(57)【要約】      （修正有）【課題】効率よく複数のランプの交換を行うことができる光照射装置を提供する。【解決手段】ランプ交換用のカセット４００は、直管状のランプ部とランプ部の両端にそれぞれ接続されたソケット部とを含む複数のランプを支持可能な枠状の支持部材４０２を備える。支持部材４０２は、各ランプのソケット部をそれぞれ保持するように構成された複数の台座４１２がＹ方向に沿って一列に並ぶように設けられたフレーム部４０４と４２６が設けられ、フレーム部４０４と対向するフレーム部４０６とを有する。各台座４１２にはそれぞれ、Ｚ方向にソケット部を付勢する付勢部材４１４が設けられている。各台座４２６にはそれぞれ、Ｚ方向にソケット部を付勢する付勢部材４２８が設けられている。【選択図】図９
2017073488.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
直管状のランプ部と前記ランプ部の両端にそれぞれ接続された第１及び第２のソケット部とを含む複数のランプを支持可能な枠状の支持部材を備え、
前記支持部材は、
前記各ランプの前記第１のソケット部をそれぞれ保持するように構成された複数の第１の台座が第１の方向に沿って一列に並ぶように設けられた第１のフレーム部と、
前記各ランプの前記第２のソケット部をそれぞれ保持するように構成された複数の第２の台座が前記第１の方向に沿って一列に並ぶように設けられ、前記第１のフレーム部と対向する第２のフレーム部とを有し、
前記各第１の台座にはそれぞれ、前記第１の方向と前記第１及び第２のフレーム部が対向する第２の方向との双方に交差する第３の方向に前記第１のソケット部を付勢する第１の付勢部材が設けられており、
前記各第２の台座にはそれぞれ、前記第３の方向に前記第２のソケット部を付勢する第２の付勢部材が設けられている、ランプ交換用のカセット。
【請求項２】
前記第１及び第２のソケット部の端面にはそれぞれ、外方に向けて突出する第１及び第２の突出部が設けられており、
前記支持部材は、
前記第１の台座に設けられ、前記第１の突出部が挿通可能であり前記第３の方向に沿って延びる長孔が形成された第１の位置決め部材と、
前記第２の台座に設けられ、前記第２の突出部が挿通可能であり前記第３の方向に沿って延びる長孔が形成された第２の位置決め部材とをさらに有する、請求項１に記載のカセット。
【請求項３】
前記第１の台座には、前記第２の台座から前記第１の台座側に向かう側への前記ランプの移動を規制する規制部材が設けられており、
前記第２の台座には、前記第１のソケット部が前記規制部材に当接するように前記第２の台座から前記第１の台座側に向かう側に向けて前記第２のソケット部を付勢する第３の付勢部材が設けられている、請求項１又は２に記載のカセット。
【請求項４】
前記支持部材のうち前記ランプが保持される前部とは反対の背部側に設けられた緩衝部材を更に備える、請求項１〜３のいずれか一項に記載のカセット。
【請求項５】
直管状のランプ部と前記ランプ部の両端にそれぞれ接続された第１及び第２のソケット部とを含む複数のランプを支持可能な枠状の支持部材を有する、ランプ交換用のカセットと、
前記カセットを収容するように構成されたハウジングとを備え、
前記ハウジングは、
底壁部に窓部材が設けられた有底容器と、
前記有底容器の開口部を開放及び閉塞可能に構成された蓋部材とを有し、
前記支持部材は、
前記各ランプの前記第１のソケット部をそれぞれ保持するように構成された複数の第１の台座が第１の方向に沿って一列に並ぶように設けられた第１のフレーム部と、
前記各ランプの前記第２のソケット部をそれぞれ保持するように構成された複数の第２の台座が前記第１の方向に沿って一列に並ぶように設けられ、前記第１のフレーム部と対向する第２のフレーム部と、
側方に向けて突出する一対のフランジ部とを含み、
前記有底容器には、前記開口部側から前記底壁部側に向けて傾斜する傾斜面を有し、前記傾斜面により前記各フランジを案内するように構成された一対の案内部材が設けられており、
前記各第１の台座にはそれぞれ、前記第１の方向と前記第１及び第２のフレーム部が対向する第２の方向との双方に交差する第３の方向であって前記カセットが前記ハウジング内に収容された状態で前記ランプが前記蓋部材に接触するように前記第１のソケット部を付勢する第１の付勢部材が設けられており、
前記各第２の台座にはそれぞれ、前記第３の方向であって前記カセットが前記ハウジング内に収容された状態で前記ランプが前記蓋部材に接触するように前記第２のソケット部を付勢する第２の付勢部材が設けられている、ランプハウス。
【請求項６】
前記カセットは、前記支持部材のうち前記ランプが保持される前部とは反対の背部側に設けられたラッチ部材を更に有し、
前記有底容器の内部には、前記ラッチ部材と係合可能な係合部が設けられている、請求項５に記載のランプハウス。
【請求項７】
直管状のランプ部と前記ランプ部の両端にそれぞれ接続された第１及び第２のソケット部とを含む複数のランプと、
前記複数のランプを支持可能な枠状の支持部材を有する、ランプ交換用のカセットと、
前記カセットを収容するように構成されたハウジングとを備え、
前記ハウジングは、
底壁部に窓部材が設けられた有底容器と、
前記有底容器の開口部を開放及び閉塞可能に構成された蓋部材とを有し、
前記支持部材は、
前記各ランプの前記第１のソケット部をそれぞれ保持するように構成された複数の第１の台座が第１の方向に沿って一列に並ぶように設けられた第１のフレーム部と、
前記各ランプの前記第２のソケット部をそれぞれ保持するように構成された複数の第２の台座が前記第１の方向に沿って一列に並ぶように設けられ、前記第１のフレーム部と対向する第２のフレーム部とを含み、
前記第１及び第２のソケット部にはそれぞれ、第１及び第２の付勢部材が設けられ、
前記第１の付勢部材は、前記第１のソケット部が前記第１の台座に保持される際に前記第１のソケット部と前記第１の台座との間で圧縮されて生ずる反力により、前記第１の方向と前記第１及び第２のフレーム部が対向する第２の方向との双方に交差する第３の方向であって前記カセットが前記ハウジング内に収容された状態で前記ランプが前記蓋部材に接触するように前記第１のソケット部を付勢し、
前記第２の付勢部材は、前記第２のソケット部が前記第２の台座に保持される際に前記第２のソケット部と前記第２の台座との間で圧縮されて生ずる反力により、前記第３の方向であって前記カセットが前記ハウジング内に収容された状態で前記ランプが前記蓋部材に接触するように前記第２のソケット部を付勢する、ランプハウス。
【請求項８】
前記蓋部材が前記開口部に対して開放状態から閉塞状態に姿勢を変更する際の動作を緩慢にする抵抗力を前記蓋部材に付与するように構成されたダンパを更に備える、請求項５〜７のいずれか一項に記載のランプハウス。
【請求項９】
前記第１及び第２のソケット部の端面にはそれぞれ、外方に向けて突出する第１及び第２の突出部が設けられており、
前記支持部材は、
前記第１の台座に設けられ、前記第１の突出部が挿通可能であり前記第３の方向に沿って延びる長孔が形成された第２の位置決め部材と、
前記第２の台座に設けられ、前記第２の突出部が挿通可能であり前記第３の方向に沿って延びる長孔が形成された第３の位置決め部材とをさらに含む、請求項５〜８のいずれか一項に記載のランプハウス。
【請求項１０】
請求項５〜９のいずれか一項に記載のランプハウスと、
前記ランプハウスの前記底壁部に接続され、内部に被処理体を配置可能に構成された処理室とを備える、光照射装置。
【請求項１１】
直管状のランプ部と前記ランプ部の両端にそれぞれ接続された第１及び第２のソケット部とを含む複数のランプを支持可能な枠状の支持部材を有する、ランプ交換用のカセットであって、
前記支持部材は、前記各ランプの前記第１のソケット部をそれぞれ保持するように構成された複数の第１の台座が第１の方向に沿って一列に並ぶように設けられた第１のフレーム部と、前記各ランプの前記第２のソケット部をそれぞれ保持するように構成された複数の第２の台座が前記第１の方向に沿って一列に並ぶように設けられ、前記第１のフレーム部と対向する第２のフレーム部と、側方に向けて突出する一対のフランジ部とを含み、
前記各第１の台座にはそれぞれ、前記第１の方向と前記第１及び第２のフレーム部が対向する第２の方向との双方に交差する第３の方向に前記第１のソケット部を付勢する第１の付勢部材が設けられており、
前記各第２の台座にはそれぞれ、前記第３の方向に前記第２のソケット部を付勢する第２の付勢部材が設けられている、カセットを準備する第１の工程と、
底壁部に窓部材が設けられた有底容器と、前記有底容器の開口部を開放及び閉塞可能に構成された蓋部材とを有するハウジングであって、前記有底容器には、前記開口部側から前記底壁部側に向けて傾斜する傾斜面を有する一対の案内部材が設けられている、ハウジングを準備する第２の工程と、
前記各ランプの前記第１及び第２のソケット部がそれぞれ前記第１及び第２の台座に保持されるように、前記複数のランプを前記カセットに搭載する第３の工程と、
前記第３の工程の後に、前記蓋部材が前記開口部を開放した状態で、前記カセットの前記一対のフランジ部をそれぞれ前記一対の案内部材の前記傾斜面に当接させつつ、前記カセットを前記一対の案内部材に沿って前記底壁部に向けてスライドさせる第４の工程と、
前記第４の工程の後に、前記蓋部材により前記開口部を閉塞し、前記カセットが前記ハウジング内に収容することにより、前記ランプが前記蓋部材に接触するように前記第１及び第２の付勢部材がそれぞれ前記第１及び第２のソケット部を付勢する第５の工程とを含む、ランプ交換方法。
【請求項１２】
直管状のランプ部と前記ランプ部の両端にそれぞれ接続された第１及び第２のソケット部とを含む複数のランプを支持可能な枠状の支持部材を有する、ランプ交換用のカセットであって、
前記支持部材は、前記各ランプの前記第１のソケット部をそれぞれ保持するように構成された複数の第１の台座が第１の方向に沿って一列に並ぶように設けられた第１のフレーム部と、前記各ランプの前記第２のソケット部をそれぞれ保持するように構成された複数の第２の台座が前記第１の方向に沿って一列に並ぶように設けられ、前記第１のフレーム部と対向する第２のフレーム部とを含み、
前記支持部材には貫通孔が設けられており、
