(57)【要約】【課題】減圧された内部空間を有するガラスパネルユニットを、封止の跡が目立ちにくく、かつ、破損の原因となることを抑えることができるものとして提供する。【解決手段】接合工程と封止工程でガラスパネルユニットを製造する。接合工程では、複数のスペーサ４５を介して重ねられた第一ガラス基板１と第二ガラス基板２を、枠状の封止部４１を介して接合させ、封止部４１に囲まれた内部空間５１を形成する。封止工程では、内部空間５１を減圧状態にして封止する。封止工程では、第一ガラス基板１と第二ガラス基板２の少なくとも一方が有する排気孔６を通じて内部空間５１を減圧させ、内部空間５１を減圧状態に保ちながら排気孔６にガラス製のキャップ７を固定し、キャップ７で排気孔６を封止する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のスペーサを介して重ねられた第一ガラス基板と第二ガラス基板を、枠状の封止部を介して接合させ、前記封止部に囲まれた内部空間を形成する接合工程と、
前記内部空間を減圧状態にして封止する封止工程と、を備え、
前記封止工程では、前記第一ガラス基板と前記第二ガラス基板の少なくとも一方が有する排気孔を通じて前記内部空間を減圧させ、前記内部空間を減圧状態に保ちながら前記排気孔にガラス製のキャップを固定し、前記キャップで前記排気孔を封止する
ことを特徴とするガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項２】
前記封止工程では、
前記排気孔と連通するように前記第一ガラス基板と前記第二ガラス基板の少なくとも一方の外面に排気ヘッドを当て、前記排気ヘッドを通じて前記内部空間を減圧させながら、前記排気ヘッド内に保持される前記キャップを移動させて前記排気孔に固定する
ことを特徴とする請求項１に記載のガラスパネルユニットの製造方法。             
【請求項３】
前記封止工程では、前記内部空間に対して前記排気ヘッドが位置する側とは反対側から、前記キャップに対してレーザを照射することで、前記キャップを前記排気孔に固定する
ことを特徴とする請求項２に記載のガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項４】
前記レーザは、フェムト秒レーザである
ことを特徴とする請求項３に記載のガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項５】
前記排気孔は、第一孔部と、前記第一孔部よりも小径の第二孔部とが、一直線状に連続する貫通孔であり、
前記接合工程では、前記第一孔部が外側に向けて開口するように前記第一ガラス基板と前記第二ガラス基板を接合させ、
前記封止工程では、前記第一孔部に前記キャップを嵌めて固定することで、前記排気孔を封止する
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項６】
前記第一ガラス基板と前記第二ガラス基板の一方と、第三ガラス基板とを、枠状の第二封止部を介して接合させ、前記第二封止部で囲まれる第二内部空間を形成する第二接合工程を、さらに備える
ことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載のガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項７】
第一ガラス基板と、
前記第一ガラス基板に対向して位置する第二ガラス基板と、
前記第一ガラス基板と前記第二ガラス基板の間に介在する複数のスペーサと、
前記第一ガラス基板と前記第二ガラス基板の互いの周縁部を気密に接合して内部空間を形成する封止部と、を備え、
前記第一ガラス基板と前記第二ガラス基板の少なくとも一方は、
排気孔と、前記排気孔を封止するように嵌められたキャップとを備え、
前記キャップは、
前記第一ガラス基板と前記第二ガラス基板の少なくとも一方の外面の前記排気孔の周囲部分に対して、面一にまたは凹んで位置するように、固定される
ことを特徴とするガラスパネルユニット。
【請求項８】
