(57)【要約】【課題】構成の簡易化を図れると共に、物品の誤検出を防止できる搬送装置及び天井搬送車を提供する。【解決手段】搬送装置１１は、一対の支持機構１３，１３とは独立して設けられ、支持機構１３，１３に支持される物品５０を検出する光学式の検出部４４，４６を備え、検出部４４，４６は、光線Ｌを出射し、支持部３０に支持された物品５０によって光線Ｌが遮蔽されることにより物品５０を検出し、支持部３０は、物品５０を支持した状態において、本体部２０に対する支持部３０の下方への移動により光線Ｌの進行位置よりも物品５０が下方に位置した場合に、光線Ｌを遮蔽する遮蔽部材３８ａ，３８ｂを有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品を下方から支持する支持部と、当該支持部を防振部材を介して支持する本体部と、を有する一対の支持機構を備える搬送装置であって、
一対の前記支持機構とは独立して設けられ、前記支持機構に支持される前記物品を検出する光学式の検出部を備え、
前記検出部は、光線を出射し、前記支持部に支持された前記物品によって前記光線が遮蔽されることにより前記物品を検出し、
前記支持部は、前記物品を支持した状態において、前記本体部に対する前記支持部の下方への移動により前記光線の進行位置よりも前記物品が下方に位置した場合に、前記光線を遮蔽する遮蔽部材を有する、搬送装置。
【請求項２】
前記遮蔽部材は、
前記光線を通過させる穴と、
前記光線を遮蔽する遮蔽領域と、を有し、
前記支持部に固定されている、請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記遮蔽部材の前記穴は、前記物品が前記支持部に支持された状態において、前記物品の最上位置よりも下方となる位置に配置されている、請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記遮蔽部材は、前記支持部に前記物品が支持されたときに前記光線を遮蔽する位置に進出すると共に、前記支持部に前記物品が支持されていないときには前記光線を遮蔽する前記位置から退避している、請求項１に記載の搬送装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の搬送装置を備える、天井搬送車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送装置及び天井搬送車に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の搬送装置として、例えば、特許文献１に記載された装置が知られている。特許文献１に記載の天井搬送車は、物品の上部に設けられたフランジを支持するための支持機構（チャッキング爪）を有する搬送装置を昇降台として備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−１３５６８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
搬送装置では、搬送時に物品に加わる振動を抑制することが求められている。そこで、搬送装置では、物品を下方から支持する支持部と、支持部を防振部材を介して支持する本体と、を有する支持機構を備える構成が採用されている。この搬送装置には、支持部に物品が支持されていることを検出する光学式の検出部が設けられている。検出部は、支持機構に設けられており、支持部に物品が支持されると、本体部に設けられた投光部と受光部との間を進行する光線が遮蔽される。これにより、検出部は、支持部に物品が支持されたことを検出している。しかしながら、このような構成の検出部は、支持機構のチャッキング動作に伴って移動するため、配線が複雑化するおそれがある。
【０００５】
そこで、検出部を支持機構とは独立して設ける構成が考えられている。この構成では、検出部は、光線を所定の進行位置において出射し、支持部に支持された物品によって光線が遮蔽されることにより、物品を検出する。しかし、防振部材を備える構成では、振動等により物品が上下に揺れて防振部材が沈み込むと、光線の進行位置から物品が退く場合がある。これにより、光線が物品によって遮蔽されないため、物品が支持部に支持されているにも関わらず、検出部において物品を検出しないといった現象が生じ得る。
