(57)【要約】【課題】直動案内装置をステージの移動方向の案内に採用して剛性を保つとともに、製作コストを低減可能な二軸位置決めステージ装置を提供する。【解決手段】二軸位置決めステージ装置１０は、固定枠１と、固定枠１の枠内にＸ軸用直動案内装置４を介してＸ軸方向にスライド移動可能に組み付けられる移動枠２と、移動枠２の枠内にＸ軸用直動案内装置４と同一の高さに配置されたＹ軸用直動案内装置７を介してＹ軸方向にスライド移動可能に組み付けられるステージ３と、固定枠１に対して移動枠２をＸ軸方向に駆動するＸ軸用駆動装置５と、移動枠２に対してステージ３をＹ軸方向に駆動するＹ軸用駆動装置８とを備える。【選択図】図１
2017013210.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定枠と、該固定枠の枠内に第一の直動案内装置を介して一の軸方向にスライド移動可能に組み付けられる移動枠と、該移動枠の枠内に前記第一の直動案内装置と同一の高さに配置された第二の直動案内装置を介して前記一の軸方向とは直交する他の軸方向にスライド移動可能に組み付けられるステージと、前記固定枠に対して前記移動枠を前記一の軸方向に駆動する第一の駆動装置と、前記移動枠に対して前記ステージを前記他の軸方向に駆動する第二の駆動装置とを備えることを特徴とする二軸位置決めステージ装置。
【請求項２】
前記第一の直動案内装置は、前記一の軸方向に沿った前記固定枠の内側面と前記一の軸方向に沿った前記移動枠の外側面との間の二箇所の位置それぞれに設けられ、
前記第二の直動案内装置は、前記他の軸方向に沿った前記移動枠の内側面と前記他の軸方向に沿った前記ステージの外側面との間の二箇所の位置それぞれに設けられている請求項１に記載の二軸位置決めステージ装置。
【請求項３】
前記第一の駆動装置は、前記固定枠の取付け面に設けられた第一の駆動モータと、該第一の駆動モータで第一のねじ軸が回転駆動されると第一のナットが前記一の軸方向に沿って移動するように前記固定枠の取付け面に設けられた第一のボールねじと、該第一のボールねじの前記第一のナットと前記移動枠とを繋ぐ第一の連結腕とを有し、
前記第二の駆動装置は、前記移動枠の取付け面に設けられた第二の駆動モータと、該第二の駆動モータで第二のねじ軸が回転駆動されると第二のナットが前記他の軸方向に沿って移動するように前記移動枠の取付け面に設けられた第二のボールねじと、該第二のボールねじの前記第二のナットと前記移動枠とを繋ぐ第二の連結腕とを有する請求項１または２に記載の二軸位置決めステージ装置。
【請求項４】
前記一の軸方向での前記固定枠に対する前記移動枠の位置情報を取得する第一のリニアスケールと、前記他の軸方向での前記移動枠に対する前記ステージの位置情報を取得する第二のリニアスケールと、これら二つのリニアスケールで取得された位置情報をフィードバックして前記第一および第二の駆動装置を制御する制御部とを備える請求項１〜３のいずれか一項に記載の二軸位置決めステージ装置。
【請求項５】
前記一の軸方向または前記他の軸方向のいずれか一方が縦に配置される請求項１〜４のいずれか一項に記載の二軸位置決めステージ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、二軸位置決めステージ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
直動案内装置を用いて二軸位置決めステージ装置を構成する場合、従来は、各軸ユニットを上下に積層配置する構造が一般的である。つまり、図６に一例を示すように、ベース１０１上に第一の直動案内装置１０４を設け、第一の直動案内装置１０４上にモータ１０５の駆動で一の軸方向に動くプレート１０２を設ける。そして、そのプレート１０２上に第二の直動案内装置１０７を一の軸方向と直交方向に設け、その上にモータ１０８の駆動で直交方向に動くステージ１０３を搭載するものである（以下、「積層配置構造」ともいう）。
