(57)【要約】【課題】  基板への実装後に容量を調整できる水晶振動子等の提供。【解決手段】水晶片と、誘電体と複数の内部電極との積層構造を有するコンデンサ本体と、コンデンサ本体の表面に設けられる外部電極と、水晶片に設けられ、コンデンサ本体を介してグランドに電気的に接続される励振電極と、コンデンサ本体に設けられ、複数の内部電極のうちの１つの第１内部電極に一端が電気的に接続され、外部電極に他端が電気的に接続され、一端と他端との間に、コンデンサ本体の表面に露出する第１露出部を含む第１導体部と、を含む水晶振動子が開示される。【選択図】  図２
2017073647.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶片と、
誘電体と複数の内部電極との積層構造を有するコンデンサ本体と、
前記コンデンサ本体の表面に設けられる外部電極と、
前記水晶片に設けられ、前記コンデンサ本体を介してグランドに電気的に接続される励振電極と、
前記コンデンサ本体に設けられ、複数の前記内部電極のうちの１つの第１内部電極に一端が電気的に接続され、前記外部電極に他端が電気的に接続され、前記一端と前記他端との間に、前記コンデンサ本体の表面に露出する第１露出部を含む第１導体部と、
を含む水晶振動子。
【請求項２】
前記第１露出部には、前記一端と前記他端の間を電気的に切断させる切断部が形成されている、請求項１に記載の水晶振動子。
【請求項３】
前記コンデンサ本体に設けられ、複数の前記内部電極のうちの他の１つの第２内部電極に一端が電気的に接続され、前記外部電極に他端が電気的に接続され、前記一端と前記他端との間に、前記コンデンサ本体の表面に露出する第２露出部を有する第２導体部と、
を更に含む請求項１に記載の水晶振動子。
【請求項４】
前記第１露出部及び前記第２露出部のうちの少なくともいずれか一方には、前記一端と前記他端の間を電気的に切断させる切断部が形成されている、請求項３に記載の水晶振動子。
【請求項５】
前記第１内部電極と前記第２内部電極とは、面積が異なる、請求項３又は４に記載の水晶振動子。
【請求項６】
前記第１露出部は、前記コンデンサ本体の表面における第１の個所と、前記コンデンサ本体の表面における前記第１の個所とは異なる第２の個所とにそれぞれ形成される、請求項１に記載の水晶振動子。
【請求項７】
前記第１露出部は、前記コンデンサ本体の積層方向に対して垂直な方向を側方としたとき、前記コンデンサ本体の第１側面と、前記コンデンサ本体の前記第１側面に対向する第２側面とにそれぞれ形成される、請求項６に記載の水晶振動子。
【請求項８】
前記第１内部電極は、第１分割部と、第２分割部とを含み、
前記第１導体部の前記一端は、前記第１分割部に電気的に接続される第１端部と、前記第２分割部に電気的に接続される第２端部とを含み、
前記第１の個所に形成される前記第１露出部は、前記第１導体部における前記第１端部と前記他端との間に設けられ、
前記第２の個所に形成される前記第１露出部は、前記第１導体部における前記第２端部と前記他端との間に設けられる、請求項６又は７に記載の水晶振動子。
【請求項９】
前記第１露出部は、前記コンデンサ本体の積層方向で第１側の表面に形成され、
前記第１導体部は、
前記コンデンサ本体の内層に形成され、前記一端を形成する第１本体部と、
前記コンデンサ本体の内層に前記第１本体部から離れて形成され、前記他端を形成する第２本体部と、
前記コンデンサ本体の積層方向に延在し、前記第１側の表面で前記第１露出部の一部に電気的に接続されると共に、前記第１本体部に電気的に接続される第１接続部と、
前記コンデンサ本体の積層方向に延在し、前記第１側の表面で前記第１露出部の他の一部に電気的に接続されると共に、前記第２本体部に電気的に接続される第２接続部とを更に含む、請求項１又は２に記載の水晶振動子。
【請求項１０】
水晶片と、誘電体と複数の内部電極との積層構造を有するコンデンサ本体と、前記コンデンサ本体の表面に設けられる外部電極と、前記水晶片に設けられ、前記コンデンサ本体を介してグランドに電気的に接続される励振電極と、前記コンデンサ本体に設けられ、複数の前記内部電極のうちの１つの第１内部電極に一端が電気的に接続され、前記外部電極に他端が電気的に接続され、前記一端と前記他端との間に、前記コンデンサ本体の表面に露出する第１露出部を含む第１導体部と、を含む水晶振動子の調整方法であって、
前記水晶振動子の実装後に前記第１導体部にレーザ光を照射することで、前記第１導体部を物理的に切断することを含む、水晶振動子の調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、水晶振動子、及び水晶振動子の調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
表面実装型の圧電部品の製造工程中に、入力電極パターン、アース電極パターン、又は出力電極パターンの一部をレーザートリミング等により削減することで、圧電部品の発振周波数の微調整を行う技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平０９−２９８４３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来技術では、圧電部品の製造時に出力電極パターンの一部を削って容量を調整できるものの、基板実装後には調整ができない。圧電部品が基板に実装されてＩＣ（Integrated Circuit）に電気的に接続されると、基板上のパターン等の容量の影響で振動特性が変化するため、製造時に容量が調整されるだけでは、所望の振動特性を得ることが難しい。
【０００５】
そこで、１つの側面では、本発明は、基板への実装後に容量を調整できる水晶振動子、及び水晶振動子の調整方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
一局面によれば、水晶片と、
誘電体と複数の内部電極との積層構造を有するコンデンサ本体と、
前記コンデンサ本体の表面に設けられる外部電極と、
前記水晶片に設けられ、前記コンデンサ本体を介してグランドに電気的に接続される励振電極と、
前記コンデンサ本体に設けられ、複数の前記内部電極のうちの１つの第１内部電極に一端が電気的に接続され、前記外部電極に他端が電気的に接続され、前記一端と前記他端との間に、前記コンデンサ本体の表面に露出する第１露出部を含む第１導体部と、を含む水晶振動子が提供される。
【発明の効果】
【０００７】
基板への実装後に容量を調整できる水晶振動子等が得られる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】水晶振動子を組み込んだ回路構成の一例を概略的に示す図である。
【図２】実施例１による水晶振動子の５面図である。
【図３】図２のラインＡ−Ａに沿った断面図である。
【図４Ａ】実施例１によるコンデンサ本体の積層構造の説明図（その１）である。
【図４Ｂ】実施例１によるコンデンサ本体の積層構造の説明図（その２）である。
【図５】水晶振動子１００Ａの実装状態の一例を示す図である。
【図６】図５に示すラインＢ−Ｂに沿った断面図である。
【図７Ａ】実施例２によるコンデンサ本体の積層構造の説明図（その１）である。
【図７Ｂ】実施例２によるコンデンサ本体の積層構造の説明図（その２）である。
【図８Ａ】実施例３によるコンデンサ本体の積層構造の説明図（その１）である。
【図８Ｂ】実施例３によるコンデンサ本体の積層構造の説明図（その２）である。
【図９】実施例４による水晶振動子の５面図である。
【図１０Ａ】図９のラインＡ１−Ａ１に沿った断面図である。
【図１０Ｂ】図９のラインＢ１−Ｂ１に沿った断面図である。
【図１１Ａ】実施例４によるコンデンサ本体の積層構造の説明図（その１）である。
【図１１Ｂ】実施例４によるコンデンサ本体の積層構造の説明図（その２）である。
