(57)【要約】【課題】従来よりも撮影時間を短縮する。【解決手段】チップ１１を複数有するウェハ１０が置かれ、２軸方向に独立して移動可能な可動テーブル１と、撮影領域の撮影を行うカメラ３と、チップ１１に対して設定された複数の撮影点を順に撮影領域に合わせるように、可動テーブル１を移動させる移動部５１と、撮影点毎に、移動部５１により可動テーブル１が移動されて静定した後、カメラ３により撮影領域を撮影させる撮影部５２とを備え、移動部５１は、撮影点毎の移動方向が１軸方向となる順に可動テーブル１を移動させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チップを複数有するウェハが置かれ、２軸方向に独立して移動可能な可動テーブルと、
撮影領域の撮影を行うカメラと、
前記チップに対して設定された複数の撮影点を順に前記撮影領域に合わせるように、前記可動テーブルを移動させる移動部と、
前記撮影点毎に、前記移動部により前記可動テーブルが移動されて静定した後、前記カメラにより前記撮影領域を撮影させる撮影部とを備え、
前記移動部は、前記撮影点毎の移動方向が１軸方向となる順に前記可動テーブルを移動させる
ことを特徴とする画像検査装置。
【請求項２】
チップを複数有するウェハが置かれ、２軸方向に独立して移動可能な可動テーブルと、撮影領域の撮影を行うカメラとを備えた画像検査装置による画像検査方法であって、
移動部は、前記チップに対して設定された複数の撮影点を順に前記撮影領域に合わせるように、前記可動テーブルを移動させ、
撮影部は、前記撮影点毎に、前記移動部により前記可動テーブルが移動されて静定した後、前記カメラにより前記撮影領域を撮影させ、
前記移動部は、前記撮影点毎の移動方向が１軸方向となる順に前記可動テーブルを移動させる
ことを特徴とする画像検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ウェハが有する複数のチップに対して外観の画像検査を行う画像検査装置及び画像検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ウェハが有する複数のチップに対して外観の画像検査を行う画像検査装置（外観検査装置）が知られている（例えば特許文献１参照）。この画像検査装置では、カメラによりチップを撮影し、画像処理を用いて当該チップの外観を検査している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１６４５３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この画像検査装置では、図７に示すような２軸方向に独立して移動可能な可動テーブル１上にウェハが置かれ、ウェハの位置決めを行っている。なお図７において、符号１０１はＸ軸アクチュエータを示し、符号１０２はＹ軸アクチュエータを示している。
【０００５】
ここで、カメラの視野（撮影領域）がチップのサイズに対して小さい場合、画像検査装置は、１つのチップに対して複数の画像を撮影して重ね合わせることで、チップ全体の画像を取得する。例えば図８では、カメラの性能及び視野とチップ１１のサイズとの関係、チップ１１上の検査重要箇所等の観点から、チップ１１の周囲６点と中心部分１点の計７点を撮影点に設定した場合を示している。なお図８における符号１１１は、１番目の撮影点の近くに付された目印であるアライメントマークを示している。
そして、チップ１１上の撮影点を順にカメラの撮影領域に合わせるように可動テーブル１を移動させ、各撮影点の撮影を行う。この際、一般的に図８に示すような順番で撮影点が撮影される。図９に各撮影点を撮影した画像の一例を示す。そして、図９に示す図を重ね合わせることで、チップ１１全体の画像を取得することができる。
【０００６】
しかしながら、図８に示す撮影順序の場合、３番目の撮影点を撮影領域に合わせる際、５番目の撮影点を撮影領域に合わせる際、及び７番目の撮影点を撮影領域に合わせる際に、可動テーブル１を２軸同時に動作させる必要がある。そのため、チップ１１の位置決め後の静定時間が長くなり、結果として全体の撮影時間が長くなるという課題があった。なお、静定時間とは、可動テーブル１を移動させて停止させた後、当該可動テーブル１の振動が止まるまでの時間を指す。
