(57)【要約】【課題】供給光量を確保しながら各色による照明位置の均一性を向上することが可能な照明装置を提供する。【解決手段】この照明装置は、第１の入光面４１、第２の入光面４２および出光面４４を有し、前記第１の入光面４１から入光する光を前記出光面４４に導くと共に前記第２の入光面４２から入光する光を前記出光面４４に導く所定方向に長手を有する棒状レンズ４０と、前記所定方向に並ぶように配置され、前記第１の入光面４１に向けて第１の波長で光量が最大となる光を各々照射する複数の第１光源１０と、前記所定方向に並ぶように配置され、前記第２の入光面４２に向けて第２の波長で光量が最大となる光を各々照射する複数の第２光源２０とを備え、前記第１および第２の入光面は２つ共に前記所定方向に延びる凸レンズ面である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定方向に延びる棒状レンズであって、各々前記所定方向に延びる第１の入光面と、第２の入光面と、出光面とを有し、前記第１の入光面から入光する光を前記出光面に導くと共に前記第２の入光面から入光する光を前記出光面に導くダイクロイックミラーが内部に形成された棒状レンズと、
前記所定方向に並ぶように配置され、前記第１の入光面に向けて第１の波長で光量が最大となる光であって拡がりながら進む光を各々照射する複数の第１光源と、
前記所定方向に並ぶように配置され、前記第２の入光面に向けて前記第１の波長より３０ｎｍ以上長い第２の波長で光量が最大となる光であって拡がりながら進む光を各々照射する複数の第２光源とを備え、
前記第１および第２の入光面は２つ共に前記所定方向に延びる凸レンズ面又は２つ共に前記所定方向に延びる凹レンズ面であり、
前記各入光面が凹レンズ面の場合、前記各光源はその光軸から４０°の照射角度範囲の光が前記各入光面に照射されるように配置されている照明装置。
【請求項２】
前記棒状レンズが前記所定方向に延びる第３の入光面を有すると共に、前記ダイクロイックミラーは前記第３の入光面から入光する光も前記出光面に導くものであり、
この照明装置は、前記所定方向に並ぶように配置され、前記第３の入光面に向けて前記第２の波長より３０ｎｍ以上長い第３の波長で光量が最大となる光であって拡がりながら進む光を各々照射する複数の第３光源をさらに備え、
前記第１、第２および第３の入光面は３つ共に前記所定方向に延びる凸レンズ面又は３つ共に前記所定方向に延びる凹レンズ面であり、
前記第３の入光面が凹レンズ面の場合、前記第３光源はその光軸から４０°の照射角度範囲の光が前記第３の入光面に照射されるように配置されている請求項１に記載の照明装置。
【請求項３】
所定方向に延びる棒状レンズであって、各々前記所定方向に延びる第１の入光面と、第２の入光面と、出光面とを有し、前記第１の入光面から入光する光を前記出光面に導くと共に前記第２の入光面から入光する光を前記出光面に導くダイクロイックミラーが内部に形成された棒状レンズと、
前記所定方向に並ぶように配置され、前記第１の入光面に向けて第１の波長で光量が最大となる光であって拡がりながら進む光を各々照射する複数の第１光源と、
前記所定方向に並ぶように配置され、前記第２の入光面に向けて前記第１の波長より３０ｎｍ以上長い第２の波長で光量が最大となる光であって拡がりながら進む光を各々照射する複数の第２光源とを備え、
前記各入光面は平面であり、前記出光面は前記所定方向に延びる凸レンズ面である照明装置。
【請求項４】
前記棒状レンズが前記所定方向に延びる平面である第３の入光面を有すると共に、前記ダイクロイックミラーは前記第３の入光面から入光する光も出光面に導くものであり、
この照明装置は、前記並設方向に並ぶように配置され、前記第３の入光面に向けて前記第２の波長より３０ｎｍ以上長い第３の波長で光量が最大となる光であって拡がりながら進む光を各々照射する複数の第３光源をさらに備えている請求項３に記載の照明装置。
【請求項５】
前記各光源の取付位置を前記対応する入光面に対し前記各光源の光軸と直交する方向に調整する取付位置調整手段をさらに有する請求項１〜４の何れかに記載の照明装置。
【請求項６】
前記出光面は凸レンズ面又は凹レンズ面である請求項１又は２に記載の照明装置。
【請求項７】
前記棒状レンズは照明装置本体に取付けられており、
前記棒状レンズの所定の位置には、前記Ｘ方向に延びる軸まわりの回転方向を位置決めする位置決め穴又は位置決め突起が形成され、
前記照明装置本体には前記位置決め穴又は前記位置決め突起に係合する係合部が形成されている請求項１〜６の何れかに記載の照明装置。
【請求項８】
前記棒状レンズは、前記第１の波長を含む第１の波長帯域において前記第１の入光面から前記出光面への第１光路透過率が８５％以上であると共に、前記第２の波長を含む第２の波長帯域において前記第２の入光面から前記出光面への第２光路透過率が８５％以上であり、
前記第１の波長帯域の上限波長と前記第２の波長帯域の下限波長とは１ｎｍ以上離れており、
前記第１の波長帯域の上限波長と該上限波長より１０ｎｍ長い波長との間で前記第１光路透過率が２５％以上低下し、および／又は、前記上限波長と該上限波長より３０ｎｍ長い波長との間で前記第１光路透過率が７０％以上低下し、
前記第２の波長帯域の下限波長と該下限波長より１０ｎｍ短い波長との間で前記第２光路透過率が２５％以上低下し、および／又は、前記下限波長と該下限波長より３０ｎｍ短い波長との間で前記第２光路透過率が７０％以上低下する請求項１〜７の何れかに記載の照明装置。
【請求項９】
前記棒状レンズは、前記第３の波長を含む第３の波長帯域において前記第３の入光面から前記出光面への第３光路透過率が８５％以上であり、
前記第２の波長帯域の上限波長と前記第３の波長帯域の下限波長とは１ｎｍ以上離れており、
前記第２の波長帯域の上限波長と該上限波長より１０ｎｍ長い波長との間で前記第２光路透過率が２５％以上低下し、および／又は、前記第２の波長帯域の前記上限波長と該上限波長より３０ｎｍ長い波長との間で前記第２光路透過率が７０％以上低下し、
