(57)【要約】      （修正有）【課題】搬送されている、金属膜を有する樹脂フィルムの分光反射率の測定を、高精度に実施できる分光反射率測定装置を提供する。【解決手段】金属膜を有する長尺樹脂フィルム１１の分光反射率を測定するための分光反射率測定装置であって、金属膜を有する長尺樹脂フィルムに接触し、長尺樹脂フィルムを搬送する測定ロール１２と、光照射部、及び反射光受光部を有する測定ヘッド１３と、測定ヘッドを、測定ロールの軸方向に沿って移動させる移動手段１７と、測定ロールの軸方向の端部に、配置された標準反射物１８１、１８２、１９１、１９２、２０１、２０２と、標準反射物の反射強度を測定し、反射強度から分光反射率への変換係数を校正する校正手段と、移動手段により測定ヘッドを測定位置まで移動させ、測定ロールにより搬送されている金属膜を有する長尺樹脂フィルムの分光反射率を測定する制御手段とを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属膜を有する長尺樹脂フィルムの分光反射率を測定するための分光反射率測定装置であって、
前記金属膜を有する長尺樹脂フィルムに接触し、前記長尺樹脂フィルムを搬送する測定ロールと、
光照射部、及び反射光受光部を有する測定ヘッドと、
前記測定ヘッドを、前記測定ロールの軸方向に沿って移動させる移動手段と、
前記測定ロールの軸方向の端部に、配置された標準反射物と、
前記標準反射物の反射強度を測定し、反射強度から分光反射率への変換係数を校正する校正手段と、
前記移動手段により前記測定ヘッドを測定位置まで移動させ、前記測定ロールにより搬送されている前記金属膜を有する長尺樹脂フィルムの分光反射率を測定する制御手段と、
を有する分光反射率測定装置。
【請求項２】
光源部及び分光器を備え、
前記測定ヘッドと前記光源部、及び前記測定ヘッドと前記分光器とが光ファイバーで接続されており、
前記移動手段は、前記測定ヘッドと、前記分光器とを前記測定ロールの軸方向に沿って移動させる請求項１に記載の分光反射率測定装置。
【請求項３】
前記標準反射物は、前記測定ロールの軸方向の両端部にそれぞれ１つ配置されており、
前記校正手段は、２つの前記標準反射物について測定した反射強度から、前記測定ロールの軸方向の両端部における分光反射率への端部変換係数を算出し、前記端部変換係数から内挿法により、前記測定位置における測定位置変換係数を算出する測定位置変換係数算出手段をさらに備え、
前記校正手段は、前記測定位置変換係数により前記変換係数を校正する、請求項１または請求項２に記載の分光反射率測定装置。
【請求項４】
前記分光反射率からＬ＊，ａ＊，ｂ＊色空間を算出する色空間演算手段をさらに備える請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の分光反射率測定装置。
【請求項５】
前記標準反射物が、前記測定ロールの両端の表面である請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の分光反射率測定装置。
【請求項６】
前記標準反射物が、標準白色板、ミラー、反射率既知の反射板のいずれかである請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の分光反射率測定装置。
【請求項７】
前記標準反射物が、前記金属膜を有する樹脂フィルムである請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の分光反射率測定装置。
【請求項８】
前記標準反射物が、測定ロールの両端部の全周表面に固定されている請求項６または７に記載の分光反射率測定装置。
【請求項９】
前記標準反射物として、第１の標準反射物、及び第２の標準反射物を備えており、
前記第１の標準反射物は、波長４００ｎｍ以上７００ｎｍ以下の分光反射率の平均が、８０％以上１００％以下であり、
前記第２の標準反射物は、波長４００ｎｍ以上７００ｎｍ以下の分光反射率の平均が、０．０１％以上５％以下であり、
前記校正手段は、前記第１の標準反射物、及び前記第２の標準反射物について測定した反射強度から、内挿法、または外挿法により、前記金属膜を有する長尺樹脂フィルムの分光反射率における、分光反射率への測定反射率変換係数を算出する測定反射率変換係数算出手段をさらに備え、
前記校正手段は、前記測定反射率変換係数により前記変換係数を校正する、請求項１から請求項８のいずれか一項に記載の分光反射率測定装置。
【請求項１０】
前記校正手段は、
前記標準反射物の反射強度を、前記金属膜を有する長尺樹脂フィルムの分光反射率を測定する際の露光時間よりも短く、かつ露光時間の異なる２種類以上の露光時間で測定を行い、
２種類以上の露光時間で測定した前記標準反射物の反射強度から、外挿法により、前記金属膜を有する長尺樹脂フィルムの分光反射率を測定する際の露光時間における、分光反射率への露光時間変換係数を算出する露光時間変換係数算出手段をさらに備え、
前記校正手段は、前記露光時間変換係数により前記変換係数を校正する、請求項１から請求項９のいずれか一項に記載の分光反射率測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分光反射率測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
静電容量式タッチパネルは、パネル表面に近接する物体により引き起こされる静電容量の変化を検出することにより、パネル表面上での近接する物体の位置の情報を電気信号に変換する。静電容量式タッチパネルに用いられる導電性基板は、ディスプレイの表面に設置されるため、導電性基板の導電層の材料には反射率が低く、視認されにくいことが要求されている。
【０００３】
そこで、静電容量式タッチパネルに用いられる導電層の材料としては、反射率が低く、視認されにくい材料が用いられ、透明基板または透明なフィルム上に配線が形成されている。
【０００４】
例えば特許文献１には、高分子フィルムおよびその上に気相成膜法により設けられた金属酸化物からなる透明導電膜を含む透明導電性フィルムが開示され、金属酸化物からなる透明導電膜として酸化インジウム−酸化スズ（ＩＴＯ）膜を用いることが開示されている。
【０００５】
ところで、近年タッチパネルを備えたディスプレイの大画面化が進んでおり、これに対応してタッチパネル用の透明導電性フィルム等の導電性基板についても大面積化が求められている。しかし、ＩＴＯは電気抵抗値が高く信号の劣化が生じるため、大型パネルには不向きという問題があった。
【０００６】
このため、例えば特許文献２、３に開示されているようにＩＴＯ膜にかえて銅等の金属箔を用いることが検討されている。
【０００７】
ただし、銅等の金属箔を用いた場合、金属自体の高い反射率のため、ディスプレイの視認性が低下する恐れがある。そこで、特許文献４には、基材と、基材の少なくとも一面に備えられた導電層、および導電層の少なくとも一面に備えられた吸光層を含む構造体が開示されている。
