(57)【要約】【課題】複数の検査対象物の検査時間を短縮することが容易な大量生産に適したＸ線検査装置を提供する。【解決手段】検査対象物Ｔに対してＸ線を照射するＸ線照射部３２と、Ｘ線の照射により検査対象物Ｔで回折した回折Ｘ線が照射される照射位置３１で、ルミネセンスによる発光を生じる板状の蛍光板Ｐを支持する回転台２と、その蛍光板Ｐを発光位置５１へ搬送する回転台２と、蛍光板Ｐに、蛍光板Ｐを発光させるための熱エネルギーを付与する加熱用ハロゲンランプ５２と、発光により生じたデバイ環を撮像するカメラ５３と、カメラ５３により撮像された蛍光板Ｐを、初期化位置６１へ搬送する回転台２と、蛍光板Ｐを、初期化温度に加熱する初期化部６１と、初期化された蛍光板Ｐを冷却位置７１へ搬送する回転台２と、蛍光板Ｐを冷却する冷却部７と、冷却された蛍光板を照射位置３１へ搬送する回転台２とを備えた。【選択図】図１
2017015487.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象となる検査対象物に対してＸ線を照射するＸ線照射部と、
前記Ｘ線照射部による前記Ｘ線の照射により前記検査対象物で回折した回折Ｘ線が照射される照射位置で、ルミネセンスによる発光を生じる板状の蛍光板を支持する蛍光板支持部と、
前記回折Ｘ線が照射された蛍光板を、前記蛍光板を発光させるための発光位置へ搬送する第一搬送部と、
前記蛍光板に、前記蛍光板を発光させるためのエネルギーを付与するエネルギー付与部と、
前記発光により生じたデバイ環を撮像する撮像部と、
前記撮像部により撮像された蛍光板を、前記蛍光板を加熱して初期化するための初期化位置へ搬送する第二搬送部と、
前記初期化位置において、前記蛍光板を、初期化するための初期化温度に加熱する初期化部と、
前記初期化された蛍光板を、前記蛍光板を冷却するための冷却位置へ搬送する第三搬送部と、
前記冷却位置において、前記蛍光板を冷却する冷却部と、
前記冷却された蛍光板を前記照射位置へ搬送する第四搬送部とを備えるＸ線検査装置。
【請求項２】
前記冷却部によって前記蛍光板が冷却されている期間中に、その冷却されている蛍光板とは別の蛍光板を前記初期化部によって加熱させる制御部をさらに備える請求項１記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記制御部は、さらに、前記初期化部によって前記蛍光板が加熱されている期間中に、前記エネルギー付与部によってその加熱されている蛍光板とは別の蛍光板に前記エネルギーを付与させる請求項１又は２記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記制御部は、さらに、前記エネルギー付与部によって蛍光板に前記エネルギーが付与されている期間中に、その蛍光板とは別の蛍光板に対して前記回折Ｘ線を照射させるべく前記Ｘ線照射部によって前記検査対象物に対してＸ線を照射させる請求項１〜３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
前記蛍光板は、熱ルミネセンスによる発光を生じるものであり、
前記エネルギー付与部は、前記蛍光板を発光させるために熱エネルギーを付与する請求項１〜４のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項６】
前記回折Ｘ線が照射された蛍光板を、予備的に加熱する予備加熱部をさらに備え、
前記第一搬送部は、前記予備的に加熱された蛍光板を、前記発光位置へ搬送する請求項５記載のＸ線検査装置。
【請求項７】
前記初期化位置に、複数の前記蛍光板を収容する初期化用収容部をさらに備え、
前記第二搬送部は、前記デバイ環が撮像された蛍光板を、前記初期化用収容部へ搬送して収容させ、
前記初期化部は、前記初期化用収容部に収容された蛍光板を加熱し、
前記第三搬送部は、前記初期化された複数の蛍光板を、当該初期化用収容部に収容された順に搬送する請求項１〜６のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項８】
前記初期化用収容部は、前記各蛍光板の面方向を鉛直方向に沿わせるように前記複数の蛍光板を収容する請求項７に記載のＸ線検査装置。
【請求項９】
前記冷却位置に、複数の前記蛍光板を収容する冷却用収容部をさらに備え、
前記第三搬送部は、前記初期化された蛍光板を、前記冷却用収容部へ収容し、
前記冷却部は、前記冷却用収容部に収容された蛍光板を冷却し、
前記第四搬送部は、前記冷却された複数の蛍光板を、当該冷却用収容部に収容された順に、前記照射位置へ搬送する請求項１〜８のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項１０】
前記蛍光板に対して前記エネルギーが付与される前に、前記蛍光板に空気を吹き付ける吹付部をさらに備える請求項１〜９のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項１１】
前記発光位置に配置された蛍光板と、前記撮像部との間に空気を送る送風部をさらに備える請求項１〜１０のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項１２】
前記照射位置、前記発光位置、前記初期化位置、及び前記冷却位置は、所定の円周上にこの順に並ぶように配置され、
前記Ｘ線検査装置は、
複数の前記蛍光板を、前記円周に沿って並べて配置可能な回転台と、
前記回転台を、前記円周の中心を中心にして水平に回転させ、前記各蛍光板を、前記照射位置、前記発光位置、前記初期化位置、及び前記冷却位置を順次通過させることにより、前記回転台を、前記蛍光板支持部、前記第一搬送部、前記第二搬送部、前記第三搬送部、及び前記第四搬送部として機能させる回転駆動部とを備える請求項１〜１１のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項１３】
