(57)【要約】【課題】  フィルタ特性の優れ、より小型化に対応させた４ポール表面実装型圧電フィルタを提供する。【解決手段】  段部を有する収納部と複数の外部端子とが形成された絶縁性のベース１と、内底面に搭載される第１圧電板２と、段部に搭載される第２圧電板３と、これらを気密封止する蓋５とを備えており、上記ベースの収納部の各パッドに接続されて搭載された第１圧電板と第２圧電板は、ベースの高さ方向で重畳しており、かつ少なくとも第１圧電板に形成された第１アース電極と第２圧電板に形成された第２アース電極とがお互いに近接する方向に向けて配置され、第１圧電板と第２圧電板のアース電極は、ベースで共通接続されるグラウンド用の外部端子に接続され、第１圧電板と第２圧電板の各入出電極は、ベースで独立して接続された個別の外部端子を介して外部回路に接続された。【選択図】  図１
2017046265.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面実装型圧電フィルタであって、
段部を有する収納部と複数の外部端子とが形成された絶縁性のベースと、
上記ベースの収納部の内底面に搭載される第１圧電板と、
上記第１圧電板の上部に配置され上記ベースの収納部の段部に搭載される第２圧電板と、
上記ベースの収納部の開口部を気密封止する蓋と、
を備えており、
上記第１圧電板の一主面には、第１入力電極と当該入力電極を圧電板端部まで引き出す第１入力引出電極、第１出力電極と当該出力電極を圧電板端部まで引き出す第１出力引出電極が形成され、上記第１圧電板の他主面には、上記第１入力電極と上記第１出力電極の対向する位置に第１アース電極が形成され、当該第１アース電極を圧電板端部まで引き出す第１アース引出電極が形成され、
上記第２圧電板の一主面には、第２入力電極と当該入力電極を圧電板端部まで引き出す第２入力引出電極、第２出力電極と当該出力電極を圧電板端部まで引き出す第２出力引出電極が形成され、上記第２圧電板の他主面には、上記第２入力電極と上記第２出力電極の対向する位置に第２アース電極が形成され、当該第２アース電極を圧電板端部まで引き出す第２アース引出電極が形成され、
上記ベースの収納部の内底面には、上記第１圧電板の各引出電極の延出位置に対応して形成される第１入力パッド部と第１出力パッド部と第１アースパッド部とが形成され、
上記ベースの収納部の段部には、上記第２圧電板の各引出電極の延出位置に対応して形成される第２入力パッド部と第２出力パッド部と第２アースパッド部とが形成され、
上記ベースの収納部の各パッドに接続されて搭載された第１圧電板と第２圧電板は、ベースの高さ方向で重畳しており、かつ少なくとも第１圧電板の他主面と第２圧電板の他主面とが対向しており、
上記第１アースパッド部と第２アースパッド部とは、上記ベースで共通接続されるとともにグラウンド用の外部端子に接続され、
上記第１入力パッド部と第１出力パッド部と第２入力パッド部と第２出力パッド部とは、上記ベースで独立して接続された個別の外部端子に接続された
ことを特徴とする表面実装型圧電デバイス。
【請求項２】
請求項１記載の表面実装型圧電デバイスであって、
上記第１圧電板の他主面の第１アース電極は、上記１圧電板の一主面の第１入力電極と第１出力電極とを併せて対向させた形成領域より広く形成され、
上記第２圧電板の他主面の第２アース電極は、上記２圧電板の一主面の第２入力電極と第２出力電極とを併せて対向させた形成領域より広く形成された
ことを特徴とする表面実装型圧電デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、携帯電話等の無線機器に用いられ、例えば圧電フィルタ（ＭＣＦ）に代表される４ポール多重モード圧電フィルタに関し、特に表面実装型圧電フィルタの改良に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、圧電板を用いた多重モード圧電フィルタの一種としてＭＣＦ（モノリシッククリスタルフィルタ）が用いられている。例えば、ＭＣＦとして一般的な２重モード水晶フィルタでは、１枚のＡＴカット水晶板の一主面に入力電極と出力電極が所定のギャップを開けて形成され、同水晶板の他主面に入力電極と出力電極の対向する位置にアース電極が形成されている。このように構成することで、１枚の水晶板上の２つの振動子の結合から生じる２つの振動モード（対称モードと斜対称モード）を利用した２重モード水晶フィルタが得られる。
