(57)【要約】【課題】スクリーンマスクからマスク形成材料の脱落が効果的に防止され、耐久性を向上させる方法を提供する。【解決手段】スクリーンメッシュに保持された感光性材料層に露光光線をパターン状に照射することによって、前記の感光性材料層を前記の露光光線の照射パターンに応じて部分的に硬化させ、その後、前記の感光性材料の未硬化部分を除去することを含んでなるスクリーン印刷用のマスクを製造する方法であって、  前記のスクリーンメッシュに保持された感光性材料層の両面に、前記の露光光線を直接照射することを特徴とする、スクリーンマスクの製造方法。【選択図】図１
2017187601.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スクリーンメッシュに保持された感光性材料層に露光光線をパターン状に照射することによって、前記の感光性材料層を前記の露光光線の照射パターンに応じて部分的に硬化させ、その後、前記の感光性材料層の未硬化部分を除去することを含んでなるスクリーン印刷用のマスクを製造する方法であって、
前記のスクリーンメッシュに保持された感光性材料層の両面に、前記の露光光線を直接照射することを特徴とする、スクリーンマスクの製造方法。
【請求項２】
前記のスクリーンメッシュに保持された感光性材料層の第一の面に露光光線をパターン状に直接照射した後、前記のスクリーンメッシュに保持された感光性材料層の第二の面に露光光線をパターン状に直接照射する、請求項１に記載のスクリーンマスクの製造方法。
【請求項３】
前記のスクリーンメッシュに保持された感光性材料層の第二の面に露光光線を照射する前に、前記のスクリーンメッシュに保持された感光性材料層の変位量を判定し、この判定結果に基づき、前記のスクリーンメッシュに保持された感光性材料層の第二の面への露光光線の照射パターンを制御する、請求項２に記載のスクリーンマスクの製造方法。
【請求項４】
前記のスクリーンメッシュに保持された感光性材料層の変位量の判定を、前記のスクリーンメッシュの第一の面および第二の面から視認可能なアライメントマークを利用して行う、請求項３に記載のスクリーンマスクの製造方法。
【請求項５】
前記のスクリーンメッシュに保持された感光性材料層の第一の面への露光光線の照射量が、全照射量の１０〜９０％である、請求項１〜４のいずれか１項に記載のスクリーンマスクの製造方法（ここで、全照射量とは、第一の面への照射量と第二の面への照射量との総和（単位：ｍＪ／ｃｍ２）である）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーンマスクの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、スクリーン印刷用のスクリーンマスクを制作する際には、所定のパターンを有するポジフィルムやガラスマスクを原版として、これをスクリーンメッシュに保持された感光性材料層に密着させてから一括露光するのが一般的であった。
【０００３】
しかしながら、この方法では、感光性材料層と原版との間の密着不良や異物の挟み込み等の問題が発生することがあり、そして、原版を密着させることによる原版劣化が避けられず、交換コストが発生する等の問題点があった。
【０００４】
そこで、直描露光という工法が注目されつつある。これは、原版となるデータをもとに、ポリゴンミラーやＤＭＤと呼ばれるＭＥＭＳを用いて感光性材料層に直接描画することでスクリーンマスクを得る方法で、プリント配線板などでは一部適用が試みられている。
【０００５】
この直描露光方法は、感光性材料層と原版との間の物理的接触がないことから、感光性材料層と原版との間の密着不良や異物挟み込みや等の問題点が発生しない。また、マスクパターンを電子的データとして作成ならびに保存できるので、原版の作成や保管に関するコストが削減出来る点で魅力的な工法と言うことができる。
【０００６】