【０００６】
本発明は、構成の簡易化を図れると共に、物品の誤検出を防止できる搬送装置及び天井搬送車を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る搬送装置は、物品を下方から支持する支持部と、当該支持部を防振部材を介して支持する本体部と、を有する一対の支持機構を備える搬送装置であって、一対の支持機構とは独立して設けられ、支持機構に支持される物品を検出する光学式の検出部を備え、検出部は、光線を出射し、支持部に支持された物品によって光線が遮蔽されることにより物品を検出し、支持部は、物品を支持した状態において、本体部に対する支持部の下方への移動により光線の進行位置よりも物品が下方に位置した場合に、光線を遮蔽する遮蔽部材を有する。
【０００８】
この搬送装置では、検出部は、一対の支持機構とは独立して設けられている。したがって、検出部は、支持機構と一緒に移動しない。そのため、検出部の配線の簡易化を図れる。したがって、搬送装置では、構成の簡易化を図ることができる。また、支持部は、物品を支持した状態において、本体部に対する支持部の下方への移動により光線の進行位置よりも物品が下方に位置した場合に、光線を遮蔽する遮蔽部材を有する。これにより、支持部に物品が支持されている状態において、防振部材の沈み込みによって光線の進行位置よりも物品が下方に位置した場合であっても、遮蔽部材によって光線が遮蔽されるため、検出部によって物品が検出されている状態が維持される。したがって、物品が支持部に支持されているにも関わらず、光線が物品に遮蔽されないことにより検出部が物品を検出しない状態となることがない。そのため、搬送装置では、物品の誤検出を抑制できる。
【０００９】
一実施形態においては、遮蔽部材は、光線を通過させる穴と、光線を遮蔽する遮蔽領域と、を有し、支持部に固定されていてもよい。このように、遮蔽部材を簡易な構成とすることにより、搬送装置の構成の簡易化を図ることができる。また、この構成では、支持部に物品が支持されていない状態において、支持機構に何らかの不具合（例えば、支持部が本体部から外れる等）が生じたときに、光線が遮蔽部材の遮蔽領域によって遮蔽されることがある。そのため、支持機構に異常が生じていることを検出することが可能となる。
【００１０】
一実施形態においては、遮蔽部材の穴は、物品が支持部に支持された状態において、物品の最上位置よりも下方となる位置に配置されていてもよい。これにより、支持部に物品が支持されている状態において、物品の上方を光線が通過することがない。したがって、物品の誤検出を抑制できる。
【００１１】
一実施形態においては、遮蔽部材は、支持部に物品が支持されたときに光線を遮蔽する位置に進出すると共に、支持部に物品が支持されていないときには光線を遮蔽する位置から退避していてもよい。この構成によれば、物品が支持部に支持されていないときには遮蔽部材が光線を遮蔽する位置から退避しているため、物品が支持部に支持されていないときに遮蔽部材が光線を遮蔽することを防止できる。したがって、物品の誤検出をより一層抑制できる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、構成の簡易化を図れると共に、物品の誤検出を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】一実施形態に係る天井搬送車の正面図である。
【図２】ハンドを示す斜視図である。
【図３】図２に示すハンドの分解斜視図である。
【図４】ハンドの動作を示す図である。
【図５】ハンドの動作を示す図である。
【図６】ハンドの動作を示す図である。
【図７】他の実施形態に係る天井搬送車のハンドを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
【００１５】
