(57)【要約】      （修正有）【課題】鉛直方向における上部に位置する吐出孔から十分な量の液体を吐出させることができ、よって被処理物の上部に十分な量の液体を吐出することができる液処理装置およびノズルを提供する。【解決手段】液処理装置に設けられる流路形成部は、被処理物に吐出されるべき液体がそれぞれ通る複数の流路１２ａ、１６ａを形成するようになっており、流路形成部により形成される複数の流路１２ａ、１６ａのうち一部の流路１２ａには、被処理物に液体を吐出するための複数の吐出孔１４が鉛直方向に沿って並ぶよう設けられている。また、流路形成部により形成される複数の流路１２ａ、１６ａにおける吐出孔１４が設けられている流路１２ａおよび吐出孔１４が設けられてない流路１６ａを連通させるための連通部１８が設けられている。【選択図】図２
2017023961.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物に液体を吐出するための液処理装置であって、
前記被処理物に吐出されるべき液体がそれぞれ通る複数の流路を形成する流路形成部と、
前記流路形成部により形成される各前記流路の下端部から鉛直方向における上向きに液体を供給する液体供給部と、
を備え、
前記流路形成部により形成される複数の前記流路のうち一部の前記流路には、前記被処理物に液体を吐出するための複数の吐出孔が鉛直方向に沿って並ぶよう設けられており、
前記流路形成部により形成される複数の前記流路における前記吐出孔が設けられている前記流路および前記吐出孔が設けられてない前記流路を連通させるための連通部を更に備えた、液処理装置。
【請求項２】
前記連通部は、前記吐出孔が設けられている前記流路における各前記吐出孔が形成される吐出孔形成領域の鉛直方向における中間位置よりも上方に設けられている、請求項１記載の液処理装置。
【請求項３】
前記連通部は、複数の前記吐出孔のうち鉛直方向における最も上方に位置する前記吐出孔と同じ高さレベルの位置または当該吐出孔よりも高さレベルが大きな位置に設けられている、請求項２記載の液処理装置。
【請求項４】
前記連通部は、複数の前記吐出孔のうちある一つの前記吐出孔と同じ高さレベルの位置に設けられている、請求項２記載の液処理装置。
【請求項５】
前記流路形成部は、１つのベース流路を区画壁で区画することにより複数の前記流路を形成するようになっている、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液処理装置。
【請求項６】
前記流路形成部は、鉛直方向に延びる第１円形管の内部に当該第１円形管よりも直径が小さな第２円形管を設けることにより、前記第１円形管と前記第２円形管との間および前記第２円形管の内部にそれぞれ前記流路を形成するようになっている、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の液処理装置。
【請求項７】
被処理物に液体を吐出するためのノズルであって、
前記被処理物に吐出されるべき液体がそれぞれ通る複数の流路を形成する流路形成部を備え、
前記流路形成部により形成される複数の前記流路のうち一部の前記流路には、前記被処理物に液体を吐出するための複数の吐出孔が鉛直方向に沿って並ぶよう設けられており、
前記流路形成部により形成される複数の前記流路における前記吐出孔が設けられている前記流路および前記吐出孔が設けられてない前記流路を連通させるための連通部を更に備えた、ノズル。
【請求項８】
前記連通部は、前記吐出孔が設けられている前記流路における各前記吐出孔が形成される吐出孔形成領域の鉛直方向における中間位置よりも上方に設けられている、請求項７記載のノズル。
【請求項９】
前記連通部は、複数の前記吐出孔のうち鉛直方向における最も上方に位置する前記吐出孔と同じ高さレベルの位置または当該吐出孔よりも高さレベルが大きな位置に設けられている、請求項８記載のノズル。
【請求項１０】
前記連通部は、複数の前記吐出孔のうちある一つの前記吐出孔と同じ高さレベルの位置に設けられている、請求項８記載のノズル。
【請求項１１】
前記流路形成部は、１つのベース流路を区画壁で区画することにより複数の前記流路を形成するようになっている、請求項７乃至１０のいずれか一項に記載のノズル。
【請求項１２】