前記第一搬送部、前記第二搬送部、前記第三搬送部、及び前記第四搬送部として機能するロボットアームを備える請求項１〜１１のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線を用いて検査を行うＸ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、Ｘ線が照射された試料にて回折散乱されたＸ線を測定する装置であって、熱蛍光シートを加熱する加熱ヒータと、熱蛍光シートを加熱して現像する際に熱蛍光シートから放出される光を検出する光検出器と、熱蛍光シートの現像後に、前記熱蛍光シートを冷却するための冷却手段とを備えたＸ線検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平８−２８５７９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述のＸ線検査装置では、試料へのＸ線の照射後、熱蛍光シートの加熱、光検出、冷却の各工程を順次実行しなければ、次の新たな試料の検査を行うことができない。そのため、複数の試料を検査する場合、検査に長時間かかるという不都合があった。そのため、例えば量産製品の出荷検査などにＸ線検査装置を用いる場合、全数検査を行うと検査に非常に長い時間がかかってしまうため、抜き取り検査を行わざるを得なかった。
【０００５】
本発明の目的は、複数の検査対象物の検査時間を短縮することが容易な、すなわち大量生産に適したＸ線検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るＸ線検査装置は、検査対象となる検査対象物に対してＸ線を照射するＸ線照射部と、前記Ｘ線照射部による前記Ｘ線の照射により前記検査対象物で回折した回折Ｘ線が照射される照射位置で、ルミネセンスによる発光を生じる板状の蛍光板を支持する蛍光板支持部と、前記回折Ｘ線が照射された蛍光板を、前記蛍光板を発光させるための発光位置へ搬送する第一搬送部と、前記蛍光板に、前記蛍光板を発光させるためのエネルギーを付与するエネルギー付与部と、前記発光により生じたデバイ環を撮像する撮像部と、前記撮像部により撮像された蛍光板を、前記蛍光板を加熱して初期化するための初期化位置へ搬送する第二搬送部と、前記初期化位置において、前記蛍光板を、初期化するための初期化温度に加熱する初期化部と、前記初期化された蛍光板を、前記蛍光板を冷却するための冷却位置へ搬送する第三搬送部と、前記冷却位置において、前記蛍光板を冷却する冷却部と、前記冷却された蛍光板を前記照射位置へ搬送する第四搬送部とを備える。
【０００７】
この構成によれば、照射位置でＸ線の照射により検査対象物から得られた回折Ｘ線が蛍光板に照射され、発光位置で検査のためのデバイ環の撮像が行われ、初期化位置で蛍光板の初期化が実行され、冷却位置で蛍光板が冷却され、冷却された蛍光板が再び照射位置へ搬送される。従って、Ｘ線の照射と、デバイ環の撮像と、蛍光板の初期化と、蛍光板の冷却とを複数の蛍光板に対して並行して実行することが可能となる。従って、複数の検査対象物の検査時間を短縮することが容易となる。
【０００８】
また、前記冷却部によって前記蛍光板が冷却されている期間中に、その冷却されている蛍光板とは別の蛍光板を前記初期化部によって加熱させる制御部をさらに備えることが好ましい。
【０００９】
デバイ環を撮像済みの蛍光板を再び検査に用いるために冷却する冷却工程と、初期化するために蛍光板を加熱する初期化工程とは、いずれも時間のかかる工程である。そこでこの構成によれば、時間のかかる冷却工程と初期化工程とが、別の蛍光板に対して並行して実行されるので、複数の検査対象物の検査時間を短縮することが容易となる。
【００１０】
また、前記制御部は、さらに、前記初期化部によって前記蛍光板が加熱されている期間中に、前記エネルギー付与部によってその加熱されている蛍光板とは別の蛍光板に前記エネルギーを付与させることが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、時間のかかる冷却工程と初期化工程とが、別の蛍光板に対して並行して実行されるので、複数の検査対象物の検査時間を短縮することが容易となる。
【００１２】
また、前記制御部は、さらに、前記エネルギー付与部によって蛍光板に前記エネルギーが付与されている期間中に、その蛍光板とは別の蛍光板に対して前記回折Ｘ線を照射させるべく前記Ｘ線照射部によって前記検査対象物に対してＸ線を照射させることが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、蛍光板を発光させるためにエネルギーを付与する工程と、検査対象物に対してＸ線を照射する工程とが、別の蛍光体に対して並行して実行されるので、複数の検査対象物の検査時間を短縮することが容易となる。
【００１４】
また、前記蛍光板は、熱ルミネセンスによる発光を生じるものであり、前記エネルギー付与部は、前記蛍光板を発光させるために熱エネルギーを付与することが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、蛍光板に熱エネルギーを付与することにより、すなわち蛍光板を加熱することにより、検査対象物の情報を含むデバイ環の像を発光させることができる。
【００１６】
また、前記回折Ｘ線が照射された蛍光板を、予備的に加熱する予備加熱部をさらに備え、前記第一搬送部は、前記予備的に加熱された蛍光板を、前記発光位置へ搬送することが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、エネルギー付与部により蛍光板を加熱する前に、予め蛍光板を予備的に加熱しておくことができるので、エネルギー付与部での加熱時間を短縮することができる。その結果、複数の検査対象物の検査時間を短縮することが容易となる。
【００１８】
また、前記初期化位置に、複数の前記蛍光板を収容する初期化用収容部をさらに備え、前記第二搬送部は、前記デバイ環が撮像された蛍光板を、前記初期化用収容部へ搬送して収容させ、前記初期化部は、前記初期化用収容部に収容された蛍光板を加熱し、前記第三搬送部は、前記初期化された複数の蛍光板を、当該初期化用収容部に収容された順に搬送することが好ましい。
