(57)【要約】【課題】移動原点を設定する作業の効率を向上させると共に構成を簡易化して製造コストを低減する。【解決手段】移動体２３を移動原点Ｐｏから指定された距離だけ矢印Ａの方向に移動させる移動機構２２と、移動機構２２を制御する処理を実行する処理部と、矢印Ａの方向に沿って離間した状態で移動体２３に取り付けられた遮蔽板４１ａ，４１ｂと、移動体２３の移動に伴う遮蔽板４１ａ，４１ｂの最大移動範囲の中間位置Ｐｍに配置されて中間位置Ｐｍに位置した遮蔽板４１ａ，４１ｂを検出するセンサ２５とを備え、処理部は、遮蔽板４１ａ，４１ｂのいずれもがセンサ２５によって検出されていない状態において移動機構２２に対して矢印Ａ１の向きに移動体２３を移動させ、センサ２５によって遮蔽板４１ａが最初に検出されたときの移動体２３における予め決められた部位の位置に基づいて移動原点Ｐｏを設定する設定処理を実行する。【選択図】図８
2017154220.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動体を移動原点から指定された距離だけ直線方向に移動させる移動機構と、当該移動機構を制御する処理を実行する処理部とを備えた直動装置であって、
前記直線方向に沿って離間した状態で前記移動体に取り付けられた一対の被検出部と、前記移動体の移動に伴う前記各被検出部の前記直線方向に沿った最大移動範囲の中間位置に配置されて当該中間位置に当該各被検出部が位置したときに当該各被検出部を検出する第１検出部とを備え、
前記処理部は、前記各被検出部のいずれもが前記第１検出部によって検出されていない状態において前記移動機構に対して前記直線方向におけるいずれか一方の向きに前記移動体を移動させ、前記第１検出部によっていずれか一方の前記被検出部が最初に検出されたときの前記移動体における予め決められた部位の位置に基づいて前記移動原点を設定する設定処理を実行する直動装置。
【請求項２】
前記いずれか一方の被検出部が前記中間位置に位置しているときに前記移動体に付勢力を加える付勢部と、前記付勢力を検出する第２検出部とを備え、
前記処理部は、前記設定処理を開始した際に第２検出部によって予め規定された値以上の付勢力が検出されているときに、前記移動機構に対して前記各被検出部のいずれもが前記第１検出部によって検出されていない位置に前記移動体を移動させた後に前記いずれか一方の向きに当該移動体を移動させる請求項１記載の直動装置。
【請求項３】
前記各被検出部が一体に形成されている請求項１または２記載の直動装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の直動装置を備えて基板に対してプローブをプロービングさせるプロービング装置と、前記基板にプロービングされている前記プローブを介して入出力する電気信号に基づいて当該基板を検査する検査部とを備えている基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、移動体を直線方向に移動させる直動装置、およびその直動装置を備えた基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の直動装置として、下記特許文献１に開示された直動装置が知られている。この直動装置は、フレームと、フレームの両端に配設された一対の軸受けによって回転自在に支持された螺旋溝を有する送り軸と、送り軸の回転によって移動させられる移動テーブルと、送り軸を回転させるモータと、モータを制御する制御回路と、モータに連結されてモータのロータの回転位置を検出するインクリメンタリエンコーダと、フレーム上のモータ側に配設されたテーブル原点センサと、フレームの両端部にそれぞれ配設された一対のリミッタセンサとを備えて構成されている。この場合、この種の直動装置では、移動テーブルを移動させる際の移動原点を設定する必要があるが、この直動装置では、次のようにして移動原点を設定している。まず、モータを作動させて送り軸を回転させ、移動テーブルをテーブル原点センサの配設位置に向けて移動させる。次いで、テーブル原点センサが移動テーブルを検出してテーブル原点信号を出力した時点でモータを停止させる。