前記流路形成部は、鉛直方向に延びる第１円形管の内部に当該第１円形管よりも直径が小さな第２円形管を設けることにより、前記第１円形管と前記第２円形管との間および前記第２円形管の内部にそれぞれ前記流路を形成するようになっている、請求項７乃至１１のいずれか一項に記載のノズル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被処理物に液体を吐出するための液処理装置およびこのような液処理装置に設けられたノズルに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、基板等の被処理物に対してめっき等の表面処理を行うめっき装置において、様々な種類の処理工程が順次行われるようになっているが、一つの処理工程が終了する毎に基板等の被処理物に付着した薬液等の処理液を次工程に持ち込まないようにするために被処理物の水洗工程が行われている。ここで、基板等の被処理物を垂直姿勢で搬送するようなめっき装置において行われる水洗工程としては、洗浄液貯留槽に貯留された純水等の洗浄液に被処理物を浸漬したり、あるいはシャワーノズルやスプレー等により被処理物に純水等の洗浄液を吐出したりする方法がある。前者の方法では、被処理物を洗浄液に浸漬することにより当該被処理物に対して十分な水洗を行い、被処理物としての基板の品質を向上させることができるという利点があるが、洗浄液貯留槽に貯留された洗浄液に被処理物を浸漬する方法では洗浄液の使用量が多くなってしまい、また洗浄液貯留槽の設置スペースが大きくなることによってめっき装置全体が大型化してしまうという問題がある。このため、節水を図ったり装置全体の小型化を図ったりするために、水洗工程においてシャワーノズルやスプレー等により被処理物に洗浄液を吐出する方法が用いられる場合がある。
【０００３】
上述した水洗工程で用いられるシャワーノズル等の構造としては、垂直姿勢で搬送される基板等の被処理物に洗浄液を効率良く吐出し、かつ設置スペースを小さくするために、パイプ状のノズルの側面に複数の同型の吐出孔を当該ノズルの長手方向に沿って並ぶよう形成し、このようなノズルを鉛直方向に延びるよう立てるとともにノズルの下端部から上向きに洗浄液を供給することにより、被処理物に対して各吐出孔から洗浄液を吐出させるものが用いられている（例えば、特許文献１等参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３９９２２３４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述したような、パイプ状のノズルの側面に複数の同型の吐出孔を当該ノズルの長手方向に沿って並ぶよう形成し、このようなノズルを鉛直方向に延びるよう立てるとともにノズルの下端部から上向きに洗浄液を供給する方法では、ノズルに洗浄液を供給する供給部（すなわち、ノズルの下端部）から鉛直方向上方に離れるほど、各吐出孔から洗浄液がノズルの外部に放出されることにより、ノズル内で鉛直方向における上向きに流れる洗浄液の流量が小さくなってしまい、よって比較的上部に位置する吐出孔から吐出される洗浄液の流量が小さくなってしまう。このため、基板等の被処理物の上部に洗浄液を十分に吐出することができず、被処理物の上部に薬液等の処理液が残存してしまうおそれがある。また、基板等の被処理物の上部を保持するための保持具がめっき装置に設けられている場合には、ノズルから吐出された洗浄液の流れが保持具により阻害されてしまい、当該保持具により保持される基板等の被処理物の上部に十分な量の洗浄液を供給することができなくなるおそれがある。このような問題を解決するために、従来のめっき装置における水洗工程では、基板等の被処理物の上部を確実に洗浄するためにパイプ状のノズルに供給される洗浄液の量を増やしたり被処理物の上部を水洗するための水洗機器を別途設置したりしなければならないという問題があった。
【０００６】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、鉛直方向における上部に位置する吐出孔から十分な量の液体を吐出させることができ、よって被処理物の上部に十分な量の液体を吐出することができる液処理装置およびノズルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液処理装置は、被処理物に液体を吐出するための液処理装置であって、前記被処理物に吐出されるべき液体がそれぞれ通る複数の流路を形成する流路形成部と、前記流路形成部により形成される各前記流路の下端部から鉛直方向における上向きに液体を供給する液体供給部と、を備え、前記流路形成部により形成される複数の前記流路のうち一部の前記流路には、前記被処理物に液体を吐出するための複数の吐出孔が鉛直方向に沿って並ぶよう設けられており、前記流路形成部により形成される複数の前記流路における前記吐出孔が設けられている前記流路および前記吐出孔が設けられてない前記流路を連通させるための連通部を更に備えたことを特徴とする。
【０００８】
