(57)【要約】      （修正有）【課題】通信の伝播遅延による誤操作を防止する遠隔操作システム、通信システム、通信方法及びプログラムを提供する。【解決手段】プローバ側ＰＣ２２ａから送信された画面であって、指定可能なメニュー項目を含み、画面の識別情報を含む画面をリモート操作側ＰＣ３０ａの第２表示部に表示させ、第２表示部に表示されたメニュー項目に対する操作を受け付け、操作を受け付けた時点において第２表示部に表示されている画面の識別情報と受け付けたメニュー項目の情報とをプローブ側ＰＣ２２ａに送信し、プローブ側ＰＣ２２ａでは第１表示部に表示している画面の識別情報と受信した識別情報とが一致する場合にのみ選択されたメニュー項目に対する処理を行う。【選択図】図３
2017139679.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１表示部と、
指定可能なメニュー項目を示す画面であって、前記画面の識別情報を含む画面を前記第１表示部に表示させる第１表示制御部と、
前記第１表示部に表示した画面を第２コンピュータに送信する画面送信部と、
を有する第１コンピュータと、
第２表示部と、
前記第１コンピュータから送信された画面を受信する画面受信部と、
前記受信した画面を前記第２表示部に表示させる第２表示制御部と、
前記第２表示部に表示されたメニュー項目に対する操作を受け付ける入力部と、
前記入力部によって操作を受け付けた時点において前記第２表示部に表示されている画面の識別情報と前記受け付けたメニュー項目の情報とを前記第１コンピュータに送信する入力情報送信部と、
を有する第２コンピュータと、
を備え、
さらに、前記第１コンピュータは、
前記第２コンピュータから送信された識別情報とメニュー項目の情報とを受信する入力情報受信部と、
前記第１表示部に表示している画面の識別情報と前記受信した識別情報とが一致する場合には前記受信したメニュー項目に対する処理を行い、一致しない場合には前記受信したメニュー項目に対する処理を行わない処理部と、
を備えた通信システム。
【請求項２】
前記画面は色情報の集合体であり、
前記画面の識別情報は前記色情報に含まれている請求項１に記載の通信システム。
【請求項３】
前記画面の識別情報は、前記画面の所定の位置の画素に含まれている請求項１又は２に記載の通信システム。
【請求項４】
前記所定の位置は前記画面の隅である請求項３に記載の通信システム。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載の通信システムと、
半導体を製造する半導体製造装置と、
を備え、
前記第１コンピュータは前記半導体製造装置を制御する装置制御部を有し、
前記メニュー項目は前記半導体製造装置を制御するためのメニュー項目であり、
前記半導体製造装置及び前記第１コンピュータはクリーンルーム内に設置され、
前記第２コンピュータは前記クリーンルーム外に設置される遠隔操作システム。
【請求項６】
指定可能なメニュー項目を示す画面であって、前記画面の識別情報を含む画面を第１コンピュータの第１表示部に表示させる第１表示制御工程と、
前記第１表示部に表示した画面を前記第１コンピュータから第２コンピュータに送信する画面送信工程と、
前記第１コンピュータから送信された画面を第２コンピュータで受信する画面受信工程と、
前記受信した画面を前記第２コンピュータの第２表示部に表示させる第２表示制御工程と、
前記第２表示部に表示されたメニュー項目に対する操作を第２コンピュータで受け付ける入力工程と、
前記入力工程によって操作を受け付けた時点において前記第２表示部に表示されている画面の識別情報と前記受け付けたメニュー項目の情報とを前記第１コンピュータに送信する入力情報送信工程と、
前記第２コンピュータから送信された識別情報とメニュー項目の情報とを受信する入力情報受信工程と、
前記第１表示部に表示している画面の識別情報と前記受信した識別情報とが一致する場合には前記受信したメニュー項目に対する処理を行い、一致しない場合には前記受信したメニュー項目に対する処理を行わない処理工程と、
を備えた通信方法。
【請求項７】
指定可能なメニュー項目を示す画面であって、前記画面の識別情報を含む画面を第１コンピュータの第１表示部に表示させる第１表示制御工程と、
前記第１表示部に表示した画面を前記第１コンピュータから第２コンピュータに送信する画面送信工程と、
前記第１コンピュータから送信された画面を第２コンピュータで受信する画面受信工程と、
前記受信した画面を前記第２コンピュータの第２表示部に表示させる第２表示制御工程と、
前記第２表示部に表示されたメニュー項目に対する操作を第２コンピュータで受け付ける入力工程と、
前記入力工程によって操作を受け付けた時点において前記第２表示部に表示されている画面の識別情報と前記受け付けたメニュー項目の情報とを前記第１コンピュータに送信する入力情報送信工程と、
