(57)【要約】      （修正有）【課題】ハイブリッド型時計コンポーネントの接着性と機械強度を充分に達成することを可能にする。【解決手段】少なくとも１つの貫通孔１５を形成するように、第１の微細加工可能な素材による少なくとも１つのウェハー１４を構成するステップであって、構成されたウェハー１４は、ハイブリッド型時計コンポーネントの第１の部品を形成するためのものであるステップと、１回の電鋳により、貫通孔１５を通してウェハー１４の上面と下面の２つの面にわたって金属が延在して単一の部品となるように、金属を堆積させるステップであって、電鋳された金属は、ハイブリッド型時計コンポーネントの第２の部品を形成するためのものであるステップと、を有する。【選択図】図１
2017138314.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の微細加工可能な素材による少なくとも１つのウェハー（１４）を、少なくとも１つの貫通孔（１５）が形成されるように構成するステップであって、構成された前記ウェハー（１４）は、ハイブリッド型時計コンポーネントの第１の部品を形成するためのものであるステップと、
１回の電鋳により、前記貫通孔（１５）を通して前記ウェハー（１４）の上面と下面の２つの面にわたって金属が延在して単一の部品となるように、前記金属を堆積させるステップであって、前記電鋳された金属は、前記ハイブリッド型時計コンポーネントの第２の部品を形成するためのものであるステップと、
を含む、ハイブリッド型時計コンポーネントの製造方法。
【請求項２】
少なくとも上面（１１）が導電性の基材（１０）を供給するステップと、
前記基材（１０）の前記上面（１１）に、前記基材（１０）の上に素材の存在しないゾーンが少なくとも１つ存在するようにレジストの鋳型（１３）を形成するステップと、
第１の微細加工可能な素材による少なくとも１つのウェハー（１４）を構成し、先のステップで形成された、前記レジストの鋳型（１３）の上に堆積する、あるいは逆に第１の微細加工可能な素材による少なくとも１つのウェハー（１４）を、先のステップで形成された、前記レジストの鋳型（１３）の上に設置して、前記少なくとも１つのウェハー(１４)を構成するステップであって、該ステップでは前記少なくとも１つのウェハー(１４)に少なくとも１つの貫通孔（１５）が、先のステップで形成された前記レジストの鋳型（１３）の素材の存在しないゾーンの上に少なくとも部分的に重なるように形成されるステップと、
前記ウェハー（１４）の上に、前記基材（１０）の前記上面（１１）から、積層の上面、特に前記ウェハー（１４）の貫通孔（１５）に延在する、素材のないゾーンを有する、レジストの鋳型（１７）を形成するステップと、
金属または合金が、前記基材（１０）の前記上面（１１）から前記ウェハー（１４）上部まで延在するように、電鋳により金属または合金を堆積させるステップと、
前記基材（１０）を取り除くことで、前記ハイブリッド型時計コンポーネントを解放するステップと、
を含む、請求項１に記載のハイブリッド型時計コンポーネントの製造方法。
【請求項３】
さらに、
前記レジストの鋳型（１３）の素材の存在しないゾーンの上に重なる箇所に、前記ウェハー（１４）の下面が少なくとも前記鋳型（１３）の素材の存在しないゾーンを少なくとも部分的に覆うように、前記ウェハー（１４）に少なくとも１つの貫通孔（１５）を形成するステップと、
前記貫通孔（１５）において、少なくとも前記ウェハー（１４）の上面の一部が自由な状態になるように、レジストの鋳型(１７)を形成するステップと、
を含む、請求項２に記載のハイブリッド型時計コンポーネントの製造方法。
【請求項４】
前記基材（１０）の上面（１１）の上部に形成された、前記レジストの鋳型（１３）の上部に、第２のレジスト層（１９）を形成するステップを含み、
