(57)【要約】【課題】圧電素子を用いて光ファイバーの光路長を微調整することができ、圧電素子の破壊が生じ難いファイバーストレッチャーを提供する。【解決手段】光ファイバー１０の光路長を調整するファイバーストレッチャー１は、所定方向に伸縮変位する圧電素子２と、圧電素子２の伸縮方向に圧縮力を与えた状態で圧電素子２を保持し、圧電素子２の伸縮に応じて伸縮する保持部材３と、圧電素子の伸縮変位が光ファイバー１０の長手方向の伸縮変位として伝達されるよう保持部材３に光ファイバー１０を取り付ける取付け部４とを有する。【選択図】図１
2017072702.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ファイバーの光路長を調整するファイバーストレッチャーであって、
所定方向に伸縮変位する圧電素子と、
前記圧電素子の伸縮方向に圧縮力を与えた状態で前記圧電素子を保持し、前記圧電素子の伸縮に応じて伸縮する保持部材と、
前記圧電素子の伸縮変位が前記光ファイバーの長手方向の伸縮変位として伝達されるよう前記保持部材に前記光ファイバーを取り付ける取付け部と
を有することを特徴とするファイバーストレッチャー。
【請求項２】
前記保持部材は、前記圧電素子の一端面が固定される第１のヘッドピースと、前記圧電素子の他端面が固定される第２のヘッドピースと、前記第１のヘッドピースおよび前記第２のヘッドピースに架け渡されるように設けられ、前記２つの圧電素子に圧縮力を与えるとともに前記圧電素子の伸縮変位に対応して伸縮する直線状をなす圧縮力付与部とを有し、
前記第１のヘッドピースおよび前記第２のヘッドピースには、前記光ファイバーを挿通させる挿通孔が設けられ、前記取付け部は、前記光ファイバーを前記挿通孔に挿通した状態で前記光ファイバーを前記第１のヘッドピースおよび前記第２のヘッドピースに固定することを特徴とする請求項１に記載のファイバーストレッチャー。
【請求項３】
前記圧電素子は互いに平行に少なくとも２つ設けられ、
前記少なくとも２つの圧電素子の一端面が前記第１のヘッドピースに固定され、前記少なくとも２つの圧電素子の他端面が前記第２のヘッドピースに固定され、前記挿通孔は、前記第１のヘッドピースおよび前記第２のヘッドピースの前記少なくとも２つの圧電素子の固定部分の間の部分に形成されることを特徴とする請求項２に記載のファイバーストレッチャー。
【請求項４】
前記圧電素子は筒状をなし、前記光ファイバーは、前記圧電素子の内部の空間に挿通され、前記第１のヘッドピースおよび前記第２のヘッドピースにおける前記圧電素子の内部空間に対応する部分に取り付けられることを特徴とする請求項２に記載のファイバーストレッチャー。
【請求項５】
前記圧縮力付与部を複数備えていることを特徴とする請求項２から請求項４のいずれか１項に記載のファイバーストレッチャー。
【請求項６】
前記保持部材の材料、前記圧縮力付与部の断面積または長さを調整することにより、前記圧電素子に付与する圧縮力を調整することを特徴とする請求項２から請求項５のいずれか１項に記載のファイバーストレッチャー。
【請求項７】
前記取付け部は、前記光ファイバーを前記挿通孔に挿通した状態で前記挿通孔に接着剤を注入することにより前記光ファイバーを前記保持部材に取り付けることを特徴とする請求項２から請求項６のいずれか１項に記載のファイバーストレッチャー。
【請求項８】
前記圧電素子は、温度に対して負の熱膨張係数を有する材料で構成されており、前記保持部材は、温度に対して正の熱膨張係数を有する材料で構成されており、全体の熱膨張係数がゼロ近傍に調整されていることを特徴とする請求項２から請求項７のいずれか１項に記載のファイバーストレッチャー。
【請求項９】
前記保持部材において前記圧電素子の伸縮変位にともなう歪みが発生する部位、または前記圧電素子の側面に装着された歪ゲージをさらに有し、前記歪ゲージの検出値に基づいて前記圧電素子の伸縮を補正することを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載のファイバーストレッチャー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ファイバーの光路長を調整するファイバーストレッチャーに関する。
【背景技術】
