(57)【要約】      （修正有）【課題】簡単な構成により効率良く光回路モジュールが製造可能な光回路及び光回路の調心方法を提供する。【解決手段】光回路１０１Ａは、基板と、第１ポート、第３ポート、第４ポートを備え、第１の状態の時は第１ポートを第４ポートに接続し、第２の状態の時は第１ポートを第３ポートに接続する光スイッチ１２１ａと、第１ポートから基板の所定の端部に達する第１光導波路１０７ｂと、第３ポートから所定の端部に達する第３光導波路１１３と、第４ポートから所定の端部に達する第４光導波路１０９と、を備え、第１ポートと外部の被接続部品との調心時に、光スイッチは第１の状態に設定され、第１光導波路に調心用の光信号が入力される。【選択図】図１５
2017053886.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
少なくとも第１ポート、第３ポート、第４ポートを備え、第１の状態の時は第１ポートを第４ポートに接続し、第２の状態の時は第１ポートを第３ポートに接続する光スイッチと、
前記第１ポートから前記基板の所定の端部に達する第１光導波路と、
前記第３ポートから前記所定の端部に達する第３光導波路と、
前記第４ポートから前記所定の端部に達する第４光導波路と、
を備え、
前記第１ポートと外部の被接続部品との調心時に、前記光スイッチは前記第１の状態に設定され、前記第１光導波路に調心用の光信号が入力されることを特徴とする光回路。
【請求項２】
前記光スイッチはさらに第２ポートを備え、前記第１の状態の時は前記第１ポートを前記第４ポートに接続するとともに前記第２ポートを前記第３ポートに接続し、前記第２の状態の時は前記第１ポートを前記第３ポートに接続するとともに前記第２ポートを前記第４ポートに接続し、
前記第２ポートから前記所定の端部に達する第２光導波路をさらに備える、
請求項１に記載された光回路。
【請求項３】
前記光スイッチは内部に２つの光路及び一方の前記光路の近傍に配置された駆動部を備え、前記駆動部に対する熱源投入、電圧印加及びキャリア注入のいずれか１つにより、前記第１の状態から前記第２の状態へ変化する、請求項１又は２に記載された光回路。
【請求項４】
前記第３ポートと前記所定の端部との間に１×２光スイッチが縦続接続された、請求項１乃至３のいずれかに記載された光回路。
【請求項５】
前記光スイッチが並列に配置され、
前記並列に配置された各々の光スイッチの少なくとも１つのポートは前記所定の端部に接続され、
前記並列に配置された前記光スイッチが、他の光スイッチによって接続されている、請求項１乃至４のいずれかに記載された光回路。
【請求項６】
前記並列に配置された前記光スイッチと前記所定の端部との間に、前記第１の状態の時は光信号の透過を阻止し、前記第２の状態の時には光信号を透過させる１×１光スイッチを備える、請求項５に記載された光回路。
【請求項７】
前記並列に配置された前記光スイッチと前記所定の端部との間に配置された複数の光スプリッタをさらに備え、
前記光スイッチの前記所定の端部の側のポートは、それぞれ異なる前記光スプリッタの分岐側のポートに接続されている、請求項５又は６に記載された光回路。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれかに記載された光回路に、前記光回路の前記第１乃至第３光導波路とそれぞれ接続される光ファイバアレイを備えた前記被接続部品が調心されて固定された、光回路モジュール。
【請求項９】
請求項１乃至７のいずれかに記載された光回路と、
前記光回路の前記第１乃至第３光導波路とそれぞれ接続される光ファイバアレイを備えた前記被接続部品と、
前記所定の端部において前記第４光導波路から出射された調心用の光信号の強度を計測する測定手段と、
を備え、
前記光回路と前記被接続部品との調心時に、前記光スイッチは前記第１の状態に設定され、前記被接続部品は前記第１の状態において前記第４光導波路と接続された光導波路に前記調心用の光信号を入力することを特徴とする調心システム。
【請求項１０】
第１の状態の時は第１ポートを第４ポートに接続し、第２の状態の時は第１ポートを第３ポートに接続する光スイッチを備えた光回路の基板の所定の端部に被接続部品を近づけ、
前記第１の状態において、
前記第１ポートから前記所定の端部に達する第１導波路から光信号を入力し、
前記第４ポートから前記所定の端部に達する第４導波路から出力される光信号の強度を計測し、
前記計測した強度が最大となる位置を調心位置とする、
光回路の調心方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光回路及び光回路の調心方法に関し、特に、光通信システムや装置間光接続システムで用いられる光回路及び光回路の調心方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の光ファイバ通信システムでは、光送信器から光受信器までの光信号パスは、多数の光ファイバ伝送路と多数の波長チャンネルの中から選択されて設定される。光信号パスの設定を柔軟かつ効率的に行うために、光スイッチを備えた光回路が用いられる。光スイッチを備える光回路の機能は、光導波路を用いて実現できる。光回路を実現するための光導波路としては、石英光導波路及びシリコン光導波路が知られている。石英光導波路では、コア及びクラッドに石英が用いられる。シリコン光導波路では、コアがシリコンで形成され、クラッドが石英で形成される。その結果、シリコン光導波路ではコアとクラッドとの屈折率差を増大させることができる。
【０００３】
多数の光信号の経路を切り替えるために、光スイッチを含む光回路に多数の光ファイバが接続された光回路モジュールが用いられる。光回路モジュールのサイズ、特性、コストは、光回路と光ファイバとの接続部分のサイズ、特性、工程に大きく依存する。
【０００４】