続いて、モータのロータ（送り軸を）を手動で回転させ、インクリメンタリエンコーダから回転原点信号を検出した時点で回転を停止して制御回路内のエンコーダカウンタをリセットする。次いで、回転原点信号とテーブル原点信号とが約１８０度の位相差を持つように、テーブル原点センサの位置の調整（テーブル原点センサの移動）、またはインクリメンタリエンコーダの取り付け角度の調整を行う。この場合、これらの調整を行った後のテーブル原点センサの位置が移動原点となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−６１７９号公報（第３−４頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記の直動装置には、解決すべき以下の課題がある。すなわち、この直動装置では、上記したように、テーブル原点センサの位置の調整やインクリメンタリエンコーダの取り付け角度の調整を手作業で行って原点を設定しているため、作業効率が悪いという課題が存在する。また、この直動装置では、テーブル原点センサの他に、移動テーブルのオーバーランを防止するための一対のリミッタセンサを備えている。このため、この直動装置には、３つのセンサを用いる分、構成が複雑で製造コストが上昇するという課題も存在する。
【０００５】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、移動原点を設定する作業の効率を向上させると共に構成を簡易化して製造コストを低減し得る直動装置および基板検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の直動装置は、移動体を移動原点から指定された距離だけ直線方向に移動させる移動機構と、当該移動機構を制御する処理を実行する処理部とを備えた直動装置であって、前記直線方向に沿って離間した状態で前記移動体に取り付けられた一対の被検出部と、前記移動体の移動に伴う前記各被検出部の前記直線方向に沿った最大移動範囲の中間位置に配置されて当該中間位置に当該各被検出部が位置したときに当該各被検出部を検出する第１検出部とを備え、前記処理部は、前記各被検出部のいずれもが前記第１検出部によって検出されていない状態において前記移動機構に対して前記直線方向におけるいずれか一方の向きに前記移動体を移動させ、前記第１検出部によっていずれか一方の前記被検出部が最初に検出されたときの前記移動体における予め決められた部位の位置に基づいて前記移動原点を設定する設定処理を実行する。
【０００７】
また、請求項２記載の直動装置は、請求項１記載の直動装置において、前記いずれか一方の被検出部が前記中間位置に位置しているときに前記移動体に付勢力を加える付勢部と、前記付勢力を検出する第２検出部とを備え、前記処理部は、前記設定処理を開始した際に第２検出部によって予め規定された値以上の付勢力が検出されているときに、前記移動機構に対して前記各被検出部のいずれもが前記第１検出部によって検出されていない位置に前記移動体を移動させた後に前記いずれか一方の向きに当該移動体を移動させる。
【０００８】
また、請求項３記載の直動装置は、請求項１または２記載の直動装置において、前記各被検出部が一体に形成されている。
【０００９】
また、請求項４記載の基板検査装置は、請求項１から３のいずれかに記載の直動装置を備えて基板に対してプローブをプロービングさせるプロービング装置と、前記基板にプロービングされている前記プローブを介して入出力する電気信号に基づいて当該基板を検査する検査部とを備えている。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１記載の直動装置、および請求項４記載の基板検査装置によれば、一対の被検出部と各被検出部の最大移動範囲の中間位置に配置された第１検出部とを備え、処理部が、各被検出部のいずれもが第１検出部によって検出されていない状態において直線方向におけるいずれか一方の向きに移動体を移動させ、第１検出部によっていずれか一方の被検出部が最初に検出されたときの移動体における予め決められた部位の位置に基づいて移動原点を設定することにより、第１検出部を移動（第１検出部の配置位置を変更）することなく、移動原点を自動的に設定することができる。