(57)【要約】【課題】ダスト発生箇所にそれぞれに設けることができ、ダクトワークを省略することで低コストでありながらも、ダストの回収率を向上する。【解決手段】除塵装置１００は、ダスト発生箇所に設けられた集塵ダクト２０を通じてダスト混入気体が導入され、ダスト混入気体が旋回する第１旋回空間１１４が内部に形成された第１管体１１２を有する上流サイクロン部１１０と、第１旋回空間１１４から導入されたダスト混入気体が旋回する、第１旋回空間１１４よりも径の小さい第２旋回空間１５４が内部に形成された複数の第２管体１５２を有し、第１旋回空間１１４を旋回したダスト混入気体が複数の第２管体１５２に導かれる下流サイクロン部１５０と、第１旋回空間１１４および第２旋回空間１５４においてダスト混入気体から分離したダストを貯留する貯留部（上流貯留部１２０、下流貯留部１６０）と、を備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダスト発生箇所で生じたダスト混入気体を除塵して、清浄ガスを外部に排出する除塵装置であって、
前記ダスト発生箇所に設けられた集塵ダクトを通じてダスト混入気体が導入され、該ダスト混入気体が旋回する第１旋回空間が内部に形成された第１管体を有する上流サイクロン部と、
前記第１旋回空間から導入されたダスト混入気体が旋回する、該第１旋回空間よりも径もしくは容積の小さい第２旋回空間が内部に形成された複数の第２管体を有し、該第１旋回空間を旋回したダスト混入気体が複数の該第２管体に導かれる下流サイクロン部と、
前記第１旋回空間および前記第２旋回空間においてダスト混入気体から分離したダストを貯留する貯留部と、
を備えたことを特徴とする除塵装置。
【請求項２】
前記貯留部に貯留されたダストを、駆動ガスの流れによって吸引するエジェクターと、
前記エジェクターによって吸引されたダストを前記ダスト発生箇所に返送する返送手段と、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載の除塵装置。
【請求項３】
前記エジェクターによって吸引されたダストに水を噴霧する水噴霧部を備え、
前記水噴霧部は、
水を貯留する水槽と、
一端部に形成された開口が前記水槽内に位置するとともに、他端部に形成された開口が前記エジェクターにおける駆動ガスの供給口より下流側に位置する水配管と、
を有することを特徴とする請求項２に記載の除塵装置。
【請求項４】
前記貯留部に貯留されたダストの堆積レベルを検知するレベル計を備え、
前記エジェクターは、前記レベル計が検知した堆積レベルが予め定められた堆積閾値以上となると、前記貯留部に貯留されたダストを吸引することを特徴とする請求項２または３に記載の除塵装置。
【請求項５】
複数の前記第２旋回空間を旋回したダスト混入気体を集合して外部に排出する集合排出部をさらに備えたことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の除塵装置。
【請求項６】
前記集合排出部は、
少なくとも下端が前記第２管体内に配され、下方から上方に向けて内部をダスト混入気体が上昇する排気管を備え、
前記排気管の下端は、先端に向かうにしたがって径が漸増する形状であることを特徴とする請求項５に記載の除塵装置。
【請求項７】
前記集合排出部は、
前記排気管の下流側に設けられ、該排気管を上昇したダスト混入気体を吸引し、清浄ガスとして外部に排出する排風ユニットを備えたことを特徴とする請求項６に記載の除塵装置。
【請求項８】
前記第１旋回空間は水平断面形状が円形であり、
複数の前記第２管体は、前記第１旋回空間の中心軸を囲繞するように配置されていることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の除塵装置。
【請求項９】
前記第１管体は、円筒形状の側壁部を含んで構成され、
前記側壁部には、該側壁部の中心から内周面側に角度をずらして開口している第１導入口が形成されていることを特徴とする請求項８に記載の除塵装置。
【請求項１０】
前記第１旋回空間の中心軸には、該第１旋回空間から前記第２旋回空間にダスト混入気体を導く連通管が設けられ、
前記連通管は、
本体部と、
前記本体部の下端に形成され、前記第１旋回空間を旋回したダスト混入気体を該本体部に導入する導入口と、
前記導入口から前記本体部に導入され、該本体部を上昇するダスト混入気体を分流して複数の前記第２管体に導く分流口と、
を備えたことを特徴とする請求項８または９に記載の除塵装置。
【請求項１１】
前記導入口が形成される前記本体部の下端は、先端に向かうにしたがって径が漸増する形状であることを特徴とする請求項１０に記載の除塵装置。
【請求項１２】
前記貯留部は、
前記第１旋回空間においてダスト混入気体から分離したダストを貯留する上流貯留部と、
前記第２旋回空間においてダスト混入気体から分離したダストを貯留する下流貯留部と、
を備え、
前記下流貯留部は、前記連通管を貫通させる貫通部を有することを特徴とする請求項１０または１１に記載の除塵装置。
【請求項１３】
複数の前記第２管体は、少なくとも一部が前記第１管体の上方から前記第１旋回空間内に突出しているか、もしくは、全体が該第１旋回空間内に位置していることを特徴とする請求項１０または１１に記載の除塵装置。
【請求項１４】
前記貯留部は、
前記第１旋回空間においてダスト混入気体から分離したダストを貯留する上流貯留部と、
前記第２旋回空間においてダスト混入気体から分離したダストを貯留する下流貯留部と、
を備え、
前記下流貯留部は、
前記第１旋回空間内における前記第２管体の下方に設けられ、
前記第１旋回空間から前記導入口へダスト混入気体を導く貫通部を有することを特徴とする請求項１３に記載の除塵装置。
【請求項１５】