【０００３】
二軸位置決めステージ装置を積層配置構造で構成した場合、ベース１０１からステージ１０３上面までの背が高いため、ピッチング精度に悪影響を及ぼし、この影響が位置決め精度を悪化させる要因となる。
これに対し、例えば特許文献１には、高さを低く抑えた位置決め装置が開示されている。同文献記載の技術では、ＸＹ方向に拘束のない静圧気体軸受を採用して、二軸の駆動装置を同一の高さに配置可能としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−１５５６６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１記載の位置決め装置の場合、静圧気体軸受を採用しているため、各軸の移動方向での剛性が弱く、また、静圧気体軸受を使用することからコストがかかるという問題がある。
そこで、本発明は、このような問題点に着目してなされたものであって、高さを低く抑えつつも、各軸の案内に直動案内装置を採用して剛性を保つとともに製作コストを低減可能な二軸位置決めステージ装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明の一態様に係る二軸位置決めステージ装置は、固定枠と、該固定枠の枠内に第一の直動案内装置を介して一の軸方向にスライド移動可能に組み付けられる移動枠と、該移動枠の枠内に前記第一の直動案内装置と同一の高さに配置された第二の直動案内装置を介して前記一の軸方向とは直交する他の軸方向にスライド移動可能に組み付けられるステージと、前記固定枠に対して前記移動枠を前記一の軸方向に駆動する第一の駆動装置と、前記移動枠に対して前記ステージを前記他の軸方向に駆動する第二の駆動装置とを備えることを特徴とする。
【０００７】
なお、本明細書において、前記一の軸方向と前記他の軸方向とに直交する方向を「高さ方向」と定義する。つまり、一の軸方向がＸ方向であり他の軸方向がＹ方向であるとき、これらに直交するＺ方向が「高さ方向」である。
本発明の一態様に係る二軸位置決めステージ装置によれば、固定枠の枠内に移動枠を配置し、さらに、その移動枠の枠内にステージを配置し、固定枠と移動枠相互を第一の直動案内装置を介してスライド移動可能に連結するとともに、移動枠とステージ相互を第一の直動案内装置と同一の高さに配置された第二の直動案内装置を介してスライド移動可能に連結したので、二軸の直動案内装置を、いわば同一平面上に配置することにより、ベースとなる固定枠からステージ上面までの高さを低く抑えることができる（以下、「平面配置構造」ともいう）。よって、本発明の平面配置構造であれば、積層配置構造で構成した場合と比べて、良好なピッチング精度での動作が可能になる。また、二軸ともに直動案内装置を用いることで、静圧気体軸受では実現できない高い剛性を保ちつつ、静圧気体軸受を用いる場合に比べて、製作コストを低減することができる。
【０００８】
ここで、本発明の一態様に係る二軸位置決めステージ装置において、前記第一の直動案内装置は、前記一の軸方向に沿った前記固定枠の内側面と前記一の軸方向に沿った前記移動枠の外側面との間の二箇所の位置それぞれに設けられ、前記第二の直動案内装置は、前記他の軸方向に沿った前記移動枠の内側面と前記他の軸方向に沿った前記ステージの外側面との間の二箇所の位置それぞれに設けられていることは好ましい。このような構成であれば、平面配置構造とするに際し、二つの直動案内装置を、いわば同一平面上に配置する上で好適である。
【０００９】
