(57)【要約】【課題】装置の大型化を防止することができるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。【解決手段】接着シートＡＳを供給する供給手段２０と、供給手段２０との相対移動によってシート貼付方向へ相対移動される被着体ＷＦに、当該供給手段２０で供給される接着シートＡＳを貼付する貼付手段４０と、被着体ＷＦに貼付された接着シートＡＳおよび当該被着体ＷＫの少なくとも一方の状態を検査する検査手段５０と、被着体ＷＦに貼付された接着シートＡＳを保持して剥離する剥離手段６０とを備え、剥離手段６０は、検査手段５０の検査結果を基にして、当該剥離手段６０のシート剥離方向へ相対移動される被着体ＷＦに貼付された接着シートＡＳを保持し、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫから剥離する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着シートを供給する供給手段と、
前記供給手段との相対移動によってシート貼付方向へ相対移動される被着体に、当該供給手段で供給される前記接着シートを貼付する貼付手段と、
前記被着体に貼付された接着シートおよび当該被着体の少なくとも一方の状態を検査する検査手段と、
前記被着体に貼付された接着シートを保持して剥離する剥離手段とを備え、
前記剥離手段は、前記検査手段の検査結果を基にして、当該剥離手段のシート剥離方向へ相対移動される前記被着体に貼付された接着シートを保持し、当該接着シートを前記被着体から剥離することを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記供給手段と被着体とを相対移動させる搬送手段を備え、当該搬送手段は、前記供給手段と被着体とを前記シート貼付方向および当該シート貼付方向の逆方向であるシート剥離方向へ相対移動可能に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記被着体から剥離する接着シートの剥離角度を調整する剥離角度調整手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記被着体から前記接着シートを剥離する前段で、当該接着シートの接着力を低下させる接着力低下手段を備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項３に記載のシート貼付装置。
【請求項５】
接着シートを供給手段で供給する供給工程と、
前記供給手段との相対移動によってシート貼付方向へ相対移動される被着体に、当該供給手段で供給される前記接着シートを貼付する貼付工程と、
前記被着体に貼付された接着シートおよび当該被着体の少なくとも一方の状態を検査する検査工程と、
前記被着体に貼付された接着シートを剥離手段で保持して剥離する剥離工程とを有し、
前記剥離工程は、前記検査工程の検査結果を基にして、前記剥離手段のシート剥離方向へ相対移動される前記被着体に貼付された接着シートを保持し、当該接着シートを前記被着体から剥離することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置および貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被着体に貼付した接着シートの貼付不良を検出すると、当該貼付不良と判断された接着シートを被着体から剥離する装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−８１６５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された従来の装置では、基板（被着体）に両面粘着テープ（接着シート）を貼付するための貼付けテーブル（搬送手段）と、当該被着体から接着シートを剥離するための剥離テーブル（搬送手段）とが別体で構成されているため、装置が大型化するという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、装置の大型化を防止することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、接着シートを供給する供給手段と、前記供給手段との相対移動によってシート貼付方向へ相対移動される被着体に、当該供給手段で供給される前記接着シートを貼付する貼付手段と、前記被着体に貼付された接着シートおよび当該被着体の少なくとも一方の状態を検査する検査手段と、前記被着体に貼付された接着シートを保持して剥離する剥離手段とを備え、前記剥離手段は、前記検査手段の検査結果を基にして、当該剥離手段のシート剥離方向へ相対移動される前記被着体に貼付された接着シートを保持し、当該接着シートを前記被着体から剥離することを特徴とする。
【０００７】
この際、本発明のシート貼付装置では、前記供給手段と被着体とを相対移動させる搬送手段を備え、当該搬送手段は、前記供給手段と被着体とを前記シート貼付方向および当該シート貼付方向の逆方向であるシート剥離方向へ相対移動可能に設けられていることが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置では、前記被着体から剥離する接着シートの剥離角度を調整する剥離角度調整手段を備えていることが好ましい。
