(57)【要約】【課題】粉粒体の流動性と展延性とを踏まえた成膜ができる成膜装置を提供する。【解決手段】本発明の一態様は、プレスロール２１とプレスロール２２との間に粉粒体４１を供給し、供給された粉粒体４１をプレスロール２１とプレスロール２２との間で圧縮成形することによりシート状物４２を成膜する成膜装置１において、プレスロール２１にて透明部材により形成され、粉粒体４１がプレスロール２１とプレスロール２２との間で圧縮成形される加工部位をプレスロール２１を通じて視認可能とする透過部３３と、透過部３３を透過して加工部位を撮像するカメラ２４と、カメラ２４により時間をあけて撮像した複数枚の撮像画像をもとに、加工部位で発生する粉粒体４１内の空間の位置と、前記空間の面積と、前記空間の面積変化の少なくともいずれか１つに応じて加工条件を制御する制御部１６と、を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の間隔を隔てて平行に配置され、それぞれ回転駆動される一対のロールを有し、前記一対のロール間に粉粒体を供給し、供給された前記粉粒体を前記一対のロール間で圧縮成形することによりシート状物を成膜する成膜装置において、
少なくとも一方のロールにて透明部材により形成され、前記粉粒体が前記一対のロール間で圧縮成形される加工部位を前記ロールを通じて視認可能とする透過部と、
前記透過部を透過して前記加工部位を撮像する撮像部と、
前記撮像部により時間をあけて撮像した複数枚の撮像画像をもとに、前記加工部位で発生する前記粉粒体内の空間の位置と、前記空間の面積と、前記空間の面積変化の少なくともいずれか１つに応じて加工条件を制御する制御部と、を有すること、
を特徴とする成膜装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粉粒体を圧縮することにより成膜を行う成膜装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、粉粒体を圧縮することによりシート状物を成膜する成膜装置が知られている。この成膜装置は、所定の間隔を隔てて互いに平行に配置される一対のローラを有し、回転駆動する一対のロール間に粉粒体を供給して、一対のロール間で粉粒体を圧縮成形することにより、シート状物を成膜する。
【０００３】
このような成膜装置では、一対のロールの回転駆動速度等の運転条件によってシート状物の成膜状態が変化するので、成膜のシート状物の成膜状態を確認して、確認した成膜状態に応じて一対のロールの回転駆動速度を調整している。ここで、特許文献１では、成膜のシート状物の成膜状態を確認する方法として、一対のロール間よりも下流側の部位において、シート状物の膜厚を測定することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−１９１８８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に開示された方法では、一対のロール間よりも下流側の部位においてシート状物の膜厚を測定しており、加工部位におけるシート状物の成膜状態を観察していない。そのため、加工部位におけるシート状物の成膜状態に対応して加工条件を調整できないので、成膜調整に遅れが発生してしまう。したがって、加工部位におけるシート状物の成膜状態に影響を及ぼしうる粉粒体の流動性と展延性とを踏まえた成膜が実現されているとはいえない。
【０００６】
そこで、本発明は上記した問題点を解決するためになされたものであり、粉粒体の流動性と展延性とを踏まえた成膜ができる成膜装置を提供すること、を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するためになされた本発明の一態様は、所定の間隔を隔てて平行に配置され、それぞれ回転駆動される一対のロールを有し、前記一対のロール間に粉粒体を供給し、供給された前記粉粒体を前記一対のロール間で圧縮成形することによりシート状物を成膜する成膜装置において、少なくとも一方のロールにて透明部材により形成され、前記粉粒体が前記一対のロール間で圧縮成形される加工部位を前記ロールを通じて視認可能とする透過部と、前記透過部を透過して前記加工部位を撮像する撮像部と、前記撮像部により時間をあけて撮像した複数枚の撮像画像をもとに、前記加工部位で発生する前記粉粒体内の空間の位置と、前記空間の面積と、前記空間の面積変化の少なくともいずれか１つに応じて加工条件を制御する制御部と、を有すること、を特徴とする。
【０００８】
