(57)【要約】【課題】投影露光工程における各処理のトータルの処理時間を短縮することのできる投影露光装置を提供する【解決手段】ワークを載置する複数の領域１１０、１１１が形成されて回動及び所定の複数の停止位置への一時停止が可能に構成されたターンテーブル１２０と、複数の領域１１０、１１１内へワーク５１０、５１１をロード及びアンロードできるローダと、第１領域１１０の直上部に配置された位置検出手段２１０と、第２領域１１１の直上部に投影露光するように配置された光源１０、フォトマスク２０及び投影光学系５０と、ターンテーブル１２０と、各部を制御する制御部４１０と、を有し、制御部４１０が、第２領域１１１内に載置されたワーク５１１に対して投影露光する時に、第１領域１１０内に載置されたワーク５１０の戴置位置を位置検出手段２１０で検出する並行処理を実施する。【選択図】図１
2017211533.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フォトマスクの所定パターンをワーク上の所定位置に合わせて光源からの光で投影露光することで前記ワーク上に前記所定パターンを形成する投影露光装置であって、
前記ワークを載置する部位の最上面に、複数のワークが重ならないで同時に載置が可能なように複数の領域が形成されて回動及び所定の複数の停止位置への一時停止が可能に構成されたターンテーブルと、
前記ターンテーブルの前記複数の領域内へ前記ワークをロード及びアンロードできるローダと、
前記ターンテーブルにおける前記複数の領域のうちの一つの第１領域が前記所定の各停止位置のうちの一つの第１停止位置に一時停止した場合に、前記ターンテーブルにおける前記第１領域の直上部に、当該第１領域内に載置されたワークの戴置位置を検出するように配置された位置検出手段と、
前記ターンテーブルの前記第１領域が前記第１停止位置に一時停止した場合に、前記ターンテーブルにおける前記複数の領域のうちの第１領域とは異なる第２領域の直上部に、当該第２領域内に載置されたワークに投影露光するように配置された光源、フォトマスク及び投影光学系と、
前記ターンテーブルの回動および前記所定の各停止位置での停止と、ローダによる各領域内への複数のワークのロード及びアンロード、前記位置検出手段による各領域内に戴置された各ワークの戴置位置の検出、前記光源、フォトマスク及び投影光学系による各領域内に戴置された各ワークへの投影露光、の各処理を制御する制御部と、
を有し、
前記制御部が、前記第２領域内に載置されたワークに対して前記光源、フォトマスク及び投影光学系により投影露光する時に、少なくとも前記第１領域内に載置されたワークの戴置位置を前記位置検出手段で検出する並行処理を実施する
ことを特徴とする投影露光装置。
【請求項２】
前記ターンテーブルには、前記複数の領域のうちの一つで前記第１領域及び第２領域とは異なる第３領域を有し、
前記ローダは、前記ターンテーブルにおける前記第１領域が前記第１停止位置に一時停止した場合に、前記ターンテーブルにおける前記第３領域内へワークをアンロード及び／又はロードできるように配置され、
前記制御部が、前記第１領域内に載置されたワークの戴置位置を検出すると共に、前記第２領域内に載置されたワークに対して投影露光する時に、前記第３領域内に載置された投影露光が終了したワークをアンロードした後に未露光のワークをロードするように並行処理を実施する
ことを特徴とする請求項１に記載の投影露光装置。
【請求項３】
前記ターンテーブルには、前記複数の領域としてｎ個の領域（ｎはｎ≧４の整数）を有し、
前記位置検出手段は、前記ターンテーブルの前記第１領域が前記第１停止位置に一時停止した場合に、前記ターンテーブルにおける前記ｎ個の領域のうちの一つの第１領域の直上部に、当該第１領域内に載置されたワークの戴置位置を検出するように配置され、
前記光源、フォトマスク及び投影光学系は、前記ターンテーブルの前記第１領域が前記第１停止位置に一時停止した場合に、前記ターンテーブルにおける前記ｎ個の領域のうちの一つで前記第１領域とは異なる第２領域の直上部に、当該第２領域内に載置されたワークに投影露光するように配置され、
前記ローダは、前記ターンテーブルの前記第１領域が前記第１停止位置に一時停止した場合に、前記ターンテーブルにおける前記ｎ個の領域の一つで前記第１領域及び第２領域とは異なる第３領域で、前記ワークをロード及びアンロードできるように配置され、
前記制御部が、前記第１領域内に載置されたワークの戴置位置を検出すると共に、前記第２領域内に載置されたワークに対して投影露光する時に、前記第３領域内に載置された投影露光が終了したワークをアンロードした後に未露光のワークをロードするように並行処理を実施する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の投影露光装置。
【請求項４】
前記ターンテーブルにおける前記ｎ個の領域の一つで前記第１領域〜第３領域とは異なる第４領域〜第ｎ領域で、前記ワークをロード及びアンロードできるように複数のローダが配置され、
前記制御部が、前記第４領域〜第ｎ領域内に載置された投影露光が終了したワークをアンロードした後に未露光のワークをロードするように並行処理を実施する
ことを特徴とする請求項３に記載の投影露光装置。
【請求項５】
前記投影露光装置が、１個のワークに対して、投影露光するパターンを１ショットで露光する露光装置である
ことを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の投影露光装置。
【請求項６】
前記位置検出されたワークの位置に投影露光するパターンの位置を合わせる手段が、フォトマスクを縦（Ｙ）、横（Ｘ）、高さ（Ｚ）及び回転（θ）方向の中の少なくとも１つの方向に移動させる駆動手段を含む
ことを特徴とする請求項１〜４何れか１項に記載の投影露光装置。
【請求項７】
前記位置検出されたワークの位置に投影露光するパターンの位置を合わせる手段が、フォトマスクを露光光に対して直交面から角度を変更するチルト駆動手段を含む
ことを特徴とする請求項１〜４何れか１項に記載の投影露光装置。
【請求項８】
前記位置検出されたワークの位置に投影露光するパターンの位置を合わせる手段が、前記ターンテーブルの下に配置されるステージを、縦（Ｙ）、横（Ｘ）、高さ（Ｚ）及び回転（θ）方向の中の少なくとも１方向に移動させる駆動手段を含む
ことを特徴とする請求項１〜４何れか１項に記載の投影露光装置。
【請求項９】
前記位置検出されたワークの位置に投影露光するパターンの位置を合わせる手段が、前記投影光学系を、縦（Ｙ）、横（Ｘ）、高さ（Ｚ）及び回転（θ）方向の中の少なくとも１方向に移動させる駆動手段を含む
ことを特徴とする請求項１〜４何れか１項に記載の投影露光装置。
