(57)【要約】【課題】ユニットとユニットの間における検出精度の低下を抑制すること。【解決手段】投光装置は複数の投光ユニットを含み、受光装置は複数の受光ユニットを含む。投光ユニットの投光器１２ａ〜１２ｃはそれぞれ、一列に配列された投光素子Ｔ０〜Ｔ６２を有している。受光ユニットの受光器３２ａ〜３２ｃはそれぞれ、一列に配列された受光素子Ｒ０〜Ｒ６２を有している。受光器３２ａ，３２ｂは、対向する投光器１２ａ，１２ｂの出射光と、対向する投光器に隣接する投光器１２ｂ，１２ｃの出射光とに基づいて入遮光データを生成する。【選択図】図５
2017072446.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の被検査物を検査する検査装置であって、
対向配置され、間に前記被検査物が配置される投光装置及び受光装置と、
前記受光装置の入遮光データに基づいて前記被検査物の欠陥を検出する制御装置と、
を有し、
前記投光装置は、第１の方向に一列に配列された複数の投光ユニットを有し、
前記複数の投光ユニットはそれぞれ、所定の配列間隔で前記第１の方向に一列に配列された複数の投光素子と、前記投光素子が配置された投光側本体ケースを有し、前記投光側本体ケースは、前記複数の投光素子のうちの末端に配置された投光素子から前記投光側本体ケースの端部までの長さが、前記投光素子の配列間隔よりも小さく、前記配列間隔の半分よりも大きく設定され、隣接する２つの前記投光側本体ケースは、互いに隣接する前記末端の投光素子の間の距離が前記配列間隔の２倍にてそれぞれ配置され、
前記受光装置は、前記第１の方向に一列に配列された複数の受光ユニットを有し、
前記複数の受光ユニットはそれぞれ、前記配列間隔で前記第１の方向に一列に配列された複数の受光素子と、前記受光素子が配置された受光側本体ケースを有し、前記受光側本体ケースは、前記複数の受光素子のうちの末端に配置された受光素子から前記受光側本体ケースの端部までの長さが、前記受光素子の配列間隔よりも小さく、前記配列間隔の半分よりも大きく、隣接する２つの前記受光側本体ケースは、互いに隣接する前記末端の受光素子の間の距離が前記配列間隔の２倍にてそれぞれ配置され、
前記受光ユニットは、端部の前記受光素子について、対向する投光ユニットの端部の投光素子の出射光と、前記対向する投光ユニットに隣接する投光ユニットの端部の投光素子の出射光とに基づいて前記入遮光データを生成すること、
を特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記複数の投光ユニットはそれぞれ、同期信号に基づくタイミングにおいて各投光ユニットの同じ配置位置の投光素子を駆動する投光制御回路を有し、
前記複数の受光ユニットはそれぞれ、駆動された前記投光素子に対向する前記受光素子の受光データを前記同期信号に基づくタイミングにて有効とし、有効とした受光データに基づいて前記入遮光データを生成する受光制御回路を有し、
前記受光制御回路は、自ユニットの第１の端部に配置された受光素子に対向する投光素子を駆動するタイミングに基づいて前記自ユニットの第２の端部に配置された受光素子の受光データを有効とし、有効とした前記受光データに基づいて前記入遮光データを生成すること、
を特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記受光制御回路は、前記自ユニットの第２の端部に配置された受光素子に対向する投光素子を駆動するタイミングに基づいて前記自ユニットの第１の端部に配置された受光素子の受光データを有効とし、有効とした前記受光データに基づいて前記入遮光データを生成すること、
を特徴とする請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記受光制御回路は、前記受光ユニットに含まれる複数の受光素子のうち両端部の末端の受光素子を除く受光素子について、前記同期信号に基づいて、投光タイミングに応じて光を出射する一の投光素子に対向する一の受光素子の受光データと、前記一の受光素子に隣接する受光素子の受光データとを有効とし、有効とした前記受光データに基づいて、前記一の受光素子に対応する入遮光データを生成すること、
を特徴とする請求項２または３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記受光ユニットの一方の末端の前記受光素子を第１の受光素子とし、前記第１の受光素子に隣接する受光素子を第２の受光素子とし、前記第１の受光素子に対向する投光素子を第１の投光素子とし、前記受光ユニットの他方の末端の前記受光素子に対向する投光素子を第２の投光素子とし、
前記受光制御回路は、前記第１の投光素子の投光タイミングに応じて前記第１の受光素子の受光データと前記第２の受光素子の受光データとを有効とし、前記第２の投光素子の投光タイミングに応じて前記第２の受光素子の受光データを有効とし、有効とした前記受光データに基づいて、前記第１の受光素子に対応する入遮光データを生成すること、
を特徴とする請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
前記第２の投光素子に隣接する投光素子を第３の投光素子とし、
前記受光制御回路は、前記第２の投光素子の投光タイミングに応じて前記第１の受光素子の受光データと前記第２の受光素子の受光データとを有効とし、前記第３の投光素子の投光タイミングに応じて前記第１の受光素子の受光データを有効とし、有効とした前記受光データに基づいて、前記入遮光データを生成すること、
を特徴とする請求項５に記載の検査装置。
【請求項７】
対向配置され、間に板状の被検査物が配置される投光装置及び受光装置を有し、
前記投光装置は、第１の方向に一列に配列された複数の投光ユニットを有し、
前記複数の投光ユニットはそれぞれ、所定の配列間隔で前記第１の方向に一列に配列された複数の投光素子と、前記投光素子が配置された投光側本体ケースを有し、前記投光側本体ケースは、前記複数の投光素子のうちの末端に配置された投光素子から前記投光側本体ケースの端部までの長さが、前記投光素子の配列間隔よりも小さく、前記配列間隔の半分よりも大きく設定され、隣接する２つの前記投光側本体ケースは、互いに隣接する前記末端の投光素子の間の距離が前記配列間隔の２倍にてそれぞれ配置され、
前記受光装置は、前記第１の方向に一列に配列された複数の受光ユニットを有し、
前記複数の受光ユニットはそれぞれ、前記配列間隔で前記第１の方向に一列に配列された複数の受光素子と、前記受光素子が配置された受光側本体ケースを有し、前記受光側本体ケースは、前記複数の受光素子のうちの末端に配置された受光素子から前記受光側本体ケースの端部までの長さが、前記受光素子の配列間隔よりも小さく、前記配列間隔の半分よりも大きく、隣接する２つの前記受光側本体ケースは、互いに隣接する前記末端の受光素子の間の距離が前記配列間隔の２倍にてそれぞれ配置され、
前記受光ユニットは、端部の前記受光素子について、対向する投光ユニットの端部の投光素子の出射光と、前記対向する投光ユニットに隣接する投光ユニットの端部の投光素子の出射光とに基づいて入遮光データを生成すること、
を特徴とする多光軸光電センサ。
【請求項８】
投光側本体ケースと、前記投光側本体ケースの１つの面に一列に配列された複数の投光素子と、同期信号に基づくタイミングにて前記投光素子を駆動する投光制御回路と、を有する投光ユニットと、
前記投光ユニットに対向配置され、受光側本体ケースと、前記投光側本体ケースの１つの面に一列に配列された複数の受光素子と、前記複数の受光素子の受光データを前記同期信号に基づくタイミングにて有効とし、有効とした前記受光データに基づいて入遮光データを生成する受光制御回路と、を有する受光ユニットと、
を有し、
前記投光ユニットは、他の投光ユニットと直列状に連結可能であり、前記投光側本体ケースは、前記複数の投光素子のうちの末端に配置された投光素子から前記投光側本体ケースの端部までの長さが、前記投光素子の配列間隔よりも小さく、前記配列間隔の半分よりも大きく設定され、隣接する２つの前記投光側本体ケースを互いに隣接する前記末端の投光素子の間の距離が前記配列間隔の２倍にてそれぞれ配置可能であり、
前記受光ユニットは、他の受光ユニットと直列状に連結可能であり、前記受光側本体ケースは、前記複数の受光素子のうちの末端に配置された受光素子から前記受光側本体ケースの端部までの長さが、前記受光素子の配列間隔よりも小さく、前記配列間隔の半分よりも大きく、隣接する２つの前記受光側本体ケースを互いに隣接する前記末端の受光素子の間の距離が前記配列間隔の２倍にてそれぞれ配置可能であり、
前記受光制御回路は、前記複数の受光素子に対向する投光素子の駆動タイミングに応じて各受光素子の受光データを有効として各受光素子に対応する入遮光データを生成するとともに、第１の端部に配置された受光素子に対向する投光素子を駆動するタイミングに基づいて第２の端部に配置された受光素子の受光データを有効とし、有効とした前記受光データに基づいて入遮光データを生成すること、