前記貫通部の径は、前記導入口の径以上であることを特徴とする請求項１４に記載の除塵装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダスト発生箇所で生じたダスト混入気体を除塵して、清浄ガスを外部に排出する除塵装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種工場・プラント（鋳造、鉄鋼、木工、食品、薬品、化学等のプラント）の操業においては、様々なサイズのダスト（粉塵）を含むガス（以下、「ダスト混入気体」と呼ぶ）が生じる。ダストは、作業環境を低下させ、作業者に不快感を与えたり、照明の効果を低下させたり、機械設備の損傷を早めたり、製品の品質を低下させるおそれがあったりする。このため、プラントには、ダストのサイズに応じて複数の工程に分けて段階的にダストを除去する手段が設けられている。具体的に説明すると、プレダスタを使用して比較的大きめのダストを除去（１次除去）した後、プレダスタで除去しきれない微細なダストを、プレダスタの下流に設けられたバグフィルタ式集塵装置や湿式スクラバーなどの２次除塵設備で除去することにより、外部に排出する空気の清浄度を向上させている。
【０００３】
ここで多用されている２次除塵設備としてのバグフィルタ式集塵装置は、ろ布と呼ばれる織布や不織布を用いて処理対象ガス中のダストをろ過捕集する集塵装置である。大型のバグフィルタ式集塵装置では、集塵室が複数の部屋に区分けされ、複数の部屋それぞれに、筒状に縫製したろ布（ろ過筒）が多数設置されており、集塵室の下部には、ろ過筒から払い落としたダストを回収するためのダストチャンバが設けられている。
【０００４】
バグフィルタ式集塵装置は、ろ布表面、および、ろ布内部に付着堆積したダスト層（１次ダスト層）で処理対象ガスに含まれるダストをろ過捕集する。一般に処理対象ガスが、ろ布を通過する濾過速度は０．３〜２ｍ／分程度、圧力損失は１．５〜２ｋＰａ（１５０〜２００ｍｍＨ２Ｏ）程度である。ろ布表面で捕集したダスト層が厚くなると、ろ布（フィルター）での圧力損失が上昇するため、捕集したダスト（ダスト層）を間欠的に払い落す必要がある。ダスト層の払い落しは、例えば、ろ布の裏面からガスを流したり、ろ布に振動を与えたりすることで為される。バグフィルタ式集塵装置の集塵率は、９９％以上であり、出口ダスト濃度は１０ｍｇ／ｍ３Ｎ程度となる。
【０００５】
バグフィルタ式集塵装置は、電気集塵装置に比べて設備費が安価であり、また、捕集効率が高い。このため、処理対象ガス量が中程度以下のプラント（工場プロセス）の集塵装置として高性能が求められる昨今においては、バグフィルタ式集塵装置が広く利用されている。
【０００６】
プラントでは、複数のダスト発生箇所が存在することから、バグフィルタ式集塵装置からダスト発生箇所まで複数に分岐した吸引経路（ダクトワーク）を引き回して、ダクトワークを通じてダスト発生箇所からバグフィルタ式集塵装置へダスト混入気体を吸引している（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平１１−１９２４０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、バグフィルタ式集塵装置は、目詰まりを起こしやすく、集塵力を維持するために、フィルタの交換や清掃を頻繁に行う必要があり、ランニングコストが増大する。また、バグフィルタ式集塵装置は圧力損失が生じるため、この圧力損失を補う分、運転動力コストが嵩んでしまう。さらに、バグフィルタ式集塵装置を構成するろ布は、耐熱温度が２００℃以下と低く、２００℃を上回る処理対象ガスを除塵することができない。
【０００９】
また、バグフィルタ式集塵装置は、大きな設置スペースが必要となり、また、高価であるため、各ダスト発生箇所各々に設置することは実用的ではない。このため、ダクトワークが必要になり、ダクトの設計やダクトの敷設自体に要するコストが大きくなるという問題がある。
【００１０】
本発明の目的は、ダスト発生箇所にそれぞれに設けることができ、ダクトワークを省略することで低コストでありながらも、ダストの回収率を向上することが可能な除塵装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本発明の除塵装置は、ダスト発生箇所で生じたダスト混入気体を除塵して、清浄ガスを外部に排出する除塵装置であって、前記ダスト発生箇所に設けられた集塵ダクトを通じてダスト混入気体が導入され、該ダスト混入気体が旋回する第１旋回空間が内部に形成された第１管体を有する上流サイクロン部と、前記第１旋回空間から導入されたダスト混入気体が旋回する、該第１旋回空間よりも径もしくは容積の小さい第２旋回空間が内部に形成された複数の第２管体を有し、該第１旋回空間を旋回したダスト混入気体が複数の該第２管体に導かれる下流サイクロン部と、前記第１旋回空間および前記第２旋回空間においてダスト混入気体から分離したダストを貯留する貯留部と、を備えたことを特徴とする。
【００１２】
また、前記貯留部に貯留されたダストを、駆動ガスの流れによって吸引するエジェクターと、前記エジェクターによって吸引されたダストを前記ダスト発生箇所に返送する返送手段と、を備えるとしてもよい。
【００１３】
また、前記エジェクターによって吸引されたダストに水を噴霧する水噴霧部を備え、前記水噴霧部は、水を貯留する水槽と、一端部に形成された開口が前記水槽内に位置するとともに、他端部に形成された開口が前記エジェクターにおける駆動ガスの供給口より下流側に位置する水配管と、を有するとしてもよい。
【００１４】
また、前記貯留部に貯留されたダストの堆積レベルを検知するレベル計を備え、前記エジェクターは、前記レベル計が検知した堆積レベルが予め定められた堆積閾値以上となると、前記貯留部に貯留されたダストを吸引するとしてもよい。
【００１５】
また、複数の前記第２旋回空間を旋回したダスト混入気体を集合して外部に排出する集合排出部をさらに備えるとしてもよい。
【００１６】
また、前記集合排出部は、少なくとも下端が前記第２管体内に配され、下方から上方に向けて内部をダスト混入気体が上昇する排気管を備え、前記排気管の下端は、先端に向かうにしたがって径が漸増する形状であるとしてもよい。
【００１７】
また、前記集合排出部は、前記排気管の下流側に設けられ、該排気管を上昇したダスト混入気体を吸引し、清浄ガスとして外部に排出する排風ユニットを備えるとしてもよい。
【００１８】
