(57)【要約】【課題】収率の安定性を高めることができ、バリの形成を回避でき、成形安定性に優れる樹脂製品の製造方法を提供すること。【解決手段】外縁側が開放された状態で硬化の工程が行われる成形型１００を用いる。成形型１００のうち上型２０が形状転写領域１２０ａの周囲において硬化前の樹脂流動体の流動厚みを広げるエッジ部５１を有するので、硬化前の樹脂流動体が形状転写領域１２０ａの外側にはみ出すことを抑制できる。さらに、上型２０が形状転写領域１２０ａの周囲のうち所定箇所の外側に硬化前の樹脂流動体を誘導してバリ８３を形成する誘導部位２２ｅを有するので、過剰な樹脂流動体が供給された場合に、誘導部位２２ｅに樹脂を誘導して意図しない樹脂のはみ出しを防止できる。【選択図】図１
2017154329.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光硬化性樹脂を用いる樹脂製品の製造方法であって、
外縁側が開放された状態で硬化の工程が行われる成形型を用い、
前記成形型は、形状転写領域の周囲において硬化前の樹脂の流出を防ぐエッジ部を有するとともに、前記形状転写領域の周囲のうち所定箇所の外側に硬化前の樹脂を誘導してバリを形成する誘導部位を有することを特徴とする樹脂製品の製造方法。
【請求項２】
前記エッジ部は、硬化前の樹脂の流動方向に延びる規制面と、当該規制面に対して前記成形型の奥側を正として０度よりも大きい開口角を成す開放面との境界に相当することを特徴とする請求項１に記載の樹脂製品の製造方法。
【請求項３】
前記規制面は、硬化前の樹脂の流動方向に延びる平面であり、前記開放面は、前記規制面から前記成形型の後方に外れる側面であることを特徴とする請求項２に記載の樹脂製品の製造方法。
【請求項４】
前記エッジ部は、突起であり、前記規制面は、外側で前記成形型の前方に延びる傾斜面であり、前記開放面は、外側で前記成形型の後方に延びる側面であることを特徴とする請求項２に記載の樹脂製品の製造方法。
【請求項５】
前記誘導部位は、前記エッジ部の切れ目又は前記エッジ部の一部に付随して設けられていることを特徴とする請求項２〜４のいずれか一項に記載の樹脂製品の製造方法。
【請求項６】
前記誘導部位は、前記エッジ部の一部に付随して設けられており、前記エッジ部のうち前記誘導部位を設けた箇所に対応する第１部分での前記開放面の開口角をα１とし、前記エッジ部のうち前記誘導部位を設けていない箇所に対応する第２部分で前記開放面の開口角をα２とした場合に、
α１＜α２
を満たすことを特徴とする請求項２〜４のいずれか一項に記載の樹脂製品の製造方法。
【請求項７】
前記開放面の開口角が６０°以上であることを特徴とする請求項２〜６のいずれか一項に記載の樹脂製品の製造方法。
【請求項８】
前記誘導部位は、前記成形型において一箇所以上設けられており、前記形状転写領域の外側又は内側の輪郭に付随して設けられていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の樹脂製品の製造方法。
【請求項９】
前記エッジ部と当該エッジ部から後退する外側との段差が０．１ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の樹脂製品の製造方法。
【請求項１０】
前記成形型は、撥水性を有する材料で形成され、又は前記形状転写領域の少なくとも外側において撥水性を有する材料で被覆されていることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の樹脂製品の製造方法。
【請求項１１】
