(57)【要約】      （修正有）【課題】受光量を低減させることなく光学系の小型化を図る光波距離測定装置を提供する。【解決手段】測距光源７から発せられる測距光２を測距光軸１２上へ射出する投光光学系４と、測定対象物からの反射測距光５を受光し、受光素子１６へと導く受光光学系６とを具備し、投光光学系と受光光学系とは、投光光軸３と受光光軸１３が交差する様配設され、投光光軸と受光光軸の交差位置に測距光を反射し、反射測距光を透過する光路分割部材９を設け、反射測距光の光路上に該反射測距光の光路長を補正する光路長調整部材１４が配設された。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測距光源から発せられる測距光を測距光軸上へ射出する投光光学系と、測定対象物からの反射測距光を受光し、受光素子へと導く受光光学系とを具備し、前記投光光学系と前記受光光学系とは、投光光軸と受光光軸が交差する様配設され、前記投光光軸と前記受光光軸の交差位置に前記測距光を反射し、前記反射測距光を透過する光路分割部材を設け、前記反射測距光の光路上に該反射測距光の光路長を補正する光路長調整部材が配設された光波距離測定装置。
【請求項２】
前記光路長調整部材は、中心部に孔が穿設された透明光学部材であり、該孔は前記光路分割部材を透過する前記反射測距光のみが通過する大きさであり、前記光路分割部材を透過して延長される前記反射測距光の光路長と、前記光路長調整部材を透過して延長される前記反射測距光の光路長とが等しくなる様前記光路長調整部材の板厚が設定された請求項１に記載の光波距離測定装置。
【請求項３】
前記受光光学系は集光レンズを有し、前記光路長調整部材は前記集光レンズの入射側と射出側のいずれか一方に設けられる請求項２に記載の光波距離測定装置。
【請求項４】
前記受光光学系は、中心部に孔が穿設された集光レンズと、前記孔に設けられた前記光路長調整部材とを有し、前記光路分割部材と前記光路長調整部材を透過した前記反射測距光の光路長と、前記光路分割部材を透過しなかった前記反射測距光の光路長とが等しくなる様前記光路長調整部材の板厚が設定された請求項１に記載の光波距離測定装置。
【請求項５】
前記測定対象物からの前記反射測距光は窓部を介して前記受光光学系に入射する様構成され、前記窓部に前記光路長調整部材が貼設された請求項２に記載の光波距離測定装置。
【請求項６】
前記測距光を回転照射する走査ミラーを有し、前記反射測距光を前記走査ミラーを介して受光する様構成され、前記光路長調整部材は、前記走査ミラーの中心部に設けられたミラーであり、前記光路長調整部材で反射された前記反射測距光のみが前記光路分割部材を透過する様前記光路長調整部材の大きさが設定され、該光路長調整部材により短縮される前記測距光の光路長と前記反射測距光の光路長の合計と、前記光路分割部材を透過して延長される前記反射測距光の光路長とが等しくなる様前記光路長調整部材の板厚が設定された請求項１に記載の光波距離測定装置。
【請求項７】
前記測距光を回転照射する走査ミラーを有し、前記反射測距光を前記走査ミラーを介して受光する様構成され、該走査ミラーは前記反射測距光を透過可能な透明光学部材であり、前記光路長調整部材は、前記透明光学部材の表面の中心部に設けられた第１反射膜と、前記透明光学部材の裏面の中心部以外の部分に設けられた第２反射膜とで構成され、前記第１反射膜で反射され前記光路分割部材を透過する前記反射測距光の光路長と、前記透明光学部材を透過し前記第２反射膜で反射された前記反射測距光の光路長とが等しくなる様前記透明光学部材の板厚が設定された請求項１に記載の光波距離測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象物からの反射光を受光して測距を行う光波距離測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
レーザスキャナやトータルステーション等の測量装置は、反射プリズムを用いたプリズム測距、反射プリズムを用いないノンプリズム測距により測定対象物迄の距離を検出する光波距離測定装置を有している。
