(57)【要約】【課題】多孔質構造体内部の欠陥を容易に、高精度に、かつ効率良く検出することができる多孔質構造体の欠陥検査方法及びそれを用いた分離膜構造体の製造方法を提供すること。【解決手段】多孔質である柱状の基材２と、基材２を軸方向に貫通して形成された複数のセル３と、を備えた多孔質構造体１の欠陥検査方法は、基材２の軸方向に直交する断面において、互いに隣り合わない複数のセル３が含まれる群を１つのセル群４として、全てのセル３がいずれか１つのセル群４に含まれるように、複数のセル群４を選定するセル群選定工程と、複数のセル群４のうち、任意に選択されたセル群４の各セル３内を加圧する圧力調整作業を複数回行い、全てのセル群４間に少なくとも１回以上差圧を生じさせる圧力調整工程と、を有する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
多孔質である柱状の基材と、該基材を軸方向に貫通して形成された複数のセルと、を備えた多孔質構造体の欠陥検査方法であって、
前記基材の軸方向に直交する断面において、互いに隣り合わない複数の前記セルが含まれる群を１つのセル群として、全ての前記セルがいずれか１つの前記セル群に含まれるように、複数の前記セル群を選定するセル群選定工程と、
前記複数のセル群のうち、任意に選択された前記セル群の前記各セル内を加圧又は減圧する圧力調整作業を複数回行い、全ての前記セル群間に少なくとも１回以上差圧を生じさせる圧力調整工程と、を有することを特徴とする多孔質構造体の欠陥検査方法。
【請求項２】
前記圧力調整工程では、加圧又は減圧する前記セル群の前記セルについて、該セルの一端側を開放し、他端側を閉塞した状態で、前記セルの一端側から加圧又は減圧することを特徴とする請求項１に記載の多孔質構造体の欠陥検査方法。
【請求項３】
前記圧力調整工程では、加圧又は減圧する前記セル群以外の前記セルについて、該セルの一端側を閉塞し、他端側を開放することを特徴とする請求項１又は２に記載の多孔質構造体の欠陥検査方法。
【請求項４】
前記圧力調整工程では、前記圧力調整作業を行うことにより、欠陥があると判定された前記セルに対して、該セル内を加圧又は減圧する追加圧力調整作業を行うことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の多孔質構造体の欠陥検査方法。
【請求項５】
前記圧力調整工程では、前記多孔質構造体の前記基材の細孔内が湿潤液によって湿潤された状態で、前記圧力調整作業を行うことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の多孔質構造体の欠陥検査方法。
【請求項６】
前記圧力調整工程では、前記多孔質構造体を前記湿潤液中に浸漬させることにより、前記多孔質構造体の前記基材の細孔内が前記湿潤液によって湿潤された状態にすることを特徴とする請求項５に記載の多孔質構造体の欠陥検査方法。
【請求項７】
多孔質である柱状の基材と該基材を軸方向に貫通して形成された複数のセルとを有する多孔質構造体と、該多孔質構造体の前記セルの内壁面に設けられた分離膜と、を備えた分離膜構造体の製造方法であって、
前記多孔質構造体を準備する準備工程と、
前記多孔質構造体の前記セルの内壁面に前記分離膜を成膜する成膜工程と、
請求項１〜６のいずれか１項に記載の多孔質構造体の欠陥検査方法を用いて、前記多孔質構造体の欠陥を検査する検査工程と、を有し、
該検査工程は、前記準備工程の後であって前記成膜工程の前、及び、前記成膜工程の後の少なくとも一方において行うことを特徴とする分離膜構造体の製造方法。
【請求項８】
前記検査工程は、前記準備工程の後であって前記成膜工程の前、及び、前記成膜工程の後の両方において行うことを特徴とする請求項７に記載の分離膜構造体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多孔質構造体の欠陥検査方法及びそれを用いた分離膜構造体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
固液分離、溶剤分離、ガス分離等のフィルタとして、多孔質構造体が用いられる。多孔質構造体は、多孔質である柱状の基材と、基材を軸方向に貫通して形成された複数のセルとを備えている。多孔質構造体は、例えば、金型を用いて原料粘土を押出成形し、得られた成形体を乾燥、焼成することにより製造される。
【０００３】
ところが、多孔質構造体を製造する際、原料粘土の不均一、成形速度のばらつき等により、多孔質構造体内部に空隙、クラック等の欠陥が形成されることがある。多孔質構造体内部の欠陥は目視で判別できず、欠陥有無の判定が非常に困難である。そこで、多孔質構造体の欠陥検査方法として、Ｘ線ＣＴによって内部観察を行う方法、流体を用いて各セル内を加圧する方法（特許文献１、２参照）等が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平８−１２２１９６号公報
【特許文献２】国際公開第２０１４／０５０７０２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述の多孔質構造体の欠陥検査方法では、マイクロクラック等の微細な欠陥は判別しにくいこと、個人差で欠陥の見落としの可能性があること、欠陥検査装置が非常に高価であること、欠陥検査に時間を要すること等の問題がある。また、多孔質構造体の複数のセルのうち、どのセルに欠陥が存在するか調べるためには、セルを１つ１つ検査する必要がある。そのため、セルの数が増加するにしたがって欠陥検査により時間を要することになる。
【０００６】
