(57)【要約】【課題】光電圧センサ・ヘッドのＤＣ／低周波数特性を改善する。【解決手段】センサ・ヘッド３３０には、光電圧センサ３４０があり、被試験デバイス（ＤＵＴ）３５０からの入力信号に応じて、その信号入力電極３４２及び３４４間の電圧が変化する。光電圧センサ３４０は、コントローラ３２０内の光送信部３２４からのレーザ光を上流光ファイバ３２３を介して受けて、入力信号に応じて変調し、メイン信号パス３２１へと出力する。組み込みの光ダイオード３３８は、光電圧センサ３４０の光出力信号をモニタして、モニタ電圧Ｖpdを生成する。補正ユニット３３４は、モニタ電圧Ｖpdと入力信号とを比較し、これらの間の変化の差に応じたエラー信号を生成する。バイアス制御ユニット３３２は、エラー信号を低減するように、光電圧センサ３４０のバイアス制御電極３４６及び３４８間のバイアス電圧を制御する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイス（ＤＵＴ）からの入力信号を受けるよう構成される入力端子と、
バイアス制御電極と、上記入力端子に結合される信号入力電極とを有する光電圧センサと、
上記光電圧センサの光出力信号をモニタしてモニタ信号を生成するモニタ部と、
上記入力信号と上記モニタ信号とを比較し、エラー信号を生成する補正部と、
上記エラー信号を低減するように上記バイアス制御電極を制御するバイアス制御ユニットと
を具える試験測定装置のセンサ・ヘッド。
【請求項２】
被試験デバイス（ＤＵＴ）からの入力信号を測定する測定システムであって、
ホストと、
上記ホストと電気的に結合されるコントローラと、
上記コントローラと上記ＤＵＴの間に電気的に結合されるセンサ・ヘッドと
を具え、
上記センサ・ヘッドが、
上記被試験デバイス（ＤＵＴ）からの上記入力信号を受けるよう構成される入力端子と、
バイアス制御電極と、上記入力端子に接続される信号入力電極とを有する光電圧センサと、
上記光電圧センサの光出力信号をモニタしてモニタ信号を生成するモニタ部と、
上記入力信号と上記モニタ信号とを比較し、エラー信号を生成する補正部と、
エラー信号を低減するように上記バイアス制御電極を制御するバイアス制御ユニットと
を有する測定システム。
【請求項３】
ホスト、コントローラ及び光電圧センサ・ヘッドを有する測定システムを用いて、被試験デバイス（ＤＵＴ）から入力信号を測定する測定方法であって、
上記ＤＵＴからの入力信号を受ける処理と、
上記光電圧センサ・ヘッドの光出力信号をモニタ部でモニタしてモニタ信号を生成する処理と、
上記入力信号と上記モニタ信号とを比較する処理と、
上記比較する処理に基いて、エラー信号を生成する処理と、
上記エラー信号を低減するように、上記光電圧センサ・ヘッドのバイアスを制御する処理と
を具える測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光電圧センサを用いたセンサ・ヘッドと、これを用いた測定システム及び測定方法に関し、特にそのＤＣ／低周波数特性を改善する手法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光電圧センサは、交流（ＡＣ）電気性能に優れており、また、本質的に電気的アイソレーション、即ち、信号や電力は光によって伝達されるが、電気的には導体間が分離された状態を実現する。光電圧センサの多くは、デジタル信号を巨大な光ファイバ・ネットワークに結合するのに利用されている。これら信号は、典型的には、ＡＣ結合である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−１１８０８８号公報
【特許文献２】特開２０１５−１５８４９５号公報
【特許文献３】特開２０１５−１２７７０４号公報
【特許文献４】特開２０１５−１１８０９６号公報
【特許文献５】特開２００６−３６１９号公報
【特許文献６】特開平７−４９４７３号公報
