(57)【要約】【課題】シリカエアロゲルの構造を保持して熱伝導率を悪化させず、断熱材表面のシリカエアロゲル片が脱離・破壊せず、大量のシリカエアロゲル微粉が電子機器内に飛散しない、断熱材およびその製造方法、その断熱材を使用した電子機器を提供すること。【解決手段】繊維にシリカエアロゲルを担持させた複合層と、上記複合層の片側の表面に遠赤外線を吸収し、マイクロ波を吸収する物質を含有したシリカ溶融層と、を有する断熱材を用いる。繊維に水ガラスあるいはアルコキシシランを含浸・乾燥させてシリカエアロゲルを担持させる工程と、上記繊維の少なくとも片側の表面に遠赤外線を吸収し、かつ、マイクロ波を吸収する物質を散布する工程と、上記物質が散布された上記繊維の表面にマイクロ波を照射する工程と、を含む断熱材の製造方法を用いる。上記断熱材が放熱材とともに発熱箇所と筐体の間に配置されている電子機器を用いる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
繊維にシリカエアロゲルを担持させた複合層と、
前記複合層の片側の表面に遠赤外線を吸収し、マイクロ波を吸収する物質を含有したシリカ溶融層と、
を有する断熱材。
【請求項２】
前記シリカ溶融層は、波長が４μｍ〜１０００μｍの遠赤外線を吸収する物質を含む請求項１記載の断熱材。
【請求項３】
前記シリカ溶融層は、波長が１ｍｍ〜１ｍのマイクロ波を吸収する物質を含む請求項１または２記載の断熱材。
【請求項４】
前記シリカ溶融層は、前記複合層のシリカエアロゲルと結合した連続体である請求項１に記載の断熱材。
【請求項５】
前記シリカ溶融層の膜厚は、０．５μｍ以上、３０μｍ以下である請求項１〜４のいずれか１項に記載の断熱材。
【請求項６】
前記断熱材の熱伝導率は、０．０１Ｗ／ｍ・Ｋ以上、０．１Ｗ／ｍ・Ｋ以下である請求項１〜５のいずれか１項に記載の断熱材。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の前記断熱材と放熱材とが、発熱箇所と筐体の間に配置されている電子機器。
【請求項８】
繊維に水ガラスあるいはアルコキシシランを含浸・乾燥させてシリカエアロゲルを担持させる工程と、
前記繊維の少なくとも片側の表面に遠赤外線を吸収し、かつ、マイクロ波を吸収する物質を散布する工程と、
前記物質が散布された前記繊維の表面にマイクロ波を照射する工程と、
を含む断熱材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、断熱材とその製造方法とその断熱材を使用した電子機器に関するものである。特に、放熱材と積層される断熱材と、その製造と、その断熱材を用いた電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、スマートフォン、タブレット、ノートパソコンなどの電子機器の高性能化とともに発熱部品からの発熱密度が急激に増加しており、これらの電子機器における熱拡散技術が必須となってきている。
【０００３】
例えば、モバイル機器の表示素子においては、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイが使用されているが、これらの表示素子は熱に弱い。発熱部品からの発熱がこれら表示素子に伝わると、ディスプレイの輝度ムラや寿命低下の要因となる。このため、モバイル機器の高性能化と小型・薄型化を両立させるためには、表示素子への伝熱を効果的に低減させる必要がある。
【０００４】
従って、今後益々機器の小型化やモバイル化が進んでいく状況において、機器表面の温度を１℃でも低く抑えることが最重要の課題である。
【０００５】
このような中で、機器表面の温度上昇を防ぐ方法として、シリカエアロゲルシートとグラファイトシートの積層を用いる方法がある。シリカエアロゲルは、電子機器の筐体内の狭いスペースにおいても十分な断熱効果を発揮する断熱材である。グラファイトシートは、発熱部品から筐体への伝熱を効果的に低減する放熱材である。これらを積層した複合シートを、機器筐体内部に設ける。（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
