(57)【要約】【課題】本発明の目的は、上記指向性欠陥によって散乱した光を効率よく捕捉する技術を提供することにある。【解決手段】検査装置は、試料に光を供給する照明光学系と、第１の仰角で配置される第１の検出光学系と、前記第１の仰角よりも高い第２の仰角で配置される第２の検出光学系とを備え、前記第２の検出光学系は、奇数個の検出光学ユニットを含む。【選択図】図１
2017133830.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料に光を供給する照明光学系と、
第１の仰角で配置される第１の検出光学系と、
前記第１の仰角よりも高い第２の仰角で配置される第２の検出光学系とを備え、
前記第２の検出光学系は、奇数個の検出光学ユニットを含む、検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の検査装置において、
前記奇数個の検出光学ユニットは、前記光の入射面に対して実質的に対称に配置されている、検査装置。
【請求項３】
請求項２に記載の検査装置において、
前記奇数個の検出光学ユニットは、前記入射面と交差する面に対して実質的に非対称に配置されている、検査装置。
【請求項４】
請求項３に記載の検査装置において、
前記奇数個の検出光学ユニットは、レンズと、前記レンズを支持するためのフレームとを備え、前記レンズの受光面は、第１の弦と、前記第１の弦よりも短い第２の弦を含む、検査装置。
【請求項５】
請求項４に記載の検査装置において、
前記フレームは、第３の弦と、前記第３の弦よりも短い第４の弦を含む、検査装置。
【請求項６】
請求項５に記載の検査装置において、
処理部をさらに備え、
前記処理部は、前記奇数個の検出光学ユニットで検出された信号の中で所定の値よりも大きい第１の信号が得られた場合、異方性欠陥があると判定する、検査装置。
【請求項７】
請求項６に記載の検査装置において、
前記処理部は、前記奇数個の検出光学ユニットで検出された信号の中で、第１の信号と、前記第１の信号より小さい第２及び第３の信号とが得られた場合、異方性欠陥があると判定する、検査装置。
【請求項８】
請求項７に記載の検査装置において、
前記第２の仰角よりも高い第３の仰角で配置される第３の検出光学系をさらに備える検査装置。
【請求項９】
請求項８に記載の検査装置において、
前記第２の検出光学系の受光面の任意の点を結ぶ曲線は、前記第１の検出光学系の受光面の任意の点を結ぶ曲線よりも内側に配置され、前記第３の検出光学系の受光面の任意の点を結ぶ曲線は、前記第２の検出光学系の受光面の任意の点を結ぶ曲線よりも内側に配置されている、検査装置。
【請求項１０】
請求項１に記載の検査装置において、
前記奇数個の検出光学ユニットは、前記光の入射面と交差する面に対して実質的に非対称に配置されている、検査装置。
【請求項１１】
請求項１に記載の検査装置において、
前記奇数個の検出光学ユニットは、レンズと、前記レンズを支持するためのフレームとを備え、前記レンズの受光面は、第１の弦と、前記第１の弦よりも短い第２の弦を含む、検査装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の検査装置において、
前記フレームは、第３の弦と、前記第３の弦よりも短い第４の弦を含む、検査装置。
【請求項１３】
請求項１に記載の検査装置において、
処理部をさらに備え、
前記処理部は、前記奇数個の検出光学ユニットで検出された信号の中で所定の値よりも大きい第１の信号が得られた場合、異方性欠陥があると判定する、検査装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の検査装置において、
前記処理部は、前記奇数個の検出光学ユニットで検出された信号の中で、第１の信号と、前記第１の信号より小さい第２及び第３の信号とが得られた場合、異方性欠陥があると判定する、検査装置。
【請求項１５】
請求項１に記載の検査装置において、
