(57)【要約】【課題】太陽電池のフィンガー電極を形成するために適したスクリーン印刷用メタルマスクを得る。【解決手段】メタルマスクの中央部に形成され、フィンガー電極を形成するための多数のフィンガー開口部が形成された印刷用パターン領域と、多数のフィンガー開口部の周囲を取り囲むように形成され、フィンガー開口部の開口寸法よりも小さい開口寸法からなる多数のメッシュ開口部とを備え、フィンガー開口部は、それぞれ横長の長方形状からなる各フィンガー開口部素体を長手方向と直交する方向に一列となるように規則正しく多数配置したものであり、フィンガー開口部の周囲を取り囲むメッシュ開口部は、各フィンガー開口部素体の長手方向の開口寸法よりも小さく、各フィンガー開口部素体の短手方向の開口寸法と同等寸法以上となる正方形状又は長方形状のメッシュ開口部素体の集合体により形成される。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
メッキにより薄厚の平板状に形成され、太陽電池のフィンガー電極を形成するためのスクリーン印刷用メタルマスクであって、
前記メタルマスクの中央部に形成され、前記フィンガー電極を形成するための導電性ペーストを吐出する多数のフィンガー開口部が形成された印刷用パターン領域と、
前記印刷用パターン領域の前記多数のフィンガー開口部の周囲を取り囲むように形成され、前記フィンガー開口部の開口寸法よりも小さい開口寸法からなる多数のメッシュ開口部と、を備え、
前記多数のフィンガー開口部は、それぞれ横長の長方形状からなる各フィンガー開口部素体を長手方向と直交する方向に一列となるように規則正しく多数配置したものであり、
前記フィンガー開口部の周囲を取り囲むように形成される前記メッシュ開口部は、前記各フィンガー開口部素体の長手方向の開口寸法よりも小さく、各フィンガー開口部素体の短手方向の開口寸法と同等寸法以上となる正方形状又は長方形状のメッシュ開口部素体の集合体により形成されていることを特徴とするスクリーン印刷用メタルマスク。
【請求項２】
印刷用パターン領域に形成されるフィンガー開口部の各フィンガー開口部素体は、横長の長方形の四隅を丸めた隅丸状を呈しており、印刷パターンとして必要な各フィンガー開口部素体の中央のみを貫通孔として残し、各フィンガー開口部素体の隅丸を含む両端部と、その周囲のメッシュ開口部素体を塞ぐようにマスキング物質で埋めることを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷用メタルマスク。
【請求項３】
印刷用パターン領域に形成されるフィンガー開口部の各フィンガー開口部素体は、横長の楕円形状又はカプセル状からなり、印刷パターンとして必要な各フィンガー開口部素体の中央のみを貫通孔として残し、各フィンガー開口部素体の両端部半円部分と、その周囲のメッシュ開口部素体を塞ぐようにマスキング物質で埋めることを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷用メタルマスク。
【請求項４】
メッキにより薄厚の平板状に形成され、太陽電池のフィンガー電極を形成するためのスクリーン印刷用メタルマスクであって、
前記メタルマスクの中央部に形成され、前記フィンガー電極を形成するための導電性ペーストを吐出する多数のフィンガー開口部が形成された印刷用パターン領域と、
前記印刷用パターン領域の前記多数のフィンガー開口部の周囲を取り囲むように形成され、前記フィンガー開口部の開口寸法よりも小さい開口寸法からなる多数のメッシュ開口部と、
前記メタルマスクの前記印刷用パターン領域の外側に形成されたテンション緩衝領域と、
前記メタルマスクの前記テンション緩衝領域の外側周縁部に形成され、版枠にテンションが掛かるように張られる合成樹脂製メッシュ又は金属製メッシュが接合される接合部領域と、を備え、
前記多数のフィンガー開口部は、それぞれ横長の長方形状からなる各フィンガー開口部素体を長手方向と直交する方向に一列となるように規則正しく多数配置したものであり、
前記フィンガー開口部の周囲を取り囲むように形成される前記メッシュ開口部は、前記各フィンガー開口部素体の長手方向の開口寸法よりも小さく、各フィンガー開口部素体の短手方向の開口寸法と同等寸法以上となる正方形状又は長方形状のメッシュ開口部素体の集合体により形成されており、