グラファイトシートは、厚み方向の熱伝導率よりも面内の熱伝度率が高く、１０倍以上の異方性を持つため、発熱部品からの発熱を面内に散らすことができる。また、シリカエアロゲルシートは、不織布にナノサイズの多孔質構造を有するシリカエアロゲルを坦持させたものである。
【０００７】
シリカエアロゲルとは、図５に示すように、１ｎｍ程度の径をもつシリカ１次粒子５１が集合して形成された１０ｎｍ前後の径を持つシリカ２次粒子５２が、１０〜６０ｎｍ程度の粒子間距離の空隙５３をもつ網目構造の集合体である。この粒子間距離が空気（窒素分子）の平均自由工程以下であるため、熱伝導率は０．０１５〜０．０２４Ｗ／ｍＫと非常に低くなり、常温の静止空気の熱伝導率である０．０２６Ｗ／ｍＫ以下にすることができる。従って、熱伝導率の低いエアロゲルシートを積層することにより、グラファイトシートで面内に散らした熱が筐体に伝わるのを抑制することができる。
【０００８】
しかしながら、不織布にナノサイズの多孔質構造を有するシリカエアロゲルを坦持させたシリカエアロゲルシートは、シリカエアロゲルのシリカ２次粒子５２同士の結合力が小さく極めて脆弱であるため、外部から応力が加わると、シリカエアロゲルシート表面の不織布の開口部に存在しているシリカエアロゲル片が電子機器内に脱離する。この時のシリカエアロゲルシートの表面状態を、図６の走査顕微鏡写真で示す。
【０００９】
さらに、電子機器内に脱離したシリカエアロゲル片は、外部からの応力を緩和する不織布に坦持されていない状態となるため、粉砕されて大量のシリカ粒子の微粉となり、電子機器内に飛散し、接触不良等の不具合を引き起こす。
【００１０】
一方で、電子機器内においてシリカ粒子の微粉が飛散するのを防止するため、放熱材と断熱材をラミネートした状態で電子機器内に配置することも出来る。しかしながら、ラミネートの製造工程において、エアロゲルシート表面の不織布の開口部に存在しているシリカエアロゲル片が脱離・粉砕される。そのため、大量のシリカ粒子の微粉が工場内に飛散すること、ラミネート材を介することにより温度上昇の抑制の効果が減少すること、ラミネート材の種類により使用温度域が制限されることなどの問題が発生する。
【００１１】
従って、エアロゲルシートの少なくとも片面、つまり放熱材と接していない方の表面において、不織布の開口部に存在しているシリカエアロゲル片が、外部応力が加わった際に電子機器内に脱離するのを抑制することが必要である。
【００１２】
上記課題を解決する方法として、不織布にシリカエアロゲルを担持させた断熱材の表面をコーティングする方法がある。つまり、断熱材の表面に、コロイダルアルミナまたはヒュームドアルミナの水分散液に界面活性剤及び親水性有機溶媒の少なくとも１種を添加してなる塗布液を、塗布・乾燥する。このことにより、断熱材をアルミナからなるコーティング層で被覆する例も示されている（例えば、特許文献２参照）。
【００１３】
特許文献２では、シリカエアロゲルを繊維に担持させた断熱材の表面に、塗布液を塗布・乾燥して、アルミナからなるコーティング層を設ける。このことにより、エアロゲルシートにおいて、不織布の開口部に存在しているシリカエアロゲル片が脱離し、電子機器内にシリカ微粒子が飛散することを抑制することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開２０１５−８４４０２号公報
【特許文献２】特開２０１１−１６２９０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
しかしながら、特許文献２では、断熱材の表面にアルミナからなるコーティング層を設けるために、塗布液を塗布・乾燥する工程がある。この工程において使用される塗布液は、疎水性の高い断熱材に対する濡れ性改善を目的として、界面活性剤が添加されている。その為、塗布液が、断熱材の表面だけではなく、断熱材中のシリカエアロゲルの細孔内にも浸透する。すると、その後の乾燥工程において、細孔内の水を揮発させる際に、シリカエアロゲル骨格の収縮を促進する毛管力が働き、収縮してしまう。これにより、細孔を潰してしまう為、固体熱伝導率が高くなり、熱伝導率が悪化することになる。