前記第２の仰角よりも高い第３の仰角で配置される第３の検出光学系をさらに備える検査装置。
【請求項１６】
請求項１５に記載の検査装置において、
前記第２の検出光学系の受光面の任意の点を結ぶ曲線は、前記第１の検出光学系の受光面の任意の点を結ぶ曲線よりも内側に配置され、前記第３の検出光学系の受光面の任意の点を結ぶ曲線は、前記第２の検出光学系の受光面の任意の点を結ぶ曲線よりも内側に配置されている、検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料の傷や異物といった欠陥を検出する検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体の製造工程で発生する傷や異物といった欠陥は半導体の性能に影響を与える。よって、欠陥を検出し、製造工程へフィードバックすることが重要である。このような欠陥の検出のために使用されるのが、いわゆる検査装置である。検査装置の従来技術としては特許文献１が挙げられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１９２５４１公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
試料に発生する欠陥としては散乱光が特定の方向に飛散する欠陥（以降、便宜的に指向性欠陥と称する）も存在する。指向性欠陥の一例としては、スタッキングフォルトが考えられる。従来技術では、このような指向性欠陥からの特定の方向に散乱した光を効率よく捕捉する点には配慮がなされていない。
【０００５】
本発明の目的は、上記指向性欠陥によって散乱した光を効率よく捕捉する技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決する為に、例えば特許請求の範囲に記載の構成を採用する。本願は上記課題を解決する手段を複数含んでいるが、その一例をあげるならば、試料に光を供給する照明光学系と、第１の仰角で配置される第１の検出光学系と、前記第１の仰角よりも高い第２の仰角で配置される第２の検出光学系とを備え、前記第２の検出光学系は、奇数個の検出光学ユニットを含む、検査装置が提供される。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、特定の方向に散乱光を強く飛散させる欠陥を高感度に検出することができる。
【０００８】
本発明に関連する更なる特徴は、本明細書の記述、添付図面から明らかになるものである。また、上記した以外の、課題、構成及び効果は、以下の実施例の説明により明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１実施例の検査装置を説明する図である。
【図２Ａ】第２の検出光学系を説明する図である。
【図２Ｂ】第１の検出光学系を説明する図である。
【図２Ｃ】第１の検出光学系及び第２の検出光学系をウエハの上方から見た図である。
【図３Ａ】検出光学ユニットに採用されるレンズユニットを説明する図であり、レンズの正面から見た図である。
【図３Ｂ】検出光学ユニットに採用されるレンズユニットを説明する斜視図である。
【図４Ａ】従来のレンズユニットを備える４個の検出光学ユニットを配置した例である。
【図４Ｂ】第１実施例のレンズユニットを備える奇数個の検出光学ユニットを配置した例である。
【図５Ａ】従来のレンズユニットを備える４個の検出光学ユニットを配置した例において、指向性散乱光が生じた場合を説明する図である。
【図５Ｂ】第１実施例のレンズユニットを備える奇数個の検出光学ユニットを配置した例において、指向性散乱光が生じた場合を説明する図である。
【図６Ａ】第１実施例における欠陥判別処理の第１の例を示すフローチャートである。
【図６Ｂ】第１実施例における欠陥判別処理の第２の例を示すフローチャートである。
【図７Ａ】第２実施例の検査装置を説明する図であり、検出光学系をウエハの上方から見た図である。
