(57)【要約】【課題】所定位置において搬送中のワーク先端やワーク後端が吸引口と対向した際の搬送路面とワークとの間の圧力変化に起因するワークの浮上量の急激な変化を抑制するワーク浮上搬送装置を提供すること。【解決手段】搬送路面１１０が、この搬送路面１１０とワークＷとの間に圧縮空気を給気する複数の給気口１１１と搬送路面１１０とワークＷとの間から空気を吸引する複数の吸引口１１３とを備え、給気口１１１が、給気口１１１に給気圧を発生させる給気圧発生手段１６０と給気流路１７０を介して連通され、吸引口１１３が、吸引口１１３に吸引圧を発生させる吸引圧発生手段１２０と吸引流路１３０を介して連通され、吸引流路１３０に大気中から空気を供給する吸引側大気開放口１４０が、吸引流路１３０と連通して設置されているワーク浮上搬送装置１００。【選択図】図３
2017011014.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークと該ワークの搬送路面との間に介在する圧縮空気で浮上させたワークを搬送するワーク浮上搬送装置であって、
前記搬送路面が、該搬送路面とワークとの間に圧縮空気を給気する複数の給気口と前記搬送路面とワークとの間から空気を吸引する複数の吸引口とを備え、
前記給気口が、前記給気口に給気圧を発生させる給気圧発生手段と給気流路を介して連通され、
前記吸引口が、前記吸引口に吸引圧を発生させる吸引圧発生手段と吸引流路を介して連通され、
前記吸引流路に大気中から空気を供給する吸引側大気開放口が、前記吸引流路と連通して設置されているワーク浮上搬送装置。
【請求項２】
前記給気流路から大気中に空気を排出する給気側大気開放口が、前記給気流路と連通して設置されている請求項１に記載のワーク浮上搬送装置。
【請求項３】
前記給気流路から給気側大気開放口への圧縮空気流量を調整する給気側大気開放口流量調整弁が、前記給気側大気開放口に設置されている請求項２に記載のワーク浮上搬送装置。
【請求項４】
前記吸引側大気開放口から吸引流路への空気流量を調整する吸引側大気開放口流量調整弁が、前記吸引側大気開放口に設置されている請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載のワーク浮上搬送装置。
【請求項５】
前記吸引口および給気口が、前記搬送路面の所定領域毎に配設され、
前記吸引流路および給気流路が、前記搬送路面の所定領域毎に配設され、
前記吸引流路の空気流量を調整する吸引側流量調整弁が、前記吸引流路毎に設置され、
前記給気流路の圧縮空気流量を調整する給気側流量調整弁が、前記給気流路毎に設置されている請求項１乃至請求項４のいずれか１つに記載のワーク浮上搬送装置。
【請求項６】
前記吸引口および給気口が、前記搬送路面の所定領域毎に市松模様状に交互に配設されている請求項１乃至請求項５のいずれか１つに記載のワーク浮上搬送装置。
【請求項７】
前記吸引口の口径が、前記給気口の口径よりも大径である請求項１乃至請求項６のいずれか１つに記載のワーク浮上搬送装置。
【請求項８】
ワークと該ワークの搬送路面との間に介在する圧縮空気で浮上させたワークを搬送するワーク浮上搬送装置であって、
前記搬送路面が、該搬送路面とワークとの間に圧縮空気を給気する複数の給気口と前記搬送路面とワークとの間から空気を吸引する複数の吸引口とを備え、
前記給気口が、前記給気口に給気圧を発生させる給気圧発生手段と給気流路を介して連通され、
前記吸引口が、前記吸引口に吸引圧を発生させる吸引圧発生手段と吸引流路を介して連通され、
前記給気流路から大気中に空気を排出する給気側大気開放口が、前記給気流路と連通して設置されているワーク浮上搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークとこのワークの搬送路面との間に介在させた圧縮空気で浮上させてワークを搬送するワーク浮上搬送装置であって、特に、太陽電池用フラットパネルや携帯電話、液晶テレビ、パソコン用液晶モニターなどに用いるディスプレイ用ガラス基板等のワークを浮上搬送するワーク浮上搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ワーク浮上搬送装置として、ワークとしての基板とこの基板の搬送路面を形成する浮上プレートとの間に介在する圧縮空気で浮上させた基板を浮上させた状態で基板搬送部で基板を搬送する基板処理装置であって、空気を噴出する複数の噴出孔と空気を吸引する複数の吸引孔とを有する浮上プレートと、複数の噴出孔に連通する圧縮空気供給管と、複数の吸引孔と連通する真空供給管と、圧縮空気供給管を介して複数の噴出孔に圧縮空気を供給する圧縮空気供給源と、真空供給管を介して複数の吸引孔に真空圧力を供給する真空圧力供給源と、浮上プレートの噴出孔や吸引孔に供給される圧縮空気や真空圧力が変動する圧力変動に起因する基板の浮上量の変動を考慮して基板の前方および後方と接続される遮蔽板とを備え、遮蔽板が浮上プレートを覆いながら基板が搬送される基板処理装置が知られている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−２６７３３号公報（特に、段落００３６〜００４４、図６参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した従来の基板処理装置は、２つの遮蔽板が基板の前方および後方とそれぞれ接続されて一体となる構造であったため、浮上プレート上で搬送される基板および遮蔽板からなる被浮上搬送物の浮上量の急激な変化自体を抑制するものではなかった。