このような液処理装置によれば、被処理物に吐出されるべき液体がそれぞれ通る複数の流路を形成し、複数の流路のうち一部の流路に、被処理物に液体を吐出するための複数の吐出孔を鉛直方向に沿って並ぶよう設けるとともに、吐出孔が設けられている流路および吐出孔が設けられてない流路を連通部によって連通させている。ここで、吐出孔が設けられていない流路内の液体は鉛直方向における上向きに流れても流路の外部に放出されることがないため、このような液体を連通部によって吐出孔が設けられている流路内に送ることにより、鉛直方向における上部に位置する吐出孔から十分な量の液体を吐出させることができ、よって被処理物の上部に十分な量の液体を吐出することができる。
【０００９】
本発明の液処理装置においては、前記連通部は、前記吐出孔が設けられている前記流路における各前記吐出孔が形成される吐出孔形成領域の鉛直方向における中間位置よりも上方に設けられていてもよい。
【００１０】
この場合、前記連通部は、複数の前記吐出孔のうち鉛直方向における最も上方に位置する前記吐出孔と同じ高さレベルの位置または当該吐出孔よりも高さレベルが大きな位置に設けられていてもよい。
【００１１】
また、前記連通部は、複数の前記吐出孔のうちある一つの前記吐出孔と同じ高さレベルの位置に設けられていてもよい。
【００１２】
本発明の液処理装置においては、前記流路形成部は、１つのベース流路を区画壁で区画することにより複数の前記流路を形成するようになっていてもよい。
【００１３】
本発明の液処理装置においては、前記流路形成部は、鉛直方向に延びる第１円形管の内部に当該第１円形管よりも直径が小さな第２円形管を設けることにより、前記第１円形管と前記第２円形管との間および前記第２円形管の内部にそれぞれ前記流路を形成するようになっていてもよい。
【００１４】
本発明のノズルは、被処理物に液体を吐出するためのノズルであって、前記被処理物に吐出されるべき液体がそれぞれ通る複数の流路を形成する流路形成部を備え、前記流路形成部により形成される複数の前記流路のうち一部の前記流路には、前記被処理物に液体を吐出するための複数の吐出孔が鉛直方向に沿って並ぶよう設けられており、前記流路形成部により形成される複数の前記流路における前記吐出孔が設けられている前記流路および前記吐出孔が設けられてない前記流路を連通させるための連通部を更に備えたことを特徴とする。
【００１５】
このようなノズルによれば、被処理物に吐出されるべき液体がそれぞれ通る複数の流路を形成し、複数の流路のうち一部の流路に、被処理物に液体を吐出するための複数の吐出孔を鉛直方向に沿って並ぶよう設けるとともに、吐出孔が設けられている流路および吐出孔が設けられてない流路を連通部によって連通させている。ここで、吐出孔が設けられていない流路内の液体は鉛直方向における上向きに流れても流路の外部に放出されることがないため、このような液体を連通部によって吐出孔が設けられている流路内に送ることにより、鉛直方向における上部に位置する吐出孔から十分な量の液体を吐出させることができ、よって被処理物の上部に十分な量の液体を吐出することができる。
【００１６】
本発明のノズルにおいては、前記連通部は、前記吐出孔が設けられている前記流路における各前記吐出孔が形成される吐出孔形成領域の鉛直方向における中間位置よりも上方に設けられていてもよい。
【００１７】
この場合、前記連通部は、複数の前記吐出孔のうち鉛直方向における最も上方に位置する前記吐出孔と同じ高さレベルの位置または当該吐出孔よりも高さレベルが大きな位置に設けられていてもよい。
【００１８】
また、前記連通部は、複数の前記吐出孔のうちある一つの前記吐出孔と同じ高さレベルの位置に設けられていてもよい。
【００１９】
本発明のノズルにおいては、前記流路形成部は、１つのベース流路を区画壁で区画することにより複数の前記流路を形成するようになっていてもよい。
【００２０】
本発明のノズルにおいては、前記流路形成部は、鉛直方向に延びる第１円形管の内部に当該第１円形管よりも直径が小さな第２円形管を設けることにより、前記第１円形管と前記第２円形管との間および前記第２円形管の内部にそれぞれ前記流路を形成するようになっていてもよい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の液処理装置およびノズルによれば、鉛直方向における上部に位置する吐出孔から十分な量の液体を吐出させることができ、よって被処理物の上部に十分な量の液体を吐出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施の形態による液処理装置の構成を概略的に示す斜視図である。
【図２】図１に示す液処理装置におけるノズルの縦断面図である。
【図３】図２に示すノズルのＡ−Ａ矢視による断面図である。
【図４】従来技術の液処理装置におけるノズルの縦断面図である。