【０００７】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、ウェハが有する複数のチップに対する外観の画像検査において、従来よりも撮影時間を短縮することができる画像検査装置及び画像検査方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明に係る画像検査装置は、チップを複数有するウェハが置かれ、２軸方向に独立して移動可能な可動テーブルと、撮影領域の撮影を行うカメラと、チップに対して設定された複数の撮影点を順に撮影領域に合わせるように、可動テーブルを移動させる移動部と、撮影点毎に、移動部により可動テーブルが移動されて静定した後、カメラにより撮影領域を撮影させる撮影部とを備え、移動部は、撮影点毎の移動方向が１軸方向となる順に可動テーブルを移動させるものである。
【発明の効果】
【０００９】
この発明によれば、上記のように構成したので、ウェハが有する複数のチップに対する外観の画像検査において、従来よりも撮影時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１Ａ、図１Ｂは、この発明の実施の形態１に係る画像検査装置の構成例を示す図であり、上面図と側面図である。
【図２】この発明の実施の形態１における制御部の構成例を示す図である。
【図３】この発明の実施の形態１に係る画像検査装置によるチップの撮影動作例を示すフローチャートである。
【図４】この発明の実施の形態１に係る画像検査装置によるチップの撮影順序の一例を示す図である。
【図５】この発明の実施の形態１に係る画像検査装置による効果を説明する図である。
【図６】この発明の実施の形態１に係る画像検査装置によるチップの撮影順序の別の一例を示す図である。
【図７】可動テーブルの構成例を示す図である。
【図８】従来の画像検査装置によるチップの撮影順序を示す図である。
【図９】画像検査装置により撮影された画像の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、この発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１に係る画像検査装置の構成例を示す図である。
画像検査装置は、図１に示すように、可動テーブル１、顕微鏡２、カメラ３、照明４及び制御部５を備えている。なお図１では、可動テーブル１にウェハ１０が置かれた状態を示している。
【００１２】
可動テーブル１は、ウェハ１０が置かれ、２軸方向に独立して移動可能なものである。この可動テーブル１は、例えば図７と同様に、Ｘ軸アクチュエータ１０１及びＹ軸アクチュエータ１０２により水平面内において２軸（Ｘ軸、Ｙ軸）方向に独立して移動可能に構成されている。
【００１３】
なお、ウェハ１０は、チップ１１を複数有している。また、画像検査装置では、チップ１１に対し、カメラ３の性能及び視野（撮影領域）とチップ１１のサイズとの関係、チップ１１上の検査重要箇所等の観点から、複数の撮影点を設定している。また、チップ１１上には、１番目の撮影点の近くに、アライメントマーク１１１が付されている（図４等参照）。
【００１４】
顕微鏡２は、カメラ３の撮影領域を拡大するものである。この顕微鏡２には、ウェハ１０上のチップ１１に対する外観の画像検査に用いる検査用レンズが取付けられている。この検査用レンズとしては、例えば１０倍の対物レンズを用いる。
【００１５】
カメラ３は、顕微鏡２に取付けられ、顕微鏡２により拡大された撮影領域の撮影を行うものである。
照明４は、カメラ３の撮影領域に対して光を当てるものである。この際、照明４は、撮影領域上に位置するウェハ１０を撮影するために必要な光量の光を照射する。
【００１６】
制御部５は、画像検査装置の各部の動作を制御するものである。なお以下では、制御部５が有する機能のうち、チップ１１の撮影に関する機能のみを説明する。この制御部５は、チップ１１の撮影に関する機能として、図２に示すように、移動部５１及び撮影部５２を有している。なお、制御部５は、システムＬＳＩ等の処理回路や、メモリ等に記憶されたプログラムを実行するＣＰＵ等により実現される。
【００１７】
移動部５１は、チップ１１に対して設定された複数の撮影点を順に撮影領域に合わせるように、可動テーブル１を移動させるものである。この際、移動部５１は、撮影点毎の移動方向が１軸方向となる順に可動テーブル１を移動させる。
撮影部５２は、撮影点毎に、移動部５１により可動テーブル１が移動されて静定した後、カメラ３により撮影領域を撮影させるものである。
【００１８】
次に、上記のように構成された画像検査装置によるチップ１１の撮影動作例について、図１〜４を参照しながら説明する。なお以下では、チップ１１毎に、チップ１１の周囲６点と中央部分１点の計７点を撮影する場合を示す。また、移動部５１では、例えば図４に示すように、撮影点毎の移動方向が１軸方向となる撮影順序が予め設定されている。また、チップ１１上に付されたアライメントマーク１１１に最も近い撮影点を、１番目の撮影点とする。
