(57)【要約】【課題】加熱機構を有するラインヘッドを備えた記録装置を使用した場合に、液体の吐出安定性が長期的に維持される液体吐出方法を提供する。【解決手段】液体と、液体を吐出するラインヘッドと、ラインヘッド内の液体を加熱する加熱機構と、を備えたインクジェット記録装置を使用して、液体を記録媒体に吐出して付与する液体吐出方法である。液体が、アニオン性基を有する成分を含有する水性の液体であり、ラインヘッドの内部には、液体を吐出する吐出口１７を有する液体流路１３と、液体流路１３に連通する液体供給口１４とが形成されており、液体流路１３及び液体供給口１４の少なくともいずれかの内壁面が、親水性材料を含む保護膜１５で被覆されている。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体と、液体を吐出するラインヘッドと、前記ラインヘッド内の液体を加熱する加熱機構と、を備えたインクジェット記録装置を使用して、前記液体を記録媒体に吐出して付与する液体吐出方法であって、
前記液体が、アニオン性基を有する成分を含有する水性の液体であり、
前記ラインヘッドの内部には、前記液体を吐出する吐出口を有する液体流路と、前記液体流路に連通する液体供給口とが形成されており、前記液体流路及び前記液体供給口の少なくともいずれかの内壁面が、親水性材料を含む保護膜で被覆されていることを特徴とする液体吐出方法。
【請求項２】
前記液体が、さらに顔料を含有し、
前記アニオン性基を有する成分が、前記顔料を分散するための樹脂分散剤である請求項１に記載の液体吐出方法。
【請求項３】
前記親水性材料が、金属の酸化物、窒化物、及び炭化物からなる群より選択される少なくとも１種である請求項１又は２に記載の液体吐出方法。
【請求項４】
前記金属が、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、及びＡｌからなる群より選択される少なくとも１種である請求項３に記載の液体吐出方法。
【請求項５】
前記金属が、Ｔｉ、Ｖ、Ｎｂ、Ｃｒ、Ｍｏ、及びＡｌからなる群より選択される少なくとも１種である請求項３に記載の液体吐出方法。
【請求項６】
前記金属が、Ｔｉである請求項３に記載の液体吐出方法。
【請求項７】
前記アニオン性基を有する成分の電荷量が、０．００５ｍｍｏｌ／ｇ以上である請求項１乃至６のいずれか１項に記載の液体吐出方法。
【請求項８】
液体と、その内部に前記液体が充填された、前記液体を吐出するラインヘッドと、前記ラインヘッド内の液体を加熱する加熱機構と、を備えたインクジェット記録装置であって、
前記液体が、アニオン性基を有する成分を含有する水性の液体であり、
前記ラインヘッドの内部には、前記液体を吐出する吐出口を有する液体流路と、前記液体流路に連通する液体供給口とが形成されており、前記液体流路及び前記液体供給口の少なくともいずれかの内壁面が、親水性材料を含む保護膜で被覆されていることを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出方法、及びそれに用いるインクジェット記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、インクジェット記録装置は、低電力、低コスト、及び省スペースという利点を活かし、オフィスなどでの利用が増加しつつある。インクジェット記録装置に採用されている記録ヘッドの走査方式として、シリアル方式を挙げることができる。シリアル方式では、紙送り方向（主走査方向）に対して直交する方向（副走査方向）に記録ヘッドを繰り返し移動させて画像を記録する。シリアル方式の記録ヘッドは比較的小さいため、記録装置本体を小型化することができる。
【０００３】
近年では、記録速度（スループット）のさらなる向上のため、吐出口の配列幅を記録媒体の最大幅相当まで延ばした記録ヘッド、すなわちラインヘッドを採用した記録装置が開発されている（特許文献１）。シリアル方式とは異なり、ラインヘッド方式では記録ヘッドの移動は行わずに、用紙の搬送のみが行われるため、記録速度の向上に有利である。
【０００４】
しかし、ラインヘッドは数多くのノズルを有するため、ノズル毎のインクの吐出量にバラツキが生じやすい。このため、加熱によりインクの粘度を低下させて、ノズル毎の吐出量のバラツキを抑えるべく、ラインヘッドに設けた加熱機構によりインクを加熱することも検討されている。
【０００５】
一方、ラインヘッドを搭載する記録装置では、高速記録を優先するために、回復動作の簡略化及び回復動作回数の低減が求められている。しかし、回復動作を簡略化すると、ラインヘッドのインク流路内で生じた気泡が成長してしまい、インクの不吐出が発生しやすくなるといった別の課題が生じていた。
【０００６】
このような状況の下、長期的に安定してインクを吐出させるべく、記録ヘッド内のインク流路の壁面の一部を無機絶縁層で被覆する手法が提案されている（特許文献２及び３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１０−１４３１４７号公報
【特許文献２】特開２００８−１７９０４５号公報
【特許文献３】特開２００８−２３０１８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、本発明者らの検討の結果、特許文献２及び３で提案されたいずれの手法であっても、加熱機構を備えたラインヘッドを利用する場合に、インクの吐出安定性を長期的に維持するのは困難であることが明らかになった。例えば、インク流路内には、無機絶縁層である親水部と、無機絶縁層以外の層である疎水部とが存在する。特許文献２及び３で提案された手法を採用した場合であっても、疎水部に吸着した気泡が成長してしまうとインクの不吐出を回避することは困難であった。さらに、インク流路内における、無機絶縁層で被覆されていない部位は加熱されたインクにより浸食されやすく、記録素子などが破損するとインクの不吐出が発生する。この浸食は、水性インク中の成分が有するヒドロキシ基の作用によって生ずる。
【０００９】