光導波路で作製された光回路に多数の光ファイバを接続するために、光ファイバアレイが用いられることがある。例えば、複数の光ファイバの端面がガラスブロックの同一面上に固定されて光ファイバアレイが構成される。光ファイバアレイを光回路の端面に接着することで、光ファイバアレイの光ファイバと光回路の光導波路とが光学的に接続される。接続部での光損失を低減するために、光回路と光ファイバアレイとの間で調心（光軸調整）を行われた後にこれらが固定される。光回路モジュールを小型化する、あるいは、調心工程を最小限の回数で済ませる、という観点からは、光ファイバアレイを光回路の１か所のみの端面で接続することが望ましい。
【０００５】
光ファイバアレイを光回路の端面に接着及び固定する調心工程では、調心用の光信号を光ファイバアレイから光回路へ、あるいは、光回路から光ファイバアレイへ通過させてその間の損失が計測される。そして、調心用の光信号の損失が最小となるよう光ファイバアレイと光回路の相対位置が調整される。調心用の光信号の経路には、主経路、主経路の一部あるいは主経路とは別に備えられた調心用の光信号の経路を用いることができる。
【０００６】
ここで、主経路とは、光ファイバアレイが接続されて光回路がモジュール化された後、光ファイバ伝送路を通して入出力される光信号の経路を指す。光回路の１か所の端面のみに光ファイバアレイが接続される構造のモジュールでは、主経路に入る光及び主経路から出る光は、同一の光ファイバアレイを通る。しかし、一つの調心用の光信号で入力側の経路と出力側の経路との両方の光軸を同時に調心するのは難しい。
【０００７】
本願発明に関連して、特許文献１〜４には、光回路に光ファイバアレイを接続してモジュール化する技術が開示されている。
【０００８】
特許文献１には、調心用光導波路を用いて光回路と光ファイバアレイとの調心を行った後、光回路を移動させて光回路と光ファイバアレイとを固定する技術が開示されている。
【０００９】
特許文献２には、光回路コア部とは別に調心用光信号経路を設けた例が開示されている。
【００１０】
特許文献３には、アレイ導波路回折格子を通過する特定の波長の光を別の端面に導く光導波路を用いて調心作業を行う技術が開示されている。
【００１１】
特許文献４には、光回路の一部を含む調心用光信号経路を設け、調心用光導波路は光ファイバアレイが接続される端面とは異なる端面に調心用光信号を導く技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００４−００４９０７号公報
【特許文献２】特開平１０−２２７９３６号公報
【特許文献３】特開２０００−２９２６３６号公報
【特許文献４】ＷＯ２０１３／１１１５６２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
特許文献１の技術では、光ファイバアレイと調心用光導波路との調心を行った後、光回路を移動させて光ファイバアレイと接着及び固定する。この場合、光回路の移動によって光ファイバアレイと光回路との相対位置が最適位置からずれてしまう可能性があり、接続精度が低下する恐れがある。さらに、光回路を高精度に移動させるための設備を用意する必要がある。
【００１４】
特許文献２の技術では、光信号の伝送に必要な本数よりも多い光ファイバを光ファイバアレイが持つ必要があり、光ファイバアレイのコストやサイズが増大する。
【００１５】
特許文献３の技術では、調心用に特定の波長の光源が必要となる。また、複数の端面に対して研磨あるいは無反射化のための成膜を施す必要があり、光回路の製造工程が増加する。
【００１６】
特許文献４の技術では、複数の端面に対して研磨あるいは無反射化のための成膜を施す必要があり、光回路製造工程が増加する。
【００１７】
本発明の目的は、簡単な構成により効率良く光回路モジュールが製造可能な光回路及び光回路の調心方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明の光回路は、基板と、第１ポート、第３ポート、第４ポートを備え、第１の状態の時は第１ポートを第４ポートに接続し、第２の状態の時は第１ポートを第３ポートに接続する光スイッチと、前記第１ポートから前記基板の所定の端部に達する第１光導波路と、前記第３ポートから前記所定の端部に達する第３光導波路と、前記第４ポートから前記所定の端部に達する第４光導波路と、を備え、前記第１ポートと外部の被接続部品との調心時に、前記光スイッチは前記第１の状態に設定され、前記第１光導波路に調心用の光信号が入力されることを特徴とする。
【００１９】
本発明の光回路の調心方法は、第１の状態の時は第１ポートを第４ポートに接続し、第２の状態の時は第１ポートを第３ポートに接続する光スイッチを備えた光回路の基板の所定の端部に被接続部品を近づけ、前記第１の状態において、前記第１ポートから前記所定の端部に達する第１導波路から光信号を入力し、前記第４ポートから前記所定の端部に達する第４導波路から出力される光信号の強度を計測し、前記計測した強度が最大となる位置を調心位置とする、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明は、簡単な構成により効率良く光回路モジュールが製造可能な光回路及び光回路調心方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】第１の実施形態の光回路モジュールの構成例を示す図である。
【図２】２×２型光スイッチの斜視図の例である。
【図３】ヒータに通電した場合の２×２型光スイッチの光伝搬経路の例を説明する図である。
【図４】ヒータに通電しない場合の２×２型光スイッチの光伝搬経路の例を説明する図である。
【図５】１×２型光スイッチの斜視図の例である。
【図６】ヒータに通電した場合の１×２型光スイッチの光伝搬経路の例を説明する図である。
【図７】ヒータに通電しない場合の１×２型光スイッチの光伝搬経路の例を説明する図である。
【図８】光回路と光ファイバアレイとの調心手順の例を示すフローチャートである。
【図９】第２の実施形態の光回路モジュールの構成例を示す図である。
【図１０】１×１型光スイッチの斜視図の例である。
【図１１】ヒータに通電した場合の１×１型光スイッチの光伝搬の例を説明する図である。
【図１２】ヒータに通電しない場合の１×１型光スイッチの光伝搬の例を説明する図である。
【図１３】第３の実施形態の光回路モジュールの構成例を示す図である。
