(57)【要約】【課題】装置サイズを小型化することができる位置検出装置を提供する。【解決手段】位置検出装置１は、定電圧によって励磁される励磁コイル４と、励磁コイル４と電磁結合される第１検出コイル５及び第２検出コイル６と、被検出部２の動きに応じて第１検出コイル５及び第２検出コイル６に発生する磁界を変化させる検出対象３とを備える。第１検出コイル５は、複数のコイル群（第１コイル部５ａ及び第２コイル部５ｂ）からなる。第１コイル部５ａ及び第２コイル部５ｂは、第１コイル部５ａが基板の一層目に形成されるとともに、第２コイル部５ｂが基板の４層目に形成される。また、第１コイル部５ａ及び第２コイル部５ｂは、流れる電流の方向が互いに逆となるように、巻き方向が逆となっている。【選択図】図１
2017142201.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
定電圧によって励磁コイルを励磁して当該励磁コイルとの電磁結合により検出コイルに誘導起電力を発生させ、前記検出コイルに接近又は離隔する検出対象により前記誘導起電力を変化させて、前記誘導起電力を基に位置演算部により被検出部の位置を演算する位置検出装置において、
前記検出コイルは、前記検出対象に対し近い側に位置する第１検出コイルと、前記検出対象に対し遠い側に位置する第２検出コイルとを備え、
前記第１検出コイルは、重なるように配置されるとともに巻線が逆方向に巻かれた第１コイル部及び第２コイル部を備え、
前記位置演算部は、前記第１検出コイル及び第２検出コイルの各出力を基に、前記検出対象の位置を演算する
ことを特徴とする位置検出装置。
【請求項２】
前記励磁コイルは、前記第１コイル部を励磁する第１励磁コイルと、前記第２コイル部を励磁する第２励磁コイルとを備える
請求項１に記載の位置検出装置。
【請求項３】
前記第２検出コイルは、前記第２コイル部にのみ組をなすように形成されている
請求項１又は２に記載の位置検出装置。
【請求項４】
前記第２コイル部は、前記第２検出コイルと同じ層に形成されるとともに、当該第２検出コイルの径方向内側に配置されている
請求項３に記載の位置検出装置。
【請求項５】
前記第１コイル部、第２コイル部、励磁コイル及び第２検出コイルは、同一軸心上に規定間隔を空けて並び配置されている
請求項１〜４のうちいずれか一項に記載の位置検出装置。
【請求項６】
前記第１コイル部及び第２検出コイルは、巻線径が同じに形成され、前記第２コイル部は、当該第１コイル部及び第２検出コイルよりも巻線径が小さく形成されている
請求項１〜５のうちいずれか一項に記載の位置検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検出対象の位置を検出する位置検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、励磁コイルから検出コイルに磁界をかけておき、例えば検出対象としての金属部の接近又は離間に応じて検出コイルにかかる磁界の変化を検出することにより、検出対象の位置（距離）を演算する位置検出装置が周知である（特許文献１，２等参照）。この種の位置検出装置は、励磁コイル及び検出コイルが電磁結合していて、検出対象の接近又は離間に応じて変化する検出コイルの誘導起電力を基に、検出対象との距離を演算する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−３７１８０号公報
【特許文献２】特開２００６−２６２４２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この種の位置検出装置においては、検出コイルに対して、電圧の基準となるリファレンスコイルを配置させ、これら２つのコイル出力から検出対象の位置を演算するものもある。このような位置検出装置においては、装置サイズを小型化したいニーズがあった。
【０００５】