を特徴とする多光軸光電センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置及び多光軸光電センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被検査物の検出や検査するための装置が各種提案されている。たとえば、欠陥を検出するための装置は、イメージセンサを用いて、樹脂シートや木材などの平板状の被検査物における穴等の欠陥を検出する（たとえば、特許文献１参照）。また、平板上の被検出物の有無を検出する装置として、投光素子と受光素子を有する光電センサが用いられる（たとえば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平３−１３７５４６号公報
【特許文献２】特開平８−１４８９８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、被検査物の大きさに応じて複数のユニットを用いる場合がある。このような場合、隣接する２つのユニットにおいて、それぞれのユニットの機構によって配置が制約される。このため、ユニットとユニットとの間において、他の部分と光軸間隔が異なってしまい、検査装置として一定の間隔で検出することができない問題が生じる。
【０００５】
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、ユニットとユニットの間における検出精度の低下を抑制することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決する検査装置は、板状の被検査物を検査する検査装置であって、対向配置され、間に前記被検査物が配置される投光装置及び受光装置と、前記受光装置の入遮光データに基づいて前記被検査物の欠陥を検出する制御装置と、を有し、前記投光装置は、第１の方向に一列に配列された複数の投光ユニットを有し、前記複数の投光ユニットはそれぞれ、所定の配列間隔で前記第１の方向に一列に配列された複数の投光素子と、前記投光素子が配置された投光側本体ケースを有し、前記投光側本体ケースは、前記複数の投光素子のうちの末端に配置された投光素子から前記投光側本体ケースの端部までの長さが、前記投光素子の配列間隔よりも小さく、前記配列間隔の半分よりも大きく設定され、隣接する２つの前記投光側本体ケースは、互いに隣接する前記末端の投光素子の間の距離が前記配列間隔の２倍にてそれぞれ配置され、前記受光装置は、前記第１の方向に一列に配列された複数の受光ユニットを有し、前記複数の受光ユニットはそれぞれ、前記配列間隔で前記第１の方向に一列に配列された複数の受光素子と、前記受光素子が配置された受光側本体ケースを有し、前記受光側本体ケースは、前記複数の受光素子のうちの末端に配置された受光素子から前記受光側本体ケースの端部までの長さが、前記受光素子の配列間隔よりも小さく、前記配列間隔の半分よりも大きく、隣接する２つの前記受光側本体ケースは、互いに隣接する前記末端の受光素子の間の距離が前記配列間隔の２倍にてそれぞれ配置され、前記受光ユニットは、端部の前記受光素子について、対向する投光ユニットの端部の投光素子の出射光と、前記対向する投光ユニットに隣接する投光ユニットの端部の投光素子の出射光とに基づいて前記入遮光データを生成する。
【０００７】
この構成によれば、受光ユニットの受光素子と、対向する投光ユニットの投光素子により、投光素子と受光素子の配列ピッチにて被検査物が検査される。受光ユニットの受光素子について、対向する投光ユニットに隣接する投光ユニットの投光素子との間の光軸により、被検査物が検査される。隣接する投光ユニット及び受光ユニットの中間点において、被検査物検査される。このため、隣接する投光ユニットの間、隣接する受光ユニットの間において、投光素子及び受光素子の配置ピッチと等しい間隔にて被検査物の検査が可能となる。これにより、検査精度の低下が抑制される。
【０００８】
上記の検査装置は、前記複数の投光ユニットはそれぞれ、同期信号に基づくタイミングにおいて各投光ユニットの同じ配置位置の投光素子を駆動する投光制御回路を有し、前記複数の受光ユニットはそれぞれ、駆動された前記投光素子に対向する前記受光素子の受光データを前記同期信号に基づくタイミングにて有効とし、有効とした受光データに基づいて前記入遮光データを生成する受光制御回路を有し、前記受光制御回路は、自ユニットの第１の端部に配置された受光素子に対向する投光素子を駆動するタイミングに基づいて前記自ユニットの第２の端部に配置された受光素子の受光データを有効とし、有効とした前記受光データに基づいて前記入遮光データを生成することが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、同期信号に基づいて、隣接する投光ユニットの投光素子を駆動するタイミングに、自ユニットの受光素子の受光データを有効とする。これにより、隣接する投光ユニットの出射光に応じた入遮光データが容易に生成される。
【００１０】
上記の検査装置は、前記受光制御回路は、前記自ユニットの第２の端部に配置された受光素子に対向する投光素子を駆動するタイミングに基づいて前記自ユニットの第１の端部に配置された受光素子の受光データを有効とし、有効とした前記受光データに基づいて前記入遮光データを生成することが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、同期信号により、自ユニットに対向する投光ユニットの投光素子を駆動するタイミングは、隣接する投光ユニットの投光素子を駆動するタイミングと等しい。したがって、自ユニットに対向する投光ユニットのタイミングにより、容易に受光素子の受光データを有効とすることが可能となる。
【００１２】
上記の検査装置は、前記受光制御回路は、前記受光ユニットに含まれる複数の受光素子のうち両端部の末端の受光素子を除く受光素子について、前記同期信号に基づいて、投光タイミングに応じて光を出射する一の投光素子に対向する一の受光素子の受光データと、前記一の受光素子に隣接する受光素子の受光データとを有効とし、有効とした前記受光データに基づいて、前記一の受光素子に対応する入遮光データを生成することが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、受光素子に対向する投光素子を駆動するタイミングにおいて、その受光素子と隣接する受光素子の受光データを有効とすることで、隣接する受光素子の間において被検査物の検査が可能となる。つまり、素子の配置ピッチよりも狭い間隔において被検査物の検査を可能とすることができる。
【００１４】
上記の検査装置は、前記受光ユニットの一方の末端の前記受光素子を第１の受光素子とし、前記第１の受光素子に隣接する受光素子を第２の受光素子とし、前記第１の受光素子に対向する投光素子を第１の投光素子とし、前記受光ユニットの他方の末端の前記受光素子に対向する投光素子を第２の投光素子とし、前記受光制御回路は、前記第１の投光素子の投光タイミングに応じて前記第１の受光素子の受光データと前記第２の受光素子の受光データとを有効とし、前記第２の投光素子の投光タイミングに応じて前記第２の受光素子の受光データを有効とし、有効とした前記受光データに基づいて、前記第１の受光素子に対応する入遮光データを生成することが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、受光ユニットの端部の受光素子において、対向する投光ユニットに隣接する投光ユニットから出射される光による受光データに基づいて入遮光データを生成することで、素子の配置ピッチよりも狭い間隔において被検査物の検査を可能とすることができる。
【００１６】
上記の検査装置は、前記第２の投光素子に隣接する投光素子を第３の投光素子とし、前記受光制御回路は、前記第２の投光素子の投光タイミングに応じて前記第１の受光素子の受光データと前記第２の受光素子の受光データとを有効とし、前記第３の投光素子の投光タイミングに応じて前記第１の受光素子の受光データを有効とし、有効とした前記受光データに基づいて、前記入遮光データを生成することが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、隣接する投光ユニットの間、隣接する受光ユニットの間において、投光素子及び受光素子の配置間隔よりも狭い間隔において被検査物の検査を可能とすることができる。
【００１８】
上記課題を解決する多光軸光電センサは、対向配置され、間に板状の被検査物が配置される投光装置及び受光装置を有し、前記投光装置は、第１の方向に一列に配列された複数の投光ユニットを有し、前記複数の投光ユニットはそれぞれ、所定の配列間隔で前記第１の方向に一列に配列された複数の投光素子と、前記投光素子が配置された投光側本体ケースを有し、前記投光側本体ケースは、前記複数の投光素子のうちの末端に配置された投光素子から前記投光側本体ケースの端部までの長さが、前記投光素子の配列間隔よりも小さく、前記配列間隔の半分よりも大きく設定され、隣接する２つの前記投光側本体ケースは、互いに隣接する前記末端の投光素子の間の距離が前記配列間隔の２倍にてそれぞれ配置され、前記受光装置は、前記第１の方向に一列に配列された複数の受光ユニットを有し、前記複数の受光ユニットはそれぞれ、前記配列間隔で前記第１の方向に一列に配列された複数の受光素子と、前記受光素子が配置された受光側本体ケースを有し、前記受光側本体ケースは、前記複数の受光素子のうちの末端に配置された受光素子から前記受光側本体ケースの端部までの長さが、前記受光素子の配列間隔よりも小さく、前記配列間隔の半分よりも大きく、隣接する２つの前記受光側本体ケースは、互いに隣接する前記末端の受光素子の間の距離が前記配列間隔の２倍にてそれぞれ配置され、前記受光ユニットは、端部の前記受光素子について、対向する投光ユニットの端部の投光素子の出射光と、前記対向する投光ユニットに隣接する投光ユニットの端部の投光素子の出射光とに基づいて入遮光データを生成する。