前記テンション緩衝領域には、前記印刷用パターン領域に形成される多数のメッシュ開口部素体よりも小さい丸円形状のメッシュ開口部素体が多数形成されていることを特徴とするスクリーン印刷用メタルマスク。
【請求項５】
テンション緩衝領域に多数形成される丸円形状のメッシュ開口部素体は、メタルマスクの印刷用パターン領域の外側の３０〜５０ｍｍの範囲内に形成することを特徴とする請求項４記載のスクリーン印刷用メタルマスク。
【請求項６】
請求項４又は請求項５に記載されたスクリーン印刷用メタルマスクであって、
版枠と、前記版枠にテンションが掛かるように張られ、メタルマスクのテンション緩衝領域の外側周縁部に形成された接合部領域に接合される合成樹脂製メッシュ又は金属製メッシュとを備えたことを特徴とするスクリーン印刷用メタルマスク版。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、太陽電池のフィンガー電極を形成するためのスクリーン印刷用メタルマスクに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、太陽電池のフィンガー電極を形成するためのスクリーン印刷法で用いられているスクリーン製版は、互いに直交する経糸と横糸を編み込んだＳＵＳメッシュ材を、感光性の乳剤で被覆するとともに、この乳剤を露光により一部除去することによって略長方形のパターン孔を形成して形成される。しかし、ＳＵＳメッシュ材からなるメッシュマスクを用いたスクリーン印刷では、太陽電池のフィンガー電極の細線化に伴い、例えば約１００μｍ幅の細線電極の形成が困難であったため、近年ではメッシュ材の代わりにメタルマスクが用いられるようになってきた。このようなメタルマスクとしては、フィンガー電極を形成するための導電性ペーストを吐出するための１つ以上のフィンガー開口部を有する印刷用パターン領域を有し、印刷用パターン領域の外側に補助開口を有するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
また、他の先行技術として、金属メッシュクロスであって、２組の互いに垂直なメッシュ線からなるメッシュ領域が設けられ、メッシュ領域の中央領域にはパターン領域が設けられ、パターンは金属メッシュクロスが横方向又は縦方向にメッシュ線を欠損することで構成されるものが知られている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−１１２８３２号公報
【特許文献２】特表２０１５−５１９２２３号公報（図５−図８）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のフィンガー電極を形成するための導電性ペーストを吐出するための１つ以上のフィンガー開口部を有する印刷用パターン領域を有し、印刷用パターン領域の外側に補助開口を有するメタルマスクでは、補助開口が印刷用パターン領域の一部（上下部）に直線状、ドットパターン一列、ドットパターン三列、四角形状、台形状、直線状二列に形成されているだけであるので、メタルマスク中の伸縮の少ない部分（最も外側に位置するフィンガー開口付近のメタル部分）のみに局所的に伸縮性を与えるだけのものであった。また、従来のメッシュ領域の中央領域にはパターン領域が設けられ、パターンは金属メッシュクロスが横方向又は縦方向にメッシュ線を欠損することで構成される金属メッシュクロスでは、パターン及びパターン周囲の金属めっき部分の面積が少ないため、耐久性が低下するという課題があった。
【０００５】
この発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、太陽電池のフィンガー電極を形成するために適したスクリーン印刷用メタルマスクを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明に係るスクリーン印刷用メタルマスクにおいては、メッキにより薄厚の平板状に形成され、太陽電池のフィンガー電極を形成するためのものであって、メタルマスクの中央部に形成され、フィンガー電極を形成するための導電性ペーストを吐出する多数のフィンガー開口部が形成された印刷用パターン領域と、印刷用パターン領域の多数のフィンガー開口部の周囲を取り囲むように形成され、フィンガー開口部の開口寸法よりも小さい開口寸法からなる多数のメッシュ開口部と、を備え、多数のフィンガー開口部は、それぞれ横長の長方形状からなる各フィンガー開口部素体を長手方向と直交する方向に一列となるように規則正しく多数配置したものであり、フィンガー開口部の周囲を取り囲むように形成されるメッシュ開口部は、各フィンガー開口部素体の長手方向の開口寸法よりも小さく、各フィンガー開口部素体の短手方向の開口寸法と同等寸法以上となる正方形状又は長方形状のメッシュ開口部素体の集合体により形成されているものである。
