(57)【要約】【課題】  積層された二枚の基板の一方基板を他方基板から剥離させるに際し、一方基板の割れを防止すること。【解決手段】  吸着パッド群７の各列（第一列Ｌ１〜第三列Ｌ３）が、支持ガラス基板３を吸着パッド６で吸着しつつ、前列側から後列側へと順々にガラス基板２から離反する上方向に移動することで、剥離方向Ｐに沿って支持ガラス基板３の未剥離部位３ａをガラス基板２から漸次に剥離させるように構成された基板の剥離装置１において、吸着パッド群７を保持する可動体５の初期位置ＳＨからの移動に伴って、前から二列目以降（第二列Ｌ２および第三列Ｌ３）に配置された吸着パッド６が、可動体５の移動距離に応じて上方向に伸長可能な構成とされると共に、後列に配置された吸着パッド６ほど、伸長可能なストロークが長くなるようにした。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数列の各列に吸着パッドが配置されてなる吸着パッド群を備え、
前記吸着パッド群の各列が、積層された二枚の基板の一方基板を前記吸着パッドで吸着しつつ、前列側から後列側へと順々に他方基板から離反する離反方向に移動することにより、前列側から後列側に向かう剥離方向に沿って、前記一方基板の未剥離部位を前記他方基板から漸次に剥離させるように構成された基板の剥離装置であって、
前記吸着パッド群を保持し、且つ、保持した前記吸着パッド群の全列が前記未剥離部位に当接した状態となる初期位置から該未剥離部位の剥離開始に伴って前記離反方向に移動する可動体を備え、
前記吸着パッド群の全列のうち、少なくとも前から二列目以降に配置された前記吸着パッドが、前記可動体の前記初期位置からの移動距離に応じて前記離反方向に伸長可能な構成とされると共に、後列に配置された前記吸着パッドほど、伸長可能なストロークが長いことを特徴とする基板の剥離装置。
【請求項２】
前記吸着パッド群の隣り合う両列に配置された前記吸着パッドの相互間で、ストローク差が０．５ｍｍ〜３０ｍｍであることを特徴とする請求項１に記載の基板の剥離装置。
【請求項３】
前記吸着パッド群の隣り合う両列に配置された前記吸着パッドの前記剥離方向に沿った離間距離が、０．５ｍｍ〜５ｍｍであることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板の剥離装置。
【請求項４】
前記吸着パッド群の連続した三列に配置された前記吸着パッドについて、前列の前記吸着パッドと中間列の前記吸着パッドとのストローク差と、中間列の前記吸着パッドと後列の前記吸着パッドとのストローク差とが同一であり、且つ、
前列の前記吸着パッドと中間列の前記吸着パッドとの前記剥離方向に沿った離間距離と、中間列の前記吸着パッドと後列の前記吸着パッドとの前記剥離方向に沿った離間距離とが同一であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の基板の剥離装置。
【請求項５】
前記吸着パッド群の最前列に配置された前記吸着パッドが、前記離反方向に沿って固定長さを有することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の基板の剥離装置。
【請求項６】
前記吸着パッドが、前記一方基板に当接する吸着部を有し、
前記吸着パッド群の全列のうち、少なくとも前から二列目以降に配置された前記吸着パッドの前記吸着部と前記可動体との相互間に、前記離反方向に沿って伸縮可能な弾性体を介在させ、
前記可動体が前記初期位置に位置した際に、前記弾性体が自然長よりも縮んだ状態となるように構成したことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の基板の剥離装置。
【請求項７】
前記剥離方向に沿って前記可動体を複数備え、
隣り合う両可動体の相互間で、前記剥離方向上流側の前記可動体が保持した前記吸着パッド群の最後列が前記離反方向に移動した後で、前記剥離方向下流側の前記可動体が保持した前記吸着パッド群の最前列が前記離反方向に移動するように構成したことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の基板の剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層された二枚の基板の一方基板を他方基板から剥離させるための基板の剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、急速に普及しているスマートフォンやタブレット型ＰＣ等のモバイル端末は、薄型、軽量であることが求められるため、これらの端末に組み込まれるガラス基板についても、薄板化への要請が高まっているのが現状である。このような現状の下、フィルム状にまで厚みが薄板化（例えば、厚みが３００μｍ以下）されたガラスフィルムが開発、製造されるに至っている。ガラスフィルムは、その厚みが極めて薄いことから、可撓性に富んだ性質を有している。
【０００３】