【図１４】第４の実施形態の光回路モジュールの構成例を示す図である。
【図１５】第１の実施形態の変形例を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態について説明する。図１は、第１の実施形態の光回路モジュール１の構成例を示す図である。図１は、光回路モジュール１では光回路１０１が光ファイバアレイ１０２と接続されていることを示す。本実施形態において、光回路１０１は１×８光スイッチである。
【００２３】
図１において、光回路１０１は、光スイッチ１２１ａ〜１２１ｄ、１２２ａ、１２２ｂ、１２３、光導波路１０７ａ〜１０７ｈを備える。光スイッチ１２１ａ、１２１ｄは２×２型光スイッチであり、光スイッチ１２１ｂ、１２１ｃ、１２２ａ、１２２ｂ、１２３は１×２型光スイッチである。光回路１０１は、さらに、光導波路１０８、１１１ａ〜１１１ｄ、１１２ａ〜１１２ｂ、１０９、１１０を備える。光導波路１１１ａ〜１１１ｄ、１１２ａ、１１２ｂは、光スイッチ１２１ａ〜１２１ｄ、１２２ａ、１２２ｂ、１２３の間を図１に示すように接続する。光導波路１０９、１１０は光回路１０１と光ファイバアレイとの調心（光軸調整）に用いられる。光回路１０１の光スイッチ及び光導波路は、光回路基板１０３上に形成される。それぞれの光導波路は、シリコンで形成されたコアと、石英で形成されたクラッドとを備える。光回路１０１の端面１０４には、研磨及び無反射化のための成膜が施される。また、光導波路１０９、１１０は、それぞれ、光スイッチ１２１ａ、１２１ｄから端面１０４に達している。
【００２４】
例えば、光導波路１０７ａ〜１０７ｈは光ファイバアレイ１０２から光が入力される入力光導波路であり、光導波路１０８は光ファイバアレイ１０２へ光を出力する出力光導波路である。光回路１０１は、光導波路１０７ａ〜１０７ｈに入力された光から選択された光が、光導波路１０８から光ファイバアレイ１０２へ出力されるように動作してもよい。
【００２５】
光ファイバアレイ１０２は、ガラスブロック１０５及び光ファイバ１０６（１０６ａ〜１０６ｉ）を備える。ガラスブロック１０５は、光ファイバ１０６ａ〜１０６ｉを保持する。光ファイバアレイ１０２は、光回路１０１の端面１０４の側に配置される。
【００２６】
端面１０４において光導波路１０７ａ〜１０７ｄ、１０８、１０７ｅ〜１０７ｈは、光ファイバアレイ１０２を端面１０４に突き当てて調心することで、それぞれ、光ファイバ１０６ａ〜１０６ｉと光学的に結合するように配置される。典型的には、光導波路１０７ａ〜１０７ｄ、１０８、１０７ｅ〜１０７ｈは端面１０４において同一の間隔Ｄで一直線上に配置される。この場合、光ファイバ１０６ａ〜１０６ｉも、光ファイバアレイ１０２の端面において間隔Ｄで一直線上に配置される。
【００２７】
次に、光スイッチ１２１ａ〜１２１ｄ、１２２ａ、１２２ｂ、１２３について説明する。本実施形態では、これらの光スイッチとして、マッハ・ツェンダ型光スイッチ素子が用いられる。マッハ・ツェンダ型光スイッチ素子は、２本のアームの光路差で生じる干渉を制御することで光信号の出射方向を切り替える。アームの光路差は、例えば、ヒータを用いて制御される。
【００２８】
図２は、２×２型光スイッチの斜視図の例である。図２に示される２×２型光スイッチは、図１の光スイッチ１２１ａ及び１２１ｄに対応する。シリコン基板５０１上に、シリコンを用いてコア５０２を形成し、石英を用いてクラッド５０３を形成することにより光導波路が形成される。２×２型光スイッチの一端に２つのポート５１１、５１２が設けられ、他端に２つのポート５１３、５１４が設けられる。
【００２９】
図１の光スイッチ１２１ａに関しては、図２のポート５１３が図１の光導波路１０７ａに接続され、ポート５１４が光導波路１０７ｂに接続される。一方、ポート５１１は図１の光導波路１０９に接続され、ポート５１２は光導波路１１１ａに接続される。
【００３０】
また、光スイッチ１２１ｄに関しては、図２のポート５１４が図１の光導波路１０７ｈに接続され、ポート５１３が光導波路１０７ｇに接続される。一方、ポート５１２は図１の光導波路１１０に接続され、ポート５１１は光導波路１１１ｄに接続される。
【００３１】
ポート５１３及び５１４から入力された光信号は、一旦合流した後２本のアームへ分岐される。それぞれのアームを通過した光信号は再び合流して干渉し、干渉した光信号がポート５１１及び５１２へ出力される。
【００３２】
図２に示すマッハ・ツェンダ形光スイッチ素子の一方のアームの上方に、一対の電極対５０４、５０５が配置される。電極対５０４、５０５の間にヒータ５０６が配置される。電極対５０４、５０５を介してヒータ５０６に通電することにより、ヒータ５０６が発熱し、直下の光導波路（すなわち、アームの一方）が加熱される。ヒータ電流は、両アームの光路長の差が半波長増加するように設定される。その結果、ポート５１３に入力されて２つのアームを経由して来た光信号は、ポート５１１においては位相差が０となり互いの光信号が強め合い、ポート５１２においては位相差がπとなり互いの光信号が打ち消し合う。また、ポート５１４に入力されて２つのアームを経由して来た光信号は、ポート５１２においては位相差が０となり互いの光信号が強め合い、ポート５１１においては位相差がπとなり互いの光信号が打ち消し合う。
【００３３】
図３は、ヒータに通電した場合の２×２型光スイッチの光伝搬経路の例を説明する図である。ヒータ５０６に通電した場合、図３に示すように、ポート５１３に入力された光信号は、ポート５１１へ出力され、ポート５１４に入力された光信号は、ポート５１２へ出力される。光信号の向きが逆方向の場合も同様である。
【００３４】
一方、ヒータ５０６に通電しない場合、両アームの光路長は等しい。その結果、ポート５１３から２つのアームを経由して来た光信号は、ポート５１２において位相差が０となり互いの光信号が強め合い、ポート５１１において位相差がπとなり互いの光信号が打ち消し合う。また、ポート５１４から２つのアームを経由して来た光信号は、ポート５１１において位相差が０となり互いの光信号が強め合い、ポート５１２において位相差がπとなり互いの光信号が打ち消し合う。
