(57)【要約】【課題】ケーブルベア（登録商標）を用いることなく製造ラインにおける搬送機械等の可動部にケーブルを配線することができ、また静電気が発生した場合であっても静電気を除去することができる技術を提供する。【解決手段】ケーブルが挿通される挿通孔が形成され、屈曲性を有する管状部材からなり、並列に配置された複数本の金属チューブと、複数本の金属チューブのそれぞれの外周を囲うように設けられた絶縁層と、を備え、隣接する絶縁層同士が互いに接合されており、金属チューブと絶縁層との間には、複数本の金属チューブのそれぞれの外周を被覆し、半導電性を有する半導電層が設けられている。【選択図】図１
2017046375.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケーブルが挿通される挿通孔が形成され、屈曲性を有する管状部材からなり、並列に配置された複数本の金属チューブと、
複数本の前記金属チューブのそれぞれの外周を囲うように設けられた絶縁層と、を備え、
隣接する前記絶縁層同士が互いに接合されており、
前記金属チューブと前記絶縁層との間には、複数本の前記金属チューブのそれぞれの外周を被覆し、半導電性を有する半導電層が設けられている
ケーブルガイド。
【請求項２】
前記半導電層は、前記金属チューブがその外周面に有している凹凸の凹部内に充填された状態で前記金属チューブの外周を被覆するように形成されている
請求項１に記載のケーブルガイド。
【請求項３】
前記絶縁層は、フッ素樹脂とフッ素ゴムとを含有する絶縁材料で形成されている
請求項１または２に記載のケーブルガイド。
【請求項４】
ケーブルが挿通される挿通孔が形成され、屈曲性を有する管状部材からなり、並列に配置された複数本の金属チューブと、
複数本の前記金属チューブのそれぞれの外周を囲うように設けられた絶縁層と、を有し、
隣接する前記絶縁層同士が互いに接合されており、
前記金属チューブと前記絶縁層との間には、複数本の前記金属チューブのそれぞれの外周を被覆し、半導電性を有する半導電層が設けられているケーブルガイドと、
前記金属チューブが有する前記挿通孔内に挿通されたケーブルと、を備える
ケーブルユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ケーブルガイドおよびケーブルユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、例えば半導体や液晶画面等の製造ラインで用いられる（製造装置に配線される）ケーブルのうち、可動部（例えば繰り返しＵ字屈曲を受ける箇所）に配線されるケーブルは、断線や捩れ対策のためにケーブルベア（登録商標）の中に収容されて配線されている（例えば特許文献１参照）。つまり、製造ラインにおける搬送機械等に配線されるケーブル等の一定の軌道上を移動する動作をするケーブルは、ケーブルベア（登録商標）の中に収容して配線され、ケーブルベア（登録商標）に収容された状態で動かされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−５４９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、ケーブルは柔軟性を有するため、ケーブルをＵ字屈曲させた際に生じる直線部（屈曲部以外の箇所）が垂れ下がることがある。このようなケーブルがケーブルベア（登録商標）内に収容された状態で動かされると、ケーブルベア（登録商標）内でケーブルが垂れ下がり、ケーブルとケーブルベア（登録商標）とが接触し擦れることがある。これにより、ケーブルが摩耗し、これに伴う粉塵が発生することがある。その結果、ケーブルベア（登録商標）に収容されたケーブルが例えばクリーンルーム内の製造ラインにおける搬送機械に配線されている場合、粉塵が発生すると、例えば製造している製品の品質を低下させたりすることがある。
【０００５】
