(57)【要約】【課題】シートへのダメージを防止しながら、次の装置への受け渡しの搬送性を向上させることができる、シート供給装置の提供。【解決手段】シート供給装置１００は、供給されるシートＰを上方から保持し搬送する上方搬送面を有する上方保持搬送手段２００と、シートが搬送されるシート搬送方向において上方保持搬送手段の下流に設けられ、搬送されるシートを下方から保持し搬送する下方搬送面を有する下方保持搬送手段６００と、シート搬送方向において上方保持搬送手段と下方保持搬送手段との間に設けられたガイド部５０と、を備え、ガイド部は、上方保持搬送手段に搬送されるシートの上方に設けられた上方ガイド部５２と、上方保持搬送手段に搬送されるシートの下方に設けられた下方ガイド部５１とを備えており、上方ガイド部と下方ガイド部とは上下方向に離間して設けられており、上方保持搬送手段の上方搬送面は上方ガイド部と下方ガイド部との間に設けられている。【選択図】図１
2017154890.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給されるシートを上方から保持し搬送する上方搬送面を有する上方保持搬送手段と、
シートが搬送されるシート搬送方向において前記上方保持搬送手段の下流に設けられ、搬送される前記シートを下方から保持し搬送する下方搬送面を有する下方保持搬送手段と、
前記シート搬送方向において前記上方保持搬送手段と前記下方保持搬送手段との間に設けられたガイド部と、を備え、
前記ガイド部は、前記上方保持搬送手段に搬送される前記シートの上方に設けられた上方ガイド部と、前記上方保持搬送手段に搬送される前記シートの下方に設けられた下方ガイド部とを備えており、
前記上方ガイド部と前記下方ガイド部とは、上下方向に離間して設けられており、前記上方保持搬送手段の前記上方搬送面は、前記上方ガイド部と前記下方ガイド部との間に設けられていることを特徴とする
シート供給装置。
【請求項２】
前記上方ガイド部と、前記下方ガイド部とは、前記シートの厚さよりも離間していることを特徴とする
請求項１に記載のシート供給装置。
【請求項３】
前記下方ガイド部は、前記シート搬送方向の上流側で、前記上方保持搬送手段の一部と上下方向に重なっており、
前記下方ガイド部は、前記シート搬送方向の下流側で、前記下方保持搬送手段の一部と上下方向に重なっていることを特徴とする
請求項１又は２に記載のシート供給装置。
【請求項４】
前記下方ガイド部は、前記シート搬送方向の下流端から所定の幅を有する切れ込みが形成されており、
前記下方ガイド部と前記下方保持搬送手段の一部が重なる部分において、前記下方保持搬送手段の前記下方搬送面の前記シート搬送方向の上流側の少なくとも一部は、前記下方ガイド部の前記切れ込み内に配置され、前記下方保持搬送手段の前記下方搬送面は前記下方ガイド部と略同じ高さに位置していることを特徴とする
請求項３に記載のシート供給装置。
【請求項５】
前記上方保持搬送手段と前記下方保持搬送手段との間には前記ガイド部のみが設けられていることを特徴とする
請求項１から４のいずれか一項に記載のシート供給装置。
【請求項６】
前記シートは、前記ガイド部では搬送力を付勢されずに、前記上方保持搬送手段及び/又は前記下方保持搬送手段によって付勢された搬送力によって、前記ガイド部を通り抜けることを特徴とする
請求項１から５のいずれか１項に記載のシート供給装置。
【請求項７】
前記上方保持搬送手段のシート搬送方向の下流端と前記下方保持搬送手段の前記シート搬送方向の上流端との距離は、前記シート搬送方向の前記シートの長さよりも短いことを特徴とする
請求項５又は６に記載のシート供給装置。
【請求項８】
前記下方ガイド部は、前記シート搬送方向の上流側で、前記上方ガイド部から下方向に離れる方向に傾斜した傾斜入口部を有することを特徴とする
請求項１から７のいずれか一項に記載のシート供給装置。
【請求項９】
前記上方ガイド部は、前記シート搬送方向の上流側で、前記下方ガイド部から上方向に離れる方向に傾斜した傾斜入口部を有することを特徴とする
請求項１から８のいずれか一項に記載のシート供給装置。
【請求項１０】
前記上方ガイド部は、前記シート搬送方向に対して、前記下方ガイド部から上方向に離れる方向に回転可能であることを特徴とする
請求項１から９のいずれか一項に記載のシート供給装置。
【請求項１１】
供給されるシートは、前記下方ガイド部の前記シート搬送方向に対して上流側に収容されており、
収容されているシートにエアーを吹き付け、供給されるシートの端部を浮上させるエアー吹き付け手段、を有しており、
前記エアー吹き付け手段は、前記収容されているシートの前記シート搬送方向の下流側の前端と、前記下方ガイド部の前記シート搬送方向の上流端との間に設けられ、
前記エアー吹き付け手段は、前記供給されるシートの前記前端へエアーを吹き付けることを特徴とする
請求項１から１０のいずれか一項に記載のシート供給装置。
【請求項１２】
前記エアー吹き付け手段の吹き出し口の周囲には、周辺ガイド板が設けられていることを特徴とする
請求項１１に記載のシート供給装置。
【請求項１３】
前記上方保持搬送手段及び前記下方保持搬送手段は、前記シートの幅方向に対して、異なる位置に複数配置され、
前記上方保持搬送手段は、前記シート搬送方向に対して、異なる位置に複数配置されていることを特徴とする
請求項１から１２のいずれか一項に記載のシート供給装置。
【請求項１４】
シート供給装置におけるシート供給方法であって、
前記シート供給装置は、上方搬送面を有する上方保持搬送手段と、シートが搬送されるシート搬送方向において前記上方保持搬送手段の下流に設けられ、下方搬送面を有する下方保持搬送手段と、前記シート搬送方向において前記上方保持搬送手段と前記下方保持搬送手段との間に設けられ、前記上方保持搬送手段に搬送される前記シートの上方に設けられた上方ガイド部と、前記上方保持搬送手段に搬送される前記シートの下方に設けられた下方ガイド部とを備えており、前記上方ガイド部と前記下方ガイド部とは、上下方向に離間して設けられており、前記上方保持搬送手段の前記上方搬送面は、前記上方ガイド部と前記下方ガイド部との間に設けられており、
