(57)【要約】      （修正有）【課題】シートの走行位置が所望の位置から幅方向にずれることを十分に抑制しつつ、シートを螺旋状に搬送可能なシートの搬送装置等を提供する。【解決手段】シート３２を螺旋状に巻回して送ることが可能なローラ部を備え、第１のローラ９と、第２のローラ部１１とを有し、前記シートが螺旋状に巻回されて送られるようになっており、前記第１のローラに対して前記第２のローラ部が、所定の配置となるようにそれぞれ傾斜して配されて構成される。【選択図】図３
2017013968.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シートが巻きかけられる第１のローラと第２のローラ部とを備え、
前記第１のローラから送られた前記シートが、前記第２のローラ部に巻きかけられて再び前記第１のローラに巻きかけられ、且つ、順次その繰り返しにより、前記シートが螺旋状に巻回されて送られるようになっており、
前記第１のローラに対する前記シートの接触部分の下流側端縁の中心と、前記第２のローラ部に対する前記シートの接触部分の上流側端縁の中心とを結ぶ第１の仮想線が、該
下流側端縁と該上流側端縁とに略垂直に位置するように、
且つ、
前記第１のローラに対する前記シートの接触部分の上流側端縁の中心と、前記第２のローラ部に対する前記シートの接触部分の下流側端縁の中心とを結ぶ第２の仮想線が、該上流側端縁と該下流側端縁とに略垂直に位置するように、
前記第１のローラに対して前記第２のローラ部がそれぞれ傾斜して配されて構成された、シートの搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載のシート搬送装置を用い、前記シートを前記第１のローラと前記第２のローラ部とに螺旋状に巻回しながら搬送する、シートの搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シートの搬送装置及び搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、帯状のシートを、第１のローラと第２のローラとに複数回巻き回しながら搬送するシートの搬送装置が用いられている。
この種のシートの搬送装置は、例えば有機ＥＬ（エレクトリルミネッセンス）素子の製造装置に用いられている。
【０００３】
かかる有機ＥＬ素子の製造装置においては、シートの搬送装置によって、帯状のシートとしての基材を供給し、蒸着源による蒸着によって、供給された基材に陽極層、発光層（有機ＥＬ層）、陰極層といった蒸着層を形成するように構成されている。
ここで、求められる厚さを有する蒸着層を形成するためには、蒸着時間をできるだけ長く確保する必要がある。
【０００４】
そこで、第１のローラとしてのキャンローラと、第２のローラとを有するシート搬送装置であって、第２のローラの回転軸が、キャンローラの回転軸に対して所定の角度で傾斜するように配され、基材が双方のロールに一定の張力で架け渡されて螺旋状に巻回されながら搬送されるように構成されたシート搬送装置を備え、キャンローラと接触している基材の領域に蒸着源から気化材料を吐出して、蒸着層を形成するように構成された有機ＥＬ素子の製造装置が提案されている（特許文献１参照）。この有機ＥＬ素子の製造装置は、上記シート搬送装置を備えることによって、蒸着時間を長く確保することができるため、求められる厚さを有する蒸着層を形成することが可能となる。
【０００５】
