(57)【要約】【課題】初期充填でノズル内まで確実に液体を充填できるようにする。【解決手段】液体を吐出するノズル４が形成されたノズル板１と、ノズル４が通じる個別液室６などの流路を形成する流路板２とを備え、流路板２の液体に接する壁面の表面粗さはノズル板１の液体に接する壁面の表面粗さよりも小さく、流路板２の液体に接する壁面の表面自由エネルギーが、ノズル板１の液体に接する壁面の表面自由エネルギーよりも小さい構成とし、流路板２側よりもノズル板１側の濡れ性を高めている。【選択図】図４
2017061119.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するノズルが形成されたノズル板と、
前記ノズルが通じる流路を形成する流路板と、を備え、
前記流路板の前記液体に接する壁面の表面自由エネルギーが、前記ノズル板の前記液体に接する壁面の表面自由エネルギーよりも小さい
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記流路板の前記液体に接する壁面の表面粗さが、前記ノズル板の前記液体に接する壁面の表面粗さよりも小さい
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記流路板の前記流路の壁面の表面自由エネルギーが、前記ノズルに近い側が前記ノズルに遠い側よりも大きい
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記ノズル板の前記液体に接する壁面の表面層は、Ｔｉ、Ｓｎ、Ｚｎ、Ｗ、Ｖの少なくともいずれかを含む酸化膜である
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記ノズル板の前記液体に接する壁面の表面層は、シリコン酸化膜である
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記流路板の前記液体に接する壁面の表面層は、一部にＣＦｎ、ＣＨｎの基を含む層である
ことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを含むことを特徴とする液体吐出ユニット。
【請求項８】
前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化した
ことを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ユニット。
【請求項９】
請求項１ないし６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項７若しくは８に記載の液体吐出ユニットを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を吐出する液体吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）として、液体を吐出するノズルが形成されたノズル板と、ノズルが通じる個別液室などの流路を形成する流路板を備えるものがある。
【０００３】
従来、個別液室に液体を供給する共通液室を個別液室（圧力室）の上側に配置して、振動板に設けた供給口を通じて各個別液室に直接的に液体を供給する構造したものが知られている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２１８８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、液体吐出ヘッドにおいては、液体を流路内に初期充填するとき、ノズルに向かうに従って流路の開口断面積が小さくなって流体抵抗が大きくなるため、ノズル内まで確実に充填できるようにすることが求められる。
【０００６】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、液体の初期充填性を向上することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液体を吐出するノズルが形成されたノズル板と、
前記ノズルが通じる流路を形成する流路板と、を備え、
前記流路板の前記液体に接する壁面の表面自由エネルギーが、前記ノズル板の前記液体に接する壁面の表面自由エネルギーよりも小さい
構成とした。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、液体の初期充填性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明に係る液体吐出ヘッドの一例の外観斜視説明図である。
【図２】図１のＡ―Ａ線に沿うノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）の断面説明図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ線に沿うノズル配列方向（液室短手方向）の断面説明図である。
【図４】本発明の第１実施形態におけるノズル板、流路板及び振動板部分の断面説明図である。
【図５】本発明の第２実施形態におけるノズル板、流路板及び振動板部分の断面説明図である。
【図６】本発明の第３実施形態におけるノズル板、流路板及び振動板部分の断面説明図である。
【図７】流路板の製造工程の一例を説明する断面説明図である。
【図８】ノズル板の製造工程の一例を説明する断面説明図である。
【図９】本発明に係る液体を吐出する装置の一例の要部平面説明図である。
【図１０】同装置の要部側面説明図である。
【図１１】本発明に係る液体吐出ユニットの他の例の要部平面説明図である。