したがって、本発明の目的は、加熱機構を有するラインヘッドを備えた記録装置を使用した場合に、液体の吐出安定性が長期的に維持される液体吐出方法を提供することにある。また、本発明の別の目的は、上記液体吐出方法に用いるインクジェット記録装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的は以下の本発明によって達成される。すなわち、本発明によれば、液体と、液体を吐出するラインヘッドと、前記ラインヘッド内の液体を加熱する加熱機構と、を備えたインクジェット記録装置を使用して、前記液体を記録媒体に吐出して付与する液体吐出方法であって、前記液体が、アニオン性基を有する成分を含有する水性の液体であり、前記ラインヘッドの内部には、前記液体を吐出する吐出口を有する液体流路と、前記液体流路に連通する液体供給口とが形成されており、前記液体流路及び前記液体供給口の少なくともいずれかの内壁面が、親水性材料を含む保護膜で被覆されていることを特徴とする液体吐出方法が提供される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、加熱機構を有するラインヘッドを備えた記録装置を使用した場合に、液体の吐出安定性が長期的に維持される液体吐出方法を提供することができる。また、本発明によれば、上記液体吐出方法に用いるインクジェット記録装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】ラインヘッドにより画像を記録するイメージ図である。
【図２】インクジェット記録装置の一例を示す模式図である。
【図３】ラインヘッドの一例を模式的に示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は分解斜視図である。
【図４】回復機構の一例を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は模式図である。
【図５】液体をラインヘッドに供給する供給機構の一例を示す模式図である。
【図６】ラインヘッドの構成の一例を示す部分斜視図である。
【図７】ラインヘッドの構成の一例を模式的に示す図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【図８】ラインヘッドの製造方法の一例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に、好ましい実施の形態を挙げて、さらに本発明を詳細に説明する。以下、液体の具体例としてインクを例に挙げて説明することがあるが、本発明の液体はこれに限られるものではない。液体は、色材を含有するインク；インクと併用される反応液；インクと併用される、色材を実質的に含有しないインク（クリアインク）などであってもよい。本発明においては、化合物が塩である場合は、インク中では塩はイオンに解離して存在しているが、便宜上、「塩を含有する」と表現する。また、インクジェット用の水性インクのことを、単に「インク」と記載することがある。また、物性値は、特に断りのない限り、常温（２５℃）における値とする。また、本発明で利用する液体は水性であるので、本発明における「ｍｍｏｌ／ｇ」の単位は、液体の比重を「１ｇ／ｍＬ」として算出している。
【００１４】
＜液体吐出方法＞
本発明の液体吐出方法は、液体と、液体を吐出するラインヘッドと、ラインヘッド内の液体を加熱する加熱機構と、を備えたインクジェット記録装置を使用して、液体を記録媒体に吐出して付与する液体吐出方法である。吐出される液体は、アニオン性基を有する成分を含有する水性の液体である。ラインヘッドの内部には、液体を吐出する吐出口を有する液体流路と、液体流路に連通する液体供給口とが形成されている。そして、液体流路及び液体供給口の少なくともいずれかの内壁面が、親水性材料を含む保護膜で被覆されていることを特徴とする。
【００１５】
前述の通り、オフィスなどにおけるインクジェット記録装置の利用拡大を目指す上では、電子写真方式の記録装置に対抗しうる記録速度（スループット）の向上が強く求められる。シリアル方式の記録ヘッドを利用する場合に記録速度を高めるためには、副走査方向における記録ヘッドの移動速度を高めるとともに、１ノズル当たりの吐出回数を増加する（すなわち、吐出周波数を高くする）必要がある。しかし、吐出周波数を高くするには、機械的な制約や、液体収容部から吐出口までの液体の供給（リフィル）が間に合わなくなるなどの各種制約が生ずる。したがって、シリアル方式の記録ヘッドを搭載したインクジェット記録装置の記録速度向上には限界がある。
【００１６】
このような状況に鑑み、近年、記録媒体の搬送方向の幅（最大用紙幅）の全幅にわたって液体を吐出する吐出口（ノズル）が配置されたライン型の記録ヘッド（以下、「ラインヘッド」とも記す）を採用した記録装置が開発されている。ラインヘッドには記録媒体の最大用紙幅に対応した数の吐出口が存在するため、記録ヘッドを移動させる必要がなく、高速記録が可能であるといった利点がある。すなわち、ラインヘッドを採用した記録装置の場合、記録ヘッドを記録媒体の搬送方向（副走査方向）に対して直交する方向（主走査方向）に移動させる必要がない。このため、記録媒体の単位領域が記録ヘッド直下を１回のみ通過する、すなわち「１パス」で画像を記録可能であり、記録に要する時間を短縮化することができる。
【００１７】
本発明者らは、ラインヘッドを採用したインクジェット記録装置と、インクジェット吐出用の従来の液体とを組み合わせ、さらなる高速記録について検討を行った。その結果、加熱された液体をラインヘッドから長期間吐出させると、液体の吐出安定性が低下するといった課題が生ずることを見出した。このような液体の吐出安定性の低下は、以下のような理由によって生ずるものと本発明者らは推測している。
【００１８】
ラインヘッドは数多くの吐出口を有するので、１回当たりの回復動作に時間を要するが、記録速度向上のためにも、回復動作の簡略化及び回復動作回数の低減が求められている。さらに、ラインヘッドの場合、液体の吐出安定性や、多数の吐出口からの吐出性を揃えるなどの観点から、インクを加熱することがある。そして、加熱されたインクを利用しても十分な吐出安定性を維持できることが要求されている。
【００１９】
特許文献２及び３で提案された手法を採用した、インク流路の壁面の一部を無機絶縁層で被覆した記録ヘッドから、加熱したインクを吐出し、高速記録を長期間実施した場合、以下のような現象が生じていると考えられる。インクを加熱すると気体の溶解度が下がるので、インクに溶解していた気体が気泡となる。発生した気泡は疎水性であるため、疎水性相互作用によって流路内の疎水部に吸着する。小さな気泡が単体又は数個集合する程度で存在するのであればインクの吐出に影響を与えない。しかし、気泡が流路を塞ぐ大きさにまで成長してしまうとインクの不吐出が生ずることになる。また、加熱したインクは、インク流路及びインク供給口の内壁面を浸食しやすくなる。このため、インク流路及びインク供給口の内壁面のうち、無機絶縁層で被覆されていない箇所では溶解が進行しやすくなり、記録素子などが破損しやすくなる。
