(57)【要約】【課題】高精度で外観検査を行う外観検査装置を提供する。【解決手段】外観検査装置１００は、検査対象物である転がり軸受３００の外輪３００Ａに含まれる検査面Ｋ１に正対して配置されたカメラ２０によって検査面Ｋ１を撮影することによって得られた撮影画像を用いる検査装置であって、カメラの撮影方向Ｄ１とは異なる照射方向Ｄ２で、照明装置１０Ａが光源からの光を拡散光として照射している検査面Ｋ１を、カメラ２０によって撮影する。【選択図】図１
2017203734.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物の検査面に正対して配置されたカメラによって前記検査面を撮影することによって得られた撮影画像を用いる、前記検査対象物の外観検査方法であって、
照明装置によって、前記カメラの撮影方向とは異なる向きで、光源からの光が拡散光として前記検査面に照射され、
前記拡散光が照射されている前記検査面が前記カメラによって撮影される、外観検査方法。
【請求項２】
検査対象物の第１の検査面に正対して配置された、前記第１の検査面を撮影するカメラと、
前記カメラの撮影方向とは異なる向きで、光源からの光を拡散光として前記第１の検査面に照射する照明装置と、を備える、外観検査装置。
【請求項３】
外周面が円周面である前記検査対象物の外周面に含まれる前記第１の検査面が前記カメラに正対し、前記カメラが前記第１の検査面を撮影する方向に直交する方向が前記検査対象物の中心軸方向と一致するように前記検査対象物を配置するための配置台をさらに含み、
前記照明装置は、前記配置台に配置された前記検査対象物から前記中心軸方向に離れた位置に設けられている、請求項２に記載の外観検査装置。
【請求項４】
前記検査対象物は、内輪および外輪を含む転がり軸受であって、
前記第１の検査面は前記外輪の外周面に含まれる、請求項２または３に記載の外観検査装置。
【請求項５】
前記検査対象物の第２の検査面までの距離を測定可能な変位センサをさらに含み、
前記変位センサは、前記カメラに対して前記外輪の前記カメラに臨む側よりも遠い位置に設けられている、請求項４に記載の外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は外観検査方法および外観検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
転がり軸受などの工業製品の外観検査方法の一つとして、表面が高反射率であること、つまり表面の光沢を利用した検査方法が知られている。具体的には、特開２００２−１１６１５３号公報にも開示されているように、その表面の撮影画像を解析する方法が一般的に行われている。詳しくは、該検査方法は、検査対象物の検査面を照明装置で照明した状態で撮影し、撮影画像を解析する工程を含む。解析の結果、検査面に存在する傷などの凹凸が光沢異常として検出される。詳しくは、検査面の凹凸によって照射光が様々な方向に反射されるため、凹凸のある範囲と凹凸のない範囲とでは、反射してカメラに入射する光量が異なる。この光量の差を撮影画像における濃淡で検出することで、検査面の凹凸を検出することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１１６１５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示されたような従来の外観検査においては、被検査物の検査面に正対する位置にカメラを設置し、カメラと検査面との間にハーフミラーを配置することにより、カメラの撮影方向と同じ方向から、光源からの光が照射される。これにより、検査面は最も効率的に照射される。しかしながら、この場合、検査面で反射してカメラに入射する光量の照射光量に対する割合が非常に高くなるため、検査面に凹凸が存在する範囲からの反射光量と凹凸が存在しない範囲からの反射光量との差が非常に小さくなる。