【図１２】本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例の正面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明に係る液体吐出ヘッドについて図１ないし図３を参照して説明する。図１は同ヘッドの外観斜視説明図、図２は図１のＡ―Ａ線に沿うノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）の断面説明図、図３は図１のＢ−Ｂ線に沿うノズル配列方向（液室短手方向）の断面説明図である。
【００１１】
この液体吐出ヘッドは、ノズル板１と、流路板２と、壁面部材としての振動板部材３とを積層接合している。そして、振動板部材３を変位させる圧電アクチュエータ１１と、共通液室部材としてのフレーム部材２０とを備えている。
【００１２】
ノズル板１は、液体を吐出する複数のノズル４が形成されている。
【００１３】
流路板２は、ノズル４が通路５を介して通じる個別液室６、個別液室６に液体を供給する流体抵抗部７、流体抵抗部７に通じる液導入部８などの流路を形成している。
【００１４】
そして、フレーム部材２０の共通流路としての共通液室１０から振動板部材３に形成した開口部９を通じて、液導入部８、流体抵抗部７を経て個別液室６に液体が供給される。なお、開口部９にはフィルタが設けられても良い。
【００１５】
ここで、ノズル板１は、ニッケル（Ｎｉ）の金属プレートから形成したもので、エレクトロフォーミング法（電鋳）で製造したものを用いている。これに限らず、その他の金属部材、樹脂部材、樹脂層と金属層の積層部材などを用いることができる。このノズル板１の吐出側面には撥液膜を設けている。
【００１６】
流路板２は、シリコンやＳＵＳなどで、個別液室６、流体抵抗部７、液導入部８などを形成する溝部を形成している。
【００１７】
振動板部材３は、個別液室６の一部の壁面を形成する壁面部材である。この振動板部材３は、個別液室６側から第１層３ａ、第２層３ｂ、第３層３ｃの３層（２層又は４層以上でもよい。）からなる複層構造としている。そして、第１層３ａで個別液室６に対応する部分に変形可能な振動領域（振動板）３０を形成している。
【００１８】
この振動板部材３は、ニッケル（Ｎｉ）の金属プレートから形成したもので、エレクトロフォーミング法（電鋳）で製造したものを用いている。これに限らず、その他の金属部材、樹脂部材、樹脂層と金属層の積層部材などを用いることができる。
【００１９】
そして、この振動板部材３の個別液室６とは反対側に、振動板部材３の振動領域３０を変形させる駆動手段（アクチュエータ手段、圧力発生手段）としての電気機械変換素子を含む圧電アクチュエータ１１を配置している。
【００２０】
この圧電アクチュエータ１１は、ベース部材１３上に接合した圧電部材１２を有し、圧電部材１２にはハーフカットダイシングによって溝加工して１つの圧電部材１２に対して所要数の柱状の圧電素子（圧電柱）１２Ａ、１２Ｂを所定の間隔で櫛歯状に形成している。
【００２１】
ここでは、圧電部材１２の圧電素子１２Ａは駆動波形を与えて駆動させる圧電素子とし、圧電素子１２Ｂは駆動波形を与えないで単なる支柱として使用しているが、すべての圧電素子１２Ａ、１２Ｂを駆動させる圧電素子として使用することもできる。
【００２２】
そして、圧電素子１２Ａを振動板部材３の振動領域３０に形成した島状の厚肉部である凸部３０ａに接合している。また、圧電素子１２Ｂを振動板部材３の厚肉部である凸部３０ｂに接合している。
【００２３】
この圧電部材１２は、圧電層と内部電極とを交互に積層したものであり、内部電極がそれぞれ端面に引き出されて外部電極が設けられ、圧電素子１２Ａの外部電極に駆動信号を与えるための可撓性を有するフレキシブル配線基板としてのＦＰＣ１５が接続されている。
【００２４】
フレーム部材２０は、例えばエポキシ系樹脂或いは熱可塑性樹脂で射出成形により形成し（材質が限定されるものではない）、図示しないヘッドタンクや液体カートリッジから液体が供給される共通液室１０が形成されている。
【００２５】
このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、例えば圧電素子１２Ａに与える電圧を基準電位から下げることによって圧電素子１２Ａが収縮し、振動板部材３の振動領域３０が下降して個別液室６の容積が膨張することで、個別液室６内に液体が流入する。
【００２６】
その後、圧電素子１２Ａに印加する電圧を上げて圧電素子１２Ａを積層方向に伸長させ、振動板部材３の振動領域３０をノズル４に向かう方向に変形させて個別液室６の容積を収縮させることにより、個別液室６内の液体が加圧され、ノズル４から液体が吐出される。
【００２７】
そして、圧電素子１２Ａに与える電圧を基準電位に戻すことによって振動板部材３の振動領域３０が初期位置に復元し、個別液室６が膨張して負圧が発生するので、このとき、共通液室１０から個別液室６内に液体が充填される。そこで、ノズル４のメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の吐出のための動作に移行する。
【００２８】
なお、このヘッドの駆動方法については上記の例（引き−押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行なうこともできる。
【００２９】
次に、本発明の第１実施形態について図４を参照して説明する。図４は同実施形態におけるノズル板、流路板及び振動板部分の断面説明図である。
【００３０】
本実施形態において、流路板２の表面自由エネルギーはノズル板１の表面自由エネルギーよりも小さくしている。これにより、流路板２の液体に接する壁面の表面自由エネルギーは、ノズル板１の液体に接する壁面の表面自由エネルギーよりも小さい。
