(57)【要約】【課題】ＭＥＭＳマイクに測定対象の音を好適に入力させることができるマイクロホン及び、当該マイクロホンを備えるマイクロホンプローブを提供する。【解決手段】マイクロホンは、筒状のマイクケース１６と、マイクケース１６の延在方向に沿ってマイクケース１６内に設置される基板２０と、基板２０の表面２１Ａに設置され、基板２０の表面２１Ａと交差する交差方向に延びる音孔４２を有するＭＥＭＳマイク４０と、マイクケース１６の先端の導入孔１９とＭＥＭＳマイク４０の音孔４２とをマイクケース１６内で連通する連通孔５０とを備え、連通孔５０は、ＭＥＭＳマイク４０の音孔４２を塞がない大きさの接続口３５をＭＥＭＳマイク４０の音孔４２に連通させるとともに、交差方向と直交する断面において、連通孔５０の断面積は、ＭＥＭＳマイク４０の音孔４２の開口面積の０．５倍以上４．０倍以下である。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状の筐体と、
前記筐体の延在方向に沿って前記筐体内に設置される基板と、
前記基板の面に設置され、前記基板の面と交差する交差方向に延びる音孔を有するＭＥＭＳマイクと、
前記筐体の先端の開口と前記ＭＥＭＳマイクの音孔とを前記筐体内で連通する連通孔とを備え、
前記連通孔は、前記ＭＥＭＳマイクの音孔に干渉しない大きさの接続口に前記ＭＥＭＳマイクの音孔を連通させるとともに、前記交差方向と直交する断面において、前記連通孔の断面積は、前記ＭＥＭＳマイクの音孔の開口面積の０．５倍以上４．０倍以下である
ことを特徴とするマイクロホン。
【請求項２】
前記ＭＥＭＳマイクの音孔の開口方向と前記連通孔の長手方向とは直交する
請求項１に記載のマイクロホン。
【請求項３】
前記基板には、該基板を貫通する貫通孔が設けられ、
前記貫通孔は、前記ＭＥＭＳマイクの音孔と前記連通孔との間に配置されている
請求項１又は２に記載のマイクロホン。
【請求項４】
前記ＭＥＭＳマイクが位置する面は、前記基板の表面であり、
前記連通孔は、前記基板と該基板の裏面に配置される連通部材とによって区画されている
請求項１〜３のいずれか一項に記載のマイクロホン。
【請求項５】
前記連通部材は、前記基板に固定される
請求項４に記載のマイクロホン。
【請求項６】
前記連通部材は、前記筐体の先端の開口と前記音孔とを連通させた状態で前記筐体に固定される
請求項４に記載のマイクロホン。
【請求項７】
前記連通孔の長手方向の長さは、２１ｍｍ以下である
請求項１〜６のいずれか一項に記載のマイクロホン。
【請求項８】
前記連通孔の長手方向の長さは、８．５ｍｍ以下である
請求項１〜７のいずれか一項に記載のマイクロホン。
【請求項９】
前記筐体は、該筐体の延在方向に延びる筒状の筒状部と、前記筒状部の先端に着脱可能な先端部とを備え、
前記筐体の先端の開口は、前記先端部に開口している
請求項１〜８のいずれか一項に記載のマイクロホン。
【請求項１０】
複数のマイクロホンを特定の方向に指向性を有するように配置させているマイクロホンプローブであって、
前記複数のマイクロホンをそれぞれ、請求項１〜９のいずれか一項に記載のマイクロホンとする
ことを特徴とするマイクロホンプローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、計測等に用いられるマイクロホン、及び、当該マイクロホンを備えるマイクロホンプローブに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、集音する機器において、機器の回路基板に取り付けたマイクを集音に用いる構成が知られている。例えば、特許文献１には、こうした構成を有する機器としての携帯電話機の一例が記載されている。
【０００３】
特許文献１に記載の携帯電話機はその内部に、該携帯電話機の平面方向に沿う回路基板に導通接続されたフレキシブル基板と、このフレキシブル基板にはんだ付けされたマイクとを備えている。また携帯電話機は、マイクを該携帯電話機の厚さ方向に設けた集音口に向けて配置させている。すなわちフレキシブル基板は、回路基板と集音口との間でマイクを集音口の方向に向けるように回路基板に対して９０°前後の角度に曲げられることで、当該フレキシブル基板にはんだ付けされたマイクを回路基板に対して垂直配置させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１１１６９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、基板に実装できる小型のＭＥＭＳマイクを集音用のマイクとして採用している機器が少なくない。ＭＥＭＳマイクは、小型であるとともに、耐久性や信頼性も高いことから、計測用のマイクロホンとして採用されることもある。
【０００６】
ところで、一般に、ＭＥＭＳマイクは、音を入力する音孔が基板へ対向する面である裏面、又は、反対の面である表面に設けられている。そのため、ＭＥＭＳマイクは、その音孔の向きが、取り付けられた基板の表面に直交する方向に限られる。そこで、特許文献１に記載の技術のようにフレキシブル基板を採用すれば、その基板を曲げられる範囲で音孔の向きを変えられるが、音孔の向きが基板の表面に直交するという、基板に取付ける上で生じる制約自体は変わらない。計測用のマイクロホンでは、通常、筒状の筐体が有する端面に、筐体内に音を入力する開口を有し、ＭＥＭＳマイクを備える基板は、こうした筐体の延在方向に沿って設置される。こうして基板が設置される限り、基板の種類がリジッド基板かフレキシブル基板かに関わらず、ＭＥＭＳマイクが有する音孔の開口は、音が入力される筒体の端面ではなく、音の入力先ではない筐体の周壁と対向する。こうした制約から、マイクロホンにおいてＭＥＭＳマイクを用いたとき、測定対象の音を好適に入力させることが難しくなるおそれもある。
