第２空間を大気開放する第２大気開放路よりも流路抵抗が高いことを特徴とする。
【０００９】
本発明によれば、第１空間内への水分（或いは湿気）の侵入を抑制できる。例えば、第１空間を駆動素子が収容される空間とすれば、駆動素子への水分の付着を抑制でき、ひいては駆動素子の破壊を抑制できる。
【００１０】
上記構成において、前記第１大気開放路と前記第２大気開放路とは、大気と連通する大気開放口から途中の分岐まで共通に形成され、
前記分岐から前記第１空間までの第１分流路は、前記分岐から前記第２空間までの第２分流路よりも流路抵抗が高い構成を採用することが望ましい。
【００１１】
この構成によれば、第２空間から第１空間への水分の侵入を抑制できる。また、第１大気開放路と第２大気開放路とが大気開放口から分岐まで共通に形成されたので、第１大気開放路と第２大気開放路とを別個に大気開放させる場合と比べて、液体噴射ヘッドの構成を簡単にできる。また、第１大気開放路と第２大気開放路とを別個に大気開放させた構成と比べて、液体噴射ヘッドの強度の低下を抑制できる。
【００１２】
また、上記構成において、前記第１分流路は、前記第１空間から前記ノズル面に沿って延在する部分流路を備えた構成を採用することが望ましい。
【００１３】
この構成によれば、第１大気開放路内に結露が発生したとしても、この結露が第１空間内に侵入することを抑制できる。
【００１４】
さらに、上記構成において、前記第１分流路のうち少なくとも一部は、前記第１空間と前記ノズル面との間に形成された構成を採用することが望ましい。
【００１５】
この構成によれば、第１大気開放路内に結露が発生したとしても、この結露が第１空間内に侵入することを一層抑制できる。
【００１６】
また、上記構成において、複数のノズルからなる第１ノズル群に連通する第１液体流路と、
前記第１ノズル群と離間して形成された複数のノズルからなる第２ノズル群に連通する第２液体流路と、
前記第１ノズル群のノズル毎に設けられた駆動素子からなる第１駆動素子群と、
前記第２ノズル群のノズル毎に設けられた駆動素子からなる第２駆動素子群と、
前記第１駆動素子群を収容する前記第１空間の一種である第１駆動素子群用第１空間と、
前記第２駆動素子群を収容する前記第１空間の一種である第２駆動素子群用第１空間と、
前記第１駆動素子群用第１空間よりも前記第１液体流路から水分が侵入し易い前記第２空間の一種である第１液体流路側第２空間と、
前記第２駆動素子群用第１空間よりも前記第２液体流路から水分が侵入し易い前記第２空間の一種である第２液体流路側第２空間と、を備え、
前記第１駆動素子群用第１空間を大気開放する第１駆動素子群側第１大気開放路と、前記第２駆動素子群用第１空間を大気開放する第２駆動素子群側第１大気開放路とは、前記第１駆動素子群側第１大気開放路と前記第２駆動素子群側第１大気開放路とに共通な第１空間用大気開放口を介して大気と連通され、
前記第１液体流路側第２空間を大気開放する第１液体流路側第２大気開放路と、前記第２液体流路側第２空間を大気開放する第２液体流路側第２大気開放路とは、前記第１液体流路側第２大気開放路と前記第２液体流路側第２大気開放路とに共通な第２空間用大気開放口を介して大気と連通された構成を採用することが望ましい。
【００１７】
この構成によれば、第１駆動素子群用第１空間及び第２駆動素子群用第１空間と、第１液体流路側第２空間及び第２液体流路側第２空間とが、液体噴射ヘッド内で連通していないため、第１液体流路側第２空間及び第２液体流路側第２空間から第１駆動素子群用第１空間及び第２駆動素子群用第１空間への水分（或いは湿気）の侵入を抑制できる。これにより、駆動素子への水分の付着を抑制でき、ひいては駆動素子の破壊を抑制できる。また、第１駆動素子群側第１大気開放路、第２駆動素子群側第１大気開放路、第１液体流路側第２大気開放路、及び、第２液体流路側第２大気開放路を別個に大気開放させた構成と比べて、液体噴射ヘッドの強度の低下を抑制できる。
【００１８】
さらに、上記構成において、前記第１ノズル群及び前記第２ノズル群は、第１の方向に沿って配列され、
前記第１空間用大気開放口と前記第２空間用大気開放口とは、前記第１の方向に離間して形成された構成を採用することが望ましい。
【００１９】
この構成によれば、液体噴射ヘッドの強度の低下を抑制できる。また、第１液体流路側第２空間及び第２液体流路側第２空間から、第２空間用大気開放口及び第１空間用大気開放口を介して第１駆動素子群用第１空間及び第２駆動素子群用第１空間へ水分が侵入することを抑制できる。
【００２０】
また、上記各構成において、前記第１駆動素子群側第１大気開放路は、前記第１駆動素子群用第１空間から前記ノズル面に沿って延在する第１駆動素子群側部分流路を備え、
前記第２駆動素子群側第１大気開放路は、前記第２駆動素子群用第１空間から前記ノズル面に沿って延在する第２駆動素子群側部分流路を備えた構成を採用することが望ましい。
【００２１】
この構成によれば、第１駆動素子群側第１大気開放路内及び第２駆動素子群側第１大気開放路内に結露が発生したとしても、この結露が第１駆動素子群用第１空間内及び第２駆動素子群用第１空間内に侵入することを抑制できる。
【００２２】
さらに、上記各構成において、前記第１駆動素子群側第１大気開放路のうち少なくとも一部は、前記第１駆動素子群用第１空間と前記ノズル面との間に形成され、
前記第２駆動素子群側第１大気開放路のうち少なくとも一部は、前記第２駆動素子群用第１空間と前記ノズル面との間に形成された構成を採用することが望ましい。
【００２３】
この構成によれば、第１駆動素子群側第１大気開放路内及び第２駆動素子群側第１大気開放路内に結露が発生したとしても、この結露が第１駆動素子群用第１空間内及び第２駆動素子群用第１空間内に侵入することを一層抑制できる。
【００２４】
そして、本発明の液体噴射ヘッドユニットは、上記各構成の液体噴射ヘッドを複数備えた液体噴射ヘッドユニットであって、
隣り合う前記液体噴射ヘッドにおいて、一方の液体噴射ヘッドの前記第２空間が大気と連通する大気開放口と他方の液体噴射ヘッドの前記第２空間が大気と連通する大気開放口との間隔は、同一液体噴射ヘッド内における前記第１空間が大気と連通する大気開放口と前記第２空間が大気と連通する大気開放口との間隔よりも狭いことを特徴とする。
【００２５】
この構成によれば、第２空間から、第２空間用の大気開放口及び第１空間用の大気開放口を介して、第１空間へ水分が侵入することを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】プリンターの構成を説明する斜視図である。
【図２】記録ヘッドのコンプライアンス基板を上面から見た平面図である。
【図３】図２におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図４】図２におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【図５】図２におけるＣ−Ｃ線断面図である。
【図６】記録ヘッドの内部を透過した斜視図である。
【図７】第２実施形態における記録ヘッドの断面図である。
【図８】第３実施形態における記録ヘッドのコンプライアンス基板を上面から見た平面図である。
【図９】図８におけるＤ−Ｄ線断面図である。
【図１０】図８におけるＥ−Ｅ線断面図である。
【図１１】図８におけるＦ−Ｆ線断面図である。
【図１２】第４実施形態における記録ヘッドのコンプライアンス基板を上面から見た平面図である。
【図１３】第５実施形態における記録ヘッドのコンプライアンス基板を上面から見た平面図である。
【図１４】図１３におけるＧ−Ｇ線断面図である。
【図１５】図１３におけるＨ−Ｈ線断面図である。
【図１６】第６実施形態における記録ヘッドユニットの模式図である。
【図１７】第７実施形態における記録ヘッドユニットの模式図である。
【図１８】第８実施形態における記録ヘッドユニットの模式図である。
【図１９】従来の液体噴射ヘッドの内部を透過した斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明の液体噴射ヘッドとして、液体噴射装置の一種であるインクジェット式プリンター（以下、プリンター）１に搭載されたインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）３を例に挙げて行う。
【００２８】
