(57)【要約】【課題】本発明は、圧力検出ユニットを覆う保護部材の厚みを簡便に制御できる圧力センサと圧力センサの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】気体の圧力を検出して電気信号に変換する圧力検出ユニット１１と、圧力検出ユニット１１を保持しているケース１２、１２Ａと、圧力検出ユニット１１を覆う保護部材１３と、を備え、ケース１２、１２Ａには、圧力検出ユニット１１が設置されており保護部材１３がためられている凹部１２０と、凹部１２０の周囲にある窪み部１２１と、が形成されている圧力センサの製造方法に関する。この圧力センサの製造方法では、凹部１２０内からあふれる量で溶融状態の保護部材１３を当該凹部内に注入し、あふれた当該保護部材が窪み部１２１内にたまる。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体の圧力を検出して電気信号に変換する圧力検出ユニット（１１）と、
前記圧力検出ユニットを保持しているケース（１２、１２Ａ）と、
前記圧力検出ユニットを覆う保護部材（１３）と、を備え、
前記ケースには、前記圧力検出ユニットが設置されており前記保護部材がためられている凹部（１２０）と、前記凹部の周囲にある窪み部（１２１）と、が形成されている圧力センサの製造方法において、
前記凹部内からあふれる量で溶融状態の前記保護部材を当該凹部内に注入し、あふれた当該保護部材が前記窪み部内にたまる圧力センサの製造方法。
【請求項２】
前記ケースには、前記凹部と前記窪み部とを連結する連結流路（１２２）が形成されており、
前記凹部内からあふれる量で溶融状態の前記保護部材を当該凹部内に注入し、あふれた当該保護部材が前記窪み部内にたまる際には、前記連結流路が、溶融した前記保護部材のうち当該連結流路の底部（１２２ａ）以上にためられた過剰量の当該保護部材を前記凹部から前記窪み部内へ毛細管現象により誘導することを含む請求項１に記載の圧力センサの製造方法。
【請求項３】
気体の圧力を検出して電気信号に変換する圧力検出ユニット（１１）と、
前記圧力検出ユニットを保持しているケース（１２、１２Ａ）と、
前記圧力検出ユニットを覆う保護部材（１３）と、を備え、
前記ケースには、前記圧力検出ユニットが設置されており前記保護部材がためられている凹部（１２０）と、前記凹部の周囲にある窪み部（１２１）と、溶融状態の前記保護部材を前記凹部から前記窪み部内へ毛細管現象により誘導するように前記凹部と前記窪み部とを連結する連結流路（１２２）と、が形成されている圧力センサ。
【請求項４】
前記凹部は、当該凹部の側面（１２０ｂ）のうち互いに交差する当該側面でつくられた角（１２０ｄ）を有する箱形状であり、
前記連結流路は、前記角に形成されている請求項３に記載の圧力センサ。
【請求項５】
車両のフレーム（５０）に隣接して設置されたチャンバ（６０）の中空部（６１）内の気体の圧力が衝突によって変化することに基づいて、ＥＣＵ（３０）が乗員保護装置（２０）を駆動している車両用安全装置（１）に用いられている圧力センサにおいて、
前記圧力検出ユニットが検出する気体の圧力は、前記中空部内の気体の圧力である請求項３又は４のいずれかに記載の圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力センサに関し、特に圧力センサの圧力検出ユニットを覆う保護部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、圧力センサは、気体の圧力を検出して電気信号に変換する圧力検出ユニット、圧力検出ユニットを収容しているケース、及び圧力検出ユニットを覆うゲル等の保護部材で構成されている。
【０００３】
そして、圧力検出ユニットは、実際に気体の圧力を検出して電気信号を出力する圧力検出部、この電気信号を処理する処理回路、及び圧力検出部と処理回路とを電気的に接続するワイヤで構成されている。
【０００４】