【０００３】
このようなＭＣＦの中には、特許文献１に示すように、２つの２重モード圧電フィルタを縦続接続することで、フィルタ特性の優れた４ポールタイプの圧電フィルタが提案されている。具体的には、図６に示すように、パッケージ体を構成するベース１には、各水晶板２，３の入力電極２１，３１と出力電極２２，３２とアース電極２３，３３と各配線Ａ〜Ｆを介して接続された６つの個別の外部端子１１〜１６を有している。
【０００４】
このうち、一方の水晶板２の入力電極２１と外部端子１１は配線Ａを介して独立的に接続され、ベース１で独立的に接続された個別の外部端子１１と接続された配線Ａ２を介して外部回路の入力側に接続される。他方の水晶板３の出力電極３２と外部端子１２は配線Ｂを介して独立的に接続され、ベース１で独立的に接続された個別の外部端子１２と接続された配線Ｂ２を介して外部回路の出力側に接続される。
【０００５】
一方の水晶板２の出力電極２２と外部端子１３は配線Ｃを介して独立的に接続され、他方の水晶板３の入力電極３１と外部端子１４は配線Ｄを介して独立的に接続され、ベース１で独立的に接続された個別の外部端子１３と接続された配線Ｃ２と、ベース１で独立的に接続された個別の外部端子１４と接続された配線Ｄ２とは外部回路にてお互いに共通接続されるとともにコンデンサを介してグラウンドに接続される。
【０００６】
一方の水晶板２のアース電極２３と外部端子１５は配線Ｅを介して接続され、ベース１の個別の外部端子１５と接続された配線Ｅ２を介して外部回路のグラウンドに接続される。他方の水晶板３のアース電極３３と外部端子１６は配線Ｆを介して接続され、ベース１の個別の外部端子１６と接続された配線Ｆ２を介して外部回路のグラウンドに接続される。配線Ｅと配線Ｆとは配線Ｇを介して共通接続されるとともにグラウンドに接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１４−８６９８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、このような４ポールタイプの圧電フィルタでは、２つの圧電フィルタ（各電極を有する圧電板）のうち双方の圧電フィルタで発生した信号が電磁気的に放射することで、双方の圧電フィルタで発生する信号と干渉することがあるため、お互いの圧電フィルタで影響し合わないように配置する必要があった。特に、４ポールタイプの表面実装型圧電フィルタでは、各圧電フィルタを平面的に並列配置することで、お互いの圧電フィルタを離隔させお互いに影響しにくい構成を採用することが一般的であった。
【０００９】
しかしながら、上述のように圧電フィルタを平面的に並列配置することで、４ポールタイプの表面実装型圧電フィルタでは、平面視７ｍｍ×５ｍｍ以下のサイズに小型化が進まないという問題点があった。
【００１０】
そこで、上記課題を解決するために、本発明は、複数の圧電フィルタによる相互に干渉するといった悪影響をなくしながら、より小型化に対応させた表面実装型圧電フィルタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の目的を達成するために、本発明の特許請求項１に示すように、
段部を有する収納部と複数の外部端子とが形成された絶縁性のベースと、
上記ベースの収納部の内底面に搭載される第１圧電板と、
上記第１圧電板の上部に配置され上記ベースの収納部の段部に搭載される第２圧電板と、
上記ベースの収納部の開口部を気密封止する蓋と、
を備えており、