【００１６】
そこで、本発明の課題は、シリカエアロゲルの構造を保持して熱伝導率を悪化させず、断熱材表面のシリカエアロゲル片が脱離・破壊せず、大量のシリカエアロゲル微粉が電子機器内に飛散しない、断熱材およびその製造方法、その断熱材を使用した電子機器を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記課題を解決するために、繊維にシリカエアロゲルを担持させた複合層と、上記複合層の片側の表面に遠赤外線を吸収し、マイクロ波を吸収する物質を含有したシリカ溶融層と、を有する断熱材を用いる。
【００１８】
また、繊維に水ガラスあるいはアルコキシシランを含浸・乾燥させてシリカエアロゲルを担持させる工程と、上記繊維の少なくとも片側の表面に遠赤外線を吸収し、かつ、マイクロ波を吸収する物質を散布する工程と、上記物質が散布された上記繊維の表面にマイクロ波を照射する工程と、を含む断熱材の製造方法を用いる。
【００１９】
さらに、上記断熱材が放熱材とともに発熱箇所と筐体の間に配置されている電子機器を用いる。
【発明の効果】
【００２０】
以上のように、本願発明の断熱材およびその製造方法によれば、マイクロ波を照射して、波長が４μｍ〜１０００μｍの遠赤外線を吸収し、かつ波長が１ｍｍ〜１ｍのマイクロ波を吸収する物質を選択的に加熱する。このことにより、シリカエアロゲルの構造を最大限保持したまま、断熱材表面付近のシリカエアロゲルのみを溶融し、シリカ溶融層を形成することができる。しかしながら、シリカ溶融層の形成により固体熱伝導成分が大きくなり、熱伝導率が高くなる。
【００２１】
一方で、シリカ溶融層に４μｍ〜１０００μｍの遠赤外線を吸収し、かつ波長が１ｍｍ〜１ｍのマイクロ波を吸収する物質を含有させることにより、輻射による伝熱を抑制することができる。従って、輻射熱伝導率成分が小さくなり、熱伝導率が低下させることができる。
【００２２】
これらを併せることにより、熱伝導率を維持しまま、表面付近のシリカエアロゲル片が脱離するのを抑制した断熱材を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】実施の形態の断熱材の図
【図２】実施の形態のスマートフォンの断面図
【図３】（ａ）〜（ｄ）実施の形態の断熱材の製造方法を説明する断面図
【図４】（ａ）〜（ｂ）実施の形態の断熱材の変形例を示す断面図
【図５】シリカエアロゲルの一部を拡大した斜視図
【図６】従来のシリカエアロゲルシートの表層を示すＳＥＭ写真を示す図
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下に、実施の形態について、図を参照しながら説明する。
【００２５】
（実施の形態）
（断熱材１０の構成）
図１に実施の形態の断熱材１０の断面図を示す。図１において、断熱材１０は、繊維１１にシリカエアロゲル１２を担持させた複合層１３と、複合層１３の少なくとも片側の表面に波長が４μｍ〜１０００μｍの遠赤外線を吸収し、かつ波長が１ｍｍ〜１ｍのマイクロ波を吸収する物質であるカーボン１５を含有したシリカ溶融層１４とを有する。
【００２６】
マイクロ波を吸収し、輻射抑制効果のある物質であれば、カーボン以外でも良い。吸収する遠赤外線の波長は、４μｍ〜２０μｍが好ましい。吸収するマイクロ波の波長は、１００ｍｍ〜１ｍが好ましい。
【００２７】
ここで、遠赤外線の吸収する物質とは、遠赤外線を波長１００ｍｍ〜１ｍで５０％以上の吸収率を有することを意味する。好ましくは８０％以上の吸収率を有するのがよい。さらに、９０％以上の吸収率ならよい。
マイクロ波の吸収できる物質とは、誘電体損失角ｔａｎδが０．００１、非誘電率が４εγ以上がよい。好ましくは誘電体損失角ｔａｎδが０．０１、非誘電率が５εγ以上がよい。
【００２８】