【図５】図１乃至図３に示す液処理装置におけるノズルの各吐出孔から吐出される液体の流量および図４に示す従来技術の液処理装置におけるノズルの各吐出孔から吐出される液体の流量をそれぞれ示すグラフである。
【図６】変形例に係る液処理装置の構成を概略的に示す斜視図である。
【図７】図６に示す液処理装置におけるノズルの縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１乃至図３は、本実施の形態による液処理装置やこのような液処理装置に設けられたノズルを示す図である。このうち、図１は、本実施の形態による液処理装置の構成を概略的に示す斜視図であり、図２は、図１に示す液処理装置におけるノズルの縦断面図であり、図３は、図２に示すノズルのＡ−Ａ矢視による断面図である。なお、図４は、比較対象としての従来技術の液処理装置におけるノズルの縦断面図である。また、図５は、図１乃至図３に示す本実施の形態の液処理装置におけるノズルの各吐出孔から吐出される液体の流量および図４に示す従来技術の液処理装置におけるノズルの各吐出孔から吐出される液体の流量をそれぞれ示すグラフである。
【００２４】
本実施の形態による液処理装置は、垂直姿勢で搬送される基板等の被処理物の全面に洗浄液等の液体を吐出するものである。図１乃至図３に示すように、本実施の形態による液処理装置は、基板等の被処理物に液体を吐出するためのノズル１０と、当該ノズル１０の下端部に液体を供給する液体供給部２０とを備えている。ここで、ノズル１０は、鉛直方向に延びる塩化ビニル管等の第１円形管１２と、この第１円形管１２の内部で鉛直方向に延びるよう設けられ、当該第１円形管１２よりも直径が小さな塩化ビニル管等の第２円形管１６とを有しており、これらの第１円形管１２および第２円形管１６の内部にそれぞれ液体の流路１２ａ、１６ａが形成されるようになっている。なお、本実施の形態では、これらの第１円形管１２および第２円形管１６により、被処理物に吐出されるべき液体が通る複数（具体的には、２つ）の流路１２ａ、１６ａを形成する流路形成部１１が構成されている。このような流路形成部１１は、鉛直方向に延びる第１円形管１２の内部に当該第１円形管１２よりも直径が小さな第２円形管１６を設けることにより、第１円形管１２と第２円形管１６との間および第２円形管１６の内部にそれぞれ流路１２ａ、１６ａを形成するようになっている。
【００２５】
また、図１乃至図３に示すように、第１円形管１２には、被処理物に液体を吐出するための複数（具体的には、例えば７つ）の吐出孔１４（１４ａ〜１４ｇ）が鉛直方向に沿って並ぶよう設けられている。このことにより、液体供給部２０からノズル１０の下端部に液体が供給されると、第１円形管１２内の流路１２ａを図２における上向きに流れる液体が各吐出孔１４から第１円形管１２の外部に吐出されるようになる。
【００２６】
図２および図３に示すように、第１円形管１２内の流路１２ａおよび第２円形管１６内の流路１６ａを連通させる複数の連通部１８（１８ａ、１８ｂ）が鉛直方向に沿って並ぶようノズル１０に設けられている。このような複数の連通部１８の各々は、第２円形管１６に設けられた貫通孔から構成されている。ここで、本実施の形態では、各連通部１８は、第１円形管１２内の流路１２ａにおける各吐出孔１４が形成される吐出孔形成領域（図１および図２において参照符号ａで示される範囲の領域）における中間位置（具体的には、上から４番目の吐出孔１４ｄが設けられる位置）よりも上方に設けられている。より詳細には、上から１番目の連通部１８ａは、複数の吐出孔１４のうち鉛直方向における最も上方に位置する吐出孔１４ａと同じ高さレベルの位置に設けられており、また、上から２番目の連通部１８ｂは、複数の吐出孔１４のうち鉛直方向における上から２番目に位置する吐出孔１４ｂと同じ高さレベルの位置に設けられている。このことにより、液体供給部２０からノズル１０の下端部に液体が供給されたときに、第２円形管１６内の流路１６ａを図２における上向きに流れる液体が各連通部１８ａ、１８ｂを通って第１円形管１２内の流路１２ａに入り、各吐出孔１４ａ、１４ｂから第１円形管１２の外部に吐出されるようになる。また、各連通部１８ａ、１８ｂの高さレベルがそれぞれ各吐出孔１４ａ、１４ｂの高さレベルと略同一であることにより、各連通部１８ａ、１８ｂを通過して第１円形管１２内の流路１２ａに入った液体がそのままの勢いで各吐出孔１４ａ、１４ｂから第１円形管１２の外部に吐出されるため、各吐出孔１４ａ、１４ｂから吐出される液体の流量を増やすことができる。
【００２７】
