(57)【要約】      （修正有）【課題】気化効率が向上した気化器を提供する。【解決手段】気化器１００は、高さ方向に狭くなる上段部を有する第１ボディ111、第１ボディ111が収容されるキャビティが形成された第２ボディ116及び第１ボディ111と第２ボディ116との間に形成された混合室120を含む。第２ボディ116は、混合室120の上部に形成されたキャリアガス注入口14５と連結され、混合室120に注入されるキャリアガスＣＧが移動するキャリアガス注入経路140と、混合室120に形成された原料注入口145と連結され前記混合室120に注入される液状の原料が移動する原料の注入経路と、混合室120の下部に形成された排出口165と連結され、混合室120から排出されたキャリアガスＣＧと原料とが混合された混合流体が移動する排出経路１６０とを有する。【選択図】図１
2017147447.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高さ方向に狭くなる上段部を有する第１ボディと、前記第１ボディが収容されるキャビティが形成された第２ボディとを有する本体、及び
前記第１ボディと前記第２ボディとの間に提供された混合室を含み、
前記第２ボディは、
前記混合室の上部に形成されたキャリアガス注入口と連結され前記混合室に注入されるキャリアガスが移動するキャリアガス注入経路と、
前記混合室に形成された原料注入口と連結され前記混合室に注入される液状の原料が移動する原料注入経路と、
前記混合室の下部に形成された排出口と連結され前記混合室から排出された前記キャリアガスと前記原料とが混合された混合流体が移動する排出経路とを有することを特徴とする気化器。
【請求項２】
前記第１ボディの上段部と向き合う前記第２ボディの内側面には螺旋方向に延長されるグルーブが形成され、
前記グルーブは、前記キャリアガス及び前記原料の少なくとも１つを螺旋方向に回転させることを特徴とする請求項１に記載の気化器。
【請求項３】
前記グルーブの幅は、前記混合室の下部に隣接するほど増加することを特徴とする請求項２に記載の気化器。
【請求項４】
前記グルーブは、前記第２ボディの内側面と前記第１ボディの上段部との間の間隔よりも大きい深さを有することを特徴とする請求項２に記載の気化器。
【請求項５】
前記原料注入口は、前記第１ボディの上段部の中間側部と向き合うように配置されることを特徴とする請求項２に記載の気化器。
【請求項６】
前記第１ボディの上段部には螺旋方向に延長されるグルーブが形成され、前記第１ボディの上段部に形成されたグルーブは、前記第２ボディの内側面に形成されたグルーブと対応される位置に形成されることを特徴とする請求項２に記載の気化器。
【請求項７】
前記排出経路は、前記排出口と連結された一部において前記螺旋方向の接線方向に延長されることを特徴とする請求項２に記載の気化器。
【請求項８】
前記原料注入口は複数個形成され、
前記原料注入経路は複数個の原料注入口のそれぞれと連結された複数個の噴射経路を有することを特徴とする請求項１に記載の気化器。
【請求項９】
前記混合室の内壁には螺旋方向に延長されるグルーブが形成され、
前記グルーブは、
前記キャリアガス注入口を通じて注入された前記キャリアガスを回転させる第１グルーブと、
前記キャリアガスと前記原料注入口を通じて噴射された前記原料を共に回転させる第２グルーブとを含むことを特徴とする請求項８に記載の気化器。
【請求項１０】
前記第２グルーブは、前記第１グルーブよりも大きい幅及び深さを有することを特徴とする請求項９に記載の気化器。
【請求項１１】
前記キャリアガス注入経路と前記原料注入経路とを連結し、前記キャリアガス注入経路を流れるキャリアガスの一部が前記原料注入経路を経由して前記混合室に移動するようにする浄化（ｐｕｒｇｅ）経路をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の気化器。
【請求項１２】
前記キャリアガスは重力方向に前記混合室に注入されることを特徴とする請求項１に記載の気化器。
【請求項１３】
前記排出経路は、前記排出口から排出された前記混合流体を減圧させるオリフィス（ｏｒｉｆｉｃｅ）部を備えることを特徴とする請求項１に記載の気化器。
【請求項１４】
前記原料注入経路に設置され、前記混合室に注入される前記原料の注入を制御するバルブ部をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の気化器。
【請求項１５】
前記第１ボディは前記第２ボディに移動可能なように結合され、
前記第１ボディを移動させて、前記キャリアガス注入口及び前記原料注入口を同時に開放するか又は閉鎖させるバルブ部をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の気化器。
【請求項１６】
前記第１ボディは、前記上段部と連結され、高さ方向に一定の断面積を有する下段部を有し、
前記下段部と向き合う前記第２ボディの内側面には螺旋方向に延長される第３グルーブが形成されることを特徴とする請求項１に記載の気化器。
【請求項１７】
高さ方向に狭くなる上段部を有する第１ボディと、前記第１ボディが収容されるキャビティが形成された第２ボディとを有する本体、
前記第１ボディと前記第２ボディとの間に提供された混合室、及び
前記第１ボディと連結されたバルブ部を含み、
前記第１ボディは前記第２ボディに移動可能なように結合され、
前記第２ボディは、
前記混合室の上部に形成されたキャリアガス注入口と連結され前記混合室に注入されるキャリアガスが移動するキャリアガス注入経路と、
前記混合室に形成された原料注入口と連結され前記混合室に注入される液状の原料が移動する原料注入経路と、
前記混合室の下部に形成された排出口と連結され前記混合室から排出された前記キャリアガスと前記原料とが混合された混合流体が移動する排出経路とを有し、
前記バルブ部は、前記第１ボディを移動させて前記キャリアガス注入口及び前記原料注入口を同時に開放するか又は閉鎖させることを特徴とする気化器。
【請求項１８】
前記キャビティが提供する前記第２ボディの内側面に螺旋方向に延長されるグルーブが形成され、
前記グルーブは、前記キャリアガス及び前記原料の少なくとも１つを螺旋方向に回転させることを特徴とする請求項１７に記載の気化器。
【請求項１９】
前記キャリアガス注入口は、前記第１ボディの上段部の先端と向き合うように位置し、
前記原料注入口は、前記第１ボディの上段部の先端よりも低い位置に位置し、前記原料注入口から注入された液体状態の前記原料が前記グルーブに沿って回転するキャリアガスと合うようにすることを特徴とする請求項１８に記載の気化器。
【請求項２０】
チャンバ、及び
前記チャンバに気化した原料を供給する気化器を含み、
前記気化器は、
高さ方向に狭くなる上段部を有する第１ボディ、
前記第１ボディが収容されるキャビティが形成された第２ボディ、及び
前記第１ボディと前記第２ボディとの間に形成された混合室を含み、
前記第２ボディは、
前記混合室の上部に形成されたキャリアガス注入口と連結され前記混合室に注入されるキャリアガスが移動するキャリアガス注入経路と、