前記上方搬送面によって、供給されるシートを上方から保持し搬送するステップと、
前記下方搬送面によって、搬送される前記シートを下方から保持し搬送するステップと、を有することを特徴とする
シート供給装置におけるシート供給方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はシート供給装置及びシート供給装置におけるシート供給方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、回路基板用シートなどに用いられるプリプレグを分離・搬送することを可能としたプリプレグ供給・搬送装置およびプリプレグ供給・搬送方法が知られている。
【０００３】
例えば、特許文献１に記載のプリプレグ供給装置では、シリンダ等により反転運動する一の吸着パッドにより積み重ねられたプリプレグ（シート）の一枚目の端部を吸着し、持ち上げて上方回動している。さらに、もう一つのシリンダにより上下する他の吸着パッドにより２枚目の端部を吸着し、持ち上げて、両方の吸着パッドを同時に水平移動することで、必要とする２枚のプリプレグを区分け搬送することが提案されている。
【０００４】
また特許文献２に記載の装置では、プリプレグ（シート）の縁部を掴み、プリプレグの中央部が自重で下に凸のＵ字形状部となりながら、吸着ステージ上へ移動させる。詳しくは、Ｕ字形状部の長手方向の中央部を吸着ステージに吸着し、プリプレグを下に移動させて接触面積を広げるとともにＵ字形状部の長手方向に沿ってプリプレグの幅方向を全て吸着ステージに吸着させている。その後、縁部を解放することによりプリプレグの全体を自重により吸着ステージに吸着させている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記特許文献１の構成であると、プリプレグを吸着し移動する際、プリプレグの端部を捲り上げるため、プリプレグに不必要な外力が加わり、傷や変形が生じる場合があった。
【０００６】
また上記特許文献２の構成であると、凸のＵ字形状部となりながら、吸着ステージ上へ移動させるため、Ｕ字形状の姿勢に起因して、プリプレグがダメージを受けるおそれがあるとともに、落下の際にプリプレグが水平に広がるため次の装置へプリプレグを受け渡す精度が悪かった。
【０００７】
そこで、本発明は上記事情に鑑み、シートへのダメージを防止しながら、次の装置への受け渡しの搬送性を向上させることができる、シート供給装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明の一態様では、
供給されるシートを上方から保持し搬送する上方搬送面を有する上方保持搬送手段と、
シートが搬送されるシート搬送方向において前記上方保持搬送手段の下流に設けられ、搬送される前記シートを下方から保持し搬送する下方搬送面を有する下方保持搬送手段と、
前記シート搬送方向において前記上方保持搬送手段と前記下方保持搬送手段との間に設けられたガイド部と、を備え、
前記ガイド部は、前記上方保持搬送手段に搬送される前記シートの上方に設けられた上方ガイド部と、前記上方保持搬送手段に搬送される前記シートの下方に設けられた下方ガイド部とを備えており、
前記上方ガイド部と前記下方ガイド部とは、上下方向に離間して設けられており、前記上方保持搬送手段の前記上方搬送面は、前記上方ガイド部と前記下方ガイド部との間に設けられていることを特徴とする
シート供給装置を提供する。
【発明の効果】
【０００９】
一態様によれば、シート供給装置において、シートへのダメージを防止しながら、次の装置への受け渡しの搬送性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施形態のシート供給装置及び後段の装置の側面模式図。
【図２】本発明の実施形態に係るシート供給装置の筐体を取り除いた全体構成を示す斜視図。
【図３】図２の構成から、ガイド部及び下方ユニットを含む受け渡し部を取り除いた構成であって、エアーの流れを示す斜視図。
【図４】積載部、外側フェンス、及びエアー吹き付け手段を図３とは別の角度から見た斜視図。
【図５】（ａ）は上方ユニットの上方吸引手段側の斜視図であって、（ｂ）は上方ユニットの上方搬送手段側の斜視図。
【図６】（ａ）は中央部のエアー吹き付け手段の斜視図、（ｂ）は前端ガイドを取り外した中央部の吹き付け手段の別の角度から見た斜視図。
【図７】積載部の出口端の内側から見た、上方ユニット、エアー吹き付けユニット、ガイド部、下方ユニットの位置関係を示す斜視図。
【図８】図７のＡ−Ａ'で切断した側面断面図であって、（ａ）は上方ユニット、エアー吹き付けユニット、ガイド部、下方ユニットの位置関係を示す側面図、（ｂ）は（ａ）のガイド部近傍の拡大図。
【図９】（ａ）図７のＢの部分の拡大図であって、エアー吹き付け手段のノズル近傍の周辺ガイド板及びガイド部の拡大図、（ｂ）はエアー吹き付け手段のノズル近傍の周辺ガイド板の変形例を示す図。
【図１０】メンテナンスの際のガイド部と、上方ユニットの位置を示す説明図。
【図１１】図２のシート供給装置における動作推移状態を示す図。
【図１２】図２のシート供給装置により実行される工程を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して本発明を実施するための形態について説明する。各実施形態等に亘り、同一の機能及び形状等を有する構成要素（部材や構成部品）等については、混同の虞がない限り一度説明した後では同一符号を付すことによりその説明を省略する。
【００１２】
＜システム説明＞
図１は本発明の実施形態を示す構成図である。より詳しくは、図１は、本発明の実施形態に係るシート供給装置が適用されるシステムの一部を示す略図である。システムは、例えば、シート供給・検査システムの一実施形態である。
【００１３】
本発明に係る、シートＰを一枚ずつ分離し、搬送、供給を行うシート供給装置１００は、筐体１０１に囲まれている。本発明のシート供給装置１００が供給し、搬送するシートＰは、例えば、プリプレグ等の電子回路基板用の薄膜シートである。
