(57)【要約】【課題】ケーブルガイドの保持や接触によって異物が発生することを防止するケーブルガイドおよび電子製品の製造設備を得る。【解決手段】この発明のケーブルガイド２０においては、直線往復移動する移動体１０の移動動作の途中において、屈曲部２０Ｃを境に上下段に上側ケーブルガイド部２０Ｕと下側ケーブルガイド部２０Ｌが其々配置され、上側ケーブルガイド部２０Ｕ内に設けられる第１の磁石ＭＧ１を備えるとともに、上側ケーブルガイド部２０Ｕの下方に、第１の磁石ＭＧ１との間に斥力を生ずる第２の磁石（ＭＧ１或いはＭＧ２）が配置されることにより、上側ケーブルガイド部２０Ｕを保持するものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
直線往復移動する移動体に接続されたケーブルを収納し、当該ケーブルを保護或いは案内するケーブルガイドであって、
前記移動体の移動動作に伴って任意の位置がＣ字状に屈曲可能であり、前記移動動作の途中において、当該Ｃ字状に屈曲された屈曲部を境に上下段に其々配置された上側ケーブルガイド部および下側ケーブルガイド部を備え、
前記ケーブルガイドにおける少なくとも前記上側ケーブルガイド部内に設けられる第１の磁石を備えるとともに、前記上側ケーブルガイド部の下方に、前記第１の磁石との間に斥力を生ずる第２の磁石が配置されることにより、前記上側ケーブルガイド部を保持することを特徴とするケーブルガイド。
【請求項２】
前記第２の磁石は、前記移動動作の途中において、前記下側ケーブルガイド部内に配置された磁石を含むことを特徴とする請求項１に記載のケーブルガイド。
【請求項３】
前記第１の磁石と前記第２の磁石とは、前記ケーブルガイドの前記屈曲部に対して内側の面となる一方の面側に、磁石の極性における同極が並ぶように配置されて構成されることを特徴とする請求項２に記載のケーブルガイド。
【請求項４】
前記直線往復移動する移動体の可動範囲が、前記上側ケーブルガイド部における当該移動体より所定距離以上離れた位置において、必ず、前記下側ケーブルガイド部が配置される範囲内に限られることを特徴とする請求項２或いは請求項３に記載のケーブルガイド。
【請求項５】
前記第２の磁石は、前記ケーブルガイドと別途配置された磁石を含むことを特徴とする請求項１から請求項３の何れか１項に記載のケーブルガイド。
【請求項６】
前記第１の磁石と前記第２の磁石の少なくとも一部が希土類磁石よりなることを特徴とする請求項１から請求項５の何れか１項に記載のケーブルガイド。
【請求項７】
複数のケースをリンク部によって屈曲可能に連結された構造よりなることを特徴とする請求項１から請求項６の何れか１項に記載のケーブルガイド。
【請求項８】
請求項１から請求項７の何れか１項に記載のケーブルガイドを備えたことを特徴とする電子製品の製造設備。
【請求項９】
前記直線往復移動する移動体が、前記電子製品の製造時に用いられる基板を搬送する搬送ロボットの基台であって、前記ケーブルは、前記搬送ロボットへの動力或いは信号のやり取りを行うために当該搬送ロボットに対して接続して設けられるケーブルであることを特徴とする請求項８に記載の電子製品の製造設備。
【請求項１０】
前記下側ケーブルガイド部を床面より上方に離れた位置に保持する保持機構を備えたことを特徴とする請求項８或いは請求項９に記載の電子製品の製造設備。
【請求項１１】
前記保持機構は、前記床面より上方に離れた位置において支持する支持面を有した支持台よりなることを特徴とする請求項８或いは請求項９に記載の電子製品の製造設備。
【請求項１２】
前記保持機構は、前記移動動作の途中において、前記下側ケーブルガイド部内に配置された磁石と、当該下側ケーブルガイド部の下方に、前記ケーブルガイドとは別途配置され、前記下側ケーブルガイド部内に配置された磁石との間に斥力を生ずる第３の磁石とからなることを特徴とする請求項８或いは請求項９に記載の電子製品の製造設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主に液晶表示装置や半導体製品などの電子製品の製造に用いられる製造設備および当該製造設備において用いられるケーブルガイドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
主に液晶表示装置や半導体製品などの電子製品の製造に用いられる製造設備においては、直線往復移動を行うロボットなどの可動部分に信号、動力を供給する移動ケーブルと、この移動ケーブルを収納して設けられ、当該ケーブルを保護する機能、或いは案内する機能を有したケーブルガイド（或いは、ケーブルダクト、ケーブル保護管、ケーブルチェーンなどと呼ばれる）が汎用されている。これら移動ケーブルは、ロボットなどの可動部分の直線往復移動に追従する必要があることから、一部に折り返し部分となる屈曲部が形成された「つ」の字状或いはＵ字状に形状となる。また、この移動ケーブルを収納して設けられるケーブルガイドについても一部に円弧状の屈曲部が形成された「つ」の字状或いはＵ字状の形状となっている。更に、この屈曲部においては、移動ケーブルが必要以上に曲がらないように定められた半径の円弧を描くように屈曲させるため、ケーブルガイドは、例えば特許文献１や特許文献２に開示されているように、複数の箱型のケースをピンやリンク部によって屈曲可能に連結された構成が用いた構成が汎用されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開昭５８−１８７６４５号公報
【特許文献２】特開２００４−３１２８９９号公報
【特許文献３】特開平３−２８７３９１号公報
【特許文献４】特開平６−７８４３９号公報
【特許文献５】特開平１１−３４２８０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
また、これら製造設備において、可動部の直線往復移動の範囲（可動範囲）が長い場合、つまり、走行軸の長いロボットが用いられる場合では、特許文献３に開示されるように、使用されているケーブルガイドの中間に、ケーブルガイドの荷重を支え、垂れ下がりを防止する保持部材として機能するローラが設置される場合がある。ローラは、樹脂性やアルミ材製のものが一般的であり、アルミ材製の場合には表面に硬質アルマイト処理が施されるなど、ある程度の耐磨耗対策がなされているが、ケーブルガイドとの接触が続くと、表面のアルマイトが剥げてアルミ材製の素地がむき出しになる。素地のアルミ材は柔らかいため、更に、ケーブルガイドとの接触が続くと、アルミ材についても磨耗により削れ、アルミ材の摩耗粉が発生し、異物となって当該ケーブルガイドを用いた製造設備により製造される製品に付着することで、当該製品の製造不良を発生させている。なお、樹脂性のローラを用いた場合には、全体的に柔らかい素材であるため、やはり、ケーブルガイドとの接触が続くと磨耗により削れ、同様に、異物となって当該製品の製造不良を発生させることになる。