前記第一ガラス基板と前記第二ガラス基板の一方に対向して位置する第三ガラス基板と、
前記第一ガラス基板と前記第二ガラス基板の一方と、前記第三ガラス基板の互いの周縁部を気密に接合して、第二内部空間を形成する第二封止部と、をさらに備える
ことを特徴とする請求項７に記載のガラスパネルユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラスパネルユニットの製造方法及びガラスパネルユニットに関し、詳しくは、ガラスパネルユニットを構成するガラス基板の排気孔を封止する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
互いに対向して位置する一対のガラス基板間の内部空間を減圧し、内部空間を減圧状態のまま封止することで、断熱性のガラスパネルユニットが得られる。
【０００３】
特許文献１には、ガラス基板に設けた孔に、ガラス製の排気管を接続し、この排気管を通じて内部空間を減圧した後に、排気管を加熱溶融させることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−３５４４５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記した従来のガラスパネルユニットでは、排気後に封止した跡（つまり加熱溶融された排気管の跡）が、ガラスパネルユニットの外面から突出した状態で残存する。そのため、ガラスパネルユニットの見栄えが低下するだけでなく、封止の跡が突出することから、破損の原因になり得るという問題を有していた。
【０００６】
本発明は、減圧された内部空間を有する断熱性のガラスパネルユニットを、封止の跡が目立ちにくく、かつ、封止の跡が破損の原因となることを抑えたものとして提供することを、目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る形態のガラスパネルユニットの製造方法は、複数のスペーサを介して重ねられた第一ガラス基板と第二ガラス基板を、枠状の封止部を介して接合させ、前記封止部に囲まれた内部空間を形成する接合工程と、前記内部空間を減圧状態にして封止する封止工程を備える。
【０００８】
前記封止工程では、前記第一ガラス基板と前記第二ガラス基板の少なくとも一方が有する排気孔を通じて前記内部空間を減圧させ、前記内部空間を減圧状態に保ちながら前記排気孔にガラス製のキャップを固定し、前記キャップで前記排気孔を封止する。
【０００９】
本発明に係るガラスパネルユニットは、第一ガラス基板と、前記第一ガラス基板に対向して位置する第二ガラス基板と、前記第一ガラス基板と前記第二ガラス基板の間に介在する複数のスペーサと、前記第一ガラス基板と前記第二ガラス基板の互いの周縁部を気密に接合して内部空間を形成する封止部を備える。
【００１０】
前記第一ガラス基板と前記第二ガラス基板の少なくとも一方は、排気孔と、前記排気孔を封止するように嵌められたキャップを備える。
【００１１】
前記キャップは、前記第一ガラス基板と前記第二ガラス基板の少なくとも一方の外面の前記排気孔の周囲部分に対して、面一にまたは凹んで位置するように固定される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のガラスパネルユニットの製造方法は、減圧された内部空間を有する断熱性のガラスパネルユニットを、封止の跡が目立ちにくく、かつ、封止の跡が破損の原因となることを抑えたものとして提供できるという効果を奏する。
【００１３】
本発明のガラスパネルユニットは、減圧された内部空間によって高い断熱性を有することに加えて、封止の跡が目立ちにくく、かつ、封止の跡が破損の原因となることが抑えられるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、実施形態１のガラスパネルユニットの斜視図である。
【図２】図２は、同上のガラスパネルユニットの平面図である。
