(57)【要約】【課題】質問器の位置に応じて、ＲＦ−ＩＤタグを移動できる基板収納容器を提供すること。【解決手段】複数の基板を収納可能な基板収納容器１であって、一方に開口部を有する容器本体２と、開口部を密閉する蓋体１１と、容器識別部を有する識別部材３と、ＲＦ−ＩＤタグ５を保持するＲＦ−ＩＤ保持部材４と、を備え、識別部材３は、容器本体２に着脱自在に取付けられ、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、識別部材３に連結されるとともに、ＲＦ−ＩＤ保持部材４が水平方向に配置される第一の位置Ａと、ＲＦ−ＩＤ保持部材４が垂直方向に配置される第二の位置Ｂとの間で移動可能であること。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を収納可能な基板収納容器であって、
一方に開口部を有する容器本体と、
前記開口部を密閉する蓋体と、
容器識別部を有する識別部材と、
ＲＦ−ＩＤタグを保持するＲＦ−ＩＤ保持部材と、を備え、
前記識別部材は、前記容器本体に着脱自在に取付けられ、
前記ＲＦ−ＩＤ保持部材は、前記識別部材に連結されるとともに、
前記ＲＦ−ＩＤ保持部材が水平方向に配置される第一の位置と、前記ＲＦ−ＩＤ保持部材が垂直方向に配置される第二の位置との間で移動可能である
ことを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記第一の位置は、前記容器本体の底面側に設けられ、
前記第二の位置は、前記容器本体の背面側に設けられる
ことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記ＲＦ−ＩＤ保持部材は、前記基板収納容器が輸送されるとき、前記第一の位置に保持される
ことを特徴とする請求項２に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記ＲＦ−ＩＤ保持部材は、前記第一の位置又は前記第二の位置に保持されるとき、加工装置の異なる位置に設けられたＲＦ−ＩＤタグ用の質問器とＲＦ−ＩＤタグとの間でデータの読取又は書込が可能となる
ことを特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記識別部材は、スライドレールが形成され、
前記ＲＦ−ＩＤ保持部材は、前記スライドレールとスライド移動可能に係合する被係合部が形成される
ことを特徴とする請求項１から４までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記識別部材は、前記第一の位置及び前記第二の位置に、前記ＲＦ−ＩＤ保持部材を固定可能なロック機構がそれぞれ設けられる
ことを特徴とする請求項１から５までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハなどの基板を収納する基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体の製造工程において、工場間・工程間の搬送や保管のために、半導体ウェハなどの基板を収納する基板収納容器が使用されている。半導体の製造工程では、各種装置により、基板収納容器に収納されている基板の種類や数量、特性などを識別し、効率的に工程管理を行うため、基板収納容器にはバーコード、ＲＦ−ＩＤ（Ｒａｄｉｏ  Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ  ＩＤｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）タグ、インフォパッドなどの識別部品が取付けられている。
【０００３】
