(57)【要約】      （修正有）【課題】定盤が架台から離間した場所において、定盤が自重により撓むことを抑制可能な異材複合定盤を提供する。【解決手段】異材複合定盤１００は、非金属製の定盤１０と、定盤１０を載置する金属性の架台２０とを備え、架台２０は、定盤１０を載置する定盤載置面２１ａと、定盤載置面２１ａよりも上方へ突出して定盤１０を３点支持する３つの支持面とを有する。定盤１０は架台２０にボルト３０により固定され、定盤１０と架台２０の熱膨張又は熱収縮による寸法差を、ボルト３０と、ボルト３０が挿通される定盤のボルト貫通孔１１との間隙により吸収するよう構成されている。定盤１０の下面と架台２０の定盤載置面２１ａの間には、樹脂製の挟装材４０が挟装されている。【選択図】図１
2017101748.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
非金属製の定盤と、前記定盤を載置する金属性の架台とを備え、前記架台は、前記定盤を載置する定盤載置面と、前記定盤載置面よりも上方へ突出して前記定盤を３点支持する３つの支持面とを有し、前記定盤は前記架台にボルトにより固定され、前記定盤と前記架台の熱膨張又は熱収縮による寸法差を、前記ボルトと、前記ボルトが挿通される前記定盤のボルト貫通孔との間隙により吸収するよう構成された異材複合定盤であって、
前記定盤の下面と前記架台の定盤載置面の間に樹脂製の挟装材が挟装されていることを特徴とする異材複合定盤。
【請求項２】
前記挟装材は、前記定盤の下面、及び前記定盤設置面の一方の面に対し非接着状態で密着しているとともに、前記定盤の下面、及び前記定盤設置面の他方の面に接着している請求項１に記載の異材複合定盤。
【請求項３】
前期挟装材が接着剤からなり、
前記一方の面に離型剤が塗布されている請求項２に記載の異材複合定盤。
【請求項４】
前記挟装材は、鉄粉が混合されてなる請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の異材複合定盤。
【請求項５】
前記ボルトの頭と前記定盤の間、及び／又は前記定盤と前記架台の間に、樹脂製ワッシャーを備えるか、又はグリースが塗布されてなる請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の異材複合定盤。
【請求項６】
前記挟装材は、前記一方の面に多点状に接着されてなる請求項２から請求項５のいずれか１項に記載の異材複合定盤。
【請求項７】
非金属製の定盤と前記定盤を載置する金属性の架台とを備え、前記架台は、前記定盤を載置する定盤載置面と、前記定盤載置面よりも上方へ突出して前記定盤を３点支持する３つの支持面とを有し、前記定盤は前記架台にボルトにより固定され、前記定盤と前記架台の熱膨張又は熱収縮による寸法差を、前記ボルトと、前記ボルトが挿通される前記定盤のボルト貫通孔との間隙により吸収するよう構成された異材複合定盤の製造方法であって、
前記定盤の下面、及び前記定盤載置面の一方の面に離型剤を塗布する離型剤塗布工程と、
前記一方の面に塗布した離型剤の上から接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、
接着剤を塗布した後接着剤が硬化する前に前記定盤を前記定盤載置面に載置して前記ボルトで前記架台に固定する定盤設置工程と、
前記接着剤が硬化した後、前記定盤を持ち上げて、前記架台から前記定盤を切り離す定盤分離工程と、
前記定盤分離工程の後、再び前記定盤設置面に前記定盤を載置して前記ボルトで前記架台に固定する定盤再設置工程とを備えることを特徴とする異材複合定盤の製造方法。
【請求項８】