これらの直描露光方法によってスクリーンマスクの露光を行った場合、従来の原版を用いた密着露光法に比べて、効率的に高精細な画像形成が可能になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１６−１７８７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、直描露光方法を採用して作成したスクリーンマスクは、マスク形成材料がスクリーンマスクから脱落しやすいという問題があることが判った。このマスク形成材料の脱落は、印刷途中においてスクリーンを清掃する過程でしばしば発生する。このことから、直描露光方法を採用したスクリーンマスクは、感光性材料層と原版とを密着させて露光する従来法によるスクリーンマスクに比べてマスク材料の脱落が多く、このことからスクリーンマスクの耐久性やスクリーン印刷の印刷品質が劣化しやすかった。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上記問題点を解決しようとするものである。  
したがって、本発明によるスクリーンマスクの製造方法は、スクリーンメッシュに保持された感光性材料層に露光光線をパターン状に照射することによって、前記の感光性材料層を前記の露光光線の照射パターンに応じて部分的に硬化させ、その後、前記の感光性材料層の未硬化部分を除去することを含んでなるスクリーン印刷用のマスクを製造する方法であって、前記のスクリーンメッシュに保持された感光性材料層の両面に、前記の露光光線を直接照射すること、を特徴とするものである。
【００１０】
このような本発明によるスクリーンマスクの製造方法は、好ましい態様として、前記のスクリーンメッシュに保持された感光性材料層の第一の面に露光光線をパターン状に照射した後、前記のスクリーンメッシュに保持された感光性材料層の第二の面に露光光線をパターン状に照射するもの、を包含する。
【００１１】
このような本発明によるスクリーンマスクの製造方法は、好ましい態様として、前記のスクリーンメッシュに保持された感光性材料層の第二の面に露光光線を照射する前に、前記のスクリーンメッシュに保持された感光性材料層の変位量を判定し、この判定結果に基づき、前記のスクリーンメッシュに保持された感光性材料層の第二の面への露光光線の照射パターンを制御するもの、を包含する。
【００１２】
このような本発明によるスクリーンマスクの製造方法は、好ましい態様として、前記のスクリーンメッシュに保持された感光性材料層の変位量の判定を、前記のスクリーンメッシュの第一の面および第二の面から視認可能なアライメントマークを利用して行うもの、を包含する。
【００１３】
このような本発明によるスクリーンマスクの製造方法は、好ましい態様として、 前記のスクリーンメッシュに保持された感光性材料層の第一の面への露光光線の照射量が、全照射量の１０〜９０％であるもの（ここで、全照射量とは、第一の面への照射量と第二の面への照射量との総和（単位：ｍＪ／ｃｍ２）である）、を包含する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、スクリーンマスクからマスク形成材料の脱落を効果的に防止でき、スクリーンマスクの耐久性を向上させることができる。
【００１５】
そして、本発明によれば、より高精度で、スクリーンマスクの変位（例えば、収縮による寸法変化やゆがみ等）が抑制されたスクリーンマスクを提供できる。
【００１６】
よって、本発明によれば、より高精度のスクリーン印刷を長期間にわたって安定的に実施できるスクリーンマスクを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明による好ましいスクリーンマスクおよびその製造方法の概要を示す図。
【図２】テーパー現象の概要を示す図。
【図３】本発明による好ましいスクリーンマスクの製造方法の概要を示す図。
【図４】本発明による好ましいスクリーンマスクの製造方法の概要を示す図。
【図５】本発明による好ましいスクリーンマスクの製造方法の概要を示す図。
【図６】アライメントマークを利用した感光性材料層の変位量の判定方法の概要を示す図。
