(57)【要約】【課題】被加工物を精度良く分割できる被加工物の分割方法を提供する。【解決手段】第１の面（１１ａ）と第２の面（１１ｂ）とを有する板状の被加工物（１１）を分割する分割方法であって、被加工物の第１の面に切削ブレード（６）を切り込ませ、被加工物の第１の方向に沿って第２の面に達しない深さの切削溝（１１ｃ）を形成する第１切削ステップと、被加工物の第２の面に切削ブレード（８）を切り込ませ、第１の方向と交差する第２の方向に沿って切削溝に達する深さの２本のアライメント用溝（１１ｄ）を形成するアライメント用溝形成ステップと、アライメント用溝の底部に露出した切削溝の一部に基づいて、第２の面側から切削溝の位置及び向きを検出するアライメントステップと、アライメントステップで検出した切削溝の位置及び向きに基づいて第２の面に切削ブレードを切り込ませ、切削溝に沿って被加工物を切断する第２切削ステップと、を含む。【選択図】図３
2017100231.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の面と該第１の面の反対の第２の面とを有する板状の被加工物を切削ブレードで分割する分割方法であって、
該第１の面を露出させるように被加工物の該第２の面側をチャックテーブルで保持する第１保持ステップと、
該第１保持ステップを実施した後、被加工物の該第１の面に切削ブレードを切り込ませ、被加工物の第１の方向に沿って第２の面に達しない深さの切削溝を形成する第１切削ステップと、
該第１切削ステップを実施した後、該第２の面を露出させるように被加工物の該第１の面側をチャックテーブルで保持する第２保持ステップと、
該第２保持ステップを実施した後、被加工物の該第２の面に切削ブレードを切り込ませ、該第１の方向と交差する第２の方向に沿って該切削溝に達する深さの２本のアライメント用溝を形成するアライメント用溝形成ステップと、
該アライメント用溝の底部に露出した該切削溝の一部に基づいて、該第２の面側から該切削溝の位置及び向きを検出するアライメントステップと、
該アライメントステップを実施した後、該アライメントステップで検出した該切削溝の位置及び向きに基づいて該第２の面に切削ブレードを切り込ませ、該切削溝に沿って被加工物を切断する第２切削ステップと、を備えることを特徴とする被加工物の分割方法。
【請求項２】
被加工物の厚さは、切削ブレードの刃厚の２５倍以上であることを特徴とする請求項１記載の被加工物の分割方法。
【請求項３】
被加工物の厚さ方向において、該切削溝と該アライメント用溝とが重なる距離は、該切削溝の形成に使用する切削ブレードの厚さの１／２以上であることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の被加工物の分割方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状の被加工物を分割する分割方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
パッケージ基板やセラミックス基板等を複数のチップへと分割する際には、例えば、環状の切削ブレードを備える切削装置が使用される。切削ブレードを回転させて、これら板状の被加工物に設定された分割予定ライン（ストリート）に切り込ませることで、この被加工物を分割予定ラインに沿って切断し、複数のチップへと分割できる。
【０００３】
ところで、各種センサーに組み込まれる圧電素子（例えば、特許文献１、特許文献２、及び特許文献３参照）等の電子部品は、例えば、上述した板状の被加工物を細長い角柱状に加工することで形成できる。この場合にも、環状の切削ブレードを備える切削装置が使用される（例えば、特許文献４参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−１１７３９９号公報
【特許文献２】特開平１１−３１８８９３号公報
【特許文献３】特開２００１−１７８７１９号公報