プリンター１は、記録紙等の記録媒体２（着弾対象の一種）の表面に対してインク（液体の一種）を噴射して画像等の記録を行う装置である。このプリンター１は、記録ヘッド３、この記録ヘッド３が取り付けられるキャリッジ４、キャリッジ４を主走査方向に移動させるキャリッジ移動機構５、記録媒体２を副走査方向に移送する搬送機構６等を備えている。ここで、上記のインクは、液体供給源としてのインクカートリッジ７に貯留されている。このインクカートリッジ７は、記録ヘッド３に対して着脱可能に装着される。なお、インクカートリッジがプリンターの本体側に配置され、当該インクカートリッジからインク供給チューブを通じて記録ヘッドに供給される構成を採用することもできる。
【００２９】
上記のキャリッジ移動機構５はタイミングベルト８を備えている。そして、このタイミングベルト８はＤＣモーター等のパルスモーター９により駆動される。したがってパルスモーター９が作動すると、キャリッジ４は、プリンター１に架設されたガイドロッド１０に案内されて、主走査方向（記録媒体２の幅方向）に往復移動する。キャリッジ４の主走査方向の位置は、位置情報検出手段の一種であるリニアエンコーダー（図示せず）によって検出される。リニアエンコーダーは、その検出信号、即ち、エンコーダーパルス（位置情報の一種）をプリンター１の制御部に送信する。
【００３０】
次に記録ヘッド３について説明する。図２は、記録ヘッド３のコンプライアンス基板３７を上面から見た平面図である。図３はＡ−Ａ線断面、図４はＢ−Ｂ線断面、図５はＣ−Ｃ線断面をそれぞれ模式的に表した図である。また、図６は、圧電素子列収容空間４６ａ、４６ｂ及びコンプライアンス空間５６ａ、５６ｂの大気開放路を説明するための記録ヘッド３の内部を透過した斜視図である。本実施形態における記録ヘッド３は、図３等に示すように、ノズルプレート２３、流路基板２９、圧電素子３２（アクチュエーターの一種）、封止板３３、及び、コンプライアンス基板３７等が積層された状態で、ヘッドケース１９に取り付けられている。なお、便宜上、各部材の積層方向を上下方向として説明する。
【００３１】
本実施形態における流路基板２９は、ノズル列方向（本発明における第１の方向に相当）に沿って長尺なシリコン製の基板（例えば、シリコン単結晶基板）である。この流路基板２９には、図３等に示すように、流路基板２９の長手方向に沿って長尺な連通部２７が２つ形成されている。この連通部２７は、それぞれ封止板３３の貫通部３４と連通して共通液室２６を構成する。また、流路基板２９の２つの連通部２７に挟まれた領域には、ノズル列方向に沿って複数の圧力室３０が、並設されている。この圧力室３０の列は、２つの連通部２７に対応して２列に形成されている。各圧力室３０は、圧力室３０よりも狭い幅に形成された供給路２８を介して、連通部２７と連通されている。なお、２列に形成された圧力室３０の列同士は、ノズル２４の配列に対応して、ノズル列方向に、互いに半ピッチずれて配置されている。
【００３２】
流路基板２９の下面（封止板３３とは反対側の面）には、ノズルプレート２３が、接着剤等を介して固定されている。このノズルプレート２３は、シリコン製の基板（例えば、シリコン単結晶基板）からなり、圧力室３０に連通するノズル２４が圧力室３０毎に複数穿設されている。すなわち、ノズルプレート２３には、複数のノズル２４がノズルプレート２３の長手方向に沿って直線状（換言すると、列状）に開設されている。この並設された複数のノズル２４は、一端側のノズル２４から他端側のノズル２４までドット形成密度に対応したピッチで等間隔に設けられている。本実施形態では、２列に形成された圧力室３０の列に対応して、お互いに離間したノズル２４の列が２列に形成されている。なお、一側（図３等における右側）のノズル２４の列（以下、第１ノズル列４４ａと称する。）に含まれるノズル２４と他側（図３等における左側）のノズル２４の列（以下、第２ノズル列４４ｂと称する。）に含まれるノズル２４とは、ノズル列方向に位置をずらして互い違いに配置されている。すなわち、第１ノズル列４４ａと第２ノズル列４４ｂとは、ノズル列方向において、互いに半ピッチずれて配置されている。この第１ノズル列４４ａが本発明における第１ノズル群に相当し、第２ノズル列４４ｂが本発明における第２ノズル群に相当する。また、ノズルプレート２３の下面（流路基板２９とは反対側）が、ノズル２４が開口されたノズル面２５となる。
【００３３】
流路基板２９の上面（ノズルプレート２３とは反対側の面）には、振動板３１が積層されている。この振動板３１は、例えば、流路基板２９の上面（すなわち、封止板３３側とは反対側の面）に形成された二酸化シリコン（ＳｉＯ２）からなる弾性膜と、この弾性膜上に形成された二酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）からなる絶縁体膜と、から成る。この振動板３１によって、圧力室３０となるべき空間の上部開口が封止されている。換言すると、振動板３１によって、圧力室３０の上面が区画されている。この振動板３１における圧力室３０（詳しくは、圧力室３０の上部開口）に対応する部分は、圧電素子３２の撓み変形に伴ってノズル２４から遠ざかる方向あるいは近接する方向に変位する変位部として機能する。なお、振動板３１のうち連通部２７に対応する領域は、振動板３１が除去された開口となっている。
【００３４】
振動板３１（詳しくは振動板３１の絶縁膜）の上面（すなわち、振動板３１の流路基板２９側とは反対側の面）における各圧力室３０に対応する領域には、駆動素子の一種である圧電素子３２がそれぞれ積層されている。本実施形態における圧電素子３２は、所謂撓みモードの圧電素子である。この圧電素子３２は、各ノズル２４に対応してノズル列方向に沿って複数並設されている。すなわち、第１ノズル列４４ａのノズル２４毎に設けられた圧電素子３２からなる第１圧電素子列４５ａ（本発明における第１駆動素子群に相当）と、第２ノズル列４４ｂのノズル２４毎に設けられた圧電素子３２からなる第２圧電素子列４５ｂ（本発明における第２駆動素子群に相当）と、が形成されている。各圧電素子３２は、例えば、振動板３１上から順に、個別電極となる下電極層、圧電体層及び共通電極となる上電極層が順次積層されてなる。なお、駆動回路や配線の都合によって、下電極層を共通電極、上電極層を個別電極にすることもできる。このように構成された圧電素子３２は、下電極層と上電極層との間に両電極の電位差に応じた電界が付与されると、ノズル２４から遠ざかる方向あるいは近接する方向に撓み変形する。また、各圧電素子３２からは、第１圧電素子列４５ａと第２圧電素子列４５ｂとの間における振動板３１上の領域に向けてリード配線（図示せず）が延在されている。このリード配線の圧電素子３２とは反対側の端部は、接続空間３６内に露出した端子となっており、接続空間３６内でフレキシブル基板３５の端子（図示せず）と接続されている。
【００３５】
また、振動板３１の上面には、シリコン製の基板（例えば、シリコン単結晶基板）からなる封止板３３が接合されている。この封止板３３には、共通液室２６となる貫通部３４、及び、貫通部３４に対して隔離された圧電素子列収容空間４６ａ、４６ｂ（本発明における第１空間に相当）等が形成されている。貫通部３４は、連通部２７に対応する位置において、厚さ方向に貫通した状態に形成されている。本実施形態における貫通部３４は、ノズル列方向に沿って長尺に形成されている。なお、貫通部３４の上部（換言すると、ヘッドケース１９側の部分）における幅（詳しくは、ノズル列方向に直交する方向の寸法）は、貫通部３４の下部（換言すると、流路基板２９側の部分）における幅よりも広く形成されている。すなわち、貫通部３４の上部における内側（詳しくは、ノズル列方向に直交する方向における中央側）の部分は、封止板３３が板厚方向に貫通されずに、封止板３３の上面から板厚方向の途中まで凹んだ状態に形成されている。そして、この貫通部３４の上面から凹んだ部分に後述する液体導入路２１が連通されている。また、本実施形態における貫通部３４は、２つの連通部２７に対応して２つ設けられている。各貫通部３４の下端は、それぞれ連通部２７と連通して、共通液室２６を構成する。すなわち、貫通部３４は共通液室２６の上部を構成する空間である。
【００３６】