【図３】図３は、図２のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】図４は、同上のガラスパネルユニットを製造するための配置工程を説明する斜視図である。
【図５】図５は、同上のガラスパネルユニットを製造するための接合工程を説明する平面図である。
【図６】図６は、図５のＢ−Ｂ線断面図である。
【図７】図７は、同上のガラスパネルユニットを製造するための封止工程を説明する側面図である。
【図８】図８は、同上のガラスパネルユニットを製造するための封止工程を説明する部分破断側面図である。
【図９】図９は、同上のガラスパネルユニットを製造するための封止工程を説明する部分破断側面図である。
【図１０】図１０は、同上のガラスパネルユニットを製造するための工程を説明するフロー図である。
【図１１】図１１は、実施形態２のガラスパネルユニットの平面図である。
【図１２】図１２は、図１１のＣ−Ｃ線断面図である。
【図１３】図１３は、同上のガラスパネルユニットを製造するための工程を説明するフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
（実施形態１）
実施形態１のガラスパネルユニットの構成について、図１〜図３に基づいて説明する。
【００１６】
図１〜図３に示すように、実施形態１のガラスパネルユニットは、第一ガラス基板１、第二ガラス基板２、封止部４１及び複数のスペーサ４５を備える。
【００１７】
第一ガラス基板１と第二ガラス基板２は、互いに対向して位置する。第一ガラス基板１と第二ガラス基板２は、少なくとも一方が擦りガラスや網入りガラスであってもよい。第一ガラス基板１と第二ガラス基板２は互いに平行であり、第一ガラス基板１と第二ガラス基板２の間には、封止部４１と、複数のスペーサ４５が挟み込まれる。
【００１８】
封止部４１は、たとえば低融点のガラスフリットを用いて、枠状に形成される。
【００１９】
封止部４１は、第一ガラス基板１の周縁部と、第二ガラス基板２の周縁部に、それぞれ接合される。第一ガラス基板１と第二ガラス基板２の互いの周縁部は、封止部４１を介して気密に接合される。
【００２０】
複数のスペーサ４５は、互いに距離をあけて分散配置される。複数のスペーサ４５はそれぞれ、第一ガラス基板１の第二ガラス基板２に対向する対向面１２と、第二ガラス基板２の第一ガラス基板１に対向する対向面２２の、両者に押し当たって位置する（図３参照）。第一ガラス基板１の対向面１２や第二ガラス基板２の対向面２２には、赤外線反射膜等がコーティングされてもよい。
【００２１】
複数のスペーサ４５は、枠状の封止部４１に囲まれて位置し、第一ガラス基板１と第二ガラス基板２の間の距離を所定距離に保持させる。複数のスペーサ４５は、それぞれ透明または半透明であることが、外観上好ましい。複数のスペーサ４５の材料、寸法形状、配置パターン等は、適宜に設定され得る。
【００２２】
実施形態１のガラスパネルユニットでは、第一ガラス基板１と第二ガラス基板２のうち、第二ガラス基板２の側に排気孔６が形成されている。排気孔６内にはキャップ７が固定されている。
【００２３】
排気孔６は、実施形態１のガラスパネルユニットを製造する際の排気作業で用いられる貫通孔であり、第二ガラス基板２を厚み方向Ｄ１に貫通する。厚み方向Ｄ１は、第一ガラス基板１と第二ガラス基板２で共通の方向である。排気孔６は、封止部４１で囲まれる内部空間５１に連通する。
【００２４】
排気孔６は、二段階の径で形成される。排気孔６は、断面形状がたとえば直径１０［ｍｍ］の円形状である第一孔部６１と、断面形状がたとえば直径３［ｍｍ］の円形状である第二孔部６２を含む。ここでの排気孔６の断面形状は、厚み方向Ｄ１に直交する面で切断された形状である。第一孔部６１と第二孔部６２は、厚み方向Ｄ１に沿って一直線状に連続し、第一孔部６１と第二孔部６２の間に段差部分６３が形成される（図３参照）。
【００２５】
第一孔部６１は、第二ガラス基板２の外面２４に開口する。第二孔部６２は、第二ガラス基板２の対向面２２に開口する。対向面２２と外面２４は、厚み方向Ｄ１において互いに反対側を向く面である。
【００２６】