【０００５】
また、特許文献４や特許文献５には、ケーブルガイドの上側に配置した磁石により、ケーブルガイドを引っ張り保持することで、垂れ下がりや蛇行を防止する保持部材として機能させる方法が記載されるが、ローラで保持するのと同様に、基本的にはケーブルガイドを接触保持することに変わりが無いことから、ケーブルガイドと磁石による保持部分の接触により異物を発生してしまう。
【０００６】
また、公知のケーブルガイドの製品として、ケーブルガイドの左右両側に配置した磁石により非接触のガイドとして機能させるものがあるが、磁石の引力を利用していることから、磁石との距離が離れるにつれて、作用される引力は小さくなる。従って、何らかの衝撃などで磁力範囲から外れてしまうと、ケーブルガイドを保持する磁力は作用されなくなり、ケーブルガイドは落下してしまい、下側のケーブルガイドや床などに接触し、やはり、異物などを発生させることが懸念される。
【０００７】
以上説明のとおり、実際の製造設備の動作時に想定される種々の状況も含めて、ケーブルガイドを保持すること、或いは、ケーブルガイド同士や床などと接触することによる異物などの発生を効果的に防止するために有効な装置や方法は、従来においては存在しなかった。
【０００８】
本発明は、上記説明のような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、電子製品の製造設備の動作時における異物などの発生を効果的に防止することの可能なケーブルガイドを得ること、或いは、製造される製品に対して製造不良が発生することを改善可能な電子製品の製造設備を得ることである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のケーブルガイドにおいては、直線往復移動する移動体に接続されたケーブルを収納し、当該ケーブルを保護或いは案内するものであって、前記の移動体の移動動作に伴って任意の位置がＣ字状に屈曲可能であり、前記移動動作の途中において、当該Ｃ字状に屈曲された屈曲部を境に上下段に其々配置された上側ケーブルガイド部および下側ケーブルガイド部を備え、前記ケーブルガイドにおける少なくとも前記上側ケーブルガイド部内に設けられる第１の磁石を備えるとともに、前記上側ケーブルガイド部の下方に、前記第１の磁石との間に斥力を生ずる第２の磁石が配置されることにより、前記上側ケーブルガイド部を保持するものである。
【発明の効果】
【００１０】
ケーブルガイドの保持や接触によって異物が発生することを防止し、更に、磁石の斥力を利用してケーブルガイドを非接触に保持していることから、ケーブルガイドの接触が懸念される対象に対して、或いは当該斥力を作用してケーブルガイドを非接触に保持する対象に対して、近接するほど作用される斥力が大きくなり、効果的にケーブルガイドの接触による異物発生を防止できる。 
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施の形態１の液晶表示装置の製造設備の側面図および要部側面である。
【図２】本発明の実施の形態１の液晶表示装置の製造設備の搬送ロボットの斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態１の液晶表示装置の製造設備の動作説明図である。
【図４】本発明の実施の形態１の液晶表示装置の製造設備の動作説明図である。
【図５】本発明の実施の形態２の液晶表示装置の製造設備の側面図である。
【図６】本発明の実施の形態２の液晶表示装置の製造設備の動作説明図である。
【図７】本発明の実施の形態３の液晶表示装置の製造設備の側面図である。
【図８】本発明の実施の形態３の液晶表示装置の製造設備の動作説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
実施の形態１.
本発明を適用した電子製品の製造設備およびケーブルガイドの一例として、実施の形態１の液晶表示装置の製造設備、より具体的には、液晶表示装置の製造時に用いられる基板の搬送ロボットと、その搬送ロボットへの動力供給などを行うために接続されるケーブル部分に用いられるケーブルガイドよりなる製造設備の構成について、図１の側面図および図２の斜視図を用いて説明する。ここで、図１(ａ)は製造設備全体の側面図、図１(ｂ)は要部詳細図となるケーブルガイドの側面図、図２は要部ではないが製造設備の一部構成となる搬送ロボットの斜視図である。
【００１３】
なお、図は、模式的なものであり、示された構成要素の正確な大きさなどを反映するものではない。また、図中、既出の図において説明したものと同一の構成には同一の符号を付し、その説明を省略する。以下、その他の図においても同様とする。また、図中におけるＺ軸方向が重力の作用方向と平行となる鉛直方向に一致するものとし、本明細書中では、基本的には、＋Ｚ方向を上側（或いは、上方）、−Ｚ方向を下側（或いは、下方）、＋Ｚ方向の移動を上昇、−Ｚ方向の移動を下降とも呼ぶことにする。
【００１４】
この液晶表示装置の製造設備は、図１(ａ)に示されるように、液晶表示装置の製造時に用いられる基板を搬送する搬送ロボット１０を備えており、この搬送ロボット１０は直線往復動作を行う可動部（すなわち、直線往復移動する移動体）として基台１１と、この基台１１に取り付けられ所定作業を行なうためのロボットハンド１２とを有している。
【００１５】
この基台１１には不図示のモータが内蔵され、このモータに対して所定の電力供給が行われており、更に、所定の位置検出電気信号のやり取りを行なうことで、モータの出力軸の正方向、逆方向の駆動にともなって、基台１１については、不図示の走行軸に沿って、図中の＋Ｘ方向、−Ｘ方向に直線往復動作を行うことができるように構成されている。また、ロボットハンド１２においても不図示のモータが幾つか内蔵されており、図２に示すとおり、ロボット関節部１３が伸び縮み動作することにより、ロボットハンド１２が、図中の＋Ｙ方向、−Ｙ方向に沿った往復動作を行うことや、ロボットハンド１２とロボット関節部１３の全体について、図中の＋Ｚ方向、−Ｚ方向に沿った上昇下降動作を行うことが可能なように構成されている。
【００１６】
