(57)【要約】【課題】水素の損失量を削減し、水素溶解液の連続的な供給が可能な製造装置を提供する。【解決手段】対象となる液体を貯留するとともに、切り替えが可能な２以上の反応器２と、反応器２に水素を供給する水素供給機構４と、反応器２から未溶解の水素を回収する水素回収機構７と、を備える水素溶解液の製造装置１を選択する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体に水素を溶解させて水素溶解液を製造する装置であって、
対象となる液体を貯留するとともに、切り替えが可能な２以上の反応器と、
前記反応器に水素を供給する水素供給機構と、
前記反応器から未溶解の水素を回収する水素回収機構と、を備える水素溶解液の製造装置。
【請求項２】
前記反応器が、内円筒と外円筒とを有する二重円筒式反応器であり、前記内円筒と前記外円筒との間に前記液体を貯留する、請求項１に記載の水素溶解液の製造装置。
【請求項３】
前記外円筒に対して前記内円筒が回転可能である、請求項２に記載の水素溶解液の製造装置。
【請求項４】
前記水素供給機構が、前記二重円筒式反応器ごとに１以上の供給口を有しており、
前記供給口の少なくとも１つが、前記二重円筒式反応器の下方側から水素を供給可能に設けられている、請求項２又は３に記載の水素溶解液の製造装置。
【請求項５】
前記反応器内に微細化された水素を供給するガス微細化機構を備える、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の水素溶解液の製造装置。
【請求項６】
前記反応器から排出される気体中の水素濃度を測定するガス分析機構を備える、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の水素溶解液の製造装置。
【請求項７】
前記液体が、水又は培養液である、請求項１乃至６のいずれか一項に記載の水素溶解液の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水素溶解液の製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、健康増進に効果があるとして、水素水が健康食品の一つとして取り上げられている。近年では、水素水が活性酸素を減らし、細胞を守るとして、パーキンソン病の治療薬としての可能性が報じられている。さらに、通常受精困難な精子の培養液に水素を溶かすことで、精子の動きを活発にするとして、不妊治療薬としての可能性も報じられている。
【０００３】
ところで、水素は、例えば二酸化炭素等の他の気体とは異なり、水や培養液等の液体に溶解させることが困難な気体であることが知られている。そこで、特許文献１には、水素を水に溶解させる手法として、マイクロバブル装置を用いた水素水生成装置の構成が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第５３４２１５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示された水素水生成装置を用いて水素水を生成した場合、水素を微細化することで水への溶解度は向上するが、溶解できなかった水素を大量に損失してしまうという課題があった。また、健康食品ではなく、医療用途として水素溶解液を用いる場合には洗浄や滅菌といった作業を行う必要があるため、連続して水素水を提供することが困難であった。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、水素の損失量を削減し、水素溶解液の連続的な供給が可能な製造装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明は以下の構成を有する。
（１）  液体に水素を溶解させて水素溶解液を製造する装置であって、対象となる液体を貯留するとともに、切り替えが可能な２以上の反応器と、前記反応器に水素を供給する水素供給機構と、前記反応器から未溶解の水素を回収する水素回収機構と、を備える水素溶解液の製造装置。