前記混合室に形成された原料注入口と連結され前記混合室に注入される液状の原料が移動する原料注入経路と、
前記混合室の下部に形成された排出口と連結され前記混合室から排出された前記キャリアガスと前記原料とが混合された混合流体が移動する排出経路とを有することを特徴とする薄膜蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気化器及び前記気化器を備える薄膜蒸着装置に関し、より詳しくは気化効率が向上した気化器及びこれを備える薄膜蒸着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程に用いられる気化器は、主にキャリア気体の入出口間の高い圧力差を用いて、液体状態の原料（ｓｏｕｒｃｅ）を速く噴射させるインジェクション（ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ）タイプの気化器が用いられている。このとき、液体状態の原料はキャリア気体と共に噴射される時、急速に体積が膨張し、圧力が低くなって気化する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明が解決しようとする課題は、気化効率が向上した気化器を提供することにある。
【０００４】
本発明が解決しようとする他の課題は、前記気化器を含む薄膜蒸着装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するための本発明の技術的思想は、高さ方向に狭くなる上段部を有する第１ボディと、前記第１ボディが収容されるキャビティが形成された第２ボディとを有する本体、及び前記第１ボディと前記第２ボディとの間に形成された混合室を含み、前記第２ボディは、前記混合室の上部に形成されたキャリアガス注入口と連結され前記混合室に注入されるキャリアガスが移動するキャリアガス注入経路と、前記混合室に形成された原料注入口と連結され前記混合室に注入される液状の原料が移動する原料の注入経路と、前記混合室の下部に形成された排出口と連結され前記混合室から排出された前記キャリアガスと前記原料とが混合された混合流体が移動する排出経路とを有することを特徴とする気化器を提供する。
【０００６】
本発明の一実施例において、前記第１ボディの上段部と向き合う前記第２ボディの内側面には螺旋方向に延長されるグルーブが形成され、前記グルーブは、前記キャリアガス及び前記原料の少なくとも１つを螺旋方向に回転させることを特徴とする。
【０００７】
本発明の一実施例において、前記グルーブの幅は前記混合室の下部に隣接するほど増加することを特徴とする。
【０００８】
本発明の一実施例において、前記グルーブは、前記第２ボディの内側面と前記第１ボディの上段部との間の間隔よりも大きい深さを有することを特徴とする。
【０００９】
本発明の一実施例において、前記原料注入口は、前記第１ボディの上段部の中間側部と向き合うように配置されることを特徴とする。
【００１０】
本発明の一実施例において、前記第１ボディの上段部には螺旋方向に延長されるグルーブが形成され、前記第１ボディの上段部に形成されたグルーブは、前記第２ボディの内側面に形成されたグルーブと対応される位置に形成されたことを特徴とする。
【００１１】
本発明の一実施例において、前記排出経路は、前記排出口と連結された一部において前記螺旋方向の接線方向に延長されることを特徴とする。
【００１２】
本発明の一実施例において、前記原料注入口は複数個形成され、前記原料注入経路は複数個の原料注入口のそれぞれと連結された複数個の噴射経路を有することを特徴とする。
【００１３】
本発明の一実施例において、前記混合室の内壁には螺旋方向に延長されるグルーブが形成され、前記グルーブは、前記キャリアガス注入口を通じて注入された前記キャリアガスを回転させる第１グルーブと、前記キャリアガスと前記原料注入口を通じて噴射された前記原料を共に回転させる第２グルーブとを含むことを特徴とする。
【００１４】
本発明の一実施例において、前記第２グルーブは前記第１グルーブよりも大きい幅及び深さを有することを特徴とする。
【００１５】
本発明の一実施例において、前記キャリアガス注入経路と前記原料注入経路とを連結し、前記キャリアガス注入経路を流れるキャリアガスの一部が前記原料注入経路を経由して前記混合室に移動するようにする浄化（ｐｕｒｇｅ）経路をさらに含むことを特徴とする。
【００１６】
本発明の一実施例において、前記キャリアガスは重力方向に前記混合室に注入されることを特徴とする。
【００１７】
本発明の一実施例において、前記排出経路は、前記排出口から排出された前記混合流体を減圧させるオリフィス（ｏｒｉｆｉｃｅ）部を備えることを特徴とする。
【００１８】
本発明の一実施例において、前記原料注入経路に設置され、前記混合室に注入される前記原料の注入を制御するバルブ部をさらに含むことを特徴とする。
【００１９】
本発明の一実施例において、前記第１ボディは前記第２ボディに移動可能なように結合され、前記第１ボディを移動させて、前記キャリアガス注入口及び前記原料注入口を同時に開放するか又は閉鎖させるバルブ部をさらに含むことを特徴とする。
【００２０】
本発明の一実施例において、前記第１ボディは、前記上段部と連結され、高さ方向に一定の断面積を有する下段部を有し、前記下段部と向き合う前記第２ボディの内側面には螺旋方向に延長される第３グルーブが形成されたことを特徴とする。
【００２１】
また、本発明の技術的思想は上記課題を解決するために、高さ方向に狭くなる上段部を有する第１ボディと、前記第１ボディが収容されるキャビティが形成された第２ボディとを有する本体、前記第１ボディと前記第２ボディとの間に形成された混合室、及び前記第１ボディと連結されたバルブ部を含み、前記第１ボディは前記第２ボディに移動可能なように結合され、前記第２ボディは、前記混合室の上部に形成されたキャリアガス注入口と連結され前記混合室に注入されるキャリアガスが移動するキャリアガス注入経路と、前記混合室に形成された原料注入口と連結され前記混合室に注入される液状の原料が移動する原料の注入経路と、前記混合室の下部に形成された排出口と連結され前記混合室から排出された前記キャリアガスと前記原料とが混合された混合流体が移動する排出経路とを有し、前記バルブ部は、前記第１ボディを移動させて前記キャリアガス注入口及び前記原料注入口を同時に開放するか又は閉鎖させることを特徴とする。
【００２２】
本発明の一実施例において、前記キャビティが提供する前記第２ボディの内側面に螺旋方向に延長されるグルーブが形成され、前記グルーブは、前記キャリアガス及び前記原料の少なくとも１つを螺旋方向に回転させることを特徴とする。
【００２３】
本発明の一実施例において、前記キャリアガス注入口は、前記第１ボディの上段部の先端と向き合うように位置し、前記原料注入口は、前記第１ボディの上段部の先端よりも低い位置に位置し、前記原料注入口から注入された液体状態の前記原料が前記グルーブに沿って回転するキャリアガスと合うようにすることを特徴とする。
【００２４】