【０００７】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであって、その目的は、ＭＥＭＳマイクに測定対象の音を好適に入力させることができるマイクロホン及び、当該マイクロホンを備えるマイクロホンプローブを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するマイクロホンは、筒状の筐体と、前記筐体の延在方向に沿って前記筐体内に設置される基板と、前記基板の面に設置され、前記基板の面と交差する交差方向に延びる音孔を有するＭＥＭＳマイクと、前記筐体の先端の開口と前記ＭＥＭＳマイクの音孔とを前記筐体内で連通する連通孔とを備え、前記連通孔は、前記ＭＥＭＳマイクの音孔に干渉しない大きさの接続口に前記ＭＥＭＳマイクの音孔を連通させるとともに、前記交差方向と直交する断面において、前記連通孔の断面積は、前記ＭＥＭＳマイクの音孔の開口面積の０．５倍以上４．０倍以下であることを要旨とする。
【０００９】
上記課題を解決するマイクロホンプローブは、複数のマイクロホンを特定の方向に指向性を有するように配置させているマイクロホンプローブであって、前記複数のマイクロホンをそれぞれ、上記記載のマイクロホンとすることを要旨とする。
【００１０】
このような構成によれば、連通孔はＭＥＭＳマイクの音孔に干渉しない大きさの接続口にＭＥＭＳマイクの音孔を連通させ、連通孔の断面積がＭＥＭＳマイクの音孔の開口面積の「０．５倍」以上「４．０倍」以下である。断面積が「０．５倍」以上であれば、ＭＥＭＳマイクの音孔の直径と同じ幅の溝を音孔に被せるように配置することで、ＭＥＭＳマイクの音孔に干渉しない大きさの接続口をＭＥＭＳマイクの音孔に接続させることができる。つまり、連通孔の設置が容易になる。また、断面積が「０．５倍」以上であれば、連通孔を通りＭＥＭＳマイクの音孔に伝えられる音の特性変化が少ない状態を維持できる。一方、断面積が「４．０倍」以下であれば、連通孔を適切な位置に配置させ易い。筒状の筐体を延在方向に見たとき、最大幅になる円の中央付近に基板が配置され、連通孔は中央からずれた位置に配置されることになるが、連通孔の断面積が「４．０倍」以下であれば、円の中央からのずれも小さく抑えられる。
【００１１】
よって、基板に取り付けられたＭＥＭＳマイクの音孔に、その音孔の向きとは交差する交差方向にある筐体の先端の開口に入力された音が特性変化の抑制された状態で入力される。これにより、基板に取り付けられたＭＥＭＳマイクの向きにかかわらず、ＭＥＭＳマイクの音孔に音を好適に入力させることができる。
【００１２】
好ましい構成として、前記ＭＥＭＳマイクの音孔の開口方向と前記連通孔の長手方向とは直交する。
このような構成によれば、基板に実装されると基板の表面に対して垂直方向に音孔が開口されるＭＥＭＳマイクを筐体の延在方向に沿って設置される基板に実装等で配置させたとしても、音孔に入力する音の特性変化が抑えられる。
【００１３】
好ましい構成として、前記基板には、該基板を貫通する貫通孔が設けられ、前記貫通孔は、前記ＭＥＭＳマイクの音孔と前記連通孔との間に配置されている。
このような構成によれば、基板へ取付けられる面に音孔を有する下音孔タイプ（ボトム型）のＭＥＭＳマイクにおいても、その音孔が貫通孔を通じて連通孔に連通される。
【００１４】
好ましい構成として、前記ＭＥＭＳマイクが位置する面は、前記基板の表面であり、前記連通孔は、前記基板と該基板の裏面に配置される連通部材とによって区画されている。
このような構成によれば、基板を連通孔の一部とすることで、連通孔の区画が容易になる。また、連通部材を小さく抑えることができる。
【００１５】
好ましい構成として、前記連通部材は、前記基板に固定される。
このような構成によれば、連通部材が基板に固定されるので、基板の貫通孔との接続状態が向上する。
【００１６】
好ましい構成として、前記連通部材は、前記筐体の先端の開口と前記音孔とを連通させた状態で前記筐体に固定される。
このような構成によれば、連通部材が筐体に固定されるので、筐体の先端の開口との接続状態が向上する。
【００１７】
好ましい構成として、前記連通孔の長手方向の長さは、２１ｍｍ以下である。
このような構成によれば、２１ｍｍを１／４波長とする４ｋＨｚ程度以下の周波数の音についてその特性変化が抑制される。つまり、５００Ｈｚ〜４ｋＨｚの範囲の音の測定に適する。
【００１８】
好ましい構成として、前記連通孔の長手方向の長さは、８．５ｍｍ以下である。
このような構成によれば、８．５ｍｍを１／４波長とする１０ｋＨｚ程度以下の周波数の音についてその特性変化が抑制される。つまり、１ｋＨｚ〜１０ｋＨｚの音の測定に適する。
【００１９】
好ましい構成として、前記筐体は、該筐体の延在方向に延びる筒状の筒状部と、前記筒状部の先端に着脱可能な先端部とを備え、前記筐体の先端の開口は、前記先端部に開口している。
【００２０】
このような構成によれば、筐体の先端部を取り外すことができるので、ＭＥＭＳマイクの取り付けられた基板を筐体の先端から挿入することができ、マイクロホンの組み立て作業が容易になる。
【発明の効果】
【００２１】
上記マイクロホン及びマイクロホンプローブによれば、ＭＥＭＳマイクに測定対象の音を好適に入力させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】マイクロホンを有するマイクロホンプローブを備えて具体化された音響測定装置の一実施形態について、その概略斜視構造を示す斜視図。
【図２】同実施形態において、音響測定装置の正面構造を示す正面図。
【図３】同実施形態において、音響測定装置の左側面構造を示す側面図。
【図４】同実施形態において、マイクロホンの断面構造を示す断面図。
【図５】同実施形態において、マイクロホン内部の基板の斜視構造を示す斜視図。
【図６】同実施形態において、基板を拡大した図であって、（ａ）は基板のＭＥＭＳマイクがはんだ付けされる面である表面を示す表面図、（ｂ）はＭＥＭＳマイクの裏面を示す裏面図。
