(57)【要約】【課題】フォーカスの演算ステップが複雑過ぎる従来技術の問題点を改善する動的オートフォーカスシステムを提供する。【解決手段】動的オートフォーカスシステム１００は、撮像装置２１、駆動装置２２及び焦点距離調整モジュール２３を備える。撮像装置２１は、ターゲット領域へ向けられてワークＰを撮影してワークＰの画像をキャプチャする。駆動装置２２は、撮像装置２１とワークＰとの間の間隔を調整する。焦点距離調整モジュール２３は、撮像装置２１及び駆動装置２２に接続され、ワークＰの画像中の図形的特徴と所定の図形的特徴とに基づいて制御信号を生成して駆動装置２２Ｐへ送信し、駆動装置２２により撮像装置２１の位置が調整される。ワークＰに正圧を供給し、ワークＰを上方で浮上させるエア浮上プラットフォーム１０をさらに備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像装置、駆動装置及び焦点距離調整モジュールを備えた動的オートフォーカスシステムであって、
前記撮像装置は、ターゲット領域にあったワークの画像をキャプチャし、
前記駆動装置は、前記撮像装置と前記ワークとの間の間隔を調整し、
前記焦点距離調整モジュールは、前記撮像装置及び前記駆動装置に接続され、前記ワークの画像中の図形的特徴と所定の図形的特徴とに基づいて制御信号を生成して前記駆動装置へ送信し、前記駆動装置により前記撮像装置の位置が調整されることを特徴とする動的オートフォーカスシステム。
【請求項２】
前記ワークに正圧を供給し、前記ワークを上方に浮上させるエア浮上プラットフォームと、前記ワーク上又は前記ワーク近傍に前記図形的特徴を投射する光学式投影機と、をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の動的オートフォーカスシステム。
【請求項３】
前記焦点距離調整モジュールは、前記図形的特徴と前記所定の図形的特徴との比率に基づき、前記撮像装置と正確な焦点距離位置との間の距離パラメータを算出し、前記距離パラメータに基づいて前記駆動装置が制御されて前記撮像装置が前記正確な焦点距離位置へ移動されることを特徴とする請求項１又は２に記載の動的オートフォーカスシステム。
【請求項４】
前記撮像装置と前記ターゲット領域との間に配設されて同軸照明を有する光源モジュールをさらに備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の動的オートフォーカスシステム。
【請求項５】
前記光源モジュールは、前記撮像装置の一側に配設された照明ユニットと、前記撮像装置と前記ターゲット領域との間に配設されて前記照明ユニットの光線を前記ターゲット領域へ反射させて同軸光を生成する分光器と、を有することを特徴とする請求項４に記載の動的オートフォーカスシステム。
【請求項６】
第１の撮像装置、第２の撮像装置、駆動装置及び焦点距離調整モジュールを備えた動的オートフォーカスシステムであって、
前記第１の撮像装置は、ターゲット領域にあったワークの画像を獲得し、
前記第２の撮像装置は、前記ワーク上又は前記ワーク近傍の図形的特徴を獲得し、
前記駆動装置は、前記第１の撮像装置と前記ワークとの間の間隔を調整し、
前記焦点距離調整モジュールは、前記第２の撮像装置及び前記駆動装置に接続され、前記ワークの画像中の図形的特徴と所定の図形的特徴とに基づいて制御信号を生成して前記駆動装置へ送信し、前記駆動装置により前記第１の撮像装置の位置が調整されることを特徴とする動的オートフォーカスシステム。
【請求項７】
前記ワークに正圧を供給し、前記ワークを上方に浮上させるエア浮上プラットフォームと、前記ワーク上又は前記ワーク近傍に前記図形的特徴を投射する光学式投影機と、をさらに備えることを特徴とする請求項６に記載の動的オートフォーカスシステム。
【請求項８】
前記焦点距離調整モジュールは、前記図形的特徴と前記所定の図形的特徴との比率に基づき、前記第１の撮像装置と正確な焦点距離位置との間の距離パラメータを算出し、前記距離パラメータに基づいて前記駆動装置が制御されて前記第１の撮像装置が前記正確な焦点距離位置へ移動されることを特徴とする請求項６又は７に記載の動的オートフォーカスシステム。
【請求項９】