【００３５】
図４は、ヒータに通電しない場合の２×２型光スイッチの光伝搬経路の例を説明する図である。すなわち、ヒータ５０６に通電しない場合、ポート５１３に入力された光信号はポート５１２へ出力され、ポート５１４に入力された光信号はポート５１１へ出力される。光信号の向きが逆方向の場合も同様である。
【００３６】
図５は、１×２型光スイッチの斜視図の例である。図５に示される１×２型光スイッチは、図１の光スイッチ１２１ｂ、１２１ｃ、１２２ａ、１２２ｂ、１２３に対応する。１×２型光スイッチでは、シリコン基板５０１上に、シリコンを用いてコア５０２を形成し、石英を用いてクラッド５０３を形成することにより光導波路が形成される。１×２型光スイッチの一方の端部に１つのポート５２１が設けられ、他端に２つのポート５２２、５２３が設けられる。
【００３７】
ポート５２１から入力された光信号は、２本のアームに分岐される。それぞれのアームを通過した光信号は再び合流して干渉し、干渉した光信号がポート５２２及び５２３へ出力される。逆に、ポート５２２及び５２３から入力された光信号は、一旦合流した後２本のアームへ分岐される。それぞれのアームを通過した光信号は再び合流して干渉し、干渉した光信号がポート５２１へ出力される。
【００３８】
図５に示す１×２型光スイッチの一方のアームの上方に、一対の電極対５０４、５０５が配置される。電極対５０４、５０５の間にヒータ５０６が配置される。電極対５０４、５０５を介してヒータ５０６に通電することにより、ヒータ５０６が発熱し、直下の光導波路（すなわち、アームの一方）が加熱される。ヒータ電流は、両アームの光路長の差が半波長増加するように設定される。その結果、ポート５２１に入力されて２つのアームのいずれかを通過した光信号は、ポート５２３においては位相差が０となり互いの光信号が強め合い、ポート５２２においては位相差がπとなり互いの光信号が打ち消し合う。
【００３９】
図６は、ヒータに通電した場合の１×２型光スイッチの光伝搬経路の例を説明する図である。ヒータ５０６に通電した場合、ポート５２１に入力された光信号は、ポート５２３へ出力される。光信号の向きが逆方向の場合も同様である。
【００４０】
一方、ヒータ５０６に通電しない場合、両アームの光路長は等しい。その結果、ポート５２１から２つのアームを経由して来た光信号は、ポート５２２において位相差が０となり互いの光信号が強め合い、ポート５２３において位相差がπとなり互いの光信号が打ち消し合う。
【００４１】
図７は、ヒータに通電しない場合の１×２型光スイッチの光伝搬経路の例を説明する図である。ヒータ５０６に通電しない場合、ポート５２１に入力された光信号はポート５２２へ出力される。
【００４２】
次に、光回路１０１と光ファイバアレイ１０２との調心手順について説明する。図８は、光回路１０１と光ファイバアレイ１０２との調心手順の例を示すフローチャートである。図示されない光源から、図１に示した光ファイバアレイ１０２の光ファイバ１０６ｂ及び１０６ｈへ調心用光信号が入力される（図８のステップＳ０１）。光回路１０１と光ファイバアレイ１０２の相対位置を粗調整しながら近接させる（ステップＳ０２）。この粗調整により、光ファイバ１０６ｂ及び１０６ｈから出力される調心用光信号を、それぞれ、光導波路１０７ｂ及び１０７ｇと結合させる。ここで、光回路１０１上の光スイッチのヒータは、全て通電されない。
【００４３】
光導波路１０７ｂに入射された調心用光信号は、ヒータに通電されていない光スイッチ１２１ａを光導波路１０７ｂから光導波路１０９の方向へ通過し、端面１０４から出射される。端面１０４から出射された調心用光信号は、受光器１３１に照射される。光導波路１０７ｇに入射された調心用光信号は、ヒータに通電されていない光スイッチ１２１ｄを光導波路１０７ｇから光導波路１１０の方向へ通過し、端面１０４から出射される。端面１０４から出射された調心用光信号は、受光器１３２に照射される。
【００４４】
すなわち、調心用光信号の経路として、光導波路１０７ｂから光スイッチ１２１ａまで、及び、光導波路１０７ｇから光スイッチ１２１ｄまでは、主経路に含まれる部分が用いられる。一方、光スイッチ１２１ａから端面１０４まで、及び、光スイッチ１２１ｄから端面１０４までは、主経路とは別に設けた調心用の光導波路１０９、１１０が用いられる。
【００４５】
受光器１３１及び１３２は、それぞれ光導波路１０９又は１１０から入射する調心用光信号の強度に対応した強度の電気信号を出力する。受光器１３１及び１３２として、フォトダイオードが用いられてもよい。受光器１３１及び１３２から出力される電気信号の強度を計測しながら光回路１０１と光ファイバアレイ１０２の相対位置が精密に調整される（Ｓ０３）。そして、受光器１３１及び１３２で検出される光強度がそれぞれ最大となる位置で光回路１０１と光ファイバアレイ１０２とが接着及び固定される（Ｓ０４〜Ｓ０６）。
【００４６】
調心用光信号により、光ファイバ１０６ｂと光導波路１０７ｂとが光学的に結合し、光ファイバ１０６ｈと光導波路１０７ｇとが光学的に結合する。２か所において光強度が最大となるように調心することで、同時に、光ファイバ１０６ｂ、１０６ｈ以外の光ファイバも対応する光導波路と光学的に結合する。
【００４７】
以上説明した第１の実施形態の光回路モジュール１は、調心後の光回路と光ファイバアレイの相対位置の移動、光ファイバアレイに設けられた調心専用の光ファイバ、調心専用の特定の波長の光源、光回路の複数の端面に対する研磨や成膜、のいずれも不要である。このため、第１の実施形態によれば、簡単な構成により効率良く製造可能な光回路モジュールが提供される。
【００４８】
（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態について説明する。図９は、第２の実施形態の光回路モジュール２の構成例を示す図である。光回路モジュール２では、光回路２０１が光ファイバアレイ２０２と接続されている。本実施形態において、光回路２０１は１×８光スイッチである。光回路２０１は、第１の実施形態で説明した図１の光回路１０１と比較して、光スイッチ２２４ａ〜２２４ｈが追加されている。
【００４９】
