(57)【要約】【課題】円板状ワークの外周に対して、割れ等を生じることなく安定した研磨加工を短時間に行う。【解決手段】本発明に係る円板状ワーク１の研磨加工方法は、円板状ワーク１の外周２に研磨加工を施すための方法であって、研磨面１１を設けたテープ１２を円板状ワーク１の外周２に押し当てながら、円板状ワーク１をその表面１ａ，１ｂに垂直な中心軸Ａ１まわりに回転させることにより、円板状ワーク１の外周２に研磨加工を施す。【選択図】図１
2017087305.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円板状ワークの外周に研磨加工を施すための方法であって、
研磨面を設けたテープを前記円板状ワークの外周に押し当てながら、前記円板状ワークをその表面に垂直な中心軸まわりに回転させることにより、前記円板状ワークの外周に研磨加工を施す円板状ワークの研磨加工方法。
【請求項２】
前記テープを、前記円板状ワークを介して互いに対向する位置に配置し、これら互いに対向する一対のテープを共に前記円板状ワークの外周に押し当てながら前記円板状ワークを回転させる請求項１に記載の円板状ワークの研磨加工方法。
【請求項３】
前記テープを前記円板状ワークの外周に押し当てながら、前記テープをその長手方向に沿って往復移動させる請求項１又は２に記載の円板状ワークの研磨方法。
【請求項４】
前記テープを前記円板状ワークの外周に押し当てながら、前記テープをその幅方向に沿った仮想軸線まわりに揺動させる請求項１〜３の何れかに記載の円板状ワークの研磨加工方法。
【請求項５】
前記テープを前記円板状ワークの外周に押し当てながら、前記テープをその幅方向に沿って往復移動させる請求項１〜４の何れかに記載の円板状ワークの研磨加工方法。
【請求項６】
前記テープの幅方向端部を前記円板状ワークに接触させないように、前記テープを前記円板状ワークの外周に押し当てる請求項１〜５の何れかに記載の円板状ワークの研磨加工方法。
【請求項７】
前記円板状ワークは、半導体ウェハ支持用の板ガラスである請求項１〜６の何れかに記載の円板状ワークの研磨加工方法。
【請求項８】
円板状ワークの外周に研磨加工を施すための装置であって、
研磨面を設けたテープと、前記テープを前記円板状ワークの外周に押し当てる向きに移動させる押当て移動手段とを有するテープ押当て装置と、
前記円板状ワークをその表面に垂直な中心軸まわりに回転させるワーク回転装置とを備える円板状ワークの研磨加工装置。
【請求項９】
一対の前記テープ押当て装置が、前記円板状ワークを介して互いに対向する位置に配設される請求項８に記載の円板状ワークの研磨加工装置。
【請求項１０】
前記テープ押当て装置は、前記テープをその長手方向に往復移動させる第一往復移動手段をさらに有する請求項８又は９に記載の円板状ワークの研磨加工装置。
【請求項１１】
前記テープ押当て装置は、前記テープをその幅方向に沿った仮想軸線まわりに揺動させる揺動手段をさらに有する請求項８〜１０の何れかに記載の円板状ワークの研磨加工装置。
【請求項１２】
前記テープ押当て装置は、前記テープをその幅方向に沿って往復移動させる第二往復移動手段をさらに有する請求項８〜１１の何れかに記載の円板状ワークの研磨加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、円板状ワークの研磨加工方法及び研磨加工装置に関し、特に円板状ワークの外周に研磨加工するための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体ウェハの製造プロセス中、半導体ウェハを支持する部材に円板状の板ガラスが用いられることがある。この際、上記円板状をなす板ガラスの外周には、面取り等の研磨加工が施されるのが一般的である。
【０００３】
ここで、板ガラスの周縁部に研磨加工を施すための手段として、例えば特許文献１には、板ガラスの周縁部（辺縁部）に研磨テープを押し当てながら当該研磨テープをその長手方向に送ることで、研磨テープを押し当てた部分を研磨する方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−９９４５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
研磨テープであれば、砥石よりも板ガラスに対する当たりを和らげることができるので、欠け等の破損が生じる事態を回避して、良質な研磨加工を安定的に行うことができる。しかしながら、板ガラスをその全周にわたって研磨しようとすると、当然ながら、研磨テープを板ガラスの周縁部に沿って移動させる必要があるため、研磨加工に要する時間が長くなる問題がある。
【０００６】
以上の事情に鑑み、本明細書では、円板状ワークの外周に対して、割れ等を生じることなく安定した研磨加工を短時間に行うことを解決すべき技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題の解決は、本発明に係る円板状ワークの研磨加工方法により達成される。すなわち、この研磨加工方法は、円板状ワークの外周に研磨加工を施すための方法であって、円板状ワークの外周に研磨面を設けたテープを押し当てながら円板状ワークをその表面に垂直な中心軸まわりに回転させることにより、円板状ワークの外周に研磨加工を施す点をもって特徴付けられる。
【０００８】
このように、本発明では、研磨対象となるワークの形状（円板状）に着目し、この円板状ワークの外周に研磨面を設けたテープを押し当てながら円板状ワークをその表面に垂直な中心軸まわりに回転させるようにしたことを特徴とする。このように研磨面を設けたテープを押し当てながら円板状ワークをその中心軸まわりに回転させることで、テープによる研磨加工を円板状ワークの外周に沿って連続的に行うことができる。また、その際の研磨速度は円板状ワークの回転速度で調整できる。従って、テープを移動させながら研磨加工を行う場合と比べて研磨加工に要する時間を大幅に短縮することができる。また、テープを円板状ワークの外周に沿って移動させる必要がないため、テープの押当て態様が安定し、良質かつ安定した研磨加工が可能となる。
【０００９】
また、本発明に係る研磨加工方法は、テープを、円板状ワークを介して互いに対向する位置に配置し、これら互いに対向する一対のテープを共に円板状ワークの外周に押し当てながら円板状ワークを回転させるものであってもよい。
【００１０】
本発明に係る研磨加工方法によれば、円板状ワークを回転させることで、テープとの相対移動を生み出して研磨を行うことができるので、設置スペースの重複を避けて、円板状ワークを介して互いに対向する位置に一対のテープを配置することができる。また、このように一対のテープを配置することで、回転状態の円板状ワークに対する研磨加工の速度を実質的に二倍にすることができる。従って、研磨加工に要する時間をさらに短縮することができる。また、円板状ワークを介して互いに対向する位置でテープを円板状ワークの外周に押し当てることで、テープによる押し当て力が互いに対向する双方の向きから円板状ワークに作用する。そのため、円板状ワークに対して押し当て力がバランスよく作用し、より安定した研磨加工が可能となる。