図１に示される天井搬送車１は、クリーンルームの天井など、床面より高い位置に設けられる走行レール２に沿って走行するものであり、例えば保管設備と所定のロードポートとの間で被搬送物であるＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ−Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）５０を搬送する。ＦＯＵＰ（物品）５０には、例えば、ウェハが収容される。ＦＯＵＰ５０は、天井搬送車１に保持されるフランジ５２を有している。以下の説明では、図１における左右方向を、天井搬送車１の前後方向とする。図１における上下方向を天井搬送車１の上下方向とする。図１における奥行方向を天井搬送車１の左右方向（幅方向）とする。
【００１６】
図１に示されるように、天井搬送車１は、走行駆動部３と、水平移動部５と、回転駆動部６と、昇降駆動部７と、搬送装置１０と、保持装置１１と、落下防止機構１６と、揺れ抑制機構１７と、制御部７０と、を有している。天井搬送車１には、水平移動部５、回転駆動部６、昇降駆動部７及び搬送装置１０を覆うように前後方向にカバー８が設けられている。落下防止機構１６は、保持装置１１に保持されたＦＯＵＰ５０の落下を防止する。揺れ抑制機構１７は、保持装置１１に保持されたＦＯＵＰ５０の天井搬送車１の走行方向及び左右方向の揺れを抑制する。
【００１７】
制御部７０は、天井搬送車１の全体の動作を制御する。例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read OnlyMemory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ハードディスク等で構成される。制御部７０は、上位コントローラ（図示しない）からの搬送指令に基づいて天井搬送車１の動作を制御すると共に、天井搬送車１の状態を上位コントローラに送信する。
【００１８】
走行駆動部３は、天井搬送車１を走行レール２に沿って移動させるものであり、走行レール２内に配置されている。走行駆動部３は、走行レール２を走行するローラ（図示しない）を駆動させる。走行駆動部３の下部には、軸３ａを介して水平移動部５が接続されている。水平移動部５は、回転駆動部６、昇降駆動部７及び搬送装置１０を水平面内で走行レール２の延在方向に直交する方向に移動させる。回転駆動部６は、水平面内で昇降駆動部７及び搬送装置１０を回転させる。昇降駆動部７は、ベルトの巻き上げ及び繰り出しにより搬送装置１０を昇降させる。なお、昇降駆動部７におけるベルトは、ワイヤ及びロープなど、適宜の吊持材を用いてもよい。本実施形態における搬送装置１０は、昇降駆動部７によって昇降可能に設けられており、天井搬送車１における昇降台として機能している。
【００１９】
保持装置１１は、ＦＯＵＰ５０を保持する。保持装置１１は、Ｌ字状である一対のアーム１２，１２と、各アーム１２，１２に固定されたハンド（支持機構）１３，１３と、一対のアーム１２，１２を開閉させる開閉機構１５と、投光部（検出部）４４及び受光部（検出部）４６と、を備えている。
【００２０】
一対のアーム１２，１２は、開閉機構１５に接続されている。開閉機構１５は、一対のアーム１２，１２を、互いに近接する方向及び互いに離間する方向に移動させる。開閉機構１５の動作により、一対のアーム１２，１２は、前後方向に進退する。これにより、アーム１２，１２に固定された一対のハンド１３，１３が開閉する。本実施形態では、一対のハンド１３，１３が開状態のときに、ハンド１３の保持面がフランジ５２の下面の高さより下方となるように、保持装置１１（搬送装置１０）の高さ位置が調整される。そして、この状態で一対のハンド１３，１３が閉状態となることで、ハンド１３，１３の保持面がフランジ５２の下面の下方へ進出し、この状態で搬送装置１０を上昇させることにより、一対のハンド１３，１３によってフランジ５２が保持され、ＦＯＵＰ５０の支持が行われる。
【００２１】
続いて、ハンド１３について詳細に説明する。図２及び図３に示されるように、ハンド１３は、本体部２０と、支持部３０と、第１防振部材４０及び第２防振部材４２と、を備えている。一対のハンド１３，１３は、それぞれ同様の構成であるため、一方のハンド１３を一例に具体的に説明する。
【００２２】