つまり、撮影画像における濃淡の差が小さくなる。その結果、外観異常の検出精度が低下する場合がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明にかかる外観検査方法は、検査対象物の検査面に正対して配置されたカメラによって検査面を撮影することによって得られた撮影画像を用いる、検査対象物の外観検査方法であって、照明装置によって、カメラの撮影方向とは異なる向きで、光源からの光が拡散光として検査面に照射され、拡散光が照射されている検査面が前記カメラによって撮影される。
この構成によって、照明装置から照射される光量に対する検査面で反射しカメラに入射する光量の割合を、照射する向きとカメラの撮影方向とが同じである従来の検査装置での場合よりも小さくすることができる。それによって、カメラに入射する光量全体に対して、検査面上の傷等の凹凸のある第１の範囲から反射してカメラに入射する光量と、上記の凹凸のない第２の範囲から反射してカメラに入射する光量との差を、大きくすることができる。これにより、カメラによる撮影画像における検査面上の上記第１の範囲と第２の範囲との濃淡差が、上記の従来の検査装置での撮影画像における濃淡差よりも大きくなる。従って、検査面上の傷等の凹凸の検出の精度を向上させることができる。すなわち、外観検査の精度を向上させることができる。
【０００６】
この発明にかかる外観検査装置は、検査対象物の第１の検査面に正対して配置された、第１の検査面を撮影するカメラと、カメラの撮影方向とは異なる向きで、光源からの光を拡散光として第１の検査面に照射する照明装置と、を備える。
この構成によって、照明装置から照射される光量に対する第１の検査面で反射しカメラに入射する光量の割合を、照射する向きとカメラの向きとが同じである従来の検査装置での場合よりも小さくすることができる。それによって、カメラに入射する光量全体に対して、第１の検査面上の上記の第１の範囲から反射してカメラに入射する光量と第２の範囲から反射してカメラに入射する光量との差を大きくすることができる。これにより、カメラによる撮影画像における第１の検査面上の第１の範囲と第２の範囲との濃淡差が、上記の従来の検査装置での撮影画像における濃淡差よりも大きくなる。従って、第１の検査面上の傷等の凹凸の検出の精度を向上させることができる。すなわち、外観検査の精度を向上させることができる。
【０００７】
好ましくは、外観検査装置は、外周面が円周面である検査対象物の外周面に含まれる第１の検査面がカメラに正対し、カメラが第１の検査面を撮影する方向に直交する方向が検査対象物の中心軸方向と一致するように検査対象物を配置するための配置台をさらに含み、照明装置は、配置台に配置された検査対象物から中心軸方向に離れた位置に設けられている。
この構成によって、上記のように、外周面が円周面である検査対象物の外周面を検査面とした外観検査の精度を向上させることができる。
【０００８】
好ましくは、検査対象物は内輪および外輪を含む転がり軸受であって、第１の検査面は外輪の外周面に含まれる。
これにより、上記のように、転がり軸受の外輪の外周面に含まれる第１の検査面を検査面とした外観検査の精度を向上させることができる。
【０００９】
好ましくは、外観検査装置は検査対象物の第２の検査面までの距離を測定可能な変位センサをさらに含み、変位センサは、カメラに対して外輪のカメラに臨む側よりも遠い位置に設けられている。
これにより、第１の検査面を検査面とした外観検査の動作の際に、変位センサから第２の検査面までの距離を検査することができる。そのため、両検査をそれぞれ異なる検査動作で行うよりも検査時間を短縮することができると共に、両検査用の検査装置をそれぞれ別に用意するよりも検査装置全体を小型化することができる。
【発明の効果】
【００１０】
この発明によると、外観検査の精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施の形態にかかる外観検査装置の正面から見た概略図である。
