(57)【要約】      （修正有）【課題】インク流路と液体供給孔との液体の流通を阻害せずに流路形成部材の強度を増すことを可能とする液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】液体を吐出するための液体吐出ヘッドは、エネルギーを発生するためのエネルギー発生素子２と、液体供給口９と、が設けられた基板と、エネルギー発生素子が発生したエネルギーを液体に作用する圧力室６Ａと、圧力室に連通する吐出口７と、圧力室と液体供給口との間で液体を連通するための流路６，６Ｂと、を、基板と接合することによって形成するための流路形成部材８，８Ａと、を具え、流路形成部材の、液体供給口に対向する領域から圧力室に向かう流路の一部の領域までの厚みｂが、圧力室に対向する領域の厚みａより大きい。【選択図】図２
2017061102.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するための液体吐出ヘッドであって、
エネルギーを発生するためのエネルギー発生素子と、液体供給口と、が設けられた基板と、
液体を吐出する吐出口を備える流路形成部材と、
前記基板と前記流路形成部材との間に設けられる、前記吐出口と連通するとともに前記エネルギー発生素子を内部に備える圧力室および、当該圧力室と前記供給口とを連通する流路と、
を具え、
前記流路形成部材の、前記液体供給口に対向する領域から前記圧力室に向かう前記流路の一部の領域までの厚みが、前記圧力室に対向する領域の厚みより大きいことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記流路形成部材の、前記液体供給口に対向する領域から前記圧力室に向かう前記流路の領域は、前記圧力室に向かう方向に沿ったリブであって、当該領域の厚みより大きな厚みのリブを有することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
複数の前記リブが、前記エネルギー発生素子の配列方向に沿って配置され、前記リブは、前記圧力室と前記液体供給口との間の領域に設けられることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記流路形成部材の、前記液体供給口に対向する領域から前記圧力室に向かう前記流路の一部の領域は、円柱部を有し、前記円柱部は、前記厚みが異なる領域の境界に対して前記圧力室の側に設けられることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
インクを吐出して記録媒体に記録を行うインクジェット記録装置であって、
インクを吐出するための液体吐出ヘッドであって、エネルギーを発生するためのエネルギー発生素子と、インク供給口と、が設けられた基板と、液体を吐出する吐出口を備える流路形成部材と、前記基板と前記流路形成部材との間に設けられる、前記吐出口と連通するとともに前記エネルギー発生素子を内部に備える圧力室および、当該圧力室と前記供給口とを連通する流路と、を具え、前記流路形成部材の、前記液体供給口に対向する領域から前記圧力室に向かう前記流路の一部の領域までの厚みが、前記圧力室に対向する領域の厚みより大きい液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドから記録媒体にインクを吐出させて記録を行う記録手段と、
を具えたことを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッドおよびインクジェット記録装置に関し、詳しくは、液体吐出ヘッドにおける液体流路を形成する部材の強度を増す技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の技術として、特許文献１には、液体吐出ヘッドの液体流路を形成する部材の液体供給孔に対向する部分に、補強部材を設けることが記載されている。より詳しくは、液体吐出ヘッドの基板に形成された空洞である液体供給孔に対向する流路形成部材の部分に、基板側に向かって厚みを増すように梁状突起を設けるとともにこの梁状突起から、吐出口に連通する流路に近接するよう延在する補強リブを設けることが記載されている。
【０００３】