前記第２のレジスト層（１９）は、少なくとも１つの位置決めピンを形成し、前記位置決めピンは、後に行われる、作成されたウェハー（１４）の位置決めにおいて、水平方向に固定されるように、貫通孔にはめ込むことができるように形成されている、
請求項２または３に記載のハイブリッド型時計コンポーネントの製造方法。
【請求項５】
前記基材（１０）は、とくに物理蒸着された金属層を含むシリコンウェハー、ドープシリコンウェハー、または金属ウェハーからなる、
請求項２ないし４の何れか一項に記載のハイブリッド型時計コンポーネントの製造方法。
【請求項６】
前記基材（１０）の前記上面（１１）にレジストの鋳型（１３）を形成するステップは、前記ハイブリッド型時計コンポーネントの第１部品（４）の下面（６）に位置する金属の高さに相当する厚さの鋳型(１３)を形成する、
請求項２ないし５の何れか一項に記載のハイブリッド型時計コンポーネントの製造方法。
【請求項７】
前記ハイブリッド型時計コンポーネントは、針、アンクル、テンプ、ピニオン、パレットホイール、ヒゲゼンマイ、スプリングを含む群の一部である、
請求項１ないし６の何れか一項に記載のハイブリッド型時計コンポーネントの製造方法。
【請求項８】
第１の微細加工可能な素材でできた第１部品（４）と、第１の素材とは異なる金属素材でできた第２部品（８）を含むハイブリッド型時計コンポーネントであって、前記第２部品（８）は、前記第１部品が前記第２部品（８）の一方の側面によって枠組みされ、２つの前記部品（４，８）の間の機械的保持力を保証するようにするために、前記第１部品（４）の上面（５）と前記第１部品（４）の下面（６）に、前記第１部品（４）の貫通孔を通して連続的に単一部品として延在している、
ハイブリッド型時計コンポーネント。
【請求項９】
前記第２部品（８）内に、回転軸を挿入可能な、または前記ハイブリッド型時計コンポーネントを打ち込むための、金属製挿入部を形成する、円筒状の貫通孔（９）を有する、
請求項８に記載のハイブリッド型時計コンポーネント。
【請求項１０】
前記ハイブリッド型時計コンポーネントは、
打ち込み用の金属製挿入部を有する針、
バランス用のカウンターウェイトを有する針、
打ち込み用の金属製挿入部を有するアンクル、
ツメ石を有するアンクル、
最適化された慣性／重量の比を有するテンプ、
金属製挿入部を有するパレットホイール、
フレキシブルな金属構造を有するパレットホイール、
金属のひげ玉を有するヒゲゼンマイ、
金属のヒゲゼンマイ支持部を有するヒゲゼンマイ、
ヒゲゼンマイ支持部に打ち込み用の金属製挿入部を有するヒゲゼンマイ、
ひげ玉に打ち込み用の金属製挿入部を有するヒゲゼンマイ、または
シリコンで作られた機能部と金属製のアタッチメントを備えたスプリング、
である、請求項８または９に記載のハイブリッド型時計コンポーネント。
【請求項１１】
請求項８ないし１０の何れか一項に記載のハイブリッド型時計コンポーネントを有する、時計ムーブメント。
【請求項１２】
請求項１１に記載の時計ムーブメントを有する、時計、特に腕時計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも２つの異なる素材を含む、ハイブリッド型時計部品の製造方法に関する。本発明はまた、本方法によって得られた時計部品、時計ムーブメント、及びハイブリッド型時計部品を有する時計に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、シリコン、より一般的には任意の微細加工可能な素材と、金属部品とから構成される、ハイブリッド型時計部品を製造する技術が知られている。このようなハイブリッド型時計部品の製造方法では、微細機械加工、特に深堀り反応性イオンエッチング（ＤＲＩＥ）により、第１の部品を製造する第１製造プロセスと、金属で作られた第２の部品を形成するために、電鋳(エレクトロフォーミング)、特にＬＩＧＡの頭文字で知られている技術に基づく第２製造プロセスを用いる。この第２の金属部品は後天的に付加されてもよいが、シリコンで作られた第１の部品と共に成長させると、より正確である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