【請求項１０】
フォトマスクの所定パターンをワーク上の所定位置に合わせて光源からの光で投影露光することで前記ワーク上に前記所定パターンを形成し、前記ワークを載置する部位の最上面に、複数のワークが重ならないで同時に載置が可能なように複数の領域が形成されて回動及び所定の複数の停止位置への一時停止が可能に構成されたターンテーブルを有する投影露光装置を用いる投影露光方法であって、
（Ａ）前記ターンテーブルの前記複数の領域のうちの一つの第１領域内に前記ワークをロードさせるステップと、
（Ｂ）前記ターンテーブルを回動させて前記所定の各停止位置のうちの一つの第１停止位置に前記第１領域を一時停止させるステップと、
（Ｃ）前記第１領域内の前記ワークの戴置位置を検出するステップと、
（Ｄ）前記ターンテーブルを再回動させて前記所定の各停止位置のうちの前記第１停止位置とは異なる第２停止位置に前記第１領域を一時停止させるステップと、
（Ｅ）前記第１領域内の前記ワークにフォトマスク上のパターンを投影露光するステップと、
（Ｆ）前記ターンテーブルの前記第１領域とは異なる第２領域内に投影露光が終了した前記ワークがある場合には、前記（Ｅ）の投影露光処理と並行して、その第２領域内から投影露光が終了した前記ワークをアンロードして第１サイクルを終了するステップと、
（Ｇ）前記（Ａ）〜（Ｆ）の第１サイクルの第１領域を第２領域に置き換え、領域を３領域以上有する場合の第３領域、又は、２領域のみ有する場合の第１領域に置き換えて第２サイクルの処理を行い、
以降のサイクルについては、３領域以上有する場合の昇順で領域を置き換えていき最後に第１領域に戻るように実施するか、又は、２領域のみ有する場合の第１領域と第２領域を交互に入れ替えて実施するステップと、
を有することを特徴とする投影露光方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、投影露光装置のスループットを向上させる技術に関し、特に、トータルの投影露光時間を減少させてスループットを向上させる技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
フォトリソグラフィ技術を用いて、フォトマスク（レチクル）上のパターンを、ウェハ又は基板等のワーク上に転写させる投影露光装置は、例えば、引用文献１あるいは引用文献２に開示されている。
【０００３】
引用文献１では、原板（レチクル：フォトマスク）上のパターンが、投影レンズを介して、Ｘ（横）−Ｙ（縦）−θ（回転）方向に移動可能なテーブル（又はステージ）上に戴置された１個の被露光体（ワーク）に投影される。被露光体（ワーク）のＸＹ各方向の位置は、レーザ干渉計を用いた位置検出手段により検出される。引用文献１では、ステップ露光におけるレチクルとウエハの位置合わせを高精度に行うためのステップ移動方向と、位置検出手段のレーザ干渉計に対するウエハの移動方向を開示している。
【０００４】
引用文献２では、１個のワークの戴置されるテーブル（又はステージ）がＸ（横）−Ｙ（縦）−θ（回転）方向に移動可能であるだけでなく、フォトマスク（レチクル）の戴置されるテーブルがＸ（横）−Ｙ（縦）−θ（回転）方向に移動可能になっている。引用文献２では、双方のテーブルのスキャン方向とスキャン速度等を個別に設定できることが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−２０３１６１号
【特許文献２】特開平１１−２６０６９７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ワークの材料としては、例えば結晶材料のように脆性を有する材料や、非結晶であってもガラス等のように脆性の材料が用いられる場合があり、取り扱いを慎重に、則ち比較的低速時間をかけて行う必要がある。そのため、ステージ上の露光可能領域内にワークをロード及びアンロードするために必要な時間は、例えば７０秒等のように非常に長い時間が必要である。
【０００７】
また、近年における転写パターンの高精細化により、投影露光装置でワーク上にパターンを転写させる際の、ステージ上のワークの位置検出についても高い精度が求められており、位置検出に必要な時間が増加する傾向にある。また、ステップ露光等のように複数の位置に移動させながら複数回の露光を実施する場合にはさらに多くの位置検出時間が必要になる。
【０００８】
特許文献１及び２のような従来の投影露光装置では、まず、ステージ上の所定位置にワークをロードし、次にそのワークのステージ上の位置を検出し、さらにその次に検出された位置に合わせてステージ又はフォトマスクの位置を各方向に調整してから露光を実施していた。つまり、従来の投影露光装置及びその投影露光方法では、各処理を１処理づつ個別に順番に実施しており、トータルの処理時間を短縮するには、個別の各処理に必要な時間を短縮するか、又は、各処理の間の切り換える時間を短縮するしか方法がなかった。
【０００９】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、投影露光工程におけるワークのロード／アンロード、ステージ上の戴置されたワークの位置検出、及び、ワークの位置に対応させた投影露光の各処理の少なくとも二つの並列実施を可能にすることにより、従来よりもトータルの処理時間を短縮することのできる投影露光装置及びその投影露光方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明の投影露光装置は、フォトマスクの所定パターンをワーク上の所定位置に合わせて光源からの光で投影露光することでワーク上に所定パターンを形成する投影露光装置であって、ワークを載置する部位の最上面に、複数のワークが重ならないで同時に載置が可能なように複数の領域が形成されて回動及び所定の複数の停止位置への一時停止が可能に構成されたターンテーブルと、ターンテーブルの複数の領域内へワークをロード及びアンロードできるローダと、ターンテーブルにおける複数の領域のうちの一つの第１領域が所定の各停止位置のうちの一つの第１停止位置に一時停止した場合に、ターンテーブルにおける第１領域の直上部に、当該第１領域内に載置されたワークの戴置位置を検出するように配置された位置検出手段と、ターンテーブルの第１領域が第１停止位置に一時停止した場合に、ターンテーブルにおける複数の領域のうちの第１領域とは異なる第２領域の直上部に、当該第２領域内に載置されたワークに投影露光するように配置された光源、フォトマスク及び投影光学系と、ターンテーブルの回動および所定の各停止位置での停止と、ローダによる各領域内への複数のワークのロード及びアンロード、位置検出手段による各領域内に戴置された各ワークの戴置位置の検出、光源、フォトマスク及び投影光学系による各領域内に戴置された各ワークへの投影露光、の各処理を制御する制御部と、を有し、制御部が、第２領域内に載置されたワークに対して光源、フォトマスク及び投影光学系により投影露光する時に、少なくとも第１領域内に載置されたワークの戴置位置を位置検出手段で検出する並行処理を実施する。
