(57)【要約】【課題】顕微鏡型の分析装置を使用する場合や測定後のデータ処理が必要な場合に比べて、試料の測定対象部位の分析を低コスト且つ簡便に行うこと。【解決手段】試料（Ｔ）を測定する測定光（１３ａ）を出力する光源（１３）と、試料（Ｔ）に対応して配置されて、測定光（１３ａ）を試料（Ｔ）に対して出力するＡＴＲ結晶（１１）と、試料（Ｔ）とＡＴＲ結晶（１１）との間に配置され且つ測定光（１３ａ）を反射可能な材料で構成され、試料（Ｔ）における測定対象部位に対応して孔（２１ａ）が形成された膜部（２１）であって、測定対象部位の表面とＡＴＲ結晶（１１）の表面との距離を、測定光（１３ａ）の全反射による試料のもぐりこみ深さ（ｄｐ）未満に保持する膜部（２１）と、試料（Ｔ）からの出力光に基づいて、試料（Ｔ）の分析を行う分析手段（Ｃ１）と、を備えた分析装置（１）。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を測定する測定光を出力する光源と、
前記試料に対応して配置されて、前記測定光を前記試料に対して出力するＡＴＲ結晶と、
前記試料と前記ＡＴＲ結晶との間に配置され、前記試料における測定対象部位に対応して孔が形成された膜部であって、前記測定対象部位の表面と前記ＡＴＲ結晶の表面との距離を、前記測定光の全反射による試料のもぐりこみ深さ未満に保持する前記膜部と、
前記試料からの散乱反射光に基づいて、前記試料の分析を行う分析手段と、
を備えたことを特徴とする分析装置。
【請求項２】
前記ＡＴＲ結晶の表面に着脱可能に支持された前記膜部、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載の分析装置。
【請求項３】
前記試料の表面に被膜された前記膜部、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載の分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料から全反射した測定光に基づいて分析するＡＴＲ（全反射吸収：Attenuated Total Reflection）測定法を使用する分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
全反射吸収（ＡＴＲ：Attenuated Total Reflection）測定法は、光分光測定、特に、赤外分光測定の中で重要な地位を占めていて、測定法の主流の１つになっている。ＡＴＲ測定法は、測定対象物（試料）に押し当てた高屈折率を有するＡＴＲ結晶に赤外光を全反射条件で入射させた時におきる赤外光の試料へのもぐりこみにより、赤外光が試料により吸収されることを利用した方式である。
ＡＴＲ測定法に関して、以下の特許文献１，２に記載の技術が公知である。
【０００３】
特許文献１（特開２００８−２９８４６０号公報）には、試料ホルダ部（７）に配置されたＡＴＲ結晶（１１）の表面に試料（Ｔ）を接触させ、加圧部材（８）で試料（Ｔ）をＡＴＲ結晶（１１）に押し当てた状態で、フーリエ変換赤外分光装置（ＦＴ−ＩＲ装置（１１〜１７）で分析を行う技術が記載されている。
特許文献２（再表２０１３−１２４９０９号公報）には、顕微鏡型のＡＴＲ測定装置（１）に、対物光学系（９ｄ）の下端にＡＴＲ結晶（１３）が露出しており、ＡＴＲ結晶（１３）の下面に試料（Ｓ）を接触させて分析を行う技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２９８４６０号公報
【特許文献２】再表２０１３−１２４９０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
（従来技術の問題点）
特許文献１に記載されているタイプでは、一般に、数ｍｍサイズの試料が対象とされ、特許文献２に記載されているタイプでは、数１０〜数１００μｍサイズの試料が対象とされる。試料の対象は様々であるが、フィルムやシート等に含まれる微小の異物の分析など、試料の特定部位のスペクトル情報を取得したい場合がある。このような場合、特許文献２の顕微鏡タイプを使用することが望ましいが、特許文献２のタイプの装置は、特許文献１のタイプの装置に比べて高価であるため、装置を保有していないなどの理由で、分析、測定が実現できない場合がある。このような試料を、特許文献１の装置で測定すると、異物以外の部位の情報が強く出てしまい、取得したい情報（異物の情報）が覆い隠されることがある。このため、希望する情報を取り出すためのデータ処理などの手間が必要になる場合がある。さらに、このような手間を掛けても、必ずしも良好な情報を取り出せるとも限らない問題もある。