前記定盤分離工程において、上下に摺動可能に設けられた少なくとも３つの押ピンの上端を前記定盤の下面に当接させた状態で上方へ摺動させることにより、前記定盤を持ち上げる請求項７に記載の異材複合定盤の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、石やセラミック等の非金属製の定盤を軟鉄等の金属製の架台により支持した異材複合定盤に関し、特に、定盤と架台の熱膨張率の違いにより生じる定盤の歪を抑制するよう構成された異材複合定盤に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶露光装置の精密ステージ等に用いられる複合定盤は、熱膨張率の異なる非金属製の定盤と金属製の架台とを多数のボルトで締結することから、いわゆるバイメタル現象による寸法精度の悪化が問題となる。
例えば、精密ステージの稼働中にリニアモータ等の駆動熱により定盤が歪んだり、輸送中の温度上昇によりずれてしまった定盤と架台に生じる残留応力で定盤が歪んだりする。
そのため、かかる複合定盤は、使用温度にて組立や輸送が行われるなど厳しい温度管理がなされている。
【０００３】
ところが、液晶パネルの大型化や半導体回路の精細化に伴い、精密ステージに対し一層の高精度が要求されるに至り、ボルトと定盤の間に遊びを設けることで、バイメタル現象による定盤の僅かな歪みも回避するようにした提案が各種なされている。
【０００４】
例えば、特許文献１では、定盤を架台に螺合する固定ネジの軸部へ、下端に鍔の付いた円筒状のスペーサーを環装し、当該鍔部を定盤と架台の間に挟み込むことで定盤を浮かせるようにして３点支持した固定機構が提案されている。特許文献１の固定機構では、スペーサーと固定ネジの間に遊びを設けるようにし、さらに、固定ネジの頭とスペーサーの間に挟んだ板バネを介してスペーサーを固定することで、バイメタル現象による寸法のゆがみを吸収するようにしている。
【０００５】
また、特許文献２では実施例２において、特許文献１とは逆に、上端に鍔部の付いた円筒状の締結部材の鍔部を定盤とボルトの頭の間に配して定盤をボルトに固定するようにしたステージ装置が提案されている。特許文献２のステージ装置では、定盤と架台の間と、定盤と締結部材の鍔部の間の両方にリング状の弾性部材を挟装することで、定盤が架台に対して面摺動可能に構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平８−３２０００４号公報
【特許文献２】特開２００８−１０３４９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献１や特許文献２の定盤は、ボルトで固定する以外の場所では、定盤が架台から離間しているため、定盤が上面に作用する鉛直荷重により撓む虞がある。
本発明は、かかる課題を解決するためになされたものであり、定盤が架台から離間した場所において、定盤が上面に作用する鉛直荷重により撓むことを抑制可能な異材複合定盤の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するためになされた発明は、非金属製の定盤と、前記定盤を載置する金属性の架台とを備え、前記架台は、前記定盤を載置する定盤載置面と、前記定盤載置面よりも上方へ突出して前記定盤を３点支持する３つの支持面とを有し、前記定盤は前記架台にボルトにより固定され、前記定盤と前記架台の熱膨張又は熱収縮による寸法差を、前記ボルトと、前記ボルトが挿通される前記定盤のボルト貫通孔との間隙により吸収するよう構成された異材複合定盤であって、前記定盤の下面と前記架台の定盤載置面の間に樹脂製の挟装材が挟装されていることを特徴とする。
【０００９】
このように、定盤の下面と架台の定盤載置面との間に樹脂製の挟装材を挟装することで定盤が撓むことを抑制できる。
【００１０】
前記挟装材は、前記定盤の下面、及び前記定盤設置面の一方の面に対し非接着状態で密着しているとともに、前記定盤の下面、及び前記定盤設置面の他方の面に接着していることが好ましい。
