(57)【要約】【課題】測定光の走査位置を素早く高精度に位置を検出することで、短時間で高解像度の眼底画像の取得を可能とする。【解決手段】被検査物上で測定光を走査し、被検査物からの反射光に基づいて画像を生成する撮像装置において、被検査物における走査範囲で測定光を走査する走査機構と、走査範囲に対応して設定された任意の領域において測定光の少なくとも一部の透過又は遮光を行う遮光部と、任意の領域を透過又は反射した測定光の少なくとも一部を検出する光検出部と、検出された前記測定光の少なくとも一部に基づいて走査機構の駆動状態を検出する状態検出部と、反射光と、検出された駆動状態とに基づいて画像を生成する画像生成手段と、を配する。【選択図】図３
2017070357.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物上で測定光を走査し、前記被検査物からの反射光に基づいて画像を生成する撮像装置であって、
前記被検査物における走査範囲で前記測定光を走査する走査機構と、
前記走査範囲に対応して設定された任意の領域において前記測定光の少なくとも一部の透過又は遮光を行う遮光部と、
前記任意の領域を透過又は反射した前記測定光の少なくとも一部を検出する光検出部と、
前記検出された前記測定光の少なくとも一部に基づいて前記走査機構の駆動状態を検出する状態検出部と、
前記反射光と、前記検出された駆動状態とに基づいて前記画像を生成する画像生成手段と、を有することを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
前記走査範囲を指定する手段と、
前記指定された走査範囲に応じて前記任意の領域の設定を行う制御部と、を有することを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項３】
前記光検出部は前記透過又は反射した前記測定光の少なくとも一部の光の光量又は前記透過又は反射する位置の時間的な変化を検出し、
前記状態検出部は、前記検出された時間的な変化に基づいて前記走査機構が前記測定光を前記走査範囲の所定の位置を走査するタイミングを検出し、
前記画像生成手段は前記検出されたタイミングに基づいて、前記画像を生成するための前記反射光の受光を開始する、ことを特徴とする請求項２に記載の撮像装置。
【請求項４】
前記状態検出部は、前記検出された時間的な変化に基づいて前記走査機構による前記測定光の走査における少なくとも周期又は振幅を算出し、
前記画像生成手段は前記算出された少なくとも周期又は振幅に基づいて前記画像の歪みを補正することを特徴とする請求項３に記載の撮像装置。
【請求項５】
前記状態検出部は、前記検出された時間的な変化に基づいて前記走査機構が前記測定光で前記走査範囲を走査しているか否かを検出し、
走査していない場合には前記測定光の照射を停止する、
ことを特徴とする請求項３又は４に記載の撮像装置。
【請求項６】
前記走査機構と前記被検査物との間に配置されて前記測定光の一部を分割する手段を有し、
前記制御部は、前記遮光部に対し、前記分割された測定光における前記走査範囲に対応する領域の内に前記測定光を遮光する前記任意の領域を設定させ、
前記光検出部は前記任意の領域の外側を透過した前記測定光の少なくとも一部を検出することを特徴とする請求項２乃至５の何れか一項に記載の撮像装置。
【請求項７】
前記走査機構と前記被検査物との間に配置されて、前記測定光を前記被検査物に反射する手段を有し、
前記制御部は、前記遮光部に対し、前記被検査物における前記走査範囲に対応する前記反射する手段における領域に前記測定光を透過する前記任意の領域を設定させ、
前記光検出部は前記任意の領域の外側の遮光部により散乱された前記測定光の少なくとも一部を検出することを特徴とする請求項２乃至５の何れか一項に記載の撮像装置。
【請求項８】
前記被検査物は眼球であって、
前記走査機構が前記測定光を走査する走査範囲の配置を前記眼球の動きに追従させるトラッキング機構を有し、
前記制御部は、前記追従させた走査範囲の配置に応じて前記遮光部における前記任意の領域を変更させる、ことを特徴とする請求項２乃至７の何れか一項に記載の撮像装置。
【請求項９】
被検査物上で測定光を走査し、前記被検査物からの反射光に基づいて画像を生成する撮像装置の操作方法であって、
前記被検査物における走査範囲で前記測定光を走査機構により走査し、
遮光部において、前記走査範囲に対応して設定された任意の領域において前記測定光の少なくとも一部の透過又は遮光を行い、
前記任意の領域を透過又は反射した前記測定光の少なくとも一部を光検出部により検出し、
前記検出された前記測定光の少なくとも一部に基づいて前記走査機構の駆動状態を状態検出部により検出し、
前記反射光と、前記検出された駆動状態とに基づいて前記画像を生成する工程、を有することを特徴とする撮像装置の操作方法。
【請求項１０】
前記走査範囲を指定し、
制御部により前記指定された走査範囲に応じて前記任意の領域の設定を行う工程と、を有することを特徴とする請求項９に記載の撮像装置の操作方法。
【請求項１１】
前記光検出部は前記透過又は反射した前記測定光の少なくとも一部の光の光量又は透過又は反射する位置の時間的な変化を検出し、
前記状態検出部は、前記検出された時間的な変化に基づいて前記走査機構が前記測定光を前記走査範囲の所定の位置を走査するタイミングを検出し、
前記検出されたタイミングに基づいて、前記画像を生成するための前記反射光の受光が開始される、ことを特徴とする請求項１０に記載の撮像装置の操作方法。
【請求項１２】
前記状態検出部は、前記検出された時間的な変化に基づいて前記走査機構による前記測定光の走査における少なくとも周期又は振幅を算出し、
前記算出された少なくとも周期又は振幅に基づいて前記画像の歪みを補正することを特徴とする請求項１１に記載の撮像装置の操作方法。
【請求項１３】
前記状態検出部は、前記検出された時間的な変化に基づいて前記走査機構が前記測定光で前記走査範囲を走査しているか否かを検出し、
走査していない場合には前記測定光の照射を停止する、
ことを特徴とする請求項１１又は１２に記載の撮像装置の操作方法。
【請求項１４】
前記走査機構と前記被検査物との間に配置されて前記測定光の一部を分割する工程を有し、
前記制御部は、前記遮光部に対して、前記分割された測定光における前記走査範囲に対応する領域の内に前記測定光を遮光する前記任意の領域を設定させ、