図９において、光回路２０１は、光スイッチ２２１ａ〜２２１ｄ、２２２ａ、２２２ｂ、２２３、２２４ａ〜２２４ｈ、光導波路２０７ａ〜２０７ｈ及び２０８〜２１０を備える。光回路２０１は、さらに、光スイッチ間を接続する光導波路２２５ａ〜２２５ｈ、２２６ａ〜２２６ｄ、２２７ａ、２２７ｂを備える。
【００５０】
光スイッチ２２１ａ〜２２１ｄ、２２２ａ、２２２ｂ、２２３、２２４ａ、２２４ｈは１×２型光スイッチである。光スイッチ２２４ｂ〜２２４ｇは、１×１型光スイッチである。光導波路２０９、２１０は調心に用いられる。光回路２０１の光スイッチ及び光導波路は、光回路基板２０３上に形成される。それぞれの光導波路は、シリコンで形成されたコアと、石英で形成されたクラッドとを備える。光回路２０１の端面２０４には、研磨及び無反射化のための成膜が施される。また、光導波路２０９、２１０は、それぞれ、光スイッチ２２４ａ、２２４ｈから端面２０４に達している。
【００５１】
光ファイバアレイ２０２は、第１の実施形態の光ファイバアレイ１０２と基本的に同様の構成を備える。すなわち、光ファイバアレイ２０２は、ガラスブロック２０５及び光ファイバ２０６（２０６ａ〜２０６ｉ）を備える。ガラスブロック２０５は、光ファイバ２０６ａ〜２０６ｉを保持する。光ファイバアレイ２０２は、光回路２０１の一方の端面２０４の側に配置される。
【００５２】
端面２０４において光導波路２０７ａ〜２０７ｄ、２０８、２０７ｅ〜２０７ｈは、光ファイバアレイ２０２を端面２０４に突き当てて調心することで、それぞれ、光ファイバ２０６ａ〜２０６ｉと光学的に結合するように配置される。典型的には、光導波路２０７ａ〜２０７ｄ、２０８、２０７ｅ〜２０７ｈは端面２０４において一定の間隔Ｄで一直線上に配置される。そして、光ファイバ２０６ａ〜２０６ｉも、光ファイバアレイ２０２の端面において間隔Ｄで一直線上に配置される。
【００５３】
次に、光スイッチ２２１ａ〜２２１ｄ、２２２ａ、２２２ｂ、２２３、２２４ａ〜２２４ｈについて説明する。本実施形態では、これらの光スイッチとしてマッハ・ツェンダ型光スイッチ素子が用いられる。マッハ・ツェンダ型光スイッチ素子は、２本のアームの光路差で生じる干渉を制御することで光信号の出射方向を切り替え、あるいは、透過及び不透過を切り替える。アームの光路差は、ヒータを用いて制御される。光スイッチ２２１ａ〜２２１ｄ、２２２ａ、２２２ｂ、２２３、２２４ａ、２２４ｈは１×２型光スイッチ、光スイッチ２２４ｂ〜２２４ｇは１×１型光スイッチである。
【００５４】
光導波路２０９あるいは２１０が接続されている光スイッチ２２４ａ、２２４ｈには、図５に示した１×２型光スイッチが用いられる。図９の光スイッチ２２４ａに関しては、図５のポート５２１が図９の光導波路２０７ａに接続される。一方、図５のポート５２２が図８の光導波路２０９に、ポート５２３が光導波路２２５ａに接続される。
【００５５】
また、図９の光スイッチ２２４ｈに関しては、図５のポート５２１が図８の光導波路２０７ｈに接続され、ポート５２２が光導波路２１０に、ポート５２３が光導波路２２５ｈに接続される。
【００５６】
光回路２０１に含まれる１×２光スイッチ（光スイッチ２２１ａ〜２２１ｄ、２２２ａ、２２２ｂ、２２３、２２４ａ、２２４ｈ）の動作は図５〜図７で説明した１×２光スイッチと同様である。
【００５７】
図１０は、１×１型光スイッチの斜視図の例である。図１０に示される１×１型光スイッチはマッハ・ツェンダ型光スイッチ素子であり、図９の光スイッチ２２４ｂ〜２２４ｇに対応する。シリコン基板５０１上に、シリコンを用いてコア５０２を形成し、石英を用いてクラッド５０３を形成することにより光導波路が形成される。１×１型光スイッチの一端に１つのポート５３１が設けられ、他端にポート５３２が設けられる。
【００５８】
ポート５３１から入力された光信号は、２本のアームに分岐される。それぞれのアームを通過した光信号は再び合流して干渉し、干渉した光信号がポート５３２へ出力される。逆に、ポート５３２から入力された光信号は、一旦合流した後２本のアームへ分岐される。それぞれのアームを通過した光信号は再び合流して干渉し、干渉した光信号がポート５３１へ出力される。
【００５９】
図１０に示す１×１光スイッチの一方のアームの上方に、一対の電極対５０４、５０５が配置される。電極対５０４、５０５の間にヒータ５０６が配置される。電極対５０４、５０５を介してヒータ５０６に通電することにより、ポート５３１に入力されアームを通過した光信号は、ポート５２３において強め合う。また、ヒータ５０６に通電しない場合には、ポート５３１に入力されアームを通過した光信号は、ポート５３２において打ち消し合う。図１１は、ヒータに通電した場合の１×１型光スイッチの光伝搬の例を説明する図である。図１２は、ヒータに通電しない場合の１×１型光スイッチの光伝搬の例を説明する図である。すなわち、１×１光スイッチは、ヒータへの通電の有無により光信号の通過及び阻止を制御できる。
【００６０】
光回路２０１と光ファイバアレイ２０２との基本的な調心手順は、第１の実施形態と同様である。図８を再び用いて、光回路２０１と光ファイバアレイ２０２との調心手順を説明する。図示されない光源から、図９に示した光ファイバアレイ２０２の光ファイバ２０６ａ及び２０６ｉへ調心用光信号が入力される（図８のステップＳ０１）。光回路２０１と光ファイバアレイ２０２の相対位置を粗調整しながら近接させる（ステップＳ０２）。この粗調整により、光ファイバ２０６ａ及び２０６ｉから出力される調心用光信号を、それぞれ、光導波路２０７ａ及び２０７ｈと結合させる。ここで、光回路２０１上の光スイッチのヒータは、全て通電されない。
【００６１】
光導波路２０７ａに入射された調心用光信号は、ヒータに通電されていない光スイッチ２２４ａを光導波路２０７ａから光導波路２０９の方向へ通過し、端面２０４から出射される。端面２０４から出射された調心用光信号は、受光器２３１に照射される（ステップＳ０３）。光導波路２０７ｈに入射された調心用光信号は、ヒータに通電されていない光スイッチ２２４ｈを光導波路２０７ｈから光導波路２１０の方向へ通過し、端面２０４から出射される。端面２０４から出射された調心用光信号は、受光器２３２に照射される。
