(57)【要約】【課題】液体の無駄な消費を抑制しつつ、ノズルを有する噴射ヘッドのメンテナンスを適切に行うことができる液体噴射装置及びメンテナンス方法を提供する。【解決手段】液体噴射装置は、液体を噴射可能な複数のノズル１２が開口する噴射ヘッド１３と、噴射ヘッド１３のノズル開口１２ａを含む領域の払拭を行う払拭部材５１と、ノズル１２内の液体の圧力をノズル１２毎に調整可能な圧力調整機構１６と、ノズル１２の状態が良好か不良かをノズル１２毎に検出可能な検出部と、検出部が不良であるとして検出した不良ノズルに対して、ノズル１２内の液体の圧力を液体噴射時よりも上昇させる昇圧動作を圧力調整機構１６に実行させることによってノズル開口１２ａから液面を膨出させた状態で、払拭部材５１に払拭を実行させる制御部と、を備える。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射可能な複数のノズルが開口する噴射ヘッドと、
前記噴射ヘッドのノズル開口を含む領域の払拭を行う払拭部材と、
前記ノズル内の液体の圧力を前記ノズル毎に調整可能な圧力調整機構と、
前記ノズルの状態が良好か不良かを前記ノズル毎に検出可能な検出部と、
前記検出部が不良であるとして検出した不良ノズルに対して、前記ノズル内の液体の圧力を液体噴射時よりも上昇させる昇圧動作を前記圧力調整機構に実行させることによって前記ノズル開口から液面を膨出させた状態で、前記払拭部材に前記払拭を実行させる制御部と、
を備えることを特徴とする液体噴射装置。
【請求項２】
前記噴射ヘッドは、複数の前記ノズルからなるノズル群を複数有し、
前記圧力調整機構は、前記ノズル内の液体の圧力を前記ノズル群毎に調整可能であり、
前記ノズル開口から液面が膨出するように前記ノズル内の液体の圧力を上昇させる昇圧動作を第１昇圧動作とするときに、
前記制御部は、前記払拭に際して、前記圧力調整機構に、前記不良ノズルを含む不良ノズル群に対して前記第１昇圧動作を実行させ、前記不良ノズルを含まない正常ノズル群に対して前記第１昇圧動作よりも圧力上昇の程度が小さい第２昇圧動作を実行させる
ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
【請求項３】
前記噴射ヘッドに向けて液体を加圧供給するための供給機構を備え、
前記噴射ヘッドは複数の前記ノズルからなるノズル群を複数有し、
前記圧力調整機構は、前記ノズル群毎に設けられ、加圧供給される液体を流入させる流入孔及び前記ノズル群に連通する流出孔を有するとともに内容積を変更する方向に変位可能な可動壁が壁面の一部を構成する圧力室と、前記流入孔を閉塞する閉塞位置と前記流入孔を開放する開放位置とに変位可能な弁体と、前記閉塞位置に向けて前記弁体を付勢する付勢部材と、前記弁体を前記開放位置に向けて移動させる開弁機構と、を有し、
前記圧力調整機構においては、
液体噴射時には、前記流出孔から液体が流出して前記圧力室の圧力が負圧である閾値より低下するのに伴って、前記圧力室の内容積を減少させる方向に変位する前記可動壁が前記付勢部材の付勢力に抗して前記弁体を開弁位置に移動させることにより、前記流入孔から加圧された液体を流入させて前記圧力室の圧力を上昇させ、
前記払拭に際しては、前記開弁機構が前記付勢部材の付勢力に抗して前記弁体を前記開放位置に移動させることにより、前記流入孔から加圧された液体を流入させて前記圧力室及び前記ノズル内の圧力を上昇させる
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体噴射装置。
【請求項４】
前記噴射ヘッドが複数の前記ノズルからなるノズル群を複数有するとともに、前記圧力調整機構が前記ノズル群毎に前記ノズル内の圧力状態を調整可能である場合に、
前記ノズルが開口する閉空間を吸引する吸引クリーニングを前記ノズル群毎に実行可能な吸引機構を備え、
前記ノズル開口から液面が膨出するように前記ノズル内の液体の圧力を上昇させる前記昇圧動作を第１昇圧動作とするときに、
前記制御部は、前記吸引クリーニングの実行後に、全ての前記ノズル群に対して、前記第１昇圧動作よりも圧力上昇の程度が小さい第２昇圧動作を前記圧力調整機構に実行させた状態で、前記払拭部材に前記払拭を実行させる
ことを特徴とする請求項１から請求項３のうちいずれか一項に記載の液体噴射装置。
【請求項５】
液体を噴射可能な複数のノズルが開口する噴射ヘッドにおいて、ノズル開口を含む領域の払拭を行うメンテナンス方法であって、
前記ノズルの状態が良好か不良かを前記ノズル毎に検出することと、
不良であるとして検出した不良ノズルに対して、前記ノズル開口から液面が膨出するように前記ノズル内の液体の圧力を上昇させることと、
内部の圧力が上昇した前記ノズルを含む前記複数のノズルが開口する前記領域を払拭することと、
を含むことを特徴とするメンテナンス方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリンターなどの液体噴射装置及びメンテナンス方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置の一例であるインクジェット式のプリンターにおいて、液体を噴射するノズル内は通常時には負圧となっているが、このノズル内を正圧にした状態でノズルが開口する領域を払拭する加圧ワイピングを行うことがある（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−２９１６１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述のようにノズル内を正圧にすると、払拭を行う払拭部材がインクの液面に接触したときに払拭部材を伝ってインクが流出するので、噴射不良の要因となる異物や増粘したインクなどをノズルから排出して、噴射不良を解消することができる。しかし、このように払拭に伴ってノズルから液体が流出する分、印刷に使用するインクが消費されてしまう、という課題がある。
【０００５】
なお、このような課題は、インクを噴射して印刷を行うプリンターに限らず、液体を噴射可能な複数のノズルが開口する噴射ヘッドにおいて、ノズルの開口を含む領域の払拭を行う場合には、概ね共通したものとなっている。
【０００６】
本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、液体の無駄な消費を抑制しつつ、ノズルを有する噴射ヘッドのメンテナンスを適切に行うことができる液体噴射装置及びメンテナンス方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
以下、上記課題を解決するための手段及びその作用効果について記載する。
上記課題を解決する液体噴射装置は、液体を噴射可能な複数のノズルが開口する噴射ヘッドと、前記噴射ヘッドのノズル開口を含む領域の払拭を行う払拭部材と、前記ノズル内の液体の圧力を前記ノズル毎に調整可能な圧力調整機構と、前記ノズルの状態が良好か不良かを前記ノズル毎に検出可能な検出部と、前記検出部が不良であるとして検出した不良ノズルに対して、前記ノズル内の液体の圧力を液体噴射時よりも上昇させる昇圧動作を前記圧力調整機構に実行させることによって前記ノズル開口から液面を膨出させた状態で、前記払拭部材に前記払拭を実行させる制御部と、を備える。
【０００８】
この構成によれば、検出部が不良であるとして検出した不良ノズルについては、ノズル内の圧力上昇によりノズル開口から液面を膨出させた状態で払拭を行うので、払拭部材を不良ノズルから膨出した液面に接触させて、ノズル内に存在して噴射不良の要因となっている異物等を液体とともに排出し、噴射不良を適切に解消することができる。このとき、ノズル内の圧力を上昇させる昇圧動作は、不良ノズルを対象に行われるので、正常なノズルの液面には払拭部材が接触しにくく、また、払拭部材が液面に接触したとしても、液体の流出が抑制される。したがって、液体の無駄な消費を抑制しつつ、ノズルを有する噴射ヘッドのメンテナンスを適切に行うことができる。
【０００９】
上記液体噴射装置において、前記噴射ヘッドは、複数の前記ノズルからなるノズル群を複数有し、前記圧力調整機構は、前記ノズル内の液体の圧力を前記ノズル群毎に調整可能であり、前記ノズル開口から液面が膨出するように前記ノズル内の液体の圧力を上昇させる昇圧動作を第１昇圧動作とするときに、前記制御部は、前記払拭に際して、前記圧力調整機構に、前記不良ノズルを含む不良ノズル群に対して前記第１昇圧動作を実行させ、前記不良ノズルを含まない正常ノズル群に対して前記第１昇圧動作よりも圧力上昇の程度が小さい第２昇圧動作を実行させる。
【００１０】