この構造によれば、流路形成部材にそれを基板側へ変形させようとする力が作用したときに、補強リブが基板と接することによって上記変形を抑制することができ、結果として流路形成部材の強度を増すことが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２８３５０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、比較的高い密度で吐出口を配列した液体吐出ヘッドの場合、補強リブを配置することによる弊害を生じるおそれがある。すなわち、補強リブが高密度に配列することにより、これと、吐出口に連通するインク流路とによって囲まれる空間が、隣接する補強リブによって液体供給孔との連通路が狭くなり、それぞれのインク流路と液体供給孔との液体の流通が阻害される。その結果、例えば、インク流路と液体供給孔との間の液体循環が抑制され、インクの増粘などが生じて吐出性能が低下することがある。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決し、インク流路と液体供給孔との液体の流通を阻害せずに流路形成部材の強度を増すことが可能な液体吐出ヘッドおよびその吐出ヘッドを用いたインクジェット記録装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために本発明は、液体を吐出するための液体吐出ヘッドであって、エネルギーを発生するためのエネルギー発生素子と、液体供給口と、が設けられた基板と、前記エネルギー発生素子が発生したエネルギーを液体に作用する圧力室と、圧力室に連通する吐出口と、前記圧力室と液体供給口との間で液体を連通するための流路と、を、前記基板と接合することによって形成するための流路形成部材と、を具え、前記流路形成部材の、前記液体供給口に対向する領域から前記圧力室に向かう前記流路の一部の領域までの厚みが、前記圧力室に対向する領域の厚みより大きいことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
以上の構成によれば、液体吐出ヘッドにおいて、液体供給孔からインク流路への液体の流通が阻害されることを抑制しつつ流路形成部材の強度を増すことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施形態に係るインクジェット記録ヘッドを示す斜視図である。
【図２】（ａ）および（ｂ）は、本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの、主に流路形成部材の構造を示す図である。
【図３】（ａ）および（ｂ）は、第１の比較例に係る液体吐出ヘッドの構造を示す図である。
【図４】（ａ）および（ｂ）は、第２の比較例に係る液体吐出ヘッドの構造を示す図である。
【図５】（ａ）〜（ｊ）は、実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法を説明する図である。
【図６】（ａ）および（ｂ）は、本発明の第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドの構造を示す図である。
【図７】（ａ）および（ｂ）は、本発明の第３の実施形態に係る液体吐出ヘッドの構造を示す図である。
【図８】（ａ）および（ｂ）は、本発明の第４の実施形態に係る液体吐出ヘッドの構造を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００１１】
図１は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドを、一部切り欠いて示す斜視図である。液体吐出ヘッド１００は、液体としてのインクを吐出するための複数の吐出口７が形成される流路形成部材８と、それぞれの吐出口７に対応してエネルギー発生素子２が設けられた素子基板１と、を備えている。この液体吐出ヘッドは、液体としてインクを用いるインクジェット記録装置に装着されて用いられる。すなわち、インクジェット記録装置は、インクを吐出する液体吐出ヘッドを駆動してシートなどの記録媒体にインクを吐出して記録を行う。
【００１２】