前記成形型は、機械加工によって形成された金属型又は電鋳よって形成された電鋳型を用いた形状転写によって作製された中間型であることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載の樹脂製品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学素子その他の樹脂製品の製造方法に関し、特に光硬化性樹脂を用いる樹脂製品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェハレベルレンズアレイの製造方法として、個々のレンズ形状に対応する転写面を有するマスター型から目的とするウェハレベルレンズアレイと同一形状のマスターを得るとともに、このマスターを反転させてウェハレベルレンズアレイ用の成形型を得るものが公知となっている（特許文献１参照）。この製造方法では、樹脂の流動性を制御するために型表面の濡れ性を制御している。具体的には、マスターにおいて、転写部の表面の樹脂に対する濡れ性を樹脂収納凹部の表面の樹脂に対する濡れ性よりも高めることにより、転写部による造形精度を高めて高精度のマスターや成形型を得ることができる。
【０００３】
しかしながら、上記製造方法は、以下の理由で収率の安定性を確保することが容易でないと考えられる。
すなわち、特許文献１の製造方法のように同一部材で濡れ性を制御する場合、局所的な表面処理が必要と考えられるが、このような表面処理は容易でなく、このような表面処理を行うと、マスター型の切り返し使用に伴って表面処理層の劣化が生じて成形安定性が劣化する。
また、特許文献１の製造方法では、例えばウェハレベルレンズアレイの成形段階で（特許文献１の図９）、基板と下型との間、或いは基板と下型との間に隙間があることによって毛細管現象により樹脂が浸み込み、製品にバリが形成されるので、樹脂コントロールの精度が重要となる。また、マスター型によってマスターの造形部を形成する際には、閉空間を用いているが（特許文献１の図５、２０等）、特に図２０の手法を用いる場合、上型と胴型部との型合わせ部に樹脂が浸み込んでバリになる。また、図２０の手法では、余った樹脂を貫通孔を介して型空間外へ排出できるようにしているが、余った樹脂を型空間外へ誘導することは容易でなく、型空間内に閉じ込められて硬化した樹脂を外すことも容易でなく、成形安定性の観点で問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開2011-104811号公報
【発明の概要】
【０００５】
本発明は、上記背景技術に鑑みてなされたものであり、収率の安定性を高めることができ、バリの形成を回避でき、成形安定性に優れる樹脂製品の製造方法を提供することを目的とする。
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明に係る樹脂製品の製造方法は、光硬化性樹脂を用いる樹脂製品の製造方法であって、外縁側が開放された状態で硬化の工程が行われる成形型を用い、成形型は、形状転写領域の周囲において硬化前の樹脂の流出を防ぐエッジ部を有するとともに、形状転写領域の周囲のうち所定箇所の外側に硬化前の樹脂を誘導してバリを形成する誘導部位を有する。
【０００７】
上記製造方法では、成形型が形状転写領域の周囲において硬化前の樹脂の流出を防ぐエッジ部を有するので、硬化前の樹脂が形状転写領域の外側にはみ出すことを抑制できる。さらに、成形型が形状転写領域の周囲のうち所定箇所の外側に硬化前の樹脂を誘導してバリを形成する誘導部位を有するので、過剰な樹脂が供給された場合に、誘導部位に樹脂を誘導して意図しない樹脂のはみ出しを防止できる。なお、誘導部位に形成されたバリは、方向が特定された意図的なものであり、切断等によって簡単に除去することができる。
【０００８】
本発明の具体的な側面では、上記製造方法において、エッジ部は、硬化前の樹脂の流動方向に延びる規制面と、当該規制面に対して成形型の奥側又は後方を正として０度よりも大きい開口角を成す開放面との境界に相当する。この場合、規制面に沿って流れて来た樹脂が開放面との境界線で堰き止めされる。
【０００９】