前記第２コンピュータから送信された識別情報とメニュー項目の情報とを受信する入力情報受信工程と、
前記第１表示部に表示している画面の識別情報と前記受信した識別情報とが一致する場合には前記受信したメニュー項目に対する処理を行い、一致しない場合には前記受信したメニュー項目に対する処理を行わない処理工程と、
をコンピュータに実行させるプログラム。
【請求項８】
指定可能なメニュー項目を示す画面であって、前記画面の識別情報を含む画面を第１コンピュータの第１表示部に表示させる第１表示制御工程と、
前記第１表示部に表示した画面を第２コンピュータの第２表示部に表示させるために第２コンピュータに送信する画面送信工程と、
前記第２表示部に前記画面が表示された前記第２コンピュータにおいて指定されたメニュー項目の情報と前記メニュー項目が指定された時点において前記第２表示部に表示されている画面の識別情報とを前記第２コンピュータから受信する入力情報受信工程と、
前記第１表示部に表示している画面の識別情報と前記受信した識別情報とが一致する場合には前記受信したメニュー項目に対する処理を行い、一致しない場合には前記受信したメニュー項目に対する処理を行わない処理工程と、
をコンピュータに実行させるプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は遠隔操作システム、通信システム、通信方法及びプログラムに係り、特に画面のビットマップ転送を用いた遠隔操作ツール、通信システム、通信方法及びプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ダイシング装置やプローバ装置等の半導体製造装置では、装置毎に操作端末が設けられ、この操作端末によりオペレータが装置を操作している。また、装置から離れた場所にある操作端末から、その装置を遠隔操作する技術も知られている。
【０００３】
特許文献１には、プローバ装置のタッチパネルの表示内容をホストコンピュータに伝送すると共に、プローバ装置側と、ホストコンピュータ側からのプローバ装置操作情報を双方向で同時に扱うことで、ホストコンピュータで複数のプローバの監視を行うウェーハプローバの遠隔操作システムが開示されている。このシステムによれば、複数のプローバ装置をクリーンルーム内に配設し、これらに接続されたホストコンピュータをクリーンルームの外に配置することにより、夫々のプローバ装置によるウェーハの検査状態をクリーンルームに入ることがなく、ホストコンピュータで、順次もしくは、選択的に監視することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３７４９３１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
手元にあるコンピュータからネットワークを経由して遠隔地にあるコンピュータを操作する、画面のビットマップ転送を用いた遠隔操作ツールが知られている。画面のビットマップ転送を用いた遠隔操作ツールでは、遠隔地のコンピュータの画面が手元のコンピュータに送出され、手元のコンピュータにおいて遠隔地のコンピュータと同じ画面を見ながら操作することができる。したがって、半導体製造装置を操作するためのコンピュータと手元のコンピュータとを画面のビットマップ転送を用いた遠隔操作ツールで接続することで、手元のコンピュータにおいて半導体製造装置を遠隔操作することができる。
【０００６】
画面のビットマップ転送を用いた遠隔操作ツールは、遠隔地にあるコンピュータと手元にあるコンピュータとがネットワークを介して接続しているため、遠隔地にあるコンピュータから送出された画面が手元のコンピュータに届いて表示されるまでには、通信の伝播遅延によりタイムラグが生じる。
【０００７】
半導体製造装置を操作するコンピュータは、半導体製造装置による製造の進行等に合わせて、表示される画面が遷移して変化する場合がある。この画面の更新が手元のコンピュータに反映されるまでの間にオペレータが手元のコンピュータの操作をすると、半導体製造装置を操作するコンピュータの画面と手元のコンピュータの画面とが異なっているため、所望の操作を行うことができない可能性がある。