前記各第１の台座にはそれぞれ、前記第１の方向と前記第１及び第２のフレーム部が対向する第２の方向との双方に交差する第３の方向に前記第１のソケット部を付勢する第１の付勢部材が設けられており、
前記各第２の台座にはそれぞれ、前記第３の方向に前記第２のソケット部を付勢する第２の付勢部材が設けられている、カセットを準備する第１の工程と、
底壁部に窓部材が設けられた有底容器と、前記有底容器の開口部を開放及び閉塞可能に構成された蓋部材と、前記蓋部材と前記カセットとを固定する固定部材とを有するハウジングであって、
前記蓋部材は、前記蓋部材が前記開口部に近接及び離間するように前記有底容器に対して揺動可能に取り付けられ、
前記蓋部材の内面側であって、前記蓋部材と前記有底容器との取り付け箇所の近傍には、前記有底容器内に向けて延びるフック部材が設けられている、ハウジングを準備する第２の工程と、
前記各ランプの前記第１及び第２のソケット部がそれぞれ前記第１及び第２の台座に保持されるように、前記複数のランプを前記カセットに搭載する第３の工程と、
前記第３の工程の後に、前記蓋部材が前記開口部を開放した状態で、前記カセットを前記フック部材に向けてスライドさせて、前記貫通孔内に前記フック部材の先端部を挿通させる第４の工程と、
前記第４の工程の後に、前記カセットを前記蓋部材に固定することにより、前記ランプが前記蓋部材に接触するように前記第１及び第２の付勢部材がそれぞれ前記第１及び第２のソケット部を付勢する第５の工程と、
前記第５の工程の後に、前記蓋部材により前記開口部を閉塞する第６の工程とを含む、ランプ交換方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、ランプ交換用のカセット、ランプハウス、光照射装置、及びランプ交換方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、被処理体（例えば、基板）を内部に配置可能な処理室と、処理室に向けて紫外線を照射するように構成されたエキシマランプ（紫外線ランプ）が内部に配置されたランプハウスとを備える光照射装置を開示している。エキシマランプから照射された紫外線は、ランプハウスに設けられた窓部材を通じて処理室に照射され、処理室内の雰囲気中の酸素（Ｏ２）と反応することで被処理体の周囲にオゾン（Ｏ３）を生成する。生成されたオゾンの作用によって被処理体が処理される。例えば、当該光照射装置は、被処理体の表面に設けられたレジスト膜をオゾンの作用によって除去（アッシング（ashing））するレジスト除去装置（アッシング装置）として機能する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−０９９５７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
エキシマランプの動作中はエキシマランプの温度が極めて高くなる。そのため、エキシマランプを冷却部材に接触させて、エキシマランプと冷却部材との間で継続的に熱交換させることがある。
【０００５】
近年、被処理体の大型化、効率的なオゾン生成などの理由から、ランプハウス内に複数のエキシマランプを配置することがある。ランプは１本ずつの公差が比較的大きいので、複数のランプを冷却部材に接触させるために、作業者がランプを１本ずつ手作業で冷却部材に取り付けていた。そのため、ランプの交換に手間と時間がかかっていた。
【０００６】
そこで、本開示は、効率よく複数のランプの交換を行うことが可能なランプ交換用のカセット、ランプハウス、光照射装置、及びランプ交換方法を説明する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示の一つの観点に係るランプ交換用のカセットは、直管状のランプ部とランプ部の両端にそれぞれ接続された第１及び第２のソケット部とを含む複数のランプを支持可能な枠状の支持部材を備え、支持部材は、各ランプの第１のソケット部をそれぞれ保持するように構成された複数の第１の台座が第１の方向に沿って一列に並ぶように設けられた第１のフレーム部と、各ランプの第２のソケット部をそれぞれ保持するように構成された複数の第２の台座が第１の方向に沿って一列に並ぶように設けられ、第１のフレーム部と対向する第２のフレーム部とを有し、各第１の台座にはそれぞれ、第１の方向と第１及び第２のフレーム部が対向する第２の方向との双方に交差する第３の方向に第１のソケット部を付勢する第１の付勢部材が設けられており、各第２の台座にはそれぞれ、第３の方向に第２のソケット部を付勢する第２の付勢部材が設けられている。
【０００８】
本開示の一つの観点に係るランプ交換用のカセットでは、各第１の台座にそれぞれ、第３の方向に第１のソケット部を付勢する第１の付勢部材が設けられており、各第２の台座にそれぞれ、第３の方向に第２のソケット部を付勢する第２の付勢部材が設けられている。そのため、ランプの第１及び第２のソケット部がそれぞれ第１及び第２の台座に位置するようにランプをカセットに搭載すると、ランプは、第１及び第２のソケット部を介して第１及び第２の付勢部材により第３の方向に向けて付勢される。従って、複数のランプが搭載されたカセットをランプハウス内に収容すると、第３の方向に付勢されているランプがランプハウス内の蓋部材（例えば冷却部材）に押しつけられる。このように、第１及び第２の付勢部材によってランプの公差によらずに個別に各ランプが第３の方向に付勢されているので、いずれかのランプに対する付勢力が不足することなく、全てのランプが蓋部材と接触する。以上により、ランプと蓋部材との間で熱交換を行うためにランプが蓋部材に接触するように複数のランプを手作業でランプハウス内に取り付ける必要がなくなるので、効率よく複数のランプの交換を行うことが可能となる。
【０００９】
第１及び第２のソケット部の端面にはそれぞれ、外方に向けて突出する第１及び第２の突出部が設けられており、支持部材は、第１の台座に設けられ、第１の突出部が挿通可能であり第３の方向に沿って延びる長孔が形成された第１の位置決め部材と、第２の台座に設けられ、第２の突出部が挿通可能であり第３の方向に沿って延びる長孔が形成された第２の位置決め部材とをさらに有してもよい。この場合、ランプの第１及び第２のソケット部がそれぞれ第１及び第２の台座に位置するようにランプをカセットに搭載すると、第１及び第２の突出部がそれぞれ第１及び第２の位置決め部材の長孔に挿通される。そのため、ランプをカセットに対しておおよそ位置決めすることができる。また、ランプは第１及び第２の付勢部材によって第３の方向に付勢されているので、ランプがランプハウス内の蓋部材に押しつけられるまでの間、ランプは第３の方向において変位する。そのため、第３の方向に延びている長孔に対する第１及び第２の突出部の相対位置を把握することにより、ランプが蓋部材に接触しているか否かを判断することができる。
【００１０】
第１の台座には、第２の台座から第１の台座側に向かう側へのランプの移動を規制する規制部材が設けられており、第２の台座には、第１のソケット部が規制部材に当接するように第２の台座から第１の台座側に向かう側に向けて第２のソケット部を付勢する第３の付勢部材が設けられていてもよい。この場合、第３の付勢部材が第２のソケット部を付勢することにより、第１のソケット部が規制部材に当接する。そのため、複数のランプ間に公差があっても、第１及び第２のフレーム部の対向方向（第２の方向）において複数のランプの位置が揃う。従って、複数のランプのランプ部から光をより均一に照射することができる。
【００１１】
本開示の一つの観点に係るランプ交換用のカセットは、支持部材のうちランプが保持される前部とは反対の背部側に設けられた緩衝部材を更に備えてもよい。この場合、複数のランプを保持する支持部材がランプハウスに収容される際、支持部材とランプハウスの壁部とが接触して衝撃が生じたとしても、緩衝部材によって当該衝撃が緩和される。そのため、支持部材が予期せず落下した場合でも、ランプの破損を抑制することができる。
【００１２】
本開示の他の観点に係るランプハウスは、直管状のランプ部とランプ部の両端にそれぞれ接続された第１及び第２のソケット部とを含む複数のランプを支持可能な枠状の支持部材を有する、ランプ交換用のカセットと、カセットを収容するように構成されたハウジングとを備え、ハウジングは、底壁部に窓部材が設けられた有底容器と、有底容器の開口部を開放及び閉塞可能に構成された蓋部材とを有し、支持部材は、各ランプの第１のソケット部をそれぞれ保持するように構成された複数の第１の台座が第１の方向に沿って一列に並ぶように設けられた第１のフレーム部と、各ランプの第２のソケット部をそれぞれ保持するように構成された複数の第２の台座が第１の方向に沿って一列に並ぶように設けられ、第１のフレーム部と対向する第２のフレーム部と、側方に向けて突出する一対のフランジ部とを含み、有底容器には、開口部側から底壁部側に向けて傾斜する傾斜面を有し、傾斜面により各フランジ部を案内するように構成された一対の案内部材が設けられており、各第１の台座にはそれぞれ、第１の方向と第１及び第２のフレーム部が対向する第２の方向との双方に交差する第３の方向であってカセットがハウジング内に収容された状態でランプが蓋部材に接触するように第１のソケット部を付勢する第１の付勢部材が設けられており、各第２の台座にはそれぞれ、第３の方向であってカセットがハウジング内に収容された状態でランプが蓋部材に接触するように第２のソケット部を付勢する第２の付勢部材が設けられている。
【００１３】
本開示の他の観点に係るランプハウスのカセットでは、各第１の台座にそれぞれ、第３の方向に第１のソケット部を付勢する第１の付勢部材が設けられており、各第２の台座にそれぞれ、第３の方向に第２のソケット部を付勢する第２の付勢部材が設けられている。そのため、ランプの第１及び第２のソケット部がそれぞれ第１及び第２の台座に位置するようにランプをカセットに搭載すると、ランプは、第１及び第２のソケット部を介して第１及び第２の付勢部材により第３の方向に向けて付勢される。従って、複数のランプが搭載されたカセットをランプハウス内に収容すると、第３の方向に付勢されているランプがランプハウス内の蓋部材（例えば冷却部材）に押しつけられる。このように、第１及び第２の付勢部材によってランプの公差によらずに個別に各ランプが第３の方向に付勢されているので、いずれかのランプに対する付勢力が不足することなく、全てのランプが蓋部材と接触する。以上により、ランプと蓋部材との間で熱交換を行うためにランプが蓋部材に接触するように複数のランプを手作業でランプハウス内に取り付ける必要がなくなるので、効率よく複数のランプの交換を行うことが可能となる。