このため、この直動装置および基板検査装置によれば、テーブル原点センサの位置の調整を手作業で行って原点を設定する従来の直動装置と比較して、移動原点を設定する作業の効率を十分に向上させることができる。また、この直動装置および基板検査装置によれば、移動原点を設定した後に直動装置を用いて移動体を移動させる処理（例えば、プローブをプロービングさせる処理）において、第１検出部によって被検出部が検出されたときに処理部が移動機構による移動体の移動を停止させることで、移動体のオーバーランを防止することができるため、オーバーラン防止用の一対のリミッタセンサをテーブル原点センサとは別に備えた（つまり、３つのセンサを備えた）従来の直動装置と比較して、センサの数が少ない分、構成を簡易化して製造コストを十分に低減することができる。
【００１１】
また、請求項２記載の直動装置、および請求項４記載の基板検査装置によれば、いずれか一方の被検出部が中間位置に位置しているときに移動体に付勢力を加える付勢部と、付勢力を検出する第２検出部とを備え、処理部が、設定処理を開始した際に第２検出部によって予め規定された値以上の付勢力が検出されているときに、各被検出部のいずれもが第１検出部によって検出されていない位置に移動体を移動させた後にいずれか一方の向きに移動体を移動させることにより、設定処理を開始した際に各被検出部のどちらが中間位置に位置しているか（第１検出部が各被検出部のどちらを検出しているか）が不明な場合においても、移動原点を確実に設定することができる。
【００１２】
また、請求項３記載の直動装置、および請求項４記載の基板検査装置によれば、各被検出部を一体に形成したことにより、別体に形成した各被検出部を移動体に別々に取り付ける構成と比較して、各被検出部を移動体に取り付ける際に位置決めを正確かつ容易に行うことができる。また、各被検出部を一体に形成したことにより、各被検出部を別体に形成した構成と比較して、製造コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】プロービング装置３の構成を示す平面図である。
【図３】直動装置１１ａ，１１ｂの平面図である。
【図４】図３におけるＸＸ線断面図である。
【図５】直動装置１１ａ，１１ｂの正面図である。
【図６】設定処理５０のフローチャートである。
【図７】設定処理５０を説明する第１の説明図である。
【図８】設定処理５０を説明する第２の説明図である。
【図９】設定処理５０を説明する第３の説明図である。
【図１０】設定処理５０を説明する第４の説明図である。
【図１１】設定処理５０を説明する第５の説明図である。
【図１２】設定処理５０を説明する第６の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、直動装置および基板検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１５】
最初に、基板検査装置の一例としての図１に示す基板検査装置１の構成について説明する。基板検査装置１は、同図に示すように、基板保持部２、プロービング装置３、操作部４、記憶部５および処理部６を備えて、基板１００（図２参照）を検査可能に構成されている。
【００１６】
基板保持部２は、図２に示すように、基板１００をクランプするクランプ部２ａを備え、基板１００を保持可能に構成されている。
【００１７】
プロービング装置３は、図２に示すように、直動装置１１ａ，１１ｂ（以下、区別しないときには「直動装置１１」ともいう）、スライド機構１２および上下動装置１３を備えて構成され、処理部６の制御に従って基板１００に対してプローブ１５をプロービングさせる。
【００１８】
直動装置１１ａ，１１ｂは、図３，５に示すように、フレーム２１、移動機構２２、移動体２３、遮蔽部２４、センサ２５およびストッパー２６ａ，２６ｂをそれぞれ備えて構成されている。フレーム２１は、両図に示すように、長方形の板状に形成されている。
【００１９】
移動機構２２は、図３，５に示すように、ボールねじ３１、軸受け３２ａ，３２ｂおよびモータ３３を備えてフレーム２１上に配設されている。ボールねじ３１は、ねじ山（図示せず）が形成されたねじ軸３１ａと、ねじ軸３１ａの回転に伴ってねじ軸３１ａの長さ方向に移動させられるナット３１ｂとを備えている。軸受け３２ａ，３２ｂは、フレーム２１の両端部にそれぞれ配設されて、ねじ軸３１ａの両端部を回転可能に支持する。
