(57)【要約】【課題】適切な吸着確認高さを容易かつ迅速に設定することができる電子部品搬送装置および電子部品検査装置を提供すること。【解決手段】負圧を発生させる負圧発生部と、電子部品を前記負圧発生部の作動により把持可能な把持部と、前記負圧発生部と前記把持部との間に配置され、流体が通過可能な流路と、前記電子部品が載置される載置部と、前記流路内の圧力を検出する検出部と、を備え、前記把持部を前記載置部に対して第１基準高さまで移動させ、前記検出部により前記圧力を検出し、前記検出部の検出結果に基づいて、前記把持部を前記載置部に対して接近または離間させ、前記検出部により検出される前記圧力が変化するまでの前記載置部に対する前記把持部の所定高さを第２基準高さとすることを特徴とする電子部品搬送装置。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
負圧を発生させる負圧発生部と、
電子部品を前記負圧発生部の作動により把持可能な把持部と、
前記負圧発生部と前記把持部との間に配置され、流体が通過可能な流路と、
前記電子部品が載置される載置部と、
前記流路内の圧力を検出する検出部と、を備え、
前記把持部を前記載置部に対して第１基準高さまで移動させ、
前記検出部により前記圧力を検出し、
前記検出部の検出結果に基づいて、前記把持部を前記載置部に対して接近または離間させ、
前記検出部により検出される前記圧力が変化するまでの前記載置部に対する前記把持部の所定高さを第２基準高さとすることを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項２】
前記把持部を前記載置部に対して段階的に接近または離間させる請求項１に記載の電子部品搬送装置。
【請求項３】
前記把持部を前記載置部に対して接近または離間させる距離は、１段階当たり、０．０１ｍｍ以上、１ｍｍ以下である請求項２に記載の電子部品搬送装置。
【請求項４】
前記把持部を前記載置部に対して段階的に接近または離間させるたびに前記検出部により前記圧力を検出する請求項２または３に記載の電子部品搬送装置。
【請求項５】
前記検出部により検出される前記圧力が変化したときの前記載置部に対する前記把持部の高さを前記第２基準高さとする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項６】
前記第１基準高さは、前記載置部の底部と同一の高さである請求項１ないし５のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項７】
前記検出部により検出される前記圧力が変化した場合、１回前の前記圧力の検出のときの前記載置部に対する前記把持部の高さを前記第２基準高さとする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項８】
前記第１基準高さは、前記載置部の底部から所定距離離間した位置の高さである請求項１ないし４、７のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項９】
前記所定距離は、１ｍｍ以上、１０ｍｍ以下である請求項８に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１０】
前記第２基準高さの情報は、前記載置部における前記電子部品の有無の検出に用いられる請求項１ないし９のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１１】
前記載置部は、前記電子部品の検査において前記電子部品を保持する保持部である請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１２】
前記第２基準高さを表示する表示部を有する請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１３】
負圧を発生させる負圧発生部と、
電子部品を前記負圧発生部の作動により把持可能な把持部と、
前記負圧発生部と前記把持部との間に配置され、流体が通過可能な流路と、
前記電子部品が載置される載置部と、
前記流路内の圧力を検出する検出部と、
前記電子部品を検査する検査部と、を備え、
前記把持部を前記載置部に対して第１基準高さまで移動させ、
前記検出部により前記圧力を検出し、
前記検出部の検出結果に基づいて、前記把持部を前記載置部に対して接近または離間させ、
前記検出部により検出される前記圧力が変化するまでの前記載置部に対する前記把持部の所定高さを第２基準高さとすることを特徴とする電子部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品搬送装置および電子部品検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えばＩＣデバイス等の電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置が知られており、この電子部品検査装置には、検査部の保持部までＩＣデバイスを搬送するための電子部品搬送装置が組み込まれている（例えば、特許文献１参照）。ＩＣデバイスの検査の際は、ＩＣデバイスが保持部に配置され、保持部に設けられた複数のプローブピンとＩＣデバイスの各端子とを接触させる。
【０００３】
前記電子部品搬送装置は、事前にＩＣデバイスを加熱または冷却して、ＩＣデバイスの温度を検査に適した温度に調整するソークプレートと、ソークプレートで温度調整されたＩＣデバイスを検査部の近傍まで搬送する供給シャトルと、ＩＣデバイスが配置されたトレイとソークプレートとの間のＩＣデバイスの搬送およびソークプレートと供給シャトルとの間のＩＣデバイスの搬送を行う供給用デバイス搬送ヘッドと、検査後のＩＣデバイスを搬送する回収シャトルと、供給シャトルと検査部との間のＩＣデバイスの搬送および検査部と回収シャトルとの間のＩＣデバイスの搬送を行う検査用デバイス搬送ヘッドと、回収シャトルと回収されるＩＣデバイスが配置されるトレイとの間のＩＣデバイスの搬送を行う回収用デバイス搬送ヘッド等を有している。また、供給用デバイス搬送ヘッド、検査用デバイス搬送ヘッドおよび回収用デバイス搬送ヘッドは、それぞれ、ＩＣデバイスを吸着することで把持する吸着ノズルを有するハンドユニットを備えている。
【０００４】
