(57)【要約】【課題】放電加工（ＥＤＭ）システム、制御システムおよび関連方法を提供する。【解決手段】様々な実施形態が、ワークピースに穴を形成するためにＥＤＭシステム内の複数の電極装置を制御するための制御システムを含む。制御システムは、複数の電極装置のそれぞれのための穴形成プログラムを開始するステップと、ワークピースの対応する穴の形成を完了しているかどうかを判断するステップと、少なくとも１つの電極が対応する穴の形成を完了していると判断したのに応答してワークピースから少なくとも１つの電極を切り離すステップと、を含むプロセスを実行するように構成することができる。【選択図】図１
2017056547.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電加工（ＥＤＭ）システム（２）であって、
案内構造（４）と、
前記案内構造（４）内に少なくとも部分的に配置される複数の電極装置（６）であって、前記複数の電極装置（６）がワークピース（８）に複数の放電を与えるように整列され、前記複数の電極装置（６）のそれぞれが、
前記ワークピース（８）に近接して配置するための電極（１０）、
前記電極（１０）を前記ワークピース（８）に近接して保持するための、前記電極（１０）に結合された電極ホルダ（１２）、および
前記電極ホルダ（１２）に結合される駆動装置（１４）であって、前記電極ホルダ（１２）および前記電極（１０）の位置を修正するようになされた駆動装置（１４）
を含む、複数の電極装置（６）と、
各前記電極ホルダ（１２）の前記駆動装置（１４）に機能的に接続される制御システム（１８）であって、
前記複数の電極装置（６）のそれぞれのための穴形成プログラムを開始すること、
少なくとも１つの前記電極（１０）が前記ワークピース（８）の対応する穴の形成を完了しているかどうかを判断すること、および
前記少なくとも１つの電極（１０）が前記対応する穴の形成を完了していると判断したのに応答して前記ワークピース（８）から前記少なくとも１つの電極（１０）を切り離すこと
を含むプロセスを実行するように構成された制御システム（１８）と
を備えるＥＤＭシステム（２）。
【請求項２】
前記制御システム（１８）が、
前記複数の電極装置（６）内の前記電極（１０）のいずれも前記ワークピース（８）の前記対応する穴の形成を完了していないと判断したのに応答して、前記複数の電極装置（６）のそれぞれのための前記穴形成プログラムを実行し続ける
ようにさらに構成される、請求項１に記載のＥＤＭシステム（２）。
【請求項３】
前記制御システム（１８）が、
前記ワークピース（８）から前記少なくとも１つの電極（１０）を切り離した後、前記複数の電極装置（６）内の前記電極（１０）のすべてが前記ワークピース（８）の前記対応する穴の形成を完了しているかどうかを判断し、
前記電極（１０）のすべてが前記ワークピース（８）の前記対応する穴の形成を完了していると判断したのに応答して前記ワークピース（８）から前記電極（１０）のすべてを切り離す
ようにさらに構成される、請求項１に記載のＥＤＭシステム（２）。
【請求項４】
前記制御システム（１８）が、
前記複数の電極装置（６）内の前記電極（１０）のすべてが前記ワークピース（８）の前記対応する穴の形成を完了していないと判断したのに応答して、前記ワークピース（８）から切り離されていない前記複数の電極装置（６）のそれぞれのための前記穴形成プログラムを実行し続ける
ようにさらに構成される、請求項３に記載のＥＤＭシステム（２）。
【請求項５】
前記案内構造（４）が前記電極ホルダ（１２）に結合され、前記案内構造（４）は、前記電極ホルダ（１２）が前記案内構造に対して動くことを可能にする滑り軸受（２０）を含む、請求項１に記載のＥＤＭシステム（２）。
【請求項６】
前記複数の電極装置（６）のそれぞれの前記駆動装置（１４）が音声コイルまたは油圧駆動装置の少なくとも一方を含む、請求項１に記載のＥＤＭシステム（２）。
【請求項７】
前記案内構造（４）に結合される機械のラム（２２）と、
前記案内構造（４）に結合される背板（２４）であって、前記複数の電極装置（６）のそれぞれの前記駆動装置（１４）を少なくとも部分的に支持する背板（２４）と
をさらに備える、請求項１に記載のＥＤＭシステム（２）。
【請求項８】
前記複数の電極装置（６）のすべてが、互いに対して平行に整列されかつ前記案内構造（４）に対して均一に角度をつけられる、請求項１に記載のＥＤＭシステム（２）。
【請求項９】
放電加工（ＥＤＭ）システム（２）をワークピース（８）に近接して配置するステップであって、前記ＥＤＭシステム（２）が、
案内構造（４）と、
前記案内構造（４）内に少なくとも部分的に配置される複数の電極装置（６）であって、前記複数の電極装置（６）が前記ワークピース（８）に複数の放電を与えるように整列され、前記複数の電極装置（６）のそれぞれが、
前記ワークピース（８）に近接して配置するための電極（１０）、
前記電極（１０）を前記ワークピース（８）に近接して保持するための、前記電極（１０）に結合された電極ホルダ（１２）、および
前記電極ホルダ（１２）に結合される駆動装置（１４）であって、前記電極ホルダ（１２）および前記電極（１０）の位置を修正するようになされた駆動装置（１４）
を含む、複数の電極装置（６）と
を備える、ステップと、
前記複数の電極装置（６）のそれぞれのための穴形成プログラムを開始するステップと、
少なくとも１つの電極（１０）が前記ワークピース（８）の対応する穴の形成を完了しているかどうかを判断するステップと、
前記少なくとも１つの電極（１０）が前記対応する穴の形成を完了していると判断したのに応答して前記ワークピース（８）から前記少なくとも１つの電極（１０）を切り離すステップと
を含む方法。
【請求項１０】
放電加工（ＥＤＭ）システム（２）の運転をワークピース（８）に近接して制御する制御システム（１８）を備えるシステムであって、前記ＥＤＭシステム（２）が、
案内構造（４）と、
前記案内構造（４）内に少なくとも部分的に配置される複数の電極装置（６）であって、前記複数の電極装置（６）が前記ワークピース（８）に複数の放電を与えるように整列され、前記複数の電極装置（６）のそれぞれが、
前記ワークピース（８）に近接して配置するための電極（１０）、
前記電極（１０）を前記ワークピース（８）に近接して保持するための、前記電極（１０）に結合された電極ホルダ（１２）、および