【００１９】
この構成によれば、時間のかかる初期化のための蛍光板の加熱を、複数の蛍光板に対して並行して実行することができるので、Ｘ線検査装置のスループットが向上し、複数の検査対象物の検査時間を短縮することが容易となる。
【００２０】
また、前記初期化用収容部は、前記各蛍光板の面方向を鉛直方向に沿わせるように前記複数の蛍光板を収容することが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、初期化用収容部において空気が対流し易くなるので、蛍光板を冷却することが容易となる。
【００２２】
また、前記冷却位置に、複数の前記蛍光板を収容する冷却用収容部をさらに備え、前記第三搬送部は、前記初期化された蛍光板を、前記冷却用収容部へ収容し、前記冷却部は、前記冷却用収容部に収容された蛍光板を冷却し、前記第四搬送部は、前記冷却された複数の蛍光板を、当該冷却用収容部に収容された順に、前記照射位置へ搬送することが好ましい。
【００２３】
この構成によれば、時間のかかる蛍光板の冷却を、複数の蛍光板に対して並行して実行することができるので、Ｘ線検査装置のスループットが向上し、複数の検査対象物の検査時間を短縮することが容易となる。
【００２４】
また、前記蛍光板に対して前記エネルギーが付与される前に、前記蛍光板に空気を吹き付ける吹付部をさらに備えることが好ましい。
【００２５】
この構成によれば、吹付部によって、蛍光板に付着した埃などのパーティクルが吹き飛ばされるので、蛍光板に付与されたエネルギーによるパーティクルの焼き付きが生じる恐れが低減される。
【００２６】
また、前記発光位置に配置された蛍光板と、前記撮像部との間に空気を送る送風部をさらに備えることが好ましい。
【００２７】
この構成によれば、送風によって、蛍光板と撮像部との間に陽炎が発生する恐れが低減される。その結果、デバイ環の撮像画像に歪みが発生するおそれが低減される。
【００２８】
また、前記照射位置、前記発光位置、前記初期化位置、及び前記冷却位置は、所定の円周上にこの順に並ぶように配置され、前記Ｘ線検査装置は、複数の前記蛍光板を、前記円周に沿って並べて配置可能な回転台と、前記回転台を、前記円周の中心を中心にして水平に回転させ、前記各蛍光板を、前記照射位置、前記発光位置、前記初期化位置、及び前記冷却位置を順次通過させることにより、前記回転台を、前記蛍光板支持部、前記第一搬送部、前記第二搬送部、前記第三搬送部、及び前記第四搬送部として機能させる回転駆動部とを備えることが好ましい。
【００２９】
この構成によれば、回転駆動部によって回転台を回転させる簡素な構成によって、蛍光板支持部、第一搬送部、第二搬送部、第三搬送部、及び第四搬送部を構成することが可能となる。
【００３０】
また、前記第一搬送部、前記第二搬送部、前記第三搬送部、及び前記第四搬送部として機能するロボットアームを備えることが好ましい。
【００３１】
ロボットアームは、第一搬送部、第二搬送部、第三搬送部、及び第四搬送部として好適である。
【発明の効果】
【００３２】
このような構成のＸ線検査装置は、複数の検査対象物の検査時間を、容易に短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の第一実施形態に係るＸ線検査装置を概略的に示す概念図である。
【図２】蛍光板の加熱温度と発光強度との関係の一例を示すグラフである。
【図３】図１に示すＸ線検査装置の電気的構成の一例を示すブロック図である。
【図４】図１に示す露光部の構成の一例を概念的に示す側面図である。
【図５】図１に示す露光部の別の構成の一例を概念的に示す側面図である。
【図６】図１に示す検査部の構成の一例を概念的に示す側面図である。
【図７】デバイ環の一例を示す説明図である。
【図８】本発明の第二実施形態に係るＸ線検査装置を概略的に示す概念図である。
【図９】図８に示すＸ線検査装置の電気的構成の一例を示すブロック図である。
【図１０】図８に示す検査部の構成の一例を概念的に示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
以下、本発明に係る実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、その説明を省略する。
（第一実施形態）
【００３５】
図１は、本発明の第一実施形態に係るＸ線検査装置を概略的に示す概念図である。図１は、Ｘ線検査装置を上方から見た状態を示している。
【００３６】
図１に示すＸ線検査装置１は、回転台２（蛍光板支持部、第一搬送部、第二搬送部、第三搬送部、第四搬送部）、露光部３、予備加熱部４、検査部５、初期化部６、及び冷却部７を備えている。回転台２は、上面が略平坦な略円盤状の板状部材である。回転台２は、例えば回転台２の下方に配設された後述の搬送用モータ２１によって、回転台２の中心部を中心にして水平に回転駆動される。
【００３７】
回転台２の周縁部の内側上面には、円周Ｃに沿って複数、例えば１６枚の蛍光板Ｐが配置されている。蛍光板Ｐは、回転台２上に載置されていてもよく、固着されていてもよい。
【００３８】
蛍光板Ｐは、例えば一辺３ｃｍ〜１０ｃｍ程度の矩形板状の形状を有している。蛍光板Ｐは、熱ルミネセンス（thermo-luminescence）現象を生じる板状の熱ルミネセンス蛍光板である。蛍光板Ｐは、例えばＬｉＦ、ＣａＦ2、ＣａＳＯ4、ＳｒＳＯ4、Ｍｇ2ＳｉＯ4：Ｔｂ等の熱ルミネセンスを生じる物質を、板状の部材に塗布することで構成してもよく、これらの物質そのものを板状に成形したものであってもよい。
【００３９】
蛍光板Ｐは、放射線のエネルギーを吸収すると、結晶原子の電離、励起作用により生成された電子の一部が捕獲中心に捕獲される。捕獲された電子は、加熱されると再励起され、基底状態に戻るときに光を放出する。このときの発光量は、蛍光板Ｐに吸収された放射線のエネルギーに比例する。
【００４０】
