(57)【要約】      （修正有）【課題】駆動時の安定性を確保しつつ、長尺体の湾曲部における膨らみを効果的に抑制し、全体として高さを抑えて低背化が可能な往復移動機構を提供する。【解決手段】往復移動機構１は、U字状に湾曲し、一端および/または他端が往復移動することにより延伸部２ａと湾曲部２ｂを有する長尺体２を支持する支持部材５であり、長尺体の外側に配置されるとともに、長尺体の一端側に固定され、長尺体の延伸部の延伸方向に延びる固定部５ａと、固定部に対し、回動部材５ｂを介して連結され、長尺体とは固定されない状態で長尺体の外側に配置され、長尺体との間に空間が形成された場合には、自重または付勢力によって回動可能な回動部５ｃと、を備える。固定部および回動部は、長尺体を部分的に支持しており、回動部は、少なくとも前記長尺体の延伸部の延伸方向と平行する位置から長尺体側とは反対方向への回動が回動部材によって規制されている。【選択図】図１
2017175816.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
U字状に湾曲し、一端および/または他端が往復移動することにより延伸部と湾曲部を有する長尺体を支持する支持部材であり、
当該長尺体の外側に配置されるとともに、前記長尺体の一端側に固定され、前記長尺体の前記延伸部の延伸方向に延びる固定部と、
当該固定部に対し、回動部材を介して連結され、前記長尺体とは固定されない状態で前記長尺体の外側に配置され、前記長尺体との間に空間が形成された場合には、自重または付勢力によって回動可能な回動部と、を備え、
前記固定部および前記回動部は、前記長尺体を部分的に支持しており、前記回動部は、前記長尺体の湾曲部に対応する位置にある状態では前記固定部と接触せず、かつ前記回動部が前記長尺体の延伸部に対応する位置にある状態では前記固定部と係止し、少なくとも前記長尺体の延伸部の延伸方向と平行する位置から前記長尺体側とは反対方向への回動を規制する回動規制部によって、少なくとも前記長尺体の延伸部の延伸方向と平行する位置から前記長尺体側とは反対方向への回動が規制されていることを特徴とする支持部材。
【請求項２】
U字状に湾曲し、一端および/または他端が往復移動することにより延伸部と湾曲部を有する長尺体を支持する支持部材であり、
当該長尺体の外側に配置されるとともに、前記長尺体の一端側に固定され、前記長尺体の前記延伸部の延伸方向に延びる固定部と、
当該固定部に対し、回動機構を介して連結され、前記長尺体とは固定されない状態で前記長尺体の外側に配置され、前記長尺体との間に空間が形成された場合には、自重または付勢力によって回動可能な回動部と、を備え、
前記固定部および前記回動部は、前記長尺体を部分的に支持しており、前記回動機構は、前記回動部に対し、前記長尺体側とは反対方向への回動が規制されていることを特徴とする支持部材。
【請求項３】
前記回動部は、前記長尺体を内側に挟持した状態で連結された係止部をさらに備えており、当該係止部は、前記長尺体の湾曲に応じて前記回動部に付勢力を付与することを特徴とする請求項２に記載の支持部材。
【請求項４】
U字状に湾曲し、一端および/または他端が往復移動することにより延伸部と湾曲部を有する長尺体を支持する支持部材であり、
当該長尺体の外側に配置されるとともに、前記長尺体の一端側に固定され、前記長尺体の前記延伸部の延伸方向に延びる固定部と、
当該固定部に対し、回動部材を介して連結され、前記長尺体とは固定されない状態で前記長尺体の外側に配置され、前記長尺体との間に空間が形成された場合には、自重または付勢力によって回動可能な回動部と、を備え、
前記固定部および前記回動部は、前記長尺体を部分的に支持しており、前記回動部は、少なくとも前記長尺体の延伸部の延伸方向と平行する位置から前記長尺体側とは反対方向への回動が前記回動部材によって規制されていることを特徴とする支持部材。
【請求項５】