本発明の目的は、装置サイズを小型化することができる位置検出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記問題点を解決する位置検出装置は、定電圧によって励磁コイルを励磁して当該励磁コイルとの電磁結合により検出コイルに誘導起電力を発生させ、前記検出コイルに接近又は離隔する検出対象により前記誘導起電力を変化させて、前記誘導起電力を基に位置演算部により被検出部の位置を演算する構成において、前記検出コイルは、前記検出対象に対し近い側に位置する第１検出コイルと、前記検出対象に対し遠い側に位置する第２検出コイルとを備え、前記第１検出コイルは、重なるように配置されるとともに巻線が逆方向に巻かれた第１コイル部及び第２コイル部を備え、前記位置演算部は、前記第１検出コイル及び第２検出コイルの各出力を基に、前記検出対象の位置を演算する。
【０００７】
本構成によれば、第１検出コイルの形状を、巻線が逆方向に巻かれた第１コイル部及び第２コイル部を有する形状としたので、検出対象の距離変化とともに、励磁コイル及び第１検出コイル（第２検出コイル）の相互インダクタンスと、励磁コイルに流れる励磁電流とが同方向に変化（増減）する。よって、検出対象が距離変化したときの第１検出コイル及び第２検出コイルの誘導起電力の変化を大きくとることが可能となり、位置検出の分解能を向上することが可能となる。また、第１コイル部及び第２コイル部を重ねるように配置したので、装置サイズを小型化するのにも有利となる。
【０００８】
前記位置検出装置において、前記励磁コイルは、前記第１コイル部を励磁する第１励磁コイルと、前記第２コイル部を励磁する第２励磁コイルとを備えることが好ましい。この構成によれば、励磁コイルを複数コイルとしたので、第１励磁コイルで第１コイル部を励磁し、第２励磁コイルで第２コイル部を励磁することが可能となる。よって、これらコイル群をより確実に励磁することが可能となる。
【０００９】
前記位置検出装置において、前記第２検出コイルは、前記第２コイル部にのみ組をなすように形成されていることが好ましい。この構成によれば、第２検出コイルの数が少なく済むので、第２検出コイルに必要となる配置スペースを小さく抑えることが可能となる。
【００１０】
前記位置検出装置において、前記第２コイル部は、前記第２検出コイルと同じ層に形成されるとともに、当該第２検出コイルの径方向内側に配置されていることが好ましい。この構成によれば、第２検出コイルの内側を第２コイル部の配置スペースとして有効利用することが可能となるので、装置サイズの小型化に一層寄与する。また、第２コイル部のサイズも小さく済む。
【００１１】
前記位置検出装置において、前記第１コイル部、第２コイル部、励磁コイル及び第２検出コイルは、同一軸心上に規定間隔を空けて並び配置されていることが好ましい。この構成によれば、これらコイル群をバランスよく配置することが可能となるので、第１検出コイル及び第２検出コイルから所望の誘導起電力の変化を得るのに有利となる。
【００１２】
前記位置検出装置において、前記第１コイル部及び第２検出コイルは、巻線径が同じに形成され、前記第２コイル部は、当該第１コイル部及び第２検出コイルよりも巻線径が小さく形成されていることが好ましい。この構成によれば、第２コイル部のサイズを小型化するのに一層有利となる。また、ひいては位置検出装置のさらなる小型化にも有利となる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、位置検出装置において、装置サイズを小型化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】一実施形態の位置検出装置の構成図。
【図２】検出対象の距離変化に対するコイル出力の特性図。
【図３】従来位置付けの位置検出装置の構成図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、位置検出装置の一実施形態を図１〜図３に従って説明する。
図１に示すように、位置検出装置１は、被検出部２の位置（被検出部２との間の距離）を検出する渦電流センサの一種である。渦電流センサは、金属（本例は検出対象３）に発生する渦電流の変化を基に被検出部２の位置を検出するセンサである。本例の位置検出装置１は、定電圧によって励磁される励磁コイル４と、励磁コイル４と電磁結合される第１検出コイル５及び第２検出コイル６と、被検出部２の動きに応じて第１検出コイル５及び第２検出コイル６に発生する磁界を変化させる検出対象３とを備える。