そこで、後述するように、検査対象物ＴにＸ線を照射して得られた回折Ｘ線を蛍光板Ｐに照射すると、蛍光板Ｐに回折Ｘ線の二次元画像が潜像として記憶されることになる。このようにして回折Ｘ線画像が記憶された蛍光板Ｐを、加熱することによりその回折Ｘ線画像を発光させて撮像することによって、回折Ｘ線画像を取得することができる。この回折Ｘ線画像は環状となり、デバイ環と称される。
【００４１】
図２は、蛍光板Ｐの加熱温度とそのときの発光強度との関係の一例を示すグラフである。横軸は温度（℃）、縦軸は発光強度を示している。図２は、熱ルミネセンス物質として、Ｍｇ2ＳｉＯ4：Ｔｂを用いる例を示している。図２に示すように、蛍光板Ｐは、２００℃のとき最も発光強度が強く、８０℃以下、及び３３０℃以上の温度範囲では、発光しない。
【００４２】
回折Ｘ線の潜像が形成された蛍光板Ｐは、長時間、例えば１０〜９０分の間、高温、例えば２００℃〜４００℃の初期化温度に維持することによって、潜像が消去されて初期化され、再び新たな検査対象物Ｔの検査に用いることができる。
【００４３】
図１中、円周Ｃに沿って、反時計回りに照射位置３１、予備加熱位置４１、発光位置５１、初期化位置６１、及び冷却位置７１が配置されている。これにより、回転台２が反時計回りに回転すると、回転台２上の蛍光板Ｐが、照射位置３１、予備加熱位置４１、発光位置５１、初期化位置６１、及び冷却位置７１を順次通過して、再び照射位置３１に戻るようになっている。
【００４４】
照射位置３１には露光部３が配置され、予備加熱位置４１には予備加熱部４が配置され、発光位置５１には検査部５が配置され、初期化位置６１には初期化部６が配置され、冷却位置７１には冷却部７が配置されている。
【００４５】
図３は、図１に示すＸ線検査装置１の電気的構成の一例を示すブロック図である。図３に示すＸ線検査装置１は、搬送用モータ２１（回転駆動部）、Ｘ線照射部３２、エアブロワ３６（吹付部）、Ｘ線照射指示ボタン３７（Ｘ線照射指示受付部）、予備加熱ヒータ４２、加熱用ハロゲンランプ５２（エネルギー付与部）、カメラ５３（撮像部）、送風ファン５４（送風部）、初期化用ヒータ６２、冷却ファン７２、及び制御部８を備える。
【００４６】
制御部８は、例えば、所定の演算処理を実行するＣＰＵ（Central Processing Unit）、データを一時的に記憶するＲＡＭ（Random Access Memory）、所定の制御プログラム等を記憶する不揮発性のＲＯＭ（Read Only Memory）やＨＤＤ（Hard Disk Drive）等の記憶部、タイマ回路、及びこれらの周辺回路等を備えて構成されている。そして、制御部８は、例えば上述の制御プログラムを実行することにより、搬送用モータ２１（回転駆動部）、Ｘ線照射部３２、エアブロワ３６（吹付部）、予備加熱ヒータ４２、加熱用ハロゲンランプ５２、カメラ５３（撮像部）、送風ファン５４（送風部）、初期化用ヒータ６２、及び冷却ファン７２の動作を制御したり、カメラ５３で撮像されたデバイ環に基づき蛍光板Ｐの検査を実行したりする。
【００４７】
搬送用モータ２１は、例えば回転台２の下方に配設され、回転台２の中心部を中心にして回転台２を水平に回転させる。Ｘ線照射指示ボタン３７は、ユーザからのＸ線照射部３２によるＸ線照射の実行指示を受け付けるものであり、例えば操作ボタンである。
【００４８】
図４は、図１に示す露光部３の構成の一例を概念的に示す側面図である。露光部３は、回転台２上の照射位置３１を覆うように配設された筐体３３と、筐体３３内に配設された、Ｘ線照射部３２と保持部３５とを備えている。筐体３３には、開閉可能な扉３４が設けられている。筐体３３と保持部３５については断面図で示している。
【００４９】
保持部３５は、検査対象物Ｔを載置したり、検査対象物Ｔを保持してその位置を上下左右に調節したり、検査対象物Ｔを回転させるなどして向きを調節したりする等、検査対象物Ｔを保持すると共に、その位置や向きを適宜変更可能にされている。
【００５０】
ユーザは、扉３４を開いて、筐体３３内に検査対象となる検査対象物Ｔを出し入れし、保持部３５によって検査対象物Ｔを保持させることにより、筐体３３内の所定の配置位置に検査対象物Ｔを配置可能とされている。筐体３３は、例えば鉛板や鉄板などを積層することで、Ｘ線を遮蔽する構造とされている。
【００５１】
検査対象物Ｔは、特に限定されないが、例えば、自動車に搭載される車載部品、モータ（特に溶接箇所）、アルミダイキャスト部品、あるいはコネクタ等の金属部品や金属を含む部品等が、検査対象物Ｔとして好適である。
【００５２】
ユーザは、保持部３５によって検査対象物Ｔを保持させ、扉３４を閉じた後、Ｘ線照射指示ボタン３７を押下することによって、Ｘ線検査装置１に対して検査を指示する。制御部８は、Ｘ線照射指示ボタン３７が押下されると、Ｘ線照射部３２へＸ線の照射を指示する制御信号を出力し、以下の露光工程を実行させる。
【００５３】
露光工程において、Ｘ線照射部３２は、制御部８からの制御信号に応じてＸ線を発生させ、そのＸ線を、保持部３５によって保持された検査対象物Ｔに照射する。Ｘ線照射部３２は、例えば１０ｋＶ〜１５０ｋＶ、１〜９ｍＡ程度の出力のものを用いることができる。Ｘ線照射部３２の出力部には、例えば内径が１〜３ｍｍ程度の鉛パイプが取り付けられており、照射するＸ線の直径を１〜３ｍｍ程度に絞るようにされている。
【００５４】
Ｘ線照射部３２は、検査対象物Ｔの検査しようとする検査箇所ＴＰの表面に対し、入射角θでＸ線３２１を照射する。そして、Ｘ線３２１が検査対象物Ｔで回折して得られた回折Ｘ線３２２が、出射角θを中心とする円環状に蛍光板Ｐに照射される。これにより、蛍光板Ｐに、いわゆるデバイ環と称される回折Ｘ線の二次元画像が記憶される。
【００５５】
なお、図４では、反射型の露光部３を示したが、例えば図５に示す露光部３ａのように、Ｘ線照射部３２から照射されたＸ線３２１が、検査対象物Ｔを透過するように照射され、検査対象物Ｔを透過して得られた回折Ｘ線３２２が、蛍光板Ｐに照射される構成としてもよい。
【００５６】