しかし、このように、第１のローラに対して第２のローラを傾斜させ、これら第１のローラ及び第２のローラにシートを架け渡しながら螺旋状に巻回させて搬送すると、巻回されているシートの走行位置が、第１のローラの軸方向にずれる場合がある。このようにシートの走行位置がずれると、例えば上記した有機ＥＬ素子の製造装置においては、基材上に所望の厚さを有する蒸着層を形成することが困難になる等、不具合が生じることになる。
【０００６】
そこで、第２のローラが、第１のローラの回転軸に平行な軸部材と、該軸部材に配されて、第１のローラに対して傾斜して回転する複数のローラ体とを有するシート搬送装置を備えた、有機ＥＬ素子の製造装置が提案されている。かかる製造装置では、第１のローラと第２のローラとの間でシートの長さが一定となるため、特許文献１よりもシートの走行位置のずれが抑制される（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１３−１３９６２１号公報
【特許文献２】特開２０１４−１３９０９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、特許文献２のようなシート搬送装置を用いても、巻回されているシートの走行位置が、第１のローラの軸方向にずれる場合がある。このように、従来のシート搬送装置では、シートの走行位置のずれが十分に抑制されているとは言い難い。
【０００９】
上記事情に鑑み、本発明は、シートの走行位置が所望の位置からずれることを十分に抑制しつつ、シートを螺旋状に搬送可能なシートの搬送装置及び搬送方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係るシートの搬送装置は、
シートが巻きかけられる第１のローラと第２のローラ部とを備え、
前記第１のローラから送られた前記シートが、前記第２のローラ部に巻きかけられて再び前記第１のローラに巻きかけられ、且つ、順次その繰り返しにより、前記シートが螺旋状に巻回されて送られるようになっており、
前記第１のローラに対する前記シートの接触部分の下流側端縁の中心と、前記第２のローラ部に対する前記シートの接触部分の上流側端縁の中心とを結ぶ第１の仮想線が、該下流側端縁と該上流側端縁とにそれぞれ略垂直に位置するように、
且つ、
前記第１のローラに対する前記シートの接触部分の上流側端縁の中心と、前記第２のローラ部に対する前記シートの接触部分の下流側端縁の中心とを結ぶ第２の仮想線が、該上流側端縁と該下流側端縁とにそれぞれ略垂直に位置するように、
前記第１のローラに対して前記第２のローラ部がそれぞれ傾斜して配されて構成されている。
【００１１】
ここで、「第１の仮想線が、該下流側端縁と該上流側端縁とにそれぞれ略垂直」とは、第１の仮想線が、上記下流側端縁と上記上流側端縁とにそれぞれ完全に垂直、及び、第１の仮想線が、上記下流側端縁と上記上流側端縁とに垂直な方向に対して０±４．５°以内であることを意味する。
また、「第２の仮想線が、該上流側端縁と該下流側端縁とにそれぞれ略垂直」とは、第２の仮想線が、上記上流側端縁と上記下流側端縁とにそれぞれ完全に垂直、及び、第２の仮想線が、上記下流側端縁と上記上流側端縁とに垂直な方向に対して０±４．５°以内であることを意味する。
【００１２】
ここで、シートを螺旋状に搬送するためには、シートの走行経路を、第１のローラの回転軸が延在する方向（軸方向）に対して傾斜させながら下流側に送る必要がある。
また、シートの走行経路を軸方向に対して傾斜させるためにシートに作用する力としては、シートの面方向に対してシートを捻る方向の力（図６参照）と、シートの面方向においてシートを曲げる方向の力（図７参照）とが挙げられる。
ところが、シートを捻る方向の力がシートに作用する場合、この力によってシートの走行位置は軸方向にずれ難いのに対し、シートを曲げる方向の力がシートに作用する場合、この力によってシートの走行位置が軸方向にずれ易くなる。