欧州特許出願公開第1932804号明細書にはたとえば、作業基板上に置かれ、フォトレジスト層が積層されたシリコンウェハーをエッチングする工程と、電鋳された金属層を作成するための鋳型を形成する工程とを含む、ハイブリッド型時計部品等の製造方法が開示されている。このシリコンウェハーは、電鋳された金属で満たされた、少なくとも１つの貫通開口を有している。この技術は、時計部品の２つの異なる素材を正確に位置決めさせることを保証できるという点で利点がある。そのためこの結果、一部がシリコン製で一部が金属製の第１層と、この第１層に重ねられる、金属製の第２層を有する時計部品が得られる。この部品の異なる２つの素材同士は、第１層のシリコンの貫通開口部分に金属部分が成長することで、“緊密に”結合されることになる。しかしながら、この結合は化学結合でもなければ、機械的に強力な結合でもなく、２つの部品の側面の粗さによって結合されているだけであるので、一定のストレスや大きな温度変化にさらされた時に、結合状態が維持されることは保証され得ない。そのため、このようにして得られた時計部品は、２つの部品、つまり金属とシリコン間の凝集破壊の起こるリスクがある
【０００４】
このような欠点を解決するため、国際公開第２００９／０６２９４３号は、金属部品がシリコン部品をサンドイッチ状に挟み込んだ、シリコン・金属のハイブリッド型部品を製造するプロセスを開示している。この製造プロセスでは、金属部品を、シリコン部品の上面に成長させるステップと、下面に成長させるステップの２つの分離したステップを実行する。このアプローチは、異なる素材から作られる時計コンポーネントの２つの部品間の接着性を改善させることができる。しかしながら、これには複雑な製造プロセスを必要とし、特にシリコン部品の下面に金属部品を成長させるために、基板をひっくり返さなければならない。加えて、金属部分を成長させる２つの分離したステップによって形成された、異なった複数の金属層の間では、なおも接着性の弱さがみられる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
それゆえ、本発明の目的は、ハイブリッド型時計コンポーネントの製造方法を改善する事である。特にこの発明は、第１の素材、好ましくは微細加工可能な素材による第１の部品と、異なる第２の素材、金属で作られた第２の部品を含む、任意の時計コンポーネントの製造に適用される。
【０００６】
より具体的には、本発明の第１の目的は、ハイブリッド型時計コンポーネントの接着性と機械強度を充分に達成することを可能にすることである。
【０００７】
本発明の第２の目的は、シンプルな、ハイブリッド型時計コンポーネントの製造プロセスを提案することである。
【０００８】
この目的のために、本発明は、以下のステップを含む、ハイブリッド型時計コンポーネントの製造プロセスに関する：
−第１の微細加工可能な素材による少なくとも１つのウェハーを構成し、該ウェハーに少なくとも１つの貫通孔を形成するステップ。この構成されたウェハーは、ハイブリッド型時計コンポーネントの第１の部品を形成するためのものである。
−１回の電鋳により、貫通孔を通してウェハーの上面と下面の２つの面にわたって金属が延在して単一の部品となるように、金属を堆積させるステップ。この電鋳された金属は、ハイブリッド型時計コンポーネントの第２の部品を形成するためのものである。
【０００９】
本発明はまた、第１の微細加工可能な素材でできた第１の部品と、第１の素材とは異なる金属素材でできた第２の部品を含み、この第２の部品は単一部品として、第１の部品の上面と第１の部品の下面に、第１の部品の貫通孔を通して連続的に延在しており、これにより、第１の部品は第２の部品の一方の側面によって枠組みされ、２つの部品間の機械的保持力が保証される。