ここで、圧力変動を抑制するために、所謂、レギュレータなどの圧力調整弁を用いることが考えられるが、圧力変動に対する応答性が悪く、圧力調整に遅れが生じて基板の浮上量の急激な変化を抑制できないという問題や、圧力調整弁の一次側と二次側との圧力差を設ける必要があり、低圧環境下では使用できないという問題がある。
【０００５】
そこで、本発明は、前述したような従来技術の問題を解決するものであって、すなわち、本発明の目的は、所定位置において搬送中のワーク先端やワーク後端が吸引口と対向した際の搬送路面とワークとの間の圧力変化に起因するワークの浮上量の急激な変化を抑制するワーク浮上搬送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本請求項１に係る発明は、ワークと該ワークの搬送路面との間に介在する圧縮空気で浮上させたワークを搬送するワーク浮上搬送装置であって、前記搬送路面が、該搬送路面とワークとの間に圧縮空気を給気する複数の給気口と前記搬送路面とワークとの間から空気を吸引する複数の吸引口とを備え、前記給気口が、前記給気口に給気圧を発生させる給気圧発生手段と給気流路を介して連通され、前記吸引口が、前記吸引口に吸引圧を発生させる吸引圧発生手段と吸引流路を介して連通され、前記吸引流路に大気中から空気を供給する吸引側大気開放口が、前記吸引流路と連通して設置されていることにより、前述した課題を解決するものである。
【０００７】
本請求項２に係る発明は、請求項１に記載されたワーク浮上搬送装置の構成に加えて、前記給気流路から大気中に圧縮空気を排出する給気側大気開放口が、前記給気流路と連通して設置されていることにより、前述した課題をさらに解決するものである。
【０００８】
本請求項３に係る発明は、請求項２に記載されたワーク浮上搬送装置の構成に加えて、前記給気流路から給気側大気開放口へ排出する圧縮空気流量を調整する給気側大気開放口流量調整弁が、前記給気側大気開放口に設置されていることにより、前述した課題をさらに解決するものである。
【０００９】
本請求項４に係る発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載されたワーク浮上搬送装置の構成に加えて、前記吸引側大気開放口から吸引流路への空気流量を調整する吸引側大気開放口流量調整弁が、前記吸引側大気開放口に設置されていることにより、前述した課題をさらに解決するものである。
【００１０】
本請求項５に係る発明は、請求項１乃至請求項４のいずれか１つに記載されたワーク浮上搬送装置の構成に加えて、前記吸引口および給気口が、前記搬送路面の所定領域毎に配設され、前記吸引流路および給気流路が、前記搬送路面の所定領域毎に配設され、前記吸引流路の空気流量を調整する吸引側流量調整弁が、前記吸引流路毎に設置され、前記給気流路の圧縮空気流量を調整する給気側流量調整弁が、前記給気流路毎に設置されていることにより、前述した課題をさらに解決するものである。
【００１１】
本請求項６に係る発明は、請求項１乃至請求項５のいずれか１つに記載されたワーク浮上搬送装置の構成に加えて、前記吸引口および給気口が、前記搬送路面の所定領域毎に市松模様状に交互に配設されていることにより、前述した課題をさらに解決するものである。
【００１２】
本請求項７に係る発明は、請求項１乃至請求項６のいずれか１つに記載されたワーク浮上搬送装置の構成に加えて、前記吸引口の口径が、前記給気口の口径よりも大径であることにより、前述した課題をさらに解決するものである。
【００１３】
本請求項８に係る発明は、ワークと該ワークの搬送路面との間に介在する圧縮空気で浮上させたワークを搬送するワーク浮上搬送装置であって、前記搬送路面が、該搬送路面とワークとの間に圧縮空気を給気する複数の給気口と前記搬送路面とワークとの間から空気を吸引する複数の吸引口とを備え、前記給気口が、前記給気口に給気圧を発生させる給気圧発生手段と給気流路を介して連通され、前記吸引口が、前記吸引口に吸引圧を発生させる吸引圧発生手段と吸引流路を介して連通され、前記給気流路から大気中に空気を排出する給気側大気開放口が、前記給気流路と連通して設置されていることにより、前述した課題を解決するものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のワーク浮上搬送装置は、ワークとワークの搬送路面との間に圧縮空気を給気する複数の給気口と、搬送路面とワークとの間から空気を吸引する複数の吸引口とを備えていることにより、ワークと搬送路面との間に圧縮空気を介在させてワークを浮上させて搬送することができるばかりでなく、以下のような特有の効果を奏することができる。
【００１５】