この構成によれば、不良ノズル群については、ノズルから液面を膨出させた状態で払拭を行うので、払拭部材を不良ノズルから膨出した液面に接触させて、ノズル内に存在して噴射不良の要因となっている異物等を液体とともに排出し、噴射不良を適切に解消することができる。一方、正常ノズル群については、ノズル内における圧力上昇の程度が不良ノズル群よりも小さいので、払拭部材が液面に接触しにくく、また、払拭部材が液面に接触したとしても、液体の流出量が不良ノズル群よりも少ないので、液体の無駄な消費が抑制される。なお、ノズル内の圧力が負圧の場合、その圧力が低いほど液面がノズル内に引き込まれた状態になり、液面に払拭部材が接触することによる液体の流出が抑制される。ただし、ノズル内の負圧の程度が大きく、液面がノズル内に入り込んでいるほど、払拭部材がノズル開口を通過するときに周囲にある異物や気泡をノズル内に押し込みやすくなり、かえって噴射不良を誘発してしまう虞がある。その点、正常ノズル群についてもノズル内の液体の圧力を上昇させておけば、ノズル内に異物等を押し込むことによる噴射不良の誘発を抑制することができる。
【００１１】
上記液体噴射装置において、前記噴射ヘッドに向けて液体を加圧供給するための供給機構を備え、前記噴射ヘッドは複数の前記ノズルからなるノズル群を複数有し、前記圧力調整機構は、前記ノズル群毎に設けられ、加圧供給される液体を流入させる流入孔及び前記ノズル群に連通する流出孔を有するとともに内容積を変更する方向に変位可能な可動壁が壁面の一部を構成する圧力室と、前記流入孔を閉塞する閉塞位置と前記流入孔を開放する開放位置とに変位可能な弁体と、前記閉塞位置に向けて前記弁体を付勢する付勢部材と、前記弁体を前記開放位置に向けて移動させる開弁機構と、を有し、前記圧力調整機構においては、液体噴射時には、前記流出孔から液体が流出して前記圧力室の圧力が負圧である閾値より低下するのに伴って、前記圧力室の内容積を減少させる方向に変位する前記可動壁が前記付勢部材の付勢力に抗して前記弁体を開弁位置に移動させることにより、前記流入孔から加圧された液体を流入させて前記圧力室の圧力を上昇させ、前記払拭に際しては、前記開弁機構が前記付勢部材の付勢力に抗して前記弁体を前記開放位置に移動させることにより、前記流入孔から加圧された液体を流入させて前記圧力室及び前記ノズル内の圧力を上昇させる。
【００１２】
この構成によれば、液体の消費に伴って移動することで圧力室の圧力を調整する弁体を、開弁機構により強制的に移動させることで、ノズル内の圧力を上昇させることができる。すなわち、圧力室の圧力を調整するための圧力調整機構に開弁機構を付加すればよいので、払拭の際にノズル内の圧力を調整するために専用の圧力調整機構を設ける場合と比較して、装置の構成が複雑になることを抑制することができる。
【００１３】
上記液体噴射装置において、前記噴射ヘッドが複数の前記ノズルからなるノズル群を複数有するとともに、前記圧力調整機構が前記ノズル群毎に前記ノズル内の圧力状態を調整可能である場合に、前記ノズルが開口する閉空間を吸引する吸引クリーニングを前記ノズル群毎に実行可能な吸引機構を備え、前記ノズル開口から液面が膨出するように前記ノズル内の液体の圧力を上昇させる前記昇圧動作を第１昇圧動作とするときに、前記制御部は、前記吸引クリーニングの実行後に、全ての前記ノズル群に対して、前記第１昇圧動作よりも圧力上昇の程度が小さい第２昇圧動作を前記圧力調整機構に実行させた状態で、前記払拭部材に前記払拭を実行させる。
【００１４】
ノズルが開口する閉空間を吸引する吸引クリーニングを実行した後には、噴射ヘッドに液体が付着しているため、こうした液体を払拭部材により払拭することが好ましい。ただし、噴射不良が生じた不良ノズルを含む不良ノズル群に対して選択的に吸引クリーニングを行った場合、吸引クリーニングを行っていない正常なノズル群に対して、ノズル内が負圧のまま払拭を行うと、払拭部材がノズル開口を通過するときに周囲にある異物や気泡をノズル内に押し込んでしまい、かえって噴射不良を誘発してしまう虞がある。また、吸引クリーニングを行ったノズル群については、吸引によってノズル内の異物等は排出済みであるため、ノズルから液体を流出させる必要はない。その点、上記構成によれば、吸引クリーニングを実行した後に噴射ヘッドを払拭する際に、全てのノズル群について液体の流出が抑制される程度にノズル内の圧力を上昇させる第２昇圧動作を圧力調整機構が実行するので、ノズル内に異物等が押し込まれたり、ノズル内から無駄に液体が流出したりすることを抑制することができる。
【００１５】
上記課題を解決するメンテナンス方法は、液体を噴射可能な複数のノズルが開口する噴射ヘッドにおいて、ノズル開口を含む領域の払拭を行うメンテナンス方法であって、前記ノズルの状態が良好か不良かを前記ノズル毎に検出することと、不良であるとして検出した不良ノズルに対して、前記ノズル開口から液面が膨出するように前記ノズル内の液体の圧力を上昇させることと、内部の圧力が上昇した前記ノズルを含む前記複数のノズルが開口する前記領域を払拭することと、を含む。
【００１６】
この構成によれば、上記液体噴射装置と同様の作用効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】液体噴射装置の一実施形態を模式的に示す断面図。
【図２】図１に示す液体噴射装置の圧力調整機構及び噴射ヘッドの断面図。
【図３】図１に示す液体噴射装置の第１昇圧動作の説明図。
【図４】図１に示す液体噴射装置の第２昇圧動作の説明図。
【図５】図１に示す液体噴射装置の電気的構成を示すブロック図。
【図６】図１の液体噴射装置が行う昇圧ワイピングの処理ルーチンを示すフロー図。
【図７】図２に示す圧力調整機構の変更例を示す断面図。
【図８】図７における８−８線矢視断面図。
【図９】図２の圧力調整機構が備える受圧板の第１変更例を示す平面図。
【図１０】図９の受圧板の作用を示す断面図。
【図１１】図２の圧力調整機構が備える受圧板の第２変更例を示す平面図。
【図１２】図２の圧力調整機構が備えるシール部の作用を説明する断面図。
【図１３】図１２のシール部の作用を説明するグラフ。
【図１４】図１の液体噴射装置が備える液体供給機構の変更例を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、液体噴射装置の実施形態について、図を参照して説明する。
図１に示すように、液体噴射装置１１は、液体を噴射可能な複数のノズル１２が開口する噴射ヘッド１３と、液体供給源１４の液体を噴射ヘッド１３に向けて加圧供給するための供給機構１５と、噴射ヘッド１３に供給される液体の圧力を調整する圧力調整機構１６と、メンテナンス装置４１と、これら構成要素の制御を行う制御部１００と、を備える。なお、供給機構１５及び圧力調整機構１６は、噴射ヘッド１３に液体を供給する液体供給機構を構成する。
【００１９】
本実施形態の液体噴射装置１１は、搬送方向に搬送される用紙などの媒体Ｓに対して噴射ヘッド１３から液体の一例であるインクを噴射することで記録（印刷）を行うインクジェット式のプリンターである。液体噴射装置１１は、印刷範囲が媒体Ｓの幅全体に亘るように並列配置された複数の噴射ヘッド１３を構成要素として含むラインヘッド１７を有する。ラインヘッド１７は、噴射ヘッド１３に液体を供給するための液体供給路１８を有する。圧力調整機構１６は、液体供給路１８の途中に設けられている。
【００２０】
液体供給源１４は、例えば、収容容器２１に収容された液体収容袋である。この液体供給源１４は可撓性を有する袋からなり、内部に液体が収容されている。液体供給源１４及び収容容器２１は、液体の種類（本実施形態ではインクの色）毎に複数設けることができる。また、供給機構１５は、液体供給源１４に連通する液体導出路２２と、液体導出路２２に設けられるサブタンク２６と、収容容器２１の内部空間に連通する気体送出路２３と、気体送出路２３に設けられた圧力調整弁２４と、気体送出路２３を通じて収容容器２１の内部空間に気体（例えば、空気）を送出する送出ポンプ２５と、を備える。
【００２１】
そして、送出ポンプ２５の駆動によって気体送出路２３を通じて気体が送出されると、その気体が収容容器２１内に入って収容容器２１内の圧力が上昇する。すると、液体供給源１４を構成する袋が圧縮されて、内部に収容された液体が加圧された状態で液体導出路２２に流出する。なお、送出ポンプ２５は、液体導出路２２内の液体が所定の正圧に保たれるように、液体導出路２２の圧力低下に伴って随時駆動する。
【００２２】
噴射ヘッド１３が複数ある場合、液体導出路２２はサブタンク２６より下流で複数に分岐して、その分岐した下流端が各噴射ヘッド１３に対応するように、ラインヘッド１７に設けられた液体供給路１８に接続される。液体供給路１８及び圧力調整機構１６は、各噴射ヘッド１３において、液体の種類毎に設けられる。
【００２３】
例えば、４つの液体供給源１４の液体がそれぞれ４つの噴射ヘッド１３に供給される場合、１つの噴射ヘッド１３には液体の種類毎に圧力調整機構１６が４つ設けられる。液体供給路１８において圧力調整機構１６の上流には、液体を濾過するためのフィルター２７を設けることが好ましい。
【００２４】
噴射ヘッド１３には、液体の種類毎に設けられた液体供給路１８を通じて供給される液体が一時貯留される共通液室３１と、複数のノズル１２に個別に対応するように設けられる複数のキャビティ３２と、各キャビティ３２に対応するように設けられる複数のアクチュエーター３３と、を備える。