【０００２】
光ファイバーにより光を伝送する場合、光の通過時間を微調整する目的で、ファイバーストレッチャーが用いられている。ファイバーストレッチャーは、光ファイバーを引っ張って光路長を長くし、光遅延させるものである。
【０００３】
ファイバーストレッチャーとしては、フレームに光ファイバーを巻き付け、圧電素子によりフレームを拡張させるものが知られている（例えば特許文献１）。このような構成により、光路長の調節マージンを大きくしつつ、光路長の微調整を行うことができる。
【０００４】
しかし、短パルスレーザー光を伝送する場合、レーザー光の伝送タイミングの調整時間をピコセカンドレベル以下の極めて短時間とすることが求められており、そのために、光路長の調整マージンを大きくするよりも、より調整精度を上げることが求められている。このような目的で、光ファイバーに圧電素子の側面を貼り付けることが行われている。圧電素子は数μｍ〜数十μｍという微小変位を正確に発生させることができるので、圧電素子を光ファイバーに貼り付けることにより光路長をμｍオーダーで微調整することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】米国特許第７３８２９６２号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、圧電素子は一般的に脆性材料であるセラミック材料からなるため引張力に対しては弱く、光ファイバーに圧電素子の側面を貼り付けた構造では、引張り力等により圧電素子が破壊しやすい。
【０００７】
したがって、本発明は、圧電素子を用いて光ファイバーの光路長を微調整することができ、圧電素子の破壊が生じ難いファイバーストレッチャーを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明は、以下の（１）〜（７）を提供する。
【０００９】
（１）光ファイバーの光路長を調整するファイバーストレッチャーであって、
所定方向に伸縮変位する圧電素子と、
前記圧電素子の伸縮方向に圧縮力を与えた状態で前記圧電素子を保持し、前記圧電素子の伸縮に応じて伸縮する保持部材と、
前記圧電素子の伸縮変位が前記光ファイバーの長手方向の伸縮変位として伝達されるよう前記保持部材に前記光ファイバーを取り付ける取付け部と
を有することを特徴とするファイバーストレッチャー。
【００１０】
（２）前記保持部材は、前記圧電素子の一端面が固定される第１のヘッドピースと、前記圧電素子の他端面が固定される第２のヘッドピースと、前記第１のヘッドピースおよび前記第２のヘッドピースに架け渡されるように設けられ、前記２つの圧電素子に圧縮力を与えるとともに前記圧電素子の伸縮変位に対応して伸縮する直線状をなす圧縮力付与部とを有し、
前記第１のヘッドピースおよび前記第２のヘッドピースには、前記光ファイバーを挿通させる挿通孔が設けられ、前記取付け部は、前記光ファイバーを前記挿通孔に挿通した状態で前記光ファイバーを前記第１のヘッドピースおよび前記第２のヘッドピースに固定することを特徴とする上記（１）に記載のファイバーストレッチャー。
【００１１】
（３）前記圧電素子は互いに平行に少なくとも２つ設けられ、
前記少なくとも２つの圧電素子の一端面が前記第１のヘッドピースに固定され、前記少なくとも２つの圧電素子の他端面が前記第２のヘッドピースに固定され、前記挿通孔は、前記第１のヘッドピースおよび前記第２のヘッドピースの前記少なくとも２つの圧電素子の固定部分の間の部分に形成されることを特徴とする上記（２）に記載のファイバーストレッチャー。
【００１２】
（４）前記圧電素子は筒状をなし、前記光ファイバーは、前記圧電素子の内部の空間に挿通され、前記第１のヘッドピースおよび前記第２のヘッドピースにおける前記圧電素子の内部空間に対応する部分に取り付けられることを特徴とする上記（２）に記載のファイバーストレッチャー。
【００１３】
（５）前記圧縮力付与部を複数備えていることを特徴とする上記（２）から（４）のいずれかに記載のファイバーストレッチャー。
【００１４】
（６）前記保持部材の材料、前記圧縮力付与部の断面積または長さを調整することにより、前記圧電素子に付与する圧縮力を調整することを特徴とする（２）から（５）のいずれかに記載のファイバーストレッチャー。