前記回動部材は、前記回動部が前記長尺体の湾曲部に対応する位置にある状態では前記固定部と接触せず、かつ前記回動部が前記長尺体の延伸部に対応する位置にある状態では前記固定部と接触し、前記少なくとも前記長尺体の延伸部の延伸方向と平行する位置から前記長尺体側とは反対方向への回動を規制する回動規制部をさらに備えることを特徴とする、請求項４に記載の支持部材。
【請求項６】
前記回動部は、前記長尺体を内側に挟持した状態で連結された係止部をさらに備えており、当該係止部は、前記長尺体の湾曲に応じて前記回動部に付勢力を付与することを特徴とする請求項４または５に記載の支持部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、電子部品製造装置等のロボット、工作機械、クレーン、プリンタ等において、往復移動する移動部と固定部等との間に配置され、U字状に湾曲するとともに、一端および/または他端が往復移動することにより直線部と湾曲部を有するケーブル・チューブ等の長尺体を支持する支持部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、チップマウンタ等の半導体製造装置は、ノズルに吸着したチップ型の電子部品をプリント基板・ウエハ等の所定箇所まで移動させ、当該箇所に搭載するために、モータ等で駆動され、Ｘ−Ｙの２軸等で往復移動する機構を備えている。従来、かかる往復移動機構には、電気ケーブルやエアの流路となるチューブ等で構成された長尺体を備えており、この長尺体の構成如何によっては、湾曲によって生じる反力から、図５に示すとおり、U字状に湾曲した状態で、固定部４と、この固定部よりも上方に配置され、かつ水平方向に往復移動可能な移動部３とに接続された長尺体２の湾曲部２ｃ付近が大きく膨らむことによって、高さ方向の大きさを抑えることができず、低背化が阻害され（Ｈ１＞Ｈ２）、装置全体のコンパクト化が阻害される結果となっていた。
【０００３】
このような問題を防止するために、図６に示すとおり、支持部材１１１が金属板（例えば、SUS板）で構成されるとともに、長尺体２の外側（同図の上側）に配置され、一端部が移動部３に接続されるとともに、移動部３から水平方向に延びる支持部材１１１とを備える往復移動機構が存在する（先行技術文献１参照）。
【０００４】
このように、従来は、Ｕ字状に湾曲可能な長尺体２を板状の支持部材１１１で抑え込むことによって、長尺体２の膨らみを抑制し、低背化を図るようにしている。しかしながら、かかる構成では、支持部材１１１は板状のものであるため、直線状態しか取り得ることができず、移動部３の往復移動に応じて長尺体２の形状に対応して湾曲することができない。このため、図７（Ａ）および（Ｂ）に示すとおり、移動部３の移動距離に応じて支持部材１１１の長さが設定され、長尺体２の湾曲による膨らみがより大きくなる湾曲部２ｃ付近まで支持部材１１１を配置することができず、結果として低背化に大きく寄与するものではない。また仮に長尺体２の湾曲部２ｃ付近まで伸びる支持部材１１１を配置した場合（図８（Ａ）参照）には、移動部３の往復移動によって支持部材１１１が往復移動機構を収容する筺体や他の部材に衝突してしまうため、使用できない。
【０００５】
以上のように、湾曲によって膨らむ長尺体を抑え込むために、単に板状の支持部材を外側から配置し、長尺体を抑え込むだけでは、往復移動機構全体の低背化を効果的に実現することができない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１４−２１６５７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
以上のように、近年の半導体製造装置をはじめとした製造装置は、製造される製品の多機能化・高機能化に伴う高密度化・高精度化が求められる一方、製造機器としても小型化・低背化等が益々要求されることが多く、往復移動機構にも全体として高さを抑えて低背化が可能な技術が切望されている。
【０００８】