このような電子部品搬送装置は、ダブルデバイス検出（デバイス残留検出）機能を有している。ダブルデバイス検出とは、保持部から回収されたはずのＩＣデバイスが保持部に残留していないかをチェックする機能である。もしも保持部にＩＣデバイスが残留していると、その残留しているＩＣデバイスの検査結果が、その後のすべてのＩＣデバイスの検査結果となってしまうため、前記ダブルデバイス検出を行うことにより、このような弊害を防止する。
【０００５】
ダブルデバイス検出では、例えば、検査用デバイス搬送ヘッドのハンドユニットの吸着ノズルを検査部の保持部に下降させ、その吸着ノズルで吸着動作を行い、圧力センサーで前記吸着ノズルに連通する流路内の圧力を検出し、その検出結果に基づいて、保持部にＩＣデバイスが残っているか否かを判断する。ＩＣデバイスが保持部に残っている場合は、吸着ノズルによりＩＣデバイスが吸着されるので、圧力センサーにより検出される圧力は、小さい値となる。また、ＩＣデバイスが保持部に残っていない場合は、吸着ノズルによりＩＣデバイスが吸着されないので、圧力センサーにより検出される圧力は、大きい値となる。また、このダブルデバイス検出におけるハンドユニットの吸着ノズルと保持部の底部との距離は「吸着確認高さ」と呼ばれている。そして、前記吸着確認高さを設定する作業は、使用者が手動で行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−２６６８１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来では、ダブルデバイス検出における吸着確認高さを設定する作業は、使用者が手動で行っているので、その作業に手間および時間がかかり、また、吸着確認高さとして適切な値を設定することが困難である。
【０００８】
吸着確認高さの設定値が高すぎると、ＩＣデバイスが検査部の保持部に残留している場合でも、吸着ノズルがそのＩＣデバイスを吸着することができず、前記残留しているＩＣデバイスを検出することができない虞がある。
【０００９】
また、吸着確認高さの設定値が低すぎると、ＩＣデバイスが検査部の保持部に残留していない場合でも、吸着ノズルが保持部の底部を吸着してしまい、ＩＣデバイスが残留していると判断してしまう。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下のものとして実現することが可能である。
【００１１】
本発明の電子部品搬送装置は、負圧を発生させる負圧発生部と、
電子部品を前記負圧発生部の作動により把持可能な把持部と、
前記負圧発生部と前記把持部との間に配置され、流体が通過可能な流路と、
前記電子部品が載置される載置部と、
前記流路内の圧力を検出する検出部と、を備え、
前記把持部を前記載置部に対して第１基準高さまで移動させ、
前記検出部により前記圧力を検出し、
前記検出部の検出結果に基づいて、前記把持部を前記載置部に対して接近または離間させ、
前記検出部により検出される前記圧力が変化するまでの前記載置部に対する前記把持部の所定高さを第２基準高さとすることを特徴とする。
これにより、第２基準高さの設定を容易、迅速かつ適切に行うことができる。
【００１２】
本発明の電子部品搬送装置では、前記把持部を前記載置部に対して段階的に接近または離間させることが好ましい。
これにより、第２基準高さの設定をより適切に行うことができる。
【００１３】
本発明の電子部品搬送装置では、前記把持部を前記載置部に対して接近または離間させる距離は、１段階当たり、０．０１ｍｍ以上、１ｍｍ以下であることが好ましい。
これにより、第２基準高さの設定をより迅速かつ適切に行うことができる。
【００１４】
本発明の電子部品搬送装置では、前記把持部を前記載置部に対して段階的に接近または離間させるたびに前記検出部により前記圧力を検出することが好ましい。
これにより、第２基準高さの設定をより適切に行うことができる。
【００１５】
本発明の電子部品搬送装置では、前記検出部により検出される前記圧力が変化したときの前記載置部に対する前記把持部の高さを前記第２基準高さとすることが好ましい。
これにより、第２基準高さの設定をより適切に行うことができる。
【００１６】
本発明の電子部品搬送装置では、前記第１基準高さは、前記載置部の底部と同一の高さであることが好ましい。
これにより、第２基準高さの設定をより適切に行うことができる。
【００１７】
本発明の電子部品搬送装置では、前記検出部により検出される前記圧力が変化した場合、１回前の前記圧力の検出のときの前記載置部に対する前記把持部の高さを前記第２基準高さとすることが好ましい。
これにより、第２基準高さの設定をより適切に行うことができる。
【００１８】
本発明の電子部品搬送装置では、前記第１基準高さは、前記載置部の底部から所定距離離間した位置の高さであることが好ましい。
これにより、第２基準高さの設定をより適切に行うことができる。
【００１９】
本発明の電子部品搬送装置では、前記所定距離は、１ｍｍ以上、１０ｍｍ以下であることが好ましい。
【００２０】
前記所定距離が大きすぎると時間がかかり、また、小さすぎると第２基準高さの設定ができなくなるので、これにより、第２基準高さの設定をより迅速かつ適切に行うことができる。
【００２１】
本発明の電子部品搬送装置では、前記第２基準高さの情報は、前記載置部における前記電子部品の有無の検出に用いられることが好ましい。
これにより、載置部における電子部品の有無の検出を適切に行うことができる。
【００２２】
本発明の電子部品搬送装置では、前記載置部は、前記電子部品の検査において前記電子部品を保持する保持部であることが好ましい。
【００２３】
これにより、電子部品の検査において、その電子部品を保持する保持部における前記電子部品の有無の検出を適切に行うことができる。
【００２４】
本発明の電子部品搬送装置では、前記第２基準高さを表示する表示部を有することが好ましい。
これにより、使用者は、設定された第２基準高さを容易に把握することができる。
【００２５】
本発明の電子部品検査装置は、負圧を発生させる負圧発生部と、
電子部品を前記負圧発生部の作動により把持可能な把持部と、
前記負圧発生部と前記把持部との間に配置され、流体が通過可能な流路と、
前記電子部品が載置される載置部と、
前記流路内の圧力を検出する検出部と、
前記電子部品を検査する検査部と、を備え、
前記把持部を前記載置部に対して第１基準高さまで移動させ、
前記検出部により前記圧力を検出し、