本発明の別の側面では、規制面は、硬化前の樹脂の流動方向に延びる平面であり、開放面は、規制面から成形型の後方に外れる側面である。この場合、成形型の平面に沿って樹脂を流動させ、成形型の平面の外縁を超えた側面側に溢れさせないようにできる。
【００１０】
本発明のさらに別の側面では、エッジ部は、突起であり、規制面は、外側で成形型の前方に延びる傾斜面であり、開放面は、外側で成形型の後方に延びる側面である。この場合、成形型の傾斜面の内側で樹脂を流動させ、成形型の傾斜面の外縁又は上端を超えた側面側に樹脂を溢れさせないようにできる。
【００１１】
本発明のさらに別の側面では、誘導部位は、エッジ部の切れ目又はエッジ部の一部に付随して設けられている。この場合、硬化前の樹脂を形状転写領域の周囲において誘導部位に確実に導くことができる。
【００１２】
本発明のさらに別の側面では、誘導部位は、エッジ部の一部に付随して設けられており、エッジ部のうち誘導部位を設けた箇所に対応する第１部分での開放面の開口角をα１とし、エッジ部のうち誘導部位を設けていない箇所に対応する第２部分で開放面の開口角をα２とした場合に、
α１＜α２
を満たす。この場合、形状転写領域に対応する部分に硬化前の樹脂を優先的に供給しつつ、余剰の樹脂を誘導部位に効率的に誘導することができる。
【００１３】
本発明のさらに別の側面では、開放面の開口角が６０°以上である。この場合、硬化前の樹脂を形状転写領域に保持するピン止め効果を高めることができる。
【００１４】
本発明のさらに別の側面では、誘導部位は、成形型において一箇所以上設けられており、形状転写領域の外側又は内側の輪郭に付随して設けられている。
【００１５】
本発明のさらに別の側面では、エッジ部と当該エッジ部から後退する外側との段差が０．１ｍｍ以上である。この場合、硬化前の樹脂のピン止め効果を高めることができる。特に、型閉じ速度に関して許容度を高めることができる。
【００１６】
本発明のさらに別の側面では、成形型は、撥水性を有する材料で形成され、又は形状転写領域の少なくとも外側において撥水性を有する材料で被覆されている。この場合、硬化前の樹脂のピン止め効果を発揮させやすくなるとともに、離型性を高めることができるので、成形安定性が向上する。
【００１７】
本発明のさらに別の側面では、成形型は、機械加工によって形成された金属型又は電鋳よって形成された電鋳型を用いた形状転写によって作製された中間型である。この場合、成形型の作製が容易で効率的なものとなる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】（Ａ）及び（Ｂ）は、樹脂製品である光学素子を成形するための成形型の構造を説明する側方断面図及び一方の型の転写面を説明する図である。
【図２】（Ａ）成形型の要部の拡大断面図であり、（Ｂ）及び（Ｃ）は、樹脂の流動を説明する概念図である。
【図３】成形型を用いて形成される光学素子の平面図である。
【図４】（Ａ）〜（Ｄ）は、光学素子の製造方法を説明する概念図である。
【図５】（Ａ）〜（Ｃ）は、光学素子の製造方法を説明する概念図である。
【図６】上型の作製方法を説明する断面図である。
【図７】第２実施形態の製造方法を説明する概念図である。
【図８】第３実施形態の製造方法に用いる成形型を説明する図である。
【図９】（Ａ）及び（Ｂ）は、図８の成形型の変形例を説明する図である。
【図１０】（Ａ）及び（Ｂ）は、第４実施形態の製造方法に用いる成形型等を説明する図である。
【図１１】成形型の変形例を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
〔第１実施形態〕
以下、図面を参照しつつ、本発明に係る第１実施形態の樹脂製品の製造方法について説明する。
【００２０】
