(57)【要約】【課題】溶融した金属材料を吐出する金属球形成装置において、金属材料の消費に伴う吐出部における圧力のばらつきや金属材料の経時的な変化により吐出した金属材料の体積変動が大きくなり、形成される金属球の直径を不安定にする要因となっていた。【解決手段】吐出される金属材料の形状を取得し、吐出された金属材料が球形化して得られる金属球の直径が所望寸法に等しくなるよう、圧力を生成する圧電素子への印加電圧、次いで溶融金属を蓄える容器内の圧力、容器内の金属材料の液位へと、逐次制御を進める。これにより、経時的な金属球の直径の変動を抑制し、一定の直径を有する金属球を連続的に製造する。【選択図】図１
2017052982.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶融金属を吐出するノズルと、
前記ノズルに通じ溶融金属を吐出する為の圧力を生成する圧力室と、
前記圧力室に前記溶融金属を供給する供給室と、
前記供給室内の前記溶融金属の容量を取得する検出機構と、
前記供給室に前記溶融金属を補充する準備室と、
前記圧力室を加圧するピストンと、
前記ピストンを移動させる圧電素子と、
前記吐出された溶融金属の球の形状を取得する観察機構と、
前記観察機構から得られる情報を基に、前記供給室の前記溶融金属の量を制御する第１制御部と、
前記観察機構から得られる情報を基に、前記圧電素子の動作量を制御する第２制御部と、
を含む金属球形成装置。
【請求項２】
前記観察機構から得られる情報を基に、前記圧力室、または、前記供給室の圧力を制御する第３制御部をさらに有する請求項１記載の金属球形成装置。
【請求項３】
前記供給室へ前記溶融金属を供給する準備室をさらに有する請求項１または２記載の金属球形成装置。
【請求項４】
前記供給室の圧力を調整する圧力調整部をさらに有する請求項１または２記載の金属球形成装置。
【請求項５】
前記供給室の前記溶融金属の量を検出する検出部をさらに有する請求項１または２記載の金属球形成装置。
【請求項６】
容器内の溶融した金属材料をノズルより吐出して金属球を形成する金属球形成方法において、
吐出された金属球の形状を取得し、
予め設計された金属球の直径との偏差を最小化するように、前記溶融した金属材料に圧力を与える圧電素子に対して印加電圧を制御し、
さらに、前記印加電圧の制御域を超える場合には、前記容器内の圧力を制御し、
さらに、前記容器内の圧力の制御域を超える場合には、前記溶融した金属材料の前記容器内の液位を制御する金属球形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、溶融した金属材料を吐出し均一な寸法を有する金属球を形成する方法および金属球を形成する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
形状の揃った均一な粒子は、その材質を問わず、電気製品をはじめとする様々な科学技術分野で広く用いられ、その需要は拡大の一途である。例えば、ゾルゲル法にて製造される二酸化珪素の均一粒子は、液晶パネルにおいて、液晶を封入するガラス板の間隔を精度良く確保する手段として広く用いられている。また、半導体ＩＣパッケージの分野においても、プリント基板との接続を、従来のリードフレームのはんだ付けによる接続から、半導体ＩＣパッケージとプリント基板の対向する電極間を接続する手段として、主にはんだ材料を用いた球が用いられている。この半導体ＩＣパッケージの接続形態は一般には、その電極配置が格子状であることから、ボールグリッドアレイと呼ばれ、端子数が増大する半導体のパッケージ面積の拡大を抑制する手段として知られる。
【０００３】
このはんだ材料による球を製造する手段としては、特許文献１で示されている高温の油の中に溶融はんだを吐出し、表面張力により球形化させる油中アトマイズ法が一般に用いられている。
【０００４】
しかしながら、溶融はんだが油による抵抗を受けて、その真球度が低下してしまう。これを解決するため、特許文献２では、圧電アクチュエータにより気中に溶融金属を吐出する提案がなされている。しかし、この方法では、溶融金属の吐出が不安定である。
【０００５】
