(57)【要約】【課題】吸着体を通過した通過混合気体の成分分析を連続的に行うことを可能とすることで、吸着体の状態をより正確に把握可能とする。【解決手段】流量計測システムであって、第１の気体Ｘ１に合わせたコンバージョンファクタが設定されると共に第２の気体Ｘ２と混合される前の上記第１の気体Ｘ１の流量ａを出力する第１の質量流量計１０と、上記第１の気体に合わせたコンバージョンファクタが設定されると共に、上記第１の気体Ｘ１と上記第２の気体Ｘ２との混合気体であって上記第２の気体Ｘ２を吸着する吸着体２０を通過した混合気体である通過混合気体Ｘ４の流量ｃを出力する第２の質量流量計１２と、上記第１の質量流量計の出力結果と、上記第２の質量流量計の出力結果とを用いて上記通過混合気体Ｘ３に含まれる上記第２の気体Ｘ２の流量を算出する演算手段１６Ａとを備える。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の気体に合わせたコンバージョンファクタが設定されると共に第２の気体と混合される前の前記第１の気体の流量を出力する第１の質量流量計と、
前記第１の気体に合わせたコンバージョンファクタが設定されると共に、前記第１の気体と前記第２の気体との混合気体であって前記第２の気体を吸着する吸着体を通過した混合気体である通過混合気体の流量を出力する第２の質量流量計と、
前記第１の質量流量計の出力結果と、前記第２の質量流量計の出力結果とを用いて前記通過混合気体に含まれる前記第２の気体の流量を算出する演算手段と
を備えることを特徴とする流量計測システム。
【請求項２】
前記吸着体と前記第２の質量流量計との間に配置されると共に前記通過混合気体を撹拌するガスミキサを備えることを特徴とする請求項１記載の流量計測システム。
【請求項３】
前記演算手段による算出結果を表示する表示部を備えることを特徴とする請求項１または２記載の流量計測システム。
【請求項４】
第１の気体に合わせたコンバージョンファクタが設定されると共に第２の気体と混合される前の前記第１の気体の流量を出力する第１の質量流量計と、
前記第１の気体に合わせたコンバージョンファクタが設定されると共に、前記第１の気体と前記第２の気体との混合気体であって前記第２の気体を吸着する吸着体を通過した混合気体である通過混合気体の流量を出力する第２の質量流量計と、
前記第２の気体に合わせたコンバージョンファクタが設定されると共に前記第１の気体と混合される前の前記第２の気体の流量を出力する第３の質量流量計と、
前記第１の質量流量計の出力結果と、前記第２の質量流量計の出力結果と、前記第３の質量流量計の出力結果とを用いて前記吸着体における単位時間当たりにおける前記第２の気体の吸着量を算出する演算手段と
を備えることを特徴とする吸着量計測システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流量計測システム及び吸着量計測システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
複数のガスが混合した混合気体の成分を分析するために、ガスクロマトグラフィが従来から用いられている。例えば、特許文献１には、排ガスを採取するシリンダ状の採取器を備え、採取された排ガスから液体を除去した残ガスの成分をガスクロマトグラフィにより分析する排ガス分析方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１３３８７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、混合気体中の特定の気体のみを吸着する吸着体に当該混合気体を供給する場合、吸着体を通過した通過混合気体の成分比率は、吸着体の気体吸着量によって経時的に変化する。このように、混合気体の成分比率が経時的に変化する場合、正確な成分分析を行うためには混合気体中における特定の気体の流量を連続的に計測可能であることが望ましい。しかしながら、上記特許文献１に開示された発明は、採取器を用いて気体を採取しているため、連続的に通過混合気体の成分を計測することは不可能である。
【０００５】
