(57)【要約】【課題】隣接する電極板間での電界強度の低下を防止することにより、プラズマを確実に発生させることができるプラズマ反応器を提供すること。【解決手段】本発明のプラズマ反応器は、誘電体２３に電極２４を内蔵してなる電極板２０を、互いに隙間を有するように積層配置することにより構成され、隣接する電極板２０間に電圧が印加されたときにプラズマを発生する。電極２４には、電極２４の厚さ方向に貫通する複数の貫通孔３３が設けられる。誘電体２３は、電極２４の外表面に沿うようにして電極２４を覆っており、主面２１及び裏面２２に凹凸５１，６１を有している。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
主面及び裏面を有する板状の誘電体に電極を内蔵してなる複数の電極板が、互いに隙間を有するように積層配置され、隣接する前記電極板間に電圧が印加されたときにプラズマを発生するプラズマ反応器であって、
前記電極に、同電極の厚さ方向に貫通する複数の貫通孔が設けられ、
前記誘電体は、前記電極の外表面に沿うようにして前記電極を覆っており、前記主面及び前記裏面に凹凸を有している
ことを特徴とするプラズマ反応器。
【請求項２】
前記電極板は、前記誘電体に１層の前記電極を内蔵してなることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ反応器。
【請求項３】
前記電極の前記主面側の表面または前記電極の前記裏面側の表面を覆う前記誘電体の厚さは、１μｍ以上５０００μｍ以下であることを特徴とする請求項１または２に記載のプラズマ反応器。
【請求項４】
前記電極板を厚さ方向から見たときに、前記誘電体において前記凹凸を構成する凸部を有する領域には、前記電極が位置していることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のプラズマ反応器。
【請求項５】
前記誘電体において前記凹凸を有する領域は、断面波形状をなしていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のプラズマ反応器。
【請求項６】
前記誘電体の前記主面に生じた前記凹凸を構成する凹部の深さは、前記誘電体の前記裏面に生じた前記凹凸を構成する凹部の深さよりも大きいことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のプラズマ反応器。
【請求項７】
前記電極は、第１方向に延びる複数の第１線部と、前記第１方向に交差する第２方向に延びる複数の第２線部と、によって構成された前記複数の貫通孔を有していることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のプラズマ反応器。
【請求項８】
主面及び裏面を有する板状の誘電体と、
前記誘電体に内蔵され、電圧の印加によってプラズマを発生させるための電極と
を備えるプラズマ電極板であって、
前記電極に、同電極の厚さ方向に貫通する複数の貫通孔が設けられ、
前記誘電体は、前記電極の外表面に沿うようにして前記電極を覆っており、前記主面及び前記裏面に凹凸を有している
ことを特徴とするプラズマ電極板。
【請求項９】
前記誘電体に１層の前記電極を内蔵してなることを特徴とする請求項８に記載のプラズマ電極板。
【請求項１０】
前記電極の前記主面側の表面または前記電極の前記裏面側の表面を覆う前記誘電体の厚さは、１μｍ以上５０００μｍ以下であることを特徴とする請求項８または９に記載のプラズマ電極板。
【請求項１１】
厚さ方向から見たときに、前記誘電体において前記凹凸を構成する凸部を有する領域には、前記電極が位置していることを特徴とする請求項８乃至１０のいずれか１項に記載のプラズマ電極板。
【請求項１２】
前記誘電体において前記凹凸を有する領域は、断面波形状をなしていることを特徴とする請求項８乃至１１のいずれか１項に記載のプラズマ電極板。
【請求項１３】
前記誘電体の前記主面に生じた前記凹凸を構成する凹部の深さは、前記誘電体の前記裏面に生じた前記凹凸を構成する凹部の深さよりも大きいことを特徴とする請求項８乃至１２のいずれか１項に記載のプラズマ電極板。
【請求項１４】