図１および図２に示すように、ノズル１０の下端部には液体供給管２２の一端が接続されており、この液体供給管２２の他端には当該液体供給管２２に洗浄液等の液体を供給する液体供給部２０が接続されている。このことにより、液体供給部２０から液体供給管２２を介してノズル１０の下端部に供給された液体は、第１円形管１２内の流路１２ａおよび第２円形管１６内の流路１６ａにおいてそれぞれ鉛直方向における上向きに流れるようになる。ここで、第１円形管１２内の流路１２ａにおいて鉛直方向における上向きに流れる液体は各吐出孔１４ａ〜１４ｇから第１円形管１２の外部に吐出されるようになる。ここで、第１円形管１２内の流路１２ａでは、当該第１円形管１２の下端部から鉛直方向上方に離れるほど各吐出孔１４ａ〜１４ｇから液体が第１円形管１２の外部に放出されることにより流路１２ａ内で鉛直方向における上向きに流れる液体の流量が減少してしまう。一方、第２円形管１６内の流路１６ａにおいて鉛直方向における上向きに流れる液体は、上述したように、各連通部１８ａ、１８ｂを通って第１円形管１２内の流路１２ａに入り、各吐出孔１４ａ、１４ｂから第１円形管１２の外部に吐出されるようになる。
【００２８】
このようなノズル１０を備えた液処理装置によれば、被処理物に吐出されるべき液体がそれぞれ通る複数（具体的には、２つ）の流路１２ａ、１６ａが形成されており、複数の流路１２ａ、１６ａのうち一部の流路１２ａに、被処理物に液体を吐出するための複数の吐出孔１４（１４ａ〜１４ｇ）を鉛直方向に沿って並ぶよう設けるとともに、複数の流路１２ａ、１６ａを連通部１８（１８ａ、１８ｂ）により連通させている。この場合には、吐出孔１４が設けられていない流路１６ａ内の液体は鉛直方向における上向きに流れても流路１６ａの外部に放出されることがないため、このような液体を連通部１８によって吐出孔１４が設けられている流路１２ａ内に送ることにより、鉛直方向における上部に位置する吐出孔１４から十分な量の液体を吐出させることができ、よって被処理物の上部に十分な量の液体を吐出することができるようになる。このような技術的事項について、従来技術の液処理装置を比較例として挙げながら説明する。
【００２９】
図４は、従来技術の液処理装置におけるノズル８０の縦断面図である。図４に示すように、従来技術の液処理装置は、基板等の被処理物に液体を吐出するためのノズル８０と、当該ノズル８０の下端部に液体を供給する液体供給部２０とを備えており、液体供給部２０から液体供給管２２を介してノズル８０の下端部に洗浄液等の液体が送られるようになっている。ここで、ノズル８０は、鉛直方向に延びる円形管８２を有しており、この円形管８２の内部には、液体供給部２０から液体供給管２２を介してノズル８０の下端部に供給された液体が鉛直方向における上向きに流れる流路８２ａが形成されている。
【００３０】
また、図４に示すように、ノズル８０における円形管８２には、被処理物に液体を吐出するための複数（具体的には、例えば７つ）の吐出孔８４（８４ａ〜８４ｇ）が鉛直方向に沿って並ぶよう設けられている。このことにより、液体供給部２０からノズル８０の下端部に液体が供給されると、円形管８２の流路８２ａを図４における上向きに流れる液体が各吐出孔８４から円形管８２の外部に吐出されるようになる。
【００３１】
図５は、図１乃至図３に示す本実施の形態による液処理装置におけるノズル１０の各吐出孔１４（１４ａ〜１４ｇ）から吐出される液体の流量および図４に示す従来技術の液処理装置におけるノズル８０の各吐出孔８４（８４ａ〜８４ｇ）から吐出される液体の流量をそれぞれ示すグラフである。図５のグラフに示すように、従来技術の液処理装置では、ノズル８０の下端部から鉛直方向上方に離れるほど各吐出孔８４から液体が円形管８２の外部に放出されることにより流路８２ａ内で鉛直方向における上向きに流れる液体の流量が小さくなってしまい、よって比較的上部に位置する吐出孔８４から吐出される液体の流量が小さくなってしまう。このため、従来技術の液処理装置によって基板等の被処理物に洗浄液等の液体を吐出する際に、被処理物の上部に液体を十分に吐出することができないという問題があった。また、基板等の被処理物の上部を保持するための保持具がめっき装置に設けられている場合には、ノズル８０から吐出された洗浄液等の液体の流れが保持具により阻害されてしまい、当該保持具により保持される基板等の被処理物の上部に十分な量の洗浄液を供給することができなくなってしまうという問題があった。
【００３２】