【００１１】
また、本発明に係る研磨加工方法は、テープを円板状ワークの外周に押し当てながら、テープをその長手方向に沿って往復移動させるものであってもよい。
【００１２】
このように、テープを押し当てながらその長手方向に往復移動させるようにすれば、単に一方向に移動させる場合と比べて研磨効率を高めることができる。従って、研磨加工に要する時間を短縮して、生産効率を向上させることが可能となる。もちろん、テープを固定し、円板状ワークを回転させながらテープの長手方向に沿って往復移動させるよりも、割れ等の危険性は低くなるので、研磨面品質の安定にもつながる。
【００１３】
また、本発明に係る研磨加工方法は、テープを円板状ワークの外周に押し当てながら、テープをその幅方向に沿った仮想軸線まわりに揺動させるものであってもよい。
【００１４】
このようにテープを円板状ワークに押し当てながら揺動させることで、研磨対象領域を細かく変えながら研磨加工を施すことができる。よって、研磨漏れを防いで効率よく研磨加工を施すことができる。また、円板状ワークの外周を、例えば表面に直交する端面（側端面）と、表面とをテーパ面やＲ面などで滑らかにつないだ形状に研磨することができる。よって、割れの原因となり易い角部をなるべく減らして円板状ワークの外周を割れに強い形状に仕上げることが可能となる。また、テープを円板状ワークの外周に押し当てながら揺動させると共に、長手方向に沿って往復移動させた場合には、円板状ワークの外周に対するテープの押し当て力をさらに高めることができる。よって、研磨効率の更なる向上のためには、揺動と長手方向への往復移動を組合わせた動作をテープに付与することが好ましい。
【００１５】
また、本発明に係る研磨加工方法は、テープを円板状ワークの外周に押し当てながら、テープをその幅方向に沿って往復移動させるものであってもよい。
【００１６】
テープを円板状ワークの外周に押し当てた場合、テープと円板状ワークとは、理論上では点接触又は線接触となるが、実際には、テープの一部は円板状ワークの外周に倣った形状に変形するため面接触となる。それでも、実質的に接触する領域はテープの幅方向中央を中心とした一部の領域（例えば幅方向を短軸とするだ円状の領域）に限られるため、幅方向両側の領域が研磨に使用されずに残る。そこで、上述のようにテープを円板状ワークに押し当てながら幅方向に沿って往復移動させるようにすれば、研磨に用いられない領域を極力少なくして、テープを効率よくかつ経済的に使用することが可能となる。
【００１７】
また、本発明に係る研磨加工方法は、テープの幅方向端部を円板状ワークに接触させないように、テープを円板状ワークの外周に押し当てるものであってもよい。
【００１８】
一方で、テープの幅方向全域が円板状ワークに接触するように、テープの幅方向に沿った向きの往復移動量を設定した場合、わずかにでもテープの幅方向への振れ幅（往復移動量）が想定量よりも大きくなると、テープが円板状ワークから完全に外れた（非接触となる）状態が起こり得る。そのため、次にテープを幅方向に移動させて幅方向端部からワークに接触する際、幅方向端部が折れ曲がる等の好ましくない接触態様を生じるおそれがあり好ましくない。そこで、テープの幅方向端部を円板状ワークに接触させないように、テープを円板状ワークの外周に押し当てるようにすれば、上述したような事態を回避して、テープと円板状ワークとの接触状態を安定させることができる。
【００１９】
また、本発明に係る研磨加工方法は、円板状ワークが、半導体ウェハ支持用の板ガラスであってもよい。
【００２０】
上述したように、本発明に係る研磨加工方法によれば、たとえ円板状ワークがガラスの如き脆性材料からなるものであっても、割れを生じることなく良質な研磨加工を安定してその外周に施すことができる。また、テープが有する幅方向のフレキシブル性により、円板状ワークの外周にテープを容易に倣わせて漏れなく研磨することができる。よって、半導体ウェハと同レベルのサイズ及び形状を有する半導体ウェハ支持用の板ガラスの外周に対しても、本発明に係る研磨加工方法を好適に適用することができる。
【００２１】
また、前記課題の解決は、本発明に係る板ガラスの研磨加工装置によっても達成される。すなわち、この研磨加工装置は、円板状ワークの外周に研磨加工を施すための装置であって、研磨面を設けたテープと、テープを円板状ワークの外周に押し当てる向きに移動させる押当て移動手段とを有するテープ押当て装置と、円板状ワークをその表面に垂直な中心軸まわりに回転させるワーク回転装置とを備える点をもって特徴付けられる。
【００２２】
上述のように、本発明に係る研磨加工装置によれば、本発明に係る研磨加工方法と同様に、円板状ワークの外周に研磨面を設けたテープを押し当てながら円板状ワークをその表面に垂直な中心軸まわりに回転させることができる。これにより、テープによる研磨加工を円板状ワークの外周に沿って連続的に行うことができる。また、その際の研磨速度は円板状ワークの回転速度で調整できる、従って、テープを移動させながら研磨加工を行う場合と比べて研磨加工に要する時間を大幅に短縮することができる。また、テープを円板状ワークの外周に沿って移動させる必要がないため、テープの押当て態様が安定し、良質かつ安定した研磨加工が可能となる。
【００２３】
また、本発明に係る研磨加工装置は、一対のテープ押当て装置が、円板状ワークを介して互いに対向する位置に配設されるものであってもよい。
【００２４】
このように構成すれば、円板状ワークを介して互いに対向する位置に一対のテープを配置することができる。そのため、テープ押当て装置同士を互いに離れた位置に設置することができ、設置スペースが重複する事態を回避できる。また、上述のように一対のテープを配置できれば、回転状態の円板状ワークに対する研磨加工の速度を実質的に二倍にすることができる。従って、研磨加工に要する時間をさらに短縮することができる。また、円板状ワークを介して互いに対応する位置でテープを円板状ワークの外周に押し当てることで、テープによる押し当て力が互いに対向する双方の向きから円板状ワークに作用する。そのため、円板状ワークに対して押し当て力がバランスよく作用し、より安定した研磨加工が可能となる。
【００２５】
また、本発明に係る研磨加工装置は、テープ押当て装置が、テープをその長手方向に往復移動させる第一往復移動手段をさらに有するものであってもよい。
【００２６】
このように押当て移動手段と第一往復移動手段を兼ね備えることで、テープを円板状ワークに押し当てながらその長手方向に往復移動させることが可能となる。よって、単に一方向に移動させる場合と比べて研磨効率を高めることができる。従って、研磨加工に要する時間を短縮して、生産効率をさらに向上させることが可能となる。