前記光検出部は前記任意の領域の外側を透過した前記測定光の少なくとも一部を検出することを特徴とする請求項１０乃至１３の何れか一項に記載の撮像装置の操作方法。
【請求項１５】
前記走査機構と前記被検査物との間に配置されて、前記測定光を前記被検査物に反射する工程を有し、
前記制御部は、前記遮光部に対して、前記被検査物における前記走査範囲に対応する前記反射する手段における領域に前記測定光を透過する前記任意の領域を設定し、
前記光検出部は前記任意の領域の外側の遮光部により散乱された前記測定光の少なくとも一部を検出することを特徴とする請求項１０乃至１３の何れか一項に記載の撮像装置の操作方法。
【請求項１６】
前記被検査物は眼球であって、
前記走査機構が前記測定光を走査する走査範囲の配置を前記眼球の動きに追従させるトラッキング機構を有し、
前記制御部は、前記追従させた走査範囲の配置に応じて前記遮光部における前記任意の領域を変更させる、ことを特徴とする請求項１０乃至１５の何れか一項に記載の撮像装置の操作方法。
【請求項１７】
請求項９乃至１６の何れか一項に記載の撮像装置の操作方法の各工程をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
【請求項１８】
走査機構により被検査物上の走査範囲で測定光を走査し、前記測定光の走査位置と前記被検査物からの前記測定光の反射光と基づいて画像を生成する撮像装置における前記測定光の走査位置を検出する走査位置検出装置であって、
前記走査範囲に対応して設定された任意の領域において前記測定光の少なくとも一部の透過又は遮光を行う遮光部と、
前記任意の領域を透過又は反射した前記測定光の少なくとも一部を検出する光検出部と、
前記検出された前記測定光の少なくとも一部に基づいて前記測定光の前記被検査物上の走査位置を検出する手段と、を有することを特徴とする走査位置検出装置。
【請求項１９】
前記走査機構と前記被検査物との間に配置されて前記測定光の一部を分割する手段と、
前記遮光部に対し、前記分割された測定光における前記走査範囲に対応する領域の内に前記測定光を遮光する前記任意の領域を設定する制御部と、を有し、
前記光検出部は前記任意の領域の外側を透過した前記測定光の少なくとも一部を検出することを特徴とする請求項１８に記載の走査位置検出装置。
【請求項２０】
前記走査機構と前記被検査物との間に配置されて、前記測定光を前記被検査物に反射する手段と、
前記遮光部に対し、前記被検査物における前記走査範囲に対応する前記反射する手段における領域に前記測定光を透過する前記任意の領域を設定する制御部と、を有し、
前記光検出部は前記任意の領域の外側の遮光部により散乱された前記測定光の少なくとも一部を検出することを特徴とする請求項１８に記載の走査位置検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査物上でレーザ光を走査し、被検査物からの反射光を適正なタイミングで取得することで該被検査物の画像を得る撮像装置及び該撮像装置の操作方法に関する。また、本発明は、該撮像装置に適用可能なレーザ光の走査位置を検出する装置にも関する。
【背景技術】
【０００２】
被検査物として、例えば人の眼球の画像を得る撮像装置として、眼底検査装置が知られている。眼球の底面を撮像する眼底検査装置の一種として、走査型レーザ検眼鏡（Scanning Laser Ophthalmoscope:ＳＬＯ）がある。ＳＬＯは、微小に絞ったスポット状のレーザ光を主・副走査の方向それぞれに走査（scan）させ、その反射光を適正なタイミングで取得してコンピュータ処理することで眼底画像を出力する。一般的な眼底カメラに比べて高解像・高コントラストな眼底画像を取得することができるのがＳＬＯの特徴である。
【０００３】
また、近年では特許文献１に示すような補償光学（Adaptive Optics:ＡＯ）の仕組みを導入することで人眼の角膜や水晶体の収差を除去し眼底の視細胞（数μｍ）レベルの解像度を有する装置（ＡＯ−ＳＬＯ）も存在する。あるいは更に、光干渉断層計（Optical coherence tomography：ＯＣＴ）の原理を用いて照射光と反射光の干渉性から深さ方向の情報を取得し、眼底の断層像を測定する検眼鏡も存在する。
【０００４】
ところで、このような装置におけるレーザ光に代表される所謂測定光を被検査物上で走査する方法としては、ポリゴンミラーや共振ミラーなどの使用が挙げられる。しかし、これらのデバイスは空気抵抗や機械的動作の影響で走査するタイミングや振幅などが不規則に変化する。このような走査手段を用いている一般的なレーザプリンタではこれらの変動による画像の乱れを補正するため、ＢＤセンサなどと呼ばれるフォトダイオードが用いられる。具体的には、該ＢＤセンサを所定の位置に配置し、そこを測定光が通過した時に得られるパルス出力で、該測定光の走査時の時間と走査位置との関係を検出している。
【０００５】
ＳＬＯにおいても、上述したレーザプリンタと同様に被検査物上での測定光の走査位置を検出する必要がある。しかし、スキャナが走査する範囲は装置を操作する医師等の指示によって任意に設定されるため、走査位置を検出する場所もそれに応じて変化する。走査範囲や共振スキャナにおける最大ふれ角度（振幅）の変化に応じて走査位置検出センサの位置を変化させる技術が、特許文献２〜４に公開されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１４−２０９９８０号公報
【特許文献２】特開２０１２−２３７７９５号公報
【特許文献３】特開２００４−２８６５０８号公報
【特許文献４】特開２００２−２１４０７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献２等に開示される機械的に走査位置検出器を移動する方法の場合、走査位置の検出精度の向上と測定時間の短縮、更には装置の小型化を同時に満たすには限界がある。
【０００８】
ここで、ＡＯ−ＳＬＯにおいては視細胞レベルの解像度を得るため、測定光の走査位置の検出精度も数μｍの精度が必要となる。一般的なアクチュエータ等の製品の中には機械的な移動の最小精度が数μｍ程度のものも存在する。しかし、上述した移動型の走査位置検出器では、モータの振動が他の光学デバイスに伝搬しないように頑丈に設計する必要がある。このため、小型でかつ低コストの機械設計には不利である。また、アクチュエータの移動精度と移動速度はトレードオフの関係であり、ＡＯ−ＳＬＯ装置に要求される移動精度を有するモータでは位置調整に時間がかかり、待機時間が長くなることで被検者の負担が増加する。