本発明は、上記のような課題に鑑みなされたものであり、多種多様な製造装置において使用でき、長尺体の湾曲部における膨らみを効果的に抑制し、全体として高さを抑えて低背化が可能な往復移動機構を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
即ち、上記目的達成のため、本発明の支持部材は、U字状に湾曲し、一端および/または他端が往復移動することにより延伸部と湾曲部を有する長尺体を支持し、長尺体の外側に配置されるとともに、長尺体の一端側に固定され、長尺体の延伸部の延伸方向に延びる固定部と、固定部に対し、回動部材を介して連結され、長尺体とは固定されない状態で長尺体の外側に配置され、長尺体との間に空間が形成された場合には、自重または付勢力によって回動可能な回動部と、を備え、固定部および前記回動部は、長尺体を部分的に支持しており、回動部は、長尺体の湾曲部に対応する位置にある状態では固定部と接触せず、かつ回動部が前記長尺体の延伸部に対応する位置にある状態では固定部と係止し、少なくとも前記長尺体の延伸部の延伸方向と平行する位置から長尺体側とは反対方向への回動を規制する回動規制部によって、少なくとも長尺体の延伸部の延伸方向と平行する位置から長尺体側とは反対方向への回動が規制されていることを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、支持部材は、U字状に湾曲した長尺体に対し、部分的に支持しており、長尺体を全体的に支持した場合と比較して、支持部材全体の高さを低減することができ、長尺体の膨らみを低減させるだけでなく、ひいては長尺体と支持部材とを組み合わせた往復移動機構全体の低背化を図ることができる。
【００１１】
また、支持部材の回動部は、長尺体の湾曲部に対応する位置にある状態では固定部と接触せず、かつ回動部が長尺体の延伸部に対応する位置にある状態では固定部と接触し、少なくとも長尺体の延伸部の延伸方向と平行する位置から長尺体側とは反対方向への回動を規制する回動規制部を有しており、少なくとも長尺体の延伸部の延伸方向と平行する位置から長尺体側とは反対方向への回動が回動部材によって規制されている。このため、回動機構によって長尺体側とは反対方向への回動が規制されているため、U字状に湾曲し、湾曲部の反力によって膨らむ長尺体の膨らみを抑え込むことができる。
【００１２】
さらには、回動部は、長尺体とは固定されない状態で固定部に連結しており、かつ長尺体との間に空間が形成された場合には、自重または付勢力によって回動可能である。すなわち、長尺体の往復移動に伴い、長尺体に対し、回動部が支持する場所が延伸部から湾曲部に変化することにより回動部が長尺体側に回動し、長尺体に追従した状態で回動する。したがって、往復移動のストローク方向において湾曲部よりも外側に支持部材が突出することがなく、往復移動機構を収容する筺体や他の部材に支持部材が衝突することを回避できるだけでなく、このストローク方向における往復移動機構全体のコンパクト化を実現することができる。
【００１３】
また回動部は、長尺体を内側に挟持した状態で連結された係止部をさらに備えていることが好ましい。これにより、係止部は、長尺体の湾曲に応じて回動部に付勢力がさらに付与され、回動部のより円滑な回動が可能になる。
【００１４】
また本発明の支持部材は、U字状に湾曲し、一端および/または他端が往復移動することにより延伸部と湾曲部を有する長尺体を支持し、長尺体の外側に配置されるとともに、長尺体の一端側に固定され、長尺体の前記延伸部の延伸方向に延びる固定部と、固定部に対し、回動部材を介して連結され、長尺体とは固定されない状態で長尺体の外側に配置され、長尺体との間に空間が形成された場合には、自重または付勢力によって回動可能な回動部と、を備え、固定部および回動部は、長尺体を部分的に支持しており、回動部は、少なくとも前記長尺体の延伸部の延伸方向と平行する位置から長尺体側とは反対方向への回動が回動部材によって規制されていることを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、支持部材は、U字状に湾曲した長尺体に対し、部分的に支持しており、長尺体を全体的に支持した場合と比較して、支持部材全体の高さを低減することができ、長尺体の膨らみを低減させるだけでなく、ひいては長尺体と支持部材とを組み合わせた往復移動機構全体の低背化を図ることができる。