【図７Ｂ】第２実施例の検査装置を説明する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して本発明の実施例について説明する。なお、添付図面は本発明の原理に則った具体的な実施例を示しているが、これらは本発明の理解のためのものであり、決して本発明を限定的に解釈するために用いられるものではない。
【００１１】
［第１実施例］
図１は本実施例の検査装置を説明する図である。本実施例の検査装置は、試料の傷や異物といった欠陥を検出する検査装置である。検査装置は、主な構成要素として、第１の仰角で配置される第１の検出光学系１０８と、第１の仰角よりも高い第２の仰角で配置される第２の検出光学系１０９とを備える。
【００１２】
ウエハ（試料）１００は、ウエハチャック１０１に搭載される。ウエハチャック１０１は、回転用モータ１０２によって回転する。ウエハチャック１０１は、送りステージ１０３によってｘ方向に移動する。制御部１０５は、ウエハ１００の回転及び送りステージ１０３の移動を制御する。具体的には、制御部１０５は、回転用モータ１０２を制御することによりウエハチャック１０１を回転させ、これにより、ウエハ１００を回転させる。また、制御部１０５は、送りステージ用モータ１０４を制御することにより送りステージ１０３をｘ方向に移動させる。
【００１３】
照明光学系１１０は、ウエハ１００上に光を収束し、照明領域を形成するものである。照明領域は実質的な楕円である場合もあるし、実質的な線である場合もある。照明光学系１１０もまた、制御部１０５によって制御されてもよい。照明光学系１１０による照明領域の形成によって発生した散乱光は、第１の検出光学系１０８、及び、第２の検出光学系１０９によって集光、及び検出される。第１の検出光学系１０８は、ウエハ１００に対して第１の仰角θ１で配置されている。また、第２の検出光学系１０９は、ウエハ１００に対して、第１の仰角θ１よりも高い第２の仰角θ２で配置されている。ここで、仰角とは、ウエハ１００の表面から検出光学系１０８、１０９における受光面の任意の点への直線を仮定したときの、ウエハ１００の表面に対する直線の角度で定義することができる（図１参照）。
【００１４】
第１の検出光学系１０８、及び第２の検出光学系１０９からの信号は、プリアンプ１０６によって増幅される。プリアンプ１０６を経由した信号は、処理部１０７に送信される。処理部１０７は、受信した信号の強度と所定のしきい値とを比較する。信号の強度がしきい値より高ければ、処理部１０７は、その信号を検出した位置に欠陥が存在すると判断する。
【００１５】
図２Ａは、第２の検出光学系１０９を説明する図である。図２Ａに示すように、第２の検出光学系１０９は、５つの検出光学ユニット２０１、２０２、２０３、２０４、及び２０５を含み得る。検出光学ユニット２０１は、後述するレンズユニット３００、及びレンズユニット３００を経由した光を光電変換するためのセンサを含み得る。検出光学ユニット２０１は、いわゆる集光系である場合もあれば、いわゆる結像系である場合もある。検出光学ユニット２０１は、任意の成分を斜光できる空間フィルタ、偏光フィルタを含み得る。この説明は、検出光学ユニット２０２、２０３、２０４、及び２０５の少なくとも１つ、後述する検出光学ユニット２０６、２０７、２０８、２０９、２１０、２１１についても適用できる。
【００１６】
図２Ａに示すように、検出光学ユニット２０１、２０２、２０３、２０４、及び２０５において、隣接する検出光学ユニットの接点を線によって結んだ形状は５角形となる。検出光学ユニットの数は５個に限定されず、奇数個（３個以上の奇数）でさえあればよい。検出光学ユニット２０１、２０２、２０３、２０４、及び２０５を照明光の光軸とウエハ１００の法線によって定義できる入射面２１２を基準に議論するなら、検出光学ユニット２０１と検出光学ユニット２０５との間に入射面２１２は形成される。検出光学ユニット２０１、２０２、２０３、２０４、及び２０５は、入射面２１２に対しては実質的に対称となるが、入射面２１２と交差（より具体的には直交）する面２１３に対しては実質的に非対称となるよう配置される場合もある。
