(57)【要約】【課題】吐出ヘッドの複数のノズルから所定量の液状体を液滴として配置領域に量的に精度よく配置可能な液滴吐出方法、液滴吐出プログラム、液滴吐出装置を提供すること。【解決手段】本発明の液滴吐出方法は、液状体の所定量と予め設定された駆動条件でノズルを駆動して液滴として吐出された総吐出量との差を補正すべく、複数回の吐出のうちの少なくとも１回の吐出における駆動条件を変更するステップ４と、ステップ４で変更された駆動条件で少なくとも１つのノズルを駆動して、複数回の吐出を行う場合（ステップＳ５）の液状体の総吐出量を再び求めるステップ６と、を含む。【選択図】図１４
2017056402.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルを有する吐出ヘッドと吐出対象物とを対向配置して相対的に移動させる走査を行い、前記吐出対象物に設けられた配置領域に前記複数のノズルのうち少なくとも１つのノズルから液状体を液滴として複数回に亘って吐出する液滴吐出方法であって、
予め設定された駆動条件で前記少なくとも１つのノズルを駆動して、前記複数回の吐出を行う場合の前記液状体の総吐出量を求めるステップＡと、
前記配置領域に配置しようとする前記液状体の所定量と前記総吐出量との差を求めるステップＢと、
前記液状体の所定量と前記総吐出量との差を補正すべく、前記複数回の吐出のうちの少なくとも１回の吐出における前記駆動条件を変更するステップＣと、
前記ステップＣで変更された駆動条件で前記少なくとも１つのノズルを駆動して、前記複数回の吐出を行う場合の前記液状体の総吐出量を再び求めるステップＤと、を含むことを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項２】
前記液状体の所定量と前記総吐出量との差が、前記駆動条件の変更における液滴の吐出量の補正分解能よりも小さくなるまで、前記ステップＣ、前記ステップＤ、前記ステップＢ、をこの順に繰り返し行うステップＥを含むことを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出方法。
【請求項３】
前記駆動条件の変更における液滴の吐出量の最大補正量が設定され、
前記ステップＣは、前記液状体の所定量と前記総吐出量との差が、前記最大補正量よりも大きい場合、前記複数回の吐出のうち２回以上の吐出における前記駆動条件を変更することを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出方法。
【請求項４】
前記ステップＣは、前記複数回の吐出のうち、最終回の吐出から１回目の吐出に向かう順番で少なくとも１回の吐出における前記駆動条件を変更することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
【請求項５】
前記ステップＣにおける前記複数回の吐出のうち最終回の吐出における前記駆動条件の変更に係る液滴の吐出量の補正値が、他の吐出における前記駆動条件の変更に係る液滴の吐出量の補正値よりも大きいことを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出方法。
【請求項６】
前記ステップＡは、予め設定された駆動条件で前記少なくとも１つのノズルを駆動して、前記複数回の吐出を行い、吐出された前記液状体の総吐出量を計測して求めることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
【請求項７】
前記ステップＤは、前記ステップＣで変更された駆動条件で前記少なくとも１つのノズルを駆動して、前記複数回の吐出を行い、吐出された前記液状体の総吐出量を計測して求めることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
【請求項８】
前記吐出ヘッドは、前記複数のノズルごとに駆動素子を有し、前記駆動素子に印加される駆動電圧を変更することにより液滴の吐出量を変化させ、
前記ステップＤは、前記駆動素子ごとの駆動電圧と液滴の吐出量との関係を示す吐出量情報に基づいて、前記ステップＣで変更された駆動条件で前記少なくとも１つのノズルを駆動して、前記複数回の吐出を行う場合の前記液状体の総吐出量を算出して求めることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
【請求項９】
前記吐出対象物に設けられた前記配置領域は、長手方向が走査方向に延在する略矩形状であって、
前記吐出ヘッドの前記複数のノズルは、前記走査方向と交差する方向に配列していることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
【請求項１０】
複数のノズルを有する吐出ヘッドと吐出対象物とを対向配置して相対的に移動させる走査を行い、前記吐出対象物に設けられた配置領域に前記複数のノズルのうち少なくとも１つのノズルから液状体を液滴として複数回に亘って吐出させる液滴吐出プログラムあって、
コンピューターに、請求項１乃至９のいずれか一項の液滴吐出方法を実行させることを特徴とする液滴吐出プログラム。
【請求項１１】
複数のノズルを有する吐出ヘッドと吐出対象物とを対向配置して相対的に移動させる走査を行い、前記吐出対象物に設けられた配置領域に所定量の液状体を前記複数のノズルのうち少なくとも１つのノズルから液滴として複数回に亘って吐出する液滴吐出装置であって、
前記吐出対象物が載置されるステージと、
前記ステージを前記吐出ヘッドに対して第１の方向に相対的に移動させる移動機構と、
前記吐出ヘッドの前記複数のノズルごとの駆動素子を駆動するヘッド駆動部と、
前記吐出ヘッドから吐出された液状体の総吐出量を計測する吐出量計測機構と、
前記駆動素子を駆動する駆動条件の情報が記憶される第１記憶部と、
計測された前記液状体の総吐出量の値が記憶される第２記憶部と、
制御部と、を備え、
前記制御部は、前記第１記憶部に予め記憶された駆動条件で前記少なくとも１つのノズルを駆動して、前記複数回の吐出を行い、吐出された前記液状体の総吐出量を前記吐出量計測機構により計測するステップＡと、前記液状体の所定量と前記総吐出量との差を求めるステップＢと、前記液状体の所定量と前記総吐出量との差を補正すべく、前記複数回の吐出のうちの少なくとも１回の吐出における駆動条件を変更して前記第１記憶部に記憶させるステップＣと、変更された駆動条件で前記少なくとも１つのノズルを駆動して、前記複数回の吐出を行う場合の前記液状体の総吐出量を再び求めるステップＤと、前記液状体の所定量と前記総吐出量との差が、前記駆動条件の変更における液滴の吐出量の補正分解能よりも小さくなるまで、前記ステップＣ、前記ステップＤ、前記ステップＢをこの順に繰り返し行うステップＥと、前記移動機構により前記吐出ヘッドと吐出対象物とを前記第１の方向に移動させる走査を行い、最終的に変更された駆動条件に基づいて、前記吐出対象物に設けられた配置領域に前記所定量の液状体を前記複数のノズルのうち少なくとも１つのノズルから液滴として前記複数回に亘って吐出するステップＦと、を実行するように、前記ヘッド駆動部及び前記吐出量計測機構並びに前記移動手段を駆動制御することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１２】
前記吐出対象物に設けられた前記配置領域は略矩形状であって、前記配置領域の長手方向が前記第１の方向に沿うように前記吐出対象物が前記ステージ上に載置され、
前記吐出ヘッドの前記複数のノズルは、前記第１の方向と交差する方向に配列していることを特徴とする請求項１１に記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出方法、液滴吐出プログラム、液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
吐出対象物である例えば基板に対して、インクジェットヘッドの複数のノズルから機能性材料を含む液状体を液滴として基板の配置領域に吐出した後に、乾燥（固化）して配置領域に薄膜を形成するインクジェット法（あるいは液滴吐出法とも言われる）が知られている。該薄膜の代表的な例としては、薄型の表示デバイスである、液晶表示パネルのカラーフィルターや有機ＥＬパネルの発光層、半導体デバイスの半導体層や金属配線などが挙げられる。
【０００３】
インクジェット法では、所定量の液状体を精度よく配置領域に吐出して、乾燥後に所望の膜厚を有する薄膜を形成することが求められる。インクジェットヘッドの複数のノズルごとに吐出される液滴の吐出量は必ずしも一定ではなくばらつきを有していることから、ノズル間の吐出量のばらつきを抑える工夫が提案されている。
【０００４】
例えば、特許文献１には、ノズルごとに設けられた駆動素子を所定条件の駆動信号により駆動したときの吐出量に基づき、複数のノズルを複数のグループに分類するＡステップと、該グループに係る吐出量の統計値に基づいて、各グループに対応する駆動信号の適正条件を算出するＢステップと、ノズルごとに、複数のグループのそれぞれに対応する駆動信号の適正条件の中から１つを選択して設定するＣステップと、を有する駆動信号設定方法が提案されている。特許文献１によれば、駆動信号の設定条件の種類が限られていても、ノズルの特性に応じて適正な駆動信号を選択できることから、ノズル間の吐出量ばらつきを抑制できるとしている。
【０００５】
また、例えば、特許文献２には、基板の各画素領域に一定個数の液滴を着弾させるにあたり、複数のノズルの全部又は一部のノズルを対象として予め得られたノズルの１液滴の平均吐出量に、着弾させる液滴の一定個数を乗算して得られる画素平均総体積量と、画素領域の選択される位置に着弾する液滴の画素着弾総体積量との差を一定の範囲内におさめるインクジェット印刷方法が提案されている。特許文献２によれば、画素領域に液滴を吐出することが可能な複数のノズルと、当該複数のノズルの吐出数（吐出タイミング）とを示す着弾位置パターンにおいて、上記画素平均総体積量と、画素着弾総体積量との差が小さくなるように、上記複数のノズルごとの平均吐出量に基づいて、実際に液滴を吐出させるノズルを選択している。言い換えれば、ノズル間の吐出量ばらつきの影響を受け難くなるように吐出可能な複数のノズルからノズルを選択している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−２７６０８８号公報
【特許文献２】特開２０１５−３３６５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記特許文献２では、配置領域としての画素領域に対して液滴を吐出可能な複数のノズルにおけるノズル数が実際に液滴を吐出させるノズル数よりも多い必要があり、選択できるノズル数に余裕がないと発明の効果を十分に発揮させることが難しい。例えば、配置領域に対して１つのノズルしか選択できない場合には、上記特許文献２の発明を適用できないという課題がある。
また、上記特許文献１のように、グループ分けされたノズルに対して複数種の駆動信号の中から適正な駆動信号を設定しても、当該ノズルから配置領域に複数の液滴を吐出させる場合、配置領域に吐出された液滴の総吐出量を駆動信号の選択によって補正する効果が小さくなり、高い精度で総吐出量を実現することが難しいという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００９】