【００２０】
上記のような課題を解決すべく、本発明者らは、加熱機構が設けられたラインヘッド内部の液体流路と液体供給口の少なくともいずれかの内壁面を、親水性材料を含む保護膜で被覆した。その結果、気泡の吸着を抑制するとともに、気泡成長に伴う液体の不吐出を回避し、かつ、内壁面の溶解を抑制しうることを見出した。さらに、アニオン性基を有する成分を含有する液体を用いることで、液体流路及び液体供給口の内壁面を被覆した親水性材料を含む保護膜にピンホール状の欠陥が生じた場合であっても、内壁面のさらなる溶解を抑制しうることを見出した。このような効果が得られる理由を、本発明者らは以下のように推測している。
【００２１】
親水性材料を含む保護膜の表面はマイナスに帯電している。但し、保護膜の一部が欠落して形成されたピンホール部分は表面状態が変化し、プラスに帯電している。このため、アニオン性基を有する成分はピンホールの内壁面に吸着し、ピンホールを塞ぐ。その結果、液体流路及び液体供給口の内壁面の溶解を促進するヒドロキシ基のアタックが抑制されると考えられる。
【００２２】
（インクジェット記録装置）
本発明の液体吐出方法に用いるインクジェット記録装置は、液体と、その内部に液体が充填された、液体を吐出するラインヘッドと、ラインヘッド内の液体を加熱する加熱機構とを備える。液体はアニオン性基を有する成分を含有する水性の液体であり、ラインヘッドの内部には、液体を吐出する吐出口を有する液体流路と、液体流路に連通する液体供給口とが形成されている。そして、液体流路及び液体供給口の少なくともいずれかの内壁面が、親水性材料を含む保護膜で被覆されている。以下、図面を参照しつつ、必要に応じて液体としてインクを用いる場合を例に挙げて、本発明のインクジェット記録装置の詳細について説明する。
【００２３】
図１は、ラインヘッドにより画像を記録するイメージ図である。また、図２は、インクジェット記録装置の一例を示す模式図である。図２に示す記録装置Ｍ４０００では、記録装置本体にラインヘッド（記録ヘッドＨ１０００）が固定されており、記録媒体４７を矢印４５の方向に搬送して記録する方式が採用されている。記録装置Ｍ４０００は、例えば、イエローインク用の記録ヘッドＨ１０００Ｙ、マゼンタインク用の記録ヘッドＨ１０００Ｍ、シアンインク用の記録ヘッドＨ１０００Ｃ、及びブラックインク用の記録ヘッドＨ１０００Ｂｋ（図１）を備える。
【００２４】
図２に示す記録ヘッドＨ１０００Ｙ〜Ｈ１０００Ｒは、記録装置Ｍ４０００に載置された記録ヘッドホルダ４２によって固定されている。図１及び２では、イエロー、マゼンタ、シアン、及びブラックの各色、さらには反応液を別々の記録ヘッドから吐出する構成を示している。勿論、一つの記録素子基板に設けられた複数の吐出口列のそれぞれから、複数の液体、さらには反応液を吐出して画像を記録する構成であってもよい。
【００２５】
インクジェット記録装置は、インク中の色材を凝集させる成分を含有する反応液を記録媒体に付与する手段を備えていてもよい。反応液を記録媒体に付与する手段としては、塗布方式によって反応液を記録媒体に塗布する手段や、吐出方式で反応液を記録媒体に付与する手段などを挙げることができる。塗布方式によって反応液を記録媒体に塗布する手段では、例えば、従来公知のローラなどの塗布部材を用いて反応液を記録媒体に塗布する。また、吐出方式で反応液を記録媒体に付与する手段では、例えば、図２に示すような、反応液用のラインヘッド（記録ヘッドＨ１０００Ｒ）などの吐出デバイスを用いて反応液を記録媒体に付与する。図１に示すように、４色のインクに対応して４つの記録ヘッドを設ける場合、反応液を記録媒体に付与する手段を別途設けることができる。本発明では、反応液を塗布などの方式で記録媒体に付与した後に、記録ヘッドからインクを吐出して記録媒体に付与することが好ましい。
【００２６】
給紙カセット４６は、その中に普通紙などの記録媒体４７が収納されており、装置本体に着脱自在に装着されている。ピックアップローラ４８は、給紙カセット４６内に収納された記録媒体４７のうち、最上面の１枚を送り出す部材である。搬送ローラ４９は、ピックアップローラ４８より送り出された記録媒体４７を搬送路５０へと搬送する部材である。また、搬送路５０の出口側に配設された搬送ローラ５１は、搬送ベルト４４に載せた状態で、記録媒体４７を記録ヘッドＨ１０００の方向へと搬送する部材である。
【００２７】
図３は、ラインヘッドの一例を模式的に示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は分解斜視図である。図３に示すように、ラインヘッド（記録ヘッドＨ１０００）は、記録素子ユニットＨ１４００と、記録素子ユニットＨ１４００に液体を供給するための液体供給ユニットである液体供給ユニットＨ１５００とを備える。液体供給ユニットＨ１５００は、液室（図示せず）に記録装置などの外部から液体を供給するために外部と接続する接続口Ｈ１７１０が形成された接続部Ｈ１７００を備える。また、記録素子ユニットＨ１４００は、記録素子基板Ｈ１１００、支持基板Ｈ１２００、及び配線部材Ｈ１３００で構成されている。
【００２８】
支持基板Ｈ１２００は、記録素子基板Ｈ１１００及び配線部材Ｈ１３００を保持して固定する部材であり、液体供給ユニットＨ１５００から供給される液体を記録素子基板Ｈ１１００に供給する液体供給孔Ｈ１２１０が形成されている。複数の記録素子基板Ｈ１１００は、支持基板Ｈ１２００の主面に予め定められた位置精度で配置され、固定されている。また、複数の記録素子基板Ｈ１１００は、隣接する記録素子基板Ｈ１１００間で吐出口列の方向に沿って吐出口が連続して配置されるように、支持基板Ｈ１２００上に千鳥状に配置されている。このように、隣接する記録素子基板Ｈ１１００のつなぎ目の吐出口を重複させて記録素子基板Ｈ１１００を配置することによって記録素子基板の位置ずれなどによる画像への影響を補正可能とし、記録幅が長尺なフルラインタイプの記録ヘッドを実現している。
【００２９】