【図７】合わせ精度の判定基準の概要を示す図。
【図８】合わせ精度の判定基準の概要を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
＜スクリーンマスクの製造方法＞
本発明によるスクリーンマスクの製造方法は、スクリーンメッシュに保持された感光性材料層に露光光線をパターン状に照射することによって、前記の感光性材料層を前記の露光光線の照射パターンに応じて部分的に硬化させ、その後、前記の感光性材料層の未硬化部分を除去することを含んでなるスクリーン印刷用のマスクを製造する方法であって、
前記のスクリーンメッシュに保持された感光性材料層の両面に、前記の露光光線を直接照射することを特徴とすること、を特徴とするものである。
【００１９】
以下、必要に応じて図面を参照しながら、本発明を説明する。  
図１（イ）〜（ニ）は、本発明による好ましいスクリーンマスク１およびその製造方法の概要を示すものである。
【００２０】
スクリーンメッシュ２としては、従来からスクリーン印刷に用いられてきたものを本発明においても用いることができる。本発明において好ましいスクリーンメッシュ２としては、例えば樹脂製のスクリーンメッシュ、例えば、ナイロンやポリエステル製のスクリーンメッシュ、金属製のスクリーンメッシュ、例えば、ステンレスやタングステン製のスクリーンメッシュ、その他のスクリーンメッシュ、例えばシルクスクリーン等を用いることができる。また、スクリーンメッシュの外周部と内周部とで異なる種類のスクリーンメッシュを用いたコンビネーションスクリーンメッシュ（図３）も用いることができる。
【００２１】
スクリーンメッシュ２の線経、オープニング、開口率、紗厚などは、例えば、印刷対象や印刷パターン、印刷精度、耐久性等を考慮して、適宜定めることが出来る。
【００２２】
感光性材料層３は、従来からスクリーン印刷版の形成に用いられてきた感光性材料、特に直描法に適用可能な感光性材料として採用されてきたもの、によって形成することができる。
【００２３】
上記の感光性材料をスクリーンメッシュ２へ例えば塗工したり転写することによって、スクリーンメッシュ２に感光性材料層を保持させることができる。本発明では、スクリーンメッシュ２の片面から感光性材料を塗工あるいは転写することによって、スクリーンメッシュ２の片面に感光性材料層を形成させることができるし、スクリーンメッシュ２の両面に感光性材料を塗工あるいは転写することによって、スクリーンメッシュ２の両面に感光性材料層を形成させることができる。
【００２４】
スクリーンメッシュ２上の感光性材料層３の厚さは、例えば印刷対象や印刷パターン、印刷精度、耐久性等に応じて適宜定めることが出来る。
【００２５】
そして、スクリーンメッシュ２上の感光性材料層の厚さは、感光性材料層３の第一の面３１側と第二の面３２側とで異ならせることができる。なお、本明細書において、感光性材料層３の第一の面３１とは、スクリーン印刷の際に、被印刷物と接触する面を言い、感光性材料層３の第二の面３２とは、スクリーン印刷の際に、スキージの摺動がなされる面を言う。通常、感光性材料層の厚さは、第一の面３１側の方が第二の面３２側よりも厚い方が好ましく、従って、本発明においても、感光性材料層の厚さは、第一の面３１側の方が第二の面３２側よりも厚くなっている。
【００２６】
本発明のスクリーンマスク１では、第一の面３１側の感光性材料層の露光前の厚さ（即ち、スクリーンメッシュ２上の感光性材料層の厚さ）が１〜５０μｍであり、第二の面３２側の感光性材料層の厚さが１〜１０μｍであるものが好ましく、その中でも、第一の面３１側の感光性材料層の厚さが５〜２０μｍであり、第二の面３２側の感光性材料層の厚さが１〜３μｍであるものが特に好ましい。
【００２７】