エアブロワ３６は、照射位置３１と発光位置５１との間、例えば照射位置３１と予備加熱位置４１との間に配設されている。回転台２によって蛍光板Ｐが搬送される過程で、エアブロワ３６は、蛍光板Ｐ表面に空気を吹き付けることによって、蛍光板Ｐ表面の埃などのパーティクルを吹き飛ばす。
【００５７】
蛍光板Ｐ表面にパーティクルが付着していると、後述の検査部５において撮像されるデバイ環の画像にパーティクルの影が写り、検査精度が低下する。また、検査部５では、加熱用ハロゲンランプ５２によって蛍光板Ｐが高温に加熱されるので、蛍光板Ｐにパーティクルが付着していると、蛍光板Ｐにパーティクルの焼き付きが生じ、蛍光板Ｐを劣化させてしまうおそれがある。
【００５８】
そこで、発光位置５１で蛍光板Ｐが加熱される前に、エアブロワ３６によって蛍光板Ｐのパーティクルを吹き飛ばすことによって、検査精度の低下や蛍光板Ｐの劣化が生じるおそれを低減することができる。予備加熱位置４１では、発光位置５１よりは低温ではあるものの蛍光板Ｐが予備的に加熱されるので、焼き付きを防止する観点では、予備加熱位置４１に蛍光板Ｐが搬送される前に蛍光板Ｐにエアブロワ３６による吹きつけが行われる構成とすることがより好ましい。あるいは、予備加熱位置４１でエアブロワ３６による吹きつけが行われる構成としてもよい。
【００５９】
予備加熱部４は、回転台２によって予備加熱位置４１に運ばれてきた蛍光板Ｐを、予備的に加熱する予備加熱工程を実行する。予備加熱位置４１としては、回転台２上に配設された複数、例えば三枚の蛍光板Ｐを収容可能な広さの領域が設定されている。予備加熱部４は、予備加熱位置４１の蛍光板Ｐを、蛍光板Ｐが蛍光発光し始める温度よりもわずかに低い温度に予め設定された予備加熱温度、例えば８０℃程度に加熱する。
【００６０】
具体的には、予備加熱部４は、例えば予備加熱位置４１を覆う略箱状の予備加熱カバー４３と、例えば予備加熱カバー４３の天井から、予備加熱位置４１の蛍光板Ｐと対向するように吊り下げられた予備加熱ヒータ４２とを備えている。
【００６１】
なお、予備加熱ヒータ４２の代わりにハロゲンランプ等の光源を用い、その光を蛍光板Ｐに当てて加熱する構成としてもよい。また、予備加熱部４は、カバーを有していなくてもよい。また、例えば予め回転台２上の全ての蛍光板Ｐの下部に、それぞれヒータを配設しておき、制御部８が、回転台２によって予備加熱位置４１に運ばれてきた蛍光板Ｐ下部のヒータを予備加熱温度に加熱することによって、それらのヒータを予備加熱ヒータとして機能させる構成としてもよい。あるいは、予備加熱部４は、予備加熱位置４１に運ばれてきた蛍光板Ｐに熱風を当てることにより、蛍光板Ｐを予備加熱する構成としてもよい。
【００６２】
図６は、図１に示す検査部５の構成の一例を概念的に示す側面図である。図６に示す検査部５は、遮光カバー５５、加熱用ハロゲンランプ５２、カメラ５３、及び送風ファン５４を備えている。遮光カバー５５は、略箱状形状を有し、回転台２上の発光位置５１を覆うように配設されている。遮光カバー５５は、外部からの光を遮光するようになっている。加熱用ハロゲンランプ５２、カメラ５３、及び送風ファン５４は、遮光カバー５５内に配設されている。
【００６３】
加熱用ハロゲンランプ５２は、発光位置５１に配設された蛍光板Ｐの上方に配設され、蛍光板Ｐに対して近赤外域〜可視域の光を照射することによって熱エネルギーを付与し、蛍光板Ｐを１００℃〜３００℃、より好ましくは２００℃程度の発光温度に蛍光板Ｐを加熱する。そうすると、露光部３で蛍光板Ｐに照射された回折Ｘ線３２２により生じたデバイ環が、熱ルミネセンス作用（熱蛍光作用）により発光する。
【００６４】
制御部８は、搬送用モータ２１によって回転台２を回転させて新たな蛍光板Ｐを発光位置５１に搬送させると回転台２を停止させ、以下の検査工程を実行する。制御部８は、検査工程では、加熱用ハロゲンランプ５２を点灯させて蛍光板Ｐを発光温度に加熱させた後に加熱用ハロゲンランプ５２を消灯させ、熱ルミネセンス作用により発光したデバイ環の発光画像をカメラ５３によって撮像させる。なお、エネルギー付与部として光を出さないホットプレート等のヒータを用いる場合には、蛍光板Ｐを加熱しつつデバイ環の撮像を行う構成としてもよい。
【００６５】
図７は、このようにして得られるデバイ環の一例を示す説明図である。カメラ５３は、例えばレンズユニット５３１と、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）５３２とを備えている。これにより、発光したデバイ環がＣＣＤ５３２に結像され、その画像を示す画像データが制御部８へ送信される。
【００６６】
デバイ環の撮像が終了し、検査工程が終了すると、制御部８は、再び搬送用モータ２１によって回転台２を回転させて新たな蛍光板Ｐを発光位置５１に搬送させる。
【００６７】
なお、エネルギー付与部は、加熱用ハロゲンランプ５２に限らない。エネルギー付与部としては、予備加熱部４と同様、種々の加熱手段を用いることができる。また、蛍光板Ｐは、熱ルミネセンス作用（熱蛍光作用）により発光するものに限らない。例えば、蛍光板Ｐは、光ルミネセンス作用（光輝尽発光：photo stimulated luminescence）を生じるものであってもよい。この場合、予備加熱部４を備えず、加熱用ハロゲンランプ５２の代わりにレーザ装置をエネルギー付与部として備え、検査部５はレーザ光を蛍光板Ｐに照射することにより蛍光板Ｐを発光させるようにしてもよい。
【００６８】
このような光ルミネセンス作用を生じる材料としては、例えば、ＢａＦＢｒ：Ｅｕ2+、ＢａＦＩ：Ｅｕ2+、ＲｂＢｒ：Ｔｌ+等を用いることができる。
【００６９】
ここで、検査部５で蛍光板Ｐが発光温度に加熱される前に、予備加熱部４によって蛍光板Ｐが予備加熱温度に加熱されているので、検査部５で蛍光板Ｐを発光温度にするための時間が短縮される。従って、検査部５での検査のために蛍光板Ｐを発光位置５１に位置させておく時間、すなわち回転台２を停止させておく必要のある検査工程の時間が短縮される。その結果、Ｘ線検査装置１による単位時間あたりの蛍光板Ｐの検査能力であるスループットが向上し、複数の検査対象物Ｔの検査時間を短縮することができる。