【００２７】
また、本発明に係る研磨加工装置は、テープ押当て装置が、テープをその幅方向に沿った仮想軸線まわりに揺動させる揺動手段をさらに有するものであってもよい。  
【００２８】
このように押当て移動手段と揺動手段とを兼ね備えることで、テープを円板状ワークの外周に押し当てながら揺動させることができる。これにより、研磨対象領域を細かく変えながら研磨加工を施すことができるので、研磨漏れを防いで効率よく研磨加工を施すことができる。また、円板状ワークの外周を、例えば表面に直交する端面（側端面）と、表面とをテーパ面やＲ面などで滑らかにつないだ形状に研磨することができる。よって、割れの原因となり易い角部をなるべく減らして円板状ワークの外周を割れに強い形状に仕上げることが可能となる。また、この際、揺動手段に加えて第一往復移動手段を備えることで、テープを円板状ワークの外周に押し当てながら揺動させると共に、長手方向に沿って往復移動させることができるので、円板状ワークの外周に対するテープの押し当て力をさらに高める効果が期待できる。
【００２９】
また、本発明に係る研磨加工装置は、テープ押当て装置が、テープをその幅方向に沿って往復移動させる第二往復移動手段をさらに有するものであってもよい。
【００３０】
このように押当て移動手段と第二往復移動手段とを兼ね備えることで、テープを円板状ワークに押し当てながら幅方向に沿って往復移動させることができる。従って、テープの幅方向両側など、研磨に用いられない領域を極力少なくして、テープを効率よくかつ経済的に使用することが可能となる。
【発明の効果】
【００３１】
以上に述べたように、本発明によれば、円板状ワークの外周に対して、割れ等を生じることなく安定した研磨加工を短時間に行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の第一実施形態に係る研磨加工装置の側面図である。
【図２】図１に示す研磨加工装置の平面図である。
【図３】研磨対象となる板ガラスの要部拡大断面図である。
【図４】板ガラスの外周に設けられた切欠き部の要部拡大平面図である。
【図５】研磨加工時のテープの押当て態様を説明するための研磨加工装置の要部側面図である。
【図６】研磨加工時のテープの姿勢を説明するための要部側面図で、（ａ）はテープを板ガラスの外周に設けられた側端面に沿った向きに配向した状態、（ｂ）は側端面と一方の表面とをつなぐ第一のテーパ面に沿った向きに配向した状態、（ｃ）は側端面と他方の表面とをつなぐ第二のテーパ面に沿った向きに配向した状態を示す図である。
【図７】研削液供給部の斜視図である。
【図８】研磨加工時のテープの押当て態様を説明するための板ガラスの要部拡大断面図である。
【図９】研磨加工時の所定部分のテープ長の調整態様を説明するための研磨加工装置の要部側面図である。
【図１０】研磨加工時の所定部分のテープ長の調整態様を説明するための研磨加工装置の要部側面図である。
【図１１】本発明の第二実施形態に係る研磨加工装置の要部側面図であって、（ａ）〜（ｃ）はそれぞれヘッド部が図６（ａ）〜（ｃ）に示す姿勢にある際のヘッド部の動作態様を説明するための要部側面図である。
【図１２】（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ、図１１（ａ）〜（ｃ）に示す態様でヘッド部が揺動した際のテープの押当て態様を説明するための板ガラスの要部拡大断面図である。
【図１３】本発明の第三実施形態に係る研磨加工装置の側面図である。
【図１４】図１３に示す研磨加工装置の平面図である。
【図１５】図１３に示す装置を用いた研磨加工時におけるテープの押当て態様を説明するための要部斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
以下、本発明の第一実施形態を、図１〜図１０を参照して説明する。なお、本実施形態では、研磨対象となる円板状ワークとして、半導体ウェハ支持用の板ガラスを研磨する場合を例にとって、以下に説明する。
【００３４】
図１及び図２に示すように、本発明の第一実施形態に係る研磨加工装置１０は、円板状の板ガラス１の外周２に研磨加工を施すためのものであって、研磨面１１を設けたテープ１２と、テープ１２を板ガラス１の外周２に押し当てる向きに移動させる押当て移動手段１３と、テープ１２をその長手方向に向けて送るテープ送り手段１４とを有するテープ押当て装置１５と、円板状ワークとしての板ガラス１をその表面１ａ，１ｂに垂直な中心軸Ａ１まわりに回転させるワーク回転装置１６とを備える。ここでは、板ガラス１の中心軸Ａ１が、例えば図１に示すように、鉛直方向Ｚと平行になるように、板ガラス１及びワーク回転装置１６が所定の姿勢に配設される。
【００３５】
また、本実施形態では、テープ押当て装置１５は、ワーク回転装置１６を介して互いに対向する位置に一対に配設される。これにより、各テープ押当て装置１５のテープ１２が、ワーク回転装置１６に回転可能に支持された板ガラス１を介して互いに対向する位置に配設される（ともに図１を参照）。
【００３６】
ここで、研磨対象となる板ガラス１は、上述のように半導体ウェハ支持用の板ガラスであり、図２に示すように略円板状をなす。板ガラス１の外周２には、切欠き部３が設けられている。また、本実施形態では、板ガラス１の中心軸Ａ１を含む断面で見た場合に、板ガラス１の外周２は、図３に示すように、中心軸Ａ１に平行な向き（板厚方向）に沿って直線的に伸びる側端面４と、板ガラス１の一方の表面１ａとを第一のテーパ面５でつなぐと共に，側端面４と、板ガラス１の他方の表面１ｂと第二のテーパ面６でつないだ断面形状をなす。以下、研磨加工装置１０の各構成を詳述する。なお、本実施形態では、各テープ押当て装置１５は同一の構造を有するため、一方のテープ押当て装置１５（図１でいえば左側のテープ押当て装置１５）についての構成を詳述する。
【００３７】
テープ１２は、少なくとも一方の面に研磨面１１を有するもので、研磨対象となる板ガラス１の外周２に押付けた際、外周２の表面に倣って変形可能な程度のフレキシブル性を有する。よって、テープ１２の材質や厚み寸法などは、例えば上記条件を満たす範囲内において任意に選択使用可能である。なお、本実施形態のように板ガラス１が外周２に切欠き部３を有する場合、テープ１２の幅方向寸法Ｗｔは、例えば図４に示すように、切欠き部３の表面とテープ１２との接触を回避する目的として切欠き部３の幅方向寸法Ｗｎよりも大きく設定することが可能である。
【００３８】
テープ１２の研磨面１１には、例えばアルミナ、炭化ケイ素、ダイヤモンドなど公知の材質の砥粒をテープ１２の基体（ＰＥなどの樹脂製フィルム）に固着したものが使用可能である。また、その粒度は、例えば３００以上でかつ１００００以内に設定され、好ましくは５００以上でかつ３０００以内に設定される。