また、前記第１旋回空間は水平断面形状が円形であり、複数の前記第２管体は、前記第１旋回空間の中心軸を囲繞するように配置されているとしてもよい。
【００１９】
また、前記第１管体は、円筒形状の側壁部を含んで構成され、前記側壁部には、該側壁部の中心から内周面側に角度をずらして開口している第１導入口が形成されているとしてもよい。
【００２０】
また、前記第１旋回空間の中心軸には、該第１旋回空間から前記第２旋回空間にダスト混入気体を導く連通管が設けられ、前記連通管は、本体部と、前記本体部の下端に形成され、前記第１旋回空間を旋回したダスト混入気体を該本体部に導入する導入口と、前記導入口から前記本体部に導入され、該本体部を上昇するダスト混入気体を分流して複数の前記第２管体に導く分流口と、備えるとしてもよい。
【００２１】
また、前記導入口が形成される前記本体部の下端は、先端に向かうにしたがって径が漸増する形状であるとしてもよい。
【００２２】
また、前記貯留部は、前記第１旋回空間においてダスト混入気体から分離したダストを貯留する上流貯留部と、前記第２旋回空間においてダスト混入気体から分離したダストを貯留する下流貯留部と、を備え、前記下流貯留部は、前記連通管を貫通させる貫通部を有するとしてもよい。
【００２３】
また、複数の前記第２管体は、少なくとも一部が前記第１管体の上方から前記第１旋回空間内に突出しているか、もしくは、全体が該第１旋回空間内に位置しているとしてもよい。
【００２４】
また、前記貯留部は、前記第１旋回空間においてダスト混入気体から分離したダストを貯留する上流貯留部と、前記第２旋回空間においてダスト混入気体から分離したダストを貯留する下流貯留部と、を備え、前記下流貯留部は、前記第１旋回空間内における前記第２管体の下方に設けられ、前記第１旋回空間から前記導入口へダスト混入気体を導く貫通部を有するとしてもよい。
【００２５】
また、前記貫通部の径は、前記導入口の径以上であるとしてもよい。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、ダスト発生箇所にそれぞれに設けることができ、ダクトワークを省略することで低コストでありながらも、ダストの回収率を向上することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】第１実施形態にかかる除塵装置の使用形態を説明するための図である。
【図２】第１実施形態にかかる除塵装置を説明する概念図である。
【図３】図２におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。
【図４】図２におけるＩＶ−ＩＶ線断面図である。
【図５】図２におけるＶ−Ｖ線断面図である。
【図６】エジェクターを説明する図である。
【図７】第２実施形態にかかる除塵装置を説明する概念図である。
【図８】図７におけるＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線断面図である。
【図９】図７におけるＩＸ−ＩＸ線断面図である。
【図１０】第３実施形態の除塵装置を説明する概念図である。
【図１１】図１０におけるＸＩ−ＸＩ線断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。かかる実施形態に示す寸法、材料、その他具体的な数値等は、発明の理解を容易とするための例示にすぎず、特に断る場合を除き、本発明を限定するものではない。なお、本明細書および図面において、実質的に同一の機能、構成を有する要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略し、また本発明に直接関係のない要素は図示を省略する。
【００２９】
（第１実施形態：除塵装置１００）
図１は、第１実施形態にかかる除塵装置１００の使用形態を説明するための図である。除塵装置１００は、ダスト発生箇所で生じたダスト混入気体（ダスト混入空気）を除塵して、清浄ガス（清浄空気）を外部に排出する。ここでは、ダスト発生箇所として典型的なベルトコンベヤの乗継部に除塵装置１００を設置する構成を例に挙げて説明する。
【００３０】
下流側ベルトコンベヤ１２の上方には、上流側ベルトコンベヤ１０のヘッドプーリ１０ａが位置し、上流側ベルトコンベヤ１０によって搬送された搬送物（原料）は、上流側ベルトコンベヤ１０の下流側端部から下流側ベルトコンベヤ１２へ落下することで、上流側ベルトコンベヤ１０から下流側ベルトコンベヤ１２へ乗り継がれることとなる。このように、搬送物が下流側ベルトコンベヤ１２へ落下する際に、落下による衝突によってダスト（ダスト粒子ｄｐ）が生じる。このため、上流側ベルトコンベヤ１０から下流側ベルトコンベヤ１２への乗継部はシュート１４および集塵フード１６で覆われるとともに、上流側ベルトコンベヤ１０はベルトカバー１８ａで、下流側ベルトコンベヤ１２はベルトカバー１８ｂで覆われ、搬送物（原料流れ）に追随してくる周囲のダスト混入気体ＤＡが搬送物とともに、シュート１４内および集塵フード１６内に充満することとなる。
【００３１】
また、集塵フード１６には、集塵ダクト２０が接続されており、従来、集塵ダクト２０には、ダクトワーク（吸引経路）を介してバグフィルタ式集塵装置が接続されていた。つまり、シュート１４内や集塵フード１６内に充満したダスト混入気体ＤＡは、ダクトワークを介してバグフィルタ式集塵装置に吸引されていた。このため、上流側ベルトコンベヤ１０のヘッドプーリ１０ａの正面付近において、ダスト混入気体ＤＡは、搬送物の落下方向とは逆方向に１ｍ／秒程度の流速で集塵ダクト２０の上方向に吸引され、これによって生じるダスト混入気体ＤＡの流れによって、粒径０．１〜０．５ｍｍ程度のダスト粒子ｄｐ（集塵されるダストの中では比較的粗い粒子）が集塵ダクト２０に吸引されることとなる。また、ダクトワークの内部にダストが沈降、堆積しないように、ダクトワーク内の吸引風速は１０ｍ／秒以上に設定されるが、粒径０．１〜０．５ｍｍ程度のダスト粒子ｄｐの重量割合が５０％程度もある場合には、ダクトワークの曲がり管（エルボ部）等集塵設備の内部が選択的に摩耗してしまう。
【００３２】