溶融金属の吐出を安定化させるために、装置内の溶融金属の残量を取得し、圧電アクチュエータの振幅を残量に逆比例する形で制御する装置および方法が提案されている（特許文献３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１１−２０７４９３号公報
【特許文献２】特開２００２−１５５３０５号公報
【特許文献３】特開２００３−２０３９３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、装置内の溶融金属量を取得し、残量に応じた既定の信号を圧電アクチュエータに印加する方法（特許文献３）においては、金属材料組成の変更、材料の補充時に発生する急激な溶融金属量の変化、強酸化性である溶融金属の表面酸化による流動性の変化など、物理的特性変動や製造条件の変動などに即応することができず、既定量の材料を安定的に吐出することできない。その為、形成される球の直径がばらつくという課題があった。
【０００８】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、吐出される溶融金属の体積を常に一定に保ちつつ、長時間の連続稼働を可能とすることできる金属球形成方法および金属球形成装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、溶融金属を吐出するノズルと、ノズルに通じ溶融金属を吐出する為の圧力を生成する圧力室と、圧力室に溶融金属を供給する供給室と、供給室内の溶融金属の容量を取得する検出機構と、供給室に溶融金属を補充する準備室と、圧力室を加圧するピストンと、ピストンを移動させる圧電素子と、吐出された溶融金属の球の形状を取得する観察機構と、観察機構から得られる情報を基に、供給室の溶融金属の量を制御する第１制御部と、観察機構から得られる情報を基に、圧電素子の動作量を制御する第２制御部と、を含む金属球形成装置を用いる。
【００１０】
容器内の溶融した金属材料をノズルより吐出して金属球を形成する金属球形成方法において、吐出された金属球の形状を取得し、予め設計された金属球の直径都の偏差を最小化するように、溶融した金属材料に圧力を与える圧電素子に対して印加する電圧を制御し、さらに、印加する電圧の制御域を超える場合に、容器内の圧力を制御し、さらに、容器内の圧力の制御域を超える場合に、溶融した金属材料の液位を制御する金属球形成方法を用いる。
【発明の効果】
【００１１】
以上のように、本発明によれば、吐出状態を常に一定に保つことで、吐出される溶融金属の体積を一定とし、その表面張力により球形化した金属球の直径を一定に保持することができる。
【００１２】
そのため、所望の金属組成による球形成を高い精度で行うことができる。従って、形状の良く揃った金属球の製造が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施の形態に係る金属球形成装置の構造を示す断面図
【図２Ａ】実施の形態の金属球形成装置における準備室に金属材料を供給した状態を示す断面図
【図２Ｂ】実施の形態の金属球形成装置における準備室において金属材料を溶融した状態を示す断面図
【図２Ｃ】実施の形態の金属球形成装置の圧力室および供給室へ溶融した金属材料を導入した状態を示す断面図
【図２Ｄ】実施の形態の金属球形成装置で金属材料を吐出した状態を示す断面図
【図３】実施の形態の実施の形態に係る信号電圧、供給室圧力、金属材料液位を制御する状態を示すフロー図
【図４Ａ】実施の形態の実施の形態に係る信号電圧による金属球の直径可変範囲を示すグラフ
【図４Ｂ】実施の形態の実施の形態に係る供給室圧力による金属球の直径可変範囲を示すグラフ
【図４Ｃ】実施の形態の実施の形態に係る金属材料液位による金属球の直径可変範囲を示すグラフ
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１５】
＜構成＞
図１は、本発明の実施の形態における金属球形成装置の断面図である。金属球形成装置１００には、素材となる金属材料１０１を蓄える供給室１３１が設けられる。供給室１３１の周囲には加熱機構１３２がある。加熱機構１３２は、金属材料１０１をその融点以上に加熱し溶融させる。供給室１３１には、金属材料１０１を補充する準備室１４１が電磁バルブ１４３を介して接続している。準備室１４１には、加熱機構１４２が配置され金属材料１０１をその融点以上に加熱し溶融させる。さらに、供給室１３１には、窓部１３７が備えられ、外部から金属材料の表面を観察することができる。また、外部に設けられた液面センサー１３３は、窓部１３７を介して、供給室１３１内で溶融している金属材料１０１の液面高さを取得することができる。