【００７０】
蛍光板Ｐの、熱ルミネセンス作用による発光は一時的なものであり、回折Ｘ線３２２により捕獲中心に捕獲された電子が基底状態に戻ってしまうと発光しなくなる。そこで、カメラ５３は、ＣＣＤ５３２の露光時間を大きくして、光を十分に積分してデバイ環の像を撮像するようにされている。
【００７１】
蛍光板Ｐが高温に加熱されると、蛍光板Ｐの上方に陽炎が発生し、カメラ５３の撮像画像に歪みが生じるおそれがある。そこで、遮光カバー５５内に、カメラ５３と蛍光板Ｐとの間に送風する送風ファン５４が設けられている。送風ファン５４は、カメラ５３と蛍光板Ｐとの間に送風することによって、陽炎の発生を防止し、ひいてはデバイ環の撮像画像の歪みが発生するおそれを低減する。
【００７２】
このようにして撮像されたデバイ環は、露光部３で検査対象物ＴにＸ線３２１が照射して得られた回折Ｘ線３２２に基づいているから、検査対象物ＴにＸ線３２１が照射された検査箇所ＴＰにクラックや溶接不良、ボイド等の不良があると、デバイ環の画像が乱れる。
【００７３】
射出などの成型品の場合、金属が溶けた状態で型に入れられ、その後冷却される。膨張した状態で型に入れられた金属は、温度が冷えることによって縮むが、型内の外側と内側で膨張量が異なると、それが応力として残る。木材が乾燥した時に一部に亀裂が入るように、通常応力は表面で引っ張る力として働く。そこに微小なクラックが入るとその応力が解放されることになる。従って、デバイ環に反映された応力を、良品の場合と比較することで、クラックを検出することが可能となる。
【００７４】
そこで、例えば検査対象物Ｔの良品から得られたデバイ環画像を予め記憶部に記憶しておき、制御部８は、カメラ５３から送信されたデバイ環画像を受信し、このデバイ環画像と、予め記憶された良品のデバイ環画像とを比較する。その比較の結果、二つのデバイ環画像の差異が予め設定された許容範囲内であれば、検査された検査対象物Ｔは、制御部８によって良品であると判定される。一方、二つのデバイ環画像の差異が予め設定された許容範囲の範囲外であれば、検査された検査対象物Ｔは、制御部８によって不良品であると判定される。
【００７５】
制御部８は、二つのデバイ環画像を比較するにあたって、画像データにフィルタリングや正規化処理、その他の演算処理を施す構成としてもよい。
【００７６】
初期化部６は、回転台２によって初期化位置６１に運ばれてきた蛍光板Ｐを、初期化のための初期化温度に加熱する初期化工程を実行する。初期化位置６１としては、回転台２上に配設された複数、例えば４枚の蛍光板Ｐを収容可能な広さの領域が設定されている。初期化部６は、例えば初期化位置６１を覆う略箱状の初期化用カバー６３（初期化用収容部）と、例えば予備加熱ヒータ４２と同様に構成された初期化用ヒータ６２とを備えている。
【００７７】
蛍光板Ｐは、回転台２の回転動作により初期化位置６１の領域を通過する間、初期化温度に加熱される。従って、初期化位置６１の領域の広さは、蛍光板Ｐを初期化温度に加熱する時間と対応する。従って、Ｘ線検査装置１によれば、初期化位置６１の領域広さを適宜設定することにより、蛍光板Ｐを初期化するために必要な時間を設定することができる。
【００７８】
初期化部６としては、上述の予備加熱部４と同様、種々の加熱手段を用いることができる。初期化部６によって初期化された蛍光板Ｐは、再び新たな検査対象物Ｔの検査に用いることが可能となる。初期化された蛍光板Ｐは、高温に加熱されているので、露光部３で回折Ｘ線３２２を照射する前に冷却する必要がある。そこで、初期化された蛍光板Ｐは、回転台２によって初期化位置６１から冷却位置７１へ送られる。
【００７９】
冷却部７は、例えば冷却位置７１の蛍光板Ｐに風を送って冷却する冷却工程を実行する冷却ファン７２を備えている。初期化部６で高温に加熱された蛍光板Ｐは、冷却ファン７２によって冷却され、例えば室温に戻されてから、回転台２によって照射位置３１へ送られる。照射位置３１へ送られた蛍光板Ｐは、再び新たな検査対象物Ｔの検査のために用いられる。
【００８０】
制御部８は、搬送用モータ２１によって、回転台２を、円周Ｃの中心を中心にして水平に回転させることにより、各蛍光板Ｐを、照射位置３１、予備加熱位置４１、発光位置５１、初期化位置６１、及び冷却位置７１を順次通過させ、再び照射位置３１に搬送させる動作を繰り返す。
【００８１】
また、制御部８は、検査部５において検査工程を実行中に、並行して露光部３（Ｘ線照射部３２）によるＸ線照射、予備加熱部４（予備加熱ヒータ４２）による予備加熱、初期化部６（初期化用ヒータ６２）による初期化、及び冷却部７（送風ファン５４）による冷却を実行させる。これにより、複数の蛍光板Ｐに対して、露光工程、予備加熱工程、検査工程、初期化工程、及び冷却工程が並行して実行されるので、複数の検査対象物Ｔを検査する場合の一つあたりの検査時間が短縮され、検査のスループットが向上する。
【００８２】
また、蛍光板Ｐを加熱する必要のある予備加熱工程、検査工程、初期化工程、及び蛍光板Ｐを冷却する冷却工程は、その工程の実行に必要な時間に差がある。そのため、もし仮に、各工程がそれぞれ一枚の蛍光板Ｐに対して実行される場合には、最も時間のかかる工程の実行が終わるまで、他の工程を新たな蛍光板Ｐに対して実行することができず、検査のスループットが低下する。
【００８３】
しかしながら、図１に記載のＸ線検査装置１によれば、時間のかかる工程ほど、その工程を実行するための領域が広くされ、その工程を並行して実行できる蛍光板Ｐの数が増大されている。具体的には、例えば、検査工程の時間に対し、予備加熱工程の時間が三倍、初期化工程の時間が四倍、冷却工程の時間が二倍である場合、その倍率に応じて、予備加熱部４で並行して三枚の蛍光板Ｐを予備加熱可能とし、初期化部６で並行して四枚の蛍光板Ｐを初期化可能とし、冷却部７で並行して二枚の蛍光板Ｐを冷却可能とするように、予備加熱位置４１、初期化位置６１、及び冷却部７の領域の広さが設定されている。
【００８４】
これにより、各工程の、蛍光板Ｐ一枚あたりの処理時間、ひいては検査対象物Ｔ一つあたりの検査にかかる時間が平準化され、各工程を並列実行した場合のスループットが向上する。