【図７】同実施形態において、マイクロホン内部の先端側の側面構造を示す側面図。
【図８】同実施形態において、連通孔の断面積に対するマイクロホンの周波数特性（音圧偏差）を示すグラフ。
【図９】同実施形態において、連通孔の断面積に対するマイクロホンの周波数特性（位相）を示すグラフ。
【図１０】マイクロホンを具体化した他の実施形態について、（ａ）はマイクロホンの基板の正面構造を示す正面図、（ｂ）はマイクロホンの先端側の側面構造の一例を示す側面図、（ｃ）はマイクロホンの先端側の側面構造の他の例を示す側面図。
【図１１】マイクロホンを具体化したその他の実施形態について、（ａ）はマイクロホンの基板の正面構造を示す正面図、（ｂ）はマイクロホンの先端側の側面構造の一例を示す側面図、（ｃ）はマイクロホンの先端側の側面構造の他の例を示す側面図。
【図１２】マイクロホンを具体化したまた他の実施形態について、（ａ）はマイクロホンの基板の正面構造を示す正面図、（ｂ）はマイクロホンの先端側の側面構造の一例を示す側面図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
図１〜図９を参照して、マイクロホンを有するマイクロホンプローブを備えて具体化された音響測定装置の一実施形態について説明する。
まず、音響測定装置１の概略を説明する。音響測定装置１は、音を発生させる機械や装置について画像情報や音声情報を取得し、その音源の特定に用いられる。こうして音源が特定されることで、特定された音源に対して、異常検知や騒音対策などが行えるようになる。音響測定装置１は、取得した画像情報や音声情報を同音響測定装置１に接続されている図示しない情報処理装置に出力する。情報処理装置は、小型コンピュータ、記憶部、及び、表示部の少なくとも１つを備えている。そして情報処理装置は、音響測定装置１から入力された画像情報や音声情報を表示、解析、及び、画像情報と音声情報とを関連付けて記憶することの少なくとも１つを行う。例えば、表示処理や解析処理に基づいて、上述した音源の特定が可能になる。
【００２４】
図１を参照して、音響測定装置１について詳しく説明する。音響測定装置１は、マイクロホンプローブ２と、画像撮像装置３と、把持部４とを備える。
画像撮像装置３は、いわゆるカメラであって、レンズ３Ａの向けられている方向である撮像方向Ｄ１の画像を撮像する。画像撮像装置３は、撮像した画像を情報処理装置に出力する。画像撮像装置３で撮像された画像と、そのときのマイクロホンプローブ２で測定された音の強度とに基づいて音源が検出される。なお、画像撮像装置３は、音源の特定に役立つ画像を撮像できるのであれば、モノクロカメラでもよいし、カラーカメラでもよいし、又は、可視光領域及び非可視光領域のうち１又は複数の波長領域を撮像可能なカメラであってもよい。
【００２５】
図１及び図２に示すように、マイクロホンプローブ２は、複数の筒状の筐体としてのマイクロホン１５を備え、これら複数のマイクロホン１５を介して音声を測定し、測定した音声を情報処理装置に出力する。各マイクロホン１５は、マイクロホン１５の延在方向である先端方向（図において測定方向Ｄ２）に指向性を有している。そして、マイクロホンプローブ２は、音声を測定する方向である測定方向Ｄ２に指向性を有する態様となるように４つのマイクロホン１５が配置されている。
【００２６】
マイクロホンプローブ２は、４つのマイクロホン１５の延在方向を測定方向Ｄ２に平行に支持するマイクベース１０を備えている。マイクベース１０は、樹脂製であり、測定方向Ｄ２にマイクロホン１５を保持する機能を備え、マイクベース１０には画像撮像装置３を固定連結する連結具１０Ａが設けられている。よって、マイクロホンプローブ２は、撮像方向Ｄ１と測定方向Ｄ２とが同じ向きになるように、マイクベース１０の連結具１０Ａが画像撮像装置３の底側面に連結固定される。また、マイクロホンプローブ２は、画像撮像装置３の撮像する撮像画像の少なくとも中央には写らない位置に連結固定されている。
【００２７】
把持部４は、音響測定装置１を撮像方向Ｄ１及び測定方向Ｄ２に向けるとき、支持、又は固定される。把持部４は、画像撮像装置３の反撮像方向Ｄ１側に取り付けられ、測定者に把持されたり、三脚等の支持器具に固定されたりする。
【００２８】
図３に示すように、マイクベース１０は、測定方向Ｄ２から見て、中央部１２と中央部１２から放射状に延設された３つの外延部１１とを備える。また、図２に示すように、マイクベース１０は、測定方向Ｄ２に対して、中央部１２が３つの外延部１１よりも突出しているとともに、各外延部１１までの間が凹状の円弧で結ばれている。凹状の円弧は、測定方向Ｄ２からの音声を外周支持部１３よりも外側に反射させる形状になっており、反射音がマイクロホン１５に測定されることを軽減させる。また、凹状の円弧は、凸状の円弧や直線状に比べて占有する面積（体積）が小さくなり、外観のデザイン性にも優れる。
【００２９】
マイクベース１０の中央部１２は、測定方向Ｄ２の先端側にマイクロホン１５の基端を支持する中央支持部１４を備える。マイクベース１０の外延部１１は、その先端近傍において測定方向Ｄ２にマイクロホン１５の基端を支持する外周支持部１３を備えている。外周支持部１３は、中央支持部１４を中心とした所定の円周上に等間隔の角度θで配置される。例えば、本実施形態では、角度θは「１２０°」である。また、３つの外周支持部１３は、それらの先端を相互に結ぶと一辺の長さが長さＫの正三角形になる。長さＫは、測定する音の周波数に応じて定められる長さであり、例えば、周波数が「１ｋＨｚ〜８ｋＨｚ」の音を好適に測定する場合、「６０ｍｍ」であると好ましく、周波数が「５００Ｈｚ〜４ｋＨｚ」の音を好適に測定する場合、「１２０ｍｍ」であると好ましい。
【００３０】
中央支持部１４は、外周支持部１３よりも測定方向Ｄ２に突出長Ｌ１だけ突出している。よって、中央支持部１４の測定方向Ｄ２の先端と、３つの外周支持部１３の測定方向Ｄ２の各先端とが、三角錐形状の頂点を構成する。また、中央支持部１４及び各外周支持部１３はそれぞれの測定方向Ｄ２の先端に、長さＬのマイクロホン１５を測定方向Ｄ２に向けて支持している。よって、各マイクロホン１５は測定方向Ｄ２に平行支持される。
