(57)【要約】【課題】貼付工程が長期化することを防止する。【解決手段】シート貼付装置は、帯状の第１剥離シートの一方の面に第１接着シートが仮着された第１原反を繰り出し、第１剥離手段で前記第１接着シートを前記第１剥離シートから剥離して供給する第１供給手段と、帯状の第２剥離シートの一方の面に第２接着シートが仮着された第２原反を繰り出し、第２剥離手段で前記第２接着シートを前記第２剥離シートから剥離して供給する第２供給手段と、前記第１供給手段で供給中の第１接着シートおよび、前記第２供給手段で供給中の第２接着シートを同時に被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備えていることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の第１剥離シートの一方の面に第１接着シートが仮着された第１原反を繰り出し、第１剥離手段で前記第１接着シートを前記第１剥離シートから剥離して供給する第１供給手段と、
帯状の第２剥離シートの一方の面に第２接着シートが仮着された第２原反を繰り出し、第２剥離手段で前記第２接着シートを前記第２剥離シートから剥離して供給する第２供給手段と、
前記第１供給手段で供給中の第１接着シートおよび、前記第２供給手段で供給中の第２接着シートを同時に被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記第２原反における前記第２接着シートには、前記第２剥離シートに当接する面の反対側の面に第３剥離シートが仮着され、前記第２供給手段は、前記押圧手段で押圧される前記第２接着シートから前記第３剥離シートを剥離する第３剥離シート剥離手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記第３剥離シート剥離手段は、前記第３剥離シートを折り曲げることで前記第２接着シートから当該第３剥離シートを剥離する剥離部材を備え、当該剥離部材で前記第３剥離シートを剥離する位置を変更可能な剥離位置変更手段を備えていることを特徴とする請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
帯状の第１剥離シートの一方の面に第１接着シートが仮着された第１原反を繰り出し、前記第１接着シートを前記第１剥離シートから剥離して供給する第１供給工程と、
帯状の第２剥離シートの一方の面に第２接着シートが仮着された第２原反を繰り出し、前記第２接着シートを前記第２剥離シートから剥離して供給する第２供給工程と、
前記第１供給工程で供給中の第１接着シートおよび、前記第２供給工程で供給中の第２接着シートを同時に被着体に押圧して貼付する工程とを含むことを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、複数の接着シートを被着体に押圧して貼付する装置が知られている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−８４５７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の装置では、両面接着テープＳ（第１接着シート）と基材シートＢＳ（第２接着シート）とを別の工程でウエハＷ（被着体）に貼付するので、貼付工程が長期化してしまうという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、貼付工程が長期化することを防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決するために、本発明は、帯状の第１剥離シートの一方の面に第１接着シートが仮着された第１原反を繰り出し、第１剥離手段で前記第１接着シートを前記第１剥離シートから剥離して供給する第１供給手段と、帯状の第２剥離シートの一方の面に第２接着シートが仮着された第２原反を繰り出し、第２剥離手段で前記第２接着シートを前記第２剥離シートから剥離して供給する第２供給手段と、前記第１供給手段で供給中の第１接着シートおよび、前記第２供給手段で供給中の第２接着シートを同時に被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置である。
【０００７】
前記第２原反における前記第２接着シートには、前記第２剥離シートに当接する面の反対側の面に第３剥離シートが仮着され、前記第２供給手段は、前記押圧手段で押圧される前記第２接着シートから前記第３剥離シートを剥離する第３剥離シート剥離手段を備えていることを特徴としてもよい。