ここで、上記の保護部材の厚みは所望の厚みに制御する必要がある。なぜなら、この厚みが厚すぎると、気体の圧力が圧力検出部に到達するまでに、その圧力が減衰してしまう。すると、圧力センサの検出感度が低下してしまう。また、保護部材の厚みが薄すぎると、圧力検出ユニットが保護部材から露出してしまう可能性があり、十分に圧力検出ユニットを保護することができない。
【０００５】
そこで、特許文献１では、保護部材を塗布した後、この保護部材を真空引き法によって吸引していた。保護部材を吸引することで、圧力検出ユニットを覆う保護部材の厚みを制御していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平６−７４８４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献１では、保護部材を塗布した後、保護部材を吸引して厚みの制御を行うので、別途保護部材を吸引する工程が必要となる。よって、圧力センサの製造の際に必要な工数が増加してしまう。
【０００８】
上述の課題をかんがみて、本発明は、圧力検出ユニットを覆う保護部材の厚みを簡便に制御できる圧力センサと圧力センサの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、気体の圧力を検出して電気信号に変換する圧力検出ユニット（１１）と、圧力検出ユニットを保持しているケース（１２、１２Ａ）と、圧力検出ユニット（１１）を覆う保護部材（１３）と、を備え、ケース（１２、１２Ａ）には、圧力検出ユニット（１１）が設置されており保護部材（１３）がためられている凹部（１２０）と、凹部（１２０）の周囲にある窪み部（１２１）と、が形成されている圧力センサの製造方法において、凹部（１２０）内からあふれる量で溶融状態の保護部材（１３）を当該凹部内に注入し、あふれた当該保護部材が窪み部（１２１）内にたまる圧力センサの製造方法である。
【００１０】
これによれば、凹部１２０からあふれる量の保護部材１３を注入し、あふれた保護部材１３は窪み部１２１にたまっていく。よって、凹部１２０の深さや圧力検出ユニット１１の体格等をあらかじめ設計しておき、注入された過剰量の保護部材１３を凹部１２０からあふれさせることで、凹部１２０にたまる保護部材１３の量を一義的に決めることができる。したがって、簡便な方法により圧力検出ユニット１１を覆う保護部材１３の厚みを制御することができる。
【００１１】
また、上述の発明とは異なる別の発明は、気体の圧力を検出して電気信号に変換する圧力検出ユニット（１１）と、圧力検出ユニット（１１）を保持しているケース（１２、１２Ａ）と、圧力検出ユニット（１１）を覆う保護部材（１３）と、を備え、ケース（１２、１２Ａ）には、圧力検出ユニット（１１）が設置されており保護部材（１３）がためられている凹部（１２０）と、凹部（１２０）の周囲にある窪み部（１２１）と、溶融状態の保護部材（１３）を凹部（１２０）から窪み部（１２１）内へ毛細管現象により誘導するように凹部（１２０）と窪み部（１２１）とを連結する連結流路（１２２）と、が形成されている圧力センサである。
【００１２】
これによれば、ケース１２Ａに形成された凹部１２０と窪み部１２１とが連結流路１２２によって連結している。ここで、連結流路の底部１２２ａ以上の高さになるように過剰量の保護部材１３が凹部１２０内に注入されると、過剰量の保護部材１３は毛細管現象により連結流路１２２によって窪み部１２１へと誘導される。
【００１３】
よって、あらかじめ過剰量の保護部材１３を凹部１２０に注入した際、積極的に窪み部１２１へと流し出すことで、表面張力によって保護部材１３が凸面状に盛り上がってしまうことを抑制できる。したがって、簡便な方法により圧力検出ユニット１１を覆う保護部材１３の厚みを制御しつつ、保護部材１３の厚みを高精度で均一にすることができる。
【００１４】
なお、特許請求の範囲及びこの項に記載した括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものであって、発明の技術的範囲を限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の圧力センサ１０、１０Ａを用いている車両用安全装置１を搭載した車両の模式図である。
