(57)【要約】【課題】ビニング特性を有する蛍光体組成物を確実に製造する方法、およびその評価方法、ならびに、それに用いる測定装置を提供すること。【解決手段】蛍光体シート１の製造方法は、蛍光体および透明樹脂を混合して、蛍光体組成物を調整する調製工程、蛍光体シート１に、波長が互いに異なる複数の検査光３を照射して、蛍光体シート１を通過する検査光３の色度を測定する測定工程、および、測定工程の結果に基づいて、ビニング特性を有する蛍光体シート１を選別する選別工程を備える。【選択図】図１
2017211590.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
蛍光体および透明樹脂を混合して、蛍光体組成物を調製する調製工程、
前記蛍光体組成物に、波長が互いに異なる複数の検査光を照射して、前記蛍光体組成物を通過する検査光の色度を測定する測定工程、および、
前記測定工程の結果に基づいて、ビニング特性を有する蛍光体組成物を選別する選別工程
を備えることを特徴とする、蛍光体組成物の製造方法。
【請求項２】
前記透明樹脂が硬化性樹脂であり、前記蛍光体組成物が、完全硬化状態のシートであることを特徴とする、請求項１に記載の蛍光体組成物の製造方法。
【請求項３】
前記検査光が、少なくとも第１光および第２光を含み、
前記第１光の波長が、複数の青色光半導体素子から発光される発光波長のうち、最も長い発光波長以上であり、
前記第２光の波長が、前記複数の青色光半導体素子から発光される発光波長のうち、最も短い発光波長以下であることを特徴とする、請求項１または２に記載の蛍光体組成物の製造方法。
【請求項４】
前記検査光が、さらに第３光を含み、
前記第３光の波長が、前記第１光の波長よりも短く、前記第２光の波長よりも長いことを特徴とする、請求項３に記載の蛍光体組成物の製造方法。
【請求項５】
前記選別工程が、
前記各検査光のＣＩＥ−ｘおよびＣＩＥ−ｙをグラフにプロットし、各プロットした点の中で最も距離が長くなる２点の距離を算出し、その算出した距離に基づいてビニング特性を有する蛍光体組成物を選別する工程
を含むことを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載の蛍光体組成物の製造方法。
【請求項６】
蛍光体および透明樹脂を含有する蛍光体組成物に、波長が互いに異なる複数の検査光を照射して、前記蛍光体組成物を通過する光の色度を測定する測定工程、および、
前記測定工程の結果に基づいて、ビニング特性を有する蛍光体組成物を選別する選別工程
を備えることを特徴とする、蛍光体組成物の評価方法。
【請求項７】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の蛍光体組成物の製造方法、または、請求項６に記載の蛍光体組成物の評価方法に用いるための測定装置であって、
波長が互いに異なる複数の検査光を発することが可能な発光部と、
前記検査光を受光する受光部と
を備えることを特徴とする、測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蛍光体組成物の製造方法および評価方法、ならびに、これらの製造方法または評価方法に用いる測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、高エネルギーの光を発光できる発光装置として、白色ＬＥＤなどの白色発光装置が知られている。白色発光装置には、例えば、電力をＬＥＤ（発光ダイオード）などの光半導体素子に供給するダイオード基板と、それに実装され、青色光を発光するＬＥＤ（青色ＬＥＤ）と、青色光を黄色光に変換でき、ＬＥＤを封止・被覆する蛍光体層とが設けられている。そのような白色発光装置は、ＬＥＤから発光されて蛍光体層を透過した青色光と、蛍光体層において青色光の一部が波長変換された黄色光との混色によって、白色光を発光する。
【０００３】
一例として、白色発光装置は、シリコンウェハの上に多数のＬＥＤ部を形成したＬＥＤ形成ウェハを用意し、これを単数のＬＥＤに個別化（チップ化）し、その個別化したＬＥＤをダイオード基板に実装し、最後に、蛍光体含有液をポッティングして蛍光体層をＬＥＤに被覆することにより、製造される。
【０００４】
ところで、ＬＥＤ形成ウェハから個別化される多数の青色ＬＥＤ（チップ）は、完全に同一の波長を発光するわけでなく、発光波長（青色波長）に数ｎｍ〜数十ｎｍのばらつきが生じている。そのため、これらの多数のＬＥＤに、均一な蛍光体層を一律に被覆して白色発光装置を製造した場合、ＬＥＤの波長ばらつきがそのまま反映されて、白色光の色度にもばらつきが生じる。
【０００５】
したがって、多数のＬＥＤを、例えば、波長５ｎｍ単位で分別（ランク分け）した後、その分別したＬＥＤごとに、蛍光体含有液の配合割合および波長変換の度合いを変更して、白色光の色度が均一となるように調整している。
【０００６】
しかしながら、この方法では、ＬＥＤを分別したり、分別したＬＥＤの波長ごとに蛍光体含有液を調整する必要があり、工業的に不利となっている。
【０００７】
そこで、特許文献１には、少なくとも１種の蛍光体と透明材料を含み、特定の励起スペクトルの強度変化率を備える波長変換部材が提案されている。
【０００８】
特許文献１の波長変換部材によれば、複数の青色ＬＥＤに発光波長のばらつきが生じている場合であっても、白色発光装置から発せられる白色光の色度のばらつきを抑制することができる。このような特性は、ビニング特性（またはビンフリー特性）と称されている。
【０００９】
ビニング特性を有する波長変換部材を備える白色発光装置は、多量のＬＥＤの分別作業や、分別したＬＥＤごとに対して波長変換部材の波長を調整する作業などが不要となる。その結果、生産効率が向上する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２０１５−９１９１５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、波長変換部材そのものがビニング特性を有するか否かを直接評価する工業的な方法は提案されていない。現状では、波長変換部材をＬＥＤに配置した白色発光装置を実際に製造して、この白色発光装置の光が所望の範囲内の色度であるか否かを評価している。すなわち、波長変換部材を製造した時点では、所望のビニング特性を有する波長変換部材を確実に製造しているか否かは不明である。
【００１２】
一方、従来のビニング特性を有していない波長変換部材の測定方法では、単一の波長（例えば、４４７ｎｍ）の検査光を波長変換部材に照射し、その検査光を検知および測定する。この方法では、単一の波長に対する波長変換機能については評価できるが、多波長に対する波長変換機能は評価できず、その結果、ビニング特性も評価できないという不具合が生じる。
【００１３】
そして、ビニング特性を有していない波長変換部材を用いて白色発光装置を製造すると、波長変換部材およびＬＥＤの両方を廃棄する必要が生じ、工業的に不利である。
【００１４】
そこで、ビニング特性を有する蛍光体組成物を確実に製造する方法、およびその評価方法、ならびに、それに用いる測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明［１］は、蛍光体および透明樹脂を混合して、蛍光体組成物を調製する調製工程、前記蛍光体組成物に、波長が互いに異なる複数の検査光を照射して、前記蛍光体組成物を通過する検査光の色度を測定する測定工程、および、前記測定工程の結果に基づいて、ビニング特性を有する蛍光体組成物を選別する選別工程を備える蛍光体組成物の製造方法を含んでいる。