【００１５】
（７）前記取付け部は、前記光ファイバーを前記挿通孔に挿通した状態で前記挿通孔に接着剤を注入することにより前記光ファイバーを前記保持部材に取り付けることを特徴とする（２）から（６）のいずれかに記載のファイバーストレッチャー。
【００１６】
（８）前記圧電素子は、温度に対して負の熱膨張係数を有する材料で構成されており、前記保持部材は、温度に対して正の熱膨張係数を有する材料で構成されており、全体の熱膨張係数がゼロ近傍に調整されていることを特徴とする（２）から（７）のいずれかに記載のファイバーストレッチャー。
【００１７】
（９）前記保持部材において前記圧電素子の伸縮変位にともなう歪みが発生する部位、または前記圧電素子の側面に装着された歪ゲージをさらに有し、前記歪ゲージの検出値に基づいて前記圧電素子の伸縮を補正することを特徴とする上記（１）から（８）のいずれかに記載のファイバーストレッチャー。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、保持部材は圧電素子の伸縮に応じて伸縮し、圧電素子の伸縮変位が前記光ファイバーの長手方向の伸縮変位として伝達されるように保持部材に光ファイバーが取り付けられるので、圧電素子の微小な伸縮変位により光ファイバーの光路長を微調整することができる。また、光ファイバーに変位を与える圧電素子が、伸縮方向に圧縮力が付与された状態で保持部材に保持されるので、圧電素子が引っ張りによって破壊することを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るファイバーストレッチャーを示す正面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係るファイバーストレッチャーを示す側面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係るファイバーストレッチャーの取り付け部を説明するための図である。
【図４】棒材の伸びδと、ヤング率Ｅ、断面積Ａ、長さＬ、荷重Ｆとの関係を説明するための図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係るファイバーストレッチャーを示す斜視図である。
【図６】本発明の第３の実施形態に係るファイバーストレッチャーを示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
＜第１の実施形態＞
図１は本発明の第１の実施形態に係るファイバーストレッチャーを示す正面図、図２は本発明の第１の実施形態に係るファイバーストレッチャーを示す側面図である。
【００２１】
本実施形態のファイバーストレッチャー１は、光ファイバー１０の光路長を調節するものであり、印加電圧に応じて長手方向に伸縮する２つ圧電素子２と、圧電素子の伸縮方向に圧縮力を与えた状態で圧電素子２を保持し、圧電素子２の伸縮に応じて伸縮する保持部材３と、圧電素子２の伸縮変位が光ファイバー１０の長手方向の伸縮変位として伝達されるよう保持部材３に光ファイバーを取り付ける取付け部４とを有する。
【００２２】
圧電素子２は、例えば、１０ｍｍ×１０ｍｍの板状の圧電体が電極を挟んで複数積層されて例えば４０ｍｍの長さにされた直方体として構成されている。圧電素子２は、側面に電圧を印加するための電気端子１１、１２を備えており、駆動部のドライバー（図示せず）からこの電気端子１１、１２間に所定の電圧が印加されることにより、図１、２の矢印で示す長さ方向に伸縮するように構成されている。なお、駆動部はドライバーの他、印加電圧等を制御する制御部を有している。圧電素子２にこのとき、印加する電圧を増加させることにより圧電素子２が伸長し、印加する電圧を減少させることにより圧電素子２が縮退する。
【００２３】
圧電体を構成する圧電材料としては、圧電効果を有するセラミック材料が用いられ、そのような材料として、典型的にはチタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３；ＰＺＴ）を挙げることができる。圧電素子２の形状は直方体に限らず、例えば三角柱や六角柱等の多角柱であっても、円柱であってもよい。
【００２４】