このように、挟装材が定盤の下面、及び前記定盤設置面の一方の面に対し非接着状態であることで、定盤が架台に対し水平方向に摺動することができる。
また、挟装材が、定盤の下面、及び前記定盤設置面の他方の面に接着していることで、メンテナンス等で定盤を架台から外して再度組立てる際に、挟装材の位置ずれを防止できる。
【００１１】
前期挟装材が接着剤からなり前記一方の面に離型剤が塗布されていることが好ましい。
こうすることで、一方の面に離型剤を塗布し、その上から接着剤（挟装材）を塗布して他方の面を重ね合わせることで、他方の面に接着し一方の面に未接着の挟装材を容易に設けることができる。
また、一方の面が架台側である場合は、架台の腐食を抑制できる。
【００１２】
前記挟装材は、鉄粉が混合されていることが好ましい。こうすることで、挟装材の弾性を高めることができるため、定盤の撓みをより効果的に抑制することができる。
【００１３】
前記ボルトの頭と前記定盤の間、及び／又は前記定盤と前記架台の間に、樹脂製ワッシャーを備えるか、又はグリースが塗布されていることが好ましい。こうすることで、定盤が架台に対し、より摺動しやすくなる。
【００１４】
前記挟装材は、前記一方の面に多点状に接着されていることが好ましい。挟装材（接着剤）の厚みを確保しながら、挟装材を一方の面の全面に塗布すると、定盤と架台を重ねた際に、周縁の隙間から接着剤が漏れ出てしまうという問題と、接着剤を全面に塗布するとどうしても塗布した接着剤が周縁部より中央部の方が厚くなるため、定盤を重ねて接着剤を成型する際に、接着剤の粘性による反力（抵抗力）により定盤の中央部が上方向に僅かに変形した状態で接着剤が固化してしまう虞がある。内側の挟装材を多点状に接着することで、挟装材の厚みを確保しながら、定盤と架台を重ねた際の接着剤の漏出を抑制でき、かつ、挟装材の中央部の反力を低減させることができる。さらに、定盤の撓みを抑制可能とすることで、定盤の厚みを薄くすることができる。
【００１５】
本発明は、異材複合定盤の製造方法を含む。本発明の製造方法は、非金属製の定盤と、前記定盤を載置する金属性の架台とを備え、前記架台は、前記定盤を載置する定盤載置面と、前記定盤載置面よりも上方へ突出して前記定盤を３点支持する３つの支持面とを有し、前記定盤は前記架台にボルトにより固定され、前記定盤と前記架台の熱膨張又は熱収縮による寸法差を、前記ボルトと、前記ボルトが挿通される前記定盤のボルト貫通孔との間隙により吸収するよう構成された異材複合定盤を製造するものであって、前記定盤の下面、及び前記定盤載置面の一方の面に離型剤を塗布する離型剤塗布工程と、前記一方の面に塗布した離型剤の上から接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、接着剤を塗布した後接着剤が硬化する前に前記定盤を前記定盤載置面に載置して前記ボルトで前記架台に固定する定盤設置工程と、前記接着剤が硬化した後、前記定盤を持ち上げて、前記架台から前記定盤を切り離す定盤分離工程と、前記定盤分離工程の後、再び前記定盤設置面に前記定盤を載置して前記ボルトで前記架台に固定する定盤再設置工程とを備えることを特徴とする。
【００１６】
このように、一方の面に離型剤を塗布した上に接着剤を塗布したのち、一方の面に他方の面を重ねるようにして架台に定盤を重ねるようにすることで、定盤と架台の間に容易に挟装材を設けることができる。
【００１７】
前記定盤分離工程においては、上下に摺動可能に設けられた少なくとも３つの押ピンの上端を前記定盤の下面に当接させた状態で上方へ摺動させることにより、前記定盤を持ち上げるとよい。
【発明の効果】
【００１８】