【００１９】
画像検査装置によるチップ１１の撮影動作例では、図３に示すように、まず、移動部５１は、チップ１１の撮影対象である撮影点を撮影領域に合わせるように、可動テーブル１を移動させる（ステップＳＴ３０１）。この際、移動部５１は、可動テーブル１を１軸方向のみに移動させることで、撮影対象である撮影点を撮影領域に合わせる。
【００２０】
次いで、撮影部５２は、可動テーブル１が静定した後、カメラ３により撮影領域を撮影させる（ステップＳＴ３０２）。これにより、撮影対象である撮影点の撮影を行う。
【００２１】
次いで、移動部５１は、チップ１１上の全ての撮影点に対する撮影が完了したかを判定する（ステップＳＴ３０３）。このステップＳＴ３０３において、移動部５１は、未撮影の撮影点があると判定した場合には、次の撮影点を撮影対象に設定し、シーケンスはステップＳＴ３０１に戻る。
【００２２】
一方、ステップＳＴ３０３において、移動部５１は、チップ１１上の全ての撮影点に対する撮影が完了したと判定した場合には、ウェハ１０が有する全てのチップ１１に対する撮影が完了したかを判定する（ステップＳＴ３０４）。このステップＳＴ３０４において、移動部５１は、未撮影のチップ１１があると判定した場合には、次のチップ１１の１番目の撮影点を撮影対象に設定し、シーケンスはステップＳＴ３０１に戻る。
【００２３】
一方、ステップＳＴ３０４において、移動部５１は、ウェハ１０が有する全てのチップ１１に対する撮影が完了したと判定した場合には、シーケンスは終了する。なお、カメラ３により撮影されるチップ１１上の各撮影点の画像は、図９と同様である。その後、カメラ３により撮影された画像を用いて、チップ１１の外観の画像検査を行う。この画像検査は従来と同様であり、その説明を省略する。
【００２４】
次に、実施の形態１に係る画像検査装置による効果について、図５を参照しながら説明する。図５では、図７に示す従来の撮影順序（旧撮影方法）での静定時間と、図４に示す実施の形態１の撮影順序（新撮影方法）での静定時間とを示している。
図５に示すように、従来の撮影順序では、可動テーブル１を斜めに移動させる際に、可動テーブル１を２軸同時に動作させるため、静定時間が長くなることが分かる。一方、実施の形態１では、各撮影点への移動方向は１軸方向のみであり、可動テーブル１は１軸方向のみの移動となるため、従来に対して静定時間を短縮させることが可能である。図５の例では、１つのチップ１１に対する撮影時間を５００ｍｓだけ短縮することができる。また、ウェハ１０は一般的に約２０８０個のチップ１１を有しているため、ウェハ１０全体では撮影時間を０．５ｓ×２０８０個＝１０４０ｓ（約１７分）だけ短縮することができる。
【００２５】
なお上記では、図４に示す撮影順序で撮影を行う場合を示した。しかしながら、撮影順序はこれに限るものではなく、撮影点毎の移動方向が１軸方向となる順であればよく、例えば図６に示す撮影順序であってもよい。
また図４，６では、アライメントマーク１１１が左下にあり、１番目の撮影点の位置を左下とした場合を示した。しかしながら、アライメントマーク１１１の位置はこれに限るものではなく、異なる位置にアライメントマーク１１１を設けてもよい。
【００２６】
また図４，６では、カメラ３の性能及び視野とチップ１１のサイズとの関係、チップ１１上の検査重要箇所等の観点から、チップ１１の周囲６点と中央部分１点の計７点を撮影した場合を示した。しかしながら、撮影点の数及び位置はこれに限るものではなく、適宜変更が可能である。
【００２７】
以上のように、この実施の形態１によれば、撮影点毎の移動方向が１軸方向となる順に可動テーブル１を移動させるように構成したので、ウェハ１０が有する複数のチップ１１に対する外観の画像検査において、従来よりも撮影時間を短縮することができる。
【００２８】
なお、本願発明はその発明の範囲内において、実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは実施の形態の任意の構成要素の省略が可能である。
【符号の説明】
【００２９】
１  可動テーブル
２  顕微鏡
３  カメラ
４  照明
５  制御部
１０  ウェハ
１１  チップ
５１  移動部
５２  撮影部
１０１  Ｘ軸アクチュエータ
１０２  Ｙ軸アクチュエータ
１１１  アライメントマーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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