上記第１圧電板の一主面には、第１入力電極と当該入力電極を圧電板端部まで引き出す第１入力引出電極、第１出力電極と当該出力電極を圧電板端部まで引き出す第１出力引出電極が形成され、上記第１圧電板の他主面には、上記第１入力電極と上記第１出力電極の対向する位置に第１アース電極が形成され、当該第１アース電極を圧電板端部まで引き出す第１アース引出電極が形成され、
上記第２圧電板の一主面には、第２入力電極と当該入力電極を圧電板端部まで引き出す第２入力引出電極、第２出力電極と当該出力電極を圧電板端部まで引き出す第２出力引出電極が形成され、上記第２圧電板の他主面には、上記第２入力電極と上記第２出力電極の対向する位置に第２アース電極が形成され、当該第２アース電極を圧電板端部まで引き出す第２アース引出電極が形成され、
上記ベースの収納部の内底面には、上記第１圧電板の各引出電極の延出位置に対応して形成される第１入力パッド部と第１出力パッド部と第１アースパッド部とが形成され、
上記ベースの収納部の段部には、上記第２圧電板の各引出電極の延出位置に対応して形成される第２入力パッド部と第２出力パッド部と第２アースパッド部とが形成され、
上記ベースの収納部の各パッドに接続されて搭載された第１圧電板と第２圧電板は、ベースの高さ方向で重畳しており、かつ少なくとも第１圧電板の他主面と第２圧電板の他主面とが対向しており、
上記第１アースパッド部と第２アースパッド部とは、上記ベースで共通接続されるとともにグラウンド用の外部端子に接続され、
上記第１入力パッド部と第１出力パッド部と第２入力パッド部と第２出力パッド部とは、上記ベースで独立して接続された個別の外部端子に接続された。
【００１２】
上記構成により、上記ベースの収納部において、内底面に第１圧電板を配置し、上記第１圧電板の上部の段部に第２圧電板を配置することで、お互いに接触することなくベースの高さ方向に重畳させて収納することができるため、ベース外形と収納部の平面視面積を縮小し表面実装型圧電フィルタの小型化に対応することができる。しかも、ベースの収納部には各フィルタを構成する１圧電板と第２圧電板以外には配置されないので、表面実装型圧電フィルタの低背化を妨げることもない。
【００１３】
加えて、重畳して搭載された第１圧電板と第２圧電板とは、少なくとも第１圧電板の他主面と第２圧電板の他主面とが対向して配置されているとともに、上記第１アース電極と第２アース電極はグラウンドに接続されているので、第１圧電板の入出力電極あるいは第２圧電板の入出力電極から発生した電磁気的な信号は上記第１アース電極と第２アース電極で吸収されるため、他方の圧電板に悪影響を与えることがない。また、第１アース電極と第２アース電極とは同電位となるため、お互いに電磁気的な信号の放射することが起こらない。しかも、上記第１圧電板と第２圧電板の各入出力電極は独立して外部回路に接続されているので、必要な電気信号のみを電気経路を経て外部回路に接続することができる。結果として、保証減衰量の低減やスプリアスの抑制などフィルタ特性の向上に大きく貢献できる。
【００１４】
また、上述の構成に加え、
上記第１圧電板の他主面の第１アース電極は、上記１圧電板の一主面の第１入力電極と第１出力電極とを併せて対向させた形成領域より広く形成され、
上記第２圧電板の他主面の第２アース電極は、上記２圧電板の一主面の第２入力電極と第２出力電極とを併せて対向させた形成領域より広く形成された。
【００１５】
上記構成により、上記第１圧電板の他主面の第１アース電極は、上記１圧電板の一主面の第１入力電極と第１出力電極とを併せて対向させた形成領域より広く形成され、上記第２圧電板の他主面の第２アース電極は、上記２圧電板の一主面の第２入力電極と第２出力電極とを併せて対向させた形成領域より広く形成されているので、より広範囲の電磁気的な信号の遮蔽部が得られ、さらなる保証減衰量の低減やスプリアスの抑制などフィルタ特性の向上により一層大きく貢献できる。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように、本発明は、複数の圧電フィルタによる相互に干渉するといった悪影響をなくしながら、より小型化に対応させた表面実装型圧電フィルタを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の４ポールタイプ表面実装型圧電フィルタを示す模式図である。
