(57)【要約】      （修正有）【課題】ノズルの吐出口から吐出された電解液を、対象物に対してムラ無く均一に導くことにより、対象物の加工や除染を正確かつ高効率に行うことを可能とする電解加工装置を提供する。【解決手段】吐出口１０１は、開口部群１０６、または、２組以上の開口部群１０６からなり、孔１０２の直径をＤとし、正三角形１０３の１辺の長さをＬとすると、１．６≦Ｌ／Ｄ≦２．４を満足する。【選択図】図１
2017203667.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属製の対象物の表面に対して電解液を吐出する吐出口を有しているノズルを備えており、
上記吐出口は、正三角形の各頂点の位置関係に対応する位置関係で配置された３つの孔の組である開口部群、または、２組以上の当該開口部群からなり、
上記孔の各々の直径をＤとし、上記正三角形の１辺の長さをＬとすると、
１．６≦Ｌ／Ｄ≦２．４
を満足することを特徴とする電解加工装置。
【請求項２】
上記吐出口は、上記２組以上の開口部群からなり、
上記２組以上の開口部群を構成する各孔は、少なくとも２列に千鳥配置されていることを特徴とする請求項１に記載の電解加工装置。
【請求項３】
上記ノズルは、上記ノズルに導入された電解液の、上記吐出口方向への流れを妨げる液受け部材を備えていることを特徴とする請求項１または２に記載の電解加工装置。
【請求項４】
上記ノズルは、少なくとも１つの上記孔を通る上記電解液の流れを整える、メッシュまたは多孔板を備えていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の電解加工装置。
【請求項５】
上記吐出口から吐出された電解液の経路を囲むように配置された絶縁部材を備えていることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の電解加工装置。
【請求項６】
上記吐出口を覆う多孔性の絶縁部材を備えていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の電解加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属製の対象物の表面を電解により加工する電解加工装置、特に、放射線に汚染された金属製の対象物の表面を電解により除染する電解加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、放射線によって汚染された金属製の対象物の表面を除染すること等を目的として、電気分解によって対象物を加工する電解加工装置が知られている。
【０００３】
特に、上記電解加工装置においては、金属製の対象物の表面に対して電解液を吐出する吐出口を有しているノズルを備えている電解加工装置が知られている。当該電解加工装置においては、対象物とノズルとの間に電圧を印加しつつ、ノズルの吐出口から吐出させた電解液を対象物の表面に当てる。これにより、電気分解によって、対象物の表面を溶出することができるため、対象物を加工したり対象物の表面を除染したりすることが可能である。このような電解加工装置の一例が、特許文献１および２に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭５６−１４０３００号公報（１９８１年１１月２日公開）
【特許文献２】実公平６−４８４７８号公報（１９９４年１２月１２日公告）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１および２に開示されている技術においては、ノズルの吐出口から吐出された電解液を、対象物に対してムラ無く均一に導くことが難しいので、対象物の加工や除染を正確かつ高効率に行うことが難しいという問題が発生する。
【０００６】
特許文献１に開示されている技術においては、ノズルの吐出口が１つの孔からなる。この場合、当該吐出口から吐出された電解液の流れが乱れてしまうので、当該電解液を対象物に対してムラ無く均一に導くことが難しい。
【０００７】
また、特許文献２に開示されている技術においては、ノズルの吐出口が複数の孔からなる。この場合、当該複数の孔の配置が適切に設定されなければ、当該吐出口から吐出された電解液を、対象物に対してムラ無く均一に導くことが難しい。