前記電極ホルダ（１２）に結合される駆動装置（１４）であって、前記電極ホルダ（１２）および前記電極（１０）の位置を修正するようになされた駆動装置（１４）
を含む、複数の電極装置（６）と
を有し、
前記制御システム（１８）が、
前記複数の電極装置（６）のそれぞれのための穴形成プログラムを開始するステップと、
少なくとも１つの電極（１０）が前記ワークピース（８）の対応する穴の形成を完了しているかどうかを判断するステップと、
前記少なくとも１つの電極（１０）が前記対応する穴の形成を完了していると判断したのに応答して前記ワークピース（８）から前記少なくとも１つの電極（１０）を切り離すステップと
を含むプロセスを実行するように構成される、システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書で開示される主題は放電加工に関する。詳細には、本明細書で開示される主題は、タービンの構成要素、例えばガスタービンのブレードまたは動翼内に放電加工を行うためのシステムおよび方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
放電加工（ＥＤＭ）は、放電（スパーク）を用いて対象材料内に形がなされるようにする製造プロセスである。電極（工具電極とも呼ばれる）が対象材料（ワークピース（ｗｏｒｋ  ｐｉｅｃｅ）とも呼ばれる）に近接して配置され、電極とワークピースとの間に電圧が印加される。電極と対象材料との間の電界の強さが誘電体媒質の抵抗を超えると、電流が電極から対象材料へ流れ、またはその逆に対象材料から電極へ流れて、電極と対象材料の両方から材料をいくらか除去する。
【０００３】
現在、ＥＤＭは、タービンの構成要素（例えば翼形）に冷却孔および燃料噴射孔を形成するために用いられる最も信頼性の高い技術である。したがって、ＥＤＭは、タービン翼形にこれらの穴を形成するために広く用いられる。しかしながら、ＥＤＭ穴あけ（ｄｒｉｌｌｉｎｇ）は、多数の電極の組を使用したときでも比較的遅い。さらに、生産時間要件を満たすために複数のＥＤＭ機が通常は一度に使用され、これは製造設備においてかなりの床面積を占める。さらに、グループ化電極配置を採用したＥＤＭ機では、局所デブリ（ｌｏｃａｌ  ｄｅｂｒｉｓ）が、１つまたは複数の影響を受けた電極だけでなく、影響を受けていない電極を含む電極群全体の減速および引き抜きをも駆りたてる。電極群全体は、最悪の場合の電極（デブリが最も付着した電極、ワークピース−電極間ギャップが最短の電極など）に応じて一緒に送られるまたは引き抜かれる。その結果、全体的な送り速度または機械加工生産性は、デブリが最も付着したまたはギャップが最短の最悪の電極の最低送り速度に追従する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許第８１６８９１３号明細書
【発明の概要】
【０００５】
本開示の様々な実施形態は、放電加工（ＥＤＭ）システム、関連制御システムおよび制御方法を含む。場合によっては、ＥＤＭシステムは、案内構造と、案内構造内に少なくとも部分的に配置される複数の電極装置であって、複数の電極装置がワークピースに複数の放電を与えるように整列され、複数の電極装置のそれぞれが、ワークピースに近接して配置するための電極、電極をワークピースに近接して保持するための、電極に結合された電極ホルダ、および電極ホルダに結合される駆動装置であって、電極ホルダおよび電極の位置を修正するようになされた駆動装置を含む、複数の電極装置と、各電極ホルダの駆動装置に機能的に接続される制御システムであって、複数の電極装置のそれぞれのための穴形成プログラムを開始すること、少なくとも１つの電極がワークピースの対応する穴の形成を完了しているかどうかを判断すること、および少なくとも１つの電極が対応する穴の形成を完了していると判断したのに応答してワークピースから少なくとも１つの電極を切り離すことを含むプロセスを実行するように構成された制御システムと、を含む。
【０００６】
本開示の第１の態様は、放電加工（ＥＤＭ）システム、関連制御システムおよび制御方法を含む。場合によっては、ＥＤＭシステムは、案内構造と、案内構造内に少なくとも部分的に配置される複数の電極装置であって、複数の電極装置がワークピースに複数の放電を与えるように整列され、複数の電極装置のそれぞれが、ワークピースに近接して配置するための電極、電極をワークピースに近接して保持するための、電極に結合された電極ホルダ、および電極ホルダに結合される駆動装置であって、電極ホルダおよび電極の位置を修正するようになされた駆動装置を含む、複数の電極装置と、各電極ホルダの駆動装置に機能的に接続される制御システムであって、複数の電極装置のそれぞれのための穴形成プログラムを開始すること、少なくとも１つの電極がワークピースの対応する穴の形成を完了しているかどうかを判断すること、および少なくとも１つの電極が対応する穴の形成を完了していると判断したのに応答してワークピースから少なくとも１つの電極を切り離すことを含むプロセスを実行するように構成された制御システムと、を含む。
【０００７】
本開示の第２の態様は、放電加工（ＥＤＭ）システムをワークピースに近接して配置するステップであって、ＥＤＭシステムが、案内構造と、案内構造内に少なくとも部分的に配置される複数の電極装置であって、複数の電極装置がワークピースに複数の放電を与えるように整列され、複数の電極装置のそれぞれが、ワークピースに近接して配置するための電極、電極をワークピースに近接して保持するための、電極に結合された電極ホルダ、および電極ホルダに結合される駆動装置であって、電極ホルダおよび電極の位置を修正するようになされた駆動装置を含む、複数の電極装置とを備える、ステップと、複数の電極装置のそれぞれのための穴形成プログラムを開始するステップと、少なくとも１つの電極がワークピースの対応する穴の形成を完了しているかどうかを判断するステップと、少なくとも１つの電極が対応する穴の形成を完了していると判断したのに応答してワークピースから少なくとも１つの電極を切り離すステップと、を含む方法を含む。
【０００８】