そこで、本実施形態では、ダスト発生箇所に設けられる集塵ダクト２０に除塵装置１００を搭載することで、ダクトワークを省略して設備費を削減するとともに、ダクトワーク内の清掃やダクトの損耗による取り換え補修等のメンテナンスを不要とすることができる。以下、除塵装置１００について詳述する。
【００３３】
（除塵装置１００）
図２は、第１実施形態にかかる除塵装置１００を説明する概念図であり、図３は、図２におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図であり、図４は、図２におけるＩＶ−ＩＶ線断面図であり、図５は、図２におけるＶ−Ｖ線断面図である。除塵装置１００は、ダスト発生源に設けられた集塵フード１６に接続された集塵ダクト２０に、フランジ１０２ａを介して接続される鉛直ダクト１０２ｂと、鉛直ダクト１０２ｂ内に配されるとともに、集塵ダクト２０から導かれたダスト混入気体ＤＡ中のダストを除去する上流サイクロン部１１０と、上流サイクロン部１１０によって粗集塵されたダスト混入気体ＤＡ中のダストをさらに除去する上流サイクロン部１１０と同一軸線（図２中Ｙ−Ｙ線）の上方に直列に接続した下流サイクロン部１５０と、下流サイクロン部１５０によってダストが除去されたダスト混入気体ＤＡ（清浄ガスＣＡ）を外部に排出する排風ユニット１８０と、返送機構２００とを含んで構成される。したがって、排風ユニット１８０の吸引力によって、上流サイクロン部１１０内にダスト混入気体ＤＡが導入され、上流サイクロン部１１０から下流サイクロン部１５０へダスト混入気体ＤＡが導かれることとなる。
【００３４】
なお、図３に示すように、本実施形態では、鉛直ダクト１０２ｂの水平断面が矩形形状である構成を例に挙げて説明するが、鉛直ダクト１０２ｂの形状に限定はなく、図３中、二点鎖線で示すように水平断面が円形状（鉛直ダクト１０２ｂが円筒形状）であってもよい。
【００３５】
以下、図２を用いて、上流サイクロン部１１０、下流サイクロン部１５０、排風ユニット１８０、返送機構２００の具体的な構成について説明する。
【００３６】
上流サイクロン部１１０は、第１管体１１２と、第１管体１１２の下部に接続される上流貯留部１２０と、を有している。
【００３７】
第１管体１１２は、円筒形状の側壁部１１２ａと、側壁部１１２ａの下端に連続し、上方から下方に向かうにしたがって径が漸減するテーパ状の円錐部１１２ｂと、側壁部１１２ａの上端を閉塞する上面部１１２ｃと、を備えた管部材で構成され、鉛直方向に中心軸（図２中、Ｙで示す）を沿わせて設置される。第１管体１１２の内部には、水平断面形状が円形の第１旋回空間１１４が形成されており、側壁部１１２ａには、ダスト混入気体ＤＡ（図２中、ａａで示す）が導かれる第１導入口１１６が形成されている。第１導入口１１６は、鉛直ダクト１０２ｂから第１旋回空間１１４に導入されたダスト混入気体ＤＡが、側壁部１１２ａの接線方向もしくは内周面に沿って流れるように、側壁部１１２ａの中心から内周面側に角度をずらして開口している。換言すれば、第１旋回空間１１４内でダスト混入気体ＤＡが高速度で旋回するように、第１導入口１１６の開口角度が設定されている。
【００３８】
これにより、鉛直ダクト１０２ｂから第１管体１１２に導かれたダスト混入気体ＤＡは、第１旋回空間１１４内で旋回するとともに、この旋回過程において、遠心力による慣性と重力とで、ダスト混入気体ＤＡからダストが遠心分離される。また、図３に示すように、本実施形態では、鉛直ダクト１０２ｂが、上流サイクロン部１１０の中心軸（側壁部１１２ａの中心軸）に対して、偏心して設置されている。したがって、ダスト混入気体ＤＡ（図３中、ａａで示す）が第１導入口１１６に向かって渦巻流を形成しながら収束されることとなる。
【００３９】
図２に戻って説明すると、第１旋回空間１１４内でダスト混入気体ＤＡから遠心分離されたダストは、図２の矢印ｂｂに示すように、最終的に自重によって第１管体１１２内を落下する。第１管体１１２の下端には、第１旋回空間１１４内でダスト混入気体ＤＡから遠心分離されたダストを鉛直下方に排出する開口１１２ｄが設けられている。
【００４０】
上流貯留部１２０は、円筒形状の上部１２０ａと、上部１２０ａの下端に連続し、上方から下方に向かうにしたがって径が漸減するテーパ状の下部１２０ｂとを含んで構成され、内部にダストチャンバ１２０ｃが形成されている。このダストチャンバ１２０ｃは密閉されており、第１管体１１２の下端が、上部１２０ａの上面に形成された貫通孔を貫通して、ダストチャンバ１２０ｃ内に位置するように設けられている。したがって、第１管体１１２の下端の開口１１２ｄから排出されたダストは、ダストチャンバ１２０ｃに落下して貯留されることとなる。
【００４１】
また、上流貯留部１２０のダストチャンバ１２０ｃ内には、返送機構２００を構成するダスト排出管２２０ａの吸引側開口が配されており、ダストチャンバ１２０ｃに貯留されたダストＳＳａは、ダスト排出管２２０ａを通じて、集塵フード１６（下流側ベルトコンベヤ１２）に返送されることとなる。上流貯留部１２０の下部１２０ｂをテーパ状とすることにより、ダストをスムーズにダスト排出管２２０ａに導くことができる。なお、返送機構２００については、後に詳述する。
【００４２】
上記のようにして、第１旋回空間１１４でダストが遠心分離されたダスト混入気体は、図２の矢印ｃｃで示すように、第１管体１１２の上部から連通管１４０に導かれる。連通管１４０は、第１旋回空間１１４の中心軸において、第１管体１１２の上面部１１２ｃを鉛直方向に貫通する本体部１４０ａを備えており、この本体部１４０ａの下端には、第１旋回空間１１４を旋回したダスト混入気体を本体部１４０ａ内に導入する導入口１４０ｂが形成されている。したがって、第１旋回空間１１４内でダストが遠心分離されたダスト混入気体は、導入口１４０ｂから本体部１４０ａ内に進入し、本体部１４０ａ内を下方から上方に向けて上昇することとなる。
【００４３】