【００１１】
好ましくは、本発明の投影露光装置は、ターンテーブルには、複数の領域のうちの一つで第１領域及び第２領域とは異なる第３領域を有し、ローダは、ターンテーブルの第１領域が第１停止位置に一時停止した場合に、ターンテーブルにおける第３領域内へワークをアンロード及び／又はロードできるように配置され、制御部が、第１領域内に載置されたワークの戴置位置を検出すると共に、第２領域内に載置されたワークに対して投影露光する時に、第３領域内に載置された投影露光が終了したワークをアンロードした後に未露光のワークをロードするように並行処理を実施するようにするとよい。
【００１２】
好ましくは、本発明の投影露光装置は、ターンテーブルには、複数の領域としてｎ個の領域（ｎはｎ≧４の整数）を有し、位置検出手段は、ターンテーブルの第１領域が第１停止位置に一時停止した場合に、ターンテーブルにおけるｎ個の領域のうちの一つの第１領域の直上部に、当該第１領域内に載置されたワークの戴置位置を検出するように配置され、光源、フォトマスク及び投影光学系は、ターンテーブルの第１領域が第１停止位置に一時停止した場合に、ターンテーブルにおけるｎ個の領域のうちの一つで第１領域とは異なる第２領域の直上部に、当該第２領域内に載置されたワークに投影露光するように配置され、ローダは、ターンテーブルの第１領域が第１停止位置に一時停止した場合に、ターンテーブルにおけるｎ個の領域の一つで第１領域及び第２領域とは異なる第３領域で、ワークをロード及びアンロードできるように配置され、制御部が、第１領域内に載置されたワークの戴置位置を検出すると共に、第２領域内に載置されたワークに対して投影露光する時に、第３領域内に載置された投影露光が終了したワークをアンロードした後に未露光のワークをロードするように並行処理を実施するようにするとよい。
【００１３】
好ましくは、本発明の投影露光装置は、ターンテーブルにおけるｎ個の領域の一つで第１領域〜第３領域とは異なる第４領域〜第ｎ領域で、ワークをロード及びアンロードできるように複数のローダが配置され、制御部が、第４領域〜第ｎ領域内に載置された投影露光が終了したワークをアンロードした後に未露光のワークをロードするように並行処理を実施するようにするとよい。
【００１４】
好ましくは、本発明の投影露光装置は、投影露光装置が、１個のワークに対して、投影露光するパターンを１ショットで露光する露光装置であるようにするとよい。
【００１５】
好ましくは、本発明の投影露光装置は、位置検出されたワークの位置に投影露光するパターンの位置を合わせる手段が、フォトマスクを縦（Ｙ）、横（Ｘ）、高さ（Ｚ）及び回転（θ）方向の中の少なくとも１つの方向に移動させる駆動手段を含むようにするとよい。
【００１６】
好ましくは、本発明の投影露光装置は、位置検出されたワークの位置に投影露光するパターンの位置を合わせる手段が、フォトマスクを露光光に対して直交面から角度を変更するチルト駆動手段を含むようにするとよい。
【００１７】
好ましくは、本発明の投影露光装置は、位置検出されたワークの位置に投影露光するパターンの位置を合わせる手段が、ターンテーブルの下に配置されるステージを、縦（Ｙ）、横（Ｘ）、高さ（Ｚ）及び回転（θ）方向の中の少なくとも１方向に移動させる駆動手段を含むようにするとよい。
【００１８】
好ましくは、本発明の投影露光装置は、位置検出されたワークの位置に投影露光するパターンの位置を合わせる手段が、投影光学系を、縦（Ｙ）、横（Ｘ）、高さ（Ｚ）及び回転（θ）方向の中の少なくとも１方向に移動させる駆動手段を含むようにするとよい。
【００１９】
上記目的を達成するために、本発明の投影露光装置を用いる投影露光方法は、フォトマスクの所定パターンをワーク上の所定位置に合わせて光源からの光で投影露光することでワーク上に所定パターンを形成し、ワークを載置する部位の最上面に、複数のワークが重ならないで同時に載置が可能なように複数の領域が形成されて回動及び所定の複数の停止位置への一時停止が可能に構成されたターンテーブルを有する投影露光装置を用いる投影露光方法であって、（Ａ）ターンテーブルの複数の領域のうちの一つの第１領域内にワークをロードさせるステップと、（Ｂ）ターンテーブルを回動させて所定の各停止位置のうちの一つの第１停止位置に第１領域を一時停止させるステップと、（Ｃ）第１領域内のワークの戴置位置を検出するステップと、（Ｄ）ターンテーブルを再回動させて所定の各停止位置のうちの第１停止位置とは異なる第２停止位置に第１領域を一時停止させるステップと、（Ｅ）第１領域内のワークにフォトマスク上のパターンを投影露光するステップと、（Ｆ）ターンテーブルの第１領域とは異なる第２領域内に投影露光が終了したワークがある場合には、（Ｅ）の投影露光処理と並行して、その第２領域内から投影露光が終了したワークをアンロードして第１サイクルを終了するステップと、（Ｇ）（Ａ）〜（Ｆ）の第１サイクルの第１領域を第２領域に置き換え、第２領域を３領域以上有する場合の第３領域、又は、２領域のみ有する場合の第１領域に置き換えて第２サイクルの処理を行い、以降のサイクルについては、３領域以上有する場合の昇順で領域を置き換えていき最後に第１領域に戻るように実施するか、又は、２領域のみ有する場合の第１領域と第２領域を交互に入れ替えて実施するステップと、を有する。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の露光装置によれば、ワークを載置する部位の最上面に、複数のワークが重ならないで同時に載置が可能なように複数の領域が形成されて、回動及び所定の複数の停止位置への一時停止が可能に構成されたリボルバー型のターンテーブルを設けると共に、ワークのローダ、ターンテーブル上のワークの位置検出手段、ワークへフォトマスク上のパターンを投影する投影光学系をターンテーブル上の異なる領域に各々対応させて配置することで、各処理の並列実施が可能になる。これにより、従来よりもワークへのトータルの露光時間を短縮することのできる投影露光装置及びその投影露光方法を提供することできる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】（ａ）、（ｂ）は本発明の第１の実施形態の露光装置のターンテーブルが第１停止位置に停止した場合の概略構成を示す図であり、（ａ）が側面図、（ｂ）が上面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態の露光装置の動作フローチャートである。