【００２５】
ここで、噴射ヘッド１３が複数種類の液体を噴射する場合、噴射ヘッド１３は、一の液体を噴射する複数のノズル１２からなるノズル群Ｎを、液体の種類毎に複数有する。ノズル群Ｎとは、一の共通液室３１から液体が供給されるノズル１２のグループをいう。そして、噴射ヘッド１３の開口面１３ａには、媒体Ｓの幅方向（噴射ヘッド１３の並ぶ方向である行方向）に一の液体を噴射するノズル群Ｎのノズル開口１２ａが並ぶ。また、噴射ヘッド１３の開口面１３ａには、幅方向と交差する媒体Ｓの搬送方向（図１では紙面と直交する方向）に、異なる液体を噴射する複数（例えば、４つ）のノズル開口１２ａが並ぶ。
【００２６】
次に、液体噴射装置１１において実行される噴射ヘッド１３のメンテナンス動作及び噴射ヘッド１３のメンテナンスを行うように構成されたメンテナンス装置４１について説明する。
【００２７】
液体噴射装置１１では、噴射ヘッド１３において、ノズル１２の目詰まりまたは異物の付着などに起因して生じる噴射不良の予防または解消のために、制御部１００の制御により、フラッシング、キャッピング、吸引クリーニング及びワイピングなどのメンテナンス動作を行う。メンテナンス装置４１は、キャッピングを行うように構成されたキャップ４２と、キャップ４２を用いて吸引クリーニングを行うように構成された吸引機構４３と、ワイピングを行うように構成されたワイピングユニット４４と、を備える。
【００２８】
フラッシングとは、印刷とは無関係にノズル１２から液滴を強制的に噴射（排出）することで、噴射不良の原因となる異物、気泡または変質した液体（例えば、溶媒成分の蒸発により増粘したインク）を排出するものである。フラッシングによって廃液として排出された液体は、キャップ４２によって受容してもよいし、フラッシングで発生する廃液を受容するためのフラッシングボックスを別途設けてもよい。キャップ４２は噴射ヘッド１３毎に設けてもよいし、各噴射ヘッド１３に対してノズル群Ｎ毎（液体の種類毎）に設けてもよい。
【００２９】
キャップ４２及び噴射ヘッド１３は、図示しない機構により、ノズル１２が開口する空間を閉空間として囲み形成するキャッピング位置と、ノズル１２が開口する空間を開放空間とする離間位置との間で、相対移動するように構成される。そして、キャップ４２がキャッピング位置に配置されることにより、キャッピングが行われる。液体の噴射を行わない時には、キャッピングを行ってノズル１２の乾燥を抑制することによって、噴射不良の発生を予防する。また、フラッシングにより発生する廃液を受容するときには、キャップ４２を離間位置に配置する。
【００３０】
吸引機構４３は、上流端がキャップ４２に接続される吸引チューブ４５と、吸引チューブ４５の下流端が導入される廃液収容部４６と、吸引チューブ４５の途中位置に設けられた吸引ポンプ４７と、吸引チューブ４５において吸引ポンプ４７とキャップ４２の間に設けられた減圧弁４８と、を備える。そして、キャップ４２をキャッピング位置に配置して形成した閉空間に、吸引ポンプ４７の駆動によって生じた負圧を作用させると、その負圧によってノズル１２から液体が吸引排出される吸引クリーニングが実行される。吸引クリーニングによってノズル１２から排出された液体は、廃液として廃液収容部４６に収容される。なお、吸引クリーニングの実行時には、キャップ４２も吸引機構４３の一部として機能する。
【００３１】
ワイピングユニット４４は、噴射ヘッド１３の開口面１３ａを払拭する払拭部材５１と、払拭部材５１を保持する保持部５２と、保持部５２の開口面１３ａに沿う移動を案内するガイド軸５３と、保持部５２を開口面１３ａに沿って移動させるための駆動源５４と、を備える。
【００３２】
払拭部材５１は、例えば弾性変形可能な樹脂からなる板状部材または液体を吸収可能な布等の吸収部材で構成される。駆動源５４が駆動すると、払拭部材５１が噴射ヘッド１３に所定の接触圧で接触した状態で保持部５２とともに移動する。これにより、払拭部材５１が開口面１３ａを中心に噴射ヘッド１３を払拭するワイピングが実行される。払拭部材５１は、媒体Ｓの幅方向に移動しながら、複数の噴射ヘッド１３の開口面１３ａを順次払拭する。
【００３３】
なお、液体噴射装置１１の使用開始時には、まず、送出ポンプ２５の駆動によって気体送出路２３を正圧にした後に吸引クリーニングを実行することにより、液体導出路２２からノズル１２に至るまでの液体が流れる領域に液体を充填する。これを初期充填という。そして、初期充填の実行後には、開口面１３ａに付着した液体を払拭するためにワイピングを行い、さらにメニスカスＭを整えるために、フラッシングを行う。このように、吸引クリーニングを行った後には、ワイピングとフラッシングを順次行うことが好ましい。
【００３４】
次に、噴射ヘッド１３の詳細構成について説明する。
図２に示すように、アクチュエーター３３は、例えば圧電素子３３ａを備え、圧電素子３３ａが接するキャビティ３２の壁は、キャビティ３２の内容積を増減させる方向に撓み変位可能な振動壁３２ａとなっている。
【００３５】
通電によって圧電素子３３ａが収縮変形すると、キャビティ３２の振動壁３２ａが、図２に二点鎖線で示すようにキャビティ３２の内容積を拡大する方向に撓み変位する。そして、キャビティ３２の内容積が拡大すると、共通液室３１に貯留された液体がキャビティ３２内に導入される。その後通電を停止すると、圧電素子３３ａの収縮が解除された反動で、圧電素子３３ａが接するキャビティ３２の振動壁３２ａが、図２に一点鎖線で示すようにキャビティ３２の内容積を減少させる方向に撓み変位する。すると、内容積が急激に減少することによって、キャビティ３２内の液体がノズル１２内に押し出され、その押し出された液体がノズル１２から液滴として噴射される。
【００３６】
噴射ヘッド１３において、ノズル１２が開口する領域を開口面１３ａという。細い管状をなす孔であるノズル１２には毛細管力が作用し、アクチュエーター３３が駆動しない状態において、ノズル１２の開口面１３ａにおける下流側開口であるノズル開口１２ａには、内側に凹状をなす液面であるメニスカスＭが形成される。液体の噴射後、ノズル１２内には、毛細管力によって上流側となるキャビティ３２から、噴射された液滴の分の液体が補給される。また、振動壁３２ａは、圧電素子３３ａに対して駆動電圧が印加された後、次の駆動電圧が印加されるまでの間に減衰振動する。
【００３７】
液体噴射装置１１において、アクチュエーター３３は、ノズル１２の状態が良好か不良かをノズル１２毎に検出可能な検出部として機能する。
ここで、ノズル１２の噴射不良の代表的な要因としては、気泡の混入、液体の流動性の低下、及び、ノズル開口１２ａ付近での異物の固着が挙げられる。そして、ノズル１２内に気泡が混入している場合には、ノズル１２内に気泡が混入していない場合（ノズル１２の状態が良好な場合）と比較して、振動壁３２ａの残留振動の周波数が高くなる傾向がある。
【００３８】
また、ノズル１２内で液体の流動性が低下している（増粘している）場合には、ノズル１２内で液体が増粘していない場合（ノズル１２の状態が良好な場合）と比較して、振動壁３２ａの残留振動の周波数が低くなる傾向がある。さらに、ノズル開口１２ａ付近に付着した液体や異物が固化している場合には、振動壁３２ａの残留振動の周波数が、気泡混入時と増粘時との中間的な周波数となる傾向がある。
【００３９】
そのため、アクチュエーター３３を振動壁３２ａの変位から電圧を得るセンサーとして機能させ、圧電素子３３ａの駆動に伴う振動壁３２ａの残留振動に伴う周波数を検出することで、ノズル１２の状態が不良なノズル１２、すなわち不良ノズルを検出することが可能となる。なお、アクチュエーター３３がノズル１２の状態が良好か不良かを検出することを、「ノズルチェック」ともいう。
【００４０】
その他、噴射ヘッド１３のメンテナンス動作の一つとして、アクチュエーター３３の駆動により、圧電素子３３ａに液体噴射時よりも低い電圧を所定の間隔で印加して、ノズル１２から液体が噴射されない程度に振動壁３２ａを振動させる「微振動」を実行することもできる。微振動を行うことにより、液体の噴射がされないときに、ノズル１２内のメニスカスＭを小刻みに振動させておくことにより、液体（インク）の増粘が抑えられるので、液体の増粘に起因する噴射不良の発生が抑制される。
【００４１】
次に、圧力調整機構１６の構成について詳述する。
圧力調整機構１６は、共通液室３１に連通する液体供給路１８の途中に設けられ、ノズル１２内の液体の圧力をノズル群Ｎ毎に調整可能である。
【００４２】
圧力調整機構１６は、内容積を変更する方向に変位可能な可動壁６１が壁面の一部を構成する圧力室６２と、供給室６３と、弁体６４と、供給室６３内において弁体６４を付勢する第１付勢部材６５と、圧力室６２内において可動壁６１を圧力室６２の外側に向けて付勢する第２付勢部材６６と、を備える。
【００４３】