【０００６】
本発明は、顕微鏡型の分析装置を使用する場合や測定後のデータ処理が必要な場合に比べて、試料の測定対象部位の分析を低コスト且つ簡便に行うことを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記技術的課題を解決するために、請求項１に記載の発明の分析装置は、
試料を測定する測定光を出力する光源と、
前記試料に対応して配置されて、前記測定光を前記試料に対して出力するＡＴＲ結晶と、
前記試料と前記ＡＴＲ結晶との間に配置され、前記試料における測定対象部位に対応して孔が形成された膜部であって、前記測定対象部位の表面と前記ＡＴＲ結晶の表面との距離を、前記測定光の全反射による試料のもぐりこみ深さ未満に保持する前記膜部と、
前記試料からの全反射光に基づいて、前記試料の分析を行う分析手段と、
を備えたことを特徴とする。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の分析装置において、
前記ＡＴＲ結晶の表面に着脱可能に支持された前記膜部、
を備えたことを特徴とする。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の分析装置において、
前記試料の表面に被膜された前記膜部、
を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１に記載の発明によれば、顕微鏡型の分析装置を使用する場合や測定後のデータ処理が必要な場合に比べて、試料の測定対象部位の分析を低コスト且つ簡便に行うことができる。
請求項２に記載の発明によれば、ＡＴＲ結晶の表面に支持された膜部の孔に、試料の測定したい部位をセットすることで、目的の部位を測定することができる。
請求項３に記載の発明によれば、試料の測定したい部位に、孔を合わせて膜部を試料に被覆することで、目的の部位を測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は本発明の実施例１の分析装置の全体説明図である。
【図２】図２は図１の分析装置の要部説明図である。
【図３】図３は実施例１の測定部の説明図である。
【図４】図４は実施例１のもぐりこみ深さを説明する際のパラメータの説明図である。
【図５】図５は波数および入射角ともぐりこみ深さとの関係を示すグラフであり、横軸に波数を取り、縦軸にもぐりこみ深さを取ったものである。
【図６】図６は加圧部材の先端に直径１ｍｍの鋼球を使用して試料を押し込むことを想定した場合の金属シートの膜厚と金属シートのピンホールに必要な径およびもぐりこみ深さ内にある試料径との関係を示した説明図である。
【図７】図７は金属シートの膜厚および鋼球の径と金属シートのピンホールに必要な径およびもぐりこみ深さ内にある試料径との関係の説明図であり、図７Ａは図６と同一の場合の説明図、図７Ｂは図７Ａにおいて鋼球８ａの直径が２ｍｍになった場合の説明図、図７Ｃは図７Ａにおいて鋼球８ａの直径が３ｍｍになった場合の説明図、図７Ｄは図６において厚さが１５μｍの膜部を使用した場合の説明図、図７Ｅは図７Ｄにおいて鋼球８ａの直径が２ｍｍになった場合の説明図、図７Ｆは図７Ｄにおいて鋼球８ａの直径が３ｍｍになった場合の説明図である。
【図８】図８は各実験例および比較例の結果の一覧表である。
【図９】図９は各実験例および比較例の結果のスペクトルである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
次に図面を参照しながら、本発明の実施の形態の具体例である実施例を説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
なお、以下の図面を使用した説明において、理解の容易のために説明に必要な部材以外の図示は適宜省略されている。
【実施例１】
【００１３】
図１は本発明の実施例１の分析装置の全体説明図である。
図２は図１の分析装置の要部説明図である。