［適用例］本適用例に係る液滴吐出方法は、複数のノズルを有する吐出ヘッドと吐出対象物とを対向配置して相対的に移動させる走査を行い、前記吐出対象物に設けられた配置領域に前記複数のノズルのうち少なくとも１つのノズルから液状体を液滴として複数回に亘って吐出する液滴吐出方法であって、予め設定された駆動条件で前記少なくとも１つのノズルを駆動して、前記複数回の吐出を行う場合の前記液状体の総吐出量を求めるステップＡと、前記配置領域に配置しようとする前記液状体の所定量と前記総吐出量との差を求めるステップＢと、前記液状体の所定量と前記総吐出量との差を補正すべく、前記複数回の吐出のうちの少なくとも１回の吐出における前記駆動条件を変更するステップＣと、前記ステップＣで変更された駆動条件で前記少なくとも１つのノズルを駆動して、前記複数回の吐出を行う場合の前記液状体の総吐出量を再び求めるステップＤと、を含むことを特徴とする。
【００１０】
本適用例によれば、複数回の吐出のうち少なくとも１回の吐出において駆動条件を変更するので、配置領域に配置しようとする設計上の液状体の所定量と、ステップＡで求められた液状体の総吐出量との差を補正することができる。例えば、１つのノズルを用いて配置領域に複数の液滴を吐出して着弾させる場合でも、吐出された液状体の総吐出量が設計上の所定量に近づくように補正可能な液滴吐出方法を提供できる。
【００１１】
上記適用例に記載の液滴吐出方法において、前記液状体の所定量と前記総吐出量との差が、前記駆動条件の変更における液滴の吐出量の補正分解能よりも小さくなるまで、前記ステップＣ、前記ステップＤ、前記ステップＢをこの順に繰り返し行うステップＥを含むことが好ましい。
この方法によれば、液滴の吐出量の補正分解能の範囲内で液状体の総吐出量の補正ができる。
【００１２】
上記適用例に記載の液滴吐出方法において、前記駆動条件の変更における液滴の吐出量の最大補正量が設定され、前記ステップＣは、前記液状体の所定量と前記総吐出量との差が、前記最大補正量よりも大きい場合、前記複数回の吐出のうち２回以上の吐出における前記駆動条件を変更することを特徴とする。
この方法によれば、複数回の吐出のうち１回の吐出で駆動条件を変更して液状体の総吐出量を補正しようとする場合に比べて、少なくとも２回に亘って駆動条件が変更されることになるため、ノズルから液滴を吐出させる駆動素子に対して過剰な負荷を負わせずに駆動条件を変更できる。言い換えれば、駆動素子に対して駆動条件を変更することにより過剰な負荷を負わせてノズルから液滴を吐出させたときに、液滴の吐出量が予測以上にばらつくことを防止することができる。
【００１３】
上記適用例に記載の液滴吐出方法において、前記ステップＣは、前記複数回の吐出のうち、最終回の吐出から１回目の吐出に向かう順番で少なくとも１回の吐出における前記駆動条件を変更することが好ましい。
ノズルから連続して液滴の吐出を行う場合、ある吐出においてノズルの駆動条件を変更すると、次の吐出において予め設定された駆動条件でノズルを駆動したとしても液滴の吐出量に影響を及ぼすことが考えられる。この方法によれば、最終回の吐出から順にノズルの駆動条件が変更されるので、駆動条件が変更された後の液滴の吐出における吐出量のばらつきを抑制できる。
【００１４】
上記適用例に記載の液滴吐出方法において、前記ステップＣにおける前記複数回の吐出のうち最終回の吐出における前記駆動条件の変更に係る液滴の吐出量の補正値が、他の吐出における前記駆動条件の変更に係る液滴の吐出量の補正値よりも大きいことを特徴とする。
この方法によれば、例えば、最終回よりも１つ前の吐出において液滴の吐出量の補正値を最も大きくするように駆動条件を変更する場合に比べて、駆動条件の変更による吐出量のばらつきをより抑制できる。
【００１５】
上記適用例に記載の液滴吐出方法において、前記ステップＡは、予め設定された駆動条件で前記少なくとも１つのノズルを駆動して、前記複数回の吐出を行い、吐出された前記液状体の総吐出量を計測して求めることを特徴とする。
この方法によれば、液状体の総吐出量の実測値に基づいて、駆動条件を的確に変更して総吐出量の補正が可能となる。
【００１６】
上記適用例に記載の液滴吐出方法において、前記ステップＤは、前記ステップＣで変更された駆動条件で前記少なくとも１つのノズルを駆動して、前記複数回の吐出を行い、吐出された前記液状体の総吐出量を計測して求めることを特徴とする。
この方法によれば、駆動条件を変更した後の液状体の総吐出量を実測するので、駆動条件の変更が適正であったかどうかを確認することができる。
【００１７】
上記適用例に記載の液滴吐出方法において、前記吐出ヘッドは、前記複数のノズルごとに駆動素子を有し、前記駆動素子に印加される駆動電圧を変更することにより液滴の吐出量を変化させ、前記ステップＤは、前記駆動素子ごとの駆動電圧と液滴の吐出量との関係を示す吐出量情報に基づいて、前記ステップＣで変更された駆動条件で前記少なくとも１つのノズルを駆動して、前記複数回の吐出を行う場合の前記液状体の総吐出量を算出して求めることを特徴とする。
この方法によれば、駆動電圧以外の例えば周波数などを含めて駆動条件を変更する場合に比べて、容易に駆動条件を変更して総吐出量を補正することができる。
【００１８】
上記適用例に記載の液滴吐出方法において、前記吐出対象物に設けられた前記配置領域は、長手方向が走査方向に延在する略矩形状であって、前記吐出ヘッドの前記複数のノズルは、前記走査方向と交差する方向に配列していることを特徴とする。
この方法によれば、吐出ヘッドと配置領域との相対的な位置関係が、所謂、縦描画の位置関係となり、走査において配置領域に例えば１つのノズルしか掛からなくても、１つのノズルから吐出される液滴の吐出量を駆動条件の変更により変動させて、液状体の総吐出量が所定量に近づくように補正できる。
【００１９】
［適用例］本適用例に係る液滴吐出プログラムは、複数のノズルを有する吐出ヘッドと吐出対象物とを対向配置して相対的に移動させる走査を行い、前記吐出対象物に設けられた配置領域に前記複数のノズルのうち少なくとも１つのノズルから液状体を液滴として複数回に亘って吐出させる液滴吐出プログラムあって、コンピューターに、上記適用例に記載の液滴吐出方法を実行させることを特徴とする。
【００２０】
本適用例によれば、複数回の吐出のうち少なくとも１回の吐出において駆動条件が変更され、配置領域に配置しようとする設計上の液状体の所定量と、ステップＡで求められた液状体の総吐出量との差が補正される。例えば、１つのノズルを用いて配置領域に複数の液滴を吐出して着弾させる場合でも、吐出された液状体の総吐出量が設計上の所定量に近づくように補正される液滴吐出プログラムを提供できる。
【００２１】
［適用例］本適用例に係る液滴吐出装置は、複数のノズルを有する吐出ヘッドと吐出対象物とを対向配置して相対的に移動させる走査を行い、前記吐出対象物に設けられた配置領域に所定量の液状体を前記複数のノズルのうち少なくとも１つのノズルから液滴として複数回に亘って吐出する液滴吐出装置であって、前記吐出対象物が載置されるステージと、前記ステージを前記吐出ヘッドに対して第１の方向に相対的に移動させる移動機構と、前記吐出ヘッドの前記複数のノズルごとの駆動素子を駆動するヘッド駆動部と、前記吐出ヘッドから吐出された液状体の総吐出量を計測する吐出量計測機構と、前記駆動素子を駆動する駆動条件の情報が記憶される第１記憶部と、計測された前記液状体の総吐出量の値が記憶される第２記憶部と、制御部と、を備え、前記制御部は、前記第１記憶部に予め記憶された駆動条件で前記少なくとも１つのノズルを駆動して、前記複数回の吐出を行い、吐出された前記液状体の総吐出量を前記吐出量計測機構により計測するステップＡと、前記液状体の所定量と前記総吐出量との差を求めるステップＢと、前記液状体の所定量と前記総吐出量との差を補正すべく、前記複数回の吐出のうちの少なくとも１回の吐出における駆動条件を変更して前記第１記憶部に記憶させるステップＣと、変更された駆動条件で前記少なくとも１つのノズルを駆動して、前記複数回の吐出を行う場合の前記液状体の総吐出量を再び求めるステップＤと、前記液状体の所定量と前記総吐出量との差が、前記駆動条件の変更における液滴の吐出量の補正分解能よりも小さくなるまで、前記ステップＣ、前記ステップＤ、前記ステップＢをこの順に繰り返し行うステップＥと、前記移動機構により前記吐出ヘッドと吐出対象物とを前記第１の方向に移動させる走査を行い、最終的に変更された駆動条件に基づいて、前記吐出対象物に設けられた配置領域に前記所定量の液状体を前記複数のノズルのうち少なくとも１つのノズルから液滴として前記複数回に亘って吐出するステップＦと、を実行するように、前記ヘッド駆動部及び前記吐出量計測機構並びに前記移動手段を駆動制御することを特徴とする。
【００２２】
本適用例によれば、複数回の吐出のうち少なくとも１回の吐出において駆動条件が変更され、配置領域に配置しようとする設計上の液状体の所定量と、ステップＡで求められた液状体の総吐出量との差が補正される。例えば、１つのノズルを用いて配置領域に複数の液滴を吐出して着弾させる場合でも、吐出された液状体の総吐出量が設計上の所定量に近づくように補正される液滴吐出装置を提供できる。
【００２３】
上記適用例に記載の液滴吐出装置において、前記吐出対象物に設けられた前記配置領域は略矩形状であって、前記配置領域の長手方向が前記第１の方向に沿うように前記吐出対象物が前記ステージ上に載置され、前記吐出ヘッドの前記複数のノズルは、前記第１の方向と交差する方向に配列していることを特徴とする。
この構成によれば、吐出ヘッドと配置領域との相対的な位置関係が、所謂、縦描画の位置関係となり、走査において配置領域に例えば１つのノズルしか掛からなくても、１つのノズルから吐出される液滴の吐出量を駆動条件の変更により変動させて、液状体の総吐出量が所定量に近づくように補正される。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】インクジェットヘッドの構成を示す概略斜視図。
【図３】インクジェットヘッドのノズル面における複数のノズルの配置状態を示す平面図。
【図４】ヘッドユニットにおけるインクジェットヘッドの配置を示す概略平面図。
【図５】液滴吐出装置の電気的及び機械的な構成を示すブロック図。
【図６】インクジェットヘッドの電気的な制御を示すブロック図。
【図７】駆動信号及び制御信号のタイミング図。
【図８】有機ＥＬ装置の構成を示す概略平面図。
【図９】有機ＥＬ素子の構成を示す概略断面図。
【図１０】有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図。
【図１１】有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図。
【図１２】有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図。
【図１３】開口部における液滴の配置の例を示す概略平面図。
【図１４】液滴吐出方法を示すフローチャート。
【図１５】複数回の吐出のうち液滴の吐出量を補正する吐出の例を示す概略平面図。
【図１６】複数回の吐出のうち液滴の吐出量を補正する吐出の他の例を示す概略平面図。