【非特許文献】
【０００４】
【非特許文献１】「絶縁 （電気）」の記事、特に「isolation」について、［online］、Wikipedia（日本語版）、［２０１７年２月１３日検索］、インターネット<URL：http://ja.wikipedia.org/wiki/絶縁 （電気）>
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述のように、交流（ＡＣ）電気性能は優れているものの、光電圧センサを利用して、低周波数や直流（ＤＣ）までを、特に、低電圧レベルの信号を正確に測定することは、これまであまり上手くいっていない。これは、光電圧センサが、周囲の環境からの影響を受けやすいためである。温度ストレスやメカ的なストレス（張力、圧力等）、光電圧センサに加えられる信号などは、全て光出力信号を大幅に変化させる原因となり得る。また、上流の光ファイバや、光電圧センサで利用されるレーザ光源は、同じく、温度ストレスやメカ的なストレスにさらされると、大きな偏光クロストーク、ノイズなどが生じることがある。
【０００６】
このため、光電圧センサ、上流の光ファイバ及びレーザ光源の低周波数及びＤＣにおける不安定性を解決したいというニーズがある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の概念１は、試験測定装置のセンサ・ヘッドであって、
被試験デバイス（ＤＵＴ）からの入力信号を受けるよう構成される入力端子と、
バイアス制御電極と、上記入力端子に結合される信号入力電極とを有する光電圧センサと、
上記光電圧センサの光出力信号をモニタしてモニタ信号を生成するモニタ部と、
上記入力信号と上記モニタ信号とを比較し、エラー信号を生成する補正部と、
上記エラー信号を低減するように上記バイアス制御電極を制御するバイアス制御ユニットと
を具えている。
【０００８】
本発明の概念２は、上記概念１のセンサ・ヘッドであって、上記バイアス制御ユニットが、上記エラー信号を除去するよう構成される。
【０００９】
本発明の概念３は、上記概念１のセンサ・ヘッドであって、上記光電圧センサの光出力電力Ｖpdを上記モニタ信号として測定するよう構成されるモニタ部を更に具えている。このとき、上記モニタ部は、光ダイオードを用いて上記光電圧センサの光出力電力Ｖpdを上記モニタ信号として測定する。
【００１０】
本発明の概念４は、上記概念３のセンサ・ヘッドであって、測定された上記光出力電力Ｖpdと基準信号Ｖinを比較するよう構成される補正部を更に具えている。
【００１１】
本発明の概念５は、上記概念４のセンサ・ヘッドであって、このとき、上記基準信号Ｖinは、上記入力信号のＤＣ（直流）から所定の低周波数までの周波数成分を上記補正部が検出することによって生成される。
【００１２】
本発明の概念６は、上記概念４のセンサ・ヘッドであって、このとき、上記補正部が、上記光出力電力Ｖpdと上記基準信号Ｖinとの比較に基いて、上記エラー信号を特定するよう構成されている。
【００１３】
本発明の概念７は、上記概念４のセンサ・ヘッドであって、上記補正部と上記入力端子との間に結合されるバッファを更に具えている。
【００１４】
本発明の概念８は、上記概念１のセンサ・ヘッドであって、このとき、上記光電圧センサは、下流光ファイバを通して外部にあるコントローラの出力ブロックと結合されるよう構成されている。
【００１５】
本発明の概念９は、上記概念１のセンサ・ヘッドであって、このとき、上記光電圧センサは、上流光ファイバを通して外部にあるコントローラのレーザ光源と結合されるよう構成されている。
【００１６】
本発明の概念１０は、上記概念１のセンサ・ヘッドであって、このとき、上記光電圧センサは、マッハツェンダ光電圧センサである。
【００１７】
本発明の概念１１は、被試験デバイス（ＤＵＴ）からの入力信号を測定する測定システムであって、