図１（Ａ）及び１（Ｂ）に示すように、第１実施形態の製造方法に用いられる成形型１００は、板状で互いに対向する上型２０と下型３０とを有する。上型２０は、形状転写領域として環状の転写面２０ａを有し、下型３０も、形状転写領域として転写面２０ａに対向する環状の転写面３０ａを有する。例えば上型２０には、不図示の駆動機構が付随しており、上型２０は、水平に延びる姿勢を維持したままで下型３０に対して±Ｚ方向に昇降可能になっている。成形型１００は、外縁側が開放された状態で硬化工程を行うものであり、上型２０及び下型３０の転写面（形状転写領域）２０ａ，３０ａは、これらの外縁部２０ｓ，３０ｓにおいて開放されている。また、上型２０及び下型３０のうち少なくとも一方は、光透過性を有し、後述する光硬化性樹脂の硬化に際して硬化光を内部に透過させる。
なお、両型２０，３０のいずれか一方には、型内の空間ＩＳから空気を排出できるように、通気口（不図示）が設けられている。
【００２１】
上型２０は、平板状の基板２１と環状の転写部２２とを有する。基板２１は、転写部２２を背後から支持して水平のＸＹ方向に延びる部分であり、例えばガラス等の光透過性を有する材料で形成されている。転写部２２は、基板２１の表面２１ａうち局所的な環状領域上に形成された層状の部分であり、光透過性を有する樹脂材で形成されている。転写部２２は、下型３０又はその転写面３０ａに対向する表面部分に、転写面２０ａの一部として凹凸パターンが形成された光学転写面２２ａを有している。図示のように光学転写面２２ａが細長く延びる場合、硬化前の光硬化性樹脂（つまり樹脂流動体）を光学転写面２２ａ全体に行き渡らせつつ光学転写面２２ａからのはみ出しを防止する必要性が高まる。
なお、転写部２２は、所定以上の撥水性を有する材料で形成され、或いは転写面２０ａは、所定以上の撥水性を有する材料で被覆されている。
【００２２】
下型３０は、基板３１とスペーサー３３とを有する。基板３１は、水平のＸＹ方向に延びる平板状の部分であり、例えばガラス等の光透過性を有する材料で形成されている。基板３１のうち、上型２０の転写部２２に対向する表面部分は、転写部３２として機能している。つまり、下型３０の転写部３２は、上型２０の転写部２２に対向して環状に延びており、転写面３０ａの一部として光学転写面２２ａに対向する平坦な光学転写面３２ａを有している。スペーサー３３は、樹脂等で形成される部分であり、型閉じに際して上型２０と下型３０との間隔を調整する。より詳細には、型閉じに際して例えば上型２０を支持する駆動機構（不図示）が動作して上型２０を−Ｚ方向に移動させ所定の圧力で下型３０に押し付けることにより、上型２０と下型３０との間隔が調整される。なお、間隔センサーを用いて駆動機構を動作させるならば、スペーサーを用いないで上型２０と下型３０との間隔を調整することもできる。
なお、基板３１は、所定以上の撥水性を有する材料で形成され、或いは転写面３０ａは、所定以上の撥水性を有する材料で被覆されている。
【００２３】
図２（Ａ）等を参照して、転写部２２について説明する。転写部２２は、転写面２０ａ又は形状転写領域１２０ａとして、中央寄りの主転写面である光学転写面２２ａと、光学転写面２２ａを挟んで周辺寄りの副転写面又は非光学転写面である規制面２２ｂとを有する。また、転写部２２は、転写面２０ａの規制面２２ｂの外側に隣接して壁状の外側面２２ｉと内側面２２ｊとを有する。外側面２２ｉ及び内側面２２ｊは、規制面２２ｂを終わらせる意味で開放面２２ｐとして機能する。
【００２４】
形状転写領域１２０ａのうち光学転写面２２ａは、樹脂製品に形成すべき光学面に対応する立体的な形状を有する。規制面２２ｂは、樹脂製品にとって必須の面ではないが、硬化前の樹脂流動体を半径方向外側に押し広げる役割を有する。つまり、規制面２２ｂは、硬化前の樹脂の流動方向、つまりＸＹ平面に沿って延びる。
【００２５】
