(57)【要約】【課題】装置の小型化ができるシート処理装置および処理方法を提供すること。【解決手段】シート処理装置１０は、第２接着シートＡＳ２を供給する供給手段２０と、供給手段２０と被着体ＷＦとを相対移動させる搬送手段３０と、搬送手段３０によってシート貼付方向へ相対移動される被着体ＷＦの他方の面に、供給手段２０で供給される第２接着シートＡＳ２を貼付する貼付手段４０と、被着体ＷＦに貼付された第１接着シートＡＳ１を保持して剥離する剥離手段５０とを備え、搬送手段３０は、シート貼付方向の逆方向であるシート剥離方向へ剥離手段５０と被着体ＷＦとを相対移動可能に設けられ、剥離手段５０は、搬送手段３０によってシート剥離方向へ相対移動される被着体ＷＦに貼付された第１接着シートＡＳ１を保持し、当該第１接着シートＡＳ１を被着体ＷＦから剥離する。【選択図】図１
2017163090.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着体の一方の面に第１接着シートが貼付された当該被着体の他方の面に第２接着シートを貼付するとともに、前記被着体から前記第１接着シートを剥離するシート処理装置において、
前記第２接着シートを供給する供給手段と、
前記供給手段と被着体とを相対移動させる搬送手段と、
前記搬送手段によってシート貼付方向へ相対移動される前記被着体の他方の面に、前記供給手段で供給される前記第２接着シートを貼付する貼付手段と、
前記被着体に貼付された第１接着シートを保持して剥離する剥離手段とを備え、
前記搬送手段は、前記シート貼付方向の逆方向であるシート剥離方向へ前記剥離手段と被着体とを相対移動可能に設けられ、
前記剥離手段は、前記搬送手段によって前記シート剥離方向へ相対移動される前記被着体に貼付された第１接着シートを保持し、当該第１接着シートを前記被着体から剥離することを特徴とするシート処理装置。
【請求項２】
前記搬送手段は、前記剥離手段を備えた第１支持手段と、前記被着体を支持する第２支持手段とを備え、前記搬送手段が前記第１支持手段と前記第２支持手段とを前記シート剥離方向へ相対移動させることで、前記剥離手段が前記被着体から前記第１接着シートを剥離することを特徴とする請求項１に記載のシート処理装置。
【請求項３】
前記第１接着シートの剥離角度を調整する剥離角度調整手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート処理装置。
【請求項４】
被着体の一方の面に第１接着シートが貼付された当該被着体の他方の面に第２接着シートを貼付するとともに、前記被着体から前記第１接着シートを剥離するシート処理方法において、
前記第２接着シートを供給手段で供給する供給工程と、
前記供給手段と被着体とを相対移動させる搬送工程と、
前記搬送工程によってシート貼付方向へ相対移動される前記被着体の他方の面に、前記供給手段で供給される前記第２接着シートを貼付する貼付工程と、
前記被着体に貼付された第１接着シートを剥離手段で保持して剥離する剥離工程とを有し、
前記剥離工程では、前記シート貼付方向の逆方向であるシート剥離方向へ前記剥離手段と被着体とを相対移動させ、当該第１接着シートを前記被着体から剥離することを特徴とするシート処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート処理装置および処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、一方の面に第１接着シートが貼付された被着体の他方の面に第２接着シートを貼付し、当該被着体から第１接着シートを剥離する装置は、例えば、特許文献１に記載のようなものが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１６５２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された従来の装置では、貼付手段（供給手段）によって接着シート（第２接着シート）が供給された方向と同じ方向に被加工物（被着体）を搬送しつつ、剥離手段によって被着体から保護シート（第１接着シート）を剥離する構成なので、例えば、供給手段と剥離手段とを接近させて、それらが占めるスペースを縮小したとしても、剥離手段で第１接着シートが剥離された被着体を排出するスペースが必要なため、装置の小型化ができないという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、装置の小型化ができるシート処理装置および処理方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明のシート処理装置は、被着体の一方の面に第１接着シートが貼付された当該被着体の他方の面に第２接着シートを貼付するとともに、前記被着体から前記第１接着シートを剥離するシート処理装置において、前記第２接着シートを供給する供給手段と、前記供給手段と被着体とを相対移動させる搬送手段と、前記搬送手段によってシート貼付方向へ相対移動される前記被着体の他方の面に、前記供給手段で供給される前記第２接着シートを貼付する貼付手段と、前記被着体に貼付された第１接着シートを保持して剥離する剥離手段とを備え、前記搬送手段は、前記シート貼付方向の逆方向であるシート剥離方向へ前記剥離手段と被着体とを相対移動可能に設けられ、前記剥離手段は、前記搬送手段によって前記シート剥離方向へ相対移動される前記被着体に貼付された第１接着シートを保持し、当該第１接着シートを前記被着体から剥離することを特徴とする。