【図２】第１実施形態の圧力センサ１０の斜視図である。
【図３】図２のＩＩＩ方向から第１実施形態の圧力センサ１０を見たときの図である。
【図４】図３の第１実施形態の圧力センサ１０をＬ１で切断し、ＩＶ方向から見たときの図である。
【図５】第１実施形態の圧力センサ１０の構成の一つである圧力検出ユニット１１の図である。
【図６】図３の第１実施形態の圧力センサ１０をＬ２で切断し、ＶＩ方向から見たときの図である。
【図７】第１実施形態の圧力センサ１０の製造方法における保護部材注入工程Ｓ１の図である。
【図８】第２実施形態の圧力センサ１０Ａの図である。
【図９】図８の第２実施形態の圧力センサ１０ＡをＬ３で切断し、ＩＸ方向から見たときの図である。
【図１０】第２実施形態の圧力センサ１０Ａの製造方法における保護部材注入工程Ｓ１の図である。
【図１１】第２実施形態の変形例である変形例１の図である。
【図１２】第２実施形態の変形例である変形例２の図である。
【図１３】第１及び第２実施形態の変形例である変形例３の図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、添付した図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。なお、説明の理解を容易にするため各図面において同一の構成要素に対しては可能な限り同一の符号を付して、重複する説明は省略する。
【００１７】
まず、図１に示すように、本発明の圧力センサ１０、１０Ａは、主に車両用安全装置１に用いられている。車両用安全装置１は、乗員を保護する乗員保護装置２０、乗員保護装置２０に信号を送信するＥＣＵ３０（Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ  Ｃｏｎｔｒｏｌ  Ｕｎｉｔ）、加速度センサ４０及び圧力センサ１０、１０Ａを有している。
【００１８】
乗員保護装置２０は車両の運転席に設置される。外部から車両に大きな衝撃を緩和して、乗員に加わる衝撃を低減する装置である。また、乗員保護装置２０は、例えばエアバッグやシートベルト等、衝突から乗員を保護する目的のものである。
【００１９】
ＥＣＵ３０は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）を有しており、車両用安全装置１の動作全般を制御している。そして、ＥＣＵ３０は、乗員保護装置２０、加速度センサ４０及び圧力センサ１０、１０Ａと電気的に接続されている。
【００２０】
加速度センサ４０は、車両に加わった衝撃によって発生する瞬間的な加速度を検出している。そして、図１に示すように、加速度センサ４０は車両前方に搭載されており、主に車両前方に受けた衝撃を検出している。
【００２１】
圧力センサ１０、１０Ａは、図１に示すように、車両のフレーム５０と隣接して設置されており、チャンバ６０内に形成されている中空部６１内の気体の圧力を検出している。詳述すると、車両のフレーム５０の前方、つまりバンパ部分に隣接して中空部６１を有するチャンバ６０が設置されている。そして、圧力センサ１０、１０Ａは、この中空部６１内に存在する気体の圧力を測定している。ここで、車両が衝突すると、フレーム５０が変形し、この変形に伴ってチャンバ６０が変形する。チャンバ６０が変形すると中空部６１の容積が変化し、内部の気体の圧力が変化する。そして、この気体の圧力を圧力センサ１０、１０Ａが検出している。
【００２２】
実際に車両どうしの衝突事故発生した際に、車両用安全装置１が駆動するプロセスは以下のとおりである。
【００２３】
まず、車両どうしの衝突によって生じた加速度を加速度センサ４０で検出し、上述したチャンバ６０の中空部６１内の気体の圧力変化を圧力センサ１０、１０Ａによって検出する。両センサで検出された加速度と圧力変化は電気信号となって、ＥＣＵ３０に送信される。そして、入力された電気信号に基づいて、ＥＣＵ３０が処理を行い、衝突と判定される。
【００２４】