【図３】（ａ）、（ｂ）は本発明の第２の実施形態の露光装置のターンテーブルが第１停止位置に停止した場合の概略構成を示す図であり、（ａ）が側面図、（ｂ）が上面図である。
【図４】本発明の第２の実施形態の露光装置の動作フローチャートの前半部である。
【図５】本発明の第２の実施形態の露光装置の動作フローチャートの後半部である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
＜第１実施形態＞
以下、本発明に係る第１の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。図１（ａ）、（ｂ）には、本発明の第１の実施形態の露光装置１の概略構成を示しており、ワーク用Ｚステージ１４０の上にワーク用ターンテーブル軸１３０が配置され、されにその上に、ワーク用ターンテーブル１２０が設置されている。
【００２３】
ワーク用ターンテーブル１２０上には、２個のワーク戴置用第１領域１１０及びワーク戴置用第２領域１１１が、当該ターンテーブル１２０の一つの直径の両端部に配置されている。直径の両端部というのは、例えば、当該ターンテーブル１２０の中心から一方の端部の領域に向けて直線を引き、その直線から１８０度反対側に向けても連続する直線を引いて、その反対側の端部に他方の領域が配置されることである。ワーク戴置用第１領域１１０及びワーク戴置用第２領域１１１は、第１ワーク５１０及び第２ワーク５１１の各表面積よりも大きく、該各ワークを各々戴置するに充分な面積をそれぞれ有しており、また、各領域には、各ワークが干渉しない場所に位置の認識標章（ＩＤ）や位置測定の基準点を示すマーカー（不図示）が設けられていてもよい。
【００２４】
ワーク用ターンテーブル軸１３０は、ワーク用ターンテーブル１２０の下部の中央に設けられ、ワーク用ターンテーブル駆動部１５０を介して、マイクロコンピュータや中央演算ユニット（ＣＰＵ）を含む制御部４１０に接続される。制御部４１０からの命令により、ワーク用ターンテーブル駆動部１５０から駆動用信号がワーク用ターンテーブル軸１３０に送出される。ワーク用ターンテーブル軸１３０は、不図示のステッピングモータ等により、精密にターンテーブルの回転する角度と平面上における停止位置を制御することができる。また、ワーク用ターンテーブル軸１３０は、不図示の電源と接続されて回転に必要な電力が供給されている。
【００２５】
ワーク用Ｚステージ１４０は、ワーク用Ｚステージ駆動部１６０を介して、マイクロコンピュータや中央演算ユニット（ＣＰＵ）を含む制御部４１０に接続される。制御部４１０からの命令により、ワーク用Ｚステージ駆動部１６０から駆動用信号がワーク用Ｚステージ１４０に送出される。ワーク用Ｚステージ１４０は、不図示の上下移動機構（油圧機構又は電動機構等）により、精密にＺ（上下）方向と上下の停止位置を制御することができる。また、ワーク用Ｚステージ１４０も、不図示の電源と接続されて回転に必要な電力が供給されている。
【００２６】
ワーク戴置用第１領域１１０は、制御部４１０により制御されたワーク用ターンテーブル１２０を回転させることにより、第１停止位置６１０又は第２停止位置６１１まで移動し、その位置に停止することができる。露光される所定パターンが詳細なパターンになるほど、回転精度、停止精度を高くすると共に精密な制御が必要になる。第１停止位置６１０の直上部には、例えば、位置検出部２１０が配置される。また、図１（ａ）では、ローダ３１０が、第１停止位置６１０に停止した領域の上部又は近傍に配置されている。ローダ３１０は、第１停止位置６１０に一時停止したワーク戴置用第１領域１１０又はワーク戴置用第２領域１１１から露光済みのワークをアンロードでき、未露光のワークをその領域からロードすることができる。ワーク用ターンテーブル１２０上から降ろされた露光済みワークを次の工程に送ったり、未露光ワークをローダ３１０の近傍まで移動させるには、例えば、不図示のコンベア等を用いることができる。また、第２停止位置６１１の直上部には、露光用の投影光学系５０が配置される。
【００２７】
ワーク戴置用第２領域１１１も、制御部４１０により制御されたワーク用ターンテーブル１２０を回転させることにより、第１停止位置６１０又は第２停止位置６１１まで移動し、その位置に停止することができる。第１停止位置６１０と第２停止位置６１１は、ワーク用ターンテーブル１２０の一つの直径の両端部に配置されているので、第１停止位置６１０にワーク戴置用第１領域１１０が一時停止している時には、第２停止位置６１１にワーク戴置用第２領域１１１が一時停止している。逆に、第１停止位置６１０にワーク戴置用第２領域１１１が一時停止している時には、投影光学系５０にワーク戴置用第１領域１１０が一時停止している。
【００２８】
露光用の投影光学系５０のさらに上部には、光源部１０、フォトマスク２０、マスク用ＸＹθステージ３０、マスク用チルトステージ４０が配置される。図１（ａ）の場合は、光源部１０からの露光光が、フォトマスク２０及び投影光学系５０を透過して、第２停止位置６１１上のワーク戴置用第２領域１１１に戴置された第２ワーク５１１を露光し、それにより、フォトマスク２０上の所定パターンを第２ワーク５１１上に転写する。
【００２９】
マスク用ＸＹθステージ３０は、マスク用ＸＹθステージ駆動部６０を介して、マイクロコンピュータや中央演算ユニット（ＣＰＵ）を含む制御部４１０に接続される。制御部４１０からの命令により、マスク用ＸＹθステージ駆動部６０から駆動用信号がマスク用ＸＹθステージ３０に送出される。マスク用ＸＹθステージ３０は、不図示のステージ平面上で、Ｘ方向（横方向）、Ｙ方向（縦方向）及びθ（回転）方向に移動させることができるマスク用ＸＹθステージ駆動部６０により、精密にステージ平面上のＸＹθ（縦、横、回転）方向の停止位置を制御することができる。また、マスク用ＸＹθステージ３０も、不図示の電源と接続されてＸＹθ（縦、横、回転）方向の移動に必要な電力が供給されている。
【００３０】
マスク用チルトステージ４０は、マスク用チルトステージ駆動部７０を介して、マイクロコンピュータや中央演算ユニット（ＣＰＵ）を含む制御部４１０に接続される。制御部４１０からの命令により、マスク用チルトステージ駆動部７０から駆動用信号がマスク用チルトステージ４０に送出される。マスク用チルトステージ４０は、不図示のステージ平面を光軸に垂直な角度から傾けてチルトさせることができるマスク用チルトステージ駆動部７０により、精密にステージ平面が傾いた（チルトさせた）状態の停止位置を制御することができる。また、マスク用チルトステージ４０も、不図示の電源と接続されてステージ平面をチルトさせるために必要な電力が供給されている。
【００３１】