圧電素子列収容空間４６ａ、４６ｂは、２列に形成された圧電素子３２の列に対応して、２列に形成されている。すなわち、第１圧電素子列４５ａを収容する本発明における第１空間の一種である第１圧電素子列収容空間４６ａと、第２圧電素子列４５ｂを収容する本発明における第１空間の一種である第２圧電素子列収容空間４６ｂとが形成されている。また、図２に示すように、第１圧電素子列収容空間４６ａ及び第２圧電素子列収容空間４６ｂは、ノズル列方向に沿って長尺に形成されている。そして、第１圧電素子列収容空間４６ａ及び第２圧電素子列収容空間４６ｂは、封止板３３の下面から板厚方向の途中まで、圧電素子３２の変位を阻害しない程度の大きさに凹んだ状態に形成されている。なお、本実施形態における第１圧電素子列収容空間４６ａの一部及び第２圧電素子列収容空間４６ｂの一部は、封止板３３の上面から見てそれぞれ対応する貫通部３４の凹んだ部分と重なるように形成されている。また、第１圧電素子列収容空間４６ａと第２圧電素子列収容空間４６ｂとの間には、封止板３３が板厚方向に除去された接続空間３６が形成されている。接続空間３６は後述する挿通空間２０と連通し、その内部には挿通空間２０に挿通されたフレキシブル基板３５の端部が配置される。そして、フレキシブル基板３５の端部は、この接続空間３６内に露出した振動板３１上の端子と接続されている。
【００３７】
さらに、図２、図４及び図５に示すように、封止板３３には、第１圧電素子列収容空間４６ａを大気開放させるための本発明における第１分流路に相当する第１圧電素子列側第１分流路４７ａ、及び、第２圧電素子列収容空間４６ｂを大気開放させるための本発明における第１分流路に相当する第２圧電素子列側第１分流路４７ｂが形成されている。第１圧電素子列側第１分流路４７ａ及び第２圧電素子列側第１分流路４７ｂは、それぞれ圧電素子列収容空間４６ａ、４６ｂからノズル面２５（本実施形態では水平面）に沿って延在する水平流路４８（本発明における部分流路に相当）と、水平流路４８の圧電素子列収容空間４６ａ、４６ｂとは反対側の端部からノズル面２５に対して交差（本実施形態では直交）する方向に沿って延在する垂直流路４９と、からなる。水平流路４８は、図５に示すように、封止板３３の下面に形成された溝の開放側を流路基板２９で封止した状態に形成されている。また、図２に示すように、水平流路４８は、圧電素子列収容空間４６ａ、４６ｂのノズル列方向における他方（図２における左側）の端部からノズル列方向における外方に向けて延在し、その後、ノズル列方向における一方（図２における右側）、且つノズル列方向に直交する方向における外方に向けて屈曲した後、圧電素子列収容空間４６ａ、４６から外れた位置まで斜めに延在されている。図４に示すように、垂直流路４９は、封止板３３を厚さ方向に貫通した状態に形成され、その上端が対応する共通流路５１ａ、５１ｂ（後述）と連通されている。
【００３８】
封止板３３の上面には、コンプライアンス基板３７が接合されている。このコンプライアンス基板３７は、連通部２７の上面を封止して共通液室２６を区画する基板であり、可撓性を有する封止膜３９と金属等の硬質な部材からなる固定基板３８とが積層されて成る。本実施形態におけるコンプライアンス基板３７は、封止膜３９を下方（すなわち、封止板３３側）に配置した状態で、封止板３３の上面に接合されている。図３に示すように、このコンプライアンス基板３７における挿通空間２０に対応する位置には、挿通空間２０と接続空間３６とを連通させる開口（図示せず）が厚さ方向に貫通した状態に形成されている。また、図２及び図３に示すように、コンプライアンス基板３７における液体導入路２１に対応する位置には、液体導入路２１と共通液室２６とを連通させる液体導入口５３が厚さ方向に貫通した状態に形成されている。本実施形態における液体導入口５３は、図２に示すように、平面視において、圧電素子列収容空間４６ａ、４６ｂと重なる位置に配置されている。さらに、図２及び図４に示すように、コンプライアンス基板３７における垂直流路４９に対応する位置には、垂直流路４９と共通流路５１ａ、５１ｂとを連通させる連通口５４が厚さ方向に貫通した状態に形成されている。
【００３９】
そして、コンプライアンス基板３７の共通液室２６に対向する領域のうち液体導入口５３の周囲以外の領域は、固定基板３８が除去されて封止膜３９のみとなっている。すなわち、固定基板３８が除去された部分は、封止膜３９を挟んで共通液室２６に対向する対向空間４０となっている。この対向空間４０は、後述するケース空間２２と連通してコンプライアンス空間５６ａ、５６ｂ（本発明における第２の空間に相当）を構成する。なお、この封止膜３９のみからなる部分は、共通液室２６内のインクの圧力変動を吸収するコンプライアンス部として機能する。また、図２に示すように、封止膜３９のみからなる部分は、２つの共通液室２６に対応して２つ形成され、それぞれノズル列方向に長尺に形成されている。
【００４０】
図３に示すように、コンプライアンス基板３７の上面（すなわち、固定基板３８）には、ヘッドケース１９が接合されている。本実施形態におけるヘッドケース１９は、合成樹脂製の箱体状部材である。このヘッドケース１９の中央部には、ノズル列方向に沿って長尺な空間である挿通空間２０が形成されている。挿通空間２０は、フレキシブル基板３５が挿通される空間であり、ヘッドケース１９を板厚方向に貫通した状態に形成されている。また、ヘッドケース１９の内部にはインクカートリッジ７から導入されたインクが流れる液体導入路２１が形成されている。この液体導入路２１の下端は、液体導入口５３を介して共通液室２６（詳しくは、貫通部３４）と接続されている。本実施形態では、２つの共通液室２６に対応して、挿通空間２０を間に挟んでノズル列方向に直交する方向の両側にそれぞれ液体導入路２１が形成されている。さらに、図４に示すように、ヘッドケース１９における第１分流路４７ａ、４７ｂの垂直流路４９の上端開口に対向する位置、すなわち共通液室２６に対向する領域からノズル列方向に直交する方向に外れた位置には、それぞれ共通流路５１ａ、５１ｂが形成されている。要するに、第１圧電素子列側第１分流路４７ａと連通する第１圧電素子列側共通流路５１ａと、第２圧電素子列側第１分流路４７ｂと連通する第２圧電素子列側共通流路５１ｂとが板厚方向に貫通する状態で形成されている。図６等に示すように、これらの共通流路５１ａ、５１ｂは、それぞれヘッドケース１９の上面に開口され、大気（詳しくは、プリンター１の筐体内の大気）と連通（換言すると、大気に開放）されている。以下では、第１圧電素子列側共通流路５１ａの上端の開口５８ａを第１圧電素子列側大気開放口５８ａと称し、第２圧電素子列側共通流路５１ｂの上端の開口５８ｂを第２圧電素子列側大気開放口５８ｂと称する。なお、第１圧電素子列側大気開放口５８ａ及び第２圧電素子列側大気開放口５８ｂが本発明における大気開放口に相当する。
【００４１】
そして、図３等に示すように、ヘッドケース１９の下面のうち共通液室２６に対応する部分には、封止膜３９の可撓変形を阻害しない程度の深さのケース空間２２が下面から凹んだ状態に形成されている。このケース空間２２のうち対向空間４０と対向する部分は、当該対向空間４０と共にコンプライアンス空間５６ａ、５６ｂを形成する。本実施形態においては、２つの共通液室２６に対応して、２つのコンプライアンス空間５６ａ、５６ｂが形成されている。具体的には、封止膜３９により第１ノズル列４４ａに連通する共通液室２６と隔離された本発明における第２の空間の一種である第１圧電素子列側コンプライアンス空間５６ａと、封止膜３９により第２ノズル列４４ｂに連通する共通液室２６と隔離された本発明における第２の空間の一種である第２圧電素子列側コンプライアンス空間５６ｂと、が形成されている。ここで、このコンプライアンス空間５６ａ、５６ｂは、封止膜３９により共通液室２６と隔離されているが、当該封止膜３９が共通液室２６からの水分を透過し易いため、多湿になり易い。要するに、コンプライアンス空間５６ａ、５６ｂは、硬質な封止板３３及び流路基板２９により区画された圧電素子列収容空間４６ａ、４６ｂよりも共通液室２６から水分が侵入し易くなっている。
【００４２】
また、本実施形態におけるケース空間２２は、ノズル列方向に直交する方向において、対向空間４０に対向してコンプライアンス空間５６ａ、５６ｂとなる部分から対向空間４０の外側まで延在されている。すなわち、図３及び図４に示すように、ケース空間２２の幅（詳しくは、ノズル列方向に直交する方向の寸法）は、共通液室２６（すなわち、対向空間４０）の幅よりも広く形成されている。このケース空間２２の対向空間４０よりも外側に延在された部分の端部には、連通口５４を介して第１分流路４７ａ、４７ｂの垂直流路４９が連通されている。また、このケース空間２２の連通口５４に対向する上面には、共通流路５１ａ、５１ｂが連通されている。換言すると、ケース空間２２の対向空間４０よりも外側に延在された部分の端部には、第１分流路４７ａ、４７ｂの垂直流路４９と共通流路５１ａ、５１ｂとが上下に対向した状態で連通されている。そして、垂直流路４９及び共通流路５１ａ、５１ｂが連通された部分からコンプライアンス空間５６ａ、５６ｂまでの空間が第２分流路５７ａ、５７ｂを形成する。すなわち、ヘッドケース１９の下面には、第１圧電素子列側コンプライアンス空間５６ａと連通する第１圧電素子列側第２分流路５７ａと、第２圧電素子列側コンプライアンス空間５６ｂと連通する第２圧電素子列側第２分流路５７ｂと、が形成されている。これらの第２分流路５７ａ、５７ｂは、第１分流路４７ａ、４７ｂに比べて流路面積が大きく、且つ流路の長さが短いため、第１分流路４７ａ、４７ｂよりも気体に対する流路抵抗が低く(又は小さく)なっている。換言すると、第１分流路４７ａ、４７ｂは、第２分流路５７ａ、５７ｂよりも気体に対する流路抵抗が高く（又は大きく）なっている。