転写部２２の外側及び内側の輪郭部分には、環状のエッジ部５１が形成されている。このエッジ部５１は、樹脂の流動方向に延びる規制面２２ｂと、当該規制面２２ｂに対して成形型の奥側（＋Ｚ側）を正として０度よりも大きい開口角を成す開放面２２ｐとの境界に相当する。規制面２２ｂは、硬化前の樹脂の流動方向に延びる平面であり、開放面２２ｐは、規制面２２ｂから上型２０の後方（つまり＋Ｚ側）に外れる外側面２２ｉ又は内側面２２ｊである。開放面２２ｐ又はエッジ部５１の存在によって、硬化前の樹脂の型外への流出を防ぐことができる。開放面２２ｐは、樹脂を流動させる空隙の間隔、つまり硬化前の樹脂の上下方向に関する流動厚みを広げるものであり、樹脂の転写面２０ａ外への流動を防止又は規制する。
【００２６】
外側のエッジ部５１は、形状転写領域１２０ａの外側の周囲のうち所定箇所で非一様になっており、これに対応して誘導部位２２ｅが設けられている。この誘導部位２２ｅは、硬化前の樹脂流動体を誘導してバリを形成するためのものであり、規制面２２ｂを延長した平面２２ｑと開放面２２ｒとを有する。開放面２２ｒは、規制面２２ｂに隣接する凹面であり、その窪みに余剰の樹脂流動体を誘導して溜めることができるようになっている。
なお、誘導部位２２ｅの外側にも、平面２２ｑと側面２２ｋとの間にエッジ部５４が形成されている。
【００２７】
ここで、エッジ部５１のうち誘導部位２２ｅを設けた箇所に対応する第１部分５３での開放面２２ｒの開口角をα１とし、エッジ部５１のうち誘導部位２２ｅを設けていない箇所に対応する第２部分５２で開放面２２ｐの開口角をα２とした場合に、下記条件
α１＜α２    …    （１）
が満たされている。これらの開放面２２ｒ，２２ｐの開口角α１，α２は、エッジ部５１によるピン留め効果を確保する観点で、６０°以上となっており、大きいほどピン留め効果が高まる。一方、側面２２ｉ，２２ｊの角度βは、加工性の観点で５°〜１０°程度が好適である。よって、開放面２２ｐの開口角α２は、６０°〜８５°程度とすることが望ましく、開放面２２ｒの開口角α１は、これより小さい値とする。
また、エッジ部５１と当該エッジ部５１から後退する外側との段差ｔ、つまりエッジ部５１の先端と背後の基板２１の表面２１ａとの段差は、０．１ｍｍ以上となっている。これにより、エッジ部５１よりも外側で型２０，３０同士又は転写面２０ａ，３０ａ同士の間隔が０．１ｍｍ以上広がって、樹脂流動体のはみ出しを抑制して樹脂流動体のピン止め効果を高めることができ、特に上型２０を降下させる型閉じ速度に関して許容度を高めることができる。
【００２８】
以上のように、誘導部位２２ｅに設けた第１部分５３又は開放面２２ｒの開口角をα１が誘導部位２２ｅ以外に設けた第２部分５２又は開放面２２ｐの開口角α２よりも小さい場合、形状転写領域１２０ａに対応する部分に硬化前の樹脂流動体を優先的に供給しつつ、余剰となった樹脂流動体を誘導部位２２ｅに効率的に誘導することができる。
【００２９】
図２（Ｂ）及び２（Ｃ）は、エッジ部５１によるピン留め効果を説明するものである。図２（Ｂ）に示すように、硬化前の光硬化性樹脂ＬＲは、規制面２２ｂに接触角θで接する。接触角θは、光硬化性樹脂ＬＲの粘性や規制面２２ｂの濡れ性に関連する固有の値となっている。図２（Ｃ）に示すように、光硬化性樹脂ＬＲが規制面２２ｂに沿って流れてエッジ部５１のうち誘導部位２２ｅのない第２部分５２まで来た場合、光硬化性樹脂ＬＲは、実効的な接触角φがθ＋α２を超えるまでは、第２部分５２の境界線で堰き止められる。つまり、光硬化性樹脂ＬＲは、第２部分５２によってピン留めされる。以上は、第２部分５２によるピン留めの説明であったが、誘導部位２２ｅのある第１部分５３でも同様の現象が生じ、光硬化性樹脂ＬＲは、実効的な接触角φがθ＋α１を超えるまでは、第１部分５３の境界線で堰き止められる。ただし、上記のようにα１＜α２であるから、第１部分５３によるピン留め効果は、第２部分５２によるピン留め効果よりも弱いといえる。このため、光硬化性樹脂ＬＲは、まず形状転写領域１２０ａに優先的に広がって、形状転写領域１２０ａを満たした場合、誘導部位２２ｅに広がり始める。