【００１６】
本発明［２］は、前記透明樹脂が硬化性樹脂であり、前記蛍光体組成物が、完全硬化状態のシートである［１］に記載の蛍光体組成物の製造方法を含んでいる。
【００１７】
本発明［３］は、前記検査光が、少なくとも第１光および第２光を含み、前記第１光の波長が、複数の青色光半導体素子から発光される発光波長のうち、最も長い発光波長以上であり、前記第２光の波長が、前記複数の青色光半導体素子から発光される発光波長のうち、最も短い発光波長以下である［１］または［２］に記載の蛍光体組成物の製造方法を含んでいる。
【００１８】
本発明［４］は、前記検査光が、さらに第３光を含み、前記第３光の波長が、前記第１光の波長よりも短く、前記第２光の波長よりも長い［３］に記載の蛍光体組成物の製造方法を含んでいる。
【００１９】
本発明［５］は、前記選別工程が、前記各検査光のＣＩＥ−ｘおよびＣＩＥ−ｙをグラフにプロットし、各プロットした点の中で最も距離が長くなる２点の距離を算出し、その算出した距離に基づいてビニング特性を有する蛍光体組成物を選別する工程を含む［１］〜［４］のいずれか一項に記載の蛍光体組成物の製造方法を含んでいる。
【００２０】
本発明［６］は、蛍光体および透明樹脂を含有する蛍光体組成物に、波長が互いに異なる複数の検査光を照射して、前記蛍光体組成物を通過する光の色度を測定する測定工程、および、前記測定工程の結果に基づいて、ビニング特性を有する蛍光体組成物を選別する選別工程を備える蛍光体組成物の評価方法を含んでいる。
【００２１】
本発明［７］は、［１］〜［５］のいずれか一項に記載の蛍光体組成物の製造方法、または、［６］に記載の蛍光体組成物の評価方法に用いるための測定装置であって、波長が互いに異なる複数の検査光を発することが可能な発光部と、前記検査光を受光する受光部とを備える測定装置を含んでいる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の蛍光体組成物の製造方法によれば、ビニング特性を有する蛍光体組成物を確実に製造することができる。そのため、色度のばらつきを抑制した発光装置を効率よく製造することができる。
【００２３】
本発明の蛍光体組成物の評価方法によれば、ビニング特性を有する蛍光体組成物を簡易に評価することができる。
【００２４】
本発明の測定装置によれば、ビニング特性を有する蛍光体組成物を確実に製造、または、簡易に評価することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】図１Ａ−図１Ｂは、本発明の蛍光体組成物の製造方法の一実施形態の工程図であり、図１Ａは、シート化工程、図１Ｂは、測定工程を示す。
【図２】図２は、受光部で受光した検査光の色度をプロットしたＣＩＥ色度図を示す。
【図３】図３は、実施例１において、ビニング特性を有する蛍光体シートＡを検査した検査光の色度をプロットしたＣＩＥ色度図を示す。
【図４】図４は、実施例１において、ビニング特性を有しない蛍光体シートＢを検査した検査光の色度をプロットしたＣＩＥ色度図を示す。
【図５】図５は、実施例１において、ビニング特性を有する蛍光体シートＣを検査した検査光の色度をプロットしたＣＩＥ色度図を示す。
【図６】図６は、ビニング特性を有する蛍光体シートＡを用いて製造した白色発光装置の色度をプロットしたＣＩＥ色度図を示す。
【図７】図７は、ビニング特性を有しない蛍光体シートＢを用いて製造した白色発光装置の色度をプロットしたＣＩＥ色度図を示す。
【図８】図８は、ビニング特性を有する蛍光体シートＡのＣＩＥ−ｘと、それを用いて製造した白色発光装置のＣＩＥ−ｘとの関係を示したグラフを示す。
【図９】図９は、ビニング特性を有する蛍光体シートＡのＣＩＥ−ｙと、それを用いて製造した白色発光装置のＣＩＥ−ｙとの関係を示したグラフを示す。
【図１０】図１０は、蛍光体シートの最大２点間距離と、白色発光装置がマクアダム３ステップに含有される割合との関係を示したグラフを示す。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
［第１実施形態］
図１Ａにおいて、紙面上下方向は、上下方向（第１方向、厚み方向）であり、紙面上側が上側（第１方向一方側、厚み方向一方側）、紙面下側が下側（第１方向他方側、厚み方向他方側）である。紙面左右方向は、左右方向（第１方向に直交する第２方向）であり、紙面左側が左側（第２方向一方側）、紙面右側が右側（第２方向他方側）である。紙厚方向は、前後方向（第１方向および第２方向に直交する第３方向）であり、紙面手前側が前側（第３方向一方側）、紙面奥側が後側（第３方向他方側）である。
【００２７】
図１Ａ−図１Ｂを参照して、本発明の蛍光体組成物の製造方法の第１実施形態として、蛍光体シート１の製造方法を説明する。蛍光体シート１の製造方法は、蛍光体組成物調製工程、シート化工程、測定工程、および、選別工程を備える。
【００２８】
（蛍光体組成物調製工程）
蛍光体組成物調製工程では、例えば、蛍光体および透明樹脂を混合することにより、蛍光体組成物を調製する。
【００２９】
蛍光体は、公知または市販の蛍光体を使用することができる。このような蛍光体としては、例えば、緑色蛍光体、黄色蛍光体、赤色蛍光体、青色蛍光体などが挙げられる。
【００３０】
緑色蛍光体の発光ピーク波長は、例えば、５００ｎｍ以上、好ましくは、５１０ｎｍ以上、より好ましくは、５１５ｎｍ以上であり、また、例えば、５５０ｎｍ未満、好ましくは、５４０ｎｍ以下、より好ましくは、５３５ｎｍ以下である。
【００３１】
緑色蛍光体としては、例えば、（Ｂａ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｍｇ）２ＳｉＯ４：Ｅｕ（「ＢＳＳ蛍光体」）などのＥｕ付活アルカリ土類シリケート系蛍光体、例えば、Ｓｉ６−ｚＡｌｚＮ８−ｚＯｚ：Ｅｕ（ただし、０＜ｚ≦４．２）（「β−ＳｉＡｌＯＮ蛍光体」）、Ｍ３Ｓｉ６Ｏ１２Ｎ２：Ｅｕ（Ｍはアルカリ土類金属元素を表す。）（「ＢＳＯＮ蛍光体」）などのＥｕ付活酸窒化物蛍光体などが挙げられる。
【００３２】
また、緑色蛍光体として、ガーネット系蛍光体も挙げられる。ガーネット系蛍光体としては、下記一般式（１ａ）で表されるＧＹＡＧ蛍光体、下記一般式（１ｂ）で表されるＬｕＡＧ蛍光体、下記一般式（１ｃ）で表される蛍光体が挙げられる。
【００３３】
Ｙａ（Ｃｅ，Ｔｂ，Ｇｄ，Ｌｕ）ｂ（Ｇａ，Ｓｃ）ｃＡｌｄＯｅ      （１ａ）
（ａ＋ｂ＝３、０≦ｂ≦０．２、４．５≦ｃ＋ｄ≦５．５、１．２≦ｃ≦２．６、１０．８≦ｅ≦１３．４）
Ｌｕａ（Ｃｅ，Ｔｂ，Ｇｄ，Ｙ）ｂ（Ｇａ，Ｓｃ）ｃＡｌｄＯｅ        （１ｂ）
（ａ＋ｂ＝３、０≦ｃ≦０．２、４．５≦ｃ＋ｄ≦５．５、０≦ｄ≦０．２、１０．８≦ｅ≦１３．４）
ＹａＴｂｆ（Ｃｅ，Ｇｄ，Ｌｕ）ｂ（Ｇａ，Ｓｃ）ｃＡｌｄＯｅ        （１ｃ）
（ａ＋ｂ＋ｆ＝３、０≦ｂ≦０．２、４．５≦ｃ＋ｄ≦５．５、０≦ｃ≦２．６、１０．８≦ｅ≦１３．４、０．１≦ｆ≦１）
一般式（１ａ）の中でも、より好ましくは、下記一般式（１ａ´）が挙げられる。
【００３４】
ＹａＣｅｂＧａｃＡｌｄＯｅ      （１ａ´）
（ａ＋ｂ＝３、０≦ｂ≦０．２、４．５≦ｃ＋ｄ≦５．５、１．２≦ｃ≦２．６、１０．８≦ｅ≦１３．４）
緑色蛍光体としては、好ましくは、Ｅｕ付活アルカリ土類シリケート系蛍光体、Ｅｕ付活酸窒化物蛍光体、ガーネット系蛍光体が挙げられ、より好ましくは、ＢＳＳ蛍光体、β−ＳｉＡｌＯＮ蛍光体、ＧＹＡＧ蛍光体が挙げられ、さらに好ましくは、ＧＹＡＧ蛍光体が挙げられる。