【０００８】
また、タッチパネル用の導電性基板については、上述の様にディスプレイの表面に設置されるため、ディスプレイの視認性を高める観点から、均一な視認性が要求される。そして、均一な視認性が要求される大面積のタッチパネルを作るためには、銅等の金属箔の表面に形成した、反射を抑制するための層の面内分布が均一であることが重要である。そのためには、導電性基板の反射率に関して、ウエブの状態で表面の反射率分布を精度良く測定できる測定方法、測定装置が必要となる。
【０００９】
搬送されているウエブの反射率の幅方向および搬送方向分布を自動で測定する関連技術として、印刷されたウエブの色を測定する方法が特許文献５に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００３−１５１３５８号公報
【特許文献２】特開２０１１−０１８１９４号公報
【特許文献３】特開２０１３−０６９２６１号公報
【特許文献４】特表２０１３―５４０３３１号公報
【特許文献５】独国特許発明第１００２３１２７号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、特許文献５に開示されている方法では、光学系の変動等について補正しきれない。このため、搬送されているウエブの反射率分布を精度よく安定して測定する測定装置に適用できるものではなかった。
【００１２】
上記従来技術の問題に鑑み、本発明の一側面では、搬送されている、金属膜を有する樹脂フィルムの分光反射率の測定を、高精度に実施できる分光反射率測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するため本発明の一側面では、
金属膜を有する長尺樹脂フィルムの分光反射率を測定するための分光反射率測定装置であって、
前記金属膜を有する長尺樹脂フィルムに接触し、前記長尺樹脂フィルムを搬送する測定ロールと、
光照射部、及び反射光受光部を有する測定ヘッドと、
前記測定ヘッドを、前記測定ロールの軸方向に沿って移動させる移動手段と、
前記測定ロールの軸方向の端部に、配置された標準反射物と、
前記標準反射物の反射強度を測定し、反射強度から分光反射率への変換係数を校正する校正手段と、
前記移動手段により前記測定ヘッドを測定位置まで移動させ、前記測定ロールにより搬送されている前記金属膜を有する長尺樹脂フィルムの分光反射率を測定する制御手段と、
を有する分光反射率測定装置を提供する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の一側面によれば、搬送されている、金属膜を有する樹脂フィルムの分光反射率の測定を、高精度に実施できる分光反射率測定装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態に係る分光反射率測定装置の説明図。
【図２】本発明の実施形態における測定位置変換係数の算出方法の説明図。
【図３】実施例１における金属膜を有する長尺樹脂フィルムの分光反射率の測定結果。
【図４】実施例１における金属膜を有する長尺樹脂フィルムの、時間に対するＬ＊、ａ＊、ｂ＊の変化。
【図５】実施例２における金属膜を有する長尺樹脂フィルムの分光反射率の測定結果。
【図６】実施例２における金属膜を有する長尺樹脂フィルムの分光反射率の測定結果。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の分光反射率測定装置、及び成膜装置の一実施形態について説明する。
（分光反射率測定装置）
本実施形態の分光反射率測定装置は、金属膜を有する長尺樹脂フィルムの分光反射率の測定に適用することができ、以下の構成を有することができる。  
金属膜を有する長尺樹脂フィルムに接触し、長尺樹脂フィルムを搬送する測定ロール。
光照射部、及び反射光受光部を有する測定ヘッド。  
測定ヘッドを、測定ロールの軸方向に沿って移動させる移動手段。  
測定ロールの軸方向の端部に、配置された標準反射物。  
標準反射物の反射強度を測定し、反射強度から分光反射率への変換係数を校正する校正手段。  
移動手段により測定ヘッドを測定位置まで移動させ、測定ロールにより搬送されている金属膜を有する長尺樹脂フィルムの分光反射率を測定する制御手段。
【００１７】
なお、本実施形態の分光反射率測定装置により測定される分光反射率とは、所定の範囲の波長の光について測定した反射率を意味する。この際測定に用いる光の波長域や、具体的な波長は特に限定されるものではなく、被測定物について測定を要する波長の光を用いることができる。
【００１８】
例えばタッチパネル用の導電性基板に用いる、金属膜を有する長尺樹脂フィルムが被測定物の場合、該被測定物は可視波長域における反射率の特性に着目されることが多い。このため、タッチパネル用の導電性基板に用いる金属膜を有する長尺樹脂フィルムを測定する場合であれば、可視波長域の波長の光の反射率を分光反射率と定義することができる。具体的には例えば波長４００ｎｍ以上７００ｎｍ以下の範囲の波長の光について測定した反射率の分布を分光反射率とすることができる。
【００１９】
なお、波長４００ｎｍ以上７００ｎｍ以下の領域の光について反射率を測定する際、測定する波長の幅（間隔）は特に限定されるものではなく、例えば、光源や、分光器の特性に応じて選択することができる。また、測定は波長４００ｎｍ以上７００ｎｍ以下よりも広い範囲の光について実施することもできる。
【００２０】
ここでまず、本実施形態の分光反射率測定装置における被測定物について説明を行う。
【００２１】
本実施形態の分光反射率測定装置は、金属膜を有する長尺樹脂フィルムを搬送しながら、金属膜を有する長尺樹脂フィルムの分光反射率を測定することができる。
【００２２】
長尺樹脂フィルムの材質は特に限定されないが、長尺樹脂フィルムとしては、例えばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエーテルスルフォン（ＰＥＳ）、ポリアリレート（ＰＡＲ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリオレフィン（ＰＯ）、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリイミド、及びノルボルネンから選択された１種類以上の樹脂材料の樹脂フィルムの単体を用いることができる。また、長尺樹脂フィルムとしては、上記樹脂材料から選択された１種類以上の樹脂材料の樹脂フィルム単体とこの単体の片面または両面を覆うアクリル系有機膜との複合体が挙げられる。
【００２３】
特に、ノルボルネン樹脂材料については、代表的なものとして、日本ゼオン社のゼオノア（商品名）やＪＳＲ社のアートン（商品名）等が挙げられる。
【００２４】
本実施形態の分光反射率測定装置の被測定物である金属膜を有する長尺樹脂フィルムはタッチパネル用の導電性基板として好適に使用することができる。このため、長尺樹脂フィルムは可視波長域での透明性に優れるものが望ましい。