【００１４】
シート供給装置１００の動作や構成は図２等とともに後述する。また、シート供給装置１００には、筐体１０１内の静電気の発生を防ぐため、気流に除電能力を付与するイオナイザ１０２が設けられていてもよい。
【００１５】
検査装置９００において、検査用搬送ベルト９１によって搬送されるシートＰが、表面検査部９２、裏面検査部９３によって検査される。なお、図１で示す検査装置９００内の構成は一例であって、内部構成は別の構成であってもよい。
【００１６】
また、全体のシステムとして、供給装置の後には、検査装置９００の他に、中継搬送装置、振り分け装置、合格品スタック装置、及びリジェクト品スタック装置等を設けてもよい。例えば、振り分け装置は検査装置９００によるシートＰの検査結果を基に、搬送中のシートＰを、合格品スタック装置又はリジェクト品スタック装置のどちらかに振り分ける。
【００１７】
＜シート供給装置＞
図２は、本発明の実施形態に係るシート供給装置１００の筐体１０１を取り除いた全体構成を示す斜視図である。図１及び図２を参照して、本発明の実施形態に係るシート供給装置１００について説明する。
【００１８】
シート供給装置１００は、積載部１０と、上方保持搬送手段（上方ユニット）２００と、エアー吹き付け手段４０と、ガイド部５０と、下方保持搬送手段（下方ユニット）６００と、を備える。
【００１９】
積載部（収容部）１０は、シートＰを積み重ねて、シート束Ｐｂとして収容する。
【００２０】
上方吸引手段２０は、シートＰを上方から吸引することで、シートＰの一部を浮上させ、保持する。上方搬送手段３０は、上方へ吸引され（上方へ吸着され）、保持されているシートＰと上方から接触して該シートＰを搬送する。ここで、上方吸引手段２０及び上方搬送手段３０は、一体化した上方ユニット（上方保持搬送手段）２００を構成している。
【００２１】
エアー吹き付け手段４０は、エアー（浮上分離エアー）を吹き付け、積層されているシート束Ｐｂの最上位のシートＰの少なくとも端部（前端）を浮上させ、浮上中の最上位のシートＰを分離させる。
【００２２】
ガイド部（ガイド手段）５０は、搬送されているシートＰの位置を規制し、シートＰを上方搬送手段３０から下方搬送手段６０へ受け渡す。ガイド部５０は、上方ユニット（から下方ユニット６００に搬送されるシートＰをガイドするものであって、上ガイド板（上方ガイド部）５２と、下ガイド板（下方ガイド部）５１とを備える。
【００２３】
下方吸引手段７０は、シートＰを下方から吸引する。下方搬送手段６０は、下方へ吸引（吸着）されているシートＰと下方から接触して該シートＰを保持し、搬送する。下方搬送手段６０及び下方吸引手段７０は、一体化した下方ユニット（下方保持搬送手段）６００（６００Ａ，６００Ｂ，６００Ｃ）を構成している。
【００２４】
図２に示すように、ガイド部５０及び下方ユニット６００は、外側サイドフェンス７０１によって、囲われ、分離後のシートＰを次の装置（検査装置等）へ受け渡す受け渡し部７００となる。
【００２５】
ここで、下ガイド板５１は、シート搬送方向Ｘの上流側で、シートＰの上と下で、上方ユニット２００と上下方向に重なっている（図１、重なり部Ｏ１）。また、下ガイド板５１は、シート搬送方向Ｘの下流側で、シートＰの下方で、下方ユニット６００と重なっている（図１及び図２、重なり部Ｏ２）。
【００２６】
また、図２に示すように、下ガイド板５１は、シートＰが搬送される方向であるシート搬送方向Ｘの下流端から所定の幅を有する凹状の切れ込み５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃが形成されている。
【００２７】
下ガイド板５１と、下方ユニット６００の一部が重なる部分（重なり部Ｏ２）において、下方ユニット６００の下方搬送面（搬送ベルト６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃの上面）のシート搬送方向Ｘの上流側の少なくとも一部は、下ガイド板５１の凹状の切れ込み５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃ内に配置されている。
【００２８】
そして、下方ユニット６００の下方搬送面である搬送ベルト６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃの上面は下ガイド板５１と略同一平面に（略同じ高さに）位置している。なお、詳しくは、後述の図５（ｂ）同様に、各搬送ベルト群６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃは、３つの搬送ベルト６１ｇ，６１ｈ，６１ｉによって夫々形成されており、下方ユニット６００の下方搬送面は、搬送ベルト６１ｈより高い位置にある搬送ベルト６１ｇ，６１ｉの上面の位置を指す。
【００２９】
図３は、図２の構成から、ガイド部５０及び下方ユニット６００を含む受け渡し部７００を取り除いた構成であって、エアーの流れを示す斜視図である。矢印Ａａは上方ユニット２００の上方吸引手段２０による浮上エアー、矢印Ａｂはエアー吹き付け手段（分離浮上手段）４０の浮上ノズル４１からの分離浮上エアー、矢印Ａｄは側方吸引ノズル４６によるリターンエアー、矢印Ａｃは積載部１０のサイドフェンス１１の開口部１５（図４参照）から吹き付けられるサイドエアーを示す。
【００３０】
なお、エアー吹き付け手段４０として、図３、図９（ａ）に示す側方吸引ノズル４６が独立したエアー吹き付け手段４０αと、図６、図９（ｂ）に示す側方吸引ノズル４６が一体化したエアー吹き付け手段４０βの構成例を示すが、詳細な構成を区別する必要がない場合は、説明中、末尾の符号を外して説明する。
【００３１】
＜積載部＞
図４は、積載部１０、外側フェンス１６、及びエアー吹き付け手段４０を図３とは別の角度から見た斜視図である。シート供給装置１００において、積載部１０を構成するものとして、下面部１４と、シート位置規制部材である４つのサイドフェンス１１と、出口端である前端ガイド（板）１２と、エンドポール１３とが設けられている。
【００３２】