キャップ７は、ガラスを用いて透明または半透明に形成された円盤状の部材である。キャップ７の寸法形状は、外面２４側から第一孔部６１に嵌り込むことのできる寸法形状である。実施形態１において、キャップ７の直径は、第一孔部６１の内径（１０［ｍｍ］よりも小さく、第二孔部６２の内径（３［ｍｍ］）よりも大きい。キャップ７の厚みは、第一孔部６１の厚み方向Ｄ１の深さと同一またはこれよりも小さく設定される。
【００２７】
キャップ７は、第一孔部６１に嵌り込んだ状態で、排気孔６の内壁に固定される。キャップ７の固定により、排気孔６は封止される。
【００２８】
つまり、第一ガラス基板１と第二ガラス基板２の間において、枠状の封止部４１に囲まれる内部空間５１は、内部空間５１に連通する排気孔６が封止されることによって、外部から密閉される。密閉された内部空間５１は、たとえば０．１［Ｐａ］以下の真空度に至るまで減圧された断熱空間である。
【００２９】
実施形態１のガラスパネルユニットでは、減圧状態を保ったままキャップ７で封止された内部空間５１が、第一ガラス基板１と第二ガラス基板２の間に介在することで、高い断熱性を有する。
【００３０】
次に、実施形態１のガラスパネルユニットを製造するための各工程について、図４〜図１０に基づいて説明する。
【００３１】
図１０に示すように、実施形態１のガラスパネルユニットの製造方法は、配置工程Ｓ１、接合工程Ｓ２及び封止工程Ｓ３を含む。
【００３２】
配置工程Ｓ１では、図４に示すように、第一ガラス基板１、第二ガラス基板２、封止部４１及び複数のスペーサ４５が、それぞれ所定箇所に配置される。
【００３３】
具体的には、第二ガラス基板２の対向面２２上に、封止部４１と複数のスペーサ４５が配置され、第二ガラス基板２と対向する位置に第一ガラス基板１が配置される。対向面２２上において、矩形枠状の封止部４１に囲まれる領域に、複数のスペーサ４５が位置する。また、対向面２２の封止部４１に囲まれる領域に、排気孔６の第二孔部６２が開口する。
【００３４】
接合工程Ｓ２では、配置工程Ｓ１で所定箇所に配置された第一ガラス基板１と第二ガラス基板２が、封止部４１を介して気密に接合される。具体的には、封止部４１と複数のスペーサ４５を挟み込んでセットされた第一ガラス基板１と第二ガラス基板２が、封着炉内で加熱されることで、第一ガラス基板１と第二ガラス基板２が封止部４１を介して接合される。
【００３５】
これにより、図５や図６に示すように、第一ガラス基板１と第二ガラス基板２の間には、内部空間５１が形成される。内部空間５１は、封止部４１と第一ガラス基板１と第二ガラス基板２とで囲まれた空間である。
【００３６】
内部空間５１は、排気孔６のみを通じて外部空間に連通する。接合工程Ｓ２で内部空間５１が形成されたとき、排気孔６の第一孔部６１が外部空間に向けて開口し、第一孔部６１よりも小径の第二孔部６２が、内部空間５１に向けて開口する。
【００３７】
封止工程Ｓ３では、図７〜図９に示す排気ヘッド８と、図９に示すレーザ照射装置９を用いて、内部空間５１の減圧及び封止を行う。
【００３８】
図８、図９に示すように、排気ヘッド８は、空間８１０を有する筒状のヘッド本体８１と、空間８１０内でキャップ７を保持及び移動させる機構８２を備える。
【００３９】
ヘッド本体８１は、空間８１０を図示略の吸気装置に連通接続させる接続部８１２と、空間８１０を外部に開放するように形成された開口部８１４と、外部から視て開口部８１４を囲む位置に配置されたＯリング８１６と、位置決め用の突片８１８を備える。
【００４０】
突片８１８は、接合された第一ガラス基板１と第二ガラス基板２の端縁部に当たって、ヘッド本体８１の位置決めを行う。
【００４１】
機構８２は、キャップ７を支持するように設けた支持部８２１と、支持部８２１にスライド自在に連結される枠体８２３と、枠体８２３にバネ力を付与するバネ８２５と、モータ８２７と、モータ８２７と支持部８２１を連結する変換機構８２９を備える。
【００４２】
支持部８２１は、キャップ７を載せることのできる載置台８２１２と、載置台８２１２を先端に支持するロッド８２１４を備える。載置台８２１２は、ロッド８２１４よりも大径である。
【００４３】