本発明の一実施例において、前記原料注入口は複数個形成され、前記原料注入経路は、前記複数個の原料注入口のそれぞれと連結された複数個の噴射経路を有することを特徴とする。
【００２５】
本発明の一実施例において、前記グルーブは、前記キャリアガス注入口と前記原料注入口との間に位置し、前記キャリアガスを回転させる第１グルーブと、前記原料注入口を挟んで前記第１グルーブと離隔し、前記キャリアガスと前記原料注入口を通じて噴射された前記原料を共に回転させる第２グルーブとを含むことを特徴とする。
【００２６】
本発明の一実施例において、前記第２グルーブは、前記第１グルーブよりも大きい幅及び深さを有することを特徴とする。
【００２７】
本発明の一実施例において、前記キャビティは深さ方向に狭くなる端部を有し、前記キャリアガス注入口は前記キャビティの端部に配置されることを特徴とする。
【００２８】
本発明の一実施例において、前記排出経路は、前記排出口から排出された前記混合流体を減圧させるオリフィス部を備えることを特徴とする。
【００２９】
さらに、本発明の技術的思想は上記課題を解決するために、チャンバ、及び前記チャンバに気化した原料を供給する気化器を含み、前記気化器は、高さ方向に狭くなる上段部を有する第１ボディ、前記第１ボディが収容されるキャビティが形成された第２ボディ、及び前記第１ボディと前記第２ボディとの間に形成された混合室を含み、前記第２ボディは、前記混合室の上部に形成されたキャリアガス注入口と連結され前記混合室に注入されるキャリアガスが移動するキャリアガス注入経路と、前記混合室に形成された原料注入口と連結され前記混合室に注入される液状の原料が移動する原料注入経路と、前記混合室の下部に形成された排出口と連結され前記混合室から排出された前記キャリアガスと前記原料とが混合された混合流体が移動する排出経路とを有することを特徴とする薄膜蒸着装置を提供する。
【００３０】
本発明の一実施例において、前記混合室の内壁には螺旋方向に延長されるグルーブが形成され、前記グルーブは、前記キャリアガス及び前記原料の少なくとも１つを螺旋方向に回転させることを特徴とする。
【００３１】
本発明の一実施例において、前記グルーブは、前記キャビティが提供する前記第２ボディの内側面及び前記第１ボディの上段部の少なくともいずれか１つに形成されることを特徴とする。
【００３２】
本発明の一実施例において、前記原料注入経路に設置され、前記原料の注入を制御するバルブ部をさらに含むことを特徴とする。
【００３３】
本発明の一実施例において、前記原料注入経路は、前記第２ボディと前記バルブ部との間に位置する分配部と、前記分配部から前記原料注入口に延長される複数個の噴射経路とを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００３４】
本発明による気化器は、原料の圧力を十分に降下させる混合室を提供する。また、気化器はキャリア気体及び／又は原料を速く回転させ、液状の原料を混合室の多数の地点に同時に注入することによって、均一な混合比を保障し、液状の原料をより微細なドロップレットに分けて原料の圧力を効果的に落とし、原料の温度を効果的に増加させる。これによって、本発明は気化器の気化効率を向上させ、気化器は、均一に制御された、気化した原料を蒸着工程が進行する工程チャンバに供給して薄膜蒸着装置の信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の一実施例による気化器を示す断面図である。
【図２】本発明の一実施例による気化器を示す断面図である。
【図３】図１のＩＩＩ領域を拡大して示した図面である。
【図４】図２のＩＶ領域を拡大して示した図面である。
【図５】本発明の一実施例による気化器の外観を示す斜視図である。
【図６】本発明の一実施例による第１ボディを示す側面図である。
【図７】本発明の一実施例による第２ボディを示す部分切開斜視図である。
【図８】本発明の一実施例による排出経路を説明するための図面である。
【図９】本発明の一実施例による気化器の一部分を拡大して示した断面図である。
【図１０】図９のＡ領域を拡大して示した図面である。
【図１１】図９のＢ領域を拡大して示した図面である。
【図１２】図９のＣ領域を拡大して示した図面である。
【図１３】本発明の一実施例による気化器の一部分を拡大して示した断面図である。
【図１４】本発明の一実施例による気化器の一部分を拡大して示した断面図である。
【図１５】本発明の一実施例による気化器の一部分を拡大して示した断面図である。
【図１６】本発明の一実施例による気化器を示す断面図である。
【図１７】図１６のＸ領域を拡大して示した図面である。
【図１８】本発明の一実施例による薄膜蒸着装置を概略的に示す図面である。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
以下、添付した図面を参照して本発明の具体的な実施例を詳しく説明する。本発明の実施例は、当該技術分野における通常の知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供するものであり、下記の実施例は様々な異なる形態に変形でき、本発明の範囲が下記の実施例に限定されるものではない。むしろこれらの実施例は本開示をより充実して、かつ完全にし、当業者に本発明の思想を完全に伝達するために提供するものである。また、図面において各構成要素のサイズや構成要素間の間隔は説明の便宜及び明確性のために誇張したものである。
【００３７】
明細書全体にわたって、１つの構成要素が他の構成要素「上に」、又は「連結されて」位置すると言及するときは、上述した１つの構成要素が直接的に他の構成要素「上に」、「連結されて」接触するか、又はその間に介在されるさらに他の構成要素が存在してもよいと解釈され得る。一方、１つの構成要素が他の構成要素「直接的に上に」、又は「直接に連結されて」位置すると言及するときは、それらの間に介在される他の構成要素が存在しないと解釈される。同じ符号は同じ要素を指称する。本明細書において用いられたように、用語「及び／又は」は該当列挙された項目のいずれか１つ、及び１つ以上の全ての組み合わせを含む。
【００３８】
本明細書において、第１、第２等の用語が様々な部材、部品、領域、層及び／又は部分を説明するために用いるが、これらの部材、部品、領域、層及び／又は部分はこれらの用語によって限定されないことは自明である。これらの用語は１つの部材、部品、領域、層又は部分を他の領域、層、又は部分と区別するためにのみ用いられる。したがって、以下に記述する第１部材、部品、領域、層又は部分は本発明の教示から逸脱せずに第２部材、部品、領域、層又は部分を指称できる。
【００３９】
また、「上の」及び「下の」のような相対的な用語は図面において図解するように他の要素に対するいずれかの要素の関係を記述するためにここで用いられてもよい。相対的用語は、図面により描写される方向に追加して素子の他の方向を含むことを意図すると理解してもよい。例えば、図面において１つの構成要素がひっくり返すと（ｔｕｒｎｅｄ  ｏｖｅｒ）、他の要素の上部の面上に存在するものとして描写される要素は上述した他の要素の下部の面上に方向を有することになる。したがって、例として挙げた「上の」という用語は、図面の特定の方向に依存して「下の」及び「上の」方向の全てを含む。
