(57)【要約】【課題】２回の射出成形部分の境界に生じるクラックが基体中心部に向かって進展することを抑制する。【解決手段】セラミックヒータの製造方法は、（ａ）導電部中間体の生成工程と、（ｂ）第１の部分中間体の射出形成工程と、（ｃ）第２の部分中間体を導電部中間体の露出部分および第１の部分中間体に接して射出形成してセラミックヒータの中間体を形成する工程と、（ｄ）セラミックヒータの中間体の焼成工程と、を備え、工程（ｂ）では、軸線方向に直交する断面をみたときに、工程（ｃ）で第２の部分中間体と接する第１の部分中間体の接触面が、接触面の外側端部における第１の部分中間体の外表面に沿う接線に対して第１の部分中間体の外角が鋭角又は鈍角に交わり、折り返されることなく直接、導電部中間体に接続する直線又は曲線となるように、第１の部分中間体を形成する。【選択図】図８
2017228378.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁性セラミックを含有し軸線方向に延設された基体と、前記基体の内部に埋設され導電性セラミックを含有する導電部であって互いに前記軸線方向に沿って延設された２つの延設部及び前記２つの延設部の先端部同士を接続する連結部を含む導電部と、を有するセラミックヒータの製造方法であって、
（ａ）焼成前の前記導電部である導電部中間体を生成する工程と、
（ｂ）焼成前の前記基体である基体中間体の一部を構成し、前記導電部中間体における焼結前の前記２つの延設部である２つの延設部中間体のそれぞれの一部が埋設された第１の部分中間体を、射出形成する工程と、
（ｃ）前記基体中間体の残部を構成する第２の部分中間体を、前記導電部中間体の露出部分および前記第１の部分中間体に接して射出形成することで、前記基体中間体に前記導電部中間体が埋設された構成を有する前記セラミックヒータの中間体を形成する工程と、
（ｄ）前記セラミックヒータの中間体を焼成する工程と、
を備え、
前記工程（ｂ）では、前記第１の部分中間体における前記軸線方向に直交する断面を見たときに、前記工程（ｃ）において前記第２の部分中間体と接することとなる前記第１の部分中間体の接触面が、前記接触面の外側端部における前記第１の部分中間体の外表面に沿う接線に対して前記第１の部分中間体の外角が鋭角又は鈍角に交わる直線または曲線であり、前記第１の部分中間体の前記外側端部から折り返されることなく、直接、前記導電部中間体に接続する直線又は曲線となるように、前記第１の部分中間体を形成する、
ことを特徴とする、セラミックヒータの製造方法。
【請求項２】
絶縁性セラミックを含有し軸線方向に延設された基体と、前記基体の内部に埋設され導電性セラミックを含有する導電部であって互いに前記軸線方向に沿って延設された２つの延設部及び前記２つの延設部の先端部同士を接続する連結部を含む導電部と、を有するセラミックヒータの製造方法であって、
（ａ）焼成前の前記導電部である導電部中間体を生成する工程と、
（ｂ）焼成前の前記基体である基体中間体の一部を構成し、前記導電部中間体における焼結前の前記２つの延設部である２つの延設部中間体のそれぞれの一部が埋設された第１の部分中間体を、射出形成する工程と、
（ｃ）前記基体中間体の残部を構成する第２の部分中間体を、前記導電部中間体の露出部分および前記第１の部分中間体に接して射出形成することで、前記基体中間体に前記導電部中間体が埋設された構成を有する前記セラミックヒータの中間体を形成する工程と、
（ｄ）前記セラミックヒータの中間体を焼成する工程と、
を備え、
前記工程（ｂ）では、前記第１の部分中間体における前記軸線方向に直交する断面を見たときに、前記工程（ｃ）において前記第２の部分中間体と接することとなる前記第１の部分中間体の接触面が、前記接触面の外側端部における前記第１の部分中間体の外表面に沿う接線に対して前記第１の部分中間体の外角が鋭角又は鈍角に交わる直線又は曲線を有する折返し線であり、前記第１の部分中間体の前記外側端部から前記導電部中間体までの間に、２線のなす角度が鈍角となる２つ以下の折返し部を有する折返し線となるように、前記第１の部分中間体を形成する、
ことを特徴とする、セラミックヒータの製造方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のセラミックヒータの製造方法であって、さらに、
（ｅ）前記工程（ｄ）において得られる焼成後の前記セラミックヒータの中間体の表面を、研磨する工程を備える、
ことを特徴とする、セラミックヒータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、セラミックヒータの製造に関する。
に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ディーゼルエンジンの始動補助等に用いられるグロープラグとして、セラミックヒータを内蔵するグロープラグが用いられている。セラミックヒータの構成として、導電性を有するセラミック製の発熱体（以下、「導電部」と呼ぶ）が、絶縁性を有するセラミック製の基体の内部に埋設された構成が知られている。導電部が基体内部に埋設された構成は、例えば、以下のような工程を経て形成される。まず、焼結前の導電部（以下、「導電部中間体」と呼ぶ）を作製する。次に、第１の上金型および第１の下金型を用いたセラミック材料の射出成形により、焼結前の半割り状の基体の表面から導電部中間体の厚さ方向の半分が露出し、残りが半割り状の基体内部に埋設された状態の中間体（以下、「第１の部分中間体」と呼ぶ）を生成する。次に、第２の上金型および第２の下金型を用いたセラミック材料の射出成形により、第１の部分中間体に対して残りの基体を追加して形成する。このようにして、焼結前の基体（以下、「基体中間体」と呼ぶ）の内部に導電部中間体が埋設された構成の中間体（以下、「セラミックヒータの中間体」と呼ぶ）が得られ、かかるセラミックヒータの中間体を焼結することで、導電部が基体内部に埋設された構成を有するセラミックヒータが形成される（例えば、特許文献１参照）。このように２回の射出成形により基体中間体を形成する方法では、２回目の射出成形時に１回目の射出成形により形成された部分を溶かしながら２回目の射出成形を行なうことで、１回目の射出成形部分と２回目の射出成形部分とが接着される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４９８９７１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述のように、２回の射出成形により基体中間体を形成する方法では、１回目に形成された部分のうち、金型近傍の部分、すなわち基体の表層部は、金型により冷却されてしまうため、２回目の射出成形時に十分に溶かされず、２回目の射出成形部分としっかりと接着されない場合がある。この場合、かかる部分の曲げ強度が他の部分に比べて低くなるため、その後の組み付けの際にかかる部分、特に基体の外表面に位置する外側端部の近傍の表層部にクラックが生じ得る。表層部に生じたクラックが１回目の射出成形部分と２回目の射出成形部分との境界に沿って進展し、セラミックヒータの耐熱性や耐酸化性が大きく低下してしまうという問題がある。かかる問題は、グロープラグに用いられるセラミックヒータに限らず、着火用のヒータ装置や各種センサ装置などに用いられる任意のセラミックヒータを製造する場合にも生じ得る。このため、２回の射出成形部分の境界に生じるクラックが基体の中心部に向かって進展することを抑制可能な技術が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。
【０００６】
（１）本発明の一形態によれば、絶縁性セラミックを含有し軸線方向に延設された基体と、前記基体の内部に埋設され導電性セラミックを含有する導電部であって互いに前記軸線方向に沿って延設された２つの延設部及び前記２つの延設部の先端部同士を接続する連結部を含む導電部と、を有するセラミックヒータの製造方法が提供される。このセラミックヒータの製造方法は、（ａ）焼成前の前記導電部である導電部中間体を生成する工程と；（ｂ）焼成前の前記基体である基体中間体の一部を構成し、前記導電部中間体における焼結前の前記２つの延設部である２つの延設部中間体のそれぞれの一部が埋設された第１の部分中間体を、射出形成する工程と；（ｃ）前記基体中間体の残部を構成する第２の部分中間体を、前記導電部中間体の露出部分および前記第１の部分中間体に接して射出形成することで、前記基体中間体に前記導電部中間体が埋設された構成を有する前記セラミックヒータの中間体を形成する工程と；（ｄ）前記セラミックヒータの中間体を焼成する工程と；を備え、前記工程（ｂ）では、前記第１の部分中間体における前記軸線方向に直交する断面を見たときに、前記工程（ｃ）において前記第２の部分中間体と接することとなる前記第１の部分中間体の接触面が、前記接触面の外側端部における前記第１の部分中間体の外表面に沿う接線に対して前記第１の部分中間体の外角が鋭角又は鈍角に交わる直線または曲線であり、前記第１の部分中間体の前記外側端部から折り返されることなく、直接、前記導電部中間体に接続する直線又は曲線となるように、前記第１の部分中間体を形成する、ことを特徴とする。