【００１６】
また、金属球形成装置１００は、ノズル１１１を備える。さらに、ノズル１１１に連通する圧力室１２１がある。圧力室１２１では、溶融した金属材料１０１を吐出するための圧力を生成される。供給室１３１と圧力室１２１とは、ピストン１１２によって隔てられている。ここで、圧力室１２１とピストン１１２との間には、隙間１２２が設けられている。金属材料１０１の消費に伴い、供給室１３１より逐次、金属材料１０１が圧力室１２１へ供給される。また、供給室１３１には、吸排気管１３４を介して電空レギュレータ１３５が接続されている（圧調整部）。電空レギュレータ１３５は、供給室１３１と圧力室１２１との圧力を外部から制御することができる。ここで、ピストン１１２は、推力を発生させる圧電素子１１３と接続されている。ピストン１１２は、圧電素子１１３の推力を圧力室１２１に伝達する作用を担う。圧電素子１１３は、ブラケット１１４により固定されている。また、圧電素子１１３は、外部電源１１５と電気的に接続されている。圧電素子１１３は、外部電源１１５により駆動することができる。
【００１７】
また、圧電素子１１３と供給室１３１とは、隔壁１３６により隔てられている。
【００１８】
また、ノズル１１１の下方には、溶融した金属材料１０１がノズル１１１から吐出される状態を観察することのできる吐出観察装置１５１を備えられている。吐出観察装置１５１により、吐出された金属材料１０３により形成される金属球１０４の体積および速度が取得することができる。
【００１９】
さらに、金属球形成装置１００は、制御装置１６１により、外部電源１１５、液面センサー１３３、電空レギュレータ１３５、電磁バルブ１４３、吐出観察装置１５１を総合的に、制御している。
【００２０】
また、これら金属球形成装置１００は、固定具１０９によりテーブル（図示せず）等に固定されている。
【００２１】
＜金属材料の供給＞
次に、金属球形成装置１００への金属材料の供給方法について説明する。図２Ａ〜図２Ｂは、金属球形成装置１００を側面から見た断面構造を示す模式図である。
【００２２】
図２Ａにおいて、準備室１４１には金属材料１０２が固体で供給される。ここでは、金属材料として、はんだ材料を例として説明する。しかし、銅あるいはシリコン等の材料でも同様である。導入された金属材料１０２は準備室１４１内で加熱機構１４２により加熱し溶融される。
【００２３】
一般的な電子回路の実装には、錫−銀−銅を主成分とする組成からなる、はんだ材料が用いられる。しかし、その融点は２２１℃であるので、それ以上の温度に加熱することで、供給された材料を溶融することができる。尚、ここでは、予め棒状のインゴット形態を持つ金属材料を供給した図を示している。しかし、リボン状あるいは粒状の形態でも、融点以上の加熱によって逐次溶融することで、準備室１４１および供給室１３１に溶融した金属材料１０１が満たされていくため、問題なく使用することができる。
【００２４】
図２Ｂは、金属材料１０２が加熱され、溶融した状態の金属材料１０１になり、準備室１４１内で保持されている状態を示している。この状態になると、制御装置１６１の指令により電磁バルブ１４３が開放され、金属材料１０１が供給室１３１内へと導入される。
【００２５】
図２Ｃは、所望の金属材料１０１が供給室１３１および圧力室１２１に供給される状態を示している。供給される金属材料１０１は液面センサー１３３によりその体積を液位として取得し所望の供給量に到達すると、制御装置１６１の指令により電磁バルブ１４３が閉鎖され供給が停止し、金属球形成装置１００の運転準備が完了する。尚、ノズル１１１の直径は、最大でも１ｍｍ程度であり、溶融した金属材料１０１が持つ高い表面張力の効果によって、重力により滴下してしまうことは無い。
【００２６】
また、ここでは、金属材料１０１の体積を取得するため液面センサーを用い液位の取得を行っているが、温度センサーなどにより液位の取得をすることも可能である。しかしながら、温度センサーは装置に固定されるため、装置の運転中には容易にその取得液位を変更することができない。従って、液位の高精度な取得や、指定される液位すなわち体積の変更などに柔軟に対応することが容易であることから、液面センサーの採用が好適である。