【図１２】水晶振動子の実装状態の一例を示す図である。
【図１３】露出部の切断状態を示す断面図である。
【図１４Ａ】実施例５によるコンデンサ本体の積層構造の説明図（その１）である。
【図１４Ｂ】実施例５によるコンデンサ本体の積層構造の説明図（その２）である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照しながら各実施例について詳細に説明する。
【００１０】
以下の説明において、特に言及しない限り、「接続」及び「切断」の用語は、「電気的な接続」及び「電気的な切断」を表す。また、以下の説明において、「内部電極」とは、コンデンサ本体の内層に形成される導体領域であって、コンデンサとして機能しうる導体領域を表す。即ち、かかる導体領域は、後述のように、容量調整後にコンデンサとして機能しない場合もあるが、かかる場合においても該導体領域は、“内部電極”である。
【００１１】
図１は、水晶振動子１００を組み込んだ回路構成の一例を概略的に示す図である。
【００１２】
図１に示す例では、水晶振動子１００は、ＩＣ２００に接続される。即ち、ＩＣ２００の入力端子２０２及び出力端子２０４に水晶振動子１００の電極８１、８３がそれぞれ接続される。水晶振動子１００は、ＩＣ２００で用いるクロックを生成する。ＩＣ２００は、反転増幅器２０６と、出力バッファ２０８とを含む。上側励振電極２１から電極８１を介して入力端子２０２に入力された信号は、反転増幅器２０６で反転増幅される。反転増幅された信号は、出力バッファ２０８に入力されると共に、電極８３を介して下側励振電極２２に供給される。尚、図１に示す例において、上側励振電極２１及び下側励振電極２２の配置は逆であってもよい。
【００１３】
水晶振動子１００には、マッチングコンデンサ３００が接続される。具体的には、第１コンデンサ３０２が水晶振動子１００の電極８１とグランドの間に接続され、第２コンデンサ３０４が水晶振動子１００の電極８３とグランドの間に接続される。この際、第１コンデンサ３０２は、第１電極２４１を介して電極８１に接続され、第２電極２４２を介してグランドに接続される。同様に、第２コンデンサ３０４は、第３電極２４３を介して電極８３に接続され、第４電極２４４を介してグランドに接続される。尚、図１においては、ＩＣ２００に関して、端子内部の容量、実装基板の配線パターンの浮遊容量、水晶振動子１００に流れる電流を制限する抵抗等は図示が省略されている。マッチングコンデンサ３００は、水晶振動子１００からＩＣ２００の回路を含むすべての容量合計（負荷容量値）を負荷とした時に水晶振動子１００の発振周波数が所望値（設計値）になるよう調整（マッチング調整）するために設けられる。尚、図１において、点線で囲まれた範囲が発振回路を形成する。
【００１４】
次に、図１に示す水晶振動子１００として適用可能な水晶振動子の複数の実施例について説明する。
【００１５】
［実施例１］
図２は、実施例１による水晶振動子１００Ａの５面図である。図２における上面図では、筐体３０内の構成（水晶片１０等）が透視で示されている。図２では、導体部９１〜９５のうちの導体部９１のみが透視で示されている。図３は、図２のラインＡ−Ａに沿った断面図である。尚、図３では、複数の内部電極のうちの一部のみが示されている。
【００１６】
以下では、水晶片１０の厚み方向（図３の上下方向）を上下方向とし、コンデンサ本体７０に対して筐体３０のある側を「上側」とする。また、前後方向、及び左右方向は、図２に示す通りとする。但し、水晶振動子１００Ａの実装状態の向きは任意である。
【００１７】
水晶振動子１００Ａは、水晶片１０と、筐体３０と、電極８１、８３と、外部電極５１〜５４と、コンデンサ本体７０と、導体部９１〜９５（第１導体部又は第２導体部の一例）とを含む。図２に示す例では、水晶振動子１００Ａは、中心Ｃに関して点対称な構成を有する。尚、水晶振動子１００Ａは、その他、図１に示したような上側励振電極２１及び下側励振電極２２を備えるが、上側励振電極２１及び下側励振電極２２の図示は図２及び図３において省略されている。
【００１８】
水晶片１０は、例えばＡＴカットされた人工水晶基板であってよい。水晶片１０は、導電性接着剤４９１、４９２を介してコンデンサ本体７０に支持される。この際、上側励振電極２１は、導電性接着剤４９１を介して電極８１に接続され、下側励振電極２２は、導電性接着剤４９２を介して電極８３に接続される。
【００１９】
筐体３０は、例えば金属により形成される。筐体３０は、下方側のみが開口する内部空間を有する形態である。筐体３０は、内部空間に水晶片１０を含みつつ、下方側の開口がコンデンサ本体７０の上面により封止される態様で、コンデンサ本体７０に対して設けられる。尚、例えば、筐体３０の内部空間は、真空に保たれてよく、或いは、乾燥窒素で満たされてもよい。
【００２０】
電極８１、８３は、コンデンサ本体７０の上面に形成される。電極８１は、コンデンサ本体７０の上面に形成される導体パターン８５を介して外部電極５１（図２参照）に接続される。図２に示す例では、電極８１及び導体パターン８５は、外部電極５１に近い位置、即ちコンデンサ本体７０の上面における左側且つ前側に形成される。電極８３は、コンデンサ本体７０の上面に形成される導体パターン８７を介して外部電極５３（図２参照）に接続される。電極８３及び導体パターン８７は、外部電極５３に近い位置、即ちコンデンサ本体７０の上面における右側且つ後側に形成される。尚、導体パターン８５及び導体パターン８７は、コンデンサ本体７０の内層に形成されてもよい。
【００２１】
外部電極５１〜５４は、コンデンサ本体７０の表面に設けられる。外部電極５１〜５４は、それぞれ、図１に示した第１電極２４１、第２電極２４２、第３電極２４３及び第４電極２４４を形成する。
【００２２】
図２に示す例では、外部電極５１〜５４は、コンデンサ本体７０の底面にそれぞれ形成される。具体的には、外部電極５１は、コンデンサ本体７０の底面の左前側に形成され、外部電極５２は、コンデンサ本体７０の底面の右前側に形成される。また、外部電極５３は、コンデンサ本体７０の底面の右後側に形成され、外部電極５４は、コンデンサ本体７０の底面の左後側に形成される。尚、コンデンサ本体７０の側面の各角部には、外部電極５１〜５４のそれぞれに接続される導体部５１１〜５４１が上下方向に延在する。
【００２３】
コンデンサ本体７０は、水晶振動子１００Ａのマッチングコンデンサ３００（図１参照）を形成する。コンデンサ本体７０は、誘電体７２と、内部電極（例えば、内部電極８０１〜８０４、８２１、８２２）との積層構造を有する。誘電体７２は、例えばセラミック材料を含む。誘電体７２は、上下方向で各内部電極（例えば、内部電極８０１〜８０４、８２１、８２２）間等に形成される。また、誘電体７２は、コンデンサ本体７０の表面層を形成する。尚、図３において、参照符号“７２”は、ある上下２つの内部電極８０１、８０２の間を指している。
【００２４】
図３に示す例では、複数の内部電極８０１〜８０４、及び、その間の誘電体７２の部分は、第１コンデンサ３０２を形成する。即ち、内部電極８０１、８０２は、対をなし、内部電極８０３、８０４は、対をなし、計２つのコンデンサを形成する。この２つのコンデンサが並列をなし、第１コンデンサ３０２を形成する。同様に、複数の内部電極８２１、８２２、及びその間の誘電体７２の部分は、第２コンデンサ３０４を形成する。即ち、内部電極８２１、８２２は、対をなし、コンデンサを形成する。このコンデンサと、他の同様のコンデンサ（図示せず）とが並列をなし、第２コンデンサ３０４を形成する。但し、後述のように、複数の内部電極（例えば、内部電極８０１〜８０４、８２１、８２２）の一部は、グランドから切断されうる。この場合、グランドから切り離された内部電極及びそれに対をなす内部電極は、第１コンデンサ３０２又は第２コンデンサ３０４を形成しないこととなる。尚、内部電極の数や配置態様は、図３に示すものに限られず、任意である。