制御部４１０は、フォトマスク２０上の所定パターンが、第２ワーク５１１上の所定の位置に正確に転写されるように、ワーク用ターンテーブル軸１３０、ワーク用Ｚステージ１４０、マスク用ＸＹθステージ３０及びマスク用チルトステージ４０の平面上の位置と、平面上の角度及びチルト角度を制御する。その際には、例えば、不図示のフォトマスク用顕微鏡及びワーク用顕微鏡等を用いて、やはり不図示のフォトマスク上のマスクアライメントマークが、ワーク上のワークアライメントマークに合致するように制御を行うことができる。また、必要に応じて、投影光学系５０にも駆動部を設け、フォトマスク上の所定パターンをワーク上の所定位置に投影させるための制御に利用する事ができる。
【００３２】
次に図２を用いて本実施形態の動作を説明する。まず、制御部４１０は、処理を開始すると、ターンテーブル１２０上のワーク戴置用第１領域１１０が第１停止位置６１０に一時停止中であるか否かを確認する（Ｓ１）。ワーク戴置用第１領域１１０が第１停止位置６１０に一時停止中であれば（Ｓ１：Ｙｅｓ）、ワーク戴置用第１領域１１０に未露光のワークが戴置されていないか否かを確認する（Ｓ２）。ワーク戴置用第１領域１１０が第１停止位置６１０に一時停止中でなければ（Ｓ１：Ｎｏ）、ワーク戴置用第１領域１１０は第２停止位置６１１に一時停止中ということになるので、ステップＳ７に進む。
【００３３】
ワーク戴置用第１領域１１０に未露光のワークが戴置されていない場合（Ｓ２：Ｙｅｓ）は、制御部４１０はローダ３１０に未露光ワークをワーク戴置用第１領域１１０内にロードするように命令を出力する（Ｓ３）。ワーク戴置用第１領域１１０に未露光のワークが戴置されている場合（Ｓ２：Ｎｏ）は、未露光のワークをロードする必要が無いのでステップＳ４に進み、制御部４１の命令により位置検出部２１０で、ワーク戴置用第１領域１１０における第１ワーク５１０の位置を検出する（Ｓ４）。その際には、例えば、ステージ上のステージアライメントマークと、ワーク上のワークアライメントマークを、ワーク用顕微鏡で検出するようにしてもよい。
【００３４】
ワーク戴置用第１領域１１０における第１ワーク５１０の位置が検出できたら、制御部４１０はターンテーブル駆動部１５０に回動させる命令を出力し（Ｓ５）、ターンテーブル１２０上のワーク戴置用第１領域１１０が第２停止位置６１１に達したら一時停止する命令を出力する（Ｓ６）。
【００３５】
ワーク戴置用第１領域１１０が第２停止位置６１１で一時停止したら、第１停止位置６１０のワーク戴置用第２領域１１１内に露光済みのワークがあるか否かを確認する（Ｓ７）。ワーク戴置用第２領域１１１内に露光済みのワークがある場合（Ｓ７：Ｙｅｓ）には、制御部４１０はローダ３１０に対して、その露光済みワークをワーク戴置用第２領域１１１からアンロードし（Ｓ８）、未露光のワークをワーク戴置用第２領域１１１にロードするように命令を出力する（Ｓ９）。ワーク戴置用第２領域１１１内に露光済みのワークが無い場合（Ｓ７：Ｎｏ）には、ワークをアンロードする必要は無いのでステップＳ９に進んで未露光のワークをワーク戴置用第２領域１１１にロードする（Ｓ９）。
【００３６】
ステップＳ７の処理以降にワーク戴置用第２領域１１１内にワークをロードするのと同時に並行して、ワーク戴置用第１領域１１０内の位置検出済みの第１ワーク５１０に対しては、第２停止位置６１１でフォトマスク２０の所定パターンの投影露光による第１ワーク５１０上への転写が実施される（Ｓ１０）。その所定パターンの転写が終了すると、制御部４１０はターンテーブル駆動部１５０に再度回動させる命令を出力し（Ｓ１１）、ターンテーブル１２０上のワーク戴置用第１領域１１０が第１停止位置６１０に達したら一時停止する命令を出力する（Ｓ１２）。
【００３７】
ワーク戴置用第１領域１１０が第１停止位置６１０で一時停止したら、第１停止位置６１０のワーク戴置用第１領域１１０内に露光済みのワークがあるか否かを確認する（Ｓ１３）。ワーク戴置用第１領域１１０内に露光済みのワークがある場合（Ｓ１３：Ｙｅｓ）には、制御部４１０はローダ３１０に対して、その露光済みワークをワーク戴置用第１領域１１０からアンロードするように命令を出力し（Ｓ１４）、ステップＳ１６に進んで未露光のワークの残りが無いか否かを確認する（Ｓ１６）。ワーク戴置用第１領域１１０内に露光済みのワークが無い場合（Ｓ１３：Ｎｏ）には、ワークをアンロードする必要は無いのでステップＳ１６に進んで未露光のワークの残りが無いか否かを確認する（Ｓ１６）。
【００３８】
ステップＳ１２以降の第１停止位置６１０のワーク戴置用第１領域１１０内に露光済みのワークがあるか否かを確認するのと同時に並行して、ワーク戴置用第２領域１１１内の位置検出済みの第２ワーク５１１に対しては、第２停止位置６１１でフォトマスク２０の所定パターンの投影露光による第２ワーク５１１上への転写が実施され（Ｓ１５）、ステップＳ１６に進んで、制御部４１０が未露光のワークの残りが無いか否かを確認する（Ｓ１６）。
【００３９】
未露光のワークの残りが無い場合には（Ｓ１６：Ｙｅｓ）、処理を終了し、未露光のワークの残りがある場合には（Ｓ１６：Ｎｏ）、ステップＳ１に戻ってワーク戴置用第１領域１１０が第１停止位置６１０に一時停止中であるか否かを確認（Ｓ１）し、以降の処理を繰り返す。
【００４０】
従って、本実施形態の投影露光装置１は、フォトマスク２０の所定パターンをワーク５１０及び５１１上の所定位置に合わせて光源１０からの光で投影露光することでワーク５１０及び５１１上に所定パターンを形成する投影露光装置１であって、ワーク５１０及び５１１を載置する部位の最上面に、複数のワーク５１０及び５１１が重ならないで同時に載置が可能なように複数の領域１１０及び１１１が形成されて回動及び所定の複数の停止位置６１０及び６１１への一時停止が可能に構成されたターンテーブル１２０と、ターンテーブル１２０の複数の領域１１０及び１１１内へワーク５１０及び５１１をロード及びアンロードできるローダ３１０と、ターンテーブル１２０が所定の各停止位置６１０及び６１１のうちの一つの第１停止位置６１０に一時停止した場合に、ターンテーブル１２０における複数の領域１１０及び１１１のうちの一つの第１領域１１０の直上部に、当該第１領域１１０内に載置されたワーク５１０の戴置位置を検出するように配置された位置検出手段２１０と、ターンテーブル１２０の第１領域１１０が第１停止位置６１０に一時停止した場合に、ターンテーブル１２０における複数の領域１１０及び１１１のうちの第１領域１１０とは異なる第２領域１１１の直上部に、当該第２領域１１１内に載置されたワーク５１１に投影露光するように配置された光源１０、フォトマスク２０及び投影光学系５０と、ターンテーブル１２０の回動および所定の各停止位置６１０及び６１１での停止と、ローダ３１０による各領域１１０及び１１１内への複数のワーク５１０及び５１１のロード及びアンロード、位置検出手段２１０による各領域１１０及び１１１内に戴置された各ワーク５１０及び５１１の戴置位置の検出、光源１０、フォトマスク２０及び投影光学系５０による各領域１１０及び１１１内に戴置された各ワーク５１０及び５１１への投影露光、の各処理を制御する制御部４１０と、を有し、制御部４１０が、第２領域１１１内に載置されたワーク５１１に対して光源１０、フォトマスク２０及び投影光学系５０により投影露光する時に、少なくとも第１領域１１０内に載置されたワーク５１０の戴置位置を位置検出手段２１０で検出する並行処理を実施することができる。