これに対し、図１乃至図３に示す本実施の形態による液処理装置では、複数の吐出孔１４が設けられた第１円形管１２内の流路１２ａとは別に、吐出孔１４が設けられていない第２円形管１６内の流路１６ａによって液体を鉛直方向における上向きに流すようにし、この流路１６ａ内で鉛直方向における上向きに流れた液体を各連通部１８により第１円形管１２内の流路１２ａに送って各吐出孔１４ａ、１４ｂから第１円形管１２の外部に吐出させている。この場合には、吐出孔１４が設けられていない流路１６ａ内の液体は鉛直方向における上向きに流れても流路１６ａの外部に放出されることがないため、このような液体を連通部１８によって吐出孔１４が設けられている流路１２ａ内に送ることにより、比較的上部に位置する吐出孔１４（例えば、上から１番目に設けられる吐出孔１４ａや上から２番目に設けられる吐出孔１４ｂ）から吐出される液体の流量を増加させることができる（図５のグラフ参照）。このことにより、本実施の形態による液処理装置では、各吐出孔１４から吐出される液体の流量の均一化を図ることができ、よって被処理物の上部に液体を十分に吐出することができなくなるという従来技術の液処理装置の問題を解決することができるようになる。
【００３３】
なお、本実施の形態では、複数の吐出孔１４が設けられた既設の塩化ビニル管等の第１円形管１２の内部に新規の塩化ビニル管等の第２円形管１６を設けるだけで（具体的には、既設の第１円形管１２の内部に新規の第２円形管１６を挿入してこの第１円形管１２の内周面に第２円形管１６の外周面を接続させるだけで）、図１乃至図３に示すようなノズル１０を製造することができる。このように、図１乃至図３に示すようなノズル１０を製造するにあたり複数の吐出孔１４が設けられた既設の第１円形管１２を用いることができるため、簡単な追加工事により本実施の形態による上記の利点を得ることができるようになる。
【００３４】
以上のような構成からなる本実施の形態の液処理装置およびこのような液処理装置に設けられたノズル１０によれば、流路形成部１１により、被処理物に吐出されるべき液体が通る複数（具体的には、２つ）の流路１２ａ、１６ａを形成し、複数の流路１２ａ、１６ａのうち一部の流路１２ａに、被処理物に液体を吐出するための複数の吐出孔１４（１４ａ〜１４ｇ）を鉛直方向に沿って並ぶよう設けるとともに、吐出孔１４が設けられている流路１２ａおよび吐出孔１４が設けられてない流路１６ａを連通部１８によって連通させている。ここで、吐出孔１４が設けられていない流路１６ａ内の液体は鉛直方向における上向きに流れても流路１６ａの外部に放出されることがないため、このような液体を連通部１８によって吐出孔１４が設けられている流路１２ａ内に送ることにより、鉛直方向における上部に位置する吐出孔１４から十分な量の液体を吐出させることができ、よって被処理物の上部に十分な量の液体を吐出することができるようになる。
【００３５】
また、本実施の形態の液処理装置およびこのような液処理装置に設けられたノズル１０においては、上述したように、連通部１８（１８ａ、１８ｂ）は、吐出孔１４が設けられている流路１２ａにおける各吐出孔１４が形成される吐出孔形成領域（図１および図２において参照符号ａで示される範囲の領域）における中間位置よりも上方に設けられている。このことにより、吐出孔１４が設けられていない第２円形管１６内の流路１６ａを通るよう鉛直方向における上向きに流れた液体は、連通部１８を通ることにより第１円形管１２内の流路１２ａに入って複数の吐出孔１４のうち比較的上部に位置する吐出孔１４から吐出されるようになるため、複数の吐出孔１４における比較的下部に位置する吐出孔１４から吐出される液体の流量を減少させるとともに、複数の吐出孔１４における比較的上部に位置する吐出孔１４から吐出される液体の流量を増加させることができ、よって各吐出孔１４から吐出される液体の流量の均一化を図ることができるようになる。
【００３６】
また、本実施の形態の液処理装置およびこのような液処理装置に設けられたノズル１０においては、上述したように、鉛直方向における最も上方に位置する連通部１８ａは、複数の吐出孔１４のうち鉛直方向における最も上方に位置する吐出孔１４ａと同じ高さレベルに設けられている。このことにより、吐出孔１４が設けられていない第２円形管１６内の流路１６ａを通るよう鉛直方向における上向きに流れた液体を、連通部１８を介して鉛直方向における最も上方に位置する吐出孔１４ａと同じ高さレベルで流路１２ａ内に送ることができるようになるため、複数の吐出孔１４における比較的上部に位置する吐出孔１４から吐出される液体の流量をより確実に増加させることができる。なお、本実施の形態では、鉛直方向における最も上方に位置する連通部１８ａが、複数の吐出孔１４のうち鉛直方向における最も上方に位置する吐出孔１４ａと同じ高さレベルに設けられることに限定されることはない。他の例として、鉛直方向における最も上方に位置する連通部１８ａが、複数の吐出孔１４のうち鉛直方向における最も上方に位置する吐出孔１４ａよりも高さレベルが大きな位置に設けられていてもよい。この場合でも、複数の吐出孔１４における比較的上部に位置する吐出孔１４から吐出される液体の流量をより確実に増加させることができる。