図１において、実施例１の分析装置１には、試料室３が配置されている。試料室３には、ＡＴＲ測定光学系が配置され、それに測定対象試料Ｔを装着する試料ホルダ部７が設けられている。前記試料ホルダ部７には、図２に記載した測定部７ａに測定対象試料Ｔを押圧した状態で保持する加圧部材８が設けられている。
なお、分析装置１には、データ処理装置の一例としてのパーソナルコンピュータＰＣが接続されている。パーソナルコンピュータＰＣは、分析装置１に対して測定を実行させるための制御信号を出力したり、分析装置１での測定データのデータ処理および分析結果の出力（画像表示）を行う。
【００１４】
図２において、前記測定部７ａには、たとえば可視光で試料の確認が可能なダイヤモンドＡＴＲ（全反射減衰分光法：Attenuated Total Reflection）結晶１１（屈折率２．４）が配置されている。分析装置１には、試料室３の左側に、光源１３が配置されている。光源１３からは、赤外光が干渉計で干渉光となった測定光１３ａが出力される。光源１３の右方には、測定光１３ａをＡＴＲ結晶１１に入射させる入射光学系１４が配置されている。ＡＴＲ結晶１１に入射した測定光１３ａは測定対象試料Ｔと接するＡＴＲ結晶面で全反射し、出力する。ＡＴＲ結晶１１の右側下方には、射出光学系１６が配置されている。
射出光学系１６の右方には、検出器１７が配置されている。検出器１７は、射出光学系１６で反射された全反射光を含む測定光１３ａを受光する。なお、前記測定部７ａの鉛直下方には、測定対象試料Ｔを観察する小型ビデオカメラを配置することも可能である。
【００１５】
パーソナルコンピュータＰＣに組み込まれたソフトウェア（アプリケーションプログラム）の分析手段Ｃ１は、検出器１７で受光された測定光１３ａに基づいて、試料Ｔのスペクトルを算出する。すなわち、分析手段Ｃ１は、従来公知のフーリエ変換赤外分光法（ＦＴ−ＩＲ：Fourier Transform Infrared spectroscopy）によりスペクトルを求める。
前記符号１１〜１７が付された部材および図示しない干渉計等により実施例１のフーリエ変換赤外分光装置（ＦＴ−ＩＲ装置（１１〜１７））が構成されている。したがって、実施例１のＦＴ−ＩＲ装置（１１〜１７）として、従来公知の種々のＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外分光法：Fourier Transform Infrared spectroscopy）の装置が使用可能である。フーリエ変換分光装置でない分散型分光装置なども使用可能である。
【００１６】
図３は実施例１の測定部の説明図である。
図２、図３において、実施例１では、ＡＴＲ結晶１１の表面（上面）には、膜部の一例としての金属シート（金属箔）２１が支持されている。金属シート２１には、試料Ｔの測定対象部位に応じて、孔の一例としてのピンホール２１ａが形成されている。
実施例１の金属シート２１は、測定光１３ａを反射する金属材料の一例としてのアルミ薄膜で構成されている。なお、金属材料はアルミ薄膜に限定されない。すなわち、実施例１では、測定光１３ａが赤外光（ＩＲ領域）であるため、鉄やニッケル、金、銀、銅等の金属材料、あるいは、ステンレス等の合金等、赤外光を反射する材料であれば、基本的に任意の材料が採用可能である。
また、金属の薄膜に限定されず、樹脂薄膜の表面に金属の膜等の赤外光を反射する膜を積層した構成とすることも可能である。
【００１７】
また、測定光として赤外光以外の波長の光も使用可能であり、膜部には測定光の吸収のほとんどない反射材料以外にも、ほとんどを吸収する黒色の材料、吸収のスペクトルが試料と区別可能な材料などを用いることも可能である。膜部に黒色の材料を用いた場合、黒色部に入射する測定光のすべてが吸収を受けるため、膜部に反射材料を用いた場合に発生するオフセット信号が存在せず、信号とバックグラウンドとの強度比が改善される。一方、測定光の吸収は存在するがその吸収スペクトル位置が試料とは異なる膜部を用いる場合は、吸収スペクトルの分離が容易であるため本発明に有効な膜部である。
なお、実施例１では、金属シート２１の厚さは、一例として、２５μｍに設定している。よって、金属シート２１は、薄膜状であり、板状の場合と異なり柔軟性がある。
【００１８】
図４は実施例１のもぐりこみ深さを説明する際のパラメータの説明図である。