【００４０】
本明細書において用いた用語は、特定の実施例を説明するために用いられ、本発明を制限するためのものではない。本明細書において用いた単数の形態は文脈上異なる場合を明確に指摘するものでなげれば、複数の形態を含む。また、本明細書において用いる場合、「含んだ（ｃｏｍｐｒｉｓｅ）」及び／又は「含む（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」は、言及した形状、数字、ステップ、動作、部材、要素及び／又はこれらのグループの存在を特定するものであり、１つ以上の他の形状、数字、動作、部材、要素及び／又はグループの存在又は付加を排除するものではない。
【００４１】
以下、本発明の実施例は本発明の理想的な実施例を概略的に示す図面を参照して説明する。図面において、例えば、製造技術及び／又は公差（ｔｏｌｅｒａｎｃｅ）によって、示された形状の変形が予想され得る。したがって、本発明思想の実施例は、本明細書に示した領域の特定の形状に制限されたものと解釈されてはならず、例えば製造上もたらされる形状の変化を含まなければならない。以下の実施例は１つ又は複数個を組み合わせての構成もできる。
【００４２】
以下において説明する気化器及び薄膜蒸着装置は様々な構成を有し、ここでは必要な構成だけを例示的に提示し、本発明の内容がこれに限定されるものではないことを明らかにしておく。
【００４３】
図１及び図２は、本発明の一実施例による気化器（１００）を示す断面図である。図３は、図１のＩＩＩ領域を拡大して示した図面である。図４は、図２のＩＶ領域を拡大して示した図面である。
【００４４】
まず、図１及び図２を参照すると、気化器（１００）は混合室（１２０）を有する本体（１１０）と、バルブ部（１７０）と、本体（１１０）に形成されたキャリアガス注入経路（１４０）、原料注入経路（１５０）、及び排出経路（１６０）を含む。ここで図１及び図２は互いに異なる方向における気化器の断面を示す。
【００４５】
ここで、本体（１１０）は原料とキャリアガスとが混合される混合室（１２０）を有する。例えば、本体（１１０）はキャビティ（図７の１１７）が形成された第２ボディ（１１６）と、キャビティ（１１７）に収容される第１ボディ（１１１）を有し、第１ボディ（１１１）と第２ボディ（１１６）との間の空間は混合室（１２０）として提供される。すなわち、混合室（１２０）は第１ボディ（１１１）と第２ボディ（１１６）との間に形成された空間と定義される。
【００４６】
一方、第１ボディ（１１１）は高さ方向に狭くなる上段部を有し、言い換えれば円錐形状を有する。第２ボディ（１１６）のキャビティは、第１ボディ（１１１）の上段部に対応する形状を有するように形成される。これによって、キャビティ１１７が提供する第２ボディ（１１６）の内側面は第１ボディ（１１１）に対応する形状を有する。
【００４７】
キャリアガス（ＣＧ）はキャリアガス注入経路（１４０）に沿って移動し、キャリアガス注入口（１４５）を通じて混合室（１２０）に注入される。キャリアガス注入経路（１４０）は第２ボディ（１１６）に形成され、その一端がキャリアガス（ＣＧ）を貯蔵及び供給するキャリアガス供給源と連結され、その他端が混合室（１２０）に形成されたキャリアガス注入口（１４５）に連結される。
【００４８】
液体状態の原料（ＬＭ）は原料注入経路（１５０）に沿って移動し、原料注入口（１５５）を通じて混合室（１２０）に注入される。原料注入経路（１５０）は第２ボディ（１１６）に形成され、その一端が液体状態の原料（ＬＭ）を貯蔵及び供給する原料供給源と連結され、その他端が混合室（１２０）に形成された原料注入口（１５５）に連結される。
【００４９】
キャリアガス注入経路（１４０）を通じて注入されたキャリアガス（ＣＧ）と、原料注入経路（１５０）を通じて注入された液体状態の原料（ＬＭ）は、混合室（１２０）において混合され、液体状態の原料（ＬＭ）は混合室（１２０）において加熱されて減圧された結果、気化した状態により排出される。原料（ＬＭ）とキャリアガス（ＣＧ）とが混合された混合流体（ＧＭ）は、混合室（１２０）に形成された排出口（１６５）を通じて排出され、排出経路（１６０）に沿って移動する。
【００５０】
また、本体（１１０）部には混合室（１２０）を移動する流体を加熱するためのカートリッジヒータ（１９０）が備えられる。カートリッジヒータ（１９０）は、第２ボディ（１１６）に形成された孔部に挿入されて提供される。カートリッジヒータ（１９０）は、液体状態の原料（ＬＭ）を気化させるための熱を混合室（１２０）に提供する。
【００５１】
図３に示したように、キャリアガス注入経路（１４０）に沿って移送されたキャリアガスは、混合室（１２０）の上部に形成されたキャリアガス注入口（１４５）を通じて混合室（１２０）に注入される。混合室（１２０）内において、キャリアガスはキャリアガス注入口（１４５）から排出口（１６５）に連結される経路に移動することになる。キャリアガスは第１ボディ（１１１）と第２ボディ（１１６）との間の隙間を移動することによって、混合室（１２０）の下部に移動するほど広く拡散する。
【００５２】
一方、キャリアガス注入口（１４５）を通じて注入されたキャリアガスは、混合室（１２０）に重力方向に注入される。これによって、キャリアガス注入口（１４５）を通じて注入されたキャリアガスの速度は重力によって増加するように構成される。
【００５３】
図４に示したように、原料注入経路（１５０）に沿って移送した液体状態の原料は、混合室（１２０）の中間部に形成された複数個の原料注入口（１５５）を通じて混合室（１２０）に供給される。ここで、原料注入経路（１５０）は第２ボディ（１１６）とバルブ部（１７０）との間に位置する分配部（１５１）と、分配部（１５１）から２以上の原料注入口（１５５）まで延長される２以上の噴射経路（１５３）とを含む。
【００５４】
言い換えれば、原料注入経路（１５０）は混合室（１２０）の複数個の地点に同時に液状の原料を注入できるシャワーヘッド構造を有する。原料注入経路（１５０）の一端に供給された液体状態の原料は、分配部（１５１）により２以上の噴射経路（１５３）に分かれて流れることになり、これによって、混合室（１２０）の複数個の地点に液状の原料が同時に噴射される。原料注入口（１５５）を通じて噴射された液状の原料は、混合室（１２０）の上部から下部に移動していたキャリアガス（ＣＧ）と合い、キャリアガス（ＣＧ）と混合されて混合室（１２０）の下部に移動する。キャリアガス（ＣＧ）と原料とが混合された混合流体は、第１ボディ（１１１）と第２ボディ（１１６）との間の隙間を移動することによって混合室（１２０）の下部に移動するほど広く拡散する。
【００５５】
一方、噴射経路（１５３）が延長される方向は重力方向から所定の角度（例えば、１０度ないし３０度の間）に傾いている。これによって、噴射経路（１５３）を通じて噴射された液体状態の原料の速度は重力によって増加するように構成される。
【００５６】