本発明は、かかる背景に鑑みてなされたものであり、多孔質構造体内部の欠陥検査を容易に、高精度に、かつ効率良く行うことができる多孔質構造体の欠陥検査方法及びそれを用いた分離膜構造体の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一の態様は、多孔質である柱状の基材と、基材を軸方向に貫通して形成された複数のセルと、を備えた多孔質構造体の欠陥検査方法であって、基材の軸方向に直交する断面において、互いに隣り合わない複数のセルが含まれる群を１つのセル群として、全てのセルがいずれか１つのセル群に含まれるように、複数のセル群を選定するセル群選定工程と、複数のセル群のうち、任意に選択されたセル群の各セル内を加圧又は減圧する圧力調整作業を複数回行い、全てのセル群間に少なくとも１回以上差圧を生じさせる圧力調整工程と、を有する。
【０００８】
上記多孔質構造体の欠陥検査方法によれば、セル群選定工程において、上記条件を満たすように複数のセル群を選定し、圧力調整工程において、任意に選択されたセル群の各セル内を加圧又は減圧する圧力調整作業を行う。そのため、例えば、流体を用いてセル群を加圧又は減圧し、他のセル群との間に差圧を生じさせ、加圧又は減圧したセル群のセルとそのセルに隣接する他のセル群のセルとの間における流体の移動等を確認することにより、セル間に存在するクラック、空隙等の欠陥を容易かつ高精度に検出することができる。これにより、多孔質構造体内部の欠陥検査を容易かつ高精度に行うことができる。
【０００９】
また、圧力調整工程において、全てのセル群間に少なくとも１回以上差圧を生じさせるように、圧力調整作業を複数回行う。そのため、多孔質構造体の全てのセル間について欠陥検査を行うことができる。また、複数のセルが含まれるセル群単位で欠陥検査を行うため、セル毎に欠陥検査を行う場合に比べて、欠陥検査回数を減らすことができ、多孔質構造体内部の欠陥検査を短時間で効率良く行うことができる。
【００１０】
上記多孔質構造体の欠陥検査方法において、セル群選定工程では、上述したように、互いに隣り合わない複数のセルが含まれる群を１つのセル群として、全てのセルがいずれか１つのセル群に含まれるように、複数のセル群を選定する。
【００１１】
ここで、互いに隣り合わないセルとは、任意のセルに対して隣り合うセル以外のセルをいう。互いに隣り合うセルとは、基材の軸方向に直交する断面において、例えば、全てのセル間に境界線を引いたときに、その境界線を挟んで隣接するセル同士をいう。したがって、互いに隣り合わないセルとは、例えば、セルとセルとの間に別のセルが１つ又は複数存在する等、境界線を挟んで隣接する関係にないセル同士をいう。
【００１２】
セル群は、互いに隣り合わない複数のセルが含まれている。すなわち、セル群に含まれる複数のセルは、いずれのセル同士も互いに隣り合わない。言い換えれば、セル群には、互いに隣り合うセルが含まれていない。
【００１３】
セル群選定工程において、セル群の選定方法としては、例えば、任意のセルを１つ選択し、選択したセルと隣り合わない別のセルを選択する。次に、選択したセルと隣り合わない別のセルを選択する。この作業を繰り返し行い、選択した複数のセルを１つのセル群として選定する。なお、選択するセルの数は任意である。その後は、選定したセル群に含まれるセル以外の任意のセルを１つ選択し、以下同様の作業を繰り返し行う。そして、最終的に、全てのセルがいずれか１つのセル群に含まれるように、複数のセル群を選定する。したがって、セル群の数は、少なくとも２つ、最大でもセルの個数−１となる。なお、選定するセル群の数は任意である。
【００１４】
上記多孔質構造体の欠陥検査方法において、圧力調整工程では、上述したように、複数のセル群のうち、任意に選択されたセル群の各セル内を加圧又は減圧する圧力調整作業を複数回行い、全てのセル群間に少なくとも１回以上差圧を生じさせる。
【００１５】
圧力調整作業の回数は、全てのセル群間に少なくとも１回以上差圧を生じさせることができれば、何回であってもよい。ただし、欠陥検査を効率良く行うため、例えば、セルの個数の１／３以下の回数で圧力調整作業を行うことが望ましい。また、同じセル群に対して、圧力調整作業を１回行ってもよいし、複数回行ってもよい。
【００１６】
圧力調整作業において、セル内の加圧は、例えば、セル内に流体を圧入することにより行うことができる。セル内の加圧に用いる流体としては、気体や液体を用いることができるが、欠陥検査の利便性、精度を考慮すると気体を用いることが望ましい。
【００１７】
圧力調整作業において、セル群のセル内を加圧した場合、他のセル群との間に差圧を生じさせ、加圧したセル群のセルからそのセルに隣接する他のセル群のセルへの流体の移動（漏洩）等を確認することにより、セル間の欠陥を検出することができる。例えば、欠陥が存在しないセル間を流体が移動する場合と比べて、低い圧力又は短時間でセル間を流体が移動するかでセル間の欠陥の有無を判定することができる。流体の移動（漏洩）状況の確認は、目視で行うこともできるし、圧力計、流量計等を用いて行うこともできる。
【００１８】
圧力調整作業において、セル内の減圧は、例えば、セル内から流体を外部に吸引することにより行うことができる。セル内の減圧に用いる流体としては、気体や液体を用いることができるが、欠陥検査の利便性、精度を考慮すると気体を用いることが望ましい。
【００１９】
圧力調整作業において、セル群のセル内を減圧した場合、他のセル群との間に差圧を生じさせ、減圧したセル群のセルに隣接する他のセル群のセルからの流体の移動（流入）等を確認することにより、セル間の欠陥を検出することができる。例えば、欠陥が存在しないセル間を流体が移動する場合と比べて、低い圧力又は短時間でセル間を流体が移動するかでセル間の欠陥の有無を判定することができる。流体の移動（流入）状況の確認は、目視で行うこともできるし、圧力計、流量計等を用いて行うこともできる。
【００２０】
圧力調整工程では、加圧又は減圧するセル群のセルについて、セルの一端側を開放し、他端側を閉塞した状態で、セルの一端側（つまり開放端側）から加圧又は減圧してもよい。この場合には、例えば流体を用いてセル群のセル内を加圧又は減圧する圧力調整作業を容易かつ確実に行うことができる。
【００２１】
圧力調整工程では、加圧又は減圧するセル群以外のセルについて、セルの一端側を閉塞し、他端側を開放してもよい。この場合には、例えば、流体を用いてセル群のセル内を加圧又は減圧する圧力調整作業を行った後、セル間の欠陥の検出を容易かつ高精度に行うことができる。