この形態のセラミックヒータの製造方法によれば、工程（ｂ）において、第２の部分中間体と接することとなる第１の部分中間体の接触面が、かかる接触面の外側端部における第１の部分中間体の外表面に沿う接線に対して第１の部分中間体の外角が鋭角又は鈍角に交わる直線または曲線となるように第１の部分中間体が形成されるので、外側端部における上記接線に対して直角に交わる直線または曲線となるように第１の部分中間体が形成される構成に比べて、工程（ｃ）の後に、仮に外側端部を起点としてクラックが生じたとしても、かかるクラックが第１の部分中間体の接触面に沿って基体の中心部まで進展することを抑制できる。
【０００７】
その上、この形態のセラミックヒータの製造方法によれば、接触面が、第１の部分中間体の外側端部から折り返すことなく、直接、導電部中間体に接続する直線または曲線となるように、第１の部分中間体が形成される。このため、外側端部から導電部中間体までの間に複数の直線または複数の曲線が折り返されて接続された接触面にて第１の部分中間体が形成される構成に比べて、外側端部から導電部中間体までの間に屈曲した部分を有しないので、かかる部分に射出成形材が行き渡らずに工程（ｄ）において空隙が形成されてしまうことを抑制できる。このため、かかる空隙の存在による基体の強度低下を抑制できる。なお、上述の「第１の部分中間体の外角」とは、外側端部に第１の部分中間体の外表面に接する接線を引いた際に、この接線と接触面を表す直線または曲線とがなす２つの角度のうち、第１の部分中間体が形成される角度とは異なる角度のことを指す。さらに、接線と曲線とがなす角度とは、外側端部に曲線となった接触面に接する接触面側接線を引いて、この接触面側接線と、第１の部分中間体の外表面の接線とがなす角度を指す。また、上述の、「前記第１の部分中間体の前記外側端部から折り返すことなく、直接、前記導電部中間体に接続する直線または曲線」とは、上述したように、外側端部から導電部中間体までの間に複数の直線または複数の曲線が接続された形態は含まず、外側端部から導電部中間体まで１本の直線又は曲線で接続された形態を指す。なお、複数の曲線とは、曲線と曲線とが変曲点で接続された形態も含まれる。
【０００８】
（２）本発明の他の形態によれば、絶縁性セラミックを含有し軸線方向に延設された基体と、前記基体の内部に埋設され導電性セラミックを含有する導電部であって互いに前記軸線方向に沿って延設された２つの延設部及び前記２つの延設部の先端部同士を接続する連結部を含む導電部と、を有するセラミックヒータの製造方法が提供される。このセラミックヒータの製造方法は、（ａ）焼成前の前記導電部である導電部中間体を生成する工程と；（ｂ）焼成前の前記基体である基体中間体の一部を構成し、前記導電部中間体における焼結前の前記２つの延設部である２つの延設部中間体のそれぞれの一部が埋設された第１の部分中間体を、射出形成する工程と；（ｃ）前記基体中間体の残部を構成する第２の部分中間体を、前記導電部中間体の露出部分および前記第１の部分中間体に接して射出形成することで、前記基体中間体に前記導電部中間体が埋設された構成を有する前記セラミックヒータの中間体を形成する工程と；（ｄ）前記セラミックヒータの中間体を焼成する工程と；を備え、前記工程（ｂ）では、前記第１の部分中間体における前記軸線方向に直交する前記断面を見たときに、前記工程（ｃ）において前記第２の部分中間体と接することとなる前記第１の部分中間体の接触面が、前記接触面の外側端部における前記第１の部分中間体の外表面に沿う接線に対して前記第１の部分中間体の外角が鋭角又は鈍角に交わる直線又は曲線を有する折返し線であり、前記第１の部分中間体の前記外側端部から前記導電部中間体までの間に、２線のなす角度が鈍角となる２つ以下の折返し部を有する折返し線となるように、前記第１の部分中間体を形成する、ことを特徴としている。
この形態のセラミックヒータの製造方法によれば、工程（ｂ）において、第２の部分中間体と接することとなる第１の部分中間体の接触面が、かかる接触面の外側端部における第１の部分中間体の外表面に沿う接線に対して第１の部分中間体の外角が鋭角又は鈍角に交わる直線または曲線を有する折返し線となるように、第１の部分中間体が形成されるので、外側端部における上記接線に対して直角に交わる直線または曲線となるように第１の部分中間体が形成される構成に比べて、工程（ｃ）の後に、仮に外側端部を起点としてクラックが生じたとしても、かかるクラックが第１の部分中間体の接触面に沿って基体の中心部まで進展することを抑制できる。
【０００９】
その上、この形態のセラミックヒータの製造方法によれば、接触面が、第１の部分中間体の外側端部から導電部中間体までの間に、２線のなす角度が鈍角となる２つ以上の折返し部を有する折返し線となるように、第１の部分中間体を形成している。このため、２線のなす角度が鋭角となる構成に比べて、２線の交差する部分に、射出成形材が行き渡らずに工程（ｄ）が実行されて空隙が形成されてしまうことを抑制できる。このため、かかる空隙の存在による基体の強度低下を抑制できる。なお、上述の「２線のなす角度が鈍角となる」とは、折り返し線のうち、隣合う２つの線分がそれぞれ直線の場合には、直線同士の間に形成される角度が鈍角となることを指す。また、折り返し線のうち、隣合う２つの線分がそれぞれ曲線の場合には、曲線同士が接続する変曲点における接線と、変曲点に対して他端側の端部（第１の部分中間体の外表面、導電中間体との接続位置等）における接線とがなす角度が鈍角となることを指す。また、折り返し線のうち、隣合う２つの線分が直線と曲線の場合には、直線と、直線と曲線とが接続する変曲点に対して他端側の端部における接線とがなす角度が鈍角となることを指す。
【００１０】
（３）上記形態のセラミックヒータの製造方法において、さらに、（ｅ）前記工程（ｄ）において得られる焼成後の前記セラミックヒータの中間体の表面を、研磨する工程を備える、ことを特徴としてもよい。この形態のセラミックヒータの製造方法によれば、工程（ｄ）において得られる焼成後の前記セラミックヒータの中間体の表面が研磨されるので、仮に焼成後のセラミックヒータの中間体の表層部にクラックが生じていたとしても、かかるクラックを除去できる。このため、その後に他の部品とセラミックヒータとを組みつけた際に、クラックがセラミックヒータの中心部に向かってさらに進展することを抑制でき、セラミックヒータの耐熱性および耐酸化性の低下を抑制できる。
【００１１】
本発明は、セラミックヒータの製造方法以外の種々の形態で実現することも可能である。例えば、セラミックヒータ、グロープラグ、およびグロープラグの製造方法等の形態で実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態としてのセラミックヒータを適用したグロープラグの構成を示す断面図である。
【図２】図１に示すヒータを中心としたグロープラグの部分拡大断面図である。
【図３】グロープラグの製造手順を示す工程表である。
【図４】工程Ｐ１２０の処理内容を模式的に示す説明図である。
【図５】図４に示すＡ−Ａ断面を示す断面図である。
【図６】工程Ｐ１２５の処理内容を模式的に示す説明図である。
【図７】図６に示すＢ−Ｂ断面を示す断面図である。
【図８】セラミックヒータの中間体の断面図である。
【図９】焼成後のセラミックヒータの中間体に生じるクラックの一例を示す断面図である。
【図１０】第２実施形態のセラミックヒータの中間体の断面図である。
【図１１】第３実施形態のセラミックヒータの中間体の断面図である。
【図１２】第４実施形態のセラミックヒータの中間体の断面図である。
【図１３】第１比較例のセラミックヒータの中間体の断面図である。
【図１４】第２比較例のセラミックヒータの中間体の断面図である。
【図１５】変形例のセラミックヒータの中間体の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
Ａ．第１実施形態：
Ａ１．装置構成：
図１は、本発明の一実施形態としてのセラミックヒータを適用したグロープラグの構成を示す断面図である。図１では、グロープラグ１００の軸線Ｃ１を含む断面を示している。なお、後述するセラミックヒータ４（以下、単に「ヒータ４」と呼ぶ）の断面は、図１では模式的に表わされている。グロープラグ１００は、棒状の外観形状を有し、主体金具２と、中軸３と、絶縁部材５と、ピン端子８と、外筒７と、ヒータ４と、電極リング１８とを備えている。なお、図１では、グロープラグ１００の軸線Ｃ１と平行にＸ軸が設定され、Ｘ軸と垂直にＹ軸およびＺ軸が設定されている。以降では、グロープラグ１００において軸線Ｃ１に沿ってヒータ４が設けられている側を、「先端側」と呼び、軸線Ｃ１に沿って中軸３が配置されている側を、「後端側」と呼ぶ。
【００１４】
主体金具２は、軸孔９を備えた略円筒状の外観形状を有する金属製の部材である。主体金具２の外周面において、後端に工具係合部１２が、中央部分に雄ねじ部１１が、それぞれ形成されている。工具係合部１２は、所定の工具と係合可能な外観形状（例えば、六角形状）を有しており、グロープラグ１００が図示しないエンジンのシリンダヘッド等に取り付けられる際に、所定の工具と係合される。雄ねじ部１１は、グロープラグ１００が図示しないエンジンのシリンダヘッドに取り付けられる際に、シリンダヘッドに形成されている雌ネジに螺合する。
【００１５】
中軸３は、金属製の丸棒状の部材であり、後端側の一部が主体金具２の後端から突出するように、主体金具２の軸孔９に収容されている。中軸３の先端側には、電極リング１８の一端が嵌めこまれている。中軸３は、電極リング１８を介してヒータ４と電気的に接続されている。
