(57)【要約】      （修正有）【課題】アキシアル方向の寸法を短縮できるとともに組立が容易な磁気軸受装置を得る。【解決手段】回転軸２に同軸に装着される円板状のスラスト磁気軸受ディスク１０、スラスト磁気軸受ディスク１０を回転軸２の軸方向両側から挟むようにして配置された一対の円環状の第１および第２スラスト磁気軸受電磁石９ａ，９ｂ、検出部１１ａと被検出部１１ｂとを有するスラスト変位センサ１１を備え、スラスト磁気軸受ディスク１０の図２における左方の平面１０ａが被検出部１１ｂとして使用され、検出部１１ａは第１スラスト磁気軸受電磁石９ａと回転軸２との間に、第１スラスト磁気軸受電磁石９ａと回転軸２の径方向に重なるようにして、かつ被検出部１１ｂと対向配置され、被検出部１１ｂを介してスラスト磁気軸受ディスク１０の軸方向の変位を検出するようにされている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スラスト磁気軸受ディスクと一対のスラスト磁気軸受電磁石とスラスト変位センサとを有する磁気軸受装置であって、
前記スラスト磁気軸受ディスクは、円板状の形状を有し、回転軸に同軸に装着されるものであり、
前記一対のスラスト磁気軸受電磁石は、前記スラスト磁気軸受ディスクを前記回転軸の軸方向に挟むようして配置され、前記スラスト磁気軸受ディスクを非接触にて前記軸方向に支持するものであり、
前記スラスト変位センサは、スラスト変位検出部とスラスト変位被検出部とを有し、
前記スラスト変位被検出部は、前記スラスト磁気軸受ディスクの一方の面に設けられ、
前記スラスト変位検出部は、前記スラスト磁気軸受電磁石の一方と前記回転軸との間に、前記スラスト磁気軸受電磁石の一方と前記回転軸の径方向に重なるようにして、かつ前記スラスト変位被検出部と対向するようにして配置され、前記スラスト変位被検出部を介して前記スラスト磁気軸受ディスクの前記軸方向の変位を検出するものである
磁気軸受装置。
【請求項２】
タッチダウン軸受を有するものであって、
前記タッチダウン軸受は、前記一対のスラスト磁気軸受電磁石による前記スラスト磁気軸受ディスクを介しての前記回転軸の支持が停止したときに前記回転軸を支持するものであり、
前記タッチダウン軸受が、前記一対のスラスト磁気軸受電磁石の他方と前記回転軸との間に、前記一対のスラスト磁気軸受電磁石の他方と前記回転軸の径方向に重なるようにして配置されたものである
請求項１に記載の磁気軸受装置。
【請求項３】
回転数センサを有するものであって、
前記回転数センサは、検出部と被検出部とを有し、
前記被検出部は、前記スラスト磁気軸受ディスクの径方向の外周部に設けられ、
前記検出部は、前記被検出部に対向するようにして配置され、前記被検出部を介して前記スラスト磁気軸受ディスクの回転数を検出するものである
請求項１または請求項２に記載の磁気軸受装置。
【請求項４】
回転数センサを有するものであって、
前記回転数センサは、検出部と被検出部とを有し、
前記被検出部は、前記スラスト磁気軸受ディスクの前記一方の面に設けられ、
前記検出部は、前記被検出部に対向するとともに、前記一対のスラスト磁気軸受電磁石の一方と前記回転軸との間に、前記スラスト磁気軸受電磁石の一方と前記回転軸の径方向に重なるようにして配置され、前記被検出部を介して前記スラスト磁気軸受ディスクの回転数を検出するものである
請求項１または請求項２に記載の磁気軸受装置。
【請求項５】
電動機の回転軸に固着された羽根と、前記回転軸を支持する磁気軸受装置とを有するブロアであって、
前記磁気軸受装置は、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の磁気軸受装置である
ブロア。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気軸受装置およびブロアの改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、ブロアを高速回転させる場合、一般に使われる軸受、例えば玉軸受ではフレッティングや摩擦により高速回転化が困難であり、また頻繁なメンテナンスを必要とする。一方、回転軸を電磁石の吸引力により浮上させ非接触で支持する磁気軸受装置では、フレッティングや摩擦といった問題がなく、高速回転が可能である。磁気軸受装置は回転軸の軸方向（スラスト方向）を非接触支持するスラスト磁気軸受と、回転軸の径方向（ラジアル方向）を非接触支持する２組のラジアル磁気軸受とを有する。スラスト磁気軸受では、回転軸に対し垂直に取り付けられたスラスト磁気軸受ディスクを軸方向（スラスト方向）に挟むように固定部に配置されたスラスト軸受電磁石とスラスト変位センサとを備える。ラジアル磁気軸受では、回転軸の周方向に等間隔に配置されたラジアル磁気軸受電磁石とラジアル変位センサとを備えている。