【００２０】
モータ３３は、処理部６の制御に従って作動して、ねじ軸３１ａを回転させる。この場合、ボールねじ３１は、ねじ軸３１ａの長さ方向がフレーム２１の長さ方向（直線方向に相当し、図３，５に示す矢印Ａの方向）に沿うように配設されている。このため、ナット３１ｂおよびナット３１ｂに固定されている移動体２３は、フレーム２１の長さ方向（直線方向）に沿って移動させられる。
【００２１】
移動体２３は、図３，５に示すように、板状に形成されて、ボールねじ３１のナット３１ｂの上に固定されている。この場合、図２に示すように、直動装置１１ａの移動体２３の上には、直動装置１１ｂのフレーム２１の一端部が固定される。
【００２２】
遮蔽部２４は、図５に示すように、２つの遮蔽板４１ａ，４１ｂ（以下、区別しないときには「遮蔽板４１」ともいう）と、遮蔽板４１ａ，４１ｂを連結する連結部４２とを備えて構成され、これらが一体に形成されている。また、遮蔽部２４は、移動体２３に取り付けられている。この場合、遮蔽部２４の各遮蔽板４１は、被検出部に相当し、同図に示すように、センサ２５の設置位置である中間位置Ｐｍに位置したときに、図４に示すように、センサ２５から出力される検出用の光Ｌを遮蔽する機能を有している。また、遮蔽板４１ａ，４１ｂの配設位置は、移動体２３が軸受け３２ａ，３２ｂに接触する位置よりもやや手前に位置したときに中間位置Ｐｍに位置する（つまり、センサ２５に検出される）ように規定されている。
【００２３】
センサ２５は、第１検出部に相当し、一例として、透過形の光学式センサで構成されている。また、センサ２５は、図４に示すように、移動体２３の移動に伴うフレーム２１の直線方向（矢印Ａの方向）に沿った遮蔽板４１ａ，４１ｂの最大移動範囲Ｗ（図５参照）の中間位置Ｐｍに配置されて、中間位置Ｐｍ（配置位置）に遮蔽板４１ａ，４１ｂが位置したときに遮蔽板４１ａ，４１ｂを検出して検出信号を出力する。この場合、この例では、最大移動範囲Ｗの中心位置を中間位置Ｐｍとして規定しているが、最大移動範囲Ｗにおける中心位置以外の任意の中間の位置を中間位置Ｐｍとして規定することができる。
【００２４】
ストッパー２６ａは、図３，５に示すように、移動機構２２の軸受け３２ａに配設され、移動体２３が予め決められた停止位置Ｐｓ１（図５参照）を超えて軸受け３２ａ側に移動したときに移動体２３に当接して移動体２３の移動（オーバーラン）を規制する機能を有している。
【００２５】
ストッパー２６ｂは、図３，５に示すように、コイルバネ等の弾性部材を備えて構成され、移動機構２２の軸受け３２ｂに配設されている。このストッパー２６ｂは、遮蔽板４１ａ（いずれか一方の被検出部）が中間位置Ｐｍ（センサ２５の配設位置）に位置しているときに先端部が移動体２３に当接し、移動体に付勢力を加える付勢部として機能する。また、ストッパー２６ｂは、移動体２３が予め決められた停止位置Ｐｓ２（図５参照）を超えて軸受け３２ｂ側に移動したときに移動体２３に当接して移動体２３の移動（オーバーラン）を規制する機能も有している。
【００２６】
スライド機構１２は、図２に示すように、直動装置１１ａのフレーム２１と平行に配設されたレール１２ａと、レール１２ａ上をスライド可能なスライダ１２ｂとを備えて構成されている。この場合、同図に示すように、直動装置１１ａの移動体２３およびスライダ１２ｂの間に直動装置１１ｂのフレーム２１が掛け渡されており、この構成により、直動装置１１ｂは、直動装置１１ａにおける矢印Ａの方向（長さ方向）に移動することが可能となっている。
【００２７】
上下動装置１３は、図２に示すように、直動装置１１ｂにおける移動体２３に配設されて、処理部６の制御に従い、基板保持部２に保持されている基板１００に対して接離する方向にプローブ１５を移動させる。
【００２８】
操作部４は、後述する設定処理５０（図６参照）の実行を指示するための操作ボタン、や検査の実行を指示するための操作ボタンを備え、これらの操作ボタンが操作されたときに操作信号を出力する。
【００２９】