【０００３】
光波距離測定装置では、投光光軸上に光路分割部材が配設され、該光路分割部材により測距光を反射して射出し、又測定対象物からの反射測距光を透過させ、反射測距光を受光光学系が受光して測距が行われている。
【０００４】
従来の光波距離測定装置では、光路分割部材の中心部に部分透過膜が形成され、中心部がビームスプリッタとなっており、又中心部以外の部分には反射防止膜（ＡＲ膜）が施され、全透過部となっている。斯かる光波距離測定装置では、反射測距光が全透過部を透過して受光光学系で受光され、測距が行われる。又、反射測距光の中心部の一部も前記ビームスプリッタを透過して受光光学系で受光される。
【０００５】
上記した様に、光路分割部材の中心部はビームスプリッタであり、反射測距光の中心部の一部はビームスプリッタを透過して受光光学系に入射する。従って、近距離測定でも測定に支障のない光量の反射測距光を受光することができる。
【０００６】
然し乍ら、中心部にビームスプリッタが設けられた光路分割部材を用いた光波距離測定装置の場合、受光光学系の集光レンズに入射する反射測距光が全て光路分割部材を透過する必要がある為、該光路分割部材が大きくなり、光学系の大型化が避けられない。更に、光学系の大型化に伴って重量も増大していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１４−８５１３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、受光量を低減させることなく光学系の小型化を図る光波距離測定装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、測距光源から発せられる測距光を測距光軸上へ射出する投光光学系と、測定対象物からの反射測距光を受光し、受光素子へと導く受光光学系とを具備し、前記投光光学系と前記受光光学系とは、投光光軸と受光光軸が交差する様配設され、前記投光光軸と前記受光光軸の交差位置に前記測距光を反射し、前記反射測距光を透過する光路分割部材を設け、前記反射測距光の光路上に該反射測距光の光路長を補正する光路長調整部材が配設された光波距離測定装置に係るものである。
【００１０】
又本発明は、前記光路長調整部材は、中心部に孔が穿設された透明光学部材であり、該孔は前記光路分割部材を透過する前記反射測距光のみが通過する大きさであり、前記光路分割部材を透過して延長される前記反射測距光の光路長と、前記光路長調整部材を透過して延長される前記反射測距光の光路長とが等しくなる様前記光路長調整部材の板厚が設定された光波距離測定装置に係るものである。
【００１１】
又本発明は、前記受光光学系は集光レンズを有し、前記光路長調整部材は前記集光レンズの入射側と射出側のいずれか一方に設けられる光波距離測定装置に係るものである。
【００１２】
又本発明は、前記受光光学系は、中心部に孔が穿設された集光レンズと、前記孔に設けられた前記光路長調整部材とを有し、前記光路分割部材と前記光路長調整部材を透過した前記反射測距光の光路長と、前記光路分割部材を透過しなかった前記反射測距光の光路長とが等しくなる様前記光路長調整部材の板厚が設定された光波距離測定装置に係るものである。
【００１３】
又本発明は、前記測定対象物からの前記反射測距光は窓部を介して前記受光光学系に入射する様構成され、前記窓部に前記光路長調整部材が貼設された光波距離測定装置に係るものである。
【００１４】
又本発明は、前記測距光を回転照射する走査ミラーを有し、前記反射測距光を前記走査ミラーを介して受光する様構成され、前記光路長調整部材は、前記走査ミラーの中心部に設けられたミラーであり、前記光路長調整部材で反射された前記反射測距光のみが前記光路分割部材を透過する様前記光路長調整部材の大きさが設定され、該光路長調整部材により短縮される前記測距光の光路長と前記反射測距光の光路長の合計と、前記光路分割部材を透過して延長される前記反射測距光の光路長とが等しくなる様前記光路長調整部材の板厚が設定された光波距離測定装置に係るものである。
【００１５】