【００４１】
また、本実施形態の投影露光装置１は、１個のワークに対して、投影露光するパターンを１ショットで露光する露光装置であることができる。また、上記した各実施形態の投影露光装置１では、位置検出されたワークの位置に投影露光するパターンの位置を合わせる手段が、フォトマスク２０を縦（Ｙ）、横（Ｘ）、高さ（Ｚ）及び回転（θ）方向の中の少なくとも１つの方向に移動させる駆動手段を含むことができ、及び／又は、フォトマスク２０を露光光に対して直交面から角度を変更するチルト駆動手段を含むことができ、及び／又は、ターンテーブル１２０の下に配置されるステージを、縦（Ｙ）、横（Ｘ）、高さ（Ｚ）及び回転（θ）方向の中の少なくとも１方向に移動させる駆動手段を含むことができ、及び／又は、投影光学系５０を、縦（Ｙ）、横（Ｘ）、高さ（Ｚ）及び回転（θ）方向の中の少なくとも１方向に移動させる駆動手段を含むことができる。
【００４２】
また、本実施形態の投影露光装置１の投影露光方法は、フォトマスク２０の所定パターンをワーク５１０及び５１１上の所定位置に合わせて光源１０からの光で投影露光することでワーク５１０及び５１１上に所定パターンを形成し、ワーク５１０及び５１１を載置する部位の最上面に、複数のワーク５１０及び５１１が重ならないで同時に載置が可能なように複数の領域１１０及び１１１が形成されて回動及び所定の複数の停止位置６１０及び６１１への一時停止が可能に構成されたターンテーブル１２０を有する投影露光装置１を用いる投影露光方法であって、（Ａ）ターンテーブル１２０の複数の領域１１０及び１１１のうちの一つの第１領域１１０内にワーク５１０及び５１１をロードさせるステップと、（Ｂ）ターンテーブル１２０を回動させて所定の各停止位置６１０及び６１１のうちの一つの第１停止位置６１０に第１領域１１０を一時停止させるステップと、（Ｃ）第１領域１１０内のワーク５１０及び５１１の戴置位置を検出するステップと、（Ｄ）ターンテーブル１２０を再回動させて所定の各停止位置６１０及び６１１のうちの第１停止位置６１０とは異なる第２停止位置６１１に第１領域１１０を一時停止させるステップと、（Ｅ）第１領域１１０内のワーク５１０にフォトマスク２０上のパターンを投影露光するステップと、（Ｆ）ターンテーブル１２０の第１領域１１０とは異なる第２領域１１１内に投影露光が終了したワーク５１１がある場合には、（Ｅ）の投影露光処理と並行して、その第２領域１１１内から投影露光が終了したワーク５１１をアンロードして第１サイクルを終了するステップと、（Ｇ）前記（Ａ）〜（Ｆ）の第１サイクルの第１領域１１０を第２領域１１１に置き換え、領域を２領域のみ有する場合の第１領域１１０に置き換えて第２サイクルの処理を行い、以降のサイクルについては、２領域のみ有する場合の第１領域１１０と第２領域１１１を交互に入れ替えて実施するステップと、を有する。
【００４３】
以上のように第1実施形態では、投影光学系５０、位置検出部２１０及びローダ３１０は、第１又は第２の各停止位置で一時停止した場合に、ワーク戴置用第１又は第２の異なる領域上の異なるワークに対して、ワークのロード／アンロードと位置検出、又は、投影露光と、異なる処理を同時に並行実施することができる。従って、各処理を同じ場所で連続してシリーズに実施する従来の場合と比較して、本実施形態では並行処理が可能になることから処理時間を短縮することができる。
【００４４】
＜第２実施形態＞
図３〜図５に示した第２実施形態では、図１〜図２に示した第１実施形態と比較して、停止位置が２個から３個（第１停止位置６１０〜第３停止位置６１２）に増えており、それに伴いワーク用ターンテーブル１２０上のワーク戴置用の領域も２個から３個（ワーク戴置用第１領域１１０〜ワーク戴置用第３領域１１２）に増え、同時にワーク用ターンテーブル１２０上に３個のワーク（第１ワーク５１０〜第３ワーク５１２）が重なることなく戴置できるようになっている。その他の構成については第1実施形態と同様であるので重複する記載を省略する。
【００４５】
ワーク用ターンテーブル１２０上のワーク戴置用の各領域は、ワーク用ターンテーブル１２０の中心からの角度が３６０度の１／３である１２０度毎になるように各々配置される。従って、第１ワーク５１０をワーク戴置用第１領域１１０に戴置して第１停止位置６１０に一時停止させると、ワーク戴置用第２領域１１１上の第２ワーク５１１は第２停止位置６１１に一時停止され、ワーク戴置用第３領域１１２上の第３ワーク５１２は第３停止位置６１２に一時停止される。
【００４６】
また、図３（ａ）では、ローダ３１０が、第１停止位置６１０に停止した領域の上部又は近傍ではなく、第３停止位置６１２に停止した領域の上部又は近傍に配置され、第１停止位置６１０に停止した領域の上部に設けられる位置検出部２１０とは別の停止位置に配置されている。また、ローダ３１０は、第３停止位置６１２に一時停止したワーク戴置用第１領域１１０〜ワーク戴置用第３領域１１２から、露光済みのワークをその領域からアンロードでき、未露光のワークをその領域にロードすることができる。
【００４７】
次に図４及び図５を用いて本実施形態の動作を説明する。まず、制御部４１０は、処理を開始すると、ターンテーブル１２０上のワーク戴置用第１領域１１０が第３停止位置６１２に一時停止中であるか否かを確認する（Ｓ２１）。ワーク戴置用第１領域１１０が第３停止位置６１２に一時停止中であれば（Ｓ２１：Ｙｅｓ）、ワーク戴置用第１領域１１０に未露光のワークが戴置されていないか否かを確認する（Ｓ２２）。ワーク戴置用第１領域１１０が第３停止位置６１２に一時停止中でなければ（Ｓ２１：Ｎｏ）、ワーク戴置用第１領域１１０は第１停止位置６１０又は第２停止位置６１１に一時停止中ということになるので、ステップＳ４０に進む。
【００４８】
ワーク戴置用第１領域１１０に未露光のワークが戴置されていない場合（Ｓ２２：Ｙｅｓ）は、制御部４１０はローダ３１０に未露光ワークをワーク戴置用第１領域１１０内にロードするように命令を出力する（Ｓ２３）。ワーク戴置用第１領域１１０に未露光のワークが戴置されている場合（Ｓ２２：Ｎｏ）は、未露光のワークをロードする必要が無いのでステップＳ２４に進み、ターンテーブルを回動させる（Ｓ２４）。ターンテーブル１２０上のワーク戴置用第１領域１１０が第１停止位置６１０に達したら一時停止する命令を出力する（Ｓ２５）。
