(57)【要約】      （修正有）【課題】バッファロールにおけるロールとウエブとの滑りを簡単な方法で検出すること。【解決手段】長尺なウエブを間欠送りするサクションロール７と、サクションロールの上流側及び下流側の少なくとも一方に配置されたバッファロール６、８と、バッファロールをその回転軸に対して直交方向に移動させてウエブの過不足を吸収する移動機構６ａ、２０と、を備えたウエブ搬送装置である。このウエブ搬送装置は、サクションロールの送り量を検出する第１のセンサ７ｂと、バッファロールの回転量を検出する第２のセンサ６ｅ、２６と、移動機構の移動量を検出する第３のセンサ６ｃ、２２ａと、サクションロールの送り量と移動機構の移動量とからバッファロールの回転量を推定し、当該推定値と検出されたバッファロールの回転量とを比較して、サクションロールの間欠送り時のウエブとバッファロールとの間の滑りを検出するロール滑り検出手段１１と、を備える。【選択図】図１
2017061361.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺なウエブを間欠送りするウエブ送り機構と、前記ウエブ送り機構の上流側及び下流側の少なくとも一方に配置されたバッファロールと、前記バッファロールをその回転軸に対して直交方向に移動させて、前記ウエブの過不足を吸収する移動機構と、を備えたウエブ搬送装置において、
前記ウエブ送り機構の送り量Ｘsrを検出する第１のセンサと、
前記バッファロールの回転量Ｘcrを検出する第２のセンサと、
前記移動機構の移動量Ｘcaを検出する第３のセンサと、
前記ウエブ送り機構の送り量Ｘsrと前記移動機構の移動量Ｘcaとから前記バッファロールの回転量を推定し、当該推定値と前記検出されたバッファロールの回転量Ｘcrとを比較して、前記ウエブ送り機構の間欠送り時の前記ウエブと前記バッファロールとの間の滑りを検出するロール滑り検出手段と、を備えたウエブ搬送装置。
【請求項２】
前記ロール滑り検出手段は、前記ウエブ送り機構の送り量Ｘsrと前記移動機構の移動量Ｘcaとの和又は差によって前記バッファロールの回転量を推定し、当該推定値（Ｘsr＋Ｘca又はＸsr−Ｘca）と前記検出されたバッファロールの回転量Ｘcrとの差ΔＸにより、前記ウエブと前記バッファロールとの間の滑り量を検出する、請求項１に記載のウエブ搬送装置。
【請求項３】
前記ウエブ送り機構は、前記ウエブを吸着保持してウエブを間欠送りすることができるサクションロールであり、
前記第１のセンサは、前記サクションロールの回転量を検出する回転量センサであることを特徴とする、請求項１又は２に記載のウエブ搬送装置。
【請求項４】
前記バッファロールはコンペンセータロールであり、
前記移動機構は、モータ及び伝達機構によりコンペンセータロールをその回転軸に対して直交方向に移動させるコンペンセータであり、
前記移動機構の移動量を検出する第３のセンサは、前記モータに設けられたエンコーダである、請求項１ないし３のいずれか１項に記載のウエブ搬送装置。
【請求項５】
前記バッファロールはダンサロールであり、
前記移動機構は、前記ダンサロールをその回転軸に対して直交方向に移動させる流体圧シリンダであり、
前記移動機構の移動量を検出する第３のセンサは、前記シリンダのピストン移動量を検出するセンサである、請求項１ないし３のいずれか１項に記載のウエブ搬送装置。
【請求項６】
長尺なウエブを間欠送りするウエブ送り機構と、前記ウエブ送り機構の上流側及び下流側の少なくとも一方に配置されたバッファロールと、前記バッファロールをその回転軸に対して直交方向に移動させて、前記ウエブの過不足を吸収する移動機構と、を備えたウエブ搬送装置において、
前記ウエブ送り機構の送り量入力値Ｘsrを得る手段と、
前記バッファロールの回転量Ｘcrを検出する回転量検出センサと、
前記移動機構の移動量Ｘcaを検出する移動量検出センサと、
前記ウエブ送り機構の送り量入力値Ｘsrと前記検出された移動機構の移動量Ｘcaとから前記バッファロールの回転量を推定し、当該推定値と前記検出されたバッファロールの回転量Ｘcrとを比較して、前記ウエブ送り機構の間欠送り時の前記ウエブと前記バッファロールとの間の滑りを検出するロール滑り検出手段と、を備えたウエブ搬送装置。
【請求項７】
長尺なウエブを間欠送りするウエブ送り機構と、前記ウエブ送り機構の上流側及び下流側の少なくとも一方に配置されたバッファロールと、前記バッファロールをその回転軸に対して直交方向に移動させて、前記ウエブの過不足を吸収する移動機構と、を備えたウエブ搬送装置を使用し、