以上説明したように、本発明の異材複合定盤、及びその製造方法によれば、定盤上に作用する鉛直荷重による撓みを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一の実施形態に係る異材複合定盤の斜視図である。
【図２】図１に示した異材複合定盤の分解斜視図である。
【図３】図１の定盤を下面側から見た斜視図である。
【図４】実施例１の架台を示した（ａ）平面図、（ｂ）（ａ）におけるＩ−Ｉ線断面図である。
【図５】図４の架台の正面図である。
【図６】図４の架台の側面図である。
【図７】図４の架台の底面図である。
【図８】実施例１に係る定盤の（ａ）平面図、（ｂ）正面図である。
【図９】本発明に係る異材複合定盤の製造方法における離型剤塗布工程Ｐ１から定盤設置工程Ｐ３までを斜視で示した説明図である。
【図１０】本発明に係る異材複合定盤の製造方法における定盤設置工程Ｐ３から定盤再設置工程Ｐ５までを要部断面で示した説明図である。
【図１１】実施例１の平面度計測試験における定盤上の計測位置を示す斜視図である。
【図１２】実施例１の離型剤塗布工程Ｐ１で用いたマスキングシートの（ａ）平面図、（ｂ）正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、適宜図面を参照しながら、本発明の実施形態について詳述する。ただし、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。
図１は、本発明の一の実施形態に係る異材複合定盤１００である。異材複合定盤１００は、石製の定盤１０と、軟鋼製の架台２０と、定盤１０を架台２０に固定する３本のボルト３０と、定盤１０と架台２０の間に挟装される挟装材４０とを主に備えている。
【００２１】
定盤１０は、石、又はセラミック等の非金属からなり、図１に示すように、平面視長方形の板状をなし、厚み方向に貫通孔する３つのボルト孔１１を有している。３つのボルト孔１１は、二等三角形の頂点に位置するよう設けられている。定盤１０は、この３つのボルト孔１１を用いて３点支持した状態で上面の仕上げ研磨がなされている。
【００２２】
架台２０は、図２に示すように、定盤載置板２１と、基台２２とを備えている。定盤載置板２１は、上面に定盤載置面２１ａを備え、長方形の４隅に矩形の切欠き部２１ｂを設けた略十字状に形成され、長手方向の一端側（図２の右奥側）における幅方向の中央に角丸四角形の透孔２１ｃが穿設されている。
【００２３】
基台２２は、Ｈ形鋼２３の上下のフランジ間に４枚の補強板２４を溶接して形成され、上側のフランジの上面２２ａに定盤載置板２１が載置されて溶接されている。上面２２ａには、定盤載置板２１の２つの切欠き部２１ｂと透孔２１ｃの位置において、短尺棒鋼からなる３つの支持部２５が上方へ突出するよう溶接固定されている。支持部２５の先端面の周縁には、定盤を支持するための円環状の支持面２５ａが設けられ、中央に六角穴ボルト３０を螺合する雌ネジ穴２５ｂが設けられている。支持面２５ａは、図４（ｂ）に示すように、定盤載置面２１ａよりもやや高く（図４（ｂ）の例では、約０．５ｍｍ）設けられ、３つの支持面２５ａにより定盤１０を支持すると、図１０（ａ）、（ｃ）に示すように、定盤１０の下面１２と、定盤載置面２１ａの間に隙間６が生じるよう設けられている。また、図２に示すように、架台２２の上面２２ａの４隅には、Ｈ形鋼２３の上側のフランジ２３ａを鉛直方向に貫通する押ピン用雌ネジ孔２２ｂが設けられ、図１０に示すように、押ピン用雌ネジ孔２２ｂには、それぞれボルトからなる押ピン７が螺合されており、押ピン７は、雌ネジ孔２２ｂに対し螺回することで上面２２ａから先端を出入する。
【００２４】
基台２２の下面２２ｃには、図７に示すように、架台２０を３点支持するための３つの支持脚２６が設けられている。支持脚２６は、短尺の棒鋼からなり基台２２に溶接されている。支持面２５ａは、支持脚２６により３点支持された状態で仕上げ加工がなされる。