【００４３】
このように、第１圧電素子列側コンプライアンス空間５６ａは、第１圧電素子列側第２分流路５７ａ及び第１圧電素子列側共通流路５１ａからなる一連の流路（以下、第１圧電素子列側第２大気開放路６０ａと称する）を通じて、第１圧電素子列側大気開放口５８ａから大気に開放されている。同様に、第２圧電素子列側コンプライアンス空間５６ｂは、第２圧電素子列側第２分流路５７ｂ及び第２圧電素子列側共通流路５１ｂからなる一連の流路（以下、第２圧電素子列側第２大気開放路６０ｂと称する）を通じて、第２圧電素子列側大気開放口５８ｂから大気に開放されている。すなわち、第１圧電素子列側第２大気開放路６０ａ、及び、第２圧電素子列側第２大気開放路６０ｂが本発明における第２大気開放路に相当する。一方、第１圧電素子列収容空間４６ａは、第１圧電素子列側第１分流路４７ａ及び第１圧電素子列側共通流路５１ａからなる一連の流路（以下、第１圧電素子列側第１大気開放路５９ａと称する）を通じて、第１圧電素子列側大気開放口５８ａから大気に開放されている。同様に、第２圧電素子列収容空間４６ｂは、第２圧電素子列側第１分流路４７ｂ及び第２圧電素子列側共通流路５１ｂからなる一連の流路（以下、第２圧電素子列側第１大気開放路５９ｂと称する）を通じて、第２圧電素子列側大気開放口５８ｂから大気に開放されている。すなわち、第１圧電素子列側第１大気開放路５９ａ、及び、第２圧電素子列側第１大気開放路５９ｂが本発明における第１大気開放路に相当する。
【００４４】
ここで、第１圧電素子列側第１大気開放路５９ａと第１圧電素子列側第２大気開放路６０ａとは、大気と連通する第１圧電素子列側大気開放口５８ａから途中の分岐（具体的には、ケース空間２２の第１圧電素子列側第１分流路４７ａと第１圧電素子列側共通流路５１ａとが連通した部分）まで共通に形成され、且つこの分岐から第１圧電素子列収容空間４６ａまでの流路である第１圧電素子列側第１分流路４７ａが、同分岐から第１圧電素子列側コンプライアンス空間５６ａまでの流路である第１圧電素子列側第２分流路５７ａよりも流路抵抗が高くなっているため、第１圧電素子列側第１大気開放路５９ａは、第１圧電素子列側第２大気開放路６０ａよりも流路抵抗が高くなっている。また、同様に、第２圧電素子列側第１大気開放路５９ｂと第２圧電素子列側第２大気開放路６０ｂとは、大気と連通する第２圧電素子列側大気開放口５８ｂから途中の分岐（具体的には、ケース空間２２の第２圧電素子列側第１分流路４７ｂと第２圧電素子列側共通流路５１ｂとが連通した部分）まで共通に形成され、且つこの分岐から第２圧電素子列収容空間４６ｂまでの流路である第２圧電素子列側第１分流路４７ｂが、同分岐から第２圧電素子列側コンプライアンス空間５６ｂまでの流路である第２圧電素子列側第２分流路５７ｂよりも流路抵抗が高くなっているため、第２圧電素子列側第１大気開放路５９ｂは、第２圧電素子列側第２大気開放路６０ｂよりも流路抵抗が高くなっている。
【００４５】
これにより、コンプライアンス空間５６ａ、５６ｂから圧電素子列収容空間４６ａ、４６ｂへの水分（或いは湿気）の侵入を抑制できる。また、多湿環境になり易いプリンター１の筐体内から圧電素子列収容空間４６ａ、４６ｂへの水分（或いは湿気）の侵入を抑制できる。その結果、圧電素子３２への水分の付着を抑制でき、ひいては圧電素子３２の破壊を抑制できる。さらに、本実施形態においては、第１圧電素子列側第１大気開放路５９ａと第１圧電素子列側第２大気開放路６０ａとが第１圧電素子列側大気開放口５８ａから分岐まで共通に形成されたので、第１圧電素子列側第１大気開放路と第１圧電素子列側第２大気開放路とを別個に大気開放させる場合と比べて、記録ヘッド３の構成を簡単にできる。また、第１圧電素子列側第１大気開放路と第１圧電素子列側第２大気開放路とを別個に大気開放させた構成と比べて、ヘッドケース１９の強度の低下を抑制でき、ひいては記録ヘッド３の強度の低下を抑制できる。さらに、第２圧電素子列側第１大気開放路５９ｂと第２圧電素子列側第２大気開放路６０ｂとが第２圧電素子列側大気開放口５８ｂから分岐まで共通に形成されたので、第２圧電素子列側第１大気開放路と第２圧電素子列側第２大気開放路とを別個に大気開放させる場合と比べて、記録ヘッド３の構成を簡単にできる。また、第２圧電素子列側第１大気開放路と第２圧電素子列側第２大気開放路とを別個に大気開放させた構成と比べて、ヘッドケース１９の強度の低下を抑制でき、ひいては記録ヘッド３の強度の低下を抑制できる。
【００４６】
ところで、第１大気開放路が圧電素子列収容空間の上方に連通する場合、第１大気開放路内で発生した結露が垂れて、圧電素子列収容空間内に侵入する虞がある。しかしながら、本実施形態においては、第１大気開放路５９ａ、５９ｂの第１分流路４７ａ、４７ｂが圧電素子列収容空間４６ａ、４６ｂからノズル面２５に沿って延在する水平流路４８を備えので、第１大気開放路５９ａ、５９ｂ内に結露が発生したとしても、この結露が圧電素子列収容空間４６ａ、４６ｂ内に侵入することを抑制できる。その結果、圧電素子３２への水分の付着を一層抑制でき、ひいては圧電素子３２の破壊を一層抑制できる。
【００４７】
そして、上記のように構成された記録ヘッド３は、インクカートリッジ７からのインクを、液体導入路２１、共通液室２６及び個別連通路２８等を介して圧力室３０に導入する。この状態で、制御部からの駆動信号を、フレキシブル基板３５等を介して圧電素子３２に供給すれば、圧電素子３２が駆動されて圧力室３０内のインクに圧力変動が生じる。この圧力変動を利用することで、記録ヘッド３はノズル２４からインク滴を噴射する。なお、液体導入路２１、共通液室２６、個別連通路２８及び圧力室３０からなる一連の流路が本発明における液体流路に相当する。
【００４８】
ところで、上記した第１実施形態においては、水平流路４８が圧電素子列収容空間４６ａ、４６ｂの側面に接続されたが、これには限られない。例えば、図７に示す第２実施形態においては、第１分流路４７ａ′、４７ｂ′の一部である水平流路４８′が圧電素子列収容空間４６ａ、４６ｂの下面（すなわち、底面）に接続されている。なお、図７は、第１実施形態におけるＣ−Ｃ線断面に相当する記録ヘッド３の断面図である。
【００４９】
具体的に説明すると、本実施形態における水平流路４８′は、振動板３１が積層された流路基板２９の上面に溝状に形成されている。要するに、水平流路４８′に相当する領域の振動板３１が除去されると共に、当該領域の流路基板２９が上面から凹んで形成されている。この流路基板２９が凹んだ溝は、それぞれ封止板３３を貫通する垂直流路４９′と重なる位置から圧電素子列収容空間４６ａ、４６ｂと重なる位置まで延在されている。そして、この流路基板２９が凹んだ溝の開放側を封止板３３で封止することで水平流路４８′が形成されている。すなわち、本実施形態における水平流路４８′は、流路基板２９の溝の開放側を封止板３３で封止した状態に形成されている。図７に示すように、この水平流路４８′の垂直流路４９′とは反対側の端部は、圧電素子列収容空間４６ａ、４６ｂの下方に位置し、当該位置で圧電素子列収容空間４６ａ、４６ｂの底面に接続されている。これにより、第１大気開放路５９ａ′、５９ｂ′内に結露が発生したとしても、この結露が垂れて圧電素子列収容空間４６ａ、４６ｂ内に侵入することを一層抑制できる。なお、その他の構成については上記した第１実施形態と同じであるため、説明を省略する。また、本実施形態においては、水平流路４８′が流路基板２９と封止板３３との界面に形成されたが、これには限られず、第１分流路の少なくとも一部が、圧電素子列収容空間よりも下方（すなわち、圧電素子列収容空間とノズル面との間）に形成されていれば良い。
【００５０】