【０００８】
例えば、上記複数の孔の間隔が小さ過ぎる場合、ノズルの吐出口から吐出された隣接する電解液流の間の空間の圧力が低下することによって、当該複数の孔の各々から吐出された電解液同士が合流したり、当該複数の孔から吐出された電解液が渦を巻いて流れたりする虞がある。この結果、当該吐出口から吐出された電解液の流れが乱れてしまう。一方、上記複数の孔の間隔が大き過ぎる場合、当該複数の孔の各々から吐出された電解液同士が離れていることによって、対象物の表面において、電解液が十分に当たらない領域が生じてしまう虞がある。
【０００９】
また、電解液の流れの乱れは、いわゆる電磁ピンチ効果によっても生じ得る。この点からも、当該電解液を対象物に対してムラ無く均一に導くことが難しい。
【００１０】
本発明は、上記の課題に鑑みて為されたものであり、その目的は、ノズルの吐出口から吐出された電解液を、対象物に対してムラ無く均一に導くことにより、対象物の加工や除染を正確かつ高効率に行うことを可能とする電解加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するために、本発明の電解加工装置は、金属製の対象物の表面に対して電解液を吐出する吐出口を有しているノズルを備えており、上記吐出口は、正三角形の各頂点の位置関係に対応する位置関係で配置された３つの孔の組である開口部群、または、２組以上の当該開口部群からなり、上記孔の各々の直径をＤとし、上記正三角形の１辺の長さをＬとすると、
１．６≦Ｌ／Ｄ≦２．４
を満足することを特徴としている。
【００１２】
上記の構成によれば、複数の孔の間隔が小さ過ぎないので、ノズルの吐出口から吐出された電解液に対して負圧が加わることによって、当該複数の孔の各々から吐出された電解液同士が合流したり、当該複数の孔から吐出された電解液が渦を巻いて流れたりする虞を低減することができる。また、上記の構成によれば、複数の孔の間隔が大き過ぎないので、当該複数の孔の各々から吐出された電解液同士が離れず、対象物の表面において、電解液が十分に当たらない領域が生じてしまう虞を低減することができる。そして、上記の構成によれば、当該複数の孔を、正三角形の各頂点の位置関係に対応する位置関係またはその組み合わせで配置することにより、各孔から吐出された電解液の流れのバランスをとっている。
【００１３】
従って、上記の構成によれば、ノズルの吐出口から吐出された電解液を、対象物に対してムラ無く均一に導くことにより、対象物の加工や除染を正確かつ高効率に行うことが可能となる。
【００１４】
また、上記吐出口は、上記２組以上の開口部群からなり、上記２組以上の開口部群を構成する各孔は、少なくとも２列に千鳥配置されていることが好ましい。
【００１５】
上記の構成によれば、対象物の加工や除染を正確かつ高効率に行いつつ、孔の数を増やして単位時間当たりの電解液の吐出量を増やすことができる。
【００１６】
また、上記ノズルは、上記ノズルに導入された電解液の、上記吐出口方向への流れを妨げる液受け部材を備えていることが好ましい。
【００１７】
ノズルに導入された電解液が導入時の流れの勢いおよび方向を維持したまま複数の孔に導かれると、複数の孔のそれぞれに導かれる電解液の量にばらつきが生じ、電解液の吐出が不安定となる虞がある。上記の構成によれば、液受け部材は、ノズルに導入された電解液の流れを一旦打消し、液溜まりを発生させるため、電解液の吐出を安定化させることができる。
【００１８】
また、上記ノズルは、少なくとも１つの上記孔を通る上記電解液の流れを整える、メッシュまたは多孔板を備えていることが好ましい。
【００１９】
上記の構成によれば、メッシュまたは多孔板が孔を通る電解液の流れを整えるので、吐出口からの電解液の吐出を安定化させることができる。
【００２０】
また、本発明の電解加工装置は、上記吐出口から吐出された電解液の経路を囲むように配置された絶縁部材を備えていることが好ましい。
【００２１】
上記の構成によれば、吐出口から吐出された電解液の流れを妨害すること無く、ノズルと対象物とが短絡する虞を低減することができる。
【００２２】
また、本発明の電解加工装置は、上記吐出口を覆う多孔性の絶縁部材を備えていることが好ましい。