【００３５】
黄色蛍光体の発光ピーク波長は、例えば、５３０ｎｍ以上、好ましくは、５４０ｎｍ以上、より好ましくは、５５０ｎｍ以上であり、また、例えば、６２０ｎｍ以下、好ましくは、６００ｎｍ以下、より好ましくは、５８０ｎｍ未満である。
【００３６】
黄色蛍光体としては、例えば、ＣａＧａ２Ｓ４：Ｅｕ、（Ｃａ，Ｓｒ）Ｇａ２Ｓ４：Ｅｕ、（Ｃａ，Ｓｒ）（Ｇａ，Ａｌ）２Ｓ４：ＥｕなどのＥｕ付活硫化物蛍光体、例えば、Ｃａｘ（Ｓｉ，Ａｌ）１２（Ｏ，Ｎ）１６：ＥｕなどのＥｕ付活酸窒化物蛍光体、例えば、Ｅｕ付活ハロゲン化ホウ酸塩蛍光体、例えば、ＧＡＬ蛍光体（アルミネート系蛍光体）などが挙げられる。
【００３７】
また、下記一般式（２ａ）で表されるＬＳＮ蛍光体などの窒化物蛍光体も挙げられる。
【００３８】
ＬｎｘＳｉｙＮｎ：Ｚ        （２ａ）
（式中、Ｌｎは賦活剤として用いる元素を除いた希土類元素であり、Ｚは賦活剤であり、ｘは２．７≦ｘ≦３．３であり、ｙは５．４≦ｙ≦６．６を満たし、ｎは１０≦ｎ≦１２を満たす。）
また、下記一般式（２ｂ）で表されるＹＡＧ蛍光体などのガーネット系蛍光体も挙げられる。
【００３９】
Ｙａ（Ｃｅ，Ｔｂ，Ｌｕ）ｂ（Ｇａ，Ｓｃ）ｃＡｌｄＯｅ      （２ｂ）
（ａ＋ｂ＝３、０≦ｂ≦０．２、４．５≦ｃ＋ｄ≦５．５、０≦ｃ≦０．２、１０．８≦ｅ≦１３．４）
黄色蛍光体としては、好ましくは、窒化物蛍光体、ガーネット系蛍光体、ＧＡＬ蛍光体が挙げられ、より好ましくは、ＬＳＮ蛍光体、ＹＡＧ蛍光体、ＧＡＬ蛍光体が挙げられ、さらに好ましくは、ＹＡＧ蛍光体、ＧＡＬ蛍光体が挙げられる。
【００４０】
赤色蛍光体の発光ピーク波長は、例えば、５６５ｎｍ以上、好ましくは、５７５ｎｍ以上、より好ましくは、５８０ｎｍ以上であり、また、例えば、７８０ｎｍ以下、好ましくは、７００ｎｍ以下、より好ましくは、６８０ｎｍ以下である。
【００４１】
赤色蛍光体としては、例えば、ＣａＡｌＳｉＮ３：Ｅｕ（「ＣＡＳＮ蛍光体」）、（Ｓｒ，Ｃａ）ＡｌＳｉＮ３：Ｅｕ（「ＳＣＡＳＮ蛍光体」）などのＥｕ付活窒化物蛍光体、例えば、Ｃａ１−ｘＡｌ１−ｘＳｉ１＋ｘＮ３−ｘＯｘ：Ｅｕ（「ＣＡＳＯＮ蛍光体」）などのＥｕ付活酸窒化物蛍光体、例えば、（Ｓｒ，Ｂａ，Ｃａ）３ＳｉＯ５：Ｅｕ（「ＳＢＳ蛍光体」）などのＥｕ付活シリケート系蛍光体などが挙げられる。
【００４２】
赤色蛍光体としては、好ましくは、Ｅｕ付活窒化物蛍光体が挙げられ、より好ましくは、ＳＣＡＳＮ蛍光体が挙げられる。
【００４３】
青色蛍光体の発光ピーク波長としては、例えば、４２０ｎｍ以上、好ましくは、４３０ｎｍ以上、より好ましくは、４４０ｎｍ以上であり、また、例えば、５００ｎｍ未満、好ましくは、４９０ｎｍ以下、より好ましくは、４８０ｎｍ以下である。
【００４４】
青色蛍光体としては、例えば、（Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ）５（ＰＯ４）３Ｃｌ：ＥｕなどのＥｕ付活ハロリン酸カルシウム系蛍光体、例えば、（Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ）２Ｂ５Ｏ９Ｃｌ：ＥｕなどのＥｕ付活アルカリ土類クロロボレート系蛍光体、例えば、（Ｓｒ，Ｃａ，Ｂａ）Ａｌ２Ｏ４：Ｅｕ、（Ｓｒ，Ｃａ，Ｂａ）４Ａｌ１４Ｏ２５：ＥｕなどのＥｕ付活アルカリ土類アルミネート系蛍光体などが挙げられる。
【００４５】
また、蛍光体は、上記した蛍光体以外にも、例えば、特開２０１５−９１９１５号公報、特開２０１４−１７０８９５号公報などに記載される蛍光体も使用することができる。
【００４６】
蛍光体は、粒子状であり、その形状は、特に限定されず、例えば、略球形状、略平板形状、略針形状などが挙げられる。
【００４７】
これらのうち、発光装置の演色性を高める目的から、蛍光体は、好ましくは、少なくとも緑色蛍光体および赤色蛍光体を含有する。
【００４８】
具体的には、好ましくは、ＢＳＳ／ＬＳＮ／ＳＣＡＳＮの組み合わせ、β−ＳｉＡｌＯＮ／ＬＳＮ／ＳＣＡＳＮの組み合わせ、ＧＹＡＧ／ＬＳＮ／ＳＣＡＳＮの組み合わせ、ＧＹＡＧ／ＹＡＧ／ＳＣＡＳＮの組み合わせ、ＧＹＡＧ／ＳＣＡＳＮの組み合わせ、ＧＡＬ／ＳＣＡＳＮの組み合わせなどが挙げられる。
【００４９】
蛍光体の平均一次粒子径（最大長さの平均）は、例えば、０．１μｍ以上、好ましくは、０．２μｍ以上、より好ましくは、１μｍ以上であり、また、例えば、５００μｍ以下、好ましくは、２００μｍ以下、より好ましくは、５０μｍ以下である。
【００５０】
蛍光体組成物における蛍光体の含有割合は、例えば、３質量％以上、好ましくは、５質量％以上、より好ましくは、１０質量％以上であり、また、例えば、８５質量％以下、好ましくは、８０質量％以下、より好ましくは、５０質量％以下、さらに好ましくは、２５質量％以下である。
【００５１】
蛍光体が、緑色蛍光体および赤色蛍光体の組み合わせである場合、その蛍光体における緑色蛍光体の質量割合は、例えば、５０質量％以上、好ましくは、６０質量％以上、より好ましくは、７０質量％以上であり、また、例えば、９８質量％以下、好ましくは、９５質量％以下である。蛍光体における赤色蛍光体の質量割合は、例えば、２質量％以上、好ましくは、５質量％以上であり、また、例えば、５０質量％以下、好ましくは、４０質量％以下、より好ましくは、３０質量％以下である。
【００５２】
透明樹脂は、蛍光体シート１中に蛍光体を均一に分散させるマトリクスである。透明樹脂としては、例えば、硬化性樹脂、熱可塑性樹脂が挙げられる。好ましくは、硬化性樹脂が挙げられる。
【００５３】
硬化性樹脂としては、例えば、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂などが挙げられる。
【００５４】
硬化性樹脂としては、２段反応硬化性樹脂、１段反応硬化性樹脂などの熱硬化性樹脂が挙げられる。
【００５５】
２段反応硬化性樹脂は、２つの反応機構を有しており、第１段の反応で、Ａステージ状態からＢステージ化（半硬化）し、次いで、第２段の反応で、Ｂステージ状態からＣステージ化（完全硬化）することができる。つまり、２段反応硬化性樹脂は、Ｂステージ状態となることができる熱硬化性樹脂である。Ｂステージ状態（半硬化状態）は、熱硬化性樹脂が、液状であるＡステージ状態（未硬化状態）と、完全硬化したＣステージ状態（完全硬化状態）との間の状態であって、硬化およびゲル化がわずかに進行し、圧縮弾性率がＣステージ状態の圧縮弾性率よりも小さい半固体状態または固体状態である。
【００５６】
１段反応硬化性樹脂は、１つの反応機構を有しており、第１段の反応で、Ａステージ状態からＣステージ化することができる。このような１段反応硬化性樹脂は、第１段の反応の途中で、その反応が停止して、Ａステージ状態からＢステージ状態となることができ、その後、第１段の反応が再開されて、Ｂステージ状態からＣステージ化することができる熱硬化性樹脂を含む。つまり、１段反応硬化性樹脂は、Ｂステージ状態となることができる熱硬化性樹脂を含む。また、１段反応硬化性樹脂は、１段の反応の途中で停止するように制御できず、つまり、Ｂステージ状態となることができず、一度に、ＡステージからＣステージ化する熱硬化性樹脂も含む。
【００５７】
好ましくは、熱硬化性樹脂としては、Ｂステージ状態となることができる熱硬化性樹脂（２段反応硬化性樹脂および１段反応硬化性樹脂）が挙げられる。
【００５８】