前記第３の波長帯域の下限波長と該下限波長より１０ｎｍ短い波長との間で前記第３光路透過率が２５％以上低下し、および／又は、前記第３の波長帯域の下限波長と該下限波長より３０ｎｍ短い波長との間で前記第３光路透過率が７０％以上低下する請求項８に記載の照明装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、照明装置に関し、例えば各種検査や観察に用いる照明装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の照明装置として、Ｘ方向に並設された複数のＬＥＤと、各ＬＥＤからの光をＸ方向と直交するＹ方向に集光する棒状レンズとを備え、ライン状の照明位置を照明するものが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４４５７１００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年では、照明装置によって前記ライン状の照明位置を様々な色で照明し、これにより、検査精度や検査効率をより向上する試みが行われている。例えば、検査対象物を検査部位に応じて様々な色で照明する試みが行われている。また、検査対象物に応じて照射する光の色を変更することにより、１つの検査工程で検査できる検査対象物の種類が増える。
この試みを行う際に、検査スピードや検査精度の向上のため、前記ライン状の照明位置を各色で照明する際の光量を出来るだけ増やすことと、前記ライン状の照明位置を各色で均一に照明することを要求される場合が多い。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、供給光量を確保しながら各色による照明位置の均一性を向上することが可能な照明装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の態様に係る照明装置は、所定方向に延びる棒状レンズであって、各々前記所定方向に延びる第１の入光面、第２の入光面および出光面を有し、前記第１の入光面から入光する光を前記出光面に導くと共に前記第２の入光面から入光する光を前記出光面に導くダイクロイックミラーが内部に形成された棒状レンズと、前記所定方向に並ぶように配置され、前記第１の入光面に向けて第１の波長で光量が最大となる光であって拡がりながら進む光を各々照射する複数の第１光源と、前記所定方向に並ぶように配置され、前記第２の入光面に向けて前記第１の波長より３０ｎｍ以上長い第２の波長で光量が最大となる光であって拡がりながら進む光を各々照射する複数の第２光源とを備え、前記第１および第２の入光面は２つ共に前記所定方向に延びる凸レンズ面又は２つ共に前記所定方向に延びる凹レンズ面であり、前記各入光面が凹レンズ面の場合、前記各光源はその光軸から４０°の照射角度範囲の光が前記各入光面に照射されるように配置されている。
【０００７】
上記第１の態様では、第１および第２の入光面は各々凸レンズ面又は凹レンズ面であり、凹レンズ面の場合は、各光源の光軸から４０°の照射角度範囲の光が対応する入光面に入光するように配置されており、各光源とその対応する入光面（凹レンズ面）との距離は近い。このため、各光源からの拡がりながら進む光が各入光面によりＸ方向と直交する方向において各光源の光軸側に屈折し、その屈折した光が棒状レンズの出光面から出光する。このため、各光源からの拡がりながら進む光を照明位置に向かって効率良く導くことができる。
【０００８】
本発明の第２の態様に係る照明装置は、所定方向に延びる棒状レンズであって、各々前記所定方向に延びる第１の入光面と、第２の入光面と、出光面とを有し、前記第１の入光面から入光する光を前記出光面に導くと共に前記第２の入光面から入光する光を前記出光面に導くダイクロイックミラーが内部に形成された棒状レンズと、前記所定方向に並ぶように配置され、前記第１の入光面に向けて第１の波長で光量が最大となる光であって拡がりながら進む光を各々照射する複数の第１光源と、前記所定方向に並ぶように配置され、前記第２の入光面に向けて前記第１の波長より３０ｎｍ以上長い第２の波長で光量が最大となる光であって拡がりながら進む光を各々照射する複数の第２光源とを備え、前記各入光面は平面であり、前記出光面は前記所定方向に延びる凸レンズ面である。
【０００９】
上記第２の態様では、第１および第２の入光面は各々平面であり、棒状レンズを構成する材質の屈折率は例えば１．４、１．５等であるから、各光源からの拡がりながら進む光が各入光面によりＸ方向と直交する方向において各光源の光軸側に屈折する。また、出光面は前記所定方向に延びる凸レンズ面であることから、出光面によってＸ方向と直交する方向において光が光軸側により屈折する。このため、各光源からの拡がりながら進む光を照明位置に向かって効率良く導くことができる。
【００１０】
ここで、レンズはどのように精度良く製造しても、そのレンズ面には肉眼では確認できないような非常に小さな凹凸が有り、また、非常に小さなゆがみ等もある。これらは光源からの光を意図しない方向に屈折させる。このように一度意図しない方向に屈折した光は、次に通過するレンズでも方向修正することはできず、意図した所に到達しない光となる。また、光源からの光がレンズに入光する時、光の進行方向とレンズ面とのなす角度が９０°に近い場合（入射角が０°に近い場合）、屈折率が１．４等であるレンズから空気に出光する時の屈折は小さいが、入射角（レンズ内の光の進行方向と前記レンズ面垂線とのなす角度）が２０°等のように大きくなると、入射角と屈折角（レンズ外の光の進行方向と前記レンズ面垂線とのなす角度）との差が大きくなる（屈折が大きくなる）。このため、各光源と棒状レンズの各入光面との間に凸レンズや凹レンズを設け、当該凸レンズや凹レンズから出光した光が各入光面に入光するようにする場合、当該凸レンズや凹レンズの外周側では屈折が大きくなって、前述のように意図しない方向に屈折する場合が多い。上記のように意図しない方向に屈折する光は、通過するレンズ面の数を減らすことにより少なくすることができる。
上記第１および第２の態様では、各光源からの拡がって進む光を各光源の光軸側に屈折する役目を棒状レンズの各入光面や出光面が担っているので、棒状レンズの入光面の前に別途集光レンズを配置せずに、通過するレンズ面の数を減らすことが可能となる。
さらに、通過するレンズ面の数が多い場合、各光源について出光面から出光される光の位置を合わせるために、当該複数のレンズ面の位置をそれぞれ調整する必要がある。これに対し、通過するレンズ面の数を減らすことができるので、各光源からの光の位置と出光面から出光された光の位置とを容易に調整することができ、各色による照明位置の均一性を向上することが可能となる。
