(57)【要約】【課題】供給ダンパー膜１３をより敏感に変位させつつ、供給ダンパー膜１３の破損の発生を抑えることができる液滴吐出ヘッド４３４を提供する。【解決手段】個別供給路４における共通供給液室１０との境界に存在する個別供給開口６と供給ダンパー膜１３とを、共通供給液室１０内のインクを介して対向させた。そして、個別供給路４内のインクが個別供給開口６の付近で共通供給液室１０内のインクに付与する圧力を、その方向を変化させずに供給ダンパー膜１３に受けさせるようにした。これにより、個別供給開口６を供給ダンパー膜１３に対向させずに、個別供給開口６の付近で共通供給液室１０のインクに付与した圧力を方向転換させてから供給ダンパー膜１３に受けさせていた従来構成に比べて、供給ダンパー膜１３を敏感に変位させるようにした。【選択図】図６
2017087439.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する複数の吐出孔と、それら吐出孔に個別に通じて内部の液体に圧力をかけるための複数の圧力発生室と、それら圧力発生室に供給するための液体を共通して収容する共通供給液室と、それら圧力発生室と前記共通供給液室とを通じさせる複数の個別供給路と、複数の圧力発生室のそれぞれにおける内壁の一部を構成し、自らの変位に伴って圧力発生室内の液体を加圧して前記吐出孔から吐出させる吐出用変位膜と、前記共通供給液室の内壁の一部を構成し、前記共通供給液室内の液体の圧力変化に伴って自らが変位する供給液室変位膜とを備える液滴吐出ヘッドにおいて、
複数の前記個別供給路のそれぞれにおける前記共通供給液室との境界に存在する個別供給開口と前記供給液室変位膜とを、前記共通供給液室内の液体を介して対向させたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
請求項１の液滴吐出ヘッドにおいて、
複数の前記圧力発生室のそれぞれから回収された液体を共通して収容する共通回収液室と、複数の前記圧力発生室のそれぞれと前記共通回収液室とを連通させる複数の個別回収路とを設けるとともに、
前記供給液室変位膜とは別に、前記共通回収液室の内壁の少なくとも一部を構成し且つ共通回収液室内の液体の圧力変化に伴って自らが変位する回収液室変位膜を設けたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項２の液滴吐出ヘッドにおいて、
複数の前記個別回収路のそれぞれにおける前記共通回収液室との境界に存在する個別回収開口と前記回収液室変位膜とを、前記共通回収液室内の液体を介して対向させたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れかの液滴吐出ヘッドにおいて、
複数の前記吐出孔が形成された吐出孔形成部材と、前記供給液室変位膜が形成された供給液室変位膜形成部材と、前記供給液室変位膜を変位させるための中空が形成された中空形成部材とを重ね合わせた状態でそれら部材を共通の保持部材に重ねて保持させ、且つ、前記中空形成部材を前記保持部材に直接重ねたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項１乃至３の何れかの液滴吐出ヘッドにおいて、
複数の前記吐出孔が形成された吐出孔形成部材と、前記供給液室変位膜が形成された供給液室変位膜形成部材と、前記供給液室変位膜を変位させるための中空が形成された中空形成部材とを重ね合わせた状態でそれら部材を共通の保持部材に重ねて保持させ、且つ、前記供給液室変位膜及び前記中空形成部材を前記吐出孔形成部材よりも液滴吐出側の位置に重ねたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れかの液滴吐出ヘッドにおいて、
前記共通供給液室を複数の前記個別供給路の並び方向に延在する形状にし、複数の前記個別供給開口のそれぞれを前記供給液室変位膜における短手方向の中心部に対向させたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
請求項１乃至６の何れかの液滴吐出ヘッドにおいて、
前記吐出用変位膜と前記供給液室変位膜とで、互いの機械的コンプライアンスを異ならせたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項８】
請求項７の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記吐出用変位膜と前記供給液室変位膜とで、互いの厚みを異ならせたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項７の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記吐出用変位膜と前記供給液室変位膜とで、互いの材質を異ならせたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１０】
複数の吐出孔からそれぞれ液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、記録シートを搬送するシート搬送手段と、前記液滴吐出ヘッドを記録シートの面に沿いつつ前記シート搬送手段による搬送方向と直交する方向に移動させるヘッド移動手段とを備え、複数の吐出孔からそれぞれ吐出した液滴によって記録シートに画像を形成する画像形成装置において、
前記液滴吐出ヘッドとして、請求項１乃至９の何れかの液滴吐出ヘッドを用いたことを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の吐出孔のそれぞれから液滴を吐出する液滴吐出ヘッド、及びこれを用いて画像を形成する画像形成装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、複数の吐出孔に個別に連通して液体に圧力をかける複数の圧力発生室、これらに供給する液体を共通して収容する共通供給液室、及び複数の圧力発生室と共通供給液室とを個別に連通させる複数の個別供給路を備える画像形成装置が知られている。
【０００３】
