(57)【要約】【課題】一部のセンサが故障したときにセンサの故障を検知できるようにする。【解決手段】第１の物理量を検出する第１センサ１０と、第１センサと異なる種類のセンサであって、第１の物理量と同一または第１の物理量と相関する第２の物理量を検出する第２センサ２１〜２５と、第１センサの検出結果および第２センサの検出結果を相互比較することにより第１センサと第２センサとの少なくとも一方の故障診断を行う内部制御部５１を備える。【選択図】図１
2017075844.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の物理量を検出する第１センサ（１０）と、
前記第１センサと異なる種類のセンサであって、前記第１の物理量と同一または前記第１の物理量と相関する第２の物理量を検出する第２センサ（２１〜２５）と、を備えた複合センサであって、
前記第１センサの検出結果および前記第２センサの検出結果を相互比較することにより前記第１センサと前記第２センサとの少なくとも一方の故障診断を行う制御部（５１、５２）を備えた複合センサ。
【請求項２】
前記第１センサは、前記第１の物理量として熱流束を検出する熱流束センサである請求項１に記載の複合センサ。
【請求項３】
前記熱流束センサは、熱可塑性樹脂からなる絶縁基材（１００）に厚さ方向に貫通する複数の第１、第２ビアホール（１０１、１０２）が形成されていると共に、前記第１、第２ビアホールに互いに異なる金属で形成された第１、第２層間接続部材（１３０、１４０）が埋め込まれており、前記第１、第２層間接続部材が交互に直列接続されており、前記熱流束が前記絶縁基材の厚さ方向に通過すると第１、第２層間接続部材の一方の接続部と他方の接続部に温度差が生じ、第１、第２層間接続部材の一方の接続部と他方の接続部に熱起電力が発生するよう構成されている請求項２に記載の複合センサ。
【請求項４】
前記第２センサは、前記第１の物理量と相関する物理量として温度を検出する温度センサであり、
前記制御部は、前記第１センサにより検出された熱流束の変化と、前記第２センサにより検出された温度変化を相互比較することにより前記第１センサと前記第２センサとの少なくとも一方の故障診断を行う請求項２または３に記載の複合センサ。
【請求項５】
前記第２センサは、前記熱流束センサの前記絶縁基材を通過する熱流束の上流側の面に配置された第１温度センサ（２１）と、
前記熱流束センサの前記絶縁基材を通過する熱流束の下流側の面に配置された第２温度センサ（２２）と、を有し、
前記制御部は、前記第１センサにより検出された熱流束の変化と、前記第１温度センサにより検出された温度と前記第２温度センサにより検出された温度の温度差とを相互比較することにより前記熱流束センサと前記第１温度センサおよび前記第２温度センサとの少なくとも一方の故障診断を行う請求項４に記載の複合センサ。
【請求項６】
前記第１センサと前記第２センサとの少なくとも一方の故障診断の診断結果が故障でないことを判定した場合、前記第１センサの検出結果および前記第２センサの検出結果を比較して前記第１センサの検出結果と前記第２センサの検出結果との少なくとも一方を補正する補正部（Ｓ１１２、Ｓ２１２、Ｓ３１２）と、を備えた請求項１ないし５のいずれか１つに記載の複合センサ。
【請求項７】
前記第２センサは、前記第１の物理量と相関する物理量として温度を検出する温度センサ（２３）と、前記第１の物理量と相関する物理量として圧力を検出する圧力センサ（２４）と、を備え、
前記制御部は、前記熱流束センサにより検出された熱流束の変化と、前記第２センサの検出結果および前記圧力センサの検出結果を相互比較することにより前記第１センサと前記第２センサとの少なくとも一方の故障診断を行う請求項２または３に記載の複合センサ。
【請求項８】
前記第２センサは、前記第２の物理量として切削加工機における切削抵抗を検出する切削抵抗検出部（２５）であり、
前記制御部は、前記熱流束センサにより検出された熱流束の変化と、前記切削抵抗検出部により検出された前記切削抵抗の変化を相互比較することにより前記第１センサと前記第２センサとの少なくとも一方の故障診断を行う請求項２または３に記載の複合センサ。
【請求項９】
前記制御部は、前記第１センサの検出結果および前記第２センサの検出結果を記憶媒体（５１ａ）に記憶させる記憶制御部（Ｓ１０４、Ｓ２０４、Ｓ３０４）と、前記第１センサの検出結果および前記第２センサの検出結果と、前記記憶媒体に過去に記憶させた前記第１センサの検出結果および前記第２センサの検出結果を比較して前記第１センサおよび前記第２センサの故障予測を行う故障予測部（Ｓ１１６）を備えた請求項１ないし８のいずれか１つに記載の複合センサ。
【請求項１０】
前記制御部は、
通信するための通信部と、
前記第１センサの検出結果および前記第２センサの検出結果を取得し、前記通信部を介して前記第１センサの検出結果および前記第２センサの検出結果を送信する内部制御部と、
前記内部制御部から送信された前記第１センサの検出結果および前記第２センサの検出結果を相互比較することにより前記第１センサと前記第２センサとの少なくとも一方の故障診断を行う外部制御部と、を備えた請求項１ないし９のいずれか１つに記載の複合センサ。
【請求項１１】
前記通信部は、無線通信を行い、
前記内部制御部は、前記通信部を介して無線通信によって前記第１センサおよび前記第２センサの検出結果を前記外部制御部へ送信する請求項１０に記載の複合センサ。
【請求項１２】
発電する発電部（５３）を有し、
前記第１センサ、前記第２センサおよび前記制御部は、前記発電部が発電した電力により作動する請求項１ないし１１のいずれか１つに記載の複合センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複合センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数の異なる種類のセンサを内蔵した複合センサが種々提案されている。このような複合センサとして、熱画像センサと距離画像センサとを有し、熱画像センサの配線領域と距離画像センサの配線領域とが積層方向から見て重なるように配置したものがある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−３２０４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１に記載された複合センサは、複数の異なる種類のセンサを内蔵しているため、故障が発生する頻度も高くなる。しかし、上記特許文献１に記載された複合センサは、各センサの故障を検出するような構成を有しておらず、内蔵している一部のセンサが故障してもセンサが故障していることを認識することができないという問題があった。