（２）  前記反応器が、内円筒と外円筒とを有する二重円筒式反応器であり、前記内円筒と前記外円筒との間に前記液体を貯留する、前項（１）に記載の水素溶解液の製造装置。
（３）  前記外円筒に対して前記内円筒が回転可能である、前項（２）に記載の水素溶解液の製造装置。
（４）  前記水素供給機構が、前記二重円筒式反応器ごとに１以上の供給口を有しており、前記供給口の少なくとも１つが、前記二重円筒式反応器の下方側から水素を供給可能に設けられている、前項（２）又は（３）に記載の水素溶解液の製造装置。
（５）  前記反応器内に微細化された水素を供給するガス微細化機構を備える、前項（１）乃至（４）のいずれか一項に記載の水素溶解液の製造装置。
（６）  前記反応器から排出される気体中の水素濃度を測定するガス分析機構を備える、前項（１）乃至（５）のいずれか一項に記載の水素溶解液の製造装置。
（７）  前記液体が、水又は培養液である、前項（１）乃至（６）のいずれか一項に記載の水素溶解液の製造装置。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の水素溶解液の製造装置は、対象となる液体を貯留するとともに切り替えが可能な２以上の反応器と、反応器に水素を供給する水素供給機構と、反応器から未溶解の水素を回収する水素回収機構とを備えるため、水素の損失量を削減するとともに、水素溶解液を連続的に供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明を適用した一実施形態である水素溶解液の製造装置の構成を模式的に示す系統図である。
【図２】本発明を適用した一実施形態である水素溶解液の製造装置を構成する反応器の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明を適用した一実施形態である水素溶解液の製造装置について、詳細に説明する。なお、以下の説明で用いる図面は、特徴をわかりやすくするために、便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。
【００１１】
先ず、本発明を適用した一実施形態である水素溶解液の製造装置の構成について、水素水製造装置を一例として説明する。図１は、本発明を適用した一実施形態である水素水製造装置の構成を模式的に示す系統図である。
図１に示すように、本実施形態の水素水製造装置１は、２以上の反応器２と、液体供給機構３と、水素供給機構４と、ガス微細化装置（ガス微細化機構）５と、ガス分析機構６と、水素回収機構７と、洗浄液供給機構８とを備えて、概略構成されている。この水素水製造装置１は、水に水素を溶解させて水素水を製造する装置である。
【００１２】
反応器（反応装置ともいう）２は、水素を溶解させる液体として水を貯留する容器である。反応器２としては、水素を液体に溶解させることができる機構を有するものであれば、特に限定されるものではなく、例えば、撹拌型反応器、気泡塔（エアリフト）型反応器、二重円筒式反応器等が挙げられる。これらの中でも、装置内でテイラー渦を発生させることが可能な二重円筒式反応器を用いることが好ましい。
【００１３】
図２は、本実施形態の水素水製造装置１を構成する反応器２の断面図である。本実施形態では、反応器２として二重円筒式反応器を用いる構成を一例として説明する。
図２に示すように、反応器２は、内円筒９と外円筒１０とを有する二重円筒式反応器である。この内円筒９と外円筒１０との間には空間Ｓが設けられている。この空間Ｓには、水素を溶解させる液体（本実施形態では水）を貯留することができる。
【００１４】
内円筒９及び外円筒１０のそれぞれの径、並びに内円筒と外円筒との半径の比は、反応器２内に形成するテイラー渦が、水素を効率的に溶解できるように適宜選択することができる。
【００１５】
内円筒９及び外円筒１０の材質としては、特に限定されるものではないが、エタノール等による溶剤滅菌や、オートクレーブ処理等による熱滅菌に対応できるようにするため、例えば、ＳＵＳ３０４Ｌ、ＳＵＳ３１６等のステンレス製とすることが好ましい。
【００１６】