前記検出部の検出結果に基づいて、前記把持部を前記載置部に対して接近または離間させ、
前記検出部により検出される前記圧力が変化するまでの前記載置部に対する前記把持部の所定高さを第２基準高さとすることを特徴とする。
これにより、第２基準高さの設定を容易、迅速かつ適切に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の電子部品検査装置の第１実施形態を正面側から見た概略斜視図である。
【図２】図１に示す電子部品検査装置の動作状態を示す概略平面図である。
【図３】図１に示す電子部品検査装置のブロック図である。
【図４】図１に示す電子部品検査装置の吸着確認高さを設定する際の動作を説明するための図である。
【図５】図１に示す電子部品検査装置の吸着確認高さを設定する際の動作を説明するための図である。
【図６】図１に示す電子部品検査装置の制御動作を示すフローチャートである。
【図７】本発明の電子部品検査装置の第２実施形態において、吸着確認高さを設定する際の動作を説明するための図である。
【図８】本発明の電子部品検査装置の第２実施形態において、吸着確認高さを設定する際の動作を説明するための図である。
【図９】本発明の電子部品検査装置の第２実施形態における制御動作を示すフローチャートである。
【図１０】本発明の電子部品検査装置の第３実施形態における制御動作を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００２８】
＜第１実施形態＞
以下、図１〜図６を参照して第１実施形態について説明する。なお、説明の便宜上、図１に示すように、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とする。また、Ｘ軸とＹ軸を含むＸＹ平面が水平となっており、Ｚ軸が鉛直となっている。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ方向」とも言い、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ方向」とも言い、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ方向」とも言う。また、各方向の矢印が向いた方向を「正」、その反対方向を「負」と言う。また、図１、図４および図５中の上側を「上（または上方）」と言い、下側を「下（または下方）」と言うこともある。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干（例えば５°未満程度）傾いた状態も含む。
【００２９】
図１、図２に示す検査装置（電子部品検査装置）１は、例えば、ＢＧＡ（Ball Grid Array）パッケージであるＩＣデバイス等の電子部品を搬送し、その搬送過程で電気的特性を検査・試験（以下単に「検査」と言う）する装置である。なお、以下では、説明の便宜上、前記電子部品としてＩＣデバイスを用いる場合について代表して説明し、これを「ＩＣデバイス９０」とする。
【００３０】
図２に示すように、検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１と、デバイス供給領域（以下単に「供給領域」と言う）Ａ２と、検査領域Ａ３と、デバイス回収領域（以下単に「回収領域」と言う）Ａ４と、トレイ除去領域Ａ５とに分けられている。そして、ＩＣデバイス９０は、トレイ供給領域Ａ１からトレイ除去領域Ａ５まで前記各領域を順に経由し、途中の検査領域Ａ３で検査が行われる。このように検査装置１は、各領域でＩＣデバイス９０を搬送する電子部品搬送装置（ハンドラー）と、検査領域Ａ３内で検査を行なう検査部１６とを備えている。また、電子部品搬送装置は、制御部８００と、モニター（表示部）３００と、シグナルランプ４００と、スピーカー５００と、操作パネル７００とを備えている（図１、図３参照）。
【００３１】
なお、検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１、トレイ除去領域Ａ５が配された方（図２中の下側）が正面側となり、その反対側、すなわち、検査領域Ａ３が配された方（図２中の上側）が背面側として使用される。
【００３２】
トレイ供給領域Ａ１は、未検査状態の複数のＩＣデバイス９０が配列されたトレイ（載置部材）２００が供給される給材部である。トレイ供給領域Ａ１では、多数のトレイ２００を積み重ねることができる。
【００３３】
供給領域Ａ２は、トレイ供給領域Ａ１からのトレイ２００上に配置された複数のＩＣデバイス９０がそれぞれ検査領域Ａ３まで供給される領域である。なお、トレイ供給領域Ａ１と供給領域Ａ２とを跨ぐように、トレイ２００を１枚ずつ水平方向に搬送するトレイ搬送機構１１Ａ、１１Ｂが設けられている。トレイ搬送機構１１Ａは、トレイ２００を、当該トレイ２００に載置されたＩＣデバイス９０ごとＹ方向の正側に移動させることができる移動部である。これにより、ＩＣデバイス９０を安定して供給領域Ａ２に送り込むことができる。また、トレイ搬送機構１１Ｂは、空のトレイ２００をＹ方向の負側に、すなわち、供給領域Ａ２からトレイ供給領域Ａ１に移動させることができる移動部である。
【００３４】
供給領域Ａ２には、温度調整部（ソークプレート（英語表記：soak plate、中国語表記（一例）：均温板））１２と、デバイス搬送ヘッド１３と、トレイ搬送機構１５とが設けられている。
【００３５】
温度調整部１２は、複数のＩＣデバイス９０を一括して冷却または加熱することができるものであり、「ソークプレート」と呼ばれることがある。このソークプレートにより、検査部１６で検査される前のＩＣデバイス９０を予め冷却または加熱して、当該検査に適した温度に調整することができる。図２に示す構成では、温度調整部１２は、Ｙ方向に２つ配置、固定されている。そして、トレイ搬送機構１１Ａによってトレイ供給領域Ａ１から搬入された（搬送されてきた）トレイ２００上のＩＣデバイス９０は、いずれかの温度調整部１２まで搬送される。
【００３６】
デバイス搬送ヘッド１３は、供給領域Ａ２内でＸ方向およびＹ方向、さらにＺ方向にも移動可能に支持されている。これにより、デバイス搬送ヘッド１３は、トレイ供給領域Ａ１から搬入されたトレイ２００と温度調整部１２との間のＩＣデバイス９０の搬送と、温度調整部１２と後述するデバイス供給部１４との間のＩＣデバイス９０の搬送とを担うことができる。