【００２２】
セルの一端側及び他端側は、例えば、封止材等を配置することによって閉塞した状態とすることができる。封止材を構成する材料は、特に限定されるものではなく、例えば流体が通過しないような封止性、多孔質構造体との接着性、固定性等が備わっていればよい。封止材を構成する材料としては、例えば、接着剤等に用いられるエポキシ樹脂、弾性変形可能なシリコンゴム、シリコンスポンジ等を用いることができる。
【００２３】
圧力調整工程では、圧力調整作業を行うことにより、欠陥があると判定されたセルに対して、さらに、セル内を加圧又は減圧する追加圧力調整作業を行ってもよい。この場合には、追加圧力調整作業を行うことにより、セル間の欠陥の場所をより正確に特定することができる。ここで、欠陥があると判定されたセルとは、隣り合う他のセルとの間に欠陥が存在すると判定されたセルである。
【００２４】
圧力調整工程では、多孔質構造体の基材の細孔内が湿潤液によって湿潤された状態で、圧力調整作業を行ってもよい。この場合には、例えば、流体である気体を用いて、セル群のセル内を加圧又は減圧する圧力調整作業を容易に行うことができる。また、圧力調整作業を行った後、セル間の欠陥の検出を例えば流量計等を使用することなく目視にて容易かつ高精度に行うことができる。
【００２５】
圧力調整工程では、多孔質構造体を湿潤液中に浸漬させ、多孔質構造体の基材の細孔内が湿潤液によって湿潤された状態にしてもよい。この場合には、上述したように、流体である気体を用いた圧力調整作業、セル間の欠陥の検出を例えば流量計等を使用することなく目視にて容易に行うことができる。さらに、多孔質構造体を湿潤液中に浸漬させた状態であるため、多孔質構造体の外部に湿潤液が存在しない状態でセルの欠陥を検査する場合に比べて、より高精度にセル間の欠陥の検出を行うことができる。つまり、多孔質構造体の細孔内に充填されている湿潤液が蒸発して多孔質構造体の細孔内部に気体の貫通孔が形成され、それを欠陥と誤判定されることを防止できる。
【００２６】
圧力調整工程において、多孔質構造体の基材の細孔内が湿潤液によって十分に湿潤された状態とするには、多孔質構造体を湿潤液中に浸漬させた状態で真空脱気する方法が有効である。また、多孔質構造体の基材の細孔内を湿潤液は、欠陥検査後、多孔質構造体を加熱乾燥、真空乾燥等することにより、基材の細孔内から除去することができる。
【００２７】
圧力調整工程において、多孔質構造体を湿潤液中に浸漬させ、多孔質構造体の基材の細孔内が湿潤液によって湿潤された状態で、例えば、セル内に気体を圧入し、セル内を加圧する場合、圧入する気体の圧力の目安として、最大孔径及び圧力（バブルポイント圧）の項を含むバルブポイント式を用いることができる。多孔質構造体の孔径分布及び最大孔径が既知である場合、多孔質構造体の基材の細孔内を満たす湿潤液を押し出すのに必要な圧力（バブルポイント圧）を計算することができる。多孔質構造体内部の欠陥が多孔質構造体の最大孔径よりも大きいとした場合、バブルポイント圧以下の圧力で気体がセル間を移動したとき、そのセル間に欠陥が存在すると判定することができる。
【００２８】
湿潤液は、多孔質構造体を構成する材料よりも臨界表面張力が小さい液体であることが望ましい。湿潤液の臨界表面張力が多孔質構造体を構成する材料の臨界表面張力よりも大きい場合には、多孔質構造体の表面で湿潤液が弾かれてしまう状態となり、多孔質構造体の基材の細孔内を湿潤液で十分に湿潤させることができず、欠陥検査精度が低下するおそれがある。
【００２９】
湿潤液としては、例えば、多孔質構造体（具体的には基材）がアルミナ等のセラミック材料で構成されている場合、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）、エタノール等の有機溶剤や水等を用いることができる。
【００３０】
多孔質構造体（具体的には基材）を構成する材料としては、例えば、アルミナ、シリカ、窒化ケイ素、炭化ケイ素、ジルコニア、チタニア、無機結合材、ガラスフリット等のセラミック材料を用いることができる。
【００３１】
本発明の他の態様は、多孔質である柱状の基材と基材を軸方向に貫通して形成された複数のセルとを有する多孔質構造体と、多孔質構造体のセルの内壁面に設けられた分離膜と、を備えた分離膜構造体の製造方法であって、多孔質構造体を準備する準備工程と、多孔質構造体のセルの内壁面に分離膜を成膜する成膜工程と、上述した多孔質構造体の欠陥検査方法を用いて、多孔質構造体の欠陥を検査する検査工程と、を有し、検査工程は、準備工程の後であって成膜工程の前、及び、成膜工程の後の少なくとも一方において行う。
【００３２】
上記分離膜構造体の製造方法によれば、準備工程と成膜工程と検査工程とを行う。検査工程は、準備工程の後であって成膜工程の前、及び、成膜工程の後の少なくとも一方において行う。検査工程では、上述した多孔質構造体の欠陥検査方法を用いて、多孔質構造体の欠陥を検査する。これにより、分離膜構造体の製造過程において、多孔質構造体内部の欠陥検査を容易に、高精度に、かつ効率良く行うことができる。
【００３３】
上記分離膜構造体の製造方法において、検査工程は、上述したように、準備工程の後であって成膜工程の前、及び、成膜工程の後の少なくとも一方において行う。すなわち、検査工程は、準備工程の後であって成膜工程の前だけ行ってもよいし、成膜工程の後だけ行ってもよいし、後述するように、準備工程の後であって成膜工程の前、及び、成膜工程の後の両方において行ってもよい。
【００３４】
検査工程は、準備工程の後であって成膜工程の前、及び、成膜工程の後の両方において行ってもよい。この場合には、多孔質構造体内部の欠陥をより確実に、より高精度に検出することができる。
【００３５】
分離膜構造体は、多孔質構造体のセルの内壁面に設けられた分離膜を備えている。分離膜としては、例えば、従来公知のナノろ過膜、限外ろ過膜、精密ろ過膜等を用いることができる。また、分離膜を構成する材料は、分離膜としての目的（例えば固液分離等）を果たすことができれば、何ら限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】多孔質構造体を示す斜視図である。