【０００３】
各電磁石は磁極に巻かれたコイルに電流を流すことにより吸引力を発生している。また、一般に非常時や給電停止時に磁気軸受に代わり回転軸を支持するタッチダウン軸受および回転軸の回転数を計測するための回転数センサを備えている。磁気軸受装置は、スラスト磁気軸受電磁石と、スラスト変位センサと、ラジアル磁気軸受電磁石と、ラジアル変位センサと、回転数センサと、タッチダウン軸受とが設けられているので、通常の軸受より構成要素が多くなる。また、一般的に高精度変位計測に用いられる渦電流式の変位センサや静電容量式の変位センサは、センサ本体の検知方向寸法が長いため、磁気軸受のスラスト変位検出に用いるとスラスト方向の寸法が大きくなってしまう。このため、回転軸のスラスト方向（軸方向）の寸法が長くなるとともに、回転軸の固有振動数の低下を招いていた。
【０００４】
このような問題点を解決するために、ラジアル方向へ延設されたフランジ部（スラスト磁気軸受ディスク）を備える主軸（回転軸）と、アキシアル方向（フランジ部の軸方向、スラスト方向）においてフランジ部と対向して配設され、電磁石によって主軸をアキシアル方向に支持するアキシアル磁気軸受（スラスト磁気軸受）と、アキシアル方向における主軸の位置を検出するアキシアル変位センサ（スラスト変位センサ）とを備え、アキシアル変位センサは、ラジアル方向においてフランジ部と対向して配設されている磁気軸受装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。このような磁気軸受装置は、フランジ部の外周部に対向してアキシアル変位センサを配置し、フランジ部の外周部のアキシアル方向の位置に応じたインダクタンス変化によりアキシアル方向の変位を検出しているので、すなわちアキシアル変位センサがフランジ部の外周部と対向して配置されているため、アキシアル方向の寸法（軸方向寸法）を短縮できるというものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−２４６４公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来の磁気軸受装置は以上のように構成され、被検出部であるフランジ部（スラスト磁気軸受ディスク）に対してラジアル方向に対向配置された検出部を有するアキシアル変位センサ（スラスト変位センサ）を用いているため、被検出部に対してラジアル方向に対向配置されてスラスト方向の変位を検出する必要があり、アキシアル変位センサを高精度に配置する（組み込む）必要があるという問題点があった。
【０００７】
この発明は前記のような問題点を解決するためになされたものであり、アキシアル方向の寸法を短縮できるとともに組立が容易な磁気軸受装置およびブロアを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明に係る磁気軸受装置においては、
スラスト磁気軸受ディスクと一対のスラスト磁気軸受電磁石とスラスト変位センサとを有する磁気軸受装置であって、
前記スラスト磁気軸受ディスクは、円板状の形状を有し、回転軸に同軸に装着されるものであり、
前記一対のスラスト磁気軸受電磁石は、前記スラスト磁気軸受ディスクを前記回転軸の軸方向に挟むようして配置され、前記スラスト磁気軸受ディスクを非接触にて前記軸方向に支持するものであり、
前記スラスト変位センサは、スラスト変位検出部とスラスト変位被検出部とを有し、
前記スラスト変位被検出部は、前記スラスト磁気軸受ディスクの一方の面に設けられ、
前記スラスト変位検出部は、前記スラスト磁気軸受電磁石の一方と前記回転軸との間に、前記スラスト磁気軸受電磁石の一方と前記回転軸の径方向に重なるようにして、かつ前記スラスト変位被検出部と対向するようにして配置され、前記スラスト変位被検出部を介して前記スラスト磁気軸受ディスクの前記軸方向の変位を検出するものである。