【０００７】
この際、本発明のシート処理装置では、前記搬送手段は、前記剥離手段を備えた第１支持手段と、前記被着体を支持する第２支持手段とを備え、前記搬送手段が前記第１支持手段と前記第２支持手段とを前記シート剥離方向へ相対移動させることで、前記剥離手段が前記被着体から前記第１接着シートを剥離することが好ましい。
また、本発明のシート処理装置では、前記第１接着シートの剥離角度を調整する剥離角度調整手段を備えていることが好ましい。
【０００８】
一方、本発明のシート処理方法は、被着体の一方の面に第１接着シートが貼付された当該被着体の他方の面に第２接着シートを貼付するとともに、前記被着体から前記第１接着シートを剥離するシート処理方法において、前記第２接着シートを供給手段で供給する供給工程と、前記供給手段と被着体とを相対移動させる搬送工程と、前記搬送工程によってシート貼付方向へ相対移動される前記被着体の他方の面に、前記供給手段で供給される前記第２接着シートを貼付する貼付工程と、前記被着体に貼付された第１接着シートを剥離手段で保持して剥離する剥離工程とを有し、前記剥離工程では、前記シート貼付方向の逆方向であるシート剥離方向へ前記剥離手段と被着体とを相対移動させ、当該第１接着シートを前記被着体から剥離することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、シート貼付方向へ相対移動中の被着体に第２接着シートを貼付し、シート貼付方向の逆方向であるシート剥離方向へ相対移動中の被着体から第１接着シートを剥離するので、剥離手段で第１接着シートが剥離された被着体を排出するスペースを供給手段の配置スペース内とすることができるので、装置の小型化ができる。
【００１０】
この際、剥離手段を備えた第１支持手段と被着体を支持する第２支持手段とをシート剥離方向へ相対移動させ、被着体から第１接着シートを剥離する構成とすれば、搬送手段の外部に剥離手段を設ける場合と異なり、第２接着シートを貼付し終えた直後の被着体の上方に自由スペースを確保でき、例えばこの自由スペースに第２接着シートの貼付状態を検査する検査装置や、当該第２接着シートに印刷等を施す印刷装置等を配置することができる。
また、剥離角度調整手段を備えれば、第１接着シートの特性、特質、性質、材質、組成および構成等に応じて最適な剥離角度で当該第１接着シートを被着体から剥離することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート処理装置の概略斜視図。
【図２】（Ａ）〜（Ｄ）は、シート処理装置の動作説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図２中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図２中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１３】
図１、２において、シート処理装置１０は、被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）ＷＦの一方の面に第１接着シートＡＳ１が貼付された当該ウエハＷＦの他方の面に第２接着シートＡＳ２を貼付するとともに、ウエハＷＦから第１接着シートＡＳ１を剥離する装置であって、第２接着シートＡＳ２を供給する供給手段２０と、供給手段２０とウエハＷＦとを相対移動させる搬送手段３０と、搬送手段３０によってシート貼付方向へ相対移動されるウエハＷＦの他方の面に、供給手段２０で供給される第２接着シートＡＳ２を貼付する貼付手段としての押圧ローラ４０と、ウエハＷＦに貼付された第１接着シートＡＳ１を保持して剥離する剥離手段５０と、第１接着シートＡＳ１の剥離角度θを調整する剥離角度調整手段６０とを備えている。
【００１４】
供給手段２０は、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に第２接着シートＡＳ２が仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ２２と、剥離シートＲＬを折り返して当該剥離シートＲＬから第２接着シートＡＳ２を剥離する剥離部材としての剥離板２３と、駆動機器としての回動モータ２４Ａによって駆動され、ピンチローラ２５とで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ２４と、図示しない駆動機器によって駆動され剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２６とを備えている。