また、上記した第１実施形態及び第２実施形態では、第１圧電素子列収容空間４６ａと第１圧電素子列側コンプライアンス空間５６ａとが両者に共通な第１圧電素子列側大気開放口５８ａを通じて大気に開放され、第２圧電素子列収容空間４６ｂと第２圧電素子列側コンプライアンス空間５６ｂとが両者に共通な第２圧電素子列側大気開放口５８ｂを通じて大気に開放されたが、これには限られない。例えば、図８〜図１１に示す第３実施形態においては、第１圧電素子列収容空間４６ａと第２圧電素子列収容空間４６ｂとが両者に共通な収容空間用大気開放口７３を通じて大気に開放され、第１圧電素子列側コンプライアンス空間５６ａと第２圧電素子列側コンプライアンス空間５６ｂとが両者に共通なコンプライアンス空間用大気開放口７７を通じて大気に開放されている。
【００５１】
以下において、第３実施形態について詳しく説明する。図８は、第３実施形態における記録ヘッド３のコンプライアンス基板３７を上面から見た平面図である。また、図９はＤ−Ｄ線断面、図１０はＥ−Ｅ線断面、図１１はＦ−Ｆ線断面をそれぞれ模式的に表した図である。図８〜図１１に示すように、本実施形態においても、上記した第１実施形態と同様に、一側（図９等における右側）に並設された複数のノズル２４からなる第１ノズル列４４ａと、他側（図９等における左側）に並設された複数のノズル２４からなる第２ノズル列４４ｂとが、形成されている。また、本実施形態においても、第１ノズル列４４ａに連通する液体導入路２１、共通液室２６、個別連通路２８及び圧力室３０からなる一連の流路（以下、第１液体流路６８ａと称する）、及び、第２ノズル列４４ｂに連通する液体導入路２１、共通液室２６、個別連通路２８及び圧力室３０からなる一連の流路（以下、第２液体流路６８ｂと称する）が記録ヘッド３内に形成されている。さらに、本実施形態においても、第１圧電素子列４５ａを収容する第１圧電素子列収容空間４６ａ（本発明における第１駆動素子群用第１空間に相当）と、第２圧電素子列４５ｂを収容する第２圧電素子列収容空間４６ｂ（本発明における第２駆動素子群用第１空間に相当）とが形成されている。
【００５２】
一方、ヘッドケース１９の下面から凹んだケース空間２２′は、上記した第１実施形態とは異なり、下面が封止膜３９で区画された対向空間４０に対向する領域のみに形成されている。このケース空間２２′は、対向空間４０と共にコンプライアンス空間５６ａ、５６ｂを形成する。本実施形態においては、封止膜３９を間に挟んで第１液体流路６８ａと接し、第１圧電素子列収容空間４６ａよりも水分が侵入し易い第１圧電素子列側コンプライアンス空間５６ａ（本発明における第１液体流路側第２空間に相当）と、封止膜３９を間に挟んで第２液体流路６８ｂと接し、第２圧電素子列収容空間４６ｂよりも水分が侵入し易い第２圧電素子列側コンプライアンス空間５６ｂ（本発明における第２液体流路側第２空間に相当）とが形成されている。第１圧電素子列側コンプライアンス空間５６ａ及び第２圧電素子列側コンプライアンス空間５６ｂのノズル列方向における一方（図８における右側）の端部には、ノズル面２５（本実施形態では水平面）に沿って延在するコンプライアンス空間用水平流路７５が接続されている。すなわち、第１圧電素子列側コンプライアンス空間５６ａと第２圧電素子列側コンプライアンス空間５６ｂとは、このコンプライアンス空間用水平流路７５を介して連通されている。
【００５３】
本実施形態におけるコンプライアンス空間用水平流路７５は、図９に示すように、コンプライアンス基板３７に形成されており、コンプライアンス空間５６ａ、５６ｂの対向空間４０と連通されている。また、図８に示すように、このコンプライアンス空間用水平流路７５は、第１圧電素子列側コンプライアンス空間５６ａとの連通位置から第２圧電素子列側コンプライアンス空間５６ｂのノズル列方向における外方まで引き回され、この第２圧電素子列側コンプライアンス空間５６ｂの外方で第２圧電素子列側コンプライアンス空間５６ｂと連通される部分とコンプライアンス空間用垂直流路７６と連通される部分とに分岐されている。そして、分岐された一方は、第２圧電素子列側コンプライアンス空間５６ｂと接続され、他方は、第２圧電素子列側コンプライアンス空間５６ｂからノズル列方向に直交する方向における他側に外れた位置でコンプライアンス空間用垂直流路７６と連通されている。コンプライアンス空間用垂直流路７６は、ヘッドケース１９を板厚方向に貫通する状態に形成された流路であり、その上端は、ヘッドケース１９の上面に開口されている。以下では、コンプライアンス空間用垂直流路７６の上端の開口７７をコンプライアンス空間用大気開放口７７と称する。なお、コンプライアンス空間用水平流路は、ヘッドケースの下面に形成されても良い。或いは、コンプライアンス基板とヘッドケースとの両方に形成されても良い。
【００５４】
このように、第１圧電素子列側コンプライアンス空間５６ａは、コンプライアンス空間用水平流路７５及びコンプライアンス空間用垂直流路７６からなる一連の流路（以下、第１圧電素子列側第２大気開放路７８ａと称する）を通じて、コンプライアンス空間用大気開放口７７から大気に開放されている。また、第２圧電素子列側コンプライアンス空間５６ｂは、同様にコンプライアンス空間用水平流路７５及びコンプライアンス空間用垂直流路７６からなる一連の流路（以下、第２圧電素子列側第２大気開放路７８ｂと称する）を通じて、コンプライアンス空間用大気開放口７７から大気に開放されている。すなわち、第１圧電素子列側第２大気開放路７８ａと第２圧電素子列側第２大気開放路７８ｂとは、コンプライアンス空間用大気開放口７７からコンプライアンス空間用水平流路７５の分岐まで共通に形成されると共に、コンプライアンス空間用大気開放口７７を介して大気と連通されている。なお、第１圧電素子列側第２大気開放路７８ａが本発明における第１液体流路側第２大気開放路に相当し、第２圧電素子列側第２大気開放路７８ｂが本発明における第２液体流路側第２大気開放路に相当する。
【００５５】
また、図８及び図１１にしめすように、本実施形態においては、圧電素子列収容空間４６ａ、４６ｂに収容空間用水平流路７０が接続されている。具体的には、第１圧電素子列収容空間４６ａ及び第２圧電素子列収容空間４６ｂのノズル列方向における他方（図８における左側）の端部に、ノズル面２５（本実施形態では水平面）に沿って延在する収容空間用水平流路７０が接続されている。すなわち、第１圧電素子列収容空間４６ａと第２圧電素子列収容空間４６ｂとは、この収容空間用水平流路７０を介して連通されている。図１１に示すように、本実施形態における収容空間用水平流路７０は、第１実施形態における水平流路４８と同様に、封止板３３の下面に形成された溝の開放側を流路基板２９で封止した状態に形成されている。また、図８に示すように、本実施形態における収容空間用水平流路７０は、第２圧電素子列収容空間４６ｂとの連通位置から第１圧電素子列収容空間４６ａのノズル列方向における外方まで引き回され、この第１圧電素子列収容空間４６ａの外方で第１圧電素子列収容空間４６ａと連通される部分と収容空間用垂直流路７１と連通される部分とに分岐されている。そして、分岐された一方は、第１圧電素子列収容空間４６ａと接続され、他方は、第１圧電素子列収容空間４６ａからノズル列方向に直交する方向における一側に外れた位置で収容空間用垂直流路７１と連通されている。
【００５６】
図１０に示すように、収容空間用垂直流路７１は、第１実施形態における垂直流路４９と同様に、封止板３３を厚さ方向に貫通した状態に形成されている。収容空間用垂直流路７１の上端は、コンプライアンス基板３７に開口した導通口５４′を介してヘッドケース１９に形成されたケース側垂直流路７２と連通されている。ケース側垂直流路７２は、コンプライアンス空間用垂直流路７６と同様に、ヘッドケース１９を板厚方向に貫通する状態に形成された流路である。ケース側垂直流路７２の上端は、ヘッドケース１９の上面に開口されている。以下では、ケース側垂直流路７２の上端の開口７３を収容空間用大気開放口７３と称する。図８に示すように、コンプライアンス空間用水平流路７５のコンプライアンス空間用垂直流路７６と連通する位置と、ケース側垂直流路７２と連通する導通口５４′とは、コンプライアンス基板３７の上面において対角位置に配置されているため、収容空間用大気開放口７３と、コンプライアンス空間用大気開放口７７とは、記録ヘッド３の上面において対角位置に形成されることになる。すなわち、収容空間用大気開放口７３は、ヘッドケース１９の上面のうちノズル列方向における他方の端部であって、ノズル列方向に直交する方向における一側の端部に形成され、コンプライアンス空間用大気開放口７７は、ヘッドケース１９の上面のうちノズル列方向における一方の端部であって、ノズル列方向に直交する方向における他側の端部に形成されている。要するに、収容空間用大気開放口７３とコンプライアンス空間用大気開放口７７とは、ノズル列方向、且つノズル列方向に直交する方向に離間して形成されている。
【００５７】