【図２】多孔質構造体の軸方向に沿った断面を示す断面図である。
【図３】多孔質構造体の軸方向に直交する断面を示す断面図である。
【図４】（Ａ）はセルとセルとの間に境界線を引いた断面図であり、（Ｂ）は境界線で囲まれた各領域を１つのセルとみなした断面図である。
【図５】（Ａ）は任意のセルを選択した状態を示す断面図であり、（Ｂ）は複数のセルを含む第１セル群を選定した状態を示す断面図である。
【図６】（Ａ）は任意のセルを選択した状態を示す断面図であり、（Ｂ）は複数のセルを含む第２セル群を選定した状態を示す断面図である。
【図７】（Ａ）は第３セル群及び第４セル群を選定した状態を示す断面図であり、（Ｂ）は複数のセル群を選定した状態を示す断面図である。
【図８】（Ａ）は圧力調整作業を行う様子を示す説明図であり、（Ｂ）は圧力調整作業を行う際の多孔質構造体を示す断面図である。
【図９】（Ａ）は多孔質構造体の基材の第２端面から気泡が発生する様子を示す説明図であり、（Ｂ）は多孔質構造体の基材の第２端面から気泡が発生する様子を示す断面図である。
【図１０】（Ａ）は圧力調整作業により気泡が発生したセルを示す説明図であり、（Ｂ）は追加圧力調整作業により気泡が発生したセルを示す断面図である。
【図１１】（Ａ）は多孔質構造体の軸方向に直交する断面を示す断面図であり、（Ｂ）はセルとセルとの間に境界線を引いた断面図である。
【図１２】（Ａ）は多孔質構造体の軸方向に直交する断面を示す断面図であり、（Ｂ）はセルとセルとの間に境界線を引いた断面図である。
【図１３】（Ａ）は多孔質構造体の軸方向に直交する断面を示す断面図であり、（Ｂ）はセルとセルとの間に境界線を引いた断面図である。
【図１４】（Ａ）は境界線で囲まれた各領域を１つのセルとみなした断面図であり、（Ｂ）は複数のセル群を選定した状態を示す断面図である。
【図１５】（Ａ）は多孔質構造体の軸方向に直交する断面を示す断面図であり、（Ｂ）はセルとセルとの間に境界線を引いた断面図である。
【図１６】（Ａ）は境界線で囲まれた各領域を１つのセルとみなした断面図であり、（Ｂ）は選定した複数のセル群を示す断面図である。
【図１７】（Ａ）は多孔質構造体の軸方向に直交する断面を示す断面図であり、（Ｂ）は複数のセル群を選定した状態を示す断面図である。
【図１８】分離膜構造体の軸方向に沿った断面を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３７】
以下、本発明の実施形態を図面と共に説明する。
（実施形態１）
本実施形態の多孔質構造体の欠陥検査方法は、図１〜図３に示すように、多孔質である柱状の基材２と、基材２を軸方向に貫通して形成された複数のセル３と、を備えた多孔質構造体１の欠陥検査方法である。
【００３８】
多孔質構造体１の欠陥検査方法は、図４〜図９に示すように、基材２の軸方向に直交する断面において、互いに隣り合わない複数のセル３が含まれる群を１つのセル群４として、全てのセル３がいずれか１つのセル群４に含まれるように、複数のセル群４（本実施形態では第１セル群４ａ〜第４セル群４ｄ）を選定するセル群選定工程と、複数のセル群４のうち、任意に選択されたセル群４の各セル３内を加圧する圧力調整作業を複数回行い、全てのセル群４間に少なくとも１回以上差圧を生じさせる圧力調整工程と、を有する。以下、この多孔質構造体１の欠陥検査方法について詳細に説明する。
【００３９】
まず、多孔質構造体１について説明する。
図１、図２に示すように、多孔質構造体１は、多孔質である柱状の基材２と、基材２を軸方向に貫通して形成された複数のセル３とを備えている。基材２は、円柱状に形成されたアルミナ製の多孔質体である。基材２は、軸方向の一端面である円形状の第１端面２１と、軸方向の他端面である円形状の第２端面２２と、外周面２３とを有する。
【００４０】
図１、図２に示すように、基材２には、複数のセル３が設けられている。各セル３は、基材２の軸方向の両端面（第１端面２１、第２端面２２）を貫通（つまり第１端面２１から第２端面２２までの間を連通）するように、基材２の軸方向に沿って設けられている。図３に示すように、基材２の軸方向に直交する断面には、同じ大きさの３７個のセル３が同心円状に配置されている。セル３の断面形状は円形状である。
【００４１】
次に、多孔質構造体１の製造方法について説明する。
所定量のアルミナ粉末、メチルセルロース、水、潤滑剤等をミキサーで混合・混練し、押出成形用坏土を得た。そして、押出成形機を用いて、所定のセル配置を有する多孔質構造体１の前駆体を成形し、温風乾燥機で乾燥を行い、焼成前の成形体を得た。その後、焼成前の成形体を大気雰囲気下で焼成した。これにより、基材２と複数のセル３とを備えた多孔質構造体１を得た。
【００４２】
次に、多孔質構造体１の欠陥検査方法について説明する。
＜セル群選定工程＞
図４（Ａ）に示すように、基材２の軸方向に直交する断面において、セル３とセル３との間に境界線３０を引いた。境界線３０の引き方は任意であるが、１つのセル３と１つのセル３との間には必ず境界線３０を引くものとする。そして、図４（Ｂ）に示すように、境界線３０で囲まれた各領域を１つのセル３とみなした。
【００４３】
次に、図５（Ａ）に示すように、任意のセル３（３ａ）を１つ選択した。そして、図５（Ｂ）に示すように、任意のセル３（３ａ）と隣り合わないセル３（３ａ）を選択し、さらに選択したセル３（３ａ）と隣り合わないセル３（３ａ）を選択した。この作業を繰り返し行い、互いに隣り合わない複数のセル３（３ａ）を選択した。選択するセル３の数は任意である。選択するセル３の数は任意であるが、隣り合うセル３が存在しなくなるまで選択することが検査回数を最小限にするためには好ましい。選択した複数のセル３（３ａ）を１つのセル群４（第１セル群４ａ）とした。
【００４４】
