(57)【要約】【課題】垂直方向の振動と水平方向の振動との双方を簡単な機構で抑制することができる防振免震装置を提供する。【解決手段】防振免震装置１０は、載置面２２を有する載置台２０と、載置台２０を重力方向における下側から支持する少なくとも３個の支持機構１００とを有し、少なくとも３個の支持機構１００は、それぞれが、無端状の弾性部材１１０を有し、載置台２０は、弾性部材１１０によって重力方向及び水平方向に移動可能に支持されている。【選択図】図３
2017203485.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
載置面を有する載置台と、
前記載置台を重力方向における下側から支持する少なくとも３個の支持機構と、
を有し、
前記少なくとも３個の支持機構は、それぞれが無端状の弾性部材を有し、
前記載置台は、前記弾性部材によって重力方向及び水平方向に移動可能に支持されている
防振免震装置。
【請求項２】
前記弾性部材は、前記載置面に対して回転可能に接している請求項１記載の防振免震装置。
【請求項３】
前記弾性部材は、前記載置台に対して傾斜する方向にさらに移動可能に接している請求項１又は２記載の防振免震装置。
【請求項４】
前記弾性部材は、前記載置台側の幅が設置面側の幅よりも広い
請求項１乃至３いずれか記載の防振免震装置。
【請求項５】
前記少なくとも３個の支持機構は、少なくとも１個が、
粘弾性を有し、前記弾性部材を制振する制振部材をさらに有する
請求項１乃至４いずれか記載の防振免震装置。
【請求項６】
前記制振部材は、前記弾性部材の内周面における湾曲部に装着されている請求項５記載の防振免震装置。
【請求項７】
前記制振部材は、一端部側及び他端部側が前記弾性部材の内周面に接触するように配置されている請求項５記載の防振免震装置。
【請求項８】
弾性を有し、前記弾性部材が所定以上に変形した場合に、前記載置台を重力方向における下側がら支持する補助部材をさらに有する請求項１乃至６いずれか記載の防振免震装置。
【請求項９】
前記弾性部材は、少なくとも二箇所が設置面に接触する形状を有する
請求項１乃至８いずれか記載の防振免震装置。
【請求項１０】
前記少なくとも３個の支持機構は、少なくとも１個が前記弾性部材を少なくとも２個有し、
少なくとも２個の前記弾性部材は、
互いに交わる方向に配置されていて、
共通する支持部により前記載置台に支持されている
請求項１乃至９いずれか記載の防振免震装置。
【請求項１１】
前記少なくとも３個の支持機構は、前記載置台に対して加わる荷重が大きい位置近傍が密となるように配置されている
請求区１乃至１０いずれか記載の防振免震装置。
【請求項１２】
設置面に設置されていて、前記少なくとも３個の支持機構を重力方向における下側から支持する基台をさらに有し、
前記基台は、表面における摩擦係数が設置面よりも小さい
請求項１乃至１１いずれか記載の防振免震装置。
【請求項１３】
重力方向において互いに異なる位置に配置された少なくとも２個の板状部材と、
互いに隣り合う少なくとも２個の前記板状部材の間に、少なくとも３個がそれぞれに配置されていて、少なくとも２個の前記板状部材のうちの重力方向における上方に位置する前記板状部材を重力方向における下側から支持する第１の支持機構と、
少なくとも２個の前記板状部材のなかの重力方向において最も下方に位置する前記板状部材を重力方向における下側から支持する少なくとも３個の第２の支持機構と、
を有し、
前記第１の支持機構と前記第２の支持機構とは、それぞれが、
無端状の弾性部材を有し、
前記板状部材は、前記弾性部材によって重力方向及び水平方向に移動可能に支持されている
防振免震装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は防振免震装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、放射状に配置され、非荷重状態で略Ｕ字形状を呈する、複数のＵ字形ばね部と、該複数のＵ字形ばね部の第１の端部をそれぞれ保持する第１の保持機構と、該第１の保持機構に対向して配置され、前記複数のＵ字形ばね部の第２の端部をそれぞれ保持する第２の保持機構と、を備えることを特徴とするＵ字形サスペンションが記載されている。
【０００３】