【００１６】
絶縁部材５は、後端にフランジ部６を有する筒状の外観形状を有し、絶縁性材料により形成されている。絶縁部材５の先端側は、主体金具２の後端側から軸孔９に嵌め込まれており、フランジ部６は、工具係合部１２の後端に接している。絶縁部材５の軸孔には、中軸３の後端側の一部が挿入されており、絶縁部材５は、主体金具２の軸線及び中軸３の軸線がいずれもグロープラグ１００の軸線Ｃ１と一致するように中軸３を固定する。絶縁部材５の後端は、ピン端子８の先端面と接している。絶縁部材５は、主体金具２と中軸３との間、および主体金具２とピン端子８との間を電気的に絶縁する。
【００１７】
ピン端子８は、略円筒状の外観形状を有し、フランジ部６と接した状態で、主体金具２の後端から突出した中軸３の後端部を囲むようにかしめられている。このようにピン端子８がかしめられることにより、中軸３と主体金具２との間に嵌合された絶縁部材５が固定され、中軸３からの絶縁部材５の抜けが防止される。
【００１８】
外筒７は、軸孔１０を有する略円筒状の外観形状の金属製部材であり、主体金具２の先端に接合されている。外筒７の後端側には、厚肉部１５及び係合部１６が形成されている。係合部１６は、厚肉部１５よりも後端側に配置され、外周径が厚肉部１５の外周径よりも小さい。係合部１６は、主体金具２の軸孔９に嵌められている。厚肉部１５は、主体金具２の先端に接するように配置されている。外筒７は、ヒータ４の軸線がグロープラグ１００の軸線Ｃ１と一致するように、軸孔１０においてヒータ４を保持する。
【００１９】
ヒータ４は、先端が曲面である円柱状の外観形状を有し、外筒７の軸孔１０に嵌め込まれている。ヒータ４の先端側の一部は、外筒７から先端側へ突出して図示しない燃焼室内に露出される。ヒータ４の後端側の一部は、外筒７から突出して主体金具２の軸孔９に収容されている。ヒータ４の詳細構成については後述する。ヒータ４は、窒化珪素を主成分とするセラミック系成形材料により成形されている。電極リング１８は、ヒータ４の後端に嵌め込まれている。
【００２０】
図２は、図１に示すヒータを中心としたグロープラグの部分拡大断面図である。なお、図２において図１と同じ構成部には、同じ符号を付してその説明を省略する。ヒータ４は、基体２１及び導電部２２を備えている。基体２１は、絶縁性セラミックにより形成されている。基体２１は、軸線Ｃ１に沿って延設して先端が曲面である略円柱状の外観形状を有する。基体２１の断面であって、少なくとも後述の延設部３１，３２が現れる軸線Ｃ１と垂直な断面の形状は、本実施形態では、略真円である。基体２１の内部には、導電部２２が埋設されている。
【００２１】
導電部２２は、２つの延設部３１，３２と、連結部３３と、２つの電極部２７，２８とを備えている。２つの延設部３１，３２は、それぞれ導電性セラミックからなる棒状の部材であり、基体２１内部に配置されている。２つの延設部３１，３２は、互いに長手方向が平行となるように、また、それぞれの軸線Ｃ１１，Ｃ１２がグロープラグ１００の軸線Ｃ１と平行となるように配置されている。また、２つの延設部３１，３２は、３つの軸線Ｃ１，Ｃ１１，Ｃ１２が、１つの仮想平面上に位置するように配置されている。
【００２２】
延設部３１は、先端側に位置する先端側部位３１１と、後端側に位置して先端側部位３１１に連なる後端側部位３１２とからなる。先端側部位３１１の直径は、後端側部位３１２の直径よりも小さい。後端側部位３１２の後端寄りの位置には、電極部２７が配置されている。電極部２７は、後端側部位３１２と一体形成され、外周方向に突出して形成されている。電極部２７において、後端側部位３１２に連なる側とは反対側の端部は、基体２１の表面に露出して電極リング１８の内周面に接している。このようにして、電極リング１８と延設部３１とが電気的に接続される。
【００２３】
他方の延設部３２も、延設部３１と同様な構成を有する。すなわち、延設部３２は、先端側部位３２１と後端側部位３２２とからなり、後端側部位３２２の後端寄りの位置に、電極部２８を備える。電極部２８において、後端側部位３２２に連なる側とは反対側の端部は、基体２１の表面に露出して外筒７の内周面に接している。このようにして、外筒７と延設部３２とが電気的に接続される。
【００２４】
連結部３３は、略Ｙ軸方向に延設し、先端側部位３１１の先端および先端側部位３２１の先端に、それぞれ連なる。連結部３３の直径は、先端側部位３１１の直径および先端側部位３２１の直径と略等しい。
【００２５】
上述の延設部３１、延設部３２、および連結部３３からなる導電部２２の構成は、以下のように言い換えることができる。すなわち、導電部２２は、２つの後端側部位３１２，３２２からなる直径の比較的大きな２つのリード部３１２，３２２と、２つの先端側部位３１１，３２１および連結部３３からなる直径が比較的小さな発熱部３５とを備える。以降では、２つのリード部を、２つの後端側部位３１２，３２２の符号を用いて、２つのリード部３１２，３２２とも呼ぶ。
【００２６】
２つのリード部３１２，３２２は、いずれも発熱部３５に連なり、発熱部３５に電流を導く。上述のように発熱部３５の直径は、２つのリード部３１２，３２２の直径に比べて小さいため発熱し易い。ヒータ４は、ピン端子８、中軸３、および電極リング１８を介して供給される電流を、電極部２７，２８、２つのリード部３１２，３２２を介して発熱部３５に導き発熱部３５を発熱させることで昇温する。発熱部３５は、使用時において、例えば１０００℃以上の温度まで昇温する。
【００２７】
Ａ２．グロープラグ１００の製造方法：
図３は、グロープラグ１００の製造手順を示す工程表である。まず、導電部２２の成形材料が作製され（工程Ｐ１０５）、基体２１の成形材料が作製される（工程Ｐ１１０）。なお、これら２つの工程Ｐ１０５，Ｐ１１０は、この順序とは逆の順序で実行されてもよい。また、これら２つの工程Ｐ１０５，Ｐ１１０は、同時に実行されてもよい。本実施形態において、導電部２２の成形材料は、セラミックを主成分とする粉状体であり、例えば、窒化珪素とタングステンカーバイトと焼結助剤と水とを混合することによって、スラリーが生成される。生成されたスラリーからスプレードライによって粉末が形成される。生成された粉末とバインダ等をニーダー（混練機）を用いて混練し、その後ペレット化することによって、導電部２２の成形材料を作製することができる。本実施形態では、バインダは、特に限定されるものではなく、例えば、ポリプロピレン等のバインダ、ワックス、可塑剤及び分散剤等を、１種又は２種以上を混合して用いることができる。焼結助剤は、例えば、希土類元素の他、アルミナやモリブデンの酸化物（ＭｏＯ３）、タングステンの酸化物（ＷＯ３）等を含んでもよい。
【００２８】
本実施態様において、基体２１の成形材料は、セラミックを主成分とする粉状体であり、例えば、窒化珪素と焼結助剤と水とを混合することによって、スラリーが形成される。生成されたスラリーからスプレードライによって、粉末が形成される。形成された粉末とバインダ等とをニーダー（混練機）を用いて混練し、その後ペレット化することによって基体２１の成形材料を作製することができる。バインダおよび焼結助剤は、上述した導電部２２の焼結助剤と同様である。
【００２９】
導電部中間体２００を、工程Ｐ１０５で得られた成形材料を用いて射出成形にて作製する（工程Ｐ１１５）。本実施形態において、「導電部中間体２００」とは、後述する脱脂および焼成工程を経て導電部２２となる部材を意味する。なお、射出成形に代えて、粉末プレス成形、シート積層成形、および鋳込み成形等の任意の成形方法により、導電部中間体２００を作製してもよい。
【００３０】
工程Ｐ１１５で得られた導電部中間体２００の片面側に、後述する脱脂および焼成工程を経て基体２１の半割りの部位となる第１の部分中間体２８０を成形する（工程Ｐ１２０）。導電部中間体２００の他方の面側に、後述する脱脂および焼成工程を経て基体２１の半割りの部位となる第２の部分中間体２９０を形成して、セラミックヒータの中間体９００を得る（工程Ｐ１２５）。工程Ｐ１２０，Ｐ１２５では、いずれも工程Ｐ１１０で得られた成形材料を用いた射出成形により実行される。
【００３１】
図４は、工程Ｐ１２０の処理内容を模式的に示す説明図である。図４に示すように、工程Ｐ１２０では、まず、導電部中間体２００を下金型４００に形成されたキャビティ４２０内に配置し、次に、導電部中間体２００の上半分を覆うように上金型５００を配置する。導電部中間体２００は、導電部２２とほぼ相似形の外観形状を有する。すなわち、導電部中間体２００は、延設部３１に対応する延設部中間体２１２と、延設部３２に対応する延設部中間体２２２と、連結部３３に対応する連結部中間体２３３と、２つの電極部２７，２８に対応する２つの電極中間体２２７，２２８とを備えている。２つの延設部中間体２１２，２２２は、後述する脱脂、焼成、研磨および切断等の工程を経て２つの延設部３１，３２となる。同様に、連結部中間体２３３および２つの電極中間体２２７，２２８は、それぞれ、後述する脱脂、焼成、研磨および切断等の工程を経て、連結部３３および２つの電極部２７，２８になる。また、導電部中間体２００は、後端連結部２５０を備えている。後端連結部２５０は、導電部中間体２００において、連結部中間体２３３とは反対側において、２つの延設部中間体２１２，２２２の端部同士を連結する。後端連結部２５０は、２つの延設部中間体２１２，２２２の相対的な位置がずれることを抑制して、導電部中間体２００の取扱いを容易にするために設けられている。