ホストと、
上記ホストと電気的に結合されるコントローラと、
上記コントローラと上記ＤＵＴの間に電気的に結合されるセンサ・ヘッドと
を具え、
上記センサ・ヘッドが、
上記被試験デバイス（ＤＵＴ）からの上記入力信号を受けるよう構成される入力端子と、
バイアス制御電極と、上記入力端子に接続される信号入力電極とを有する光電圧センサと、
上記光電圧センサの光出力信号をモニタしてモニタ信号を生成するモニタ部と、
上記入力信号と上記モニタ信号とを比較し、エラー信号を生成する補正部と、
エラー信号を低減するように上記バイアス制御電極を制御するバイアス制御ユニットと
を有している。
【００１８】
本発明の概念１２は、上記概念１１の測定システムであって、上記光電圧センサの光出力電力Ｖpdを上記モニタ信号として測定するよう構成される光ダイオードを更に具えている。
【００１９】
本発明の概念１３は、上記概念１２の測定システムであって、測定された上記光出力電力Ｖpdと基準信号Ｖinを比較するよう構成される補正部を更に具えている。このとき、上記補正部は、上記入力信号のＤＣから所定の低周波数までの周波数成分を検出することによって、上記基準信号Ｖinを生成する。
【００２０】
本発明の概念１４は、上記概念１３の測定システムであって、このとき、上記補正部が、上記光出力電力Ｖpdと上記基準信号Ｖinとの比較に基いて、上記エラー信号を特定するよう構成されている。
【００２１】
本発明の概念１５は、上記概念１１の測定システムであって、このとき、上記光電圧センサは、下流光ファイバを通して外部にあるコントローラの出力ブロックと結合されるよう構成されている。
【００２２】
本発明の概念１６は、上記概念１１の測定システムであって、このとき、上記光電圧センサは、上流光ファイバを通して外部にあるコントローラのレーザ光源と結合されるよう構成されている。
【００２３】
本発明の概念１７は、上記概念１１の測定システムであって、このとき、上記光電圧センサは、マッハツェンダ光電圧センサである。
【００２４】
本発明の概念１８は、ホスト、コントローラ及びセンサ・ヘッドを有する測定システムを用いて、被試験デバイス（ＤＵＴ）の電気的特性を測定する測定方法であって、
上記ＤＵＴからの入力信号を受ける処理と、
上記光電圧センサ・ヘッドの光出力信号を組み込みのモニタ部でモニタしてモニタ信号を生成する処理と、
上記入力信号と上記モニタ信号とを比較する処理と、
上記比較する処理に基いて、エラー信号を特定する処理と、
上記エラー信号を低減するように、上記センサ・ヘッドのバイアスを制御する処理と
を具えている。
【００２５】
本発明の概念１９は、上記概念１８の測定方法であって、このとき、上記基準信号は、上記入力信号のＤＣから所定の低周波数までの周波数成分を検出することによって生成され、上記モニタ部は、光ダイオードを用いて上記光電圧センサの光出力電力Ｖpdを上記モニタ信号として測定する。
【００２６】
本発明の目的、効果及び他の新規な点は、以下の詳細な説明を添付の特許請求の範囲及び図面とともに読むことによって明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】図１は、センサ・ヘッドを含む従来の測定システムの第１例のブロック図である。
【図２】図２は、センサ・ヘッドを含む従来の測定システムの第２例のブロック図である。
【図３】図３は、光電圧センサと、組み込まれたノイズ抑制アーキテクチャとを含む、本発明の実施形態による測定システムの第１例を示すブロック図である。
【図４】図４は、光電圧センサと、組み込まれたノイズ抑制アーキテクチャとを含む、本発明の実施形態による測定システムの第２例を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
