(57)【要約】【課題】撮像画像に小孔等が映り込むことを極力回避して、ガラス基板上の成膜状態を高い精度で測定する。【解決手段】ガラス基板の検査装置は、ガラス基板からの反射光を受光して撮像する撮像機構と、ガラス基板に対しエア吐出による浮上力とエア吸引による吸引力とを同時に印加することでガラス基板を非接触に支持可能であって、ガラス基板の搬送方向に対して撮像機構の撮像領域の前後でかつ撮像領域を避けた位置に設けられた非接触支持機構と、ガラス基板の搬送方向に対して非接触支持機構の前後に設けられガラス基板に接触した状態でガラス基板を搬送方向へ搬送させる搬送機構と、を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板からの反射光を受光して撮像する撮像機構と、
前記ガラス基板に対しエア吐出による浮上力とエア吸引による吸引力とを同時に印加することで前記ガラス基板を非接触に支持可能であって、前記ガラス基板の搬送方向に対して前記撮像機構の撮像領域の前後でかつ前記撮像領域を避けた位置に設けられた非接触支持機構と、
前記ガラス基板の搬送方向に対して前記非接触支持機構の前後に設けられ前記ガラス基板に接触した状態で前記ガラス基板を前記搬送方向へ搬送させる搬送機構と、を備えている、
ガラス基板の検査装置。
【請求項２】
前記搬送機構は、ローラコンベアを含んで構成されている、
請求項１に記載のガラス基板の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、ガラス基板上の成膜状態を検査するガラス基板の検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば液晶パネルを構成するガラス基板等において、そのガラス基板上の成膜状態を検査するための装置がある。この種の装置においては、例えばカメラ等によってガラス基板を撮像し、その撮像画像に基づいてガラス基板上の成膜状態を検査する。そのため、検査時においてガラス基板に撓みが生じていると、その撓みが撮像画像に影響を及ぼし、その結果、検査精度の低下を招くことになる。したがって、この種の検査装置では、検査精度を上げるために、ガラス基板の撓みを如何に抑制することができるかが課題となっている。
【０００３】
例えば引用文献１の図９に示す発明において、検査システム（８０）は、搬送装置（１２）において検査装置（８２）の下方の領域に設けられた気体吐出吸引機構（２６）を備えている。気体吐出吸引機構（２６）は、ガラス基板に対し空気の吐出及び吸引を行うことができるため、検査領域においてガラス基板の撓みを抑制することができ、その結果、ガラス基板の平面度を上げた状態で検査することができる。
【０００４】
しかしながら、上述した従来構成では、撮像画像に気体吐出吸引機構（２６）の形成された空気を通すための複数の小孔（２６ａ）が映り込んでしまい、検査結果に悪影響を及ぼす。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−２１４１０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、撮像画像に小孔等が映り込むことを極力回避して、ガラス基板上の成膜状態を高い精度で測定することができるガラス基板の検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
実施形態のガラス基板の検査装置は、ガラス基板からの反射光を受光して撮像する撮像機構と、前記ガラス基板に対しエア吐出による浮上力とエア吸引による吸引力とを同時に印加することで前記ガラス基板を非接触に支持可能であって、前記ガラス基板の搬送方向に対して前記撮像機構の撮像領域の前後でかつ前記撮像領域を避けた位置に設けられた非接触支持機構と、前記ガラス基板の搬送方向に対して前記非接触支持機構の前後に設けられ前記ガラス基板に接触した状態で前記ガラス基板を前記搬送方向へ搬送させる搬送機構と、を備えている。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】一実施形態に係るガラス基板の検査装置の構成例を概念的に示す平面図
【図２】一実施形態に係るガラス基板の検査装置の構成例を概念的に示すブロック図
【図３】一実施形態に係るガラス基板の検査装置の構成例を概念的に示す図