【００２５】
導体部９１〜９５は、コンデンサ本体７０の内層に形成される。但し、後述の露出部９２１〜９２８（第１及び第２露出部の一例）は、コンデンサ本体７０の表面に形成されてもよい。図２には、導体部９１のみが示される。導体部９１〜９４（導体部９５についても同様）は、対応する内部電極が形成される層（互いに異なる層）に形成される。例えば、導体部９１は、内部電極８０１が形成される層に形成され、導体部９２は、内部電極８０３が形成される層に形成される。導体部９５は、図３に示される。導体部９５は、導体部９１に対して中心Ｃに関して点対称に形成される。導体部９５は、内部電極８２１が形成される層に形成される。
【００２６】
図４Ａ及び図４Ｂは、コンデンサ本体７０の積層構造の説明図であり、コンデンサ本体７０の各層毎の上面図である。図４Ａ及び図４Ｂでは、導体部９１〜９５のうちの、導体部９１、９２及び９５についてのみ図示されている。
【００２７】
コンデンサ本体７０は、図４Ａ及び図４Ｂに示すように、誘電体７２により形成される誘電体層７２２と、内部電極が形成される内部電極層とが交互に積層された積層構造を有する。内部電極層は、図４Ａ及び図４Ｂに示すように、内部電極層７２４−１〜７２４−１１を含む。内部電極層７２４−１には、内部電極８０１及び導体部９１が形成され、内部電極層７２４−２には、内部電極８０２が形成され、内部電極層７２４−１及び内部電極層７２４−２の間には、誘電体層７２２が挟まれる。尚、内部電極８０２は、導体パターン８０２１を介して外部電極５２に接続される。内部電極８０１及び導体部９１は、例えば誘電体層上に導体をプリントすることにより形成されてよい。同様に、内部電極８０２及び導体パターン８０２１は、例えば誘電体層上に導体をプリントすることにより形成されてよい。以下同様にして、内部電極８０３、８０４に係るコンデンサが形成されている。また、内部電極層７２４−１０には、内部電極８２１及び導体部９５が形成され、内部電極層７２４−１１には、内部電極８２２が形成され、内部電極層７２４−１１及び内部電極層７２４−１０の間には、誘電体層７２２が挟まれる。尚、内部電極８２２は、導体パターン８２２１を介して外部電極５４に接続される。内部電極８２１及び導体部９５は、例えば誘電体層上に導体をプリントすることにより形成されてよい。同様に、内部電極８２２及び導体パターン８２２１は、例えば誘電体層上に導体をプリントすることにより形成されてよい。
【００２８】
導体部９１は、図４Ａに示すように、本体部９１０と、露出部９２１とを含む。本体部９１０は、一端が内部電極８０１に接続され、他端が外部電極５１に接続される。図４Ａに示す例では、本体部９１０は、外部電極５１に導体部５１１（図４Ａでは図示せず）を介して接続される。本体部９１０は、内部電極８０１の３辺を囲繞する態様で、内部電極８０１の後側を左右方向に、内部電極８０１の右側を前後方向に、内部電極８０１の前側を左右方向にそれぞれ延在する。本体部９１０は、コンデンサ本体７０の表面（側面）に露出しない態様で形成されてよい。本体部９１０には、切れ目（不連続部）が形成される。従って、本体部９１０は、露出部９２１が形成されない状態では、内部電極８０１と外部電極５１とを導通させない。露出部９２１は、本体部９１０の切れ目に、両端が本体部９１０に接続される態様で、形成される。従って、本体部９１０は、露出部９２１が形成された状態（かつ、露出部９２１において後述の物理的な切断がなされていない状態）では、内部電極８０１と外部電極５１とを導通させる。露出部９２１は、コンデンサ本体７０の表面（側面）に露出する態様で形成される。例えば、露出部９２１は、コンデンサ本体７０の表面（側面）上に形成される。この場合、本体部９１０は、露出部９２１との接続部においてコンデンサ本体７０の表面に露出してよい。或いは、露出部９２１は、コンデンサ本体７０の内層の縁部に、コンデンサ本体７０の表面（側面）に露出する態様で形成されてもよい。図４Ａに示す例では、露出部９２１は、２つ形成される。具体的には、１つの露出部９２１は、コンデンサ本体７０の後側面に形成され、他の１つの露出部９２１は、コンデンサ本体７０の前側面に形成される。２つの露出部９２１は、好ましくは、中心Ｃに関して点対称の位置に形成される。
【００２９】
導体部９２は、内部電極層７２４−３に形成される。導体部９２は、図４Ａに示すように、本体部９２０と、露出部９２２とを含む。導体部９２は、導体部９１と実質的に同様の態様で形成されるので、説明を省略する。
【００３０】
導体部９５は、内部電極層７２４−１０に形成される。同様に、導体部９５は、図４Ａに示すように、本体部９５０と、露出部９２５とを含む。本体部９５０は、一端が内部電極８２１に接続され、他端が外部電極５３に接続される。図４Ａに示す例では、本体部９５０は、外部電極５３に導体部５３１（図４Ａでは図示せず）を介して接続される。本体部９５０は、内部電極８２１の３辺を囲繞する態様で、内部電極８２１の前側を左右方向に、内部電極８２１の左側を前後方向に、内部電極８２１の後側を左右方向にそれぞれ延在する。本体部９５０は、コンデンサ本体７０の表面（側面）に露出しない態様で形成されてよい。本体部９５０には、切れ目（不連続部）が形成される。従って、本体部９５０は、露出部９２５が形成されない状態では、内部電極８２１と外部電極５３とを導通させない。露出部９２５は、本体部９５０の切れ目に、両端が本体部９５０に接続される態様で、形成される。従って、本体部９５０は、露出部９２５が形成された状態（かつ、後述の物理的な切断がなされていない状態）では、内部電極８２１と外部電極５３とを導通させる。露出部９２５は、コンデンサ本体７０の表面（側面）に露出する態様で形成される。例えば、露出部９２５は、コンデンサ本体７０の表面（側面）上に形成される。この場合、本体部９５０は、露出部９２５との接続部においてコンデンサ本体７０の表面に露出してよい。或いは、露出部９２５は、コンデンサ本体７０の内層の縁部に、コンデンサ本体７０の表面（側面）に露出する態様で形成されてもよい。図４Ａに示す例では、露出部９２５は、２つ形成される。具体的には、１つの露出部９２５は、コンデンサ本体７０の前側面に形成され、他の１つの露出部９２５は、コンデンサ本体７０の後側面に形成される。２つの露出部９２５は、好ましくは、中心Ｃに関して点対称の位置に形成される。
【００３１】
同様に、導体部９５に加えて、同様の導体部が、第２コンデンサ３０４を形成する他の内部電極（図示せず）に対して設けられてもよい（図２の露出部９２６〜９２８参照）。
【００３２】
次に、図５を参照して、水晶振動子１００Ａの容量調整方法について説明する。
【００３３】
図５は、水晶振動子１００Ａの実装状態の一例を示す図である。水晶振動子１００Ａは、図５に示すように、基板８上に実装されてよい。尚、図５に示す例では、水晶振動子１００Ａの近傍に周辺部品９が実装されている。
【００３４】
水晶振動子１００Ａは、図５に示すような基板８への実装状態において、容量調整を行うことができる。容量調整は、レーザ光を水晶振動子１００Ａの露出部９２１〜９２８に当てて、露出部９２１〜９２８の少なくともいずれかを削ることで実現できる。尚、露出部９２１〜９２８は、上述のように、水晶振動子１００Ａの表面に露出する態様で形成されており、レーザ光を容易に当てることができる。
【００３５】