前記電極は、第１方向に延びる複数の第１線部と、前記第１方向に交差する第２方向に延びる複数の第２線部と、によって構成された前記複数の貫通孔を有していることを特徴とする請求項８乃至１３のいずれか１項に記載のプラズマ電極板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内燃機関（エンジン）の排ガスを浄化するための装置に好適なプラズマ反応器、及び、電圧の印加によってプラズマを発生させることが可能なプラズマ電極板に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、エンジンや焼却炉の排ガスをプラズマ場に通すことにより、排ガス中に含まれているＣＯ（一酸化炭素）、ＨＣ（炭化水素）、ＮＯｘ（窒素酸化物）及びＰＭ（Particulate Matter：粒子状物質）などの有害物質を処理するプラズマ反応器が提案されている。
【０００３】
例えば、電極を内蔵してなる複数の誘電体を、互いに隙間を有するように離間して配置し、隣接する電極間に電圧を印加して誘電体バリア放電によるプラズマを発生させることにより、電極間を流れる排ガス中のＰＭを酸化して除去するプラズマ反応器が種々提案されている（例えば、特許文献１参照）。詳述すると、特許文献１には、板状をなす複数の単位電極（電極板）を備え、隣接する単位電極間に電圧を印加することによってプラズマを発生させる技術が開示されている。このプラズマ反応器は、少なくとも１つの単位電極が、表面に複数の凹溝が形成された板状のセラミック誘電体と、セラミック誘電体に内蔵された導電膜（電極）とを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】ＷＯ２００５／０５５６７８号公報（図１等）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、一般的なプラズマ反応器では、隣接する電極板間において電界強度が高い部位が局所的に発生し、発生した電界強度が高い部位から放電が生じるようになっている。しかしながら、特許文献１に記載の従来技術では、誘電体に内蔵されている電極が孔を有しない板状をなしているため、隣接する電極板間に生じる電界が平均化されてしまい、電界強度が全体的に低くなる。その結果、放電が生じにくくなるため、放電によってプラズマを確実に発生させることができず、排ガスの浄化効率が低いという問題がある。
【０００６】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、隣接する電極板間での電界強度の低下を防止することにより、プラズマを確実に発生させることができるプラズマ反応器及びプラズマ電極板を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための手段（手段１）としては、主面及び裏面を有する板状の誘電体に電極を内蔵してなる複数の電極板が、互いに隙間を有するように積層配置され、隣接する前記電極板間に電圧が印加されたときにプラズマを発生するプラズマ反応器であって、前記電極に、同電極の厚さ方向に貫通する複数の貫通孔が設けられ、前記誘電体は、前記電極の外表面に沿うようにして前記電極を覆っており、前記主面及び前記裏面に凹凸を有していることを特徴とするプラズマ反応器がある。
【０００８】
従って、上記手段１に記載の発明によると、誘電体に内蔵されている電極に複数の貫通孔が設けられているため、隣接する電極板間において、貫通孔の開口縁に電界が集中し、電界強度が局所的に高くなる。しかも、誘電体は、電極の外表面に沿う（即ち、追従する）ようにして電極を覆っており、主面及び裏面に凹凸を有している。この場合、隣接する誘電体の凸部との距離が小さいために電界強度が高くなる傾向にある凸部に対して電界が集中するため、電界強度がよりいっそう高くなる。その結果、放電が生じやすくなることから、放電によってプラズマを確実に発生させることができる。ゆえに、隣接する電極板間を流れる排ガス中のＰＭをプラズマを用いて酸化して除去する場合に、ＰＭの除去を効率良く行うことができる。また、放電を確実に行うために供給電力を大きくして電界強度を高くしなくても済むため、放電に必要な電力コストを低減させることができる。
【０００９】