また、ロボットハンド１２に対しては、真空圧、空気圧、油圧などの各種ユーティリティを適宜供給し、例えば、上記説明を行った上昇下降動作について駆動する際の動力として用いるように構成されても良い。或いは、これら各種ユーティリティの供給について、ロボットハンド１２上に所定のワーク（ここでは基板を搬送対象のワークとする）を真空吸着によって保持することと、当該真空吸着を解除するために用いるよう構成されても良い。
【００１７】
以上説明を行った搬送ロボット１０への動力の供給、信号のやり取りなどについては、図示されるとおり、この搬送ロボット１０の基台１１に対して接続して設けられるケーブル２１を介して行われる。また、各種ユーティリティの供給についてもケーブル２１により行っても良い。なお、ケーブル２１において、搬送ロボット１０への接続側と反対側の端部の状態については、図示省略するが、駆動制御装置やエアコンプレッサ、その他、各種ユーティリティの供給源などに対してケーブル２１は接続される。
【００１８】
また、図１(ａ)に示されるように、本実施の形態１の液晶表示装置の製造設備において特徴的な構成として、ケーブル２１を収納して設けられ、当該ケーブル２１を保護する機能、或いは案内する機能を有したケーブルガイド２０を備えている。特に本発明のケーブルガイド２０は、内部に強力な磁石ＭＧ１が設置されることで、ケーブルガイド２０が動作時において、磁石の斥力を利用して非接触で保持される特徴を有している。更に、このケーブルガイド２０は、図示されるように「つ」の字状または逆「つ」の字状に屈曲し、この搬送ロボット１０の基台１１の移動に伴って任意の位置が一定の曲率で屈曲可能であり、Ｃ字状に屈曲された屈曲部２０Ｃを境に上下段に其々配置される上側ケーブルガイド部２０Ｕと下側ケーブルガイド部２０Ｌが設けられる。
【００１９】
また、ケーブルガイド２０について、より詳細な構成としては、図１（ｂ）の要部詳細図に示されるとおり、複数のケース２２をリンク部２３によって屈曲可能に連結された構成を有しており、更に、リンク部２３を介して連結されるケース２２間の為す角度範囲が一定範囲に設定されていることにより、一定の曲率で屈曲可能とされている。言い換えると、当該一定の曲率を超える屈曲角度に屈曲されないように構成されている。従って、このように構成されていることにより、ケーブルガイド２０の内側に収納されるケーブル２１についても当該一定の曲率を超える屈曲角度に屈曲されることがなく、当該ケーブル２１が無理な屈曲状態となることを防止するよう機能している。
【００２０】
また、ケーブルガイド２０は、先に説明のとおり、内部に強力な磁石ＭＧ１が設置されるが、図示されるとおり、例えば、ケーブルガイド２０を構成するケース２２に磁石ＭＧ１を配置し、この磁石ＭＧ１のＳ極或いはＮ極をケーブルガイド２０の屈曲部２０Ｃに対して内側の面となる一方の面側に、磁石の極性における同極が並ぶように配置されている（図では、一例として内側の面側にＳ極が並ぶ配置を示している）。なお、図１（ａ）中においては、便宜上、ケーブルガイド２０の厚みと同等の大きさの磁石ＭＧ１が示されているが、例えば、ケーブルガイド２０の厚みに比べて小型の磁石ＭＧ１を用いる場合には、ケーブルガイド２０の屈曲される内側において磁力が作用されることが必要であることから、図１（ｂ）の詳細図に示されるとおり、磁石ＭＧ１自体ケーブルガイド２０の厚み方向において、屈曲される内側表面近傍に配置すると良い。
【００２１】
更に、ケーブルガイド２０において、このケーブル２１が駆動制御装置やエアコンプレッサ、その他、各種ユーティリティの供給源などが接続される側の一端が、床面ＦＬからの基部に対して固定され、他端については搬送ロボット１０の基台１１の特に前記の一端よりも所定距離（前記の屈曲部２０Ｃの曲率半径の２倍程度に対応）高い位置に固定される。
【００２２】
また、ケーブルガイド２０の下方には、特にケーブルガイド２０のうち下段に配置される下側ケーブルガイド部２０Ｌを床面ＦＬより上方に離れた位置に保持する保持機構として、当該床面ＦＬより上方に離れた位置において支持する支持面を有した支持台３０を備えている。また、先に説明を行ったケーブルガイド２０が固定される一端となるケーブル２１が駆動制御装置やエアコンプレッサ、その他、各種ユーティリティの供給源などが接続される側の一端については、この支持台３０の支持面の一部に固定するようにした。
【００２３】
上記説明のケーブルガイド２０内に設けられる磁石ＭＧ１に加えて、本実施の形態１の液晶表示装置の製造設備においては、搬送ロボット１０および基台１１が図示されるロボットの可動範囲の中で−Ｘ方向（図中での左側方向）の端部付近まで移動した際において、基台１１の近傍に位置する上側ケーブルガイド部２０Ｕの下部となる位置に、ケーブルガイド２０と別途配置された磁石ＭＧ２が設けられる。つまり、磁石ＭＧ２は、先に説明したケーブルガイド２０内に設けられる磁石ＭＧ１と別途設けられる。
【００２４】
また、磁石ＭＧ２は、床面ＦＬと平行な面上において上側ケーブルガイド部２０Ｕの延在方向に沿って複数配列されるように、ケーブルガイド２０と別途干渉することなく設けられた保持部材４０により保持される。また、保持部材４０により保持される各磁石ＭＧ２については、図示されるとおり、上側ケーブルガイド部２０Ｕが保持部材４０上に配置された際に、上側ケーブルガイド部２０Ｕ内に設けられた磁石ＭＧ１との間に斥力を発生する位置関係に配置される。ここでは、磁石ＭＧ１の上側ケーブルガイド部２０Ｕの下側の面にＳ極が並ぶ配置に併せて、保持部材４０の上側の面にＳ極が並ぶ配置としている。
【００２５】
続いて、図１（ａ）に加えて、図３および図４の動作説明図を用いて、本実施の形態１の液晶表示装置の製造設備の全体動作について、特に、搬送ロボット１０の動作と、それに伴う、ケーブルガイド２０の動作、更に、それぞれの動作により得られる作用について説明を行う。なお、図１（ａ）の状態においては、搬送ロボット１０および基台１１が図中の＋Ｘ方向、−Ｘ方向に行う直線往復動作における可動範囲の中で中途の位置にある状態が示されている。また、図３および図４には、当該可動範囲の中で＋Ｘ方向（図中での左側方向）における端部まで移動した状態、−Ｘ方向（図中での右側方向）における端部まで移動した状態が、それぞれ示されている。
【００２６】