本体部２０は、略Ｕ字状の部材である。本体部２０は、第１部材２２と、第２部材２４及び第３部材２６と、を備えている。第１部材２２は、左右方向に延在する。第２部材２４及び第３部材２６は、第１部材２２の長手方向の両端から第１部材２２の長手方向に水平面内で直交する向き（前後方向）に延設されている。第２部材２４と第３部材２６とは、同じ方向に互いに平行に延在している。本体部２０は、第１部材２２、第２部材２４及び第３部材２６が一体に成形されていてもよいし、第１部材２２に第２部材２４及び第３部材２６が接合されていてもよい。
【００２３】
第１部材２２には、位置決め部２８が設けられている。位置決め部２８は、第１部材２２の長手方向の略中央で且つ第２部材２４と第３部材２６との間に配置されている。位置決め部２８は、第１部材２２の支持部３０側の側部に、ねじ等の固定具で固定されている。位置決め部２８は、支持部３０にＦＯＵＰ５０が支持されるときに、ＦＯＵＰ５０の位置を規定する。位置決め部２８は、突設部２８ａを有している。突設部２８ａは、上下方向から見て、略三角形状である。突設部２８ａは、位置決め部２８の支持部３０側の側面に、上下方向に沿って設けられている。ＦＯＵＰ５０のフランジ５２には、突設部２８ａと同形状の溝（図示しない）が設けられている。位置決め部２８は、突設部２８ａとフランジ５２の溝とが係合することにより、ＦＯＵＰ５０を位置決めする。
【００２４】
第１部材２２は、２つの穴２１ａ，２１ｂを有している。穴２１ａは、本体部２０の長手方向の一端寄りに配置されている。穴２１ａは、本体部２０を幅方向（天井搬送車１の前後方向）に貫通して形成されている。穴２１ｂは、本体部２０の長手方向の他端寄りに配置されている。穴２１ｂは、本体部２０を幅方向に貫通して形成されている。穴２１ａ，２１ｂの直径は、設計に応じて適宜設定されればよいが、後述する投光部４４から出射される光線Ｌが通過できる程度に設定されている。穴２１ａと穴２１ｂとの間隔は、設計に応じて適宜設定されればよいが、ＦＯＵＰ５０のフランジ５２と本体５４とを連結する連結部５６の幅よりも大きく設定されている。
【００２５】
第２部材２４は、第１防振部材４０を支持する。図３に示されるように、第２部材２４は、固定部２４ａを有している。固定部２４ａは、第２部材２４（本体部２０）に対して、第１防振部材４０を介して支持部３０を固定する。固定部２４ａは、第２部材２４の上面から上方に延在している（第２部材２４の上面に立設されている）。固定部２４ａは、例えば、円柱状である。固定部２４ａは、固定具３７ａと協働で支持部３０を第２部材２４に固定する。固定具３７ａは、円盤状の頭部と、ねじ溝（ねじ山）を有する軸と、を備えるねじである。固定部２４ａの上端には、固定具３７ａの軸と螺合するねじ穴が設けられている。
【００２６】
第３部材２６は、第２防振部材４２を支持する。第３部材２６は、固定部２６ａを有している。固定部２６ａは、第３部材２６（本体部２０）に対して、第２防振部材４２を介して支持部３０を固定する。固定部２６ａは、第３部材２６の上面から上方に延在している（第３部材２６の上面に立設されている）。固定部２６ａは、例えば、円柱状である。固定部２６ａは、固定具３７ｂと協働で支持部３０を第３部材２６に固定する。固定具３７ｂは、円盤状の頭部と、ねじ溝（ねじ山）を有する軸と、を備えるねじである。固定部２６ａの上端には、固定具３７ｂと螺合するねじ穴が設けられている。
【００２７】
支持部３０は、ＦＯＵＰ５０を支持する支持部材３２と、本体部２０に取り付けられる第１取付部材３４及び第２取付部材３６と、を備えている。
【００２８】
支持部材３２は、ＦＯＵＰ５０のフランジ５２の下面と接する（ＦＯＵＰ５０を下方から支持する）。支持部材３２は、板材である。支持部材３２は、第２部材２４と第３部材２６との間に収まる長さを有している。なお、図３では、支持部材３２の上面に板状の補強部材が配置されている形態を示している。支持部材３２は、補強部材を備えていてもよいし、補強部材を備えていなくてもよい。
【００２９】
支持部材３２は、２つの第１遮蔽部材３８ａ及び第２遮蔽部材３８ｂを有している。第１遮蔽部材３８ａ及び第２遮蔽部材３８ｂは、投光部４４から出射される光線Ｌを遮蔽する。
【００３０】