【００１６】
励磁コイル４は、複数のコイル群（第１励磁コイル４ａ及び第２励磁コイル４ｂ）からなる。本例の第１励磁コイル４ａ及び第２励磁コイル４ｂは、基板（図示略）において異なる層に形成されるとともに、コイル軸Ｌａの方向（コイル軸方向）に並んで配置（重ね配置）されている。本例の場合、第１励磁コイル４ａが基板の２層目に配置され、第２励磁コイル４ｂが基板の３層目に配置されている。第１励磁コイル４ａ及び第２励磁コイル４ｂは、巻線径が同一のｒ１に形成されるとともに、流れる電流の方向が同一とされている。第１励磁コイル４ａ及び第２励磁コイル４ｂは、電源９に直列接続されるとともに、電源９から入力する定電圧振幅の交流電圧Ｖａｃによって励磁される。
【００１７】
第１検出コイル５は、複数のコイル群（第１コイル部５ａ及び第２コイル部５ｂ）からなる。第１コイル部５ａ及び第２コイル部５ｂは、直列接続されるとともに、コイル軸Ｌａの軸方向（コイル軸方向）に並んで配置（重ね配置）されている。第２コイル部５ｂは、基板（図示略）において第１コイル部５ａと異なる層に形成されている。本例の場合、第１コイル部５ａが基板の１層目に配置され、第２コイル部５ｂが基板の４層目に配置されている。第１励磁コイル４ａは、第１コイル部５ａに対向配置されて第１コイル部５ａを励磁する。第２励磁コイル４ｂは、第２コイル部５ｂに対向配置されて第２コイル部５ｂを励磁する。
【００１８】
また、第１コイル部５ａ及び第２コイル部５ｂは、流れる電流の方向が互いに逆となるように、巻き方向が逆となっている。すなわち、第１コイル部５ａ及び第２コイル部５ｂは、巻き方向が互いに逆向きとされることにより、互いに逆方向の磁界が生成されるようになっている。第２コイル部５ｂは、巻線径ｒｂが第１コイル部５ａの巻線径ｒａよりも小さく形成されている。第１コイル部５ａ及び第２コイル部５ｂの間には、第１励磁コイル４ａ及び第２励磁コイル４ｂが配置されている。
【００１９】
第１検出コイル５及び第２検出コイル６は、検出対象３の移動方向（コイル軸Ｌａの軸方向）に沿って並び配置されている。本例の場合、第１検出コイル５（第１コイル部５ａ）は、検出対象３に対し近い側に配置され、第２検出コイル６は、検出対象３に対し遠い側に配置されている。これは、第１検出コイル５の出力電圧（インダクタンス）を位置検出のための信号として用い、第２検出コイル６を第１検出コイル５のリファレンスコイル（基準コイル）とするためである。
【００２０】
第１検出コイル５は、検出対象３との距離に応じた誘導起電力ＶDE（第１検出コイル５の誘導起電力ＶDE1）を発生する。第１検出コイル５の誘導起電力ＶDE1は、第１コイル部５ａに発生する誘導起電力Ｖａと第２コイル部５ｂに発生する誘導起電力Ｖｂとに基づく値をとる。なお、第２コイル部５ｂは、検出対象３から遠い場所に位置しているので、誘導起電力Ｖｂが変化し難い。このため、検出対象３が第１検出コイル５に接近又は離隔したとき、誘導起電力ＶDE1の変化量を大きくとることが可能である。
【００２１】
第２検出コイル６は、巻線を単一方向に巻いたコイル構造をとる。第２検出コイル６は、例えば１巻きのコイルであることが好ましい。これは、例えば安価な貫通ビアホール基板を用いた場合でも、第１コイル部５ａ、励磁コイル４及び第２検出コイル６の外形を等しく構成することを可能とするためであり、基板の面積効率が向上するからである。第２検出コイル６は、第１励磁コイル４ａ、第２励磁コイル４ｂ及び第１コイル部５ａと同じ巻線径ｒａに形成されている。第２コイル部５ｂは、第２検出コイル６と同じ層（４層目）に形成されるとともに、第２検出コイル６のコイル径方向内側に配置されている。第２検出コイル６は、励磁コイル４に発生する磁界に応じた電圧（誘導起電力ＶDE）を検出し、これをリファレンス電圧ＶDE2として出力する。
【００２２】