前記ウエブ送り機構の送り量Ｘsrを検出するステップと、
前記バッファロールの回転量Ｘcrを検出するステップと、
前記移動機構の移動量Ｘcaを検出するステップと、
前記ウエブ送り機構の送り量Ｘsrと前記移動機構の移動量Ｘcaとから前記バッファロールの回転量を推定するステップと、
前記推定値と前記検出されたバッファロールの回転量Ｘcrとを比較して、前記ウエブ送り機構の間欠送り時の前記ウエブと前記バッファロールとの間の滑りを検出するステップと、
を備えたロール滑り検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、長尺なシート状材料であるウエブの搬送装置に関し、特にウエブとバッファロールとの滑りを検出する装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
長尺なキャリアフィルム上に形成された薄膜状のセラミックグリーンシートに対して、印刷、積層、打抜きなどの精密な加工を行う場合には、フィルムを一旦停止させる必要がある。そのため、セラミックグリーンシートの製造過程では、連続搬送ステージの間に、間欠搬送される作業ステージを設けた製造装置が用いられている。
【０００３】
このような製造装置では、絶えず生産性の向上が求められており、フィルムの平均移動速度を速くしながら、作業ステージでの作業時間をできるだけ長く確保するために、間欠駆動時のフィルム送り速度を高速化することが求められている。つまり、作業ステージの距離分だけフィルムを高速移動させなければならない。その結果、作業ステージに設けられた間欠駆動するフィルム送り機構とその上流側にある連続搬送ステージとの間、及びフィルム送り機構とその下流側にある連続搬送ステージとの間の速度差が大きくなり、それを吸収するためにコンペンセータロールが設けられている。コンペンセータロールとは、フィルムを巻き掛けるロールと、このロールを上下方向又は水平方向に移動させるボールねじ機構などの移動機構とを備えた、一種のバッファ機構である。
【０００４】
このような製造装置の場合、間欠駆動時のフィルム送り速度の高速化に伴い、間欠駆動時のコンペンセータロールとフィルムとの間で滑りが発生しやすく、ロールやフィルムの損傷が問題となっている。すなわち、コンペンセータロールは、ロール自体がウエブとの摩擦力によってウエブと連れ回りするものであるから、間欠駆動時の急激な速度変化にコンペンセータロールが追従できず、コンペンセータロールとフィルムとの間で滑りが発生しやすい。なお、搬送系には、フィルムに一定の張力を与えるダンサロールと呼ばれるバッファ機構も設けられているが、このダンサロールにおいてもコンペンセータロールと同様な課題がある。
【０００５】
図８は、従来のロール滑りの検出方法の一例を示す。ここでは、軸が一定位置に固定されたロール１００の周速度を検出する周速度センサ１０１と、フィルム１０２の移動速度を検出するフィルム速度センサ１０３と設けている。これらセンサ１０１、１０３によって、ロール１００の周速度と、ロール１００を通過するフィルム１０２の移動速度とを検出し、それら速度を比較することでロール滑りを検出していた。特に、フィルム１０２の移動速度を検出するためには、レーザードップラー計等の非接触センサ１０３を用いる必要があった。
【０００６】
しかしながら、コンペンセータロールのように間欠駆動に伴って上下方向や左右方向に大きく移動するロールの場合、コンペンセータロールの移動に伴ってコンペンセータロール付近のフィルムも大きく変位するので、図８のような方法で計測しようとすると、計測されたフィルム移動速度の誤差が大きくなる。そのため、コンペンセータロールと一緒にフィルム速度センサも移動させる必要があり、検出装置が複雑かつ大型になるという問題があった。
【０００７】
特許文献１は、長尺なキャリアフィルム上に形成されたセラミックグリーンシート上に第１の印刷部において導電ペースト膜を印刷し、第２の印刷部において段差吸収用セラミックペースト膜を印刷する装置であって、第２の印刷部の直後に導電ペースト膜と段差吸収用セラミックペースト膜との間のずれを測定し、それを補正するようにコンペンセータロールを移動させる装置が開示されている。しかし、この装置では、コンペンセータロールとフィルムとの滑り検出について何も考慮されていない。
【０００８】
特許文献２では、インフィードローラ、コンペンセータ、コンペンセータロールから構成された搬送装置が開示されている。しかし、この文献にも、コンペンセータロールとフィルムとの滑りについて何ら言及されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００５−１０９２９６号公報