上記プラズマ反応器を構成する電極板は、板状の誘電体に電極を内蔵してなる。ここで、誘電体の形成材料としては、例えば、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、酸化イットリウム（Ｙ２Ｏ３）等のセラミックやそれらの混合物を挙げることができる。また、電極の形成材料としては、例えば、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、酸化ルテニウム（ＲｕＯ２）、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、白金（Ｐｔ）などを挙げることができる。
【００１０】
なお、誘電体に内蔵される電極の層数は特に限定されない。しかしながら、誘電体に複数層の電極を内蔵すると、電極板、ひいてはプラズマ反応器全体が重くなるため、電極板は、誘電体に１層の電極を内蔵してなるものであることがよい。
【００１１】
また、電極は、第１方向に延びる複数の第１線部と、第１方向に交差する第２方向に延びる複数の第２線部と、によって構成された複数の貫通孔を有していてもよい。このようにすれば、開口縁に電界が集中する貫通孔を容易に形成できるため、プラズマを効率良く発生させることができる。
【００１２】
さらに、電極の主面側の表面または電極の裏面側の表面を覆う誘電体の厚さは、１μｍ以上５０００μｍ以下であることがよく、特には、３μｍ以上３０００μｍ以下であることがよく、さらには、３０μｍ以上１０００μｍ以下であることがよい。仮に、誘電体の厚さが１μｍ未満になると、電極の酸化を抑制することができなくなる。一方、誘電体の厚さが５０００μｍよりも大きくなると、プラズマを効率的に発生させることができなくなる。
【００１３】
また、電極板を厚さ方向から見たときに、誘電体において凹凸を構成する凸部を有する領域には、電極が位置していることがよい。このようにすれば、電極の主面側の表面または電極の裏面側の表面を覆う誘電体の厚さを上記した適切な厚さ（具体的には、１μｍ以上５０００μｍ以下）に設定することができる。ゆえに、電極の酸化を誘電体によって確実に抑制できるとともに、プラズマを効率的に発生させることができる。
【００１４】
また、誘電体において凹凸を有する領域は、断面波形状をなしていることがよい。このようにすれば、誘電体の厚さを均一に薄くすることができるため、放電が良好となり、プラズマをよりいっそう効率的に発生させることができる。
【００１５】
なお、誘電体の主面に生じた凹凸を構成する凹部の深さは、誘電体の裏面に生じた凹凸を構成する凹部の深さよりも大きくてもよい。このようにすれば、例えば２枚の電極板を互いに隙間を有するように重ねて配置した場合に、一方の電極板の主面に生じた凸部と他方の電極板の裏面に生じた凸部との間の電界強度を大きくすることができる。その結果、放電が生じやすくなる。
【００１６】
上記課題を解決するための別の手段（手段２）としては、主面及び裏面を有する板状の誘電体と、前記誘電体に内蔵され、電圧の印加によってプラズマを発生させるための電極とを備えるプラズマ電極板であって、前記電極に、同電極の厚さ方向に貫通する複数の貫通孔が設けられ、前記誘電体は、前記電極の外表面に沿うようにして前記電極を覆っており、前記主面及び前記裏面に凹凸を有していることを特徴とするプラズマ電極板がある。
【００１７】
従って、上記手段２に記載の発明によると、誘電体に内蔵されている電極に複数の貫通孔が設けられているため、別のプラズマ電極板を隣接して配置した場合において、貫通孔の開口縁に電界が集中し、電界強度が局所的に高くなる。しかも、誘電体は、電極の外表面に沿う（即ち、追従する）ようにして電極を覆っており、主面及び裏面に凹凸を有している。この場合、別のプラズマ電極板が備える誘電体の凸部との距離が小さくなるために電界強度が高くなる傾向にある凸部に対して電界が集中するため、電界強度がよりいっそう高くなる。その結果、放電が生じやすくなることから、放電によってプラズマを確実に発生させることができる。ゆえに、別のプラズマ電極板との間を流れる排ガス中のＰＭをプラズマを用いて酸化して除去する場合に、ＰＭの除去を効率良く行うことができる。また、放電を確実に発生させるために供給電力を大きくして電界強度を高くしなくても済むため、放電に必要な電力コストを低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本実施形態におけるプラズマ反応器を示す概略断面図。