本開示の第３の態様は、放電加工（ＥＤＭ）システムの運転をワークピースに近接して制御するための制御システムを有するシステムを含み、ＥＤＭシステムは、案内構造と、案内構造内に少なくとも部分的に配置される複数の電極装置であって、複数の電極装置がワークピースに複数の放電を与えるように整列され、複数の電極装置のそれぞれが、ワークピースに近接して配置するための電極、電極をワークピースに近接して保持するための、電極に結合された電極ホルダ、および電極ホルダに結合される駆動装置であって、電極ホルダおよび電極の位置を修正するようになされた駆動装置を含む、複数の電極装置と、を有し、制御システムは、複数の電極装置のそれぞれのための穴形成プログラムを開始するステップと、少なくとも１つの電極がワークピースの対応する穴の形成を完了しているかどうかを判断するステップと、少なくとも１つの電極が対応する穴の形成を完了していると判断したのに応答してワークピースから少なくとも１つの電極を切り離すステップと、を含むプロセスを実行するように構成される。
【０００９】
本発明のこれらおよびその他の特徴は、本開示の様々な実施形態を描いた添付図面に関連してなされる本発明の様々な態様の下記の詳細な説明からより容易に理解されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】様々な実施形態による放電加工（ＥＤＭ）システムの一部の概略図である。
【図２】いくつかの実施形態によるＥＤＭシステムの概略部分断面図である。
【図３】様々な追加実施形態によるＥＤＭシステムの概略部分断面図である。
【図４】様々な実施形態による電極装置の一部のクローズアップ部分断面図である。
【図５】様々な追加実施形態による回転管電極装置４０を含む、電極装置の一部の追加クローズアップ部分断面図である。
【図６】様々な実施形態による電極を洗浄するための概略構成を示す図である。
【図７】様々な実施形態による電極を洗浄するための概略構成を示す図である。
【図８】様々な実施形態によるプロセスを例示する流れ図である。
【図９】様々な実施形態による制御システムによって実行される制御プロセスを描いた制御流れ図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の図面は必ずしも原寸に比例して描かれていないことに留意されたい。図面は、本発明の典型的な態様のみを示すためのものであり、したがって本発明の範囲を限定するものと見なされるべきでない。図面において、同じ番号付与は図面間で同じ要素を表す。
【００１２】
本明細書に述べたように、開示される主題は放電加工に関する。詳細には、本明細書で開示される主題は、タービンの構成要素、例えばガスタービンのブレードまたは動翼内に放電加工を行うためのシステムおよび方法に関する。
【００１３】
従来の手法とは対照的に、本開示の様々な実施形態は、１組の独立電極を有する放電加工（ＥＤＭ）システムを含む。すなわち、ＥＤＭシステムは、独立して電力供給される複数の電極、したがって独立して制御される電極を含む。これらの独立電極は互いに絶縁され、少なくとも２つの異なるコントローラ（例えば、複数の異なるコントローラ）に結合され得る。ＥＤＭシステムは、電極相互間の様々なギャップを検出するための独立した（電気的に絶縁された）プロセッサとノイズを低く抑えながら独立プロセッサを中央処理装置に接続するためのオプトカプラとをさらに含むことができる。ＥＤＭシステムは、電極を安定させるために取付フレーム、背板および案内板を含むことができる。本開示の様々な特徴は、タービン構成要素（例えば翼形）上でのＥＤＭの速度を複数倍（例えば最大で１０倍）上げることができる。
【００１４】
これらの図に示されているように、「Ａ」軸線は、（明瞭にするために省略されている、タービンロータの軸線に沿った）軸線方向の向きを表す。本明細書に用いられているように、「軸線方向の（ａｘｉａｌ）」および／または「軸線方向に（ａｘｉａｌｌｙ）」という用語は、ターボ機械（特にロータセクション）の回転軸線と実質的に平行な軸線Ａに沿った物体の相対位置／方向を意味する。本明細書でさらに用いられているように、「半径方向の（ｒａｄｉａｌ）」および／または「半径方向に（ｒａｄｉａｌｌｙ）」は、軸線Ａに対して実質的に垂直でありかつただ１箇所で軸線Ａと交差する軸線（ｒ）に沿った物体の相対位置／方向を意味する。さらに、「円周方向の（ｃｉｒｃｕｍｆｅｒｅｎｔｉａｌ）」および／または「円周方向に（ｃｉｒｃｕｍｆｅｒｅｎｔｉａｌｌｙ）」という用語は、軸線Ａを取り囲むがどの箇所でも軸線Ａと交差しない円周（ｃ）に沿った物体の相対位置／方向を意味する。図の間の共通番号付与は図の中の実質的に同一の構成要素を表すことができることがさらに理解されよう。
【００１５】
図１に目を向けると、様々な実施形態による放電加工（ＥＤＭ）システム２の一部の概略図が示されている。図示のように、ＥＤＭシステム２は、案内構造４と案内構造４内に少なくとも部分的に配置される複数の電極装置６とを含むことができる（例えば、案内構造４は電極装置６を少なくとも部分的におおう）。様々な実施形態によれば、電極装置６は、ワークピース８（例えば、ガスタービン翼形などのタービン構成要素）に放電を与えるように整列される。
【００１６】
複数の電極装置６のそれぞれが、ワークピース８に近接して配置する（例えば、ワークピース８と接触するまたはワークピース８から名目上切り離される）ための電極１０、および電極１０をワークピース８に近接して保持するための、電極１０に結合された電極ホルダ１２を含むことができる。各電極装置６は、電極ホルダ１２に結合される駆動装置１４をさらに含むことができる。駆動装置１４は、ホルダ１２の内側にリニア軸受で保持される（ワークピース８に対する）電極１０の位置を修正するようになされ得る。様々な実施形態で、駆動装置１４は、電動駆動装置または空気圧駆動装置の少なくとも一方を含むことができ、場合によっては音声コイルまたは油圧駆動装置を含むことができる。
【００１７】
ＥＤＭシステム２は、複数の電極装置６内のある電極１０の近隣電極１０に対する位置を検出するための少なくとも１つのセンサ１６をさらに含むことができる。様々な実施形態で、少なくとも１つのセンサ１６は複数のセンサ１６を含むことができ、場合によっては、センサ１６の少なくとも１つが多数の電極１０の位置ならびにワークピース−電極間ギャップ１１（各電極１０とワークピース８との間の距離）を検出するように構成される。少なくとも１つのセンサ１６は、例えば、１つまたは複数の電極１０の位置を検出することができる光学センサ、レーザベースのセンサ、または他の従来のセンサを含むことができる。様々な実施形態で、センサ１６は、電極１０とワークピース８との間の電圧信号を検出するように構成されたギャップセンサを含むことができる。
【００１８】