例えば、特許文献１に記載の液滴吐出ヘッドたるインクジェットヘッドは、吐出孔たる複数のノズル孔、これらに個別に連通して液体たるインクに圧力をかける圧力発生室たる複数のキャビティ室などを有している。また、複数のキャビティ室に供給するインクを共通して収容する共通供給液室たるインクマニホールド、複数のキャビティ室とマニホールドとを個別に連通させる複数の個別供給路なども有している。更には、インクマニホールドや複数のキャビティ室における内壁の一部を構成する振動板なども有している。振動板の面方向における全域のうち、複数のキャビティ室の内壁を構成している領域は、その振動に伴ってキャビティ室内のインクを加圧したり減圧したりする。また、前記全域のうち、インクマニホールドの内壁を構成している領域は、インクマニホールド内のインクの変圧に伴って変位するダンパー部として機能している。
【０００４】
圧電素子の駆動によってキャビティ室内のインクが加圧されると、その一部がキャビティ室に連通しているノズル孔からインク滴として吐出する。このとき、キャビティ室内に連通している個別供給路のインクの一部が、個別供給路からインクマニホールド内に逆移動して、インクマニホールド内のインクを加圧する。圧電素子の駆動停止によってキャビティ室内のインクの加圧が停止されると、キャビティ室内のインクの圧力が元の値に復帰する。このとき、それまで加圧状態にあったインクマニホールド内のインクが反射波として個別供給路内に勢い良く戻ると、キャビティ室内におけるインクの圧力の復帰に長時間を要してしまう。上記ダンパー部は、圧電素子の駆動時に個別供給路内のインクがインクマニホールド内に逆移動すると、インクマニホールド内の容積を増加させる方向に変位する。これにより、前述の反射波の勢いを低減することができるとされている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このインクジェットヘッドにおいて、インクマニホールド内のインクの圧力変化に敏感に応答させてダンパー部を変位させるためには、ダンパー部の厚みを非常に薄くする必要がある。すると、ダンパー部の機械的強度を小さくしてダンパー部を破損し易くなってしまうという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決するために、本発明は、液滴を吐出する複数の吐出孔と、それら吐出孔に個別に通じて内部の液体に圧力をかけるための複数の圧力発生室と、それら圧力発生室に供給するための液体を共通して収容する共通供給液室と、それら圧力発生室と前記共通供給液室とを通じさせる複数の個別供給路と、複数の圧力発生室のそれぞれにおける内壁の一部を構成し、自らの変位に伴って圧力発生室内の液体を加圧して前記吐出孔から吐出させる吐出用変位膜と、前記共通供給液室の内壁の一部を構成し、前記共通供給液室内の液体の圧力変化に伴って自らが変位する供給液室変位膜とを備える液滴吐出ヘッドにおいて、複数の前記個別供給路のそれぞれにおける前記共通供給液室との境界に存在する個別供給開口と前記供給液室変位膜とを、前記共通供給液室内の液体を介して対向させたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、ダンパー部等の供給液室変位膜をより敏感に変位させつつ、供給液室変位膜の破損の発生を抑えることができるという優れた効果がある。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施形態に係る画像形成装置の要部構成を示す要部構成図。
【図２】同要部構成を示す平面図。
【図３】実施形態に係る画像形成装置の液滴吐出ヘッドを示す分解斜視図。
【図４】同液滴吐出ヘッドの各板状部材をノズル側から示す分解平面図。
【図５】同液滴吐出ヘッドの各板状部材を積層圧電素子側から示す分解平面図。
【図６】同液滴吐出ヘッドの図３におけるＡ−Ａ’断面を示す横断面図である。
【図７】第一変形例に係る画像形成装置の液滴吐出ヘッドを示す分解斜視図。
【図８】同液滴吐出ヘッドの各板状部材をノズル側から示す分解平面図。
【図９】同液滴吐出ヘッドの各板状部材を積層圧電素子側から示す分解平面図。
【図１０】同液滴吐出ヘッドの図７におけるＡ−Ａ’断面を示す横断面図。
【図１１】第二変形形態に係る画像形成装置の液滴吐出ヘッドの各板状部材をノズル側から示す分解平面図。
【図１２】同液滴吐出ヘッドの各板状部材を積層圧電素子側から示す分解平面図。
【図１３】同液滴吐出ヘッドの断面を示す横断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明を適用した画像形成装置の一実施形態について説明する。
なお、記録シートは材質が紙に限定されるものではなく、ＯＨＰ、布、ガラス、基板などを含み、インク滴、その他の液体などが付着可能なものの意味であり、被記録媒体、記録媒体、記録紙、記録用紙などと称されるものを含む。また、画像形成、記録、印字、印写、印刷はいずれも同義語とする。
【００１０】
また、「画像形成装置」は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置である。また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を記録媒体に付与する態様も含む（単に液滴を媒体に着弾させる態様）。
【００１１】
また、「インク」とは、特に限定しない限り、インクと称されるものに限らず、記録液、定着処理液、液体などと称されるものなど、画像形成を行うことができるすべての液体の総称として用い、例えば、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、樹脂なども含まれる。画像形成装置によって使用される「液体」は、記録液、インクに限られるものではなく、吐出されるときに流体となるものであれば特に限定されるものではない。また、「液滴吐出装置」は液滴吐出ヘッドから液体を吐出する装置であり、従前の記録装置、印刷装置、画像形成装置、液滴吐出装置、液体吐出装置、処理液塗布装置、立体造形装置などと称される装置が全て含まれ、画像形成を行うものに限定されない。
【００１２】
また、「画像」とは平面的なものに限らず、立体的に形成されたものに付与された画像、また立体自体を三次元的に造形して形成された像も含まれる。
【００１３】