Ｂステージ状態となることができる熱硬化性樹脂としては、好ましくは、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂が挙げられ、より好ましくは、シリコーン樹脂が挙げられる。
【００５９】
また、Ｂステージ状態となることができるシリコーン樹脂としては、例えば、熱可塑性および熱硬化性を併有するシリコーン樹脂（熱可塑性・熱硬化性シリコーン樹脂）、熱可塑性を有さず・熱硬化性を有するシリコーン樹脂（非熱可塑性・熱硬化性シリコーン樹脂）が挙げられる。
【００６０】
熱可塑性・熱硬化性シリコーン樹脂は、Ｂステージにおいて、加熱により、一旦可塑化（あるいは液状化）し、その後、さらなる加熱によって硬化（Ｃステージ化）する。具体的には、１段階反応硬化型樹脂として、例えば、特開２０１６−３７５６２号公報などに記載されるフェニル系シリコーン樹脂組成物が挙げられ、２段階反応硬化型樹脂として、例えば、特開２０１４−７２３５１号公報、特開２０１３−１８７２２７号公報に記載される第１〜第６の熱可塑性・熱硬化性シリコーン樹脂組成物（例えば、両末端アミノ型シリコーン樹脂を含有する組成物、かご型オクタシルセスキオキサンを含有する組成物）などが挙げられる。
【００６１】
フェニル系シリコーン樹脂組成物は、シロキサン結合である主骨格にフェニル基を有している。フェニル系シリコーン樹脂組成物としては、好ましくは、付加反応硬化型シリコーン樹脂組成物が挙げられる。具体的には、アルケニル基含有ポリシロキサンと、ヒドロシリル基含有ポリシロキサンと、ヒドロシリル化触媒とを含有し、アルケニル基含有ポリシロキサンおよびヒドロシリル基含有ポリシロキサンの少なくとも一方がフェニル基を有する付加反応硬化型シリコーン樹脂組成物などが挙げられる。
【００６２】
非熱可塑性・熱硬化性シリコーン樹脂としては、２段階反応硬化型樹脂として、例えば、特開２０１０−２６５４３６号公報、特開２０１３−１８７２２７号公報などに記載される第１〜第８の縮合・付加反応硬化型シリコーン樹脂組成物が挙げられる。
【００６３】
均一分散の観点から、好ましくは、熱可塑性・熱硬化性シリコーン樹脂が挙げられ、より好ましくは、フェニル系シリコーン樹脂組成物が挙げられる。
【００６４】
また、Ｂステージ状態をとらない熱硬化性シリコーン樹脂としては、例えば、ＥＬＡＳＴＯＳＩＬシリーズ（旭化成ワッカーシリコーン社製、具体的には、ＥＬＡＳＴＯＳＩＬ  ＬＲ７６６５）、ＫＥＲシリーズ（信越シリコーン社製）などのメチル系シリコーン樹脂組成物などが挙げられる。
【００６５】
透明樹脂は、単独で使用または２種以上を併用することができる。
【００６６】
透明樹脂の含有割合は、蛍光体（および後述する添加剤）の含有割合の残部であり、例えば、蛍光体組成物に対して、例えば、１０質量％以上、好ましくは、２０質量％以上、より好ましくは、３０質量％以上であり、また、例えば、９７質量％以下、好ましくは、８０質量％以下、より好ましくは、７０質量％以下である。
【００６７】
蛍光体組成物は、無機フィラーなどの添加物を含有することができる。
【００６８】
無機フィラーは、蛍光体組成物をシート化する際の成形性および蛍光体の分散性を向上させるために、任意的に蛍光体組成物に配合される。無機フィラーとしては、例えば、シリカ（好ましくは、煙霧シリカ）、タルク（Ｍｇ３（Ｓｉ４Ｏ１０）（ＨＯ）２）、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、酸化ホウ素（Ｂ２Ｏ３）、酸化カルシウム（ＣａＯ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化ストロンチウム（ＳｒＯ）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）、酸化バリウム（ＢａＯ）、酸化アンチモン（Ｓｂ２Ｏ３）などの酸化物粒子、例えば、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）などの窒化物などの無機物粒子（無機物）が挙げられる。また、無機フィラーとして、例えば、上記例示の無機物から調製される複合無機物粒子が挙げられ、好ましくは、酸化物から調製される複合無機酸化物粒子が挙げられる。
【００６９】
無機フィラーとしては、好ましくは、シリカ粒子、複合無機酸化物粒子が挙げられ、より好ましくは、煙霧シリカ、複合無機酸化物粒子、さらに好ましくは、煙霧シリカおよび複合無機酸化物粒子の併用が挙げられる。
【００７０】
煙霧シリカ（ヒュームドシリカ）は、例えば、四塩化ケイ素などのシラン化合物を酸素と水素の炎中で加水分解することにより得られる。特に、本発明では、蛍光体組成物は、好ましくは、少なくとも煙霧シリカを含有する。
【００７１】
複合無機酸化物粒子としては、例えば、シリカを主成分として含有し、アルミナ、酸化カルシウム、酸化亜鉛、酸化ストロンチウム、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム、酸化バリウム、酸化アンチモンなどの酸化物を副成分として含有するガラス粒子が挙げられる。
【００７２】
無機フィラーの形状は、特に限定されず、例えば、球状、板状、針状などが挙げられる。好ましくは、流動性の観点から、球状が挙げられる。
【００７３】
無機フィラーの平均一次粒子径は、例えば、５μｍ以上、好ましくは、１０μｍ以上であり、また、例えば、５０μｍ以下、好ましくは、３０μｍ以下である。なお、無機フィラーが煙霧シリカである場合は、その平均一次粒子径は、例えば、１ｎｍ以上、好ましくは、５ｎｍ以上であり、また、例えば、２００ｎｍ以下、好ましくは、５０ｎｍ以下である。
【００７４】
無機フィラー、蛍光体などの平均一次粒子径は、Ｄ５０値として算出される。具体的には、レーザー回折式粒度分布計（「ＭＴ−３３００」、マイクロトラック社製、湿式モード）により測定される。
【００７５】
蛍光体組成物が無機フィラーを含有する場合、蛍光体組成物における無機フィラーの含有割合は、例えば、３質量％以上、好ましくは、５質量％以上であり、また、例えば、６０質量％以下、好ましくは、５０質量％以下、より好ましくは、４０質量％以下である。無機フィラーの含有割合を上記範囲内とすることにより、蛍光体を蛍光体シート１中に分散させることができる。
【００７６】
蛍光体組成物が無機フィラーの中でも煙霧シリカを含有する場合は、蛍光体組成物における煙霧シリカの含有割合は、例えば、０．１質量％以上、好ましくは、０．２質量％以上、より好ましくは、１質量％以上であり、また、例えば、１０質量％以下、好ましくは、８質量％以下である。
【００７７】
蛍光体組成物は、上記成分以外にも、有機フィラー、老化防止剤、変性剤、界面活性剤、染料、顔料、変色防止剤、紫外線吸収剤、クリープハードニング防止剤、可塑剤、チクソ性付与剤、防カビ剤などの添加剤を配合適宜の割合で添加することができる。
【００７８】
蛍光体組成物調製工程では、蛍光体と透明樹脂とを上記した配合割合で混合する。また、これらの成分にさらに無機フィラーなどの添加剤を適宜の割合で添加する。これによって、蛍光体が透明樹脂中に分散された蛍光体組成物を、ワニス（液状）として調製する。
【００７９】
（シート化工程）
シート化工程では、図１Ａに示すように、蛍光体組成物をシート状に成形する。具体的には、透明樹脂が硬化性樹脂である場合は、蛍光体組成物を塗布し、硬化する。
【００８０】
まず、蛍光体組成物のワニスを透明基材２の上面に塗布する。
【００８１】