【００２３】
上記の構成によれば、多孔性の絶縁部材を介して電解液を対象物に導くことにより、吐出口から吐出された電解液を、対象物に対してムラ無く均一に導くことができる。また、多孔性の絶縁部材により、ノズルと対象物とが短絡する虞を低減することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、ノズルの吐出口から吐出された電解液を、対象物に対してムラ無く均一に導くことにより、対象物の加工や除染を正確かつ高効率に行うことができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明に係る吐出口の構成の一例を概略的に示す平面図である。
【図２】本発明の電解加工装置の構成を概略的に示す図である。
【図３】本発明に係る吐出口の構成の別の例を概略的に示す平面図である。
【図４】本発明に係るノズルの変形例を概略的に示す断面図である。
【図５】本発明の電解加工装置に絶縁部材を設けた例を示す断面図であり、ノズルおよびその周辺を示している。
【図６】本発明の電解加工装置に多孔性の絶縁部材を設けた例を示す断面図であり、ノズルおよびその周辺を示している。
【図７】吐出口がスリットからなる比較例としての電解加工装置の写真であり、対象物の表面に対して電解液を吐出する様子を示している。
【図８】図７に示す電解液の吐出後の、対象物の表面における溶出の様子を示す写真である。
【図９】吐出口が図１に示す吐出口である電解加工装置の写真であり、対象物の表面に対して電解液を吐出する様子を示している。
【図１０】図９に示す電解液の吐出後の、対象物の表面における溶出の様子を示す写真である。
【図１１】ｌｇ＝１５ｍｍ、電圧２００Ｖでの溶出跡を示す写真である。
【図１２】ｌｇ＝５０ｍｍ、電圧２００Ｖでの溶出跡を示す写真である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明を実施するための形態について説明する。なお、説明の便宜上、先の説明にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
【００２７】
図２は、本発明の実施形態に係る電解加工装置１００の構成を示す図である。電解加工装置１００は、対象物Ｍの表面を電解により溶出させる電解加工装置である。なお、本発明は、除染のための電解加工装置のみならず、対象物の表面を電解により溶出させる電解加工装置全般に適用可能である。
【００２８】
図２に示すように、電解加工装置１００は、対象物Ｍに対して電解加工が行われる本体部１と、電解液Ｎが貯留される貯留部２と、貯留部２の電解液Ｎを本体部１に供給するとともに、本体部１から電解液Ｎを回収する循環経路部３とを備えている。
【００２９】
対象物Ｍは、原子力発電所の配管系で使用されたＳＵＳ（Steel Use Stainless）製のパイプなど、放射線で表面およびその近傍が汚染されている金属製の部材である。対象物Ｍは、汚染された表面およびその近傍が除去されることによって、非汚染材料（クリアランス材）となり、再利用または通常の産業廃棄物としての処分などを行うことが可能となる。これにより、放射線により汚染された材料として特別な処分を行う必要のある材料の総量を減少させることが可能である。
【００３０】
また、電解液Ｎは、硝酸ナトリウム（ＮａＮＯ３）の水溶液、塩化ナトリウム（ＮａＣｌ）の水溶液、または硝酸カリウム（ＫＮＯ３）の水溶液など中性の水溶液であり、約１０ｗｔ％以上約２０ｗｔ％以下の重量パーセント濃度であるのが好ましい。電解加工装置１００においては、電解液Ｎとして中性の水溶液を用いることによって、強アルカリ性や強酸性の水溶液を用いる装置などと比べて、液漏れおよび液の飛散などを綿密に防ぐ必要がない。
【００３１】
本体部１は、電解槽１１と、ノズル１２と、移動機構１３と、直流（ＤＣ）電源１６と、配線１７ａ、１７ｂとを備えている。
【００３２】
電解槽１１内には、対象物Ｍが配置されているとともに、ノズル１２から吐出され、対象物Ｍから流れ落ちた電解液Ｎが貯留されている。
【００３３】