【０００９】
この発明に係るブロアにおいては、羽根が固着された電動機の回転軸が、本願発明の磁気軸受装置により支持されるものである。
【発明の効果】
【００１０】
この発明に係る磁気軸受装置は、
スラスト変位センサは、スラスト変位検出部とスラスト変位被検出部とを有し、
スラスト変位被検出部は、スラスト磁気軸受ディスクの一方の面に設けられ、
スラスト変位検出部は、スラスト磁気軸受電磁石の一方と回転軸との間に、スラスト磁気軸受電磁石の一方と回転軸の径方向に重なるようにして、かつスラスト変位被検出部と対向するようにして配置され、スラスト変位被検出部を介してスラスト磁気軸受ディスクの軸方向の変位を検出するものであるので、
アキシアル方向の寸法を短縮できるとともに、スラスト変位検出部はスラスト磁気軸受ディスクのスラスト磁気軸受電磁石の一方側の面に設けられたスラスト変位被検出部の変位を検出するので、取付に厳密性が要求されず、全体の組立が容易である。
【００１１】
この発明に係るブロアにおいては、羽根が固着された電動機の回転軸が、本願発明の磁気軸受装置により支持されるものであるので、
アキシアル方向の寸法を短縮できるとともに組立が容易なブロアを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施の形態１による磁気軸受装置を用いたブロアを示す断面図である。
【図２】本発明の実施の形態１による磁気軸受装置の要部を示す断面図である。
【図３】本発明の実施の形態２による磁気軸受装置の要部を示す断面図である。
【図４】本発明の実施の形態３による磁気軸受装置の要部を示す断面図である。
【図５】本発明の実施の形態４による磁気軸受装置の要部を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
実施の形態１．
図１および図２は、この発明を実施するための実施の形態１を示すものであり、図１は磁気軸受装置を用いたブロアを示す断面図、図２は磁気軸受装置の要部を示す断面図である。これらの図において、ブロアは、次のように構成されている。回転軸２が装着されたモータロータ５が、ケーシング１に取り付けられたモータステータ４内に配置され、回転駆動される。回転軸２の両端にはブロアの羽根３が固着されており、２つの羽根３を有するブロアが構成されている。磁気軸受装置は、一組のタッチダウン軸受１３、２つのラジアル磁気軸受１１０、１つのスラスト磁気軸受１２０を有する５軸制御の磁気軸受装置である。ラジアル磁気軸受１１０は、ラジアル磁気軸受電磁石６、ラジアル磁気軸受ロータ７、ラジアル変位センサ８を有する。ケーシング１に取り付けられたラジアル磁気軸受電磁石６がラジアル磁気軸受ロータ７をラジアル磁気軸受ロータ７の径方向から囲うようにかつラジアル磁気軸受ロータ７と径方向に微少な所定寸法の間隙を設けて、それぞれ９０°の角度間隔を置いて４方に配置されている。
【００１４】
ラジアル磁気軸受電磁石６にはラジアル磁気軸受電磁石コイル６ｃが設けられており、ラジアル磁気軸受電磁石コイル６ｃに電流が流されることによりラジアル磁気軸受ロータ７との間で吸引力が発生する仕組みとなっている。ラジアル磁気軸受電磁石６と同様に９０°ごとに４方向に配置されたラジアル変位センサ８（この実施の形態においては汎用の渦電流式のものが使用されている）により回転軸２のラジアル方向の変位を検出し、当該変位に基づきフィードバック制御によりラジアル磁気軸受電磁石コイル６ｃに流される電流を制御することにより、ラジアル磁気軸受電磁石６とラジアル磁気軸受ロータ７との間に発生する磁気吸引力を制御し、ラジアル磁気軸受電磁石６とラジアル磁気軸受ロータ７とのラジアル方向の間隙を制御し、ラジアル磁気軸受ロータ７をラジアル磁気軸受電磁石６からラジアル方向（回転軸２の回転中心に向かう方向）に離隔させ非接触で支持している。
【００１５】