【００３１】
なお、流路板２の液体に接する壁面は、通路５の壁面、個別液室６、流体抵抗部７、液導入部８などの壁面である。ノズル板１の液体に接する壁面は、ノズル４の壁面、通路５に接している壁面である。
【００３２】
このように構成することで、流路板２はノズル板１に比べ濡れ性が弱いため、液体は濡れ性の強い向きに進行することから、ノズル板１側へと液体が送液され、初期充填においてノズル４内まで確実に充填することができる。
【００３３】
ここで、流路板２の表面自由エネルギーはノズル板１の表面自由エネルギーよりも小さくするには、例えば、次のように構成する。
【００３４】
流路板２の液体に接する壁面の表面粗さが、ノズル板１の液体に接する壁面の表面粗さよりも小さい構成とする。
【００３５】
３次元フラクタル構造を除き、表面粗さが小さいほど表面自由エネルギーは小さくなり、液濡れ性が低下する。
【００３６】
また、ノズル板１は、例えば液体に接する壁面の表面層をシリコン酸化膜（ＳｉＯ２膜）で形成したＳＵＳ材で形成し、流路板２はＳＵＳ材で形成する。なお、本実施形態では、個別液室６などの一部の壁面を形成する振動板部材３はＮｉで形成している。
【００３７】
これにより、流路板２に比べてノズル板１は、液体に接する壁面の表面層にＯを起因とした水酸基を多く持つため親液性が高くなる。
【００３８】
また、ノズル板１の液体に接する壁面の表面層は、Ｔｉ、Ｓｎ、Ｚｎ、Ｗ、Ｖ等のいずれかの金属を含んだ金属酸化膜で形成することができる。
【００３９】
このような光触媒は、部品形成後に紫外線を照射することで、表面層の濡れ性が変化し親水性を得ることができる。
【００４０】
また、これらのようなノズル板１の親水化は接着剤の濡れ性向上が可能となるため、流路板２との接合強度を向上することができる。
【００４１】
また、流路板２の液体に接する壁面の表面層の一部に、ＣＦｎ基やＣＨｎ基のような表面自由エネルギーの低いものをもつ分子を被膜形成することもできる。
【００４２】
このような分子膜は撥液性が高く、ノズル板１に比べて濡れ性が低下し、相対的にノズル板１の表面の濡れ性が高くなる。
【００４３】
なお、ノズル板１の液体に接する壁面の表面層はシリコン酸化膜とすることもできる。
【００４４】
次に、本発明の第２実施形態について図５を参照して説明する。図５は同実施形態におけるノズル板、流路板及び振動板部分の断面説明図である。
【００４５】
本実施形態では、流路板２は、振動板部材３側から積層された３枚の部材２ａ、２ｂ、２ｃで構成している。
【００４６】
そして、３枚の部材２ａ、２ｂ、２ｃは、液体と接する壁面の表面自由エネルギーが段階的に大きくなっている。つまり、ノズル４に近い側の部材２ｃの液体と接する壁面の表面自由エネルギーは、ノズル４から遠い側の部材２ａの液体と接する壁面の表面自由エネルギーよりも大きい。また、部材２ｂの表面自由エネルギーは、部材２ｃ，２ａの各表面自由エネルギーの中間である。
【００４７】
このように、表面自由エネルギーがノズル４側に向かって段階的に大きくなる、つまり、濡れ性が高くなることで、液体がよりスムーズにノズル４側に流れて、より初期充填性が向上する。
【００４８】
なお、流路板２は１つの部材で形成して、液体と接する壁面の表面層を、表面自由エネルギーの異なる複数の被膜で形成することでも、同様な作用効果をえることができる。
【００４９】
次に、本発明の第３実施形態について図６を参照して説明する。図６は同実施形態におけるノズル板、流路板及び振動板部分の断面説明図である。
【００５０】
本実施形態では、流路板２の液体に接する壁面に、ノズル板１の液体に接する壁面の表面自由エネルギーよりも表面エネルギーの小さい膜４１を形成している。
【００５１】
これにより、前記第１実施形態よりも容易に流路板２の液体に接する壁面の表面自由エネルギーを小さくして、ノズル板１側の濡れ性を相対的に高くすることができ、より初期充填性を向上することができる。
【００５２】
次に、上記実施形態における流路板の製造方法の一例について図７を参照して説明する。図７は同説明に供するノズル配列方向に沿う断面説明図である。
【００５３】
図７（ａ）に示すように、ＳＵＳ基板１３１にレジスト１３２を塗布する。そして、図７（ｂ）に示すように、レジスト１３２上に所定の開口を有するマスク１３３を形成して、露光し、図７（ｃ）に示すように、現像することで、ＳＵＳ基板１３１上にレジスト１３２のパターンを形成する。
【００５４】
その後、図７（ｄ）に示すように、エッチング液を使用し、ＳＵＳ基板１３１をエッチングし、レジスト１３２のパターンによる保護のない部分を選択的に除去する。なお、ウエットエッチングに限らず、ＩＣＰ等のドライエッチングを用いてもよい。この工程を繰り返すことで、ＳＵＳ基板１３１に個別液室６などの流路パターン１３６を形成する。
【００５５】
その後、図７（ｅ）に示すように、ＳＵＳ基板１３１を電解液に浸し電解研磨し、ＳＵＳ基板１３１の液体に接する壁面の表面粗さを小さくする。なお、研磨方法は、電解研磨だけでなく、テープ研磨やＣＭＰ研磨でもよい。
【００５６】
そして、図７（ｅ）に示すように、このようにして得られた流路板２の表面に例えばＰＦＰＥやＰＴＦＥの分子構造を持った撥液膜１３４を成膜する。この撥液膜１３４は、ＣＨ３を表層に配向するシリコーン系膜でもよい。また、成膜方法は、例えば真空蒸着法を用いるが、これに限るものではない。
【００５７】
さらに、撥液膜１３４の成膜後に流路板２の流路部分をマスキングし、撥液膜１３４の一部を除去する。
【００５８】
これにより、液体に接する壁面の表面層が一部にＣＦｎ、ＣＨｎの基を含む層である表面自由エネルギーを小さくした流路板を得ることができる。
