(57)【要約】      （修正有）【課題】生産性に優れたガラス樹脂複合体の製造方法を提供する。【解決手段】第１面と第２面とを有するガラスシート１１と、シランカップリング剤を含む混合気体と、樹脂とを準備し、前記ガラスシート１１を搬送し、搬送されている前記ガラスシート１１の第２面に流体を接触させて前記ガラスシートの温度を調節し、前記流体により温度が調節された前記ガラスシート１１の第１面に前記混合気体を接触させ、前記混合気体との接触後に搬送される前記ガラスシート１１の第１面に前記樹脂による樹脂層１２を形成するガラス樹脂複合体１３の製造方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１面と第２面とを有するガラスシートと、シランカップリング剤を含む混合気体と、樹脂とを準備し、
前記ガラスシートを搬送し、
搬送されている前記ガラスシートの第２面に流体を接触させて前記ガラスシートの温度を調節し、
前記流体により温度が調節された前記ガラスシートの第１面に前記混合気体を接触させ、
前記混合気体との接触後に搬送される前記ガラスシートの第１面に前記樹脂による樹脂層を形成する、
ガラス樹脂複合体の製造方法。
【請求項２】
前記混合気体の露点温度Ｔｄ、前記流体により調節される前記ガラスシートの温度Ｔｓ、前記ガラスシートに接触する前記混合気体の温度Ｔｖは、Ｔｄ＜Ｔｓ＜Ｔｖの関係を満たす、請求項１に記載のガラス樹脂複合体の製造方法。
【請求項３】
前記樹脂層は、前記樹脂を用いて形成される樹脂フィルムが前記ガラスシートに貼着されることで形成される、請求項１又は２に記載のガラス樹脂複合体の製造方法。
【請求項４】
前記樹脂層は、前記樹脂を含む樹脂溶液が前記ガラスシートに塗布されることで形成される、請求項１又は２に記載のガラス樹脂複合体の製造方法。
【請求項５】
前記ガラスシートは、長尺のガラス基板であり、ロール状に巻き回された状態から繰り出されることで搬送され、前記樹脂層が形成された後に巻き取られて回収される、請求項１から４の何れか一項に記載のガラス樹脂複合体の製造方法。
【請求項６】
前記ガラスシートは、枚葉状のガラス基板であり、搬送手段により搬送される、請求項１から４の何れか一項に記載のガラス樹脂複合体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス樹脂複合体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ等の表示装置や、半導体素子等には、表面を保護するためにカバーガラスが設けられている。近年では、表示装置や半導体素子等の小型化・軽量化に伴って、これらに用いられるガラスの極薄化が進められている。
【０００３】
ガラスは薄くすると割れ易くなるため、薄化を進める場合には、実使用に耐え得る強度を同時に確保する必要があり、ガラス基板の表面に樹脂層を形成して複合体とすることで、耐衝撃性、耐久性を確保することが考えられている。この場合において、シランカップリング剤処理が施されたガラス基板の表面に樹脂層を形成することで、ガラス基板と樹脂層との接合強度を高める方法が知られている（例えば、特許文献１又は２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２０１３−１２３６７７号公報
【特許文献２】国際公開２０１１／０１０７３８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記方法では、ガラス基板を静置して固定した状態でシランカップリング剤処理を施すため、ガラス基板の固定及び処理を施したガラス基板の取出しといった工程を要する。したがって、処理が断続的に行われるため、生産性を向上させるには限界があった。
【０００６】
本発明は上記に鑑みてなされたものであって、生産性に優れたガラス樹脂複合体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様のガラス樹脂複合体の製造方法によれば、第１面と第２面とを有するガラスシートと、シランカップリング剤を含む混合気体と、樹脂とを準備し、前記ガラスシートを搬送し、搬送されている前記ガラスシートの第２面に流体を接触させて前記ガラスシートの温度を調節し、前記流体により温度が調節された前記ガラスシートの第１面に前記混合気体を接触させ、前記混合気体との接触後に搬送される前記ガラスシートの第１面に前記樹脂による樹脂層を形成する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の実施形態によれば、生産性に優れたガラス樹脂複合体の製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施形態における製造装置を例示する図である。