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、通信の伝播遅延に起因する誤操作を防止する遠隔操作システム、通信システム、通信方法及びプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために通信システムの一の態様は、第１表示部と、指定可能なメニュー項目を示す画面であって、画面の識別情報を含む画面を第１表示部に表示させる第１表示制御部と、第１表示部に表示した画面を第２コンピュータに送信する画面送信部と、を有する第１コンピュータと、第２表示部と、第１コンピュータから送信された画面を受信する画面受信部と、受信した画面を第２表示部に表示させる第２表示制御部と、第２表示部に表示されたメニュー項目に対する操作を受け付ける入力部と、入力部によって操作を受け付けた時点において第２表示部に表示されている画面の識別情報と受け付けたメニュー項目の情報とを第１コンピュータに送信する入力情報送信部と、を有する第２コンピュータと、を備え、さらに、第１コンピュータは、第２コンピュータから送信された識別情報とメニュー項目の情報とを受信する入力情報受信部と、第１表示部に表示している画面の識別情報と受信した識別情報とが一致する場合には受信したメニュー項目に対する処理を行い、一致しない場合には受信したメニュー項目に対する処理を行わない処理部と、を備えた。
【００１０】
本態様によれば、第１表示部に表示している画面の識別情報と入力部によって操作を受け付けた時点において第２表示部に表示されている画面の識別情報とが一致する場合にのみ受信したメニュー項目に対する処理を行うようにしたので、第１コンピュータと第２コンピュータとの通信の伝播遅延に起因する誤操作を防止することができる。
【００１１】
画面は色情報の集合体であり、画面の識別情報は色情報に含まれていることが好ましい。これにより、画面の送受信を行うことで同時に識別情報を送受信することができる。
【００１２】
画面の識別情報は、画面の所定の位置の画素に含まれていることが好ましい。これにより、識別情報を適切に判別することができる。
【００１３】
所定の位置は画面の隅であることが好ましい。これにより、画面に識別情報が含まれていても目立たず、違和感なく表示することができる。
【００１４】
上記目的を達成するために遠隔操作システムの一の態様は、第１表示部と、指定可能なメニュー項目を示す画面であって、画面の識別情報を含む画面を第１表示部に表示させる第１表示制御部と、第１表示部に表示した画面を第２コンピュータに送信する送信部と、を有する第１コンピュータと、第２表示部と、第１コンピュータから送信された画面を受信する受信部と、受信した画面を第２表示部に表示させる第２表示制御部と、第２表示部に表示されたメニュー項目に対する操作を受け付ける入力部と、入力部によって操作を受け付けた時点において第２表示部に表示されている画面の識別情報と受け付けたメニュー項目の情報とを第１コンピュータに送信する送信部と、を有する第２コンピュータと、を備え、さらに、第１コンピュータは、第２コンピュータから送信された識別情報とメニュー項目の情報とを受信する受信部と、第１表示部に表示している画面の識別情報と受信した識別情報とが一致する場合には受信したメニュー項目に対する処理を行い、一致しない場合には受信したメニュー項目に対する処理を行わない処理部と、を備えた通信システムと、半導体を製造する半導体製造装置と、を備え、第１コンピュータは半導体製造装置を制御する装置制御部を有し、メニュー項目は半導体製造装置を制御するためのメニュー項目であり、半導体製造装置及び第１コンピュータはクリーンルーム内に設置され、第２コンピュータはクリーンルーム外に設置される。
【００１５】
本態様によれば、クリーンルーム内に設置された半導体製造装置をクリーンルーム外に設置された第２コンピュータにより遠隔操作することができるとともに、半導体製造装置を制御する第１コンピュータと第２コンピュータとの通信の伝播遅延に起因する誤操作を防止することができる。
【００１６】
上記目的を達成するために通信方法の一の態様は、指定可能なメニュー項目を示す画面であって、画面の識別情報を含む画面を第１コンピュータの第１表示部に表示させる第１表示制御工程と、第１表示部に表示した画面を第１コンピュータから第２コンピュータに送信する画面送信工程と、第１コンピュータから送信された画面を第２コンピュータで受信する画面受信工程と、受信した画面を第２コンピュータの第２表示部に表示させる第２表示制御工程と、第２表示部に表示されたメニュー項目に対する操作を第２コンピュータで受け付ける入力工程と、入力工程によって操作を受け付けた時点において第２表示部に表示されている画面の識別情報と受け付けたメニュー項目の情報とを第１コンピュータに送信する入力情報送信工程と、第２コンピュータから送信された識別情報とメニュー項目の情報とを受信する入力情報受信工程と、第１表示部に表示している画面の識別情報と受信した識別情報とが一致する場合には受信したメニュー項目に対する処理を行い、一致しない場合には受信したメニュー項目に対する処理を行わない処理工程と、を備えた。
【００１７】
本態様によれば、第１表示部に表示している画面の識別情報と操作を受け付けた時点において第２表示部に表示されている画面の識別情報とが一致する場合にのみ受信したメニュー項目に対する処理を行うようにしたので、第１コンピュータと第２コンピュータとの通信の伝播遅延に起因する誤操作を防止することができる。