試料のもぐりこみ深さをｄｐとし、試料に入射する測定光の波長をλとし、一点鎖線の下側に記載したＡＴＲ結晶１１の屈折率をｎ１とし、一点鎖線の上側に記載した試料Ｔの屈折率をｎ２とし、光の試料Ｔへの入射角をφ１（図４参照）とした場合に、もぐりこみ深さｄｐは以下の式（１）で表される。
ｄｐ＝λ／（２π（ｎ１２ｓｉｎ２φ１−ｎ２２）１／２）  …式（１）
なお、もぐりこみ深さｄｐは、試料Ｔに入射する測定光１３ａの振幅がＡＴＲ結晶１１と試料Ｔとの接触している面での振幅の１／ｅ（≒３６．８％）に減衰する深さを示す。また、全反射条件は、以下の式（２）で表されるため、式（１）の平方根の中は正である。
ｎ１２ｓｉｎ２φ１＞ｎ２２  …式（２）
【００１９】
図５は波数および入射角ともぐりこみ深さとの関係を示すグラフであり、横軸に波数を取り、縦軸にもぐりこみ深さを取ったものである。
図５において、試料の一例として、屈折率が１．５の樹脂フィルムを想定した場合、入射角が４０°，４５°，５０°，５５°，６０°の場合、式（１）は、図５に示すようなグラフとなる。
そして、入射角４５°の場合、波数１０００［ｃｍ-1］（＝波長１０［μｍ］）の光のもぐりこみ深さは、式（１）および図５から約２μｍになる。
【００２０】
図６は加圧部材の先端に直径１ｍｍの鋼球を使用して試料を押し込むことを想定した場合の金属シートの膜厚と金属シートのピンホールに必要な径およびもぐりこみ深さ内にある試料径との関係を示した説明図である。
図６において、試料ＴをＡＴＲ結晶１１の表面に確実に近接させるために、鋼球８ａを加圧部材８の先端に使用して、鋼球８ａで試料ＴをＡＴＲ結晶１１の表面に接触させることを考える。このとき、鋼球８ａ自体がＡＴＲ結晶１１の表面に接触する条件で考えれば、鋼球８ａとＡＴＲ結晶１１との間に試料Ｔが挟まれた場合に、ＡＴＲ結晶１１に試料Ｔが加圧された状態で確実に接触させることが可能であるため、以下では、鋼球８ａ自体がＡＴＲ結晶１１の表面に接触する条件で考える。
ここで、金属シート２１の板厚が２５μｍの場合、直径１ｍｍの鋼球８ａをＡＴＲ結晶１１に接触させるためには、ピンホール２１ａは、最小で３１２μｍの穴径が必要であると計算されるので、実施例１では、一例として、ピンホール２１ａの穴径が、余裕（マージン）を持たせて５００μｍに設定されている。この時、試料が、ＡＴＲ結晶１１と、もぐりこみ深さ（２μｍ）内で接近している範囲は直径８９μｍである。よって、直径１ｍｍの鋼球８ａの試料Ｔの場合、ＡＴＲ法での測定可能領域は、十分微小な部位（直径８９μｍの範囲）となる。
【００２１】
図７は金属シートの膜厚および鋼球の径と金属シートのピンホールに必要な径およびもぐりこみ深さ内にある試料径との関係の説明図であり、図７Ａは図６と同一の場合の説明図、図７Ｂは図７Ａにおいて鋼球８ａの直径が２ｍｍになった場合の説明図、図７Ｃは図７Ａにおいて鋼球８ａの直径が３ｍｍになった場合の説明図、図７Ｄは図６において厚さが１５μｍの膜部を使用した場合の説明図、図７Ｅは図７Ｄにおいて鋼球８ａの直径が２ｍｍになった場合の説明図、図７Ｆは図７Ｄにおいて鋼球８ａの直径が３ｍｍになった場合の説明図である。
図７Ａ〜図７Ｃにおいて、鋼球８ａの直径が２ｍｍ、３ｍｍと大きくなっていくと、鋼球８ａがＡＴＲ結晶１１に接触するためには、ピンホール２１ａの径も０．４４４ｍｍ、０．５４５ｍｍと大きくする必要がある。これに伴って測定可能領域も直径０．１２６ｍｍ、０．１５５ｍｍの範囲と広がっていく。
そして、図７Ａ、図７Ｄにおいて、金属シート２１の厚みが薄くなると、鋼球８ａがＡＴＲ結晶１１に接触するためのピンホール２１ａの径は０．２４３ｍｍと小さくなるが、もぐりこみ深さが同一であれば、測定可能領域は変わらない。図７Ｄ〜図７Ｆにおいて、鋼球８ａの直径が大きくなっていくと、図７Ａ〜図７Ｃの場合と同様に、ピンホール２１ａの径および測定可能領域も広がっていく。
【００２２】
なお、金属シートとして、金（Ａｕ）を使用する場合、金は展性が高いため、厚さ０．２μｍの金箔を使用することも可能である。この場合、金箔の厚さが、もぐりこみ深さ（２μｍ）よりも薄いもの（０．２μｍ）を用意することができる。よって、ピンホール２１ａを形成した範囲の全域において、試料の表面を、ＡＴＲ結晶１１に対してもぐりこみ深さ内に接近させることができる。よって、この場合、試料の測定可能領域はピンホール２１ａの大きさとなる。したがって、ユーザの希望に応じて、ピンホール２１ａを形成することで、測定対象領域を任意に設定可能である。