枠体８２３は、キャップ７の周囲を囲むように設けた周壁８２３１と、底壁８２３３とを有する。底壁８２３３には貫通孔８２３５が形成されている。貫通孔８２３５には、ロッド８２１４がスライド自在に挿通される。
【００４４】
バネ８２５は、枠体８２３に対して支持部８２１から離れる方向（図７〜図９中の上方）のバネ力を付与する。このバネ力により、底壁８２３３は載置台８２１２に当たる位置で保持される。このとき、載置台８２１２とこれに支持されるキャップ７は、周壁８２３１に囲まれて位置する。
【００４５】
モータ８２７は、支持部８２１を往復動させるための駆動源である。変換機構８２９は、モータ８２７の回転方向を変換するギア機構８２９３と、ギア機構８２９３で変換された回転駆動力を一方向に沿った往復駆動力に変換するクランク機構８２９５を備える。排気ヘッド８がセットされた状態において、この一方向は厚み方向Ｄ１と一致する。
【００４６】
封止工程Ｓ３において、排気ヘッド８は以下のように用いられる。
【００４７】
まず、図７に示すように、排気孔６の第一孔部６１が下方に向けて開口するように第一ガラス基板１及び第二ガラス基板２をセットする。排気ヘッド８は、開口部８１４を上方に向けた姿勢で、排気孔６の下方位置にセットする。開口部８１４には、載置台８２１２とこれに載せられたキャップ７が位置する。
【００４８】
次いで、図８に示すように、排気ヘッド８を上昇させて第二ガラス基板２の外面２４に押し当てる。排気ヘッド８の突片８１８は、第一ガラス基板１と第二ガラス基板２の端縁部に当たって、排気ヘッド８の位置決めを行う。位置決めされた排気ヘッド８のＯリング８１６は、第二ガラス基板２の外面２４のうち、排気孔６を全周に亘って囲む部分に、押し当たる。
【００４９】
この状態で、図示略の吸気装置を用いてヘッド本体８１の空間８１０内の空気を吸引する（図中の白抜き矢印参照）。これにより、Оリング８１６を介して空間８１０と気密に連通する排気孔６を通じて、第一ガラス基板１と第二ガラス基板２の間の内部空間５１の空気が、吸引（真空引き）される。
【００５０】
次いで、排気ヘッド８を第二ガラス基板２に押し当てたままで、排気ヘッド８内でキャップ７を上方に移動させる。具体的には、モータ８２７を回転駆動させ、その回転駆動力を変換機構８２９で変換させて、支持部８２１及び枠体８２３ごとキャップ７を上昇させる。
【００５１】
上昇したキャップ７は、図９に示すように、排気孔６の第一孔部６１に嵌め込まれ、排気孔６内の段差部分６３に押し当たる。枠体８２３は、第二ガラス基板２の外面２４に当たることで、上昇途中で停止する。
【００５２】
この状態で、図９に示すようなレーザ照射装置９を用いて、キャップ７に対して外部からレーザ（レーザ光）９００を照射する。
【００５３】
レーザ照射装置９は、内部空間５１に対して排気ヘッド８が位置する側とは反対側（つまり上側）に配置される。排気ヘッド８が第二ガラス基板２の外面２４に押し当てられるのに対して、レーザ照射装置９は、第一ガラス基板１の外面１４に対向して配置される。外面１４は、対向面１２とは反対側を向く面である。
【００５４】
レーザ照射装置９は、レーザ９００を出力するレーザ発振器９０と、レーザ９００の走査機構を構成する第一及び第二ガルバノミラー９１，９２と、レンズ９３を備える。レーザ９００は、ＹＡＧ（Ｙｔｔｒｉｕｍ  Ａｌｕｍｉｎｕｍ  Ｇａｒｎｅｔ）レーザである。第一及び第二ガルバノミラー９１，９２は、レーザ発振器９０から出力されたレーザ９００を反射させることで、レーザ９００の進行方向を変更させる。レンズ９３は、第一及び第二ガルバノミラー９１，９２を経て入射されたレーザ９００を、目的箇所に集光させる。
【００５５】
レーザ照射装置９が照射するレーザ９００は、パルス幅が５５０［ｆｓ］のフェムト秒レーザである。レーザ９００は、周波数が１００［ｋＨｚ］、パルスエネルギーが１０［μＪ］であり、スポット径が３．５［μｍ］、走査速度が１０［ｍｍ／ｓ］である。
【００５６】
封止工程Ｓ３において、レーザ照射装置９は以下のようにして用いられる。
【００５７】