【０００５】
本発明は上記問題に鑑みたもので、一部のセンサが故障したときにセンサの故障を検知できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、第１の物理量を検出する第１センサ（１０）と、第１センサと異なる種類のセンサであって、第１の物理量と同一または第１の物理量と相関する第２の物理量を検出する第２センサ（２１〜２５）と、を備えた複合センサであって、第１センサの検出結果および第２センサの検出結果を相互比較することにより第１センサと第２センサとの少なくとも一方の故障診断を行う制御部（５１、５２）を備える。
【０００７】
このような構成によれば、制御部は、第１センサの検出結果および第２センサの検出結果を相互比較することにより第１センサと第２センサとの少なくとも一方の故障診断を行うので、一部のセンサが故障したときにセンサの故障を検知できるようにすることができる。
【０００８】
なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る複合センサの全体構成を示す図である。
【図２】第１実施形態の複合センサが車両のエンジンの表面に固定された様子を示した図である。
【図３】熱流束センサの平面図である。
【図４】図２中のIV−IV線に沿った断面図である。
【図５】第１実施形態の複合センサのブロック図である。
【図６】第１実施形態の複合センサの内部制御部のフローチャートである。
【図７】第１温度センサと第２温度センサの温度差の変化について説明するための図である。
【図８】第１実施形態の複合センサにおける熱流束センサの故障判定について説明するための図である。
【図９】第１実施形態の複合センサにおける熱流束センサの出力値の補正について説明するための図である。
【図１０】第１実施形態の複合センサにおける過去データと熱流束センサの出力値に基づく故障予測について説明するための図である。
【図１１】第２実施形態の複合センサが空気圧縮機構に設置された様子を示した図である。
【図１２】シリンダ内の空気を断熱圧縮したときにシリンダ内からシリンダ外へ熱流束が発生する様子を示した図である。
【図１３】第２実施形態の複合センサの内部制御部のフローチャートである。
【図１４】相互比較による故障判定について説明するための図である。
【図１５】相互比較による故障判定について説明するための図である。
【図１６】第２実施形態の複合センサにおける過去データと熱流束センサの出力値に基づく故障予測について説明するための図である。
【図１７】第２実施形態の複合センサにおける熱流束センサの出力値の補正について説明するための図である。
【図１８】第３実施形態の複合センサが切削加工機に設置された様子を示した図である。
【図１９】第３実施形態の複合センサの内部制御部のフローチャートである。
【図２０】相互比較による故障判定について説明するための図である。
【図２１】変形例について説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。
【００１１】
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態に係る複合センサ１の全体構成を図１に示す。本複合センサ１は、図１に示すように、熱流束センサ１０、第１温度センサ２１、第２温度センサ２２、内部制御部５１および配線部材７０を備えている。
【００１２】
なお、本実施形態の複合センサ１は、熱流束センサ１０、第１温度センサ２１および第２温度センサ２２から成るセンシング部を有し、このセンシング部が、図２に示す車両のエンジン２の表面と接触するように配置されている。
【００１３】
熱流束センサ１０は、第１の物理量として流束のひとつである熱流束を検出する。熱流束は、単位時間に単位面積を横切る熱量であり、単位にはＷ／ｍ２が用いられる。本実施形態の熱流束センサ１０は、車両のエンジン２の内部で発生し、エンジン２の内部から外部へ流れる熱流束を検出し、熱流束を特定するための信号を検出結果として内部制御部５１へ出力する。
【００１４】
第１温度センサ２１および第２温度センサ２２は、それぞれ熱流束センサ１０と異なる種類のセンサであって、熱流束センサ１０によって検出される熱流束と相関する第２の物理量として温度を検出し、温度を特定するための信号を検出結果として出力する。
【００１５】
第１温度センサ２１および第２温度センサ２２は、例えば、熱電対、サーミスタ等を用いて構成することができる。
【００１６】
配線部材７０は、導電パターンが形成された絶縁基板により構成されている。導電パターンは、熱流束センサ１０、第１温度センサ２１および第２温度センサ２２と、内部制御部５１との間を接続するよう絶縁基板上に形成されている。
【００１７】
内部制御部５１は、ＣＰＵ、Ｉ／Ｏ等を備えたコンピュータとして構成されており、内部制御部５１は、各種データを記憶する記憶媒体であるメモリ５１ａを有している。内部制御部５１のＣＰＵはメモリ５１ａに記憶されたプログラムに従って各種処理を実施する。
【００１８】
次に、熱流束センサ１０の構成について説明する。図３、図４に示すように、熱流束センサ１０は、絶縁基材１００、表面保護部材１１０、裏面保護部材１２０が一体化され、この一体化されたものの内部で第１、第２層間接続部材１３０、１４０が交互に直列に接続された構造を有する。
【００１９】
絶縁基材１００、表面保護部材１１０、裏面保護部材１２０は、フィルム状であって、熱可塑性樹脂等の可撓性を有する樹脂材料で構成されている。絶縁基材１００は、その厚さ方向に貫通する複数の第１、第２ビアホール１０１、１０２が形成されている。
【００２０】
第１、第２ビアホールに互いに異なる金属や半導体等の熱電材料で構成された第１、第２層間接続部材１３０、１４０が埋め込まれている。絶縁基材１００の表面１００ａに配置された表面導体パターン１１１によって第１、第２層間接続部材１３０、１４０の一方の接続部が構成されている。絶縁基材１００の裏面１００ｂに配置された裏面導体パターン１２１によって第１、第２層間接続部材１３０、１４０の他方の接続部が構成されている。