透明基材２は、測定工程において、発光部５から発光する光を例えば８０％以上（好ましくは、１００％）透過する透明の基材であり、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリエステルフィルム（ＰＥＴなど）などのポリマーフィルムなどが挙げられる。透明基材２は、必要によりフッ素処理などの剥離処理されている。透明基材２の厚みは、例えば、１μｍ以上、好ましくは、１０μｍ以上であり、また、例えば、２０００μｍ以下、好ましくは、１０００μｍ以下である。
【００８２】
ワニスを透明基材２の表面に塗布するには、例えば、ディスペンサ、アプリケータ、スリットダイコータなどの塗布装置が用いられる。
【００８３】
ワニスの透明基材２への塗布によって、塗膜が形成される。
【００８４】
続いて、塗膜を硬化させる。具体的には、透明樹脂が熱硬化性樹脂などであれば、塗膜を加熱する。
【００８５】
加熱条件として、加熱温度は、例えば、７０℃以上、好ましくは、８０℃以上であり、また、例えば、１５０℃以下、好ましくは、１２０℃以下である。加熱時間は、例えば、５分以上、好ましくは、１０分以上であり、また、例えば、１２０分以下、好ましくは、６０分以下である。
【００８６】
あるいは、透明樹脂が紫外線硬化性樹脂などであれば、塗膜に紫外線を照射する。具体的には、ＵＶランプなどを用いて、塗膜に紫外線を照射する。
【００８７】
これによって、塗膜におけるＡステージの透明樹脂をＣステージ状態（完全硬化状態）にする。
【００８８】
なお、透明樹脂がＢステージ状態となることができる樹脂である場合は、まず、第１段階加熱によりＢステージ状態（半硬化状態）とする。続いて、第２段階加熱によりＣステージ状態（完全硬化状態）とする。第２段階加熱の際に、熱プレスすることにより、所望の膜厚のシートに確実に成形することができる。
【００８９】
第１段階加熱としては、透明樹脂のＢステージ状態となる温度に応じて、上記した加熱温度および時間で適宜設定される。
【００９０】
熱プレスの圧力としては、例えば、０．１ＭＰａ以上、好ましくは、０．５ＭＰａ以上であり、また、例えば、２０ＭＰａ以下、好ましくは、１０ＭＰａ以下である。
【００９１】
これによって、シート状の蛍光体シート１が完全硬化状態（Ｃステージ状態）として得られる。具体的には、図１Ａに示すように、蛍光体シート１が、透明基材２の上面に配置された状態で得られる。
【００９２】
蛍光体シート１の厚みは、例えば、１０μｍ以上、好ましくは、１００μｍ以上であり、また、例えば、１０００μｍ以下、好ましくは、５００μｍ以下である。
【００９３】
（測定工程）
測定工程では、図１Ｂに示すように、蛍光体シート１に、波長が互いに異なる複数の検査光３を照射して、蛍光体シート１を通過する検査光３の色度を測定する。
【００９４】
まず、測定工程に用いる測定装置４について説明する。
【００９５】
測定装置４は、発光部５と、受光部６と、計測部７と、透明台８とを備えている。
【００９６】
発光部５は、波長が互いに異なる複数の検査光を発することが可能な波長可変光源ユニットである。
【００９７】
発光部５は、多波長発光光源９と、光分離器１０とを備えている。
【００９８】
多波長発光光源９は、複数の波長の光を発する光源であり、例えば、所定の連続した波長域の光を発光する。多波長発光光源９は、例えば、少なくとも４３０ｎｍ以上４７０ｎｍ以下の連続した範囲の波長域の光を発光する。多波長発光光源９としては、具体的には、キセノン光源などが挙げられる。
【００９９】
光分離器１０は、多波長発光光源９から発する連続した波長域の光から、特定波長の光（検査光３）のみを分離する。光分離器１０としては、具体的には、回折格子またはプリズムなどを備えるモノクロメーターなどが挙げられる。
【０１００】
発光部５において、多波長発光光源９から多波長の光が発光し、光分離器１０を通過することによって、特定波長の光（検査光３）のみが、下側に向かって、すなわち、透明台８を介して受光部６に向かって照射される。
【０１０１】
受光部６は、発光部５と間隔を隔てて、発光部５の下側に対向配置されている。受光部６は、発光部５から下側に向かって発光され、蛍光体シート１を通過してくる検査光３を受光（検知）する。
【０１０２】
計測部７は、受光部６に接続されており、受光部６で受光された検査光３を計測し、その検査光３のＣＩＥ色度（ＣＩＥ−ｘおよびＣＩＥ−ｙ）を算出する。計測部７としては、例えば、マルチチャンネル分光器などが挙げられ、具体的には、大塚電子社製のＭＣＰＤシリーズが挙げられる。  
【０１０３】
透明台８は、測定時に蛍光体シート１を下方から支持するための透明な載置台であって、平板形状を有する。透明台８は、発光部５と受光部６との上下方向中央に、互いに間隔を隔てて配置されている。透明台８としては、具体的には、ガラス板などが挙げられる。
【０１０４】
測定工程では、測定装置４に蛍光体シート１を配置する。具体的には、蛍光体シート１を、蛍光体シート１が透明基材２の上面に配置された状態で、透明基材２と透明台８とが接触するように、透明台８の上面に載置する。
【０１０５】
次いで、異なる複数の検査光３を蛍光体シート１に順に照射し、その蛍光体シート１を通過した検査光３の色度を測定する。
【０１０６】
具体的には、まず、第１光を発光部５から照射し、蛍光体シート１を通過させ、その通過した第１光を受光部６で受光し、その色度を計測部７で算出する。
【０１０７】
続いて、第１光の波長とは異なる波長を有する第２光を発光部５から照射し、第１光と同様にして、受光部６で受光した第２光の色度を計測部７で算出する。
【０１０８】
以下、第１光および第２光の波長とは異なる波長を有する第３光以降についても、上記と同様にして発光部５から照射し、受光部６で受光した光の色度を計測部７で算出する。
【０１０９】
次いで、発光部５から照射する検査光（第１光、第２光、第３光、…）の波長の選択について説明する。
【０１１０】
まず、蛍光体シート１（蛍光体組成物）を配置する予定の複数の青色光半導体素子（青色ＬＥＤ）を用意する。これら複数の青色光半導体素子は、各波長域（例えば、５ｎｍごと）にランク分けされていない青色光半導体素子である。
【０１１１】
複数の青色光半導体素子の発光波長のうち最も長い波長（λｍａｘ）は、例えば、４５０ｎｍ以上４７０ｎｍ以下であり、また、最も短い波長（λｍｉｎ）は、例えば、４３０ｎｍ以上４４５ｎｍ以下である。
【０１１２】
続いて、複数の青色光半導体素子の発光波長を測定する。測定対象は、複数の青色光半導体素子の全てであってもよく、一部（例えば、任意の１０個）であってもよい。
【０１１３】
得られた発光波長の測定結果の中から、最も発光波長が最も長い波長（λｍａｘ）かそれより長い波長を第１光の波長とする。すなわち、第１光の波長≧λｍａｘを満たす。
【０１１４】
一方、得られた測定結果の中から、最も発光波長が短い波長（λｍｉｎ）かそれよりも短い波長を第２光の波長とする。すなわち、第２光の波長≦λｍｉｎを満たす。
【０１１５】
検査光３の数は、第１光および第２光を含んでいればよく、２以上、好ましくは、３以上、より好ましくは、４以上であり、また、例えば、１０以下である。
【０１１６】
なお、検査光３の数を３以上とする場合、第３光以降の検査光は、第１光および第２光の中間の波長を有する中間光である。すなわち、λｍｉｎ＜中間光（第３光、第４光、…）の波長＜λｍａｘを満たす。中間光を用いることによって、ビニング特性を有する蛍光体シート１をより確実に評価することができる。
【０１１７】