また、画像形成装置には、特に限定しない限り、シリアル型画像形成装置及びライン型画像形成装置の何れも含まれる。シリアル型画像形成装置は、キャリッジに搭載された液滴吐出ヘッドをシート送り方向と直交する主走査方向に移動させることで記録を行うものである。また、ライン型画像形成装置は、記録領域の略全幅にわたって液滴を吐出する複数の吐出口(ノズル)を列設したライン型ヘッドを用いるものである。実施形態では、シリアル型を採用した例について説明するが、シリアル型に限られるものではない。
【００１４】
液滴吐出ヘッドは、インク滴（記録液体）を吐出させるためのアクチュエーター手段の種類により、幾つかの方式に大別される。例えば液室の壁の一部を薄い振動板とし、これに対応して電気機械変換素子としての圧電素子を配置し、電圧印加に伴って発生する圧電素子の変形により振動板を変形させることで圧力発生室内の圧力を変化させて、インク滴を吐出させるピエゾ方式のものがある。また、液室内部に発熱体素子を配置し、通電による発熱体の加熱によって気泡を発生させ、気泡の圧力によってインク滴を吐出させるバブルジェット（登録商標）方式のものもある。また、液室の壁面を形成する振動板と、この振動板に対向して配置された液室外の個別電極との間に電界を形成して振動板を変形させて、液室内の圧力や体積を変化させることでノズルからインク滴を吐出させる静電型のものもある。実施形態では、ピエゾ方式を採用した例について説明するが、ピエゾ方式に限られるものではない。
【００１５】
まず、実施形態に係る画像形成装置の基本的な構成について説明する。図１は、実施形態に係る画像形成装置の要部構成を示す要部構成図である。また、図２は、同要部構成を示す平面図である。
【００１６】
実施形態に係る画像形成装置は、シリアル型のインクジェット記録装置であり、左右の側板４２１Ａ，４２１Ｂに横架した主従のガイドロッド４３１，４３２でキャリッジ４３３を主走査方向（矢印方向）に往復移動可能に保持している。このキャリッジ４３３には、液滴吐出部材としての液滴吐出ヘッド４３４と、液滴吐出ヘッド４３４に液体であるインクを供給するサブタンクであるヘッドタンク４３５とを、一体にした２つの液滴吐出ユニット４３０Ａ，４３０Ｂを搭載している。液滴吐出ヘッド４３４は、複数のノズル（吐出孔）からなるノズル列のノズル配列方向を、主走査方向と直交する副走査方向（液滴吐出ヘッド長手方向）にし、液滴吐出方向を下方に向けて装着されている。
【００１７】
２つの液滴吐出ユニット４３０Ａ，４３０Ｂのそれぞれは、ノズル列を二つずつ有している。一方の液滴吐出ユニット４３０Ａの液滴吐出ヘッド４３４は、一方のノズル列の各ノズルでブラック（Ｋ）のインク滴を吐出し、且つ他方のノズル列の各ノズルでシアン（Ｃ）のインク滴を吐出する。また、他方の液滴吐出ユニット４３０Ｂの液滴吐出ヘッド４３４は、一方のノズル列の各ノズルでマゼンタ（Ｍ）のインク滴を吐出し、且つ他方のノズル列の各ノズルでイエロー（Ｙ）のインク滴を吐出する。
【００１８】
なお、実施形態に係る画像形成装置は、二つの液滴吐出ヘッドを使用して４色のインク滴を吐出するものであるが、１つの液滴吐出ヘッドに４つのノズル列を配置して、１個の液滴吐出ヘッドから４色のインクを吐出させることもできる。また、液滴吐出ユニット４３０Ａ，４３０Ｂにおける「一体化」は、液滴吐出ヘッド４３４とヘッドタンク４３５とが直接、または、フィルタ部材などを介して相互に締結部材や接着などで固定されていることを意味する。あるいは、液滴吐出ヘッド４３４とヘッドタンク４３５とが、チューブなどで相互に接続されていることなどを意味する。
【００１９】
装置本体側のカートリッジホルダ４０４には、各色の液体カートリッジであるメインタンク４１０ｋ，４１０ｃ，４１０ｍ，４１０ｙが着脱自在に装着される。そして、各液滴吐出ユニット４３０Ａ，４３０Ｂのヘッドタンク４３５には、各色の供給チューブ４３６を介して、送液ポンプ４３８ｃを含む送液ユニット４２４によって各色のメインタンク４１０から各色のインクが送液される。
【００２０】
実施形態に係る画像形成装置は、給紙トレイ４０２のシート積載部４４１上に積載した記録媒体としての記録シート４４２を給紙するための給紙部を備えている。この給紙部は、シート積載部４４１から記録シート４４２を１枚ずつ分離給送する給紙コロ４４３及び給紙コロ４４３に対向する分離パッド４４４などからなる。
【００２１】
また、実施形態に係る画像形成装置は、給送された記録シート４４２を搬送及び案内するガイド４４５、カウンタローラ４４６、搬送ガイド部材４４７、先端加圧コロ４４９を有する押さえ部材４４８も備えている。さらに、搬送された記録シート４４２を吸着して液滴吐出ユニット４３０の液滴吐出ヘッド４３４に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト４５１も備えている。
【００２２】
搬送ベルト４５１は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４５２とテンションローラ４５３との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向（副走査方向）に周回するように構成されている。この搬送ベルト４５１には、帯電手段である帯電ローラ４５６で帯電される静電搬送ベルトを使用している。ただし、搬送ベルト４５１としては、エアー吸引で吸着する搬送ベルトでもよい。また、搬送手段としては、搬送ベルトを使用しないで、ローラによって搬送するものでもよい。
【００２３】
搬送ベルト４５１を掛け回したテンションローラ４５３の下流側には、搬送ベルト４５１から記録シート４４２を分離するための分離爪４６１と、排紙ローラ４６２及び排紙コロ４６３とを備え、排紙ローラ４６２の下方に排紙トレイ４０３を備えている。また、装置本体の背面部には両面ユニット４７１が着脱自在に装着されている。この両面ユニット４７１は搬送ベルト４５１の逆方向回転で戻される記録シート４４２を取り込んで反転させて、再度、カウンタローラ４４６と搬送ベルト４５１との間に給紙する。また、この両面ユニット４７１の上面は手差しトレイ４７２としている。さらに、キャリッジ４３３の走査方向一方側の非印字領域には、液滴吐出ユニット４３０Ａ，４３０Ｂにおける液滴吐出ヘッド４３４のノズルの状態を維持し、回復するための維持回復機構４８１を配置している。
【００２４】
