(57)【要約】【課題】第１イオン発生部と第２イオン発生部のうちの少なくとも一方のイオン発生部が正常ではない場合に、前記一方のイオン発生部が正常ではないことを的確に判断することが可能な電子部品搬送装置および電子部品検査装置を提供すること。【解決手段】イオンを発生する第１イオン発生部と、イオンを発生する第２イオン発生部と、イオンバランスと除電時間のうちの少なくとも一方を検出する検出部と、を備え、前記第１イオン発生部と前記第２イオン発生部のうちの一方のイオン発生部を作動させることを特徴とする電子部品搬送装置。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
イオンを発生する第１イオン発生部と、
イオンを発生する第２イオン発生部と、
イオンバランスと除電時間のうちの少なくとも一方を検出する検出部と、を備え、
前記第１イオン発生部と前記第２イオン発生部のうちの一方のイオン発生部を作動させることを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項２】
前記第１イオン発生部と前記第２イオン発生部のうちの一方のイオン発生部を作動させたときは、他方のイオン発生部の作動を停止する請求項１に記載の電子部品搬送装置。
【請求項３】
前記検出部は、前記第１イオン発生部を作動させ、前記第２イオン発生部の作動を停止した状態で、前記第１イオン発生部のイオンバランスと除電時間のうちの少なくとも一方を検出する請求項１または２に記載の電子部品搬送装置。
【請求項４】
前記検出部での検出結果が、基準値に達しない場合は、前記第１イオン発生部は正常ではないと判断する請求項３に記載の電子部品搬送装置。
【請求項５】
前記検出部での検出結果が、基準値に達しない場合は、前記第１イオン発生部は正常ではないことを報知する報知部を有する請求項３または４に記載の電子部品搬送装置。
【請求項６】
前記検出部は、前記第１イオン発生部の作動を停止し、前記第２イオン発生部を作動させた状態で、前記第２イオン発生部のイオンバランスと除電時間のうちの少なくとも一方を検出する請求項１ないし５のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項７】
前記検出部での検出結果が、基準値に達しない場合は、前記第２イオン発生部は正常ではないと判断する請求項６に記載の電子部品搬送装置。
【請求項８】
前記検出部での検出結果が、基準値に達しない場合は、前記第２イオン発生部は正常ではないことを報知する報知部を有する請求項６または７に記載の電子部品搬送装置。
【請求項９】
前記検出部による前記検出は、電子部品を検査する検査領域と、前記電子部品を前記検査領域まで供給する供給領域と、検査が終了した前記電子部品が回収される回収領域とのそれぞれで行う請求項１ないし８のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１０】
前記供給領域、前記検査領域および前記回収領域の各領域毎に独立して前記検出部により前記検出を行う請求項９に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１１】
前記検出部は、前記第１イオン発生部および前記第２イオン発生部よりも下方に配置されている請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１２】
イオンを発生する第１イオン発生部と、
イオンを発生する第２イオン発生部と、
イオンバランスと除電時間のうちの少なくとも一方を検出する検出部と、
前記電子部品を検査する検査部と、を備え、
前記第１イオン発生部と前記第２イオン発生部のうちの一方のイオン発生部を作動させることを特徴とする電子部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品搬送装置および電子部品検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えばＩＣデバイス等の電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置が知られており、この電子部品検査装置には、検査部の保持部までＩＣデバイスを搬送するための電子部品搬送装置が組み込まれている（例えば、特許文献１参照）。ＩＣデバイスの検査の際は、ＩＣデバイスが保持部に配置され、保持部に設けられた複数のプローブピンとＩＣデバイスの各端子とを接触させる。
【０００３】
前記電子部品搬送装置は、事前にＩＣデバイスを加熱または冷却して、ＩＣデバイスの温度を検査に適した温度に調整するソークプレートと、ソークプレートで温度調整されたＩＣデバイスを検査部の近傍まで搬送する供給シャトルと、ＩＣデバイスが配置されたトレイとソークプレートとの間のＩＣデバイスの搬送およびソークプレートと供給シャトルとの間のＩＣデバイスの搬送を行う供給用デバイス搬送ヘッドと、検査後のＩＣデバイスを搬送する回収シャトルと、供給シャトルと検査部との間のＩＣデバイスの搬送および検査部と回収シャトルとの間のＩＣデバイスの搬送を行う検査用デバイス搬送ヘッドと、回収シャトルと回収されるＩＣデバイスが配置されるトレイとの間のＩＣデバイスの搬送を行う回収用デバイス搬送ヘッド等を有している。
【０００４】
また、特許文献１には、電子部品搬送装置に、イオナイザーを設けることが開示されている。このイオナイザーで発生したイオンにより、ＩＣデバイスに帯電した静電気を中和して除去（除電）することが可能である。
【０００５】