【００１０】
本発明は請求項によって、より明確に定義される。
【００１１】
これらの目的、特徴、そして本発明の利点は、以下の非制限的に与えられた個々の実施例の説明と付随する図面により詳細に開示される。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１  ａ）〜ｇ）は、本発明の一実施形態に係るハイブリッド型時計コンポーネントの製造プロセスの連続ステップを示している。
【図２】図２  ａ）〜ｇ）は、本発明の変形例に係るハイブリッド型時計コンポーネントの製造プロセスの連続ステップを示している。
【図３】図３  ａ）〜ｇ）は、本発明の第２の変形例に係るハイブリッド型時計コンポーネントの製造プロセスの連続ステップを示している。
【図４ａ】本発明の実施形態に係る、様々なハイブリッド型時計コンポーネントを示す。
【図４ｂ】本発明の実施形態に係る、様々なハイブリッド型時計コンポーネントを示す。
【図５ａ】本発明の実施形態に係る、様々なハイブリッド型時計コンポーネントを示す。
【図５ｂ】本発明の実施形態に係る、様々なハイブリッド型時計コンポーネントを示す。
【図６】本発明の実施形態に係る、様々なハイブリッド型時計コンポーネントを示す。
【図７ａ】本発明の実施形態に係る、様々なハイブリッド型時計コンポーネントを示す。
【図７ｂ】本発明の実施形態に係る、様々なハイブリッド型時計コンポーネントを示す。
【図７ｃ】本発明の実施形態に係る、様々なハイブリッド型時計コンポーネントを示す。
【図８ａ】本発明の実施形態に係る、様々なハイブリッド型時計コンポーネントを示す。
【図８ｂ】本発明の実施形態に係る、様々なハイブリッド型時計コンポーネントを示す。
【図８ｃ】本発明の実施形態に係る、様々なハイブリッド型時計コンポーネントを示す。
【図８ｄ】本発明の実施形態に係る、様々なハイブリッド型時計コンポーネントを示す。
【図９】本発明の実施形態に係る、様々なハイブリッド型時計コンポーネントを示す。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
簡略化のため、以下の説明において「金属」という用語は、金属材あるいは合金を表す語として用いられる。また、本発明の実施形態の各変形例において、同一あるいは類似の要素に対しては、同じ参照符号が用いられる。
【００１４】
図１  ａ）は、本発明の実施形態に係るハイブリッド型時計コンポーネントの製造プロセスの第１のステップの図解である。このステップでは、時計コンポーネントの組立用支持材として役割を果たす加工用基材１０が供給される。この基材は取り除かれることになっており、つまりこの基材は、最終的な時計コンポーネントを構成するパーツではない。この基材は、金属あるいは任意の導体で作られている、あるいは不導体を用いて形成されていて、上面１１が金属被覆により導電性を有するようになっている。そのため、この加工用基材は、物理蒸着（ＰＶＤ）によって作られた金属層を有するシリコンウェハーから成っていてもよいし、あるいはドープシリコンウェハー、金属ウェハー、あるいは、表面に電流を流すことが可能な、その他の任意の平らな基材から成っていてもよい。
【００１５】
時計コンポーネントは、基材１０の上面１１に実質的に垂直方向に積層することで作成される。以下では通例により、この方向を垂直方向ｚと呼び、この方向は図において上に向かう方向とする。また同様に通例により、平板の基材１０を水平面と定義する。
【００１６】
図１  ｂ）は、本発明の実施形態に係るハイブリッド型時計コンポーネントの製造プロセスの第２のステップの図解で、このステップでは、ハイブリッド型時計コンポーネントの金属部の下方向の成長を制御するためのモールド(鋳型)の下の部分を形成するために、感光性樹脂の第１の層１２を堆積、構成する。
【００１７】