【図４】一実施形態に係るガラス基板の検査装置について非接触支持機構の動作原理を示す図
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の一実施形態について図面を参照しながら説明する。
図１に示すガラス基板の検査装置１０（以下、単に検査装置１０と称する）は、ガラス基板９０の表面を測定し、ガラス基板９０の表面の成膜状態、例えば成膜ムラ等を検査するための装置である。なお、本実施形態において、ガラス基板９０は、図１の右側へ向かって搬送される。したがって、本実施形態では、図１の右側が検査装置１０の前側となり、図１の左側が検査装置１０の後側となる。
【００１０】
検査装置１０は、図１及び図２に示すように、制御装置１１、撮像機構１２、非接触支持機構１３、及び搬送機構１４を備えている。制御装置１１は、検査装置１０全体の制御を司る。制御装置１１は、例えば図示しないＣＰＵや、ＲＯＭ、ＲＡＭ、及び書き換え可能なフラッシュメモリ等の記憶領域を有するマイクロコンピュータを主体に構成されている。制御装置１１は、撮像機構１２及び搬送機構１４と電気的に接続されている。また、制御装置１１の記憶領域は、撮像機構１２で撮像した画像を処理してガラス基板９０上の成膜状態を測定検査するためのプログラムを記憶している。
【００１１】
撮像機構１２は、ガラス基板９０からの反射光を受光することで、ガラス基板９０の表面を光学的に撮像するものである。撮像機構１２は、図３にも示すように、照明部１２１及び撮像部１２２を含んで構成されている。照明部１２１及び撮像部１２２は、図１に示すように、ガラス基板９０の搬送方向に対して直交する方向を長手とした長尺状に構成されており、相互に平行するように配置されている。また、照明部１２１及び撮像部１２２は、図３に示すように、ガラス基板９０の上方に設けられている。
【００１２】
照明部１２１は、図３に示すように、ガラス基板９０へ向かって斜め方向に平行光を照射する。撮像部１２２は、例えばＣＣＤ又はＣＭＯＳの受像素子を有するラインセンサで構成されている。詳細は図示しないが、撮像部１２２の受像素子は、ガラス基板９０の搬送方向に対して直交方向に配置されている。撮像部１２２は、照明部１２１から照射されてガラス基板９０で反射された光を受光する。これにより、撮像機構１２は、ガラス基板９０の搬送方向に対して水平方向に直交した一次元的な画像を撮像する。そして、制御装置１１は、記憶領域に記憶されているプログラムを実行することで、撮像機構１２で撮像された画像に基づいてガラス基板９０の成膜状態を測定検査する。
【００１３】
すなわち、本実施形態において、撮像機構１２及び制御装置１１は、ガラス基板９０の成膜状態を光学的に検査する検査機構として機能する。また、本実施形態の場合、撮像部１２２の撮像領域Ｌ１が、検査装置１０によるガラス基板９０の検査領域Ｌ１となる。この場合、図１、図３、及び図４に示す一点鎖線Ｏは、ガラス基板９０に対する検査領域Ｌ１の中心位置つまり撮像部１２２の撮像領域Ｌ１の中心位置を示している。
【００１４】
図１及び図３に示すように、非接触支持機構１３は、撮像機構１２の撮像領域Ｌ１に対して搬送方向の前後であってかつ撮像領域Ｌ１を避けた位置に設けられている。非接触支持機構１３は、ガラス基板９０の下方に設けられており、ガラス基板９０の下面に対しエア吐出による浮上力とエア吸引による吸引力とを同時に印加することでガラス基板９０を非接触で支持することができる。なお、本実施形態において、「エア」とは、主に空気を示すものであるが、空気のみに限られず、例えば窒素や酸素、二酸化炭素等の気体であっても良い。
【００１５】
具体的には、非接触支持機構１３は、図１及び図３に示すように、複数個のエアベアリング１３１を含んで構成されている。各エアベアリング１３１は、ガラス基板９０の搬送方向に対して直交する方向を長手とした長尺状に構成されており、ガラス基板９０の搬送方向へ沿って配置されている。この場合、ガラス基板９０の搬送方向に隣接しかつ撮像領域Ｌ１の中心位置Ｏを挟んで配置された２つのエアベアリング１３１間には、所定距離Ｌ２の隙間が形成されている。すなわち、この２つのエアベアリング１３１は、相互に所定距離Ｌ２離間して配置されている。
【００１６】
