(57)【要約】【課題】  測定対象の薄膜フィルムにゆがみ、たわみ等が生じ、平坦性が保持できなくなることを防ぎ、正確な検査が可能となる薄膜フィルム用検査装置を提供する。【解決手段】  薄膜フィルムの欠陥を検知するための検査装置であって、前記薄膜フィルムの一面側に撮像装置を備えた光学式検査装置と、前記薄膜フィルムの他面側に静電吸着部を有し、薄膜フィルムの他面側を静電吸着部の静電力により吸着固定し、光学式検査装置を介した撮像装置の画像により検査する薄膜フィルム用検査装置。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄膜フィルムの欠陥を検知するための検査装置であって、前記薄膜フィルムの一面側に撮像装置を備えた光学式検査装置と、前記薄膜フィルムの他面側に静電吸着部を有し、薄膜フィルムの他面側を静電吸着部の静電力により吸着固定し、光学式検査装置を介した撮像装置の画像により検査する薄膜フィルム用検査装置。
【請求項２】
さらに、前記撮像装置を備えた光学式検査装置での撮像装置の画像を解析する画像処理装置を備える請求項１に記載の薄膜フィルム用検査装置。
【請求項３】
前記薄膜フィルム用検査装置の静電吸着部が、縦方向、横方向及び高さ方向のいずれか１以上の方向に移動する駆動部を有する請求項１又は請求項２に記載の薄膜フィルム用検査装置。
【請求項４】
前記静電吸着部が取り外し可能である請求項１〜３のいずれか一項に記載の薄膜フィルム用検査装置。
【請求項５】
前記静電吸着部の上方に反射光光源が配置される請求項１〜４のいずれか一項に記載の薄膜フィルム用検査装置。
【請求項６】
前記撮像装置を備えた光学式検査装置は、異なる倍率の対物レンズが取りつけ可能である請求項１〜５のいずれか一項に記載の薄膜フィルム用検査装置。
【請求項７】
前記薄膜フィルムの厚みが、１０〜２００μｍである請求項１〜６のいずれか一項に記載の薄膜フィルム用検査装置。
【請求項８】
前記薄膜フィルムが、支持フィルム上に感光性樹脂層と、感光性樹脂層上に設けられた保護フィルムを備えたフィルムである請求項１〜７のいずれか一項に記載の薄膜フィルム用検査装置。
【請求項９】
前記薄膜フィルムが、支持フィルム上に導電繊維を含有する導電層と、導電層上に設けられた感光性樹脂層を備えたフィルムである請求項１〜７のいずれか一項に記載の薄膜フィルム用検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜フィルム用検査装置に関し、検査時に薄膜フィルムの平坦性を保持し、薄膜フィルムを拡大しても焦点が合った撮像画像が得られ、この撮像画像を用いて微小な欠陥を検査する機能を有する検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
パソコンやテレビ等の大型電子機器、カーナビゲーション、携帯電話、電子辞書等の小型電子機器、ＯＡ機器、ＦＡ機器等の表示機器の製造工程では、種々のフィルム製品が使用されている。
【０００３】
上記フィルム製品は、最終製品の薄型化の要求に伴い、フィルムの厚みを薄くする要求がある。
上記のような薄膜フィルムでは、各プロセス毎に外観検査をすることで、不良原因の検知と早期発見が可能となり、特に、製造初期から中期の工程での外観検査は、欠陥検査のみならず、そのずれ量、面積、体積等の数値情報を収集、分析することで工程能力の維持、向上を図ることも可能となる。
【０００４】
外観検査としては、基板表面をＣＣＤ（Charge-Coupled Device、電荷結合素子）等の撮像素子を用いて撮像して、得られた画像を観察するパターン検査や欠陥検査がある。このような撮像方法では、顕微鏡や同等な光学系(鏡筒)を用いて高解像度の画像を得るため、基板表面に正確にピントを合わせなければならない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−２１３４４号公報
