(57)【要約】【課題】本件発明の課題は、遠赤外線波長域で用いられる光学部品に設ける赤外線透過膜であって、成膜が容易であり、且つ、高い耐水性を有する新規な赤外線透過膜、当該赤外線透過膜を備えた光学膜、反射防止膜、光学部品及び光学系を提供することにある。【解決手段】上記課題を解決するため、酸化亜鉛を主成分とし、８μｍ以上１４μｍ以下の波長域全域における消衰係数が０．４以下の金属酸化物が添加物として含まれることを特徴とする赤外線透過膜とする。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸化亜鉛を主成分とし、８μｍ以上１４μｍ以下の波長域全域における消衰係数が０．４以下の金属酸化物が添加物として含まれることを特徴とする赤外線透過膜。
【請求項２】
前記金属酸化物の８μｍ以上１４μｍ以下の波長域内の光線に対する屈折率が０．８以上２．５以下である請求項１に記載の赤外線透過膜。
【請求項３】
当該赤外線透過膜は、前記酸化亜鉛の結晶粒界に前記金属酸化物が偏析したものである請求項１又は請求項２に記載の赤外線透過膜。
【請求項４】
前記金属酸化物は、酸化ビスマス、酸化イットリウム、酸化銅及び酸化マグネシウムから成る群から選択される一種以上である請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の赤外線透過膜。
【請求項５】
当該赤外線透過膜における前記金属酸化物の含有量が０．１質量％以上５０質量％未満である請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の赤外線透過膜。
【請求項６】
当該赤外線透過膜における前記金属酸化物の含有量が０．１質量％以上５質量％以下である請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の赤外線透過膜。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の赤外線透過膜を備えることを特徴とする光学膜。
【請求項８】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の赤外線透過膜を備えることを特徴とする反射防止膜。
【請求項９】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の赤外線透過膜を光学面に備えたことを特徴とする光学部品。
【請求項１０】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の赤外線透過膜を光学面に備えたことを特徴とする光学系。
【請求項１１】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の赤外線透過膜が設けられた光学面を含む光学系を備えることを特徴とする撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本件発明は、赤外線透過膜、光学膜、反射防止膜、光学部品、光学系及び撮像装置に関し、特に遠赤外線を利用する光学系に好適な赤外線透過膜、光学膜、反射防止膜、光学部品、光学系及び撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、監視用撮像装置、車載用撮像装置、或いは熱分布解析等の種々の用途で赤外線を使用する光学系が用いられている。これらの光学系として、中赤外波長域（２．５μｍ〜４μｍ）の光線を使用する中赤外光学系と、遠赤外波長域（８μｍ〜１４μｍ）の光線を使用する遠赤外線光学系とが一般に知られている。例えば、監視用撮像装置、車載用撮像装置などでは主に遠赤外線光学系が用いられている。これらの光学系を構成する赤外線透過レンズ等の光学部品は、可視光光学系を構成する光学部品と比較すると、入射光の透過率が低い。そのため、光学部品の入射面に反射防止膜を設け、入射光の透過光量を増加させ、表面反射による光量不足を防止することが特に重要になる。
【０００３】