しかし、上記構成によれば、上記第１の仮想線が、第１のローラに対するシートの接触部分の下流側端縁と、第２のローラ部に対するシートの接触部分の上流側端縁とに略垂直に位置するように、且つ、上記第２の仮想線が、第１のローラに対するシートの接触部分の上流側端縁と、第２のローラ部に対するシートの接触部分の下流側端縁とに略垂直に位置するように、第１のローラに対して第２のローラ部がそれぞれ傾斜して配されていることによって、第１のローラと各第２のローラ部との間で、シートの面方向においてシートを曲げる方向の力をほとんど作用させずに、シートの面方向に対してシートを捻る方向の力を作用させて、シートの走行経路を変更させて、シートを螺旋状に搬送することができる。
従って、シートの走行位置が所望の位置からずれることを十分に抑制しつつ、シートを螺旋状に搬送することができる。
【００１３】
本発明に係るシートの搬送方法は、
上記シートの搬送装置を用い、前記シートを前記第１のローラと前記第２のローラ部とに螺旋状に巻回しながら搬送する。
【００１４】
かかる構成によれば、上記シートの搬送装置を用いることによって、シートの走行位置が所望の位置からずれることを十分に抑制しつつ、シートを螺旋状に搬送することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、シートの走行位置が所望の位置から幅方向にずれることを十分に抑制しつつ、シートを螺旋状に搬送可能なシートの搬送装置及び搬送方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態に係るシートの搬送装置を備えた有機ＥＬ素子の製造装置の概略正面図
【図２】本実施形態のシートの搬送装置に備えられた蒸着用ロール部の概略側面図
【図３】図２のシートの搬送装置に備えられた蒸着用ロール部を、図２の左側から見た概略図
【図４】図２のシートの搬送装置に備えられた蒸着用ロール部を、図２の右側から見た概略図
【図５】図２のシートの搬送装置に備えられた蒸着用ロール部を、図２の上側から見た概略図
【図６】シートを捻る方向の力がシートに作用する状態を模式的に示す図であって、図６（ａ）は概略側面図、図６（ｂ）は、概略正面図、図６（ｃ）は概略上面図
【図７】シートを曲げる方向の力がシートに作用する状態を模式的に示す図であって、図７（ａ）は概略側面図、図７（ｂ）は、概略正面図、図７（ｃ）は概略上面図
【図８】有機ＥＬ素子の概略横断面図
【図９】本発明の他の実施形態のシートの搬送装置に備えられた蒸着用ロール部の概略側面図
【図１０】従来のシートの搬送装置に備えられた蒸着用ロール部の概略側面図
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の一実施形態に係るシートの搬送装置について、該シートの搬送装置（以下、単に「搬送装置」ともいう。）が有機ＥＬ素子の製造装置（以下、単に「製造装置」ともいう）に備えられた態様について、図１〜図５を参酌して説明する。
【００１８】
本実施形態に係る製造装置１は、図１に示すように、内部が真空である複数（図例では３つ）の真空室３と、帯状のシートとしての基材３２が真空室３の内部を通過するように、基材３２を水平方向（以下、「走行方向」ともいう）Ｘに沿って走行させる基材３２の搬送装置２と、気化材料を基材３２に蒸着すべく、基材３２に向けて気化材料を吐出する複数の蒸着源１３とを備える。
基材３２の搬送装置２は、基材３２が複数回巻きかけられる第１のローラ９と、複数の第２のローラ部１１とを備えている。第１のローラ９及び第２のローラ部１１は、蒸着源１３とともに蒸着を行うべく基材３２が螺旋状に巻回された蒸着用ロール部４を構成している。
