(57)【要約】【課題】剥離シートから確実に剥離することができ、被着体に貼付する際に皺が生じにくい接着シートを製造することができるシート製造装置を提供すること。【解決手段】シート製造装置１０Ａは、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シート基材ＡＢが仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段２０と、繰出手段２０で繰り出された原反ＲＳの接着シート基材ＡＢに所定形状の切込ＣＵを形成して当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成する切断手段３０とを備え、切断手段３０は、接着シートＡＳの外縁部ＥＤに剥離シートＲＬから剥離が開始される第１頂点部ＴＰ１と、第１頂点部ＴＰ１からのびる複数の第１線部ＬＰ１と、第１線部ＬＰ１に連なり、当該第１線部ＬＰ１とで第２頂点部ＴＰ２を形成する複数の第２線部ＬＰ２と、第２線部ＬＰ２に連なる第３線部ＬＰ３とを形成可能に設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の剥離シートに帯状の接着シート基材が仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出された原反の接着シート基材に所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成する切断手段とを備え、
前記切断手段は、前記接着シートの外縁部に前記剥離シートから剥離が開始される第１頂点部と、前記第１頂点部からのびる複数の第１線部と、前記第１線部に連なり、当該第１線部とで第２頂点部を形成する複数の第２線部と、前記第２線部に連なる第３線部とを形成可能に設けられていることを特徴とするシート製造装置。
【請求項２】
帯状の剥離シートに帯状の接着シート基材が仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出された原反の接着シート基材に所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成する切断手段と、
前記切断手段で切断された接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離手段と、
前記剥離手段で剥離された接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記切断手段は、前記接着シートの外縁部に前記剥離シートから剥離が開始される第１頂点部と、前記第１頂点部からのびる複数の第１線部と、前記第１線部に連なり、当該第１線部とで第２頂点部を形成する複数の第２線部と、前記第２線部に連なる第３線部とを形成可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項３】
前記押圧手段は、変形可能な外周面を有する押圧部材を備え、
前記押圧部材は、前記接着シートを前記被着体に押圧したときに、当該押圧部材の外周面が前記第１頂点部と複数の第２頂点部とを同時に押圧可能に設けられていることを特徴とする請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
帯状の剥離シートに帯状の接着シート基材が仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
繰り出された原反の接着シート基材に所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成する切断工程とを備え、
前記切断工程において、前記接着シートの外縁部に前記剥離シートから剥離が開始される第１頂点部と、前記第１頂点部からのびる複数の第１線部と、前記第１線部に連なり、当該第１線部とで第２頂点部を形成する複数の第２線部と、前記第２線部に連なる第３線部とを有する接着シートを形成することを特徴とするシート製造方法。
【請求項５】
帯状の剥離シートに帯状の接着シート基材が仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
繰り出された原反の接着シート基材に切断刃で所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成する切断工程と、
切断された接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離工程と、
剥離された接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、