この維持回復機構４８１は、液滴吐出ヘッド４３４のノズル面をキャッピングするための各キャップ４８２ａ，４８２ｂを備えている。また、維持回復機構４８１は、ノズル面をワイピングするためのブレード部材４８３を備えている。また、維持回復機構４８１は、増粘したインクを排出するために画像形成に寄与しないインクを吐出させる空吐出を行うときのインクを受ける空吐出受け４８４などを備えている。また、キャリッジ４３３の走査方向他方側の非印字領域には、画像形成中などに空吐出を行うときのインクを受ける空吐出受け４８８を配置している。この空吐出受け４８８には液滴吐出ヘッド４３４のノズル配列方向に沿った開口部４８９などを備えている。
【００２５】
実施形態に係る画像形成装置においては、給紙トレイ４０２から記録シート４４２が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された記録シート４４２はガイド４４５で案内され、搬送ベルト４５１とカウンタローラ４４６との間に挟まれて搬送される。更に、記録シート４４２は、先端を搬送ガイド４３７で案内されて先端加圧コロ４４９で搬送ベルト４５１に押し付けられ、略９０°搬送方向を転換される。そして、帯電した搬送ベルト４５１上に記録シート４４２が給送されると、記録シート４４２が搬送ベルト４５１に吸着され、搬送ベルト４５１の周回移動によって記録シート４４２が副走査方向に搬送される。そこで、キャリッジ４３３を移動させながら画像信号に応じて液滴吐出ユニット４３０Ａ，４３０Ｂの液滴吐出ヘッド４３４を駆動することにより、停止している記録シート４４２にインクを吐出して１行分の画像を記録する。そして、記録シート４４２を所定量搬送後、次の行の画像形成を行う。記録終了信号又は記録シート４４２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、記録シート４４２を排紙トレイ４０３に排紙する。
【００２６】
図３は、液滴吐出ヘッド４３４を示す分解斜視図である。図４は、液滴吐出ヘッド４３４の各板状部材をノズル側から示す分解平面図である。また、図５は、液滴吐出ヘッド４３４の各板状部材を積層圧電素子側から示す分解平面図である。また、図６は、液滴吐出ヘッド４３４の図３におけるＡ−Ａ’断面を示す横断面図である。
【００２７】
これらの図において、複数の吐出孔たるノズル１は、吐出孔形成部材としてのノズルプレート２に形成されており、ノズルプレート２はステンレス板からなる。ノズル１となるスリット（貫通孔）の加工精度は、液滴吐出ヘッド４３４のインク吐出特性に大きな影響を及ぼす。複数のノズル１の間において、寸法精度のバラツキを小さく抑えるためには、ノズルプレート２の複数のスリットを高精度で加工する必要がある。このため、ノズルプレート２の複数のスリットは、プレス加工法、レーザー加工法、ニッケルの電鋳加工法等によって形成されている。
【００２８】
複数の圧力発生室３やこれらに個別に連通する複数の個別供給路４は、流路プレート５に設けられたスリットによってその側面が形成されている。複数の個別供給路４のそれぞれは、後述する共通供給液室１０と複数の圧力発生室３とを個別に連通させており、プレート面方向のサイズが比較的大きな大径部（図６の４ａ）と比較的小さな小径部（図６の４ｂ）とを有している。そして、その小径部４ｂにおける流路抵抗により、共通供給液室１０から圧力発生室３へのインク流入量を制御する。
【００２９】
複数の圧力発生室３のそれぞれは、ノズルプレート２に設けられた複数のノズル１の何れか一つに連通している。個別供給路４や圧力発生室３を形成するために圧力発生室形成部材や個別供給路形成部材としての流路プレート５に設けられたスリットは、精密プレス法によって加工されたものである。
【００３０】
供給液室変位膜形成部材たる振動板プレート８には、圧電アクチュエーター２１の変位を効率よく圧力発生室３に伝えるためのダイヤフラム膜７や、共通供給液室１０と複数の個別供給路４との境界に存在する複数の個別供給開口６などが形成されている。ダイヤフラム膜７は、振動板プレート８の母材板における無垢の領域によって構成されたもので、母材板と同じ厚みになっている。振動板プレート８において、ダイヤフラム膜７よりも厚い箇所は、母材板と、母材板に対する電気鋳造によって電着された部分とによって構成されている。個別供給開口６は貫通開口になっていて、個別供給路４の内部と共通供給液室１０の内部とを連通させる。
【００３１】
共通供給液室形成部材たるマニホールドプレート１１には、後述する圧電アクチュエーター２１を挿入するためのアクチュエーター挿入部９を構成するための矩形状の大きな貫通開口が形成されている。また、共通供給液室１０を形成するための矩形状の大きな貫通開口も形成されている。
【００３２】
供給液室変位膜形成部材たるダンパープレート１４には、アクチュエーター挿入部９を形成するための矩形状の大きな貫通開口が形成されている。加えて、２つのインク流入路１２のそれぞれを構成するための２つの円形貫通開口や、供給液室変位膜たる供給ダンパー膜１３も形成されている。２つのインク流入路１２の一方は、共通供給液室１０の長手方向の一端部に連通し、他方は共通供給液室１０の長手方向の他端部に連通するように配設されている。また、供給ダンパー膜１３は、ダンパープレート１４の母材板における無垢の領域によって構成されたもので、母材板と同じ厚みになっている。ダンパープレート１４において、供給ダンパー膜１３よりも厚い箇所は、母材板と、母材板に対する電気鋳造によって電着された部分とによって構成されている。
【００３３】
スペーサープレート１６には、供給ダンパー膜１３を変位させるための供給ダンパー室１５を形成するための凹部や、インク流入路１２に連通する貫通開口などが形成されている。
【００３４】
ステンレスからなるフレーム１８には、アクチュエーター挿入部９を構成するための大きな矩形の貫通開口と、ヘッドタンク（４３５）から送られてくるインクをインク流入路１２まで導くインク導入路１７を構成するための２つの貫通穴などが形成されている。それら貫通開口や貫通穴を形成する方法としては、切削加工等を例示することができる。アクチュエーター挿入部９を構成するための矩形の貫通開口は圧電アクチュエーター２１の全体を収容するように形成されているが、圧電アクチュエーター２１の複数の圧電素子１９を個別に収容するように複数の仕切り壁を設けて剛性を高めてもよい。剛性を高めることで、クロストーク：チャンネル（ノズル１、圧力発生室３、個別供給路４、及び圧電素子１９の組み合わせ）間の相互干渉の機会的要因による不具合を低減することができる。