【００４９】
ワーク戴置用第１領域１１０が第１停止位置６１０で一時停止したら、第２停止位置６１１のワーク戴置用第２領域１１１内に位置検出済みのワークがあるか否かを確認する（Ｓ２６）。ワーク戴置用第２領域１１１内に位置検出済みのワークがある場合（Ｓ２６：Ｙｅｓ）には、制御部４１０は、ワーク戴置用第２領域１１１内の位置検出済みのワークに対して第２停止位置６１１でフォトマスク２０のパターンの投影露光によるワーク上への転写を実施し（Ｓ２７）、ステップＳ３２に進む（Ｓ３２）。ワーク戴置用第２領域１１１内に位置検出済みのワークが無い場合（Ｓ２６：Ｎｏ）には、ステップＳ３２に進む（Ｓ３２）。
【００５０】
ステップＳ２６の処理以降にワーク戴置用第２領域１１１内の位置検出済みのワークに投影露光による転写を実施するのと同時に並行して、第３停止位置６１２のワーク戴置用第３領域１１２内に露光済みのワークがあるか否かを確認する（Ｓ２８）。ワーク戴置用第３領域１１２内に露光済みのワークがある場合（Ｓ２８：Ｙｅｓ）には、制御部４１０はローダ３１０に対して、その露光済みワークをワーク戴置用第３領域１１２からアンロードし（Ｓ２９）、未露光のワークをワーク戴置用第３領域１１２にロードするように命令を出力する（Ｓ３０）。ワーク戴置用第３領域１１２内に露光済みのワークが無い場合（Ｓ２８：Ｎｏ）には、ワークをアンロードする必要は無いのでステップＳ３０に進んで未露光のワークをワーク戴置用第３領域１１２にロードし（Ｓ３０）、ステップＳ３２に進む（Ｓ３２）。
【００５１】
さらに、ステップＳ２６の処理以降にワーク戴置用第２領域１１１内の位置検出済みのワークに投影露光による転写を実施するのと同時に並行して、第１停止位置６１０のワーク戴置用第１領域１１０内の未露光のワーク戴置位置を検出し、ステップＳ３２に進む（Ｓ３２）。上記のステップＳ２７、Ｓ３０及びＳ３１の各同時並行処理が全て終了したら、制御部４１０は、ターンテーブル１２０を再び回動させる（Ｓ３２）。ターンテーブル１２０上のワーク戴置用第１領域１１０が第２停止位置６１１に達したら一時停止する命令を出力する（Ｓ３３）。
【００５２】
ワーク戴置用第１領域１１０が第２停止位置６１１で一時停止したら、第３停止位置６１２のワーク戴置用第３領域１１２内に未露光のワークがあるか否かを確認する（Ｓ３４）。ワーク戴置用第３領域１１２内に未露光のワークがある場合（Ｓ３４：Ｙｅｓ）には、制御部４１０は、位置検出部２１０を用いてワーク戴置用第３領域１１２内の未露光のワーク５１２の位置を検出し（Ｓ３５）、ステップＳ４０に進む（Ｓ４０）。ワーク戴置用第３領域１１２内に未露光のワークが無い場合（Ｓ３４：Ｎｏ）には、ステップＳ４０に進む（Ｓ４０）。
【００５３】
ステップＳ３４の処理以降にワーク戴置用第３領域１１２内の未露光のワークの位置検出処理を実施するのと同時に並行して、第３停止位置６１２のワーク戴置用第２領域１１１内に露光済みのワークがあるか否かを確認する（Ｓ３６）。ワーク戴置用第２領域１１１内に露光済みのワークがある場合（Ｓ３６：Ｙｅｓ）には、制御部４１０はローダ３１０に対して、その露光済みワークをワーク戴置用第２領域１１１からアンロードし（Ｓ３７）、未露光のワークをワーク戴置用第２領域１１１にロードするように命令を出力する（Ｓ３８）。ワーク戴置用第２領域１１１内に露光済みのワークが無い場合（Ｓ３６：Ｎｏ）には、ワークをアンロードする必要は無いのでステップＳ３８に進んで未露光のワークをワーク戴置用第２領域１１１にロードし（Ｓ３８）、ステップＳ４０に進む（Ｓ４０）。
【００５４】
さらに、ステップＳ３４の処理以降にワーク戴置用第３領域１１２内の未露光のワークの位置検出処理を実施するのと同時に並行して、制御部４１０は、ワーク戴置用第１領域１１０内の位置検出済みのワークに対して第２停止位置６１１でフォトマスク２０の所定パターンの投影露光によるワーク上への転写を実施し（Ｓ３９）、ステップＳ４０に進む（Ｓ４０）。上記のステップＳ３５、Ｓ３８及びＳ３９の各同時並行処理が全て終了したら、制御部４１０は、ターンテーブル１２０を再び回動させる（Ｓ４０）。ターンテーブル１２０上のワーク戴置用第１領域１１０が第１停止位置６１０に達したら一時停止する命令を出力する（Ｓ４１）。制御部４１０はローダ３１０に対して、その露光済みワークをワーク戴置用第１領域１１０からアンロードし（Ｓ４２）、制御部４１０が未露光のワークの残りが無いか否かを確認する（Ｓ４３）。
【００５５】
未露光のワークの残りが無い場合には（Ｓ４３：Ｙｅｓ）、処理を終了し、未露光のワークの残りがある場合には（Ｓ４３：Ｎｏ）、ステップＳ２１に戻ってワーク戴置用第１領域１１０が第３停止位置６１２に一時停止中であるか否かを確認（Ｓ２１）し、以降の処理を繰り返す。
【００５６】
従って、本実施形態の投影露光装置１は、ターンテーブル１２０には、複数の領域１１０及び１１１のうちの一つで第１領域１１０及び第２領域１１１とは異なる第３領域１１２を有し、ローダ３１０は、ターンテーブル１２０における第１領域１１０が第１停止位置６１０に一時停止した場合に、ターンテーブル１２０における第３領域１１２内へワーク５１２をアンロード及び／又はロードできるように配置され、制御部４１０が、第１領域１１０内に載置されたワーク５１０の戴置位置を検出すると共に、第２領域１１１内に載置されたワーク５１１に対して投影露光する時に、第３領域１１２内に載置された投影露光が終了したワーク５１２をアンロードした後に未露光のワークをロードするように並行処理を実施することができる。
【００５７】
また、本実施形態の投影露光装置１の投影露光方法は、フォトマスク２０の所定パターンをワーク５１０及び５１１上の所定位置に合わせて光源１０からの光で投影露光することでワーク５１０及び５１１上に所定パターンを形成し、ワーク５１０及び５１１を載置する部位の最上面に、複数のワーク５１０及び５１１が重ならないで同時に載置が可能なように複数の領域１１０及び１１１が形成されて回動及び所定の複数の停止位置６１０及び６１１への一時停止が可能に構成されたターンテーブル１２０を有する投影露光装置１を用いる投影露光方法であって、（Ａ）ターンテーブル１２０の複数の領域１１０及び１１１のうちの一つの第１領域１１０内にワーク５１０及び５１１をロードさせるステップと、（Ｂ）ターンテーブル１２０を回動させて所定の各停止位置６１０及び６１１のうちの一つの第１停止位置６１０に第１領域１１０を一時停止させるステップと、（Ｃ）第１領域１１０内のワーク５１０及び５１１の戴置位置を検出するステップと、（Ｄ）ターンテーブル１２０を再回動させて所定の各停止位置６１０及び６１１のうちの第１停止位置６１０とは異なる第２停止位置６１１に第１領域１１０を一時停止させるステップと、（Ｅ）第１領域１１０内のワーク５１０にフォトマスク２０上の所定パターンを投影露光するステップと、（Ｆ）ターンテーブル１２０の第１領域１１０とは異なる第２領域１１１内に投影露光が終了したワーク５１１がある場合には、（Ｅ）の投影露光処理と並行して、その第２領域１１１内から投影露光が終了したワーク５１１をアンロードして第１サイクルを終了するステップと、（Ｇ）前記（Ａ）〜（Ｆ）の第１サイクルの第１領域１１０を第２領域１１１に置き換え、領域を３領域以上有する場合の第３領域１１２に置き換えて第２サイクルの処理を行い、以降のサイクルについては、３領域以上有する場合の昇順で領域を置き換えていき最後に第１領域１１０に戻るように実施するステップと、を有する。