【図１７】実施例における液滴の吐出量の補正と、圧電素子に印加される駆動信号の駆動電圧とを示す表。
【図１８】実施例における液滴の吐出量の補正によって得られた総吐出量の体積バラツキを示すグラフ。
【図１９】変形例の液滴吐出方法を示す概略平面図。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大または縮小して表示している。
【００２６】
＜液滴吐出装置＞
まず、本実施形態の液滴吐出方法を適用可能な液滴吐出装置の一例について、図１〜図５を参照して説明する。図１は液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。図１に示す液滴吐出装置１０は、吐出対象物（ワーク）に対して、吐出ヘッドのノズルから機能性材料を含む液状体を液滴として吐出する装置である。吐出された液状体を乾燥・焼成して固化することにより、吐出対象物の配置領域に機能層を形成する。このような機能層の形成方法は、液相プロセスのうち液滴吐出法と呼ばれている。液滴吐出法を用いて形成される機能層の一例として、後述する有機ＥＬ素子の発光機能を有する機能層が挙げられる。本実施形態の液滴吐出方法は、このような機能層を液滴吐出装置１０を用いて形成する場合に好適に用いることができる。なお、液滴吐出装置１０では、吐出ヘッドとしてインクジェットヘッドを備えており、インクジェットヘッドを用いた液滴吐出法はインクジェット法とも呼ばれる。
【００２７】
図１に示すように、液滴吐出装置１０は、吐出対象物（ワーク）である例えば平板状の基板Ｗを第１の方向としての主走査方向に移動させるワーク移動機構２０と、インクジェットヘッドが搭載されたヘッドユニット９を主走査方向に直交する副走査方向に移動させるヘッド移動機構３０と、を備えている。また、図１には図示されていない機構（構成）を含めて、これらの機構（構成）を統括的に制御する制御部４０を備えている。以降、主走査方向をＹ軸方向と称し、副走査方向をＸ軸方向と称して説明することもある。
【００２８】
ワーク移動機構２０は、一対のガイドレール２１と、一対のガイドレール２１に沿って移動する移動台２２と、移動台２２上に回転機構６を介して配設され基板Ｗが載置されるステージ５とを備えている。
ステージ５は基板Ｗを吸着固定可能であると共に、回転機構６によって基板Ｗ内の基準軸を正確に主走査方向（Ｙ軸方向）、副走査方向（Ｘ軸方向）に合わせることが可能となっている。
また、基板Ｗ上において液状体（インク）が吐出される配置領域の配置状態に応じて、基板Ｗを例えば９０度旋回させることも可能である。
【００２９】
ヘッド移動機構３０は、一対のガイドレール３１と、一対のガイドレール３１に沿って移動する移動台３２とを備えている。移動台３２には、回転機構７を介して吊設されたキャリッジ８が設けられている。
キャリッジ８には、吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッド５０（図２参照）がヘッドプレート９ａに搭載されたヘッドユニット９が取り付けられている。
移動台３２がキャリッジ８を副走査方向（Ｘ軸方向）に移動させてヘッドユニット９を基板Ｗに対して対向配置する。
【００３０】
液滴吐出装置１０は、上記構成の他にも、ヘッドユニット９に搭載された複数のインクジェットヘッド５０に液状体（インク）を供給するためのインク供給機構や、インクジェットヘッド５０をメンテナンスするためのメンテナンス機構などを含んで構成されている。
【００３１】
図２はインクジェットヘッドの構成を示す概略斜視図、図３はインクジェットヘッドのノズル面における複数のノズルの配置状態を示す平面図である。
【００３２】
図２に示すように、インクジェットヘッド５０は、所謂２連のものであり、２連の接続針５４を有する液状体（インク）の導入部５３と、導入部５３に積層されたヘッド基板５５と、ヘッド基板５５上に配置され内部に液状体（インク）のヘッド内流路が形成されたヘッド本体５６とを備えている。接続針５４は、前述したインク供給機構（図示省略）に配管を経由して接続され、液状体（インク）をヘッド内流路に供給する。ヘッド基板５５には、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介してヘッド駆動部としてのヘッドドライバー６３（図５参照）に接続される２連のコネクター５８が設けられている。
【００３３】
ヘッド本体５６は、駆動素子（アクチュエーター）としての圧電素子で構成されたキャビティを有する加圧部５７と、ノズル面５１ａに２つのノズル列５２ａ，５２ｂが相互に平行に形成されたノズルプレート５１とを有している。
【００３４】
図３に示すように、２つのノズル列５２ａ，５２ｂは、それぞれ複数（例えば１８０個）のノズル５２がピッチＰ１でほぼ等間隔に並べられており、互いにピッチＰ１の半分のピッチＰ２ずれた状態でノズル面５１ａに配設されている。本実施形態において、ピッチＰ１は、例えばおよそ１４１μｍである。よって、２つのノズル列５２ａ，５２ｂによって構成されたノズル列５２ｃに直交する方向から見ると３６０個のノズル５２がおよそ７０．５μｍのノズルピッチで配列した状態となっている。また、ノズル５２の径は、およそ２７μｍである。以降、複数のノズル５２によって構成された２つのノズル列５２ａ，５２ｂを説明上、ノズル列５２ｃと称する。
【００３５】
インクジェットヘッド５０は、ヘッドドライバー６３から電気信号としての駆動信号が圧電素子に印加されると加圧部５７のキャビティの体積変動が起こり、これによるポンプ作用でキャビティに充填された液状体（インク）が加圧され、ノズル５２から液状体（インク）を液滴として吐出することができる。
【００３６】
インクジェットヘッド５０においてノズル５２ごとに設けられる駆動素子（アクチュエーター）は、圧電素子に限定されない。アクチュエーターは、振動板を静電吸着により変位させる電気機械変換素子や、液状体（インク）を加熱してノズル５２から液滴として吐出させる電気熱変換素子でもよい。
【００３７】
図４はヘッドユニットにおけるインクジェットヘッドの配置を示す概略平面図である。詳しくは、基板Ｗに対向する側から見た図である。
【００３８】
図４に示すように、ヘッドユニット９は、複数のインクジェットヘッド５０が配設されるヘッドプレート９ａを備えている。ヘッドプレート９ａには、３つのインクジェットヘッド５０からなるヘッド群５０Ａと、同じく３つのインクジェットヘッド５０からなるヘッド群５０Ｂの合計６個のインクジェットヘッド５０が搭載されている。本実施形態では、ヘッド群５０ＡのヘッドＲ１（インクジェットヘッド５０）とヘッド群５０ＢのヘッドＲ２（インクジェットヘッド５０）とは同種の液状体（インク）を吐出する。他のヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様である。すなわち、３種の異なる液状体（インク）を吐出可能な構成となっている。
【００３９】
１つのインクジェットヘッド５０によって描画可能な描画幅をＬ0とし、これをノズル列５２ｃの有効長とする。ノズル列５２ｃは、３６０個のノズル５２から構成されるものである。
【００４０】
ヘッドＲ１とヘッドＲ２は、主走査方向（Ｙ軸方向）から見て隣り合うノズル列５２ｃが主走査方向と直交する副走査方向（Ｘ軸方向）に１ノズルピッチを置いて連続するように主走査方向に並列して配設されている。したがって、同種の液状体（インク）を吐出するヘッドＲ１とヘッドＲ２の有効な描画幅Ｌｄは、描画幅Ｌ0の２倍となっている。ヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様に主走査方向（Ｙ軸方向）に並列して配置されている。
【００４１】
なお、インクジェットヘッド５０に設けられるノズル列５２ｃは、２連に限らず、１連でもよい。また、ヘッドユニット９におけるインクジェットヘッド５０の配置は、これに限定されるものではない。
【００４２】
次に、液滴吐出装置１０の電気的及び機械的な構成とその機能について、図５を参照して説明する。図５は液滴吐出装置の電気的及び機械的な構成を示すブロック図である。
【００４３】
図５に示すように、液滴吐出装置１０は、ヘッド移動機構３０、ワーク移動機構２０、インクジェットヘッド５０、メンテナンス機構８０などを駆動する各種ドライバーを有する駆動部６０と、駆動部６０を含め液滴吐出装置１０を統括的に制御する制御部４０とを備えている。
【００４４】
駆動部６０は、ヘッド移動機構３０のリニアモーターを駆動制御するヘッド移動用ドライバー６１と、同じく、ワーク移動機構２０のリニアモーターを駆動制御するワーク移動用ドライバー６２と、インクジェットヘッド５０を駆動制御するヘッド駆動部としてのヘッドドライバー６３と、メンテナンス機構８０を駆動制御するメンテナンス用ドライバー６４と、を備えている。
【００４５】
なお、図５には図示を省略したが、液滴吐出装置１０は、ワーク移動機構２０において移動台２２の主走査方向（Ｙ軸方向）における位置を検出可能なリニアスケール及びスケールヘッド、並びに当該スケールヘッドに対応したエンコーダーを備えている。ヘッド移動機構３０もまた、移動台３２の副走査方向（Ｘ軸方向）における位置を検出可能なリニアスケール及びスケールヘッド、並びに当該スケールヘッドに対応したエンコーダーを備えている。これらのエンコーダーから周期的に発生されるエンコーダーパルスを利用して、移動台２２、移動台３２のそれぞれの移動制御が行われる構成となっている。
【００４６】
メンテナンス機構８０は、インクジェットヘッド５０のノズル５２から試験的に吐出された液滴を受けて重量を計測する例えば電子天秤を含む重量測定機構８１と、インクジェットヘッド５０のノズル面５１ａ（図２参照）を密封して、ノズル５２から液状体（インク）を吸引し、目詰まりが生じているノズル５２などを回復させるキャップ機構８２と、ノズル面５１ａに付着した異物をワイピング部材でふき取って清浄化するワイピング機構８３とを含んで構成されている。メンテナンス用ドライバー６４は、インクジェットヘッド５０をメンテナンスするためのこれらの機構をそれぞれ駆動するドライバーを含んで構成されている。なお、メンテナンス機構８０の構成は、これに限定されず、インクジェットヘッド５０のノズル５２から吐出された液滴をシートなどの被吐出物で受けて、液滴の着弾状態を撮像することで、液滴の着弾位置精度や目詰まりなどを検出する撮像機構などを備えていてもよい。上記の重量測定機構８１が、本発明の液滴吐出装置における吐出量計測機構の一例である。なお、上記の撮像機構を用いて液滴の着弾状態を撮像し、その大きさを計測することで液滴の体積を求める機構もまた、本発明の吐出量計測機構の一例とすることができる。
【００４７】
制御部４０は、ＣＰＵ４１と、ＲＯＭ４２と、ＲＡＭ４３と、Ｐ−ＣＯＮ（プログラムコントローラー）４４とを備え、これらは互いにバス４５を介して接続されている。Ｐ−ＣＯＮ４４には、上位コンピューター１１が接続されている。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１で処理する制御プログラムなどを記憶する制御プログラム領域と、描画動作やインクジェットヘッド５０の機能を回復させるメンテナンス処理などを行うための制御データなどを記憶する制御データ領域とを有している。
【００４８】