【００３２】
下金型４００に形成されたキャビティ４２０は、導電部中間体２００の下半分が収容可能な形状に形成されている。下金型４００には、上述のキャビティ４２０に加えて、キャビティ４２０の内側に形成された第１平面部Ｓｆ１０、キャビティ４２０に連なりキャビティ４２０の外側に位置する第２平面部Ｓｆ１３および第３平面部Ｓｆ２３、第３平面部Ｓｆ２３に連なり第３平面部Ｓｆ２３の外側に位置して外側に向かうにつれて上方に向かう第２斜面部Ｓｆ２２、および、第２斜面部Ｓｆ２２の外縁に連なり第２斜面部Ｓｆ２２の外側に位置する第５平面部Ｓｆ２１が形成されている。また、下金型４００には、図示しない第１斜面部（後述の第１斜面部Ｓｆ１２）および第４平面部Ｓｆ１１が形成されている。第１斜面部は、第２平面部Ｓｆ１３に連なり第２平面部Ｓｆ１３の外側に位置して外側に向かうにつれて上方に向かう面を有する。第４平面部Ｓｆ１１は、第１斜面部の外縁に連なり第１斜面部の外側に位置する。
【００３３】
上金型５００は、下金型４００との合わせ面側が開口した中空の直方体状の外観形状を有する。上金型５００には、図示しない略半円筒状のキャビティが形成されている。上金型５００の長手方向の一方の端面５９０には、成形材料を上金型５００の内部に充填するための射出孔が設けられている。上述のように導電部中間体２００、下金型４００、および上金型５００を配置した後、上金型５００内に工程Ｐ１１０で得られた成形材料を射出して、第１の部分中間体２８０を、導電部中間体２００の片側面側（図４における上方面側）に成形する。この第１の部分中間体２８０には、導電部中間体２００の片面側（図４における上方面側）が埋設される。
【００３４】
図５は、図４に示すＡ−Ａ断面を示す断面図である。図５では、工程Ｐ１２０実行時における導電部中間体２００（より正確には、延設部中間体２１２，２２２）、下金型４００、上金型５００、および第１の部分中間体２８０の断面を表している。Ａ−Ａ断面は、導電部中間体２００の図示しない軸線と直交する断面である。
【００３５】
下金型４００は、第４平面部Ｓｆ１１および第５平面部Ｓｆ２１において上金型５００と接して配置されている。下金型４００と上金型５００とが合わせられることにより、上金型５００と下金型４００との間には、上金型５００のキャビティ５１０の略円筒状の内周面と、下金型４００の３つの平面部Ｓｆ１０，Ｓｆ１３，Ｓｆ２３と、下金型４００の２つの斜面部Ｓｆ１２，Ｓｆ２２と、導電部中間体２００（延設部中間体２１２，２２２）の上方半分の外周表面とで囲まれた略密閉空間が形成される。かかる空間に工程Ｐ１１０で得られた成形材料が射出されることで、導電部中間体２００の上半分が埋設された状態の第１の部分中間体２８０が形成される。
【００３６】
図６は、工程Ｐ１２５の処理内容を模式的に示す説明図である。図５に示すように、工程Ｐ１２５では、まず、工程Ｐ１２０で得られた導電部中間体２００の厚さ方向の半分が埋設された状態の第１の部分中間体２８０を上下反転させ、下金型６００に形成されたキャビティ６２０内に配置する。キャビティ６２０は、略円筒状の内周面を有する。キャビティ６２０の内周面の一部は、第１の部分中間体２８０の外周面と略同一の形状を有する。したがって、キャビティ６２０に収容された第１の部分中間体２８０の下方の外周面（円筒状の部分）は、キャビティ６２０の内周面と接触する。次に、第１の部分中間体２８０から露出した導電部中間体２００の上方の半分を覆うように上金型８００を配置する。
【００３７】
上金型８００は、下金型６００との合わせ面側が開口した中空の直方体状の外観形状を有する。上金型８００には、略半円筒状の内周面を有する図示しないキャビティが形成されている。上金型８００の長手方向の一方の端面８９０には、成形材料を上金型８００の内部に充填するための射出孔が設けられている。上述のように導電部中間体２００および第１の部分中間体２８０、下金型６００、および上金型８００を配置した後、上金型８００内に工程Ｐ１１０で得られた成形材料を射出して、第２の部分中間体２９０を、第１の部分中間体２８０に接して形成する。これにより、基体中間体に導電部中間体２００が埋設された構成を有するセラミックヒータの中間体９００が形成される。なお、工程Ｐ１２５では、高温状態の成形材料が射出される。このため、第１の部分中間体２８０のうちの表層部分は射出される成形材料によって溶かされ、第１の部分中間体２８０と第２の部分中間体２９０とが互いに接着することとなる。
【００３８】
図７は、図６に示すＢ−Ｂ断面を示す断面図である。図７では、工程Ｐ１２５実行時における第１の部分中間体２８０、下金型６００、上金型８００、および第２の部分中間体２９０の断面を表している。Ｂ−Ｂ断面は、導電部中間体２００（より正確には、延設部中間体２１２，２２２）および第１の部分中間体２８０の図示しない軸線と直交する断面である。
【００３９】
図７に示すように、工程Ｐ１２５では、下金型６００においてキャビティ６２０に連なりキャビティ６２０の外側に形成された平面部と、上金型８００においてキャビティ８１０に連なりキャビティ８１０の外側に形成された平面部とが、互いに接するように下金型６００と上金型８００とが合わせられる。これにより、第１の部分中間体２８０の上面と、導電部中間体２００（より正確には、延設部中間体２１２，２２２）の上方半分の外周表面と、キャビティ６２０の一部と、キャビティ８１０とで囲まれた略密閉空間が形成される。かかる空間に工程Ｐ１１０で得られた成形材料が射出されることで、導電部中間体２００全体が第１の部分中間体２８０と第２の部分中間体２９０とに埋設された状態のセラミックヒータの中間体９００が形成される。本実施形態において、「セラミックヒータの中間体９００」とは、後述する脱脂、焼成、研磨および切断等の工程を経てヒータ４となる部材を意味する。
【００４０】
図８は、セラミックヒータの中間体９００の断面図である。図８では、図７のＢ−Ｂ断面と同じ位置でのセラミックヒータの中間体９００の断面を示している。
【００４１】
図８では、第１の部分中間体２８０における第２の部分中間体２９０との接触面Ｓｆ４を太い実線で表している。なお、実際には、第１の部分中間体２８０における第２の部分中間体２９０との接触面、すなわち、第１の部分中間体２８０と第２の部分中間体２９０との境界面は分かりづらい。
【００４２】
接触面Ｓｆ４は、第１平面部Ｓｆ４０と、第２平面部Ｓｆ４３、第３平面部Ｓｆ４５、第１斜面部Ｓｆ４２、および第２斜面部Ｓｆ４４からなる。第１平面部Ｓｆ４０は、延設部中間体２１２と延設部中間体２２２との間に位置し、中間体９００の中心点ｐｘを含む。第１平面部Ｓｆ４０は、上述の下金型４００の第１平面部Ｓｆ１０により形成される。第２平面部Ｓｆ４３は、第１平面部Ｓｆ４０と平行な面からなり、一方の端部が延設部中間体２１２に連なり、他方の端部が第１斜面部Ｓｆ４２に連なる。第２平面部Ｓｆ４３は、下金型４００の第２平面部Ｓｆ１３により形成される。第１斜面部Ｓｆ４２は、一方の端部が第２平面部Ｓｆ４３と連なり、他方の端部（外側端部ｐ１）がセラミックヒータの中間体９００の外表面に位置する。外側端部ｐ１は、第１斜面部Ｓｆ４２の端部であるとともに接触面Ｓｆ４全体における端部でもある。第１斜面部Ｓｆ４２は、下金型４００の第１斜面部Ｓｆ１２により形成される。
【００４３】
ここで、第１斜面部Ｓｆ４２と、外側端部ｐ１における第１の部分中間体２８０の外表面に沿う接線Ｌ１との間の角度θ１は、鋭角である。換言すると、第１の部分中間体２８０における軸線方向に直交する断面を見た時に、第２の部分中間体２９０と接することとなる第１の部分中間体２８０の接触面Ｓｆ４が、接触面Ｓｆ４の外側端部ｐ１における第１の部分中間体２８０の外表面に沿う接線Ｌ１に対して第１の部分中間体２８０の外角が鋭角に交わる直線（第１斜面部Ｓｆ４２）を有する。このような構成により、第１斜面部Ｓｆ４２を延長させた場合の仮想的な面（断面において仮想的な線として現れる面）は、中間体９００の中心点ｐｘを通らないこととなる。
【００４４】
また、第１斜面部Ｓｆ４２と第２平面部Ｓｆ４３との間の角度θ２は、９０°以上である。換言すると、第１の部分中間体２８０における軸線方向に直交する断面を見た時に、接触面Ｓｆ４が、第１の部分中間体２８０の外側端部ｐ１から導電部中間体２００（より正確には、延設部中間体２１２）までの間に、第１斜面部Ｓｆ４２と第２平面部Ｓｆ４３とがなす角度が鈍角となる折り返し部Ｓｒ１を有する。つまり、第１斜面部Ｓｆ４２と第２平面部Ｓｆ４３とが、「折返し線」に相当する。
【００４５】
上述の第１斜面部Ｓｆ４２および第２平面部Ｓｆ４３の構成は、図５に示すように、下金型４００の形状がかかる構成となるように予め設定されていることにより実現される。
【００４６】
なお、第２斜面部Ｓｆ４４および第３平面部Ｓｆ４５の構成は、上述した第１斜面部Ｓｆ４２および第２平面部Ｓｆ４３の構成と同様である。すなわち、第１の部分中間体２８０における軸線方向に直交する断面を見た時に、第２の部分中間体２９０と接することとなる第１の部分中間体２８０の接触面Ｓｆ４が、接触面Ｓｆ４の外側端部ｐ２における第１の部分中間体２８０の外表面に沿う図示しない接線に対して第１の部分中間体２８０の外角が鋭角に交わる直線（第２斜面部Ｓｆ４４）を有する。また、第１の部分中間体２８０における軸線方向に直交する断面を見た時に、接触面Ｓｆ４が、第１の部分中間体２８０の外側端部ｐ２から導電部中間体２００（より正確には、延設部中間体２２２）までの間に、第２斜面部Ｓｆ４４と第３平面部Ｓｆ４５とがなす角度が鈍角となる折り返し部Ｓｒ２を有する。つまり、第２斜面部Ｓｆ４４と第３平面部Ｓｆ４５とが、「折返し線」に相当する。