【００５８】
また、本実施形態の投影露光装置１でも、１個のワークに対して、投影露光する所定パターンを１ショットで露光する露光装置であることができる。また、上記した各実施形態の投影露光装置１では、位置検出されたワークの位置に投影露光する所定パターンの位置を合わせる手段が、フォトマスク２０を縦（Ｙ）、横（Ｘ）、高さ（Ｚ）及び回転（θ）方向の中の少なくとも１つの方向に移動させる駆動手段を含むことができ、及び／又は、フォトマスク２０を露光光に対して直交面から角度を変更するチルト駆動手段を含むことができ、及び／又は、ターンテーブル１２０の下に配置されるステージを、縦（Ｙ）、横（Ｘ）、高さ（Ｚ）及び回転（θ）方向の中の少なくとも１方向に移動させる駆動手段を含むことができ、投影光学系５０を、縦（Ｙ）、横（Ｘ）、高さ（Ｚ）及び回転（θ）方向の中の少なくとも１方向に移動させる駆動手段を含むことができる。
【００５９】
以上のように第２実施形態では、投影光学系５０、位置検出部２１０及びローダ３１０は、各停止位置で一時停止した場合に、異なる領域上の異なるワークに対して、各々ワークのロード／アンロード、ワークの位置検出、又は、投影露光と、各々異なる処理を同時に並行実施することができる。従って、各処理を同じ場所で連続してシリーズに実施する従来の場合と比較して、本実施形態では並行処理が可能になることから処理時間を短縮することができる。
【００６０】
＜第３実施形態＞
また、ワーク用ターンテーブル１２０上のワーク戴置用の領域とその停止位置を４個以上にして、比較的時間のかかる処理、例えばローダ３１０を追加設置することで、一回のローディングで複数個のワークをロードし、比較的時間のかからない位置検出や露光処理を順次実施する実施形態にすることでさらに処理時間の短縮が可能で有る。また、その際に位置検出部２１０を必要に応じて追加することができる。
【００６１】
従って、本実施形態の投影露光装置１は、ターンテーブル１２０には、複数の領域としてｎ個の領域１１０、１１１、１１２・・・（ｎはｎ≧４の整数）を有し、位置検出手段２１０は、ターンテーブル１２０の第１領域１１０が第１停止位置６１０に一時停止した場合に、ターンテーブル１２０におけるｎ個の領域のうちの一つの第１領域１１０の直上部に、当該第１領域１１０内に載置されたワーク５１０の戴置位置を検出するように配置され、光源１０、フォトマスク２０及び投影光学系５０は、ターンテーブル１２０の第１領域１１０が第１停止位置６１０に一時停止した場合に、ターンテーブル１２０におけるｎ個の領域のうちの一つで第１領域１１０とは異なる第２領域１１１の直上部に、当該第２領域１１１内に載置されたワーク５１１に投影露光するように配置され、ローダ３１０は、第１領域１１０が第１停止位置６１０に一時停止した場合に、ターンテーブル１２０におけるｎ個の領域の一つで第１領域１１０及び第２領域１１１とは異なる第３領域１１２で、ワーク５１２をロード及びアンロードできるように配置され、制御部４１０が、第１領域１１０内に載置されたワーク５１０の戴置位置を検出すると共に、第２領域１１１内に載置されたワーク５１１に対して投影露光する時に、第３領域１１２内に載置された投影露光が終了したワーク５１２をアンロードした後に未露光のワークをロードするように並行処理を実施することができる。
【００６２】
また、本実施形態の投影露光装置１は、ターンテーブル１２０におけるｎ個の領域の一つで第１領域１１０〜第３領域１１２とは異なる第４領域〜第ｎ領域で、ワークをロード及びアンロードできるように複数のローダ３１０が配置され、制御部４１０が、第４領域〜第ｎ領域内に載置された投影露光が終了したワークをアンロードした後に未露光のワークをロードするように並行処理を実施することができる。
【００６３】
また、本実施形態の投影露光装置１でも、１個のワークに対して、投影露光する所定パターンを１ショットで露光する露光装置であることができる。また、上記した各実施形態の投影露光装置１では、位置検出されたワークの位置に投影露光する所定パターンの位置を合わせる手段が、フォトマスク２０を縦（Ｙ）、横（Ｘ）、高さ（Ｚ）及び回転（θ）方向の中の少なくとも１つの方向に移動させる駆動手段を含むことができ、及び／又は、フォトマスク２０を露光光に対して直交面から角度を変更するチルト駆動手段を含むことができ、及び／又は、ターンテーブル１２０の下に配置されるステージを、縦（Ｙ）、横（Ｘ）、高さ（Ｚ）及び回転（θ）方向の中の少なくとも１方向に移動させる駆動手段を含むことができ、投影光学系５０を、縦（Ｙ）、横（Ｘ）、高さ（Ｚ）及び回転（θ）方向の中の少なくとも１方向に移動させる駆動手段を含むことができる。
【符号の説明】
【００６４】
１  投影露光装置
１０  光源部
２０  フォトマスク（レチクル）
３０  マスク用ＸＹθステージ
４０  マスク用チルトステージ
５０  投影光学系
６０  マスク用ＸＹθステージ駆動部
７０  マスク用チルトステージ駆動部
１１０  ワーク戴置用第１領域
１１１  ワーク戴置用第２領域
１１２  ワーク戴置用第３領域１１２
１２０  ワーク用ターンテーブル
１３０  ワーク用ターンテーブル軸
１４０  ワーク用Ｚステージ
１５０  ワーク用ターンテーブル駆動部
１６０  ワーク用Ｚステージ駆動部
２１０  位置検出部
３１０  ローダ
４１０  制御部４１０
５１０  第１ワーク
５１１  第２ワーク
５１２  第３ワーク
６１０  第１停止位置
６１１  第２停止位置
６１２  第３停止位置
【図１】
2017211533.tif 000003
【図２】
2017211533.tif 000004
【図３】
2017211533.tif 000005
【図４】
2017211533.tif 000006
【図５】
2017211533.tif 000007