つまり、内部空間５１が減圧され、排気孔６にキャップ７が押し込まれた状態を保持しながら、排気孔６とキャップ７の接触部分に集光されるようにレーザ９００を走査することで、キャップ７は排気孔６内に固定され、内部空間５１は減圧状態で封止される。
【００５８】
キャップ７はガラス製であって光を透過するが、レーザ９００はフェムト秒レーザ（超短パルスレーザ）であるから、多光子吸収によってキャップ７を排気孔６内に強固に接合させることが可能である。また、レーザ９００のエネルギーは、多光子吸収によって短時間でかつ局所的に吸収されるので、熱応力による破損（ガラスの割れ等）も生じにくい。
【００５９】
キャップ７と、排気孔６の段差部分６３には、平坦度が１［μｍ］以下、面精度が３０［μｍ］以下、表面粗さが１０［Å］以下となるように、研磨加工を施すことが好ましい。
【００６０】
封止工程Ｓ３において排気孔６内に固定されたキャップ７は、第二ガラス基板２の外面２４（少なくとも排気孔６の開口を囲む周囲部分）に対して、僅かに凹んで位置する。キャップ７を、第二ガラス基板２の外面２４と面一になるように固定することも可能である。
【００６１】
キャップ７を、第二ガラス基板２の外面２４から僅かに突出するように、第一孔部６１に固定することも可能である。この場合、外面２４からのキャップ７の突出量が５［ｍｍ］以内であれば、得られたガラスパネルユニットで引き違い窓を構成した場合でも、キャップ７の突出部分が引っ掛かることは抑えられる。
【００６２】
また、排気孔６に、キャップ７よりも大径の部分（第一孔部６１）を設けず、第二ガラス基板２の外面２４にキャップ７を直接接合させることで、排気孔６を封止することも可能である。
【００６３】
以上の各工程Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３を経て製造されたガラスパネルユニットは、減圧された内部空間５１を備えることで高い断熱性を有し、かつ、減圧に用いた排気孔６はガラス製のキャップ７で強固に封止されるので、従来のように加熱溶融された排気管の跡が残存せず、封止跡が目立つことは抑えられる。また、キャップ７が第二ガラス基板２の外面２４から突出しないので、この部分が破損の原因になることが抑えられる。また、キャップ７が第一ガラス基板１や第二ガラス基板２と同様にガラス製であるから、線膨張率の違いによって破損を生じることが抑えられる。
【００６４】
なお、実施形態１のガラスパネルユニットでは、排気孔６を第二ガラス基板２に設けているが、同様の排気孔６を第一ガラス基板１に設けることや、第一ガラス基板１と第二ガラス基板２の両方に設けることも可能である。いずれの場合も、上述した排気ヘッド８やレーザ照射装置９を用いて、ガラス製のキャップ７で排気孔６を強固に封止することが可能である。
【００６５】
（実施形態２）
次に、実施形態２のガラスパネルユニットについて、図１１、図１２に基づいて説明する。実施形態２のガラスパネルユニットの構成のうち、実施形態１のガラスパネルユニットと同様の構成については、同一符号を付して詳しい説明を省略する。
【００６６】
実施形態２のガラスパネルユニットは、実施形態１のガラスパネルユニットに対して、さらに第三ガラス基板３を重ね、第三ガラス基板３と第一ガラス基板１の間に第二内部空間５２を形成した構造である。
【００６７】
実施形態２のガラスパネルユニットは、第三ガラス基板３と第一ガラス基板１の互いの周縁部の間に介在する中空枠状のスペーサ３４と、スペーサ３４の中空部分に充填される乾燥剤３６と、スペーサ３４の外側を覆う枠状の第二封止部３８を、さらに備える。第二内部空間５２は、第二封止部３８とスペーサ３４に囲まれて位置する。
【００６８】
スペーサ３４はアルミニウム等の金属で形成され、貫通孔３４１を内周側に有する。スペーサ３４の中空部分は、貫通孔３４１を介して第二内部空間５２に連通する。乾燥剤３６は、たとえばシリカゲルである。第二封止部３８は、たとえばシリコン樹脂、ブチルゴム等の高気密性の樹脂で形成される。
【００６９】