【特許文献４】特開２０１３−１２９０２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述のように、被加工物を細長い角柱状に加工する場合には、形成されるカーフ（切り口）の幅が被加工物の厚さよりも十分（例えば、１／２５以下）に狭くなるように、薄い切削ブレードを使用する。ところが、そのような薄い切削ブレードには、加工時の負荷で湾曲し易く、加工精度を維持し難いという問題がある。
【０００６】
この問題を解決するために、被加工物の半分程の深さに第１の面側から切削ブレードを切り込ませて切削溝を形成した後に、第２の面側から切削溝に合わせて切削ブレードを切り込ませることで被加工物を切断する分割方法が検討されている。しかしながら、この分割方法では、第１の面側に形成された切削溝の位置等を第２の面側から容易に検出できないので、第２の面側の切り込み位置がずれ易い。
【０００７】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、被加工物を精度良く分割できる被加工物の分割方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一側面によれば、第１の面と該第１の面の反対の第２の面とを有する板状の被加工物を切削ブレードで分割する分割方法であって、該第１の面を露出させるように被加工物の該第２の面側をチャックテーブルで保持する第１保持ステップと、該第１保持ステップを実施した後、被加工物の該第１の面に切削ブレードを切り込ませ、被加工物の第１の方向に沿って第２の面に達しない深さの切削溝を形成する第１切削ステップと、該第１切削ステップを実施した後、該第２の面を露出させるように被加工物の該第１の面側をチャックテーブルで保持する第２保持ステップと、該第２保持ステップを実施した後、被加工物の該第２の面に切削ブレードを切り込ませ、該第１の方向と交差する第２の方向に沿って該切削溝に達する深さの２本のアライメント用溝を形成するアライメント用溝形成ステップと、該アライメント用溝の底部に露出した該切削溝の一部に基づいて、該第２の面側から該切削溝の位置及び向きを検出するアライメントステップと、該アライメントステップを実施した後、該アライメントステップで検出した該切削溝の位置及び向きに基づいて該第２の面に切削ブレードを切り込ませ、被加工物を該切削溝に沿って切断する第２切削ステップと、を備えることを特徴とする被加工物の分割方法が提供される。
【０００９】
本発明の一側面において、被加工物の厚さは、切削ブレードの刃厚の２５倍以上であっても良い。また、被加工物の厚さ方向において、該切削溝と該アライメント用溝とが重なる距離は、該切削溝の形成に使用する切削ブレードの厚さの１／２以上であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の一側面に係る被加工物の分割方法では、被加工物の第１の面に切削ブレードを切り込ませ、第２の面に達しない深さの切削溝を第１の方向に沿って形成した後に、被加工物の第２の面に切削ブレードを切り込ませ、切削溝に達する深さのアライメント用溝を第１の方向と交差する第２の方向に沿って形成するので、アライメント用溝の底部に露出した切削溝の一部に基づいて、切削溝の位置及び向きを第２の面側から検出できる。
【００１１】
よって、検出した切削溝の位置及び向きに基づいて第２の面に切削ブレードを切り込ませれば、第２の面側の切り込み位置を高い精度で切削溝に合わせることができる。このように、本発明の一側面に係る被加工物の分割方法では、第２の面側の切り込み位置を高い精度で切削溝に合わせて、被加工物を精度良く分割できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】被加工物等の例を模式的に示す斜視図である。
【図２】図２（Ａ）は、本実施形態の第１保持ステップ及び第１切削ステップを模式的に示す一部断面側面図であり、図２（Ｂ）は、第１切削ステップ後の被加工物等を模式的に示す斜視図であり、図２（Ｃ）は、第１切削ステップ後の被加工物の第１の面側を模式的に示す平面図である。