【０００７】
また、印刷用パターン領域に形成されるフィンガー開口部の各フィンガー開口部素体は、横長の長方形の四隅を丸めた隅丸状を呈しており、印刷パターンとして必要な各フィンガー開口部素体の中央のみを貫通孔として残し、各フィンガー開口部素体の隅丸を含む両端部と、その周囲のメッシュ開口部素体を塞ぐようにマスキング物質で埋めるものである。
【０００８】
また、印刷用パターン領域に形成されるフィンガー開口部の各フィンガー開口部素体は、横長の楕円形状又はカプセル状からなり、印刷パターンとして必要な各フィンガー開口部素体の中央のみを貫通孔として残し、各フィンガー開口部素体の両端部半円部分と、その周囲のメッシュ開口部素体を塞ぐようにマスキング物質で埋めるものである。
【０００９】
また、メタルマスクの印刷用パターン領域の外側に形成されたテンション緩衝領域と、
メタルマスクのテンション緩衝領域の外側周縁部に形成され、版枠にテンションが掛かるように張られる合成樹脂製メッシュ又は金属製メッシュが接合される接合部領域と、を更に備え、テンション緩衝領域には、印刷用パターン領域に形成される多数のメッシュ開口部素体よりも小さい丸円形状のメッシュ開口部素体が多数形成されているものである。
【００１０】
また、テンション緩衝領域に多数形成される丸円形状のメッシュ開口部素体は、メタルマスクの印刷用パターン領域の外側の３０〜５０ｍｍの範囲内に形成するものである。
【００１１】
また、版枠と、前記版枠にテンションが掛かるように張られ、メタルマスクのテンション緩衝領域の外側周縁部に形成された接合部領域に接合される合成樹脂製メッシュ又は金属製メッシュとを更に備えたスクリーン印刷用メタルマスク版である。
【発明の効果】
【００１２】
この発明によれば、メッキにより薄厚の平板状に形成された太陽電池のフィンガー電極を形成するために好適なスクリーン印刷用メタルマスクを得ることができる。特に、メッキを使うことにより、フィンガー電極の細線化に適した高密度メッシュを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】版枠にコンビネーション張りされたスクリーン印刷用メタルマスクを示す全体の平面図である。
【図２】スクリーン印刷用メタルマスクの印刷用パターン領域を示す平面図である。
【図３】この発明の実施例１におけるスクリーン印刷用メタルマスクの印刷用パターン領域の一部を拡大して示す拡大平面図である。
【図４】この発明の実施例１におけるスクリーン印刷用メタルマスクの印刷用パターン領域の一部のうちフィンガー開口部とその周囲のメッシュ開口部を拡大して示す部分拡大平面図である。
【図５】この発明の実施例１におけるスクリーン印刷用メタルマスクの印刷用パターン領域の一部のうちフィンガー開口部とその周囲のメッシュ開口部を模式的に表した模式図である。
【図６】図５のスクリーン印刷用メタルマスクの印刷用パターン領域の一部のうち印刷パターンとして必要なフィンガー開口部のみを残しフィンガー開口部の両端部とその周囲のメッシュ開口部にマスキング物質を塗布充填した状態を示す模式図である。
【図７】この発明の実施例２におけるスクリーン印刷用メタルマスクの印刷用パターン領域の一部のうちフィンガー開口部とその周囲のメッシュ開口部を模式的に表した模式図である。
【図８】図７のスクリーン印刷用メタルマスクの印刷用パターン領域の一部のうち印刷パターンとして必要なフィンガー開口部のみを残しフィンガー開口部の両端部とその周囲のメッシュ開口部にマスキング物質を塗布充填した状態を示す模式図である。
【図９】この発明の実施例３におけるスクリーン印刷用メタルマスクの印刷用パターン領域の一部のうちフィンガー開口部とその周囲のメッシュ開口部を模式的に表した模式図である。