また、本発明の一態様に係る二軸位置決めステージ装置において、前記第一の駆動装置は、前記固定枠の取付け面に設けられた第一の駆動モータと、該第一の駆動モータで第一のねじ軸が回転駆動されると第一のナットが前記一の軸方向に沿って移動するように前記固定枠の取付け面に設けられた第一のボールねじと、該第一のボールねじの前記第一のナットと前記移動枠とを繋ぐ第一の連結腕とを有し、前記第二の駆動装置は、前記移動枠の取付け面に設けられた第二の駆動モータと、該第二の駆動モータで第二のねじ軸が回転駆動されると第二のナットが前記他の軸方向に沿って移動するように前記移動枠の取付け面に設けられた第二のボールねじと、該第二のボールねじの前記第二のナットと前記移動枠とを繋ぐ第二の連結腕とを有することは好ましい。このような構成であれば、平面配置構造の二軸位置決めステージ装置に、各軸の駆動装置を搭載する上で好適である。
【００１０】
また、本発明の一態様に係る二軸位置決めステージ装置において、前記一の軸方向での前記固定枠に対する前記移動枠の位置情報を取得する第一のリニアスケールと、前記他の軸方向での前記移動枠に対する前記ステージの位置情報を取得する第二のリニアスケールと、これら二つのリニアスケールで取得された位置情報をフィードバックして前記第一および第二の駆動装置を制御する制御部とを備えることは好ましい。このような構成であれば、各軸の位置情報をフィードバックして制御できるため、誤差の極めて小さい動作を可能とする上で好適である。
【００１１】
また、本発明の一態様に係る二軸位置決めステージ装置において、前記一の軸方向または前記他の軸方向のいずれか一方が縦に配置されることは好ましい。このような構成であれば、例えば、本発明の一態様に係る二軸位置決めステージ装置を壁に掛けて使用する上で好適である。
【発明の効果】
【００１２】
上述のように、本発明によれば、高さを低く抑えつつも、各軸の案内に直動案内装置を採用して剛性を保つとともに製作コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一態様に係る二軸位置決めステージ装置の第一実施形態の斜視図である。
【図２】本発明の一態様に係る二軸位置決めステージ装置の第一実施形態の分解斜視図であり、同図（ａ）は外側の固定枠を分解して示し、同図（ｂ）は内側の移動枠を分解して示している。
【図３】本発明の一態様に係る二軸位置決めステージ装置の第一実施形態の説明図であり、同図（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は右側面図である。
【図４】本発明の一態様に係る二軸位置決めステージ装置の第二実施形態の説明図であり、同図（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は右側面図である。
【図５】本発明の一態様に係る二軸位置決めステージ装置の使用態様の一実施形態を説明する斜視図であり、同図はＹ軸を縦に配置した姿勢を裏面側から見た図を示している。
【図６】従来の二軸位置決めステージ装置の一例を示す斜視図であり、同図では、上部に積層される一方の駆動部を分解した状態を併せて図示している。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明一態様に係る二軸位置決めステージ装置の実施形態について、図面を適宜参照しつつ説明する。なお、図面は模式的なものである。そのため、厚みと平面寸法との関係、比率等は現実のものとは異なることに留意すべきであり、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている。また、以下に示す実施形態は、本発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、本発明の技術的思想は、構成部品の材質、形状、構造、配置等を下記の実施形態に特定するものではない。