【００１９】
この構成によれば、受光ユニットの受光素子と、対向する投光ユニットの投光素子により、投光素子と受光素子の配列ピッチにて被検査物が検査される。受光ユニットの受光素子について、対向する投光ユニットに隣接する投光ユニットの投光素子との間の光軸により、被検査物が検査される。隣接する投光ユニット及び受光ユニットの中間点において、被検査物検査される。このため、隣接する投光ユニットの間、隣接する受光ユニットの間において、投光素子及び受光素子の配置ピッチと等しい間隔にて被検査物の検査が可能となる。これにより、検査精度の低下が抑制される。
【００２０】
上記課題を解決する多光軸光電センサは、投光側本体ケースと、前記投光側本体ケースの１つの面に一列に配列された複数の投光素子と、同期信号に基づくタイミングにて前記投光素子を駆動する投光制御回路と、を有する投光ユニットと、前記投光ユニットに対向配置され、受光側本体ケースと、前記投光側本体ケースの１つの面に一列に配列された複数の受光素子と、前記複数の受光素子の受光データを前記同期信号に基づくタイミングにて有効とし、有効とした前記受光データに基づいて入遮光データを生成する受光制御回路と、を有する受光ユニットと、を有し、前記投光ユニットは、他の投光ユニットと直列状に連結可能であり、前記投光側本体ケースは、前記複数の投光素子のうちの末端に配置された投光素子から前記投光側本体ケースの端部までの長さが、前記投光素子の配列間隔よりも小さく、前記配列間隔の半分よりも大きく設定され、隣接する２つの前記投光側本体ケースを互いに隣接する前記末端の投光素子の間の距離が前記配列間隔の２倍にてそれぞれ配置可能であり、前記受光ユニットは、他の受光ユニットと直列状に連結可能であり、前記受光側本体ケースは、前記複数の受光素子のうちの末端に配置された受光素子から前記受光側本体ケースの端部までの長さが、前記受光素子の配列間隔よりも小さく、前記配列間隔の半分よりも大きく、隣接する２つの前記受光側本体ケースを互いに隣接する前記末端の受光素子の間の距離が前記配列間隔の２倍にてそれぞれ配置可能であり、前記受光制御回路は、前記複数の受光素子に対向する投光素子の駆動タイミングに応じて各受光素子の受光データを有効として各受光素子に対応する入遮光データを生成するとともに、第１の端部に配置された受光素子に対向する投光素子を駆動するタイミングに基づいて第２の端部に配置された受光素子の受光データを有効とし、有効とした前記受光データに基づいて入遮光データを生成する。
【００２１】
この構成によれば、投光ユニット及び受光ユニットを直列に接続して広い幅の被検査物の検査を可能とすることができる。そして、受光ユニットの受光素子と、対向する投光ユニットの投光素子により、投光素子と受光素子の配列ピッチにて被検査物が検査される。受光ユニットの受光素子について、対向する投光ユニットに隣接する投光ユニットの投光素子との間の光軸により、被検査物が検査される。隣接する投光ユニット及び受光ユニットの中間点において、被検査物検査される。このため、隣接する投光ユニットの間、隣接する受光ユニットの間において、投光素子及び受光素子の配置ピッチと等しい間隔にて被検査物の検査が可能となる。これにより、検査精度の低下が抑制される。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の検査装置及び多光軸光電センサによれば、ユニットとユニットの間における検出精度の低下を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】検査装置の概略構成を示す説明図。
【図２】検査装置の概略構成を示すブロック図。
【図３】（ａ）は受光器のブロック図、（ｂ）は投光器のブロック図。
【図４】（ａ）は投光素子の配列を示す投光器の概略図、（ｂ）は受光素子の配列を示す受光器の概略図。
【図５】第一実施形態の投受光スキャン動作における投光素子と受光素子の対応を示す説明図。
【図６】（ａ）は投光器の動作説明図、（ｂ）は受光器の動作説明図。
【図７】（ａ）（ｂ）は第二実施形態の投受光スキャン動作における投光素子と受光素子の対応を示す説明図。
【図８】（ａ）は投光器の動作説明図、（ｂ）は受光器の動作説明図。
【図９】第二実施形態の表示部の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、各形態を説明する。
なお、添付図面は、理解を容易にするために構成要素を拡大して示している場合がある。構成要素の寸法比率は実際のものと、または別の図面中のものと異なる場合がある。
【００２５】
＜検査装置の概要＞
図１に示すように、検査装置は、板状のワークＷ（被検出物）を検査する。検査装置は、ワークＷの欠陥Ｗｅを検出する。ワークＷは、たとえば、木製の板材であり、ローラＵＲ，ＬＲにより搬送される。ワークＷの欠陥Ｗｅは、たとえば穴（板材にあってはたとえば節穴）である。
【００２６】
図１に示すように、検査装置は、投光装置１０と、受光装置３０と、制御装置５０とを有している。制御装置５０は、投光装置１０と受光装置３０を制御する。
投光装置１０は、ワークＷの下面側に配置され、受光装置３０はワークの上面側に配置される。
【００２７】
投光装置１０は複数の投光素子を有し、受光装置３０は複数の受光素子を有している。投光素子はたとえば発光ダイオード（ＬＥＤ：Light Emitting Diode）であり、受光素子はたとえばフォトダイオードである。投光装置１０と受光装置３０は、互いの素子を対向するように配設されている。
【００２８】
投光装置１０は、各投光素子により所定の波長の光（たとえば赤外光）を出射する。受光装置３０は、各受光素子における受光レベルに応じた検出信号を出力する。制御装置５０は、受光装置３０から出力される検出信号に基づいて、投光装置１０と受光装置３０の間の光軸の位置における穴の有無を判定する。
【００２９】
図２に示すように、投光装置１０は、複数（図２では４個）の投光ユニット１１ａ〜１１ｄを有している。同様に、受光装置３０は複数（４個）の受光ユニット３１ａ〜３１ｄを有している。制御装置５０は、電源部５１、通信部５２、判定部５３、感度切換部５４を有している。
【００３０】
投光ユニット１１ａは、投光器１２ａと複数（図では４個）の接続部１３ａ，１４ａ，１５ａ，１６ａとを有している。接続部１３ａ〜１６ａは、たとえば投光器１２ａに一端が接続されたケーブルと、ケーブルの他端に接続されたコネクタとを含む。なお、以下の説明において、接続部をコネクタとして説明する。同様に、投光ユニット１１ｂ〜１１ｄは、投光器１２ｂ〜１２ｄと、投光器１２ｂ〜１２ｄに接続されたコネクタ１３ｂ〜１６ｂ、１３ｃ〜１６ｃ，１３ｄ〜１６ｄを有している。
【００３１】
投光ユニット１１ａのコネクタ１５ａ，１６ａは、投光ユニット１１ｂのコネクタ１３ｂ，１４ｂにそれぞれ接続されている。投光ユニット１１ｂのコネクタ１５ｂ，１６ｂは、投光ユニット１１ｃのコネクタ１３ｃ，１４ｃにそれぞれ接続されている。投光ユニット１１ｃのコネクタ１５ｃ，１６ｃは、投光ユニット１１ｄのコネクタ１３ｄ，１４ｄにそれぞれ接続されている。このように、投光ユニット１１ａ〜１１ｄ（投光器１２ａ〜１２ｄ）は直列に接続されている。なお、コネクタ１５ｄ、１６ｄは未接続である。
【００３２】
受光ユニット３１ａは、受光器３２ａと複数（図では４個）の接続部３３ａ，３４ａ，３５ａ，３６ａを有している。接続部３３ａ〜３６ａは、受光器３２ａに一端が接続されたケーブルと、ケーブルの他端に接続されたコネクタを含む。投光ユニットと同様に、接続部をコネクタとして説明する。同様に、受光ユニット３１ｂ〜３１ｄは、受光器３２ｂ〜３２ｄと、受光器３２ｂ〜３２ｄに接続されたコネクタ３３ｂ〜３６ｂ、３３ｃ〜３６ｃ，３３ｄ〜３６ｄを有している。
【００３３】
受光ユニット３１ａのコネクタ３５ａ，３６ａは、受光ユニット３１ｂのコネクタ３３ｂ，３４ｂにそれぞれ接続されている。受光ユニット３１ｂのコネクタ３５ｂ，３６ｂは、受光ユニット３１ｃのコネクタ３３ｃ，３４ｃにそれぞれ接続されている。受光ユニット３１ｃのコネクタ３５ｃ，３６ｃは、受光ユニット３１ｄのコネクタ３３ｄ，３４ｄにそれぞれ接続されている。このように、受光ユニット３１ａ〜３１ｄ（受光器３２ａ〜３２ｄ）は直列に接続されている。
【００３４】
初段の投光ユニット１１ａのコネクタ１３ａにはコネクタ６１が接続され、そのコネクタ６１は制御装置５０の電源部５１に接続されている。また、初段の受光ユニット３１ａのコネクタ３３ａには、コネクタ６３が接続され、そのコネクタ６３は電源部５１に接続されている。
【００３５】
電源部５１は、投光装置１０と受光装置３０の動作電圧を生成する。この動作電圧は、各投光ユニット１１ａ〜１１ｄのコネクタ１３ａ〜１３ｄ，１５ａ〜１５ｃを介して投光器１２ａ〜１２ｄに供給される。また、動作電圧は、各受光ユニット３１ａ〜３１ｄのコネクタ３３ａ〜３３ｄ，３５ａ〜３５ｃを介して受光器３２ａ〜３２ｄに供給される。