シート束Ｐｂは、後端（上流端）をエンドポール１３に合わせて、暫定的にシートＰｂの後方の位置が決められて配置される。シート位置規制部材であるサイドフェンス１１は、下面部（供給台）１４のシート幅方向Ｙ（装置の奥行方向）の両側に配置され、シート束Ｐｂの側端面と当接して、配置されたシート束Ｐｂのシート搬送方向Ｘに交差（直交）するシート幅方向Ｙの位置決めを行う。前端ガイド（出口端）１２は、シート搬送方向Ｘに相当するシート長さ方向の前端（下流端）の位置決めを行う。
【００３３】
図２のサイドフェンス１１にはサイドエアーノズルである開口部１５が夫々形成されている。この開口部１５がサイドエアーノズルとして、サイドフェンス１１の外側に接続されたサイド用ブロア等のサバキ用送風手段から送風されて、サバキ用サイドエアーを発生させる。
【００３４】
サイドフェンス１１の外側には、外側フェンス１６が設けられている。外側フェンス１６の上端面には、上方ユニット２００をシート搬送方向Ｘに位置移動可能にするように、スライドレール１７が設けられている。また、外側フェンス１６には、内部の様子が確認できるようなのぞき穴１８が形成されている。
【００３５】
ここで、シート搬送方向Ｘに上方ユニット２００を複数配置する場合、積層しているシート束Ｐｂの前端（下流端）近傍と後端（上流端）近傍とを含んで配置されていると好適である。このような位置に配置させるために、本構成では、シート搬送方向Ｘの長さに合わせて、外側フェンス１６の上面に設けられたレール１７に沿って、上方ユニット２００をスライド移動させる。このように、上方ユニット２００が積層されているシート束Ｐｂの前端近傍と後端近傍に対応する位置に合致するように位置調整することができる。
【００３６】
＜上方ユニット＞
図５（ａ）に、上方ユニット２０の上方吸引手段２０側の斜視図を示し、図５（ｂ）に、上方ユニット２００の上方搬送手段３０側の斜視図を示す。
【００３７】
図５（ａ）を参照して、上方ユニット２００には、上方吸引手段（浮上吸着手段）２０として、吸引ブロア２１と負圧エアーチャンバ２２とが設けられている。吸引ブロア２１が負圧を作り出すことで、接続される負圧エアーチャンバ２２を負圧状態にする。負圧エアーチャンバ２２には、エアーを周囲から吸い込む吸気ノズル２３が設けられている。
【００３８】
図５（ｂ）を参照して、上方ユニット２００には、上方搬送手段３０として、上方搬送ベルト（搬送ベルト群）３１と、駆動ローラ群３２と、従動ローラ群３３とが設けられている。搬送ベルト群３１は、３本の搬送ベルト３１ｇ，３１ｈ，３１ｉを備え、駆動ローラ群３２は、３つの駆動ローラ３２ｇ，３２ｈ，３２ｉを備え、従動ローラ群３３は、３つの従動ローラ３３ｇ，３２ｈ，３２ｉを備えている。
【００３９】
駆動ローラ群３２が回転駆動され、搬送ベルト群３１が駆動ローラ群３２に連れ回されて回転し、従動ローラ群３３が搬送ベルト群３１に連れ回されて回転する（転動する）。
【００４０】
ここで配置される３本の搬送ベルト３１ｇ，３１ｈ，３１ｉのうち、中央の搬送ベルト３１ｈを連れ回す、駆動ローラ３２ｈ、従動ローラ３３ｈの半径は、両側の駆動ローラ３２ｇ，３２ｉ、従動ローラ３３ｇ，３３ｉよりも小さくすると好適である。
【００４１】
この構成により、シート幅方向Ｙの中央に位置する搬送ベルト３１ｈの保持面Ｒｈと、両外側に配置されている搬送ベルト３１ｇ，３１ｉの各ベルト保持面Ｒｇ，Ｒｉとには、上下方向Ｚに段差が形成されている。この段差により、保持面Ｒｇ，ＲｉがシートＰとより近く、保持面Ｒｈが少し遠くなる。なお、上方ユニット２００の上方搬送面は、搬送ベルト３１ｇ，３１ｈの保持面Ｒｇ，Ｒｉの位置を指す。
【００４２】
搬送ベルト３１ｇ，３１ｈ，３１ｉは、負圧エアーチャンバ２２に連通する吸引孔Ｖが多数形成されたエンドレス状のベルト部材である。負圧エアーチャンバ２２は、吸引ブロア２１から吸引されて負圧状態を保ち、搬送ベルト３１ｇ，３１ｈ，３１ｉの吸引孔Ｖで最上位のシートＰを浮上させ、保持するために、吸引する。
【００４３】
なお、下記説明において、各上方ユニット２００、下方ユニット６００内の個別の搬送ベルト、駆動ローラ、従動ローラを区別する必要がない場合は、総称として搬送ベルト３１（６１）、駆動ローラ３２（６２）、従動ローラ３３（６３）の符号を付して説明する。
【００４４】
＜下方ユニット＞
下方ユニット（下方保持搬送手段）６００と、上方ユニット（上方保持搬送手段）２００とは、互いに同一の構成を備え、互いに上下反転した形状である。
【００４５】
詳しくは、図２、図７、又は図８（ａ）を参照して、下方ユニット６００には、下方吸引手段（浮上吸着手段）７０として、吸引ブロア７１と負圧エアーチャンバ７２とが設けられており、負圧エアーチャンバ２２には、エアーを周囲から吸い込む吸気ノズル７３が設けられている。
【００４６】
また、下方ユニット６００には、下方搬送手段６０として、搬送ベルト６１と、駆動ローラ６２と、従動ローラ６３とが設けられている。下方ユニット６００内の夫々の機能は、上方ユニット２００の各構成要素の機能と同様である。
【００４７】
このような下方ユニット６００によって、下方からの吸着・搬送を行いながら、シートＰを次の装置へ受け渡す。よって、下方ユニット６００を設けることで、シート供給装置において、シートＰへのダメージを防止しながら、次の装置（例えば、図１の検査装置９００）への受け渡しの搬送性を向上させることができる。
【００４８】
さらに、下方から搬送力が付与されているので、シートＰを分離した後の後工程の検査工程において、シートＰが、下部に配列された吸着機能を備えた搬送ベルトにより搬送される場合であっても、シートＰをスムーズに受け渡すことができる。
【００４９】
なお、本構成では、上方ユニット２００及び下方ユニット６００は、シート幅方向Ｙに対して、異なる位置に複数、配置されている。図２等で示す構成では、上方ユニット及び下方ユニットは、幅方向に３つ（２００Ａ，２００Ｂ，２００Ｃ）、（２００Ｄ，２００Ｅ，２００Ｆ）、（６００Ａ，６００Ｂ，６００Ｃ）ずつ並んでいる。
【００５０】
上方ユニット２００や下方ユニット６００をシート幅方向Ｙに異なる位置に複数配置することで、全面で吸着するよりも、シート幅方向Ｙの浮上状態や搬送状態の調整をしやすくなる。