【図２】本発明の実施形態に係る表面実装型圧電フィルタの概略側面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る表面実装型圧電フィルタのベースのみの平面図である。
【図４】本発明の実施形態に係る表面実装型圧電フィルタのベースに第１圧電板のみを搭載した状態の平面図である。
【図５】本発明の実施形態に係る表面実装型圧電フィルタのベースに第１圧電板と第２圧電板とを搭載した状態の平面図である。
【図６】従来の４ポールタイプ表面実装型圧電フィルタを示す模式図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明による好ましい実施形態につき、４ポールタイプの表面実装型圧電フィルタを例にとり図面とともに説明する。
【００１９】
図１は、本発明による４ポールタイプの表面実装型圧電フィルタの概略構成を示している。本発明の表面実装型圧電フィルタには、収納部１０と複数の外部端子１１〜１６とが形成された絶縁性のベース１があり、このベース１の収納部１０に第１圧電板２と第２圧電板３とが収納され、後述する蓋５により気密封止されている。ベース１は例えばセラミック多層基板からなり、第１圧電板２と第２圧電板３は例えばＡＴカット水晶板からなり、後述する蓋５は例えばコバールなどの金属板からなる。
【００２０】
第１圧電板２の一主面には第１入力電極２１と第１出力電極２２とが所定のギャップ２０を開けて形成され、同第１圧電板２の他主面には第１入力電極２１と第１出力電極２２の対向する位置に第１アース電極２３が形成されている。第２圧電板３の一主面には第２入力電極３１と第２出力電極３２とが所定のギャップ３０を開けて形成され、同第２圧電板３の他主面には第２入力電極３１と第２出力電極３２の対向する位置に第２アース電極３３が形成されている。
【００２１】
第１圧電板２の第１入力電極２１と第１出力電極２２と第１アース電極２３と、第２圧電板３の第２入力電極３１と第２出力電極３２と第２アース電極３３とは、ベース１の内部に形成された各配線Ａ〜Ｇを介してベース１の外部に独立して形成された個別の外部端子１１〜１６に接続されている。
【００２２】
このうち、第１圧電板２の第１入力電極２１と外部端子１１は配線Ａを介して独立して接続され、ベース１で独立して接続された個別の外部端子１１と接続された配線Ａ２を介して外部回路の入力側に接続される。第２圧電板３の第１出力電極３２と外部端子１２は配線Ｂを介して独立して接続され、ベース１で独立して接続された個別の外部端子１２と接続された配線Ｂ２を介して外部回路の出力側に接続される。
【００２３】
また、第１圧電板２の第１出力電極２２と外部端子１３は配線Ｃを介して独立して接続され、第２圧電板３の第２入力電極３１と外部端子１４は配線Ｄを介して独立して接続され、ベース１で独立して接続された個別の外部端子１３と接続された配線Ｃ２と、ベース１で独立して接続された個別の外部端子１４と接続された配線Ｄ２とは外部回路にてお互いに共通接続されるとともにコンデンサを介してグラウンドに接続される。
【００２４】
さらに、第１圧電板２の第１アース電極２３と外部端子１５は配線Ｅを介して接続され、ベース１の個別の外部端子１５と接続された配線Ｅ２を介して外部回路のグラウンドに接続される。第２圧電板３の第２アース電極３３と外部端子１６は配線Ｆを介して接続され、ベース１で個別の外部端子１６と接続された配線Ｆ２を介して外部回路のグラウンドに接続される。蓋５は配線Ｇにより接続されており、配線Ｅと配線Ｆと配線Ｇとは共通接続され、最終的にベース１の個別の外部端子１５，１６を介して外部回路のグラウンドに接続される。
【００２５】