また、近年のスマートフォンやタブレット端末等の普及により、半導体や液晶画面等の製造ラインの稼働率の一層の向上が要求されている。例えば、製造ラインにおける搬送機械等の一層の高速化が要求されている。このため、搬送機械等の可動部に配線されるケーブルも、より速く、激しく動かされるとともに、長距離にわたって繰り返しＵ字屈曲を受けることがある。このとき、ケーブルが収容されたケーブルベア（登録商標）が速く激しく繰り返し動かされると、ケーブルやケーブルベア（登録商標）に静電気が発生し、ケーブルの品質や製造ラインの安全を保つことが難しいことがある。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決し、ケーブルベア（登録商標）を用いることなく製造ラインにおける搬送機械等の可動部にケーブルを配線することができ、また静電気が発生した場合であっても静電気を除去することができる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様によれば、
ケーブルが挿通される挿通孔が形成され、屈曲性を有する管状部材からなり、並列に配置された複数本の金属チューブと、
複数本の前記金属チューブのそれぞれの外周を囲うように設けられた絶縁層と、を備え、
隣接する前記絶縁層同士が互いに接合されており、
前記金属チューブと前記絶縁層との間には、複数本の前記金属チューブのそれぞれの外周を被覆し、半導電性を有する半導電層が設けられているケーブルガイドが提供される。
【０００８】
本発明の他の態様によれば、
ケーブルが挿通される挿通孔が形成され、屈曲性を有する管状部材からなり、並列に配置された複数本の金属チューブと、
複数本の前記金属チューブのそれぞれの外周を囲うように設けられた絶縁層と、を有し、
隣接する前記絶縁層同士が互いに接合されており、
前記金属チューブと前記絶縁層との間には、複数本の前記金属チューブのそれぞれの外周を被覆し、半導電性を有する半導電層が設けられているケーブルガイドと、
前記金属チューブが有する前記挿通孔内に挿通されたケーブルと、を備えるケーブルユニットが提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、ケーブルベア（登録商標）を用いることなく製造ラインにおける搬送機械等の可動部にケーブルを配線することができ、また静電気が発生した場合であっても静電気を除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施形態にかかるケーブルガイドを用いて形成したケーブルユニットの概略図を示す。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
＜本発明の一実施形態＞
（１）ケーブルガイドおよびケーブルユニットの構成
以下に、本発明の一実施形態にかかるケーブルガイドおよびケーブルユニットの構成について、図１および図２を参照しながら説明する。
【００１２】
図１および図２に示すように、ケーブルガイド１０は、並列に配置された複数本（例えば５本）の金属チューブ１１を備えている。
【００１３】
各金属チューブ１１はそれぞれ、ケーブル２０が挿通される挿通孔（貫通孔）１１ａが形成され、屈曲性（フレキシブル性）を有する管状部材からなっている。金属チューブ１１は、挿通孔１１ａ内に挿通されるケーブル２０を保護する機能も果たす。金属チューブ１１は例えばステンレス鋼（ＳＵＳ）で形成されている。具体的には、金属チューブ１１は、耐食性に優れた例えばＳＵＳ３０４で形成されていることが好ましい。ただし、金属チューブ１１はＳＵＳ以外の金属材料で形成されていてもよい。
【００１４】
金属チューブ１１は、その外周面に、金属チューブ１１に屈曲性を付与する凹凸を有している。また、金属チューブ１１は、金属チューブ１１を屈曲させた際の屈曲箇所の内径が、屈曲していない箇所（非屈曲箇所）の内径とほぼ同程度になるように構成されていることが好ましい。つまり、金属チューブ１１は屈曲箇所の内径が小さくならないように構成されていることが好ましい。例えば、金属チューブ１１は、管軸方向に縮むことはできるけれども、伸びることはできないチューブであることが好ましい。つまり、金属チューブ１１は、屈曲した場合であっても伸びることがないため、挿通孔１１ａ内に挿通されたケーブル２０が引っ張られることがなく、そのケーブル２０に張力がかかることを抑制できるチューブであることが好ましい。これにより、後述のケーブルユニット１を動かした際、屈曲箇所において金属チューブ１１の挿通孔１１ａに挿通されたケーブル２０の外周面と金属チューブ１１の挿通孔１１ａの内周面とが接触し擦れることを抑制することができる。その結果、粉塵が発生することを抑制することができる。
【００１５】