このガラスフィルムに透明導電膜をパターン形成する処理等を施して、モバイル端末に組み込むガラス基板を製造する際には、ガラスフィルムの取り扱いを容易にするため、ガラスフィルムと、これを支持する支持ガラス基板とを積層させた積層体を利用する場合がある。この積層体を利用すれば、支持ガラス基板と積層させたことで、ガラスフィルムの可撓性に富んだ性質を一時的に排除した状態で処理を施すことができる。さらに、積層された両ガラスの間に密着力が作用することから、膜のパターニングに位置ずれが生じ難いという利点も得られる。
【０００４】
ところで、処理を終えて得られたガラス基板は、モバイル端末に組み込むにあたり、端末には不要である支持ガラス基板と分離させる必要がある。このガラス基板と支持ガラス基板との分離は、積層された二枚の基板の一方基板を他方基板から剥離させることにより行う。ここで、特許文献１には、一方基板を他方基板から剥離させるのに利用が可能な剥離装置が開示されている。
【０００５】
特許文献１に開示された剥離装置は、一方基板に相当するガラス板と、他方基板に相当する吸着シートとを積層させた積層体について、ガラス板を吸着シートから剥離させるための装置であり、ガラス板を吸着する複数の吸着パッドを備えている。そして、ガラス板を吸着した複数の吸着パッドが、吸着シートから離反する向きの引張力をガラス板に作用させた状態で、ガラス板と吸着シートとの界面に対して高圧流体を供給する構成とされている。これにより、供給した高圧流体で界面の接着力を引張力よりも低下させ、接着力が低下した箇所に対応する吸着パッドを順々に吸着シートから離反する方向に移動させていくことで、ガラス板を吸着シートから剥離させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１５−１０４８００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記の装置を利用して一方基板を他方基板から剥離させた場合には、下記のような解決すべき問題が生じていた。
【０００８】
すなわち、上記の装置を利用した場合、高圧流体が一方基板と他方基板との界面の接着力を低下させる役割を担っていることから、一方基板を他方基板から完全に剥離させるまでの間、常に両基板の界面に対して高圧流体を供給し続けることが必要となる。このことに起因して、一方基板の剥離が完了するまでの間に、他方基板から剥離済みの部位と未だ剥離していない未剥離部位との境界部が、高圧流体の圧力によって過度に湾曲し、その曲率が不当に大きくなってしまうことがある。このような事態が生じると、境界部に許容範囲を超える曲げ応力が発生し、結果として一方基板が割れてしまう場合があった。
【０００９】
上記の事情に鑑みなされた本発明は、積層された二枚の基板の一方基板を他方基板から剥離させるに際し、一方基板の割れを防止することを技術的な課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するために創案された本発明は、複数列の各列に吸着パッドが配置されてなる吸着パッド群を備え、吸着パッド群の各列が、積層された二枚の基板の一方基板を吸着パッドで吸着しつつ、前列側から後列側へと順々に他方基板から離反する離反方向に移動することにより、前列側から後列側に向かう剥離方向に沿って、一方基板の未剥離部位を他方基板から漸次に剥離させるように構成された基板の剥離装置であって、吸着パッド群を保持し、且つ、保持した吸着パッド群の全列が未剥離部位に当接した状態となる初期位置から未剥離部位の剥離開始に伴って離反方向に移動する可動体を備え、吸着パッド群の全列のうち、少なくとも前から二列目以降に配置された吸着パッドが、可動体の初期位置からの移動距離に応じて離反方向に伸長可能な構成とされると共に、後列に配置された吸着パッドほど、伸長可能なストロークが長いことに特徴付けられる。
【００１１】
このような構成によれば、一方基板における未剥離部位の剥離開始に伴って、可動体が初期位置から離反方向に移動を開始した際に、吸着パッド群に含まれた全吸着パッドのうち、離反方向に伸長可能な吸着パッドは、以下のような動作を行う。すなわち、伸長可能な吸着パッドは、最初から可動体と共に離反方向に移動を開始するのではなく、まず、可動体の初期位置からの移動距離に応じて離反方向に沿った長さを伸長させていく。そして、伸長可能なストロークの分だけ伸びきった後で、離反方向に移動を開始する。この伸長可能な吸着パッドの動作から、可動体が初期位置から移動を開始すると、吸着パッド群の各列に配置された吸着パッドは、以下のような挙動を示す。つまり、未剥離部位に当接した状態にある吸着パッド群の全列のうち、伸長可能なストロークが最も短い、或いは、ストロークが０である最前列の吸着パッドが、まず先頭を切って未剥離部位を吸着しつつ離反方向に移動を開始する。この最前列の吸着パッドの移動中には、これよりも伸長可能なストロークが長い前から二列目以降の吸着パッドが、未剥離部位に当接した状態の下で、可動体の初期位置からの移動距離に応じて離反方向に伸長していく。その後、二列目以降の吸着パッドは、それぞれ自身が伸長可能なストロークの分だけ可動体が初期位置から移動した時点で、未剥離部位を吸着しつつ離反方向に移動を開始する。