【００３１】
つまり、マイクロホンプローブ２は、中央支持部１４に中央のマイクロホン１５を配置し、この中央のマイクロホン１５の測定方向Ｄ２を中心とする円周上に３つの外周のマイクロホン１５を角度θで等間隔に配置させている。また、中央のマイクロホン１５は、外周のマイクロホン１５よりも測定方向Ｄ２に突出長Ｌ１だけ突出し、４つのマイクロホン１５の先端が、中央支持部１４と３つの外周支持部１３が形成する三角錐形状と同様の三角錐形状の頂点を構成する。こうした構成により、各マイクロホン１５の指向性の強い方向である測定方向Ｄ２にマイクロホンプローブ２としての指向性が確保される。また、中央のマイクロホン１５の先端と周上のマイクロホン１５の先端とは測定方向Ｄ２に突出長Ｌ１の差を有している。このため、中央のマイクロホン１５で音が測定されたときと、周上の各マイクロホン１５で音が測定されたときとの各時間差に基づいて、音の発生している方向を測定方向Ｄ２に対する相対的な方向として測定することができる。
【００３２】
次に、図４を参照して、マイクロホン１５について説明する。なお、４つのマイクロホン１５はいずれも同様の構造を有している。マイクロホン１５は、直径「７ｍｍ」（φ７）の有蓋円筒形状の筐体である。なお通常、マイクロホン１５の直径としては、１インチ（約２５．４ｍｍ）、１／２インチ（約１２．７ｍｍ）、１／４（約６．３５ｍｍ）インチが採用されており、このうち本実施形態では、１／４インチが採用されている。
【００３３】
マイクロホン１５は、測定方向Ｄ２に延びる筒状の筒状部としてのマイクケース１６と、マイクケース１６の先端に着脱可能に取り付けられた先端部としてのキャップ１７とを備えている。マイクケース１６は、外周支持部１３（図１参照）又は中央支持部１４（図１参照）に接続される長手方向端部が基端であり、基端の反対側の長手方向端部が先端である。マイクケース１６は、樹脂製や金属製などの管であって、先端側の外周にキャップ１７を嵌合させるねじ溝等の構造を有している。キャップ１７は、樹脂製や金属製などであり、基端側の内周にマイクケース１６の先端側のねじ溝に嵌合するねじ溝などの対応する構造を有している。
【００３４】
図４に示すように、マイクロホン１５は、先端にキャップ１７が取り付けられたマイクケース１６の筒内をその延在方向に沿って配置された基板２０を備える。マイクケース１６は、内径Ｐ４の筒状管であり、その筒状管の内部に基板２０を格納するとともに、その先端にキャップ１７が取り外し可能に取り付けられている。キャップ１７は、先端側にマイクケース１６の開口を封止する封止面１８を備える。封止面１８は、測定方向Ｄ２に垂直な面であって、キャップ１７先端の開口を封止する。封止面１８は、その一部に、本実施形態では中央付近に外部と管内とを連通する孔からなる筐体の先端の開口である導入孔１９を有している。導入孔１９は、測定対象とする音声をマイクロホン１５内に導入する入口であり、音声の特性（強度や位相）に影響を与えない大きさを有している。
【００３５】
図５に示すように、基板２０は、マイクケース１６の筒状管の内径Ｐ４よりも細い幅Ｗを有する。基板２０は、基板本体２１と、基板本体２１にはんだ付けされたＭＥＭＳマイク４０とを備える。基板本体２１は、プリント基板などの回路基板であって、その表面２１Ａ及び裏面２１Ｂに導電性の回路が配置されている。基板本体２１の表面２１Ａは、マイクロホン１５の延在方向に沿って位置すると共に基端側２２に電子部品を有し、中央部２３に連通部材３０を固定させる固定部材２５を有し、先端部２４にＭＥＭＳマイク４０を有している。また、基板本体２１の裏面２１Ｂは、連通部材３０が配置される。
【００３６】
図６（ａ）に示すように、基板本体２１の先端部２４は、細い幅Ｗと同じ幅Ｗ１であり、一対の電極２８と、表面２１Ａから裏面２１Ｂに基板本体２１を貫通する貫通孔２６と、貫通孔２６を囲むランドパターン２７とを有している。電気的には、一対の電極２８のうちの一方が電源極、他方が信号出力極、ランドパターン２７がグランド極に対応する。一対の電極２８とランドパターン２７とは、ＭＥＭＳマイク４０の各端子のはんだ付けによってＭＥＭＳマイク４０を電気的に接続させる。貫通孔２６は、ＭＥＭＳマイク４０の音孔４２が連通される孔であり、孔の径が内径Ｐ２である。ランドパターン２７は、貫通孔２６を円状に囲む銅などの金属パターンであって、パターン上の全周にはんだが溶着する。ランドパターン２７は、その径が貫通孔２６の内径Ｐ２よりも大きい。
【００３７】
図６（ｂ）に示すように、ＭＥＭＳマイク４０は、半導体プロセスと同様の技術からなる小型機械を加工するマイクロマシニング技術を用いて製作される小型マイクロホンである。ＭＥＭＳマイク４０は、先端部２４の幅Ｗ１よりもより細い幅Ｗ２である。ＭＥＭＳマイク４０は、基板本体２１に対向しない表面４０Ａと、基板本体２１に対向する裏面４０Ｂとを有する。ＭＥＭＳマイク４０は、裏面４０Ｂ側に、一対の端子４１と、音声を入力する音孔４２と、音孔４２を囲むランド端子４３とを備える。音孔４２は、基板本体２１の表面２１Ａと交差する交差方向に延びる円形孔であって、ＭＥＭＳマイク４０の特性に応じて定まる適切な大きさとして内径Ｐ１の大きさを有する。音孔４２は、ＭＥＭＳマイク４０の裏面４０Ｂに開口しており、基板２０への取り付けにおいて貫通孔２６への位置合わせの対象である。
【００３８】
ランド端子４３は、音孔４２に対して同心円状、かつ、外周側の近傍に配置される。ランド端子４３は、その径が音孔４２の内径Ｐ１よりも大きい。なお、本実施形態のＭＥＭＳマイク４０は、裏面４０Ｂに音孔４２を備える形態、いわゆるボトム型である。電気的には、一対の端子４１のうちの一方が電源端子、他方が信号出力端子、ランド端子４３がグランド端子である。また、ランド端子４３は円であり、音孔４２は円形の孔である。
