(57)【要約】【課題】受圧板を小さい力で押圧して機能させることができると共に押圧部の姿勢を維持することができる流路構造体、液体噴射ユニット及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】液体を貯留する貯留室Ｒ2と、前記貯留室Ｒ2内の第１圧力と前記貯留室Ｒ2外の第２圧力とを受ける受圧部７１と、前記受圧部７１の動きに応じて開いて、前記第１圧力を変更するための弁Ｂ[1]と、流体供給源からの流体の供給圧に応じて、前記受圧部７１を押すための押圧部７３と、を備え、前記押圧部７３のうち、前記受圧部７１を押す先端面７３ｂの面積は、前記供給圧を受ける後端面７３ｃの面積よりも小さい。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を貯留する貯留室と、
前記貯留室内の第１圧力と前記貯留室外の第２圧力とを受ける受圧部と、
前記受圧部の動きに応じて開いて、前記第１圧力を変更するための弁と、
流体供給源からの流体の供給圧に応じて、前記受圧部を押すための押圧部と、
を備え、
前記押圧部のうち、前記受圧部を押す先端の面積は、前記供給圧を受ける後端の面積よりも小さい
ことを特徴とする流路構造体。
【請求項２】
前記受圧部上に設けられた受圧板を備えることを特徴とする請求項１記載の流路構造体。
【請求項３】
前記受圧板は、前記先端よりも大きいことを特徴とする請求項２記載の流路構造体。
【請求項４】
前記受圧板は、前記受圧部から離れる返しを有することを特徴とする請求項２又は３記載の流路構造体。
【請求項５】
前記返しは、前記貯留室内にあり、前記押圧部により前記受圧部が押圧されて、前記貯留室に当たることを特徴とする請求項４記載の流路構造体。
【請求項６】
前記受圧部は、支点と、前記押圧部により押される被押圧位置と、前記支点と前記被押圧位置の間にて前記弁と当接する当接位置と、を有することを特徴とする請求項２〜５の何れか一項に記載の流路構造体。
【請求項７】
前記押圧部の厚みのうち、前記先端ではない部分の厚みは、前記先端の部分の厚みよりも薄いことを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の流路構造体。
【請求項８】
前記押圧部は、屈曲された屈曲部を有することを特徴とする請求項１〜７の何れか一項に記載の流路構造体。
【請求項９】
前記押圧部に対して前記受圧部とは反対側に設けられた壁を備え、
前記壁には、前記押圧部に接する複数の凸部と、複数の前記凸部の間の凹部と、を有することを特徴とする請求項１〜８の何れか一項に記載の流路構造体。
【請求項１０】
前記凹部は、複数設けられており、
それぞれの前記凹部から前記流体が供給されることを特徴とする請求項９記載の流路構造体。
【請求項１１】
前記受圧部は、前記押圧部により押される位置に、複数の凸部と、複数の前記凸部の間の凹部と、を有することを特徴とする請求項１〜１０の何れか一項に記載の流路構造体。
【請求項１２】
前記押圧部は、前記弁が開く程度に前記受圧部を押す第１状態と、前記弁が開かない程度に前記受圧部を押す第２状態と、にて前記受圧部を押すことを特徴とする請求項１〜１１の何れか一項に記載の流路構造体。
【請求項１３】
前記押圧部は、強い供給圧にて変形する第１部分と、弱い供給圧にて変形する第２部分と、を含み、
前記第１状態は、前記第１部分の変形によりなり、前記第２状態は、前記第２部分の変形によりなることを特徴とする請求項１２記載の流路構造体。
【請求項１４】
請求項１〜１３の何れか一項に記載の流路構造体と、
前記貯留室の液体を吐出して前記第１圧力を変更する液体噴射部と、
を備えることを特徴とする液体噴射ユニット。
【請求項１５】
請求項１〜１３の何れか一項に記載に記載の流路構造体と、
前記貯留室の液体をノズルから吐出して前記第１圧力を変更する液体噴射部と、
前記第２状態で前記受圧部を押して、前記液体噴射部の前記ノズルのメニスカスを揺動させるように制御する制御部と、
を具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を貯留する液体貯留室と、圧力に応じて開弁する弁とを備えた流路構造体、流路構造体を備えた液体噴射ユニット及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
流路構造体の一例である液体噴射ユニットは、インクタンクなどの液体貯留手段から供給されたインク等の液体を圧力発生手段の圧力変化によって複数のノズルから液滴として噴射する。また、液体貯留手段から供給されたインク等の液体が液体噴射ユニットに所定の圧力で供給されるように、流路の途中に下流側の流路が負圧になることで開弁する圧力調整弁が設けられた構成が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、特許文献１では、下流側の流路の圧力に関わらず、弁を外部から押圧することで開弁させる押圧機構が設けられた構成が開示されている。
【０００４】
また、空気等の流体を加圧して供給することによって、圧力調整弁を押圧して開弁させる構成が開示されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−１１１０４４号公報
【特許文献２】特開２０１５−１８９２０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、弁を外部から押圧する際に、受圧部の全面を押圧すると、受圧部から受ける反力が大きくなるため、受圧部を押圧する圧力を高くする必要がある。このため、受圧部を押圧する液体を加圧するためのポンプ等の圧送手段として、加圧能力の高いものや大型なものが必要となり、大型化すると共に高コストになってしまうという問題がある。
【０００７】
また、押圧して弁が開いて受圧部を押すインクの内圧が高くなった場合に、膨張収縮機構の姿勢を維持することができない場合がある。
【０００８】
なお、このような問題は、インクジェット式記録ヘッドを具備する流路構造体に限定されず、その他のデバイスに用いられる流路構造体においても同様に存在する。
【０００９】
本発明はこのような事情に鑑み、受圧板を小さい力で押圧して機能させることができると共に押圧部の姿勢を維持することができる流路構造体、液体噴射ユニット及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を貯留する貯留室と、前記貯留室内の第１圧力と前記貯留室外の第２圧力とを受ける受圧部と、前記受圧部の動きに応じて開いて、前記第１圧力を変更するための弁と、流体供給源からの流体の供給圧に応じて、前記受圧部を押すための押圧部と、を備え、前記押圧部のうち、前記受圧部を押す先端の面積は、前記供給圧を受ける後端の面積よりも小さいことを特徴とする流路構造体にある。
【００１１】
かかる態様では、受圧部を押す押圧部を設け、押圧部の受圧部を押す先端の面積を、供給圧を受ける後端の面積よりも小さくすることで、供給圧を広い後端で受けて、圧力を受け易くし、且つ先端を狭い面積とすることで、受圧部からの反力を小さくすることができる。したがって、供給圧として高い圧力が不要となり、流体供給源からの流体の供給を短時間で行うことができると共に、流体供給源にかかる負荷を低減することができる。また、受圧部からの反力を小さくすることができるため、押圧部の姿勢を容易に維持することができ、安定して開閉弁を開弁した状態を維持することができる。
【００１２】
ここで、前記受圧部上に設けられた受圧板を備えることが好ましい。これによれば、受圧板を設けることで、押圧部が受圧部を押圧した際に受圧部の変形や破損を抑制することができる。
【００１３】
また、前記受圧板は、前記先端よりも大きいことが好ましい。これによれば、受圧板と押圧部の先端との位置がずれた場合であっても、押圧部の先端によって受圧板を確実に押すことができる。
【００１４】
また、前記受圧板は、前記受圧部から離れる返しを有することが好ましい。これによれば、受圧板に返しを設けることで、受圧板の強度が増し、受圧板の変形を抑制することができる。また、返しを受圧部から離れる方向に設けることで、受圧板のエッジによって受圧部に傷が付くのを抑制することができる。
【００１５】
また、前記返しは、前記貯留室内にあり、前記押圧部により前記受圧部が押圧されて、前記貯留室に当たることが好ましい。これによれば、受圧部の過度な変形を抑制して、受圧部及び押圧部の過度な変形による破損を抑制することができる。
【００１６】
また、前記受圧部は、支点と、前記押圧部により押される被押圧位置と、前記支点と前記被押圧位置の間にて前記弁と当接する当接位置と、を有することが好ましい。これによれば、被押圧位置のばらつきに対して、弁体に当接する当接位置のばらつきを低減することができ、弁体の位置精度を向上して弁体の開閉精度を向上することができる。
【００１７】
また、前記押圧部の厚みのうち、前記先端ではない部分の厚みは、前記先端の部分の厚みよりも薄いことが好ましい。これによれば、先端ではない部分の厚みを薄くすることで、先端以外の部分を変形し易くして、先端を移動させることができると共に、先端の姿勢が維持しやすい。
【００１８】
また、前記押圧部は、屈曲された屈曲部を有することが好ましい。これによれば、供給圧を受ける後端面の面積を増大させて、低い供給圧で動作させることができる。また、屈曲部の屈曲角度を広げるように変形することができるため、比較的低い圧力で大きな変位量を得ることができる。
【００１９】
また、前記押圧部に対して前記受圧部とは反対側に設けられた壁を備え、前記壁には、前記押圧部に接する複数の凸部と、複数の前記凸部の間の凹部と、を有することが好ましい。これによれば、押圧部が凸部に接触することで、押圧部と壁との接触面積を減らして、押圧部が壁に結露等によって張り付くのを抑制することができる。