圧力室６２は、可動壁６１とは別の位置に、加圧供給される液体を流入させる流入孔６７と、共通液室３１を介してノズル１２（ノズル群Ｎ）に連通する流出孔６８と、を有する。供給室６３は、流入孔６７を介して圧力室６２と連通可能である。弁体６４は、基端部が供給室６３に配置されるとともに先端部が流入孔６７を通じて圧力室６２内に突出する。そして、弁体６４は、その基端部に設けられたシール部６４ａが流入孔６７を閉塞する閉塞位置（図２に示す位置）と流入孔６７を開放する開放位置（図４に示す位置）とに変位可能な状態で、供給室６３に収容された第１付勢部材６５によって閉塞位置に向けて付勢される。また、第２付勢部材６６は、可動壁６１に付着された受圧板６９に一端が接触するとともに圧力室６２に突出した弁体６４の先端部を囲むように他端が配置される。
【００４４】
圧力調整機構１６は、所定のタイミングで駆動することにより、弁体６４を開放位置に向けて移動させる開弁機構７１を有する。開弁機構７１は、例えば、圧力室６２の外側に配置された押圧部材７２と、押圧部材７２を介して可動壁６１を圧力室６２の内側に向けて付勢するための第３付勢部材７３と、を備える。この場合、第１付勢部材６５及び第２付勢部材６６の付勢方向と、第３付勢部材７３の付勢方向とは、互いにその付勢力を打ち消し合う方向に設定される。例えば、付勢部材６５，６６，７３がコイルばねである場合、各コイルばねの軸方向を一致させるとよい。
【００４５】
圧力調整機構１６の弁体６４は、供給室６３に収容された第１付勢部材６５に付勢されることにより、供給室６３の圧力が上昇しても開放位置に移動することはない。一方、流出孔６８からの液体の流出により圧力室６２内の圧力が所定の負圧よりも低くなると、可動壁６１が圧力室６２の内側に向けて変位し、受圧板６９が弁体６４の先端を押すことにより、弁体６４が開放位置に移動する。これにより、流入孔６７を通じて供給室６３内の加圧された液体が圧力室６２内に流入するので、圧力室６２内の圧力が上昇する。
【００４６】
そして、圧力室６２内の圧力上昇により可動壁６１が圧力室６２の外側に向けて変位し、受圧板６９が弁体６４の先端から離れると、弁体６４が開放位置から閉塞位置に移動する。ここで、第２付勢部材６６は、受圧板６９が弁体６４の先端に近づいたときに、受圧板６９を、弁体６４の先端から離れる方向に押し返す。
【００４７】
そのため、圧力室６２の圧力が低下して、受圧板６９が第１付勢部材６５及び第２付勢部材６６の付勢力に抗して弁体６４の先端を押圧した場合に弁体６４は開放位置に移動する。また、液体の流入により圧力室６２内の圧力が正圧まで上昇する前に、第２付勢部材６６の付勢力によって受圧板６９が弁体６４から離されるので、圧力室６２内の圧力は、第２付勢部材６６の付勢力に応じた負圧の範囲に保持される。
【００４８】
このように、弁体６４の開放位置への移動は、可動壁６１の変位に起因して生じる。そして、可動壁６１の外面側は大気に開放されている。そのため、弁体６４の開放位置への移動は、大気圧と圧力室６２との差圧によって、モーター等の駆動力を用いることなく行われるので、圧力調整機構１６のうち、開弁機構７１を除く部分を、差圧弁機構７０（あるいは自己封止弁）ともいい、差圧弁機構７０による自律的な圧力調整機能を自己封止機能ともいう。また、この自己封止機能により圧力室６２からノズル１２までの領域に保たれる負圧の圧力を液体噴射時の圧力という。
【００４９】
以上のように、圧力調整機構１６は、供給機構１５によって加圧供給された液体の噴射ヘッド１３への流動を規制可能であるとともに、その流動を規制した下流側における液体の圧力を所定の負圧の範囲内に保持可能である。
【００５０】
すなわち、圧力調整機構１６においては、液体噴射時には、流出孔６８から液体が流出して圧力室６２の圧力が負圧である閾値より低下するのに伴って、圧力室６２の内容積を減少させる方向に変位する可動壁６１が付勢部材６６，６５の付勢力に抗して弁体６４を開弁位置に移動させる。これにより、流入孔６７から加圧された液体が流入して圧力室６２の圧力が上昇する。また、加圧された液体の供給により圧力室６２の圧力が所定の負圧である閾値以上になると、弁体６４が再び上流側からの液体の流動を規制する。
【００５１】
なお、噴射ヘッド１３に外力が加わった場合などには、その衝撃でノズル１２に形成されたメニスカスＭが壊れ、ノズル１２から液体が漏出することがある。こうした液体の漏出を抑制するために、圧力調整機構１６は、第２付勢部材６６の付勢力によってノズル１２の上流に位置する圧力室６２内を所定の負圧に保持して、ノズル１２に形成されるメニスカスＭの耐圧を大きくしている。
【００５２】
すなわち、吸引クリーニング後、フラッシングを行って圧力室６２内の圧力を低下させることによって、メニスカスＭは、圧力室６２が大気圧の場合よりも、ノズル１２の内奥側に引き込まれた状態になる。また、このようにメニスカスＭの耐圧を大きくすることにより、アクチュエーター３３が駆動したときのメニスカスＭの反応性が向上するので、噴射特性を良好に維持することが可能になる。
【００５３】
また、圧力調整機構１６は、上述の自己封止機能とは別に、ノズル１２からの液体の排出の有無にかかわらず、開弁機構７１の駆動により強制的にノズル１２内の液体の圧力を複数の段階（本実施形態では２段階）に上昇させる強制昇圧機能を備える。すなわち、開弁機構７１は、第３付勢部材７３の付勢力により、ノズル開口１２ａから液面が膨出するようにノズル１２内の液体の圧力を上昇させる第１昇圧動作と、第１昇圧動作よりも圧力上昇の程度が小さい第２昇圧動作と、を実行する。
【００５４】
第２昇圧動作では、図３に示すように、開弁機構７１が押圧部材７２及び第３付勢部材７３を可動壁６１に近づく方向に移動させて、第３付勢部材７３の付勢力によって可動壁６１を外側から押圧する。このとき、弁体６４のシール部６４ａが流入孔６７から離れない程度に第３付勢部材７３の付勢力を作用させると、可動壁６１の変位により圧力室６２の内容積が小さくなった分、圧力室６２及びその下流にあるノズル１２内の液体の圧力が上昇する。このときの圧力上昇は、メニスカスＭが、二点鎖線で示す液体噴射時の圧力による湾曲位置よりもノズル開口１２ａに近づくが、ノズル開口１２ａよりも外に膨出しない位置（実線で示す第２昇圧位置）に移動する程度であることが好ましい。
【００５５】
なお、第１付勢部材６５、第２付勢部材６６及び第３付勢部材７３の付勢力をそれぞれＦ１，Ｆ２，Ｆ３とする場合、Ｆ１＞Ｆ２＋Ｆ３としておけば、押圧部材７２の押圧により受圧板６９が弁体６４に接触したとしても、弁体６４を閉塞位置に留めておくことが可能である。また、この場合、Ｆ２＝Ｆ３とすることで、ノズル１２内の圧力を大気圧より高くすることなく、ノズル１２内の圧力を液体噴射時の圧力状態から上昇させることができるので、メニスカスＭがノズル開口１２ａよりも外に膨出することが抑制される。なお、Ｆ３は、ノズル１２内の液体の圧力を上昇させる力であるので、加圧力ということがある。
【００５６】
第１昇圧動作では、図４に示すように、開弁機構７１が押圧部材７２及び第３付勢部材７３を第２昇圧動作と同じ方向に移動させて、所定時間のみ、可動壁６１を外側から押圧することによって弁体６４を開放位置に移動させた後、弁体６４を速やかに元の閉塞位置に戻す。これにより、加圧された液体が所定量だけ、圧力室６２に流入して、ノズル１２内の液体の圧力が上昇する。このときの圧力上昇（流入させる液体の量）は、メニスカスＭがノズル開口１２ａよりも外に膨出するが、ノズル１２から液滴が落ちない程度であることが好ましい。
【００５７】
次に、液体噴射装置１１の電気的構成について説明する。
図５に示すように、液体噴射装置１１が備える制御部１００は、アクチュエーター３３、送出ポンプ２５及び圧力調整弁２４の駆動を制御することにより、液体の噴射動作（印刷動作）を実行させる。また、制御部１００は、吸引ポンプ４７及び減圧弁４８の駆動を制御することにより、吸引クリーニングを実行させる。また、制御部１００は、駆動源５４の駆動を制御して払拭部材５１を移動させることにより、ワイピングを実行させる。また、制御部１００は、アクチュエーター３３の駆動を制御することにより、フラッシングを実行させる。また、制御部１００は、アクチュエーター３３を検出部として機能させることにより、噴射不良が発生した不良ノズルの検出を行う。
【００５８】
次に、液体を噴射可能な複数のノズル１２が開口する噴射ヘッド１３において、ノズル開口１２ａを含む領域の払拭を行うメンテナンス方法として、ノズル１２内の液体の圧力を上昇させて行う昇圧ワイピングについて説明する。昇圧ワイピングは、例えば、媒体Ｓに対する印刷が終わった時、または、所定時間あるいは所定枚数の印刷を行う毎に実行することができる。
【００５９】
昇圧ワイピングでは、払拭に際して、制御部１００が図６に示す処理ルーチンを実行する。