【００１５】
［第一実施形態］
図１に斜視図を示すように、第一実施形態の二軸位置決めステージ装置１０は、矩形枠形状の固定枠１と、固定枠１の内側に組み付けられる矩形枠形状の移動枠２と、移動枠２の内側に組み付けられる矩形平板形状のステージ３とを有する。ステージ３の上面は平面とされ、ステージ３の上面がワーク等の装着面になっている。なお、第一実施形態の例では、ステージ３上面が水平に配置される。
【００１６】
移動枠２は、固定枠１の内側の空間に配置され、固定枠１に対してＸ方向に延在する一対のＸ軸用直動案内装置４を介して連結されている。一対のＸ軸用直動案内装置４は、Ｘ軸方向に沿った固定枠１の内側面とＸ軸方向に沿った移動枠２の外側面との間の二箇所の位置それぞれに設けられている。固定枠１の上面には、固定枠１に対して移動枠２をＸ軸方向に駆動するＸ軸用駆動装置５が設けられ、Ｘ軸用駆動装置５の駆動により、移動枠２がＸ方向にスライド移動可能になっている。
【００１７】
ステージ３は、移動枠２の内側の空間に配置され、移動枠２に対してＹ方向に延在する一対のＹ軸用直動案内装置７を介して連結されている。一対のＹ軸用直動案内装置７は、Ｙ軸方向に沿った移動枠２の内側面とＹ軸方向に沿ったステージ３の外側面との間の二箇所の位置それぞれに設けられている。移動枠２の上面には、移動枠２に対してステージ３をＹ軸方向に駆動するＹ軸用駆動装置８が設けられ、Ｙ軸用駆動装置８の駆動により、ステージ３がＹ方向にスライド移動可能になっている。
【００１８】
固定枠１および移動枠２は、図２に分解斜視図を示すように、横断面が矩形をなす４本のフレームを組み合わせて矩形枠形状に形成されている。
詳しくは、固定枠１は、同図（ａ）に示すように、Ｘ方向に沿って配置されるとともに、上記Ｘ軸用駆動装置５が上面に設けられる主フレーム１１と、主フレーム１１の両端それぞれに一端が固定されるとともに主フレーム１１とは直交するＹ方向に沿って配置される２本の縦フレーム１２、１２と、主フレーム１１と並行にＸ方向に沿って配置されるとともに、２本の縦フレーム１２、１２の他端を繋ぐように固定される横フレーム１３とを有する。
【００１９】
移動枠２は、同図（ｂ）に示すように、Ｙ方向に沿って配置されるとともに、上記Ｙ軸用駆動装置８が上面に設けられる主フレーム２１と、主フレーム２１の両端それぞれに一端が固定されるとともに、主フレーム２１とは直交するＸ方向に沿って配置される２本の横フレーム２３、２３と、主フレーム２１と並行にＹ方向に沿って配置されるとともに、２本の横フレーム２３、２３の他端を繋ぐように固定される縦フレーム２２とを有する。
【００２０】
固定枠１と移動枠２とは、固定枠１のＹ方向に沿った二つの内側面と移動枠２のＹ方向に沿った二つの外側面との間に、Ｘ方向で必要なストロークに応じた離隔距離ができるように各枠体の寸法が設定されている。また、移動枠２とステージ３とは、移動枠２のＸ方向に沿った二つの内側面とステージ３のＸ方向に沿った二つの外側面との間に、Ｙ方向で必要なストロークに応じた離隔距離ができるように移動枠２の枠体の寸法およびステージ３の矩形形状の各辺の寸法が設定されている。
【００２１】
図３に示すように、固定枠１の上記主フレーム１１の上面がＸ軸用駆動装置５の取付け面１ｍとなっており、Ｘ軸用駆動装置５は、固定枠１上の取付け面１ｍに設けられたＸ軸用の駆動モータ５１と、駆動モータ５１でねじ軸５６ａが回転駆動されるとナット５６ｂがＸ軸方向に沿って移動するように固定枠１上の取付け面１ｍに設けられたＸ軸用のボールねじ５６と、ボールねじ５６のナット５６ｂと移動枠２とを繋ぐＸ軸用の連結腕５７とを有する。駆動モータ５１は、取付け面１ｍ上に設けられたモータハウジング５２に固定されている。