【００１５】
搬送手段３０は、剥離手段５０を備えた第１支持手段３１と、第２接着シートＡＳ２を支持する第２支持手段３２と、第１、第２支持手段３１、３２を支持する駆動機器としてのリニアモータ３３とを備え、シート貼付方向の逆方向であるシート剥離方向へ剥離手段５０とウエハＷＦとを相対移動可能に設けられている。
第１支持手段３１は、リニアモータ３３の第１スライダ３３Ａに支持され、上面視（搬送手段３０をＺ軸方向上方から観た状態）で右側に突出部のある凸状のベースフレーム３１Ａと、ベースフレーム３１Ａの突出部右端側に設けられた支柱３１Ｂと、ベースフレーム３１Ａに支持された駆動機器としてのリニアモータ３１Ｃと、リニアモータ３１Ｃのスライダ３１Ｄに支持された駆動機器としての直動モータ３１Ｅと、直動モータ３１Ｅの出力軸３１Ｆに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない第１減圧手段によって吸着保持が可能な支持面３１Ｇを有する支持テーブル３１Ｈとを備えている。
第２搬送手段３２は、リニアモータ３３の第２スライダ３３Ｂに支持され、上面視で左側に凹み部のある凹状のベースフレーム３２Ａと、ベースフレーム３２Ａに支持され、上面視で左側に凹み部のある凹状の立設フレーム３２Ｂと、立設フレーム３２Ｂに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない第２減圧手段によって吸着保持が可能な支持面３２Ｃを有する支持テーブル３２Ｄとを備えている。支持テーブル３２Ｄの上面には、リングフレームＲＦの内縁に嵌まり込んで当該リングフレームＲＦの位置決めが可能な位置決め凸部３２Ｅが形成されている。
【００１６】
剥離手段５０は、剥離用テープＰＴを支持する剥離用テープ支持部５１と、剥離用テープＰＴを第１接着シートＡＳ１に貼付する貼付部５２と、剥離用テープＰＴを切断する切断部５３とで構成され、搬送手段３０によってシート剥離方向へ相対移動されるウエハＷＦに貼付された第１接着シートＡＳ１を保持し、当該第１接着シートＡＳ１をウエハＷＦから剥離する構成になっている。なお、本実施形態の場合、剥離手段５０に対して当該剥離手段５０のシート剥離方向へウエハＷＦが移動するように当該剥離手段５０とウエハＷＦとを相対移動させることで、剥離手段５０がウエハＷＦから第１接着シートＡＳ１を剥離するようになっている。
剥離用テープ支持部５１は、支柱３１Ｂに取り付けられたフレーム５１Ａに支持された駆動機器としての回動モータ５１Ｂと、回動モータ５１Ｂによって回動可能に設けられ、剥離用テープＰＴを支持する支持ローラ５１Ｃと、支柱３１Ｂに取り付けられたフレーム５１Ｄの下方に支持されたガイドローラ５１Ｅと、フレーム５１Ｄの上方に支持されたガイドローラ５１Ｆとを備えている。
貼付部５２は、フレーム５１Ｄの上方に支持された駆動機器としての回動モータ５２Ａによって回動可能に設けられた揺動アーム５２Ｂと、揺動アーム５２Ｂに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な剥離用テープ保持部材５２Ｃと、揺動アーム５２Ｂに支持された駆動機器としての直動モータ５２Ｄの出力軸５２Ｅに支持され、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段によって接着シートＡＳと剥離用テープＰＴとの接着力を向上させる図示しない接着補助手段が設けられた押圧部材５２Ｆと、ウエハＷＦに貼付された第２接着シートＡＳ２の右端部を検知可能なカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段とを備えている。
切断部５３は、駆動機器としての直動モータ５３Ａの出力軸５３Ｂに支持されたカッター刃５３Ｃを備えている。
【００１７】
剥離角度調整手段６０は、支柱３１Ｂの上面に支持された駆動機器としての直動モータ６１と、直動モータ６１の出力軸６１Ａに支持された調整プレート６２とを備えている。
【００１８】
以上のシート処理装置１０において、ウエハＷＦに第２接着シートＡＳ２を貼付し、第１接着シートＡＳ１を剥離する手順を説明する。