【００４７】
図３に示すように、工程Ｐ１２５においてセラミックヒータの中間体９００が得られると、セラミックヒータの中間体９００の脱脂が実行される（工程Ｐ１３０）。セラミックヒータの中間体９００には、バインダが含まれているので、加熱（仮焼成）することにより、かかるバインダが取り除かれる。例えば、セラミックヒータの中間形成体９００を、窒素雰囲気中にて８００℃で６０分加熱してもよい。工程Ｐ１３０の後、本焼成が実行される（工程Ｐ１３５）。かかる本焼成では、工程Ｐ１３０のいわゆる仮焼成に比べて、高温で加熱が行なわれる。例えば、最高１８００℃程度まで昇温されるように加熱される。これにより、セラミックヒータの中間体１０００が形成される。
【００４８】
本焼成の後、研磨加工及び切断加工が実行される（工程Ｐ１４０）。研磨加工により、電極部２７，２８が基体２１の表面から露出する。また、切断加工により、工程Ｐ１３５により得られた焼成体の後端部、すなわち、後端連結部２５０に相当する部分が取り除かれる。
【００４９】
図９は、焼成後のセラミックヒータの中間体１０００に生じるクラックの一例を示す断面図である。図９では、図８と同じ位置におけるセラミックヒータの中間体１０００の断面を示す。上述のように工程Ｐ１２５では、既に形成されている第１の部分中間体２８０の表層部分を溶かしながら第２の部分中間体２９０が形成されるため、第１の部分中間体２８０と第２の部分中間体２９０とが互いに接着する。しかしながら、金型６００，８００の近傍すなわち、第１の部分中間体２８０の端部ｐ１、ｐ２の近傍では、金型によって熱が奪われ、第１の部分中間体２８０と第２の部分中間体２９０との接着が不十分になるおそれがある。この場合、脱脂（工程Ｐ１３０）、本焼成（工程Ｐ１３５）を経て、研磨工程（工程Ｐ１４０）において、接着が不十分な部分においてクラックが生じるおそれがある。図９の例では、外側端部ｐ１を起点としたクラックＣＫ１が焼成後の第２の部分中間体２９０に生じている。
【００５０】
この際、クラックＣＫ１は、外側端部ｐ１から中心点ｐｘに向かって進展せず、外側端部ｐ１近傍の外表面に向かって進展している。これは、以下の理由によるものと推測される。すなわち、外側端部ｐ１から中心点ｐｘに向かう方向に存在する第１の部分中間体２８０および導電部中間体２００の体積は、外側端部ｐ１からセラミックヒータの中間体１０００の外表面に向かう方向に存在する基体中間体の体積よりも少ない。このため、外側端部ｐ１からセラミックヒータの中間体１０００の外表面に向かう側の剛性がより低く、より低い剛性の部分にクラックが進展したものと推測される。ここで、本実施形態では、図９に示す研磨代Ｇ１だけ、工程Ｐ１４０においてセラミックヒータの中間体１０００の表面が研磨される。したがって、研磨後のセラミックヒータ４の表面は破線で示す面Ｌ１１で示す面となる。クラックＣＫ１は、研磨代Ｇ１内に含まれているので、仮に、脱脂（工程Ｐ１３０）、本焼成（工程Ｐ１３５）を経て、研磨工程（工程Ｐ１４０）において、クラックＣＫ１が発生および進展したとしても研磨後（工程Ｐ１４０の後）のセラミックヒータ４からはクラックＣＫ１は除去されることなる。
【００５１】
なお、仮に、端部ｐ１を起点として生じたクラックが、第１斜面部Ｓｆ４２に沿って進展したとしても、第１斜面部Ｓｆ４２を延長させた場合の仮想的な面（断面において仮想的な線として現れる面）は、ヒータ４の中間体９００の中心点ｐｘを通らないので、クラックは中心点ｐｘに向かって進展しない。加えて、第１斜面部Ｓｆ４２の延びる方向に導電部中間体２００が配置されていないため（第１斜面部Ｓｆ４２の延びる方向と導電部中間体２００とがずれているため）、第１斜面部Ｓｆ４２を延長させた場合の仮想的な面は、延設部中間体２１２，２２２を含まないので、クラックは延設部中間体２１２，２２２に達することもない。このため、基体２１の中心部までクラックの進展が進んだために基体２１の耐熱性および耐酸化性が大きく低下することを抑制できる。加えて、クラックが延設部中間体２１２，２２２に達したことにより、完成後のグロープラグ１００において、リード部３１２，３２２に達するクラックが存在し、かかるクラックに起因して導電部２２の耐熱性および耐酸化性が大きく低下することを抑制できる。
【００５２】
上述した工程Ｐ１０５〜Ｐ１４０により、ヒータ４が完成する。その後、図３に示すように、図１に示すグロープラグ１００の各構成部が組みつけられ（工程Ｐ１４５）、グロープラグ１００が完成する。なお、主体金具２等の各構成部の製造方法としては、公知の方法を採用できる。上述の工程Ｐ１０５〜Ｐ１４０は、ヒータ４の製造方法に相当する。
【００５３】
以上説明した第１実施形態のセラミックヒータ４によれば、工程Ｐ１２０、すなわち、第１の部分中間体２８０が成形される際に、第１の部分中間体２８０における軸線方向に直交する断面を見た時に、第２の部分中間体２９０と接することとなる第１の部分中間体２８０の接触面Ｓｆ４が、接触面Ｓｆ４の外側端部ｐ１，ｐ２における第１の部分中間体２８０の外表面に沿う接線（接線Ｌ１）に対して第１の部分中間体２８０の外角が鋭角に交わる直線（第１斜面部Ｓｆ４２および第２斜面部Ｓｆ４４）を有する折返し線（第１斜面部Ｓｆ４２と第２平面部Ｓｆ４３、又は第２斜面部Ｓｆ４４と第３平面部Ｓｆ４５）となるように、第１の部分中間体２８０が形成されるので、接線（接線Ｌ１）に対して垂直に交わる直線または曲線を接触面Ｓｆ４が有するように第１の部分中間体２８０が形成される構成に比べて、工程Ｐ１２５の後に、仮に外側端部ｐ１，ｐ２の近傍においてクラックが生じたとしても、基体２１の中心のより近い位置までクラックが進展することを抑制できる。
【００５４】
加えて、工程Ｐ１２０では、接触面Ｓｆ４が、第１の部分中間体２８０の外側端部ｐ１、ｐ２から導電部中間体２００までの間に、２線（第１斜面部Ｓｆ４２と第２平面部Ｓｆ４３、又は第２斜面部Ｓｆ４４と第３平面部Ｓｆ４５）がなす角度が鈍角となる折り返し部Ｓｆ１、Ｓｆ２を有する折返し線となるように、第１の部分中間体を形成している。このため、２線のなす角度が鋭角となる構成に比べて、工程Ｐ１２０において、これらの折り返し部Ｓｒ１，Ｓｒ２に相当する部分に成形材料が行き渡らなくなることを抑制できる。その結果、本焼成後において、かかる部分に空隙が形成されていることを抑制でき、かかる空隙の存在による基体２１の強度低下を抑制できる。
【００５５】
また、工程Ｐ１４０では、本焼成後のセラミックヒータの中間体１０００の表面を研磨するので、仮にセラミックヒータの中間体１０００の表層部にクラックが生じても、かかるクラックを取り除くことができる。
【００５６】
Ｂ．第２実施形態：
図１０は、第２実施形態のセラミックヒータの中間体９００ａの断面図である。図１０では、図８に示す第１実施形態のセラミックヒータの中間体９００の断面図と同じ位置での断面を示している。図１０では、図８と同様に、第１の部分中間体２８０ａにおける第２の部分中間体２９０ａとの接触面Ｓｆ５を、太い実線で表している。
【００５７】
第２実施形態のヒータは、工程Ｐ１２５で形成されるヒータの中間体９００ａの構造において、第１実施形態のヒータ４と異なり、その他の構成は、第１実施形態のヒータ４と同じである。また、第２実施形態のヒータは、第１実施形態のヒータ４と同じ製造方法（図３に示す工程表に従った製造方法）により製造される。
【００５８】
図１０に示すように、第２実施形態のヒータの中間体９００ａは、接触面Ｓｆ４に代えて接触面Ｓｆ５を有する点と、第１の部分中間体２８０に代えて第１の部分中間体２８０ａを有する点と、第２の部分中間体２９０に代えて第２の部分中間体２９０ａを有する点とにおいて、第１実施形態のセラミックヒータの中間体９００と異なる。その他の構成は、第１実施形態のセラミックヒータの中間体９００と同じであるので、同一の構成要素には同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００５９】
接触面Ｓｆ５は、第１斜面部Ｓｆ４２および第２平面部Ｓｆ４３に代えて、第１斜面部Ｓｆ５１を有する点と、第２斜面部Ｓｆ４４および第３平面部Ｓｆ４５に代えて、第２斜面部Ｓｆ５２を有する点とにおいて、第１実施形態の接触面Ｓｆ４と異なる。その他の構成（すなわち、第１平面部Ｓｆ４０）は、第１実施形態の接触面Ｓｆ４と同じであるので、同一の構成要素には同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００６０】
第１斜面部Ｓｆ５１は、一方の端部が延設部中間体２１２と接し、他方の外側端部ｐ１１がセラミックヒータの中間体９００ａの外周表面に位置する平面からなる。この第１斜面部Ｓｆ５１と、外側端部ｐ１１における接線Ｌ２との間の第１の部分中間体２８０ａの外角θ３は鋭角である。
【００６１】
同様に、第２斜面部Ｓｆ５２は、一方の端部が延設部中間体２１２と接し、他方の外側端部ｐ１２がセラミックヒータの中間体９００ａの外周表面に位置する平面からなる。また、第２斜面部Ｓｆ５２と、端部ｐ１２における図示しない接線との間の第１の部分中間体２８０ａの外角は鋭角である。