本請求項１に係る発明のワーク浮上搬送装置によれば、搬送路面が、搬送路面とワークとの間に圧縮空気を給気する複数の給気口と、搬送路面とワークとの間から空気を吸引する複数の吸引口とを備え、吸引口が、この吸引口に吸引圧を発生させる吸引圧発生手段と吸引流路を介して連通され、吸引流路に大気中から空気を供給する吸引側大気開放口が、吸引流路と連通して設置されていることにより、所定位置においてワーク先端が吸引口と対向した際に吸引口の吸引圧が負側に増加しようとするが、吸引側大気開放口から空気が吸引流路に瞬時に供給されるか、または、空気の供給量が瞬時に増加し、吸引口の圧力変動に影響を及ぼす吸引流路での吸引圧の増加分が低減されるため、ワークの浮上量の急激な変化を抑制してワークの安定した浮上搬送を実現することができる。
さらに、所定位置においてワーク後端が吸引口を通過した際にも、ワーク先端が吸引口と対向する前と同様の状態に瞬時に戻って吸引口の圧力変動が低減されるため、ワークの浮上量の急激な変化を抑制してワークの安定した浮上搬送を実現することができる。
【００１６】
本請求項２に係る発明のワーク浮上搬送装置によれば、請求項１に係る発明が奏する効果に加えて、給気流路から大気中に圧縮空気を排出する給気側大気開放口が、給気流路と連通して設置されていることにより、所定位置においてワーク先端が給気口と対向した際に給気口の圧力が正側に増加しようとするが、給気流路の圧縮空気が給気側大気開放口から瞬時に排出されるか、または、圧縮空気の排出量が瞬時に増加して給気口の圧力変動幅に影響を及ぼす給気流路での給気圧の増加分が低減されるため、ワークの浮上量の急激な変化を抑制してワークの安定した浮上搬送を実現することができる。
さらに、所定位置においてワーク後端が給気口を通過した際についても、ワーク先端が給気口と対向する前と同様の状態に瞬時に戻って給気口の圧力変動幅が低減されるため、ワークの浮上量の急激な変化を抑制してワークの安定した浮上搬送を実現することができる。
また、吸引側大気開放口および給気側大気開放口の両者を設けることによって吸引口および給気口の両者の圧力変動幅が低減されるため、ワークの浮上量の急激な変化をより一層抑制してワークのより安定した浮上搬送を実現することができる。
【００１７】
本請求項３に係る発明のワーク浮上搬送装置によれば、請求項２に係る発明が奏する効果に加えて、給気流路から給気側大気開放口への圧縮空気流量を調整する給気側大気開放口流量調整弁が、給気側大気開放口に設置されていることにより、給気口の給気圧が調整自在となるとともに給気流路から給気側大気開放口へ圧縮空気が瞬時に排出されるときまたは圧縮空気の排出量が瞬時に増加したときの給気口の圧力変動幅が調整自在となるため、ワークの浮上量を精度よく調整するとともにワークの浮上量の変化の低減幅を調整することができる。
【００１８】
本請求項４に係る発明のワーク浮上搬送装置によれば、請求項１乃至請求項３のいずれか１つに係る発明が奏する効果に加えて、吸引側大気開放口から吸引流路への空気流量を調整する吸引側大気開放口流量調整弁が、吸引側大気開放口に設置されていることにより、吸引口の吸引圧が調整自在となるとともに吸引側大気開放口から空気が吸引流路に瞬時に供給されるときまたは空気の供給量が瞬時に増加したときの吸引口の圧力変動幅が調整自在となるため、ワークの浮上量を精度よく調整するとともにワークの浮上量の変化の低減幅を調整することができる。
【００１９】
本請求項５に係る発明のワーク浮上搬送装置によれば、請求項１乃至請求項４のいずれか１つに係る発明が奏する効果に加えて、吸引口および給気口が、搬送路面の所定領域毎に配設され、吸引流路および給気流路が、搬送路面の所定領域毎に配設され、吸引流路の空気流量を調整する吸引側流量調整弁が、吸引流路毎に設置され、給気流路の圧縮空気流量を調整する給気側流量調整弁が、給気流路毎に設置されていることにより、所定領域毎に給気口の給気圧および吸引口の吸引圧が調整自在となるため、所定領域毎にワークの浮上量を精度よく調整することができ、特に、所定領域がワークのコーティング等を行う所定位置としてのプロセスライン近傍である場合はコーティング加工等を精度よく達成することができる。
【００２０】
本請求項６に係る発明のワーク浮上搬送装置によれば、請求項１乃至請求項５のいずれか１つに係る発明が奏する効果に加えて、吸引口および給気口が、搬送路面の所定領域毎に市松模様状に交互に配設されていることにより、ワークに作用する給気圧および吸引圧の力の場所が均一に分散されるため、ワークの全域に亘ってワークの浮上量を均一にして安定させることができる。
【００２１】
本請求項７に係る発明のワーク浮上搬送装置によれば、請求項１乃至請求項６のいずれか１つに係る発明が奏する効果に加えて、吸引口の口径が、給気口の口径よりも大径であることにより、ワークに対して搬送路面側に引っ張る力が有効に作用するため、ワークと搬送路面との間の距離である浮上量を安定して維持することができる。
【００２２】
本請求項８に係る発明のワーク浮上搬送装置によれば、給気流路から大気中に圧縮空気を排出する給気側大気開放口が、給気流路と連通して設置されていることにより、所定位置においてワーク先端が給気口と対向した際に給気口の圧力が正側に増加しようとするが、給気流路の圧縮空気が給気側大気開放口から瞬時に排出されるか、または、圧縮空気の排出量が瞬時に増加して給気口の圧力変動幅に影響を及ぼす給気流路での給気圧の増加分が低減されるため、ワークの浮上量の急激な変化を抑制してワークの安定した浮上搬送を実現することができる。