【００１９】
真空室３は、走行方向Ｘに沿って連設されている。また、各真空室３の内部が真空となるように、各真空室３には、真空ポンプ等の真空発生装置（図示せず）が接続されている。
【００２０】
搬送装置２は、基材３２を送る送り出しロール５と、基材３２を巻き取る巻き取りロール６と、蒸着用ロール部４とを備える。送り出しロール５は、真空室３の外部で且つ上流側に配置されている。
【００２１】
各蒸着源１３は、真空室３の内部に配置されていると共に、基材３２と上下方向（鉛直方向）で対面するように配置されている。具体的には、各蒸着源１３は、蒸着用ロール部４の下方に配置されている。また、各蒸着源１３は、加熱により気化させた気化材料を、基材３２に向けて吐出するようになっている。具体的には、各蒸着源１３は、気化材料を、上方向に向けて吐出するようになっている。
【００２２】
蒸着用ロール部４は各真空室３内に配置されている。
図２〜図５に示すように、蒸着用ロール部４は、基材３２が巻きかけられる１つの第１のローラ９と複数の第２のローラ部１１とを有している。
【００２３】
蒸着用ロール部４は、第１のローラ９から送られた基材３２が、第２のローラ部１１に１回ずつ架け渡されて再び第１のローラ９に送られ、且つ、順次その繰り返しにより、基材３２が螺旋状に巻回されて送られるようになっている。
【００２４】
第１のローラ９は、円柱状に形成されている。より具体的には、第１のローラ９は、一端部から他端部まで円形断面の直径が一定に形成されている。また、第１のローラ９の周面は、その回転軸Ｒ１と略平行に形成されている。
【００２５】
各第２のローラ部１１は、それぞれ、第１のローラ９から送られた基材３２を受ける受けローラ１１ａと、基材３２を第１のローラ９に送る送りローラ１１ｂとを一対有している。
各受けローラ１１ａ及び各送りローラ１１ｂは、円柱状に形成されている。より具体的には、各受けローラ１１ａ及び各送りローラ１１ｂは、一端部から他端部まで円形断面の直径が一定に形成されており、該円形断面の直径は、第１のローラ９の円形断面の直径よりも小さく形成されている。
各一対の受けローラ１１ａ及び送りローラ１１ｂは、これらの回転軸Ｒ２ａ、Ｒ２ｂが互いに略平行となるように配されている。
ここで、略平行とは、完全に平行、及び、一方に対して他方が０±０．１４°以内にあることを意味する。また、このように、受けローラ１１ａの回転軸Ｒ２ａと、送りローラ１１ｂの回転軸Ｒ２ｂとは、一方に対して他方が０±０．１４°以内であればよいが、好ましくは、０±０．０４°以内である。
【００２６】
また、図５に示すように、各一対の受けローラ１１ａ及び送りローラ１１ｂは、受けローラ１１ａに対する基材３２の接触部分の下流側端縁（第３の下流側端縁）Ｓ５の中心Ｓ５ａと、送りローラ１１ｂに対する基材３２の接触部分の上流側端縁（第３の上流側端縁）Ｓ６の中心Ｓ６ａとを結ぶ第３の仮想線Ｌ３が、該下流側端縁Ｓ５と該上流側端縁Ｓ６とにそれぞれ略垂直に位置するように、それぞれ配されている。
ここで、「第３の仮想線Ｌ３が、該下流側端縁Ｓ５と該上流側端縁Ｓ６とにそれぞれ略垂直」とは、第３の仮想線Ｌ３が、下流側端縁Ｓ５と上流側端縁Ｓ６とにそれぞれ完全に垂直、及び、第３の仮想線Ｌ３が、下流側端縁Ｓ５と上流側端縁Ｓ６とに垂直な方向に対して０±０．１４°以内であることを意味する。このように、第３の仮想線Ｌ３が、下流側端縁Ｓ５と上流側端縁Ｓ６とに垂直な方向に対して０±０．１４°以内であればよいが、好ましくは、０±０．０２８°以内である。
【００２７】