例えば、遠赤外線光学系に用いられる光学部品の反射防止膜として、例えば、特許文献１には、Ｓｉ基板上に、基板側から順にＧｅ膜、ＺｎＳ膜、Ｇｅ膜、ＺｎＳ膜、ＹＦ３膜を積層した５層構造の反射防止膜が開示されている。また、特許文献２には、カルコゲナイドガラス基板上に、ＢｉＯ２膜、ＹＦ３膜を基板側から順に積層した２層構造の反射防止膜が開示されている。これらの特許文献に開示されるように、反射防止膜を複数の赤外線透過膜を積層した多層構造とすることにより、広い波長域の光線に対して、波長域全域で低い反射率を達成することが容易になる。現在、遠赤外波長域で使用する反射防止膜の層構成材料として、特許文献１及び特許文献２に開示の材料を含む以下の材料が知られている。
【０００４】
高屈折率材料  ：Ｇｅ、Ｓｉ
低屈折率材料  ：ＹＦ３、ＹｂＦ３、ＮａＦ、ＮｄＦ３、ＬａＦ３、ＣａＦ２、ＳｒＦ２
中間屈折率材料：ＺｎＳ、ＺｎＳｅ、ＰｂＴｅ、Ｙ２Ｏ３、ＣｅＯ２、ＨｆＯ２
【０００５】
ところで、光学部品の表面に反射防止膜を設ける際には、電子線加熱や抵抗加熱により原料を加熱蒸着させる真空蒸着法が一般に採用されている。しかしながら、今後の赤外線光学系の需要の拡大を考慮すると、大量生産に適した生産効率のよい方法により反射防止膜を成膜することが求められる。
【０００６】
例えば、真空蒸着法よりも生産効率のよい成膜法としてマグネトロンスパッタリング法が挙げられる。しかしながら、上記低屈折率材料、すなわちフッ化物を原料として用いた場合、スパッタリング工程においてターゲット材料中のフッ素元素が損失する。そのため、化学量論的な組成の膜を得ることが困難であり、使用波長域の光線に対して透明な赤外線透過膜を得ることができない。上記中間屈折材料であるＺｎＳ、ＺｎＳｅ、ＰｂＴｅについても同様であり、これらの材料を用いてマグネトロンスパッタリング法により化学量論的な組成の膜を得ることは困難である。
【０００７】
一方、上記高屈折率材料であるＧｅ、Ｓｉは、マグネトロンスパッタリング法により成膜することができる。上述したように広い波長域の光線に対して波長域全域で低い反射率を達成するには、多層構造の光学膜とすることが求められる。
【０００８】
ここで、Ｇｅ又はＳｉに対して、フッ化物は屈折率が低すぎるため、Ｇｅ膜又はＳｉ膜に対してフッ化物膜を積層しても、良好な反射防止性能を得ることはできない。また、上述したとおり、マグネトロンスパッタリング法により所望の組成のフッ化物膜を成膜することは困難である。
【０００９】
そこで、Ｇｅ膜又はＳｉ膜と、中間屈折率材料からなる膜とを交互に積層させる構成とすることが考えられる。しかしながら、上述のとおり、ＺｎＳ、ＺｎＳｅ、ＰｂＴｅはマグネトロンスパッタリング法により成膜することは困難であり、且つ、これらの材料は毒性を有するため、その取り扱いが困難である。一方、Ｙ２Ｏ３、ＣｅＯ２、ＨｆＯ２については、マグネトロンスパッタリング法により成膜することはでき、且つ、毒性もないものの遠赤外領域（８μｍ〜１４μｍ）の光線に対して半透明であり、遠赤外線に対して透明な膜を得ることができない。
【００１０】
さらに、監視用撮像装置、或いは車載用撮像装置等は屋外に設置されて使用されることが多い。光学膜はこれらの光学部品の表面に設けられるため、成膜面に対する密着性と共に、高い耐水性を有する必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００７−２９８６６１号公報
【特許文献２】特開２０１１−２２１０４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
以上のことから、本件発明の課題は、成膜が容易であり、且つ、高い耐水性を有する新規な赤外線透過膜、光学膜、反射防止膜、光学部品、光学系及び撮像装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本件発明の課題を解決するために、本件発明に係る赤外線透過膜は、酸化亜鉛を主成分とし、８μｍ以上１４μｍ以下の波長域全域において消衰係数が０．４以下の金属酸化物が添加物として含まれることを特徴とする。
【００１４】