例えば、露出部９２１にレーザ光を当てて露出部９２１を上下方向に物理的に切断することで、内部電極８０１と外部電極５１との間を切断できる。この場合、内部電極８０１がコンデンサとして機能しなくなるため、その分だけ、第１コンデンサ３０２の容量を低減できる。同様に、露出部９２５にレーザ光を当てて露出部９２５を上下方向に物理的に切断することで、内部電極８２１と外部電極５３との間を切断できる。この場合、内部電極８２１がコンデンサとして機能しなくなるため、その分だけ、第２コンデンサ３０４の容量を低減できる。このようにして本実施例１によれば、露出部９２１〜９２８を上下方向に物理的に切断するだけで、水晶振動子１００Ａのマッチングコンデンサ３００の容量を、比較的大きい低減量（物理的な切断範囲よりも有意に大きい低減量）で低減できる。かかる効果は、調整すべき容量（低減すべき容量）が比較的大きいときに有利となる。また、露出部９２１〜９２８は、上述のようにコンデンサ本体７０の前側面と後側面の２か所にそれぞれ形成されるので、レーザ光による切断の作業性が向上する。例えば、水晶振動子１００Ａの前側面に近接して他の部品（例えば周辺部品９）が配置される場合、周辺部品９の後側面の露出部９２１〜９２８を物理的に切断することで、容量調整を困難無く実現できる。
【００３６】
図５では、水晶振動子１００Ａの前側面の露出部９２１がレーザ光により物理的に切断された状態（矢印Ｐ１参照）が模式的に示される。図６は、図５に示すラインＢ−Ｂに沿った断面図である。
【００３７】
水晶振動子１００Ａの前側面の露出部９２１がレーザ光により物理的に切断されると、図６に示すように、導体部９１を介した内部電極８０１と外部電極５１との接続状態が切断される。即ち、内部電極８０１は、外部電極５１から切断される。この場合、上述のように、内部電極８０１がコンデンサとして機能しなくなるため、その分だけ、第１コンデンサ３０２の容量が低減される。
【００３８】
このようにして本実施例１によれば、水晶振動子１００Ａの実装後に、マッチングコンデンサ３００の容量を大きく低減できる。これにより、比較的調整量が大きくなった場合でも、効率的な調整を実現できる。
【００３９】
ところで、上述のように、一般的に、基板８上のパターン等の容量の影響で水晶振動子１００Ａの振動特性が変化するため、水晶振動子１００Ａの単品製造時に容量を調整するだけでは、実装後に水晶振動子１００Ａの所望の振動特性を得ることが難しい。
【００４０】
この点、本実施例１によれば、上述のように、水晶振動子１００Ａの実装後に、マッチングコンデンサ３００の容量を大きく低減できるので、実装後に水晶振動子１００Ａの所望の振動特性を得ることが容易となる。尚、水晶振動子１００Ａの振動特性は、プローブ等を用いて測定できる。従って、例えばユーザは、プローブ等を用いて水晶振動子１００Ａの振動特性を測定しつつ、上述のような容量調整を行うこととすればよい。
【００４１】
また、本実施例１によれば、露出部９２１〜９２８のそれぞれがコンデンサ本体７０の異なる側面（本実施例１では、一例として、前側面及び後側面）に形成されるので、いずれか一方の側面でレーザ光による容量調整作業を行うことができる。これにより、実装後に水晶振動子１００Ａに近接して周辺部品が存在する場合でも、水晶振動子１００Ａの容量調整作業を困難無く行うことが可能となる。
【００４２】
尚、本実施例１では、導体部９１〜９５が設けられる内部電極は、特定の内部電極（内部電極８０１、８０３、８２１等）であるが、導体部９１〜９５のような導体部が設けられる内部電極は、任意である。また、導体部９１〜９５のような導体部が設けられる内部電極の数も任意である。例えば、導体部９１〜９４のうちの任意の３つが省略されてもよい。
【００４３】
また、上述した実施例１では、導体部９１〜９５は、外部電極５１又は外部電極５３に接続される内部電極に対して設けられるが、これに代えて、同様の導体部が、外部電極５２又は外部電極５４に接続される内部電極に対して設けられてもよい。
【００４４】
また、上述した実施例１では、第１コンデンサ３０２に係る露出部９２１〜９２４は、互いに対して左右方向で異なる位置に形成されているが、同一の位置に形成されてもよい。また、第２コンデンサ３０４に係る露出部９２５〜９２８は、互いに対して左右方向で異なる位置に形成されてもよいし、同一の位置に形成されてもよい。
【００４５】
また、上述した実施例１では、導体部９１は２つの露出部９２１を有しているが、１つの露出部９２１のみを有してもよいし、更なる１つ以上の同様の露出部を含んでもよい。これは、他の導体部９２〜９５についても同様である。
【００４６】
［実施例２］
実施例２による水晶振動子は、上述した実施例１による水晶振動子１００Ａに対して、コンデンサ本体７０がコンデンサ本体７０Ｂで置換され、導体部９１、９２が導体部９１Ｂ、９２Ｂ（第１導体部又は第２導体部の他の一例）で置換された点が異なる。コンデンサ本体７０Ｂは、上述した実施例１によるコンデンサ本体７０に対して、内部電極８０１〜８０４が、内部電極８０１Ｂ〜８０４Ｂで置換された点が異なる。実施例２の説明においては、上述した実施例１と同一の構成要素については、同一の参照符号を付す。
【００４７】
図７Ａ及び図７Ｂは、実施例２によるコンデンサ本体７０Ｂの積層構造の説明図であり、コンデンサ本体７０Ｂの各層毎の上面図である。図７Ａ及び図７Ｂでは、導体部９１Ｂ、９２Ｂに関わる部分についてのみ図示されている。
【００４８】
コンデンサ本体７０Ｂは、マッチングコンデンサ３００（図１参照）を形成する。コンデンサ本体７０Ｂは、誘電体７２と、内部電極（例えば、内部電極８０１Ｂ〜８０４Ｂ、８２１、８２２）との積層構造を有する。
【００４９】
実施例２による内部電極８０１Ｂ〜８０４Ｂは、上述した実施例１による内部電極８０１〜８０４に対して、サイズ（面積）が異なる以外は実質的に同一である。具体的には、内部電極８０１Ｂ〜８０４Ｂは、内部電極８０１〜８０４よりも面積が小さい。内部電極８０１Ｂ、８０２Ｂは、面積が実質的に同じであり、内部電極８０３Ｂ、８０４Ｂは、面積が実質的に同じである。内部電極８０１Ｂ、８０２Ｂの各面積は、内部電極８０３Ｂ、８０４Ｂの各面積よりも小さい。
【００５０】
実施例２による導体部９１Ｂ、９２Ｂは、上述した実施例１による導体部９１、９２に対して、内部電極８０１Ｂ、８０３Ｂの面積の減少分だけ、内部電極８０１Ｂ、８０３Ｂとの接続のためのパターン（前後方向のパターン）が長い点が異なる。
【００５１】
本実施例２によっても、上述した実施例１と同様の効果が得られる。また、本実施例２によれば、異なる面積の内部電極（内部電極８０１Ｂ、８０３Ｂ等）のうちから、所望の面積の内部電極を選択して、選択した内部電極を外部電極５１から切断できる。これにより、調整（低減）する容量に応じた内部電極を外部電極５１から切断できる。即ち、上述した実施例２では、第１コンデンサ３０２に関して、少なくとも３種類の面積の異なる内部電極８０１Ｂ、８０３Ｂ、８０５（内部電極８０５については図示せず）を備えるので、多様な組み合わせで調整を行うことができる。この点、導体部９１Ｂ、９２Ｂのような導体部が設けられる内部電極であって、面積の異なる内部電極の数を、より多数設けることで、調整の自由度を更に高めることもできる。或いは、例えば内部電極８０３Ｂの面積を内部電極８０５の面積と同じにして、内部電極の面積を２種類のみとしてもよい。
【００５２】
尚、実施例２では、第１コンデンサ３０２に係る内部電極についてのみ上述した実施例１に対して変更されているが、第２コンデンサ３０４に係る内部電極についても同様に変更されてよい。
【００５３】
［実施例３］
実施例３による水晶振動子は、上述した実施例１による水晶振動子１００Ａに対して、コンデンサ本体７０がコンデンサ本体７０Ｃで置換され、導体部９１、９２が導体部９１Ｃ、９２Ｃ（第１導体部又は第２導体部の他の一例）で置換された点が異なる。コンデンサ本体７０Ｃは、上述した実施例１によるコンデンサ本体７０に対して、内部電極８０１、８０３が、内部電極８０１Ｃ、８０３Ｃで置換された点が異なる。実施例３の説明においては、上述した実施例１と同一の構成要素については、同一の参照符号を付す。
【００５４】
図８Ａ及び図８Ｂは、実施例３によるコンデンサ本体７０Ｃの積層構造の説明図であり、コンデンサ本体７０Ｃの各層毎の上面図である。図８Ａ及び図８Ｂでは、導体部９１Ｃ、９２Ｃに関わる部分についてのみ図示されている。