さらに、所定位置においてワーク後端が給気口を通過した際についても、ワーク先端が給気口と対向する前と同様の状態に瞬時に戻って給気口の圧力変動幅が低減されるため、ワークの浮上量の急激な変化を抑制してワークの安定した浮上搬送を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の第１実施例であるワーク浮上搬送装置の一部を示す概略斜視図。
【図２】図１に示す符号２−２で視た断面図。
【図３】本発明の第１実施例であるワーク浮上搬送装置の概略模式図。
【図４】比較例のワーク浮上搬送装置の概略模式図。
【図５】（Ａ）はワーク先端の位置と給気圧との関係を示す図、（Ｂ）はワーク先端の位置と吸引圧との関係を示す図、（Ｃ）はワーク先端の位置と所定位置で計測したワークの浮上量との関係を示す図。
【図６】本発明の第２実施例であるワーク浮上搬送装置の概略模式図。
【図７】（Ａ）はワーク先端の位置と給気圧との関係を示す図、（Ｂ）はワーク先端の位置と吸引圧との関係を示す図、（Ｃ）はワーク先端の位置と所定位置で計測したワークの浮上量との関係を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
本発明は、ワークとこのワークの搬送路面との間に介在する圧縮空気で浮上させたワークを搬送するワーク浮上搬送装置であって、搬送路面が、この搬送路面とワークとの間に圧縮空気を給気する複数の給気口と搬送路面とワークとの間から空気を吸引する複数の吸引口とを備え、給気口が、給気口に給気圧を発生させる給気圧発生手段と給気流路を介して連通され、吸引口が、吸引口に吸引圧を発生させる吸引圧発生手段と吸引流路を介して連通され、吸引流路に大気中から空気を供給する吸引側大気開放口が、吸引流路と連通して設置されている、または、給気流路から大気中に空気を排出する給気側大気開放口が、給気流路と連通して設置されていることにより、所定位置において搬送中のワーク先端やワーク後端が吸引口または給気口と対向した際の搬送路面とワークとの間の圧力変化に起因するワークの浮上量の急激な変化を抑制するものであれば、その具体的な実施態様は、如何なるものであっても構わない。
【００２５】
例えば、本発明における搬送路面は、平坦であることが重要であり、この平坦な搬送路面の加工精度が高ければ被搬送物のより安定した搬送状態が得られることは言うまでもない。
なお、本発明のワーク浮上搬送装置によって浮上搬送させるワークとしては、例えば、ガラス、プラスチック、金属などの素材からなる薄板状のものであり、特に好適なワークとしては、太陽電池用フラットパネルや携帯電話、液晶テレビ、パソコン用液晶モニターなどに用いる厚さ０．１乃至０．５ｍｍ程度のディスプレイ用ガラス基板である。
【実施例１】
【００２６】
以下に、本発明の第１実施例であるワーク浮上搬送装置１００について、図１乃至図５（Ｃ）に基づいて説明する。
ここで、図１は、本発明の第１実施例であるワーク浮上搬送装置の一部を示す概略斜視図であり、図２は、図１に示す符号２−２で視た断面図であり、図３は、本発明の第１実施例であるワーク浮上搬送装置の概略模式図であり、図４は、比較例のワーク浮上搬送装置の概略模式図であり、図５（Ａ）は、ワーク先端の位置と給気圧との関係を第１実施例と比較例とを比べて示す図であり、図５（Ｂ）は、ワーク先端の位置と吸引圧との関係を第１実施例と比較例とを比べて示す図であり、図５（Ｃ）は、ワーク先端の位置と所定位置で計測したワークの浮上量との関係を第１実施例と比較例とを比べて示す図である。
【００２７】
本発明の第１実施例であるワーク浮上搬送装置１００は、図１乃至図３に示すように、ワークＷと、このワークＷの搬送路面１１０との間に介在する圧縮空気でワークＷを浮上させ、図示しない公知のワーク保持手段による搬送力で搬送するように構成されている。
例えば、ワーク保持手段は、搬送路面上で浮上したワークＷの幅方向両側端を吸引吸着して把持してワークＷを搬送方向下流側に搬送する。
なお、図１にワークＷの浮上方向Ｕ、幅方向Ｓ、搬送方向Ｃを示す。
ワーク浮上搬送装置１００は、搬送テーブル上面に形成された搬送路面１１０と、真空ポンプなどの吸引圧発生手段１２０と、吸引流路１３０と、吸引側大気開放口１４０と、吸引側マニホールド１５０と、コンプレッサなどの給気圧発生手段１６０と、給気流路１７０と、給気側マニホールド１９０とを備えている。
【００２８】
このうち、搬送路面１１０は、搬送路面１１０とワークＷとの間に圧縮空気を給気する複数の給気口１１１を備えている。
給気口１１１の下方には、図２に示すように、一例として、多孔質フィルムなどの給気口用絞りシート１１２が設置され、給気口用絞りシート１１２が、空気の流量を絞り調整するように構成されている。
給気口用絞りシート１１２を使用することにより、単なる穴から圧縮空気を供給する構造と比べて、圧縮空気の消費流量が少なくなるという利点がある。
【００２９】
また、搬送路面１１０は、搬送路面１１０とワークＷとの間から空気を吸引する複数の吸引口１１３を備えている。
吸引口１１３の下方には、給気口１１１の下方と同様、一例として、多孔質フィルムなどの吸引口用絞りシート１１４が設置され、吸引口用絞りシート１１４が、空気の流量を絞り調整するように構成されている。
【００３０】