更に又本発明は、前記測距光を回転照射する走査ミラーを有し、前記反射測距光を前記走査ミラーを介して受光する様構成され、該走査ミラーは前記反射測距光を透過可能な透明光学部材であり、前記光路長調整部材は、前記透明光学部材の表面の中心部に設けられた第１反射膜と、前記透明光学部材の裏面の中心部以外の部分に設けられた第２反射膜とで構成され、前記第１反射膜で反射され前記光路分割部材を透過する前記反射測距光の光路長と、前記透明光学部材を透過し前記第２反射膜で反射された前記反射測距光の光路長とが等しくなる様前記透明光学部材の板厚が設定された光波距離測定装置に係るものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、測距光源から発せられる測距光を測距光軸上へ射出する投光光学系と、測定対象物からの反射測距光を受光し、受光素子へと導く受光光学系とを具備し、前記投光光学系と前記受光光学系とは、投光光軸と受光光軸が交差する様配設され、前記投光光軸と前記受光光軸の交差位置に前記測距光を反射し、前記反射測距光を透過する光路分割部材を設け、前記反射測距光の光路上に該反射測距光の光路長を補正する光路長調整部材が配設されたので、前記光路分割部材を前記反射測距光が全て透過可能な大きさとする必要がなく、光学系の小型化、軽量化が図れると共に、前記光路分割部材を小型化したことにより前記反射測距光の光路長に差が生じることを防止でき、測定精度を向上させることができるという優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】第１の実施例に係る光波距離測定装置の光学系を示す構成図である。
【図２】第２の実施例に係る光波距離測定装置の光学系を示す構成図である。
【図３】（Ａ）は第１の実施例に係る光波距離測定装置の光学系の変形例を示す構成図であり、（Ｂ）は第２の実施例に係る光波距離測定装置の光学系の変形例を示す構成図である。
【図４】第３の実施例に係る光波距離測定装置の光学系を示す構成図である。
【図５】第４の実施例に係る光波距離測定装置の光学系を示す構成図である。
【図６】第５の実施例に係る光波距離測定装置の光学系を示す構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施例を説明する。
【００１９】
先ず、図１に於いて、第１の実施例に係る光波距離測定装置１について説明する。
【００２０】
該光波距離測定装置１は、例えばレーザスキャナやトータルステーション等の測量装置に適用される様になっている。尚、図１は、本実施例の前記光波距離測定装置１がレーザスキャナに適用された場合を示している。該光波距離測定装置１は、測距光２を投光光軸３上に射出する投光光学系４、反射測距光５を受光する受光光学系６を有する。
【００２１】
前記投光光学系４は前記投光光軸３を有し、該投光光軸３上に測距光源７、コリメータレンズ８、光路分割部材であるビームスプリッタ９が設けられている。該ビームスプリッタ９は、前記投光光軸３を走査ミラー１１へ入射する様偏向する。該走査ミラー１１は、前記投光光軸３を測距光軸１２へと偏向する。
【００２２】
前記受光光学系６は受光光軸１３を有し、該受光光軸１３は前記投光光軸３と交差し、前記ビームスプリッタ９はこの交差位置に設けられている。前記測距光軸１２に沿って入射する前記反射測距光５が、前記走査ミラー１１によって前記受光光軸１３へと偏向される。該受光光軸１３は、前記投光光軸３と略合致し、更に前記ビームスプリッタ９を透過する。
【００２３】
前記測距光源７は、例えば半導体レーザ等であり、前記測距光２として前記投光光軸３上に不可視光である赤外光又は可視光のレーザ光線を発する。又、前記測距光源７は、所要の光強度、所要のパルス間隔（周波数）等、所要の状態でレーザ光線が射出される様、図示しない制御部に制御される様になっている。
【００２４】
前記コリメータレンズ８は、前記測距光２を平行光束とする様になっている。前記ビームスプリッタ９は、平行光束とされた前記測距光２を反射するだけの大きさを有し、又該測距光２の一部を反射する反射率となっており、例えば反射率が５０％〜９５％程度である。又、前記ビームスプリッタ９は、前記投光光軸３を前記走査ミラー１１へと偏向させる偏向光学部材として機能する。又、前記ビームスプリッタ９は、前記反射測距光５の一部を透過させる様になっている。