前記切断工程において、前記接着シートの外縁部に前記剥離シートから剥離が開始される第１頂点部と、前記第１頂点部からのびる複数の第１線部と、前記第１線部に連なり、当該第１線部とで第２頂点部を形成する複数の第２線部と、前記第２線部に連なる第３線部とを有する接着シートを形成することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート製造装置および製造方法並びにシート貼付装置および貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、仮着した剥離シートから剥離され、被着体に貼付される接着シートを製造するシート製造装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−１７３５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来のシート製造装置で製造された接着シートは、剥離シートから剥離が開始される剥離開始端縁が直線形状を有しているため、接着シートが剥離シートから剥離され難く、剥離シートから接着シートを確実に剥離することができないという不都合がある。
一方、接着シートの剥離開始端縁を円弧形状にすると、当該剥離開始端縁を被着体に貼付した際、接着シートに付与される張力によって当該接着シートに皺が生じてしまうという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、剥離シートから確実に剥離することができ、被着体に貼付する際に皺が生じにくい接着シートを製造することができるシート製造装置および製造方法並びにシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のシート製造装置は、帯状の剥離シートに帯状の接着シート基材が仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記繰出手段で繰り出された原反の接着シート基材に所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成する切断手段とを備え、前記切断手段は、前記接着シートの外縁部に前記剥離シートから剥離が開始される第１頂点部と、前記第１頂点部からのびる複数の第１線部と、前記第１線部に連なり、当該第１線部とで第２頂点部を形成する複数の第２線部と、前記第２線部に連なる第３線部とを形成可能に設けられていることを特徴とする。
【０００７】
本発明のシート貼付装置は、帯状の剥離シートに帯状の接着シート基材が仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記繰出手段で繰り出された原反の接着シート基材に所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成する切断手段と、前記切断手段で切断された接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離手段と、前記剥離手段で剥離された接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、前記切断手段は、前記接着シートの外縁部に前記剥離シートから剥離が開始される第１頂点部と、前記第１頂点部からのびる複数の第１線部と、前記第１線部に連なり、当該第１線部とで第２頂点部を形成する複数の第２線部と、前記第２線部に連なる第３線部とを形成可能に設けられていることを特徴とする。
【０００８】
本発明のシート貼付装置において、前記押圧手段は、変形可能な外周面を有する押圧部材を備え、前記押圧部材は、前記接着シートを前記被着体に押圧したときに、当該押圧部材の外周面が前記第１頂点部と複数の第２頂点部とを同時に押圧可能に設けられていることが好ましい。
【０００９】
本発明のシート製造方法は、帯状の剥離シートに帯状の接着シート基材が仮着された原反を繰り出す繰出工程と、繰り出された原反の接着シート基材に所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成する切断工程とを備え、前記切断工程において、前記接着シートの外縁部に前記剥離シートから剥離が開始される第１頂点部と、前記第１頂点部からのびる複数の第１線部と、前記第１線部に連なり、当該第１線部とで第２頂点部を形成する複数の第２線部と、前記第２線部に連なる第３線部とを有する接着シートを形成することを特徴とする。
【００１０】
本発明のシート貼付方法は、帯状の剥離シートに帯状の接着シート基材が仮着された原反を繰り出す繰出工程と、繰り出された原反の接着シート基材に切断刃で所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成する切断工程と、切断された接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離工程と、剥離された接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、前記切断工程において、前記接着シートの外縁部に前記剥離シートから剥離が開始される第１頂点部と、前記第１頂点部からのびる複数の第１線部と、前記第１線部に連なり、当該第１線部とで第２頂点部を形成する複数の第２線部と、前記第２線部に連なる第３線部とを有する接着シートを形成することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