【図２】２枚の電極板が互いに離間して配置されている状態を示す概略斜視図。
【図３】電極を示す平面図。
【図４】図３のＡ−Ａ線断面図。
【図５】電極板の形成方法を示す概略断面図。
【図６】他の実施形態における電極を示す平面図。
【図７】他の実施形態における電極を示す平面図。
【図８】他の実施形態におけるプラズマ反応器を示す概略断面図。
【図９】他の実施形態におけるプラズマ反応器を示す概略断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明のプラズマ反応器１を具体化した一実施形態を図面に基づき詳細に説明する。
【００２０】
図１に示されるように、本実施形態のプラズマ反応器１は、自動車のエンジン（図示略）の排ガスに含まれているＰＭを除去する装置であり、排気管２に取り付けられている。プラズマ反応器１は、ケース３、電極板積層体４及び電源５を備えている。
【００２１】
ケース３は、例えばステンレス鋼を用いて形成されており、第１端部（図１では左端部）に排ガス流入口１１を有するとともに、第２端部（図１では右端部）に排ガス流出口１２を有する管状（筒状）をなしている。排ガス流入口１１は、排気管２の上流側部分６（エンジン側の部分）に接続され、排ガス流出口１２は、排気管２の下流側部分７（エンジン側とは反対側の部分）に接続されている。エンジンからの排ガスは、排気管２の上流側部分６から排ガス流入口１１を介してケース３内に流入し、ケース３内を通過した後、排ガス流出口１２を介して排気管２の下流側部分７に流出する。
【００２２】
図１，図２に示されるように、電極板積層体４は、ケース３内に配置されており、複数のプラズマ電極板２０（以下、「電極板２０」という）を備えている。各電極板２０は、ケース３内における排ガスの通過方向（排ガス流入口１１から排ガス流出口１２に向かう方向）と平行に配置されており、互いに隙間（本実施形態では、０．５ｍｍの隙間）を有するように積層配置されている。なお、本実施形態では、説明の便宜上、６枚の電極板２０を配置した構造を図示したが、実際にはさらに多くの電極板２０が存在している。
【００２３】
図１に示されるように、各電極板２０には、電極板積層体４の厚さ方向に沿って第１の配線２５及び第２の配線２６が交互に接続されている。第１の配線２５は、電源５の第１の端子に電気的に接続され、第２の配線２６は、電源５の第２の端子に電気的に接続されている。
【００２４】
図１〜図４に示されるように、各電極板２０は、主面２１及び裏面２２を有する矩形板状の誘電体２３に１層の電極２４を内蔵してなる構成を有している。誘電体２３はアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）等のセラミックからなり、電極２４はタングステン（Ｗ）等からなる。そして、誘電体２３からの電極２４の露出部分には、Ｎｉ等のめっきが施されている。
【００２５】
図４に示されるように、電極２４を構成する第１線部３１及び第２線部３２は、厚さ方向に沿って切断したときの断面形状が、主面２１側及び裏面２２側のそれぞれに凸となる形状をなしている。詳述すると、線部３１，３２の主面２１側の表面４１、及び、線部３１，３２の裏面２２側の表面４２は、湾曲面となっている。即ち、本実施形態の線部３１，３２の断面形状は、いわゆるどら焼き形状をなしている。なお、線部３１，３２全体の厚さｔ１は１０μｍとなっており、線部３１，３２の幅Ｗ１は３００μｍとなっている。また、線部３１，３２において、同線部３１，３２が最大幅となる部分に設定された基準線Ｂ１から主面２１側に凸となる部分の厚さｔ２は、７μｍとなっている。一方、線部３１，３２において、基準線Ｂ１から裏面２２側に凸となる部分の厚さｔ３は、３μｍとなっている。即ち、線部３１，３２において主面２１側に凸となる部分の厚さｔ２は、線部３１，３２において裏面２２側に凸となる部分の厚さｔ３よりも大きくなっている。
【００２６】
図２〜図４に示されるように、電極２４には、同電極２４の厚さ方向に貫通し、複数の第１線部３１と複数の第２線部３２とによって構成された複数の貫通孔３３が設けられている。詳述すると、電極２４では、各第１線部３１が、排ガスの通過方向と平行なＸ方向（第１方向）に沿ってそれぞれ直線的に延びており、Ｘ方向に直交（交差）するＹ方向（第２方向）において一定間隔を空けて設けられている。また、電極２４では、各第２線部３２が、Ｙ方向に沿ってそれぞれ直線状に延びており、Ｘ方向において一定間隔を空けて設けられている。このため、第１線部３１及び第２線部３２は、平面視で０．５ｍｍ角の正方形の格子状をなすようになる。これに伴い、第１線部３１と第２線部３２とによって構成された貫通孔３３も、平面視で正方形状（四角形状）をなすようになる。