【００２５】
挟装材４０は、図３に示すように、下面１２の長手方向におけるボルト孔１１の間の領域に、縦横等間隔に並べて貼設された多数の小円形部４０ａからなる。挟装材４０としては、硬化後の弾性力を高めることを目的として主剤のエポキシ樹脂に鉄粉を含有させた接着剤が好適に用いられ、例えば、スリーボンド株式会社製のスリーロイ（型番ＴＢ２０８４）を用いることができる。
一方、離型剤５０は、図９（ａ）に示すように、定盤設置面２１ａに塗布されている。離型剤５０としては、例えば、ダイキン工業株式会社製のダイフリー（型番ＧＡ―７５００）を用いることができる。
離型剤５０は、０．１μｍ以上１μｍ以下の厚みに塗布されることが好ましい。
挟装材４０は、定盤載置面２１ａに離型剤５０が塗布されていることから、定盤設置面２１ａに対し密着しているが接着はしていない。
【００２６】
定盤１０と架台２０は、図２に示すように、ボルト３０により連結される。ボルト３０はボルト孔１１に挿通されたのち架台２０の支持部２５の雌ネジ穴２５ｂに螺合される。ボルト孔１１は、図１０に示すように、上面側の拡径部１１ａと下面側の細径部１１ｂとからなり、ボルト３０の頭部３０ａが拡径部１１ａに収容され、細径部１１ｂにボルトの軸部３０ｂが収容される。
ボルトの頭３０ａの外周と拡径部１１ａの側面の間、及びボルトの軸部３０ｂとボルト孔の細径部３０ｂの側面の間には、定盤と架台との熱膨張又は熱収縮により生じた寸法差を吸収するための適宜の間隔（１例で片側１ｍｍ）が設けられている。
【００２７】
ボルトの頭部３０ａの下面とボルト孔１１の拡径部１１ａの底面の間、及び定盤１０の下面１２と支持面２３ａの間には、それぞれ摩擦を低減するための樹脂製ワッシャー８が設けられている。
【００２８】
次に、図９及び図１０を用いて、異材複合定盤１００の製造方法について説明する。本発明に係る異材複合定盤１００の製造方法は、離型剤塗布工程Ｐ１と、接着剤塗布工程Ｐ２と、定盤設置工程Ｐ３と、定盤分離工程Ｐ４と、定盤再設置工程Ｐ５と、を備える。
【００２９】
（離型剤塗布工程Ｐ１）
離型剤塗布工程Ｐ１は、図９（ａ）に示すように、架台２０の定盤載置面２１ａに離型剤５０を塗布する工程であり、定盤１０及び架台２０が仕上げ加工まで完成したのち実施される。定盤載置面２１ａの挟装材４０が塗布される領域にスプレー式の離型剤を１又は複数回塗布して、離型剤５０の被膜を形成する。
【００３０】
（接着剤塗布工程Ｐ２）
接着剤塗布工程Ｐ２は、図９（ｂ）に示すように、定盤載置面２１ａに接着剤（挟装材）４０を塗布する工程である。接着剤４０は、離型剤塗布工程Ｐ１において定盤載置面２１ａに塗布した離型剤５０の上から塗布する。接着剤４０の塗布は、図９（ｂ）に示すように、離型剤を塗布する箇所に円形孔を設けたＰＴＦＥ製のマスキングシートＭを用いて行い注射器に充填した接着剤４０で当該円形孔を上側の開口まで埋めるようにして行う。
【００３１】
（定盤設置工程Ｐ３）
定盤載置工程Ｐ３は、図９（ｃ）に示すように、接着剤４０を塗布した後接着剤４０が硬化する前に、定盤１０を架台２０の定盤載置面２１ａに載置したのち、図１０（ａ）に示すように、定盤１０をボルト３０で架台２０に固定する工程である。定盤１０を定盤載置面２１ａに載置する際には、まず、定盤１０の側面の４箇所に取着された不図示のアイボルトにワイヤを掛止してクレーン等で定盤１０を持ち上げる。持ち上げた定盤１０を、定盤載置面２１ａの上に降下させる際には、図９（ｃ）に示すように、支持面２５の雌ネジ穴２５ｂに立設した無頭ボルト９によりボルト孔１１を案内する。定盤１０と定盤載置面の間に樹脂製ワッシャーを挟装する場合には、定盤１０を載置する前に無頭ボルト９に樹脂製ワッシャーを環装しておく。定盤１０を定盤載置面２１ａに載置したら、無頭ボルト９を取外し、図１０（ａ）に示すように、樹脂製ワッシャー８を介してボルト３０をボルト孔１１へ通し、雌ネジ孔２５ｂに螺結する。こののち、定盤１０を適宜の時間だけ静置して接着剤４０を硬化させる。