ＥＤＭシステム２は、（例えば、従来の無線手段および／または配線手段を介して）駆動装置１４に機能的に接続される制御システム（ＣＳ）１８をさらに含むことができ、制御システム１８は、複数の電極１０の少なくとも１つの位置（したがってワークピース−電極間ギャップ１１）を電極１０の検出位置（および例えばワークピース−電極間ギャップ１１）に基づいて複数の電極１０の少なくとも１つの他の電極とは無関係に修正するために、複数の電極装置６の少なくとも１つの駆動装置１４に命令を与えるように構成される。様々な実施形態で、制御システム１８はセンサ１６に結合され、電極１０の位置（ならびに各電極１０とワークピース８との間のギャップ１１）に関するデータをセンサ１６から得るとともに、その位置データ（およびギャップ１１に関するデータ）に基づいて、電極装置６の少なくとも１つの駆動装置１４に、その電極装置６の対応する電極１０の位置を修正する（したがって、各電極１０とワークピース８との間のギャップ１１を修正する）よう指示するように構成される。
【００１９】
制御システム１８は、制御システム１８が電極装置６の少なくとも１つを作動させることができるように電極装置６に（例えば駆動装置１４において）機械的または電気的に接続されてもよい。制御システム１８は、電極１０の検出位置（および各電極１０とワークピース８との間のギャップ１１）、例えば、予測電極位置（およびギャップ１１のサイズ）からの相違、案内構造４に対する位置（およびギャップ１１のサイズ）の相違、などに応答して電極装置６の駆動装置１４を作動させてもよい。制御システム１８は、（例えば、駆動装置１４を始動または停止することにより）電極装置６を作動させることができるコンピュータ制御装置、機械装置、または電気機械装置でよい。一実施形態では、制御システム１８は、電極装置６に操作命令を与えることができるコンピュータ制御装置でよい。この場合、制御システム１８は、１つまたは複数の電極１０の位置ならびに各電極１０とワークピース８との間のギャップ１１を（例えば、規定のパターンおよび／または所定の位置情報に対して、センサ１６を通じて）監視して、ワークピース８のトポグラフィに関するデータを所望の穴の位置や深さなどとともにセンサ１６から得られたデータと比較し、電極装置６に、電極装置６内の電極１０の少なくとも１つの位置（したがってギャップ１１）を独立に修正するよう操作命令を与えてもよい。例えば、制御システム１８は、１つの電極装置６の駆動装置１４を一定の操作条件下で（例えば、電極１０がワークピース８内への電極１０の侵入深さに達していることをセンサ１６が検出した場合に）停止させるために操作命令を送ってもよい。この実施形態では、電極装置６は、制御システム１８から操作命令（電気信号）を受け取り、機械的な動き（例えば、駆動装置１４を一時停止させる、始動させるなど）を引き起こすことができる電気機械構成要素を含んでいてもよい。別の実施形態では、制御システム１８は、１つまたは複数の電極１０の位置（および場合によってはギャップ１１）を示すパラメータを（例えばセンサ１６で）電気的に監視し、１つまたは複数の対応する電極装置６の駆動装置１４を機械的に作動させることができる電気機械装置でよい。本明細書に複数の実施形態で説明されているが、制御システム１８は、他の従来の手段によって電極装置６を作動させてもよい。いずれにせよ、制御システム１８の技術的効果は、本明細書に記述されているように１つまたは複数の電極装置６の操作を制御することである。
【００２０】
様々な実施形態で、各電極１０は、その電極１０の位置ならびに電極１０の先端とワークピース８との間のギャップ１１（例えば、形成されるべきワークピース８の開口部）に応じて独立に制御される。本明細書に述べたように、電極１０はワークピース８に向かって（例えば、駆動装置１４によって）駆動され得る。電極１０がワークピース８上で放電し始めると、電極１０の送り速度は減速することができ、ＣＳ１８は送り制御を引き継ぐ。ギャップ１１が低過ぎる電圧信号で小さくなり過ぎた場合、送り速度は、ワークピース８への短絡および過熱を防止するために、減速されて（さらには逆方向に向けられて）電極が引き抜かれる。センサ１６がプロセス（例えば、穴が所望の深さに形成される）に対する先端深さを検出すると、ＣＳ１８は電極１０を送るのを中止しその電極１０を独立に引っ込めるが、他の電極１０は引き続き送られてもよく、または独立に引き抜かれてもよい。
【００２１】
様々な実施形態では、案内構造４が電極ホルダ１２に結合され、案内構造４は、電極ホルダ１２が案内構造４に対して動くことを可能にする滑り軸受２０（図４、図５）を含む。場合によっては、図１〜図３に示されているように、ＥＤＭシステム２は、案内構造４に結合される機械のラム２２と案内構造４に結合される背板２４とをさらに含むことができ、背板２４は、複数の電極装置６のそれぞれの駆動装置１４を少なくとも部分的に支持する。
【００２２】
図１および図２に示されているように、いくつかの実施形態によれば、複数の電極装置６のすべてが、互いに対して平行に整列されかつ案内構造４に対して均一に角度をつけられ得る。すなわち、すべての電極装置６が、同じ接触角でワークピース８内に等間隔の開口部を形成するために、平行配置で整列され得る。
【００２３】
図３は、図２の平行配置の代替実施形態を示し、電極装置６は多方向配置で整列される。これらの場合、複数の電極装置６の第１の電極装置（６ａ）が複数の電極装置６の第２の電極装置（６ｂ）に対して第１の角度（α１）で整列され、複数の電極装置６の第３の電極装置（６ｃ）が複数の電極装置６の第２の電極装置（６ｂ）に対して第２の角度（α２）で整列され、第２の角度（α２）は第１の角度（α１）とは異なる。
【００２４】
図１に示されているように、様々な実施形態によれば、複数の電極装置６（いくつか図示されている）のそれぞれが独立電源（ＩＰＳ）２６に接続されて、複数の電極装置６の１つへの電力喪失が複数の電極装置６の残りの電極装置への電力喪失を引き起こさないようにする。いくつかの実施形態では、電源２６は２つ以上の電極装置６に結合され得るが、本明細書で開示される諸実施形態によれば、電極装置６全体が単一電源に依存しないように複数の電源２６が使用されることが理解されよう。様々な実施形態によれば、ＩＰＳ２６は、従来システムに利用される統合された中央電源に関する問題を防止することができることが理解されよう。すなわち、共用電源が多数の電極の１つに１つの大きなスパークをもたらす。放電プロセスのいつでも、１つの大きなスパークは、金属除去率がマルチスパーク構成に比べて低くなるように、ただ１つの電極に限定される。共用電源（１つの大きなスパークを有する）は、それぞれの電極で高出力レベルのために不十分な表面品質をもたらす可能性がある。本明細書での様々な実施形態によれば、独立した専用電源は、本明細書に記述されているように、局所ギャップ制御に基づいて１つの電極に正確な電力量を所望の時間に与えることができる。小ギャップおよび高速送りで、様々な実施形態による独立電源システムは、従来の手法に比べて高い電力を局所的に供給することができる。各電極とワークピースの間のギャップは（例えば、局所デブリ発生および誘電体洗浄に依存して）変わり得るので、異なる電極用の独立した専用電源は、高い金属浸食率を得るために多数のスパークを可能にし、ＥＤＭ後に高表面品質を仕上げるためのより低い出力レベルが完成する。