【００５５】
コンデンサ本体７０Ｃは、マッチングコンデンサ３００（図１参照）を形成する。コンデンサ本体７０Ｃは、誘電体７２と、内部電極（例えば、内部電極８０１Ｃ、８０２、８０３Ｃ、８０４、８２１、８２２）との積層構造を有する。
【００５６】
実施例３による内部電極８０１Ｃ、８０３Ｃは、上述した実施例１による内部電極８０１、８０３に対して、２つの分割部を備える以外は実質的に同一である。具体的には、内部電極８０１Ｃは、第１分割部８０１１と、第２分割部８０１２とを含む。第１分割部８０１１及び第２分割部８０１２は、左右方向で分離される。第１分割部８０１１及び第２分割部８０１２は、内部電極８０２の左右方向の各半分に対して上下方向に対向するように配置される。図８Ａに示す例では、第１分割部８０１１及び第２分割部８０１２は、左右方向に並んで形成されるが、他の態様で配置されてもよい。また、図８Ａに示す例では、第１分割部８０１１及び第２分割部８０１２は同一の面積を有するが、異なる面積を有してもよい。同様に、内部電極８０３Ｃは、第１分割部８０３１と、第２分割部８０３２とを含む。第１分割部８０３１及び第２分割部８０３２は、左右方向で分離される。第１分割部８０３１及び第２分割部８０３２は、内部電極８０４の左右方向の各半分に対して上下方向に対向するように配置される。図８Ｂに示す例では、第１分割部８０３１及び第２分割部８０３２は、左右方向に並んで形成されるが、他の態様で配置されてもよい。また、図８Ｂに示す例では、第１分割部８０３１及び第２分割部８０３２は同一の面積を有するが、異なる面積を有してもよい。
【００５７】
実施例３による導体部９１Ｃ、９２Ｃは、上述した実施例１による導体部９１、９２に対して、本体部９１０、９２０が本体部９１０Ｃ、９２０Ｃで置換された点が異なる。
【００５８】
本体部９１０Ｃは、一端が内部電極８０１Ｃに接続され、他端が外部電極５１に接続される。本体部９１０Ｃの一端（内部電極８０１Ｃに接続される側の端部）は、第１端部９１１と、第２端部９１２とを含む。第１端部９１１は、第１分割部８０１１に接続され、第２端部９１２は、第２分割部８０１２に接続される。図８Ａに示す例では、本体部９１０Ｃは、第１端部９１１から前側面の露出部９２１に向かって前後方向に延在する部位と、前側面の露出部９２１から内部電極層７２４−１Ｃの左前端に向かって左右方向の延在する部位とを含む。また、本体部９１０Ｃは、第２端部９１２から後側面の露出部９２１に向かって前後方向に延在する部位と、後側面の露出部９２１から左後端に向かって左右方向の延在する部位と、左後端から左前端に向かって前後方向に延在する部位とを含む。尚、図８Ａに示す例では、本体部９１０Ｃは、第１端部９１１及び第２端部９１２から合流して外部電極５１に導体部５１１（図８Ａでは図示せず）を介して接続される。但し、本体部９１０Ｃは、第１端部９１１及び第２端部９１２のそれぞれから別の経路で外部電極５１に導体部５１１（図８Ａでは図示せず）を介して接続されてもよい。
【００５９】
本体部９２０Ｃは、一端が内部電極８０３Ｃに接続され、他端が外部電極５１に接続される。本体部９２０Ｃの一端（内部電極８０３Ｃに接続される側の端部）は、第１端部９１３と、第２端部９１４とを含む。第１端部９１３は、第１分割部８０３１に接続され、第２端部９１４は、第２分割部８０３２に接続される。図８Ａに示す例では、本体部９２０Ｃは、第１端部９１３から前側面の露出部９２２に向かって前後方向に延在する部位と、前側面の露出部９２２から内部電極層７２４−３Ｃの左前端に向かって左右方向の延在する部位とを含む。また、本体部９２０Ｃは、第２端部９１４から後側面の露出部９２２に向かって前後方向に延在する部位と、後側面の露出部９２２から左後端に向かって左右方向の延在する部位と、左後端から左前端に向かって前後方向に延在する部位とを含む。尚、図８Ａに示す例では、本体部９２０Ｃは、第１端部９１３及び第２端部９１４から合流して外部電極５１に導体部５１１（図８Ａでは図示せず）を介して接続される。但し、本体部９２０Ｃは、第１端部９１３及び第２端部９１４のそれぞれから別の経路で外部電極５１に導体部５１１（図８Ａでは図示せず）を介して接続されてもよい。
【００６０】
本実施例３によっても、上述した実施例１と同様の効果が得られる。また、本実施例３によれば、１つの内部電極８０１Ｃに対して、第１分割部８０１１及び第２分割部８０１２のいずれか一方又は双方を選択的に外部電極５１から切断できる。これにより、調整（低減）する容量に応じた内部電極の部位を外部電極５１から切断できる。即ち、上述した実施例３では、外部電極５１から切断する分割部の組み合わせに応じた多様な調整を行うことができる。この点、１つの内部電極（例えば内部電極８０１Ｃ）に対する分割数や、内部電極８０１Ｃと同様の構成を有する内部電極の数を、より多くすることで、調整の自由度を更に高めることもできる。或いは、例えば、内部電極８０３Ｂを内部電極８０５と同じ構成として、第１コンデンサ３０２の容量低減のための切断可能な内部電極を、内部電極８０１Ｃのみとしてもよい。
【００６１】
尚、実施例３では、第１コンデンサ３０２に係る内部電極についてのみ上述した実施例１に対して変更されているが、第２コンデンサ３０４に係る内部電極についても同様に変更されてよい。
【００６２】
［実施例４］
図９は、実施例４による水晶振動子１００Ｄの５面図である。図９における上面図では、筐体３０内の構成（水晶片１０等）が透視で示されている。図１０Ａは、図９のラインＡ１−Ａ１に沿った断面図である。図１０Ｂは、図９のラインＢ１−Ｂ１に沿った断面図である。尚、図１０Ａでは、複数の内部電極のうちの一部のみが示されている。また、図１０Ｂでは、図１０Ａとは異なり、本体部９２０Ｄなどの厚みが模式的に表されている。
【００６３】
水晶振動子１００Ｄは、上述した実施例１による水晶振動子１００Ａに対して、コンデンサ本体７０がコンデンサ本体７０Ｄで置換され、導体部９１〜９５が導体部９１Ｄ〜９６Ｄ（第１導体部又は第２導体部の他の一例）で置換された点が異なる。水晶振動子１００Ｄは、上述した実施例１による水晶振動子１００Ａに対して、外部電極５１、５３が外部電極５１Ｄ、５３Ｄで置換された点が異なる。また、水晶振動子１００Ｄは、上述した実施例１による水晶振動子１００Ａに対して、外部電極５２、５４に接続される側面電極５２１，５４１の位置がそれぞれ上下で反転されている点が異なる。
【００６４】
外部電極５１Ｄ、５３Ｄは、それぞれ、図１に示した第１電極２４１及び第３電極２４３を形成する。外部電極５１Ｄは、コンデンサ本体７０の左側面に形成される側面電極５１２と、コンデンサ本体７０の底面の左前側に形成される底面電極５１３とを含む。外部電極５３Ｄは、コンデンサ本体７０の右側面に形成される側面電極５３２と、コンデンサ本体７０の底面の右後側に形成される底面電極５３３とを含む。
【００６５】
コンデンサ本体７０Ｄは、マッチングコンデンサ３００（図１参照）を形成する。コンデンサ本体７０Ｄは、誘電体７２と、内部電極（例えば、内部電極８０１〜８０５、８２１〜８２５）との積層構造を有する。尚、内部電極のうちの一部（内部電極８０１〜８０５）については、後述の図１１Ａ及び図１１Ｂに図示される。
【００６６】
導体部９１Ｄ〜９６Ｄは、コンデンサ本体７０Ｄの内層及び表面に形成される。但し、導体部９１Ｄ〜９６Ｄの一部（後述の露出部９３１〜９３６（第１及び第２露出部の一例））は、コンデンサ本体７０Ｄの表面に形成されてもよい。
【００６７】
図１１Ａ及び図１１Ｂは、コンデンサ本体７０Ｄの積層構造の説明図であり、コンデンサ本体７０Ｄの各層毎の上面図である。図１１Ａ及び図１１Ｂでは、導体部９１Ｄ〜９６Ｄのうちの、導体部９１Ｄ〜９３Ｄについてのみ図示されている。導体部９４Ｄ〜９６Ｄは、導体部９１Ｄ〜９３Ｄのそれぞれに対して、上面視で、中心Ｃに関して点対称となる態様で形成されてよい。