この態様によれば、成膜装置は、加工部位で発生する粉粒体内の空間について、粉粒体の流動性と展延性によって変化する空間の位置と、空間の面積と、空間の面積変化の少なくともいずれか１つに応じて加工条件を制御する。これにより、シート状物の加工条件は、粉粒体の流動性と展延性に応じた条件に制御される。そのため、成膜装置は、粉粒体の流動性と展延性を踏まえた成膜ができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の成膜装置によれば、粉粒体の流動性と展延性とを踏まえた成膜ができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本実施形態の成膜装置の概略構成図である。
【図２】本実施形態の成膜装置の加工部位周辺の側面図である。
【図３】本実施形態の成膜装置の動作の一例を示すフロー図である。
【図４】加工部位において空間が発生することについての説明図である。
【図５】取得した生画像の例を示す図である。
【図６】図５の時から時間が経過した後に取得した生画像の例を示す図である。
【図７】図６の時から時間が経過した後に取得した生画像の例を示す図である。
【図８】図７の時から時間が経過した後に取得した生画像の例を示す図である。
【図９】図８の時から時間が経過した後に取得した生画像の例を示す図である。
【図１０】図５の生画像に対して二値化処理を行った二値化画像の例を示す図である。
【図１１】図６の生画像に対して二値化処理を行った二値化画像の例を示す図である。
【図１２】図７の生画像に対して二値化処理を行った二値化画像の例を示す図である。
【図１３】図８の生画像に対して二値化処理を行った二値化画像の例を示す図である。
【図１４】図９の生画像に対して二値化処理を行った二値化画像の例を示す図である。
【図１５】取得した生画像の例を示す図である。
【図１６】図１５の時から時間が経過した後に取得した生画像の例を示す図である。
【図１７】図１６の時から時間が経過した後に取得した生画像の例を示す図である。
【図１８】図１７の時から時間が経過した後に取得した生画像の例を示す図である。
【図１９】図１８の時から時間が経過した後に取得した生画像の例を示す図である。
【図２０】図１５の生画像に対して二値化処理を行った二値化画像の例を示す図である。
【図２１】図１９の生画像に対して二値化処理を行った二値化画像の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
まず、本実施形態の成膜装置１の構成について説明する。図１と図２に示すように、成膜装置１は、成膜部１１と、撮像部１２と、粉粒体４１を貯留するホッパ１３と、評価部１４と、制御部１６などを有する。成膜部１１は、プレスロール２１と、プレスロール２２と、転写ロール２３などを備えている。プレスロール２１，２２は、所定の間隔を隔てて互いに平行に配置され、それぞれ回転駆動される一対のロールである。そして、成膜装置１は、ホッパ１３から一対のプレスロール２１，２２間に粉粒体４１を供給して、一対のプレスロール２１，２２間で粉粒体４１を圧縮成形することにより、シート状物４２を成膜する。
【００１２】
粉粒体４１は、例えば、電極活物質や結着剤等を水等の溶媒に分散させて得られる湿潤粉粒体である。そして、シート状物４２は、例えば、リチウムイオン二次電池の電極を構成する電極合材層として用いられる。
【００１３】
プレスロール２１は、中空部３１を有する円筒状部材である。プレスロール２２は、例えば、中実の円柱状部材である。プレスロール２１，２２は、それぞれ軸方向を水平に向けた状態で配置され、水平方向に並べて設けられている。中空部３１は、プレスロール２１に限らず、プレスロール２２に設けられていてもよい。
【００１４】
プレスロール２１，２２は、それぞれモータ等の駆動源により軸を中心として回転駆動可能となっており、その回転駆動方向は、互いに逆方向である。プレスロール２１，２２の回転駆動方向は、具体的には、プレスロール２１，２２の外周面における互いに対向する部分が、下方へ向けて回動する方向となっている。図２に示す例においては、プレスロール２１が反時計回りに回転駆動し、プレスロール２２が時計回りに回転駆動している。プレスロール２１，２２の回転駆動速度は、それぞれ独立して変更可能である。また、プレスロール２１とプレスロール２２との間隔（相対距離）は、変更可能である。本実施形態のプレスロール２１は、全体的に透明な部材により構成されており、内部の中空部３１からプレスロール２１の外側が視認可能になっている。
【００１５】