ここで、カーボン１５は、波長が４μｍ〜１０００μｍの遠赤外線を吸収することにより輻射を抑制することができる。また、カーボン１５は、波長が１ｍｍ〜１ｍのマイクロ波を吸収することにより、瞬時に加熱される。そのため、カーボン１５は、隣接したシリカエアロゲルを溶融し、シリカ溶融層１４を形成することができる。具体的には、例えばカーボンなどが適用できる。
【００２９】
（繊維１１）
繊維１１の材質としては、無機繊維系のグラスウールやロックウール、天然系の羊毛断熱材やセルロース断熱材、発泡セラミックス、炭化発泡コルク、樹脂系断熱材としてのウレタンフォーム、フェノールフォーム、ポリスチレンフォームなどを利用することができる。これらの中でも、放熱材であるグラファイト層との良好な接着性を考慮すれば、樹脂系断熱材がより好ましい。
【００３０】
（シリカエアロゲル１２）
シリカエアロゲル１２は、背景技術の図５に示したように、１ｎｍ程度の径をもつシリカ１次粒子５１が集合して形成されたものである。シリカエアロゲル１２は、１０ｎｍ前後の径を持つシリカ２次粒子５２が、１０〜６０ｎｍ程度の粒子間距離の空隙５３を持つ網目構造の集合体である。シリカエアロゲル１２は、水ガラスやテトラメトキシシランのような金属アルコキシドをゲル原料として、水やアルコールなどの溶媒と必要に応じて触媒を混合することで、溶媒中でゲル原料と反応させ湿潤ゲルを形成し、内部の溶媒を乾燥させたものである。
【００３１】
しかしながら、湿潤ゲルを普通に熱風乾燥したものは、溶媒を乾燥するときの表面張力により、収縮してしまうため、空隙５３を潰してしまい、断熱材として機能しない。
【００３２】
従って、溶媒が乾燥するときに表面張力がほとんど働かないように、超臨界乾燥、あるいは湿潤ゲルの表面にシラノール基を、シリル化剤を用いてシリル化することにより疎水化した後の熱風乾燥をすることが可能になる。
【００３３】
（複合層１３）
複合層１３は、繊維１１にシリカエアロゲル１２を担持させたものである。  複合層１３は、繊維１１の隙間の空間に、シリカエアロゲル１２を充填することにより担持させたものである。また、  複合層１３は、ゲル原料を繊維１１に含浸させた後、ゲル原料を反応させて湿潤ゲルを形成し、湿潤ゲル表面を疎水化、熱風乾燥することにより得られる。
【００３４】
（シリカ溶融層１４）
シリカ溶融層１４は、複合層１３の少なくとも片側の表面に形成された波長が４μｍ〜１０００μｍの遠赤外線を吸収し、かつ波長が１ｍｍ〜１ｍのマイクロ波を吸収する物質を含有する層である。
【００３５】
シリカ溶融層１４は、複合層１３の内部のシリカエアロゲルと結合した連続体である。
【００３６】
さらに、シリカ溶融層１４の膜厚は、０．５〜３０μｍの範囲内が良い。
【００３７】
シリカ溶融層１４の膜厚が０．５μｍ以下になると、シリカ溶融層が薄く、十分な硬度が得られない。この為、外部からの衝撃が付加された場合に、断熱材表面において不織布の開口部に存在しているシリカエアロゲル片が破壊し、脱離してしまう為である。
【００３８】
また、シリカ溶融層１４の膜厚が３０μｍ以上になると、固体熱伝導率が上昇するために熱伝導率の上昇幅が大きくなる。つまり、シリカ溶融層１４の輻射による伝熱の抑制効果を適用しても、断熱材の熱伝導率を維持することができない。
【００３９】
（断熱材１０の熱伝導率）
この実施の形態では、携帯電話などのスペースが限られた空間に用いる断熱材１０を目的としている。図２は、断熱材１０を用いたスマートフォンの断面図である。筐体３１の間に、液晶パネル３２と、基板３３と、基板３３に設置されたＣＰＵ３４と、および、ＩＣ部品３５と、ＣＰＵ３４に接触して配置されるグラファイトシート３６とが配置されている。
【００４０】
断熱材１０を挿入するのは、グラファイトシート３６と筐体３１の間、またはＩＣ部品３５と筐体３１の間である。全体の薄型化のため、その隙間の厚みは０．５ｍｍ以下が求められている。
【００４１】
隙間の厚みが５ｍｍ以下のスペースで断熱材１０を使用する場合には、断熱材１０の熱伝導率は、好ましくは、０１〜０．０５Ｗ／ｍ・Ｋの範囲内が良い。
【００４２】