【００３０】
図３は、図１（Ａ）等に示される成形型１００によって形成された樹脂製品を説明するものである。図示の樹脂製品８０は、環状の部材であり、内側の光学部分８１と、外側の一対の枠部８２とを有する。光学部分８１には、上型２０の光学転写面２２ａに対応する形状の光学機能面８１ａが全体的に形成されている。図示の場合、光学機能面８１ａにおいて、多数の微細な立体構造が周期的に形成されている。一方、枠部８２の外側の一箇所には、上型２０の誘導部位２２ｅに対応して、バリ８３が形成されている。バリ８３は、樹脂製品８０の仕上げ段階で、枠部８２から切断等によって除去される。
【００３１】
図１（Ａ）等に示される成形型１００を用いた樹脂製品８０の具体的な製造工程について説明する。なお、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）のＢＢ断面に対応し、図４（Ｃ）は、図４（Ａ）のＡＡ断面に対応する。
まず、図４（Ａ）に示すように、下型３０の転写面（形状転写領域）３０ａ内の適所に光硬化性樹脂ＬＲを供給する。図示の例では、転写面３０ａ内の３箇所に光硬化性樹脂ＬＲを供給しているが、２箇所又は４箇所以上に光硬化性樹脂ＬＲを供給することもできる。
次に、図４（Ｂ）に示すように、下型３０に対して上型２０を位置決めしつつ徐々に降下させる。これにより、下型３０の転写面３０ａに上型２０の転写面２０ａが徐々に近接する。
さらに、図４（Ｃ）に示すように、下型３０に対して上型２０を規定の型閉じ位置に近い位置まで降下させる。これにより、上型２０の転写面２０ａと下型３０の転写面３０ａとの間に型空間ＭＳが形成され、光硬化性樹脂ＬＲが型空間ＭＳに沿って広がる。この際、エッジ部５１の存在により、光硬化性樹脂ＬＲが型空間ＭＳ外にはみ出すことを防止できる。つまり、光硬化性樹脂ＬＲは、転写面２０ａに沿った方向Ｄ１に広がるが、転写面２０ａを横切る方向Ｄ２には広がらない（図４（Ａ）参照）。
図４（Ｄ）に示すように、下型３０に対して上型２０を規定の型閉じ位置まで降下させた段階で、上型２０と下型３０との間隔（つまり転写面２０ａと転写面３０ａとの間隔）が調整される。この際、誘導部位２２ｅの存在により、余剰の光硬化性樹脂ＬＲが誘導部位２２ｅに導かれ誘導部位２２ｅ外のエッジ部５１においてはみ出すことが防止される。
その後、不図示の露光層からのＵＶその他の硬化光ＣＬが上型２０の後方から照射され、所定時間の経過によって光硬化性樹脂ＬＲが硬化する。
光硬化性樹脂ＬＲが硬化した段階で上型２０を上昇させることによって離型が行われ、樹脂製品８０が両型２０，３０間から取り出される（図５（Ａ）参照）。さらに、両型２０，３０間から取り出された樹脂製品８０の一箇所に形成されたバリ８３は、カッター９１等によって除去される（図５（Ａ）及び５（Ｂ）参照）。ここで、バリ８３は、樹脂製品８０の本体からはみ出した比較的厚い小部分であり、後加工によって除去しやすい。
【００３２】
なお、上述した上型２０は、例えばマスター型の転写によって作製することができる。具体的には、金属型又は電鋳よって形成された電鋳型を用いて、上型２０の転写部２２を成形することができ、この場合、上型２０は、樹脂を素材とする中間型として機能する。
【００３３】
図６は、上型２０の作製を説明する図である。予め、切削、電鋳等の手法によってマスター型６０を準備する。マスター型６０には、転写面２０ａを反転した転写面６０ａが形成されている。
マスター型６０の転写面６０ａ上に滴下その他の手法で光硬化性樹脂を塗布し、上型２０を降下させ、マスター型６０の転写面６０ａと基板２１の表面２１ａとの間に光硬化性樹脂を挟み込む型閉じを行う。
その後、基板２１の背後からＵＶその他の硬化光を照射して光硬化性樹脂を硬化させる。これにより、光硬化性樹脂からなる転写部２２が形成される。この段階で、マスター型６０を基板２１から離間させれば、基板２１上に転写部２２を設けた上型２０が得られる。なお、転写部２２の表面には、撥水処理が施され、転写面２０ａとされる。