【００３９】
ところで、ＭＥＭＳマイク４０のランド端子４３は、基板本体２１のランドパターン２７に全周が重なる部分を有する大きさである。また、貫通孔２６の内径Ｐ２は、音孔４２の内径Ｐ１以上の大きさを有する。これにより、貫通孔２６が音孔４２の一部を塞いでしまうことを避けることが可能になる。
【００４０】
一般に、マイクロホン１５は、測定方向Ｄ２の先端で音声を測定することが望ましいため、ＭＥＭＳマイク４０を基板２０の先端に配置することが好ましい。ＭＥＭＳマイク４０が先端に配置される程、ＭＥＭＳマイク４０の音孔４２まで音声を導入する通路が短くなり、こうした通路によって音声の特性が変化するおそれが軽減される。
【００４１】
図４に示すように、ＭＥＭＳマイク４０は、一対の端子４１が一対の電極２８に、ランド端子４３がランドパターン２７にそれぞれはんだ付けされることで、基板本体２１の先端部２４にはんだ付けで固定される。また、ランド端子４３がランドパターン２７にはんだ付けされることで、ＭＥＭＳマイク４０の音孔４２が基板本体２１の貫通孔２６に連通する。さらに、輪状であるランド端子４３及びランドパターン２７は、はんだ付けにより一周がはんだ付けされることから、ＭＥＭＳマイク４０の裏面４０Ｂと基板本体２１の表面２１Ａとの間に隙間が無い態様で音孔４２に貫通孔２６が連なる。よって、基板本体２１の表面２１ＡとＭＥＭＳマイク４０の裏面４０Ｂとの間からマイクロホン１５内の雑音等が音孔４２に入ることが抑制される。
【００４２】
ＭＥＭＳマイク４０が基板本体２１にはんだ付けされると、音孔４２の開口が向く方向であって音孔４２の延在方向である開口方向が測定方向Ｄ２に対して直交する。そこで測定方向Ｄ２の音を測定するため、基板２０は、基板本体２１の裏面２１Ｂ側に連通孔５０を備えている。連通孔５０は、基板本体２１の貫通孔２６とキャップ１７の導入孔１９との間を連通する孔であり、連通部材３０と基板本体２１の裏面２１Ｂとにより構成される。換言すると、連通孔５０は、基板２０と該基板２０の裏側の表面である裏面２１Ｂに配置される連通部材３０とによって区画されている。そして連通孔５０は、その区画する内部空間を接続口３５を介して基板本体２１の貫通孔２６に接続させる。ここでは、接続口３５は、基板本体２１の裏面２１Ｂにおける貫通孔２６の開口に対応する。接続口３５は、基板本体２１の貫通孔２６の開口に干渉しない大きさであるが、少なくともＭＥＭＳマイク４０の音孔４２に干渉しない大きさであればよい。これにより、ＭＥＭＳマイク４０の集音特性を低下させるおそれが低いと考えられる。また、基板本体２１に直交するＭＥＭＳマイク４０の音孔４２の開口方向と基板本体２１に平行な連通孔５０の長手方向とは直交する。こうした構造によって、キャップ１７の導入孔１９に入力した音が、連通孔５０及び貫通孔２６を通り、ＭＥＭＳマイク４０の音孔４２まで導かれる。換言すると、連通孔５０は、導入孔１９と貫通孔２６との間に配置されている。なお、連通孔５０は、貫通孔２６よりも基端側２２に多少長くてもよい。
【００４３】
連通孔５０のうち、キャップ１７の導入孔１９から貫通孔２６までの長さは孔長Ｌ３に設定されている。孔長Ｌ３は、測定する音の１／４波長以下の長さに設定されることが好ましい。１／１０波長以下であると特に良好である。孔長Ｌ３を測定する音の波長の１／４波長以下にすれば、連通孔５０を通過した音の特性が変化するおそれが低減され、１／１０波長以下であると音の特性変化はより低減される。例えば、周波数が「２０ｋＨｚ」の音の波長は「１７ｍｍ」であるから孔長Ｌ３は「４．２５ｍｍ」以下が好ましい。また、孔長Ｌ３が「４．２５ｍｍ」以下ならば、それよりも１／４波長が長い音、すなわち周波数が「２０ｋＨｚ」未満の音も好適に測定できる。同様に、周波数が「１０ｋＨｚ」の音の波長は「３４ｍｍ」であるから孔長Ｌ３は「８．５ｍｍ」以下が好ましい。また同様に、周波数が「８ｋＨｚ」の音の波長は「４２．５ｍｍ」であるから孔長Ｌ３は「１０．６ｍｍ」以下が好ましい。また同様に、周波数が「４ｋＨｚ」の音の波長は「８５ｍｍ」であるから孔長Ｌ３は「２１．２５ｍｍ」（≒２１ｍｍ）以下が好ましい。また同様に、周波数が「１ｋＨｚ」の音の波長は「３４０ｍｍ」であるから孔長Ｌ３は「８５ｍｍ」以下が好ましい。また同様に、周波数が「５００Ｈｚ」の音の波長は「６８０ｍｍ」であるから孔長Ｌ３は「１７０ｍｍ」以下が好ましい。
【００４４】
図４、図５及び図７に示すように、連通部材３０は、樹脂製の部材からなり、基板本体２１の裏面２１Ｂに、基板本体２１の長手方向に沿って配置される。なお、図５は、説明の便宜上、連通部材３０を基板本体２１の長手方向からずらした図である。連通部材３０は、基板本体２１の裏面２１Ｂに配置された状態で、基板本体２１の裏面２１Ｂとマイクケース１６の内周面とにより区画されるマイクケース１６内の空間に配置される。連通部材３０は、基板本体２１の裏面２１Ｂに当接する本体部３１と、基板本体２１よりも先に延在する先端円３２とを備える。連通部材３０は、本体部３１が基板本体２１の表面２１Ａ側に配置される固定部材２５に、基板本体２１を貫通するねじで固定される。先端円３２は、マイクケース１６の内径に嵌合する円形状を有している。連通部材３０は、先端円３２がマイクケース１６の内周面に嵌合し、固定されることで振動等が抑制されて、該連通部材３０に固定した基板２０の振動等も抑制される。よって基板２０は、マイクケース１６内でのがたつきによる雑音の発生等が抑制され、測定する音を好適に測定させることができる。
【００４５】
本体部３１は、基板本体２１の裏面２１Ｂに対向する面に溝状の連通溝３３を有している。連通溝３３は、基板本体２１の貫通孔２６から先端円３２までの間に設けられている。また、先端円３２は、連通溝３３を測定方向Ｄ２に延ばした位置に対応する位置に通過孔３４を有している。連通溝３３は、溝の長手方向に直交する垂直方向の断面（以下、垂直断面）が直径Ｐ３の半円形であり、溝の開口幅が直径Ｐ３の長さであり、溝内部が直径Ｐ３の半円形に凹んでいる。よって、連通溝３３は、溝の開口が基板本体２１の裏面２１Ｂで覆い塞がれると、直径Ｐ３の半円形の垂直断面を有する連通孔５０を形成する。