ＲＡＭ４３は、基板Ｗに対して液滴を吐出してどのように配置するかを示す吐出位置データを記憶する吐出位置データ記憶部、基板Ｗ及びインクジェットヘッド５０（実際には、ノズル列５２ｃ）の位置データを記憶する位置データ記憶部などの各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ４４には、駆動部６０の各種ドライバーなどが接続されており、ＣＰＵ４１の機能を補うと共に、周辺回路とのインターフェイス信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ４４は、上位コンピューター１１からの各種指令などをそのままあるいは加工してバス４５に取り込むと共に、ＣＰＵ４１と連動して、ＣＰＵ４１などからバス４５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部６０に出力する。本実施形態におけるＲＡＭ４３が本発明における第２記憶部の一例であり、ＣＰＵ４１あるいは上位コンピューター１１が、本発明における液滴吐出プログラムを実行するコンピューターの一例である。
【００４９】
そして、ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して各種検出信号、各種指令、各種データなどを入力し、ＲＡＭ４３内の各種データなどを処理した後、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して駆動部６０などに各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１０全体を制御している。例えば、ＣＰＵ４１は、インクジェットヘッド５０、ワーク移動機構２０及びヘッド移動機構３０を制御して、ヘッドユニット９と基板Ｗとを対向配置させる。そして、ヘッドユニット９と基板Ｗ（ステージ５）との相対移動に同期して、ヘッドユニット９に搭載された各インクジェットヘッド５０の複数のノズル５２から基板Ｗに液状体（インク）を液滴として吐出するようにヘッドドライバー６３に制御信号を送出する。本実施形態では、Ｙ軸方向への基板Ｗの移動に同期して液状体（インク）を吐出することを主走査と呼び、主走査に対してＸ軸方向にヘッドユニット９を移動させることを副走査と呼ぶ。本実施形態の液滴吐出装置１０は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返すことにより液状体（インク）を基板Ｗに吐出することができる。主走査は、インクジェットヘッド５０に対して一方向への基板Ｗの移動に限らず、基板Ｗを往復させて行うこともできる。
【００５０】
ワーク移動機構２０に設けられたエンコーダーは、主走査に伴ってエンコーダーパルスを生成する。主走査では、所定の移動速度で移動台２２を移動させるので、エンコーダーパルスが周期的に発生する。
【００５１】
例えば、主走査における移動台２２の移動速度を２００ｍｍ／ｓｅｃ、インクジェットヘッド５０を駆動する駆動周波数（言い換えれば、連続して液滴を吐出する場合の吐出タイミング）を２０ｋＨｚとすると、主走査方向における液滴の吐出分解能は、移動速度を駆動周波数で除することにより得られるので、１０μｍとなる。すなわち、１０μｍのピッチで液滴を基板Ｗ上に配置することが可能である。移動台２２の移動速度を２０ｍｍ／ｓｅｃとすれば、１μｍのピッチで液滴を基板Ｗ上に配置することが可能である。実際の液滴の吐出タイミングは、周期的に発生するエンコーダーパルスをカウントして生成される吐出制御データに基づいている。このような主走査における基板Ｗ上の液滴の最小配置ピッチを吐出分解能と呼ぶ。
【００５２】
上位コンピューター１１は、制御プログラムや制御データなどの制御情報を液滴吐出装置１０に送出する。また、基板Ｗ上に液状体（インク）を液滴として配置する吐出制御データとしての配置情報を生成する配置情報生成部の機能を有している。配置情報は、基板Ｗにおける液滴の配置位置を示す吐出位置データ、液滴の配置数を示す吐出データ（言い換えれば、ノズル５２ごとの吐出数）、主走査における複数のノズル５２のＯＮ／ＯＦＦすなわちノズル５２の選択／非選択などの情報を、例えば、ビットマップとして表したものである。上位コンピューター１１は、上記配置情報を生成するだけでなく、ＲＡＭ４３に一旦格納された上記配置情報を修正することも可能である。
【００５３】
基板Ｗにおける液滴の配置位置を示す吐出位置データは、主走査における基板Ｗとノズル５２との相対的な位置を示すものである。前述したように、基板Ｗはステージ５に載置されて、移動台２２により主走査方向（Ｙ軸方向）に移動する。基板Ｗの主走査方向における位置、すなわち、ステージ５の主走査方向の位置は、主走査においてワーク移動機構２０のエンコーダーから周期的に出力されるエンコーダーパルスをカウントすることで制御される。基板Ｗに対するインクジェットヘッド５０すなわちノズル５２の副走査方向（Ｘ軸方向）の位置は、ヘッド移動機構３０のエンコーダーから周期的に出力されるエンコーダーパルスをカウントすることで制御される。これにより、吐出位置データに基づいて、液滴が吐出されるノズル５２と基板Ｗとが相対的に配置され、ノズル５２から液滴が基板Ｗに向けて吐出される。
【００５４】
次に、本実施形態におけるインクジェットヘッド５０の吐出制御方法、すなわち、ノズル５２ごとに設けられた圧電素子の駆動制御方法について、図６及び図７を参照して説明する。図６はインクジェットヘッドの電気的な制御を示すブロック図である。
【００５５】
図６に示すように、ヘッドドライバー６３は、液滴の吐出量を制御する異なる複数の駆動信号ＣＯＭを、それぞれ独立して生成するＤ／Ａコンバーター（以降、ＤＡＣとする）７１Ａ〜７１Ｄと、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄが生成する駆動信号ＣＯＭのスルーレートデータ（以下、波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）とする）の格納メモリーを内部に有する波形データ選択回路７２と、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して上位コンピューター１１から送信される吐出制御データを格納するためのデータメモリー７３と、を備えている。ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４の各ＣＯＭラインに、ＤＡＣ７１Ａ〜ＤＡＣ７１Ｄで生成された駆動信号ＣＯＭがそれぞれ出力される。データメモリー７３は、本発明の液滴吐出装置における駆動素子を駆動する駆動条件の情報が記憶される第１記憶部の一例である。つまり、上記の吐出制御データには駆動条件の情報が含まれる。
【００５６】
各インクジェットヘッド５０には、ノズル５２ごとに設けられた駆動素子（アクチュエーター）である圧電素子５９への駆動信号ＣＯＭの印加をＯＮ／ＯＦＦするスイッチング回路７４と、各ＣＯＭラインのいずれか１つを選択して、各圧電素子５９に接続したスイッチング回路７４に駆動信号ＣＯＭを送出する駆動信号選択回路７５と、を備えている。
【００５７】
ノズル列５２ｃ（図３参照）において、圧電素子５９の一方の電極５９ｂは、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄのグランドライン（ＧＮＤ）に接続されている。また、圧電素子５９の他方の電極５９ａ（以下、セグメント電極５９ａとする）は、スイッチング回路７４、駆動信号選択回路７５を介して、各ＣＯＭラインに電気的に接続されている。また、スイッチング回路７４、駆動信号選択回路７５、波形データ選択回路７２には、クロック信号（ＣＬＫ）や各吐出タイミングに対応したラッチ信号（ＬＡＴ）が入力されるようになっている。
【００５８】
データメモリー７３には、各インクジェットヘッド５０の走査位置に応じて周期的に設定される吐出タイミングごとに、次のデータが格納されている。すなわち、各圧電素子５９への駆動信号ＣＯＭの印加（ＯＮ／ＯＦＦ）を規定する吐出データＤＡと、各圧電素子５９に対応したＣＯＭライン（ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４）の選択を規定する駆動信号選択データＤＢと、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄに入力される波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）の種別を規定する波形番号データＷＮとが少なくとも格納されている。本実施形態においては、吐出データＤＡは、１ノズルあたり１ビット（０，１）で、駆動信号選択データＤＢは、１ノズルあたり２ビット（０，１，２，３）で、波形番号データＷＮは、１ＤＡＣあたり７ビット（０〜１２７）で構成されている。なお、データ構造は適宜変更可能である。
【００５９】
図７は駆動信号及び制御信号のタイミング図である。上述の構成において、各吐出タイミングに係る駆動制御は次のように行われる。図７に示すように、タイミングｔ１〜ｔ２の期間において、吐出データＤＡ、駆動信号選択データＤＢ、波形番号データＷＮが、それぞれシリアル信号化されて、スイッチング回路７４、駆動信号選択回路７５、波形データ選択回路７２に送信される。そして、タイミングｔ２において各データがラッチされることで、吐出（ＯＮ）に係る各圧電素子５９のセグメント電極５９ａが、駆動信号選択データＤＢで指定されたＣＯＭライン（ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４のいずれか）に接続された状態となる。例えば、圧電素子５９のセグメント電極５９ａは、駆動信号選択データＤＢが「０」のときには、ＣＯＭ１に接続される。同様に駆動信号選択データＤＢが「１」のときにはＣＯＭ２に、駆動信号選択データＤＢが「２」のときはＣＯＭ３に、駆動信号選択データＤＢが「３」のときはＣＯＭ４に接続される。また、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄの生成に係る駆動信号の波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）がこの選択に連動して設定される。
【００６０】
タイミングｔ３〜ｔ４の期間においては、タイミングｔ２で設定された波形データに従い、それぞれ電位上昇、電位保持、電位降下の一連のステップで駆動信号ＣＯＭが生成される。そして、ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４とそれぞれ接続された状態にある圧電素子５９に、生成された駆動信号ＣＯＭが供給され、ノズル５２に連通するキャビティの体積（圧力）制御が行われる。
【００６１】
駆動信号ＣＯＭにおける電位上昇、電位保持、電位降下に係る時間成分、電圧成分は、その供給によって吐出される液状体（インク）の吐出量に密接に依存している。とりわけ、圧電方式のインクジェットヘッド５０では、電圧成分の変化に対して吐出量が良好な線形性を示すため、タイミングｔ３〜ｔ４における電圧成分の変化（電位差）を駆動電圧Ｖｈ（Ｖｈ１〜Ｖｈ４）として規定し、これを吐出量制御の条件として利用することができる。すなわち、駆動電圧Ｖｈは、液滴の吐出量を制御する駆動信号の条件の一つである。なお、生成する駆動信号ＣＯＭは、本実施形態で示すような単純な台形波に限られるものではなく、例えば、矩形波など公知の様々な形状の波形を適宜採用することも可能である。また、異なる駆動方式（例えばサーマル方式）の実施形態の場合、駆動信号ＣＯＭのパルス幅（時間成分）を吐出量制御の条件として利用することも可能である。
