(57)【要約】【課題】高温下で長時間使用しても結晶粒が粗大化することのない白金ロジウム合金を電極線に用い、電極線の高温強度を向上させることができる温度センサを提供すること。【解決手段】温度センサ１は、温度に応じて電気的特性が変化する感温部４と感温部４からの電気信号を外部に出力するための電極線５とを有する感温素子３と、電極線５に電気的に接続されたシース芯線（信号線）１５と、を備えている。電極線５は、白金ロジウム合金により構成されている。白金ロジウム合金は、Ｓｒ：０．１〜１．５ｍｏｌ％、Ｒｈ：２２〜４０ｍｏｌ％、残部がＰｔ及び不可避的不純物からなり、主としてＳｒ及びＰｔから構成される第２相の析出粒子が母相に分散してなり、かつ、断面における第２相の面積率が２５％以下である。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
温度に応じて電気的特性が変化する感温部と該感温部からの電気信号を外部に出力するための電極線とを有する感温素子と、
前記電極線に電気的に接続された信号線と、を備え、
前記電極線は、白金ロジウム合金により構成され、
該白金ロジウム合金は、Ｓｒ：０．１〜１．５ｍｏｌ％、Ｒｈ：２２〜４０ｍｏｌ％、残部がＰｔ及び不可避的不純物からなり、主としてＳｒ及びＰｔから構成される第２相の析出粒子が母相に分散してなり、かつ、断面における前記第２相の面積率が２５％以下であることを特徴とする温度センサ。
【請求項２】
前記信号線は、前記電極線とは異なる材料により構成されていることを特徴とする請求項１に記載の温度センサ。
【請求項３】
前記信号線は、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ及びＣｒのうち、いずれか１種を主成分とする合金により構成されていることを特徴とする請求項２に記載の温度センサ。
【請求項４】
前記電極線と前記信号線とは、溶接されてなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の温度センサ。
【請求項５】
前記電極線の断面積は、前記信号線の断面積よりも小さいことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の温度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、温度センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、温度によって電気的特性が変化する感温部とその感温部に電気的に接続された電極線とを有する感温素子と、電極線に接合された信号線とを備えた温度センサが知られている。上記構成の温度センサにおいて、感温素子の電極線を構成する材料には、白金ロジウム（ＰｔＲｈ）合金が用いられる。
【０００３】
ここで、白金ロジウム合金は、加工性、溶接性、耐熱性及び耐食性に優れた材料として知られている。同様の優位点をもつ純白金に比べて室温から高温まで高強度であり、白金イリジウム（ＰｔＩｒ）合金に比べてイリジウムの酸化揮発による消耗がないことから、耐熱合金、化学器具、導電材料、放電電極材料、接点材料等として幅広い分野で用いられている。
【０００４】
例えば、特許文献１には、ガラス繊維製造ノズル及びブッシングの構成材料として白金ロジウム合金を含む白金合金が開示されている。特許文献２には、ガラスセラミック材料製造装置に白金ロジウム合金が適する旨開示されている。これらの例のように白金ロジウム合金は、耐酸化性が高い高温材料として用いられている。
【０００５】
また、特許文献３には、１０００℃耐熱の温度センサ素子に組み込まれた２元系の白金ロジウム合金線が開示され、Ｒｈ含有量は１０〜２０重量％が望ましいとされている。特許文献４には、高温にて使用する温度センサの電極線として、Ｉｒ及び／又はＲｈを５〜１５質量％含有する白金合金が適することが開示されている。これらの例のように、白金ロジウム合金は、耐熱性及び高温強度が要求される導電材料としても好適に用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−２６１３５０号公報