また、本件発明に係る光学膜、反射防止膜、光学部品、光学系はそれぞれ上記本件発明に係る赤外線透過膜を備えたことを特徴とする。
【００１５】
さらに、本件発明に係る撮像装置は、上記本件発明に係る赤外線透過膜が設けられた光学面を含む光学系を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本件発明によれば、遠赤外線波長域で用いられる光学部品に設ける赤外線透過膜であって、成膜が容易であり、且つ、高い耐水性を有する新規な赤外線透過膜、光学膜、反射防止膜、光学部品、光学系及び撮像装置を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本件発明に係る赤外線透過膜、光学膜、反射防止膜、光学部品、光学系及び撮像装置の実施の形態について説明する。
【００１８】
１．赤外線透過膜
まず、本件発明に係る赤外線透過膜の実施の形態を説明する。本件発明に係る赤外線透過膜は、酸化亜鉛を主成分とし、８μｍ以上１４μｍ以下の波長域全域において消衰係数が０．４以下の金属酸化物が添加物として含まれることを特徴とする。なお、当該赤外線透過膜は、赤外線を透過する光学薄膜を意味するものとする。
【００１９】
１−１．酸化亜鉛
酸化亜鉛は、８μｍ以上１４μｍ以下の波長域全域、すなわち遠赤外波長域全域における消衰係数が０．０５未満であり、遠赤外線（８μｍ以上１４μｍ以下の波長の光線）に対する透明度が高い材料である。
【００２０】
また、酸化亜鉛の遠赤外線に対する屈折率は、１．５以上２．５以下の範囲にあり、酸化亜鉛は遠赤外波長域における中屈折率材料である。従って、当該赤外透過膜は、反射防止膜の構成材料としても好適である。例えば、当該赤外透過膜と、遠赤外波長域において高い屈折率を有するＧｅ膜又はＳｉ膜等を交互に積層すること等により、遠赤外波長域全域において良好な反射防止性能を有する反射防止膜を得ることができる。
【００２１】
ところで、酸化亜鉛は結晶化しやすい材料である。真空蒸着法、スパッタリング法等の物理蒸着法により成膜した酸化亜鉛膜は多結晶構造を有する。そのため、結晶粒界には水等が含浸しやすく、酸化亜鉛膜は耐水性が低く、実用上必要な耐久性を満足することが困難である。そこで、本件発明者らは、酸化亜鉛を主成分とすると共に、所定の金属酸化物を添加物として含む膜とすることにより、耐水性を改善することができることを見出した。本件発明によれば、高い耐水性を実現することができる。以下、本件発明において添加物として用いられる所定の金属酸化物について説明する。
【００２２】
１−２．金属酸化物
（１）消衰係数
当該金属酸化物は、遠赤外波長域全域における消衰係数が０．４以下であることが求められる。遠赤外波長域における消衰係数が０．４を超えると、遠赤外線に対する透明度が低下する。すなわち、当該赤外線透過膜における遠赤外線の透過率が低下するため、当該赤外線透過膜を光学膜として用いることが困難になる。
【００２３】
遠赤外波長域全域における消衰係数が０．４以下の金属酸化物として、例えば、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）、酸化クロム（Ｃｒ２Ｏ３）、酸化ハフニウム（ＨｆＯ２）、酸化ビスマス（Ｂｉ２Ｏ３）、酸化イットリウム（Ｙ２Ｏ３）、酸化銅（ＣｕＯ）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）等を挙げることができる。これらの金属酸化物を添加物として用いることにより、酸化亜鉛膜の遠赤外線に対する透過率を維持しつつ、酸化亜鉛膜の耐水性を改善することができる。
【００２４】
ここで、使用波長域における当該赤外線透過膜の透明度をより高くするという観点から、添加物として用いる金属酸化物の消衰係数は、使用波長域全域において０．４未満であることが好ましく、０．２未満であることがより好ましく、０．１未満であることがさらに好ましい。当該赤外線透過膜の使用波長域に応じて、上記列挙した金属酸化物等の中から、適宜、適切な金属酸化物を選択することができる。なお、上記列挙した各金属酸化物の消衰係数を以下に示す。以下において、ｋ（８μｍ）は、波長が８μｍのときの消衰係数（ｋ）を表し、ｋ（１４μｍ）は、波長が１４μｍのときの消衰係数を表す。また、以下には酸化亜鉛の消衰係数も示す。