【図２】実施形態におけるシランカップリング剤処理装置の構成を例示する図である。
【図３】実施形態におけるシランカップリング剤処理装置の構成を例示する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明のガラス樹脂複合体の製造方法は、第１面と第２面とを有するガラスシートと、シランカップリング剤を含む混合気体と、樹脂とを準備し；前記ガラスシートを搬送し；搬送されている前記ガラスシートの第２面に流体を接触させて前記ガラスシートの温度を調節し；前記流体により温度が調節された前記ガラスシートの第１面に前記混合気体を接触させ；前記混合気体との接触後に搬送される前記ガラスシートの第１面に前記樹脂による樹脂層を形成することを特徴とする。
【００１１】
以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。
【００１２】
＜ガラス樹脂複合体の製造方法＞
図１は、本発明のガラス樹脂複合体の製造方法に用いられる製造装置１００の概略構成を例示する図である。本発明のガラス樹脂複合体の製造方法は、例示する製造装置１００を用いて、ガラスシート１１の表面にシランカップリング剤処理を施し、処理面に樹脂層１２を形成してガラス樹脂複合体１３を製造する。
【００１３】
製造装置１００は、図１に示す様に、供給ロール１０、シランカップリング剤処理装置２０、樹脂層形成装置３０、回収ロール４０を有する。
【００１４】
供給ロール１０は、中心軸を中心に回転可能に設けられ、周囲にガラスシート１１がロール状に巻き回されている。供給ロール１０は、回転してガラスシート１１を繰り出し、シランカップリング剤処理装置２０にガラスシート１１を供給する。
【００１５】
シランカップリング剤処理装置２０は、供給ロール１０から繰り出されることで搬送されるガラスシート１１の一方の面にシランカップリング剤による表面処理を施す。シランカップリング剤処理装置２０の構成については後述する。
【００１６】
樹脂層形成装置３０は、シランカップリング剤処理装置２０により表面にシランカップリング剤処理が施されたガラスシート１１に、樹脂層１２を形成する。樹脂層形成装置３０は、例えば、樹脂フィルムをガラスシート１１の表面に貼着又は樹脂溶液を塗布した後に、加熱処理することで樹脂層１２を形成する。
【００１７】
回収ロール４０は、中心軸を中心に回転可能に設けられ、ガラスシート１１の表面に樹脂層１２が形成されたガラス樹脂複合体１３をロール状に巻き付けて回収する。
【００１８】
本発明のガラス樹脂複合体の製造方法では、まず、ガラスシート１１がロール状に巻き回された供給ロール１０と、シランカップリング剤処理装置２０に用いられるシランカップリング剤を含む混合気体と、樹脂層形成装置３０に用いられる樹脂とを準備する。次に、製造装置１００において供給ロール１０からガラスシート１１を繰り出し、シランカップリング剤処理装置２０及び樹脂層形成装置３０に搬送する。ガラスシート１１は、シランカップリング剤処理装置２０及び樹脂層形成装置３０を通過することで連続的に処理が施され、表面に樹脂層１２が形成されてガラス樹脂複合体１３となる。この様に、本発明のガラス樹脂複合体の製造方法では、製造装置１００を用いて連続的に処理が行われるため、耐衝撃性、耐久性等に優れたガラス樹脂複合体１３の生産性が向上する。
【００１９】
なお、回収ロール４０の代わりに切断装置を設け、樹脂層形成装置３０から排出されるガラス樹脂複合体１３を所望の大きさに切断する工程を有してもよい。また、ガラス樹脂複合体１３は、図１に例示する様に、供給ロール１０から供給される長尺状のものであってもよく、例えばローラコンベア等の搬送手段により一枚ずつシランカップリング剤処理装置２０及び樹脂層形成装置３０に搬送される枚葉状のガラス基板であってもよい。
【００２０】