給気口１１１と吸引口１１３とが、搬送路面１１０の搬送方向Ｃに４列分の所定領域Ａ１、Ａ２…毎に配設され、搬送路面１１０で互い違い配列である市松模様状に交互に配設されている。
吸引口１１３は、吸引口１１３に吸引圧を発生させる吸引圧発生手段１２０と吸引流路１３０を介して連通されている。
給気口１１１は、給気口１１１に給気圧を発生させる給気圧発生手段１６０と給気流路１７０を介して連通されている。
【００３１】
さらに、吸引流路１３０は、搬送路面１１０の所定領域Ａ１、Ａ２…毎に配設され、吸引側マニホールド１５０を介して吸引圧発生手段１２０と連通されている。
なお、図３では、理解を容易にするために、所定領域Ａ３の吸引口１１３と連通した吸引流路１３０のみを図示し、その他の吸引流路の図示は省略する。
【００３２】
給気流路１７０は、吸引流路１３０と同様、搬送路面１１０の所定領域Ａ１、Ａ２…毎に配設され、給気側マニホールド１９０を介して給気圧発生手段１６０と連通されている。
なお、図３では、理解を容易にするために、所定領域Ａ３の給気口１１１と連通した給気流路１７０のみを図示し、その他の給気流路の図示は省略する。
【００３３】
吸引流路１３０には、吸引流路１３０の空気流量を調整する吸引側流量調整弁１３１と、吸引流路１３０の圧力を計測する吸引側圧力計１３２とが設置されている。
なお、吸引側流量調整弁１３１および吸引側圧力計１３２は、所定領域Ａ１、Ａ２…毎に配設された吸引流路１３０毎に設置されている。
給気流路１７０には、給気流路１７０の圧縮空気流量を調整する給気側流量調整弁１７１と、給気流路１７０の圧力を計測する給気側圧力計１７２とが設置されている。
なお、給気側流量調整弁１７１および給気側圧力計１７２は、所定領域Ａ１、Ａ２…毎に配設された給気流路１７０毎に設置されている。
【００３４】
また、吸引側大気開放口１４０が、吸引流路１３０と連通して設置され、吸引流路１３０に大気中から空気を供給するように構成されている。
さらに、吸引側大気開放口１４０には、吸引側大気開放口１４０から吸引流路１３０への空気流量を調整する吸引側大気開放口流量調整弁１４１が設置されている。
【００３５】
第１実施例では、所定領域Ａ２と所定領域Ａ３との境界線を、ワークＷに対して均一なコーティング等を行う所定位置としてのプロセスラインＰＬとする。
このプロセスラインＰＬ上の幅方向中央をワークＷの浮上量を計測器によって測定する浮上量測定位置ＭＰとする。
ワークＷが所定領域Ａ１から所定領域Ａ２へ搬送され、さらに、所定領域Ａ２から浮上量測定位置ＭＰを通過して所定領域Ａ３へ搬送される。
この際のワークＷの浮上量を第１実施例のワーク浮上搬送装置１００のときと比較例のワーク浮上搬送装置５００のときとを比べて説明する。
【００３６】
ここで、比較例のワーク浮上搬送装置５００は、図４に示すように、第１実施例のワーク浮上搬送装置１００の吸引側大気開放口１４０および吸引側大気開放口流量調整弁１４１を有していない点が異なるだけであり、その他の要素は第１実施例のワーク浮上搬送装置１００と共通であるので、共通する事項については詳しい説明を省略し、下２桁が共通する５００番台の符号を付すのみとする。
【００３７】
ワークＷが所定領域Ａ２から浮上量測定位置ＭＰを通過して所定領域Ａ３へ搬送される際、ワークＷの先端が図３および図４に示す所定領域Ａ３における搬送方向上流側１列目の給気口１１１および吸引口１１３の搬送方向上流端と対向する位置Ｌ１に到達した後から、所定領域Ａ３における搬送方向上流側から４列目の給気口１１１および吸引口１１３の搬送方向下流端と対向する位置Ｌ２に到達するまで、ワークＷの搬送方向下流側への搬送にしたがって、それぞれの給気口１１１の上方で僅かな浮上量分の隙間を空けてワークＷに覆われるようになり給気の逃げ場が制限されて給気口１１１の近傍の圧力が増加する。
そのため、所定領域Ａ３に連通する給気流路１７０の給気側圧力計１７２の値は正側に増加する。
このとき、図５（Ａ）に示すように、第１実施例のワーク浮上搬送装置１００の給気側圧力計１７２、および比較例のワーク浮上搬送装置５００の給気側圧力計５７２の値は同じように変動する。
【００３８】
図５（Ｂ）に示すように、ワークＷの先端が図３および図４に示す位置Ｌ１に到達した後から位置Ｌ２に到達するまで、ワークＷの搬送方向下流側への搬送にしたがって、それぞれの給気口１１１の上方で僅かな浮上量分の隙間を空けてワークＷに覆われるようになり吸引される空気の空間が制限されて吸引口１１３の近傍の圧力が低下する、すなわち、負の圧力（吸引負荷）が増加する。
そのため、比較例のワーク浮上搬送装置５００では、所定領域Ａ３に連通する吸引流路５３０の吸引側圧力計５３２の値は負側に増加する。
【００３９】
他方、第１実施例のワーク浮上搬送装置１００では、前述したように、吸引流路１３０に大気中から空気を供給する吸引側大気開放口１４０が、吸引流路１３０と連通して設置されている。
これにより、ワークＷの先端が吸引口１１３と対向した際に吸引口１１３の吸引圧が増加しようとするが、吸引側大気開放口１４０から空気が吸引流路１３０に瞬時に供給されるか、または、空気の供給量が瞬時に増加する。
そして、所定領域Ａ３に連通する吸引流路１３０の吸引側圧力計１３２の値は負側に増加するが、吸引口１１３の圧力変動幅に影響を及ぼす吸引流路１３０の吸引圧である負の圧力（吸引負荷）の増加分が、比較例のワーク浮上搬送装置５００と比べて低減される。
