(57)【要約】【課題】ガス処理システムの小型化を図る。【解決手段】ガス処理システム１は、加熱部１３と、処理部１２と、複数の熱交換器２１，２２とを備える。加熱部１３は、被処理ガスを加熱する。処理部１２には加熱部１３により加熱された被処理ガスが導入される。処理部１２は、導入された被処理ガスを処理する。複数の熱交換器２１，２２は、処理部１２から排出される処理済みガスと、加熱部１３に導入される被処理ガスとの間で熱交換させることにより被処理ガスを加熱する。複数の熱交換器２１，２２が直列に接続されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理ガスを加熱する加熱部と、
前記加熱部により加熱された被処理ガスが導入され、前記導入された被処理ガスを処理する処理部と、
前記処理部から排出される処理済みガスと、前記加熱部に導入される被処理ガスとの間で熱交換させることにより前記被処理ガスを加熱する複数の熱交換器と、
を備え、
前記複数の熱交換器が直列に接続されている、ガス処理システム。
【請求項２】
前記複数の熱交換器は、
前記処理部から排出される処理済みガスと、前記加熱部に導入される被処理ガスとの間で熱交換させることにより前記被処理ガスを加熱する第１の熱交換器と、
前記第１の熱交換器から排出される処理済みガスと、前記第１の熱交換器に導入される被処理ガスとの間で熱交換させることにより前記被処理ガスを加熱する第２の熱交換器と、
を有する、請求項１に記載のガス処理システム。
【請求項３】
前記処理部は、前記被処理ガスを処理する触媒を含む、請求項１又は２に記載のガス処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス処理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、排気ガスによる環境負荷を低減するために、排気ガスに対する規制が厳しくなってきている。これに伴い、排気ガスの処理方法が種々提案されている。例えば、特許文献１では、半導体装置においてエッチングが行われたときに排出される排気ガスを処理する方法が提案されている。特許文献１に記載の排気ガス処理装置では、上流側に、鉄化合物とマンガン化合物とを含む除害剤が配されており、下流側に、活性炭が配された充填塔に排気ガスを導入することにより処理することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−３１９９４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
排気ガス等のガスを処理するシステムを小型化したいという要望がある。
【０００５】
本発明の主な目的は、ガス処理システムの小型化を図ることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るガス処理システムは、加熱部と、処理部と、複数の熱交換器とを備える。加熱部は、被処理ガスを加熱する。処理部には加熱部により加熱された被処理ガスが導入される。処理部は、導入された被処理ガスを処理する。複数の熱交換器は、処理部から排出される処理済みガスと、加熱部に導入される被処理ガスとの間で熱交換させることにより被処理ガスを加熱する。複数の熱交換器が直列に接続されている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、ガス処理システムの小型化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施形態に係るガス処理システムの模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明を実施した好ましい形態の一例について説明する。但し、下記の実施形態は、単なる例示である。本発明は、下記の実施形態に何ら限定されない。
【００１０】
図１は、本実施形態に係るガス処理システムの模式図である。図１に示すガス処理システム１は、例えば環境負荷を有するガス等を処理するシステムである。ガス処理システム１は、例えば、アルミニウム膜等のドライエッチング装置から排出される、三塩化ホウ素などのハロゲン化合物と、塩素ガスなどのハロゲンガスとの両方を含むガスを処理するために好適に用いられる。
【００１１】
ガス処理システム１は、吸着部１０を有する。ガス処理システム１によって処理される被処理ガスは、まず、吸着部１０に供給される。吸着部１０内には、吸着剤が配されている。吸着剤は、被処理ガスに含まれる、被処理ガスから除こうとする成分（以下、「被処理成分」とする。）の一部を吸着する。従って、吸着部１０は、被処理ガスにおける被処理成分の濃度を低減する。
【００１２】