第１励磁コイル４ａ、第２励磁コイル４ｂ、第１コイル部５ａ及び第２コイル部５ｂ（第２検出コイル６）は、コイル軸Ｌａに沿って同一軸心上に規定間隔を空けて並び配置（重ね配置）されている。また、これらコイル群は、同一基板上に形成されることが好ましい。検出対象３は、コイル群の配列方向、すなわちコイル軸方向（図１の矢印Ｚ方向）方向に直線往復動する。本例のコイル群は、検出対象３側から順に、第１コイル部５ａ、第１励磁コイル４ａ、第２励磁コイル４ｂ、第２検出コイル６（第２コイル部５ｂ）の順番に配置されている。
【００２３】
第１検出コイル５及び第２検出コイル６には、第１検出コイル５及び第２検出コイル６に発生する誘導起電力ＶDE（検出電圧）を検出する検出回路１０が接続されている。本例の検出回路１０は、第１検出コイル５の電圧（誘導起電力ＶDE1）を検出する電圧検出部１０ａと、第２検出コイル６の電圧（リファレンス電圧ＶDE2）を検出する電圧検出部１０ｂとを備える。電圧検出部１０ａは、第１検出コイル５の入出力端の間に接続され、電圧検出部１０ｂは、第２検出コイル６の入出力端の間に接続されている。
【００２４】
検出対象３は、例えば平板状の金属板（金属部）により形成され、第１検出コイル５の第１コイル部５ａを覆うことが可能な形状に形成されている。検出対象３は、第１検出コイル５及び第２検出コイル６のコイル軸方向（図１の矢印Ｚ方向）に沿って往復動する動きをとり、被検出部２の動きに合わせて、第１検出コイル５（第１コイル部５ａ）に接近又は離隔するように直線往復動する。検出対象３は、導電体（例えば銅など）から形成されることが好ましい。
【００２５】
位置検出装置１は、第１検出コイル５及び第２検出コイル６の出力（誘導起電力ＶDE）を基に検出対象３の位置を演算する位置演算部１１を備える。位置演算部１１は、電圧検出部１０ａで検出される誘導起電力ＶDE1と、電圧検出部１０ｂで検出されるリファレンス電圧ＶDE2とを基に、検出対象３（被検出部２）の位置を演算する。具体的にいうと、位置演算部１１は、電圧検出部１０ａの出力を、電圧検出部１０ｂの出力で除算した値（ＶDE1／ＶDE2）を求め、この値から第１検出コイル５に対する検出対象３の位置、すなわち被検出部２の位置を演算する。
【００２６】
次に、図１〜図３を用いて、位置検出装置１の作用及び効果を説明する。
図１に示すように、電源９から励磁コイル４に定電圧振幅の交流電圧Ｖａｃが印加されると、第１検出コイル５及び第２検出コイル６には、それぞれ検出対象３との距離に応じた誘導起電力ＶDEが発生する。誘導起電力ＶDEは、同図に示される式（α）から求まる。位置演算部１１は、第１検出コイル５の誘導起電力ＶDE1を電圧検出部１０ａで検出し、第２検出コイル６のリファレンス電圧ＶDE2を電圧検出部１０ｂで検出し、これらＶDE1，ＶDE2を基に、第１検出コイル５及び検出対象３の間の距離、すなわち被検出部２の位置を演算する。
【００２７】
図１の式（α）からも分かるように、第１検出コイル５の誘導起電力ＶDE1には、主に、励磁コイル４及び第１検出コイル５の相互インダクタンスＭ（Ｍ１）、検出対象３を流れる励磁電流ＩEX、励磁コイル４の自己インダクタンスＬEXの各パラメータが関係する。また、第２検出コイル６のリファレンス電圧ＶDE2には、励磁コイル４及び第２検出コイル６の相互インダクタンスＭ（Ｍ２）、検出対象３を流れる励磁電流ＩEX、励磁コイル４の自己インダクタンスＬEXの各パラメータが関係する。
【００２８】
図２に示すように、位置検出装置１の位置検出範囲Ｋにおいて、検出対象３が第１検出コイル５に最も近づいた地点Ｐ１から、第１検出コイル５から最も離れた地点Ｐ２に直線移動（垂直移動）したとする。このとき、検出対象３が離れていくに従い、第１検出コイル５及び第２検出コイル６の出力（誘導起電力ＶDE）は、ともに増加していく波形変化をとる。本例の場合、検出対象３に近い第１検出コイル５の誘導起電力ＶDE1が低い値から大きく増加し、検出対象３から遠い第２検出コイル６のリファレンス電圧ＶDE2は僅かしか上昇しない。
【００２９】
このように、第１検出コイル５の誘導起電力ＶDE1と第２検出コイル６のリファレンス電圧ＶDE2とは、検出対象３の位置に応じて異なる値をとる。そして、位置演算部１１は、ＶDE1／ＶDE2を演算し、この値から検出対象３の位置、すなわち被検出部２の位置を求める。