【０００８】
前記第３剥離シート剥離手段は、前記第３剥離シートを折り曲げることで前記第２接着シートから当該第３剥離シートを剥離する剥離部材を備え、当該剥離部材で前記第３剥離シートを剥離する位置を変更可能な剥離位置変更手段を備えていることを特徴としてもよい。
【０００９】
本発明の他の態様は、帯状の第１剥離シートの一方の面に第１接着シートが仮着された第１原反を繰り出し、前記第１接着シートを前記第１剥離シートから剥離して供給する第１供給工程と、帯状の第２剥離シートの一方の面に第２接着シートが仮着された第２原反を繰り出し、前記第２接着シートを前記第２剥離シートから剥離して供給する第２供給工程と、前記第１供給工程で供給中の第１接着シートおよび、前記第２供給工程で供給中の第２接着シートを同時に被着体に押圧して貼付する工程とを含むことを特徴とするシート貼付方法である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、供給中の第１接着シートおよび供給中の第２接着シートを一つの貼付工程で同時に被着体に貼付するので、貼付工程が長期化することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】シート貼付装置の側面図。
【図２】（Ａ）、（Ｂ）は変形例の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態に係るシート貼付装置１０を図面に基づいて説明する。
なお、実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、当該所定平面に直交する軸とする。さらに、実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が紙面に直交する手前方向であってＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
【００１３】
図１において、シート貼付装置１０は、帯状の第１剥離シートＲＬ１の一方の面に第１接着シートＡＳ１が仮着された第１原反ＲＳ１を繰り出し、第１剥離手段２３で第１接着シートＡＳ１を第１剥離シートＲＬ１から剥離して供給する第１供給手段２０と、帯状の第２剥離シートＲＬ２の一方の面に第２接着シートＡＳ２が仮着された第２原反ＲＳ２を繰り出し、第２剥離手段３３で第２接着シートＡＳ２を第２剥離シートＲＬ２から剥離して供給する第２供給手段３０と、第１供給手段２０で供給中の第１接着シートＡＳ１および、第２供給手段３０で供給中の第２接着シートＡＳ２を同時に被着体ＷＫとしてのリングフレームＲＦおよび半導体ウエハ（以下単に「ウエハ」という場合がある）ＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ４０と、被着体ＷＫを支持して搬送する移動手段５０とを備えている。
なお、本実施形態の場合、第２原反ＲＳ２における第２接着シートＡＳ２には、第２剥離シートＲＬ２に当接する面の反対側の面に第３剥離シートＲＬ３が仮着されている。
【００１４】
第１供給手段２０は、第１原反ＲＳ１を支持する支持ローラ２１と、第１原反ＲＳ１を案内する複数のガイドローラ２２と、第１剥離手段２３と、駆動機器としての回動モータ２４Ａによって駆動される駆動ローラ２４と、第１剥離シートＲＬ１を駆動ローラ２４との間に挟み込むピンチローラ２５と、図示しない駆動機器によって駆動され、第１剥離シートＲＬ１を回収する回収ローラ２６とを備えている。
【００１５】
第１剥離手段２３は、駆動機器としての直動モータ２３Ａと、直動モータ２３Ａの出力軸２３Ｂに支持され、第１剥離シートＲＬ１を折り曲げることで第１接着シートＡＳ１を第１剥離シートＲＬ１から剥離する第１剥離板２３Ｃとを備えている。
【００１６】
第２供給手段３０は、第２原反ＲＳ２を支持する支持ローラ３１と、第２原反ＲＳ２を案内する複数のガイドローラ３２と、第２剥離手段３３と、駆動機器としての回動モータ３４Ａによって駆動される駆動ローラ３４と、第２剥離シートＲＬ２を駆動ローラ３４との間に挟み込むピンチローラ３５と、図示しない駆動機器によって駆動され、第２剥離シートＲＬ２を回収する回収ローラ３６と、押圧ローラ４０で押圧される第２接着シートＡＳ２から第３剥離シートＲＬ３を剥離する第３剥離シート剥離手段３７とを備えている。
【００１７】