本発明のスクリーンマスクの製造方法は、スクリーンメッシュ２に保持された感光性材料層３に、露光光線Ｒをパターン状に照射することによって、前記の露光光線Ｒの照射パターンに応じて前記の感光性材料を部分的に硬化させ、その後の現像処理によって、露光光線Ｒが照射されない部分の感光性材料を除去する点では、従来のスクリーンマスクの製造方法と同様のものである。しかし、本発明によるスクリーンマスク１の製造方法は、スクリーンメッシュ２に保持された感光性材料層の両面（即ち、スクリーンメッシュ２に保持された感光性材料層３の第一の面３１と第二の面３２の両面）に露光光線Ｒを直接照射することを主要な特徴の一つとする点で、従来のスクリーンマスクの製造方法と区別できるものである。
【００２８】
ここで、「露光光線を直接照射する」とは、「原版（フォトマスク）を介することなく、露光光線を照射すること」を意味する。従って、露光光線を部分的に遮蔽する原版（フォトマスク）を用いずに、露光光線をパターン状に照射する直描露光方法（例えば、直描機による露光方法）は、本発明の「露光光線を直接照射する」方法に包含される。
【００２９】
本発明のスクリーンマスクの製造方法においては、スクリーンメッシュ２に保持された感光性材料層３の両面（即ち、第一の面３１と第二の面３２）に同時に露光光線を直接照射した際も所定の効果を得ることができるが、好ましくは、感光性材料層３の第一の面３１に露光光線Ｒをパターン状に照射（図１（ロ））した後に、感光性材料層３の第二の面３２に露光光線Ｒをパターン状に照射（図１（ハ））することが好ましい。一般的な直描機を用いることができると共に、このことよって、より精細なパターンを容易に形成させることができ、かつスクリーンマスク１からマスク形成材料の脱落をより効果的に防止できるようになるからである。
【００３０】
なお、一般的な感光性材料では、露光光線の照射によって硬化されると、その体積が減少し、それによって感光性材料層が収縮することが観察されることがある。従って、感光性材料層に露光光線がパターン状に照射された場合、スクリーンメッシュ上での感光性材料層の配置パターンや配置比率等によっては、感光性材料層の収縮比率や収縮方向にバラツキが生じ、その結果、スクリーンマスクに変位（例えば、収縮による寸法変化やゆがみ等）が生じることがある。
【００３１】
感光性材料の硬化による体積減少（収縮）するという傾向は本発明でも共通するものの、感光性材料層の両面に露光光線を直接照射する本発明のスクリーンマスクの製造方法では、感光性材料層の片方の面のみに対して露光光線を照射する従来法と比べて、スクリーンメッシュ２による露光光線の遮蔽がなくなり、感光性材料層３の第一の面３１および第二の面３２の両面に対し直接露光されることから、第一の面３１および第二の面３２の両方の面において、スクリーンマスク１からのマスク材料の脱落が防止される。
【００３２】
そして、本発明によるスクリーンマスクの製造方法では、感光性材料層の片方の面のみに対して露光光線を照射する従来法と比べて、スクリーンメッシュ２による露光光線の遮蔽がなくなるので、露光量の総合量を減少させることができる。従って、本発明によるスクリーンマスクの製造方法では、従来法よりも露光量を低下させることができるので、スクリーンマスク１の変位（例えば、収縮による寸法変化やゆがみ等）量自体が低減される。よって、本願発明によれは、より高精度で、スクリーンマスク１の変位（例えば、収縮による寸法変化やゆがみ等）が抑制されたスクリーンマスクを提供できる。
【００３３】
特に、本発明によるスクリーンマスクの製造方法では、感光性材料層の片方の面のみに対して露光光線を照射する従来法と比べて、第一の面３１への照射量を低下させることができるので、スクリーンマスク１の変位量自体が著しく低減され、加えて第二の面３２へも露光光線の照射が行われるので、第一の面３１と第二の面３２との変位量の均衡化が図られる。
【００３４】
なお、一般的に、露光光線の照射パターンに応じて感光性材料層を部分的に硬化させ、その後の現像処理によって、非照射部分の感光性材料を除去してスクリーンマスクを製造する場合には、図２（イ）に示されるように、感光性材料層３の露光光線の照射面側の開口幅Ｌ１よりも非照射面側の開口幅Ｌ２の方が小さくなるという所謂テーパー現象が発生する場合がある。感光性材料層の片方の面のみに対して露光光線を照射する従来方法では、このテーパー現象が顕著に認められる場合があったが、本発明のスクリーンマスクの製造方法においては、上記の通り、露光量の総合量が低く、かつ両面に露光光線の照射がなされることから、図２（ロ）に示されるように、開口幅Ｌ１と開口幅Ｌ２との差を著しく小さく（あるいは実質的に差をなくす）ことができる。