転写ロール２３は、例えば中実の円柱状部材により形成されている。転写ロール２３は、プレスロール２１に対して所定の間隔を隔てて平行に、近接配置されている。転写ロール２３は、プレスロール２２よりもプレスロール２１の回転方向の下流側の位置に配置されており、例えば、プレスロール２１の下方に位置している。
【００１６】
転写ロール２３は、モータ等の駆動源により軸を中心として回転駆動可能である。転写ロール２３の回転駆動方向は、プレスロール２１の回転駆動方向とは逆方向である。図２に示す例においては、転写ロール２３は時計回りに回転駆動する。転写ロール２３の外周面には、シート状の基材３２が巻回されている。この基材３２は、転写ロール２３の回転方向に搬送される。基材３２は、金属箔であり、例えばリチウムイオン二次電池における電極の集電箔として用いられる。このように、成膜装置１は、プレスロール２１，２２および転写ロール２３により成膜部１１を構成する三本ロール式の成膜装置である。
【００１７】
ホッパ１３は、プレスロール２１，２２の上方（プレスロール２１，２２の回転方向の上流側）に近接配置されており、ホッパ１３内の粉粒体４１をプレスロール２１とプレスロール２２との間に供給する。
【００１８】
粉粒体４１は、ホッパ１３から、回転駆動されるプレスロール２１とプレスロール２２との間に供給され、プレスロール２１とプレスロール２２との間の間隙に咬み込まれることにより圧縮成形される。このとき、粉粒体４１は、プレスロール２１，２２の対向方向に圧縮される。プレスロール２１，２２間で圧縮成形された粉粒体４１は、シート状物４２となってプレスロール２１，２２間の下流側に排出される。プレスロール２１，２２間の下流側に排出されたシート状物４２は、プレスロール２１に巻き付いた状態で、プレスロール２１の回転方向の下流側に搬送される。
【００１９】
なお、プレスロール２１，２２間で粉粒体４１が圧縮成形される部位（以降、適宜「加工部位」という。）は、軸方向における所定範囲にわたって存在しており、例えば、プレスロール２１，２２間における軸方向の中央部の位置に存在している。また、プレスロール２１，２２の回転方向（図２における上下方向）においては、プレスロール２１とプレスロール２２とが最も近接する箇所（最接近箇所、後述する最加圧面）の近傍における所定範囲が前記の加工部位となっている。例えば、プレスロール２１とプレスロール２２とが最も近接する箇所から、前記の最接近箇所よりも所定寸法だけプレスロール２１，２２の回転方向の上流側（上側）へいった箇所までの範囲が前記の加工部位となっている。
【００２０】
プレスロール２１により搬送されるシート状物４２は、プレスロール２１と転写ロール２３との間隙に到達すると、転写ロール２３により搬送される基材３２と当接し、プレスロール２１の外周面から基材３２の表面に転写される。このように、シート状物４２が基材３２に転写されて、基材３２上にシート状物４２が形成された圧縮成形シート４３が形成される。
【００２１】
撮像部１２は、カメラ２４と、ミラー２６と、照明２７などを備えている。カメラ２４は、プレスロール２１の軸方向の一方側に配置されている。カメラ２４の撮像方向は、プレスロール２１の軸方向の中空部３１側に向けられている。ミラー２６は、カメラ２４の撮像方向を変更する部材である。ミラー２６は、プレスロール２１の中空部３１の内部に配置されている。
【００２２】
ミラー２６は、カメラ２４の撮像方向を、プレスロール２１の軸方向から、プレスロール２１の軸方向と直交する方向であってプレスロール２２が配置される側、すなわち、加工部位が存在する側に変更させる。すなわち、ミラー２６は、中空部３１内におけるプレスロール２１の軸方向の中央部分において、光の反射面がプレスロール２１の軸方向に対して４５°傾斜するようにして配置されている。
【００２３】
照明２７は、プレスロール２１の軸方向の一方側または他方側の位置に配置されている。照明２７は、プレスロール２１の中空部３１側から加工部位を照射している。
【００２４】
このような構成の撮像部１２において、カメラ２４は、プレスロール２１の外部から、ミラー２６を介して、プレスロール２１（透過部３３）を透過して加工部位を撮像している。このとき、カメラ２４は、加工部位を粉粒体４１の圧縮方向から撮像している。
【００２５】
また、照明２７は、カメラ２４で加工部位を撮像するときに、カメラ２４が加工部位を撮像する側と同じ側から加工部位を照射する。これにより、カメラ２４は、加工部位からの反射光を捉えて、加工部位の圧縮成形状態を良好に撮像できる。このとき、照明２７の照射方向は、プレスロール２１の軸方向と直交する方向に近いことが望ましい。なお、カメラ２４による加工部位の撮像画像が鮮明になるように、照明２７をプレスロール２１の周方向や軸方向へ移動可能として、照明２７による加工部位の照射位置を適宜調整できるとしてもよい。