【００２５】
そして、金属膜を有する長尺樹脂フィルムは、上述の長尺樹脂フィルムの片面、または両面に一層または複数層の金属膜を有することができる。
【００２６】
金属膜としては特に限定されるものではないが、金属単体や、金属合金の膜等が挙げられる。なお、金属膜は、金属単体または金属合金に、酸素、窒素、水素、炭素から選択される１種類以上が含まれた膜であっても良い。
【００２７】
金属膜を有する長尺樹脂フィルムをタッチパネル用の導電性基板として用いる場合、導電性基板は、例えば樹脂フィルム上に導電層となる金属層と、該金属層表面での光の反射を抑制するための黒化層とが設けられた構成を有することができる。
【００２８】
このため、金属膜を有する長尺樹脂フィルムの金属膜としては、例えば金属光沢を有する導電層となる金属層のような反射率の高い金属膜や、黒化層のような反射率の低い、金属製の光吸収膜、すなわち金属吸収膜等が挙げられる。
【００２９】
なお、透明基材上に導電層となる金属層のみを形成した物、または透明基材上に黒化層のみを形成した物、さらには透明基材上に導電層となる金属層と、黒化層とを積層した物、いずれについても金属膜を有する長尺樹脂フィルムとして測定の対象とすることができる。
【００３０】
金属膜の材料としては特に限定されるものではないが、例えばＮｉ単体、Ｎｉ系合金、Ｃｕ単体、Ｃｕ系合金等が挙げられる。
【００３１】
なお、Ｎｉ系合金としては、Ｎｉに、Ｔｉ、Ａｌ、Ｖ、Ｗ、Ｔａ、Ｓｉ、Ｃｒ、Ａｇ、Ｍｏ、Ｃｕより選ばれる１種類以上の元素が添加された合金が挙げられる。また、Ｃｕ系合金としては、Ｃｕに、Ｔｉ、Ａｌ、Ｖ、Ｗ、Ｔａ、Ｓｉ、Ｃｒ、Ａｇ、Ｍｏ、Ｎｉより選ばれる１種類以上の元素が添加された合金が挙げられる。
【００３２】
金属膜は、例えばＮｉ単体、Ｎｉ系合金、Ｃｕ単体、Ｃｕ系合金のいずれかの金属材を成膜材料として成膜することができる。
【００３３】
なお、上述の様に金属膜は金属成分以外に、酸素等の成分を含有することもできる。金属膜が、酸素等の金属以外の成分を含有する場合、例えば成膜時に成膜装置内に反応性ガスを導入し、反応成膜法により金属膜を形成することもできる。金属膜を反応成膜法により成膜する場合、成膜手段としてはマグネトロンスパッタ、イオンビームスパッタ、真空蒸着、イオンプレーティング、ＣＶＤ等を用いることができる。
【００３４】
反応性ガスとしては成膜する金属膜の組成に応じて選択することができるが、例えば、酸素、窒素、一酸化炭素、二酸化炭素、水蒸気、水素等から選択された１種類以上のガスを挙げることができる。なお、反応性ガスのみを成膜時の雰囲気に用いることもできるが、反応性ガスをアルゴン等の不活性ガスと混合し、成膜時の雰囲気に用いることもできる。
【００３５】
金属膜の各波長における光学定数（屈折率、消衰係数）は、反応の度合い、例えば酸化度や窒化度等に大きく影響され、金属膜の構成材料だけで決定されるものではない。
【００３６】
次に、図１を用いて本実施形態の分光反射率測定装置について詳述する。
【００３７】
本実施形態の分光反射率測定装置１０では、被測定物である金属膜を有する長尺樹脂フィルム１１を、測定ロール１２により搬送しながら測定を行うことができる。
【００３８】
被測定物である金属膜を有する長尺樹脂フィルム１１は、測定ロール１２に接触し、測定ロール１２が回転することで搬送できる。この際、搬送されている金属膜を有する長尺樹脂フィルム１１にしわ等が入らないように、金属膜を有する長尺樹脂フィルム１１と、測定ロール１２とは両者が接する場所では密着していることが好ましい。また、光学系と測定ロール１２との位置関係が安定するため、金属膜を有する長尺樹脂フィルム１１と、測定ロール１２とが密着した位置で、後述する測定ヘッドにより分光反射率を測定することが好ましい。
【００３９】
なお、本実施形態の分光反射率測定装置において、金属膜を有する長尺樹脂フィルムを搬送する方法は特に限定されるものではない。例えばロール・トゥ・ロール方式により搬送することができる。すなわち、巻出しロール（送出ロール）にコイル状に巻き取られていた金属膜を有する長尺樹脂フィルムを、巻出しロールから供給し、巻取ロールで巻き取ることで、巻出しロール、巻取ロール間を搬送することができる。そして、巻出しロールと、巻取ロールとの間には、測定ロール１２を含む各種搬送ロールを配置することができる。
【００４０】
なお、成膜装置の一部として本実施形態の分光測定装置を含む場合には、例えば巻出しロールからは長尺樹脂フィルムを供給することができる。そして、長尺樹脂フィルムは搬送ロールにより搬送される搬送経路上で、金属膜等を形成する金属膜形成部や、表面処理部等において、所定の処理がなされた後、本実施形態の分光反射率測定装置の測定ロールを経由し、巻取ロールにより巻き取ることができる。
【００４１】
上述の様にロール・トゥ・ロール方式で、金属膜を有する長尺樹脂フィルムを搬送する場合、本実施形態の分光反射率測定装置の測定ロールの設置場所は特に限定されないが、例えば、複数の搬送ロール中の巻出しロール側、または巻取ロール側に配置できる。
【００４２】
そして、本実施形態の分光反射率測定装置１０は、光照射部と反射光受光部を有する測定ヘッド１３を備えている。
【００４３】
本実施形態の分光反射率測定装置１０は、光源部１４、及び分光器１５を備え、測定ヘッド１３と光源部１４、及び測定ヘッド１３と分光器１５とは光ファイバー１６により接続することができる。なお、光ファイバー１６としてはバンドルファイバーを好ましく用いることができる。
【００４４】
なお、光源部１４としては測定する波長域の光を発振できるものであれば良く、例えばハロゲン光源等を用いることができる。また、分光器１５についても特に限定あれるものではないが、例えばファイバー入力式マルチチャンネル分光器等を用いることができる。
【００４５】
また、後述の様に測定ヘッド１３は、移動手段により測定ロール１２の軸方向に沿って移動させることができる。そこで、本実施形態の分光反射率測定装置１０では、後述する移動手段が、測定ヘッド１３と、分光器１５とを測定ロールの軸方向に沿って移動させるように構成することができる。
【００４６】
測定ヘッド１３と共に、分光器１５を移動手段により移動させることで、測定ヘッド１３と分光器１５との間の光ファイバーの長さを短くすることができる。また、光ファイバーが破損することを防止できる。さらには、測定ヘッド１３と分光器１５間の光ファイバー１６の屈曲を防止することにより、反射強度の変化を防止することができるので、再現性の高い安定な測定が可能になる。
【００４７】
なお、測定ヘッド１３を移動させる移動手段に加えて、測定ヘッド１３の移動と連動して、分光器１５を測定ロール１２の軸方向に沿って移動させる図示しない分光器移動手段を設けることもできる。ただし、上述の様に１つの移動手段により、測定ヘッド１３と、分光器１５とを移動させるように構成する方が、簡潔な装置構成とすることができ、また、測定ヘッド１３と分光器１５との間の光ファイバーの長さをより短くすることができるため好ましい。