以下では、本発明のガラス樹脂複合体の製造方法に用いられる各構成要素について、さらに詳細に説明する。
【００２１】
（ガラスシート）
本発明のガラス樹脂複合体の製造方法では、第１面と第２面とを有するガラスシート１１を準備する。第１面及び第２面は、それぞれガラスシート１１の表裏両面の何れかを意味するが、ガラスシート１１の表裏のどちらを第１面としてもよい。
【００２２】
ガラスシート１１は、材質、組成に制限はなく、例えばソーダライムガラス、アルカリ−ホウケイ酸ガラス、無アルカリ−ホウケイ酸ガラス、無アルカリ−アルミノシリケートガラス等を用いることができる。このうち、無アルカリ−ホウケイ酸ガラス、無アルカリ−アルミノシリケートガラスは、耐久性に優れ、高い弾性率を有し、線膨張係数が低い点で好ましい。また、無アルカリ−ホウケイ酸ガラス及び無アルカリ−アルミノシリケートガラス（以下では、「無アルカリガラス」という）は、ガラスの上に半導体素子を形成する場合に、アルカリによる素子の不良が発生しないため好ましい。なお、無アルカリガラスとは、ガラス組成を酸化物で表した場合に、アルカリ金属酸化物の含有割合が１モル％未満（０モル％であってもよい）のガラスをいう。
【００２３】
ガラスシート１１の厚さは、１０〜５００μｍである。厚さが１０μｍ以上であれば、樹脂層１２が形成された場合において十分な耐衝撃性を得られやすくなる。また、厚さが５００μｍ以下であれば、樹脂付きガラスシート１１が柔軟性を得られやすくなる。ガラスシート１１の厚さは、２０〜３００μｍがより好ましく、３０〜１００μｍが特に好ましい。
【００２４】
また、ガラスシート１１の厚さは、均一であることが好ましく、具体的には、厚さの偏差が、ＰＶ（Peak to Valley）値で１５％以下（例えば厚さが１００μｍに対して、偏差が１５μｍ以下）であることが好ましい。厚さが均一になることで、ガラスシート１１の外観が良好になる。
【００２５】
ガラスシート１１の表面は、平坦であることが好ましい。ガラスシート１１は、平坦であるほど光線透過率が高くなり、表面の粗度としては、ＪＩＳ  Ｂ０６０１で規定される算術平均粗さ（Ｒａ）で、３０ｎｍ以下が好ましく、１ｎｍ以下がより好ましい。また、ガラスシート１１の表面が平坦であると、表面に透明導電膜等の電極を積層した場合に、膜抵抗が均一となり欠陥が生じにくくなるため好ましい。
【００２６】
ガラスシート１１の誘電率は、１０ｋＨｚにおいて５〜７が好ましい。またガラスシート１１のヤング率は、７０〜９５ＧＰａが好ましく、７５〜９０ＧＰａがより好ましい。
【００２７】
ガラスシート１１の線膨張係数は、０〜２００℃において、３×１０−６〜５×１０−６／℃（３〜５ｐｐｍ／℃）が好ましい。これらの特性を有するガラスシート１１は、光電変換素子、表示部材等の保護板、半導体装置の基材等として好適である。
【００２８】
また、ガラスシート１１は、強化処理が施されたものであってもよい。強化処理としては化学強化が好ましい。化学強化であれば、薄いガラスシート１１に対しても有効な強化処理を施すことができる。ガラスシート１１が強化処理を施されることで、薄く、軽量であっても樹脂塗膜付きガラスシート１１が破損しにくくなるという効果が得られる。
【００２９】
なお、ガラスシート１１は、ロール状に巻き回される長尺状のガラス基板であってもよく、枚葉状のガラス基板であってもよい。何れの場合であっても、表面に樹脂層１２が形成されることで、ロール状に巻き回された状態や、積層された状態において、ガラスシート１１のガラス面同士が密着してブロッキングを起こすことがなく、離型性に優れた樹脂付きガラスシート１１を得ることができる。
【００３０】
（シランカップリング剤）
本発明のガラス樹脂複合体の製造方法に用いられるシランカップリング剤は、官能基含有有機基（有機基はケイ素原子と炭素−ケイ素結合で結合）と加水分解性基（及び場合によりアルキル基などの官能基不含有機基）とがケイ素原子に結合した化合物である。ケイ素原子に結合した加水分解性基としては、水によりシロキサン結合（Ｓｉ−Ｏ）を生成しうる官能基が挙げられ、具体的には、水酸基、アルコキシ基（特にメトキシ基、エトキシ基）、塩素原子を例示できる。また、互いに反応性の官能基を有する２種のシランカップリング剤の反応物を用いてもよい。
【００３１】