素子基板１は、シリコン（Ｓｉ）を材料して形成されている。なお、材料はこれに限られず、例えば、ガラス、セラミックス、樹脂、金属等によって形成することもでる。素子基板１の上面には、流路形成部材８のそれぞれの吐出口7に対向する位置に、エネルギー発生素子として電気熱変換素子２が設けられており、また、電気熱変換素子２に電圧を印加するための電極（不図示）やこの電極に接続された配線（不図示）が所定のパターンでそれぞれ設けられている。この電気熱変換素子２に電圧パルスを印加することにより、インクに気泡を生じさせてその気泡の圧力によって吐出口７からインクを吐出することができる。また、素子基板１の上面には、蓄熱の発散性を向上させる絶縁膜（図示せず）が、電気熱変換素子２を被覆するように設けられている。さらに、素子基板１の主面には、気泡が消泡した際に生じるキャビテーションから保護するための保護膜（図示せず）が、絶縁膜を被覆するように設けられている。素子基板１にはその裏側の面から上面まで貫通するインク供給口（液体供給口）９が設けられている。この共通に設けられたインク供給口９を介して、吐出口ごとの、インク流路および圧力室にインクが供給される。
【００１３】
流路形成部材８は、素子基板１と接合することにより、それぞれの吐出口ごとの圧力室（不図示）、インク流路６、６Ｂを形成するものである。圧力室はその内部に電気熱変換素子２を含み、電気熱変換素子を駆動することで圧力室内のインクに気泡を生じさせる。インク流路６、６Ｂは圧力室とインク供給口９との間のインクの流路を形成する。
【００１４】
素子基板１は、支持部材１０１によって支持され、これにより、液体吐出ヘッド１００の主要部が構成される。
【００１５】
本実施形態の液体吐出ヘッド１００は、基板１のインク供給口９の長手方向軸に関して対称な、２つの吐出口列を有するものである。これらの吐出口列は、それぞれ６００ｄｐｉ相当のピッチで吐出口７を配列するともに、２つの吐出口列が相互に、配列ピッチの１／２だけずれて配置されることにより、２つの吐出口列全体では、配列方向において１２００ｄｐｉ相当のピッチで吐出口を配列したものである。また、本実施形態の液体吐出ヘッドは、例えば、特開平４−１０９４０号公報などに開示された、インクの吐出時に発生する気泡が吐出口を介して外気に連通した後、圧力室中のインクからインク滴が離れて吐出方式のものである。
【００１６】
以下では、上述した本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッドの流路形成部材のいくつかの実施形態を説明する。
【００１７】
（第１実施形態）
図２（ａ）および（ｂ）は、本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの、主に流路形成部材８の構造を示す図である。詳しくは、図２（ａ）は、流路形成部材８のうち上部分を除いて圧力室６Ａやインク流路６、６Ｂが表れるように示す上面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ´線断面図で、流路形成部材８の上記上部分を除かない状態を示している。また、これらの図は、相互に対称な２つの吐出口列のうち一方の吐出口列に係る部分の流路形成部材８の構造を示しており、上記対称の軸が直線ＣＬとして示されている。さらに、図２（ａ）において、吐出口７は、実際には見ることができないが、電気熱変換素子２との位置関係を示しため、一点鎖線で示している。
【００１８】
図２（ａ）および（ｂ）に示されるように、流路形成部材８の素子基板１側に増厚領域１０２、１０３が設けられる。これらの増厚領域１０２、１０３は、流路形成部材８の一部として一体に形成されるものである（図では領域を明確にするために、異なる模様で示している）。なお、この形態に限られず、別の部材を流路形成部材に接合して厚みを増した部分を形成するようにしてもよい。このように、本実施形態の流路形成部材８は、圧力室６Ａ、インク流路６の一部に対向する部分６Ｂが、厚みａを有し、一方、インク供給口９に対向する部分８Ａが厚みｂを有している。そして、増厚領域１０２は、この厚みｂの部分が、インク供給口９からインク流路６に入り込む部分まで延在するものである。また、増厚領域１０３は、流路形成部材の部分８Ａの凹部を埋めるように設けられる。また、図２（ａ）に示されるように、これらの増厚領域１０２、１０３は、吐出口７が配列する範囲に対応して延在している。なお、増厚領域１０２がインク流路に入り込んで延在する長さは、流路形成部材について求める所望の強度の範囲に対して、インク供給口９から圧力室６Ａへのインク供給特性などを考慮して定めることができる。例えば、流路形成部材８の厚さは、必要なインク供給量や素子基板１周囲及び電気接続部上部の封止層（不図示）の弾性等に応じて設定する。
【００１９】
