(57)【要約】      （修正有）【課題】固形の接着剤を用いて記録素子基板を支持部材に接着する際に記録素子基板や支持部材に設けられた液体供給路に接着剤が過剰に流れ込んで詰まることを防止し、かつ液密性に優れた液体吐出ヘッドを製造する方法を提供する。【解決手段】接着部材を介して記録素子基板１００を支持部材２００に支持固定する際に、接着部材３００として、熱可塑性樹脂からなり記録素子基板に接合する第１の接着層３０１（融点：Ｔ１）と、支持部材に接合する第２の接着層３０２（融点または硬化温度：Ｔ２）と、第１の接着層と第２の接着層に挟まれた中間層３０３（融点：Ｔ３）とを備えて３層以上の複合層から構成され、Ｔ１＜Ｔ、かつＴ２＜Ｔを満たすものを使用する。第２の接着層に熱を付与して第２の接着層を支持部材の表面に接合したのち、第１の接着層に熱を付与して第１の接着層を記録素子基板の表面に接合する。【選択図】図１
2017056584.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録素子基板と支持部材とを有し前記記録素子基板が接着部材を介して前記支持部材に支持固定される液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記接着部材は、熱可塑性樹脂からなり前記記録素子基板に接合する第１の接着層と、前記支持部材に接合する第２の接着層と、第１の接着層と第２の接着層に挟まれた中間層と、を備えて３層以上の複合層から構成され、
前記第２の接着層に熱を付与して前記第２の接着層を前記支持部材の表面に接合する第１の工程と、
前記第１の工程ののち、前記第１の接着層に熱を付与して前記第１の接着層を前記記録素子基板の表面に接合する第２の工程と、
を有し、
前記接着部材は、前記第１の接着層の融点をＴ１とし、前記第２の接着層が熱可塑性樹脂で構成されているときは融点を、前記第２の接着層が熱硬化性樹脂で構成されているときは硬化温度をＴ２とし、前記中間層の融点をＴとして、
Ｔ１＜Ｔ、かつＴ２＜Ｔ
を満たしていることを特徴とする、液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記第１の工程は、前記支持部材の前記表面の上に前記接着部材を配置し、その後、前記第２の接着層をＴ２以上の温度まで加熱する工程である、請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記第２の工程は、前記支持部材の前記表面の上に接合された前記接着部材に対して前記記録素子基板の表面を接触させ、その後、前記第１の接着層を溶融させる工程である、請求項２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記第２の接着層が熱可塑性樹脂によって構成されている、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記接着部材は、Ｔ２≦Ｔ１＜Ｔを満たしている、請求項４に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記接着部材は、前記第１の接着層の熱伝導率をＡ１、前記第２の接着層の熱伝導率をＡ２、前記中間層の熱伝導率をＡとして、
Ａ１＞ＡかつＡ２＞Ａを満たしている、請求項５に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記接着部材は、前記接着部材における前記第１の接着層の体積をＶ１、前記第２の接着層の体積をＶ２として、
Ｖ１≦Ｖ２を満たしている、請求項５に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 
【請求項８】
前記接着部材は、第１の接着層の厚みをｈ１、第２の接着層の厚みをｈ２として、
ｈ１≦ｈ２を満たしている、請求項５に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】
記録素子基板と、
支持部材と、
前記記録素子基板と前記支持部材とに接合して前記記録素子基板を前記支持部材に支持固定させる接着部材と、
