(57)【要約】【課題】工業的な製造が簡便であり、かつ光伝搬損失の小さい光導波路を提供できる光導波路の製造方法を提供する。【解決手段】下記の各工程を備えるグレーテッドインデックス型またはそれに類似した屈折率分布を有する光導波路の製造方法。  工程１：特定のコア形成用樹脂組成物を用いて、第１のクラッド層上にコア層を形成し、露光及び現像により、光硬化させたコアパターンを形成する工程  工程２：形成されたコアパターンの周囲に、特定のクラッド形成用樹脂組成物により第２のクラッド層を前記コアパターンに接触させて形成する工程  工程３：前記形成されたコアパターンとコアパターンの周囲に接触して形成された第２のクラッド層とを、硬化させて光導波路を形成する工程【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記の各工程を備えるグレーテッドインデックス型またはそれに類似した屈折率分布を有する光導波路の製造方法。
工程１：（Ａ）アルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマー、（Ｂ）重合性化合物、（Ｃ）重合開始剤、及び（Ｄ）熱硬化性樹脂を含有するコア形成用樹脂組成物を用いて、第１のクラッド層上にコア層を形成し、露光及び現像により、光硬化させたコアパターンを形成する工程
工程２：形成されたコアパターンの周囲に、（Ｅ）アルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマー、（Ｆ）少なくともポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレートを含有する重合性化合物、及び（Ｇ）重合開始剤を含有するクラッド形成用樹脂組成物により第２のクラッド層を前記コアパターンに接触させて形成する工程
工程３：前記形成されたコアパターンとコアパターンの周囲に接触して形成された第２のクラッド層とを、硬化させて光導波路を形成する工程
【請求項２】
前記工程２は、第２のクラッド層を形成させると同時に、光硬化したコアパターンに、クラッド形成用樹脂組成物中に存在する、（Ｆ）成分のポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレートを含有する重合性化合物を、拡散浸透させる工程である、請求項１に記載のグレーテッドインデックス型、又はそれに類似した屈折率分布を有する光導波路の製造方法。
【請求項３】
前記工程３は、工程２により形成されたコアパターンの内部、あるいは周囲に接触して存在する第２のクラッド層のクラッド形成用樹脂組成物中に存在する、（Ｆ）成分のポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレートを含有する重合性化合物を、拡散浸透させつつ、又は拡散浸透させた後に、該重合性化合物が浸透したコアパターンとコアパターンの周囲に接触して形成された第２のクラッド層とを硬化することを含む工程である、請求項１に記載のグレーテッドインデックス型、又はそれに類似した屈折率分布を有する光導波路の製造方法。
【請求項４】
コアパターンに、クラッド形成用樹脂組成物中に存在する重合性化合物を、拡散浸透させつつ、該重合性化合物が浸透したコアパターンを得るために、硬化前に、１２０℃以下で加温する工程を有する請求項２又は３に記載のグレーテッドインデックス型、又はそれに類似した屈折率分布を有する光導波路の製造方法。
【請求項５】
コア形成用樹脂組成物が、さらに（Ｈ）硬化促進剤を含有する、請求項１〜４のいずれかに記載のグレーテッドインデックス型、又はそれに類似した屈折率分布を有する光導波路の製造方法。
【請求項６】
クラッド形成用樹脂組成物が、さらに（Ｊ）熱硬化性樹脂を含有する、請求項１〜５のいずれかに記載のグレーテッドインデックス型、又はそれに類似した屈折率分布を有する光導波路の製造方法。
【請求項７】
クラッド形成用樹脂組成物が、さらに（Ｋ）硬化促進剤を含有する、請求項６に記載のグレーテッドインデックス型、又はそれに類似した屈折率分布を有する光導波路の製造方法。
【請求項８】
クラッド形成用樹脂組成物における、（Ｆ）成分に含有されるポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレートが、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、又はポリエチレンポリプロピレンジ（メタ）アクリレートである請求項１〜７のいずれかに記載のグレーテッドインデックス型またはそれに類似した屈折率分布を有する光導波路の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光導波路の製造方法に関し、詳しくは、グレーテッドインデックス型またはそれに類似した屈折率分布を有する光導波路の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子素子間及び配線基板間の高速及び高密度信号伝送において、従来の電気配線による伝送では信号の相互干渉及び減衰が障壁となり、高速及び高密度化の限界が見え始めている。これを打ち破るため、電子素子間及び配線基板間を光で接続する技術、いわゆる光インタコネクションが検討されている。光の伝送路としては、加工が容易であり、低コストであり、さらに配線の自由度が高く、かつ高密度化が可能であるという観点から、ポリマー光導波路が注目を集めている。
ポリマー光導波路の形態としては、光電気混載基板への適用を想定したガラスエポキシ樹脂基板上に作製するタイプ、ボード同士の接続を想定した硬い支持基板を持たないフレキシブルタイプが好適と考えられる。
【０００３】
ポリマー光導波路には、適用される機器の使用環境及び部品実装等の観点から、透明性（低光伝搬損失）と共に高耐熱性も要求される。また、光配線設計の自由度向上、デバイスの高機能化、工程簡略化等の要求に従い、露光及び現像により要求されるパターンを自由に形成可能な材料であることが望まれている。現像方法としては、溶剤現像型とアルカリ現像型が想定されるが、環境負荷及び安全性の観点から、アルカリ現像型が望まれている。
このような要望に対応する光導波路材として、（メタ）アクリル重合体を使用したもの（例えば、特許文献１参照）が知られている。特許文献１に記載の（メタ）アクリル重合体を使用した光導波路用樹脂組成物は、アルカリ現像可能であり、波長８５０ｎｍにおいて０．３ｄＢ／ｃｍの光伝搬損失を有するが、求められる光による高速及び高密度信号伝送において、この数値は必ずしも充分ではない。
【０００４】
そこで、本発明者等は、次のクラッド層とコアパターンとを有する光導波路を開発した（特許文献２参照）。
つまり、第１のクラッド層と、
光信号の光路を形成する前記第１のクラッド層に積層されたコアパターンと、を備え、
前記コアパターンは、前記光路の方向に伸びるコア周面と前記コア周面の内側に形成されたコア本体とを有し、
前記コア周面は、前記第１のクラッド層に接触した接触コア周面と前記接触コア周面以外の非接触コア周面とを有し、
前記コア本体には、前記コア本体のうち前記非接触コア周面から所定の範囲の非接触面近傍コア領域と、前記コア本体のうち前記非接触面近傍コア領域以外のコア中央領域とが有り、
前記非接触面近傍コア領域の屈折率は、前記コア中央領域の屈折率より小さい、光導波路である。
該特許文献２の光導波路により、光伝搬損失のさらなる低減が達成された。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４２４１８７４号公報
【特許文献２】特開２０１５−２１５４６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、コアパターンのコア中央領域と非接触面近傍コア領域との屈折率差が小さいことや、コア中央領域と非接触面近傍コア領域間の屈折率変化が連続的ではないため、中央付近での光伝搬が不十分であり、コアパターン側壁の荒れ等の構造要因の影響を受ける。そのため、光伝搬損失をさらに低減し得るコアパターンを有する光導波路のさらなる開発が切望されている。
そこで、本発明の課題は、工業的な製造が簡便であり、かつ光伝搬損失の小さい光導波路を提供できる光導波路の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは鋭意検討を重ねた結果、コアパターンを形成した後、コアパターンに接触させて第２のクラッド層を形成し、次いで、コアパターンと第２のクラッド層とを硬化させることにより、グレーテッドインデックス型またはそれに類似した屈折率分布を有する光導波路が得られることを見いだし、本発明を完成させた。
【０００８】
すなわち、本発明は、下記［１］〜［８］に関するものである。
［１］  下記の各工程を備えるグレーテッドインデックス型またはそれに類似した屈折率分布を有する光導波路の製造方法。
工程１：（Ａ）アルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマー、（Ｂ）重合性化合物、（Ｃ）重合開始剤、及び（Ｄ）熱硬化性樹脂を含有するコア形成用樹脂組成物を用いて、第１のクラッド層上にコア層を形成し、露光及び現像により、光硬化させたコアパターンを形成する工程
工程２：形成されたコアパターンの周囲に、（Ｅ）アルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマー、（Ｆ）少なくともポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレートを含有する重合性化合物、及び（Ｇ）重合開始剤を含有するクラッド形成用樹脂組成物により第２のクラッド層を前記コアパターンに接触させて形成する工程
工程３：前記形成されたコアパターンとコアパターンの周囲に接触して形成された第２のクラッド層とを、硬化させて光導波路を形成する工程
［２］  前記工程２は、第２のクラッド層を形成させると同時に、光硬化したコアパターンに、クラッド形成用樹脂組成物中に存在する、（Ｆ）成分のポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレートを含有する重合性化合物を、拡散浸透させる工程である、上記［１］に記載のグレーテッドインデックス型、又はそれに類似した屈折率分布を有する光導波路の製造方法。
［３］  前記工程３は、工程２により形成されたコアパターンの内部、あるいは周囲に接触して存在する第２のクラッド層のクラッド形成用樹脂組成物中に存在する、（Ｆ）成分のポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレートを含有する重合性化合物を、拡散浸透させつつ、又は拡散浸透させた後に、該重合性化合物が浸透したコアパターンとコアパターンの周囲に接触して形成された第２のクラッド層とを硬化することを含む工程である、上記［１］に記載のグレーテッドインデックス型、又はそれに類似した屈折率分布を有する光導波路の製造方法。
［４］  コアパターンに、クラッド層のクラッド形成用樹脂組成物中に存在する重合性化合物を、拡散浸透させつつ、該重合性化合物が浸透したコアパターンを得るために、硬化前に、１２０℃以下で加温する工程を有する上記［２］又は［３］に記載のグレーテッドインデックス型、又はそれに類似した屈折率分布を有する光導波路の製造方法。
［５］  コア形成用樹脂組成物が、さらに（Ｈ）硬化促進剤を含有する、上記［１］〜［４］のいずれかに記載のグレーテッドインデックス型、又はそれに類似した屈折率分布を有する光導波路の製造方法。
［６］  クラッド形成用樹脂組成物が、さらに（Ｊ）熱硬化性樹脂を含有する、上記［１］〜［５］のいずれかに記載のグレーテッドインデックス型、又はそれに類似した屈折率分布を有する光導波路の製造方法。
［７］  クラッド形成用樹脂組成物が、さらに（Ｋ）硬化促進剤を含有する、［６］に記載のグレーテッドインデックス型、又はそれに類似した屈折率分布を有する光導波路の製造方法。
［８］  クラッド形成用樹脂組成物における、（Ｆ）成分に含有されるポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレートが、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、、又はポリエチレンポリプロピレンジ（メタ）アクリレートである上記［１］〜［７］のいずれかに記載のグレーテッドインデックス型またはそれに類似した屈折率分布を有する光導波路の製造方法。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、光伝搬損失の小さいグレーテッドインデックス型またはそれに類似した屈折率分布を有する光導波路を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の製造方法により得られる光導波路の例を示す断面図である。図中、（ａ）は光導波路の断面図を模式的に表した図であり、（ｂ）は光導波路に形成されたコア部断面の一つ（点線で囲んだ部分）を拡大して撮影した写真である。
【図２】光導波路の製造方法の一例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明者らは、以前、アルカリ現像に用いられる光導波路形成用樹脂組成物において、アルカリ現像のプロセスによってコアパターンを形成したときのコアパターンの表層にアルカリカチオンが残存し、これに起因して全光線透過率の低下、あるいは黄変を引き起こし、結果として光損失が悪化するという現象を捉えた。そしてその原因を分析し、ポリマーの屈折率Ｌｏｒｅｎｔｚ−Ｌｏｒｅｎｚの式の近似式
屈折率ｎ  ≒  定数ａ×分極（α）×材料密度（Ｖ）＋ｂ
を想定し、この式において、上記式の材料密度（Ｖ）に着目した。そして、アルカリ現像の影響を受ける表層の材料密度（Ｖ）が小さくなれば、コアパターンの表層の屈折率が低下し、屈折率の高いコアパターンの内部を光が多く伝搬し、光伝搬損失を向上できるのではないかと想定して、材料全体の特性及び材料の成分面から検討した（特許文献２参照）。
本発明者らは、さらなる検討によって、コアパターンの外周周辺部と中心部との間の屈折率変化を緩やかな分布とすることで光伝搬損失の小さい光導波路を提供できるのではないかと考えた。そこで、光導波路のクラッド層の原料、つまりクラッド形成用樹脂組成物中の成分をコアパターンへ浸透させる方法を検討した。具体的には、コアパターンを形成する際に架橋反応をさせないか又は架橋反応の程度を抑えておき、且つクラッド層を形成する際に特定のクラッド形成用樹脂組成物を用いることによって、クラッド層を形成しながらクラッド形成用樹脂組成物中の重合性化合物成分をコアパターンの内部へ浸透させることができた。これにより、コアパターンのより内部においても大きな屈折率分布を有するコアパターンを形成することができ、光伝搬損失のより小さい光導波路の製造に成功した。
以下、本発明の実施態様の一つについて詳述する。
【００１２】
本発明の光導波路の製造方法では、特定の成分を含有するコア形成用樹脂組成物を用いて、第１のクラッド層上にコアパターンを形成し、次いで、特定の成分を含有するクラッド形成用樹脂組成物を用いて、形成されたコアパターンに接触させて、第２のクラッド層を形成し、クラッド形成用樹脂組成物の成分である重合性化合物を、コアパターン中に拡散浸透させるとともに、コアパターンと第２のクラッド層とを硬化させることにより、グレーテッドインデックス型またはそれに類似した屈折率分布を有する光導波路を得るものである。
ここで、得られる光導波路は、グレーテッドインデックス型の屈折率分布またはそれに類似した屈折率分布を有するものである。すなわち、コアパターンの外周周辺部の少なくとも一部の屈折率が、コアパターンの中心の屈折率よりも小さくなっている。より詳細には、コアパターンの中心から外周（後述する上部クラッド層側）へ向けて、屈折率が少しずつ小さくなっている部位を有し、屈折率の高い領域と低い領域との間では、屈折率の変化が連続的になっているものである。これは、いわゆるグレーテッドインデックス型（ＧＩ型）の屈折率分布を有するものとして知られている。
なお、グレーテッドインデックス型に「類似した屈折率分布」とは、グレーテッドインデックス型のように連続的な変化を示すものではなくとも、例えば、屈折率の段階的に変化するような場合のように厳密にグレーテッドインデクス型とはいえない場合であっても、全体的にみてコアパターンの外周周辺部の少なくとも一部の屈折率が、コアパターンの中心の屈折率よりも小さくなっているようなものであれば、このような光導波路も本発明の光導波路に含まれることを意図するものである。
このように本発明で得られる光導波路は、グレーテッドインデックス型の屈折率分布またはそれに類似した屈折率分布を有するものであることから、コアパターンを伝搬する光は、より一層、コアパターン中心寄りで伝搬することとなり、そのためにコアパターンの側壁の荒れの影響を受けにくくなり、さらなる低光伝搬損失化が可能となる。また、コアパターンの外側に、さらに屈折率の低い第１のクラッド層及び／又は第２のクラッド層を有することで、さらなる低光伝搬損失化が可能となる。
【００１３】