【特許文献２】特開２００３−２９６３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の目的は、バッファロールにおけるロールとウエブとの滑りを簡単な方法で検出できる、ウエブ搬送装置及びロール滑り検出方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記目的を達成するため、本発明は、長尺なウエブを間欠送りするウエブ送り機構と、前記ウエブ送り機構の上流側及び下流側の少なくとも一方に配置されたバッファロールと、前記バッファロールをその回転軸に対して直交方向に移動させて、前記ウエブの過不足を吸収する移動機構と、を備えたウエブ搬送装置であって、特に、前記ウエブ送り機構の送り量Ｘsrを検出する第１のセンサと、前記バッファロールの回転量Ｘcrを検出する第２のセンサと、前記移動機構の移動量Ｘcaを検出する第３のセンサと、前記ウエブ送り機構の送り量Ｘsrと前記移動機構の移動量Ｘcaとから前記バッファロールの回転量を推定し、当該推定値と前記検出されたバッファロールの回転量Ｘcrとを比較して、前記ウエブ送り機構の間欠送り時の前記ウエブと前記バッファロールとの間の滑りを検出するロール滑り検出手段と、を備える。
【００１２】
本発明は、ウエブ送り機構の間欠駆動時にロールの回転軸に対して直交方向に移動させる移動機構を備えたバッファロールを用い、ウエブ送り機構の送り量Ｘsrと移動機構の移動量Ｘcaとからバッファロールの回転量を推定し、当該推定値と検出されたバッファロールの回転量Ｘcrとを比較して、ウエブ送り機構の間欠送り時のウエブとバッファロールとの間の滑りを検出するものである。検出すべき信号は、ウエブ送り機構の送り量Ｘsrとバッファロールの回転量Ｘcrと移動機構の移動量Ｘcaとだけであり、ウエブの移動速度を計測する必要がない。バッファロール付近のウエブは、バッファロールが上下方向又は左右方向に移動すると共に大きく変位するので、計測が困難であったが、このようなウエブの移動速度の計測が不要であるため、ロール滑りを精度よくかつ簡単に検出できる。
【００１３】
本発明において、「ウエブ送り機構の送り量Ｘsr」とは、ウエブ送り機構の直線的な送り量のことである。「移動機構の移動量Ｘca」とは、移動機構の直線移動量のことである。「バッファロールの回転量Ｘcr」とは、バッファロールの回転に伴う外周の直線移動量のことである。しかし、第１〜第３のセンサはこれら直線移動量を直接的に検出する必要はなく、それらと相関する値を検出してもよい。したがって、センサにより検出される送り量Ｘsr、移動量Ｘca、回転量Ｘcrは、距離／長さだけでなく、速度などの相関値であってもよい。また、センサにより回転数や回転速度を検出し、それを直線移動量に換算してもよい。
【００１４】
ロール滑り検出手段は、ウエブ送り機構の送り量Ｘsrと移動機構の移動量Ｘcaとの和又は差によってバッファロールの回転量を推定し、当該推定値（Ｘsr＋Ｘca又はＸsr−Ｘca）と検出されたバッファロールの回転量Ｘcrとの差ΔＸにより、ウエブとバッファロールとの間の滑り量を検出してもよい。ウエブ送り機構より下流側にバッファロールが配置されている場合には、バッファロールの回転量推定値は（Ｘsr＋Ｘca）であり、ウエブ送り機構より上流側にバッファロールが配置されている場合には、バッファロールの回転量推定値は（Ｘsr−Ｘca）となる。このように、バッファロールの滑り量を求めることで、具体的な滑り対策をとることができる。
【００１５】
なお、滑り量の計算方法は、ウエブ送り機構の送り量Ｘsrと移動機構の移動量Ｘcaとからバッファロールの回転量を推定し、バッファロールの回転量の検出値Ｘcrと推定値（Ｘsr＋Ｘca又はＸsr−Ｘca）との差から求める方法に限らず、計算式は異なるが数学的には等価な方法も含まれる。例えば、推定値を計算せずに、バッファロールの回転量Ｘcrとウエブ送り機構の送り量Ｘsrと移動機構の移動量Ｘcaとから直接的に滑り量を計算することも可能である。
【００１６】
本発明のロール滑り検出装置によりロール滑りが検出された場合の対策として、ウエブが許容値以上に滑ったと判定された場合に、ウエブ搬送装置を停止させてもよいし、滑りが生じたウエブの箇所にマーキングを施し、あるいは当該箇所に対応して電子的なマーキングを制御装置に記憶し、滑りが発生した箇所を不良として処理してもよい。その他に、コンペンセータの移動速度を調整する方法、ダンサロールによりウエブ張力を調整する方法、ウエブ送り機構の加減速の設定を変更する方法などを用いることで、滑りの発生自体を抑制することも可能である。