そして、このケーブルガイド２０は、例えば、図１（ａ）の状態より図３の状態まで、搬送ロボット１０および基台１１が＋Ｘ方向（図中での左側方向）に移動動作される場合、搬送ロボット１０および基台１１の移動動作に伴い一定の曲率の円弧形状の屈曲を行ないつつ、ケーブルガイド２０内において、このＣ字状に屈曲された屈曲部２０Ｃの形成される位置が順次移動しながら、当該ケーブル２１を案内するよう動作する。また、この搬送ロボット１０および基台１１の移動動作に伴って、当該移動動作の途中において、Ｃ字状に屈曲された屈曲部２０Ｃが移動する際に、この屈曲部２０Ｃを境に上下段に其々配置された上側ケーブルガイド部２０Ｕと下側ケーブルガイド部２０Ｌについても屈曲部２０Ｃを経た後に順次切り替わることになる。
【００２７】
なお、ケーブルガイド２０は、この一定の曲率の円弧形状のＣ字状に屈曲された屈曲部２０Ｃが形成され、その字状に屈曲された屈曲部２０Ｃの形成される位置が順次移動されることで、内部に収納されたケーブル２１が無理な屈曲をしないように保護しながら、上記搬送ロボット１０および基台１１の移動動作が行われることになる。
【００２８】
また、図１（ａ）の状態より図３の状態まで搬送ロボット１０および基台１１の移動動作される間において、絶えず、上側ケーブルガイド部２０Ｕの下方には、下側ケーブルガイド部２０Ｌが配置された状態となる。その際においては、上側ケーブルガイド部２０Ｕ内と下側ケーブルガイド部２０Ｌ内に其々設けられた磁石ＭＧ１は、互いに同極が対向して配置されることとなり、互いに反発する方向に斥力が発生する。その結果、上側ケーブルガイド部２０Ｕは、その下部となる位置において、当該上側ケーブルガイド部２０Ｕ内に設けられた磁石ＭＧ１との間に斥力を生ずる下側ケーブルガイド部２０Ｌ内に設けられた磁石ＭＧ１が配置されることにより、その荷重が支えられ保持される。
【００２９】
なお、上側ケーブルガイド部２０Ｕは、一端となる搬送ロボット１０および基台１１に固定される側の端部近傍付近では下側ケーブルガイド部２０Ｌよりも高い位置に保持されており、他端となる屈曲部２０Ｃ近傍付近では屈曲部２が一定の曲率を超える屈曲角度に屈曲されないように構成であることから、やはり、下側ケーブルガイド部２０Ｌよりも高い位置に保持されることになる。
【００３０】
一方、これら両端から離れた位置、つまり、上側ケーブルガイド部２０Ｕの中央部付近では上側ケーブルガイド部２０Ｕと収納されるケーブル２１の重さも作用して、上記説明の磁石ＭＧ１の作用が無ければ、下側ケーブルガイド部２０Ｌに近接する方向に垂れ下がることとなる。また、上側ケーブルガイド部２０Ｕが長くなるにつれて、垂れ下がる量は増加することから、ある程度以上、上側ケーブルガイド部２０Ｕが長くなる位置では、上側ケーブルガイド部２０Ｕと下側ケーブルガイド部２０Ｌが当接してしまうことになる。
【００３１】
しかしながら、本実施の形態１の液晶表示装置の製造設備に用いられるケーブルガイド２０においては、上記説明のとおり、上側ケーブルガイド部２０Ｕ内と下側ケーブルガイド部２０Ｌ内に其々設けられた磁石ＭＧ１により発生される斥力により、上側ケーブルガイド部２０Ｕが下側ケーブルガイド部２０Ｌ上に保持されることで、ケーブルガイド２０同士の接触を防ぐことができる。また、磁石の斥力を利用していることから、対向して配置される磁石ＭＧ１間の近接される距離が近くなるほど反発する方向の斥力は増大することから、より効果的にケーブルガイド２０同士の接触を防ぐ作用が得られることになる。
【００３２】
また、本実施の形態１のケーブルガイド２０においては、リンク部２３を介して連結されるケース２２の構成を採用し、屈曲部２０Ｃにおいて、一定の曲率を超える屈曲角度に屈曲されないように構成されていることで、屈曲部２０Ｃ近傍付近での上側ケーブルガイド部２０Ｕと下側ケーブルガイド部２０Ｌの当接が防止されている面もあるが、屈曲部２０Ｃの屈曲角度が比較的自由に屈曲可能な構成を用いた場合おいては、この屈曲部２０Ｃ近傍付近においても、上記説明の上側ケーブルガイド部２０Ｕ内と下側ケーブルガイド部２０Ｌ内に其々設けられた磁石ＭＧ１により発生される斥力の作用によって、ケーブルガイド２０同士の接触を防ぐことができることになる。
【００３３】
続いて、例えば、図３の状態より図１（ａ）の状態を経て図４の状態まで搬送ロボット１０および基台１１が移動動作される場合には、上側ケーブルガイド部２０Ｕが図１（ａ）の状態より更に長くなることとなり、上側ケーブルガイド部２０Ｕの垂れ下がりが大きくなることが懸念される。特に、搬送ロボット１０および基台１１の位置がケーブルガイド２０の基部側において固定される一端を過ぎると、上側ケーブルガイド部２０Ｕの下方に下側ケーブルガイド部２０Ｌが配置されなくなってしまう。この下方に下側ケーブルガイド部２０Ｌが配置されない部分における上側ケーブルガイド部２０Ｕにおいては、先に説明を行ったケーブルガイド２０内に設けられた磁石ＭＧ１により得られる保持する作用が得られなくなる。
【００３４】
しかしながら、本実施の形態１の液晶表示装置の製造設備においては、図４に示されるとおり、搬送ロボット１０および基台１１が図示されるロボットの可動範囲の中で−Ｘ方向（図中での左側方向）の端部付近まで移動した際において、基台１１の近傍に位置する上側ケーブルガイド部２０Ｕの下方となる位置に、ケーブルガイド２０と別途配置された保持部材４０により保持された磁石ＭＧ２が設けられている。従って、上記のとおり、下方に下側ケーブルガイド部２０Ｌが配置されない上側ケーブルガイド部２０Ｕの部分に対しては、その下方に配置される保持部材４０と、その内部に設けられた磁石ＭＧ２により、当該上側ケーブルガイド部２０Ｕ内に設けられた磁石ＭＧ１との間に斥力が発生することで、当該上側ケーブルガイド部２０Ｕの荷重が保持部材４０上に支えられ保持される。その結果、上側ケーブルガイド部２０Ｕが垂れ下がること、或いは、上側ケーブルガイド部２０Ｕに保持部材４０に接触すること、更に、例えば、保持部材４０が配置されない場合には発生することとなる床面などとの接触についても防ぐことができる。
【００３５】
なお、ここでも磁石の斥力を利用して、保持部材４０上に上側ケーブルガイド部２０Ｕを保持していることから、対向して配置される磁石ＭＧ１と磁石ＭＧ２との間の近接される距離が近くなるほど反発する方向の斥力は増大する。従って、より効果的に上側ケーブルガイド部２０Ｕと保持部材４０間の接触を防ぐ作用が得られることになる。
【００３６】
また、上側ケーブルガイド部２０Ｕが垂れ下がることが、保持部材４０により非接触に保持されることにより防止されることから、従来のローラなどの接触式の保持部材のように、保持部材やケーブルガイド材の摩擦と削れによって、例えば、ローラを構成するアルミ材の磨耗粉などの異物を発生することもない。
【００３７】