【００６２】
本実施形態では、駆動電圧Ｖｈを段階的に違えた複数種の波形データを用意し、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄにそれぞれ独立した波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）を入力することにより、各ＣＯＭラインにそれぞれ異なる駆動電圧Ｖｈ１〜Ｖｈ４の駆動信号ＣＯＭを出力することが可能である。用意できる波形データの種類は、波形番号データＷＮの情報量（７ビット）に相当する１２８種類であり、例えばこれを０．１Ｖ刻みの駆動電圧Ｖｈに対応させている。言い換えれば、１２．８Ｖの電位差の範囲でＶｈ１〜Ｖｈ４の各駆動波形を０．１Ｖ刻みで設定することができる。
【００６３】
かくして、本実施形態の液滴吐出装置１０は、ノズル５２ごとの吐出特性を考慮して、各圧電素子５９（ノズル５２）と各ＣＯＭラインとの対応関係を規定する駆動信号選択データＤＢと、各ＣＯＭラインと駆動信号ＣＯＭの種類（駆動電圧Ｖｈ）との対応関係を規定する波形番号データＷＮとを適切に設定することにより、液滴の吐出量を調整して液状体（インク）を吐出することが可能である。言い換えれば、駆動信号選択データＤＢと波形番号データＷＮとの関係で定まる各ノズル５２の駆動信号ＣＯＭの設定を適切に行うことが、吐出量を管理するための重要事項であると言える。
【００６４】
上記液滴吐出装置１０において、インクジェットヘッド５０の吐出制御方法は、液滴の吐出ごと、言い換えれば吐出タイミングごとに駆動信号選択データＤＢと波形番号データＷＮとを更新可能となっている。また、吐出データＤＡに対応させて駆動信号ＣＯＭを精細に設定することも可能である。したがって、ノズル５２ごとに吐出される液滴の吐出量を、吐出タイミングごとに少なくとも４段階に渡って変化させることができるので、一定の駆動信号ＣＯＭを各圧電素子５９に印加する場合に比べて、ノズル列５２ｃの吐出特性に起因する液滴の吐出量のばらつきを、ノズル５２ごと、且つ液滴の吐出ごとに調整することが可能である。
【００６５】
一方で、ノズル５２ごとに吐出される液滴の吐出量を、液滴の吐出ごとに少なくとも４段階に渡って変化させることができるとしても、複数のノズル５２のすべてにおいて上記吐出量を一定の値、例えば、基準吐出量（あるいはねらいの吐出量）にすることは難しい。それは、例えばノズル５２ごとに連通するキャビティの構造が必ずしも同じではないといった機械的な要因や、ノズル５２ごとの圧電素子５９の電気特性が必ずしも同じでないといった電気的な要因などがある。本実施形態の液滴吐出方法は、インクジェットヘッド５０の複数のノズル５２から基板Ｗの配置領域に所定量の液状体を複数の液滴として吐出する場合に、上述したノズル５２ごとの液滴の吐出量のばらつきが上記所定量に及ぼす影響を低減するための液状体の総吐出量の補正に係るものである。
【００６６】
本実施形態の液滴吐出方法を説明する前に、本実施形態の液滴吐出方法が適用される電気光学装置として、有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）装置を例に挙げ、図８及び図９を参照して説明する。図８は有機ＥＬ装置の構成を示す概略平面図、図９は有機ＥＬ素子の構成を示す概略断面図である。
【００６７】
＜有機ＥＬ装置＞
図８に示すように、電気光学装置の一例としての有機ＥＬ装置１００は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の発光（発光色）が得られるサブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂが配置された素子基板１０１を有している。各サブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂは略矩形状であり、素子基板１０１の表示領域Ｅにおいてマトリックス状に配置されている。以降、サブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂを総称してサブ画素１１０と呼ぶこともある。同じ発光色のサブ画素１１０が図面上において垂直方向（列方向あるいはサブ画素１１０の長手方向）に配列し、異なる発光色のサブ画素１１０が図面上において水平方向（行方向あるいはサブ画素１１０の短手方向）にＲ，Ｇ，Ｂの順で配列している。すなわち、異なる発光色のサブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂが所謂ストライプ方式で配置されている。なお、サブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂの平面形状と配置は、これに限定されるものではない。また、略矩形状とは、正方形、長方形に加えて、角部が丸くなった四角形、対向する２辺部が円弧状となった四角形を含むものである。
【００６８】
サブ画素１１０Ｒには、赤（Ｒ）の発光が得られる有機ＥＬ素子が設けられている。同じく、サブ画素１１０Ｇには、緑（Ｇ）の発光が得られる有機ＥＬ素子が設けられ、サブ画素１１０Ｂには、青（Ｂ）の発光が得られる有機ＥＬ素子が設けられている。
【００６９】
このような有機ＥＬ装置１００は、異なる発光色が得られる３つのサブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂを１つの表示画素単位として、それぞれのサブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂは電気的に制御される。これによりフルカラー表示が可能となっている。
【００７０】
各サブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂには、図９に示す有機ＥＬ素子１３０が設けられている。有機ＥＬ素子１３０は、素子基板１０１上に設けられた反射層１０２と、絶縁膜１０３と、画素電極１０４と、対向電極１０５と、画素電極１０４と対向電極１０５との間に設けられた、発光層１３３を含む機能層１３６とを有している。
【００７１】
画素電極１０４は、陽極として機能するものであり、サブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂごとに設けられ、例えばＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）などの透明導電膜を用いて形成されている。
【００７２】
画素電極１０４の下層に設けられた反射層１０２は、光透過性を有する画素電極１０４を透過した機能層１３６からの発光を再び画素電極１０４側に反射させるものである。反射層１０２は、光反射性を有する例えばアルミニウム（Ａｌ）や銀（Ａｇ）などの金属やその合金などを用いて形成される。したがって、反射層１０２と画素電極１０４との電気的な短絡を防ぐために、反射層１０２を覆う絶縁膜１０３が設けられる。絶縁膜１０３は、例えば酸化シリコンや窒化シリコンあるいは酸窒化シリコンなどを用いて形成される。
【００７３】
機能層１３６は、画素電極１０４側から、正孔注入層１３１、正孔輸送層１３２、発光層１３３、電子輸送層１３４、電子注入層１３５が順に積層されたものである。特に、発光層１３３は発光色に応じて構成材料が選ばれるが、ここでは発光色に関わらず総称して発光層１３３と呼ぶ。なお、機能層１３６の構成は、これに限定されるものではなく、これらの層以外に、キャリア（正孔や電子）の移動を制御する中間層などを備えていてもよい。
【００７４】
対向電極１０５は、陰極として機能するものであり、サブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂに共通した共通電極として設けられ、例えば、Ａｌ（アルミニウム）やＡｇ（銀）とＭｇ（マグネシウム）の合金などを用いて形成されている。
【００７５】
陽極としての画素電極１０４側から発光層１３３にキャリアとしての正孔が注入され、陰極としての対向電極１０５側から発光層１３３にキャリアとしての電子が注入される。発光層１３３において注入された正孔と電子とにより、励起子（エキシトン；正孔と電子とがクーロン力にて互いに束縛された状態）が形成され、励起子（エキシトン）が消滅する際（正孔と電子とが再結合する際）にエネルギーの一部が蛍光や燐光となって放出される。
【００７６】
有機ＥＬ装置１００において、光透過性を有するように対向電極１０５を構成すれば、反射層１０２を有していることから、発光層１３３からの発光を対向電極１０５側から取り出すことができる。このような発光方式はトップエミッション方式と呼ばれている。また、反射層１０２を無くし、光反射性を有するように対向電極１０５を構成すれば、発光層１３３からの発光を素子基板１０１側から取り出すボトムエミッション方式とすることもできる。本実施形態では、有機ＥＬ装置１００がトップエミッション方式であるとして、以降の説明を行う。なお、本実施形態の有機ＥＬ装置１００は、サブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂごとの有機ＥＬ素子１３０をそれぞれ独立して駆動することができる画素回路を素子基板１０１に備えたアクティブ駆動型の発光装置である。画素回路は公知の構成を採用することができるので、図９では画素回路の図示を省略している。
【００７７】
本実施形態において有機ＥＬ装置１００は、サブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂごとの有機ＥＬ素子１３０における画素電極１０４の外縁と重なると共に、画素電極１０４上に開口部１０６ａを構成する隔壁１０６を有している。
本実施形態において有機ＥＬ素子１３０の機能層１３６は、機能層１３６を構成する正孔注入層１３１、正孔輸送層１３２、発光層１３３のうち、少なくとも１層が液相プロセスで形成されたものである。液相プロセスとは、それぞれの層を構成する成分と溶媒とを含んだ液状体を隔壁１０６で囲まれた開口部１０６ａに塗布して乾燥させることにより、それぞれの層を形成する方法である。それぞれの層を所望の膜厚で形成するためには、所定量の液状体を精度よく開口部１０６ａに塗布する必要があり、本実施形態では、前述した液滴吐出装置１０を用いてインクジェットヘッド５０のノズル５２から液状体を開口部１０６ａに吐出している。以降、機能層形成材料と溶媒とを含む液状体をインクと称する。なお、隔壁１０６で囲まれた開口部１０６ａは、本発明における液滴の配置領域に相当するものである。
【００７８】
特に、トップエミッション方式の有機ＥＬ装置１００においては、各サブ画素１１０Ｒ，１１０Ｇ，１１０Ｂのそれぞれにおける発光ムラが目立ち易いため、機能層１３６を構成する各層の断面形状がフラット（平坦）であることが好ましい。本実施形態では、各層の断面形状がフラット（平坦）になるように、開口部１０６ａに所定量のインクを万遍なく塗布して乾燥させている。インクジェットヘッド５０のノズル５２からインクを液滴として吐出したときの吐出安定性を考慮して、液滴の吐出量、吐出速度、液滴の長さ、などのパラメーターが所定の範囲に収まるようにインクの調整が行われている。