ここで、ＥＣＵ３０が衝突と判定する処理を具体的に述べる。ＥＣＵ３０は、衝突時の加速度の大きさ又は衝突前後での加速度変化の大きさが所定値以上である第１条件と、チャンバ６０内の圧力変化が所定値以上であることの第２条件とが満たされると、衝突と判定する。
【００２５】
第１条件は、まず、加速度センサ４０が衝突時の加速度の大きさを検出し、ＥＣＵ３０が加速度の大きさを記憶又は衝突前後の加速度の変化量を算出する。そして、検出した加速度の大きさ又は算出した加速度変化が所定の閾値よりも大きいと判断されると、第１条件を満たしたとＥＣＵ３０が判定する。
【００２６】
次に、第２条件は、まず、上述した圧力センサ１０、１０Ａによって中空部６１内の気体の圧力を検出し、ＥＣＵ３０が圧力の大きさを記憶又は衝突前後の圧力の変化量を算出する。そして、検出した圧力の大きさ又は算出した圧力変化が所定の閾値よりも大きいと判断されると、第２条件を満たしたとＥＣＵ３０が判定する。そして、第１条件、第２条件を満たしたとＥＣＵ３０が判定すると、乗員保護装置２０が作動し、乗員を保護する。
【００２７】
なお、本発明の圧力センサ１０、１０Ａは、車両の前方に設置された車両用安全装置１における、上述の中空部６１内の気体の圧力変化を検出しているとした。しかし、車両のフレーム５０の側面に設置された車両用安全装置１、いわゆるサイドエアバッグにおける、チャンバ６０部材内の気体の圧力変化を検出していてもよい。
【００２８】
（第１実施形態）
次に、第１実施形態の圧力センサ１０について説明する。
【００２９】
第１実施形態の圧力センサ１０は、図２及び図６に示すように、気体の圧力を検出して電気信号に変換する圧力検出ユニット１１、圧力検出ユニット１１を収容しているケース１２、及び圧力検出ユニット１１を覆うゲル等の保護部材１３を有している。
【００３０】
圧力検出ユニット１１は、図５に示すように、実際に気体の圧力を検出して電気信号を出力する圧力検出部１１０と、この電気信号を処理する処理回路１１１とを備えている。そして、圧力検出部１１０と処理回路１１１とは基板１１２に実装されている。さらに、圧力検出部１１０と処理回路１１１とを電気的に接続したり、図示しないリードと処理回路１１１とを電気的に接続したりするために、圧力検出ユニット１１にはワイヤ１１３が用いられている。
【００３１】
圧力検出部１１０は、主に気圧を検出できるセンサチップを適用している。例えば、ダイアフラム構造を有した圧電素子式センサチップ等を用いている。その圧力検出方法は、外気が圧電素子式センサチップに圧力を加えると、ダイアフラム構造を有した部分がひずむ。このひずみは外気の圧力に比例して大きくなり、圧電素子の性質によりひずみを電圧に変換する。このひずみによって発生した電圧によって外気の圧力変化を検出している。なお、本発明で用いるセンサチップとして、圧電素子式センサチップを説明したが、これに限られず静電容量式等でも実施することができる。
【００３２】
処理回路１１１は、圧力検出部１１０から出力された電気信号を受けて、所要の信号処理を行う。例えば、アナログ−デジタル変換処理やフィルタ処理等を行っている。
【００３３】
そして、圧力検出部１１０と処理回路１１１は基板１１２に搭載される。
【００３４】
図示しないリードは、圧力センサ１０内の配線や、圧力センサ１０と外部との信号や情報等のやり取りを行う端子として用いられる導線である。
【００３５】
ワイヤ１１３は、圧力検出部１１０から出力される電気信号を上記のリードや処理回路１１１等に伝達するために用いる導線である。
【００３６】
ケース１２は、図３と図４に示すように、圧力検出ユニット１１を保持し、この圧力検出ユニット１１が設置される凹部１２０を有している。そして、この凹部１２０の周囲には窪み部１２１が形成されている。また、ケース１２の形状や材料は任意に設計されてもよく、第１実施形態では樹脂を用いて成型されている。そして、ケース１２の一面が凹み箱形状となった凹部１２０と、この凹部１２０周囲に凹部の側面１２０ｂから一定間隔を空けて窪み部１２１が形成されている。
【００３７】