さらに、図３及び図４に示すように、第１のローラ９に対する基材３２の接触部分の下流側端縁（第１の下流側端縁）Ｓ１の中心Ｓ１ａと、受けローラ１１ａに対する基材３２の接触部分の上流側端縁（第１の上流側端縁）Ｓ２の中心Ｓ２ａとを結ぶ第１の仮想線Ｌ１が、該下流側端縁Ｓ１と該上流側端縁Ｓ２とにそれぞれ略垂直に位置するように、且つ、送りローラ１１ｂに対する基材３２の接触部分の下流側端縁Ｓ３の中心Ｓ３ａと、第１のローラ９に対する基材３２の接触部分の上流側端縁Ｓ４の中心Ｓ４ａとを結ぶ第２の仮想線Ｌ２が、該下流側端縁Ｓ３と該上流側端縁Ｓ４とにそれぞれ略垂直に位置するように、第１のローラ９に対して、各一対の受けローラ１１ａ及び送りローラ１１ｂがそれぞれ傾斜して配されている。
すなわち、第１の仮想線Ｌ１が下流側端縁Ｓ１と上流側端縁Ｓ２とに略垂直に位置するように、且つ、第２の仮想線Ｌ２が下流側端縁Ｓ３と上流側端縁Ｓ４とに略垂直に位置するように、第１のローラ９に対して全ての受けローラ１１ａ及び送りローラ１１ｂが傾斜して配されている。
【００２８】
第１の仮想線Ｌ１が、下流側端縁Ｓ１と上流側端縁Ｓ２とに垂直な方向に対して０±４．５°以内であればよいが、好ましくは、０±０．１４°以内であり、より好ましくは、０±０．０４°以内である。
また、第２の仮想線Ｌ２が、下流側端縁Ｓ３と上流側端縁Ｓ４とに垂直な方向に対して０±４．５°以内であればよいが、好ましくは、０±０．１４°以内であり、より好ましくは、０±０．０４°以内である。
【００２９】
なお、第１の仮想線Ｌ１が、下流側端縁Ｓ１と上流側端縁Ｓ２とにそれぞれ垂直に位置するように、且つ、第２の仮想線Ｌ２が、下流側端縁Ｓ３と上流側端縁Ｓ４とにそれぞれ垂直に位置するように、第１のローラ９に対して各一対の受けローラ１１ａ及び送りローラ１１ｂがそれぞれ傾斜して配されている状態では、第１の仮想線Ｌ１及び第２の仮想線Ｌ２は、いずれも、第１のローラ９の回転軸Ｒ１に垂直な仮想平面Ｐ上に位置することになる。
【００３０】
また、第１のローラ９上で基材３２が重なり合っていないことが好ましく、この点を考慮すれば、第１のローラ９に対して、各受けローラ１１ａ及び各送りローラ１１ｂがなす角度θが、ａｒｃｔａｎθ＞（基材３２の幅／第１のローラ９の直径）を満たすような値であることが好ましい。
【００３１】
ここで、基材３２を螺旋状に搬送するためには、基材３２の走行経路を、第１のローラ９の回転軸Ｒ１が延在する方向（軸方向）に対して傾斜させながら下流側に送る必要がある。
また、基材３２の走行経路を上記軸方向に対して傾斜させるために基材３２に作用する力としては、図６に示すような、基材３２の面方向に対して基材３２を捻る方向の力と、図７に示すような、基材３２の面方向において基材３２を曲げる方向の力とが挙げられる。
【００３２】
ところが、基材３２を捻る方向の力が基材３２に作用する場合、この力によって基材３２の走行位置は幅方向にずれ難いのに対し、基材３２を曲げる方向の力が基材に作用する場合、この力によって基材３２の走行位置が幅方向にずれ易くなる。
【００３３】
この点について、図１０に示すような従来の蒸着用ロール部６０では、基材３２を捻る方向の力と、基材３２を曲げる方向の力との双方が作用する。
図１０では、第２のローラ部５０に、基材３２が複数回巻き付けられるようになっている。このような第２のローラ部５０を用いると、例えば、複数回巻き付けられるうちの２箇所でのみ、上記第１の仮想線Ｌ１が、第１のローラ９での下流側端縁Ｓ１と第２のローラ部５０での上流側端縁Ｓ２とに略垂直に位置し、且つ、上記第２の仮想線Ｌ２が、第２のローラ部５０での下流側端縁Ｓ３と第１のローラ９での上流側端縁Ｓ４とに略垂直に位置している。これら箇所では、捻る方向の力が作用し、曲げる方向の力はほとんど作用しない。