配線部材Ｈ１３００は、記録素子基板Ｈ１１００に設けられた記録素子を駆動させる電気的な信号や電力を、記録ヘッドＨ１０００の外部（記録装置）から記録素子基板Ｈ１１００へと伝達するため、記録素子基板Ｈ１１００と電気的に接続されている。配線部材Ｈ１３００としては、フレキシブル配線基板などの可撓性を有するプリント配線基板が用いられる。そして、可撓性を有する配線部材Ｈ１３００は、記録素子基板Ｈ１１００と記録装置との電気的接続が容易に行えるよう折り曲げられ、液体供給ユニットＨ１５００に固定されている。
【００３０】
本発明の液体吐出方法に用いるインクジェット記録装置は、ラインヘッド内の液体を加熱する加熱機構を備える。具体的には、ラインヘッドを加熱することで、ラインヘッド内の液体を加熱し、液体の温度を調整することができる。加熱方法としては、例えば、記録ヘッドに接触するように配設される温度調整用のヒータや、液体吐出用のヒータなどを挙げることができる。液体吐出用のヒータによってラインヘッドを加熱又は加温するには、例えば、液体が吐出しない程度の電流を繰り返し通電すればよい。ラインヘッド及びラインヘッド内の液体の温度は、例えば、ラインヘッドに設けた温度センサで読み取ることができる。ラインヘッド及び液体の温度は４０〜７０℃に調整されることが好ましい。
【００３１】
本発明のインクジェット記録方法に用いるインクジェット記録装置は、さらに、ラインヘッドの吐出口における液体の固着や、吐出口面のヌレの状態を回復するための回復機構を備えていてもよい。図４は、回復機構の一例を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は模式図である。図４に示すように、ワイパＷ１００１はクリップ部材Ｗ１００２で保持されており、クリップ部材Ｗ１００２は連結部材Ｗ１００３で保持されている。また、クリップ部材Ｗ１００２は、スライドレールＷ１００６を移動可能なワイプベースＷ１０１１に取り付けられている。ワイプベースＷ１０１１は、連結部材Ｗ１００３を通じ、タイミングベルトＷ１００７の駆動によりスライドレールＷ１００６上を移動することができる。タイミングベルトＷ１００７は、従動プーリＷ１００４及び駆動プーリＷ１００５によって支持されており、駆動プーリＷ１００５には、タイミングベルトＷ１００７を駆動する駆動モータＷ１０１０の軸が連結されている。また、回復動作時のワイパＷ１００１の位置を制御するために、スライドレールＷ１００６の両端部にはフォトセンサＷ１００８、Ｗ１００９が設けられている。ワイピングによる回復動作時には、ワイパＷ１００１がスライドレールＷ１００６によってスライドして移動することにより、ワイパＷ１００１が撓みながら記録ヘッドＨ１０００の吐出口面Ｈ１００１をワイピングする。
【００３２】
本発明の液体吐出方法に用いるインクジェット記録装置は、さらに、液体をラインヘッドに供給する供給機構を備えていてもよい。図５は、液体をラインヘッドに供給する供給機構の一例を示す模式図である。図５に示すように、ポンプＰ１によって、サブタンクＴ２からラインヘッドＨ１０００へと液体が供給される。ラインヘッドＨ１０００から溢れた液体はサブタンクＴ２へと戻される。バルブＶ１は、回復動作時にラインヘッド内部の液室を加圧又は圧力を開放する切り替えのために設けられている。加圧回復時はバルブＶ１を閉じ、ポンプＰ１で加圧することによって液体供給経路及び液体流路内の泡の一部が除去される。サブタンクＴ２内の液体液面は、ラインヘッドＨ１０００の吐出口面との水頭差を一定の範囲で保持するように構成されており、ラインヘッドＨ１０００の吐出口面の負圧を適正な範囲で維持する。サブタンクＴ２内の液体が不足した場合は、ポンプＰ２により、メインタンクＴ１からサブタンクＴ２へと液体が送られる。各タンク、それらに収容される液体の温度は、インクジェット記録装置が設置される環境温度に依存するが、例えば、１５〜４５℃の範囲であることが好ましい。
【００３３】
次に、本発明のインクジェット記録装置のラインヘッドの構成について説明する。図６は、ラインヘッドの構成の一例を示す部分斜視図である。また、図７は、ラインヘッドの構成の一例を模式的に示す図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。図６及び７に示すように、本発明のインクジェット記録装置に用いるラインヘッドは、発熱抵抗体であるヒータ１６が形成された基板１１と、液滴を吐出するオリフィスである複数の吐出口１７が形成されたオリフィスプレート１２とを備える。さらに、ラインヘッドは、各吐出口１７に連通する、その内壁面にヒータ１６が配置された液体流路１３と、この液体流路１３に連通する液体供給口１４とを備える。ヒータ１６は、吐出圧力発生素子として機能する。また、複数の吐出口１７は、オリフィスプレート１２の、ヒータ１６に対応する位置に配置されるように形成されている。
【００３４】
本発明のインクジェット記録装置に用いるラインヘッドは、液体流路１３及び液体供給口１４の少なくともいずれかの内壁面が、親水性材料を含む保護膜１５で被覆されている。保護膜１５は、液体と接触する最表面に位置し、この保護膜１５によって、液体中の気泡の吸着に伴って生ずる気泡成長や、液体に曝される基板１１の内壁面の溶解を抑制することができる。保護層１５の厚さは５〜２００ｎｍであることが好ましく、５〜１５０ｎｍであることがさらに好ましく、５〜１００ｎｍであることが特に好ましい。保護膜１５による表面処理は、液体流路１３及び液体供給口１４の両方について行うことが好ましい。
【００３５】
本明細書における「親水性材料」とは、純水についての静的接触角が５０°以下である材料である。静的接触角は、一般的な接触角計を利用して測定できる。後述する実施例では、接触角測定機（商品名「ＦＡＣＥ  ＣＡ−ＸＡ１５０」、協和界面科学製）を用いて、純水についての静的接触角を測定した。親水性材料の、純水についての静的接触角は、２０°以上５０°以下であることが好ましい。
【００３６】
保護膜１５を形成する親水性材料としては、例えば、金属；その酸化物、窒化物、及び炭化物などの化合物を挙げることができる。これらの親水性材料は、１種単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。金属としては、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、及びＡｌからなる群より選択される少なくとも１種が好ましい。なかでも、Ｔｉ、Ｖ、Ｎｂ、Ｃｒ、Ｍｏ、及びＡｌからなる群より選択される少なくとも１種が好ましく、Ｔｉが特に好ましい。また、保護膜１５を形成する親水性材料として、Ｓｉなどの非金属；その酸化物、窒化物、炭化物などの化合物を用いることも好ましい。