【００１８】
上記目的を達成するためにコンピュータに実行させるプログラムの一の態様は、指定可能なメニュー項目を示す画面であって、画面の識別情報を含む画面を第１コンピュータの第１表示部に表示させる第１表示制御工程と、第１表示部に表示した画面を第１コンピュータから第２コンピュータに送信する画面送信工程と、第１コンピュータから送信された画面を第２コンピュータで受信する画面受信工程と、受信した画面を第２コンピュータの第２表示部に表示させる第２表示制御工程と、第２表示部に表示されたメニュー項目に対する操作を第２コンピュータで受け付ける入力工程と、入力工程によって操作を受け付けた時点において第２表示部に表示されている画面の識別情報と受け付けたメニュー項目の情報とを第１コンピュータに送信する入力情報送信工程と、第２コンピュータから送信された識別情報とメニュー項目の情報とを受信する入力情報受信工程と、第１表示部に表示している画面の識別情報と受信した識別情報とが一致する場合には受信したメニュー項目に対する処理を行い、一致しない場合には受信したメニュー項目に対する処理を行わない処理工程と、をコンピュータに実行させる。
【００１９】
本態様によれば、第１表示部に表示している画面の識別情報と操作を受け付けた時点において第２表示部に表示されている画面の識別情報とが一致する場合にのみ受信したメニュー項目に対する処理を行うようにしたので、第１コンピュータと第２コンピュータとの通信の伝播遅延に起因する誤操作を防止することができる。
【００２０】
上記目的を達成するためにコンピュータに実行させるプログラムの一の態様は、指定可能なメニュー項目を示す画面であって、画面の識別情報を含む画面を第１コンピュータの第１表示部に表示させる第１表示制御工程と、第１表示部に表示した画面を第２コンピュータの第２表示部に表示させるために第２コンピュータに送信する画面送信工程と、第２表示部に画面が表示された第２コンピュータにおいて指定されたメニュー項目の情報とメニュー項目が指定された時点において第２表示部に表示されている画面の識別情報とを第２コンピュータから受信する入力情報受信工程と、第１表示部に表示している画面の識別情報と受信した識別情報とが一致する場合には受信したメニュー項目に対する処理を行い、一致しない場合には受信したメニュー項目に対する処理を行わない処理工程と、をコンピュータに実行させる。
【００２１】
本態様によれば、第１表示部に表示している画面の識別情報と操作を受け付けた時点において第２表示部に表示されている画面の識別情報とが一致する場合にのみ受信したメニュー項目に対する処理を行うようにしたので、第１コンピュータと第２コンピュータとの通信の伝播遅延に起因する誤操作を防止することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、通信の伝播遅延に起因する誤操作を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】遠隔操作システムの一例を示す構成図
【図２】プローバ側ＰＣ及びリモート操作側ＰＣの内部構成の一例を示すブロック図
【図３】遠隔操作システムの動作を示すシーケンス図
【図４】ディスプレイの画面を示す図
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。
【００２５】
〔遠隔操作システムの構成〕
図１は、本実施形態に係る遠隔操作システムの一例を示す構成図である。同図に示すように、遠隔操作システム１０は、複数のプローバ装置２０ａ、２０ｂ、及び２０ｃ、プローバ側ＰＣ（Personal Computer）２２ａ、２２ｂ、及び２２ｃ、リモート操作側ＰＣ３０ａ及び３０ｂ等から構成される。
【００２６】
プローバ装置２０ａ、２０ｂ、及び２０ｃは、それぞれ半導体ウェーハに形成された半導体チップの電極にプロービングして半導体チップの電気特性を検査する装置である。プローバ側ＰＣ２２ａ、２２ｂ、及び２２ｃは、それぞれプローバ装置２０ａ、２０ｂ、及び２０ｃを制御するコンピュータであり、オペレータは、プローバ側ＰＣ２２ａ、２２ｂ、及び２２ｃを用いてプローバ装置２０ａ、２０ｂ、及び２０ｃをそれぞれ操作する。プローバ装置２０ａ、２０ｂ、及び２０ｃとプローバ側ＰＣ２２ａ、２２ｂ、及び２２ｃとは、高い清浄度に保たれるように防塵空調されたクリーンルーム２４の内部（クリーンルーム内）に設置されている。
【００２７】
また、クリーンルーム２４の外部（クリーンルーム外）には、リモート操作側ＰＣ３０ａ及び３０ｂが設置されている。リモート操作側ＰＣ３０ａ及び３０ｂは、ネットワーク４０を介してそれぞれプローバ側ＰＣ２２ａ、２２ｂ、及び２２ｃと接続される。ネットワーク４０は、インターネットや有線又は無線のＬＡＮ（Local Area Network）などの通信網である。プローバ側ＰＣ２２ａ、２２ｂ、及び２２ｃとリモート操作側ＰＣ３０ａ及び３０ｂとで、本実施形態に係る通信システムを構成する。