【００８５】
なお、回転台２を第一搬送部、第二搬送部、第三搬送部、及び第四搬送部として機能させる例を示したが、ループ状に、例えば円周Ｃや楕円形その他の周回軌道に沿って蛍光板Ｐを搬送するベルトコンベア等の搬送装置を、第一搬送部、第二搬送部、第三搬送部、及び第四搬送部として設ける構成であってもよい。また、予備加熱位置４１、初期化位置６１、及び冷却位置７１のうち少なくとも一カ所では、蛍光板Ｐの面方向を鉛直方向に沿わせるように蛍光板Ｐの向きを変えて搬送することが好ましい。これにより、予備加熱位置４１、初期化位置６１、及び冷却位置７１に、多数の蛍光板Ｐを収容することが容易となり、スペース効率が向上する。また、蛍光板Ｐの面方向を鉛直方向にすることにより、空気が対流し易くなるので、蛍光板Ｐを加熱又は冷却することが容易となる。
（第二実施形態）
【００８６】
次に、本発明の第二実施形態に係るＸ線検査装置１ａについて説明する。図８は、本発明の第二実施形態に係るＸ線検査装置１ａを概略的に示す概念図である。図８は、Ｘ線検査装置を上方から見た状態を示している。図９は、図８に示すＸ線検査装置１ａの電気的構成の一例を示すブロック図である。図８，図９に示すＸ線検査装置１ａは、図１，図３に示すＸ線検査装置１とは、下記の点で異なる。
【００８７】
すなわち、図８，図９に示すＸ線検査装置１ａは、回転台２、搬送用モータ２１、及び予備加熱部４を備えない。また、Ｘ線検査装置１ａは、回転台２の代わりに、ロボットアーム９を備えている。制御部８ａは、主に、回転台２（搬送用モータ２１）を制御して蛍光板Ｐを搬送する代わりにロボットアーム９を制御して蛍光板Ｐを搬送する点で、制御部８と異なる。なお、Ｘ線検査装置１ａは、予備加熱部４と同様、蛍光板Ｐを予備的に加熱する予備加熱部を備え、露光後の蛍光板Ｐをロボットアーム９で予備加熱部へ搬送し、予備的に加熱された蛍光板Ｐをロボットアーム９で検査部５ａへ搬送する構成としてもよい。
【００８８】
ロボットアーム９は、例えば多関節のアーム部９１と、蛍光板Ｐを把持するハンド部９２とを備えている。ハンド部９２は、９０度回転可能とされている。これにより、ハンド部９２は、把持した蛍光板Ｐを、その面方向を水平にする水平姿勢と、その面方向を鉛直にする鉛直姿勢とに姿勢変更可能にされている。
【００８９】
ハンド部９２は、初期化温度に耐える必要があり、例えば３００℃以上、より好ましくは４００℃以上の耐熱性を備える必要がある。そのため、ハンド部９２は、例えば石英やセラミック材料等の高耐熱性の材料を用いて構成されている。また、ハンド部９２は、蛍光板Ｐを把持する構成に限られず、例えば真空チャック等を用いて蛍光板Ｐを吸着する構成であってもよい。
【００９０】
Ｘ線検査装置１ａは、ロボットアーム９の周囲を取り囲むように露光部３ｂ、検査部５ａ、初期化部６ａ、及び冷却部７ａが配設されて構成されている。ロボットアーム９は、水平方向に略３６０度旋回可能にされている。なお、ロボットアーム９を複数備えてもよい。
【００９１】
Ｘ線検査装置１ａは、全体が略箱状の筐体１１で囲まれている。筐体１１には、ユーザが開閉自在に構成された扉１２が取り付けられている。ユーザは、扉１２を開閉して、露光部３ｂに対して蛍光板Ｐを出し入れ可能にされている。筐体１１及び扉１２は、例えば鉛板や鉄板などを積層することで、Ｘ線及び外部からの光を遮蔽する構造とされている。
【００９２】
図８に示す露光部３ｂは、図４に示す露光部３とは、回転台２の代わりにテーブル状の蛍光板支持台２ａ（蛍光板支持部）上に蛍光板Ｐが載置される点を除いて露光部３と同様に構成されているのでその説明を省略する。なお、露光部３ｂを、図５に示す露光部３ａの回転台２の代わりに蛍光板支持台２ａを備える構成としてもむろんよい。
【００９３】
図１０は、図８に示す検査部５ａの構成の一例を概念的に示す側面図である。図１０に示す検査部５ａは、図６に示す検査部５とは、加熱用ハロゲンランプ５２及び遮光カバー５５を備えず、代わりにホットプレート５６１（エネルギー付与部）が配設された蛍光板支持台５６を備える点で異なる。ホットプレート５６１は、略矩形形状の蛍光板支持台５６の中央部に取り付けられている。そして、ロボットアーム９によって検査対象物Ｔを、露光部３ｂから検査部５ａへ搬送し、ホットプレート５６１上に載置し、さらに検査部５ａから初期化部６ａへ搬送可能にされている。
【００９４】
ホットプレート５６１は、制御部８ａからの制御信号に応じて、ホットプレート５６１上に載置された蛍光板Ｐを発光温度に加熱する。
【００９５】
初期化部６ａは、例えば上方が開口された略箱状の初期化用筐体６４（初期化用収容部）を有している。初期化用筐体６４は、複数の蛍光板Ｐを、各蛍光板Ｐの面方向が鉛直方向に沿う向きに並べて収容可能とされている。初期化用筐体６４の壁面には、外部との熱遮断のための断熱材が貼付されている。初期化用ヒータ６２は、初期化用筐体６４内に配設されており、初期化用筐体６４内の複数の蛍光板Ｐを加熱する。
【００９６】
例えば、一枚の蛍光板Ｐを初期化するのに必要な時間として予め設定された初期化基準時間が３０分の場合、２０秒毎に検査対象物Ｔの検査を実行するためには、初期化用筐体６４内に収容可能な蛍光板Ｐの数を９０枚以上とすればよい。このように、蛍光板Ｐの初期化に必要な時間と、検査対象物Ｔひとつあたりの目標検査時間とに応じて、初期化用筐体６４内に収容可能な蛍光板Ｐの数が適宜設定される。
【００９７】
冷却部７ａは、例えば上方が開口された略箱状の冷却用筐体７３（冷却用収容部）を有している。冷却用筐体７３は、複数の蛍光板Ｐを、各蛍光板Ｐの面方向が鉛直方向に沿う向きに並べて収容可能とされている。冷却用筐体７３の壁面には、外部との熱遮断のための断熱材が貼付されている。冷却ファン７２は、冷却用筐体７３内に、例えばエアフィルタなどで濾過されたドライエアなどの空気を強く吹き込んで冷却用筐体７３内の複数の蛍光板Ｐを冷却し、室温に戻す。
【００９８】