を有し、
前記接着部材は、熱可塑性樹脂からなり前記記録素子基板に接合する第１の接着層と、前記支持部材に接合する第２の接着層と、第１の接着層と第２の接着層に挟まれた中間層と、を備えて３層以上の複合層から構成され、
前記第１の接着層の融点をＴ１とし、前記第２の接着層が熱可塑性樹脂で構成されているときは融点を、前記第２の接着層が熱硬化性樹脂で構成されているときは硬化温度をＴ２とし、前記中間層の融点をＴとして、
Ｔ１＜Ｔ、かつＴ２＜Ｔ
を満たしていることを特徴とする、液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記第２の接着層は熱可塑性樹脂から構成され、Ｔ２≦Ｔ１＜Ｔを満たしている、請求項９に記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッド及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出ヘッドは、記録媒体などに液体を吐出する液体吐出装置に設けられ、例えば、液体を吐出する記録素子基板と、記録素子基板を固定する支持部材と、記録素子基板に電気信号を伝達する電気配線基板となどから構成される。記録素子基板には、液体を吐出するエネルギーを発生する吐出エネルギー発生素子が設けられるとともに、この吐出エネルギー発生素子の位置にまで液体を供給するための液体供給路が設けられる。支持部材においても、記録素子基板での液体供給路の位置に合わせて液体供給路が設けられている。液体吐出ヘッドは、例えば、記録媒体に対して記録液を吐出して記録を行うインクジェット記録装置のインクジェット記録ヘッドとして用いられる。
【０００３】
このような液体吐出ヘッドの従来の製造方法の中では、接着剤を用いて記録素子基板を支持部材に接着固定して、中間体である記録素子ユニットを作る。ここで、記録素子基板を支持部材に固定する手段として液状の接着剤を用いた場合には、接着剤の塗布設備における塗布条件の設定や設備の清掃等の工程管理が必要になり、製造工程が煩雑化する。このような製造工程を簡略化するためには、常温で固形の接着シートを用いることにより塗布工程を省略できる接着が有効である。例えば特許文献１には、インクジェット記録ヘッドの製造において吐出口形成部材と液流路部材とを接着する際に、固形の接着剤層を含む接着シートを用いることで接着工程の簡略化を達成することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−３１８１７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、記録素子基板や支持部材の接着面には反りやうねりが存在することがあり、このような反りやうねりが存在する場合には、それらの部材間の接着界面に隙間となる空間が生じやすくなる。このため、記録素子基板や支持部材に形成されている液体供給路に連通する流路の液密性を確保しつつ接着を行うためには、各部材の平面性を考慮した上で接着剤層を厚く形成し、確実に接着を行う必要がある。部材に反りやうねりがある場合には、固形の接着シートにおける熱硬化型接着剤や熱可塑性接着剤からなる層を厚く形成することが考えられる。このとき特許文献１に示すように接着剤の層を押しつぶすようにして接着を行うと、加熱によって粘度が低下した接着剤が記録素子基板や支持部材の液体供給路に流入してその液体供給路を詰まらせてしまうことがある。逆に、接着界面に存在する接着剤の量を減らして液体供給路への詰まりを抑制しようとすると、部材における反りが大きな位置において接着面に発生する隙間を埋められなくなる。これにより、安定的な接着を実現するのが困難になるとともに流路の液密性を確保できなくなる傾向となる。
【０００６】