第２剥離手段３３は、駆動機器としての直動モータ３３Ａと、直動モータ３３Ａの出力軸３３Ｂに支持され、第２剥離シートＲＬ２を折り曲げることで第２接着シートＡＳ２を第２剥離シートＲＬ２から剥離する第２剥離板３３Ｃとを備えている。
【００１８】
第３剥離シート剥離手段３７は、駆動機器としての直動モータ３７Ａと、直動モータ３７Ａの出力軸３７Ｂに支持され、第３剥離シートＲＬ３を折り曲げることで第２接着シートＡＳ２から当該第３剥離シートＲＬ３を剥離する剥離部材としての第３剥離シート剥離板３７Ｃと、駆動機器としての直動モータ３７Ｄの出力軸３７Ｅに支持されたブラケット３７Ｆに回転可能に支持されたピンチローラ３７Ｇと、図示しない駆動機器によって駆動され、第３剥離シートＲＬ３を回収する回収ローラ３７Ｈとを備えている。なお、直動モータ３７Ａは、第３剥離シート剥離板３７Ｃで第３剥離シートＲＬ３を剥離する位置を変更可能な剥離位置変更手段としても機能する。
【００１９】
移動手段５０は、駆動機器としてのリニアモータ５１のスライダ５１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって被着体ＷＫを保持可能な支持面５２Ａを有する搬送テーブル５２を備えている。
【００２０】
次に、本実施形態におけるシート貼付装置１０の動作について説明する。
先ず、第１、第２剥離板２３Ｃ、３３Ｃおよび第３剥離シート剥離板３７Ｃが図１中二点鎖線で示すように、押圧ローラ４０から十分に離間した位置に退避している状態のシート貼付装置１０に対し、作業者が第１原反ＲＳ１および第２原反ＲＳ２を同図のようにセットする。このように、第１、第２剥離板２３Ｃ、３３Ｃおよび第３剥離シート剥離板３７Ｃが押圧ローラ４０から十分に離間していることで、同図の実線で示す各剥離板同士および押圧ローラ４０の間隔に比べて、それらの間隔が広くなるので、作業者が各原反をセットし易くなっている。その後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、第１、第２供給手段２０、３０が直動モータ２３Ａ、３３Ａ、３７Ａを駆動し、第１、第２剥離板２３Ｃ、３３Ｃおよび第３剥離シート剥離板３７Ｃを図１中実線で示す位置に移動させる。その後、第２供給手段３０が直動モータ３７Ｄを駆動し、ピンチローラ３７Ｇで第１、第３剥離シートＲＬ１、ＲＬ３を駆動ローラ２４との間に挟み込む。次いで、第１、第２供給手段２０、３０が回動モータ２４Ａ、３４Ａを駆動し、第１、第２原反ＲＳ１、ＲＳ２を繰り出し、図１中実線で示すように、先頭の第２接着シートＡＳ２が第２剥離板３３Ｃで第２剥離シートＲＬ２から所定長さ剥離したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検出手段に検出されると、回動モータ２４Ａ、３４Ａの駆動を停止する。そして、第２供給手段３０が直動モータ３７Ｄを駆動し、ピンチローラ３７Ｇと駆動ローラ２４とによる第１、第３剥離シートＲＬ１、ＲＬ３の挟み込みを解除する。その後、第１供給手段２０が回動モータ２４Ａを駆動し、第１原反ＲＳ１を繰り出し、図１中実線で示すように、先頭の第１接着シートＡＳ１が第１剥離板２３Ｃで第１剥離シートＲＬ１から所定長さ剥離したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検出手段に検出されると、回動モータ２４Ａの駆動を停止し、スタンバイ状態となる。
【００２１】
次いで、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない移送手段が、図１中実線で示す位置よりも右方の所定の待機位置で待機している搬送テーブル５２の支持面５２Ａ上に被着体ＷＫを載置すると、移動手段５０が図示しない減圧手段を駆動し、それらを吸着保持した後、リニアモータ５１を駆動し、搬送テーブル５２を左方に移動させる。そして、被着体ＷＫにおけるリングフレームＲＦが第１接着シートＡＳ１の貼付開始位置に到達したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検出手段に検出されると、第１供給手段２０が回動モータ２４Ａを駆動し、搬送テーブル５２の搬送速度に合わせて第１原反ＲＳ１を繰り出す。これにより、先頭の第１接着シートＡＳ１は、第１剥離シートＲＬ１から剥離され、押圧ローラ４０によりリングフレームＲＦに押圧されて貼付される。
【００２２】