熱伝導率が０．０５Ｗ／ｍ・Ｋより大きくなると、厚さ方向の断熱効果が低下し、必要な断熱効果を得る為に断熱材の厚みを０．５ｍｍより厚くしなければならない為である。また、断熱材１０は、繊維１１の空隙をナノサイズの多孔質を有するシリカエアロゲル１２を担持させたものである。シリカエアロゲル１２単体の熱伝導率は０．０１Ｗ／ｍ・Ｋ〜０．０１５Ｗ／ｍ・Ｋである。このため、断熱材１０の熱伝導率は少なくとも０．０１ｍＷ／ｍ・Ｋ以上になる。
【００４３】
また、隙間の厚みが０．３ｍｍ以下のスペースで断熱材１０を使用する場合には、上記と同じ理由で、断熱材１０の熱伝導率は０．０１〜０．０３Ｗ／ｍ・Ｋが良い。断熱材１０の熱伝導率が０．０３Ｗ／ｍ・Ｋより大きくなると、厚さ方向の断熱効果が低下し、必要な断熱効果を得る為に断熱材１０の厚みを０．３ｍｍより厚くしなければならない為である。
【００４４】
（断熱材１０の製造方法）
断熱材１０の製造方法の一例を図３（ａ）〜図３（ｄ）の断面図で説明する。
【００４５】
図３（ａ）は、断熱材１０の骨格を形成する。
【００４６】
図３（ｂ）〜図３（ｄ）は、図３（ａ）の断熱材１０の骨格に、シリカ溶融層１４を形成する。
【００４７】
＜断熱材１０＞
まず、はじめに、図３（ａ）で、不織布繊維（材質ＰＥＴ、厚み仕様９０μｍ、目付１２ｇ／ｍ２、寸法１２ｃｍ□）をゾル液に浸漬させる。このことにより、ゾル液（シリカエアロゲル１２）を繊維１１に含浸させる。
【００４８】
ここで、ゾル液は、水ガラス（珪酸水溶液、Ｓｉ濃度６ｗｔ％）をイオン交換した後、触媒としてアンモニア水（１．２×１０−３ｗｔ％）を１６．７ｗｔ％添加し攪拌することにより調合する。
【００４９】
次に、室温２３℃で約２０分間放置し、ゾルをゲル化させる。
【００５０】
次に、ゲルを塩酸（６〜１２規定）に浸漬後、常温２３℃で１時間放置してゲルの中に塩酸を取り込む。
【００５１】
次に、ゲルを、例えばシリル化剤であるオクタメチルトリシロキサンと２−プロパノール（ＩＰＡ）の混合液に浸漬させて、５５℃の恒温槽に入れて２時間反応させる。トリメチルシロキサン結合が形成され始めると、ゲルから塩酸が排出され、上層がトリシロキサン、下層が塩酸水に２液分離する。
【００５２】
次に、ゲルを１５０度の恒温槽に移して２時間乾燥させることにより、図３（ａ）に示すように、繊維１１にナノサイズの多孔質構造を有するシリカエアロゲル１２を担持させた複合層１３を有するシートが出来る。なお、シリル化剤の使用は１つの方法であり、別の方法を用いてもよい。繊維にシリカエアロゲルを形成すればよい。
【００５３】
＜シリカ溶融層１４を形成＞
次に、図３（ｂ）〜図３（ｄ）に示すように、断熱材の少なくとも片側の表面に波長が４μｍ〜１０００μｍの遠赤外線を吸収し、かつ波長が１ｍｍ〜１ｍのマイクロ波を吸収する物質を含有するシリカ溶融層１４を形成する。
【００５４】
つまり、図３（ｂ）に示すように、波長が４μｍ〜１０００μｍの遠赤外線を吸収し、かつ波長が１ｍｍ〜１ｍのマイクロ波を吸収するカーボン１５を、粉体散布装置を用いてシリカエアロゲルを担持した繊維の少なくとも片側の表面に散布する。なお、カーボン１５は、カーボンを分散した親水性溶液を、スプレー等を用いてシリカエアロゲル１２を担持した繊維１１の少なくとも片側の表面に吹きつけることにより散布しても良い。
【００５５】
また、カーボン１５の平均粒子径は１０ｎｍ〜１μｍの範囲内が望ましい。平均粒子径が１μｍ以上になると、比表面積が小さくなる為、熱輻射による熱伝導成分を低減するために必要な添加量が多くなる。
【００５６】
また、カーボン１５の平均粒子径を１０ｎｍ以下になると、カーボン１５の凝集が激しくなり、輻射抑制機能を持つカーボン１５をシリカエアロゲルを担持した繊維表面に均一に分散させることが困難になり、熱輻射による熱伝導成分を低減するために必要な添加量が多くなる。
【００５７】
さらに、カーボン１５の量は、シリカエアロゲル１２を担持した繊維１１の表面への被覆率が６０〜１００％になるような範囲内で、最小量で散布することが望ましい。被覆率が６０％以下になると、マイクロ波を照射してカーボン１５を加熱しても、カーボン１５が少なすぎるため、シリカエアロゲルを担持した繊維表面全体にシリカ溶融層を形成することができない。