【図２】図１の外観検査装置の要部を示す概略平面図である。
【図３】検査原理を説明するための概略図である。
【図４】実施の形態にかかる検査装置によって第１の検査面を撮影して得られた撮影画像である。
【図５】照明装置の他の例を示す概略図である。
【図６】従来の検査装置を示す概略図である。
【図７】従来の検査装置によって第１の検査面を撮影して得られた撮影画像である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に、図面を参照しつつ、好ましい実施の形態について説明する。以下の説明では、同一の部品および構成要素には同一の符号を付してある。それらの名称および機能も同じである。したがって、これらの説明は繰り返さない。
【００１３】
［第１の実施の形態］
＜全体構成＞
本実施の形態にかかる外観検査装置１００は、表面が高反射率である、つまり表面が光沢を有する工業製品の外観検査を行う。外観検査装置１００による検査対象物は、たとえば転がり軸受である。以降の説明では、外観検査装置１００が転がり軸受の外輪の外周に含まれる検査面を検査するものとする。なお、外観検査装置１００による外観検査の対象物となる転がり軸受３００は、外輪３００Ａ、内輪３００Ｂ、複数の転動体３００Ｃ、保持器３００Ｄ、および軸受シール３００Ｅを有している。
【００１４】
図１は、本実施の形態にかかる外観検査装置１００を正面から見た概略図である。図１を参照して、外観検査装置１００は、検査対象物である転がり軸受３００の外輪３００Ａの外周に含まれる第１の検査面Ｋ１に光源からの光を照射する照明装置１０Ａと、該第１の検査面Ｋ１を撮影するためのカメラ２０と、水平な載荷面を有してその上に転がり軸受３００を配置するための配置台３０と、を含む。好ましくは、外観検査装置１００は、さらに、変位センサであるセンサ４０をさらに含む。なお、センサ４０を含む外観検査装置１００については第２の実施の形態として後に説明する。第１の実施の形態においては、外観検査装置１００にセンサ４０が含まれないものとする。
【００１５】
配置台３０には、転がり軸受３００が、中心軸Ｃの方向が鉛直方向となるように配置される。カメラ２０は、転がり軸受３００の外輪３００Ａの外周に含まれる第１の検査面Ｋ１に正対して配置される。詳しくは、カメラ２０は、第１の検査面Ｋ１を撮影する方向（撮影方向）Ｄ１が、配置台３０に配置された転がり軸受３００の中心軸Ｃの方向に直交するように配置される。図１の例では、中心軸Ｃの方向が鉛直方向であるため、撮影方向Ｄ１は水平方向の一方の向きである。
【００１６】
カメラ２０は、制御装置であるコンピュータ（ＰＣ：パーソナルコンピュータ）５００に接続され、撮影画像をＰＣ５００に入力する。ＰＣ５００は、当該ＰＣ５００を制御するためのＣＰＵ（Central  Processing  Unit）５０を含む。
【００１７】
なお、以降の説明においては、図１に表されたように、撮影方向Ｄ１と平行な方向、つまり図１の例では水平方向をｘ方向とする。そして、撮影方向Ｄ１をｘ方向の負の向き（−ｘ向きとも称する）、撮影方向Ｄ１の逆向きをｘ方向の正の向き（＋ｘ向きとも称する）とする。また、中心軸Ｃの方向、つまり図１の例では鉛直方向をｙ方向とする。そして、中心軸Ｃの方向に照明装置１０Ａに向かう向きをｙ方向の正の向き（＋ｙ向きとも称する）、逆向きをｙ方向の負の向き（−ｙ向きとも称する）とする。
【００１８】
照明装置１０Ａは、外輪３００Ａに含まれる第１の検査面Ｋ１の母線方向、つまり転がり軸受３００の中心軸Ｃの方向に、当該第１の検査面Ｋ１から離れた位置に設けられる。詳しくは、外輪３００Ａに含まれる第１の検査面Ｋ１の母線方向、つまり転がり軸受３００の中心軸Ｃの方向はｙ方向である。照明装置１０Ａは、配置台３０に配置された転がり軸受３００よりもｙ方向に離れた位置に設けられる。一例として、図１に表されたように、照明装置１０Ａは、配置台３０に配置された転がり軸受３００よりも、＋ｙ向きに距離ｈ離れた位置（上方）に配置される。なお、照明装置１０Ａは、配置台３０に配置された転がり軸受３００よりも−ｙ向き側（下方）の位置に配置されてもよい。