【００５１】
さらに、上方ユニット２００は、シート搬送方向Ｘに対して異なる位置に複数配置される。なお、上述のように複数配置される場合、積層しているシート束Ｐｂの前端近傍と後端近傍とを含んで配置されていると好適である。例えば、図２では、上方ユニット２００は、シート搬送方向Ｘに２つ（２００Ａ，２００Ｄ）、（２００Ｂ，２００Ｅ）、（２００Ｃ，２００Ｆ）ずつ並んでいる。
【００５２】
上方ユニット２００をシート搬送方向Ｘに複数配列することで、分離したシートＰは、搬送方向で複数の位置で浮上させられ、搬送力が付与されるので、薄膜であるシートＰをより安定して搬送することが可能になる。
【００５３】
なお、図面で示す、上方ユニット２００及び下方ユニット６００の個数は一例で、適宜別の複数であってもよい。数を変更する場合も、シート幅方向Ｙに配置する、上方ユニット及び下方ユニット（及び、吹き付け手段）の数は、風向の調整のため同数となるように配置する。
【００５４】
また、シート搬送方向Ｘの配置として、重力の影響を考慮して、下方ユニット６００の数よりも、上方ユニット２００の数の方が多い方が好ましい。この際、シート供給装置１００の筐体１０１の大きさに収まるように適切な個数を配置するようにする。
【００５５】
＜吹き付け手段＞
図６（ａ）は、シート幅方向Ｙの中央部のエアー吹き付け手段４０Ｂの斜視図であり、（ｂ）は前端ガイド１２を取り外した中央部のエアー吹き付け手段４０Ｂの別の角度から見た斜視図である。
【００５６】
エアー吹き付け手段（エアー噴射ノズルユニット）４０は、積層されたシート束Ｐｂの前端に対向する位置に、配置されている（図１参照）。エアー吹き付け手段４０には、外部から加圧された気体である空気（以下、エアーともいう）が送られて溜めるエアーチャンバ４３が配置されている。また、図６（ａ）に示すように、エアーチャンバ４３には、浮上ノズル４１及び形状形成ノズル４２が設けられている。そして、エアーチャンバ４３の内部は、浮上ノズル４１用の部分と、形状形成ノズル４２用の部分とに分離されており、浮上ノズル用ブロア４４、形状形成ノズル用ブロア４５が設けられている。
【００５７】
エアー吹き付け手段４０はエアー（浮上分離エアー）を噴射し、積載部１０の下面１４の前端の上方に準備され、積層されたシート束Ｐｂの最上位のシートＰ（Ｐ１）を浮上させる浮上手段として機能する。気体である空気には、除電された空気や、その他のシートを浮上させ、１枚ずつに分離するために用いられる気体なども含まれる。
【００５８】
積載部１０において、シートＰが特に炭素繊維を含むシートである場合に、積層状態のシート同士が静電気の作用で密着していて容易に分離しにくいため、積み重なったシート束Ｐｂに除電された空気を吹き付けることは有効である。
【００５９】
さらに、エアー吹き付け手段４０には、浮上ノズル用ブロア４４及びエアーチャンバ４３に接続される、側方吸引ノズル４６が設けられている。エアー吹き付け手段４０は、浮上ノズル４１及び形状形成ノズル４２を介してエアーを吹き付けるタイミングと異なるタイミングで、側方吸引ノズル４６を介して、エアー吸引可能である。側方からのエアー吸引により、浮上しているシート（図８のＰ１，Ｐ２，Ｐ３）のうち最上位以外のシート（Ｐ２，Ｐ３）を側方へ吸いつけて落下させることができる。
【００６０】
なお、図６の側方吸引ノズル４６は、浮上ノズル４１と、浮上ノズル用ブロア４４及びエアーチャンバ４３を共有して、タイミングにより使い分ける構成であるエアー吹き付け手段４０βの例を示しているが、図３に示すエアー吹き付け手段４０αのように、側方吸引ノズル４６を、エアー吹き付け手段４０Ｂから独立して単独で設けてもよい。
【００６１】
ここで、本構成では、６個の上方吸引手段２０及び３個のエアー吹き付け手段４０が、シート幅方向Ｙにおいて３箇所設けられているため、分離及び浮上に関するエアーが複数分散される。そのため、まとめてエアーをかける場合よりも、個々の吸引手段２０が吸引するエアー及びエアー吹き付け手段４０が吹き付けるエアーが少量になるため、シートＰに対してのダメージを少なくできる。
【００６２】
また、上方ユニット２００の吸引手段２０が吸引することによる吸引エアーと、エアー吹き付け手段４０により吹き出すエアーが相関して分離動作を可能にする。よって、設置の数を変更する場合は、シート幅方向Ｙにおいて、上方ユニット２００と、エアー吹き付け手段４０とを対応付けて設置し、上方ユニット２００とエアー吹き付け手段４０のシート幅方向Ｙにおける個数は同数に設定する。
【００６３】
＜ガイド部＞
図７は、積載部１０の出口側（下流端）の内側から見た、上方ユニット２００、エアー吹き付け手段４０、ガイド部５０、及び下方ユニット６００の位置関係を示す斜視図である。
【００６４】
図８は、図７のＡ−Ａ'で切断した側面断面図であって、上方ユニット２００、エアー吹き付け手段４０、ガイド部５０、下方ユニット６００の位置関係を示す側面図、（ｂ）は（ａ）のガイド部５０近傍の拡大図である。
【００６５】
ガイド部５０において、上ガイド板５２は、搬送されるシートＰの上方に位置して、下ガイド板５１から所定距離離れて対向して設けられている。下ガイド板５１は、シートＰの下方に位置して、下方搬送手段６０である下方搬送ベルト６１の周囲に、下方搬送ベルト６１と略同じ高さに設けられている。このような上ガイド板５２及び下ガイド板５１により、搬送経路を形成する。
【００６６】
ここで、ガイド部５０は、シート搬送方向Ｘにおいて、上方ユニット２００（上方保持搬送手段）と下方ユニット６００（下方保持搬送手段）との間に設けられ、上方ユニット２００から搬送されるシートＰを下方ユニット６００へ受け渡す（通過させる）。上方ユニット２００と下方ユニット６００との間には、ガイド部５０のみが設けられている。
【００６７】
詳しくは、ガイド部５０において、下ガイド板５１は、搬送されるシートＰの下方に位置するものであって、上方搬送手段である搬送ベルト３１の出口端と対向する位置から下方搬送手段６０の下方搬送ベルト６１の近傍まで延在している。
【００６８】