第１遮蔽部材３８ａ及び第２遮蔽部材３８ｂは、板材である。第１遮蔽部材３８ａは、支持部材３２の長手方向の一端寄りの位置に配置されている。第１遮蔽部材３８ａは、本体部２０の第１部材２２に形成された穴２１ａと対応する位置に配置されている。第１遮蔽部材３８ａは、支持部材３２の幅方向における本体部２０側の端部に位置し、支持部材３２から上方に延在（起立）している。第２遮蔽部材３８ｂは、支持部材３２の長手方向の他端寄りの位置に配置されている。第２遮蔽部材３８ｂは、本体部２０の第１部材２２に形成された穴２１ｂと対応する位置に配置されている。第２遮蔽部材３８ｂは、支持部材３２の幅方向における本体部２０側の端部に位置し、支持部材３２から上方に延在（起立）している。第１遮蔽部材３８ａ及び第２遮蔽部材３８ｂの長さ（高さ）は、支持部３０にＦＯＵＰ５０が支持された状態で、第１防振部材４０及び第２防振部材４２が沈み込んで支持部３０が本体部２０に対して最下位置に到達したときに、光線Ｌを遮蔽する長さに設定されている。
【００３１】
第１遮蔽部材３８ａは、穴３９ａを有している。穴３９ａは、第１遮蔽部材３８ａを厚さ方向に貫通して形成されている。穴３９ａは、光線Ｌを通過させる。穴３９ａは、第１遮蔽部材３８ａの下端部に設けられている。穴３９ａは、支持部３０にＦＯＵＰ５０が支持されたときに、ＦＯＵＰ５０のフランジ５２の上面の位置よりも下方に位置するように形成されている。第１遮蔽部材３８ａにおいて、穴３９ａ以外の領域は、光線Ｌを遮蔽する遮蔽領域として用いられる。
【００３２】
第２遮蔽部材３８ｂは、穴３９ｂを有している。穴３９ｂは、第２遮蔽部材３８ｂを厚さ方向に貫通して形成されている。穴３９ｂは、光線Ｌを通過させる。穴３９ｂは、第２遮蔽部材３８ｂの下端部に設けられている。穴３９ｂは、支持部３０にＦＯＵＰ５０が支持されたときに、ＦＯＵＰ５０のフランジ５２の上面の位置よりも下方に位置するように形成されている。第２遮蔽部材３８ｂにおいて、穴３９ｂ以外の領域は、光線Ｌを遮蔽する遮蔽領域として用いられる。
【００３３】
第１取付部材３４は、第１防振部材４０を介して本体部２０に取り付けられる。第２取付部材３６は、第２防振部材４２を介して本体部２０に取り付けられる。第１取付部材３４及び第２取付部材３６は、板材である。第１取付部材３４は、第１防振部材４０の上面と同様の形状である。第２取付部材３６は、第２防振部材４２の上面と同様の形状である。
本実施形態では、第１取付部材３４及び第２取付部材３６は、略長方形状である。
【００３４】
第１取付部材３４は、支持部材３２の長手方向の一端から上方に起立する第１連結部材３５ａによって支持部材３２と連結されている。第１取付部材３４は、支持部材３２と略平行に延在している。第１取付部材３４は、穴３４ａを有している。穴３４ａは、第１取付部材３４を厚さ方向に貫通して形成されている。穴３４ａには、第２部材２４の固定部２４ａが挿入される。第１取付部材３４は、第１防振部材４０を介して、第２部材２４の固定部２４ａによって本体部２０に取り付けられている。これにより、支持部３０と本体部２０とが一体に設けられている。
【００３５】
第２取付部材３６は、支持部材３２の長手方向の他端から上方に起立する第２連結部材３５ｂによって支持部材３２と連結されている。第２取付部材３６は、支持部材３２と略平行に延在している。第２取付部材３６は、穴３６ａを有している。穴３６ａは、第２取付部材３６を厚さ方向に貫通して形成されている。穴３６ａには、第３部材２６の固定部２６ａが挿入される。第２取付部材３６は、第２防振部材４２を介して、第３部材２６の固定部２６ａによって本体部２０に取り付けられている。これにより、支持部３０と本体部２０とが一体に設けられている。
【００３６】
第１防振部材４０は、本体部２０の第２部材２４と支持部３０の第１取付部材３４との間に配置されている。第２防振部材４２は、本体部２０の第３部材２６と支持部３０の第２取付部材３６との間に配置されている。第１防振部材４０及び第２防振部材４２は、略直方体形状である。第１防振部材４０及び第２防振部材４２は、例えば、シリコーン樹脂等によって形成されるゲル状の弾性体である。第１防振部材４０及び第２防振部材４２は、振動及び／又は衝撃を吸収する。
【００３７】
