(57)【要約】      （修正有）【課題】水晶振動板と金属サポートとの充分な接合強度を確保し、耐衝撃性能に優れた良好な特性を有する水晶振動子を提供する。【解決手段】水晶振動子１において、水晶振動板２は、ベース３を貫通する一対のリード端子３１の各々に接続された一対の金属サポート３２に導電性接着剤Ｓを介して導電接合されている。金属サポート３２の水晶振動板との接合面には複数の有底孔が形成されており、水晶振動板２は導電性接着剤Ｓの一部が有底孔の内部に入り込んだ状態で金属サポート３２と導電接合されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電振動板が、ベースを貫通する一対のリード端子の各々に接続された板状の金属サポートに、導電性接着剤を介して導電接合された圧電振動子であって、
一対からなる前記金属サポートが、圧電振動板との接合面に複数の有底孔を備えるとともに、前記接合面同士が対向するように前記一対のリード端子の各々の先端部に接続され、
前記圧電振動板は一対の金属サポートの圧電振動板との接合面の間に、導電性接着剤を介して挟持されてなり、
前記圧電振動板が、導電性接着剤の一部が前記有底孔の内部に入り込んだ状態で金属サポートと接合されていることを特徴とする圧電振動子。
【請求項２】
前記複数の有底孔が平面視で千鳥格子状に配列されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動子。
【請求項３】
前記金属サポートの圧電振動板との接合領域における単位面積あたりの前記有底孔の形成数が、前記接合領域の中央側の方が当該領域の周辺側よりも多くなっていることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は恒温槽型圧電発振器に用いられる圧電振動子に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＯＣＸＯ（Ｏｖｅｎ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｏｓｃｉｌｌａｔｏｒ）と称される恒温槽型水晶発振器は、外部の温度変化に影響されることなく、水晶振動子を恒温槽内で温度制御することにより周波数の高安定化を図った発振器である。周波数安定度として、±１×１０-7〜１×１０-10程度の水晶振動子で得られる最高水準の周波数安定度を得ることができるため、無線基地局や伝送ラインなどの基準周波数として利用されている。
【０００３】
前記ＯＣＸＯに用いられる高安定な特性を有する水晶振動子（以下、高安定水晶振動子と記載）は次のような構成となっている。すなわち前記高安定水晶振動子は、水晶振動板と、水晶振動板を保持するための金属サポートが取付けられたベースと、前記ベースと接合されることで水晶振動板をその内部に気密に封止する金属製の蓋とが主な構成部材となっている。このような構成の水晶振動子は例えば特許文献１に開示されている。
【０００４】
高安定水晶振動子における前記金属サポートは、一般用途向けのサポートと比べて熱膨張係数が小さな特殊材料（例えばニッケル鉄系金属材料）が用いられている。そして水晶振動板と金属サポートとの接合手段として導電性接着剤を用いた水晶振動子が特許文献２に開示されている。
【０００５】
特許文献２における水晶振動子では、金属サポートの水晶振動板との接合部に複数の貫通孔が形成されている。そして当該貫通孔に導電性樹脂接着剤が入り込んだ状態で金属サポートの接合部と水晶振動板の端部とが接合されるようになっている。このように複数の貫通孔を形成することによって、接着に寄与する表面積を拡大させることができる。
【０００６】