反応器２は、内円筒９を回転させるためのモーター１１を有している。具体的には、モーター１１の回転軸と、内円筒９の中心軸とが一致するように連結されている。モーター１１を駆動させて、外円筒１０に対して内円筒９を回転させることにより、反応器２内（すなわち、内円筒９と外円筒１０との間の空間Ｓ）に、テイラー渦を発生させることができる。
【００１７】
反応器２は、当該反応器２内（空間Ｓ）に多段的にテイラー渦を発生させるため、内円筒９及び外円筒１０の回転軸が垂直（鉛直）方向となるように設けることが好ましい。
【００１８】
反応器２に水及び水素を供給するための経路Ｌ４（あるいはＬ５）の先端が、供給口２ａとなっている。供給口２ａは、外円筒１０の底面を含む下部側（下方側）に設けることが好ましい。また、反応器２から未溶解の水素を含む気体を排出するための経路Ｌ６（あるいはＬ７）の先端が、排気口２ｂとなっている。排気口２ｂは、外円筒１０の上面を含む上部側（上方側）に設けることが好ましい。これにより、反応器２内において、水素と水とが反応する機会を最大限に設けることができる。
【００１９】
反応器２は、内円筒９と外円筒１０との間の空間Ｓから、生成した水素水、又は内部を清掃した際の洗浄液を抜き出すための液排出管１２を有している。具体的には、液排出管１２は、外円筒１０の上部から空間Ｓ内に挿入されて、先端部が空間Ｓの下方側に位置するように設けられている。これにより、反応器２内の液体を確実に反応器２外へ取り出すことができる。
【００２０】
また、反応器２には、内円筒９と外円筒１０との間の空間Ｓに、ｐＨ電極（図示略）が設けられている。このｐＨ電極によって、反応器２に供給した水素が水にどの程度溶解したかを把握することができる。
【００２１】
なお、本実施形態の水素水製造装置１は、図１に示すように、２つの反応器２Ａ，２Ｂを備えている。これらの反応器２Ａ及び２Ｂは、後述するバルブ等の選択によって、それぞれ切り替え可能に設けられている。これにより、一方の反応器２（例えば２Ａ）を洗浄、消毒、あるいはメンテナンスを行っている場合であっても、他方の反応器２（例えば２Ｂ）によって、水素水を連続的に生成することができる。特に、水素水を医療用として用いる場合には、反応器２の消毒や滅菌を行う必要が生じるため、効果的である。
【００２２】
液体供給機構３は、図示略の供給源から水（液体）を反応器２に供給するための経路Ｌ１と、この経路Ｌ１に設けられた液体供給装置１３とを有して、概略構成されている。液体供給装置１３としては、液体を反応器２へ供給できるものであれば特に限定されるものではなく、例えば、ポンプ等を適用することができる。また、水（液体）を供給する経路Ｌ１には、滅菌フィルター１４を設けることが好ましい。これにより、水に含まれるゴミや細菌等を除去することができるため、クリーンな水の供給が可能となる。
【００２３】
水素供給機構４は、図示略の供給源から水素を反応器２に供給するための経路Ｌ２と、経路Ｌ２に設けられた水素供給装置１５とを有して、概略構成されている。水素供給装置１５としては、水素ガスの流量を制御して反応器２へ供給できるものであれば特に限定されるものではない。具体的には、例えば、マスフローコントローラー、積算流量計等を適用することができる。これにより、反応器２内へ供給した水素ガスの流量を把握することができる。また、水素を供給する経路Ｌ２には、滅菌フィルター１６を設けることが好ましい。これにより、水素ガス中に含まれるゴミや細菌等を除去することができるため、クリーンな水素ガスの供給が可能となる。
【００２４】
ここで、本実施形態の水素水製造装置１では、反応器２の一次側において、水（液体）を供給するための経路Ｌ１と、水素を供給するための経路Ｌ２とが合流して、経路Ｌ３となった後、２つの反応器２Ａ及び２Ｂへそれぞれ供給するために、再び経路Ｌ４と経路Ｌ５とに分岐する構成となっている。また、経路Ｌ４及び経路Ｌ５には、２つの反応器２Ａ及び２Ｂへの水及び水素の供給を制御するために、開閉バルブＶ１及びＶ２がそれぞれ設けられている。これらの開閉バルブＶ１及びＶ２の開閉の制御をすることにより、反応器２Ａ及び２Ｂへの水及び水素の切り替えを制御することができる。また、開閉バルブＶ１又はＶ２の開度を制御することにより、水及び水素の供給量を制御することができる。
【００２５】