本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、吸着体を通過した通過混合気体の成分分析を連続的に行うことを可能とすることで、吸着体の状態をより正確に把握可能とすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明では、流量計測システムに係る第１の解決手段として、第１の気体に合わせたコンバージョンファクタが設定されると共に第２の気体と混合される前の上記第１の気体の流量を出力する第１の質量流量計と、上記第１の気体に合わせたコンバージョンファクタが設定されると共に、上記第１の気体と上記第２の気体との混合気体であって上記第２の気体を吸着する吸着体を通過した混合気体である通過混合気体の流量を出力する第２の質量流量計と、上記第１の質量流量計の出力結果と、上記第２の質量流量計の出力結果とを用いて上記通過混合気体に含まれる上記第２の気体の流量を算出する演算手段とを備える、という手段を採用する。
【０００７】
本発明では、流量計測システムに係る第２の解決手段として、上記第１の解決手段において、上記吸着体と上記第２の質量流量計との間に配置されると共に上記通過混合気体を撹拌するガスミキサを備える、という手段を採用する。
【０００８】
本発明では、流量計測システムに係る第３の解決手段として、上記第１または第２の解決手段において、上記演算手段による算出結果を表示する表示部を備える、という手段を採用する。
【０００９】
本発明では、吸着量計測システムに係る第１の解決手段として、第１の気体に合わせたコンバージョンファクタが設定されると共に第２の気体と混合される前の上記第１の気体の流量を出力する第１の質量流量計と、上記第１の気体に合わせたコンバージョンファクタが設定されると共に、上記第１の気体と上記第２の気体との混合気体であって上記第２の気体を吸着する吸着体を通過した混合気体である通過混合気体の流量を出力する第２の質量流量計と、上記第２の気体に合わせたコンバージョンファクタが設定されると共に上記第１の気体と混合される前の上記第２の気体の流量を出力する第３の質量流量計と、上記第１の質量流量計の出力結果と、上記第２の質量流量計の出力結果と、上記第３の質量流量計の出力結果とを用いて上記吸着体における単位時間当たりにおける上記第２の気体の吸着量を算出する演算手段とを備える、という手段を採用する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、吸着体に供給される気体流量と、第２の質量流量計の出力結果とに基づいて通過混合気体に含まれる第２の気体の通過流量あるいは吸着体の単位時間当たりの吸着質量を算出する。これにより、インライン上で計測された気体流量から、吸着体を通過した第２の気体の流量を算出することが可能となり、本発明によれば、通過混合気体の成分分析を連続的に行うことが可能となる。したがって、吸着体の状態をより正確に把握することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１実施形態に係る吸着量計測システムを含む概略構成図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る吸着量計測システムの動作を説明するためのフローチャートである。
【図３】本発明の第１実施形態に係る吸着量計測システムが備える表示部に表示される画面の一例である。
【図４】本発明の第２実施形態に係る流量計測システムを含む概略構成図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る流量計測システムの動作を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
［第１実施形態］
図１は、本実施形態に係る吸着量計測システム１を含む概略構成図である。この図に示すように、吸着量計測システム１が試験対象とする吸着体２０は、冷却ジャケット２１に収容されている。吸着体２０は、窒素ガス（Ｎ２）Ｘ１（第１の気体）とアンモニアガス（ＮＨ３）Ｘ２（第２の気体）が混合された混合気体Ｘ３が供給され、表面に接触したアンモニアガスＸ２を吸着する性質をもつ物質である。この吸着体２０の単位時間当たりのアンモニアガスＸ２の吸着量は常に一定ではなく、時間、温度により変動する。冷却ジャケット２１は、吸着体２０の温度上昇を抑え、吸着体２０の温度を一定とするために吸着体２０を収容し、吸着体２０の周囲から冷却している。なお、本実施形態の吸着量計測システム１においては、窒素ガスＸ１及びアンモニアガスＸ２は、不図示のタンク等から供給されているものとする。