従来の流路形成部材は、特に、増厚領域１０２がない形態であり、そのため、流路形成部材に作用する素子基板１側に向かう力に対して変形し易いものとなる。これに対し、本実施形態の流路形成部材８は、上述したように、特に、増厚領域１０２を有することによって、流路形成部材の厚みを増すことができ、これにより、流路形成部材に作用する素子基板１側に向かう力に対抗し得る強度を得ることができる。
【００２０】
以上のように増厚領域が設けられた液体吐出ヘッドは、一例として、インク供給口９に近いインク流路６Ｂの高さｄは５〜１５μｍ、また、圧力室６Ａと同じ高さのインク流路６の高さｃは１０〜３０μｍ程度とすることができる。この場合、増厚領域の厚み（ｂ−ａ）は、少なくとも５μｍ以上となる。また、流路形成部材８の厚さは２０〜８０μｍ程度であり、吐出口７の径は５〜２０μｍ程度である。
【００２１】
以上説明した第一実施形態に係る流路形成部材の構造による効果ついて、さらに、比較例との比較において説明する。
【００２２】
図３（ａ）および（ｂ）は、第１の比較例に係る液体吐出ヘッドの構造を示す図であり、それぞれ図２（ａ）および（ｂ）と同様の図である。図２（ａ）および（ｂ）と同様の要素には同じ符号を付し、その説明は省略する。図３（ａ）および（ｂ）に示すように、この比較例では、インク流路６のインク供給口９の近傍において素子基板１側へ突出する円柱部１０が設けられている。この円柱部１０が素子基板１と接することにより、流路形成部材８が素子基板側へ変形するのを抑制することができる。
【００２３】
しかし、何らかの原因で液体吐出ヘッドの流路形成部材に応力が作用すると、図３に示す比較例の構成においては、特に、図３において矢印で示した箇所で、基板側に変形しやすくなる。すなわち、この比較例に係る流路形成部材は、円柱部１０があっても、その箇所から離れた、インク供給口９に対向する位置である、図中、矢印の部分で変形し易くなる。その結果、例えば、流路形成部材８と基板１の剥離が生じる。そして、剥離が生じると所望の吐出性能を維持出来なくなる。
【００２４】
図４（ａ）および（ｂ）は、第２の比較例に係る液体吐出ヘッドの構造を示す図であり、それぞれ図２（ａ）および（ｂ）と同様の図である。図２（ａ）および（ｂ）と同様の要素には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【００２５】
図４（ａ）および（ｂ）に示すように、この比較例は、流路形成部材８が、特許文献１と同様、リブ１１をインク流路ごとに有する形態である。これにより、第１の比較例で上述したような、インク供給口９に対向する箇所で流路形成部材８が変形することを抑制することができる。また、素子基板１と流路形成部材８の接触面積が増加することにより流路形成部材８と基板１との剥離が生じ難くすることができる。
【００２６】
しかしながら、特許文献１について上述したように、インク流路６を高密度に配列した形態では、インク流路６と、隣接するリブ１１によってインク供給口９と、の連通路が狭くなり、それぞれのインク流路とインク供給口とのインクの流通が阻害される。
【００２７】
以上の比較例に対し、図２（ａ）および（ｂ）に示す本実施形態の構造は、変形が生じ易いインク供給口９に対向する部分からインク流路６の一部までに増厚領域を設けて、流路形成部材の厚みを厚くする。これにより、変形しやすいインク供給口９に対向する部分の剛性を高めることができる。これと同時にインク流路６とインク供給口９の間はリブ１１のようにインク流通を阻害するものが無く、インク循環を良好に行うことが可能となる。本実施形態の流路形成部材を有する液体吐出ヘッドをプリンタに搭載して記録を行ったところ、従来の使用期間に対し、良好な記録が可能となる期間が２倍以上となった。
【００２８】
図５（ａ）〜（ｊ）は、本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法を説明する図である。
【００２９】
先ず、図５（ａ）に示すように、エネルギー発生素子２を含むシリコン製の基板１上に、流路を形成するための型となる第１の流路パターン５１を形成する。第１の流路パターンとなるレジスト材料としてはエネルギー発生素子２との位置関係を精度良くパターニングするために感光性材料が望ましい。本実施形態ではポリメチルイソプロペニルケトン（ＰＭＩＰＫ）をポジ型レジスト（ポジ型感光性樹脂）として使用した。レジスト層の形成の方法としては適当な溶剤に溶解し、スピンコート法、ロールコート法等で被膜を形成する方法がある。このとき、図５（ｂ）に示すように、マスク６１を介してパターン露光を行うことにより、ＰＭＩＰＫは感光波長領域の２６０ｎｍ〜３００ｎｍの紫外光で露光した。