【００４０】
なお、第１実施例のワーク浮上搬送装置１００では、ワークＷの先端が位置Ｌ２に到達したときの吸引口１１３の吸引圧が、比較例と同じ水準となるように、吸引圧発生手段１２０や吸引側流量調整弁１３１などを調整して、デフォルトであるワークＷの先端が位置Ｌ１を通過する前の水準を、比較例のワーク浮上搬送装置５００のときの水準より低く設定している。
【００４１】
このように、ワークＷの先端が所定領域Ａ３の位置Ｌ１から位置Ｌ２を通過する際、第１実施例のワーク浮上搬送装置１００では、比較例のワーク浮上搬送装置５００のときと比べて、吸引口１１３の圧力変動幅に影響を及ぼす吸引流路１３０の吸引圧である負の圧力（吸引負荷）の増加分が低減される。
その結果、図５（Ｃ）に示すように、ワークＷの先端が所定領域Ａ３の位置Ｌ１から位置Ｌ２を通過する際、第１実施例のワーク浮上搬送装置１００では、比較例のワーク浮上搬送装置５００のときと比べて、ワークＷの浮上量の急激な変化を抑制してワークＷの安定した浮上搬送を実現する。
第１実施例では、ワークＷの先端が位置Ｌ２まで到達した後は一例として浮上量約３０μｍで安定する。
【００４２】
なお、図５（Ａ）乃至図５（Ｃ）に示すように、ワークＷの先端が所定領域Ａ３の位置Ｌ１から位置Ｌ２を通過する際の効果について説明したが、ワークＷの後端がプロセスラインＰＬ手前の所定領域Ａ２を通過する際の効果についても同様である。
第１実施例のワーク浮上搬送装置１００では、図示を省略しているが所定領域Ａ２の吸引口１１３と連通する吸引流路１３０に大気中から空気を供給する吸引側大気開放口１４０が、吸引流路１３０と連通して設置されている。
これにより、ワークＷの後端が所定位置Ａ２において吸引口１１３を通過した際にも、ワークＷの先端が吸引口１１３と対向する前と同様の状態に瞬時に戻って吸引口１１３の圧力変動幅が、比較例のワーク浮上搬送装置５００と比べて低減される。
【００４３】
さらに、第１実施例では、吸引側大気開放口１４０から吸引流路１３０への空気流量を調整する吸引側大気開放口流量調整弁１４１が、吸引側大気開放口１４０に設置されている。
これにより、吸引口１１３の吸引圧が調整自在となるとともに、吸引側大気開放口１４０から空気が吸引流路１３０に瞬時に供給されるときまたは空気の供給量が瞬時に増加したときの吸引口１１３の圧力変動幅が調整自在となる。
【００４４】
また、第１実施例では、前述したように、吸引口１１３および給気口１１１が、搬送路面１１０の所定領域Ａ１、Ａ２…毎に配設されている。
さらに、吸引流路１３０および給気流路１７０が、搬送路面１１０の所定領域Ａ１、Ａ２…毎に配設されている。
そして、吸引流路１３０の空気流量を調整する吸引側流量調整弁１３１が、吸引流路１３０毎に設置されている。
同様に、給気流路１７０の圧縮空気流量を調整する給気側流量調整弁１７１が、給気流路１７０毎に設置されている。
これにより、所定領域Ａ１、Ａ２…毎に給気口１１１の給気圧および吸引口１１３の吸引圧が調整自在となる。
【００４５】
また、第１実施例では、前述したように、吸引口１１３および給気口１１１が、搬送路面１１０の所定領域Ａ１、Ａ２…毎に市松模様状に交互に配設されている。
これにより、ワークＷに作用する給気圧および吸引圧の力の場所が均一に分散される。
【００４６】
このようにして得られた本発明の第１実施例であるワーク浮上搬送装置１００は、搬送路面１１０が、搬送路面１１０とワークＷとの間に圧縮空気を給気する複数の給気口１１１と、搬送路面１１０とワークＷとの間から空気を吸引する複数の吸引口１１３とを備え、吸引口１１３が、この吸引口１１３に吸引圧を発生させる吸引圧発生手段１２０と吸引流路１３０を介して連通され、吸引流路１３０に大気中から空気を供給する吸引側大気開放口１４０が、吸引流路１３０と連通して設置されていることにより、ワークＷの浮上量の急激な変化を抑制してワークＷの安定した浮上搬送を実現することができる。
【００４７】
さらに、吸引側大気開放口１４０から吸引流路１３０への空気流量を調整する吸引側大気開放口流量調整弁１４１が、吸引側大気開放口１４０に設置されていることにより、ワークＷの浮上量を精度よく調整するとともにワークＷの浮上量の変化の低減幅を調整することができる。
【００４８】
また、吸引口１１３および給気口１１１が、搬送路面１１０の所定領域Ａ１、Ａ２…毎に配設され、吸引流路１３０および給気流路１７０が、搬送路面１１０の所定領域Ａ１、Ａ２…毎に配設され、吸引流路１３０の空気流量を調整する吸引側流量調整弁１３１が、吸引流路１３０毎に設置され、給気流路１７０の圧縮空気流量を調整する給気側流量調整弁１７１が、給気流路１７０毎に設置されていることにより、所定領域Ａ１、Ａ２…毎にワークＷの浮上量を精度よく調整することができ、特に、所定領域Ａ１、Ａ２…がワークＷのコーティング等を行う所定位置としてのプロセスラインＰＬ近傍である場合はコーティング加工等を精度よく達成することができる。
【００４９】
さらに、吸引口１１３および給気口１１１が、搬送路面１１０の所定領域Ａ１、Ａ２…毎に市松模様状に交互に配設されていることにより、ワークＷの全域に亘ってワークＷの浮上量を均一にして安定させることができるなど、その効果は甚大である。