また、通常は、電子部品搬送装置に、イオナイザーは複数個設けられている。また、イオナイザーが故障すると、イオンバランスが崩れる虞がある。このため、電子部品搬送装置に、イオンバランスを検出するセンサーを設け、電子部品搬送装置の動作中は、センサーにより、イオンバランスを検出し、その検出結果に基づいて、イオナイザーが正常であるか否かを判断する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特表２０００−５３３８８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、前記従来の構成では、１つのセンサーにより複数のイオナイザーで発生するイオンのイオンバランスを検出するので、いずれかのイオナイザーが故障している場合でも、どのイオナイザーが故障しているかは判らない。また、いずれかのイオナイザーが故障していること自体も判らない虞がある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下のものとして実現することが可能である。
【０００９】
本発明の電子部品搬送装置は、イオンを発生する第１イオン発生部と、
イオンを発生する第２イオン発生部と、
イオンバランスと除電時間のうちの少なくとも一方を検出する検出部と、を備え、
前記第１イオン発生部と前記第２イオン発生部のうちの一方のイオン発生部を作動させることを特徴とする。
【００１０】
これにより、第１イオン発生部と第２イオン発生部のうちの一方のイオン発生部を作動させた状態で、検出部により、イオンバランスと除電時間のうちの少なくとも一方を検出することで、検出部の検出結果に基づいて、その一方のイオン発生部が正常であるか否かを的確に判断することができる。
【００１１】
本発明の電子部品搬送装置では、前記第１イオン発生部と前記第２イオン発生部のうちの一方のイオン発生部を作動させたときは、他方のイオン発生部の作動を停止することが好ましい。
【００１２】
これにより、検出部の検出結果に基づいて、一方のイオン発生部が正常であるか否かを的確に判断することができる。
【００１３】
本発明の電子部品搬送装置では、前記検出部は、前記第１イオン発生部を作動させ、前記第２イオン発生部の作動を停止した状態で、前記第１イオン発生部のイオンバランスと除電時間のうちの少なくとも一方を検出することが好ましい。
【００１４】
これにより、検出部の検出結果に基づいて、第１イオン発生部が正常であるか否かを的確に判断することができる。
【００１５】
本発明の電子部品搬送装置では、前記検出部での検出結果が、基準値に達しない場合は、前記第１イオン発生部は正常ではないと判断することが好ましい。
これにより、第１イオン発生部が正常であるか否かを的確に判断することができる。
【００１６】
本発明の電子部品搬送装置では、前記検出部での検出結果が、基準値に達しない場合は、前記第１イオン発生部は正常ではないことを報知する報知部を有することが好ましい。
【００１７】
これにより、使用者は、第１イオン発生部が正常であるか否かを容易に把握することができる。
【００１８】
本発明の電子部品搬送装置では、前記検出部は、前記第１イオン発生部の作動を停止し、前記第２イオン発生部を作動させた状態で、前記第２イオン発生部のイオンバランスと除電時間のうちの少なくとも一方を検出することが好ましい。
【００１９】
これにより、検出部の検出結果に基づいて、第２イオン発生部が正常であるか否かを的確に判断することができる。
【００２０】
本発明の電子部品搬送装置では、前記検出部での検出結果が、基準値に達しない場合は、前記第２イオン発生部は正常ではないと判断することが好ましい。
これにより、第２イオン発生部が正常であるか否かを的確に判断することができる。
【００２１】
本発明の電子部品搬送装置では、前記検出部での検出結果が、基準値に達しない場合は、前記第２イオン発生部は正常ではないことを報知する報知部を有することが好ましい。
【００２２】
これにより、使用者は、第２イオン発生部が正常であるか否かを容易に把握することができる。
【００２３】
本発明の電子部品搬送装置では、前記検出部による前記検出は、電子部品を検査する検査領域と、前記電子部品を前記検査領域まで供給する供給領域と、検査が終了した前記電子部品が回収される回収領域とのそれぞれで行うことが好ましい。
【００２４】
これにより、供給領域、検査領域および回収領域において、それぞれ、検出部の検出結果に基づいて、一方のイオン発生部が正常であるか否かを的確に判断することができる。
【００２５】
本発明の電子部品搬送装置では、前記供給領域、前記検査領域および前記回収領域の各領域毎に独立して前記検出部により前記検出を行うことが好ましい。
【００２６】
これにより、検出部による検出を、供給領域と、検査領域と、回収領域とで同時に行うことができ、これによって、前記検出に要する時間を短縮することができる。
【００２７】
本発明の電子部品搬送装置では、前記検出部は、前記第１イオン発生部および前記第２イオン発生部よりも下方に配置されていることが好ましい。
【００２８】
イオナイザーは、乾燥空気をイオン化し、イオン化された乾燥空気を発生するが、前記イオン化された乾燥空気は、通常は、大気よりも比重が大きい。このため、検出部を第１イオン発生部および第２イオン発生部よりも下方に配置することにより、センサーによりイオンバランスを的確に検出することができる。
【００２９】
本発明の電子部品検査装置は、イオンを発生する第１イオン発生部と、
イオンを発生する第２イオン発生部と、