【００３６】
また、初段の投光ユニット１１ａのコネクタ１４ａにはコネクタ６２が接続され、そのコネクタ６２は同期線ＳＬを介してコネクタ６４に接続されている。そのコネクタ６４は初段の受光ユニット３１ａのコネクタ３３ａに接続されている。同期線ＳＬは、投光装置１０と受光装置３０とが同期動作するための同期信号を伝達する。本実施形態において、同期信号は、初段の投光ユニット１１ａにより生成される。そして、同期信号は、コネクタ１５ａ〜１５ｃ，１３ｂ〜１３ｄを介して投光ユニット１１ｂ〜１１ｄ（投光器１２ｂ〜１２ｄ）に供給される。また、同期信号は、同期線ＳＬを介して初段の受光ユニット３１ａ（受光器３２ａ）に供給される。そして、同期信号は、コネクタ３５ａ〜３５ｃ，３３ｂ〜３３ｄを介して各受光ユニット３１ｂ〜３１ｄ（受光器３２ｂ〜３２ｄ）に供給される。
【００３７】
また、コネクタ６２は制御装置５０の感度切換部５４に接続されている。感度切換部５４は、感度切換信号を出力する。その感度切換信号は、各投光器１２ａ〜１２ｄに供給される。各投光器１２ａ〜１２ｄは、感度切換信号に基づいて、出射光量を変更する。
【００３８】
初段の受光ユニット３１ａのコネクタ３４ａにはコネクタ６４が接続され、そのコネクタ６４は制御装置５０の通信部５２に接続されている。そして、最終段の受光ユニット３１ｄのコネクタ３６ｄには終端器７１が接続されている。なお、コネクタ３５ｄは未接続である。通信部５２は、各受光ユニット３１ａ〜３１ｄと通信し、各受光ユニット３１ａ〜３１ｄの受光結果を受信する。判定部５３は、受信した受光結果に基づいて、ワークＷにおける欠陥の有無を判定する。
【００３９】
図３（ｂ）に示すように、投光器１２ａは、複数（たとえば６３個）の投光素子Ｔ０〜Ｔ６２（Ｔ０〜Ｔ１５，Ｔ１６〜Ｔ３１，Ｔ３２〜Ｔ４７，Ｔ４８〜Ｔ６２）を有している。なお、図３（ｂ）では、後述する駆動単位毎に、その駆動単位の端部の投光素子のみを示している。投光素子に付した符号の数字（０〜６２）は、投光素子の配列順序（チャネル番号）を示す。
【００４０】
投光器１２ａは、投光制御回路２１と、同期回路２２と、複数（たとえば６３個）の駆動回路２３を有している。各投光素子Ｔ０〜Ｔ６２は、それぞれ駆動回路２３を介して投光制御回路２１に接続されている。投光制御回路２１には、同期回路２２に接続されている。同期回路２２は、受信した同期信号を投光制御回路２１に出力するとともに、同期信号を送信する。また、同期回路２２は、同期信号を受信しない場合、投光器１２ａの動作信号（たとえばクロック信号）に基づいて同期信号を生成し、その同期信号を投光制御回路２１に出力するとともに送信する。
【００４１】
投光制御回路２１は、同期信号に基づいて、駆動回路２３を介して投光素子Ｔ０〜Ｔ６２を駆動する。たとえば、投光制御回路２１は、制御信号を出力する。制御信号を受けた駆動回路２３は、投光素子Ｔ０〜Ｔ６２を駆動する。駆動された投光素子Ｔ０〜Ｔ６２は、所定波長の光を出射する。たとえば、駆動回路２３は、図２に示す感度切換部５４から供給される感度切換信号に応じた駆動電流を投光素子Ｔ０〜Ｔ６２に供給する。これにより、感度切換信号、つまり設定される感度に応じた強度（量）の光が投光素子Ｔ０〜Ｔ６２から出射される。
【００４２】
図２に示す投光器１２ｂ〜１２ｄは、図３（ｂ）に示す投光器１２ａと同様に、投光制御回路２１、同期回路２２、駆動回路２３、投光素子Ｔ０〜Ｔ６２を有している。なお、投光制御回路２１等の動作については同じであるため、図面及び説明を省略する。
【００４３】
図３（ａ）に示すように、受光器３２ａは、複数（たとえば６３個）の受光素子Ｒ０〜Ｒ６２（Ｒ０〜Ｒ１５，Ｒ１６〜Ｒ３１，Ｒ３２〜Ｒ４７，Ｒ４８〜Ｒ６２）を有している。なお、図３（ａ）では、後述する投光素子の駆動単位毎に、それらの投光素子に対向する受光素子のみを示している。受光素子に付した符号の数字（０〜６２）は、受光素子の配列順序（チャネル番号）を示す。また、数字は、後述する入遮光データのチャネル番号を示す。
【００４４】
受光器３２ａは、受光制御回路４１と、同期回路４２と、通信回路４３と、表示部４４と、複数（たとえば６３個）の増幅回路（アンプ）４５を有している。各受光素子Ｒ０〜Ｒ６２は、それぞれ増幅回路４５を介して受光制御回路４１に接続されている。受光制御回路４１には、同期回路４２、通信回路４３、表示部４４が接続されている。受光制御回路４１は、メモリ４６を有している。
【００４５】
同期回路４２は、受信した同期信号を受光制御回路４１に出力するとともに送信する。受光制御回路４１は、同期信号に基づいて、増幅回路４５を介して受光素子Ｒ０〜Ｒ６２から入力した受光信号を有効とする。そして、受光制御回路４１は、有効とした受光信号のレベルに基づいて、入遮光データを生成する。入遮光データは、入光・遮光状態を示すデータである。たとえば、「１」の入遮光データは入光状態を示し、「０」の入遮光データは遮光状態を示す。
【００４６】
受光制御回路４１は、入光状態か遮光状態かを判定するための比較回路（コンパレータ）を有している。たとえば、受光制御回路４１は、１８個の比較回路を有している。これらの比較回路のうちの幾つか（たとえば６個）の比較回路は増幅回路に直接接続され、残りの比較回路はスイッチ回路を介して増幅回路に接続されている。各比較回路には、比較信号が供給される。比較信号のレベルは、入光状態と遮光状態を判定するしきい値である。
【００４７】
受光制御回路４１は、スイッチ回路をオンすることにより、そのスイッチ回路に対応する受光素子の受光信号を有効とする。比較回路は、受光信号のレベルを比較信号のレベルと比較し、受光データを出力する。また、受光制御回路４１は、受光信号の有効・無効を、比較回路の出力信号（受光データ）を選択するか否かによって制御する。
【００４８】
スイッチ回路を用いた場合、複数の受光素子に対応するスイッチ回路を制御することにより、複数の受光素子の受光信号に対して１つの比較回路により受光データを生成することができる。これにより、受光素子の数に対して比較回路の数が少なくなるため、回路規模（回路面積）を低減することが可能となる。一方、受光データを選択する場合、受光データを任意のタイミングで選択することができる。これらは、後述するエリアやスキャンにより、受光素子に対して設定される。
【００４９】
そして、本実施形態は、受光制御回路４１は、６３個の受光素子Ｒ０〜Ｒ６２に基づいて、６４個の入遮光データを生成する。入遮光データの生成については後述する。
通信回路４３は、図２に示すコネクタ３４ａ，６４を介して制御装置５０の通信部５２に接続される。通信回路４３は、所定の通信規約（プロトコル）に従って自ユニット３１ａ（受光器３２ａ）のアドレス（局番）を設定する。通信回路４３は、制御装置５０の通信部５２からの要求に応答して、受光制御回路４１に保持された入遮光データを読み出し、その入遮光データを送信する。
【００５０】
図２に示す受光器３２ｂ〜３２ｄは、図３に示す受光器３２ａと同様に、受光制御回路４１、同期回路４２、通信回路４３、表示部４４、増幅回路４５を有している。なお、受光制御回路４１等の動作については同じであるため、図面及び説明を省略する。
【００５１】
ここで、同期信号の生成の一例を説明する。
図２に示す投光ユニット１１ａのコネクタ１３ａは、図３（ｂ）に示す同期回路２２の受信側の端子に接続されている。同期回路２２の送信側の端子は、図２に示すコネクタ１４ａ，１５ａに接続されている。投光ユニット１１ａの投光器１２ａにおいて、同期回路２２の受信側の端子は未接続である。投光ユニット１１ｂの投光器１２ｂに含まれる同期回路２２において、受信側の端子はコネクタ１３ｂに接続され、そのコネクタ１３ｂには投光ユニット１１ａのコネクタ１５ａが接続されている。したがって、投光器１２ｂにおいて、同期回路２２の受信側の端子は接続されている。
【００５２】
受信側の端子が未接続である同期回路、つまり投光ユニット１１ａの投光器１２ａに含まれる同期回路２２は、同期信号を生成する。その同期信号は、コネクタ１４ａ，１５ａに対して出力される。
【００５３】
投光ユニット１１ｂのコネクタ１３ｂは投光ユニット１１ａのコネクタ１５ａに接続されている。したがって、投光ユニット１１ｂの投光器１２ｂに含まれる同期回路２２は、同期信号を受信し、同期信号をコネクタ１５ｂに出力する。投光ユニット１１ｃ，１１ｄの投光器１２ｃ，１２ｄに含まれる同期回路２２は、投光ユニット１１ｂの投光器１２ｂに含まれる同期回路２２と同様に動作する。このように、同期信号は、投光ユニット１１ａの投光器１２ａに含まれる同期回路２２から、各投光ユニット１１ｂ〜１１ｄの投光器１２ｂ〜１２ｄに供給される。
【００５４】
投光ユニット１１ａのコネクタ１４ａは、コネクタ６２，同期線ＳＬ，コネクタ６３を介して受光ユニット３１ａのコネクタ３３ａに接続されている。コネクタ３３ａは、図３（ａ）に示す受光器３２ａの同期回路４２の受信側端子に接続されている。したがって、受光器３２ａの同期回路４２は、同期信号を受信する。そして、この同期回路４２は、同期信号を図２に示すコネクタ３５ａに出力する。このコネクタ３５ａには、受光ユニット３１ｂのコネクタ３３ｂが接続されている。受光ユニット３１ｂの受光器３２ｂに含まれる同期回路４２は、同期信号を受信し、同期信号をコネクタ３５ｂに出力する。受光ユニット３１ｃ、３１ｄの受光器３２ｃ、３２ｄに含まれる同期回路４２は、受光ユニット３１ｂの受光器３２ｂに含まれる同期回路４２と同様に動作する。このように同期信号は、各受光ユニット３１ａ〜３１ｄに供給される。