本発明の製造方法により製造された光導波路の例を図１に示す。図１において、（ａ）は光導波路の断面図を模式的に表した図であり、（ｂ）は光導波路に形成されたコア部断面の一つ（点線で囲んだ部分）を拡大して撮影した写真である。
図１は、コアパターン中心部３とコアパターン外周周辺部４のおおよその位置を示したコアパターン２を有する光導波路１を示す。第２のクラッド層５を形成するクラッド形成用樹脂組成物中の成分の一部がコアパターン２内へ浸透していること、並びにコアパターン外周周辺部４の外側にさらに屈折率の低い第１のクラッド層６及び第１のクラッド層６の上に第２のクラッド層５が配置されていることにより、コアパターン２を伝搬する光のうち、コアパターン外周周辺部４の外側に漏れ出そうとする光を、非常に効率的にコアパターン２内に留めることができる。このような光導波路であると、例えば直線状のコアパターン２を伝搬する光は、コアパターン中心部３を伝搬しやすく、低光伝搬損失となり、コアパターン２の曲げ等によってコアパターン２の外側に漏れ出そうとする光は、屈折率差のより大きい第１のクラッド層６又は第２のクラッド層５とコアパターン２との間で全反射されるため、光伝搬損失が発生しにくくなる。
以下、本発明の製造方法で用いるコア形成用樹脂組成物およびクラッド形成用樹脂組成物、並びに光導波路の製造方法について詳説する。
【００１４】
［コア形成用樹脂組成物］
本発明の製造方法において用いるコア形成用樹脂組成物は、（Ａ）アルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマー、（Ｂ）重合性化合物、（Ｃ）重合開始剤、及び（Ｄ）熱硬化性樹脂を含有するコア形成用の樹脂組成物である。このコア形成用樹脂組成物は、第１のクラッド層上にコア層を形成し、露光及び現像により光硬化し、コアパターンを形成するためのものである。コア形成用樹脂組成物に含有される（Ｄ）熱硬化性樹脂は、次工程で、第２のクラッド層が形成されるとともに、またはその後に、コアパターンを確実に硬化するための成分である。すなわち、本発明の製造方法においては、後述するように、コア層は、光硬化によりいわゆる半硬化の状態でコアパターンが形成され、その後、第２のクラッド層を光硬化などで硬化すると同時に、あるいは光硬化により第２のクラッド層を形成した後に、熱硬化により完全に硬化させることになる。
要するに、本発明で用いるコア形成用樹脂組成物は、コアパターンを形成する際に、架橋反応をさせないか又は架橋反応の程度を抑えることができ、これによりクラッド形成用樹脂組成物中の重合性化合物を半硬化状態のコアパターン内に拡散浸透させた後、熱硬化などにより完全硬化することができる樹脂組成物なのである。
【００１５】
このようなコア形成用樹脂組成物を用いることにより、コアパターン形成時に前記クラッド形成用樹脂組成物中の一部の成分がコアパターンの内部へ効率的に浸透するため、前述の通り、コアパターンを伝搬する光はコアパターンの比較的中心付近を主に伝搬するようになり、低光伝搬損失化が可能となる傾向にある。
以下、使用できる各成分について説明する。
【００１６】
（（Ａ）成分：アルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマー）
アルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマーは、アルカリ水溶液に対して溶解し得るポリマーであればよく、例えば、酸性置換基を有する（メタ）アクリルポリマーが挙げられる。ここで、（メタ）アクリルポリマーとは、アクリルポリマー及び／又はメタクリルポリマーを意味する。また、アクリルポリマーおよびメタクリルポリマーには、アクリル系モノマーおよびメタクリル系モノマーから構成されるポリマーのみならず、これら以外のモノマーを共重合したポリマーも、アクリル系モノマーおよびメタクリル系モノマーが主体となっている限り、本願でいう（メタ）アクリルポリマーに含まれる。
このようなアルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマーの一つとしての酸性置換基を有する（メタ）アクリルポリマーが有する酸性置換基としては、例えば、カルボキシル基、スルホン酸基、フェノール性水酸基、アルコール性水酸基、アミノ基等が挙げられ、水酸基、カルボキシル基が好ましい。これらのうちでも、水酸基及びカルボキシル基からなる群から選択される少なくとも１つを有する（メタ）アクリルポリマーがより好ましく、カルボキシル基を有する（メタ）アクリルポリマーがさらに好ましい。
【００１７】
このような酸性置換基を有する（メタ）アクリルポリマーとしては、アルカリ性水溶液からなる現像液に溶解し、目的とする現像処理が遂行される程度に溶解性を有するものであれば特に制限はない。例えば、（メタ）アクリル酸、各種（メタ）アクリル酸エステル［（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシアルキルエステル等］、（メタ）アクリルアミド等の（メタ）アクリル系モノマーのホモポリマー又はコポリマー；前記（メタ）アクリル系モノマーと他の重合性不飽和基含有モノマー（例えば、スチレン、α−メチルスチレン、マレイン酸無水物等）等とのコポリマーなどが好ましく挙げられる。
このような（Ａ）成分は、１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００１８】
（Ａ）成分としては、より具体的には、カルボキシル基を有する重合性化合物（Ａ−１）に由来する構造単位を有するポリマーであることが好ましい。（Ａ）成分は、前記（Ａ−１）成分と共に、さらに、水酸基を有する重合性化合物（Ａ−２）に由来する構造単位、脂肪族環又は芳香族環を有する重合性化合物（Ａ−３）に由来する構造単位、及び前記（Ａ−１）〜（Ａ−３）成分以外の重合性化合物（Ａ−４）に由来する構造単位からなる群から選択される少なくとも１つの構造単位を有するコポリマーであってもよく、前記（Ａ−１）成分に由来する構造単位と前記（Ａ−２）成分に由来する構造単位と前記（Ａ−３）成分に由来する構造単位と前記（Ａ−４）成分に由来する構造単位と、を全て有するコポリマーであることが好ましい。
【００１９】
（Ａ−１）成分について；
カルボキシル基を有する重合性化合物（Ａ−１）としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸等のモノカルボン酸；マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸等のジカルボン酸；２−サクシノロイルエチル（メタ）アクリレート、２−マレイノロイルエチル（メタ）アクリレート、２−ヘキサヒドロフタロイルエチル（メタ）アクリレート等の、カルボキシル基及びエステル結合を有する（メタ）アクリル酸誘導体などが挙げられる。これらの中でも、アクリル酸、メタクリル酸、２−ヘキサヒドロフタロイルエチル（メタ）アクリレートが好ましく、アクリル酸、メタクリル酸がより好ましく、メタクリル酸がさらに好ましい。
（Ａ−１）成分は、１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００２０】
（Ａ−２）成分について；
水酸基を有する重合性化合物（Ａ−２）としては、例えば、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−クロロ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート等の水酸基含有脂肪族（メタ）アクリレート；２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−（ｏ−フェニルフェノキシ）プロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−（１−ナフトキシ）プロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−（２−ナフトキシ）プロピル（メタ）アクリレート等の水酸基含有芳香族（メタ）アクリレートなどが挙げられる。
但し、カルボキシル基と水酸基との両方を有する重合性化合物である場合は、カルボキシル基を有するものであることを優先し、（Ａ−１）成分として分類される。
これらの中でも、透明性、低光伝搬損失の観点から、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート等の脂肪族（メタ）アクリレート；２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−（ｏ−フェニルフェノキシ）プロピル（メタ）アクリレート等の芳香族（メタ）アクリレートが好ましく、脂肪族（メタ）アクリレートがより好ましく、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートがさらに好ましい。
（Ａ−２）成分は、１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００２１】
（Ａ−３）成分について；
脂肪族環又は芳香族環を有する重合性化合物（Ａ−３）としては、例えば、シクロペンチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）テトラヒドロフタレート、モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）ヘキサヒドロフタレート等の脂環式（メタ）アクリレート；ベンジル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、ｏ−ビフェニル（メタ）アクリレート、１−ナフチル（メタ）アクリレート、２−ナフチル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、ｐ−クミルフェノキシエチル（メタ）アクリレート、ｏ−フェニルフェノキシエチル（メタ）アクリレート、１−ナフトキシエチル（メタ）アクリレート、２−ナフトキシエチル（メタ）アクリレート、フェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、フェノキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−（ｏ−フェニルフェノキシ）プロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−（１−ナフトキシ）プロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−（２−ナフトキシ）プロピル（メタ）アクリレート等の芳香族（メタ）アクリレート；２−テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、Ｎ−（メタ）アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタルイミド、２−（メタ）アクリロイロキシエチル−Ｎ−カルバゾール等の複素環式（メタ）アクリレート、これらのカプロラクトン変性体などが挙げられる。
これらの中でも、透明性及び屈折率の観点から、脂環式（メタ）アクリレート、芳香族（メタ）アクリレートが好ましく、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、シクロペンチル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、ｏ−ビフェニル（メタ）アクリレートがより好ましく、芳香族（メタ）アクリレートがさらに好ましく、フェニル（メタ）アクリレートが特に好ましい。
（Ａ−３）成分は、１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００２２】
なお、（Ａ−２）成分に含まれる２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピル（メタ）アクリレートのように、水酸基と、脂肪族環又は芳香族環との両方を有する重合性化合物の場合には、この重合性化合物は水酸基を有するものであることを優先し、（Ａ−２）成分の水酸基を有する重合性化合物として分類される。同様に、（Ａ−１）成分に含まれる２−ヘキサヒドロフタロイルエチル（メタ）アクリレートのように、カルボキシル基と脂肪族環との両方を有する重合性化合物の場合、あるいは、カルボキシル基と、水酸基と、脂肪族環又は芳香族環とを有する重合性化合物である場合は、カルボキシル基を有するものであることを優先し、（Ａ−１）成分として分類される。
【００２３】
（Ａ−４）成分について；
前記（Ａ−１）〜（Ａ−３）成分以外の重合性化合物（Ａ−４）は、主として、（Ａ）成分であるアルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマーの機械的特性、透明性及び屈折率を制御できる。
このような重合性化合物としては、（メタ）アクリル酸エステルが好ましく、（メタ）アクリル酸アルキルエステルがより好ましい。該（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、前記（Ａ−３）成分における例示と同じものが挙げられる。それらの中でも、透明性の観点から、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレートが好ましく、メチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレートがより好ましく、メチル（メタ）アクリレートがさらに好ましい。
（Ａ−４）成分は、１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００２４】
（Ａ）成分において、カルボキシル基を有する重合性化合物（Ａ−１）に由来する構造単位の含有率は、５〜６０モル％であることが好ましい。５モル％以上であるとアルカリ性水溶液等からなる現像液に溶解し易い傾向にあり、６０モル％以下であれば、後述する現像により感光性樹脂組成物の層を選択的に除去してパターンを形成する現像工程において、耐現像液性（現像により除去されずにパターンとなる部分が、現像液によって侵されない性質）が良好となる傾向にある。以上の観点から、８〜５０モル％であることがより好ましく、１０〜４５モル％であることがさらに好ましく、１５〜４０モル％であることが特に好ましい。
【００２５】
（Ａ）成分において、水酸基を有する重合性化合物（Ａ−２）に由来する構造単位の含有率は、５〜５０モル％であることが好ましい。５０モル％以下であれば、後述する現像により感光性樹脂組成物の層を選択的に除去してパターンを形成する現像工程において、耐現像液性が良好となる傾向にある。以上の観点から、５〜３５モル％であることがより好ましく、５〜２０モル％であることがさらに好ましい。
【００２６】
（Ａ）成分において、脂肪族環又は芳香族環を有する重合性化合物（Ａ−３）に由来する構造単位の含有率は、５〜７０モル％であることが好ましい。５モル％以上であると屈折率を上昇させるのに充分であり、７０モル％以下であれば、より高屈折率となり、現像液への溶解性が低下せずに現像によるパターン形成が容易となる。以上の観点から、１０〜６０モル％であることがさらに好ましく、１５〜４０モル％であることが特に好ましい。
【００２７】
（Ａ）成分において、前記（Ａ−１）〜（Ａ−３）成分以外の重合性化合物（Ａ−４）成分に由来する構造単位の含有率は、（Ａ−１）成分に由来する構造単位、（Ａ−２）成分に由来する構造単位、（Ａ−３）成分に由来する構造単位及び（Ａ−４）成分に由来する構造単位の合計が１００モル％となる量である。
（Ａ）成分の機械的特性、透明性及び屈折率を制御する観点からは、（Ａ−４）に由来する構造単位の含有率は、１０〜８０モル％であることが好ましい。１０モル％以上であると透明性が充分となる傾向にあり、８０モル％以下であれば、より高透明となり、現像液への溶解性が低下せずに現像によるパターン形成が容易となる傾向にある。以上の観点から、２０〜７０モル％であることがより好ましく、３０〜６０モル％であることがさらに好ましく、３５〜５０モル％であることが特に好ましい。
なお、（Ａ）成分において、前記（Ａ−１）〜（Ａ−４）成分に由来する構造単位の含有率は、上記の各構造単位の含有率から、合計が１００質量％となるようにそれぞれ選択される。
【００２８】
（Ａ）成分の製造方法に特に制限はないが、例えば、前記（Ａ−１）〜（Ａ−４）成分を、適切な重合開始剤（好ましくはラジカル重合開始剤）を用いて重合又は共重合させることにより、（Ａ）成分のアルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマーを得ることができる。このとき、必要に応じて、有機溶剤を用いることもできる。
【００２９】