記憶部５は、基板１００におけるプロービング位置（プローブ１５のプロービングさせる位置）を示す基板データを記憶する。また、記憶部５は、処理部６によって実行される設定処理５０において設定される移動原点Ｐｏ（図８参照）を示すデータを記憶する。
【００３０】
処理部６は、操作部４から出力される操作信号に従って基板検査装置１を構成する各構成要素を制御すると共に各種の処理を実行する。具体的には、処理部６は、図６に示す設定処理５０を実行して、移動原点Ｐｏを設定する。この場合、移動原点Ｐｏは、プロービング装置３における直動装置１１の移動機構２２が移動体２３を移動させる際の（移動距離を特定する際の）基準位置となる。また、処理部６は、第２検出部として機能し、設定処理５０において、直動装置１１の移動機構２２におけるモータ３３のトルク（ストッパー２６ｂの付勢力）を検出する。また、処理部６は、移動機構２２による移動体２３の移動を制御する。この場合、処理部６は、移動原点Ｐｏに基づいて移動体２３の移動距離を特定する。また、処理部６は、センサ２５によって遮蔽板４１が検出されたときに移動機構２２による移動体２３の移動を停止させて、移動体２３のオーバーランを防止する。また、処理部６は、検査部として機能し、基板１００にプロービングされているプローブ１５を介して入出力する電気信号に基づいて基板１００を検査する。
【００３１】
次に、基板検査装置１を用いて基板１００を検査する方法、およびその際の基板検査装置１の各部の動作について、図面を参照して説明する。
【００３２】
基板１００の検査に先立ち、プロービング装置３における直動装置１１ａ，１１ｂの移動原点Ｐｏを設定するために、操作部４を操作して、図６に示す設定処理５０の実行を指示する。この際に、操作部４が操作信号を出力し、処理部６が操作信号に従って設定処理５０を実行する。なお、処理部６は、直動装置１１ａ，１１ｂの双方についてそれぞれ設定処理５０を実行して移動原点Ｐｏを設定するが、直動装置１１ａについての設定処理５０のみ、以下説明する。
【００３３】
この設定処理５０では、処理部６は、直動装置１１ａのセンサ２５が遮蔽板４１ａ，４１ｂのいずれかを検出しているか否かを判別する（ステップ５１）。この場合、図７に示すように、遮蔽板４１ａ，４１ｂのいずれもが中間位置Ｐｍに位置していないときには、センサ２５が遮蔽板４１ａ，４１ｂのいずれも検出していないため、処理部６は、ステップ５１において、その旨（検出していない旨）を判別し、次いで、ステップ５６を実行する。このステップ５６では、処理部６は、直動装置１１ａにおける移動機構２２のモータ３３を制御してボールねじ３１のねじ軸３１ａを回転させて、移動体２３を矢印Ａ１の向き（直線方向におけるいずれか一方の向きに相当し、同図における左向き）に移動させる。続いて、処理部６は、センサ２５が遮蔽板４１ａ，４１ｂのいずれかを検出したか否かを判別する（ステップ５７）。この場合、処理部６は、ステップ５７において、センサ２５が遮蔽板４１ａ，４１ｂのいずれも検出していないと判別したときには、ステップ５６を実行して、矢印Ａ１の向きでの移動体２３の移動を継続させる。
【００３４】
次いで、図８に示すように、遮蔽板４１ａが中間位置Ｐｍ（センサ２５の配置位置）に位置したときには、センサ２５が遮蔽板４１ａを検出して検出信号を出力し、処理部６が、ステップ５７においてセンサ２５が遮蔽板４１ａ，４１ｂのいずれかを検出したと判別する。この際には、処理部６は、同図に示すように、そのときの移動体２３における予め決められた位置（この例では、矢印Ａ１の向きにおける下流側の端部の位置）に基づいて移動原点Ｐｏを設定する（ステップ５８）。一例として、処理部６は、センサ２５が遮蔽板４１ａ，４１ｂのいずれかを検出したと判別したときの移動体２３における矢印Ａ１の向きの下流側の端部の位置から矢印Ａ１の向きとは逆向き（同図に示す矢印Ａ２の向き）に予め決められた距離（一例として、２ｍｍ程度：以下「オフセット分」ともいう）だけ離間した位置を移動原点Ｐｏとして設定する。続いて、処理部６は、移動原点Ｐｏを示すデータを記憶部５に記憶させて設定処理５０を終了する。この場合、この例では、同図に示すように、直動装置１１ａにおける矢印Ａ１の向きの下流側に移動原点Ｐｏが設定される。なお、処理部６は、移動体２３の位置および移動原点Ｐｏを、モータ３３の初期状態からの回転量に基づいて特定する。この場合、移動原点Ｐｏに対応するモータ３３の回転量を示すデータを、移動原点Ｐｏを示すデータとして記憶部５に記憶させることもできる。