前記第１の撮像装置と前記ターゲット領域との間に配設されて同軸照明を有する光源モジュールをさらに備えることを特徴とする請求項６又は７に記載の動的オートフォーカスシステム。
【請求項１０】
前記光源モジュールは、前記第１の撮像装置の一側に配設された照明ユニットと、前記第１の撮像装置と前記ターゲット領域との間に配設されて前記照明ユニットの光線を前記ターゲット領域へ反射させて同軸光を生成する分光器と、を有することを特徴とする請求項９に記載の動的オートフォーカスシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、動的オートフォーカスシステム（ｄｙｎａｍｉｃ  ａｕｔｏｍａｔｉｃ  ｆｏｃｕｓ  ｔｒａｃｋｉｎｇ  ｓｙｓｔｅｍ）に関し、特に、エア浮上プラットフォームに用いるオートフォーカスシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
精密検査は、精度が高くて誤り率が低くなければならない製品に対して行われ、一般に自動制御された生産ラインの工程に組み込んだり、サプライチェーンの末端で行ったりし、製造された完成品に対して表面の汚損、摩損、銅露出（ｃｏｐｐｅｒ  ｅｘｐｏｓｕｒｅ）などの欠陥の有無を検査する。精密検査は、光学装置（例えば、ラインセンサカメラ、エリアセンサカメラなど）により行われ、光学装置によりワークの表面を撮影した後、コンピュータの画像処理技術により異物又はパターンの異常などの欠陥を検出する。
【０００３】
精密ワーク（例えばパネル）を検査する際、ワークが搬送過程でベルトコンベアにより掻き傷又は汚損が生じて欠陥が発生することを防ぐために、一部の精密ワークには、エア浮上プラットフォームを利用してワークに正圧を供給し、ワークを浮上させて下方の平面部に触れないようにする。例えば、搬送過程でワークを検査する場合、エア浮上作用によりワークをプラットフォーム上方に浮上させる。しかし、浮上する高さは所定範囲内（例えば３００μｍ）にあり、カメラの被写界深度が僅か３５μｍしかないのが一般的である。そのため、被写界深度の範囲内に被測定物を正確に制御するために、エア浮上プラットフォームと組み合わせ、スピーディーかつ高性能なフォーカスシステムが求められていた。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、フォーカスの演算ステップが複雑過ぎる従来技術の問題点を改善する動的オートフォーカスシステムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明の第１の形態によれば、撮像装置、駆動装置及び焦点距離調整モジュールを備えた動的オートフォーカスシステムであって、
前記撮像装置は、ターゲット領域にあったワークの画像をキャプチャし、
前記駆動装置は、前記撮像装置と前記ワークとの間の間隔を調整し、
前記焦点距離調整モジュールは、前記撮像装置及び前記駆動装置に接続され、前記ワークの画像中の図形的特徴と所定の図形的特徴とに基づいて制御信号を生成して前記駆動装置へ送信し、前記駆動装置により前記撮像装置の位置が調整されることを特徴とする動的オートフォーカスシステムが提供される。
【０００６】
前記ワークに正圧を供給し、前記ワークを上方に浮上させるエア浮上プラットフォームをさらに備えることが好ましい。
【０００７】
前記ワーク上又は前記ワーク近傍に前記図形的特徴を投射する光学式投影機をさらに備えることが好ましい。
【０００８】
前記焦点距離調整モジュールは、前記図形的特徴と前記所定の図形的特徴との比率に基づき、前記撮像装置と正確な焦点距離位置との間の距離パラメータを算出し、前記距離パラメータに基づいて前記駆動装置が制御されて前記撮像装置が前記正確な焦点距離位置へ移動されることが好ましい。焦点距離位置とは、焦点が合う（フォーカスする）状態における前記撮像装置の位置を言う。
【０００９】
前記撮像装置と前記ターゲット領域との間に配設されて同軸照明を有する光源モジュールをさらに備えることが好ましい。
【００１０】
前記光源モジュールは、前記撮像装置の一側に配設された照明ユニットと、前記撮像装置と前記ターゲット領域との間に配設されて前記照明ユニットの光線を前記ターゲット領域へ反射させて同軸光を生成する分光器と、を有することが好ましい。