ここで、互いに隣り合うセル３とは、境界線３０を挟んで隣接するセル３同士をいう。互いに隣り合わないセル３とは、セル３とセル３との間に別のセル３が存在する等、境界線３０を挟んで隣接する関係にないセル３同士をいう。
【００４５】
次に、図６（Ａ）に示すように、第１セル群４ａ以外のセル３から、任意のセル３（３ｂ）を１つ選択した。そして、図６（Ｂ）に示すように、任意のセル３（３ｂ）と隣り合わないセル３（３ｂ）を選択し、さらに選択したセル３（３ｂ）と隣り合わないセル３（３ｂ）を選択した（言うまでもないがセル３ｂはセル３ａと隣り合っていてもよい）。この作業を繰り返し行い、互いに隣り合わない複数のセル３（３ｂ）を選択した。選択した複数のセル３（３ｂ）を１つのセル群４（第２セル群４ｂ）とした。
【００４６】
次に、図７（Ａ）に示すように、上述したセル群４を選定する作業を繰り返し行い、全てのセル３がいずれか１つのセル群４に含まれるように、複数のセル群４を選定した。本実施形態では、さらに複数のセル３（３ｃ）を含む第３セル群４ｃ、複数のセル３（セル３ｄ）を含む第４セル群４ｄを選定し、全部で４つのセル群４を選定した。これにより、図７（Ｂ）に示すように、全てのセル３がいずれか１つのセル群４に含まれるように、４つのセル群４を選定した。言い換えれば、各セル３をいずれか１つのセル群４に振り分けた。
【００４７】
＜圧力調整工程＞
図８（Ａ）、（Ｂ）に示すように、多孔質構造体１に対して、４つのセル群４のうち、任意に選択されたセル群４の各セル３内を加圧する圧力調整作業を行った。本実施形態では、圧力調整作業を２回行った。第１回目の圧力調整作業として、第２セル群４ｂ及び第４セル群４ｄのセル３内を加圧した。
【００４８】
具体的には、図８（Ｂ）に示すように、加圧する第２セル群４ｂ及び第４セル群４ｄのセル３について、そのセル３の一端側（基材２の第１端面２１側）を開放し、他端側（基材２の第２端面２２側）をエポキシ系樹脂からなる円錐状の封止材５１によって閉塞した。一方、加圧しない第１セル群４ａ及び第３セル群４ｃのセル３について、そのセル３の一端側を円錐状の封止材５１によって閉塞し、他端側を開放した。
【００４９】
また、図８（Ｂ）に示すように、多孔質構造体１の一端側（基材２の第１端面２１側）の端部に、円筒状の密閉部材５２を環状のシール部材５３を介して取り付けた。なお、密閉部材５２には、エアーを供給するためのエアー供給管５４が接続されている。密閉部材５２内の空間は、エアー供給管５４内のエアー供給路５４１に連通している。エアー供給管５４は、コンプレッサー（図示略）に接続されている。
【００５０】
次に、図８（Ａ）に示すように、多孔質構造体１を湿潤液５５中に浸漬させ、真空脱気（真空脱泡）を−０．１ｂａｒの条件で３０分行った。これにより、多孔質構造体１の基材２の細孔内が湿潤液５５によって湿潤された状態にした。湿潤液５５としては、多孔質構造体１を構成する材料（本実施形態ではアルミナ）よりも臨界表面張力が小さい液体である水を用いた。
【００５１】
次に、図９（Ａ）に示すように、湿潤液５５中において、多孔質構造体１の基材２の第１端面２１において開口している第２セル群４ｂ及び第４セル群４ｄのセル３内にエアー（図９（Ｂ）の符号Ａ）を圧入し、エアーの圧力を０ｂａｒから０．３ｂａｒまで変化させた。なお、セル３内に圧入するエアーの圧力は、バブルポイント圧を目安として用いることができる。バブルポイント圧は、ｄ＝４γｃｏｓθ／Ｐ（ｄ：バブルポイント細孔径（ｍ）、γ：表面張力（Ｎ／ｍ）、Ｐ：バブルポイント圧（Ｐａ））の式より求めることができる。
【００５２】
本実施形態では、第２セル群４ｂのセル３ｂと第１セル群４ａのセル３ａとの間、第２セル群４ｂのセル３ｂと第３セル群４ｃのセル３ｃとの間、第４セル群４ｄのセル３ｄと第１セル群４ａのセル３ａとの間、第４セル群４ｄのセル３ｄと第３セル群４ｃのセル３ｃとの間に差圧を生じさせた。そして、基材２の第２端面２２（具体的には第１セル群４ａ及び第３セル群４ｃのセル３）からの気泡の有無を目視にて確認し、これらのセル３間の欠陥を検査した。
【００５３】
例えば、図９（Ｂ）に示すように、セル３間に欠陥が存在する場合には、セル３内に圧入されたエアーがセル３間の欠陥３００を介して隣接するセル３内に移動し、基材２の第２端面２２（具体的には第１セル群４ａ及び第３セル群４ｃのセル３）から気泡（図９（Ａ）、（Ｂ）の符号Ｂ）が発生する。これにより、セル３間に欠陥が存在することがわかる。
【００５４】
次に、第２回目の圧力調整作業として、第３セル群４ｃのセル３ｃ及び第４セル群４ｄのセル３ｄ内を加圧した。圧力調整作業は上述のとおりである。本実施形態では、第３セル群４ｃのセル３ｃと第１セル群４ａのセル３ａとの間、第３セル群４ｃのセル３ｃと第２セル群４ｂのセル３ｂとの間、第４セル群４ｄのセル３ｄと第１セル群４ａのセル３ａとの間、第４セル群４ｄのセル３ｄと第２セル群４ｂのセル３ｂとの間に差圧を生じさせ、これらのセル３間の欠陥を検査した。なお、第３セル群４ｃのセル３ｃと第２セル群４ｂのセル３ｂとの間、第４セル群４ｄのセル３ｄと第１セル群４ａのセル３ａとの間については、重複して検査することになる。
【００５５】
このように、圧力調整作業を２回行うことにより、全てのセル群４間（具体的には互いに隣接する全てのセル３間）に少なくとも１回以上差圧を生じさせ、多孔質構造体１内部の欠陥検査を行った。
【００５６】
次に、本実施形態の多孔質構造体１の欠陥検査方法における作用効果を説明する。
本実施形態の多孔質構造体１の欠陥検査方法によれば、セル群選定工程において、所定の条件（隣り合うセル３同士が同一のセル群４に選択されない）を満たすように複数のセル群４を選定し、圧力調整工程において、任意に選択されたセル群４の各セル３内を加圧する圧力調整作業を行う。そのため、流体（気体）を用いてセル群４を加圧し、他のセル群４との間に差圧を生じさせ、加圧したセル群４のセル３とそのセル３に隣接する他のセル群４のセル３との間における流体の移動（漏洩）を確認することにより、セル３間に存在するクラック、空隙等の欠陥を容易かつ高精度に検出することができる。これにより、多孔質構造体１内部の欠陥検査を容易かつ高精度に行うことができる。