【００１４】
ところで、近年、被処理体の大型化、効率的なオゾン生成などの理由から、ランプハウス内に複数のエキシマランプを配置することがある。また、近年、ランプハウスを含む光照射装置の大型化に伴い、ランプの交換のための作業スペースが制限され、ランプハウスの蓋（扉）を大きく開放することが困難な傾向にある。これらの要因により、ランプの交換に時間と手間がかかる懸念がある。加えて、作業スペースが狭隘になることで、ランプの交換の際に作業者がランプを周囲の装置に当ててしまい、ランプを破損させてしまう懸念がある。
【００１５】
これに対し、本開示の他の観点に係るランプハウスのカセットでは、側方に向けて突出する一対のフランジ部を支持部材が含んでいる。一方、本開示の他の観点に係るランプハウスのハウジングでは、有底容器に一対の案内部材が設けられている。一対の案内部材は、有底容器の開口部側から底壁部側に向けて傾斜する傾斜面を有し、傾斜面により各フランジ部を案内するように構成されている。そのため、カセットをハウジング内に収容する際には、フランジ部が傾斜面に接しつつ傾斜面を摺動するようにカセットを移動させることで、傾斜面の傾きに応じてカセットが有底容器の開口部側から底壁部側に移動する。従って、ハウジングの側方からカセットをスライドさせるだけでカセットをハウジング内に収容することができるので、ハウジングの蓋部材を有底容器から完全に取り外したり、ハウジングの蓋部材を有底容器に対して大きく開放したりする必要がない。その結果、作業スペースが狭隘であっても、ハウジングの側方からカセットをスライドさせるだけで、安全で且つ効率よくランプの交換を行うことが可能となる。
【００１６】
カセットは、支持部材のうちランプが保持される前部とは反対の背部側に設けられたラッチ部材を更に有し、有底容器の内部には、ラッチ部材と係合可能な係合部が設けられていてもよい。この場合、カセットがハウジング内に収容されるときに、カセットのラッチ部材が有底容器の係合部と係合することにより、カセットがハウジングに対してより確実に位置決めされる。そのため、複数のランプを適切な位置で蓋部材に接触させることができる。
【００１７】
本開示の他の観点に係るランプハウスは、直管状のランプ部とランプ部の両端にそれぞれ接続された第１及び第２のソケット部とを含む複数のランプと、複数のランプを支持可能な枠状の支持部材を有する、ランプ交換用のカセットと、カセットを収容するように構成されたハウジングとを備え、ハウジングは、底壁部に窓部材が設けられた有底容器と、有底容器の開口部を開放及び閉塞可能に構成された蓋部材とを有し、支持部材は、各ランプの第１のソケット部をそれぞれ保持するように構成された複数の第１の台座が第１の方向に沿って一列に並ぶように設けられた第１のフレーム部と、各ランプの第２のソケット部をそれぞれ保持するように構成された複数の第２の台座が第１の方向に沿って一列に並ぶように設けられ、第１のフレーム部と対向する第２のフレーム部とを含み、第１及び第２のソケット部にはそれぞれ、第１及び第２の付勢部材が設けられ、第１の付勢部材は、第１のソケット部が第１の台座に保持される際に第１のソケット部と第１の台座との間で圧縮されて生ずる反力により、第１の方向と第１及び第２のフレーム部が対向する第２の方向との双方に交差する第３の方向であってカセットがハウジング内に収容された状態でランプが蓋部材に接触するように第１のソケット部を付勢し、第２の付勢部材は、第２のソケット部が第２の台座に保持される際に第２のソケット部と第２の台座との間で圧縮されて生ずる反力により、第３の方向であってカセットがハウジング内に収容された状態でランプが蓋部材に接触するように第２のソケット部を付勢する。
【００１８】
本開示の他の観点に係るランプハウスのランプでは、第１及び第２のソケット部にそれぞれ第１及び第２の付勢部材が設けられている。複数のランプを保持するカセットがハウジング内に収容され、ランプがカセットと蓋部材（例えば冷却部材）との間に挟まれると、第１の付勢部材は、第１のソケット部が第１の台座に保持される際に第１のソケット部と第１の台座との間で圧縮されて生ずる反力により、第３の方向であってランプが蓋部材に接触するように第１のソケット部を付勢する。同様に、第２の付勢部材は、第２のソケット部が第２の台座に保持される際に第２のソケット部と第２の台座との間で圧縮されて生ずる反力により、第３の方向であってランプが蓋部材に接触するように第２のソケット部を付勢する。そのため、第１及び第２の付勢部材によってランプの公差によらずに個別に各ランプが第３の方向に付勢されているので、いずれかのランプに対する付勢力が不足することなく、全てのランプが蓋部材と接触する。従って、ランプと蓋部材との間で熱交換を行うためにランプが蓋部材に接触するように複数のランプを手作業でランプハウス内に取り付ける必要がなくなるので、効率よく複数のランプの交換を行うことが可能となる。
【００１９】
本開示の他の観点に係るランプハウスは、蓋部材が開口部に対して開放状態から閉塞状態に姿勢を変更する際の動作を緩慢にする抵抗力を蓋部材に付与するように構成されたダンパを更に備えてもよい。この場合、蓋部材の急激な開閉が抑制されるので、ハウジング内に収容されたカセット及びランプに衝撃力が作用し難くなる。
【００２０】
第１及び第２のソケット部の端面にはそれぞれ、外方に向けて突出する第１及び第２の突出部が設けられており、支持部材は、第１の台座に設けられ、第１の突出部が挿通可能であり第３の方向に沿って延びる長孔が形成された第２の位置決め部材と、第２の台座に設けられ、第２の突出部が挿通可能であり第３の方向に沿って延びる長孔が形成された第３の位置決め部材とをさらに含んでもよい。この場合、ランプの第１及び第２のソケット部がそれぞれ第１及び第２の台座に位置するようにランプをカセットに搭載すると、第１及び第２の突出部がそれぞれ第２及び第３の位置決め部材の長孔に挿通される。そのため、ランプをカセットに対しておおよそ位置決めすることができる。また、ランプは第１及び第２の付勢部材によって第３の方向に付勢されているので、ランプがランプハウス内の蓋部材に押しつけられるまでの間、ランプは第３の方向において変位する。そのため、第３の方向に延びている長孔に対する第１及び第２の突出部の相対位置を把握することにより、ランプが蓋部材に接触しているか否かを判断することができる。
【００２１】
本開示の他の観点に係る光照射装置は、上記のいずれかのランプハウスと、ランプハウスの底壁部に接続され、内部に基板を配置可能に構成された基板処理室とを備える。
【００２２】
本開示の他の観点に係るランプ交換方法は、直管状のランプ部とランプ部の両端にそれぞれ接続された第１及び第２のソケット部とを含む複数のランプを支持可能な枠状の支持部材を有する、ランプ交換用のカセットであって、支持部材は、各ランプの第１のソケット部をそれぞれ保持するように構成された複数の第１の台座が第１の方向に沿って一列に並ぶように設けられた第１のフレーム部と、各ランプの第２のソケット部をそれぞれ保持するように構成された複数の第２の台座が第１の方向に沿って一列に並ぶように設けられ、第１のフレーム部と対向する第２のフレーム部と、側方に向けて突出する一対のフランジ部とを含み、各第１の台座にはそれぞれ、第１の方向と第１及び第２のフレーム部が対向する第２の方向との双方に交差する第３の方向に第１のソケット部を付勢する第１の付勢部材が設けられており、各第２の台座にはそれぞれ、第３の方向に第２のソケット部を付勢する第２の付勢部材が設けられている、カセットを準備する第１の工程と、底壁部に窓部材が設けられた有底容器と、有底容器の開口部を開放及び閉塞可能に構成された蓋部材とを有するハウジングであって、有底容器には、開口部側から底壁部側に向けて傾斜する傾斜面を有する一対の案内部材が設けられている、ハウジングを準備する第２の工程と、各ランプの第１及び第２のソケット部がそれぞれ第１及び第２の台座に保持されるように、複数のランプをカセットに搭載する第３の工程と、第３の工程の後に、蓋部材が開口部を開放した状態で、カセットの一対のフランジ部をそれぞれ一対の案内部材の傾斜面に当接させつつ、カセットを一対の案内部材に沿って底壁部に向けてスライドさせる第４の工程と、第４の工程の後に、蓋部材により開口部を閉塞し、カセットがハウジング内に収容することにより、ランプが蓋部材に接触するように第１及び第２の付勢部材がそれぞれ第１及び第２のソケット部を付勢する第５の工程とを含む。
【００２３】
本開示の他の観点に係るランプ交換方法では、第３の工程において、各ランプの第１及び第２のソケット部がそれぞれ第１及び第２の台座に保持されるように、複数のランプをカセットに搭載している。各第１の台座にはそれぞれ、第３の方向に第１のソケット部を付勢する第１の付勢部材が設けられており、各第２の台座にはそれぞれ、第３の方向に第２のソケット部を付勢する第２の付勢部材が設けられているので、ランプは、第１及び第２のソケット部を介して第１及び第２の付勢部材により第３の方向に向けて付勢される。従って、第５の工程において、複数のランプが搭載されたカセットをランプハウス内に収容すると、第３の方向に付勢されているランプがランプハウス内の蓋部材（例えば冷却部材）に押しつけられる。このように、第１及び第２の付勢部材によってランプの公差によらずに個別に各ランプが第３の方向に付勢されているので、いずれかのランプに対する付勢力が不足することなく、全てのランプが蓋部材と接触する。以上により、ランプと蓋部材との間で熱交換を行うためにランプが蓋部材に接触するように複数のランプを手作業でランプハウス内に取り付ける必要がなくなるので、効率よく複数のランプの交換を行うことが可能となる。
【００２４】
ところで、近年、被処理体の大型化、効率的なオゾン生成などの理由から、ランプハウス内に複数のエキシマランプを配置することがある。また、近年、ランプハウスを含む光照射装置の大型化に伴い、ランプの交換のための作業スペースが制限され、ランプハウスの蓋（扉）を大きく開放することが困難な傾向にある。これらの要因により、ランプの交換に時間と手間がかかる懸念がある。加えて、作業スペースが狭隘になることで、ランプの交換の際に作業者がランプを周囲の装置に当ててしまい、ランプを破損させてしまう懸念がある。