前記導電性樹脂接着剤にはポリエーテルサルフォン樹脂が含有された接着剤が用いられている。ポリエーテルサルフォン樹脂を含有した導電性接着剤は、耐熱温度が高く、加熱硬化後のガスの発生が少ない。しかし、当該導電性接着剤はペースト状態から加熱雰囲気下で硬化させる際の収縮量が大きいため、貫通孔の内部に入り込んだ導電性接着剤が水晶振動板側へ引き寄せられるようになり、接着に寄与する表面積が減少してしまうことになる。これにより、水晶振動板と金属サポートとの充分な接合強度を得るのが困難になって、水晶振動板と金属サポートとの接合後に導電性接着剤が剥離したり、耐衝撃性能が低下するという問題点があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−１８６８３９号
【特許文献２】特開２０１４−０１１６０１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、水晶振動板と金属サポートとの充分な接合強度を確保し、耐衝撃性能に優れた良好な特性を有する水晶振動子を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、請求項１にかかる発明によると、圧電振動板が、ベースを貫通する一対のリード端子の各々に接続された板状の金属サポートに、導電性接着剤を介して導電接合された圧電振動子であって、一対からなる前記金属サポートが、圧電振動板との接合面に複数の有底孔を備えるとともに、前記接合面同士が対向するように前記一対のリード端子の各々の先端部に接続され、前記圧電振動板は一対の金属サポートの圧電振動板との接合面の間に、導電性接着剤を介して挟持されてなり、前記圧電振動板が、導電性接着剤の一部が前記有底孔の内部に入り込んだ状態で金属サポートと接合されている。
【００１０】
上記発明によれば、金属サポートの圧電振動板との接合面に有底孔が形成されているため、導電性接着剤を有底孔の底部に接触するように配することで、硬化時の収縮によって導電性接着剤が水晶振動板側に引き寄せられ難くすることができる。これにより、接着に寄与する表面積の減少を防止して、圧電振動板と金属サポートとの充分な接合強度を得ることができる。
【００１１】
さらに上記目的を達成するために、請求項２にかかる発明によると、前記複数の有底孔が平面視で千鳥格子状に配列されていてもよい。
【００１２】
上記発明によれば、金属サポートに複数の有底孔が平面視で格子状に配列されている構成に比べて、隣接する有底孔の間の隙間がより小さくなるため、接着に寄与する表面積を拡大させることができる。これにより、圧電振動板と金属サポートとの接合強度を向上させることができる。
【００１３】
さらに上記目的を達成するために、請求項３にかかる発明によると、前記金属サポートの圧電振動板との接合領域における単位面積あたりの前記有底孔の形成数が、前記接合領域の中央側の方が当該領域の周辺側よりも多くなっていてもよい。
【００１４】
上記発明によれば、圧電振動板と金属サポートとの接合強度をより向上させることができる。これは次の理由による。塗布された導電性接着剤は、その硬化時の収縮によって接着剤の接地面の中心方向に集まり易くなる。これに対して、複数の有底孔を金属サポートの圧電振動板との接合領域の中央側に密集させることによって、硬化収縮後の導電性接着剤の下方に有底孔をより多く位置させることができるからである。
【発明の効果】
【００１５】
以上のように、本発明によれば水晶振動板と金属サポートとの充分な接合強度を確保し、耐衝撃性能に優れた良好な特性を有する水晶振動子を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態に係る水晶振動子の内部構造を表す正面模式図
【図２】図１のＡ−Ａ線における断面模式図
【図３】本発明の実施形態に係る金属サポートの部分拡大図
【図４】図３のＢ−Ｂ線における断面模式図
【図５】本発明の実施形態に係る水晶振動子の部分拡大図
【図６】本発明の実施形態の変形例に係る金属サポートの部分拡大図
【図７】本発明の実施形態の変形例の他の形態を示す金属サポートの部分拡大図