本発明の目的は、常温で固形の接着剤を用いて記録素子基板を支持部材に接着する際に、記録素子基板や支持部材の液体供給路への接着剤の詰まりを抑制し、かつ、液密性に優れた液体吐出ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、記録素子基板と支持部材とを有し記録素子基板が接着部材を介して支持部材に支持固定される液体吐出ヘッドの製造方法であって、接着部材は、熱可塑性樹脂からなり記録素子基板に接合する第１の接着層と、支持部材に接合する第２の接着層と、第１の接着層と第２の接着層に挟まれた中間層と、を備えて３層以上の複合層から構成され、第２の接着層に熱を付与して第２の接着層を支持部材の表面に接合する第１の工程と、第１の工程ののち、第１の接着層に熱を付与して第１の接着層を記録素子基板の表面に接合する第２の工程と、を有し、接着部材は、第１の接着層の融点をＴ１とし、第２の接着層が熱可塑性樹脂で構成されているときは融点を、第２の接着層が熱硬化性樹脂で構成されているときは硬化温度をＴ２とし、中間層の融点をＴとして、
Ｔ１＜Ｔ、かつＴ２＜Ｔ
を満たしていることを特徴とする。
【０００８】
本発明の液体吐出ヘッドは、記録素子基板と、支持部材と、記録素子基板と支持部材とに接合して記録素子基板を支持部材に支持固定させる接着部材と、を有し、接着部材は、熱可塑性樹脂からなり記録素子基板に接合する第１の接着層と、支持部材に接合する第２の接着層と、第１の接着層と第２の接着層に挟まれた中間層と、を備えて３層以上の複合層から構成され、第１の接着層の融点をＴ１とし、第２の接着層が熱可塑性樹脂で構成されているときは融点を、第２の接着層が熱硬化性樹脂で構成されているときは硬化温度をＴ２とし、中間層の融点をＴとして、
Ｔ１＜Ｔ、かつＴ２＜Ｔ
を満たしていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、固形の接着剤を用いて記録素子基板を支持部材に接着し固定する際に、記録素子基板や支持部材の液体供給路に接着剤が入り込んで詰まることを抑制でき、かつ、液密性に優れた液体吐出ヘッドを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】液体吐出ヘッドの要部を示す分解断面図である。
【図２】図１に示す液体吐出ヘッドの製造工程を順に示す断面図である。
【図３】図１に示す液体吐出ヘッドの製造工程を図２に引き続いて順に示す断面図である。
【図４】液体吐出ヘッドの製造工程の別の例を順に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
図１は本発明の実施の一形態の製造方法によって製造される液体吐出ヘッドの要部を示している。この液体吐出ヘッドは、液体を吐出する記録素子基板１００と、記録素子基板１００を支持固定する支持部材２００と、さらに、記録データ信号などの電気信号を記録素子基板１００に伝達する電気配線基板（不図示）などによって構成されるものである。これらの構成要素のうち図１には記録素子基板１００と支持部材２００が示されている。記録素子基板１００には、その第１の面に、記録データ信号に応じて駆動されて吐出エネルギーを液体に付与する複数の吐出エネルギー発生素子（不図示）が設けられるとともに、液体を吐出する吐出口が各吐出エネルギー発生素子に対応して設けられている。そして記録素子基板１００には、吐出エネルギー発生素子の位置に液体を供給するために、第１の面とは反対側となる第２の面から第１の面に向かう液体供給路１０１が、記録素子基板１００に設けられた孔として形成されている。図示したものでは、記録素子基板１００に複数の液体供給路１０１が形成されている。そして支持部材２００には、記録素子基板１００に液体を供給する液体供給路２０１が、記録素子基板１００の液体供給路１０１と対応する位置に貫通孔として設けられている。
【００１２】
次に、液体吐出ヘッドの製造方法の概要を説明する。液体吐出ヘッドの製造では、まず、常温で固形である接着剤を含むシート状の接着部材３００を用いて、記録素子基板１００を支持部材２００に接着固定する。これによって中間体である記録素子ユニットが完成する。このとき、記録素子基板１００の液体供給路１０１に対し、支持部材２００の対応する液体供給路２０１が連通して液流路を構成し、かつ、この液流路から接着界面に対して液体が漏出しないように液密性が保たれるようにする。次に、記録素子ユニットでの支持部材２００の露出面に熱硬化型接着剤を塗布した後、電気配線基板を記録素子ユニットに対して位置合わせし、電気配線基板と記録素子ユニットとを接着固定する。さらに、記録素子基板１００に設けられた配線パッド部と電気配線基板のリード部とを電気的に接続し、その後、電気接続部の封止や吐出液体の注入などのその後に引き続く工程を経て、液体吐出ヘッドが完成する。