【００２５】
図４は、様々な実施形態による電極装置６の一部のクローズアップ部分断面図を示す。図４に示されているように、いくつかの実施形態では、電極装置６は背板２４および滑り軸受２０の中に配置され、滑り軸受２０は案内板２８の中に収容される。駆動装置１４は、油圧シリンダ３０とその油圧シリンダ３０内のピストン３２とを含むことができる（図４）。シリンダ３０とピストン３２はともに、背板２４によって少なくとも部分的に保持されたブッシング３４内に保持することができる。駆動装置１４は絶縁体コネクタ３６によって電極ホルダ１２に結合することができる。場合によっては、電極１０はクランプ（例えばコレットクランプ）３８によって電極ホルダ１２の先端に保持される。
【００２６】
図５は、電極装置６の一部の追加のクローズアップ部分断面図を示し、駆動装置１４は、本開示の様々な追加実施形態による回転管電極装置４０を含む。これらの実施形態では、回転管電極装置４０は、図４を参照して示され説明されたように油圧ピストン３２（シリンダ３０に連結されている）に結合される。しかしながら、回転管電極装置４０は、空気モータ４４（圧縮空気入口４６および出口４８を有する）と、空気モータ４４の上流側の水入口５０（隣接シール５２を有する）と、空気モータ４４に結合されたロータ５４（ただしロータ５４は軸受５６上に支持される）とを含む回転駆動装置４２をさらに含むことができる。ロータ５４は、電極ホルダ１２（電極クランプ３８を含む）に連結される。この構成では、回転管電極装置４０は、油圧ピストン３２が電極１０をワークピース８に向かって駆動する間に電極１０を回転させるように構成される。図５に示されているこの回転管電極装置４０は、最小限の隙間および／または高密度の電極装置６を必要とするスペースでワークピース８に穴を形成するのに有用とすることができる。
【００２７】
様々な実施形態によれば、本明細書に記述されている制御システム１８は、ワークピース８の穴形成を従来の手法に対して促進するために、制御プロセスを実行するように構成することができる。様々な実施形態では、独立電源２６を利用することにより、ワークピース８の穴形成の速度および制御の著しい増加が可能になる。例えば、単一電源を有する従来のシステムでは、ただ１つのスパークが所与の単位期間内に生成されるが、ワークピース全体にわたってスパークを加えるために多数の電極が使用されてもよい。対照的に、開示されるＥＤＭシステム２は複数の異なる独立電源２６を含み、これらの電源２６は、ワークピース８に穴が形成される速度を従来のシステムに対して上げるために複数のスパークを生成することができる。加えて、ＥＤＭシステム２は、異なる電極６に、これらの電極６のワークピース８に対する位置に基づいて独立にスパークを発生させるように構成することができる。例えば、ワークピース８が、異なる深さおよび／または幅で形成されるべき複数のチャネル（例えば、流体流れチャネル）を含む場合、電極６（電極６の対応する電源２６を含む）の独立制御により、異なる穴タイプを同じＥＤＭシステム２で同時に形成することが可能になる。さらに、ＥＤＭシステム２内の分散型独立スパーク発生機構により、従来システムに必要な高電圧／高電流スパークを必要とせずに深いかつ／または小さい穴を速く形成することが可能になり得る。電極６にスパークを発生させるためにより低い電圧を使用すると、これらの電極６の寿命を延ばすとともに、ダウンタイムを短縮することによって（交換／修理の頻度が減少するため）効率を上げることもできる。
【００２８】
電極群がすべて一括して制御される従来の構成では、電極の後退、突破および短絡は管理するのが困難である。特に、一括制御構成の１つまたは複数の電極で問題（例えば短絡）が生じたとき、その問題がワークピースへの損傷を引き起こさないようにするために、電極群全体がワークピースから切り離されなければならない。例えば、電極がワークピースの下側を「貫通する」ように電極が（所望されるように）ワークピースの一部に完全な穴を穿設している場合、電極が通常の送り制御によってこの穴に貫入し続けると、残りのワークピースは、望ましくない態様で変形する、シフトする、またはその他の方法で移動する傾向が強くなっているようである。しかしながら、従来のシステムでは、すべての穴が同時に貫通することはない、すなわち、１つまたは複数の電極が貫通している間に他の電極は通常の穴あけで正常に拍動し送り続けることができず、他の電極に対する通常の穴あけプロセスの中断を引き起こす。さらに、過激な貫通制御および送りは、他の電極に対して短絡および他の問題を引き起こす。これらの望まれない状況は、ＥＤＭシステム２内の独立制御機構を使用して回避する、または少なくとも軽減することができる。
【００２９】
様々な実施形態によれば、ＥＤＭシステム２は、１つまたは複数の電極６を洗浄するための流体源（ＦＳ）６０（図１、図６）を含むことができる。図６および図７は、様々な実施形態による電極６を洗浄するための異なる概略構成を示す。側面洗浄が図６に示されており、洗浄流体が、側面領域６２からノズル６４を通じて電極６の外表面に導入される。図７は別の実施形態を示し、洗浄流体が、電極６の本体を通じて内部洗浄室６６内に導入される。
【００３０】
さらに、ＥＤＭシステム２は穴あけの効率および速度を上げるために、洗浄またはその他の方法の間に電極６を拍動で送るように構成することができる。様々な実施形態で、電極６の少なくとも１つを拍動で送ることは、例えばデブリおよび／またはカーボンの付着のせいで全体的な送り速度が遅くなったときに開始される。電極６の少なくとも１つを拍動で送ることは、短絡パルスおよび／またはアークパルスの百分率が閾値レベル、例えば、パルスの２０％〜３０％を超えたときに開始することもできる。アークパルスおよび／または短絡パルスの放電電圧は通常放電パルスの電圧よりも低い。さらに、アークパルスおよび／または短絡パルスは通常放電パルス用の無線周波信号を有していない。これらの電気信号の差は、アークパルスおよび／または短絡パルスを検出するために使用することができる。