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明による実施形態について図面を参照しながら説明する。本実施形態における高安定水晶振動子１（以下、水晶振動子１と略記）は、図１に示すように一対のリード端子を有するベース３と、前記一対のリード端子の一端側に取り付けられた金属サポートに導電性接着剤Ｓを介して電気機械的に接続される水晶振動板２と、水晶振動板２を気密に封止してなる金属製の蓋４とで構成されている。本実施形態では、水晶振動子１の正面から見た外形寸法は幅１０ｍｍ×高さ１１ｍｍとなっている。なお水晶振動子１の発振周波数は３倍波振動モードで１０〜２０ＭＨｚとなっている。以下、前記各構成部材について説明する。
【００１８】
図１に示すベース３は、シェルと呼ばれるコバール（Ｋｏｖａｒ）からなる基台に並行して設けられた２つの貫通孔の内部に、金属からなる一対のリード端子３１，３１が、絶縁材であるホウケイ酸ガラスG（以下、絶縁ガラスＧと記載）を介して貫通植設された部材である。絶縁ガラスＧがシェルの貫通孔に充填されることにより、一対のリード端子３１，３１とシェルとが絶縁された状態となっている。なお図１に示すリード端子３１のうち、シェルから上方に突出した部分をインナーリードと呼び、シェルから下方（外部）に突出した部分をアウターリードと呼んでいる。
【００１９】
一対のリード端子３１，３１は円柱状であり、各リード端子のインナーリードの先端部には、後述する板状の一対の金属サポート３２，３２が、スポット溶接、レーザー溶接等によって互いに対向するように取り付けられている。具体的には、一対の金属サポート３２，３２の水晶振動板との接合面（内側主面３２２０）同士が、互いに対向するようにインナーリードの先端部３１ａ，３１ａに取り付けられている。
【００２０】
金属サポート３２は折り曲げ加工によって成形されており、その展開状態においては平面視でアルファベットのＴを上下反転させたような形状（逆Ｔ字状）となっている。この逆Ｔ字状の左右に突出した部位は、その先端同士が近接するように折り曲げ加工されている。この折り曲げ加工された前記突出部位は、インナーリードの先端部３１ａと接合される接続部３２１となっている。逆Ｔ字状の上方向に突出する部位の先端部分は、水晶振動板２を保持するための支持部３２２となっている。すなわち、図１に示すように金属サポート３２はインナーリードの先端部３１ａに溶接された状態において、水晶振動板の表裏主面に正対する方向から見たときアルファベットの「Ｌ」字状となっている。
【００２１】
金属サポート３２はニッケル−鉄系の低膨張合金であり、熱膨張係数が０．８×１０−５／Ｋ未満の低熱膨張性の金属材料を用いられる。具体的には、三菱マテリアル株式会社製のものであれば、ＭＡ―ＩＮＶ３６＜Ｆｅ−３６Ｎｉ＞（通称：インバー／アンバー（登録商標）、熱膨張係数（０．５〜２×１０−６/Ｋ））、ＭＡ−Ｓ−ＩＮＶＥＲ＜Ｆｅ−３２Ｎｉ−５Ｃｏ＞（通称：スーパーインバー、熱膨張係数（０〜１．５×１０−６／Ｋ））、ＭＡ９０２＜Ｆｅ−４２Ｎｉ−Ｃｒ−Ｔｉ＞（通称：ＮＩ−ＳＰＡＮ−Ｃ、熱膨張係数（６．８×１０−６／Ｋ））等が挙げられる。本実施形態ではインバー（ＭＡ―ＩＮＶ３６）が使用されており、水晶の熱膨張係数に近い金属材料となっている。
【００２２】
図２および図３に示すように、金属サポート３２の支持部３２２の対向する２つの主面（内側主面３２２０、外側主面３２２１）のうち，水晶振動板との接合面である内側主面３２２０には複数の有底孔３３，・・・，３３が形成されている。本実施形態では、図３に示すように直径０．１ｍｍ程度の円形の有底孔が千鳥格子状に整列して計２３個形成されている。なお、有底孔の大きさや形成数は前記数値に限定されるものではなく、使用される導電性接着剤の粘度や、導電性接着剤の硬化時の収縮の程度や、金属サポートの水晶振動板との接合領域の面積等を考慮して設定することができる。
【００２３】