【００１１】
上記課題を解決するために、本発明の第２の形態によれば、第１の撮像装置、第２の撮像装置、駆動装置及び焦点距離調整モジュールを備えた動的オートフォーカスシステムであって、
前記第１の撮像装置は、ターゲット領域にあったワークの画像を獲得し、
前記第２の撮像装置は、前記ワーク上又は前記ワーク近傍の図形的特徴を獲得し、
前記駆動装置は、前記撮像装置と前記ワークとの間の間隔を調整し、
前記焦点距離調整モジュールは、前記第２の撮像装置及び前記駆動装置に接続され、前記ワークの画像中の図形的特徴と所定の図形的特徴とに基づいて制御信号を生成して前記駆動装置へ送信し、前記駆動装置により前記撮像装置の位置が調整されることを特徴とする動的オートフォーカスシステムが提供される。
【００１２】
前記ワークに正圧を供給し、前記ワークを上方に浮上させるエア浮上プラットフォームをさらに備えることが好ましい。
【００１３】
前記ワーク上又は前記ワーク近傍に前記図形的特徴を投射する光学式投影機をさらに備えることが好ましい。
【００１４】
前記焦点距離調整モジュールは、前記図形的特徴と前記所定の図形的特徴との比率に基づき、前記第１の撮像装置と正確な焦点距離位置との間の距離パラメータを算出し、前記距離パラメータに基づいて前記駆動装置が制御されて前記第１の撮像装置が前記正確な焦点距離位置へ移動されることが好ましい。
【００１５】
前記第１の撮像装置と前記ターゲット領域との間に配設されて同軸照明を有する光源モジュールをさらに備えることが好ましい。
【００１６】
前記光源モジュールは、前記第１の撮像装置の一側に配設された照明ユニットと、前記第１の撮像装置と前記ターゲット領域との間に配設されて前記照明ユニットの光線を前記ターゲット領域へ反射させて同軸光を生成する分光器と、を有することが好ましい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の動的オートフォーカスシステムは、以下（１）及び（２）の効果を有する。
（１）演算のフローが簡素で、速やかに撮像装置を正確な焦点距離位置に調整してワークに対して動的オートフォーカスし続け、撮影した画像を鮮明に表示する。
（２）所定の図形的特徴（ｆｉｇｕｒｅ  ｆｅａｔｕｒｅ）のサイズに基づいて焦点距離を調整することにより、解析度の判断の差異により各画像のサイズがばらついて誤差が生じてしまうことを防ぐ。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は、本発明の第１実施形態に係る動的オートフォーカスシステムを示す模式図である。
【図２】図２は、本発明の第１実施形態に係る動的オートフォーカスシステムの動作を説明する図である。
【図３】図３は、本発明の第２実施形態に係る動的オートフォーカスシステムを示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明するが、本発明はこれらの態様に限定されるものではない。なお、説明の便宜上、図面の比率は実際のものとは必ずしも一致しておらず、図面及び図面の比率は本発明を限定するものではない。
【００２０】
本発明の動的オートフォーカスシステムは、光学的自動検査（Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｉｎｓｐｅｃｔｉｏｎ：ＡＯＩ）装置に利用され、撮像装置（ＣＣＤ、ＣＭＯＳカメラ）により半導体、チップなどのＭＥＭＳ部品（ＭＥＭＳ  ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ）又はパネル、ウェーハその他類似したワークに対して精密検査を行う。以下、図面を参照しながら、本発明の動的オートフォーカスシステムについて詳細に説明する。
【００２１】
（第１実施形態）
図１を参照する。図１は、本発明の第１実施形態に係る動的オートフォーカスシステムを示す模式図である。図１に示すように、本発明の第１実施形態に係る動的オートフォーカスシステムのオートフォーカスシステム１００は、ワークＰを載置するエア浮上プラットフォーム１０と、エア浮上プラットフォーム１０の一側に配設されてターゲット領域を含む撮像装置２１と、撮像装置２１の一側に配設された駆動装置２２と、撮像装置２１及び駆動装置２２に接続された焦点距離調整モジュール２３と、撮像装置２１とターゲット領域との間に配設されて同軸照明を有する光源モジュール３０と、を含む。