【００２８】
このように構成された遠隔操作システム１０は、クリーンルーム２４の内部に設置されたプローバ装置２０ａ、２０ｂ及び２０ｃを、クリーンルーム２４の外部に設置されたリモート操作側ＰＣ３０ａや３０ｂにおいて、集中管理や遠隔操作をすることができる。これにより、オペレータは、クリーンルーム２４に入室するために防塵服に着替え、エアシャワーを浴びるという手間を省くことができる。クリーンルーム２４を生産拠点に設置し、リモート操作側ＰＣ３０ａ、３０ｂを研究拠点や開発拠点に設置する態様も可能である。クリーンルーム２４とリモート操作側ＰＣ３０ａ、３０ｂとを国境を跨いで設置してもよい。
【００２９】
〔パーソナルコンピュータの構成〕
図２は、プローバ側ＰＣ２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、リモート操作側ＰＣ３０ａ及び３０ｂの内部構成の一例を示すブロック図である。同図に示すように、プローバ側ＰＣ２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、リモート操作側ＰＣ３０ａ及び３０ｂは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）５０、メモリ５２、ハードディスク５４、ネットワーク接続部５６、ディスプレイ５８、操作部６０、及びバス６２等から構成される。
【００３０】
ＣＰＵ５０は、実行する制御プログラムに従ってネットワーク接続部５６、ディスプレイ５８等の動作を制御する。メモリ５２は、ＣＰＵ５０における制御に必要なデータの一時記憶等に用いられる。また、ハードディスク５４は、ＣＰＵ５０の制御プログラム等を記憶している。
【００３１】
ネットワーク接続部５６は、ネットワーク４０に接続するための通信手段であり、ＬＡＮボードや無線送受信機等を有している。
【００３２】
ディスプレイ５８は、液晶ディスプレイや、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等の表示手段であり、プローバ装置２０ａ、２０ｂ、及び２０ｃの各種情報や検査状態、オペレータが選択するためのメニュー項目を表示する。
【００３３】
操作部６０は、キーボード、マウス等の入力手段であり、オペレータの操作を受け付ける。操作部６０として、ディスプレイ５８上に積層配置したタッチパネルを用いてもよい。
【００３４】
バス６２は、ＣＰＵ５０、メモリ５２、ハードディスク５４、ネットワーク接続部５６、ディスプレイ５８、及び操作部６０の間でデータを伝送するための伝送経路である。
【００３５】
〔画面のビットマップ転送を用いた遠隔操作ツールの概要〕
遠隔操作システム１０は、プローバ側ＰＣ２２ａ、２２ｂ及び２２ｃと、リモート操作側ＰＣ３０ａ及び３０ｂとが、画面のビットマップ転送を用いた遠隔操作ツールにより接続されている。
【００３６】
例えば、プローバ側ＰＣ２２ａからリモート操作側ＰＣ３０ａに、ビットマップファイルのＲＧＢ（Red Green Blue）値（色情報の一例）の集合体である画面データを転送することで、プローバ側ＰＣ２２ａのディスプレイ５８に表示される画面とリモート操作側ＰＣ３０ａのディスプレイ５８に表示される画面とが共有されている。また、リモート操作側ＰＣ３０ａにおけるクリック座標等の操作情報をリモート操作側ＰＣ３０ａからプローバ側ＰＣ２２ａに送信することで、プローバ側ＰＣ２２ａにおいて操作を代行（代行クリック）する。
【００３７】
なお、プローバ側ＰＣ２２ａのディスプレイ５８に表示される画面は、リモート操作側ＰＣ３０ａの操作にかかわらず、プローバ装置２０ａの検査状態等に応じて変化する。また、プローバ側ＰＣ２２ａに同様に画面のビットマップ転送を用いた遠隔操作ツールで接続されたリモート操作側ＰＣ３０ｂの操作によっても変化することがある。
【００３８】
〔遠隔操作システムの動作〕
遠隔操作システム１０の動作について説明する。図３は、遠隔操作システム１０の動作を示すシーケンス図である。図３の縦方向は時間軸を表しており、上から下に向かって処理が実行されることを意味している。ここでは一例として、オペレータ４４がリモート操作側ＰＣ３０ａ（第２コンピュータの一例）を用いてプローバ側ＰＣ２２ａ（第１コンピュータの一例）を介してプローバ装置２０ａ（半導体製造装置の一例、図１参照）を制御する場合について説明する。なお、図３に示すプローバ側ＰＣソフトウェア４２は、プローバ装置２０ａを制御するためのプログラムであり、プローバ側ＰＣ２２ａのハードディスク５４（図２参照）に記憶されており、ＣＰＵ５０（図２参照）において実行される。
【００３９】