【００３５】
圧電アクチュエーター２１は、複数のノズル１のそれぞれに個別に対応する複数の圧電素子１９と、これを固定する固定部材２０とを有している。圧電素子１９の一端面は固定部材２０の一端面に接着剤を用いて固着され、圧電素子１９のもう一端面はダイヤフラム膜７に接合されている。それぞれの圧電素子１９には、素子毎に個別に設けられた個別電極と、各素子で共通の共通電極とが接続され、複数の個別電極には電源の入切を個別に制御するための個別のスイッチング素子が接続されている。それらのスイッチング素子は、フレキシブルプリント基板２２に配設されている。このような電極構成により、複数の圧電素子１９のそれぞれを個別に駆動する（変位させる）ことが可能になっており、その個別の駆動によって、複数の圧力発生室３内のインク圧力を個別に変化させることができる。圧電素子１９の変位によってインク圧力が高められた圧力発生室３に通じるノズル１からは、インク滴が吐出する。
【００３６】
図６に示される横断面は、一つのチャンネルの断面を示している。また、図４、図５の各構成部品について断面として示している箇所については、Ａ―Ａ’線上で破断した箇所に相当する。
【００３７】
ヘッドタンク４３５からインク導入路１７に導入されたインクは、インク流入路１２を経て共通供給液室１０に流入する。この共通供給液室１０には、各チャンネルの個別供給路４におけるそれぞれの大径部４ａが個別供給開口６を介して通じている。共通供給液室１０から個別供給路４の大径部４ａに進入したインクは、小径部４ｂに進入して流路抵抗を付与されながら圧力発生室３に向かう。
【００３８】
次に、実施形態に係る画像形成装置の特徴的な構成について説明する。
ダンパープレート１４に形成された供給ダンパー膜１３は、共通供給液室１０の上壁の内壁として機能している他に、供給液室変位膜として機能している。この供給ダンパー膜１３を共通供給液室１０内のインクの変圧に伴って変位させることができるように、共通供給液室１０には供給ダンパー膜１３を介して中空の供給ダンパー室１５が隣設している。圧電素子１９の駆動によって圧力発生室３内のインク圧力が高まると、上述のようにしてインク滴がノズル１から吐出する。このとき、圧力発生室３内の一部のインクが個別供給路４の小径部４ｂに進入し、大径部４ｂ内のインクと、共通供給液室１０内のインクとを介してダンパー膜１３を供給ダンパー室１５内に向けて僅かに変位させる。共通供給液室１０内のインク変圧に伴ってダンパー膜１３が変位することで、変圧量を低減することができる。
【００３９】
共通供給液室１０内の加圧されたインクは、個別供給路４内のインクを押し返してそのインク内に反射波を発生させる。この反射波は、圧電素子１９の変位に起因する圧力成分（前進成分）よりも遅れてノズル１に到達して、印字品質を左右するインク吐出量や吐出速度に影響を及ぼす。反射波の力は、同時に駆動されるチャンネル数によって異なってくるので、吐出速度や吐出量が印字条件によってばらつくことがある。すると、印字品質の低下の要因になってしまう。特に、駆動周波数を比較的高く設定した場合には、反射波が十分に減衰しないうちにインク滴の吐出が完了することから、後続の吐出速度や吐出量を大きく変動させることがある。このような場合には、ダンパー膜１３を敏感に変位させて反射波の発生をできるだけ抑えるようにすることが望ましい。しかし、そのために、ダンパー膜１３を薄くすると、強度低下によってダンパー膜１３を破損させる可能性が高くなる。
【００４０】
実施形態に係る画像形成装置では、図示のように、個別供給路４における共通供給液室１０との境界に存在する個別供給開口６と、供給ダンパー膜１３とは、図示のように、共通供給液室１０内のインクを介して対向している。これにより、個別供給路４の大径部４ｂ内のインクが個別供給開口６の付近で共通供給液室１０内のインクに付与する圧力を、その方向を変化させずに供給ダンパー膜１３に受けさせることが可能になっている。かかる構成では、個別供給開口６を供給ダンパー膜１３に対向させずに、個別供給開口６の付近で共通供給液室１０内のインクに付与した圧力を方向転換させてからダンパー膜１３に受けさせていた従来構成に比べて、供給ダンパー膜１３を敏感に変位させる。これにより供給ダンパー膜１３の厚みを薄くすることなく供給ダンパー膜１３をより敏感に変位させることを可能にしているので、薄厚化に起因する供給ダンパー膜１３の破損の発生を抑えることができる。
【００４１】
特許第３６８０３９４号、特許３５６２０８０号、特開２０１０−１９４７９７号公報に記載のインクジェットヘッドは何れも、吐出用変位膜として機能するダイヤフラム膜と、供給液室変位膜として機能する供給ダンパー膜とを同じプレートに形成している。かかる構成では、ダイヤフラム膜と供給ダンパー膜とを無垢の母材板で構成してその周りを電気鋳造によって盛る加工法を採用すると、それらの膜を同じ厚みにせざるを得なくなる。供給ダンパー膜を薄くすると変圧吸収性を向上させる反面、同時にダイヤフラム膜を薄くしてインク吐出性を低下させてしまうので、良好な変圧吸収性と良好な吐出性とを両立させることができなくなってしまう。
【００４２】
これに対し、実施形態に係る画像形成装置では、ダイヤフラム膜７と供給ダンパー膜１３とを別のプレートに形成しているので、電気鋳造による加工法を用いる場合であっても、それぞれの膜をそれぞれに適した厚みにすることが可能である。よって、それぞれの膜の機械的コンプライアンスを適した値にして、良好な変圧吸収性と良好な吐出性とを両立させることができる。
【００４３】
なお、図４、図５に示されるように、供給ダンパー膜１３の短手寸法をＷ、長手Ｌ、板厚をＴとする。一般的にダンパー性能は機械的コンプライアンスの大きさで決定される。供給ダンパー膜１３の機械的コンプラインスＣは次式で表される。
Ｃ＝８×Ｌ×Ｗ５／（１５×３５×Ｅ×ｔ３）
【００４４】
上記式において、Ｌはダンパー長手寸法である。また、Ｗはダンパー短手寸法である。また、Ｅは膜のヤング率である。また、ｔは膜の厚みである。ダイヤフラム膜７の機械的コンプライアンスＣも同様にして求めることができる。複数のダイヤフラム膜７の全体の機械的コンプライアンスＣについては、個々の機械的コンプライアンスＣを累積して求めることが可能である。コンプライス性能に大きく影響を及ぼすパラメータは、ダンパー短手寸法Ｗや、膜の厚みｔである。ダンパー短手寸法Ｗが大きくなるほど機械的コンプライアンスＣが大きくなる。また、膜の厚みｔが薄くなるほど機械的コンプラスアンスＣが大きくなる。