【００３９】
テープ送り手段１４は、例えば図１に示すように、テープ１２とその長手方向一方の側で連続する第一のテープ巻取り体１７と、テープ１２とその長手方向他方の側で連続する第二のテープ巻取り体１８と、第一のテープ巻取り体１７と第二のテープ巻取り体１８との間に配設され、テープ１２を支持する複数の支持ローラ１９ａ１，１９ａ２，１９ｂ１，１９ｂ２，２０とを有する。
【００４０】
この場合、第一のテープ巻取り体１７と第二のテープ巻取り体１８の一方は送り出し側、他方は巻取り側とされ、例えば図１に示す例では、第一のテープ巻取り体１７が送り出し側、第二のテープ巻取り体１８が巻取り側としてそれぞれ立設する基体２１上に配設されている。そのため、第一のテープ巻取り体１７及び第二のテープ巻取り体１８にはモータ２２，２３が連結されており（図２を参照）、これらのモータ２２，２３を回転駆動することで、第一のテープ巻取り体１７から第二のテープ巻取り体１８に向けて、複数の支持ローラ１９ａ１，１９ａ２，１９ｂ１，１９ｂ２，２０に巻き掛けられたテープ１２が各支持ローラ１９ａ１，１９ａ２，１９ｂ１，１９ｂ２，２０の回転を伴ってその長手方向に送られるようになっている。この場合の送り方向は、テープ１２が、板ガラス１の外周２に押当て可能な領域２４を図１中の矢印Ｂで示す向きに通過する方向となる。また、この際のテープ１２の送り速度は、モータ２２，２３の回転数を調整することで所定の大きさ（例えば５０ｍｍ／ｍｉｎ以上でかつ５００ｍｍ／ｍｉｎ以下）に制御可能である。
【００４１】
複数の支持ローラ１９ａ１，１９ａ２，１９ｂ１，１９ｂ２，２０は、本実施形態では、フリーローラ１９ａ１，１９ａ２，１９ｂ１，１９ｂ２と、駆動ローラ２０とで構成される。一部のフリーローラ１９ａ１，１９ａ２（以後、第一フリーローラ１９ａ１，１９ａ２と称する。）は、各テープ巻取り体１７，１８と共にテープ送り手段１４の基体２１に設けられ、残りのフリーローラ１９ｂ１，１９ｂ２（以後、第二フリーローラ１９ｂ１，１９ｂ２と称する。）と駆動ローラ２０は、後述するテープ押当て装置１５のヘッド部２５に設けられる。
【００４２】
ヘッド部２５は、図５に示すように、ヘッドベース２６と、ヘッドベース２６に対して所定の方向Ｃに往復移動可能なヘッドスライド部２７とを主に有する。一部の第二フリーローラ１９ｂ１（本図示例では２個）は、ヘッドベース２６に取り付けられ、残りの第二フリーローラ１９ｂ２（本図示例では２個）と駆動ローラ２０（本図示例では２個）はそれぞれ、ヘッドスライド部２７に取り付けられている。なお、ここでいう所定の方向Ｃとは、押当て可能領域２４を通過するテープ１２の長手方向（すなわち送り方向Ｂ）に略一致する。よって、後述する第一回転駆動部３０によって固定座標系（各図のＸ−Ｙ−Ｚ座標系）に対するヘッド部２５の姿勢、すなわち押当て可能領域２４を通過するテープ１２の長手方向（送り方向Ｂ）が変化した場合、これに対応して、固定座標系におけるヘッドスライド部２７の往復移動方向Ｃが変化するようになっている（詳細は後述する）。
【００４３】
ここで、ヘッドベース２６には、ヘッドスライド部２７をヘッドベース２６に対して所定の方向Ｃに往復移動させるための往復移動駆動部２８が設けられている。この往復移動駆動部２８でヘッドスライド部２７を所定の方向Ｃに往復移動させることで、ヘッドスライド部２７に取り付けられた一部の第二フリーローラ１９ｂ２と駆動ローラ２０が一体に往復移動する（図５を参照）。ヘッドベース２６に取り付けられた第二フリーローラ１９ｂ１は、ヘッドベース２６に対して移動しない。よって、図５に示すように各フリーローラ１９ｂ１，１９ｂ２と駆動ローラ２０にテープ１２を掛け渡した状態で、ヘッドスライド部２７を所定の方向Ｃに往復移動させた場合、押当て可能領域２４を通過するテープ１２がその長手方向に往復移動するようになっている。この場合、上述したヘッドベース２６とヘッドスライド部２７と往復移動駆動部２８、及び第二フリーローラ１９ｂ１，１９ｂ２と駆動ローラ２０とで、テープ１２をその長手方向に往復移動させる第一往復移動手段が構成される。
【００４４】
なお、この際のヘッドスライド部２７の往復移動量（ストローク量）は任意であるが、あまりに移動量が小さいと十分な研磨を施すことができず、また、あまりに移動量が大きいとテープ１２の追従性の観点から、テープ１２が緩み、ヘッドベース２６に設けた板ガラス１に最も近い一対の第二フリーローラ１９ｂ１の間に張り渡されるテープ１２の張力が低下するおそれがある。以上の観点より、第一往復移動手段によるテープ１２の往復移動量は０．５ｍｍ以上でかつ３０ｍｍ以下に設定されるのがよく、好ましくは２．０ｍｍ以上でかつ１５ｍｍ以下に設定されるのがよい。
【００４５】
また、ヘッドスライド部２７の往復移動速度についても任意であり、例えばその下限は、十分な研磨を施せる程度に設定するのがよく、その上限は、テープ１２が緩むことなく一対の第二フリーローラ１９ｂ１の間に張り渡されるテープ１２の張力を必要な大きさに維持できる程度に設定するのがよい。具体的には、テープ１２の往復移動速度は１００ｍｍ／ｓｅｃ以上でかつ１５００ｍｍ／ｓｅｃ以下に設定されるのがよく、好ましくは３００ｍｍ／ｓｅｃ以上でかつ１０００ｍｍ／ｓｅｃ以下に設定されるのがよく、より好ましくは５００ｍｍ／ｓｅｃ以上でかつ７００ｍｍ／ｓｅｃ以下に設定されるのがよい。なお、本実施形態のように、テープ１２をその長手方向一方の側から他方の側に所定の送り速度で送ると共に送り方向Ｂに沿って往復移動させる場合には、当然に、テープ１２の往復移動速度を、送り速度よりも大きくすることが肝要である。
【００４６】
なお、往復移動駆動部２８には公知の駆動手段が適用でき、例えばモータ、シリンダ、カム機構などの公知の駆動手段を１又は複数組合わせたものが使用可能である。
【００４７】
また、ヘッドベース２６を回転自在に支持する支持部２９には第一回転駆動部３０が設けられており（図２を参照）、この第一回転駆動部３０によって、ヘッドベース２６を含むヘッド部２５を支持部２９に対して所定の角度に傾動可能としている。正確には、第一回転駆動部３０を駆動させることにより、図２及び図６に示すように、テープ１２の送り方向Ｂ及びテープ１２の押当て移動方向Ｄの何れに対しても直交する向き（図示例でいえばＹ軸方向）に伸びる中心軸Ａ２を中心として、ヘッド部２５が支持部２９に対して正逆何れの向きにも回転して、所定の角度にヘッド部２５の姿勢を調整できる（すなわち傾動）できるように構成されている。本実施形態では、板ガラス１の外周２の断面形状（図３を参照）に応じて、側端面４を主に研磨するときの第一姿勢（図６（ａ）中、実線で示す姿勢）と、第一のテーパ面５を主に研磨するときの第二姿勢（図６（ｂ）中、実線で示す姿勢）、及び第二のテーパ面６を主に研磨するときの第三姿勢（図６（ｃ）中、実線で示す姿勢）の三つの姿勢を取るよう、第一回転駆動部３０によるヘッド部２５の姿勢（角度）を調整できるようになっている。なお、この中心軸Ａ２の位置は、テープ１２の剛性、板ガラス１のサイズ等の諸条件によって、図６に示す位置（テープ１２が板ガラス１の外周２に押し当てられている箇所）から水平方向Ｘあるいは鉛直方向Ｚに多少ずれた位置に設定してもよい。この場合、ヘッド部２５と支持部２９、及び第一回転駆動部３０とによって傾動手段が構成されている。なお、第一回転駆動部３０についても、往復移動駆動部２８と同様に、上述した公知の駆動手段が適用可能である。