【００３４】
以上の第１実施形態の製造方法では、成形型１００のうち上型２０が形状転写領域１２０ａの周囲において硬化前の樹脂流動体である光硬化性樹脂ＬＲの流出を防ぐエッジ部５１を有するので、硬化前の樹脂流動体が形状転写領域１２０ａの外側にはみ出すことを抑制できる。さらに、上型２０が形状転写領域１２０ａの周囲のうち所定箇所の外側に硬化前の樹脂流動体を誘導してバリ８３を形成する誘導部位２２ｅを有するので、過剰な樹脂流動体が供給された場合に、誘導部位２２ｅに樹脂を誘導して意図しない樹脂のはみ出しを防止できる。これにより、成形型１００を利用した成形品の収率の安定性を高めることができる。
【００３５】
〔第２実施形態〕
以下、本発明に係る樹脂製品の製造方法の第２実施形態について説明する。なお、第２実施形態の製造方法は、第１実施形態の製造方法を変形したものであり、特に説明しない部分は第１実施形態と同様である。
【００３６】
図７に示すように、第２実施形態の製造方法に用いられる成形型１００を構成する上型２０の場合、転写部２２の輪郭部分において、断面楔形の突起１５５が形成されている。この突起１５５は、その内側に、外側で上型２０の前方（紙面上側）に延びる斜面１５５ａを有する。この突起１５５において、規制面に相当する斜面１５５ａと、開放面に相当する側面２２ｉ，２２ｊとの間には、光硬化性樹脂ＬＲの転写面２０ａ外への流動を防止するエッジ部１５１が形成されている。この場合、突起１５５によって光硬化性樹脂ＬＲが転写面２０ａ外にはみ出すことが制限されるとともに、エッジ部１５１内に光硬化性樹脂ＬＲがピン留めされる効果が生じる。ここで、開放面に相当する側面２２ｉ，２２ｊの開口角α２は、側面２２ｉ，２２ｊの角度βと、斜面１５５ａの角度βとが等しいとして、１８０°−２βで与えられる。角度βが５°〜１０°程度である場合、開口角α２＝１６０°〜１７０°となる。
なお、図示を省略しているが、転写部２２の輪郭部分の一箇所において、突起１５５から外側に延びる誘導部位（例えば図１（Ｂ）に例示するような構造のもの）が形成されている。この誘導部位における開放面の開口角α１は、側面（開放面）２２ｉ，２２ｊの開口角α２よりも小さい値となっている。
【００３７】
〔第３実施形態〕
以下、本発明に係る樹脂製品の製造方法の第３実施形態について説明する。なお、第３実施形態の製造方法は、第１実施形態の製造方法を変形したものであり、特に説明しない部分は第１実施形態と同様である。
【００３８】
図８に示すように、第２実施形態の製造方法に用いられる成形型１００を構成する上型２０の場合、転写部２２の外側ではなく内側の輪郭部分に誘導部位２２ｅが設けられている。図示の場合、転写部２２の輪郭を与えるエッジ部５１は、形状転写領域１２０ａの内側の周囲のうち所定箇所で非一様になっている。具体的には、第１実施形態の場合と同様に、エッジ部５１のうち、上記内側の誘導部位２２ｅに対応する第１部分５３での開放面２２ｒの開口角をα１とし、エッジ部５１のうち誘導部位２２ｅのない箇所に対応する第２部分５２で開放面２２ｐの開口角をα２とした場合に、
α１＜α２    …    （１）
が満たされている。
【００３９】
図９（Ａ）は、図１（Ａ）に示す上型２０の変形例を説明するものである。この変形例では、転写部２２の外側の輪郭部分の２箇所に誘導部位２２ｅが設けられている。
図９（Ｂ）は、図１（Ａ）に示す上型２０の別の変形例を説明するものである。この変形例では、転写部２２の外側の輪郭部分の４箇所に誘導部位２２ｅが設けられている。この場合、光硬化性樹脂ＬＲを吐出する樹脂塗布箇所ＤＰは、隣接する一対の誘導部位２２ｅの中間付近に配置することが好ましい。これにより、４つの誘導部位２２ｅが最後に充填される状況を生じさせ易くなる。