【００２７】
また、誘電体２３は、電極２４の外表面に沿うようにして電極２４を覆っている。図４に示されるように、電極２４の主面２１側の表面４１を覆う誘電体２３の厚さＴ１の最大値は、１μｍ以上５０００μｍ以下（本実施形態では２２０μｍ）となっている。同様に、電極２４の裏面２２側の表面４２を覆う誘電体２３の厚さＴ２の最大値も、１μｍ以上５０００μｍ以下（本実施形態では２２０μｍ）となっている。なお、誘電体２３全体の厚さは、４４０μｍ（＝０．４４ｍｍ）となっている。
【００２８】
そして、誘電体２３は、主面２１に第１の凹凸５１を有するとともに、裏面２２に第２の凹凸６１を有している。よって、本実施形態では、誘電体２３において第１の凹凸５１を有する領域、及び、誘電体２３において第２の凹凸６１を有する領域の両方が、断面波形状をなしている。第１の凹凸５１は、複数の第１凹部５２及び複数の第１凸部５３によって構成され、第２の凹凸６１は、複数の第２凹部６２及び複数の第２凸部６３によって構成されている。そして、電極板２０を厚さ方向から見たときに、誘電体２３において凸部５３，６３を有する領域には、電極２４が位置している。
【００２９】
図４に示されるように、各第１凸部５３は、主面２１において等間隔に配置され、各第２凸部６３は、裏面２２において等間隔に配置されている。隣接する第１凸部５３の頂点Ｐ１間の距離Ｌ１は、０．２ｍｍ以上１０ｍｍ以下、より好ましくは、０．２ｍｍ以上５ｍｍ以下（本実施形態では、０．８ｍｍ）である。同様に、隣接する第２凸部６３の頂点Ｐ２間の距離Ｌ２も、０．２ｍｍ以上１０ｍｍ以下、より好ましくは、０．２ｍｍ以上５ｍｍ以下（本実施形態では、０．８ｍｍ）である。
【００３０】
また、各第１凹部５２は、主面２１において等間隔に配置され、各第２凹部６２は、裏面２２において等間隔に配置されている。第１凸部５３の頂点Ｐ１を基準とした第１凹部５２の深さＤ１の最大値は、２μｍ以上２０μｍ以下、より好ましくは、３μｍ以上８μｍ以下（本実施形態では７μｍ）である。一方、第２凸部６３の頂点Ｐ２を基準とした第２凹部６２の深さＤ２の最大値は、１μｍ以上１５μｍ以下、より好ましくは、１μｍ以上４μｍ以下（本実施形態では３μｍ）である。即ち、第１凹部５２の深さＤ１は、第２凹部６２の深さＤ２よりも大きくなっている。
【００３１】
なお、図１に示されるように、本実施形態のプラズマ反応器１は、例えば、排ガスに含まれているＰＭを除去するために用いられる。この場合、電源５から互いに隣接する電極板２０間にパルス電圧（例えば、ピーク電圧：１０ｋＶ（１００００Ｖ）、パルス繰返し周波数：１００Ｈｚ）が印加されると、各貫通孔３３の開口縁が起点となって誘電体バリア放電が生じ、電極２４間にプラズマが発生する。そして、プラズマにより、電極２４間を流通する排ガスに含まれるＰＭが酸化されて除去される。
【００３２】
次に、プラズマ反応器１の製造方法を説明する。
【００３３】
まず、アルミナ粉末を主成分とするセラミック材料を用いて、セラミックグリーンシート７１，７２（図５参照）を形成する。なお、セラミックグリーンシート７１，７２の形成方法としては、テープ成形や押出成形などの周知の成形法を用いることができる。
【００３４】
次に、セラミックグリーンシート７１を支持台７０（図５参照）に載置する。さらに、セラミックグリーンシート７１の主面上に、導電性ペースト（本実施形態ではタングステンペースト）を塗布（印刷）する。その結果、セラミックグリーンシート７１の主面上に、貫通孔３３を有する厚さ１０μｍの未焼成電極７３が形成される（図５参照）。なお、セラミックグリーンシート７１に対する未焼成電極７３の印刷方法としては、スクリーン印刷などの周知の印刷法を使用することができる。
【００３５】