【００２１】
熱流束が熱流束センサ１０を、その厚さ方向に通過すると、第１、第２層間接続部材１３０、１４０の一方の接続部と他方の接続部に温度差が生じる。これにより、ゼーベック効果によって第１、第２層間接続部材１３０、１４０に熱起電力が発生する。熱流束センサ１０は、この熱起電力（例えば、電圧）をセンサ信号として出力する。
【００２２】
図２に示したように、第１温度センサ２１は、車両のエンジン２から熱流束センサ１０の絶縁基材１００を通過する熱流束の上流側の面に配置され、第２温度センサ２２は、車両のエンジン２から熱流束センサ１０の絶縁基材１００を通過する熱流束の下流側の面に配置されている。
【００２３】
すなわち、第１温度センサ２１によって検出される温度と第２温度センサ２２によって検出される温度の温度差ΔＴに応じた熱起電力が熱流束センサ１０の第１、第２層間接続部材１３０、１４０間に発生することになる。
【００２４】
なお、第１温度センサ２１によって検出される温度と第２温度センサ２２によって検出される温度の温度差をΔＴ、比例定数をｋとすると、熱流束センサ１０によって検出される熱流束ＤＳＣは、ＤＳＣ＝ｋ×ΔＴとして表すことができる。
【００２５】
図５は、本実施形態の複合センサのブロック図である。本実施形態の複合センサは、熱流束センサ１０、第１温度センサ２１、第２温度センサ２２、内部制御部５１、通信部６０を備えている。
【００２６】
通信部６０は、内部制御部５１と外部制御部５２の間の無線通信を行うものである。本実施形態の通信部６０は、内部制御部５１より入力されたデータを予め定められた通信フォーマットに従って外部制御部５２へ無線送信する。
【００２７】
外部制御部５２は、通信部６０を介して内部制御部５１より受信したデータを記憶媒体に蓄積記憶させるとともに、記憶媒体に蓄積記憶させたデータに基づく情報を表示部（図示せず）に表示させる処理を実施する。
【００２８】
図６に、内部制御部５１のフローチャートを示す。本内部制御部５１は、定期的に図６に示す処理を実施する。なお、各図面のフローチャートにおける各制御ステップは、内部制御部５１が有する各種の機能実現手段を構成している。
【００２９】
車両の乗員による操作部（図示せず）の操作により処理の開始が指示されると、内部制御部５１は図６に示す処理を実施する。まず、車両のエンジン始動を指示する（Ｓ１００）。具体的には、車両のイグニッションスイッチをオン状態にするようイグニッションスイッチを制御する。
【００３０】
次に、内部制御部５１は、第１温度センサ２１の検出結果、第２温度センサ２２の検出結果および熱流束センサ１０の検出結果を取得する（Ｓ１０２）。具体的には、第１温度センサ２１より出力された信号に基づいて温度を特定し、第２温度センサ２２より出力された信号に基づいて温度を特定し、さらに、熱流束センサ１０より出力された信号に基づいて熱流束を特定する。
【００３１】
次に、内部制御部５１は、Ｓ１０２にて取得した第１温度センサ２１の検出結果、第２温度センサ２２の検出結果および熱流束センサ１０の検出結果をメモリ５１ａに記憶させる（Ｓ１０４）。
【００３２】
具体的には、第１温度センサ２１より出力される信号に基づいて特定した温度、第２温度センサ２２より出力される信号に基づいて特定した温度および熱流束センサ１０より出力された熱流束をメモリ５１ａに記憶させる。なお、メモリ５１ａには、最新の値だけでなく、一定データ量分の統計データがメモリ５１ａに記憶される。ここで、メモリ５１ａに記憶させるデータは、後述する予防保全閾値Ｍｔｈを設定する際に使用される。
【００３３】
次に、内部制御部５１は、センサに異常があるか否かを判定する（Ｓ１０６）。具体的には、第１温度センサ２１により検出された温度と第２温度センサ２２により検出された温度の差分Ｄ１を算出し、この差分Ｄ１と、熱流束センサ１０の出力値を相互比較してセンサに異常があるか否かを判定する。
【００３４】
車両のイグニッションスイッチをオン状態となり、車両のエンジン２が始動するとエンジン内からエンジン外へ向かって熱流束が発生する。このとき、図７に示すように、第１温度センサ２１と第２温度センサ２２の温度差ΔＴが時間の経過に伴って変化しているものとする。
【００３５】
このとき、正常な熱流束センサ１０により検出される熱流束は、図８中の「正常」に示すように、下限閾値をＨｔｈ１、上限閾値をＨｔｈ２とする規格範囲に入る。なお、本実施形態では、正常な熱流束センサ１０により検出される熱流束が、下限閾値Ｈｔｈ１以上、かつ、上限閾値Ｈｔｈ２以下の場合を、熱流束センサ１０により検出される熱流束が規格範囲に入るものとする。
【００３６】
しかし、図８中の「異常（故障）」に示すように、熱流束センサ１０により検出される熱流束が、下限閾値をＨｔｈ１、上限閾値をＨｔｈ２とする規格範囲に入らない場合、故障であると判定する。
【００３７】
ここで、熱流束センサ１０の出力値が下限閾値をＨｔｈ１、上限閾値をＨｔｈ２とする規格範囲に入っていない場合、内部制御部５１は、第１温度センサ２１により検出された温度、第２温度センサ２２により検出された温度、熱流束センサ１０により検出された熱流束の各値とともに、故障であることを外部制御部５２へ無線送信し（Ｓ１０８）、本処理を終了する。
【００３８】
なお、外部制御部５２は、内部制御部５１からデータを受信すると、この受信したデータを記憶媒体に蓄積記憶させる処理を実施する。さらに、外部制御部５２は、ユーザ操作に応じて記憶媒体に蓄積記憶させたデータを読み出して表示部にグラフ化して表示するとともに故障であることを表すメッセージを表示する。
【００３９】
また、図７に示したように、第１温度センサ２１と第２温度センサ２２の温度差ΔＴが時間の経過に伴って変化しており、このとき、図８中の「正常」に示すように、熱流束センサ１０により検出される熱流束が、下限閾値をＨｔｈ１、上限閾値をＨｔｈ２とする規格範囲に入っているものとする。
【００４０】
この場合、Ｓ１０６の判定はＮＯとなり、次に、内部制御部５１は、精度ズレが大きいか否かを判定する（Ｓ１１０）。具体的には、熱流束センサ１０により検出される熱流束と下限閾値Ｈｔｈ１ｔの差分が基準値未満、または熱流束センサ１０により検出される熱流束と上限閾値Ｈｔｈ２との差分が基準値未満であるか否かを判定する。
【００４１】