【００５８】
＜加熱＞
その後、図３（ｃ）に示すように、図３（ｂ）のカーボン１５が散布されたシリカエアロゲル１２を担持した繊維１１の表面に、マイクロ波発生装置１６により、マイクロ波を５００Ｗで３６秒間照射する。カーボン１５を選択的に９００℃〜１６５０℃に加熱する。
【００５９】
それにより、カーボン１５に隣接するシリカエアロゲル１２を溶融させ、図３（ｄ）に示すような、波長が４μｍ〜１０００μｍの遠赤外線を吸収し、かつ波長が１ｍｍ〜１ｍのマイクロ波を吸収する物質を含有するシリカ溶融層１４を形成することができる。
【００６０】
カーボン１５の加熱温度が９００℃以下になると、シリカエアロゲル１２の溶融が起こりにくい。または、加熱時間が長くなる為、シリカ溶融層１４の膜厚が厚くなる。また、加熱温度がシリカの融点である１６５０℃以上になると、シリカ溶融層の膜厚を制御することが困難になる。
【００６１】
また、シリカエアロゲル１２を担持した繊維１１の表面に散布する物質は、カーボン１５でなくともよい。その物質は、輻射抑制のため、遠赤外線の波長領域である４μｍ〜１５００μｍを吸収することが望ましい。さらに、マイクロ波を吸収し加熱を促進するため、波長が１ｍｍ〜１ｍ、その中でも特にマイクロ波の内の極超短波である１００ｍｍ〜１ｍを吸収することが望ましい。
【００６２】
なお、この物質は、１種類でなくともよい。遠赤外線を吸収する物質と、マイクロ波を吸収し加熱を促進するための物質との２種類を含んでもよい。
【００６３】
さらに、シリカ溶融層１４の形成方法として、シリカエアロゲル１２を担持した繊維１１の表面を単に火であぶる方法も考えられるが、不織布が引火して燃焼し、断熱材が変形・消失してしまう。また、加熱時間が長くなるため、シリカエアロゲル１２を担持した繊維１１の表面のみを選択的に加熱し溶融することが困難になる。
【００６４】
シリカ溶融層１４の膜厚は、熱伝導率の悪化を抑制するために、０．５〜３０μｍの範囲内で、できるだけ小さくなるようにすることが望ましい。シリカ溶融層１４の膜厚は、カーボン１５の被覆率、マイクロ波出力、マイクロ波照射時間により制御することができる。
【００６５】
それにより、シリカエアロゲルの構造を最大限保持しながら輻射防止効果を持たせることができるため、熱伝導率を維持したまま、表面付近のシリカエアロゲル片が脱離するのを抑制することが可能になる。
【００６６】
＜断熱材１０の変形例＞
図４（ａ）から図４（ｂ）は、図３（ｄ）の構造の変形例である。
【００６７】
図４（ａ）では、シリカ溶融層１４が複合層１３の両面にある。複合層１３の両面にシリカ溶融層１４があるので、さらに、シリカエアロゲル１２片の脱離がない。製造方法は、図３（ｂ）〜図３（ｄ）を複合層１３のもう片方の表面に適用することによりできる。
【００６８】
図４（ｂ）では、シリカ溶融層１４が複合層１３の両面と側面にある。複合層１３の全表面がシリカ溶融層１４で覆われており、さらに、シリカエアロゲル１２の片の脱離がない。製造方法は、図３（ｂ）〜図３（ｄ）を複合層１３の側面に適用することによりできる。
【００６９】
（全体として）
上記実施の形態、実施例は、それぞれ組み合わせることができる。
【産業上の利用可能性】
【００７０】
本発明の製造方法によって製造される断熱材は、熱伝導率を維持したまま表面のシリカエアロゲルの脱離を抑制できるものであって、広く電子機器内に利用される。情報機器、携帯電話、ディスプレイなど、熱に関わる製品へ応用される。
【符号の説明】
【００７１】
１０  断熱材
１１  繊維
１２  シリカエアロゲル
１３  複合層
１４  シリカ溶融層
１５  カーボン
１６  マイクロ波発生装置
３１  筐体
３２  液晶パネル
３３  基板
３５  部品
３６  グラファイトシート
５１  次粒子
５２  次粒子
５３  空隙
９０  仕様
【図１】
2017198272.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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