【００２５】
又、前記受光光軸１３上には、前記ビームスプリッタ９、光路長調整部材１４、集光レンズ１５、受光素子１６が設けられている。前記ビームスプリッタ９は、前記集光レンズ１５の測定対象物側に位置し、前記受光光軸１３に直交する平面に投影した形状が円となる様な楕円形状となっている。或は矩形でもよい。
【００２６】
前記走査ミラー１１は、回転軸心１７を中心に回転可能となっており、前記制御部に前記走査ミラー１１の回転が所定角度回転する様制御され、或は所定の回転速度で回転される様制御される様になっている。尚、前記回転軸心１７は、前記受光光軸１３と略同軸となっている。
【００２７】
又、前記走査ミラー１１は前記測距光２を反射し、窓部１８を介して前記光波距離測定装置１の外部へと照射する。前記走査ミラー１１の回転によって、前記測距光２が測定対象物を走査する。該測定対象物で反射された前記測距光２は、前記反射測距光５として前記走査ミラー１１に入射し、該走査ミラー１１によって前記受光光軸１３上に反射される様になっている。前記窓部１８は、前記測距光軸１２に対して傾斜して設けられている。
【００２８】
前記光路長調整部材１４は、例えば中心部に孔１９が形成されたガラス板等の透明光学部材となっており、全面にＡＲ膜が形成されている。該孔１９の径は、前記ビームスプリッタ９の投影された形状の直径と略同じ大きさであり、前記ビームスプリッタ９を透過した前記反射測距光５のみが前記孔１９を通過する大きさとなっている。
【００２９】
又、前記光路長調整部材１４の板厚は、前記反射測距光５が前記ビームスプリッタ９を透過する際に延長された光路長と、前記反射測距光５が前記光路長調整部材１４を透過する際に延長される光路長とが等しくなる厚さとなっている。即ち、前記ビームスプリッタ９を透過しない前記反射測距光５の光路長を補正する様になっている。
【００３０】
前記集光レンズ１５は、例えば無限共役レンズであり、平行光束として受光した前記反射測距光５を前記受光素子１６に集光させる様になっている。尚、前記集光レンズ１５として多重非球面レンズを用いてもよい。
【００３１】
前記測距光源７より射出された前記測距光２は、前記コリメータレンズ８にて平行光束とされ、前記ビームスプリッタ９に入射する。前記測距光２は、前記ビームスプリッタ９により直角に反射され、前記走査ミラー１１に直角に反射され、前記窓部１８を透過して測定対象物（図示せず）に照射される。
【００３２】
又、制御部（図示せず）により前記走査ミラー１１が回転されることで、前記測距光２が回転照射され、該測距光２により測定対象物が走査される。
【００３３】
該測定対象物により拡散反射された前記測距光２は、測定対象物が所定の距離よりも遠い位置にある場合には、光束が広がった平行光束の前記反射測距光５として前記窓部１８を透過し、前記走査ミラー１１に入射する。又、測定対象物が所定の距離よりも近い位置にある場合には、光束が広がった拡散光の前記反射測距光５として前記窓部１８を透過し、前記走査ミラー１１に入射する。
【００３４】
該走査ミラー１１により反射された前記反射測距光５のうち、前記走査ミラー１１の中心部で反射された前記反射測距光５は前記ビームスプリッタ９に入射する。又、前記走査ミラー１１の中心部以外で反射された前記反射測距光５は、前記ビームスプリッタ９の周囲を通過する。
【００３５】
前記反射測距光５の一部は、前記ビームスプリッタ９を透過し、前記孔１９を通過し、前記集光レンズ１５によって前記受光素子１６へ結像される。又、前記ビームスプリッタ９の周囲を通過した前記反射測距光５は、前記光路長調整部材１４を透過し、前記集光レンズ１５に入射し、更に該集光レンズ１５によって前記受光素子１６へ結像される。
【００３６】
ここで、前記ビームスプリッタ９を透過する際に延長される光路長と、前記光路長調整部材１４を透過する際に延長される光路長とが等しくなる様、前記光路長調整部材１４の板厚が設定されている。従って、該光路長調整部材１４を透過した前記反射測距光５の光路長と、前記ビームスプリッタ９を透過した前記反射測距光５の光路長とが等しくなる。