【００１３】
本発明に基づく液体吐出ヘッドの製造方法は、常温で固形であってシート状の接着部材３００として、３層以上の複合層として構成されたものを用いる。接着部材３００を構成する複合層は、記録素子基板１００を向いた表面側に配置された第１の接着層３０１と、支持部材２００に向いた表面側に配置された第２の接着層３０２と、第１の接着層３０１と第２の接着層３０２とに挟まれた中間層３０３とからなる。接着部材３００には、記録素子基板１００の液体供給路１０１と支持部材２００の液体供給路２０１が連通して液流路を形成できるように、液流路を構成する液体供給路１０１，２０１の形成位置に対応して貫通孔が形成されている。本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、
（ａ）接着部材３００を用意する工程と、
（ｂ）第２の接着層３０２を支持部材２００に接合する工程と、
（ｃ）記録素子基板１００を第１の接着層３０１に接合する工程と、
を含む。
【００１４】
以下、本発明に基づく液体吐出ヘッドの製造方法についてさらに詳しく説明する。上述したように、接着部材３００は、記録素子基板１００に接合される第１の接着層３０１と、支持部材２００に接合される第２の接着層３０２と、第１の接着層３０１及び第２の接着層３０２に挟まれた中間層３０３と、から構成されている。第１の接着層３０１の材料には、常温で固形である熱可塑性樹脂を用いることができ、また、第２の接着層３０２の材料には、常温で固形である熱可塑性樹脂または熱硬化性樹脂を用いることができる。常温で固形とは、常温（２５℃）では樹脂が流動性を有さないことをいう。なお、図１では接着部材３００は３層構造であるが、接着部材３００は、中間層３０３自体を２層以上の複合層とするなど、全体として４層以上の構成であってもよい。第１の接着層３０１の融点をＴ１、第２の接着層３０２の融点（熱可塑性樹脂の場合）または硬化温度（熱硬化性樹脂の場合）をＴ２、中間層３０３の融点をＴとすると、Ｔ１＜ＴかつＴ２＜Ｔの関係が成り立っている。融点あるいは硬化温度は、ＪＩＳ  Ｋ７１２１に基づき、示差熱分析（ＤＴＡ）あるいは示差走査熱量測定（ＤＳＣ）によって測定することができる。
【００１５】
まず、図２（ａ）に示すように、加熱ツール４０２の上に支持部材２００を配置する。次に図２（ｂ）に示すように、支持部材２００の上に接着部材３００を位置決めして配置し、加熱ツール４０２より接着部材３００の第２の接着層３０２に熱を付与して第２の接着層３０２を溶融させ、接着部材３００を支持部材２００に接合する。支持部材２００の材料には、アルミナ等のセラミックスや、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）、変性ＰＰＥ（ポリフェニレンエーテル）等の熱可塑性樹脂を用いることができる。支持部材２００にＰＰＳや変性ＰＰＥを用いた場合は、第２の接着層３０２の融点（熱可塑性樹脂の場合）または硬化温度（熱硬化性樹脂の場合）は、支持部材２００を構成する材料の荷重たわみ温度よりも低いことが望ましい。第１の接着層３０１や第２の接着層３０２に熱可塑性樹脂を用いる場合には、耐薬品性の高いＰＥ（ポリエチレン）やＰＰ（ポリプロピレン）等のポリオレフィン系樹脂や、ポリオレフィン系のエラストマーを用いることができる。中間層３０３の材料としては、ポリオレフィン系の材料やポリイミド等のような耐薬品性の高い樹脂を用いることができる。
【００１６】