ここで、後列に配置された吸着パッドほど、伸長可能なストロークが長いことから、後列の吸着パッドほど、最前列の吸着パッドから遅れて移動を開始することになる。そして、この遅れは、最前列の吸着パッドとのストローク差（最前列の吸着パッドにおけるストロークと、二列目以降の各列の吸着パッドにおけるストロークとの差）に等しくなる。以上のことから、二列目以降の吸着パッドは、最前列の吸着パッドとのストローク差の分だけ遅れて前列側から順々に移動を開始していく。これにより、未剥離部位の剥離が完了するまでの間、他方基板から剥離済みの部位を、剥離方向の上流側から下流側に向かって漸次に他方基板との間隔が狭くなるように、他方基板に対して傾いた状態に置くことができる。このため、他方基板から剥離済みの部位と未剥離部位との境界部が過度に湾曲することを防ぎつつ、未剥離部位の剥離を進展させていくことが可能となる。その結果、境界部に許容範囲を超える曲げ応力が発生することを回避でき、一方基板の割れを防止することが可能となる。
【００１２】
上記の構成において、吸着パッド群の隣り合う両列に配置された吸着パッドの相互間で、ストローク差が０．５ｍｍ〜３０ｍｍであることが好ましい。
【００１３】
上述のように、未剥離部位の剥離が完了するまでの間、他方基板から剥離済みの部位は、他方基板に対して傾いた状態となる。従って、この剥離済みの部位は、他方基板から未だ剥離していない未剥離部位に対しても、同様に傾いた状態にあることになる。そして、剥離済みの部位の未剥離部位に対する傾きは、吸着パッド群の隣り合う両列に配置された吸着パッドの相互間でストローク差が大きくなるほど、大きくなる。これらのことから、ストローク差が大きくなりすぎると、剥離済みの部位の未剥離部位に対する傾きが過度に大きくなり、これに伴って、剥離済みの部位と未剥離部位との境界部における湾曲の曲率が不当に大きくなる。その結果、境界部に過大な曲げ応力が発生して一方基板が割れてしまう虞が生じる。一方、隣り合う両列に配置された吸着パッドの相互間でストローク差が小さすぎると、以下のような虞が生じる。すなわち、本発明に係る装置では、隣り合う両列の前列側の吸着パッドが、未剥離部位を吸着しつつ離反方向に移動を開始した後、当該吸着パッドが継続して離反方向に移動していくことで、未剥離部位の剥離が剥離方向の上流側から下流側に進展していく。そして、隣り合う両列の後列側の吸着パッドが、前列側の吸着パッドからストローク差の分だけ遅れて移動を開始した後、継続して移動していくことで、前列側の吸着パッドが進展させた剥離を、後列側の吸着パッドが引き継いで進展させていく。このとき、ストローク差が小さすぎると、前列側の吸着パッドの動作による剥離の進展距離が短くなり、後列側の吸着パッドが剥離の進展を引き継ぐことが困難になる虞が生じる。しかしながら、ストローク差を０．５ｍｍ〜３０ｍｍとしておけば、上述のような虞を好適に排除することが可能となる。
【００１４】
上記の構成において、吸着パッド群の隣り合う両列に配置された吸着パッドの剥離方向に沿った離間距離が、０．５ｍｍ〜５ｍｍであることが好ましい。
【００１５】
本発明に係る装置において、吸着パッド群の隣り合う両列に配置された吸着パッドの剥離方向に沿った離間距離が長すぎると、前列側の吸着パッドの動作による剥離の進展距離が離間距離に対して短くなり、後列側の吸着パッドが剥離の進展を引き継ぐことが不可能となる虞がある。一方、離間距離が短すぎると、未剥離部位の剥離に要する吸着パッド群の列数が増加し、不当に設備コストを増大させる虞がある。そのため、離間距離は０．５ｍｍ〜５ｍｍとすることが好適である。
【００１６】
上記の構成において、吸着パッド群の連続した三列に配置された吸着パッドについて、前列の吸着パッドと中間列の吸着パッドとのストローク差と、中間列の吸着パッドと後列の吸着パッドとのストローク差とが同一であり、且つ、前列の吸着パッドと中間列の吸着パッドとの剥離方向に沿った離間距離と、中間列の吸着パッドと後列の吸着パッドとの剥離方向に沿った離間距離とが同一であることが好ましい。
【００１７】
このようにすれば、他方基板から剥離済みの部位が、湾曲することなく略平らな状態で各吸着パッドに支持されるため、剥離済みの部位のいずれの箇所においても、湾曲に伴った曲げ応力が発生し難くなる。その結果、一方基板の割れをより確実に防止することが可能となる。
【００１８】
上記の構成において、吸着パッド群の最前列に配置された吸着パッドが、離反方向に沿って固定長さを有することが好ましい。
【００１９】
このようにすれば、最前列の吸着パッドについては、離反方向に伸長させるための機構を設ける必要がなくなるため、その分だけ設備コストを抑制することができる。
【００２０】
上記の構成において、吸着パッドが、一方基板に当接する吸着部を有し、吸着パッド群の全列のうち、少なくとも前から二列目以降に配置された吸着パッドの吸着部と可動体との相互間に、離反方向に沿って伸縮可能な弾性体を介在させ、可動体が初期位置に位置した際に、弾性体が自然長よりも縮んだ状態となるように構成することが好ましい。
【００２１】