【００２５】
これに対し、本開示の他の観点に係るランプ交換方法では、第４の工程において、支持部材の側方に向けて突出する一対のフランジ部をそれぞれ一対の案内部材の傾斜面に当接させつつ、カセットを一対の案内部材に沿って底壁部に向けてスライドさせている。そのため、第４の工程では、傾斜面の傾きに応じてカセットが有底容器の開口部側から底壁部側に移動する。従って、ハウジングの側方からカセットをスライドさせるだけでカセットをハウジング内に収容することができるので、ハウジングの蓋部材を有底容器から完全に取り外したり、ハウジングの蓋部材を有底容器に対して大きく開放したりする必要がない。その結果、作業スペースが狭隘であっても、ハウジングの側方からカセットをスライドさせるだけで、安全で且つ効率よくランプの交換を行うことが可能となる。
【００２６】
本開示の他の観点に係るランプ交換方法は、直管状のランプ部とランプ部の両端にそれぞれ接続された第１及び第２のソケット部とを含む複数のランプを支持可能な枠状の支持部材を有する、ランプ交換用のカセットであって、支持部材は、各ランプの第１のソケット部をそれぞれ保持するように構成された複数の第１の台座が第１の方向に沿って一列に並ぶように設けられた第１のフレーム部と、各ランプの第２のソケット部をそれぞれ保持するように構成された複数の第２の台座が第１の方向に沿って一列に並ぶように設けられ、第１のフレーム部と対向する第２のフレーム部とを含み、支持部材には貫通孔が設けられており、各第１の台座にはそれぞれ、第１の方向と第１及び第２のフレーム部が対向する第２の方向との双方に交差する第３の方向に第１のソケット部を付勢する第１の付勢部材が設けられており、各第２の台座にはそれぞれ、第３の方向に第２のソケット部を付勢する第２の付勢部材が設けられている、カセットを準備する第１の工程と、底壁部に窓部材が設けられた有底容器と、有底容器の開口部を開放及び閉塞可能に構成された蓋部材と、蓋部材とカセットとを固定する固定部材とを有するハウジングであって、蓋部材は、蓋部材が開口部に近接及び離間するように有底容器に対して揺動可能に取り付けられ、蓋部材の内面側であって、蓋部材と有底容器との取り付け箇所の近傍には、有底容器内に向けて延びるフック部材が設けられている、ハウジングを準備する第２の工程と、各ランプの第１及び第２のソケット部がそれぞれ第１及び第２の台座に保持されるように、複数のランプをカセットに搭載する第３の工程と、第３の工程の後に、蓋部材が開口部を開放した状態で、カセットをフック部材に向けてスライドさせて、貫通孔内にフック部材の先端部を挿通させる第４の工程と、第４の工程の後に、カセットを蓋部材に固定することにより、ランプが蓋部材に接触するように第１及び第２の付勢部材がそれぞれ第１及び第２のソケット部を付勢する第５の工程と、第５の工程の後に、蓋部材により開口部を閉塞する第６の工程とを含む。
【００２７】
本開示の他の観点に係るランプ交換方法では、第３の工程において、各ランプの第１及び第２のソケット部がそれぞれ第１及び第２の台座に保持されるように、複数のランプをカセットに搭載している。各第１の台座にはそれぞれ、第３の方向に第１のソケット部を付勢する第１の付勢部材が設けられており、各第２の台座にはそれぞれ、第３の方向に第２のソケット部を付勢する第２の付勢部材が設けられているので、ランプは、第１及び第２のソケット部を介して第１及び第２の付勢部材により第３の方向に向けて付勢される。従って、第５の工程において、複数のランプが搭載されたカセットを蓋部材に固定すると、第３の方向に付勢されているランプが蓋部材に設けられている蓋部材（例えば冷却部材）に押しつけられる。このように、第１及び第２の付勢部材によってランプの公差によらずに個別に各ランプが第３の方向に付勢されているので、いずれかのランプに対する付勢力が不足することなく、全てのランプが蓋部材と接触する。以上により、ランプと蓋部材との間で熱交換を行うためにランプが蓋部材に接触するように複数のランプを手作業でランプハウス内に取り付ける必要がなくなるので、効率よく複数のランプの交換を行うことが可能となる。
【発明の効果】
【００２８】
本開示に係るランプ交換用のカセット、ランプハウス、光照射装置、及びランプ交換方法によれば、効率よく複数のランプの交換を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】図１は、基板処理システムの一例を示す斜視図である。
【図２】図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。
【図３】図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。
【図４】図４は、図２のＩＶ−ＩＶ線断面図である。
【図５】図５は、光照射装置の一例を示す側面図である。
【図６】図６は、ランプハウスの一例を示す斜視図である。
【図７】図７は、図６のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。
【図８】図８は、有底容器を示す斜視図である。
【図９】図９は、カセットを示す斜視図である。
【図１０】図１０は、カセットを示す側面図である。
【図１１】図１１は、カセットを示す正面図である。
【図１２】図１２は、カセットを示す背面図である。
【図１３】図１３は、ランプの交換方法を説明するための図である。
【図１４】図１４は、ランプ交換方法の一例を説明するための図である。
【図１５】図１５は、ランプハウスの他の例を示す断面図である。
【図１６】図１６は、ランプ交換方法の他の例を説明するための図である。
【図１７】図１７は、ランプの他の例を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下に説明される本開示に係る実施形態は本発明を説明するための例示であるので、本発明は以下の内容に限定されるべきではない。以下の説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
【００３１】
［基板処理システム］
まず、図１〜図４を参照して、基板処理システム１を説明する。基板処理システム１は、例えば、成膜処理システムであり、被処理体上に膜を形成するものである。被処理体としては、例えば、半導体基板、ガラス基板、マスク基板、ＦＰＤ（Flat Panel Display）基板その他の各種基板であってもよい。基板処理システム１は、キャリアブロック２と処理ブロック３とを備える。
【００３２】
キャリアブロック２は、キャリアステーション２１と搬入出部２２とを有する。キャリアステーション２１は複数のキャリア１０を支持する。キャリア１０は、例えば、複数枚の円形状の半導体基板Ｗを密封状態で収容する。キャリア１０の一側面１０ａには、半導体基板Ｗを出し入れするための開閉扉が設けられている。
【００３３】
搬入出部２２は、キャリアステーション２１及び処理ブロック３の間に介在するように配置されており、キャリアステーション２１上の複数のキャリア１０にそれぞれ対応する複数の開閉扉２２ａを有する。搬入出部２２は受け渡しアームＡ１を内蔵している。受け渡しアームＡ１は、キャリア１０の開閉扉とこれに対応する開閉扉２２ａとの双方が開放された状態で、キャリア１０から半導体基板Ｗを取り出して処理ブロック３に渡す処理と、処理済の半導体基板Ｗを処理ブロック３から受け取ってキャリア１０内に戻す処理とを行えるように構成されている。
【００３４】
処理ブロック３は、図２に示されるように、複数の処理モジュール３１〜３４、棚部３５及び搬送アームＡ２を内蔵する。棚部３５は、処理ブロック３内のキャリアブロック２側に配置されている。棚部３５は、半導体基板Ｗを一時的に収容するものであり、受け渡しアームＡ１と処理ブロック３との間における半導体基板Ｗの受け渡しに用いられる。搬送アームＡ２は、棚部３５と処理モジュール３１〜３４との間、及び処理モジュール３１〜３４同士の間で半導体基板Ｗを搬送する。
【００３５】
処理モジュール３１，３２はそれぞれ、図３に示されるように、上下方向に並ぶ複数の液処理ユニットＵ１を有する。液処理ユニットＵ１は、例えば有機膜形成用の液体を半導体基板Ｗの表面に塗布する。処理モジュール３１，３２の下部には、液処理ユニットＵ１に供給するための液体を収容する液収容室Ｒ１が設けられている。
【００３６】
処理モジュール３３，３４はそれぞれ、図４に示されるように、上下方向に並ぶ複数の熱処理ユニットＵ２及び複数の光照射ユニットＵ３（光照射装置）を有する。熱処理ユニットＵ２は、例えば有機膜の形成に伴う熱処理を行う。熱処理の具体例としては、有機膜形成用の塗布膜を硬化させるための加熱処理等が挙げられる。光照射ユニットＵ３は、半導体基板Ｗの表面上に形成された有機膜に光を照射して、例えば、有機膜の膜厚調整（いわゆるエッチング処理）、有機膜の除去（いわゆるアッシング）等を実行する。
【００３７】
基板処理システム１は、例えば次の手順で半導体基板Ｗの処理を行う。まず、受け渡しアームＡ１がキャリア１０内の半導体基板Ｗを棚部３５に搬送する。次に、棚部３５の半導体基板Ｗを搬送アームＡ２が処理モジュール３１，３２のいずれかの液処理ユニットＵ１に搬送する。液処理ユニットＵ１は、半導体基板Ｗの表面上に有機膜形成用の液体を塗布する。次に、液体が塗布された半導体基板Ｗを搬送アームＡ２が処理モジュール３３，３４のいずれかの熱処理ユニットＵ２に搬送する。熱処理ユニットＵ２は、半導体基板Ｗの表面上の塗布膜を硬化させる加熱処理を行う。これにより、半導体基板Ｗの表面上に有機膜が形成される。
【００３８】
次に、表面上に有機膜が形成された半導体基板Ｗを搬送アームＡ２が処理モジュール３３，３４のいずれかの光照射ユニットＵ３に搬送する。光照射ユニットＵ３は、有機膜に光を照射する。その後、半導体基板Ｗを搬送アームＡ２が棚部３５に搬送し、この半導体基板Ｗを受け渡しアームＡ１がキャリア１０内に戻す。以上で、半導体基板Ｗの処理が完了する。
【００３９】
［光照射ユニット］
続いて、図５を参照して、光照射ユニットＵ３についてより詳しく説明する。光照射ユニットＵ３は、複数のランプＬＰから照射される光により被処理体を処理する装置である。光としては、例えば紫外線であってもよい。