また、２つの反応器２Ａ及び２Ｂの二次側では、反応器２Ａから未溶解の水素を含む気体を排出するための経路Ｌ６と、反応器２Ｂからの経路Ｌ７とが合流して、経路Ｌ８となっている。また、経路Ｌ６〜Ｌ８には、開閉バルブＶ３〜Ｖ５がそれぞれ設けられている。開閉バルブＶ３及びＶ４の開閉を選択することにより、２つの反応器２Ａ及び２Ｂからの水素ガスを含む気体の排気経路の切り替えをすることができる。また、開閉バルブＶ５の開度を制御することにより、水素水生成装置１からの水素を含む気体の排出量を制御することができる。
【００２６】
ガス微細化装置（ガス微細化機構）５は、水（液体）に水素が溶解しやすいように、反応器２（空間Ｓ）内に微細化された水素ガスを供給するための装置である。このような装置としては、水素ガスの微細化が達成できるものであれば、特に限定されるものではない。具体的には、例えば、中空糸膜、金属膜、リングスパジャー、マイクロバブル装置等をガス微細化装置５として適用することができる。水素ガスの微細化にこれらを使用すれば、ガスの微細化が達成できるとともに、水素水製造装置１全体の複雑化・大型化を防ぐことができる。
【００２７】
なお、本実施形態の水素水製造装置１では、図１及び図２に示すように、ガス微細化装置５を設ける位置として、反応器２Ａ及び２Ｂ内（すなわち、空間Ｓ内）であって、水及び水素を供給するための経路Ｌ４（あるいはＬ５）の先端（すなわち、供給口２ａ）に、それぞれ設けられた構成を一例として説明しているが、これに限定されるものではない。例えば、反応器２Ａ及び２Ｂの外側にそれぞれ設けられていてもよいし、１つのガス微細化装置から、反応器２Ａ及び２Ｂにそれぞれ供給する態様であってもよい。
【００２８】
ガス分析機構６は、図１に示すように、反応器２Ａ及び２Ｂの二次側に設けられた経路８に設けられている。ガス分析機構６は、反応器２から排出される気体を排出する経路Ｌ８から分岐して、分析用に上記気体の一部を採取するための経路Ｌ９と、経路Ｌ９に設けられたガス分析装置１７とを有して、概略構成されている。
【００２９】
ガス分析装置１７は、反応器２から排出される気体中に含まれる水素ガスの濃度や流量が測定できるものであれば、特に限定されるものではなく、例えば、ガスクロマトグラフィや水素濃度検知器、積算流量計等を用いることができる。
【００３０】
経路Ｌ９は、経路Ｌ８から分岐し、開閉バルブＶ５をバイパスした後、再び経路Ｌ８に合流するように設けられている。これにより、ガス分析装置１７にて分析した後のガスを、経路Ｌ８の開閉バルブＶ５の後段に排出することができる。
【００３１】
水素回収機構７は、反応器２から排出される気体を回収して再び反応器２へ供給するための経路Ｌ１０と、この経路Ｌ１０によって返送される水素ガスを含む気体の流量を制御する制御装置１８とを有して、概略構成されている。
【００３２】
経路Ｌ１０は、開閉バルブＶ５の一次側において経路Ｌ８から分岐されるとともに、水素供給装置１５の一次側において経路Ｌ２に合流するように設けられている。これにより、反応器２から排出された、水に未溶解の水素ガスを回収して、再び反応器２に供給することができるため、水素ガスの損失を削減することができる。
【００３３】
経路Ｌ１０には、開閉バルブＶ６が設けられている。開閉バルブＶ６の開度を制御することにより、回収した水素ガスの返送量を調整することができる。
【００３４】
制御装置１８としては、水素ガス（水素ガスを含む気体）の流量を制御することができるものであれば、特に限定されるものではなく、例えば、マスフローコントローラー、積算流量計等を用いることができる。
【００３５】
洗浄液供給機構８は、図示略の供給源から滅菌剤としてエタノール、次亜塩素酸ナトリウム水溶液や蒸留水等の洗浄液を反応器２に供給するための経路Ｌ１１と、この経路Ｌ１１に設けられた洗浄液供給装置１９とを有して、概略構成されている。洗浄液供給装置１９としては、洗浄液を反応器２へ供給できるものであれば特に限定されるものではなく、例えば、ポンプ等を適用することができる。また、洗浄液を供給する経路Ｌ１１には、滅菌フィルター２０を設けることが好ましい。これにより、洗浄液に含まれるゴミや細菌等を除去することができるため、クリーンな洗浄液を反応器２に供給することが可能となる。