即ち、下ガイド板５１は、シート搬送方向Ｘの上流側で上方ユニット２００の一部と上下方向に重なっている。また、下ガイド板５１は、シート搬送方向Ｘの下流側で下方ユニット６００の一部と重なっている（図８（ａ）参照）。
【００６９】
図８（ａ）を参照して、上方搬送手段３０のシート搬送方向Ｘの下流端と下方搬送手段６０のシート搬送方向Ｘの上流端との距離Ｄは、シートＰの搬送方向の長さＬＰよりも短い。したがって、少なくとも上方ユニット２００又は下方ユニット６００のいずれか一方によって吸着保持搬送されている状態のシートＰを、ガイド部５０によってガイドすることができる。
【００７０】
また、上方ユニット（上方保持搬送手段）２００の上方搬送面である搬送ベルト３１ｇ，３１ｈ，３１ｉ（図５（ｂ）参照）の保持面Ｒｇ，Ｒｈ，Ｒｉのうち少なくとも下側に設けられるＲｇ，Ｒｉは、上ガイド板（上方ガイド部）５２よりも低い位置であって、下ガイド板５１よりも高い位置に設けられている。詳しくは、図８（ｂ）に示すように、上方ユニット２００の保持面（上方搬送面）のＲｇ，Ｒｉの位置（搬送位置）Ｃは、上ガイド板５２の位置Ｕと下ガイド板５１の位置Ｌとの間にある。
【００７１】
このように上方ユニット２００と下方ユニット６００との間には、ガイド部５０のみが設けられていることで、上方ユニット２００から下方ユニット６００へシートを受け渡す際のガイドにおいて受け渡しをするシートをローラ等で挟まずにガイドをすることが可能となる。よって、押し込み方向の圧力を掛けずに、シートを搬送できるため、搬送の際の外的負荷に起因するシートへのダメージを少なくすることができる。
【００７２】
また、上方ユニット２００（上方保持搬送手段）の保持面（上方搬送面）Ｒｇ，Ｒｉの位置（搬送位置）Ｃは、上ガイド板５２の位置Ｕと下ガイド板５１の位置Ｌとの間にある。それにより上方ユニット２００から搬送されてきたシートＰは、保持面Ｒｇ，Ｒｉから上ガイド板５２と下ガイド板５１の間を通過する際、保持面（上方搬送面）Ｒｇ，Ｒｉを離れたシートＰが下ガイド板５１または上ガイド板５２に当たることによる衝撃を小さくすることができる。そのように衝撃が小さくなることによりシートの捲り上げや、シートが部分的に凹む、湾曲する等シートの形状が変化することにより、シートが上ガイド板５２と下ガイド板５１に挟まれることにより、シートが傷ついたり折れてしまったりすることを防ぐことができる。よってシートにダメージを与えずに上方ユニット２００から下方ユニット６００へ受け渡すことができる。
【００７３】
さらに、この構成では、上述のようにシート幅方向Ｙで複数配置された上方ユニット２００Ａ，２００Ｂ、３００Ｃによって略水平状態で伸ばした状態で保持搬送されているシートＰの状態を、ガイド部５０でも維持したまま下方ユニット６００Ａ，６００Ｂ、６００Ｃへ受け渡しができる。よって、受け渡しの際に、部分的な捲り上げや、縁部吸引による中央部が凹む湾曲などが発生しないため、シートの移動姿勢に起因するシートへのダメージを軽減することができる。
【００７４】
また、上ガイド板５２と下ガイド板５１とが対向する搬送経路の高さである離間距離は、１ｍｍ〜１０ｍｍ（例えば５ｍｍ）、この際、搬送するシートＰの厚みは、０．０４ｍｍ〜０．２ｍｍとするが、寸法は、この範囲に限定されない。
【００７５】
このように、上ガイド板５２と、下ガイド板５１とは、上下方向で、シートＰの厚さよりも離れて配置されている。このように配置することで、シートＰの、搬送経路内における上ガイド板５２及び下ガイド板５１への接触回数を少なくして、接触によるダメージを少なくして、上方ユニット２００から下方ユニット６００へ受け渡すことができる。また、ガイド部５０の搬送経路の高さを、シートＰの厚さに対して余裕を持たせることで、シートの端部が少々カールしたり、進行方向が少し傾いたりした場合でも、搬送経路上でシートがすぐに詰まることを回避することができる。
【００７６】
上ガイド板５２は、シート搬送方向Ｘに対して上方搬送手段３０の下流端（出口端）の直後から下方搬送手段６０の上流端（入口端）の手前まで延在している。上方ユニット２００の上方吸引手段２０の吸引力の影響でシートＰが上ガイド板５２に付着して搬送されている場合でも、下方搬送手段６０に到達する前に上ガイド板５２が途切れることにより、シートＰは、重力により下ガイド板５１側へ自然落下しやすくなる。
【００７７】
下ガイド板５１は、入口部分が、上ガイド板５２から離れる方向（下方向）に傾斜しており、先端との接触によりシートＰが搬送していく方向を調整する形状であるスクイ形状の傾斜入口部５１Ｄとなっている。この構成により、例えば、巻き癖などのシートＰの搬送方向（進行方向）の先端側（下流端）が下方向へカールしたシートＰの先端の搬送方向（進行方向）を搬送経路内へと向けることで、シートＰを搬送経路内へ導くことができる。
【００７８】
上ガイド板５２は、入口部分が下ガイド板５１から離れる方向（上方向）に傾斜している、スクイ形状の傾斜入口部５２Ｄとなっている。この構成により、上方搬送ベルト３１に連れ回されて、シートＰが一緒に上方向へカールしてしまうことを抑止し、シートＰの先端（下流端）の搬送方向（進行方向）を搬送経路内へと向けることで、シートＰを搬送経路内へ導くことができる。
【００７９】
ここで、一般的に、傷がついたシートを用いて製作された回路基板は、電気的特性（抵抗値）に不具合が生じてしまう。このため、回路基板用シートの分離には、分離された回路基板用シートの電気的特性（抵抗値）に不具合が生じてしまわないよう行わなければならないという課題があった。
【００８０】
これに対して、本発明のシート供給装置では、上記構成のガイド部５０を設けることで、シート（回路基板用シート）にダメージを与えることなく、上方ユニット２００から下方ユニット６００へガイドできるため、シートの品質を損なわずに（回路基板用シートにキズを付けたりせずに）シートの分離を容易に行うことができる。
【００８１】
よって、本発明のシート供給方法では、分離、供給の際のシートのダメージを解消することで、上記課題のようなシートを用いて回路基板を作成する際の傷による電気的特性の不具合を防止することができる。