また、原料が移送される原料注入経路（１５０）には原料の注入を制御するバルブ部（１７０）が設置される。例えば、バルブ部（１７０）は第２ボディ（１１６）の上部に装着される。原料注入経路（１５０）は、第２ボディ（１１６）の上面とバルブ部（１７０）との間に形成された経路を通じて分配部（１５１）に原料を注入し、バルブ部（１７０）は第２ボディ（１１６）の上面とバルブ部（１７０）との間に形成された経路を開放するか又は閉鎖することによって前記原料の注入を制御する。
【００５７】
例えば、バルブ部（１７０）は、本体（１１０）と接するダイアフラム（ｄｉａｐｈｒａｇｍ、１７１）と、ダイアフラム（１７１）に圧力を加えてダイアフラム（１７１）を変形させるアクチュエータ（ａｃｔｕａｔｏｒ、１７３）を備える。バルブ部（１７０）が原料注入経路（１５０）を開放する間、本体（１１０）とバルブ部（１７０）は一定の距離離隔する。逆に、バルブ部（１７０）が原料注入経路（１５０）を閉鎖する間、アクチュエータ（１７３）はダイアフラム（１７１）に圧力を加えて第２ボディ（１１６）の上面とバルブ部（１７０）との間に形成された前記原料の移動経路を閉鎖する。ダイアフラム（１７１）は耐熱性及び耐腐食性を有して所定の弾性を有する材料からなる。さらに、バルブ部（１７０）と本体（１１０）とが接する部分には密封部材が配置される。
【００５８】
一方、図３及び図４を参照すると、気化器（１００）は、原料注入経路（１５０）に沿って流れる液体原料の固形物によって原料注入経路（１５０）が詰まることを防止するための浄化経路（１８０）を含む。浄化経路（１８０）は、キャリアガス注入経路（１４０）と原料注入経路（１５０）とを連結し、キャリアガス注入経路（１４０）を流れるキャリアガスの一部が原料注入経路（１５０）を経由して混合室（１２０）に移動するようにする。キャリアガスが原料注入経路（１５０）を経由する間、原料注入経路（１５０）に生成された液体原料の固形物が除去される。
【００５９】
例えば、浄化経路（１８０）の一端は、キャリアガス注入口（１４５）と隣接した部分においてキャリアガス注入口（１４５）と連結され、また、浄化経路（１８０）の他端は、原料注入経路（１５０）の分配部（１５１）に連結される。原料注入経路（１５０）を浄化するために、バルブ部（１７０）は本体（１１０）の上面とバルブとの間に形成された経路を閉鎖して、分配部（１５１）及び噴射経路（１５３）を通じて原料が注入されないようにする。バルブ部（１７０）が原料注入経路（１５０）を閉鎖する間、キャリアガス注入経路（１４０）に沿って移動するキャリアガスの一部は浄化経路（１８０）に沿って分配部（１５１）に移動することになり、次いで噴射経路（１５３）を通じて混合室（１２０）に移動することになる。これによって、浄化経路（１８０）を有する気化器は、気化器の長時間の使用によって原料注入経路（１５０）が詰まる問題を改善し、また、気化器の信頼性と寿命を向上させる。
【００６０】
さらに、混合室（１２０）の内壁にはキャリア気体及び／又は原料を回転させるためのグルーブ（１３０）が形成され、グルーブ（１３０）は後により詳しく説明する。
【００６１】
図５は、本発明の一実施例による気化器（１００）の外観を示す斜視図である。
【００６２】
図５に示したように、気化器（１００）は、本体（１１０）と、本体（１１０）に結合されるキャリアガスの導入フレーム（１４７）、原料の導入フレーム（１５７）、排出フレーム（１６７）、及びバルブ部（１７０）を有する。例えば、キャリアガスの導入フレーム（１４７）、原料の導入フレーム（１５７）及び排出フレーム（１６７）は本体（１１０）の側部に装着される。ここで、キャリアガスの導入フレーム（１４７）と原料の導入フレーム（１５７）は、互いに垂直な方向に本体（１１０）に装着され、排出フレーム（１６７）は、前記キャリアガスの導入フレーム（１４７）と反対の方向において本体（１１０）に装着される。また、バルブ部（１７０）は本体（１１０）の上部に装着される。
【００６３】
キャリアガスの導入フレーム（１４７）に沿って移動するキャリアガス（ＣＧ）と原料の導入フレーム（１５７）に沿って移動する液体状態の原料（ＬＭ）は、互いに垂直な方向で本体（１１０）に供給される。また、気化した原料を含む混合流体（ＧＭ）はキャリアガスの導入フレーム（１４７）に沿って供給されたキャリアガス（ＣＧ）と平行な方向に排出される。
【００６４】
図１、図２及び図５を参照すると、キャリアガス注入経路（１４０）はキャリアガスの導入フレーム（１４７）の内部に形成された通路と連結される。同様に、原料注入経路（１５０）は原料ガス導入フレーム（１５７）の内部に形成された通路と連結される。また、排出経路（１６０）は排出フレーム（１６７）の内部に形成された通路と連結される。
【００６５】
図６は、本発明の一実施例による第１ボディ（１１１）を示す側面図である。図７は、本発明の一実施例による第２ボディ（１１６）を示す部分切開斜視図である。
【００６６】
図６を図１と共に参照すると、第１ボディ（１１１）は高さ方向に狭くなる水平断面を有する上段部（１１２）と、上段部（１１２）の下側に連結され、高さ方向に一定の面積の水平断面を有する下段部（１１３）を有する。ここで、水平断面は第１ボディ（１１１）の高さ方向と垂直な方向に上段部（１１２）又は下段部（１１３）を切断した断面を意味する。
【００６７】
キャリアガス注入口（１４５）は、第１ボディ（１１１）の上段部（１１２）の上側方向に配置され、キャリアガス注入口（１４５）を通じて混合室（１２０）に注入されたキャリアガスは、第１ボディ（１１１）の上段部（１１２）の表面に沿って広がりながら混合室（１２０）の下部に向かって移動する。
【００６８】
例えば、上段部（１１２）は下側方向に広がる水平断面を有し、キャリアガス注入口（１４５）の下に位置する第１上段部（１１２ａ）、第１上段部（１１２ａ）の下側に連結され、原料注入口（１５５）と向き合う第３上段部（１１２ｃ）、そして第３上段部（１１２ｃ）の下側に連結され、下側方向に広がる水平断面を有する第２上段部（１１２ｂ）を有する。言い換えれば、第１上段部（１１２ａ）と第２上段部（１１２ｂ）は第３上段部（１１２ｃ）を挟んで離隔する。
【００６９】
図７を図１及び図２と共に参照すると、第２ボディ（１１６）は第１ボディ（１１１）が収容され得るキャビティ（１１７）を有する。キャビティ（１１７）は深さ方向に狭くなる端部を有する。
【００７０】
キャビティ（１１７）が提供する第２ボディ（１１６）の内側面には、排出口（１６５）、原料注入口（１５５）、及びキャリアガス注入口（１４５）が形成される。ここで、キャリアガス注入口（１４５）はキャビティ（１１７）の深さ方向に対し最も深い位置に形成され、原料注入口（１５５）はキャリアガス注入口（１４５）よりも浅い位置に形成され、排出口（１６５）は原料注入口（１５５）及びキャリア注入口よりも浅い位置に形成される。
【００７１】
また、原料注入口（１５５）は複数個形成され、複数個の原料注入口（１５５）は放射状に離隔してもよく、また、原料注入口（１５５）は等間隔に離隔してもよい。
【００７２】