ノズル１２は、電解液Ｎを対象物Ｍに対して吐出すると共に電極として機能する。ノズル１２は、ノズル１２の長手方向の一方端部から他方端部まで延び、電解液Ｎが流通する中空部１２ａと、対象物Ｍ側の一方端部に設けられた吐出口１２ｂと、他方端部に設けられた供給口１２ｃとを有している。
【００３４】
吐出口１２ｂは、電解液Ｎが対象物Ｍ側に吐出されるように構成されている。供給口１２ｃは循環経路部３に接続されており、供給口１２ｃを介して電解液Ｎが中空部１２ａ内に供給される。また、ノズル１２は、導電性を有しており、後述する直流電源１６の負極側が接続されている。
【００３５】
移動機構１３は、対象物Ｍをノズル１２に対して移動させる機構である。本実施形態では、移動機構１３は、電解槽１１の内部に収容され、対象物Ｍが載置される移動式の台であり、ノズル１２の吐出口１２ｂと対象物Ｍとの相対位置（上記台の水平方向の位置および高さ）を変更可能である。移動機構１３のノズル１２に対する水平方向の位置および高さを変更することで、対象物Ｍのノズル１２に対する水平方向の位置および高さを変更することができる。
【００３６】
直流電源１６は、対象物Ｍに直流電流（ＤＣ）を流すための電源である。直流電源１６の負極側とノズル１２とは、配線１７ａにより接続されている。直流電源１６の正極側と導電性の対象物Ｍとは、配線１７ｂにより接続されている。これにより、直流電源１６からの電流は、ノズル１２および対象物Ｍに供給される。なお、直流電源１６は、数１０Ｖ程度の電圧を供給可能であればよい。
【００３７】
貯留部２は、電解液Ｎが貯留される容器である。本実施形態において、貯留部２は、電解槽１１より低い位置に設けられる。循環経路部３は、本体部１と貯留部２との間で電解液Ｎを循環させるための管路であり、供給路３１と、回収路３２とを有する。
【００３８】
供給路３１は、貯留部２からノズル１２へ電解液Ｎを供給する管路である。供給路３１の一端は貯留部２の底部近傍に接続され、他端はノズル１２の供給口１２ｃに接続されている。供給路３１には、電解液Ｎを貯留部２からノズル１２へ向けて流通させるポンプ３１ａ、および供給路３１を流通する電解液Ｎの流量を調整する流量調整弁３１ｂが設けられている。
【００３９】
ノズル１２からの電解液Ｎの供給は、貯留部２内の電解液Ｎをポンプ３１ａにより圧送することで行われる。ポンプ３１ａは、電解加工の開始前にユーザが手動で始動させ、電解加工の終了後にユーザが手動で停止させるものであってよい。
【００４０】
回収路３２は、電解槽１１から貯留部２へ電解液Ｎを回収する管路である。回収路３２の一端は電解槽１１の底部近傍に接続され、他端は貯留部２に接続されている。回収路３２には、電解加工により発生した電解液Ｎ中の反応生成物などの異物を除去するためのフィルタ３２ａが設けられている。フィルタ３２ａによる不純物を除去された電解液Ｎは、貯留部２に流入し、供給路３１を経由して、対象物Ｍの電解に再利用される。
【００４１】
電解加工装置１００による除染の原理について、以下に説明する。電解加工装置１００においては、ノズル１２から対象物Ｍに電解液Ｎを供給しながら、直流電源１６により、ノズル１２と対象物Ｍとの間に、電解液Ｎを介して電圧を印加する。これにより、ノズル１２と対象物Ｍとの間に電流経路が形成されて電解加工が行われる。ここで、ノズル１２と対象物Ｍとの間の距離が十分に近接していることによって、ノズル１２と対象物Ｍとの間に大きな電圧（例えば、約１０００Ｖ以上）を印加しなくても、小さな電圧（例えば、約３０Ｖ）で十分に電解加工を行うことが可能である。
【００４２】
この時、直流電源１６の正極側に接続された対象物Ｍでは、電解液Ｎに接する対象物Ｍの表面に存在する鉄（Ｆｅ）がイオン化して２価の鉄イオン（Ｆｅ２＋）となり、電解液Ｎに溶出する。これにより、対象物Ｍの表面およびその近傍に位置する汚染された鉄が除去される。そして、対象物Ｍを所定の深さまで電解し、汚染された鉄を十分に除去することにより、対象物Ｍが非汚染材料（クリアランス材）となる。一方、電解液Ｎ内に溶出したＦｅ２＋は、電解液Ｎ中の水酸化物イオン（ＯＨ−）と反応して、水酸化鉄（ＩＩ）（Ｆｅ（ＯＨ）２）、または、水酸化鉄（ＩＩ）が酸化した水酸化鉄（ＩＩＩ）（Ｆｅ（ＯＨ）３）として、捕集される。
【００４３】