吸着剤は、吸着させようとする被処理成分の種類によって適宜選択することができる。好ましく用いられる吸着剤の具体例としては、例えば、ゼオライト、活性炭、活性白土、シリカ、アルミナ等が挙げられる。これらのうちの１種のみを吸着剤として用いてもよいし、複数種類を吸着剤として用いてもよい。
【００１３】
吸着部１０は、フィルター１１に接続されている。吸着部１０からの被処理ガスは、フィルター１１に送入される。フィルター１１は、被処理ガスに含まれる固形分を除去する。
【００１４】
フィルター１１を通過した被処理ガスは、加熱部１３により加熱される。加熱部１３により加熱された被処理ガスは、処理部１２に供給される。後に詳述するように処理部１２には触媒が配されており、その触媒の活性が、高温であるほど高くなるため、被処理ガスを加熱部１３において加熱する。
【００１５】
処理部１２は、被処理ガスに残存している被処理成分を除去する。具体的には、本実施形態では、処理部１２は、被処理ガスに残存している被処理成分を処理する触媒が含まれている。この触媒により被処理ガスに含まれる被処理成分の濃度が低減される。
【００１６】
触媒は、処理しようとする被処理成分の種類によって適宜選択することができる。好ましく用いられる触媒の具体例としては、例えば、酸化鉄、酸化亜鉛、チオ硫酸ナトリウム等が挙げられる。これらのうちの１種のみを触媒として用いてもよいし、複数種類を触媒として用いてもよい。
【００１７】
処理部１２により処理された被処理ガスは、ブロワー１４を経由してガス処理システム１から排出される。
【００１８】
フィルター１１と処理部１２との間には、熱交換器２０が配されている。この熱交換器２０は、処理部１２から排出される処理済みガスと、処理部１２に導入される被処理ガスとの間で熱交換させ、被処理ガスを加熱する一方、処理済みガスを冷却する。
【００１９】
ガス処理システム１では、複数の熱交換器２１，２２が設けられている。それら複数の熱交換器２１，２２が直列に接続されている。
【００２０】
例えば、ガス処理システムにひとつの熱交換器を設けることも考えられる。そうすることによりガス処理システム内における配管の長さを短くできるためである。しかしながら、ガス処理システムにひとつの熱交換器を設けた場合は、熱交換器が大型になるため、熱交換器と他の部材とが位置的に干渉しやすいという問題が生じる。従って、ガス処理システムが大型化する傾向にある。
【００２１】
それに対して、本実施形態のガス処理システム１では、複数の熱交換器２１，２２が直列に接続されている。このため、各熱交換器２１，２２をガス処理システム１の筐体３０内のデッドスペースに配置しやすく、ガス処理システム１の筐体３０内のデッドスペースを小さくすることができる。このため、ガス処理システム１を小型化し得る。
【００２２】
また、複数の熱交換器２１，２２を直列に接続することにより、熱交換器２０内の総配管長を長くできるため、高い熱交換効率を実現することができる。
【００２３】
具体的には、ガス処理システム１では、熱交換器２０は、直列に接続された第１及び第２の熱交換器２１，２２を有する。第１の熱交換器２１は、処理部１２から排出される処理済みガスと、加熱部１３に導入される被処理ガスとの間で熱交換させることより被処理ガスを加熱する一方、処理済みガスを冷却する。
【００２４】
第２の熱交換器２２は、第１の熱交換器２１から排出される処理済みガスと、第１の熱交換器２１に導入される被処理ガスとの間で熱交換させることにより被処理ガスを加熱する一方、処理済みガスを冷却する。
【００２５】
このように、ガス処理システム１では、２つの熱交換器２１，２２が設けられている。各熱交換器を小さくする観点からは、３つ以上の熱交換器を設けることも考えられる。しかしながら、３つ以上の熱交換器を設けた場合は、全熱交換器の総体積が大きくなる場合がある。従って、ガス処理システム１をより小型化する観点からは、２つの熱交換器２１，２２を直列に接続することがより好ましい。熱交換器２１，２２は、処理部１２の後段の直近に設置することが好ましい。
【００２６】
ガス処理システム１では、熱交換器２１，２２内における、ガス処理システム１内へ導入された被処理ガス（入口ガス）と、吸着部１０、フィルター１１を通過した排気（出口ガス）との間の熱交換により排熱を回収することができる。従って、加熱部１３において発生させる必要がある熱量を低減できるため、加熱部１３において消費されるエネルギー（電気等）を低減することができる。
【符号の説明】
【００２７】
１  ガス処理システム
１０  吸着部
１１  フィルター
１２  処理部
１３  加熱部
１４  ブロワー
２０  熱交換器
２１  第１の熱交換器
２２  第２の熱交換器
【図１】
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