イオンバランスと除電時間のうちの少なくとも一方を検出する検出部と、
前記電子部品を検査する検査部と、を備え、
前記第１イオン発生部と前記第２イオン発生部のうちの一方のイオン発生部を作動させることを特徴とする。
【００３０】
これにより、第１イオン発生部と第２イオン発生部のうちの一方のイオン発生部を作動させた状態で、検出部により、イオンバランスと除電時間のうちの少なくとも一方を検出することで、検出部の検出結果に基づいて、その一方のイオン発生部が正常であるか否かを的確に判断することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の電子部品検査装置の実施形態を正面側から見た概略斜視図である。
【図２】図１に示す電子部品検査装置の動作状態を示す概略平面図である。
【図３】図１に示す電子部品検査装置におけるイオナイザーおよびセンサーの配置を説明するための概略平面図である。
【図４】図１に示す電子部品検査装置のブロック図である。
【図５】図１に示す電子部品検査装置の検査領域を模式的に示す図であり、イオナイザーおよびセンサーの配置を説明するための側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００３３】
以下、図１〜図５を参照して第１実施形態について説明する。なお、説明の便宜上、図１に示すように、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とする。また、Ｘ軸とＹ軸を含むＸＹ平面が水平となっており、Ｚ軸が鉛直となっている。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ方向」とも言い、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ方向」とも言い、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ方向」とも言う。また、各方向の矢印が向いた方向を「正」、その反対方向を「負」と言う。また、図１、図５中の上側を「上（または上方）」と言い、下側を「下（または下方）」と言うこともある。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干（例えば５°未満程度）傾いた状態も含む。
【００３４】
また、図２では、図が煩雑になるのを避けるため、イオナイザーおよびセンサーの図示を省略している。また、図３では、イオナイザーおよびセンサーを判りやすく示すため、それらを実線で示し、他の構造物を二点鎖線で示している。
【００３５】
図１〜図３に示す検査装置（電子部品検査装置）１は、例えば、ＢＧＡ（Ball Grid Array）パッケージであるＩＣデバイス等の電子部品を搬送し、その搬送過程で電気的特性を検査・試験（以下単に「検査」と言う）する装置である。なお、以下では、説明の便宜上、前記電子部品としてＩＣデバイスを用いる場合について代表して説明し、これを「ＩＣデバイス９０」とする。
【００３６】
図２に示すように、検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１と、デバイス供給領域（以下単に「供給領域」と言う）Ａ２と、検査領域Ａ３と、デバイス回収領域（以下単に「回収領域」と言う）Ａ４と、トレイ除去領域Ａ５とに分けられている。そして、ＩＣデバイス９０は、トレイ供給領域Ａ１からトレイ除去領域Ａ５まで前記各領域を順に経由し、途中の検査領域Ａ３で検査が行われる。このように検査装置１は、各領域でＩＣデバイス９０を搬送する電子部品搬送装置（ハンドラー）と、検査領域Ａ３内で検査を行なう検査部１６とを備えている。また、電子部品搬送装置は、制御部８００と、報知部であるモニター（表示部）３００と、シグナルランプ４００と、スピーカー５００と、操作パネル７００とを備えている（図１、図４参照）。
【００３７】
なお、検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１、トレイ除去領域Ａ５が配された方（図２中の下側）が正面側となり、その反対側、すなわち、検査領域Ａ３が配された方（図２中の上側）が背面側として使用される。
【００３８】
トレイ供給領域Ａ１は、未検査状態の複数のＩＣデバイス９０が配列されたトレイ（載置部材）２００が供給される給材部である。トレイ供給領域Ａ１では、多数のトレイ２００を積み重ねることができる。
【００３９】
供給領域Ａ２は、トレイ供給領域Ａ１からのトレイ２００上に配置された複数のＩＣデバイス９０をそれぞれ検査領域Ａ３まで供給する領域である。なお、トレイ供給領域Ａ１と供給領域Ａ２とを跨ぐように、トレイ２００を１枚ずつ水平方向に搬送するトレイ搬送機構１１Ａ、１１Ｂが設けられている。トレイ搬送機構１１Ａは、トレイ２００を、当該トレイ２００に載置されたＩＣデバイス９０ごとＹ方向の正側に移動させることができる移動部である。これにより、ＩＣデバイス９０を安定して供給領域Ａ２に送り込むことができる。また、トレイ搬送機構１１Ｂは、空のトレイ２００をＹ方向の負側に、すなわち、供給領域Ａ２からトレイ供給領域Ａ１に移動させることができる移動部である。
【００４０】
供給領域Ａ２には、温度調整部（ソークプレート（英語表記：soak plate、中国語表記（一例）：均温板））１２と、デバイス搬送ヘッド１３と、トレイ搬送機構１５とが設けられている。
【００４１】