【特許文献２】特開２００６-１７９５３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、外観検査を行う際に、検査位置にある薄膜フィルム等に反りなどが存在する場合には、撮像装置の焦点が合わなくなり、正確な外観検査を行うことができないことになる。このため、例えば、特許文献１では、基板（ウエハ）を押さえピンにより押さえて固定する技術が開示されている。この方法は基板を押さえ込み、反りや捻れを解消する構造であるため、基板に接触することとなり、汚れ等の問題が生じる。また、薄膜フィルムを対象とした場合には、薄膜フィルムを突起部やピンで押さえると、その箇所に応力が生じてゆがみやたわみが発生してしまうという課題があった。
【０００７】
これらの解決方法として、特許文献２では真空吸着によりフィルムの平坦性を確保した検査装置の技術が開示されている。
【０００８】
しかし、上記の真空吸着方法では吸引口があるため、薄膜フィルムでは吸引口の部分でたわみ等が生じ、十分な平坦性を保持できず正確な検査を行うことが出来ない場合があった。
【０００９】
本発明の目的は、測定対象の薄膜フィルムにゆがみ、たわみ等が生じ、平坦性が保持できなくなることを防ぎ、正確な検査が可能となる薄膜フィルム用検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、前述した目的を達成する為になされたものであり、薄膜フィルムの外観不良を検知するための装置であって、薄膜フィルムの一面側に配置した光学式検査装置と、それに付随した撮像装置と、前記撮像装置と対峙するように薄膜フィルムの他面側に配置され、検査位置の薄膜フィルムを静電気で吸着する静電吸着部とを備え、薄膜フィルムを静電吸着部に静電力で吸着して、光学式検査装置によって薄膜フィルムの不良を検査するように構成されたことを特徴とする。
【００１１】
このように構成することで、静電吸着部で発生させた静電気力によって薄膜フィルムを静電気力で吸着させ、固定した状態で、光学式検査装置を介した撮像装置の画像を解析することによって薄膜フィルムの不良を検知することができる。
【００１２】
すなわち、本発明は、［１］  薄膜フィルムの欠陥を検知するための検査装置であって、前記薄膜フィルムの一面側に撮像装置を備えた光学式検査装置と、前記薄膜フィルムの他面側に静電吸着部を有し、薄膜フィルムの他面側を静電吸着部の静電力により吸着固定し、光学式検査装置を介した撮像装置の画像により検査する薄膜フィルム用検査装置である。
また、本発明は、［２］  さらに、前記撮像装置を備えた光学式検査装置での撮像装置の画像を解析する画像処理装置を備える上記［１］に記載の薄膜フィルム用検査装置である。
また、本発明は、［３］  前記薄膜フィルム用検査装置の静電吸着部が、縦方向、横方向及び高さ方向のいずれか１以上の方向に移動する駆動部を有する上記［１］又は［２］に記載の薄膜フィルム用検査装置である。
また、本発明は、［４］  前記静電吸着部が取り外し可能である上記［１］〜［３］のいずれか一項に記載の薄膜フィルム用検査装置である。
また、本発明は、［５］  前記静電吸着部の上方に反射光光源が配置される上記［１］〜［４］のいずれか一項に記載の薄膜フィルム用検査装置である。
また、本発明は、［６］  前記撮像装置を備えた光学式検査装置は、異なる倍率の対物レンズが取りつけ可能である上記［１］〜［５］のいずれか一項に記載の薄膜フィルム用検査装置である。
また、本発明は、［７］  前記薄膜フィルムの厚みが、１０〜２００μｍである上記［１］〜［６］のいずれか一項に記載の薄膜フィルム用検査装置である。
また、本発明は、［８］  前記薄膜フィルムが、支持フィルム上に感光性樹脂層と、感光性樹脂層上に設けられた保護フィルムを備えたフィルムである上記［１］〜［７］のいずれか一項に記載の薄膜フィルム用検査装置である。
また、本発明は、［９］  前記薄膜フィルムが、支持フィルム上に導電繊維を含有する導電層と、導電層上に設けられた感光性樹脂層を備えたフィルムである上記［１］〜［７］のいずれか一項に記載の薄膜フィルム用検査装置である。
【００１３】
本発明の薄膜フィルム用検査装置によれば、撮像対象である薄膜フィルムが平坦な状態となり、撮像装置の焦点が合い、ピンボケが発生せず、正確な検査を行うことができる。
【００１４】