【００１７】
図２Ｂは、第１の検出光学系１０８を説明する図である。図２Ｂに示すように、第１の検出光学系１０８は、６つの検出光学ユニット２０６、２０７、２０８、２０９、２１０、２１１を含む。検出光学ユニット２０６、２０７、２０８、２０９、２１０、２１１は、入射面２１２に対しては実質的に対称であり、入射面２１２と交差（より具体的には直交）する面２１３に対しても実質的に対称である。
【００１８】
図２Ｃは、第１の検出光学系１０８、及び第２の検出光学系１０９をウエハ１００の上方から見た図である。図２Ｃに示すように、ウエハ１００の上方から見た場合に、検出光学ユニット２０１、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６、２０７、２０８、２０９、２１０、２１１は、それぞれ異なる方位角をもって配置される。ここで、方位角θとは、ＸＹ平面上における任意の基準線ｌ１に対して、各検出光学ユニットの軸のなす角度で定義することができる（図２Ｃ参照）。
【００１９】
図３Ａ及び図３Ｂは、検出光学ユニット２０１、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６、２０７、２０８、２０９、２１０、及び２１１の少なくとも１つに採用されるレンズユニット３００を説明する図である。
【００２０】
レンズユニット３００は、構成要素として、レンズ３０１と、レンズ３０１を支持するためのフレーム３０２とを備える。レンズユニット３００のレンズ３０１の形状は円から少なくともその一部を除去した形状であることを特徴とする。また、フレーム３０２の外形も、少なくともその一部を除去した形状であることを特徴とする。
【００２１】
レンズ３０１の受光面は、検出光学ユニットを充填して配置できるよう扇の形（扇型）である。その他の表現としては、レンズ３０１の受光面は、第１の弦３０３、及び第１の弦３０３よりも短い第２の弦３０４を含むと表現することもできる。フレーム３０２の外形も検出光学ユニットを充填して配置できるよう扇型となっている。その他の表現としては、フレーム３０２は、第３の弦３０５、及び第３の弦３０５よりも短い第４の弦３０６を含むと表現することもできる。すなわち、レンズ３０１及びフレーム３０２は、受光面を正面から見たときに（図３Ａ参照）、片側（第１の側）が他の側（第２の側）に比べて細い形状となっていると表現することもできる。なお、上記の「検出光学ユニットを充填して配置する」という表現は、各検出光学ユニットをウエハ１００に対してより近い位置に配置しながら、複数の検出光学ユニットの間で形成される空間をより小さくすることを意味する。
【００２２】
このようなレンズユニット３００を採用した効果は図４Ａ及び図４Ｂを用いて説明することができる。図４Ａは、従来のレンズユニットを備える４個の検出光学ユニットを配置した例であり、検出光学ユニットの配置をウエハの上方から見た図である。従来のレンズユニットでは、レンズの外形が円形であり、レンズを保持するフレームも同様の形状を有する。したがって、図４Ａに示すように、検出光学ユニットを配置したときに、検出光学ユニットの間で形成される空間（図４Ａの網掛け部分）が大きくなる。また、隣り合う検出光学ユニットが干渉し合うため、各検出光学ユニットをウエハに対して近い位置に配置できない。したがって、従来のレンズユニットでは、大きく開いた空間を散乱光が抜けたり、微弱な散乱光を検出しにくいことから、散乱光を効率的に捕捉することができなかった。また、装置自体の取付スペースも大きくなる。
【００２３】