【００２０】
また、前記凹部は、複数設けられており、それぞれの前記凹部から前記流体が供給されることが好ましい。これによれば、１つの凹部が詰まっても、他の凹部から流体を供給することができるため、押圧部を確実に動作させることができる。
【００２１】
また、前記受圧部は、前記押圧部により押される位置に、複数の凸部と、複数の前記凸部の間の凹部と、を有することが好ましい。これによれば、押圧部が受圧部の複数の凸部に当接するため、押圧部の受圧部との接触面積を減少させて、押圧部が結露等によって受圧部に張り付くのを抑制することができる。
【００２２】
また、前記押圧部は、前記弁が開く程度に前記受圧部を押す第１状態と、前記弁が開かない程度に前記受圧部を押す第２状態と、にて前記受圧部を押すことが好ましい。これによれば、押圧部を多段階に動作させることができ、受圧部を多段階に押し易い。
【００２３】
また、前記押圧部は、強い供給圧にて変形する第１部分と、弱い供給圧にて変形する第２部分と、を含み、前記第１状態は、前記第１部分の変形によりなり、前記第２状態は、前記第２部分の変形によりなることが好ましい。これによれば、第１部分の変形にて弁が開く第１状態と、第２部分の変形にて弁が開かない第２状態とを容易に実現することができる。
【００２４】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の流路構造体と、前記貯留室の液体を吐出して前記第１圧力を変更する液体噴射部と、を備えることを特徴とする液体噴射ユニットにある。
【００２５】
かかる態様では、液体噴射部が貯留室内の液体を吐出することで、貯留室内の液体が消費されても、貯留室内の圧力に基づいて受圧部が動作して弁を開弁して貯留室内に液体を供給することができる。したがって、液体噴射部に一定の圧力で液体を供給することができる。
【００２６】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の流路構造体と、前記貯留室の液体をノズルから吐出して前記第１圧力を変更する液体噴射部と、前記第２状態で前記受圧部を押して、前記液体噴射部の前記ノズルのメニスカスを揺動させるように制御する制御部と、を具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
【００２７】
かかる態様では、流路構造体によって液体噴射部のノズルのメニスカスを揺動させることで、ノズル近傍の液体の乾燥を抑制することができる。また、流路構造体を用いたノズルの液体のメニスカスの揺動は、圧電素子等を用いた揺動に比べて大きく揺動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施形態１に係る液体噴射装置の構成図である。
【図２】液体噴射ヘッドの分解斜視図である。
【図３】液体噴射部の断面図である。
【図４】液体噴射ユニットの内部流路の説明図である。
【図５】弁機構ユニットの開閉弁の構成図である。
【図６】脱泡空間および逆止弁の説明図である。
【図７】初期充填時における液体噴射ヘッドの状態の説明図である。
【図８】通常使用時における液体噴射ヘッドの状態の説明図である。
【図９】脱泡動作時における液体噴射ヘッドの状態の説明図である。
【図１０】本発明の実施形態２に係る弁機構ユニットの開閉弁の構成図である。
【図１１】本発明の実施形態２に係る弁機構ユニットの弁機構の構成図である。
【図１２】弁機構ユニットの開閉弁の動作の説明図である。
【図１３】本発明の実施形態３に係る弁機構ユニットの開閉弁の構成図である。
【図１４】弁機構ユニットの開閉弁の動作の説明図である。
【図１５】弁機構ユニットの開閉弁の動作の説明図である。
【図１６】制御ユニットの機能実現部を示すブロック図である。
【図１７】本発明の実施形態４に係る可動膜の平面図である。
【図１８】本発明の実施形態４に係る弁機構ユニットの弁機構の構成図である。
【図１９】弁機構ユニットの開閉弁の動作の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００３０】
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射装置１００の構成図である。本実施形態の液体噴射装置１００は、液体の例示であるインクを媒体１２に噴射するインクジェット方式の印刷装置である。媒体１２は、典型的には印刷用紙であるが、樹脂フィルムおよび布帛等の任意の印刷対象が媒体１２として利用され得る。液体噴射装置１００には、インクを貯留する液体容器１４が固定される。例えば液体噴射装置１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、またはインクを補充可能なインクタンクが液体容器１４として利用される。相異なる色彩の複数種のインクが液体容器１４には貯留される。
【００３１】
図１に例示される通り、液体噴射装置１００は、制御部である制御ユニット２０と搬送機構２２と液体噴射ヘッド２４とを具備する。制御ユニット２０は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の制御装置と半導体メモリ等の記録装置とを含んで構成され（図示略）、記憶装置に記憶されたプログラムを制御装置が実行することで液体噴射装置１００の各要素を統括的に制御する。搬送機構２２は、制御ユニット２０による制御のもとで媒体１２をＹ方向に搬送する。
【００３２】
実施形態１の液体噴射装置１００は、移動機構２６を具備する。移動機構２６は、制御ユニット２０による制御のもとで液体噴射ヘッド２４をＸ方向に往復させる機構である。液体噴射ヘッド２４が往復するＸ方向は、媒体１２が搬送されるＹ方向に交差（典型的には直交）する方向である。第１実施形態の移動機構２６は、搬送体２６２と搬送ベルト２６４とを具備する。搬送体２６２は、液体噴射ヘッド２４を支持する略箱形の構造体（キャリッジ）であり、搬送ベルト２６４に固定される。搬送ベルト２６４は、Ｘ方向に沿って架設された無端ベルトである。制御ユニット２０による制御のもとで搬送ベルト２６４が回転することで液体噴射ヘッド２４が搬送体２６２とともにＸ方向に沿って往復する。なお、液体容器１４を液体噴射ヘッド２４とともに搬送体２６２に搭載することも可能である。
【００３３】
液体噴射ヘッド２４は、液体容器１４から供給されるインクを制御ユニット２０による制御のもとで媒体１２に噴射する。搬送機構２２による媒体１２の搬送と移動機構２６による液体噴射ヘッド２４の搬送とが実行される期間内に液体噴射ヘッド２４が媒体１２にインクを噴射することで、媒体１２には所望の画像が形成される。以下の説明では、Ｘ-Ｙ平面に垂直な方向をＺ方向と表記する。液体噴射ヘッド２４から噴射されたインクはＺ方向の正側に進行して媒体１２の表面に着弾する。
【００３４】
図２は、液体噴射ヘッド２４の分解斜視図である。図２に例示される通り、本実施形態の液体噴射ヘッド２４は、第１支持体２４２と複数の組立体２４４とを具備する。第１支持体２４２は、複数の組立体２４４を支持する板状部材（液体噴射ヘッド用支持体）である。複数の組立体２４４は、Ｘ方向に配列した状態で第１支持体２４２に固定される。１個の組立体２４４について代表的に図示した通り、複数の組立体２４４の各々は、接続ユニット３２と第２支持体３４と分配流路３６と複数（本実施形態では６個）の液体噴射モジュール３８とを具備する。なお、液体噴射ヘッド２４を構成する組立体２４４の総数や組立体２４４を構成する液体噴射モジュール３８の総数は図示の例示に限定されない。
【００３５】
接続ユニット３２の直下に位置する第２支持体３４に複数の液体噴射モジュール３８が２列で配置され、複数の液体噴射モジュール３８の側方に分配流路３６が配置される。分配流路３６は、液体容器１４から供給されるインクを複数の液体噴射モジュール３８の各々に分配する流路が内部に形成された構造体であり、複数の液体噴射モジュール３８にわたるようにＹ方向に長尺に構成される。
【００３６】
そして、液体噴射モジュール３８は、液体噴射ユニット４０と連結ユニット５０とを具備する。液体噴射ユニット４０は、液体容器１４から分配流路３６を介して供給されるインクを媒体１２に噴射する。本実施形態の液体噴射ユニット４０は、本実施形態の流路構造体である弁機構ユニット４１と流路ユニット４２と液体噴射部４４とを包含する。弁機構ユニット４１は、分配流路３６から供給されるインクの流路の開閉を制御する弁機構を内包する。なお、弁機構ユニット４１の図示は図２では便宜的に省略されている。このような分配流路３６内の流路と弁機構ユニット４１内の流路とが相互に連通する。
【００３７】
液体噴射ユニット４０の液体噴射部４４は、複数のノズルからインクを噴射する。流路ユニット４２は、弁機構ユニット４１を経由したインクを液体噴射部４４に供給する流路が内部に形成された構造体である。
【００３８】
ここで、本実施形態の液体噴射部４４の一例について図３を参照して説明する。なお、図３は、液体噴射ヘッドのうち任意の１個のノズルＮに対応した部分の断面図である。
【００３９】
図３に示すように、本実施形態の液体噴射部４４は、圧力室基板４８２と振動板４８３と圧電素子４８４と筐体部４８５と封止体４８６とが流路基板４８１の一方側に配置されるとともに、他方側にノズル板４８７および緩衝板４８８が配置された構造体である。流路基板４８１と圧力室基板４８２とノズル板４８７とは例えばシリコンの平板材で形成され、筐体部４８５は例えば樹脂材料の射出成形で形成される。複数のノズルＮはノズル板４８７に形成される。ノズル板４８７のうち流路基板４８１とは反対側の表面が噴射面Ｊに相当する。