しかも、反射光光源と撮像対象である薄膜フィルムとの間にはなにも介在しない状態であるので、反射光光源から照射された光が、遮断されることなく、吸着保持された薄膜フィルムに均一に照射することになり、薄膜フィルムの精密な検査を実施することができる。
【００１５】
また、本発明では、前記光学式検査装置に任意の倍率の対物レンズを取り付けることができる機能を有している。このように任意の対物レンズを取り付けられることによって不良のサイズに合わせて撮像をおこなうことができ、正確な検査を行うことができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、静電吸着部によって発生した静電気力によって、薄膜フィルムを吸着した状態で固定するため、撮像対象である薄膜フィルム表面が平坦になり、撮像装置の焦点が合い、ピンボケが発生せず、正確な検査を行うことができ、不良を検知することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の検査装置を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１は本発明の薄膜フィルム用検査装置を示す概略図である。
【００１９】
図１において符号１は全体で本発明の薄膜フィルム用検査装置（以下、「検査装置」と言う）を示している。検査装置１は光学式検査装置２と静電吸着部５と、静電吸着部５に結合され静電吸着部を移動可能な検査領域駆動部６と、それらを制御する駆動部コントローラ７、情報処理装置（ＰＣ）８を有する。
【００２０】
撮像装置３を備えた光学式検査装置２は、例えば光学顕微鏡や専用機等があり、汎用性と入手のしやすさの点から光学顕微鏡が好ましい。なお光学式検査装置を光学式顕微鏡にすることで、薄膜フィルム以外の検査対象においても使用できる。
【００２１】
光学顕微鏡としては、例えば、株式会社ニコン製の測定顕微鏡ＭＭシリーズが挙げられる。ＭＭシリーズには、ＭＭタイプとユニバーサルタイプがあり、ＭＭタイプには、スプリットプリズム方式のフォーカスエイド（ＦＡ）があり、これにより高さ（Ｚ軸）方向の正確なピント合わせが可能で、対物レンズの焦点深度による高さ測定誤差を低減できる。加えて、ユニバーサルタイプには、ＴＴＬレーザーオートフォーカス機構が搭載され、高精度で速い焦点合わせ、高さ測定が可能となる。これらの焦点合わせには時間を要し、検査領域が広い時に移動しての検査では測定対象の平坦性保持が必要になる。これらには、撮像装置であるデジタルカメラが装着でき、測定支援システムＥ-ＭＡＸシリーズと組み合わせ、デジタル画像の測定ができ、データ処理装置ＤＰ−Ｅ１と組み合わせてデータ処理ができる。
本発明の薄膜フィルム用検査装置は、静電吸着部の上方に反射光光源が配置されることが望ましく、薄膜フィルムに照明を当て、その反射光により撮像画像が得られる。反射光光源（照明）として、８方向ＬＥＤリングライト、ダブルアームファイバーＬＥＤ照明装置の装着ができる。また、対物レンズ（×１〜×１００）の交換を行うことができる。さらに、手動・電動のステージが装着されており縦方向、横方向、高さ方向のそれぞれに移動することができ、このステージを利用して静電吸着部を着脱できる。
【００２２】
専用機としては、撮像装置が組み込まれた、例えば、株式会社キーエンス製のカメラで、５００万画素シリーズ（２４３２×２０５０画素、有効画素数５００万画素、転送時間６１．２ｍｓ、１６．３回／秒）のＣＶ−Ｈ５００Ｃ（カラー）、ＣＶ−Ｈ５００Ｍ（白黒）、２００万画素シリーズ（１６００×１２００画素、７倍速力、転送時間２９．２ｍｓ）のＣＶ−Ｈ２００Ｃ（カラー）、ＣＶ−Ｈ２００Ｍ（白黒）、１００万画素シリーズ（１０００×１０００画素、７倍速力、転送時間２０．５ｍｓ）のＣＶ−Ｈ１００Ｃ（カラー）、ＣＶ−Ｈ１００Ｍ（白黒）、３１万画素シリーズ（６４０×４８０画素、７倍速力、転送時間４．７ｍｓ）のＣＶ−Ｈ０３５Ｃ（カラー）、ＣＶ−Ｈ０３５Ｍ（白黒）、超小型シリーズ（倍速力）のＣＶ−Ｓ２００Ｃ（カラー）、ＣＶ−Ｓ２００Ｍ（白黒）、２００万画素シリーズ（３倍速力、転送時間５９ｍｓ）のＣＶ−２００Ｃ（カラー）、ＣＶ−２００Ｍ（白黒）、３１万画素シリーズ（倍速力、転送時間１２ｍｓ）のＣＶ−０３５Ｃ（カラー）、ＣＶ−０３５Ｍ（白黒）が挙げられる。