【００５５】
図４（ａ）に示すように、投光器１２ａは、そのケース１７ａの出射面が矩形状に形成されている。投光器１２ａに含まれる６３個の投光素子Ｔ０〜Ｔ６２は、ケース１７ａの長手方向に一列に配置されている。各投光素子Ｔ０〜Ｔ６２それぞれの間の間隔は、互いに等しく設定されている。つまり、複数の投光素子Ｔ０〜Ｔ６２は、等ピッチにて一列に配置されている。投光素子Ｔ０〜Ｔ６２の配置間隔（ピッチ）をＬ１とする。そして、ケース１７ａの端部から、それぞれの端部に最も近い投光素子Ｔ０，Ｔ６２までの距離をＬ２とする。この距離Ｌ２は、配置間隔Ｌ１より小さく、配置間隔Ｌ１の２分の１（＝Ｌ１／２）より大きい。図４（ａ）に一部を示す投光器１２ｂのケース１７ｂ及び投光素子Ｔ０〜Ｔ６２は、投光器１２ａと同様である。また、図２に示す他の投光器１２ｃ，１２ｄのケース及び投光素子は、投光器１２ａと同様である。
【００５６】
図２に示すように、投光装置１０は、４個の投光ユニット１１ａ〜１１ｄ、つまり４個の投光器１２ａ〜１２ｄを有している。これら４個の投光器１２ａ〜１２ｄは、投光素子が一直線上となるように配置されている。そして、図４（ａ）に示すように、隣接する投光器１２ａ，１２ｂは、それぞれの端部に配置された投光素子Ｔ６２，Ｔ０の間隔Ｌ３が、投光素子の配置ピッチＬ１の２倍となるように配置されている。図２に示す投光器１２ｂ〜１２ｄについても同様に配置されている。
【００５７】
図４（ｂ）に示すように、受光器３２ａは、そのケース３７ａの出射面が矩形状に形成されている。受光器３２ａに含まれる６３個の受光素子Ｒ０〜Ｒ６２は、ケース３７ａの長手方向に一列に配置されている。各受光素子Ｒ０〜Ｒ６２それぞれの間の間隔は、互いに等しく設定されている。つまり、複数の受光素子Ｒ０〜Ｒ６２は、等ピッチにて一列に配置されている。受光素子Ｒ０〜Ｒ６２の配置間隔（ピッチ）は、図４（ａ）に示す投光素子Ｔ０〜Ｔ６２の配置ピッチと等しく、Ｌ１である。そして、ケース３７ａの端部から、それぞれの端部に最も近い受光素子Ｒ０，Ｒ６２までの距離はＬ２である。この距離Ｌ２は、配置間隔Ｌ１より小さく、配置間隔Ｌ１の２分の１（＝Ｌ１／２）より大きい。図４（ｂ）に一部を示す受光器３２ｂのケース３７ｂ及び受光素子Ｒ０〜Ｒ６２は、受光器３２ａと同様である。また、図２に示す他の受光器３２ｃ，３２ｄのケース及び受光素子は、受光器３２ａと同様である。
【００５８】
図２に示すように、受光装置３０は、４個の受光ユニット３１ａ〜３１ｄ、つまり４個の受光器３２ａ〜３２ｄを有している。これら４個の受光器３２ａ〜３２ｄは、受光素子が一直線上となるように配置されている。そして、図４（ｂ）に示すように、隣接する受光器３２ａ，３２ｂは、それぞれの端部に配置された受光素子Ｒ６２，Ｒ０の間隔Ｌ３が、受光素子の配置ピッチＬ１の２倍となるように配置されている。図２に示す受光器３２ｂ〜３２ｄについても同様に配置されている。
【００５９】
なお、図２では、４個の投光ユニット１１ａ〜１１ｄ及び受光ユニット３１ａ〜３１ｄを示したが、投光ユニット及び受光ユニットの数は、投光ユニットに含まれる投光素子の配置ピッチ（受光ユニットに含まれる受光素子の配置ピッチ）と、図１に示すワークＷの幅に応じて設定される。たとえば、投光素子及び受光素子の配置ピッチを４ミリメートル（ｍｍ）、ワークＷの幅を３０００ｍｍとする。この場合、直列に接続され１列に配列された１２個の投光器（投光ユニット）により投光装置が形成され、受光装置は、直列に接続され１列に配列された１２個の受光器（受光ユニット）により受光装置が形成される。
【００６０】
図２に示す検査装置は、投光装置１０と受光装置３０との間に光軸を形成する。光軸は、投光装置１０と受光装置３０の間に配置されるワークＷの状態に応じて遮光される。ワークＷに含まれる欠陥（穴）は、その欠陥の位置における光を通過させる。その通過した光は、受光装置３０に光を入光される。つまり、受光装置３０における入光と遮光の状態により、その光軸位置に欠陥（穴）の有無を判定することができる。
【００６１】
なお、図２に示す検査装置において、投光装置１０の投光ユニット１１ａ〜１１ｄにそれぞれ含まれる投光制御回路２１と、受光装置３０の受光ユニット３１ａ〜３１ｄにそれぞれ含まれる受光制御回路４１は、検査装置における投受光スキャン動作を行う。詳しくは、投光制御回路２１は、同期信号に基づいて投光スキャン動作を行い、各投光ユニット１１ａ〜１１ｄにそれぞれ含まれる投光素子Ｔ０〜Ｔ６２を駆動し、光を出射する。受光制御回路４１は、同期信号に基づいて受光スキャン動作を行い、受光素子Ｒ０〜Ｒ６２の受光データを有効とする。そして、受光制御回路４１は、有効とした受光データに基づいて入遮光データを生成する。
【００６２】
（第一実施形態）
次に、第一実施形態の投受光スキャン動作と作用を説明する。
図５に示すように、投光器１２ｂの各投光素子Ｔ０〜Ｔ６２と、投光器１２ｂと対向する受光器３２ｂにおいて、各投光素子Ｔ０〜Ｔ６２とそれぞれ対向する受光素子Ｒ０〜Ｒ６２を結ぶ直線を光軸ＬＸ０〜ＬＸ６２とする。なお、図５では、一部の投光素子Ｔ０，Ｔ１，Ｔｎ−１，Ｔｎ，Ｔｎ＋１，Ｔ６１，Ｔ６２（ｎは１〜６２の整数）及び受光素子Ｒ０，Ｒ１，Ｒｎ−１，Ｒｎ，Ｒｎ＋１，Ｒ６１，Ｒ６２と、それらにより形成される光軸ＬＸ０，ＬＸ１，ＬＸｎ−１，ＬＸｎ，ＬＸｎ＋１，ＬＸ６１，ＬＸ６２を示している。省略した投光素子及び受光素子による光軸は、たとえば投光素子Ｔｎと受光素子Ｒｎによる光軸ＬＸｎと同様である。
【００６３】
投光器１２ｂの投光制御回路２１は、同期信号に基づいて投光スキャン動作を実行する。投光スキャン動作において、投光制御回路２１は、同期信号に基づいて、投光素子Ｔ０〜Ｔ６２を駆動する。
【００６４】
受光器３２ｂの受光制御回路４１は、同期信号に基づいて受光スキャン動作を実行する。受光スキャン動作において、受光制御回路４１は、同期信号に基づいて、駆動される投光素子に対向する受光素子の受光データを有効とする。たとえば、投光素子Ｔ０が駆動されるタイミングにおいて、受光素子Ｒ０の受光データを有効とする。この場合、投光素子Ｔ０と受光素子Ｒ０との間に形成される光軸ＬＸ０において、検査対象の有無に応じて、受光素子Ｒ０に対して入光又は遮光される。
【００６５】
なお、本実施形態において、ワークＷはたとえば木材であり、非投光性を有している。したがって、ワークＷは、投光素子Ｔ０から出射された光を遮光する。また、ワークＷに生じた欠陥（穴）は、投光素子Ｔ０から出射された光を透過する。受光素子Ｒ０は、入射光量に応じたレベルの受光信号を出力する。受光制御回路４１は、その受光信号と基準信号とを比較し、受光データを生成する。そして、受光制御回路４１は、その受光データに基づいて、受光素子Ｒ０に対応する入遮光データを生成する。同様に、受光制御回路４１は、受光素子Ｒ０〜Ｒ６２について、対向する投光素子Ｔ０〜Ｔ６２を駆動するタイミングで受光データを有効とし、各受光素子Ｒ０〜Ｒ６２に対応する入遮光データを生成する。
【００６６】
また、受光制御回路４１は、受光器３２ｂに対向する投光器１２ｂに隣接する投光器１２ｃの出射光に基づいて入遮光データを生成する。詳述すると、受光制御回路４１は、末端の受光素子Ｒ６２について、投光器１２ｃの末端の投光素子Ｔ０が駆動されるタイミングに応じて受光素子Ｒ６２の受光データを有効とする。この場合、投光器１２ｃの末端の投光素子Ｔ０と、受光器３２ｂの末端の受光素子Ｒ６２との間に、斜めの光軸ＬＸ６３が形成される。この斜めの光軸ＬＸ６３において、検査対象に応じて、受光素子Ｒ６２に対して入光または遮光される。
【００６７】
図５において、一点鎖線は、ワークＷの配置位置の一例を示す。この位置は、たとえば投光器１２ｂ，１２ｃと受光器３２ｂ，３２ｃとの中間位置である。この位置の場合、素子の配列方向（図５の左右方向）において、受光素子Ｒ６２と投光素子Ｔ０との中間の位置における検査対象の有無（穴の有無）に応じて、受光素子Ｒ６２に対して入光または遮光される。この投光素子Ｔ０と受光素子Ｒ６２による光軸ＬＸ６３は、受光器３２ｂの末端の受光素子Ｒ６２と、隣接する受光器３２ｃの末端の受光素子Ｒ０との中間において、投光器１２ｂ，１２ｃと受光器３２ｂ，３２ｃの対向方向に延びる光軸と同様に作用する。
【００６８】
つまり、素子の配列方向において、受光器３２ｂの末端の受光素子Ｒ６２と、隣接する受光器３２ｃの末端の受光素子Ｒ０との中間において、検査対象の有無に応じた光量を受光素子Ｒ６２において得ることができる。そして、両受光器３２ｂ，３２ｃの末端の受光素子Ｒ６２，Ｒ０の間隔は、受光器３２ｂ，３２ｃにおいて配列された受光素子Ｒ０〜Ｒ６２の配置ピッチの２倍に等しい。つまり、隣接する受光器３２ｂ，３２ｃにおいて、各受光器３２ｂ，３２ｃの受光素子Ｒ０〜Ｒ６２の配置ピッチと等しいピッチにて、検査対象の有無を判定することが可能となる。したがって、斜めの光軸ＬＸ６３を形成する投光素子Ｔ０及び受光素子Ｒ６２は、投光器１２ｂの投光素子Ｔ６２と投光器１２ｃの投光素子Ｔ０の中間点（受光器３２ｂの受光素子Ｒ６２と受光器３２ｃの受光素子Ｒ０の中間点）において、対向方向に延びる仮想的な光軸を形成する。
【００６９】