【００１６】
また、支持部材の回動部は、回動部材によって少なくとも前記長尺体の延伸部の延伸方向と平行する位置から長尺体側とは反対方向への回動が回動部材によって規制されているため、U字状に湾曲し、湾曲部の反力によって膨らむ長尺体の膨らみを抑え込むことができる。
【００１７】
さらには、回動部は、長尺体とは固定されない状態で固定部に連結しており、かつ長尺体との間に空間が形成された場合には、自重または付勢力によって回動可能である。すなわち、長尺体の往復移動に伴い、長尺体に対し、回動部が支持する場所が延伸部から湾曲部に変化することにより回動部が長尺体側に回動し、長尺体に追従した状態で回動する。したがって、往復移動のストローク方向において湾曲部よりも外側に支持部材が突出することがなく、往復移動機構を収容する筺体や他の部材に支持部材が衝突することを回避できるだけでなく、このストローク方向における往復移動機構全体のコンパクト化を実現することができる。
【００１８】
また回動部は、長尺体を内側に挟持した状態で連結された係止部をさらに備えていることが好ましい。これにより、係止部は、長尺体の湾曲に応じて回動部に付勢力がさらに付与され、回動部のより円滑な回動が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態の往復移動機構の構成を模式的に示す図である。
【図２】本発明の実施形態の往復移動機構の主要部の構成を示す図であり、（Ａ）は断面図、（Ｂ）は側面図、（Ｃ）は平面図である。
【図３】本発明の実施形態による移動部の位置に応じた状態を模式的に示す図であり、（Ａ）は初期状態、（Ｂ）移動の途中状態、（Ｃ）は移動の終盤状態を示す図である。
【図４】本発明の実施形態による回動規制部の機能を説明するための図であり、（Ａ）は固定部および回動部を模式的に示す図であり、（Ｂ）は支持部材が長尺体の湾曲部に対応する位置にある状態の回動規制部の周辺を模式的に部分拡大図であり、（Ｃ）は支持部材が長尺体の延伸部に対応する位置にある状態の回動規制部の周辺を模式的に部分拡大図である。
【図５】従来技術および比較例１の構成を模式的に示す図である。
【図６】従来技術および比較例２の構成を模式的に示す図である。
【図７】従来技術の構成および動作を模式的に示す図であり、（Ａ）は初期状態、（Ｂ）は移動の終盤状態を示す図である。
【図８】従来技術の構成および動作を模式的に示す図であり、（Ａ）は初期状態、（Ｂ）は移動の終盤状態を示す図である。
【図９】本実施形態、比較例１および２の移動部のストロークに応じた往復移動機構全体の高さを示すグラフである。
【図１０】本発明の第２実施形態を説明するための図である。
【図１１】本発明の第３実施形態を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下に説明する実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが本発明の成立に必須であるとは限らない。以下、図面を用いて説明する。
【００２１】
図１は、本発明の第１実施形態の支持部材の構成を模式的に示す図である。図２は、本発明の第１実施形態の往復移動機構の主要部の構成を示す図であり、Ｕ字状に湾曲した長尺体およびそれに沿って配置された支持部材を示す側面図である。
【００２２】
なお、本実施形態の往復移動機構は、例えば、チップマウンタのモータ等で駆動される可動ユニットとして往復移動する機構の移動部と固定部との間に配置されて使用されるものであり、その長尺体は、電気ケーブルやエアの流路となるチューブ等を組み合わせた全体として弾性を有する帯状体として構成される。但し、以下の説明では、その往復移動機構の要部のみを示し、ステージ、フィーダ、モータ等、実際のチップマウンタが備える他の構成は省略している。