以上のような本発明によれば、接着シートの外縁部に第１頂点部を形成するため、第１頂点部をきっかけとして剥離することができ、剥離シートから確実に剥離することができる接着シートを製造することができる。
また、接着シートの外縁部に第２頂点部を形成することにより、第１頂点部で第１線部が成す角度を大きくすることができるので、第１頂点部を直線形状に近付けることができ、被着体に貼付する際に皺が生じにくい接着シートを製造することができる。
【００１２】
また、押圧部材の外周面を第１頂点部と複数の第２頂点部とを同時に押圧可能にすれば、被着体に第１頂点部を押圧しつつ第２頂点部を押圧することができるので、接着シートに皺が生じることを確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図２】シート貼付装置の切断刃の展開図。
【図３】接着シートを被着体に貼付した状態の平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＹ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１５】
図１において、シート貼付装置１０は、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シート基材ＡＢが仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段２０と、繰出手段２０で繰り出された原反ＲＳの接着シート基材ＡＢに所定形状の切込ＣＵを形成して当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成する切断手段３０と、切断手段３０で切断された接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離手段としての剥離板４０と、剥離板４０で剥離された接着シートＡＳを被着体としてのリングフレームＲＦおよび被着体としてのウエハＷＦに押圧して貼付する押圧手段５０とを備え、ウエハＷＦおよびリングフレームＲＦを支持する支持手段６０の上方に配置されている。ここで、繰出手段２０と切断手段３０とで本発明のシート製造装置１０Ａが構成される。
【００１６】
繰出手段２０は、原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、駆動機器としての回動モータ２２Ａによって駆動される駆動ローラ２２と、駆動ローラ２２との間に原反ＲＳを挟み込むピンチローラ２３と、接着シート基材ＡＢにおける切込ＣＵの外側に形成された不要接着シートＵＳを折り返して剥離シートＲＬから剥離する剥離ローラ２４と、駆動機器としての回動モータ２５Ａによって駆動され、不要接着シートＵＳを回収する回収ローラ２５と、駆動機器としての回動モータ２６Ａによって駆動される駆動ローラ２６と、駆動ローラ２６との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２７と、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２８とを備えている。
【００１７】
切断手段３０は、閉ループ状の切断刃３１と、駆動機器としての回動モータ３２によって駆動され、切断刃３１を支持する円筒面３３Ａを有する切断刃支持部材としてのカッターローラ３３と、原反ＲＳを挟んでカッターローラ３３に対向配置されたプラテンローラ３４とを備え、接着シートＡＳの外縁部ＥＤに剥離シートＲＬから剥離が開始される第１頂点部ＴＰ１と、第１頂点部ＴＰ１からのびる複数の第１線部としての第１直線部ＬＰ１と、第１直線部ＬＰ１に連なり、当該第１直線部ＬＰ１とで第２頂点部ＴＰ２を形成する複数の第２線部としての第２直線部ＬＰ２と、第２直線部ＬＰ２に連なる第３線部としての円弧部ＬＰ３とを形成可能に設けられている。
切断刃３１は、図２中実線で示すように、接着シート基材ＡＢに第１頂点部ＴＰ１及び複数の第１直線部ＬＰ１の切込を形成する略Ｌ字形状の第１刃部３１Ａと、接着シート基材ＡＢに第２直線部ＬＰ２の切込を形成するとともに、第１刃部３１Ａとで接着シート基材ＡＢに第２頂点部ＴＰ２を形成する直線形状の複数の第２刃部３１Ｂと、第２刃部３１Ｂに連なり、接着シート基材ＡＢに円弧部ＬＰ３の切込を形成する円弧形状の第３刃部３１Ｃとを備えている。
【００１８】
第１頂点部ＴＰ１は、図１に示すように、原反ＲＳの繰出方向下流側に設けられ、２つの第１直線部ＬＰ１の交点部分であり、円弧部ＬＰ３を形成する仮想円ＣＲの内側の位置に設けられている。
第１直線部ＬＰ１は、第１頂点部ＴＰ１から仮想円ＣＲの外側にのびる直線形状を有している。第１直線部ＬＰ１の夾角θ１は、鈍角とされ、第２直線部ＬＰ２の夾角θ２よりも大きく形成されている。第２頂点部ＴＰ２は、仮想円ＣＲの中心ＣＰよりも第１頂点部ＴＰ１側であって、仮想円ＣＲの外側の位置に設けられている。
第２直線部ＬＰ２は、第２頂点部ＴＰ２から仮想円ＣＲの接線方向にのびる直線形状を有し、当該仮想円ＣＲ上で円弧部ＬＰ３に連なっている。本実施形態の場合、第２直線部ＬＰ２の夾角θ２は、鈍角とされている。