【００３０】
次いで、図５（ｃ）および（ｄ）に示すように、第１の流路パターン５１上に、第２の流路を形成するための第２の流路パターン５３を形成する。第２の流路パターン５３を構成する溶解可能な樹脂（第２のポジ型感光性樹脂）としては、ＰＭＭＡと呼ばれるポジ型レジストを使用した。ＰＭＭＡは、メタクリル酸メチル（ＭＭＡ）とメタクリル酸（ＭＡＡ）をラジカル重合させて、ポリマー化させた２元共重合体（Ｐ（ＭＭＡ−ＭＡＡ）＝９０〜７０：１０〜３０）をシクロヘキサノン溶媒で溶解したものである。このＰＭＭＡの２元共重合体（Ｐ（ＭＭＡ−ＭＡＡ））の脱水縮合反応による熱架橋膜を形成する（不図示）。この脱水縮合反応は、１８０〜２００℃で３０〜１２０分加熱することにより、より強固な架橋膜を形成することができる。なお、この架橋膜は、溶媒不溶型になっているが、ＤＵＶ光などの電子線が照射された部分のみ、溶媒可溶性となるポジ型レジストである。特に、このＰＭＭＡは感光波長領域が２６０ｎｍ未満の紫外光に感光するのに対し、ＰＭＩＰＫは感光波長領域が２６０ｎｍ〜３００ｎｍの紫外光に感光するので、露光波長によって選択露光が可能である。尚、ここでは上記第２のポジ型感光性樹脂として、主成分のメタクリル酸メチルにメタクリル酸を重合させた共有重合体を示したが、そのメタクリル酸に替えて無水メタクリル酸を重合したものでもよい。なお、このように選択露光が可能なポジ型レジストであれば、第１及び第２の流路パターンはこれらの材料に限らず、形成方法も上記の方法に限ったものではない。
【００３１】
次いで、図５（ｅ）、（ｆ）に示すように、マスク６２とＤＵＶ光を照射させる露光装置を用い、この露光装置に波長選択手段として波長２６０ｎｍ以上の紫外光を遮断するフィルターを装着して２６０ｎｍ未満のみの紫外光をレジスト１１に照射させる。これにより、第１の流路パターン５１を感光することなく第２の流路パターン５３を形成することができる。
【００３２】
次いで、図５（ｇ）、（ｈ）に示すように、第２の感光性被覆樹脂層５４を塗布して、マスク６３を介してパターン露光を行うことにより、吐出口７を形成する。この工程で使用する感光性被覆樹脂層５４は、流路壁の構造材料としての高い機械的強度、素子基板１との密着性と耐溶剤性が要求される。また、吐出口７との連通部とエネルギー発生素子２との位置関係を精度良くパターニングするためにフォトリソグラフィーにて形成できる感光性のものが望ましい。さらに、溶解可能な樹脂からなる第１の流路パターン５１および第２の流路パターン５３を完全に被覆しなければならないので、それ相応の厚さでコーティングしなければならない。本実施形態ではカチオン重合性化合物と光カチオン重合開始剤を含有するネガ型感光性樹脂を用いたが、同様の機能を有する材料であればそれに限ったものではない。その後、図５（ｉ）、（ｊ）に示すように、素子基板１にエッチング等にてインク供給口９を形成し、第１の流路パターン５１および第２の流路パターン５３を除去することにより、素子基板１上に流路形成部材８を形成する。
【００３３】
（第２実施形態）
図６（ａ）および（ｂ）は、本発明の第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドの構造を示す図であり、それぞれ図２（ａ）および（ｂ）と同様の図である。図２（ａ）および（ｂ）と同様の要素には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【００３４】
本実施形態が、第１実施形態の液体吐出ヘッドと異なる点は、インク流路６に対向する流路形成部材８の少なくとも１箇所に、素子基板１側に延在するリブ１２を設けた点である。このリブ１２は、素子基板１と接しており密着している。すなわち、本実施形態は、第１実施形態の増厚領域１０２、１０３に加え、吐出口７の配列方向において所定の間隔でリブ１２を設けたものである。これにより、流路形成部材８を変形させる応力が発生した際に、流路形成部材８に存在する段差部（境界部）で応力集中を緩和することができる。その結果、第１実施形態と比べてさらにインク供給口９に対向する流路形成部材８の剛性が向上し、流路形成部材８の変形を小さくすることが可能となる。
【００３５】