【００４８】
ヘッド部２５には、必要に応じて、テープ１２の研磨面１１に向けて水等の研削液Ｌを噴射供給する研削液噴射部３１を設けることも可能である（図１等を参照）。この研削液噴射部３１は、例えば図７に示すように筒状をなすもので、その外周面３１ａに研削液Ｌの噴射口３２を開口形成してなる。また、噴射口３２の向きはヘッド部２５（ヘッドベース２６）に対して一定であり、常に押当て可能領域２４を通過するテープ１２の研磨面１１又はその少し上流側に研削液Ｌが指向するよう、噴射口３２の向きが所定の角度に設定される（図６）。
【００４９】
また、本実施形態では、テープ押当て装置１５は、図１に示すように、各テープ巻取り体１７，１８と、ヘッド部２５に設けた一対の駆動ローラ２０との間のテープ長（第一のテープ巻取り体１７から第一フリーローラ１９ａ１，１９ａ２、第二フリーローラ１９ｂ２を介して上側の駆動ローラ２０に至る間のテープ１２の長手方向寸法、及び、第二のテープ巻取り体１８から第一フリーローラ１９ａ１，１９ａ２、第二フリーローラ１９ｂ２を介して下側の駆動ローラ２０に至る間のテープ１２の長手方向寸法）をそれぞれ一定に保つためのテープ長調整手段３３をさらに有する。図１に示す例では、テープ送り手段１４の基体２１にローラ移動手段としてのシリンダ３４が設けられており、基体２１に取り付けられた第一フリーローラ１９ａ１，１９ａ２のうち駆動ローラ２０に近い側の第一フリーローラ１９ａ２を往復移動可能としている。シリンダ３４は定圧で第一フリーローラ１９ａ２を引っ張るように構成されている。
【００５０】
なお、この場合、テープ１２の張力を制御する（変動を抑制する）目的で、送り側となる第一のテープ巻取り体１７のモータ２２にバックテンションを与えるようにしてもよい。
【００５１】
また、本実施形態では、ヘッドスライド部２７に一対の駆動ローラ２０を設けて、テープ１２の巻き付けによる摩擦力をテープ１２に付与すると共に巻取りトルクをテープ１２に付与することで、テープ１２の張力を高めることによって、駆動ローラ２０間のテープ長（一方の駆動ローラ２０から押当て可能領域２４を通過して他方の駆動ローラ２０に至る間のテープ１２の長手方向寸法）を一定に保てるような構成としている。この際、下側のシリンダ３４による引張力もしくは第二のテープ巻取り体１８のモータ２３による牽引力をテープ１２に付与してテープ１２の張力を高める目的で、テープ１２の送り方向Ｂ下流側の駆動ローラ２０（図１でいえば下側の駆動ローラ２０）にワンウェイクラッチ機能を付加するようにしてもよい。
【００５２】
また、高速でヘッドスライド部２７を往復移動させる際の振動を軽減する目的で、例えば図１に示すように、ヘッドベース２６側とヘッドスライド部２７側との間に、圧縮バネ３５やダンパなどの緩衝部材を介在させるようにしてもよい。
【００５３】
押当て移動手段１３は、ヘッド部２５を支持する支持部２９と、基体２１とが取り付けられた移動ベース３６を所定の方向に移動可能とするもので、例えばモータ、シリンダなどの直線移動駆動部で構成される（図１）。また、この際のヘッド部２５の移動方向は、後述するワーク回転装置１６に保持された状態の板ガラス１の外周にテープ１２を押し当てることができる向き（図１中、矢印Ｄの向き）に設定される。この際、テープ１２の押当て方向Ｄは、ワーク回転装置１６に保持された状態の板ガラス１の中心軸Ａ１に直交するように設定される。
【００５４】
ワーク回転装置１６は、円板状ワークとしての板ガラス１を保持するための保持台３７と、保持台３７を中心軸Ａ１まわりに回転させる第二回転駆動部３８とを有する。なお、保持台３７による板ガラス１の保持の仕方は任意であり、板ガラス１の下側の表面１ｂを吸着する手段や、板ガラス１を図示しない挟持部材でその厚み方向に挟持する手段など、公知の板ガラス１の固定手段を採用し得る。
【００５５】
次に、上記構成の研磨加工装置１０を用いた板ガラス１の研磨加工方法の一例を説明する。
【００５６】
まず、図１に示すように、保持台３７の上に研磨対象となる板ガラス１を載置し、保持台３７に保持（ここでは固定）した状態で、押当て移動手段１３により、移動ベース３６に支持部２９を介して取り付けられたヘッド部２５を矢印Ｄの向きに移動させる。これにより、テープ１２がヘッド部２５と共に押当て可能領域２４に向けて移動し、テープ１２が板ガラス１の外周２に押し当てられる（図５）。ここで、例えば板ガラス１の外周２が図３に示すような断面形状をなす場合、テープ１２は板ガラス１の外周２に設けられた側端面４に押し当てられた状態となる（図８（ａ））。
【００５７】
また、この際、第一及び第二のテープ巻取り体１７，１８に連結されるモータ２２，２３をそれぞれ駆動させて、第一のテープ巻取り体１７から第二のテープ巻取り体１８に向けてテープ１２を送る（図１）。加えて、本実施形態では、図５に示すように、往復移動駆動部２８を駆動させて、ヘッドスライド部２７及びヘッドスライド部２７に設けられた第二フリーローラ１９ｂ２と駆動ローラ２０を上述した両矢印Ｃの向きに沿って一体的に往復移動させることで、最も板ガラス１寄りに配設した一対の第二フリーローラ１９ｂ１の間に掛け渡されたテープ１２をその長手方向、すなわち両矢印Ｃの向きに往復移動させる。また、この間、第二回転駆動部３８を駆動させて、保持台３７に保持された状態の板ガラス１を中心軸Ａ１まわりに回転させる。以上の動作により、板ガラス１の外周２の表面のうちテープ１２が押し当てられた領域（側端面４）がテープ１２の摺動によりその厚み方向及び円周方向全域にわたって研磨され、その表面粗さが所定の大きさ以下に仕上げられる（図８（ａ）を参照）。また、双方のテープ巻取り体１７，１８によるテープ１２の送り動作により、テープ１２の研磨面１１のうち実際に使用される領域が矢印Ｂの向きに連続的に移行しながら上記研磨加工が行われる。
【００５８】
このようにして板ガラス１の側端面４に研磨加工を施した後、第一回転駆動部３０によりヘッド部２５及びテープ１２を中心軸Ａ２まわりに回転させて、図３及び図６（ｂ）に示すように、板ガラス１の外周２に設けられた第一のテーパ面５に沿った向きにテープ１２の長手方向を合わせた姿勢とする。そして、図６（ｂ）に示す姿勢を保った状態でテープ１２を矢印Ｂの方向に送りながら、両矢印Ｃの方向に往復移動させ、かつ板ガラス１を中心軸Ａ１まわりに回転させる。これにより、第一のテーパ面５が厚み方向及び円周方向全域にわたって研磨され、その表面粗さが所定の大きさ以下に仕上げられる（図８（ｂ）を参照）。