【００４０】
流路基板４８１には、開口部４８１Ａと分岐流路（絞り流路）４８１Ｂと連通流路４８１Ｃとが形成される。分岐流路４８１Ｂおよび連通流路４８１ＣはノズルＮ毎に形成された貫通孔であり、開口部４８１Ａは複数のノズルＮにわたり連続する開口である。緩衝板４８８は、流路基板４８１のうち圧力室基板４８２とは反対側の表面に設置されて開口部４８１Ａを閉塞する平板材（コンプライアンス基板）である。開口部４８１Ａ内の圧力変動は緩衝板４８８により吸収される。
【００４１】
筐体部４８５には、流路基板４８１の開口部４８１Ａに連通する共通液室（リザーバー）ＳRが形成される。共通液室ＳRは、第１列Ｇ１および第２列Ｇ２の一方を構成する複数のノズルＮに供給されるインクを貯留する空間であり、複数のノズルＮにわたり連続する。上流側から供給されるインクが流入する流入口Ｒinが共通液室ＳRには形成される。
【００４２】
圧力室基板４８２にはノズルＮ毎に開口部４８２Ａが形成される。振動板４８３は、圧力室基板４８２のうち流路基板４８１とは反対側の表面に設置された弾性変形可能な平板材である。圧力室基板４８２の各開口部４８２Ａの内側で振動板４８３と流路基板４８１とに挟まれた空間は、共通液室ＳRから分岐流路４８１Ｂを介して供給されるインクが充填される圧力室（キャビティ）ＳCとして機能する。各圧力室ＳCは、流路基板４８１の連通流路４８１Ｃを介してノズルＮに連通する。
【００４３】
振動板４８３のうち圧力室基板４８２とは反対側の表面にはノズルＮ毎に圧電素子４８４が形成される。各圧電素子４８４は、相互に対向する電極間に圧電体を介在させた駆動素子である。駆動信号の供給により圧電素子４８４が変形することで振動板４８３が振動すると、圧力室ＳC内の圧力が変動して圧力室ＳC内のインクがノズルＮから噴射される。封止体４８６は、複数の圧電素子４８４を保護する。
【００４４】
ここで、液体噴射ユニット４０の弁機構ユニット４１についてさらに図４、図５を参照して説明する。なお、図５は、図４のうち弁機構ユニットの断面図である。
【００４５】
図４、図５に示すように、弁機構ユニット４１の内部には、空間Ｒ1と空間Ｒ2と制御室ＲCと空間Ｒ3とが形成される。
【００４６】
空間Ｒ1は、液体圧送機構１６に接続される。液体圧送機構１６は、液体容器１４に貯留されたインクを加圧状態で液体噴射ユニット４０に供給、すなわち、圧送する機構である。空間Ｒ1と空間Ｒ2との間に開閉弁Ｂ[1]が設置され、空間Ｒ2と制御室ＲCとの間には受圧部である可動膜７１が介在する。本実施形態では、空間Ｒ2がインクの貯留される貯留室となっており、制御室ＲCが貯留室外となっている。可動膜７１は、貯留室である空間Ｒ2の壁面の一部を構成するものである。また、制御室ＲCと空間Ｒ3との間には、押圧部７３が介在する。空間Ｒ3は、流体供給源である圧力調整機構１８に接続された脱泡経路７５に接続されている。本実施形態では、脱泡経路７５は、空間Ｒ3のＺ方向において押圧部７３に対向する壁４１ａに開口する開口部７５ａによって接続されている。
【００４７】
図５に例示される通り、開閉弁Ｂ[1]は、弁座７２１と弁体７２２と受圧板７２３とバネ７２４とを具備する。弁座７２１は、空間Ｒ1と空間Ｒ2とを仕切る平板状の部分である。弁座７２１には、空間Ｒ1と空間Ｒ2とを連通させる連通孔ＨAが形成される。受圧板７２３は、可動膜７１のうち弁座７２１との対向面に設置された略円形状の平板材である。すなわち、受圧板７２３は、可動膜７１上に設けられている。このように可動膜７１に受圧板７２３を設けることで、弁体７２２が直接可動膜７１に当接する場合に比べて可動膜７１の破れや変形を抑制することができる。なお、受圧板７２３は、可動膜７１と接合されていてもよく、また、接合されていなくてもよい。つまり、受圧板７２３が可動膜７１上に設けられているとは、可動膜７１に接合された状態も、接合されずに接触可能に配置された状態も含むものである。受圧板７２３が可動膜７１と接合されている場合には、詳しくは後述する押圧部７３の先端が可動膜７１を介してインクから受ける圧力は、受圧板７２３の面積に依存する。また、受圧板７２３が可動膜７１と接合されていない場合には、押圧部７３の先端が可動膜７１を介してインクから受ける圧力は押圧部７３の先端の面積となる。本実施形態では、受圧板７２３は、可動膜７１と接合されていない。
【００４８】
弁体７２２は、基部７２５と弁軸７２６と封止部（シール）７２７とを包含する。基部７２５の表面から弁軸７２６が垂直に突起し、平面視で弁軸７２６を包囲する円環状の封止部７２７が基部７２５の表面に設置される。弁体７２２は、連通孔ＨAに弁軸７２６が挿入された状態で空間Ｒ1内に配置され、バネ７２４により弁座７２１側に付勢される。弁軸７２６の外周面と連通孔ＨAの内周面との間には隙間が形成される。
【００４９】
図５に例示される通り、制御室ＲCと空間Ｒ3との間には押圧部７３が介在する。すなわち、押圧部７３は、制御室ＲCと空間Ｒ3とを区分けするように設けられている。押圧部７３は、ゴム等の弾性材料で形成された板状の部材からなる。また、押圧部７３は、本実施形態では、圧力調整機構１８の加圧動作によって脱泡経路７５を介して空間Ｒ3が加圧された際に制御室ＲCの内側に、すなわち、可動膜７１側に向かって凸状に突出するように弾性変形する。また、押圧部７３は、加圧動作が行われていない場合に平坦な板状を有する。
【００５０】
さらに、押圧部７３の可動膜７１を押す先端の面積は、供給圧を受ける後端の面積より小さい。本実施形態では、押圧部７３の可動膜７１に対向する面には、可動膜７１に向かって突出した突起部７３ａを設け、突起部７３ａの先端面７３ｂの面積が、圧力調整機構１８からの供給圧を受ける空間Ｒ3の壁の一部を形成する後端面７３ｃの面積よりも小さくなるようにした。そして、圧力調整機構１８によって脱泡経路７５を介して空間Ｒ3が加圧されることにより押圧部７３が可動膜７１側に凸状に変形した際に、突起部７３ａの先端面７３ｂが可動膜７１に当接して押圧する。すなわち、押圧部７３は、加圧動作時の変形によって、先端面７３ｂ以外の領域が可動膜７１に当接しないようになっている。
【００５１】
このような押圧部７３は、突起部７３ａが設けられた部分以外のＺ方向の厚みは、突起部７３ａが設けられた部分のＺ方向の厚みよりも薄くなっている。すなわち、突起部７３ａは、板状部材のＺ方向の厚さを厚くすることで形成されている。このように、突起部７３ａが設けられた領域の厚さに比べて、突起部７３ａが設けられた部分以外の厚さを薄くすることで、押圧部７３の突起部７３ａ以外の部分を変形し易くすることができる。ちなみに、押圧部７３の突起部７３ａ以外の部分の厚さを突起部７３ａと同じ厚さとした場合、押圧部７３の突起部７３ａ以外の部分が変形し難く、突起部７３ａが設けられた部分が変形してしまい、可動膜７１を高精度に押圧することができなくなってしまう虞がある。本実施形態では、突起部７３ａ以外の部分の厚さを薄くして変形し易くすることで、突起部７３ａの形状を安定させて、可動膜７１を高精度に押圧することができる。
【００５２】
なお、突起部７３ａの先端面７３ｂの面積は、押圧部７３の可動膜７１の可動膜分に相対向する領域の面積よりも小さくなっている。すなわち、押圧部７３の可動膜７１の可撓部分に相対向する領域の全てが突起部７３ａとなっているのではなく、その一部のみが突出した突起部７３ａとなっている。このため、突起部７３ａと可動膜７１との接触面積は、可動膜７１の可動膜分の面積よりも小さくなっている。
【００５３】
また、押圧部７３が押圧する可動膜７１には、上述したように受圧板７２３を設けることで、押圧部７３が可動膜７１を押圧した際に可動膜７１が延びてしまうことや破れてしまうなどの変形や破損を抑制することができる。
【００５４】
また、可動膜７１に設けられた受圧板７２３は、押圧部７３の突起部７３ａの先端面７３ｂの面積よりも大きな面積を有する。なお、受圧板７２３が、先端面７３ｂの面積よりも大きな面積を有するとは、Ｘ方向及びＹ方向の両方において、受圧板７２３が先端面７３ｂよりも広い幅を有することをいう。このように、受圧板７２３を突起部７３ａの先端面７３ｂの面積よりも大きな面積とすることで、受圧板７２３と押圧部７３の先端面７３ｂとの位置がずれた場合であっても、押圧部７３の先端面７３ｂによって受圧板７２３を確実に押圧することができる。
【００５５】
脱泡経路７５は、図４に示すように、分配流路３６内の流路を介して流体供給源である圧力調整機構１８に接続される。圧力調整機構１８は、当該圧力調整機構１８に接続された流路に流体である空気を供給する加圧動作と、当該流路から流体である空気を吸引する減圧動作とを、制御ユニット２０からの指示に応じて選択的に実行可能である。圧力調整機構１８から内部空間に空気が供給されること（すなわち加圧）で押圧部７３は可動膜７１側に突出するように変形し、圧力調整機構１８による空気の吸引（すなわち減圧）により押圧部７３の変形は解除される。
【００５６】
押圧部７３の変形が解除された状態では、図５に示すように、空間Ｒ2内の圧力が所定の範囲内に維持されている場合には、弁体７２２をバネ７２４が付勢することで封止部７２７が弁座７２１の表面に密着する。したがって、空間Ｒ1と空間Ｒ2とは遮断される。他方、液体噴射部４４によるインクの噴射や外部からの吸引に起因して空間Ｒ2内の圧力が所定の閾値を下回る数値まで低下すると、可動膜７１が弁座７２１側に変位することで受圧板７２３が弁軸７２６を押圧し、弁体７２２がバネ７２４による付勢に対抗して移動することで封止部７２７が弁座７２１から離間する。したがって、空間Ｒ1と空間Ｒ2とが連通孔ＨAを介して相互に連通する。すなわち、可動膜７１は、貯留室である空間Ｒ2内の第１圧力と、貯留室外である制御室ＲCの第２圧力との差に応じて動く。なお、制御室ＲCは、大気開放されていてもよい。これにより、可動膜７１を、大気圧と空間Ｒ2内の圧力との差に応じて動かすことができる。