識別部品が取付けられた基板収納容器として、例えば、特許文献１には、基部と基部から立ち上がる背面壁部及び側壁部とを有する識別部品の保持部材を有するものが記載されている。この基板収納容器は、背面壁部に、バーコードを表示する壁面と、カードケースを保持するカードケース保持部とが設けられ、基部及び／又は背面壁部には、必要に応じて、ＲＦ−ＩＤタグを保持するＲＦ−ＩＤ保持部材が少なくとも１箇所形成されることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−０６８８８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ＳＥＭＩ規格では、ＲＦ−ＩＤタグの基板収納容器に対する取付け範囲が規定されているが、ＲＦ−ＩＤタグ用の質問器（リーダ／ライタ）の位置は、工場や加工装置によって異なっている。そのため、ＲＦ−ＩＤタグを基板収納容器の所定の１箇所に取付けるだけでは、別の質問器で情報を読取又は書込を行えないことがあり、基板収納容器を扱う工場や加工装置ごとに、質問器の位置（あるいは、質問器の読取又は書込可能な範囲）に合わせて、基板収納容器からＲＦ−ＩＤタグを一旦取外し、対応する位置に付け替える必要があった。
【０００６】
そこで、本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、質問器の位置に応じて、ＲＦ−ＩＤタグを移動できる基板収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）本発明に係る一つの態様は、複数の基板を収納可能な基板収納容器であって、一方に開口部を有する容器本体と、前記開口部を密閉する蓋体と、容器識別部を有する識別部材と、ＲＦ−ＩＤタグを保持するＲＦ−ＩＤ保持部材と、を備え、前記識別部材は、前記容器本体に着脱自在に取付けられ、前記ＲＦ−ＩＤ保持部材は、前記識別部材に連結されるとともに、前記ＲＦ−ＩＤ保持部材が水平方向に配置される第一の位置と、前記ＲＦ−ＩＤ保持部材が垂直方向に配置される第二の位置との間で移動可能であること。
【０００８】
（２）上記（１）の態様において、前記第一の位置は、前記容器本体の底面側に設けられ、前記第二の位置は、前記容器本体の背面側に設けられてもよい。
【０００９】
（３）上記（２）の態様において、前記ＲＦ−ＩＤ保持部材は、前記基板収納容器が輸送されるとき、前記第一の位置に保持されてもよい。
【００１０】
（４）上記（１）から（３）までのいずれか一つの態様において、前記ＲＦ−ＩＤ保持部材は、前記第一の位置又は前記第二の位置に保持されるとき、加工装置の異なる位置に設けられたＲＦ−ＩＤタグ用の質問器とＲＦ−ＩＤタグとの間でデータの読取又は書込が可能となってもよい。
【００１１】
（５）上記（１）から（４）までのいずれか一つの態様において、前記識別部材は、スライドレールが形成され、前記ＲＦ−ＩＤ保持部材は、前記スライドレールとスライド移動可能に係合する被係合部が形成されてもよい。
【００１２】
（６）上記（１）から（５）までのいずれか一つの態様において、前記識別部材は、前記第一の位置及び前記第二の位置に、前記ＲＦ−ＩＤ保持部材を固定可能なロック機構がそれぞれ設けられてもよい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、質問器の位置に応じて、ＲＦ−ＩＤタグを移動できる基板収納容器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態に係る基板収納容器１を示す背面側の斜視図である。
【図２】容器本体２を示す側面図である。
【図３】識別部材３を示す下方からの斜視図である。
【図４】識別部材３を示す上方からの斜視図である。
【図５】ＲＦ−ＩＤ保持部材４を示す、（ａ）表面側からの斜視図、（ｂ）裏面側からの斜視図である。
【図６Ａ】ＲＦ−ＩＤ保持部材４の連結の各状態（ａ）及び（ｂ）を示す説明図である。
【図６Ｂ】ＲＦ−ＩＤ保持部材４の移動の各状態（ｃ１）から（ｃ５）を示す説明図である。
【図６Ｃ】ＲＦ−ＩＤ保持部材４の移動の各状態（ｄ１）から（ｄ３）を示す説明図である。
【図７】ＲＦ−ＩＤ保持部材４の固定及び解除の各状態（ｅ）及び（ｆ）を示す外側から見た斜視図である。
【図８】ＲＦ−ＩＤ保持部材４の固定及び解除の各状態（ｅ）及び（ｆ）を示す容器本体２側から見た斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
＜＜本発明の実施形態＞＞