【図１０】図９のスクリーン印刷用メタルマスクの印刷用パターン領域の一部のうち印刷パターンとして必要なフィンガー開口部のみを残しフィンガー開口部の両端部とその周囲のメッシュ開口部にマスキング物質を塗布充填した状態を示す模式図である。
【図１１】この発明の実施例４におけるスクリーン印刷用メタルマスクの印刷用パターン領域の一部のうちフィンガー開口部とその周囲のメッシュ開口部を模式的に表した模式図である。
【図１２】図１１のスクリーン印刷用メタルマスクの印刷用パターン領域の一部のうち印刷パターンとして必要なフィンガー開口部のみを残しフィンガー開口部の両端部とその周囲のメッシュ開口部にマスキング物質を塗布充填した状態を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
実施例１．
図１は版枠にコンビネーション張りされたスクリーン印刷用メタルマスクを示す全体の平面図、図２はスクリーン印刷用メタルマスクの印刷用パターン領域を示す平面図である。
太陽電池のフィンガー電極を形成するためのスクリーン印刷用メタルマスクは、図１に示すように、ニッケルメッキにより薄厚の平板状に形成されたスクリーン印刷用メタルマスク１の外周に伸縮性のあるポリエステルのメッシュ２を接合し、スクリーン印刷用メタルマスク１に外側のテンションが掛かるようにポリエステル等の合成樹脂製メッシュ２の外周部を版枠３に接着固定したものである。したがって、メッキにより薄厚の平板状に形成されたスクリーン印刷用メタルマスク１は、ポリエステル等の合成樹脂製メッシュ２により常に大きなテンションが掛かる。そして、このメッキにより薄厚の平板状に形成されたスクリーン印刷用メタルマスク１の中央部には、メッキ形成時に印刷用パターン領域４が形成されており、この印刷用パターン領域４には、メッキ形成時にフィンガー電極を形成するための導電性ペーストを吐出する多数のフィンガー開口部５が、例えば左右方向に並列でかつ上下方向に３段となるように形成されている。このフィンガー開口部５の線幅は、約１００μｍ程度である。スクリーン印刷用メタルマスク１の周縁部は、ポリエステル等の合成樹脂製メッシュ２との接合部領域６である。また、印刷用パターン領域４の外側と接合部領域６の内側との間はテンション緩衝領域７である。
図３はこの発明の実施例１におけるスクリーン印刷用メタルマスクの印刷用パターン領域の一部を拡大して示す拡大平面図であり、この発明の印刷用パターン領域４は、フィンガー電極を形成するための導電性ペーストを吐出する多数のフィンガー開口部５だけではなく、フィンガー開口部５の周囲にもフィンガー開口部５の開口寸法（例えば、１００μｍ×４０μｍ、ギャップは１６μｍ）よりも小さい開口寸法（例えば、３９μｍ×３８μｍ、ギャップは２０μｍ）からなるメッシュ開口部８が多数形成されている。図４はこの発明の実施例１におけるスクリーン印刷用メタルマスクの印刷用パターン領域の一部のうちフィンガー開口部とその周囲のメッシュ開口部を拡大して示す部分拡大平面図であり、フィンガー電極を形成するための導電性ペーストを吐出する多数のフィンガー開口部５は、それぞれ横長の長方形状からなる各フィンガー開口部素体５１を長手方向と直交する方向に一列となるように規則正しく多数配置したものであり、各フィンガー開口部素体５１は長方形の四隅を丸めた隅丸状を呈している。また、多数のフィンガー開口部５の周囲を取り囲む部分には、各フィンガー開口部素体５１の長手方向の開口寸法よりも小さく、各フィンガー開口部素体５１の短手方向の開口寸法と同等寸法となる略正方形状の小開口からなるメッシュ開口部素体８１の集合体によりメッシュ開口部８が形成されている。
図５はこの発明の実施例１におけるスクリーン印刷用メタルマスクの印刷用パターン領域の一部のうちフィンガー開口部とその周囲のメッシュ開口部を模式的に表した模式図で、フィンガー開口部５は、それぞれ横長の長方形状からなる各フィンガー開口部素体５１を長手方向と直交する方向に一列となるように４段に省略して配置した例を示すものであり、各フィンガー開口部素体５１のうちの最上部上方及び最下部下方に配置されるメッシュ開口部素体８２の形状を判り易く表したものである。すなわち、このメッシュ開口部素体８２は、各フィンガー開口部素体５１の長手方向の開口寸法よりも小さいが、その周囲の略正方形状のメッシュ開口部素体８１の長手方向の開口寸法よりも若干大きい開口寸法となった長方形状である。そして、略正方形状のメッシュ開口部素体８１と長方形状のメッシュ開口部素体８２の集合体によりフィンガー開口部５の周囲を取り囲むメッシュ開口部８が形成されている。