このようにすれば、可動体が初期位置に位置した際に、前から二列目以降に配置された吸着パッドの吸着部は、自然長よりも縮んだ状態にある弾性体の復元力により、未剥離部位に押し付けられた状態となる。そのため、これらの吸着パッドが離反方向に移動を開始する際に、吸着部に未剥離部位を確実に吸着させることが可能となる。
【００２２】
上記の構成において、剥離方向に沿って可動体を複数備え、隣り合う両可動体の相互間で、剥離方向上流側の可動体が保持した吸着パッド群の最後列が離反方向に移動した後で、剥離方向下流側の可動体が保持した吸着パッド群の最前列が離反方向に移動するように構成することが好ましい。
【００２３】
単一の可動体のみを備えている場合、剥離方向に沿って可動体を複数備えている場合と比較して、未剥離部位を剥離させるのに要する可動体一体あたりの吸着パッド群の列数が必然的に増加する。そして、本発明に係る装置では、上述のように、前から二列目以降の吸着パッドは、最前列の吸着パッドからストローク差の分だけ遅れて前列側から順々に離反方向に移動を開始する。従って、単一の可動体のみを備えている場合、吸着パッド群の列数が多数となることに起因して、最後列の吸着パッドが離反方向に移動を開始するまでの間に、最前列の吸着パッドを長距離に亘って離反方向に移動させなければならなくなる。そして、これに伴って、吸着パッド群を保持する可動体についても離反方向に移動させる距離を長くとることが必須となる。その結果、可動体を移動させるためのスペースを大きくとる必要が生じてしまう。しかしながら、可動体を複数備えていれば、可動体一体あたりの吸着パッド群の列数を抑制できるため、各可動体について、最後列の吸着パッドが移動を開始するまでの間に、最前列の吸着パッドを移動させる距離を短くすることが可能となる。これにより、各可動体を移動させる距離についても短くできることから、各可動体を移動させるためのスペースを抑制することが可能となる。なお、上記の構成では、隣り合う両可動体の相互間で、剥離方向上流側の可動体が保持した吸着パッド群の最後列が離反方向に移動した後で、剥離方向下流側の可動体が保持した吸着パッド群の最前列が離反方向に移動する。このため、可動体を複数備えることで、境界部を過度に湾曲させずに未剥離部位の剥離を進展させ得る本発明の効果が失われるようなこともない。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、積層された二枚の基板の一方基板を他方基板から剥離させるに際し、一方基板の割れを防止することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施形態に係る基板の剥離装置を示す側面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る基板の剥離装置を示す平面図である。
【図３】（ａ）〜（ｃ）は、本発明の実施形態に係る基板の剥離装置の動作を時系列の順に示す側面図である。
【図４】（ａ）〜（ｄ）は、本発明の実施形態に係る基板の剥離装置の動作を時系列の順に示す側面図である。
【図５】本発明の他の実施形態に係る基板の剥離装置を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の実施形態に係る基板の剥離装置について添付の図面を参照して説明する。まず、基板の剥離装置の構成について説明する。
【００２７】
図１および図２に示す基板の剥離装置１は、矩形のガラス基板２と、このガラス基板２よりも一回り大きい矩形の支持ガラス基板３とを積層させた積層体４について、ガラス基板２の対角線に倣う剥離方向Ｐに沿って支持ガラス基板３をガラス基板２から剥離させるための装置である。なお、積層体４は、図示省略の支持部材上に平置きで載置されている。この支持部材は、積層体４をガラス基板２側から支持すると共に、ガラス基板２を固定するための固定手段（例えば、ガラス基板２を吸引するための吸引孔）を備えている。
【００２８】
基板の剥離装置１によって剥離させる支持ガラス基板３のサイズ、及び、これと積層されたガラス基板２のサイズは、特に限定されるものではないが、本実施形態における支持ガラス基板３は、短辺が６２０ｍｍ、長辺が７５０ｍｍ、厚みが０．５ｍｍのサイズを有する基板である。また、ガラス基板２は、短辺が６１０ｍｍ、長辺が７４０ｍｍ、厚みが０．１ｍｍのサイズを有する基板である。さらに、両基板２，３は、共に日本電気硝子社製の無アルカリガラス基板（製品名：ＯＡ−１０Ｇ）である。
【００２９】
基板の剥離装置１は、昇降動作を行う可動体５を剥離方向Ｐに沿って複数備えている（図１および図２では、二体の可動体５のみを図示）。各可動体５は、最前列となる第一列Ｌ１、中間列となる第二列Ｌ２、及び、最後列となる第三列Ｌ３の各列に吸着パッド６が配置されてなる吸着パッド群７を保持している。そして、図４（ａ）〜（ｄ）に示すように、吸着パッド群７の各列が、支持ガラス基板３を吸着パッド６で吸着しつつ、前列側から後列側へと順々にガラス基板２から離反する上方向に移動することで、支持ガラス基板３の未剥離部位３ａをガラス基板２から漸次に剥離させるように構成されている。