なお、導入口１４０ｂが形成される本体部１４０ａの下端は、先端に向かうにしたがって径が漸増するベルマウスの曲面形状である。このように、本体部１４０ａの下端をベルマウスの曲面形状とすることにより、下端を同一径の直管とする場合と比較して、気体（ダスト混入気体）吸込み時の圧力損失を１／２０以下に低減することができ、後述する排気管１７０の下端のベルマウスの曲面形状と併せて、本体部１４０ａの下端および排気管１７０の下端でのダスト混入気体の流速の低下を抑制することが可能となり、除塵装置１００系全体の圧力損失を大幅に低減することができる。
【００４４】
また、本体部１４０ａの上端側の内部には分流チャンバ１４０ｃが形成されており、本体部１４０ａの上端側、すなわち、分流チャンバ１４０ｃを囲繞する部分には、本体部１４０ａを径方向に貫通する複数の分流口１４０ｄが形成されている。これら複数の分流口１４０ｄには、それぞれ接続管１４２が接続されており、本体部１４０ａを上昇して分流チャンバ１４０ｃに導かれたダスト混入気体は、分流口１４０ｄによって径方向に分流され、接続管１４２を介して下流サイクロン部１５０の複数の第２管体１５２に、接線方向に沿うように導かれる。
【００４５】
下流サイクロン部１５０は、上流サイクロン部１１０の下流側に位置し、上流サイクロン部１１０で除去しきれなかった微細粒のダストをダスト混入気体中から除去する。本実施形態において、下流サイクロン部１５０は、上流サイクロン部１１０と同一軸線（図２中Ｙ−Ｙ線）の上方に直列に接続されている。この下流サイクロン部１５０は、複数（ここでは８個）の第２管体１５２と、第２管体１５２の下部に接続される下流貯留部１６０と、を有している。
【００４６】
第２管体１５２は、円筒形状の上壁部１５２ａと、上壁部１５２ａの下端に連続し、上方から下方に向かうにしたがって径が漸減するテーパ状の下壁部１５２ｂと、上壁部１５２ａの上端を閉塞する閉塞部１５２ｃと、を備えた管部材で構成され、鉛直方向に中心軸（図２中、Ｚで示す）を沿わせて設置される。第２管体１５２の内部には、第１旋回空間１１４から導入されたダスト混入気体が高速度で旋回するとともに、第１旋回空間１１４よりも径の小さい第２旋回空間１５４が形成される。
【００４７】
上壁部１５２ａには、接続管１４２が接続される第２導入口１５６が形成されている。第２導入口１５６は、接続管１４２から第２旋回空間１５４に導入されたダスト混入気体が、第２管体１５２の接線方向もしくは内周面に沿って流れるように、上壁部１５２ａの中心から内周面側に角度をずらして開口している。換言すれば、第２旋回空間１５４内でダスト混入気体が旋回するように、第２導入口１５６の開口角度が上壁部１５２ａの接線方向に設定されている。
【００４８】
また、複数の第２管体１５２および下流貯留部１６０は、第１管体１１２の上方に位置している。このとき、複数の第２管体１５２は、第１旋回空間１１４の中心軸を囲繞するように（周方向に均等に）配置されており、図４に示すように、上記の連通管１４０は、複数の第２管体１５２で囲繞されている。そして、連通管１４０の分流口１４０ｄと、第２管体１５２の第２導入口１５６とが対向しており、これら対向配置された分流口１４０ｄおよび第２導入口１５６が、接続管１４２によって接続されている。このようにして、下流サイクロン部１５０においては、第１旋回空間１１４を旋回したダスト混入気体が、図２の矢印ｃｃで示すように、連通管１４０を介して、複数の第２管体１５２それぞれの第２旋回空間１５４に分散して接線方向に導かれることとなる。
【００４９】
そして、連通管１４０から第２管体１５２に導かれたダスト混入気体は、第２旋回空間１５４内で旋回するとともに、この旋回過程においてダスト混入気体からさらにダストが高流速で遠心分離される。このように、第２旋回空間１５４内でダスト混入気体から高流速で遠心分離されたダストは、図２の矢印ｅｅ示すように、最終的に自重によって第２管体１５２内を落下する。第２管体１５２の下端には、第２旋回空間１５４内でダスト混入気体から遠心分離されたダストを鉛直下方に排出する開口１５２ｄが設けられている。
【００５０】
下流貯留部１６０は、所謂ドーナツ形状の空間であるダストチャンバ１６０ｅが、内周面部１６０ａ、外周面部１６０ｂ、上面部１６０ｃ、底面部１６０ｄによって囲繞形成された部材であり、内周面部１６０ａで囲繞される貫通部１６０ｆに連通管１４０が挿通されている。具体的に説明すると、内周面部１６０ａの径ｄａは、連通管１４０が非接触状態で挿通されるように、連通管１４０の径ｄよりも内径が大きく、外周面部１６０ｂは、内周面部１６０ａよりもさらに内径が大きい。これにより、内周面部１６０ａと外周面部１６０ｂとの間にダストチャンバ１６０ｅが形成され、このダストチャンバ１６０ｅを密閉するように、上面部１６０ｃおよび底面部１６０ｄが、内周面部１６０ａから外周面部１６０ｂまで、下流貯留部１６０の径方向に延在している。そして、第２管体１５２の下端が、上面部１６０ｃの上面に形成された貫通孔を貫通して、ダストチャンバ１６０ｅ内に位置するように設けられている。したがって、第２管体１５２の下端の開口１５２ｄから排出されたダストは、ダストチャンバ１６０ｅに落下して貯留されることとなる。
【００５１】
また、下流貯留部１６０の底面部１６０ｄには、返送機構２００を構成するダスト排出管２２０ｂが接続されており、ダスト排出管２２０ｂを通じて集塵フード１６（下流側ベルトコンベヤ１２）にダストＳＳｂが返送されることとなる。なお、下流貯留部１６０の底面部１６０ｄは、ダスト排出管２２０ｂに向かって鉛直下方に傾斜しているため、ダストをスムーズにダスト排出管２２０ｂに導くことができる。
【００５２】
上記のようにして、第２旋回空間１５４でダストが遠心分離された清浄ガスＣＡは、第２管体１５２の上部から排気管１７０に導かれる。排気管１７０は、第２旋回空間１５４の中心位置において、各第２管体１５２の閉塞部１５２ｃを鉛直方向にそれぞれ貫通する。排気管１７０の下端は、第２管体１５２内すなわち第２旋回空間１５４内に位置しており、上端は合流管１７２に接続されている。このように、排気管１７０と合流管１７２とによって集合排出部１７４が構成され、この集合排出部１７４によって、複数の第２旋回空間１５４でダストが遠心分離された後の清浄ガスＣＡが集合して（図２中、ｇｇで示す）、排風ユニット１８０によって除塵装置１００の外部に排出されることとなる。なお、排気管１７０の下端も、上記の連通管１４０と同様に、先端に向かうにしたがって径が漸増するベルマウスの曲面形状であり、気体の流速が大きい除塵装置１００系全体の圧力損失の大幅な低減が図られている。