【００１３】
吸着量計測システム１は、吸着体２０によって吸着されたアンモニアガスＸ２の質量（吸着量）を計測するシステムである。このような吸着量計測システム１は、窒素ガスマスフロコントローラ１０（第１の質量流量計）、アンモニアガスマスフロコントローラ１１（第３の質量流量計）、通過混合気体マスフロメータ１２（第２の質量流量計）、第１ガスミキサ１３、第２ガスミキサ１４、温度センサ１５、演算処理部１６（演算手段）、表示部１７、記憶部１８及び操作部１９を備えている。
【００１４】
窒素ガスマスフロコントローラ１０は、混合前の供給窒素ガス流量ａを計測し、かつ窒素ガスＸ１の流量を任意に変更可能な質量流量計である。このため、窒素ガスマスフロコントローラ１０は、窒素ガスＸ１がアンモニアガスＸ２と混合されるより手前に設置されており、演算処理部１６に向けて供給窒素ガス流量ａ［Ｌ／ｍｉｎ  ｎｏｒｍａｌ］を出力している。また、窒素ガスマスフロコントローラ１０には、窒素のコンバージョンファクタＣＦｎが設定されている。また、窒素ガスマスフロコントローラ１０から出力される供給窒素ガス流量ａは、窒素ガスマスフロコントローラ１０が計測した質量流量を、基準状態（温度０℃、気圧１気圧）の窒素の体積流量に変換し、窒素のコンバージョンファクタＣＦｎを乗算したノルマル流量であり、窒素ガスマスフロコントローラ１０の内部で算出されて出力される。
【００１５】
アンモニアガスマスフロコントローラ１１は、混合前の供給アンモニアガス流量ｂを計測し、かつアンモニアガスＸ２の流量を任意に変更可能な質量流量計である。このため、アンモニアガスマスフロコントローラ１１は、アンモニアガスＸ２が窒素ガスＸ１と混合されるより手前に設置されており、演算処理部１６に向けて供給アンモニアガス流量ｂ［Ｌ／ｍｉｎ  ｎｏｒｍａｌ］を出力している。また、アンモニアガスマスフロコントローラ１１には、アンモニアのコンバージョンファクタＣＦａが設定されている。また、アンモニアガスマスフロコントローラ１１から出力される供給アンモニアガス流量ｂは、アンモニアガスマスフロコントローラ１１が計測した質量流量を、基準状態（温度０℃、気圧１気圧）のアンモニアの体積流量に変換し、アンモニアのコンバージョンファクタＣＦａを乗算したノルマル流量であり、アンモニアガスマスフロコントローラ１１の内部で算出されて出力される。
【００１６】
通過混合気体マスフロメータ１２は、吸着体２０を通過した通過混合気体Ｘ４の流量である通過混合気体流量ｃを計測するため、吸着体２０の後方に設置されたマスフロメータ（質量流量計）である。また、通過混合気体マスフロメータ１２は、窒素のコンバージョンファクタＣＦｎが設定されている。このような通過混合気体マスフロメータ１２は、通過混合気体流量ｃ［Ｌ／ｍｉｎ  ｎｏｒｍａｌ］を演算処理部１６に向けて出力している。
【００１７】
通過混合気体マスフロメータ１２から出力される通過混合気体流量ｃは、通過混合気体マスフロメータ１２が計測した質量流量を、基準状態（温度０℃、気圧１気圧）の窒素の体積流量に変換し、窒素のコンバージョンファクタＣＦｎを乗算したノルマル流量である。しかし、アンモニアガスＸ２を含有した通過混合気体Ｘ４と窒素ガスＸ１とではコンバージョンファクタが異なるため、通過混合気体流量ｃの数値は通過混合気体の実体積流量とは異なっている。ここで、吸着体２０は窒素ガスＸ１を吸着しないことから、通過混合気体Ｘ４中に残存するアンモニアの流量を通過アンモニアガス流量ｄとすると、式（１）の関係が成り立つ。
ｃ＝ａ＋ｄ×ＣＦｎ／ＣＦａ                                      （１）
【００１８】
第１ガスミキサ１３は、窒素ガスＸ１とアンモニアガスＸ２を均質な混合気体Ｘ３として吸着体２０へと供給するため、合流した窒素ガスＸ１とアンモニアガスＸ２を撹拌する装置であり、吸着体２０の上流側に設置されている。第２ガスミキサ１４は、吸着体２０を通過した通過混合気体Ｘ４が通過混合気体マスフロメータ１２によって正確に計測できるように、通過混合気体Ｘ４を撹拌する装置である。この第２ガスミキサ１４は吸着体２０と、通過混合気体マスフロメータ１２との間に設置されている。温度センサ１５は、吸着体２０の表面温度の変化を計測するセンサであり、吸着体２０の表面に取り付けられている。また、このような温度センサ１５は、温度計測データｔを演算処理部１６に向けて出力している。