そして、導電性ペーストの乾燥後、未焼成電極７３が印刷されたセラミックグリーンシート７１の主面上に、別のセラミックグリーンシート７２を積層し、シート積層方向に押圧力を付与する。その結果、各セラミックグリーンシート７１，７２が一体化され、セラミック積層体７４が形成される（図５参照）。これに伴い、セラミックグリーンシート７２の主面に未焼成電極７３に沿った第１の凹凸５１が形成されるとともに、セラミックグリーンシート７１の裏面に未焼成電極７３に沿った第２の凹凸６１が形成されるようになる。
【００３６】
次に、周知の手法に従って乾燥工程や脱脂工程などを行った後、セラミック積層体７４（セラミックグリーンシート７１，７２及び未焼成電極７３）をアルミナ及びタングステンが焼結しうる所定の温度（例えば１４００℃〜１６００℃程度）に加熱する同時焼成を行う。その結果、セラミックグリーンシート７１，７２中のアルミナ、及び、導電性ペースト中のタングステンが同時焼結し、セラミックグリーンシート７１，７２が誘電体２３となり、未焼成電極７３が電極２４となり、セラミック積層体７４が電極板２０となる。
【００３７】
その後、得られた電極板２０を複数積層し、電極板積層体４を形成する。次に、第１の配線２５及び第２の配線２６を、電極板積層体４を構成する電極板２０に接続する。以上のプロセスを経て、プラズマ反応器１が完成する。
【００３８】
従って、本実施形態によれば以下の効果を得ることができる。
【００３９】
（１）本実施形態のプラズマ反応器１では、誘電体２３に内蔵されている電極２４に複数の貫通孔３３が設けられているため、隣接する電極板２０間において、貫通孔３３の開口縁に電界が集中し、電界強度が局所的に高くなる。しかも、誘電体２３は、電極２４の外表面に沿う（即ち、追従する）ようにして電極２４を覆っており、主面２１及び裏面２２に凹凸５１，６１を有している。この場合、隣接する誘電体２３（電極板２０）の凸部（第２凸部６３）との距離が小さいために電界強度が高くなる傾向にある凸部（第１凸部５３）に対して電界が集中するため、電界強度がよりいっそう高くなる。その結果、放電が生じやすくなることから、放電によってプラズマを確実に発生させることができる。ゆえに、隣接する電極板２０間を流れる排ガス中のＰＭをプラズマを用いて酸化して除去する場合に、ＰＭの除去を効率良く行うことができる。また、放電を確実に行うために供給電力を大きくして電界強度を高くしなくても済むため、放電に必要な電力コストを低減させることができる。
【００４０】
（２）本実施形態では、電極２４に設けられた貫通孔３３が、平面視で正方形状、即ち、平面視で角部を有する形状をなしている。角部は放電の起点となりやすいため、貫通孔３３が、角部を有する多角形状をなしている本実施形態においては、多くの箇所で放電が生じるようになる。従って、広い範囲でプラズマを確実に発生させることができる。
【００４１】
なお、上記実施形態を以下のように変更してもよい。
【００４２】
・上記実施形態の電極板２０は、誘電体２３に１層の電極２４を内蔵してなるものであった。しかし、電極２４においてプラズマの発生に寄与しない領域（導通線、導通層等）は、複数層になっていてもよい。
【００４３】
・上記実施形態では、線部３１，３２を厚さ方向に沿って切断したときの断面形状が、主面２１側及び裏面２２側のそれぞれに凸となる形状であった。しかし、一部の線部３１，３２のみが、主面２１側及び裏面２２側のそれぞれに凸となる形状であってもよい。また、上記実施形態の線部３１，３２の断面形状は、いわゆるどら焼き形状をなしていたが、円形状などの他の形状であってもよい。
【００４４】
・上記実施形態では、誘電体２３の主面２１において第１の凹凸５１を有する領域、及び、誘電体２３の裏面２２において第２の凹凸６１を有する領域の両方が、断面波形状をなしていた。しかし、第１の凹凸５１または第２の凹凸６１を省略し、主面２１または裏面２２のみが断面波形状をなすようにしてもよい。
【００４５】
・上記実施形態では、貫通孔３３の平面視での形状が、正方形状（四角形状）をなしていたが、他の形状をなしていてもよい。例えば、図６の電極８０に示されるように、貫通孔８１の平面視での形状が三角形状をなしていてもよい。また、図７の電極９０に示されるように、貫通孔９１の平面視での形状が六角形状をなしていてもよい。
【００４６】
・上記実施形態の電極板２０は、平面視で正方形の格子状をなしていたが、平面視で菱形等の格子状をなしていてもよい。
【００４７】