【００１７】
ウエブ送り機構とはウエブを一定ピッチで間欠的に送り出す機構、換言するとウエブを停止状態と送り状態とに切り替え可能な機構のことである。ウエブ送り機構としては、例えばサクションロール、ニップロール、ウエブを挟着又は吸着して前後に往復移動する可動テーブル、ウエブをチャックして前後に往復移動するチャック機構などがある。特にサクションロールは、ウエブの裏面を吸着保持して回転するものであるから、ウエブの表面にセラミックグリーンシート等が形成されている場合でも、そのウエブの表面を損傷せずに搬送できる。しかも、可動テーブルやチャック機構に比べて構造が簡単であり、停止と起動の制御性が優れている。ウエブ送り機構としてサクションロールを使用した場合、第１のセンサとしてサクションロールの回転量（例えば回転数又は回転速度）を検出する回転量センサを使用できる。その場合には、比例計算により回転量を直線的な送り量に換算できる。
【００１８】
本発明のバッファロールは、ウエブ送り機構の上流側及び下流側の少なくとも一方に配置される。バッファロールには、その回転軸に対して直交方向に移動させて、ウエブの過不足を吸収する移動機構が設けられている。バッファロールがコンペンセータロールである場合には、移動機構として、例えばモータ及び伝達機構によりコンペンセータロールをその回転軸に対して直交方向に移動させるコンペンセータを使用できる。伝達機構としては、ボールねじやギヤ機構、リンク機構などがある。さらにコンペンセータの移動量を検出する第３のセンサとして、コンペンセータ駆動用モータに設けられたエンコーダを使用することができる。この場合には、モータの回転量（例えば回転数又は回転速度）とコンペンセータの移動量とが比例するので、比例計算によりモータの回転量をコンペンセータの移動量に換算できる。
【００１９】
また、バッファロールがダンサロールである場合には、移動機構として、ダンサロールをその回転軸に対して直交方向に移動させる流体圧シリンダを使用できる。さらに、移動機構の移動量を検出する第３のセンサとして、シリンダのピストン移動量を検出するセンサを使用できる。
【００２０】
前記説明では、ウエブ送り機構の送り量の検出値Ｘsrと移動機構の移動量の検出値Ｘcaとからバッファロールの回転量を推定したが、ウエブ送り機構の送り量の検出値に代えて、ウエブ送り機構の送り量入力値Ｘsrを用いてもよい。すなわち、本発明のウエブ搬送装置は、ウエブ送り機構の送り量入力値Ｘsrを得る手段と、バッファロールの回転量Ｘcrを検出する回転量検出センサと、移動機構の移動量Ｘcaを検出する移動量検出センサと、ウエブ送り機構の送り量入力値Ｘsrと検出された移動機構の移動量Ｘcaとからバッファロールの回転量を推定し、当該推定値と検出されたバッファロールの回転量Ｘcrとを比較して、ウエブ送り機構の間欠送り時のウエブとバッファロールとの間の滑りを検出するロール滑り検出手段と、を備えたものであってもよい。一般に、ウエブ送り機構は滑りなくウエブを送る機能があるので、実際の送り量をウエブ送り機構の入力値で代用しても、おおよその精度が得られるからである。この場合には、ウエブ送り機構の送り量を検出するセンサを省略できる。
【発明の効果】
【００２１】
以上のように、本発明によれば、ロール滑り検出のために、ウエブ送り機構の送り量とバッファロールの回転量と移動機構の移動量とだけを検出すればよく、ウエブの移動速度を直接計測する必要がないので、コンペンセータロールやダンサロールのように上下方向や左右方向に移動するバッファロールであっても、ロール滑りの検出が容易になり、装置を簡素化できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明に係るウエブ搬送装置をセラミックグリーンシートの製造装置に適用した一例の概略構造図である。
【図２】コンペンセータロール及びその駆動機構を示す斜視図である。
【図３】コンペンセータロールがサクションロールの下流側に設けられている場合の本発明の作動原理を説明する図である。
【図４】コンペンセータロールに滑りが発生した場合における、サクションロールの回転量、コンペンセータロールの回転量、コンペンセータの移動量、及びコンペンセータロールの滑り量の各時間変化を示す図である。
【図５】コンペンセータロールに滑りが発生しなかった場合における、サクションロールの回転量、コンペンセータロールの回転量、コンペンセータの移動量、及びコンペンセータロールの滑り量の各時間変化を示す図である。