【００４５】
また、特開２０１０−１９４７９７号公報に記載のインクジェットヘッドでは、ヘッドのノズルプレートの一部領域をダンパー室形成のために薄厚にしている。ノズルプレートは、印字の際に、ジャムなどの要因によって厚紙からなる記録シート等が押し付けられるなどして、加圧されることがあり、その加圧によって薄厚部に損傷を発生させるおそれがある。また、薄厚部の剛性の弱さに起因して、複数のプレートの接合時に接合のための圧力を十分にかけることができず、接合不良を引き起こすおそれがある。
【００４６】
これに対し、実施形態に係る画像形成装置では、ノズルプレート２にはダンパー室のための薄厚部を形成していないので、ノズルプレート２の破損の発生を抑えることができる。また、接合のための圧力を十分に付与することが可能であるので、接合不良の発生を抑えることもできる。特に、中空の供給ダンパー室１５のための薄厚部を設けているスペーサープレート１６を、剛性の高い保持部材たるフレーム１８に直接重ねてフレーム１８で保護しているので、薄厚部のあるスペーサープレート１６の破損の発生を抑えることもできる。
【００４７】
近年、液滴吐出ヘッドを複数配置して１回の通紙でカラー画像を印刷するラインプリンタが実用化されている。ラインプリンタは液滴吐出ヘッドを多数配置するため、液滴吐出ヘッドの平面サイズの小型化・狭幅化が要求される。特に、印刷方向に対してノズル列を直交して配置する場合に、ヘッド間隔が広がるとプリンタが大型化する。また、ヘッドの配設間隔が大きくなると搬送ムラによる影響も大きくなるために、印刷ドット位置がずれるなどの影響も大きくなることから、ヘッドの平面サイズの小型化が望まれる。
【００４８】
実施形態に係る画像形成装置では、互いに別のプレートに形成した、圧力発生室３及び個別供給路４と、共通供給液室１０とを重ねていることで、それらを横に並べる場合に比べてヘッドサイズの小型化を図ることができている。
【００４９】
また、実施形態に係る画像形成装置では、共通供給液室１０を複数の個別供給路４の並び方向に延在する形状にし、複数の個別供給開口６のそれぞれをダンパー膜１３における短手方向の中心部に対向させている。ダンパー膜１３における前記中心部は、前記短手方向における全域のうち、最も撓み易い部分である。よって、個別供給開口６を前記全域のうち、前記中心部とは異なる部分に対向させる場合に比べて、ダンパー膜１３を敏感に変位させることができる。
【００５０】
次に、実施形態に係る画像形成装置の液滴吐出ヘッド４３４における一部の構成を変形した各変形形態に係る画像形成装置について説明する。なお、以下に特筆しない限り、各変形形態に係る画像形成装置の構成は、実施形態に係る画像形成装置と同様である。
【００５１】
まず、第一変形形態に係る画像形成装置について説明する。
図７は、第一変形例に係る画像形成装置の液滴吐出ヘッド４３４を示す分解斜視図である。また、図８は、その液滴吐出ヘッド４３４の各板状部材をノズル側から示す分解平面図である。また、図９は、その液滴吐出ヘッド４３４の各板状部材を積層圧電素子側から示す分解平面図である。また、図１０は、その液滴吐出ヘッド４３４の図７におけるＡ−Ａ’断面を示す横断面図である。
【００５２】
第一変形例に係る画像形成装置では、フレーム１８に対して、振動板プレート８、流路プレート５、ノズルプレート２、マニホールドプレート１１、ダンパープレート１４、スペーサープレート１６が順に重ねられている。
【００５３】
実施形態とは異なり、振動板プレート８には、個別供給開口６が形成されていない代わりに、２つのインク流入路１２を構成するための２つの円形貫通開口が形成されている。また、流路プレート５には、複数の圧力発生室３及び個別供給路の組み合わせの他に、２つのインク流入路１２を構成するための２つの円形貫通開口が形成されている。また、ノズルプレート２には、複数のノズル１の他に、複数の個別供給開口６を構成するための複数の貫通開口や、２つのインク流入路１２を構成するための２つの円形貫通開口が形成されている。また、マニホールドプレート１１には、共通供給液室１０を形成するための大きな貫通開口が形成されているが、アクチュエーター挿入部９を構成するための貫通開口は形成されていない。その代わりに、ノズル１から吐出されたインク滴を通過させる吐出大開口２４を構成するための大きな貫通開口が形成されている。また、ダンパープレート１４には、供給ダンパー膜１３が形成されているが、インク流入路１２を構成するための貫通開口や、アクチュエーター挿入部９を構成するための貫通開口は形成されていない。その代わりに、吐出大開口２４を構成するための大きな貫通開口が形成されている。また、スペーサープレート１６には、供給ダンパー膜１３を変位させるための供給ダンパー室１５を形成するための凹部が形成されているが、インク流入路１２を構成するための貫通開口や、アクチュエーター挿入部９を構成するための貫通開口は形成されていない。その代わりに、吐出大開口２４を構成するための大きな貫通開口が形成されている。
【００５４】
図１０に示されるように、共通供給液室１０、供給ダンパー膜１３、及び供給ダンパー室１５がノズル１よりもインク吐出側の位置に形成されているが、個別供給開口６は実施形態と同様に供給ダンパー膜１３の短手方向の中央部に対向している。よって、実施形態と同様に、供給ダンパー膜１３を敏感に変位させることができる。
【００５５】
また、第一変形形態に係る画像形成装置では、ダンパープレート１４やスペーサープレート１６を、ノズル１と記録シートとの距離を調整するためのスペーサーとして機能させることもできる。
【００５６】
次に、第二変形形態に係る画像形成装置について説明する。
図１１は、第二変形形態に係る画像形成装置の液滴吐出ヘッド４３４の各板状部材をノズル側から示す分解平面図である。また、図１２は、その液滴吐出ヘッド４３４の各板状部材を積層圧電素子側から示す分解平面図である。また、図１３は、その液滴吐出ヘッド４３３の断面を示す横断面図である。
【００５７】
第二変形形態に係る画像形成装置において、フレーム１８、スペーサープレート１６、ダンパープレート１４、及びマニホールドプレート１１の構造は、実施形態に係る画像形成装置と同様である。