保持部材３は、圧電素子２を保持し、かつ圧電素子２の伸縮に応じて伸縮して圧電素子２の伸縮変位を光ファイバー１０に伝達する機能を有するとともに、圧電素子が引張力に対して弱いセラミック材料からなることに鑑み、圧電素子２から生じる力に対して１／５〜１／２程度の圧縮力を与える機能を有している。この保持部材３は、２つの圧電素子２の伸縮方向（長さ方向）の一端面および他端面に接着により固定された第１のヘッドピース２１および第２のヘッドピース２２と、これらヘッドピース２１および２２の間に架け渡されるように設けられた直線状をなす２本の圧縮力付与部２３とを有している。第２のヘッドピース２１および第２のヘッドピース２２と圧縮力付与部２３とは一体となっている。ヘッドピース２１、２２の形状は直方体となっているが、その形状は特に限定されず、例えば圧電素子２の形状に応じて適宜設定することができる。また、圧縮力付与部２３の本数は２本に限らず、３本または４本等であってもよい。さらに、２つの圧電素子２の間に１本のみ設けてもよい。
【００２５】
取り付け部４は、第１のヘッドピース２１側および第２のヘッドピース２２側の２箇所に設けられている。図３に示すように、第１のヘッドピース２１および第２のヘッドピース２２には、光ファイバー１０を挿通させる挿通孔３０を有し、取付け部４は、光ファイバー１０を挿通孔３０に挿通した状態で光ファイバー１０を第１のヘッドピース２１および第２のヘッドピースに固定する。図３の例では、取り付け部４は、光ファイバー１０を挿通孔３０に挿通した状態で挿通孔３０に接着剤３１を注入することにより光ファイバー１０を固定している。ただし、取り付け部４としては、これに限らず機械的なクランプ機構等、他の手段を採用することもできる。
【００２６】
圧電素子２を保持部材３に装着する際には、圧電素子２の伸縮方向に引張力を作用させて圧縮力付与部２３を伸長させた状態で圧電素子２を第１および第２のヘッドピース２１および２２の間に装着し、その後、引張力を解除する。これにより、圧電素子２に引張力に対応する圧縮力が付与された状態とされる。
【００２７】
図４に示すように、棒材の伸びを考えると、一般的に、棒材の伸びδは、ヤング率をＥ、断面積をＡ、長さをＬ、荷重をＦとすると、δ＝ＦＬ／ＥＡとなる。この式から、所定の伸びδを生じさせるための荷重は、Ｆ＝δＥＡ／Ｌとなる。ＥＡ／Ｌは、棒材のばね定数に相当する。したがって、これらの式に基づいて、圧電素子２に及ぼす保持部材３の圧縮力を所望の値になるように設計することができる。
【００２８】
一方、保持部材３により圧電素子２に付与される圧縮力は、圧電素子２の伸縮変位を阻害する方向に作用するが、保持部材３の材料、圧縮力付与部２２の断面積や長さを適切に設計することにより、圧電素子２に対し十分な圧縮力を与えつつ必要な変位を取り出すことが可能となる。
【００２９】
保持部材３を構成する材料としては、圧縮力付与可能な剛性を有し、比較的強度が高く、さらに耐候性や耐食性に優れたものが好ましい。また、温度安定性の観点から、熱膨張係数が小さい材料であることも好ましい。このような材料としては、インバー合金、スーパーインバー合金、炭素繊維を挙げることができる。
【００３０】
また、保持部材３の圧縮力付与部２３が直線状をなしていることから、圧電素子２と圧縮力付与部２２との熱膨張係数を相殺することができ、いわゆる「ゼロ膨張」を実現することができる。すなわち、圧縮力付与部２３は、直線状でかつ圧電素子２とほぼ平行に設けられ、圧電素子２の両端面がヘッドピース２１に接着されているため、圧電素子２および圧縮力付与部２３にほぼ熱膨張係数の複合則が成立する。ここで圧電素子２を構成するＰＺＴの熱膨張係数は−７×１０−６／℃であり、温度に対して負の熱膨張係数を有しているため、圧縮力付与部２３の材料が正の熱膨張係数を有する材料であれば、圧電素子２と圧縮力付与部２３の断面積や形状等を調整することにより、全体の熱膨張係数がほぼ０の「ゼロ膨張」を実現することができる。
【００３１】