【図３】図３（Ａ）は、本実施形態の第２保持ステップ及びアライメント用溝形成ステップを模式的に示す一部断面側面図であり、図３（Ｂ）は、アライメント用溝形成ステップ後の被加工物等を模式的に示す斜視図であり、図３（Ｃ）は、アライメント用溝形成ステップ後の被加工物の第２の面側、及び本実施形態のアライメントステップを模式的に示す平面図である。
【図４】図４（Ａ）は、本実施形態の第２切削ステップを模式的に示す一部断面側面図であり、図４（Ｂ）は、第２切削ステップ後の被加工物等を模式的に示す斜視図であり、図４（Ｃ）は、第２切削ステップ後の被加工物の第２の面側を模式的に示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
添付図面を参照して、本発明の一側面に係る実施形態について説明する。本実施形態に係る被加工物の分割方法は、第１保持ステップ（図２（Ａ）参照）、第１切削ステップ（図２（Ａ）、図２（Ｂ）、図２（Ｃ）参照）、第２保持ステップ（図３（Ａ）参照）、アライメント用溝形成ステップ（図３（Ａ）、図３（Ｂ）、図３（Ｃ）参照）、アライメントステップ（図３（Ｃ）参照）、及び第２切削ステップ（図４（Ａ）、図４（Ｂ）、図４（Ｃ）参照）を含む。
【００１４】
第１保持ステップでは、第１の面と第２の面とを有する板状の被加工物の第２の面側を切削装置のチャックテーブルで保持し、第１の面を露出させる。第１切削ステップでは、第１の面に切削ブレードを切り込ませ、被加工物の第１の方向に沿って第２の面に達しない深さの切削溝を形成する。
【００１５】
第２保持ステップでは、被加工物の第１の面側をチャックテーブルで保持し、第２の面を露出させる。アライメント用溝形成ステップでは、第２の面に切削ブレードを切り込ませ、第１の方向と交差する第２の方向に沿って切削溝に達する深さの２本のアライメント用溝を形成する。
【００１６】
アライメントステップでは、アライメント用溝の底部に露出した切削溝の一部に基づいて、第２の面側から切削溝の位置及び向きを検出する。第２切削ステップでは、アライメントステップで検出した切削溝の位置及び向きに基づいて第２の面に切削ブレードを切り込ませ、被加工物を切削溝に沿って切断する。以下、本実施形態に係る被加工物の分割方法について詳述する。
【００１７】
図１は、本実施形態で分割される被加工物等の例を模式的に示す斜視図である。図１に示すように、被加工物１１は、樹脂、セラミックス、半導体、金属等の材料を用いて平面視で矩形状に形成された基板であり、概ね平坦な第１の面１１ａと、第１の面１１ａの反対側の第２の面１１ｂと、を有している。なお、本実施形態では、平面視で矩形状に形成された板状の被加工物１１を用いるが、被加工物１１の種類、大きさ、形状等に制限はない。
【００１８】
本実施形態では、この被加工物１１を切削して複数のチップへと分割する。なお、本実施形態に係る被加工物の分割方法を実施する前には、図１に示すように、被加工物１１の第２の面１１ｂ側を、仮止め用の粘着テープ（不図示）等で支持部材２１の第１の面２１ａ側に固定しておく。支持部材２１としては、例えば、被加工物１１より大型の基板等を用いることができる。
【００１９】
本実施形態に係る被加工物の分割方法では、まず、被加工物１１の第２の面１１ｂ側を切削装置のチャックテーブルで保持して、第１の面１１ａを露出させる第１保持ステップを実施する。図２（Ａ）は、本実施形態の第１保持ステップ及び次の第１切削ステップを模式的に示す一部断面側面図である。
【００２０】
本実施形態に係る被加工物の分割方法は、例えば、図２（Ａ）に示す切削装置２で実施される。切削装置２は、被加工物１１を保持するためのチャックテーブル４を備えている。チャックテーブル４は、モータ等を含む回転駆動源（不図示）に連結されており、鉛直方向に概ね平行な回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル４の下方には、移動機構（不図示）が設けられており、チャックテーブル４は、この移動機構で水平方向に移動する。
【００２１】