【００１９】
照明装置１０Ａは、一例として、いわゆるフラット照明と呼ばれる、面状に発光する照明器具である。詳しくは、一例としての照明装置１０Ａは、図示しない光源（ＬＥＤ等）からの光を面状に照射する。以降の説明において、照明装置１０Ａは、発光する面、つまり照射面そのものを指す。照明装置１０Ａは、図示しない拡散板や反射板などを用いることによって、光源からの光を、指向性の低い拡散光として照射する。好ましくは、照明装置１０Ａによる照射光は白色光である。白色光は、赤・緑・青などの色に比べて、欠陥の有無の差が明確となるため、欠陥に対する検出の精度をより向上することができる。
【００２０】
照明装置１０Ａは、図１に表されたように、少なくとも一部が外輪３００Ａより＋ｘ向き側（カメラ２０に近い側）に設けられる。すなわち、図１に表されたように、外輪３００Ａの＋ｘ向き側の端部ｅと、照明装置１０Ａの照射面の＋ｘ向き側の端部Ｅ１１とを結ぶ直線がｘ方向との間になす角度θは、これら２端部Ｅ１１，ｅがｙ方向に並んだ状態である９０°よりも小さい。これにより、照明装置１０Ａは、カメラ２０の撮影方向Ｄ１とは異なる照射方向Ｄ２で、光源からの光を第１の検査面Ｋ１に照射する。
【００２１】
好ましくは、配置台３０は、たとえばＰＣ５００による制御に従って、軸Ｍを中心軸として図１に矢印に示されているように回転可能であって、転がり軸受３００は中心軸Ｃが配置台３０の軸Ｍに一致するように配置台３０に配置される。配置台３０が回転可能であることによって、当該配置台３０に配置された転がり軸受３００も中心軸Ｃを回転軸として回転し、カメラ２０に臨む面が変化する。そこで、好ましくは、ＰＣ５００は、当該配置台３０の回転速度に基づくタイミングでカメラ２０における撮影を行わせる。または、ＰＣ５００は、配置台３０の回転中に連続的にカメラ２０によって画像撮影を行わせてもよい。これにより、外輪３００Ａの全周の撮影画像がＰＣ５００に入力される。
【００２２】
図２は、第１の実施の形態にかかる外観検査装置１００の要部を示す概略平面図である。なお、図２に表された面内において、ｘ方向に直交する方向をｚ方向とする。
【００２３】
図２を参照して、照明装置１０Ａの照射面の−ｘ向き側の端部Ｅ１２は、配置台３０にセットされた転がり軸受３００の中心軸Ｃよりも、−ｘ向き側にある。照射面の＋ｘ向き側の端部Ｅ１１は、上記のように、配置台３０にセットされた転がり軸受３００の外輪３００Ａの外周の、カメラ２０に最も近い端部（＋ｘ向き側の端部）ｅよりも、カメラ２０に近い位置にある。つまり、照明装置１０Ａの照射面のｘ方向の長さＷ１はｒ（ｒは転がり軸受３００の外輪３００Ａの外周の半径）よりも大きい。また、照明装置１０Ａの照射面のｚ方向の範囲は、配置台３０にセットされた転がり軸受３００の外輪３００Ａの外周のｚ方向の直径よりも大きい。すなわち、照明装置１０Ａの照射面のｚ方向の両端部Ｅ２１，Ｅ２２共に、配置台３０にセットされた転がり軸受３００の外輪３００Ａの外周よりも外側にある。つまり、照明装置１０Ａの照射面のｚ方向の長さＷ２は２ｒよりも大きい。
【００２４】
照明装置１０Ａの照射面と配置台３０にセットされた転がり軸受３００の外輪３００Ａの外周とが図１，２に表された位置関係となることによって、外輪３００Ａのカメラ２０に臨む半円筒分の外周面に含まれる第１の検査面Ｋ１が、転がり軸受３００よりも＋ｙ向きに離れた位置、つまり、転がり軸受３００の上方から照明されることになる。上記のように、カメラ２０は第１の検査面Ｋ１に正対して配置され、その撮影範囲に第１の検査面Ｋ１を含む。つまり、照明装置１０Ａによって、少なくとも第１の検査面に光が照射される。