重合開始剤としては、特に制限されるものではないが、例えば、メチルエチルケトンパーオキシド、シクロヘキサノンパーオキシド、メチルシクロヘキサノンパーオキシド等のケトンパーオキシド；１，１−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）シクロヘキサン、１，１−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）−２−メチルシクロヘキサン、１，１−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）−３，３，５−トリメチルシクロヘキサン、１，１−ビス（ｔ−ヘキシルパーオキシ）シクロヘキサン、１，１−ビス（ｔ−ヘキシルパーオキシ）−３，３，５−トリメチルシクロヘキサン等のパーオキシケタール；ｐ−メンタンヒドロパーオキシド等のヒドロパーオキシド；α，α’−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）ジイソプロピルベンゼン、ジクミルパーオキシド、ｔ−ブチルクミルパーオキシド、ジ−ｔ−ブチルパーオキシド等のジアルキルパーオキシド；オクタノイルパーオキシド、ラウロイルパーオキシド、ステアリルパーオキシド、ベンゾイルパーオキシド等のジアシルパーオキシド；ビス（４−ｔ−ブチルシクロヘキシル）パーオキシジカーボネート、ジ−２−エトキシエチルパーオキシジカーボネート、ジ−２−エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、ジ−３−メトキシブチルパーオキシカーボネート等のパーオキシカーボネート；ｔ−ブチルパーオキシピバレート、ｔ−ヘキシルパーオキシピバレート、１，１，３，３−テトラメチルブチルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、２，５−ジメチル−２，５−ビス（２−エチルヘキサノイルパーオキシ）ヘキサン、ｔ−ヘキシルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシイソブチレート、ｔ−ヘキシルパーオキシイソプロピルモノカーボネート、ｔ−ブチルパーオキシ−３，５，５−トリメチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシラウレート、ｔ−ブチルパーオキシイソプロピルモノカーボネート、ｔ−ブチルパーオキシ−２−エチルヘキシルモノカーボネート、ｔ−ブチルパーオキシベンゾエート、ｔ−ヘキシルパーオキシベンゾエート、２，５−ジメチル−２，５−ビス（ベンゾイルパーオキシ）ヘキサン、ｔ−ブチルパーオキシアセテート等のパーオキシエステル；２，２’−アゾビスイソブチロニトリル、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）、２，２’−アゾビス（４−メトキシ−２’−ジメチルバレロニトリル）等のアゾ化合物などが挙げられる。
【００３０】
有機溶剤としては、重合反応によって得られる（Ａ）成分を溶解し得るものであれば、特に制限はない。例えば、トルエン、キシレン、メシチレン、クメン、ｐ−シメン等の芳香族炭化水素；テトラヒドロフラン、１，４−ジオキサン等の環状エーテル；メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール；アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン等のケトン；酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、γ−ブチロラクトン等のエステル；エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等の炭酸エステル；エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル等の多価アルコールアルキルエーテル；エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の多価アルコールアルキルエーテルアセテート；Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン等のアミドなどが挙げられる。
これらの有機溶剤は、１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００３１】
さらに（Ａ）成分のアルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマーは、必要に応じて、側鎖にエチレン性不飽和基を含んでいてもよい。その組成や合成方法に特に制限はないが、例えば（Ａ）成分のアルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマーとしての酸性置換基を有する（メタ）アクリルポリマーに、少なくとも１つのエチレン性不飽和基と、エポキシ基、オキセタニル基、イソシアネート基、ヒドロキシル基及びカルボキシル基からなる群から選択される少なくとも１つの官能基を有する化合物とを付加反応させて側鎖にエチレン性不飽和基を導入することができる。
【００３２】
少なくとも１つのエチレン性不飽和基と、エポキシ基、オキセタニル基、イソシアネート基、ヒドロキシル基及びカルボキシル基からなる群から選択される少なくとも１つの官能基とを有する化合物としては、特に制限されるものではないが、例えば、グリシジル（メタ）アクリレート、α−エチルグリシジル（メタ）アクリレート、α−プロピルグリシジル（メタ）アクリレート、α−ブチルグリシジル（メタ）アクリレート、２−メチルグリシジル（メタ）アクリレート、２−エチルグリシジル（メタ）アクリレート、２−プロピルグリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシブチル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシヘプチル（メタ）アクリレート、α−エチル−６，７−エポキシヘプチル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル等の、エチレン性不飽和基とエポキシ基を有する化合物；（２−エチル−２−オキセタニル）メチル（メタ）アクリレート、（２−メチル−２−オキセタニル）メチル（メタ）アクリレート、２−（２−エチル−２−オキセタニル）エチル（メタ）アクリレート、２−（２−メチル−２−オキセタニル）エチル（メタ）アクリレート、３−（２−エチル−２−オキセタニル）プロピル（メタ）アクリレート、３−（２−メチル−２−オキセタニル）プロピル（メタ）アクリレート等の、エチレン性不飽和基とオキセタニル基を有する化合物；２−（メタ）アクリロイルオキシエチルイソシアネート等の、エチレン性不飽和基とイソシアネート基を有する化合物；２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−クロロ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート等の、エチレン性不飽和基とヒドロキシル基を有する化合物；（メタ）アクリル酸、クロトン酸、ケイ皮酸、コハク酸（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）、２−フタロイルエチル（メタ）アクリレート、２−テトラヒドロフタロイルエチル（メタ）アクリレート、２−ヘキサヒドロフタロイルエチル（メタ）アクリレート、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレート、３−ビニル安息香酸、４−ビニル安息香酸等の、エチレン性不飽和基とカルボキシル基を有する化合物などが挙げられる。
これらの中でも、透明性及び反応性の観点から、グリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、２−（メタ）アクリロイルオキシエチルイソシアネート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル酸、クロトン酸、２−ヘキサヒドロフタロイルエチル（メタ）アクリレートが好ましい。これらの化合物は、１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００３３】
（Ａ）成分の重量平均分子量（Ｍｗ）は、１，０００〜３，０００，０００であることが好ましい。１，０００以上であると分子量が大きいため樹脂組成物とした場合の硬化物の強度が十分となる傾向にあり、３，０００，０００以下であれば、アルカリ性水溶液からなる現像液に対する溶解性及び（Ｂ’）成分との相溶性が良好となる傾向にある。以上の観点から、３，０００〜２，０００，０００がより好ましく、５，０００〜１，０００，０００がさらに好ましく、５，０００〜２００，０００が特に好ましく、５，０００〜１００，０００が最も好ましい。
【００３４】
（Ａ）成分は、後述する現像により感光性樹脂組成物の層を選択的に除去してパターンを形成する工程において、公知の各種現像液により現像可能となるように酸価を規定することができる。例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、水酸化テトラメチルアンモニウム、トリエタノールアミン等のアルカリ性水溶液を用いて現像する場合には、（Ａ）成分の酸価は２０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましい。２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であると現像が容易となる傾向にあり、３００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であると耐現像液性が低下しない傾向にある。以上の観点から、上記アルカリ性水溶液を用いて現像する場合には、（Ａ）成分の酸価は３０〜２５０ｍｇＫＯＨ／ｇであることがより好ましく、４０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであることがさらに好ましい。
また、水又はアルカリ性水溶液と、１種以上の界面活性剤とからなるアルカリ性水溶液を用いて現像する場合には、（Ａ）成分の酸価は１０〜２６０ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましい。酸価が１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であると現像が容易となる傾向にあり、２６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であると耐現像液性が低下しない傾向にある。以上の観点から、１種以上の界面活性剤を含有するアルカリ性水溶液を用いて現像する場合には、（Ａ）成分の酸価は２０〜２５０ｍｇＫＯＨ／ｇであることがより好ましく、３０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであることがさらに好ましい。
【００３５】
（（Ｂ）成分：重合性化合物）
（Ｂ）成分の重合性化合物としては、２つ以上のエチレン性不飽和基を有するものが好ましく、通常１０以下であることが好ましいものである。エチレン性不飽和基としては、例えば、（メタ）アクリロイル基、ビニル基、アリル基等があげられ、これらの中でも、（メタ）アクリロイル基、ビニル基が好ましく、（メタ）アクリロイル基がより好ましい。
（Ｂ）成分としては、透明性、耐熱性及び低光伝搬損失の観点から、（Ｂ−１）ジ（メタ）アクリレート、（Ｂ−２）３官能以上のポリ（メタ）アクリレートが好ましく、（Ｂ−１）ジ（メタ）アクリレートがより好ましい。
【００３６】
（Ｂ−１）ジ（メタ）アクリレートとしては、例えば、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，３−プロパンジオールジ（メタ）アクリレート、２−メチル−１，３−プロパンジオールジ（メタ）アクリレート、２−ブチル−２−エチル−１，３−プロパンジオールジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、３−メチル−１，５−ペンタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９−ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１０−デカンジオールジ（メタ）アクリレート、グリセリンジ（メタ）アクリレート等の脂肪族ジ（メタ）アクリレート；前記脂肪族ジ（メタ）アクリレートの、エトキシ化体、プロポキシ化体、エトキシ化プロポキシ化体又はカプロラクトン変性体；エチレングリコール型エポキシジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコール型エポキシジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコール型エポキシジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコール型エポキシジ（メタ）アクリレート、ジプロピレングリコール型エポキシジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコール型エポキシジ（メタ）アクリレート、１，３−プロパンジオール型エポキシジ（メタ）アクリレート、２−メチル−１，３−プロパンジオール型エポキシジ（メタ）アクリレート、２−ブチル−２−エチル−１，３−プロパンジオール型エポキシジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオール型エポキシジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコール型エポキシジ（メタ）アクリレート、３−メチル−１，５−ペンタンジオール型エポキシジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオール型エポキシジ（メタ）アクリレート、１，９−ノナンジオール型エポキシジ（メタ）アクリレート、１，１０−デカンジオール型エポキシジ（メタ）アクリレート等の脂肪族エポキシジ（メタ）アクリレート；シクロヘキサンジメタノールジ（メタ）アクリレート、トリシクロデカンジメタノールジ（メタ）アクリレート、水添ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、水添ビスフェノールＦジ（メタ）アクリレート等の脂環式ジ（メタ）アクリレート；前記脂環式ジ（メタ）アクリレートの、エトキシ化体、プロポキシ化体、エトキシ化プロポキシ化体又はカプロラクトン変性体；シクロヘキサンジメタノール型エポキシジ（メタ）アクリレート、トリシクロデカンジメタノール型エポキシジ（メタ）アクリレート、水添ビスフェノールＡ型エポキシジ（メタ）アクリレート、水添ビスフェノールＦ型エポキシジ（メタ）アクリレート等の脂環式エポキシジ（メタ）アクリレート；ヒドロキノンジ（メタ）アクリレート、レゾルシノールジ（メタ）アクリレート、カテコールジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＦジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡＦジ（メタ）アクリレート、ビフェノールジ（メタ）アクリレート、フルオレンビスフェノールジ（メタ）アクリレート等の芳香族ジ（メタ）アクリレート；前記芳香族ジ（メタ）アクリレートの、エトキシ化体、プロポキシ化体、エトキシ化プロポキシ化体又はカプロラクトン変性体；ヒドロキノン型エポキシジ（メタ）アクリレート、レゾルシノール型エポキシジ（メタ）アクリレート、カテコール型エポキシジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡ型エポキシジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＦ型エポキシジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡＦ型エポキシジ（メタ）アクリレート、ビフェノール型エポキシジ（メタ）アクリレート、フルオレンビスフェノール型エポキシジ（メタ）アクリレート等の芳香族エポキシジ（メタ）アクリレート；イソシアヌル酸ジ（メタ）アクリレート等の複素環式ジ（メタ）アクリレート；前記複素環式ジ（メタ）アクリレートの、エトキシ化体、プロポキシ化体、エトキシ化プロポキシ化体又はカプロラクトン変性体；イソシアヌル酸モノアリル型エポキシジ（メタ）アクリレート等の複素環式ジ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。
【００３７】