また、上記ベース１の収納部１０に収納された第１圧電板２は、第１入出力電極２１，２２がベース１の内底面１００の方に向けて配置され、上記ベース１の収納部１０に収納された第２圧電板３は、第２入出力電極３１，３２がベース１の内底面１００と背向する方（蓋５側）に向けて配置される。この際、第１圧電板２の第１アース電極２３と第２圧電板３の第２アース電極３３とは、ベース１の高さ方向で少なくとも一部が重畳するように対向して配置されている。なお、図１の例では、第１圧電板２の第１入出力電極２１，２２の一部と第１アース電極２３、第２圧電板３の第２アース電極３３と第２入出力電極３１，３２の一部が、ベース１の高さ方向で重畳して配置された例を示している。
【００２６】
以下、本発明による表面実装型圧電フィルタに関し、より具体的な構成について、図２〜図５を参照しつつ説明する。
【００２７】
表面実装型圧電フィルタは略直方体状のパッケージであり、ベース１と、第１圧電板２、第２圧電板３、蓋５とが主な構成部材となっている。
【００２８】
ベース１はセラミック材料からなる長辺と短辺を有する平面視略矩形の基板部と枠部の積層体で構成され、下層と中層と上層の３層以上の積層体により収納部１０を形成する直方体形状の容器である。
【００２９】
本実施形態では、ベース１は、ベースの高さ方向（厚み方向）に３層構成となっている。すなわち、ベース１の高さ方向（厚み方向）の下側から、ベースの下層となる平板状（平面視略矩形）の基板部１Ａと、当該基板部１Ａの上面の外周部に沿って上方に伸び、外周縁と内周縁とが平面視略矩形で形成されベースの中層となる第１枠部１Ｂと、当該第１枠部１Ｂの外周部に沿って上方に伸び外周縁と内周縁とが平面視略矩形で形成されベースの上層となる第３枠部１Ｃとを有している。
【００３０】
ベース１の収納部１０は、ベースの高さ方向（厚み方向）の下側から、第１収納部１０Ｂ、第２収納部１０Ｃを組み合わせることで構成されており、かつ平面視形状が略矩形で対向する第１長辺Ｌ１と第２長辺Ｌ２、対向する第１短辺Ｗ１と第２短辺Ｗ２を有している。なお、第１長辺Ｌ１の中央と第２長辺Ｌ２の中央を通る仮想短辺Ｗ３を隔てて、向かって左手側の収納部（一方の収納部）を第１領域１０１とし、向かって右手側の収納部（他方の収納部）を第２領域１０２として設定している。
【００３１】
第１収納部１０Ｂは、基板部１Ａの上面による内底面と第１枠部１Ｂの内周縁より内側の内部空間により構成され、後述する第１圧電板２を収納する。また、第１枠部１Ｂにより、第１枠部１Ｂの内周縁から第１収納部１０Ｂの方へ一部が張り出し、第１収納部１０Ｂから上部に突き出すことで構成される後述する第２圧電板３を保持するための段部１０１Ｂ，１０２Ｂ，１０３Ｂが構成されている。
【００３２】
また、基板部１Ａの上面（収納部の内底面）には後述する第１圧電板２を電気機械的に保持搭載するための第１入力パッド部１０Ａ１と第１出力パッド部１０Ａ２と第１アースパッド部１０Ａ３が形成され、第１枠部１Ｂである段部１０１Ｂ，１０２Ｂ，１０３Ｂの上面には後述する第２圧電板３を電気機械的に保持搭載するための第２入力パッド部１０Ｂ１と第２出力パッド部１０Ｂ２と第２アースパッド部１０Ｂ３とが形成されている。
【００３３】
このとき、第１圧電板２と接続される第１入力パッド部１０Ａ１と第１出力パッド部１０Ａ２と第１アースパッド部１０Ａ３とは、第１領域１０１の周囲のみに沿って形成され、一つのパッド部のみが仮想短辺Ｗ３の一端部Ｗ３１に配置されている。より具体的には、第１入力パッド部１０Ａ１が第１領域１０１の向かって左上側の角部に近接して形成され、第１アースパッド部１０Ａ３が第１領域１０１の向かって左下側の角部に近接して形成され、第１出力パッド部１０Ａ２のみが第１領域１０１の向かって右下側で仮想短辺Ｗ３の下側の一端部Ｗ３１に近接して形成されている。なお、本形態のように仮想短辺Ｗ３の一端部Ｗ３１に配置される一つのパッド部として、第１出力パッド部１０Ａ２に限らず、第１入力パッド部１０Ａ１や第１アースパッド部１０Ａ３を配置してもよい。
【００３４】