【００４８】
そして、分光反射率測定装置１０は、測定ヘッド１３を、測定ロール１２の軸１２１方向に沿って、すなわち図中の両矢印Ａに沿って移動させる移動手段１７を備えている。移動手段１７を有することで、搬送されている金属膜を有する長尺樹脂フィルム１１の幅方向の任意の位置で、分光反射率の測定を実施できる。また、後述の様に測定ロール１２の軸方向端部には標準反射物を設けておくことができ、移動手段１７により、測定ヘッド１３を標準反射物と対向する位置まで自動的に移動できるように構成することで、任意のタイミングで反射強度から分光反射率への変換係数を校正できる。
【００４９】
測定ヘッド１３を幅方向に移動する移動手段１７としては単軸ロボットを用いることが好ましい。なお、大きな光学系では移動が困難な場合があるため、測定ヘッド１３は光照射部としてファイバー光源を、反射光受光部としてファイバーセンサーを使うことが好ましい。
【００５０】
そして、測定ロール１２の軸方向の端部側に、標準反射物１８１、１８２を有することができる。なお、標準反射物１８１、１８２は、いずれか一方のみでも良いが、図１に示すように測定ロール１２の軸方向の両端部側にそれぞれ設けられていることが好ましい。
【００５１】
標準反射物１８１、１８２は分光反射率が既知であるため、校正手段が、標準反射物１８１、１８２と対向する位置に測定ヘッド１３を移動させ、標準反射物１８１、１８２の反射強度を測定し、測定した反射強度から分光反射率へ変換する際の変換係数を算出できる。そして、校正手段は、変換係数を、算出した変換係数に校正することができる。
【００５２】
このように校正手段により、反射強度から分光反射率への変換係数が校正されることで、被測定物である金属膜を有する長尺樹脂フィルムについて測定した反射強度から分光反射率への換算をより正確に行うことが可能になる。すなわち、高精度で、分光反射率を測定できるようになる。
【００５３】
なお、校正手段は、後述する制御手段に含まれていてもよい。また、校正手段が、変換係数の校正を行うタイミングは特に限定されるものではなく、任意のタイミングで行うことができる。ただし、特に測定精度を高める観点から、被測定物を測定するために測定ロール１２の軸方向に沿って測定ヘッド１３を往復移動させ、測定ヘッド１３が測定ロール１２の軸方向のいずれか一方の端部に達する毎に標準反射物について測定を行い、変換係数を補正することが好ましい。
【００５４】
標準反射物１８１、１８２としては、特に限定されるものではなく、例えば標準白色板、ミラー、反射率既知の反射板のいずれかを好適に用いることができる。
【００５５】
また、標準反射物１８１、１８２として、被測定物である金属膜を有する長尺樹脂フィルムと同じ金属膜を有する樹脂フィルムを用いることもできる。なお、標準反射物として用いる金属膜を有する樹脂フィルムは、被測定物である金属膜を有する長尺樹脂フィルムと同じ構成を有することができ、製造した金属膜を有する長尺樹脂フィルムの一部を標準反射物に適するサイズにカットして用いることが好ましい。
【００５６】
この場合、標準反射物として用いる、被測定物と同じ金属膜を有する樹脂フィルムについて、予め分光反射率の測定を行っておくことで、反射率既知の反射板として用いることができる。
【００５７】
標準反射物として、被測定物と同一の金属膜を有する樹脂フィルムを用いた場合、標準反射物の反射率と、被測定物である金属膜を有する長尺樹脂フィルム１１の反射率が近い値となる。また標準反射物としてミラーを使用する場合に比べて、標準反射物を測定する際の照射光源強度を高めることができる。このため、低反射率の金属膜を有する長尺樹脂フィルムの分光反射率を測定する際も高精度での測定が可能になり好ましい。
【００５８】
ここまで、分光反射率測定装置１０の測定ロール１２の両端部側に、測定ロール１２と離隔して標準反射物１８１、１８２を設けた例を示したが、係る形態に限定されるものではない。
【００５９】
例えば、標準反射物は、測定ロール１２の両端部の全周表面に固定することができる。すなわち、図１の分光反射率測定装置１０中に示したように、標準反射物１９１、１９２を設置することもできる。なお、この場合も標準反射物１９１、１９２はいずれか一方のみでも良いが測定ロール１２の両端部にそれぞれ設けられていることが好ましい。
【００６０】
金属膜を有する長尺樹脂フィルム１１は測定ロール１２に接触し、搬送されているため、分光反射率測定表面は測定ロール１２の表面と同様の形状となり、曲面である。一方、標準反射物１８１、１８２としてミラー等の板状物を使用する場合、標準反射物の表面は平坦である。
【００６１】
そして、標準反射物と、被測定物との表面形状の違いは、測定する分光反射率の絶対値へ影響を与える恐れがある。そこで、より精度よく分光反射率を測定するためには、標準反射物の表面形状と、被測定物の表面形状とが同様の曲面形状を有することが好ましい。このため、上述の様に標準反射物を、測定ロール１２の両端部の周面に沿って、その表面に固定して用いることが好ましい。
【００６２】
ただし、測定ロール１２の両端部の周面に沿って、その表面に標準反射物を固定する場合、該標準反射物１９１、１９２としては、測定ロールの周面に沿って曲げることができる標準反射物であることが求められる。このため、標準反射物１９１、１９２としては特に、被測定物と同様に測定ロール１２の周面に沿って容易に曲げることができる被測定物と同じ金属膜を有する樹脂フィルムを好ましく用いることができる。
【００６３】
この場合、既述のように、標準反射物である被測定物と同一の金属膜を有する樹脂フィルムの分光反射率を測定する際の照射光源強度を、標準反射物としてミラー等を用いた場合よりも高めることができる。また、被測定物分光反射率と、標準反射物の分光反射率とが近い値となる。さらには、標準反射物の表面形状と、被測定物の表面形状とを同様の曲面形状とすることができる。このため、特に高い精度で分光反射率を測定でき、好ましい。
【００６４】
また、標準反射物として、測定ロール１２とは別に設けることなく、測定ロール１２の表面自体を標準反射物として使用することができる。具体的には例えば、測定ロール１２の両端の表面を標準反射物２０１、２０２とすることもできる。この場合も、標準反射物と、被測定物との表面形状を同様にすることができ、測定する分光反射率の絶対値への影響を抑制できるため好ましい。なお、標準反射物の分光反射率を測定する際、測定ロール１２は、通常回転しているため、両端の周面に沿った全周を標準反射物とすることができる。
【００６５】
ここで、標準反射物を用いた校正方法の構成例について説明する。
（第１の校正方法例）
図１に示したように、本実施形態の分光反射率測定装置１０は、測定ヘッド１３を移動手段１７により測定位置まで移動させ、測定ロール１２により搬送されている、被測定物である金属膜を有する長尺樹脂フィルム１１について、分光反射率を測定することができる。
【００６６】