【００３５】
スクリーンメッシュ２に保持された感光性材料層３の第一の面３１への露光光線の照射量は、好ましくは全照射量の１０〜９０％、特に好ましくは全照射量の３０〜５０％、である（ここで、全照射量とは、第一の面への照射量と第二の面への照射量との総和（単位：ｍＪ／ｃｍ２）である）。このように第一の面３１と第二の面３２への照射割合とすることによって、感光性材料層３の両面に露光光線を照射することによる本発明の効果を、より効果的に達成することができる。
【００３６】
その後、感光性材料層３の未硬化部分を除去することによって、本発明によるスクリーンマスク１を製造することができる（図１（ニ））。
【００３７】
以上の通り、本発明のスクリーンマスクの製造方法によれば、より精細なパターンを形成させることができ、かつスクリーンマスクからマスク形成材料の脱落を効果的に防止できる。
【００３８】
なお、図１（ハ）に示されるように、第二の面３２への露光光線の照射は、第一の面３１への露光光線の照射よりも、照射面積を少なくすることが好ましい。第一の面３１への露光光線の照射によって感光性材料層３に変位が生じた場合（あるいは想定以上の変位が仮に生じた場合）でも、第二の面３２への露光精度をそれほど厳密に制御しなくても、第一の面３１側の開口と第一の面３２側との開口との位置ずれによって開口幅Ｌ２を狭めたり、スクリーン印刷時の印刷精度等に影響を及ぼすことが避けられるからである。
【００３９】
さらに好ましい本発明のスクリーンマスクの製造方法では、スクリーンメッシュ２に保持された感光性材料層３の第二の面３２に露光光線Ｒを照射（図１（ハ））する前に、前記のスクリーンメッシュ２に保持された感光性材料層３の変位量を判定し、この判定結果に基づき、前記のスクリーンメッシュ２に保持された感光性材料層３の第二の面３２への露光光線の照射（図１（ハ））を制御することが好ましい。
【００４０】
このように、主として、第一の面３１への露光光線の照射によって生じた感光性材料層３の変位量を判定し、その判定結果に基づき、第二の面３２への露光光線の照射を制御することで、第二の面３２の的確な位置に露光光線を照射することができる。これによって、より精細なパターンを容易に形成させることができ、かつスクリーンマスク１からマスク形成材料の脱落をより効果的に防止できるようになる。
【００４１】
第一の面３１への露光光線の照射によって生じた感光性材料層３の変位量（例えば、寸法変化やゆがみ等による位置変化の程度）を判定は、露光光線の照射前の感光性材料層（図１（イ））と、露光光線の照射の後の感光性材料層（図１（ロ））との大きさや形状などを対比することによって行うことができる。
【００４２】
そして、この変位量の判定は、図３および図４に示されるように、好ましくは、スクリーンメッシュ２の第一の面および第二の面から視認可能なアライメントマーク５を利用して行うことができる。
【００４３】
例えば、アライメントマーク５群の中から選択された２点あるいはそれ以上のアライメントマークの間の距離や位置関係等の変化（図６（イ）または（ロ））から、感光性材料層３の変位量を判定し、その判定結果に基づき、第二の面３２への露光光線の照射を制御することで、第二の面３２の的確な位置に露光光線を照射（図１（ハ））することができる。これによって、目的とする位置により精細なパターンを容易に形成させることができ、かつスクリーンマスク１からマスク形成材料の脱落をより効果的に防止できるようになる。なお、説明のため、図６では、変位量が実際より拡大されて示されている。
【００４４】
アライメントマーク５の形成箇所やその数等は、適宜定めることができる。  