本実施形態では有底孔３３は略円柱状となっており、全ての有底孔の形成深さは金属サポート３２の母材の厚みの約半分（０．０５ｍｍ）となっている。なお、前記有底孔の深さは金属サポートの母材の厚みの半分に限定されるものではない。また、複数の有底孔の深さは一定でなくてもよい。例えば水晶振動板と金属サポートとの接合領域のうち、より確実に接合させる必要がある領域における有底孔の形成深さを、他の領域における有底孔の形成深さよりも深くすることによって、接合信頼性の高い水晶振動子を得ることができる。さらに本発明に係る有底孔の形状は円柱状だけに限定されるものではなく、角柱や円錐台などの他の形状であってもよい。
【００２４】
図４は図３のＢ−Ｂ線における断面模式図である。図４に示すように、本実施形態における金属サポート３２は、母材厚さが０．１ｍｍのインバーの表面に、０．００３〜０．０１０ｍｍの銅めっき（Ｃｕ膜Ｍ）処理が施された構成となっている。具体的には、Ｃｕ膜Ｍは金属サポートの内側主面３２２０および外側主面３２２１と、複数の有底孔３３の内壁面および内底面とを覆うように成膜されている。
【００２５】
このＣｕ膜Ｍは金属サポート３２の母材よりも、その熱伝導率が高くなっている。このような構成により、水晶振動板２と金属サポート３２との熱膨張差が生じることが殆ど無くなるため、金属サポート３２から水晶振動板２に対して環境温度の変化に起因する応力を与えることがなくなり、経年変化に影響を及ぼす応力を抑制することができる。つまり、エージング特性を向上させることができる。また熱伝導率が優れたＣｕ膜Ｍが形成されていることにより、恒温槽型水晶発振器の恒温槽の熱を水晶振動板に効率良く伝導させることができる。
【００２６】
本実施形態で使用される水晶振動板２は、周知のＳＣカットと呼ばれる所定の角度で切断された水晶ウエハを加工した半球状の圧電振動板である。図１に示すように水晶振動板２は平面視円形であり、その表裏主面（２００，２０１）のうち一主面２００は、断面視凸レンズ状に加工されている。一方、他主面２０１は平坦面となっており、その周縁部分は面取り加工されている。図２ではこの面取り加工された部位を「面取り部」として符号Ｃ１で表している。以上のように図２に示すように水晶振動板２は、一方の主面側のみがコンベックス加工された，いわゆるプラノコンベックス形状となっている。
【００２７】
本実施形態では一主面側が断面視凸レンズ状にコンベックス加工されているが、一主面側の端部を面取り状に薄肉化するベベル加工を施してもよい。あるいは、フォトリソグラフィ技術を用いて水晶振動板の中央から周縁に向かって、その厚みが多段状に断続的に薄肉化するようにしてもよい（例えば階段状）。また、水晶振動板の一主面側と他主面側の両方が、コンベックス加工またはベベル加工されていてもよい。さらに水晶振動板の種類はＳＣカットに限定されるものではなく、例えば周知のＡＴカットの水晶振動板を用いてもよい。
【００２８】
水晶振動板２は１枚の水晶ウエハから一体成形されている。具体的には、水晶振動板の外形は、水晶ウエハを所定厚みまで平面研磨機を用いて薄肉化した後、球面研磨機を用いて一方の主面側のみを断面視凸レンズ状にコンベックス加工することによって成形されている。水晶振動板の表裏主面２００，２０１は、ポリッシュ加工によって鏡面仕上げされている。なお水晶振動板の外形の成形過程において、前述した面取り部Ｃ１の加工が行われる。
【００２９】
水晶振動板２の外形の成形過程において、水晶振動板の＋Ｚ´軸と−Ｚ´軸の双方に対応する位置には、Ｘ軸と略平行となる切り込み部ＯＦ（オリエンテーションフラット）が形成されている。この切り込み部ＯＦは、半球状の水晶振動板の軸方向を明確に識別できるようにするための目印となっている。この切り込み部ＯＦを含む近傍の領域には、例えば、ダイヤモンド砥石によって図示しない粗面領域が形成されている。この粗面領域に引出電極２２，２３が位置するように形成されており、導電性接着剤Ｓが前記粗面領域に及ぶようにして接合されることにより、アンカー効果によって接合強度を向上させることができる。なお粗面領域の形成は砥石に限らず、エッチングなどの他の手段を用いて行ってもよい。また粗面領域は切り込み部の端面領域のみに形成してもよい。