先頭の第１接着シートＡＳ１の貼付中、被着体ＷＫにおけるウエハＷＦが第２接着シートＡＳ２の貼付開始位置に到達したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検出手段に検出されると、第２供給手段３０が回動モータ３４Ａおよび直動モータ３７Ｄを駆動し、搬送テーブル５２の搬送速度に合わせて第２原反ＲＳ２を繰り出す。これにより、先頭の第２接着シートＡＳ２は、第２、第３剥離シートＲＬ２、ＲＬ３から剥離され、第１接着シートＡＳ１と同時に押圧ローラ４０によりウエハＷＦに押圧されて貼付される。その後、次回貼付予定の第２接着シートＡＳ２が図示しない検出手段に検出されると、第２供給手段３０が直動モータ３７Ｄを駆動し、ピンチローラ３７Ｇと駆動ローラ２４とによる第１、第３剥離シートＲＬ１、ＲＬ３の挟み込みを解除するとともに、回動モータ３４Ａの駆動を停止する。そして、次回貼付予定の第１接着シートＡＳ１が図示しない検出手段に検出されると、第１供給手段２０が回動モータ２４Ａの駆動を停止し、再びスタンバイ状態となる。これにより、第１接着シートＡＳ１の外縁部がリングフレームＲＦに貼付され、第２接着シートＡＳ２が第１接着シートＡＳ１とウエハＷＦとの間に貼付され、一体物ＷＫ１が形成される。
【００２３】
一体物ＷＫ１が形成されると、移動手段５０がリニアモータ５１の駆動を停止し、搬送テーブル５２を所定の位置で停止させた後、図示しない減圧手段の駆動を停止するので、人手または図示しない移送手段が、一体物ＷＫ１を次工程に搬送する。そして、移動手段５０がリニアモータ５１を駆動し、搬送テーブル５２を所定の待機位置に復帰させた後、上記同様の動作が繰り返される。
【００２４】
以上のような本実施形態によれば、供給中の第１接着シートＡＳ１および供給中の第２接着シートＡＳ２を一つの貼付工程で同時に被着体ＷＫに貼付するので、貼付工程が長期化することを防止することができる。
【００２５】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、第１供給手段は、帯状の第１剥離シートの一方の面に第１接着シートが仮着された第１原反を繰り出し、第１剥離手段で第１接着シートを第１剥離シートから剥離して供給するものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせてその範囲内であればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
【００２６】
第１供給手段２０は、第１接着シートＡＳ１における第１剥離シートＲＬ１に当接する面の反対側の面に第４剥離シートＲＬ４が仮着された第１原反ＲＳ１を繰り出してもよい。この場合、第１供給手段２０は、例えば、図１中二点鎖線で示すように、下方に位置するガイドローラ２２で第４剥離シートＲＬ４を剥離し、図示しない駆動機器によって駆動される回収ローラ２８を備えてもよいし、前記実施形態の第２供給手段３０で採用した第３剥離シート剥離手段３７と同等なものを備えてもよい。
第１供給手段２０は、第１剥離シートＲＬ１の一方の面に帯状の第１接着シート基材が仮着された第１原反ＲＳ１を繰り出してもよい。この場合、第１供給手段２０は、第１剥離板２３Ｃに対して第１原反ＲＳ１の繰出方向上流側に、第１接着シート基材に閉ループ状の切り込みを形成し、当該切り込みの内側に第１接着シートＡＳ１を形成する第１切断手段を備えていてもよい。
第１剥離手段２３は、直動モータ２３Ａを駆動して第１剥離板２３Ｃを進退させ第１剥離シートＲＬ１を剥離する位置を変更してもよい。
第１剥離手段２３は、第１剥離板２３Ｃの代わりに回転可能な剥離用ローラを採用してもよいし、直動モータ２３Ａを採用してもよいし採用しなくてもよい。
【００２７】
第２供給手段３０は、被着体ＷＫに当接する前に、第１供給手段２０で供給される第１接着シートＡＳ１に第２接着シートＡＳ２を当接させてもよいし、第１供給手段２０で供給される第１接着シートＡＳ１に当接する前に、被着体ＷＫに第２接着シートＡＳ２を当接させてもよいし、それらに同時に第２接着シートＡＳ２を当接させてもよい。