【００２６】
プレスロール２１において、透明部材により形成されプレスロール２１を介して粉粒体４１の加工部位を視認可能な部分は、透過部３３として構成されている。本実施形態では、プレスロール２１の全体が透過部３３として構成されている。但し、透過部３３は、プレスロール２１の軸方向について少なくとも加工部位が存在する一部分の範囲のみに構成されていてもよい。
【００２７】
透過部３３は、プレスロール２１の周方向の全体に亘って形成されていてもよく、プレスロール２１の周方向の一部に形成されていてもよい。また、プレスロール２１の周方向の一部に形成された透過部３３が、プレスロール２１の周方向に複数配置されていてもよい。
【００２８】
評価部１４は、撮像部１２により撮像した加工部位の成膜状態を評価する。本実施形態では、後述するように、評価部１４は、粉粒体４１の流動性と展延性の評価を行う。
【００２９】
評価部１４は、カメラ２４に接続しており、カメラ２４の撮像画像が入力される。評価部１４は、カメラ２４から取得した撮像画像に対して、画像処理を適宜行うことができ、画像処理後の画像を用いて、加工部位における成膜状態を評価することができる。
【００３０】
制御部１６は、成膜装置１における運転条件を制御する。制御部１６は、成膜部１１と撮像部１２と評価部１４に接続しており、成膜装置１の運転動作および運転条件の制御を行う。具体的には、制御部１６は、成膜装置１に入力されたプレスロール２１，２２の間隔や回転駆動速度等の運転条件に基づいて成膜装置１を動作させる。また、制御部１６は、評価部１４における評価結果に応じて、プレスロール２１，２２の間隔や回転駆動速度等の運転条件を変更して成膜装置１を動作させる。さらに、制御部１６は、カメラ２４の撮像動作や照明２７の照射動作などを制御する。
【００３１】
このような構成の成膜装置１は、図３に示すように、まず、プレスロール２１，２２の間隔や回転駆動速度等の成膜装置１の初期の運転条件が決定されると、決定された運転条件が制御部１６に入力される（ステップＳ１）。すると、制御部１６は、入力された初期の運転条件に従って成膜装置１の運転を制御する。これにより、成膜装置１において、粉粒体４１がホッパ１３からプレスロール２１，２２間に供給され、供給された粉粒体４１がプレスロール２１，２２間において圧縮成形されてシート状物４２が成膜される（ステップＳ２）。そして、このようにしてシート状物４２が成膜されているときに、制御部１６により制御されるカメラ２４により、粉粒体４１の加工部位がプレスロール２１の透過部３３を介して撮像され、加工部位の撮像画像が評価部１４に入力される（ステップＳ３）。そして、加工部位の撮像画像が入力された評価部１４は、加工部位の撮像画像を用いて、加工部位における成膜状態の評価を行う（ステップＳ４）。そして、制御部１６は、評価部１４による評価結果に応じて、プレスロール２１，２２の間隔や回転駆動速度等の運転条件を制御する（ステップＳ５）。
【００３２】
次に、本実施形態において、評価部１４で行われる粉粒体４１の流動性と展延性の評価方法について説明する。ここで、プレスロール２１，２２の回転駆動速度は、プレスロール２１，２２の材質や加工条件などよって制御される。このとき、プレスロール２１，２２間で回転駆動速度の差が生じると、加工部位に供給される粉粒体４１は、回転駆動速度の低いプレスロール側から回転駆動速度の高いプレスロール側に引っ張られ易くなる。そうすると、図４に示すように加工部位において空間部分が発生し、圧縮成形される粉粒体４１内に空間（プレスロール２１の中空部３１から見てプレスロール２２が見えてしまう領域）が発生し易くなる。そして、この空間の発生状況は、粉粒体４１の流動性と展延性により変化する。そこで、本実施形態では、粉粒体４１の流動性と展延性とを踏まえた成膜を行うために、制御部１６は、評価部１４における粉粒体４１の流動性と展延性の評価結果に応じて、加工条件、すなわち、成膜装置１における運転条件を制御する。
【００３３】
そこで、まず、評価部１４において行われる粉粒体４１の流動性の評価方法について説明する。粉粒体４１の流動性が良くないときには、加工部位の最加圧面より上流側の位置において、粉粒体４１の供給が不足することにより空間が発生し易くなり、また、発生する空間の面積が大きくなり易い。そこで、本実施形態では、評価部１４は、空間の発生位置や空間の面積をもとに、粉粒体４１の流動性を評価する。具体的には、以下のように評価する。
【００３４】