【実施例２】
【００５０】
続いて、本発明の第２実施例であるワーク浮上搬送装置２００について、図６乃至図７（Ｃ）に基づいて説明する。
ここで、図６は、本発明の第２実施例であるワーク浮上搬送装置の概略模式図であり、図７（Ａ）は、ワーク先端の位置と給気圧との関係を第２実施例と第１実施例と比較例とを比べて示す図であり、図７（Ｂ）は、ワーク先端の位置と吸引圧との関係を第２実施例と第１実施例と比較例とを比べて示す図であり、図７（Ｃ）は、ワーク先端の位置と所定位置で計測したワークの浮上量との関係を第２実施例と第１実施例と比較例とを比べて示す図である。
【００５１】
第２実施例のワーク浮上搬送装置２００は、第１実施例のワーク浮上搬送装置１００の給気流路１７０と連通する給気側大気開放口を設置したものであり、多くの要素について第１実施例のワーク浮上搬送装置１００と共通するので、共通する事項については詳しい説明を省略し、下２桁が共通する２００番台の符号を付すのみとする。
【００５２】
本発明の第２実施例であるワーク浮上搬送装置２００では、図６に示すように、給気側大気開放口２８０が、給気流路２７０と連通して設置され、給気流路２７０から大気中に空気を排出するように構成されている。
さらに、給気側大気開放口２８０には、給気流路２７０から給気側大気開放口２８０への圧縮空気流量を調整する給気側大気開放口流量調整弁２８１が設置されている。
ワークＷが所定領域Ａ２から浮上量測定位置ＭＰを通過して所定領域Ａ３へ搬送される際のワークＷの浮上量を第２実施例のワーク浮上搬送装置２００のときと第１実施例のワーク浮上搬送装置１００のときと比較例のワーク浮上搬送装置５００のときとを比べて説明する。
【００５３】
ワークＷの先端が図６、図３、図４に示す所定領域Ａ３の位置Ｌ１に到達した後から位置Ｌ２に到達するまで、ワークＷの搬送方向下流側への搬送にしたがって、それぞれの給気口２１１の上方で僅かな浮上量分の隙間を空けてワークＷに覆われるようになり給気の逃げ場が制限されて給気口２１１の近傍の圧力が増加する。
そのため、所定領域Ａ３に連通する給気流路２７０の給気側圧力計２７２の値は正側に増加する。
このとき、図７（Ａ）に示すように、第１実施例のワーク浮上搬送装置１００の給気側圧力計１７２、および比較例のワーク浮上搬送装置５００の給気側圧力計５７２の値は同じように変動する。
【００５４】
他方、第２実施例のワーク浮上搬送装置２００では、前述したように、給気流路２７０から大気中に空気を排出する給気側大気開放口２８０が、給気流路２７０と連通して設置されている。
これにより、ワークＷの先端が給気口２１１と対向した際に給気口２１１の圧力が増加しようとするが、給気流路２７０の給気が給気側大気開放口２８０から瞬時に排出されるか、または、給気の排出量が瞬時に増加する。
そして、所定領域Ａ３に連通する給気流路２７０の給気側圧力計２７２の値は正側に増加するが、給気口２１１の圧力変動幅に影響を及ぼす給気流路２７０の給気圧の増加分が、第１実施例のワーク浮上搬送装置１００および比較例のワーク浮上搬送装置５００と比べて低減される。
【００５５】
なお、第２実施例のワーク浮上搬送装置２００では、ワークＷの先端が位置Ｌ２に到達したときの給気口２１１の給気圧が、第１実施例および比較例と同じ水準となるように、給気圧発生手段２６０や給気側流量調整弁２７１などを調整して、デフォルトであるワークＷの先端が位置Ｌ１を通過する前の水準を、第１実施例のワーク浮上搬送装置１００および比較例のワーク浮上搬送装置５００のときの水準より高く設定している。
【００５６】
図７（Ｂ）に示すように、ワークＷの先端が図６、図３、図４に示す位置Ｌ１に到達した後から位置Ｌ２に到達するまで、ワークＷの搬送方向下流側への搬送にしたがって、それぞれの給気口２１１の上方で僅かな浮上量分の隙間を空けてワークＷに覆われるようになり吸引される空気の空間が制限されて吸引口２１３の近傍の圧力が低下する、すなわち、負の圧力（吸引負荷）が増加する。
第２実施例のワーク浮上搬送装置２００では、第１実施例のワーク浮上搬送装置１００と同様、吸引流路２３０に大気中から空気を供給する吸引側大気開放口２４０が、吸引流路２３０と連通して設置されている。
【００５７】
これにより、ワークＷの先端が吸引口２１３と対向した際に吸引口２１３の吸引圧が増加しようとするが、第１実施例のワーク浮上搬送装置１００と同様、吸引側大気開放口２４０から空気が吸引流路２３０に瞬時に供給されるか、または、空気の供給量が瞬時に増加する。
そして、所定領域Ａ３に連通する吸引流路２３０の吸引側圧力計２３２の値は負側に増加するが、吸引口２１３の圧力変動幅に影響を及ぼす吸引流路２３０の吸引圧である負の圧力（吸引負荷）の増加分が、比較例のワーク浮上搬送装置５００と比べて低減される。
【００５８】
なお、第２実施例のワーク浮上搬送装置２００では、第１実施例のワーク浮上搬送装置１００と同様、ワークＷの先端が位置Ｌ２に到達したときの吸引口２１３の吸引圧が、比較例と同じ水準となるように、吸引圧発生手段２２０や吸引側流量調整弁２３１などを調整して、デフォルトであるワークＷの先端が位置Ｌ１を通過する前の水準を、比較例のワーク浮上搬送装置５００のときの水準より低く設定している。
【００５９】
