(57)【要約】【課題】防振ブッシュをアクチュエータ本体に取り付けるための取付部品を削減するとともに、組み付け性を向上させることができるダイヤフラム式アクチュエータを提供すること。【解決手段】ダイヤフラム式アクチュエータ１０において、防振ブッシュ３０は、円環状をなし、円環の少なくとも一箇所で分離されて作動ロッド２０を挟み込み可能に構成されており、作動ロッド２０を挟み込んだ状態でアクチュエータ本体１１の端面に形成されて作動ロッド２０が配置される貫通孔１８の縁部に係合させることにより、アクチュエータ本体１１に取り付けるための係合部３４を有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイヤフラムを内部に備えるアクチュエータ本体と、前記ダイヤフラムに連結された作動ロッドと、前記作動ロッドの振動を抑制する防振ブッシュとを備えるダイヤフラム式アクチュエータにおいて、
前記防振ブッシュは、
円環状をなし、円環の少なくとも一箇所で分離されて前記作動ロッドを挟み込み可能に構成されており、
前記作動ロッドを挟み込んだ状態で前記アクチュエータ本体の端面に形成されて前記作動ロッドが配置される貫通孔の縁部に係合させて前記アクチュエータ本体に取り付けるための係合部を有する
ことを特徴とするダイヤフラム式アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載するダイヤフラム式アクチュエータにおいて、
前記防振ブッシュは、分離箇所を結合させる結合部を有する
ことを特徴とするダイヤフラム式アクチュエータ。
【請求項３】
請求項２に記載するダイヤフラム式アクチュエータにおいて、
前記結合部は、前記防振ブッシュの外周で前記作動ロッドを挟み込む方向へのスナップフィットにより結合するものである
ことを特徴とするダイヤフラム式アクチュエータ。
【請求項４】
請求項２に記載するダイヤフラム式アクチュエータにおいて、
前記結合部は、前記防振ブッシュの中央部で前記作動ロッドを挟み込む方向へのスナップフィットにより結合するものである
ことを特徴とするダイヤフラム式アクチュエータ。
【請求項５】
請求項２に記載するダイヤフラム式アクチュエータにおいて、
前記結合部は、前記防振ブッシュの中央部で前記作動ロッドの軸方向へのスナップフィットにより結合するものである
ことを特徴とするダイヤフラム式アクチュエータ。
【請求項６】
請求項１又は請求項２に記載するダイヤフラム式アクチュエータにおいて、
前記作動ロッドには、前記係合部を前記作動ロッド側に逃がすための切り欠き部が形成されている
ことを特徴とするダイヤフラム式アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、作動ロッドの振動を抑制する防振ブッシュを備えるダイヤフラム式アクチュエータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ダイヤフラム式アクチュエータとして、例えば、特許文献１に記載されたものがある。このようなダイヤフラム式アクチュエータでは、ダイヤフラムに連結された作動ロッドの先端にリンク機構が設けられているため、作動ロッドの移動に伴い作動ロッドが振動（首振り）してダイヤフラムを損傷するおそれがある。そのため、ダイヤフラムの損傷を防止するために、作動ロッドの振動を抑制するための防振ブッシュがアクチュエータ本体に取り付けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−９４３１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、防振ブッシュをアクチュエータ本体に取り付けるために、防振ブッシュを保持するためのケースやＯリング、更にはケースをアクチュエータに固定するためのネジやネジ孔を形成したプレート等の取付部品が必要である。このように上記のダイヤフラム式アクチュエータでは、防振ブッシュの取付部品が多く、防振ブッシュの組み付け性が悪いという問題があった。
【０００５】