上述のような金属チューブ１１としては、例えばインタロック型蛇管（Ｉｎｔｅｒｌｏｃｋ  Ｇｏｏｓｅｎｅｃｋ  Ｔｕｂｅ）を用いることができる。なお、インタロック型蛇管の詳細構造は既に公知であるため、本明細書では詳細な説明は省略する。
【００１６】
また、複数本の金属チューブ１１を並列に配置することで、金属チューブ１１の屈曲方向を制御でき、その結果ケーブルガイド１０の屈曲方向を制御することができる。つまり、各金属チューブ１１がそれぞれ種々の方向に屈曲するように構成されている場合であっても、金属チューブ１１を複数本並列に配置してケーブルガイド１０を構成することで、ケーブルガイド１０は、金属チューブ１１の並列方向と直交する方向には屈曲するが、並列方向には屈曲しないようになる。
【００１７】
金属チューブ１１の両端には、金属チューブ１１の挿通孔１１ａ内に挿通されたケーブル２０が金属チューブ１１の端面（断面）に接触することを防止する治具（例えば銅製の治具）１１ｂが設けられていることが好ましい。これにより、後述のケーブルユニット１を動かした際にケーブル２０と金属チューブ１１の端面とが擦れて粉塵が発生することを抑制することができる。
【００１８】
複数本の金属チューブ１１のそれぞれの外周を囲うように絶縁層１２が設けられている。絶縁層１２は、金属チューブ１１の両端部を露出させるように設けられていることが好ましい。隣接する絶縁層１２同士は互いに接合されている。例えば、隣接する絶縁層１２同士は互いに熱融着されている。この他、接着剤により接着されていてもよい。絶縁層１２は、後述の半導電層１３が外部からの負荷により損傷することを抑制する保護層としても機能する。
【００１９】
絶縁層１２は、例えばフッ素樹脂とフッ素ゴムとを含有する絶縁材料で形成されていることが好ましい。具体的には、絶縁層１２は例えば９５：５〜２０：８０の質量比でフッ素ゴムとフッ素樹脂とを含有している（フッ素ゴム：フッ素樹脂＝９５：５〜２０：８０である）絶縁材料で形成されていることが好ましい。また、フッ素樹脂は、例えば９９．５：０．５〜７５：２５の質量比でポリテトラフルオロエチレンと溶融性フッ素樹脂とを含有している（ポリテトラフルオロエチレン：溶融性フッ素樹脂＝９９．５：０．５〜７５：２５である）ことが好ましい。このような絶縁材料としては、例えばダイキン工業株式会社製のダイエル（登録商標）フルオロＴＰＶを用いることができる。
【００２０】
これにより、絶縁層１２を、フッ素樹脂による耐摩耗性と、フッ素ゴムによる柔軟性および弾力性と、を兼ね備える層にすることができる。絶縁層１２が耐摩耗性を有することで、絶縁層１２に外的負荷が加わった場合（例えば絶縁層１２と床とが接触して擦れたり、絶縁層１２と製造ライン上にある機械とが接触して擦れた場合）であっても、絶縁層１２から粉塵が生じることを抑制することができる。したがって、ケーブルガイド１０からの発塵をより抑制することができる。絶縁層１２が柔軟性を有することで、上述の金属チューブ１１が有する屈曲性を阻害することを抑制することができる。また、絶縁層１２が柔軟性を有することで、耐Ｕ字屈曲性を向上させ、繰り返しＵ字屈曲させることができる。また、絶縁層１２が弾力性を有することで、ケーブルガイド１０をＵ字屈曲させた際、ケーブルガイド１０の直線部（直進部）が垂れ下がることを抑制できる。
【００２１】
図２に示すように、各金属チューブ１１において、金属チューブ１１と絶縁層１２との間には、半導電性を有する半導電層１３が設けられている。つまり、半導電層１３は、複数本の金属チューブ１１のそれぞれの外周を被覆するように設けられている。
【００２２】
ここで、本明細書では、「半導電性を有する」とは、導電性と可撓性とを併せ持つ（兼ね備える）ことを意味する。例えば、半導電性を有する半導電層１３とは、後述のケーブルユニット１を動かした際に生じた静電気を半導電層１３によって吸収してケーブルガイド１０の外部に放出する効果（静電気吸収除去効果）を得ることができる程度の導電性と、半導電層１３が弾性変形しても破断しない程度の可撓性と、を併せ持つ層を意味する。半導電層１３が半導電性を有することで、上述の金属チューブ１１が有する屈曲性が阻害されることなく静電気吸収除去効果を得ることができる。
【００２３】