【００３５】
一方、図９に示すように、設定処理５０を開始したときに遮蔽板４１ｂが中間位置Ｐｍに位置しているときには、センサ２５が遮蔽板４１ｂを検出しているため、処理部６は、ステップ５１において、センサ２５が遮蔽板４１ａ，４１ｂのいずれかを検出していると判別し、続いて、直動装置１１ａのモータ３３を制御して移動体２３を矢印Ａ１の向き（同図における左向き）に移動させる（ステップ５２）。次いで、処理部６は、モータ３３のトルクを検出し、トルクが規定値以上であるか否かを判別する（ステップ５３）。この場合、移動体２３を移動させる（ボールねじ３１を駆動する）のに必要なトルクよりもやや大きい値に規定値とて規定されている。
【００３６】
ここで、図９に示すように、移動体２３がストッパー２６ｂに当接していない状態では、移動の向き（矢印Ａ１の向き）とは逆の矢印Ａ２の向きのストッパー２６ｂの付勢力が移動体２３には加えられないため、モータ３３のトルクが規定値未満となっている。このため、この状態では、処理部６は、ステップ５３において、モータ３３のトルクが規定値以上ではない（つまり、ストッパー２６ｂの付勢力が加えられていない）と判別し、上記したステップ５１を実行する。
【００３７】
この場合、センサ２５が遮蔽板４１ｂを検出しているときには、処理部６は、ステップ５１においてその旨を判別し、ステップ５２を実行して矢印Ａ１の向きでの移動体２３の移動を継続させ、続いて、ステップ５３を実行する。つまり、センサ２５が遮蔽板４１ｂを検出しなくなるまで繰り返してステップ５１〜５３を実行する。次いで、センサ２５が遮蔽板４１ｂを検出しなくなるまで移動体２３が矢印Ａ１の向きに移動したときには、処理部６は、ステップ５１においてセンサ２５が遮蔽板４１ａ，４１ｂのいずれも検出していないと判別し、続いて、上記したステップ５６〜５８を実行して、移動原点Ｐｏを設定し、移動原点Ｐｏを示すデータを記憶部５に記憶させて設定処理５０を終了する。
【００３８】
また、図１０に示すように、設定処理５０を開始したときに遮蔽板４１ａが中間位置Ｐｍに位置しているときにも、センサ２５が遮蔽板４１ａを検出しているため、処理部６は、ステップ５１において、センサ２５が遮蔽板４１ａ，４１ｂのいずれかを検出していると判別し、次いで、直動装置１１ａのモータ３３を制御して移動体２３を矢印Ａ１の向き（同図における左向き）に移動させる（ステップ５２）。続いて、処理部６は、上記したステップ５３を実行してモータ３３のトルクが規定値以上であるか否かを判別する。
【００３９】
ここで、図１０に示すように、移動体２３がストッパー２６ｂに当接している状態では、移動の向き（矢印Ａ１の向き）とは逆の矢印Ａ２の向きの付勢力がストッパー２６ｂよって移動体２３に加えられるため、モータ３３のトルクが規定値以上となる。このため、この状態では、処理部６は、ステップ５３において、モータ３３のトルクが規定値以上である（つまり、ストッパー２６ｂの付勢力が加えられている）と判別し、次いで、直動装置１１ａのモータ３３を制御して移動体２３を矢印Ａ２の向き（同図における右向き）に移動させる（ステップ５４）。
【００４０】
続いて、処理部６は、センサ２５が遮蔽板４１ａ，４１ｂのいずれかを検出したか否かを判別する（ステップ５５）。この場合、センサ２５が遮蔽板４１ａを検出しているときには、処理部６は、ステップ５５においてその旨を判別し、ステップ５４を実行して矢印Ａ２の向きでの移動体２３の移動を継続させ、次いで、ステップ５５を実行する。つまり、センサ２５が遮蔽板４１ａを検出しなくなるまで繰り返してステップ５４，５５を実行する。
【００４１】
続いて、図１１に示すように、センサ２５が遮蔽板４１ａを検出しなくなるまで（遮蔽板４１ａが中間位置Ｐｍから外れるまで）移動体２３が矢印Ａ２の向きに移動したときには、処理部６は、ステップ５５においてセンサ２５が遮蔽板４１ａ，４１ｂのいずれも検出していないと判別し、次いで、上記したステップ５６〜５８を実行し、図１２に示すように、移動体２３を矢印Ａ１の向きに移動させて移動原点Ｐｏを設定し、移動原点Ｐｏを示すデータを記憶部５に記憶させて設定処理５０を終了する。以上により、移動原点Ｐｏの設定が完了する。