【００２２】
ボールねじ５６は、ねじ軸５６ａの軸線がＸ方向に沿って水平に配置され、二つの軸受ブロック５４、５５によりねじ軸５６ａが回転自在に支持されている。ねじ軸５６ａの基端部は、モータハウジング５２内のカップリング５３を介して駆動モータ５１の出力軸に連結されている。駆動モータ５１は、例えばサーボモータやステッピングモータであり、信号線を介して制御部３０に接続され、制御部３０との間でＸ軸の駆動および位置制御に必要な信号および電力を授受可能になっている。
【００２３】
そして、上記一対のＸ軸用直動案内装置４は、Ｘ軸案内レール４１と、Ｘ軸案内レール４１に不図示の転動体を介してＸ方向にスライド移動可能に跨設される二つのＸ軸スライダ４２とをそれぞれ有する。この例では、Ｘ軸案内レール４１は、移動枠２のＸ方向に沿った二つの外側面それぞれに水平に固定され、二つのＸ軸スライダ４２は、固定枠１のＸ方向に沿った二つの内側面それぞれに固定されている。
【００２４】
また、同図に示すように、移動枠２の上記主フレーム２１の上面がＹ軸用駆動装置８の取付け面２ｍとなっており、Ｙ軸用駆動装置８は、移動枠２上の取付け面２ｍに設けられたＹ軸用の駆動モータ８１と、駆動モータ８１でねじ軸８６ａが回転駆動されるとナット８６ｂがＹ軸方向に沿って移動するように移動枠２上の取付け面２ｍに設けられたＹ軸用のボールねじ８６と、ボールねじ８６のナット８６ｂと移動枠２とを繋ぐＹ軸用の連結腕８７とを有する。駆動モータ８１は、取付け面２ｍ上に設けられたモータハウジング８２に固定されている。
【００２５】
ボールねじ８６は、ねじ軸８６ａの軸線がＹ方向に沿って水平に配置され、二つの軸受ブロック８４、８５によりねじ軸８６ａが回転自在に支持されている。ねじ軸８６ａの基端部は、モータハウジング８２内のカップリング８３を介して駆動モータ８１の出力軸に連結されている。駆動モータ８１は、例えばサーボモータやステッピングモータであり、信号線を介して制御部３０に接続され、制御部３０との間でＹ軸の駆動および位置制御に必要な信号および電力を授受可能になっている。
【００２６】
そして、上記一対のＹ軸用直動案内装置７は、Ｙ軸案内レール７１と、Ｙ軸案内レール７１に不図示の転動体を介してＹ方向にスライド移動可能に跨設される二つのＹ軸スライダ７２とをそれぞれ有する。この例では、Ｙ軸案内レール７１は、ステージ３のＹ方向に沿った二つの外側面それぞれに水平に固定され、二つのＹ軸スライダ７２は、移動枠２のＹ方向に沿った二つの内側面それぞれに固定されている。
【００２７】
次に、上記二軸位置決めステージ装置１０の動作および作用効果について説明する。
この二軸位置決めステージ装置１０は、矩形枠形状の固定枠１の枠内に矩形枠形状の移動枠２を配置し、さらに、その移動枠２の枠内に矩形板状のステージ３を配置し、固定枠１と移動枠２相互をＸ方向に水平配置されたＸ軸用直動案内装置４を介してスライド移動可能に連結し、移動枠２とステージ３相互をＹ方向に水平配置されたＹ軸用直動案内７を介してスライド移動可能に連結し、Ｘ、Ｙの各軸をＸ軸用駆動装置５とＹ軸用駆動装置８とにより駆動可能としているので、Ｘ軸用駆動装置５の駆動により、移動枠２を、固定枠１に対してＸ軸用直動案内装置４を介してＸ方向に移動でき、また、Ｙ軸用駆動装置８の駆動により、ステージ３を、移動枠２に対して、Ｙ軸用直動案内装置７を介してＹ方向に移動できる。即ち、ステージ３は、固定枠１に対して移動枠２を介してＸ方向とＹ方向とに移動できる。
【００２８】
そして、一対のＸ軸用直動案内装置４と一対のＹ軸用直動案内装置７とは、移動枠２の４つの側面に井桁状に配置されるため、図３（ｂ）、（ｃ）に示すように、固定枠１と移動枠２とステージ３とを相互に組み付けた状態では、Ｘ方向に水平配置された二組のＸ軸用直動案内装置４とＹ方向に水平配置された二組のＹ軸用直動案内７とは同一高さに位置し、装置全体の高さが低く抑えられる。