【００３０】
ここで、本実施形態の変形例として、吸着パッド群７の列数を三列から変更してもよい。この場合、吸着パッド群７の列数は、二列〜五列の範囲内で変更することが好ましい。
【００３１】
図１に示すように、各可動体５は、上下に延びる棒状体８の下端部に取り付けられている。棒状体８は、図示省略のサーボ機構と連結されており、長手方向に沿って設定された速度で上下動することが可能である。この棒状体８の上下動に伴って、図１に矢印Ｚ‐Ｚで示すように、各可動体５が設定された移動速度で昇降動作を行う。各可動体５は、相互に異なる棒状体８に取り付けられており、他の可動体５から独立して動作を行うことが可能である。そして、各可動体５の動作に伴って、これに保持された吸着パッド群７が上下方向に移動する構成となっている。
【００３２】
吸着パッド群７の第一列Ｌ１〜第三列Ｌ３の吸着パッド６は、支持ガラス基板３に当接して、これを吸着する円形の吸着部６ａと、吸着部６ａに連なる基部６ｂとを有している。なお、吸着部６ａの直径は、２０ｍｍ〜８０ｍｍの範囲内とすることが好ましく、２０ｍｍ〜４０ｍｍの範囲内とすることが更に好ましいが、本実施形態では４０ｍｍとしている。
【００３３】
ここで、本実施形態の変形例として、吸着部６ａを円形以外の形状としてもよく、例えば、矩形としてもよい。この場合、矩形の四辺のうちの平行な二辺が、剥離方向Ｐと平行となるように吸着パッド６を配置することが好ましい。そして、上記の平行な二辺の長さを２０ｍｍ〜８０ｍｍの範囲内とすることが好ましく、２０ｍｍ〜４０ｍｍの範囲内とすることが更に好ましい。
【００３４】
吸着部６ａは、第一列Ｌ１〜第三列Ｌ３の吸着パッド６の間で共通した構成を有し、図示省略の負圧発生装置（例えば、真空ポンプ等）と接続されている。そして、この負圧発生装置の稼働に伴って支持ガラス基板３を吸着することが可能となっている。これに対し、基部６ｂは、第一列Ｌ１の吸着パッド６と、第二列Ｌ２および第三列Ｌ３の吸着パッド６との間で異なった構成を有している。
【００３５】
第一列Ｌ１の吸着パッド６では、上下方向に沿った伸縮が不可能なロッド６ｘのみで基部６ｂが構成されている。このロッド６ｘは、上方端が可動体５に固定されると共に、下方端が吸着部６ａに固定されている。この第一列Ｌ１の吸着パッド６は、上下方向に沿って固定長さを有している。
【００３６】
第二列Ｌ２および第三列Ｌ３の吸着パッド６では、シリンダー機構によって基部６ｂが構成されている。このシリンダー機構は、可動体５に固定されたシリンダー６ｙと、吸着部６ａに固定され、且つ、シリンダー６ｙに対して進退動作が可能なピストンロッド６ｚとを備えている。また、第二列Ｌ２および第三列Ｌ３においては、上下方向に沿って伸縮可能な弾性体としてのつるまきバネ９が、可動体５と吸着部６ａとの相互間に介在している。このつるまきバネ９は、シリンダー６ｙおよびピストンロッド６ｚを囲うように取り付けられている。なお、第二列Ｌ２のつるまきバネ９と、第三列Ｌ３のつるまきバネ９との両者間で弾性係数は等しくなっている。一方、両者間で自然長は相違しており、第三列Ｌ３のつるまきバネ９は、第二列Ｌ２のつるまきバネ９と比較して自然長が長くなっている。
【００３７】
上記のシリンダー６ｙ、ピストンロッド６ｚ、及び、つるまきバネ９により、第二列Ｌ２および第三列Ｌ３の吸着パッド６は、第一列Ｌ１の吸着パッド６とは異なり、上下方向に沿った長さを伸縮させることが可能となっている。両列Ｌ２，Ｌ３の吸着パッド６が伸縮する態様は後に詳述するが、両列Ｌ２，Ｌ３の吸着パッド６は、長さが最も縮んだ状態では、固定長さを有する第一列Ｌ１の吸着パッド６と同一長さとなる。ここで、以下の説明においては、最も縮んだ状態における両列Ｌ２，Ｌ３の吸着パッド６の長さを最小長と表記する。
【００３８】
一方、両列Ｌ２，Ｌ３の吸着パッド６の長さが最も伸長された状態では、第三列Ｌ３の吸着パッド６が、第二列Ｌ２の吸着パッド６に比べて長さが長くなる。すなわち、第三列Ｌ３の吸着パッド６は、第二列Ｌ２の吸着パッド６と比較して、最小長から伸長可能なストロークが長くなっている。ここで、以下の説明においては、最も伸長された状態における両列Ｌ２，Ｌ３の吸着パッド６の長さを最大長と表記する。なお、以上に説明した構成から、上記のストロークは、第二列Ｌ２の吸着パッド６と、第三列Ｌ３の吸着パッド６との各々において、最大長と最小長との差分に等しくなる。
【００３９】
上記のように、第二列Ｌ２および第三列Ｌ３の吸着パッド６の長さが伸縮することにより、第一列Ｌ１〜第三列Ｌ３の吸着パッド６は、後列に配置された吸着パッド６ほど、ストロークが長くなるように構成されている（本実施形態においては、第一列Ｌ１の吸着パッド６のストロークは０）。また、第二列Ｌ２および第三列Ｌ３のつるまきバネ９は、両列Ｌ２，Ｌ３の吸着パッド６の長さが最大長となった際に、それぞれの長さが自然長となるように構成されている。
【００４０】
第一列Ｌ１の吸着パッド６と第二列Ｌ２の吸着パッド６とのストローク差と、第二列Ｌ２の吸着パッド６と第三列Ｌ３の吸着パッド６とのストローク差とは、同一となっている。このストローク差は０．５ｍｍ〜３０ｍｍの範囲内とし、好ましくは２ｍｍ〜５ｍｍとし、更に好ましくは３ｍｍ〜５ｍｍの範囲内とする。