そこで、本発明は上記した問題点を解決するためになされたものであり、防振ブッシュをアクチュエータ本体に取り付けるための取付部品を削減するとともに、組み付け性を向上させることができるダイヤフラム式アクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するためになされた本発明の一形態は、ダイヤフラムを内部に備えるアクチュエータ本体と、前記ダイヤフラムに連結された作動ロッドと、前記作動ロッドの振動を抑制する防振ブッシュとを備えるダイヤフラム式アクチュエータにおいて、前記防振ブッシュは、円環状をなし、円環の少なくとも一箇所で分離されて前記作動ロッドを挟み込み可能に構成されており、前記作動ロッドを挟み込んだ状態で前記アクチュエータ本体の端面に形成されて前記作動ロッドが配置される貫通孔の縁部に係合させて前記アクチュエータ本体に取り付けるための係合部を有することを特徴とする。
【０００７】
このダイヤフラム式アクチュエータでは、防振ブッシュが作動ロッドを挟み込み可能に構成されているとともに、係合部を有するので、係合部を貫通孔の縁部に係合させるだけで、作動ロッドを挟み込んだ状態で防振ブッシュをアクチュエータ本体に取り付けることができる。これにより、従来使用されていた防振ブッシュの取付部品を削減することができ、組み付け性が向上する。
【０００８】
上記したダイヤフラム式アクチュエータにおいて、前記防振ブッシュは、分離箇所を結合させる結合部を有することが望ましい。
【０００９】
このようにすることにより、従来使用されていた防振ブッシュの取付部品を不要にすることができるので、組み付け性が一層向上する。
【００１０】
上記したダイヤフラム式アクチュエータにおいて、前記結合部は、前記防振ブッシュの外周で前記作動ロッドを挟み込む方向へのスナップフィットにより結合するものである
ことが望ましい。
【００１１】
このようにすることにより、防振ブッシュで作動ロッドを挟み込んで配置することで防振ブッシュの分離箇所を簡単に結合することができる。つまり、防振ブッシュを作動ロッドに配置するとほぼ同時に分離部分を結合することができる。これにより、組み付け作業を簡素化することができるため、組み付け性が向上する。
【００１２】
または、上記したダイヤフラム式アクチュエータにおいて、前記結合部は、前記防振ブッシュの中央部で前記作動ロッドを挟み込む方向へのスナップフィットにより結合するものであっても良い。
あるいは、前記結合部は、前記防振ブッシュの中央部で前記作動ロッドの軸方向へのスナップフィットにより結合するものにすることもできる。
【００１３】
このようにすることにより、防振ブッシュの分離箇所を結合すると、結合部が防振ブッシュ内側（内部）に位置するため、防振ブッシュをアクチュエータ本体に取り付ける際に結合部が不用意に外れることを確実に防止することができる。従って、防振ブッシュの分離箇所が確実に結合された状態で、防振ブッシュをアクチュエータ本体に取り付けることができるので、組み付け性が向上する。
【００１４】
上記したダイヤフラム式アクチュエータにおいて、前記作動ロッドには、前記係合部を前記作動ロッド側に逃がすための切り欠き部が形成されていることが望ましい。
なお、切り欠き部は、係合部に対応する数を設けても良いし、作動ロッドの全周に設けても良い。
【００１５】
このようにすることにより、防振ブッシュをアクチュエータ本体に取り付ける際に、作動ロッドをアクチュエータ本体に押し込むようにして切り欠き部を貫通孔に位置させることによって、防振ブッシュをアクチュエータ本体に取り付ける際に、係合部を作動ロッド側に逃がす（傾ける）ことができ、スムーズかつ確実に貫通孔の縁部に係合させることができる。そして、係合部が貫通孔の縁部に係合した後（取付終了後）に、切り欠き部が貫通孔から外れた箇所に位置し、アクチュエータ作動時における作動ロッドのストローク範囲内において貫通孔に位置しないように、切り欠き部を設けることにより、防振ブッシュの係合外れを確実に防止することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係るダイヤフラム式アクチュエータによれば、防振ブッシュをアクチュエータ本体に取り付けるための取付部品を削減するとともに、組み付け性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施形態に係るアクチュエータの概略構成を示す図である。
【図２】防振ブッシュの斜視図である。
【図３】防振ブッシュの平面図である。