円弧部ＬＰ３は、仮想円ＣＲの中心ＣＰよりも第１頂点部ＴＰ１側に一端と他端とを有し、中心ＣＰを囲うように連なった円弧形状を有している。
【００１９】
押圧手段５０は、変形可能な外周面５１Ａを有する押圧部材としての押圧ローラ５１を備えている。押圧ローラ５１は、接着シートＡＳをリングフレームＲＦに押圧したときに、当該押圧ローラ５１の外周面５１Ａが第１頂点部ＴＰ１と複数の第２頂点部ＴＰ２とを同時に押圧可能に設けられている。すなわち、押圧ローラ５１は、図３に示すように、原反ＲＳの繰出方向長さが第１頂点部ＴＰ１および第２頂点部ＴＰ２間の長さＰＬ以上の押圧面に変形し、第１頂点部ＴＰ１と複数の第２頂点部ＴＰ２とを同時に押圧できるようになっている。
【００２０】
支持手段６０は、駆動機器としてのリニアモータ６１と、リニアモータ６１のスライダ６１Ａに支持されたテーブル６２とを備えている。
テーブル６２は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってリングフレームＲＦを吸着保持可能な支持面６２Ａと、支持面６２Ａの内側に設けられ、図示しない減圧手段によってウエハＷＦを吸着保持可能な支持面６２Ｂとを備えている。
【００２１】
以上のシート貼付装置１０において、接着シートＡＳを製造し、当該接着シートＡＳをリングフレームＲＦおよびウエハＷＦに貼付する手順について説明する。
先ず、作業者が原反ＲＳを図１に示すようにセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、繰出手段２０および切断手段３０が回動モータ２２Ａ、２５Ａ、２６Ａ、３２を駆動し、原反ＲＳを繰り出す。これにより、切断刃３１で接着シート基材ＡＢに閉ループ状の切込ＣＵが形成されて当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳが形成され、当該接着シートＡＳの外縁部ＥＤに第１頂点部ＴＰ１、第１直線部ＬＰ１、第２直線部ＬＰ２および円弧部ＬＰ３が形成される。そして、図１に示すように、剥離板４０上に位置する先頭の接着シートＡＳが第１頂点部ＴＰ１を剥離開始端縁として剥離板４０で剥離シートＲＬから所定長さ剥離されたことが光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段に検知されると、繰出手段２０および切断手段３０が回動モータ２２Ａ、２５Ａ、２６Ａ、３２の駆動を停止させ、スタンバイ状態となる。
【００２２】
その後、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段により、図１中実線で示す初期位置にあるテーブル６２の支持面６２Ａ、６２Ｂ上にリングフレームＲＦおよびウエハＷＦを載置すると、支持手段６０が図示しない減圧手段を駆動し、リングフレームＲＦおよびウエハＷＦを吸着保持した後、リニアモータ６１を駆動し、テーブル６２を左方向に移動させる。そして、ウエハＷＦが所定位置に到達したことが光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段に検知されると、繰出手段２０および切断手段３０が回動モータ２２Ａ、２５Ａ、２６Ａ、３２を駆動し、テーブル６２の移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、先頭の接着シートＡＳが剥離板４０で剥離シートＲＬから剥離され、押圧ローラ５１でリングフレームＲＦおよびウエハＷＦに押圧されて貼付される。なお、接着シートＡＳは、貼付初期において押圧ローラ５１により第１頂点部ＴＰ１と複数の第２頂点部ＴＰ２とが同時に押圧された後、その全体が当該押圧ローラ５１により押圧されてリングフレームＲＦおよびウエハＷＦに貼付される。
【００２３】
ウエハＷＦおよびリングフレームＲＦに接着シートＡＳの貼付が完了すると、支持手段６０がリニアモータ６１および図示しない減圧手段の駆動を停止した後、図示しない搬送手段が、接着シートＡＳを介してウエハＷＦとリングフレームＲＦとが一体化された一体物ＷＫを次工程に搬送する。そして、支持手段６０がリニアモータ６１を駆動し、テーブル６２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２４】
以上のような実施形態によれば、接着シートＡＳの外縁部ＥＤに第１頂点部ＴＰ１を形成するため、第１頂点部ＴＰ１をきっかけとして剥離することができ、剥離シートＲＬから確実に剥離することができる接着シートＡＳを製造することができる。また、接着シートＡＳの外縁部ＥＤに第２頂点部ＴＰ２を形成することにより、第１頂点部ＴＰ１で第１直線部ＬＰ１が成す角度を大きくすることができるので、第１頂点部ＴＰ１を直線形状に近付けることができ、リングフレームＲＦおよびウエハＷＦに貼付する際に皺が生じにくい接着シートＡＳを製造することができる。
【００２５】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