図６（ａ）は、投光スキャン動作において、投光制御回路２１が駆動する投光素子の位置を示す。図６（ａ）において、黒丸は駆動（点灯）する投光素子を示し、白丸は駆動しない（消灯）投光素子を示す。投光素子の位置をチャネル番号（ｃｈ）として示している。
【００７０】
なお、ここでは、図３（ｂ）に示す投光器１２ａを用いて説明する。
投光制御回路２１は、同期信号に基づいて、投光スキャン動作を実行する。投光制御回路２１は、投光器１２ａに含まれる複数（６３個）の投光素子Ｔ０〜Ｔ６２を、複数（たとえば４個）のブロックＢ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４に分割し、ブロック毎に順次駆動する。また、投光制御回路２１は、４個のブロックＢ１〜Ｂ４のうちの２個のブロックに含まれる投光素子を駆動し、光を照射させる。
【００７１】
第１のブロックＢ１は、１６個の投光素子Ｔ０〜Ｔ１５を含む。第２のブロックＢ２は、１６個の投光素子Ｔ１６〜Ｔ３１を含む。第３のブロックＢ３は、１６個の投光素子Ｔ３２〜Ｔ４７を含む。そして、第４のブロックＢ４は、１５個の投光素子Ｔ４８〜Ｔ６２を含む。投光制御回路２１は、１回（ｓｃ＝１）のスキャン動作において、先ず２個のブロック（たとえば第１のブロックＢ１と第３のブロックＢ３）に含まれる投光素子を駆動し、次に残りの２個のブロック（たとえば第２のブロックＢ２と第４のブロックＢ４）に含まれる投光素子を駆動する。
【００７２】
たとえば、図６（ａ）に示すように、投光制御回路２１は、第１のブロックＢ１のチャネル１４（ｃｈ１４）の投光素子Ｔ１４と、第３のブロックＢ３のチャネル４６（ｃｈ４６）の投光素子Ｔ４６を点灯する。次に、投光制御回路２１は、第２のブロックＢ２のチャネル３０（ｃｈ３０）の投光素子Ｔ３０と、第４のブロックＢ４のチャネル６２（ｃｈ６２）の投光素子Ｔ６２を点灯する。
【００７３】
投光制御回路２１は、スキャン動作毎に、駆動する投光素子の位置を順次変更する。たとえば、３回目（ｓｃ＝３）のスキャン動作において、投光素子Ｔ０，Ｔ３２，Ｔ１６，Ｔ４８を駆動し、４回目（ＳＣ４）のスキャン動作において、投光素子Ｔ１，Ｔ３３，Ｔ１７，Ｔ４９を点灯する。このように、投光制御回路２１は、このスキャン動作を１６回実行し、全ての投光素子Ｔ０〜Ｔ６２を点灯する。
【００７４】
図６（ｂ）は、受光スキャン動作において、受光制御回路４１が有効とする受光素子の位置を示す。図６（ｂ）において、黒丸は駆動される投光素子に対向する受光素子（対向光軸）を示す。この位置の受光素子の受光データを有効とするため、有効光軸ともいうことができる。また、有効とする受光素子について、白丸に斜線を付して示している。受光素子の位置をチャネル番号（ｃｈ）として示している。
【００７５】
なお、ここでは、図３（ａ）に示す受光器３２ａを用いて説明する。
受光制御回路４１は、同期信号に基づいて、受光スキャン動作を実行する。この受光スキャン動作において、受光制御回路４１は、投光制御回路２１の投光スキャン動作により光を出射する投光素子に応じた位置の受光素子の受光データを有効とする。そして、受光制御回路４１は、有効とした受光データに基づいて、受光素子Ｒ０〜Ｒ６２の数（６３）より１つ多い数（６４）の入遮光データを生成する。
【００７６】
図６（ｂ）に示すように、３回目（ｓｃ＝３）のスキャンにおいて、チャネル０（ｃｈ０）の投光素子Ｔ０（図６（ａ）参照）に対向する第１のブロックＢ１のチャネル０（ｃｈ０）の受光素子Ｒ０の受光データを有効とする。さらに、チャネル６２（ｃｈ６２）の受光素子Ｒ６２の受光データを有効とする。この受光素子Ｒ６２の受光データを有効とするとき、隣接する投光器が存在する場合、その投光器のチャネル０（ｃｈ０）の投光素子Ｔ０が駆動されている。したがって、チャネル６２（ｃｈ６２）の受光素子Ｒ６２は、隣接する投光器の投光素子Ｔ０との間の光軸ＬＸ６３における測定対象の有無に応じて光が入射される。
【００７７】
以上記述したように、本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１−１）検査装置は、対向配置された投光装置１０及び受光装置３０を有している。投光装置１０と受光装置３０の間にワークＷが配置される。受光装置３０は、投光装置１０から出射される光に基づいてワークＷを検査し、ワークＷの欠陥Ｗｅを検出する。投光装置１０は、一列に配列された複数の投光ユニット１１ａ〜１１ｄを有している。各投光ユニット１１ａ〜１１ｄの投光器１２ａ〜１２ｄはそれぞれ、一列に配列された投光素子Ｔ０〜Ｔ６２を有している。
【００７８】
受光装置３０は、一列に配列された複数の受光ユニット３１ａ〜３１ｄを有している。各受光ユニット３１ａ〜３１ｄの受光器３２ａ〜３２ｄはそれぞれ、一列に配列された受光素子Ｒ０〜Ｒ６２を有している。受光ユニット３１ａ〜３１ｄ（受光器３２ａ〜３２ｄ）は、対向する投光ユニット１１ａ〜１１ｄ（投光器１２ａ〜１２ｄ）の出射光と、対向する投光ユニットに隣接する投光ユニット１１ｃ〜１１ｄ（投光器１２ｂ〜１２ｄ）の出射光とに基づいて入遮光データを生成する。
【００７９】
受光ユニット３１ａ〜３１ｄの受光素子Ｒ０〜Ｒ６２と、対向する投光ユニット１１ａ〜１１ｄの投光素子Ｔ０〜Ｔ６２により、投光素子と受光素子の配列ピッチにてワークＷが検査される。受光ユニット３１ｂの受光素子Ｒ６２について、対向する投光ユニット１１ｂに隣接する投光ユニット１１ｃの投光素子Ｔ０との間の光軸により、ワークＷが検査される。このため、隣接する投光ユニット１１ｂ，１１ｃ及び受光ユニット３１ｂ，３１ｃの中間点において、ワークＷが検査される。このため、隣接する投光ユニット１１ｂ，１１ｃの投光素子Ｔ６２，Ｔ０の間隔（隣接する受光ユニット３１ｂ，３１ｃの受光素子Ｒ６２，Ｒ０の間隔）よりも狭い間隔においてワークＷの検査が可能となる。これにより、検査精度の低下を抑制することができる。
【００８０】
（１−２）隣接する投光器１２ａ，１２ｂは、末端の投光素子Ｔ６２，Ｔ０の間の距離Ｌ３が、各投光器１２ａ，１２ｂの投光素子Ｔ０〜Ｔ６２の配置ピッチＬ１の２倍となるように配置される。隣接する受光器３２ａ，３２ｂは、末端の受光素子Ｒ６２，Ｒ０の間の距離Ｌ３が、各受光器３２ａ，３２ｂの受光素子Ｒ０〜Ｒ６２の配置ピッチＬ１の２倍となるように配置される。同様に、投光器１２ｂと受光器３２ｂに対して投光器１２ｃと受光器３２ｃが配置される。
【００８１】
受光器３２ｂは、対向する投光器１２ｂに隣接する投光器１２ｃの投光素子Ｔ０の出射光に対して、受光素子Ｒ６２の受光データに基づいて入遮光データを生成する。この入遮光データは、素子の配列方向において、投光素子Ｔ０と受光素子Ｒ６２の中間点におけるワークＷの状態に応じて入光状態または遮光状態となる。したがって、隣接する投光器１２ｂ，１２ｃ（隣接する受光器３２ｂ，３２ｃ）の間において、投光素子及び受光素子の配置ピッチと同じ間隔にてワークＷの検査を行うことができる。
【００８２】
（１−３）投光器１２ａは、同期信号を生成する。この同期信号は、投光器１２ｂ〜１２ｄと受光器３２ａ〜３２ｄに供給される。受光ユニット３１ｂ（受光器３２ｂ）の受光制御回路４１は、同期信号に基づいて、自ユニット３１ｂ（受光器３２ｂ）の一方の端部の受光素子Ｒ６２の受光データを、他方の端部の受光素子Ｒ０に対向する投光素子Ｔ０を駆動するタイミングにて有効とする。そして、受光制御回路４１は、この受光データに基づいて、入遮光データを生成する。このように、同期信号により、対向する投光器に隣接する投光器の出射光に応じた入遮光データを容易に生成することができる。
【００８３】
（第二実施形態）
次に、第二実施形態の投受光スキャン動作と作用を説明する。
投光制御回路２１は、上記第一実施形態と同様に、投光スキャン動作を実行する。
【００８４】
この第二実施形態において、受光制御回路４１は、１つの投光素子が光を出射するタイミングにおいて複数の受光素子の受光データを有効とし、複数の受光データに基づいて、入遮光データを生成する。
【００８５】
図７（ａ）に示すように、受光制御回路４１は、投光器１２ｂの投光素子Ｔｎ（ｎ＝１〜６１）に対向する受光素子Ｒｎの受光データを有効とする。このとき、投光素子Ｔｎと受光素子Ｒｎとの間に、対向方向に延びる光軸ＬＸｎ（実線にて示す）が形成される。この光軸ＬＸｎにおいて、検査対象に応じて受光素子Ｒｎに対して入光・遮光される。
【００８６】
また、受光制御回路４１は、受光素子Ｒｎに隣接する受光素子Ｒｎ−１，Ｒｎ＋１の受光データを有効とする。
このとき、投光素子Ｔｎと受光素子Ｒｎ−１の間に斜めの光軸（破線にて示す）が形成される。この斜めの光軸において、検査対象に応じて、受光素子Ｒｎ−１に対して入光・遮光される。図７（ａ）において、一点鎖線は、ワークＷの配置位置の一例を示す。この位置は、たとえば投光器１２ｂ，１２ｃと受光器３２ｂ，３２ｃとの中間位置である。この位置の場合、素子の配列方向（図７（ａ）の左右方向）において、受光素子Ｒｎ−１と投光素子Ｔｎとの中間の位置における検査対象（穴の有無）に応じて、受光素子Ｒｎ−１に対して入光または遮光される。つまり、隣接する２つの受光素子Ｒｎ−１，Ｒｎの中間の位置における検査対象に応じて、受光素子Ｒｎ−１に対して入光・遮光される。したがって、受光器３２ｂの受光素子Ｒ０〜Ｒ６２の配置ピッチの半分（１／２）のピッチにて、検査対象の有無を判定することが可能となる。