【図４】防振ブッシュの正面図である。
【図５】防振ブッシュを作動ロッドに組み付ける手順を説明する図である。
【図６】防振ブッシュをアクチュエータ本体に取り付ける手順を説明する図である。
【図７】アクチュエータ組立後における防振ブッシュと作動ロッドの切り欠き部の位置を示す図である。
【図８】第１変形例に係る防振ブッシュの斜視図である。
【図９】第１変形例に係る防振ブッシュの平面図である。
【図１０】第１変形例に係る防振ブッシュの正面図である。
【図１１】第２変形例に係る防振ブッシュの斜視図である。
【図１２】第２変形例に係る防振ブッシュの平面図である。
【図１３】第２変形例に係る防振ブッシュの正面図である。
【図１４】第３変形例に係る防振ブッシュの斜視図である。
【図１５】第３変形例に係る防振ブッシュを使用する場合における作動ロッドの切り欠き部の形状を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明のダイヤフラム式アクチュエータを具体化した実施形態について図面に基づいて詳細に説明する。本実施形態は、ＥＧＲクーラのバイパスバルブを作動させるアクチュエータに本発明を適用したものである。そこで、実施形態に係るアクチュエータの構成について、図１を参照しながら説明する。
【００１９】
図１に示すように、アクチュエータ１０は、バイパスバルブ１００に備わるバルブを作動させるためにバイパスバルブ１００に取り付けられている。すなわち、バルブシャフト１０１を駆動つまり回動するために、アクチュエータ１０がバイパスバルブに配置されている。このアクチュエータ１０は、アクチュエータ本体１１と、作動ロッド２０と、防振ブッシュ３０とを備えている。
【００２０】
アクチュエータ本体１１は、ブラケット２５を介してバイパスバルブ１００に固定されている。なお、ブラケット２５とアクチュエータ本体１１とは、溶接により一体化されている。アクチュエータ本体１１内には、ダイヤフラム１２が配置されており、ダイヤフラム１２により前後２室に区画されている。前室は、大気室１３として大気に開放されている。また、後室は、アクチュエータ本体１１の負圧管１５を介して負圧が付与される負圧室１４となっている。また、ダイヤフラム１２は、スプリング１６により常に前方へ付勢されている。
【００２１】
アクチュエータ１０は、ダイヤフラム１２に連動して軸方向に進退移動する作動ロッド２０を備えている。作動ロッド２０は、アクチュエータ本体１１及びブラケット２５に形成された貫通孔１８を介してアクチュエータ本体１１から前方へ向けて突出されている。作動ロッド２０には、対向する切り欠き部２１，２１が形成されている。なお、これらの切り欠き部２１，２１は、作動ロッド２０の進退（ストローク）範囲に防振ブッシュ３０の取付位置が入り込まないような位置に設けられている。
【００２２】
そして、作動ロッド２０の先端部（前端部）には、バルブシャフト１０１の端部に取り付けられたレバー１０２の一端部がピン１０３を介して回動可能に連結されている。従って、負圧室１４に負圧が付与されると作動ロッド２０がスプリング１６の付勢力に抗して後方の後退位置へ後退され、また、その負圧がパージされると作動ロッド２０がスプリング１６の付勢力により前方の進出位置へ進出される。この作動ロッド２０の移動（進退）にともない、レバー１０２を介してバルブシャフト１０１が回動される。これにより、バイパスバルブ１００に備わるバルブが作動して流路の切り替えが行われる。
【００２３】
また、作動ロッド２０には、防振ブッシュ３０が設けられている。防振ブッシュ３０は、作動ロッド２０の振動（首振り）によってダイヤフラム１２が損傷しないように、作動ロッド２０の振動を抑制するためのものである。なお、防振ブッシュ３０は、樹脂又はゴム等で成形されている。
【００２４】
ここで、防振ブッシュ３０について、図２〜図４を参照しながら説明する。防振ブッシュ３０は、図２〜図４に示すように、円環状をなし、円環の少なくとも一箇所で分離されて作動ロッド２０を挟み込み可能に構成されている。本実施形態では、防振ブッシュ３０は、２箇所で分離されており、２ピース構造になっている。すなわち、防振ブッシュ３０は、半円管状のブッシュ部材３１と半円管状のブッシュ部材３２とで構成されている。
【００２５】