第３光以降の中間光を用いる場合は、好ましくは、中間光の波長は、最近接の検査光３との波長間隔が、互いに均等とするように選択する。具体的には、第１〜３光を用いる場合では、第１光と第３光との波長間隔と、第３光と第２光との波長間隔とが同一となるように選択する。また、第１〜４光を用いる場合では（波長の長さ：第１光＞第３光＞第４光＞第２光とする）、第１光と第３光との波長間隔、第３光と第４光との波長間隔、および、第４光と第２光との波長間隔が互いに同一となるように選択する。
【０１１８】
また、好ましくは、中間光の波長は、得られた発光波長の測定結果の平均値に対して、±７．５ｎｍ、より好ましくは、±５．０ｎｍの範囲とする。
【０１１９】
計測部７で計測される光の色度は、例えば、ＣＩＥ  ＸＹＺ表色系に基づく色度であって、具体的には、ＣＩＥ−ｘおよびＣＩＥ−ｙが挙げられる。
【０１２０】
なお、測定結果の誤差を低減させるため、好ましくは、各検査光（第１光、第２光、…）に対して、それぞれ、蛍光体シート１の複数地点の色度を測定し、複数地点の平均値を各検査光の測定結果とする。
【０１２１】
また、複数の検査光３（第１光、第２光、…）の照射順については上記の順に限定されない。
【０１２２】
（選別工程）
選別工程では、測定工程の結果に基づいて、ビニング特性を有する蛍光体シート１を選別する。
【０１２３】
具体的には、図２が示すように、各検査光３の測定結果である色度（ＣＩＥ−ｘ、ＣＩＥ−ｙ）を、グラフ（散布図）にプロットする。すなわち、各検査光３の測定結果を、ＣＩＥ色度図（ｘｙ色度図ともいう。横軸：ＣＩＥ−ｘ、縦軸：ＣＩＥ−ｙ）にプロットする。
【０１２４】
ＣＩＥ−ｘの範囲は、蛍光体シート１に応じて適宜決定されるが、例えば、０．１５以上、好ましくは、０．４０以上であり、また、例えば、０．５０以下、好ましくは、０．４５以下である。ＣＩＥ−ｙの範囲は、例えば、０．１５以上、好ましくは、０．３５以上であり、また、例えば、０．５０以下、好ましくは、０．４０以下である。
【０１２５】
次いで、各検査光３のプロットの中で、最も距離が長くなる２点（例えば、図２では、第１光および第２光の２点）を選択し、その２点のグラフ間での距離Ｌ（最大２点間距離）を算出する。
【０１２６】
次いで、最大２点間距離Ｌが所定の数値Ａ以下である場合を、蛍光体シート１がビニング特性を有すると評価し、所定の数値Ａを超過する場合、蛍光体シートがビニング特性を有さないと評価する。
【０１２７】
所定の数値Ａ（閾値）は、所望のビニング特性の基準に応じて種々の方法で決定できるが、具体的な数値としては、例えば、０．０３９以下、好ましくは、０．０２０以下、より好ましくは、０．０１７以下、さらに好ましくは、０．０１０以下である。
【０１２８】
特に、複数の発光装置の色度が、マクアダム楕円（５ステップ）の範囲に９９％以上含まれるためには、数値Ａを、例えば、０．０３９以下、好ましくは、０．０２０以下、より好ましくは、０．０１５以下に設定する。また、複数の発光装置の色度が、マクアダム楕円（３ステップ）の範囲に９５％以上含まれるためには、数値Ａを、例えば、０．０１７以下、好ましくは、０．０１０以下に設定する。
【０１２９】
次いで、最大２点間距離Ｌが所定の数値Ａ以下である蛍光体シート１のみを選別する。
【０１３０】
このようにして選別して得られる蛍光体シート１は、ビニング特性を有する。ビニング特性とは、発光波長のばらつきが生じている複数の光半導体素子（好ましくは、青色ＬＥＤ）に対して、蛍光体シート１を設けて複数の発光装置（好ましくは、白色発光装置）を製造した際に、複数の発光装置から発せられる光（好ましくは、白色光）の色度のばらつきを抑制することができる特性をいう。
【０１３１】
例えば、下記（１）〜（３）の手順によりＣＩＥ色度図（ｘ軸：ＣＩＥ−ｘ、ｙ軸：ＣＩＥ−ｙ）を作製した際に、マクアダム楕円（５ステップ）の範囲に、例えば、９５．０％以上、好ましくは、９９．０％以上、より好ましくは、１００％含まれる。また、マクアダム楕円（３ステップ）の範囲に、例えば、９０．０％以上、好ましくは、９５．０％以上含まれる。
【０１３２】
（１）選別した蛍光体シート１を個片化して、複数の個片化蛍光体シートを得る。
【０１３３】
（２）個片化蛍光体シートを、発光波長ごとにランク分けされていない複数の光半導体素子に設けて、複数の発光装置を得る。
【０１３４】
（３）複数の発光装置の色度（ＣＩＥ−ｘ、ＣＩＥ−ｙ）を測定し、それらを色度ＣＩＥ色度図（ｘ軸：ＣＩＥ−ｘ、ｙ軸：ＣＩＥ−ｙ）にプロットする。
【０１３５】
（４）各プロットの中心点（平均値）を基準に、マクアダム楕円（５ステップ、３ステップ）をＣＩＥ色度図に描く。
【０１３６】
さらに具体的には、蛍光体シート１は、例えば、下記（ａ）〜（ｃ）の全ての特性を備え、好ましくは、下記（ａ）〜（ｄ）の全ての特性を備える。
【０１３７】
（ａ）蛍光体シート１は、波長４３０ｎｍ以上４７０ｎｍ以下（好ましくは、４３０ｎｍ以上４６０ｎｍ以下）に最大発光強度波長を有する青色光半導体素子から放射される光の一部を吸収し、吸収した光をより長波長の光に変換する。
【０１３８】
（ｂ）蛍光体シート１は、励起スペクトルにおいて、励起波長４２０ｎｍ以上４８０ｎｍ以下に、少なくとも１つの極大値を有する。好ましくは、励起波長４３０ｎｍ以上に極大値を有し、また、好ましくは、励起波長４６０ｎｍ以下、より好ましくは、励起波長４５０ｎｍ以下に極大値を有する。なお、励起スペクトルは、発光波長５４０ｎｍでの励起スペクトルをいう。
【０１３９】
（ｃ）励起波長４２０ｎｍ以上４８０ｎｍ以下における励起スペクトルの、最大強度に対する強度変化率が、例えば、１％以上５０％以下である。より好ましくは、励起波長４３５ｎｍ以上４６５ｎｍ以下における励起スペクトルの、最大強度に対する変化率が、２％以上、さらに好ましくは、３％以上であり、また、２０％以下、さらに好ましくは、１８％以下である。
【０１４０】
（ｄ）蛍光体シート１において、極大値を１．００としたときの励起スペクトル強度が、励起波長４３５ｎｍにおいて、例えば、０．９４以上、好ましくは、０．９５以上、より好ましくは、０．９７以上であり、また、例えば、０．９９以下である。また、極大値を１．００としたときの励起スペクトル強度が、励起波長４６５ｎｍにおいて、０．８０以上、好ましくは、０．８２以上であり、また、例えば、０．９９以下、好ましくは、０．９０以下である。
【０１４１】
蛍光体シート１は、種々の産業用途に用いることができ、特に、光半導体素子に設けるための蛍光体シート１として用いられる。光半導体素子としては、例えば、青色光を発光する素子（青色光半導体素子。例えば、青色ＬＥＤ、青色ＬＤなど）が挙げられる。特に好ましくは、蛍光体シート１は、青色ＬＥＤに配置して白色発光装置を製造するための蛍光体シート１として用いられる。
【０１４２】
本発明における白色発光装置は、蛍光体シート１および青色光半導体素子を備え、白色を発光することができればよい。また、白色発光装置は、青色光半導体素子に実装するためのダイオード基板を有してもよく、または、ダイオード基板を有していなくてもよい。
【０１４３】
（作用効果）
この蛍光体シート１の製造方法によれば、ビニング特性を有する蛍光体シート１を確実に製造することができる。そのため、この製造方法により得られる蛍光体シート１を用いれば、色度のばらつきを抑制した発光装置（光半導体装置）を効率よく製造することができ、所望の色度を有する発光装置の歩留まりを向上させることができる。
【０１４４】
また、検査光３が、複数の青色ＬＥＤから発光される発光波長のうち、最も長い発光波長以上である第１光と、最も短い発光波長以下である第２光を含むと、ビニング特性を効率よく評価することができるため、ビニング特性を有する蛍光体シート１を効率よく製造することができる。