まず、評価部１４は、時間をあけて加工部位を撮像した複数枚のカメラ２４の生画像（撮像画像）を取得する。具体的には、評価部１４は、一定時間内や一定量の粉粒体４１が加工部位を通過する時間内において、カメラ２４のサンプリングレートに応じて連続した複数枚の生画像を取得してもよいし、一定の時間間隔で抜き出した複数枚の生画像を取得してもよい。ここでは、例えば、図５〜図９に示すように、評価部１４は、一定時間内において、一定の時間間隔で抜き出した５枚の生画像を取得したとする。なお、図５〜図９において、図面の上側から粉粒体４１が供給されており、白く表した部分は空間を示しており、それ以外の部分は粉粒体４１（シート状物４２）を示している。なお、評価部１４は、カメラ２４の代わりに、中空部３１内に配置されたボアスコープ（工業用内視鏡）（不図示）から生画像を取得してもよい。
【００３５】
なお、必要に応じて、評価部１４は、加工部位の最加圧面より上流側のみの領域における生画像を取得してもよく、また、最加圧面より上流側と下流側を含む領域における生画像を取得してもよい。
【００３６】
次に、図１０〜図１４に示すように、評価部１４は、取得した生画像に対して、所定の閾値を設定して二値化処理を行って二値化画像を生成し、生成した二値化画像において空間を抽出する。ここで、所定の閾値とは、例えば、プレスロール２１に対向するプレスロール２２の外周面の明度に応じた閾値である。なお、図１０〜図１４において、白く表した部分が空間を示している。なお、必要に応じて、生画像に対して所定の径以下の小さな粒子を除去するなどの画像処理が行われてもよい。
【００３７】
次に、評価部１４は、空間の発生位置を求める。具体的には、評価部１４は、各々の二値化画像において、最も上流側の位置に発生した空間を抽出して、この抽出した空間における最も上流側の座標Ｚを求める。ここで一例として、図１０〜図１４に示す例においては、座標Ｚは、６３９，５８７，６１５，６５９，６５９となった。なお、図１０〜図１４に示す例における座標は、上流側が「０」に設定され、下流側が「１２１９」に設定されている。なお、評価部１４は、各々の二値化画像において、発生した全ての空間についての最も上流側の座標の平均値を求めてもよい。
【００３８】
そして、評価部１４は、座標Ｚのうちの最も上流側の位置にある最上流座標Ｚ１と、座標Ｚの平均値とに着目する。ここで一例として、図１０〜図１４に示す例においては、最上流座標Ｚ１は「５８７」となり、座標Ｚの平均値は「６３１．８（＝（６３９＋５８７＋６１５＋６５９＋６５９）／５）」」となった。このようにして、評価部１４は、空間の発生位置として、最上流座標Ｚ１と、座標Ｚの平均値とを求める。なお、評価部１４は、空間の発生位置として、座標Ｚ１のみ、あるいは、座標Ｚの平均値のみ求めるとしてもよい。
【００３９】
なお、評価部１４は、各々の二値化画像において、所定値よりも大きい空間のみ抽出して、その空間の発生位置を求めてもよい。
【００４０】
次に、評価部１４は、空間の面積を求める。具体的には、評価部１４は、各々の二値化処理画像において、空間の発生位置付近の解析エリアＡ（図１０〜図１４参照）内に発生している全ての空間を抽出してその面積を求め、前記の解析エリアＡ内における空間の面積の割合（以下、「空間発生面積割合」という。）を求める。ここで、空間発生面積割合は、全て（図１０〜図１４に示す例では５枚）の二値化画像における解析エリアＡ内の空間の平均ピクセル数を、１枚の二値化画像における解析エリアＡ内の全ピクセル数で除算して求められる。
【００４１】
なお、評価部１４は、空間の面積を求める際に、各々の二値化画像において、最も面積の大きい空間の面積のみを求めても良く、全ての空間の面積を求めても良く、または、所定の閾値を設定して抽出した空間の面積のみを求めてもよい。
【００４２】
次に、評価部１４は、前記のように求めた空間の発生位置と、空間の面積（空間発生面積割合）とをもとに、粉粒体４１の流動性を評価する。このとき、評価部１４は、粉粒体４１の流動性が良くない場合ほど、空間の発生位置は上流側になり、また、空間の面積が大きくなることを考慮して、粉粒体４１の流動性を評価する。なお、評価部１４は、空間の発生位置のみをもとに、あるいは、空間の面積のみをもとに、粉粒体４１の流動性を評価してもよい。以上が、評価部１４において行われる粉粒体４１の流動性の評価方法についての説明である。
【００４３】
次に、評価部１４において行われる粉粒体４１の展延性の評価方法について説明する。まず、前記の粉粒体４１の流動性の評価方法と同様に、評価部１４は、カメラ２４から生画像（図１５〜図１９参照）を取得して、二値化画像（図２０，図２１参照）を生成し、生成した二値化画像において空間を抽出する。