【００３７】
デバイス搬送ヘッド１３は、ＩＣデバイス９０を把持する把持部として、複数のハンドユニット１３１を有している（図２には、代表して１つの符号「１３１」のみが記載されている）。ハンドユニット１３１は、後述するデバイス搬送ヘッド１７のハンドユニット１７５と同様に、吸着ノズルを備え、その吸着ノズルでＩＣデバイス９０を吸着することで把持する。
【００３８】
トレイ搬送機構１５は、全てのＩＣデバイス９０が除去された状態の空のトレイ２００を供給領域Ａ２内でＸ方向の正側に搬送させる機構である。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、トレイ搬送機構１１Ｂによって供給領域Ａ２からトレイ供給領域Ａ１に戻される。
【００３９】
検査領域Ａ３は、ＩＣデバイス９０を検査する領域である。この検査領域Ａ３には、検査部１６と、デバイス搬送ヘッド１７とが設けられている。また、供給領域Ａ２と検査領域Ａ３とを跨ぐように移動するデバイス供給部１４と、検査領域Ａ３と回収領域Ａ４とを跨ぐように移動するデバイス回収部１８も設けられている。
【００４０】
デバイス供給部１４は、温度調整部１２で温度調整されたＩＣデバイス９０が載置され、当該ＩＣデバイス９０を検査部１６近傍まで搬送する（移動させる）ことができる載置部であり、「供給用シャトルプレート」と呼ばれることがある。
【００４１】
デバイス供給部１４は、Ｘ方向およびＹ方向にそれぞれ複数個、すなわち、行列状に配置された凹部（ポケット）１４１を有している（図２には、代表して１つの符号「１４１」のみが記載されている）。各凹部１４１には、検査部１６で検査される前のＩＣデバイス９０が１つずつ収納される。
【００４２】
また、デバイス供給部１４は、供給領域Ａ２と検査領域Ａ３との間をＸ方向に沿って水平方向に移動可能に支持されている。図２に示す構成では、デバイス供給部１４は、Ｙ方向に２つ配置されており、温度調整部１２上のＩＣデバイス９０は、いずれかのデバイス供給部１４まで搬送される。また、デバイス供給部１４は、前記温度調整されたＩＣデバイス９０に対して、その温度調整状態を維持することができるよう構成されている。これにより、ＩＣデバイス９０を冷却または加熱することができ、よって、当該ＩＣデバイス９０の温度調整状態を維持することができる。
【００４３】
検査部１６は、ＩＣデバイス９０を載置（保持）して、当該ＩＣデバイス９０の電気的特性を検査・試験する（電気的な検査を行う）ユニット、すなわち、ＩＣデバイス９０を検査する場合にそのＩＣデバイス９０が載置される部材である。
【００４４】
検査部１６の上面には、ＩＣデバイス９０を収容（載置）（保持）する凹部である複数の保持部１６１が設けられている（図２、図４参照）（図２には、代表して１つの符号「１６１」のみが記載されている）。ＩＣデバイス９０は、保持部１６１に収容され、これにより、検査部１６に載置される。
【００４５】
また、検査部１６の各保持部１６１に対応する位置には、それぞれ、ＩＣデバイス９０を保持部１６１に保持した状態で当該ＩＣデバイス９０の端子と電気的に接続されるプローブピンが設けられている。そして、ＩＣデバイス９０の端子とプローブピンとが電気的に接続され（接触し）、プローブピンを介してＩＣデバイス９０の検査が行われる。ＩＣデバイス９０の検査は、検査部１６に接続される図示しないテスターが備える検査制御部により、その検査制御部の記憶部に記憶されているプログラムに基づいて行われる。なお、検査部１６では、温度調整部１２と同様に、ＩＣデバイス９０を加熱または冷却して、当該ＩＣデバイス９０を検査に適した温度に調整することができる。
【００４６】
デバイス搬送ヘッド１７は、検査領域Ａ３内でＹ方向およびＺ方向に移動可能に支持されている。また、デバイス搬送ヘッド１７は、供給領域Ａ２から搬入されたデバイス供給部１４上のＩＣデバイス９０を検査部１６上に搬送し、載置することができ、また、検査部１６上のＩＣデバイス９０を、デバイス回収部１８上に搬送し、載置することができる。また、ＩＣデバイス９０を検査する場合は、デバイス搬送ヘッド１７は、ＩＣデバイス９０を検査部１６に向けて押圧し、これにより、ＩＣデバイス９０を検査部１６に当接させる。これによって、前述したように、ＩＣデバイス９０の端子と検査部１６のプローブピンとが電気的に接続される。なお、デバイス搬送ヘッド１７も、ＩＣデバイス９０を冷却または加熱して、当該ＩＣデバイス９０を検査に適した温度に調整することができる。
【００４７】
このデバイス搬送ヘッド１７は、ＩＣデバイス９０を把持する把持部として、複数のハンドユニット１７５を有している（図２、図４参照）（図２には、代表して１つの符号「１７１」のみが記載されている）。ハンドユニット１７５は、吸着ノズル１７６を備え、その吸着ノズル１７６でＩＣデバイス９０を吸着することで把持する。すなわち、ハンドユニット１７５は、吸着ノズル１７６の先端部にＩＣデバイス９０を配置した状態で、エジェクター（負圧発生部）４２を駆動（作動）して空気（流体）を吸引し、吸着ノズル１７６の内腔を負圧状態にすることによって、吸着ノズル１７６の先端部でＩＣデバイス９０を把持（吸着把持）する。また、エジェクター４２を駆動して空気を供給し、吸着ノズル１７６の内腔の負圧状態を解除することによって、吸着ノズル１７６で把持しているＩＣデバイス９０を放す。なお、吸着ノズル１７６の内腔を含め、エジェクター４２から吸着ノズル１７６の先端部まで、空気（流体）が通過可能な流路１７７が形成されている。また、デバイス搬送ヘッド１７には、その流路１７７内の圧力を検出する圧力センサー（検出部）４１が設けられている。なお、エジェクター４２は、負圧を発生させる負圧発生部の一例であり、負圧発生部は、これに限定されず、例えば、ポンプ等が挙げられる。
【００４８】
デバイス回収部１８は、検査部１６での検査が終了したＩＣデバイス９０が載置され、当該ＩＣデバイス９０を回収領域Ａ４まで搬送する（移動させる）ことができる載置部であり、「回収用シャトルプレート」と呼ばれることがある。
【００４９】
デバイス回収部１８は、Ｘ方向およびＹ方向にそれぞれ複数個、すなわち、行列状に配置された凹部（ポケット）１８１を有している（図２には、代表して１つの符号「１８１」のみが記載されている）。
【００５０】