【００２３】
図１に示すように、本実施形態の往復移動機構１は、４本のケーブルを長手方向に平坦状に配列したものを互いに融着したフラットケーブルからなる長尺体２を上下（同図の上下方向）に湾曲させて配置したものであり、水平方向（同図の左右方向）に往復移動可能な移動部（第１移動部）３と、この移動部３よりも下方に固定配置された固定部（第２固定部）４と、この移動部３および固定部４に接続された長尺体２と、この長尺体２の外側（同図における上方）に配置され、一端部側が移動部３に接続された支持部材５とを備えている。
【００２４】
なお、本実施形態では、上方に移動部３、下方に固定部４を配置しているが、これに限定されるものではなく、上方および下方に少なくとも一方、または両方に移動部が配置されていてもよいことはもちろんである。
【００２５】
また、図１に示すように、往復移動機構１の長尺体２は、長手方向の一部分が湾曲することによって、上側延伸部（第１延伸部）２ａ、湾曲部２ｂおよび下側延伸部（第２延伸部）２ｃを有しており、湾曲した状態でその長手方向の一端側と他端側がそれぞれ上述した移動部３と固定部４間に配置される複数のケーブル・チューブ等の集合体（組合わせ体）として構成され、集合体（組合わせ体）に対し自立性を有するように構成されている。
【００２６】
本実施形態では、長尺体２は、ポリウレタン製のチューブや電気ケーブルを複数本、互いに近接させて融着等することにより組み合わされて構成されており、図２に示す例では、計４本のケーブルで構成されている。
【００２７】
また、支持部材５は、長尺体２の上側延伸部２ａの外側に配置され、長尺体２の一端側にある移動部３に接続され、長尺体２の上側延伸部２ａの延伸方向に延びる固定部５ａと、この固定部５ａの他端側において回転機構（回動部材）５ｂを介して連結された回動部５ｃを備えている。また、図２に示すように、回動部５ｃの基端側には、断面Ｌ字状の回動規制部５ｄが設けられている。が固定部５ａおよび回動部５ｃはいずれも、ＳＵＳで構成された板状のものであり、それぞれ所定の長さを有している（固定部５ａは１１０ｍｍ、回動部５ｃは８５ｍｍ）。回動機構（回動部材）５ｂが回動部５ｃの長尺体側とは反対方向への回動を規制（本実施形態では、１８０度以上の回動が規制）することにより、長尺体２をその外側から押圧・支持するように構成されている。回動機構（回動部材）５ｂとしては、回動部５ｃの回動を規制できるものであればよく、本実施形態では、固定部５ａと回動部５ｃのそれぞれの端部を、例えば蝶番状に連結させたものである。
【００２８】
次に、本実施形態の往復移動機構１の動作について、図３を用いて説明する。図３は往復移動機構１動作について、初期状態（同図（Ａ））、移動の途中状態（同図（Ｂ））、移動の終盤状態（同図（C））を示している。同図（A）に示す初期状態においては、長尺体２の上側延伸部（第１延伸部）２ａの長さが、他の状態と比較して最大になっており、この状態において、支持部材５の回動部５ｃの先端（他端）は、長尺体２の上側延伸部２ａのうち湾曲部２ｂ側に対応する位置にある。
【００２９】
この状態において、上述したように、回動機構（回動部材）５ｂが回動部５ｃの長尺体２側とは反対方向への回動を規制されているため、長尺体２の湾曲によって生じる反力を抑制し、長尺体２をその外側から押圧・支持し、長尺体２の膨らみを低減する。
【００３０】
また、長尺体２の湾曲によって生じる反力は長尺体２の湾曲部２ｂに近いほど大きくなるものの、支持部材５の回動部５ｃの先端（他端）が、長尺体２の上側延伸部２ａのうち湾曲部２ｂ側に対応する位置にあるため、支持部材５の先端（他端）が、長尺体２の上側延伸部２ａのうち移動部３側に対応する位置にある場合、すなわち前述した従来技術と比較して、長尺体２の反力をより効果的に支持することができる。
【００３１】