【００４４】
次に、評価部１４は、抽出した各空間について、最加圧面の位置（もしくは別途規定した位置）を通過する前後における空間の面積の変化を求める。ここで一例として、図１５〜図１９に示す一点鎖線αで囲んだ空間に着目した場合には、図１５の時から図１９の時へ時間が経過したとき（図２０，図２１参照）に、空間の面積の減少量が６１４ピクセルとなり、空間の面積の減少割合が３．１％となった。なお、図２０，図２１において、図面下側にて白く表した部分が、図１５と図１９に示す一点鎖線αで囲んだ空間に対応する。
【００４５】
次に、評価部１４は、二値化画像において抽出された全ての空間、もしくは、二値化画像において抽出された最も面積の大きい空間など、着目した空間の面積の変化を求める。ここでは、例えば、評価部１４は、着目した空間の面積が最大になった時からの面積の減少量を求める。ここで一例として、図１５〜図１９に示す一点鎖線β（図中の一部において白色の一点鎖線で表示）で囲んだ空間に着目した場合には、空間の面積が最大になった図１５の時から図１９の時へ時間が経過したとき（図２０，図２１参照）に、空間の面積は２０３２４ピクセルから０ピクセルへと変化したので、空間の面積の減少量は２０３２４ピクセルとなった。なお、図２０において、図面上側にて白く表した部分が、図１５に示す一点鎖線βで囲んだ空間に対応する。また、図１９と図２１において、一点鎖線βで囲んだ空間は存在していない。
【００４６】
次に、評価部１４は、最加圧面の位置を通過する前後における空間の面積の変化と、着目した空間（二値化画像において抽出された全ての空間、もしくは、二値化画像において抽出された最も面積の大きい空間など）の面積の変化とをもとに、粉粒体４１の展延性を評価する。このとき、評価部１４は、粉粒体４１の展延性が良い場合ほど空間の面積の変化が大きくなることを考慮して、粉粒体４１の展延性を評価する。なお、評価部１４は、最加圧面の位置を通過する前後における空間の面積の変化のみをもとに、あるいは、着目した空間の面積の変化のみをもとに、粉粒体４１の展延性を評価してもよい。以上が、評価部１４において行われる粉粒体４１の展延性の評価方法についての説明である。
【００４７】
そして、本実施形態では、制御部１６は、評価部１４における粉粒体４１の流動性と展延性の評価結果に応じて、加工条件、すなわち、成膜装置１における運転条件を制御する。
【００４８】
以上のように、本実施形態によれば、成膜装置１は、透過部３３を透過してプレスロール２１，２２間における加工部位を撮像するカメラ２４と、カメラ２４により時間をあけて撮像した複数枚の撮像画像をもとに、加工部位で発生する粉粒体４１内の空間の位置と、前記空間の面積と、前記空間の面積変化の少なくともいずれか１つに応じて加工条件を制御する制御部１６と、を有する。
【００４９】
このようにして、成膜装置１は、加工部位で発生する粉粒体４１内の空間について、粉粒体４１の流動性と展延性によって変化する空間の位置と、空間の面積と、空間の面積変化の少なくともいずれか１つに応じて加工条件を制御する。これにより、シート状物４２の加工条件は、粉粒体４１の流動性と展延性に応じた条件に制御される。そのため、成膜装置１は、粉粒体４１の流動性と展延性を踏まえた成膜ができる。
【００５０】
なお、上記した実施の形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることはもちろんである。
【符号の説明】
【００５１】
１  成膜装置
１１  成膜部
１２  撮像部
１３  ホッパ
１４  評価部
１６  制御部
２１  プレスロール
２２  プレスロール
２３  転写ロール
２４  カメラ
２６  ミラー
２７  照明
３１  中空部
３２  基材
３３  透過部
４１  粉粒体
４２  シート状物
４３  圧縮成形シート
Ａ  解析エリア
Ｚ  座標
Ｚ１  最上流座標
α  一点鎖線
β  一点鎖線
【図１】
2017087253.tif 000003
【図２】
2017087253.tif 000004
【図３】
2017087253.tif 000005
【図４】
2017087253.tif 000006
【図５】
2017087253.tif 000007
【図６】
2017087253.tif 000008
【図７】
2017087253.tif 000009
【図８】
2017087253.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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