第２収納部１０Ｃは、第２枠部１Ｃの内周縁より内側の内部空間により構成され、後述する第２圧電板３を収納する。また、第２枠部１Ｃの上部には、後述する金属製の蓋５と電気機械的に接合されてベースの収納部１０を気密封止するためのメタライズや金属枠体などからなる封止部１０１Ｃが構成されている。
【００３５】
このとき、第２圧電板３と接続される第２入力パッド部１０Ｂ１と第２出力パッド部１０Ｂ２と第２アースパッド部１０Ｂ３とは、第２領域１０２の周囲のみに沿って形成され、一つのパッド部のみが仮想短辺Ｗ３の他端部Ｗ３２に配置されている。より具体的には、第２アースパッド部１０Ｂ３が第２領域１０２の向かって右上側の角部に近接して形成され、第２出力パッド部１０Ｂ２が第２領域１０２の向かって右下側の角部に近接して形成され、第２入力パッド部１０Ｂ１のみが第２領域１０２の向かって左上側で仮想短辺Ｗ３の上側の他端部Ｗ３２に近接して形成されている。なお、本形態のように仮想短辺Ｗ３の他端部Ｗ３２に配置される一つのパッド部として、第２入力パッド部１０Ｂ２に限らず、第２出力パッド部１０Ｂ２や第２アースパッド部１０Ｂ３を配置してもよい。
【００３６】
以上のような２つの高さの異なる搭載部を有する積層体から構成されたベース１を用い、最も低い内底面１００に第１圧電板２を搭載し、段差部（段部１０１Ｂ，１０２Ｂ，１０３Ｂ）に第２圧電板３を搭載することで、第１圧電板と第２圧電板との少なくとも一部あるいは全部とがお互いにベース１の高さ方向で重畳して配置することができるため、ベースの平面視面積を小さく構成できる。
【００３７】
ベース１の底面には外部端子１１〜１６が形成されている（一部のみ図示）。これらの外部端子は、ベース内部に形成された図示しない配線（配線パターンやビア等）を介して、第１入力パッド部１０Ａ１、第１出力パッド部１０Ａ２、第１アースパッド部１０Ａ３、第２入力パッド部１０Ｂ１、第２出力パッド部１０Ｂ２、第２アースパッド部１０Ｂ３、封止部１０１Ｃと電気的に接続されている。より具体的には、第１入力パッド部１０Ａ１と外部端子１１、第１出力パッド部１０Ａ２と外部端子１３、第２入力パッド部１０Ｂ１と外部端子１４、第２出力パッド部１０Ｂ２と外部端子１２とが独立した状態で個別に接続されている。また、第１アースパッド部１０Ａ３と外部端子１５とが接続され、第２アースパッド部１０Ｂ３と外部端子１６とが接続され、これらのアースパッドと外部端子とともに封止部１０１Ｃとベース内部で共通接続されている。
【００３８】
上記パッド部や外部端子、封止部の各々は、タングステンあるいはモリブデン等によるメタライズ層の上面にニッケルメッキ層、金メッキ層の各層が形成された構成である。これらは基板部と各枠体のセラミックシートが積層された状態で焼成することで一体成形される。
【００３９】
第１圧電板２と第２圧電板３とは、例えば平面視矩形状のＡＴカット水晶板からなる。第１圧電板２の一主面には、長辺方向に沿って第１入力電極２１と第１出力電極２２とが所定のギャップ２０を開けて形成され、第１入力電極２１を圧電板端部まで引き出す第１入力引出電極２１１と、第１出力電極２２を圧電板端部まで引き出す第１出力引出電極２２１が形成される。第１圧電板２の他主面には、第１入力電極２１と第１出力電極２２の対向する位置に第１アース電極２３が形成され、第１アース電極２３を圧電板端部まで引き出す第１アース引出電極２３１が形成される。
【００４０】
上記第２圧電板３の一主面には、長辺方向に沿って第２入力電極３１と第２出力電極３２とが所定のギャップ３０を開けて形成され、第２入力電極３１を圧電板端部まで引き出す第２入力引出電極３１１と、第２出力電極３２を圧電板端部まで引き出す第２出力引出電極３２１が形成される。第２圧電板３の他主面には、第２入力電極３１と第２出力電極３２の対向する位置に第２アース電極３３が形成され、第２アース電極３３を圧電板端部まで引き出す第２アース引出電極３３１が形成される。
【００４１】
上記電極は、例えば、クロムまたはニッケルの下地電極層と、銀の中間電極層と、クロムまたはニッケルの上部電極層とから構成された３層の積層薄膜、またはニッケルの下地電極層と、アルミの上部電極層とから構成された２層の積層薄膜、またはアルミ電極層から構成された単層薄膜である。これら各電極は真空蒸着法やスパッタリング法等の薄膜形成手段により形成することができる。