このように、第１圧電素子列収容空間４６ａは、収容空間用水平流路７０、収容空間用垂直流路７１及びケース側垂直流路７２からなる一連の流路（以下、第１圧電素子列側第１大気開放路７４ａと称する）を通じて、収容空間用大気開放口７３から大気に開放されている。また、第２圧電素子列収容空間４６ｂは、同様に収容空間用水平流路７０、収容空間用垂直流路７１及びケース側垂直流路７２からなる一連の流路（以下、第２圧電素子列側第１大気開放路７４ｂと称する）を通じて、収容空間用大気開放口７３から大気に開放されている。すなわち、第１圧電素子列側第１大気開放路７４ａと第２圧電素子列側第１大気開放路７４ｂとは、収容空間用大気開放口７３から収容空間用水平流路７０の分岐まで共通に形成されると共に、収容空間用大気開放口７３を介して大気と連通されている。なお、第１圧電素子列側第１大気開放路７４ａが本発明における第１駆動素子群側第１大気開放路に相当し、第２圧電素子列側第１大気開放路７４ｂが本発明における第２駆動素子群側第１大気開放路に相当する。また、収容空間用水平流路７０のうち分岐から第１圧電素子列収容空間４６ａまでの部分が、第１駆動素子群側部分流路に相当し、収容空間用水平流路７０のうち分岐から第２圧電素子列収容空間４６ｂまでの部分が、第２駆動素子群側部分流路に相当する。
【００５８】
ここで、第１圧電素子列側第１大気開放路７４ａ及び第２圧電素子列側第１大気開放路７４ｂは、第１圧電素子列側第２大気開放路７８ａ及び第２圧電素子列側第２大気開放路７８ｂよりも流路抵抗が高くなるように形成されている。例えば、第１圧電素子列側第１大気開放路７４ａ及び第２圧電素子列側第１大気開放路７４ｂの一部又は全部が、第１圧電素子列側第２大気開放路７８ａ及び第２圧電素子列側第２大気開放路７８ｂよりも流路面積が小さくなるように形成する。或いは、第１圧電素子列側第１大気開放路７４ａ及び第２圧電素子列側第１大気開放路７４ｂが、第１圧電素子列側第２大気開放路７８ａ及び第２圧電素子列側第２大気開放路７８ｂよりも流路の長さが長くなるように形成する。これにより、第１圧電素子列側第１大気開放路７４ａ又は第２圧電素子列側第１大気開放路７４ｂを通じて、記録ヘッド３の外側（詳しくは、プリンター１の筐体内）の水分（或いは湿気）が第１圧電素子列収容空間４６ａ又は第２圧電素子列収容空間４６ｂに侵入することを抑制できる。その結果、圧電素子３２への水分の付着を抑制でき、ひいては圧電素子３２の破壊を抑制できる。
【００５９】
そして、本実施形態によれば、第１圧電素子列収容空間４６ａ及び第２圧電素子列収容空間４６ｂと、第１圧電素子列側コンプライアンス空間５６ａ及び第２圧電素子列側コンプライアンス空間５６ｂとが、記録ヘッド３内で連通していないため第１圧電素子列側コンプライアンス空間５６ａ及び第２圧電素子列側コンプライアンス空間５６ｂから第１圧電素子列収容空間４６ａ及び第２圧電素子列収容空間４６ｂへの水分（或いは湿気）の侵入を抑制できる。これにより、圧電素子３２への水分の付着をより一層抑制でき、ひいては圧電素子３２の破壊をより一層抑制できる。また、第１圧電素子列側第１大気開放路、第２圧電素子列側第１大気開放路、第１圧電素子列側第２大気開放路、及び、第２圧電素子列側第２大気開放路を別個に大気開放させた構成と比べて、記録ヘッド３の強度の低下を抑制できる。さらに、収容空間用大気開放口７３とコンプライアンス空間用大気開放口７７とは、ノズル列方向に離間して形成されたので、記録ヘッド３の強度の低下を抑制できる。すなわち、収容空間用大気開放口とコンプライアンス空間用大気開放口とが近接して設けられた場合と比較して、第１大気開放路７４ａ、７４ｂと第２大気開放路７８ａ、７８ｂとが離間されるため、記録ヘッド３の局所的な強度の低下を抑制できる。加えて、第１圧電素子列側コンプライアンス空間５６ａ及び第２圧電素子列側コンプライアンス空間５６ｂから、コンプライアンス空間用大気開放口７７及び収容空間用大気開放口７３を介して第１圧電素子列収容空間４６ａ及び第２圧電素子列収容空間４６ｂへ水分が侵入することを抑制できる。さらに、本実施形態においては、収容空間用大気開放口７３とコンプライアンス空間用大気開放口７７とが、ノズル列方向に直交する方向に離間して形成されたので、第１圧電素子列側コンプライアンス空間５６ａ及び第２圧電素子列側コンプライアンス空間５６ｂから、コンプライアンス空間用大気開放口７７及び収容空間用大気開放口７３を介して第１圧電素子列収容空間４６ａ及び第２圧電素子列収容空間４６ｂへ水分が侵入することを一層抑制できる。
【００６０】
また、本実施形態においては、第１大気開放路７４ａ、７４ｂは、ノズル面２５に沿って延在する収容空間用水平流路７０を備えたので、第１大気開放路７４ａ、７４ｂ内に結露が発生したとしても、この結露が圧電素子列収容空間４６ａ、４６ｂ内に侵入することを抑制できる。すなわち、第１大気開放路７４ａ、７４ｂは、圧電素子列収容空間４６ａ、４６ｂの側面に接続されたので、結露が第１大気開放路７４ａ、７４ｂ内を垂れて圧電素子列収容空間４６ａ、４６ｂ内に侵入することがない。その結果、圧電素子３２への水分の付着を一層抑制でき、ひいては圧電素子３２の破壊を一層抑制できる。なお、収容空間用水平流路７０は、図７に示す第２実施形態の水平流路４８′と同様に、振動板が積層された流路基板の上面に溝状に形成されてもよい。すなわち、収容空間用水平流路が流路基板の溝の開放側を封止板で封止した状態に形成され、その端部が圧電素子列収容空間の底面に接続される構成を採用することもできる。このようにすれば、第１圧電素子列側第１大気開放路内及び第２圧電素子列側第１大気開放路内に結露が発生したとしても、この結露が第１圧電素子列収容空間内及び第２圧電素子列収容空間内に侵入することを一層抑制できる。要するに、第１圧電素子列側第１大気開放路の少なくとも一部は、第１圧電素子列収容空間よりも下方（すなわち、第１圧電素子列収容空間とノズル面との間）に形成され、第２圧電素子列側第１大気開放路の少なくとも一部は、第２圧電素子列収容空間よりも下方（すなわち、第２圧電素子列収容空間とノズル面との間）に形成されることが望ましい。なお、その他の構成については上記した第１実施形態と同じであるため、説明を省略する。
【００６１】
さらに、上記した第３実施形態では、記録ヘッド３の平面視において、収容空間用大気開放口７３と、コンプライアンス空間用大気開放口７７とは、対角位置に配置されたが、これには限られない。例えば、図１２に示す第４実施形態では、記録ヘッド３の平面視において、収容空間用大気開放口７３′とコンプライアンス空間用大気開放口７７′とが、ノズル列方向に直交する方向の略中央において、ノズル列方向に離間して形成されている。
【００６２】
具体的に説明すると、図１２に示すように、本実施形態におけるコンプライアンス空間用水平流路７５′は、コンプライアンス基板３７の平面視において、ノズル列方向に直交する方向におけるコンプライアンス基板３７の中央から第１圧電素子列側コンプライアンス空間５６ａまでの流路と、ノズル列方向に直交する方向におけるコンプライアンス基板３７の中央から第２圧電素子列側コンプライアンス空間５６ｂまでの流路とが、ノズル列方向に直交する方向に対称に形成されている。そして、コンプライアンス空間用垂直流路７６′との接続箇所は、第１圧電素子列側コンプライアンス空間５６ａと第２圧電素子列側コンプライアンス空間５６ｂとの間（本実施形態では、ノズル列方向に直交する方向におけるコンプライアンス基板３７の略中央）に形成されている。このため、コンプライアンス空間用垂直流路７６′の上端であるコンプライアンス空間用大気開放口７７′は、ヘッドケース１９の上面のうちノズル列方向における一方の端部であって、ノズル列方向に直交する方向における略中央に形成される。これにより、コンプライアンス空間用垂直流路７６′から第１圧電素子列側コンプライアンス空間５６ａまでの流路の長さと、コンプライアンス空間用垂直流路７６′から第２圧電素子列側コンプライアンス空間５６ｂまでの流路の長さを揃えることができる。その結果、第１圧電素子列側コンプライアンス空間５６ａ内の湿度と第２圧電素子列側コンプライアンス空間５６ｂ内の湿度とを揃えることができる。
【００６３】