ここで、「エトキシ化体、プロポキシ化体、エトキシ化プロポキシ化体」とは、原料となるアルコール又はフェノール類［例えば、モノ（メタ）アクリレート；ＣＨ２＝Ｃ（Ｒ１）−ＣＯＯ−Ｒ２（Ｒ１は水素原子又はメチル基、Ｒ２は１価の有機基）の場合は、ＨＯ−Ｒ２で示されるもの］の代わりに、前記アルコール又はフェノール類に、それぞれ、１以上のエチレンオキシドを付加した構造のアルコール、１以上のプロピレンオキシドを付加した構造のアルコール、又は１以上のエチレンオキシド及びプロピレンオキシドを付加した構造のアルコールを、原料に用いて得られる（メタ）アクリレートを示し［例えば、エトキシ化体の場合はＣＨ２＝Ｃ（Ｒ１）−ＣＯＯ−（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｑ−Ｒ２（ｑは１以上の整数、Ｒ１、Ｒ２は前記と同様）で示される。］、以下、同様である。例えば、フェノキシエチル（メタ）アクリレートのエトキシ化体とは、フェノキシエチルアルコールにエチレンオキシドを付加したアルコールと、アクリル酸又はメタクリル酸とを反応させて得られる（メタ）アクリレートを意味する。また、カプロラクトン変性体とは、（メタ）アクリレートの原料となるアルコールをカプロラクトンで変性した変性アルコールを原料とする（メタ）アクリレートを示し［例えば、モノ（メタ）アクリレートのε−カプロラクトン変性体の場合、ＣＨ２＝Ｃ（Ｒ１）−ＣＯＯ−（（ＣＨ２）５ＣＯＯ）ｑ−Ｒ２（ｑ、Ｒ１、Ｒ２は前記と同様）で示される。］、以下、同様である。
【００３８】
これらの中でも、特に、下記一般式（１）で表される芳香族ジ（メタ）アクリレート、下記一般式（２）で表される芳香族ジ（メタ）アクリレートがより好ましく、下記一般式（１）で表される芳香族ジ（メタ）アクリレートがさらに好ましい。
【００３９】
【化１】
2017187654.tif 000002
【００４０】
式（１）中、Ｒ１０は、それぞれ独立して、水素原子又はメチル基を示し、同一でも異なっていてもよい。また、Ｒ１１は、それぞれ独立して、水素原子、フッ素原子、又は炭素数１〜２０の１価の有機基を示し、同一でも異なっていてもよい。
なお、炭素数１〜２０の１価の有機基としては、例えば、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、アシル基、エステル基（−ＣＯ−Ｏ−Ｒ又は−Ｏ−ＣＯ−Ｒを意味する。ただしＲは炭化水素基である）、カルバモイル基などの１価の有機基が挙げられ、それらは、さらに水酸基、ハロゲン原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基、カルボニル基、ホルミル基、エステル基、アミド基、アルコキシ基、アリーロキシ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、アミノ基、シリル基、シリロキシ基等で置換されていてもよい。これらの中でも、透明性、及び耐熱性の点から、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基が好ましい。
また、式（１）中、Ｚ２は単結合、酸素原子、硫黄原子、−ＣＨ２−、−Ｃ（ＣＨ３）２−、−ＣＦ２−、−Ｃ（ＣＦ３）２−、−ＳＯ２−、及び下記式で示されるいずれかの２価の基を示す。
【００４１】
【化２】
2017187654.tif 000003
【００４２】
Ｒ１２は水素原子、フッ素原子、及び炭素数１〜２０の１価の有機基のいずれかを示し、同一でも異なっていてもよい。また、ｆは２〜１０の整数を示す。なお、炭素数１〜２０の１価の有機基としては、前述のＲ１１で炭素数１〜２０の１価の有機基として記載されたものと同様のものを好適に挙げることができ、好ましいものも同じである。
【００４３】
一般式（１）において、Ｙ２は酸素原子、硫黄原子、−ＯＣＨ２−、−ＳＣＨ２−、−Ｏ（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｇ−、−Ｏ［ＣＨ（ＣＨ３）ＣＨ２Ｏ］ｈ−、−Ｏ［ＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）Ｏ］ｉ−、及び−Ｏ［（ＣＨ２）５ＣＯ２］ｊ−のいずれかの２価の基を含み、同一でも異なっていてもよい。また、ｇ〜ｊは各々独立に１〜１０の整数を示す。
【００４４】
【化３】
2017187654.tif 000004
【００４５】
式（２）中、ｋは、１〜１０の整数を示す。
式（２）中、Ｒ１３は水素原子又はメチル基を示し、同一でも異なっていてもよい。また、Ｒ１４は水素原子、フッ素原子、及び炭素数１〜２０の１価の有機基のいずれかを示し、同一でも異なっていてもよい。
炭素数１〜２０の１価の有機基としては、前述のＲ１１で炭素数１〜２０の１価の有機基として記載されたものと同様のものを好適に挙げることができ、好ましいものも同じである。
式（２）中、Ｚ３は単結合、酸素原子、硫黄原子、−ＣＨ２−、−Ｃ（ＣＨ３）２−、−ＣＦ２−、−Ｃ（ＣＦ３）２−、−ＳＯ２−、及び下記式で示されるいずれかの２価の基を示す。
【００４６】
【化４】
2017187654.tif 000005
【００４７】
Ｒ１５は水素原子、フッ素原子、及び炭素数１〜２０の１価の有機基のいずれかを示し、同一でも異なっていてもよい。また、ｌは２〜１０の整数を示す。
炭素数１〜２０の１価の有機基としては、前記Ｒ１４と同じものが挙げられる。これらの中でも、透明性、及び耐熱性の点から、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、及びアラルキル基が好ましい。
【００４８】
一般式（２）において、Ｙ３は酸素原子、硫黄原子、−Ｏ（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｍ−、−Ｏ［ＣＨ（ＣＨ３）ＣＨ２Ｏ］ｎ−、−Ｏ［ＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）Ｏ］ｏ−、及び−Ｏ［（ＣＨ２）５ＣＯ２］ｐ−のいずれかの２価の基を含み、同一でも異なっていてもよい。また、ｍ〜ｐは各々独立に１〜１０の整数を示す。
（Ｂ−１）成分としては、１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００４９】
（Ｂ−２）３官能以上のポリ（メタ）アクリレートとしては、例えば、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等の脂肪族ポリ（メタ）アクリレート；前記脂肪族ポリ（メタ）アクリレートの、エトキシ化体、プロポキシ化体、エトキシ化プロポキシ化体又はカプロラクトン変性体；フェノールノボラック型エポキシポリ（メタ）アクリレート、クレゾールノボラック型エポキシポリ（メタ）アクリレート等の芳香族エポキシポリ（メタ）アクリレート；イソシアヌル酸トリ（メタ）アクリレート等の複素環式ポリ（メタ）アクリレート；前記複素環式ポリ（メタ）アクリレートのエトキシ化体、プロポキシ化体、エトキシ化プロポキシ化体又はカプロラクトン変性体；イソシアヌル酸型エポキシトリ（メタ）アクリレート等の複素環式エポキシポリ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。
【００５０】
以上において、ポリ（メタ）アクリレートとしては、いずれも、トリ（メタ）アクリレート、テトラ（メタ）アクリレート、ペンタ（メタ）アクリレートが好ましく、トリ（メタ）アクリレートがより好ましく、トリアクリレートがさらに好ましい。
これらの中でも、透明性、耐熱性及び低光伝搬損失の観点から、脂肪族ポリ（メタ）アクリレート；芳香族エポキシポリ（メタ）アクリレート；複素環式ポリ（メタ）アクリレート；イソシアヌル酸型エポキシポリ（メタ）アクリレートが好ましく、脂肪族ポリ（メタ）アクリレートがより好ましく、脂肪族トリ（メタ）アクリレートがさらに好ましく、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートが特に好ましく、ペンタエリスリトールトリアクリレートが最も好ましい。
（Ｂ−２）成分としては、１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００５１】
前記（Ｂ）成分の含有量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部に対して、２０〜７０質量部であることが好ましい。２０質量部以上であると、低光伝搬損失が向上し、且つ、光硬化時に（Ａ）成分を十分に絡め込んで硬化するために耐現像液性が良好となる傾向にあり、７０質量部以下であると、アルカリ現像液への溶解性が良好となる傾向にある。以上の観点から、（Ｂ）成分の配合量の下限値は、２５質量部であることがより好ましく、３５質量部であることがさらに好ましい。また、上限値は、７０質量部であることがより好ましく、６５質量部であることがさらに好ましい。
【００５２】
（（Ｃ）成分：重合開始剤）
重合開始剤としては、加熱又は紫外線等の照射によって重合を開始させるものであれば特に制限はなく、例えば、熱ラジカル重合開始剤、光ラジカル重合開始剤等が挙げられるが、硬化速度が速く常温硬化が可能なことから、光ラジカル重合開始剤であることが好ましく、光ラジカル重合開始剤と熱ラジカル重合開始剤とを併用することがさらに好ましい。
【００５３】
光ラジカル重合開始剤としては、例えば、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン等のベンゾインケタール；１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン等のα−ヒドロキシケトン；２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン、１，２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパン−１−オン等のα−アミノケトン；１−［（４−フェニルチオ）フェニル］−１，２−オクタジオン−２−（ベンゾイル）オキシム等のオキシムエステル；ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキシド、ビス（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，４，４−トリメチルペンチルホスフィンオキシド、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド等のホスフィンオキシド；２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体等の２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体；ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ’−テトラメチル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ’−テトラエチル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキシ−４’−ジメチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン化合物；２−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン、２−ｔｅｒｔ−ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、１，２−ベンズアントラキノン、２，３−ベンズアントラキノン、２−フェニルアントラキノン、２，３−ジフェニルアントラキノン、１−クロロアントラキノン、２−メチルアントラキノン、１，４−ナフトキノン、９，１０−フェナントラキノン、２−メチル−１，４−ナフトキノン、２，３−ジメチルアントラキノン等のキノン化合物；ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル；ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン化合物；ベンジルジメチルケタール等のベンジル化合物；９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９’−アクリジニルヘプタン）等のアクリジン化合物：Ｎ−フェニルグリシン、クマリンなどが挙げられる。
【００５４】
また、前記２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体において、２つのトリアリールイミダゾール部位のアリール基の置換基は、同一で対称な化合物を与えてもよく、相違して非対称な化合物を与えてもよい。また。ジエチルチオキサントンとジメチルアミノ安息香酸の組み合わせのように、チオキサントン化合物と第三級アミンとを組み合わせてもよい。
【００５５】
これらの中で、硬化性、透明性及び耐熱性の観点から、α−ヒドロキシケトン、ホスフィンオキシドが好ましく、ホスフィンオキシドがより好ましい。
光ラジカル重合開始剤は、１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。さらに、適切な増感剤と組み合わせて用いることもできる。
【００５６】
熱ラジカル重合開始剤としては、例えば、メチルエチルケトンパーオキシド、シクロヘキサノンパーオキシド、メチルシクロヘキサノンパーオキシド等のケトンパーオキシド；１，１−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）シクロヘキサン、１，１−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）−２−メチルシクロヘキサン、１，１−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）−３，３，５−トリメチルシクロヘキサン、１，１−ビス（ｔ−ヘキシルパーオキシ）シクロヘキサン、１，１−ビス（ｔ−ヘキシルパーオキシ）−３，３，５−トリメチルシクロヘキサン等のパーオキシケタール；ｐ−メンタンヒドロパーオキシド等のヒドロパーオキシド；α，α’−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）ジイソプロピルベンゼン、ジクミルパーオキシド、ｔ−ブチルクミルパーオキシド、ジ−ｔ−ブチルパーオキシド等のジアルキルパーオキシド；オクタノイルパーオキシド、ラウロイルパーオキシド、ステアリルパーオキシド、ベンゾイルパーオキシド等のジアシルパーオキシド；ビス（４−ｔ−ブチルシクロヘキシル）パーオキシジカーボネート、ジ−２−エトキシエチルパーオキシジカーボネート、ジ−２−エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、ジ−３−メトキシブチルパーオキシカーボネート等のパーオキシカーボネート；ｔ−ブチルパーオキシピバレート、ｔ−ヘキシルパーオキシピバレート、１，１，３，３−テトラメチルブチルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、２，５−ジメチル−２，５−ビス（２−エチルヘキサノイルパーオキシ）ヘキサン、ｔ−ヘキシルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシイソブチレート、ｔ−ヘキシルパーオキシイソプロピルモノカーボネート、ｔ−ブチルパーオキシ−３，５，５−トリメチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシラウレート、ｔ−ブチルパーオキシイソプロピルモノカーボネート、ｔ−ブチルパーオキシ−２−エチルヘキシルモノカーボネート、ｔ−ブチルパーオキシベンゾエート、ｔ−ヘキシルパーオキシベンゾエート、２，５−ジメチル−２，５−ビス（ベンゾイルパーオキシ）ヘキサン、ｔ−ブチルパーオキシアセテート等のパーオキシエステル；２，２’−アゾビスイソブチロニトリル、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）、２，２’−アゾビス（４−メトキシ−２’−ジメチルバレロニトリル）等のアゾ化合物などが挙げられる。
これらの中で、硬化性、透明性、及び耐熱性の観点から、ジアシルパーオキシド、パーオキシエステル、アゾ化合物が好ましい。
熱ラジカル重合開始剤は、１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
また、上述のように光ラジカル重合開始剤と熱ラジカル重合開始剤とを組み合わせて用い、コアパターンの形成のための光硬化性と、クラッド層を形成した後の硬化のための熱硬化性とを兼ね備えるコア形成用樹脂組成物とすることが好ましい。
【００５７】
（Ｃ）成分の重合開始剤の含有量は、光ラジカル重合開始剤、熱ラジカル重合開始剤のいずれの場合であっても、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部に対して、０．３〜１０質量部であることが好ましい。０．３質量部以上であると、硬化が十分であり、硬化不足による未反応物の析出を抑制し易い傾向にあり、１０質量部以下であると、十分な光透過性が得られる傾向にある。以上の観点から、０．３５〜７質量部であることがより好ましく、０．４０〜５質量部であることがさらに好ましく、０．４５〜３質量部であることが特に好ましい。なお、光ラジカル重合開始剤と、熱ラジカル重合開始剤とを併用する場合には、両者の合計量は、１０質量部以下とすることが透明性の点で好ましい。