図１は、ノズル１２が有している吐出口１２ｂの一例である、吐出口１０１の構成を概略的に示す平面図である。吐出口１０１は、３つの孔１０２からなる。３つの孔１０２の各々は、円形の開口形状を有している。
【００４４】
３つの孔１０２は、それぞれ、正三角形１０３の３つの頂点１０４の位置関係（各頂点の位置関係）に対応する位置関係で配置されている。換言すれば、吐出口１０１の平面視において、３つの孔１０２の中心１０５と、正三角形１０３の３つの頂点１０４とが、１対１の対応関係で一致している。つまり、３つの孔１０２の組を開口部群１０６とすると、図１に示す吐出口１０１は、１組の開口部群１０６からなる構成であると言える。
【００４５】
図１において、孔１０２の直径は直径Ｄとしている。また、正三角形１０３の１辺の長さは長さＬとしている。そして、当該直径Ｄと、当該長さＬとは、
１．６≦Ｌ／Ｄ≦２．４
を満足する。なお、具体的には、図１はＬ／Ｄ＝２の例である。
【００４６】
なお、ノズル１２は、２組以上の開口部群１０６からなる吐出口を有している構成であってもよい。
【００４７】
吐出口１０１は、複数の孔１０２の間隔が小さ過ぎないので、吐出口１０１から吐出された電解液Ｎに対して負圧が加わることによって、各孔１０２から吐出された電解液Ｎ同士が合流したり、複数の孔１０２から吐出された電解液Ｎが渦を巻いて流れたりする虞を低減することができる。また、吐出口１０１は、複数の孔１０２の間隔が大き過ぎないので、各孔１０２から吐出された電解液Ｎ同士が離れず、対象物Ｍの表面において、電解液Ｎが十分に当たらない領域が生じてしまう虞を低減することができる。そして、複数の孔１０２を、正三角形１０３の各頂点１０４の位置関係に対応する位置関係またはその組み合わせで配置することにより、各孔１０２から吐出された電解液Ｎの流れのバランスをとっている。
【００４８】
従って、吐出口１０１から吐出された電解液Ｎを、対象物Ｍに対してムラ無く均一に導くことにより、対象物Ｍの加工や除染を正確かつ高効率に行うことが可能となる。
【００４９】
図３は、ノズル１２が有している吐出口１２ｂの別の例である、吐出口１１１の構成を概略的に示す平面図である。吐出口１１１は、７つの孔１０２からなる。
【００５０】
７つの孔１０２は、それぞれ、５つの正三角形１０３のそれぞれの３つの頂点１０４の位置関係に対応する位置関係で配置されている。つまり、図３に示す吐出口１１１は、５組の開口部群１０６からなる構成であると言える。
【００５１】
ここで、吐出口１１１において、７つの孔１０２は、２列に千鳥配置されている。具体的には、７つの孔１０２のうち４つが、当該２列のうちの１列である第１列１１２を構成していると共に、７つの孔１０２のうち残りの３つが、当該２列のうちの１列であり第１列１１２と隣接する第２列１１３を構成している。
【００５２】
第１列１１２を構成する４つの孔１０２の中心１０５を結ぶと、第１直線１１４が形成される。同様に、第２列１１３を構成する３つの孔１０２の中心１０５を結ぶと、第２直線１１５が形成される。
【００５３】
そして、第１直線１１４と第２直線１１５とは互いに平行であり、かつ、第１直線１１４と第２直線１１５との間隔Ｙが、上述した孔１０２の直径Ｄの√３倍である。
【００５４】
これにより、対象物Ｍの加工や除染を正確かつ高効率に行いつつ、孔１０２の数を増やして単位時間当たりの電解液Ｎの吐出量を増やすことができる。
【００５５】
なお、吐出口１１１は、５組の開口部群１０６からなる構成であるが、２組〜４組のいずれかの開口部群１０６からなる構成であってもよいし、６組以上の開口部群１０６からなる構成であってもよい。
【００５６】
図４は、ノズル１２の変形例であるノズル１２´を概略的に示す断面図である。ノズル１２´は、邪魔板（液受け部材）１２１と、多孔板１２２とを備えている。なお、吐出口１２０は、図１に示した吐出口１０１であってもよいし、図３に示した吐出口１１１であってもよいし、吐出口１０１または１１１を本発明の技術思想に基づいて適宜設計変更したものであってもよい。
【００５７】
邪魔板１２１は、ノズル１２´に導入された電解液Ｎの、吐出口１２０方向への流れを妨げるものである。邪魔板１２１は、ノズル１２´の筒形状によって規定されたノズル１２´の中空部１２３に設けられている。液導入方向ＩＮに沿ってノズル１２´に電解液Ｎが導入されると、邪魔板１２１は、この電解液Ｎの流れを受け止め、一時的な液溜まりを発生させる。そして、邪魔板１２１によって流れが遮られた電解液Ｎは、邪魔板１２１とノズル１２´の内壁１２４との間を通り、吐出口１２０に向けて流れる。