【００４０】
〔第４実施形態〕
以下、本発明に係る樹脂製品の製造方法の第４実施形態について説明する。なお、第４実施形態の製造方法は、第１実施形態の製造方法を変形したものであり、特に説明しない部分は第１実施形態と同様である。
【００４１】
図１０（Ａ）に示すように、第４実施形態の場合、上型２０の転写部２２において、内側に張り出すように、光硬化性樹脂ＬＲの樹脂塗布箇所ＤＰが設けられている。このように樹脂塗布箇所ＤＰを偏った位置に設定することで、樹脂塗布箇所ＤＰに近い箇所を含む光学転写面２２ａ全体で光硬化性樹脂ＬＲの流れＦ１，Ｆ２が形成されている。これにより、光学転写面２２ａに形成されたミクロンオーダーの断面Ｖ溝状の凹部にエアが溜まることを抑制することができ、光学転写面２２ａの精密な転写が可能になる（図１０（Ｂ）参照）。
【００４２】
〔その他〕
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明に係る樹脂製品の製造方法は上記の実施形態には限られない。例えば、上型２０に限らず、下型３０にも転写部２２と同様の転写部を設け、これに対して誘導部位２２ｅと同様の誘導部位を形成することができる。これにより、下型３０において硬化前の樹脂流動体が形状転写領域外にはみ出すことを抑制できる。
【００４３】
誘導部位２２ｅの形状は、図２（Ａ）等に例示されるものに限らず、樹脂流動体を優先的に誘導できる様々な形状とすることができる。例えば図１１に示すように、誘導部位２２ｅにおける開放面２２ｒの形状は、半円等様々な形状とすることができる。
【００４４】
光学転写面２２ａ，３２ａの形状は、図３等に例示するものに限らず、樹脂製品の用途に応じた様々ものとできる。
【００４５】
以上の図４（Ａ）〜４（Ｄ）では、特に説明しなかったが、これらの工程を連続的に行うことができる。この場合、環状の処理経路に沿って多数の成形型１００が配列され、処理経路に沿って、成形型１００への樹脂流動体の吐出、成形型１００の型閉じ、ＵＶの硬化光照射、成形型１００の型開き又は離型、樹脂製品の取り出し等の一連の動作が順次行われる。
【００４６】
以上では、説明を省略したが、成形型１００から取り出した樹脂製品については、追加の加熱処理を施すこともできる。
【００４７】
以上の誘導部位２２ｅは、エッジ部５１のうち開口角が小さな第１部分５３を介して形状転写領域１２０ａとつながっているが、本発明はこれに限らない。例えばエッジ部５１を連続として、その外側に小さな段差で後方に後退する段差面を有する誘導部位２２ｅを設けることによっても、同様の効果を生じさせることができる。
【００４８】
以上では、成形型１００によって光学素子を作製する場合について説明したが、成形型１００によってバイオチップ等の樹脂製品を製造することもできる。
【符号の説明】
【００４９】
２０…上型、  ２０ａ,３０ａ…転写面、  ２０ｓ，３０ｓ…外縁部、  ２１…基板、  ２２…転写部、  ２２ａ，３２ａ…光学転写面、  ２２ｂ…規制面、  ２２ｅ…誘導部位、  ２２ｉ…外側面、  ２２ｊ…内側面、  ２２ｋ…側面、  ２２ｐ，２２ｒ…開放面、  ３０…下型、  ３１…基板、  ３２…転写部、  ５１…エッジ部、  ５２…第２部分、  ５３…第１部分、  ５４…エッジ部、  ６０…マスター型、  ６０ａ…転写面、  ８０…樹脂製品、  ８１…光学部分、  ８１ａ…光学機能面、  ８２…枠部、  ８３…バリ、  １００…成形型、  １２０ａ…形状転写領域、  １５１…エッジ部、  １５５…突起、  １５５ａ…斜面、  ＣＬ…硬化光、  ＤＰ…樹脂塗布箇所、  ＬＲ…光硬化性樹脂
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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