【００５８】
（（Ｄ）成分：熱硬化性樹脂）
熱硬化性樹脂としては、分子内に２つ以上のエポキシ基を有する化合物、分子内にエポキシ基とエチレン性不飽和基を有する化合物、及び分子内に２つ以上のシアネート基を有する化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種が好ましい。
【００５９】
分子内に２つ以上のエポキシ基を有する化合物としては、例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、テトラブロモビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡＤ型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、フルオレン型エポキシ樹脂等の２官能フェノールグリシジルエーテル；水添ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、水添２，２’−ビフェノール型エポキシ樹脂、水添４，４’−ビフェノール型エポキシ樹脂等の水添２官能フェノールグリシジルエーテル；フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン−フェノール型エポキシ樹脂、テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂等の多官能フェノールグリシジルエーテル；ポリエチレングリコール型エポキシ樹脂、ポリプロピレングリコール型エポキシ樹脂、ネオペンチルグリコール型エポキシ樹脂、１，６−ヘキサンジオール型エポキシ樹脂等の２官能脂肪族アルコールグリシジルエーテル；シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、トリシクロデカンジメタノール型エポキシ樹脂等の２官能脂環式アルコールグリシジルエーテル；トリメチロールプロパン型エポキシ樹脂、ソルビトール型エポキシ樹脂、グリセリン型エポキシ樹脂等の多官能脂肪族アルコールグリシジルエーテル；フタル酸ジグリシジルエステル等の２官能芳香族グリシジルエステル；テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、ヘキサヒドロフタル酸ジグリシジルエステル等の２官能脂環式グリシジルエステル；Ｎ，Ｎ−ジグリシジルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジグリシジルトリフルオロメチルアニリン等の２官能芳香族グリシジルアミン；Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラグリシジル−４，４−ジアミノジフェニルメタン、１，３−ビス（Ｎ，Ｎ−グリシジルアミノメチル）シクロヘキサン、Ｎ，Ｎ，Ｏ−トリグリシジル−ｐ−アミノフェノール等の多官能芳香族グリシジルアミン；アリサイクリックジエポキシアセタール、アリサイクリックジエポキシアジペート、アリサイクリックジエポキシカルボキシレート、ビニルシクロヘキセンジオキシド等の２官能脂環式エポキシ樹脂；２，２−ビス（ヒドロキシメチル）−１−ブタノールの１，２−エポキシ−４−（２−オキシラニル）シクロヘキサン付加体等の多官能脂環式エポキシ樹脂；トリグリシジルイソシアヌレート等の多官能複素環式エポキシ樹脂；オルガノポリシロキサン型エポキシ樹脂等の２官能又は多官能ケイ素含有エポキシ樹脂などが挙げられる。該エポキシ樹脂のエポキシ当量は、それぞれ、好ましくは５０〜３，０００ｇ／ｅｑ、より好ましくは８０〜２，０００ｇ／ｅｑ、さらに好ましくは１００〜１，０００ｇ／ｅｑである。ここで、エポキシ当量は、１当量のエポキシ基あたりの樹脂の質量（ｇ／ｅｑ）であり、ＪＩＳＫ ７２３６に規定された方法に従って測定することができる。
【００６０】
分子内にエポキシ基とエチレン性不飽和基を有する化合物としては、分子内にグリシジル基を有するエポキシ樹脂を（メタ）アクリル酸化合物と反応させて得られるエポキシ（メタ）アクリレートを示し、エポキシ基に対し（メタ）アクリル酸化合物を０．１〜０．９当量反応させたものが好ましく、０．２〜０．８当量がより好ましい。０．４〜０．６当量が特に好ましい。
【００６１】
具体的にはビスフェノールＡ型エポキシ（メタ）アクリレート、テトラブロモビスフェノールＡ型エポキシ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＦ型エポキシ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡＦ型エポキシ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡＤ型エポキシ（メタ）アクリレート、ビフェニル型エポキシ（メタ）アクリレート、ナフタレン型エポキシ（メタ）アクリレート、フルオレン型エポキシ（メタ）アクリレート等の２官能フェノールグリシジルエーテル；水添ビスフェノールＡ型エポキシ（メタ）アクリレート、水添ビスフェノールＦ型エポキシ（メタ）アクリレート、水添２，２’−ビフェノール型エポキシ（メタ）アクリレート、水添４，４’−ビフェノール型エポキシ（メタ）アクリレート等の水添２官能フェノールグリシジルエーテル由来；フェノールノボラック型エポキシ（メタ）アクリレート、クレゾールノボラック型エポキシ（メタ）アクリレート、ジシクロペンタジエン−フェノール型エポキシ（メタ）アクリレート、テトラフェニロールエタン型エポキシ（メタ）アクリレート等の多官能フェノールグリシジルエーテル由来；ポリエチレングリコール型エポキシ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコール型エポキシ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコール型エポキシ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオール型エポキシ（メタ）アクリレート等の２官能脂肪族アルコールグリシジルエーテル由来；シクロヘキサンジメタノール型エポキシ（メタ）アクリレート、トリシクロデカンジメタノール型エポキシ（メタ）アクリレート等の２官能脂環式アルコールグリシジルエーテル由来；トリメチロールプロパン型エポキシ（メタ）アクリレート、ソルビトール型エポキシ（メタ）アクリレート、グリセリン型エポキシ（メタ）アクリレート等の多官能脂肪族アルコールグリシジルエーテル由来；フタル酸ジグリシジルエステル等の２官能芳香族グリシジルエステル由来；テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、ヘキサヒドロフタル酸ジグリシジルエステル等の２官能脂環式グリシジルエステル由来のエポキシ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。
【００６２】
これらの中で、透明性及び高屈折率、耐熱性の観点から、ビスフェノールＡ型エポキシ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＦ型エポキシ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡＦ型エポキシ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡＤ型エポキシ（メタ）アクリレート、ビフェニル型エポキシ（メタ）アクリレート、ナフタレン型エポキシ（メタ）アクリレート、フルオレン型エポキシ（メタ）アクリレート、フェノールノボラック型エポキシ（メタ）アクリレート、クレゾールノボラック型エポキシ（メタ）アクリレート、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ（メタ）アクリレート、トリシクロデカンジメタノール型エポキシ（メタ）アクリレートなどの芳香族、脂環式骨格を有するエポキシアクリレートが好ましい。
【００６３】
分子内に２つ以上のシアネート基を有する化合物としては、例えば、ノボラック型シアネート樹脂、ビスフェノールＡ型シアネート樹脂、ビスフェノールＥ型シアネート樹脂、ビスフェノールＦ型シアネート樹脂、テトラメチルビスフェノールＦ型シアネート樹脂等が挙げられる。これらのシアネート化合物は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。
これらの熱硬化性樹脂は、それぞれ単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００６４】
（Ｄ）成分を含有量は、（Ａ）〜（Ｃ）成分の総量１００質量部に対して、１〜４０質量部であることが好ましい。１質量部以上であると、（Ａ）成分と十分な架橋構造を形成するため、耐熱性が良好となる傾向にあり、４０質量部以下であると、アルカリ現像液への溶解性が良好となる傾向にある。同様の観点から、（Ｄ）成分の含有量は、３〜３５質量部であることがさらに好ましく、５〜３０質量部であることが特に好ましい。
【００６５】
（（Ｈ）成分：硬化促進剤）
（Ｄ）熱硬化性樹脂としてエポキシ樹脂を用いる場合、必要に応じて（Ｈ）硬化促進剤を用いることが好ましい。（Ｈ）硬化促進剤としては、前記（Ａ）成分のカルボキシル基と前記（Ｄ）成分のエポキシ基の反応を促進する化合物であれば、特に制限はなく、例えば、トリ−ｎ−ブチルアミン、ベンジルメチルアミン、メチルアニリン等の２級アミン；トリエチルアミン、トリ−ｎ−プロピルアミン、トリイソプロピルアミン、トリ−ｎ−ブチルアミン、ジエチルイソプロピルアミン、ベンジルジメチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラメチルエチレンジアミン等の３級アミン；ピロリジン、Ｎ−メチルピロリジン、ピペリジン、Ｎ−メチルピペリジン、モルホリン、Ｎ−メチルモルホリン、ピペラジン、Ｎ，Ｎ’−ジメチルピペラジン、１，４−ジアザビシクロ［２．２．２］オクタン、１，５−ジアザビシクロ［４．３．０］ノナ−５−エン、１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］ウンデカ−７−エン等の環状アミン；２−メチルイミダゾール、２−エチルイミダゾール、２−ウンデシルイミダゾール、２−ヘプタデシルイミダゾール、２−フェニルイミダゾール、１，２−ジメチルイミダゾール、２−エチル−１−メチルイミダゾール、１，２−ジエチルイミダゾール、１−エチル−２−メチルイミダゾール、２−エチル−４−メチルイミダゾール、４−エチル−２−メチルイミダゾール、２−フェニル−４−メチルイミダゾール、１−ベンジル−２−フェニルイミダゾール、１−シアノエチル−２−メチルイミダゾール、１−シアノエチル−２−エチルイミダゾール、１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾール、１−シアノエチル−２−エチル−４−メチルイミダゾール、２−フェニル−４，５−ジヒドロキシメチルイミダゾール、２−フェニル−４−メチル−５−ヒドロキシメチルイミダゾール、２，３−ジヒドロ−１Ｈ−ピロロ［１，２−ａ］ベンズイミダゾール、２，４−ジアミノ−６−［２’−メチルイミダゾリル−（１’）］エチル−ｓ−トリアジン、２，４−ジアミノ−６−［２’−ウンデシルイミダゾリル−（１’）］エチル−ｓ−トリアジン、２，４−ジアミノ−６−［２’−エチル−４’−メチルイミダゾリル−（１’）］エチル−ｓ−トリアジン等のイミダゾール化合物；上記イミダゾール化合物のトリメリト酸付加体；上記イミダゾール化合物のイソシアヌル酸付加体；上記イミダゾール化合物の臭化水素酸付加体；塩化テトラ−ｎ−ブチルアンモニウム、臭化テトラ−ｎ−ブチルアンモニウム、ヨウ化テトラ−ｎ−ブチルアンモニウム、塩化ベンジルトリメチルアンモニウム、臭化ベンジルトリメチルアンモニウム、ヨウ化ベンジルトリメチルアンモニウム等の４級アンモニウム塩などが挙げられる。
これらの中でも、透明性及び硬化性の観点から上記イミダゾール化合物；上記イミダゾール化合物のトリメリト酸付加体；上記イミダゾール化合物のイソシアヌル酸付加体であることが好ましい。
以上の化合物は、単独又は２種類以上組み合わせて用いることができる。
【００６６】
前記（Ｈ）成分の配合量は、（Ａ）〜（Ｄ）成分の総量１００質量部に対して、０．０１〜１０質量部であることが好ましい。０．０１質量部以上であると、（Ａ）成分と（Ｃ）成分が十分な架橋構造を形成するため、耐熱性が良好であり、１０質量部以下であると、（Ａ）成分と（Ｃ）成分の反応を抑制することができ、保存安定性を向上させることができる。以上の観点から、（Ｈ）成分の配合量は、０．０５〜７質量部であることがさらに好ましく、０．１〜５質量部であることが特に好ましい。
【００６７】
（（Ｉ）モノ（メタ）アクリレート）
さらに、コア形成用樹脂組成物は、（Ｉ）成分としてモノ（メタ）アクリレートを含有していてもよい。モノ（メタ）アクリレートとしては、特に制限は無く、例えば特開２０１５−２１５４６７号公報の段落［００３３］に記載の（メタ）アクリレートが挙げられる。
コア形成用樹脂組成物に（Ｉ）成分を含有させる場合、その含有量は、（Ａ）〜（Ｃ）成分の総量１００質量部に対して、１０質量部以下であることが好ましく、５質量部以下であることがより好ましい。
【００６８】
（添加剤）
また、この他に必要に応じて、本発明のコア形成用樹脂組成物は、酸化防止剤、黄変防止剤、紫外線吸収剤、可視光吸収剤、着色剤、可塑剤、安定剤、充填剤等の添加剤を本発明の効果に悪影響を与えない範囲で含有していてもよい。
コア形成用樹脂組成物に添加剤を含有させる場合、その含有量は、（Ａ）〜（Ｃ）成分の総量１００質量部に対して、２０質量部以下であることが好ましく、１０質量部以下であることがより好ましく、５質量部以下であることがさらに好ましい。
【００６９】
コア形成用樹脂組成物は、上記の（Ａ）〜（Ｄ）の各成分および必要に応じて、（Ｈ）〜（Ｉ）成分、添加剤などを、公知の手段により混合することにより製造することができる。
【００７０】
［クラッド形成用樹脂組成物］
本発明の光導波路の製造方法で用いるクラッド形成用樹脂組成物は、主に第２のクラッド層を形成するために用いるが、第１のクラッド層を形成するのに用いることができ、コアの周囲のクラッド層の屈折率、クラッド同士の接着性、生産性等の観点からいえば、このクラッド形成用樹脂組成物により第１のクラッド層も形成することが好ましい。
【００７１】
本発明の製造方法で用いるクラッド形成用樹脂組成物は、（Ｅ）アルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマー、（Ｆ）少なくともポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレートを含有する重合性化合物、（Ｇ）重合開始剤を含有するものである。
このようなクラッド形成用樹脂組成物を用いることにより、クラッド層形成時にクラッド形成用樹脂組成物の成分の一つのポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレートが、コアパターンへ効率的に浸透するため、コアパターンの屈折率が、中心部から外周周辺部にかけて連続的に変化する特性を示し、これにより、コアパターンを伝搬する光はコアパターンの比較的中心付近を主に伝搬するようになり、低光伝搬損失化が可能となる。
以下、本発明のクラッド形成用樹脂組成物の各成分について詳述する。
【００７２】
（（Ｅ）成分：アルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマー）
（Ｅ）成分のアルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマーは、アルカリ水溶液に対して溶解し得るポリマーであればよく、コア形成用樹脂組成物で説明した（Ａ）成分のアルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマーと同様なものが使用できる。
具体的には、前述した酸性置換基を有する（メタ）アクリルポリマーを用いることができ、例えば、（メタ）アクリル酸、各種（メタ）アクリル酸エステル［（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシアルキルエステル等］、（メタ）アクリルアミド等の（メタ）アクリル系モノマーのホモポリマー又はコポリマー；前記（メタ）アクリル系モノマーと他の重合性不飽和基含有モノマー（例えば、スチレン、α−メチルスチレン、マレイン酸無水物等）等とのコポリマーなどが好ましく挙げられる。これらの（メタ）アクリルポリマーは、コア形成用樹脂組成物で説明した（Ａ−１）〜（Ａ−４）成分と同様に、カルボキシル基を有する重合性化合物（Ｅ−１）に由来する構造単位を有するポリマーであることが好ましい。また、（Ｅ）成分は、前記（Ｅ−１）成分と共に、さらに、水酸基を有する重合性化合物（Ｅ−２）に由来する構造単位、脂肪族環又は芳香族環を有する重合性化合物（Ｅ−３）に由来する構造単位及び前記（Ｅ−１）〜（Ｅ−３）成分以外の重合性化合物（Ｅ−４）に由来する構造単位からなる群から選択される少なくとも１つの構造単位を有するコポリマーであってもよく、前記（Ｅ−１）成分に由来する構造単位と前記（Ｅ−４）成分に由来する構造単位とを有するコポリマーであることが好ましい。なお、（Ｅ−３）成分は、クラッド形成用樹脂組成物の場合は、必ずしも使用する必要はない。