半導電層１３に吸収された静電気は、半導電層１３中で熱に変換されてケーブルガイド１０の外部に放出されたり、半導電層１３および金属チューブ１１を導通してケーブルガイド１０の外部に放出されることとなる。なお、半導電層１３に吸収された静電気が半導電層１３中で熱に変換されるのは、半導電層１３は導電層に比べて導電性が低いためである。
【００２４】
半導電層１３は、可撓性を有する樹脂材料に導電性を有する導電材料（導電粒子）を混入させたことで半導電性が付与された材料により形成されている。可撓性を有する樹脂材料としては、例えばポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）樹脂、ポリウレタン（ＰＵ）樹脂、ポリオレフィン（ＰＯ）樹脂等を用いることができる。導電材料としては、例えばカーボンブラックを用いることができる。
【００２５】
半導電層１３は、例えば充実成形されていることが好ましい。これにより、後述のケーブルユニット１がどんな動きをした場合であっても、ケーブルガイド１０やケーブル２０に発生した静電気を吸収し、除去することができる。
【００２６】
具体的には、半導電層１３は、金属チューブ１１がその外周面に有している凹凸の凹部内に充填された状態で金属チューブ１１の外周を被覆するように形成されていることが好ましい。例えば金属チューブ１１がインタロック型蛇管である場合、半導電層１３はインタロック型蛇管の外周面にあるインタロック部内の空隙を埋めるとともに、金属チューブ１１の外周を被覆するように形成されていることが好ましい。
【００２７】
ケーブルガイド１０に空隙が存在すると、後述のケーブルユニット１を動かした際に空隙内で電位差が生じて静電気が発生しやすくなる。したがって、金属チューブ１１がその外周面に備える凹凸の凹部内を半導電層１３で充填してケーブルガイド１０に存在する空隙を減らすことで、後述のケーブルユニット１を動かした際に電位差が生じる箇所をゼロに近づけることができる。その結果、ケーブルガイド１０に静電気が発生することをより抑制することができる。
【００２８】
半導電層１３の体積抵抗率は例えば０．１Ω・ｃｍ以上１０３Ω・ｃｍ以下、例えば１Ω・ｃｍであることが好ましい。半導電層１３の体積抵抗率がこの範囲内であれば、本願の所望とする半導電性（導電性）を満足する。なお、半導電層１３の体積抵抗率の調整は、導電材料の含有量（添加量）を調整することで行うことができる。
【００２９】
半導電層１３の体積抵抗率が０．１Ω・ｃｍ未満であると、半導電層１３の導電性が低く、所望の半導電性を有さないことがある。その結果、静電気吸収除去効果が得られないことがある。
【００３０】
半導電層１３の体積抵抗率を０．１Ω・ｃｍ以上にすることで、これを解決することができる。これにより、半導電層１３を半導電性を有する層、つまり所望の導電性と所望の可撓性とを兼ね備える層にすることができる。その結果、半導電層１３を、静電気吸収除去効果を有するとともに、金属チューブ１１の屈曲性を阻害しない層にすることができる。
【００３１】
しかしながら、半導電層１３の体積抵抗率が１０３Ω・ｃｍを超えると、半導電層１３の可撓性が損なわれ、半導電層１３が所望の半導電性を有さないことがある。これは、体積抵抗率が１０３Ω・ｃｍを超える半導電層１３を形成するには、半導電層１３中の導電性材料の含有量を増やす必要があるが、半導電層１３中の導電性材料の含有量が増えると、半導電層１３の可撓性が損なわれ、上述の金属チューブ１１の屈曲性を阻害することがある。
【００３２】
半導電層１３の体積抵抗率を１０３Ω・ｃｍ以下にすることで、これを解決することができる。これにより、半導電層１３を半導電性を有する層、つまり導電性と可撓性とを兼ね備える層にすることができる。その結果、半導電層１３を、静電気吸収除去効果を有するとともに、金属チューブ１１の屈曲性を阻害しない層にすることができる。
【００３３】
また、半導電層１３の厚さは、上述の静電気吸収除去効果を得ることができる厚さであればよい。例えば、半導電層１３の厚さは、後述のケーブルユニット１を動かした際に発生した静電気（ノイズ）を吸収し、吸収した静電気（熱に変換された静電気も含む）を半導電層１３の長手方向（すなわち金属チューブ１１の管軸方向）に均一に流して除去することができる厚さであればよい。
【００３４】
半導電層１３の厚さは例えば０．１ｍｍ以上０．３ｍｍ以下、例えば０．２ｍｍであることが好ましい。
【００３５】