アライメントマーク５の形成方法も特に限定はない。本発明では、例えばパッド印刷、スクリーン印刷などの印刷工法や、レーザーマーキングなどによって、アライメントマーク５を形成することが好ましい。
【実施例】
【００４５】
実施例および比較例の試験は以下の仕様にて行った。製版作成方法は公知の方法で製造を行っており、これに限定されることは無い。
【００４６】
図３に示されるように、枠６に外紗２２である糸径５４μｍ  ２００メッシュからなるポリエステルメッシュをテンション０．８ｍｍにて貼り付ける。テンション測定は、プロテック製ＳＴＧ７５Ｂにて測定を行った。その中央に、所定のサイズにカットした内紗２１を合わせて紫外線硬化型接着剤を用いて貼り合せ、内側のポリエステルメッシュを切断・除去することにより、コンビネーションマスクを形成した。その後、図３で示す位置にΦ３ｍｍのアライメントマーク５をパッド印刷にて不滅インキを用いて形成した。
【００４７】
内紗として下記の表１に示されるものを用い、表１に示される所定の厚みとなるように、直間法フィルム(ＩＣ-１００００  ムラカミ製)を直接法乳剤(ＳＰ-９９０２  ムラカミ製)を用いて貼り付け、乾燥を行って、版仕様１〜版仕様４を作成した。
【００４８】
【表１】
2017187601.tif 000003
【００４９】
＜実施例１＞
版仕様１を用いて、図４に示されるように区分された１６領域（即ち、Ａ１〜Ａ４およびＢ１〜Ｂ４の領域）のそれぞれに、直描露光機（アドテックエンジニアリング社製、ＩＰ−３６５０ＨＨ）によって、直描露光した（露光光線の照射量：１３００ｍＪ／ｃｍ２）。  
このとき、第一の面３１の各領域についての露光パターンは下記の通りである。  
領域Ａ１：Ｘ軸方向に幅２０μｍ、ピッチ１ｍｍの直線を３０本
領域Ａ２：Ｘ軸方向に幅３０μｍ、ピッチ１ｍｍの直線を３０本
領域Ａ３：Ｘ軸方向に幅４０μｍ、ピッチ１ｍｍの直線を３０本
領域Ａ４：Ｘ軸方向に幅５０μｍ、ピッチ１ｍｍの直線を３０本
領域Ｂ１：Ｙ軸方向に幅２０μｍ、ピッチ１ｍｍの直線を３０本
領域Ｂ２：Ｙ軸方向に幅３０μｍ、ピッチ１ｍｍの直線を３０本
領域Ｂ３：Ｙ軸方向に幅４０μｍ、ピッチ１ｍｍの直線を３０本
領域Ｂ４：Ｙ軸方向に幅５０μｍ、ピッチ１ｍｍの直線を３０本
【００５０】
感光性材料層の表面（第一の面３１）の露光の後、スクリーンを反転し、上記のアライメントマーク５の位置を露光機に設置されたカメラにて、その位置の変位量（即ち、主として第一の面への露光による感光性材料層の収縮による位置の変位量）を判定した。
【００５１】
この感光性材料層の裏面（第二の面３２）に、同じ直描露光機（アドテックエンジニアリング社製、ＩＰ−３６５０ＨＨ）を用い、上記判定結果に基づき、露光光線の照射パターンを制御しつつ直描露光を実施した。
【００５２】
具体的には、図５に示されるように、感光性材料層の裏面（第二の面３２）への直描露光は、感光性材料層の表面（第一の面３１）で露光した先の直線よりも幅が４０μｍ太い線が、上記判定結果に基づき、先の直線と重なり合うように、位置およびピッチを制御しつ直接露光した（露光光線の照射量：４００ｍＪ／ｃｍ２）。第一の面への露光光線の照射量は、全照射量の７６．５％であった。
【００５３】
＜実施例２＞
版仕様２を用いて、露光量を第一面が１０００ｍＪ／ｃｍ２、第二面を３００ｍＪ／ｃｍ２した以外は実施例１と同じ。
【００５４】
＜実施例３＞
版仕様３を用いて、露光量を第一面が１２００ｍＪ／ｃｍ２、第二面を５００ｍＪ／ｃｍ２とした以外は実施例１と同じ。
【００５５】
＜実施例４＞
版仕様４を用いて、露光量を第一面が９００ｍＪ／ｃｍ２、第二面を４００ｍＪ／ｃｍ２とした以外は実施例１と同じ。
【００５６】
＜比較例１＞
版仕様１を用いて、露光を第一面のみとして１３００ｍＪ／ｃｍ２とした以外は、実施例１と同じ。
【００５７】
＜比較例２＞
版仕様１を用いて、予めポジフィルムとして出力した図４および第二面露光用に線幅を補正したものを用いて、一般的に用いられる露光機にて第一面、第二面の露光を行った。このときの合わせは作業者の目視によって合わせた。