ブッシュ部材３１には、分離端部の外周に係合突起３３ａ，３３ａが形成されているとともに、アクチュエータ本体１１側に配置される端面に係合部３４が形成されている。一方、ブッシュ部材３２には、分離端部の外周に係合突起３３ａ，３３ａがそれぞれ係合する係合穴３３ｃ，３３ｃが設けられ、周方向へ伸びる係合片３３ｂ，３３ｂが形成されているとともに、アクチュエータ本体１１側に配置される端面に係合部３４が形成されている。
【００２６】
これにより、ブッシュ部材３１とブッシュ部材３２とを、作動ロッド２０を挟み込みように配置し、係合突起３３ａ，３３ａを係合片３３ｂ，３３ｂの係合穴３３ｃ，３３ｃに係合させる（スナップフィットさせる）ことによって、ブッシュ部材３１とブッシュ部材３２とが結合して円環状の防振ブッシュ３０が構成される。つまり、結合部３３は、係合突起３３ａと係合穴３３ｃが形成された係合片３３ｂとで構成されている。なお、防振ブッシュ３０の内径は、作動ロッド２０の径よりも若干大きく設定されており、防振ブッシュ３０を作動ロッド２０に組み付けた状態では、防振ブッシュ３０と作動ロッド２０との間に、隙間（ガタ）が形成されるようになっている。
【００２７】
また、係合部３４の先端外側には、係合爪３４ａが形成されている。この係合爪３４ａは、貫通孔１８の縁部に係合するようになっている。そして、係合爪３４ａが貫通孔１８の縁部に係合して、防振ブッシュ３０がアクチュエータ本体１１に取り付けられている。
【００２８】
続いて、防振ブッシュ３０の組み付けについて、図５〜図７を参照しながら説明する。
まず、図５に示すように、作動ロッド２０の切り欠き部２１，２１を貫通孔１８に位置させる。なお、この状態では、アクチュエータ本体１１は組み立てられていない。次に、ブッシュ部材３１，３２を作動ロッド２０を挟み込むように対向配置させる。続いて、ブッシュ部材３１，３２を作動ロッド２０側に移動させる。つまり、ブッシュ部材３１，３２を互いに近づける。そして、ブッシュ部材３１とブッシュ部材３２とを結合部３３によって結合させる。具体的には、ブッシュ部材３１の係合突起３３ａと、ブッシュ部材３２の係合片３３ｂの係合穴３３ｃとをスナップフィットさせる。これにより、ブッシュ部材３１とブッシュ部材３２とが結合されて、防振ブッシュ３０が作動ロッド２０に対してガタを持って組み付けられる。
【００２９】
このように、ブッシュ部材３１，３２を対向配置して作動ロッド２０を挟み込むことで防振ブッシュ３０の分離箇所を簡単に結合することができる。つまり、ブッシュ部材３１，３２を作動ロッド２０に配置するとほぼ同時に防振ブッシュ３０の分離部分を結合することができる。従って、組み付け作業を簡素化することができるため、組み付け性が向上する。
【００３０】
続いて、図６に示すように、防振ブッシュ３０をアクチュエータ本体１１側（図６では上側）に移動させる。そして、係合部３４を貫通孔１８の縁部に係合させる。このとき、係合爪３４ａが貫通孔１８を通過する際に、作動ロッド２０の切り欠き部２１により、係合部３４が内側（作動ロッド２０側）に傾くため、係合爪３４ａがスムーズに貫通孔１８を通過する。係合爪３４ａが貫通孔１８を通過すると、係合部３４の弾性力（復元力）により係合部３４が元に戻って、係合爪３４ａが貫通孔１８の縁部に係合する。かくして、防振ブッシュ３０がアクチュエータ本体１１に取り付けられる。
【００３１】
このように、従来使用されていた防振ブッシュの取付部品（カバーや取付ネジなど）を用いることなく、防振ブッシュ３０をアクチュエータ本体１１に取り付けることができる。従って、防振ブッシュ３０の組み付け性が一層向上する。
【００３２】
その後、図７に示すように、アクチュエータ本体１１が組み立てられると、スプリング１６の付勢力により作動ロッド２０が進出（図７では下方へ移動）するため、作動ロッド２０の切り欠き部２１，２１が防振ブッシュ３０の取付位置から離れる。これにより、係合部３４が作動ロッド２０側に傾く（逃げる）ことが防止される。従って、係合爪３４ａが貫通孔１８の縁部から外れることがない。そして、アクチュエータ１０の使用時において、切り欠き部２１，２１が防振ブッシュ３０の取付位置に移動することないがないため、防振ブッシュ３０の係合外れが防止されるので、係合部３４と貫通孔１８との係合状態を確実に維持することができる。つまり、防振ブッシュ３０をアクチュエータ本体１１にしっかりと固定することができる。