【特許文献２】特開２００５−１１９９５９号公報
【特許文献３】特開平１１−４０４０３号公報
【特許文献４】特開２０１０−６０４０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
耐熱材料は、高融点、高強度、高耐食性等が当然に求められ、長期間安定して使用できることが望ましい。従来の白金ロジウム合金は、２元合金として用いられることが多いが、添加元素を選択し、３元系以上の固溶合金とすることによって、高強度化、高融点化及び耐食性等の付加機能を志向するものである。しかしながら、高温で長期間使用すると、不可避的に粒成長が起こり、結晶粒が粗大化し、粒界破断を引き起こすことがある。例えば、２元系の白金ロジウム合金（以下、３元系の白金ロジウム合金と区別するため、ＰｔＲｈ合金と表記する。）は、６００℃以上で再結晶し、１０００℃以上の高温中に数時間保持しただけで結晶粒径が１００μｍを超えるまで粗大化する組成もある。
【０００８】
このような白金ロジウム合金は、初期性能は高くても時間経過とともに粒界が滑る等して破壊する確率が増すため、長期間安定して使用するには信頼性が不十分である。よって、上記構成の温度センサの電極線を構成する材料に白金ロジウム合金を用いた場合には、高温での長時間の使用により、電極線の強度が低下し、電極線の破断等の不具合が発生することがある。
【０００９】
本発明は、高温下で長時間使用しても結晶粒が粗大化することのない白金ロジウム合金を電極線に用い、電極線の高温強度を向上させることができる温度センサを提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一の態様である温度センサは、温度によって電気的特性が変化する感温部と感温部からの電気信号を外部に出力するための電極線とを有する感温素子と、電極線に電気的に接続された信号線と、を備え、電極線は、白金ロジウム合金により構成され、白金ロジウム合金は、Ｓｒ：０．１〜１．５ｍｏｌ％、Ｒｈ：２２〜４０ｍｏｌ％、残部がＰｔ及び不可避的不純物からなり、主としてＳｒ及びＰｔから構成される第２相の析出粒子が母相に分散してなり、かつ、断面における第２相の面積率が２５％以下である。
【００１１】
この温度センサによれば、電極線を構成する３元系の白金ロジウム合金は、第２相の析出粒子が存在することから、粒界の移動が制約されるため、高温で長時間使用しても結晶粒の粗大化を抑制できる。また、析出強化の作用によって強度が向上し、粒径が微細なため破断伸びが大きいという利点も得られる。これにより、電極線の高温強度を向上させ、耐久性、信頼性を高めることができる。また、高温で長時間使用しても、電極線の破断等の不具合の発生を抑制できる。
【００１２】
また、電極線を構成する３元系の白金ロジウム合金において、アルカリ土類金属であるＳｒは、ほぼ全量が第２相の析出粒子として存在し、母相部分は、ほぼ２元系のＰｔＲｈ合金となっている。そのため、電極線の電気伝導性、熱伝導性等は、従来の２元系のＰｔＲｈ合金で構成した場合と同等で損なわれることがない。また、白金ロジウム合金は、第２相の析出粒子と母相との共晶点が母相のＰｔＲｈ合金より低い。そのため、電極線の溶接等が容易となる。
【００１３】
上記温度センサにおいて、電極線を構成する白金ロジウム合金は、Ｓｒ：０．１〜１．５ｍｏｌ％、Ｒｈ：２２〜４０ｍｏｌ％、残部がＰｔ及び不可避的不純物からなる。白金ロジウム合金は、上記成分のほかに、原料、又は溶解るつぼを含む加工工程から混入する、意図しない不可避的不純物が含有されていてもよい。
【００１４】
上記面積率（断面における第２相の面積率）とは、白金ロジウム合金を切断し、切断面を鏡面まで研磨し、この研磨面を光学顕微鏡、ＳＥＭ、その他観察手段によって観察したときに、観察視野に含まれる有限な面積中に占める、視認可能な第２相の面積率である。
【００１５】