【０００９】
以上より、眼底等を撮像する撮像装置においては、上述した移動型の走査位置検出器を用いて測定光の走査位置を検出する方法は避けることが好ましい。
【００１０】
従って、本発明は、測定光の走査位置を素早く高精度に位置を検出することで、短時間で高解像度の眼底画像が撮像できる撮像装置、撮像装置の操作方法、及び該撮像装置において用いられる走査位置検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、前記の目的を達成する一手段として、以下の構成を備える。
即ち、本発明に係る、被検査物上で測定光を走査し、前記被検査物からの反射光に基づいて画像を生成する撮像装置は、
前記被検査物における走査範囲で前記測定光を走査する走査機構と、
前記走査範囲に対応して設定された任意の領域において前記測定光の少なくとも一部の透過又は遮光を行う遮光部と、
前記任意の領域を透過又は反射した前記測定光の少なくとも一部を検出する光検出部と、
前記検出された前記測定光の少なくとも一部に基づいて前記走査機構の駆動状態を検出する状態検出部と、
前記反射光と、前記検出された駆動状態とに基づいて前記画像を生成する画像生成手段と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、測定光の走査位置を素早く高精度に位置を検出することで可能となり、短時間で高解像度の眼底画像が撮像できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第一の実施例に係る眼底撮像装置の構成の概略を示す模式図である。
【図２】図１に示す眼底撮像装置における走査機構の動作を説明する図である。
【図３】図１に示す眼底撮像装置に用いた走査位置検出部の構成の概略を示す図である。
【図４】図３に示した走査位置検出部より得られる出力を説明する図である。
【図５（ａ）】共振ミラーにおける周期振幅変動における出力の変化を説明する図であって、得られたパルス信号の出力を示す図である。
【図５（ｂ）】共振ミラーにおける周期振幅変動における出力の変化を説明する図であって、走査位置検出部の出力に基づいて画像の歪みを補正する方法について説明する図である。
【図５（ｃ）】共振ミラーにおける周期振幅変動における出力の変化を説明する図であって、得られたパルス信号の振幅及び周期を測定する方法を説明する図である。
【図６】本発明の第一の実施例に係る眼底撮像装置における制御部の構成を示すブロック図である。
【図７】本発明の第一の実施例に係る眼底撮像装置における画像取得時の操作を示すフローチャートである。
【図８】本発明の第二の実施例に係る眼底撮像装置の構成の概略を示す図である。
【図９】本発明の第二の実施例に係る眼底撮像装置における制御部の構成を示すブロック図である。
【図１０】本発明の第二の実施例に係る眼底撮像装置における画像取得時の操作を示すフローチャートである。
【図１１】本発明の第三の実施例に係る眼底撮像装置の構成の概略を示す図である。
【図１２】図１１に示す眼底撮像装置に適用される走査位置検出部の構成の概略を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明を適用した好適な実施例を、添付図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下に述べる実施例は特許請求の範囲に関わる本発明を限定するものではなく、また、本実施例で説明されている特徴の組み合わせの全てが本発明の解決手段に必須のものとは限らない。
【００１５】
［第一の実施例］
（分割光＋透過光型液晶パネル＋ＰＤ）
先ず、本発明の第一の実施例について説明する。本実施例では、測定光を分割し、分割された一方の光が液晶でマスクされた特定の領域を通過したタイミングをフォトダイオードで検出することで走査位置を検出している。
【００１６】
（眼底撮像装置の構成）
図１は、本発明の第一の実施例に係る眼底撮像装置の構成の概略を示す図である。本実施例に係る眼底撮像装置は、光源１０１、コリメートレンズ１０２、第一のビームスプリッタ１１１、補償光学系、共振ミラー１０６、走査機構、第三のビームスプリッタ１１８、及び接眼レンズ１０９及び１１０を有する。補償光学系は、第二のビームスプリッタ１１６、反射ミラー１０３、波面補正素子１０４及び反射ミラー１０５を有する。走査機構は、共振ミラー１０６、オフセット用ガルバノミラー１０７及びガルバノミラー１０８より構成される。
【００１７】
光源１０１から照射された測定光であるレーザ光は、コリメートレンズ１０２で平行光に調整される。調整後、二つのガルバノミラーを透過し、反射ミラー１０３、波面補正素子１０４、及び反射ミラー１０５を介して走査機構に導かれる。走査機構では、まず、共振ミラー１０６によって共振ミラーの回転軸を中心に左右対称に主走査方向（ｘ軸方向）にレーザ光が走査される。次に、オフセット用ガルバノミラー１０７によって、共振ミラーがレーザ光を走査する中心位置に対して、主走査方向（ｘ軸方向）にオフセットを加える。その後、ガルバノミラー１０８によってレーザ光を副走査方向（ｙ軸方向）に走査させる。
【００１８】
なお、これらのミラーが繰り返し走査する周期は短い方が撮像に要する時間を短縮できる。そのため、高速に動作する小型で軽量なミラーを互いに近接して配置しておくことが望ましい。以上のような走査機構で２次元的に走査されたレーザ光は接眼レンズ１０９及び接眼レンズ１１０を通して被検者の眼球１２１に照射される。
【００１９】
眼球１２１の角膜と水晶体を通して眼底に照射されたレーザ光は、被検眼の眼底で反射、散乱される。反射等されたレーザ光は、反射光として入射してきた経路を戻って第一のビームスプリッタ１１１で反射された後、測定光の光路から分離される。分離後の反射光は、受光レンズ１１２を通ってフォトダイオード１１３で強度に応じた電気信号に変換される。変換された信号は、制御部１１４に入力される。該信号は、制御部１１４において適正に処理された後にモニタ１１５に眼底画像として表示されたり、図示しない記録デバイスに画像データとして記録されたりする。
【００２０】