【００５９】
また、第一回転駆動部３０によりヘッド部２５及びテープ１２を中心軸Ａ２まわりに回転させて、図３及び図６（ｃ）に示すように、板ガラス１の外周２に設けられた第２のテーパ面６に沿った向きにテープ１２の長手方向を合わせた姿勢とする。そして、図６（ｃ）に示す姿勢を保った状態でテープ１２を矢印Ｂの方向に送りながら、両矢印Ｃの方向に往復移動させ、かつ板ガラス１を中心軸Ａ１まわりに回転させる。これにより、第二のテーパ面６が厚み方向及び円周方向全域にわたって研磨され、その表面粗さが所定の大きさ以下に仕上げられる（図８（ｃ）を参照）。
【００６０】
このように、本発明では、円板状ワークとしての板ガラス１の外周２に、研磨面１１を設けたテープ１２を押し当てながら板ガラス１をその表面１ａ，１ｂに垂直な中心軸Ａ１まわりに回転させるようにした。このようにテープ１２を押し当てることにより、テープ１２による研磨加工を板ガラス１の外周２に沿って連続的に行うことができる。また、その際の研磨速度は第二回転駆動部３８により板ガラス１の回転速度で調整できる。従って、テープ１２を移動させながら研磨加工を行う場合と比べて研磨加工に要する時間を大幅に短縮することができる。また、テープ１２を板ガラス１の外周２に沿って移動させる必要がないため、テープ１２の押当て態様が安定し、良質かつ安定した研磨加工が可能となる。特に、本実施形態では、図１及び図２に示すように、一対のテープ押当て装置１５を、板ガラス１を介して互いに対向する位置に配設して、各テープ押当て装置１５で対応するテープ１２を板ガラス１の外周２に押し当てながら、板ガラス１を中心軸Ａ１まわりに回転させるようにした。これによれば、回転状態の板ガラス１に対する研磨加工の速度を実質的に二倍にすることができる。従って、研磨加工に要する時間をさらに短縮することができる。また、板ガラス１を介して互いに１８０°対向する位置でテープ１２を板ガラス１の外周２に押し当てることで、テープ１２による押当て力が正反対の向きから板ガラス１に作用する。そのため、板ガラス１に対して押当て力がバランスよく作用し、言い換えると、板ガラス１を回転又は移動させることなくテープ１２からの押当て力を効果的に付与できるので、より安定した研磨加工が可能となる。
【００６１】
また、本実施形態では、テープ１２を板ガラス１の外周２に押し当てながらその長手方向Ｃに往復移動させるようにしたので、単に一方向に移動させる場合（例えば矢印Ｂの方向にのみテープ１２を送る場合）と比べて研磨効率を高めることができる。従って、研磨加工に要する時間を短縮して、生産効率をさらに向上させることが可能となる。
【００６２】
また、本実施形態では、テープ長調整手段３３として、二個のシリンダ３４により各テープ巻取り体１７，１８と駆動ローラ２０，２０との間にそれぞれ配設される駆動ローラ２０側の第一フリーローラ１９ａ２，１９ａ２をそれぞれ定圧で引っ張るように構成したことを特徴とする。これにより、例えばヘッドスライド部２７の往復移動により、第一のテープ巻取り体１７と一方（図１では上側）の駆動ローラ２０との間のテープ長が変化した場合に、テープ１２からの反力と釣り合う位置までテープ長の変化を打ち消す向きに（かつテープ１２から第一フリーローラ１９ａ２が受ける反力と釣り合う位置まで）第一フリーローラ１９ａ２を移動させる。例えば往復移動により、ヘッドスライド部２７が図５に示す基準位置から上方に移動して、第一のテープ巻取り体１７と上側の駆動ローラ２０との間のテープ長が増加した場合、図９に示すように、上側のシリンダ３４で対応する上側の第一フリーローラ１９ａ２が矢印Ｄの向き、すなわち第一のテープ巻取り体１７と上側の駆動ローラ２０との間のテープ長が増加するのを打ち消す向きに移動すると共に、下側のシリンダ３４で対応する下側の第一フリーローラ１９ａ２が矢印Ｄと反対の向きに移動する。これにより、第一のテープ巻取り体１７と対応する上側の駆動ローラ２０との間のテープ長、及び第二のテープ巻取り体１８と対応する下側の駆動ローラ２０との間のテープ長がそれぞれ一定に保たれる。また、ヘッドスライド部２７が図５に示す基準位置から下方に移動して、第二のテープ巻取り体１８と下側の駆動ローラ２０との間のテープ長が増加した場合、図１０に示すように、下側のシリンダ３４で対応する下側の第一フリーローラ１９ａ２が矢印Ｄの向き、すなわち第二のテープ巻取り体１８と下側の駆動ローラ２０との間のテープ長が増加するのを打ち消す向きに移動すると共に、上側のシリンダ３４で対応する上側の第一フリーローラ１９ａ２が矢印Ｄと反対の向きに移動する。これにより、第二のテープ巻取り体１８と対応する下側の駆動ローラ２０との間のテープ長、及び第一のテープ巻取り体１７と対応する上側の駆動ローラ２０との間のテープ長がそれぞれ一定に保たれる。以上より、ヘッドスライド部２７が往復移動する場合においても、各テープ巻取り体１７，１８と駆動ローラ２０，２０との間のテープ長をそれぞれ一定に保たれるので、テープ１２に生じる張力の変動を抑制して、外周２への押付け力を一定の大きさに制御することが可能となる。特に、定圧のシリンダ３４で第一フリーローラ１９ａ２を移動させるようにすれば、ヘッドスライド部２７の往復移動に対する応答性に優れているため、ヘッドスライド部２７（ひいてはテープ１２）を高速で往復移動させる場合に好適である。
【００６３】
もちろん、本発明では、研磨面１１を設けたテープ１２を板ガラス１の外周に押し当てながら、板ガラス１を回転させるようにしたので、テープ１２が有するフレキシブル性、特に幅方向のフレキシブル性を発揮させて、板ガラス１の外周２表面にテープ１２を容易に倣わせることができる。また、研磨面１１を設けたテープ１２であれば、形状が変化しても（例えば幅方向や長手方向に沿って湾曲したとしても）その研磨性能が低下することもない。よって、板ガラス１の外周２が図３に示す如く複数の面（それぞれ環状をなす側端面４、第一のテーパ面５、第二のテーパ面６）で構成される場合であっても、その表面にテープ１２を倣わせて外周２を漏れなく研磨することが可能となる。また、テープ１２であれば、板ガラス１に対する当たりも優しいため、例えば砥石など円盤式の研磨工具に比べて、加工中に割れ等が発生する可能性を低くでき、良質な研磨加工を安定的に施すことが可能となる。
【００６４】
なお、本実施形態では、板ガラス１の外周２に切欠き部３を設けたものを研磨対象とし、かつ研磨加工に使用するテープ１２の幅方向寸法Ｗｔを切欠き部３の幅方向寸法Ｗｎよりも大きく設定している。そのため、上述のように、板ガラス１を回転させながらその外周にテープ１２を押当てて研磨加工を施す場合においても、テープ１２の幅方向端部１２ａが切欠き部３に引っ掛かる心配はない。従って、切欠き部３の有無によらず、安定した外周２表面の研磨加工を行うことが可能となる。