また、本実施形態における収容空間用水平流路７０′は、ノズル列方向におけるコンプライアンス空間用水平流路７５′とは反対側の端部において、ノズル列方向に直交する方向におけるコンプライアンス基板３７の中央から第１圧電素子列収容空間４６ａまでの流路と、ノズル列方向に直交する方向におけるコンプライアンス基板３７の中央から第２圧電素子列収容空間４６ｂまでの流路とが、ノズル列方向に直交する方向に対称に形成されている。そして、収容空間用垂直流路７１′との接続箇所は、第１圧電素子列収容空間４６ａと第２圧電素子列収容空間４６ｂとの間（本実施形態では、ノズル列方向に直交する方向におけるコンプライアンス基板３７の略中央に相当する位置）に形成されている。このため、収容空間用垂直流路７１′及び導通口５４′を介して接続される収容空間用大気開放口７３′は、ヘッドケース１９の上面のうちノズル列方向における他方の端部であって、ノズル列方向に直交する方向における略中央に形成される。これにより、収容空間用垂直流路７１′から第１圧電素子列収容空間４６ａまでの流路（すなわち、第２駆動素子群側部分流路に相当）の長さと、収容空間用垂直流路７１′から第２圧電素子列収容空間４６ｂまでの流路の長さを揃えることができる。その結果、第１圧電素子列収容空間４６ａ内の湿度と第２圧電素子列収容空間４６ｂ内の湿度とを揃えることができる。そして、本実施形態においても、収容空間用大気開放口７３′とコンプライアンス空間用大気開放口７７′とがノズル列方向に離間して形成されたので、記録ヘッド３の強度の低下を抑制できる。また、第１圧電素子列側コンプライアンス空間５６ａ及び第２圧電素子列側コンプライアンス空間５６ｂから、コンプライアンス空間用大気開放口６６′及び収容空間用大気開放口７３′を介して第１圧電素子列収容空間４６ａ及び第２圧電素子列収容空間４６ｂへ水分が侵入することを抑制できる。なお、その他の構成は、上記した第３実施形態と同じであるため、説明を省略する。
【００６４】
また、上記した第１実施形態〜第４実施形態とは異なり、第１圧電素子列収容空間４６ａ、第２圧電素子列収容空間４６ｂ、第１圧電素子列側コンプライアンス空間５６ａ及び第２圧電素子列側コンプライアンス空間５６ｂをそれぞれ個別の大気開放口から大気開放することもできる。例えば、図１３〜図１５に示す第５実施形態においては、第１圧電素子列収容空間４６ａを第１圧電素子列収容空間用大気開放口８０ａから、第２圧電素子列収容空間４６ｂを第２圧電素子列収容空間用大気開放口８０ｂから、第１圧電素子列側コンプライアンス空間５６ａを第１圧電素子列側コンプライアンス空間用大気開放口８１ａから、第２圧電素子列側コンプライアンス空間５６ｂを第２圧電素子列側コンプライアンス空間用大気開放口８１ｂからそれぞれ大気に開放している。なお、図１３は、第５実施形態における記録ヘッド３のコンプライアンス基板３７を上面から見た平面図である。また、図１４はＧ−Ｇ線断面、図１５はＨ−Ｈ線断面をそれぞれ模式的に表した図である。
【００６５】
本実施形態においては、ノズル列方向における一方の端部に、コンプライアンス空間用大気開放口８１ａ、８１ｂが開口され、ノズル列方向における他方の端部に、収容空間用大気開放口８０ａ、８０ｂが開口されている。図１３及び図１５に示すように、第１圧電素子列収容空間４６ａと第１圧電素子列収容空間用大気開放口８０ａとを連通する第１圧電素子列収容空間用大気開放路８２ａ（本発明における第１大気開放路の一種）、及び、第２圧電素子列収容空間４６ｂと第２圧電素子列収容空間用大気開放口８０ｂとを連通する第２圧電素子列収容空間用大気開放路８２ｂ（本発明における第１大気開放路の一種）は、それぞれ水平流路４８″、垂直流路４９″、及び、収容空間用ケース流路８４からなる。水平流路４８″は、第１実施形態の水平流路４８と同様に、圧電素子列収容空間４６ａのノズル列方向における他方の端部から垂直流路４９″に連通する位置までノズル面２５に沿って延在された流路である。また、垂直流路４９″は、第１実施形態の垂直流路４９と同様に、ノズル列方向に直交する方向における圧電素子列収容空間４６ａよりも外方において、封止板３３を貫通する状態に形成されている。この垂直流路４９″は、連通口５４″を介して、収容空間用ケース流路８４と連通されている。この収容空間用ケース流路８４は、２つの圧電素子列収容空間４６ａ、４６ｂに対応して、ノズル列方向に直交する方向に離間して２つ形成されている。そして、この収容空間用ケース流路８４の上端の開口が収容空間用大気開放口８０ａ、８０ｂとなっている。
【００６６】
また、図１３及び図１４に示すように、第１圧電素子列側コンプライアンス空間５６ａと第１コンプライアンス空間用大気開放口８１ａとを連通する第１コンプライアンス空間用大気開放路８３ａ（本発明における第２大気開放路の一種）、及び、第２圧電素子列側コンプライアンス空間５６ｂと第２コンプライアンス空間用大気開放口８１ｂとを連通する第２コンプライアンス空間用大気開放路８３ｂ（本発明における第２大気開放路の一種）は、それぞれケース空間２２″、及び、コンプライアンス空間用ケース流路８５からなる。図１４に示すように、本実施形態におけるケース空間２２″は、ノズル列方向における一方の端部において、対向空間４０に対向してコンプライアンス空間５６ａ、５６ｂとなる部分からコンプライアンス空間用ケース流路８５に連通する領域まで延在されている。そして、このケース空間２２″の対向空間４０よりも外側に延在された部分の端部に、コンプライアンス空間用ケース流路８５が連通されている。このコンプライアンス空間用ケース流路８５は、２つのコンプライアンス空間５６ａ、５６ｂに対応して、ノズル列方向に直交する方向に離間して２つ形成されている。そして、この収容空間用ケース流路８５の上端の開口がコンプライアンス空間用大気開放口８１ａ、８１ｂとなっている。
【００６７】
そして、本実施形態においても、第１圧電素子列収容空間用大気開放路８２ａ及び第２圧電素子列収容空間用大気開放路８２ｂは、第１コンプライアンス空間用大気開放路８３ａ及び第２コンプライアンス空間用大気開放路８３ｂよりも流路抵抗が高くなるように形成されている。例えば、第１圧電素子列収容空間用大気開放路８２ａ及び第２圧電素子列収容空間用大気開放路８２ｂの一部又は全部が、第１コンプライアンス空間用大気開放路８３ａ及び第２コンプライアンス空間用大気開放路８３ｂよりも流路面積が小さくなるように形成する。或いは、第１圧電素子列収容空間用大気開放路８２ａ及び第２圧電素子列収容空間用大気開放路８２ｂが、第１コンプライアンス空間用大気開放路８３ａ及び第２コンプライアンス空間用大気開放路８３ｂよりも流路の長さが長くなるように形成する。これにより、第１圧電素子列収容空間用大気開放路８２ａ及び第２圧電素子列収容空間用大気開放路８２ｂを通じて、記録ヘッド３の外側であってプリンター１の筐体内の水分（或いは湿気）が第１圧電素子列収容空間４６ａ又は第２圧電素子列収容空間４６ｂに侵入することを抑制できる。その結果、圧電素子３２への水分の付着を抑制でき、ひいては圧電素子３２の破壊を抑制できる。また、本実施形態においても、収容空間用大気開放口８０ａ、８０ｂとコンプライアンス空間用大気開放口８１ａ、８１ｂとがノズル列方向に離間して形成されたので、記録ヘッド３の強度の低下を抑制できる。さらに、コンプライアンス空間５６ａ、５６ｂから、コンプライアンス空間用大気開放口８１ａ、８１ｂ及び収容空間用大気開放口８０ａ、８０ｂを介して圧電素子列収容空間４６ａ、４６ｂへ水分が侵入することを抑制できる。なお、その他の構成は、上記した第３実施形態と同じであるため、説明を省略する。
【００６８】
ところで、上記した各実施形態では、キャリッジ４に記録ヘッド３が１つだけ搭載されたプリンター１を例示したが、これには限られない。複数の記録ヘッドからなる記録ヘッドユニットをキャリッジに搭載したものや、複数の記録ヘッドを記録媒体の幅方向に複数並べた記録ヘッドユニット（所謂ラインヘッド）にも本発明を適用することもできる。
【００６９】
第６〜８実施形態として、記録ヘッド３を複数備えた記録ヘッドユニット８７（本発明における液体噴射ヘッドユニットに相当）を例に挙げて説明する。図１６は、第６実施形態における記録ヘッドユニット８７を上方（ノズル面２５とは反対側）から見た模式図である。本実施形態における記録ヘッドユニット８７は、第３の実施形態で例示した記録ヘッド３が、ノズル列方向に直交する方向に沿って複数（本実施形態では４つ）並べられた状態で固定板やホルダー等の固定部材８８に固定されている。各記録ヘッド３の上面には、第３の実施形態で述べたように、収容空間用大気開放口７３とコンプライアンス空間用大気開放口７７とが、当該上面の対角位置に開口されている。そして、各記録ヘッド３は、収容空間用大気開放口７３が記録ヘッド３の並設方向に直交する方向における一側（図１６における上側）に、コンプライアンス空間用大気開放口７７が記録ヘッド３の並設方向に直交する方向における他側（図１６における下側）に、配置されるように並設されている。このため、隣り合う記録ヘッド３における一方の記録ヘッド３の収容空間用大気開放口７３と他方の記録ヘッド３の収容空間用大気開放口７３との間隔は、同一記録ヘッド３内における収容空間用大気開放口７３とコンプライアンス空間用大気開放口７７との間隔よりも狭くなっている。また、隣り合う記録ヘッド３における一方の記録ヘッド３のコンプライアンス空間用大気開放口７７と他方の記録ヘッド３のコンプライアンス空間用大気開放口７７との間隔も、同一記録ヘッド３内における収容空間用大気開放口７３とコンプライアンス空間用大気開放口７７との間隔よりも狭くなっている。これにより、コンプライアンス空間５６ａ、５６ｂからコンプライアンス空間用大気開放口７７及び収容空間用大気開放口７３を介して、圧電素子列収容空間４６ａ、４６ｂへ水分が侵入することを抑制できる。