【００３７】
ヒータ１６の表面への保護層の形成は任意である。保護層を設ける場合には、液体流路１３及び液体供給口１４の内壁面と同様の保護膜であってもよいし、異なる材料で構成される保護層であってもよい。液体流路１３及び液体供給口１４の内壁面の保護膜と、ヒータ１６の表面への保護膜と、は異なる材料で構成されることが好ましく、異なる金属を含む材料で構成されることがさらに好ましい。具体的には、液体流路１３及び液体供給口１４の内壁面には、Ｔｉ、Ｖ、Ｎｂ、Ｃｒ、Ｍｏ、及びＡｌからなる群より選択される少なくとも１種の金属を含む材料で構成される保護膜を形成することが好ましい。一方、ヒータ１６の表面には、Ｚｒ、Ｈｆ、及びＴａからなる群より選択される少なくとも１種の金属を含む材料で構成される保護膜を形成することが好ましい。基板１１の、ヒータ１６及びヒータ１６の駆動回路が形成される面には、通常、例えば、酸素、水分、及びその他の化学的ダメージ源から配線や集積回路（ＩＣ）を保護する不動態層が形成されている。
【００３８】
次に、本発明のインクジェット記録装置に用いるラインヘッドの製造方法について説明する。図８は、ラインヘッドの製造方法の一例を示す模式図である。本実施形態のラインヘッドの製造方法は、図８に示すように、ヒータ１６が形成された基板１１を用意する第１工程（ａ）と、基板１１のヒータ１６が形成された表面上に、選択的に除去可能な流路型材１８を配置する第２工程（ｂ）とを有する。本実施形態のラインヘッドの製造方法は、さらに、流路型材１８を覆うようにオリフィスプレート１２を配置し、オリフィスプレート１２に吐出口１７を形成する第３工程（ｃ）と、基板１１を貫通して液体供給口１４を形成する第４工程（ｄ）とを有する。そして、本実施形態のラインヘッドの製造方法は、さらに、流路型材１８を除去して液体流路を形成する第５工程（ｅ）と、液体流路１３及び液体供給口１４の少なくともいずれかの内壁面に親水性材料を含む保護膜１５を成膜する第６工程（ｆ）とを有する。
【００３９】
第１工程（ａ）では、汎用の半導体工程によって、吐出圧力発生素子として機能する発熱抵抗体であるヒータ１６及びその駆動回路（不図示）を基板１１に形成する。基板１１は、例えば、シリコンなどで形成されている。基板１１の両面のうち、ヒータ１６が形成された面を表面とし、反対側の面を裏面とする。
【００４０】
第２工程（ｂ）では、基板１１上に、後の工程で溶出除去可能なＵＶ（ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ）レジストであるポリメチルイソプロペニルケトンをソルベントコートする。ソルベントコートしたＵＶレジストをＵＶ光で露光し、現像して流路型材１８を形成して配置する。
【００４１】
第３工程（ｃ）では、流路型材１８が配置された基板１１の表面の上に、ネガレジストであるカチオン重合型エポキシ樹脂を塗布し、液体流路１３の天井と、各液体流路１３同士の間を仕切る流路壁を形成する。塗布したネガレジストに対し、所定のパターンのフォトマスクを用いて露光及び現像を行って、吐出口１７と電極パット（不図示）の部分のネガレジストを除去してオリフィスプレート１２を形成する。
【００４２】
第４工程（ｄ）では、基板１１の両面（表面及び裏面）にレジストを塗布し、裏面のレジストに、液体供給口１４を形成する位置に対応する開口を有する所定のパターンを、フォトリソグラフィ技術によってパターニングする。そして、このレジストをマスクとしてドライエッチングし、基板１１を貫通してスルーホールである供給口１４を形成する。ドライエッチングとしては、例えば、ＩＣＰ（Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｃｏｕｐｌｉｎｇ  Ｐｌａｓｍａ）−ＲＩＥ（Ｒｅａｃｔｉｖｅ  Ｉｏｎ  Ｅｔｃｈｉｎｇ）エッチャーを用いることができる。
【００４３】
第５工程（ｅ）では、基板１１の両面（表面及び裏面）のレジストを剥離液で除去した後、基板１１の表面にレジストを再度塗布する。その後、超音波を付与しながら乳酸メチルに浸漬し、ポジ型の感光性レジストなどで形成されている流路型材１８を溶解させて液体供給口１４から流出させる。これにより、液体流路１３が形成される。
【００４４】
第６工程（ｆ）では、必要に応じて基板１１とオリフィスプレート１２の境界をシールドした状態とする。そして、この状態で基板１１の裏面側から液体供給口１４内に膜ソースを導入する。これにより、液体供給口１４の内壁面に親水性材料を含む保護膜１５を選択的に成膜することができる。一方、基板１１の表面側から膜ソースを導入すれば液体流路１３の内壁面に保護膜を選択的に成膜することができる。また、シールドしない状態で膜ソースを導入すれば、液体流路１３及び液体供給口１４の両方に成膜することができる。成膜方法としては、例えば、プラズマＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、触媒ＣＶＤ法、蒸着法、及びスパッタ法などの物理的作用又は化学的作用による成膜方法を挙げることができる。
【００４５】
本発明のインクジェット記録方法により画像を記録する対象の記録媒体としては、どのようなものを用いてもよい。なかでも、普通紙や非コート紙などのコート層を有しない記録媒体、及び、光沢紙やアート紙などのコート層を有する記録媒体のような、浸透性を有する紙を用いることが好ましい。
【００４６】
（液体）
以下、本発明の液体吐出方法に用いる液体を構成する各成分や液体の物性などについて詳細に説明する。本発明の液体吐出方法に用いる液体は、アニオン性基を有する成分を含有する水性の液体である。このような液体としては、色材を含有するインク、インクと併用される反応液やクリアインクなどを挙げることができる。反応液は、インク中の色材などと反応する反応剤を含有する。クリアインクは、色材を実質的に含有しない。本発明の液体吐出方法に用いる液体は、インク、反応液、及びクリアインクのいずれであってもよい。本発明で用いる液体は、いわゆる「硬化型の液体」である必要はない。したがって、本発明で用いる液体は、外部エネルギーの付加により重合しうる重合性モノマーなどの化合物を含有しなくてもよい。