【００２５】
＜検査原理＞
図３を用いて、外観検査装置１００での検査原理を説明する。図３は、外観検査装置１００を水平方向に見た概略図であって、照明装置１０Ａ、カメラ２０、および配置台３０にセットされた転がり軸受３００の外輪３００Ａの外周付近を拡大して表したものである。図３に表された外輪３００Ａの外周が第１の検査面Ｋ１に相当する。また、図３中の符号Ｈは、カメラ２０の視野範囲Ｈ、つまり撮影範囲を表す。
【００２６】
外観検査装置１００は、外輪３００Ａの外周に含まれる第１の検査面Ｋ１に照明装置１０Ａによって光（好ましくは白色光）を照射し、第１の検査面Ｋ１に反射してカメラ２０に入射した光量に基づいて、第１の検査面Ｋ１上の凹凸の有無を検査する。第１の検査面Ｋ１上の凹凸は、たとえば、シューマークと呼ばれる、製造工程のうちの主に表面研磨の工程において表面に研磨粉などの物体が接触するによって生じる凹みや、製造後に表面に物体が接触することによって生じる傷（擦り傷、打ち傷等）などの凹みである。以降の説明では、第１の検査面Ｋ１上の凹凸がシューマークであるものとする。
【００２７】
表面が研磨されたり、コーティングされたりすることによって光沢を有する工業製品は、その表面の反射率が高い。転がり軸受３００も外周面が研磨されるため、反射率が高い。第１の検査面Ｋ１に凹凸を有する範囲と有さない範囲とがある場合、各範囲からの反射量が異なる。詳しくは、図３を参照して、カメラ２０の視野範囲Ｈによって撮影される第１の検査面Ｋ１上の範囲に、シューマークが生じている範囲Ｓ２と生じていない範囲Ｓ１とが含まれるとする。範囲Ｓ２は、研磨粉などの物体が表面に押し付けられた状態で研磨されるため、その表面粗さが、範囲Ｓ１の表面粗さに対して小さい。そのため、図３に表されたように、範囲Ｓ１への照射光Ｌ１がその表面粗さによって拡散反射される光量に対して、範囲Ｓ２への照射光Ｌ２が鏡面反射する光量が多い。
【００２８】
図１，２に表されたように、照射光Ｌ２は、カメラ２０の撮影方向Ｄ１とは異なる照射方向Ｄ２で範囲Ｓ２に照射される。そのため、図３に表されたように、照射光Ｌ２のうちの範囲Ｓ２において鏡面反射した成分はカメラ２０の視野範囲Ｈを脱する。これに対して、照射光Ｌ１のうちの範囲Ｓ１において鏡面反射する成分は、範囲Ｓ２において鏡面反射する成分より少ない。言い換えると、範囲Ｓ１において拡散反射した成分がカメラ２０の視野範囲Ｈに入る可能性は、範囲Ｓ２において拡散反射した成分が視野範囲Ｈに入る可能性よりも高い。つまり、範囲Ｓ１からカメラ２０の視野範囲Ｈに入る光量の方が、範囲Ｓ２から視野範囲Ｈに入る光量よりも多い。このため、カメラ２０による第１の検査面Ｋ１の撮影画像には、範囲Ｓ１と範囲Ｓ２とで濃淡差が生じる。すなわち、撮影画像において、範囲Ｓ１は範囲Ｓ２よりも明るく（明度が高く）なる。言い換えると、撮影画像において暗い部分がシューマークに相当する。
【００２９】
図４は、外観検査装置１００のカメラ２０によって第１の検査面Ｋ１を撮影して得られた撮影画像である。図４を参照して、エリアＡ１に現れている黒い線は、第１の検査面Ｋ１表面に存在するシューマークを表している。図４に示されるように、外観検査装置１００では、撮影画像にシューマークなどの第１の検査面Ｋ１表面の凹凸が存在する範囲と存在しない範囲との濃淡差が鮮明に表れる。
【００３０】
たとえば、ＰＣ５００においてＣＰＵ５０が解析処理を実行し、カメラ２０からの撮影画像（図４）の濃淡、すなわち明度を解析することによって、第１の検査面Ｋ１に含まれる範囲Ｓ２、つまりシューマークの存在を検出することができる。また、撮影画像をＰＣ５００の図示しないディスプレイに表示することで、ユーザによる目視によってシューマークの存在が検出されてもよい。
【００３１】