【図６】コンペンセータロールがサクションロールの上流側に設けられている場合の本発明の作動原理を説明する図である。
【図７】バッファロールとしてダンサロールを用いた場合の概略図である。
【図８】従来のコンペンセータロールの滑り検出装置の一例を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
図１は本発明に係るウエブ搬送装置をセラミックグリーンシートの製造装置に適用した一例を示す。ここで使用されるウエブＵは、例えば長尺なキャリアフィルム上に薄膜状のセラミックグリーンシートを形成したものである。本搬送装置は、その上流側に供給ステージＳ１、中間部に作業ステージＳ２、下流側に排出ステージＳ３を備えている。供給ステージＳ１には、モータ１ａによって一定の送り速度で連続回転され、作業前のウエブを供給する巻き出しロール１が設けられている。作業ステージＳ２には、ウエブを停止させた状態で印刷、積層、打抜き、検査などの所定の作業を行う加工機２が設けられている。加工機２は、ウエブを吸着／解放できる加工テーブル２ａを備えていてもよい。排出ステージＳ３には、モータ３ａによって一定の送り速度で連続回転され、加工済みのウエブを巻き取る巻き取りロール３が設けられている。
【００２４】
巻き出しロール１から供給されたウエブＵは、ガイドロール４、ダンサロール５、コンペンセータロール６を順次経由して加工機２へ送られる。加工機２を通過したウエブＵは、サクションロール７、コンペンセータロール８、ダンサロール９、ガイドロール１０を経て巻き取りロール３に巻き取られる。ここで、コンペンセータロール６、８が本発明に係るバッファロールに相当する。図１では、上流側のコンペンセータロール６は水平方向に移動可能であり、下流側のコンペンセータロール８は上下方向に移動可能であるが、これに限るものではない。
【００２５】
ダンサロール５、９は、ウエブに張力変動が発生した場合にそれを吸収するため、エアーシリンダ５ａ、９ａによって押し圧を決定して、ウエブＵに一定の張力を与える装置である。
【００２６】
サクションロール７は、ウエブを間欠送りするウエブ送り機構を構成している。サクションロール７は、その外周面にウエブＵを吸着保持する機能を有し、サーボモータ７ａによって間欠的に回転駆動される。サーボモータ７ａには、その回転量（例えば回転数又は回転速度）を測定できるエンコーダ（第１のセンサ）７ｂが設けられている。サーボモータ７ａの回転量、つまりサクションロール７の回転量は、サクションロール７の回転に伴う外周の直線移動量、つまりウエブ送り機構の送り量に換算される。サクションロール７は、作業ステージＳ２の外側（作業ステージＳ２と供給ステージＳ１との間、又は作業ステージＳ２と排出ステージＳ３との間）に設けられていてもよいし、作業ステージＳ２の内側（例えば加工機２の内部）に設けられていてもよい。
【００２７】
ここで、コンペンセータロール８及びその移動機構の一例について、図２を参照しながら詳しく説明する。コンペンセータロール８は、移動機構を構成するコンペンセータ２０により、ロールの回転軸８ａと直交方向（ここでは上下方向）に移動される。すなわち、コンペンセータ２０は、ボールねじ２１と、そのボールねじ２１を回転駆動させるモータ２２と、コンペンセータロール８の回転軸８ａを回転自在に支持する支持部材２３と、支持部材２３を上下方向にスライド自在にガイドするガイドレール２５とを備える。支持部材２３には、ボールねじ２１と螺合するナット部材２４が固定されている。モータ２２及びガイドレール２５は、図示しない装置の静止部に固定されている。支持部材２３には、コンペンセータロール８の回転量を検出するための回転量センサ（第２のセンサ）２６が固定されている。回転量センサ２６として、例えばロール８の回転数又は回転速度を検出するポテンショメータ又はエンコーダを使用してもよい。例えば、回転量センサ２６としてコンペンセータロール８の回転数ｎを検出するセンサを使用した場合、次式のように回転量（コンペンセータロール８の回転に伴う外周の直線移動量）Ｘcrを回転数ｎ（1/s）とコンペンセータロール８の周長（＝２πｒ)との積から求めてもよい。
Ｘcr＝２πｒｎ
【００２８】