【００４２】
上記したように、この基板検査装置１では、遮蔽板４１ａ（いずれか一方の被検出部）が中間位置Ｐｍに位置しているときに移動体２３に付勢力を加えるストッパー２６ｂを備え、処理部６がモータ３３のトルクが規定値以上であるか否かを判別することによってストッパー２６ｂの付勢力を検出する第２検出部として機能する。また、この基板検査装置１では、設定処理５０を開始した際に処理部６がストッパー２６ｂの付勢力を検出したときには、各遮蔽板４１ａ，４１ｂのいずれもがセンサ２５によって検出されていない位置に移動体２３を移動させた後に矢印Ａ１の向きに移動体２３を移動させる。このため、この基板検査装置１では、設定処理５０を開始した際に遮蔽板４１ａ，４１ｂのどちらが中間位置Ｐｍに位置しているか（センサ２５によって検出されているか）が不明な場合においても、移動原点Ｐｏを確実に設定することが可能となっている。
【００４３】
続いて、基板１００を検査する際には、基板保持部２に載置した基板１００をクランプ部２ａで固定して基板保持部２に基板１００を保持させる。次いで、操作部４を操作して検査の開始を指示する。これに応じて、処理部６が基板データおよび移動原点Ｐｏを示すデータを記憶部５から読み出す。続いて、処理部６は、基板データによって示される基板１００におけるプロービング位置（プローブ１５をプロービングさせる位置）および移動原点Ｐｏに基づいて、プローブ１５を移動させるべき移動距離を特定し、その移動距離だけプロービング装置３における各直動装置１１の各移動体２３を移動させるのに必要な各ボールねじ３１における各ねじ軸３１ａの回転量を特定する。
【００４４】
次いで、処理部６は、各モータ３３を制御して各ねじ軸３１ａを回転させることにより、プローブ１５がプロービング位置の上方に位置するように各移動体２３を移動させる。続いて、処理部６は、プロービング装置３の上下動装置１３を制御して、プローブ１５を基板１００に近接させる。これにより、プローブ１５がプロービング位置にプロービングされる。
【００４５】
この場合、処理部６は、プローブ１５をプロービングさせる処理においては、センサ２５によって遮蔽板４１が検出されたときに、移動機構２２を制御して移動体２３の移動を停止させる。このような制御を行うことで、オーバーラン防止用のリミッタセンサをセンサ２５とは別に設けることなく、移動体２３のオーバーランを防止することが可能となっている。
【００４６】
次いで、処理部６は、図外の信号供給部を制御して検査用の電気信号を出力させる。この際に、電気信号がプローブ１５を介して基板１００に出力され、これに伴ってプローブ１５を介して電気信号が入力する。続いて、処理部６は、プローブ１５を介して入出力する電気信号に基づいて物理量を測定し、その物理量の測定値に基づいて基板１００の良否を検査する。
【００４７】
このように、この直動装置１１および基板検査装置１によれば、一対の遮蔽板４１ａ，４１ｂと遮蔽板４１ａ，４１ｂの最大移動範囲Ｗの中間位置Ｐｍに配置されたセンサ２５とを備え、処理部６が、遮蔽板４１ａ，４１ｂのいずれもがセンサ２５によって検出されていない状態において矢印Ａ１の向き（直線方向におけるいずれか一方の向き）に移動体２３を移動させ、センサ２５によって遮蔽板４１ａが最初に検出したときの移動体２３における予め決められた部位の位置に基づいて移動原点Ｐｏを設定することにより、センサ２５を移動（センサ２５の配置位置を変更）することなく、移動原点Ｐｏを自動的に設定することができる。このため、この直動装置１１および基板検査装置１によれば、テーブル原点センサの位置の調整を手作業で行って原点を設定する従来の直動装置と比較して、移動原点Ｐｏを設定する作業の効率を十分に向上させることができる。また、この直動装置１１および基板検査装置１によれば、移動原点Ｐｏを設定した後に直動装置１１を用いて移動体２３を移動させる処理（上記の例では、プローブ１５をプロービングさせる処理）において、センサ２５によって遮蔽板４１が検出されたときに処理部６が移動機構２２による移動体２３の移動を停止させることで、移動体２３のオーバーランを防止することができるため、オーバーラン防止用の一対のリミッタセンサをテーブル原点センサとは別に備えた（つまり、３つのセンサを備えた）従来の直動装置と比較して、センサの数が少ない分、構成を簡易化して製造コストを十分に低減することができる。