【００７３】
また、（Ｅ−４）成分は、主として、（Ｅ）成分のアルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマーの機械的特性、透明性及び屈折率を制御できる。（Ｅ−４）成分の重合性化合物としては、コア形成用樹脂組成物の場合のメチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレートに加えて、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチル（メタ）アクリレート、ブトキシエチル（メタ）アクリレート、イソアミル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ヘプチル（メタ）アクリレート、オクチルヘプチル（メタ）アクリレート、ノニル（メタ）アクリレート、デシル（メタ）アクリレート、ウンデシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、トリデシル（メタ）アクリレート、テトラデシル（メタ）アクリレート、ペンタデシル（メタ）アクリレート、ヘキサデシル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、ベヘニル（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらの中では、低光伝搬損失の観点から、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレートが好ましく、メチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレートがより好ましい。
（Ｅ−４）成分は、１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよいが、（Ｅ−４）成分としては、２種以上を併用することが好ましく、メチル（メタ）アクリレートとブチル（メタ）アクリレートとを併用することがより好ましい。
なお、これらの（Ｅ）成分のアルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマーは、１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００７４】
（Ｅ）成分のアルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマーにおいて、カルボキシル基を有する重合性化合物（Ｅ−１）に由来する構造単位の含有率は、３〜６０モル％であることが好ましく、この範囲であると、アルカリ溶解が可能となるとともに、クラッド層形成用のフィルムなどの作製の他、コアパターンの周囲にクラッド層を接触させて形成するのが容易となる。以上の観点から、５〜５０モル％であることがより好ましく、１０〜４０モル％であることがさらに好ましく、２０〜４０モル％であることが特に好ましい。
【００７５】
（Ｅ）成分のアルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマーにおいて、水酸基を有する重合性化合物（Ｅ−２）に由来する構造単位の含有率は、０〜５０モル％であることが好ましく、０〜３５モル％であることがより好ましく、０〜１５モル％であることがさらに好ましく、０〜５モル％であることが特に好ましい。
【００７６】
（Ｅ）成分のアルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマーにおいて、（Ｅ）成分の機械的特性、透明性及び屈折率を制御する観点からは、（Ｅ−４）成分に由来する構造単位の含有率は、３０〜９７モル％であることが好ましい。３０モル％以上９７モル％以下であると機械的特性、透明性及び屈折率を制御することができ、低光伝搬損失のクラッド層を形成することができる。以上の観点から、３０〜９０モル％であることがより好ましく、５０〜９０モル％であることがさらに好ましく、６０〜８０モル％であることが特に好ましい。
なお、（Ｅ）成分のアルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマーにおいて、前記（Ｅ−１）〜（Ｅ−４）成分に由来する構造単位の含有率は、上記の各構造単位の含有率から、合計が１００質量％となるようにそれぞれ選択される。
特に、（Ｅ）成分が前記（Ｅ−１）成分に由来する構造単位と前記（Ｅ−４）成分に由来する構造単位とを有するコポリマーである場合、前記（Ｅ−１）成分に由来する構造単位と前記（Ｅ−４）成分に由来する構造単位との含有比率［（Ｅ−１）：（Ｅ−４）］に特に制限はないが、モル比で、好ましくは１０：９０〜５０：５０、より好ましくは２０：８０〜５０：５０である。
【００７７】
（Ｅ）成分のアルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマーの製造方法に特に制限はないが、コア形成用樹脂組成物における（Ａ）成分の場合と同様に、例えば、前記（Ｅ−１）〜（Ｅ−４）成分を、適切な重合開始剤（好ましくはラジカル重合開始剤）を用いて重合又は共重合させることにより、（Ｅ）成分のアルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマーを得ることができる。このとき、必要に応じて、有機溶剤を用いることもできる。使用できる重合開始剤および有機溶剤については、コア形成用樹脂組成物の（Ａ）成分で説明したとおりである。
また、（Ｅ）成分のアルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマーが、必要に応じて、側鎖にエチレン性不飽和基を含んでいてもよいものであることなども前述したとおりである。
【００７８】
（Ｅ）成分のアルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマーの重量平均分子量（Ｍｗ）は、１，０００〜３，０００，０００であることが好ましい。１，０００以上であると分子量が大きいため樹脂組成物とした場合の硬化物の強度が十分となる傾向にあり、３，０００，０００以下であれば、有機溶剤に対する溶解性及び（Ｆ）成分との相溶性が良好となる傾向にある。以上の観点から、３，０００〜２，０００，０００がより好ましく、５，０００〜１，０００，０００がさらに好ましく、５，０００〜２００，０００が特に好ましく、５，０００〜１００，０００が最も好ましい。なお、本発明における重量平均分子量は、ゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）で測定し、標準ポリスチレン換算した値であり、詳細な測定方法は実施例に記載したとおりである。
【００７９】
（（Ｆ）成分：少なくともポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレートを含有する重合性化合物）
本発明で用いるクラッド形成用樹脂組成物は、（Ｆ）成分が、（Ｆ−１）ポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレートを含有する重合性化合物であり、これらの重合性化合物としては、２つ以上のエチレン性不飽和基を有するものであることが好ましく、通常１０以下であることが好ましいものである。エチレン性不飽和基としては、例えば、（メタ）アクリロイル基、ビニル基、アリル基等があげられ、これらの中でも、（メタ）アクリロイル基、ビニル基が好ましく、（メタ）アクリロイル基がより好ましい。
（Ｆ）成分中の該（Ｆ−１）成分の含有率は、特に制限されるものではないが、低光伝搬損失の観点から、（Ｆ）成分の総量１００質量部に対して、好ましくは３０〜１００質量部、より好ましくは４０〜１００質量部、さらに好ましくは４０〜９５質量部、特に好ましくは６０〜９５質量部、最も好ましくは８５〜９５質量部である。
（Ｆ−１）成分であるポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレートは、ポリエチレングリコールジ（メタ）クリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレンポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリテトラメチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリテトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレートがあげられ、これらのうち、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート及びポリエチレンポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレートが低光伝搬損失の観点から好ましく、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート及びポリエチレンポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレートがさらに好ましい。また、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレートでは、ポリテトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレートが特に好ましい。
【００８０】
また、これらのポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレートの含有率としては、クラッド形成用樹脂組成物の成分の一部がコアパターンへ浸透する浸透し易さの観点から、（Ｆ）成分中で、好ましくは５〜１００モル％、より好ましくは２０〜１００モル％、さらに好ましくは４０〜１００モル％、特に好ましくは５０〜１００モル％、最も好ましくは８０〜１００モル％であり、実質的に１００モル％であることも好ましい。なお、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレートの場合は、１０〜１００質量％が好ましく、５０〜１００質量％がさらに好ましい。また、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレートの場合は、１０〜１００質量％が好ましく、５０〜１００質量％がさらに好ましい。さらに、ポリエチレンポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレートの場合も、１０〜１００質量％であることが好ましく、５０〜１００質量％であることがさらに好ましい。
また、（Ｆ−１）成分の重量平均分子量は、コアパターンへの浸透性、また光伝搬特性の観点から、好ましくは１７０〜４，０００、より好ましくは３００〜４，０００、さらに好ましくは３００〜３，０００、特に好ましくは３００〜２，０００、最も好ましくは３００〜９００であり、また、４５０〜１，３００の範囲も好ましい。
【００８１】
また、（Ｆ）成分としては、該（Ｆ−１）成分以外に、さらに（Ｆ−２）成分として２つ以上のエチレン性不飽和基を有する重合性化合物（但し、（Ｆ−１）成分は除く。）を含有していてもよい。
（Ｆ−２）成分が有するエチレン性不飽和基としては、例えば、（メタ）アクリロイル基、ビニル基、アリル基等が挙げられ、これらの中でも、（メタ）アクリロイル基、ビニル基が好ましく、（メタ）アクリロイル基がより好ましい。
（Ｆ−２）成分としては、透明性、耐熱性及び低光伝搬損失の観点から、（Ｆ−２−１）ジ（メタ）アクリレート、（Ｆ−２−２）３官能以上のポリ（メタ）アクリレートが好ましく、（Ｆ−２−２）３官能以上のポリ（メタ）アクリレートがより好ましい。
これらの化合物としては、前述したコア形成用樹脂組成物において、（Ｂ−１）および（Ｂ−２）として説明した、重合性化合物が使用できる。
【００８２】
これらの中でも、特に、透明性、耐熱性及び低光伝搬損失の観点からは、脂環式ジ（メタ）アクリレート；前記脂環式ジ（メタ）アクリレートの、エトキシ化体、プロポキシ化体、エトキシ化プロポキシ化体、カプロラクトン変性体；脂環式エポキシジ（メタ）アクリレート；ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＦジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡＦジ（メタ）アクリレート、ビフェノールジ（メタ）アクリレート、フルオレンビスフェノールジ（メタ）アクリレート等の芳香族ジ（メタ）アクリレート；前記芳香族ジ（メタ）アクリレートの、エトキシ化体、プロポキシ化体、エトキシ化プロポキシ化体、カプロラクトン変性体；ビスフェノールＡ型エポキシジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＦ型エポキシジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡＦ型エポキシジ（メタ）アクリレート、ビフェノール型エポキシジ（メタ）アクリレート、フルオレンビスフェノール型エポキシジ（メタ）アクリレート等の芳香族エポキシジ（メタ）アクリレート；複素環式ジ（メタ）アクリレート；前記複素環式ジ（メタ）アクリレートの、エトキシ化体、プロポキシ化体、エトキシ化プロポキシ化体、カプロラクトン変性体が好ましい。
（Ｆ−２−１）成分としては、１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００８３】
また、（Ｆ−２−２）３官能以上のポリ（メタ）アクリレートとしては、例えば、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等の脂肪族ポリ（メタ）アクリレート；前記脂肪族ポリ（メタ）アクリレートの、エトキシ化体、プロポキシ化体、エトキシ化プロポキシ化体又はカプロラクトン変性体；フェノールノボラック型エポキシポリ（メタ）アクリレート、クレゾールノボラック型エポキシポリ（メタ）アクリレート等の芳香族エポキシポリ（メタ）アクリレート；イソシアヌル酸トリ（メタ）アクリレート等の複素環式ポリ（メタ）アクリレート；前記複素環式ポリ（メタ）アクリレートのエトキシ化体、プロポキシ化体、エトキシ化プロポキシ化体又はカプロラクトン変性体；イソシアヌル酸型エポキシトリ（メタ）アクリレート等の複素環式エポキシポリ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。
以上において、ポリ（メタ）アクリレートとしては、いずれも、トリ（メタ）アクリレート、テトラ（メタ）アクリレート、ペンタ（メタ）アクリレートが好ましく、トリ（メタ）アクリレートがより好ましく、トリアクリレートがさらに好ましい。
これらの中でも、透明性、耐熱性及び低光伝搬損失の観点から、脂肪族ポリ（メタ）アクリレート；芳香族エポキシポリ（メタ）アクリレート；複素環式ポリ（メタ）アクリレート；イソシアヌル酸型エポキシポリ（メタ）アクリレートが好ましく、脂肪族ポリ（メタ）アクリレートがより好ましく、脂肪族トリ（メタ）アクリレートがさらに好ましく、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートが特に好ましく、ペンタエリスリトールトリアクリレートが最も好ましい。
（Ｆ−２−２）成分としては、１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００８４】
前記（Ｆ）成分の含有量は、低光伝搬損失の観点から、（Ｅ）成分及び（Ｆ）成分の総量１００質量部に対して、２０〜７０質量部であることが好ましい。同様の観点から、（Ｆ）成分の含有量の下限値は、２５質量部であることがより好ましく、３５質量部であることがさらに好ましい。また、上限値は、７０質量部であることがより好ましく、６５質量部であることがさらに好ましい。
【００８５】
（（Ｇ）成分：重合開始剤）
重合開始剤としては、加熱又は紫外線等の照射によって重合を開始させるものであれば特に制限はなく、例えば、熱ラジカル重合開始剤、光ラジカル重合開始剤等が挙げられるが、硬化速度が速く常温硬化が可能なことから、光ラジカル重合開始剤であることが好ましい。使用できる重合開始剤としては、コア形成用樹脂組成物で、（Ｃ）重合開始剤として説明したとおりのものである。なお、重合開始剤の選択は、クラッド層形成時の硬化条件により選択されるが、光硬化により行う場合であっても、硬化を完全にするために、熱硬化性を付与する熱ラジカル重合開始剤を併用することも好ましい。また、（Ｇ）成分の重合開始剤の含有量などはコア形成用樹脂組成物において説明したとおりである。