【００６８】
コンデンサ本体７０Ｄは、図１１Ａ及び図１１Ｂに示すように、誘電体７２により形成される誘電体層と、内部電極が形成される内部電極層とが交互に積層された積層構造を有する。誘電体層は、図１１Ａ及び図１１Ｂに示すように、誘電体層７２２−０〜７２２−４を含む。内部電極層は、図１１Ａ及び図１１Ｂに示すように、内部電極層７２４−１Ｄ〜７２４−５Ｄを含む。
【００６９】
コンデンサ本体７０の上面を形成する誘電体層７２２−０には、露出部９３１〜９３６が形成される。露出部９３１〜９３６は、例えば、誘電体層７２２−０の上面に導体パターンをプリントすることで形成される。誘電体層７２２−０、７２２−１には、露出部９３１〜９３６のそれぞれに接続される各第１ビア部９３１１〜９３６１及び各第２ビア部９３１２〜９３６２が形成される。誘電体層７２２−２には、露出部９３２〜９３６のそれぞれに接続される各第１ビア部９３２１〜９３６１及び各第２ビア部９３２２〜９３６２が形成される。誘電体層７２２−３、７２２−４には、露出部９３３〜９３６のそれぞれに接続される各第１ビア部９３３１〜９３６１及び各第２ビア部９３３２〜９３６２が形成される。
【００７０】
内部電極層７２４−１Ｄには、内部電極８０１及び導体部９１Ｄが形成され、内部電極層７２４−２Ｄには、内部電極８０２が形成され、内部電極層７２４−１Ｄ及び内部電極層７２４−２Ｄの間には、誘電体層７２２−１が挟まれる。また、内部電極層７２４−１Ｄ及び内部電極層７２４−２Ｄには、各第１ビア部９３２１〜９３６１及び各第２ビア部９３２２〜９３６２が形成される。尚、内部電極８０２は、導体パターン８０２１を介して外部電極５４に接続される。内部電極８０１及び導体部９１Ｄは、例えば誘電体層上に導体をプリントすることにより形成されてよい。同様に、内部電極８０２及び導体パターン８０２１は、例えば誘電体層上に導体をプリントすることにより形成されてよい。以下同様にして、内部電極８０３、８０４に係るコンデンサ等が形成されている。
【００７１】
導体部９１Ｄは、図１０Ｂ及び図１１Ａに示すように、第１本体部９１１１及び第２本体部９１１２と、第１ビア部９３１１及び第２ビア部９３１２と、露出部９３１とを含む。導体部９１Ｄは、一端が内部電極８０１に接続され、他端が外部電極５３Ｄに接続される。図１１Ａに示す例では、第１本体部９１１１の一端が内部電極８０１に接続され、第２本体部９１１２の一端が外部電極５３Ｄに接続される。第１本体部９１１１の他端と第２本体部９１１２の他端とは、離間される。尚、図１１Ａに示す例では、第１本体部９１１１の他端と第２本体部９１１２の他端とは、左右方向で離間されるが、他の方向で離間されてもよい。第１本体部９１１１の他端には、第１ビア部９３１１が接続され、第２本体部９１１２の他端には、第２ビア部９３１２が接続される。第１ビア部９３１１及び第２ビア部９３１２は、離間される。尚、図１１Ａに示す例では、第１ビア部９３１１及び第２ビア部９３１２とは、第１本体部９１１１と第２本体部９１１２の離間方向に対応して、左右方向で離間されるが、他の方向で離間されてもよい。第１ビア部９３１１は、コンデンサ本体７０Ｄの内層を上下方向に延在し、下側端部が第１本体部９１１１に接続され、上側端部が露出部９３１に接続される。第２ビア部９３１２は、コンデンサ本体７０Ｄの内層を上下方向に延在し、下側端部が第２本体部９１１２に接続され、上側端部が露出部９３１に接続される。第１ビア部９３１１の露出部９３１との接続位置と、第２ビア部９３１２の露出部９３１との接続位置とは、離間される。尚、図１１Ａに示す例では、第１ビア部９３１１の露出部９３１との接続位置と、第２ビア部９３１２の露出部９３１との接続位置とは、第１本体部９１１１と第２本体部９１１２の離間方向に対応して、左右方向で離間されるが、他の方向で離間されてもよい。このようにして、導体部９１Ｄは、内部電極８０１から外部電極５３Ｄに向かう経路に沿って、第１本体部９１１１、第１ビア部９３１１、露出部９３１、第２ビア部９３１２、及び第２本体部９１１２を備える。第１本体部９１１１及び第２本体部９１１２は、露出部９３１が形成されない状態では、内部電極８０１と外部電極５３Ｄとを導通させない。他方、第１本体部９１１１及び第２本体部９１１２は、露出部９３１が形成された状態（かつ、後述の物理的な切断がなされていない状態）では、内部電極８０１と外部電極５３Ｄとを導通させる。
【００７２】
導体部９２Ｄは、図１１Ｂに示すように、第１本体部９２１１及び第２本体部９２１２と、第１ビア部９３２１及び第２ビア部９３２２と、露出部９３２とを含む。導体部９２Ｄは、一端が内部電極８０３に接続され、他端が外部電極５３Ｄに接続される。図１１Ｂに示す例では、第１本体部９２１１の一端が内部電極８０３に接続され、第２本体部９２１２の一端が外部電極５３Ｄに接続される。第１本体部９２１１の他端と第２本体部９２１２の他端とは、離間される。尚、図１１Ｂに示す例では、第１本体部９２１１の他端と第２本体部９２１２の他端とは、左右方向で離間されるが、他の方向で離間されてもよい。第１本体部９２１１の他端には、第１ビア部９３２１が接続され、第２本体部９２１２の他端には、第２ビア部９３２２が接続される。第１ビア部９３２１及び第２ビア部９３２２は、離間される。尚、図１１Ｂに示す例では、第１ビア部９３２１及び第２ビア部９３２２とは、第１本体部９２１１と第２本体部９２１２の離間方向に対応して、左右方向で離間されるが、他の方向で離間されてもよい。第１ビア部９３２１は、コンデンサ本体７０Ｄの内層を上下方向に延在し、下側端部が第１本体部９２１１に接続され、上側端部が露出部９３２に接続される。第２ビア部９３２２は、コンデンサ本体７０Ｄの内層を上下方向に延在し、下側端部が第２本体部９２１２に接続され、上側端部が露出部９３２に接続される。第１ビア部９３２１の露出部９３２との接続位置と、第２ビア部９３２２の露出部９３２との接続位置とは、離間される。尚、図１１Ｂに示す例では、第１ビア部９３２１の露出部９３２との接続位置と、第２ビア部９３２２の露出部９３２との接続位置とは、第１本体部９２１１と第２本体部９２１２の離間方向に対応して、左右方向で離間されるが、他の方向で離間されてもよい。このようにして、導体部９２Ｄは、内部電極８０３から外部電極５３Ｄに向かう経路に沿って、第１本体部９２１１、第１ビア部９３２１、露出部９３２、第２ビア部９３２２、及び第２本体部９２１２を備える。第１本体部９２１１及び第２本体部９２１２は、露出部９３２が形成されない状態では、内部電極８０３と外部電極５３Ｄとを導通させない。他方、第１本体部９２１１及び第２本体部９２１２は、露出部９３２が形成された状態（かつ、後述の物理的な切断がなされていない状態）では、内部電極８０３と外部電極５３Ｄとを導通させる。
【００７３】