シランカップリング剤の官能基としては、アミノ基、エポキシ基、アクリロイルオキシ基、メタクリロイルオキシ基、メルカプト基、フルオロアルキル基、ビニル基やアリル基などのアルケニル基等が挙げられる。これらの官能基のうち、ガラス樹脂複合体１３におけるガラスシート１１と樹脂層１２との密着性に優れる点で、アミノ基、エポキシ基、アクリロイルオキシ基、ビニル基が好ましい。官能基に置換される有機基としては、炭素数２〜８のアルキル基、炭素数２〜８のアルコキシアルキル基、炭素数５又は６のシクロアルキルで置換された炭素数２〜４のアルキル基、フェニル基、フェニル基で置換された炭素数２〜４のアルキル基等がある。
【００３２】
シランカップリング剤の具体例としては、３−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、アリルトリメトキシシラン、アリルトリエトキシシラン、ビニルトリクロロシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、アリルトリメトキシシラン等が挙げられる。
【００３３】
（混合気体）
本発明のガラス樹脂複合体の製造方法では、シランカップリング剤を含む混合気体を準備して用いる。混合気体はシランカップリング剤の蒸気のみからなっていてもよいが、キャリーガスと気体のシランカップリング剤との混合気体であることが好ましい。キャリーガスとしては、窒素ガス、アルゴンガス、空気等が例示でき、窒素ガスが特に好適に例示できる。
【００３４】
（樹脂）
本発明のガラス樹脂複合体の製造方法では、樹脂を準備し、当該樹脂を用いてガラス樹脂複合体１３を製造する。樹脂としては、例えば、フッ素樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエステル樹脂（例えば、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂等）、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリカーボネート樹脂、エポキシ樹脂、ポリオレフィン樹脂（例えば、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、塩化ビニル樹脂等）、ポリシクロオレフィン系樹脂を例示できる。これらは単独で用いても複数を混合して用いてもよい。
【００３５】
樹脂層１２は、樹脂層形成装置３０により、前記樹脂を用いて形成される。すなわちガラスシート１１の第１面にシランカップリング剤を含む混合気体を接触させシランカップリング剤処理を行い、搬送され、その後、シランカップリング剤処理が施されたガラスシート１１の第１面に樹脂層１２が形成される。樹脂層１２は樹脂フィルムの貼着で形成されてもよく、樹脂溶液の塗布・硬化で形成されてもよい。樹脂フィルムのガラスシートへの貼着を行うと同時に、または、樹脂フィルムのガラスシート１１への貼着を行った後に、加熱処理を行うことが好ましい。また樹脂溶液のガラスシート１１への塗布・硬化と同時に、または、樹脂溶液のガラスシート１１への塗布・硬化の後に熱処理を行うことが好ましい。樹脂溶液を用いる場合に、硬化と熱処理は同じであってもよい。
【００３６】
樹脂溶液の塗布方法としては、スプレー法、インクジェット法、ダイコート法等公知の方法が適用できる。また加熱処理は、樹脂溶液の塗布後に行う場合には、溶媒を乾燥により除去させ、樹脂層１２が形成できる方法であれば、どのような処理であってもよい。樹脂フィルムの貼着後に加熱処理を行う場合には、一般的な加熱方法を採用できる。これらの加熱処理を用いることで、ガラスシート１１と樹脂層１２との密着力を高くすることができる。樹脂フィルムを貼着する場合には、樹脂フィルムの貼着面に予め表面処理を行うことが好ましい。該表面処理としては、プラズマ処理、コロナ処理等を例示できる。
【００３７】
樹脂層１２は、ガラスシート１１の表面を保護し、ガラスシート１１の耐衝撃性、耐久性を向上させる。樹脂層形成装置３０では加熱処理が行われることが好ましい。
【００３８】
（ガラス樹脂複合体）
ガラス樹脂複合体１３は、波長が４００〜７００ｎｍにおける光線透過率が８０％以上であることが好ましく、９０％以上であることがより好ましく、９３％以上であることが特に好ましい。ガラス樹脂複合体１３は、上記波長範囲、すなわち可視光の範囲において透明であることが好ましい。ガラス樹脂複合体１３は、透明性を有することで、例えば表示装置の前面に配置される保護板に用いられることが可能になる。また、例えば発光素子や発電素子等の基材として用いられた場合において、発光効率、発電効率を下げることがない。