【００１９】
演算処理部１６は、式（１）と、取得した供給窒素ガス流量ａ、供給アンモニアガス流量ｂ及び通過混合気体流量ｃとに基づき、単位時間（１分）当たりに吸着体２０によって吸着されたアンモニアの質量であるアンモニア吸着質量ｅ［ｇ］を算出している。また、演算処理部１６は、記憶部１８と連携して演算処理を行っており、演算結果に関する画像または数値データを表示部１７に出力している。アンモニア吸着質量ｅは、供給アンモニアガス流量ｂと、式（１）と、窒素のコンバージョンファクタＣＦｎ及びアンモニアのコンバージョンファクタＣＦａと、基準状態（気温０℃、気圧１気圧）のアンモニアの密度ρ［ｇ／Ｌ］とを基に、式（２）によって算出される。
ｅ＝ρ｛ｂ−（ｃ−ａ）×ＣＦａ／ＣＦｎ｝                        （２）
【００２０】
表示部１７は、演算処理部１６より入力された算出結果の画像または数値データを表示する。記憶部１８は、演算処理部１６が用いるプログラムや受信したデータを記憶しており、演算処理部１６の要求に応じて、データを演算処理部１６へと出力する。操作部１９は、吸着量計測システムに対して外部からの操作を行うための装置であり、具体的には、マウスやキーボード等である。操作者は、この操作部１９から、吸着量計測システム１の計測終了コマンドの入力や表示部の表示方法の変更等の操作を行う。
【００２１】
続いて、図２及び図３を用いて、本実施形態に係る吸着量計測システム１の動作について説明する。図２は、演算処理部１６が吸着体２０のアンモニア吸着質量ｅを算出し、表示するための動作を示すフローチャートである。図３は、表示部１７に表示される画面の一例である。
【００２２】
窒素ガスＸ１は、不図示のタンクより供給され、窒素ガスマスフロコントローラ１０を通過する。アンモニアガスＸ２は、不図示のタンクより供給され、アンモニアガスマスフロコントローラ１１を通過し、窒素ガスＸ１と合流する。窒素ガスＸ１及びアンモニアガスＸ２は、第１ガスミキサ１３で撹拌され、混合気体Ｘ３として吸着試験装置２へと供給される。吸着体２０の表面に接触した混合気体Ｘ３は、含有するアンモニアガスＸ２を吸着体２０に吸着され、通過混合気体Ｘ４として排出される。通過混合気体Ｘ４は、第２ガスミキサ１４によって撹拌され、通過混合気体マスフロメータ１２を通過し、外部へ排出される。
【００２３】
このような状態で計測が開始されると、演算処理部１６は、窒素ガスマスフロコントローラ１０から供給窒素ガス流量ａを取得し（ステップＳ１）、アンモニアガスマスフロコントローラ１１から供給アンモニアガス流量ｂを取得し（ステップＳ２）、温度センサ１５から温度計測データｔを取得する（ステップＳ３）。なお、このステップＳ１〜ステップＳ３は順不同であり、ステップＳ１〜ステップＳ３の順序を入れ替えることも可能である。さらに、演算処理部１６は、通過混合気体マスフロメータ１２から通過混合気体流量ｃを取得する（ステップＳ４）。
【００２４】
演算処理部１６は、出力結果として取得した供給窒素ガス流量ａと、供給アンモニアガス流量ｂと、通過混合気体流量ｃを式（２）に代入してアンモニア吸着質量ｅを算出する（ステップＳ５）。このとき、演算処理部１６は取得した供給窒素ガス流量ａ、供給アンモニアガス流量ｂ、通過混合気体流量ｃ及び温度計測データｔと、今回算出したアンモニア吸着質量ｅを記憶部１８に記憶させる。さらに、演算処理部１６は、記憶部１８が記憶しているこれらの数値をグラフ化し、表示部１７へと表示させる（ステップＳ６）。このとき、図３に示すように、窒素ガスＸ１及びアンモニアガスＸ２の総供給流量や、アンモニア濃度を算出し、このデータをグラフに同時に表示することも可能である。
【００２５】
次に、演算処理部１６は、操作部１９に計測終了コマンドの入力があったか否かを判断する（ステップＳ７）。計測終了コマンドの入力があったとき、つまり判断がＹｅｓの場合、吸着量計測システム１は作業を完了する。計測終了コマンドの入力がないとき、つまりＮｏの場合は、ステップＳ１へと戻る。
【００２６】
以上のような本実施形態に係る吸着量計測システム１によれば、供給窒素ガス流量ａ、供給アンモニアガス流量ｂ及び通過混合気体流量ｃと式（２）及び（３）とからアンモニア吸着質量ｅを算出する演算処理部１６を備える。これにより、各流量から吸着体２０を通過した通過混合気体の成分分析を連続的に行うことができる。したがって、吸着体２０のアンモニア吸着質量ｅをより正確に把握可能となる。