【００４７】
［アニオン性基を有する成分］
アニオン性基を有する成分としては、液体がインクである場合にはアニオン性基を有する染料や顔料などの色材を挙げることができる。アニオン性基を有する成分として色材を利用する場合、その粒子表面に直接又は他の原子団を介してアニオン性基が結合した自己分散顔料；アニオン性基を有する樹脂（樹脂分散剤）を利用する樹脂分散顔料などの形態とすることが好ましい。その他に、液体が反応液である場合における、アニオン性基を有する成分としては、反応剤などを挙げることができる。また、いずれの液体にも用いることができるアニオン性基を有する成分としては、アニオン性基を有する樹脂、アニオン性界面活性剤、及び１価カチオンの塩などを挙げることができる。塩はイオン解離によりアニオンを生じうる。これらの成分は、液体流路及び液体供給口の内壁面を被覆した親水性材料を含む保護膜に形成されたピンホールに吸着し、液体流路及び液体供給口の内壁面の溶解を抑制する効果を発揮する。
【００４８】
アニオン性基を有する成分としては、顔料を分散するための樹脂分散剤を用いることが特に好ましい。樹脂分散剤により分散された状態の顔料がインク中に存在する場合は、他のアニオン性基を有する成分が存在する場合と比較して、立体反発作用がより強く生ずる。このため、液体流路及び液体供給口の内壁面に吸着しやすくなり、その溶解を抑制する効果をより高いレベルで得ることができる。
【００４９】
アニオン性界面活性剤としては、例えば、カルボン酸型、スルホン酸型、硫酸エステル型、リン酸エステル型などの各種のアニオン性界面活性剤及びその塩などを挙げることができる。液体中のアニオン性界面活性剤の含有量（質量％）は、インク全質量を基準として、０．１質量％以上５．０質量％以下であることが好ましく、０．１質量％以上１．０質量％以下であることがさらに好ましい。
【００５０】
１価カチオンの塩は、１価のカチオンとアニオンが結合して構成される塩である。１価のカチオンとしては、アルカリ金属イオン、アンモニウムイオン、有機アンモニウムイオンなどを挙げることができる。アルカリ金属イオンとしては、リチウム、ナトリウム、カリウムなどのイオンを挙げることができる。有機アンモニウムイオンとしては、アンモニウムイオンの少なくとも１つの水素原子が有機基に置換されたものを挙げることができる。１価のカチオンと結合するアニオンとしては、Ｃｌ-、Ｂｒ-、Ｉ-、ＣｌＯ-、ＣｌＯ2-、ＣｌＯ3-、ＣｌＯ4-、ＮＯ2-、ＮＯ3-、ＳＯ42-、ＣＯ32-、ＨＣＯ3-、ＨＣＯＯ-、（ＣＯＯ-）2、ＣＯＯＨ（ＣＯＯ-）、ＣＨ3ＣＯＯ-、Ｃ2Ｈ4（ＣＯＯ-）2、Ｃ6Ｈ5ＣＯＯ-、Ｃ6Ｈ4（ＣＯＯ-）2、ＰＯ43-、ＨＰＯ42-、及びＨ2ＰＯ4-などを挙げることができる。液体中の１価カチオンの塩の含有量（質量％）は、インク全質量を基準として、０．１質量％以上３．０質量％以下であることが好ましく、０．１質量％以上１．０質量％以下であることがさらに好ましい。
【００５１】
アニオン性基を有する成分の電荷量は、０．００５ｍｍｏｌ／ｇ以上であることが好ましく、０．００５ｍｍｏｌ／ｇ以上０．０５０ｍｍｏｌ／ｇ以下であることがさらに好ましい。アニオン性基を有する成分の電荷量が０．００５ｍｍｏｌ／ｇ未満であると、液体流路及び液体供給口の内壁面の溶解を抑制する効果が不足する場合がある。アニオン性基を有する成分の電荷量は、液体についてイオンプローブ方式で測定し、液体１ｇ当たりに換算した値である。
【００５２】
［色材］
色材としては、染料及び顔料のいずれをも用いることができる。染料としては、アニオン性基を有するものなどを挙げることができる。染料としては、フタロシアニン、アゾ、キサンテン、アントラピリドンなどの骨格を有する化合物を用いることができる。また、顔料としては、無機顔料及び有機顔料を挙げることができる。普通紙への記録を考慮すると、顔料を色材として用いることが好ましい。顔料としては、分散剤として樹脂を用いる樹脂分散タイプの顔料、及び顔料の粒子表面に親水性基を導入した自己分散タイプの顔料（自己分散顔料）などを用いることができる。分散方法の異なる顔料を併用することもできる。本発明のインクジェット記録方法では、色材として樹脂分散顔料を用いることが好ましい。
【００５３】
樹脂分散タイプの顔料としては、高分子分散剤を使用した樹脂分散型顔料、顔料の粒子の表面を樹脂で被覆したマイクロカプセル型顔料、及び顔料の粒子の表面に高分子を含む有機基が化学的に結合した樹脂結合型顔料などがある。分散方法の異なる顔料を併用することもできる。樹脂としては、（メタ）アクリル酸などのアニオン性基を有するユニットと、芳香環や脂肪族基を有するモノマーなどのアニオン性基を有しないユニットと、少なくとも有する、アクリル樹脂を用いることが好ましい。
【００５４】
自己分散タイプの顔料としては、顔料の粒子表面にアニオン性基が直接又は他の原子団を介して結合したものを挙げることができる。アニオン性基としては、カルボン酸基、スルホン酸基、リン酸基、及びホスホン酸基などを挙げることができる。アニオン性基のカウンターイオンとしては、水素原子、アルカリ金属、アンモニウム、及び有機アンモニウムなどのカチオンを挙げることができる。また、他の原子団は、顔料の粒子表面とイオン性基とのスペーサの機能を持つものであり、分子量が１，０００以下であることが好ましい。他の原子団としては、炭素数１乃至６程度のアルキレン基；フェニレン基、ナフチレン基などのアリーレン基；エステル基；イミノ基；アミド基；スルホニル基；エーテル基などを挙げることができる。また、これらの基を組み合わせた基であってもよい。
【００５５】
インク中の色材の含有量（質量％）は、インク全質量を基準として、０．１質量％以上１５．０質量％以下であることが好ましく、１．０質量％以上１０．０質量％以下であることがさらに好ましい。なかでも、２．０質量％以上１０．０質量％以下であることが特に好ましい。色材の含有量が２．０質量％未満であると、記録される画像の光学濃度が低下する場合がある。一方、色材の含有量が１０．０質量％超であると、ノズルの目詰まりが生じやすくなる場合がある。
【００５６】
［反応剤］
反応剤としては、多価金属塩や有機酸を用いることができる。多価金属塩は、多価金属イオンとアニオンで構成される。反応液中の反応剤の含有量（質量％）は、反応液全質量を基準として、１．０質量％以上５０．０質量％以下であることが好ましく、２．０質量％以上４０．０質量％以下であることがさらに好ましい。なかでも、３．０質量％以上３０．０質量％以下であることが特に好ましい。