スラスト磁気軸受１２０は、スラスト磁気軸受電磁石９、スラスト磁気軸受ディスク１０、スラスト変位センサ１１を有する。一対の円環状のスラスト磁気軸受電磁石９は、スラスト磁気軸受電磁石９の一方としての第１スラスト磁気軸受電磁石９ａおよびスラスト磁気軸受電磁石９の他方としての第２スラスト磁気軸受電磁石９ｂ（図２参照）を有する。第１及び第２スラスト磁気軸受電磁石９ａ，９ｂは、その軸方向に凹設された環状の溝形成部内に円環状に巻回されたスラスト磁気軸受電磁石コイル９ｃがそれぞれ配設されている。スラスト磁気軸受ディスク１０は、強磁性体で形成され円板状の形状を有し、軸方向両側に円形の平面１０ａを有する。スラスト磁気軸受ディスク１０は、回転軸２に対し同軸にかつ垂直に取り付けられている。
【００１６】
一対の円環状の第１および第２スラスト磁気軸受電磁石９ａ，９ｂは、スラスト磁気軸受ディスク１０をスラスト磁気軸受ディスク１０の軸方向（回転軸２の軸方向でもある）から挟むようにして図２における左右の平面１０ａとそれぞれ微少な所定の間隙を設けて、かつ溝形成部の開口部がスラスト磁気軸受ディスク１０の両側の平面１０ａにそれぞれ対向するようにしてケーシング１に取り付けられている。スラスト磁気軸受電磁石コイル９ｃに電流が流されることにより吸引力が発生する。
【００１７】
スラスト変位センサ１１（この実施の形態においては汎用の渦電流式のものが使用されている）は、スラスト変位検出部としての円筒状の検出部１１ａとスラスト変位被検出部としての被検出部１１ｂとを有する。検出部１１ａは、第１スラスト磁気軸受電磁石９ａと回転軸２との間に、スラスト磁気軸受ディスク１０の一方の面である図２における左方の平面１０ａに設けられた被検出部１１ｂと対向するようにして、配置されている。すなわち、スラスト変位センサ１１の検出部１１ａが、第１スラスト磁気軸受電磁石９ａと回転軸２との間に、第１スラスト磁気軸受電磁石９ａと回転軸２の径方向に重なるようにして配置されている。スラスト変位センサ１１は、スラスト磁気軸受ディスク１０の左方の平面１０ａの１部が円環状の被検出部１１ｂとされておりすなわち被検出部１１ｂとして使用されており、検出部１１ａがスラスト磁気軸受ディスク１０のスラスト方向の変位を検出する。
【００１８】
スラスト変位センサ１１により検出されたスラスト磁気軸受ディスク１０のスラスト方向の変位に基づき、フィードバック制御によりスラスト磁気軸受電磁石コイル９ｃに流される電流を制御することにより、スラスト磁気軸受電磁石９とスラスト磁気軸受ディスク１０との間に発生する磁気吸引力を制御し、スラスト磁気軸受ディスク１０とスラスト磁気軸受電磁石９とのスラスト方向の間隙を制御し、スラスト磁気軸受ディスク１０をスラスト磁気軸受電磁石９からスラスト方向に離隔させ非接触で支持している。スラスト磁気軸受１２０は、以上のように構成されている。
【００１９】
一組のタッチダウン軸受１３は、ケーシング１に取り付けられており、ラジアル磁気軸受電磁石６やスラスト磁気軸受電磁石９への給電停止時や異常時などにラジアル磁気軸受１１０およびスラスト磁気軸受１２０が回転軸２を支持できなくなったときにすなわち停止したときに、代わりに回転軸２を支持する。タッチダウン軸受１３は、回転軸２の軸方向および径方向の可動範囲を規制して可動範囲の極限位置において回転軸２を機械的に支持する。一方（図１、図２における左方）のタッチダウン軸受１３ではラジアル方向のみを支持するために深溝玉軸受を用い、他方（図１、図２における右方）のタッチダウン軸受１３ではラジアル方向とスラスト方向との両方向を支持するために正面合わせを行ったアンギュラ玉軸受が２個用いられている。なお、図１以下におけるタッチダウン軸受１３の断面は概略を示したものである。また、回転軸２の回転数に応じたパルスを発生する回転数センサ１２の検出部１２ａがケーシング１に取り付けられており、回転軸２に取り付けられた歯車１２ｂと組み合わされて、回転軸２の回転数を検出（計測）している。回転数センサ１２は、検出部１２ａが回転軸２に取り付けられ被検出部としての歯車１２ｂの歯との間の磁気抵抗変化に基づき回転数に応じた周波数信号を出力することにより回転軸２の回転数を検出する。
【００２０】
以上のようにこの実施の形態によれば、ラジアル変位センサ８及びスラスト変位センサ１１には計測対象の表面の状態の影響を受けにくく安価である汎用の渦電流式の変位センサを用いた。また、ラジアル変位センサ８においては一対（２つ）の変位センサを計測対象である回転軸２に対し向い合うように配置し、向い合った２つの変位センサの出力の差動をとることにより環境温度変化から生じる図示しないセンサコイル、ケーブル、アンプのドリフトによる計測誤差を低減している。