【００３０】
図３に、従来位置付けの位置検出装置３１の構成を示す。同図の従来位置付けの位置検出装置３１の場合、第１検出コイル５’は、基板の１層目に形成されるとともにコイルが途中で折り返された略八の字形状をとり、第２検出コイル６’は、基板の２層目に形成されるとともにコイルが途中で折り返された略八の字形状をとる。第１検出コイル５は、巻線を途中で折り返す形状をとることにより第１コイル部５ａ’及び第２コイル部５ｂ’を有する形状をとる。第１検出コイル５’及び第２検出コイル６’には、それぞれ同方向に誘導起電力が発生する。また、励磁コイル４’は、第１検出コイル５’及び第２検出コイル６’の下方に配置される。
【００３１】
また、従来位置付けの位置検出装置３１の場合、検出対象３は、平板状の金属板（金属部）により形成され、検出コイル５’の第１コイル部５ａ’及び第２コイル部５ｂ’のうちの一方のみを覆う（本例は第１コイル部５ａ’を覆う）ことが可能な形状に形成されている。検出対象３は、コイル群の軸方向（図３の矢印Ｚ方向）に沿って往復動する動きをとり、被検出部２の動きに合わせて、第１コイル部５ａ’に接近又は離間するように直線往復動する。
【００３２】
ところで、従来位置付けの位置検出装置３１の場合、相互インダクタンスＭ１，Ｍ２の絶対値は、検出対象３との距離が近くなるほど大きくなる。一方、検出対象３の接近に伴い励磁コイル４の自己インダクタンスＬEXは低下するので、励磁電流ＩEXは検出対象３との距離が近くなるほど増加する。このため、従来位置付けの位置検出装置３１の場合、誘導起電力ＶDEの要素である相互インダクタンスＭ１，Ｍ２及び励磁電流ＩEXが、検出対象３の移動時において同じ方向に変化（増減）するので、大きな誘導起電力ＶDEの変化を得ることが可能となる。よって、位置検出装置３１の位置検出の分解能向上に寄与する。
【００３３】
しかし、この構造では、第１検出コイル５において検出対象３が重ならない部分が発生するので、位置検出装置３１の装置サイズが大型化する懸念がある。よって、基板面積を有効活用したいニーズがあった。
【００３４】
そこで、図１に示すように、本例の場合は、第１検出コイル５の第１コイル部５ａを基板の１層目に配置し、第２コイル部５ｂを基板の４層目に配置し、これらを逆方向に巻いた構造とする。この構造は、例えば第１コイル部５ａ及び第２コイル部５ｂを基板のスルーホールで結線することで実現するとよい。こうすれば、従来位置付けの位置検出装置３１のときと同様の形状を満足する第１検出コイル５を実現することができる。なお、第２コイル部５ｂは、４層目に配置されることで検出対象３から離れて位置することになるので、誘導起電力ＶDEの変化が生じ難い。
【００３５】
以上のように、図１の本例の位置検出装置１の場合、検出対象３が重ならない部分が第１検出コイル５には存在しなくなる。よって、従来位置付けの位置検出装置３１に比べて、位置検出装置１の装置サイズを小型化することができる。
【００３６】
励磁コイル４は、第１励磁コイル４ａ及び第２励磁コイル４ｂの２つを備え、第１励磁コイル４ａによって第１コイル部５ａを励磁し、第２励磁コイル４ｂによって第２コイル部５ｂ（第２検出コイル６）を励磁する。よって、これらコイル群をより確実に励磁することができる。
【００３７】
第２検出コイル６（リファレンスコイル）は、第１コイル部５ａ及び第２コイル部５ｂの両方に対向するように設けられるのではなく、第２コイル部５ｂにのみ組をなすように形成されている。すなわち、本例の場合、第１検出コイル５を基板の１層目と４層目に配置する構造とする。よって、第２検出コイル６の数が少なく済むので、第２検出コイル６に必要な配置スペースを小さく抑えることができ、ひいては装置小型化に一層有利となる。
【００３８】
第２コイル部５ｂは、第２検出コイル６と同じ層に形成されるとともに、第２検出コイル６の径方向内側に収めるようにして配置されている。よって、第２検出コイル６の内側を第２コイル部５ｂの配置スペースとして有効利用することが可能となるので、装置サイズの小型化に一層寄与する。また、第２コイル部５ｂのサイズも小さく済む。