【００２５】
酸化亜鉛：        ｋ（８μｍ）＝０．００４      ｋ（１４μｍ）＝０．０３
酸化ジルコニウム：ｋ（８μｍ）＝０．０６        ｋ（１４μｍ）＝０．３５
酸化クロム：      ｋ（８μｍ）＝０．００７      ｋ（１４μｍ）＝０．３７
酸化ハフニウム：  ｋ（８μｍ）＝０．００６      ｋ（１４μｍ）＝０．４
酸化ビスマス：    ｋ（８μｍ）＝０．００２      ｋ（１４μｍ）＝０．０２５
酸化イットリウム：ｋ（８μｍ）＝０．０００２７  ｋ（１４μｍ）＝０．０７８
酸化銅：          ｋ（８μｍ）＝０．０００１    ｋ（１４μｍ）＝０．０４
酸化マグネシウム：ｋ（８μｍ）＝０．０００２５  ｋ（１４μｍ）＝０．０１４
【００２６】
上記に示すように、酸化ビスマス、酸化イットリウム、酸化銅及び酸化マグネシウムの消衰係数は、酸化ジルコニウム、酸化クロム及び酸化ハフニウムと比較すると小さく、遠赤外波長域全域において０．１未満である。従って、遠赤外波長域全域において高い透明度を維持することができるという観点から、添加物として、酸化ビスマス、酸化イットリウム、酸化銅及び酸化マグネシウムから成る群から選択される一種以上を用いることがより好ましい。このとき、これらの金属酸化物一種を添加物として用いてもよいし、一種以上を混合して用いてもよいのは勿論である。
【００２７】
なお、酸化亜鉛膜の耐水性を改善するという観点のみからみれば、酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）等の消衰係数が上記範囲外の金属酸化物を添加物として用いることもできる。酸化タンタルの消衰係数を以下に示す。しかしながら、酸化タンタルの消衰係数は下記のとおり大きく、当該酸化タンタルを酸化亜鉛膜に添加物として含有させると、遠赤外線に対する酸化亜鉛膜の透過率が低下し、光学膜として用いることが困難になる。
酸化タンタル：  ｋ（８μｍ）＝０．０２８      ｋ（１４μｍ）＝０．７５
【００２８】
（２）屈折率
また、当該金属酸化物の遠赤外線波長域内の光線に対する屈折率は０．８以上２．５以下であることが好ましい。酸化亜鉛の屈折率と同等の屈折率を有する金属酸化物を添加物として用いることにより、得られた赤外線透過膜の屈折率を酸化亜鉛と同様の屈折率とすることができる。なお、上記列挙した各金属酸化物の遠赤外線波長域における屈折率はいずれも０．８以上２．５以下の範囲内である。ここで、酸化亜鉛の屈折率を大きく変化させないという観点から、酸化亜鉛の屈折率とより同等屈折率の金属酸化物を用いることが好ましい。当該観点から、屈折率が１．０以上２．５以下の金属酸化物を添加物として用いることがより好ましく、屈折率が１．５以上２．５以下の金属酸化物を添加物として用いることがさらに好ましい。
【００２９】
（３）含有量
次に、当該赤外線透過膜における添加物としての金属酸化物の含有量について説明する。当該赤外線透過膜における当該金属酸化物の含有量は０．１質量％以上５０質量％未満であることが好ましい。但し、ここでいう含有量とは、当該赤外線透過膜に添加物として含まれる金属酸化物の総量をいう。すなわち、添加物として複数の金属酸化物を用いる場合、その合計量をいうものとする。また、当該赤外線透過膜では、主成分を酸化亜鉛とする。すなわち、当該赤外線透過膜は酸化亜鉛を５０質量％以上含む。また、不可避不純物を除いて、当該赤外線透過膜は、酸化亜鉛及び添加物としての金属酸化物からなるものとする。
【００３０】
遠赤外波長域の光線に対して透明度の高い酸化亜鉛に対して、当該金属酸化物を上記範囲で添加物として含有させることにより、当該赤外線透過膜の遠赤外線に対する透明度を高く維持したまま、耐水性を改善することができる。これと同時に、耐酸性、機械的強度等も向上させることができる。
【００３１】