【００４０】
ランプＬＰは、ランプ部ＬＰａと、ソケット部ＬＰｂ，ＬＰｃと、ケーブルＬＰｄと、複数の突出部ＬＰｅ，ＬＰｆとを含む（図１３及び図１４参照）。ランプ部ＬＰａは、直管状を呈しており、周囲に光を放射する。ソケット部ＬＰｂはランプ部ＬＰａの一端に接続されている。ソケット部ＬＰｃはランプ部ＬＰａの他端に接続されている。ケーブルＬＰｄは、ソケット部ＬＰｂに接続されている。ケーブルＬＰｄは、電源と電気的に接続されることで、ランプＬＰに電気を供給する。複数の突出部ＬＰｅ（本実施形態では２つの突出部ＬＰｅ）は、ソケット部ＬＰｂの端面から外側に向けて突出するように、当該端面に設けられている。複数の突出部ＬＰｆ（本実施形態では２つの突出部ＬＰｆ）は、ソケット部ＬＰｃの端面から外側に向けて突出するように、当該端面に設けられている。突出部ＬＰｅ，ＬＰｆは、例えば、ボルトの頭部である。
【００４１】
光照射ユニットＵ３は、基板処理室１００と、ランプハウス２００とを備える。基板処理室１００と、ランプハウス２００とは、上下方向において隣り合っている。基板処理室１００の天壁部と、ランプハウス２００の底壁部とは着脱可能に接続されている。
【００４２】
［基板処理室］
基板処理室１００は、半導体基板Ｗを載置可能（配置可能）に構成されたステージ（図示せず）が設けられたチャンバである。基板処理室１００では、搬送アームＡ２による半導体基板Ｗの搬入と、半導体基板Ｗのステージ上への載置と、ステージ上の半導体基板Ｗに対する光の照射と、処理された半導体基板Ｗの搬送アームＡ２による搬出とが実行される。そのため、基板処理室１００の側壁部には、半導体基板Ｗの搬入出用の開口（図示せず）が設けられている。基板処理室１００の天壁部には、ランプハウス２００からの光が入射可能な光照射用の開口（図示せず）が設けられている。
【００４３】
［ランプハウス］
ランプハウス２００は、複数のランプＬＰを収容し、光照射用の開口を介して基板処理室１００に向けて光を照射するように構成されている。ランプハウス２００は、図６に示されるように、ハウジング３００と、ランプ交換用のカセット５００とを有する。
【００４４】
［ハウジング］
ハウジング３００は、カセット４００を収容するように構成されている。ハウジング３００は、図６〜図８に示されるように、有底容器３０２と、蓋部材３０４と、ダンパ３０６とを含む。有底容器３０２は、底壁部３０８と、一対の側壁部３１０，３１２と、一対の端壁部３１４，３１６とを含む。有底容器３０２は、上方に向けて開放された開口部３０２ａを有している。開口部３０２ａは、側壁部３１０，３１２及び端壁部３１４，３１６の上縁によって構成されている。
【００４５】
底壁部３０８は、矩形状を呈する。底壁部３０８は、図８に示されるように、一対の側縁３０８ａ，３０８ｂと、一対の端縁３０８ｃ，３０８ｄとを有する板状体である。一対の側縁３０８ａ，３０８ｂは、互いに対向しており、第１の方向（図のＸ方向）に沿って延びている。一対の端縁３０８ｃ，３０８ｄは、互いに対向し、一対の側縁３０８ａ，３０８ｂと隣り合っている。一対の端縁３０８ｃ，３０８ｄは、Ｘ方向と直交する第２の方向（図のＹ方向）に沿って延びている。
【００４６】
底壁部３０８の中央部には、図６及び図７に示されるように、底壁部３０８を貫通する貫通孔３０８ｅが形成されている。貫通孔３０８ｅは、ランプハウス２００が基板処理室１００に取り付けられている状態で、基板処理室１００の光照射用の開口と連通している。貫通孔３０８ｅには、ランプＬＰから放射された光を透過可能な窓部材３１８が取り付けられている。窓部材３１８は、貫通孔３０８ｅを閉塞している。
【００４７】
底壁部３０８のうち側縁３０８ａ及び端縁３０８ｃが交差する角部の近傍には、矩形状を呈する凹溝部３０８ｆ（係合部）が形成されている。底壁部３０８のうち側縁３０８ｂ及び端縁３０８ｃが交差する角部の近傍には、矩形状を呈する凹溝部３０８ｇ（係合部）が形成されている。凹溝部３０８ｆ，３０８ｇはそれぞれ、カセット４００のラッチ部材４３６，４３８（後述する）と係合可能に構成されている。なお、これらの凹溝部３０８ｆ，３０８ｇは、有底容器３０２内に設けられていればよく、底壁部３０８以外の他の壁部３１０，３１２，３１４，３１６に設けられていてもよい。
【００４８】
底壁部３０８上には、図７及び図８に示されるように、一対の位置決め部材３２０，３２２と、一対の位置決め部材３２４，３２６とが設けられている。これらの位置決め部材３２０，３２２，３２４，３２６は、有底容器３０２に対するカセット４００の位置を規定するように構成されている。なお、これらの位置決め部材３２０，３２２，３２４，３２６は、有底容器３０２内に設けられていればよく、底壁部３０８以外の他の壁部３１０，３１２，３１４，３１６に設けられていてもよい。
【００４９】
位置決め部材３２０，３２２は、底壁部３０８上に立設している。位置決め部材３２０，３２２は、Ｚ方向に沿って延びる柱状を呈する。位置決め部材３２０，３２２は、Ｙ方向において互いに対向している。位置決め部材３２０は、側縁３０８ａ寄りであって、Ｘ方向において側縁３０８ａの中央部と端縁３０８ｃとの間に位置している。位置決め部材３２２は、側縁３０８ｂ寄りであって、Ｘ方向において側縁３０８ｂの中央部と端縁３０８ｃとの間に位置している。
【００５０】
位置決め部材３２４，３２６は、底壁部３０８上に立設している。位置決め部材３２４，３２６は、Ｚ方向に沿って延びる柱状を呈する。位置決め部材３２４，３２６は、Ｙ方向において互いに対向している。位置決め部材３２４は、側縁３０８ａ及び端縁３０８ｄが交差する角部に位置しており、当該角部に沿ってＬ字形状に屈曲している。位置決め部材３２６は、側縁３０８ｂ及び端縁３０８ｄが交差する角部に位置しており、当該角部に沿ってＬ字形状に屈曲している。
【００５１】
側壁部３１０，３１２は、底壁部３０８上に立設している。側壁部３１０，３１２は、矩形状を呈する板状体であり、Ｙ方向において互いに対向している。側壁部３１０，３１２はそれぞれ、図８に示されるように、側縁３０８ａ，３０８ｂ近傍に設けられており、側縁３０８ａ，３０８ｂに沿って延びている。
【００５２】
側壁部３１０，３１２の内面にはそれぞれ、案内部材３２８，３３０が設けられている。なお、これらの案内部材３２８，３３０は、有底容器３０２内に設けられていればよく、側壁部３１０，３１２以外の他の壁部３１４，３１６に設けられていてもよい。
【００５３】
案内部材３２８は、レール３３２，３３４を含む。レール３３２は、第１〜第３の部分３３６，３３８，３４０を含む。第１の部分３３６は、端縁３０８ｃ寄りであって側壁部３１０の上縁寄りを当該上縁に沿って延びている。第２の部分３３８の一端は、第１の部分３３６のうち端縁３０８ｄ側の端部に接続されている。第２の部分３３８の他端は、端縁３０８ｄ側であって底壁部３０８側に向けて延びている。すなわち、第２の部分３３８は、端縁３０８ｄ側に向かうにつれて底壁部３０８に近づくように、所定の角度で傾斜している。第３の部分３４０の一端は、第２の部分３３８の他端に接続されている。第３の部分３４０の他端は、端縁３０８ｄ側であって底壁部３０８側に向けて延びており、底壁部３０８に接続されている。すなわち、第３の部分３４０は、端縁３０８ｄ側に向かうにつれて底壁部３０８に近づくように、所定の角度で傾斜している。第３の部分３４０の傾斜角は、第２の部分３３８の傾斜角よりも大きい。第２及び第３の部分３３８，３４０の上面は、開口部３０２ａ側から底壁部３０８側に向けて傾斜する傾斜面を構成している。レール３３４は、第２の部分３３８の上方において、第２の部分３３８と略平行に延びている。
【００５４】
案内部材３３０は、レール３４２，３４４を含む。レール３４２は、第１〜第３の部分３４６，３４８，３５０を含む。第１の部分３４６は、端縁３０８ｃ寄りであって側壁部３１２の上縁寄りを当該上縁に沿って延びている。第２の部分３４８の一端は、第１の部分３４６のうち端縁３０８ｄ側の端部に接続されている。第２の部分３４８の他端は、端縁３０８ｄ側であって底壁部３０８側に向けて延びている。すなわち、第２の部分３４８は、端縁３０８ｄ側に向かうにつれて底壁部３０８に近づくように、所定の角度で傾斜している。第３の部分３５０の一端は、第２の部分３４８の他端に接続されている。第３の部分３５０の他端は、端縁３０８ｄ側であって底壁部３０８側に向けて延びており、底壁部３０８に接続されている。すなわち、第３の部分３５０は、端縁３０８ｄ側に向かうにつれて底壁部３０８に近づくように、所定の角度で傾斜している。第３の部分３５０の傾斜角は、第２の部分３４８の傾斜角よりも大きい。第２及び第３の部分３４８，３５０の上面は、開口部３０２ａ側から底壁部３０８側に向けて傾斜する傾斜面を構成している。レール３４４は、第２の部分３４８の上方において、第２の部分３４８と略平行に延びている。
【００５５】
端壁部３１４，３１６は、上方（図のＺ方向）に向けて底壁部３０８から立設している。端壁部３１４，３１６は、矩形状を呈する板状体であり、Ｘ方向において互いに対向している。端壁部３１４，３１６はそれぞれ、図８に示されるように、端縁３０８ｃ，３０８ｄ近傍に設けられており、端縁３０８ｃ，３０８ｄに沿って延びている。
【００５６】
端壁部３１４には、円形状を呈する複数の開口部３１４ａ〜３１４ｄが設けられている。開口部３１４ａ〜３１４ｄは、側縁３０８ａ側から側縁３０８ｂ側に向けて一列に並んでいる。端壁部３１４の上端には、下端側（底壁部３０８側）に向けて窪む凹部３１４ｅが設けられている。凹部３１４ｅは、端縁３０８ｃに沿って延びている。凹部３１４ｅは、開口部３１４ａ〜３１４ｄの上端部と連通している。そのため、開口部３１４ａ〜３１４ｄの上端部は上方に向けて開放されている。
【００５７】
凹部３１４ｅには、図６及び図７に示されるように、閉塞部材３５２が着脱可能に取り付けられている。閉塞部材３５２は、凹部３１４ｅに対応する形状、すなわち矩形状を呈する板状体である。
【００５８】
端壁部３１４の外面には、開口部３１４ａ〜３１４ｄを塞ぐ一対の閉塞部材３５４，３５６が着脱可能に取り付けられている。閉塞部材３５４，３５６は共に、矩形状を呈する板状体である。閉塞部材３５４の下縁には、半円形状を呈する複数の凹部３５４ａ〜３５４ｄが設けられている。凹部３５４ａ〜３５４ｄは、閉塞部材３５４の厚さ方向に延びている。すなわち、凹部３５４ａ〜３５４ｄの内面は、半筒状を呈している。凹部３５４ａ〜３５４ｄはそれぞれ、開口部３１４ａ〜３１４ｄに対応するように、側縁３０８ａ側から側縁３０８ｂ側に向けて一列に並んでいる。