【００５３】
排風ユニット１８０は、電動機によって駆動される排風ファン１８２を含んで構成され、排風口１８４を通じて、集合排出部１７４によって集合された清浄ガスＣＡを外部に排出する（図５参照）。なお、排風ファン１８２は、吸い込み（吐出）圧力が大きくとれ、効率がよく、騒音が少ないターボファンで構成されるとよい。
【００５４】
返送機構２００は、上流貯留部１２０に貯留されたダストＳＳａおよび下流貯留部１６０に貯留されたダストＳＳｂを吸引して、集塵フード１６（下流側ベルトコンベヤ１２）に返送する。具体的に説明すると、返送機構２００は、エジェクター２１０と、ダスト排出管２２０ａ、２２０ｂと、ダスト集合排出管２２０ｃ（返送手段）と、水噴霧部２３０とを含んで構成される。エジェクター２１０は、機械的運動部分がなく、所定の条件下での流体の運動を扱い、吸引対象流体（ここでは、ダストＳＳａ、ＳＳｂを含むガス）の吸入圧力と、駆動流体（ここでは、駆動ガス）の駆動圧力との中間の圧力で吸引対象流体を吐出することができ、圧力エネルギーを運動エネルギーに交換するものである。以下に、エジェクター２１０の具体的な構成について説明する。
【００５５】
図６は、エジェクター２１０を説明する図である。図６に示すように、エジェクター２１０は、駆動ライン接続管２１２と、駆動ガスライン２１４と、本体管２１６とを含んで構成される。駆動ライン接続管２１２は、一端側がフランジを介してダスト排出管２２０ｂに接続されるとともに、他端側がフランジを介して本体管２１６に接続される。なお、ダスト排出管２２０ｂには、ダスト排出管２２０ａが接続されているため、エジェクター２１０によって、ダストＳＳａ、ＳＳｂが強制吸引されることとなる。
【００５６】
駆動ガスライン２１４は、先端に設けられたノズル２１４ａが本体管２１６に臨むように、駆動ライン接続管２１２に固定される。駆動ガスライン２１４には、コンプレッサー２４０が接続されており、駆動ガスとして、コンプレッサー２４０から高圧の圧縮空気が供給されることとなる（図２参照）。
【００５７】
本体管２１６は、一端側がフランジを介して駆動ライン接続管２１２に接続されるとともに、他端側がフランジを介してダスト集合排出管２２０ｃに接続される。本体管２１６は、一端から他端に向かうに従って内径が漸減する入口吸込み部２１６ａと、入口吸込み部２１６ａから他端に向かって延在するとともに入口吸込み部２１６ａの内径が最も小さくなる部分と実質的に等しい内径のボディ２１６ｂと、ボディ２１６ｂから他端に向かって内径が漸増するディフューザ２１６ｃとを含んで構成される。
【００５８】
また、ディフューザ２１６ｃには、後述する水噴霧部２３０を構成する水配管２３８が固定されており、水配管２３８からディフューザ２１６ｃ内に霧吹きの原理で水が噴霧されることとなる。
【００５９】
このように、エジェクター２１０は、簡易な構造であり、摩耗や破壊、故障の原因となる回転部分や運動部分がないため調整の必要もなく、また、潤滑油が不要であるため、保守や洗浄を容易に行うことができる。また、エジェクター２１０自体がコンパクトであるため、容易に点検できる。さらに、エジェクター２１０は、フランジを介して、ダスト排出管２２０ｂ、ダスト集合排出管２２０ｃに容易に設置することができ、修復や取り替えを容易に実行することが可能となる。
【００６０】
図２に戻って説明すると、本実施形態において、エジェクター２１０は、駆動ガスとして、コンプレッサー２４０によって圧縮された圧縮空気が用いられ、制御部２５０によって、駆動される。具体的に説明すると、上流貯留部１２０には、ダストチャンバ１２０ｃ内に貯留されたダストＳＳａの堆積レベルを検知するレベル計２６０が設けられており、制御部２５０は、レベル計２６０が検知した堆積レベルが予め定められた堆積上限値（堆積閾値）以上となると、駆動ガスライン２１４に設けられた遮断弁２５２を開弁する。
【００６１】
そうすると、駆動ガスライン２１４によってエジェクター２１０に導入される圧縮空気の圧力エネルギーが、ノズル２１４ａによって運動エネルギーに変換され（減圧、加速され）、圧縮空気がボディ２１６ｂ内に噴射されることで、ノズル２１４ａの噴射出口（ボディ２１６ｂ内部）に負圧空間が形成される（ベンチュリー効果）。こうして形成された負圧空間に、外部の流体、すなわち、ダストＳＳａ、ＳＳｂを含むガスが強制吸引されることとなる。そして、ディフューザ２１６ｃによって、ダストＳＳａ、ＳＳｂを含むガスおよび圧縮空気の混合ガスが減速、昇圧されて、ダスト集合排出管２２０ｃに強制吐出される。
【００６２】
なお、ダスト排出管２２０ａ、２２０ｂには、逆止弁（チェック弁）２２２ａ、２２２ｂが設けられている。逆止弁２２２ａ、２２２ｂは、スイング式逆止弁であり、エジェクター２１０が駆動されると、上流貯留部１２０、下流貯留部１６０側に位置する逆止弁２２２ａ、２２２ｂの１次側（入口）より、エジェクター２１０側に位置する２次側（出口）の方が負圧となり、開弁されることとなる。一方、エジェクター２１０の駆動が停止されると、１次側が２次側より負圧となり閉弁されることとなる。スイング式逆止弁は、弁体がヒンジを支点に約９０度の回転動作（スイング）で開閉するフルポートな弁である。また、スイング式逆止弁は、全開時には弁体のほぼ全体が流路から外れた位置にくるため、全開時の圧力損失が小さく、かつ、ダストＳＳａ、ＳＳｂを排出する際に閉塞がなければ、上流貯留部１２０、下流貯留部１６０側を負圧にすることができるため、自動的に開閉することが可能となる。
【００６３】
こうして、エジェクター２１０によって上流貯留部１２０、下流貯留部１６０からダストＳＳａ、ＳＳｂが排出され、レベル計２６０が検知した堆積レベルが予め定められた堆積下限値に到達すると、制御部２５０は、駆動ガスライン２１４に設けられた遮断弁２５２を閉弁する。
【００６４】