半導電層１３の厚さが０．１ｍｍ未満であると、上述の静電気吸収除去効果が得られないことがある。
【００３６】
半導電層１３の厚さを０．１ｍｍ以上にすることで、これを解決することができ、上述の静電気吸収除去効果を得ることができる。
【００３７】
しかしながら、半導電層１３の厚さが厚くなるほど、半導電層１３の重量が増える。半導電層１３の厚さが０．３ｍｍを超えると、半導電層１３の重量が増え、ケーブルガイド１０を例えば半導体等の製造ラインにおける搬送機械等の可動部に配設した際、Ｕ字に屈曲したケーブルガイド１０の直線部が垂れ下がることがある。
【００３８】
半導電層１３の厚さを０．３ｍｍ以下にすることで、これを解決することができ、Ｕ字に屈曲したケーブルガイド１０の直線部が垂れ下がることを抑制することができる。
【００３９】
また、ケーブルガイド１０では、半導電層１３および絶縁層１２を積層した層（以下、積層体ともいう。）が２００％伸びを有することが好ましい。これにより、金属チューブ１１の屈曲性を阻害することをより確実に抑制することができる。なお、２００％伸びとは、伸び率が２００％であることを意味する。例えば、負荷を何も加えない状態の長さが１０ｃｍである積層体の場合、１００％伸びを有するとは、積層体の長さを２０ｃｍに伸ばすことができることを意味し、２００％伸びを有するとは、積層体の長さを３０ｃｍに伸ばすことができることを意味する。
【００４０】
上述のように構成されたケーブルガイド１０は、少なくとも一端が金属チューブ１１の並列方向と直交する方向に可動する製造ラインにおける搬送機械等の可動部に固定される。例えば、Ｕ字状に屈曲されたケーブルガイド１０の一端を固定して固定端とし、他端を金属チューブ１１の並列方向と直交する方向に可動する製造ラインにおける搬送機械等の可動部に固定して移動端とする。そして、移動端が所定方向（金属チューブ１１の並列方向と直交する方向）に繰り返し往復動する。
【００４１】
金属チューブ１１が有する挿通孔１１ａ内にケーブル２０が挿通されることで、ケーブルガイド１０とケーブル２０とを備えるケーブルユニット１が構成される。ケーブル２０として、例えば、導体と、導体の外周を囲うように設けられる絶縁体と、を有する電線、電源線、信号線等を用いることができる。導体として、例えば耐屈曲かつフレキシブルな拠り線導体を用いることができる。また、絶縁体の形成材料として、耐摩耗性を有し（摩耗に強く）、粉塵が発生しにくいフッ素樹脂（例えばＥＴＦＥ、ＦＥＰ、ＰＦＡ、ＰＴＦＥ等）を用いることができる。また、ケーブル２０としては、シールドが設けられた電線を用いてもよい。また、シールドの外周には、高い耐摩耗性を有し粉塵が発生しにくい例えばフッ素樹脂テープが巻かれていてもよく、あるいは、シールドの外周には、シールドの外周を例えばフッ素樹脂で被覆してジャケット層が設けられていてもよい。
【００４２】
（２）本実施形態にかかる効果
本実施形態によれば、以下に示す１つまたは複数の効果を奏する。
【００４３】
（ａ）内部にケーブル２０が挿通される挿通孔１１ａが形成され、屈曲性を有する管状部材からなる金属チューブ１１を用いて形成したケーブルガイド１０を用い、金属チューブ１１が備える挿通孔１１ａ内にケーブル２０を挿通させて形成されたケーブルユニット１を用いることで、ケーブルベア（登録商標）を用いることなく例えば半導体等の製造ラインにおける搬送機械等の可動部にケーブル２０を配線することができる。本実施形態にかかるケーブルガイド１０を用いることで、ケーブルベア（登録商標）を用いる場合よりも粉塵の発生を抑制することができる。本実施形態にかかるケーブルガイド１０は、例えばクリーンルーム等に配置された搬送機械等の可動部に設置される場合に特に有効である。
【００４４】
（ｂ）金属チューブ１１と絶縁層１２との間に金属チューブ１１のそれぞれの外周を被覆し、導電性と可撓性とを兼ね備える半導電性を有する半導電層１３を設けてケーブルガイド１０を形成することで、金属チューブ１１が有する屈曲性を損なうことなく静電気吸収除去効果を得ることができる。
【００４５】
つまり、ケーブルガイド１０が半導電性を有する半導電層１３を備えることで、ケーブルガイド１０が有する挿通孔１１ａ内にケーブル２０を挿通したケーブルユニット１をＵ字に屈曲させて動かした際、ケーブル２０の動きに追従させてケーブルガイド１０を動かすことができるとともに、ケーブルユニット１を動かすことでケーブル２０やケーブルガイド１０に発生した静電気を半導電層１３により吸収し、ケーブルガイド１０（ケーブルユニット１）の外部に放出することができる。