【００３９】
また、ガラス樹脂複合体１３の厚さは、外観が良好になるため均一であることが好ましい。具体的には、厚さの標準偏差が５０％以下であることが好ましく、３５％以下であることがより好ましい。
【００４０】
＜シランカップリング剤処理＞
図２は、本発明のガラス樹脂複合体の製造方法に用いられる製造装置１００におけるシランカップリング剤処理装置２０の構成を例示する図である。
【００４１】
シランカップリング剤処理装置２０は、図２に示す様に、ガラスシート１１の第１面１１ａ側に設けられる容器２１と、ガラスシート１１の第２面１１ｂ側に設けられる温度調節部２３とを有する。
【００４２】
容器２１には、例えば、気化装置により気化されたシランカップリング剤と、窒素等のキャリーガスとが混合された混合気体が送り込まれる。容器２１に送り込まれた混合気体は、バッフル２２により容器２１の内部に分散されて充満し、ガラスシート１１の第１面に接触する。容器２１と温度調節部２３との間を搬送されるガラスシート１１は、第１面１１ａがシランカップリング剤を含む混合気体に接触することで、連続的にシランカップリング剤処理が施される。
【００４３】
温度調節部２３は、所定の温度に保たれた空気等の流体をガラスシート１１の第２面１１ｂに吹き付け、ガラスシート１１の温度を調節する。また、ガラスシート１１の第２面１１ｂに気体を吹き付けることで、シランカップリング剤を含む混合気体がガラスシート１１の第２面１１ｂ側に回り込むのを防止する。流体としては、空気、窒素、水蒸気等の気体であっても、水等の液体であってもよい。流体として気体を用いる場合には、０．２〜３ｍ／秒程度の線速度でガラスシート１１に吹き付けることが好ましい。
【００４４】
流体を用いてガラスシート１１の温度調整を行うことで、ガラスシート１１の温度を精密に制御しやすく、かつ、広い面積に渡って均一な温度分布とすることができる。このためシランカップリング剤がガラスシート１１の表面に均一に吸着している状態を達成しやすくなる。シランカップリング剤が広い面積に渡って均一な分布となることで、ガラスシート１１と樹脂層１２との密着力を広い面積に渡って均一に制御できる。
【００４５】
本発明のガラス樹脂複合体の製造方法では、以上で説明したシランカップリング剤処理装置２０を用いて、搬送されているガラスシート１１の第２面に流体を接触させてガラスシート１１の温度を調節し、流体により温度が調節されたガラスシート１１の第１面にシランカップリング剤を含む混合気体を接触させる。
【００４６】
温度調節部２３の面積（ガラスシート１１に対向する面積）は、容器２１がガラスシート１１を覆う面積と略同一でもよいが、容器２１がガラスシート１１を覆う面積よりも広いことが好ましい。特にガラスシート１１の幅（図２において紙面と垂直な方向における幅）と略同一、またはガラスシート１１の幅より広いことが好ましい。また温度調節部の後端（図２において紙面右方向の端）は、容器２１の端部と略同一であるか、容器２１の端部よりガラスシート１１の搬送方向に長いことが好ましい。また温度調節部の前端（図２において紙面左方向の端）は、容器２１の端部と略同一であるか、容器２１の端部よりガラスシート１１の搬送方向と逆方向（図２において紙面左方向）に長いことが好ましい。温度調節部２３の長さ（図２において紙面左右方向）は、例えば、容器２１の長さ（図２において紙面左右方向）の１〜２０倍であることが好ましく、２〜１０倍であることがより好ましい。この態様であればガラスシート１１をシランカップリング剤処理の前に予熱することができ、温度を調節しやすい。
【００４７】
ここで、シランカップリング剤を含む混合気体の露点温度をＴｄ、温度調節部２３により調節されるガラスシート１１の温度をＴｓ、容器２１におけるシランカップリング剤を含む混合気体の温度をＴｖとしたときに、以下の式（１）の関係を満たすことが好ましく、さらに以下の式（２）の関係を満たすことがより好ましい。ただし、シランカップリング剤を含む混合気体の露点温度Ｔｄとは、当該温度Ｔｄにおいてシランカップリング剤の気液平衡が成り立つ温度である。シランカップリング剤を含む混合気体が露点温度（Ｔｄ）以下になると液相のシランカップリング剤が発生し結露する。露点温度Ｔｄは、混合気体におけるシランカップリング剤の割合（希釈率）で制御できる。