【００８６】
本発明で用いるクラッド形成用樹脂組成物は、上記の（Ｅ）〜（Ｇ）成分の他に、コア形成用樹脂組成物と同様に、熱硬化性樹脂（Ｊ）、硬化促進剤（Ｋ）、及びモノ（メタ）アクリレート（Ｌ）および添加剤を含有するものであってもよい。これらの各成分については、コア形成用樹脂組成物で説明したとおりである。
なお、これらの各成分は、恒温恒湿試験等の信頼性の観点から、配合することが好ましい。また、配合量としては、コア形成用樹脂組成物で説明したとおりである。
【００８７】
クラッド形成用樹脂組成物は、上記の（Ｅ）〜（Ｇ）の各成分および必要に応じて、（Ｊ）〜（Ｌ）成分、添加剤などを、公知の手段により混合することにより製造することができる。
【００８８】
本発明では、コアよりもクラッドの方が、屈折率が低いものになるが、それぞれの樹脂組成物において硬化物の屈折率を調整し、クラッドの屈折率をコアに対して低下させるには、クラッド形成用樹脂組成物において、アルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマーの構成成分として、非芳香族系アクリルモノマを用いること、あるいは、脂肪族骨格である重合性化合物を用いることが必要であり、アルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマー、重合性化合物に芳香族骨格を含む場合は、コアよりも芳香環濃度を小さくすることにより調製することができる。
【００８９】
以上のようにして調製されるコア形成用樹脂組成物及びクラッド形成用樹脂組成物はいずれも、好適な有機溶剤を含有させて希釈した、いわゆる樹脂ワニスとして用いることが好ましい。使用できる有機溶剤としては、コア形成用樹脂組成物及びクラッド形成用樹脂組成物を溶解し得るものであれば特に制限はない。
このような有機溶剤としては、例えば、溶解性及び沸点の観点から、芳香族炭化水素、アルコール、ケトン、エステル、多価アルコールアルキルエーテルアセテート、アミドが好ましく、トルエン、メタノール、エタノール、イソプロパノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミドであることがより好ましい。
また、コア形成用樹脂組成物及びクラッド形成用樹脂組成物は、（Ａ）成分及び（Ｅ）成分の製造の際に用いた有機溶剤をそのまま含有していてもよい。
有機溶剤は、１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
樹脂ワニス中の固形分濃度は、塗布容易性の観点から、通常、２０〜８０質量％であることが好ましい。
【００９０】
本発明のコア形成用樹脂組成物及びクラッド形成用樹脂組成物は上記のように樹脂ワニスとして使用して、コア層およびクラッド層を形成してもよく、また、このような樹脂ワニスをフィルムなどの基材上に塗布し、乾燥して樹脂組成物の層フィルム上にを調製し、得られたフィルム上の樹脂組成物の層を転写するなどして、コア層およびクラッド層を形成することもできる。
【００９１】
本発明のコア形成用樹脂組成物及びクラッド形成用樹脂組成物から形成される硬化物の、温度２５℃における波長８３０〜８５０ｎｍの範囲での屈折率は、１．４００〜１．７００であることが好ましい。１．４００〜１．７００であれば、通常の光学樹脂との屈折率が大きく異ならないため、光学材料としての汎用性が損なわれにくい傾向にある。以上の観点から、前記屈折率は、１．４２５〜１．６７５であることがより好ましく、１．４５０〜１．６５０であることがさらに好ましい。
【００９２】
本発明のコア形成用樹脂組成物及びクラッド形成用樹脂組成物から形成される厚み５０μｍの硬化物の波長４００ｎｍでの透過率は８０％以上であることが好ましい。８０％以上であると、光の透過量が十分であるといえる。同様の観点から、該透過率は８５％以上であることがさらに好ましい。なお、透過率の上限については特に制限はない。
【００９３】
次に、上記のコア形成用樹脂組成物及びクラッド形成用樹脂組成物を用いて行う、光導波路の製造方法について説明する。
本発明の製造方法は、次の工程１〜３を備えるものである。
工程１：コア形成用樹脂組成物を用いて、第１のクラッド層上にコア層を形成し、露光及び現像により、光硬化させたコアパターンを形成する工程
工程２：コアパターンの周囲に、クラッド形成用樹脂組成物により第２のクラッド層を前記コアパターンに接触させて形成する工程
工程３：形成されたコアパターンとコアパターンの周囲に接触して形成された第２のクラッド層とを、硬化させて光導波路を形成する工程
【００９４】
工程１では、コア形成用樹脂組成物を塗工後、露光及び現像により光硬化させたコアパターンを形成するが、この時の硬化状態は、光硬化により、架橋反応をさせないか又は架橋反応の程度を抑えた、いわゆる半硬化状態のコアパターンを形成することが好ましい。この場合は、組成物中の熱硬化性樹脂はほとんど寄与しておらず、現像によるパターンの形成が可能な程度の光硬化のみが起こった状態といえる。
次いで、この半硬化状態のコアパターンに次工程によりクラッド形成用樹脂組成物の重合性化合物をコアパターン内に拡散浸透させた後、熱硬化などにより完全硬化するものである。コアパターン形成時のコアパターンの硬化の程度にもよるが、硬化が進むにつれて、重合性化合物の拡散浸透が起こりにくくなる。
【００９５】
工程２は、クラッド層を形成するとともに、クラッド形成用樹脂組成物中の重合性化合物をコアパターンに拡散浸透させるものである。したがって、この工程２においては、第２のクラッド層を前記コアパターンに接触させて形成する際に、クラッド形成用樹脂組成物中に存在する、（Ｆ）成分のポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレートを含有する重合性化合物を、コアパターン内に拡散浸透させる工程を含むものである。この重合性化合物のコアパターンへの拡散浸透は、クラッド形成用樹脂組成物を形成されたコアパターンに接触させてクラッド層を形成すると同時にコアパターン内に重合性化合物の拡散浸透が起こってもよく、クラッド層を形成後に、長時間放置すること、あるいは加熱などにより、クラッド形成用樹脂組成物中の重合性化合物を積極的にコアパターン内に拡散浸透させるようにしてもよい。
この場合、拡散浸透のために、放置する時間としては、室温の場合、５時間程度が好ましく、２時間程度であることがより好ましい。また、加熱する場合には、硬化が始まることを避ける意味で、１２０℃以下、好ましくは１００℃以下で行うことが推奨される。
すなわち、重合性化合物のコアパターンへの拡散浸透を図るため、コアパターンに接触させてクラッド層を形成した後で、１２０℃以下の温度、好ましくは、５０〜１２０℃で、１０〜１２０分間加温した後、以下のように、１５０〜２００℃程度の温度でコアパターンを熱硬化することが好ましい。
【００９６】
工程３は、コアパターン内に重合性化合物が拡散浸透したコアパターンとクラッド層とを硬化し、光導波路を得る工程である。
コアパターンの硬化は、コア形成用樹脂組成物中にある熱硬化性樹脂を熱硬化することにより、架橋度を上げ、機械的強度の高いコアパターンとすることができる。
一方、クラッド層の硬化は、光硬化により硬化し、クラッド層を形成することが簡便で好ましいが、その後、コアパターンを熱硬化する際に、クラッド層も熱硬化されることから、クラッド形成用樹脂組成物は、光硬化性のみならず、熱硬化性も付与されていることが好ましい。すなわち、光硬化を行わず、熱硬化のみにより第２のクラッド層を形成することもできる。なお、第２のクラッド層をパターニングする必要がある場合には、光硬化性を持たせ、露光及び現像によりパターンを形成することが好ましいが、この場合もコアパターンの熱硬化を行う際に、さらに第２のクラッド層の硬化が進行するような組成とすることが好ましい。
なお、本発明の製造方法においては、クラッド形成用樹脂組成物の構成成分のうち、コア層に拡散浸透するものは、主に重合性化合物であり、そのうちでもポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレートであり、この拡散浸透性は、これらの化合物の分子量に依存しており、比較的低分子量であれば、拡散浸透は容易となり、コアパターンの中心部近くまでに達するようにすることができる。
【００９７】
以下、グレーテッドインデックス型またはそれに類似した屈折率分布を有する光導波路の製造方法について、図２を用いて説明する。
この製造方法においては、コア形成用樹脂組成物およびクラッド形成用樹脂組成物は、いずれもこれらの樹脂ワニスを基材フィルム上に塗布、乾燥して作製した樹脂組成物層が積層されたフィルム（コアまたはクラッド形成用の樹脂フィルム）を用いて、基材フィルム上の樹脂組成物層を基材などに転写することにより、第１のクラッド層、コア層および第２のクラッド層を形成することにより行った。
【００９８】
まず、図２の（ａ）に示すように、基材７上にクラッド形成用樹脂組成物を積層し、露光及び現像し、必要に応じて熱硬化を行い、第１のクラッド層６を形成する（ａ工程）。
【００９９】
次いで、形成された第１のクラッド層６の上にコア形成用樹脂組成物からなるコア層９を形成し（ｂ工程）、マスク１０を介して露光し（ｃ工程）、現像によりコアパターン２を形成する（ｄ工程）。
このコアパターン２は、架橋密度が低いいわゆる半硬化の状態とすることが好ましく、このような状態とするための光の照射量は、０．０１〜１０Ｊ／ｃｍ２であることが好ましい。０．０１Ｊ／ｃｍ２以上であると、硬化反応が十分に進行し、後述する現像工程によりコア部２が流失しにくくなる傾向にあり、１０Ｊ／ｃｍ２以下であると、露光量過多によりコア部２が太るということがなく、微細なパターンを形成しやすい傾向にある。以上の観点から、０．０５〜５Ｊ／ｃｍ２であることがより好ましく、０．１〜３Ｊ／ｃｍ２であることがさらに好ましい。
なお、コアパターン２の解像度及び密着性向上の観点から、露光後に加熱を行ってもよいが、クラッド形成用樹脂組成物からの重合性化合物の拡散浸透を妨げないように、紫外線照射から露光後の加熱までの時間は、１０分以内であることが好ましく、５分以内であることがより好ましい。また、加熱の温度としては、同様な観点から、５０〜１２０℃であることが好ましく、８０〜１２０℃であることがより好ましい。加熱時間としては、１０〜１２０分程度が好ましく、３０〜６０分程度がより好ましい。
露光した後、アルカリ性水溶液等を用いて公知の方法により現像を行う。アルカリ水溶液としては、例えば、リチウム、ナトリウム又はカリウムの水酸化物等の水酸化アルカリ；リチウム、ナトリウム、カリウム若しくはアンモニウムの炭酸塩又は重炭酸塩等の炭酸アルカリ；リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等のアルカリ金属リン酸塩などの水溶液が用いられる。現像後に、酸性水溶液等の洗浄液、水系の有機溶剤等の洗浄液を用いて洗浄処理を行ってもよく、このようにしてコアパターン２が形成される。なお、参照符合３および４はそれぞれコアパターンの中心部および外周周辺部を示している。
【０１００】
その後、形成されたコアパターン２に接触させてクラッド形成用樹脂組成物からなる第２のクラッド層５を形成する。このとき、クラッド形成用樹脂組成物中の重合性化合物、特にポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレートが、コアパターン内に拡散浸透する。この後、第２のクラッド層５および重合性化合物が浸透したコアパターン２を硬化することにより、グレーテッドインデクス型またはそれに類似した屈折率分布を有する光導波路を得ることができる（ｅ工程）。また、このとき、第２のクラッド層５からの重合性化合物の拡散浸透を促進するため、硬化する前に１２０℃以下の温度に加温することができる。
第２のクラッド層５を光硬化する場合、照射量は、０．１〜５Ｊ／ｃｍ２程度であることが好ましく、０．５〜４Ｊ／ｃｍ２程度とすることがより好ましい。また、第２のクラッド層５と、コアパターン２との熱硬化は、１５０〜２００℃程度の温度で行うことが好ましく、１６０〜１８０℃程度の温度で行うことがより好ましい。硬化時間としては、一般に、１時間程度行えば十分である。
【０１０１】
以上のようにして得られる光導波路は、グレーテッドインデックス型またはそれに類似する屈折率分布を有するものであり、伝搬光をコア内部に閉じ込めやすくする観点から、第１のクラッド層６の厚みは、一般に２〜２００μｍ程度とすることが好ましい。
【０１０２】
また、コアパターン２の高さは、特に制限はないが、１０〜１００μｍとすることが好ましい。コアパターン２の高さが１０μｍ以上であると、光導波路形成後の受発光素子又は光ファイバとの結合において位置合わせトレランスが小さくならない傾向にあり、１００μｍ以下であれば、光導波路形成後の受発光素子又は光ファイバとの結合において、結合効率が小さくならない傾向にある。
【０１０３】
さらに、第２のクラッド層５の厚みは、コアパターン２を埋め込むことができる範囲であれば、特に制限はないが、乾燥後の厚みで、１２〜５００μｍとすることが好ましい。第２のクラッド層５の厚みとしては、最初に形成される第１のクラッド層６の厚みと同一であっても異なってもよいが、コアパターン２を埋め込むという観点から、第１のクラッド層６の厚みよりも厚くすることが好ましい。
【０１０４】
以上のようにして製造される導波路は、コアパターン２に、クラッド層を形成するクラッド形成用樹脂組成物中の主に重合性化合物が拡散浸透して形成されてなる部位を有する。コアパターン２において、クラッド形成用樹脂組成物中の重合性化合物が拡散浸透して形成されてなる部位が１０〜９０体積％を占めることが好ましく、２０〜９０体積％を占めることがより好ましく、３０〜９０体積％を占めることがさらに好ましく、４０〜９０体積％を占めることが特に好ましく、さらには、５０〜９０体積％、６０〜９０体積％、６０〜８０体積％を占めていることも好ましい。
また、クラッド層に、コア形成用樹脂組成物中の重合性化合物が拡散浸透して形成された部位を有していてもよい。
本発明で得られる光導波路は、波長８５０ｎｍにおける光伝搬損失として０．２５ｄＢ／ｃｍ以下を実現することができるため、光の損失が小さくなり、伝送信号の強度が十分である。
【０１０５】
本発明で得られる光導波路は、透明性及び光伝搬性に優れているため、光モジュールの光伝送路として用いてもよい。光モジュールの形態としては、例えば、光導波路の両端に光ファイバを接続した光ファイバ付き光導波路、光導波路の両端にコネクタを接続したコネクタ付き光導波路、光導波路とプリント配線板と複合化した光電気複合基板、光導波路と光信号と電気信号を相互に変換する光／電気変換素子を組み合わせた光電気変換モジュール、光導波路と波長分割フィルタを組み合わせた波長合分波器等が挙げられる。なお、光電気複合基板において、複合化するプリント配線板としては、特に制限はなくガラスエポキシ基板等のリジッド基板、ポリイミド基板などのフレキシブル基板のどちらを用いてもよい。
【実施例】
【０１０６】
次に、下記の実施例により本発明をさらに詳しく説明するが、これらの実施例は本発明をいかなる意味においても制限するものではない。
【０１０７】
合成例１
［クラッド形成用樹脂組成物に用いるアルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマー（Ｅ−１）の作製］
撹拌機、冷却管、ガス導入管、滴下漏斗、及び温度計を備えたフラスコに、メチルエチルケトン１００質量部を投入し、窒素ガスを導入しながら撹拌を行った。液温を６５℃に上昇させ、共重合モノマーとして、メタクリル酸３０質量部、メタクリル酸メチル３５質量部、メタクリル酸ｎ−ブチル３５質量部［メタクリル酸：メタクリル酸メチル：メタクリル酸ｎ−ブチル（モル比）＝０．３５：０．３５：０．２５］、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）３質量部及びメチルエチルケトン８５質量部の混合物を、３時間かけて滴下後、６５℃で３時間撹拌し、さらに９５℃で１時間撹拌を続けて、（メタ）アクリルポリマー（Ｅ−１）溶液（固形分濃度：３５質量％）を得た。
【０１０８】
［重量平均分子量の測定］
（メタ）アクリルポリマー（Ｅ−１）の重量平均分子量（標準ポリスチレン換算）をＧＰＣ（構成装置：東ソー株式会社製のオンラインデガッサ「ＳＤ−８０２２」、デュアルポンプ「ＤＰ−８０２０」及び示差屈折率検出器「ＲＩ−８０２０」）を用いて測定した結果、８０，０００であった。なお、カラムは日立化成株式会社製「Ｇｅｌｐａｃｋ  ＧＬ−Ａ１５０−Ｓ」及び「Ｇｅｌｐａｃｋ  ＧＬ−Ａ１６０−Ｓ」を使用した。溶離液としてはテトラヒドロフランを用い、サンプル濃度０．５ｍｇ／ｍｌとし、溶出速度を１ｍｌ／分として測定した。
【０１０９】
合成例２
［（Ａ）コア形成用樹脂組成物に用いるアルカリ可溶性（メタ）アクリルポリマー（Ａ−１）の作製］