第二のビームスプリッタ１１６は眼底からの反射光を分割し、分割した光を波面測定素子１１７に導く。波面測定素子としてはシャック・ハルトマン・センサなどが用いられ、人眼の水晶体や角膜によって変化する波面の状態が逐次測定される。測定した波面は制御部１１４で適正に処理されることで波面補正量に変換され、波面補正素子１０４へと出力される。
【００２１】
波面補正素子としては、ＬＣＯＳ（Liquid Crystal on Silicon）などを使った光位相変調器（ＳＬＭ：Spatial Light Modulator）が用いられる。制御部１１４から得られる波面補正量に応じて波面補正素子１０４が反射光の波面を調整することで人眼の波面収差が補償される。これらの補償光学系の導入により、被検眼で生じる収差を低減させ、その結果眼底の視細胞などを数μｍの分解能で撮像した眼底画像を得ることができる。
【００２２】
共振ミラー１０６、オフセット用ガルバノミラー１０７及びガルバノミラー１０８によって２次元的に走査された測定光は、第三のビームスプリッタ１１８で分割される。分割された測定光の一部は走査位置検出部１１９に導かれ、他は眼球（被検眼）１２１に導かれる。走査位置検出部１１９では後に述べる方法によって、走査光の位置を検出に用いる走査位置に応じて時間的に変化する信号を出力する。制御部１１４はこの信号に基づいてフォトダイオード１１３からの反射光量のデータ取得を開始する。なお、制御部１１４はこの他にも操作部１２０からの入力に基づく撮像領域の設定や光源１０１、共振ミラー１０６、オフセット用ガルバノミラー１０７及びガルバノミラー１０８の駆動制御、あるいは、測定開始・停止などの処理も実行する。
【００２３】
（走査機構の説明）
図２を用いての走査機構の動作を説明する。図２（ａ）は共振ミラー１０６によって主走査方向に駆動される測定光の走査位置の時間変化を示している。同図において、縦軸は測定光の走査位置を、横軸は時間を各々示している。同図に示すように、共振ミラー１０６はある一定の水平周期ｔＨでもって振動しており、制御部１１４で設定された主走査範囲Ｈの振幅で測定光を正弦波状に走査する。
【００２４】
図２（ｂ）はガルバノミラー１０８によって副走査方向に駆動される測定光の走査位置の時間変化を示している。ガルバノミラー１０８は共振ミラー１０６による測定光の往復の走査に応じて、副走査位置を徐々に変化させるように動作する。すなわち、主走査の方向が往路から復路、又は復路から往路に変化するタイミングで１ライン分副走査をシフトさせることで、ステップ状に副走査位置を増加させる。副走査の位置が制御部１１４で設定された副走査範囲Ｖの幅のもう一方の端に到達した後は、再び副走査開始位置に直線的に戻り、こぎり波状に垂直周期ｔＶで動作する。
【００２５】
図２（ｃ）は、共振ミラー１０６とガルバノミラー１０８によって走査される眼底での測定光の軌道を示している。同図に示すとおり、共振ミラー１０６で往復動作している時の往路と復路でそれぞれ奇数ラインと偶数ラインを走査するようにガルバノミラー１０８が制御される。撮像領域２０１は医師などから操作部１２０を介して入力され、その設定値（撮像幅ｗと撮像高さｈ）に基づいた走査範囲が制御部１１４によって算出される。共振ミラー１０６が眼底にて測定光を走査する主走査範囲Ｈは、実際に取得したい眼底画像の撮像幅ｗよりも広く設定される。また、共振ミラー１０６が測定光を走査する領域の中心位置は、ガルバノミラー１０７によってオフセット量Ｘ０を加えることができる。このオフセット量Ｘ０に、ガルバノミラー１０８によるオフセット量Ｙ０を合わせて、眼底の任意の点（Ｘ０、Ｙ０）を中心に測定光を走査することができる。
【００２６】
なお、本実施例では測定光の主走査方向の走査には共振ミラーを用いたが、主走査方向における走査の様式はこれに限定されない。レーザビームプリンタ等に使用されるポリゴンミラーを回転させることによって光を偏向する方法を用いても良い。あるいは、主走査方向の走査にガルバノミラーを用いても良い。一般的には、ポリゴンミラーを回転させるよりも共振ミラーを用いた方が装置の小型化と、主走査の周波数を高くできるというメリットがある。
【００２７】
（走査位置検出部の構成）（液晶フィルタの説明）
図３は走査位置検出部１１９の構成の概略を示す模式図である。走査位置検出部１１９は、集光レンズ３０１、液晶フィルタ３０２、受光レンズ３０３及びフォトダイオード３０４を有する。
【００２８】
図３（ａ）に示すように、第三のビームスプリッタ１１８で分割された測定光は集光レンズ３０１を通して液晶フィルタ３０２上に結像される。液晶フィルタ３０２の透過及び遮光領域は制御部１１４で設定されており、透過領域を透過した光は受光レンズ３０３で集光されてフォトダイオード３０４でその光量が測定される。測定の結果フォトダイオード３０４において得られた光量に関する信号は制御部１１４に出力される。該信号は、制御部１１４において共振ミラー１０６の動作に関する情報に変換された後に、各種制御或いは処理に用いられる。
【００２９】
図３（ｂ）は液晶フィルタ３０２の構成の概略について、上面図及び断面図を用いて示している。該液晶フィルタ３０２は、一対のガラス基板３０５の間に封入された液晶分子３０６、ガラス基板３０５の一方に配される透明電極３０７、及びガラス基板の３０５の外部に配される偏光フィルタ３０８で構成されている。
【００３０】
該液晶フィルタ３０２では、特定の透明電極３０７に電圧を印加することで特定の画素に位置する液晶分子３０６の配向を変化させることができる。このため、電圧の印加により、画素ごとに液晶分子３０６の配向を制御することで該液晶フィルタ３０２を透過する光の偏光を制御することができる。一方、偏光フィルタ３０８は、垂直もしくは水平のみの偏光を透過するように配置されている。従って、液晶を透過する光の偏光を揃えればその光は該液晶フィルタ３０２を透過し、垂直に配置すればその光を遮光するように選択することができる。
【００３１】
また、これらの電極や液晶分子ならびに対応する画素の配置は二次元的に配置されている。このため、各画素の透過及び遮光を個別に制御して撮像領域２０１に対応した遮光領域３０９（Ｐ０、Ｑ０、ｗ’、ｈ’）と透過領域３１０とが制御部１１４によって設定される。
【００３２】