移動手段１７は、測定ヘッド１３を測定ロール１２の軸方向に沿って移動させることができるが、測定ロール１２の軸１２１と、移動手段１７による測定ヘッド１３の移動線との平行度が変化すると、分光反射率の測定値に影響を生じる恐れがある。
【００６７】
そこでまず、標準反射物を、測定ロール１２の軸１２１方向の両端部にそれぞれ１つ配置した構成とすることができる。標準反射物としては、例えば測定ロール１２の両端部側に測定ロール１２と離隔した設けた標準反射物１８１、１８２を用いることができる。また、測定ロール１２の両端部に設けた標準反射物１９１、１９２、または測定ロール１２の両端部の表面である標準反射物２０１、２０２を用いてもよい。
【００６８】
そして、校正手段は、測定位置変換係数算出手段をさらに備えることができる。ここで、測定位置変換係数算出手段とは、２つの標準反射物について測定した反射強度から、測定ロールの軸方向の両端部における分光反射率への端部変換係数を算出し、端部変換係数から内挿法により、測定位置における測定位置変換係数を算出する手段をいう。
【００６９】
すなわち、測定位置変換係数算出手段はまず、２つの標準反射物について測定した反射強度と、標準反射物の既知の分光反射率から、係る標準反射物の反射強度を測定した測定ヘッド１３の位置における分光反射率への端部変換係数ａ１、ａ２を算出する。そして、端部変換係数ａ１、ａ２と、それぞれの標準反射物を測定した際の測定ヘッドの位置Ａ１、Ａ２とから、図２に示したように内挿法により、測定ヘッドの位置に対する変換係数の関係式を算出できる。なお、標準反射物が２つであることから、ここで算出する測定ヘッドの位置と変換係数との関数は、図２に示すように１次関数の関係式となる。
【００７０】
次いで、実際に被測定物を測定する際の測定ヘッド１３の測定位置Ｂ１における測定位置変換係数ｂ１を係る関数から算出することができる。
【００７１】
なお、ここでは測定位置として１点のみを示しているが、図２に示したように測定ヘッドの位置と、変換係数との関数を導き出せていることから、任意の測定位置における測定位置変換係数を算出でき、その点数は特に限定されるものではない。
【００７２】
そして、校正手段は、測定位置変換係数により変換係数を校正することができる。
【００７３】
このように測定ヘッドの位置に対する測定位置変換係数を算出し、測定位置変換係数により変換係数の校正を行うことで、測定精度を特に高めることが可能になる。
（第２の校正方法例）
標準反射物としては、既述のようにミラー等を用いることができるが、標準反射物として、ミラーのように分光反射率が９０％程度と高いものを使用し、金属膜を有する長尺樹脂フィルムの分光反射率が１０％以下の場合、両者の分光反射率は大きく異なる。
【００７４】
光源部から、光照射部を介して被測定物に照射される光の光量は、例えば標準反射物にて検出可能の最大値となるように設定して使用される。このため、標準反射物よりも、被測定物の方が分光反射率が小さいと、被測定物である金属膜を有する長尺樹脂フィルムの反射強度信号は小さくなり、ノイズの影響を受けやすい。
【００７５】
そこで、分光反射率測定装置１０は、例えば標準反射物として、第１の標準反射物、及び第２の標準反射物を備えることができる。この際、第１の標準反射物としては、波長４００ｎｍ以上７００ｎｍ以下の分光反射率の平均が８０％以上１００％以下、第２の標準反射物としては、波長４００ｎｍ以上７００ｎｍ以下の分光反射率の平均が０．０１％以上５％以下の標準反射物を用いることができる。
【００７６】
なお、分光反射率測定装置１０内における、第１の標準反射物と、第２の標準反射物との配置は特に限定されるものではないが、測定ロール１２の軸方向の端部に配置できる。従って、例えば標準反射物１８１として第１の標準反射物を、標準反射物１８２として第２の標準反射物を配置できる。また、その他の標準反射物１９１、１９２を第１の標準反射物、または第２の標準反射物とすることもできる。
【００７７】
そして、校正手段は、測定反射率変換係数算出手段をさらに備えることができる。測定反射率変換係数算出手段とは、第１の標準反射物、及び第２の標準反射物について測定した反射強度から、内挿法、または外挿法により、金属膜を有する長尺樹脂フィルムの分光反射率における、分光反射率への測定反射率変換係数を算出する手段をいう。
【００７８】
すなわち、測定反射率変換係数算出手段はまず、第１の標準反射物及び第２の標準反射物について測定した反射強度と、各標準反射物についての既知の分光反射率から、第１の標準反射物、第２の標準反射物のそれぞれに対応する変換係数を算出する。そして、第１の標準反射物についての変換係数、及び第２の標準反射物についての変換係数と、それぞれの標準反射物の既知の分光反射率とから、内挿法または外挿法により、被測定物の分光反射率と変換係数との関数を算出できる。
【００７９】
なお、ここでは標準反射物が２つであることから、ここで算出する被測定物の分光反射率と変換係数との関数は、１次関数の関係式となる。
【００８０】
次いで、実際に測定に供する被測定物、すなわち、金属膜を有する長尺樹脂フィルムについて想定される分光反射率における測定反射率変換係数を係る関数から算出することができる。
【００８１】
そして、校正手段は、測定反射率変換係数により変換係数を校正することができる。
【００８２】
このように、被測定物の分光反射率に対応する変換係数を用いることで、より正確な分光反射率の測定を行うことが可能になる。
【００８３】
なお、ここでは分光反射率の異なる２種類の標準反射物を用いた場合を例に説明したが、分光反射率の異なる３種類以上の標準反射物を用いて、分光反射率と、変換係数との関数を導くこともできる。この場合も、導いた関数に基づいて、測定反射率変換係数を算出し、校正を行うことができる。３種類以上の標準反射物を用いる場合、標準反射物の配置は特に限定されるものではなく、測定ロール１２の端部の任意の位置に配置できる。
（第３の校正方法例）
第２の校正方法例で説明したように、標準反射物としてミラー等の分光反射率が９０％程度の物を使用した場合に、金属膜を有する長尺樹脂フィルムの分光反射率が１０％以下の場合、両者の分光反射率は大きく異なることになる。
【００８４】
そして、光源部から、測定ヘッドの光照射部を介して被測定物に照射される光の光量は、例えば標準反射物にて検出可能の最大値となるように設定して使用される。このため、標準反射物よりも、被測定物の方が分光反射率が小さいと、被測定物である金属膜を有する長尺樹脂フィルムの反射強度信号は小さくなり、ノイズの影響を受けやすい。
【００８５】
そこで、ノイズの影響を低減するため、標準反射物測定時の露光時間を、被測定物である金属膜を有する長尺樹脂フィルムを測定する際の露光時間よりも短くすることで、被測定物を測定する際の光量を増やすことができる。
【００８６】
具体的には、校正手段はまず、標準反射物の反射強度を、金属膜を有する長尺樹脂フィルムの分光反射率を測定する際の露光時間よりも短く、かつ露光時間の異なる２種類以上の露光時間で測定を行うことができる。