高速パワー・デバイスのエッジ速度の新たな波が市場に現れてきたことで、大きなコモン・モード電圧が存在する中における小さな差動高帯域信号を正確に測定する能力は、ユーザにとって、重要な測定課題となっている。窒化ガリウム（ＧａＮ）や炭化ケイ素（ＳｉＣ）のような広バンドギャップのデバイスが、伝統的なシリコン（Ｓｉ）ベースのデバイスを置き換えようとしており、第１世代の性能は、Ｓｉのエッジ速度の８〜１０倍を実現している。性能の向上が飛躍的であるため、現在の測定システムでは、こうしたデバイスの測定を単純には行えない。本発明の実施形態は、こうした測定課題を解決するために、これまでにない測定手法をユーザに提供する。
【００２９】
本願で開示するアクティブなノイズ抑制手法の実施形態によれば、光電圧センサ、上流の光ファイバ及びレーザ光源のＤＣから低周波数における不安定性を完全に補償することによって、光電圧センサを効果的に使用し、ＤＣからＧＨｚ帯域までの電気信号を測定可能となる。光電圧センサのＤＣ／低周波数の出力信号は、印加される信号／バイアスは、もちろんのこと、環境の変化（例えば、メカ的変化や温度変化など）に影響されやすい。このノイズ抑制回路を加えることによって、世界でも最高クラスの同相除去比（ＣＭＭＲ）と電圧レンジを実現しつつ、電気的にアイソレートされ、ＤＣ結合され、高帯域で、高感度（低ノイズで安定）の差動プローブの開発が可能になる。
【００３０】
図１は、センサ・ヘッドを含む従来の測定システムの第１例１００のブロック図であり、これは、ホスト１１０（オシロスコープのような電気試験測定装置など）、コントローラ１２０、センサ・ヘッド１３０及び被試験デバイス（ＤＵＴ）１５０を含む。第１例１００では、センサ・ヘッド１３０には、校正／補償ユニット１４０と、スイッチング１３２及び１３４とがある。
【００３１】
測定動作モード中は、センサ・ヘッド１３０の入力端子１３１及び１３３でＤＵＴ１５０からの信号を受ける。スイッチ１３２及び１３４は、ＤＵＴ１５０からの入力信号を読むように切り換えられ、信号は増幅器１４２を介して送られる。取り込まれた信号は、メイン信号パス１２１及びパス１１１を通過してコントローラ１２０を介してホスト１１０へと送られる。
【００３２】
ホスト１１０は、オシロスコープ、ロジック・アナライザ、スペクトラム・アナライザ、又は、その他の類似の装置などの試験測定装置としても良い。センサ・ヘッド１３０のコントローラ１２０への接続は、当業者には周知のように、有線、光ファイバ又は無線による接続としても良い。もしＤＵＴ１５０及びセンサ・ヘッド１３０が遠隔地に配置されているなら、無線接続とする必要があるかもしれない。当業者には周知のように、例えば、信号パス１１１及び１２１等の信号パスは、いずれも有線、光ファイバ又は無線接続としても良い。
【００３３】
図２は、センサ・ヘッドを含む従来の測定システムの第２例２００のブロック図であり、これは、ホスト２１０（電気試験測定装置など）、コントローラ２２０、センサ・ヘッド２３０及び被試験デバイス（ＤＵＴ）２５０を含む。第２例２００では、センサ・ヘッド２３０が、校正／補償ユニット２４０と、単一のスイッチ２３２とを有している。スイッチ２３２は、増幅器２４２に結合され、校正／補償ユニット２４０と、ＤＵＴ２５０から受けた信号との間で切り替えるように構成される。
【００３４】
図３は、本発明の実施形態による測定システム３００の例のブロック図であり、これは、光電圧センサ３４０と、組み込まれたノイズ抑制アーキテクチャとを含んでいる。システム３００は、ホスト３１０、コントローラ３２０、センサ・ヘッド３３０及びＤＵＴ３５０がある点では、図１及び２で夫々示したシステム１００及び２００に類似している。例えば、ホスト３１０は、オシロスコープ、スペクトラム・アナライザ等の電気試験測定装置であっても良い。しかし、システム３００は、増幅器に結合される１つ上のスイッチではなくて、光電圧センサ３４０を有している。光電圧センサ３４０は、例えば、マッハツェンダ光センサとしても良いが、もちろん、他の適切な光センサを代替として利用しても良い。