【００２３】
本発明の薄膜フィルム用検査装置は、静電吸着部の上方に反射光光源が配置されることが望ましく、薄膜フィルムに照明を当て、その反射光により撮像画像が得られる。反射光光源（照明）として、上記で例示した株式会社キーエンスから、カメラ本体に取り付けるＬＥＤ照明のダイレクトリング方式のＣＡ-ＤＲシリーズ、長尺エリアに均一な照射ができ、ハレーションの原因である正反射光を発生させないために、斜めから照射できるよう設置し、拡散反射光で撮像するバー方式のＣＡ-ＤＢシリーズ、薄膜フィルムに近い位置から照明し、表面上の凹凸に斜め側面から照射することで、陰影のコントラストを撮像、判別するのに適した円環状から照射し円環状の内側を通して撮像するローアングル方式のＣＡ-ＤＬシリーズ、真上からの直接光では凹凸による陰影や光沢面によるハレーションが発生しやすい不定形なものに対してまんべんなく柔らかな拡散光を照射できるため、表面を均一な状態にし、検出ポイントとのコントラストが明確となるお椀を伏せた形状で底を空けた部分から撮像するドーム方式のＣＡ-ＤＤシリーズ、ハーフミラーを利用し、レンズと同軸上から照射し光沢面の正反射光を入光し、破れ・つぶれによる拡散光を逃がすことで、明暗のコントラストを撮像、判別する同軸落射方式のＣＡ-ＤＸシリーズが挙げられる。これらと同等の照明方式であるもの、それ以外のものでも照明するものであれば使用することができる。
【００２４】
本発明の薄膜フィルム用検査装置の撮像装置を備えた光学式検査装置は、異なる倍率の対物レンズが取りつけ可能であると好ましい。薄膜フィルムの欠陥は、目視で判別できないものがあり、拡大して検査する必要がある。しかし、その大きさは大小まちまちであり、撮像装置への倍率を変える必要がある。上記で例示した株式会社キーエンスからは、４／３型対応・超高解像度（解像力３．５μｍ）低ディストーションレンズのＣＡ-ＬＨＥシリーズ、超高解像度（解像力３．５μｍ）低ディストーションレンズのＣＡ-ＬＨＲシリーズ、高解像度（解像力５．０μｍ）低ディストーションレンズのＣＡ-ＬＨシリーズ、耐振動高解像度低ディストーションレンズのＣＡ-ＬＨ  Ｇシリーズ、ＣＣＴＶレンズ（標準解像度、解像力７．５μｍ）のＣＶ−Ｌシリーズ、ラインスキャンカメラ用レンズのＣＡ-ＬＨＷ（高解像〜標準解像）、−ＬＨＬ、-ＬＭシリーズ、ディストーションフリーＶＰＲ搭載テレセントリックマクロレンズ（超高解像度）のＣＡ-ＬＭＨＲシリーズ、４／３型対応テレセントリックマクロレンズ（超高解像度）のＣＡ-ＬＭＨＥシリーズ、２／３型対応可変倍率テレセントリックマクロレンズ（標準解像度）のＣＡ-ＬＭシリーズ、高解像度テレセントリックマクロレンズのＣＡ-ＬＭＨシリーズ、小型カメラ専用レンズのＣＡ-ＬＳ、ＣＡ-ＬＨＳシリーズが挙げられる。これらには、シャープカットフィルタ、偏光フィルタ、保護フィルタ、青カットフィルタを併用してもよい。
これらは、株式会社キーエンス製の画像処理システムＸＧ-８０００シリーズ、ＸＧ-７０００シリーズで画像を処理して、薄膜フィルムの欠陥を検知することができる。
【００２５】
光学式検査装置２は、撮像装置３と対物レンズ４を有しており、撮像装置３によって不良が認識される。
撮像装置３は、エリアセンサでもラインセンサのどちらでも可能であるが、ラインセンサを使用する際は検査対象を搬送する必要がある。
装置の小型化の点では、エリアセンサのほうが好ましい。またセンサの素子はＣＣＤイメージセンサーでもＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor、相補性金属酸化膜半導体）イメージセンサーでも可能であるが、ＣＣＤのほうがより鮮明に撮像可能であるため好ましい。
【００２６】
対物レンズ４は不良のサイズに合わせて選択可能である。不良のサイズに合わせて使用者が適宜選択することができる。
【００２７】