ここで、酸化亜鉛と比較すると上記列挙した金属酸化物の消衰係数は同等若しくは大きい値を示す。そこで、酸化亜鉛よりも消衰係数の大きい金属酸化物については、遠赤外領域の光線に対してより高い透明度を有する赤外線透過膜を得るという観点から、当該金属酸化物の含有量は０．１質量％以上１５質量％以下であることがより好ましく、０．１質量％以上１０質量％以下であることがさらに好ましく、０．１質量％以上５質量％以下であることが最も好ましい。
【００３２】
（４）結晶構造
本件発明に係る赤外線透過膜は、酸化亜鉛の結晶粒界に上記金属酸化物が偏析したものであることが好ましい。酸化亜鉛の結晶粒界に偏析した金属酸化物によって、結晶粒界に水が含水されにくくなるため、当該赤外線透過膜の耐水性が良好になる。また、結晶粒界に上記金属酸化物が偏析していると、結晶成長が阻害され、結晶粒が微細になる。そのため、膜内の残留応力が小さく、このことも耐水性を高める要因の一つであると考えられる。また、微細な結晶構造を有するため、当該膜の機械的強度も高くなる。さらに、耐酸性等も向上する。
【００３３】
すなわち、酸化亜鉛膜の耐水性を改善する上で、添加物としての金属酸化物は、酸化亜鉛の結晶粒界を充填できる程度の量であることが好ましい。当該観点から、消衰係数が酸化亜鉛と同等の金属酸化物についても、当該赤外線透過膜におけるその含有量が０．１質量％以上１５質量％以下であることがより好ましく、０．１質量％以上１０質量％以下であることがさらに好ましく、０．１質量％以上５質量％以下であることが最も好ましい。例えば、酸化ビスマスは消衰係数が酸化亜鉛よりも小さく、遠赤外線に対する透明度の高い物質であるが、酸化ビスマス自体の耐水性は低い。しかしながら、酸化ビスマスをこれらのより好ましい範囲で含有させることにより、酸化亜鉛膜の耐水性をより良好に改善することができる。
【００３４】
（５）成膜方法
本件発明に係る赤外線透過膜を成膜するには、例えば、酸化亜鉛を主成分とし、上記金属酸化物を添加した焼結セラミックス等を出発原料として、真空蒸着法、スパッタリング法等の各種乾式成膜法により成膜することができる。いずれの方法でも、混合酸化物の焼結体を出発原料として用いることができる。
【００３５】
各種乾式成膜法の中でも特に、マグネトロンスパッタリング法は簡便であり、真空蒸着法と比較したときの生産効率がよい。そのため、大量生産される光学部品に対して当該赤外線透過膜を成膜する際には、マグネトロンスパッタリング法を用いることが好ましい。この際、放電様式としては、直流電流、或いは高周波放電、或いは交流放電を採用することができる。
【００３６】
赤外線透過膜をマグネトロンスパッタリング法により成膜する際には、金属亜鉛に、上記金属酸化物を構成する金属を所定量添加した金属合金ターゲットを出発原料として用いることもできる。この金属合金ターゲットを用いて、酸素ガス雰囲気下で成膜することにより、酸化亜鉛を主成分とすると共に上記金属酸化物を含む本件発明に係る赤外線透過膜を得ることができる。
【００３７】
これらの物理蒸着法により酸化亜鉛膜を成膜すれば、上記金属酸化物は、酸化亜鉛と複合酸化物を形成することなく、酸化亜鉛の結晶粒界に偏析する。すなわち、結晶粒界に上記金属酸化物が偏析した酸化亜鉛の多結晶構造を有する赤外線透過膜が得られる。
【００３８】
なお、本件発明に係る赤外線透過膜は、乾式成膜法に限らず、化学的気相成長法、ゾルゲル法等の各種湿式成膜法により成膜することもできる。各成膜方法の中から、当該赤外線透過膜の用途や基材の材質等に応じて適宜、適切な成膜法を選択することができる。
【００３９】
１−３．基材
本件発明に係る赤外線透過膜は、例えば、光学部品等の表面に設けられる。このとき、光学部品等の基材の材質は特に限定されるものではない。
【００４０】
本件発明に係る赤外線透過膜は、遠赤外波長域の光線に対して透明なゲルマニウム（Ｇｅ）、シリコン（Ｓｉ）、セレン化亜鉛（ＺｎＳｅ）、硫化亜鉛（ＺｎＳ）と良好な密着性を有する。また、本件発明に係る赤外線透過膜は、ゲルマニウム、砒素（Ａｓ）、セレン（Ｓｅ）、硫黄（Ｓ）、アンチモン（Ｓｂ）、Ｇａ（ガリウム）等を成分とする各種のカルコゲナイドガラスと良好な密着性を有する。そのため、これらの材料からなる赤外線用光学レンズ等の各種赤外線光学部品を基材としたとき、本件発明に係る赤外線透過膜を赤外線光学部品の表面に直接設けることができ、良好な密着性を得ることができる。