特許文献２には、複数の板ばねを、それぞれ円弧状に撓んだ状態となるように両極部で相互に固定することで形成された、略球形のばね部を有する球状サスペンションであって、それぞれの前記板ばねは、両端部にそれぞれ第一ボルト孔が形成されると共に、中央部分に１個の第二ボルト孔が形成され、それぞれの前記板ばねの前記両端部を、相互に重ね合わせて円環状にした状態で、該板ばねの前記第一ボルト孔に挿通した共通の１個の第一ボルトで締め付け固定し、且つ、それぞれの前記板ばねの前記中央部分を、相互に重ね合わせた状態で、該板ばねの前記第二ボルト孔に挿通した共通の１個の第二ボルトで締め付け固定し、隣接する前記板ばねは、前記両端部及び前記中央部分以外で、間隙部を介して互いに離間すると共に、これら板ばね全体が略球形になるように配置された、ことを特徴とする記載の球状サスペンションが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−６８３６号公報
【特許文献２】特許第５８５２９５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の防振免震装置においては、重力方向の振動及び震動と水平方向の振動及び震動との両方を抑制しようとすると、例えば重力方向の振動及び震動を抑制する機構と水平方向の振動及び震動を抑制する機構との双方が必要となる等の理由により、機構が複雑になる虞があった。
【０００６】
本発明は、重力方向の振動及び震動と水平方向の振動及び震動との双方を簡単な機構で抑制することができる防振免震装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に係る本発明は、載置面を有する載置台と、前記載置台を重力方向における下側から支持する少なくとも３個の支持機構と、を有し、前記少なくとも３個の支持機構は、それぞれが無端状の弾性部材を有し、前記載置台は、前記弾性部材によって重力方向及び水平方向に移動可能に支持されている防振免震装置である。
【０００８】
請求項２に係る本発明は、前記弾性部材は、前記載置面に対して回転可能に接している請求項１記載の防振免震装置である。
【０００９】
請求項３に係る本発明は、前記弾性部材は、前記載置台に対して傾斜する方向にさらに移動可能に接している請求項１又は２記載の防振免震装置である。
【００１０】
請求項４に係る本発明は、前記弾性部材は、前記載置台側の幅が設置面側の幅よりも広い請求項１乃至３いずれか記載の防振免震装置である。
【００１１】
請求項５に係る本発明は、前記少なくとも３個の支持機構は、少なくとも１個が、粘弾性を有し、前記弾性部材を制振する制振部材をさらに有する請求項１乃至４いずれか記載の防振免震装置である。
【００１２】
請求項６に係る本発明は、前記制振部材は、前記弾性部材の内周面における湾曲部に装着されている請求項５記載の防振免震装置である。
【００１３】
請求項７に係る本発明は、前記制振部材は、一端部側及び他端部側が前記弾性部材の内周面に接触するように配置されている請求項５記載の防振免震装置である。
【００１４】
請求項８に係る本発明は、弾性を有し、前記弾性部材が所定以上に変形した場合に、前記載置台を重力方向における下側がら支持する補助部材をさらに有する請求項１乃至６いずれか記載の防振免震装置である。
【００１５】
請求項９に係る本発明は、前記弾性部材は、少なくとも二箇所が設置面に接触する形状を有する請求項１乃至８いずれか記載の防振免震装置である。
【００１６】
請求項１０に係る本発明は、前記少なくとも３個の支持機構は、少なくとも１個が前記弾性部材を少なくとも２個有し、少なくとも２個の前記弾性部材は、互いに交わる方向に配置されていて、共通する支持部により前記載置台に支持されている請求項１乃至９いずれか記載の防振免震装置である。
【００１７】
請求項１１に係る本発明は、前記少なくとも３個の支持機構は、前記載置台に対して加わる荷重が大きい位置近傍が密となるように配置されている請求区１乃至１０いずれか記載の防振免震装置である。
【００１８】
請求項１２に係る本発明は、設置面に設置されていて、前記少なくとも３個の支持機構を重力方向における下側から支持する基台をさらに有し、前記基台は、表面における摩擦係数が設置面よりも小さい請求項１乃至１１いずれか記載の防振免震装置である。
【００１９】