【００３３】
ここで、防振ブッシュの変形例について説明する。まず、第１変形例について、図８〜図１０を参照しながら説明する。第１変形例の防振ブッシュ４０は、基本的な構成は防振ブッシュ３０と同じであるが、結合部の形状及び形成位置が異なっている。すなわち、防振ブッシュ４０は、２分割された半円環状のブッシュ部材４１，４２で構成されており、結合部４３が中央部に設けられている。
【００３４】
具体的に、ブッシュ部材４１には、分離端部の中央部（内周側）に周方向へ伸びる係合突起４３ａ，４３ａが形成されている。一方、ブッシュ部材４２には、分離端部の中央部（内周側）に係合突起４３ａ，４３ａのそれぞれが係合する係合穴４３ｃ，４３ｃが設けられている。また、ブッシュ部材３１，３２と同様に、ブッシュ部材４１，４２のアクチュエータ本体１１側に配置される端面に、係合爪３４ａを備える係合部３４が形成されている。
【００３５】
防振ブッシュ４０では、ブッシュ部材４１とブッシュ部材４２とを、作動ロッド２０を挟み込むように配置し、係合突起４３ａ，４３ａを係合穴４３ｃ，４３ｃに係合させる（スナップフィットさせる）ことによって、ブッシュ部材４１とブッシュ部材４２とを結合させて円環状にする。そして、円環状になった防振ブッシュ４０を、アクチュエータ本体１１側に移動させて係合部３４を貫通孔１８の縁部に係合させることにより、アクチュエータ本体１１に取り付ける。
【００３６】
このように防振ブッシュ４０でも、組み付け作業を簡素化することができ、組み付け性が向上する。また、防振ブッシュ４０では、ブッシュ部材４１とブッシュ部材４２とを結合させると、結合部４３が防振ブッシュ４０の内側（内部）に位置するため、防振ブッシュ４０をアクチュエータ本体１１に取り付ける際に結合部４３が不用意に外れることを確実に防止することができる。従って、防振ブッシュ４０の分離箇所が確実に結合された状態で、防振ブッシュ４０をアクチュエータ本体１１に取り付けることができる。
【００３７】
次に、第２変形例について、図１１〜図１３を参照しながら説明する。第２変形例の防振ブッシュ５０は、基本的な構成は防振ブッシュ４０と同じであるが、結合部の形状が異なっている。すなわち、防振ブッシュ５０は、２分割された半円環状のブッシュ部材５１，５２で構成されており、係合溝５３ｃを含む結合部５３が中央部に設けられている。
【００３８】
具体的に、ブッシュ部材５１には、分離端部の中央部（内周側）に周方向へ伸びる係合突起５３ａ，５３ａが形成されている。一方、ブッシュ部材４２には、分離端部の中央部（内周側）に係合突起５３ａ，５３ａのそれぞれが嵌め合わされる係合溝５３ｃ，５３ｃが設けられている。係合溝５３ｃは、アクチュエータ本体１１に対して反対側に配置される端面から軸方向へ係合突起５３ａの軸方向長さ（高さ）分だけ形成されている。また、ブッシュ部材４１，４２と同様に、ブッシュ部材５１，５２のアクチュエータ本体１１側に配置される端面に、係合爪３４ａを備える係合部３４が形成されている。
【００３９】
防振ブッシュ５０では、ブッシュ部材５１とブッシュ部材５２とを、作動ロッド２０を挟み込むように軸方向にずらして配置し、そのズレをなくすように作動ロッド２０の軸方向（移動方向）に相対移動させ、係合突起５３ａ，５３ａを係合溝５３ｃ，５３ｃに嵌め込んで係合させる（スナップフィットさせる）ことによって、ブッシュ部材５１とブッシュ部材５２とを結合させて円環状にする。そして、円環状になった防振ブッシュ５０を、アクチュエータ本体１１側に移動させて係合部３４を貫通孔１８の縁部に係合させることにより、アクチュエータ本体１１に取り付ける。
【００４０】
このように防振ブッシュ５０でも、組み付け作業を簡素化することができ、組み付け性が向上する。また、防振ブッシュ５０でも、ブッシュ部材５１とブッシュ部材５２とを結合させると、結合部５３が防振ブッシュ５０の内側（内部）に位置することと、係合突起５３ａ，５３ａを係合溝５３ｃ，５３ｃに嵌め込む方向が、防振ブッシュ５０をアクチュエータ本体１１に取り付ける方向と同じであることから、防振ブッシュ５０をアクチュエータ本体１１に取り付ける際に結合部５３が不用意に外れることを確実に防止することができる。従って、防振ブッシュ４０の分離箇所が確実に結合された状態で、防振ブッシュ４０をアクチュエータ本体１１に取り付けることができる。