【００５７】
また、圧力調整機構１８による加圧で押圧部７３が変形すると、押圧部７３による押圧で可動膜７１が弁座７２１側に変位する。したがって、受圧板７２３による押圧で弁体７２２が移動して開閉弁Ｂ[1]が開放される。すなわち、空間Ｒ2内の圧力の高低に関わらず、圧力調整機構１８による加圧で強制的に開閉弁Ｂ[1]を開放することが可能である。すなわち、可動膜７１は、貯留室である空間Ｒ2内の第１圧力と、貯留室外である制御室ＲCの第２圧力との差に応じて動き、且つ押圧部７３に押されることで動く。
【００５８】
本実施形態では、圧力調整機構１８による加圧で押圧部７３を変形させて、押圧部７３によって可動膜７１を変形させるようにしたため、押圧部７３は圧力調整機構１８の圧力を受けやすく、且つ可動膜７１を押圧する空間Ｒ2内のインクの圧力による反発を小さくすることができる。
【００５９】
ちなみに、押圧部７３を設けずに、制御室ＲC内の空気を加圧して直接、可動膜７１を押圧する場合、制御室ＲCの圧力を、空間Ｒ2内のインクの圧力よりも大きくしないと可動膜７１によって弁体７２２を押圧することができない。また、空間Ｒ2内のインクの圧力が変化すると、必要な圧力調整機構１８の圧力の変化も大きく、圧力調整機構１８の設計が困難になってしまう。ここで、圧力調整機構１８による空気の圧力Ｐａ（Ｐａ）、インク圧力Ｐｉ（Ｐａ）、バネ力Ｆｓ（Ｎ）、可動膜７１の反力Ｆ（Ｎ）、可動膜７１の受圧面積Ａ（ｍ２）とすると、開閉弁Ｂ[1]を開くために必要な条件はＰａ・Ａ＞Ｐｉ×Ａ＋Ｆｓ＋Ｆ、すなわち、Ｐａ＞Ｐｉ＋（Ｆｓ＋Ｆ）／Ａで表される。この式に表されるように、可動膜７１を直接圧力調整機構１８の圧力によって変形させるには、圧力調整機構１８の圧力Ｐａをインクの圧力Ｐｉよりも大きくする必要があった。
【００６０】
これに対して、本実施形態では、押圧部７３を設け、押圧部７３の供給圧を受ける脱泡経路７５側の後端面７３ｃの面積を大きくすることで、圧力調整機構１８からの圧力を比較的広い面積で受けて圧力を受け易くし、押圧部７３の可動膜７１に当接する先端面７３ｂの面積を小さくすることで、可動膜７１を押圧する空間Ｒ2内のインクの圧力による反発を小さくすることができる。例えば、押圧部７３の可動膜７１に当接する突起部７３ａの先端面７３ｂの面積と後端面７３ｃの面積とを１：５とした場合、圧力調整機構１８による空気の圧力Ｐａ（Ｐａ）、インク圧力Ｐｉ（Ｐａ）、バネ力Ｆｓ（Ｎ）、可動膜７１の反力Ｆ（Ｎ）、押圧部７３の後端面７３ｃの受圧面積Ａ（ｍ２）、押圧部７３の先端面７３ｂの可動膜７１から受ける受圧面積Ａｆ（ｍ２）（＝１／５・Ａ）、押圧部７３のゴム反力Ｆｇ（Ｎ）とすると、開閉弁Ｂ[1]を開くために必要な条件はＰａ・Ａ−Ｆｇ＞Ｐｉ（１／５・Ａ）＋Ｆｓ＋Ｆとなり、Ｐａ＞（１／５）Ｐｉ＋（Ｆｓ＋Ｆ＋Ｆｇ）／Ａで表される。この式に表されるように、本実施形態の押圧部７３を設けた場合に開閉弁Ｂ[1]を開くのに必要な圧力調整機構１８の圧力Ｐａは、可動膜７１によって区切られた空間Ｒ2内のインクの圧力Ｐｉの影響を１／５に低減したものとすることができる。したがって、押圧部７３が可動膜７１によって反発される力が弱くなることから、圧力調整機構１８による脱泡経路７５の圧力が小さくても、押圧部７３の変形を維持することができる。このため、圧力調整機構１８が脱泡経路７５に大きな圧力を供給する必要がなく、圧力調整機構１８が脱泡経路７５を高い圧力にするまでの時間が不要となって加圧動作に必要な時間を短縮することができると共に、圧力調整機構１８の耐久性を向上することができる。また、圧力調整機構１８として大きな圧力を出力可能な装置が不要となり、圧力調整機構１８を小型化することができると共にコストを低減することができる。また、開閉弁Ｂ[1]を開くために必要な圧力調整機構１８の圧力は、空間Ｒ2内のインクの圧力変化に対する影響が小さいため、圧力調整機構１８の設計を簡便化することができる。なお、このような空間Ｒ2内のインクの圧力Ｐｉの影響を低減するには、押圧部７３が可動膜７１を押す突起部７３ａの先端面７３ｂの面積を、押圧部７３の可動膜７１の可撓部分に相対向する領域の面積よりも小さくすることで実現できる。すなわち、可動膜７１が空間Ｒ2内のインクから受ける圧力は、押圧部７３に当接した領域以外の部分が、制御室ＲC側に移動することで吸収されるからである。ちなみに、可動膜７１と受圧板７２３とが接合されている場合には、受圧面積Ａｆは受圧板７２３の面積とすればよい。この場合であっても、可動膜７１は、撓み変形するため、受圧板７２３は可動膜７１の可動膜分よりも狭い面積で設けられる。したがって、可動膜７１によって区切られた空間Ｒ2内のインクの圧力Ｐｉの影響、すなわち、反力を小さくすることができる。
【００６１】
図４に示すように、流路ユニット４２は、弁機構ユニット４１を経由したインクを液体噴射部４４に供給する流路が内部に形成された構造体である。
【００６２】
具体的には、本実施形態の流路ユニット４２は、脱泡空間ＱとフィルターＦ[1]と鉛直空間ＲVと逆止弁７４とを包含する。脱泡空間Ｑは、インクから抽出された気泡が一時的に滞留する空間である。
【００６３】
フィルターＦ[1]は、液体噴射部４４にインクを供給するための内部流路を横断するように設置され、インクに混入した気泡や異物を捕集する。具体的には、フィルターＦ[1]は、空間ＲF1と空間ＲF2とを仕切るように設置される。上流側の空間ＲF1は弁機構ユニット４１の空間Ｒ2に連通し、下流側の空間ＲF2は鉛直空間ＲVに連通する。
【００６４】
空間ＲF1と脱泡空間Ｑとの間には気体透過膜ＭC（第２気体透過膜の例示）が介在する。具体的には、空間ＲF1の天井面が気体透過膜ＭCで構成される。気体透過膜ＭCは、気体（空気）は透過させるけれどもインク等の液体は透過させない気体透過性の膜体（気液分離膜）であり、例えば公知の高分子材料で形成される。フィルターＦ[1]で捕集された気泡は、浮力による上昇で空間ＲF1の天井面に到達し、気体透過膜ＭCを透過することで脱泡空間Ｑに排出される。すなわち、インクに混入した気泡が分離される。
【００６５】
鉛直空間ＲVは、インクを一時的に貯留するための空間である。第１実施形態の鉛直空間ＲVには、フィルターＦ[1]を通過したインクが空間ＲF2から流入する流入口Ｖinと、インクがノズルＮ側に流出する流出口Ｖoutとが形成される。すなわち、空間ＲF2内のインクは、流入口Ｖinを介して鉛直空間ＲVに流入し、鉛直空間ＲV内のインクは流出口Ｖoutを介して液体噴射部４４（共通液室ＳR）に流入する。図４に例示される通り、流出口Ｖoutと比較して鉛直方向の上方（Ｚ方向の負側）に流入口Ｖinが位置する。
【００６６】
鉛直空間ＲVと脱泡空間Ｑとの間には気体透過膜ＭA（第１気体透過膜の例示）が介在する。具体的には、鉛直空間ＲVの天井面が気体透過膜ＭAで構成される。気体透過膜ＭAは、前述の気体透過膜ＭCと同様に気体透過性の膜体である。したがって、フィルターＦ[1]を通過して鉛直空間ＲVに進入した気泡は浮力により上昇し、鉛直空間ＲVの天井面の気体透過膜ＭAを透過して脱泡空間Ｑに排出される。前述の通り、流入口Ｖinは流出口Ｖoutと比較して鉛直方向の上方に位置するから、鉛直空間ＲV内での浮力を利用して気泡を効果的に天井面の気体透過膜ＭAに到達させることが可能である。
【００６７】
液体噴射部４４の共通液室ＳRには、前述の通り、鉛直空間ＲVの流出口Ｖoutから供給されるインクが流入する流入口Ｒinが形成される。すなわち、鉛直空間ＲVの流出口Ｖoutから流出したインクは流入口Ｒinを介して共通液室ＳRに流入し、開口部４８１Ａを経由して各圧力室ＳCに供給される。また、第１実施形態の共通液室ＳRには排出口Ｒoutが形成される。排出口Ｒoutは、共通液室ＳRの天井面４９に形成された流路である。図４に例示される通り、共通液室ＳRの天井面４９は、流入口Ｒin側から排出口Ｒout側にかけて高くなる傾斜面（平面または曲面）である。したがって、流入口Ｒinから進入した気泡は浮力の作用で天井面４９に沿って排出口Ｒout側に誘導される。
【００６８】
共通液室ＳRと脱泡空間Ｑとの間には気体透過膜ＭB（第１気体透過膜の例示）が介在する。気体透過膜ＭBは、気体透過膜ＭAや気体透過膜ＭCと同様に気体透過性の膜体である。したがって、共通液室ＳRから排出口Ｒoutに進入した気泡は浮力により上昇し、気体透過膜ＭBを透過して脱泡空間Ｑに排出される。前述の通り、共通液室ＳR内の気泡は天井面４９に沿って排出口Ｒoutに誘導されるから、例えば共通液室ＳRの天井面４９を水平面とした構成と比較して共通液室ＳR内の気泡を効果的に排出することが可能である。なお、気体透過膜ＭAと気体透過膜ＭBと気体透過膜ＭCとを単一の膜体で形成することも可能である。
【００６９】
以上に説明した通り、本実施形態では、鉛直空間ＲVと脱泡空間Ｑとの間に気体透過膜ＭAが介在し、共通液室ＳRと脱泡空間Ｑとの間に気体透過膜ＭBが介在し、空間ＲF1と脱泡空間Ｑとの間に気体透過膜ＭCが介在する。すなわち、気体透過膜ＭAと気体透過膜ＭBと気体透過膜ＭCとの各々を透過した気泡が共通の脱泡空間Ｑに到達する。したがって、液体噴射ユニット４０の各部にて抽出された気泡が別個の空間に供給される構成と比較して、気泡の排出のための構造が簡素化されるという利点がある。
【００７０】
図４に例示される通り、脱泡空間Ｑは脱泡経路７５に連通する。脱泡経路７５は、脱泡空間Ｑに滞留した空気を装置外部に排出するための経路である。脱泡空間Ｑと脱泡経路７５との間には逆止弁７４が介在する。逆止弁７４は、脱泡空間Ｑから脱泡経路７５に向かう空気の流通を許可する一方、脱泡経路７５から脱泡空間Ｑに向かう空気の流通を阻害する弁機構である。