【００３１】
図８は、様々な実施形態によるプロセスを含む方法を例示する流れ図を示す。図１〜図７を同時参照されたい。様々な実施形態によれば、ＥＤＭシステム２を利用してワークピース８に１組の穴を形成する方法が下記プロセスを含むことができる。
【００３２】
プロセスＰ１：機械のラム２２上に案内構造４を取り付ける。このプロセスは、機械のラム２２に案内構造４をボルト締めする、固定する、またはその他の方法で連結することを含むことができる。
【００３３】
プロセスＰ２：電極６の組の下にワークピース８を配置する。場合によっては、ワークピース８は、作業台または誘電性流体室内の他の表面に固定される。
【００３４】
プロセスＰ３：機械のラム２２を下げて電極６の組の第１の電極６がワークピース８の上面に接触するようにし、ラム２２を適所に固定する。
【００３５】
プロセスＰ４：電極ホルダ１２を（コレットクランプ３８のところで）解放して電極６の組のすべての電極を下げ、それによってワークピース８の上面に接触させ、電極ホルダ１２を（コレットクランプ３８のところで）締め直して電極６の位置をロックする。
【００３６】
プロセスＰ５：機械のラム２２を上げて、電極６の組がワークピース８の上面から切り離されるようにする。
【００３７】
プロセスＰ６：誘電性流体室をワークピース８の上面の上に誘電体流体で満たす。
【００３８】
プロセスＰ７：機械のラム２２を下げて、電極６を誘電性流体中のワークピース８の上面に近接して、ただしこの上面から切り離されて配置する。
【００３９】
プロセスＰ８：複数の電極６のそれぞれのための個々の穴形成プログラムを実行して、ワークピース８に穴を形成する。
【００４０】
判断Ｄ１：少なくとも１つの電極６がワークピース８に完全な（貫通）孔を形成しているか？
判断Ｄ１に対してノーの場合（少なくとも１つの電極６がワークピース８に完全な穴を形成していないと判断したのに応答して）：プロセスＰ８を続行し（または、評価がプログラム実行中に行われた場合、プロセスＰ８を実行し続け）、個々の穴形成プログラムを実行する。
【００４１】
判断Ｄ１に対してイエスの場合（少なくとも１つの電極６がワークピース８に完全な穴を形成していると判断したのに応答して）、プロセスＰ９は、少なくとも１つの電極６を上げ、少なくとも１つの電極６内のスパーク発生を停止させることを含む。
【００４２】
判断Ｄ２：すべての電極６がワークピース８に完全な（貫通）孔を形成しているか？
判断Ｄ２に対してノーの場合（すべての電極６がワークピース８に完全な穴を形成していないと判断したのに応答して）、プロセスＰ８に戻り、残りの電極６のための個々の穴あけプログラムを実行する（または、プログラム実行中に評価された場合に個々のプログラムを実行し続ける）。
【００４３】
判断Ｄ２に対してイエスの場合（すべての電極６がワークピース８に完全な穴を形成していると判断したのに応答して）、プロセスＰ１０：ラム２２を高い（定）位置に上げる（新しいワークピース８の準備ができている）を含む。
【００４４】
プロセスＰ１０に続いて、上記方法は、その後のワークピース８に対して（プロセスＰ２から）繰り返されてもよい。
【００４５】
図９は、様々な実施形態によるＥＤＭシステム２の運転を制御する制御システム１８によって実行される制御プロセスを描いた制御流れ図９０を示す。図示のように、制御システム１８はギャップ基準信号９２を入力として使用し、フィードフォワードプロセッサ９４がその信号９２を常規放電条件で（最大電極パルスが通常の放電パルスに等しいときに）基準送り速度９６に変換する。フィードフォワードプロセッサ９４は利得係数に比例し、利得係数は、穴あけ深さ、洗浄条件および／または電力パルスパラメータ（例えば、オンタイム、オフタイム、電圧、放電電流など）に応じて設定することができる。フィードフォワードプロセッサ９４の利得係数は、運転者によって、または制御システム１８による実時間反復プロセスを通じて決定することができ、電極６によって形成されるべき１つまたは複数の穴の特定の穴あけ深さに関連していてもよい。ギャップ基準信号９２は、ギャップ基準電圧からなっていてもよく、あるいは場合によっては、異なる電気パルス（すなわち、開放パルス、浸食パルス、およびアーク／短絡パルス）の３つの目標百分率を含んでいてもよい。アークパルスまたは短絡パルスの目標百分率はゼロに等しい。開放パルスに対するより高い目標百分率、および浸食パルスに対するより低い目標百分率は、誘電性洗浄を改善するために、プロセスをより大きな放電ギャップ９８へ推進する。このギャップ９８が開放パルスと浸食パルスとの間にない場合、プロセスは、アークおよび短絡を引き起こしやすい（穴あけのさらなる深さをもたらすことはある）。ギャップ基準信号９２は、事前実行コンピュータモデリング例または事前実行物理的穴あけ例に基づいて設定することができる。様々な実施形態によれば、フィードバックプロセッサ１００が異なるパルスを検出し、それらのパルスを百分率に変換することができる。フィードバック信号と基準信号との差分は、一部分は比例積分微分（ＰＩＤ）コントローラ（送り速度コントローラとも呼ばれる）１０２用の駆動信号として使用される。この差分信号は数式１に等しい。
【００４６】
Ｆ−Ｒ＝Ａ・（Ｎob−Ｎor）＋（Ｎeb−Ｎer）−（Ｂ・Ｎab）  （数式１）
数式１において、Ｆはフィードバック信号であり、Ｒは基準信号であり、Ａは１より大きい倍率であり、Ｎobはフィードバック開放パルスの百分率であり、Ｎorは基準開放パルスの百分率であり、Ｎebはフィードバック浸食パルスの百分率であり、Ｎerは基準浸食パルスの百分率である。基準アーク／短絡パルスの百分率がゼロの場合、Ｎabは、フィードバックアーク／短絡パルスの百分率を表す。Ｂは１より大きい他の倍率である。
【００４７】