【００４６】
通過孔３４は、連通溝３３と基板本体２１の裏面２１Ｂとが形成する直径Ｐ３の半円形の垂直断面を有する孔である。よって、連通孔５０は、連通溝３３から通過孔３４まで半円形の垂直断面を有する。
【００４７】
ところで発明者らは、音孔４２が延びる交差方向と直交する断面において連通孔５０の有する面積を連通孔５０の断面積としたとき、連通孔５０の断面積とＭＥＭＳマイク４０の音孔４２の開口面積との関係が、ＭＥＭＳマイク４０が測定する音の特性、特に強度特性と位相特性とに影響を与えることを見出した。そして、発明者らはさらに、音の特性に与える影響を抑えるためには、半円の直径Ｐ３（図７参照）を音孔４２の内径Ｐ１の「１倍」以上「２．８３倍」以下の長さにすること、すなわち連通孔５０の断面積を開口面積の「０．５倍」以上「４．０倍」以下の面積にすることが好ましいことを見出した。
【００４８】
例えば、音孔４２の内径Ｐ１が「０．９５ｍｍ」、開口面積が「０．７１平方ｍｍ」であるとすると、半円の直径Ｐ３（図７参照）を「０．９５ｍｍ」以上「２．６９ｍｍ」以下にすること、すなわち断面積を「０．３５５平方ｍｍ」以上「２．８４平方ｍｍ」以下にすることが好ましいことを見出した。
【００４９】
例えば、直径Ｐ３が「０．９５ｍｍ」であれば、少なくとも音孔４２の内径Ｐ１と同じ大きさであるので、連通孔５０の接続口３５の大きさをＭＥＭＳマイク４０の音孔４２に干渉しないようにすることが容易である。また、直径Ｐ３は、小さいと音の特性を変化させるおそれが高くなるが、この大きさであれば連通孔５０を通過する音の特性変化を低い状態に維持できる。一方、断面積は、大きすぎると連通孔５０の配置スペースの確保が容易でなくなるが、「４．０倍」以下であれば、連通孔５０の配置スペースを確保しつつ、その配置位置も適切な位置にし易い。マイクケース１６は、内径が最大幅になる円の中央に基板２０が配置されると、連通孔５０が円の中央からずれた位置に配置されることになるが、連通孔５０の断面積が「４．０倍」以下であれば、円の中央からのずれも小さく抑えられる。また、断面積が大きくなると連通孔５０の長さ方向における対角線が長くなって連通孔５０の共振周波数が低下し、可聴帯域のうちの高域範囲に近くなり、可聴帯域の音の測定精度を低下させるおそれがある。また、断面積が大きくなると連通孔５０の長さ方向における最短距離と対角線等の最長距離との間の差が長くなって共振周波数となる帯域が広がり、これによっても可聴帯域の測定精度を低下させるおそれがある。よって直径及び断面積は、測定精度が低下しない範囲にあることが好ましい。
【００５０】
ここで、図８及び図９を参照して、連通孔５０の断面積に対する音の特性について詳述する。図８及び図９は、ＭＥＭＳマイク４０の音孔４２で測定される音の特性を示すグラフである。なお、グラフＬ１１，Ｌ２１は、ＭＥＭＳマイク４０の音孔４２を直に測定方向Ｄ２に向けたときに測定した音の特性を示す例であり、グラフＬ１２〜Ｌ１４，Ｌ２２〜Ｌ２４は、測定方向Ｄ２に向けた連通孔５０を介して測定方向Ｄ２に直交する音孔４２で測定した音の特性を示す例である。このとき、グラフＬ１２，Ｌ２２は連通孔５０の直径Ｐ３が「１．４ｍｍ」（断面積で「０．７７平方ｍｍ」）、グラフＬ１３，Ｌ２３は連通孔５０の直径Ｐ３が「２．５ｍｍ」（断面積で「２．４５平方ｍｍ」）、グラフＬ１４，Ｌ２４は連通孔５０の直径Ｐ３が「４．０ｍｍ」（断面積で「６．２８平方ｍｍ」）である。
【００５１】
図８に示すように、周波数に対する強度特性については、グラフＬ１１の音圧偏差は周波数が高くなるにつれて高くなるが、これに比べてグラフＬ１２〜Ｌ１４の各音圧偏差は周波数が高くなるに応じて、かつ、断面積が大きくなるに応じてより高くなる。よってグラフＬ１１の音圧偏差とグラフＬ１２〜Ｌ１４の音圧偏差との間の差は、周波数が低く、かつ、断面積が小さいほど小さく、逆に、周波数が高く、かつ、断面積が大きいほど大きい。また、断面積に対する強度特性として、音圧偏差のピークは、断面積の大きに応じて、高く、かつ、周波数が低くなる。つまり、音圧偏差のピークが、グラフＬ１２では「１９ｋＨｚ」付近、グラフＬ１３では「１８ｋＨｚ」付近、グラフＬ１４では「１５ｋＨｚ」付近になる。よって、直径Ｐ３が小さい方が、連通孔のないＭＥＭＳマイク４０の測定特性に近い強度特性で音が測定される。また、直径Ｐ３が「１．４ｍｍ」であれば「１９ｋＨｚ」付近まで、同「２．５ｍｍ」であれば「１８ｋＨｚ」付近まで、同「４．０ｍｍ」であれば「１５ｋＨｚ」付近までの音について、測定した音の処理が容易である。
【００５２】
図９に示すように、周波数に対する位相特性については、グラフＬ２１は周波数が高くなるに応じて位相が進む。このグラフＬ２１の位相に対して、グラフＬ２２〜Ｌ２４は、周波数が高くなるに応じて位相差が大きくなり、かつ、断面積が大きいほど位相差が大きくなる。図９に示すように、周波数が「１０ｋＨｚ」以下では、グラフＬ２１に対するグラフＬ２２〜Ｌ２４の位相差は小さい。逆に、周波数が「１０ｋＨｚ」よりも高い範囲では、グラフＬ２１に対するグラフＬ２２〜Ｌ２４の位相差は、連通孔５０の断面積が大きいほど位相が遅れて大きくなる。また、グラフＬ２１は周波数に応じて位相が進むが、グラフＬ２２〜Ｌ２４は特定の周波数で位相の進みが止まり、位相が遅れる。特定の周波数は、グラフＬ２２では「１６ｋＨｚ」付近、グラフＬ２３では「１５ｋＨｚ」付近、グラフＬ２４では「１２ｋＨｚ」付近である。よって、連通孔５０の断面積が大きいほど、グラフＬ２１の位相に対する位相差が大きくなる。つまり直径Ｐ３が小さい方が、連通孔のないＭＥＭＳマイク４０の測定特性に近い位相特性で音が測定される。また、直径Ｐ３が「１．４ｍｍ」であれば「１６ｋＨｚ」付近まで、同「２．５ｍｍ」であれば「１５ｋＨｚ」付近まで、同「４．０ｍｍ」であれば「１２ｋＨｚ」付近までの音について、測定した音の処理が容易である。