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。また、前後は、容器本体の開口部側と背面側とを結ぶ方向を指し、左右は、容器本体の開口部側から見た状態を指すものとする。
【００１６】
＜基板収納容器＞
図１は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１を示す背面側の斜視図であり、図２は、容器本体２を示す側面図である。
図１に示される基板収納容器１は、図示されない複数の基板を収納可能なものであり、容器本体２と、蓋体１１（図示なし）とを備える。
【００１７】
［容器本体］
図２に示される容器本体２は、前面などの一方の開口部（図示なし）と、天井面２ａと、背面２ｂと、左右の側面２ｃと、底面２ｄとを有する略立方体のものである。開口部は、後述する蓋体１１により密閉される。
【００１８】
容器本体２の天井面２ａは、工程内及び工程間を走行する天井走行台車の吊下装置で吊下げられる、ロボティックフランジなどが設けられてもよい。
【００１９】
容器本体２の背面２ｂは、開口部の反対側に位置するものであり、底面２ｄから天井面２ａにかけて、左右一対の突出部２１が形成されている。この一対の突出部２１は、容器本体２の背面２ｂ側の外縁となる。
【００２０】
容器本体２の左右の側面２ｃは、対向する内面に、支持部材が設けられ、この支持部材には、基板の周縁部を水平に支持する支持部が、垂直方向に所定の間隔で形成されている。
【００２１】
容器本体２の底面２ｄは、後述する識別部材３が着脱自在に取付けられる。そのため、容器本体２の底面２ｄには、識別部材３を固定するための一対の係止溝２２が底面２ｄから突出するように形成されている。
【００２２】
［蓋体］
図示されない蓋体１１は、容器本体２の開口部を密閉するように取付けられる。なお、蓋体１１は、容器本体２の開口部側に、基板の周縁部を支持する支持部材が設けられている。また、蓋体１１は、容器本体２を密閉した状態で、蓋体１１を容器本体２に固定する施錠機構を備えてもよい。
【００２３】
［識別部材］
図３は、識別部材３を示す下方からの斜視図であり、図４は、識別部材３を示す上方からの斜視図である。
図３に示される識別部材３は、インフォパッドプラグが取付けられることなどで容器識別部として機能するものであり、容器本体２に着脱自在に取付けられる。この識別部材３は、基部３１と、左右一対の側壁部３２と、縦壁部３３とで形成されている（図４も参照）。
【００２４】
基部３１は、板状のもので、幅方向の中心線ＣＬに沿って略Ｕ字状の切欠部３１ａが形成されている。この切欠部３１ａにより前方が左右に分離された基部３１は、異なる半径を有する複数の貫通孔３１ｂが、幅方向の中心線ＣＬを軸として対称にそれぞれ形成されている。貫通孔３１ｂは、同心状である、大きな径をした外周円と、小さな径をした内周円とを有しており、外周円と内周円との間には段差部が形成されている。この段差部は、図示されないインフォパッドプラグに設けられた爪などが嵌合するもので、必要に応じて、インフォパッドプラグが取付けられると、貫通孔３１ｂは閉塞される。
【００２５】
側壁部３２は、側面視Ｌ字状のもので、基部３１の左右端部からそれぞれ立設され、端部に係止爪３２ａが形成されている（図４も参照）。この係止爪３２ａが、容器本体２の係止溝２２に係合することにより、識別部材３は、基部３１が容器本体２の底面２ｄと略平行となるように、容器本体２の底面２ｄに取付けられる。
【００２６】
縦壁部３３は、板状のもので、基部３１の後方の端部から略垂直方向に立設されている。なお、縦壁部３３と基部３１との接続部は、基板収納容器１を包装・梱包した場合に包装材料や梱包材料が破れないように、半径２ｍｍから２０ｍｍ程度の曲面であることが好ましい。識別部材３が容器本体２に取付けられると、この縦壁部３３は、容器本体２の背面２ｂと略平行になる。
【００２７】
また、識別部材３には、スライドレール３４が、基部３１及び縦壁部３３にわたり所定間隔で一対形成されている。本実施形態では、スライドレール３４は、溝として形成されるが、凸条のレールとして形成されてもよい。また、固定孔３５が、スライドレール３４同士の中間位置の少なくとも２箇所に形成されている。この固定孔３５は、後述するＲＦ−ＩＤ保持部材４の長手方向を所定の方向に保持し固定するロック機構の一部として機能する。