【００２９】
すなわち、この二軸位置決めステージ装置１０によれば、Ｘ軸用直動案内装置４とＹ軸用直動案内装置７とが同一の高さに配置されているので、Ｘ軸とＹ軸の二つの直動案内装置を、いわば同一平面上に配置することにより、移動枠２がステージ３と固定枠１の高さの範囲に収まるため、二軸位置決めステージ装置全体の高さを、実質的にステージ３と固定枠１の高さに抑えることができる。そのため、この二軸位置決めステージ装置１０によれば、装置全体の高さを低くすることができるので、上述した積層配置構造で構成した場合と比べて、良好なピッチング精度での動作が可能になる。また、二軸ともに直動案内装置を用いることで、静圧気体軸受では実現できない高い剛性を保ちつつ、静圧気体軸受を用いる場合に比べて、製作コストを低減することができる。
【００３０】
［第二実施形態］
次に、第二実施形態について図４を参照しつつ説明する。
この第二実施形態の二軸位置決めステージ装置１０は、第一実施形態に対し、Ｘ軸およびＹ軸の位置情報をフルクローズド制御する目的で、各軸それぞれにリニアスケールを更に設けた点が異なっている。なお、他の構成は同様なので、以下、相違点について説明し、第一実施形態と同様の構成については説明を省略する。
同図に示すように、第二実施形態の二軸位置決めステージ装置１０は、Ｘ軸方向での固定枠１に対する移動枠２の位置情報を取得するＸ方向制御用のリニアスケール６と、Ｙ軸方向での移動枠２に対するステージ３の位置情報を取得するＹ方向制御用のリニアスケール９と、これら二つのリニアスケール６、９で取得された位置情報をフィードバックしてＸ軸用駆動装置６およびＹ軸用駆動装置８を制御する制御部３０とを備える。
【００３１】
Ｘ方向制御用のリニアスケール６は、スケール本体６ａと、スケール本体６ａの目盛面に対向配置される走査検出器６ｂとを有する。スケール本体６ａは、移動枠２の上面にＸ方向に沿って装着され、この例では、連結腕５７が連結する側とは反対の側の、移動枠２の横フレーム２３上面に、中央振り分けとなる位置に装着されている。そして、走査検出器６ｂは、その検出部がスケール本体６ａの目盛面に対向するように固定枠１の上面に装着され、この例では、固定枠１の横フレーム１３の中央の位置に装着されている。走査検出器６ｂは、信号線を介して制御部３０に接続されており、取得した移動枠２の位置情報を制御部３０に出力するようになっている。
【００３２】
Ｙ方向制御用のリニアスケール９は、スケール本体９ａと、スケール本体９ａの目盛面に対向配置される走査検出器９ｂとを有する。スケール本体９ａは、移動枠２の上面にＹ方向に沿って装着され、この例では、連結腕８７が連結する側とは反対の側の、移動枠２の縦フレーム２２上面に、中央振り分けとなる位置に装着されている。
そして、走査検出器９ｂは、その検出部がスケール本体９ａの目盛面に対向するようにステージ３の上面に装着され、この例では、ステージ３が縦フレーム２２に対向側の、ステージ３の上面でのＹ方向中央の位置に装着されている。走査検出器９ｂは、信号線を介して制御部３０に接続されており、取得したステージ３の位置情報を制御部３０に出力するようになっている。
【００３３】
なお、各リニアスケール６、９としては、光学測定式、磁気測定式、レーザ測定式および静電容量測定式等の測定方式のうちのいずれを採用してもよいし、また、位置情報について、インクリメンタル式とアブソリュート式のいずれを採用してもよい。