換言すれば、図３に示すように、一点鎖線Ｏを中心とした搬送方向の前後における所定距離Ｌ２の範囲内、つまりガラス基板９０に対して撮像領域Ｌ１の直下には、エアベアリング１３１は設けられていない。例えば撮像領域Ｌ１の前後方向の幅を５０μｍとすると、所定距離Ｌ２は２〜５ｍｍ程度となる。この場合、エアベアリング１３１は、撮像領域Ｌ１の中心位置Ｏに対してその前後２〜５ｍｍ程度の範囲内には設けられていない。
【００１７】
各エアベアリング１３１は、詳細は図示しないが、複数のエア吐出用の小孔と、複数のエア吸引用の小孔と、を有している。そして、非接触支持機構１３の図示しないエア吐出用の小孔は、図２に示すように、バルブ１５１を介して吐出ポンプ１５２に接続されている。また、非接触支持機構１３の図示しないエア吸引用の小孔は、バルブ１６１を介して吸引ポンプ１６２に接続されている。なお、バルブ１５１、１６１は、手動で開閉可能な手動バルブであっても良いし、制御装置１１からの指示により電子制御可能な電磁バルブであっても良い。また、非接触支持機構１３のエア吐出用の小孔は、吐出ポンプ１５２に換えて、圧縮空気や窒素又は二酸化炭素が充填されたボンベに接続されていても良い。
【００１８】
この構成において、バルブ１５１、１６１が開かれると、図示しないエア吐出用の小孔から空気が吐出されると共に、図示しないエア吸引用の小孔から空気が吸引される。すると、エアベアリング１３１は、エアベアリング１３１の上方に配置されたガラス基板９０の下面に対し、図４の白抜き矢印で示すエア吐出による浮上力と、黒色矢印で示すエア吸引による吸着力とを、同時に印加する。これにより、エアベアリング１３１は、ガラス基板９０を、エアベアリング１３１の上面から距離Ｈ浮上させた非接触状態で支持することができる。なお、バルブ１５１、１６１の開閉量を調節することで、図４に示すガラス基板９０の浮上高さＨを調整することができる。
【００１９】
また、エアベアリング１３１は、詳細は図示しないが、少なくとも搬送方向において浮上力と吸着力とが交互に作用するように、エア吐出用の小孔とエア吸引用の小孔とが配置されている。これにより、ガラス基板９０が撓み易い搬送方向において、ガラス基板９０に対して浮上力と吸引力つまり相互に逆方向となる力を極力小さな間隔で作用させることができる。その結果、ガラス基板９０の撓みを極力抑え、ガラス基板９０の平面度を高く維持することができる。
【００２０】
搬送機構１４は、図１に示すように、ガラス基板９０の搬送方向に対して非接触支持機構１３の前後に設けられている。そして、搬送機構１４は、図３に示すように、ガラス基板９０の下面に接触した状態でガラス基板９０を搬送方向前側へ搬送させる。具体的には、搬送機構１４は、図１及び図３に示すように、複数のローラコンベア１４１、複数のガイド板１４２、及び複数のガイドローラ１４３を含んで構成されている。
【００２１】
ローラコンベア１４１は、ガラス基板９０の搬送方向に直交する方向を長手とした長尺の円柱状に構成されている。ローラコンベア１４１は、地面に対して水平方向つまりガラス基板９０の搬送方向に対して直角方向でかつ水平方向の回転軸を有している。各ローラコンベア１４１は、ガラス基板９０の搬送方向へ沿って等間隔で離間した状態で配置されている。各ローラコンベア１４１は、図示しないモータに機械的に接続されており、そのモータの作用によって図３のＲ方向へ回転可能となっている。ガイド板１４２は、搬送方向へ向かって長い長尺の板状に構成されている。ガイロドーラ１４３は、ガイド板１４２の下側に設けられており、地面に対して垂直つまりガラス基板９０の搬送方向に対して直角方向でかつ垂直方向の回転軸を有している。この場合、図３に示すように、ローラコンベア１４１の上端面は、エアベアリング１３１の上端面よりもやや下方に位置している。
【００２２】
この構成において、ガラス基板９０は、ローラコンベア１４１の上端面に載置される。そして、ローラコンベア１４１の上端面がガラス基板９０の下面に接触した状態で、図示しないモータの動作によってローラコンベア１４１が図３のＲ方向へ回転すると、ローラコンベア１４１は、ガラス基板９０を搬送方向の前方へ送り出す。これにより、ガラス基板９０が前方へ搬送される。
【００２３】