一方、図４Ｂは、本実施例のレンズユニット３００を備える奇数個の検出光学ユニットを配置した例である。上述したように、本発明のレンズユニット３００のレンズ３０１及びフレーム３０２は、受光面を正面から見たときに（図３Ａ参照）、片側の外形を除去して他の側に比べて細い形状となっている。したがって、図４Ｂに示すように、検出光学ユニット２０１〜２０５の数を増やし、かつ、各検出光学ユニット２０１〜２０５をウエハ１００に対してより近い位置に配置しながら、複数の検出光学ユニット２０１〜２０５の間で形成される空間（図４Ｂの網掛け部分）をより小さくすることができる。この構成によれば、散乱光が空間を抜けにくくなり、かつ、微弱な散乱光も検出し易くなるため、ウエハ１００からの散乱光の検出率が向上する。また、装置自体をコンパクトに構成することも可能となる。
【００２４】
さらに、検出光学ユニットを奇数個配置する効果は図５Ａ及び図５Ｂを用いて説明することができる。図５Ａは、従来のレンズユニットを備える４個の検出光学ユニットを配置した例において、指向性散乱光が生じた場合を説明する図である。図５Ａでは、隣り合う検出光学ユニットの接点間を結ぶ線は直線５０１となる。したがって、図５Ａに示すように指向性欠陥から飛散した特定の方向に飛散した光Ａ（以下、指向性散乱光Ａという）が生じた場合、より具体的には、直線５０１に沿うように指向性散乱光Ａが生じた場合、指向性散乱光Ａが検出光学ユニットの間を抜けてしまい、検出光学ユニットでうまく捕捉することができない。
【００２５】
一方、図５Ｂは、本実施例のレンズユニット３００を備える奇数個の検出光学ユニットを配置した例である。図５Ｂでは、隣り合う検出光学ユニットの接点間を結ぶ線は曲線５０２となる。したがって、図５Ｂに示すように指向性散乱光Ａが生じた場合でも、指向性散乱光Ａが検出光学ユニットの間を抜けることなく、少なくとも１つの検出光学ユニットで指向性散乱光Ａを検出することが可能になる。したがって、指向性散乱光を高感度に検出することができる。
【００２６】
次に、本実施例における欠陥の判別処理について説明する。欠陥の判別処理は、第１の検出光学系１０８、及び第２の検出光学系１０９の少なくとも１つを用いて行われる。以下では、ウエハ１００上の凹んだ欠陥から散乱する光が高い仰角で散乱し、指向性散乱光となり得る傾向にある点を考慮して、第２の検出光学系１０９での検出結果を用いた欠陥の判別処理の例を説明する。一例として、スタッキングフォルトとそれ以外の欠陥との分類処理について説明する。
【００２７】
図６Ａは、本実施例における欠陥判別処理の第１の例を示すフローチャートである。まず、照明光学系１１０によってウエハ１００上に光を供給し、照明領域を形成する（６０１）。照明領域の形成によって発生した散乱光が、第２の検出光学系１０９によって検出される（６０２）。第２の検出光学系１０９からの信号は、プリアンプ１０６によって増幅される（６０３）。プリアンプ１０６を経由した信号は、処理部１０７に送信される。
【００２８】
次に、処理部１０７によって、第２の検出光学系１０９において特定の検出光学ユニットで強い信号が得られたかが判定される（６０４）。例えば、「強い信号」は、図５Ｂの検出光学ユニット２０１で検出された信号Ｉ１が、所定のしきい値（Ｉｔｈ１）よりも大きいか（Ｉ１＞Ｉｔｈ１）どうかで判定することができる。特定の検出光学ユニットで強い信号が得られた場合、処理部１０７が、スタッキングフォルトであると判定する（６０５）。そうでない場合、処理部１０７は、スタッキングフォルト以外の欠陥であると判定する（６０６）。なお、ここでの欠陥の判別結果は、処理部１０７に接続された図示しない操作系の出力装置（ディスプレイ、プリンタなど）に表示／出力されてもよい。以上の判別処理により、指向性欠陥と、それ以外の欠陥との分類が可能となる。
【００２９】
図６Ｂは、本実施例における欠陥判別処理の第２の例を示すフローチャートである。図６Ａと同じ処理については、同じ符号を付して説明を省略する。この例では、第２の検出光学系１０９の中の複数の検出光学ユニットで信号が得られた場合において、特定の検出光学ユニットで得られた信号が、他の検出光学ユニットで得られた信号よりも大きいかが判定される。
【００３０】