また、デバイス回収部１８は、検査領域Ａ３と回収領域Ａ４との間をＸ方向に沿って水平方向に移動可能に支持されている。また、図２に示す構成では、デバイス回収部１８は、デバイス供給部１４と同様に、Ｙ方向に２つ配置されており、検査部１６上のＩＣデバイス９０は、いずれかのデバイス回収部１８に搬送され、載置される。この搬送は、デバイス搬送ヘッド１７によって行なわれる。
【００５１】
また、検査装置１では、１つのデバイス供給部１４と１つのデバイス回収部１８とは、図示しない連結部を介して、Ｘ方向に連結されており、同方向に一括して移動するシャトルユニットを構成している。なお、デバイス供給部１４とデバイス回収部１８とは、独立して移動できるように構成されていてもよい。
【００５２】
回収領域Ａ４は、検査が終了した複数のＩＣデバイス９０が回収される領域である。この回収領域Ａ４には、回収用トレイ１９と、デバイス搬送ヘッド２０と、トレイ搬送機構２１とが設けられている。また、回収領域Ａ４には、空のトレイ２００も用意されている。
【００５３】
回収用トレイ１９は、検査部１６で検査されたＩＣデバイス９０が載置される載置部であり、回収領域Ａ４内で移動しないよう固定されている。これにより、デバイス搬送ヘッド２０等の各種可動部が比較的多く配置された回収領域Ａ４であっても、回収用トレイ１９上では、検査済みのＩＣデバイス９０が安定して載置されることとなる。なお、図２に示す構成では、回収用トレイ１９は、Ｘ方向に沿って３つ配置されている。
【００５４】
また、空のトレイ２００も、Ｘ方向に沿って３つ配置されている。この空のトレイ２００も、検査部１６で検査されたＩＣデバイス９０が載置される載置部となる。そして、回収領域Ａ４に移動してきたデバイス回収部１８上のＩＣデバイス９０は、回収用トレイ１９および空のトレイ２００のうちのいずれかに搬送され、載置される。これにより、ＩＣデバイス９０は、検査結果ごとに分類されて、回収されることとなる。
【００５５】
デバイス搬送ヘッド２０は、回収領域Ａ４内でＸ方向およびＹ方向、さらにＺ方向にも移動可能に支持されている。これにより、デバイス搬送ヘッド２０は、ＩＣデバイス９０をデバイス回収部１８から回収用トレイ１９や空のトレイ２００に搬送することができる。
【００５６】
デバイス搬送ヘッド２０は、ＩＣデバイス９０を把持する把持部として、複数のハンドユニット２０１を有している（図２には、代表して１つの符号「２０１」のみが記載されている）。ハンドユニット２０１は、前述したデバイス搬送ヘッド１７のハンドユニット１７５と同様に、吸着ノズルを備え、その吸着ノズルでＩＣデバイス９０を吸着することで把持する。
【００５７】
トレイ搬送機構２１は、トレイ除去領域Ａ５から搬入された空のトレイ２００を回収領域Ａ４内でＸ方向に搬送させる機構である。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、ＩＣデバイス９０が回収される位置に配されることとなる、すなわち、前記３つの空のトレイ２００のうちのいずれかとなり得る。
【００５８】
トレイ除去領域Ａ５は、検査済み状態の複数のＩＣデバイス９０が配列されたトレイ２００が回収され、除去される除材部である。トレイ除去領域Ａ５では、多数のトレイ２００を積み重ねることができる。
【００５９】
また、回収領域Ａ４とトレイ除去領域Ａ５とを跨ぐように、トレイ２００を１枚ずつＹ方向に搬送するトレイ搬送機構２２Ａ、２２Ｂが設けられている。トレイ搬送機構２２Ａは、トレイ２００をＹ方向に移動させることができる移動部である。これにより、検査済みのＩＣデバイス９０を回収領域Ａ４からトレイ除去領域Ａ５に搬送することができる。また、トレイ搬送機構２２Ｂは、ＩＣデバイス９０を回収するための空のトレイ２００をトレイ除去領域Ａ５から回収領域Ａ４に移動させることができる移動部である。
【００６０】
制御部８００は、例えば、トレイ搬送機構１１Ａ、１１Ｂと、温度調整部１２と、デバイス搬送ヘッド１３と、デバイス供給部１４と、トレイ搬送機構１５と、検査部１６と、デバイス搬送ヘッド１７と、デバイス回収部１８と、デバイス搬送ヘッド２０と、トレイ搬送機構２１と、トレイ搬送機構２２Ａ、２２Ｂと、モニター３００と、シグナルランプ４００と、スピーカー５００と、エジェクター４２の各部の駆動を制御する。
【００６１】
使用者（作業者）は、モニター３００を介して、検査装置１の動作条件等を設定したり、確認したりすることができる。このモニター３００は、例えば液晶画面で構成された表示画面（表示部）３０１を有し、検査装置１の正面側上部に配置されている。図１に示すように、トレイ除去領域Ａ５の図中の右側には、モニター３００に表示された画面を操作する際に用いられるマウスを載置するマウス台６００が設けられている。
【００６２】
また、モニター３００に対して図１中の右下方には、操作パネル７００が配置されている。操作パネル７００は、モニター３００とは別に、検査装置１に所望の動作を命令するものである。
【００６３】
また、シグナルランプ４００は、発光する色の組み合わせにより、検査装置１の作動状態等を報知することができる。シグナルランプ４００は、検査装置１の上部に配置されている。なお、検査装置１には、スピーカー５００が内蔵されており、このスピーカー５００によっても検査装置１の作動状態等を報知することもできる。
【００６４】
図２に示すように、検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１と供給領域Ａ２との間が第１隔壁６１によって区切られて（仕切られて）おり、供給領域Ａ２と検査領域Ａ３との間が第２隔壁６２によって区切られており、検査領域Ａ３と回収領域Ａ４との間が第３隔壁６３によって区切られており、回収領域Ａ４とトレイ除去領域Ａ５との間が第４隔壁６４によって区切られている。また、供給領域Ａ２と回収領域Ａ４との間も、第５隔壁６５によって区切られている。
【００６５】
第２隔壁６２には、開口部６２１、開口部６２２が形成されている。一方のデバイス供給部１４は、開口部６２１を通過することができる。これにより、開口部６２１は、デバイス供給部１４が供給領域Ａ２から検査領域Ａ３に入るときの入り口として機能し、デバイス供給部１４が検査領域Ａ３から供給領域Ａ２に出るとき出口として機能する。また、他方のデバイス供給部１４は、開口部６２２を通過することができる。これにより、開口部６２２も、デバイス供給部１４が供給領域Ａ２から検査領域Ａ３に入るときの入り口として機能し、デバイス供給部１４が検査領域Ａ３から供給領域Ａ２に出るとき出口として機能する。
【００６６】