また、プローバ側ＰＣ２２ａのディスプレイ５８（第１表示部の一例）及びリモート操作側ＰＣ３０ａのディスプレイ５８（第２表示部の一例）に表示される画面は、図４に示すように、情報表示エリア７０と、選択メニュー表示エリア７２と、を有している。ここでは、プローバ側ＰＣ２２ａのディスプレイ５８及びリモート操作側ＰＣ３０ａのディスプレイ５８には、図４（Ａ）に示す画面７６が予め表示されているものとする。画面７６には、情報表示エリア７０に情報７０ａが、選択メニュー表示エリア７２に指定可能なメニュー項目を示す選択メニュー７２ａ、７２ｂ、７２ｃ、及び７２ｄが配置されている。
【００４０】
最初に、プローバ側ＰＣソフトウェア４２において、プローバ装置２０ａの検査状況等に応じて、プローバ側ＰＣ２２ａのディスプレイ５８に表示される画面の更新を指示する（ステップＳ１）。この更新指示を受けて、プローバ側ＰＣ２２ａのＣＰＵ５０（第１表示制御部の一例）は、ディスプレイ５８に表示される画面を更新する（ステップＳ２、第１表示制御工程の一例）。
【００４１】
これにより、プローバ側ＰＣ２２ａのディスプレイ５８の表示は、図４（Ａ）に示す画面７６から、図４（Ｂ）に示す画面７８に更新されたものとする。画面７８は、情報表示エリア７０に情報７０ｂが、選択メニュー表示エリア７２に選択メニュー７２ｅ、７２ｆ、７２ｇ、及び７２ｈが配置されている。なお、選択メニュー７２ｅ、７２ｆ、７２ｇ、及び７２ｈは、ヒューマンインターフェース指針により、選択メニュー７２ａ、７２ｂ、７２ｃ、及び７２ｄと同じ座標に配置される。
【００４２】
ここで、画面の左上（画面の所定の位置の一例、画面の隅の一例）の画素７４のＲＧＢ値には、画面更新識別情報が含まれている。画面の隅の１ドットだけであるため、ＲＧＢ値に画面更新識別情報が含まれていても目立たず、ディスプレイ５８に表示されても違和感がない。画面更新識別情報は、選択メニュー表示エリア７２の選択メニューが変化する毎に異なる値が設定され、情報表示エリア７０に表示される情報のみが更新された場合や、画面内のキーボードカーソルが点滅（ブリンク）している場合など、選択メニュー表示エリア７２の選択メニューが変化しない場合には更新されない。
【００４３】
図４（Ａ）に示す画面７６と図４（Ｂ）に示す画面７８とは、選択メニュー表示エリア７２の選択メニューが異なっているため、それぞれの画面における画面更新識別情報（画素７４のＲＧＢ値）は、異なった値になっている。ここでは、画面７６の画面更新識別情報を１６進数で0x000000、画面７８の画面更新識別情報を１６進数で0x000001であるとする。なお、０ｘとは、Ｃ言語等の一般的なプログラミング言語で扱われる１６進数を表す場合の表現である。
【００４４】
続いて、プローバ側ＰＣ２２ａは、ネットワーク接続部５６（画面送信部の一例）を介してディスプレイ５８に表示された画面７８のビットマップ形式の画面データをリモート操作側ＰＣ３０ａに送信する（ステップＳ３、画面送信工程の一例）。リモート操作側ＰＣ３０ａは、プローバ側ＰＣ２２ａから送信された画面７８の画面データを、ネットワーク接続部５６（画面受信部の一例）を介して受信し（画面受信工程の一例）、ＣＰＵ５０（第２表示制御部の一例）により、ディスプレイ５８の表示を受信した画面７８に更新する（ステップＳ４、第２表示制御工程の一例）。これにより、リモート操作側ＰＣ３０ａのディスプレイ５８に表示される画面は、画面７６から画面７８に更新される。
【００４５】
なお、図３に示した時間Ｔ１は、画面データをプローバ側ＰＣ２２ａが送信してからリモート操作側ＰＣ３０ａが受信するまでの時間であり、ネットワーク４０による伝播遅延時間を示している。画面のビットマップ転送を用いた遠隔操作ツールによりプローバ側ＰＣ２２ａのディスプレイ５８に表示される画面とリモート操作側ＰＣ３０ａのディスプレイ５８に表示される画面とは共有化されているが、この伝播遅延時間Ｔ１の間だけプローバ側ＰＣ２２ａのディスプレイ５８に表示される画面とリモート操作側ＰＣ３０ａのディスプレイ５８に表示される画面とが異なっている。
【００４６】
その後、オペレータ４４がリモート操作側ＰＣ３０ａの操作部６０（入力部の一例、図２参照）を操作し、画面７８の選択メニュー７２ｅ、７２ｆ、７２ｇ、及び７２ｈのうちのいずれかを選択（指定）する（ステップＳ５）。この選択は、例えば画面７８に表示されたマウスカーソル（不図示）を選択したい選択メニューの位置に合わせた後、マウスのボタン（不図示）をクリックすることで決定する。ここでは、オペレータ４４が選択メニュー７２ｅを選択し、リモート操作側ＰＣ３０ａにおいてその操作を受け付けた（入力工程の一例）ものとする。
【００４７】