以上の説明のとおり、本実施の形態１の液晶表示装置の製造設備においては、搬送ロボット１０および基台１１の可動範囲内において、上側ケーブルガイド部２０Ｕが垂れ下がること、ケーブルガイド２０同士の接触について防ぐことができる。また、保持部材４０が配置されない場合には発生することとなる床面などとの接触についても防ぐことができる。その結果、ケーブルガイド２０の保持や接触による異物発生を防止することができる。また、磁石の斥力を利用して、上側ケーブルガイド部２０Ｕが非接触に保持されることから、対向して配置される磁石ＭＧ１間の近接される距離が近くなるほど反発する方向の斥力は増大することから、より効果的にケーブルガイド２０同士の接触を防ぐ作用が得られ、当該接触による異物発生を防止できる。
【００３８】
なお、磁石ＭＧ２および保持部材４０を配置する範囲としては、搬送ロボット１０および基台１１の可動範囲の中で、下側ケーブルガイド部２０Ｌが配置されない範囲となるケーブルガイド２０の基部側において固定される一端よりも左側であって、−Ｘ方向（図中での左側方向）の可動範囲の端部付近までの間に配置されれば良い。また、この範囲での両端付近では、上側ケーブルガイド部２０Ｕは、基台１１への固定部分、或いは、下側ケーブルガイド部２０Ｌ内に設けられた磁石ＭＧ１により保持されて垂れ下がりが少なくなると考えられることから、磁石ＭＧ２および保持部材４０の配置を省略しても良く、上記の両端付近より離れた位置、つまり、上側ケーブルガイド部２０Ｕの垂れ下がり量が大きくなる領域に重点的に配置すれば良い。
【００３９】
また、ケーブルガイド２０内に設けられる磁石ＭＧ１および保持部材４０により保持される磁石ＭＧ２の磁石の具体的な種類としては、永久磁石を選択しても電磁石を選択しても構わないが、例えば、永久磁石を用いる場合には、比較的、強い反発力が得られることから、アルニコ磁石や、ネオジム磁石、サマリウムコバルト磁石などの希土類磁石が好適に用いることができる。更に、これらの希土類磁石は強い反発力が得られるとともに磁力の劣化が殆ど発生しない特性を有していることから、磁石ＭＧ１や磁石ＭＧ２に用いる磁石の種類として、より好ましい。
【００４０】
また、電磁石を用いる場合には、例えば、磁石ＭＧ１および磁石ＭＧ２として多数配列される個々の磁石について、少なくとも、搬送ロボット１０および基台１１の動作中において、絶えず、通電して、磁力を発生させる構成としてしても良い。或いは、別の構成としては、例えば、通電の有無や通電する電流の強弱などを、独立して変更可能な構成として、適宜、コンピュータなどを用いて、個々の磁石の動作について、電子制御させる構成としても良い。その場合、更に、上側ケーブルガイド部２０Ｕの垂れ下がり量が大きくなる領域に配置される磁石などの保持に必要な磁石のみに選択して通電を行うことや、想定される垂れ下がり量の大小に応じて通電する電流の強弱を選択することなどをコンピュータなどにより管理制御される構成とすることで、磁石の斥力の発生の有無や当該斥力の強弱の選択について、保持に必要な斥力の程度に応じて適切に行うことができ、電磁石を動作するのに必要な電力量などを必要最小限の電力量に省エネルギー化することができる。
【００４１】
また、磁石の種類を問わず、対向配置される磁石ＭＧ１間、或いは磁石ＭＧ１と磁石ＭＧ２間において作用される磁石の斥力の目安としては、例えば、多少、接触に対してマージンをもった所定距離での斥力に関して、ケーブルガイド２０の長さあたりで働く斥力と、その斥力で支えるべき重さとなるケーブルガイド２０の長さあたりの重さが釣り合う程度に設定しておくと良い。従って、上記の関係が得られるように、適宜、ケーブルガイド２０の長さあたりの磁石ＭＧ１の配置密度、或いは保持部材４０に設けられる磁石ＭＧ２の長さあたりの配置密度について調整すると良い。
【００４２】
実施の形態２.
なお、以上説明を行った実施の形態１の液晶表示装置の製造設備においては、搬送ロボット１０および基台１１の可動範囲が比較的広い場合、特に、当該可動範囲が、上側ケーブルガイド部２０Ｕの下方に下側ケーブルガイド部２０Ｌが配置されない範囲においても比較的広い場合に対応して、当該可動範囲における上側ケーブルガイド部２０Ｕについて、ケーブルガイド２０と別途配置された磁石ＭＧ２を備えた保持部材４０を設けて保持させた構成について説明を行った。しかしながら、搬送ロボット１０および基台１１の可動範囲が、それほど広くない場合においては、可動範囲について、上側ケーブルガイド部２０Ｕの下方に下側ケーブルガイド部２０Ｌが配置される範囲に絞った設定とすることで、実施の形態１で用いた磁石ＭＧ２および保持部材４０の構成を省略することも可能である。
【００４３】
従って、先に説明を行った実施の形態１の液晶表示装置の製造設備より、搬送ロボット１０および基台１１の可動範囲を絞り、磁石ＭＧ２および保持部材４０の構成を省略した変形例となる実施の形態２の液晶表示装置の製造設備について説明を行う。以下、実施の形態１との変更部を重点的に説明することとする。
【００４４】
先ず、本実施の形態２の液晶表示装置の製造設備の構成について、図５を用いて説明する。実施の形態１の液晶表示装置の製造設備についての説明時と同様に、液晶表示装置の製造時に用いられる基板の搬送ロボットと、その搬送ロボットへの動力供給などを行うために接続されるケーブル部分に用いられるケーブルガイドよりなる製造設備の構成について、図５の製造設備全体の側面図を用いて説明する。なお、実施の形態１と同じ構成については同じ番号を付し適宜説明を省略する。
【００４５】
本実施の形態２の液晶表示装置の製造設備は、図５に示されるとおり、液晶表示装置の製造時に用いられる基板を搬送する搬送ロボット１０を備えていること、この搬送ロボット１０は直線往復動作を行う可動部として基台１１と、この基台１１に取り付けられ所定作業を行なうためのロボットハンド１２とを有していることについては、実施の形態１の製造設備と同様である。
【００４６】
また、搬送ロボット１０への動力の供給、信号のやり取り、或いは各種ユーティリティの供給のために、この搬送ロボット１０の基台１１に対して接続して設けられるケーブル２１を備え、更に、このケーブル２１を収納して設けられ、当該ケーブル２１を保護する機能、或いは案内する機能を有したケーブルガイド２０を備えていることについて、更に、このケーブルガイド２０内部に強力な磁石ＭＧ１が設置されることで、ケーブルガイド２０が動作時において、磁石の斥力を利用して非接触で保持される特徴を有していることについても実施の形態１の製造設備と同様である。
【００４７】