【００２１】
そして、スラスト変位センサ１１の検出部１１ａは被検出部１１ｂを兼ねるスラスト磁気軸受ディスク１０の一方の平面１０ａと対向するようにして配置されて変位を検出するので、取付に厳密性が要求されずスラスト磁気軸受１２０の組立も容易である。さらに、スラスト変位センサ１１の検出部１１ａを第１スラスト磁気軸受電磁石９ａの内周側に配置したので、すなわちスラスト変位センサ１１の検出部１１ａと第１スラスト磁気軸受電磁石９ａとが回転軸２の径方向に重なるように配置したので、両者が重なる分だけアキシアル方向（回転軸２の軸方向）の寸法を短縮できる。従って、その分、磁気軸受装置の小型化を図ることができるとともに、回転軸２の固有振動数を高くすることが可能である。
【００２２】
なお、スラスト変位センサ１１の検出部１１ａを第１スラスト磁気軸受電磁石９ａの外周側に配置した場合に比べ、スラスト磁気軸受電磁石９の磁極がスラスト磁気軸受ディスク１０の外周側に配置されることになり、スラスト磁気軸受電磁石９の吸引力が作用する磁極面積が増大する。発生する磁束密度が同じであれば、磁極面積が大きければ発生する吸引力も大きくなるため、スラスト磁気軸受電磁石コイル９ｃの巻き数を少なくすることができ、第１および第２スラスト磁気軸受電磁石９ａ，９ｂ（スラスト磁気軸受電磁石コイル９ｃ）のアキシアル方向の寸法短縮が可能である。これによりさらに回転軸２のスラスト方向（軸方向）の短縮が可能となる。
【００２３】
また、前記のようなスラスト磁気軸受装置を有するブロアは、回転軸２のアキシアル方向の寸法を短縮でき、固有振動数を高くできるので、より高速回転に耐えうるものとすることができる。また、スラスト変位センサ１１（検出部１１ａ）の取付に厳密性が要求されず、スラスト磁気軸受１２０の組立が容易である。
【００２４】
実施の形態２．
図３は、本発明の実施の形態２による磁気軸受装置の要部を示す断面図である。図３において、磁気軸受装置は、タッチダウン軸受２３の配設位置が異なる。タッチダウン軸受２３が第２スラスト磁気軸受電磁石９ｂの内周側でかつスラスト磁気軸受ディスク１０を介してスラスト変位センサ１１の検出部１１ａと対向する位置に配置されている。すなわち、タッチダウン軸受２３が、第２スラスト磁気軸受電磁石９ｂと回転軸２との間に、第２スラスト磁気軸受電磁石９ｂと回転軸２の径方向に重なるようにして配置されている。なお、図３におけるタッチダウン軸受２３の断面は概略を示したものである。その他の構成については、図２に示した実施の形態１と同様のものであるので、相当するものに同じ符号を付して説明を省略する。
【００２５】
この実施の形態によれば、第２スラスト磁気軸受電磁石９ｂとタッチダウン軸受２３とが回転軸２の径方向に重なるように配置されることにより、第２スラスト磁気軸受電磁石９ｂとタッチダウン軸受２３とが回転軸２の径方向に重なる寸法だけ、回転軸２のスラスト方向寸法が短縮される。従って、実施の形態１に示したものに比し、さらに回転軸２のスラスト方向寸法の短縮が可能となり、回転軸２の固有振動数を高くすることが可能となる。なお、前記では、タッチダウン軸受２３の幅（回転軸２の長さ方向の寸法）が第２スラスト磁気軸受電磁石９ｂの回転軸２の軸方向の寸法よりも大きいとして説明したが、寸法関係が逆の場合はタッチダウン軸受２３の幅分だけ回転軸２のアキシアル方向（スラスト方向）の寸法が短縮されることになる。以下の実施の形態においても同様である。
【００２６】
実施の形態３．
図４は、本発明の実施の形態３による磁気軸受装置の要部を示す断面図である。図４において、磁気軸受装置は、回転数センサ３２の配設位置が異なる。回転数センサ３２は、円筒状の検出部３２ａと被検出部としての歯車３２ｂとを有する。歯車３２ｂは、スラスト磁気軸受ディスク１０の外周部に設けられており、検出部３２ａが歯車３２ｂと対向するようにしてケーシング１に固定されている。検出部３２ａは、歯車３２ｂによる磁気抵抗の変化を検出して回転数に応じた周波数信号を発生して回転軸２の回転数を計測する。その他の構成については、図３に示した実施の形態２と同様のものであるので、相当するものに同じ符号を付して説明を省略する。
【００２７】