すなわち、図６に示すように、制御部１００は、払拭に先だって、噴射ヘッド１３の全てのノズル１２を対象としたノズルチェックを検出部であるアクチュエーター３３に実行させる（ステップＳ１１）。なお、このノズルチェックは、印刷中に行ってもよいし、フラッシングと同様に、印刷とは無関係に液体を噴射しつつ行ってもよいし、あるいは、液体を噴射しない程度に振動壁３２ａを振動させることによって行ってもよい。
【００６０】
続いて、ノズルチェックにより得られた振動壁３２ａの残留振動の周波数の値から、制御部１００はチェックしたノズル１２に不良ノズルが有るか否かを判断する（ステップＳ１２）。すなわち、ノズル１２の状態が良好か不良かをノズル１２毎に検出する（検出工程）。
【００６１】
そして、不良ノズルが有る場合（ステップＳ１２：ＹＥＳ）、制御部１００は、不良ノズルを含む不良ノズル群に対して、対応する開弁機構７１に第１昇圧動作を実行させるとともに、不良ノズルを含まない正常ノズル群に対して、対応する開弁機構７１に第２昇圧動作を実行させる（ステップＳ１３）。すなわち、検出工程において、不良であるとして検出した不良ノズルに対して、ノズル開口１２ａから液面が膨出するようにノズル１２内の液体の圧力を上昇させる（昇圧工程）。一方、不良ノズルが無い場合（ステップＳ１２：ＮＯ）、制御部１００は、全てのノズル群に対して、対応する開弁機構７１に第２昇圧動作を実行させる（ステップＳ１４）。
【００６２】
そして、ステップＳ１３またはステップＳ１４に続いて、制御部１００は、駆動源５４の駆動を制御して払拭部材５１を移動させることにより、ワイピングを実行させる（ステップＳ１５）。すなわち、内部の圧力が上昇した複数のノズル１２が開口する領域（開口面１３ａ）を払拭する（払拭工程）。
【００６３】
なお、ワイピングは印刷後にすることになるが、ノズルチェックは印刷の途中に行ってもよい。印刷中にノズルチェックを行って不良ノズルを検出した場合、媒体Ｓに対する印刷が完了するまでワイピングは行わず、不良ノズルから噴射されるべき液滴を、正常なノズル１２から噴射する液滴で補う補完印刷（補間印刷）を行うのが好ましい。
【００６４】
例えば、同じ種類（色）の液体（インク）を噴射する複数のノズル１２のうちの１つに噴射不良が生じた場合には、その不良ノズルの近くにある正常なノズル１２から、不良ノズルから吐出されるべき液滴よりも大きい液滴を吐出することで、ドット抜けを補完する。あるいは、ブラックインクを噴射するノズル１２に噴射不良が生じた場合には、その不良ノズルから噴射されるべき液滴が着弾する位置に、イエロー、シアン及びマゼンタの液滴を重ね打つことによって、ブラックインクのドッド抜けを補完する。
【００６５】
次に、以上のように構成された液体噴射装置１１及びメンテナンス方法の作用について説明する。
液体噴射装置１１では、昇圧ワイピングでの払拭に際して、制御部１００がアクチュエーター３３を検出部として機能させることにより、ノズル１２の状態が良好か不良かをノズル１２毎に検出する。そして、不良ノズルが検出された場合には、その不良ノズルを含む不良ノズル群に対して、対応する開弁機構７１に第１昇圧動作を実行させるとともに、不良ノズルを含まない正常ノズル群に対して、対応する開弁機構７１に第２昇圧動作を実行させた状態で、ワイピングを実行する。
【００６６】
これにより、第１昇圧動作により不良ノズル群ではメニスカスＭがノズル開口１２ａから膨出した状態にする一方で、第２昇圧動作により正常ノズル群ではメニスカスＭがノズル開口１２ａに近い位置に移動した状態にして、ワイピングを行うことになる。
【００６７】
すなわち、払拭に際しては、開弁機構７１が付勢部材６６，６５の付勢力に抗して弁体６４を開放位置に移動させることにより、流入孔６７から加圧された液体を流入させて、圧力室６２及び不良ノズルを含む不良ノズル群の全ノズル１２内の圧力を上昇させる。
【００６８】
これにより、不良ノズル群では、図４に示すように、ノズル１２内が加圧状態（正圧）になってノズル開口１２ａから膨出した液面（メニスカスＭ）に払拭部材５１が接触する。すると、払拭部材５１を伝って加圧状態の液体がノズル開口１２ａから流出するので、ノズル１２の噴射不良の要因となっている気泡または増粘した液体が排出され、あるいは、開口面１３ａに付着した付着物が洗い流される。
【００６９】
また、ノズル１２から流出した液体で払拭部材５１及び開口面１３ａを濡らしつつワイピングを行うことにより、開口面１３ａに付着した異物を液体に溶解させて、効果的に除去することができる。さらに、開口面１３ａに付着した異物を払拭部材５１が乾いた状態で引きずると、開口面１３ａに傷がつく虞があるが、ノズル１２から流出した液体で開口面１３ａを濡らすことにより、開口面１３ａの傷つきが抑制される。
【００７０】
このとき、不良ノズル群のノズル１２内は第１昇圧動作により正圧にはなっているが、弁体６４は閉塞位置に戻っているので、第１昇圧動作で圧力室６２に導入された液体の量以上の液体が流出することはない。よって、昇圧ワイピングによる液体の無駄な消費が抑制される。
【００７１】
一方、正常ノズル群では、図３に示すように、ノズル１２内が液体噴射時よりもやや昇圧された状態になってはいるが、ノズル開口１２ａより内側に液面（メニスカスＭ）があるので、ワイピングに伴って払拭部材５１が液面に接触しにくい。よって、払拭部材５１が液面に接触することによる液体の流出が生じにくいので、ワイピングによる液体の無駄な消費が抑制される。
【００７２】
また、ノズル１２内が液体噴射時と同様の負圧のときにワイピングを行うと、払拭部材５１が凹状のメニスカスＭとノズル開口１２ａとの間にある空気をノズル１２内に押し込んで、ノズル１２内に気泡を生じてしまう虞がある。すなわち、複数のノズル１２のうちの一部が不良ノズルである場合に、正常なノズル１２に対しては必ずしもワイピングをする必要はないにもかかわらず、一部の不良ノズルのためのワイピングを行うと、かえって正常なノズル１２に噴射不良を生じてしまう虞がある。
【００７３】
その点、第２昇圧動作によりノズル１２内の圧力を大気圧に近い値にしておくと、メニスカスＭとノズル開口１２ａとの間に空気がほとんどなくなるので、払拭部材５１が通過しても、ノズル１２内に気泡が生じにくい。すなわち、正常ノズルへの悪影響を低減しつつ、不良ノズルや開口面１３ａのメンテナンスを行うことが可能になる。
【００７４】
また、ノズルチェックにより不良ノズルが検出されなかった場合には、ノズル１２の噴射不良は生じていないが、液体噴射に伴って生じた微細なミストが開口面１３ａに付着しているので、開口面１３ａの払拭を行うことが好ましい。この場合に、制御部１００は、全てのノズル群Ｎに対して、第１昇圧動作よりも圧力上昇の程度が小さい第２昇圧動作を圧力調整機構１６（開弁機構７１）に実行させた状態で、払拭部材５１に払拭を実行させるので、気体の押し込みによる噴射不良の発生や液体の無駄な消費が抑制される。
【００７５】
なお、ワイピングの実行後に噴射不良が解消されたか否かを確認するためにノズルチェックを行い、不良ノズルが検出された場合には、吸引クリーニングを実行するようにしてもよい。また、キャップ４２がノズル群Ｎ毎に設けられ、ノズル１２が開口する閉空間を吸引する吸引クリーニングをノズル群Ｎ毎に実行可能である場合には、ワイピング後に不良ノズルが検出された不良ノズル群に対して選択的に吸引クリーニングを行うようにしてもよい。
【００７６】
すなわち、ノズル開口１２ａから微小な気泡が混入することで噴射不良が生じている場合には、ノズル１２内の液体を排出する程度で噴射不良が解消される。しかし、インクカートリッジである液体供給源１４の着脱交換に伴って液体供給路１８に大きな気泡が混入した場合などには、その気泡が共通液室３１から多数のノズル１２にまで及び、隣接する多数のノズル１２に同時に噴射不良が生じることがある。このような場合には、ワイピングによって噴射不良が解消されないので、液体供給源１４からより多くの液体を流動させて、噴射ヘッド１３内の液体を入れ替える吸引クリーニングを実行することにより、噴射不良を解消する。
【００７７】
そして、吸引クリーニングの実行後には、開口面１３ａに付着した液滴を除去する必要があるが、吸引クリーニングによりノズル１２の噴射不良は解消されているはずなので、ワイピングによってノズル１２から液体を流出させる必要はない。そのため、制御部１００は、吸引クリーニングの実行後にワイピングを行う場合には、全てのノズル群Ｎに対して、第１昇圧動作よりも圧力上昇の程度が小さい第２昇圧動作を圧力調整機構１６（開弁機構７１）に実行させた状態で、払拭部材５１に払拭を実行させることが好ましい。
【００７８】
なお、ワイピング後の吸引クリーニングに限らず、初期充填に伴う吸引クリーニングまたは単独で行われる吸引クリーニングの後にも、開口面１３ａに付着した液滴を除去するためにワイピングを行うので、この場合には、全てのノズル群Ｎに対して第２昇圧動作を圧力調整機構１６（開弁機構７１）に実行させた状態で払拭を実行することが好ましい。
【００７９】