上記光学式検査装置２は、内部に反射光光源を有している。反射光光源はＬＥＤやハロゲン、水銀灯等があるが、長寿命の点でＬＥＤが好ましい。光源の色は検査すべき薄膜フィルムの不良に対して検査しやすい(確認しやすい)発光色を選択することで多種多様な不良に対応することができる。
【００２８】
この光学検査装置２で検査する薄膜フィルムは、検査位置下方に配置した静電吸着部（静電吸着装置）５によって検査面の裏側が静電吸着され、検査領域を平坦に保持することができる。従って、光学検査装置２の焦点が合い、いわゆるピントボケが発生せず正確な検査を行うことができる。
使用する静電吸着部（装置）に制限はなく、検査対象を吸着できる装置であれば、特に制限はない。検査対象が特定されていない場合、静電気力を調整できるように電圧の調整可能な静電吸着装置にすることが好ましい。
【００２９】
静電吸着部（静電吸着装置）は、絶縁体の内部に電極を設け、電極に電圧を印加すると、電極と対象物間に発生した静電気力により対象物を吸着するものであり、クーロン力型とジョンソン・ラベック力型がある。絶縁体にはセラミックスが使用されることが多く、シリコンウエハを固定する静電チャックとして多用されている。静電チャックは，シリコンウエハとほぼ同じ外径の円盤状のセラミック部分と冷却用の円盤状金属プレート部分で構成され、セラミックの内部にはウェハ吸着用の内部電極が形成される。静電チャック上にウェハを載せ、内部電極に電圧を印加することで，ウェハを電気的に吸着固定できる。
セラミック静電チャックはウェハの吸着方式によって大きく二種類に分類でき、一つはセラミックの誘電層部の体積抵抗率が１×１０１６Ω・ｃｍ以上であるクーロン力型の静電チャックである。クーロン力型の静電チャックは一般的に純度の高いアルミナや窒化アルミなどのセラミックス素材を用いることが多く、必要な吸着力を得るため誘電層に２〜３ｋＶの電圧印加が必要である。一つはセラミックの誘電層部の体積抵抗率が１×１０９〜１０１２Ω・ｃｍ程度であるジョンソン・ラベック力型の静電チャックである。ジョンソン・ラベック力型の静電チャックは体積抵抗率を下げるため，アルミナや窒化アルミなどのセラミックス素材に抵抗コントロール用の金属酸化物などの添加物を加える場合が多く、必要な吸着力を得るため誘電層に印加する電圧は１ｋＶ以下で充分である。対象物と絶縁体との界面の小さなギャップに微少電流が流れ、帯電分極して誘起される。
本発明で使用する静電吸着部（装置）は、薄膜フィルム用であるので、大きな静電力、耐熱性、耐プラズマ性が必要でなくクーロン力型でもジョンソン・ラベック力型でも使用でき、構成が容易で絶縁層にプラスチックの絶縁体を用いることが可能なクーロン力型が好ましい。また、絶縁体の内部の電極は、単極方式、双極方式のいずれでもよい。
静電気を用いる固定方式は、１）対象物全面に対して均一な作用力をもたらすので薄いものに最適で、２）導体、半導体、絶縁体に対しても固定でき、３）対象物の裏面（静電吸着部に接する反対面）に電界は到達しない（ＴＦＴ回路が存在しても影響しない）、４）多孔質材等孔の開いたものでも吸着でき、５）対象物に圧痕、傷、孔の転写を発生しない、６）複数枚積層された積層対象物では、最上層の一枚のみ吸着（複数枚同時吸着防止）、７）真空環境下でも吸着、８）低電圧で強い吸着力を発揮するなどの特徴を有する。
【００３０】
前記検査装置は検査領域駆動部６（駆動部コントローラ７)を有しており、静電吸着装置５によって吸着している薄膜フィルムを吸着状態のまま検査範囲を変更することができる。検査領域駆動部６は手動、自動どちらでも可能であり、精密な制御が可能な点で自動とすることが好ましい。
【００３１】
前記検査装置の撮像結果の画像処理と検査領域駆動部の制御（駆動部コントローラ７）は情報処理装置（ＰＣ）８により制御をおこなう。ＰＣ８は前記機能を制御できる範囲であれば制限されるものはない。情報処理装置は、コンピュータのことで、中央処理装置ＣＰＵ（演算装置、処理装置）またはＭＰＵ（演算装置、処理装置）、メモリ、入力装置、出力装置、補助記憶装置等で構成されている。一般には、ＰＣが用いられ、光ファイバーや信号線で他の情報装置とつながっていてもよい。
【００３２】
以上のような構成の本発明の検査装置１を用いて、薄膜フィルムについて外観検査を実施した場合には、真空吸着を使用した検査するときに比べて焦点位置のずれ、いわゆるピンボケを防止できることが分かった。