白金ロジウム合金において、Ｓｒ含有量が０．１ｍｏｌ％未満の場合には、第２相の析出が不十分となるため、過度な粒成長を抑制できない。一方、Ｓｒ含有量が１．５ｍｏｌ％を超える場合には、第２相が過度に析出するため、耐酸化性、靱性が低下し、かつ、加工時に割れやすくなる。
【００１６】
白金ロジウム合金において、Ｒｈ含有量が２２ｍｏｌ％未満の場合には、高温強度向上効果が十分に得られない場合がある。一方、Ｒｈ含有量が４０ｍｏｌ％を超える場合には、加工性が低下する。
【００１７】
白金ロジウム合金において、断面における第２相の面積率が２５％未満の場合には、第２相の過度な析出の現れであり、耐酸化性、靱性が低下し、かつ、加工時に割れやすくなる。
【００１８】
上記温度センサにおいて、信号線は、電極線とは異なる材料により構成されていてもよい。この場合には、信号線を構成する材料として、高価な貴金属を含有する電極線よりも安価な材料を選択することにより、材料コストの低減を図ることができる。
【００１９】
また、信号線は、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ及びＣｒのうち、いずれか１種を主成分とする合金により構成されていてもよい。この場合には、信号線の耐熱性を向上させることができる。これにより、信号線の耐久性、信頼性を高めることができる。
【００２０】
また、電極線と信号線とは、溶接されてなる構成であってもよい。この場合には、電極線と信号線との接合部分の強度を向上させることができる。これにより、電極線と信号線との接合部分の耐久性、信頼性を高めることができる。溶接方法としては、例えば、レーザー溶接、抵抗溶接等を用いることができる。
【００２１】
なお、電極線と信号線とは、電気的に接続されていればよく、上述したように、電極線と信号線とが溶接により直接的に接続（接合）されていてもよいし、他の部材を介して間接的に接続されていてもよい。
【００２２】
また、電極線の断面積は、信号線の断面積よりも小さくてもよい。この場合には、電極線の薄肉化、細径化等を図り、高価な貴金属を含有する電極線の材料コストを低減できる。また、電極線を薄肉化、細径化等しても、電極線の高温強度を十分に確保できる。なお、電極線及び信号線の断面積とは、軸方向に直交する断面の面積である。
【００２３】
また、上記温度センサは、高温で使用してもよく、例えば、６００℃以上で使用してもよい。この場合にも、電極線の高温強度を十分に確保でき、電極線の耐久性、信頼性についても問題ない。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】実施形態１の温度センサの全体構造を示す一部断面説明図である。
【図２】実施形態１の温度センサの先端側部分を拡大して示す断面説明図である。
【図３】実施形態２の温度センサの先端側部分を拡大して示す断面説明図である。
【図４】その他の実施形態の温度センサの先端側部分を拡大して示す断面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態を図面と共に説明する。
（実施形態１）
図１、図２に示すように、温度センサ１は、温度に応じて電気的特性が変化する感温部４と感温部４からの電気信号を外部に出力するための電極線５とを有する感温素子３と、電極線５に電気的に接続されたシース芯線（信号線）１５と、を備えている。
【００２６】
電極線５は、白金ロジウム合金により構成されている。白金ロジウム合金は、Ｓｒ：０．１〜１．５ｍｏｌ％、Ｒｈ：２２〜４０ｍｏｌ％、残部がＰｔ及び不可避的不純物からなり、主としてＳｒ及びＰｔから構成される第２相の析出粒子が母相に分散してなり、かつ、断面における第２相の面積率が２５％以下である。以下、この温度センサ１の詳細について説明する。
【００２７】
図１に示すように、温度センサ１は、内燃機関の排気管等の流通管に装着することにより、測定対象ガス（排ガス）が流れる流通管内に配置され、測定対象ガスの温度検出に用いられる。ここで、温度センサ１の長手方向が軸方向であり、図１の上下方向である。また、温度センサ１の先端側が図１の下側であり、温度センサ１の後端側が図１の上側である。
【００２８】