【００６５】
以上、本発明の第一実施形態を説明したが、上述した研磨加工装置１０と研磨加工方法は、当然に本発明の範囲内において任意の形態を採ることができる。
【００６６】
例えば第一実施形態では、板ガラス１の外周２に対するテープ１２の押当て態様として、テープ１２をその送り方向Ｂに沿って送りながらその長手方向Ｃに沿って往復移動させ、かつ板ガラス１を中心軸Ａ１まわりに回転させる場合を例示したが、もちろん本発明はこれ以外の押当て態様をとることも可能である。図１１はその一例（本発明の第二実施形態）に係る研磨加工方法を説明するものである。すなわち、本実施形態に係るヘッド部２５の第一回転駆動部３０は、ヘッド部２５を所定の姿勢とし、かつ所定の姿勢を基準として、ヘッド部２５を中心軸Ａ２まわりに正逆両方向にそれぞれ所定の速度で繰り返し回転（すなわち揺動）させるように構成されている。例えばヘッド部２５が図６（ａ）〜（ｃ）に示すように三段階の研磨姿勢をとる場合、第一回転駆動部３０は、図６（ａ）〜（ｃ）に示した各々の姿勢を基準位置として、ヘッド部２５を中心軸Ａ２まわりに揺動（図１１（ａ）〜（ｃ）のそれぞれ二点鎖線で示す姿勢の間を繰り返し回動）させるようになっている。
【００６７】
このようにヘッド部２５を揺動（正逆両方向に繰り返し回動）可能とする場合、テープ１２の押当てによる板ガラス１の研磨加工は、例えば上述したテープ１２の送り動作と往復移動に加えて、テープ１２の揺動を伴って行われる。具体的には、まず、図６（ａ）に示すように、第一回転駆動部３０によりヘッド部２５を、板ガラス１の外周２に設けられた側端面４に沿った向きにテープ１２の長手方向を合わせた姿勢とする。そして、図６（ａ）に示す姿勢でテープ１２を送り方向Ｂに沿って送ると共に長手方向Ｃに沿って往復移動させ、かつ板ガラス１を中心軸Ａ１まわりに回転させる。さらに、図６（ａ）に示すヘッド部２５の姿勢を基準として（揺動中心として）、図１１（ａ）に示すようにヘッド部２５を揺動させて、押当て可能領域２４を通過するテープ１２を中心軸Ａ２まわりに一定の振幅幅θ１で揺動させる（図１２（ａ））。これにより、側端面４がその厚み方向及び円周方向全域にわたって研磨されると共に、側端面４とその厚み方向一方の側でつながる第一のテーパ面５との間の角部７ａ、及び側端面４とその厚み方向他方の側でつながる第二のテーパ面６との間の角部７ｂが研磨される。
【００６８】
然る後、第一回転駆動部３０によりヘッド部２５を回転させて、図６（ｂ）に示すように、板ガラス１の外周２に設けられた第一のテーパ面５に沿った向きにテープ１２の長手方向を合わせた姿勢とする。そして、図６（ｂ）に示す姿勢でテープ１２を送り方向Ｂに沿って送ると共に長手方向Ｃに沿って往復移動させ、かつ板ガラス１を中心軸Ａ１まわりに回転させる。さらに、図６（ｂ）に示すヘッド部２５の姿勢を基準として（揺動中心として）、図１１（ｂ）に示すようにヘッド部２５を揺動させて、押当て可能領域２４を通過するテープ１２を中心軸Ａ２まわりに一定の振幅幅θ２で揺動させる（図１２（ｂ））。これにより、第一のテーパ面５がその厚み方向及び円周方向全域にわたって研磨されると共に、第一のテーパ面５とその厚み方向一方の側でつながる一方の表面１ａとの間の角部７ｃ、及び既述した側端面４との間の角部７ａが研磨される。
【００６９】
また、第一回転駆動部３０によりヘッド部２５を回転させて、図６（ｃ）に示すように、板ガラス１の外周２に設けられた第二のテーパ面６に沿った向きにテープ１２の長手方向を合わせた姿勢とする。そして、図６（ｃ）に示す姿勢でテープ１２を送り方向Ｂに沿って送ると共に長手方向Ｃに沿って往復移動させ、かつ板ガラス１を中心軸Ａ１まわりに回転させる。さらに、図６（ｃ）に示すヘッド部２５の姿勢を基準として（揺動中心として）、図１１（ｃ）に示すようにヘッド部２５を揺動させて、押当て可能領域２４を通過するテープ１２を中心軸Ａ２まわりに一定の振幅幅θ３で揺動させる（図１２（ｃ））。これにより、第二のテーパ面６がその厚み方向及び円周方向全域にわたって研磨されると共に、第二のテーパ面６とその厚み方向一方の側でつながる他方の表面１ｂとの間の角部７ｄ、及び既述した側端面４との間の角部７ｂが研磨される。
【００７０】
このようにテープ１２を板ガラス１に押し当てながら揺動させることで、外周２表面のうち主にテープ１２が強く押し当てられる領域（すなわち実質的な研磨領域）を細かく変えながら研磨加工を施すことができる。よって、研磨漏れを防いで効率よく研磨加工を施すことができる。また、板ガラス１の外周２を、表面１ａ，１ｂに直交する向きの側端面４と、第一及び第二のテーパ面５，６との間（角部７ａ，７ｂ）や、各テーパ面５，６と板ガラス１の表面１ａ，１ｂとの間（角部７ｃ，７ｄ）を例えばＲ面などで滑らかにつないだ形状に研磨することができる。従って、割れの原因となり易い角部７ａ〜７ｄをなるべく減らして板ガラス１の外周２を割れに強い形状に仕上げることが可能となる。特に、本実施形態のようにテープ１２を板ガラス１の外周２に押し当てながら揺動させると共に、長手方向Ｃに沿って往復移動させた場合には、板ガラス１の外周２に対するテープ１２の押し当て力をさらに高めることができる。
【００７１】
また、本発明は、さらなる別の押当て態様をとることも可能である。図１３はその一例（本発明の第三実施形態）に係る研磨加工装置１０の側面図、図１４は当該研磨加工装置１０の平面図をそれぞれ示している。この研磨加工装置１０のワーク回転装置１６は、上述した保持台３７と第二回転駆動部３８とに加えて、保持台３７及び第二回転駆動部３８を所定の方向Ｅ（図１４に示す両矢印Ｅの方向）に沿って往復移動させる第二往復移動手段３９を有する点で、上記第一及び第二実施形態に係る研磨加工装置１０と相違する。この場合、第二回往復移動手段３９による保持台３７及び第二回転駆動部３８の往復移動方向Ｅは、図１４に示すように、ヘッド部２５の揺動時の中心軸Ａ２に平行になるように設定される。言い換えると、往復移動方向Ｅは、テープ１２の押当て移動方向Ｄ及び往復移動方向Ｃの何れとも直交する向きに設定される。また、この際の往復移動量は、例えば後述する図１５（ｂ）及び（ｃ）に示すように、テープ１２と板ガラス１とがテープ１２の幅方向で最も大きくずれた際においても、テープ１２の幅方向端部１２ａが板ガラス１の外周２と接触しない程度に、テープ１２の幅方向寸法Ｗｔ（図４）との関係で適切な大きさに設定される。
【００７２】