【００１１】
また、レンズはどのように透過率が良いものでも全ての波長帯域に亘って１００％の透過率を有するものはなく、通常のレンズは少なくとも数％の光の減衰を生じる。また、５００ｎｍ以下の短波長領域では光の減衰が大きくなる傾向があり、その減衰が１０％を超える場合もある。
上記第１および第２の態様では、各光源からの拡がって進む光を光軸側に屈折する役目を棒状レンズの各入光面や出光面が担っているので、棒状レンズの入光面の前に別途集光レンズを配置せずに、光量の減衰を極力防止することが可能になり、照明位置に導かられる光量の増加を図る上で有利である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、供給光量を確保しながら各色による照明位置の均一性を向上することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態に係る照明装置の概略構成図である。
【図２】前記照明装置の要部概斜視図である。
【図３】ＬＥＤ基板および第１光源の平面図である。
【図４】前記照明装置と検査工程の概略構成図である。
【図５】前記照明装置の調光回路および制御部の概略構成図である。
【図６】前記照明装置の棒状レンズの特性をあらわすグラフである。
【図７】前記照明装置の制御を示すタイムチャートである。
【図８】前記照明装置の光量指示情報の組合せデータの例である。
【図９】前記照明装置の処理タイミングデータの例である。
【図１０】前記実施形態の第１の変形例を示す光源の取付構造である。
【図１１】前記実施形態の第２の変形例を示す棒状レンズの左側面図および正面図である。
【図１２】前記実施形態の第３の変形例を示す棒状レンズの左側面図および正面図である。
【図１３】前記実施形態の第４の変形例を示す照明装置の要部概略構成図である。
【図１４】前記実施形態の第５の変形例を示す照明装置の要部概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の一実施形態に係る照明装置について図面を参照して以下に説明する。
この照明装置１は、図４に示すように、検査対象物をライン状に照明するものである。
この照明装置１は、図１〜図４に示すように、Ｘ方向に長手を有する装置本体１ａと、装置本体１ａ内に各々ヒートシンク２００、ＬＥＤ基板２０１等を介して取付けられた複数の第１光源１０、複数の第２光源２０、および複数の第３光源３０と、装置本体１ａ内にＸ方向に延びるように取付けられた棒状レンズ４０とを備える。各光源１０，２０，３０は例えば青色、緑色および赤色ＬＥＤであり、所定の照射角度範囲に放射状に拡がりながら進む光を照射する。ＬＥＤ基板２０１は各光源１０，２０，３０のそれぞれに複数ずつ設けられ、各光源１０，２０，３０のそれぞれについて複数のＬＥＤ基板２０１がＸ方向に並んでいる。各光源１０，２０，３０は、他端から光が供給される光ファイバーの一端であっても良い。この場合でも、光ファイバーの一端は放射状に拡がりながら進む光を照射する。各光源１０，２０，３０は拡がりながら進む光を照射するその他の光源であっても良い。各光源１０，２０，３０は対応するＬＥＤ基板２０１にＸ方向に並ぶように実装されている。各光源１０，２０，３０は場合によっては対応するＬＥＤ基板２０１に複数列に実装されていても良い。
【００１５】
棒状レンズ４０は、各々Ｘ方向に延びる第１の入光面４１、第２の入光面４２、第３の入光面４３、および出光面４４を有する。棒状レンズ４０は、ガラスやプラスチック等の透光性を有する材料から成る４つのレンズを結合したものである。各レンズは、互いに直交する２つの平面と、Ｘ方向に延びる凸曲面とを有する。複数の第１光源１０が第１の入光面４１に光を照射し、複数の第２光源２０が第２の入光面４２に光を照射し、複数の第３光源３０が第３の入光面４３に光を照射するよう配置されている。棒状レンズ４０は円柱形状を有し、このため、前記４つのレンズは、各々が円柱の中心線を通ると共に互いに直交する２つの平面で円柱を切断した形状を有する。
【００１６】
棒状レンズ４０は、第１の入光面４１からの光を界面４０ａで反射し、第３の入光面４３からの光を界面４０ｂで反射し、第２の入光面４２からの光を透過することにより、各入光面４１，４２，４３からの光を出光面４４から出光する。つまり、界面４０ａおよび界面４０ｂがダイクロイックミラーとして機能し、これが棒状レンズ４０内に形成されている。
本実施形態では、各入光面４１，４２，４３は凸レンズ面であり、出光面４４も凸レンズ面である。つまり、前記４つのレンズの凸曲面が各入光面４１，４２，４３および出光面４４である。
【００１７】
図１および図６に示すように、第１光源１０は４５５ｎｍ付近に光量のピークを有し、第２光源２０は５１０ｎｍ〜５４５ｎｍ付近になだらかな光量のピークを有し、第３光源３０は６２５ｎｍ付近に光量のピークを有する。
【００１８】
棒状レンズ４０は、その特性として、図６に示すように、第１の入光面４１から出光面４４への光の透過率である第１光路透過率と、第２の入光面４２から出光面４４への光の透過率である第２光路透過率と、第３の入光面４３から出光面４４への光の透過率である第３光路透過率とを有する。各光路透過率は光の波長により透過率が図６に示すように変化するものであり、第１光路透過率は第１の波長帯域（本実施形態では略４１５ｎｍ〜略４８５ｎｍ）でその透過率が８５％以上であり、第２光路透過率は第２の波長帯域（本実施形態では略５００ｎｍ〜略５８５ｎｍ）でその透過率が８５％以上であり、第３光路透過率は第３の波長帯域（本実施形態では略６１０ｎｍ〜略６８５ｎｍ）でその透過率が８５％以上である。
【００１９】
また、第１の波長帯域の上限波長と第２の波長帯域の下限波長とは２０ｎｍ以上離れており、第２の波長帯域の上下波長と第３の波長帯域の下限波長とは２５ｎｍ以上離れている。
さらに、第１の波長帯域の上限波長と該上限波長に１０ｎｍを加えた波長との間で第１光路透過率が３０％以上低下し、第１の波長帯域の上限波長と該上限波長に３０ｎｍを加えた波長との間で第１光路透過率が７０％以上低下している。
一方、第２の波長帯域の下限波長と該下限波長から１０ｎｍを減じた波長との間で第２光路透過率が３０％以上低下し、第２の波長帯域の下限波長と該下限波長から３０ｎｍを減じた波長との間で前記第２光路透過率が７０％以上低下している。