また、モータ２２には、その回転量、ひいてはコンペンセータ２０の移動量を測定できるエンコーダ（第３のセンサ）２２ａが設けられている。モータ２２を駆動すると、ボールねじ２１が回転し、支持部材２３が上下にスライドしてコンペンセータロール８と回転量センサ２６とを一体に上下方向に移動させることができる。モータ２２の回転数はコンペンセータ２０の移動量と比例するので、モータ２２の回転数を計測することにより、コンペンセータ２０の移動量を求めることができる。なお、コンペンセータロール８の回転量センサ２６は、ロール８の回転数又は回転速度を検出するものに限らず、レーザードップラー計等の非接触センサを用いてロール８の周速度を検出することも可能である。
【００２９】
上流側のコンペンセータロール６については、下流側のコンペンセータロール８と比べて、コンペンセータロール６を水平方向に移動させるコンペンセータ６ａを有する点で相違する以外は同様の構成を有する。図１では、説明を簡略化するため、コンペンセータ６ａを水平方向に駆動させるモータ６ｂと、エンコーダ６ｃと、ボールねじ６ｄと、コンペンセータロール６の回転量を検出する回転量センサ（第２のセンサ）６ｅとが示されている。
【００３０】
図１に示すウエブ搬送装置には、ウエブを搬送するための各駆動装置を制御する制御回路１１が設けられている。すなわち、この制御回路１１は、コンペンセータロール６のエンコーダ６ｃ及び回転量センサ６ｅ、サクションロール７のエンコーダ７ｂ、コンペンセータ２０の駆動用モータ２２のエンコーダ２２ｂ、コンペンセータロール８の回転量センサ２６から信号が入力され、巻き出しロール１の駆動モータ１ａ、コンペンセータ６ａの駆動用モータ６ｂ、サクションロール７の駆動用モータ７ａ、コンペンセータ２０の駆動用モータ２２、巻き取りロール３の駆動モータ３ａ等をそれぞれ制御している。制御回路１１は、コンペンセータロール６のエンコーダ６ｃ及び回転量センサ６ｅ、サクションロール７のエンコーダ７ｂ、コンペンセータロール８の回転量センサ２６、コンペンセータ２０のエンコーダ２２ｂからそれぞれ入力される信号に基づいて、後述するコンペンセータロール６、８のロール滑りを検出するロール滑り検出手段を構成している。なお、制御回路１１は、加工機２の加工タイミングを制御してもよい。
【００３１】
ここで、図３を参照しながらコンペンセータロール８のロール滑りを検出する原理について説明する。いま、コンペンセータロール８の回転量をＸcr、サクションロール７の回転量をＸsr、コンペンセータ２０の移動量をＸcaとする。なお、図３のように、サクションロール７の回転方向は時計回り方向を正方向とし、コンペンセータ２０の移動方向は上方向を正方向とし、コンペンセータロール８は反時計回り方向を正方向としている。回転量Ｘcr及びＸsrは、いずれもロール周方向の直線移動量に換算されている。コンペンセータ２０が停止状態で、サクションロール７が回転している場合、
Ｘcr＝Ｘsr
であり、サクションロール７が停止状態で、コンペンセータ２０が移動している場合、
Ｘcr＝Ｘca
である。コンペンセータロール８の回転量は上記の合成になるため、以下の関係になる。
Ｘcr＝ Ｘsr＋Ｘca    (１)
式(１)が成り立てば、滑りが発生していないことになる。
【００３２】
コンペンセータロール８の滑りは、サクションロール７の回転量Ｘsrとコンペンセータ２０の移動量Ｘcaとからコンペンセータロール８の回転量を推定し、この回転量推定値と検出されたコンペンセータロール８の回転量Ｘcrとを比較することで検出できる。すなわち、コンペンセータロール８の回転量推定値Ｅcrは、
Ｅcr＝Ｘsr＋Ｘca
であるから、検出値Ｘcrと推定値Ｅcrとの差ΔＸを求めることでロール滑りを検出できる。
ΔＸ＝Ｘcr−Ｅcr＝Ｘcr−（Ｘsr＋Ｘca）
サクションロール７の回転駆動時におけるΔＸの変化によって、滑りが発生したかどうかを判定できる。なお、滑りが発生した場合、回転量推定値Ｅcrに比べて実際のコンペンセータロール８の回転量Ｘcrが小さな値をとるので、ΔＸは一般には負の値となる。ただし、慣性が大きい場合、ΔＸは正の値になる可能性もあり得る。
【００３３】
実際の滑り検出は、以下の手順で行うのが望ましい。
ａ）低速フィルム送り、高張力でフィルムを搬送し、式（１）が成り立つことを確認する。
ｂ）通常の条件での送り速度、張力にし、（ａ）と同じであるかを確認する。
ｃ）Ｘcr−(Ｘsr＋Ｘca)のグラフに注目し、階段状に変化するか否かで滑りを判断する。
【００３４】