【００５３】
これらのことから、ＭＥＭＳマイク４０の音孔４２が円形の開口であり、連通孔５０の断面が半円形状であるとすると、連通孔５０の断面積は、ＭＥＭＳマイク４０の音孔４２の開口面積の「０．５倍」以上、かつ「４．０倍」以下であることが好ましいことになる。
【００５４】
以上説明したように、本実施形態に係るマイクロホンによれば、以下に記載する効果が得られる。
（１）連通孔５０はＭＥＭＳマイク４０の音孔４２に干渉しない大きさの接続口３５にＭＥＭＳマイク４０の音孔４２を連通させ、連通孔５０の断面積がＭＥＭＳマイク４０の音孔４２の開口面積の「０．５倍」以上「４．０倍」以下であるようにした。断面積が「０．５倍」以上であれば、ＭＥＭＳマイク４０の音孔４２の直径と同じ幅の溝を音孔に被せるように配置することで、ＭＥＭＳマイク４０の音孔４２に干渉しない大きさの接続口をＭＥＭＳマイク４０の音孔４２に接続させることができる。つまり、連通孔５０の設置が容易になる。また、断面積が「０．５倍」以上であれば、連通孔５０を通りＭＥＭＳマイク４０の音孔４２に伝えられる音の特性変化が少ない状態を維持できる。一方、断面積が「４．０倍」以下であれば、連通孔５０を適切な位置に配置させ易い。マイクケース１６を長さ方向に見たとき、最大幅になる中央付近に基板２０が配置され、連通孔５０は円の中央からずれた位置に配置されることになるが、連通孔の断面積が「４．０倍」以下であれば、円の中央からのずれも小さく抑えられる。
【００５５】
よって、基板２０に取り付けられたＭＥＭＳマイク４０の音孔４２に、その音孔４２の向きとは交差する交差方向にあるマイクケース１６の先端の導入孔１９に入力された音が特性変化の抑制された状態で入力される。これにより、基板２０に取り付けられたＭＥＭＳマイク４０の向きにかかわらず、ＭＥＭＳマイク４０の音孔４２に音を好適に入力させることができる。
【００５６】
（２）基板２０に実装されると基板の表面２１Ａに対して垂直方向に音孔４２が開口されるＭＥＭＳマイク４０を、マイクロホン１５の延在方向に沿って設置される基板２０に実装等で配置させたとしても、音孔４２に入力する音の特性変化が抑えられる。
【００５７】
（３）基板２０へ取付けられる裏面４０Ｂに音孔を有する下音孔タイプ（ボトム型）のＭＥＭＳマイク４０においても、その音孔４２が貫通孔２６を通じて連通孔５０に連通される。
【００５８】
（４）基板２０を連通孔５０の一部とすることで、連通孔５０の区画が容易になる。また、連通部材３０を小さく抑えることができる。
（５）連通部材３０が基板２０に固定されるので、基板２０の貫通孔２６との接続状態が向上する。
【００５９】
（６）連通部材３０が先端円３２を介してマイクケース１６の内周面に固定されるので、マイクロホン１５の導入孔１９との接続状態が向上する。
（７）連通孔５０の長手方向の長さ（孔長Ｌ３）を２１ｍｍとすれば、１／４波長とする４ｋＨｚ程度以下の周波数の音についてその特性変化が抑制される。つまり、５００Ｈｚ〜４ｋＨｚの範囲の音の測定に適する。
【００６０】
（８）連通孔５０の長手方向の長さ（孔長Ｌ３）を８．５ｍｍとすれば、１／４波長とする１０ｋＨｚ程度以下の周波数の音についてその特性変化が抑制される。つまり、１ｋＨｚ〜１０ｋＨｚの音の測定に適する。
【００６１】
（９）マイクロホン１５のキャップ１７を取り外すことができるので、ＭＥＭＳマイク４０の取り付けられた基板２０をマイクケース１６の先端から挿入することができ、マイクロホン１５の組み立て作業が容易になる。
【００６２】
（その他の実施形態）
なお上記実施形態は、以下の態様で実施することもできる。
・上記実施形態では、連通溝３３や通過孔３４の垂直断面が半円である場合について例示した。しかしこれに限らず、連通溝や通過孔の垂直断面形状は、半円以外の形状、例えば三角形や矩形などの多角形や楕円、直線と円弧の組み合わせなどであってもよい。
【００６３】
例えば、図１０（ａ）に示すように、貫通孔２６から先端方向に延びる連通溝３３は、図１０（ｂ）に示すように、矩形状の連通溝３３ａであってもよいし、図１０（ｃ）に示すように、三角形状の連通溝３３ｂであってもよいし、その他の形状であってもよい。これにより、連通部材に設ける連通溝や通過孔の形状の自由度が高められる。
【００６４】
・上記実施形態では、連通部材３０は、先端に先端円３２を有している場合について例示した。しかしこれに限らず、連通部材は、連通孔がキャップの導入孔に連通するのであれば、先端に先端円を有していなくてもよい。
【００６５】
例えば、図１１（ａ）に示すように、連通部材３０の先端が基板２０の先端と同じ位置にあってもよい。このとき図１１（ｂ）に示すように、連通溝３３ｃは、垂直断面が半円状であってもよいし、図１１（ｃ）に示すように、連通溝３３ｄは、垂直断面が矩形状であってもよいし、連通溝は、その他の形状であってもよい。これにより、連通部材に設ける連通溝の形状の自由度が高められる。
【００６６】
・上記実施形態では、マイクベース１０が樹脂製である場合について例示したが、これに限らず、マイクベースは、音の反射を抑えられ、音の反射方向も好適な方向に調整できるのであれば、金属などの樹脂性以外から構成されていても、樹脂と樹脂以外とを組み合わせたものでもよい。
【００６７】
・上記実施形態では、各外周支持部１３の間の長さＫが周波数「１ｋＨｚ〜８ｋＨｚ」のとき「６０ｍｍ」、周波数「５００Ｈｚ〜４ｋＨｚ」のとき「１２０ｍｍ」である場合について例示した。しかしこれに限らず、外周支持部の間の長さＫが「６０ｍｍ」のとき、測定する周波数が「１ｋＨｚ」未満であってもよいし、「８ｋＨｚ」を超えてもよい。また、外周支持部の間の長さＫが「１２０ｍｍ」のとき、測定する周波数が「５００ｋＨｚ」未満であってもよいし、「４ｋＨｚ」を超えてもよい。測定精度が多少低下するが、測定範囲が広がり利便性が高められる。
【００６８】