被着体ＷＫに当接する前に、第１供給手段２０で供給される第１接着シートＡＳ１に第２接着シートＡＳ２を当接する場合、第２供給手段３０は、第１接着シートＡＳ１と第２接着シートＡＳ２とを相互に押圧する貼付前押圧手段を備えていてもよい。このような貼付前押圧手段は、図２（Ａ）に示すように、加圧ポンプやタービン等の図示しない気体供給手段に連通するパイプ３９Ａに形成された図示しない噴出孔から、第２接着シートＡＳ２に対して第１接着シートＡＳ１に向かう方向に大気やガス等の気体を吹き付けるものでもよいし、ローラ等の押圧部材でもよいし、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段でもよく、第１接着シートＡＳ１の接着面に第２接着シートＡＳ２を当接させるものであれば何でもよい。また、貼付前押圧手段は、第１接着シートＡＳ１に対して第２接着シートＡＳ２に向かう方向に気体の吹き付けや押圧等を行ってもよいし、両方向から気体の吹き付けや押圧等を行ってもよく、第１接着シートＡＳ１と第２接着シートＡＳ２とを相互に押圧できるものであれば何でもよい。
貼付前押圧手段が大気やガス等の気体を吹き付けるものである場合、気体の吹き付けにより生じる付勢力により第１接着シートＡＳ１や第２接着シートＡＳ２が押圧ローラ４０の上方（押圧ローラ４０の右側上方）に捲り上がる虞れがあるため、第２供給手段３０が捲り上がり防止手段を備えていることが好ましい。このような捲り上がり防止手段は、図２（Ａ）に示すように、板状部材３９Ｂでもよいし、第１接着シートＡＳ１に対して第２接着シートＡＳ２に向かう方向に大気やガス等の気体を吹き付けて付勢するものでもよく、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２が捲り上がることを防止できるのであれば何でもよい。
第２供給手段３０は、第２剥離シートＲＬ２の一方の面に帯状の第２接着シート基材が仮着された第２原反ＲＳ２を繰り出してもよい。この場合、第２供給手段３０は、第２剥離板３３Ｃに対して第２原反ＲＳ２の繰出方向上流側に、第２接着シート基材に閉ループ状の切り込みを形成し、当該切り込みの内側に第２接着シートＡＳ２を形成する第２切断手段を備えていてもよい。
第１、第２切断手段は、カッター刃、カッターローラ、レーザカッタ、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材を採用することができる。
第２供給手段３０は、第１供給手段２０と同じタイミングで第２原反ＲＳ２を繰り出したり、繰り出しを停止したりしてもよいし、第１供給手段２０と異なるタイミングで第２原反ＲＳ２を繰り出したり、繰り出しを停止したりしてもよい。
第２剥離手段３３は、直動モータ３３Ａを駆動して第２剥離板３３Ｃを進退させ第２剥離シートＲＬ２を剥離する位置を変更してもよい。
第２剥離手段３３は、第２剥離板３３Ｃの代わりに回転可能な剥離用ローラを採用してもよいし、直動モータ３３Ａを採用してもよいし採用しなくてもよい。
【００２８】
第３剥離シート剥離手段３７は、直動モータ３７Ａを駆動して第３剥離シート剥離板３７Ｃを進退させ、第３剥離シートＲＬ３を剥離する位置を変更することができる。例えば、第２接着シートＡＳ２が外気に触れることで、接着力が低下したり、酸化したり、乾燥したり、湿気を帯びたりしてその機能が低下するものの場合や、第１接着シートＡＳ１と第２接着シートＡＳ２との間に塵埃が混入することを極力防止したい場合、図２（Ｂ）に示すように、第３剥離シート剥離板３７Ｃを進退させて第３剥離シートＲＬ３の剥離位置を押圧位置に近付けることで、第２接着シートＡＳ２が外気に触れる時間を極力短くすることができる。また、例えば、第２接着シートＡＳ２が外気に触れることで、上記と同様の原理でその機能が向上するものの場合、第３剥離シート剥離板３７Ｃを進退させて第３剥離シートＲＬ３の剥離位置を押圧位置から遠ざけることで、第２接着シートＡＳ２が外気に触れる時間を極力長くしたり、当該第２接着シートＡＳ２がその機能を充分に発揮するのに必要な時間外気に触れされるように調整することもできる。
剥離位置変更手段は、多関節ロボットや適宜な駆動機器を組み合わせたもの等でもよい。
第３剥離シート剥離手段３７は、大気やガス等の気体を吹き付けて第３剥離シートＲＬ３を駆動ローラ２４側に押圧してもよいし、ピンチローラ３７Ｇを移動させずに駆動ローラ２４を移動させたり、ピンチローラ３７Ｇおよび駆動ローラ２４の両方を移動させたりして、第１、第３剥離シートＲＬ１、ＲＬ３を駆動ローラ２４との間に挟み込んでもよいし、第１、第２供給手段２０、３０と同様の構成にして、独立して第３剥離シートＲＬ３に剥離力を付与するようにしてもよい。
第３剥離シート剥離手段３７は、第３剥離シート剥離板３７Ｃの代わりに回転可能な剥離用ローラを採用してもよいし、直動モータ３７Ａを採用してもよいし採用しなくてもよい。
第３剥離シート剥離手段３７は、第１剥離シートＲＬ１を介することなく、駆動ローラ２４とピンチローラ３７Ｇとで第２剥離シートＲＬ２を挟み込む構成としてもよく、この場合、適宜なガイドローラ等を設け、第１、第３剥離シートＲＬ１、ＲＬ３それぞれが相互に干渉しないようにすればよい。