なお、以上の例では、外観検査装置１００に含まれる照明装置１０Ａがフラット照明と呼ばれる、面状に発光する照明器具であるものとしているが、外観検査装置１００に含まれる照明装置は、光源からの光を拡散光として照射する照明装置であればフラット照明に限定されない。図５は、照明装置の他の例を表わした図である。図５を参照して、たとえば、外観検査装置１００には、光源の上方にドーム型（曲面）の反射板を有する照明装置１０Ｂが設けられてもよい。照明装置１０Ｂは、光源から照射された光を曲面の反射板によって様々な方向に反射させることによって拡散して、転がり軸受３００に照射する。
【００３２】
＜第１の実施の形態の効果＞
従来の検査装置による検査結果と比較して本実施の形態にかかる外観検査装置１００による外観検査の効果を確認する。図６は、比較に用いた従来の検査装置の構成の概略図である。図７は、検査結果として得られる撮影画像である。図７の撮影画像は、図４の撮影画像と同じ転がり軸受を被写体とし、同じ面を第１の検査面Ｋ１として撮影されたものである。
【００３３】
図６を参照して、従来の検査装置では、拡散光よりも指向性の高い光を照射する照明装置１０ａが用いられる。そのため、照明装置１０ａから転がり軸受３００への照射方向Ｄ３は、カメラ２０ａの撮影方向Ｄ１と一致している。これらの向きを一致させる方法として、たとえば図６に表されたようにハーフミラーＨＭを用いてもよい。
【００３４】
図７のエリアＡ２は、図４のエリアＡ１に相当する位置である。図４のエリアＡ１にはシューマークに相当する黒い線が現れているのに対して、図７の撮影画像では中央付近全体が影になって、エリアＡ２にシューマークに相当する黒い線が見られない。従来の検査装置では、図７からも明らかなように、撮影画像には明るさのムラが生じる。これは、図６に表されたように、拡散光よりも指向性の高い光が、カメラ２０ａの撮影方向Ｄ１と同じ向きＤ３で照射されるために、照明装置１０ａからの照射される光量に対する第１の検査面Ｋ１で反射しカメラ２０ａに入射する光量の割合が、照射する照射方向Ｄ２とカメラ２０の撮影方向Ｄ１と異なる外観検査装置１００と比較して大きいためと考えられる。また、照明装置１０ａからの照射光の多くがカメラ２０ａの視野範囲（図３の範囲Ｈに相当）を通過して撮影画像に写りこむことも一つの要因として考えられる。従来の検査装置での検査時にも、第１の検査面Ｋ１上のシューマークの存在する範囲と存在しない範囲との反射率の違いによって、反射する光量に差は生じているものの、カメラ２０ａに入射する光量全体が大きいために、上記両範囲の濃淡差が撮影画像においては小さくなる。
【００３５】
また、照明装置１０ａからの照射される直接光は拡散光よりも指向性が高く、カメラ２０ａの撮影方向Ｄ１と同じ向きＤ３で照射されるために、転がり軸受３００のように第１の検査面Ｋ１が曲面である場合には、主にカメラ２０ａの正面が照射されてカメラ２０ａの正面から離れるほど照射される光量が減る。そのため、図７からも明らかなように、撮影範囲が図４の撮影画像よりも小さい。
【００３６】
従って、本実施の形態にかかる外観検査装置１００では、照明装置１０Ａ（または照明装置１０Ｂ）が図１，２に表されたような位置に配置され、指向性の低い拡散光を照射することによって、照射する照射方向Ｄ２をカメラ２０の撮影方向Ｄ１と異なる向きとすることができる。これにより、カメラ２０に入射する光量に対して、第１の検査面Ｋ１上のシューマークの存在する範囲と存在しない範囲との差異を大きくすることができる。そのため、従来の検査装置で得られる撮影画像（図７）よりも、外観検査装置１００で得られる撮影画像（図４）においてシューマークの存在する範囲と存在しない範囲との濃淡差が大きくなる。これは、第１の検査面Ｋ１にシューマークなどの凹凸が存在することの検出、つまり、光沢異常として得られる表面の傷などの凹凸の検出の精度を向上させることができる。また、撮影画像におけるシューマークの存在する範囲と存在しない範囲との濃淡差が大きくなることで、たとえばＰＣ５００のＣＰＵ５０が画像解析処理を行って閾値と比較するなどの方法で第１の検査面Ｋ１にシューマークなどの凹凸が存在することの検出を自動的に高精度で行うことができる。