【００２０】
さらに、第２の波長帯域の上限波長と該上限波長に１０ｎｍを加えた波長との間で第２光路透過率が３０％以上低下し、第２の波長帯域の上限波長と該上限波長に３０ｎｍを加えた波長との間で第２光路透過率が７０％以上低下している。
また、第３の波長帯域の下限波長と該下限波長から１０ｎｍを減じた波長との間で第３光路透過率が３０％以上低下し、第３の波長帯域の下限波長と該下限波長から３０ｎｍを減じた波長との間で前記第３光路透過率が７０％以上低下している。
なお、第３の波長帯域の下限波長と該下限波長から１０ｎｍを減じた波長との間で、第３光路透過率が５０％程度まで下がった後もう一度５５％程度まで上昇しているが、一度５０％まで低下しているので、第３の波長帯域の下限波長と該下限波長から１０ｎｍを減じた波長との間で前記第３光路透過率は３５％低下していると言える。このように、最も透過率が低下している部分と比較し、上記の３０％以上、又は、７０％以上であるか否かを判断する。
【００２１】
なお、棒状レンズ４０の透過率は例えば周知の分光光度計を用いて確認することができる。分光光度計は、広帯域光（白色光等）の光源からフィルタ、プリズム、グレーティング（回折格子）等によって狭い波長帯域（数ｎｍ以下又は１ｎｍ以下の波長帯域）の光を短波長側又は長波長側から順次取り出し、取り出した光を試料（棒状レンズの入光面）に照射すると共に、各波長帯域の透過光を光半導体、光電子増倍管等の光学的なセンサで検出し、各波長帯域について透過前の光量と透過後の光量とを比較することにより、波長と透過率との関係を測定できる装置である。
【００２２】
例えば、日立ハイテクサイエンス社製や日立ハイテクノロジーズ（登録商標）社製の分光光度計（ＵＨ４１５０、Ｕ−３９００、Ｕ−３９００Ｈ、Ｕ−４１００等）を用いて上記の透過率を確認できる。
本実施形態の場合、棒状レンズ４０は円柱形状なので、レーザー光のような細い平行光が各入光面４１，４２，４３の周方向の中心から棒状レンズ４０内に入光し、出光面４４の周方向の中心から出光するように設定した上で、上記の透過率測定を行う。
【００２３】
一方、周知の分光放射照度計を用いて棒状レンズ４０の透過率を確認することも可能である。この場合、棒状レンズ４０の入光面に広帯域光（白色光等）を照射すると共に、出光面からの光について分光放射照度計を用いて波長と光量との関係を測定し、一方、棒状レンズ４０を通さない前記広帯域光についても分光放射照度計を用いて波長と光量との関係を測定し、両者を比較することにより、波長と透過率との関係を測定することができる。
【００２４】
図４のように、各光源１０，２０，３０の光量のピーク（４５５ｎｍ付近のピーク、５１０ｎｍ〜５４５ｎｍ付近のなだらかなピーク、６２５ｎｍ付近のピーク）は、それぞれ第１、第２および第３の波長帯域の中に入っている。
また、各光源１０，２０，３０の光量のピークの両側（長波長側および短波長側）の光量が低下する傾斜領域は、それぞれ第１、第２および第３の波長帯域の外側まで延びている。特に、第２光源２０の光量のスペクトルは、光量が９５％以上となる部分をピークとすると、そのピークは略３０ｎｍの幅を有し、光量が９０％以上となる部分をピークとすると、そのピークは略４８ｎｍの幅を有するなだらかなピークを有しているので、その傾斜領域は広範な範囲に亘って延びている。光量が９５％以上となる部分が２０ｎｍを超える幅を有する場合や、光量が９０％以上となる部分が２５ｎｍや３０ｎｍを超える幅を有する場合も、なだらかなピークを有するスペクトル特性であると言える。
【００２５】
ここで、第１および第２の波長帯域の上限波長より長波長側や、第２および第３の波長帯域の下限波長より短波長側は、各光路透過率が急激に低下する。このため、棒状レンズ４０の出光面４４に到達する各波長帯域外の波長の光の量は、各光路透過率が急激に低下する分だけ低下する。
【００２６】
一方、この照明装置１は、図１、図５、図７および図８に示すように、各光源１０，２０，３０にそれぞれ対応するように設けられ、各光源１０，２０，３０の光量を調整する調光回路１２，２２，３２と、各調光回路１２，２２，３２に制御信号を送信することにより各光源１０，２０，３０の光量を制御する制御部６０と、各調光回路１２，２２，３２に電源からの電力を供給する電力供給線４とを有する。
【００２７】
制御部６０は、図５に示すように、複数種類の外部信号を受付ける外部信号入力部６１ａと、各光源１０，２０，３０の光量指示情報の組合せを複数格納している格納部６１ｂと、ＣＰＵ等のプロセッサーである処理部６１ｃとを備えた点灯制御部６１と、点灯制御部６１からの信号に基づき各調光回路１２，２２，３２に調光信号を送信するＢ調光信号回路６２、Ｇ調光信号回路６３およびＲ調光信号回路６４とを有する。
【００２８】
点灯制御部６１は、外部信号入力部６１ａ、格納部６１ｂおよび処理部６１ｃを有する一体のＩＣやコンピュータであってもよく、前記３つを別体のＩＣやコンピュータとして有する装置であっても良い。また、外部信号入力部６１ａ、格納部６１ｂおよび処理部６１ｃのうち一部又は全部が装置本体１ａや、装置本体１ａに接続された制御ボックス３の外部に設けられていても良いし、全て装置本体１ａや制御ボックス３の内部に設けられていても良い。点灯制御部６１に入力部６１ｄや表示部６１ｅを設けることも可能である。さらに、点灯制御部６１の外部信号入力部６１ａ、格納部６１ｂおよび処理部６１ｃと各調光信号回路６２，６３，６４とを一つの装置や基板内に設けることも可能であり、図１の３つの基板１ｇ内に分割して配置することも可能である。図１の３つの基板１ｇを１つの基板とすることも可能であり、さらに多くの基板１ｇを設けることも可能である。
【００２９】
点灯制御部６１の外部信号入力部６１ａには、トリガー信号、点灯許可／禁止信号、および初期リセット信号が入力される。本実施形態では、トリガー信号および初期リセット信号は検査工程に配置されたセンサ７１からの信号である。センサ７１は外部信号入力部６１ａに接続されている。例えばこの検査工程では、ベルトコンベア７２上の検査対象物Ｗを照明装置１によって照明し、照明された位置でセンサやカメラ等のセンシング機器７３を使って検査用の検知又は撮像が行われる。このベルトコンベア７２にはドグと呼ばれるタイミング検知用部材７４が複数取付けられ、各タイミング検知用部材７４が光電センサ等のセンサ７１によって検知される。