一方、本実施の形態２の液晶表示装置の製造設備において実施の形態１と相違する特徴としては、特にその搬送ロボット１０および基台１１の可動範囲について、図５に示されるとおり、上側ケーブルガイド部２０Ｕの下方に下側ケーブルガイド部２０Ｌが配置される範囲、つまり、特に、−Ｘ方向（図中での左側方向）における可動範囲が、ケーブルガイド２０の基部側において固定される一端よりも左側に若干食み出した位置までに設定されている。また、実施の形態１の液晶表示装置の製造設備において設けられていた磁石ＭＧ２および保持部材４０の構成が省略されている。
【００４８】
続いて、図５に加えて、図６の動作説明図を用いて、本実施の形態２の液晶表示装置の製造設備の全体動作について、特に、搬送ロボット１０の動作と、それに伴う、ケーブルガイド２０の動作、更に、それぞれの動作により得られる作用について説明を行う。なお、図６（ａ）および図６（ｂ）には、搬送ロボット１０の可動範囲の中で＋Ｘ方向（図中での左側方向）における端部まで移動した状態、−Ｘ方向（図中での右側方向）における端部まで移動した状態が、それぞれ示されている。
【００４９】
先ず、図５の状態より図６（ａ）の状態まで搬送ロボット１０および基台１１が＋Ｘ方向（図中での左側方向）に移動動作される間において、絶えず、上側ケーブルガイド部２０Ｕの下方には、下側ケーブルガイド部２０Ｌが配置された状態となる。その結果、上側ケーブルガイド部２０Ｕ内と下側ケーブルガイド部２０Ｌ内に其々設けられた磁石ＭＧ１は、互いに同極が対向して配置されることとなり、互いに反発する方向に斥力が発生する。従って、この上側ケーブルガイド部２０Ｕ内と下側ケーブルガイド部２０Ｌ内に其々設けられた磁石ＭＧ１により発生される斥力により、上側ケーブルガイド部２０Ｕが下側ケーブルガイド部２０Ｌ上に保持されることで、ケーブルガイド２０同士の接触を防ぐことができる。
【００５０】
また、例えば、図６（ａ）の状態より図５の状態を経て図６（ｂ）の状態まで搬送ロボット１０および基台１１が移動動作される場合においても、この上側ケーブルガイド部２０Ｕの下方に、絶えず、下側ケーブルガイド部２０Ｌが配置された状態となることに変わりは無い。従って、この動作の間においても、上側ケーブルガイド部２０Ｕが下側ケーブルガイド部２０Ｌ上に保持されることで、同様に、ケーブルガイド２０同士の接触を防ぐことができる。
【００５１】
以上説明のとおり、本実施の形態２の液晶表示装置の製造設備においても、搬送ロボット１０および基台１１の可動範囲内において、上側ケーブルガイド部２０Ｕが垂れ下がること、ケーブルガイド２０同士の接触について防ぐことができる。その結果、ケーブルガイド２０の保持や接触による異物発生を防止することができる。また、磁石の斥力を利用して、上側ケーブルガイド部２０Ｕが保持されることから、対向して配置される磁石ＭＧ１間の近接される距離が近くなるほど反発する方向の斥力は増大することから、より効果的にケーブルガイド２０同士の接触を防ぐ作用が得られ、当該接触による異物発生を防止できる。
【００５２】
なお、本実施の形態２の液晶表示装置の製造設備の場合には、上側ケーブルガイド部２０Ｕの下方に、絶えず、下側ケーブルガイド部２０Ｌが配置されるように搬送ロボット１０および基台１１の可動範囲が限られるものの、ケーブルガイド２０の長さ自体を実施の形態１の場合よりも長く設けておけば、可動範囲を狭めなくすることも可能である。但し、図６（ｂ）の状態において、下側ケーブルガイド部２０Ｌが長く伸ばされる状態となることから、下側ケーブルガイド部２０Ｌを下側より支持するために設けられる支持台３０について、この図６（ｂ）の状態となる搬送ロボット１０の−Ｘ方向（図中での右側方向）での可動範囲の端部付近まで長い距離に渡って配置する必要がある。
【００５３】
実施の形態３.
なお、以上説明を行った実施の形態１および実施の形態２の液晶表示装置の製造設備においては、基本的には、上側ケーブルガイド部２０Ｕの保持について、ケーブルガイド２０内に設けた磁石ＭＧ１によって、上側ケーブルガイド部２０Ｕ内の磁石ＭＧ１と下側ケーブルガイド部２０Ｌ内の磁石ＭＧ１とで斥力を生ずることを利用し、更に、下側ケーブルガイド部２０Ｌが配置されなくなる場合には、補助的に、ケーブルガイド２０と別途配置された磁石ＭＧ２を設けて、上側ケーブルガイド部２０Ｕ内の磁石ＭＧ１との間に斥力を生ずることを利用したものである。しかしながら、これらに用いられるケーブルガイド２０においては、特に屈曲部２０Ｃ近傍付近と、搬送ロボット１０および基台１１に固定される側の端部近傍付近においては、下側ケーブルガイド部２０Ｌよりも高い位置に保持されることから、必ずしも、上側ケーブルガイド部２０Ｕ内の磁石ＭＧ１と下側ケーブルガイド部２０Ｌ内の磁石ＭＧ１とにより発生する斥力を利用する必要は無い。従って、これら両端から離れた位置、つまり、上側ケーブルガイド部２０Ｕの中央部付近で保持を行えば良いことになる。
【００５４】
つまり、例えば、当該保持が必要となる範囲において、実施の形態１において設けたように、補助的に、ケーブルガイド２０と別途配置された磁石ＭＧ２を配置すれば良いことになる。なお、その場合にケーブルガイド２０内に設ける磁石ＭＧ１については、別途配置された磁石ＭＧ２に対向配置して斥力を発生させることのできる最小限で良い。具体的には、例えば、ケーブルガイド２０における中央部あたりから搬送ロボット１０および基台１１に近い側の端部近傍まで配置すれば良い。
【００５５】
従って、先に説明を行った実施の形態１の液晶表示装置の製造設備より、ケーブルガイド２０内に設ける磁石ＭＧ１の配置される範囲を変え、基本的に、上側ケーブルガイド部２０Ｕの保持について、ケーブルガイド２０と別途配置された磁石ＭＧ２および保持部材４０によって行うこととした変形例となる実施の形態３の液晶表示装置の製造設備について説明を行う。以下、実施の形態１との変更部を重点的に説明することとする。
【００５６】
先ず、本実施の形態３の液晶表示装置の製造設備の構成について、図７を用いて説明する。実施の形態１の液晶表示装置の製造設備についての説明時と同様に、液晶表示装置の製造時に用いられる基板の搬送ロボットと、その搬送ロボットへの動力供給などを行うために接続されるケーブル部分に用いられるケーブルガイドよりなる製造設備の構成について、図７の製造設備全体の側面図を用いて説明する。なお、実施の形態１と同じ構成については同じ番号を付し適宜説明を省略する。
【００５７】