【００５８】
ノズル１２´に導入された電解液Ｎが導入時の流れの勢いおよび方向を維持したまま複数の孔１０２に導かれると、複数の孔１０２のそれぞれに導かれる電解液Ｎの量にばらつきが生じ、電解液Ｎの吐出が不安定となる虞がある。邪魔板１２１は、ノズル１２´に導入された電解液Ｎの流れを一旦打消し、液溜まりを発生させるため、電解液Ｎの吐出を安定化させることができる。
【００５９】
また、多孔板１２２は、対応する孔１０２を通る電解液Ｎの流れを整えるものである。多孔板１２２の代わりにメッシュを用いてもよい。図４において、多孔板１２２は、対応する孔１０２に嵌め込まれた部材である。これにより、液吐出方向ＯＵＴに沿った、吐出口１２０からの電解液Ｎの吐出を安定化させることができる。
【００６０】
なお、ノズル１２´は、邪魔板１２１と、多孔板１２２とのいずれか一方のみを備えていてもよい。また、邪魔板１２１は、板状でない別の物質に置き換えられてもよい。
【００６１】
さらに、孔１０２を規定する筒部１２５について、ノズル１２´への電解液Ｎの入口側に向けて直径Ｄが大きくなるように、筒部１２５の縁１２６を丸めた（角を取った）構成としてもよく、これにより、孔１０２への電解液Ｎの流入がスムーズとなる。
【００６２】
図５は、電解加工装置１００に絶縁部材１３１を設けた例を示す断面図であり、ノズル１２およびその周辺を示している。なお、吐出口１３０は、図１に示した吐出口１０１であってもよいし、図３に示した吐出口１１１であってもよいし、吐出口１０１または１１１を本発明の技術思想に基づいて適宜設計変更したものであってもよい。
【００６３】
絶縁部材１３１は、吐出口１３０から吐出された電解液Ｎの経路を囲むように配置されている。図５において、絶縁部材１３１は、ノズル１２の外壁１３２から、ノズル１２の延伸方向に略沿って延びる筒状または管状の部材である。絶縁部材１３１は、例えば絶縁性の樹脂によって構成されている。
【００６４】
これにより、吐出口１３０から吐出された電解液Ｎの流れを妨害すること無く、ノズル１２と対象物Ｍとが短絡する虞を低減することができる。
【００６５】
なお、絶縁部材１３１は、図５において筒状または管状の部材であるが、ノズル１２の延伸方向に略沿って延びる複数の突起であってもよい。
【００６６】
図６は、電解加工装置１００に多孔性の絶縁部材１４１を設けた例を示す断面図であり、ノズル１２およびその周辺を示している。なお、吐出口１４０は、図１に示した吐出口１０１であってもよいし、図３に示した吐出口１１１であってもよいし、吐出口１０１または１１１を本発明の技術思想に基づいて適宜設計変更したものであってもよい。
【００６７】
絶縁部材１４１は、吐出口１４０を覆う多孔性の部材である。絶縁部材１４１は、例えば絶縁性の材料によって構成されたスポンジである。多孔性の絶縁部材１４１を介して電解液Ｎを対象物Ｍに導くことにより、吐出口１４０から吐出された電解液Ｎを、対象物Ｍに対してムラ無く均一に導くことができる。また、多孔性の絶縁部材１４１により、ノズル１２と対象物Ｍとが短絡する虞を低減することができる。
【００６８】
さらに、絶縁部材１４１は、吐出口１４０以外の吐出口、すなわち上述した直径Ｄと長さＬとが、
１．６≦Ｌ／Ｄ≦２．４
を満足しない吐出口に適用しても、当該吐出口から吐出された電解液Ｎを、対象物Ｍに対してムラ無く均一に導くことができるという効果を奏するものである。
【００６９】
また、図５および図６に示す形態において、ノズル１２はノズル１２´に置き換えられてもよい。
【００７０】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【実施例】
【００７１】
まず、吐出口がスリットからなる電解加工装置による対象物の溶出の正確性と、吐出口が吐出口１０１（図１参照）である電解加工装置による対象物の溶出の正確性との対比を行った。
【００７２】