【００４１】
ここで、本実施形態の変形例として、最前列となる第一列Ｌ１についても、第二列Ｌ２および第三列Ｌ３と同様に、吸着パッド６の基部６ｂをシリンダー６ｙとピストンロッド６ｚとで構成すると共に、可動体５と吸着部６ａとの相互間につるまきバネ９を介在させてもよい。この場合、第一列Ｌ１の吸着パッド６の長さが最も短くなった際に、第二列Ｌ２および第三列Ｌ３の吸着パッド６の最小長と同一長さとなり、且つ、第一列Ｌ１の吸着パッド６のストロークが、第二列Ｌ２の吸着パッド６のストロークよりも短くなるように構成する。また、第一列Ｌ１のつるまきバネ９は、第二列Ｌ２および第三列Ｌ３のつるまきバネ９と弾性係数を等しくすると共に、第一列Ｌ１の吸着パッド６の長さが最も長くなった際に、その長さが自然長となるように構成することが好ましい。
【００４２】
図２に示すように、吸着パッド群７の第一列Ｌ１〜第三列Ｌ３は、相互に平行に並べられている。第一列Ｌ１〜第三列Ｌ３の各列には、各列が吸着する支持ガラス基板３の部位の長さに応じた数の吸着パッド６が配置されている。また、剥離方向Ｐに沿って隣り合った両可動体５，５について、剥離方向Ｐの上流側の可動体５が保持する吸着パッド群７の三列と、下流側の可動体５が保持する吸着パッド群７の三列とは、相互に平行に並べられている。
【００４３】
第一列Ｌ１の吸着パッド６と第二列Ｌ２の吸着パッド６との剥離方向Ｐに沿った離間距離と、第二列Ｌ２の吸着パッド６と第三列Ｌ３の吸着パッド６との剥離方向Ｐに沿った離間距離とは、同一距離となっている。なお、ここでいう「離間距離」とは、一方列の吸着パッド６の吸着部６ａの外縁から、他方列の吸着パッド６の吸着部６ａの外縁までの距離である。この離間距離は、０．５ｍｍ〜５ｍｍの範囲内とし、好ましくは０．５ｍｍ〜２ｍｍの範囲内とするが、本実施形態では０．５ｍｍとしている。
【００４４】
以下、上記の基板の剥離装置１を用いて、支持ガラス基板３をガラス基板２から剥離させる態様について説明する。
【００４５】
まず、基板の剥離装置１に剥離動作を開始させる前に、支持ガラス基板３を剥離させる起点となる剥離起点を形成する。剥離起点の形成に際しては、まず、図２に示す剥離方向Ｐの上流端に位置した積層体４のコーナー部において、両基板２，３の相互間に刃物等を挿入し、支持ガラス基板３のコーナー部をガラス基板２から局所的に剥離させる。次いで、コーナー部から第一列Ｌ１の吸着パッド６（剥離方向Ｐの最上流に配置された可動体５が保持する吸着パッド群７の最前列の吸着パッド６）が吸着する部位まで、支持ガラス基板３の剥離を予備的に進展させる。この予備的な剥離の進展は、例えば、積層体４の作製時に、両基板２，３の相互間に予め介在させておいたシート部材等により、支持ガラス基板３のコーナー部の周辺を持ち上げることで行う。以上により、剥離起点が形成される。剥離起点の形成が完了すると、上記の支持部材により積層体４をガラス基板２側から支持させると共に、上記の固定手段によりガラス基板２を支持部材に固定させる。
【００４６】
その後、上記の基板の剥離装置１は、支持ガラス基板３の剥離を開始するための予備動作を行う。この予備動作では、複数の可動体５の各々が、図１に示した状態から降下していくことで、可動体５に保持された吸着パッド群７が下方向に移動し、積層体４の支持ガラス基板３に対して接近していく。
【００４７】
吸着パッド群７の支持ガラス基板３への接近中、第二列Ｌ２および第三列Ｌ３の吸着パッド６では、つるまきバネ９の復元力に起因して、吸着部６ａと固定されたピストンロッド６ｚが、シリンダー６ｙから進出しきった状態にある。これにより、両列Ｌ２，Ｌ３の吸着パッド６は、それぞれの長さが最大長となっている。従って、両列Ｌ２，Ｌ３の吸着パッド６は、第一列Ｌ１の吸着パッド６に対して、それぞれストローク差の分だけ長さが長くなっている。これに伴い、両列Ｌ２，Ｌ３の吸着パッド６の吸着部６ａが、第一列Ｌ１の吸着パッド６の吸着部６ａよりも下方に突き出た状態となっている。また、両列Ｌ２，Ｌ３の吸着パッド６のうち、よりストロークが長い第三列Ｌ３の吸着パッド６の吸着部６ａが、第二列Ｌ２の吸着パッド６の吸着部６ａに対して下方に突き出た状態にある。
【００４８】
吸着パッド群７が支持ガラス基板３に対して接近していくと、図３（ａ）に示すように、最初に、第三列Ｌ３の吸着パッド６の吸着部６ａが、支持ガラス基板３に当接した状態となる。ここで、以下の説明においては、この時の可動体５の高さ位置を第一基準位置Ｈ１と表記する。そして、この状態から可動体５が継続して降下することで、第三列Ｌ３の吸着パッド６が上下に圧縮され始めると共に、可動体５が第一基準位置Ｈ１から支持ガラス基板３に近づいた分、ピストンロッド６ｚがシリンダー６ｙ側に後退し、第三列Ｌ３の吸着パッド６の長さが最大長から縮んでいく。また、これと同期して、第三列Ｌ３のつるまきバネ９の長さが自然長から縮んでいく。このとき、第一列Ｌ１および第二列Ｌ２の吸着パッド６については、可動体５の降下に伴って、引き続き支持ガラス基板３に対して接近していく。