しかし、残りの箇所では、上記第１の仮想線Ｌ１が、第１のローラ９での下流側端縁Ｓ１と第２のローラ部５０での上流側端縁Ｓ２とに略垂直に位置しておらず、且つ、上記第２の仮想線Ｌ２が、第２のローラ部５０での下流側端縁Ｓ３と第１のローラ９での上流側端縁Ｓ４とに略垂直に位置していない。これら箇所では、捻る方向の力に加えて、曲げる方向の力も基材３２に作用する。よって、図１０に示す蒸着用ロール部６０では、基材３２の位置ずれを十分に抑制し得ない。
【００３４】
これに対し、本実施形態の蒸着用ロール部４では、全ての第１の仮想線Ｌ１が、第１のローラ９での下流側端縁Ｓ１と受けローラ１１ａでの上流側端縁Ｓ２とに略垂直に位置し、且つ、全ての第２の仮想線Ｌ２が、送りローラ部１１ｂでの下流側端縁Ｓ３と第１のローラ９での上流側端縁Ｓ４とに略垂直に位置している。
これによって、第１のローラ９と各受けローラ１１ａとの間、及び、各送りローラ１１ｂと第１のローラ９との間で、基材３２の面方向において基材３２を曲げる方向の力をほとんど作用させずに、基材３２の面方向に対して基材３２を捻る方向の力を作用させ、これによって基材３２の走行経路を変更させて、基材３２を螺旋状に搬送することが可能となる。
従って、蒸着用ロール部４によれば、基材３２の走行位置が所望の位置から幅方向にずれることを十分に抑制しつつ、基材３２を螺旋状に搬送することができる。
【００３５】
本実施形態の有機ＥＬ素子の製造装置１によって製造される有機ＥＬ素子３１は、図８に示すように、基材３２の一方側の面に蒸着源１３からの気化材料が蒸着されて形成される陽極層３３と、陽極層３３の上から気化材料が蒸着されて形成される有機層３４と、有機層３４の上から気化材料が蒸着されて形成される陰極層３５とを備える。
【００３６】
陽極層３３は、例えば、インジウム−亜鉛酸化物（ＩＺＯ）、インジウム−錫酸化物（ＩＴＯ）等の透明導電材や、金、銀、アルミニウム等の金属で形成されている。
【００３７】
有機層３４は、陽極層３３の上に配置される正孔輸送層３８と、正孔輸送層３８の上に配置される有機ＥＬ層３９と、有機ＥＬ層３９の上に配置される電子輸送層４０とを備える。そして、有機層３４は、陽極層３３と陰極層３５とが接触するのを防止するように、陽極層３３及び陰極層３５間に配置されている。
【００３８】
正孔輸送層３８は、例えば、銅フタロシアニン（ＣｕＰｃ）、４，４'−ビス［Ｎ−４−（Ｎ，Ｎ−ジ−ｍ−トリルアミノ）フェニル］−Ｎ−フェニルアミノ］ビフェニル（ＤＮＴＰＤ）等で形成されている。また、有機ＥＬ層３９は、例えば、トリス（８−ハイドロキシキノリン）アルミニウム（Ａｌｑ３）、イリジウム錯体（Ｉｒ（ｐｐｙ）３）をドープした４，４'−Ｎ，Ｎ'−ジカルバゾニルビフェニル（ＣＢＰ）等で形成されている。さらに、電子輸送層４０は、例えば、フッ化リチウム（ＬｉＦ）、フッ化セシウム（ＣｓＦ）、酸化リチウム（Ｌｉ２Ｏ）等で形成されている。
【００３９】
陰極層３５は、例えば、アルミニウム、銀、マグネシウム銀の合金、アルカリ金属、アルカリ土類金属を含む合金等で形成されている。
【００４０】
基材３２は、導電性を有する導電層３６と、絶縁性を有する絶縁層３７とを備える。そして、導電層３６は、金属基板で構成されており、例えば、ステンレス、銅、ニッケル等の金属で形成されている。また、絶縁層３７は、導電層３６の一方側の面全体を覆うように配置され、例えば、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂等の光硬化性樹脂や、薄ガラス等で形成されている。
【００４１】