また、第３隔壁６３にも、開口部６３１、開口部６３２が形成されている。一方のデバイス回収部１８は、開口部６３１を通過することができ、他方のデバイス回収部１８は、開口部６３２を通過することができる。
【００６７】
検査装置１は、最外装がカバーで覆われており、当該カバーには、例えばフロントカバー７０、サイドカバー７１、サイドカバー７２、リアカバー７３、トップカバー７４がある。
【００６８】
この検査装置１は、機能の１つとして、ダブルデバイス検出（デバイス残留検出）機能、すなわち、保持部１６１におけるＩＣデバイス９０の有無を検出する機能を有している。ダブルデバイス検出については、その一例を背景技術ですでに説明してあるので、その説明は省略する。
【００６９】
検査装置１は、ダブルデバイス検出を行う前に、そのダブルデバイス検出におけるデバイス搬送ヘッド１７のハンドユニット１７５の吸着確認高さ（第２基準高さ）を自動的に設定するように構成されている。前記吸着確認高さとは、デバイス搬送ヘッド１７のハンドユニット１７５の吸着ノズル１７６と、検査部１６の保持部１６１の底部（底面）１６２との距離である。吸着確認高さの情報は、ダブルデバイス検出において用いられる。また、吸着確認高さは、保持部１６１にＩＣデバイス９０が保持されていない状態で、エジェクター４２を作動させてハンドユニット１７５の吸着ノズル１７６で吸引を行った場合に、吸着ノズル１７６が保持部１６１の底部１６２を吸着せず、かつ、吸着ノズル１７６と保持部１６１の底部１６２との距離が最小の値に設定されることが好ましい。
【００７０】
この吸着確認高さの設定は、デバイス搬送ヘッド１７の各ハンドユニット１７５と検査部１６の各保持部１６１とのそれぞれで行ってもよく、また、一部（例えば、代表して１つ）のハンドユニット１７５と一部（例えば、代表して１つ）の保持部１６１とで行ってもよい。以下では、一例として、１つのハンドユニット１７５と１つの各保持部１６１とで行う場合について説明する。
【００７１】
まずは、吸着確認高さを設定する際の検査装置１の動作を簡単に説明する。
まず、保持部１６１に、ＩＣデバイス９０等、何も無い状態で、ハンドユニット１７５を保持部１６１に対して設定動作開始高さ（第１基準高さ）まで移動させる。前記設定動作開始高さとは、ハンドユニット１７５の吸着ノズル１７６と保持部１６１の底部１６２との距離（底部１６２からの吸着ノズル１７６の高さ）である。図４に示すように、本実施形態では、設定動作開始高さは、０（保持部１６１の底部１６２と同一の高さ）に設定される。すなわち、保持部１６１の底部１６２に、ハンドユニット１７５の吸着ノズル１７６が接触した状態とされる。
【００７２】
次に、エジェクター４２を作動させてハンドユニット１７５の吸着ノズル１７６で吸引し、圧力センサー４１で流路１７７内の圧力を検出する。最初は、吸着ノズル１７６は保持部１６１の底部１６２を吸着し、これにより、流路１７７内の圧力は減少し、前記検出値は、閾値未満となる。しかし、吸着ノズル１７６と保持部１６１の底部１６２とが離間してゆくと、前記検出値は、閾値以上となる。なお、吸着ノズル１７６が保持部１６１の底部１６２から若干離間しても前記検出値は、閾値未満である。この状態も吸着ノズル１７６が保持部１６１の底部１６２を吸着した状態と言う。
【００７３】
次に、図５に示すように、段階的に、ハンドユニット１７５を保持部１６１に対して離間させていき、圧力センサー４１で流路１７７内の圧力を検出し、圧力センサー４１で検出された圧力の検出値が閾値以上に変化した場合（圧力が変化した場合）、そのときのハンドユニット１７５の吸着ノズル１７６と保持部１６１の底部１６２との距離（底部１６２に対する吸着ノズル１７６の高さ）Ｌを、吸着確認高さとして設定する。
【００７４】
ここで、ハンドユニット１７５を保持部１６１に対して離間（後述する第２実施形態では接近）させる距離は、特に限定されず、諸条件により適宜設定されるものであるが、１段階当たり、０．０１ｍｍ以上、１ｍｍ以下であることが好ましく、０．０３ｍｍ以上、０．５ｍｍ以下であることがより好ましく、０．０５ｍｍ以上、０．２ｍｍ以下であることが特に好ましい。
【００７５】
前記距離が、前記下限値よりも小さいと、他の条件によっては、吸着確認高さの設定に長時間を要することとなる。また、前記距離が、前記上限値よりも大きいと、他の条件によっては、吸着確認高さを最良の値に設定できない虞がある。
【００７６】
次に、吸着確認高さの設定動作における制御部８００の制御動作について説明する。
図６に示すように、まず、デバイス搬送ヘッド１７のハンドユニット１７５を検査部１６の保持部１６１に移動させる（ステップＳ１０１）（図４参照）。
【００７７】
次いで、エジェクター４２を作動させ、ハンドユニット１７５の吸着ノズル１７６で吸引を開始する（ステップＳ１０２）。
【００７８】
次いで、圧力センサー４１で流路１７７内の圧力を検出する（ステップＳ１０３）。
次いで、圧力センサー４１で検出された圧力の検出値が閾値以上であるか否かを判断する（ステップＳ１０４）。
【００７９】
最初は、吸着ノズル１７６は保持部１６１の底部１６２を吸着し、これにより、流路１７７内の圧力は減少し、前記検出値は、閾値未満となる。前記検出値が閾値未満であることを「センサーオン」と言う。
【００８０】
ステップＳ１０４において、前記検出値が閾値以上ではない（センサーオン）と判断した場合は、ハンドユニット１７５を１段階上昇させ（ハンドユニット１７５を保持部１６１に対して１段階離間させ）（ステップＳ１０５）、ステップＳ１０３に戻り、再度、ステップＳ１０３以降を実行する。
【００８１】
ステップＳ１０３〜Ｓ１０５を繰り返すうちに、吸着ノズル１７６と保持部１６１の底部１６２との間の隙間が増大していき、吸着ノズル１７６は保持部１６１の底部１６２を吸着しなくなる。これにより、流路１７７内の圧力は増大し、前記検出値は、閾値以上となる。前記検出値が閾値以上であることを「センサーオフ」と言う。
【００８２】
ステップＳ１０４において、前記検出値が閾値以上である（センサーオフ）と判断した場合は、現在のハンドユニット１７５の吸着ノズル１７６と保持部１６１の底部１６２との距離を、吸着確認高さとして登録する（ステップＳ１０６）。具体的には、吸着確認高さを記憶部８０１に記憶する。以上で、吸着確認高さの設定が終了する。
【００８３】
また、設定された吸着確認高さは、モニター３００に表示される。これにより、使用者は、その吸着確認高さを容易に把握することができる。