すなわち、金属シートの厚み、ピンホールの直径、加圧部材の先端の直径を、測定を希望する部位の大きさで選択することで、希望する部位のスペクトルを選択的に測定することが可能である。
【００２３】
（実施例１の作用）
前記構成を備えた実施例１の分析装置１では、ＡＴＲ結晶１１の表面と試料Ｔとの間に、ピンホール２１ａが形成された金属シート２１が配置されている。したがって、検出器１７では、ピンホール２１ａに対応する試料Ｔの部分からの測定光１３ａに基づいてＡＴＲ法で分析が可能である。
金属シート２１が設けられていない従来技術では、試料に含まれる微小の異物や試料の特定部位のスペクトル情報を取得したい場合、特許文献２に記載されているような高価な装置を使用する必要があった。これに対して、実施例１では、特許文献１に記載されているような低コストの分析装置でも、ピンホール２１ａが形成された金属シート２１を、ＡＴＲ結晶１１の表面と試料Ｔとの間に挟むという簡便な作業で、微小な異物や試料の特定部位のスペクトル情報を取得することが可能である。したがって、実施例１の分析装置１では、特許文献２に記載の顕微鏡型の分析装置を使用する場合や、特許文献１に記載の構成において測定後のデータ処理が必要な場合に比べて、試料Ｔの測定対象部位の分析を低コスト且つ簡便に行うことが可能である。
【００２４】
（実験例）
次に、実施例１の分析装置１の効果を確認するための実験を行った。
実験は、市販の一般的なＦＴ−ＩＲ装置を使用し、金属シート２１として厚さ１５μｍの金属シートを使用した。試料として、市販のポリエチレン製のラッピングフィルムを使用した。
（実験例１）
実験例１では、加圧部材として直径２ｍｍの鋼球を使用し、金属シートのピンホール２１ａとして、直径０．５ｍｍのものを使用した。
（実験例２）
実験例２では、加圧部材として直径２ｍｍの鋼球を使用し、ピンホール２１ａとして、直径０．５ｍｍのものを使用した。なお、実験例１，２は、再現性の確認のために、同じ条件で、２度実験を行ったものである。実験例１では、１４７０［ｃｍ-1］域に水蒸気のスペクトルが重畳したために、試料のバンドが覆い隠されている。
【００２５】
（実験例３）
実験例３では、加圧部材として直径３ｍｍの鋼球を使用し、金属シートのピンホール２１ａとして、直径０．５ｍｍのものを使用した。
（実験例４）
実験例４では、加圧部材として直径３ｍｍの鋼球を使用し、ピンホール２１ａとして、直径０．５ｍｍのものを使用した。なお、実験例３，４も、実験例１，２と同様に、再現性の確認のために同じ条件で２度実験を行ったものである。
【００２６】
（比較例１）
比較例１では、加圧部材として鋼球を使用せず、平らな面で試料Ｔを押した。なお、ピンホール２１ａとして、直径０．５ｍｍのものを使用した。
（比較例２）
比較例２では、加圧部材として鋼球を使用せず、平らな面の部材を使用し、且つ、試料Ｔを挟まずに測定を行った。なお、ピンホール２１ａとして、直径０．５ｍｍのものを使用した。
【００２７】
（比較例３）
比較例３では、加圧部材として鋼球を使用せず、平らな面で試料Ｔを押した。なお、ピンホール２１ａとして、直径０．５ｍｍのものを使用した。なお、比較例１，３は、再現性の確認のために同じ条件で２度実験を行ったものである。
（比較例４）
比較例４では、加圧部材として直径２ｍｍの鋼球を使用したが、鋼球８ａを試料Ｔの上から載せて試料Ｔに鋼球８ａを接触させるだけで加圧しなかった。なお、ピンホール２１ａとして、直径０．５ｍｍのものを使用した。
（比較例５）
比較例５では、金属シート２１を使用せず、先端が平らな円柱状の加圧部材で試料Ｔを押した。なお、金属シート２１を使用しないため、ピンホール２１ａも存在しない。したがって、比較例５は、どの波数においてピークが観測されるかを確認するための指標、いわゆるリファレンスとして測定を行った。
実験例１〜４および比較例１〜５の実験結果を図８、図９に示す。
なお、比較例１〜４と実験例１〜４はポリエチレンを異物と見立ててピンホールを介してその測定を試みた場合である。
【００２８】
図８は各実験例および比較例の結果の一覧表である。
図９は各実験例および比較例の結果のスペクトル波形である。