【００２８】
このスライドレール３４は、基部３１では、所定の位置から中心線ＣＬと略平行な直線で形成され（図３参照）、縦壁部３３の所定の高さ位置までは、基部３１と略直交し、中心線ＣＬを含む平面と略平行な直線で形成されている（図４参照）。また、１つめの固定孔３５は、スライドレール３４同士の中間位置であって、縦壁部３３から所定距離離れた位置の基部３１に形成されている。なお、縦壁部３３から所定距離離れた位置は、上記した所定の位置（溝の始端）と同じ位置であるが、異なる位置であってもよい。   
【００２９】
一方、縦壁部３３の所定の高さ位置では、スライドレール３４同士の中間点を中心とする、中心角９０度の円弧に形成されている（図４参照）。ただし、円弧の中心角は、９０度以上１８０度未満の範囲であってもよい。
【００３０】
つまり、一方のスライドレール３４は、所定の高さ位置よりも上方に向かう円弧となり、他方のスライドレール３４は、所定の高さ位置よりも下方に向かう円弧となる。また、２つめの固定孔３５が、この中心を含む位置に形成されている。
【００３１】
そして、スライドレール３４の直線と円弧との接続部には、差込孔３４ａが形成されている。ここで、差込孔３４ａの形状を、後述するＲＦ−ＩＤ保持部材４の鉤状部４２ａの形状に等しく形成すると、識別部材３とＲＦ−ＩＤ保持部材４との連結又は解除がし易くなり、差込孔３４ａの形状を、鉤状部４２ａの形状よりも小さく形成すると、識別部材３とＲＦ−ＩＤ保持部材４との連結は可能であるが、解除がし難くなる。
【００３２】
［ＲＦ−ＩＤ保持部材］
図５は、ＲＦ−ＩＤ保持部材４を示す、（ａ）表面側からの斜視図、（ｂ）裏面側からの斜視図である。
図５（ａ），（ｂ）に示されるＲＦ−ＩＤ保持部材４は、ＲＦ−ＩＤタグ５（図示なし）を保持するものである。ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、保持部材本体４１と、一対のスライド爪４２と、嵌合爪４３とで形成されている。ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、本体部材４１側が表面となるように識別部材３（スライドレール３４）に連結される。
【００３３】
保持部材本体４１は、角棒状であり、図５（ｂ）に示されるように、裏面側には凹部４１ａが長さ方向に延びて形成されている。この凹部４１ａに、ＲＦ−ＩＤタグ５が挿入され固定される。また、保持部材本体４１には、表面側から凹部４１ａまで貫通する略正方形の開口４１ｂが両端付近に形成されている（図５（ａ）参照）。なお、表面中央の窪みは、ＲＦ−ＩＤ保持部材４を射出成形で製造する際、必要に応じて設けられる。
【００３４】
この保持部材本体４１は、裏面側にＲＦ−ＩＤタグ５を固定することで、ＲＦ−ＩＤ保持部材４が識別部材３に連結された状態では、ＲＦ−ＩＤタグ５の取外しが不能となる。また、基板収納容器１に衝撃などの外力が加わっても、ＲＦ−ＩＤタグ５が脱落することがない。一方、ＲＦ−ＩＤ保持部材４が識別部材３から取外された状態では、表面側の開口４１ｂから治具などを挿入することで、ＲＦ−ＩＤタグ５は凹部４１ａから押出されるため、ＲＦ−ＩＤタグ５の取外しが可能となる。
【００３５】
スライド爪４２は、スライドレール３４とスライド移動可能に係合する被係合部として機能するものであり、スライドレール３４に沿ってスライド移動させる場合に、ガイド及び抜け止めとしても機能するものである。このスライド爪４２は、保持部材本体４１の凹部４１ｂが形成された面側の両端から、突出して形成されており、先端に鉤状部４２ａが形成されている。なお、スライドレール３４を凸条レールとして形成した場合は、スライド爪４２は、凸条レールに係合される蟻溝を有する被係合部に変更され、モノレールの構造のように構成される。
【００３６】