ここで、熱流束センサ１０により検出される熱流束と下限閾値Ｈｔｈ１ｔの差分が基準値未満、または熱流束センサ１０により検出される熱流束と上限閾値Ｈｔｈ２との差分が基準値未満となっている場合、自己補正を行う（Ｓ１１２）。
【００４２】
図９は、熱流束センサ１０により検出される熱流束と下限閾値Ｈｔｈ１ｔの差分が基準値未満となっている状態を示している。このような状態では、熱流束センサ１０により検出される熱流束の値に所定の係数を乗算し、この乗算した値を熱流束センサ１０により検出される熱流束の値とする。このようにして自己補正を行う。
【００４３】
次に、第１温度センサ２１により検出された温度、第２温度センサ２２により検出された温度、熱流束センサ１０により検出された熱流束の値であって、自己補正した値とともに、熱流束センサ１０の検出結果を補正したことを外部制御部５２へ無線送信し（Ｓ１１４）、Ｓ１０２へ戻る。
【００４４】
また、精度ズレが小さく、Ｓ１１０にてＮＯと判定された場合、熱流束センサ１０の故障の可能性が高いか否かを判定する（Ｓ１１６）。具体的には、図１０に示すように、Ｓ１０４にて過去にメモリ５１ａに記憶させた熱流束の統計データに基づいて予防保全閾値Ｍｔｈを設定し、今回、熱流束センサ１０により検出された熱流束の値が予防保全閾値Ｍｔｈ以上であるか否かを判定する。
【００４５】
なお、予防保全閾値Ｍｔｈは、例えば、メモリ５１ａに記憶させた過去の熱流束の平均値に一定の定数（例えば、１０％）を乗算した値に設定することができる。Ｓ１１６は、熱流束センサ１０の検出結果および第１、第２温度センサ２１、２２の検出結果と、メモリ５１ａに過去に記憶させた熱流束センサ１０の検出結果および第１、第２温度センサ２１、２２の検出結果を比較して熱流束センサ１０と第１、第２温度センサ２１、２２の故障予測を行う故障予測部である。
【００４６】
次に、第１温度センサ２１により検出された温度、第２温度センサ２２により検出された温度、熱流束センサ１０により検出された熱流束の各値とともに、熱流束センサ１０が故障する可能性が高くなっていることを外部制御部５２へ無線送信し（Ｓ１１４）、Ｓ１０２へ戻る。
【００４７】
上記した構成によれば、内部制御部５１は、第１センサの検出結果および第２センサの検出結果を相互比較することにより第１センサと第２センサとの少なくとも一方の故障診断を行うので、一部のセンサが故障したときにセンサの故障を検知できるようにすることができる。
【００４８】
第１センサは、第１の物理量として熱流束を検出する熱流束センサ１０とすることができる。
【００４９】
熱流束センサ１０は、熱可塑性樹脂からなる絶縁基材１００に厚さ方向に貫通する複数の第１、第２ビアホール１０１、１０２が形成されていると共に、第１、第２ビアホールに互いに異なる金属で形成された第１、第２層間接続部材１３０、１４０が埋め込まれており、第１、第２層間接続部材１３０、１４０が交互に直列接続されている。
【００５０】
そして、熱流束が絶縁基材１００の厚さ方向に通過すると第１、第２層間接続部材１３０、１４０の一方の接続部と他方の接続部に温度差が生じ、第１、第２層間接続部材１３０、１４０の一方の接続部と他方の接続部に熱起電力が発生するよう構成することができる。
【００５１】
また、複合センサは、第１の物理量と同一または第１の物理量と相関する第２の物理量を検出する第２センサとして、温度を検出する第１、第２温度センサ２１、２２を有している。そして、内部制御部５１は、熱流束センサ１０により検出された熱流束の変化と、第１、第２温度センサ２１、２２により検出された温度変化を相互比較することにより熱流束センサ１０と第１、第２温度センサ２１、２２との少なくとも一方の故障診断を行うことができる。
【００５２】
また、複合センサは、第２センサとして、熱流束センサ１０の絶縁基材１００を通過する熱流束の上流側の面に配置された第１温度センサ２１と、熱流束センサ１０の絶縁基材１００を通過する熱流束の下流側の面に配置された第２温度センサ２２と、を有している。そして、内部制御部５１は、熱流束センサ１０により検出された熱流束の変化と、第１温度センサ２１により検出された温度と第２温度センサ２２により検出された温度の温度差とを相互比較することにより熱流束センサ１０と第１温度センサ２１および第２温度センサ２２との少なくとも一方の故障診断を行うことができる。
【００５３】
また、内部制御部５１は、熱流束センサ１０と第１、第２温度センサ２１、２２との少なくとも一方の故障診断の診断結果が故障でないことを判定した場合、熱流束センサ１０の検出結果および第１、第２温度センサ２１、２２の検出結果を比較して熱流束センサ１０の検出結果と第１、第２温度センサ２１、２２の検出結果との少なくとも一方を補正する補正部（Ｓ１１２）と、を備えている。
【００５４】
これにより、熱流束センサ１０および第１、第２温度センサ２１、２２が故障と判定される前に、事前に熱流束センサ１０の検出結果が自己補正されるので、複合センサの予防保全が可能である。
【００５５】
また、内部制御部５１は、熱流束センサ１０の検出結果および第１、第２温度センサ２１、２２の検出結果をメモリ５１ａに記憶させる記憶制御部を有している。また、内部制御部５１は、熱流束センサ１０の検出結果および第１、第２温度センサ２１、２２の検出結果と、メモリ５１ａに過去に記憶させた熱流束センサ１０の検出結果および第１、第２温度センサ２１、２２の検出結果を比較して熱流束センサ１０および第１、第２温度センサ２１、２２の故障予測を行う故障予測部（Ｓ１１６）を備えている。これにより、複合センサが故障する前に、事前に複合センサを交換する等、予防保全することが可能である。
【００５６】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態に係る複合センサが空気圧縮機構３内に設けられた様子を図１１に示す。空気圧縮機構３は、有底円筒形状のシリンダ９０およびピストン９１を有している。
【００５７】
ピストン９１は、電動モータの回転に伴ってシリンダ９０内を往復運動する。このピストン９１の往復運動により、シリンダ９０内の空気の圧力が変動するよう構成されている。
【００５８】
本実施形態の複合センサは、圧力センサ２４、熱流束センサ１０および温度センサ２３から成るセンシング部を有し、このセンシング部が、図１１に示すシリンダ９０の底面と接触するように配置されている。
【００５９】