【００３７】
また、本実施の形態の液処理装置およびこのような液処理装置に設けられたノズル１０においては、上述したように、各連通部１８ａ、１８ｂは、それぞれ、複数の吐出孔１４のうちある一つの吐出孔１４ａ、１４ｂと同じ高さレベルの位置に設けられている。この場合には、各連通部１８ａ、１８ｂを通過した液体がそのままの勢いで第１円形管１２内の流路１２ａに入って各吐出孔１４ａ、１４ｂから第１円形管１２の外部に吐出されるため、各吐出孔１４ａ、１４ｂから吐出される液体の流量を増やすことができる。
【００３８】
また、本実施の形態の液処理装置およびこのような液処理装置に設けられたノズル１０においては、上述したように、流路形成部１１は、１つのベース流路（具体的には、第１円形管１２の内部領域）を区画壁（具体的には、第２円形管１６）で区画することにより複数の流路１２ａ、１６ａを形成するようになっている。より詳細には、流路形成部１１は、鉛直方向に延びる第１円形管１２の内部に当該第１円形管１２よりも直径が小さな第２円形管１６を設けることにより、第１円形管１２と第２円形管１６との間および第２円形管１６の内部にそれぞれ流路１２ａ、１６ａを形成するようになっている。
【００３９】
なお、本実施の形態による液処理装置やこのような液処理装置に設けられたノズルは、上述したような態様に限定されることはなく、様々な変更を加えることができる。
【００４０】
図１乃至図３に示す液処理装置では、被処理物に吐出されるべき洗浄液等の液体がそれぞれ通る２つの流路１２ａ、１６ａを形成する流路形成部１１が用いられているが、変形例に係る液処理装置において、被処理物に吐出されるべき洗浄液等の液体がそれぞれ通る３つ以上の流路を形成する流路形成部が設けられており、３つ以上の流路の各々の下端部から鉛直方向における上向きに液体が供給されるようになっていてもよい。この場合には、３つ以上の流路のうち１つまたは２つ以上の流路において、被処理物に液体を吐出するための複数の吐出孔が鉛直方向に沿って並ぶよう設けられるようになり、一方、３つ以上の流路のうち少なくとも１つの流路にはこのような吐出孔が設けられないようになる。また、３つ以上の流路が流路形成部により形成されるような上記の液処理装置において、複数の吐出孔が設けられる流路と、吐出孔が設けられない流路とが連通部により連通させられるようになっている。このような液処理装置でも、図１乃至図３に示す液処理装置と同様に、吐出孔が設けられていない流路内の液体は鉛直方向における上向きに流れても流路の外部に放出されることがないため、このような液体を連通部によって吐出孔が設けられている流路内に送ることにより、鉛直方向における上部に位置する吐出孔から十分な量の液体を吐出させることができ、よって被処理物の上部に十分な量の液体を吐出することができるようになる。
【００４１】
また、変形例に係る液処理装置として、図６および図７に示すような構成のものが用いられてもよい。ここで、図６は、変形例に係る液処理装置の構成を概略的に示す斜視図であり、図７は、図６に示す液処理装置におけるノズル３０の縦断面図である。
【００４２】
図６および図７に示す液処理装置では、ノズル３０として２本の円形管３２、３６がそれぞれ鉛直方向に延びるよう設けられており、これらの円形管３２、３６の内部にはそれぞれ液体の流路３２ａ、３６ａが形成されるようになっている。なお、図６および図７に示す液処理装置では、これらの２本の円形管３２、３６により、被処理物に吐出されるべき液体が通る複数（具体的には、２つ）の流路３２ａ、３６ａを形成する流路形成部３１が構成されている。また、２本の円形管３２、３６のうち一方の円形管３２には、被処理物に液体を吐出するための複数（具体的には、例えば７つ）の吐出孔３４（３４ａ〜３４ｇ）が鉛直方向に沿って並ぶよう設けられている。また、液体供給部２０から液体供給管２２を介して各円形管３２、３６の下端部に洗浄液等の液体が供給されるようになっており、円形管３２の下端部に供給された液体は、円形管３２内の流路３２ａを図７における上向きに流れて各吐出孔３４から円形管３２の外部に吐出されるようになる。
【００４３】