その他、検出された不良ノズルについては、メンテナンス動作としての「微振動」を実行しても効果が期待できず、また、異常が発生しているメニスカスＭを動かすことで、かえって気泡の混入を招く虞がある。そのため、不良ノズルについては、ワイピングまたは吸引クリーニング等のメンテナンス動作によって正常な状態に戻るまで、「微振動」を実行しないことが好ましい。
【００８０】
また、液体の噴射を行わないときに、「微振動」に代えて、開弁機構７１の駆動による第２昇圧動作を所定の間隔で実行してもよい。これにより、ノズル１２内のメニスカスＭを小刻みに動かすことができるので、液体（インク）の増粘を抑えて、液体の増粘に起因する噴射不良の発生を抑制することが可能になる。
【００８１】
上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）不良ノズル群については、ノズル１２から液面を膨出させた状態で払拭を行うので、払拭部材５１を不良ノズルから膨出した液面に接触させて、ノズル１２内に存在して噴射不良の要因となっている異物等を液体とともに排出し、噴射不良を適切に解消することができる。一方、正常ノズル群については、ノズル１２内における圧力上昇の程度が不良ノズル群よりも小さいので、払拭部材５１が液面に接触しにくく、また、払拭部材５１が液面に接触したとしても、液体の流出量が不良ノズル群よりも少ないので、液体の無駄な消費が抑制される。なお、ノズル１２内の圧力が負圧の場合、その圧力が低いほど液面がノズル１２内に引き込まれた状態になり、液面に払拭部材５１が接触することによる液体の流出が抑制される。ただし、ノズル１２内の負圧の程度が大きく、液面がノズル１２内に入り込んでいるほど、払拭部材５１がノズル開口１２ａを通過するときに周囲にある異物や気泡をノズル１２内に押し込みやすくなり、かえって噴射不良を誘発してしまう虞がある。その点、正常ノズル群についてもノズル１２内の液体の圧力を上昇させておけば、ノズル１２内に異物等を押し込むことによる噴射不良の誘発を抑制することができる。
【００８２】
（２）液体の消費に伴って移動することで圧力室の圧力を調整する弁体を、開弁機構７１により強制的に移動させることで、ノズル１２内の圧力を上昇させることができる。すなわち、圧力室６２の圧力を調整するための圧力調整機構１６に開弁機構７１を付加すればよいので、払拭の際にノズル１２内の圧力を調整するために専用の圧力調整機構（開弁機構）を設ける場合と比較して、装置の構成が複雑になることを抑制することができる。
【００８３】
（３）ノズル１２が開口する閉空間を吸引する吸引クリーニングを実行した後には、噴射ヘッド１３に液体が付着しているため、こうした液体を払拭部材５１により払拭することが好ましい。ただし、噴射不良が生じた不良ノズルを含む不良ノズル群に対して選択的に吸引クリーニングを行った場合、吸引クリーニングを行っていない正常なノズル群Ｎに対して、ノズル１２内が負圧のまま払拭を行うと、払拭部材５１がノズル開口１２ａを通過するときに周囲にある異物や気泡をノズル１２内に押し込んでしまい、かえって噴射不良を誘発してしまう虞がある。また、吸引クリーニングを行ったノズル群Ｎについては、吸引によってノズル１２内の異物等は排出済みであるため、ノズル１２から液体を流出させる必要はない。その点、上記実施形態によれば、吸引クリーニングを実行した後に噴射ヘッド１３を払拭する際に、全てのノズル群Ｎについて液体の流出が抑制される程度にノズル１２内の圧力を上昇させる第２昇圧動作を圧力調整機構１６が実行するので、ノズル１２内に異物等が押し込まれたり、ノズル１２内から無駄に液体が流出したりすることを抑制することができる。
【００８４】
なお、上記実施形態は以下に示す変更例のように変更してもよい。また、上記実施形態及び各変更例は、相互に組み合わせて用いることができる。
＜圧力調整機構１６の変更例＞
・ノズル１２内の液体の圧力をノズル群Ｎ毎に調整可能な圧力調整機構１６に代えて、ノズル１２内の液体の圧力をノズル１２毎に調整可能な圧力調整機構を採用して、上記昇圧ワイピングを行ってもよい。例えば、アクチュエーター３３を圧力調整機構として機能させれば、ノズル１２内の液体の圧力をノズル１２毎に調整可能となる。この場合には、圧力調整機構１６は開弁機構７１を備えない差圧弁機構７０としてもよい。この場合、検出部であるアクチュエーター３３が不良であるとして検出した不良ノズルに対して、制御部１００が圧力調整機構（アクチュエーター３３）にノズル１２内の液体の圧力を液体噴射時よりも上昇させる第１昇圧動作を実行させれば、不良ノズルのノズル開口１２ａから液面を膨出させることができる。
【００８５】
アクチュエーター３３による昇圧動作は、圧電素子３３ａへの通電に伴って可動壁６１をキャビティ３２の内容積を増加させる方向に撓み変位させた後、通電を停止して可動壁６１をキャビティ３２の内容積を減少させる方向に撓み変位させることによって行う。このとき、圧電素子３３ａへの通電量を調整することにより、第１昇圧動作ではノズル１２から液滴が噴射されない程度の加圧を行い、第２昇圧動作では第１昇圧動作よりも圧力上昇の程度を小さくする。そして、ノズル１２内の圧力が上昇してメニスカスＭが変位するタイミングで、各ノズル１２が開口する位置を払拭部材５１が通過するように、駆動源５４を制御する。
【００８６】
この構成によれば、検出部が不良であるとして検出した不良ノズルについては、ノズル１２内の圧力上昇によりノズル開口１２ａから液面を膨出させた状態で払拭を行うので、払拭部材５１を不良ノズルから膨出した液面に接触させて、ノズル１２内に存在して噴射不良の要因となっている異物等を液体とともに排出し、噴射不良を適切に解消することができる。このとき、ノズル１２内の圧力を上昇させる昇圧動作は、不良ノズルを対象に行われるので、正常なノズル１２の液面には払拭部材５１が接触しにくく、また、払拭部材５１が液面に接触したとしても、液体の流出が抑制される。したがって、液体の無駄な消費を抑制しつつ、ノズル１２を有する噴射ヘッド１３のメンテナンスを適切に行うことができる。また、この構成によれば、昇圧ワイピングを行うために専用の圧力調整機構（開弁機構７１）を備える必要がないので、簡易な構成で昇圧ワイピングを行うことができる。
【００８７】
＜開弁機構７１の変更例＞
・図７に示す変更例のように、開弁機構７１は、流出孔６８の下流に配置される液体貯留部７５と、液体貯留部７５と撓み変位可能な可撓膜７６で区画された気体貯留室７７と、気体貯留室７７に気体送出路２３の加圧気体を流入させるための送気路７８と、送気路７８に設けられた調整弁７９と、を備える構成に変更してもよい。この場合には、調整弁７９を開弁することにより送気路７８を通じて気体貯留室７７に加圧された気体（空気）が送られると、可撓膜７６が液体貯留部７５の容積を小さくする方向に撓み変位して、液体貯留部７５内及びその下流にあるノズル１２内の液体の圧力を上昇させる。この構成によれば、第１昇圧動作及び第２昇圧動作を行うための駆動力として、液体を加圧供給するための加圧気体を利用することができるので、第１昇圧動作及び第２昇圧動作を行うために別途駆動源を備える必要がない。
【００８８】
・その他、開弁機構７１において押圧部材７２を移動させる機構として、カムまたはピストンなど、任意の機構を採用することができる。
＜差圧弁機構７０の変更例＞
・図７に示す変更例のように、差圧弁機構７０において、第２付勢部材６６は弁体６４の流入孔６７内に挿入される軸部６４ｂの一部を構成するように配置してもよい。この構成によれば、流入孔６７内に液体が流動する隙間を広くすることができる。
【００８９】
・図７に示す変更例のように、差圧弁機構７０において、供給室６３内に弁体６４の移動を案内するための案内部６３ａを設けてもよい。供給室６３が狭い場合には、供給室６３の内壁を案内部として弁体６４を移動させればよいが、供給室６３が広くなると、弁体６４の移動が不安定になるという課題が生じる。その点、供給室６３内に案内部６３ａを設ければ、供給室６３の内容積を広くして液体の貯留量を確保しつつ、案内部６３ａにより弁体６４の移動を安定させることができる。また、供給室６３を広くすることにより、液体の流れが淀む部分を少なくして、含有成分の沈降や気泡の滞留を抑制することができる。
【００９０】
この場合、図８に示すように、案内部６３ａは弁体６４の周囲に配置しつつ、矢印に示すような液体の流れを阻害しないように、周方向に所定の隙間を有するように配置することが好ましい。なお、案内部６３ａを細いピン状にすれば、液体の流れを阻害しないという点で、より好ましい。また、案内部６３ａを弁体６４の周囲に所定の間隔で配置すると、流入孔６７に向かう液体の流れを分散することができるので、好ましい。
【００９１】
＜受圧板６９の変更例＞
・図９に示すように、受圧板６９において中央付近に１または２以上の貫通孔６９ａを設けるとともに、可動壁６１に付着される側の面に、貫通孔６９ａに連通して外周縁まで延びる溝６９ｂを設けてもよい。
【００９２】
この構成によれば、図１０に矢印で示すように、供給室６３から流入孔６７を通じて圧力室６２に流れ込む液体を、受圧板６９の貫通孔６９ａ及び溝６９ｂに流動させることにより、圧力室６２の隅または底部に液体を送り込むことができる。