第二実施形態の二軸位置決めステージ装置１０によれば、各リニアスケール６、９により各軸の位置情報を制御部３０にフィードバックして制御できるため、誤差の極めて小さい動作が可能になる。特に、この二軸位置決めステージ装置１０であれば、ステージ３にワークを搭載することを考慮すると、ステージ３のワーク設置面と同一面にＸＹの各軸のリニアスケール６、９を設置可能となるので、誤差の極めて小さい動作を可能とする二軸位置決めステージ装置として好適である。
【００３４】
以上説明したように、本発明の実施形態に示した二軸位置決めステージ装置１０によれば、高さを低く抑えつつも、各軸の案内に直動案内装置を採用して剛性を保つとともに製作コストを低減することができる。なお、本発明に係る二軸位置決めステージ装置は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しなければ種々の変形が可能なことは勿論である。
【００３５】
例えば、上記実施形態では、ステージ３上面が水平に配置される例で説明したが、これに限らず、本発明に係る二軸位置決めステージ装置の二軸の使用姿勢は特に限定されない。つまり、本発明に係る二軸位置決めステージ装置の場合、薄型構造であって、上述した特許文献１記載の位置決め装置のように、気体軸受けを使用していないため、いずれか一方の軸を縦にして、壁にかけての使用も可能である。
【００３６】
すなわち、図５に使用姿勢の他の例を示すように、二軸位置決めステージ装置１０の二つの軸のうち、例えば上記Ｘ軸を水平方向を向く軸とし、例えば上記Ｙ軸を垂直方向を向く軸として配置してもよい。この場合、上記Ｙ軸が垂直方向を向くＺ軸となり、ステージ３の左右両側面に位置するＹ軸用直動案内装置７が、Ｚ軸用直動案内装置として機能し、また、Ｙ軸用駆動装置８がＺ軸用駆動装置として機能し、Ｙ軸用駆動装置８を駆動することでステージ３をＺ方向に動作させることができるので、ステージ３をＸ−Ｚ平面上で位置決め制御することができる。
【符号の説明】
【００３７】
１    固定枠
２    移動枠
３    ステージ
４    Ｘ軸用直動案内装置（第一の直動案内装置）
５    Ｘ軸用駆動装置（第一の駆動装置）
６    （Ｘ方向制御用の）リニアスケール（第一のリニアスケール）
７    Ｙ軸用直動案内装置（第二の直動案内装置）
８    Ｙ軸用駆動装置（第二の駆動装置）
９    （Ｙ方向制御用の）リニアスケール（第二のリニアスケール）
１０    二軸位置決めステージ装置
１１    （固定枠の）主フレーム
１２    （固定枠の）縦フレーム
１３    （固定枠の）横フレーム
２１    （移動枠の）主フレーム
２２    （移動枠の）縦フレーム
２３    （移動枠の）横フレーム
３０    制御部
４１    Ｘ軸案内レール
４２    Ｘ軸スライダ
５１    （Ｘ軸用の）駆動モータ（第一の駆動モータ）
５２    （Ｘ軸用の）モータハウジング
５３    （Ｘ軸用の）カップリング
５４    （Ｘ軸用の）軸受ブロック
５５    （Ｘ軸用の）軸受ブロック
５６    （Ｘ軸用の）ボールねじ（第一のボールねじ）
５７    （Ｘ軸用の）連結腕（第一の連結腕）
７１    Ｙ軸案内レール
７２    Ｙ軸スライダ
８１    （Ｙ軸用の）駆動モータ（第二の駆動モータ）
８２    （Ｙ軸用の）モータハウジング
８３    （Ｙ軸用の）カップリング
８４    （Ｙ軸用の）軸受ブロック
８５    （Ｙ軸用の）軸受ブロック
８６    （Ｙ軸用の）ボールねじ（第二のボールねじ）
８７    （Ｙ軸用の）連結腕（第二の連結腕）
【図１】
2017013210.tif 000003
【図２】
2017013210.tif 000004
【図３】
2017013210.tif 000005
【図４】
2017013210.tif 000006
【図５】
2017013210.tif 000007
【図６】
2017013210.tif 000008