【００７１】
図６は、流路ユニット４２のうち逆止弁７４の近傍に着目した説明図である。図６に例示される通り、第１実施形態の逆止弁７４は、弁座７４１と弁体７４２とバネ７４３とを包含する。弁座７４１は、脱泡空間Ｑと脱泡経路７５とを仕切る平板状の部分である。弁座７４１には、脱泡空間Ｑと脱泡経路７５とを連通させる連通孔ＨBが形成される。弁体７４２は、弁座７４１に対向するとともにバネ７４３により弁座７４１側に付勢される。脱泡経路７５内の圧力が脱泡空間Ｑ内の圧力以上に維持された状態（脱泡経路７５内が大気開放または加圧された状態）では、バネ７４３からの付勢により弁体７４２が弁座７４１に密着することで連通孔ＨBが閉塞される。したがって、脱泡空間Ｑと脱泡経路７５とは遮断される。他方、脱泡経路７５内の圧力が脱泡空間Ｑ内の圧力を下回る状態（脱泡経路７５内が減圧された状態）では、弁体７４２がバネ７４３による付勢に対抗して弁座７４１から離間する。したがって、脱泡空間Ｑと脱泡経路７５とが連通孔ＨBを介して相互に連通する。
【００７２】
本実施形態の脱泡経路７５は、圧力調整機構１８と弁機構ユニット４１の制御室ＲCとを連結する経路に接続される。すなわち、圧力調整機構１８に接続された経路が２系統に分岐し、一方が制御室ＲCに接続されるとともに他方が脱泡経路７５に接続される。
【００７３】
図４に例示される通り、液体噴射ユニット４０から弁機構ユニット４１を経由して分配流路３６の内部に至る排出経路７６が形成される。排出経路７６は、液体噴射ユニット４０の内部流路（具体的には液体噴射部４４にインクを供給するための流路）に連通する経路である。具体的には、排出経路７６は、各液体噴射部４４の共通液室ＳRの排出口Ｒoutと鉛直空間ＲVとに連通する。
【００７４】
排出経路７６のうち液体噴射ユニット４０とは反対側の端部は閉塞弁７８に接続される。閉塞弁７８が設置される位置は任意であるが、分配流路３６内に閉塞弁７８を設置した構成が図４では例示されている。閉塞弁７８は、通常状態では排出経路７６を閉塞し（ノーマリークローズ）、一時的に排出経路７６を大気に開放可能な弁機構である。
【００７５】
内部流路からの気泡の排出に着目した液体噴射ユニット４０の動作を説明する。図７に例示される通り、液体噴射ユニット４０に最初にインクを充填（以下「初期充填」という）する段階では、圧力調整機構１８が加圧動作を実行する。すなわち、押圧部７３の脱泡経路７５内が空気の供給により加圧される。したがって、制御室ＲC内の押圧部７３が可動膜７１側に弾性変形して可動膜７１および受圧板７２３が変位し、受圧板７２３からの押圧により弁体７２２が移動して空間Ｒ1と空間Ｒ2とが連通する。脱泡経路７５が加圧された状態では逆止弁７４により脱泡空間Ｑと脱泡経路７５とが遮断されるから、脱泡経路７５内の空気は脱泡空間Ｑには流入しない。他方、初期充填の段階では閉塞弁７８が開放される。
【００７６】
また、本実施形態では、上述したように押圧部７３は、図５に示すように可動膜７１を押す先端面７３ｂの面積、すなわち、突起部７３ａの先端面７３ｂの面積が圧力調整機構１８から供給圧を受ける後端面７３ｃの面積より小さくなっている。このため、押圧部７３が可動膜７１から受ける反力、すなわち、可動膜７１が空間Ｒ2内のインクから受ける圧力を小さくすることができ、圧力調整機構１８が加圧する脱泡経路７５の圧力を小さくすることができる。
【００７７】
以上の状態において、液体圧送機構１６は、液体容器１４に貯留されたインクを液体噴射ユニット４０の内部流路に圧送する。具体的には、液体圧送機構１６から圧送されたインクは、開放状態にある開閉弁Ｂ[1]を介して鉛直空間ＲVに供給され、鉛直空間ＲVから共通液室ＳRおよび各圧力室ＳCに供給される。前述の通り閉塞弁７８は開放されているから、初期充填の実行前に内部流路に存在していた空気は、内部流路および排出経路７６に対するインクの充填とともに排出経路７６と閉塞弁７８とを通過して装置外部に排出される。したがって、液体噴射ユニット４０の共通液室ＳRと各圧力室ＳCとを含む内部流路の全体にインクが充填され、圧電素子４８４の動作によりノズルＮからインクを噴射可能な状態となる。以上に例示した通り、第１実施形態では、液体圧送機構１６から液体噴射ユニット４０にインクが圧送されるときに閉塞弁７８が開放されるから、液体噴射ユニット４０の内部流路にインクを効率的に充填することが可能である。以上に説明した初期充填が完了すると、圧力調整機構１８による加圧動作が停止するとともに閉塞弁７８が閉塞される。
【００７８】
図８に例示される通り、初期充填が完了して液体噴射装置１００が使用可能な状態では、液体噴射ユニット４０の内部流路に存在する気泡が常時的に脱泡空間Ｑに排出される。具体的には、空間ＲF1内の気泡は気体透過膜ＭCを介して脱泡空間Ｑに排出され、鉛直空間ＲV内の気泡は気体透過膜ＭAを介して脱泡空間Ｑに排出され、共通液室ＳR内の気泡は気体透過膜ＭBを介して脱泡空間Ｑに排出される。他方、開閉弁Ｂ[1]は、空間Ｒ2内の圧力が所定の範囲内に維持された状態では閉塞され、空間Ｒ2内の圧力が所定の閾値を下回ると開放される。開閉弁Ｂ[1]が開放されると、液体圧送機構１６から供給されるインクが空間Ｒ1から空間Ｒ2に流入し、結果的に空間Ｒ2の圧力が上昇することで開閉弁Ｂ[1]は閉塞される。
【００７９】
図８に例示した動作状態で脱泡空間Ｑに滞留した空気は、脱泡動作により装置外部に排出される。脱泡動作は、例えば液体噴射装置１００の電源投入の直後や印刷動作の間等の任意の時期に実行され得る。図９は、脱泡動作の説明図である。図９に例示される通り、脱泡動作を開始すると、圧力調整機構１８は減圧動作を実行する。すなわち、空間Ｒ3と脱泡経路７５とが空気の吸引により減圧される。
【００８０】
脱泡経路７５が減圧されると、逆止弁７４の弁体７４２がバネ７４３による付勢に対抗して弁座７４１から離間し、脱泡空間Ｑと脱泡経路７５とが連通孔ＨBを介して相互に連通する。したがって、脱泡空間Ｑ内の空気は脱泡経路７５を介して装置外部に排出される。他方、内部空間の減圧により押圧部７３は可動膜７１とは反対側に変形するが、制御室ＲC内の圧力（ひいては可動膜７１）には影響しないから、開閉弁Ｂ[1]は閉塞した状態に維持される。
【００８１】
なお、本実施形態では、図５に示すように、空間Ｒ3は、押圧部７３の後端面７３ｃに相対向する壁４１ａを有し、この壁４１ａには、押圧部７３に向かって突出する凸部４１ｂが設けられている。このように後端面７３ｃに相対向する壁４１ａに凸部４１ｂを設けることで、押圧部７３と壁４１ａとの接触面積を減らして、押圧部７３が結露等によって壁４１ａに張り付くのを抑制することができる。また、壁４１ａに凸部４１ｂを設けることで、脱泡経路７５を減圧した際に、押圧部７３が可動膜７１とは反対側に変形するのを規制することができ、押圧部７３の過度な変形による破損を抑制することができる。なお、凸部４１ｂは、梁状に設けられたものであってもよい。
【００８２】
以上に例示した通り、第１実施形態では、開閉弁Ｂ[1]の開閉と逆止弁７４の開閉とに圧力調整機構１８が共用されるから、開閉弁Ｂ[1]と逆止弁７４とを別個の機構により制御する構成と比較して、開閉弁Ｂ[1]および逆止弁７４を制御するための構成が簡素化されるという利点がある。
【００８３】
また、本実施形態では、可動膜７１を押す押圧部７３を設け、押圧部７３の受圧部である可動膜７１を押す先端面７３ｂの面積を、供給圧を受ける後端面７３ｃの面積よりも小さくすることで、供給圧を広い後端面７３ｃで受けて、圧力を受け易くし、且つ先端面７３ｂを狭い面積とすることで、可動膜７１からの反力を小さくすることができる。したがって、供給圧として高い圧力が不要となる。また、開閉弁Ｂ[1]を開くために必要な供給圧を供給する圧力調整機構１８の圧力は、空間Ｒ2内のインクの圧力変化に対する影響が小さいため、圧力調整機構１８の設計を簡便化することができる。さらに、可動膜７１を介したインクの反力の影響を小さくすることができるため、押圧部７３の姿勢を容易に維持することができる。したがって、安定して開閉弁Ｂ[1]を開弁した状態を維持することができる。
【００８４】
さらに、本実施形態では、可動膜７１には受圧板７２３を設けるようにした。このため、押圧部７３が可動膜７１を押圧した際に可動膜７１が延びてしまうことや破れてしまうなどの変形を抑制することができる。また、受圧板７２３を弁体７２２側に設けることで、弁体７２２が直接可動膜７１に接触するのを抑制して、可動膜７１の弁体７２２に接触することによる変形や破損を抑制することができる。
【００８５】
また、本実施形態では、受圧板７２３は、押圧部７３の先端面７３ｂよりも大きい面積を有することで、受圧板７２３と押圧部７３の先端面７３ｂとの位置がずれた場合であっても、押圧部７３の先端面７３ｂによって受圧板７２３を確実に押圧することができる。
【００８６】
さらに、本実施形態では、押圧部７３の厚みのうち、先端ではない部分の厚み、すなわち、先端面７３ｂが設けられた突起部７３ａ以外の部分の厚みは、突起部７３ａが設けられた部分の厚みよりも薄くなるようにした。このため、押圧部７３の先端ではない部分、すなわち、突起部７３ａ以外の部分を変形し易くして、先端面７３ｂを有する突起部７３ａを可動膜７１に向かって容易に移動させることができる。
【００８７】
また、本実施形態では、押圧部７３に対して可動膜７１とは反対側に壁４１ａを備え、壁４１ａには、押圧部７３に接する凸部である凸部４１ｂを設けるようにした。このため、このように後端面７３ｃに相対向する壁４１ａに凸部４１ｂを設けることで、押圧部７３と壁４１ａとの接触面積を減らして、押圧部７３が結露等によって壁４１ａに張り付くのを抑制することができる。また、壁４１ａに凸部４１ｂを設けることで、脱泡経路７５を減圧した際に、押圧部７３が可動膜７１とは反対側に変形するのを規制することができ、押圧部７３の過度な変形による破損を抑制することができる。