図５Ｂの例では、指向性散乱光Ａは、検出光学ユニット２０１で検出されるとともに、検出光学ユニット２０３、２０４でも検出され得ることが分かる。ここで、検出光学ユニット２０１で検出される信号をＩ１とし、検出光学ユニット２０３で検出される信号をＩ２とし、検出光学ユニット２０４で検出される信号をＩ３とする。このとき、検出光学ユニット２０１で検出される信号をＩ１は、検出光学ユニット２０３、２０４で検出される信号をＩ２、Ｉ３よりも大きくなると考えられる。したがって、処理部１０７によって、第２の検出光学系１０９において、信号Ｉ１、信号Ｉ２（Ｉ１＞Ｉ２）、信号Ｉ３（Ｉ１＞Ｉ３）が得られたかが判定される（６０７）。信号Ｉ１、信号Ｉ２（Ｉ１＞Ｉ２）、信号Ｉ３（Ｉ１＞Ｉ３）が得られた場合、処理部１０７が、スタッキングフォルトであると判定する（６０５）。そうでない場合、処理部１０７は、スタッキングフォルト以外の欠陥であると判定する（６０６）。
【００３１】
なお、ステップ６０７における条件は、この例に限定されず、他の条件に変更したり、他の条件をさらに加えてもよい。例えば、ステップ６０７の条件に対して、信号Ｉ２の値と信号Ｉ３の値が同じ程度である、すなわち、信号Ｉ２と信号Ｉ３の差が所定の範囲内に入るという条件を加えてもよい。
【００３２】
また、さらに別の条件として、信号Ｉ１と信号Ｉ２との差が所定のしきい値（Ｉｔｈ２）よりも大きく、かつ、信号Ｉ１と信号Ｉ３との差が所定のしきい値（Ｉｔｈ２）よりも大きい場合に、スタッキングフォルトの欠陥であると判定してもよい。
【００３３】
本実施例は、第１の仰角θ１で配置される第１の検出光学系１０８と、第１の仰角θ１よりも高い第２の仰角θ２で配置される第２の検出光学系１０９とを有し、第２の検出光学系１０９は奇数個の検出光学ユニット２０１〜２０５を含むことを特徴とする。この構成によれば、特定の方向に散乱光を強く飛散させる欠陥を高感度に検出することができる。
【００３４】
また、本実施例では、検出光学ユニット内のレンズ３０１の形状は、円から少なくともその一部を除去した形状である。また、フレーム３０２の外形は、少なくともその一部を除去した形状である。これにより、レンズ３０１及びフレーム３０２は、片側が他の側に比べて細い形状となっている。この構成によれば、各検出光学ユニットをウエハ１００に対してより近い位置に配置しながら、複数の検出光学ユニットの間で形成される空間をより小さくすることができる。したがって、散乱光の検出率を向上させることができる。
【００３５】
［第２実施例］
次に第２実施例について説明する。図７Ａ及び図７Ｂは、第２実施例の検査装置を説明する図である。本実施例では、第３の検出光学系１１１が追加されている。第３の検出光学系１１１は、ウエハ１００に対して、第２の仰角θ２よりも高い第３の仰角θ３で配置されている。第３の検出光学系１１１を配置することで、散乱光の検出率をさらに向上させることができる。
【００３６】
本実施例では、第１の検出光学系１０８の検出光学ユニットの数は例えば１１個であり、第２の検出光学系１０９の検出光学ユニットの数は７個であり、第３の検出光学系１１１の検出光学ユニットの数は５個である。
【００３７】
第１の検出光学系１０８の検出光学ユニットは、入射面２１２に対しては実質的に対称となるが、入射面２１２と交差（より具体的には直交）する面２１３に対しては実質的に非対称となるよう配置される。また、第２の検出光学系１０９の検出光学ユニットは、入射面２１２に対しては実質的に対称となるが、入射面２１２と交差（より具体的には直交）する面２１３に対しては実質的に非対称となるよう配置される。さらに、第３の検出光学系１１１の検出光学ユニットは、入射面２１２に対しては実質的に対称となるが、入射面２１２と交差（より具体的には直交）する面２１３に対しては実質的に非対称となるよう配置される。
【００３８】