図７は、吐出口がスリット１５１からなる比較例としての電解加工装置１５０の写真であり、対象物Ｍの表面に対して電解液Ｎを吐出する様子を示している。電解加工装置１５０における吐出口以外の構成は、概略的には、電解加工装置１００（図２参照）と同様である。吐出口がスリット１５１からなる場合、図７に示すように、スリット１５１から吐出された電解液Ｎに対して表面張力が加わることによって、電解液Ｎの特に両端部の流れが収縮する。そしてこれにより、スリット１５１の両端付近から吐出された電解液Ｎは、対象物Ｍの表面における電解対象領域の両端の領域１５２に集まってしまう。このため、領域１５２における対象物Ｍの溶出量と、スリット１５１の中央から電解液Ｎが導かれる領域１５３における対象物Ｍの溶出量とに大きな差が出る（図８参照）。さらにこのとき、電解液Ｎの流れが不安定となることに起因して、図８右側の領域１５２に至っては蛇行した軌跡となっている。このため、電解加工装置１５０においては、電解液Ｎを対象物Ｍに対してムラ無く均一に導くことが難しい。結果、対象物Ｍの表面の溶出を正確かつ高効率に行うこと、ひいては、対象物Ｍの加工や除染を正確かつ高効率に行うことが難しい。
【００７３】
図９は、吐出口が吐出口１０１である電解加工装置１６０の写真であり、対象物Ｍの表面に対して電解液Ｎを吐出する様子を示している。つまり、電解加工装置１６０の構成は、概略的には、電解加工装置１００（図２参照）と同様である。図９に示すように、電解加工装置１６０においては、ほぼ全ての電解液Ｎが吐出口１０１から鉛直下方に吐出されている。また、図９によれば、吐出口１０１と対象物Ｍとの間に示された電解液Ｎは、その全体に亘って概ね均一な流量となっている。
【００７４】
図１０は、図９に示す電解液Ｎの吐出後の、対象物Ｍの表面における溶出の様子を示す写真である。電解加工装置１６０によれば、吐出口１０１から吐出された電解液Ｎを、対象物Ｍに対してムラ無く均一に導くことができる。従って、電解加工装置１６０による対象物Ｍの表面の溶出は、領域１６１に示すように、領域１６１の全体に亘ってムラ無く均一に行われる。結果、対象物Ｍの表面の溶出を正確かつ高効率に行うこと、ひいては、対象物Ｍの加工や除染を正確かつ高効率に行うことができる。
【００７５】
続いて、上述した直径Ｄおよび長さＬによって規定されるＬ／Ｄの値と、溶出による対象物Ｍの研削幅との関係について検討を行った。
【００７６】
電解加工装置１６０において実用的な性能が得られる、吐出口１０１と対象物Ｍとの間隔ｌｇは５０ｍｍ以下、直流電源１６（図２参照）の電圧は２００Ｖ以下であった。ここで、吐出口１０１の替わりに、φ６ｍｍの孔（１つの孔１０２に相当）を１つ有する吐出口を適用した場合、流量１．０リットル／分において、
ｌｇ＝１５ｍｍ、電圧２００Ｖで、対象物Ｍの研削幅８ｍｍ（図１１の研削領域１７０参照）
ｌｇ＝５０ｍｍ、電圧２００Ｖで、対象物Ｍの研削幅４ｍｍ（図１２の研削領域１７１参照）程度になることが確認された。このことから、研削し残しが生じないようなＬ／Ｄの値を確認したところ、１．６≦Ｌ／Ｄ≦２．４とすることが好ましいということを確認することができた。
【符号の説明】
【００７７】
１２  ノズル
１２ｂ、１０１、１１１、１２０、１３０、１４０  吐出口
１００、１６０  電解加工装置
１０２  孔
１０３  正三角形
１０４  頂点
１０６  開口部群
１１２  第１列
１１３  第２列
１１４  第１直線
１１５  第２直線
１２１  邪魔板（液受け部材）
１２２  多孔板
１３１、１４１  絶縁部材
Ｄ  孔の直径
Ｌ  正三角形の１辺の長さ
Ｙ  第１直線と第２直線との間隔
【図１】
2017203667.tif 000003
【図２】
2017203667.tif 000004
【図３】
2017203667.tif 000005
【図４】
2017203667.tif 000006
【図５】
2017203667.tif 000007
【図６】
2017203667.tif 000008
【図７】
2017203667.tif 000009
【図８】
2017203667.tif 000010
【図９】
2017203667.tif 000011
【図１０】
2017203667.tif 000012
【図１１】
2017203667.tif 000013
【図１２】
2017203667.tif 000014