先ず、各部材が初期位置で待機する図１中実線（図２中二点鎖線）で示すシート処理装置１０に対し、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、剥離手段５０が図示しない減圧手段を駆動し、剥離用テープ保持部材５２Ｃで剥離用テープＰＴを吸着保持する。そして、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない移送手段によって、第１接着シートＡＳ１が支持面３１Ｇに当接するように、第１接着シートＡＳ１が貼付されたウエハＷＦが当該支持面３１Ｇ上に載置され、リングフレームＲＦの内縁に位置決め凸部３２Ｅが嵌まり込むようにリングフレームＲＦが支持面３２Ｃ上に載置される。すると、搬送手段３０が図示しない第１、第２減圧手段を駆動し、支持面３１Ｇと支持面３２ＣとでそれぞれウエハＷＦとリングフレームＲＦとの吸着保持を開始する。その後、搬送手段３０がリニアモータ３３を駆動し、第１、第２支持手段３１、３２の間隔を維持したまま、それら第１、第２支持手段３１、３２を左方へ移動させることで、供給手段２０とウエハＷＦおよびリングフレームＲＦとをシート貼付方向へ相対移動させる。次いで、リングフレームＲＦおよびウエハＷＦが所定の位置に到達したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段に検知されると、供給手段２０が回動モータ２４Ａを駆動し、それらの搬送速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、第２接着シートＡＳ２は、剥離板２３で剥離シートＲＬから剥離され、押圧ローラ４０によってウエハＷＦの他方の面およびリングフレームＲＦに貼付され、ウエハＷＦとリングフレームＲＦとを一体化して一体物ＷＫを形成する。その後、図２（Ａ）に示すように、調整プレート６２の右端がカッター刃５３Ｃの刃先直下に位置すると、搬送手段３０がリニアモータ３３の駆動を停止する。
【００１９】
そして、搬送手段３０が図示しない第１減圧手段の駆動を停止した後、リニアモータ３１Ｃおよび直動モータ３１Ｅを駆動し、図２（Ｂ）に示すように、支持テーブル３１Ｈを左下方に移動させる。次いで、剥離手段５０が回動モータ５２Ａを駆動し、揺動アーム５２Ｂを時計回転方向に回転させ、剥離用テープ保持部材５２Ｃで吸着保持した剥離用テープＰＴを第１接着シートＡＳ１の下面に対向配置させる。このとき、剥離用テープＰＴを第１接着シートＡＳ１の下面に当接させてもよいし、当接させなくてもよい。次に、剥離手段５０が図示しない検知手段を駆動し、ウエハＷＦに貼付された第２接着シートＡＳ２の右端部を検知し、この検知結果を基に、搬送手段３０がリニアモータ３３を駆動し、第１接着シートＡＳ１の右端が押圧部材５２Ｆの右端直上に位置するように、第２支持手段３２を移動させる。その後、剥離手段５０が直動モータ５２Ｄおよび接着補助手段を駆動し、図２（Ｂ）の右側の図に示すように、押圧部材５２Ｆを上昇させて剥離用テープＰＴを第１接着シートＡＳ１に押圧して貼付する。剥離用テープＰＴの第１接着シートＡＳ１への貼付が完了すると、剥離手段５０が接着補助手段の駆動を停止した後、直動モータ５２Ｄを駆動し、押圧部材５２Ｆを初期位置に復帰させるとともに、図示しない減圧手段の駆動を停止した後、回動モータ５２Ａを駆動し、揺動アーム５２Ｂを反時計回転方向に回転させて剥離用テープ保持部材５２Ｃを初期位置に復帰させる。
【００２０】
そして、剥離手段５０が回動モータ５１Ｂの駆動をロックさせるとともに、搬送手段３０がリニアモータ３３を駆動し、第１支持手段３１の移動をロックさせた状態で、第２支持手段３２を右方に移動させることで、第１支持手段３１と第２支持手段３２とをシート剥離方向へ相対移動させ、図２（Ｃ）に示すように、ウエハＷＦから第１接着シートＡＳ１を徐々に剥離する。なお、ウエハＷＦから第１接着シートＡＳ１が剥離される間において、剥離角度調整手段６０が直動モータ６１を駆動し、調整プレート６２を昇降させてウエハＷＦから剥離される第１接着シートＡＳ１の剥離角度θを調整する。ウエハＷＦから第１接着シートＡＳ１全体が剥離されると、剥離角度調整手段６０が直動モータ６１を駆動し、図２（Ｄ）に示すように、調整プレート６２を初期位置に復帰させる。次に、剥離手段５０が回動モータ５２Ａおよび図示しない減圧手段を駆動し、揺動アーム５２Ｂを時計回転方向に回転させて剥離用テープ保持部材５２Ｃを調整プレート６２上の剥離用テープＰＴに当接させ、当該剥離用テープ保持部材５２Ｃで剥離用テープＰＴを吸着保持する。その後、剥離手段５０が直動モータ５３Ａを駆動し、カッター刃５３Ｃを昇降させ、図２（Ｄ）に示すように、剥離用テープＰＴを切断する。次いで、剥離手段５０が回動モータ５１Ｂ、５２Ａを駆動し、剥離用テープＰＴを支持ローラ５１Ｃ側から繰り出しつつ、揺動アーム５２Ｂを反時計回転方向に回転させて剥離用テープ保持部材５２Ｃを初期位置に復帰させる。剥離用テープＰＴが切断されると、第１接着シートＡＳ１は、リニアモータ３１の下方に配置された箱、袋、網等の図示しない回収手段内に落下して回収される。第１接着シートＡＳ１全体が剥離された一体物ＷＫが所定の位置に到達したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段に検知されると、搬送手段３０が図示しない第２減圧手段およびリニアモータ３３の駆動を停止する。その後、人手または図示しない移送手段が支持面３２Ｃ上の第１接着シートＡＳ１が剥離された一体物ＷＫを保持して次工程に搬送した後、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、以降同様の動作が繰り返される。