この実施の形態によれば、回転数センサ３２の検出部３２ａをスラスト磁気軸受ディスク１０の外周側に配置し、スラスト磁気軸受ディスク１０の外周部に設けた歯車３２ｂと組み合わせて回転数を計測することにより、図２における回転数センサ１２の設置スペースが不要になり、回転軸２のアキシアル方向の寸法の短縮が可能となり、回転軸２の固有振動数を高くすることができる。
【００２８】
実施の形態４．
図５は、本発明の実施の形態４による磁気軸受装置の要部を示す断面図である。図５において、磁気軸受装置は、回転数センサ４２の配設位置が異なる。回転数センサ４２は、円筒状の検出部４２ａと被検出部としての歯車４２ｂを有する。検出部４２ａは、スラスト磁気軸受ディスク１０の一方の平面１０ａに固着された歯車４２ｂと対向するようにして配置されている。また、回転数センサ４２の検出部４２ａは、第１スラスト磁気軸受電磁石９ａと回転軸２との間に、第１スラスト磁気軸受電磁石９ａと回転軸２の径方向に重なるようにして配置されている。被検出部である歯車４２ｂは、円板状部材の側面外縁部に歯車状の歯が放射状に設けられたものであり、スラスト磁気軸受ディスク１０の一方（左方）の平面１０ａに固定されている。また、検出部４２ａは、スラスト磁気軸受ディスク１０を介してタッチダウン軸受２３と回転軸２の軸方向に対向する位置に配置されている。その他の構成については、図３に示した実施の形態２と同様のものであるので、相当するものに同じ符号を付して説明を省略する。
【００２９】
以上のように、この実施の形態よれば、回転数センサ４２の検出部４２ａをスラスト磁気軸受電磁石９の内周側に配置し、スラスト磁気軸受ディスク１０の一方の平面１０ａに設けた歯車４２ｂと組み合わせて回転数を計測することにより、図２における回転数センサ１２の設置スペースが不要になり、回転軸２のアキシアル方向の寸法の短縮が可能である。また、スラスト磁気軸受ディスク１０の外周側に回転数センサ１２が配置されていないので、軸受装置のラジアル方向の寸法の短縮も可能となる。
【００３０】
以上のように、第１スラスト磁気軸受電磁石９ａとスラスト変位センサ１１と回転数センサ４２の検出部４２ａとが回転軸２の径方向に重なるように配置したので、回転数センサ１２（図２参照）の設置スペースが不要になる。従って、回転軸２のアキシアル方向寸法をさらに短縮することが可能となり、軸の固有振動数を大きくすることが可能である。さらに、スラスト磁気軸受ディスク１０の外周にスラスト変位センサ１１や回転数センサ１２がないことにより、スラスト磁気軸受ディスク１０とケーシング１のラジアル方向の短縮も可能となる。
【００３１】
なお、以上の各実施の形態における、スラスト変位センサ１１と第１スラスト磁気軸受電磁石９ａ、タッチダウン軸受２３と第２スラスト磁気軸受電磁石９ｂ、回転数センサ４２の検出部４２ａとスラスト変位センサ１１と第１スラスト磁気軸受電磁石９ａとは、回転軸２の径方向から見て少なくとも一部が重なっていれば、その重なっている分だけ、回転軸２の軸方向の寸法が短縮される。
【００３２】
スラスト変位センサは、渦電流式のものに限らず、静電容量式その他のものであってもよい。また、回転数センサは、被検出部として永久磁石を用い、検出部としてホール素子等を用いたもの、または被検出部として反射部と非反射部を備え、検出部として投光部と受光部を備えた光学式センサ等であってもよい。
【００３３】
なお、本発明は、その発明の範囲内において、上述した各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変更、省略したりすることが可能である。
【符号の説明】
【００３４】
１  ケーシング、２  回転軸、３  羽根、４  モータステータ、５  モータロータ、
９  スラスト磁気軸受電磁石、９ａ  第１スラスト磁気軸受電磁石、
９ｂ  第２スラスト磁気軸受電磁石、９ｃ  スラスト磁気軸受電磁石コイル、
１０  スラスト磁気軸受ディスク、１０ａ  平面、１１  スラスト変位センサ、
１１ａ  検出部、１１ｂ  被検出部、３２，４２  回転数センサ、
３２ａ，４２ａ  検出部、３２ｂ，４２ｂ  被検出部、２３  タッチダウン軸受、
１２０  スラスト磁気軸受。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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