【００４９】
その後、可動体５が降下することで、図３（ｂ）に示すように、第三列Ｌ３の吸着パッド６の吸着部６ａに次いで、第二列Ｌ２の吸着パッド６の吸着部６ａが、支持ガラス基板３に当接した状態となる。ここで、以下の説明においては、この時の可動体５の高さ位置を第二基準位置Ｈ２と表記する。なお、この時点では、第三列Ｌ３の吸着パッド６が、第二列Ｌ２の吸着パッド６とのストローク差の分、最大長から縮んでおり、第三列Ｌ３の吸着パッド６の長さが、第二列Ｌ２の吸着パッド６の最大長と同一長さとなる。そして、この状態から可動体５が継続して降下することで、第二列Ｌ２の吸着パッド６が上下に圧縮され始めると共に、可動体５が第二基準位置Ｈ２から支持ガラス基板３に近づいた分、ピストンロッド６ｚがシリンダー６ｙ側に後退し、第二列Ｌ２の吸着パッド６の長さが最大長から縮んでいく。また、これと同期して、第二列Ｌ２のつるまきバネ９の長さが自然長から縮んでいく。さらに、第三列Ｌ３の吸着パッド６及びつるまきバネ９が、それぞれ第二列Ｌ２の吸着パッド６及びつるまきバネ９と等しい長さを保ちつつ更に縮んでいく。このとき、第一列Ｌ１の吸着パッド６については、可動体５の降下に伴って、引き続き支持ガラス基板３に対して接近していく。
【００５０】
その後、可動体５が降下することで、図３（ｃ）に示すように、第二列Ｌ２の吸着パッド６の吸着部６ａに次いで、第一列Ｌ１の吸着パッド６の吸着部６ａが、支持ガラス基板３に当接した状態となる。これと同時に可動体５の降下が停止し、基板の剥離装置１の予備動作が完了する。なお、この時点では、第二列Ｌ２および第三列Ｌ３の吸着パッド６の長さが共に最小長となり、第一列Ｌ１の吸着パッド６と等しい長さとなっている。つまり、第一列Ｌ１〜第三列Ｌ３の全吸着パッド６が、相互に同一な長さとなっている。また、第二列Ｌ２および第三列Ｌ３のつるまきバネ９が自然長よりも縮んだ状態となっている。
【００５１】
各可動体５は、上述のように、第一列Ｌ１〜第三列Ｌ３の吸着パッド６の吸着部６ａの全てが、積層体４の支持ガラス基板３に当接した状態となる高さ位置を初期位置ＳＨとし、後に説明する剥離動作の開始に伴って、初期位置ＳＨから上昇していく。
【００５２】
予備動作が完了すると、吸着パッド群７に含まれた全吸着パッド６の全吸着部６ａに支持ガラス基板３を吸着させた状態の下で、基板の剥離装置１に剥離動作を開始させる。なお、剥離動作中においては、積層体４のガラス基板２を引き続き上記の支持部材に固定した状態とする。
【００５３】
剥離動作の開始に伴って、まず、図４（ａ）に示すように、剥離方向Ｐの最上流に配置された可動体５が初期位置ＳＨから上昇を開始する。これと同時に、同可動体５が保持した吸着パッド群７の三列のうち、第一列Ｌ１の吸着パッド６が、支持ガラス基板３の未剥離部位３ａを吸着しつつ上方向に移動を開始する。これにより、支持ガラス基板３の剥離が進展し始める。この第一列Ｌ１の吸着パッド６の移動中には、可動体５が初期位置ＳＨから上昇した分、ピストンロッド６ｚがシリンダー６ｙから進出し、第二列Ｌ２および第三列Ｌ３の吸着パッド６の長さが最小長から伸長していく。また、これと同期して、第二列Ｌ２および第三列Ｌ３のつるまきバネ９の長さが伸長していく。なお、第二列Ｌ２と第三列Ｌ３との間で、吸着パッド６同士、及び、つるまきバネ９同士は、相互に等しい長さを保ちつつ伸長していく。ここで、可動体５が上昇する際の移動速度は、０．０１ｍｍ／ｓ〜５．０ｍｍ／ｓの範囲内とすることが好ましく、０．０５ｍｍ／ｓ〜２．０ｍｍ／ｓの範囲内とすることが更に好ましい（以下において同じ）。
【００５４】
その後、可動体５が上昇することにより、その高さ位置が第二基準位置Ｈ２に到達すると、第二列Ｌ２の吸着パッド６が、第一列Ｌ１の吸着パッド６とのストローク差の分だけ伸長した状態となり、その長さが最大長となることで伸長が停止する。また、これと同時に、第二列Ｌ２のつるまきバネ９の長さも自然長となることで伸長が停止する。この状態から可動体５が継続して上昇することで、図４（ｂ）に示すように、伸長が停止した第二列Ｌ２の吸着パッド６が、支持ガラス基板３の未剥離部位３ａを吸着しつつ上方向に移動を開始する。この第二列Ｌ２の吸着パッド６の移動中には、可動体５が第二基準位置Ｈ２から上昇した分、ピストンロッド６ｚがシリンダー６ｙから進出し、第三列Ｌ３の吸着パッド６の長さが更に伸長していく。また、これと同期して、第三列Ｌ３のつるまきバネ９の長さも更に伸長していく。なお、第二列Ｌ２の吸着パッド６は、第一列Ｌ１の吸着パッド６との上下方向に沿った離間距離を維持しつつ上方向に移動していく。
【００５５】
その後、可動体５が上昇することにより、その高さ位置が第一基準位置Ｈ１に到達すると、第二列Ｌ２の吸着パッド６に次いで、第三列Ｌ３の吸着パッド６が、第一列Ｌ１の吸着パッド６とのストローク差の分だけ伸長した状態となり、その長さが最大長となることで伸長が停止する。また、これと同時に、第三列Ｌ３のつるまきバネ９の長さも自然長となることで伸長が停止する。この状態から可動体５が継続して上昇することで、図４（ｃ）に示すように、伸長が停止した第三列Ｌ３の吸着パッド６が、支持ガラス基板３の未剥離部位３ａを吸着しつつ上方向に移動を開始する。なお、第三列Ｌ３の吸着パッド６は、第一列Ｌ１および第二列Ｌ２の吸着パッド６との上下方向に沿った離間距離を維持しつつ上方向に移動していく。