接着部材３００を支持部材２００に接合する際には、第２の接着層３０２に熱を加えて溶融させる必要がある。第２の接着層３０２を溶融させるとは、熱可塑性樹脂の場合であれば融点以上に加熱し、熱硬化性樹脂の場合であれば、その硬化温度以上に加熱して熱硬化性樹脂が流動性を有する状態としつつ熱硬化性樹脂の硬化反応を進行させる。いずれの場合においても、第２の接着層３０２は、温度がＴ２以上となるように加熱されることになる。第２の接着層３０２を溶融させる際に、第２の接着層３０２より上方に位置する第１の接着層３０１に過剰に熱が付与されると、第１の接着層３０１が溶融して形状が崩れたり、支持部材２００側の液体供給路２０１に流れ込む場合がある。したがって、第２の接着層３０２を支持部材２００に接合する工程では、溶融が第２の接着層３０２内でのみ起こるようにすることが好ましい。そこでＴ２≦Ｔ１＜Ｔであることが好ましい。
【００１７】
このように融点を設定することによって、図２（ｂ）に示すように、接着部材３００の第２の接着層３０２を溶融させて接着部材３００を支持部材２００に接合する際に、第１の接着層３０１や中間層３０３が溶融して形状が崩れることを抑制できる。このような形状を保持する効果は、Ｔ１−Ｔ２が大きくなるように各接着層３０１，３０２の材質を選択することによって得られる。Ｔ１−Ｔ２の値は２０℃以上とすることが好ましい。また、材質や厚さによって中間層３０３の断熱効果が期待できる場合には、第１の接着層３０１の融点と第２の接着層３０２の融点または硬化温度を等しく設定、すなわちＴ２−Ｔ１＝０℃としてよい。
【００１８】
接着部材３００を構成する各層の熱伝導率については、各工程での溶融範囲をそれぞれの接着層内に留めるためには、中間層３０３の熱伝導率は小さい方が好ましい。すなわち、第１の接着層３０１、第２の接着層３０２及び中間層３０３の熱伝導率をそれぞれＡ１、Ａ２及びＡとした場合に、Ａ１＞Ａ、かつＡ２＞Ａであることが好ましい。中間層３０３の断熱性を高めるために、中間層３０３を、気相を含んだ中空状のシリカ系ビーズフィラを含有させた構成としたり、気泡を含有させる構成としたりすることもできる。
【００１９】
続く工程では、記録素子基板１００に接着部材３００を接合することにより、最終的に記録素子基板１００を支持部材２００に対して接着部材３００で接着する。この工程では、まず加熱ツール４０１の下面に記録素子基板１００を吸着固定し、図２（ｃ）に示すように、加熱ツール４０１に保持したまま記録素子基板１００を支持部材２００の上方に搬送する。このとき、第２の接着層３０２が溶融して形状が崩れるのを抑制するため、加熱ツール４０２の設定温度は、第２の接着層３０２の融点よりも低くなるように予め切り替えられている。その後、加熱ツール４０１とともに記録素子基板１００が下降し、図３（ａ）に示すように、記録素子基板１００の第２の表面が接着部材３００の第１の接着層３０１に接触する。このとき接着部材３００に形成されている貫通孔に対して記録素子基板１００の液体供給路１０１が位置決めされるようにする。加熱ツール４０１により記録素子基板１００を加熱すると、加熱ツール４０１からの熱は、記録素子基板１００を介して第１の接着層３０１に伝達し、第１の接着層３０１が溶融する。このとき、記録素子基板１００の第２の面に開口している液体供給路１０１や支持部材２００の液体供給路２０１の中に、溶融した第１の接着層３０１の樹脂や第２の接着層３０２の樹脂が流れ込むのを抑制する必要がある。
【００２０】
記録素子基板１００は、一般に、シリコン基板を含んで構成されている。このような記録素子基板１００と、上述したようにＰＰＳや変性ＰＰＥなどの樹脂やセラミックスで構成される支持部材２００とを比較すると、支持部材２００の方が反りやうねりが発生しやくなる。したがって、記録素子基板１００の接着面における平面度は、支持部材２００での接着面の平面度よりも小さいことになる。ここでいう平面度とは、ＪＩＳ  Ｂ０６２１で規定するように、平面形状の幾何学的に正しい平面からの狂いの大きさを意味し、反りが大きいほど平面度も大きな値を示すようになる。記録素子基板１００と支持部材２００の２つの部材間での平面度の違いを考慮すれば、より平面度が小さい方の部材に接する第１の接着層３０１の体積は、第２の接着層３０２の体積よりも小さい方がよい。よって、各接着面に対応する第１の接着層３０１及び第２の接着層３０２の体積をそれぞれＶ１及びＶ２とすると、Ｖ１≦Ｖ２とすることが好ましい。