次に、上記の初期状態から、移動部３が水平方向に移動し、図３（Ｂ）に示す移動の途中状態に差し掛かったときには、長尺体２の湾曲部２ｂの形状により、長尺体２と回動部５ｃとの間に空間が形成される。これに伴い同図に示すように、回動部５ｃが自重により下方（長尺体側）に回動する。これにより、回動部５ｃが移動部３の移動に伴い、水平方向に直線的に突出し続ける状態を回避することができ、図示しない筺体や他の装置に当接することを回避することができ、駆動時の安定性を向上させることができる。
【００３２】
次に、上記の移動の途中段階からさらに移動部の移動部３の移動が進み、移動の終盤状態（図３（C））に達した状態ときには、長尺体２の上側延伸部２ａの長さが最小となっている。この状態において回動部５ｃは、下方に長尺体２が存在しない状態となり、自重により垂直方向に延びる位置まで回動する。
【００３３】
次に、図４を用いて、上記の動作における支持部材５の回動規制部５ｄの周辺の動作を説明する。同図（Ａ）は固定部および回動部を模式的に示す側面図である。説明の便宜上、支持部材５のみを示しており、長尺体２は省略している。また同図（Ｂ）および（ｃ）は、同図（Ａ）の破線内を拡大して示す図であり、同図（Ｂ）は支持部材が長尺体の湾曲部に対応する位置にある状態の回動規制部の周辺を模式的に部分拡大側面図であり、同図（Ｃ）は支持部材が長尺体の延伸部に対応する位置にある状態の回動規制部の周辺を模式的に部分拡大側面図である。
【００３４】
同図（Ｂ）に示すように、回動部５ａが長尺体２の湾曲部２ｂに対応する位置にある状態では、回動規制部５ｄは回動部５ａに係止（当接）していない。これ対し、同図（Ｃ）に示すように、回動部５ａが長尺体２の延伸部２ａに対応する位置にある状態、回動規制部５ｄが回動部５ａを外側（同図の上側）から係止（当接）・支持し、少なくとも前記長尺体の延伸部の延伸方向と平行する位置から前記長尺体側とは反対方向への回動を規制する。
【００３５】
以上のように、移動部３の往復移動の動作の中で、第２延伸部２ｃ側には支持部材本体が配置されることはなく、回動部５ｃが第２延伸部２ｃの下方に配置されることがないため、この下方の分の支持部材本体の高さを削減することができ、支持部材５と長尺体２を含めた全体の高さをさらに低減することができる。
【００３６】
次に、図５を用いて、比較例１について説明する。この比較例１の往復移動機構１００では、第１実施形態の往復移動機構と比較し、支持部材５を排除した構成、すなわち長尺体２のみが移動部３および固定部４に接続されており、他の構成は第１実施形態と同じである。
【００３７】
次に、図６を用いて、比較例２について説明する。この比較例２の往復移動機構１１０では、第１実施形態の往復移動機構と比較し、支持部材５を従来例と同様、所定の厚さ（本比較例では２ｍｍ）の金属板（この比較例２では、ＳＵＳ）１１１を用いて長尺体２の上側を押さえる構成を採用しており、金属板１１１は所定の長さ（この比較例では１５０ｍｍ）を有し、長尺体の上側に配置され、一端部が移動部に接続されている。他の構成は第１実施形態と同じである。
【００３８】
次に、図９を用いて、本実施形態と比較例１および２それぞれの構成によって生じる往復移動機構全体の高さを比較する。
【００３９】
図９に示す高さは、往復移動機構全体の高さを示している。ここでは本実施形態、比較例１および２の長尺体の長さを６００ｍｍ、本実施形態の支持部材５の長さを３００ｍｍ、移動部３の固定部の設置台からの高さを１２０ｍｍとする。また、上述した図３（Ａ）に示されるような初期状態における長尺体２の第１上側延伸部２ａが最大となる長さを４００ｍｍとし、この初期状態における移動部３と固定部４の距離を３５０ｍｍとし、本実施形態の支持部材本体の曲げＲを５０ｍｍにしている。さらに、移動部３のストロークを６００ｍｍとし、図３（Ｃ）に示される移動の終盤状態における第１上側延伸部２ａが最小となる長さを１００ｍｍにしている。
【００４０】