なお、本実施形態では、上流サイクロン部１１０の上流貯留部１２０に滞留、貯留される粗粒および細粒のダストＳＳａが、下流サイクロン部１５０の下流貯留部１６０に滞留、貯留される微細粒および極微細粒のダストＳＳｂより早く溜まる（量が多い）ため、上流貯留部１２０にのみレベル計２６０が設けられている。レベル計２６０を備える構成により、エジェクター２１０の駆動を最小限に抑えつつ、上流貯留部１２０および下流貯留部１６０からダストが溢れてしまう事態を回避することができる。
【００６５】
また、圧縮空気を供給するコンプレッサー２４０として、アキュムレータを搭載した小容量の装置を採用することで、除塵装置１００をコンパクトにすることが可能となる。
【００６６】
水噴霧部２３０は、水槽２３２と、給水配管２３４と、ボールタップ２３６と、水配管２３８とを含んで構成される。水槽２３２には、給水配管２３４を介して工業用水ＩＷが供給され、水槽２３２は、水を貯留する。なお、給水配管２３４の水槽２３２側開口には、水槽２３２が満水位であることを検知するボールタップ２３６が設けられている。ボールタップ２３６は、フロートバルブとも称され、ボールタップ２３６を構成するフロートの浮力を利用して給水配管２３４の水槽２３２側開口を開閉し、水位を制御する。すなわち、水槽２３２に貯留された水の水位によりボールタップ２３６が上下動し、ボールタップ２３６が所定の上位置になると、給水配管２３４の水槽２３２側開口が閉じられることとなる。
【００６７】
水配管２３８は、一端側の開口が水槽２３２に貯留された水中に位置するとともに、他端側の開口が上記エジェクター２１０のディフューザ２１６ｃ内に臨んで配される。エジェクター２１０が駆動されることによってディフューザ２１６ｃ内に負圧雰囲気が形成される。したがって、形成された負圧雰囲気によって、水槽２３２に貯留された水が吸引され（サイフォン）、ディフューザ２１６ｃ内に霧吹きの原理で噴霧されることとなる。そうすると、ディフューザ２１６ｃを流れる気体と水とが衝突して、水が霧状（スプレー状）となってダストＳＳａ、ＳＳｂに衝突することとなる。
【００６８】
これにより、ダストＳＳａ、ＳＳｂは、凝集して大径化された後、ダスト集合排出管２２０ｃを通じて、集塵フード１６（下流側ベルトコンベヤ１２）に返送される。したがって、返送されたダストＷＤが再度舞い上がってしまう事態を回避できる。
【００６９】
本実施形態の除塵装置１００によれば、従来のバグフィルタ式集塵装置と比較して、小型であるため、ダクトワークを介さず、ダスト発生箇所の上部に直接搭載することができ、ダスト発生箇所からダスト混入気体を直接吸引することが可能となる（ダスト発生箇所の真上から吸引できるため）。このため、ダクトワークを介する従来構成と比較して、集塵効率を向上させることができ、オーバースペックな除塵装置とする必要がなくなり、除塵装置１００自体のコストを低減することが可能となる。また、交換可能なフィルタを用いることがないため、メンテナンスに要するコストを削減することができる。さらに、ダクトワークの設計やダクトワークの敷設自体に要するコスト、ダクトワークのメンテナンスに要するコストを削減することができる。
【００７０】
また、除塵装置１００は、上流サイクロン部１１０および下流サイクロン部１５０を備える構成により、１段のサイクロンのみの構成と比較して、粗粒ダストのみならず微細粒ダストを分離することができるため、処理後の清浄ガスＣＡをそのまま外部に排出することが可能となる。
【００７１】
また、除塵装置１００の第２旋回空間１５４（第２管体１５２）は、第１旋回空間１１４（第１管体１１２）より小径であるため、ダスト混入気体の高流速に上昇させることができ、同径のサイクロンを複数段組み合わせる構成と比較して、ダストの分離効率を向上させることができる。さらに、除塵装置１００は、可動部分がないため、構造が単純であり、メンテナンスに要するコストを低減することが可能となる。
【００７２】
そして、上記の除塵装置１００によれば、清浄ガスＣＡ中のダスト含有量を十分に低減させることができるのみならず、従来のバグフィルタ式集塵装置のようにフィルタがないため、集塵力を維持するためのフィルタの交換が不要となり、また、清掃の頻度を低減することができ、ランニングコストを小さくすることが可能となる。また、従来のバグフィルタ式集塵装置のようにフィルタがないため、大気の汚染防止の効率を向上させることができる。
【００７３】
また、従来のバグフィルタ式集塵装置と比較して、除塵装置１００全体の圧力損失を低減することができ、排風ユニット１８０の駆動動力を削減することが可能となる。さらに、バグフィルタ式集塵装置と比較して、耐熱温度、耐湿性が高いため、一般的な塵埃含有空気のみならず、多湿排ガスダスト、高温排ガスダスト、発火・爆発性粉塵等多様なダスト混入気体を除塵することができる。
【００７４】
さらに、従来のバグフィルタ式集塵装置では、回収したダストを廃棄する装置と搬送コストを要し、また、回収されたダスト分、歩留まりが低下してしまっていた。しかし、除塵装置１００では、回収したダストを、集塵フード１６（下流側ベルトコンベヤ１２）に返送（廃棄）することができるため、つまり、除塵装置１００自体がダストの清掃機能を有するため（自己清掃式であるため）、ダストの廃棄コストを削減できるばかりか、搬送物の歩留まりを向上させることが可能となる。
【００７５】
（第２実施形態：除塵装置３００）
上記第１実施形態の除塵装置１００は、複数の第２管体１５２が第１管体１１２の外方に位置している構成を例に挙げて説明した。しかし、第２管体１５２の少なくとも一部が第１管体１１２の第１旋回空間１１４内に位置していてもよい。
【００７６】
図７は、第２実施形態にかかる除塵装置３００を説明する概念図であり、図８は、図７におけるＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線断面図であり、図９は、図７におけるＩＸ−ＩＸ線断面図である。この第２実施形態の除塵装置３００は、第２管体１５２および下流貯留部３６０の配置が上記第１実施形態の除塵装置１００と異なり、その他の構成、作用については、上記第１実施形態と実質的に差異はない。したがって、ここでは、上記第１実施形態と同一の構成については同一の符号を付して説明を省略し、上記第１実施形態と異なる点についてのみ説明する。