【００３５】
コントローラ３２０には、光送信部（例えば、レーザ光源）３２４もあり、これは、上流（upstream）の光ファイバ３２３を介して光電圧センサ３４０に接続される。コントローラ３２０には、更に、光受信部３２２と光電（Ｏ／Ｅ）変換部３２６があり、これらは、例えば、接続ライン３１１を介して出力信号をホスト３１０に供給する。また、１つ以上の命令を、接続ライン３１１を介してホスト３１０からコントローラ３２０へと送ることができる。
【００３６】
センサ・ヘッド３３０の入力端子３３１及び３３３は、光電圧センサ３４０の信号入力電極３４２及び３４４に接続される。光電圧センサ３４０は、信号入力電極３４２及び３４４間の電圧に応じて変調された変調光出力信号を、メイン信号パス３２１（例えば、変調光出力信号用の光ファイバであり、以下では、下流（downstream）光ファイバとも呼ぶ）を介してコントローラ３２０へと送信する。この例では、センサ・ヘッド３３０にバイアス制御ユニット３３２があり、これは、光電圧センサ３４０のバイアス制御電極３４６及び３４８に接続され、光電圧センサ３４０のバイアスを制御する。
【００３７】
例えば、光電圧センサ３４０としてマッハツェンダ光センサを利用した場合では、周知のように光電圧センサ３４０に入力されたレーザ光源からの光が同一特性の２つの光に分岐される。そして、図３の上側の分岐光パスを通過する光は、信号入力電極３４２及び３４４間の電圧に応じて上側分岐光パスの屈折率が変化するために、その速度（位相）が変化する。一方、図３の下側の分岐光パスを通過する光の位相は、同様にしてバイアス制御電極３４６及び３４８間のバイアス電圧に応じて変化する。これら２つの光は、再度合波され、光出力信号として出力されるが、このとき、もし２つの光の位相が完全に揃っていれば、輝度が最大となり、位相が１８０度異なっていれば、輝度が最小となる。
【００３８】
なお、光電圧センサは、通常、電気入力信号の変化を正確に反映した輝度を有する光出力信号が得られるように、実際の測定を行う前に予め校正され、この過程でバイアスが調整される。もし仮に、温度変化、メカ的なストレスの変動等がなく、理想的な状態が続くのであれば、バイアス制御電極３４６及び３４８間のバイアス電圧は、校正した状態のまま一定にしておけば良いことになる。しかし、実際には、温度変化、メカ的なストレスの変動がある場合も多いので、本発明では、これらの影響を除去すべく、バイアス電圧がアクティブに制御される。
【００３９】
光電圧センサ３４０の変調光出力信号は、メイン信号パス３２１を介してコントローラ３２０の光受信部３２２へ送られる。上述の如く、測定動作中、ＤＵＴ３５０からの被測定信号は、信号入力電極３４２及び３４４間の電圧を変化させ、これによって、光電圧センサ３４０が出力する変調光出力信号が変化し、この光信号の変化を光電変換部が電気信号に変換することによって、ＤＵＴ３５０からの被測定信号の変化が電気信号として測定される。被測定信号の変化を表す電気信号は、例えば、アナログ・デジタル変換器（図示せず）によって、デジタル・データに変換され、このデジタル・データがホスト３１０に送られる。ホスト３１０は、得られたデジタル・データから、ＤＵＴ３５０の種々の電気的特性（電圧、周波数等）を分析できる。
【００４０】
説明した測定システム３００は、光電圧センサ３４０の優れた交流（ＡＣ）検出性能を上手に利用しつつ、上流光ファイバ３２３、光電圧センサ３４０及びレーザ光源３２４の組み合わせた結果によるＤＣ／低周波数特性をモニタし、そのＤＣ／低周波数特性の不足を補償することによって、ＤＣからＧＨｚ帯域までの安定した測定を実現する。ＤＣ／低周波数におけるアクティブなノイズ抑制機構をシステムに組み込むことによって、上流光ファイバ３２３、光電圧センサ３４０及びレーザ光源３２４のＤＣ／低周波数における不安定性や制約を解決する。