【００５９】
また、撥液膜１３４に２種類以上の撥液膜を用いて成膜、除去を繰り返すことで、ノズルに近い側がノズルに遠い側よりも大きい流路板を得ることができる。
【００６０】
次に、上記実施形態におけるノズル板の製造方法の一例について図８を参照して説明する。図８は同説明に供するノズル配列方向に沿う断面説明図である。
【００６１】
本発明に上記実施形態における流路板の製造方法の一例について図８を参照して説明する。図８は同説明に供するノズル配列方向に沿う断面説明図である。
【００６２】
図８（ａ）に示すように、ＳＵＳ基板１４１にパンチ１４２を用いて指定の間隔毎にプレスする。続いて、図８（ｂ）、（ｃ）に示すように、プレスされたＳＵＳ基板１４１のプレスされた側と反対の凸面側を研磨し、プレス部分を開口して、ノズル穴１５２が形成されたノズル基材１５１を得る。
【００６３】
その後、図８（ｄ）に示すように、ノズル基材１５１の表層に例えばＳｉＴｉＯｘ膜１５３を例えばスパッタ法で成膜する。
【００６４】
次いで、図８（ｅ）に示すように、ＳｉＴｉＯｘ膜１５３の表面にＰＦＰＥからなる撥液膜１５４を成膜する。撥液膜１５４の成膜方法は、真空蒸着法、あるいはディッピング、スピンコート等の液相成膜法を用いることができる。また、ＰＦＰＥに限らず、ＰＴＦＥ、シリコーン等でもよい。
【００６５】
その後、図８（ｆ）に示すように、ノズル基材１５１の流路板２と接合する面側から紫外線を照射して、流路板２側及びノズル穴１５２内の撥液膜１５４を除去し、図８（ｇ）に示すように、下地層であるＳｉＴｉＯｘ膜１５３を露出、改質する。なお撥液膜１５４の除去方法は紫外線照射に限られない。
【００６６】
これにより、ノズル板１の流路板２側表面及びノズル穴１５２の内壁面は表面自由エネルギーを大きくすることができる。
【００６７】
次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図９及び図１０を参照して説明する。図９は同装置の要部平面説明図、図１０は同装置の要部側面説明図である。
【００６８】
この装置は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。
【００６９】
このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド４０４及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド４０４は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド４０４は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。
【００７０】
液体吐出ヘッド４０４の外部に貯留されている液体を液体吐出ヘッド４０４に供給するための供給機構４９４により、ヘッドタンク４４１には、液体カートリッジ４５０に貯留されている液体が供給される。
【００７１】
供給機構４９４は、液体カートリッジ４５０を装着する充填部であるカートリッジホルダ４５１、チューブ４５６、送液ポンプを含む送液ユニット４５２等で構成される。液体カートリッジ４５０はカートリッジホルダ４５１に着脱可能に装着される。ヘッドタンク４４１には、チューブ４５６を介して送液ユニット４５２によって、液体カートリッジ４５０から液体が送液される。
【００７２】
この装置は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。
【００７３】
搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド４０４に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。
【００７４】
そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。
【００７５】
さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド４０４の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。
【００７６】
維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド４０４のノズル面（ノズルが形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。
【００７７】
主走査移動機構４９３、供給機構４９４、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。
【００７８】
このように構成したこの装置においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。
【００７９】
そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド４０４を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成する。
【００８０】
このように、この装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。
【００８１】
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図１１を参照して説明する。図１１は同ユニットの要部平面説明図である。
【００８２】
この液体吐出ユニットは、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド４０４で構成されている。