【００５７】
また、圧力調整工程において、全てのセル群４間に少なくとも１回以上差圧を生じさせるように、圧力調整作業を複数回行う。そのため、多孔質構造体１の全てのセル３間について欠陥検査を行うことができる。また、複数のセル３が含まれるセル群４単位で欠陥検査を行うため、セル３毎に欠陥検査を行う場合に比べて、欠陥検査回数を減らすことができ、多孔質構造体１内部の欠陥検査を短時間で効率良く行うことができる。
【００５８】
また、本実施形態において、圧力調整工程では、加圧するセル群４のセル３について、セル３の一端側を開放し、他端側を閉塞した状態で、セル３の一端側（つまり開放端側）から加圧する。そのため、流体（気体）を用いてセル群４のセル３内を加圧する圧力調整作業を容易かつ確実に行うことができる。
【００５９】
また、圧力調整工程では、加圧するセル群４以外のセル３について、セル３の一端側を閉塞し、他端側を開放する。そのため、流体（気体）を用いてセル群４のセル３内を加圧する圧力調整作業を行った後、セル３間に存在する欠陥の検出を容易かつ高精度に行うことができる。
【００６０】
また、圧力調整工程では、多孔質構造体１の基材２の細孔内が湿潤液５５によって湿潤された状態で、圧力調整作業を行う。そのため、気体（エアー）を用いて、セル群４のセル３内を加圧する圧力調整作業を容易に行うことができる。また、圧力調整作業を行った後、セル３間の欠陥の検出を例えば本実施形態のように流量計等を使用することなく目視にて容易かつ高精度に行うことができる。
【００６１】
また、圧力調整工程では、多孔質構造体１を湿潤液５５中に浸漬させ、多孔質構造体１の基材２の細孔内が湿潤液５５によって湿潤された状態にする。そのため、気体（エアー）を用いた圧力調整作業、セル３間の欠陥の検出を例えば本実施形態のように流量計等を使用することなく目視にて容易に行うことができる。さらに、多孔質構造体１を湿潤液５５中に浸漬させた状態であるため、多孔質構造体１の外部に湿潤液５５が存在しない状態でセル３の欠陥を検査する場合に比べて、より高精度にセル３間の欠陥の検出を行うことができる。つまり、多孔質構造体１の細孔内に充填されている湿潤液５５が蒸発して多孔質構造体１の細孔内部に気体の貫通孔が形成され、それを欠陥と誤判定されることを防止できる。
【００６２】
このように、本実施形態によれば、多孔質構造体１内部の欠陥検査を容易に、高精度に、かつ効率良く行うことができる多孔質構造体１の欠陥検査方法を提供することができる。
【００６３】
（実施形態２）
本実施形態は、図１０（Ａ）、（Ｂ）に示すように、圧力調整工程において、さらに追加圧力調整作業を行う例である。なお、実施形態１と同様の構成、方法及び作用効果については説明を省略する。
【００６４】
例えば、実施形態１の圧力調整作業工程において、第１回目の圧力調整作業として、第２セル群４ｂ及び第４セル群４ｄのセル３内を加圧した。このとき、図１０（Ａ）に示すように、加圧していないセル３Ｘ（図中に黒丸印を付したセル３Ｘ）から気泡が発生した。この場合、気泡が発生した（欠陥があると判定された）セル３Ｘと、そのセルＸと隣り合いかつ加圧した４つのセル３Ｙとの間に欠陥が存在することがわかる。
【００６５】
次に、欠陥があると判定されたセル３Ｘを含む、第１回目の圧力調整作業で加圧しなかった第１セル群４ａ及び第３セル群４ｃのセル３内を加圧した（追加圧力調整作業）。このとき、図１０（Ｂ）に示すように、セルＸに隣り合う４つのセル３Ｙのうち、１つのセル３Ｙ（図中に黒四角印を付したセル３Ｙ）から気泡が発生した。これにより、図中に黒丸印を付したセル３Ｘと図中に黒四角印を付したセル３Ｙとの間に欠陥が存在することがわかる。
【００６６】
本実施形態において、圧力調整工程では、圧力調整作業を行うことにより、欠陥があると判定されたセル３に対して、セル３内を加圧する追加圧力調整作業を行う。そのため、追加圧力調整作業を行うことにより、セル３間に存在する欠陥の場所をより正確に特定することができる。
【００６７】
（実施形態３）
本実施形態は、図１１〜図１６に示すように、多孔質構造体１の構成（特にセル３の配置）を変更した例である。なお、実施形態１と同様の構成、方法及び作用効果については説明を省略する。
【００６８】
図１１（Ａ）では、基材２の軸方向に直交する断面において、同じ大きさの円形状の３７個のセル３が同図に示すような位置に同心円状に配置されている。この場合、上述したセル群選定工程において、図１１（Ｂ）に示すように、セル３とセル３との間に境界線３０を引くことができる。
【００６９】
図１２（Ａ）では、基材２の軸方向に直交する断面において、同じ大きさの円形状の３７個のセル３が同図に示すような位置に同心多角形状に配置されている。この場合、上述したセル群選定工程において、図１２（Ｂ）に示すように、セル３とセル３との間に境界線３０を引くことができる。
【００７０】
図１３（Ａ）では、基材２の軸方向に直交する断面において、円形状の２８個のセル３が同図に示すような位置に同心円状に配置されている。セル３の大きさは、径方向外側ほど小さくなっている。この場合、上述したセル群選定工程において、図１３（Ｂ）に示すように、セル３とセル３との間に境界線３０を引くことができる。
【００７１】
また、上述したセル群選定工程において、図１４（Ａ）に示すように、境界線３０で囲まれた各領域を１つのセル３とみなすことができる。そして、図１４（Ｂ）に示すように、複数のセル群４（第１セル群４ａ〜第４セル群４ｄ）を選定することができる。さらに、上述した圧力調整工程において、圧力調整作業を２回行い、多孔質構造体１内部の欠陥を検査することができる。
【００７２】
具体的には、第１回目の圧力調整作業として、第２セル群４ｂ及び第４セル群４ｄのセル３内を加圧する。そして、第２セル群４ｂのセル３ｂと第１セル群４ａのセル３ａとの間、第２セル群４ｂのセル３ｂと第３セル群４ｃのセル３ｃとの間、第４セル群４ｄのセル３ｄと第１セル群４ａのセル３ａとの間、第４セル群４ｄのセル３ｄと第３セル群４ｃのセル３ｃとの間に差圧を生じさせ、これらのセル３間の欠陥を検査する。