請求項１３に係る本発明は、重力方向において互いに異なる位置に配置された少なくとも２個の板状部材と、互いに隣り合う少なくとも２個の前記板状部材の間に、少なくとも３個がそれぞれに配置されていて、少なくとも２個の前記板状部材のうちの重力方向における上方に位置する前記板状部材を重力方向における下側から支持する第１の支持機構と、少なくとも２個の前記板状部材のなかの重力方向において最も下方に位置する前記板状部材を重力方向における下側から支持する少なくとも３個の第２の支持機構と、を有し、前記第１の支持機構と前記第２の支持機構とは、それぞれが、無端状の弾性部材を有し、前記板状部材は、前記弾性部材によって重力方向及び水平方向に移動可能に支持されている防振免震装置である。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１に係る本発明によれば、重力方向の振動及び震動と水平方向の振動及び震動との双方を簡単な機構で抑制することができる防振免震装置を提供することができる。
【００２１】
請求項２に係る本発明によれば、弾性部材が載置台に対して回転することができない技術と比較して、載置台の水平方向における振動及び震動を抑制することができる。
【００２２】
請求項３に係る本発明によれば、弾性部材が載置台に対して傾斜することができない技術と比較して、載置台の振動及び震動を抑制することができる。
【００２３】
請求項４に係る本発明によれば、弾性部材の一部に応力が集中し、弾性部材に塑性変形が生じるとの弊害を生じにくくすることができる。
【００２４】
請求項５に係る本発明によれば、弾性部材の振動を制限することができる。
【００２５】
請求項６に係る本発明によれば、制振部材を容易に取り付けることができる。
【００２６】
請求項７に係る本発明によれば、制振部材を容易に取り付けることができる。
【００２７】
請求項８に係る本発明によれば、補助部材を有しない技術と比較して、弾性部材の一部に応力が集中し、弾性部材に塑性変形が生じるとの弊害を生じにくくすることができる。
【００２８】
請求項９に係る本発明によれば、弾性部材の一箇所が設置面に接する技術と比較して、載置台を安定した状態で支持することができる。
【００２９】
請求項１０に係る本発明によれば、全ての弾性部材が同じ方向に配置されている技術と比較して、載置台の水平方向における振動及び震動を抑制することができる。
【００３０】
請求項１１に係る本発明によれば、荷重が集中する位置近傍に配置された支持機構が有する弾性部材の塑性変形を生じにくくすることができる。
【００３１】
請求項１２に係る本発明によれば、弾性体を基台に対して摺動しやすくすることができ、基台を有しない技術と比較して、載置台の水平方向における振動及び震動を抑制することができる。
【００３２】
請求項１３に係る本発明によれば、重力方向の振動及び震動と水平方向の振動及び震動との双方を簡単な機構で抑制することができる防振免震装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る防振免震装置を示す正面図である。
【図２】図１に示す防振免震装置の底面図である。
【図３】図３（Ａ）は、図１に示す防振免震装置が有する支持機構の１つを示す正面図であり、図３（Ｂ）は図３（Ａ）におけるＡ−Ａ線の断面を示す断面図である。
【図４】図３に示す支持機構の動作を示し、図４（Ａ）は底面図であり、図４（Ｂ）は図３（Ａ）におけるＡ−Ａ線の断面を示す断面図である。
【図５】図５は、図３に示す支持機構の第１の変形例を示し、図５（Ａ）正面図であり、図５（Ｂ）は図５（Ａ）におけるＢ−Ｂ線の断面を示す断面図である。
【図６】図６（Ａ）は図３に示す支持機構の第２の変形例を示す正面図であり、図６（Ｂ）は図３に示す支持機構の第３の変形例を示す正面図である。
【図７】図３に示す支持機構の第４の変形例を示し、図７（Ａ）は載置対象物が載置されていない状態を示す正面図であり、図７（Ｂ）は載置対象物が載置されている状態を示す正面図である。
【図８】図１に示す防振免震装置における載置対象物が載置される位置等に対処しての支持機構の配置の変形例を示す図である。
【図９】本発明の第２の実施形態に係る防振免震装置が有する支持機構の１つを示し、図９（Ａ）は正面図であり、図９（Ｂ）は図９（Ａ）におけるＣ−Ｃ線断面を示す断面図である。
【図１０】図９に示す支持機構の動作を示し、図１０（Ａ）は底面図であり、図１０（Ｂ）は図９（Ａ）におけるＣ−Ｃ線断面を示す断面図である。