なお、本実施例では光の透過及び遮光を行う構成要素として液晶フィルタを用いている。しかし、同様の透過及び遮光領域を任意に設定可能なその他の構成によって、これを置き換えることも可能である。例えば、液晶フィルタ以外にもＭＥＭＳ（Micro Electro-Mechanical System）の技術を用いて作製されたＤＭＤ（Digital Mirror Device）を使用することで二次元的な透過或いは遮光領域を形成しても良い。
【００３３】
（位置検出方法）
図４を用いて走査位置検出部１１９の出力について説明する。図４（ａ）に示すように、液晶フィルタ３０２には撮像領域２０１に対応した遮光領域３０９が設定され、かつ、眼底と同様に測定光が二次元的に走査される。従って、図４（ｂ）に波形を示す通り、フォトダイオード３０４からは測定光が照射された液晶フィルタ３０２上での位置に応じて、該液晶フィルタ３０２を透過した時の電圧ｉ１と遮光された時の電圧ｉ０が交互に出力される。共振ミラー１０６は、一定の水平周期ｔＨでもって左右対称な正弦波振動を維持している。従って、基本的にはこの周期に応じたパルス信号が出力される。また、空気抵抗やその他の機械的な要因によって共振ミラー１０６の挙動が変化した場合には、出力されるパルス信号の幅や周期がその変動に応じて変化することになる。
【００３４】
（挙動の変動に対して）
空気抵抗やその他の機械的な要因によって共振ミラー１０６の挙動が変化した場合、この変化に対応して適正なタイミングで眼底画像を取得することを要する。このためには、走査光が撮像領域の端にさしかかって撮像領域の走査を開始するタイミングを検出する必要がある。具体的には、液晶フィルタ３０２上の透過領域から遮光領域へと測定光が移動してフォトダイオード３０４の検出光量が低くなった状態を検出する。該フォトダイオード３０４より得られるパルス信号の立ち下りを検出し、これに基づいて制御部１１４で画像の取得を開始すれば良い。得られたパルス信号より、図５（ａ）の波形に示す通り、立ち下りによってアクティブになる正極性のタイミング信号を生成する。
【００３５】
共振ミラー１０６を用いて眼底上で測定光を走査した場合、照射位置は正弦波に近い軌道を描く。従って、その反射光をある一定のサンプリング周波数間隔で１画素ずつ取得し、それを線形な画素空間の画像として表示すると主走査方向に歪んだ画像となる。すなわち、レーザ光の走査速度が速い中心付近の画像はサンプリングが粗く圧縮されたような画像となり、走査速度が遅くなる両端付近の画像はサンプリングが細かく引き伸ばされたような画像となるため、歪みを補正して表示する必要がある。
【００３６】
図５（ｂ）を用いて、走査位置検出部の出力に基づいて画像の歪みを補正する方法について説明する。共振ミラーが一定の周期及び振幅で振動している場合はあらかじめ決められた条件に応じたパラメータで画像の歪みを補正すれば良い。しかし、共振ミラーの挙動が変化した場合は周期や振幅も変化するため、画像補正のパラメータを変更する必要がある。主なミラーの挙動変化としては、
１  振幅が大きくなった場合：透過領域を通過している時間が長くなるため、パルスの幅が左右対称に広がる。
２  振幅が小さくなった場合：透過領域を通過している時間が短くなるため、パルスの幅が左右対称に狭まる。
３  周期が短くなった場合：透過領域を通過するタイミングが早くなるため、パルスの位相が進む。
４  周期が長くなった場合：透過領域を通過するタイミングが遅くなるため、パルスの位相が遅れる。
が挙げられる。
【００３７】
画像補正する際は、実測したパルス信号からこれらの特徴及びその量を抽出し、実際の共振ミラーの振幅及び周期を測定することでより正確な歪み補正のパラメータを算出することができる。振幅及び周期を測定する際には、図５（ｃ）に示すように、基準パルスの中心に対して実測パルスの左右のエッジがどちら方向にどの程度ずれているか（ｔＬとｔＲ）を算出すれば良い。
【００３８】
なお、本実施例では遮光領域として中央に１つの大きな矩形状のものを配置することとしたため、パルス信号は１主走査に対して１回の頻度で生成していた。しかし、遮光領域の形態はこれに限らず、縞状の遮光領域を配置して、１走査に対して複数のパルス信号を生成しても良い。複数のパルス信号の間隔を算出することでより詳細な走査光の挙動を測定することができるため、画像補正のアルゴリズムに合わせて任意の位置と形状で遮光領域を設定すれば良い。
【００３９】
（制御ブロック）
図６に制御部１１４の詳細な構成をブロック図により示す。
波面測定素子１１７から出力された波面の測定結果は波面取得部６０１に入力された後、波面補正量算出部６０２で波面補正量が算出される。算出された波面補正量は、波面制御部６０３によって波面補正素子１０４に出力される。
【００４０】
操作部１２０はＧＵＩなどを備えた入力端末であり、医師等の操作によって眼底を撮像する中心位置（Ｘ０、Ｙ０）や撮像領域の大きさ（ｗ、ｈ）、撮像の開始・停止などの撮像情報が入力される。入力された撮像情報は、操作通信部６０４を介して用途に応じて走査範囲設定部６０５や装置制御部６０６にて設定される。
【００４１】
走査範囲設定部６０５は、設定された撮像範囲と撮像中心位置に基づいて、水平走査制御及び垂直走査制御の測定光走査に必要となる設定値、及び測定光の走査位置検出に必要となる設定値を算出する。本実施例において算出される設定値は、（Ｈ、Ｖ、ｔＨ、ｔＶ、Ｘ０、Ｙ０、Ｐ０、Ｑ０、ｗ’、ｈ’）であり、水平走査制御部６０７、垂直走査制御部６０８、及び走査位置制御部６０９にそれぞれの値が設定される。
【００４２】
水平走査制御部６０７は、設定された値に基づいて共振ミラー１０６とガルバノミラー１０７とを駆動する。垂直走査制御部６０８は、設定された値に基づいてガルバノミラー１０８を駆動する。走査位置制御部６０９は、設定された値に基づいて走査位置検出部１１９を駆動する。
【００４３】
走査位置取得部６１３は、走査位置検出部１１９で検出されたパルス信号を取得する。取得されたパルス信号は後段のモジュールでそれぞれ特徴量が算出される。タイミング検出部６１４では、該パルス信号を図４（ｂ）に示したタイミング信号に変換した後、これを反射光量取得部６１０に出力する。該タイミング信号は、フォトダイオード１１３から出力された眼底の反射光量の取得開始に使用される。周期振幅算出部６１５では、図５（ｂ）に例示した実測されたパルス信号のエッジ位置を算出することで共振ミラー１０６による測定光の走査の周期と振幅を算出する。これら周期及び振幅に関するデータは、画像の歪み補正を実行する際の補正パラメータとして使用される。