撹拌機、冷却管、ガス導入管、滴下漏斗、及び温度計を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４７質量部及び乳酸メチル２４質量部を秤量し、窒素ガスを導入しながら撹拌を行った。液温を６５℃に上昇させ、メチルメタクリレート３４質量部、ベンジルメタクリレート３４質量部、２−ヒドロキシエチルメタクリレート１４質量部、メタクリル酸１８質量部［メチルメタクリレート：ベンジルメタクリレート：２−ヒドロキシエチルメタクリレート：メタクリル酸（モル比）＝０．３４：０．１９：０．１１：０．２１］、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）２．５質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４３質量部、及び乳酸メチル２４質量部の混合物を３時間かけて滴下後、６５℃で３時間撹拌し、さらに９５℃で１時間撹拌を続けて、（メタ）アクリルポリマー（Ａ−１）溶液（固形分濃度：４３質量％）を得た。
合成例１と同様の方法で、（メタ）アクリルポリマー（Ａ−１）の重量平均分子量を測定した結果、３４，０００であった。また、以下の方法に従って測定した酸価は、１２０ｍｇＫＯＨ／ｇであった。
［酸価の測定］
酸価は（メタ）アクリルポリマー（Ａ−１）溶液を中和するのに要した０．１ｍｏｌ／Ｌ水酸化カリウム水溶液量から算出した。このとき、指示薬として添加したフェノールフタレインが無色からピンク色に変色した点を中和点とした。
【０１１０】
調合例１
［クラッド形成用樹脂組成物１の調合］
（Ｅ）成分として、合成例１で得た（メタ）アクリルポリマー（Ｅ−１）溶液１４３質量部（固形分換算で５０質量部）、（Ｆ）成分として、ポリエチレングリコールジアクリレート（新中村化学工業株式会社製「Ａ−４００」、（Ｆ−１）成分に相当する。）４５質量部及びペンタエリスリトールトリアクリレート（共栄社化学株式会社製「ＰＥ−３Ａ」、（Ｆ−２−２）成分に相当する。）５質量部、（Ｇ）成分として、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキシド（ＢＡＳＦジャパン株式会社製「イルガキュア８１９」）１質量部を広口のポリ瓶に秤量し、撹拌機を用いて、温度２５℃、回転数４００ｒｐｍの条件で６時間撹拌し、樹脂ワニス状のクラッド形成用樹脂組成物１を得た。
該クラッド形成用樹脂組成物１は、孔径２μｍのポリフロンフィルタ（アドバンテック東洋株式会社製「ＰＦ０２０」）及び孔径０．５μｍのメンブレンフィルタ（アドバンテック東洋株式会社製「Ｊ０５０Ａ」）を用いて、温度２５℃、圧力０．４ＭＰａの条件で、得られた樹脂ワニスを加圧濾過し、続いて、真空ポンプ及びベルジャーを用いて減圧度５０ｍｍＨｇの条件で１５分間減圧脱泡してから、後述のクラッド形成用樹脂フィルムの製造に用いた。
【０１１１】
［クラッド形成用の樹脂フィルム１の作製］
上記で得られたクラッド形成用樹脂組成物１を、ＰＥＴフィルム（東洋紡株式会社製「コスモシャインＡ４１００」、厚み５０μｍ）の非処理面上に、塗工機（株式会社ヒラノテクシード製「マルチコーターＴＭ−ＭＣ」）を用いて塗布した。１００℃で２０分乾燥した後、保護フィルムとして表面離型処理ＰＥＴフィルム（帝人デュポンフィルム株式会社製「ピューレックスＡ３１」、厚み２５μｍ）を貼付け、光導波路クラッド層形成用樹脂フィルム１を得た。このとき樹脂層の厚みは、塗工機のギャップを調節することで任意に調整可能であり、本実施例では使用した下部クラッド層の厚みに付いては、実施例中に記載する。また、下部クラッド層の硬化後の膜厚と塗工後の膜厚は同一であった。本実施例で用いた上部クラッド層形成用樹脂フィルムの膜厚についても実施例中に記載する。実施例中に記載する第２のクラッド層を形成するためのクラッド形成用の樹脂フィルムの膜厚は塗工後の膜厚とする。
【０１１２】
調合例２〜６
［クラッド形成用樹脂組成物２〜５及び６の調合］
調合例１において、（Ｆ）成分として、ポリエチレングリコールジアクリレート（新中村化学工業株式会社製「Ａ−４００」）の代わりに、ポリエチレングリコールジアクリレート（新中村化学工業株式会社製「Ａ−６００」）、ポリエチレングリコールジアクリレート（新中村化学工業株式会社製「Ａ−１０００」）、ポリエチレンポリプロピレングリコールジアクリレート（新中村化学工業株式会社製「Ａ−１０００ＰＥＲ」）、ポリエチレンポリプロピレングリコールジアクリレート（新中村化学工業株式会社製「Ａ−３０００ＰＥＲ」）を用いたこと以外は同様にして、それぞれクラッド形成用樹脂組成物２〜５を得た。
また、クラッド形成用樹脂組成物６については、（Ｅ）成分として、合成例１で得た（メタ）アクリルポリマー（Ｅ−１）溶液１４３質量部（固形分換算で５０質量部）、（Ｆ）成分として、ポリエチレングリコールジアクリレート（新中村化学工業株式会社製「Ａ−４００」、（Ｆ−１）成分に相当する。）４０質量部及びペンタエリスリトールトリアクリレート（共栄社化学株式会社製「ＰＥ−３Ａ」、（Ｆ−２−２）成分に相当する。）５質量部、（Ｇ）成分として、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキシド（ＢＡＳＦジャパン株式会社製「イルガキュア８１９」）１質量部、（Ｊ）成分として、水添ビスフェノールＡジグリシジルエーテル（共栄社化学株式会社製「エポライト４０００」）５質量部を広口のポリ瓶に秤量し、撹拌機を用いて、温度２５℃、回転数４００ｒｐｍの条件で６時間撹拌し、樹脂ワニス状のクラッド形成用樹脂組成物６を得た。
［クラッド形成用の樹脂フィルム２〜６の作製］
実施例１において、クラッド形成用樹脂組成物１の代わりにクラッド形成用樹脂組成物２〜６を用いたこと以外は同様にして、クラッド形成用の樹脂フィルム２〜６を作製した。
【０１１３】
調合例７
［コア形成用樹脂組成物１の調合］
（Ａ）成分として、合成例２で得た（メタ）アクリルポリマー（Ａ−１）溶液１４０質量部（固形分換算で６０質量部）、（Ｂ）成分として、下記のエトキシ化ビスフェノールＡジアクリレート（日立化成株式会社製「ファンクリルＦＡ−３２４Ａ」）３０質量部、
【化５】
2017187654.tif 000006
さらに（Ｃ）成分として、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキシド（ＢＡＳＦジャパン株式会社製「イルガキュア８１９」）１質量部、および（Ｄ）成分として、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（ジャパンエポキシレジン株式会社製「エピコート１００１」）１０質量部を広口のポリ瓶に秤量し、撹拌機を用いて、温度２５℃、回転数４００ｒｐｍの条件で、６時間撹拌して、樹脂ワニス状のコア形成用樹脂組成物１を調合した。
該コア形成用樹脂組成物１は、孔径２μｍのポリフロンフィルタ（アドバンテック東洋株式会社製「ＰＦ０２０」）及び孔径０．５μｍのメンブレンフィルタ（アドバンテック東洋株式会社製「Ｊ０５０Ａ」）を用いて、温度２５℃、圧力０．４ＭＰａの条件で加圧濾過し、続いて、真空ポンプ及びベルジャーを用いて減圧度５０ｍｍＨｇの条件で１５分間減圧脱泡してから、後述の樹脂フィルムの製造に用いた。
【０１１４】
［コア形成用の樹脂フィルム１の作製］
上記で得られたコア形成用樹脂組成物１を、ＰＥＴフィルム（東洋紡株式会社製「コスモシャインＡ１５１７」、厚み１６μｍ）の非処理面上に塗工機（株式会社ヒラノテクシード製「マルチコーターＴＭ−ＭＣ」）を用いて塗布した。１００℃で２０分乾燥した後、保護フィルムとして離型ＰＥＴフィルム（帝人デュポンフィルム株式会社製「ピューレックスＡ３１」、厚み２５μｍ）を貼付け、光導波路のコア形成用の樹脂フィルム１を得た。このとき樹脂層の厚みは、塗工機のギャップを調節することで任意に調整可能であるが、本実施例では硬化後の膜厚が、３５μｍとなるように調節した。
【０１１５】
調合例８
［コア形成用樹脂組成物２の調合及びコア形成用の樹脂フィルム２の作製］
コア形成用樹脂組成物１において、（Ｄ）成分の熱硬化性樹脂であるビスフェノールＡ型エポキシ樹脂を含有させなかった以外、コア形成用樹脂組成物１と同様にして調合し、コア形成用の樹脂フィルム２を作製した。
【０１１６】
（波長８５０ｎｍにおける光線透過率の測定）
保護フィルム（ピューレックスＡ３１）を除去した前記コア形成用の樹脂フィルム１を、スライドガラス（サイズ：７６ｍｍ×２６ｍｍ、厚さ：１ｍｍ）上に前記真空ラミネータを用いて、圧力０．４ＭＰａ、温度５０℃及び加圧時間３０秒の条件で積層した。次いで、前記紫外線露光機にて紫外線（波長３６５ｎｍ）を１０００ｍＪ／ｃｍ２照射し、さらに１６０℃で１時間加熱し、光線透過率測定用のサンプルを作製した。このサンプルの波長８５０ｎｍにおける光線透過率を、分光光度計（株式会社日立ハイテクノロージーズ製、「Ｕ−３３１０」）を用いて測定したところ、９９．８％であった。同様にして、コア形成用の樹脂フィルム２の光線透過率を測定したところ、９９．５％であった。
【０１１７】
（全光線透過率、ＹＩ値、及びヘイズの測定）
前記光線透過率測定用のサンプルを用いて、全光線透過率、ＹＩ（Ｙｅｌｌｏｗｎｅｓｓ  Ｉｎｄｅｘ）、及びヘイズを測定した。測定には色度計（日本電飾工業株式会社製「ＣＯＨ−３００Ａ」）を使用した。ＹＩ値は０．１５以下が好ましく、０．１以下がより好ましい。
コア形成用の樹脂フィルム１及び２の全光線透過率はそれぞれ９９．４％、９９．６％、ＹＩ値は０．０９、０．０８、ヘイズはいずれも０．１％であった。
【０１１８】
実施例１
［光導波路の製造］
真空加圧式ラミネータ（株式会社名機製作所製「ＭＶＬＰ−５００／６００」）を用い、圧力０．４ＭＰａ、温度８０℃及び加圧時間３０秒の条件で、保護フィルムを除去した調合例１で得たクラッド形成用の樹脂フィルム１（クラッド層樹脂厚さ：１５μｍ）を、ガラスエポキシ樹脂基板（日立化成株式会社製「ＭＣＬ−Ｅ−６７９ＦＢ」、板厚０．６ｍｍ、銅箔はエッチングにより除去）上に積層した。
次に、紫外線露光機（大日本スクリーン株式会社製「ＭＡＰ−１２００−Ｌ」）を用い、紫外線（波長３６５ｎｍ）を４，０００ｍＪ／ｃｍ２照射後、支持フィルム（コスモシャインＡ４１００）を除去し、１２０℃で１時間加熱処理することによって、第１のクラッド層６を形成した。
【０１１９】
続いて、ロールラミネータ（日立化成テクノプラント株式会社製「ＨＬＭ−１５００」）を用い、保護フィルムを除去した調合例１で得たコア形成用の樹脂フィルム１を、第１のクラッド層６上に、圧力０．５ＭＰａ、温度５０℃、速度０．２ｍ／ｍｉｎの条件で積層した。
次いで、幅３５μｍの光導波路形成用パターンを有するネガ型フォトマスクを介し、前記紫外線露光機で紫外線（波長３６５ｎｍ）を１，８００ｍＪ／ｃｍ２照射して、コア層９を露光した。支持フィルム（コスモシャインＡ１５１７）を除去した後、スプレー式現像装置（株式会社山縣機械製「ＲＸ−４０Ｄ」）を用い、１質量％炭酸ナトリウム水溶液にて温度３０℃、スプレー圧０．１５ＭＰａ、現像時間９０秒の条件で現像した。続いて、０．３質量％硫酸水溶液（ｐＨ１）を用いて洗浄した後、さらに純水にて洗浄し、コアパターン２を形成した。
【０１２０】
次に、前記真空加圧式ラミネータを用い、保護フィルムを除去した調合例１で得たクラッド形成用の樹脂フィルム１（クラッド層樹脂厚さ：７０μｍ）を、コアパターン２及び第１のクラッド層６上に、圧力０．４ＭＰａ、温度８０℃及び加圧時間３０秒の条件で積層した。
続いて、８０℃で３０分加熱し、コアパターン２に第２のクラッド形成用樹脂成分を拡散させた。その後、紫外線（波長３６５ｎｍ）を４，０００ｍＪ／ｃｍ２照射し、支持フィルム（コスモシャインＡ４１００）を除去した後、第２のクラッド層５を形成し、１６０℃、１時間、コアパターンおよび第２のクラッド層の熱硬化をおこない、図１（ａ）に示す光導波路１を得た。
その後、ダイシングソー（株式会社ディスコ製「ＤＡＤ−３４１」）を用いて長さ１０ｃｍの光導波路を切り出した。下記測定方法に従って、得られた光導波路の光伝搬損失を測定した。結果を表３に示す。
【０１２１】
［光伝搬損失の測定］
光導波路の光伝搬損失を、光源に波長８５０ｎｍを中心波長とするＶＣＳＥＬ（ＥＸＦＯ社製「ＦＬＳ−３００−０１−ＶＣＬ」）、受光センサ（株式会社アドバンテスト製「Ｑ８２２１４」）、入射ファイバ（ＳＩ−１０／１２５シングルモードファイバ、ＮＡ＝０．１４）、及び出射ファイバ（ＳＩ−１１４／１２５、ＮＡ＝０．２２）を用いて測定した。光伝搬損失は、光損失測定値（ｄＢ）を光導波路長（１０ｃｍ）で割ることにより算出し、以下の基準で評価した。
Ａ：０．１５ｄＢ／ｃｍ以下
Ｂ：０．１５ｄＢ／ｃｍより大きく、０．２０ｄＢ／ｃｍ以下
Ｃ：０．２０ｄＢ／ｃｍより大きい
【０１２２】
［温度サイクル試験］
耐熱衝撃性を評価するために、得られた光導波路を、温度サイクル試験機（楠本化成株式会社製「ＥＴＡＣ ＷＩＮＴＥＣＨ ＮＴ１０１０」）を用いて、ＪＰＣＡ規格（ＪＰＣＡ−ＰＥ０２−０５−０１Ｓ）に準じた条件で温度−５５℃と１２５℃の間の温度サイクル試験を１０００サイクル実施した。詳細な温度サイクル試験条件を表１に示す。 
【０１２３】
【表１】
2017187654.tif 000007
【０１２４】
温度サイクル試験実施後の光導波路の光伝搬損失を前記と同様の光源、受光素子、入射ファイバ及び出射ファイバを用いて測定し、以下の基準で評価した。
◎…光損失増加量が０．０３ｄＢ/ｃｍ以下
○…光損失増加量が０．０３ｄＢ/ｃｍより大きく、０．０５ｄＢ/ｃｍ以下
△…光損失増加量が０．０５ｄＢ/ｃｍより大きく、０．１０ｄＢ/ｃｍ以下
×…光損失増加量が０．１０ｄＢ/ｃｍより大きい
【０１２５】
［１８０℃、１時間熱処理］
熱安定性を評価するために、得られた光導波路を、空気中、１８０℃、１時間の条件下で熱処理した。
熱処理後の光導波路の光伝搬損失を前記と同様の光源、受光素子、入射ファイバ及び出射ファイバを用いて測定し、以下の基準で評価した。
◎…光損失増加量が０．０３ｄＢ/ｃｍ以下
○…光損失増加量が０．０３ｄＢ/ｃｍより大きく、０．０５ｄＢ/ｃｍ以下
△…光損失増加量が０．０５ｄＢ/ｃｍより大きく、０．１０ｄＢ/ｃｍ以下
×…光損失増加量が０．１０ｄＢ/ｃｍより大きい
【０１２６】
実施例２〜６
実施例１において、クラッド形成用の樹脂フィルム１の代わりに、調合例２〜６で得たクラッド形成用の樹脂フィルム２〜６（厚みは実施例１と同じ）を用いたこと以外は同様にして光導波路を製造し、光伝搬損失を測定した。結果を表３に示す。
【０１２７】
実施例７〜１０
実施例１において、第２のクラッド形成用樹脂成分をコアパターン中に拡散浸透させる加熱条件を表２のように変更し、光導波路を製造した（実施例７〜８）。
また、実施例１において、クラッド形成用の樹脂フィルム１の代わりに、調合例６で得たクラッド形成用の樹脂フィルム６を用いて、コアパターン２に積層後、加熱条件を以下のように変更した以外は同様にして光導波路を製造し（実施例９〜１０）、それぞれ光伝搬損失を測定した。結果を表３に示す。
【０１２８】
【表２】
2017187654.tif 000008
【０１２９】
比較例１
実施例１において、コア形成用の樹脂フィルム１の代わりに、調合例８で得たコア形成用の樹脂フィルム２を用いたこと以外は同様にして光導波路を製造し、光伝搬損失を測定した。結果を表３に示す。
【０１３０】
比較例２
実施例１において、コアパターン２を形成後、１６０℃、１時間にて加熱硬化し、その後、クラッド形成用の樹脂フィルム１の代わりに、調合例６で得たクラッド形成用の樹脂フィルム６を用いて、コアパターン２及び第１のクラッド層６上に積層した以外は同様にして光導波路を製造し、光伝搬損失を測定した。結果を表３に示す。
【０１３１】
【表３】
2017187654.tif 000009
【０１３２】
本発明の光導波路形成用樹脂組成物は、コア内に屈折率分布を有するため、光伝搬特性に優れており、さらにコア形成用樹脂組成物中に熱硬化樹脂を含むため、温度サイクルや熱処理後の光伝搬特性もさらに良好である。そのため、従来の光導波路に比べて、より一層の光伝搬損失の低減が可能となった。
これは、定かではなく、また、以下の理由に拘束されるものでもないが、コアにクラッド成分が移動した後、熱硬化することで、移動したクラッド成分がコア内に取り込まれた状態でコアが硬化するため、熱サイクル、耐熱性の評価時にかかる熱履歴等で、コア内でのクラッド成分の移動等が少ないことから、屈折率分布が乱れず、光損失変動量が小さいものとなるためと推定できる。
【産業上の利用可能性】
【０１３３】
本発明の製造方法によると、コアパターンにクラッド形成用樹脂組成物中の重合性化合物を拡散浸透させることでグレーテッドインデックス型の屈折率分布をもつ光導波路とすることができ、簡便な光導波路の製造方法として有用である。
【符号の説明】
【０１３４】
１  光導波路
２  コアパターン
３  コアパターン中心部
４  コアパターン外周周辺部
５  第２のクラッド層
６  第１のクラッド層
７  基材
【図１】
2017187654.tif 000010
【図２】
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