温度センサ１は、感温素子３と、シース部７と、金属チューブ９と、取付部１１と、ナット部１３とを備えている。
感温素子３は、測定対象ガスが流れる流通管内に配置される測温素子である。感温素子３は、金属チューブ９の内部に配置される。感温素子３の詳細については後述する。
【００２９】
シース部７は、金属製の外筒１７と、導電性金属からなる一対のシース芯線１５と、外筒１７と一対のシース芯線１５との間を電気的に絶縁してシース芯線１５を保持する絶縁粉末（図示略）とを備えている。すなわち、シース部７は、一対のシース芯線１５を外筒１７の内側において絶縁保持するよう構成されている。
【００３０】
金属チューブ９は、鋼板の深絞り加工により、軸方向の先端側を閉塞して形成した有底筒状の部材である。金属チューブ９は、軸方向の後端側が取付部１１の内面に当接するように、軸方向寸法が設定されている。金属チューブ９は、耐腐食性金属（例えば、耐熱性金属でもあるＳＵＳ３１０Ｓ等のステンレス合金等）からなる。
【００３１】
金属チューブ９は、先端部分に形成された小径部２５と、小径部２５の後端側に形成され、小径部２５よりも外径が大きい大径部２７と、小径部２５と大径部２７との間に形成された段差部２９とを有する。段差部２９は、小径部２５から大径部２７に向かって徐々に外径が大きくなっている。
【００３２】
金属チューブ９の内部には、感温素子３及びセメント（保持部材）２３が配置されている。セメント２３は、感温素子３の周囲に充填され、感温素子３を保持してその揺動を抑制する。セメント２３は、熱伝導率が高く、高耐熱、高絶縁性の材料を用いて構成されている。
【００３３】
セメント２３としては、例えば、Ａｌ２Ｏ３、ＭｇＯ等の酸化物、ＡｌＮ、ＴｉＮ、Ｓｉ３Ｎ４、ＢＮ等の窒化物、ＳｉＣ、ＴｉＣ、ＺｒＣ等の炭化物等が主体のセメントを用いてもよい。また、セメント２３としては、Ａｌ２Ｏ３、ＭｇＯ等の酸化物、ＡｌＮ、ＴｉＮ、Ｓｉ３Ｎ４、ＢＮ等の窒化物、ＳｉＣ、ＴｉＣ、ＺｒＣ等の炭化物等が主体で、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＭｇＯ等の無機バインダを混合したセメント等を用いてもよい。
【００３４】
取付部１１は、少なくとも金属チューブ９の先端が外部に露出する状態で金属チューブ９の後端側の外周面を取り囲んで、金属チューブ９を支持する。取付部１１は、径方向外側に突出する突出部３１と、突出部３１の後端側に位置すると共に軸方向に延びる後端側鞘部３３とを有する。
【００３５】
突出部３１の先端側には、取付座面３５が設けられている。取付座面３５は、先端側に向かって外径が小さくなるテ―パ状に形成され、排気管のセンサ取り付け位置（図示略）に対応している。なお、排気管のセンサ取り付け位置は、取付座面３５に当接する部位として、後端側に向かって外径が大きくなるテ―パ部を備えて形成されている。
【００３６】
取付部１１は、排気管のセンサ取り付け位置に配置されることにより、取付座面３５がセンサ取り付け位置のテーパ部に密着し、排気管から外部への排ガスの漏出を抑制する。また、取付部１１が金属チューブ９の後端部に圧入された後、取付部１１の後端側鞘部３３と金属チューブ９とをレーザー溶接することにより、取付部１１と金属チューブ９とが互いに固定される。
【００３７】
ナット部１３は、六角ナット部３９及びネジ部４１を有する筒状の部材である。ナット部１３は、取付部１１のうち、突出部３１の後端面にネジ部４１の先端面を当接させた状態で、取付部１１の外周において回動自在に配置される。ナット部１３のネジ部４１が排気管に設けられたネジ穴と螺合することにより、温度センサ１が排気管のセンサ取り付け位置に取り付けられる。
【００３８】
シース芯線１５は、先端部が感温素子３に電気的に接続されている。シース芯線１５は、後端部が抵抗溶接により加締め端子４３に接続されている。つまり、シース芯線１５は、自身の後端が加締め端子４３を介して外部回路（例えば、車両の電子制御装置（ＥＣＵ）等）の接続用のリード線４５に接続されている。
【００３９】