【００２７】
また、本実施形態に係る吸着量計測システム１が備える窒素ガスマスフロコントローラ１０、アンモニアガスマスフロコントローラ１１及び通過混合気体マスフロメータ１２は、質量流量計である。このため、温度と気圧の影響を受けることなく流量の測定が可能である。したがって、吸着体２０のアンモニア吸着質量ｅを正確に把握可能となる。
【００２８】
さらに、本実施形態に係る吸着量計測システム１の吸着体２０と通過混合気体マスフロメータ１２との間には、第２ガスミキサ１４が設けられている。これにより、通過混合気体マスフロメータ１２に送られる通過混合気体Ｘ４は撹拌されて均質な状態となっている。これにより、通過混合気体マスフロメータ１２は、より正確な通過混合気体流量ｃを計測できる。したがって、これによっても、吸着体２０の吸着性能を正確に把握可能となる。
【００２９】
また、本実施形態に係る吸着量計測システム１は、演算処理部１６の算出結果を表示する表示部１７を備える。このため、演算処理部１６が算出した通過アンモニアガス流量ｄを、容易に確認できる。
【００３０】
［第２実施形態］
以下、図４及び図５を参照して、本発明に係る流量計測システムの一実施形態を第２実施形態として説明する。なお、本実施形態における流量計測システム１Ａにおいて、第１実施形態と共通する部分については同一の符号を用い、説明は省略または簡略化する。図４は、流量計測システム１Ａを含む概略構成図である。図５は、演算処理部１６Ａが通過アンモニアガス流量ｄを算出し、算出結果を表示するための動作を示すフローチャートである。
【００３１】
流量計測システム１Ａは、通過混合気体Ｘ４に含まれる吸着体２０を通過したアンモニアガスＸ２の流量を計測するシステムである。流量計測システム１Ａは、図４に示すように、窒素ガスマスフロコントローラ１０（第１の質量流量計）、通過混合気体マスフロメータ１２（第２の質量流量計）、第１ガスミキサ１３、第２ガスミキサ１４、温度センサ１５、演算処理部１６Ａ（演算手段）、表示部１７、記憶部１８及び操作部１９を備えている。
【００３２】
演算処理部１６Ａは、窒素ガスマスフロコントローラ１０、通過混合気体マスフロメータ１２及び温度センサ１５から、それぞれ供給窒素ガス流量ａ、通過混合気体流量ｃ及び温度計測データｔを取得しており、式（１）を移項した下式（３）を用いて通過混合気体Ｘ４に含まれるアンモニアガスＸ２の流量である通過アンモニアガス流量ｄ［Ｌ／ｍｉｎ］を算出する。また、演算処理部１６Ａは、記憶部１８と連携して演算処理を行っており、演算結果に関する画像または数値データを表示部１７に出力している。
ｄ＝（ｃ−ａ）× ＣＦａ／ＣＦｎ      （３）
【００３３】
続いて、図５を用いて、本実施形態に係る流量計測システム１Ａの動作について説明する。図２は、演算処理部１６Ａが通過混合気体Ｘ４に含まれるアンモニアガスＸ２の流量である通過アンモニアガス流量ｄを算出するためのフローチャートである。
【００３４】
計測が開始されると、演算処理部１６Ａは、窒素ガスマスフロコントローラ１０から供給窒素ガス流量ａを取得し（ステップＳ１１）、温度センサ１５から温度計測データｔを取得する（ステップＳ１２）。なお、このステップＳ１及びステップＳ２は順不同であり、ステップＳ１及びステップＳ２の順序を入れ替えることも可能である。さらに、演算処理部１６Ａは、通過混合気体マスフロメータ１２から通過混合気体流量ｃを取得する（ステップＳ１３）。
【００３５】
演算処理部１６Ａは、取得した供給窒素ガス流量ａと、通過混合気体流量ｃを上記の式（３）に代入して単位時間当たりの通過アンモニアガス流量ｄを算出する（ステップＳ１４）。このとき、演算処理部１６Ａは取得した供給窒素ガス流量ａ、通過混合気体流量ｃ及び温度計測データｔと、今回算出した通過アンモニアガス流量ｄを記憶部１８に記憶させる。さらに、演算処理部１６Ａは、記憶部１８が記憶したこれらの数値をグラフ化し、表示部１７へと表示させる（ステップＳ１５）。つまり、表示部１７は、演算処理部１６Ａの算出結果を表示している。
【００３６】
次に、演算処理部１６Ａは、操作部１９に計測終了コマンドの入力があったか否かを判断する（ステップＳ１５）。計測終了コマンドの入力があったとき、つまり判断がＹｅｓの場合、流量計測システム１Ａは作業を完了する。計測終了コマンドの入力がないとき、つまりＮｏの場合は、ステップＳ１１へと戻る。