また、第２ボディ（１１６）の内側面には所定の幅及び深さを有するグルーブ（１３０）が形成される。グルーブ（１３０）は螺旋方向に延び、混合室（１２０）に注入されたキャリアガス及び／又は原料はグルーブ（１３０）に沿って前記螺旋方向に回転される。グルーブ（１３０）はキャリアガス及び／又は原料がグルーブ（１３０）に沿って回転されるようにする。
【００７３】
ここで、グルーブ（１３０）はキャリアガス注入口（１４５）から遠くなるほど大きい回転半径を有するように構成される。
【００７４】
また、グルーブ（１３０）は回転によるキャリアガスと原料との混合効率を向上させるために、グルーブ（１３０）の回転方向は、コリオリ力（ｃｏｒｉｏｌｉｓ  ｆｏｒｃｅ）がグルーブ（１３０）に沿って移動する流体の回転速度を増加させる方向に構成される。
【００７５】
また、グルーブ（１３０）はキャリアガス注入口（１４５）と原料注入口（１５５）との間において第２ボディ（１１６）の内側面に形成された第１グルーブ（１３１）と、原料注入口（１５５）を挟んで第１グルーブ（１３１）と離隔すると共に、第２ボディ（１１６）の内側面に形成された第２グルーブ（１３２）を含む。したがって、キャリアガス注入口（１４５）を通じて注入されたキャリアガスの少なくとも一部は、第１グルーブ（１３１）に沿って回転しながら混合室（１２０）の下部に向かって移動し、原料注入口（１５５）を通じて注入された原料は第１グルーブ（１３１）を通過したキャリアガスと共に第２グルーブ（１３２）に沿って回転しながら混合室（１２０）の下部に向かって移動する。
【００７６】
図８は、本発明の一実施例による排出経路（１６０）を説明するための図面である。
【００７７】
図１及び８を参照すると、混合流体（ＧＭ）は排出口（１６５）と連結された排出経路（１６０）を通じて排出される。混合流体（ＧＭ）はグルーブ（１３０）に沿って回転しながら混合室（１２０）の下部に移動し、混合室（１２０）の下部に形成された排出口（１６５）を通じて排出される。
【００７８】
一方、図８に示したように、螺旋方向に形成されたグルーブ（１３０）に沿って回転する混合流体（ＧＭ）は時計方向に回転してもよく、排出口（１６５）から延長される排出経路（１６０）は前記螺旋方向の接線方向に延びてもよい。混合流体（ＧＭ）は排出口（１６５）を通じて噴射される直前まで回転速度を維持でき、これによって、グルーブ（１３０）による旋回効果を向上させる。
【００７９】
さらに、排出経路（１６０）にはオリフィス部（１６１）が設けられてもよく、オリフィス部（１６１）は狭い通路を通過した原料を広い通路に拡散させ、これによって、減圧された原料を完全に気化させる。
【００８０】
図９は、本発明の一実施例による気化器（１００）の一部分を拡大して示した断面図である。図１０は、図９のＡ領域を拡大して示した図面である。図１１は、図９のＢ領域を拡大して示した図面である。図１２は、図９のＣ領域を拡大して示した図面である。
【００８１】
図９に示したように、第２ボディ（１１６）の内側面にはグルーブ（１３０）が形成され、前記グルーブ（１３０）は、キャリアガス注入口（１４５）と原料注入口（１５５）との間に形成された第１グルーブ（１３１）と、原料注入口（１５５）よりも下に形成された第２グルーブ（１３２）とを含む。
【００８２】
キャリアガスは第１ボディ（１１１）の先端に注入されて下部に移動することになり、ここでキャリアガスの一部は第１グルーブ（１３１）を満たしながら第１グルーブ（１３１）に沿って回転し、キャリアガスの残りの一部は第１ボディ（１１１）の上段部と第２ボディ（１１６）の内側面との間の隙間に沿って下部に移動する。
【００８３】
次いで、原料注入口（１５５）から噴射された液状の原料は上部から流入したキャリアガスと合って混合され、混合流体の一部は第２グルーブ（１３２）を満たしながら第２グルーブ（１３２）に沿って回転し、混合流体の他の一部は第１ボディ（１１１）の上段部と第２ボディ（１１６）の内側面との間の隙間を通じて混合室（１２０）の下部に移動する。
【００８４】
ここで、混合室（１２０）はキャリア気体及び原料が混合室（１２０）の上部から下部に移動するほど広く拡散するような形態に形成されることによって、原料の圧力が十分に降下するようにする。
【００８５】
一方、グルーブ（１３０）は所定の幅と深さを有するように形成され、第２グルーブ（１３２）の幅（Ｗ２）は第１グルーブ（１３１）の幅（Ｗ１）より大きく、第２グルーブ（１３２）の深さ（ｄ２）は第１グルーブ（１３１）の深さ（ｄ１）より大きくなるように構成される。
【００８６】
又は、グルーブ（１３０）は混合室（１２０）の下部に行くほど大きい幅と大きい深さを有するように形成されてもよい。例えば、第１グルーブ（１３１）の幅（Ｗ１）と深さ（ｄ１）は第１グルーブ（１３１）の延長方向に沿って増加するように構成されてもよい。また、第２グルーブ（１３２）の幅（Ｗ２）と深さ（ｄ２）は第２グルーブ（１３２）の延長方向に沿って増加するように構成されてもよい。
【００８７】
さらに、グルーブ（１３０）の深さは、第１ボディ（１１１）の上段部と第２ボディ（１１６）の内側面との間の間隔（ｔ）よりも大きくなるように構成されてもよい。したがって、第１ボディ（１１１）の上段部と第２ボディ（１１６）の内側面との間の隙間により移動する流体の量は相対的に減少し、また、グルーブ（１３０）に沿って回転しながら移動する流体の量を相対的に増加させる。
【００８８】
一方、図９ないし図１２を参照して、液状の原料が気化する過程を説明する。
【００８９】
まず、図１０に示したように、キャリアガス注入経路（１４０）を経て混合室（１２０）の上部に注入されたキャリアガスは、混合室（１２０）の下部に向かって移動し、原料注入経路（１５０）を経て混合室（１２０）に注入された液状の原料と混ざることになる。このとき、第１グルーブ（１３１）はキャリアガスを螺旋方向に速く回転させ、原料注入口（１５５）を通じて噴射された液状の原料を高速で回転させ微細なドロップレット（ｄｒｏｐｌｅｔ）形態に分ける。すなわち、液状の原料は、高速のキャリアガスと衝突しながら微細なドロップレットの形態につぶれる。液状の原料が微細なドロップレットの形態につぶれることによって、原料の全体的な表面積が増加する。したがって、より多くの熱が原料に伝えられ、原料の温度が効果的に増加し、また、原料の圧力が効果的に降下する。
【００９０】
また、図７と図１０に示したように、原料注入口（１５５）は複数個形成され、原料注入経路（１５０）は複数個の原料注入口（１５５）と連結された複数個の噴射経路（１５３）を通じて混合室（１２０）の多数の地点に同時に液状の原料を注入する。これによって、単一経路により噴射される場合と比較して、液状の原料はより広い面積においてキャリア気体と合うことになり、さらにキャリアガスと原料はより均一に混合される。
【００９１】
次に、図１１に示したように、液状の原料はキャリアガスと混合された後、第２グルーブ（１３２）に沿って速く回転することになる。原料が第２グルーブ（１３２）に沿って回転する間、原料とキャリアガスはより均一に混ざる。
【００９２】
また、第２グルーブ（１３２）は原料の移動経路の長さを増加させることによって、原料の圧力降下効果を高め、より多くの熱が原料に供給されるようにする。結果的に、第２グルーブ（１３２）を通過する間、原料の一部は気化するか又はより小さいサイズのドロップレットに分かれる。