図６は図５のスクリーン印刷用メタルマスクの印刷用パターン領域の一部のうち印刷パターンとして必要なフィンガー開口部のみを貫通孔として残し、フィンガー開口部の両端部とその周囲のメッシュ開口部にマスキング物質を塗布充填して塞いだ状態を示すものであり、印刷パターンとして必要な各フィンガー開口部素体５１の中央のみを貫通孔として残し、各フィンガー開口部素体５１の隅丸を含む両端部と、その周囲のメッシュ開口部素体８１、８２を塞ぐようにマスキング物質９を塗布充填したものである。なお、メッシュ開口部８、各メッシュ開口部素体８１、８２は、多数のフィンガー開口部５の周囲を取り囲む部分だけでなく、印刷用パターン領域４の外側とポリエステルのメッシュ２が接合される接合部領域６の内側との間に形成されるテンション緩衝領域７に形成しても良い。また必要があれば、ポリエステルのメッシュ２との接合部領域６に形成しても良い。この場合、各メッシュ開口部素体８１、８２の形状は、四角形状、長方形状だけに限らず、丸円形状であっても良い。
これにより、印刷に供されるフィンガー開口部５の中央のみが貫通孔として残るだけで、それ以外のフィンガー開口部５の両端部の隅丸部分を含み、フィンガー開口部５の周囲のメッシュ開口部８はマスキング物質９を塗布充填することで埋められて塞がれているので、印刷に供されることはない。
【００１５】
実施例２.
図７はこの発明の実施例２におけるスクリーン印刷用メタルマスクの印刷用パターン領域の一部のうちフィンガー開口部とその周囲のメッシュ開口部を模式的に表した模式図で、フィンガー開口部５は、それぞれ横長の楕円形状又はカプセル状からなる各フィンガー開口部素体５２を長手方向と直交する方向に一列となるように４段に省略して配置した例を示すものである。ここで、横長の楕円形状又はカプセル状からなる各フィンガー開口部素体５２は、丸円の集合体を左右方向に連続して多数重ねるようにすることで形成している。各フィンガー開口部素体５２のうちの最上部上方及び最下部下方に配置されるメッシュ開口部素体８２の形状を判り易く表したものである。すなわち、このメッシュ開口部素体８２は、各フィンガー開口部素体５２の長手方向の開口寸法よりも小さいが、その周囲の略正方形状のメッシュ開口素体８１の長手方向の開口寸法よりも若干大きい開口寸法となった長方形状である。そして、略正方形状のメッシュ開口部素体８１と長方形状のメッシュ開口部素体８２の集合体によりフィンガー開口部５の周囲を取り囲むメッシュ開口部８が形成されている。
図８は図７のスクリーン印刷用メタルマスクの印刷用パターン領域の一部のうち印刷パターンとして必要なフィンガー開口部のみを貫通孔として残し、フィンガー開口部の両端部とその周囲のメッシュ開口部にマスキング物質を塗布充填して塞いだ状態を示すものであり、印刷パターンとして必要な楕円形状又はカプセル状の各フィンガー開口部素体５２の中央のみを貫通孔として残し、楕円形状又はカプセル状の各フィンガー開口部素体５２の両端部半円部分とその周囲のメッシュ開口部素体８１、８２を塞ぐようにマスキング物質９を塗布充填したものである。なお、メッシュ開口部８、各メッシュ開口部素体８１、８２は、多数のフィンガー開口部５の周囲を取り囲む部分だけでなく、印刷用パターン領域４の外側とポリエステルのメッシュ２が接合される接合部領域６の内側との間に形成されるテンション緩衝領域７に形成しても良い。また必要があれば、ポリエステルのメッシュ２との接合部領域６に形成しても良い。この場合、各メッシュ開口部素体８１、８２の形状は、四角形状、長方形状だけに限らず、丸円形状であっても良い。
これにより、印刷に供されるフィンガー開口部５の中央のみが貫通孔として残るだけで、それ以外のフィンガー開口部５の両端部半円部分を含み、フィンガー開口部５の周囲のメッシュ開口部８はマスキング物質９を塗布充填することで埋められて塞がれているので、印刷に供されることはない。
【００１６】
実施例３.