【００５８】
一方、振動板プレート８には、複数の個別供給開口６や、ダイヤフラム膜７を構成するための凹部の他に、実施形態では形成されていなかった次のものも形成されている。即ち、２つのインク流入路１２を構成するための２つの円形貫通開口や、複数の個別供給路４のそれぞれに対応する複数の循環路３１を構成するための複数の貫通開口が形成されている。
【００５９】
また、流路プレート５には、複数の圧力発生室３及び個別供給路４を構成するための複数のスリットの他に、実施形態では形成されていなかった次のものも形成されている。即ち、２つのインク流入路１２を構成するための２つの円形貫通開口や、複数の個別供給路４のそれぞれに対応する複数の循環路３１を構成するための複数の貫通開口が形成されている。
【００６０】
また、ノズルプレート２には、複数のノズルの他に、実施形態では形成されていなかった次のものも形成されている。即ち、複数の個別供給路４のそれぞれを後述する共通回収液室２５に連通させるための複数の個別回収開口２３、複数の循環路３１を構成するための複数の貫通開口、及び２つのインク流入路１２を構成するための２つの円形貫通開口が形成されている。
【００６１】
また、第二変形形態に係る画像形成装置では、ノズルプレート２の吐出側面に、回収マニホールドプレート２６、回収ダンパープレート２８、及び回収スペーサープレート３０が順に重ねられている。
【００６２】
回収マニホールドプレート２６には、複数の個別回収開口２３を介して複数の個別供給路４に連通する共通回収液室２５を構成するための大きな貫通開口が形成されている。また、ノズル１から吐出されたインク滴を通過させるための吐出大開口２４を構成するための貫通開口も形成されている。また、回収ダンパープレート２８には、回収液室変位膜２７を構成するための凹部や、吐出大開口２４を構成するための貫通開口が形成されている。また、回収スペーサープレート３０には、回収ダンパー室２９を構成するための凹部や、吐出大開口２４を構成するための貫通開口が形成されている。
【００６３】
第二変形形態に係る画像形成装置では、インク流入路１２が共通供給液室１０に通じていることに加えて、後述する共通回収液室２５にも通じている。図１３において、圧電素子１９の駆動によって圧力発生室３内のインクの圧力が高められると、ノズル１からインク滴が吐出したり、圧力発生室３内のインクの一部が個別供給路４内から共通供給液室１０内に戻ったりすることは既に述べた通りである。第二変形形態に係る画像形成装置では、このとき、次のような現象も起こる。即ち、圧力発生室３内のインクの一部が気泡とともに個別供給路４内に移動する。また、個別供給路４の大径部４ａ内のインクが個別回収開口２３を通じて共通回収液室２５内に回収される。このとき、個別供給路４内の気泡の一部も共通回収液室２５内に回収される。共通回収液室２５内に回収されたインクや気泡は、その後、循環路３１やインク流入路１２を通じて共通供給液室１０内に循環する。
【００６４】
第二変形形態に係る画像形成装置では、インクを無駄に捨てることなく、圧力発生室３内の気泡を共通回収液室２５内に回収することで、インクを無駄に捨てることなく、気泡に起因する不吐出の発生を抑えることができる。なお、多くの気泡が共通回収液室２５から共通供給液室１０に循環してしまう場合には、機械的な原理によって消泡を促す消泡手段を共通回収液室２５内や循環路３１内に設けてもよい。
【００６５】
また、第二変形形態に係る画像形成装置では、インクを循環させることで、次のことも可能になる。即ち、更には、白色等の沈降しやすいインク粒子を有する特色インクや、液晶基板製造に用いられるスペーザビーズを含有させた塗布液等のような沈降しやすい機能性微粒子を有するインクを用いる場合に、インク粒子や機能性微粒子の沈降を抑えることもできる。
【００６６】
第二変形形態に係る画像形成装置では、個別供給路４内から共通回収液室２５内へのインクの移動によって共通回収液室２５内のインクの圧を高めるのに伴って、共通回収液室２５の内壁の一部を構成している回収ダンパー膜２７を変位させる。これにより、圧力発生室３内のインクの圧力を元通りに復帰させる際に発生する、共通回収液室２５内から圧力発生室３への反射波の勢いを低減することができる。
【００６７】
また、第二変形形態に係る画像形成装置では、個別回収開口２３を回収ダンパー膜２７の短手方向の中央部に対向させているので、供給ダンパー膜１３と同様に、回収ダンパー膜２７も敏感に変位させることができる。
【００６８】
なお、実施形態や各変形形態として、本発明をプリンタ構成の画像形成装置に適用した例を説明したが、これに限られるものではない。例えば、プリンタ機能、ファックス機能、及び複写機能を有する複合機などの画像形成装置にも本発明を適用することが可能である。
【００６９】
以上に説明したものは一例であり、次の態様毎に特有の効果を奏する。
［態様Ａ］
態様Ａは、液滴を吐出する複数の吐出孔（例えばノズル１）と、それら吐出孔に個別に連通して内部の液体に圧力をかけるための複数の圧力発生室（例えば圧力発生室３）と、それら圧力発生室のそれぞれに供給するための液体を共通して収容する共通供給液室（例えば共通供給液室１０）と、それら圧力発生室のそれぞれと前記共通供給液室とを連通させる複数の個別供給路（例えば個別供給路４）と、複数の圧力発生室のそれぞれにおける内壁の少なくとも一部を構成し、自らの変位に伴って圧力発生室内の液体を加圧して液滴として前記吐出孔から吐出させる吐出用変位膜（例えばダイヤフラム膜７）と、前記共通供給液室の内壁の少なくとも一部を構成し、前記共通供給液室内の液体の圧力変化に伴って自らが変位する供給液室変位膜（例えば供給ダンパー膜）とを備える液滴吐出ヘッドにおいて、複数の前記個別供給路のそれぞれにおける前記共通供給液室との境界に存在する個別供給開口（例えば個別供給開口６）と前記供給液室変位膜とを、前記共通供給液室内の液体を介して対向させたことを特徴とするものである。
【００７０】
態様Ａにおいては、個別供給路内の液体が個別供給開口の付近で共通供給液室内の液体に付与する圧力を、その方向を変化させずに供給液室変位膜に受けさせる。これにより、個別供給開口を供給液室変位膜に対向させずに、個別供給開口の付近で共通供給液室の液体に付与した圧力を方向転換させてから供給液室変位膜に受けさせていた従来構成に比べて、供給液室変位膜を敏感に変位させる。かかる構成では、供給液室変位膜の厚みを薄くすることなく供給液室変位膜をより敏感に変位させることが可能なので、薄厚化に起因する供給液室変位膜の破損の発生を抑えることができる。