【００４４】
停止検出部６１６では、ある一定の期間にパルス信号のレベルが変化していないことを検出することで共振ミラー１０６の停止状態を検出する。検出された停止状態を示す信号は光源制御部６１７に出力され、該光源制御部６１７の発光停止信号として使用される。光源制御部６１７は、光源１０１における光の射出の開始及び停止を制御する。なお、本実施例では、停止検出部６１６において共振ミラー１０６の停止を検出することとしている。しかし、パルス信号の信号レベルや振幅及び周期の何れかが範囲内に収まっているか否かを検出することで、異常照射や異常走査などの停止すべき状態を検出して停止信号を出力するようにしても良い。
【００４５】
装置制御部６０６は入力された測定開始及び停止の何れかの指示により停止検出部６１６と光源制御部６１７、反射光量取得部６１０、及び画像補正処理部６１１を駆動する。画像補正処理部６１１によって補正された取得画像はモニタ制御部６１２を通してモニタ１１５に出力される。
【００４６】
（制御フロー）
図７に操作部１２０からの入力に基づいて行われる、走査機構の制御から画像の取得と表示までの一連の動作のフローを示す。
【００４７】
Ｓ７０１において、まず医師等の操作により眼底における撮像領域が操作部１２０から入力される。Ｓ７０２でこれらの情報は操作通信部６０４を通して制御部１１４に取得される。これら情報に基づいて、走査範囲設定部６０５で撮像領域に対応した各ミラーの走査範囲が算出され、前述した各設定値が水平走査制御部６０７と垂直走査制御部６０８とにそれぞれ設定される。また、同時に走査位置検出に必要となる液晶フィルタの遮光領域も算出され、算出された設定値が走査位置制御部６０９に設定される。設定が完了するとＳ７０３で各ミラーによるレーザ光（測定光）の走査と、Ｓ７０４で走査位置検出部１１９の駆動とが開始される。
【００４８】
駆動が開始されたあとは、続いてＳ７０６で装置制御部６０６によって光源１０１による測定光の照射準備の指示が発行される。Ｓ７０７で走査位置取得部６１３によって、走査位置検出部１１９でのパルス信号の取得を開始する。ただし、この時点では装置制御部６０６からは光源１０１からのレーザ光の照射の指示は出ておらず、照射光が無い状態なので走査位置検出部１１９からはパルス信号は出力されない。従って、Ｓ７０７では、停止検出部６１６で光源１０１からの光の射出の停止の検出が開始される。即ち、装置制御部６０６からの光源照射指示が無い状態では、停止検出部６１６は停止検出＝０の状態を出力する。
【００４９】
以上の工程を経たことで、レーザ光の照射準備が完了したこととなり、光源照射が可能となる。このため、操作部１２０からの撮像開始の指示ができるようになり、次のＳ７０８で医師等の操作により撮像開始の指示が操作部１２０から入力される。撮像開始の指示の入力に応じて、Ｓ７０９にて装置制御部６０６に対して、続いてＳ７１０にて光源制御部６１７に対して、光源１０１のレーザ光出力されるように順次指示が行われる。続いて、Ｓ７１１で停止検出部６１６に対して照射開始が設定され、光源１０１のレーザ光が出力される。
【００５０】
レーザ光が出力されると走査位置検出部１１９によってパルス信号が出力されるため、Ｓ７１２で停止検出部にて各ミラーの動作停止を検出することができる。この時点から停止検出部では常にミラーの動作を監視し、停止が検出されたら、Ｓ７１３でただちに光源制御部６１７に対して照射停止の指示を出すように動作する。
【００５１】
ミラーが動作している間は、Ｓ７１４で走査位置検出部１１９から出力されるパルス信号によってタイミング信号が検出される。Ｓ７１６でタイミング検出部６１４から出力されるタイミング信号に基づいて反射光量取得部６１０がフォトダイオード１１３からの光量を順次取得していく。また、Ｓ７１５では周期振幅算出部６１５により、パルス信号から測定光の走査における周期と振幅が算出される。Ｓ７１７では周期振幅算出部６１５で算出された情報に基づいて、反射光量取得部６１０が取得した画像を画像補正処理部６１１で補正する。補正された画像データは、Ｓ７１８でモニタ１１５に出力される。
【００５２】
なお、本実施例では、Ｓ７１９において反射光量の取得からモニタへの表示までの動作は操作部１２０からの撮像停止の指示が入力されるまで繰り返し実行することとしている。しかし、繰り返しを行わなくしても良い。また、補正した画像データを記録デバイスなどに記憶しても良い。Ｓ７１９で撮像停止の指示を受けると、Ｓ７２０で装置制御部６０６によってレーザ光の照射停止が実行され、Ｓ７２１で各ミラーが停止する。
【００５３】
［第二の実施例］
（トラッキング）
図８は、本発明の第二の実施例に係る眼底撮像装置の構成の概略を示す図であり、図９は本実施例における制御部８０３の詳細な構成をブロック図により示す。また、図１０は本実施例における走査機構の制御から画像の取得と表示までの一連の動作のフローを示す図である。なお、これら図において図１〜７にて示した第一の実施例と同様な構成については同一の符号を付すこととしてここでの説明を省略する。
【００５４】
第一の実施例では、医師等から指定された撮像領域に対して液晶フィルタの遮光領域を設定して走査位置を検出する方法について説明した。本実施例では、医師等からの指定に加えて眼球の動きを検出し、動きに追従して走査範囲と遮光領域とを動的に変更する方法について述べる。
【００５５】
（眼底撮像装置の構成）
図８は、本発明の第二の実施例に係る眼底撮像装置の構成の概略を示す図である。第一実施例に記載した眼底撮像装置で取得したＡＯ−ＳＬＯ画像は解像度が高い分、撮像範囲（視野角）を広くはできない。このため、眼球の動きを検出する用途には適さない。従って、本実施例ではこれらの構成に対して、ダイクロイックミラー８０１と動き検出器８０２とからなる構成を加え、眼球の動き、移動量或いは移動方向を検出可能としている。
【００５６】
ダイクロミックミラーは特定の波長の光のみを反射し、それ以外の波長の光を透過する特殊なミラーである。従って、異なる波長の光を別の経路からそれぞれ眼底に照射することができるため、光源１０１から得られる測定光とは異なる波長の光を使用する動き検出器８０２と、該測定光を用いたＡＯ−ＳＬＯとの同時動作が可能となる。動き検出器８０２としては、補償光学系を含んでいない普通のＳＬＯを用いることができる。従って、図示しない他の走査光源やフォトダイオードを光源に用いることで広範囲の眼底画像を取得する。