【図１１】図９に示す支持機構の第１の変形例を示し、図１１（Ａ）は正面図であり、図１１（Ｂ）は図１１（Ａ）におけるＤ−Ｄ線断面を示す断面図である。
【図１２】図１２（Ａ）は図９に示す支持機構の第２の変形例を示す正面図であり、図１２（Ｂ）は図９に示す支持機構の第３の変形例を示す正面図である。
【図１３】図９に示す支持機構の第４の変形例を示し、図１３（Ａ）は載置対象物が載置されていない状態を示す正面図であり、図１３（Ｂ）は載置対象物が載置されている状態を示す正面図である。
【図１４】図９に示す支持機構の第５の変形例を示す底面図である。
【図１５】本発明の第３の実施形態に係る防振免震装置を示す正面図である。
【図１６】本発明の第４の実施形態に係る防振免震装置を示す正面図である。
【図１７】本発明の第５の実施形態に係る防振免震装置を示す正面図である。
【図１８】本発明の第６の実施形態に係る防振免震装置を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
次に、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１及び図２には、本発明の第１の実施形態に係る防振免震装置１０が示されている。図１及び図２に示すように、防振免震装置１０は、載置台２０と、例えば４個の支持機構１００とを有する。
【００３５】
載置台２０は、板状であって、載置対象物９００が載置される面であって、重力方向において上向きの面である載置面２２が例えば正方形である。
【００３６】
載置対象物９００としては、例えばコンピュータや通信機器に用いられる電子デバイスの回路パターンを形成する露光機、青色レーザを用いた光学測定に使われる光学素子の高精度な形状を読み取る三次元形状測定装置、遺伝子解析などに用いられる電子顕微鏡のように精度が問題となる機器や、土器や仏像等の文化財等を挙げることができる。
【００３７】
載置台２０は、後述する弾性部材１１０によって重力方向及び水平方向に移動可能に支持されている。
【００３８】
支持機構１００は、載置台２０の底面２４に装着されていて、載置台２０を重力方向における下側から支持している。４個の支持機構１００は、前側に配置されている２個（図２における上側の２個）と、後側に配置されている２個（図２における下側の２個）との向きが異なり、前側の２個と後側の２個とが互いに交わる向きとなるように配置されている。この実施形態においては、４個の支持機構１００が設けられているものの、支持機構１００は少なくとも３個以上であればよい。
【００３９】
図３には、支持機構１００が示されている。図３に示す支持機構１００は、正面左側に位置する（図１における左側の）支持機構１００である。この実施形態においては、４個の支持機構１００の構成は同一であるものの、４個の支持機構の構成はそれぞれに異なるものであってもよい。例えば、４個の支持機構１００のうちの少なくとも一つを後述する各種変形例に置き換えてもよい。
【００４０】
図３に示すように、支持機構１００は、無端状であって、弾性を有する弾性部材１１０を有する。弾性部材１１０の材質としては、例えば鋼等の金属等を用いることができる。弾性部材１１０は、下側が設置面９２０に接触し、上側が底面２４に接触するようにして載置台２０を支持している。
【００４１】
弾性部材１１０は、上述のように載置台２０に接触していて、載置台２０に対して移動をすることができるように、自在支持部１２０によって載置台２０へと装着され、支持されている。自在支持部１２０は、弾性部材１１０を載置台２０に対して装着する装着部として用いられている。また、自在支持部１２０は、中央部側において底面２４との間に隙間１２２を形成するように、両端部側が底面２４に対してそれぞれに固定されている。弾性部材１１０は、隙間１２２を貫通するようにして自在支持部１２０により支持されている。
【００４２】
自在支持部１２０に支持されているため、弾性部材１１０は載置台２０に対して左右方向（Ｘ軸方向、図３（Ａ）における矢印ａ方向）に移動することができる。また、弾性部材１１０は載置台２０に対して前後方向（Ｚ軸方向、図３（Ｂ）における矢印ｂ方向）に移動することができる。このように、弾性部材１１０は、載置面２２に対して平行な２方向であって互いに交わる２方向に移動することができるように、載置台２０に対して装着されている。
【００４３】