この場合、ガラス基板９０は、図１に示すように、搬送方向に対して直角方向に対向するガイド板１４２間に配置される。これにより、ガラス基板９０は、ガイド板１４２及びガイドローラ１４３によって、搬送方向へ円滑に案内される。なお、搬送方向に対して直角方向に対向するガイド板１４２及びガイドローラ１４３間の距離は、手動又は電動によって、ガラス基板９０の外形寸法に合わせて適宜調整される。そして、撮像機構１２は、撮像機構１２の下方つまり検査領域を通過するガラス基板９０を撮像し、制御装置１１は、撮像機構１２で撮像した画像に基づいて成膜状態の検査を行う。
【００２４】
以上説明した実施形態によれば、検査装置１０は、非接触支持機構１３を備えている。非接触支持機構１３は、ガラス基板９０に対しエア吐出による浮上力とエア吸引による吸引力とを同時に印加することでガラス基板９０を非接触で支持することができる。これによれば、非接触支持機構１３が、浮上力と吸引力との相反する逆方向の力によってガラス基板９０を非接触で支持することで、撮像領域Ｌ１を含む非接触支持機構１３の支持領域においてガラス基板９０の撓みを極力抑えて平坦にすることができる。これにより、撮像領域Ｌ１におけるガラス基板９０の平面度を高く維持することができる。
【００２５】
更に、非接触支持機構１３は、ガラス基板９０の搬送方向に対して撮像領域Ｌ１の前後でかつ撮像領域Ｌ１を避けた位置に設けられている。これによれば、ガラス基板９０に対して撮像領域Ｌ１の直下には、非接触支持機構１３を構成するエアベアリング１３１は設けられていない。したがって、撮像機構１２で撮像した画像にエアベアリング１３１の小孔が映り込むことを回避することができる。これにより、撮像領域Ｌ１においてガラス基板９０の平面度を高く維持するとともに撮像画像にエアベアリング１３１の小孔が映り込むことを回避でき、その結果、ガラス基板９０の成膜状態を高い精度で測定検査することができる。
【００２６】
ここで、検査対象となるガラス基板の搬送方法として、例えば搬送方向へ移動可能なスライダと、そのスダイダに接続された保持部材と、を備える方法が考えられる。この場合、保持部材は、ガラス基板の搬送方向に直交する方向の端部を保持する。そして、ガラス基板は、スライダの移動とともに、搬送方向へ移動される。しかしながら、上述した方法では、ガラス基板のうち保持部材が保持している部分は、保持部材によって隠れしまう。したがって、ガラス基板のうち保持部材が保持している部分を検査することができない。そのため、ガラス基板の前面に亘って品質を保証することができない。
【００２７】
そこで、本実施形態において、搬送機構１４は、ローラコンベア１４１を含んで構成されている。ガラス基板９０は、ローラコンベア１４１の上面に載置される。そして、ローラコンベア１４１は、図示しないモータによって回転されることでガラス基板９０を搬送する。これによれば、搬送機構１４は、ガラス基板９０を保持するための保持部材を設ける必要がない。したがって、ガラス基板９０の端部が隠れることを回避し、ガラス基板９０の端部を含む全面を検査することができ、その結果、ガラス基板９０の全面に亘って品質を保証することができる。
【００２８】
また、上述した様なスライダと保持部材とを備える搬送方法においては、保持部材の配置によって、検査対象となるガラス基板のサイズが定まることになり、特に搬送方向における長さ寸法については、スライダの移動量によって制限されてしまう。一方、本実施形態によれば、搬送機構１４は、ローラコンベア１４１を含んで構成されている。すなわち、複数のローラコンベア１４１がその場で回転することでガラス基板９０が搬送されるため、ローラコンベア１４１そのものが搬送方向へ移動することがない。そのため、搬送機構１４との関係においてはガラス基板９０の搬送方向における長さ寸法に上限が無く、したがって、ガラス基板９０の搬送方向の長さ寸法について柔軟に対応することができる。
【００２９】
なお、本発明の実施形態は、上記し且つ図面に記載した各実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更することができる。
【符号の説明】
【００３０】
図面中、１０は検査装置、１２は撮像機構、１３は非接触支持機構、１４は搬送機構、１４１はローラコンベアを示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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