凹部１２０は、図４に示すように、底面１２０ａ、側面１２０ｂ及び開口部１２０ｃを有する。そして、凹部１２０の底面１２０ａには上述の圧力検出ユニット１１が設置されている。また、凹部１２０の深さや圧力検出ユニット１１の体格は精密に制御することができるので、圧力検出ユニット１１は、凹部の底面１２０ａ、側面１２０ｂ、及び開口部１２０ｃが作る空間からはみ出していない。つまり、凹部の底面１２０ａ、側面１２０ｂで作られた箱形状の空間内に圧力検出ユニット１１が収容されている。
【００３８】
窪み部１２１は、図６に示すように、凹部１２０の周囲に、凹部の側面１２０ｂから一定間隔を空けて形成されている。後述する第１実施形態の製造工程で、凹部１２０内に過剰量の保護部材１３が注入されたとき、凹部１２０からあふれた保護部材１３をためるための窪みである。第１実施形態では、窪み部１２１は、凹部１２０の周囲に複数形成されている。
【００３９】
保護部材１３は、図６に示すように、凹部１２０の底部に設置された圧力検出ユニット１１全体を覆っており、圧力検出ユニット１１を外部から保護している。保護部材１３は、溶融状態から加熱されることでゲルとなる。後述する第１実施形態の製造工程で、過剰量の保護部材１３が凹部１２０に注入され、凹部１２０からあふれた保護部材１３が窪み部１２１にたくわえられている。
【００４０】
（第１実施形態の製造方法）
以下、図７を参照しつつ、第１実施形態の圧力センサ１０の製造方法について説明をする。
【００４１】
図７に示すように、圧力センサ１０の製造方法は、ケース１２に形成された凹部１２０に圧力検出ユニット１１が設置された後、凹部１２０内に圧力検出ユニット１１を覆う溶融状態の保護部材１３が注入される保護部材注入工程Ｓ１を含んでいる。
【００４２】
この保護部材注入工程Ｓ１では、ポッティング等の方法によって、溶融状態の保護部材１３を凹部１２０内に注入する。図７に示すように、ノズルＥ１から溶融した保護部材１３が凹部１２０に注入され、圧力検出ユニット１１を覆う。
【００４３】
ここで、保護部材１３の注入量は、凹部の底面１２０ａ、側面１２０ｂ及び開口部１２０ｃがつくる空間からあふれる量である。すると、図７に示すように、凹部１２０からあふれた保護部材１３は窪み部１２１へと流れ込む。つまり、凹部１２０内からあふれる量の保護部材１３を注入するので、確実に凹部１２０は保護部材１３で満たされている。そして、あふれた保護部材１３を窪み部１２１内にたくわえている。
【００４４】
その後、図示はしないが、溶融状態の保護部材１３を一定時間加熱してゲル化する処理を行う。ゲル化処理の際、加熱時間は、保護部材１３の厚みや加熱温度等に応じて適宜設定される。
【００４５】
（第１実施形態の作用効果）
以下、第１実施形態における作用効果について説明する。
【００４６】
第１実施形態の製造工程において、保護部材注入工程Ｓ１で注入された過剰量の保護部材１３を凹部１２０からあふれさせることで、凹部１２０にたまる保護部材１３の量を一義的に決めることができ、保護部材１３を所望の厚みに制御できる。
【００４７】
詳述すると、保護部材注入工程Ｓ１では、圧力検出ユニット１１が設置された凹部１２０内に過剰量の保護部材１３を注入する。すると、凹部１２０内に収まらない保護部材１３が凹部１２０外へあふれだす。そして、凹部１２０の周囲に形成された窪み部１２１内に流れ込んでいく。
【００４８】
ここで、凹部１２０の深さや圧力検出ユニット１１の体格等をあらかじめ設計しておく。すると、凹部１２０内に注入される保護部材１３の量はある一定量となる。
【００４９】
詳述すると、凹部１２０の深さによって凹部１２０の容積、つまり凹部の底面１２０ａ、側面１２０ｂ、及び開口部１２０ｃがつくる空間の体積が一義に決まる。そして、圧力検出ユニット１１の体格が決まると、圧力検出ユニット１１が凹部１２０内の空間を占める体積が一義に決まる。よって、凹部１２０に注入される保護部材の注入量はある一定量となる。そして、この一定量以上に注入された量が上記の過剰量となる。
【００５０】