【００８８】
さらに、本実施形態の液体噴射ユニット４０は、流路構造体である弁機構ユニット４１と、貯留室である空間Ｒ2内のインクを吐出して第１圧力を変更する液体噴射部４４とを備える。液体噴射部４４が空間Ｒ2内のインクを吐出することで、空間Ｒ2内のインクが消費されても、空間Ｒ2内の圧力に基づいて可動膜７１が動作して開閉弁Ｂ[1]を開弁して空間Ｒ1から空間Ｒ2内にインクを供給することができる。したがって、液体噴射部４４に一定の圧力でインクを供給することができる。
【００８９】
（実施形態２）
図１０は、本発明の実施形態２に係る弁機構ユニットの要部断面図であり、図１１は、図１０のＡ−Ａ′線断面図である。なお、上述した実施形態と同等の部材は同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００９０】
図示するように、可動膜７１の弁座７２１との対向面には、受圧板７２３が設けられている。受圧板７２３は、可動膜７１から離れる返し７２３ａを有する。本実施形態では、図１０に示すように、受圧板７２３のＸ方向の両端部をＺ方向に向かって屈曲することで返し７２３ａを設けた。なお、返し７２３ａは、受圧板７２３を屈曲することなく、例えば、成形等によって形成してもよい。また、図１１に示すように、受圧板７２３のＹ方向の端部には返しが設けられていなくてもよい。もちろん、受圧板７２３のＹ方向の自由端となる端部に返し７２３ａを設けるようにしてもよい。
【００９１】
このように受圧板７２３に返し７２３ａを設けることで、受圧板７２３の強度を増すことができるため、受圧板７２３が押圧部７３や可動膜７１に押圧された際に変形するのを抑制することができる。また、受圧板７２３の返し７２３ａの方向は、可動膜７１とは離れる方向であるため、受圧板７２３のエッジによって可動膜７１が傷付くのを抑制することができる。
【００９２】
さらに、本実施形態では、図１２に示すように、返し７２３ａを空間Ｒ3内に設け、押圧部７３によって可動膜７１が押圧された際に、返し７２３ａが空間Ｒ3の壁面、すなわち、弁座７２１に当接するようにした。ちなみに、返し７２３ａが空間Ｒ3の壁面に当接する高さは、開閉弁Ｂ[1]が開弁した状態とした。このように、返し７２３ａが空間Ｒ3の壁面に当接することで、可動膜７１の過度な変形を抑制することができるため、可動膜７１及び押圧部７３の過度な変形による破損を抑制することができる。
【００９３】
なお、本実施形態では、可動膜７１の弁座７２１との対向面に受圧板７２３を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、可動膜７１の弁座７２１との対向面とは反対側の面に受圧板７２３を設けるようにしてもよい。この場合には、返し７２３ａは、可動膜７１とは離れる方向に設けるようにすればよい。
【００９４】
また、受圧板７２３は、図１１に示すように、一端部が弁機構ユニット４１に支持された支点７２３ｂと、押圧部７３によって押される被押圧位置７２３ｃと、支点７２３ｂとの間にて弁体７２２に当接する当接位置７２３ｄと、を有する。すなわち、Ｚ方向から平面視した際に、受圧板７２３の押圧部７３によって押される被押圧位置７２３ｃと、弁体７２２に当接する当接位置７２３ｄとは重ならない位置に配置されている。このように受圧板７２３の弁体７２２に当接する当接位置７２３ｄを、支点７２３ｂと被押圧位置７２３ｃとの間に配置することで、押圧部７３が可動膜７１を押した押し込み量に対して、弁体７２２の移動量が小さくなる。したがって、弁体７２２の位置のばらつきを低減して、弁体７２２の開閉精度を向上することができる。つまり、押圧部７３が可動膜７１を押す量に対して、当接位置７２３ｄの移動量は小さくなるため、押圧部７３が可動膜７１を押す量にばらつきが生じても、当接位置７２３ｄへの影響は少なくなる。これにより、弁体７２２の開閉精度を向上することができる。
【００９５】
また、制御室ＲCと空間Ｒ3との間には上述した実施形態１と同様の押圧部７３が設けられている。押圧部７３は、ゴム等の弾性材料で形成された板状の部材であり、押圧部７３は、制御室ＲCの開口を塞いで設けられている。また、押圧部７３は、本実施形態では、圧力調整機構１８の加圧動作によって脱泡経路７５が加圧された際に可動膜７１側に凸状に弾性変形するものであり、加圧動作が行われていない場合には板形状を有する。
【００９６】
また、押圧部７３には、可動膜７１に向かって突出する突起部７３ａが設けられており、供給圧を受ける後端面７３ｃの面積よりも、突起部７３ａの先端面７３ｂの面積は小さくなっている。このような押圧部７３は、突起部７３ａが設けられた部分以外のＺ方向の厚みは、突起部７３ａが設けられた部分のＺ方向の厚みよりも薄くなっている。すなわち、突起部７３ａは、板状部材のＺ方向の厚さを厚くすることで形成されている。このように、突起部７３ａが設けられた領域の厚さに比べて、突起部７３ａが設けられた部分以外の厚さを薄くすることで、押圧部７３の突起部７３ａ以外の部分を変形し易くすることができる。ちなみに、押圧部７３の突起部７３ａ以外の部分の厚さを突起部７３ａと同じ厚さとした場合、押圧部７３の突起部７３ａ以外の部分が変形し難く、突起部７３ａが設けられた部分が変形してしまい、可動膜７１を高精度に押圧することができなくなってしまう虞がある。本実施形態では、突起部７３ａ以外の部分の厚さを薄くして変形し易くすることで、突起部７３ａの形状を安定させて、可動膜７１を高精度に押圧することができる。
【００９７】
なお、押圧部７３は、圧力調整機構１８によって加圧動作が行われていない状態では、可動膜７１とは離間して配置されている。このように押圧部７３を可動膜７１と離間して配置することで、押圧部７３が予期せぬタイミングで撓んだ際に弁が開弁するのを抑制することができる。ちなみに、押圧部７３が可動膜７１と当接していると、振動や押圧部７３の経年劣化等の予期せぬ撓みが発生した際に、弁体７２２を押圧して開弁してしまう虞がある。もちろん、このような押圧部７３によって、可動膜７１を押圧することで、可動膜７１がインクから受ける圧力を押圧部７３の先端面７３ｂのみで受けることができ、押圧部７３がインクの圧力によって押される影響を小さくすることができる。
【００９８】
また、制御室ＲCには、押圧部７３の後端面７３ｃに相対向する壁４１ａが設けられている。この壁４１ａは、押圧部７３に接することが可能な複数の凸部４１ｂと、複数の凸部４１ｂの間に設けられた凹部４１ｃと、を有する。
【００９９】
本実施形態では、Ｘ方向に延びる連続して突出した凸部４１ｂをＹ方向に間隔を開けて複数配置するようにした。
【０１００】
また、複数の凸部４１ｂの間の各凹部４１ｃの底面には、Ｚ方向に貫通して脱泡経路７５と連通する開口部７５ａが開口して設けられている。すなわち、凹部４１ｃから圧力調整機構１８からの空気が空間Ｒ3に供給されるようになっている。なお、本実施形態では、凹部４１ｄの底面の一部に脱泡経路７５が開口する開口部７５ａとしたが、特にこれに限定されず、凹部４１ｄの底面の全てが開口部７５ａであってもよい。また、本実施形態では、脱泡経路７５と空間Ｒ3とはＺ方向で連通するものとしたが、特にこれに限定されず、Ｚ方向に貫通することなく、凹部４１ｄのＸ方向の端部においてＸ方向又はＹ方向で脱泡経路７５と連通してもよい。
【０１０１】
このように壁４１ａに複数の凸部４１ｂを設けることで、脱泡経路７５及び空間Ｒ3が減圧された際に、押圧部７３の後端面７３ｃが複数の凸部４１ｂに当接する。したがって、押圧部７３の後端面７３ｃと壁４１ａとの接触面積を減らして、押圧部７３が壁４１ａに結露等によって張り付くのを抑制することができる。
【０１０２】
また、脱泡経路７５及び空間Ｒ3が減圧された際に、押圧部７３の後端面７３ｃが複数の凸部４１ｂに当接することで、押圧部７３の可動膜７１とは反対側への変形が規制される。したがって、押圧部７３の過度な変形を抑制して、押圧部７３の破損を抑制することができる。
【０１０３】
さらに、本実施形態では、複数の凹部４１ｃから圧力調整機構１８の空気が供給されるため、凹部４１ｃの一つが詰まっても、押圧部７３を動作させることが可能となる。すなわち、１つの凹部４１ｃのみが脱泡経路７５と連通している場合、凹部４１ｃが詰まることによって押圧部７３を動作させることができなくなってしまうが、複数の凹部４１ｃを脱泡経路７５と連通させることで、１つの凹部４１ｃが詰まっても押圧部７３を動作させることが可能となり、信頼性を向上することができる。
【０１０４】
以上説明したように、本実施形態では、受圧板７２３を設け、受圧板７２３に可動膜７１から離れる返し７２３ａを設けることで、受圧板７２３の強度を増すことができ、受圧板７２３が押圧部７３や可動膜７１に押圧された際に変形するのを抑制することができる。また、受圧板７２３の返し７２３ａの方向は、可動膜７１とは離れる方向であるため、受圧板７２３のエッジによって可動膜７１に傷が付くのを抑制することができる。
【０１０５】
また、返し７２３ａは、空間Ｒ2内にあり、押圧部７３により可動膜７１が押圧されて、返し７２３ａが空間Ｒ2の壁面に当接するようにした。このため、可動膜７１の過度な変形を抑制することができるため、可動膜７１及び押圧部７３の過度な変形による破損を抑制することができる。
【０１０６】
さらに、受圧板７２３は、支点７２３ｂと、押圧部７３により押される被押圧位置７２３ｃと、支点７２３ｂと被押圧位置７２３ｃとの間にて弁体７２２と当接する当接位置７２３ｄとを有するものとした。このため、被押圧位置７２３ｃのばらつきに対する弁体７２２に当接する当接位置７２３ｄのばらつきを低減することができ、弁体７２２の位置精度を向上して、弁体７２２の開閉精度を向上することができる。