本明細書で使用される用語は、特定の実施形態だけを説明するためのものであり、本開示を限定するものではない。本明細書では、単数形「１つの（ａ）」、「１つの（ａｎ）」、および「その（ｔｈｅ）」は、文脈上特に明確に示していない限り、複数形も含むことを意図している。さらに、「備える（ｃｏｍｐｒｉｓｅｓ）」および／または「備える（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」という用語は、本明細書で使用される場合、規定された特徴、完全体、ステップ、動作、要素、および／または構成要素の存在を明示するが、１つまたは複数の他の特徴、完全体、ステップ、動作、要素、構成要素、および／またはそれらからなる群の存在または追加を除外するものではないことが理解されよう。
【００４８】
本明細書は、最良の形態を含めて本発明を開示するために、それにまた、当業者が任意の装置またはシステムを製作し使用することおよび任意の組み込まれた方法を実行することを含めて本発明を実践できるようにするためにも例を使用している。本発明の特許可能な範囲は特許請求の範囲によって定義され、当業者が想起する他の例を含んでいてもよい。このような他の例は、それらの例が特許請求の範囲の文言と異ならない構造要素を有する場合、またはそれらの例が特許請求の範囲の文言との非実質的差異を有する等価構造要素を含む場合、特許請求の範囲内にあることを意図している。
［実施態様１］
放電加工（ＥＤＭ）システム（２）であって、
案内構造（４）と、
前記案内構造（４）内に少なくとも部分的に配置される複数の電極装置（６）であって、前記複数の電極装置（６）がワークピース（８）に複数の放電を与えるように整列され、前記複数の電極装置（６）のそれぞれが、
前記ワークピース（８）に近接して配置するための電極（１０）、
前記電極（１０）を前記ワークピース（８）に近接して保持するための、前記電極（１０）に結合された電極ホルダ（１２）、および
前記電極ホルダ（１２）に結合される駆動装置（１４）であって、前記電極ホルダ（１２）および前記電極（１０）の位置を修正するようになされた駆動装置（１４）
を含む、複数の電極装置（６）と、
各前記電極ホルダ（１２）の前記駆動装置（１４）に機能的に接続される制御システム（１８）であって、
前記複数の電極装置（６）のそれぞれのための穴形成プログラムを開始すること、
少なくとも１つの前記電極（１０）が前記ワークピース（８）の対応する穴の形成を完了しているかどうかを判断すること、および
前記少なくとも１つの電極（１０）が前記対応する穴の形成を完了していると判断したのに応答して前記ワークピース（８）から前記少なくとも１つの電極（１０）を切り離すこと
を含むプロセスを実行するように構成された制御システム（１８）と
を備えるＥＤＭシステム（２）。
［実施態様２］
前記制御システム（１８）が、
前記複数の電極装置（６）内の前記電極（１０）のいずれも前記ワークピース（８）の前記対応する穴の形成を完了していないと判断したのに応答して、前記複数の電極装置（６）のそれぞれのための前記穴形成プログラムを実行し続ける
ようにさらに構成される、実施態様１に記載のＥＤＭシステム（２）。
［実施態様３］
前記制御システム（１８）が、
前記ワークピース（８）から前記少なくとも１つの電極（１０）を切り離した後、前記複数の電極装置（６）内の前記電極（１０）のすべてが前記ワークピース（８）の前記対応する穴の形成を完了しているかどうかを判断し、
前記電極（１０）のすべてが前記ワークピース（８）の前記対応する穴の形成を完了していると判断したのに応答して前記ワークピース（８）から前記電極（１０）のすべてを切り離す
ようにさらに構成される、実施態様１に記載のＥＤＭシステム（２）。
［実施態様４］
前記制御システム（１８）が、
前記複数の電極装置（６）内の前記電極（１０）のすべてが前記ワークピース（８）の前記対応する穴の形成を完了していないと判断したのに応答して、前記ワークピース（８）から切り離されていない前記複数の電極装置（６）のそれぞれのための前記穴形成プログラムを実行し続ける
ようにさらに構成される、実施態様３に記載のＥＤＭシステム（２）。
［実施態様５］
前記案内構造（４）が前記電極ホルダ（１２）に結合され、前記案内構造（４）は、前記電極ホルダ（１２）が前記案内構造に対して動くことを可能にする滑り軸受（２０）を含む、実施態様１に記載のＥＤＭシステム（２）。
［実施態様６］
前記複数の電極装置（６）のそれぞれの前記駆動装置（１４）が音声コイルまたは油圧駆動装置の少なくとも一方を含む、実施態様１に記載のＥＤＭシステム（２）。
［実施態様７］
前記案内構造（４）に結合される機械のラム（２２）と、
前記案内構造（４）に結合される背板（２４）であって、前記複数の電極装置（６）のそれぞれの前記駆動装置（１４）を少なくとも部分的に支持する背板（２４）と
をさらに備える、実施態様１に記載のＥＤＭシステム（２）。
［実施態様８］
前記複数の電極装置（６）のすべてが、互いに対して平行に整列されかつ前記案内構造（４）に対して均一に角度をつけられる、実施態様１に記載のＥＤＭシステム（２）。
［実施態様９］
前記複数の電極装置（６）の第１の電極装置（６ａ）が前記複数の電極装置（６）の第２の電極装置（６ｂ）に対して第１の角度（α１）で整列され、前記複数の電極装置（６）の第３の電極装置（６ｃ）が前記複数の電極装置（６）の第２の電極装置（６ｂ）に対して第２の角度（α２）で整列され、前記第２の角度（α２）が前記第１の角度（α１）とは異なる、実施態様１に記載のＥＤＭシステム（２）。
［実施態様１０］
前記複数の電極装置（６）のそれぞれが独立電源（２６）に接続されて、前記複数の電極装置（６）の１つへの電力喪失が前記複数の電極装置（６）の残りの電極装置への電力喪失を引き起こさないようにする、実施態様１に記載のＥＤＭシステム（２）。
［実施態様１１］
放電加工（ＥＤＭ）システム（２）をワークピース（８）に近接して配置するステップであって、前記ＥＤＭシステム（２）が、
案内構造（４）と、
前記案内構造（４）内に少なくとも部分的に配置される複数の電極装置（６）であって、前記複数の電極装置（６）が前記ワークピース（８）に複数の放電を与えるように整列され、前記複数の電極装置（６）のそれぞれが、
前記ワークピース（８）に近接して配置するための電極（１０）、
前記電極（１０）を前記ワークピース（８）に近接して保持するための、前記電極（１０）に結合された電極ホルダ（１２）、および
前記電極ホルダ（１２）に結合される駆動装置（１４）であって、前記電極ホルダ（１２）および前記電極（１０）の位置を修正するようになされた駆動装置（１４）
を含む、複数の電極装置（６）と
を備える、ステップと、
前記複数の電極装置（６）のそれぞれのための穴形成プログラムを開始するステップと、