【００４８】
また、この直動装置１１および基板検査装置１によれば、遮蔽板４１ａが中間位置Ｐｍに位置しているときに移動体２３に付勢力を加えるストッパー２６ｂを備え、処理部６が設定処理５０を開始した際に予め規定された規定値以上の付勢力（この例ではトルク）を検出したときに、遮蔽板４１ａ，４１ｂのいずれもがセンサ２５によって検出されていない位置に移動体２３を移動させた後に矢印Ａ１の向きに移動体２３を移動させることにより、設定処理５０を開始した際に遮蔽板４１ａ，４１ｂのどちらが中間位置Ｐｍに位置しているか（センサ２５が遮蔽板４１ａ，４１ｂのどちらを検出しているか）が不明な場合においても、移動原点Ｐｏを確実に設定することができる。
【００４９】
また、この直動装置１１および基板検査装置１によれば、遮蔽板４１ａ，４１ｂを一体に形成したことにより、別体に形成した遮蔽板４１ａ，４１ｂを移動体２３に別々に取り付ける構成と比較して、遮蔽板４１ａ，４１ｂを移動体２３に取り付ける際に位置決めを正確かつ容易に行うことができる。また、遮蔽板４１ａ，４１ｂを一体に形成したことにより、遮蔽板４１ａ，４１ｂを別体に形成した構成と比較して、製造コストを低減することができる。
【００５０】
なお、直動装置および基板検査装置は、上記の構成に限定されない。例えば、設定処理５０において、遮蔽板４１ａを遮蔽板４１ａ，４１ｂ（一対の被検出部）のいずれか一方とし、矢印Ａ１の向きを矢印Ａの方向（直線方向）におけるいずれか一方の向きとして、矢印Ａ１の向きの下流側（図８における左側）に移動原点Ｐｏを設定する例について上記したが、設定処理５０において、遮蔽板４１ｂを一対の被検出部のいずれか一方とし、矢印Ａ２の向きを直線方向におけるいずれか一方の向きとして、矢印Ａ２の向きの下流側（図８における右側）に移動原点Ｐｏを設定することもできる。この場合、この構成において、コイルバネ等の弾性部材を備えてストッパー２６ａを構成し、ストッパー２６ａを付勢部として機能させることで、上記した直動装置１１と同様の効果を実現することができる。
【００５１】
また、移動体２３における予め決められた位置として、矢印Ａ１の向きにおける下流側の端部の位置を採用した例について上記したが、移動体２３の中央部の位置や、矢印Ａ１の向きにおける上流側の端部の位置などの任意の位置を予め決められた位置として規定することができる。また、２ｍｍ程度のオフセット分を設ける例について上記したが、オフセット分は、２ｍｍに限定されず任意の数値に規定することができる。また、オフセット分を設けない構成を採用することもできる。
【００５２】
また、ストッパー２６ｂが付勢部として機能する例について上記したが、移動体２３のオーバーランを防止する機能のみを有するストッパー２６ｂを用いると共に、ストッパー２６ｂとは別に付勢部を設ける構成を採用することもできる。また、透過形の光学式センサであるセンサ２５を第１検出部として用いる構成例について上記したが、反射形の光学式センサや機械式のセンサを第１検出部として用いる構成を採用することもできる。
【００５３】
また、遮蔽板４１ａ，４１ｂを連結部４２で連結してこれらを一体に形成した遮蔽部２４を用いる例について上記したが、別体に形成した遮蔽板４１ａ，４１ｂを用いる構成を採用することもできる。
【００５４】
また、直動装置１１を基板検査装置１に搭載した例について上記したが、基板検査装置１以外の各種の装置に直動装置１１を搭載することができる。
【符号の説明】
【００５５】
１  基板検査装置
３  プロービング装置
６  処理部
１１ａ，１１ｂ  直動装置
１５  プローブ
２１  フレーム
２２  移動機構
２３  移動体
２４  遮蔽部
２５  センサ
２６ｂ  ストッパー
４１ａ，４１ｂ  遮蔽板
４２  連結部
Ｐｍ  中間位置
Ｐｏ  移動原点
Ｗ  最大移動範囲
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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