【００７３】
次に、第２回目の圧力調整作業として、第３セル群４ｃ及び第４セル群４ｄのセル３内を加圧する。そして、第３セル群４ｃのセル３ｃと第１セル群４ａのセル３ａとの間、第３セル群４ｃのセル３ｃと第２セル群４ｂのセル３ｂとの間、第４セル群４ｄのセル３ｄと第１セル群４ａのセル３ａとの間、第４セル群４ｄのセル３ｄと第２セル群４ｂのセル３ｂとの間に差圧を生じさせ、これらのセル３間の内部欠陥を検査する。なお、第３セル群４ｃのセル３ｃと第２セル群４ｂのセル３ｂとの間、第４セル群４ｄのセル３ｄと第１セル群４ａのセル３ａとの間については、重複して検査することになる。
【００７４】
図１５（Ａ）では、基材２の軸方向に直交する断面において、円形状の３５個のセル３が同図に示すような位置に同心円状に配置されている。セル３の大きさは、径方向外側ほど小さくなっている。この場合、上述したセル群選定工程において、図１５（Ｂ）に示すように、セル３とセル３との間に境界線３０を引くことができる。
【００７５】
また、上述したセル群選定工程において、図１６（Ａ）に示すように、境界線３０で囲まれた各領域を１つのセル３とみなすことができる。そして、図１６（Ｂ）に示すように、複数のセル群４（第１セル群４ａ〜第５セル群４ｅ）を選定することができる。さらに、上述した圧力調整工程において、圧力調整作業を３回行い、多孔質構造体１内部の欠陥を検査することができる。
【００７６】
具体的には、第１回目の圧力調整作業として、第２セル群４ｂ及び第４セル群４ｄのセル３内を加圧する。そして、第２セル群４ｂのセル３ｂと第１セル群４ａのセル３ａとの間、第２セル群４ｂのセル３ｂと第３セル群４ｃのセル３ｃとの間、第２セル群４ｂのセル３ｂと第５セル群４ｅのセル３ｅとの間、第４セル群４ｄのセル３ｄと第１セル群４ａのセル３ａとの間、第４セル群４ｄのセル３ｄと第３セル群４ｃのセル３ｃとの間、第４セル群４ｄのセル３ｄと第５セル群４ｅのセル３ｅとの間に差圧を生じさせ、これらのセル３間の内部欠陥を検査する。
【００７７】
次に、第２回目の圧力調整作業として、第３セル群４ｃ及び第４セル群４ｄのセル３内を加圧する。そして、第３セル群４ｃのセル３ｃと第１セル群４ａのセル３ａとの間、第３セル群４ｃのセル３ｃと第２セル群４ｂのセル３ｂとの間、第３セル群４ｃのセル３ｃと第５セル群４ｅのセル３ｅとの間、第４セル群４ｄのセル３ｄと第１セル群４ａのセル３ａとの間、第４セル群４ｄのセル３ｄと第２セル群４ｂのセル３ｂとの間、第４セル群４ｄのセル３ｄと第５セル群４ｅのセル３ｅとの間に差圧を生じさせ、これらのセル３間の欠陥を検査する。なお、第３セル群４ｃのセル３ｃと第２セル群４ｂのセル３ｂとの間、第４セル群４ｄのセル３ｄと第１セル群４ａのセル３ａとの間、第４セル群４ｄのセル３ｄと第５セル群４ｅのセル３ｅとの間については、重複して検査することになる。
【００７８】
次に、第３回目の圧力調整作業として、第５セル群４ｅのセル３内を加圧した。そして、第５セル群４ｅのセル３ｅと第１セル群４ａのセル３ａとの間、第５セル群４ｅのセル３ｅと第２セル群４ｂのセル３ｂとの間、第５セル群４ｅのセル３ｅと第３セル群４ｃのセル３ｃとの間、第５セル群４ｅのセル３ｅと第４セル群４ｄのセル３ｄとの間に差圧を生じさせ、これらのセル３間の欠陥を検査する。なお、第５セル群４ｅのセル３ｅと第２セル群４ｂのセル３ｂとの間、第５セル群４ｅのセル３ｅと第３セル群４ｃのセル３ｃとの間、第５セル群４ｅのセル３ｅと第４セル群４ｄのセル３ｄとの間については、重複して検査することになる。
【００７９】
図１７（Ａ）では、基材２の軸方向に直交する断面において、同じ大きさの四角形状の４９個のセル３が同図に示すような位置に格子状（ハニカム状）に配置されている。この場合、上述したセル群選定工程において、セル３とセル３との間の隔壁３１を境界線とみなすことができる。そして、図１７（Ｂ）に示すように、複数のセル群４（第１セル群４ａ〜第４セル群４ｄ）を選定することができる。さらに、上述した圧力調整工程において、圧力調整作業を２回行い、多孔質構造体１内部の欠陥を検査することができる。
【００８０】
具体的には、第１回目の圧力調整作業として、第２セル群４ｂ及び第４セル群４ｄのセル３内を加圧する。そして、第２セル群４ｂのセル３ｂと第１セル群４ａのセル３ａとの間、第２セル群４ｂのセル３ｂと第３セル群４ｃのセル３ｃとの間、第４セル群４ｄのセル３ｄと第１セル群４ａのセル３ａとの間、第４セル群４ｄのセル３ｄと第３セル群４ｃのセル３ｃとの間に差圧を生じさせ、これらのセル３間の欠陥を検査する。
【００８１】
次に、第２回目の圧力調整作業として、第３セル群４ｃ及び第４セル群４ｄのセル３内を加圧する。そして、第３セル群４ｃのセル３ｃと第１セル群４ａのセル３ａとの間、第３セル群４ｃのセル３ｃと第２セル群４ｂのセル３ｂとの間、第４セル群４ｄのセル３ｄと第１セル群４ａのセル３ａとの間、第４セル群４ｄのセル３ｄと第２セル群４ｂのセル３ｂとの間に差圧を生じさせ、これらのセル３間の欠陥を検査する。なお、第３セル群４ｃのセル３ｃと第２セル群４ｂのセル３ｂとの間、第４セル群４ｄのセル３ｄと第１セル群４ａのセル３ａとの間については、重複して検査することになる。
【００８２】
（実施形態４）
本実施形態の分離膜構造体の製造方法は、図１８に示すように、多孔質である柱状の基材２と基材２を軸方向に貫通して形成された複数のセル３とを有する多孔質構造体１と、多孔質構造体１のセル３の内壁面に設けられた分離膜２４と、を備えた分離膜構造体１０の製造方法である。
【００８３】
分離膜構造体１０の製造方法は、多孔質構造体１を準備する準備工程と、多孔質構造体１のセル３の内壁面に分離膜２４を成膜する成膜工程と、上述の多孔質構造体１の欠陥検査方法を用いて、多孔質構造体１の欠陥を検査する検査工程と、を有する。検査工程は、準備工程の後であって成膜工程の前、及び、成膜工程の後の少なくとも一方において行う。以下、この分離膜構造体１０の製造方法について詳細に説明する。
【００８４】
＜準備工程＞