このように、ワークＷの先端が所定領域Ａ３の位置Ｌ１から位置Ｌ２を通過する際、第２実施例のワーク浮上搬送装置２００では、給気口２１１の圧力変動幅に影響を及ぼす給気流路２７０の給気圧の増加分が、第１実施例のワーク浮上搬送装置１００および比較例のワーク浮上搬送装置５００と比べて低減される。
その結果、図７（Ｃ）に示すように、ワークＷの先端が所定領域Ａ３の位置Ｌ１から位置Ｌ２を通過する際、第２実施例のワーク浮上搬送装置２００では、第１実施例のワーク浮上搬送装置１００のときと比べて、ワークＷの浮上量の急激な変化をより一層抑制してワークＷのより安定した浮上搬送を実現する。
【００６０】
つまり、吸引側大気開放口２４０および給気側大気開放口２８０の両者を設けることによって吸引口２１３および給気口２１１の両者の圧力変動幅が低減される。
その結果、第１実施例のワーク浮上搬送装置１００および比較例のワーク浮上搬送装置５００と比べて、ワークＷの浮上量の急激な変化をより一層抑制してワークＷのより安定した浮上搬送を実現する。
【００６１】
なお、図７（Ａ）乃至図７（Ｃ）に示すように、ワークＷの先端が所定領域Ａ３の位置Ｌ１から位置Ｌ２を通過する際の効果について説明したが、ワークＷの後端がプロセスラインＰＬ手前の所定領域Ａ２を通過する際の効果についても同様である。
第２実施例のワーク浮上搬送装置２００では、図示を省略しているが所定領域Ａ２の吸引口２１３と連通する給気流路２７０から大気中に空気を排出する給気側大気開放口２８０が、給気流路２７０と連通して設置されている。
これにより、ワークＷの後端が所定位置Ａ２において給気口２１１を通過した際にも、ワークＷの先端が給気口２１１と対向する前と同様の状態に瞬時に戻って給気口２１１の圧力変動幅が、第１実施例のワーク浮上搬送装置１００および比較例のワーク浮上搬送装置５００と比べて低減される。
【００６２】
さらに、第２実施例では、給気流路２７０から給気側大気開放口２８０への圧縮空気流量を調整する給気側大気開放口流量調整弁２８１が、給気側大気開放口２８０に設置されている。
これにより、給気口２１１の給気圧が調整自在となるとともに、給気流路２７０から給気側大気開放口２８０へ圧縮空気が瞬時に排出されるときまたは圧縮空気の排出量が瞬時に増加したときの給気口２１１の圧力変動幅が調整自在となる。
なお、第１実施例では、給気側大気開放口を設けずに吸引側大気開放口１４０のみを設け、第２実施例では、吸引側大気開放口２４０および給気側大気開放口２８０の両者を設けたが、吸引側大気開放口２４０を設けずに給気側大気開放口２８０のみを設けてもよいのは言うまでもない。
【００６３】
このようにして得られた本発明の第２実施例であるワーク浮上搬送装置２００は、給気流路２７０から大気中に空気を排出する給気側大気開放口２８０が、給気流路２７０と連通して設置されていることにより、ワークＷの浮上量の急激な変化をより一層抑制してワークＷのより安定した浮上搬送を実現することができる。
【００６４】
さらに、給気流路２７０から給気側大気開放口２８０への圧縮空気流量を調整する給気側大気開放口流量調整弁２８１が、給気側大気開放口２８０に設置されていることにより、ワークＷの浮上量を精度よく調整するとともにワークＷの浮上量の変化の低減幅を調整することができるなど、その効果は甚大である。
【符号の説明】
【００６５】
１００、２００、５００  ・・・  ワーク浮上搬送装置
１１０、２１０、５１０  ・・・  搬送路面
１１１、２１１、５１１  ・・・  給気口
１１２                  ・・・  給気口用絞りシート
１１３、２１３、５１３  ・・・  吸引口
１１４                  ・・・  吸引口用絞りシート
１２０、２２０、５２０  ・・・  吸引圧発生手段
１３０、２３０、５３０  ・・・  吸引流路
１３１、２３１、５３１  ・・・  吸引側流量調整弁
１３２、２３２、５３２  ・・・  吸引側圧力計
１４０、２４０          ・・・  吸引側大気開放口
１４１、２４１          ・・・  吸引側大気開放口流量調整弁
１５０、２５０、５５０  ・・・  吸引側マニホールド
１６０、２６０、５６０  ・・・  給気圧発生手段
１７０、２７０、５７０  ・・・  給気流路
１７１、２７１、５７１  ・・・  給気側流量調整弁
１７２、２７２、５７２  ・・・  給気側圧力計
２８０          ・・・  給気側大気開放口
２８１          ・・・  給気側大気開放口流量調整弁
１９０、２９０、５９０  ・・・  給気側マニホールド
Ａ１、Ａ２…            ・・・  所定領域
Ｗ                      ・・・  ワーク
ＰＬ                    ・・・  プロセスライン
ＭＰ                    ・・・  浮上量測定位置
Ｓ                      ・・・  幅方向
Ｃ                      ・・・  搬送方向
Ｕ                      ・・・  浮上方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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