【００８７】
斜めの光軸を形成する投光素子Ｔｎ及び受光素子Ｒｎ−１は、投光素子Ｔｎと受光素子Ｒｎ−１の中間点（隣接する２つの受光素子Ｒｎ，Ｒｎ−１の中間点）において、対向方向に延びる仮想的な光軸を形成する。この仮想的な光軸は、対向する投光素子Ｔｎと受光素子Ｒｎとの間の光軸ＬＸｎ（主軸）に対して配置ピッチの半分（１／２）、受光素子Ｒｎ−１の方向にずれている。したがって、受光器３２ｂの受光素子Ｒ０〜Ｒ６２の配置ピッチの半分（１／２）のピッチにて、検査対象の有無を判定することが可能となる。
【００８８】
同様に、投光素子Ｔｎと受光素子Ｒｎ＋１の間に斜めの光軸（破線にて示す）が形成される。この斜めの光軸において、検査対象に応じて、受光素子Ｒｎ＋１に対して入光・遮光される。斜めの光軸を形成する投光素子Ｔｎ及び受光素子Ｒｎ＋１は、投光素子Ｔｎと受光素子Ｒｎ＋１の中間点（隣接する２つの受光素子Ｒｎ，Ｒｎ＋１の中間点）において、対向方向に延びる仮想的な光軸を形成する。この仮想的な光軸は、対向する投光素子Ｔｎと受光素子Ｒｎとの間の光軸ＬＸｎ（主軸）に対して配置ピッチの半分（１／２）、受光素子Ｒｎ＋１の方向にずれている。したがって、受光器３２ｂの受光素子Ｒ０〜Ｒ６２の配置ピッチの半分（１／２）のピッチにて、検査対象の有無を判定することが可能となる。
【００８９】
そして、受光制御回路４１は、有効とした受光素子Ｒｎ−１，Ｒｎ，Ｒｎ＋１の受光データに基づいて、受光素子Ｒｎに対応する入遮光データを生成する。たとえば、受光制御回路４１は、受光素子Ｒｎ−１，Ｒｎ，Ｒｎ＋１の受光データを論理演算処理（たとえばＯＲ処理：論理和処理）し、その結果の値を入遮光データとする。
【００９０】
受光制御回路４１は、駆動される投光素子に対向する受光素子が、受光器３２ｂの末端の受光素子の場合、その受光素子の受光データと、その受光素子に隣接する受光素子の受光データを有効とする。さらに、その隣接する受光素子の受光データを、隣接する投光器１２ａの末端の投光素子を駆動するタイミングに応じて有効とする。
【００９１】
たとえば、駆動される投光素子Ｔ０に対向する受光素子Ｒ０は、受光器３２ｂの末端の受光素子である。したがって、受光制御回路４１は、その受光素子Ｒ０の受光データと受光素子Ｒ１の受光データを有効とする。さらに、その受光素子Ｒ１の受光データを、隣接する投光器１２ａの末端の投光素子Ｔ６２を駆動するタイミングに応じて有効とする。
【００９２】
なお、この投光器１２ａの投光素子Ｔ６２を駆動するタイミングは、受光器３２ｂに対向する投光器１２ｂにおいて、他方の末端の投光素子Ｔ６２を駆動するタイミングと同時である。つまり、受光制御回路４１は、自受光器３２ｂに対向する投光器１２ｂにおいて、反対側の末端の投光素子Ｔ６２を駆動するタイミングにおいて、受光素子Ｒ１の受光データを有効とする。
【００９３】
このとき、投光素子Ｔ６２と受光素子Ｒ１の間に斜めの光軸（破線にて示す）が形成される。この斜めの光軸において、検査対象に応じて、受光素子Ｒ１に対して入光・遮光される。素子の配列方向（図７（ａ）の左右方向）において、受光素子Ｒ１と投光素子Ｔ６２との中間の位置における検査対象（穴の有無）に応じて、受光素子Ｒ１に対して入光または遮光される。
【００９４】
素子の配列方向における受光素子Ｒ１と投光素子Ｔ６２の間の間隔は、受光器３２ｂの受光素子Ｒ０〜Ｒ６２の配置ピッチの３倍となる。したがって、素子の配列方向において、受光素子Ｒ０と投光素子Ｔ６２の中間の位置は、受光素子Ｒ０から素子の配置ピッチの半分（１／２）だけ端部側（受光器３２ａ側）にずれた位置となる。
【００９５】
受光制御回路４１は、投光素子Ｔ６２を駆動するタイミングにて受光素子Ｒ１の受光データを有効とし、その受光データをメモリ４６に記憶する。また、受光制御回路４１は、投光素子Ｔ０を駆動するタイミングにて受光素子Ｒ０，Ｒ１の受光データを有効とし、これらの受光データをメモリ４６に記憶する。そして、受光制御回路４１は、メモリ４６から３つの受光データを読み出し、読み出した受光データを論理演算処理（ＯＲ処理）し、その演算結果を入遮光データとする。
【００９６】
同様に、駆動される投光素子Ｔ６２に対向する受光素子Ｒ６２は末端の受光素子である。この場合、受光制御回路４１は、投光素子Ｔ６２を駆動するタイミングにおいて、その受光素子Ｒ６２の受光データと、隣接する受光素子Ｒ６１の受光データを有効とし、それらの受光データをメモリ４６に記憶する。また、受光制御回路４１は、隣接する投光器１２ｃの投光素子Ｔ０を駆動するタイミングにおいて、受光素子Ｒ６１の受光データを有効とし、その受光データをメモリ４６に記憶する。そして、受光制御回路４１は、メモリ４６から３つの受光データを読み出し、読み出した受光データを論理演算処理（ＯＲ処理）し、その演算結果を入遮光データとする。
【００９７】
図７（ｂ）に示すように、受光制御回路４１は、受光素子Ｒ６１，Ｒ６２の受光データを、対向する投光器１２ｂに隣接する投光器１２ｃの投光素子Ｔ０を駆動するタイミングにおいて有効とし、それらの受光データをメモリ４６に記憶する。さらに、受光制御回路４１は、受光素子Ｒ６２の受光データを、対向する投光器１２ｂに隣接する投光器１２ｃの投光素子Ｔ１を駆動するタイミングにおいて有効とし、その受光データをメモリ４６に記憶する。
【００９８】
第一実施形態にて説明したように、受光器３２ｂの末端の受光素子Ｒ６２と、投光器１２ｃの末端の投光素子Ｔ０は、互いに隣接する受光器３２ｂ，３２ｃの末端の受光素子Ｒ６２，Ｒ０の中間点において、対向方向に延びる仮想的な光軸を形成する。
【００９９】
末端の受光素子Ｒ６２に隣接する受光素子Ｒ６１と投光素子Ｔ０は、それらの中間点において、対向方向の延びる仮想的な光軸を形成する。この光軸は、末端の受光素子Ｒ６２と投光素子Ｔ０による仮想的な光軸ＬＸ６３（主軸）に対して、素子の配置ピッチの半分（１／２）、受光器３２ｂの中心方向にずれている。
【０１００】
また、末端の受光素子Ｒ６２と投光素子Ｔ１は、それらの中間点において、対向方向に延びる仮想的な光軸を形成する。この光軸は、末端の受光素子Ｒ６２と投光素子Ｔ０による仮想的な光軸ＬＸ６３（主軸）に対して、素子の配置ピッチの半分（１／２）、受光器３２ｃの中心方向にずれている。
【０１０１】
したがって、受光器３２ｂの末端の受光素子Ｒ６２と受光器３２ｃの末端の受光素子Ｒ０の間において、受光器３２ｂの受光素子Ｒ０〜Ｒ６２の配置ピッチの半分（１／２）のピッチにて、検査対象の有無を判定することが可能となる。
【０１０２】
図８（ａ）は、投光スキャン動作において、投光制御回路２１が駆動する投光素子の位置を示す。図８（ａ）において、黒丸は駆動（点灯）する投光素子を示し、白丸は駆動しない（消灯）投光素子を示す。投光素子の位置をチャネル番号ｃｈとして示している。投光スキャン動作において駆動（点灯）する投光素子の位置・順序は、第一実施形態と同じである。
【０１０３】
図８（ｂ）は、受光スキャン動作において、受光制御回路４１が有効とする受光素子の位置を示す。図８（ｂ）において、黒丸は駆動される投光素子に対向する受光素子（対向光軸）を示す。この位置の受光素子の受光データを有効とするため、有効光軸ともいうことができる。また、有効とする受光素子について、白丸に斜線を付して示している。受光素子の位置をチャネル番号（ｃｈ）として示している。
【０１０４】
図８（ｂ）に示すように、１回目（ｓｃ＝１）のスキャンにおいて、チャネル６２（ｃｈ６２）の投光素子Ｔ６２（図８（ａ）参照）に対向する第４のブロックＢ４のチャネル６２（ｃｈ６２）の受光素子Ｒ６２と、隣接するチャネル６１（ｃｈ６１）の受光素子Ｒ６１の受光データを有効とする。さらに、チャネル１（ｃｈ１）の受光素子Ｒ１の受光データを有効とする。この受光素子Ｒ１の受光データを有効とするとき、隣接する投光器が存在する場合、その投光器のチャネル６２（ｃｈ６２）の投光素子が駆動されている。したがって、チャネル１（ｃｈ１）の受光素子Ｒ１は、隣接する投光器の投光素子との間の光軸における測定対象の有無に応じて光が入射される。受光制御回路４１は、これらの受光素子Ｒ６１，Ｒ６２，Ｒ１の受光データをメモリ４６に記憶する。
【０１０５】
３回目（ｓｃ＝３）のスキャンにおいて、チャネル０（ｃｈ０）の投光素子Ｔ０（図８（ａ）参照）に対向する第１のブロックＢ１のチャネル０（ｃｈ０）の受光素子Ｒ０と隣接するチャネル１（ｃｈ１）の受光素子Ｒ１の受光データを有効とする。さらに、チャネル６１（ｃｈ６１）の受光素子Ｒ６１とチャネル６２（ｃｈ６２）の受光素子Ｒ６２の受光データを有効とする。そして、これらの受光素子Ｒ０，Ｒ１，Ｒ６１，Ｒ６２の受光データをメモリ４６に記憶する。
【０１０６】
そして、１回目（ｓｃ＝１）のスキャンにおける受光素子Ｒ１の受光データと、３回目（ｓｃ＝３）のスキャンにおける受光素子Ｒ０，Ｒ１の受光データを、メモリ４６から読み出す。そして、これら受光素子Ｒ０，Ｒ１の受光データに基づいて、チャネル０（ｃｈ０）の受光素子Ｒ０に対応する入遮光データを生成する。
【０１０７】
同様に、１回目（ｓｃ＝１）のスキャンにおける受光素子Ｒ６１，Ｒ６２の受光データと、３回目（ｓｃ＝３）のスキャンにおける受光素子Ｒ６１の受光データを、メモリ４６から読み出す。そして、これら受光素子Ｒ６１，Ｒ６２の受光データに基づいて、チャネル６２（ｃｈ６２）の受光素子Ｒ６２に対応する入遮光データを生成する。