温度調整部１２は、複数のＩＣデバイス９０を一括して冷却または加熱することができるものであり、「ソークプレート」と呼ばれることがある。このソークプレートにより、検査部１６で検査される前のＩＣデバイス９０を予め冷却または加熱して、当該検査に適した温度に調整することができる。図２に示す構成では、温度調整部１２は、Ｙ方向に２つ配置、固定されている。そして、トレイ搬送機構１１Ａによってトレイ供給領域Ａ１から搬入された（搬送されてきた）トレイ２００上のＩＣデバイス９０は、いずれかの温度調整部１２まで搬送される。
【００４２】
デバイス搬送ヘッド１３は、供給領域Ａ２内でＸ方向およびＹ方向、さらにＺ方向にも移動可能に支持されている。これにより、デバイス搬送ヘッド１３は、トレイ供給領域Ａ１から搬入されたトレイ２００と温度調整部１２との間のＩＣデバイス９０の搬送と、温度調整部１２と後述するデバイス供給部１４との間のＩＣデバイス９０の搬送とを担うことができる。
【００４３】
デバイス搬送ヘッド１３は、ＩＣデバイス９０を把持する把持部として、複数のハンドユニット１３１を有している（図２には、代表して１つの符号「１３１」のみが記載されている）。ハンドユニット１３１は、吸着ノズルを備え、その吸着ノズルでＩＣデバイス９０を吸着することで把持する。
【００４４】
トレイ搬送機構１５は、全てのＩＣデバイス９０が除去された状態の空のトレイ２００を供給領域Ａ２内でＸ方向の正側に搬送させる機構である。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、トレイ搬送機構１１Ｂによって供給領域Ａ２からトレイ供給領域Ａ１に戻される。
【００４５】
検査領域Ａ３は、ＩＣデバイス９０を検査する領域である。この検査領域Ａ３には、検査部１６と、デバイス搬送ヘッド１７とが設けられている。また、供給領域Ａ２と検査領域Ａ３とを跨ぐように移動するデバイス供給部１４と、検査領域Ａ３と回収領域Ａ４とを跨ぐように移動するデバイス回収部１８も設けられている。
【００４６】
デバイス供給部１４は、温度調整部１２で温度調整されたＩＣデバイス９０が載置され、当該ＩＣデバイス９０を検査部１６近傍まで搬送する（移動させる）ことができる載置部であり、「供給用シャトルプレート」と呼ばれることがある。
【００４７】
デバイス供給部１４は、Ｘ方向およびＹ方向にそれぞれ複数個、すなわち、行列状に配置された凹部（ポケット）１４１を有している（図２には、代表して１つの符号「１４１」のみが記載されている）。各凹部１４１には、検査部１６で検査される前のＩＣデバイス９０が１つずつ収納される。
【００４８】
また、デバイス供給部１４は、供給領域Ａ２と検査領域Ａ３との間をＸ方向に沿って水平方向に移動可能に支持されている。図２に示す構成では、デバイス供給部１４は、Ｙ方向に２つ配置されており、温度調整部１２上のＩＣデバイス９０は、いずれかのデバイス供給部１４まで搬送される。また、デバイス供給部１４は、前記温度調整されたＩＣデバイス９０に対して、その温度調整状態を維持することができるよう構成されている。これにより、ＩＣデバイス９０を冷却または加熱することができ、よって、当該ＩＣデバイス９０の温度調整状態を維持することができる。
【００４９】
検査部１６は、ＩＣデバイス９０を載置（保持）して、当該ＩＣデバイス９０の電気的特性を検査・試験する（電気的な検査を行う）ユニット、すなわち、ＩＣデバイス９０を検査する場合にそのＩＣデバイス９０が載置される部材である。
【００５０】
検査部１６の上面には、ＩＣデバイス９０を収容（載置）（保持）する凹部である複数の保持部１６１が設けられている（図２には、代表して１つの符号「１６１」のみが記載されている）。ＩＣデバイス９０は、保持部１６１に収容され、これにより、検査部１６に載置される。
【００５１】
また、検査部１６の各保持部１６１に対応する位置には、それぞれ、ＩＣデバイス９０を保持部１６１に保持した状態で当該ＩＣデバイス９０の端子と電気的に接続されるプローブピンが設けられている。そして、ＩＣデバイス９０の端子とプローブピンとが電気的に接続され（接触し）、プローブピンを介してＩＣデバイス９０の検査が行われる。ＩＣデバイス９０の検査は、検査部１６に接続される図示しないテスターが備える検査制御部により、その検査制御部の記憶部に記憶されているプログラムに基づいて行われる。なお、検査部１６では、温度調整部１２と同様に、ＩＣデバイス９０を加熱または冷却して、当該ＩＣデバイス９０を検査に適した温度に調整することができる。
【００５２】
デバイス搬送ヘッド１７は、検査領域Ａ３内でＹ方向およびＺ方向に移動可能に支持されている。また、デバイス搬送ヘッド１７は、供給領域Ａ２から搬入されたデバイス供給部１４上のＩＣデバイス９０を検査部１６上に搬送し、載置することができ、また、検査部１６上のＩＣデバイス９０を、デバイス回収部１８上に搬送し、載置することができる。また、ＩＣデバイス９０を検査する場合は、デバイス搬送ヘッド１７は、ＩＣデバイス９０を検査部１６に向けて押圧し、これにより、ＩＣデバイス９０を検査部１６に当接させる。これによって、前述したように、ＩＣデバイス９０の端子と検査部１６のプローブピンとが電気的に接続される。なお、デバイス搬送ヘッド１７も、ＩＣデバイス９０を冷却または加熱して、当該ＩＣデバイス９０を検査に適した温度に調整することができる。
【００５３】
デバイス搬送ヘッド１７は、ＩＣデバイス９０を把持する把持部として、複数のハンドユニット１７５を有している（図２には、代表して１つの符号「１７５」のみが記載されている）。ハンドユニット１７５は、吸着ノズルを備え、その吸着ノズルでＩＣデバイス９０を吸着することで把持する。
【００５４】