【００４６】
なお、ケーブルガイド１０を単に導通させて、ケーブルユニット１を動かすことで発生した静電気を吸収して除去する目的のみを達成すればよい場合は、半導電層１３ではなく導電層を設けた方が好ましい。導電層は、通常例えば銅（Ｃｕ）等の金属からなる金属層で形成される。しかしながら、金属層は可撓性（柔軟性、屈曲性）を有さない。このため、半導電層１３の代わりに導電層を設けると、ケーブルユニット１において、金属チューブ１１が有する屈曲性が導電層によって損なわれ、ケーブル２０の動きに追従させてケーブルガイド１０を動かすことができなくなる。これに対し、本実施形態では、導電性と可撓性とを併せ持つ半導電性を有する半導電層１３を設けている。これにより、金属チューブ１１が有する屈曲性を損なうことなく静電気吸収除去効果を得ることができる。
【００４７】
（ｃ）金属チューブ１１がその外周面に凹凸を有している場合、半導電層１３を金属チューブ１１が有する凹凸の凹部内に充填された状態で金属チューブ１１の外周を被覆するように形成することで、ケーブルユニット１を動かした際にケーブル２０やケーブルガイド１０に静電気が発生することを抑制することができる。
【００４８】
（ｄ）絶縁層１２をフッ素樹脂とフッ素ゴムとを含有する絶縁材料で形成することで、絶縁層１２を、フッ素樹脂による耐摩耗性と、フッ素ゴムによる柔軟性および弾力性と、を兼ね備える層にすることができる。
【００４９】
（ｅ）また、絶縁層１２を上述の絶縁材料で形成することで、特にフッ素樹脂を含有する材料で形成することで、ケーブルユニット１を動かすことで絶縁層１２と床が擦れたり、絶縁層１２と搬送機械とが擦れた際に静電気が発生しやすくなる。本実施形態にかかるケーブルガイド１０では、このような絶縁層１２側に発生した静電気も半導電層１３により吸収してケーブルガイド１０の外部に放出することができる。
【００５０】
（ｆ）本実施形態にかかるケーブルガイド１０を用いて形成したケーブルユニット１は、優れた柔軟性を有するため、ケーブルユニット１を繰り返しＵ字屈曲させた場合であっても、破損することを抑制することができる。例えば、ケーブルユニット１を製造ラインにおける搬送機械等の可動部に配設し、配設されたケーブルガイド１０（ケーブルユニット１）の移動端を所定方向に繰り返し往復動させても破損することを抑制することができる。
【００５１】
＜他の実施形態＞
以上、本発明の一実施形態を具体的に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
【００５２】
上述の実施形態では、金属チューブ１１がその外周面に有する凹凸がインターロックチューブが有している凹凸である場合について説明したが、これに限定されない。
例えば、金属チューブ１１の外周面に凹部となる溝部を設けることで、金属チューブ１１の外周面に凹凸を形成してもよい。
【実施例】
【００５３】
次に、本発明の実施例を説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００５４】
内部にケーブルが挿通される挿通孔が形成され、屈曲性を有する管状部材からなる金属チューブとして、内径が４ｍｍであり、外径が６ｍｍであるインタロック型蛇管を用いた。金属チューブがその外周面に有する凹凸の凹部を充填するとともに、金属チューブの外周を被覆するように、厚さが０．２ｍｍの半導電性を有する半導電層を金属チューブの外周に設けた。なお、半導電層の形成材料としては、ポリ塩化ビニル樹脂に所定量のカーボンブラックを添加して形成した半導電性ビニルを用いた。そして、絶縁材料としてダイエル（登録商標）フルオロＴＰＶを用い、半導電層の外周に厚さが０．２ｍｍの絶縁層を形成し、外径が６．８ｍｍの３層チューブを形成した。この３層チューブを８本並列して配置し、隣接する絶縁層同士を熱風融着により接合してケーブルガイドを形成した。そして、金属チューブが有する挿通孔内に電源線や信号線や光ファイバ等のケーブルを必要に応じて挿通させてケーブルユニットを形成した。
【００５５】