さらに、本発明のシート貼付装置では、前記被着体から前記接着シートを剥離する前段で、当該接着シートの接着力を低下させる接着力低下手段を備えていることが好ましい。
【０００８】
一方、本発明のシート貼付方法は、接着シートを供給手段で供給する供給工程と、前記供給手段との相対移動によってシート貼付方向へ相対移動される被着体に、当該供給手段で供給される前記接着シートを貼付する貼付工程と、前記被着体に貼付された接着シートおよび当該被着体の少なくとも一方の状態を検査する検査工程と、前記被着体に貼付された接着シートを剥離手段で保持して剥離する剥離工程とを有し、前記剥離工程は、前記検査工程の検査結果を基にして、前記剥離手段のシート剥離方向へ相対移動される前記被着体に貼付された接着シートを保持し、当該接着シートを前記被着体から剥離することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、被着体に接着シートを貼付するための搬送手段を被着体から接着シートを剥離するための搬送手段としても機能させることができるので、装置の大型化を防止することができる。
【００１０】
この際、搬送手段を備えれば、より効果的に装置の大型化を防止することができる。
また、剥離角度調整手段を備えれば、接着シートの特性、特質、性質、材質、組成および構成等に応じた好適な剥離角度での剥離が行え、さらには、被着体が接着シートの剥離方向へ移動することで当該接着シートが剥離できなくなったり、被着体が破損したりすることを防止することができる。なお、貼付手段が剥離角度調整手段としても機能する構成とすれば、１つの部材で２つの機能を発揮させることができ、装置のさらなる大型化を防止することができる。
さらに、接着力低下手段を備えれば、接着シートを被着体から簡単に剥離することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図２】（Ａ）〜（Ｂ）は、シート貼付装置の動作説明図。
【図３】変形例を示す部分側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１３】
図１において、シート貼付装置１０は、接着シートＡＳを供給する供給手段２０と、供給手段２０と被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）ＷＦとを相対移動させる搬送手段３０と、供給手段２０との相対移動によってシート貼付方向へ相対移動されるウエハＷＦに、当該供給手段２０で供給される接着シートＡＳを貼付する貼付手段としての押圧ローラ４０と、ウエハＷＦに貼付された接着シートＡＳおよび当該ウエハＷＦの少なくとも一方の状態を検査する検査手段であって撮像手段としてのカメラ５０と、ウエハＷＦに貼付された接着シートＡＳを保持して剥離する剥離手段６０と、ウエハＷＦから接着シートＡＳを剥離する前段で、当該接着シートＡＳの接着力を低下させる接着力低下手段７０とを備えている。なお、本実施形態の場合、接着シートＡＳは、紫外線によってその接着力が低下するものが採用されている。
【００１４】
供給手段２０は、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ２２と、剥離シートＲＬを折り返して当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離部材としての剥離板２３と、駆動機器としての回動モータ２４Ａによって駆動され、ピンチローラ２５とで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ２４と、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２６とを備えている。
【００１５】
搬送手段３０は、駆動機器としてのリニアモータ３１のスライダ３１Ａに支持されたベーステーブル３２と、ベーステーブル３２に支持された駆動機器としての直動モータ３３と、直動モータ３３の出力軸３３Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な支持面３４Ａを有する支持テーブル３４とを備え、供給手段２０とウエハＷＦとをシート貼付方向および当該シート貼付方向の逆方向であるシート剥離方向へ相対移動可能に設けられている。
【００１６】
剥離手段６０は、剥離用テープＰＴを支持する支持ローラ６１と、剥離用テープＰＴを案内するガイドローラ６２と、駆動機器としての直動モータ６３の出力軸６３Ａに支持されたブラケット６４に回転自在に支持された剥離ローラ６５と、駆動機器としての回動モータ６６Ａによって駆動され、ピンチローラ６７とで剥離用テープＰＴを挟み込む駆動ローラ６６と、駆動機器としての回動モータ６８Ａによって駆動され、剥離用テープＰＴを回収する回収ローラ６８とを備え、カメラ５０の検査結果を基にして、当該剥離手段６０のシート剥離方向へ相対移動されるウエハＷＦに貼付された接着シートＡＳを保持し、当該接着シートＡＳをウエハＷＦから剥離するように構成されている。
【００１７】
接着力低下手段７０は、前後方向の長さがウエハＷＦまたは接着シートＡＳの前後方向の最大長さよりも長く設定された紫外線照射装置７１を備えている。
【００１８】