デバイス回収部１８は、検査部１６での検査が終了したＩＣデバイス９０が載置され、当該ＩＣデバイス９０を回収領域Ａ４まで搬送する（移動させる）ことができる載置部であり、「回収用シャトルプレート」と呼ばれることがある。
【００５５】
デバイス回収部１８は、Ｘ方向およびＹ方向にそれぞれ複数個、すなわち、行列状に配置された凹部（ポケット）１８１を有している（図２には、代表して１つの符号「１８１」のみが記載されている）。
【００５６】
また、デバイス回収部１８は、検査領域Ａ３と回収領域Ａ４との間をＸ方向に沿って水平方向に移動可能に支持されている。また、図２に示す構成では、デバイス回収部１８は、デバイス供給部１４と同様に、Ｙ方向に２つ配置されており、検査部１６上のＩＣデバイス９０は、いずれかのデバイス回収部１８に搬送され、載置される。この搬送は、デバイス搬送ヘッド１７によって行なわれる。
【００５７】
また、検査装置１では、１つのデバイス供給部１４と１つのデバイス回収部１８とは、図示しない連結部を介して、Ｘ方向に連結されており、同方向に一括して移動するシャトルユニットを構成している。なお、デバイス供給部１４とデバイス回収部１８とは、独立して移動できるように構成されていてもよい。
【００５８】
回収領域Ａ４は、検査が終了した複数のＩＣデバイス９０が回収される領域である。この回収領域Ａ４には、回収用トレイ１９と、デバイス搬送ヘッド２０と、トレイ搬送機構２１とが設けられている。また、回収領域Ａ４には、空のトレイ２００も用意されている。
【００５９】
回収用トレイ１９は、検査部１６で検査されたＩＣデバイス９０が載置される載置部であり、回収領域Ａ４内で移動しないよう固定されている。これにより、デバイス搬送ヘッド２０等の各種可動部が比較的多く配置された回収領域Ａ４であっても、回収用トレイ１９上では、検査済みのＩＣデバイス９０が安定して載置されることとなる。なお、図２に示す構成では、回収用トレイ１９は、Ｘ方向に沿って３つ配置されている。
【００６０】
また、空のトレイ２００も、Ｘ方向に沿って３つ配置されている。この空のトレイ２００も、検査部１６で検査されたＩＣデバイス９０が載置される載置部となる。そして、回収領域Ａ４に移動してきたデバイス回収部１８上のＩＣデバイス９０は、回収用トレイ１９および空のトレイ２００のうちのいずれかに搬送され、載置される。これにより、ＩＣデバイス９０は、検査結果ごとに分類されて、回収されることとなる。
【００６１】
デバイス搬送ヘッド２０は、回収領域Ａ４内でＸ方向およびＹ方向、さらにＺ方向にも移動可能に支持されている。これにより、デバイス搬送ヘッド２０は、ＩＣデバイス９０をデバイス回収部１８から回収用トレイ１９や空のトレイ２００に搬送することができる。
【００６２】
デバイス搬送ヘッド２０は、ＩＣデバイス９０を把持する把持部として、複数のハンドユニット２０１を有している（図２には、代表して１つの符号「２０１」のみが記載されている）。ハンドユニット２０１は、吸着ノズルを備え、その吸着ノズルでＩＣデバイス９０を吸着することで把持する。
【００６３】
トレイ搬送機構２１は、トレイ除去領域Ａ５から搬入された空のトレイ２００を回収領域Ａ４内でＸ方向に搬送させる機構である。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、ＩＣデバイス９０が回収される位置に配されることとなる、すなわち、前記３つの空のトレイ２００のうちのいずれかとなり得る。
【００６４】
トレイ除去領域Ａ５は、検査済み状態の複数のＩＣデバイス９０が配列されたトレイ２００が回収され、除去される除材部である。トレイ除去領域Ａ５では、多数のトレイ２００を積み重ねることができる。
【００６５】
また、回収領域Ａ４とトレイ除去領域Ａ５とを跨ぐように、トレイ２００を１枚ずつＹ方向に搬送するトレイ搬送機構２２Ａ、２２Ｂが設けられている。トレイ搬送機構２２Ａは、トレイ２００をＹ方向に移動させることができる移動部である。これにより、検査済みのＩＣデバイス９０を回収領域Ａ４からトレイ除去領域Ａ５に搬送することができる。また、トレイ搬送機構２２Ｂは、ＩＣデバイス９０を回収するための空のトレイ２００をトレイ除去領域Ａ５から回収領域Ａ４に移動させることができる移動部である。
【００６６】
制御部８００は、例えば、トレイ搬送機構１１Ａ、１１Ｂと、温度調整部１２と、デバイス搬送ヘッド１３と、デバイス供給部１４と、トレイ搬送機構１５と、検査部１６と、デバイス搬送ヘッド１７と、デバイス回収部１８と、デバイス搬送ヘッド２０と、トレイ搬送機構２１と、トレイ搬送機構２２Ａ、２２Ｂと、モニター３００と、シグナルランプ４００と、スピーカー５００と、後述するイオナイザー３１〜３９、４０〜４６等の各部の駆動を制御する。
【００６７】
使用者（作業者）は、モニター３００を介して、検査装置１の動作条件等を設定したり、確認したりすることができる。このモニター３００は、例えば液晶画面で構成された表示画面（表示部）３０１を有し、検査装置１の正面側上部に配置されている。図１に示すように、トレイ除去領域Ａ５の図中の右側には、モニター３００に表示された画面を操作する際に用いられるマウスを載置するマウス台６００が設けられている。
【００６８】
また、モニター３００に対して図１中の右下方には、操作パネル７００が配置されている。操作パネル７００は、モニター３００とは別に、検査装置１に所望の動作を命令するものである。
【００６９】