【００４１】
このＤＣ／低周波数ノイズ抑制フィードバック／補正回路には、大まかに言えば、次の３つの機能部分がある。モニタ部（例えば、光ダイオード３３８を利用）、補正ユニット３３４、そして、最終的な動作を行うバイアス制御ユニット３３２である。上述のように、光電圧センサ３４０は、交流（ＡＣ）特性については優れているので、ＤＣ／低周波数ノイズ抑制フィードバック／補正回路は、ＤＣから所定の低周波数（この所定の周波数は、光電圧センサについて補正が必要とユーザが判断する周波数特性に応じて設定すれば良い）までをモニタし、補償すれば充分なのであるから、このフィードバック／補正回路自身もＤＣから所定の低周波数までに関して、充分な性能を有していれば良いことに注意すべきである。よって、必要以上に高い周波数まで高い性能を有する必要はないので、その点では、比較的安価にできる。
【００４２】
測定システム３００の補正ユニット３３４の一部である光出力モニタ部は、光電圧センサ３４０に組み込まれた光ダイオード３３８から構成されていても良く、光ダイオード３３８の出力電圧Ｖpdを用いて、光電圧センサ３４０の光出力電力（パワー）３３９を正確に測定できる。また、補正ユニット３３４は、ＤＵＴ３５０から光電圧センサ３４０へ入力される入力信号に基づく入力端子３３１及び３３３間の電圧をサンプルし、実施形態によっては、この電圧信号を基準信号Ｖinとして利用する。補正ユニット３３４は、入力信号の値を正確に検出するために、例えば、バッファ３３６を利用して入力信号を受けるようにしても良い。これら２つの電圧Ｖin及びＶpdは、上述のように、少なくともＤＣから所定の低周波数までの周波数成分を含んでいる。１対の入力信号は、例えば、差動信号であり、補正ユニット３３４は、入力信号の少なくともＤＣ（直流）から所定の低周波数までの周波数成分を検出することによって、基準信号Ｖinを生成する。別の見方によれば、基準信号Ｖinは、信号入力電極３４２及び３４４間の電圧に関して、そのＤＣから所定の低周波数までの周波数成分を抽出したものと考えても良い。どの程度高い周波数まで抽出するかは、光電圧センサ３４０のＡＣ特性や、フィードバック／補正回路網を構成するためのコストを考慮して、ユーザが適切に設定しても良い。
【００４３】
これら２つの電圧Ｖin及びＶpdを、補正ユニット３３４において比較することによって、ＤＣ／低周波数エラー信号が得られる。この処理は、大雑把に言えば、例えば、アナログ・デジタル変換器（ＡＤＣ）を利用してデジタル的に処理されるか、又は、ハードウェアによる制御ループを用いて行われる。
【００４４】
比較の手法としては、例えば、理想状態においては、実際の測定をする前に校正を行って、２つの電圧Ｖin及びＶpdの振幅、オフセット及び位相が等しくなる、即ち、全く同一になるように調整し、実際の測定時においては、単純に電圧Ｖin及びＶpdの差分を求めれば、この差分がエラー信号となる。別の比較手法としては、同じく実際の測定をする前に校正を行い、電圧Ｖin及びＶpdの理想比率を求めておいても良い。理想状態においては、電圧Ｖin及びＶpdの比率は一定となるので、実際の測定時に、この一定値である理想比率からのずれをエラー信号としても良い。いずれの比較手法も、電圧Ｖin及びＶpdの間の変化の違い（差分）に基いて、エラー信号が生成されることが理解できよう。
【００４５】
補正ユニット３３４で得られたエラー信号は、バイアス電圧制御ユニット３３２にフィードバックされて、エラー信号をゼロにするように光電圧センサ３４０のバイアス電極３４６及び３４８間のバイアス電圧が制御される。
【００４６】
ある実施形態では、モニタ、補正及びバイアス制御の機能ブロックが、電圧Ｖin及びＶpdを連続的にモニタし、状況によっては、エラー信号を除去又は少なくとも最小化するように、バイアス電圧を調整する。
【００４７】