【００７９】
＜有機ＥＬ素子の製造方法＞
次に、有機ＥＬ素子の製造方法について、図１０〜図１２を参照して具体的に説明する。図１０〜図１２は有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図である。なお、前述したように、有機ＥＬ素子１３０を駆動制御する画素回路や、反射層１０２や画素電極１０４の形成方法は、公知の方法を採用できるので、ここでは、隔壁形成工程以降について説明する。
【００８０】
本実施形態の有機ＥＬ素子１３０の製造方法は、隔壁形成工程と、表面処理工程と、機能層形成工程と、対向電極形成工程とを有している。
【００８１】
隔壁形成工程では、図１０に示すように、反射層１０２及び画素電極１０４が形成された素子基板１０１に、例えばインクに対して撥液性を示す撥液材料を含む感光性樹脂材料を１μｍ〜２μｍの厚みで塗布して乾燥することにより感光性樹脂層を形成する。塗布方法としては、転写法、スリットコート法などが挙げられる。撥液材料としてはフッ素化合物やシロキサン系化合物が挙げられる。感光性樹脂材料としては、ネガ型の多官能アクリル樹脂を挙げることができる。できあがった感光性樹脂層をサブ画素１１０の形状に対応した露光用マスクを用いて露光・現像して、画素電極１０４の外縁と重なると共に、画素電極１０４上に開口部１０６ａを構成する隔壁１０６を形成する。そして、表面処理工程へ進む。
【００８２】
表面処理工程では、隔壁１０６が形成された素子基板１０１に表面処理を施す。表面処理工程は、次工程で機能層１３６を構成する正孔注入層１３１、正孔輸送層１３２、発光層１３３をインクジェット法（液滴吐出法）で形成するに際して、隔壁１０６で囲まれた開口部１０６ａにおいて、機能層形成材料（固形分）を含むインクがむらなくぬれ広がるように、画素電極１０４の表面の隔壁残渣などの不要物を取り除く目的で行われる。表面処理方法として、本実施形態ではエキシマＵＶ（紫外線）処理を実施した。なお、表面処理方法はエキシマＵＶ処理に限定されず、画素電極１０４の表面を清浄化できればよく、例えば溶媒による洗浄・乾燥工程を行ってもよい。また、画素電極１０４の表面が清浄な状態であれば、表面処理工程を実施しなくてもよい。なお、本実施形態では、撥液材料を含む感光性樹脂材料を用いて隔壁１０６を形成したが、これに限定されるものではなく、撥液材料を含まない感光性樹脂材料を用いて隔壁１０６を形成した後に、表面処理工程において、フッ素系の処理ガスを用いた例えばプラズマ処理を施して隔壁１０６の表面に撥液性を与え、その後、酸素を処理ガスとするプラズマ処理を施して画素電極１０４の表面を親液化する表面処理を行ってもよい。そして、機能層形成工程へ進む。
【００８３】
機能層形成工程では、まず、図１１に示すように、正孔注入層形成材料を含むインク９１を開口部１０６ａに塗布する。インク９１の塗布方法は、前述した液滴吐出装置１０を用い、インクジェットヘッド５０のノズル５２からインク９１を液滴Ｄとして開口部１０６ａに吐出する。インクジェットヘッド５０から吐出される液滴Ｄの吐出量は、ｐｌ（ピコリットル）単位で制御可能であって、所定量を液滴Ｄの吐出量で除した数の液滴Ｄが開口部１０６ａに吐出される。吐出されたインク９１は隔壁１０６との界面張力により開口部１０６ａにおいて盛り上がるが、溢れてしまうことはない。言い換えれば、開口部１０６ａから溢れ出ない程度の所定量となるように、インク９１における正孔注入層形成材料の濃度が予め調整されている。そして、乾燥工程に進む。
【００８４】
乾燥工程では、例えばインク９１が塗布された素子基板１０１を減圧下に放置し、インク９１から溶媒を蒸発させて乾燥する減圧乾燥を用いる（減圧乾燥工程）。その後、大気圧下で例えば１８０℃で３０分間加熱する焼成処理を施すことにより固化して、図１２に示すように正孔注入層１３１を形成する。正孔注入層１３１は、後述する正孔注入層形成材料の選択や機能層１３６における他の層との関係で必ずしもこれに限定されるものではないが、およそ１０ｎｍ〜３０ｎｍの膜厚で形成される。
【００８５】
次に、正孔輸送層形成材料を含むインク９２を用いて正孔輸送層１３２を形成する。正孔輸送層１３２の形成方法も、正孔注入層１３１と同様に液滴吐出装置１０を用いて行う。すなわち、所定量のインク９２をインクジェットヘッド５０のノズル５２から液滴Ｄとして開口部１０６ａに吐出する。そして、開口部１０６ａに塗布されたインク９２を減圧乾燥する。その後、窒素などの不活性ガス環境下で、例えば１８０℃で３０分間加熱する焼成処理を施すことにより正孔輸送層１３２を形成する。正孔輸送層１３２は、後述する正孔輸送材料の選択や機能層１３６における他の層との関係で必ずしもこれに限定されるものではないが、およそ１０ｎｍ〜２０ｎｍの膜厚で形成される。また、機能層１３６における他の層との関係で正孔注入層１３１と正孔輸送層１３２とを合体して正孔注入輸送層としてもよい。
【００８６】
次に、発光層形成材料を含むインク９３を用いて発光層１３３を形成する。発光層１３３の形成方法も、正孔注入層１３１と同様に、液滴吐出装置１０を用いて行う。すなわち、所定量のインク９３をインクジェットヘッド５０のノズル５２から液滴Ｄとして開口部１０６ａに吐出する。そして、開口部１０６ａに塗布されたインク７０を減圧乾燥する。その後、窒素などの不活性ガス環境下で、例えば１３０℃で３０分間加熱する焼成処理を施すことにより発光層１３３を形成する。発光層１３３は、後述する発光層形成材料の選択や機能層１３６における他の層との関係で必ずしもこれに限定されるものではないが、およそ６０ｎｍ〜８０ｎｍの膜厚で形成される。
【００８７】
次に、発光層１３３を覆って電子輸送層１３４が形成される。電子輸送層１３４を構成する電子輸送材料としては、特に限定されないが、真空蒸着法などの気相プロセスを用いて形成し得るように、例えば、ＢＡＬｑ、１，３，５−トリ（５−（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）−１，３，４−オキサジアゾール）（ＯＸＤ−１）、ＢＣＰ（Bathocuproine）、２−（４−ビフェニル）−５−（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）−１，２，４−オキサジアゾール（ＰＢＤ）、３−（４−ビフェニル）−５−（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）−１，２，４−トリアゾール（ＴＡＺ）、４，４’−ｂｉｓ（１，１−ｂｉｓジフェニルエテニル）ビフェニル（ＤＰＶＢｉ）、２，５−ｂｉｓ（１−ナフチル）−１，３，４−オキサジアゾール（ＢＮＤ）、４，４’−ｂｉｓ（１，１−ｂｉｓ（４−メチルフェニル）エテニル）ビフェニル（ＤＴＶＢｉ）、２，５−ｂｉｓ（４−ビフェニリル）−１，３，４−オキサジアゾール（ＢＢＤ）などを挙げることができる。
【００８８】
また、トリス（８−キノリノラト）アルミニウム（Ａｌｑ３）、オキサジアゾール誘導体、オキサゾール誘導体、フェナンソロリン誘導体、アントラキノジメタン誘導体、ベンゾキノン誘導体、ナフトキノン誘導体、アントラキノン誘導体、テトラシアノアンスラキノジメタン誘導体、フルオレン誘導体、ジフェニルジシアノエチレン誘導体、ジフェノキノン誘導体、ヒドロキシキノリン誘導体などを挙げることができる。これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００８９】
電子輸送層１３４は、上記電子輸送材料の選択や機能層１３６における他の層との関係で必ずしもこれに限定されるものではないが、およそ２０ｎｍ〜４０ｎｍの膜厚で形成される。これにより、陰極としての対向電極１０５から注入された電子を好適に発光層１３３に輸送することができる。なお、機能層１３６における他の層との関係で電子輸送層１３４を削除することもできる。
【００９０】
次に、電子輸送層１３４を覆って電子注入層１３５を形成する。電子注入層１３５を構成する電子注入材料としては、特に限定されないが、真空蒸着法などの気相プロセスを用いて形成し得るように、例えば、アルカリ金属化合物やアルカリ土類金属化合物を挙げることができる。
【００９１】
アルカリ金属化合物としては、例えば、ＬｉＦ、Ｌｉ2ＣＯ3、ＬｉＣｌ、ＮａＦ、Ｎａ2ＣＯ3、ＮａＣｌ、ＣｓＦ、Ｃｓ2ＣＯ3、ＣｓＣｌなどのアルカリ金属塩が挙げられる。また、アルカリ土類金属化合物としては、例えば、ＣａＦ2、ＣａＣＯ3、ＳｒＦ2、ＳｒＣＯ3、ＢａＦ2、ＢａＣＯ3などのアルカリ土類金属塩が挙げられる。これらのアルカリ金属化合物やアルカリ土類金属化合物うちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００９２】
電子注入層１３５の膜厚は、特に限定されないが、０．０１ｎｍ以上、１０ｎｍ以下程度であるのが好ましく、０．１ｎｍ以上、５ｎｍ以下程度であるのがより好ましい。これによって、陰極としての対向電極１０５から電子輸送層１３４に電子を効率よく注入できる。
【００９３】
次に、対向電極形成工程では、電子注入層１３５を覆って陰極としての対向電極１０５を形成する。対向電極１０５の構成材料としては、仕事関数の小さい材料を用いるのが好ましく、且つ真空蒸着法などの気相プロセスを用いて形成し得るように、例えば、Ｌｉ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｅｒ、Ｅｕ、Ｓｃ、Ｙ、Ｙｂ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｃｓ、Ｒｂ、Ａｕまたはこれらを含む合金などが用いられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて（例えば、複数層の積層体など）用いることができる。
【００９４】
特に、本実施形態のように、有機ＥＬ装置１００をトップエミッション方式とする場合、対向電極１０５の構成材料としては、Ｍｇ、Ａｌ、Ａｇ、Ａｕなどの金属またはＭｇＡｇ、ＭｇＡｌ、ＭｇＡｕ、ＡｌＡｇなどの合金を用いるのが好ましい。このような金属または合金を用いることにより、対向電極１０５の光透過性を維持しつつ、対向電極１０５の電子注入効率及び安定性の向上を図ることができる。
トップエミッション方式における対向電極１０５の膜厚は、特に限定されないが、１ｎｍ以上、５０ｎｍ以下程度であるのが好ましく、５ｎｍ以上、２０ｎｍ以下程度であるのがより好ましい。
【００９５】
なお、有機ＥＬ装置１００をボトムエミッション方式とする場合、対向電極１０５には光透過性が求められない。したがって、例えば、Ａｌ、Ａｇ、ＡｌＡｇ、ＡｌＮｄなどの金属または合金が好ましく用いられる。このような金属または合金を対向電極１０５の構成材料として用いることにより、対向電極１０５の電子注入効率及び安定性の向上を図ることができる。
ボトムエミッション方式における対向電極１０５の膜厚は、特に限定されないが、５０ｎｍ以上、１０００ｎｍ以下程度であるのが好ましく、１００ｎｍ以上、５００ｎｍ以下程度であるのがより好ましい。