図９はこの発明の実施例３におけるスクリーン印刷用メタルマスクの印刷用パターン領域の一部のうちフィンガー開口部とその周囲のメッシュ開口部を模式的に表した模式図で、フィンガー開口部５は、それぞれ横長に長い楕円形状又はカプセル状からなる各フィンガー開口部素体５３を長手方向と直交する方向に一列となるように４段に省略して配置した例を示すものである。ここで、横長に長い楕円形状又はカプセル状からなる各フィンガー開口部素体５３は、図７に示す楕円形状又はカプセル状より更に横長となるように、丸円の集合体を左右方向に連続して更に多数重ねるようにすることで形成している。各フィンガー開口部素体５３のうちの最上部上方の中央部及び最下部下方の中央部に配置されるそれぞれ２個のメッシュ開口部素体８２の形状を判り易く表したものである。すなわち、このメッシュ開口部素体８２は、各フィンガー開口部素体５３の長手方向の開口寸法よりもかなり小さいが、その周囲の略正方形状のメッシュ開口部素体８１の長手方向の開口寸法よりも若干大きい開口寸法となった長方形状である。また、各フィンガー開口部素体５３のうちの最上部上方の両端部及び最下部下方の両端部には、略正方形状のメッシュ開口部素体８１が配置される。そして、略正方形状のメッシュ開口部素体８１と長方形状のメッシュ開口部素体８２の集合体によりフィンガー開口部５の周囲を取り囲むメッシュ開口部８が形成されている。
図１０は図９のスクリーン印刷用メタルマスクの印刷用パターン領域の一部のうち印刷パターンとして必要なフィンガー開口部のみを貫通孔として残し、フィンガー開口部の両端部とその周囲のメッシュ開口部にマスキング物質を塗布充填して塞いだ状態を示すものであり、印刷パターンとして必要な楕円形状又はカプセル状の各フィンガー開口部素体５３の中央のみを貫通孔として残し、楕円形状又はカプセル状の各フィンガー開口部素体５３の両端部半円部分とその周囲のメッシュ開口部素体８１、８２を塞ぐようにマスキング物質９を塗布充填したものである。なお、メッシュ開口部８、各メッシュ開口部素体８１、８２は、多数のフィンガー開口部５の周囲を取り囲む部分だけでなく、印刷用パターン領域４の外側とポリエステルのメッシュ２が接合される接合部領域６の内側との間に形成されるテンション緩衝領域７に形成しても良い。また必要があれば、ポリエステルのメッシュ２との接合部領域６に形成しても良い。この場合、各メッシュ開口部素体８１、８２の形状は、四角形状、長方形状だけに限らず、丸円形状であっても良い。
これにより、印刷に供されるフィンガー開口部５の中央のみが貫通孔として残るだけで、それ以外のフィンガー開口部５の両端部半円部分を含み、フィンガー開口部５の周囲のメッシュ開口部８はマスキング物質９を塗布充填することで埋められて塞がれているので、印刷に供されることはない。
【００１７】
実施例４.