【０１４５】
また、検査光３が、第１光および第２光に加えて、第１光の波長よりも短く、第２光の波長よりも長い波長を有する第３光をさらに含むと、ビニング特性を有する蛍光体シート１をより確実に評価および選択して、製造することができる。
【０１４６】
また、選別工程が、検査光３のＣＩＥ−ｘおよびＣＩＥ−ｙをグラフにプロットし、各プロットした点の中で最も距離が長くなる２点の距離Ｌを算出し、その算出した距離に基づいてビニング特性を有する蛍光体組成物を選別する工程であると、より簡便にかつ視覚的に、ビニング特性を評価することができる。
【０１４７】
また、この蛍光体シート１の評価方法によれば、ビニング特性を有する蛍光体シート１を簡易に評価することができる。
【０１４８】
また、この測定装置４によれば、ビニング特性を有する蛍光体シート１を確実に製造したり、簡易に評価することができる。
【０１４９】
（変形例）
図１Ｂの実施形態では、発光部５は、多波長発光光源９と、光分離器１０とを備えているが、例えば、図示しないが、発光部５は、単一波長の発光光源を複数備えていてもよい。単一波長の発光光源としては、例えば、ＬＥＤ光源などが挙げられる。また、複数の発光光源が有する単一波長は、互いに異なっており、例えば、その発光波長は、例えば、上記した検査光３（第１光、第２光、第３光、…）の波長と同様である。
【０１５０】
また、例えば、図示しないが、発光部５は、多波長発光光源９と、フーリエ変換処理ユニットとを備えていてもよい。フーリエ変換処理ユニットは、フーリエ変換を利用して、多波長発光光源９が有する異なる波長を単一の波長ごとに分離して、同時に発光する。
【０１５１】
これらの発光部５においても、図１Ａの実施形態と同様に、波長が互いに異なる複数の検査光３を発することが可能であり、同様の作用効果を発現する。
【０１５２】
また、上記実施形態では、蛍光体シート１は、完全硬化状態（Ｃステージ）で測定されているが、例えば、図示しないが、蛍光体シート１は、半硬化状態（Ｂステージ）で測定することもできる。シート形状が安定しており、取扱いが容易である観点から、好ましくは、完全硬化状態（Ｃステージ）で測定する。
【０１５３】
［第２実施形態］
第１実施形態では、蛍光体組成物の一例として蛍光体シート１の製造方法およびその評価方法について説明しているが、第２実施形態では、例えば、図示しないが、蛍光体組成物の一例として蛍光体組成物のワニスを製造または評価することもできる。
【０１５４】
第２実施形態では、蛍光体組成物をワニスとして、すなわち、液状の蛍光体組成物のまま、上記測定工程および上記選別工程を実施する。
【０１５５】
具体的には、例えば、蛍光体組成物が、透明樹脂として硬化性樹脂を含有している場合、蛍光体組成物を硬化させずに、塗膜（Ａステージ状態）のまま測定工程および選別工程を実施する。第２実施形態の製造方法または評価方法においても、第１実施形態と同様の作用効果を発現する。
【０１５６】
シート形状が安定しており、取扱いが容易である観点から、好ましくは、第１実施形態の製造方法または評価方法が挙げられる。
【実施例】
【０１５７】
以下に実施例および比較例を示し、本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は、何ら実施例および比較例に限定されない。以下の記載において用いられる配合割合（含有割合）、物性値、パラメータなどの具体的数値は、上記の「発明を実施するための形態」において記載されている、それらに対応する配合割合（含有割合）、物性値、パラメータなど該当記載の上限値(「以下」、「未満」として定義されている数値）または下限値(「以上」、「超過」として定義されている数値）に代替することができる。
【０１５８】
（蛍光体）
蛍光体Ａ：ＧＹＡＧ、緑色蛍光体、Ｙ２．９１Ｃｅ０．０９Ａｌ３．８Ｇ１１．２Ｏ１２、特開２０１４−１７０８９５号公報の合成例１を参考に作製、平均一次粒子径（Ｄ５０）１６μｍ
蛍光体Ｂ：ＳＣＡＳＮ、赤色蛍光体、「ＢＲ−１０２／Ｑ」、三菱化学社製、平均一次粒子径（Ｄ５０、カタログ値）１３μｍ
蛍光体Ｃ：ＹＡＧ、黄色蛍光体、「Ｙ−４６８」、根本特殊化学社製、平均一次粒子径（Ｄ５０、カタログ値）１７μｍ
蛍光体Ｄ：ＧＡＬ蛍光体、黄色蛍光体、「ＧＡＬ５６０−０２−１３」、Ｉｎｔｅｍａｔｉｘ社製
（シリコーン樹脂組成物）
特開２０１６−３７５６２号公報の実施例に記載の調製例１に準拠して、フェニル系シリコーン樹脂組成物（Ｂステージ状態となることができる１段反応硬化性樹脂、熱可塑性・熱硬化性シリコーン樹脂、付加反応硬化型）を調製した。
【０１５９】
（添加物）
煙霧シリカ：「Ｒ９７６ｓ」、ＡＥＲＯＳＩＬ社製、平均一次粒子径７ｎｍ
ガラス粒子：組成および組成比率（質量％）：ＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３／ＣａＯ／ＭｇＯ＝６０／２０／１５／５の無機粒子、平均粒子径２０μｍ、屈折率１．５５
（蛍光体シートＡの作製）
蛍光体Ａ２．０８ｇ、蛍光体Ｂ０．１７ｇ、シリコーン樹脂組成物５．２７ｇ、煙霧シリカ０．１６ｇおよびガラス粒子２．３３ｇを混合し、混合液を５分間撹拌し、撹拌脱泡機を用いて３分間撹拌脱泡することにより、ワニスを調製した。次いで、ワニスを、アプリケータを用いて、半硬化後の厚みが５００μｍとなるように、透明基材の表面に塗布し、その後、８０℃１３分加熱することによりワニスを半硬化（Ｂステージ化）させて、半硬化シートを得た。
【０１６０】
次いで、半硬化シートを３４ｍｍ×３４ｍｍに切断した。水板ガラスを上板の下面に固定した熱プレス機を用意し、半硬化シートを熱プレス機にセットした。上板を下方に移動させて、水板ガラスを半硬化シートの上面に押し当てることにより、熱プレスを実施した。熱プレスの条件は、９０℃、１．１ＭＰａ、１０分間とした。
【０１６１】
これにより、厚み４００μｍ、Ｃステージ状態（完全硬化状態）の蛍光体シートを作製した（図１Ａ参照）。
【０１６２】
（蛍光体シートＢの作製）
ワニスの配合組成を、蛍光体Ｃ２．００ｇ、蛍光体Ｂ０．１５ｇ、シリコーン樹脂組成物３．８５ｇ、煙霧シリカ０．０８ｇおよびガラス粒子３．９３ｇに変更した以外は、蛍光体シートＡと同様にして、蛍光体シートＢを作製した。
【０１６３】
（蛍光体シートＣの作製）
ワニスの配合組成を、蛍光体Ｄ２．０７ｇ、蛍光体Ｂ０．２０ｇ、シリコーン樹脂組成物３．８９ｇ、煙霧シリカ０．０８ｇおよびガラス粒子３．８９ｇに変更した以外は、蛍光体シートＡと同様にして、蛍光体シートＣを作製した。
【０１６４】
（測定装置の作製）
多波長発光光源としてキセノン光源と、光分離器として回折格子を備えるモノクロメーターとを用意し、光源から発せられる光が光分離器を通過するように、これらを組み合わせて、発光部を作製した。また、ガラス板の上方に、発光部を、間隔を隔てて配置した。さらに、ガラス板の下方に、発光部からの光を受光できるように受光部を間隔を隔てて配置し、受光部に、計測部（マルチチャンネル分光器、大塚社製、「ＭＣＰＤ−９８００」）を接続した。これにより、測定装置を作製した（図１Ｂ参照）。
【０１６５】
（光半導体素子）
ランク分けされていない青色ＬＥＤ（ＥＰＩＳＴＡＲ社製、ＴＹＰＥ：ＥＤＩ−ＦＡ４５４５Ａ、チップサイズ１．１４ｍｍ×１．１４ｍｍ、厚み１５０μｍ）を１万個用意した。
【０１６６】
（検査光の波長設定）