第１防振部材４０は、穴４０ａを有している。穴４０ａは、第１防振部材４０を厚さ方向に貫通している。第１防振部材４０は、穴４０ａに第２部材２４の固定部２４ａが挿入された状態で第２部材２４に配置される。第１防振部材４０は、第２部材２４と第１取付部材３４との間に配置され、固定部２４ａと固定具３７ａとが螺合されることにより、第２部材２４と第１取付部材３４とに挟持される。第１防振部材４０は、第２部材２４の上面に接着されていてもよい。
【００３８】
第２防振部材４２は、穴４２ａを有している。穴４２ａは、第２防振部材４２を厚さ方向に貫通している。第２防振部材４２は、穴４２ａに第３部材２６の固定部２６ａが挿入された状態で第３部材２６に配置される。第２防振部材４２は、第３部材２６と第２取付部材３６との間に配置され、固定部２６ａと固定具３７ｂとが螺合されることにより、第３部材２６と第２取付部材３６とに挟持される。第２防振部材４２は、第３部材２６の上面に接着されていてもよい。
【００３９】
続いて、投光部４４及び受光部４６について説明する。投光部４４及び受光部４６は、光学式のセンサである。投光部４４は、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）等の発光素子である。受光部４６は、ＰＤ（PhotoDiode）等の受光素子である。本実施形態では、投光部４４及び受光部４６は、それぞれ２個ずつ設けられている。投光部４４及び受光部４６は、制御部７０により制御される。投光部４４は、制御部７０により光線Ｌの出射が制御される。受光部４６は、受光結果を制御部７０に出力する。
【００４０】
図１及び図２に示されるように、投光部４４と受光部４６は、ハンド１３，１３を挟んで配置されている。投光部４４及び受光部４６は、例えば、固定部材を介して保持装置１１に固定されている。すなわち、投光部４４及び受光部４６は、ハンド１３，１３とは独立して設けられており、ハンド１３，１３の作動には連動しない。
【００４１】
図２に示されるように、一方の投光部４４及び受光部４６は、投光部４４から出射された光線Ｌが、一方のハンド１３の本体部２０の第１部材２２の穴２１ａ及び支持部３０の第１遮蔽部材３８ａの穴３９ａを通過し、他方のハンド１３の支持部３０の第２遮蔽部材３８ｂの穴３９ｂ及び本体部２０の第１部材２２の穴２１ｂを通過して、受光部４６によって受光される位置に配置されている。
【００４２】
他方の投光部４４及び受光部４６は、投光部４４から出射された光線Ｌが、一方のハンド１３の本体部２０の第１部材２２の穴２１ｂ及び支持部３０の第２遮蔽部材３８ｂの穴３９ｂを通過し、他方のハンド１３の支持部３０の第１遮蔽部材３８ａの穴３９ａ及び本体部２０の第１部材２２の穴２１ａを通過して受光部４６によって受光される位置に配置されている。
【００４３】
制御部７０は、受光部４６における光線Ｌの受光結果に基づいて、ＦＯＵＰ５０がハンド１３，１３によって支持されているか否かを検出する。制御部７０は、２つの受光部４６から、光線Ｌを受光したことを示す受光結果を受け取った場合には、ハンド１３，１３にＦＯＵＰ５０が支持されていないと判断する。制御部７０は、２つの受光部４６から、光線Ｌを受光していないことを示す受光結果を受け取った場合には、ハンド１３，１３にＦＯＵＰ５０が支持されていると判断する。具体的には、制御部７０は、受光部４６から出力された受光結果において、光線Ｌを受光していないことを示す結果が所定の時間以上継続された場合に、ＦＯＵＰ５０が支持されていると判断する。すなわち、制御部７０は、ＦＯＵＰ５０等が光線Ｌを一時的（所定時間未満）に遮蔽した場合には、ＦＯＵＰ５０が支持されていると判断しない。
【００４４】
続いて、天井搬送車１によるＦＯＵＰ５０の検出方法について、図４〜図６を参照して説明する。天井搬送車１では、例えば所定のロードポート上に移動すると、昇降駆動部７は、ベルトを繰り出して保持装置１１をロードポートのＦＯＵＰ５０上に降下させる。図４（ａ）に示されるように、保持装置１１がＦＯＵＰ５０に到達していない位置では、受光部４６は、投光部４４から出射された光線Ｌを、穴２１ａ、穴３９ａ、穴３９ｂ及び穴２１ｂを介して受光する。この場合、制御部７０は、ハンド１３，１３にＦＯＵＰ５０が支持されていないと判断する。
【００４５】