【００４１】
２．光学膜
次に、本件発明に係る光学膜について説明する。本件発明において、光学膜とは反射防止膜や、エッジフィルター、バンドパスフィルターなどの光学フィルター等を意味する。本件発明に係る光学膜は一層の光学薄膜からなる単層膜であってもよいし、二層以上の光学薄膜が積層された多層膜であってもよい。いずれの場合であっても、本件発明に係る光学膜は、上述した本件発明に係る赤外線透過膜を備えるものとする。すなわち、当該光学膜は本件発明に係る赤外線透過膜からなる単層膜であってもよいし、少なくとも一層の赤外線透過膜を備える多層膜であってもよい。
【００４２】
本件発明に係る赤外線透過膜は、中間屈折率材料である酸化亜鉛を主成分とし、酸化亜鉛と同等の屈折率を有する。また、当該赤外線透過膜は下記の高屈折率材料、或いは低屈折率材料との密着性も良好である。
【００４３】
高屈折率材料：Ｇｅ、Ｓｉ
低屈折率材料：ＹＦ３、ＹｂＦ３、ＮａＦ、ＮｄＦ３、ＬａＦ３、ＣａＦ２、ＳｒＦ２
【００４４】
従って、当該赤外線透過膜を中間屈折率層として用い、適宜、上記材料からなる高屈折率層及び／又は低屈折率層と積層した任意の層構成の光学膜を得ることができる。
【００４５】
３．反射防止膜
次に、本件発明に係る反射防止膜の実施の形態を説明する。本件発明に係る反射防止膜は、上記光学膜の一種であり、本件発明に係る赤外線透過膜を備えることを特徴とする。本件発明に係る反射防止膜は、上記赤外線透過膜一層からなる単層膜であってもよいが、上記高屈折率層及び／又は低屈折率層と積層した多層膜とすることがより好ましい。多層構造の反射防止膜とすることにより、各界面で生じる界面反射光により、光の干渉作用を利用して広い波長域において低い反射率を実現することが容易になる。
【００４６】
４．光学部品
本件発明に係る光学部品は、本件発明に係る赤外線透過膜を備えることを特徴とする。光学部品としては、撮像装置又は投影装置の撮像光学系又は投影光学系などを構成する各種光学部品を挙げることができる。より具体的には、レンズ、プリズム（色分解プリズム、色合成プリズム等）、偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）、カットフィルタ（長波長用、短波長用等）などを挙げることができる。特に、遠赤外波長域の光線を使用する遠赤外撮像光学系を構成する赤外線用レンズであることが好ましい。
【００４７】
５．光学系／撮像装置
本件発明に係る光学系は、本件発明に係る赤外線透過膜を備えることを特徴とする。当該光学系として、撮像光学系であることが好ましく、特に、遠赤外波長域の光線を使用する遠赤外撮像光学系であることが好ましい。例えば、監視用撮像装置、車載用撮像装置の光学系であることが好ましい。また、本件発明に係る撮像装置は、当該赤外線透過膜が設けられた光学面を含む光学系を備えることを特徴とし、これらの遠赤外線撮像光学系を備えた監視用撮像雄値、車載用撮像装置等であることが好ましい。
【００４８】
次に、実施例および比較例を示して本件発明を具体的に説明する。但し、本件発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【実施例１】
【００４９】
実施例１では、マグネトロンスパッタリング法により基材の両面にそれぞれ酸化ビスマスを添加物として含有する酸化亜鉛膜を成膜した。以下、成膜の手順について具体的に説明する。
【００５０】
まず、マグネトロンスパッタリング装置に、成膜原料であるターゲットと、基材とを対向配置した。成膜原料としては、酸化亜鉛の焼結体ターゲットを用いた。このとき、当該ターゲット上に酸化ビスマスのタブレットの小片を均等に並べた。基材として、カルコゲナイドガラス（湖北新華光信息材料有限公司製  ＩＲＧ２０６）を用いた。
【００５１】
次に、装置内全体を真空に排気した。そして、装置内の圧力が３×１０−４Ｐａに到達した時点で、Ａｒガスを２０ＳＣＣＭ（ｓｔａｎｄａｒｄ  ｃｃ／ｍｉｎ、１ａｔｍ（２５℃））流し、酸素ガスを５ＳＣＣＭ流した。この時の装置内の圧力が、０．３Ｐａになるように排気速度を調整した。