【００３６】
経路Ｌ１１は、２つの反応器２Ａ及び２Ｂへそれぞれ供給するために、反応器２の一次側において経路Ｌ１２と経路Ｌ１３とに分岐する構成となっている。また、経路Ｌ１２及び経路Ｌ１３には、２つの反応器２Ａ及び２Ｂへの洗浄液の供給を制御するために、開閉バルブＶ７及びＶ８がそれぞれ設けられている。これらの開閉バルブＶ７及びＶ８の開閉の制御をすることにより、反応器２Ａ及び２Ｂへの洗浄液の切り替えを制御することができる。また、開閉バルブＶ７又はＶ８の開度を制御することにより、洗浄液の供給量を制御することができる。
【００３７】
本実施形態の水素水生成装置１は、図示略の制御装置を備えていることが好ましい。この制御装置と、上述した各種測定装置、供給装置、制御装置、及び開閉バルブとを電気的に接続することにより、水素の損失量を削減するように自動運転することができる。
【００３８】
次に、上述した本実施形態の水素水製造装置１の運転方法について、説明する。
ここでは、洗浄済みの反応器２Ａを用いて水素水の生成を開始し、使用済みの反応器２Ｂを洗浄する場合を一例として、説明する。
【００３９】
先ず、開閉バルブＶ１，Ｖ３，Ｖ６，Ｖ８が開状態であり、開閉バルブＶ２，Ｖ４，Ｖ５，Ｖ７が閉状態であることを確認する。
次に、液体供給装置１３を運転して、図示略の供給源から水を反応器２Ａに供給する。所要量の水を供給した後、液体供給装置１３の運転を停止する。
次に、反応器２Ａに設けられたモーター１１を運転して、外円筒１０に対して内円筒９を回転させて、反応器２Ａ内の空間Ｓに、軸方向に多段となるようにテイラー渦を発生させる。
【００４０】
次に、水素供給装置１５を運転して、所要の流量の水素ガスを反応器２Ａに供給する。この際、経路Ｌ４の先端、すなわち、反応器２Ａへの水素ガスの供給口２ａにガス微細化装置５が設けられているため、反応器２Ａ内に発生するテイラー渦の下方側から微細化された水素ガスを供給することができる。したがって、水素の効率的な液溶解が可能となり、未溶解の水素による損失を低減することができる。
【００４１】
ところで、反応器２Ａ内で発生するテイラー渦中の水素ガス微粒子は、別の渦に移動しないで、比較的同じ渦上に存在するという傾向がある。また、１つの反応器２Ａ内を、内円筒９が回転することによって均一に混合することで、テイラー渦を多段状態に保つことが可能となる。
【００４２】
また、内円筒９と外円筒１０との半径の比を一定に保てば、スケールアップしても同じ流動状態を再現することができる。
【００４３】
これに対して、外円筒（渦管）１０が細くなれば、渦度は大きくなり、外円筒（渦管）１０中の流体粒子の回転速度は速くなる。逆に、外円筒（渦管）１０を太くすることで渦度は小さくなり、流体の回転は遅くなる。このように、外円筒１０の径を適宜選択することにより、水への水素の溶解反応を制御することができる。
【００４４】
上述したように、反応器２Ａ内に発生させたテイラー渦を利用することで、反応器２Ａ下部から供給された水素は、装置内の各テイラー渦内で、水（液体）に溶解させることができ、水素の効率的な液溶解、及び水素の損失の削減を達成することができる。
【００４５】
次に、反応器２Ａから排出される気体は、経路６及び経路８を経て、装置外に排気される。この際、分析するための経路Ｌ９に設けたガス分析装置１７によって排気ガス中の水素ガス濃度を測定する。
【００４６】
次いで、排気ガス中の水素ガス濃度が上昇した場合、経路Ｌ８に設けられた開閉バルブＶ５の開度を小さくするとともに、経路Ｌ１０に設けられた開閉バルブＶ６の開度を大きくする。これにより、反応器２Ａにおいて未溶解の水素ガスを回収して、再び水素供給装置１５に供給することができる。これにより、装置外へと排出される水素を削減することができるとともに、水素使用量を削減することができる。
【００４７】
その後、反応器２Ａに設けたｐＨ電極（図示略）によって、所要の水素水の生成が確認できた際、水素供給装置１５の運転を停止して、反応器２Ａへの水素の供給を終了する。次いで、開閉バルブＶ１，Ｖ６を閉状態とし、開閉バルブＶ３，Ｖ５を開状態とした後、液排出管１２（図２を参照）を用いて反応器２Ａから生成した水素水を取り出す。