上述したように、過剰量の保護部材１３、つまり、上記の一定量以上の保護部材１３を注入すると、この一定量以上の保護部材１３は凹部１２０外へあふれる。よって、実際に凹部１２０内に注入されている保護部材１３は、保護部材注入工程Ｓ１によって過剰量注入されたとしても一定量になる。したがって、過剰量の保護部材１３を注入して凹部１２０から積極的に保護部材１３をあふれさせることで、凹部１２０にたまる保護部材１３の量を一義的に決めることができる。このように、凹部１２０にたまる保護部材１３の量が一義に決まるので、圧力検出ユニット１１を覆う保護部材１３の厚みのうち、凹部１２０の深さ方向の厚みを制御することができる。
【００５１】
以上より、第１実施形態の製造方法によれば、保護部材１３の注入量を厳格に管理したり、特許文献１のように別途保護部材１３を吸引してその注入量を調整したりする必要がない。つまり、第１実施形態の製造方法は、従来の製造方法に比べて、より簡便な方法で圧力検出ユニット１１を覆う保護部材１３の厚みを制御することができる。
【００５２】
（第２実施形態）
以下、本発明に係る第２実施形態の圧力センサ１０Ａについて、図面を参照しながら説明する。なお、第１実施形態と同様の構成についての説明は省略する。
【００５３】
第２実施形態の圧力センサ１０Ａには、図８及び図９に示すように、ケース１２Ａに形成され、凹部１２０と窪み部１２１とを連結する連結流路１２２がケース１２Ａに形成されている。つまり、この連結流路１２２は、凹部１２０と窪み部１２１との間に形成されている。
【００５４】
また、連結流路１２２は底部１２２ａを有している。後述する保護部材注入工程Ｓ１において溶融した保護部材１３が凹部１２０内に注入するとき、底部１２２ａ以上に保護部材１３が注入されると、連結流路１２２を通って窪み部１２１に流れていく。さらに、連結流路１２２の幅は、凹部１２０に注入された保護部材１３を毛細管現象によって窪み部１２１にこの保護部材１３を誘導できる大きさである。言い換えると、連結流路１２２の幅が大きすぎると、毛細管現象が起こらず、保護部材１３の表面張力によって保護部材１３の表面が盛り上がってしまう。また、連結流路１２２の幅が小さすぎると、連結流路１２２に保護部材１３が流れない。すると、上述と同様に表面張力による保護部材１３の表面が盛り上がってしまう。連結流路１２２の幅は、以上の問題が発生しないように、所望の幅で設計されている。
【００５５】
（第２実施形態の製造方法）
以下、図１０を参照しつつ、第２実施形態の圧力センサ１０Ａの製造方法について説明をする。
【００５６】
第２実施形態の圧力センサ１０Ａの製造方法は、第１実施形態の製造方法と同様に保護部材注入工程Ｓ１を含んでいる。しかし、第１実施形態とは異なり、第２実施形態の圧力センサ１０Ａのケース１２Ａには、上述した連結流路１２２が形成されている。
【００５７】
図１０に示すように、凹部１２０からあふれた保護部材１３は直接窪み部１２１に流れ込むだけでなく、連結流路の底部１２２ａ以上の過剰量の保護部材１３がたまると、保護部材１３は毛細管現象によって連結流路１２２を通過して窪み部１２１に流れ込む。
【００５８】
詳述すると、第１実施形態では、保護部材１３は自身の表面張力により表面が凸面状に盛り上がってしまうことがある。一方、第２実施形態では、ケース１２Ａに形成された連結流路１２２によって毛細管現象が起こり、表面の盛り上がった分の保護部材１３を窪み部１２１内へ誘導している。よって、連結流路の底部１２２ａ以上に保護部材１３が注入されても、表面張力によって保護部材１３が盛り上がっていない。
【００５９】
（第２実施形態の作用効果）
以下、第２実施形態における作用効果について説明する。
【００６０】
第２実施形態において、ケース１２Ａ内に形成された連結流路１２２は、表面張力によって保護部材１３が凸面状に盛り上がることを抑制できる。よって、簡便な方法でかつ保護部材１３の厚みを均一にすることができる。
【００６１】
さらに、上述したように保護部材１３の表面張力による盛り上がりを防ぐことができるので、衝突時に保護部材１３にはたらく慣性力が圧力検出へ与える誤差を低減できる。
【００６２】