【００９３】
次いで、図１２に示したように、混合流体は排出経路（１６０）を通じて混合室（１２０）から排出される。高温で加熱された原料がオリフィス部（１６１）を通過しながら、原料の圧力が急激に降下する。これによって、原料はオリフィス部（１６１）を経た後、完全な気体状態になる。
【００９４】
図１３は、本発明の一実施例による気化器の一部分を拡大して示した断面図である。
【００９５】
図１３を参照すると、気化器はグルーブ（１３０ａ）の形成位置を除いては図９と実質的に同じ構造を有する。説明の便宜のために図９の説明部分において記述した内容は省略するか、又は簡略化する。
【００９６】
図１３に示したように、グルーブ（１３０ａ）は第１ボディ（１１１）の上段部に形成される。このとき、グルーブ（１３０ａ）はキャリアガス注入口（１４５）から噴射されたキャリアガスを回転させる第１グルーブ（１３１ａ）と、キャリアガスと原料を共に回転させる第２グルーブ（１３２ａ）とを含む。
【００９７】
第１ボディ（１１１）の先端に向かって注入されたキャリアガスは、図９とは異なり、第１ボディ（１１１）の上段部に形成された第１グルーブ（１３１ａ）を満たしながら第１グルーブ（１３１ａ）に沿って回転する。同様に、原料注入口（１５５）から噴射された液状の原料はキャリアガスと混合され、混合流体の一部は第１ボディ（１１１）の上段部に形成された第２グルーブ（１３２ａ）を満たしながら第２グルーブ（１３２ａ）に沿って回転する。
【００９８】
図１４は、本発明の一実施例による気化器の一部分を拡大して示した断面図である。
【００９９】
図１４を参照すると、気化器はグルーブ（１３０ｂ）の形成位置を除いては図９と実質的に同じ構造を有する。説明の便宜のために図９の説明部分において記述した内容は省略するか、又は簡略化する。
【０１００】
図１４に示したように、グルーブ（１３０ｂ）は第２ボディ（１１６）の内側面及び第１ボディ（１１１）の上段部の両方に形成される。このとき、第１ボディ（１１１）の上段部に形成されたグルーブ（１３０ｂ）は、第２ボディ（１１６）の内側面に形成されたグルーブ（１３０ｂ）と対応するように形成される。ここで、グルーブ（１３０ｂ）は、キャリアガス注入口（１４５）から注入されたキャリアガスを回転させる第１グルーブ（１３１ｂ）と、キャリアガスと原料を共に回転させる第２グルーブ（１３２ｂ）とを含む。
【０１０１】
第１ボディ（１１１）の先端に向かって注入されたキャリアガスは、図９とは異なり、第１ボディ（１１１）の上段部と第２ボディ（１１６）の内側面の両方に形成された第１グルーブ（１３１ｂ）を満たしながら第１グルーブ（１３１ｂ）に沿って回転する。同様に、原料注入口（１５５）から噴射された液状の原料はキャリアガスと混合され、混合流体の一部は第１ボディ（１１１）の上段部と第２ボディ（１１６）の内側面の両方に形成された第２グルーブ（１３２ｂ）を満たしながら第２グルーブ（１３２ｂ）に沿って回転する。
【０１０２】
したがって、図９と比較して、第１グルーブ（１３１ｂ）は相対的に多くの量のキャリア気体を高速に回転させ、これによって、原料注入口（１５５）を通じて注入された液状の原料をより効果的にドロップレット形態に分ける。また、第２グルーブ（１３２ｂ）は相対的に多くの量の原料を高速に回転させるので、第２グルーブ（１３２ｂ）に沿って移動する原料の圧力降下効果を高め、より多くの量の熱が原料に供給される。
【０１０３】
図１５は、本発明の一実施例による気化器の一部分を拡大して示した断面図である。
【０１０４】
図１５を参照すると、気化器は第３グルーブ（１３３）をさらに有することを除いては図９と実質的に同じ構造を有する。説明の便宜のために図９の説明部分において記述した内容は省略するか、又は簡略化する。
【０１０５】
図１５を図６と共に参照すると、第２ボディ（１１６）にはグルーブ（１３０）が形成され、グルーブ（１３０）は第２ボディ（１１６）の内側面のうち第１ボディ（１１１）の上段部（１１２）と向き合う部分に形成された第１グルーブ（１３１）と第２グルーブ（１３２）、そして第２ボディ（１１６）の内側面のうち第１ボディ（１１１）の下段部（１１３）と向き合う部分に形成された第３グルーブ（１３３）を含む。第３グルーブ（１３３）は、第１グルーブ（１３１）及び第２グルーブ（１３２）と同じ回転方向を有しながら螺旋方向に延長される。
【０１０６】
第３グルーブ（１３３）は、混合流体が排出口（１６５）を通じて排出される直前まで混合流体を回転させることによって、原料の圧力降下効果を高め、原料の温度をより大きく上昇させる。
【０１０７】
図１６は、本発明の一実施例による気化器（２００）を示す断面図である。図１７は、図１６のＸ領域を拡大して示した図面である。
【０１０８】
図１６に示したように、気化器（２００）は第１ボディ（２１１）と、第２ボディ（２１６）と、混合室（２２０）とを有する本体（２１０）、バルブ部（２７０）、そして本体（２１０）に形成されたキャリアガス注入経路（２４０）、原料注入経路（２５０）、排出経路（２６０）を含む。キャリアガス注入経路（２４０）、原料注入経路（２５０）及び排出経路（２６０）は第２ボディ（２１６）内に形成される。
【０１０９】
ここで、第１ボディ（２１１）は高さ方向に狭くなる上段部を有し、第２ボディ（２１６）は第１ボディ（２１１）の上段部が収容されて深さ方向に狭くなる端部を有するキャビティを有する。このとき、キャビティが提供する第２ボディ（２１６）の内側面は第１ボディ（２１１）の外側面に対応する形状を有する。
【０１１０】
混合室（２２０）は第１ボディ（２１１）と第２ボディ（２１６）との間の空間と定義でき、キャリア注入経路から注入されたキャリアガスと原料注入経路（２５０）から注入された液状の原料を混合させる。このとき、キャリアガス注入口（２４５）は混合室（２２０）の上部に形成され、排出口（２６５）は混合室（２２０）の下部に形成され、原料注入口（２５５）は混合室（２２０）の中間側部に複数個形成される。
【０１１１】
キャリアガスは第１ボディ（２１１）の先端に注入され、混合室（２２０）の上部から下部に向かって移動する。液状の原料は混合室（２２０）の中間側部に注入され、混合室（２２０）の上部から移動したキャリアガスと混合される。キャリアガスと原料とが混合されて生成された混合原料は、混合室（２２０）の下部に移動し、排出口（２６５）を通じて排出される。
【０１１２】
混合室（２２０）の内壁には、キャリアガス及び／又は原料を回転させるためのグルーブ（２３０）が形成される。グルーブ（２３０）は先に図９、図１３ないし図１５に示したものと実質的に同一である。
【０１１３】
一方、第１ボディ（２１１）は第２ボディ（２１６）に移動可能なように結合され、バルブ部（２７０）は第１ボディ（２１１）と連結されて第１ボディ（２１１）を上下方向に移動させる。バルブ部（２７０）は、例えば、第１ボディ（２１１）と接するダイアフラム（２７１）と、ダイアフラム（２７１）に圧力を加えてダイアフラム（２７１）を変形させるアクチュエータ（２７３）（ａｃｔｕａｔｏｒ）を有する。ここで、バルブ部（２７０）はキャリアガスと原料を同時に制御するように構成される。