具体的には、シリンダ９０の底面と接触するように熱流束センサ１０および温度センサ２３が並んで配置され、シリンダ９０の底面と、熱流束センサ１０および温度センサ２３を挟むように圧力センサ２４が配置されている。したがって、圧力センサ２４は、シリンダ９０内の空気と接するように配置されている。
【００６０】
図１２に示すように、ピストン９１がシリンダ９０内を往復運動することによりシリンダ９０内の空気の温度が上昇する。そして、シリンダ９０内の空気の温度上昇により、シリンダ９０内からシリンダ９０の表面へ流れる熱流束が発生する。
【００６１】
本実施形態において、熱流束センサ１０は、第１の物理量として流束のひとつである熱流束を検出する。また、圧力センサ２４は、熱流束センサ１０によって検出される熱流束と相関する第２の物理量としてシリンダ９０内の空気の圧力検出し、圧力を特定するための信号を検出結果として出力する。また、温度センサ２３は、熱流束センサ１０によって検出される熱流束と相関する第２の物理量としてシリンダ９０内の空気の温度を検出し、シリンダ９０内の空気の温度を特定するための信号を検出結果として出力する。
【００６２】
図１３に、内部制御部５１のフローチャートを示す。本内部制御部５１は、定期的に図１３に示す処理を実施する。なお、各図面のフローチャートにおける各制御ステップは、内部制御部５１が有する各種の機能実現手段を構成している。
【００６３】
作業者による操作部（図示せず）の操作により処理の開始が指示されると、内部制御部５１は図１３に示す処理を実施する。まず、空気圧縮機構３の始動を指示する（Ｓ２００）。具体的には、空気圧縮機構３の電動モータ（図示せず）を作動させるよう電動モータへの給電を開始する。
【００６４】
次に、温度センサ２３の検出結果、熱流束センサ１０の検出結果および圧力センサ２４の検出結果を取得する（Ｓ２０２）。具体的には、温度センサ２３より出力された信号に基づいてシリンダ９０内の空気の温度を特定し、熱流束センサ１０より出力された信号に基づいてシリンダ９０内からシリンダ９０の表面へ流れる熱流束を特定し、さらに、圧力センサ２４より出力された信号に基づいてシリンダ９０内の空気の圧力を特定する。
【００６５】
次に、Ｓ１０２にて取得した温度センサ２３の検出結果、熱流束センサ１０の検出結果および圧力センサ２４の検出結果をメモリ５１ａに記憶させる（Ｓ２０４）。具体的には、温度センサ２３より出力される信号に基づいて特定したシリンダ９０内の空気の温度、熱流束センサ１０より出力される信号に基づいて特定したシリンダ９０内からシリンダ９０の表面へ流れる熱流束および圧力センサ２４より出力された信号に基づいてシリンダ９０内の空気の圧力をメモリ５１ａに記憶させる。
【００６６】
なお、メモリ５１ａには、最新の値だけでなく、一定データ量分の統計データがメモリ５１ａに記憶される。ここで、メモリ５１ａに記憶させるデータは、後述する予防保全閾値Ｍｔｈを設定する際に使用される。
【００６７】
次に、センサに異常があるか否かを判定する（Ｓ２０６）。ここで、温度センサ２３、熱流束センサ１０および圧力センサ２４のうち、温度センサ２３および圧力センサ２４が正常であるものとする。
【００６８】
この場合、図１４に示すように、温度センサ２３の検出結果と熱流束センサ１０の検出結果に基づいて熱流束センサ１０の下限閾値をＨｔｈ１、上限閾値をＨｔｈ２とする規格範囲を決定する。そして、この下限閾値をＨｔｈ１、上限閾値をＨｔｈ２とする規格範囲に熱流束センサ１０により検出された熱流束の値が入るか否かに基づいて熱流束センサ１０が故障しているか否かを判定する。
【００６９】
図１４に示すように、正常な熱流束センサ１０の場合、熱流束センサ１０の出力値は、下限閾値をＨｔｈ１、上限閾値をＨｔｈ２とする規格範囲に入り、異常時の熱流束センサ１０の場合、熱流束センサ１０の出力値は、下限閾値をＨｔｈ１、上限閾値をＨｔｈ２とする規格範囲に入らない。
【００７０】
上記したように、温度センサ２３、熱流束センサ１０および圧力センサ２４のうち、２つのセンサが正常であるものとして、もう１つのセンサの故障を判定することができる。
【００７１】
また、温度センサ２３、熱流束センサ１０および圧力センサ２４のうち、どのセンサが故障か判定できない場合、以下のように、センサの異常を判定することもできる。
【００７２】
例えば、温度センサ２３の検出結果から熱流束センサ１０および圧力センサ２４の適正範囲を決定する。ここでは、図１５に示すように、熱流束センサ１０の適正範囲の下限閾値をＨｔｈ１、上限閾値をＨｔｈ２とし、圧力センサ２４の適正範囲の下限閾値をＰｔｈ、上限閾値をＰｔｈ２とする。
【００７３】
そして、熱流束センサ１０の出力値が適正範囲内であれば熱流束センサ１０は正常であると判定し、熱流束センサ１０の出力値が適正範囲外であれば熱流束センサ１０は正常であると判定する。
【００７４】
また、圧力センサ２４の出力値が適正範囲内であれば圧力センサ２４は正常であると判定し、圧力センサ２４の出力値が適正範囲外であれば圧力センサ２４は異常であると判定する。
【００７５】
このように、１つのセンサを正常として、残り２つのセンサの適正範囲を設定し、残り２つのセンサの故障判定を行うこともできる。
【００７６】
熱流束センサ１０が故障している場合、次に、温度センサ２３により検出されたシリンダ９０内の空気の温度、熱流束センサ１０により検出された熱流束の値および圧力センサ２４により検出されたシリンダ９０内の空気の圧力とともに、故障であることを外部制御部５２へ無線送信し（Ｓ２０８）、本処理を終了する。
【００７７】
また、温度センサ２３、熱流束センサ１０および圧力センサ２４が故障していない場合、次に、精度ズレが大きいか否かを判定する（Ｓ２１０）。具体的には、熱流束センサ１０により検出される熱流束と下限閾値Ｈｔｈ１ｔの差分が基準値未満、または熱流束センサ１０により検出される熱流束と上限閾値Ｈｔｈ２との差分が基準値未満であるか否かを判定する。
【００７８】
ここで、熱流束センサ１０により検出される熱流束と下限閾値Ｈｔｈ１ｔの差分が基準値未満、または熱流束センサ１０により検出される熱流束と上限閾値Ｈｔｈ２との差分が基準値未満となっている場合、自己補正を行う（Ｓ２１２）。
【００７９】
図１６は、熱流束センサ１０により検出される熱流束と下限閾値Ｈｔｈ１ｔの差分が基準値未満となっている状態を示している。このような状態では、熱流束センサ１０により検出される熱流束の値に所定の係数を乗算し、この乗算した値を熱流束センサ１０により検出される熱流束の値とする。このようにして自己補正を行う。