詳述すると、上述の車両用安全装置１に従来の圧力センサを搭載した場合を考える。従来の圧力センサでは、衝突時以外の衝撃、例えば車両が段差を乗り上げた際の衝撃等、によって、圧力検出ユニット１１を覆う保護部材１３に慣性力がはたらく。ここで、保護部材１３の厚みが厚いと、慣性力は保護部材１３の質量に比例するので、圧力検出部１１０にはたらく慣性力は大きくなる。すると、圧力検出部１１０はこの慣性力による圧力を検出してしまい、本来検出すべき気体の圧力の値に誤差を生じてしまう。この誤差によって、本来作動すべきでない衝突時以外の衝撃によって、上述の車両用安全装置１が作動してしまう。さらに、この厚みは保護部材１３の表面張力によって盛り上がった分の厚みでさえも、圧力検出の誤差を生む原因となる。また、保護部材１３の厚みが薄い場合は、十分に圧力検出ユニット１１を保護することができない。以上の問題を本発明者が発見し、本発明を想起するに至った。
【００６３】
そこで、上述の問題を解決するため、第２実施形態の圧力センサ１０Ａを車両用安全装置１に適用する。すると、簡便な方法で圧力検出ユニット１１を保護部材１３で覆うことができるだけでなく、表面張力による盛り上がりも防ぐことができる。よって、表面張力による盛り上がりの厚みでさえ圧力検出の誤差に影響を及ぼしてしまう車両用安全装置１に、第２実施形態の圧力センサ１０Ａを用いることで、上述した第２実施形態の作用効果が存分に発揮される。よって、表面張力による盛り上がりを防ぐことができ、圧力検出ユニット１１を覆う保護部材１３の厚みを均一に制御できる。したがって、第２実施形態の圧力センサ１０Ａを車両用安全装置１に用いることで、衝突時以外の衝撃によって生じた圧力検出の誤差による車両用安全装置１の誤作動を防ぐことができる。
【００６４】
（他の実施形態）
以上、発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態になんら制限されることなく、以下に例示するように種々変形して実施することが可能である。各実施形態で具体的に組合せが可能であることを明示している部分どうしの組合せばかりではなく、特に組合せに支障が生じなければ、明示していなくとも実施形態どうしを部分的に組み合せることも可能である。
【００６５】
変形例１では、図１１に示すように、連結流路１２２は凹部１２０の互いに交差する２つの側面１２０ｂどうしでつくられる角１２０ｄに形成されている。
【００６６】
よって、図８の第２実施形態のように、連結流路が角１２０ｄに形成されていない場合に比べて、角１２０ｄでは保護部材１３の表面張力は小さく、盛り上がった保護部材１３を窪み部１２１に毛細管現象によって積極的に流し込むことができる。したがって、保護部材１３の厚みの制御をより精密に管理することができる。
【００６７】
上述の第２実施形態及び変形例１では、連結流路１２２は一か所だけ形成されている。しかしながら、変形例２では、図１２に示すように、連結流路１２２は複数形成されていてもよい。
【００６８】
上述の第１実施形態では、凹部１２０の角１２０ｄは、上述の深さ方向から見て丸みを帯びている。しかしながら、変形例３では、図１３に示すように、凹部１２０の角１２０ｄは、深さ方向から見て丸みを帯びず切り立っていてもよい。
【００６９】
また、上述の第１及び第２実施形態では、窪み部１２１は凹部１２０の周囲に複数個形成されている。しかしながら、変形例４の窪み部１２１は、図示はしないが、凹部１２０の周囲を囲むように溝形状となっている。つまり、複数の窪み部１２１どうしが連結して結合されているということである。また、図示はしないが、複数の窪み部１２１どうしを連結する連結路が形成されることで連結していてもよい。
【符号の説明】
【００７０】
１０…圧力センサ、１１…圧力検出ユニット、１２…ケース、１２０…凹部、１２１…窪み部、１３…保護部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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