【００２１】
以上のような実施形態によれば、シート貼付方向へ相対移動中のウエハＷＦに第２接着シートＡＳ２を貼付し、シート貼付方向の逆方向であるシート剥離方向へ相対移動中のウエハＷＦから第１接着シートＡＳ１を剥離するので、剥離手段５０で第１接着シートＡＳ１が剥離されたウエハＷＦを排出するスペースを供給手段２０の配置スペース内とすることができるので、装置の小型化ができる。
【００２２】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、供給手段は、第２接着シートを供給可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程も同様でありその説明は省略する）。
【００２３】
供給手段２０は、剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に複数の閉ループ状の切込が形成されることで、その内側が第２接着シートＡＳ２とされた原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートＲＬに仮着された原反が採用された場合、カッター刃、カッターローラ、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材により、接着シート基材を所定形状に切断してその内側を第２接着シートＡＳ２としてもよいし、多関節ロボットや適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしてもよい。
剥離部材は、剥離板２３に代えて、丸棒や回転可能または回転不能なローラ部材やシャフト部材で構成してもよい。
【００２４】
搬送手段３０は、第１、第２支持手段３１、３２を固定しておき、供給手段２０を移動させたり、第１、第２支持手段３１、３２と供給手段２０との両方を移動させたりしてシート貼付方向へウエハＷＦが移動するように当該供給手段２０とウエハＷＦとを相対移動させてもよいし、第１、第２支持手段３１、３２を固定しておき、当該搬送手段３０の外部に設けた図示しない剥離手段を移動させたり、第１、第２支持手段３１、３２と図示しない剥離手段との両方を移動させたりしてシート剥離方向へウエハＷＦが移動するように当該図示しない剥離手段とウエハＷＦとを相対移動させてもよいし、第２支持手段３２を固定しておき、第１支持手段３１を移動させたり、第１支持手段３１と第２支持手段３２との両方を移動させたりしてシート剥離方向へウエハＷＦが移動するように当該第１支持手段３１と第２支持手段３２とを相対移動させてもよいし、別々の駆動機器で第１支持手段３１と第２支持手段３２とを移動させてもよい。
第１支持手段３１および第２支持手段３２の少なくとも一方は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２やリングフレームＲＦ等の被保持物を保持する構成でもよいし、それらのような保持する構成がなくてもよい。
第１支持手段３１は、一体物ＷＫを支持した第２支持手段３２を上方から観たときに、当該第２支持手段３２と一体物ＷＫとで占有するスペースの中に納まる大きさとするとよく、この場合、シート処理装置１０の大型化をより効率的に抑制することができる。
第２支持手段３２は、位置決め凸部３２Ｅが形成されていなくてもよいし、リングフレームＲＦを支持することなく第２接着シートＡＳ２を直接支持してもよい。
【００２５】
貼付手段は、押圧ローラ４０を回転駆動させる駆動機器を設けてもよいし、押圧ローラ４０の代わりにまたは併用して、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジや大気やガス等のエアの吹き付け等で第２接着シートＡＳ２をリングフレームＲＦやウエハＷＦに押圧してもよいし、押圧ローラ４０の表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、接着シートＡＳを保持して押圧する構成でもよい。
【００２６】
剥離手段５０は、ウエハＷＦから第１接着シートＡＳ１全体が剥離された後、回動モータ５１Ｂを駆動し、支持ローラ５１Ｃ側に剥離用テープＰＴを所定量長さ巻き取ってからカッター刃５３Ｃで当該剥離用テープＰＴを切断することで、剥離用テープＰＴの無駄な消費を抑制してもよいし、剥離用テープＰＴを固定しておき、第１接着シートＡＳ１を移動させたり、剥離用テープＰＴと第１接着シートＡＳ１との両方を移動させたりしてそれらを当接させてもよいし、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で第１接着シートＡＳ１を保持してもよいし、図示しない検知手段を備えていなくてもよい。