嵌合爪４３は、識別部材３の固定孔３５に嵌合するものであり、ＲＦ−ＩＤ保持部材４を固定するものである。この嵌合爪４３は、保持部材本体４１の凹部４１ａが形成された面とは反対側の面又は側面の中央から、スライド爪４２と同方向に突出し、逆方向に折り返された略Ｊ字状に形成されており、更に折り返し付近に鉤状部４３ａが形成されている。この嵌合爪４３は、保持部材本体４１側に押込まれると、弾性変形する。
【００３７】
上記した容器本体２、蓋体１１、識別部材３、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、樹脂材料を用いた射出成形などにより形成される。樹脂材料としては、ポリカーボネート、ポリエーテエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマー、シクロオレフィンポリマーなどの従来公知の合成樹脂やこれらのアロイ樹脂が挙げられる。また、これらの樹脂に、カーボンパウダー、カーボン繊維、カーボンナノチューブなどを添加して、導電性を付与したものを用いてもよい。
【００３８】
＜識別部材とＲＦ−ＩＤ保持部材との連結＞
まず、識別部材３とＲＦ−ＩＤ保持部材４の連結方法について説明する。図６Ａは、ＲＦ−ＩＤ保持部材４の連結の各状態（ａ）及び（ｂ）を示す説明図である。
【００３９】
（ａ）連結準備
ＲＦ−ＩＤ保持部材４の長手方向を略水平方向に一致させ、ＲＦ−ＩＤ保持部材４のスライド爪４２を、識別部材３の縦壁部３３に形成された差込孔３４ａに相対させる。
（ｂ）連結
ＲＦ−ＩＤ保持部材４を縦壁部３３（あるいは容器本体２の背面２ｂ）に向かって押込み、スライド爪４２を差込孔３４ａに差込むと、鉤状部４２ａがスライドレール３４に係止され、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は識別部材３に連結される。
【００４０】
識別部材３とＲＦ−ＩＤ保持部材４との連結が完了すると、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、スライドレール３４に沿ってスライド移動可能になる。
【００４１】
＜ＲＦ−ＩＤ保持部材の移動及び固定＞
次に、ＲＦ−ＩＤ保持部材４の移動及び固定方法について説明する。図６Ｂは、ＲＦ−ＩＤ保持部材４の移動の各状態（ｃ１）から（ｃ５）を示す説明図である。
【００４２】
（ｃ１）第一の位置Ａへの移動１
図６Ａの状態（ｂ）から、ＲＦ−ＩＤ保持部材４の長手方向を略水平方向に保ったまま、縦壁部３３上のスライドレール３４に沿って下方にスライド移動させる。
（ｃ２）第一の位置Ａへの移動２
ＲＦ−ＩＤ保持部材４が、縦壁部３３と基部３１との接続部の曲面に到達すると、長手方向を略水平方向に保ったままであるが、表面が下方となるように回転し始める。
（ｃ３）第一の位置Ａへの移動３
ＲＦ−ＩＤ保持部材４が接続部を超え、基部３１に到達すると、表面が下方となる。
（ｃ４）第一の位置Ａへの移動４
嵌合爪４３を基部３１に形成された固定孔３５に相対させる。
（ｃ５）第一の位置Ａへの移動５
ＲＦ−ＩＤ保持部材４を基部３１（あるいは容器本体２の底面２ｄ）に向かって押込み、嵌合爪４３を固定孔３５に嵌合させると、鉤状部４３ａが固定孔３５に係止され、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は固定される。
【００４３】
このようにして、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は移動され、この位置が、ＲＦ−ＩＤ保持部材４を固定する第一の位置Ａとなる。
【００４４】
図６Ｃは、ＲＦ−ＩＤ保持部材４の移動の各状態（ｄ１）から（ｄ３）を示す説明図である。
【００４５】
（ｄ１）第二の位置Ｂへの移動１
図６Ａの状態（ｂ）から、ＲＦ−ＩＤ保持部材４を、スライドレール３４の円弧に沿って移動（回転）させる。
（ｄ２）第二の位置Ｂへの移動２
ＲＦ−ＩＤ保持部材４の長手方向を略垂直方向に一致させ、嵌合爪４３を縦壁部３３に形成された固定孔３５に相対させる。
（ｄ３）第二の位置Ｂへの移動３