【００５７】
多価金属イオンとしては、例えば、Ｃａ2+、Ｃｕ2+、Ｎｉ2+、Ｍｇ2+、Ｚｎ2+、Ｓｒ2+、Ｂａ2+などの２価の金属イオン；Ａｌ3+、Ｆｅ3+、Ｃｒ3+、Ｙ3+などの３価の金属イオンを挙げることができる。アニオンとしては、例えば、Ｃｌ-、Ｂｒ-、Ｉ-、ＣｌＯ-、ＣｌＯ2-、ＣｌＯ3-、ＣｌＯ4-、ＮＯ2-、ＮＯ3-、ＳＯ42-、ＣＯ32-、ＨＣＯ3-、ＨＣＯＯ-、（ＣＯＯ-）2、ＣＯＯＨ（ＣＯＯ-）、ＣＨ3ＣＯＯ-、Ｃ2Ｈ4（ＣＯＯ-）2、Ｃ6Ｈ5ＣＯＯ-、Ｃ6Ｈ4（ＣＯＯ-）2、ＰＯ43-、ＨＰＯ42-、及びＨ2ＰＯ4-などを挙げることができる。液体中における多価金属塩の形態は、その一部が解離した状態、又は全てが解離した状態のいずれの形態であってもよい。
【００５８】
有機酸としては、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸などのモノカルボン酸；フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、セバシン酸、ダイマー酸、ピロメリット酸、トリメリット酸などのジカルボン酸；クエン酸などのトリカルボン酸；オキシコハク酸、ＤＬ−リンゴ酸、酒石酸などのヒドロキシカルボン酸などを挙げることができる。これらの有機酸は塩であってもよい。なかでも、炭素原子数３以下のアルキル鎖を有するカルボン酸が、水溶性が高いために好ましい。有機酸の塩を形成するカチオンとしては、リチウム、ナトリウム、カリウムなどのアルカリ金属イオン；アンモニウムイオン；有機アンモニウムイオンなどを挙げることができる。
【００５９】
［樹脂］
樹脂としては、インクジェット記録方法などの液体吐出方法に用いられる液体に一般的に配合される樹脂を用いることができる。液体中における樹脂の状態は、水性媒体に溶解した状態であってもよく、水性媒体中に樹脂粒子として分散した状態であってもよい。アニオン性基を有する成分として、アニオン性基を有する樹脂を用いることもできる。樹脂の具体例としては、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂などを挙げることができる。なかでも、液体の吐出安定性及び保存安定性を向上させることができることから、アクリル樹脂及びウレタン樹脂が好ましい。アクリル樹脂としては、例えば、酸基を有するユニット及び酸基を有しないユニットを有する共重合体を用いることが好ましい。ウレタン樹脂としては、例えば、ポリオールとポリイソシアネートを反応させて得られるものを用いることが好ましい。ウレタン樹脂は、さらに、鎖延長剤や架橋剤となる成分を反応させたものであってもよい。
【００６０】
液体中の樹脂の含有量（質量％）は、液体全質量を基準として、０．１質量％以上であることが好ましく、０．１質量％以上１０．０質量％以下であることがさらに好ましい。樹脂の含有量が０．１質量％未満であると、樹脂の量が少なすぎるために、保護膜に形成されたピンホールを十分に塞ぐことが困難になり、液体流路及び液体供給口の内壁面の溶解を抑制する効果が不足する場合がある。
【００６１】
［水性媒体］
液体は、水性媒体として水を含有する。水としては、脱イオン水（イオン交換水）を用いることが好ましい。液体中の水の含有量（質量％）は、液体全質量を基準として、５０．０質量％以上９５．０質量％以下であることが好ましく、６０．０質量％以上９５．０質量％以下であることがさらに好ましい。
【００６２】
液体には、水性媒体として、さらに水溶性有機溶剤を含有させることができる。水溶性有機溶剤としては、インクジェット記録方法などの液体吐出方法に適用される液体に一般的に用いられているものをいずれも用いることができる。水溶性有機溶剤の具体例としては、炭素数１乃至４のアルキルアルコール類、アミド類、ケトン又はケトアルコール類、エーテル類、ポリアルキレングリコール類、グリコール類、アルキレン基の炭素原子数が２乃至６のアルキレングリコール類、アルキルエーテルアセテート類、多価アルコールのアルキルエーテル類、含窒素化合物類などを挙げることができる。これらの水溶性有機溶剤は、１種単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。液体中の水溶性有機溶剤の含有量（質量％）は、液体全質量を基準として、３．０質量％以上５０．０質量％以下であることが好ましく、５．０質量％以上３０．０質量％以下であることがさらに好ましい。
【００６３】
通常「水溶性有機溶剤」とは液体状態にある化合物を意味するが、本発明においては、２５℃（常温）で固体であるものも、水に溶解して液体を構成する液媒体となるため、便宜上、水溶性有機溶剤に含めることとする。インクジェット吐出用の液体に汎用であり、２５℃で固体である水溶性有機溶剤の具体例としては、１，６−ヘキサンジオール、トリメチロールプロパン、エチレン尿素、尿素、数平均分子量１，０００のポリエチレングリコールなどを挙げることができる。
【００６４】
［界面活性剤］
液体には、界面活性剤を含有させることができる。液体中の界面活性剤の含有量（質量％）は、液体全質量を基準として、０．１質量％以上５．０質量％以下であることが好ましく、０．２５質量％以上３．０質量％以下であることがさらに好ましい。界面活性剤の具体例としては、アセチレングリコールのエチレンオキサイド付加物、ポリエチレングリコールアルキルエーテル、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンブロックポリマーなどの炭化水素系の界面活性剤；パーフルオロアルキルエチレンオキサイド付加物などのフッ素系の界面活性剤；ポリエーテル変性シロキサン化合物などのシリコーン系界面活性剤などを挙げることができる。なかでも、炭化水素系の界面活性剤を用いることが好ましい。これらの界面活性剤は、１種単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００６５】
［その他の成分］
液体には、上記成分の他に、必要に応じて所望の物性値を有する液体とするために、樹脂、ｐＨ調整剤、防錆剤、防腐剤、防黴剤、酸化防止剤、及び還元防止剤などの種々の添加剤を含有させてもよい。
【００６６】
［液体の物性］