【００７０】
また、図１７は、第７実施形態における記録ヘッドユニット８７′を上方から見た模式図である。本実施形態における記録ヘッドユニット８７′は、第３の実施形態で例示した記録ヘッド３が、ノズル列方向に沿って複数（本実施形態では３つ）並べられた状態で固定部材８８′に固定されている。そして、本実施形態においても、隣り合う記録ヘッド３における一方の記録ヘッド３のコンプライアンス空間用大気開放口７７と他方の記録ヘッド３のコンプライアンス空間用大気開放口７７との間隔が、同一記録ヘッド３内における収容空間用大気開放口７３とコンプライアンス空間用大気開放口７７との間隔よりも狭くなるように配置されている。具体的には、記録ヘッド３の並設方向の一側の端部から数えて偶数番目の記録ヘッド３を、奇数番目の記録ヘッド３に対して半回転させて固定部材８８′に取り付けている。これにより、本実施形態においても、コンプライアンス空間５６ａ、５６ｂからコンプライアンス空間用大気開放口７７及び収容空間用大気開放口７３を介して、圧電素子列収容空間４６ａ、４６ｂへ水分が侵入することを抑制できる。
【００７１】
さらに、図１８は、第８実施形態における記録ヘッドユニット８７″を上方から見た模式図である。本実施形態における記録ヘッドユニット８７″は、第４の実施形態で例示した記録ヘッド３が、ノズル列方向に沿って複数（本実施形態では３つ）並べられた状態で固定部材８８″に固定されている。このため、本実施形態においては、収容空間用大気開放口７３′とコンプライアンス空間用大気開放口７７′とが、記録ヘッド３の並設方向に直交する方向における略中央に位置を揃えられている。そして、本実施形態においても、隣り合う記録ヘッド３における一方の記録ヘッド３のコンプライアンス空間用大気開放口７７′と他方の記録ヘッド３のコンプライアンス空間用大気開放口７７′との間隔が、同一記録ヘッド３内における収容空間用大気開放口７３′とコンプライアンス空間用大気開放口７７′との間隔よりも狭くなるように配置されている。具体的には、記録ヘッド３の並設方向の一側の端部から数えて偶数番目の記録ヘッド３を、奇数番目の記録ヘッド３に対して半回転させて固定部材８８″に取り付けている。これにより、本実施形態においても、コンプライアンス空間５６ａ、５６ｂからコンプライアンス空間用大気開放口７７′及び収容空間用大気開放口７３′を介して、圧電素子列収容空間４６ａ、４６ｂへ水分が侵入することを抑制できる。なお、第６〜８実施形態における記録ヘッドユニット８７に備えられた記録ヘッド３の数は、例示したものに限られない。要するに、記録ヘッドユニット８７は、記録ヘッド３を２つ以上備えていればよい。
【００７２】
そして、以上においては、駆動素子として、所謂撓み振動型の圧電素子３２を例示したが、これには限られず、例えば、所謂縦振動型の圧電素子や、発熱素子、静電気力を利用して圧力室の容積を変動させる静電アクチュエーター等の各種アクチュエーターを採用することができる。また、各実施形態で例示したコンプライアンス空間及び圧電素子列収容空間を大気開放する大気開放路は、例示した形状（断面形状、経路等）に限られず、任意の形状に設定し得る。さらに、以上においては、ノズル列４４ａ、４４ｂ及び圧電素子列４５ａ、４５ｂが直線状に形成されたが、これには限られない。例えば、複数のノズルが集まってなるノズル群、及び複数の圧電素子が集まってなる圧電素子群を有する記録ヘッドにも本発明を適用できる。また、上記した垂直流路４９、収容空間用垂直流路７１、ケース側垂直流路７２、コンプライアンス空間用垂直流路７６等は、水平面に対して垂直に形成されていたが、これには限られない。要は、水平面に対して交差する方向に形成されていればよい。さらに、上記した水平流路４８、収容空間用水平流路７０、コンプライアンス空間用水平流路７５等は、水平面に沿って形成されていたが、これには限られない。例えば、これらは水平面に対して傾斜していても良い。
【００７３】
そして、以上においては、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド３、及び、液体噴射ヘッドユニットの一種である記録ヘッドユニット８７、８７′、８７″を例に挙げて説明したが、本発明は、他の液体噴射ヘッド、及び、液体噴射ユニットにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド、及び、これらをユニット化した各種の噴射ユニット等にも本発明を適用することができる。ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッド又はこれを備えた噴射ユニットでは液体の一種としてＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッド又はこれを備えた噴射ユニットでは液体の一種として液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッド又はこれを備えた噴射ユニットでは液体の一種として生体有機物の溶液を噴射する。
【符号の説明】
【００７４】
１…プリンター，２…記録媒体，３…記録ヘッド，４…キャリッジ，５…キャリッジ移動機構，６…搬送機構，７…インクカートリッジ，８…タイミングベルト，９…パルスモーター，１０…ガイドロッド，１９…ヘッドケース，２０…挿通空間，２１…液体導入路，２２…ケース空間，２３…ノズルプレート，２４…ノズル，２５…ノズル面，２６…共通液室，２７…連通部，２８…供給路，２９…連通基板，３０…圧力室，３１…振動板，３２…圧電素子，３３…封止板，３４…貫通部，３５…フレキシブル基板，３６…接続空間，３７…コンプライアンス基板，３８…固定基板，３９…封止膜，４０…対向空間，４４ａ…第１ノズル列，４４ｂ…第２ノズル列，４５ａ…第１圧電素子列，４５ｂ…第２圧電素子列，４６ａ…第１圧電素子列収容空間，４６ｂ…第２圧電素子列収容空間，４７ａ…第１圧電素子列側第１分流路，４７ｂ…第２圧電素子列側第１分流路，４８…水平流路，４９…垂直流路，５１ａ…第１圧電素子列側共通流路，５１ｂ…第２圧電素子列側共通流路，５３…液体導入口，５４…連通口，５６ａ…第１圧電素子列側コンプライアンス空間，５６ｂ…第２圧電素子列側コンプライアンス空間，５７ａ…第１圧電素子列側第２分流路，５７ｂ…第２圧電素子列側第２分流路，５８ａ…第１圧電素子列側大気開放口，５８ｂ…第２圧電素子列側大気開放口，５９ａ，７４ａ…第１圧電素子列側第１大気開放路，５９ｂ，７４ｂ…第２圧電素子列側第１大気開放路，６０ａ、７８ａ…第１圧電素子列側第２大気開放路，６０ｂ、７８ｂ…第２圧電素子列側第２大気開放路，６８ａ…第１液体流路，６８ｂ…第２液体流路，７０…収容空間用水平流路，７１…収容空間用垂直流路，７２…ケース側垂直流路，７３…収容空間用大気開放口，７５…コンプライアンス空間用水平流路，７６…コンプライアンス空間用垂直流路，７７…コンプライアンス空間用大気開放口，８０ａ…第１圧電素子列収容空間用大気開放口，８０ｂ…第２圧電素子列収容空間用大気開放口，８１ａ…第１コンプライアンス空間用大気開放口，８１ｂ…第２コンプライアンス空間用大気開放口，８２ａ…第１圧電素子列収容空間用大気開放路，８２ｂ…第２圧電素子列収容空間用大気開放路，８３ａ…第１コンプライアンス空間用大気開放路，８３ｂ…第２コンプライアンス空間用大気開放路，８４…収容空間用ケース流路，８５…コンプライアンス空間用ケース流路，８７…記録ヘッドユニット，８８…固定部材，９１…液体噴射ヘッド，９２ａ…コンプライアンス空間，９２ｂ…コンプライアンス空間，９３ａ…圧電素子収容空間，９３ｂ…圧電素子収容空間，９４…大気開放口，９５…内部流路，９６…共通大気開放路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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