このように板ガラス１をテープ１２の幅方向に往復移動可能とする場合、テープ１２の押当てによる板ガラス１の研磨加工は、例えば上述したテープ１２の送り動作と往復移動、及び揺動に加えて、テープ１２の幅方向に沿った往復移動を伴って行われる。具体的には、まず、図６（ａ）に示すように、第一回転駆動部３０によりヘッド部２５を、板ガラス１の外周２に設けられた側端面４に沿った向きにテープ１２の長手方向を合わせた姿勢とする。そして、図６（ａ）に示す姿勢でテープ１２を送り方向Ｂに沿って送ると共に長手方向Ｃに沿って往復移動させながら、テープ１２を中心軸Ａ２まわりに揺動させ（図１２（ａ））、かつ板ガラス１を中心軸Ａ１まわりに回転させる。さらに、図１５（ａ）に示すように板ガラス１をテープ１２の幅方向Ｅに沿って一定の振幅幅で往復移動させることで、テープ１２をその幅方向に沿って往復移動させる。これにより、板ガラス１の外周２表面、特に側端面４にテープ１２の研磨面１１がその幅方向に広域で接触し（押し当てられ）、テープ１２の研磨面１１がその幅方向広域にわたって側端面４の研磨に使用される。
【００７３】
然る後、第一回転駆動部３０によりヘッド部２５を回転させて、図６（ｂ）に示すように、板ガラス１の外周２に設けられた第一のテーパ面５に沿った向きにテープ１２の長手方向を合わせた姿勢とする。そして、図６（ｂ）に示す姿勢でテープ１２を送り方向Ｂに沿って送ると共に長手方向Ｃに沿って往復移動させながら、テープ１２を中心軸Ａ２まわりに揺動させ（図１２（ｂ））、かつ板ガラス１を中心軸Ａ１まわりに回転させる。さらに、図１５（ｂ）に示すように板ガラス１をテープ１２の幅方向Ｅに沿って一定の振幅幅で往復移動させることで、テープ１２をその幅方向に沿って往復移動させる。これにより、板ガラス１の外周２表面、特に第一のテーパ面５にテープ１２の研磨面１１がその幅方向に広域で接触し（押し当てられ）、テープ１２の研磨面１１がその幅方向広域にわたって第一のテーパ面５の研磨に使用される。
【００７４】
然る後、第一回転駆動部３０によりヘッド部２５を回転させて、図６（ｃ）に示すように、板ガラス１の外周２に設けられた第二のテーパ面６に沿った向きにテープ１２の長手方向を合わせた姿勢とする。そして、図６（ｃ）に示す姿勢でテープ１２を送り方向Ｂに沿って送ると共に長手方向Ｃに沿って往復移動させながら、テープ１２を中心軸Ａ２まわりに揺動させ（図１２（ｃ））かつ板ガラス１を中心軸Ａ１まわりに回転させる。さらに、図１５（ｃ）に示すように板ガラス１をテープ１２の幅方向Ｅに沿って一定の振幅幅で往復移動させることで、テープ１２をその幅方向に沿って往復移動させる。これにより、板ガラス１の外周２表面、特に第二のテーパ面６にテープ１２の研磨面１１がその幅方向に広域で接触し（押し当てられ）、テープ１２の研磨面１１がその幅方向広域にわたって第二のテーパ面６の研磨に使用される。
【００７５】
このように、テープ１２を板ガラス１の外周２に押し当てながら幅方向Ｅに沿って往復移動させるようにすれば、テープ１２の研磨面１１のうち研磨に用いられない領域を極力少なくして、テープ１２を効率よくかつ経済的に使用することが可能となる。もちろん、上述したテープ１２の幅方向Ｅに沿った往復移動は、既述の送り方向Ｂに沿った送り動作や長手方向Ｃに沿った往復移動とは独立した動作であるので、上述のように幅方向Ｅに沿った往復移動を伴って板ガラス１の外周２に研磨加工を施すことで、さらなる研磨効率の向上及び研磨加工時間の短縮を図ることが可能となる。
【００７６】
なお、上記第一〜第三実施形態では、第一回転駆動部３０によるヘッド部２５の断続的な回転動作の繰り返しにより、テープ１２を互いに異なる三段階の姿勢（図６（ａ）〜図６（ｃ）に示す姿勢）に一定時間保持し、その間に既述したテープ１２の送り動作、長手方向Ｃに沿った往復移動、中心軸Ａ２まわりの揺動、及び幅方向Ｅに沿った往復移動を行う場合を例示したが、もちろん、この押当て態様には限られない。例えば研磨すべき外周２の三次元表面形状に応じて、テープ１２の姿勢を連続的に変化させつつ研磨加工を実施するようにしてもかまわない。
【００７７】
また、上述した一連の押当て動作は、任意に組み合わせてもかまわない。例えばテープ１２の送り動作と、長手方向Ｃに沿った往復移動、及び幅方向Ｅに沿った往復移動を組合わせて研磨加工に用いることも可能である。要は、板ガラス１の外周２にテープ１２を押し当てながら板ガラス１をその表面１ａ，１ｂに垂直な中心軸Ａ２まわりに回転させる限りにおいて、これ以外のテープ１２の動作は任意である。
【００７８】
なお、以上の説明では、切欠き部３を設けた板ガラス１の外周２に研磨加工を施す場合を例示したが、切欠き部３のない円板状の板ガラス１であっても、本発明を適用することが可能である。もちろん、研磨対象となる板ガラス１が円板状をなす限りにおいて、その用途及び材質も問わない。
【符号の説明】
【００７９】
１      板ガラス
１ａ，１ｂ  表面
２      外周
３      切欠き部
４      側端面
５，６  テーパ面
７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ  角部
１０    研磨加工装置
１１    研磨面
１２    テープ
１２ａ  幅方向端部
１３    押当て移動手段
１４    テープ送り手段
１５    テープ押当て装置
１６    ワーク回転装置
１７，１８  テープ巻取り体
１９ａ１，１９ａ２，１９ｂ１，１９ｂ２  フリーローラ
２０    駆動ローラ
２１    基体
２２，２３  モータ
２４    押当て可能領域
２５    ヘッド部
２６    ヘッドベース
２７    ヘッドスライド部
２８    往復移動駆動部
２９    支持部
３０    第一回転駆動部
３１    研削液噴射部
３２    噴射口
３３    テープ長調整手段
３４    シリンダ
３５    圧縮バネ
３６    移動ベース
３７    保持台
３８    第二回転駆動部
３９    第二往復移動手段
Ａ１    中心軸（板ガラス）
Ａ２    中心軸（ヘッド部）
Ｂ      テープの送り方向
Ｃ      テープの長手方向
Ｄ      テープの押当て方向
Ｅ      テープの幅方向
Ｌ      研削液
Ｗｎ    切欠き部の幅方向寸法
Ｗｔ    テープの幅方向寸法
【図１】
2017087305.tif 000003
【図２】
2017087305.tif 000004
【図３】
2017087305.tif 000005
【図４】
2017087305.tif 000006
【図５】
2017087305.tif 000007
【図６】
2017087305.tif 000008
【図７】
2017087305.tif 000009
【図８】
2017087305.tif 000010
【図９】
2017087305.tif 000011
【図１０】
2017087305.tif 000012
【図１１】
2017087305.tif 000013
【図１２】
2017087305.tif 000014
【図１３】
2017087305.tif 000015
【図１４】
2017087305.tif 000016
【図１５】
2017087305.tif 000017