【００５８】
＜比較例３＞
版仕様２を用いて、予めポジフィルムとして出力した図４および第二面露光用に線幅を補正したものを用いて、一般的に用いられる露光機にて第一面、第二面の露光を行った。このときの合わせは作業者の目視によって合わせた。
【００５９】
＜比較例４＞
版仕様１を用いて、予めポジフィルムとして出力した図４を用いて一般的に用いられる露光機にて第一面のみを１５００ｍＪ／ｃｍ２とした。
【００６０】
＜評価方法＞
実施例１〜４および比較例１〜４について、下記評価を行った。結果は、表２に示される通りである。  
（１）線幅測定
設計値４０μｍとしている領域Ａ３およびＢ３について、３次元測定機ＺＩＰ３００（ＯＧＰ社）にて第一面を上側として、落射光での最表面側の線幅を「開口部」、透過光での最も細くなっている部分を「最狭部」として測定した。  
（２）耐剥離性
設計値５０μｍとしている領域Ａ４およびＢ４について、テープ幅１９ｍｍのセロハンテープ（ニチバン社製）を、５００ｇ／ｃｍ２の荷重をかけて１０往復して密着させた。その後、９０°剥離を行って、マスク形成材料の剥がれ具合から評価した。  
（３）合わせ精度
第二面からの露光を施した版について、第一面からの露光と第二面からの露光で得られた画像にズレが無いかを目視にて観察した。  
表面（第一の面）に形成された直線パターンに対して、裏面（第二の面）に形成された直線パターンが、ほぼ中央部に配置されているもの（図７参照）は◎、
表面（第一の面）に形成された直線パターンに対して、裏面（第二の面）に形成された直線パターンが、１０μｍ以上２０μｍ未満ずれた部分があるものは〇、
表面（第一の面）に形成された直線パターンに対して、裏面（第二の面）に形成された直線パターンが、２０μｍ以上ずれた部分があるものは△、
表面（第一の面）に形成された直線パターンに対し、裏面（第二の面）に形成された直線パターンによって阻害された部分があるもの（図８参照）は×と、示されている。
【００６１】
図４で示される各領域（第一の面）に対する露光パターンは下記の通りである。  
領域Ａ１：Ｘ軸方向に幅２０μｍ、ピッチ１ｍｍの直線を３０本
領域Ａ２：Ｘ軸方向に幅３０μｍ、ピッチ１ｍｍの直線を３０本
領域Ａ３：Ｘ軸方向に幅４０μｍ、ピッチ１ｍｍの直線を３０本
領域Ａ４：Ｘ軸方向に幅５０μｍ、ピッチ１ｍｍの直線を３０本
領域Ｂ１：Ｙ軸方向に幅２０μｍ、ピッチ１ｍｍの直線を３０本
領域Ｂ２：Ｙ軸方向に幅３０μｍ、ピッチ１ｍｍの直線を３０本
領域Ｂ３：Ｙ軸方向に幅４０μｍ、ピッチ１ｍｍの直線を３０本
領域Ｂ４：Ｙ軸方向に幅５０μｍ、ピッチ１ｍｍの直線を３０本
【００６２】
図５で示される各領域（第二の面）に対する露光パターンは下記の通りである。  
領域Ａ１’：Ｘ軸方向に幅６０μｍ、ピッチ１ｍｍの直線を３０本
領域Ａ２’：Ｘ軸方向に幅７０μｍ、ピッチ１ｍｍの直線を３０本
領域Ａ３’：Ｘ軸方向に幅８０μｍ、ピッチ１ｍｍの直線を３０本
領域Ａ４’：Ｘ軸方向に幅９０μｍ、ピッチ１ｍｍの直線を３０本
領域Ｂ１’：Ｙ軸方向に幅６０μｍ、ピッチ１ｍｍの直線を３０本
領域Ｂ２’：Ｙ軸方向に幅７０μｍ、ピッチ１ｍｍの直線を３０本
領域Ｂ３’：Ｙ軸方向に幅８０μｍ、ピッチ１ｍｍの直線を３０本
領域Ｂ４’：Ｙ軸方向に幅９０μｍ、ピッチ１ｍｍの直線を３０本
【００６３】
【表２】
2017187601.tif 000004
【符号の説明】
【００６４】
１：スクリーンマスク、２：スクリーンメッシュ、３：感光性材料層、３１：感光性材料層の第一の面、３２：感光性材料層の第二の面、４：感光性材料、５：アライメントマーク
【図１】
2017187601.tif 000005
【図２】
2017187601.tif 000006
【図３】
2017187601.tif 000007
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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