【００３０】
検査対象物Ｗはタイミング検知用部材７４の位置に対応するようにベルトコンベア７２上に載置される。そして、ベルトコンベア７２が作動すると、センサ７１によって複数のタイミング検知用部材７４が順次検知され、その検知結果を外部信号入力部６１ａが受信する。本実施形態では、図４に示すように、検査対象物Ｗよりもベルトコンベア７２の進行方向前側に２つのタイミング検知用部材７４が取付けられ、検査対象物Ｗが配置された範囲に４つのタイミング検知用部材７４が取付けられている。
【００３１】
ベルトコンベア７２の進行方向前側の２つのタイミング検知用部材７４は互いに近接して取付けられており、このため、ベルトコンベアが作動するとセンサ７１は所定の時間内に２つのタイミング検知用部材７４を検知する。このように所定の時間内に生ずる２つの検出信号を本実施形態では初期リセット信号としている。他の信号を初期リセット信号としても良い。また、本実施形態では、外部信号入力部６１ａはベルトコンベア７２上に検査対象物Ｗが正常に載置されていることを確認するカメラおよび画像処理部を有する検査対象物確認部に接続され、ベルトコンベア７２に検査対象物Ｗが正常に載置されているか否かの信号を受付ける。具体的に、正常に載置されているとの信号を点灯許可信号として受付け、正常に載置されていないとの信号を点灯禁止信号として受付ける。外部信号入力部６１ａをベルトコンベア７２の制御部に接続し、ベルトコンベア７２が正常に作動しているとの情報を点灯許可信号として受付け、正常に作動していないとの情報を点灯禁止情報として受付けるよう構成することも可能である。
【００３２】
格納部６１ｂには、例えば図８のようなテーブルの形式やその他の形式により、各光源１０，２０，３０の光量指示情報の組合せを複数格納している。図８では、コード番号０００にＲ、Ｇ、Ｂ調光指示（第１光源、第２光源、第３光源）がそれぞれ０である光量指示情報の組合せが格納されている。つまり、３つの「０」がそれぞれ光量指示情報である。コード番号００１には、Ｒ調光指示が４、Ｇ調光指示が４、Ｂ調光指示が２である光量指示情報の組合せが格納されている。
【００３３】
格納部６１ｂ又は点灯制御部６１内のＲＡＭ等のメモリーには、図９に示すように、タイミング番号とコード番号とが対応している処理タイミングデータが格納されている。本実施形態では、表示部６１ｅに映し出される情報を見ながら、検査員が入力部６１ｄを操作して処理タイミングデータを設定することができるように構成されている。即ち、検査員は、タイミング番号の数の増減や、各タイミング番号に対応するコード番号を任意に変更することができる。
【００３４】
処理部６１ｃは、格納部６１ｂ又は点灯制御部６１内のメモリーに格納されたプログラムにより、処理タイミングデータに基づいて各調光信号回路６２，６３，６４にそれぞれ信号を送るように作動し、各調光信号回路６２，６３，６４は受付ける信号に応じた調光信号を各調光回路１２，２２，３２に送る。
本実施形態の処理部６１ｃの処理を図７を参照しながら説明する。先ず、ベルトコンベア７２に検査対象物Ｗが正常に載置されていることを示す点灯許可信号を外部信号入力部６１ａを介して受付け（ステップＳ１）、初期リセット信号を外部信号入力部６１ａを介して受付けると（ステップＳ２）、図９のタイミング番号１の光量指示情報に応じた信号を各調光信号回路６２，６３，６４に送る（ステップＳ３）。
【００３５】
続いて、次にセンサ７１からタイミング検知用部材７４を検知した検知信号（トリガー信号Ｔ１）を外部信号入力部６１ａを介して受付けると（ステップＳ４）、点灯トリガー信号を各調光信号回路６２，６３，６４に送ると共に（ステップＳ５）、タイミング番号２の光量指示情報に応じた信号を各調光信号回路６２，６３，６４に送る（ステップＳ６）。これにより、各光源１０，２０，３０がタイミング番号１の光量指示情報に応じた光量で所定時間だけ照射を行うように駆動される（図７のＡ１の状態になる）。ここで、ステップＳ５の前にステップＳ３で予め各調光信号回路６２，６３，６４がタイミング番号１の光量指示情報に応じた信号を受付けているので、ステップＳ５で点灯指示信号を受けた各調光信号回路６２，６３，６４は迅速且つ確実に各調光回路１２，２２，３２の駆動を行うことができ、検査の高速化を行う上で有利である。
【００３６】
続いて、次にセンサ７１からの検知信号（トリガー信号Ｔ２）を外部信号入力部６１ａを介して受付けると（ステップＳ７）、点灯トリガー信号を各調光信号回路６２，６３，６４に送ると共に（ステップＳ８）、タイミング番号３の光量指示情報に応じた信号を各調光信号回路６２，６３，６４に送る（ステップＳ９）。これにより、各光源１０，２０，３０がタイミング番号２の光量指示情報に応じた光量で所定時間だけ照射を行うように駆動される（図７のＡ２の状態になる）。
【００３７】
続いて、次にセンサ７１からの検知信号（トリガー信号Ｔ３）を外部信号入力部６１ａを介して受付けると（ステップＳ１０）、点灯トリガー信号を各調光信号回路６２，６３，６４に送ると共に（ステップＳ１１）、タイミング番号４の光量指示情報に応じた信号を各調光信号回路６２，６３，６４に送る（ステップＳ１２）。これにより、各光源１０，２０，３０がタイミング番号３の光量指示情報に応じた光量で所定時間だけ照射を行うように駆動される（図７のＡ３の状態になる）。
【００３８】
続いて、次にセンサ７１からの検知信号（トリガー信号Ｔ４）を外部信号入力部６１ａを介して受付けると（ステップＳ１３）、点灯トリガー信号を各調光信号回路６２，６３，６４に送る（ステップＳ１４）。これにより、各光源１０，２０，３０がタイミング番号４の光量指示情報に応じた光量で所定時間だけ照射を行うように駆動される（図７のＡ４の状態になる）。
【００３９】
続いて、再び初期リセット信号を外部信号入力部６１ａを介して受付けると（ステップＳ１５）、ステップＳ３〜ステップＳ１４を繰り返す（ステップＳ１６）。なお、処理部６１ｃは、ベルトコンベア７２に検査対象物Ｗが正常に載置されていないことを示す点灯禁止信号を受付けると、それ以降にトリガー信号を受付けても、各調光信号回路６２，６３，６４に点灯トリガー信号を送信しない。このため、検査対象物Ｗが正常に載置されていない状態での無用な点灯が防止される。