公知のように、この樹脂はフォトリソグラフィーに適したフォトレジストである。フォトレジストは、ネガ型でもポジ型でもよい。前者のフォトレジストの場合には、放射光を照射することで、現像液に溶解しなくなる、或いは溶解しにくくなる。後者の場合には、放射光の照射によって現像液に溶解するようになり、一方放射光の照射されなかった部分は溶解しない、或いは溶解しにくい状態が維持される。実施形態の特定の例として、使用されるレジストは、紫外線照射によって重合するネガ型フォトレジストである“ＳＵ−８”型であるとよい。最初のフォトレジスト層のフォトリソグラフィーのステップでは、最初のレジスト層に光照射する、あるいは開口部と不透明領域を有するマスクを通して光を当てる。このマスクは、作製される第１のレベルの部品の製造用のパターンが定義されている。ここでのレジストへの照射に用いられる照射光は、紫外線光源から照射される紫外線である。照射は、マスクに設けられた開口部に位置するレジストの領域のみに行われるようにするため、マスクの延在する面に対して垂直に行われる。ここで説明される特定の実施形態では、照射の行われたレジスト部分は、無反応、つまり殆どの現像液に対して溶解しなくなる。先の光照射ステップに続いて、架橋熱処理ステップと、現像ステップが、随意に行われる。この現像ステップは、照射されなかったレジスト領域の除去処理から成る。除去処理は、使用されたレジストに適合した処理が行われるとよく、たとえば化学薬品を用いて溶解させる、或いはプラズマ処理が行われる。除去処理の後、基材１０の導電性のある上面１１が、少なくともレジストの除去された鋳型１３の領域部分に出現する。変形例として、鋳型を形成可能な、これ以外の任意の公知の方法が用いられてもよい。
【００１８】
このステップの最後に、鋳型１３と図１  ｂ）に示された構造物が得られ、この構造物は、基材１０の導電性のある上面１１が第１のレベルＮ１を形成する層のレジストの鋳型１３によって覆われている。有利には、第１のフォトレジスト層は、ハイブリッド型時計コンポーネントの金属部の下部分に求められる厚さと同じ厚さ（ｚ方向の高さ）である。
【００１９】
次のステップでは、図１  ｃ）に示されているように、レベルＮ１に鋳型１３を形成しているこの第１のフォトレジスト層１２の上に、シリコンウェハー１４を堆積することで、レベルＮ１上に重ねられた、第２のレベルＮ２の構造物を形成する。このシリコンウェハー１４は、最終的に生成されるハイブリッド型時計コンポーネントの、第１の素材で作られた第１部品を形成することになる。
【００２０】
次に、たとえばＤＲＩＥエッチングにより、第１のレベルＮ１のレジストのない領域１３上に少なくとも部分的に重なる、少なくとも１つの貫通孔１５を形成するように、シリコンウェハー１４を構成するステップが実行される。見ての通り、基材１０の上面１１は、このシリコンウェハーの少なくとも一つの貫通孔１５を介してアクセス可能になっている。図１  ｄ）は、このステップによって得られた結果を示している。見ての通り、貫通孔１５は理想的には、少なくとも所与の一方向において、上部に貫通孔１５の形成されている、素材の存在しない領域よりも小さい。これは後述するように、最終的に生成される部品の結合力を得るためである。別の言い方をすると、ウェハー１４の下面は、第１のレベルＮ１のレジストのない領域１３の少なくとも一部を覆っている。
【００２１】
次に、第２のフォトレジスト層を堆積、構成するステップが実行され、これによりシリコンウェハー１４の上面に第３のレベルＮ３を形成し、またウェハー１４の少なくとも１つの貫通孔１５の一部を埋めてもよい。図１  ｅ）は、このステップによって得られた結果を示しており、このステップではレベルＮ３上に鋳型１７を形成し、鋳型は部分的に、シリコンウェハー１４の上面と、そして部分的にはシリコンウェハーの貫通孔１５の内側から基材の上面１１へと延在している、それゆえこの鋳型１７は、レベルＮ１の鋳型１３と、レベルＮ２の貫通孔１５と、少なくとも部分的に（随意に）レベルＮ３の素材の存在しない領域の組み合わせで形成されている。これは基材１０の上面１１からレベルＮ３の上面まで延在している。図示した例では、貫通孔１５は円筒形状で、層１６は、貫通孔１５によって形成された円筒の中心に位置する、直径のより小さい円筒部を有し、これにより、円筒部の周囲には、鋳型１７の環状部を形成する空白の円環が残される。レベルＮ３では、鋳型１６には理想的には、ウェハー１４の少なくとも一面が貫通孔１５から見えるように残され、この貫通孔１５に直接アクセスできる。