図４（ｂ）に示されるように、昇降駆動部７は、ハンド１３，１３の支持部３０をＦＯＵＰ５０のフランジ５２の下方に位置させる。このとき、投光部４４から出射された光線Ｌは、ＦＯＵＰ５０の連結部５６を挟むように進行している。これにより、受光部４６は、投光部４４から出射された光線Ｌを、穴２１ａ、穴３９ａ、穴３９ｂ及び穴２１ｂを介して受光する。この場合、制御部７０は、ハンド１３，１３にＦＯＵＰ５０が支持されていないと判断する。
【００４６】
次に、図５（ａ）に示されるように、開閉機構１５が一対のアーム１２，１２を閉じさせることにより、ハンド１３，１３が互いに近づく方向に移動する。このとき、受光部４６は、投光部４４から出射された光線Ｌを、穴２１ａ、穴３９ａ、穴３９ｂ及び穴２１ｂを介して受光する。この場合、制御部７０は、ハンド１３，１３にＦＯＵＰ５０が支持されていないと判断する。
【００４７】
続いて、図５（ｂ）に示されるように、昇降駆動部７がベルトを巻き上げることで保持装置１１が上昇し、ハンド１３，１３の支持部３０の支持部材３２とＦＯＵＰ５０のフランジ５２の下面とが当接する。このとき、投光部４４から出射されて穴２１ａ及び穴３９ａを通過した光線Ｌは、ＦＯＵＰ５０のフランジ５２によって遮蔽される。これにより、受光部４６は、光線Ｌを所定時間以上受光しない。この場合、制御部７０は、ハンド１３，１３にＦＯＵＰ５０が支持されていると判断する。
【００４８】
図６（ａ）に示されるように、昇降駆動部７によってベルトが巻き上げられると、ＦＯＵＰ５０の重さによって、第１防振部材４０及び第２防振部材４２が沈み込む場合がある。このとき、ＦＯＵＰ５０のフランジ５２の上面が光線Ｌの位置よりも下方に位置することがある。この場合、投光部４４から出射されて穴２１ａを通過した光線Ｌは、ＦＯＵＰ５０（支持部３０）と共に下降した第１遮蔽部材３８ａにより遮蔽される。これにより、受光部４６は、光線Ｌを所定時間以上受光しない。この場合、制御部７０は、ハンド１３，１３にＦＯＵＰ５０が支持されていると判断する。
【００４９】
また、図６（ｂ）に示されるように、天井搬送車１の走行時等に、第１防振部材４０及び第２防振部材４２が更に沈み込むことがある。この場合であっても、投光部４４から出射されて穴２１ａを通過した光線Ｌは、ＦＯＵＰ５０（支持部３０）と共に更に下降した第１遮蔽部材３８ａにより遮蔽される。これにより、受光部４６は、光線Ｌを所定時間以上受光しない。この場合、制御部７０は、ハンド１３，１３にＦＯＵＰ５０が支持されていると判断する。
【００５０】
以上説明したように、本実施形態に係る天井搬送車１では、投光部４４及び受光部４６は、一対のハンド１３，１３とは独立して設けられている。したがって、投光部４４及び受光部４６は、ハンド１３，１３と一緒に移動しない。そのため、投光部４４及び受光部４６の配線の簡易化を図れる。したがって、天井搬送車１では、構成の簡易化を図ることができる。また、ハンド１３の支持部３０は、ＦＯＵＰ５０を支持した状態において、本体部２０に対する支持部３０の下方への移動により光線Ｌの進行位置よりもＦＯＵＰ５０が下方に位置した場合に、光線Ｌを遮蔽する第１遮蔽部材３８ａ及び第２遮蔽部材３８ｂを有する。これにより、支持部３０に物品が支持されている状態において、第１防振部材４０及び第２防振部材４２の沈み込みによって光線Ｌの進行位置よりもＦＯＵＰ５０が下方に位置した場合であっても、第１遮蔽部材３８ａ及び第２遮蔽部材３８ｂによって光線Ｌが遮蔽されるため、投光部４４及び受光部４６によってＦＯＵＰ５０が検出されている状態が維持される。したがって、ＦＯＵＰ５０が支持部３０に支持されているにも関わらず、光線ＬがＦＯＵＰ５０に遮蔽されないことにより投光部４４及び受光部４６がＦＯＵＰ５０を検出しない状態となることがない。そのため、天井搬送車１では、ＦＯＵＰ５０の誤検出を抑制できる。
【００５１】
本実施形態では、第１遮蔽部材３８ａ及び第２遮蔽部材３８ｂは、支持部３８に固定されている。第１遮蔽部材３８ａ及び第２遮蔽部材３８ｂは、光線Ｌを通過させる穴３９ａ，３９ｂと、光線Ｌを遮蔽する遮蔽領域と、を有している。このように、第１遮蔽部材３８ａ及び第２遮蔽部材３８ｂを簡易な構成とすることにより、天井搬送車１の構成の簡易化を図ることができる。また、この構成では、支持部３０にＦＯＵＰ５０が支持されていない状態において、ハンド１３に何らかの不具合（例えば、支持部３０が本体部２０から外れる等）が生じたときに、光線Ｌが第１遮蔽部材３８ａ及び第２遮蔽部材３８ｂの遮蔽領域によって遮蔽されることがある。そのため、ハンド１３に異常が生じていることを検出することが可能となる。