この操作を受けて、リモート操作側ＰＣ３０ａのＣＰＵ５０（図２参照）は、マウスのボタンがクリックされた際（操作を受け付けた時点、指定された時点）のディスプレイ５８内のマウスカーソルの位置の座標（Ｘ，Ｙ）（メニュー項目の情報の一例）、即ち選択メニュー７２ｅの座標（Ｘ，Ｙ）を取得する（ステップＳ６）。さらに、リモート操作側ＰＣ３０ａは、クリックの発生のイベントと、画面更新識別情報としてのディスプレイ５８に表示されている画面７８の左上の画素７４のＲＧＢ値0x000001と、取得したマウスカーソルの位置の座標（Ｘ，Ｙ）とを、ネットワーク接続部５６（入力情報送信部の一例）を介してプローバ側ＰＣ２２ａに送信する（ステップＳ７、入力情報送信工程の一例）。
【００４８】
プローバ側ＰＣ２２ａは、リモート操作側ＰＣ３０ａから送信されたクリックの発生のイベントと、画面更新識別情報0x000001と、マウスカーソルの位置の座標（Ｘ，Ｙ）とを、ネットワーク接続部５６（入力情報受信部の一例）を介して受信する（ステップＳ８、入力情報受信工程の一例）。プローバ側ＰＣソフトウェア４２は、受信した画面更新識別情報0x000001を判別し、伝播時間差ズレの有無を確認する（ステップＳ９）。
【００４９】
プローバ側ＰＣソフトウェア４２は、ステップＳ１において、プローバ側ＰＣ２２ａのディスプレイ５８に表示される画面の更新を指示している。このときに指示した画面７８の画面更新識別情報（画面７８の左上の画素７４のＲＧＢ値）は、0x000001である。一方、リモート操作側ＰＣ３０ａから送信されてきた画面更新識別情報も、0x000001である。
【００５０】
ステップＳ９では、プローバ側ＰＣ２２ａのディスプレイ５８に表示されている画面７８の画面更新識別情報と送信されてきた画面更新識別情報とを比較し、一致する場合はＣＰＵ５０（処理部の一例、装置制御部の一例）を介してプローバ側ＰＣ２２ａやプローバ装置２０ａに対し、マウスカーソルの位置の座標（Ｘ，Ｙ）に対応する動作（メニュー項目に対する処理の一例）を指示する（処理工程の一例）。これにより、プローバ装置２０ａのロット処理やエラー対応操作等を行うことができる。また、一致しない場合はその操作を無効とし、プローバ側ＰＣ２２ａやプローバ装置２０ａに対してマウスカーソルの位置の座標（Ｘ，Ｙ）に対応する動作の指示を行わない。ここでは、両者の画面更新識別情報はともに0x000001であるため、マウスカーソルの位置の座標（Ｘ，Ｙ）に対応する動作、即ち選択メニュー７２ｅに対応する動作を指示する。
【００５１】
次に、ステップＳ５とは異なるタイミングでオペレータ４４がリモート操作側ＰＣ３０ａの操作部６０を操作した場合について、図３を用いて説明する。ここでは、再びプローバ側ＰＣ２２ａのディスプレイ５８に表示されている画面及びリモート操作側ＰＣ３０ａのディスプレイ５８に表示されている画面が、ともに図４（Ａ）に示す画面７６であるものとする。前述のように、画面７６の画面更新識別情報である左上の画素７４のＲＧＢ値は、0x000000である。
【００５２】
この状態において、プローバ側ＰＣソフトウェア４２が、プローバ装置２０ａの検査状況等に応じて、プローバ側ＰＣ２２ａのディスプレイ５８に表示される画面の更新を指示する（ステップＳ１１）。
【００５３】
この更新指示を受けて、プローバ側ＰＣ２２ａのＣＰＵ５０は、ディスプレイ５８に表示される画面を更新する（ステップＳ１２）。この更新により、プローバ側ＰＣ２２ａのディスプレイ５８の表示は、ステップＳ２と同様に画面７６から画面７８に更新されたものとする。前述のように、画面７８の画面更新識別情報である左上の画素７４のＲＧＢ値は、0x000001である。
【００５４】
続いて、プローバ側ＰＣ２２ａは、ネットワーク接続部５６を介してディスプレイ５８に表示された画面７８のビットマップ形式の画面データをリモート操作側ＰＣ３０ａに送信する（ステップＳ１３）。
【００５５】
ここで、オペレータ４４がリモート操作側ＰＣ３０ａの操作部６０を操作したものとする（ステップＳ１５）。リモート操作側ＰＣ３０ａのディスプレイ５８に表示されているのは、画面７６である。オペレータ４４は、画面７６の選択メニュー７２ａ、７２ｂ、７２ｃ、及び７２ｄのうちのいずれかを選択する。この選択は、ステップＳ５の場合と同様に、例えばマウスカーソルを選択したい選択メニューの位置に合わせた後、マウスのボタンをクリックして決定する。ここでは、オペレータ４４が選択メニュー７２ａを選択したものとする。
【００５６】
この操作を受けて、リモート操作側ＰＣ３０ａのＣＰＵ５０は、マウスのボタンがクリックされた際のディスプレイ５８内のマウスカーソルの位置の座標（Ｘ，Ｙ）、即ち選択メニュー７２ａの座標（Ｘ，Ｙ）を取得する（ステップＳ１６）。さらに、リモート操作側ＰＣ３０ａは、クリックの発生のイベントと、画面更新識別情報としてのディスプレイ５８に表示されている画面７６の左上の画素７４のＲＧＢ値0x000000と、取得したマウスカーソルの位置の座標（Ｘ，Ｙ）とを、ネットワーク接続部５６を介してプローバ側ＰＣ２２ａに送信する（ステップＳ１７）。
【００５７】