【００２２】
続いてプロセスは、フォトレジストの各層とハイブリッド型時計コンポーネントのシリコン部分とから形成される鋳型に、金属を電着するステップを実行する。ここでの金属の成長は、最終的なハイブリッド型時計コンポーネントを構成する、第２の素材でできた第２の部品を形成することになり、この成長は少なくとも部分的にレベルＮ３に達するまで続けられる。その結果を図１  ｆ）に示す。電鋳された金属１８が、基材１０の上面１１からレベルＮ３まで延在する単一部品として、シリコンウェハー上に部品を形成していることが伺われる。金属は、特にウェハー１４の下面及び上面の両方に貫通孔１５を介して延在し、単一の電鋳プロセスによって単一部品として形成された金属部品による、サンドイッチ状の構造を形成する。このため、時計コンポーネントは、金属のみを有する第１のレベルＮ１上の第１の層、金属とシリコンを有する第２のレベルＮ２上の第２の層、そして金属のみを有する第３のレベルＮ３上の第３の層を備える。
【００２３】
最後に、プロセスは、ハイブリッド型時計コンポーネントを支持体、つまり基材１０から外す、最終ステップを実行し、これにより、図１  ｇ）に示される、シリコンウェハー１４がもとになってできたシリコン部４と電鋳された金属１８がもとになってできた金属部８によって形成されるハイブリッド型時計コンポーネント１が得られる。加えて、使用されたレジストが、公知の方法で除去されるが、これは基材１０の除去の前あるいは後に行われてよい。
【００２４】
本発明はまた、この製造プロセスによって得られるハイブリッド型時計コンポーネントに関する。このようなコンポーネントは、第１の素材、たとえばシリコンまたはその他の任意の微細加工可能な素材による第１部品４、そして金属でできた第２部品を有する。この第２部品８は、第１部品４の上面５に延在するとともに、第１部品を厚さ方向に貫通し、該第１部品の下面６に延在した、切れ目のないゾーンを形成する。その結果、第１部品は第２部品８の２つの部分に挟まれ、この２つの部品同士の機械的保持力が保証される。さらに、第２部品は、単一の部品として作成されるので、一回の電鋳ステップによるシンプルな形成を可能にするとともに、非常に強い強度を保証する。説明した実施形態によれば、時計コンポーネントはさらに、第２部品８内に円筒状の貫通孔９を有し、これによりたとえば回転軸を挿入することができる、つまりハイブリッド型時計コンポーネントを打ち込むための金属製挿入部を形成する。
【００２５】
ハイブリッド型時計コンポーネントの第１部品は、たとえばシリコン、ダイアモンド、水晶、あるいはセラミック等の微細加工可能な素材で作られているとよい。変形例として、これに用いられる微細加工可能な素材は２以上の層、あるいはたとえば“ＳＯＩ”シリコンウェハーのように、互いに重ねられた複数のウェハーからなるものでもよい。
【００２６】
ハイブリッド型時計コンポーネントはさらに、２より多くの部品を含んでいても良く、少なくともこれまでの２つの素材とは異なる第３の素材で作られた第３部品を含んでいてよい。第３部品は微細加工可能な素材あるいは電鋳金属でよく、最初の２つの部品と同じように、コンポーネントに結合されるとよい。
【００２７】
図２  ａ）〜ｆ）は、実施形態の変形例を表したものであり、相違点のみを説明する。
【００２８】