次に、本実施形態の搬送装置２を用いた有機ＥＬ素子３１の製造方法について説明する。
【００４２】
有機ＥＬ素子３１を製造するには、搬送装置２によって、基材３２を送り出しロール５から蒸着用ロール部４を介して巻き取りロール６に向けて走行させる。基材３２は、図１に示すように、走行方向Ｘにおける上流側の真空室３の内部、中央の真空室３の内部、下流側の真空室３の内部の順に搬送される。基材３２は、各真空室３内に配置される蒸着用ロール部４において螺旋状に巻回されている。すなわち、基材３２は、蒸着用ロール部４の第１のローラ９と対をなす第２のローラ部１１とに順次架け渡されている。
【００４３】
上流側の真空室３では、内部に配置されている蒸着源１３及び蒸着用ロール部４によって、基材３２に陽極層３３が形成される。その後、基材３２の陽極層３３が形成された部分は、中央の真空室３に移る。基材３２の陽極層３３が形成された部分には、この真空室３内の蒸着源１３及び蒸着用ロール部４によって、有機層３４が陽極層３３に重なるように形成される。次に、基材３２の有機層３４が形成された部分は、下流側の真空室３に移る。基材３２の有機層３４が形成された部分には、この真空室３内の蒸着源１３及び蒸着用ロール部４によって、陰極層３６が有機層３４に重なるように形成される。各真空室３では、具体的には、蒸着用ロール部４によって送られて、円柱ロール９と蒸着源１３との間を通過する際に、蒸着源１３によって気化材料が基材３２に蒸着される。
【００４４】
このように、搬送装置２によって基材３２を搬送しながら、蒸着源１３及び蒸着用ロール部４による蒸着工程を行うことにより、基材３２に有機ＥＬ素子３１が形成される。
【００４５】
以上の通り、本実施形態のシート３２の搬送装置２は、シート３２が巻きかけられる第１のローラ９と、複数の一対の受けローラ１１ａ及び送りローラ１１ｂとを備え、第１のローラ９から送られたシート３２が、一対の受けローラ１１ａ及び送りローラ１１ｂに巻きかけられて再び第１のローラ９に巻きかけられ、且つ、順次その繰り返しにより、シート３２が螺旋状に巻回されて送られるようになっており、第１の仮想線Ｌ１が、第１のローラ９での下流側端縁Ｓ１と受けローラ１１ａでの上流側端縁Ｓ２とに略垂直に位置するように、且つ、第２の仮想線Ｌ２が、送りローラ１１ｂでの下流側端縁Ｓ３と第１のローラ９での上流側端縁Ｓ４とに略垂直に位置するように、第１のローラ９に対して、一対の受けローラ１１ａ及び送りローラ１１ｂが、全て傾斜して配されて構成されている。
【００４６】
ここで、シート３２を螺旋状に搬送するためには、シート３２の走行経路を第１のローラ９の軸方向に対して傾斜させながら下流側に送る必要がある。
また、シート３２の走行経路を第１のローラ９の軸方向に対して傾斜させるためにシート３２に作用する力としては、シート３２の面方向に対してシート３２を捻る方向の力と、シート３２の面方向においてシート３２を曲げる方向の力とが挙げられる。
ところが、シート３２を捻る方向の力がシート３２に作用する場合（図６参照）、この力によってシート３２の走行位置は、第１のローラ９の軸方向にずれ難いのに対し、シート３２を曲げる方向の力がシート３２に作用する場合（図７参照）、この力によってシート３２の走行位置は、第１のローラ９の軸方向にずれ易くなる。
しかし、本実施形態の搬送装置２によれば、第１の仮想線Ｌ１が、第１のローラ９での下流側端縁Ｓ１と受けローラ１１ａでの上流側端縁Ｓ２とに略垂直に位置するように、且つ、第２の仮想線Ｌ２が、送りローラ１１ｂでの下流側端縁Ｓ３と第１のローラ９での上流側端縁Ｓ４とに略垂直に位置するように、第１のローラ９に対して、一対の受けローラ１１ａ及び送りローラ１１ｂが、全て傾斜して配されている。