【００３３】
また、本発明の検査装置１を用いて、薄膜フィルムについて外観検査を実施した場合には、オートフォーカスで全面焦点位置を合わせた検査と比較して、検出精度は同等で検査時間を２０％程度短縮できた。
【００３４】
以上のような構成の本発明の検査装置１を用いて、薄膜フィルムについて外観検査を実施した場合には、検査時間の短縮が可能なことが分かった。
【００３５】
以上、本発明の好ましい実施の態様を説明してきたが、本発明はこれに限定されることはなく、本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。例えば、上記では反射光光源を光学式検査装置２内部に配置したが、反射光光源を薄膜フィルムの斜め上方に配置することも可能である。斜め上方に配置することで光の入射角が変化し、不良によっては検査しやすく(確認しやすく)なる。
【００３６】
また、薄膜フィルムを水平方向に配置するように用いたが、薄膜フィルムを垂直方向に配置して、静電吸着装置５、撮像装置３を水平方向に配置して用いることも可能であるなど本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
本発明の検査装置において、薄膜フィルムとしては、全体の厚みが１５０μｍ以下のものである。厚みとしては、１００μｍ以下が好ましく、５５μｍ以下がより好ましい。ただし、１５０μｍ以上のフィルムも検査可能である。
【００３７】
本発明の検査装置は、例えば、特許第５４１８５２３号（特開２０１１−１７５９７号公報、発明の名称；感光性導電フィルム、導電膜の形成方法、導電パターンの形成方法及び導電膜基板）に記載の感光性導電フィルムや、特許第５３０４９６８号（国際公開第１３/０８４８８６号、発明の名称；樹脂硬化膜パターンの形成方法、感光性樹脂組成物、感光性エレメント、タッチパネルの製造方法及び樹脂硬化膜）に記載の薄膜感光性フィルムの検査に特に有効である。
具体的には、本発明の検査装置は、支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた導電性繊維を含有する導電層と、該導電層上に設けられた感光性樹脂層と、保護フィルムを備えた感光性導電フィルムへの応用が期待できる。
また、支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた感光性樹脂組成物からなる厚み１０μｍ以下の感光層と、保護フィルムを備える感光性エレメントへの応用も期待できる。
【００３８】
薄膜フィルムの欠陥は、支持フィルム、保護フィルムの異物、ゲル状物、傷、材料の凝集体、層間の気泡等であり、これらがあると感光性樹脂層、感光層の厚みが薄くなったり、厚くなったりして、露光、現像が周囲とは異なり欠陥となる。感光性樹脂層、感光層では、ゲル状物、硫酸バリウム等の添加剤の分散不良、凝集等である、感度、現像性等が周囲とは異なり欠陥となる。導電性繊維を含有する導電層では、その導電性繊維の分布が均一であることが好ましいが、その分布が変化すると透過性、導電性に影響を及ぼす。これらの欠陥を検知し、製品の良否を判定したり、欠陥が生じた場合には、その原因究明の手掛かりとなる。
【００３９】
画像解析は、製品の良品・欠陥・不良・異物を、高性能ＣＣＤカメラ（又はＣＭＯＳカメラ）を使用し高速解析による手動・自動検査を行う。解析された不良品は排除され良品との区分けまで自動で処理されるシステムが多数市販されている。また、検査結果はコンピュータに画像として記録しておくことも可能で、製造工程における品質管理に対して情報のフィードバックを行うなど製品の品質管理に役立てることが出来る。
欠陥（不良）は、異物付着、汚、割れ、欠け等の表面欠陥検出、異物混入、つぶれ等の内部欠陥検出、変形、穴あき、へこみ、尻へこみ、頭部穴あき等の異形検出、印字有無判定などである。