変形例に係るプロセスでは、レベルＮ１の鋳型１３を形成する第２ステップに引き続いて、図２  ｂ）に示された構成を作成するために、レベルＮ１の上に直接、レベルＮ２の第２レジスト層１９を作成する処理が行われる。この第２層１９は有利には、位置決めピンの製造を可能にする。
【００２９】
続いて、図２  ｃ）に示されているように、たとえばＤＲＩＥ法等によって、いくつかの貫通孔１５を形成するようにシリコンウェハー１４が独立して構成される。ここで形成されるいくつかの貫通孔１５のうち、少なくとも１つは位置決めピンに対応するもので、また少なくとも１つは第１のレベルＮ１の鋳型のレジストのない領域１３の上に重ねられるものである。ここで構成されるウェハーは、必要とされる特性を持たせるために、他の処理、たとえば酸化処理、ドーピング、あるいは他の任意の処理（ＡＬＤあるいはＣＶＤ層による、窒化、焼きなまし）が施されてよい。構成されたウェハーは続いて、図２  ｃ）に示されるように、貫通孔が位置決めピンを通るように、前のステップで作られた構造物と結合される。この構造は、レベルＮ２のシリコンウェハーの精密な位置決めを確かなものとし、図２  ｄ）に示されているように、良好な位置合わせと、特に第１のレベルＮ１の素材のない領域１３の上への貫通孔１５の重ね合わせを正確に行うことが保証される。これにより、シリコンウェハー１４はレジストによって、垂直方向にはレベルＮ１の第１のレジスト層によって、そして水平方向には層１９によって形成された少なくとも１つのレジスト位置決めピンによって、支持される。もちろん、レベルＮ２への位置決めが行われた後、シリコンウェハー１４に付加的な構成（処理、微細加工）が任意に加えられてもよい。
【００３０】
図２  ｅ）〜ｇ）に示された、これ以降のステップはそれぞれ、先に説明した図１  ｅ）〜ｇ）のステップに相当する。
【００３１】
図２  ｇ）に示されているように、この例で得られるハイブリッド型時計コンポーネントは、図１  ｇ）に示されているものと非常に類似している。これはさらに、第１部品４に形成された貫通孔２を有する。
【００３２】
ここまでの２つの実施形態によって説明された製造プロセスは、実施形態のその他の変形例を含んでいてよい。
【００３３】
たとえばプロセスは、例えばショルダー部に正確に金属沈着がされるようにするため、先に説明した２つのステップの間に、不導体のレジスト及び／またはシリコン表面に導電性の層を形成する、中間金属化ステップを含んでいてよい。
【００３４】
別の変形例によると、より複雑な形状の鋳型を形成し、最終的にはより複雑な構造物を作成するため、同一ステップ内で、フォトレジストの堆積、構成ステップが複数回行われてもよい。
【００３５】
変形例として、より複雑な構造物を得るため、１以上のレジスト層を追加することもできる。
【００３６】
この目的のために、図３  ａ）〜ｇ）は、製造プロセスの第２の変形例を示しており、以下では相違点のみを説明する。
【００３７】
最初の図３  ａ）〜ｄ）に関するステップ群は、前に説明した変形例の、図２  ａ）〜ｄ）に関するステップ群に相当する。
【００３８】
続いて、プロセスは、レベルＮ３にレジスト層１６を配置、作成し、レベルＮ４に追加のレジスト層２０を配置、作成する。さらに、前述の変形例では鋳型は３レベルに亘って延在するものであったが、本変形例ではレベルＮ１〜Ｎ４に亘って延在する鋳型１７を形成する。
【００３９】
以降の電着ステップは、図２  ｆ）で行われるステップと同様であり、このステップの結果は図３  ｆ)に示されているが、本変形例ではレベルＮ４にも電着が行われる。
【００４０】
図３  ｇ）に示された、ここで得られるハイブリッド型時計コンポーネントは、たとえばホイール型で時計コンポーネントのシリコン部４と直接接していないが、密着性のある金属構造７を有している点が、先に説明したものとは異なる。第２の変形例はそのため、時計コンポーネントの２つの部品（たとえばシリコン／金属ホイール）の分割を可能にする。