【００２２】
上述したエア浮上プラットフォーム１０がワークＰに正圧を供給すると、エア浮上プラットフォーム１０の上方にワークＰが浮上する。エア浮上プラットフォーム１０の一側には、エアポンプ（図示せず）が配設され、エア浮上プラットフォーム１０の表面上の複数のノズル１１に対して正圧を供給し、ノズル１１が外方へ吹気すると、下から上方向への気圧によりエア浮上プラットフォーム１０の上方にワークＰが浮上する。第１実施形態において、上述したエア浮上プラットフォーム１０は、治具を介してワークＰの縁部を固定するとともにワークＰを水平移動させて搬送する。他の実施形態では、ノズル１１の方向を調整してワークＰに水平分力を受けさせ、水平分力によりワークＰを前進させてもよく、本発明は上述した実施形態のみに限定されるわけではない。
【００２３】
上述した撮像装置２１は、ワークＰを合理的なフォーカス範囲内に制御することができるようにワークＰの移動に伴って上下移動する。撮像装置２１は、電荷結合素子（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ：ＣＣＤ）、相補型ＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  Ｍｅｔａｌ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ：ＣＭＯＳ）その他類似する撮像装置でもよく、本発明はこれらだけに限定されない。
【００２４】
上述した駆動装置２２は、撮像装置２１に接続され、撮像装置２１の高さを調整し、撮像装置２１とワークＰとの間の間隔を制御する。第１実施形態において、駆動装置２２は、サーボモータによりリードスクリューを回転させ、撮像装置２１、光源モジュール３０、光学式投影機４０が載置されたプラットフォームを上下方向へ変位させるものであり、サーボモータの誤差が非常に小さいため、ワークＰの位置に応じて撮像装置２１の高さを上下方向で精密に調整できる。
【００２５】
上述した焦点距離調整モジュール２３は、撮像装置２１によりワークＰの画像を得て、ワークＰの画像中で所定の図形的特徴Ｑをロックし、駆動装置２２により撮像装置２１の位置を調整し、図形的特徴Ｑの大きさが所定の図形的特徴の大きさに合致するようにリアルタイムでオートフォーカスを行う。焦点距離調整モジュール２３の詳細な演算のフローについては、後で詳しく説明する。
【００２６】
本発明で述べる図形的特徴Ｑとは、ワークＰ自身が有する模様、パターン、電極形状でもよいし、レーザその他光学的手段により画像をワークＰ上又はワークＰ近傍に投影したものを、焦点距離調整モジュール２３がフォーカスする際の参考図形として使用してもよい。好ましい実施形態では光学式投影機４０を利用して、上述した図形的特徴ＱをワークＰ上又はワークＰ近傍へ投射させる。
【００２７】
上述した光源モジュール３０は、撮像装置２１とターゲット領域との間に配設されてワークＰへ光を照射するために用いる。光源モジュール３０は、撮像装置２１の一側に配設された照明ユニット３１と、撮像装置２１とターゲット領域との間に配設されて照明ユニット３１の光線をエア浮上プラットフォーム１０上へ反射させて同軸照明を生成する分光器（ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｅ）３２と、を含む。上述した分光器３２は、４５度で傾き、照明ユニット３１から出射された光の一部を下方へ９０度折り曲げてワークＰを照射させ、一方、ワークＰの画像が分光器３２を透過して撮像装置２１へ伝送されて撮像装置２１が撮影する。好ましい実施形態では、光源モジュール３０は、分光器３２と照明ユニット３１との間に配設された拡散シート３３を含む。拡散シート３３は、照明ユニット３１から照射される光を均一にして輝帯、暗帯の発生を防ぐ。
【００２８】
以下、焦点距離調整モジュール２３の詳細な演算方法について説明する。