【００７１】
［態様Ｂ］
態様Ｂは、態様Ａにおいて、複数の前記圧力発生室のそれぞれから回収された液体を共通して収容する共通回収液室（例えば共通回収液室２５）と、複数の前記圧力発生室のそれぞれと前記共通回収液室とを連通させる複数の個別回収路（例えば個別回収開口２３）とを設けるとともに、前記供給液室変位膜とは別に、前記共通回収液室の内壁の少なくとも一部を構成し且つ共通回収液室内の液体の圧力変化に伴って自らが変位する回収液室変位膜（例えば回収ダンパー膜２７）を設けたことを特徴とするものである。かかる構成では、第二変形形態で説明したように、インクを無駄に捨てることなく、気泡による不吐出の発生を抑えることができる。更には、共通回収液室内から個別回収路を経た圧力発生室への反射波の発生を抑えることもできる。
【００７２】
［態様Ｃ］
態様Ｃは、態様Ｂにおいて、複数の前記個別回収路のそれぞれにおける前記共通回収液室との境界に存在する個別回収開口（例えば個別回収開口２３）と前記回収液室変位膜とを、前記共通回収液室内の液体を介して対向させたことを特徴とするものである。かかる構成では、回収液室変位膜を敏感に変位させつつ、回収液室変位膜を薄くすることによる回収液室変位膜の破損の発生を抑えることができる。
【００７３】
［態様Ｄ］
態様Ｄは、態様Ａ〜Ｃの何れかにおいて、複数の前記吐出孔が形成された吐出孔形成部材（例えばノズルプレート２）と、前記供給液室変位膜が形成された供給液室変位膜形成部材（例えばダンパープレート１４）と、前記供給液室変位膜を変位させるための中空が形成された中空形成部材（例えばスペーサープレート１６）とを重ね合わせた状態でそれら部材を共通の保持部材（例えばフレーム１８）に重ねて保持させ、且つ、前記中空形成部材を前記保持部材に直接重ねたことを特徴とするものである。かかる構成では、実施形態で説明したように、中空を形成するための薄厚部を設けている中空形成部材を、剛性の高い保持部材に直接重ねて中空液性部材で保護しているので、薄厚部のある中空形成部材の破損の発生を抑えることができる。
【００７４】
［態様Ｅ］
態様Ｅは、態様Ａ〜Ｃの何れかにおいて、複数の前記吐出孔が形成された吐出孔形成部材と、前記供給液室変位膜が形成された供給液室変位膜形成部材と、前記供給液室変位膜を変位させるための中空が形成された中空形成部材とを重ね合わせた状態でそれら部材を共通の保持部材に重ねて保持させ、且つ、前記供給液室変位膜及び前記中空形成部材を前記吐出孔形成部材よりも液滴吐出側の位置に重ねたことを特徴とするものである。かかる構成では、第一変形形態で説明したように、吐出孔と記録シートとの距離を調整するためのスペーサー部材として、供給液室変位膜や中空形成部材を機能させることができる。
【００７５】
［態様Ｆ］
態様Ｆは、態様Ａ〜Ｅの何れかにおいて、前記共通供給液室を複数の前記圧力発生室と前記供給液室変位膜とを並び方向に延在する形状にし、複数の前記個別供給開口のそれぞれを前記供給液室変位膜における短手方向の中心部に対向させたことを特徴とするものである。かかる構成では、実施形態で説明したように、個別供給開口を供給液室変位膜における短手方向の中心部に対向させない構成に比べて、供給液室変位膜を敏感に変位させることができる。
【００７６】
［態様Ｇ］
態様Ｇは、態様Ａ〜Ｆの何れかにおいて、前記吐出用変位膜と前記供給液室変位膜とで、互いの機械的コンプライアンスを異ならせたことを特徴とするものである。かかる構成では、吐出用変位膜と供給液室変位膜とにそれぞれ適切な機械的コンプライアンスを個別に発揮させることができる。
【００７７】
［態様Ｈ］
態様Ｈは、態様Ｇにおいて、前記吐出用変位膜と前記供給液室変位膜とで、互いの厚みを異ならせたことを特徴とするものである。かかる構成では、吐出用変位膜の機械的コンプライアンスと、供給液室変位膜の機械的コンプライアンスとの比を容易に調整することができる。
【００７８】
［態様Ｉ］
態様Ｉは、態様Ｇにおいて、前記吐出用変位膜と前記供給液室変位膜とで、互いの材質を異ならせたことを特徴とするものである。かかる構成においても、吐出用変位膜の機械的コンプライアンスと、供給液室変位膜の機械的コンプライアンスとの比を容易に調整することができる。
【００７９】
態様Ｊは、複数の吐出孔からそれぞれ液滴を吐出する液滴吐出ヘッド（例えば液滴吐出ヘッド４３４）と、記録シートを搬送するシート搬送手段と、前記液滴吐出ヘッドを記録シートの面に沿いつつ前記シート搬送手段による搬送方向と直交する方向に移動させるヘッド移動手段とを備え、複数の吐出孔からそれぞれ吐出した液滴によって記録シートに画像を形成する画像形成装置において、態様Ａ〜Ｉの何れかの液滴吐出ヘッドを用いたことを特徴とするものである。
【符号の説明】
【００８０】
１：ノズル（吐出孔）
２：ノズルプレート（吐出孔形成部材）
３：圧力発生室
４：個別供給路
６：個別供給開口
７：ダイヤフラム膜（吐出用変位膜）
１０：共通供給液室
１３：供給ダンパー膜（供給液室変位膜）
１４：ダンパープレート（供給液室変位膜形成部材）
１６：スペーサープレート（中空形成部材）
１８：フレーム（保持部材）
２３：個別回収開口（個別回収路）
２５：共通回収液室
２７：回収ダンパー膜（回収液室変位膜）
【先行技術文献】
【特許文献】
【００８１】
【特許文献１】特許第３６８０３９４号
【図１】
2017087439.tif 000003
【図２】
2017087439.tif 000004
【図３】
2017087439.tif 000005
【図４】
2017087439.tif 000006
【図５】
2017087439.tif 000007
【図６】
2017087439.tif 000008
【図７】
2017087439.tif 000009
【図８】
2017087439.tif 000010
【図９】
2017087439.tif 000011
【図１０】
2017087439.tif 000012
【図１１】
2017087439.tif 000013
【図１２】
2017087439.tif 000014
【図１３】
2017087439.tif 000015