【０１０８】
次に、４回目（ｓｃ＝４）のスキャンにおいて、チャネル１（ｃｈ１）の投光素子Ｔ１（図８（ａ）参照）に対応する受光素子Ｒ１と、隣接する受光素子Ｒ０，Ｒ２の受光データを有効とする。そして、これら受光素子Ｒ０，Ｒ１，Ｒ２の受光データに基づいて、チャネル１（ｃｈ１）の受光素子Ｒ１に対応する入遮光データを生成する。
【０１０９】
また、チャネル３３（ｃｈ３３）の投光素子Ｔ３３（図８（ａ）参照）に対応する受光素子Ｒ３３と、隣接する受光素子Ｒ３２，Ｒ３４の受光データを有効とする。そして、これら受光素子Ｒ３２，Ｒ３３，Ｒ３４の受光データに基づいて、チャネル３３（ｃｈ３３）の受光素子Ｒ３３に対応する入遮光データを生成する。
【０１１０】
さらに、チャネル６２（ｃｈ６２）の受光素子Ｒ６２の受光データを有効とする。この受光素子Ｒ６２の受光データをメモリ４６に記憶する。そして、３回目（ｓｃ＝３）のスキャンにおける受光素子Ｒ６１，Ｒ６２の受光データと、４回目（ｓｃ＝４）のスキャンにおける受光素子Ｒ６２の受光データを、メモリ４６から読み出す。そして、これら受光素子Ｒ６１，Ｒ６２の受光データに基づいて、入遮光データを生成する。
【０１１１】
図９は、図３に示す表示部４４の一例を示す。
表示部４４には、表示素子８１，８２，８３，８４，８５が配設されている。表示素子８１〜８５は、たとえば発光ダイオードである。図３に示す受光制御回路４１は、生成した入遮光データに基づいて、各表示素子８１〜８５を点灯または消灯する。
【０１１２】
受光制御回路４１は、チャネル１〜６１（ｃｈ１〜ｃｈ６１）の入遮光データに基づいて、表示素子８１，８２を点灯または消灯する。たとえば、チャネル１〜６１（ｃｈ１〜ｃｈ６１）の入遮光データが遮光状態（たとえば「０」）の場合、表示素子８１を点灯する。また、チャネル１〜６１（ｃｈ１〜ｃｈ６１）の入遮光データの１つ以上が入光状態（たとえば「１」）の場合、表示素子８１を消灯する。
【０１１３】
また、チャネル１〜６１（ｃｈ１〜ｃｈ６１）の入遮光データが入光状態（たとえば「１」）の場合、表示素子８２を点灯する。また、チャネル１〜６１（ｃｈ１〜ｃｈ６１）の入遮光データの１つ以上が遮光状態（たとえば「０」）の場合、表示素子８２を消灯する。
【０１１４】
受光制御回路４１は、チャネル０（ｃｈ０）の入遮光データを生成する受光データに基づいて、表示素子８３を点灯または消灯する。全ての受光データが入光状態の場合に表示素子８３を点灯し、１つ以上の受光データが遮光状態のときに表示素子８３を消灯する。したがって、端部に配置された受光器（チャネル０（ｃｈ０）側に受光器が接続されていない受光器）の場合、表示素子８３が消灯する。
【０１１５】
受光制御回路４１は、チャネル６２（ｃｈ６２）の入遮光データを生成する受光データに基づいて、表示素子８４を点灯または消灯する。全ての受光データが入光状態の場合に表示素子８４を点灯し、１つ以上の受光データが遮光状態のときに表示素子８４を消灯する。したがって、端部に配置された受光器（チャネル６２（ｃｈ６２）側に受光器が接続されていない受光器）の場合、表示素子８４が消灯する。
【０１１６】
受光制御回路４１は、図７（ｂ）に示す仮想的な光軸ＬＸ６３の入遮光データ、つまりチャネル６３（ｃｈ６３）の入遮光データを生成する受光データに基づいて、表示素子８５を点灯または消灯する。全ての受光データが入光状態の場合に表示素子８５を点灯し、１つ以上の受光データが遮光状態のときに表示素子８５を消灯する。したがって、端部に配置された受光器（チャネル６２（ｃｈ６２）側に受光器が接続されていない受光器）の場合、表示素子８５が消灯する。
【０１１７】
この表示部４４に含まれる表示素子８１〜８５の状態により、設置状態において、受光素子Ｒ０〜Ｒ６２と投光素子Ｔ０〜Ｔ６２の状態を判定することが可能となる。
以上記述したように、本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
【０１１８】
（２−１）受光制御回路４１は、投光素子Ｔｎに対向する受光素子Ｒｎの受光データと、受光素子Ｒｎに隣接する受光素子Ｒｎ−１，Ｒｎ＋１の受光データを有効とする。そして、受光制御回路４１は、受光素子Ｒｎ−１，Ｒｎ，Ｒｎ＋１の受光データに基づいて、受光素子Ｒｎに対応する入遮光データを生成する。受光素子Ｒｎ−１，Ｒｎ＋１の受光データは、受光素子Ｒｎ−１，Ｒｎ，Ｒｎ＋１の配置ピッチの１／２の間隔において、ワークＷにおける状態に対応する。したがって、受光素子Ｒ０〜Ｒ６２の配置ピッチよりも狭い間隔において、ワークＷの検査を行うことができる。
【０１１９】
（２−２）受光制御回路４１は、受光素子Ｒｎ−１，Ｒｎ，Ｒｎ＋１の受光データを論理和演算（ＯＲ演算）した結果の値を、受光素子Ｒｎに対応する入遮光データとする。投光素子Ｔｎの出射光に対して、受光素子Ｒｎ−１，Ｒｎ，Ｒｎ＋１のうちの少なくとも１つに入遮光があれば、入遮光データが入光状態となる。したがって、入遮光データを増加させることなく、投光素子Ｔ０〜Ｔ６２，受光素子Ｒ０〜Ｒ６２の配置ピッチよりも小さな欠陥Ｗｅを検出することができる。
【０１２０】
（２−３）受光制御回路４１は、末端の受光素子Ｒ０の受光データと受光素子Ｒ１の受光データを有効とする。さらに、その受光素子Ｒ１の受光データを、隣接する投光器１２ａの末端の投光素子Ｔ６２を駆動するタイミングに応じて有効とする。素子の配列方向における受光素子Ｒ１と投光素子Ｔ６２の間の間隔は、受光器３２ｂの受光素子Ｒ０〜Ｒ６２の配置ピッチの３倍となる。したがって、素子の配列方向において、受光素子Ｒ０と投光素子Ｔ６２の中間の位置は、受光素子Ｒ０から素子の配置ピッチの半分（１／２）だけ端部側（受光器３２ａ側）にずれた位置となる。受光素子Ｒ６２についても同様である。したがって、末端の受光素子Ｒ０，Ｒ６２についても同様に、受光素子Ｒ０〜Ｒ６２の配置ピッチよりも狭い間隔において、ワークＷの検査を行うことができる。
【０１２１】
（２−４）受光制御回路４１は、受光素子Ｒ６１，Ｒ６２の受光データを、対向する投光器１２ｂに隣接する投光器１２ｃの投光素子Ｔ０を駆動するタイミングにおいて有効とする。さらに、受光制御回路４１は、受光素子Ｒ６２の受光データを、対向する投光器１２ｂに隣接する投光器１２ｃの投光素子Ｔ１を駆動するタイミングにおいて有効とする。そして、受光制御回路４１は、有効とした受光素子Ｒ６１，Ｒ６２の受光データに基づいて、チャネル６３（ｃｈ６３）の入遮光データを生成する。
【０１２２】
このように生成された入遮光データは、隣接する投光器１２ｂ，１２ｂ、受光器３２ｂ，３２ｃの間において、素子の配置ピッチの１／２にてワークＷの状態の検出を可能とする。つまり、投光器１２ｂと投光器１２ｃの間（受光器３２ｂと受光器３２ｃの間）においても、受光素子Ｒ０〜Ｒ６２の配置ピッチよりも狭い間隔において、ワークＷの検査を行うことができる。
【０１２３】
尚、上記形態は、以下の態様で実施してもよい。
・第一実施形態において、受光制御回路４１は、図５に示す端部の受光素子Ｒ６２について投光器１２ｃの投光素子Ｔ０を駆動するタイミングにおいて受光データを有効としてチャネル６３（ｃｈ６３）の入遮光データを生成した。これに対し、受光器３２ｂの端部の受光素子Ｒ０について投光器１２ｂの投光素子Ｔ６２を駆動するタイミングにおいて受光データを有効としてチャネル６３（ｃｈ６３）の入遮光データを生成するようにしてもよい。
【０１２４】
また、受光器３２ｂの受光素子Ｒ６２の受光データに基づいて、チャネル６３（ｃｈ６３）の入遮光データを生成するとともに、受光器３２ｃの受光素子Ｒ０の受光データに基づいてチャネル６３（ｃｈ６３）の入遮光データを生成する。そして、２つの入遮光データに基づいて、ワークＷの検査（欠陥Ｗｅの有無）を判定するようにしてもよい。たとえば、ワークＷの厚さや穴の形状（対向方向に対して穴がワークＷを斜めに貫通している）によっては、投光器の出射光がワークＷを通過しない場合がある。このため、２つの方向から斜め光軸を形成することにより、欠陥Ｗｅの検出が容易になる。
【０１２５】
同様に、第二実施形態において、受光素子Ｒ０，Ｒ１の受光データに基づいて、チャネル６３（ｃｈ６３）の入遮光データを生成するようにしてもよい。
また、受光素子Ｒ６１，Ｒ６２の受光データに基づいてチャネル６３（ｃｈ６３）の入遮光データを生成するとともに、受光素子Ｒ０，Ｒ１の受光データに基づいてチャネル６３（ｃｈ６３）の入遮光データを生成する。そして、２つの入遮光データに基づいて、ワークＷを検査するようにしてもよい。
【０１２６】
・上記の実施形態における受光ユニットと投光ユニットのユニット数、投光器の投光素子、受光器の受光素子の素子数は一例であり、適宜変更してもよい。
【符号の説明】
【０１２７】
１０…投光装置、１１ａ〜１１ｄ…投光ユニット、１２ａ〜１２ｄ…投光器、２１…投光制御回路、Ｔ０〜Ｔ６２…投光素子、３０…受光装置、３１ａ〜３１ｄ…受光ユニット、３２ａ〜３２ｄ…受光器、４１…受光制御回路、Ｒ０〜Ｒ６２…受光素子、５０…制御装置（制御部）、５３…判定部（制御部）。
【図１】
2017072446.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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