試料Ｔのポリエチレンでは、１４７０［ｃｍ-1］、７２０［ｃｍ-1］にピークが観測されるため、図８に、１４７０［ｃｍ-1］、７２０［ｃｍ-1］の各スペクトル波形の積分強度（面積の積分値）を示す。なお、１４７０［ｃｍ-1］では、比較例１〜４では、図９に示すように、明確なピークが観測されなかったため、ピークが観測されたか否かを○、△、×で表示する。また、図８において、ratioとあるのは、比較例５に対する積分強度の比率である。
【００２９】
比較例１，３と実験例１〜４とから、加圧部材の先端が平らの場合、試料がもぐりこみ深さｄｐよりもＡＴＲ結晶１１側に確実に保持されにくく、１４７０［ｃｍ-1］バンドのスペクトルが観測されなかったものと考察される。なお、比較例２では、試料Ｔが存在しないので、各波数帯のスペクトルが観測されなかったものと考えられる。比較例２で１４７０［ｃｍ-1］バンドのピークが確認できるのに積分強度が負になっているのは、他の例の場合と積分範囲を共通にしたため雑音の影響を受けたためと考えられる。比較例４と実験例１〜４とから、比較例４のように単に載せただけでは、試料がもぐりこみ深さｄｐよりもＡＴＲ結晶１１側に確実に保持されにくいものと考えられる。なお、比較例５は、金属シート２１を有しない特許文献１に記載の技術と同様であるため、異物を測定しようとした比較例１〜４と実験例１〜４の場合に比べて数十倍強い強度のスペクトルバンドが得られている。このため特許文献１に記載の技術では異物の情報がベースの情報に覆い隠されてしまう問題がある。
【００３０】
また、実験例１，２と実験例３，４とでは、鋼球の径が異なるため、測定可能領域が異なることに伴って、直径２ｍｍの場合と３ｍｍの場合とで、ratioがほぼ鋼球の径の比率に比例して大きくなっていることが確認された。これは試料がもぐりこみ深さ内にある測定可能領域の面積が鋼球の径にほぼ比例する計算結果とよく一致している。
よって、実験結果から、試料をもぐりこみ深さ内に配置することで、ピンホール２１ａの部位に応じて、試料の特定の場所の分析を行うことが可能であることが確認された。
【００３１】
（変更例）
以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更例（Ｈ01）〜（Ｈ05）を下記に例示する。
（Ｈ01）前記実施例において、加圧部材８の先端に鋼球を配置して試料Ｔを加圧する構成を例示したが、これに限定されない。例えば、ピンホール２１ａの径よりも小さい外径を有する円柱状の部材を使用すれば、試料Ｔをもぐりこみ深さ以内の位置に保持することが可能である。なお、試料ＴはＡＴＲ結晶１１の表面に接触させることが望ましいが、これに限定されず、もぐりこみ深さよりもＡＴＲ結晶１１に近づき且つ接触していない状態とすることも可能である。
【００３２】
（Ｈ02）前記実施例において、試料Ｔとして、フィルム状の試料を例示したがこれに限定されず、試料の形状は、任意の形状のものを分析可能である。また、試料の屈折率も１．５のものを例示したが、これに限定されず、ＡＴＲ法で測定可能な任意の材料の試料を分析可能である。
（Ｈ03）前記実施例において、特許文献１に記載のような比較的低コストなＡＴＲ分析装置に適用することが望ましいが、これに限定されない。特許文献２に記載されているような顕微鏡型の分析装置においてピンホール２１ａが形成された金属シートを適用することも可能である。
【００３３】
（Ｈ04）前記実施例において、ピンホール２１ａの形状は丸穴に限定されず、四角穴や六角穴等、任意の形状とすることも可能である。
（Ｈ05）前記実施例において、ＡＴＲ結晶１１の表面にピンホール２１ａが形成された金属シート２１を支持する構成を例示したがこれに限定されない。例えば、試料Ｔの表面を膜部で被覆して、試料Ｔの観察したい部位に合わせて、膜部にピンホールを形成した形態とすることも可能である。なお、膜部を試料Ｔの表面に製膜する方法としては、鍍金や蒸着をすることも可能であるし、ピンホール付きの金属シートを手作業で試料Ｔの表面に貼り付けることも可能である。
【符号の説明】
【００３４】
１…分析装置、
１１…ＡＴＲ結晶、
１３…光源、
１３ａ…測定光、
２１…膜部、
２１ａ…孔、
Ｃ１…分析手段、
ｄｐ…もぐりこみ深さ、
Ｔ…試料。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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