第２原反ＲＳ２に第３剥離シートＲＬ３が仮着されていなければ、第３剥離シート剥離手段３７はあってもよいしなくてもよい。
【００２９】
押圧手段は、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用してもよいし、大気やガス等のエアの噴き付けにより押圧する構成を採用してもよい。
押圧手段は、押圧部材を移動させずに被着体ＷＫを押圧部材に向けて移動させて押圧してもよいし、被着体ＷＫを移動させずに押圧部材を被着体ＷＫに向けて移動させて押圧してもよいし、押圧部材と被着体ＷＫとの両方を互いに移動させて押圧してもよい。
【００３０】
移動手段５０は、被着体ＷＫを移動させずに、または、被着体ＷＫを移動させつつ、第１、第２供給手段２０、３０、押圧ローラ４０等の他の手段を適宜な方向に移動させて上記と同様の貼付動作を行ってもよい。
移動手段５０は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着等で被着体ＷＫを保持する構成でもよい。
被着体ＷＫを他の装置で搬送する場合、シート貼付装置１０において移動手段５０はあってもよいしなくてもよく、その他押圧手段等は、それぞれ必要に応じて採用すればよく、あってもよいしなくてもよい。
【００３１】
シート貼付装置１０は、図示を省略するが、例えば、帯状の第３剥離シートＲＬ３の一方の面に第３接着シートが仮着された第３原反を繰り出し、第１、第２剥離手段２３、３３と同等の第３剥離手段で第３接着シートを第３剥離シートＲＬ３から剥離して供給する第３供給手段を備え、押圧ローラ４０が第１、第２供給手段２０、３０で供給中の第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２および、第３供給手段で供給中の第３接着シートを同時に被着体ＷＫに押圧して貼付する構成としてもよいし、４つ以上の供給手段から供給される各接着シートを押圧ローラ４０が同時に被着体ＷＫに押圧して貼付する構成としてもよい。
シート貼付装置１０は、天地反転して配置したり横置きにしたりして、被着体ＷＫの下面や側面に第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を貼付するように構成してもよい。
さらに、本発明における第１接着シートＡＳ１、第２接着シートＡＳ２、被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはない。感熱接着性のものが採用された場合は、当該第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設ければよい。また、このような第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層とからなるもの、それらの間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよいし、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、ウエハＷＦだけでもよいしリングフレームＲＦだけでもよいし、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、電極基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
【００３２】
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３３】
１０・・・シート貼付装置
２０・・・第１供給手段
２３・・・第１剥離手段
３０・・・第２供給手段
３３・・・第２剥離手段
３７・・・第３剥離シート剥離手段
３７Ａ・・・直動モータ（剥離位置変更手段）
３７Ｃ・・・第３剥離シート剥離板（剥離部材）
４０・・・押圧ローラ（押圧手段）
ＡＳ１・・・第１接着シート
ＡＳ２・・・第２接着シート
ＲＬ１・・・第１剥離シート
ＲＬ２・・・第２剥離シート
ＲＬ３・・・第３剥離シート
ＲＳ１・・・第１原反
ＲＳ２・・・第２原反
ＷＫ・・・被着体
【図１】
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【図２】
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