【００５６】
その後、図４（ｄ）に示すように、剥離方向Ｐの最上流に配置された可動体５に対して、これの下流側に隣接した可動体５が初期位置ＳＨから上昇を開始する。つまり、最上流の可動体５が保持した吸着パッド群７の最後列が上方向に移動した後、下流側に隣接した可動体５が保持した吸着パッド群７の最前列が上方向に移動していく。このようにして、剥離方向Ｐの上流側から下流側へと順々に各可動体５が上昇していくことにより、支持ガラス基板３の未剥離部位３ａがガラス基板２から漸次に剥離されていく。そして、最下流に配置された可動体５の上昇が完了すると、支持ガラス基板３の全体がガラス基板２から剥離した状態となる。なお、各可動体５は、相互に同一の高さ位置で上昇を停止する。各可動体５が上昇を開始する初期位置ＳＨから、上昇を停止する高さ位置までの距離は、２ｍｍ〜１０ｍｍの範囲内とすることが好ましく、３ｍｍ〜５ｍｍの範囲内とすることが更に好ましい。
【００５７】
ここで、本実施形態の変形例として、図５に示すように、基板の剥離装置１が、ガラス基板２の辺に平行な剥離方向Ｐに沿って、支持ガラス基板３をガラス基板２から剥離させるように構成してもよい。また、吸着パッド群７の第二列Ｌ２および第三列Ｌ３のつるまきバネ９は、必ずしも取り付ける必要はなく、取り除いてもよい。ただし、つるまきバネ９を取り除いた場合においても、第二列Ｌ２および第三列Ｌ３の吸着パッド６の最小長が、第一列Ｌ１の吸着パッド６の長さと同一長さとなるように構成する。また、第三列Ｌ３の吸着パッド６の方が、第二列Ｌ２の吸着パッド６よりもストローク（最大長）が長くなるように、シリンダー６ｙに対してピストンロッド６ｚが進退動作する範囲（ピストンロッド６ｚの可動距離）を決定する。
【００５８】
以下、上記の基板の剥離装置１による主たる作用・効果について説明する。
【００５９】
上記の基板の剥離装置１によれば、支持ガラス基板３における未剥離部位３ａの剥離が完了するまでの間、ガラス基板２から剥離済みの部位３ｂを、剥離方向Ｐの上流側から下流側に向かって漸次にガラス基板２との間隔が狭くなるように、ガラス基板２に対して傾いた状態に置くことができる。これにより、剥離済みの部位３ｂと未剥離部位３ａとの境界部３ｃが過度に湾曲することを防ぎつつ、未剥離部位３ａの剥離を進展させていくことが可能となる。その結果、境界部３ｃに許容範囲を超える曲げ応力が発生することを回避でき、支持ガラス基板３の割れを防止することが可能となる。
【実施例】
【００６０】
本発明の実施例として、上記の実施形態と同様の態様の下、上記の基板の剥離装置を用いて支持ガラス基板をガラス基板から剥離させるに際し、支持ガラス基板に割れが生じるか否かについて検証を行った。なお、本検証は、下記の表１に示す五つの条件（実施例１〜実施例５）で行った。そして、検証結果として、支持ガラス基板に割れが発生しなかった場合を「○」とし、割れが発生した場合を「×」とした。
【００６１】
なお、表１における「ストローク差」、「上昇距離」、及び、「上昇速度」の各項目は、それぞれ下記の事項を示すものである。ここで、表１に表記のない項目については、上記の実施形態と同一の値としている。
「ストローク差」：第一列の吸着パッドと第二列の吸着パッドとのストローク差（ただし、第一列の吸着パッドのストロークは０）、及び、第二列の吸着パッドと第三列の吸着パッドとのストローク差
「上昇距離」：各可動体が上昇を開始する初期位置から上昇を停止する高さ位置までの距離。
「上昇速度」：各可動体が上昇する際の移動速度
【００６２】
【表１】
2017168563.tif 000003
【００６３】
上記の表１に示す検証結果から、実施例１〜実施例５のいずれの条件においても、割れを発生させることなく、支持ガラス基板をガラス基板から剥離させることが可能であることが理解できる。この検証結果から、本発明に係る基板の剥離装置によれば、積層された二枚の基板の一方基板を他方基板から剥離させるに際し、一方基板の割れを防止することが可能となるものと推認される。
【符号の説明】
【００６４】
１          基板の剥離装置
２          ガラス基板
３          支持ガラス基板
３ａ        未剥離部位
５          可動体
６          吸着パッド
６ａ        吸着部
７          吸着パッド群
９          つるまきバネ
Ｌ１        第一列
Ｌ２        第二列
Ｌ３        第三列
ＳＨ        初期位置
Ｐ          剥離方向
【図１】
2017168563.tif 000004
【図２】
2017168563.tif 000005
【図３】
2017168563.tif 000006
【図４】
2017168563.tif 000007
【図５】
2017168563.tif 000008