【００２６】
例えば、シート製造装置１０Ａは、接着シート基材ＡＢに切込ＣＵが形成された原反ＲＳや、不要接着シートＵＳを剥離した後の原反ＲＳを他の装置に供給してもよいし、これらの原反ＲＳを回収ローラや回収箱等の回収手段で回収してもよい。
繰出手段２０は、枚葉の原反を繰り出してもよく、この場合、切断手段３０は、上記と同様にして枚葉の接着シート基材ＡＢに切込ＣＵを形成すればよい。
【００２７】
切断手段３０は、平坦な支持面に支持された切断刃を有する切断刃支持部材としてのカッタ板を接着シート基材ＡＢに押圧して、当該接着シート基材ＡＢに切込ＣＵを形成してもよい。
切断刃３１は、接着シートＡＳの外縁部ＥＤに第１頂点部ＴＰ１、第１線部、第２線部および第３線部を形成可能であればよく、接着シートＡＳの外縁部ＥＤの形状に合わせて第１刃部３１Ａを三角波形や直線形状としたり、第２刃部３１Ｂを円弧形状としたり、第３刃部３１Ｃを２つの第２刃部３１Ｂに連なる２つの独立した円弧形状としたり、図２中二鎖線で示すように、第１刃部３１Ａおよび第２刃部３１Ｂを他の位置にも設けたりしてもよい。
切断手段３０は、レーザカッタ、熱カッタ、エアカッタ、圧縮水カッタ等を採用することができる。
【００２８】
剥離手段は、丸棒やローラ等で構成してもよい。
【００２９】
押圧手段５０は、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用してもよいし、金属や硬質樹脂等の変形しない部材で構成してもよい。
押圧部材は、第１頂点部ＴＰ１および複数の第２頂点部ＴＰ２の何れか一方から接着シートＡＳを被着体に押圧するものであってもよい。
【００３０】
支持手段６０は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被着体やフレーム部材を支持する構成でもよい。
支持手段６０は、テーブル６２の位置を固定しておきシート貼付装置１０を移動させてもよいし、テーブル６２およびシート貼付装置１０の両方を移動させてもよい。
シート貼付装置１０に対し、他の装置でウエハＷＦおよびリングフレームＲＦを相対移動させる場合、支持手段６０はなくてもよい。
【００３１】
接着シートＡＳは、第１頂点部ＴＰ１が仮想円ＣＲの外側に設けられてもよい。
接着シートＡＳは、図１中二点鎖線で示すように、第１頂点部ＴＰ１、第２頂点部ＴＰ２、第１直線部ＬＰ１および第２直線部ＬＰ２を原反ＲＳの繰出方向下流側にも設けたり、前後の一方または両方その他の位置にも設けたりしてもよい。
接着シートＡＳは、前後対称に形成されていなくてもよく、例えば、第２頂点部ＴＰ２の位置が前後で異なっていてもよい。
【００３２】
第１線部は、第１直線部ＬＰ１を４つ以上連ねて、複数の第１頂点部ＴＰ１を有する三角波形を形成してもよいし、２つの第１直線部ＬＰ１を一直線上に連ねて、第１頂点部ＴＰ１を内在させた１本の直線形状としてもよい。
第２線部は、円弧形状であってもよい。
第２直線部ＬＰ２は、円弧部ＬＰ３にその接線方向に連なっていなくてもよい。
第２、第３線部は、円弧形状と直線形状を組み合わせた形状であってもよい。
円弧部ＬＰ３は、仮想円ＣＲの中心ＣＰよりも第１頂点部ＴＰ１側に一端を有し、中心ＣＰよりも第１頂点部ＴＰ１の反対側に他端を有していてもよいし、仮想円ＣＲの中心ＣＰよりも第１頂点部ＴＰ１の反対側に一端と他端とを有していてもよいし、仮想円ＣＲの中心ＣＰと前後方向一直線上となる位置に一端と他端とを有していてもよい。
夾角θ１、θ２は、鋭角であってもよい。
【００３３】
リングフレームＲＦは、環状でない（外周が繋がっていない）フレームや、円形、楕円形、三角形以上の多角形、その他の形状であってもよい。
【００３４】
また、本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、リングフレームＲＦだけでもよいし、ウエハＷＦだけでもよいし、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００３５】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出手段は、帯状の剥離シートに帯状の接着シート基材が仮着された原反を繰出可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３６】
２０    繰出手段
３０    切断手段
４０    剥離板（剥離手段）
５０    押圧手段
ＡＢ    接着シート基材
ＡＳ    接着シート
ＣＵ    切込
ＥＤ    外縁部
ＬＰ１  第１直線部（第１線部）
ＬＰ２  第２直線部（第２線部）
ＬＰ３  円弧部（第３線部）
ＲＦ    リングフレーム（被着体）
ＲＬ    剥離シート
ＲＳ    原反
ＴＰ１  第１頂点部
ＴＰ２  第２頂点部
ＷＦ    ウエハ（被着体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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