【００８４】
以上説明したように、検査装置１によれば、吸着確認高さとして適切な値を設定することができる。
【００８５】
また、検査装置１が自動的に吸着確認高さを設定するので、その吸着確認高さの設定を容易かつ迅速に行うことができる。
【００８６】
＜第２実施形態＞
以下、図７〜図９を参照して第２実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【００８７】
まずは、吸着確認高さを設定する際の検査装置１の動作を簡単に説明する。
まず、保持部１６１に、ＩＣデバイス９０等、何も無い状態で、ハンドユニット１７５を保持部１６１に対して設定動作開始高さまで移動させる。図７に示すように、本実施形態では、設定動作開始高さは、０（保持部１６１の底部１６２と同一の高さ）よりも大きい所定の値、すなわち、底部１６２から所定距離離間した位置の高さに設定される。また、前記所定距離は、エジェクター４２を作動させてハンドユニット１７５の吸着ノズル１７６で吸引し、圧力センサー４１で流路１７７内の圧力を検出した場合、その圧力が、閾値以上となるように設定される。
【００８８】
ここで、前記所定距離は、前述したように、圧力センサー４１で検出された圧力が閾値以上となれば特に限定されず、諸条件により適宜設定されるものであるが、１ｍｍ以上、１０ｍｍ以下であることが好ましく、２ｍｍ以上、８ｍｍ以下であることがより好ましく、３ｍｍ以上、７ｍｍ以下であることが特に好ましい。
【００８９】
前記所定距離が、前記下限値よりも小さいと、他の条件によっては、初めからハンドユニット１７５の吸着ノズル１７６が保持部１６１の底部１６２を吸着してしまい、吸着確認高さを設定できない虞がある。また、前記所定距離が、前記上限値よりも大きいと、他の条件によっては、吸着確認高さの設定に長時間を要することとなる。
【００９０】
次に、エジェクター４２を作動させてハンドユニット１７５の吸着ノズル１７６で吸引し、圧力センサー４１で流路１７７内の圧力を検出する。最初は、吸着ノズル１７６は保持部１６１の底部１６２を吸着せず、これにより、前記検出値は、閾値以上である。しかし、吸着ノズル１７６と保持部１６１の底部１６２とが接近してゆくと、前記検出値は、閾値未満となる。
【００９１】
次に、図８に示すように、段階的に、ハンドユニット１７５を保持部１６１に対して接近させていき、圧力センサー４１で流路１７７内の圧力を検出し、圧力センサー４１で検出された圧力の検出値が閾値未満に変化した場合（圧力が変化した場合）、１回前の前記圧力の検出のときのハンドユニット１７５の吸着ノズル１７６と保持部１６１の底部１６２との距離（底部１６２に対する吸着ノズル１７６の高さ）を吸着確認高さとして設定する。
【００９２】
次に、吸着確認高さの設定動作における制御部８００の制御動作について説明する。
図９に示すように、まず、デバイス搬送ヘッド１７のハンドユニット１７５を検査部１６の保持部１６１の上空に移動させる（ステップＳ２０１）（図７参照）。
【００９３】
次いで、エジェクター４２を作動させ、ハンドユニット１７５の吸着ノズル１７６で吸引を開始する（ステップＳ２０２）。
【００９４】
次いで、圧力センサー４１で流路１７７内の圧力を検出する（ステップＳ２０３）。
次いで、圧力センサー４１で検出された圧力の検出値が閾値以上であるか否かを判断する（ステップＳ２０４）。
【００９５】
最初は、吸着ノズル１７６は保持部１６１の底部１６２を吸着せず、これにより、前記検出値は、閾値以上である。
【００９６】
ステップＳ２０４において、前記検出値が閾値以上である（センサーオフ）と判断した場合は、ハンドユニット１７５を１段階下降させ（ハンドユニット１７５を保持部１６１に対して１段階接近させ）（ステップＳ２０５）、ステップＳ２０３に戻り、再度、ステップＳ２０３以降を実行する。
【００９７】
ステップＳ２０３〜Ｓ２０５を繰り返すうちに、吸着ノズル１７６と保持部１６１の底部１６２との間の隙間が減少していき、吸着ノズル１７６は保持部１６１の底部１６２を吸着する。これにより、流路１７７内の圧力は減少し、前記検出値は、閾値未満となる。
【００９８】
ステップＳ２０４において、前記検出値が閾値以上ではない（センサーオン）と判断した場合は、現在のハンドユニット１７５の吸着ノズル１７６と保持部１６１の底部１６２との距離よりも１段階分短い距離、すなわち、１回前の圧力センサー４１での圧力検出時の吸着ノズル１７６と保持部１６１の底部１６２との距離を、吸着確認高さとして登録する（ステップＳ２０６）。具体的には、吸着確認高さを記憶部８０１に記憶する。以上で、吸着確認高さの設定が終了する。
【００９９】
また、設定された吸着確認高さは、モニター３００に表示される。これにより、使用者は、その吸着確認高さを容易に把握することができる。
【０１００】
以上のような第２実施形態によっても、前述した実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【０１０１】
＜第３実施形態＞
以下、図１０を参照して第３実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【０１０２】
第３実施形態の検査装置１では、設定動作開始高さは、０（保持部１６１の底部１６２と同一の高さ）よりも大きい所定の値、すなわち、底部１６２から所定距離離間した位置の高さに設定される。
【０１０３】
また、前記所定距離は、エジェクター４２を作動させてハンドユニット１７５の吸着ノズル１７６で吸引し、圧力センサー４１で流路１７７内の圧力を検出した場合、その圧力が、閾値以上と閾値未満の一方から他方に変化するときの距離の近傍の値に設定される。すなわち、前記所定距離は、「センサーオン」となる距離と「センサーオフ」となる距離との境界付近に設定される。
【０１０４】
次に、吸着確認高さの設定動作における制御部８００の制御動作について説明する。
図１０に示すように、まず、デバイス搬送ヘッド１７のハンドユニット１７５を検査部１６の保持部１６１の上空の所定の高さに移動させる（ステップＳ３０１）。
【０１０５】
次いで、エジェクター４２を作動させ、ハンドユニット１７５の吸着ノズル１７６で吸引を開始する（ステップＳ３０２）。
【０１０６】
次いで、圧力センサー４１で流路１７７内の圧力を検出する（ステップＳ３０３）。
次いで、圧力センサー４１で検出された圧力の検出値が閾値以上であるか否かを判断する（ステップＳ３０４）。