ＲＦ−ＩＤ保持部材４を縦壁部３３（あるいは容器本体２の背面２ｂ側）に向かって押込み、嵌合爪４３を固定孔３５に嵌合させると、鉤状部４３ａが固定孔３５に係止され、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は固定される。なお、固定孔３５は、ＲＦ−ＩＤ保持部材４の長手方向を略垂直方向に一致させたときのみ、嵌合爪４３が嵌合するようになっており、水平方向に一致させたときなどは、嵌合しないような形状に形成されている。
【００４６】
このようにして、ＲＦ−ＩＤ保持部材４が移動され、この位置が、ＲＦ−ＩＤ保持部材４を固定する第二の位置Ｂとなる。
したがって、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、ＲＦ−ＩＤ保持部材４の長手方向が略水平方向に配置される第一の位置Ａと、ＲＦ−ＩＤ保持部材４の長手方向が略垂直方向に配置される第二の位置Ｂとの間で着脱されることなく移動可能となっている。
【００４７】
＜ＲＦ−ＩＤ保持部材の固定解除＞
最後に、ＲＦ−ＩＤ保持部材４が第一の位置Ａ又は第二の位置Ｂに固定された状態から移動させるときの固定解除方法について説明する。図７は、ＲＦ−ＩＤ保持部材４の固定及び解除の各状態（ｅ）及び（ｆ）を示す外側から見た斜視図であり、図８は、ＲＦ−ＩＤ保持部材４の固定及び解除の各状態（ｅ）及び（ｆ）を示す容器本体２側から見た斜視図である。なお、図７は、ＲＦ−ＩＤ保持部材４が第一の位置Ａに固定された状態で、図８は、ＲＦ−ＩＤ保持部材４が第二の位置Ｂに固定された状態のもので、スライドレール３４の形状が異なっている。
【００４８】
（ｅ）固定解除１
嵌合爪４３を保持部材本体４１側に押込むと、嵌合爪４３は弾性変形し、鉤状部４３ａが固定孔３５から引抜き可能となる。
（ｆ）固定解除２
嵌合爪４３を押込みながら、ＲＦ−ＩＤ保持部材４を引抜くことで、嵌合爪４３が固定孔３５から引抜かれる。
【００４９】
これにより、第一の位置Ａ又は第二の位置ＢでのＲＦ−ＩＤ保持部材４の固定は解除される。このとき、スライド爪４２の鉤状部４２ａは、スライドレール３４に係止されたままであるから（図８（ｆ）参照）、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、スライドレール３４に沿ってスライド移動可能になる。
【００５０】
＜ＲＦ−ＩＤ保持部材の固定位置＞
基板収納容器１が輸送されるときは、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、第一の位置Ａに固定される。第一の位置Ａであれば、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、容器本体２の背面２ｂ側の外縁である一対の突出部２１よりも内側かつ容器本体２の底面２ｄ側に位置することとなり、基板収納容器１が包装・梱包された場合でも、ＲＦ−ＩＤ保持部材４により、輸送用の包装材料や梱包材料が損傷されることがない。
【００５１】
また、基板収納容器１が加工装置で使用されるときは、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、第一の位置Ａ又は第二の位置Ｂに固定される。ＲＦ−ＩＤタグ用の質問器の位置に応じて、ＲＦ−ＩＤ保持部材４を第一の位置Ａ又は第二の位置Ｂに固定することで、質問器はＲＦ−ＩＤタグ５との間でデータの読取又は書込が可能となる。
【００５２】
ただし、ＲＦ−ＩＤ保持部材４の固定位置は、本実施形態の位置に限られない。例えば、略垂直方向でなく、水平方向から４５°や６０°傾斜した方向で固定されてもよい。なお、差込孔３４ａの位置も、本実施形態の位置に限られない。例えば、円弧の中心よりも下方であってもよい。
【００５３】
以上のとおり、本発明の実施形態に係る基板収納容器１は、一方に開口部を有する容器本体２と、開口部を密閉する蓋体１１と、容器識別部を有する識別部材３と、ＲＦ−ＩＤタグ５を保持するＲＦ−ＩＤ保持部材４と、を備え、識別部材３は、容器本体２に着脱自在に取付けられ、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、識別部材３に連結されるとともに、ＲＦ−ＩＤ保持部材４が水平方向に配置される第一の位置Ａと、ＲＦ−ＩＤ保持部材４が垂直方向に配置される第二の位置Ｂとの間で移動可能である。