【００５７】
本実施例では、ＳＬＯにより眼底全体を撮像し、特徴点（血管など）の位置を検出することで固視微動等による眼球の動きや動いた時の移動量を算出することができる。動き検出器８０２の制御と眼球の動き検出とは制御部８０３によって実行され、得られた眼球の移動量及び移動方向に基づいてガルバノミラー１０７、１０８が制御される。このようにすることで、最初に指定されたＡＯ−ＳＬＯ等における眼底上の撮像範囲を維持する。また更に、走査位置検出部１１９の遮光領域も、この眼球の移動量等に応じて変更することで正確な走査位置を検出する。なお、動き検出器としてはＳＬＯでなくても眼底カメラや前眼カメラなどを用いても良い。
【００５８】
（制御ブロック）
図９に本実施例における制御部８０３の詳細な構成をブロック図により示す。本実施例では、動き検出制御部９０１及び移動量算出部９０２について第一の実施例における制御部１１４と異なる。
【００５９】
動き検出制御部９０１では、動き検出器８０２を制御し広い範囲の眼底画像を取得する。移動量算出部９０２では取得した複数の眼底画像からそれぞれ特徴点の位置を算出し、これらの位置の変化量を算出することで眼球の移動量（ΔＸ、ΔＹ）を算出する。算出した移動量は水平走査制御部６０７と垂直走査制御部６０８に設定され、撮像領域２０１の中心点（Ｘ０、Ｙ０）を変更することで眼球の移動に追従した眼底画像を取得可能とする。また、走査位置制御部６０９にも移動量を設定し、走査位置検出部１１９の遮光領域３０９の中心点（Ｐ０、Ｑ０）も、先の中心点の移動量に対応した移動量及び移動方向に応じて変更する。こうすることで眼球の移動によって撮像領域が変化した場合においても正確でかつ素早い走査位置の検出が可能となる。
【００６０】
なお、以上に述べたダイクロイックミラー８０１、動き検出器８０２、動き検出制御部９０１、及び移動量算出部９０２の被検眼の動き量及び方向を求める動き検出部を構成する。該動き検出部は、求められた動きに応じて走査位置の中心点を変更して走査範囲の配置を変更する構成と合わせて、本実施例におけるトラッキング機構を構成する。また、制御部１１４は、追従させた走査範囲の配置に応じて液晶フィルタ３０２における任意の領域を変更させる。
【００６１】
（制御フロー）
図１０に本実施例における一連の動作のフローを示す。
最初に、Ｓ１００１において、医師等の操作により動き検出開始の指示が操作部１２０から入力される。この指示は操作通信部６０４を介して動き検出制御部９０１に通知され、Ｓ１００２で動き検出器８０２の駆動が開始される。Ｓ１００３で動き検出器８０２から出力された眼底画像は動き検出制御部９０１を介して移動量算出部９０２に逐次入力される。Ｓ１００４で、移動量算出部９０２は逐次入力される画像の特徴点の位置をそれぞれ検出し、前の画像に対して次の画像の特徴点の位置がどれだけ移動したか（移動量ΔＸとΔＹ）を算出する。
【００６２】
Ｓ１００５では、算出された移動量は水平走査制御部６０７や垂直走査制御部６０８、及び走査位置制御部６０９にそれぞれ出力され、該移動量に基づいて撮像領域や遮光領域の中心位置が修正される。これらの動作は常に実行され、Ｓ１００６において操作部１２０からの停止が指示されるまで固視微動等による眼球の動きに応じて走査範囲と走査位置検出が追従する状態が維持される。以降はＳ７０１〜７２１の第一の実施例の図７に示したフローに従って、眼底画像の取得及び表示が実行される。
【００６３】
人体の眼球は固視微動と呼ばれる眼球の細かい振動動作もあるため、これらの素早い動きにも追従して走査位置検出する場所を動的に移動させるのは非常に困難である。本実施例によれば、このような場合であっても、液晶フィルタ３０２における任意の透過領域を配置することが可能となり、被検眼の動きに追従して走査位置を検出することが可能となる。
【００６４】
［第三の実施例］
（反射型液晶フィルタ）
図１１は本発明の第三の実施例に係る眼底撮像装置の構成の概略を示す図であり、図１２は本実施例における走査位置検出部の概略の構成を示す図である。走査位置検出方法を示した図である。なお、これら図において第一及び第二の実施例と同様な構成については同一の符号を付すこととしてここでの説明を省略する。
【００６５】
第一及び第二の実施例では、走査位置検出部１１９において透過型液晶フィルタを用いて測定光の走査位置を検出する方法について説明した。本実施例では、反射型液晶フィルタを用いて測定光の走査位置を検出する構成について説明する。
【００６６】
（眼底撮像装置の構成）
前述したように、図１１は、本発明の第三の実施例に係る眼底撮像装置の構成の概略を示す図である。第一及び第二の実施例に記載した構成では走査機構によって走査された光をビームスプリッタ１１８で分割し、分割光の方を走査位置検出部１１９に導いた。本実施例では走査光を分割することなく直接光を走査位置検出部１１０１に導く構成になっており、光学部品点数を少なくできるメリットがある。
【００６７】
（走査位置検出部の構成）（液晶フィルタの説明）
図１２は走査位置検出部１１０１の構成の概略を示す模式図である。該走査位置検出部１１０１は、集光レンズ１２０１、液晶フィルタ１２０２、反射ミラー１２０５、及びコリメートレンズ１２０６を有する。
【００６８】
図１２に示すように、走査機構によって走査された測定光は集光レンズ１２０１によって液晶フィルタ１２０２上に結像される。反射型の液晶フィルタとしては、動的散乱モード（Dynamic Scatter mode：ＤＳＭ)によって液晶分子を駆動し、入射した光を散乱させることで透過及び遮光を制御するタイプのフィルタを用いることができる。該液晶フィルタ１２０２は制御部８０３によって透過領域１２０３と遮光領域１２０４が設定されている。
【００６９】
透過領域１２０３を透過した測定光は、フィルタの背面に配置された反射ミラー１２０５で正反射される。正反射した光はコリメートレンズ１２０６で平行光に調整され眼球１２１に導かれる。眼底で反射された後の測定光は再び液晶フィルタ１２０２の透過領域１２０３を透過して、反射ミラー１２０５により反射されてフォトダイオード１１３へと導かれる。
【００７０】
一方、遮光領域１２０４に入射した測定光は、反射ミラー１２０５に到達する前に該液晶フィルタ１２０２中の液晶分子で散乱される。散乱された光の一部は、受光レンズ１２０７でフォトダイオード１２０８上に集光される。測定光が液晶フィルタ１２０２の遮光領域１２０４に照射されている時は散乱光が発生するため、フォトダイオード１２０８の出力電圧は高くなる。