図９に示されるように、比較例１の長尺体のみで構成したものは、移動部の移動に伴い、長尺体の湾曲部の反力が大きくなり、往復移動機構全体の高さが１５０〜１８０ｍｍの間を山なりに記録している。また、比較例２に関しては、金属板が短く、長尺体２の膨らみがより大きくなる湾曲部側を支持することができず、０〜３００ｍｍの段階では１４０ｍｍから１７０ｍｍ付近まで往復移動機構全体の高さが高くなる結果となった。これに対し、本実施形態の往復移動機構１は、ストローク間で往復移動機構全体の高さが１２０ｍｍを超えることがなく、低背化を実現できていた。
【００４１】
次に、図１０を用いて本発明の第２実施形態を説明する。第２実施形態の支持部材は、上述した第１実施形態と比較して、回動機構（回動部材）が異なるとともに、レイアウトとして上下方向に移動部が往復移動する構成になっており、その他の構成は同じである。同図に示すように回動機構（回動部材）５ｅは、第１実施形態と同様、蝶番状の構成を有しているとともに、固定部５ａおよび回動部５ｃを内向きに折り曲げるように付勢するばね（図示せず）が組み込まれている。
【００４２】
上記の構成によれば、移動部３が上下方向に移動するようなレイアウトであっても、動作に応じて回動部５ｃが、初期状態（同図（Ａ））から途中状態（同図（Ｂ））を経て、終盤状態（同図（Ｃ））に至るまでに、長尺体２との間に空間ができることにより、ばねの付勢力によって長尺体２側に回動する。したがって、上述した第１実施形態と同様、水平方向（同図の左右方向）の長さを支持し、抑え込めるだけなく、高さ方向（同図の上下方向）の高さを低減することができ、往復移動機構全体のコンパクト化を実現することができる。
【００４３】
次に、図１１を用いて本発明の第３実施形態を説明する。第３実施形態の支持部材は、上述した第１実施形態と比較して、長尺体の第１延伸部２ａ側ではなく第２延伸部２ｃ側を下側から支持するものであり、また、支持部材５に連結された係止部材がさらに設けられている。その他の構成は同じである。係止部材６は、長尺体の内側に配置され、ロール状の形状を有し、長尺体２の幅方向に延びるように配置され、両端部が支持部材５の回動部５ｂの先端部において連結されている。同図１１（Ａ）〜（Ｃ）に示されるように、移動部３の移動に伴い、長尺体２の湾曲部２ｂの形状にそって、係止部６が回動部５ｂに長尺体側（内側）への付勢力を付与するため、回動部５ｂのより円滑な回動が可能になる。
【００４４】
なお、本実施形態の往復移動機構は、第１実施形態に示すように上下に湾曲させたものに限らず、第２実施形態に示すように、左右に湾曲させてもよいことはもちろんである。また、長尺体２は上記の構成に限られるものではなく、ケーブルおよび/またはチューブの組み合わせにより、断面形状がフラット状のものや、融着せずに単に複数のケーブルおよび/またはチューブを束にしたものでもよい。
【００４５】
さらには、本実施形態の移動部３は、水平方向に移動する構成を採用していたが、長尺体の膨らみを抑制できる範囲において、往復移動するものであればよく、例えば水平方向に対し、傾斜する方向に移動してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明は、その長手方向の一端側と他端側がそれぞれ往復移動機構の固定部と移動部間又は移動部相互間に配置され、その一部が湾曲して使用される長尺体及びその外側に配置される支持部材を有する往復移動機構であれば、その大きさ・材質・用途の如何を問わず広く適用可能である。また、本発明に係る往復移動機構は、例えば機械加工ライン、半導体製造装置、電子部品実装装置等に組み込まれたロボット走行装置等にも適用が可能である。
【符号の説明】
【００４７】
2       長尺体
2ａ     上側延伸部（延伸部）
2ｂ     湾曲部
3       移動部
5       支持部材
5a      固定部
5b      回動機構（回動部材）
5ｃ     回動部
5d      回動規制部
5e      回動機構（回動部材）
６      係止部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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