第一ガラス基板１と第三ガラス基板３の間において、スペーサ３４と第二封止部３８に囲まれる第二内部空間５２は、外部から密閉された空間である。第二内部空間５２には、乾燥ガス（アルゴン等の乾燥した希ガスや、乾燥空気）が充填される。
【００７０】
実施形態２のガラスパネルユニットは、厚み方向Ｄ１の両側に位置する第三ガラス基板３と第二ガラス基板２の間に、真空に至るまで減圧された内部空間５１と、乾燥ガスが充填された第二内部空間５２が介在することで、さらに高い断熱性を有する。
【００７１】
次に、実施形態２のガラスパネルユニットを製造するための各工程について説明する。
【００７２】
図１３に示すように、実施形態２のガラスパネルユニットの製造方法は、配置工程Ｓ１と接合工程Ｓ２と封止工程Ｓ３に加えて、第二接合工程Ｓ４を含む。
【００７３】
第二接合工程Ｓ４では、スペーサ３４を挟み込んだ状態の第一ガラス基板１と第三ガラス基板３を、第二封止部３８を介して接合させる。これにより、内部空間５１と第二内部空間５２を有する三層のガラスパネルユニットが形成される。
【００７４】
なお、実施形態２のガラスパネルユニットでは、第三ガラス基板３を第一ガラス基板１に対向させて配置したが、第三ガラス基板３を第二ガラス基板２に対向させて配置することも可能である。この場合、第二接合工程Ｓ４においては、第二ガラス基板２と第三ガラス基板３の間にスペーサ３４を挟み込んだ状態で、第二ガラス基板２と第三ガラス基板３の互いの周縁部を、第二封止部３８を介して接合させる。これにより、第二ガラス基板２と第三ガラス基板３の間に第二内部空間５２が形成される。
【００７５】
以上、実施形態１，２で説明したように、ガラスパネルユニットの製造方法は、接合工程Ｓ２と封止工程Ｓ３を備える。接合工程Ｓ２は、複数のスペーサ４５を介して重ねられた第一ガラス基板１と第二ガラス基板２を、枠状の封止部４１を介して接合させ、封止部４１に囲まれた内部空間５１を形成する工程である。封止工程Ｓ３は、内部空間５１を減圧状態にして封止する工程である。
【００７６】
封止工程Ｓ３では、第一ガラス基板１と第二ガラス基板２の少なくとも一方（実施形態１，２では第二ガラス基板２）が有する排気孔６を通じて内部空間５１を減圧させる。内部空間５１を減圧状態に保ちながら排気孔６にガラス製のキャップ７を固定し、キャップ７で排気孔６を封止する。
【００７７】
この製造方法で製造されたガラスパネルユニットは、減圧された内部空間５１を有するために高い断熱性を有する。しかも、排気孔６はガラス製のキャップ７で封止されるため、従来のように加熱溶融された排気管の跡が残存せず、封止の跡が目立ちにくいという利点や、封止の跡が破損の原因になりにくいという利点がある。また、キャップ７が第一ガラス基板１や第二ガラス基板２と同様にガラス製であるから、線膨張率の違いによって破損を生じることが抑えられるという利点がある。
【００７８】
実施形態１，２で説明したように、封止工程Ｓ３では、排気孔６と連通するように第一ガラス基板１と第二ガラス基板２の少なくとも一方の外面１４，２４（実施形態１，２では第二ガラス基板２の外面２４）に排気ヘッド８を当て、排気ヘッド８を通じて内部空間５１を減圧させながら、排気ヘッド８内に保持されるキャップ７を移動させて排気孔６に固定することが好ましい。
【００７９】
これにより、内部空間５１を減圧する作業と、減圧された状態の内部空間５１をキャップ７で封止する作業が、効率的に行われるという利点がある。
【００８０】
また、実施形態１，２で説明したように、封止工程Ｓ３では、内部空間５１に対して排気ヘッド８が位置する側とは反対側から、キャップ７に対してレーザ９００を照射することで、キャップ７を排気孔６に固定することが好ましい。
【００８１】
これにより、減圧された状態の内部空間５１をキャップ７で封止する作業が、第一ガラス基板１や第二ガラス基板２を透過するレーザ９００によって効率的に行われるという利点がある。
【００８２】
また、実施形態１，２で説明したように、レーザ９００はフェムト秒レーザであることが好ましい。
【００８３】
これにより、光を透過するガラス製のキャップ７を、高い信頼性で接合させることができ、熱応力を原因とする破損も生じにくいという利点がある。