図４には、弾性部材１１０の動作が説明されている。図４（Ａ）に矢印ｃで示すように、弾性部材１１０は、載置面２２と垂直な軸２６に対して回転することができるように、載置台２０に支持されている。また、図４（Ｂ）に矢印ｄで示すように、弾性部材１１０は載置台２０の載置面２２に対して傾斜する方向に移動可能に支持されている。
【００４４】
支持機構１００が以上のように構成されているため、防振免震装置１０においては、弾性部材１１０が垂直方向に弾性変形することで載置台２０の重力方向における振動及び震動を抑制することができる。また、載置台２０が左右方向（Ｘ軸方向）に移動する際に、弾性部材１１０が載置台２０に引きずられるように左右方向に移動する（図３における矢印ｅを参照）。換言すると、弾性部材１１０は、設置面９２０に対して回転可能に接している。弾性部材１１０が載置台２０に引きずられるように左右方向に移動する際に、弾性部材１１０が弾性変形するため、載置台２０の左右方向の振動を抑制することができる。
【００４５】
また、弾性部材１１０が載置台２０に対して左右方向と前後方向とに移動することで、載置台２０の水平方向の振動を抑制することができる。ここで、載置台２０の水平方向の振動を抑制することができる理由は、載置台２０の運動が、載置台２０の底面２４と弾性部材１１０との間の摩擦で吸収されるためである。
【００４６】
図５には、第１の実施形態に係る防振免震装置１０が有する支持機構１００の第１の変形例が示されている。先述の支持機構１００においては、弾性部材１１０は幅が一定であった。これに対して、この第１の変形例では、弾性部材１１０は、載置台２０側の幅が設置面９２０側の幅よりも広くなるように、弾性部材１１０の幅が連続的に変化している。
【００４７】
この第１の変形例によれば、載置台２０が下側へと移動して弾性部材１１０が弾性変形した際等に、弾性部材１１０の一部に応力が集中することが抑制することができ、弾性部材１１０に塑性変形が生じるとの弊害を生じにくくすることができる。
【００４８】
図６（Ａ）には、第１の実施形態に係る防振免震装置１０が有する支持機構１００の第２の変形例が示されている。この第２の変形例では、支持機構１００は、先述の支持機構１００が有する構成に加えて、例えば２つのダンピングシート１３０を有する。ダンピングシート１３０は、弾性部材１１０の振動を制振する制振部材として用いられていて、粘弾性を有し、その材質としては、例えば、ゴム、ゲル、軟質ウレタン、ソルボゼイン（商品名）、ネオフェード（商品名）等を採用することができる。
【００４９】
ダンピングシート１３０は、弾性部材１１０の内周面１１２における弾性部材１１０が湾曲した部分（湾曲部）に、例えば接着する等の方法で装着されている。
【００５０】
図６（Ｂ）には、第１の実施形態に係る防振免震装置１０が有する支持機構１００の第３の変形例が示されている。この第３の変形例は、第２の変形例におけるダンピングシート１３０に替えて、例えば、２つのダンピング部材１３２を有する。ダンピング部材１３２は、弾性部材１１０の振動を制振する制振部材として用いられていて、ダンピングシート１３０と同様に粘弾性を有し、その材質としては、ダンピングシート１３０と同様に例えば、ゴム、ゲル、軟質ウレタン、ソルボゼイン（商品名）、ネオフェード（商品名）等を採用することができる。
【００５１】
ダンピング部材１３２は、一端部側が弾性部材１１０の内周面１１２における一部に接触し、他端部が弾性部材１１０の内周面１１２における他の一部に接触するように配置されている。より具体的には、ダンピング部材１３２は、上端部が内周面１１２の下向きの面に接触し、下端部が内周面１１２の上向きの面に接触するように配置されている。
【００５２】
以上で説明をしたように、ダンピングシート１３０を加えたり、ダンピング部材１３２を加えたりすることで、弾性部材１１０の振動を抑制することができる。
【００５３】
図７には、第１の実施形態に係る防振免震装置１０が有する支持機構１００の第４の変形例が示されている。この第４の変形例では、支持機構１００は、先述の支持機構１００が有する構成に加えて、補助弾性部材１４０を有する。補助弾性部材１４０は、補助部材として用いられていて、弾性を有し、無端状であって、弾性部材１１０の内周面１１２側に配置されている。補助弾性部材１４０の材質としては、弾性部材１１０と同様に例えば鋼等の金属等を用いることができる。補助弾性部材１４０は、自在支持部１２０によって載置台２０に装着されている。すなわち、補助弾性部材１４０と弾性部材１１０とは一つの共通する部材で載置台２０に対して装着されている。