【００３０】
本実施形態では水晶振動板の外形加工は機械的手段を用いて行われているが、機械的手段以外の加工方法を用いてもよい。例えば、フォトリソグラフィ技術を用いて水晶振動板に所定形状の金属膜をパターニングし、ドライエッチング（乾式エッチング）やウエットエッチング（湿式エッチング）によって、金属膜に覆われていない水晶素地を薄肉化することによって外形を成形してもよい。
【００３１】
図１および図２に示すように、水晶振動板２の表裏主面の各々の中央部分には、水晶振動板を挟んで互いに対向する一対の励振電極２０，２１が形成されている。励振電極２０，２１は平面視円形となっている。
【００３２】
一対の励振電極２０，２１からは、一対の引出電極２２，２３が水晶振動板の端部に向かって導出されている。具体的に引出電極２２，２３は、励振電極２０，２１の中心Ｏを通り，水晶振動板のＺ´軸と平行となる方向であって、互いに反対方向に引き出されている。引出電極２２は一主面２００から、水晶振動板の側面と面取り部Ｃ１とを経由して他主面２０１まで及ぶように形成されている。一方、引出電極２３は他主面２０１から、面取り部Ｃ１と水晶振動板の側面とを経由して、一主面２００まで及ぶように形成されている。引出電極２２，２３の端部は、金属サポート３２の内側主面３２２０と、導電性接着剤Ｓを介して導電接合されるようになっている。本実施形態では、励振電極２０，２１および引出電極２２，２３は、クロム（Ｃｒ）を下地層として、その上に金（Ａｕ）が積層された膜構成となっている。
【００３３】
導電性接着剤Ｓは、例えば銀（Ａｇ）などの金属粉等が含有されたポリエーテルサルフォン樹脂からなり、熱分解温度の測定方法による耐熱温度が４６０℃以上のものを用いている。このため耐熱温度が高く、水晶振動板２に対して熱膨張差が生じにくく、かつ加熱硬化後のガスの発生が少ない，優れた導電性接着剤となっている。なお本実施形態で用いたポリエーテルサルフォン系の樹脂接着剤は一例であり、同程度の特性を有する他の導電性接着剤を使用してもよい。
【００３４】
蓋４は、洋白からなる金属製のカバーである。蓋４は一方端が開口した筒状であり、蓋４の開口端と、ベース３のシェルの外周に設けらているフランジ部分とが抵抗溶接によって接合されることによって、水晶振動板２がキャップ内部に気密封止されるようになっている。
【００３５】
水晶振動子の組み立ては、まずベースが横置き状態で収容される治具にベース３をセットし、導電性接着剤Ｓを一対の金属サポート３２，３２の内側主面３２２０の複数の有底孔を含む領域に対して塗布する。次に導電性接着剤Ｓが塗布された一対の金属サポート３２，３２の間に、前記治具の上方から水晶振動板２をその他主面２０１が正対するように載置する。このとき、水晶振動板の２つの切り込み部ＯＦ，ＯＦを含む近傍の領域に形成された粗面領域が、導電性接着剤Ｓに接触するように水晶振動板が載置される。
【００３６】
金属サポート３２の支持部３２２に、導電性接着剤Ｓを介して水晶振動板２が取り付けられた気密封止前のベース（封止前水晶振動子）が加熱炉に搬入される。本実施形態では加熱炉として、例えば高真空アニール炉が用いられており、真空雰囲気中で前記封止前水晶振動子全体を加熱して導電性接着剤Ｓを硬化させる。この硬化処理によって、導電性接着剤Ｓを介して一対の金属サポート３２，３２と、水晶振動板２の引出電極２２，２３とが電気的機械的に接合される。すなわち、水晶振動板２は一対の金属サポート３２，３２の水晶振動板との接合面３２２０の間に、導電性接着剤Ｓを介して挟持される。
【００３７】
前記硬化処理が行われた封止前水晶振動子のベース３には蓋４が被せられ、例えば真空雰囲気中で抵抗溶接によってベースと蓋とが接合される。これにより、水晶振動板が気密に封止され、本発明の水晶振動子の完成となる。