図４は、コンペンセータロール８にロール滑りが発生した場合のサクションロール７の回転量、コンペンセータロール８の回転量、コンペンセータ２０の移動量、及びコンペンセータロール８の滑り量（Ｘcr−Ｘsr−Ｘca）を示す。サクションロール７の回転量、コンペンセータロール８の回転量、コンペンセータ２０の移動量は左側の目盛りに表示され、滑り量は右側の目盛りに表示されている。サクションロール７が停止している間、コンペンセータ２０は巻き取りロールの巻き取り速度に応じた低速度で上方へ移動し、コンペンセータロール８はウエブとの摩擦によって連れ回りするので、コンペンセータ２０と同じ速度で反時計回り方向に回転する。ある時刻でサクションロール７が時計回り方向に高速回転すると、それと同期してコンペンセータ２０は下向きに高速で移動し、それに連れてコンペンセータロール８も反時計回り方向に高速で追従回転しようとする。
【００３５】
図４では、サクションロール７を１５０ｍｓの間に１５０ｍｍ高速回転させたとき、コンペンセータロール８の回転が追従できず、コンペンセータロール８とウエブとの間に約２０ｍｍの滑りが発生した場合を示している。
【００３６】
滑りが発生すると、ウエブ又はコンペンセータロール８にダメージを与える可能性がある。そのため、滑りが発生したと検出された場合には、コンペンセータ２０の移動速度の変更、ダンサロール９によるウエブ張力の変更、サクションロール７の加減速度の変更（又は１回当りの回転時間と回転量の変更）などにより、滑りの発生を抑制することが望ましい。また、ロール滑りが検出された場合の対策として、上述のようにウエブ搬送装置の設定を変更する方法の他に、滑りが生じたウエブの箇所にマーキングを施し、あるいは当該箇所に対応して電子的なマーキングを制御装置に記憶し、滑りが発生した箇所を不良として処理してもよい。
【００３７】
一方、図５は、コンペンセータロール８にロール滑りが発生しなかった場合のサクションロール７の回転量、コンペンセータロール８の回転量、コンペンセータ２０の移動量、及びコンペンセータロール８の滑り量（Ｘcr−Ｘsr−Ｘca）を示す。サクションロール７の回転量、コンペンセータロール８の回転量、コンペンセータ２０の移動量は左側の目盛りに表示され、滑り量は右側の目盛りに表示されている。図４と同様にサクションロール７を１５０ｍｓ間に１５０ｍｍ回転させたとき、コンペンセータロール８の滑り量はほぼゼロであり、コンペンセータロール８には殆ど滑りが発生していないことがわかる。
【００３８】
上記説明では、サクションロール７の下流側に設けられたコンペンセータロール８の滑り検出について説明したが、サクションロール７の上流側に設けられたコンペンセータロール６についてもほぼ同様に滑りを検出することが可能である。図６は、サクションロール７とコンペンセータロール６との関係を示す概略図である。図３と同様に、コンペンセータロール６の回転量をＸcr、サクションロール７の回転量をＸsr、コンペンセータ６ａの移動量をＸcaとする。サクションロール７の回転方向は時計回り方向を正方向とし、コンペンセータ６ａの移動方向は右方向を正方向とし、コンペンセータロール６は時計回り方向を正方向としている。
【００３９】
この場合には、コンペンセータロール６の回転量Ｘcr、サクションロール７の回転量Ｘsr、及びコンペンセータ６ａの移動量Ｘcaとの間に次の関係式が成立した場合には、コンペンセータロール６の滑りが発生していないことになる。
Ｘcr＝Ｘsr−Ｘca    (２)
【００４０】
コンペンセータロール６の滑りは、サクションロール７の回転量Ｘsrとコンペンセータ６ａの移動量Ｘcaとの差からコンペンセータロール６の回転量を推定し、この回転量推定値と検出されたコンペンセータロール６の回転量Ｘcrとの差を求めることで検出できる。
ΔＸ＝Ｘcr−（Ｘsr−Ｘca）
サクションロール７の回転駆動時におけるΔＸの変化によって、滑りが発生したかどうかを判定できる。この場合も、滑りが発生した場合、回転量推定値Ｘsr−Ｘcaに比べて実際のコンペンセータロール６の回転量Ｘcrが小さな値をとるので、ΔＸは負の値となる。
【００４１】
図７は、本発明をダンサロールに適用した例を示す。なお、図１と同一機能部品には同一符号を付して重複説明を省略する。サクションロール７の上流側にはダンサロール５が設けられ、下流側にもダンサロール９が設けられている。ここでは、上流側のダンサロール５が左右方向に移動し、下流側のダンサロール９が上下方向に移動する例を示したが、これに限るものではない。ダンサロール５、９は、エアーシリンダなどの流体圧シリンダ５ａ、９ａによって作動され、ウエブＵに所定の張力を付与している。ダンサロール５には、シリンダ５ａのピストン移動量を検出するセンサ５ｂと、ダンサロール５の回転量を検出するセンサ５ｃとが取り付けられている。同様に、ダンサロール９にも、シリンダ９ａのピストン移動量を検出するセンサ９ｂと、ダンサロール９の回転量を検出するセンサ９ｃとが取り付けられている。
【００４２】