【００５９】
閉塞部材３５６の上縁には、半円形状を呈する複数の凹部３５６ａ〜３５６ｄが設けられている。凹部３５６ａ〜３５６ｄは、閉塞部材３５６の厚さ方向に延びている。すなわち、凹部３５６ａ〜３５６ｄの内面は、半筒状を呈している。凹部３５６ａ〜３５６ｄはそれぞれ、開口部３１４ａ〜３１４ｄに対応するように、側縁３０８ａ側から側縁３０８ｂ側に向けて一列に並んでいる。
【００６０】
閉塞部材３５４，３５６が組み合わされることで、図６に示されるように、凹部３５４ａ，３５６ａが、閉塞部材３５４，３５６を貫通する１つの貫通孔３５８ａを構成する。同様に、凹部３５４ｂ，３５６ｂが、閉塞部材３５４，３５６を貫通する１つの貫通孔３５８ｂを構成する。凹部３５４ｃ，３５６ｃが、閉塞部材３５４，３５６を貫通する１つの貫通孔３５８ｃを構成する。凹部３５４ｄ，３５６ｄが、閉塞部材３５４，３５６を貫通する１つの貫通孔３５８ｄを構成する。これらの貫通孔３５８ａ〜３５８ｄの直径は、開口部３１４ａ〜３１４ｄの直径よりも十分小さく、ランプＬＰのケーブルＬＰｄの直径と同程度である。
【００６１】
蓋部材３０４は、図５〜図７に示されるように、矩形状を呈する板状体である。蓋部材３０４の大きさは、開口部３０２ａよりも大きく、底壁部３０８と同程度である。蓋部材３０４は、複数の蝶番３６０を介して、端壁部３１６に接続されている。そのため、蓋部材３０４は、蝶番３６０を回転軸として、開口部３０２ａを閉塞する閉塞位置と、開口部３０２ａから離間し開口部３０２ａを開放する開放位置との間で揺動可能である。すなわち、蓋部材３０４は、開口部３０２ａを開放及び閉塞可能に構成されている。
【００６２】
蓋部材３０４の内面（下面）には、冷却部材３６２と、鏡部材３６４と、ランプホルダ３６６とが設けられている。そのため、開口部３０２ａを閉塞する閉塞位置に蓋部材３０４が位置する状態で、冷却部材３６２、鏡部材３６４及びランプホルダ３６６は底壁部３０８に対向する。
【００６３】
冷却部材３６２は、複数のランプＬＰと熱交換して、ランプＬＰを冷却するように構成されている。そのため、冷却部材３６２内には、冷媒（例えば、冷却ガス、冷却液）が循環するための流路（図示せず）が設けられている。
【００６４】
冷却部材３６２の下面には、半円形状を呈する複数の凹部（図示せず）が設けられている。複数の当該凹部は、側縁３０８ａ，３０８ｂの対向方向（Ｙ方向）に沿って並んでいる。当該凹部は、端縁３０８ｃ，３０８ｄの対向方向（Ｘ方向）に延びている。すなわち、当該凹部の内面は、ランプ部ＬＰａの外周面に対応した形状である半筒状を呈している。
【００６５】
鏡部材３６４は、ランプＬＰの光を窓部材３１８に向けて反射するように構成されている。鏡部材３６４は、冷却部材３６２における隣り合う凹部の間にそれぞれ配置されている。ランプホルダ３６６は、ランプＬＰのソケット部ＬＰｂを保持するように構成されている。具体的には、ランプホルダ３６６は、円弧状を呈する一対の保持部を含む。一対の保持部は、ランプ部ＬＰａの外周面に対応した形状となるように、互いに対向している。一対の保持部は、互いに離れるように外側に押し広げられたときに、元の位置に戻るように付勢されている。
【００６６】
ダンパ３０６は、蓋部材３０４が開放位置から閉塞位置に姿勢を変更する際に、蓋部材３０４の動作を緩慢にする抵抗力を蓋部材３０４に付与するように構成されている。すなわち、ダンパ３０６は、蓋部材３０４が開放位置から閉塞位置へと急激に変位することを防止する装置である。ダンパ３０６は、開放位置から開放位置及び閉塞位置の間の中間位置へと蓋部材３０４が移動する際の速度（第１の速度）よりも、中間位置から閉塞位置へと蓋部材３０４が移動する際の速度（第２の速度）が小さくなるように、蓋部材３０４に抵抗力を付与してもよい。すなわち、蓋部材３０４の移動速度は、開放位置から閉塞位置に移動するまでの間に、ダンパ３０６の抵抗力によって２段階に変化する。蓋部材３０４の移動速度は、ダンパ３０６の抵抗力によって多段階（３段階以上）に変化してもよい。
【００６７】
［カセット］
カセット４００は、複数のランプＬＰ（本実施形態では４本のランプＬＰ）を保持するように構成されている。カセット４００を用いて複数のランプＬＰをハウジング３００に搬入出することで、使用済み又は古いランプＬＰの取り出しと、新しいランプＬＰの取り付けとを迅速且つ簡便に行える。すなわち、カセット４００は、複数のランプＬＰの交換に用いられる。
【００６８】
カセット４００は、図９〜図１２に示されるように、複数のランプＬＰを支持可能な枠状の支持部材４０２を含む。支持部材４０２は、一対のフレーム部４０４，４０６と、一対のフレーム部４０８，４１０とを含む。フレーム部４０４，４０６は、Ｘ方向において互いに対向しており、Ｙ方向に沿って延びている。フレーム部４０８，４１０は、Ｙ方向において互いに対向しており、Ｘ方向に沿って延びている。フレーム部４０４，４０６とフレーム部４０８，４１０とは、互いに隣り合っている。
【００６９】
フレーム部４０４（第１のフレーム部）には、複数の台座４１２（本実施形態では、ランプＬＰと同数の４つの台座４１２）が設けられている。複数の台座４１２（第１の台座）は、フレーム部４０４の延在方向に沿って一列に並んでいる。各台座４１２は、例えば、１枚の平板が凹状に屈曲されてなり、各ランプＬＰのソケット部ＬＰｂを保持するように構成されている。すなわち、台座４１２は、底板と、一対の側板と、一対の上板とで構成されている。底板はＹ方向に延びている。一対の側板は、Ｘ方向及びＹ方向の双方に直交する第３の方向（Ｚ方向）に延びるように、底板の両端に立設されている。一対の上板は、一対の側板の先端から外側に向けてＹ方向に延びている。台座４１２の幅（一対の側板の離間間隔）は、ソケット部ＬＰｂの直径よりも若干小さく設定されている。
【００７０】
台座４１２には、付勢部材４１４が設けられている。付勢部材４１４は、Ｌ字状を呈する一対の板ばねであり、弾性変形可能である。具体的には、板ばねの一端側は、台座４１２の上板に取り付けられた固定端である。板ばねの他端側は、台座４１２の凹部の中空（底板の上方）に位置する自由端である。自由端に外力が付与されると、板ばねには自由端を元の位置に戻そうとする復元力が生ずる。そのため、付勢部材４１４は、台座４１２に載置されたソケット部ＬＰｂが付勢部材４１４を台座４１２の凹部内に向けて押圧した場合、台座４１２の凹部の開放端方向、すなわちＺ方向（図の上方向）にソケット部ＬＰｂを付勢するように構成されている。以下では、カセット４００のうちランプＬＰが載置される側（図の上側）をカセット４００の前部といい、その反対側（図の下側）をカセット４００の背部という。
【００７１】
台座４１２の側板には、規制部材４１６が設けられている。規制部材４１６は、例えば、上板よりも上方に突出する平板である。規制部材４１６は、ソケット部ＬＰｂと当接し、フレーム部４０６からフレーム部４０４に向かう側へのランプＬＰの移動を規制するように構成されている。
【００７２】
フレーム部４０４には、複数の固定部材４１８（本実施形態では２つの固定部材４１８）が設けられている。固定部材４１８は、例えばスナップ錠等の留め具である。固定部材４１８は、蓋部材３０４に設けられているフック部材（図示せず）と係合し、カセット４００を蓋部材に係止するように構成されている。
【００７３】
フレーム部４０４の外側面には、平板状を呈する位置決め部材４２０が設けられている。位置決め部材４２０は、Ｚ方向（図の上側、カセット４００の前部側）に突出する複数の突出部４２２を有する。各突出部４２２はそれぞれ、各台座４１２に対応する位置に配置されている。各突出部４２２には、Ｚ方向に沿って延びる一対の長孔４２４が形成されている。長孔４２４の幅は、ランプＬＰの突出部ＬＰｅの外形よりも若干大きく設定されている。そのため、各長孔４２４内には、台座４１２にソケット部ＬＰｂが載置された状態において突出部ＬＰｅが一つずつ挿通可能である。突出部ＬＰｅは、長孔４２４内において、長孔４２４の幅方向及び延在方向に相対的に移動可能である（図１１参照）。
【００７４】
フレーム部４０４のうちカセット４００の背部側には、一対のラッチ部材４３６，４３８（緩衝部材）が設けられている。ラッチ部材４３６，４３８は、フレーム部４０４の延在方向（Ｙ方向）において離間している。ラッチ部材４３６，４３８は、Ｌ字状を呈する板ばねであり、弾性変形可能である。具体的には、板ばねの一端側は、フレーム部４０４の背部側（図の下面側）に取り付けられた固定端である。板ばねの他端側は、下方に向けて延びた後に上方に向けて屈曲した自由端である。自由端に外力が付与されると、板ばねには自由端を元の位置に戻そうとする復元力が生ずる。そのため、ラッチ部材４３６，４３８は、底壁部３０８と当接した場合、その衝撃力を吸収しつつカセット４００を底壁部３０８から離れる側（蓋部材３０４側）に付勢するように構成されている。カセット４００がハウジング３００内に収容された状態で、ラッチ部材４３６の自由端は凹溝部３０８ｆ内に挿入されて凹溝部３０８ｆと係合し、ラッチ部材４３８の自由端は凹溝部３０８ｇ内に挿入されて凹溝部３０８ｇと係合する。
【００７５】
フレーム部４０６（第２のフレーム部）には、複数の台座４２６（本実施形態では、ランプＬＰと同数の４つの台座４２６）が設けられている。複数の台座４２６（第２の台座）は、フレーム部４０６の延在方向に沿って一列に並んでいる。各台座４２６は、例えば、１枚の平板が凹状に屈曲されてなり、各ランプＬＰのソケット部ＬＰｃを保持するように構成されている。すなわち、台座４２６は、底板と、一対の側板と、一対の上板とで構成されている。底板はＹ方向に延びている。一対の側板は、Ｚ方向に延びるように、底板の両端に立設されている。一対の上板は、一対の側板の先端から外側に向けてＹ方向に延びている。台座４２６の幅（一対の側板の離間間隔）は、ソケット部ＬＰｃの直径よりも若干小さく設定されている。
【００７６】