チャックテーブル４の上面は、被加工物１１に固定された支持部材２１等を吸引、保持する保持面４ａとなっている。この保持面４ａは、チャックテーブル４の内部に形成された吸引路（不図示）等を通じて吸引源（不図示）に接続されている。吸引源の負圧を保持面４ａに作用させることで、被加工物１１は、支持部材２１等を介してチャックテーブル４に保持される。
【００２２】
チャックテーブル４の上方には、被加工物１１を切削するための円環状の第１切削ブレード６が配置されている。第１切削ブレード６は、例えば、被加工物１１の厚さに比べて薄く形成されている。具体的には、被加工物１１の厚さが、第１切削ブレード６の厚さ（刃厚）の２５倍以上になることもある。
【００２３】
この第１切削ブレード６は、回転軸となるスピンドル（不図示）の一端側に装着されている。スピンドルの他端側には、モータ等を含む回転駆動源（不図示）が連結されている。また、スピンドルは、昇降機構（不図示）に支持されたスピンドルハウジング（不図示）に収容されている。
【００２４】
第１保持ステップでは、被加工物１１の第２の面１１ｂ側に固定された支持部材２１の第２の面２１ｂをチャックテーブル４の保持面４ａに接触させて、吸引源の負圧を作用させる。これにより、被加工物１１は、第１の面１１ａが上方に露出した状態でチャックテーブル４に保持される。
【００２５】
第１保持ステップの後には、第１の面１１ａに第１切削ブレード６を切り込ませ、被加工物１１の第１の方向に沿って第２の面１１ｂに達しない深さの切削溝を形成する第１切削ステップを実施する。第１切削ステップでは、まず、チャックテーブル４と第１切削ブレード６とを相対的に移動、回転させて、被加工物１１の第１の方向に設定された分割予定ライン（不図示）の延長線上に第１切削ブレード６を合わせる。
【００２６】
次に、第１切削ブレード６を第２の面１１ｂに達しない所定の高さまで下降させる。その後、図２（Ａ）に示すように、第１切削ブレード６を回転させて、対象の分割予定ラインと平行な方向（第１の方向）にチャックテーブル４を移動させる。これにより、第１切削ブレード６を被加工物１１の第１の面１１ａに切り込ませて、第２の面１１ｂに達しない深さの切削溝１１ｃを対象の分割予定ライン（第１の方向）に沿って形成できる。
【００２７】
ここで、被加工物１１に対する第１切削ブレード６の切り込み深さＤ１は、例えば、被加工物１１の厚さの１／２以上、且つ、被加工物１１の厚さ未満とする。これにより、切削時の負荷等による第１切削ブレード６の湾曲を抑制して、加工精度を高く維持できる。なお、第１切削ブレード６の切り込み深さＤ１は、被加工物１１の厚さの１／２未満としても良い。この場合には、後の第２切削ステップの切り込み深さが深くなる。
【００２８】
対象の分割予定ラインに沿って切削溝１１ｃを形成した後には、チャックテーブル４と第１切削ブレード６とを相対的に移動させて、隣接する分割予定ラインの延長線上に第１切削ブレード６を合わせる。そして、第１切削ブレード６を第２の面１１ｂに達しない所定の高さまで下降させる。
【００２９】
その後、第１切削ブレード６を回転させて、この分割予定ラインと平行な方向（第１の方向）にチャックテーブル４を移動させる。これにより、第２の面１１ｂに達しない深さの切削溝１１ｃをこの分割予定ライン（第１の方向）に沿って形成できる。上述の手順を繰り返し、第１の方向に伸びる全ての分割予定ラインに沿って切削溝１１ｃが形成されると、第１切削ステップは終了する。
【００３０】
図２（Ｂ）は、第１切削ステップ後の被加工物１１等を模式的に示す斜視図であり、図２（Ｃ）は、第１切削ステップ後の被加工物１１の第１の面１１ａ側を模式的に示す平面図である。なお、本実施形態の第１切削ステップでは、第１の方向（図２（Ｃ）のＸ軸方向）に伸びる分割予定ラインに沿って切削溝１１ｃを形成しているが、この切削溝１１ｃに加え、第１の方向と交差する第２の方向（図２（Ｃ）のＹ軸方向）に伸びる分割予定ラインに沿って別の切削溝を形成しても良い。
【００３１】