【００５４】
この第４の変形例において、載置台２０に載置対象物９００が載置されると、図７（Ａ）に示す状態から載置台２０が下降し、弾性部材１１０が弾性的に変形して、図７（Ｂ）に示すように、補助弾性部材１４０の下端部が弾性部材１１０の内周面１１２に接触し、補助弾性部材１４０が弾性変形する。すなわち、補助弾性部材１４０は、弾性部材１１０が弾性変形した際に載置台２０を重力方向における下側から支持し、弾性部材１１０を補助している。
【００５５】
以上で説明をしたように、補助弾性部材１４０を加えることで、弾性部材１１０を補助することができ、補強することができ、弾性部材１１０の一部に応力が集中することで弾性部材１１０に塑性変形が生じてしまうとの弊害を生じにくくすることができる。補助弾性部材１４０としては、以上で説明をした無端状であるものに換えて、例えばコイルスプリング（不図示）等を用いることができる。
【００５６】
図８（Ａ）乃至図８（Ｈ）は、それぞれが防振免震装置１０における支持機構１００の配置の変形例を示す図である。図８（Ａ）、図８（Ｂ）に示す変形例においては、第１の実施形態と同様に４個の支持機構１００が設けられているのに対して、図８（Ｃ）乃至図８（Ｇ）に示す変形例においては８個の支持機構１００が設けられていて、図８（Ｇ）に示す変形例では５個の支持機構１００が設けられている。
【００５７】
また、図８（Ａ）乃至図８（Ｈ）に示すいずれの変形例においても、複数の支持機構１００は全てが同じ方向を向くように配置されているのではなく、違いに交差する二方向を向く支持機構１００が少なくとも２つはあるように配置されている。
【００５８】
また、図８（Ｈ）に示す例においては、例えば載置対象物９００が載置される位置等に対処して、載置台２０に対して加わる荷重が大きい部分近傍が密となるように支持機構１００が配置されている。より具体的には、図８（Ａ）に示す４個の支持機構１００に加えて、加わる荷重が大きい箇所近傍に支持機構１００Ａが追加されている。
【００５９】
図９には、本発明の第２の実施形態に係る防振免震装置１０が有する支持機構１００が示されている、この支持機構１００は、第１の実施形態における支持機構１００（図３を参照）とは、弾性部材１１０の形状が異なる。すなわち、この実施形態における弾性部材１１０は、二箇所が設置面９２０に接する形状を有する。より具体的には、弾性部材１１０は、内周面１１２おける一部と、この一部に対向する内周面における他の一部が接触する形状をしている。弾性部材１１０は、内周面１１２おける一部と、この一部に対向する内周面における他の一部が接触する形状とすることに替えて、内周面１１２おける一部と、この一部に対向する内周面における他の一部が接近する形状としてもよい。
【００６０】
また、この第２の実施例においては、自在支持部１２０の構成が、第１の実施形態とは異なる。この第２の実施形態においては、自在支持部１２０は、支持軸１２４と、抜止部１２６とを有し、弾性部材１１０に形成された貫通孔１１４に対して支持軸１２４を貫通させるようにして弾性部材１１０を支持している。抜止部１２６は、弾性部材１１０が支持軸１２４から下側に向けて抜けることを防止している。
【００６１】
以上で説明では、弾性部材１１０が、二箇所が設置面９２０に接する形状を有する場合を例として示したものの、弾性部材１１０は少なくとも二箇所が設置面９２０に接する形状であればよく、例えば三箇所が設置面９２０に接する形状であってもよい。
【００６２】
図１０には、弾性部材１１０の動作が説明されている。図１０（Ａ）に示すように、貫通孔１１４の幅及び長さは、支持軸１２４の外径よりも大きい。このため、弾性部材１１０は載置台２０に対して左右方向（Ｘ軸方向、図１０（Ａ）における矢印ａ方向）に移動することができ、載置台２０に対して前後方向（Ｚ軸方向、図１０（Ｂ）における矢印ｂ方向）に移動することができる。このように、弾性部材１１０は、載置面２２に対して平行な２方向であって互いに交わる２方向に対して移動することができるように、載置台２０に対して装着されている。
【００６３】
また、図１０（Ａ）に矢印ｃで示すように、弾性部材１１０は、載置面２２と垂直な軸２６に対して回転することができるように、載置台２０に対して装着されている。また、図１０（Ｂ）に矢印ｄで示すように、弾性部材１１０は載置台２０の載置面２２に対して傾斜する方向に移動することができるように支持されている。