また、シグナルランプ４００は、発光する色の組み合わせにより、検査装置１の作動状態等を報知することができる。シグナルランプ４００は、検査装置１の上部に配置されている。なお、検査装置１には、スピーカー５００が内蔵されており、このスピーカー５００によっても検査装置１の作動状態等を報知することもできる。
【００７０】
図２に示すように、検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１と供給領域Ａ２との間が第１隔壁６１によって区切られて（仕切られて）おり、供給領域Ａ２と検査領域Ａ３との間が第２隔壁６２によって区切られており、検査領域Ａ３と回収領域Ａ４との間が第３隔壁６３によって区切られており、回収領域Ａ４とトレイ除去領域Ａ５との間が第４隔壁６４によって区切られている。また、供給領域Ａ２と回収領域Ａ４との間も、第５隔壁６５によって区切られている。
【００７１】
第２隔壁６２には、開口部６２１、開口部６２２が形成されている。一方のデバイス供給部１４は、開口部６２１を通過することができる。これにより、開口部６２１は、デバイス供給部１４が供給領域Ａ２から検査領域Ａ３に入るときの入り口として機能し、デバイス供給部１４が検査領域Ａ３から供給領域Ａ２に出るとき出口として機能する。また、他方のデバイス供給部１４は、開口部６２２を通過することができる。これにより、開口部６２２も、デバイス供給部１４が供給領域Ａ２から検査領域Ａ３に入るときの入り口として機能し、デバイス供給部１４が検査領域Ａ３から供給領域Ａ２に出るとき出口として機能する。
【００７２】
また、第３隔壁６３にも、開口部６３１、開口部６３２が形成されている。一方のデバイス回収部１８は、開口部６３１を通過することができ、他方のデバイス回収部１８は、開口部６３２を通過することができる。
【００７３】
検査装置１は、最外装がカバーで覆われており、当該カバーには、例えばフロントカバー７０、サイドカバー７１、サイドカバー７２、リアカバー７３、トップカバー７４がある。
【００７４】
また、図３に示すように、検査装置１には、イオンを発生し、そのイオンで静電気を中和して除去（除電）する複数（図示の構成では１６個）のイオナイザー（イオン発生部）３１〜３９、４０〜４６と、イオンバランスと除電時間のうちの少なくとも一方を検出する複数（図示の構成では４個）のセンサー（検出部）５１〜５４とが設置されている。
【００７５】
イオナイザー３１〜４６は、それぞれ、乾燥空気をイオン化して、当該イオン化された乾燥空気（以下「イオン化空気」と言う）を発生させる装置である。イオナイザー３１〜４６としては、それぞれ、特に限定されず、例えば、コロナ放電を利用したもの、電離放射線を利用したもの等を用いることができる。
【００７６】
ＩＣデバイス９０の表面は、例えばＩＣデバイス９０の搬送中に静電気が帯電する可能性がある。このため、その静電気を除去する必要がある。検査装置１では、イオナイザー３１〜４６を作動させてイオン化空気を発生し、そのイオン化空気により、ＩＣデバイス９０等を除電することができる。
【００７７】
また、イオナイザー３１〜４６のイオンバランスは、それぞれ、センサー５１〜５４での検出値が０Ｖに近いほど好ましい。
【００７８】
また、イオナイザー３１〜４６の除電時間は、それぞれ、短いほど好ましい。除電時間とは、所定の第１の電圧から所定の第２の電圧（第１の電圧よりも絶対値が小さい電圧）まで除電するのに要する時間である。なお、除電時間は、イオン量に対応しており（イオン量と等価であり）、除電時間が短いほどイオン量が多い。
【００７９】
なお、センサー５１〜５４は、それぞれ、イオンバランスと除電時間のうちの少なくとも一方を検出可能なものであればよいが、本実施形態では、１例として、イオンバランスを検出するセンサーとして説明を行う。
【００８０】
供給領域Ａ２には、複数（図示の構成では６個）のイオナイザー３１〜３６が設置されている。また、供給領域Ａ２には、単一のセンサー５１が設置されている。この供給領域Ａ２では、イオナイザー３１〜３６のうちの任意の２つのイオナイザーの一方が第１イオン発生部であり、他方が第２イオン発生部である。
【００８１】
イオナイザー３１〜３６およびセンサー５１の配置は、それぞれ、特に限定されないが、イオナイザー３１〜３６は、それぞれ、供給領域Ａ２の全体を万遍なく除電可能なように配置されることが好ましい。
【００８２】
また、イオナイザー３１〜３６は、それぞれ、本実施形態では、検査装置１の天井に配置されている。また、センサー５１は、本実形態では、検査装置１のベースに配置されている。すなわち、センサー５１は、イオナイザー３１〜３６よりも鉛直方向下方に配置されている。イオナイザー３１〜３６で発生するイオン化空気は、通常は、大気よりも比重が大きい。このため、センサー５１をイオナイザー３１〜３６よりも鉛直方向下方に配置することにより、センサー５１によりイオンバランスを的確に検出することができる。
【００８３】
また、回収領域Ａ４には、複数（図示の構成では６個）のイオナイザー３７〜３９、４０〜４２が設置されている。また、回収領域Ａ４には、単一のセンサー５２が設置されている。この回収領域Ａ４では、イオナイザー３７〜４２のうちの任意の２つのイオナイザーの一方が第１イオン発生部であり、他方が第２イオン発生部である。
【００８４】
イオナイザー３７〜４２およびセンサー５２の配置は、それぞれ、特に限定されないが、イオナイザー３７〜４２は、それぞれ、回収領域Ａ４の全体を万遍なく除電可能なように配置されることが好ましい。
【００８５】