【０１０７】
また、本実施形態では、押圧部７３の厚みのうち、先端ではない部分の厚み、すなわち、先端面７３ｂが設けられた突起部７３ａ以外の部分の厚みは、突起部７３ａが設けられた部分の厚みよりも薄くなるようにした。このため、押圧部７３の先端ではない部分、すなわち、突起部７３ａ以外の部分を変形し易くして、先端面７３ｂを有する突起部７３ａを可動膜７１に向かって容易に移動させることができる。
【０１０８】
さらに、押圧部７３に対して可動膜７１とは反対側に設けられた壁４１ａを備え、壁４１ａには、押圧部７３に接する複数の凸部４１ｂと、複数の凸部４１ｂの間の凹部４１ｃと、を有するものとした。このように壁４１ａに複数の凸部４１ｂを設けることで、脱泡経路７５及び空間Ｒ3が減圧された際に、押圧部７３の後端面７３ｃが複数の凸部４１ｂに当接する。したがって、押圧部７３の後端面７３ｃと壁４１ａとの接触面積を減らして、押圧部７３が壁４１ａに結露等によって張り付くのを抑制することができると共に、押圧部７３の可動膜７１とは反対側への変形が規制されて、押圧部７３の過度な変形を抑制して、押圧部７３の破損を抑制することができる。
【０１０９】
また、凹部４１ｃは、複数設けられており、それぞれの凹部４１ｃから空気が供給されることで、１つの凹部４１ｃが詰まっても押圧部７３を動作させることが可能となり、信頼性を向上することができる。
【０１１０】
（実施形態３）
図１３は、本発明の実施形態３に係る弁機構ユニットの要部断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【０１１１】
図１３に示すように、本実施形態の押圧部７３は、突起部７３ａと、屈曲部である第１部分７３ｄ及び第２部分７３ｅと、を有する。
【０１１２】
第１部分７３ｄは、中央部に設けられた突起部７３ａの周囲を囲むように設けられたものであり、Ｚ方向に折り返すように屈曲して設けられている。この第１部分は、圧力調整機構１８からの強い供給圧で変形する。ちなみに、第１部分７３ｄが変形するとは、屈曲した部分が延びるように変形することであり、屈曲した角度が変わることをいう。
【０１１３】
第２部分７３ｅは、第１部分７３ｄの外側で第１部分７３ｄを囲むように設けられたものであり、約９０度に屈曲して設けられている。この第２部分７３ｅは、圧力調整機構１８からの弱い供給圧で変形する。ちなみに、第２部分７３ｅが変形するとは、屈曲した部分が延びるように変形することであり、屈曲した角度が変わることをいう。
【０１１４】
このように押圧部７３に屈曲部である第１部分７３ｄと第２部分７３ｅとを設けることで、押圧部７３の圧力調整機構１８から供給圧を受ける後端面７３ｃの面積を増大させて、より小さな供給圧で変形させることができる。
【０１１５】
また、押圧部７３に屈曲部である第１部分７３ｄと第２部分７３ｅとを設けることで、押圧部７３の変位量、特に突起部７３ａが設けられた部分のＺ方向の移動量を大きくすることができる。すなわち、押圧部７３は、屈曲部である第１部分７３ｄ及び第２部分７３ｅの屈曲した角度を広げるように変形することで、可動膜７１を押圧する突起部７３ａが設けられた部分をＺ方向に大きく移動させることができる。このような屈曲部である第１部分７３ｄ及び第２部分７３ｅの屈曲した角度を広げるように変形するのに必要な圧力は、上述した実施形態１及び２の平板状の押圧部７３を変形させる圧力に比べて小さい。したがって、本実施形態の押圧部７３は、小さな供給圧によって変形量を大きくすることができる。
【０１１６】
また、本実施形態では、押圧部７３に屈曲部として強い供給圧で変形する第１部分７３ｄと弱い供給圧で変形する第２部分７３ｅとを設けた。したがって、図１４に示すように、弱い供給圧で第２部分７３ｅを変形させて開閉弁Ｂ[1]が開かない程度に可動膜７１を押す第２状態と、図１５に示すように、強い供給圧で第１部分７３ｄ及び第２部分７３ｅを変形させて開閉弁Ｂ[1]が開く程度に可動膜７１を押す第１状態と、を容易に行わせることができる。
【０１１７】
このような第１状態と第２状態とは、制御ユニット２０によって圧力調整機構１８の供給圧を制御することで切り替えることが可能である。ここで、制御ユニット２０について、さらに図１６を参照して説明する。なお、図１６は、制御ユニットの機能実現部を示すブロック図である。
【０１１８】
制御ユニット２０は、圧力調整機構１８を制御する圧力調整部２１としての機能を有する。圧力調整部２１は、圧力調整機構１８を制御することにより、圧力調整機構１８に接続された流路、すなわち、脱泡経路７５等に空気を供給する加圧動作と、当該流路から空気を吸引する減圧動作とを圧力調整機構１８に実行させる。
【０１１９】
このような圧力調整部２１は、圧力調整機構１８を制御することによって、図１４に示す圧力調整機構１８に接続された流路を第２状態となる程度に加圧する加圧動作と、当該流路を減圧する減圧動作とを繰り返し行わせる。これにより、空間Ｒ2内のインクの圧力変動が生じ、空間Ｒ2に連通するノズルＮのインクのメニスカスを揺動させることができる。このように圧力調整機構１８によってノズルＮのメニスカスを揺動させることで、インクの乾燥を抑制することができる。また、圧力調整機構１８を用いたノズルＮのインクのメニスカスの揺動は、圧電素子４８４を用いた揺動に比べて大きく揺動させることができる。また、揺動によってノズルＮからインクが出てもよい。このように圧力調整機構１８を用いてノズルＮのメニスカスを揺動させることで、圧電素子４８４を使用する必要がなく、圧電素子４８４の寿命が短くなるのを抑制することができる。もちろん、圧力調整機構１８によるノズルＮのメニスカスの揺動と、圧電素子４８４を駆動させることによるノズルＮのメニスカスの揺動とを併用してもよい。これによっても、さらにノズルＮのメニスカスを大きく揺動することができる。
【０１２０】
また、圧力調整部２１は、圧力調整機構１８を制御して、図１５に示すように、圧力調整機構１８に接続された流路を第１状態となるまで加圧することで、開閉弁Ｂ[1]を開弁させて、初期充填等を行わせることができる。
【０１２１】
以上説明したように、本実施形態では、押圧部７３は、屈曲された屈曲部として第１部分７３ｄ及び第２部分７３ｅを有するものとした。このため、供給圧を受ける後端面７３ｃの面積を大きくすることができる。また、屈曲部である第１部分７３ｄ及び第２部分７３ｅを広げるように変形させることで、小さな供給圧で大きく変形させることができる。
【０１２２】
また、押圧部７３は、開閉弁Ｂ[1]が開く程度に可動膜７１を押す第１状態と、開閉弁Ｂ[1]が開かない程度に可動膜７１を押す第２状態と、にて可動膜７１を押すようにした。このため、押圧部７３を多段階に動作させることができ、可動膜７１を多段階に押し易い。
【０１２３】
そして、本実施形態では、第２状態で可動膜７１を押して、液体噴射部４４のノズルＮのメニスカスを揺動させるように制御する制御部である制御ユニット２０を設けるようにした。このように第２状態によってノズルＮのメニスカスを揺動させることで、インクの乾燥を抑制することができる。また、弁機構ユニット４１を用いたノズルＮのインクのメニスカスの揺動は、圧電素子４８４を用いた揺動に比べて大きく揺動させることができる。また、揺動によってノズルＮからインクが出てもよい。さらに、弁機構ユニット４１を用いてノズルＮのメニスカスを揺動させることで、圧電素子４８４を使用する必要がなく、圧電素子４８４の寿命が短くなるのを抑制することができる。
【０１２４】
また、本実施形態では、押圧部７３は、強い供給圧にて変形する第１部分７３ｄと、弱い供給圧にて変形する第２部分７３ｅと、を含むことで、第１部分７３ｄの変形にて開閉弁Ｂ[1]が開く第１状態と、第２部分７３ｅの変形にて開閉弁Ｂ[1]が開かない第２状態とを容易に実現することができる。
【０１２５】
（実施形態４）
図１７は、本発明の実施形態４に係る可動膜の平面図であり、図１８は、圧力調整機構の要部断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【０１２６】
図示するように、可動膜７１の押圧部７３に押される部分には、複数の島状に独立して設けられた凸部７１ａと、複数の凸部７１ａの間に設けられた凹部７１ｂと、を具備する。本実施形態では、島状の凸部７１ａを可動膜７１の押圧部７３側の表面に複数接着することで、複数の凸部７１ａと、凸部７１ａの間に凹部７１ｂとを形成した。なお、本実施形態の複数の凸部７１ａは、Ｙ方向に並設された凸部７１ａの列を、Ｘ方向に３列設け、Ｘ方向で隣り合う凸部７１ａの列が、各列を構成する凸部７１ａのピッチの半ピッチずれるように配置した。
【０１２７】
このように可動膜７１の押圧部７３に押される部分に、複数の凸部７１ａと凹部７１ｂとを設けることで、図１９に示すように、圧力調整機構１８が加圧動作を行った際に押圧部７３の先端面７３ｂが複数の凸部７１ａの先端面のみに接触する。したがって、押圧部７３と可動膜７１との接触面積を減らして、押圧部７３と可動膜７１とが結露等によって張り付くのを抑制することができる。
【０１２８】
なお、本実施形態では、可動膜７１に複数の凸部７１ａを接着するようにしたが、特にこれに限定されるものではない。例えば、板状部材の表面に凹凸を形成し、板状部材を可動膜７１に接着してもよい。また、可動膜７１の表面を粗面化して凹凸を設けるようにしてもよい。ちなみに、可動膜７１の表面を粗面化するとは、例えば、ドライエッチング、ブラスト加工、及びウェットエッチング等によって可動膜７１の表面の表面粗さが粗くなるように加工することや、表面粗さが粗い膜を成膜することをいう。このように、押圧部７３と可動膜７１とが接する部分を粗面化することで、押圧部７３と可動膜７１とが結露等によって張り付くのを抑制することができる。