【００８０】
次に、温度センサ２３により検出されたシリンダ９０内の空気の温度、熱流束センサ１０より出力される信号に基づいて特定したシリンダ９０内からシリンダ９０の表面へ流れる熱流束の値であって、自己補正した値とともに、圧力センサ２４より出力される信号に基づいて特定したシリンダ９０内の空気の圧力とともに、熱流束センサ１０の検出結果を補正したことを外部制御部５２へ無線送信し（Ｓ２１４）、Ｓ２０２へ戻る。
【００８１】
また、精度ズレが小さく、Ｓ２１０にてＮＯと判定された場合、熱流束センサ１０の故障の可能性が高いか否かを判定する（Ｓ１１６）。具体的には、図１７に示すように、Ｓ１０４にて過去にメモリ５１ａに記憶させた熱流束の統計データに基づいて予防保全閾値Ｍｔｈを設定し、今回、熱流束センサ１０により検出された熱流束の値が予防保全閾値Ｍｔｈ以上であるか否かを判定する。
【００８２】
なお、予防保全閾値Ｍｔｈは、例えば、メモリ５１ａに記憶させた過去の熱流束の平均値に一定の定数（例えば、１０％）を乗算した値に設定することができる。
【００８３】
ここで、熱流束センサ１０の故障の可能性が高いと判定された場合、次に、第１温度センサ２１により検出された温度、第２温度センサ２２により検出された温度、熱流束センサ１０により検出された熱流束の各値とともに、熱流束センサ１０が故障する可能性が高くなっていることを外部制御部５２へ無線送信し（Ｓ１１４）、Ｓ１０２へ戻る。また、熱流束センサ１０の故障の可能性が高いと判定された場合はＳ２０２へ戻る。
【００８４】
本実施形態では、上記第１実施形態と共通の構成から奏される同様の効果を上記第１実施形態と同様に得ることができる。
【００８５】
また、第２センサは、第１の物理量と相関する物理量として温度を検出する温度センサ２３と、第１の物理量と相関する物理量として圧力を検出する圧力センサ２４と、を備えている。そして、内部制御部５１は、熱流束センサにより検出された熱流束の変化と、第２センサの検出結果および圧力センサの検出結果を相互比較することにより第１センサと第２センサとの少なくとも一方の故障診断を行うことができる。
【００８６】
（第３実施形態）
本発明の第３実施形態に係る複合センサが切削加工機４に設けられた様子を図１８に示す。切削加工機４は、被加工物であるワーク９４に穴を開けるための加工装置である。切削加工機４は、被加工物であるワーク９４を固定するためのチャック９５および図示しないモータによって回転するドリル９３を備える。ドリル９３は、切削加工に用いられる切削工具である。
【００８７】
チャック９５は、ワーク９４の上に固定される。また、ドリル９３の下にワーク９４が設置される。ワーク９４としては、金属ブロック等が挙げられる。ドリル３１が回転した状態で、ユーザがハンドル（図示せず）を下方向に操作する。これにより、回転した状態のドリル９３がワーク９４を加工しながら下方向に移動する。このようにして、ワーク９４に対して穴あけ加工が施される。
【００８８】
穴あけ加工時では、ドリル９３とワーク９４との間の摩擦によって、熱エネルギーが増加し、ドリル９３とワーク９４との接触部からワーク９４の表面へ流れる熱流束が発生する。このような熱流束は、切削加工時の切削抵抗との相関性を有している。
【００８９】
本実施形態の複合センサは、熱流束を検出する熱流束センサ１０および切削加工時の切削抵抗を検出する切削抵抗検出部である切削動力計２５を有している。
【００９０】
熱流束センサ１０は、ワーク９４の表面に固定される。熱流束センサ１０は、第１の物理量として、ドリル９３とワーク９４との接触部からワーク９４の表面へ流れる熱流束を検出し、この熱流束を特定するための信号を内部制御部５１へ出力する。
【００９１】
切削動力計２５は、ワーク９４を固定しているチャック９５の下側に配置される。切削動力計２５は、第１の物理量と相関する第２の物理料として切削加工時の切削抵抗を検出し、検出した切削抵抗を示す信号を内部制御部５１へ出力する。
【００９２】
図１９に、内部制御部５１のフローチャートを示す。本内部制御部５１は、定期的に図１９に示す処理を実施する。作業者による操作部（図示せず）の操作により処理の開始が指示されると、内部制御部５１は図１９に示す処理を実施する。まず、切削加工機４の始動を指示する（Ｓ３００）。
【００９３】
具体的には、ドリル９３を回転させるモータ（図示せず）を作動させるようモータへの給電を開始する。
【００９４】
次に、切削動力計２５の検出結果および熱流束センサ１０の検出結果を取得する（Ｓ３０２）。具体的には、切削動力計２５より出力された信号に基づいて切削抵抗値を特定し、熱流束センサ１０より出力された信号に基づいて熱流束を特定する。
【００９５】
次に、Ｓ３０２にて取得した切削動力計２５の検出結果および熱流束センサ１０の検出結果をメモリ５１ａに記憶させる（Ｓ３０４）。具体的には、切削動力計２５より出力される信号に基づいて特定した温度、および熱流束センサ１０より出力された熱流束をメモリ５１ａに記憶させる。
【００９６】
なお、メモリ５１ａには、最新の値だけでなく、一定データ量分の統計データがメモリ５１ａに記憶される。ここで、メモリ５１ａに記憶させるデータは、後述する予防保全閾値Ｍｔｈを設定する際に使用される。
【００９７】
次に、センサに異常があるか否かを判定する（Ｓ３０６）。具体的には、切削動力計２５により検出された切削抵抗と、熱流束センサ１０の出力値を相互比較してセンサに異常があるか否かを判定する。
【００９８】
具体的には、図２０に示すように、切削動力計２５により検出された切削抵抗に基づいて下限閾値をＨｔｈ１、上限閾値をＨｔｈ２とする規格範囲を設定する。そして、熱流束センサ１０の出力値が下限閾値をＨｔｈ１、上限閾値をＨｔｈ２とする規格範囲に入っているか否かを判定する。
【００９９】
このとき、正常な熱流束センサ１０の出力値は、下限閾値をＨｔｈ１、上限閾値をＨｔｈ２とする規格範囲に入る。しかし、異常時の熱流束センサ１０の出力値は、下限閾値をＨｔｈ１、上限閾値をＨｔｈ２とする規格範囲に入らない場合、故障であると判定する。
【０１００】
ここで、熱流束センサ１０の出力値が、下限閾値をＨｔｈ１、上限閾値をＨｔｈ２とする規格範囲に入らない場合、切削動力計２５により検出された切削抵抗とともに熱流束センサ１０により検出された熱流束の値とともに、故障であることを外部制御部５２へ無線送信し（Ｓ３０８）、本処理を終了する。