また、測定対象とする周波数範囲を「５００Ｈｚ〜４ｋＨｚ」及び「１ｋＨｚ〜８ｋＨｚ」以外にすることに応じて各外周支持部の間の長さを任意の長さにしてもよい。これにより、マイクロホンプローブの適用可能性を高めることができる。
【００６９】
・上記実施形態では、角度θが等間隔である場合について例示した。しかしこれに限らず、必要とされる精度で音源を特定することができるのであれば、角度θが等間隔ではなくてもよい。
【００７０】
・上記実施形態では、中央部１２から外延部１１まで設けられている凹状の円弧の表面形状は特に規定されていないが、当該表面の測定方向Ｄ２側の形状としては、中央部から外延部への方向への断面が直線であってもよいし、上に凸の円弧であってもよい。直線であれば、その加工や成形が容易であり、上に凸の円弧であれば、測定方向からの音声をマイクロホンのない方向に好適に反射させることができるようになる。
【００７１】
・上記実施形態では、中央部１２から各外延部１１との間は、凹形状で結ばれている場合について例示したが、これに限らず、凸形状や直線形状であってもよい。凸形状であれば、反射音をより広範囲に拡散させることができるし、直線形状であれば、形状としての構成が容易になる。
【００７２】
・上記実施形態では、導入孔１９が封止面１８の中央付近に設けられている場合について例示したが、これに限らず、連通孔をキャップの外側に連通させることができるのであれば、導入孔は、封止面の中央付近からずれた位置に設けられていてもよい。
【００７３】
・上記実施形態では、キャップ１７はマイクケース１６に着脱自在である場合について例示したが、これに限らず、マイクケースとキャップとが一体など、マイクケースからキャップを取り外せなくてもよい。この場合、マイクケースにはその基端から基板を挿入すればよい。これにより、マイクロホンの構成の自由度が高められる。
【００７４】
・上記実施形態では、連通部材３０がねじで基板本体２１に固定される場合について例示したが、これに限らず、連通部材の先端円などがマイクケースに嵌合固定され、基板もマイクケースに別途固定されれば、連通部材がねじで基板本体に固定されなくてもよい。
【００７５】
・上記実施形態では、連通孔５０はその一部が連通部材３０の連通溝３３と基板本体２１の裏面２１Ｂとにより構成される場合について例示した。しかしこれに限らず、連通孔が連通部材に形成された孔を含んでもよい。
【００７６】
例えば、図１２（ａ）に示すように、連通部材３０に、連通部材３０の内部を長手方向に連通する連通孔３３ｅを設け、貫通孔２６に対応する部分だけ側面を開放させてもよい。すなわち、図１２（ｂ）に示すように、連通部材３０に、断面形状が円形の連通孔３３ｅを設けてもよい。なお、連通孔３３ｅの断面形状は、半円、楕円、矩形、多角形などの円形以外の形状であってもよい。
【００７７】
・上記実施形態では、ＭＥＭＳマイク４０は、裏面４０Ｂに音孔４２を備える形態、いわゆるボトム型である場合について例示した。しかしこれに限らず、ＭＥＭＳマイクは、表面に音孔を備える形態、いわゆるトップ型であってもよい。この場合、ＭＥＭＳマイクの表面に連通部材を配置させ、音孔を連通孔に直接接続させるようにすればよい。これにより、ＭＥＭＳマイクの採用可能性が高められる。また、基板本体に貫通孔を設ける手間が削減される。
【００７８】
・上記実施形態では、ＭＥＭＳマイク４０の音孔４２の開口方向と連通孔５０の長手方向とは直交する場合について例示した。しかしこれに限らず、基板の配置の都合などにより音孔の開口方向と連通孔の長手方向とは直交しない態様で交差してもよい。これにより、マイクロホンの構成の自由度が高められる。
【００７９】
・上記実施形態では、連通孔５０の直径Ｐ３が「０．９５ｍｍ」以上「４．０ｍｍ」以下である場合について例示した。しかしこれに限らず、連通孔の直径は、「０．９５ｍｍ」未満であってもよいし、「４．０ｍｍ」より大きくてもよい。この場合、音の特性に与える影響が大きくなるおそれがあるが、必要な測定精度が確保できる範囲で、連通孔の直径を設定することができる。これにより、マイクロホンの設計に関する自由度が高められるようになる。
【００８０】
・上記実施形態では、マイクロホンプローブ２はマイクロホン１５を中央部１２に１つ、外延部１１に３つ有する場合について例示した。しかしこれに限らず、外延部のマイクロホンは１つ以上であればよい。このとき、外延部の配置位置や角度はマイクロホンの数に合わせればよい。
【００８１】
・上記実施形態では、音響測定装置は、音を発生させる機械や装置に対して用いられ、その音源を特定し、異常検知や騒音対策などが行えるようにする場合について例示した。しかしこれに限らず、音響測定装置は、音が発生しているのであれば、構造物や自然物など機械や装置以外のものに対して用い、音源を特定してもよい。また、特定された音源に対して、単なる測定など、異常検知や騒音対策など以外の対応を行ってもよい。
【符号の説明】
【００８２】
１…音響測定装置、２…マイクロホンプローブ、３…画像撮像装置、３Ａ…レンズ、４…把持部、１０…マイクベース、１０Ａ…連結具、１１…外延部、１２…中央部、１３…外周支持部、１４…中央支持部、１５…マイクロホン、１６…マイクケース、１７…キャップ、１８…封止面、１９…導入孔、２０…基板、２１…基板本体、２１Ａ…表面、２１Ｂ…裏面、２２…基端側、２３…中央部、２４…先端部、２５…固定部材、２６…貫通孔、２７…ランドパターン、２８…電極、３０…連通部材、３１…本体部、３２…先端円、３３…連通溝、３３ａ…連通溝、３３ｂ…連通溝、３３ｃ…連通溝、３３ｄ…連通溝、３３ｅ…連通孔、３４…通過孔、３５…接続口、４０…ＭＥＭＳマイク、４０Ａ…表面、４０Ｂ…裏面、４１…端子、４２…音孔、４３…ランド端子、５０…連通孔。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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