本実施形態では、リブ１２は、インク流路６からインク供給口９との間の領域に配置されており、２つのインク流路６に対し１つの間隔で設けられる。なお、この配置間隔はこれに限定するものではなく、インク流路６の配置密度、形状等を考慮してインク吐出性能上問題とならない範囲でなるべく多く配置することが望ましい。これにより、インク供給口９に対向する流路形成部材８の変形をさらに小さくすることが可能となる。本発明の流路形成部材を備えた液体吐出ヘッドをプリンタに搭載して記録を行ったところ、従来の使用期間に対し、良好な記録が可能となる使用期間が２倍以上となり、第１の実施形態以上の使用期間とすることができた。
【００３６】
（第３実施形態）
図７（ａ）および（ｂ）は、本発明の第３の実施形態に係る液体吐出ヘッドの構造を示す図であり、それぞれ図２（ａ）および（ｂ）と同様の図である。図２（ａ）および（ｂ）と同様の要素には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【００３７】
本実施形態は、図３（ａ）および（ｂ）に示す比較例と同様、円柱部１０を設けるものである。これとともに、増厚領域１０２が延在する長さを、図２（ａ）および（ｂ）に示す第１実施形態と比較して、円柱部１０からインク供給口９側へ所定長さだけ短くしたものである。
【００３８】
これは、プリンタで使用するインクの物性によってはインク供給口９近傍の流路形成部材８の厚さがインクの吐出性能に与える影響が大きい場合がある。つまり、各インク流路６と連通する円柱部１０周囲の流路の流路形成部材８の厚さを、よりインク供給口９側の位置まで維持して流路形成部材８の厚さを薄くする。これにより、各インク流路６の流抵抗が流路形成部材８の増厚領域によって大きくなるのを抑制し、例えば、粘性の高いインクでも使用可能となる。
【００３９】
またこの時、インク流路６Ｂの高さｃと増厚領域に対応する流路の高さｃが切り替わる位置から円柱部１０までの距離ｅの関係は、「距離ｅ＞高さ（ｃ−ｄ）」の関係である。例えば、高さｄが１０μｍ、高さｃが１５μｍである場合は、円柱部１０からの距離ｅは５μｍより短い３μｍ程度である。
【００４０】
以上の本実施形態によれば、流路形成部材８をインク供給口９と反対方向凸となるような変形を生じさせる力が作用した場合、円柱部１０からの距離ｅは、縮まる方向に変形する。この場合、上述した関係「距離ｅ＞高さ（ｃ−ｄ）」によって、上記凸状の流路形成部材８の変形に対して、流路形成部材８の増厚領域１０２による段差部と円柱部１０とが干渉することによって変形を抑制することが可能となる。
【００４１】
（第４実施形態）
図８（ａ）および（ｂ）は、本発明の第３の実施形態に係る液体吐出ヘッドの構造を示す図であり、それぞれ図２（ａ）および（ｂ）と同様の図である。図２（ａ）および（ｂ）と同様の要素には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【００４２】
本実施形態の液体吐出ヘッドは、エネルギー発生素子２は、千鳥状に例えば２４００ｄｐｉの密度で配列している。また、図８（ｂ）に示すように、エネルギー発生素子２の配列方向に対し、ほぼ垂直方向の両側のインク流路６を介して、それぞれのインク供給口９からインクが供給される形態である。
【００４３】
本実施形態においても、流路形成部材８のそれぞれのインク供給口９に対向する部分に、増厚領域１０２を設ける。これにより、変形しやすい箇所の流路形成部材８の厚さを増し、流路形成部材８の強度を高くすることができる。
それ以外の流路形成部材の構成及び柱状梁部である円柱部１０の構成は第１から第３の実施形態のいずれかに準じておれば良い。
【符号の説明】
【００４４】
１    基板
２    エネルギー発生素子（電気熱変換素子）
６、６Ｂ    インク流路
６Ａ    圧力室
７    吐出口
８、８Ａ    流路形成部材
９    インク供給口
１０    円柱部
１１、１２    リブ
１０２、１０３    増厚領域
【図１】
2017061102.tif 000003
【図２】
2017061102.tif 000004
【図３】
2017061102.tif 000005
【図４】
2017061102.tif 000006
【図５】
2017061102.tif 000007
【図６】
2017061102.tif 000008
【図７】
2017061102.tif 000009
【図８】
2017061102.tif 000010