【００９６】
図９に示すように、上記製造方法により形成された有機ＥＬ素子１３０は、例えば、外部から水分や酸素などが浸入すると、機能層１３６における発光機能が阻害され、部分的に発光輝度が低下したり、発光しなくなったりする暗点（ダークスポット）が発生する。また、発光寿命が短くなるおそれがある。そこで、有機ＥＬ素子１３０を水分や酸素などの浸入から保護するために、封止層（図示省略）によって覆うことが好ましい。封止層としては、例えば、水分や酸素などの透過性が低い、酸窒化シリコン（ＳｉＯＮ）などの無機絶縁材料を用いることができる。さらには、例えば透明なガラスなどの封止基板を、有機ＥＬ素子１３０が形成された素子基板１０１に接着剤を介して貼り付けることにより、有機ＥＬ素子１３０を封着してもよい。
【００９７】
上記有機ＥＬ素子１３０の製造方法では、機能層１３６のうち、正孔注入層１３１、正孔輸送層１３２、発光層１３３を液相プロセス（インクジェット法）で形成したが、これらの層のうち１つを液相プロセス（インクジェット法）で形成すればよく、他の層は真空蒸着などの気相プロセスを用いて形成してもよい。以降、本実施形態の液滴吐出方法について、上記有機ＥＬ素子１３０の製造方法における正孔注入層１３１の形成方法を例に挙げて具体的に説明する。
【００９８】
＜液滴吐出方法＞
本実施形態の液滴吐出方法について、図１３〜図１６を参照して説明する。図１３は開口部における液滴の配置の例を示す概略平面図、図１４は液滴吐出方法を示すフローチャート、図１５は複数回の吐出のうち液滴の吐出量を補正する吐出の例を示す概略平面図、図１６は複数回の吐出のうち液滴の吐出量を補正する吐出の他の例を示す概略平面図である。
【００９９】
液滴吐出方法の説明に先立って、まず、図１３を参照して、開口部における液滴の配置の例について説明する。前述したように、有機ＥＬ素子１３０の機能層１３６のうち、正孔注入層１３１をインクジェット法で形成する場合、吐出対象物としての素子基板１０１である基板Ｗは、液滴吐出装置１０のステージ５上に載置される。このとき、インクジェットヘッド５０のノズル列５２ｃは、図１３に示すように、主走査方向（Ｙ軸方向）と直交する副走査方向（Ｘ軸方向）に配置されている。これに対して、平面視で略矩形状の開口部１０６ａは、長手方向が主走査方向（Ｙ軸方向）に沿うように配置されている。言い換えれば、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）に対応した有機ＥＬ素子１３０が形成される液滴の配置領域としての各開口部１０６ａの長手方向が主走査方向（Ｙ軸方向）に沿うように、ステージ５上に基板Ｗが載置され位置決めされる。このようなノズル列５２ｃに対する開口部１０６ａの配置は、縦描画と呼ばれている。なお、縦描画におけるノズル列５２ｃの配置は、Ｘ軸方向に沿うことに限定されず、Ｘ軸方向に対して角度を有してノズル列５２ｃを配置してもよい。これにより、Ｙ軸方向から見たときのノズルピッチを狭くできる。言い換えれば、Ｘ軸方向における開口部１０６ａの配置ピッチに応じて、ノズル列５２ｃの配置の仕方を変えることで実質的なノズルピッチを調整可能である。
【０１００】
インクジェットヘッド５０と基板ＷとをＹ軸方向に相対的に移動させる主走査において、各開口部１０６ａに掛かる１つのノズル５２から正孔注入層形成材料を含むインク９１を複数の液滴として吐出して各開口部１０６ａに配置する。本実施形態では、各開口部１０６ａに例えば８滴の液滴をＹ軸方向に間隔をおいて吐出する例を示す。つまり、８回の吐出が行われ、各吐出ごとに１滴の液滴が吐出されて各開口部１０６ａに着弾する。なお、図１３は、開口部１０６ａにおける複数の液滴の配置を示すものであって、実際の液滴の着弾状態を示すものではない。開口部１０６ａに着弾した複数の液滴は、開口部１０６ａにぬれ広がって一体化し、図１１に示したように盛り上がる。この場合、各開口部１０６ａに吐出されたインク９１の総吐出量は、８滴の液滴の吐出量の総和である。所望の膜厚の正孔注入層１３１を形成するには、インク９１の総吐出量が設計上の目標総吐出量である所定量とほぼ同等であることが求められる。
【０１０１】
本実施形態の液滴吐出方法（液状体の総吐出量の補正方法）は、図１４に示すように、液滴の吐出工程（ステップＳ１）と、総吐出量計測工程（ステップＳ２）と、所定量と総吐出量との差を求める工程（ステップＳ３）と、駆動条件の変更工程（ステップＳ４）と、液滴の吐出工程（ステップＳ５）と、総吐出量の再計測工程（ステップＳ６）と、所定量と総吐出量との差が重量分解能よりも大きいか否か判定する工程（ステップＳ７）と、を含んで構成されている。以下、図１３に示した開口部１０６ａにおける液滴の配置を前提として、本実施形態の液滴吐出方法を具体的に説明する。
【０１０２】
ステップＳ１の液滴の吐出工程では、予め設定された駆動条件で８回の吐出を行いノズル５２から８滴の液滴を吐出する。本実施形態における予め設定された駆動条件とは、図７に示した駆動信号ＣＯＭにおいて、８回の吐出における駆動信号ＣＯＭの駆動電圧Ｖｈを一定の値とするものである。例えば、駆動信号ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４のうち駆動電圧Ｖｈの値がＶｈ１とＶｈ４との間にある駆動信号ＣＯＭ３を選択して８回の吐出を行う。ステップＳ２の総吐出量計測工程では、吐出された８滴の液滴の総吐出量を計測する。より具体的には、前述した重量測定機構８１により、８滴の液滴の総吐出量（重量）を測定する。つまり、８滴の液滴を開口部１０６ａに吐出する必要はなく、開口部１０６ａに吐出したものとして、吐出された液滴を重量測定機構８１で受けて測定する。次に、ステップＳ３では、開口部１０６ａに付与されるインク９１（液状体）の所定量（重量）と測定された総吐出量（重量）との差を算出して求める。次に、ステップＳ４の駆動条件の変更工程では、ステップＳ３で求められた所定量と総吐出量との差を補正すべく、８回の吐出のうちの少なくともの１回の吐出におけるノズル５２（圧電素子５９）の駆動条件を変更する。
【０１０３】
駆動条件の変更工程では、８回の吐出のうち、最終回（８回目）の吐出から１回目の吐出に向かう順番で少なくとも１回の吐出における駆動条件を変更する。図１５に示した例では、最終回である８回目の吐出（８ｓｈｏｔ）と、７回目の吐出（７ｓｈｏｔ）とにおいて駆動条件を変更している。例えば、８ｓｈｏｔでは、予め設定された駆動信号ＣＯＭ３よりもＶｈの値を大きくして液滴の吐出量が増えるように駆動条件を変更し、７ｓｈｏｔでは、予め設定された駆動信号ＣＯＭ３よりもＶｈの値を小さくして液滴の吐出量が減るように駆動条件を変更する。これにより、８回の吐出における液滴の総吐出量が所定量に近づくように、予め設定された駆動条件に対して、駆動条件を変更（補正）する。
【０１０４】
例えば、図１６に示すように、駆動条件の変更工程で、８回の吐出のうち、１回目の吐出（１ｓｈｏｔ）で予め設定された駆動信号ＣＯＭ３よりも駆動電圧Ｖｈの値を大きくして液滴の吐出量が増えるように駆動条件を変更すると、変更された駆動信号ＣＯＭによるノズル５２内の液状体（インク）のメニスカスの残留振動が、駆動電圧Ｖｈを変更する前のメニスカスの残留振動に比べて変化する。したがって、１回目の吐出（１ｓｈｏｔ）におけるメニスカスの残留振動が２回目の吐出（２ｓｈｏｔ）に影響を及ぼして、予め設定された駆動信号ＣＯＭ３でノズル５２（圧電素子５９）を単独に駆動した場合の液滴の吐出量と比べて吐出量がばらつくおそれがある。それゆえに、本実施形態の液滴吐出方法では、図１５の例に示すように、最終回（８回目）の吐出から１回目の吐出に向かう順番で駆動条件を変更することで、駆動信号ＣＯＭにおける駆動電圧Ｖｈの変更に係るメニスカスの残留振動の影響を抑制している。とりわけ、駆動電圧Ｖｈを大きくする変更は、メニスカスの残留振動が大きくなり易いので、最終回の駆動条件において適用することが好ましい。つまり、駆動電圧Ｖｈを大きくする変更は、複数回の吐出のうち最終回の吐出における駆動条件の変更に係る液滴の吐出量の補正値が、他の吐出における駆動条件の変更に係る液滴の吐出量の補正値よりも大きくなるように、最終回で行うことが好ましい。
【０１０５】
また、本実施形態の液滴吐出方法では、１回の吐出における駆動条件の変更で補正可能な液滴の吐出量における最大補正量を設定し、所定量と総吐出量との差が、最大補正量を超える場合、複数回（８回）のうち２回以上の吐出において駆動条件を変更する。所定量と総吐出量との差を１回の吐出において補正しようとすると、駆動条件の変更により過剰な負荷が圧電素子５９（駆動素子）に掛かるおそれがある。過剰な負荷とは圧電素子５９に加わる駆動電圧Ｖｈの値が上限値を超えたり、下限値を下回ったりして、圧電素子５９が正常に動作しない状態になることを言う。図１５の示した例では、８ｓｈｏｔと、７ｓｈｏｔとに分けて駆動条件の変更を行っている。
【０１０６】
次に、ステップＳ５の液滴の吐出工程では、ステップＳ４における駆動条件の変更を反映させて、８回の吐出で８滴の液滴を再び吐出する。次のステップＳ６の総吐出量の再計測工程では、ステップＳ２と同様に、重量測定機構８１により吐出された８滴の液滴を受けて、総吐出量を再計測する。次のステップＳ７では、所定量と再計測された総吐出量との差を算出して、その差が重量分解能よりも大きいか否か判定する。重量分解能とは、駆動条件の変更により変化させることが可能な液滴の吐出量（重量）の最小可変量を指す。所定量と再計測された総吐出量との差が重量分解能よりも大きければ（ＹＥＳ）、再びステップＳ４〜ステップＳ７を繰り返す。所定量と再計測された総吐出量との差が重量分解能より小さければ（ＮＯ）、ノズル５２から吐出される液滴の吐出量補正のステップを終了する。つまり、所定量と総吐出量との差が重量分解能よりも小さくなるまでステップＳ４〜ステップＳ７を繰り返す。そして、最終的に変更された駆動条件によりノズル５２（圧電素子）を駆動して、ノズル５２から開口部１０６ａにインク９１を液滴として吐出し着弾させる、実際の吐出工程を行う。なお、重量測定機構８１における測定分解能は、上記重量分解能と同じか小さいことが求められる。
【０１０７】
上記液滴吐出方法において、ステップＳ１とステップＳ２とが本発明のステップＡに相当し、ステップＳ３が本発明のステップＢに相当し、ステップＳ４が本発明のステップＣに相当し、ステップＳ５とステップＳ６が本発明のステップＤに相当するものである。ステップＳ７は、ステップＳ３と同じ工程、すなわちステップＢを含むことから、ステップＳ４からステップＳ７を繰り返すことが本発明のステップＥに相当し、上記実際の吐出工程がステップＦに相当するものである。また、重量分解能が本発明の補正分解能に相当するものである。なお、補正分解能は重量分解能に限定されず、例えば、前述したように着弾した液滴の大きさを計測することで求めることができる液滴の体積を利用した体積分解能であってもよい。また、上記液滴吐出方法をコンピューターに実行させるプログラムが本発明の液滴吐出プログラムである。
【０１０８】
次に、本実施形態の液滴吐出方法について、より具体的な実施例を挙げて、その効果について説明する。図１７は実施例における液滴の吐出量の補正と、圧電素子に印加される駆動信号の駆動電圧とを示す表、図１８は実施例における液滴の吐出量の補正によって得られた総吐出量の体積バラツキを示すグラフである。