この場合も、サクションロール７が間欠駆動されると、ウエブＵとダンサロール５との間、又はウエブＵとダンサロール９との間で滑りが発生する可能性がある。下流側のダンサロール９の回転量をＸdr、サクションロール７の回転量をＸsr、シリンダ９ａの移動量をＸdaとすると、（３）式が成り立てばダンサロール９に滑りが発生していないことになる。
Ｘdr＝ Ｘsr＋Ｘda    (３)
ダンサロール９の滑り量は、Ｘdr−Ｘsr−Ｘdaで求めることができる。
【００４３】
上流側のダンサロール５については次式のようになる。すなわち、上流側のダンサロール５の回転量をＸdr、サクションロール７の回転量をＸsr、シリンダ５ａの移動量をＸdaとすると、（４）式が成り立てばダンサロール５に滑りが発生していないことになる。
Ｘdr＝ Ｘsr−Ｘda    (４)
ダンサロール５の滑り量は、Ｘdr−Ｘsr＋Ｘdaで求めることができる。
【００４４】
上記実施例では、ウエブ間欠送り機構としてサクションロールを使用したが、それ以外にもニップロール、ウエブを挟着又は吸着して前後に往復移動する可動テーブル、ウエブをチャックして前後に往復移動するチャック装置等を使用することができる。
【００４５】
コンペンセータロール６、８のコンペンセータ６ａ、２０として、図２ではモータとボールねじによる直動機構として構成したが、それに限るものではない。例えば、特許文献２の図６に示すように、コンペンセータロールを一対の回動レバーの先端部に支持し、この回動レバーをねじ軸およびモータによって回動させることで、コンペンセータロールを上下方向又は水平方向に移動させてもよい。
【００４６】
本発明は上述の実施例に限定されるものではない。本発明が対象とするウエブとしては、キャリアフィルムの上にセラミックグリーンシートを形成したものに限らず、電子部品や基板の材料となるウエブ等であってもよく、長尺なシート状材料であれば適用可能である。作業ステージにおける作業としては、静止状態のウエブに対して行う作業であれば任意であり、打抜き、印刷、レーザー穴あけなどが含まれる。本発明のウエブ搬送装置は、図１に示すようにウエブを連続搬送する供給ステージＳ１と間欠搬送する作業ステージＳ２との間、又は間欠搬送する作業ステージＳ２と連続搬送する排出ステージＳ３との間に配置するものに限らない。すなわち、間欠搬送される複数のステージ間に配置することもできる。
【００４７】
また、ウエブ送り機構への入力値（指令値）を、ウエブ送り機構の送り量Ｘsrを検出する第１のセンサの検出値に代えて用いる方法も可能である。この場合には、第１のセンサを用いる必要がないので、装置をさらに簡素化できる。ウエブ送り機構は一般に滑りなくウエブを送る機能があるので、実際の送り量をウエブ送り機構の入力値で代用しても、おおよその精度が得られるからである。但し、高速領域でのロールの滑りの検出には、指令値と実際値との間で乖離が発生する場合があるので、その場合には検出値を用いた方が有利である。
【００４８】
さらに、移動量検出センサによる移動機構の移動量検出値Ｘcaに代えて、移動機構の移動量入力値（指令値）を用いることも可能である。例えば、移動機構としてモータとボールねじのような高精度な機構を用いた場合には、移動量入力値で移動量検出値を代用できるからである。なお、この場合、ウエブ送り機構の送り量Ｘsrとして検出値を用いてもよいし、入力値（指令値）を用いてもよい。
【符号の説明】
【００４９】
Ｕ      ウエブ
Ｓ１    供給ステージ
Ｓ２    作業ステージ
Ｓ３    排出ステージ
１      巻き出しロール
１ａ    駆動モータ
２      加工機
３      巻き取りロール
３ａ    駆動モータ
５、９  ダンサロール
６      コンペンセータロール（バッファロール）
６ａ    コンペンセータ（移動機構）
６ｂ    モータ
６ｃ    エンコーダ（第３のセンサ）
６ｅ    回転量センサ（第２のセンサ）
７      サクションロール（ウエブ送り機構）
７ａ    モータ  
７ｂ    エンコーダ（第１のセンサ）
８      コンペンセータロール（バッファロール）
１１    制御回路（制御装置）
２０    コンペンセータ（移動機構）
２２    モータ
２２ａ  エンコーダ（第３のセンサ）
２６    回転量センサ（第２のセンサ）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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