画像解析の機能には多種類のものがあり、カラー検出機能により、フルカラー画像を、明度（Intensity）、色相（Hue）、および純度（Purity）の３属性にリアルタイム変換処理し、この３属性に基づいて色抽出を正確に行うため淡い色調や複雑な色合いのカラー画像解析に威力を発揮する。また、カラー抽出機能により、検出したい特定色部分をマウス等でポイント指定を行うカラー抽出により使いやすく理解しやすいカラー画像解析が行える。検出画像透かし表示機能により、測定画像の２値化検出に、原画像と検出画像を透かして重ね表示する。画像測定には、この画像透かし機能が２値化レベル設定を正確に行う場合、大変有用である。また、シェーディング補正機能により、背景の違いや照明反射むらなどに効力を発揮し、精度良く解析が行える。さらに、自動濃度レベル補正機能により、照明光量の変動や測定物の濃度変化に対して、常に一定の明るさに補正する自動濃度レベル補正がある。そして、画像計測手順を登録することで便利性が向上する。
これらの画像解析は、計測装置と組み合わせる形で画像処理ソフトが市販されているので、それを用いるのが便利である。
【実施例】
【００４０】
（実施例）
図１中の静電吸着部５として静電吸着板キューロン（太平化学製品株式会社製）を用いた。光学顕微鏡は、オリンパス株式会社製の工業用顕微鏡の半導体／ＦＰＤ検査顕微鏡のＭＸ−５１を用いた。ＭＸ−５１の約１５０ｍｍ角のステージに前記静電吸着板キューロンを載置、固定した。静電吸着板キューロンは、プラスチック複合板の中に電極を配し、これに直流電圧（電圧；３ｋＶ）をかけることによって表面に吸着力を発生させる。薄膜フィルムは、厚さ５３μｍの転写形薄膜透明導電フィルム(ＴＣＴＦ、Transparent Conductive Transfer Film、日立化成株式会社製）を静電吸着部５の上に載せ、７の駆動部コントローラと６の検査領域駆動部を用いて自動検査した。
落射照明は、１００Ｗハロゲンを用いた。
検査の結果、薄膜フィルムにゆがみ、たわみが生じることなく、平坦性を保持し、幅１．３ｃｍで焦点位置は変化しなかった。
ＭＸ−５１は、明視野、暗視野、微分干渉、簡易偏光、蛍光で測定ができ（上記観察は明視野）、三眼鏡筒にはデジタルカメラを付けることが可能で、２８０万画素、５００万画素、１７２８万画素の画像が取得でき（２０１万画素非圧縮カラー画像を１５フレーム／秒で表示）、画像解析ソフトウエア（オリンパス株式会社製、ＯＬＹＭＰＵＳ  Ｓｔｒｅａｍ）により顕微鏡、デジタルカメラとの連携により、シームレスな画像キャプチャーから画像処理、計測等ができる。
なお、薄膜フィルムであるＴＣＴＦは、銀ナノワイヤと感光層の２層構造で、支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた導電性繊維を含有する導電層（銀ナノワイヤ）と、該導電層上に設けられた感光性樹脂層と、保護フィルムから構成されている。ＴＣＴＦは基板に転写・接着し、露光とアルカリ現像により導電性のファインパターンを形成できるため、ＩＴＯ等のように真空プロセスが不要かつ加工プロセスの短縮による生産効率の向上が可能になる。
【００４１】
（比較例）
多孔質体（黒崎播磨株式会製、商品名「多孔質セラミックス吸着プレート」）を用いた真空吸着を使用して実施例と同様の顕微鏡を用いて自動検査をした。検査の結果、検査範囲内で一部は焦点位置が合っていたものの、全体では焦点位置がずれていた(ピンボケしていた)。ピンボケでは、配線パターン、粒子などは、画像処理で、太い線幅、大きな粒子として認識され、不良と誤判定されることがある。
以上のように、静電吸着部の静電力により吸着固定し、光学式検査装置を介した撮像装置の画像により検査することで、薄膜フィルムの検査位置を変えても、焦点距離がずれることなくピンボケが生じないので、迅速、正確の欠陥を検知することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明の検査装置によれば、薄膜フィルムを効率的に検査することができる。
【符号の説明】
【００４３】
１  検査装置
２  光学式検査装置
３  撮像装置
４  対物レンズ
５  静電吸着部（静電吸着装置）
６  検査領域駆動部
７  駆動部コントローラ
８  情報処理装置（ＰＣ）
【図１】
2017015564.tif 000003