【００７１】
測定光が透過領域１２０３に照射されている時は散乱光がほとんど発生しないため、フォトダイオード１２０８の出力電圧が低くなる。従って、フォトダイオード１２０８で散乱光を検出することで、第一の実施例と同様なパルス信号を出力することができる。即ち、該散乱光の検出によって、制御部８０３でのタイミング信号の生成や測定光の走査における周期振幅の測定を実施することができる。
【００７２】
以上に述べたように、本発明は、被検眼に例示される被検査物上でレーザ光等の測定光を走査し、被検査物からの反射光に基づいて画像を生成する撮像装置に関する。当該撮像装置は、走査機構、遮光部、光検出部、状態検出部、及び画像生成手段を主たる構成として有する。走査機構は共振ミラー１０６及びガルバノミラー１０８を含み、被検眼上の走査範囲で測定光を走査する。遮光部は液晶フィルタ３０２或いは液晶フィルタ１２０２を含み、走査範囲に対応して設定された任意の領域において測定光の少なくとも一部の透過又は遮光を行う。また、走査範囲は走査範囲設定部６０５により指定され、この任意の領域の設定は制御部１１４により実行される。
【００７３】
光検出部はフォトダイオード３０４或いはフォトダイオード１２０８を含み、任意の領域を透過又は反射した測定光の少なくとも一部を検出する。第一の実施例では、ビームスプリッタ１１８により測定光の一部として分割された光の内、更に液晶フィルタ３０２を透過した一部をフォトダイオード３０４が検出する。第三の実施例では、測定光の内の被検眼上の走査範囲に対応した透過領域１２０３の外側の遮光領域１２０４により反射された測定光の一部をフォトダイオード１２０８が検出する。光検出部は、より詳細には、図４（ｂ）や図５（ｂ）に示すパルスにより、透過又は反射した測定光の少なくとも一部の光の光量、又は透過又は反射する位置の時間的な変化を検出する。
【００７４】
状態検出部は、走査位置取得部６１３、タイミング検出部６１４、周期振幅算出部６１５、及び停止検出部６１６を含み、検出された測定光の少なくとも一部に基づいて走査機構の駆動状態を検出する。周期振幅算出部６１５は、検出された時間的な変化に基づいて周期及び振幅の少なくとも一方を算出する。タイミング検出部６１４は、光検出部により検出された時間的な変化に基づいて、画像取得の際の測定光の走査において反射光の受光を開始する開始位置等の所定の位置を測定光が走査するタイミングを検出する。停止検出部６１６は、検出された時間的な変化に基づいて、走査機構によって測定光が走査範囲を走査しているか否かを検出する。走査していない場合、制御部１１４における光源制御部６１７により測定光の照射が停止される。
【００７５】
画像生成手段はフォトダイオード１１３、反射光量取得部６１０、及び画像補正処理部６１１を含み、被検眼からの反射光と、検出された駆動状態とに基づいて被検眼の画像を生成する。また、その際に、周期振幅算出部６１５により得られた測定光走査の際の周期及び振幅に基づいて、画像に生じた歪の補正が行われる。
【００７６】
また、本発明は、撮像装置において測定光の走査位置を検出する走査位置検出装置として把握することも可能である。この場合、該走査位置検出装置は、前述した遮光部と、光検出部と、検出された前記測定光の少なくとも一部に基づいて前記測定光の前記被検査物上の走査位置を検出する手段と、を含む装置として把握される。
【００７７】
以上に述べたように、本発明によれば、機械的な設計制約によって走査位置検出の精度と速度が制限されることがなくなり、様々な撮像条件に追従して素早く高精度に走査位置を検出することが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００７８】
（その他の実施例）
なお、上述した実施例ではＡＯ−ＳＬＯを用いた形態について述べているが、本発明の適用対象は該ＡＯ−ＳＬＯに限定されない。即ち、ＳＬＯ、ＯＣＴ等の測定光を走査する形態の撮像装置に応用可能であり、更には、これら撮像装置と視野計測器、眼圧測定機などの他の撮影装置或いはこれらの複数との組合せにも応用可能である。また、これら眼科撮影装置各々についての組み合わせからなる装置であっても良い。
【００７９】
また、上述した実施例では、被検査物が人間の被検眼の場合について述べているが、眼以外の皮膚や臓器等の被測定物に本発明を適用することも可能である。この場合、本発明は眼科装置以外の、例えば内視鏡等の医療用の撮像装置としての態様を有する。従って、本発明は眼科装置に例示される撮像装置として把握され、被検眼は被検査物の一態様として把握されることが望ましい。
【００８０】
更に、本発明は、上述の実施例の１以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける１つ以上のプロセッサーがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、１以上の機能を実現する回路（例えば、ＡＳＩＣ）によっても実現可能である。
【符号の説明】
【００８１】
１０１：  光源
１０２：  コリメートレンズ
１０３、１０５：  反射ミラー
１０４：  波面補正素子
１０６：  共振ミラー
１０７、１０８：  ガルバノミラー
１０９、１１０：  接眼レンズ
１１１、１１６、１１８：  ビームスプリッタ
１１２：  受光レンズ
１１３：  フォトダイオード
１１４、８０３：  制御部
１１５：  モニタ
１１７：  波面測定素子
１１９：  走査位置検出部
【図１】
2017070357.tif 000003
【図２】
2017070357.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５（ａ）】
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【図５（ｂ）】
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【図５（ｃ）】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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