【００４１】
最後に、第３変形例について、図１４及び図１５を参照しながら説明する。第３変形例の防振ブッシュ６０は、基本的な構成は防振ブッシュ４０と同じであるが、係合部の数が異なっている。すなわち、図１４に示すように、ブッシュ部材６１には、分離端部の中央部（内周側）に周方向へ伸びる係合突起４３ａ，４３ａが形成されている。一方、ブッシュ部材６２には、分離端部の中央部（内周側）に係合突起４３ａ，４３ａのそれぞれが係合する係合穴４３ｃ，４３ｃが設けられている。そして、ブッシュ部材６１，６２のアクチュエータ本体１１側に配置される端面に、係合爪６４ａを備える係合部６４がそれぞれ２つずつ形成されている。つまり、防振ブッシュ６０としては、係合部６４を４つ備えている。
【００４２】
このような防振ブッシュ６０を使用する場合には、図１５に示すように、作動ロッドに設ける切り欠き部を２面ではなく全周に形成する必要がある。なぜなら、防振ブッシュ６０をアクチュエータ本体１１の取り付ける際に、４つの係合部６４を内側（作動ロッド２０側）に傾けて貫通孔１８に係合爪６４ａをスムーズに通過させるためである。そのため、作動ロッド２０ａには、全周に形成された切り欠き部である小径部２２を設けている。
【００４３】
そして、防振ブッシュ６０では、ブッシュ部材６１とブッシュ部材６２とを、作動ロッド２０ａを挟み込むように配置し、係合突起４３ａ，４３ａを係合穴４３ｃ，４３ｃに係合させる（スナップフィットさせる）ことによって、ブッシュ部材６１とブッシュ部材６２とを結合させて円環状にする。そして、円環状になった防振ブッシュ６０を、アクチュエータ本体１１側に移動させて係合部６４を貫通孔１８の縁部に係合させることにより、アクチュエータ本体１１に取り付ける。
【００４４】
このように防振ブッシュ６０でも、組み付け作業を簡素化することができ、組み付け性が向上する。また、防振ブッシュ６０では、ブッシュ部材６１とブッシュ部材６２とを結合させると、結合部４３が防振ブッシュ４０の内側（内部）に位置するため、防振ブッシュ６０をアクチュエータ本体１１に取り付ける際に結合部４３が不用意に外れることを確実に防止することができる。従って、防振ブッシュ６０の分離箇所が確実に結合された状態で、防振ブッシュ６０をアクチュエータ本体１１に取り付けることができる。さらに、係合部６４が４つ設けられているため、防振ブッシュ６０のアクチュエータ本体１１への取付強度が向上する。
【００４５】
以上、詳細に説明したように本実施形態に係るアクチュエータ１０によれば、防振ブッシュ３０が、円環状をなし、円環の２箇所で分離されて作動ロッド２０を挟み込み可能に構成されており、作動ロッド２０を挟み込んだ状態でアクチュエータ本体１１の端面に形成された貫通孔１８の縁部に係合させてアクチュエータ本体１１に取り付けるための係合部３４を有している。そのため、係合部３４を貫通孔１８の縁部に係合させるだけで、作動ロッド２０を挟み込んで状態で防振ブッシュ３０をアクチュエータ本体１１に取り付けることができる。従って、従来使用されていた防振ブッシュの取付部品を削減することができ、組み付け性が向上する。
【００４６】
なお、上記した実施形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることはもちろんである。例えば、上記の実施形態では、２分割された（２ピース）構造の防振ブッシュを例示したが、防振ブッシュは、例えば、３つ以上に分割された構造であっても良い。あるいは、円環の１箇所のみで分離されており、その分離箇所を拡げて作動ロッドを挟み込むような形状（Ｃ形状）であっても良い。
【符号の説明】
【００４７】
１０  アクチュエータ
１１  アクチュエータ本体
１２  ダイヤフラム
１６  スプリング
１８  貫通孔
２０  作動ロッド
２１  切り欠き部
２５  ブラケット
３０  防振ブッシュ
３１  ブッシュ部材
３２  ブッシュ部材
３３  結合部
３３ａ  係合突起
３３ｂ  係合片
３３ｃ  係合穴
３４  係合部
３４ａ  係合爪
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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