台座４２６には、付勢部材４２８が設けられている。付勢部材４２８は、例えば、Ｌ字状を呈する一対の板ばねであり、弾性変形可能である。具体的には、板ばねの一端側は、台座４２６の上板に取り付けられた固定端である。板ばねの他端側は、台座４２６の凹部の中空（底板の上方）に位置する自由端である。自由端に外力が付与されると、板ばねには自由端を元の位置に戻そうとする復元力が生ずる。そのため、付勢部材４２８は、台座４２６に載置されたソケット部ＬＰｃが付勢部材４２８を台座４２６の凹部内に向けて押圧した場合、台座４２６の凹部の開放端方向、すなわちＺ方向（図の上側、カセット４００の前部側）にソケット部ＬＰｂを付勢する。
【００７７】
フレーム部４０６の外側面には、平板状を呈する位置決め部材４３０が設けられている。位置決め部材４３０は、フレーム部４０４からＺ方向（図の上側、カセット４００の前部側）に突出している。位置決め部材４３０には、各台座４２６に対応する位置に、一対の長孔４３２及び付勢部材４３４がそれぞれ形成されている。長孔４３２の幅は、ランプＬＰの突出部ＬＰｆの外形よりも若干大きく設定されている。各長孔４３２内には、台座４２６にソケット部ＬＰｃが載置された状態において突出部ＬＰｆが一つずつ挿通可能である。突出部ＬＰｆは、長孔４３２内において、長孔４３２の幅方向及び延在方向に相対的に移動可能である（図１２参照）。
【００７８】
位置決め部材４３０には、一対の貫通孔４４０，４４２が形成されている。貫通孔４４０，４４２は、フレーム部４０６の延在方向（Ｙ方向）において離間している。貫通孔４４０，４４２は、フレーム部４０６の延在方向（Ｙ方向）に延びる矩形状を呈している。
【００７９】
付勢部材４３４は、例えば、図の下側（カセット４００の背部側）に向かうにつれてフレーム部４０４側に近づくように傾斜した板ばねであり、弾性変形可能である。具体的には、板ばねの一端側は、位置決め部材４３０に取り付けられた固定端である。板ばねの他端側は、一端よりもフレーム部４０４側で且つ下側において中空に位置する自由端である。自由端に外力が付与されると、板ばねには自由端を元の位置に戻そうとする復元力が生ずる。そのため、付勢部材４３４は、台座４２６に載置されたソケット部ＬＰｃが付勢部材４３４をフレーム部４０６側に向けて押圧した場合、フレーム部４０６側からフレーム部４０４側に向けてソケット部ＬＰｃを付勢するように構成されている。
【００８０】
フレーム部４０８は、フレーム部４０４，４０６の一端同士を連結している柱状部材である。フレーム部４０８の外側面には、側方（Ｙ方向）に向けて突出するフランジ部４４４が設けられている。フランジ部４４４は、平板状を呈する。フランジ部４４４は、フレーム部４０８のうちＸ方向の中央部分とフレーム部４０６側の端部近傍との間において、フレーム部４０８に沿って延びている。フランジ部４４４は、後述するフランジ部４４６とＹ方向において対向している。
【００８１】
フレーム部４０８には、図の下側（カセット４００の背部側）に向けて突出する脚部４４８が設けられている。脚部４４８は、フレーム部４０８の延在方向（Ｘ方向）に沿って延びている。脚部４４８が延びる方向は、フランジ部４４４，４４６の対向方向とＺ方向との双方に直交する方向でもある。脚部４４８は、一対の滑動部４４８ａ，４４８ｂを含む。一対の滑動部４４８ａ，４４８ｂも、フレーム部４０８の延在方向（Ｘ方向）に沿って延びている。滑動部４４８ａは、フレーム部４０８のうちフレーム部４０４側の端部に位置している。滑動部４４８ｂは、フレーム部４０８のうちフレーム部４０６側の端部に位置している。そのため、脚部４４８のうちフレーム部４０８の延在方向（Ｘ方向）における中央部は、カセット４００の前部側（図の上方）に向けて窪んでいる。滑動部４４８ａ，４４８ｂの角部はいずれも、端に向かうにつれてカセット４００の前部側（図の上方）に向けて斜行している。
【００８２】
フレーム部４１０は、フレーム部４０４，４０６の他端同士を連結している棒状部材である。フレーム部４０４，４０６の他端同士を連結している柱状部材である。フレーム部４１０の外側面には、側方（Ｙ方向）に向けて突出するフランジ部４４６が設けられている。フランジ部４４６は、平板状を呈する。フランジ部４４６は、フレーム部４１０のうちＸ方向の中央部分とフレーム部４０６側の端部近傍との間において、フレーム部４１０に沿って延びている。
【００８３】
フレーム部４１０には、図の下側（カセット４００の背部側）に向けて突出する脚部４５０が設けられている。脚部４５０は、フレーム部４１０の延在方向（Ｘ方向）に沿って延びている。脚部４５０が延びる方向は、フランジ部４４４，４４６の対向方向とＺ方向との双方に直交する方向でもある。脚部４５０は、一対の滑動部４５０ａ，４５０ｂを含む。一対の滑動部４５０ａ，４５０ｂも、フレーム部４１０の延在方向（Ｘ方向）に沿って延びている。滑動部４５０ａは、フレーム部４１０のうちフレーム部４０４側の端部に位置している。滑動部４５０ｂは、フレーム部４１０のうちフレーム部４０６側の端部に位置している。そのため、脚部４５０のうちフレーム部４１０の延在方向（Ｘ方向）における中央部は、カセット４００の前部側（図の上方）に向けて窪んでいる。滑動部４５０ａ，４５０ｂの角部はいずれも、端に向かうにつれてカセット４００の前部側（図の上方）に向けて斜行している。
【００８４】
［ランプの交換方法］
続いて、ランプハウス２００におけるランプＬＰの交換方法について説明する。まず、上述したハウジング３００及びカセット４００を準備する。このとき、ハウジング３００は、図１３に示されるように、蓋部材３０４が開放位置に位置すると共に、閉塞部材３５２，３５４，３５６が端壁部３１４から取り外された状態である。なお、図１３は、ハウジング３００を断面で示している一方で、ランプＬＰが搭載されたカセット４００を、断面ではなく側方から見た様子として示している（後述する図１４〜図１６についても同様である）。
【００８５】
続いて、各ランプＬＰのソケット部ＬＰｂが台座４１２に保持されると共に、各ランプＬＰのソケット部ＬＰｃが台座４２６に保持されるように、カセット４００に複数のランプＬＰを搭載する。このとき、各ソケット部ＬＰｂ，ＬＰｃはそれぞれ、付勢部材４１４，４２８によりカセット４００の前部側に向けて付勢される。また、ソケット部ＬＰｂが規制部材４１６に当接するように、ソケット部ＬＰｃが付勢部材４３４によってフレーム部４０４側に付勢される。さらに、突出部ＬＰｅ，ＬＰｆがそれぞれ位置決め部材４２０，４３０の長孔４２４，４３２内に挿通される。
【００８６】
続いて、図１３に示されるように、カセット４００のフランジ部４４４，４４６をそれぞれ案内部材３２８，３３０の傾斜面に当接させつつ、カセット４００を案内部材３２８，３３０に沿って底壁部３０８側に向けてスライドさせる。すなわち、フランジ部４４４，４４６は、案内部材３２８，３３０の傾斜面により案内される。このとき、滑動部４４８ｂ，４５０ｂの角部がいずれも斜行しているので、当該角部の底壁部３０８への衝突が緩和されている。
【００８７】
その後、カセット４００の全体が底壁部３０８に載置されると、フレーム部４０８が位置決め部材３２４，３２６に当接する。このとき、位置決め部材３２０，３２２，３２４，３２６によって、カセット４００が有底容器３０２に対してＹ方向において位置決めされる。位置決め部材３２４，３２６によって、カセット４００が有底容器３０２に対してＸ方向において位置決めされる。ラッチ部材４３６，４３８はそれぞれ、凹溝部３０８ｆ，３０８ｇ内に進入し、凹溝部３０８ｆ，３０８ｇと係合する。これにより、図１４に示されるように、カセット４００が有底容器３０２の所定の位置に静止する。
【００８８】
続いて、蓋部材３０４を閉塞位置に移動させて蓋部材３０４によって開口部３０２ａを閉塞し、ランプＬＰが搭載されたカセット４００をハウジング３００内に収容する。このとき、ランプホルダ３６６がソケット部ＬＰｂと嵌合し、ソケット部ＬＰｂを保持する。また、ソケット部ＬＰｂ，ＬＰｃがそれぞれ付勢部材４１４，４２８によって付勢されているので、ランプ部ＬＰａが冷却部材３６２に押しつけられて冷却部材３６２と接触（当接）する。ランプ部ＬＰａが冷却部材３６２と接触すると、長孔４２４，４３２内にそれぞれ挿通されている突出部ＬＰｅ，ＬＰｆは、長孔４２４，４３２のうちＺ方向における中央部に位置する。そのため、長孔４２４，４３２に対する突出部ＬＰｅ，ＬＰｆの相対位置を把握することにより、ランプ部ＬＰａが冷却部材３６２に接触したか否かを判断することができる。
【００８９】
続いて、端壁部３１４の凹部３１４ｅに閉塞部材３５２を取り付ける。その後、端壁部３１４の外表面に閉塞部材３５４，３５６を取り付ける。これにより、ランプＬＰのケーブルＬＰｄがそれぞれ開口部３１４ａ〜３１４ｄ内及び貫通孔３５８ａ〜３５８ｄ内に挿通される。以上により、ランプＬＰが搭載されたカセット４００がハウジング３００内に配置され、ランプＬＰの交換が完了する。
【００９０】
［作用］
以上のような本実施形態では、各台座４１２にそれぞれソケット部ＬＰｂを付勢する付勢部材４１４が設けられており、各台座４２６にそれぞれソケット部ＬＰｃを付勢する付勢部材４２８が設けられている。そのため、ランプＬＰのソケット部ＬＰｂ，ＬＰｃがそれぞれ台座４１２，４２６に位置するようにランプＬＰをカセット４００に搭載すると、ランプＬＰは、ソケット部ＬＰｂ，ＬＰｃを介して付勢部材４１４，４２８によりＺ方向（カセット４００の前部側）に向けて付勢される。従って、複数のランプＬＰが搭載されたカセット４００をランプハウス２００内に収容すると、Ｚ方向に付勢されているランプＬＰがランプハウス２００内の冷却部材３６２（蓋部材３０４）に押しつけられる。このように、付勢部材４１４，４２８によってランプＬＰの公差によらずに個別に各ランプＬＰがＺ方向に付勢されているので、いずれかのランプＬＰに対する付勢力が不足することなく、全てのランプＬＰが冷却部材３６２と接触する。以上により、ランプＬＰと冷却部材３６２との間で熱交換を行うためにランプＬＰが冷却部材３６２に接触するように複数のランプＬＰを手作業でランプハウス２００内に取り付ける必要がなくなるので、効率よく複数のランプＬＰの交換を行うことが可能となる。
【００９１】