少なくとも１つの電極（１０）が前記ワークピース（８）の対応する穴の形成を完了しているかどうかを判断するステップと、
前記少なくとも１つの電極（１０）が前記対応する穴の形成を完了していると判断したのに応答して前記ワークピース（８）から前記少なくとも１つの電極（１０）を切り離すステップと
を含む方法。
［実施態様１２］
前記複数の電極装置（６）内の前記電極（１０）のいずれも前記ワークピース（８）の前記対応する穴の形成を完了していないと判断したのに応答して前記複数の電極装置（６）のそれぞれのための前記穴形成プログラムを実行し続けるステップ
をさらに含む、実施態様１１に記載の方法。
［実施態様１３］
前記ワークピース（８）から前記少なくとも１つの電極（１０）を切り離した後、前記複数の電極装置（６）内の前記電極（１０）のすべてが前記ワークピース（８）の前記対応する穴の形成を完了しているかどうかを判断するステップと、
前記電極（１０）のすべてが前記ワークピース（８）の前記対応する穴の形成を完了していると判断したのに応答して前記ワークピース（８）から前記電極（１０）のすべてを切り離すステップと
をさらに含む、実施態様１１に記載の方法。
［実施態様１４］
前記複数の電極装置（６）内の前記電極（１０）のすべてが前記ワークピース（８）の前記対応する穴の形成を完了していないと判断したのに応答して、前記ワークピース（８）から切り離されていない前記複数の電極装置（６）のそれぞれのための前記穴形成プログラムを実行し続けるステップ
をさらに含む、実施態様１３に記載の方法。
［実施態様１５］
前記ワークピースから前記電極（１０）のすべてを切り離した後、前記ワークピース（８）を除去し、第２のワークピース（８）を前記ＥＤＭシステム（２）に近接して配置するステップ
をさらに含む、実施態様１３に記載の方法。
［実施態様１６］
前記複数の電極装置（６）のそれぞれが独立電源（２６）に接続されて、前記複数の電極装置（６）の１つへの電力喪失が前記複数の電極装置（６）の残りの電極装置への電力喪失を引き起こさないようにする、実施態様１１に記載の方法。
［実施態様１７］
放電加工（ＥＤＭ）システム（２）の運転をワークピース（８）に近接して制御する制御システム（１８）を備えるシステムであって、前記ＥＤＭシステム（２）が、
案内構造（４）と、
前記案内構造（４）内に少なくとも部分的に配置される複数の電極装置（６）であって、前記複数の電極装置（６）が前記ワークピース（８）に複数の放電を与えるように整列され、前記複数の電極装置（６）のそれぞれが、
前記ワークピース（８）に近接して配置するための電極（１０）、
前記電極（１０）を前記ワークピース（８）に近接して保持するための、前記電極（１０）に結合された電極ホルダ（１２）、および
前記電極ホルダ（１２）に結合される駆動装置（１４）であって、前記電極ホルダ（１２）および前記電極（１０）の位置を修正するようになされた駆動装置（１４）
を含む、複数の電極装置（６）と
を有し、
前記制御システム（１８）が、
前記複数の電極装置（６）のそれぞれのための穴形成プログラムを開始するステップと、
少なくとも１つの電極（１０）が前記ワークピース（８）の対応する穴の形成を完了しているかどうかを判断するステップと、
前記少なくとも１つの電極（１０）が前記対応する穴の形成を完了していると判断したのに応答して前記ワークピース（８）から前記少なくとも１つの電極（１０）を切り離すステップと
を含むプロセスを実行するように構成される、システム。
［実施態様１８］
前記制御システム（１８）が、
前記複数の電極装置（６）内の前記電極（１０）のいずれも前記ワークピース（８）の前記対応する穴の形成を完了していないと判断したのに応答して、前記複数の電極装置（６）のそれぞれのための前記穴形成プログラムを実行し続ける
ようにさらに構成される、実施態様１７に記載のシステム。
［実施態様１９］
前記制御システム（１８）が、
前記ワークピース（８）から前記少なくとも１つの電極（１０）を切り離した後、前記複数の電極装置（６）内の前記電極（１０）のすべてが前記ワークピース（８）の前記対応する穴の形成を完了しているかどうかを判断し、
前記電極（１０）のすべてが前記ワークピース（８）の前記対応する穴の形成を完了していると判断したのに応答して前記ワークピース（８）から前記電極（１０）のすべてを切り離す
ようにさらに構成される、実施態様１７に記載のシステム。
［実施態様２０］
前記制御システム（１８）が、
前記複数の電極装置（６）内の前記電極（１０）のすべてが前記ワークピース（８）の前記対応する穴の形成を完了していないと判断したのに応答して、前記ワークピース（８）から切り離されていない前記複数の電極装置（６）のそれぞれのための前記穴形成プログラムを実行し続ける
ようにさらに構成される、実施態様１９に記載のシステム。
【符号の説明】
【００４９】
２  ＥＤＭシステム
４  案内構造
６  電極装置、第１の電極
８  ワークピース
１０  電極
１１  電極間ギャップ
１２  電極ホルダ
１４  駆動装置
１６  センサ
１８  制御システム
２０  滑り軸受
２２  機械のラム
２４  背板
２６  独立電源
２８  案内板
３０  油圧シリンダ
３２  油圧ピストン
３４  ブッシング
３６  絶縁体コネクタ
３８  コレットクランプ、電極クランプ
４０  回転管電極装置
４２  回転駆動装置
４４  空気モータ
４６  圧縮空気入口
４８  出口
５０  水入口
５２  隣接シール
５４  ロータ
５６  軸受
６０  流体源（ＦＳ）
６２  側面領域
６４  ノズル
６６  内部洗浄室
９０  制御流れ図
９２  ギャップ基準信号
９４  フィードフォワードプロセッサ
９６  基準送り速度
９８  放電ギャップ
１００  フィードバックプロセッサ
１０２  比例積分微分（ＰＩＤ）コントローラ、送り速度コントローラ
【図１】
2017056547.tif 000003
【図２】
2017056547.tif 000004
【図３】
2017056547.tif 000005
【図４】
2017056547.tif 000006
【図５】
2017056547.tif 000007
【図６】
2017056547.tif 000008
【図７】
2017056547.tif 000009
【図８】
2017056547.tif 000010
【図９】
2017056547.tif 000011
【外国語明細書】
2017056547000001.pdf