第１切削ステップの後には、被加工物１１の第１の面１１ａ側を切削装置２のチャックテーブル４で保持して、第２の面１１ｂを露出させる第２保持ステップを実施する。図３（Ａ）は、本実施形態の第２保持ステップ及び次のアライメント用溝形成ステップを模式的に示す一部断面側面図である。
【００３２】
なお、第１切削ステップの後、第２保持ステップの前には、被加工物１１の第２の面１１ｂ側に固定されている支持部材２１を剥離、除去して、図３（Ａ）に示すように、被加工物１１の第１の面１１ａ側を支持部材３１の第１の面３１ａ側に固定しておく。支持部材３１としては、支持部材２１と同様の基板を用いることができる。もちろん、剥離、除去した支持部材２１を支持部材３１として第１の面１１ａ側に固定しても良い。
【００３３】
第２保持ステップでは、被加工物１１の第１の面１１ａ側に固定された支持部材３１の第２の面３１ｂをチャックテーブル４の保持面４ａに接触させて、吸引源の負圧を作用させる。これにより、被加工物１１は、第２の面１１ｂが上方に露出した状態でチャックテーブル４に保持される。
【００３４】
第２保持ステップの後には、第２の面１１ｂに切削ブレードを切り込ませ、第１の方向と交差する第２の方向に沿って切削溝１１ｃに達する深さの２本のアライメント用溝を形成するアライメント用溝形成ステップを実施する。図３（Ａ）に示すように、上述した切削装置２は、第１切削ブレード６よりも厚い第２切削ブレード８を更に備えている。
【００３５】
この第２切削ブレード８は、回転軸となるスピンドル（不図示）の一端側に装着されている。スピンドルの他端側には、モータ等を含む回転駆動源（不図示）が連結されている。また、スピンドルは、昇降機構（不図示）に支持されたスピンドルハウジング（不図示）に収容されている。
【００３６】
アライメント用溝形成ステップでは、まず、チャックテーブル４と第２切削ブレード８とを相対的に移動、回転させて、被加工物１１に設定されたアライメント用溝形成予定ライン（不図示）の延長線上に第２切削ブレード８を合わせる。なお、本実施形態では、各切削溝１１ｃの両端部に対応する被加工物１１の外縁領域の２箇所に、第１の方向と交差する第２の方向に伸びるアライメント用溝形成予定ラインを設定する。
【００３７】
次に、第２切削ブレード８を第１の面１１ａに達しない所定の高さまで下降させる。その後、図３（Ａ）に示すように、第２切削ブレード８を回転させて、対象のアライメント用溝形成予定ラインと平行な方向（第２の方向）にチャックテーブル４を移動させる。これにより、第２切削ブレード８を被加工物１１の第２の面１１ｂに切り込ませて、対象のアライメント用溝形成予定ライン（第２の方向）に沿うアライメント用溝１１ｄを形成できる。
【００３８】
ここで、被加工物１１に対する第２切削ブレード８の切り込み深さＤ２は、形成されるアライメント用溝１１ｄの底部から切削溝１１ｃの一部が露出する程度の深さに設定される。すなわち、被加工物１１の厚さ方向において、切削溝１１ｃの一部とアライメント用溝１１ｄの一部とは重なっている。
【００３９】
被加工物１１の厚さ方向において、切削溝１１ｃとアライメント用溝１１ｄとが重なる距離Ｄ３は、切削溝１１ｃの形成に用いた第１切削ブレード６の厚さの１／２以上に設定されることが望ましい。これにより、第１切削ブレード６の先端部分が曲面状に摩耗し、この先端部分の形状（曲面）が第１切削ブレード６の厚さの中心に関して非対称になった場合（すなわち、第１切削ブレード６が偏摩耗した場合）でも、切削溝１１ｃは、アライメント用溝１１ｄの底部から、先端部分の形状の影響を受けていない部分まで露出することになるので、切削溝１１ｃの位置が変動せずに済む。よって、切削溝１１ｃの位置や方向を高い精度で検出できるようになる。
【００４０】
対象のアライメント用溝形成予定ラインに沿ってアライメント用溝１１ｄを形成した後には、チャックテーブル４と第２切削ブレード８とを相対的に移動させて、別のアライメント用溝形成予定ラインの延長線上に第２切削ブレード８を合わせる。そして、第２切削ブレード８を第１の面１１ａに達しない所定の高さまで下降させる。
【００４１】