一対のシース芯線１５のうち後端部分は、絶縁チューブ４７によって互いに絶縁されており、一対の加締め端子４３も絶縁チューブ４７により互いに絶縁されている。リード線４５は、導線を絶縁性の被覆材により被覆したものである。リード線４５は、耐熱ゴム製のシール部材４９の内部を貫通して配置されている。
【００４０】
図２に示すように、感温素子３は、温度に応じて電気的特性が変化する感温部４と、感温部４に接続された一対の電極線５とを備えている。
感温部４は、セラミック基体５４と、金属抵抗体５５と、接合層５６と、セラミック被覆層５７と、電極パッド５８とを有する。
【００４１】
セラミック基体５４は、純度９９．５〜９９．９％のアルミナからなり、セラミックグリーンシートを予め焼成してなる焼成済みシートである。
金属抵抗体５５は、白金（Ｐｔ）を主体に構成され、温度に応じて電気的特性（電気抵抗値）が変化する測温抵抗体である。金属抵抗体５５は、セラミック基体５４の表面に所定のパターン形状で形成されている。
【００４２】
セラミック被覆層５７は、純度９９．５〜９９．９％のアルミナからなり、セラミックグリーンシートを予め焼成してなる焼成済みシートである。セラミック被覆層５７は、金属抵抗体５５のうち、セラミック基体５４と接する面とは反対側の面において、金属抵抗体５５の先端側を被覆している。
【００４３】
接合層５６は、純度９９．５〜９９．９％のアルミナからなる。接合層５６は、接合前はアルミナ粉末を含むペーストであり、焼成済みのセラミック基体５４とセラミック被覆層５７とを上記ペーストで貼り合わせた後、熱処理されることで、最終的に接合層５６となる。
【００４４】
金属抵抗体５５のうち後端側（図２の右側）は、セラミック被覆層５７によって被覆される導体パターンより幅広に形成された電極パッド５８を介して、一対の電極線５が電気的に接続される。電極パッド５８と一対の電極線５とは、抵抗溶接、レーザー溶接等の溶接により、溶接点６０において接合されている。
【００４５】
電極パッド５８と一対の電極線５との接合部分は、被覆部材５９によって被覆されている。被覆部材５９は、アルミノケイ酸塩ガラスを主体とするガラス材料により構成されている。このガラス材料には、セラミック材料（アルミナ等）を副成分として含有させてもよい。
【００４６】
一対の電極線５は、金属抵抗体５５の後端側からシース部７に向かって延びるように配置されている。一対の電極線５の後端は、一対のシース芯線１５の先端と突き合わせて配置されている。一対の電極線５の後端と一対のシース芯線１５の先端とは、抵抗溶接、レーザー溶接等の溶接により、溶接部６１を介して接合されている。なお、電極線５の断面積は、シース芯線１５の断面積よりも小さく設定されている。電極線５及びシース芯線１５の断面積とは、軸方向に直交する断面の面積である。
【００４７】
そして、本実施形態において、電極線５は、Ｓｒ：０．１〜１．５ｍｏｌ％、Ｒｈ：２２〜４０ｍｏｌ％、残部がＰｔ及び不可避的不純物からなる白金ロジウム合金により構成されている。白金ロジウム合金は、主としてＳｒ及びＰｔから構成される第２相の析出粒子が母相に分散してなり、断面における第２相の面積率が２５％以下である。
【００４８】
一方、電極線５に接続されるシース芯線１５は、電極線５とは異なる材料により構成されている。具体的には、シース芯線１５は、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ及びＣｒのうち、いずれか１種を主成分とする合金により構成されている。Ｆｅ合金としては、例えば、ＳＵＳ３１０Ｓ等を用いることができる。Ｎｉ合金としては、ＮＣＦ６００、ＮＣＦ６０１等を用いることができる。
【００４９】
次に、本実施形態の温度センサ１の作用効果について説明する。
本実施形態の温度センサ１において、電極線５を構成する３元系の白金ロジウム合金は、第２相の析出粒子が存在することから、粒界の移動が制約されるため、高温で長時間使用しても結晶粒の粗大化を抑制できる。また、析出強化の作用によって強度が向上し、粒径が微細なため破断伸びが大きいという利点も得られる。これにより、電極線５の高温強度を向上させ、耐久性、信頼性を高めることができる。また、高温で長時間使用しても、電極線５の破断等の不具合の発生を抑制できる。