【００７７】
第２実施形態の除塵装置３００においても、下流サイクロン部１５０は、上流サイクロン部１１０と同一軸線（図７中Ｙ−Ｙ線）の上方に直列に接続されている。また、除塵装置３００において、複数の第２管体１５２は、上端側が第１管体１１２の上方に位置し、下端側の一部が、第１管体１１２の第１旋回空間１１４内に突出している。具体的に説明すると、第１管体１１２の上面部３１２ｃには、第２管体１５２が挿通される挿通孔が複数形成されており、第２管体１５２は、その下端が上面部３１２ｃの上方から各挿通孔に挿入された状態で、第１管体１１２の上面部３１２ｃに固定されている。
【００７８】
また、下流貯留部３６０が第２管体１５２の下方であって、第１管体１１２の第１旋回空間１１４内に設けられる。より詳細に説明すると、下流貯留部３６０は、連通管１４０の導入口１４０ｂの下方に設けられ、下流貯留部３６０の内周面部３６０ａに囲繞される貫通部３６０ｆには、第１旋回空間１１４から導入口１４０ｂへダスト混入気体が導かれることとなる。このように第２管体１５２および下流貯留部３６０を配置することにより、連通管１４０を短くするとともに、下流貯留部３６０の胴径（外周面部１６０ｂ）を小さくすることができ、除塵装置３００自体をコンパクトにすることが可能となり、さらなるコストの削減と、設置スペースの削減とを実現することができる。
【００７９】
また、内周面部３６０ａの径ｄａが、本体部１４０ａの径ｄより大きくなるように構成されている。これにより、第１管体１１２から導入口１４０ｂへスムーズにダスト混入気体を導入することができる。
【００８０】
（第３実施形態：除塵装置４００）
図１０は、第３実施形態の除塵装置４００を説明する概念図であり、図１１は、図１０におけるＸＩ−ＸＩ線断面図である。この第３実施形態の除塵装置４００は、第２管体１５２の配置が上記第２実施形態の除塵装置３００と異なり、その他の構成、作用については、上記第２実施形態と実質的に差異はない。したがって、ここでは、上記第２実施形態と同一の構成については説明を省略し、上記第２実施形態と異なる点についてのみ説明する。
【００８１】
第３実施形態の除塵装置４００においては、第２管体１５２の中心軸（図１０中、Ｚで示す）を鉛直方向に対して傾斜させた状態で、複数の第２管体１５２が第１管体１１２の上面部３１２ｃに挿通、固定されている。より詳細に説明すると、複数の第２管体１５２は、第１管体１１２の上方に位置するとともに直列に接続された上端側に対して、第１管体１１２（第１旋回空間１１４）内に突出する下端側が、第１旋回空間１１４の径方向の内側（中心側）に位置している。このように第２管体１５２を配置することにより、第１管体１１２の胴径を小さくすることが可能となり、さらなるコストの削減と、設置スペースの削減とを実現することができる。
【００８２】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００８３】
例えば、上記実施形態において、鉛直ダクト１０２ｂが、上流サイクロン部１１０の中心軸（側壁部１１２ａの中心軸）に対して、偏心して設置される構成を例に挙げて説明した。しかし、鉛直ダクト１０２ｂは、上流サイクロン部１１０の中心軸（側壁部１１２ａの中心軸）を軸心として設置されてもよい。
【００８４】
また、上記実施形態において、エジェクター２１０の駆動ガスとしてコンプレッサー２４０が圧縮した圧縮空気を用いる構成を例に挙げて説明した。しかし、コンプレッサー２４０が圧縮した圧縮空気に限らず、工場ラインから圧縮空気をエジェクター２１０に供給してもよいし、他のガスをエジェクター２１０に供給してもよい。
【００８５】
また、上記第１実施形態において第２旋回空間１５４が、第１旋回空間１１４よりも径が小さい構成を例に挙げて説明した。しかし、第２旋回空間１５４は、第１旋回空間１１４よりも、容積が小さくてもよいし、第１旋回空間１１４よりも周長が小さくてもよい。
【００８６】
また、上記第１実施形態において、すべての第２管体１５２の下端が下流貯留部１６０内に配される構成、つまり、下流サイクロン部１５０に１の下流貯留部１６０が設けられる構成を例に挙げて説明した。しかし、第２管体１５２ごとに下流貯留部１６０が設けられていてもよい。
【００８７】
また上記第１実施形態では、上流サイクロン部１１０と下流サイクロン部１５０とを備える除塵装置１００を例に挙げて説明した。しかし、上流サイクロン部を円筒形状にし、下流サイクロン部１５０に代えて、払落し機構を付けたフィルタを備えるとしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００８８】
本発明は、ダスト発生箇所で生じたダスト混入気体を除塵して、清浄ガスを外部に排出する除塵装置に利用することができる。
【符号の説明】
【００８９】
１００  除塵装置
１１０  上流サイクロン部
１１２  第１管体
１１４  第１旋回空間
１２０  上流貯留部
１４０  連通管
１４０ａ  本体部
１４０ｂ  導入口
１４０ｄ  分流口
１５０  下流サイクロン部
１５２  第２管体
１５４  第２旋回空間
１６０  下流貯留部
１６０ｆ  貫通部
１７０  排気管
１７４  集合排出部
１８０  排風ユニット
２１０  エジェクター
２２０ｃ  ダスト集合排出管（返送手段）
２３０  水噴霧部
２３２  水槽
２３８  水配管
２６０  レベル計
３００  除塵装置
３６０  下流貯留部
４００  除塵装置
【図１】
2017077503.tif 000003
【図２】
2017077503.tif 000004
【図３】
2017077503.tif 000005
【図４】
2017077503.tif 000006
【図５】
2017077503.tif 000007
【図６】
2017077503.tif 000008
【図７】
2017077503.tif 000009
【図８】
2017077503.tif 000010
【図９】
2017077503.tif 000011
【図１０】
2017077503.tif 000012
【図１１】
2017077503.tif 000013