【００５２】
本実施形態では、第１遮蔽部材３８ａ及び第２遮蔽部材３８ｂの穴３９ａ，３９ｂは、ＦＯＵＰ５０が支持部３０に支持された状態において、ＦＯＵＰ５０の最上位置よりも下方となる位置に配置されていてもよい。これにより、支持部３０にＦＯＵＰ５０が支持されている状態において、ＦＯＵＰ５０の上方を光線Ｌが通過することがない。したがって、ＦＯＵＰ５０の誤検出を抑制できる。
【００５３】
本発明は、上記実施形態に限定されない。例えば、搬送装置１０が天井搬送車１に搭載されている例を示したが、これに限定されない。搬送装置は天井搬送車以外にも、物品を支持した状態で搬送する様々な装置に利用できるものであり、例えばロボットハンドとして利用してもよい。
【００５４】
上記実施形態では、投光部４４及び受光部４６を２組備える形態を一例に説明した。この構成により、上記実施形態では、本体部２０の第１部材２２に２つの穴２１ａ，２１ｂが形成されている形態を一例に説明した。しかし、投光部４４及び受光部４６の個数はこれに限定されない。第１部材２２の穴は、投光部４４及び受光部４６の数に応じて設けられればよい。
【００５５】
上記実施形態では、第１防振部材４０及び第２防振部材４２がシリコーン樹脂等によって形成されたゲル状の弾性体である形態を一例に説明した。しかし、第１防振部材及び第２防振部材は、他のゴムによって形成される弾性体や、バネ等の弾性体であってもよい。
【００５６】
上記実施形態では、第１防振部材４０及び第２防振部材４２のそれぞれが、１つの部材である形態を一例に説明した。しかし、第１防振部材及び第２防振部材のそれぞれは、複数の部材によって構成されていてもよい。
【００５７】
上記実施形態では、本体部２０の第１部材２２に突設部２８ａを有する位置決め部２８が設けられている形態を一例に説明した。しかし、位置決め部２８が設けられていなくてもよい。また、位置決め部２８において突設部２８ａが設けられていなくてもよい。
【００５８】
上記実施形態では、第１遮蔽部材３８ａ及び第２遮蔽部材３８ｂが支持部３０に固定されている形態を一例に説明した。しかし、遮蔽部材の構成はこれに限定されない。例えば、遮蔽部材は、支持部３０にＦＯＵＰ５０が支持されたときに光線Ｌを遮蔽する位置に進出すると共に、支持部３０にＦＯＵＰ５０が支持されてないときに光線Ｌを遮蔽する位置から退避している形態であってもよい。具体的は、図７に示されるように、遮蔽部材６０は、支持部３０の支持部材３２に軸支された軸６０ａにより回転自在に設けられている。図７（ａ）に示されるように、遮蔽部材６０は、支持部３０にＦＯＵＰ５０が支持されていない状態では、光線Ｌを遮蔽する位置から退避している。図７（ｂ）に示されるように、遮蔽部材６０は、支持部３０にＦＯＵＰ５０が支持されると、ＦＯＵＰ５０の下面と当接する当接部（図示しない）がＦＯＵＰ５０により押圧され、光線Ｌを遮蔽する位置に進出する。この構成によれば、ＦＯＵＰ５０が支持部３０に支持されていないときには遮蔽部材６０が光線Ｌを遮蔽する位置から退避しているため、ＦＯＵＰ５０が支持部３０に支持されていないときに遮蔽部材６０が光線Ｌを遮蔽することを防止できる。したがって、ＦＯＵＰの誤検出をより一層抑制できる。
【００５９】
上記実施形態では、物品の一例としてＦＯＵＰ５０を例示したが、物品はこれに限定されない。
【符号の説明】
【００６０】
１…天井搬送車、１１…保持装置（搬送装置）、１３…ハンド（支持機構）、２０…本体部、３０…支持部、３８ａ…第１遮蔽部材、３８ｂ…第２遮蔽部材、４４…投光部（検出部）、４６…受光部（検出部）、５０…ＦＯＵＰ（物品）、Ｌ…光線。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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