【００５０】
また、電極線５を構成する３元系の白金ロジウム合金において、アルカリ土類金属であるＳｒは、ほぼ全量が第２相の析出粒子として存在し、母相部分は、ほぼ２元系のＰｔＲｈ合金となっている。そのため、電極線５の電気伝導性、熱伝導性等は、従来の２元系のＰｔＲｈ合金で構成した場合と同等で損なわれることがない。また、白金ロジウム合金は、第２相の析出粒子と母相との共晶点が母相のＰｔＲｈ合金より低い。そのため、電極線５の溶接等が容易となる。
【００５１】
また、本実施形態の温度センサにおいて、シース芯線（信号線）１５は、電極線５とは異なる材料により構成されている。そのため、シース芯線１５を構成する材料として、高価な貴金属を含有する電極線５よりも安価な材料を選択することにより、材料コストの低減を図ることができる。
【００５２】
また、シース芯線（信号線）１５は、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ及びＣｒのうち、いずれか１種を主成分とする合金により構成されている。この場合には、シース芯線１５の耐熱性を向上させることができる。これにより、シース芯線１５の耐久性、信頼性を高めることができる。
【００５３】
また、電極線５とシース芯線（信号線）１５とは、溶接されてなる。そのため、電極線５とシース芯線１５との接合部分の強度を向上させることができる。これにより、電極線５とシース芯線１５との接合部分の耐久性、信頼性を高めることができる。
【００５４】
また、電極線５の断面積は、シース芯線（信号線）１５の断面積よりも小さい。そのため、電極線５の薄肉化、細径化等を図り、高価な貴金属を含有する電極線５の材料コストを低減できる。また、電極線５を薄肉化、細径化等しても、電極線５の高温強度を十分に確保できる。
【００５５】
このように、本実施形態によれば、高温下で長時間使用しても結晶粒が粗大化することのない白金ロジウム合金を電極線５に用い、電極線５の高温強度を向上させることができる温度センサ１を提供することができる。
【００５６】
（実施形態２）
本実施形態は、図３に示すように、温度センサ１における電極線５とシース芯線１５との溶接部分の構成を変更した例である。なお、実施形態１と同様の構成及び作用効果については説明を省略する。
【００５７】
図３に示すように、一対の電極線５の後端部は、シース部７（図１参照）の先端から引き出された一対のシース芯線１５の先端部と重ね合されている。一対の電極線５と一対のシース芯線１５とは、抵抗溶接、レーザー溶接等の溶接により、溶接点６２において接合されている。なお、電極線５の断面積は、シース芯線１５の断面積よりも小さく設定されている。
【００５８】
（試験評価）
以下、本発明の実施例を比較例と対比しながら説明し、本発明の効果を実証する。
まず、表１に示す化学成分の白金ロジウム合金を準備した。各白金ロジウム合金は、従来公知の方法で溶製した。
【００５９】
なお、実施例１〜４に用いた合金Ａ１〜Ａ４の白金ロジウム合金は、ＥＰＭＡ及びＸＲＤによる分析により、析出した第２相が主としてＳｒ及びＰｔからなる金属間化合物と同定され、第２相の析出粒子が母相に分散していることが確認された。また、光学顕微鏡、ＳＥＭ等の断面観察により、断面における第２相の面積率が２５％以下であることが確認された。
【００６０】
そして、各白金ロジウム合金からなる複数の電極線を作製し、各電極線をシース芯線に溶接した後、繰り返し応力を負荷する疲労試験を実施し、評価した。なお、電極線とシース芯線とは、重ね合わせた状態（図３参照）で溶接により接合した。
【００６１】
疲労試験の条件は、温度環境：室温、引張応力：２３９ＭＰａ、周波数：１０Ｈｚとした。疲労試験の評価は、５０００サイクル経過後に、電極線とシース芯線との溶接部における破断の有無を確認し、破断無しを「○」、破断有りを「×」とした。
【００６２】