【０１１４】
図１７に示したように、バルブ部（２７０）は第１ボディ（２１１）を上下に移動させてキャリアガス注入口（２４５）及び原料注入口（２５５）を同時に開放するか又は閉鎖させる。
【０１１５】
例えば、キャリアガスと原料が混合室（２２０）に流入することを遮断するために、バルブ部（２７０）は第１ボディ（２１１）の上段部が第２ボディ（２１６）の内側面と接するように第１ボディ（２１１）を移動させ、第１ボディ（２１１）の上段部はキャリアガス注入口（２４５）と原料注入口（２５５）を同時に閉鎖できる。
【０１１６】
逆に、キャリアガスと原料が混合室（２２０）に流入させるために、バルブ部（２７０）は第１ボディ（２１１）の上段部が第２ボディ（２１６）の内側面から離隔するように前記第１ボディ（２１１）を移動させてキャリアガス注入口（２４５）と原料注入口（２５５）を開放できる。
【０１１７】
図１８は、本発明の一実施例による薄膜蒸着装置（１０００）を概略的に示す図面である。
【０１１８】
図１８を参照すると、薄膜蒸着装置（１０００）は蒸着工程のための空間を形成する工程チャンバ（１１００）と、気化した原料を工程チャンバ（１１００）に供給する気化器（１００、２００）を含む。
【０１１９】
気化器（１００、２００）と工程チャンバ（１１００）は移送管によって連結される。また、気化器（１００、２００）は原料供給源（１４１０）から液体状態の原料の供給を受け、キャリアガス供給源（１４２０）からキャリア気体の供給を受ける。ここで、気化器（１００、２００）は、図１ないし図１７を参照して説明した気化器（１００、２００）を含む。
【０１２０】
工程チャンバ（１１００）の一側には入出ゲート（１１２０）が提供される。入出ゲート（１１２０）は蒸着工程進行のために基板（Ｗ）の出入が行われる。また、工程チャンバ（１１００）は工程に用いられたガス又は反応副産物を排気するための排気ダクト（１１３０）をさらに含む。具体的に示していないが、排気ダクト（１１３０）は真空ポンプと連結され、圧力制御バルブ、流量制御バルブなどが提供される。
【０１２１】
支持部材（１２００）は工程チャンバ（１１００）の内部空間に設置される。支持部材（１２００）は１枚又は２枚以上の基板が置かれるように構成される。支持部材（１２００）はその上部面に基板が置かれるステージ（１２１０）が形成された円盤形状のテーブル（１２３０）、テーブル（１２３０）を支持する支持柱（１２５０）を含む。ステージ（１２１０）は円形からなる。支持部材（１２００）上に複数の基板（Ｗ）が置かれるように構成される場合、ステージ（１２１０）も複数備えられ、これらは等間隔に配置される。支持部材（１２００）は回転部（１２７０）によって回転される。また、テーブル（１２３０）はその内部に基板（Ｗ）の温度を制御するのに用いられる加熱部材（１２９０）を含む。
【０１２２】
噴射部材（１３００）は支持部材（１２００）上に置かれた基板（Ｗ）のそれぞれに気化器（１００、２００）から供給されたガスを噴射する。噴射部材（１３００）は供給されたガスを基板（Ｗ）のそれぞれに対応する位置において基板の処理面の上に噴射する。噴射部材（１３００）はガスを噴射するヘッド（１３１０）、及び工程チャンバ（１１００）の上部中央を貫通して設置され、ヘッド（１３１０）を支持するシャフト（１３３０）を含む。ヘッド（１３１０）は円盤形状を有し、下部表面にはガスを噴出するためのガス噴出口が形成される。
【０１２３】
気化器（１００、２００）は、蒸着工程に用いられるガスを均一な濃度により供給し、これによって本発明による薄膜蒸着装置（１０００）は、微細な線幅を有する電子製品を精密に製造できる。特に、半導体製造工程の間、気化器（１００、２００）は均一な濃度のガスを工程チャンバ（１１００）に供給し、上面と下面の面積が均一なキャパシタを製造でき、キャパシタの静電容量を極大化できる。
【０１２４】
今までの説明は本発明の技術的思想を例示的に説明したものに過ぎず、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者であれば本発明の本質的な特性から逸脱しない範囲において様々な修正及び変形が可能であろう。
【０１２５】
したがって、本発明に開示した実施例は本発明の技術的思想を限定するためではなく説明するためであり、このような実施例によって本発明の技術思想の範囲は限定されない。本発明の保護範囲は、請求の範囲によって解釈されるべきであり、これと同等な範囲内にある全ての技術的思想は本発明の権利範囲に含まれると解釈されなければならない。
【符号の説明】
【０１２６】
１００、２００  気化器
１１０、２１０  本体
１１１、２１１  第１ボディ
１１２  上段部
１１３  下段部
１１６、２１６  第２ボディ
１１７  キャビティ
１２０、２２０  混合室
１３０、１３０ａ、１３０ｂ、２３０  グルーブ
１３１、１３１ａ、１３１ｂ  第１グルーブ
１３２、１３２ａ、１３２ｂ  第２グルーブ
１３３  第３グルーブ
１４０、２４０  キャリアガス注入経路
１４５、２４５  キャリアガス注入口
１４７  キャリアガスの導入フレーム
１５０、２５０  原料注入経路
１５１  分配部
１５３  噴射経路
１５５、２５５  原料注入口
１５７  原料の導入フレーム
１６０、２６０  排出経路
１６１  オリフィス部
１６５、２６５  排出口
１６７  排出フレーム
１７０、２７０  バルブ部
１７１、２７１  ダイアフラム
１７３、２７３  アクチュエータ
１８０  浄化経路
１９０  カートリッジヒータ
１０００  薄膜蒸着装置
１１００  工程チャンバ
１１２０  入出ゲート
１１３０  排気ダクト
１２００  支持部材
１２１０  ステージ
１２３０  テーブル
１２５０  支持柱
１２７０  回転部
１２９０  加熱部材
１３００  噴射部材
１３１０  ヘッド
１３３０  シャフト
１４１０原料供給源
１４２０キャリアガス供給源
【図１】
2017147447.tif 000003
【図２】
2017147447.tif 000004
【図３】
2017147447.tif 000005
【図４】
2017147447.tif 000006
【図５】
2017147447.tif 000007
【図６】
2017147447.tif 000008
【図７】
2017147447.tif 000009
【図８】
2017147447.tif 000010
【図９】
2017147447.tif 000011
【図１０】
2017147447.tif 000012
【図１１】
2017147447.tif 000013
【図１２】
2017147447.tif 000014
【図１３】
2017147447.tif 000015
【図１４】
2017147447.tif 000016
【図１５】
2017147447.tif 000017
【図１６】
2017147447.tif 000018
【図１７】
2017147447.tif 000019
【図１８】
2017147447.tif 000020