この工程では、多孔質構造体１を準備した。具体的には、上述の実施形態１において説明したように、所定量のアルミナ粉末、メチルセルロース、水、潤滑剤等をミキサーで混合・混練し、押出成形用坏土を得た。そして、押出成形機を用いて、所定のセル配置を有する多孔質構造体１の前駆体を成形し、温風乾燥機で乾燥を行い、焼成前の成形体を得た。その後、焼成前の成形体を大気雰囲気下で焼成した。これにより、基材２と複数のセル３とを備えた多孔質構造体１を得た。
【００８５】
＜検査工程（第１検査工程）＞
この工程では、上述の多孔質構造体１の欠陥検査方法を用いて、多孔質構造体１内部の欠陥を検査した。なお、多孔質構造体１の欠陥検査方法（セル群選定工程、圧力調整工程）については、実施形態１と同様である。
【００８６】
＜成膜工程＞
この工程では、多孔質構造体１のセル３の内壁面に分離膜２４を成膜した。具体的には、所定量のアルミナ粉末、分散剤、水等を混合用ポットに投入し、回転架台上で粉砕混合を行った。そして、所定量の有機バインダを投入してさらに混合し、アルミナスラリーを得た。その後、アルミナスラリー中に多孔質構造体１を浸漬し、各セル３内にアルミナスラリーを接触させて成膜を行った。
【００８７】
次に、アルミナスラリー中から多孔質構造体１を引き上げ、温風乾燥機で乾燥した。そして、乾燥後の多孔質構造体１を大気雰囲気下で焼成し、分離膜２４の焼き付けを行った。これにより、多孔質構造体１のセル３の内壁面に、例えば固液分離等に用いられる分離膜２４を成膜した。
【００８８】
＜検査工程（第２検査工程）＞
この工程では、上述の多孔質構造体１の欠陥検査方法を用いて、多孔質構造体１内部の欠陥を検査した。すなわち、セル３の内壁面に分離膜２４を成膜した状態の多孔質構造体１内部の欠陥を検査した。なお、多孔質構造体１の欠陥検査方法（セル群選定工程、圧力調整工程）については、実施形態１と同様である。
【００８９】
以上により、図１８に示すように、基材２と複数のセル３とを有する多孔質構造体１と、多孔質構造体１のセル３の内壁面に設けられた分離膜２４とを備えた分離膜構造体１０を得た。そして、分離膜構造体１０を製造するに当たって、多孔質構造体１内部の欠陥検査を２回行った。
【００９０】
次に、本実施形態の分離膜構造体１０の製造方法における作用効果について説明する。
本実施形態の分離膜構造体１０の製造方法によれば、準備工程と成膜工程と検査工程とを行う。検査工程は、準備工程の後であって成膜工程の前、及び、成膜工程の後の少なくとも一方（本実施形態では両方）において行う。検査工程では、上述した多孔質構造体１の欠陥検査方法を用いて、多孔質構造体１の欠陥を検査する。これにより、分離膜構造体１０の製造過程において、多孔質構造体１内部の欠陥検査を容易に、高精度に、かつ効率良く行うことができる。
【００９１】
また、検査工程は、準備工程の後であって成膜工程の前、及び、成膜工程の後の両方において行う。そのため、多孔質構造体１内部の欠陥をより確実に、より高精度に検出することができる。
【００９２】
なお、本実施形態において、検査工程は、準備工程の後であって成膜工程の前、及び、成膜工程の後の両方において行ったが、準備工程の後であって成膜工程の前だけ行ってもよいし（本実施形態の第１検査工程のみを行ってもよいし）、成膜工程の後だけ行ってもよい（本実施形態の第２検査工程のみを行ってもよい）。
【００９３】
（その他の実施形態）
本発明は、上述の実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明を逸脱しない範囲において種々の態様で実施しうることはいうまでもない。
【００９４】
（１）上述の実施形態では、多孔質構造体１の欠陥検査方法における圧力調整工程の圧力調整作業において、セル群４の各セル３内を加圧したが、セル群４の各セル３内を減圧するようにしてもよい。このようにして多孔質構造体１のセル３の欠陥を検査してもよい。
【００９５】
（２）上述の実施形態では、多孔質構造体１における基材２の断面形状が円形状、四角形状であるが、基材２の断面形状はこれに限定されるものではなく、例えば、楕円形状、他の多角形状（三角形状、六角形状等）等であってもよい。
【００９６】
（３）上述の実施形態では、多孔質構造体１における基材２としてアルミナ製の多孔質体を用いたが、基材２を構成する材料は、これに限定されるものではなく、例えば、ムライト、チタニア、ジルコニア等のセラミックであってもよいし、ステンレス、チタン等の金属材料であってもよい。
【００９７】
（４）上述の実施形態では、多孔質構造体１におけるセル３の断面形状が円形状又は四角形状であるが、セル３の断面形状はこれに限定されるものではなく、例えば、楕円形状、他の多角形状（三角形状、六角形状等）等であってもよい。
【００９８】
（５）上述の実施形態では、分離膜構造体１０における分離膜２４としてアルミナ製の多孔質膜を用いたが、分離膜２４を構成する材料は、これに限定されるものではなく、例えば、ムライト、チタニア、ジルコニア、ゼオライト、パラジウム、カーボン、アモルファスシリカ、ＭＯＦ（金属有機構造体）等であってもよい。
【００９９】
（６）上述の実施形態において、分離膜構造体１０における分離膜２４として固液分離用の分離膜を用いたが、他の用途の分離膜を用いてもよい。また、分離膜２４としては、精密ろ過膜（ＭＦ膜）、ナノろ過膜（ＮＦ）、限外ろ過膜（ＵＦ）等、種々のろ過膜を用いることができる。
【０１００】
（７）上述の実施形態では、分離膜構造体１０における分離膜２４が１層で構成されているが、複数層で構成されていてもよい。また、多孔質構造体１は、基材２のセル３の内壁面に、分離膜２４の下地となる中間層等を１又は複数層有していてもよい。
【符号の説明】
【０１０１】
１…多孔質構造体
１０…分離膜構造体
２…基材
２４…分離膜
３…セル
４…セル群
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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