【００３７】
前記反射測距光５は、前記受光素子１６に受光され、図示しない制御部は前記受光素子１６から発せられる受光信号に基づき測定対象物迄の距離を演算する。
【００３８】
上述の様に、第１の実施例では、前記受光光軸１３上に中心部に前記孔１９が形成された前記光路長調整部材１４を設け、該光路長調整部材１４により前記ビームスプリッタ９に入射することなく周囲を通過した前記反射測距光５の光路長を補正することで、前記ビームスプリッタ９を透過した前記反射測距光５と、前記ビームスプリッタ９の周囲を通過した前記反射測距光５の光路長を等しくしている。
【００３９】
従って、前記ビームスプリッタ９を透過した前記反射測距光５と、前記ビームスプリッタ９の周囲を通過した前記反射測距光５との光路長の差により測定結果に誤差が生じるのを防止することができ、測定精度を向上させることができる。
【００４０】
又、光路分割部材としての前記ビームスプリッタ９を、前記集光レンズ１５に入射する全ての前記反射測距光５が透過可能な大きさとする必要がないので、前記光路分割部材を小型化することができ、前記光波距離測定装置１の光学系の小型化、軽量化を図ることができる。
【００４１】
又、前記反射測距光５の一部は、前記ビームスプリッタ９を透過して前記集光レンズ１５の中心部に入射し、前記受光素子１６に受光される様になっている。従って、特に近距離のプリズム測距に於いて、前記反射測距光５が充分に拡散せず幅の小さい平行光束のまま入射し、該反射測距光５が前記ビームスプリッタ９により遮られる様な状態であっても、該ビームスプリッタ９を透過する前記反射測距光５により該反射測距光５の光量を充分に確保でき、極近距離でのプリズム測距が可能となる。
【００４２】
又、近距離のノンプリズム測距に於いて、前記集光レンズ１５で集光した前記反射測距光５が前記受光素子１６で大きくアウトフォーカスした状態であっても、前記ビームスプリッタ９を透過する前記反射測距光５により該反射測距光５の光量を充分に確保でき、極近距離でのノンプリズム測距が可能となる。
【００４３】
又、ノンプリズム測距時の近距離の受光量のダイナミックレンジを極めて小さくすることができ、高精度な測距が可能となる。
【００４４】
次に、図２に於いて、第２の実施例に係る光波距離測定装置１について説明する。尚、図２中、図１中と同等のものには同符号を付し、その説明を省略する。
【００４５】
第２の実施例では、第１の実施例に於ける光路長調整部材１４（図１参照）と集光レンズ１５（図１参照）に代えて、集光レンズ２１が設けられている。
【００４６】
該集光レンズ２１は、例えば中心部に孔２３が穿設された無限共役レンズであり、該孔２３に光路長調整部材２２が埋込まれて設けられている。尚、通常の無限共役レンズに対し、表面又は裏面からモールド加工を行うことで前記光路長調整部材２２を作成する様にしてもよい。又、該光路長調整部材２２の表裏面及び前記孔２３の周面にはＡＲ膜が形成されている。
【００４７】
前記光路長調整部材２２の板厚は、ビームスプリッタ９と前記光路長調整部材２２を透過した際の反射測距光５の光路長と、前記ビームスプリッタ９の周囲を通過して前記集光レンズ２１に入射した際の前記反射測距光５の光路長とが等しくなる様設定される。
【００４８】
第２の実施例に於いては、前記ビームスプリッタ９を透過した前記反射測距光５と、前記ビームスプリッタ９の周囲を通過した前記反射測距光５の光路長が等しくなり、光路長の差により測定結果に誤差が生じるのを防止することができる。
【００４９】
又、特に近距離の測距に於いて、前記ビームスプリッタ９を前記反射測距光５が透過し、受光素子１６に入射することにより測距に充分な受光量が確保できる。
【００５０】
従って、第２の実施例に於いても、近距離及び遠距離に於ける前記反射測距光５の受光量を充分に確保しつつ、光路分割部材としての前記ビームスプリッタ９の小型化が可能となり、前記光波距離測定装置１の光学系の小型化、軽量化を図ることができる。
【００５１】