また接合前の第１の接着層３０１及び第２の接着層３０２の厚みをそれぞれｈ１及びｈ２とした場合には、ｈ１≦ｈ２とすることが好ましい。各接着層３０１，３０２の体積や厚みをこのように設定することにより、第１の接着層３０１や第２の接着層３０２を構成する樹脂が液体供給路１０１，２０１内に流れ込むことを抑制することができる。加熱ツール４０１による加熱の結果、図３（ｂ）に示すように、接着部材３００の第１の接着層３０１に記録素子基板１００が接合する。記録素子基板１００を第１の接着層３０１に接合する際は、加熱ツール４０２の温度は第２の接着層３０２の融点Ｔ２よりも低く設定するのが好ましい。なお、第２の接着層３０２として熱硬化性樹脂を採用し、かつ、記録素子基板１００の第１の接着層３０１への接合の際に既に第２の接着層３０２の硬化が完了している場合には、このような加熱ツール４０２での温度の設定を行わなくてもよい。
【００２１】
以上のような工程を経て、記録素子基板１００が接着部材３００を介して支持部材２００に支持固定される。これにより、記録素子基板１００や支持部材２００の液体供給路１０１，２０１に接着部材３００を構成する樹脂が詰まることが抑制され、かつ液密性に優れた液体吐出ヘッドを得ることができる。
【実施例】
【００２２】
以下、本発明について、実施例によりさらに詳しく説明する。
［実施例１］
図２及び図３に示した手順に従い、接着部材３００を介して記録素子基板１００を支持部材２００に支持固定することにより、インクジェット記録ヘッドである図１に示す液体吐出ヘッドの製造のための中間体（記録素子ユニット）を製造した。実施例１では、第１の接着層３０１の材料としてＰＥ（ポリエチレン）とＰＰ（ポリプロピレン）のアロイ材を用い、第２の接着層３０２の材料にはＰＥを用いた。中間層３０３の材料としては、ＰＰを用いた。ここで第１の接着層３０１、第２の接着層３０２及び中間層３０３の融点をそれぞれＴ１、Ｔ２及びＴとして、Ｔ２≦Ｔ１＜Ｔを満たすように、かつＴ１＝１４０℃、Ｔ２＝１２０℃、Ｔ＝１６０℃となるように、各層３０１〜３０３を構成する樹脂を調製した。
【００２３】
次に加熱ツール４０２の上に支持部材２００を配置し、支持部材２００上に接着部材３００を配置した後、加熱ツール４０２より熱を付与して第２の接着層３０２を溶融させ、接着部材３００を支持部材２００に接合させた。本実施形態では、支持部材２００の材料としてＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）を用いた。この場合の支持部材２００の荷重たわみ温度が２６０℃以上（１．８２ＭＰａ）であった。第１の接着層３０１、第２の接着層３０２及び中間層３０３の熱伝導率をそれぞれＡ１、Ａ２及びＡとする。本実施例では、Ａ１＞Ａ、かつＡ２＞Ａを満たすように、Ａ１＝０．２３Ｗ／ｍ・Ｋ、Ａ２＝０．３３Ｗ／ｍ・Ｋ、Ａ＝０．１２５Ｗ／ｍ・Ｋとなるように、各層３０１〜３０３を構成する樹脂を調製した。
【００２４】
次に続く工程において、図２（ｃ）、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すものと同様にして、接着部材３００を介して記録素子基板１００を支持部材２００に支持固定した。このとき、記録素子基板１００に設けられた液体供給路１０１や支持部材２００の液体供給路２０１に、溶融した第１の接着層３０１や第２の接着層３０２が流れ込むのを抑制する必要がある。本実施例では、記録素子基板１００の接着面の平面度は１０μｍ、支持部材２００の接着面の平面度は１０μｍであった。そこでそれぞれの接着面に対応する第１の接着層３０１及び第２の接着層３０２の体積をＶ１及びＶ２として、Ｖ１＝２．１２ｍｍ3、Ｖ２＝２．１２ｍｍ3とした。接合前の第１の接着層３０１及び第２の接着層３０２の厚みをそれぞれｈ１及びｈ２として、ｈ１＝１０μｍ、ｈ２＝１０μｍとした。
本実施例では、このような構成と製造方法によって、記録素子基板１００や支持部材２００、液体供給路１０１，２０１に接着部材３００が詰まることが抑制され、かつ液密性に優れたインクジェット記録ヘッドが得られた。