【００５２】
その後、ターゲット表面に１３．５６ＭＨｚの高周波（約５００Ｗ）を印加し、ターゲットの前方で基材を回転させながら、基材の表面に酸化ビスマスを添加物として含有する酸化亜鉛膜を成膜した。このような方法により、基材の両面に酸化ビスマスを４質量％含む酸化亜鉛膜をそれぞれ成膜した。
【実施例２】
【００５３】
実施例２では、酸化ビスマスの含有量が０．７質量％になるようにしたことを除いては、実施例１と同様にして、添加物として酸化ビスマスを含む酸化亜鉛膜を成膜した。
【実施例３】
【００５４】
実施例３では、酸化ビスマスの含有量が１４．７質量％になるようにしたことを除いては、実施例１と同様にして、添加物として酸化ビスマスを含む酸化亜鉛膜を成膜した。
【実施例４】
【００５５】
実施例４では、酸化ビスマスの含有量が４４．７質量％になるようにしたことを除いては、実施例１と同様にして、添加物として酸化ビスマスを含む酸化亜鉛膜を成膜した。
【実施例５】
【００５６】
実施例５では、酸化ビスマスの代わりに酸化イットリウムの含有量が２．０質量％になるようにしたことを除いては、実施例１と同様にして、添加物として酸化イットリウムを含む酸化亜鉛膜を成膜した。
【実施例６】
【００５７】
実施例６では、酸化ビスマスの代わりに酸化イットリウムの含有量が３２．０質量％になるようにしたことを除いては、実施例１と同様にして、添加物として酸化イットリウムを含む酸化亜鉛膜を成膜した。
【実施例７】
【００５８】
実施例７では、酸化ビスマスの代わりに酸化銅の含有量が３．１質量％になるようにしたことを除いては、実施例１と同様にして、添加物として酸化銅を含む酸化亜鉛膜を成膜した。
【実施例８】
【００５９】
実施例８では、酸化ビスマスの代わりに酸化マグネシウムの含有量が１．８質量％になるようにしたことを除いては、実施例１と同様にして、添加物として酸化マグネシウムを含む酸化亜鉛膜を成膜した。
【実施例９】
【００６０】
実施例９では、基板側から順にＧｅ膜、酸化ビスマスを含む酸化亜鉛膜とを積層した反射防止膜を成膜した。Ｇｅ膜を成膜する際には、ゲルマニウムをターゲットとして用い、酸化ビスマスを含む酸化亜鉛膜を成膜する際には、酸化ビスマスの含有量が２質量％である酸化亜鉛の焼結体ターゲットを用いて、実施例１と同様にして各膜を成膜した。
【実施例１０】
【００６１】
実施例１０では、基板側から順にＧｅ膜、酸化ビスマスを含む酸化亜鉛膜、Ｇｅ膜、酸化ビスマスを含む酸化亜鉛膜を積層した。この際、酸化ビスマスの含有量が５質量％になるようにしたことを除いて、実施例９と同様にして各膜を成膜した。
【比較例】
【００６２】
［比較例１］
比較例１では、出発原料として酸化亜鉛の焼結体ターゲットのみを用いた以外は、実施例１と同様にして酸化亜鉛膜を成膜した。すなわち、比較例１では添加物としての金属酸化物を含まない酸化亜鉛膜を成膜した。
【００６３】
［比較例２］
比較例２では、酸化ビスマスの含有量が７０質量％になるようにした以外は、実施例１と同様にして、酸化亜鉛を含み、且つ、主成分が酸化ビスマスである酸化ビスマス膜を成膜した。
【００６４】
［比較例３］
比較例３では、出発原料として酸化ビスマスの焼結ターゲットを用いた以外は、実施例１と同様にして成膜し、酸化ビスマス膜を得た。
【００６５】
［比較例４］
比較例４では、出発原料として酸化イットリウムの焼結ターゲットを用いた以外は、実施例１と同様にして成膜し、酸化イットリウム膜を得た。
【００６６】
［比較例５］
比較例５では、出発原料として酸化タンタルの焼結ターゲットを用いた以外は、実施例１と同様にして成膜し、酸化タンタル膜を得た。
【００６７】
［比較例６］
比較例６では、酸化ビスマスを含有する酸化亜鉛膜の代わりに、比較例２と同様の方法で成膜した酸化ビスマス膜を用いた以外は、実施例９と同様にして、基板側から順にＧｅ膜、酸化ビスマス膜とが積層された反射防止膜を得た。
【００６８】
［評価］