【００９３】
ここで、圧力室６２の隅または底部においては、液体が流動しにくいため、混入した気泡が滞留してより大きな気泡に成長してしまう、という課題がある。そして、大きくなった気泡がノズル１２に流入すると、噴射不良が生じるという問題がある。また、液体が例えば顔料などの沈降性の物質を含む場合には、圧力室６２の隅または底部に沈降性の物質が沈降して、液体の濃度が変化したり、流動性が低下して噴射不良が生じたりすることにより、印刷品質が低下してしまう、という課題がある。
【００９４】
その点、上記構成のように、受圧板６９に貫通孔６９ａ及び溝６９ｂを設けて、圧力室６２の隅または底部にまで液体を流動させれば、圧力室６２内の液体を攪拌して顔料等の沈降を抑制することができるとともに、液体の滞留を抑制することができるので、好ましい。なお、受圧板６９が圧力室６２の底部に位置するように圧力室６２の向きを設定すると、液体の攪拌効果を高めることができるので、より好ましい。
【００９５】
・図１１に示すように、受圧板６９に設ける溝６９ｂは、貫通孔６９ａから外周縁に向けて渦巻き状に設けるなど、任意の形状に変更することができる。なお、溝６９ｂを渦巻き状に設けた場合には、圧力室６２内において渦状の流れを発生させることができるので、液体の攪拌効果を高めることができる。また、受圧板６９に設ける貫通孔６９ａ及び溝６９ｂの数は、任意に変更することができる。
【００９６】
・上記実施形態において、顔料等の沈降または液体の滞留を抑制するために、液体を噴射しないときに、第２昇圧動作を繰り返してもよい。このように第２昇圧動作を繰り返す場合に、図９または図１０に示すような受圧板６９を採用すると、圧力室６２内において液体を効率よく循環させることができるので、好ましい。なお、印刷に伴って弁体６４が開放位置に移動する頻度が高い場合または流入孔６７に流入する液体の流量が多い場合には、図９または図１１に示す受圧板６９を用いた液体の攪拌が効果的に行われる。
【００９７】
＜シール部６４ａの変更例＞
・弁体６４の基端部に設けられたシール部６４ａは、弾性変形可能な材料からなることが好ましく、例えば、エラストマーなどから構成するとよい。特に、シール部６４ａは、例えばシリコーンゴムなど、経時的に弾性変位量が増す弾性体から構成することが好ましい。
【００９８】
すなわち、図１２に示すように弁体６４が閉塞位置に移動したとき、シール部６４ａは流入孔６７の上流側開口の外周部分（これを当接部６３ｂという）に接触するが、この当接部６３ｂには、弁体６４の開閉動作に伴って液体の含有成分（例えば顔料など）が付着して堆積することがある。こうした付着物が堆積すると、弁体６４が閉弁位置に移動したときに、シール部６４ａと当接部６３ｂとの間に隙間が生じて、液体が供給室６３から流入孔６７に漏れて入ってしまうという問題が生じる。こうした問題が生じると、液体の噴射が適切に行えなかったり、ノズル１２から液体が漏れ出てしまったりしてしまう虞がある。
【００９９】
こうしたシール不良は、シール部６４ａと当接部６３ｂの間の微小空間に挟まれた液体が、シール部６４ａまたは当接部６３ｂに存在する微小な空洞や吸水成分となる不純物元素の存在によって浸透圧原理により圧縮脱水され、微小空間内の液体が増粘したり含有物が凝集したりすることが要因であると考えられる。
【０１００】
また、シール部６４ａがスチレン系エラストマーからなる場合などには、第１付勢部材６５の付勢力を受けることで硬度調整のために混入されたオイル成分が流出したり、液体の含有成分と反応して変質が生じたりして、徐々に硬化収縮が生じる。そして、シール部６４ａが、その弾性変形によって、当接部６３ｂとの間に生じた付着物の堆積による段差を埋められなくなったときに、上述のシール不良が生じる。すなわち、付着物の堆積高さをＨｄ、シール部６４ａが埋められる段差高さをＨｓとすると、Ｈｄ＞Ｈｓになった場合にシール不良が生じると考えられる。
【０１０１】
なお、シール部６４ａの硬化収縮がない場合であっても、付着物の堆積量が多ければシール不良が生じるし、付着物の堆積がない場合であっても、シール部６４ａと当接部の間に異物が挟み込まれた場合にシール部６４ａが硬化収縮していると、シール不良が生じる虞がある。
【０１０２】
その点、シリコーンゴム製のシール部６４ａのように、経時的に弾性変位量が増す場合には、使用を開始して時間が経過するにつれて、シール部６４ａが埋められる段差高さが増大する。
【０１０３】
すなわち、図１３に示すように、シリコーンゴム製のシール部６４ａが埋められる段差高さをＨｓ１、スチレン系ゴム製のシール部６４ａが埋められる段差高さをＨｓ２とすると、経過時間Ｔが増加するのにつれて、シリコーンゴム製のシール部６４ａのＨｓ１は増加するのに対して、スチレン系ゴム製のシール部６４ａのＨｓ２は減少する。その結果、使用開始（Ｔ＝０、Ｈｄ＝０）からＨｄ＝Ｈｓ１となる時Ｌ１は、Ｈｄ＝Ｈｓ２となる時Ｌ２よりも遅くなる。よって、シリコーンゴム製のシール部６４ａのように、経時的に弾性変位量が増す場合には、スチレン系ゴム製のように経時的に弾性変位量が減る場合よりも、時間の経過とともに付着物の堆積量が増大したとしても、シール部６４ａがより大きく弾性変形することによって、シール性をより長期間良好に保持することができる。
【０１０４】
なお、図１２に示すように、供給室６３の内壁で弁体６４の移動を案内する構造の場合、当接部６３ｂに近い底部の側壁近くの領域Ｃｎでは、液体が流動しにくく、液体中の固形成分の分散状態が不安定になりやすい。そのため、含有成分の粒子自体が小さくても、その粒子が大きな凝集物に変化しやすく、そうした凝集物がシール部６４ａと当接部６３ｂの間に挟まれたときには、より大きな段差を生じて、シール性が悪くなることがある。
【０１０５】
そのため、シール部６４ａについて、弾性変位量が経時的に大きくなる材料を用いるのと併せて、図７に示すように供給室６３に案内部６３ａを設けて当接部６３ｂを囲む空間を広くすれば、沈降成分の堆積高さの増大や沈降成分の凝集を抑制することができる。
【０１０６】
このように、シール部６４ａを含む差圧弁機構７０の構成は、液体噴射装置１１の使用頻度、使用状況（塗りつぶしなど印刷時の液体消費量が多いか否か）、耐用年数、使用環境（温度、湿度など）または使用する液体の種類などを考慮して設計することが好ましい。
【０１０７】
＜液体供給機構の変更例＞
・図１４に示すように、液体噴射装置１１は、噴射ヘッド１３に液体を加圧供給するための供給機構１５及び圧力を調整するための圧力調整機構１６に代えて、液体供給機構８１を備えてもよい。
【０１０８】
液体供給機構８１は、液体供給源１４と液体導出路２２を通じて接続されるサブタンク２６と、噴射ヘッド１３において共通液室３１を介して連通する液体貯留室８２と、サブタンク２６と液体貯留室８２の一端側とを接続する液体流路８３と、液体貯留室８２の他端側とサブタンク２６とを接続する帰還流路８４と、を備える。また、液体供給機構８１は、液体導出路２２に設けられる開閉弁８５と、液体流路８３に設けられる流動機構８６と、帰還流路８４に設けられる一方向弁８７と、を備える。一方向弁８７は、サブタンク２６から液体貯留室８２への液体の流れを許容する一方で、液体貯留室８２からサブタンク２６への液体の流れを抑制する。
【０１０９】
サブタンク２６の壁面の一部は撓み変位可能な可撓性膜２６ａによって構成されるとともに、サブタンク２６は液体供給源１４である液体タンクよりも鉛直方向において下方に配置される。そのため、開閉弁８５が開弁すると、液体供給源１４内の液面とサブタンク２６内の液面との水頭差によって、液体導出路２２を通じて液体供給源１４からサブタンク２６に液体が流入する。そして、噴射ヘッド１３において液体の噴射等によって液体が排出されると、水頭差に基づいて液体供給源１４からサブタンク２６に液体が補給される。なお、液体供給源１４をサブタンク２６よりも鉛直方向における下方に配置する場合には、開閉弁８５に代えてポンプを設けて、ポンプの駆動により液体供給源１４からサブタンク２６に液体を送出するようにしてもよい。
【０１１０】
液体貯留室８２は、サブタンク２６よりも鉛直方向において下方に配置される。液体貯留室８２においては、液体貯留室８２の長手方向における一端側かつ上方に液体流路８３を接続する一方、同長手方向における他端側かつ下方に帰還流路８４を接続すると、液体貯留室８２の長手方向及び鉛直方向に沿って液体を流動させて、顔料等の沈降や気泡の滞留を抑制できるので、好ましい。なお、本変更例では、液体を濾過するためのフィルター２８が液体貯留室８２と共通液室３１との間に配置されている。
【０１１１】
流動機構８６は、例えば、第１駆動（正転駆動）をすることでサブタンク２６から液体貯留室８２に向かう供給方向（図１４に実線の矢印で示す方向）に液体を流動させるとともに、第２駆動（逆転駆動）をすることで液体貯留室８２からサブタンク２６に向かう帰還方向（図１４に二点鎖線の矢印で示す方向）に液体を流動させるポンプである。