【００４８】
Ｔｄ＜Ｔｓ            ・・・（１）
Ｔｄ＜Ｔｓ≦Ｔｖ      ・・・（２）
ガラスシート１１の温度Ｔｓは、シランカップリング剤を含む蒸気の露点温度Ｔｄよりも高いことが好ましい。ガラスシート１１の温度Ｔｓがシランカップリング剤の露点温度Ｔｄよりも高ければ、結露が発生しにくく、ガラスシート１１と樹脂層１２との接着強度を高くしやすい。
【００４９】
また、シランカップリング剤を含む蒸気の温度Ｔｖが、ガラスシート１１の温度Ｔｓ以上であると、結露が発生しにくく、かつ、シランカップリング剤がガラスシート１１に吸着し過ぎることなく、ガラスシート１１と樹脂層１２との接着強度を高くしやすい。したがって、シランカップリング剤を含む蒸気の温度Ｔｖは、ガラスシート１１の温度Ｔｓ以上であることが好ましい。
【００５０】
本発明のガラス樹脂複合体の製造方法において、例えばガラスシート１１の搬送速度が１ｍ／分で、ガラスシート１１の搬送方向における容器２１の幅が３００ｍｍであり、シランカップリング剤を含む蒸気の露点温度Ｔｄが３５℃である場合を考える。この場合には、例えばガラスシート１１の温度Ｔｓを３７〜４０℃、シランカップリング剤を含む蒸気の温度Ｔｖを４０〜５０℃に設定することで、シランカップリング剤処理を良好に行うことが可能になる。
【００５１】
また、本発明のガラス樹脂複合体の製造方法では、図３に例示する構成のシランカップリング剤処理装置２０を用いて、ノズル２５からガラスシート１１にシランカップリング剤を含む蒸気を吹き付けてもよい。
【００５２】
図３に例示する構成において、ノズル２５は、ガラスシート１１の第１面１１ａにシランカップリング剤を含む蒸気を吹き付けることで、ガラスシート１１の第１面１１ａにシランカップリング剤処理を施す。ノズル２５は、搬送されるガラスシート１１の搬送方向に直交する幅方向に往復移動しながら蒸気を吹き付けることで、ガラスシート１１の第１面１１ａの全面にシランカップリング剤処理を施す。なお、ノズル２５は複数設けられてもよい。
【００５３】
以上で説明した様に、本発明のガラス樹脂複合体１３の製造方法によれば、ガラスシート１１へのシランカップリング剤処理及び樹脂層１２の形成を連続的に行うことで、ガラス樹脂複合体１３の生産性が向上する。
【００５４】
また、シランカップリング剤処理において、ガラスシート１１の温度、シランカップリング剤を含む蒸気の温度を調節することで、シランカップリング剤の吸着の過不足を調整しやすくなる。したがって、この様にシランカップリング剤処理が施されたガラスシート１１の表面に樹脂層１２を形成することで、ガラスシート１１と樹脂層１２との接合強度が高めることができる。
【００５５】
さらに、シランカップリング剤処理において、ガラスシート１１の第２面１１ｂに流体を吹き付けてガラスシート１１の温度を調節することで、ガラスシート１１の第１面１１ａに接触するシランカップリング剤を含む蒸気の第２面１１ｂへの回り込みが防止される。したがって、ガラスシート１１の第２面１１ｂ側にシランカップリング剤が吸着することなく、ガラス面が清浄に保たれたガラス樹脂複合体１３を製造できる。シランカップリング剤が回り込むことにより、ガラスシート１１の第２面の濡れ特性が変化する。すなわち意図しない濡れ特性の変化があることにより、第２面の加工に支障が発生する。このため本発明の実施形態によれば、連続してガラスシート１１を処理し生産性を高くでき、かつ、第２面の表面特性を変化させることがない。
【００５６】
以上、実施形態に係るガラス樹脂複合体の製造方法について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々の変形及び改良が可能である。
【符号の説明】
【００５７】
１１  ガラスシート
１２  樹脂層
１３  ガラス樹脂複合体
２０  シランカップリング剤処理装置
２１  容器
２２  バッフル
２３  温度調節部
２５  ノズル
３０  樹脂層形成装置
１００  製造装置
【図１】
2017061388.tif 000003
【図２】
2017061388.tif 000004
【図３】
2017061388.tif 000005