図１１はこの発明の実施例４におけるスクリーン印刷用メタルマスクの印刷用パターン領域の一部のうちフィンガー開口部とその周囲のメッシュ開口部を模式的に表した模式図で、フィンガー開口部５は、それぞれ横長に長い楕円形状又はカプセル状からなる各フィンガー開口部素体５４を長手方向と直交する方向に一列となるように４段に省略して配置した例を示すものである。ここで、横長に長い楕円形状又はカプセル状からなる各フィンガー開口部素体５４は、図７に示す楕円形状又はカプセル状より更に横長となるように、丸円の集合体を左右方向に連続して更に多数重ねるようにすることで形成している。各フィンガー開口部素体５４のうちの最上部上方及び最下部下方に配置されるそれぞれ２個のメッシュ開口部素体８３の形状を判り易く表すとともに、メタルマスク１の印刷用パターン領域４の外側約３０〜５０ｍｍの範囲に位置するテンション緩衝領域７に丸形開口からなる多数のメッシュ開口部素体８４を形成したものである。すなわち、このメッシュ開口部素体８３は、各フィンガー開口部素体５４の長手方向の開口寸法の半分の大きさで、その周囲の略正方形状のメッシュ開口素体８１の長手方向の開口寸法の倍の大きさとなった長方形状である。また、テンション緩衝領域７に形成される丸円形状からなる多数のメッシュ開口部素体８４は、略正方形状のメッシュ開口部素体８１に比較して開口面積が小さいので、その分メッキ面積を増大することができ、金属メッシュの破損や伸びを防ぐことができ、耐久性がアップする。また、メッシュ開口部素体８４は、丸味があるので、正方形状のメッシュ開口部素体８１に比べて、レジスト等からなるマスキング物質９を剥離し易いという利点がある。
図１２は図１１のスクリーン印刷用メタルマスクの印刷用パターン領域の一部のうち印刷パターンとして必要なフィンガー開口部のみを貫通孔として残し、フィンガー開口部の両端部とその周囲のメッシュ開口部にマスキング物質を塗布充填して塞いだ状態を示すものであり、印刷パターンとして必要な楕円形状又はカプセル状の各フィンガー開口部素体５４の中央のみを貫通孔として残し、楕円形状又はカプセル状の各フィンガー開口部素体５４の両端部半円部分とその周囲のメッシュ開口部素体８１、８３、８４を塞ぐようにマスキング物質９を塗布充填したものである。なお、各メッシュ開口部素体８４は、印刷用パターン領域４の外側とポリエステルのメッシュ２が接合される接合部領域６の内側との間に形成されるテンション緩衝領域７の全体に形成しても良い。また必要があれば、ポリエステルのメッシュ２との接合部領域６に形成しても良い。
これにより、印刷に供されるフィンガー開口部５の中央のみが貫通孔として残るだけで、それ以外のフィンガー開口部５の両端部半円部分を含み、フィンガー開口部５の周囲のメッシュ開口部８はマスキング物質９を塗布充填することで埋められて塞がれているので、印刷に供されることはない。
【符号の説明】
【００１８】
１  スクリーン印刷用メタルマスク
２  ポリエステルのメッシュ
３  版枠
４  印刷用パターン領域
５  フィンガー開口部
６  接合部領域
７  テンション緩衝領域
８  メッシュ開口部
９  マスキング物質
５１〜５４  フィンガー開口部素体
８１〜８４  メッシュ開口部素体
【図１】
2017140766.tif 000003
【図２】
2017140766.tif 000004
【図３】
2017140766.tif 000005
【図４】
2017140766.tif 000006
【図５】
2017140766.tif 000007
【図６】
2017140766.tif 000008
【図７】
2017140766.tif 000009
【図８】
2017140766.tif 000010
【図９】
2017140766.tif 000011
【図１０】
2017140766.tif 000012
【図１１】
2017140766.tif 000013
【図１２】
2017140766.tif 000014