【０１０７】
このステップＳ３０４の結果に基づいて、ハンドユニット１７５（デバイス搬送ヘッド１７）の移動方向を決定する。
【０１０８】
前記検出値が閾値以上ではない場合は、ハンドユニット１７５の移動方向は、ハンドユニット１７５が保持部１６１から離間する方向とする。また、前記検出値が閾値以上の場合は、ハンドユニット１７５の移動方向は、ハンドユニット１７５が保持部１６１に接近する方向とする。
【０１０９】
ステップＳ３０４において、前記検出値が閾値以上ではない（センサーオン）と判断した場合は、ハンドユニット１７５を１段階上昇させ（ハンドユニット１７５を保持部１６１に対して１段階離間させ）（ステップＳ３０５）、圧力センサー４１で流路１７７内の圧力を検出する（ステップＳ３０６）。
【０１１０】
次いで、圧力センサー４１で検出された圧力の検出値が閾値以上であるか否かを判断する（ステップＳ３０７）。
【０１１１】
ステップＳ３０７において、前記検出値が閾値以上ではない（センサーオン）と判断した場合は、ステップＳ３０５に戻り、再度、ステップＳ３０５以降を実行する。
【０１１２】
ステップＳ３０５〜Ｓ３０７を繰り返すうちに、吸着ノズル１７６と保持部１６１の底部１６２との間の隙間が増大していき、吸着ノズル１７６は保持部１６１の底部１６２を吸着しなくなる。これにより、流路１７７内の圧力は増大し、前記検出値は、閾値以上となる。
【０１１３】
ステップＳ３０７において、前記検出値が閾値以上である（センサーオフ）と判断した場合は、現在のハンドユニット１７５の吸着ノズル１７６と保持部１６１の底部１６２との距離を、吸着確認高さとして登録する（ステップＳ３０８）。具体的には、吸着確認高さを記憶部８０１に記憶する。
【０１１４】
また、ステップＳ３０４において、前記検出値が閾値以上である（センサーオフ）と判断した場合は、ハンドユニット１７５を１段階下降させ（ハンドユニット１７５を保持部１６１に対して１段階接近させ）（ステップＳ３０９）、圧力センサー４１で流路１７７内の圧力を検出する（ステップＳ３１０）。
【０１１５】
次いで、圧力センサー４１で検出された圧力の検出値が閾値以上であるか否かを判断する（ステップＳ３１１）。
【０１１６】
ステップＳ３１１において、前記検出値が閾値以上である（センサーオフ）と判断した場合は、ステップＳ３０９に戻り、再度、ステップＳ３０９以降を実行する。
【０１１７】
ステップＳ３０９〜Ｓ３１１を繰り返すうちに、吸着ノズル１７６と保持部１６１の底部１６２との間の隙間が減少していき、吸着ノズル１７６は保持部１６１の底部１６２を吸着する。これにより、流路１７７内の圧力は減少し、前記検出値は、閾値未満となる。
【０１１８】
ステップＳ３１１において、前記検出値が閾値以上ではない（センサーオン）と判断した場合は、現在のハンドユニット１７５の吸着ノズル１７６と保持部１６１の底部１６２との距離よりも１段階分短い距離、すなわち、１回前の圧力センサー４１での圧力検出時の吸着ノズル１７６と保持部１６１の底部１６２との距離を、吸着確認高さとして登録する（ステップＳ３１２）。具体的には、吸着確認高さを記憶部８０１に記憶する。以上で、吸着確認高さの設定が終了する。
【０１１９】
また、設定された吸着確認高さは、モニター３００に表示される。これにより、使用者は、その吸着確認高さを容易に把握することができる。
【０１２０】
以上のような第３実施形態によっても、前述した実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【０１２１】
以上、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、他の任意の構成物が付加されていてもよい。
【０１２２】
また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
【０１２３】
また、前記実施形態や背景技術で述べた方法以外のダブルデバイス検出（デバイス残留検出）の方法としては、例えば、下記（１）〜（５）の方法が挙げられる。
【０１２４】
（１）レーザー変位センサーにより保持部の底面の高さを求め、その結果に基づいて、異物検出（ＩＣデバイスの有無の判定）を行う。
【０１２５】
（２）ＣＣＤカメラ等の電子カメラにより、保持部を撮像し、得られた画像データに基づいて異物検出を行う。
【０１２６】
（３）近接センサーにより異物検出を行う。
（４）デバイス搬送ヘッド１７の押し付け時の反力を検出し、その結果に基づいて異物検出を行う。
【０１２７】
（５）保持部に設けられた孔に光を通過させ、その光を検出し、その結果に基づいて異物検出を行う。
【符号の説明】
【０１２８】
１…検査装置（電子部品検査装置）、１１Ａ…トレイ搬送機構、１１Ｂ…トレイ搬送機構、１２…温度調整部、１３…デバイス搬送ヘッド、１３１…ハンドユニット、１４…デバイス供給部、１４１…凹部（ポケット）、１５…トレイ搬送機構、１６…検査部、１６１…保持部、１６２…底部、１７…デバイス搬送ヘッド、１７５…ハンドユニット、１７６…吸着ノズル、１７７…流路、１８…デバイス回収部、１８１…凹部（ポケット）、１９…回収用トレイ、２０…デバイス搬送ヘッド、２０１…ハンドユニット、２１…トレイ搬送機構、２２Ａ…トレイ搬送機構、２２Ｂ…トレイ搬送機構、４１…圧力センサー、４２…エジェクター、６１…第１隔壁、６２…第２隔壁、６２１…開口部、６２２…開口部、６３…第３隔壁、６３１…開口部、６３２…開口部、６４…第４隔壁、６５…第５隔壁、７０…フロントカバー、７１…サイドカバー、７２…サイドカバー、７３…リアカバー、７４…トップカバー、９０…ＩＣデバイス、２００…トレイ（載置部材）、３００…モニター、３０１…表示画面、４００…シグナルランプ、５００…スピーカー、６００…マウス台、７００…操作パネル、８００…制御部、８０１…記憶部、Ａ１…トレイ供給領域、Ａ２…デバイス供給領域（供給領域）、Ａ３…検査領域、Ａ４…デバイス回収領域（回収領域）、Ａ５…トレイ除去領域、Ｌ…距離、Ｓ１０１〜Ｓ１０６…ステップ、Ｓ２０１〜Ｓ２０６…ステップ、Ｓ３０１〜Ｓ３１２…ステップ
【図１】
2017133946.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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