【００８７】
そして、校正手段は、露光時間変換係数算出手段をさらに有することができる。露光時間変換係数算出手段は、２種類以上の露光時間で測定した標準反射物の反射強度から、外挿法により、金属膜を有する長尺樹脂フィルムの分光反射率を測定する際の露光時間における、分光反射率への露光時間変換係数を算出する手段をいう。
【００８８】
すなわち、露光時間変換係数算出手段は、標準反射物について、被測定物を測定する際よりも短く、かつ異なる２種類以上の露光時間で測定した反射強度と、各標準反射物についての既知の分光反射率から、各露光時間についての変換係数を算出する。そして、露光時間と、各露光時間についての変換係数とから、外挿法により、露光時間と変換係数との関数を算出できる。
【００８９】
次いで、実際に測定に供する被測定物、すなわち、金属膜を有する長尺樹脂フィルムについて分光反射率を測定する際の露光時間における露光時間変換係数を係る関数から算出することができる。
【００９０】
そして、校正手段は、露光時間変換係数により変換係数を校正することができる。
【００９１】
標準反射物と、被測定物とで露光時間を変えることにより、被測定物の分光反射率を測定する際のノイズを低減できる。そして露光時間が異なっていたとしても、それに対応した変換係数を用いることで、被測定物の分光反射率を精度良く測定することが可能になる。
【００９２】
ここまで、本実施形態の分光反射率測定装置における変換係数の校正方法の例について説明したが、これらの校正方法はそれぞれの校正方法のみで用いることもできるが、校正方法を組み合わせて用いることもできる。複数の校正方法を組み合わせて用いる場合には、分光反射率測定装置１０は、必要に応じて複数の、例えば４個以上の標準反射物を有することもできる。
【００９３】
そして、本実施形態の分光反射率測定装置１０は、移動手段１７により測定ヘッド１３を測定位置まで移動させ、測定ロール１２により搬送されている金属膜を有する長尺樹脂フィルム１１の分光反射率を測定する図示しない制御手段をさらに有することができる。
【００９４】
移動手段１７により測定ヘッド１３を任意の測定位置まで移動させる際、測定位置は特に限定されるものではない。ただし、本実施形態の分光反射率測定装置１０によれば、搬送している金属膜を有する長尺樹脂フィルムについて、幅方向の任意の点で測定できることから、金属膜を有する長尺樹脂フィルムの幅方向の任意の複数の測定点（測定位置）で測定を実施することが好ましい。
【００９５】
測定に当たっては、測定ヘッド１３を移動手段１７により測定点まで移動させて停止し、該測定点での測定を終えた後、測定ヘッド１３を移動手段１７により次の測定点まで再び移動させて停止し、該測定点で測定を実施できる。係る測定ヘッド１３の移動、停止、測定を繰り返し実施することで、金属膜を有する長尺樹脂フィルムの幅方向の任意の複数の測定点で測定を実施できる。
【００９６】
そして、測定ヘッド１３と接続された分光器１５により反射強度を検出することができる。分光器１５はパーソナルコンピューター等の演算手段２１を接続しておくことができ、校正手段により校正された変換係数を用い、分光器１５で検出した反射強度から、分光反射率を算出することができる。
【００９７】
また、演算手段２１は、分光反射率からＬ＊，ａ＊，ｂ＊色空間を算出する色空間演算手段をさらに備えることもできる。
【００９８】
この場合、分光反射率に加えて、Ｌ＊，ａ＊，ｂ＊色空間も算出できる。
【００９９】
以上に説明した本実施形態の分光反射率測定装置によれば、校正手段により、測定した反射強度から分光反射強度に換算する際の変換係数の校正を任意のタイミングで実施することができる。このため、搬送されている金属膜を有する樹脂フィルムの分光反射率の測定を、高精度に実施できる。
【０１００】
また、変換係数を校正するタイミングや、測定する測定点等の条件について、予め規定し、校正手段等を制御することで、全自動で、かつ高精度に、搬送されている金属膜を有する樹脂フィルムの分光反射率を測定することができる。
（成膜装置）
次に、本実施形態の成膜装置の一構成例について説明する。
【０１０１】
本実施形態の成膜装置は、長尺樹脂フィルムの少なくとも一方の面上に金属膜を成膜する成膜手段と、金属膜が成膜された長尺樹脂フィルムの分光反射率を測定する分光反射率測定手段とを備えることができる。
【０１０２】
分光反射率測定手段としては、既述の分光反射率測定装置を用いることができるため、ここでは説明を省略する。
【０１０３】
成膜手段について説明する。
【０１０４】
成膜手段は上述のように長尺樹脂フィルムの少なくとも一方の面上に金属膜を成膜することができる。
【０１０５】
成膜手段が長尺樹脂フィルムの少なくとも一方の面上に金属膜を成膜する具体的な方法は特に限定されるものではなく、湿式法、乾式法のいずれでも用いることができ、例えば成膜する金属膜の組成や膜厚等に応じて任意に選択することができる。
【０１０６】
長尺樹脂フィルムの少なくとも一方の面上に金属膜を成膜する手段としては、例えば乾式法の場合であればスパッタリング法や蒸着法、イオンプレーティング法等が、湿式法であれば電解めっき法、無電解めっき法等が挙げられる。
【０１０７】
金属膜を乾式法により成膜する場合、特に厚さの制御が容易であることからスパッタリング法を好適に用いることができる。
【０１０８】
なお、成膜手段としては１つに限定されるものではなく、複数の手段を組み合わせて用いることもできる。例えばスパッタリング法により下地金属膜を成膜した後、さらに電解めっき法により金属めっき膜を成膜し、金属膜を下地金属膜と、金属めっき膜とから構成することもできる。
【実施例】
【０１０９】
以下に具体的な実施例、比較例を挙げて説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
［実施例１］
金属膜を有する長尺樹脂フィルムとして、ＰＥＴフィルム上にスパッタリング法にて０．３μｍの銅膜と、その上に数十ｎｍ程度厚さの銅−ニッケル膜とが形成された、金属膜を有する長尺樹脂フィルムを予め用意した。
【０１１０】
そして、ロール・トゥ・ロール方式により、すなわち、上記金属膜を有する長尺樹脂フィルムをコイル状に巻き取った巻出しロールから金属膜を有する長尺樹脂フィルムを供給し、巻取ロールにより巻き取ることで、金属膜を有する長尺樹脂フィルムを搬送した。この際、搬送経路上の巻取ロール側に図１に示した分光反射率測定装置１０を配置し、金属膜を有する長尺樹脂フィルムについて、分光反射率の測定を実施した。
【０１１１】
分光反射率測定装置１０の構成について説明する。
【０１１２】
分光反射率測定装置１０は、直径９８φの測定ロール１２を有しており、測定ロール１２は、上述の金属膜を有する長尺樹脂フィルム１１の搬送経路上に設けられており、金属膜を有する長尺樹脂フィルム１１と接触し、これを搬送している。
【０１１３】