【００３８】
本発明の実施形態に係る水晶振動子によれば、金属サポート３２の水晶振動板２との接合面（３２２０）に複数の有底孔３３，・・・，３３が形成されているため、導電性接着剤Ｓを有底孔３３の底部に接触するように配することで、硬化時の収縮によって導電性接着剤Ｓが水晶振動板側に引き寄せられ難くすることができる。つまり図５に示すように、導電性接着剤Ｓが複数の有底孔３３，・・・，３３の内部に入り込んだ状態を維持したままで、水晶振動板２と金属サポート３２とを導電接合することができる。これにより、接着に寄与する表面積の減少を防止し、水晶振動板２と金属サポート３２との充分な接合強度を得ることができる。
【００３９】
なお、有底孔３３の内壁面や内底面を粗面化してもよい。このように粗面化することでアンカー効果が働き、導電性接着剤が有底孔の内壁面や内底面に対してより強固に固着されるようになる。これにより、導電性接着剤の硬化時の収縮に対して、導電性接着剤を有底孔内により留まり易くさせることができる。
【００４０】
本実施形態では複数の有底孔３３，・・・，３３が平面視で千鳥格子状に配列されている。このように有底孔を配置することによって、有底孔が平面視で格子状に配列されている金属サポートに比べて、隣接する有底孔同士の間の隙間をより小さくすることができるため、接着に寄与する表面積を拡大することができる。これにより、水晶振動板２と金属サポート３２との接合強度を向上させることができる。
【００４１】
本実施形態に係る水晶振動板は、その一主面２００側が断面視凸レンズ状で、他主面２０１側が平坦面である，プラノコンベックス形状となっている。そして平坦面側である他主面２０１の周縁部分には、面取り部Ｃ１が形成されている。この面取り部Ｃ１が水晶振動板の平坦面側に形成されていることによって、接着部に掛かる負荷を軽減して、より安定した状態で水晶振動板を支持することができる。これは次の理由による。
【００４２】
プラノコンベックス形状のように表裏でアンバランスな形状の水晶振動板は、その重心位置がコンベックス加工された面側にずれることになる。このように重心位置がずれると、水晶振動板を導電性接着剤を介して金属サポートと接合した際に、接着部に掛かる負荷が不均一になり易くなる。
【００４３】
これに対して、面取り部Ｃ１がプラノコンベックス形状の水晶振動板の平坦面側に形成されていることによって、図２に示すように水晶振動板２と金属サポート３２との隙間が拡大し、当該隙間に存在する導電性接着剤Ｓの量を増大させることができる。つまり、水晶振動板の平坦面側に保持される導電性接着剤Ｓの量を増大させることができる。これによって、接着部に掛かる負荷を軽減し、より安定した状態でプラノコンベックス形状の水晶振動板を支持することができる。さらに金属サポート３２に複数の有底孔が形成されていることで、面取り部Ｃ１の傾斜面と金属サポート３２との隙間に存在する導電性接着剤が、硬化時の収縮によって水晶振動板側に引き寄せられ難くなる。これにより、接着部の周辺部からの導電性接着剤の剥離を防止することができる。
【００４４】
−本発明の実施形態の変形例−
図６に本発明の実施形態の変形例を示す。なお前述した本発明の実施形態と同一の構成については同一の番号を付して、その説明は割愛する。図６は本発明の実施形態の変形例に係る金属サポートの部分拡大図である。
【００４５】
本発明の実施形態の変形例では、複数の有底孔３５，・・・，３５が、金属サポート３４の水晶振動板との接合面３４２０に平面視で楕円状に配列されているとともに、当該楕円が同心状に複数形成されている。具体的には図６の符号３５ｃで示す有底孔を中心として、点線で示す３つの仮想楕円が同心状に形成されている。これら複数の有底孔の深さは一定であり、個々の有底孔の形状は円筒状となっている。
【００４６】