導体部９３Ｄは、図１１Ｂに示すように、第１本体部９２１３及び第２本体部９２１４と、第１ビア部９３３１及び第２ビア部９３３２と、露出部９３３とを含む。導体部９３Ｄは、一端が内部電極８０５に接続され、他端が外部電極５３Ｄに接続される。図１１Ｂに示す例では、第１本体部９２１３の一端が内部電極８０５に接続され、第２本体部９２１４の一端が外部電極５３Ｄに接続される。第１本体部９２１３の他端と第２本体部９２１４の他端とは、離間される。尚、図１１Ｂに示す例では、第１本体部９２１３の他端と第２本体部９２１４の他端とは、左右方向で離間されるが、他の方向で離間されてもよい。第１本体部９２１３の他端には、第１ビア部９３３１が接続され、第２本体部９２１４の他端には、第２ビア部９３３２が接続される。第１ビア部９３３１及び第２ビア部９３３２は、離間される。尚、図１１Ｂに示す例では、第１ビア部９３３１及び第２ビア部９３３２とは、第１本体部９２１３と第２本体部９２１４の離間方向に対応して、左右方向で離間されるが、他の方向で離間されてもよい。第１ビア部９３３１は、コンデンサ本体７０Ｄの内層を上下方向に延在し、下側端部が第１本体部９２１３に接続され、上側端部が露出部９３３に接続される。第２ビア部９３３２は、コンデンサ本体７０Ｄの内層を上下方向に延在し、下側端部が第２本体部９２１４に接続され、上側端部が露出部９３３に接続される。第１ビア部９３３１の露出部９３３との接続位置と、第２ビア部９３３２の露出部９３３との接続位置とは、離間される。尚、図１１Ｂに示す例では、第１ビア部９３３１の露出部９３３との接続位置と、第２ビア部９３３２の露出部９３３との接続位置とは、第１本体部９２１３と第２本体部９２１４の離間方向に対応して、左右方向で離間されるが、他の方向で離間されてもよい。このようにして、導体部９３Ｄは、内部電極８０５から外部電極５３Ｄに向かう経路に沿って、第１本体部９２１３、第１ビア部９３３１、露出部９３３、第２ビア部９３３２、及び第２本体部９２１４を備える。第１本体部９２１３及び第２本体部９２１４は、露出部９３３が形成されない状態では、内部電極８０５と外部電極５３Ｄとを導通させない。他方、第１本体部９２１３及び第２本体部９２１４は、露出部９３３が形成された状態（かつ、後述の物理的な切断がなされていない状態）では、内部電極８０５と外部電極５３Ｄとを導通させる。
【００７４】
図１２は、水晶振動子１００Ｄの実装状態の一例を示す図である。水晶振動子１００Ｄは、図１２に示すように、基板８上に実装されてよい。尚、図１２に示す例では、水晶振動子１００Ｄの近傍に周辺部品９が実装されている。
【００７５】
水晶振動子１００Ｄは、図１２に示すような基板８への実装状態において、容量調整を行うことができる。容量調整は、図１２に模式的に矢印Ｌ１で示すように、レーザ光を水晶振動子１００Ｄの上方から当てて、露出部９３１〜９３６のいずれか１つ以上を削ることで実現できる。露出部９３１〜９３６は、上述のように、上面視でコンデンサ本体７０Ｄの上面（筐体３０が配置されず、外部に露出された表面）に形成されており、レーザ光を容易に当てることができる。
【００７６】
例えば、露出部９３１にレーザ光を当てて露出部９３１を前後方向に物理的に切断することで、内部電極８０１と外部電極５３Ｄとの間を切断できる。この場合、内部電極８０１がコンデンサとして機能しなくなるため、その分だけ、第２コンデンサ３０４の容量を低減できる。同様に、露出部９３４にレーザ光を当てて露出部９３４を前後方向に物理的に切断することで、第１コンデンサ３０２の容量を同様に低減できる。
【００７７】
図１３では、水晶振動子１００Ｄの露出部９３１がレーザ光により物理的に切断された状態（矢印Ｐ２参照）が模式的に示される。図１３は、図９に示すラインＢ１−Ｂ１に沿った断面図である。
【００７８】
水晶振動子１００Ｄの露出部９３１がレーザ光により物理的に切断されると、図１３に示すように、導体部９１Ｄを介した内部電極８０１と外部電極５３Ｄとの接続状態が切断される。即ち、内部電極８０１は、外部電極５３Ｄから切断される。この場合、上述のように、内部電極８０１がコンデンサとして機能しなくなるため、その分だけ、第２コンデンサ３０４の容量が低減される。
【００７９】
このようにして本実施例４によれば、上述した実施例１と同様、水晶振動子１００Ｄの実装後に、マッチングコンデンサ３００の容量を大きく低減できる。これにより、比較的調整量が大きくなった場合でも、効率的な調整を実現できる。
【００８０】
尚、本実施例４では、導体部９１Ｄ〜９６Ｄが設けられる内部電極は、特定の内部電極（内部電極８０１、８０３等）であるが、導体部９１Ｄ〜９６Ｄのような導体部が設けられる内部電極は、任意である。また、導体部９１Ｄ〜９６Ｄのような導体部が設けられる内部電極の数も任意である。
【００８１】
また、上述した実施例４では、導体部９１Ｄ〜９６Ｄは、外部電極５１Ｄ又は外部電極５３Ｄに接続される内部電極に対して設けられるが、これに代えて、同様の導体部が、外部電極５２又は外部電極５４に接続される内部電極に対して設けられてもよい。
【００８２】
また、上述した実施例４では、導体部９１Ｄは１つの露出部９３１を有しているが、２つ以上の露出部９３１を有してもよい。これは、他の導体部９２Ｄ〜９６Ｄについても同様である。
【００８３】
［実施例５］
実施例５による水晶振動子は、上述した実施例４による水晶振動子１００Ｄに対して、コンデンサ本体７０Ｄがコンデンサ本体７０Ｅで置換された点が異なる。また、実施例５による水晶振動子は、上述した実施例４による水晶振動子１００Ｄに対して、導体部９１Ｄ、９２Ｄ、９４Ｄ、９５Ｄが導体部９１Ｅ、９２Ｅ、９４Ｅ、９５Ｅ（第１導体部又は第２導体部の他の一例）で置換された点が異なる。コンデンサ本体７０Ｅは、上述した実施例４によるコンデンサ本体７０Ｄに対して、内部電極８０１〜８０４、８２１〜８２５が、内部電極８０１Ｅ〜８０４Ｅ、８２１Ｅ〜８２４Ｅで置換された点が異なる。実施例５の説明においては、上述した実施例４と同一の構成要素については、同一の参照符号を付す。
【００８４】
図１４Ａ及び図１４Ｂは、実施例５によるコンデンサ本体７０Ｅの積層構造の説明図であり、コンデンサ本体７０Ｅの各層毎の上面図である。図１４Ａ及び図１４Ｂでは、導体部９１Ｅ〜９６Ｅのうちの、導体部９１Ｅ、９２Ｅ、９３についてのみ図示されている。導体部９４Ｅ、９５Ｅ、９６は、導体部９１Ｅ、９２Ｅ、９３のそれぞれに対して、上面視で、中心Ｃに関して点対称となる態様で形成されてよい。また、図１４Ａ及び図１４Ｂでは、内部電極８０１Ｅ〜８０４Ｅについてのみ図示されている。内部電極８２１Ｅ〜８２４Ｅは、内部電極８０１Ｅ〜８０４Ｅのそれぞれに対して、上面視で、中心Ｃに関して点対称となる態様で形成されてよい。
【００８５】
実施例５による内部電極８０１Ｅ〜８０４Ｅは、上述した実施例４による内部電極８０１〜８０４に対して、サイズ（面積）が異なる以外は実質的に同一である。具体的には、内部電極８０１Ｅ〜８０４Ｅは、内部電極８０１〜８０４よりも面積が小さい。内部電極８０１Ｅ、８０２Ｅは、面積が実質的に同じであり、内部電極８０３Ｅ、８０４Ｅは、面積が実質的に同じである。内部電極８０１Ｅ、８０２Ｅの各面積は、内部電極８０３Ｅ、８０４Ｅの各面積よりも小さい。
【００８６】
実施例５による導体部９１Ｅ、９２Ｅは、上述した実施例４による導体部９１Ｄ、９２Ｄに対して、内部電極８０１Ｅ、８０３Ｅの面積の減少分だけ、内部電極８０１Ｅ、８０３Ｅとの接続のためのパターン（第１本体部９１１１、９２１１）が長い点が異なる。
【００８７】
本実施例５によれば、上述した実施例２と同様の効果が得られる。即ち、本実施例５によれば、異なる面積の内部電極（内部電極８０１Ｅ、８０３Ｅ等）のうちから、所望の面積の内部電極を選択して、選択した内部電極を外部電極５３Ｄから切断できる。これにより、調整（低減）する容量に応じた内部電極を外部電極５３Ｄから切断できる。即ち、上述した実施例５では、第１コンデンサ３０２に関して、少なくとも３種類の面積の異なる内部電極８０１Ｅ、８０３Ｅ、８０５を備えるので、多様な組み合わせで調整を行うことができる。この点、導体部９１Ｅ、９２Ｅ、９３Ｄのような導体部が設けられる内部電極であって、面積の異なる内部電極の数を、より多数設けることで、調整の自由度を更に高めることもできる。或いは、例えば内部電極８０３Ｅの面積を内部電極８０５の面積と同じにして、内部電極の面積を２種類のみとしてもよい。
【００８８】
尚、実施例５では、第２コンデンサ３０４に係る内部電極についてのみ上述した実施例４に対して変更されているが、第１コンデンサ３０２に係る内部電極についても同様に変更されてよい。
【００８９】
以上、各実施例について詳述したが、特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された範囲内において、種々の変形及び変更が可能である。また、前述した実施例の構成要素を全部又は複数を組み合わせることも可能である。