【００８３】
なお、この液体吐出ユニットの例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０、及び供給機構４９４の少なくともいずれかを更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。
【００８４】
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図１２を参照して説明する。図１２は同ユニットの正面説明図である。
【００８５】
この液体吐出ユニットは、流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド４０４と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。
【００８６】
なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド４０４と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。
【００８７】
本願において、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて、液体を吐出させる装置である。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。
【００８８】
この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。
【００８９】
例えば、「液体を吐出する装置」として、液体を吐出させて媒体に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。
【００９０】
また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。
【００９１】
上記「液体が付着可能もの」とは液体が一時的にでも付着可能なものを意味する。「液体が付着するもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。
【００９２】
また、「液体」は、インク、処理液、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、結着剤、造形液なども含まれる。
【００９３】
また、「液体を吐出する装置」には、特に限定しない限り、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置のいずれも含まれる。
【００９４】
また、「液体を吐出する装置」としては他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液をノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。
【００９５】
「液体吐出ユニット」とは、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体である。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。
【００９６】
ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。
【００９７】
例えば、液体吐出ユニットとして、図１０で示した液体吐出ユニット４４０のように、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。
【００９８】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。
【００９９】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、図１１で示したように、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。
【０１００】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。
【０１０１】
また、液体吐出ユニットとして、図１２で示したように、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。
【０１０２】
主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。
【０１０３】
また、「液体吐出ヘッド」は、使用する圧力発生手段が限定されるものではない。例えば、上記実施形態で説明したような圧電アクチュエータ（積層型圧電素子を使用するものでもよい。）以外にも、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものでもよい。
【０１０４】
また、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。
【符号の説明】
【０１０５】
１  ノズル板
２  流路板
３  振動板部材
４  ノズル
６  個別液室
１０  共通液室
１１  圧電アクチュエータ
２０  フレーム部材
４０  共通循環液室
４１  循環流路
９０  フィルタ部
４０３  キャリッジ
４０４  液体吐出ヘッド
４４０  液体吐出ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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