また、イオナイザー３７〜４２は、それぞれ、本実施形態では、検査装置１の天井に配置されている。また、センサー５２は、本実形態では、検査装置１のベースに配置されている。すなわち、センサー５２は、イオナイザー３７〜４２よりも鉛直方向下方に配置されている。これにより、センサー５２によりイオンバランスを的確に検出することができる。
【００８６】
検査領域Ａ３は、図３中の左側の第１領域Ａ３１と、図３中の右側の第２領域Ａ３２の２つに区切られている。なお、図２および図３では、第１領域Ａ３１と第２領域Ａ３２の概念的な境界線を二点鎖線で示している。
【００８７】
第１領域Ａ３１には、複数（図示の構成では２個）のイオナイザー４３および４４が設置されている。また、第１領域Ａ３１には、単一のセンサー５３が設置されている。この第１領域Ａ３１では、イオナイザー４３および４４のうちの一方が第１イオン発生部であり、他方が第２イオン発生部である。
【００８８】
イオナイザー４３、４４およびセンサー５３の配置は、それぞれ、特に限定されないが、イオナイザー４３および４４は、それぞれ、第１領域Ａ３１の全体を万遍なく除電可能なように配置されることが好ましい。
【００８９】
また、イオナイザー４３および４４は、それぞれ、本実施形態では、検査装置１の壁８２に配置されている（図５参照）。また、センサー５３は、本実形態では、検査装置１のベース８１に配置されている（図５参照）。すなわち、センサー５３は、イオナイザー４３および４４よりも鉛直方向下方に配置されている。これにより、センサー５３によりイオンバランスを的確に検出することができる。
【００９０】
また、第２領域Ａ３２には、複数（図示の構成では２個）のイオナイザー４５および４６が設置されている。また、第２領域Ａ３２には、単一のセンサー５４が設置されている。この第２領域Ａ３２では、イオナイザー４５および４６のうちの一方が第１イオン発生部であり、他方が第２イオン発生部である。
【００９１】
イオナイザー４５、４６およびセンサー５４の配置は、それぞれ、特に限定されないが、イオナイザー４５および４６は、それぞれ、第２領域Ａ３２の全体を万遍なく除電可能なように配置されることが好ましい。
【００９２】
また、イオナイザー４５および４６は、それぞれ、本実施形態では、検査装置１の壁８３に配置されている（図５参照）。また、センサー５４は、本実形態では、検査装置１のベース８１に配置されている（図５参照）。すなわち、センサー５４は、イオナイザー４５および４６よりも鉛直方向下方に配置されている。これにより、センサー５４によりイオンバランスを的確に検出することができる。
【００９３】
以上のように、供給領域Ａ２、回収領域Ａ４、第１領域Ａ３１および第２領域Ａ３２の各領域には、それぞれ、複数のイオナイザーと、単一のセンサーとが設置されている。各領域にそれぞれ複数のイオナイザーを設置することにより、除電能力を向上させることができ、各領域において、それぞれ、万遍なく除電することができる。
【００９４】
なお、イオナイザーの数およびセンサーの数は、それぞれ、前記の数に限定されないことは、言うまでもない。
【００９５】
また、検査装置１は、イオナイザー３１〜４６について、それぞれ、正常か否かを検査する機能（動作モード）を有している。以下では、正常ではないことを「異常」とも言う。なお、イオナイザーの異常の具体例としては、例えば、故障、劣化等の不具合の発生、清掃が十分になされていない等が挙げられる。
【００９６】
以下、イオナイザー３１〜４６の検査について説明するが、以下では、代表的に、供給領域Ａ２でのイオナイザー３１〜３６の検査について説明する。
【００９７】
供給領域Ａ２では、制御部８００の制御により、イオナイザー３１〜３６を１つずつ作動させ、センサー５１により１つずつイオンバランスを検出し、検査を行う。
【００９８】
すなわち、所定の１つのイオナイザーを作動させたときは、他の５つのイオナイザーの作動を停止する。具体的には、イオナイザー３１を検査する場合は、そのイオナイザー３１を作動させ、他のイオナイザー３２〜３６の作動を停止した状態で、センサー５１によりイオンバランスを検出し、検査を行う。イオナイザー３２〜３６についても同様である。なお、イオナイザー３１〜３６の検査の順序は、特に限定されず、諸条件に応じて適宜設定される。
【００９９】
これにより、イオナイザー３１〜３６のうちの少なくとも１つに異常がある場合、前記異常が発生したことを検出することができ、また、異常が発生したイオナイザーを特定することができる。
【０１００】
また、単一のセンサー５１で前記検出を行うことができ、これにより、センサーの数を減少させることができる。
【０１０１】
また、イオナイザー３１の検査では、制御部８００は、センサー５１での検出結果に基づいて、イオナイザー３１は正常か否かを判断する。
【０１０２】
すなわち、制御部８００は、センサー５１での検出結果が、基準値に達しない場合は、イオナイザー３１は異常である（正常ではない）と判断し、基準値に達する場合は、イオナイザー３１は正常であると判断する。
【０１０３】
なお、センサー５１はイオンバランスを検出するので、検出されたイオンバランスを示す電圧値（検出結果）が、基準値よりも大きい場合は、イオナイザー３１は異常であると判断する。
【０１０４】
この基準値は、特に限定されず、諸条件に応じて適宜設定されるが、５Ｖ以上、２００Ｖ以下の範囲内の値に設定されることが好ましく、１０Ｖ以上、１００Ｖ以下の範囲内の値に設定されることがより好ましく、２０Ｖ以上、５０Ｖ以下の範囲内の値に設定されることがさらに好ましい。
【０１０５】
前記基準値が前記上限値よりも大きいと、他の条件によっては、イオナイザー３１が異常である場合でも正常と判断してしまう虞がある。また、前記基準値が前記下限値よりも小さいと、他の条件によっては、イオナイザー３１が正常である場合でも異常と判断してしまう虞がある。