以上のシート貼付装置１０において、ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、各部材が初期位置に配置された図１中実線で示す状態のシート貼付装置１０に対し、作業者が原反ＲＳを同図のようにセットし、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、供給手段２０が回動モータ２４Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出す。そして、図１中実線で示すように、先頭の接着シートＡＳの先端が剥離板２３で剥離シートＲＬから所定長さ剥離されたことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段に検知されると、供給手段２０が回動モータ２４Ａの駆動を停止し、スタンバイ状態となる。そして、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない移送手段によって、ウエハＷＦが支持面３４Ａ上に載置されると、搬送手段３０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面３４ＡでウエハＷＦの吸着保持を開始する。その後、搬送手段３０がリニアモータ３１を駆動し、支持テーブル３４を左方へ移動させることで、供給手段２０とウエハＷＦとをシート貼付方向へ相対移動させ、ウエハＷＦが所定の位置に到達したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段に検知されると、供給手段２０が回動モータ２４Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出してウエハＷＦの移動速度に合わせて接着シートＡＳを供給する。これにより、剥離板２３で剥離シートＲＬから接着シートＡＳが剥離され、図１中二点鎖線で示すように、当該接着シートＡＳが押圧ローラ４０によってウエハＷＦの上面に押圧されて貼付され、一体物ＷＫが形成される。次いで、次の接着シートＡＳの先端が剥離板２３で所定長さ剥離されたことが図示しない検知手段に検知されると、供給手段２０が回動モータ２４Ａの駆動を停止し、再びスタンバイ状態となる。
【００１９】
押圧ローラ４０によってウエハＷＦの上面に接着シートＡＳが貼付されると、当該押圧ローラ４０の左方でカメラ５０による検査が行われ、当該検査が完了すると、搬送手段３０がリニアモータ３１の駆動を停止し、支持テーブル３４を図１中左側の二点鎖線で示す位置で停止させる。カメラ５０は、例えば、ウエハＷＦと接着シートＡＳとの間に気泡や異物が混入している場合や、接着シートＡＳに皺や折れ曲がりが形成されてウエハＷＦに貼付されている場合や、ウエハＷＦと接着シートＡＳとがずれて貼付されている場合や、接着シートＡＳに破れや損傷等がある場合や、ウエハＷＦに割れや損傷等がある場合等を貼付不良とし、当該貼付不良が検出された場合、電気や電波等の所定の信号を出力する。そして、カメラ５０が貼付不良を検出して所定の信号を出力すると、搬送手段３０および剥離手段６０が直動モータ３３および６３を駆動し、図２（Ａ）に示すように、支持テーブル３４および剥離ローラ６５を下降させた後、接着力低下手段７０が紫外線照射装置７１を駆動し、紫外線を発光させる。その後、搬送手段３０がリニアモータ３１を駆動し、支持テーブル３４を右方へ移動させることで、剥離手段６０とウエハＷＦとをシート剥離方向へ相対移動させ、ウエハＷＦに貼付された接着シートＡＳが剥離用テープＰＴに当接すると、剥離手段６０が回動モータ６６Ａ、６８Ａを駆動し、ウエハＷＦの移動速度に合わせて剥離用テープＰＴを巻き取る。これにより、接着シートＡＳは、図２（Ｂ）に示すように、ウエハＷＦから順次剥離される。このとき、接着シートＡＳは、紫外線照射装置７１によって紫外線が照射されてその接着力が低下させられているので、ウエハＷＦから簡単に剥離される。ウエハＷＦから接着シートＡＳ全体が剥離されると、搬送手段３０がリニアモータ３１および直動モータ３３を駆動し、図２（Ｂ）中二点鎖線で示すように、支持テーブル３４を初期位置に復帰させる。次いで、上記と同様にして、次の接着シートＡＳがウエハＷＦに貼付され、最終的に、カメラ５０が貼付不良を検出しなくなるまで上記と同様の動作が繰り返される。そして、搬送手段３０が支持テーブル３４を図１中左側の二点鎖線で示す位置で停止させた時点で、カメラ５０が貼付不良を検出していなければ、搬送手段３０が図示しない減圧手段の駆動を停止する。その後、人手または図示しない移送手段が支持面３４Ａ上の一体物ＷＫを保持して次工程に搬送した後、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、以降同様の動作が繰り返される。
【００２０】
以上のような実施形態によれば、ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付するための搬送手段３０をウエハＷＦから接着シートＡＳを剥離するための搬送手段３０としても機能させることができるので、装置の大型化を防止することができる。
【００２１】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、供給手段は、接着シートを供給可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程も同様でありその説明は省略する）。
【００２２】