【００４０】
これにより、図４における検査対象物ＷのＤ１の位置は図７におけるＡ１の状態で照射され、Ｄ２の位置はＡ２の状態で照射され、Ｄ３の位置はＡ３の状態で照射され、Ｄ４の位置はＡ４の状態で照射される。このため、検査対象物ＷのＤ１、Ｄ２、Ｄ３およびＤ４の位置を異なる色の光で照明して検査することができる。
また、格納部６１ａに光量指示情報の組合せを複数格納できるので、検査工程において光の色や照射タイミングを設定する際に、その設定作業を容易に行うことができる。
【００４１】
本実施形態では、第１、第２および第３の入光面４１，４２，４３は各々凸レンズ面である。このため、各光源１０，２０，３０からの拡がりながら進む光が各入光面４１，４２，４３によりＸ方向と直交する方向において各光源１０，２０，３０の光軸側に屈折し、その屈折した光が棒状レンズ４０の出光面４４から出光する。このため、各光源からの拡がりながら進む光を所定の幅を有するライン状の照明位置に向かって効率良く導くことができる。なお、照明位置の幅が棒状レンズ４０の直径よりも大きいこともあるが、この場合でも照明位置はライン状であると言える。
なお、本実施形態では第１、第２および第３の入光面４１，４２，４３と、第１、第２および第３の光源１０，２０，３０を設けたが、第１、第２および第３の入光面４１，４２，４３のうち２つだけ設け、その２つに対応するように光源１０，２０，３０のうち２つを設けることも可能である。この場合でも前述と同様の作用効果を奏する。
【００４２】
また、本実施形態では、第１の波長帯域の上限波長と第２の波長帯域の下限波長とは２０ｎｍ以上離れている。また、第１の波長帯域の上限波長よりも第２の波長帯域側と、第２の波長帯域の下限波長よりも第１の波長帯域側のそれぞれで、第１および第２光路透過率が急激に低下する。このため、第１および第２の光源１０，２０の光量のスペクトルの傾斜領域が第１の波長帯域の上限波長と第２の波長帯域の下限波長との間に存在する状態で、第１および第２の光源１０，２０を片方又は両方点灯しても、第１の波長帯域の上限波長と第２の波長帯域の下限波長との間の中間位置に生ずる意図しない光量増の影響を低減することができる。
【００４３】
例えば、本実施形態のように第２光源２０の光量スペクトルがなだらかなピークを有し、第２の波長帯域の下限波長が第１の波長帯域の上限波長よりも短波長側に存在する場合や、第２の波長帯域の下限波長よりも短波長側で第２光路透過率が急激に低下しない場合は、第２光源２０だけを点灯しても青色又は青色に近い多くの光が棒状レンズ４０の出光面４４から出ることになる。又は、第１光源１０と第２光源２０の両方を点灯させた際に青色と緑色の中間位置の波長を有する光の量をコントロールすることが難しい、またはコントロールできない。これらの状況を本実施形態の構成は改善できる。
【００４４】
また、本実施形態では、第２の波長帯域の上限波長と第３の波長帯域の下限波長とは２５ｎｍ以上離れている。また、第２の波長帯域の上限波長よりも第３の波長帯域側と、第３の波長帯域の下限波長よりも第２の波長帯域側のそれぞれで、第２および第３光路透過率が急激に低下する。このため、第２および第３の光源２０，３０の光量のスペクトルの傾斜領域が第２の波長帯域の上限波長と第３の波長帯域の下限波長との間に存在する状態で、第２および第３の光源２０，３０を片方又は両方点灯しても、第１の波長帯域の上限波長と第２の波長帯域の下限波長との間の中間位置に生ずる意図しない光量増を効果的に低減することができる。
【００４５】
なお、第１の波長帯域の上限波長と第２の波長帯域の下限波長とが３ｎｍ以上等、確実に離れており、第２の波長帯域の上限波長と第３の波長帯域の下限波長とが３ｎｍ以上等、確実に離れていれば、上記と同様の作用効果を奏することが可能である。
また、本実施形態では、透過率が８５％以上の範囲を第１、第２および第３波長帯域としたが、棒状レンズ４０の透過特性が優れている場合、透過率が９０％以上の範囲を第１、第２および第３波長帯域とすることも可能である。この場合でも、第１の波長帯域の上限波長と第２の波長帯域の下限波長とが３ｎｍ以上等、確実に離れており、第２の波長帯域の上限波長と第３の波長帯域の下限波長とが３ｎｍ以上等、確実に離れていれば、上記と同様の作用効果を奏し得る。
一方、棒状レンズ４０の透過特性が劣っている場合、透過率が７５％以上の範囲を第１、第２および第３波長帯域とすることも可能である。この場合でも、第１の波長帯域の上限波長と第２の波長帯域の下限波長とが３ｎｍ以上等、確実に離れており、第２の波長帯域の上限波長と第３の波長帯域の下限波長とが３ｎｍ以上等、確実に離れていれば、上記と同様の作用効果を奏し得る。
さらに言えば、第１の波長帯域の上限波長よりも第２の波長帯域の下限波長の方が長波長であり、第２の波長帯域の上限波長よりも第３の波長帯域の下限波長の方が長波長であり、前記の光路透過率の急激な低下があれば、上記と同様の作用効果を達成する可能性がある。
一方、第１の波長帯域の上限波長と第２の波長帯域の下限波長とが４０ｎｍ以下の範囲にあり、第２の波長帯域の上限波長と第３の波長帯域の下限波長とが４０ｎｍ以下の範囲にあれば、互いにピーク波長が近い光の一方又は両方を照射する制御を行い、これにより例えば光の色に敏感な検査対象物の検査を効果的に行うことも可能になる。
【００４６】
また、本実施形態では、第１、第２および第３の波長帯域の上限波長又は下限波長から１０ｎｍの範囲で第１、第２又は第３の光路透過率が３０％以上低下する条件（条件１）や、第１、第２および第３の波長帯域の上限波長又は下限波長から３０ｎｍの範囲で第１、第２又は第３の光路透過率が７０％以上低下する条件（条件２）を示した。これに対し、（条件１）のみを満たしている場合や、（条件２）のみを満たしている場合でも、使用するＬＥＤ１１，２１，３１の光量スペクトルの特性にもよるが、上記と同様の作用効果を達成することが可能である。
一方、第１、第２および第３の波長帯域の上限波長又は下限波長から１０ｎｍの範囲で第１、第２又は第３の光路透過率が２０％以上低下する場合でも、上記と同様の作用効果を達成することが可能である。
【００４７】