図２に示すように、初期設定のとき、上述した焦点距離調整モジュール２３は、予め定められた方式（例えば、手作業又は画像補正の方式）により、検査するワークＰに対して初期撮影を行い、ワークＰの画像中から必要な図形的特徴Ｑ（例えば、ワークＰ表面上のパターン、模様その他光学的に投影した図形）をキャプチャし、図形的特徴Ｑ及び図形的特徴Ｑに関係するパラメータ（例えば、半径、長さ、面積など）を記憶ユニットに記録して参考パラメータとして用い、初期設定を完了する。
【００２９】
実際にオートフォーカスする際、撮像装置２１は、ワークＰの画像をキャプチャし、ワークＰの画像中で、上述した所定の図形的特徴をロックし、撮像装置２１の位置（高さ）を調整して所定の図形的特徴を所定のサイズに合致するようにオートフォーカスする。
【００３０】
好ましい実施形態において、焦点距離調整モジュール２３は、リアルタイムで図形的特徴Ｑの面積サイズを演算し、撮像装置２１を正確な焦点距離へ移動させる。撮像装置２１は、画像中から所定の図形的特徴を探し出し、図形的特徴Ｑをキャプチャする。キャプチャした図形的特徴Ｑに対して、リアルタイムで演算してサイズ（半径、長さ、面積など）を分析し、予め記憶したパラメータと比べて図形的特徴Ｑのサイズが小さい場合、焦点距離調整モジュール２３による制御で撮像装置２１を下方へ移動させ、撮像装置２１の焦点を下方へ移動させる。反対に、予め記憶したパラメータと比べて図形的特徴Ｑのサイズが大きい場合、焦点距離調整モジュール２３による制御で撮像装置２１を上方へ移動させ、撮像装置２１の焦点を上方へ移動させる。移動の同時に、リアルタイムで図形的特徴Ｑの面積サイズを演算し、所定の焦点距離位置に撮像装置２１がすでに達したか否かを分析し、リアルタイムで動的オートフォーカスシステムの機能を得る。
【００３１】
他の好ましい実施形態では、焦点距離調整モジュール２３は、図形的特徴Ｑと所定の図形的特徴との比率に基づき、正確な焦点距離位置との間の距離パラメータを計算し、距離パラメータに基づいて駆動装置２２を制御して撮像装置２１を当該正確な焦点距離位置へ移動させる。
【００３２】
図２に示すように、撮像装置２１の焦点がワークＰ上の図形的特徴Ｑに合ってフォーカスされると、所定の図形的特徴のサイズと同じ光学的標記パターン（ｏｐｔｉｃａｌ  ｍａｒｋ  ｐａｔｔｅｒｎ）が生成される。しかし、撮像装置２１がデフォーカスされた状況では、光学式投影機４０は、図形的特徴ＱをワークＰのフォーカス面上に投影できず、もう一つのデフォーカスパターンを生成する。仮に所定の図形的特徴の直径がｘであり、撮影した図形的特徴Ｑは、演算法により得た直径がｙであるとする。フォーカスのパターンとデフォーカスのパターンとの間の図形的特徴の直径は線性関係にあるため、係数によりフォーカス面とのワーキング・ディスタンスの差異に変換でき、Ｃを、ワーキング・ディスタンスと図形的特徴の直径との間の線性係数とすると、この係数は、同一のオートフォーカスシステム（同じ環境条件）下で一定であり、実際に測定して得ることができるため、移動しなければならない正確な焦点距離位置との間の距離Δfは次式（１）で表すことができる。
【００３３】
Δf＝Ｃ（ｘ−ｙ）・・・・式（１）
【００３４】
算出する距離Δfの値が正のとき、撮像装置２１が下向きに移動すべき距離を表し、それによって画像を拡大して正確な焦点距離位置へ移動される。算出する距離Δfの値が負のとき、撮像装置２１が上向きに移動すべき距離を表し、それによって画像を縮小して正確な焦点距離位置へ移動される。
【００３５】
上述の方式により撮像装置２１を焦点距離位置へ速やかに移動させ、リアルタイムでフォーカスする。
【００３６】
（第２実施形態）
以下、本発明の第２実施形態について説明するが、第２実施形態は、撮像装置が２組に分けられ、そのうち一方の組は、ワークの欠陥を検出するために用い、他方の組は、ワークの間隔を算出するために用いる点において第１実施形態と異なるが、他の部分は第１実施形態と同じであるためここでは詳説しない。
【００３７】