その後、リモート操作側ＰＣ３０ａは、ステップＳ１３においてプローバ側ＰＣ２２ａから送信されたビットマップ形式の画面データを、ネットワーク接続部５６を介して受信し、ディスプレイ５８の表示を、受信した画面７８に更新する（ステップＳ１４）。これにより、リモート操作側ＰＣ３０ａのディスプレイ５８に表示される画面は、図４（Ａ）に示す画面から図４（Ｂ）に示す画面に更新される。
【００５８】
また、プローバ側ＰＣ２２ａは、リモート操作側ＰＣ３０ａから送信されたクリックの発生のイベントと、画面更新識別情報0x000000と、取得したマウスカーソルの位置の座標（Ｘ，Ｙ）とを、ネットワーク接続部５６を介して受信する（ステップＳ１８）。
【００５９】
プローバ側ＰＣソフトウェア４２は、受信した画面更新識別情報0x000000を判別し、伝播時間差ズレの有無を確認する（ステップＳ１９）。プローバ側ＰＣ２２ａのディスプレイ５８に表示されている画面７８の画面更新識別情報は0x000001であり、受信した画面更新識別情報は0x000000である。このように、両者の画面更新識別情報が一致しない場合は、受信したクリック操作を無効とし、プローバ側ＰＣ２２ａやプローバ装置２０ａに対してクリック操作に対応する動作を指示しない。リモート操作側ＰＣ３０ａのディスプレイ５８に、オペレータの行った操作が無効になった旨を表示してもよい。
【００６０】
オペレータ４４は、リモート操作側ＰＣ３０ａのディスプレイ５８に表示された画面７６の選択メニュー７２ａを実行したかったが、操作部６０を操作したときにプローバ側ＰＣ２２ａのディスプレイ５８には、すでに画面７８が表示されていた。この操作に従ってプローバ側ＰＣ２２ａやプローバ装置２０ａに対して動作を指示すると、画面７８において選択メニュー７２ａと同じ座標（Ｘ，Ｙ）に配置された選択メニュー７２ｅを実行することになり、オペレータ４４の意思とは異なる動作になってしまう。したがって、この場合は、受信したクリック操作を無効とする。
【００６１】
このように、プローバ側ＰＣ２２ａのディスプレイ５８に表示されている画面７８の画面更新識別情報とリモート操作側ＰＣ３０ａから受信した画面更新識別情報とを比較することで、伝播時間差ズレの有無を確認し、両者の画面更新識別情報が一致した場合にのみマウスカーソルの位置の座標（Ｘ，Ｙ）に対応する動作を行い、一致しない場合は伝播時間差ズレが発生していると判断してオペレータ４４の操作を無効にすることで、通信の伝播遅延による誤操作を防止することができる。
【００６２】
本実施形態では、画面更新識別情報を画面の左上の画素の色情報に含めたが、画面更新識別情報の位置は左上でなくてもよく、右下や左下であってもよい。なお、オペレータに視認されないように、画面の隅の画素であることが好ましい。
【００６３】
また、本実施形態では、マウスのボタンをクリックしてメニューを選択したが、タッチパネルを用いた場合には、マウスのボタンがクリックされた際のマウスカーソルの位置の座標（Ｘ，Ｙ）の代わりに、タッチパネルのタッチされた位置の座標（Ｘ，Ｙ）を取得すればよい。
【００６４】
また、本実施形態に係る遠隔操作システムでは、複数のプローバ装置を遠隔操作する構成としたが、遠隔操作する装置はプローバ装置に限定されるものではない。例えば、ダイシング装置等の各種半導体製造装置の遠隔操作に適用することができる。
【００６５】
図３に示すステップＳ１〜ステップＳ１９が、本実施形態に係る通信方法を構成する。また通信方法は、コンピュータに上記の各工程を実現させるためのプログラムとして構成し、当該プログラムを記憶したＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disk-Read Only Memory）等の非一時的な記録媒体を構成することも可能である。
【００６６】
本発明の技術的範囲は、上記の実施形態に記載の範囲には限定されない。各実施形態における構成等は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、各実施形態間で適宜組み合わせることができる。
【符号の説明】
【００６７】
１０…遠隔操作システム、２０ａ，２０ｂ，２０ｃ…プローバ装置、２２ａ，２２ｂ，２２ｃ…プローバ側ＰＣ、２４…クリーンルーム、３０ａ，３０ｂ…リモート操作側ＰＣ、４０…ネットワーク、５０…ＣＰＵ、５２…メモリ、５４…ハードディスク、５６…ネットワーク接続部、５８…ディスプレイ、６０…操作部、６２…バス、７０…情報表示エリア、７０ａ，７０ｂ…情報、７２…選択メニュー表示エリア、７２ａ，７２ｂ，７２ｃ，７２ｄ，７２ｅ，７２ｆ，７２ｇ，７２ｈ…選択メニュー、７４…画素、７６，７８…画面
【図１】
2017139679.tif 000003
【図２】
2017139679.tif 000004
【図３】
2017139679.tif 000005
【図４】
2017139679.tif 000006