なお、第１の波長帯域の上限波長よりも第２の波長帯域の下限波長の方が短波長であり、第２の波長帯域の上限波長よりも第３の波長帯域の下限波長の方が短波長であり、前記の光路透過率の急激な低下が無い場合でも、各光源１０，２０，３０からの拡がりながら進む光が各入光面４１，４２，４３によりＸ方向と直交する方向において各光源１０，２０，３０の光軸側に屈折するので、各光源１０，２０，３０からの拡がりながら進む光を所定の幅を有するライン状の照明位置に向かって効率良く導くことができる。
【００４８】
なお、第３光源３０を設けずに、第１光源１０および第２光源２０だけを使った照明装置１とすることも可能である。又は、第１光源１０を設けずに、第２光源２０および第３光源３０だけを使った照明装置１とすることも可能であり、この場合は図６の第２の波長帯域と第２光路透過率がそれぞれ第１の波長帯域と第１光路透過率になり、第３の波長帯域と第３光路透過率がそれぞれ第２の波長帯域と第２１光路透過率になる。さらに、第１、第２、および第３の光源１０，２０，３０の何れか又は全部を紫外光や赤外光を出す光源とすることも可能である。
【００４９】
なお、本実施形態において、各光源１０，２０，３０と各入光面４１，４２，４３との間や、出光面４４と照明位置との間に、光を主にＸ方向に拡散する拡散レンズや、光をＸ方向およびＸ方向と直交する方向に拡散する拡散レンズを配置することも可能である。この場合、照明位置の光の均一性をより向上することが可能である。
【００５０】
また、本実施形態では、各光源１０，２０，３０からの光が棒状レンズ４０の各入光面４１，４２，４３に直接入光する構成なので、出光面４４における各光源１０，２０，３０からの光の光軸をＸ方向と直交する方向に互いに合わせ易い。この構成も照明位置の光の均一性を向上させる上で有利である。
【００５１】
上記実施形態において、図１０に示すように、各光源１０，２０，３０の取付位置を対応する入光面４１，４２，４３に対し各光源１０，２０，３０の光軸と直交する方向であってＸ方向にも直交する方向に調整可能に構成することも可能である。例えば、光源１０について説明する。この取付位置を調整するための構造は、装置本体１ａに固定されたヒートシンク２００と、ヒートシンク２００に複数のねじ２０１ａによって固定されたＬＥＤ基板２０１とを備え、ＬＥＤ基板２０１に複数の第１光源１０が実装されている。本実施形態では、ＬＥＤ基板２０１においてねじ２０１ａが挿通する孔の内径は、ＬＥＤ基板２０１のヒートシンク２００への取付位置を調整できるように、ねじ２０１ａのねじ部外径より例えば０．８ｍｍ程度大きい。ヒートシンク２００は単なるベースであっても良い。また、図中でヒートシンク２００の厚さはそれほど大きくないが、要求される放熱機能に合わせてヒートシンク２００の厚さや構造を変更することは可能である。ヒートシンク２００にはベアリング２０２が固定され、ベアリング２０２により調整ボルト２０３がその軸方向に移動しないように、且つ、回転可能に支持されている。図１０において紙面左右方向が光軸と直交し且つＸ方向と直交する方向である。ＬＥＤ基板２０１における第１光源１０の実装面と反対の面には円柱を略半分にした断面形状を有する溝２０１ｂが形成され、その溝２０１ｂには雌ねじが形成されている。一方、ヒートシンク２００にも溝２０１ｂに対応した位置に円柱を略半分にした断面形状を有する溝２００ａが設けられている。調整ボルト２０３は溝２００ａ内に配置されると共に、溝２０１ｂの雌ねじに螺合している。基板２０１がヒートシンク２００に軽く押付けられるように各ねじ２０１ａを調整した状態で、調整ボルト２０３を回転させると、基板２０１および第１光源１０のＸ方向の位置が調整される。調整が完了したら、各ねじ２０１ａを締めて基板２０１をヒートシンク２００に固定する。
【００５２】
図１０において紙面に垂直な方向であるＸ方向に延びるＸ方向調整ボルトを設けることも可能である。この場合、Ｘ方向調整ボルトも調整ボルト２０３と同様にヒートシンク２００に固定されたベアリングにＸ方向に移動しないように、且つ、回転可能に支持される。また、Ｘ方向調整ボルトも基板２０１に形成された溝の雌ねじに螺合している。このため、Ｘ方向にも基板２０１および第１光源１０の位置を調整できる。
【００５３】
さらに、基板２０１の位置を各光源１０，２０，３０の光軸方向に調整可能に構成することもできる。例えば、ヒートシンク２００は装置本体１ａには固定されず、装置本体１ａに固定されたフレームに複数のねじによって固定される。この場合、前記複数のねじを緩めるとともに、ヒートシンク２００のフレームに対する位置を調整することにより、基板２０１の位置を各光源１０，２０，３０の光軸方向に調整することができる。
【００５４】
ここで、棒状レンズ４０と各光源１０，２０，３０との間には凸レンズ、凹レンズ等のレンズが設けられていない。このため、光源１０，２０，３０の取付位置を対応する入光面４１，４２，４３に対し光源１０，２０，３０の光軸と直交する方向に調整可能に構成すると、各光源１０，２０，３０について出光面から出光される光の位置をＸ方向と直交する方向に合わせることができる。これは、供給光量を確保しながら、ライン状の照明位置の光の量のばらつきを低減する上で極めて有利である。
【００５５】
また、光源１０，２０，３０の取付位置を対応する入光面４１，４２，４３に対し光源１０，２０，３０の光軸方向に調整可能に構成すると、各光源１０，２０，３０について、出光面４４において光を出す範囲、出光される光の進む方向等を調整することができる。これは、供給光量を確保しながら、ライン状の照明位置の光の量のばらつきを低減する上で極めて有利である。
【００５６】
また、出光面４４が凸レンズ面であることから、棒状レンズ４０と各光源１０，２０，３０との間に凸レンズ、凹レンズ等のレンズが設けられていなくても、出光面４４からの光を平行光または光軸に向かって集光する光とすることもできる。
尚、各入光面４１，４２，４３の形状や、出光面４４から出た光をどの方向に進ませるかに応じて、出光面４４をＸ方向に延びる凹レンズ面や平面とすることも可能である。
【００５７】
本実施形態において、Ｘ方向に延びる軸まわりの回転方向を位置決めするための位置決め穴又は位置決め突起を棒状レンズ４０に設けることも可能である。例えば、図１１に示すように、棒状レンズ４０の端において４つのレンズの内側端が接触又は近接する位置にＸ方向に延びる長穴形状の位置決め穴４０ｃを設けることができる。
この場合、装置本体１ａには当該位置決め穴又は位置決め突起に係合する係合部が設けられ、例えば、位置決め穴４０ｃに係合する突起が前記係合部として設けられる。