【００８２】
＜浮上ノズル近傍の周辺ガイド板＞
次に図９を用いて、エアー吹き付け手段４０のノズル近傍について説明する。図９（ａ）は、図７のＢの部分の拡大図であって、エアー吹き付け手段４０のノズル近傍の周辺ガイド板４７及びガイド部５０の拡大図を示す。
【００８３】
図９（ａ）に示すように、エアー吹き付け手段４０の吹き出し口である浮上ノズル４１及び形状形成ノズル４２の周囲には、周辺ガイド板４７（周辺ガイド部）が設けられている。
【００８４】
周辺ガイド板４７の上部４７Ｈは、ガイド部５０の下ガイド板５１の傾斜入口部５２Ｄの角度に近い角度に設定される。周辺ガイド板４７を設けることで、巻き癖などにより、保持された際にシートＰの先端（下流端）が下に向いている場合も、傾斜入口部５２Ｄよりも上流側でシートＰの先端をガイドする（下向き状態から水平向き状態になるように案内する）ことができる。
【００８５】
また、周辺ガイド板４７の下部４７Ｌは、積載部１０の出口端よりも高く垂直に延在しているので、浮上後に、最上位のシートＰ１の分離（捌き）により落下する上から２番目以下の位置にあるシート（図８、Ｐ２，Ｐ３）を、シート搬送方向Ｘにおいて、適切な位置に保つことができる。図９（ａ）のガイド板４７の構成例は、例えば図３で示すエアー吹き付け手段４０αの構成に適用される。
【００８６】
また、図９（ｂ）にエアー吹き付け手段４０Ｂのノズル４１，４２近傍の周辺ガイド板の変形例を示す。図９（ａ）では、周辺ガイド板４７は、吹き出し口であるノズル４１，４２周辺を部分的に覆っていたが、図９（ｂ）に示すように、周辺ガイド板４７−１は、ノズル４１，４２の他に吸い込み口であるノズル４６を含めて前端ガイド１２の上部の全面を帯状に覆っていてもよい。図９（ｂ）のガイド板４７‐１の構成例は、例えば図６で示すエアー吹き付け手段４０βの構成に適用される。
【００８７】
＜メンテナンス＞
図１０に、メンテナンスの際のガイド部５０と、上方ユニット２００の位置を示す説明図を示す。上ガイド板５２は、シート搬送方向Ｘに対して、下ガイド板５１から離れる方向に回転可能である。詳しくは、上ガイド板５２は回転軸Ｒを中心に上方向に枢動可能である。
【００８８】
また、上方ユニット２００は、外側フェンス１６の上面に設けられたレール１７に沿って、シート搬送方向Ｘ及びその反対方向に移動可能である。
【００８９】
したがって、仮に、上ガイド板５２と下ガイド板５１との間の搬送経路上でシートＰが詰まった場合でも、このような移動動作により、簡単に詰まりを解消することが可能である。
【００９０】
＜分離供給フロー＞
次に、シート供給装置１００の動作・工程について、図１１及び図１２を用いて順を追って説明する。図１１は、シート供給装置１００における動作推移状態を示す図であり、図１２は、シート供給装置１００により実行される工程（シート供給方法）を示すフローチャートである。
【００９１】
（１）準備工程（ステップＳ１）：
シート束Ｐｂを構成する、１又は複数のシートＰを積層状態で位置決め（位置合わせ）をする。具体的には、操作者によってシート束Ｐｂは供給台１４上に積載されるとともに、シートサイズに合わせてセットすべく、その前端面（シート搬送方向Ｘの下流端）が前端ガイド１２に突き当てられ基準面として揃えられる。また、サイドフェンス１１及びエンドポール１３を操作することによって、シート束Ｐｂの側端面及び後端面がそれぞれ揃えられる。
【００９２】
（２）浮上工程（ステップＳ２、図１１（ａ））：
エアー吹き付け手段４０のエアーチャンバ４３によって、シート束Ｐｂの前端部（シート搬送方向Ｘの下流端）へエアーを吹き付けることで、シート束Ｐｂの少なくとも最上位のシートＰ１の端部（先端）が浮上する。
【００９３】
（３）捌き工程（ステップＳ３、図１１（ｂ））：
積載部１０のサイドフェンス１１の開口部（サイドエアーノズル）１５に接続されるサバキ用送風手段が作動し、最上位にあるシートＰ１と、２番目以下のシートＰ２，Ｐ３とを、少なくとも前端部を分離させ（捌き）つつ、最上位のシートＰ１を、上方ユニット２００の上方搬送ベルト３１の高さまで浮上させる。なお、この捌き工程は省略してもよい。
【００９４】
（４）保持工程（上方保持工程、第１の搬送工程）（ステップＳ４、図１１（ｃ））：
上方ユニット２００の上方吸引手段２０において、浮上したシートＰ（Ｐ１）を、上方から保持しながら、上方ユニット２００の駆動ローラ３２の回転駆動が開始され、上方から保持されたシートＰを搬送する上方搬送ベルト３１により搬送工程が行われる。シート搬送方向Ｘに並んだ２つの上方ユニット２００（２００Ａ，２００Ｄ）によって、シートＰは、浮上させられ、搬送力が付与されるので安定した搬送が可能である。
【００９５】
（５）上方搬送工程（第１の搬送工程、ガイド工程）（ステップＳ５、図１１（ｃ）⇒図１１（ｄ））：
シートＰ（Ｐ１）の先端（下流端）がガイド部５０の搬送経路内に入っても、上方ユニット２００Ａ，２００Ｄの駆動ローラ３２の回転駆動により、上方搬送ベルト３１により保持されたシートＰを搬送する搬送工程が続けられる。
【００９６】
（６）ガイド工程（ステップＳ６、図１１（ｄ）⇒図１１（ｅ））：
シートＰの先端（下流端）が下方搬送手段である搬送ベルト６１に到達すると、上方ユニット２００Ａの駆動ローラ３２の回転駆動及び下方ユニット６００Ａの駆動ローラ６２により、上方搬送ベルト３１、下方搬送ベルト６１により保持されたシートＰを搬送する搬送工程が続けられる。この際、シートＰは、浮上させられ、搬送力が付与される上方ユニット２００が１つになっても、ガイド部５０により搬送経路をガイドされながら、出口側の上方ユニット２００と、下方ユニット６００によって、上方及び下方から吸引しながら吸着保持・搬送するので、安定した搬送が可能である。
【００９７】
（７）下方搬送工程（第２の搬送工程、ガイド工程）（ステップＳ７、図１１（ｅ）⇒図１１（ｆ））：
シートＰの後端（下流端）が上方搬送手段である上方搬送ベルト３１から離れても、下方ユニット６００Ａの駆動ローラ６２により、下方搬送ベルト６１により保持されたシートＰを搬送する搬送工程が続けられる。この際、上方ユニット２００からの吸引・搬送がなくなっても、ガイド部５０により搬送経路をガイドされながら、下方ユニット６００によって、下方から吸引しながら吸着保持・搬送するので、安定した搬送が可能である。