【００６２】
すなわち、調心用光信号の経路として、光導波路２０７ａから光スイッチ２２４ａまで、及び、光導波路２０７ｈから光スイッチ２２４ｈまでは、主経路に含まれる部分が用いられる。一方、光スイッチ２２４ａから端面１０４まで、及び、光スイッチ２２４ｈから端面１０４までは、主経路とは別に設けた調心用の光導波路２０９、２１０が用いられる。
【００６３】
受光器２３１及び２３２は、入射する調心用光信号の強度に対応した強度の電気信号を出力する。受光器２３１及び２３２として、フォトダイオードが用いられてもよい。受光器２３１及び２３２から出力される電気信号の強度を計測しながら光回路２０１と光ファイバアレイ２０２の相対位置が精密に調整される。そして、受光器２３１及び２３２で検出される光強度がそれぞれ最大となる位置で光回路２０１と光ファイバアレイ２０２とが接着及び固定される（Ｓ０４〜Ｓ０６）。
【００６４】
以上説明した第２の実施形態の光回路モジュール２も、第１の実施形態と同様に、調心後の光回路と光ファイバアレイの相対位置の移動、光ファイバアレイに設けられた調心専用の光ファイバ、調心専用の特定の波長の光源、光回路の複数の端面に対する研磨や成膜、のいずれも不要である。このため、第２の実施形態によっても、簡単な構成により効率良く製造可能な光回路モジュールが提供される。
【００６５】
第２の実施形態では、光スイッチ２２４ｂ〜２２４ｇを備える。これらの光スイッチは、調心中はヒータに通電されないため、光を透過しない。その結果、第２の実施形態の光回路モジュール２は、第１の実施形態の光回路モジュール１の効果に加えて、光ファイバアレイ２０２から光導波路２０７ｂ〜２０７ｇへ入力される光に起因する迷光による受光器２３１、２３２への影響を抑制できる。さらに、第２の実施形態の光回路モジュール２は、調心用の光信号に起因する迷光が光導波路２０７ｂ〜２０７ｇから光ファイバアレイ２０２へ出力されることを抑制できる。
【００６６】
（第３の実施形態）
本発明の第３の実施形態について説明する。図１３は、第３の実施形態の光回路モジュール３の構成例を示す図である。図１３は、光回路モジュール３では光回路３０１が光ファイバアレイ３０２と接続されている状態を示す。本実施形態において、光回路３０１は、一般的に分岐選択型あるいはマルチキャスト型と称される４×４型光スイッチである。
【００６７】
図１３において、光回路３０１は、光スイッチ３２１ａ〜３２１ｄ、３２２ａ〜３２２ｄ、３２３ａ〜３２３ｄ、光スプリッタ３２４ａ〜３２４ｄ、光導波路３０７ａ〜３０７ｄ、３０８ａ〜３０８ｄを備える。光回路３０１は、さらに、光スイッチ間を接続する光導波路３１１ａ〜３１１ｄ、３１２ａ〜３１２ｄ、３１４ａ〜３１４ｄ、３１５ａ〜３１５ｄ、３１６ａ〜３１６ｄ、３１８ａ〜３１８ｄ、３１９ａ〜３１９ｄ、３１３、３１７を備える。光回路３０１の光スイッチ及び光導波路は、光回路基板３０３上に形成される。それぞれの光導波路は、シリコンで形成されたコアと、石英で形成されたクラッドとを備える。光回路３０１の端面３０４には、研磨及び無反射化のための成膜が施される。また、光導波路３１３、３１７は、それぞれ、光スイッチ３２１ａ、３２２ｄから端面３０４に達している。
【００６８】
光ファイバアレイ３０２は、ガラスブロック３０５及び光ファイバ３０６（３０６ａ〜３０６ｈ）を備える。ガラスブロック３０５は、光ファイバ３０６ａ〜３０６ｈを保持する。光ファイバアレイ３０２は、光回路３０１の一方の端面３０４の側に配置される。
【００６９】
端面３０４において光導波路３０７ａ、３０７ｂ、３０８ａ〜３０８ｄ、３０７ｃ、３０７ｄは、光ファイバアレイ３０２を端面３０４に突き当てて調心することで、それぞれ、光ファイバ３０６ａ〜３０６ｈと光学的に結合するように配置される。典型的には、光導波路３０７ａ、３０７ｂ、３０８ａ〜３０８ｄ、３０７ｃ、３０７ｄは端面２０４において一定の間隔Ｄで一直線上に配置される。そして、光ファイバ３０６ａ〜３０６ｈも、光ファイバアレイ３０２の端面において間隔Ｄで一直線上に配置される。
【００７０】
光スイッチ３２１ａ、３２２ｄには図２で説明した２×２光スイッチが用いられる。光回路３０１が備えるこれら以外の光スイッチには、図５で説明した１×２光スイッチが用いられる。これらの光スイッチの動作原理は図２〜図７で説明したため本実施形態では説明は省略する。
【００７１】
光スイッチ３２１ａでは図２のポート５１３が図１３の光導波路３１１ａに、ポート５１４が図３の光導波路３１２ａに接続される。一方、図２のポート５１１が図１３の光導波路３１３に、ポート５１２が光導波路３１４ａに接続される。
【００７２】
光スイッチ３２２ｄでは図２のポート５１３が図１３の光導波路３１６ｄに、ポート５１４が図３の光導波路３１５ｄに接続される。一方、図２のポート５１１が図１３の光導波路３１８ａに、ポート５１２が光導波路３１７に接続される。
【００７３】
光回路３０１と光ファイバアレイ３０２との調心手順について説明する。図８を再び用いて、光回路３０１と光ファイバアレイ３０２との調心手順を説明する。図示されない光源から、図１３に示した光ファイバアレイ３０２の光ファイバ３０６ｂ及び３０６ｇへ調心用光信号が入力される（図８のステップＳ０１）。光回路３０１と光ファイバアレイ３０２の相対位置を粗調整しながら近接させる（ステップＳ０２）。この粗調整により、光ファイバ３０６ｂ及び３０６ｇから出力される調心用光信号を、それぞれ、光導波路３０７ｂ及び３０７ｃと結合させる。ここで、光回路３０１上の光スイッチのヒータは、全て通電されない。
【００７４】
光導波路３０７ｂに入射された調心用光信号は、光スプリッタ３２４ｂによって光導波路３１２ａ〜３１２ｄに４分岐される。光導波路３１２ａを伝搬する調心用光信号は、ヒータに通電されていない光スイッチ３２１ａを光導波路３１２ａから光導波路３１３の方向へ通過し、端面３０４から出射される。端面３０４から出射された調心用光信号は、受光器３３１に照射される（ステップＳ０３）。
【００７５】