第１の検出光学系１０８、第２の検出光学系１０９、及び第３の検出光学系１１１の検出光学ユニットの受光面に関して、第２の検出光学系１０９の各検出光学ユニットの受光面の任意の点を結ぶ曲線７１２は、第１の検出光学系１０８の各検出光学ユニットの受光面の任意の点を結ぶ曲線７１１よりも内側に配置される。また、第３の検出光学系１１１の各検出光学ユニットの受光面の任意の点を結ぶ曲線７１３は、第２の検出光学系１０９の各検出光学ユニットの受光面の任意の点を結ぶ曲線７１２よりも内側に配置される。
【００３９】
第１の検出光学系１０８、第２の検出光学系１０９、及び第３の検出光学系１１１の検出光学ユニットに関して、検出光学ユニットの方位角はそれぞれ異なってもよいし、その一部の検出光学ユニットの方位角が、他の検出光学ユニットの方位角と同じになっていてもよい。
【００４０】
また、第１の検出光学系１０８、第２の検出光学系１０９、及び第３の検出光学系１１１の検出光学ユニットの間で、各検出光学ユニットをより充填して配置するために、レンズユニット３００の大きさ、第１及び第２の弦３０３、３０４の長さ、第３及び第４の弦３０５、３０６の長さは、それぞれ異なってもよい。
【００４１】
本実施例において、欠陥の判別処理は、第１の検出光学系１０８、第２の検出光学系１０９、及び第３の検出光学系１１１の少なくとも１つを用いて行われる。本実施例における欠陥の判別処理は、図６Ａ及び図６Ｂで説明した処理と同じでもよいし、異なるようにしてもよい。例えば、第３の検出光学系１１１での検出結果を用いた更なる条件を設定し、処理部１０７が、この条件を用いて欠陥の判別処理を行ってもよい。
【００４２】
また、第２の検出光学系１０９及び第３の検出光学系１１１の両方の検出光学ユニットで検出された結果を考慮して、処理部１０７が、欠陥の判別処理を行ってもよい。第２の検出光学系１０９及び第３の検出光学系１１１の両方での検出結果を判定条件として設定することで、欠陥からの散乱光の空間的な分布を考慮して、欠陥の分類処理を細分化することができる。また、分類精度をさらに向上させることもできる。
【００４３】
本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。上記実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることもできる。また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることもできる。また、各実施例の構成の一部について、他の構成を追加・削除・置換することもできる。
【００４４】
上記の処理部１０７の処理手段などは、プロセッサがそれぞれの機能を実現するプログラムを解釈し、実行することによりソフトウェアで実現してもよい。各機能を実現するプログラム、テーブル、ファイルなどの情報は、メモリやハードディスク、何らかの記憶媒体に置くことができる。また、上記で説明した処理部１０７の処理手段などは、それらの一部あるいは全部を、例えば集積回路で設計するなどによりハードウェアで実現してもよい。
【００４５】
また、図面における制御線や情報線は、説明上必要と考えられるものを示しており、製品上必ずしも全ての制御線や情報線を示しているとは限らない。全ての構成が相互に接続されていてもよい。
【符号の説明】
【００４６】
１００  ：ウエハ
１０１  ：ウエハチャック
１０２  ：回転用モータ
１０３  ：送りステージ
１０４  ：送りステージ用モータ
１０５  ：制御部
１０６  ：プリアンプ
１０７  ：処理部
１０８  ：第１の検出光学系
１０９  ：第２の検出光学系
１１０  ：照明光学系
１１１  ：第３の検出光学系
２０１〜２１１  ：検出光学ユニット
２１２  ：入射面
２１３  ：入射面と交差する面
３００  ：レンズユニット
３０１  ：レンズ
３０２  ：フレーム
θ      ：方位角
θ１    ：第１の仰角
θ２    ：第２の仰角
θ３    ：第３の仰角
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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