このような点を考慮すると、保持部材３を構成する材料としてステンレス鋼（ＳＵＳ）を好適に用いることができる。ステンレス鋼は、熱膨張係数が１０×１０−６／℃程度であり、ＰＺＴの熱膨張係数の熱膨張係数の絶対値に近い正の熱膨張係数を有しているため、ステンレス鋼を用いることにより、「ゼロ膨張」を実現しやすい。このようにファイバーストレッチャー１全体を「ゼロ膨張」にすることにより、ファイバーストレッチャー１の温度安定性を極めて高くすることができ、光ファイバー１０の光路長の調整を温度の影響を受けることなく極めて正確に行うことができる。もちろん、保持部材３を構成する材料として、それ自体の熱膨張係数が小さい上記インバー合金、スーパーインバー合金、炭素繊維を用いた場合にも、圧電素子２と圧縮力付与部２３の断面積や形状等を調整することによりゼロ膨張を実現することができる。
【００３２】
このように構成されたファイバーストレッチャー１においては、圧電素子２の伸縮方向に引張力を作用させて圧縮力付与部２３を伸長させた状態で圧電素子２を第１および第２のヘッドピース２１および２２の間に装着し、その後、引張力を解除することにより、圧電素子２を圧電素子の伸縮方向に圧縮力を与えた状態で保持部材３に保持させる。この状態のファイバーストレッチャー１を光ファイバー１０に装着する。光ファイバー１０の装着にあたっては、第１および第２のヘッドピース２１および２２の挿通孔３０に光ファイバー１０を挿通させ、取り付け部４において光ファイバー１０を保持部材３に取り付ける。具体的には、挿通孔３０に光ファイバー１０を挿通させ、光ファイバー１０に所定の張力を与えた状態とし、挿通孔３０に接着剤を注入して固定する。
【００３３】
この状態で、ドライバー（図示せず）から電圧を印加することにより、圧電素子２に数μｍ〜数十μｍ程度の微小な伸縮変位を与えることができ、その微小変位が保持部材３を介してその変位を光ファイバー１０に伝達される。このため、光ファイバー１０に数μｍ〜数十μｍの微小な変位を与えることができ、光ファイバー１０の光路長を極めて高精度で調整することができる。
【００３４】
このとき、光ファイバー１０に変位を与える圧電素子２が、伸縮方向に圧縮力が付与された状態で保持部材３に保持されるので、圧電素子２が引っ張りによって破壊することを抑制することができる。この際の圧電素子２に付与される圧縮力は、圧縮力付与部２３の断面積または長さを調整することにより調整することができる。
【００３５】
また、保持部材３の圧縮力付与部２３が直線状をなしており、かつ圧電素子２とほぼ平行に設けられ、圧電素子２の両端面がヘッドピース２１に接着されているため、圧電素子２として温度に対して負の熱膨張係数を有するＰＺＴを用い、かつ保持部材３としてステンレス鋼等の温度に対して正の熱膨張係数を有する材料を用いることにより、圧電素子２と圧縮力付与部２２との熱膨張係数を相殺することができ、いわゆる「ゼロ膨張」を実現することができる。このため、光ファイバー１０の光路長の調整を温度の影響を受けることなく極めて正確に行うことができる。
【００３６】
また、保持部材３は圧電素子２に対し常に圧縮力を付与しているので、大きな圧縮力を付与する場合には大きな引張力がかかるため、保持部材３の材料として抗張力の高いものが好ましい。保持部材３として、ステンレス鋼の中でも析出硬化型のＳＵＳ６３０系のものを用いることにより、熱処理にもよっては１０００ＭＰａ以上の抗張力を得ることができる。ただし、与圧機構３により圧電素子２に付与する圧縮力が大きすぎると上述したように圧電素子２の変位を阻害するため、抗張力の大きい材料を用いた場合に、圧電電素子２の変位を阻害しないように設計することが必要である。
【００３７】
なお、本実施形態において、圧電素子２は１個であってもよく、また３個以上であってもよい。
【００３８】
＜第２の実施形態＞
図５は、本発明の第２の実施形態に係るファイバーストレッチャーを示す斜視図である。本実施形態のファイバーストレッチャー１′は、筒状（円筒状）をなす１個の圧電素子２′を用いている他は、第１の実施形態のファイバーストレッチャー１と同様に構成されている。
【００３９】
本実施形態においては、圧電素子２′の内部の空間に光ファイバー１０が挿通されている。光ファイバー１０はこの状態で、第１のヘッドピース２１および第２のヘッドピース２２における圧電素子２′の内部空間に対応する部分において取り付けられている。
【００４０】