【００６４】
図１１には、第２の実施形態に係る防振免震装置１０が有する支持機構１００の第１の変形例が示されている。先述の支持機構１００においては、弾性部材１１０は幅が一定であった。これに対して、この第１の変形例では、弾性部材１１０は、載置台２０側の幅が設置面９２０側の幅よりも広くなるように、弾性部材１１０の幅が連続的に変化している。
【００６５】
図１２（Ａ）には、第２の実施形態に係る防振免震装置１０が有する支持機構１００の第２の変形例が示されている。この第２の変形例では、支持機構１００は、先述の支持機構１００が有する構成に加えて、例えば２つのダンピングシート１３０を有する。ダンピングシート１３０は、先述の第１の実施形態の第２の変形例（図６（Ａ）を参照）と同等であるため説明を省略する。
【００６６】
図１２（Ｂ）には、第２の実施形態に係る防振免震装置１０が有する支持機構１００の第３の変形例が示されている。この第３の変形例は、第２の変形例におけるダンピングシート１３０に替えて、例えば、２つのダンピング部材１３２を有する。ダンピング部材１３２は、先述の第１の実施形態の第３の変形例（図６（Ｂ）を参照）と同等であるため説明を省略する。
【００６７】
図１３には、第２の実施形態に係る防振免震装置１０が有する支持機構１００の第４の変形例が示されている。この第４の変形例では、支持機構１００は、先述の支持機構１００が有する構成に加えて、補助弾性部材１４０を有する。補助弾性部材１４０は、補助部材として用いられていて、弾性を有し、無端状であって、弾性部材１１０の内周面１１２側に配置されている。
【００６８】
また、補助弾性部材１４０の材質としては、弾性部材１１０と同様に例えば鋼等の金属等を用いることができる。また、補助弾性部材１４０は、内周面１４２おける一部と、この一部に対向する内周面１４２における他の一部が接触する形状をしている。補助弾性部材１４０は、内周面１４２おける一部と、この一部に対向する内周面１４２における他の一部が接触する形状とすることに替えて、内周面１４２おける一部と、この一部に対向する内周面１４２における他の一部が接近する形状としてもよい。
【００６９】
補助弾性部材１４０は、自在支持部１２０によって載置台２０に支持されている。すなわち、補助弾性部材１４０と弾性部材１１０とは一つの共通する部材で載置台２０に対して支持されている。より具体的には、補助弾性部材１４０は、補助弾性部材１４０に形成された貫通孔に対して支持軸１２４を貫通させるようにして自在支持部１２０に支持されている。
【００７０】
この第４の変形例において、載置台２０に載置対象物９００が載置されると、図１４（Ａ）に示す状態から載置台２０が下降し、弾性部材１１０が弾性的に変形して、図１４（Ｂ）に示すように、補助弾性部材１４０の下端部における二箇所が弾性部材１１０の内周面１１２に接触し、補助弾性部材１４０が弾性変形する。このように、補助弾性部材１４０は、弾性部材１１０が弾性変形した際に載置台２０を重力方向における下側から支持し、弾性部材１１０を補助している。
【００７１】
図１４には、第２の実施形態に係る防振免震装置１０が有する支持機構１００の第５の変形例が示されている。先述の第２の実施形態における防振免震装置１０（図９を参照）は、１個の弾性部材１１０を有していた。これに対して、この第５の変形例では、防振免震装置１０は２つの弾性部材１１０を有している。また、２つの弾性部材１１０は、互いに交わる方向に配置されている。また、２個の弾性部材１１０は、両方が１個の自在支持部１２０に支持されている。
【００７２】
以上で説明をした第５の変形例のように支持機構１００が２個の弾性部材１１０を有するように支持機構１００を変形することに替えて、３個以上の弾性部材１１０を支持機構１００が有するように支持機構１００変形してもよい。
【００７３】
図１５には、本発明の第３の実施形態に係る防振免震装置１０が示されている。この第３の実施形態においては、防振免震装置１０は、先述の第１の実施形態に係る防振免震装置１０（図１を参照）が有する構成に加えて、基台２１０を有している。基台２１０は設置面９２０に設置され、支持機構１００を重力方向における下側から支持している。
【００７４】