その後、第２切削ブレード８を回転させて、このアライメント用溝形成予定ラインと平行な方向（第２の方向）にチャックテーブル４を移動させる。これにより、このアライメント用溝形成予定ライン（第２の方向）に沿うアライメント用溝１１ｄを形成できる。互いに離れた２本のアライメント用溝１１ｄが形成されると、アライメント用溝形成ステップは終了する。
【００４２】
なお、本実施形態では、予め被加工物１１に設定されたアライメント用溝形成予定ラインに沿ってアライメント用溝１１ｄを形成しているが、アライメント用溝形成予定ラインを設定することなくアライメント用溝１１ｄを形成しても良い。アライメント用溝１１ｄは、切削溝１１ｃに対して直交している必要はなく、少なくとも、切削溝１１ｃに交差して切削溝１１ｃが露出するように形成されていれば良い。よって、例えば、被加工物１１の端部（辺）等を参照し、切削溝１１ｃを形成するための第２の方向を大まかに決定しても良い。
【００４３】
図３（Ｂ）は、アライメント用溝形成ステップ後の被加工物１１等を模式的に示す斜視図であり、図３（Ｃ）は、アライメント用溝形成ステップ後の被加工物１１の第２の面１１ｂ側、及び次のアライメントステップを模式的に示す平面図である。なお、本実施形態のアライメント用溝形成ステップでは、互いに離れた２本のアライメント用溝１１ｄを形成しているが、互いに離れた３本以上のアライメント用溝１１ｄを形成しても良い。
【００４４】
また、第１切削ステップにおいて、第１の方向と交差する第２の方向に伸びる分割予定ラインに沿って切削溝を形成する場合には、アライメント用溝形成ステップにおいて、この切削溝に対応する２本（又は３本以上）のアライメント用溝を併せて形成する。すなわち、この場合には、第２の方向（図３（Ｃ）のＹ軸方向）に沿う２本（又は３本以上）のアライメント用溝１１ｄに加えて、第１の方向（図３（Ｃ）のＸ軸方向）に沿う２本（又は３本以上）のアライメント用溝を更に形成する。
【００４５】
アライメント用溝形成ステップの後には、アライメント用溝１１ｄの底部に露出した切削溝１１ｃの一部に基づいて、第２の面１１ｂ側から切削溝１１ｃの位置及び向きを検出するアライメントステップを実施する。図３（Ｃ）に示すように、アライメント用溝１１ｄの底部には、切削溝１１ｃの一部が露出している。
【００４６】
よって、露出した切削溝１１ｃの一部をカメラ等で撮像して座標を取得することで、第２の面１１ｂ側から切削溝１１ｃの位置及び向きを検出できる。なお、本実施形態では、１本の切削溝１１ｃに対し、２本のアライメント用溝１１ｄに対応する２箇所で座標を取得する。このように、１本の切削溝１１ｃに対して離れた２以上の箇所で座標を取得することにより、切削溝１１ｃの位置及び向きを精度良く検出できる。
【００４７】
アライメントステップの後には、アライメントステップで検出した切削溝１１ｃの位置及び向きに基づいて、第２の面１１ｂに第１切削ブレード６を切り込ませ、被加工物１１を切削溝１１ｃに沿って切断する第２切削ステップを実施する。図４（Ａ）は、本実施形態の第２切削ステップを模式的に示す一部断面側面図である。
【００４８】
第２切削ステップでは、まず、チャックテーブル４と第１切削ブレード６とを相対的に移動、回転させて、アライメントステップで検出した切削溝１１ｃの延長線上に第１切削ブレード６を合わせる。次に、第１切削ブレード６を第１の面１１ａに達しない所定の高さまで下降させる。
【００４９】
その後、図４（Ａ）に示すように、第１切削ブレード６を回転させて、対象の切削溝１１ｃと平行な方向（第１の方向）にチャックテーブル４を移動させる。これにより、第１切削ブレード６を被加工物１１の第２の面１１ｂに切り込ませてカーフ（切り口）１１ｅを形成し、対象の切削溝１１ｃに沿って被加工物１１を切断できる。
【００５０】
ここで、被加工物１１に対する第１切削ブレード６の切り込み深さＤ４は、第２切削ステップにおける第１切削ブレード６の切り込み深さＤ１に応じて決定される。具体的には、切り込み深さＤ１と切り込み深さＤ４との和が被加工物１１の厚さ以上となるように切り込み深さＤ４を設定する。これにより、第２の面１１ｂと切削溝１１ｃの底とを貫通させて被加工物１１を切断できる。