複数の有底孔３５の形成数は、図６に示すように全部で３３個となっている。この３３個の有底孔の内訳は次のようになっている。すなわち、金属サポート３４の幅方向中央であって金属サポートの伸長方向と平行な仮想直線上に、等間隔で離間した状態で直列して３個配置されている。
【００４７】
そして、残りの有底孔は、これら３個の有底孔の周囲に符号ＶＬで示す３つの仮想楕円上に配置されている。具体的には、前記３個の有底孔に最近となる仮想楕円上に１２個の有底孔が配置され、当該仮想楕円の外側に位置する他の仮想楕円上に１０個の有底孔が配置されている。そして最も外側となる仮想楕円上に８個の有底孔が配置されている。つまり、３５ｃで示す有底孔を中心として当該中心に近い仮想楕円側から、１２個、１０個、８個と，その形成数が減少している。
【００４８】
以上のとおり、仮想楕円上に位置する複数の有底孔は、中心に位置する３５ｃに近い仮想楕円側からその形成数が減少している。換言すれば、金属サポートの水晶振動板との接合領域における単位面積あたりの有底孔の形成数が、接合領域の中央側の方が当該領域の周辺側よりも多くなっている（接合領域の中央側の方が当該領域の周辺側よりも、有底孔が「密」に配置されている）。
【００４９】
塗布された導電性接着剤は、その硬化時の収縮によって接着剤の接地面の中心方向に集まり易くなるが、複数の有底孔を金属サポートの水晶振動板との接合対象領域の中央側に密集させることによって、硬化収縮後の導電性接着剤の下方に有底孔をより多く位置させることができる。これによって、水晶振動板２と金属サポート３４との接合強度をより向上させることができる。
【００５０】
なお本発明の実施形態の変形例では複数の有底孔を多重楕円状に配置しているが、図７に示すような配列で複数の有底孔を配置してもよい。すなわち、平面視格子状の配列に対して、金属サポート３６の水晶振動板との接合面３６２０の接合領域の中心側（３７Ｃ）に有底孔３７が密集するように配置してもよい。このように複数の有底孔３７，・・・，３７を配置した構成であっても、前述の本発明の実施形態の変形例と同様の効果を得ることができる。
【００５１】
前述の本発明の実施形態の変形例では、金属サポートの水晶振動板との接合領域における単位面積あたりの有底孔の形成数が、接合領域の中央側の方が当該領域の周辺側よりも多くなっていたが、前記接合領域の中央側を「密」な状態としたまま、当該領域の周辺側も前記単位面積あたりの有底孔の形成数を増加させて「密」な状態としてもよい。あるいは、金属サポートの水晶振動板との接合領域における単位面積あたりの有底孔の形成数を、接合領域の中央側と周辺側とで差を設けないようにしてもよい。
【００５２】
本発明は、その精神または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形で実施することができる。そのため、上述の実施の形態はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、なんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
圧電振動子の量産に適用できる。
【符号の説明】
【００５４】
１    水晶振動子
２    水晶振動板
３    ベース
４    蓋
３１    リード端子
３２、３４、３６    金属サポート
３３、３５、３７    有底孔
Ｓ    導電性接着剤
【図１】
2017085237.tif 000003
【図２】
2017085237.tif 000004
【図３】
2017085237.tif 000005
【図４】
2017085237.tif 000006
【図５】
2017085237.tif 000007
【図６】
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【図７】
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