棒状レンズ４０の回転方向の位置は、各入光面４１，４２，４３と各光源１０，２０，３０との位置決めや、出光面４４からの光の進む方向の設定に重要である。上記のように構成すると、棒状レンズ４０を回転方向に容易且つ確実に位置決めできるので、各入光面４１，４２，４３と各光源１０，２０，３０との位置決めや、出光面４４からの光の進む方向の設定精度を向上する上で有利である。
【００５８】
なお、図１２に示すように、棒状レンズ４０を構成する４つのレンズのうち２つのレンズを他の２つのレンズよりもＺ方向に突出させることも可能である。この突出は前記位置決め突起として機能し、装置本体１ａに当該突起に係合する係合部を設けると、上記の位置決め穴４０ｃおよびそれに係合する係合部と同様の作用効果を奏する。
【００５９】
上記実施形態において、図１３に示すように、棒状レンズ４０の各入光面４１，４２，４３を平面とすることも可能である。この場合、棒状レンズ４０を構成する材質の屈折率は例えば１．３、１．４、１．５、１．６等であるから、各光源１０，２０，３０からの拡がりながら進む光が各入光面４１，４２，４３により各光源１０，２０，３０の光軸側に屈折する。また、出光面４４はＸ方向に延びる凸レンズ面であることから、出光面４４によって光が光軸側により屈折する。このため、各光源１０，２０，３０からの拡がりながら進む光をライン状の照明位置に向かって効率良く導くことができる。
【００６０】
ここで、光源からの光がレンズに入光する時、光の進行方向とレンズ面とのなす角度が９０°に近い場合（入射角が０°に近い場合）、屈折率が１．３以上であるレンズに入光する際の屈折は小さいが、入射角（レンズ外の光の進行方向と前記レンズ面垂線とのなす角度）が２０°等のように大きくなると、入射角と屈折角（レンズ内の光の進行方向と前記レンズ面垂線とのなす角度）との差が大きくなり（屈折が大きくなり）、その差は入射角が大きくなる程顕著になる。
各入光面４１，４２，４３を平面にすると、各入光面４１，４２，４３を凸面にする場合と比較し、各入光面４１，４２，４３において各光源１０，２０，３０の光軸から離れた位置における入射角が小さくなる。このため、各入光面４１，４２，４３において各光源１０，２０，３０の光軸から離れた位置における光の進行方向をコントロールし易く、これは供給光量を確保する上で有利である。
【００６１】
また、上記実施形態において、図１４に示すように、棒状レンズ４０の各入光面４１，４２，４３を凹面とすることも可能である。この場合、各光源１０，２０，３０は、その光軸から４０°の照射角度範囲の光、またはそれ以上の照射角度範囲の光が各入光面４１，４２，４３に照射されるように配置される。
このように、各光源１０，２０，３０とその対応する入光面（凹レンズ面）との距離は近いので、各光源１０，２０，３０からの拡がりながら進む光が各入光面４１，４２，４３によりＸ方向と直交する方向において各光源１０，２０，３０の光軸側に屈折し、その屈折した光が棒状レンズ４０の出光面４４から出光する。この場合、出光面４４を凹面とすることも可能である。
【００６２】
また、上記実施形態において、各第２光源２０のＸ方向配置位置を各第１光源１０のＸ方向配置位置に対しずらし、各第３光源３０のＸ方向配置位置を各第１および第２光源１０，２０のＸ方向配置位置に対しずらすことも可能である。この場合、全ての光源１０，２０，３０から光を照射した際に、照明位置に全ての光源１０，２０，３０の光が混ざった光（白色光等）が照射され、Ｘ方向における光量のむらが低減する。
一方、各第１光源１０のＸ方向配置位置が各第２および第３光源２０，３０のＸ方向配置位置と一致している場合でも、全ての光源１０，２０，３０から光を照射すると、照明位置に全ての光源１０，２０，３０の光が混ざった光（白色光等）を照射することができる。つまり、検査対象物を検査する光の色に制約が無く、強い光が求められる場合、照明位置を全ての光源１０，２０，３０の色が混ざった強い光で照明することができる。
【００６３】
上記実施形態では、Ｘ方向に延びる直前状の棒状レンズ４０と、それぞれＸ方向に並設された複数の第１光源１０、第２光源２０、および第３光源３０を有する照明装置を示した。
これに対し、棒状レンズ４０を周方向に延設して環状にすると共に、複数の第１光源１０、第２光源２０、および第３光源３０を環状に延びる棒状レンズ４０の延設方向に並ぶように配置することも可能である。この場合であっても、棒状レンズ４０は所定方向に延び、複数の第１光源１０、第２光源２０、および第３光源３０は当該所定方向に並んでいると言える。
【００６４】
なお、このように環状に形成した照明装置の照明位置は環形状になる場合もあり、円形状になる場合もある。
また、上記照明装置により顕微鏡等による試料観察位置を照明することも可能である。
【００６５】
上記各実施形態において、各光源１０，２０，３０として紫外線又は赤外線を照射するＬＥＤを用いることも可能である。この場合でも、各光源１０，２０，３０の光量が最大となる波長が互いに３０ｎｍ以上異なっていれば、上記と同様の作用効果を奏する。
また、上記各実施形態において、界面４０ａと界面４０ｂが直交するダイクロイックミラーではなく、その他の形状のダイクロイックミラーを用いることも可能であり、この場合でも上記と同様の作用効果を奏し得る。
また、各実施形態において、制御ボックス３に設けられた第１ボリュームつまみ１ｄ、第２ボリュームつまみ１ｅおよび第３ボリュームつまみ１ｆにより、第１、第２および第３光源１０，２０，３０の光量をそれぞれ手動で調整することも可能である。
【符号の説明】
【００６６】
１…照明装置、３…制御ボックス、４…電力供給線、１０…第１光源、２０…第２光源、３０…第３光源、４０…棒状レンズ、４０ａ…界面、４０ｂ…界面、４１…第１の入光面、４２…第２の入光面、４３…第３の入光面、４４…出光面、６０…制御部、６１…点灯制御部、６１ａ…外部信号入力部、６１ｂ…格納部、６１ｃ…処理部、６２…Ｂ調光信号回路、６３…Ｇ調光信号回路、６４…Ｒ調光信号回路
【図１】
2017049111.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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