基台２１０は、上側の表面２２２における摩擦係数が設置面９２０よりも小さい。このため、基台２１０を設けることで、載置台２０と載置台２０に装着された支持機構１００とを水平方向の移動しやすくすることができ、防振免震装置１０の水平方向における振動を抑制しやすくすることができ、防振免震装置１０の水平方向における免震特性を向上させることができる。
【００７５】
図１６には、本発明の第４の実施形態に係る防振免震装置１０が示されている。この第５の実施形態においては、防振免震装置１０は、先述の第２の実施形態に係る防振免震装置１０（図９を参照）が有する構成に加えて、基台２１０を有している。基台２１０は、先述の第３の実施形態（図１５を参照）と同等であるため説明を省略する。
【００７６】
図１７には、本発明の第５の実施形態に係る防振免震装置１０が示されている。この防振免震装置１０は、重力方向において互いに異なる位置に配置された２個の板状部材３００、板状部材３０２を有する。また、防振免震装置１０は、互いに隣り合っている板状部材３００、板状部材３０２の間に例えば４個が配置されていて、板状部材３００、板状部材３０２のうちの重力方向における上方に位置する板状部材である板状部材３００を重力方向における下側から支持する第１の支持機構３２０を有する。また、防振免震装置１０は、板状部材３００、板状部材３０２のなかの重力方向において最も下方に位置する板状部材である板状部材３０２を重力方向における下側から支持する例えば４個の第２の支持機構３３０を有する。
【００７７】
第１の支持機構３２０、第２の支持機構３３０は、先述の支持機構１００と同等の構成であり、第１の実施形態に係る支持機構１００や、第２の支持機構に係る支持機構１００や、これらの変形例を用いることができ、この実施形態においては、第１の支持機構３２０、第２の支持機構３３０として、第２の実施形態に係る支持機構１００（図９を参照）と同等の支持装置を用いている。
【００７８】
以上で説明をした例においては、４個の第１の支持機構３２０を備えているものの、第１の支持機構３２０は、３個以上であればよい。また、以上で説明をした例においては、４個の第２の支持機構３２０を備えているものの、第２の支持機構３２０は、３個以上であればよい。
【００７９】
以上で説明をした例においては、防振免震装置１０は、重力方向において互いに異なる位置に配置された２個の板状部材３００、３０２を有するものの、板状部材３００は少なくとも２個あればよく、重力方向において互いに異なる位置に配置された３個以上の板状部材を有するようにしてもよい。この場合、互いに隣り合う２つの板状部材の間に少なくとも３個の第１の支持機構が設けられる。
【００８０】
図１８には、本発明の第６に実施形態に係る防振免震装置１０が示されている。先述の第５に実施形態においては、第１の支持機構３２０、第２の支持機構３３０の双方が、先述の第２の実施形態に係る支持機構１００（図９を参照）と同等の構成であった。これに対して、この第６の実施形態においては、第１の支持機構３２０が先述の第２の実施形態に係る支持機構１００と同等の構成であり、第２の支持機構３３０が先述の第１の実施形態に係る支持機構１００（図３を参照）と同等の構成である。
【００８１】
以上で説明をした第５の実施形態及び第６の実施形態においては、第１の支持機構３２０、第２の支持機構３３０がそれぞれに有する弾性体のばね定数が、重力方向における下側に配置された弾性体ほど変形しにくく、重力方向における上側に配置された弾性体ほど変形しやすくなるように定められている。
【産業上の利用可能性】
【００８２】
以上で述べたように、本発明は、電子顕微鏡等の精度が問題となる機器等を載置したり、土器や仏像等の文化財を保全のために載置したりする防振免震装置に適用することができる。
【符号の説明】
【００８３】
１０・・・防振免震装置
２０・・・載置台
２２・・・載置面
１００・・・支持機構
１１０・・・弾性部材
１１２・・・内周面
１２０・・・自在支持部
１３０・・・ダンピングシート
１３２・・・ダンピング部材
１４０・・・補助弾性部材
２１０・・・基台
３００、３０２・・・板状部材
３２０・・・第１の支持機構
３３０・・・第２の支持機構
９００・・・載置対象物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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