尚、第１の実施例及び第２の実施例がトータルステーション等の測量装置に用いられる場合は、前記走査ミラー１１が省略される。この場合、前記ビームスプリッタ９で反射された前記測距光２が直接測定対象物に照射され、該測定対象物からの前記反射測距光５が直接前記ビームスプリッタ９を透過する。
【００５２】
図３（Ａ）は第１の実施例の変形例を示し、図３（Ｂ）は、第２の実施例の変形例を示している。
【００５３】
図３（Ａ）は、無限共役レンズである集光レンズ２４の平面（射出面）の中心部に孔２５が穿設されたガラス板等の透明光学部材からなる光路長調整部材２６を貼設し、前記集光レンズ２４と前記光路長調整部材２６とを一体化した構造となっている。
【００５４】
第１の実施例の変形例に於いても、前記ビームスプリッタ９を透過し、前記孔２５を通過する前記反射測距光５と、前記ビームスプリッタ９の周囲を通過し、前記光路長調整部材２６を透過する前記反射測距光５の光路長が等しくなるので、測距時に充分な受光量を確保しつつ前記光波距離測定装置１の光学系の小型化を図ることができる。
【００５５】
図３（Ｂ）は、前記集光レンズ２４の同一光軸上且つ射出側に光路長調整部材２７が設けられた第２集光レンズ２８を別途設けている。前記光路長調整部材２７は、前記第２集光レンズ２８に凸レンズを埋込むか、或は前記第２集光レンズ２８を表面又は裏面からモールド加工することにより形成される。
【００５６】
第２の実施例の変形例に於いても、前記ビームスプリッタ９を透過した前記反射測距光５は前記光路長調整部材２７を透過し、前記ビームスプリッタ９の周囲を通過した前記反射測距光５は前記第２集光レンズ２８を透過し、この時の両者の前記反射測距光５の光路長は等しくなる。従って、測距時に充分な受光量を確保しつつ前記光波距離測定装置１の光学系の小型化を図ることができる。
【００５７】
又、前記第２集光レンズ２８及び前記光路長調整部材２７は、前記集光レンズ２４と同一光軸上且つ射出側に設けられているので、部材を小型化することができる。
【００５８】
次に、図４に於いて、第３の実施例に係る光波距離測定装置１について説明する。尚、図４中、図１中と同等のものには同符号を付し、その説明を省略する。
【００５９】
第３の実施例では、窓部１８に光路長調整部材２９が貼設されている。該光路長調整部材２９は、例えばガラス板等の透明光学部材であり、所定の箇所、例えば中心部に孔３１が穿設されている。
【００６０】
該孔３１の大きさは、測定対象物（図示せず）により反射された反射測距光５のうち、ビームスプリッタ９に入射するもののみが通過可能な大きさとなる様設定される。又、前記光路長調整部材２９の板厚は、前記反射測距光５が前記ビームスプリッタ９を透過する際の光路長と、前記光路長調整部材２９を透過する際の光路長とが等しくなる様設定される。
【００６１】
第３の実施例に於いても、前記ビームスプリッタ９を透過する前記反射測距光５と、前記ビームスプリッタ９の周囲を通過する前記反射測距光５の光路長が等しくなるので、測距時に充分な受光量を確保しつつ前記光波距離測定装置１の光学系の小型化を図ることができる。
【００６２】
次に、図５に於いて、第４の実施例に係る光波距離測定装置１について説明する。尚、図５中、図１中と同等のものには同符号を付し、その説明を省略する。
【００６３】
第４の実施例では、走査ミラー１１の反射面の中心部に光路長調整部材３２が貼設されている。該光路長調整部材３２は、例えば所定の厚みを有するミラーとなっている。
【００６４】
該光路長調整部材３２は、測距光源７から射出された測距光２を反射すると共に、測定対象物で反射された反射測距光５を反射する様になっている。即ち、前記測距光２の光路長と前記反射測距光５の光路長は、それぞれ前記光路長調整部材３２の板厚分だけ短縮される。
【００６５】
従って、前記光路長調整部材３２の板厚は、該光路長調整部材３２により短縮された前記測距光２の光路長と前記反射測距光５の光路長の合計が、該反射測距光５がビームスプリッタ９を透過した際に延長される光路長と等しくなる様に設定される。又、前記光路長調整部材３２の大きさは、該光路長調整部材３２で反射された前記反射測距光５のみが前記ビームスプリッタ９を透過する様設定されている。