【００２５】
［実施例２］
実施例１と同様に、インクジェット記録ヘッドである液体吐出ヘッドの製造のための中間体（記録素子ユニット）を製造した。実施例１では、記録素子基板１００の接着面の平面度と支持部材２００の接着面の平面度はいずれも１０μｍであったが、この実施例２では支持部材２００として反りがより大きいものを用いた。本実施例では、記録素子基板１００の接着面の平面度が１０μｍであるのに対し、支持部材２００の接着面の平面度は５０μｍであった。図４（ａ），（ｂ）は、本実施例でのインクジェット記録ヘッドの製造工程を順を追って示す図である。
【００２６】
図４（ａ）に示すように、実施例２でも接着部材３００は、記録素子基板１００に接合される第１の接着層３０１と、支持部材２００に接合される第２の接着層３０２と、第１の接着層３０１及び第２の接着層３０２に挟まれた中間層３０３とから構成される。本実施例でも第１の接着層３０１の材料としてＰＥとＰＰのアロイ材を用い、第２の接着層３０２の材料としてＰＥを用い、中間層３０３の材料としてＰＰを用いた。第１の接着層３０１、第２の接着層３０２及び中間層３０３の融点をそれぞれＴ１、Ｔ２及びＴとして、Ｔ２≦Ｔ１＜Ｔを満たすように、Ｔ１＝１４０℃、Ｔ２＝１２０℃、Ｔ＝１６０℃となるように各層３０１〜３０３を構成する樹脂を調製した。
【００２７】
図４（ａ）に示すように、加熱ツール４０２の上に支持部材２００を配置し、支持部材２００上に接着部材３００を配置した後、加熱ツール４０２より熱を付与して第２の接着層３０２を溶融させ、接着部材３００を支持部材２００に接合させた。本実施形態では、支持部材２００の材料としてＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）を用いた。この場合の支持部材２００の荷重たわみ温度が２６０℃以上（１．８２ＭＰａ）であった。第１の接着層３０１、第２の接着層３０２及び中間層３０３の熱伝導率をそれぞれＡ１、Ａ２及びＡとする。本実施例では、Ａ１＞Ａ、かつＡ２＞Ａを満たすように、Ａ１＝０．２３Ｗ／ｍ・Ｋ、Ａ２＝０．３３Ｗ／ｍ・Ｋ、Ａ＝０．１２５Ｗ／ｍ・Ｋとなるように、各層３０１〜３０３を構成する樹脂を調製した。
【００２８】
次に続く工程では、図４（ｂ）に示すように、記録素子基板１００を支持部材２００に接着部材３００で接着した。記録素子基板１００は、図２（ｃ）及び図３（ａ）に示す場合と同様に、加熱ツール４０１により支持部材２００の上方に搬送され、その後、記録素子基板１００の第２の側が接着部材３００の第１の接着層３０１に接触する。加熱ツール４０１からの熱は記録素子基板１００を介して第１の接着層３０１に伝達し、第１の接着層３０１が溶融する。このとき、記録素子基板１００の裏面の液体供給路１０１や支持部材２００の液体供給路２０１に、溶融した第１の接着層３０１や第２の接着層３０２が流れ込むのを抑制する必要がある。上述したように記録素子基板１００の接着面の平面度は１０μｍ、支持部材２００の平面度は５０μｍである。そこで、それぞれの接着面に対応する第１の接着層３０１及び第２の接着層３０２の体積をＶ１及びＶ２として、本実施例ではＶ１＝２．１２ｍｍ3、Ｖ２＝１０．６０ｍｍ3とした。さらに、接合前の第１の接着層３０１及び第２の接着層３０２の厚みをそれぞれｈ１及びｈ２として、ｈ１＝１０μｍ、ｈ２＝５０μｍとした。
本実施例でもこのような構成と製造方法によって、記録素子基板１００や支持部材２００、液体供給路１０１，２０１に接着部材３００が詰まることが抑制され、かつ液密性に優れたインクジェット記録ヘッドが得られた。
【符号の説明】
【００２９】
１００    記録素子基板
１０１，２０１    液体供給路
２００    支持部材
３００    接着部材
３０１    第１の接着層
３０２    第２の接着層
３０３    中間層
４０１，４０２    加熱ツール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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