剥離用テープ保持部材５２Ｃは、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で剥離用テープＰＴを保持してもよい。
切断部５３は、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材で構成してもよく、多関節ロボットや適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしてもよいし、なくてもよい。
接着補助手段は、ペルチェ素子やヒートパイプの冷却側等の冷却手段、紫外線、赤外線、Ｘ線、マイクロ波等の電磁波照射手段、超音波振動装置、偏芯モータ、バイブレータ等の振動手段、レーザ照射手段、乾燥機、送風機、プラズマ照射機等、第１接着シートＡＳ１や剥離用テープＰＴの特性、特質、性質、材質、組成および構成等に応じて当該第１接着シートＡＳ１と剥離用テープＰＴとの接着力を向上させることができれば何でもよいし、なくてもよい。
【００２７】
剥離角度調整手段６０は、調整プレート６２を移動させることなく、一体物ＷＫを移動させたり、調整プレート６２と一体物ＷＫとの両方を移動させたりして剥離角度θを調整してもよいし、なくてもよいし、剥離角度θは、例えば、１度でもよいし、１０度でもよいし、９０度でもよいし、１２０度でもよいし、１８０度でもよい。剥離角度θを所定の角度にする場合は、第１接着シートＡＳ１を折り返す部分であって被着体に接着している面の反対側の面に、１度や１０度や９０度や１２０度といった傾斜の付いたエッジを有する剥離板をあてがうように配置してもよいし、剥離板の代わりに剥離ローラを配置して剥離角度θを０度としてもよい。
【００２８】
シート処理装置１０は、リングフレームＲＦおよびウエハＷＦに第２接着シートＡＳ２を貼付した後、一体物ＷＫを天地反転させる反転手段を採用し、搬送手段３０の上方に剥離手段５０を配置してもよい。この場合、搬送手段３０は、第１、第２支持手段３１、３２のように分割可能な構成としなくてもよいし、第１支持手段３１が剥離手段５０を備えなくてもよいし、搬送手段３０が第１支持手段３１と第２支持手段３２とを相対移動させることなく、それらを同時にシート剥離方向へ移動させてもよい。
シート処理装置１０は、天地反転して配置したり横置きに配置したりしてウエハＷＦの下面や側面等に第２接着シートＡＳ２を貼付するように構成してもよいし、ウエハＷＦの下面や側面等に貼付された第１接着シートＡＳ１を剥離するように構成してもよいし、第１接着シートＡＳ１が剥離される前段で、接着シートＡＳの接着力を低下させる接着力低下手段を設けてもよく、このような接着力低下手段は、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段、ペルチェ素子やヒートパイプの冷却側等の冷却手段、紫外線、赤外線、Ｘ線、マイクロ波等の電磁波照射手段、超音波振動装置、偏芯モータ、バイブレータ等の振動手段、レーザ照射手段、乾燥機、送風機、プラズマ照射機等、第１接着シートＡＳ１の特性、特質、性質、材質、組成および構成等に応じて当該接着シートＡＳの接着力を低下させることができれば何でもよい。このような接着力低下手段は、第１接着シートＡＳ１の接着力を一括で低下するように構成してもよいし、第１接着シートＡＳ１の接着力が部分的に低下するように構成し、第１接着シートＡＳ１が貼付されたウエハＷＦとの相対移動で当該第１接着シートＡＳ１全体の接着力が低下するように構成してもよい。
リングフレームＲＦは、円形、楕円形、三角形や四角形以上の多角形、環状でない（閉ループ状でない）フレーム部材等何でもよい。
【００２９】
本発明における第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２、剥離用テープＰＴおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２や剥離用テープＰＴは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよい。また、このような第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２や剥離用テープＰＴは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等であってもよい。
【００３０】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３１】
１０…シート処理装置
２０…供給手段
３０…搬送手段
３１…第１支持手段
３２…第２支持手段
４０…押圧ローラ（貼付手段）
５０…剥離手段
６０…剥離角度調整手段
ＡＳ１…第１接着シート
ＡＳ２…第２接着シート
ＷＦ…ウエハ（被着体）
θ…剥離角度
【図１】
2017163090.tif 000003
【図２】
2017163090.tif 000004