このような構成によれば、圧電素子が筒状をなしているため、その内部空間に光ファイバー１０を挿通して第１のヘッドピース２１および第２のヘッドピース２２における圧電素子２′の内部空間に対応する部分に取り付けられるようにすることにより、圧電素子の伸縮変位を保持部材３を介して正確に光ファイバー１０に伝達することができ、高精度で光ファイバーの光路長を調整することができる。また、第１の実施形態と同様に、圧電素子２′は、伸縮方向に圧縮力が付与された状態で保持部材３に保持されるので、圧電素子２′が引っ張りによって破壊することを抑制することができる。
【００４１】
また、本実施形態も第１の実施形態と同様、圧電素子２′と圧縮力付与部２３との熱膨張係数を相殺することができ、前記圧電素子を保持し、前記圧電素子の伸縮に応じて伸縮する保持部材と、いわゆる「ゼロ膨張」を実現することができる。このため、光ファイバー１０の光路長の調整を温度の影響を受けることなく極めて正確に行うことができる。
【００４２】
本実施形態において、圧電素子２′は、円筒状に限らず角筒状であってもよい。また、圧縮力付与部２３の本数は２本に限らず、３本または４本等であってもよい。また、圧力付与部２３を圧電素子２′の空間に一本のみ設けるようにしてもよい。
【００４３】
＜第３の実施形態＞
図６は、本発明の第３の実施形態に係るファイバーストレッチャーを示す側面図である。
【００４４】
本実施形態に係るファイバーストレッチャー１″は、保持部材３の圧縮力付与部２３に歪ゲージ４５が取り付けられている他は、第１の実施形態のファイバーストレッチャー１と同様に構成されている。歪みゲージ４５は、圧電素子２の伸縮変位にともなう歪みを検出するために用いられる。なお、図６には、図１および図２では図示していない駆動部４０を図示している。
【００４５】
駆動部４０は、圧電素子２に電圧を与えて圧電素子２を駆動するドライバー４１と、伸縮素子１の駆動等を制御する制御部４２と、異常があった場合に警報（アラーム）を発生する警報器４３とを有している。
【００４６】
制御部４２は、設定器等から目標伸び量が入力され、それに基づいてドライバー４１に制御信号を出力し、ドライバー４１はその制御信号に基づいて圧電素子２に所定の電圧を与え圧電素子２を伸縮させる。
【００４７】
また、制御部４２には歪みゲージ４５の検出値が入力される。歪みゲージ４５により検出される圧縮力付与部２３の歪みは、圧電素子２の歪みに対応するものであるため、制御部４２では、歪みゲージ４５の検出値から圧電素子２の伸び量（変位）が算出され、算出された圧電素子２の伸び量が目標からずれている場合には、それに基づいて目標伸び量が補正され、補正された制御信号がドライバー４１に出力される。また、圧電素子２に過剰変位があった場合や、圧電素子２が短絡等により伸縮変位しない場合等、圧電素子２に異常があった場合に、警報器４３に信号を送って警報（アラーム）を発する、またはドライバー４１に停止信号を出力する等の措置を講ずることができるようになっている。
【００４８】
このように、歪みゲージ４５により、圧電素子２の伸縮変位を適切に補正することができ、また圧電素子２に異常を生じた場合に措置を講ずることができるので、光ファイバー１０の光路長の調整をさらに一層高精度でかつ安全に行うことができる。
【００４９】
なお、本実施形態では、歪みゲージ４５を圧縮力付与部２３に装着したが、圧電素子２の変位にともなう歪みを安定的に検出することができれる部位であればよく、貼り付け可能であれば圧電素子２の側面に直接装着してもよい。また、本実施形態では、第１の実施形態のファイバーストレッチャーに歪みゲージを付加した例について示したが、第２の実施形態のファイバーストレッチャーに歪みゲージを付加した構成であってもよい。
【符号の説明】
【００５０】
１，１；ファイバーストレッチャー
２，２′；圧電素子
３；保持部材
４；取り付け部
１０；光ファイバー
１１，１２；電気端子
２１，２２；ヘッドピース
２３；圧縮力付与部
３０；挿通孔
３１；接着剤
４０；駆動部
４１；ドライバー
４２；制御部
４３；警報部
４５；歪みゲージ
【図１】
2017072702.tif 000003
【図２】
2017072702.tif 000004
【図３】
2017072702.tif 000005
【図４】
2017072702.tif 000006
【図５】
2017072702.tif 000007
【図６】
2017072702.tif 000008