【００４１】
また、同様の方法で、本実施形態の基材上に直接堆積される第１のレジスト層を、２つの分離した層にすることが可能であることも明らかである。
【００４２】
上に述べた製造方法は、たとえば、具体的かつ非制限的な例として、アンクル（pallet）、ジャンパ、ホイール、ピニオン、ラック、スプリング、テンプ（balance）、カム、あるいはバネ棒（bar）等の、時計部品の製造に用いられ得る。
【００４３】
本発明はまた、上に述べたプロセスで得られるハイブリッド型時計コンポーネントに関し、またこのようなハイブリッド型時計コンポーネントを含む、時計ムーブメント、及びたとえば腕時計等の時計に関する。
【００４４】
後者の例はたとえば、図４  ａ）に示されているような、打ち込み用の金属製挿入部を有する針、または図４  ｂ）に示されているような、バランス用のカウンターウェイトを有する針である。
【００４５】
ハイブリッド型時計コンポーネントは、図５  ａ）に示されるような、打ち込み用の金属製挿入部を有するアンクル、または図５  ｂ）に示されるようなツメ石（pallet stone）を有するアンクルである。
【００４６】
ハイブリッド型時計コンポーネントは、図６に示されるような、最適化された、慣性／重量の比を有するテンプである。
【００４７】
ハイブリッド型時計コンポーネントは、図７  ａ）に示されるような、金属製の歯を有するパレットホイール（pallet wheel）、図７  ｂ）に示されるような、金属製の挿入部を有するパレットホイール、または図７  ｃ）に示されるような、フレキシブルな金属構造を有するパレットホイールである。
【００４８】
ハイブリッド型時計コンポーネントは、図８  ａ）に示されるような、金属のひげ玉（collet）を有するヒゲゼンマイ（balance spring）であり得、また図８  ｂ）に示されるような、ヒゲゼンマイの外側の端を固定する、あるいは金属をヒゲ持ち（stud）に止着するために設けられた金属のヒゲゼンマイ支持部を有するヒゲゼンマイであり得、または図８  ｃ）に示されるような、ヒゲゼンマイ支持部に打ち込み用の金属製挿入部を有するヒゲゼンマイであり得、また図８  ｄ）に示されるような、ひげ玉に打ち込み用の金属製挿入部を有するヒゲゼンマイであり得る。このようなヒゲゼンマイの製造は特に、最適な性能を得られるように酸化シリコンで作られたコイルを形成するために、公知の酸化シリコンウェハーの作成を独立に実行しつつ、先に述べた製造プロセスの変形例を用いる。
【００４９】
ハイブリッド型時計コンポーネントは、図９に示されるような、シリコンで作られた機能部と、金属製のアタッチメントを備えたスプリングであり得る。
【図１】
2017138314.tif 000003
【図２】
2017138314.tif 000004
【図３】
2017138314.tif 000005
【図４ａ】
2017138314.tif 000006
【図４ｂ】
2017138314.tif 000007
【図５ａ】
2017138314.tif 000008
【図５ｂ】
2017138314.tif 000009
【図６】
2017138314.tif 000010
【図７ａ】
2017138314.tif 000011
【図７ｂ】
2017138314.tif 000012
【図７ｃ】
2017138314.tif 000013
【図８ａ】
2017138314.tif 000014
【図８ｂ】
2017138314.tif 000015
【図８ｃ】
2017138314.tif 000016
【図８ｄ】
2017138314.tif 000017
【図９】
2017138314.tif 000018
【外国語明細書】
2017138314000001.pdf
2017138314000002.pdf
2017138314000003.pdf
2017138314000004.pdf