【００３７】
以上のような本実施形態に係る流量計測システム１Ａによれば、供給窒素ガス流量ａ及び通過混合気体流量ｃと式（２）とから単位時間当たりの通過アンモニアガス流量ｄを算出する演算処理部１６Ａを備える。これにより、各流量から吸着体２０を通過した通過混合気体Ｘ４の成分分析を連続的に行うことができる。したがって、吸着体２０の吸着性能の時間的変化をより正確に把握可能となる。
【００３８】
また、本実施形態に係る吸着量計測システム１が備える窒素ガスマスフロコントローラ１０、アンモニアガスマスフロコントローラ１１及び通過混合気体マスフロメータ１２は、質量流量計である。このため、温度と気圧の影響を受けることなく流量の測定が可能である。したがって、吸着体２０の吸着性能を正確に把握可能となる。
【００３９】
さらに、本実施形態に係る流量計測システム１Ａの吸着試験装置２と通過混合気体マスフロメータ１２との間には、第２ガスミキサ１４が設けられている。これにより、通過混合気体マスフロメータ１２に送られる通過混合気体Ｘ４は撹拌されて均質な状態となっている。これにより、通過混合気体マスフロメータ１２は、より正確な通過混合気体流量ｃを計測できる。したがって、これによっても、吸着体２０の吸着性能を正確に把握可能となる。
【００４０】
また、本実施形態に係る流量計測システム１Ａは、演算処理部１６Ａの算出結果を表示する表示部１７を備える。このため、演算処理部１６Ａが算出した通過アンモニアガス流量ｄを、容易に確認できる。
【００４１】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、例えば以下のような変形例が考えられる。
（１）上記実施形態では、窒素ガスマスフロコントローラ１０及びアンモニアガスマスフロコントローラ１１は、流量調節可能なマスフロコントローラであるとしたが、本発明はこれに限定されない。窒素ガスマスフロコントローラ１０及びアンモニアガスマスフロコントローラ１１は、マスフロメータとしてもよい。
【００４２】
（２）上記実施形態では、第１の気体として窒素ガスＸ１、第２の気体としてアンモニアガスＸ２が供給されるものとしたが、本発明はこれに限定されない。第１の気体と、第２の気体とが互いに化学反応を起こさない気体であり、質量流量計で計測可能であれば、上記実施形態に適用可能である。
【００４３】
（３）上記実施形態では、吸着試験装置２は、冷却ジャケット２１を備えるものとしたが、本発明はこれに限定されない。冷却ジャケット２１を設けず、吸着体２０の温度変化による通過アンモニアガス流量ｄまたはアンモニア吸着質量ｅの変化を計測することも可能である。
【００４４】
（４）上記実施形態では、温度センサ１５を備える構成としたが、本発明はこれに限
定されない。温度センサ１５を備えない構成としてもよい。
【００４５】
（５）上記実施形態では、演算処理部１６または演算処理部１６Ａの算出結果をグラフとして表示部１７に表示するものとしたが、本発明はこれに限定されない。算出結果を数値データとして表示部１７に表示するものとしてもよい。
【符号の説明】
【００４６】
１  吸着量計測システム
１Ａ  流量計測システム
１０  窒素ガスマスフロコントローラ（第１の質量流量計）
１１  アンモニアガスマスフロコントローラ（第３の質量流量計）
１２  通過混合気体マスフロメータ（第２の質量流量計）
１３  第１ガスミキサ
１４  第２ガスミキサ（ガスミキサ）
１５  温度センサ
１６  演算処理部（演算手段）
１６Ａ  演算処理部（演算手段）
１７  表示部
１８  記憶部
１９  操作部
２０  吸着体
２１  冷却ジャケット
Ｘ１  窒素ガス（第１の気体）
Ｘ２  アンモニアガス（第２の気体）
Ｘ３  混合気体
Ｘ４  通過混合気体
ａ  供給窒素ガス流量
ｂ  供給アンモニアガス流量
ｃ  通過混合気体流量
ｄ  通過アンモニアガス流量
ｅ  アンモニア吸着質量
【図１】
2017072548.tif 000003
【図２】
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【図３】
2017072548.tif 000005
【図４】
2017072548.tif 000006
【図５】
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