【０１２９】
また、本実施形態では、受圧板７２３を可動膜７１の弁体７２２側に設けるようにしたが、特にこれに限定されず、受圧板７２３を可動膜７１の押圧部７３側に設けてもよい。また、その場合には、受圧板７２３の押圧部７３に押される部分に複数の凸部と凹部とを設けるようにしてもよい。
【０１３０】
また、本実施形態では、可動膜７１の押圧部７３に押される部分に複数の凸部７１ａと凹部７１ｂとを設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、押圧部７３の先端面７３ｂに複数の凸部と凹部とを設けるようにしてもよい。もちろん、可動膜７１と押圧部７３との両方に複数の凸部と凹部とを設けるようにしてもよい。
【０１３１】
さらに、本実施形態では、島状に独立した複数の凸部７１ａを設けるようにしたが、特にこれに限定されず、また、複数の凸部７１ａに限定されず、１つの凸部７１ａを設けるようにしてもよい。凸部７１ａを１つだけ設ける場合には、Ｘ方向及びＹ方向の中央部に凸部７１ａを設ければよい。また、可動膜７１のＸ方向の中央にＹ方向に延びる連続した桟状の凸部を設けるようにしてもよい。もちろん、島状や桟状の凸部は、２つ以上の複数であってもよい。
【０１３２】
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
【０１３３】
例えば、上述した各実施形態の開閉弁Ｂ[1]は、弁体７２２をバネ７２４の付勢力によって付勢することによって閉弁するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、弁体７２２の自重によって閉弁するようにしてもよい。
【０１３４】
また、上述した各実施形態では、開閉弁Ｂ[1]が設けられた流路が、貯留室である空間Ｒ2に連通した構成を例示したが、特にこれに限定されず、開閉弁Ｂ[1]が設けられた流路が、貯留室である空間Ｒ2に連通せずに、代わりに貯留室へ液体を圧送するための動力源、つまり、液体圧送機構１６に連通しており、開閉弁Ｂ[1]が開くことで液体圧送機構１６が作動して貯留室である空間Ｒ2にインクを圧送し、その結果として可動膜７１の一方側の第１圧力が大きくなるようにしてもよい。すなわち、開閉弁Ｂ[1]が開閉する流路は、インク以外の流体の流路であってもよく、開閉弁Ｂ[1]が開閉した結果として、インクが流れるようにしてもよい。
【０１３５】
また、受圧部である可動膜７１は、第１圧力と第２圧力との釣り合いに応じて動くものであればよく、材料は、例えば、膜、フィルム、金属等であってもよい。また、可動膜７１の形状は、平坦なものであってもよく、屈曲が繰り返された、所謂、蛇腹形状であってもよく、さらには袋状体であってもよい。
【０１３６】
さらに、上述した各実施形態では、受圧部である可動膜７１が、貯留室である空間Ｒ2と制御室ＲCとを区分けするようにしたが、特にこれに限定されず、可動膜７１が貯留室の内部に袋状体で設けられていてもよい。
【０１３７】
また、押圧部７３は、ゴム等の弾性部材としたが、特にこれに限定されず、可撓性を有する樹脂等であってもよい。
【０１３８】
さらに、押圧部７３の可動膜７１を押圧する先端は、複数設けられていてもよい。また、押圧部７３に複数の先端を設けた場合には、例えば、上述した実施形態３と同様に、強い供給圧で全ての先端で弁が開く程度に可動膜７１を押す第１状態と、弱い供給圧で一部の先端のみで弁が開かない程度に可動膜７１を押す第２状態と、を切り替え可能としてもよい。すなわち、押圧部７３に複数の先端を設けた場合には、一部の先端を第２状態にする第２部分とし、全ての先端を第１状態とする第１部分としてもよい。
【０１３９】
さらに、上述した各実施形態では、脱泡空間Ｑを減圧することで、脱泡空間Ｑ内の気泡を除去するようにしたが、減圧する用途は特にこれに限定されない。例えば、減圧される空間、一方向弁を介してインクが通過する流路と連通させて、空間の減圧時に一方向弁を開いて流路内のインクを気泡と共に回収するものであってもよい。つまり、減圧される空間は、インクに含まれる気泡を溜める目的に用いることができる。もちろん、減圧される空間は、インクに含まれる気泡を溜める目的に以外の用途にも用いることができる。その他の用途としては、例えば、空間を減圧することで流路内の圧力変動を吸収するためのダンパー室の容積を変更して、ダンパー室の特性を変更するようにしてもよい。さらに、空間をノズルＮに臨むように開口させて、空間を減圧することで、ノズルＮ近傍に付着したゴミを吸引除去するものであってもよい。
【０１４０】
また、脱泡空間Ｑ内の気泡を除去するために減圧が用いられる場合には、減圧される空間は気体透過性を有するシート状部材（例えば、ポリアセタールやポリプロピレンやポリフェニレンエーテル等の薄膜）や、気体透過性を有する程度の厚さの剛性壁（例えば、透過区画壁を含む流路ユニット４２の材質をＰＯＭ（ポリアセタール）、ｍ−ＰＰＥ（変性ポリフェニレンエーテル）、又はＰＰ（ポリプロピレン）等のプラスチックまたはこれらのアロイとし、剛性壁の厚さを、一般的には０．５ｍｍ前後とする）により、少なくともその一部が形成されることが望ましい。あるいは、これらのシート状部材や剛性壁により形成された部屋と弁を介して連通する部屋が減圧する空間に相当する場合には、減圧する空間は熱硬化性樹脂や金属等により形成されてもよい。また、空間への減圧によりノズルＮ近傍に付着したゴミを吸引除去するために空間が用いられる場合には、空間は熱硬化性樹脂や金属等により、形成されることが好ましい。
【０１４１】
また、上述した各実施形態では、流体供給源である圧力調整機構１８からの流体として空気を例示したが、特にこれに限定されず、流体として、不活性ガスや、インクに用いられる液体、インク以外の液体等を用いるようにしてもよい。
【０１４２】
さらに、上述した各実施形態では、圧力室ＳCに圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、圧電素子４８４を用いて説明したが、圧電素子４８４としては、例えば、電極及び圧電材料を成膜及びリソグラフィー法により積層形成した薄膜型、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子を用いることができる。また、圧力発生手段として、圧力室ＳC内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズルから液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆるものなどを使用することができる。
【０１４３】
また、上述した実施形態では、液体噴射ユニット４０が、流路構造体である弁機構ユニット４１を具備するものを例示したが、特にこれに限定されず、液体噴射ユニット４０には流路構造体である弁機構ユニット４１が設けられていなくてもよい。すなわち、弁機構ユニット４１を液体噴射部４４とは別の場所に設けるようにしてもよい。
【０１４４】
また、本発明は、広く液体噴射装置全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッドを用いた液体噴射装置にも用いることが可能である。
【０１４５】
また、本発明は、広く流路構造体全般を対象としたものであり、液体噴射装置や液体噴射ユニット以外のデバイスにも用いることが可能である。
【０１４６】
また、本発明は、上述した実施形態１〜４とその他の実施形態とのうち、任意に選択された２以上の実施形態を組み合わせることにより実現されてもよいし、これらの実施形態の任意の構成を組み合わせることにより実現されてもよい。
【符号の説明】
【０１４７】
１００…液体噴射装置、１２…媒体、１４…液体容器、１６…液体圧送機構、１８…圧力調整機構（流体供給源）、２０…制御ユニット、２１…圧力調整部、２２…搬送機構、２４…液体噴射ヘッド、２６…移動機構、３２…接続ユニット、３４…第２支持体、３６…分配流路、３８…液体噴射モジュール、４０…液体噴射ユニット、４１…弁機構ユニット、４１ａ…壁、４１ｂ…凸部、４１ｃ…凹部、４１ｄ…凹部、４２…流路ユニット、４４…液体噴射部、４９…天井面、５０…連結ユニット、７１…可動膜（受圧部）、７１ａ…凸部、７１ｂ…凹部、７３…押圧部、７３ａ…突起部、７３ｂ…先端面、７３ｃ…後端面、７３ｄ…第１部分、７３ｅ…第２部分、７４…逆止弁、７５…脱泡経路、７５ａ…開口部、７６…排出経路、７８…閉塞弁、２４２…第１支持体、２４４…組立体、２６２…搬送体、２６４…搬送ベルト、４８１…流路基板、４８１Ａ…開口部、４８１Ｂ…分岐流路、４８１Ｃ…連通流路、４８２…圧力室基板、４８２Ａ…開口部、４８３…振動板、４８４…圧電素子、４８５…筐体部、４８６…封止体、４８７…ノズル板、４８８…緩衝板、７２１…弁座、７２２…弁体、７２３…受圧板、７２３ｂ…支点、７２３ｃ…被押圧位置、７２３ｄ…当接位置、７２４…バネ、７２５…基部、７２６…弁軸、７２７…封止部、７４１…弁座、７４２…弁体、７４３…バネ、Ｂ[1]…開閉弁、Ｆ[1]…フィルター、ＨA…連通孔、Ｊ…噴射面、ＭA、ＭB、ＭC…気体透過膜、Ｎ…ノズル、Ｑ…脱泡空間、Ｒ1…空間、Ｒ2…空間（貯留室）、Ｒ3…空間、Ｒin…流入口、ＲC…制御室、ＲV…鉛直空間、Ｒout…排出口、ＳR…共通液室、ＳC…圧力室、Ｖin…流入口、Ｖout…流出口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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