光導波路３０７ｃに入射された調心用光信号は、光スプリッタ３２４ｃによって光導波路３１６ａ〜３１６ｄに４分岐される。光導波路３１６ｄを伝搬する調心用光信号は、ヒータに通電されていない光スイッチ３２２ｄを光導波路３１６ｄから光導波路３１７の方向へ通過し、端面３０４から出射される。端面３０４から出射された調心用光信号は、受光器３３２に照射される。
【００７６】
すなわち、調心用光信号経路として、光導波路３０７ｂから光スプリッタ３２４ｂを経由して２×２型光スイッチ３２１ａまで、また、光導波路３０７ｃから光スプリッタ３２４ｃを経由して２×２型光スイッチ３２２ｄまでは、主経路に含まれる部分が用いられる。光スイッチ３２１ａから端面３０４まで、また、光スイッチ３２２ｄから端面３０４までは、主経路とは別に設けた調心用の光導波路３１３、３１７が用いられる。
【００７７】
受光器３３１及び３３２は、入射する調心用光信号の強度に対応した強度の電気信号を出力する。受光器３３１及び３３２として、フォトダイオードが用いられてもよい。受光器３３１及び３３２から出力される電気信号の強度を計測しながら光回路３０１と光ファイバアレイ３０２の相対位置が精密に調整される。そして、受光器３３１及び３３２で検出される光強度がそれぞれ最大となる位置で光回路３０１と光ファイバアレイ３０２とが接着及び固定される（ステップＳ０４〜Ｓ０６）。
【００７８】
以上説明した、４×４型光スイッチの機能を備える第３の実施形態の光回路モジュール３も、第１及び第２の実施形態の光回路モジュールと同様に、簡単な構成により効率良く製造可能な光回路モジュールを提供する。
【００７９】
（第４の実施形態）
本発明の第４の実施形態について説明する。図１４は、第４の実施形態の光回路モジュール４の構成例を示す図である。図１４は、光回路モジュール４では光回路４０１が光ファイバアレイ４０２と接続されている状態を示す。本実施形態において、光回路４０１は、４×４型光スイッチである。光回路４０１は、光スイッチ４２１〜４２３、光導波路４０７ａ〜４０７ｈ、４０９〜４１２を備える。光回路４０１の光スイッチ及び光導波路は、光回路基板４０３上に形成される。それぞれの光導波路は、シリコンで形成されたコアと、石英で形成されたクラッドとを備える。光回路４０１の端面４０４には、研磨及び無反射化のための成膜が施される。また、光導波路４０９、４１０は、それぞれ、光スイッチ４２１、４２２から端面４０４に達している。
【００８０】
光スイッチ４２１、４２２には、図５で説明した１×２型光スイッチが用いられる。光スイッチ４２３は、２４個の１×２型光スイッチがツリー状に接続された、４×４型光スイッチである。光スイッチ４２３に含まれる各々の１×２型光スイッチも、図５で説明した１×２型光スイッチである。光回路４０１は、内部の１×２型光スイッチのヒータの通電を個々に制御することにより、光導波路４１１、４０７ｂ〜４０７ｄと光導波路４０７ｅ〜４０７ｇ、４１２との間の接続関係を切り替える。
【００８１】
光スイッチ４２１に関しては、図５のポート５２１が図１４の光導波路４０７ａに接続される。一方、図５のポート５２２が図１４の光導波路４０９に、ポート５２３が光導波路４１１ａに接続される。
【００８２】
光スイッチ４２２に関しては、図５のポート５２１が図１４の光導波路４０７ｈに接続される。一方、図５のポート５２２が図１４の光導波路４１０に、ポート５２３が光導波路４１１に接続される。
【００８３】
光ファイバアレイ４０２は、第３の実施形態の光ファイバアレイ３０２と基本的に同様の構成を備える。すなわち、光ファイバアレイ４０２は、ガラスブロック４０５及び光ファイバ４０６（４０６ａ〜４０６ｈ）を備える。ガラスブロック４０５は、光ファイバ４０６ａ〜４０６ｈを保持する。光ファイバアレイ４０２は、光回路４０１の一方の端面４０４の側に配置される。
【００８４】
図８を再び用いて、光回路４０１と光ファイバアレイ３０２との調心手順を説明する。図示されない光源から、図１４に示した光ファイバアレイ４０２の光ファイバ４０６ａ及び４０６ｈへ調心用光信号が入力される（図８のステップＳ０１）。光回路４０１と光ファイバアレイ４０２の相対位置を粗調整しながら近接させる（ステップＳ０２）。この粗調整により、光ファイバ４０６ａ及び４０６ｈから出力される調心用光信号を、それぞれ、光導波路４０７ａ及び４０７ｈと結合させる。ここで、光回路４０１上の光スイッチのヒータは、全て通電されない。
【００８５】
光導波路４０７ａに入射された調心用光信号は、ヒータに通電されていない光スイッチ４２１を光導波路４０７ａから光導波路４０９の方向へ通過し、端面４０４から出射される。端面４０４から出射された調心用光信号は、受光器４３１に照射される（ステップＳ０３）。
【００８６】
光導波路４０７ｈに入射された調心用光信号は、ヒータに通電されていない光スイッチ４２２を光導波路４０７ｈから光導波路４１０の方向へ通過し、端面４０４から出射される。端面４０４から出射された調心用光信号は、受光器４３２に照射される。
【００８７】
すなわち、調心用光信号経路として、光導波路４０７ａから光スイッチ４２１まで、また、光導波路４０７ｈから光スイッチ４２２までは、主経路に含まれる部分が用いられる。光スイッチ４２１から端面４０４まで、また、光スイッチ４２２から端面４０４までは、主経路とは別に設けた調心用光導波路が用いられる。
【００８８】
受光器４３１及び４３２は、入射する調心用光信号の強度に対応した強度の電気信号を出力する。受光器４３１及び４３２として、フォトダイオードが用いられてもよい。受光器４３１及び４３２から出力される電気信号の強度を計測しながら光回路４０１と光ファイバアレイ４０２の相対位置が精密に調整される。そして、受光器４３１及び４３２で検出される光強度がそれぞれ最大となる位置で光回路４０１と光ファイバアレイ４０２とが接着及び固定される。
【００８９】
以上説明した４×４型光スイッチの機能を備える第４の実施形態の光回路モジュール４も、第１乃至第３の実施形態の光回路モジュールと同様に、簡単な構成により効率良く製造可能な光回路モジュールを提供する。
【００９０】
調心時の光強度の計測は１か所だけで行ってもよいが、第１から第４の実施形態のように、２か所で行うことが望ましい。その理由は、調心時の光強度の計測を２か所で行うことで、複数の光ファイバと光導波路の間の結合効率のばらつきを低減できるからである。