これらの青色ＬＥＤから１０個を抽出し、発光波長を計測したところ、最も長い波長は、４５５ｎｍであり、最も短い波長は、４４０ｎｍであった。そのため、発光部からの第１光の波長を４５５ｎｍとし、第２光の波長を４４０ｎｍとした。また、第３光の波長として、４５０ｎｍ、第４光の波長として、４４５ｎｍを選択した。
【０１６７】
［実施例１］
（蛍光体シートＡ）
光分離器を調整して、発光部から第１光（波長４５５ｎｍ）を蛍光体シートＡに対して照射した。蛍光体シートＡを通過した第１光を受光部で受光し、計測部で色度（ＣＩＥ−ｘ、ＣＩＥ−ｙ）を測定した。この測定を蛍光体シートＡの９地点で実施し、これらの平均値をＣＩＥ色度図（ｘ軸：ＣＩＥ−ｘ、ｙ軸：ＣＩＥ−ｙ）にプロットした。
【０１６８】
次いで、光分離器を調整して、発光部から第２光（波長４４０ｎｍ）を照射して、上記と同様に実施して、第２光を受光し、９点の平均値をＣＩＥ色度図にプロットした。
【０１６９】
次いで、第３光（波長４５０ｎｍ）、第４光（波長４４５ｎｍ）についても、順に、上記と同様に実施して、各９点の平均値をＣＩＥ色度図にプロットした。
【０１７０】
この色度図を図３に示す、図３から、プロットの距離が最大となる２点（すなわち、第２光および第３光）を選択し、最大２点間距離Ｌを算出した。蛍光体シートＡの最大２点間距離Ｌは、０．００９９であった。結果を表１に示す。
【０１７１】
（蛍光体シートＢ）
蛍光体シートＢについても、上記と同様にして、第１光〜第４光をそれぞれ照射し、９点の平均値をＣＩＥ色度図にプロットし、最大２点間距離Ｌを算出した（図４参照）。蛍光体シートＢの最大２点間距離Ｌは、０．０５７であった。結果を表１に示す。
【０１７２】
（蛍光体シートＣ）
蛍光体シートＣについても、上記と同様にして、第１光〜第４光をそれぞれ照射し、９点の平均値をＣＩＥ色度図にプロットし、最大２点間距離Ｌを算出した（図５参照）。蛍光体シートＣの最大２点間距離Ｌは、０．０１８２であった。結果を表１に示す。
【０１７３】
［比較例１］
発光部として、単一波長のＬＥＤ光源を用意し、４４７ｎｍの検査光を蛍光体シートＡに８１点照射し、ＣＩＥ色度図（ｘ軸：ＣＩＥ−ｘ、ｙ軸：ＣＩＥ−ｙ）にプロットした。その結果、単一波長に対する色度分布の情報は得られたが、４４７ｎｍ以外の波長に対する色度分布の情報は得られなかった。蛍光体シートＢおよび蛍光体Ｃについても同様であった。
【０１７４】
［実施例２］
蛍光体シートＡおよび蛍光体シートＣについて、検査光として第１光および第２光のみを採用して測定した場合の最大２点間距離Ｌの結果を表２に示す。
【０１７５】
表２から、検査光として、中間光（第３光および第４光）を使用しない場合は、最大２点間距離が小さくなるため、ビニング特性を有するという判定がなされる傾向が強くなっている。そのため、中間光を照射することによって、より正確なビニング特性の評価が可能となる。
【０１７６】
【表１】
2017211590.tif 000003
【０１７７】
【表２】
2017211590.tif 000004
【０１７８】
［検証１］
（蛍光体シートＡ）
蛍光体シートＡを個片化し、測定に用いた６２５１個の青色ＬＥＤに設けて、６２５１
個の白色発光装置を作製した。
【０１７９】
これらの白色発光装置を発光させて、色度を測定した。結果を図６に示す。図６の内側の楕円はマクアダム３ステップの楕円を示し、外側の楕円はマクアダム５ステップの楕円を示す。
【０１８０】
図６から、蛍光体シートＡを用いた白色発光装置群の色度は、マクアダム３ステップの楕円に９９．３％の割合で含まれ、マクアダム５ステップの楕円に１００％の割合で含まれているため、蛍光体シートＡは、ビニング特性を有していた。
【０１８１】
（蛍光体シートＢ）
蛍光体シートＢを個片化し、上記と同様に、１７２３個の白色発光装置を作製した。
【０１８２】
これらの白色発光装置を発光させて、色度を測定した。結果を図７に示す。
【０１８３】
図７から、蛍光体シートＢを用いた白色発光装置群の色度は、マクアダム３ステップの楕円に７２．７％の割合で含まれ、マクアダム５ステップの楕円に９８．３％の割合で含まれていたため、蛍光体シートＢは、ビニング特性を有していなかった。
【０１８４】
（蛍光体シートＣ）
蛍光体シートＣを個片化し、上記と同様に、１０９４個の白色発光装置を作製した。これらの白色発光装置群を発光させて、色度を測定した。測定した色度を色度図にプロットしたところ、マクアダム３ステップの楕円に９４．６％の割合で含まれ、マクアダム５ステップの楕円に１００％の割合で含まれていたため、蛍光体シートＣは、ビニング特性を有していた。
【０１８５】
以上の結果から、本発明の蛍光体シート１のビニング特性の評価方法と一致していることが分かる。
【０１８６】
［検証２］
蛍光体シートＡを、色度検査装置（「ＤＦ−１０００Ａ」、大塚電子社製）を用いて、波長４４０ｎｍ、４４５ｎｍ、４５０ｎｍおよび４５５ｎｍに設定して、それぞれの波長における色度（ＣＩＥ−ｘ）を測定し、グラフの横軸にプロットした。また、測定に用いた蛍光体シートＡを青色ＬＥＤ（ランク分けした波長領域４４０〜４５５ｎｍのＬＥＤ）に積層して白色発光装置を製造した。この白色発光装置の色度（ＣＩＥ−ｘ）を、マルチチャンネル分光器（「ＭＣＰＤ−９８００」、大塚社製）を用いて測定し、グラフの縦軸にプロットした。このグラフを図８に示す。このグラフの決定関数Ｒ２値を計算したところ、０．９７７６であった。
【０１８７】
上記と同様に、上記蛍光体シートＡのＣＩＥ−ｙを横軸にプロットし、上記白色発光装置のＣＩＥ−ｙを縦軸にプロットした。このグラフを図９に示す。このグラフの決定関数Ｒ２値を計算したところ、０．９４３２であった。
【０１８８】
以上の結果から、ＣＩＥ−ｘにおけるＲ２値、および、ＣＩＥ−ｙにおけるＲ２値ともに、１に近い数字であったため、蛍光体シートで色度のばらつきを抑制できれば、白色発光装置の色度のばらつきを抑制できることが分かる。
【０１８９】
［検証３］
（マクアダム３ステップ）
蛍光体シートＡ〜Ｃについて、それらの最大２点間距離Ｌを横軸にプロットし、それらを用いた白色発光装置におけるマクアダム楕円（３ステップ）内の割合を縦軸にプロットして、グラフを作成した。このグラフに対して、エクセル（登録商標）の線形近似の機能を利用して、近似曲線を引いた。この近似曲線の式は、ｙ＝−５６４．６６ｘ＋１０４．８８であった。このときのグラフを図１０に示す。
【０１９０】
このグラフから、マクアダム楕円（３ステップ）内に９５．０％以上含まれるようにするためには、蛍光体シートの最大２点距離Ｌを０．０１７以下にすればよいことが分かる。
【０１９１】
（マクアダム５ステップ）
マクアダム楕円（５ステップ）についても、上記と同様に、グラフを作成して確認したところ、マクアダム楕円（５ステップ）内に９９．０％以上含まれるようにするためには、蛍光体シートの最大２点距離Ｌを０．０３９以下にすればよいことが分かる。
【符号の説明】
【０１９２】
１  蛍光体シート
３  検査光
４  測定装置
５  発光部
６  受光部
【図１】
2017211590.tif 000005
【図２】
2017211590.tif 000006
【図３】
2017211590.tif 000007
【図４】
2017211590.tif 000008
【図５】
2017211590.tif 000009
【図６】
2017211590.tif 000010
【図７】
2017211590.tif 000011
【図８】
2017211590.tif 000012
【図９】
2017211590.tif 000013
【図１０】
2017211590.tif 000014