供給手段２０は、剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に複数の閉ループ状の切込が形成されることで、その内側が接着シートＡＳとされた原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートＲＬに仮着された原反が採用された場合、カッター刃、カッターローラ、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材により、接着シート基材を所定形状に切断してその内側を接着シートＡＳとしてもよいし、多関節ロボットや適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしてもよいし、接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する際、原反ＲＳに所定の張力が付与されるように回動モータ２４Ａのトルク制御を行ってもよいし、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シートＡＳを供給してもよい。
剥離部材は、剥離板２３に代えてまたは併用して、丸棒や回転可能または回転不能なローラ部材やシャフト部材等を採用してもよい。
【００２３】
搬送手段３０は、支持テーブル３４を移動させることなく、供給手段２０を右方へ移動させたり、支持テーブル３４を左方へ移動させつつ、供給手段２０を右方へ移動させたりして供給手段２０とウエハＷＦとをシート貼付方向へ相対移動させてもよいし、支持テーブル３４を移動させることなく、剥離手段６０を左方へ移動させたり、支持テーブル３４を右方へ移動させつつ、剥離手段６０を左方へ移動させたりして剥離手段６０とウエハＷＦとをシート剥離方向へ相対移動させてもよいし、剥離手段６０を移動させることなく、支持テーブル３４を左方へ移動させたり、支持テーブル３４を移動させることなく、剥離手段６０を右方へ移動させたり、支持テーブル３４を左方へ移動させつつ、剥離手段６０を右方へ移動させたりして剥離手段６０とウエハＷＦとをシート剥離方向へ相対移動させてもよいし、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着等でウエハＷＦを支持する構成でもよいし、ウエハＷＦへの接着シートＡＳの貼付やウエハＷＦからの接着シートＡＳの剥離が行えれば、それらのような強制的にウエハＷＦを支持するものを設けなくてもよいし、支持テーブル３４を昇降させる直動モータ３３を設けなくてもよいし、他の装置で供給手段２０およびウエハＷＦを相対移動可能であれば、当該搬送手段３０はなくてもよいし、他の装置で剥離手段６０とウエハＷＦとを相対移動可能であれば、当該搬送手段３０はなくてもよい。
【００２４】
貼付手段は、押圧ローラ４０に代えてまたは併用して、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ、大気やガス等のエアの吹き付け等を採用して接着シートＡＳをウエハＷＦに貼付する構成でもよいし、押圧ローラ４０の表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、接着シートＡＳを保持して押圧する構成でもよい。
【００２５】
検査手段は、カメラ５０に代えてまたは併用して、光学センサ、超音波センサ、エコーセンサ、レーザセンサ、圧力センサ、磁石等の金属検知手段等の非接触型のセンサを採用してもよいし、ローラやシャフト等の接触部材を接触させて貼付状態を検査するリミットスイッチ等の接触型のセンサを採用してもよいし、作業者による目視でもよい。検査手段が作業者の目視の場合、作業者が貼付不良を検出すると、当該作業者がスイッチや押し釦等の信号出力手段を介して所定の信号を出力するようにすればよい。なお、検査手段は、貼付状態を検査しやすくするための検査補助手段を備えていてもよく、このような検査補助手段は、気泡を大きくするための気圧調整手段やコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段、撮像条件を向上させる照明手段等を採用してもよい。
【００２６】
剥離手段６０は、ウエハＷＦから接着シートＡＳを剥離できるものであれば何でもよく、例えば、剥離する接着シートＡＳが当接する前からウエハＷＦの移動速度に合わせて剥離用テープＰＴを巻き取ってもよいし、回動モータ６６Ａ、６８Ａをなくし、ウエハＷＦとの相対移動によって従動的に剥離用テープＰＴが巻き取られる構成としてもよいし、枚葉の剥離用テープＰＴを接着シートＡＳに貼付してウエハＷＦから剥離する構成でもよいし、直動モータ６３はなくてもよいし、剥離ローラ６５を回転駆動させる駆動機器を採用してもよいし、接着シートＡＳを加熱するコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を採用してもよく、このような加熱手段は、剥離用テープＰＴとして感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合だけでなく、感圧接着性の接着シートＡＳが採用された場合に採用してもよいし、剥離ローラ６５に代えてまたは併用して、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ、大気やガス等のエアの吹き付け等を採用して剥離用テープＰＴを接着シートＡＳに貼付する構成でもよいし、剥離ローラ６５の表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、剥離用テープＰＴを保持して押圧する構成でもよいし、接着シートＡＳをメカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着等で保持して剥離する構成でもよい。