【００６２】
このような接触面Ｓｆ５の構成は、以下のように言い換えることができる。すなわち、第１の部分中間体２８０ａにおける軸線方向に直交する断面を見た時に、第２の部分中間体２９０ａと接することとなる第１の部分中間体２８０ａの接触面Ｓｆ５が、接触面Ｓｆ５の外側端部ｐ１１、ｐ１２における第１の部分中間体２８０ａの外表面に沿う接線Ｌ２に対して第１の部分中間体２８０ａの外角が鋭角に交わる直線（第１斜面部Ｓｆ５１、第２斜面部Ｓｆ５２）を有する。また、第１の部分中間体２８０ａにおける軸線方向に直交する断面を見た時に、接触面Ｓｆ５が、第１の部分中間体２８０ａの外側端部ｐ１１、ｐ１２から直接、導電部中間体２００に接続する直線を有する。このような接触面Ｓｆ５の構成は、第１実施形態と同様に、工程Ｐ１２０で用いられる下金型４００の形状の設定により実現できる。
【００６３】
なお、第１の部分中間体２８０ａおよび第２の部分中間体２９０ａは、上述した接触面Ｓｆ４に対する接触面Ｓｆ５の構成に相違に起因して、第１実施形態の第１の部分中間体２８０および第２の部分中間体２９０と外観形状において異なり、その他の構成は第１実施形態の第１の部分中間体２８０および第２の部分中間体２９０と同じであるので、その詳細な説明を省略する。
【００６４】
以上の構成を有する第２実施形態のヒータは、工程Ｐ１２０、すなわち、第１の部分中間体２８０ａが形成される際に、第１の部分中間体２８０ａにおける軸線方向に直交する断面を見たときに、第２の部分中間体２９０ａと接することとなる第１の部分中間体２８０ａの接触面Ｓｆ５が、接触面Ｓｆ５の外側端部ｐ１１、ｐ１２における第１の部分中間体２８０ａの外表面に沿う接線（接線Ｌ２）に対して第１の部分中間体２８０ａの外角が鋭角に交わり外側端部ｐ１１、ｐ１２を含む直線（第１斜面部Ｓｆ５１および第２斜面部Ｓｆ５２）を有するように、第１の部分中間体２８０ａが形成されるので、接線（接線Ｌ２）に対して垂直に交わり、外側端部ｐ１１、ｐ１２を含む直線または曲線を接触面Ｓｆ５が有するように第１の部分中間体２８０ａが形成される構成に比べて、工程Ｐ１２５の後に、仮に外側端部ｐ１１、ｐ１２の近傍においてクラックが生じたとしても、基体２１の中心のより近い位置までクラックが進展することを抑制できる。
【００６５】
加えて、工程Ｐ１２０において、接触面Ｓｆ５が、第１の部分中間体２８０ａの外側端部ｐ１１、ｐ１２から直接、導電部中間体２００に接続する直線（第１斜面部Ｓｆ５１および第２斜面部Ｓｆ５２）となるように、第１の部分中間体２８０ａが形成される。これにより、端部ｐ１１，ｐ１２から導電部中間体２００までの間に複数の直線または複数の曲線を有するように第１の部分中間体が形成される構成に比べて、端部ｐ１１，ｐ１２から導電部中間体２００までの間に屈曲した部分を有しないので、かかる部分に射出成形材が行き渡らずに工程Ｐ１３０（脱脂）または工程Ｐ１３５（本焼成）において空隙が形成されてしまうことを抑制できる。このため、かかる空隙の存在による基体２１の強度低下を抑制できる。
【００６６】
Ｃ．第３実施形態：
図１１は、第３実施形態のセラミックヒータの中間体９００ｂの断面図である。図１１では、図８に示す第１実施形態のセラミックヒータの中間体９００の断面図と同じ位置での断面を示している。図１１では、図８と同様に、第１の部分中間体２８０ｂにおける第２の部分中間体２９０ｂとの接触面Ｓｆ６を、太い実線で表している。
【００６７】
第３実施形態のヒータは、工程Ｐ１２５で形成されるヒータの中間体９００ｂの構造において、第１実施形態のヒータ４と異なり、その他の構成は、第１実施形態のヒータ４と同じである。また、第３実施形態のヒータは、第１実施形態のヒータ４と同じ製造方法（図３に示す工程表に従った製造方法）により製造される。
【００６８】
図１１に示すように、第３実施形態のヒータの中間体９００ｂは、接触面Ｓｆ４に代えて接触面Ｓｆ６を有する点と、第１の部分中間体２８０に代えて第１の部分中間体２８０ｂを有する点と、第２の部分中間体２９０に代えて第２の部分中間体２９０ｂを有する点とにおいて、第１実施形態のセラミックヒータの中間体９００と異なる。その他の構成は、第１実施形態のセラミックヒータの中間体９００と同じであるので、同一の構成要素には同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００６９】
接触面Ｓｆ６は、第１斜面部Ｓｆ４２および第２平面部Ｓｆ４３に代えて、第１曲面部Ｓｆ６１を有する点と、第２斜面部Ｓｆ４４および第３平面部Ｓｆ４５に代えて、第２曲面部Ｓｆ６２を有する点とにおいて、第１実施形態の接触面Ｓｆ４と異なる。その他の構成（すなわち、第１平面部Ｓｆ４０）は、第１実施形態の接触面Ｓｆ４と同じであるので、同一の構成要素には同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００７０】
第１曲面部Ｓｆ６１は、一方の端部が延設部中間体２１２と接し、他方の外側端部ｐ２１がセラミックヒータの中間体９００ｂの外周表面に位置する曲面からなる。かかる曲面は、図１１に示す断面を見たときに、外側端部ｐ２１における第１曲面部Ｓｆ６１に沿う接線Ｌ６１を有する曲線と、延設部中間体２１２と第１曲面部Ｓｆ６１との交点ｐ２３における第１曲面部Ｓｆ６１に沿う接線Ｌ６２を有する曲線とからなる。これら２つの接線Ｌ６１，Ｌ６２は互いに９０°以上の角度で交わっている。第１曲面部Ｓｆ６１（より詳細には、接線Ｌ６１）と、外側端部ｐ２１における接線Ｌ３との間の第１の部分中間体２８０ｂの外角θ４は鋭角である。
【００７１】
同様に、第２曲面部Ｓｆ６２は、一方の端部が延設部中間体２２２と接し、他方の外側端部ｐ２２がセラミックヒータの中間体９００ｂの外周表面に位置する曲面からなる。かかる曲面は、図１１に示す断面を見たときに、外側端部ｐ２２における第２曲面部Ｓｆ６２に沿う接線Ｌ６３を有する曲線と、延設部中間体２２２と第２曲面部Ｓｆ６２との交点ｐ２４における第２曲面部Ｓｆ６２に沿う接線Ｌ６４を有する曲線とからなる。これら２つの接線Ｌ６３，Ｌ６４は互いに９０°以上の角度で交わっている。第２曲面部Ｓｆ６２（より詳細には、接線Ｌ６３）と、端部ｐ２２における接線との間の第１の部分中間体２８０ｂの外角は鋭角である。
【００７２】
このような接触面Ｓｆ６の構成は、以下のように言い換えることができる。すなわち、第１の部分中間体２８０ｂにおける軸線方向に直交する断面を見たときに、第２の部分中間体２９０ｂと接することとなる第１の部分中間体２８０ｂの接触面Ｓｆ６が、接触面Ｓｆ６の外側端部ｐ２１、ｐ２２における第１の部分中間体２８０ｂの外表面に沿う接線Ｌ３に対して第１の部分中間体２８０ｂの外角が鋭角に交わる曲線（第１曲面部Ｓｆ６１、第２曲面部Ｓｆ６２）を有する。また、第１の部分中間体２８０ｂにおける軸線方向に直交する断面を見た時に、接触面Ｓｆ６が、第１の部分中間体２８０ｂの外側端部ｐ２１、ｐ２２から直接、導電部中間体２００に接続する曲線を有する。このような接触面Ｓｆ６の構成は、第１実施形態と同様に、工程Ｐ１２０で用いられる下金型４００の形状の設定により実現できる。
【００７３】
なお、第１の部分中間体２８０ｂおよび第２の部分中間体２９０ｂは、上述した接触面Ｓｆ４に対する接触面Ｓｆ６の構成に相違に起因して、第１実施形態の第１の部分中間体２８０および第２の部分中間体２９０と外観形状において異なり、その他の構成は第１実施形態の第１の部分中間体２８０および第２の部分中間体２９０と同じであるので、その詳細な説明を省略する。
【００７４】
以上の構成を有する第３実施形態のヒータは、工程Ｐ１２０、すなわち、第１の部分中間体２８０ｂが成形される際に、第１の部分中間体２８０ｂにおける軸線方向に直交する断面を見たときに、第２の部分中間体２９０ｂと接することとなる第１の部分中間体２８０ｂの接触面Ｓｆ６が、接触面Ｓｆ６の外側端部ｐ２１，ｐ２２における第１の部分中間体２８０ｂの外表面に沿う接線（接線Ｌ３）に対して第１の部分中間体２８０ｂの外角が鋭角に交わり外側端部ｐ２１，ｐ２２を含む曲線（第１曲面部Ｓｆ６１および第２曲面部Ｓｆ６２）を有するように、第１の部分中間体２８０ｂが形成されるので、接線（接線Ｌ３）に対して垂直に交わり外側端部ｐ２１，ｐ２２を含む直線または曲線を接触面Ｓｆ６が有するように第１の部分中間体２８０ｂが形成される構成に比べて、工程Ｐ１２５の後に、仮に外側端部ｐ２１，ｐ２２の近傍においてクラックが生じたとしても、基体２１の中心のより近い位置までクラックが進展することを抑制できる。
【００７５】
加えて、工程Ｐ１２０において、接触面Ｓｆ６が、第１の部分中間体２８０ｂの外側端部ｐ２１、ｐ２２から直接、導電部中間体２００に接続する曲線（第１曲面部Ｓｆ６１および第２曲面部Ｓｆ６２）となるように、第１の部分中間体２８０ｂが形成される。これにより、端部ｐ２１，ｐ２２から導電部中間体２００までの間に複数の直線または複数の曲線を有するように第１の部分中間体が形成される構成に比べて、端部ｐ２１，ｐ２２から導電部中間体２００までの間に屈曲した部分を有しないので、かかる部分に射出成形材が行き渡らずに工程Ｐ１３０（脱脂）またはＰ１３５（本焼成）において空隙が形成されてしまうことを抑制できる。このため、かかる空隙の存在による基体２１の強度低下を抑制できる。
【００７６】
Ｄ．第４実施形態：