【００９１】
第１から第４の実施形態において、調心の際に光強度の計測に用いた受光器は、調心後に取り外されてもよいし、光回路の基板上に光回路とともに固定されてもよい。
【００９２】
また、第１から第４の実施形態は独立ではなく、それぞれの特徴を適宜組み合わせてもよい。例えば、第２の実施形態の１×１光スイッチは、他の実施形態にも適用できる。
【００９３】
（第１の実施形態の変形例）
図１５は、第１の実施形態の変形例である光回路１０１Ａの構成を模式的に示す図である。図１５において、図１に対応する要素には同一の参照番号を付した。光回路１０１Ａは、スイッチ１２１ａ、光導波路１０７ａ、１０７ｂ、１０９及び１１３を備える。
【００９４】
スイッチ１２１ａは２×２型光スイッチである。光導波路１０９は調心に用いられる。光回路１０１Ａのスイッチ及び光導波路は、光回路基板１０３上に形成される。それぞれの光導波路は、シリコンで形成されたコアと、石英で形成されたクラッドとを備える。光回路１０１Ａの端面１０４には、研磨及び無反射化のための成膜が施される。また、光導波路１０９、１１３は、光スイッチ１２１ａから端面１０４に達している。
【００９５】
例えば、光導波路１０７ａ、１０７ｂは光回路１０１Ａの外部から光が入力される入力光導波路であり、光導波路１１３は光回路１０１Ａの外部へ光を出力する出力光導波路である。光回路１０１Ａは、光導波路１０７ａ及び１０７ｂに入力された光から選択された光が、光導波路１１３から外部へ出力されるように動作してもよい。なお、スイッチ１２１ａは、光導波路１０７ａを備えない１×２型光スイッチでもよい。
【００９６】
光回路１０１Ａと図示されない光ファイバアレイとが接続された光回路モジュールを製造する際には、光導波路１０７ｂには、光ファイバアレイから調心用光信号が入射される。調心用光信号は、ヒータに通電されていない光スイッチ１２１ａを光導波路１０７ｂから光導波路１０９の方向へ通過し、端面１０４から放射される。
【００９７】
端面１０４から放射される調心用信号の強度を計測しながら光回路１０１Ａと光ファイバアレイとの相対位置が精密に調整される。そして、端面１０４から放射される調心用光信号の強度が最大となる位置で光回路１０１Ａと光ファイバアレイとが接着及び固定される。
【００９８】
このような構成を備える光回路１０１Ａは、調心後の光回路と光ファイバアレイの相対位置の移動、光ファイバアレイに設けられた調心専用の光ファイバ、調心専用の特定の波長の光源、光回路の複数の端面に対する研磨や成膜、のいずれも不要である。このため、第１の実施形態の変形例の光回路１０１Ａによっても、簡単な構成により効率良く製造可能な光回路モジュールが提供される。
【００９９】
以上、実施形態を参照して本願発明を説明したが、本願発明は上記実施形態に限定されない。本願発明の構成や詳細には、本願発明のスコープ内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
【０１００】
例えば、上述の実施形態では、光導波路のコアをシリコンで、クラッドを石英ガラスで形成した。しかし、光導波路の構成はこれに限定されない。例えば、コア及びクラッドを、石英ガラス、化合物半導体又は有機材料等で形成することもできる。これらの材料でコア及びクラッドを形成した場合も、上記の実施形態で説明した光回路と同様の効果を得ることができる。
【０１０１】
また、上述の実施形態では、ヒータを用いて光導波路を加熱することにより光スイッチの光路を切り替えたが、光スイッチの動作原理はこれに限定されない。例えば、光導波路に電圧を印加したり、キャリアを注入したりすることにより、光スイッチの光路を切り替えこともできる。
【符号の説明】
【０１０２】
１〜４    光回路モジュール
１０１、１０１Ａ、２０１、３０１、４０１    光回路
１０２、２０２、３０２、４０２    光ファイバアレイ
１０３、２０３、３０３、４０３    光回路基板
１０４、２０４、３０４、４０４    端面
１０５、２０５、３０５、４０５    ガラスブロック
１０６、１０６ａ〜１０６ｉ    光ファイバ
１２１ａ〜１２１ｄ、１２２ａ、１２２ｂ、１２３    光スイッチ
１３１、１３２、２３１、２３２、３３１、３３２、４３１、４３２    受光器
１０７ａ〜１０７ｈ、１０８、１１１ａ〜１１１ｄ、１１２ａ〜１１２ｂ、１０９、１１０、１１３    光導波路
２０６、２０６ａ〜２０６ｉ    光ファイバ
２０７ａ〜２０７ｈ、２０８〜２１０、２２５ａ〜２２５ｈ、２２６ａ〜２２６ｄ、２２７ａ、２２７ｂ    光導波路
２２１ａ〜２２１ｄ、２２２ａ、２２２ｂ、２２３、２２４ａ〜２２４ｈ    光スイッチ
３０６、３０６ａ〜３０６ｈ    光ファイバ
３０７ａ〜３０７ｄ、３０８ａ〜３０８ｄ、３１１ａ〜３１１ｄ、３１２ａ〜３１２ｄ、３１４ａ〜３１４ｄ、３１５ａ〜３１５ｄ、３１６ａ〜３１６ｄ、３１８ａ〜３１８ｄ、３１９ａ〜３１９ｄ、３１３、３１７    光導波路
３２１ａ〜３２１ｄ、３２２ａ〜３２２ｄ、３２３ａ〜３２３ｄ    光スイッチ
３２４ａ〜３２４ｄ    光スプリッタ
４０６、４０６ａ〜４０６ｈ    光ファイバ
４０７ａ〜４０７ｈ、４０９〜４１２光導波路
４２１〜４２３    光スイッチ
５０１    シリコン基板
５０２    コア
５０３    クラッド
５０４、５０５    電極対
５０６    ヒータ
５１１〜５１４、５２１〜５２３、５３１、５３２    ポート
【図１】
2017053886.tif 000003
【図２】
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【図３】
2017053886.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2017053886.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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