【００２７】
尚、溶融した金属材料１０１は非常に酸化性が強く、露出した面の状態が変化しやすい。そのため準備室１４１、供給室１３１において、金属材料１０１が供給されていない空間は窒素等の不活性ガスによって大気を置換した状態を保つことが望ましい。
【００２８】
＜駆動＞
次に、金属球形成装置１００の駆動機構について説明する。図２Ｄにおいて、ピストン１１２の後端部には、圧電素子１１３が接着剤または与圧機構などで接続されている。結果、圧電素子１１３の推力がピストン１１２へ伝達されるようになっている。
【００２９】
ここで、圧電素子１１３が外部電源１１５により駆動されると、その動作はピストン１１２を通じ、圧力室１２１に伝達される。ピストン１１２の変位１１６は圧力室１２１内の圧力を高める作用を生じ、その圧力は、開放端であるノズル１１１からの、溶融した金属材料１０１の吐出へと至る。
【００３０】
このとき、圧力室１２１とピストン１１２には、圧力室１２１へ溶融した金属材料１０１を供給するための隙間１２２が存在する。隙間１２２の流路抵抗は、ノズル１１１の流路抵抗よりも大きい。そのため、圧力室１２１内の圧力は、ノズル１１１から、溶融した金属材料１０１の吐出のために、働く。吐出された金属材料１０３は、その表面張力により球形となり、気中にて冷却され固体の球が形成される。この時、金属材料１０３の表面の酸化を抑制するために、窒素等の不活性ガス雰囲気中で、吐出および冷却されることが望ましい。
【００３１】
＜球形の制御＞
次に、金属球形成装置１００の球形の製造方法について説明する。図３は、金属球形成装置１００の吐出プロセスを説明するフロー図である。
【００３２】
まず、『運転開始』にあたり、予め決められた液位に設定するための『液位指示』を行う。この時、制御装置１６１は液面センサー１３３の値を読み取り、所望の液位となる様、電磁バルブ１４３を開放し、溶融した金属材料１０１を供給する。
【００３３】
次いで、供給室１３１を予め決められた圧力に設定するための『圧力指示』を行う。この時、制御装置１６１は、電空レギュレータ１３５に指示し、供給室１３１が所望の圧力となる様に調節する。なお、本実施の形態においては、安価に使用可能な不活性ガスである窒素を供給室１３１に導入して設定した。
【００３４】
ここで、供給室１３１の圧力が変化する理由は以下である。供給室１３１には隔壁１３６に設けられた穴にピストン１１２が差し込まれている。ここをＯリングで気密を確保している。しかし、ピストン１１２の摺動を妨げないために、供給室１３１は完全にシールできていない。幾分の窒素のモレがある。このため、常に窒素を供給し続けている状態である電空レギュレータ１３５で調整する。
【００３５】
さらに、圧電素子１１３を駆動する信号電圧を設定するための『信号電圧指示』を行う。制御装置１６１は、圧電素子１１３を駆動するため、予め決められた信号電圧を外部電源１１５に指示し出力させる。
【００３６】
これらの制御装置１６１の指示により、供給室１３１に導入する溶融した金属材料１０１の液面指示、および、供給室１３１の圧力指示、圧電素子１１３を駆動する信号電圧指示を行うことで、金属球形成装置１００は運転動作を開始することができる。これにより、溶融した金属材料を一定量吐出する『金属材料吐出』動作を行うことが可能となる。
【００３７】
吐出された金属材料１０３は所定の距離を飛翔したのちに、自身の表面張力により球形化し、金属球１０４を形成する。吐出観察装置１５１は、金属球１０４の『直径の取得』を行う。
【００３８】
吐出観察装置１５１は、金属球１０４の側方より像を取得する構造を持っているため、像は金属球１０４を投影した２次元的な情報である。しかしながら、溶融した金属材料１０１の表面張力は、５００〜６００ｍＮ／ｍと高く、純水の約７倍程度高い。このため、吐出された金属材料１０１自身の表面エネルギーが最小となるよう自発的に球形化し、その真球度は高く、ほぼ真球として捉えることができる。そのため、吐出観察装置１５１が取得する２次元的な投影像は、金属球１０４の中心断面として捉えることができ、この像の直径を求めることで、金属球１０４の直径を知ることができる。