図１２は、第４実施形態のセラミックヒータの中間体９００ｅの断面図である。図１２では、図８に示す第１実施形態のセラミックヒータの中間体９００の断面図と同じ位置での断面を示している。図１２では、図８と同様に、第１の部分中間体２８０ｆにおける第２の部分中間体２９０ｆとの接触面Ｓｆ９を、太い実線で表している。
【００７７】
第４実施形態のヒータは、工程Ｐ１２５で形成されるヒータの中間体９００ｅの構造において、第１実施形態のヒータ４と異なり、その他の構成は、第１実施形態のヒータ４と同じである。また、第４実施形態のヒータは、第１実施形態のヒータ４と同じ製造方法（図３に示す工程表に従った製造方法）により製造される。
【００７８】
図１２に示すように、第４実施形態のヒータの中間体９００ｅは、接触面Ｓｆ４に代えて接触面Ｓｆ９を有する点と、第１の部分中間体２８０に代えて第１の部分中間体２８０ｆを有する点と、第２の部分中間体２９０に代えて第２の部分中間体２９０ｆを有する点とにおいて、第１実施形態のセラミックヒータの中間体９００と異なる。その他の構成は、第１実施形態のセラミックヒータの中間体９００と同じであるので、同一の構成要素には同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００７９】
接触面Ｓｆ９は、第１斜面部Ｓｆ４２および第２平面部Ｓｆ４３に代えて、第２平面部Ｓｆ９２、第１斜面部Ｓｆ９３および第３平面部Ｓｆ９４を有する点と、第２斜面部Ｓｆ４４および第３平面部Ｓｆ４５に代えて、第４平面部Ｓｆ９５、第２斜面部Ｓｆ９６及び第５平面部Ｓｆ９７を有する点とにおいて、第１実施形態の接触面Ｓｆ４と異なる。その他の構成（すなわち、第１平面部Ｓｆ４０）は、第１実施形態の接触面Ｓｆ４と同じであるので、同一の構成要素には同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００８０】
第３平面部Ｓｆ９４は、第１平面部Ｓｆ４０と平行な面からなり、一方の端部が延設部中間体２１２に連なり、他方の端部が第１斜面部Ｓｆ９３に連なる。第１斜面部Ｓｆ９３は、一方の端部が第３平面部Ｓｆ９４と連なり、他方の端部が第２平面部Ｓｆ９２に連なる。第２平面部Ｓｆ９２は、一方の端部が第１斜面部Ｓｆ９３に連なり、他方の端部（外側端部ｐ９１）がセラミックヒータの中間体９００ｅの外表面に位置する。外側端部ｐ９１は、第２平面部Ｓｆ９２の端部であるとともに接触面Ｓｆ９全体における端部でもある。
【００８１】
ここで、第２平面部Ｓｆ９２と、外側端部ｐ９１における第１の部分中間体２８０ｆの外表面に沿う接線Ｌ９との間の角度θ９は、鈍角である。換言すると、第１の部分中間体２８０ｆにおける軸線方向に直交する断面を見た時に、第２の部分中間体２９０ｆと接することとなる第１の部分中間体２８０ｆの接触面Ｓｆ９が、接触面Ｓｆ９の外側端部ｐ９１における第１の部分中間体２８０ｆの外表面に沿う接線Ｌ９に対して第１の部分中間体２８０ｆの外角が鈍角に交わる直線（第２平面部Ｓｆ９２）を有する。
【００８２】
また、第１の部分中間体２８０ｆにおける軸線方向に直交する断面を見た時に、接触面Ｓｆ９が、第１の部分中間体２８０ｆの外側端部ｐ９１から導電部中間体２００（より正確には、延設部中間体２１２）までの間に、第１斜面部Ｓｆ９３と第２平面部Ｓｆ９２とのなす角度が鈍角となる折り返し部Ｓｒ９１、及び第１斜面部Ｓｆ９３と第３平面部Ｓｆ９４とのなす角度が鈍角となる折り返し部Ｓｒ９２を有する。
【００８３】
なお、第２斜面部Ｓｆ９６、第４平面部Ｓｆ９５および第５平面部Ｓｆ９７の構成は、上述した第１斜面部Ｓｆ９３、第２平面部Ｓｆ９２および第３平面部Ｓｆ９４の構成と同様である。すなわち、第１の部分中間体２８０ｆにおける軸線方向に直交する断面を見た時に、第２の部分中間体２９０ｆと接することとなる第１の部分中間体２８０ｆの接触面Ｓｆ９が、接触面Ｓｆ９の外側端部ｐ９２における第１の部分中間体２８０ｆの外表面に沿う図示しない接線に対して第１の部分中間体２８０ｆの外角が鈍角に交わる直線（第４平面部Ｓｆ９５）を有する。また、第１の部分中間体２８０ｆにおける軸線方向に直交する断面を見た時に、接触面Ｓｆ９が、第１の部分中間体２８０ｆの外側端部ｐ９２から導電部中間体２００（より正確には、延設部中間体２２２）までの間に、第２斜面部Ｓｆ９６と第４平面部Ｓｆ９５とのなす角度が鈍角となる折り返し部Ｓｒ９３、及び第２斜面部Ｓｆ９６と第５平面部Ｓｆ９７とのなす角度が鈍角となる折り返し部Ｓｒ９４を有する。
【００８４】
以上説明した第４実施形態のセラミックヒータ４によれば、工程Ｐ１２０、すなわち、第１の部分中間体２８０ｆが成形される際に、第１の部分中間体２８０ｆにおける軸線方向に直交する断面を見た時に、第２の部分中間体２９０ｆと接することとなる第１の部分中間体２８０ｆの接触面Ｓｆ９が、接触面Ｓｆ９の外側端部ｐ９１，ｐ９２における第１の部分中間体２８０ｆの外表面に沿う接線（接線Ｌ９）に対して第１の部分中間体２８０ｆの外角が鈍角に交わる直線（第２平面部Ｓｆ９２および第４平面部Ｓｆ９５）を有する折返し線（第２平面部Ｓｆ９２、第１斜面部Ｓｆ９３及び第３平面部Ｓｆ９４、又は第４平面部Ｓｆ９５、第２斜面部Ｓｆ９６及び第５平面部Ｓｆ９７）となるように、第１の部分中間体２８０ｆが形成されるので、接線（接線Ｌ９）に対して垂直に交わる直線または曲線を接触面Ｓｆ９が有するように第１の部分中間体２８０ｆが形成される構成に比べて、工程Ｐ１２５の後に、仮に外側端部ｐ９１，ｐ９２の近傍においてクラックが生じたとしても、基体２１の中心のより近い位置までクラックが進展することを抑制できる。
【００８５】
加えて、工程Ｐ１２０では、接触面Ｓｆ９が、第１の部分中間体２８０ｆの外側端部ｐ９１、ｐ９２から導電部中間体２００までの間に、２線（第２平面部Ｓｆ９２と第１斜面部Ｓｆ９３、第１斜面部Ｓｆ９３と第３平面部Ｓｆ９４、又は第４平面部Ｓｆ９５と第２斜面部Ｓｆ９６、第２斜面部Ｓｆ９６と第５平面部Ｓｆ９７）のなす角度が鈍角となる折り返し部Ｓｒ９１、Ｓｒ９２、Ｓｒ９３、Ｓｒ９４を有する折返し線となるように、第１の部分中間体９００ｅを形成している。そのため、２線のなす角度が鋭角となる構成に比べて、工程Ｐ１２０において、これらの折り返し部Ｓｒ９１、Ｓｒ９２、Ｓｒ９３、Ｓｒ９４に相当する部分に成形材料が行き渡らなくなることを抑制できる。その結果、本焼成後において、かかる部分に空隙が形成されていることを抑制でき、かかる空隙の存在による基体２１の強度低下を抑制できる。
【００８６】
Ｅ．実施例：
上述の各実施形態のヒータを作成して、それぞれのヒータの強度を測定して評価した。具体的には、第１実施形態におけるヒータ４を、図３に示す工程Ｐ１０５〜Ｐ１４０にしたがって３０個作製した。なお、これら作製された第１実施形態におけるヒータ４を、以下では「試料１」と呼ぶ。同様に、第２実施形態におけるヒータと、第３実施形態におけるヒータと、第４実施形態におけるヒータとをそれぞれ３０個ずつ作製した。以下では、第２実施形態におけるヒータを「試料２」と呼び、第３実施形態におけるヒータを「試料３」と呼び、第４実施形態におけるヒータを「試料４」と呼ぶ。また、各実施形態のヒータに加えて、２種類の比較例（第１比較例および第２比較例）のヒータをそれぞれ３０個ずつ作成した。以下では、第１比較例のヒータを試料５と呼び、第２比較例のヒータを試料６と呼ぶ。
【００８７】
図１３は、第１比較例のヒータの中間体９０ａの断面図である。図１３では、図８と同様に、第１の部分中間体２８０ｃにおける第２の部分中間体２９０ｃとの接触面Ｓｆ７を、太い実線で表している。
【００８８】
接触面Ｓｆ７は、第１平面部Ｓｆ４０に加えて、第２平面部Ｓｆ７１および第３平面部Ｓｆ７２を有する。第２平面部Ｓｆ７１は、一方の端部が延設部中間体２１２に接しており、他方の外側端部ｐ３１が中間体９０ａの外周表面に位置する平面からなる。外側端部ｐ３１における接線Ｌ４と、第２平面部Ｓｆ７１との間の角度は９０°である。この構成では、第２平面部Ｓｆ７１を延長させた仮想面は、中間体９０ａの中心点ｐｘ２を含む。第３平面部Ｓｆ７２側の構成は、上述した第２平面部Ｓｆ７１側の構成と同様であるので説明を省略する。この構成では、上述の端部ｐ３１と、中心点ｐｘ２と、第３平面部Ｓｆ７２において中間体９０ａの外周表面に位置する端部ｐ３２とは、一直線上に並ぶ。
【００８９】
図１４は、第２比較例のヒータの中間体９０ｂの断面図である。図１４では、図８と同様に、第１の部分中間体２８０ｄにおける第２の部分中間体２９０ｄとの接触面Ｓｆ８を、太い実線で表している。
【００９０】
接触面Ｓｆ８は、第１平面部Ｓｆ４０に加えて、第１屈曲部Ｓｒ１１および第２屈曲部Ｓｒ１２を有する。第１屈曲部Ｓｒ１１は、３つの折り返し部からなり、一方の端部が延設部中間体２１２に接し、他方の外側端部が中間体９０ｂの外周表面に位置する。各折り返し部の角度は９０°よりも小さい（つまり、鋭角となっている）。第２屈曲部Ｓｒ１２側の構成は、上述した第１屈曲部Ｓｒ１１側の構成と同じであるので説明を省略する。
【００９１】
各試料１〜６を構成するそれぞれ３０個のヒータについて、曲げ強度試験を実施し、曲げ強度を測定し、その測定値に基づき強度を評価した。曲げ強度試験は、リード部３１２，３２２（電極部２８よりも先端側から先端側部位３１１，３１２よりも後端側）の間のスパン１２ｍｍ（ミリメートル）で、３点曲げ強度を測定した。
【００９２】