【００９０】
なお、以上の実施例に関し、さらに以下の付記を開示する。
（付記１）
水晶片と、
誘電体と複数の内部電極との積層構造を有するコンデンサ本体と、
前記コンデンサ本体の表面に設けられる外部電極と、
前記水晶片に設けられ、前記コンデンサ本体を介してグランドに電気的に接続される励振電極と、
前記コンデンサ本体に設けられ、複数の前記内部電極のうちの１つの第１内部電極に一端が電気的に接続され、前記外部電極に他端が電気的に接続され、前記一端と前記他端との間に、前記コンデンサ本体の表面に露出する露出部を含む第１導体部と、
を含む水晶振動子。
（付記２）
前記第１露出部には、前記一端と前記他端の間を電気的に切断させる切断部が形成されている、付記１に記載の水晶振動子。
（付記３）
前記コンデンサ本体に設けられ、複数の前記内部電極のうちの他の１つの第２内部電極に一端が電気的に接続され、前記外部電極に他端が電気的に接続され、前記一端と前記他端との間に、前記コンデンサ本体の表面に露出する第２露出部を有する第２導体部と、
を更に含む付記１に記載の水晶振動子。
（付記４）
前記第１露出部及び前記第２露出部のうちの少なくともいずれか一方には、前記一端と前記他端の間を電気的に切断させる切断部が形成されている、付記３に記載の水晶振動子。
（付記５）
前記第１内部電極と前記第２内部電極とは、面積が異なる、付記３又は４に記載の水晶振動子。
（付記６）
前記第１露出部は、前記コンデンサ本体の表面における第１の個所と、前記コンデンサ本体の表面における前記第１の個所とは異なる第２の個所とにそれぞれ形成される、付記１に記載の水晶振動子。
（付記７）
前記第１露出部は、前記コンデンサ本体の積層方向に対して垂直な方向を側方としたとき、前記コンデンサ本体の第１側面と、前記コンデンサ本体の前記第１側面に対向する第２側面とにそれぞれ形成される、付記６に記載の水晶振動子。
（付記８）
前記第１内部電極は、第１分割部と、第２分割部とを含み、
前記第１導体部の前記一端は、前記第１分割部に電気的に接続される第１端部と、前記第２分割部に電気的に接続される第２端部とを含み、
前記第１の個所に形成される前記第１露出部は、前記第１導体部における前記第１端部と前記他端との間に設けられ、
前記第２の個所に形成される前記第１露出部は、前記第１導体部における前記第２端部と前記他端との間に設けられる、付記６又は７に記載の水晶振動子。
（付記９）
前記第１露出部は、前記コンデンサ本体の積層方向で第１側の表面に形成され、
前記第１導体部は、
前記コンデンサ本体の内層に形成され、前記一端を形成する第１本体部と、
前記コンデンサ本体の内層に前記第１本体部から離れて形成され、前記他端を形成する第２本体部と、
前記コンデンサ本体の積層方向に延在し、前記第１側の表面で前記第１露出部の一部に電気的に接続されると共に、前記第１本体部に電気的に接続される第１接続部と、
前記コンデンサ本体の積層方向に延在し、前記第１側の表面で前記第１露出部の他の一部に電気的に接続されると共に、前記第２本体部に電気的に接続される第２接続部とを更に含む、付記１又は２に記載の水晶振動子。
（付記１０）
前記第１露出部、及び、前記第２露出部のそれぞれは、前記コンデンサ本体の積層方向で第１側の表面に形成され、
前記第１導体部、及び、前記第２導体部は、それぞれ、
前記コンデンサ本体の内層に形成され、前記一端を形成する第１本体部と、
前記コンデンサ本体の内層に前記第１本体部から離れて形成され、前記他端を形成する第２本体部と、
前記コンデンサ本体の内層に形成され、前記コンデンサ本体の積層方向に延在し、前記第１側の表面で前記第１露出部の一部に電気的に接続されると共に、前記第１本体部に電気的に接続される第１接続部と、
前記コンデンサ本体の内層に形成され、前記コンデンサ本体の積層方向に延在し、前記第１側の表面で前記第１露出部の他の一部に電気的に接続されると共に、前記第２本体部に電気的に接続される第２接続部とを更に含む、付記３〜５のうちのいずれか１項に記載の水晶振動子。
（付記１１）
前記第１側面に形成される前記第１露出部と、前記第２側面に形成される前記第１露出部とは、前記コンデンサ本体の積層方向に視たとき、前記コンデンサ本体の中心に関して点対称に位置する、付記７に記載の水晶振動子。
（付記１２）
前記第１露出部及び前記第２露出部は、前記コンデンサ本体の積層方向に垂直な方向でオフセットされる、付記３〜５、１０のうちのいずれか１項に記載の水晶振動子。
（付記１３）
水晶片と、誘電体と複数の内部電極との積層構造を有するコンデンサ本体と、前記コンデンサ本体の表面に設けられる外部電極と、前記水晶片に設けられ、前記コンデンサ本体を介してグランドに電気的に接続される励振電極と、前記コンデンサ本体に設けられ、複数の前記内部電極のうちの１つの第１内部電極に一端が電気的に接続され、前記外部電極に他端が電気的に接続され、前記一端と前記他端との間に、前記コンデンサ本体の表面に露出する第１露出部を含む第１導体部と、を含む水晶振動子の調整方法であって、
前記水晶振動子の実装後に前記第１導体部にレーザ光を照射することで、前記第１導体部を物理的に切断することを含む、水晶振動子の調整方法。
【符号の説明】
【００９１】
１０  水晶片
２１  上側励振電極
２２  下側励振電極
５１〜５４、５１Ｄ、５３Ｄ  外部電極
７０、７０Ｂ、７０Ｃ、７０Ｄ、７０Ｅ  コンデンサ本体
７２  誘電体  
９１〜９５、９１Ｂ、９２Ｂ、９１Ｃ、９２Ｃ、９１Ｄ〜９６Ｄ、９１Ｅ〜９６Ｅ    導体部
１００、１００Ａ、１００Ｄ    水晶振動子
８０１〜８０５、８２１〜８２５、８０１Ｂ〜８０４Ｂ、８０１Ｃ、８０２、８０３Ｃ、８０１Ｃ、８０２、８０３Ｃ、８２１Ｅ〜８２４Ｅ  内部電極
９１０、９２０、９１０Ｃ、９２０Ｃ    本体部
９２１〜９２８、９３１〜９３６    露出部
９５０  本体部  
８０１１、８０３１    第１分割部
８０１２、８０３２    第２分割部
９１１、９１３  第１端部
９１２、９１４  第２端部
９１１１、９２１１、９２１３  第１本体部
９１１２、９２１２、９２１４第２本体部
９３１１〜９３６１、９３２１〜９３６１、９３３１〜９３６１    第１ビア部
９３１２〜９３６２、９３２２〜９３６２、９３３１〜９３６１    第２ビア部
【図１】
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【図３】
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【図５】
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【図６】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１２】
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【図１３】
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【図２】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
2017073647.tif 000013
【図７Ａ】
2017073647.tif 000014
【図７Ｂ】
2017073647.tif 000015
【図８Ａ】
2017073647.tif 000016
【図８Ｂ】
2017073647.tif 000017
【図９】
2017073647.tif 000018
【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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