【０１０１】
また、熱流束センサ１０により検出される熱流束が、下限閾値をＨｔｈ１、上限閾値をＨｔｈ２とする規格範囲に入っている場合、Ｓ３０６の判定はＮＯとなり、次に、精度ズレが大きいか否かを判定する（Ｓ３１０）。
【０１０２】
具体的には、熱流束センサ１０により検出される熱流束と下限閾値Ｈｔｈ１ｔの差分が基準値未満、または熱流束センサ１０により検出される熱流束と上限閾値Ｈｔｈ２との差分が基準値未満であるか否かを判定する。
【０１０３】
ここで、熱流束センサ１０により検出される熱流束と下限閾値Ｈｔｈ１ｔの差分が基準値未満、または熱流束センサ１０により検出される熱流束と上限閾値Ｈｔｈ２との差分が基準値未満となっている場合、自己補正を行う（Ｓ３１２）。
【０１０４】
図９は、熱流束センサ１０により検出される熱流束と下限閾値Ｈｔｈ１ｔの差分が基準値未満となっている状態を示している。このような状態では、熱流束センサ１０により検出される熱流束の値に所定の係数を乗算し、この乗算した値を熱流束センサ１０により検出される熱流束の値とする。このようにして自己補正を行う。
【０１０５】
次に、切削動力計２５により検出された切削抵抗と、熱流束センサ１０により検出された熱流束の値であって自己補正した値とともに、熱流束センサ１０の検出結果を補正したことを外部制御部５２へ無線送信し（Ｓ３１４）、Ｓ３０２へ戻る。
【０１０６】
また、精度ズレが小さく、Ｓ３１０にてＮＯと判定された場合、熱流束センサ１０の故障の可能性が高いか否かを判定し（Ｓ１１６）、熱流束センサ１０の故障の可能性が高い場合には、故障予測の通知を行い（Ｓ１１８）、熱流束センサ１０の故障の可能性が高くない場合には、Ｓ３０２へ戻る。
【０１０７】
本実施形態では、上記第１実施形態と共通の構成から奏される同様の効果を上記第１実施形態と同様に得ることができる。
【０１０８】
また、第２センサは、第２の物理量として切削加工機における切削抵抗を検出する切削抵抗検出部である切削動力計２５である。そして、内部制御部５１は、熱流束センサ１０により検出された熱流束の変化と、切削動力計２５により検出された切削抵抗の変化を相互比較することにより第１センサと第２センサとの少なくとも一方の故障診断を行うことができる。
【０１０９】
（第４実施形態）
本発明の第４実施形態に係る複合センサの全体構成を図２１に示す。本実施形態の複合センサは、ペルチェ素子を有する発電部５３を備えている。
【０１１０】
ペルチェ素子は、２種類の金属を接合させた構造を有しており、２種類の金属間に直流電流を流すと、片方の金属から他方の金属へ熱が移動するという性質を有している。また、ペルチェ素子は、２種類の金属の間に温度差を与えると熱電力を発生することもできる。この作用をゼーベック効果という。発電部５３は、ペルチェ素子のゼーベック効果により発電する熱電変換モジュールである。
【０１１１】
本実施形態の複合センサは、上記第１実施形態の複合センサに対して、さらに、熱電変換モジュールとしてペルチェ素子を内蔵している点が異なる。
【０１１２】
本実施形態の複合センサは、ペルチェ素子のゼーベック効果により発電する発電部５３を備え、熱流束センサ１０、第１、第２温度センサ２１、２２および内部制御部５１は、発電部５３が発電した電力により作動するよう構成されている。
【０１１３】
本実施形態では、上記第１実施形態と共通の構成から奏される同様の効果を奏し、さらに、複合センサを駆動する電力を供給するための電源またはバッテリ等を備える必要がないため、設置場所が制限されない。
【０１１４】
本実施形態では、上記第１実施形態と共通の構成から奏される同様の効果を上記第１実施形態と同様に得ることができる。
【０１１５】
（他の実施形態）
（１）上記各実施形態では、熱流束センサ１０により検出される熱流束を第１の物理量として検出する構成を示したが、第１の物理量として、熱流束以外の物理量を検出するよう構成してもよい。
【０１１６】
（２）上記各実施形態では、内部制御部５１が、熱流束センサ１０より出力される信号に基づいて特定した熱流束と、第１、第２温度センサ２１、２２より出力される信号に基づいて特定した各温度と、を外部制御部５２へ送信するよう構成したが、外部制御部５２が、熱流束センサ１０より出力される信号に基づいて熱流束を特定し、さらに、第１、第２温度センサ２１、２２より出力される信号に基づいて温度を特定するよう構成してもよい。
【０１１７】
（３）上記各実施形態では、内部制御部５１と外部制御部５２の間の無線通信を行うための通信部６０を備え、内部制御部５１から通信部６０を介して外部制御部５２へデータを無線送信するようにしたが、データを有線送信するよう構成してもよい。
【０１１８】
（４）上記第４実施形態では、発電部としてペルチェ素子を用いた発電部を有し、第１センサ、第２センサおよび内部制御部５１が、発電部が発電した電力により作動するよう構成したが、圧電素子を用いた圧電発電、振動発電素子を用いた振動発電、太陽光発電素子を用いた太陽光発電、風力発電を行うための発電部を有し、第１センサ、第２センサおよび内部制御部５１が、これらの発電部が発電した電力により作動するよう構成してもよい。
【０１１９】
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。また、上記各実施形態は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能である。また、上記各実施形態は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能である。また、上記各実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。
【０１２０】
（まとめ）
・上記実施形態の一部または全部で示された第１の観点によれば、制御部は、第１センサの検出結果および第２センサの検出結果を相互比較することにより第１センサと第２センサとの少なくとも一方の故障診断を行うので、一部のセンサが故障したときにセンサの故障を検知できるようにすることができる。
・上記実施形態の一部または全部で示された第２の観点によれば、第１センサは、第１の物理量として熱流束を検出する熱流束センサ１０とすることができる。