【００５４】
これにより、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、略水平方向に配置される第一の位置Ａ又は略垂直方向に配置される第二の位置Ｂに移動して固定することができるから、質問器の位置に応じて、ＲＦ−ＩＤ保持部材４の位置を変更でき、ＲＦ−ＩＤタグ５の情報の読取又は書込を可能にすることができる。また、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、第一の位置Ａと第二の位置Ｂとの間を連結された状態で移動するため、ＲＦ−ＩＤ保持部材４が取外されることがなく、付け忘れが起きないし、さらに、ＲＦ−ＩＤタグ５の付け間違いも起きない。
【００５５】
本実施形態では、第一の位置Ａは、容器本体２の底面２ｄ側に設けられ、第二の位置Ｂは、容器本体２の背面２ｂ側に設けられる。これにより、容器本体２の底面２ｄ側で、ＲＦ−ＩＤ保持部材４を略水平方向に固定することで、容器本体２の外縁よりも内側にＲＦ−ＩＤ保持部材４を配置することができる。一方、容器本体２の背面２ｂ側で、ＲＦ−ＩＤ保持部材４を略垂直に固定することで、容器本体２の外縁よりも外側にＲＦ−ＩＤ保持部材４を配置することができる。
【００５６】
本実施形態では、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、基板収納容器１が輸送されるとき、第一の位置Ａに保持される。これにより、ＲＦ−ＩＤ保持部材４が、輸送用の包装材料や梱包材料を損傷することを防止することができる。
【００５７】
本実施形態では、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、第一の位置Ａ又は第二の位置Ｂに保持されるとき、加工装置の異なる位置に設けられたＲＦ−ＩＤタグ用の質問器とＲＦ−ＩＤタグ５との間でデータの読取又は書込が可能となる。これにより、ＲＦ−ＩＤ保持部材４を第一の位置Ａ又は第二の位置Ｂに固定することで、質問器はＲＦ−ＩＤタグ５との間でデータの読取又は書込が可能となる。
【００５８】
本実施形態では、識別部材３は、スライドレール３４が形成され、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、スライドレール３４とスライド移動可能に係合する被係合部が形成される。これにより、ＲＦ−ＩＤ保持部材４は、第一の位置Ａと第二の位置Ｂとの間をスライドレール３４に沿って移動することができ、スライド移動中に、ＲＦ−ＩＤ保持部材４がスライドレール３４から外れることがない。
【００５９】
本実施形態では、識別部材３は、第一の位置Ａ及び第二の位置Ｂに、ＲＦ−ＩＤ保持部材４を固定可能なロック機構３５がそれぞれ設けられる。これにより、輸送時の振動などの外力がＲＦ−ＩＤ保持部材４に作用したとしても、ＲＦ−ＩＤ保持部材４の位置がズレることがない。
【００６０】
以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。
【符号の説明】
【００６１】
１    基板収納容器
１１  蓋体
２    容器本体、２ａ  天井面、２ｂ  背面、２ｃ  側面、２ｄ  底面
２１  突出部
２２  係止溝
３    識別部材
３１  基部、３１ａ  切欠部、３１ｂ  貫通孔
３２  側壁部、３２ａ  係止爪
３３  縦壁部
３４  スライドレール、３４ａ  差込孔
３５  固定孔（ロック機構）
４    ＲＦ−ＩＤ保持部材
４１  保持部材本体、４１ａ  凹部、４１ｂ  開口
４２  スライド爪（被係合部）、４２ａ  鉤状部
４３  嵌合爪、４３ａ  鉤状部
５    ＲＦ−ＩＤタグ
Ａ    第一の位置
Ｂ    第二の位置
ＣＬ    中心線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図７】
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【図８】
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