下記表１は、曲げ強度試験の評価結果を示す。表１では、各試料１〜６の曲げ強度の値（メガパスカル（ＭＰａ））と、その評価結果とを示している。各試料１〜６の曲げ強度の値は、各試料１〜６の３０個のヒータのうち、最低の強度の値を示している。評価結果は、曲げ強度の値が１０００ＭＰａ以上である場合を高い（○）と評価し、１０００ＭＰａよりも低い場合を低い（×）と評価した。
【００９３】
【表１】
2017228378.tif 000003
【００９４】
上記表１に示すように、試料１〜４については、いずれも曲げ強度が１０００ＭＰａ以上であったため、曲げ強度が高い（○）と評価された。これは、第１の部分中間体における第２の部分中間体との接触面が、かかる接触面の外側端部を含む直線または曲線であって、外側端部における接線に対して鋭角に交わる直線または曲線を有するため、仮に外側端部を起点としてクラックが生じたとしても、基体２１の中心に近い位置までクラックが進展することが抑制されたためであると推測される。加えて、折り返し部の数が２つ以下であり、かつ、折り返し部を有する試料１において、その折り返し部の角度が鈍角であるため、折り返し部において成形材料が十分に充填されずに空隙が生じることを抑制でき、かかる空隙に起因して曲げ強度が低下することが抑制されたためであると推測される。
【００９５】
これに対して、比較例の２種類の試料５，６については、いずれも曲げ強度が１０００ＭＰａよりも低かったため、曲げ強度が低い（×）と評価された。試料５については、第１の部分中間体における第２の部分中間体との接触面が、かかる接触面の端部を含む直線であって、端部における接線に対して直交する直線を有する。このため、端部を起点としてクラックが生じた際に、かかる端部から接触面に沿って基体もしくは延設部中間体２１２，２２２の近傍までクラックが進展したために、曲げ強度が低く抑えられたものと推測される。また、試料６については、接触面Ｓｆ８が合計６つの折り返し部を有し、且つ、各折り返し部の角度が９０°よりも小さい（つまり鋭角である）ために、各折り返し部に成形材料が十分に行き渡らず、焼結後のヒータ完成品において折り返し部に空隙が生じたため、曲げ強度が低く抑えられたものと推測される。
【００９６】
Ｆ．変形例：
Ｆ１．変形例１：
第１実施形態では、接触面Ｓｆ４は、折り返し部を２つ（折り返し部Ｓｒ１および折り返し部Ｓｒ２）有していたが、２つに限らず、１〜４の任意の数を有してもよい。例えば、折り返し部Ｓｒ１と折り返し部Ｓｒ２とのうち、折り返し部Ｓｒ１のみを省略して、折り返し部を折り返し部Ｓｒ２のみとしてもよい。この構成では、第１斜面部Ｓｆ４２および第２平面部Ｓｆ４３に代えて、第２実施形態の第１斜面部Ｓｆ５１が形成されてもよい。また、折り返し部Ｓｒ１と折り返し部Ｓｒ２とのうち、折り返し部Ｓｒ２側の外側端部ｐ１から延設部中間体２１２までの間に、さらに折り返し部を１つ設けて合計３つとしてもよい。ただし、成形材料の充填不足が起こらないようにするためには、折り返し部の数は少ない方が好ましい。
【００９７】
Ｆ２．変形例２：
各実施形態において、第１平面部Ｓｆ４０は、セラミックヒータの中間体９００，９００ａ，９００ｂの中心点ｐｘを通る単一の平面として形成されていたが、本発明はこれに限定されない。中心点ｐｘを通らない平面として形成されてもよい。また、平面に代えて、曲面或いは複数の平面からなる階段状の面として形成されてもよい。
【００９８】
Ｆ３．変形例３：
各実施形態において、第１斜面部Ｓｆ４２、第２斜面部Ｓｆ４４、第１斜面部Ｓｆ５１、第２斜面部Ｓｆ５２、第１曲面部Ｓｆ６１及び第２曲面部Ｓｆ６２は、それぞれ外側端部ｐ１、ｐ２、ｐ１１、ｐ１２、ｐ２１，ｐ２２における接線Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３に対して鋭角に交わっていたが、本発明はこれに限定されない。例えば、図１５に示すような形態であっても良い。図１５は、変形例のセラミックヒータの中間体の断面図である。図１５に示すセラミックヒータの中間体９００ｄは、図１０に示す第２実施形態のセラミックヒータの中間体９００ａにおいて、接触面Ｓｆ５の第１斜面部Ｓｆ５１、第２斜面部Ｓｆ５２の代わりに、第３斜面部Ｓｆ５３、第４斜面部Ｓｆ５４が設けられた構成を有する。そして、図１５においては、第１の部分中間体２８０ｅにおける軸線方向に直交する断面を見た時に、第２の部分中間体２９０ｅと接することとなる第１の部分中間体２８０ｅの接触面Ｓｆ９９が、接触面Ｓｆ９９の外側端部ｐ４１、ｐ４２における第１の部分中間体２８０ｅの外表面に沿う接線Ｌ５に対して第１の部分中間体２８０ｅの外角が鋭角でなく、鈍角に交わる直線（第３斜面部Ｓｆ５３、第４斜面部Ｓｆ５４）となっている。
【００９９】
Ｆ４．変形例４：
各実施形態において、基体２１の断面であって、少なくとも後述の延設部３１，３２が現れる軸線Ｃ１と垂直な断面の形状は、略真円であったが、本発明はこれに限定されない。例えば、かかる断面形状は楕円形であってもよい。この場合であっても、工程Ｐ１２０において、第１の部分中間体における軸線方向に直交する断面を見た時に、第２の部分中間体と接することとなる第１の部分中間体の接触面が、接触面の端部における第１の部分中間体の外表面に沿う接線に対して鋭角に交わり端部を含む直線または曲線を有するように、第１の部分中間体が形成されることで、基体２１の中心に近い位置までクラックが進展することを抑制できる。
【０１００】
Ｆ５．変形例５：
各実施形態および実施例では、導電部２２の成形材料における導電性材料は、タングステンカーバイドであったが、これに代えて、珪化モリブデンや珪化タングステン等の、任意の導電性材料を用いることができる。
【０１０１】
Ｆ６．変形例６：
各実施形態では、ヒータ４は、グロープラグ１００に用いられるセラミックヒータであったが、グロープラグ１００に代えて、バーナーの着火用のヒータ、ガスセンサの加熱用ヒータ、ＤＰＦ（Diesel particulate filter）に使用されるセラミックヒータであってもよい。
【０１０２】
本発明は、上述の実施形態および変形例に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する本実施形態、変形例中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
【符号の説明】
【０１０３】
２…主体金具
３…中軸
４…セラミックヒータ（ヒータ）
５…絶縁部材
６…フランジ部
７…外筒
８…ピン端子
９…軸孔
１０…軸孔
１１…雄ねじ部
１２…工具係合部
１５…厚肉部
１６…係合部
１８…電極リング
２１…基体
２２…導電部
２７，２８…電極部
３１，３２…延設部
３３…連結部
３５…発熱部
９０ａ…中間体
９０ｂ…中間体
１００…グロープラグ
２００…中間体
２１２，２２２…延設部中間体
２２７，２２８…電極対応部
２３３…連結部中間体
２５０…後端連結部
２８０，２８０ａ〜２８０ｄ…第１の部分中間体
２９０，２９０ａ〜２９０ｄ…第２の部分中間体
３１１…先端側部位
３１２…後端側部位（リード部）
３２１…先端側部位
３２２…後端側部位（リード部）
３３５…発熱対応部
４００…下金型
４２０…キャビティ
５００…上金型
５１０…キャビティ
５９０…端面
６００…下金型
６２０…キャビティ
８００…上金型
８１０…キャビティ
８９０…端面
９００，９００ａ，９００ｂ，９００ｄ，９００ｅ…ヒータの中間体
Ｃ１…軸線
ＣＫ１…クラック
Ｇ１…研磨代
Ｌ１〜Ｌ４，Ｌ６１〜Ｌ６４…接線
Ｌ１１…面
Ｓｆ１０…第１平面部
Ｓｆ１１…第４平面部
Ｓｆ１２…第１斜面部
Ｓｆ１３…第２平面部
Ｓｆ２１…第５平面部
Ｓｆ２２…第２斜面部
Ｓｆ２３…第３平面部
Ｓｆ４…接触面
Ｓｆ４０…第１平面部
Ｓｆ４２…第１斜面部
Ｓｆ４３…第２平面部
Ｓｆ４４…第２斜面部
Ｓｆ４５…第３平面部
Ｓｆ５…接触面
Ｓｆ５１…第１斜面部
Ｓｆ５２…第２斜面部
Ｓｆ５３…第３斜面部
Ｓｆ５４…第４斜面部
Ｓｆ６…接触面
Ｓｆ６１…第１曲面部
Ｓｆ６２…第２曲面部
Ｓｆ７…接触面
Ｓｆ７１…第２平面部
Ｓｆ７２…第３平面部
Ｓｆ８…接触面
Ｓｆ９…接触面
Ｓｆ９２…第２平面部
Ｓｆ９３…第１斜面部
Ｓｆ９４…第３平面部
Ｓｆ９５…第４平面部
Ｓｆ９６…第２斜面部
Ｓｆ９７…第５平面部
Ｓｒ１…折り返し部
Ｓｒ１１…第１屈曲部
Ｓｒ１２…第２屈曲部
Ｓｒ２…折り返し部
Ｓｒ９１，Ｓｒ９２，Ｓｒ９３，Ｓｒ９４…折り返し部
ｐ１，ｐ１１，ｐ１２，ｐ２，ｐ２１，ｐ２２，ｐ３１，ｐ３２，ｐ４１，ｐ４２，ｐ９１，ｐ９２…外側端部
ｐｘ，ｐｘ２…中心点
【図１】
2017228378.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2017228378.tif 000010
【図８】
2017228378.tif 000011
【図９】
2017228378.tif 000012
【図１０】
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【図１１】
2017228378.tif 000014
【図１２】
2017228378.tif 000015
【図１３】
2017228378.tif 000016
【図１４】
2017228378.tif 000017
【図１５】
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