【０１０６】
また、センサー５１が除電時間を検出する場合は、測定された除電時間（検出結果）が、基準値よりも長い場合は、イオナイザー３１は異常であると判断する。
【０１０７】
この検査の結果は、モニター３００に表示される。すなわち、モニター３００には、イオナイザー３１が異常である場合は、イオナイザー３１は異常であること示す情報が表示され、また、イオナイザー３１が正常である場合は、イオナイザー３１は正常であることを示す情報が表示される。
【０１０８】
なお、イオナイザー３２〜３６の検査については、説明を省略するが、前記イオナイザー３１の検査の場合と同様である。
【０１０９】
また、回収領域Ａ４でも前記供給領域Ａ２の場合と同様に、制御部８００の制御により、イオナイザー３７〜４２を１つずつ作動させ、センサー５２により１つずつイオンバランスを検出し、検査を行う。
【０１１０】
また、第１領域Ａ３１でも前記供給領域Ａ２の場合と同様に、制御部８００の制御により、イオナイザー４３および４４を１つずつ作動させ、センサー５３により１つずつイオンバランスを検出し、検査を行う。
【０１１１】
また、第２領域Ａ３２でも前記供給領域Ａ２の場合と同様に、制御部８００の制御により、イオナイザー４５および４６を１つずつ作動させ、センサー５４により１つずつイオンバランスを検出し、検査を行う。
【０１１２】
なお、前記供給領域Ａ２、回収領域Ａ４、第１領域Ａ３１および第２領域Ａ３２においては、それぞれ、各領域毎に独立して、対応するセンサーによりイオンバランスを検出し、検査を行う。したがって、供給領域Ａ２における検査と、回収領域Ａ４における検査と、第１領域Ａ３１における検査と、第２領域Ａ３２における検査とは、時間をずらして行うことも可能であり、また、任意の２つの領域、任意の３つの領域または４つの領域における検査を同時に行うことも可能である。同時に行う場合には、全体の検査に要する時間を短縮することができる。
【０１１３】
また、検査装置１では、前記検査の結果、イオナイザー３１〜４６のうちの少なくとも１つに異常がある場合は、モニター３００に、前記異常が発生したことと、異常が発生したイオナイザーを特定する情報が表示される。また、シグナルランプ４００が点灯または点滅または発光色が変化し、また、スピーカー５００からアラーム（警報）が発せられる。また、イオナイザー３１〜４６のすべてが正常である場合は、モニター３００に、その旨が表示される。
【０１１４】
使用者は、モニター３００の前記表示を見て、イオナイザー３１〜４６のうちの少なくとも１つに異常がある場合は、前記異常が発生したことと、異常が発生したイオナイザーを容易に把握することができる。また、イオナイザー３１〜４６のすべてが正常である場合は、その旨を容易に把握することができる。
【０１１５】
また、前記検査結果の履歴は、記憶部８０１に記憶される。そして、前記履歴は、例えば、保守、点検、修理等に利用することができる。
【０１１６】
また、イオナイザー３１〜４６の検査を行う時期は、特に限定されないが、例えば、検査装置１の電源が投入されたとき（立ち上げ時）、検査装置１の電源を落とす前、検査するＩＣデバイス９０のロットと次のロットとの間、所定の期間が経過したとき等が挙げられる。また、使用者の操作により、前記検査を開始させることも可能である。
【０１１７】
以上説明したように、検査装置１によれば、イオナイザー３１〜４６のうちの少なくとも１つに異常がある場合、的確に、前記異常が発生したことを検出することができ、また、異常が発生したイオナイザーを特定することができる。これにより、使用者は、迅速かつ的確に対応することができる。
【０１１８】
以上、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、他の任意の構成物が付加されていてもよい。
【符号の説明】
【０１１９】
１…検査装置（電子部品検査装置）、１１Ａ…トレイ搬送機構、１１Ｂ…トレイ搬送機構、１２…温度調整部、１３…デバイス搬送ヘッド、１３１…ハンドユニット、１４…デバイス供給部、１４１…凹部（ポケット）、１５…トレイ搬送機構、１６…検査部、１６１…保持部、１７…デバイス搬送ヘッド、１７５…ハンドユニット、１８…デバイス回収部、１８１…凹部（ポケット）、１９…回収用トレイ、２０…デバイス搬送ヘッド、２０１…ハンドユニット、２１…トレイ搬送機構、２２Ａ…トレイ搬送機構、２２Ｂ…トレイ搬送機構、３１〜３９…イオナイザー、４０〜４６…イオナイザー、５１〜５４…センサー、６１…第１隔壁、６２…第２隔壁、６２１…開口部、６２２…開口部、６３…第３隔壁、６３１…開口部、６３２…開口部、６４…第４隔壁、６５…第５隔壁、７０…フロントカバー、７１…サイドカバー、７２…サイドカバー、７３…リアカバー、７４…トップカバー、８１…ベース、８２…壁、８３…壁、９０…ＩＣデバイス、２００…トレイ（載置部材）、３００…モニター、３０１…表示画面、４００…シグナルランプ、５００…スピーカー、６００…マウス台、７００…操作パネル、８００…制御部、８０１…記憶部、Ａ１…トレイ供給領域、Ａ２…デバイス供給領域（供給領域）、Ａ３…検査領域、Ａ３１…第１領域、Ａ３２…第２領域、Ａ４…デバイス回収領域（回収領域）、Ａ５…トレイ除去領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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