なお、金属膜を有する長尺樹脂フィルム１１は、長尺樹脂フィルムが測定ロール１２と直接接触し、金属膜が測定ヘッド１３と直接対向するようにして搬送している。
【０１１４】
また、測定ロール１２の近傍には、測定ヘッド１３を測定ロール１２の軸１２１方向に沿って、移動させることができ、その移動距離が６５０ｍｍの移動手段１７が設けられている。
【０１１５】
光照射部、及び反射光受光部を有する測定ヘッド１３は、光照射ファイバーと反射光検知用ファイバーが内蔵されたバンドルファイバーにより、ハロゲン光源である光源部１４、及びＣＣＤアレイサンサーをもつ分光器１５と接続されている。なお、分光器１５は２００ｎｍ以上１２００ｎｍ以下の波長範囲で分光スペクトルが、露光時間０．０１〜０．１秒程度で測定できるファイバー入力式マルチチャンネル分光器を用いた。
【０１１６】
そして、測定ヘッド１３、及び移動手段１７は、測定ヘッド１３の測定ロール１２側の先端部が、測定ロール１２により搬送される金属膜を有する長尺樹脂フィルム１１との間の距離が１０ｍｍを保つように設置されている。なお、測定ヘッド１３は、その先端が測定ロール１２の中心に向かい、かつ測定ロール１２の軸１２１方向に直角になるように配置されている。
【０１１７】
また、標準反射物１８１、１８２として、分光反射率が９０％の平面ミラーを測定ロール１２の両端部に設けた。具体的には、標準反射物１８１、１８２は、測定ロール１２の端面の隣で、測定ヘッド１３の先端との距離が1０ｍｍになるように配置した。光源部１４から発振したハロゲン光の強度は、標準反射物１８１、１８２からの反射強度が分光器１５の測定範囲内に収まるように設定した。
【０１１８】
そして、以下のようにして、上記金属膜を有する長尺樹脂フィルムの分光反射率の評価を行った。
【０１１９】
まず、校正手段からの指令に基づいて、移動手段１７が測定ヘッド１３を標準反射物１８１、または標準反射物１８２と対向する位置まで移動させ、それぞれ波長２００ｎｍ以上１２００ｎｍ以下の波長域で反射強度を測定した。そして、標準反射物での波長２００ｎｍ以上１２００ｎｍ以下の波長域における反射強度の測定値から、既知の分光反射率への変換係数を算出した。
【０１２０】
なお、変換係数は、（変換係数）＝（標準反射物の既知の分光反射率）／（標準反射物の反射強度）の式により算出した。
【０１２１】
次いで、測定ヘッドを測定位置まで移動させた後、測定位置で停止し、搬送している金属膜を有する長尺樹脂フィルムについて、波長２００ｎｍ以上１２００ｎｍ以下の波長域で反射強度を測定した。そして、波長２００ｎｍ以上１２００ｎｍ以下の波長域における反射強度を求め、さらに、標準反射物で求めた変換係数により該測定点での分光反射率を測定した。
【０１２２】
金属膜を有する長尺樹脂フィルムの分光反射率は、（金属膜を有する長尺樹脂フィルムの分光反射率）＝（変換係数）×（金属膜を有する長尺樹脂フィルムの反射強度）の式により算出した。
【０１２３】
なお、金属膜を有する長尺樹脂フィルムの分光反射率の測定は、該金属膜を有する長尺樹脂フィルムの幅方向に沿って５点行い、各測定点間の距離が等しくなるように、測定点の位置を決めた。
【０１２４】
そして、（１）標準反射物での反射強度の測定、変換係数の算出と、（２）金属膜を有する長尺樹脂フィルムの幅方向に沿った測定点５点それぞれでの反射強度の測定、分光反射率の算出と、を交互に繰り返し実施した。すなわち、標準反射物での変換係数の校正と、金属膜を有する長尺樹脂フィルムの幅方向に均等間隔で並んだ５点の測定点での分光反射率の測定との測定サイクルを交互に繰りかえし実施した。
【０１２５】
なお、測定の間、金属膜を有する長尺樹脂フィルムは連続的に搬送されている。また、標準反射物１８１、１８２として、測定ロール１２の両端部に同じ特性の物が設けられているため、サイクル数が奇数の場合には標準反射物１８１を、サイクル数は偶数の場合には標準反射物１８２を用いて変換係数の構成を行った。
【０１２６】
上述のように測定サイクルを繰り返すことで、金属膜を有する長尺樹脂フィルムの搬送方向における分光反射率の分布を測定した。
【０１２７】
上記測定により、搬送している金属膜を有する長尺樹脂フィルムについて、高い精度で分光反射率を測定できることを確認できた。
【０１２８】
ただし、測定ロール１２の端部にそれぞれ、標準反射物１８１と、標準反射物１８２との２つの標準反射物を設けたが、反射強度の測定と、変換係数の算出を行なったところ、両者の反射強度から反射率への変換係数は、３％〜６％異なっていた。これは、測定ヘッド１３と標準反射物１８１、１８２との位置関係を完全に一致させることができないためと考えられる。
【０１２９】
そこで、（１）標準反射物での反射強度の測定、変換係数の算出について、以下のようにして実施した。
【０１３０】
２つの標準反射物１８１、１８２について測定した反射強度から、測定ロールの軸方向の両端部、すなわち標準反射物１８１、１８２の反射強度を測定した際の測定ヘッド１３の位置における分光反射率への端部変換係数を算出する。
【０１３１】
次いで、端部変換係数から内挿法により、（２）で金属膜を有する長尺樹脂フィルムの反射強度を測定する際の測定位置における測定位置変換係数を算出する。なお、端部変換係数、及び測定位置変換係数は、測定位置変換係数算出手段により算出した。
【０１３２】
そして、（２）の金属膜を有する長尺樹脂フィルムの幅方向に沿った測定点５点それぞれでの反射強度の測定、分光反射率の算出を実施する際に、校正手段により変換係数を測定点の位置に対応した測定位置変換係数に校正し、測定した反射強度から分光反射率を算出した。
【０１３３】
このように、変換係数を測定ロール１２の軸１２１方向の位置の関数として直線補間することで、金属膜を有する長尺樹脂フィルムの測定箇所各点での測定値の精度を向上させることができた。このようにして反射率を測定した例として、測定した金属膜を有する長尺樹脂フィルムの幅方向中央部の測定点における、波長４００ｎｍ以上７００ｎｍ以下の範囲での分光反射率を図３に示す。なお、図３には、同じ金属膜を有する長尺樹脂フィルムについて、同じ条件で３回測定した結果を示している。
【０１３４】
また、測定した分光反射率から、リアルタイムで計算した時間に対するＬ＊、ａ＊、ｂ＊の変化を図４に示す。
【０１３５】
図３に示した結果によると、測定した分光反射率の分布は３回の結果共重なっており、精度良く測定できていることを確認できた。  
［実施例２］
実施例１と同じ構成を有する図１に示した分光反射率測定装置１０を用いて、金属膜を有する長尺樹脂フィルムの分光反射率を測定した。
【０１３６】
なお、金属膜を有する長尺樹脂フィルムとしては、ＰＥＴフィルム上にスパッタリング法にて厚さ０．２μｍの銅膜と、その上に厚さ０．０３μｍの銅−ニッケル膜とが形成された、金属膜を有する長尺フィルムを予め用意した。また、金属膜について予め分光反射率の測定を行ったところ、４００ｎｍ以上７００ｎｍ以下の波長の分光反射率の平均値が８％であることを確認した。
【０１３７】