例えば、一枚の蛍光板Ｐを冷却するのに必要な時間として予め設定された冷却基準時間が５分の場合、２０秒毎に検査対象物Ｔの検査を実行するためには、冷却用筐体７３内に収容可能な蛍光板Ｐの数を１５枚以上とすればよい。このように、蛍光板Ｐの冷却に必要な時間と、検査対象物Ｔひとつあたりの目標検査時間とに応じて、冷却用筐体７３内に収容可能な蛍光板Ｐの数が適宜設定される。初期化基準時間及び冷却基準時間は、例えば実験的に適宜設定されている。
【００９９】
制御部８ａは、Ｘ線照射指示ボタン３７が押下されると、露光部３ｂによって露光工程を実行させ、露光工程が終了すると、ロボットアーム９によって、露光された蛍光板Ｐを検査部５ａへ搬送させ、次いで冷却部７ａで冷却された蛍光板Ｐを露光部３ｂへ搬送させる。
【０１００】
エアブロワ３６は、例えば露光部３ｂと検査部５ａの間に配設されており、蛍光板Ｐが、ロボットアーム９によって露光部３ｂから検査部５ａへ搬送される過程で、蛍光板Ｐ表面のパーティクルがエアブロワ３６によって吹き飛ばされるようになっている。
【０１０１】
次に、制御部８ａは、検査部５ａで検査工程を実行させつつ、Ｘ線照射指示ボタン３７が押下されると、露光部３ｂによって露光工程を実行させる。検査工程が終了すると、制御部８ａは、ロボットアーム９によって、検査済みの蛍光板Ｐを検査部５ａから初期化部６ａへ搬送させる。
【０１０２】
検査工程は、蛍光板Ｐを発光温度に加熱する発光用加熱工程と、デバイ環を撮像する撮像工程とを含んでいる。撮像工程より発光用加熱工程の方が時間がかかるので、発光用加熱工程と、他の工程とを並行して実行することで、Ｘ線検査装置１ａ全体としてのスループットの向上効果が増大する。
【０１０３】
制御部８ａは、検査済みの蛍光板Ｐを初期化部６ａへ搬送する際に、ロボットアーム９のハンド部９２を９０度回転させ、蛍光板Ｐを鉛直姿勢にして初期化部６ａ（初期化用筐体６４）に収容する。制御部８ａは、初期化部６ａによって、収容された複数の蛍光板Ｐを初期化温度に加熱する初期化工程を実行させ、これらの蛍光板Ｐが初期化部６ａで加熱されている時間をそれぞれ計時している。制御部８ａは、初期化部６ａでの加熱時間が初期化基準時間を超え、初期化された蛍光板Ｐを、初期化用筐体６４に収容された順に、ロボットアーム９によって、初期化部６ａから冷却部７ａへ鉛直姿勢のまま搬送させ、冷却部７ａ（冷却用筐体７３）に収容させる。
【０１０４】
制御部８ａは、冷却部７ａに収容させた複数の蛍光板Ｐについて、冷却部７ａで冷却されている時間をそれぞれ計時している。制御部８ａは、露光工程の終了後に新たな蛍光板Ｐを露光部３ｂへ搬送する際に、冷却部７ａでの冷却時間が、冷却基準時間を超えている蛍光板Ｐ、すなわち再度露光が可能な温度に冷えた蛍光板Ｐを、冷却用筐体７３に収容された順にロボットアーム９によって露光部３ｂへ搬送させる。
【０１０５】
初期化部６ａ及び冷却部７ａは、複数の蛍光板Ｐを鉛直姿勢で収容するので、初期化部６ａ及び冷却部７ａに多数の蛍光板Ｐを収容することが容易となり、スペース効率が向上する。また、蛍光板Ｐの面方向を鉛直方向にすることにより、空気が対流し易くなるので、蛍光板Ｐを加熱又は冷却することが容易となる。
【０１０６】
制御部８ａは、発光用加熱工程、初期化工程、及び冷却工程を並行して実行させる。これにより、Ｘ線検査装置１ａ全体としてのスループットが増大し、複数の検査対象物の検査時間を短縮することができる。
【０１０７】
なお、複数の蛍光板Ｐを鉛直姿勢で収容し、これらの蛍光板Ｐを予備加熱温度に加熱する予備加熱部をさらに備えてもよい。そして、制御部８ａは、露光工程が終了したとき、ロボットアーム９によって、露光された蛍光板Ｐを鉛直姿勢で予備加熱部へ搬送させて予備加熱させ、予備加熱された蛍光板Ｐを検査部５ａへ搬送させる構成としてもよい。
【０１０８】
また、初期化部６ａ、冷却部７ａ、及び予備加熱部が、鉛直姿勢で複数の蛍光板Ｐを収容する例を示したが、鉛直姿勢で収容する例に限らない。初期化部６ａ、冷却部７ａ、又は予備加熱部は、例えば水平姿勢で蛍光板Ｐを収容する構成であってもよい。
【符号の説明】
【０１０９】
１，１ａ    Ｘ線検査装置
２    回転台（蛍光板支持部、第一搬送部、第二搬送部、第三搬送部、第四搬送部）
２ａ  蛍光板支持台（蛍光板支持部）
３，３ａ，３ｂ    露光部
４    予備加熱部
５，５ａ    検査部
６，６ａ    初期化部
７，７ａ    冷却部
８，８ａ    制御部
９    ロボットアーム（第一搬送部、第二搬送部、第三搬送部、第四搬送部）
１１  筐体
１２  扉
２１  搬送用モータ（回転駆動部）
３１  照射位置
３２  Ｘ線照射部
３３  筐体
３４  扉
３５  保持部
３６  エアブロワ（吹付部）
３７  Ｘ線照射指示ボタン
４１  予備加熱位置
４２  予備加熱ヒータ
４３  予備加熱カバー
５１  発光位置
５２  加熱用ハロゲンランプ（エネルギー付与部）
５３  カメラ（撮像部）
５４  送風ファン（送風部）
５５  遮光カバー
５６  蛍光板支持台
６１  初期化位置
６２  初期化用ヒータ
６３  初期化用カバー（初期化用収容部）
６４  初期化用筐体
７１  冷却位置
７２  冷却ファン（冷却部）
７３  冷却用筐体
９１  アーム部
９２  ハンド部
３２１      Ｘ線
３２２      回折Ｘ線
５３１      レンズユニット
５３２  ＣＣＤ
５６１      ホットプレート（エネルギー付与部）
Ｃ    円周
Ｐ    蛍光板
Ｔ    検査対象物
ＴＰ  検査箇所
Ｘ    回折
【図１】
2017015487.tif 000003
【図２】
2017015487.tif 000004
【図３】
2017015487.tif 000005
【図４】
2017015487.tif 000006
【図５】
2017015487.tif 000007
【図６】
2017015487.tif 000008
【図８】
2017015487.tif 000009
【図９】
2017015487.tif 000010
【図１０】
2017015487.tif 000011
【図７】
2017015487.tif 000012