【００３９】
以上から、得られた直径は、制御装置１６１により、目標とする直径、例えば０．５ｍｍとすると、これと比較され、『直径判定』を行う。
【００４０】
制御装置１６１は、吐出観察装置１５１により取得した金属球１０４の直径が、目標を上回る場合は、圧電素子１１３に印加する信号の最大電圧を降圧させる。反対に下回る場合は、昇圧する様に、圧電素子１１３への信号電圧を制御する。この直径を、所望の寸法に合わせ込む一連の動作は、継続的に行われる。雰囲気の温度変動等の外乱に対して、これを補償するよう動作し、常に、設計値どおりの金属球を形成することができる。
【００４１】
しかしながら、実際の製造においては、溶融金属の残量の僅かな変動などによるノズル１１１の位置での圧力の変化といった比較的大きな変動も発生し得るものである。任意の寸法を有する金属球の製造要求に対しては、より広範囲な直径の調整が可能なパラメータを適宜選択して運用する必要がある。
【００４２】
＜パラメータ制御＞
圧電素子１１３の駆動電圧以外に、供給室１３１内の圧力、金属材料１０１の液位により、吐出される金属球１０４の大きさは変化する。
【００４３】
図４Ａ〜図４Ｃに、圧電素子１１３を駆動するために、外部電源１１５が出力する信号電圧、および、供給室１３１内の圧力、金属材料１０１の液位、のそれぞれの条件に対応する金属球の直径の可変域を示す。
【００４４】
図４Ａは、得られる金属球の直径と圧電素子１１３に印加される信号電圧との関係を示したグラフである。図４Ａが示すように、データ取得が可能な信号電圧領域、即ち安定して吐出可能な信号電圧範囲において、金属球の直径の可変域は、中央値を中心として±５％程度である。しかしながら信号電圧による厳密な制御が可能であることから、比較的狭い可変域であるにもかかわらず、直径を精密に制御することができる。
【００４５】
一方、図４Ｂは、得られる金属球の直径と供給室１３１内の圧力との関係を示したグラフである。図４Ｂが示すように、データ取得が可能な圧力領域、即ち安定して吐出可能な圧力範囲にいて、金属球の直径の可変域は、中央値を中心として、概ね±１０％が得られる。
【００４６】
さらに、図４Ｃは、得られる金属球の直径と金属材料１０１の液位との関係を示したグラフである。ここで液位とは、ノズル１１１から金属材料１０１の液面までの高さを表す。
【００４７】
図４Ｃが示すように、データ取得が可能な液位領域、即ち安定して吐出可能な圧力範囲にいて、金属球の直径の可変域は、中央値を中心として±３０％もの範囲を得ることができる。しかしながら、液位の上昇および降下時は、液面の揺れや温度の変化が生じることから、信号電圧の制御や圧力の制御と比較して、制御精度は低下する。
【００４８】
ここで、金属材料１０１の例として、はんだの場合を考える。一般的な電子回路の製造に用いられる、はんだ材料の比重は７〜１０と大きく、水系のインクを吐出するインクジェットシステムと比較して、その影響は、７〜１０倍に拡大する。すなわち、僅か１ｍｍの溶融はんだ液位の変化は、水の場合の７〜１０ｍｍの変化に相当する。１ｍｍの変化を、圧力に換算すると、０．０７〜０．１ｋＰａもの圧力の変化に相当する。このことより、金属材料の容量、すなわち、液位は、金属粒子の直径を制御することのできるパラメータとして作用することがわかる。
【００４９】
＜制御＞
次に、実際の運用として、圧電素子１１３を駆動するために外部電源１１５が出力する信号電圧、および、供給室１３１内の圧力、金属材料１０１の液位、に対する制御手順について説明する。ここでは、目標となる所望の金属粒子の直径に対し、吐出観察装置１５１から得られた金属球１０４の直径が、異なっている場合について説明する。
【００５０】
制御装置１６１は、金属球１０４の直径が、目標値と異なっている時、以下第１段階〜第３段階を実施する。
【００５１】
第１段階として、圧電素子１１３への信号電圧の昇圧による金属粒子の直径の変更を検討する。安定的な吐出が確保される条件下での、信号電圧の増減による直径の可変域は図４Ａに示したとおりである。この可変域内で、所望の金属粒子の直径に制御可能な場合は、制御装置１６１が外部電源１１５へ指示し、信号電圧を変更させ、目標値へ漸近させる。反対に可変域を逸脱している場合には、信号電圧による直径の制御は実施せず、第２段階へと移行する。