【００９８】
その後、シートＰが上方ユニット２００Ａの上方搬送ベルト３１の保持領域Ｒを抜けた直後、次のシートへエアー吹き付け手段４０がエアーを吹き付けることにより浮上し、上方搬送ベルト３１に保持される。
【００９９】
以降、上述の図１１（ａ）〜図１１（ｅ）の繰り返しにより、設定したシートＰの給送間隔に応じて、上方搬送ベルト３１の駆動を再開し、シートが順次搬送される。
【０１００】
上述のステップＳ５〜Ｓ７において、シートＰは、ガイド部５０では搬送力を付勢されずに、上方ユニット２００及び下方ユニット６００によって付勢された搬送力によって、ガイド部５０を通り抜ける。この際、シートＰは、ガイド部５０により搬送経路をガイドされながら、出口側の上方ユニット２００と、下方ユニット６００によって、上方及び下方から吸引しながら吸着保持・搬送するので、安定した搬送が可能である。
【０１０１】
このように、シート供給装置において、シート（回路基板用シート）へのダメージを防止しながら、安定した搬送が可能になるので、次の装置への受け渡しの分離搬送性を向上させることができる。また、下方から搬送力が付与されているので、シートを分離した後の後工程の検査工程において、シートが、下部に配置された吸着機能を備えた搬送ベルトにより搬送される場合であっても、シートをスムーズに受け渡すことができる。
【０１０２】
なお、上記の実施形態ではシート供給装置において、収容された状態のシートを供給した例を説明したが、搬送手段を有する前の装置と搬送手段を有する次の装置との間を、シート（プリプレグ）を受け渡す場合にも、本発明のシート供給装置の、エアー吹き付け手段を除いた、上方ユニット、ガイド部、及び下方ユニットを適用させることができる。
【０１０３】
本発明のシート供給装置の上方ユニット、ガイド部、及び下方ユニットを用いて、前の装置と次の装置との受け渡しを行う場合とは例えば、前の装置での搬送手段と次の装置での搬送手段の高さが異なる場合や、前の装置の次の装置との間が離れている場合等である。
【０１０４】
本発明の分離・搬送対象物であるシートには、公知の全ての回路基板に用いられるシートが含まれる。例えば、炭素繊維やガラスクロスのような繊維状補強材に、硬化剤、着色剤などの添加物を混合した熱硬化性樹脂等を含浸させ、加熱又は乾燥して半硬化状態にしたシート状の強化プラスチック成形材料（プリプレグ）が含まれる。また、シートは、プリプレグや樹脂シートなどに銅箔や金箔等の処理を施したものも含まれる。
【０１０５】
以上、各実施形態に基づき本発明の説明を行ってきたが、上記実施形態に示した要件に本発明が限定されるものではない。これらの点に関しては、本発明の主旨をそこなわない範囲で変更することができ、その応用形態に応じて適切に定めることができる。
【符号の説明】
【０１０６】
１００  シート供給装置
１０  積載部
１１  サイドフェンス
１２  前端ガイド（出口端）
１３  エンドポール
１４  下面部（供給台）
１５  開口部（サイドエアーノズル）
２００（２００Ａ，２００Ｂ，２００Ｃ，２００Ｄ，２００Ｅ，２００Ｆ）  上方ユニット（上方保持搬送手段）
２０  上方吸引手段
２１  吸引ブロア
２２  負圧エアーチャンバ
３０  上方搬送手段
３１  （３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ，３１Ｄ，３１Ｅ，３１Ｆ）  上方搬送ベルト（吸着搬送ベルト、搬送ベルト群）
３１ｇ，３１ｈ，３１ｉ  搬送ベルト（上方搬送面）
３２  駆動ローラ
３３  従動ローラ
４０  エアー吹き付け手段（エアー噴射ノズルユニット）
４１  浮上ノズル（吹き出し口）
４２  形状形成ノズル（吹き出し口）
４３  エアーチャンバ
４４  浮上ノズル用ブロア
４５  形状ノズル用ブロア
４６  側方吸引ノズル
４７，４７−１  周辺ガイド板
５０  ガイド部
５１  下ガイド板（下方ガイド部）
５１Ｄ  傾斜入口部
５２  上ガイド板（上方ガイド部）
５２Ｄ  傾斜入口部
５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃ  切れ込み
６００（６００Ａ，６００Ｂ，６００Ｃ）  下方ユニット（下方保持搬送手段）
６０（６０Ａ，６０Ｂ，６０Ｃ）  下方搬送手段
６１（６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃ）  下方搬送ベルト（搬送ベルト群）
６１ｇ，６１ｈ，６１ｉ  搬送ベルト（下方搬送面）
６２  駆動ローラ
６３  従動ローラ
７０  下方吸引手段
７１  吸引ブロア
７２  負圧エアーチャンバ
７００  受け渡し部
Ｐ  シート
Ｐ１  最上位のシート
Ｐ２  ２枚目のシート
Ｐｂ  シート束
Ｒ  保持領域
Ｒｇ，Ｒｈ，Ｒｉ  保持面（上方搬送面）
Ｏ１，Ｏ２  重なり部
Ｘ  シート搬送方向
Ｙ  シート幅方向
Ｚ  上下方向（高さ方向）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０１０７】
【特許文献１】特開２００３−３１１７６９号公報
【特許文献２】特許５０２８９１４号公報
【図１】
2017154890.tif 000003
【図２】
2017154890.tif 000004
【図３】
2017154890.tif 000005
【図４】
2017154890.tif 000006
【図５】
2017154890.tif 000007
【図６】
2017154890.tif 000008
【図７】
2017154890.tif 000009
【図８】
2017154890.tif 000010
【図９】
2017154890.tif 000011
【図１０】
2017154890.tif 000012
【図１１】
2017154890.tif 000013
【図１２】
2017154890.tif 000014