【０１０９】
（実施例）
実施例では、図１３に示すように、開口部１０６ａに正孔注入層形成材料を含むインク９１（液状体）を吐出して、８滴の液滴を配置する。設計上、１滴の液滴の吐出量を１０ｎｇとして、開口部１０６ａに所定量が合計８０ｎｇのインク９１を吐出することを目標としている。インク９１（液状体）を８滴の液滴として吐出して（ステップＳ１）、総吐出量を重量測定機構８１により計測した（ステップＳ２）。その際、ノズル５２を駆動する予め設定された駆動条件である駆動信号ＣＯＭは、図１７の表に示すように、圧電素子５９の最大駆動電圧を２５Ｖとして、ＣＯＭ電圧比が９０％となる２２．５Ｖに駆動電圧Ｖｈを設定した。画素内すなわち、開口部１０６ａに吐出されると考えられるインク９１の総吐出量は、液滴の吐出量を補正する前の未補正の状態では、８３．５ｎｇであった。すなわち、所定量である８０ｎｇと総吐出量との差分は、３．５ｎｇである（ステップＳ３）。駆動条件の変更工程（ステップＳ４）では、最終回である８回目の吐出（８ｓｈｏｔ）で吐出される液滴の吐出量が２．０ｎｇ減少するように補正をなすべく、駆動電圧Ｖｈと液滴の吐出量とが直線的な相関関係にあることから、駆動電圧Ｖｈを２２．５Ｖから１８．５ｖまで４Ｖ低下させた。なお、１回の液滴の吐出量の補正における最大補正量は、この場合、２．０ｎｇに設定されている。つまり、予め設定された駆動条件では、所定量よりも３．５ｎｇ多く吐出されるので、８ｓｈｏｔで最大のマイナス補正を実施した（ステップＳ４）。変更された駆動条件（すなわち、８ｓｈｏｔだけの駆動信号ＣＯＭにおける駆動電圧Ｖｈを変更し、他の吐出では予め設定された駆動信号ＣＯＭ３を使用する駆動条件）で再び液滴を８滴吐出して（ステップＳ５）、重量測定機構８１によって総吐出量を再計測した（ステップＳ６）。その結果、図１７の表に示すように総吐出量が８１．５ｎｇとなった。所定量と再計測された総吐出量との差分は、１．５ｎｇである。本実施形態における重量分解能は、０．１ｎｇであることから、差分は重量分解能よりも大きい（ステップＳ７でＹＥＳ）。したがって、以降、ステップＳ４〜ステップＳ７を繰り返す。先のステップＳ７で差分が１．５ｎｇであったことから、次に、７ｓｈｏｔで吐出される液滴の吐出量を１．９ｎｇ減らす補正を行うように、駆動信号ＣＯＭの駆動電圧Ｖｈを２２．５Ｖから１８．７Ｖまで３．８Ｖ低下させた。８ｓｈｏｔと７ｓｈｏｔの駆動電圧Ｖｈが変更された駆動条件で再び８滴の液滴を吐出して総吐出量を再計測すると、総吐出量が７９．６ｎｇとなったため、所定量との差分が−０．４ｎｇとなる。そして、今度は、６ｓｈｏｔで吐出される液滴の吐出量を０．７ｎｇ増やす補正を行うように、駆動信号ＣＯＭの駆動電圧Ｖｈを２２．５Ｖから２３．９Ｖまで１．４Ｖ上昇させた。８ｓｈｏｔ、７ｓｈｏｔ、６ｓｈｏｔの各駆動電圧Ｖｈが変更された駆動条件で再び８滴の液滴を吐出して総吐出量を再計測すると、総吐出量が８０．３ｎｇとなったため、所定量との差分が０．３ｎｇとなる。次に、５ｓｈｏｔで吐出される液滴の吐出量を０．４ｎｇ減らす補正を行うように、駆動信号ＣＯＭの駆動電圧Ｖｈを２２．５Ｖから２１．７Ｖまで０．８Ｖ低下させた。８ｓｈｏｔ、７ｓｈｏｔ、６ｓｈｏｔ、５ｓｈｏｔの各駆動電圧Ｖｈが変更された駆動条件で再び８滴の液滴を吐出して総吐出量を再計測すると、総吐出量が７９．９ｎｇとなったため、所定量との差分が−０．１ｎｇとなる。総吐出量と所定量との差分の絶対値が重量分解能と同じであることから、再びステップＳ４〜ステップＳ７を繰り返し、今度は、４ｓｈｏｔで吐出される液滴の吐出量を０．１ｎｇ増やす補正を行うように、駆動信号ＣＯＭの駆動電圧Ｖｈを２２．５Ｖから２２．７Ｖまで０．２Ｖ上昇させた。８ｓｈｏｔ、７ｓｈｏｔ、６ｓｈｏｔ、５ｓｈｏｔ、４ｓｈｏｔの各駆動電圧Ｖｈが変更された駆動条件で再び８滴の液滴を吐出して総吐出量を再計測すると、総吐出量が８０ｎｇとなり、総吐出量と所定量との差分が０．０ｎｇとなる。差分の絶対値が重量分解能よりも小さくなったので（ステップＳ７でＮＯ）、液滴の吐出量の補正を終了した。
【０１１０】
以上の実施例における８回目の吐出〜４回目の吐出までの合計５ｓｈｏｔに亘る液滴の吐出量の補正を踏まえ、総吐出量の体積バラツキを計測したところ、図１８に示すように、体積バラツキもまた補正を加えることによって減少し、最終回から６回目の吐出に亘る３ｓｈｏｔ補正以降では、体積バラツキの３σが０．２未満となった。
【０１１１】
上記実施例では、液滴の吐出量に係る補正を最終回である８ｓｈｏｔから４回目の吐出である４ｓｈｏｔに亘って行ったが、最初の計測における液滴の総吐出量と所定量との差が、最大補正量より小さければ、最終回における液滴の吐出量の補正のみで終了させてもよい。すなわち、ステップＳ４〜ステップＳ７を繰り返さずに補正が終了することもあり得る。
【０１１２】
なお、上記液滴吐出法を用いた液状体（インク）の吐出は、正孔注入層形成材料を含むインク９１だけに適用されることに限定されず、他の正孔輸送層形成材料を含むインク９２や発光層形成材料を含むインク９３にも適用可能である。
【０１１３】
上記実施形態の液滴吐出方法及び液滴吐出方法を実行させる液滴プログラムによれば、以下の効果が得られる。
（１）予め設定された駆動条件でノズル５２を駆動して吐出された液滴の総吐出量と所定量との差を補正すべく、複数回のうち少なくとも１回の吐出において駆動条件を変更する。変更した駆動条件で再び液滴を吐出して液滴の総吐出量と所定量との差を求める。この差が液滴の吐出量の補正における重量分解能より小さくなるまで、複数回の吐出のうち残りの吐出において液滴の吐出量の補正、すなわち駆動条件の変更を行う。これによれば、１回の吐出ごとに液滴の吐出量を調べて補正する（１回の吐出ごとにノズル５２の駆動条件を変更する）場合に比べて、液滴の総吐出量が判明していればよいので、液滴の吐出量の補正を簡便に行える。また、１回の吐出ごとに液滴の吐出量を調べる場合は、１回ごとの計測精度における誤差を含み、複数回の吐出では誤差が積算されて大きくなる。本発明では、液滴の総吐出量に基づいて補正が行われるので、高い補正精度を実現できる。すなわち、最終的な駆動条件の変更後に、液状体（インク）を液滴として吐出すれば、所定量の液状体（インク）を安定的且つ量的に精度よく配置領域としての開口部１０６ａに吐出することができる。
（２）液滴の総吐出量と所定量との差を補正すべく行われる、１回の吐出におけるノズル５２の駆動条件の変更は、複数回の吐出のうち最終回から１回目に向かう順番で行われる。したがって、１回目の吐出から液滴の吐出量を補正する、すなわちノズル５２の駆動条件を変更する場合に比べて、駆動条件を変更した１回目の吐出の影響が２回目の吐出に及ぼす影響を小さくできる。とりわけ、駆動条件の変更において駆動電圧Ｖｈを大きくする変更は、ノズル５２内の液状体（インク）のメニスカスの残留振動を大きくするおそれがあるので、最終回に行うことによってメニスカスの残留振動の影響を避けることができる。
（３）上記実施形態の液滴吐出方法を実行させる液滴プログラムを液滴吐出装置１０に適用すれば、１回の吐出ごとの液滴の吐出量を重量測定機構８１で計測する場合に比べて、液滴の総吐出量の補正に係る時間を短縮して、配置領域に所定量の液滴を吐出することが可能な液滴吐出装置１０を実現することができる。
【０１１４】
なお、上記実施形態の液滴吐出方法では、実際に液滴を吐出させて総吐出量を重量測定機構８１で計測したが、これに限定されない。例えば、予め液滴の吐出量と駆動信号ＣＯＭの駆動電圧Ｖｈとの関係を求めておく。そして、予め設定され駆動条件によりノズル５２を駆動して複数の液滴を吐出させ、計測して得られた液滴の総吐出量と所定量との差から、駆動条件を変更するステップは、上記予め求められた液滴の吐出量と駆動信号ＣＯＭの駆動電圧Ｖｈとの関係に基づいて、最終回から順に必要な回数だけ駆動電圧Ｖｈの変更を行い、駆動条件の変更後の液滴の総吐出量は、実際に計測せずに算出することによって求めてもよい。これによれば、液滴の総吐出量の補正に係る時間をさらに短縮することができる。
【０１１５】
本発明は、上記した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲および明細書全体から読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う液滴吐出方法及び液滴吐出プログラム並びに該液滴吐出方法を適用する液滴吐出装置もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。
【０１１６】
（変形例１）上記実施形態の液滴吐出方法を用いて配置領域に液滴を配置（吐出）する方法は、図１３に示したように、開口部１０６ａとノズル列５２ｃとを配置して液滴を吐出する縦描画に限定されない。図１９は変形例の液滴吐出方法を示す概略平面図である。
図１９に示すように、平面視で略矩形状の開口部１０６ａは、長手方向が副走査方向（Ｘ軸方向）に沿い、短手方向が主走査方向（Ｙ軸方向）に沿うように配置されている。これに対して、ノズル列５２ｃは、副走査方向（Ｘ軸方向）に沿うように配置されているので、主走査において開口部１０６ａには複数（図１９では５つ）のノズル５２が掛かることになる。このような開口部１０６ａとノズル列５２ｃとの配置は、横描画と呼ばれている。主走査において開口部１０６ａに掛かる複数（５つ）のノズル５２のそれぞれから複数滴（３滴）の液滴を吐出する横描画においても、本発明の液滴吐出方法を適用することで、開口部１０６ａに安定的に且つ量的に精度よく所定量の液状体（インク）を吐出することができる。なお、横描画では、主走査において複数のノズル５２から開口部１０６ａに液滴を吐出することから、ノズル５２間の液滴の吐出量のばらつきの影響を受けるので、液滴の吐出量に係る補正の仕方が複雑になる。一方で上記実施形態のように縦描画では、１つの開口部１０６ａに対して主走査において１つのノズル５２だけが掛かる構成となることから、本願の液滴吐出方法を縦描画に適用した場合の効果は横描画に比べて大きくなる。
【０１１７】
（変形例２）上記実施形態の液滴吐出方法が適用されるデバイスの形成方法は、有機ＥＬ素子１３０（あるいは有機ＥＬ装置１００）に限定されない。例えば、液晶表示装置におけるカラーフィルターの形成方法や、有機トランジスターにおける半導体層や半導体層に接続される配線の形成方法などにも適用することができる。
【符号の説明】
【０１１８】
５…吐出対象物が載置されるステージ、１０…液滴吐出装置、２０…ワーク移動機構、４０…制御部、４１…コンピューターとしてのＣＰＵ、４３…第２記憶部としてのＲＡＭ、５０…吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッド、５２…ノズル、５２ｃ…ノズル列、５９…駆動素子としての圧電素子、６３…ヘッド駆動部としてのヘッドドライバー、７３…第１記憶部としてのデータメモリー、８１…吐出量計測機構としての重量測定機構、１００…有機ＥＬ装置、１０６ａ…配置領域としての開口部、１３０…有機ＥＬ素子、Ｗ…吐出対象物（ワーク）としての基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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