ところで、近年、半導体基板Ｗの大型化、効率的なオゾン生成などの理由から、ランプハウス２００内に複数のランプＬＰを配置することがある。また、近年、ランプハウス２００を含む光照射ユニットＵ３の大型化に伴い、ランプＬＰの交換のための作業スペースが制限され、ランプハウス２００の蓋部材３０４を大きく開放することが困難な傾向にある。これらの要因により、ランプＬＰの交換に時間と手間がかかる懸念がある。加えて、作業スペースが狭隘になることで、ランプＬＰの交換の際に作業者がランプＬＰを周囲の装置に当ててしまい、ランプＬＰを破損させてしまう懸念がある。
【００９２】
これに対し、本実施形態では、側方に向けて突出するフランジ部４４４，４４６を支持部材４０２が含んでいる。本実施形態では、有底容器３０２に案内部材３２８，３３０が設けられている。案内部材３２８，３３０は、有底容器３０２の開口部３０２ａ側から底壁部３０８側に向けて傾斜する傾斜面を有し、傾斜面により各フランジ部４４４，４４６を案内するように構成されている。そのため、カセット４００をハウジング３００内に収容する際には、フランジ部４４４，４４６が傾斜面に接しつつ傾斜面を摺動するようにカセット４００を移動させることで、傾斜面の傾きに応じてカセット４００が有底容器３０２の開口部３０２ａ側から底壁部３０８側に移動する。従って、ハウジング３００の側方からカセット４００をスライドさせるだけでカセット４００をハウジング３００内に収容することができるので、ハウジング３００の蓋部材３０４を有底容器３０２から完全に取り外したり、ハウジング３００の蓋部材３０４を有底容器３０２に対して大きく開放したりする必要がない。その結果、作業スペースが狭隘であっても、ハウジング３００の側方からカセット４００をスライドさせるだけで、安全で且つ効率よくランプＬＰの交換を行うことが可能となる。
【００９３】
本実施形態では、滑動部４４８ａ，４４８ｂ，４５０ａ，４５０ｂの角部がいずれも、端に向かうにつれてカセット４００の前部側（図の上方）に向けて斜行している。そのため、脚部４４８，４５０のうちＸ方向における中央部が前部側に向けて窪んでいるので、カセット４００がハウジング３００内に収容され脚部が有底容器３０２の底壁部３０８に載置されたとき、脚部４４８，４５０と底壁部３０８に設けられている窓部材３１８とが接触し難い。また、カセット４００が有底容器３０２の底壁部３０８に対して傾いた状態でカセット４００が底壁部３０８に近づいたとしても、脚部４４８，４５０の角部が底壁部３０８に接触し難い。以上により、カセット４００とハウジング３００との間で衝撃力が生ずることが抑制されるので、カセット４００、ハウジング３００、及びカセット４００に保持されているランプＬＰのいずれもが破損し難くなる。
【００９４】
本実施形態では、支持部材４０２のうちカセット４００の背部側にラッチ部材４３６，４３８が設けられており、これらのラッチ部材４３６，４３８とそれぞれ係合可能な凹溝部３０８ｆ，３０８ｇが底壁部３０８に設けられている。そのため、カセット４００がハウジング３００内に収容されるときに、カセット４００のラッチ部材４３６，４３８が凹溝部３０８ｆ，３０８ｇと係合することにより、カセット４００がハウジング３００に対してより確実に位置決めされる。そのため、複数のランプＬＰを適切な位置で蓋部材３０４に接触させることができる。
【００９５】
本実施形態では、ラッチ部材４３６，４３８が弾性変形可能である。そのため、ラッチ部材４３６，４３８が凹溝部３０８ｆ，３０８ｇと係合したり他の部材と接触したりする際に衝撃が生じたとしても、ラッチ部材４３６，４３８が弾性変形して、当該衝撃が緩和される。そのため、カセット４００とハウジング３００との間で衝撃力が生ずることが抑制されるので、カセット４００、ハウジング３００、及びカセット４００に保持されているランプＬＰのいずれもが破損し難くなる。
【００９６】
本実施形態では、有底容器３０２に対するカセット４００の位置を規定するように構成された位置決め部材３２０，３２２，３２４，３２６が底壁部３０８に設けられている。そのため、カセット４００がハウジング３００に対していっそう確実に位置決めされる。従って、複数のランプＬＰを適切な位置で蓋部材３０４に接触させることができる。
【００９７】
本実施形態では、ハウジング３００がダンパ３０６を備えている。そのため、蓋部材３０４の急激な開閉が抑制されるので、ハウジング３００内に収容されたカセット４００及びランプＬＰに衝撃力が作用し難くなる。
【００９８】
本実施形態では、台座４１２に規制部材４１６が設けられており、台座４２６に付勢部材４３４が設けられている。そのため、付勢部材４３４がソケット部ＬＰｃを付勢することにより、ソケット部ＬＰｂが規制部材４１６に当接する。従って、複数のランプＬＰ間に公差があっても、フレーム部４０４，４０６の対向方向（Ｘ方向）において複数のランプＬＰの位置が揃う。その結果、複数のランプＬＰのランプ部ＬＰａから基板処理室１００に向けて光をより均一に照射することができる。
【００９９】
［他の実施形態］
以上、本開示に係る実施形態について詳細に説明したが、本発明の要旨の範囲内で種々の変形を上記の実施形態に加えてもよい。例えば、ハウジング３００は冷却部材３６２を含んでおらず、ランプ部ＬＰａが蓋部材３０４と直接熱交換してもよい。
【０１００】
開口部３０２ａを閉塞及び開放可能であれば、蓋部材３０４は、蝶番３６０を介して端壁部３１６に取り付けられていなくてもよい。すなわち、蓋部材３０４は、端壁部３１６と独立していてもよい。
【０１０１】
ラッチ部材４３６，４３８が有底容器３０２側に設けられており、これらラッチ部材４３６，４３８と係合可能な係合部がカセット４００側に設けられていてもよい。
【０１０２】
図１５に示されるように、ハウジング３００が案内部材３２８，３３０に代えてフック部材３６８，３７０を含んでいてもよい。フック部材３６８，３７０は、蓋部材３０４の内面側であって端壁部３１６の近傍に設けられている。フック部材３６８，３７０は、蓋部材３０４に固定された固定端部と、固定端部に接続されて底壁部３０８に向けて突設された中間部と、中間部に接続されて中間部からさらに底壁部３０８側で且つ端壁部３１４側に向けて屈曲された自由端部とを含む。フック部材３６８，３７０は、板ばねであり、弾性変形可能である。フック部材３６８，３７０は、Ｙ方向において離間している。フック部材３６８，３７０はそれぞれ、カセット４００の貫通孔４４０，４４２に対応する位置に配置されている。
【０１０３】
このようなハウジング３００内にカセット４００を収容する場合には、ハウジング３００から端壁部３１４及び閉塞部材３５２，３５４，３５６を取り外した状態で、端壁部３１６側に向けてスライドさせる。図１６に示されるように、フレーム部４０６が端壁部３１６に到達すると、貫通孔４４０，４４２内にフック部材３６８，３７０の自由端部（先端部）が挿通される。これにより、フック部材３６８，３７０を介してカセット４００が蓋部材３０４に取り付けられる。
【０１０４】
続いて、フック部材３６８，３７０を中心軸としてフレーム部４０４側が蓋部材３０４に近づくようにカセット４００を揺動し、固定部材４１８によりカセット４００を蓋部材３０４のフック部材（図示せず）に固定する。これにより、カセット４００が蓋部材３０４に対して固定される。このとき、ソケット部ＬＰｂ，ＬＰｃがそれぞれ付勢部材４１４，４２８によって付勢されているので、ランプ部ＬＰａが冷却部材３６２に押しつけられて冷却部材３６２と接触（当接）する。
【０１０５】
この状態で蓋部材３０４を閉塞位置に移動させ、端壁部３１４及び閉塞部材３５２，３５４，３５６を順次有底容器３０２に取り付けることで、カセット４００がハウジング３００内に収容される。このような形態においても、上記の実施形態と同様の作用効果を奏する。
【０１０６】
図１７に示されるように、台座４１２，４２６に付勢部材４１４，４２８が設けられておらず、ソケット部ＬＰｂ，ＬＰｃにそれぞれ付勢部材ＬＰｇ，ＬＰｈが設けられていてもよい。付勢部材ＬＰｇ，ＬＰｈは、例えばスプリングである。この場合、付勢部材ＬＰｇは、ソケット部ＬＰｂが台座４１２に保持される際にソケット部ＬＰｂと台座４１２との間で圧縮されて生ずる反力により、カセット４００の前部側にソケット部ＬＰｂを付勢する。そのため、カセット４００がハウジング３００内に収容された状態で、ランプ部ＬＰａが冷却部材３６２に接触するようにソケット部ＬＰｂが付勢部材ＬＰｇによって冷却部材３６２側に押しつけられる。付勢部材ＬＰｈも同様に、ソケット部ＬＰｃが台座４２６に保持される際にソケット部ＬＰｃと台座４２６との間で圧縮されて生ずる反力により、カセット４００の前部側にソケット部ＬＰｃを付勢する。そのため、カセット４００がハウジング３００内に収容された状態で、ランプ部ＬＰａが冷却部材３６２に接触するようにソケット部ＬＰｃが付勢部材ＬＰｈによって冷却部材３６２側に押しつけられる。このような形態においても、上記の実施形態と同様の作用効果を奏する。
【符号の説明】
【０１０７】
１…基板処理システム、１００…基板処理室（処理室）、２００…ランプハウス、３００…ハウジング、３０２…有底容器、３０２ａ…開口部、３０４…蓋部材、３０６…ダンパ、３０８…底壁部、３０８ｆ…凹溝部（係合部）、３０８ｇ…凹溝部（係合部）、３１８…窓部材、３２０…位置決め部材、３２２…位置決め部材、３２４…位置決め部材、３２６…位置決め部材、３２８…案内部材、３３０…案内部材、３６２…冷却部材、３６８…フック部材、３７０…フック部材、４００…カセット、４０２…支持部材、４０４…フレーム部（第１のフレーム部）、４０６…フレーム部（第２のフレーム部）、４１２…台座（第１の台座）、４１４…付勢部材、４１６…規制部材、４１８…固定部材、４２０…位置決め部材、４２４…長孔、４２６…台座（第２の台座）、４２８…付勢部材、４３０…位置決め部材、４３２…長孔、４３４…付勢部材、４３６…ラッチ部材、４３８…ラッチ部材、４４０…貫通孔、４４２…貫通孔、４４４…フランジ部、４４６…フランジ部、４４８…脚部、４５０…脚部、ＬＰ…ランプ、ＬＰａ…ランプ部、ＬＰｂ…ソケット部（第１のソケット部）、ＬＰｃ…ソケット部（第２のソケット部）、ＬＰｅ…突出部（第１の突出部）、ＬＰｆ…突出部（第２の突出部）、ＬＰｇ…付勢部材、ＬＰｈ…付勢部材、Ｕ３…光照射ユニット（光照射装置）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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