【００２７】
接着力低下手段７０は、図１中左側の二点鎖線で示す位置で停止している一体物ＷＫに対し、適宜な駆動機器によって紫外線照射装置７１を左方に移動させて接着シートＡＳ全体に紫外線を照射してもよいし、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段、ペルチェ素子やヒートパイプの冷却側等の冷却手段、紫外線、赤外線、Ｘ線、マイクロ波等の電磁波照射手段、超音波振動装置、偏芯モータ、バイブレータ等の振動手段、レーザ照射手段、乾燥機、送風機、プラズマ照射機等、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等に応じて当該接着シートＡＳの接着力を低下できるものであれば何でもよいし、接着シートＡＳの接着力を一括で低下するように構成してもよいし、前後方向の長さがウエハＷＦまたは接着シートＡＳの前後方向の最大長さよりも短く設定され、接着シートＡＳの接着力を部分的に低下するように構成し、一体物ＷＫとの相対移動で当該接着シートＡＳ全体の接着力が低下するように構成してもよいし、なくてもよい。
【００２８】
シート貼付装置１０は、貼付手段を図３に示すように、ウエハＷＦから剥離する接着シートＡＳの剥離角度θを調整する剥離角度調整手段８０として機能させてもよい。この場合、剥離角度調整手段８０は、駆動機器としての直動モータ４１の出力軸４１Ａに支持されたブラケット４２に押圧ローラ４０を回転自在に支持させ、ウエハＷＦから接着シートＡＳを剥離するときに、当該剥離角度調整手段８０が直動モータ４１を駆動し、押圧ローラ４０を昇降させて剥離角度θを調整すればよい。なお、押圧ローラ４０をウエハＷＦから遠ざけると剥離角度θが小さくなり、押圧ローラ４０をウエハＷＦに近付けると剥離角度θが大きくなる。また、剥離手段６０が回動モータ６６Ａの駆動タイミングや駆動速度等を制御し、接着シートＡＳの折返し位置が押圧ローラ４０の最下部に位置するようにするとよいが、接着シートＡＳの折返し位置を押圧ローラ４０の最下部の位置から左方または右方へずらすことで、剥離角度θを調整するようにしてもよい。さらに、このような剥離角度調整手段８０は、押圧ローラ４０、直動モータ４１およびブラケット４２以外の駆動機器やローラ、板等で構成してもよく、例えば、直動モータ３３を剥離角度調整手段８０とし、当該剥離角度調整手段８０が直動モータ３３を駆動し、支持テーブル３４を昇降させて剥離角度θを調整してもよい。また、剥離角度調整手段８０が直動モータ４１およびブラケット４２を備えずに、剥離角度θが一定であってもよい。
シート貼付装置１０は、１つのウエハＷＦに対して所定回数（例えば、２回、３回、それ以上）接着シートＡＳの貼付し直しを行ってもカメラ５０が貼付不良を検出する場合は、音を出力するスピーカやブザー等の音発生手段や光を点灯する電灯等の光発生手段等の警告手段で作業者に知らせるようにしてもよいし、検査手段がウエハＷＦの割れや損傷等を検出した場合、接着シートＡＳを剥離した後、当該ウエハＷＦの割れた部分や損傷部分等を取り除いてから再度そのウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付したり、割れや損傷等が検出されたウエハＷＦを支持面３４Ａ上から取り除き、別のウエハＷＦを支持面３４Ａ上に載置し、当該別のウエハＷＦに再度接着シートＡＳを貼付したりしてもよい。
シート貼付装置１０は、天地反転して配置したり横置きに配置したりして、ウエハＷＦの下面や側面に接着シートＡＳを貼付するように構成してもよい。
【００２９】
本発明における接着シートＡＳ、剥離用テープＰＴおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、剥離用テープＰＴは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳ、剥離用テープＰＴを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳ、剥離用テープＰＴは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層とで構成されたもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、接着剤層の間に中間層を有するもの等、１層または２層以上のものであってよい。また、被着体としては、上記のもの以外に例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００３０】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３１】
１０…シート貼付装置
２０…供給手段
３０…搬送手段
４０…押圧ローラ（貼付手段）
５０…カメラ（検査手段）
６０…剥離手段
７０…接着力低下手段
８０…剥離角度調整手段
ＡＳ…接着シート
ＷＦ…ウエハ（被着体）
【図１】
2017163093.tif 000003
【図２】
2017163093.tif 000004
【図３】
2017163093.tif 000005