本実施の形態３の液晶表示装置の製造設備は、図７に示されるとおり、液晶表示装置の製造時に用いられる基板を搬送する搬送ロボット１０を備えていること、この搬送ロボット１０は直線往復動作を行う可動部として基台１１と、この基台１１に取り付けられ所定作業を行なうためのロボットハンド１２とを有していることについては、実施の形態１の製造設備と同様である。
【００５８】
また、搬送ロボット１０への動力の供給、信号のやり取り、或いは各種ユーティリティの供給のために、この搬送ロボット１０の基台１１に対して接続して設けられるケーブル２１を備え、更に、このケーブル２１を収納して設けられ、当該ケーブル２１を保護する機能、或いは案内する機能を有したケーブルガイド２０を備えていること、更に、このケーブルガイド２０内部に強力な磁石ＭＧ１が設置されることで、ケーブルガイド２０が動作時において、磁石の斥力を利用して非接触で保持される特徴を有していることについても実施の形態１の製造設備と同様である。
【００５９】
一方、本実施の形態３の液晶表示装置の製造設備では、磁石の斥力を利用したケーブルガイド２０の保持について、基本的にはケーブルガイド２０と別途配置された磁石ＭＧ２および保持部材４０によって行うこととするものであることから、ケーブルガイド２０内部に配置される磁石ＭＧ１については、図７に示されるとおり、搬送ロボット１０の基台１１に対して、少し離れた位置からケーブルガイド２０の中央付近の位置までの間に設置される。
【００６０】
また、このケーブルガイド２０内部に配置される磁石ＭＧ１と対向配置されることでケーブルガイド２０の保持を行う磁石ＭＧ２および保持部材４０は、その搬送ロボット１０および基台１１の可動範囲内において、先に説明したとおり、斥力を利用した保持を省略可能な両端を除いた範囲において配置される。なお、この可動範囲内の両端のうち、ケーブルガイド２０の屈曲部２０Ｃ近傍付近のほうが、搬送ロボット１０および基台１１に固定される側の端部近傍付近に比べて、斥力を利用した保持を省略可能な範囲が広くなることから、磁石ＭＧ２および保持部材４０の配置の範囲については、図７に示されるとおり、搬可動範囲内の中央部から＋Ｘ方向（図中での右側方向）に少しずれた位置となる。
【００６１】
続いて、図７に加えて、図８の動作説明図を用いて、本実施の形態３の液晶表示装置の製造設備の全体動作について、特に、搬送ロボット１０の動作と、それに伴う、ケーブルガイド２０の動作、更に、それぞれの動作により得られる作用について説明を行う。なお、図８（ａ）および図８（ｂ）には、搬送ロボット１０の可動範囲の中で＋Ｘ方向（図中での左側方向）における端部まで移動した状態、−Ｘ方向（図中での右側方向）における端部まで移動した状態が、それぞれ示されている。
【００６２】
先ず、図７の状態より図８（ａ）の状態まで搬送ロボット１０および基台１１が＋Ｘ方向（図中での左側方向）に移動動作される間において、上側ケーブルガイド部２０Ｕの下方には、磁石ＭＧ１が配置された下側ケーブルガイド部２０Ｌが殆ど配置されていない範囲となる。但し、上側ケーブルガイド部２０Ｕの長さは、図７の状態より図８（ａ）の状態に向けて短くなっていくことから、図７の状態の上側ケーブルガイド部２０Ｕの長さにおいて、ケーブルガイド２０の屈曲部２０Ｃ近傍と搬送ロボット１０および基台１１に固定される側の端部近傍付近の間に位置する上側ケーブルガイド部２０Ｕの垂れ下がる量が下側ケーブルガイド部２０Ｌに当接しない程度であれば、この移動範囲内では、上側ケーブルガイド部２０Ｕと下側ケーブルガイド部２０Ｌが接触することが無い。
【００６３】
続いて、例えば、図８（ａ）の状態より図７の状態を経て図８（ｂ）の状態まで搬送ロボット１０および基台１１が移動動作される場合において、先ず、図８（ａ）の状態より図７の状態までの移動範囲においては、先に説明した＋Ｘ方向（図中での左側方向）に移動動作される際と同じ移動範囲となることから、同様に、上側ケーブルガイド部２０Ｕと下側ケーブルガイド部２０Ｌが接触することが無い。
【００６４】
続く、図７の状態より図８（ｂ）の状態までの移動範囲においては、上側ケーブルガイド部２０Ｕが図７の状態より更に長くなることとなり、上側ケーブルガイド部２０Ｕの垂れ下がりが大きくなることが懸念される。しかしながら、本実施の形態３の液晶表示装置の製造設備においては、ケーブルガイド２０の保持を行う磁石ＭＧ２および保持部材４０が、先に説明したとおり、搬送ロボット１０および基台１１の可動範囲内において、斥力を利用した保持を省略可能な両端を除いた範囲において設けられている。つまり、上側ケーブルガイド部２０Ｕの垂れ下がりが大きくなり始める位置よりも−Ｘ方向（図中での左側方向）の可動範囲内においては、磁石ＭＧ２および保持部材４０が、上側ケーブルガイド部２０Ｕ内に設けられる磁石ＭＧ１に対向配置された状態となる。
【００６５】
従って、この長く延在して引き出された上側ケーブルガイド部２０Ｕの部分に対しては、その下方に配置される保持部材４０と、その内部に設けられた磁石ＭＧ２により、当該上側ケーブルガイド部２０Ｕの内部に設けられた磁石ＭＧ１との間に斥力が発生することで、上側ケーブルガイド部２０Ｕが保持部材４０上に保持される。その結果、上側ケーブルガイド部２０Ｕが垂れ下がること、或いは、上側ケーブルガイド部２０Ｕに保持部材４０に接触すること、更に、例えば、保持部材４０が配置されない場合には発生することとなる床面などとの接触についても防ぐことができる。
【００６６】
以上のとおり、本実施の形態３の液晶表示装置の製造設備においても、搬送ロボット１０および基台１１の可動範囲内において、上側ケーブルガイド部２０Ｕが垂れ下がること、或いは、上側ケーブルガイド部２０Ｕに保持部材４０に接触すること、更に、例えば、保持部材４０が配置されない場合には発生することとなる床面などとの接触についても防ぐことができる。また、保持部材４０が配置されない場合には発生することとなる床面などとの接触についても防ぐことができる。その結果、ケーブルガイド２０の保持や接触による異物発生を防止することができる。また、磁石の斥力を利用して、上側ケーブルガイド部２０Ｕが保持されることから、対向して配置される磁石ＭＧ１と磁石ＭＧ２との間の近接される距離が近くなるほど反発する方向の斥力は増大することから、より効果的に上側ケーブルガイド部２０Ｕと保持部材４０間の接触を防ぐ作用が得られ、当該接触による異物発生を防止できる。
【００６７】