【００４２】
第１圧電板２や第２圧電板の各引出電極とベース１の各パッド部との接合は、例えばペースト状であり銀フィラー等の金属微小片を含有するシリコーン系の導電樹脂接着剤（導電性接合材）Ｄを用いている。
【００４３】
つまり、第１圧電板２の第１入力引出電極２１１と第１出力引出電極２２１と第１アース引出電極２３１は、基板部１Ａの上面（収納部の内底面）に形成された第１入力パッド部１０Ａ１と第１出力パッド部１０Ａ２と第１アースパッド部１０Ａ３とに対してシリコーン系の導電樹脂接着剤（導電性接合材）Ｄにより各々接続される。
【００４４】
第２圧電板３の第２入力引出電極３１１と第２出力引出電極３２１と第２アース引出電極３３１は、第１枠部１Ｂである段部１０１Ｂ，１０２Ｂ，１０３Ｂの上面に形成された第２入力パッド部１０Ｂ１と第２出力パッド部１０Ｂ２と第２アースパッド部１０Ｂ３とに対してシリコーン系の導電樹脂接着剤（導電性接合材）Ｄにより各々接続される。
【００４５】
なお、本形態では、シリコーン系の導電樹脂接着剤により接合した構成を例にしているが、この導電性接合材として他の導電性樹脂接着剤や金属バンプ、金属メッキバンプなどのバンプ材料、ろう材を用いてもよい。
【００４６】
この際、ベース１の収納部１０に収納された第１圧電板２は、第１入出力電極２１，２２がベース１の内底面１００の方に向けて配置され、ベース１の収納部１０に収納された第２圧電板３は、第２入出力電極３１，３２がベース１の内底面１００と背向する方（蓋５側）に向けて配置されている。つまり、異なる入出力信号を持つ第１圧電板２と第２圧電板３とは、これらの信号が影響しない第１アース電極２３が形成された主面と第２アース電極３３が形成された主面とを対向配置していることで、一つの遮蔽部を構成している。また、第１圧電板２の第１アース電極２３と第２圧電板３の第２アース電極３３とは、ベース１の高さ方向で少なくとも一部が重畳するように対向して配置されている。特に、本形態では、第１圧電板２の長辺方向と第２圧電板３の長辺方向が平行となった状態でベース１の高さ方向において重畳し、しかも第１アース電極２３と第２アース電極３３の少なくとも一部が対向しており、第１圧電板２の第１入出力電極２１，２２の一部と第１アース電極２３、第２圧電板３の第２アース電極３３と第２入出力電極３１，３２の一部が、ベース１の高さ方向で重畳して配置された例を示しており、ベース１のさらなる平面視形状の小型化に対応できる形態となっている。なお、本形態に限らず、第１圧電板２の長辺方向と第２圧電板３の長辺方向が直交方向となった状態などで重畳してもよい。
【００４７】
また、本形態では、第１圧電板の第１アース電極２３は、第１入力電極２１とギャップ２０と第１出力電極２２とを併せて対向させた形成領域より広く形成し、第２圧電板の第２アース電極３３は、第２入力電極３１とギャップ３０と第２出力電極３２とを併せて対向させた形成領域より広く形成しているので、第１アース電極２３と第２アース電極３３とによるより広範囲の電磁気的な入出力信号の遮蔽部が得られ、さらなる保証減衰量の低減やスプリアスの抑制などフィルタ特性の向上により一層大きく貢献できる形態となっている。しかしながら、第１圧電板の第１アース電極２３は、第１入力電極２１とギャップ２０と第１出力電極２２とを併せて対向させた形成領域と同等以上に形成し、第２圧電板の第２アース電極３３は、第２入力電極３１とギャップ３０と第２出力電極３２とを併せて対向させた形成領域と同等以上に形成することで同様のフィルタ性能が期待できる。
【００４８】
ベース１を気密封止する蓋５は、例えば、金属製のコバール等からなるコア材（金属板）に金属ろう材やメッキ層が形成された構成である。この金属ろう材やメッキ層からなる接合材がベース１の封止部１０１Ｃと接合される構成となる。
【００４９】