【０１１２】
液体供給機構８１は、液体の噴射や吸引クリーニングのために噴射ヘッド１３に液体を供給するときには、流動機構８６の駆動を停止して、サブタンク２６に収容された液体を液体流路８３及び帰還流路８４を通じて液体貯留室８２に流動させる。
【０１１３】
また、液体供給機構８１は、第１昇圧動作及び第２昇圧動作として、流動機構８６の第２駆動を行う。このとき、流動機構８６の第２駆動により、液体流路８３ではサブタンク２６に向かう帰還方向に液体が流れ、帰還流路８４では液体貯留室８２に向かって液体が流れるので、サブタンク２６と液体貯留室８２とで液体が循環する結果、共通液室３１及びその下流のノズル１２内の液体の圧力が上昇する。なお、流動機構８６の駆動力を変化させることにより、その圧力上昇の程度を調整することができる。そして、液体の循環により、ノズル１２内の圧力を上昇させた状態で払拭を行うことにより、上述の加圧ワイピングを実行することができる。
【０１１４】
また、印刷をしていないときに第２昇圧動作と同程度の加圧力となるように流動機構８６の第２駆動を所定の間隔で実行してメニスカスＭを揺らすことにより、液体（インク）の増粘を抑えて、液体の増粘に起因する噴射不良の発生を抑制することが可能になる。
【０１１５】
また、流動機構８６の第２駆動により液体を循環させることによって、液体に含まれる顔料等の沈降を抑制したり、液体貯留室８２等の気泡をサブタンク２６に回収したりすることができる。サブタンク２６の壁面の一部を可撓性膜２６ａとしておくと、液体の循環に伴う圧力変動の影響を低減して、昇圧に伴うメニスカスＭの破壊や、ノズル１２からの液体の漏出を抑制することができる。なお、顔料等の沈降や気泡の回収を目的に液体を循環させる場合には、ノズル１２のメニスカスＭを変位させない方が好ましいため、この場合には、昇圧ワイピングのための昇圧動作を行う場合よりも、液体を循環させるときの流動機構８６の駆動力を小さくするとよい。
【０１１６】
その他、液体供給機構８１では、流動機構８６が第１駆動を行うことで、加圧クリーニングを行う。すなわち、帰還流路８４においてサブタンク２６に向かう流れを一方向弁８７が抑制した状態で、液体流路８３においてサブタンク２６から液体貯留室８２に向けて液体を流動させることにより、共通液室３１及びキャビティ３２を通じてノズル１２から液体を排出させる。
【０１１７】
このような液体供給機構８１によれば、液体流路８３及び帰還流路８４の両流路を通じて液体貯留室８２に液体を供給することによって、一方の流路だけで液体貯留室８２に液体を供給する場合よりも、噴射ヘッド１３に対する液体の供給量を増加させることができる。また、サブタンク２６と液体貯留室８２とで液体を循環させることによって、ノズル１２内の液体の圧力を上昇させることができる。
【０１１８】
なお、吸引クリーニングでは、液体を減圧することで、液体に溶存していた気体が気泡となって現れることにより、気泡を発生させてしまう、という課題があるが、加圧クリーニングでは、こうした気泡の発生を抑制しつつ、メンテナンス動作として液体の排出を行うことができる。
【０１１９】
＜昇圧動作における加圧力の変更例＞
・第１付勢部材６５、第２付勢部材６６及び第３付勢部材７３の付勢力をそれぞれＦ１，Ｆ２，Ｆ３とする場合、第１昇圧動作ではＦ１＋Ｆ２＜Ｆ３としてワイピングを行い、第２昇圧動作ではＦ２≦Ｆ３としてワイピングを行ってもよい。なお、Ｆ３は必ずしも第３付勢部材７３（ばね）の付勢力に限らず、押圧部材７２、カムまたはピストンによる押圧力としての加圧力とすることができる。
【０１２０】
あるいは、第１昇圧動作ではＦ２＜Ｆ３＜Ｆ１＋Ｆ２としてワイピングを行い、第２昇圧動作ではＦ３≦Ｆ２としてワイピングを行ってもよい。この場合には、第１昇圧動作の対象となるノズル１２においても、その上流に位置する圧力調整機構１６で弁体６４が閉弁位置に保持されるので、メニスカスＭに払拭部材５１が接触したときの液体の排出量を低減することができる。
【０１２１】
なお、第１昇圧動作及び第２昇圧動作における加圧力（Ｆ３）を設定する場合には、上述したシール部６４ａのシール性能を考慮することが好ましい。
・その他、第１昇圧動作または第２昇圧動作における圧力上昇の程度（加圧力）は、液体の種類（その液体の表面張力の程度）に応じて変化させてもよい。ノズル１２内の液体の圧力が一定であっても、液体の表面張力が異なれば、メニスカスＭの位置（曲率）が変化するためである。
【０１２２】
・また、噴射不良の要因によって、圧力上昇の程度を３段階以上に変化させてもよい。
＜検出部の変更例＞
・ノズル１２の状態が良好か不良かをノズル１２毎に検出可能な検出部はアクチュエーター３３以外の任意の構成または方法に変更してもよい。例えば、開口面１３ａを撮像するカメラ（検出部）で各ノズル１２の状態を検出してもよいし、印刷したテストパターンを読取部（検出部）で光学的に読み取って、その読取り画像に基づいて不良ノズルを検出するようにしてもよい。
【０１２３】
・あるいは、噴射ヘッド１３と、これに対向させたキャップ４２との間に所定の電圧を印加した状態で、噴射ヘッド１３からキャップ４２に液体を噴射させた場合の印加電圧の電圧値の変化に基づいて不良ノズルを検出するようにしてもよい。この場合、噴射ヘッド１３とキャップ４２との間に印加された電圧の電圧値を検出する電圧検出部が検出部として機能する。
【０１２４】
・その他、ノズル１２から噴射される液滴の飛行軌跡と交差するように光線を照射するとともに、照射された光線を受光部（検出部）で受けることによって、受けた光の強度変化を検出して各ノズル１２の状態を検出することもできる。すなわち、受光部における光の強度が閾値以上変化すれば、液滴が正常に噴射されているので、そのノズル１２は正常であることが検出される。
【０１２５】
＜その他の変更例＞
・液体噴射装置１１は印刷範囲が媒体Ｓの幅全体に亘るラインヘッド１７を有するものに限らず、噴射ヘッド１３を保持するキャリッジが媒体Ｓの幅方向に移動しながら行う印刷と、媒体Ｓの幅方向と交差する搬送方向への搬送とを交互に行うシリアルタイプのものであってもよい。
【０１２６】
・噴射ヘッドが噴射する液体はインクに限らず、例えば機能材料の粒子が液体に分散又は混合されてなる液状体などであってもよい。例えば、液晶ディスプレイ、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ及び面発光ディスプレイの製造などに用いられる電極材や色材（画素材料）などの材料を分散または溶解のかたちで含む液状体を噴射して記録を行う構成にしてもよい。
【０１２７】
・アクチュエーター３３を検出部として用いない場合には、アクチュエーター３３は、圧電素子（ピエゾ素子）を備えるものに限らず、静電駆動素子を備えるものや、液体を加熱して膜沸騰により発生した気泡の圧力（膨張圧）を利用してノズル１２から液滴を吐出させるヒーター素子などを備えるものに変更してもよい。
【０１２８】
・媒体は用紙に限らず、プラスチックフィルムや薄い板材などでもよいし、捺染装置などに用いられる布帛または衣類であってもよい。
【符号の説明】
【０１２９】
１１…液体噴射装置、１２…全ノズル、１２…ノズル、１２ａ…ノズル開口、１３…噴射ヘッド、１３ａ…開口面、１４…液体供給源、１５…供給機構、１６…圧力調整機構、１７…ラインヘッド、１８…液体供給路、２１…収容容器、２２…液体導出路、２３…気体送出路、２４…圧力調整弁、２５…送出ポンプ、２６…サブタンク、２６ａ…可撓性膜、２７…フィルター、３１…共通液室、３２…キャビティ、３２ａ…振動壁、３３…検出部として機能するアクチュエーター、３３ａ…圧電素子、４１…メンテナンス装置、４２…キャップ、４３…吸引機構、４４…ワイピングユニット、４５…吸引チューブ、４６…廃液収容部、４７…吸引ポンプ、４８…減圧弁、５１…払拭部材、５２…保持部、５３…ガイド軸、５４…駆動源、６１…可動壁、６２…圧力室、６３…供給室、６３ａ…案内部、６３ｂ…当接部、６４…弁体、６４ａ…シール部、６４ｂ…軸部、６５…第１付勢部材、６６…第２付勢部材、６７…流入孔、６８…流出孔、６９…受圧板、６９ａ…貫通孔、６９ｂ…溝、７０…差圧弁機構、７１…開弁機構、７２…押圧部材、７３…第３付勢部材、７５…液体貯留部、７６…可撓膜、７７…気体貯留室、７８…送気路、７９…調整弁、８１…液体供給機構、８２…液体貯留室、８３…液体流路、８４…帰還流路、８５…開閉弁、８６…流動機構、８７…一方向弁、１００…制御部、Ｍ…メニスカス、Ｎ…ノズル群、Ｓ…媒体。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2017013301.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
2017013301.tif 000014
【図１３】
2017013301.tif 000015
【図１４】
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