以下の手順により金属膜を有する長尺樹脂フィルムの分光反射率を測定した。
【０１３８】
まず、校正手段からの指令に基づいて、移動手段１７が測定ヘッド１３を標準反射物１８１、または標準反射物１８２と対向する位置まで移動させ、波長２００ｎｍ以上１２００ｎｍ以下の波長域で反射強度を測定した。この際の露光時間は５０ｍｓｅｃとした。そして、標準反射物での波長２００ｎｍ以上１２００ｎｍ以下の波長域における反射強度の測定値を標準反射物での反射強度とし、既知の分光反射率への変換係数を算出した。
【０１３９】
なお、変換係数は、（変換係数）＝（標準反射物の既知の分光反射率）/（標準反射物の反射強度）の式により算出した。
【０１４０】
次いで、測定ヘッドを測定位置まで移動させた後、測定位置で停止し、搬送している金属膜を有する長尺樹脂フィルムについて、波長２００ｎｍ以上１２００ｎｍ以下の波長域で反射強度を測定した。なお、金属膜を有する長尺樹脂フィルム１１は、長尺樹脂フィルムが測定ロール１２と直接接触し、金属膜が測定ヘッド１３と直接対向するようにして搬送している。
【０１４１】
金属膜を有する長尺樹脂フィルム１１について反射強度を測定する際の露光時間は、標準反射物について測定した場合と同様に５０ｍｓｅｃとした。そして、波長２００ｎｍ以上１２００ｎｍ以下の波長域における反射強度の測定値を求め、さらに、標準反射物で求めた変換係数により該測定点での分光反射率を測定した。
【０１４２】
金属膜を有する長尺樹脂フィルムの分光反射率は、（金属膜を有する長尺樹脂フィルムの分光反射率）＝（変換係数）×（金属膜を有する長尺樹脂フィルムの反射強度）の式により算出した。
【０１４３】
なお、金属膜を有する長尺樹脂フィルムの分光反射率の測定は、該金属膜を有する長尺樹脂フィルムの幅方向に沿って５点行い、各測定点間の距離が等しくなるように、測定点の位置を決めた。
【０１４４】
そして、（１）標準反射物での反射強度の測定、変換係数の算出と、（２）金属膜を有する長尺樹脂フィルムの幅方向に沿った測定点５点それぞれでの反射強度の測定、分光反射率の算出と、を交互に繰り返し実施した。すなわち、標準反射物での変換係数の校正と、金属膜を有する長尺樹脂フィルムの幅方向に均等間隔で並んだ５点の測定点での分光反射率の算出との測定サイクルを交互に繰りかえし実施した。
【０１４５】
なお、測定の間、金属膜を有する長尺樹脂フィルムは連続的に搬送されている。また、標準反射物１８１、１８２として、測定ロール１２の両端部に同じ特性の物が設けられているため、サイクル数が奇数の場合には標準反射物１８１を、サイクル数は偶数の場合には標準反射物１８２を用いて変換係数の構成を行った。
【０１４６】
上述のように測定サイクルを繰り返すことで、金属膜を有する長尺樹脂フィルムの搬送方向における分光反射率の分布を測定した。この際の金属膜を有する長尺樹脂フィルムの幅方向中央部の測定点における、波長４００ｎｍ以上７００ｎｍ以下の範囲での分光反射率の測定結果を図５に示す。
【０１４７】
図５に示した結果によると、高い精度で分光反射率の測定はできているものの、ノイズが若干多いことが確認できた。
【０１４８】
そこで、（１）標準反射物での反射強度の測定、変換係数の算出と、（２）金属膜を有する長尺樹脂フィルムの幅方向に沿った測定点５点それぞれでの反射強度の測定、分光反射率の算出とについて、以下のように変更した。そして、同じ金属膜を有する長尺樹脂フィルムについて分光反射率の測定を実施した。
【０１４９】
標準反射物の反射強度の測定を、金属膜の分光反射率を測定する際の露光時間よりも短い時間となるようにして測定を行った。具体的には、露光時間を１５ｍｓｅｃ、２０ｍｓｅｃ、２５ｍｓｅｃとして標準反射物の反射強度の測定を行った。また、光源部１４からの光量を上述の測定の場合の２倍とした。
【０１５０】
そして、異なる露光時間で測定した標準反射物の反射強度から、外挿法により、金属膜の反射強度を測定する際の露光時間である５０ｍｓｅｃにおける、分光反射率への露光時間変換係数を算出した。
【０１５１】
なお、露光時間変換係数は、露光時間変換係数算出手段により算出した。
【０１５２】
そして、（２）の金属膜を有する長尺樹脂フィルムの幅方向に沿った測定点５点それぞれでの反射強度の測定、分光反射率の算出を実施する際に、校正手段により変換係数を露光時間変換係数に校正し、測定した反射強度から分光反射率を算出した。なお、金属膜を有する長尺樹脂フィルムの反射強度を測定する際も、光源部１４からの光量を当初の測定の場合の２倍とした。
【０１５３】
この際の金属膜を有する長尺樹脂フィルムの幅方向中央部の測定点における、波長４００ｎｍ以上７００ｎｍ以下の範囲での分光反射率の測定結果を図６に示す。
【０１５４】
図５と、図６とを比較すると、図６の方が図５よりもノイズが半減していることを確認できた。
【０１５５】
本実施例では、標準反射物として分光反射率が９０％の平面ミラーを用いている。これに対して、金属膜を有する長尺樹脂フィルムは分光反射率が８％と低く、両者の分光反射率は大きく異なっている。
【０１５６】
そして、光源部から、光照射部を介して被測定物に照射される光の光量は、標準反射物にて検出可能の最大値となるように設定して使用される。このため、標準反射物よりも、被測定物の方が分光反射率が小さいと、被測定物である金属膜を有する長尺樹脂フィルムの反射強度信号は小さくなり、ノイズの影響を受けやすい。
【０１５７】
そこで、本実施例のように標準反射物測定時の露光時間を、金属膜を有する長尺樹脂フィルムを測定する際の露光時間よりも短くすることで、被測定物を測定する際の光量を増やすことができ、ノイズを低減できる。このため、分光反射率の測定信頼性を特に高められることを確認できた。
【符号の説明】
【０１５８】
１１                                            金属膜を有する長尺樹脂フィルム
１２                                            測定ロール
１３                                            測定ヘッド
１４                                            光源部
１５                                            分光器
１６                                            光ファイバー
１７                                            移動手段
１８１、１８２、１９１、１９２、２０１、２０２  標準反射物
【図１】
2017067561.tif 000003
【図２】
2017067561.tif 000004
【図４】
2017067561.tif 000005
【図５】
2017067561.tif 000006
【図６】
2017067561.tif 000007
【図３】
2017067561.tif 000008