【００３７】
さらに、照明装置１０Ａ（または照明装置１０Ｂ）が指向性の小さい拡散光を照射するために、外輪３００Ａの外周面上の照明範囲を広くすることができる。これにより、少なくとも第１の検査面Ｋ１全体に満遍なく照明され、濃淡の明確な撮影画像が得られる。これは、第１の検査面Ｋ１にシューマークなどの凹凸が存在することの検出、つまり、光沢異常として得られる表面の傷などの凹凸の検出の精度を向上させることができる。
【００３８】
［第２の実施の形態］
第２の実施の形態にかかる外観検査装置１００は、図１に表されたように、さらにセンサ４０を含む。センサ４０は変位センサである。センサ４０は、配置台３０に配置された転がり軸受３００の端面に設けられた密封装置までの距離を、レーザ光などを利用して非接触にて測定する。密封装置は、たとえば、図１に示されたように転がり軸受３００の端面に設けられた軸受シール３００Ｅである。密封装置は、他の例として、シールド板であってもよい。センサ４０は、転がり軸受３００の端面の軸受シール３００Ｅが配置された面に含まれる面を第２の検査面Ｋ２として、第２の検査面Ｋ２までの距離を測定する。センサ４０は、配置台３０に配置された転がり軸受３００の軸受シール３００Ｅからｙ方向に離れた位置（たとえば上方）であり、かつ、カメラ２０に対して外輪３００Ａのカメラ２０に臨む側よりも遠い位置に設けられている。好ましくは、センサ４０は、カメラ２０と転がり軸受３００の中心軸Ｃを含む平面上の、照明装置１０Ａ（または照明装置１０Ｂ）を挟んでカメラ２０とは反対側に設けられる。
【００３９】
外観検査装置１００において配置台３０が軸Ｍを回転し、回転しながらカメラ２０によって第１の検査面Ｋ１が撮影されている場合、上記のようにセンサ４０が設けられることによって、同時に、第２の検査面Ｋ２までの距離をセンサ４０によって測定することができる。つまり、第２の実施の形態にかかる検査装置１００では、カメラ２０によって外輪３００Ａの外周面に含まれる第１の検査面が撮影されると共に、センサ４０によって軸受シール３００Ｅが配置された面に含まれる第２の検査面Ｋ２までの距離が測定される。つまり、第２の実施の形態にかかる外観検査装置１００では、１回の検出動作によって、第１の検査面Ｋ１の撮影写真と共に、第２の検査面Ｋ２までの距離が得られる。
【００４０】
撮影写真が上記のように解析されることによって、第１の検査面Ｋ１の凹凸の有無が検出される。それにより、第１の検査面Ｋ１の検査を行うことができる。センサ４０から、同じ検査動作中に得られた測定値の入力を受け付けて、ＰＣ５００が第２の検査面Ｋ２までの距離を予め記憶している適正な距離と比較するなどの解析を実行することによって、外観検査として、軸受シール３００Ｅなどの密封装置の嵌めこみ不良が検出される。それにより密封装置の嵌めこみ不良の有無を検査することができる。
【００４１】
＜第２の実施の形態の効果＞
第２の実施の形態にかかる外観検査装置１００では、上記２つの検査をそれぞれ異なる検査動作で行うよりも検査時間を短縮することができる。また、両検査用の検査装置をそれぞれ別に用意するよりも検査装置を小型化することができる。
【００４２】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００４３】
１００  外観検査装置、  ３００  転がり軸受、  ３００Ａ  外輪、  ３００Ｅ  軸受シール、  １０Ａ，１０Ｂ  照明装置、  ２０  カメラ、  ３０  配置台、  ４０  センサ、  ５０  ＣＰＵ、  ５００  ＰＣ、Ｄ１  撮影方向、Ｄ２  照射方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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