【００５２】
第２段階では、供給室１３１内の圧力の変更による金属粒子の直径の変更の可能性を判断する。安定的な吐出が確保される条件下での、圧力の増減による直径の可変域は図４Ｂに示したとおりである。この可変域内で、所望の直径に制御可能な場合は、制御装置１６１が電空レギュレータ１３５へ指示し、供給室１３１内の圧力を変更させ、目標値へ漸近させる。反対に可変域を逸脱している場合には、圧力による直径の制御は実施せず、第３段階へと移行する。
【００５３】
第３段階では、制御装置１６１が、金属材料１０１の液位が上昇するよう電磁バルブ１４３の開放側へと指示し、所定の液位に到達すると、閉塞側へと指示を行う。これにより、金属材料１０１の液位を上昇させて直径の拡大を行い、目標値へ漸近させる。
【００５４】
このように、金属球形成装置１００は、金属粒子の直径を制御するための制御因子の選択を適切に行うことで、金属粒子の直径の制御を、広範囲且つ高精度に実行することが出来る。
【００５５】
さらに、制御装置１６１は、液面センサー１３３により供給室１３１の金属材料１０１の残量を常に取得しており、金属材料１０１の消費に対し、適宜、電磁バルブ１４３を開放し金属材料１０１を補充する。これにより、金属球形成装置１００は金属球の形成を停止することなく継続的に行うことが出来る。このときもまた、信号電圧の制御、ならびに供給室圧力の制御を行うことができる。これは、それぞれの動作の時定数が、信号電圧の変化は１０００分の１秒程度、圧力の変化は１秒から１０秒程度、金属材料の液位変化は数１０秒以上となっていることから、相互に干渉し、動作に影響を及ぼすことがないためである。
【００５６】
このことは、信号電圧の制御、および供給室圧力の制御、金属材料液位の制御、を同時に実行することが可能であることを示す。このことは、実際の金属球製造においては、単独の因子を大きく変化させる事態を回避することが出来ることになり、非常に有用である。
【００５７】
以上のように、本発明においては、圧電素子１１３への印加電圧、供給室１３１内の圧力および金属材料１０１の液位を統合して制御することで、任意の球径設定と球径維持そして連続的な製造を実現することが可能となる。
【００５８】
＜なお＞
上記では、信号電圧制御と液面（液位）制御、圧力制御であったが、信号電圧制御と液面（液位）制御との２つでもよい。図４Ａ〜図４Ｃのグラフを比較して、広範囲な制御が可能な液面制御と、最も精密に制御が可能な電圧制御とで、信号圧力制御を包含することが出来る。
【００５９】
また、圧力制御に関しては、信号電圧制御、液面制御より、精度よく制御が難しい。よって、信号電圧制御と液面（液位）制御との２つでもよい。
【００６０】
また、制御装置１６１は、上記例では１つであるが、複数の制御装置に分けてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
以上のように、本発明によれば、金属材料を溶融し吐出させて、金属球を形成するに当たり、その体積を安定的に製造することが可能となった。特に、高い直径精度で連続的に製造を行うことができる。
【符号の説明】
【００６２】
１００  金属球形成装置
１０１  金属材料
１０２  金属材料
１０３  金属材料
１０４  金属球
１０９  固定具
１１１  ノズル
１１２  ピストン
１１３  圧電素子
１１４  ブラケット
１１５  外部電源
１１６  変位
１２１  圧力室
１２２  隙間
１３１  供給室
１３２  加熱機構
１３３  液面センサー
１３４  吸排気管
１３５  電空レギュレータ
１３６  隔壁
１３７  窓部
１４１  準備室
１４２  加熱機構
１４３  電磁バルブ
１５１  吐出観察装置
１６１  制御装置
【図１】
2017052982.tif 000003
【図２Ａ】
2017052982.tif 000004
【図２Ｂ】
2017052982.tif 000005
【図２Ｃ】
2017052982.tif 000006
【図２Ｄ】
2017052982.tif 000007
【図３】
2017052982.tif 000008
【図４Ａ】
2017052982.tif 000009
【図４Ｂ】
2017052982.tif 000010
【図４Ｃ】
2017052982.tif 000011