【００４８】
一方、使用済みの反応器２Ｂを洗浄する場合、図１に示すように、洗浄液供給装置１９を運転して、図示略の供給源から洗浄液を反応器２Ｂに供給する。所要量の洗浄液を供給した後、洗浄液供給装置１９の運転を停止する。
次に、反応器２Ｂに設けられたモーター１１を運転して、外円筒１０に対して内円筒９を回転させて、反応器２Ｂ内の空間Ｓにテイラー渦を発生させる。これにより、反応器２Ｂ内の空間Ｓを充分に洗浄、滅菌することができる。
【００４９】
洗浄が完了した際、開閉バルブＶ８を閉状態とした後、液排出管１２（図２を参照）を用いて反応器２Ａから洗浄液を取り出す。
【００５０】
なお、水素及び水の供給を制御するための開閉バルブＶ１，Ｖ２、洗浄液の供給を制御するための開閉バルブＶ７，Ｖ８、反応器２からの排気を制御するための開閉バルブＶ３，Ｖ４、排出ガスを制御するための開閉バルブＶ５、及び水素ガスの回収を制御するための開閉バルブＶ６の開閉制御は、図示略の制御部によるシーケンス制御で実施することが好ましい。
【００５１】
以上説明したように、本実施形態の水素水製造装置１によれば、水を貯留するとともに切り替えが可能な２つ反応器２（２Ａ，２Ｂ）と、反応器２に水素を供給する水素供給機構４と、反応器２から未溶解の水素を回収する水素回収機構７とを備えるため、水素の損失量を削減するとともに、水素水（水素溶解液）を連続的に供給することができる。
【００５２】
また、本実施形態の水素水製造装置１によれば、切り替えが可能な２つ反応器２（２Ａ，２Ｂ）を有しているため、一方の反応器で水素水を生成している際に、他方の反応器を洗浄、滅菌することができるため、医療用途としても適用することができる。
【００５３】
また、本実施形態の水素水製造装置１によれば、反応器２として、二重円筒式反応器を用い、テイラー渦によって水への水素の溶解効率を向上させる構成であるため、ガス微細化装置５の自由度が向上する。したがって、水素水製造装置１の小型化を図ることができる。
【００５４】
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。例えば、上述した実施形態では、水を用いた場合を一例として説明したが、水素を溶解させる対象となる液体として培養液を用いてもよい。
【００５５】
また、上述した実施形態では、反応器（二重円筒式反応器）２ごとに１つの供給口２ａを有する構成を一例として説明したが、これに限定されない。反応器２内の空間Ｓに水素を供給する経路Ｌ４（あるいはＬ５）が挿入されて、空間Ｓ内に複数の供給口を有する構成であってもよい。なお、供給口を複数有する場合であっても、供給口の少なくとも１つが、二重円筒式反応器の下方側から水素を供給可能に設けられていることが好ましい。
【００５６】
また、上述した水素水製造装置１では、水素水の生成をバッチ式で行う構成を一例として説明したが、水素及び水を連続して供給するとともに、生成した水素水を連続して取り出す構成（連続式）としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
本発明の水素溶解液の製造装置は、健康食品用途のみならず医療用途の水素水を製造する際、又は、培養液中に水素を溶解させる際に、産業上の利用可能性を有する。
【符号の説明】
【００５８】
１・・・水素水製造装置（水素溶解液の製造装置）、２，２Ａ，２Ｂ・・・反応器、２ａ・・・供給口、２ｂ・・・排気口、３・・・液体供給機構、４・・・水素供給機構、５・・・ガス微細化装置（ガス微細化機構）、６・・・ガス分析機構、７・・・水素回収機構、８・・・洗浄液供給機構、９・・・内円筒、１０・・・外円筒、１１・・・モーター、１２・・・液排出管、１３・・・液体供給装置、１４，１６，２０・・・滅菌フィルター、１５・・・水素供給装置、１７・・・ガス分析装置、１８・・・制御装置、１９・・・洗浄液供給装置、Ｌ１〜Ｌ１３・・・経路、Ｓ・・・空間（反応空間）、Ｖ１〜Ｖ８・・・開閉バルブ
【図１】
2017192918.tif 000003
【図２】
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