また、本形態では、金属製の蓋５を接合する封止部１０１Ｃは、第１アースパッド部１０Ａ３や第２アースパッド部１０Ｂ３とともに、ベース内部で共通接続され、最終的にベース１の個別のグラウンド用の外部端子１５，１６を介して外部回路のグラウンドに接続される。このため、第２圧電板３については、金属板の蓋５とは第１アース電極２３と第２アース電極３３からなる遮蔽部で完全に覆われるため、第１圧電板２の入出力信号だけでなく、外部からのノイズ信号に対しても影響を受けないより保証減衰量の低減やスプリアスの抑制などに望ましい形態となっている。
【００５０】
そして、上述のようにベース１の収納部１０に第１圧電板２と第２圧電板３とが収納された後、ベース１の封止部１０１Ｃに対して蓋５にて被覆し、蓋５の接合材とベースの封止部１０１Ｃを溶融硬化させ、気密封止を行うことで４ポールタイプの表面実装型圧電フィルタの完成となる。
【００５１】
このように構成された４ポールタイプの表面実装型圧電フィルタは、回路基板６の配線パターンＨに対してはんだなどの接合材を用いて接合される。
【００５２】
上記実施形態により、ベースの収納部１０において、内底面１００に第１圧電板２を配置し、第１圧電板２の上部の段部（段部１０１Ｂ，１０２Ｂ，１０３Ｂ）に第２圧電板を配置することで、お互いに接触することなくベース１の高さ方向に少なくとも一部を重畳させて収納することができるため、ベース外形と収納部の平面視面積を縮小し表面実装型圧電フィルタの小型化に対応することができる。しかも、ベースの収納部１０には各フィルタを構成する１圧電板２と第２圧電板３以外には配置されないので、表面実装型圧電フィルタの低背化を妨げることもない。
【００５３】
加えて、重畳して搭載された第１圧電板２と第２圧電板３とは、少なくとも第１圧電板の他主面に形成された第１アース電極２３と第２圧電板の他主面に形成された第２アース電極３３とがお互いに近接する方向に向けて配置されているとともに、第１アース電極２３と第２アース電極３３はグラウンドに接続されているので、第１圧電板の入出力電極２１，２２あるいは第２圧電板の入出力電極３１，３２から発生した電磁気的な信号は第１アース電極２３と第２アース電極３３で吸収されるため、他方の圧電板に悪影響を与えることがない。しかも、第１圧電板２と第２圧電板３の各入出力電極は独立して外部回路に接続されているので、必要な電気信号のみを電気経路を経て外部回路に接続することができる。結果として、保証減衰量の低減やスプリアスの抑制などフィルタ特性の向上に大きく貢献できる。
【００５４】
以上のように、複数の圧電フィルタによる相互に干渉するといった悪影響をなくしながら、より小型化に対応させた４ポールタイプの表面実装型圧電フィルタを提供することができる。
【００５５】
なお、上記した本実施例では、圧電振動素子として水晶板を例にしている材料としているが、これに限定されるものではなく、圧電セラミックスやＬｉＮｂＯ3等の圧電単結晶材料を用いてもよい。すなわち、任意の圧電振動素子が適用可能である。
【００５６】
また、本実施例では、金属ろう材による封止を例にしたが、これに限定されるものではなく、シーム封止、ビーム封止（例えば、レーザビーム、電子ビーム）やガラス封止等でも適用することができる。
【００５７】
本発明は、その思想または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形で実施することができる。そのため、上述の実施例はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、なんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明は、４ポールタイプの表面実装型圧電フィルタに適用できる。
【符号の説明】
【００５９】
１  ベース
２  第１の圧電板
３  第２の圧電板
５  蓋
６  回路基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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