【００８４】
また、実施形態１，２で説明したように、排気孔６は、第一孔部６１と、第一孔部６１よりも小径の第二孔部６２とが、一直線状に連続する貫通孔であることが好ましい。接合工程Ｓ２では、第一孔部６１が外側に向けて開口するように第一ガラス基板１と第二ガラス基板２を接合させる。封止工程Ｓ３では、第一孔部６１にキャップ７を嵌めて固定することで、排気孔６を封止する。
【００８５】
これにより、キャップ７を排気孔６に嵌めて固定する作業が、簡潔にかつ高い信頼性で行われるという利点がある。
【００８６】
また、実施形態２で説明したように、ガラスパネルユニットの製造方法は、第二接合工程Ｓ４をさらに備えることが好ましい。第二接合工程Ｓ４では、第一ガラス基板１と第二ガラス基板２の一方（実施形態２では第一ガラス基板１）と第三ガラス基板３を、枠状の第二封止部３８を介して接合させ、第二封止部３８で囲まれる第二内部空間５２を形成する。
【００８７】
この製造方法で製造されたガラスパネルユニットは、内部空間５１に加えて第二内部空間５２を有することで、さらに高い断熱性を有するという利点がある。
【００８８】
実施形態１，２で説明したように、ガラスパネルユニットは、第一ガラス基板１と、第一ガラス基板１に対向して位置する第二ガラス基板２と、第一ガラス基板１と第二ガラス基板２の間に介在する複数のスペーサ４５と、封止部４１を備える。封止部４１は、第一ガラス基板１と第二ガラス基板２の互いの周縁部を気密に接合して、内部空間５１を形成する。
【００８９】
第一ガラス基板１と第二ガラス基板２の少なくとも一方（実施形態１，２では第二ガラス基板２）は、排気孔６と、排気孔６を封止するように嵌められたキャップ７を備える。キャップ７は、第一ガラス基板１と第二ガラス基板２の少なくとも一方の外面１４，２４（実施形態２では第二ガラス基板２の外面２４）の排気孔６の周囲部分に対して、面一にまたは凹んで位置するように、固定される。
【００９０】
前記構成を備えるガラスパネルユニットは、減圧された内部空間５１を有することで高い断熱性を有する。しかも、排気孔６はガラス製のキャップ７で封止されるため、封止の跡が目立ちにくいという利点や、封止の跡が破損の原因になりにくいという利点がある。また、キャップ７が第一ガラス基板１や第二ガラス基板２と同様にガラス製であるから、線膨張率の違いによって破損を生じることが抑えられるという利点がある。
【００９１】
また、実施形態２で説明したように、ガラスパネルユニットは、第一ガラス基板１と第二ガラス基板２の一方（実施形態２では第一ガラス基板１）に対向して位置する第三ガラス基板３と、第二封止部３８をさらに備えることが好ましい。第二封止部３８は、第一ガラス基板１と第二ガラス基板２の一方（実施形態２では第一ガラス基板１）と第三ガラス基板３の互いの周縁部を気密に接合して、第二内部空間５２を形成する。
【００９２】
これによれば、内部空間５１に加えて第二内部空間５２を有することで、断熱性がさらに高められるという利点がある。
【００９３】
以上、実施形態について説明したが、ガラスパネルユニットの製造方法や、これにより製造されるガラスパネルユニットは、前記した各実施形態に限定されない。各実施形態において適宜の設計変更を行うことや、各実施形態の構成を適宜組み合わせて適用することが可能である。
【符号の説明】
【００９４】
１      第一ガラス基板
１４    外面
２      第二ガラス基板
２４    外面
３      第三ガラス基板
３８    第二封止部
４１    封止部
４５    スペーサ
５１    内部空間
５２    第二内部空間
６      排気孔
６１    第一孔部
６２    第二孔部
７      キャップ
８      排気ヘッド
９００  レーザ
Ｓ１    配置工程
Ｓ２    接合工程
Ｓ３    封止工程
Ｓ４    第二接合工程
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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