【００３９】
第１コイル部５ａ、第２コイル部５ｂ、励磁コイル４及び第２検出コイル６は、同一軸心上に規定間隔を空けて並び配置されている。よって、これらコイル群をバランスよく配置することが可能となるので、第１検出コイル５及び第２検出コイル６から所望の誘導起電力ＶDEの変化を得るのに有利となる。
【００４０】
第１コイル部５ａ及び第２検出コイル６は、巻線径が同じｒａに形成され、第２コイル部５ｂは、これらコイル群よりも巻線径が小さいｒｂに形成されている。よって、第２コイル部５ｂのサイズを小型化するのに一層有利となる。また、ひいては位置検出装置１のさらなる小型化にも有利となる。
【００４１】
なお、実施形態はこれまでに述べた構成に限らず、以下の態様に変更してもよい。
・励磁コイル４、第１コイル部５ａ及び第２検出コイル６は、同じ巻線径で形成されることに限らず、異なる巻線径で形成されてもよい。
【００４２】
・励磁コイル４は、第１コイル部５ａや第２検出コイル６よりも巻線径が大きく形成されてもよい。
・励磁コイル４は、複数コイルからなることに限定されず、１つとしてもよい。
【００４３】
・第２検出コイル６は、１つであることに限定されず、複数コイルから構成されてもよい。
・第２コイル部５ｂと第２検出コイル６は、同一層に形成されることに限らず、異なる層に形成されてもよい。
【００４４】
・第１コイル部５ａ及び第２コイル部５ｂは、異なる巻線径に形成されることに限らず、同じとしてもよい。
・コイル群（励磁コイル４、第１コイル部５ａ、第２コイル部５ｂ、第２検出コイル６）は、同一軸心上に配置されない配置パターンでもよい。
【００４５】
・励磁コイル４、第１コイル部５ａ、第２コイル部５ｂ及び第２検出コイル６のコイル形状（巻線形状）は、四角形状に限定されず、例えば円形状などの他の形状に変更可能である。
【００４６】
・第１コイル部５ａ及び第２検出コイル６は、流れる電流方向が同じに限らず、逆としてもよい。
・第１検出コイル５及び第２検出コイル６と電圧検出部（本例でいう電圧検出部１０ａ，１０ｂ）との接続を、スイッチにより時分割制御して、第１検出コイル５及び第２検出コイル６の出力を、１つの電圧検出部によって選択的に検出する構成でもよい。こうすれば、位置検出装置１に必要となる電圧検出部が少なく済むので、装置サイズの小型化に有利となる。
【００４７】
・検出対象３は、導体板（金属板）に限らず、例えばコイルなどの他の部材に変更可能である。すなわち、渦電流を発生できる部材であればよい。
・コイル群が設けられる基板は、多層基板でもよく、多層基板の所定層に第１検出コイル５及び第２検出コイル６が配置されてもよい。
【００４８】
・第１検出コイル５及び第２検出コイル６は、基板の複数層に横断して形成されてもよい。
・コイル群は、同一基板上に形成されることに限らず、異なる基板に設けられてもよい。
【００４９】
・第１検出コイル５及び第２検出コイル６の間の電圧を検出するとともに、第２検出コイル６の電圧を検出し、これらを除算した結果から検出対象３の位置を求めてもよい。
・被検出部２の位置検出時に行う演算は、除算に限定されず、他の計算方法に変更してもよい。
【００５０】
・位置検出の演算に用いるコイル出力は、電圧値に限らず、例えば電流値などの他のパラメータとしてもよい。
・位置検出装置１は、種々の機器や装置に適用可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１…位置検出装置、２…被検出部、３…検出対象、４…励磁コイル、４ａ…第１励磁コイル、４ｂ…第２励磁コイル、５…第１検出コイル、５ａ…第１コイル部、５ｂ…第２コイル部、６…第２検出コイル、１１…位置演算部、ＶDE…コイル出力の一例である誘導起電力、ＶDE1…第１検出コイルの誘導起電力、ＶDE2…第２検出コイルのリファレンス電圧、Ｌａ…軸（コイル軸）、ｒａ…巻線径、ｒｂ…巻線径、ｒ１…巻線径。
【図１】
2017142201.tif 000003
【図２】
2017142201.tif 000004
【図３】
2017142201.tif 000005