これによって、第１のローラ９と各受けローラ１１ａとの間、及び、各送りローラ１１ｂと第１のローラ９との間で、シート３２の面方向においてシート３２を曲げる方向の力をほとんど作用させずに、シート３２の面方向に対してシート３２を捻る方向の力を作用させて、シート３２の走行経路を第１ローラ９の軸方向に対して傾斜させて、シート３２を螺旋状に搬送することができる。
従って、シート３２の走行位置が所望の位置からずれることを十分に抑制しつつ、シート３２を螺旋状に搬送することができる。
【００４７】
また、本実施形態のシート３２の搬送方法は、本実施形態のシート３２の搬送装置２を用い、シート３２を第１のローラ９と第２のローラ部１１とに螺旋状に巻回しながら搬送する。
このように、シート３２の搬送装置２を用いることによって、シート３２の走行位置が所望の位置から幅方向にずれることを十分に抑制しつつ、シート３２を螺旋状に搬送することができる。
【００４８】
また、本実施形態の有機ＥＬ素子３１の製造装置１は、シートとしての基材３２の上記搬送装置２を備え、基材３２を螺旋状に巻回しながら搬送しつつ、基材３２に蒸着層３３、３４、３５を形成することができる。これにより、基材３２の走行位置が所望の位置から軸方向にずれることを十分に抑制しつつ、基材３２を螺旋状に搬送しながら、基材３２に蒸着層３３、３４、３５を形成することができる。
【００４９】
また、本実施形態の有機ＥＬ素子３１の製造方法は、上記シート搬送装置２を用いて基材３２を螺旋状に巻回しながら搬送しつつ、基材３２に蒸着層３３、３４、３５を形成する。これにより、基材３２にする基材３２の走行位置が所望の位置から軸方向にずれることを十分に抑制しつつ、基材３２を螺旋状に搬送しながら、基材３２に蒸着層３３、３４、３５を形成することができる。
【００５０】
本実施形態のシート３２の搬送装置２及び搬送方法は、上記の通りであるが、本発明のシートの搬送装置及び搬送方法は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更できることは勿論である。
【００５１】
例えば、上記実施形態では、各第２のローラ部１１が、一対の受けローラ１１ａ及び送りローラ１１ｂを有する態様を示したが、本発明においては、図９に示すように、各第２のローラ部１１が、１つの第２のローラ１１を有する態様を採用してもよい。
【００５２】
また、上記実施形態では、シート３２の搬送装置２が複数の第２のローラ部１１を備えた態様を示すが、本発明においては、１つの第２ローラ部１１を有する態様を採用してよい。具体的には、例えば、シート３２の搬送装置２が、一対の受けローラ１１ａ及び送りローラ１１ｂを備えた態様を採用しても、１つの第２のローラ１１（図９参照）を有する態様を採用してもよい。
【００５３】
また、例えば、上記実施形態では、シート３２の搬送装置２を、有機ＥＬ素子３１の製造装置１に備えられて基材３２を搬送する態様に適用した例を示したが、シート３２の搬送装置２は、上記用途への適用に特に限定されるものではなく、他の用途にも適宜適用され得る。
【符号の説明】
【００５４】
１：製造装置、２：シートの搬送装置、３：真空室、４：蒸着用ロール部、５：送り出しロール、６：巻き取りロール、９：第１のローラ、１１：第２のローラ部、１１ａ：受けローラ、１１ｂ：送りローラ、Ｌ１：第１の仮想線、Ｌ２：第２の仮想線、Ｌ３：第３の仮想線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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