【００６６】
第４の実施例に於いても、前記ビームスプリッタ９を透過する前記反射測距光５と、前記ビームスプリッタ９の周囲を通過する前記反射測距光５の光路長が等しくなるので、測距時に充分な受光量を確保しつつ前記光波距離測定装置１の光学系の小型化を図ることができる。
【００６７】
次に、図６に於いて、第５の実施例に係る光波距離測定装置１について説明する。尚、図６中、図１中と同等のものには同符号を付し、その説明を省略する。
【００６８】
第５の実施例では、走査ミラー１１は例えば透明なガラス板等の透明光学部材３３を基体とし、該透明光学部材３３の表面（反射面）の中心部に反射膜である第１光路長調整部材３４が設けられ、前記透明光学部材３３の裏面（反射面の反対面）の中心部以外の部分に反射膜である第２光路長調整部材３５が設けられている。
【００６９】
第５の実施例では、ビームスプリッタ９で反射された測距光２は前記第１光路長調整部材３４で反射される。測定対象物からの反射測距光５は、一部が前記第１光路長調整部材３４で反射された後、前記ビームスプリッタ９を透過する様になっている。又、前記反射測距光５の残部は、前記透明光学部材３３を透過し、前記第２光路長調整部材３５で反射された後、前記ビームスプリッタ９の周囲を通過する様になっている。
【００７０】
尚、前記透明光学部材３３の板厚、前記第１光路長調整部材３４及び前記ビームスプリッタ９の板厚は、前記反射測距光５が前記透明光学部材３３を透過する際に延長される光路長と、前記反射測距光５が前記第１光路長調整部材３４により短縮され前記ビームスプリッタ９を透過する際に延長される光路長が等しくなる様に設定される。
【００７１】
従って、該ビームスプリッタ９を透過する前記反射測距光５の光路長と、前記ビームスプリッタ９の周囲を通過する前記反射測距光５の光路長は等しくなっているので、測距時に充分な受光量を確保しつつ前記光波距離測定装置１の光学系の小型化を図ることができる。
【００７２】
尚、本発明の前記光波距離測定装置１に於いて、用途に応じて可視カメラ、レーザポインタ、視準望遠鏡、追尾用照明光学系等を前記投光光学系４、前記受光光学系６と同軸又は非同軸に設けた光学系としてもよい。
【００７３】
又、前記光波距離測定装置１は、レーザスキャナやトータルステーション等の測量装置以外の距離計全般に対して適用可能であるのは言う迄もない。
【符号の説明】
【００７４】
１              光波距離測定装置
２              測距光
３              投光光軸
４              投光光学系
５              反射測距光
６              受光光学系
７              測距光源
８              コリメータレンズ
９              ビームスプリッタ
１１            走査ミラー
１２            測距光軸
１３            受光光軸
１４            光路長調整部材
１５            集光レンズ
１６            受光素子
１８            窓部
１９            孔
２１            集光レンズ
２２            光路長調整部材
２３            孔
２４            集光レンズ
２５            孔
２６            光路長調整部材
２７            光路長調整部材
２８            第２集光レンズ
２９            光路長調整部材
３１            孔
３２            光路長調整部材
３３            透明光学部材
３４            第１光路長調整部材
３５            第２光路長調整部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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