形成したケーブルユニットをＵ字状に折り曲げ、ケーブルガイドの一端を固定して固定端とし、他端を金属チューブの並列方向と直交する方向に可動する製造ラインにおける搬送機械等の可動部に固定して移動端とし、ケーブルユニットを半導体等の製造ライン上の搬送機械等の可動部に敷設（配設）した。
【００５６】
ケーブルガイドの絶縁層（絶縁層に含まれるフッ素ゴム）が有する高弾力性によって、ケーブルユニットはケーブルベア（登録商標）を用いなくても最大Ｌ＝１．５ｍの移動距離（直線部）で垂れ下がることがないことを確認した。
【００５７】
移動端を所定方向（金属チューブの並列方向と直交する方向）に、曲げ半径４０．８ｍｍ（３層チューブの外径の６倍）、折り返し速度３０回／分、移動距離１．５ｍの条件で往復動させるように動かした。そして、ケーブルユニットの移動端を１０００万回以上往復動させても、つまりケーブルユニットを１０００万回以上Ｕ字屈曲させても、ケーブルユニットは破損することがないことを確認した。また、ケーブルガイドが有する絶縁層をフッ素樹脂を含有する材料で形成することで、ケーブルガイドは優れた耐摩耗性を有し、絶縁層に外的負荷が加わった場合であっても摩耗による粉塵の発生をより抑制できていることを確認した。さらにまた、ケーブルユニットを動かす（ケーブルユニットの移動端を所定方向に往復動させる）ことで発生した静電気は、半導電層中で熱に変換されてケーブルガイドの外部に放出されたり、半導電層および金属チューブを導通してケーブルガイドの外部に放出されることを確認した。
【００５８】
＜本発明の好ましい態様＞
以下に、本発明の好ましい態様について付記する。
【００５９】
［付記１］
本発明の一態様によれば、
内部にケーブルが挿通される挿通孔が形成され、屈曲性を有する管状部材からなり、並列に配置された複数本の金属チューブと、
複数本の前記金属チューブのそれぞれの外周を囲うように設けられた絶縁層と、を備え、
隣接する前記絶縁層同士が互いに接合されており、
前記金属チューブと前記絶縁層との間には、複数本の前記金属チューブのそれぞれの外周を被覆し、半導電性を有する半導電層が設けられているケーブルガイドが提供される。
【００６０】
［付記２］
付記１のケーブルガイドであって、好ましくは、
前記半導電層は、可撓性を有する樹脂材料に導電性を有する導電材料（導電粒子）を混入させることで半導電性が付与された材料で形成されている。
【００６１】
［付記３］
付記１または２のケーブルガイドであって、好ましくは、
前記半導電層は、前記金属チューブがその外周面に有している凹凸の凹部内に充填された状態で前記金属チューブの外周を被覆するように形成されている。
【００６２】
［付記４］
付記１ないし３のいずれかのケーブルガイドであって、好ましくは、
前記絶縁層は、フッ素樹脂とフッ素ゴムとを含有する絶縁材料で形成されている。
【００６３】
［付記５］
付記１ないし４のいずれかのケーブルガイドであって、好ましくは、
前記半導電層の体積抵抗率は０．１Ω・ｃｍ以上１０３Ω・ｃｍ以下である。
【００６４】
［付記６］
付記１ないし５のいずれかのケーブルガイドであって、好ましくは、
前記半導電層の厚さは０．１ｍｍ以上０．３ｍｍ以下（好ましくは０．２ｍｍ）である。
【００６５】
［付記７］
付記１ないし６のいずれかのケーブルガイドであって、好ましくは、
少なくとも一端が前記金属チューブの並列方向と直交する方向に可動する可動部に固定される。
【００６６】
［付記８］
本発明の他の態様によれば、
内部にケーブルが挿通される挿通孔が形成され、屈曲性を有する管状部材からなり、並列に配置された複数本の金属チューブと、
複数本の前記金属チューブのそれぞれの外周を囲うように設けられた絶縁層と、を有し、
隣接する前記絶縁層同士が互いに接合されており、
前記金属チューブと前記絶縁層との間には、複数本の前記金属チューブのそれぞれの外周を被覆し、半導電性を有する半導電層が設けられているケーブルガイドと、
前記金属チューブが有する前記挿通孔内に挿通されたケーブルと、を備えるケーブルユニットが提供される。
【符号の説明】
【００６７】
１０          ケーブルガイド
１１          金属チューブ
１１ａ        挿通孔
１２          絶縁層
１３          半導電層
２０          ケーブル
【図１】
2017046375.tif 000003
【図２】
2017046375.tif 000004