なお、上記説明の実施の形態１から実施の形態３においては、ケーブルガイド２０の構成について、複数のケース２２をリンク部２３によって屈曲可能に連結された構成を有し、更に、リンク部２３を介して連結されるケース２２間の為す角度範囲が一定範囲に設定されていることにより、一定の曲率を超える屈曲角度に屈曲されないように構成される例を用いて説明を行った。しかしながら、ケーブルガイド２０について、任意の角度に屈曲可能な構成としても良く、実施の形態１から実施の形態３における基本的な効果となるケーブルガイド２０内に磁石ＭＧ１を設けた構成やケーブルガイド２０と別途設けられた磁石ＭＧ２を設けた構成などにより得られる磁石の斥力を利用して上側ケーブルガイド部２０Ｕが保持されることにより得られる効果については共通して得られることになる。
【００６８】
また、上記のとおり、ケーブルガイド２０について、任意の角度に屈曲可能な構成としたとしてもケーブルガイド２０の長さの全体に渡って、磁石ＭＧ１が配置されていれば、屈曲部２０Ｃに対して、上下段に其々配置される上側ケーブルガイド部２０Ｕと下側ケーブルガイド部２０Ｌ間に斥力が発生することから、実施の形態１〜実施の形態３の構成のように、ほぼ円弧からなるＣ字状に屈曲された屈曲部２０Ｃの形状とはならないものの、全ての動作範囲において、ケーブルガイド２０の屈曲部２０Ｃにおいて、概ねＣ字状に屈曲され、無理な屈曲をされることを防止する作用については得ることができる。
【００６９】
なお、上記説明の実施の形態１から実施の形態３においては、下側ケーブルガイド部２０Ｌを床面ＦＬより上方に離れた位置に保持する保持機構として、当該床面ＦＬより上方に離れた位置において支持する支持面を有した支持台３０を配置した構成について説明を行った。ケーブルガイド２０の動作時において、ケーブルガイド２０の屈曲部２０Ｃの移動に伴って、下側ケーブルガイド部２０Ｌの支持台３０に対する当接範囲が徐々に変わり、支持台３０の支持面に対して、下側ケーブルガイド部２０Ｌが離合を繰り返す動作が行われる。つまり、ケーブルガイド２０の動作時において、下側ケーブルガイド部２０Ｌが支持台３０に保持されるに際して、磨耗による削れなどの異物発生が顕著となる互いに擦りあう動作を伴わない。つまり、下側ケーブルガイド部２０Ｌは、支持台３０により接触して保持されるものの顕著に異物を発生することは無い。
【００７０】
また、上記説明の実施の形態１から実施の形態３で例示した支持台３０においては、配置される範囲が搬送ロボット１０および基台１１の可動範囲と異なった構成としていたが、例えば、支持台３０の配置される範囲と、この搬送ロボット１０および基台１１の可動範囲を一致させ、支持台３０の側部にガイドレールなどを設けることで、支持台３０に搬送ロボット１０の基台１１が直線往復動作を行うための走行軸の機能を持たせた構成としても良い。このような構成とすると、支持台３０と別途走行軸を設ける場合と比べ、製造設備の省スペース化が可能となる。
【００７１】
以上のとおり、下側ケーブルガイド部２０Ｌを支持台３０により保持した構成は、顕著な異物発生を伴わない保持機構、或いは、省スペース化が可能な保持機構として有効な構成であるが、他の保持機構を用いても構わない。例えば、上側ケーブルガイド部２０Ｕを磁石の斥力を利用して保持したのと同様に、下側ケーブルガイド部２０Ｌについても磁石の斥力を利用して保持させる構成としても構わない。一例としては、この支持台３０に代えて、下側ケーブルガイド部２０Ｌの下方の位置に、より好ましくは下側ケーブルガイド部２０Ｌと床面ＦＬとの間の位置に、ケーブルガイド２０と別途配置される磁石を配置する。そして、ケーブルガイド２０内に配置される磁石ＭＧ１を利用して、下側ケーブルガイド部２０Ｌとなった状態における当該下側ケーブルガイド部２０Ｌ内に配置される磁石ＭＧ１と、上記のとおり別途配置した磁石とにより得られる磁石の斥力によって、下側ケーブルガイド部２０Ｌを床面ＦＬより上方に離れた位置に保持する保持機構として機能させることができる。
【００７２】
上記変更を行った構成とする場合において、下側ケーブルガイド部２０Ｌの下方に別途配置する磁石としては、より具体的には、下側ケーブルガイド部２０Ｌ内に配置される磁石ＭＧ１との間に斥力を発生する位置関係に配置すれば良く、例えば、下側ケーブルガイド部２０Ｌ内に配置される磁石ＭＧ１の下側の面にＮ極が並ぶ配置であるとすれば、上側の面にＮ極が並ぶ配置とすれば良いことになる。また、下側ケーブルガイド部２０Ｌを効果的に保持する意味では、下側ケーブルガイド部２０Ｌ内に配置される磁石ＭＧ１を利用するのではなく、下側ケーブルガイド部２０Ｌ内に設けられる磁石ＭＧ１に加えて、下側ケーブルガイド部２０Ｌ内の下部、特に下側表面近傍に別途磁石を配置しても良い。
【００７３】
何れにしても、このように下側ケーブルガイド部２０Ｌに対しても磁石の斥力を利用して床面ＦＬより上方に離れた位置に保持する保持機構を用いた構成とした場合には、実施の形態１から実施の形態３で得られる効果に加えて、特に下側ケーブルガイド部２０Ｌに対してもケーブルガイド２０が動作時において非接触で保持される特徴を有することから、比較的、異物発生を伴わない支持台３０を用いた下側ケーブルガイド部２０Ｌの保持方法と比較しても、更に、効果的に異物発生を防止することが可能となる。
【００７４】
なお、上記説明の実施の形態１から実施の形態３においては、電子製品の製造設備およびケーブルガイドの一例として、液晶表示装置の製造時に用いられる基板の搬送ロボットと、その搬送ロボットへの動力供給などを行うために接続されるケーブル部分に用いられるケーブルガイドよりなる製造設備について説明を行ったが、他の電子製品の製造設備およびケーブルガイドに適用しても良い。また、ケーブルガイドおよびケーブルが接続される直線往復移動する移動体については、基板の搬送ロボットに限らず、直線往復移動を伴う他のロボットであっても良い。更に、ロボットのみに限られず、電子製品の製造設備に汎用される吐出物を出すノズル、ヒータ部、光照射部などの必要な構成を備え所定の処理を行うためのヘッド部など、直線往復移動を伴うとともにケーブルが接続される移動体であれば、何れの移動体であっても良い。
【符号の説明】
【００７５】
１０  搬送ロボット、１１  基台、１２  ロボットハンド、１３  ロボット関節部、
２０  ケーブルガイド、２０Ｃ  屈曲部、
２０Ｕ  上側ケーブルガイド部、２０Ｌ  下側ケーブルガイド部、
２１  ケーブル、２２  ケース、２３  リンク部、
３０  支持台、４０  保持部材、ＭＧ１、ＭＧ２  磁石。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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