【００５１】
なお、この場合にも、第１切削ブレード６の偏摩耗による加工精度の低下を防ぐために、切削溝１１ｃの底から第１切削ブレード６の厚さの１／２以上に深い位置まで第１切削ブレード６を切り込ませることが望ましい。すなわち、切り込み深さＤ１と切り込み深さＤ４との和が、被加工物１１の厚さと切削ブレード６の厚さの１／２との和以上となるように切り込み深さＤ４を設定することが望ましい。
【００５２】
対象の切削溝１１ｃに沿って切削溝１１ｃを形成した後には、チャックテーブル４と第１切削ブレード６とを相対的に移動、回転させて、隣接する切削溝１１ｃの延長線上に第１切削ブレード６を合わせる。そして、第１切削ブレード６を第１の面１１ａに達しない所定の高さまで下降させる。
【００５３】
その後、第１切削ブレード６を回転させて、この切削溝１１ｃと平行な方向（第１の方向）にチャックテーブル４を移動させる。これにより、この切削溝１１ｃに沿って被加工物１１を切断できる。上述の手順を繰り返し、全ての切削溝１１ｃに沿って被加工物１１が切断されると、第２切削ステップは終了する。
【００５４】
図４（Ｂ）は、第２切削ステップ後の被加工物１１等を模式的に示す斜視図であり、図４（Ｃ）は、第２切削ステップ後の被加工物１１の第２の面側を模式的に示す平面図である。なお、第１切削ステップにおいて、第１の方向と交差する第２の方向に伸びる分割予定ラインに沿って切削溝を形成している場合には、第２切削ステップにおいて、この切削溝に沿って被加工物１１を更に切断する。すなわち、この場合には、第１の方向（図４（Ｃ）のＸ軸方向）に伸びる切削溝１１ｃに沿って被加工物１１を切断するとともに、第２の方向（図４（Ｃ）のＹ軸方向）に伸びる切削溝に沿って被加工物１１を切断する。
【００５５】
以上のように、本実施形態に係る被加工物の分割方法では、被加工物１１の第１の面１１ａに第１切削ブレード６を切り込ませ、第２の面１１ｂに達しない深さの切削溝１１ｃを第１の方向に沿って形成した後に、被加工物１１の第２の面１１ｂに第２切削ブレード８を切り込ませ、切削溝１１ｃに達する深さのアライメント用溝１１ｄを第１の方向と交差する第２の方向に沿って形成するので、アライメント用溝１１ｄの底部に露出した切削溝１１ｃの一部に基づいて、切削溝１１ｃの位置及び向きを第２の面１１ｂ側から検出できる。
【００５６】
よって、検出した切削溝１１ｃの位置及び向きに基づいて第２の面１１ｂに第１切削ブレード６を切り込ませれば、第２の面１１ｂ側の切り込み位置を高い精度で切削溝１１ｃに合わせることができる。このように、本実施形態に係る被加工物の分割方法では、第２の面１１ｂ側の切り込み位置を高い精度で切削溝１１ｃに合わせて、被加工物１１を精度良く分割できる。
【００５７】
なお、本発明は上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、アライメント用溝形成ステップで第２切削ブレード８を用いてアライメント用溝１１ｄを形成しているが、本発明はこの態様に限定されない。アライメント用溝１１ｄの底部に露出した切削溝１１ｃの一部を第２の面１１ｂ側から適切に検出できるようであれば、第１切削ブレード６を用いてアライメント用溝１１ｄを形成しても良い。
【００５８】
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００５９】
１１  被加工物
１１ａ  第１の面
１１ｂ  第２の面
１１ｃ  切削溝
１１ｄ  アライメント用溝
１１ｅ  カーフ（切り口）
２１  支持部材
２１ａ  第１の面
２１ｂ  第２の面
３１  支持部材
３１ａ  第１の面
３１ｂ  第２の面
２  切削装置
４  チャックテーブル
４ａ  保持面
６  第１切削ブレード
８  第２切削ブレード
【図１】
2017100231.tif 000003
【図２】
2017100231.tif 000004
【図３】
2017100231.tif 000005
【図４】
2017100231.tif 000006