このノイズ抑制手法は、試験測定装置のプローブとしてのアプリケーションにおいて、光電圧センサ技術の魅力を低下させている主要な障害のいくつかを克服するものである。
【００４８】
また、本発明は、試験測定装置のアクセサリ装置の１つである電圧プローブでの利用に限定されるものではない。試験測定装置のアクセサリ装置としては、測定プローブ、測定プローブ・アダプタ、アクティブ・フィルタ・デバイス、プローブ校正フィクスチャ、プローブ・アイソレーション・アクセサリ、モニタ装置などのような動作に電圧、電流、電力などを必要とする、どのような形式の変換装置（transducer device）又は汎用のアクセサリ装置であっても良い。
【００４９】
図４は、光電圧センサ３４０と、組み込まれたノイズ抑制アーキテクチャとを含む、本発明の実施形態による測定システムの第２例４００を示すブロック図である。この第２例４００では、コントローラを必要としない。即ち、ホスト３１０がセンサ・ヘッド３３０に直接接続される。こうした実施形態では、メイン信号パス３２１は、ホスト３１０に直接接続される。更に、センサ・ヘッド３３０の光出力信号は、コントローラを通してではなく、ホスト３１０に直接送られる。この場合、ホスト３１０は、光信号を元々測定可能な光試験測定装置としても良く、図３のコントローラ３２０と同等の機能を最初から内蔵しているものとしても良い。
【００５０】
本願で用いている用語「コントローラ」及び「プロセッサ」としては、マイクロプロセッサ、マイクロコンピュータ、ＡＳＩＣ、専用ハードウェア・コントローラ等を含むことを意図している。本発明のいくつかの実施形態としては、コンピュータ等の装置（モニタ・モジュールを含む）で実行される、プログラム・モジュールのような、コンピュータで利用可能なデータとコンピュータで実行可能な命令の形で実現されても良い。一般に、プログラム・モジュールは、プログラム、オブジェクト、データ構造などを有し、コンピュータ等の電子装置中のプロセッサで実行されたときに、特定のタスクを実行するか又は特定の抽象データ型が実現される。
【００５１】
コンピュータで実行可能な命令は、ハードディスク・ドライブ（ＨＤＤ）、光ディスク、リムーバブル記憶媒体、ＳＳＤ、ＲＡＭ等のような非一時的なコンピュータ読み出し可能媒体上に蓄積されても良い。当業者には明らかなように、このプログラム・モジュールの機能は、必要に応じて、組み合わせたり、種々の実施形態に分散させても良い。加えて、これら機能は、その全体又は一部分が、集積回路、ＦＰＧＡなどのようなファームウエア又はハードウェアと等化なもの中で実現されても良い。本発明のいくつかの実施形態を更に効果的に実現するために、特定のデータ構造を利用しても良く、こうしたデータ構造は、本願で説明したコンピュータで利用可能なデータとコンピュータで実行可能な命令の範囲内にあることが理解できよう。
【００５２】
好ましい実施形態において本発明の原理を記述し、説明してきたが、こうした原理から離れることなく、図示した実施形態の構成や細部を変更したり、望ましい形態に組み合わせても良いことが理解できよう。
【符号の説明】
【００５３】
３００  測定システム
３１０  ホスト
３１１  接続ライン
３２０  コントローラ
３２１  メイン信号パス（下流光ファイバ）
３２２  光受信部
３２３  上流光ファイバ
３２４  光送信部
３２６  光電変換部
３３０  センサ・ヘッド
３３１  入力端子
３３２  バイアス制御ユニット
３３３  入力端子
３３４  補正ユニット
３３６  バッファ
３４０  光電圧センサ
３４２  信号入力電極
３４４  信号入力電極
３４６  バイアス制御電極
３４８  バイアス制御電極
３５０  ＤＵＴ
４００  測定システム
【図１】
2017151109.tif 000003
【図２】
2017151109.tif 000004
【図３】
2017151109.tif 000005
【図４】
2017151109.tif 000006