・上記実施形態において、プラズマ反応器を構成する複数の電極板を、互いに隣接する電極板同士の少なくとも一部分が隙間を有するように離間して配置してもよい。具体的に言うと、例えば、図８のプラズマ反応器１００に示されるように、電極板１０１を収容した短冊状の枠部１０２を積層することにより、複数の電極板１０１を互いに隙間（プラズマ発生領域Ａ１）を有するように離間して配置してもよい。なお、枠部１０２は、電極板１０１に一体形成されていてもよい。また、図９のプラズマ反応器１１０に示されるように、図８の枠部１０２と同様の枠部１１１を用いるのに加えて、隣接する電極板１１２間に複数のスペーサ１１３を介在させることにより、複数の電極板１１２を互いに隙間（プラズマ発生領域Ａ２）を有するように離間して配置してもよい。なお、枠部１１１及びスペーサ１１３は、電極板１１２に一体形成されていてもよい。
【００４８】
さらに、電極板を構成する誘電体は、上記した隙間に対応する電極の外表面のみに沿うようにして電極を覆っていてもよい。具体的に言うと、図８，図９に示されるように、隣接する枠部１０２，１１１間に、誘電体１０３に覆われていない電極１０４を設けてもよい。なお、電極１０４は、電極板１０１同士（または電極板１１２同士）の導通を図るためのものである。
【００４９】
次に、特許請求の範囲に記載された技術的思想のほかに、前述した実施形態によって把握される技術的思想を以下に列挙する。
【００５０】
（１）上記手段１において、前記電極を厚さ方向に沿って切断したときの断面形状は、前記主面側及び前記裏面側のそれぞれに凸となる形状であることを特徴とするプラズマ反応器。
【００５１】
（２）上記手段１において、前記電極は、第１方向に延びる複数の第１線部と、前記第１方向に直交する第２方向に延びる複数の第２線部と、によって構成された前記複数の貫通孔を有しており、平面視で格子状をなしていることを特徴とするプラズマ反応器。
【００５２】
（３）上記手段１において、前記電極を厚さ方向に沿って切断したときの断面形状は、前記主面側及び前記裏面側のそれぞれに凸となる形状であり、前記電極において前記主面側に凸となる部分の厚さは、前記電極において前記裏面側に凸となる部分の厚さよりも大きいことを特徴とするプラズマ反応器。
【００５３】
（４）上記手段１において、前記凹凸は複数の凸部を有しており、隣接する前記凸部の頂点間の距離は、０．２ｍｍ以上１０ｍｍ以下、より好ましくは、０．２ｍｍ以上５ｍｍ以下であることを特徴とするプラズマ反応器。
【００５４】
（５）上記手段１において、前記誘電体の前記主面に生じた前記凹凸を構成する凹部の深さは、２μｍ以上２０μｍ以下、より好ましくは、３μｍ以上８μｍ以下であることを特徴とするプラズマ反応器。
【００５５】
（６）上記手段１において、前記誘電体の前記裏面に生じた前記凹凸を構成する凹部の深さは、１μｍ以上１５μｍ以下、より好ましくは、１μｍ以上４μｍ以下であることを特徴とするプラズマ反応器。
【００５６】
（７）主面及び裏面を有する板状の誘電体に電極を内蔵してなる複数の電極板が、互いに隙間を有するように積層配置され、隣接する前記電極板間に電圧が印加されたときにプラズマを発生するプラズマ反応器であって、前記電極に、同電極の厚さ方向に貫通する複数の貫通孔が設けられ、前記誘電体は、少なくとも前記隙間に対応する前記電極の外表面に沿うようにして前記電極を覆っており、前記主面及び前記裏面に凹凸を有していることを特徴とするプラズマ反応器。
【符号の説明】
【００５７】
１，１００，１１０…プラズマ反応器
２０，１０１，１１２…プラズマ電極板（電極板）
２１…主面
２２…裏面
２３，１０３…誘電体
２４，８０，９０…電極
３１…第１線部
３２…第２線部
３３，８１，９１…貫通孔
４１…電極の主面側の表面
４２…電極の裏面側の表面
５１…凹凸としての第１の凹凸
５２…凹部としての第１凹部
５３…凸部としての第１凸部
６１…凹凸としての第２の凹凸
６２…凹部としての第２凹部
６３…凸部としての第２凸部
Ｄ１…誘電体の主面に生じた凹凸を構成する凹部の深さ
Ｄ２…誘電体の裏面に生じた凹凸を構成する凹部の深さ
Ｔ１…電極の主面側の表面を覆う誘電体の厚さ
Ｔ２…電極の裏面側の表面を覆う誘電体の厚さ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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