表１に示すように、比較例５は、電極線を構成する白金ロジウム合金のＲｈ含有量が本発明の範囲（２２〜４０ｍｏｌ％）から外れている。また、比較例６は、電極線を構成する白金ロジウム合金にＳｒが含有されておらず、Ｓｒ含有量が本発明の範囲（０．１〜１．５ｍｏｌ％）から外れている。そのため、比較例５、６は、疲労試験の評価が「×」となり、電極線とシース芯線との溶接部に破断が発生した。
【００６３】
一方、実施例１〜４は、電極線を構成する白金ロジウム合金の化学成分が本発明の範囲内である。そのため、実施例１〜４は、疲労試験の評価が「○」となり、電極線とシース芯線との溶接部に破断が発生しなかった。
【００６４】
【表１】
2017075905.tif 000003
【００６５】
次に、表２に示す化学成分の白金ロジウム合金からなる複数の電極線を作製し、各電極線を用いた複数の温度センサを作製した。なお、電極線とシース芯線とは、突き合わせた状態（図２参照）又は重ね合わせた状態（図３参照）で溶接により接合した。そして、各温度センサについて、室温と最高温度との間で昇温及び降温を繰り返すサイクル試験を実施し、ロバスト性を評価した。
【００６６】
サイクル試験の条件は、最高温度：８００℃、最高温度保持時間：６０秒、昇温時間：３０秒、降温時間：３０秒とした。なお、降温させて室温となったときには、室温で保持せず、すぐに昇温させた。ロバスト性の評価は、４０００サイクル経過後に、電極線の断線の有無を確認し、断線無しを「○」、断線有りを「×」とした。
【００６７】
表２に示すように、比較例１０は、電極線を構成する白金ロジウム合金にＳｒが含有されておらず、Ｓｒ含有量が本発明の範囲（０．１〜１．５ｍｏｌ％）から外れている。そのため、比較例１０は、ロバスト性の評価が「×」となり、電極線に断線が発生した。
【００６８】
一方、実施例７〜９は、電極線を構成する白金ロジウム合金の化学成分が本発明の範囲内である。そのため、実施例７〜９は、ロバスト性の評価が「○」となり、電極線に断線が発生しなかった。
【００６９】
【表２】
2017075905.tif 000004
【００７０】
（その他の実施形態）
本発明は、上述の実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明を逸脱しない範囲において種々の態様で実施しうることはいうまでもない。
【００７１】
（１）上述の実施形態では、シース芯線（信号線）１５を構成する合金として、Ｆｅ合金及びＮｉ合金を例示したが、これに限定されるものではなく、例えば、Ｃｏ合金、Ｃｒ合金等を用いてもよい。Ｃｏ合金としては、例えば、ＵＭＣｏ−５０（日立金属ＭＭＣスーパアロイ株式会社製）等、Ｃｒ合金としては、例えば、クリマックス（栗本鐵工所株式会社製）等を具体的に用いることができる。
【００７２】
（２）上述の実施形態では、感温部４について、温度に応じて電気的特性が変化する金属抵抗体５５を用いて構成したが、例えば、温度に応じて電気的特性が変化するサーミスタ焼結体を用いて構成してもよい。サーミスタ焼結体としては、例えば、（Ｓｒ，Ｙ）（Ａｌ，Ｍｎ，Ｆｅ）Ｏ３をベース組成としたペロブスカイト型酸化物等を用いることができる。
【００７３】
図４に、サーミスタ焼結体により構成された感温部４と感温部４に接続された一対の電極線５とを有する感温素子３を備えた温度センサ１を示す。一対の電極線５の後端部は、シース部７（図１参照）の先端から引き出された一対のシース芯線１５の先端部と重ね合されている。一対の電極線５と一対のシース芯線１５とは、抵抗溶接、レーザー溶接等の溶接により、溶接点６３において接合されている。なお、電極線５の断面積は、シース芯線１５の断面積よりも小さく設定されている。上記構成であっても、電極線５を上述の３元系の白金ロジウム合金により構成すれば、上述の実施形態１、２と同様の作用効果が得られる。
【符号の説明】
【００７４】
１…温度センサ
３…感温素子
４…感温部
５…電極線
１５…シース芯線（信号線）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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