実施例１〜実施例１０、比較例１〜比較例６で成膜した各膜の膜厚、組成、遠赤外線に対する平均透過率をそれぞれ測定すると共に、耐水試験を行い耐水性評価を行った。
【００６９】
（膜厚）
各膜の膜厚を触針式段差計で測定した。結果を表１及び表２に示す。なお、表１及び表２に示す膜厚は、各膜の実際の膜厚であって、いわゆる光学膜厚ではない。
【００７０】
（組成）
各膜の組成をＩＣＰ（誘導結合ラズマ発光分光分析法）で分析した。結果を表１及び表２に示す。
【００７１】
（平均透過率）
各実施例及び比較例で得た試料の波長範囲８μｍ〜１２μｍ及び波長範囲８μｍ〜１４μｍにおける平均透過率をパーキンエルマー社製のＦＴ−ＩＲ  Ｓｐｅｃｔｒｕｍ  １００  Ｏｐｔｉｃａを用いて測定した。なお、各試料とは、基板の両面にそれぞれの膜を備えたものをいう（以下、同じ）。結果を表１及び表２に示す。
【００７２】
（耐水試験）
各実施例及び比較例で得た試料を純水に浸漬した。その後、１時間経過する毎に、膜剥がれの有無等を観察した。そして、試料を純水に浸漬してから２４時間が経過した時点で観察を終了した。結果を表１及び表２に示す。但し、表１及び表２には、耐水試験の結果を「○」、「×」で示している。ここで、「○」は、試料を純水に浸漬してから２４時間が経過しても基材と膜との密着が良好であり、膜剥がれ等が一切生じなかったことを意味する。また、「×」は試料を純水に浸漬してから２４時間が経過するまでの間に、基材から膜が浮いたり、膜が剥がれたりなど、基材と膜との密着性低下が観察されたことを意味する。
【００７３】
【表１】
2017151408.tif 000002
【００７４】
【表２】
2017151408.tif 000003
【００７５】
表１に示すように、実施例１〜実施例１０の試料はいずれも耐水試験の結果が良好であり、各試料を純水に浸漬してから２４時間が経過しても、基板からの膜剥がれが一切生じなかった。一方、比較例１の試料は、添加物を一切含まない酸化亜鉛膜を備える。表２に示すように比較例１の試料では、純水に当該試料を浸漬して２時間後に膜の浮き上がりが観察され、２４時間経過後には基板から完全に膜が剥離した状態となった。従って、添加物として所定の金属酸化物を５０質量％未満の範囲で含む酸化亜鉛膜とすることにより、酸化亜鉛膜の耐水性を著しく向上することができることが確認された。なお、比較例２の試料は酸化ビスマスを主成分とする。また、比較例３の試料は酸化ビスマス膜、比較例４の試料は酸化イットリウム膜を備える。比較例２の酸化ビスマスを主成分とする膜は耐水性が良好であるが、比較例３の酸化ビスマス膜及び比較例４の酸化イットリウム膜は耐水性が良くない。しかしながら、実施例５〜実施例６に示すように、酸化イットリウムを添加物として酸化亜鉛膜に含有させた場合、耐水性が良好になることが確認された。また、比較例５の試料は酸化タンタル膜であり、耐水性が良好である。表には示していないが、酸化タンタルを５質量％未満含む酸化亜鉛膜の耐水性は良好であり、酸化タンタルを添加物として含有させることにより酸化亜鉛膜の耐水性が改善されることを別途確認した。
【００７６】
また、表１に示すように、実施例１〜実施例１０の試料は、波長範囲８μｍ〜１２μｍにおける平均透過率が９０％以上を示し、これらの波長範囲の光線に対して高い透明度を示す。従って、実施例１〜実施例１０で成膜した本件発明に係る赤外線透過膜は光学膜として好適に用いることができる。
【００７７】
一方、表２に示すように、比較例１の試料の波長範囲８μｍ〜１２μｍにおける平均透過率が９０％以上を示し、光学膜として好適な光学特性を備える。しかしながら、上述したとおり、耐水性が低いため、実用上必要とされる耐久性を満足することができない。また、比較例２〜比較例６の試料はいずれも波長範囲８μｍ〜１２μｍにおける平均透過率が９０％未満となり、遠赤外線に対する透明度が低いため、光学膜として用いることが困難である。
【産業上の利用可能性】
【００７８】
本件発明によれば、成膜が容易であり、且つ、耐水性等の実用上十分な耐久性を有する新規な赤外線透過膜、及び当該赤外線透過膜を備えた光学膜、反射防止膜、光学部品、光学系及び撮像装置を提供することができる。