図３を参照する。図３は、本発明の第２実施形態に係る動的オートフォーカスシステムを示す模式図である。図３に示すように、本発明の第２実施形態に係る動的オートフォーカスシステムのオートフォーカスシステム２００は、ターゲット領域にあったワークＰの画像をキャプチャする第１の撮像装置５１と、ワークＰ上又はワークＰ近傍の図形的特徴Ｑをキャプチャする第２の撮像装置５２と、第１の撮像装置５１とワークＰとの間の間隔を調整する駆動装置５３と、駆動装置５３及び第２の撮像装置５２に接続された焦点距離調整モジュール５４と、を含む。焦点距離調整モジュール５４は、ワークＰの画像中の所定の図形的特徴に基づき、制御信号を生成して駆動装置５３へ送信し、駆動装置５３により第１の撮像装置５１の位置を調整する。
【００３８】
第２実施形態において、上述した第１の撮像装置５１及び第２の撮像装置５２は、同一のプラットフォーム上に固定され、焦点距離調整モジュール５４により制御されてリードスクリューを介して移動される。ワークＰの光路は、分光器５５を介して第１の撮像装置５１及び第２の撮像装置５２へ至る。光源モジュール６０は、分光器５５の下方へ配設され、光学式投影機４０は、エア浮上プラットフォーム１０の一側に配設される。光源モジュール６０及び光学式投影機４０は、第１の撮像装置５１及び第２の撮像装置５２に伴って上下移動し（例えば、同一のプラットフォーム上に配設される）、光源モジュール６０、光学式投影機４０、第１の撮像装置５１、第２の撮像装置５２間の間隔が一定に維持され、撮影した各画像の明るさ及び鮮明度が一定に維持される。実際にフォーカスする際、第２の撮像装置５２が、光学式投影機４０により形成したワーク上の図形的特徴Ｑをリアルタイムで検出して算出してフォーカス値（差値）を得ると、このフォーカス値に基づいてモータを制御し、フォーカス値が所定の値になるまで第１の撮像装置５１、第２の撮像装置５２、光源モジュール６０及び光学式投影機４０を移動させる。
【００３９】
他の実施形態において上述した第２の撮像装置５２は、第１の撮像装置５１とは異なるプラットフォーム上に配設されてもよく、第１の撮像装置５１は移動可能であり、第２の撮像装置５２は位置が固定されていてもよい。分光器５５は、第１の撮像装置５１と第２の撮像装置５２との間に配設される。第１の撮像装置５１は、分光器５５の光路に沿って移動して、焦点距離位置へ調整される。光源モジュール６０及び光学式投影機４０は、第１の撮像装置５１に伴って上下移動し（例えば、同一のプラットフォーム上に配設）、撮影した各画像の明るさ及び鮮明度を均一に維持することができる。上述した第２の撮像装置５２は、図形的特徴Ｑを所定のサイズと比べ、フォーカス値（差値）を算出して焦点距離調整モジュール５４へ送る。焦点距離調整モジュール５４は、フォーカス値に基づいて第１の撮像装置５１、光源モジュール６０及び光学式投影機４０の位置を、フォーカス値が所定の値になるまで制御し、動的オートフォーカスシステムの機能を得る。
【００４０】
上述したことから分かるように、本発明の動的オートフォーカスシステムは、演算のフローが簡素で、撮像装置を速やかに正確な焦点距離位置に調整してワークに対して動的オートフォーカスを行い続け、撮影した画像を鮮明に表示することができる上、所定の図形的特徴のサイズにより焦点距離を調整することにより、解析度の判断の違いにより各画像の寸法がばらついて誤差が生じることを防ぐ。
【００４１】
当該分野の技術を熟知するものが理解できるように、本発明の好適な実施形態を前述の通り開示したが、これらは決して本発明を限定するものではない。本発明の主旨と領域を逸脱しない範囲内で各種の変更や修正を加えることができる。従って、本発明の特許請求の範囲は、このような変更や修正を含めて広く解釈されるべきである。
【符号の説明】
【００４２】
１０  エア浮上プラットフォーム
１１  ノズル
２１  撮像装置
２２  駆動装置
２３  焦点距離調整モジュール
３０  光源モジュール
３１  照明ユニット
３２  分光器
３３  拡散シート
４０  光学式投影機
５１  第１の撮像装置
５２  第２の撮像装置
５３  駆動装置
５４  焦点距離調整モジュール
５５  分光器
６０  光源モジュール
１００  オートフォーカスシステム
２００  オートフォーカスシステム
Ｐ  ワーク
Ｑ  図形的特徴
【図１】
2017107201.tif 000003
【図２】
2017107201.tif 000004
【図３】
2017107201.tif 000005