・上記実施形態の一部または全部で示された第３の観点によれば、熱流束センサ１０は、熱可塑性樹脂からなる絶縁基材１００に厚さ方向に貫通する複数の第１、第２ビアホール１０１、１０２が形成されていると共に、第１、第２ビアホールに互いに異なる金属で形成された第１、第２層間接続部材１３０、１４０が埋め込まれており、第１、第２層間接続部材１３０、１４０が交互に直列接続されている。そして、熱流束が絶縁基材１００の厚さ方向に通過すると第１、第２層間接続部材１３０、１４０の一方の接続部と他方の接続部に温度差が生じ、第１、第２層間接続部材１３０、１４０の一方の接続部と他方の接続部に熱起電力が発生するよう構成することができる。
・上記実施形態の一部または全部で示された第４の観点によれば、第２センサは、第１の物理量と相関する物理量として温度を検出する温度センサである。また、制御部は、第１センサにより検出された熱流束の変化と、第２センサにより検出された温度変化を相互比較することにより第１センサと第２センサとの少なくとも一方の故障診断を行うことができる。
・上記実施形態の一部または全部で示された第５の観点によれば、第２センサは、熱流束センサの絶縁基材を通過する熱流束の上流側の面に配置された第１温度センサ２１と、熱流束センサの絶縁基材を通過する熱流束の下流側の面に配置された第２温度センサ２２と、を有している。また、制御部は、第１センサにより検出された熱流束の変化と、第１温度センサにより検出された温度と第２温度センサにより検出された温度の温度差とを相互比較することにより熱流束センサと第１温度センサおよび第２温度センサとの少なくとも一方の故障診断を行うことができる。
・上記実施形態の一部または全部で示された第６の観点によれば、第１センサと第２センサとの少なくとも一方の故障診断の診断結果が故障でないことを判定した場合、第１センサの検出結果および第２センサの検出結果を比較して第１センサの検出結果と第２センサの検出結果との少なくとも一方を補正する補正部（Ｓ１１２、Ｓ２１２、Ｓ３１２）と、を備えている。これにより、第１センサと第２センサとの少なくとも一方が故障と判定される前に、事前に第１センサの検出結果と第２センサの検出結果との少なくとも一方を補正することができる。
・上記実施形態の一部または全部で示された第７の観点によれば、第２センサは、第１の物理量と相関する物理量として温度を検出する温度センサと、第１の物理量と相関する物理量として圧力を検出する圧力センサと、を備えている。また、制御部は、熱流束センサにより検出された熱流束の変化と、第２センサの検出結果および圧力センサの検出結果を相互比較することにより第１センサと第２センサとの少なくとも一方の故障診断を行うことができる。
・上記実施形態の一部または全部で示された第８の観点によれば、第２センサは、第２の物理量として切削加工機における切削抵抗を検出する切削抵抗検出部とすることができる。また、制御部は、熱流束センサにより検出された熱流束の変化と、切削抵抗検出部により検出された切削抵抗の変化を相互比較することにより第１センサと第２センサとの少なくとも一方の故障診断を行うことができる。
・上記実施形態の一部または全部で示された第９の観点によれば、制御部は、第１センサの検出結果および第２センサの検出結果を記憶媒体（５１ａ）に記憶させる記憶制御部（Ｓ１０４、Ｓ２０４、Ｓ３０４）を備えている、さらに、制御部は、第１センサの検出結果および第２センサの検出結果と、記憶媒体に過去に記憶させた第１センサの検出結果および第２センサの検出結果を比較して第１センサおよび第２センサの故障予測を行う故障予測部（Ｓ１１６）を備えている。これにより、第１センサおよび第２センサの故障予測を行うことができる。
・上記実施形態の一部または全部で示された第１０の観点によれば、制御部は、通信するための通信部を備えている。さらに、制御部は、第１センサの検出結果および第２センサの検出結果を取得し、通信部を介して第１センサの検出結果および第２センサの検出結果を送信する内部制御部を備えている。さらに、制御部は、内部制御部から送信された第１センサの検出結果および第２センサの検出結果を相互比較することにより第１センサと第２センサとの少なくとも一方の故障診断を行う外部制御部と、を備えている。これにより、第１センサと第２センサとの少なくとも一方の故障診断を行うことができる。
・上記実施形態の一部または全部で示された第１１の観点によれば、通信部は、無線通信を行い、内部制御部は、通信部を介して無線通信によって第１センサおよび第２センサの検出結果を外部制御部へ送信するので、複合センサの設置場所が制限されない。
・上記実施形態の一部または全部で示された第１２の観点によれば、発電する発電部を有し、第１センサ、第２センサおよび制御部は、発電部が発電した電力により作動するので、設置場所が制限されない。
【符号の説明】
【０１２１】
１    複合センサ
２    エンジン
３    空気圧縮機構
４    切削加工機
１０  熱流束センサ
２１  第１温度センサ
２２  第２温度センサ
２３  温度センサ
２４  圧力センサ
２５  切削動力計
５２  外部制御部
６０  通信部
７０  配線部材
【図１】
2017075844.tif 000003
【図２】
2017075844.tif 000004
【図３】
2017075844.tif 000005
【図４】
2017075844.tif 000006
【図５】
2017075844.tif 000007
【図６】
2017075844.tif 000008
【図７】
2017075844.tif 000009
【図８】
2017075844.tif 000010
【図９】
2017075844.tif 000011
【図１０】
2017075844.tif 000012
【図１１】
2017075844.tif 000013
【図１２】
2017075844.tif 000014
【図１３】
2017075844.tif 000015
【図１４】
2017075844.tif 000016
【図１５】
2017075844.tif 000017
【図１６】
2017075844.tif 000018
【図１７】
2017075844.tif 000019
【図１８】
2017075844.tif 000020
【図１９】
2017075844.tif 000021
【図２０】
2017075844.tif 000022
【図２１】
2017075844.tif 000023