また、図６および図７に示す液処理装置のノズル３０では、吐出孔３４が設けられた円形管３２内の流路３２ａおよび吐出孔３４が設けられてない円形管３６内の流路３６ａを連通させる連通部３８として、円形管３２、３６の上端部近傍を接続する接続管が設けられている。このような接続管が設けられていることにより、液体供給部２０から液体供給管２２を介して円形管３６の下端部に供給された液体は、円形管３６内の流路３６ａを図７における上向きに流れて当該接続管（すなわち、連通部３８）により円形管３２内の流路３２ａに送られるようになる。ここで、円形管３２、３６の上端部近傍を接続する接続管としての連通部３８は、円形管３２の流路３２ａにおける各吐出孔３４が形成される吐出孔形成領域（図６および図７において参照符号ｂで示される範囲の領域）における中間位置（具体的には、上から４番目の吐出孔３４ｄが設けられる位置）よりも上方に設けられている。より詳細には、連通部３８は、複数の吐出孔３４のうち鉛直方向における最も上方に位置する吐出孔３４ａと同じ高さレベルの位置に設けられている。このことにより、液体供給部２０からノズル３０に液体が供給されたときに、円形管３６内の流路３６ａを図７における上向きに流れた液体が連通部３８を通って円形管３２内の流路３２ａに入り、吐出孔３４ａから円形管３２の外部に吐出されるようになる。また、連通部３８の高さレベルが吐出孔３４ａの高さレベルと略同一であることにより、連通部３８を通過して円形管３２内の流路３２ａに入った液体がそのままの勢いで吐出孔３４ａから円形管３２の外部に吐出されるため、吐出孔３４ａから吐出される液体の流量を増やすことができる。
【００４４】
図６および図７に示すノズル３０を備えた液処理装置によれば、被処理物に吐出されるべき液体がそれぞれ通る複数（具体的には、２つ）の流路３２ａ、３６ａが形成されており、複数の流路３２ａ、３６ａのうちある一つの流路３２ａに、被処理物に液体を吐出するための複数の吐出孔３４（３４ａ〜３４ｇ）を鉛直方向に沿って並ぶよう設けるとともに、複数の流路３２ａ、３６ａを連通部３８により連通させている。ここで、吐出孔３４が設けられていない流路３６ａ内の液体は鉛直方向における上向きに流れても流路３６ａの外部に放出されることがないため、このような液体を連通部３８によって吐出孔３４が設けられている流路３２ａ内に送ることにより、鉛直方向における上部に位置する吐出孔３４から十分な量の液体を吐出させることができ、よって被処理物の上部に十分な量の液体を吐出することができるようになる。具体的には、図６および図７に示すノズル３０を備えた液処理装置では、複数の吐出孔３４が設けられた円形管３２内の流路３２ａとは別に、吐出孔３４が設けられていない円形管３６内の流路３６ａによって液体を鉛直方向における上向きに流すようにし、この流路３６ａ内で鉛直方向における上向きに流れた液体を連通部３８により円形管３２内の流路３２ａに送って各吐出孔１４から円形管３２の外部に吐出させることにより、比較的上部に位置する吐出孔３４（例えば、上から１番目に設けられる吐出孔３４ａや上から２番目に設けられる吐出孔３４ｂ）から吐出される液体の流量を増加させることができる。このことにより、図６および図７に示すノズル３０を備えた液処理装置でも、各吐出孔３４から吐出される液体の流量の均一化を図ることができ、よって被処理物の上部に液体を十分に吐出することができなくなるという従来技術の液処理装置の問題を解決することができるようになる。
【００４５】
なお、図６および図７に示す液処理装置において、２つの円形管３２、３６の上端部を接続する接続管としての連通部３８が、複数の吐出孔３４のうち鉛直方向における最も上方に位置する吐出孔３４ａと同じ高さレベルに設けられることに限定されることはない。他の例として、連通部３８が、複数の吐出孔３４のうち鉛直方向における最も上方に位置する吐出孔３４ａよりも高さレベルが大きな位置に設けられていてもよい。この場合でも、複数の吐出孔３４における比較的上部に位置する吐出孔３４から吐出される液体の流量をより確実に増加させることができる。
【００４６】
また、本発明による液処理装置やこのような液処理装置に設けられたノズルは、被処理物に洗浄液を吐出するものに限定されることはない。被処理物に薬液等の処理液を吐出するような液処理装置やノズルにも本発明の原理を適用することができる。
【符号の説明】
【００４７】
１０    ノズル
１１    流路形成部
１２    第１円形管
１２ａ  流路
１４（１４ａ〜１４ｇ）  吐出孔
１６    第２円形管
１６ａ  流路
１８（１８ａ、１８ｂ）  連通部
２０    液体供給部
２２    液体供給管
３０    ノズル
３１    流路形成部
３２    円形管
３２ａ  流路
３４（３４ａ〜３４ｇ）  吐出孔
３６    円形管
３６ａ  流路
３８    連通部
８０    ノズル
８２    円形管
８２ａ  流路
８４（８４ａ〜８４ｇ）    吐出孔
【図１】
2017023961.tif 000003
【図２】
2017023961.tif 000004
【図３】
2017023961.tif 000005
【図４】
2017023961.tif 000006
【図５】
2017023961.tif 000007
【図６】
2017023961.tif 000008
【図７】
2017023961.tif 000009