液体の２５℃における粘度は、１．０ｍＰａ・ｓ以上１０．０ｍＰａ・ｓ以下であることが好ましく、１．０ｍＰａ・ｓ以上５．０ｍＰａ・ｓ以下であることがさらに好ましく、１．０ｍＰａ・ｓ以上３．０ｍＰａ・ｓ以下であることが特に好ましい。また、液体の２５℃における表面張力は、２８ｍＮ／ｍ以上４５ｍＮ／ｍ以下であることが好ましい。液体の２５℃におけるｐＨは、５以上９以下であることが好ましい。
【実施例】
【００６７】
以下、実施例及び比較例を挙げて本発明をさらに詳細に説明するが、本発明は、その要旨を超えない限り、下記の実施例によって何ら限定されるものではない。成分量に関して「部」及び「％」と記載しているものは特に断らない限り質量基準である。
【００６８】
＜顔料分散液の調製＞
（顔料分散液１）
水溶性樹脂であるスチレン−アクリル酸共重合体（重量平均分子量１０，０００、酸価２００ｍｇＫＯＨ／ｇ）を、中和当量１となる水酸化カリウムを用いてイオン交換水に溶解させ、樹脂の含有量が２０．０％である樹脂分散剤の水溶液を調製した。カーボンブラック１５．０部、樹脂分散剤の水溶液３０．０部、及び水５５．０部の混合物をサンドグラインダーに入れ、１時間分散処理した。遠心分離処理して粗大粒子を除去し、ポアサイズ３．０μｍのミクロフィルター（富士フイルム製）にて加圧ろ過した後、適量のイオン交換水を加えて顔料分散液１を得た。顔料分散液１中の顔料の含有量は１５．０％、樹脂（固形分）の含有量は６．０％であった。
【００６９】
（顔料分散液２）
市販の顔料分散液（商品名「Ｃａｂ−Ｏ−Ｊｅｔ４７０ＹＡ」、キャボット製）の固形分量を調整し、顔料の含有量が１５．０％の顔料分散液を調製した。この顔料分散液２には、イエロー顔料の粒子表面に他の原子団を介してホスホン酸基が結合した自己分散顔料が含まれている。
【００７０】
＜樹脂水溶液の調製＞
水溶性樹脂であるスチレン−アクリル酸共重合体（重量平均分子量８，０００、酸価２００ｍｇＫＯＨ／ｇ）を、中和当量１となる水酸化カリウムを用いてイオン交換水に溶解させ、樹脂（固形分）の含有量が１０．０％である樹脂１の水溶液を得た。
【００７１】
＜液体の調製＞
表１の上段に示す各成分（単位：％）を混合して十分に撹拌した後、ポアサイズ１．２０μｍのセルロースアセテートフィルター（アドバンテック製）で加圧ろ過を行い、各液体を調製した。調製した液体の電荷量をイオンプローブ式のカリウム電極又はカルシウム電極（堀場製作所製）で測定し、得られた値を液体１ｇ当たりに換算して表１の下段に示した。この電荷量の値から、液体中に存在するアニオン性基のモル数を見積もった。
【００７２】
2017217907.tif 000003
【００７３】
＜評価＞
表２の左側に示す組み合わせの液体及びラインヘッドを使用して以下に示す評価を行った。実施例１〜１４、比較例３、参考例３、４で用いたラインヘッドは、前述の第１〜６工程を実施して作製したものである。いずれも、保護膜１５（図７（ｂ））の厚さは約１００ｎｍであり、純水についての静的接触角は３０°であった。一方、比較例１、２、参考例１、２で用いたラインヘッドは、第６工程のみを実施せずに作製したものである。評価結果を表２の右側に示す。以下に示す評価基準で、「ＡＡＡＡ」、「ＡＡＡ」、「ＡＡ」、「Ａ」、及び「Ｂ」を許容できるレベルとし、「Ｃ」を許容できないレベルとした。
【００７４】
（吐出安定性）
図２に示す構成を有するとともに、図４に示す回復機構及び図５に示す供給機構をさらに有するインクジェット記録装置を用意した。このインクジェット記録装置のメインタンクに調製した液体をそれぞれ充填した。そして、実施例１〜１４及び比較例１〜３では、サブタンクにポンプで液体を送り、ラインヘッドとその内部に充填された液体の温度が６０℃になるように、温度調整用のヒータと吐出用のヒータを併用して加熱した。参考例１〜４では液体を加熱しなかった。回復機構及び供給機構により加圧回復動作を行うことで、各ノズルから液体が正常に吐出されることを確認した。そして、１／６００インチ四方当たりに２０ｎｇの液体を付与する条件で、Ａ４サイズの記録媒体の全面に記録する画像パターンを１００枚分、連続して記録した。その後、不吐出となったノズルの有無を確認するために、１／６００インチ四方当たりに２ｎｇの液体を付与する条件で、Ａ４サイズの記録媒体の全面にベタ画像を記録した。この際、色材を含有しない液体については、不吐出を確認しやすくするために、記録媒体として市販のＯＨＰフィルムを利用した。記録したベタ画像を目視で確認し、以下に示す評価基準にしたがって吐出安定性を評価した。
Ａ：不吐出となったノズルがなかった。
Ｃ：不吐出となったノズルがあった。
【００７５】
（溶解抑制）
まず、（１００）、（１１０）、（１１１）各方位のシリコンウェハに、保護膜として、表２に示す親水性材料を成膜した。シリコンウェハを適当なサイズに切断した後、シリコン面が剥き出しになっているチップの裏面及び端面をフォトレジスト材料（商品名「ＯＦＰＲ−ＰＲ８ＰＭ」、東京応化工業製）で封止してサンプルチップを作製した。液体をそれぞれ充填した密閉容器に作製したサンプルチップを浸漬し、６０℃で７日間保存した。保存前のチップの質量と、保存後の液体をＩＣＰにより分析して求めたシリコン溶出量から保存後のチップの質量を求めた。これらの値から、シリコン溶出率（％）＝｛（保存前のチップの質量−保存後のチップの質量）／保存前のチップの質量｝×１００の式にしたがって、シリコン溶出率（％）を求めた。３種のシリコンウェハについてのシリコン溶出率の平均値から、以下に示す評価基準にしたがって溶解抑制を評価した。
ＡＡＡＡ：シリコン溶出率の平均値が、３％未満であった。
ＡＡＡ：シリコン溶出率の平均値が、３％以上５％未満であった。
ＡＡ：シリコン溶出率の平均値が、５％以上１０％未満であった。
Ａ：シリコン溶出率の平均値が、１０％以上３０％未満であった。
Ｂ：シリコン溶出率の平均値が、３０％以上５０％未満であった。
Ｃ：シリコン溶出率の平均値が、５０％以上であった。
【００７６】
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【００７７】
液体を加熱しなかった参考例１〜４では、吐出安定性の評価の際に記録した画像パターンに、許容できないレベルのムラが多く発生していた。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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