【００３２】
（定盤分離工程Ｐ４）
定盤分離工程Ｐ４は、図１０（ｂ）に示すように、接着剤４０が硬化した後、定盤１０を持ち上げて、架台２０から定盤１０を切り離す工程である。接着剤４０が十分に硬化したら、ボルト３０を全て取外し、定盤１０を持ち上げて、接着剤４０を離型剤５０から分離する。定盤１０は、架台２０の４隅に設けた押ピン７を螺回させて、その先端を定盤載置面２１ａの上側に突き出すことにより持ち上げる。
【００３３】
（定盤再設置工程Ｐ５）
定盤再設置工程Ｐ５は、定盤分離工程Ｐ４の後、図１０（ｃ）に示すように、再び定盤設置面２１ａに定盤１０を載置してボルト３０で架台２０に固定する工程である。定盤１０を再度定盤載置面２１ａに載置する際には、押ピン７を下降させることにより行う。定盤１０を再度定盤載置面２１ａに載置したら、再び、ボルト３０により定盤１０を架台２０に結合する。
【００３４】
（実施例１）
次に、本実施形態に係る実施例１について測定した平面度測定試験について説明する。
ＳＳ４００製のＨ型鋼、鋼板、及び棒鋼等から図４乃至図７に示した寸法、幾何公差、及び表面粗さにて架台２０を形成した。次に、離型剤５０としてダイキン工業株式会社製のダイフリー（型番ＧＡ―７５００）を用い離型剤のスプレーの回数を２回として離型剤塗布工程Ｐ１を実施して、定盤載置面２１ａ全面に離型剤５０を塗布した。これに先立ち別途の鋼鈑にダイフリーを２回塗布することで、概ね１μｍの被膜が形成されることを確認した。続けて、接着剤（挟装材）４０として、スリーボンド株式会社製のスリーロイ（型番ＴＢ２０８４）を用い、図１２に示した寸法からなるマスキングシートＭを用いて接着剤塗布工程Ｐ２を実施し、接着剤４０を離型剤５０の上から定盤載置面２１ａに塗布した。接着剤４０は、小円形部４０ａが６行１１列となるよう塗布した。
【００３５】
しかる後、定盤設置工程Ｐ３を実施して、図８に示した寸法の黒御影石からなる定盤１０を、架台２０の定盤載置面２１ａに載置し、ボルト３０により架台２０に固定した。ボルト３０は、強度区分Ａ２−７０のＳＵＳ３０４製六角穴付きボルト（Ｍ１２）を用い、締結トルクを５０Ｎｍとして締結した。この状態で接着剤４０が硬化するまで静置した。定盤１０と支持部２５ａの間には、株式会社旭ポリスライダー社製のナイロン樹脂製耐摩耗ワッシャー「ポリスライダー（登録商標）型番ＳＷＳＰＳ２０−１５−０．１３」をそれぞれ挟装した。
【００３６】
定盤設置工程Ｐ３において接着剤の硬化前、接着剤の硬化後、及び接着剤が硬化した後温度低下後に、定盤１０の上面の平面度を計測した。平面度の測定は、表１に示した温度条件で、大菱計器の電子水準器ミニレベルＮＴ（感度０．００１ｍｍ／ｍ）を用い、図１１に示した格子点の位置を測定した。尚、定盤の温度は定盤の側面を、架台の温度は定盤載置板を、ともに接触式デジタル温度計にて測定した。
【００３７】
続けて、定盤分離工程Ｐ４を実施して、一端定盤１０を持ち上げて架台２０から分離した後、定盤再設置工程Ｐ５を実施して、再度架台２０上に定盤１０を載置してボルト３０にて固定した。ボルト３０の頭部３０ａと定盤１０のボルト孔１１の拡径部１１ａの底部との間にも、株式会社旭ポリスライダー社製のナイロン樹脂製耐摩耗ワッシャー「ポリスライダー（登録商標）型番ＳＷＳＰＳ２０−１５−０．１３」を挟装した。
こうして、完成した異材複合定盤１００を用いて、定盤１０の平面度を計測し、さらに温度を上昇させて、同様に平面度を測定した。
【００３８】
（計測結果）
実施例１における平面度の計測結果を表１に示す。
【表１】
2017101748.tif 000003
【００３９】
表１に示すように、定盤分離直前と定盤分離直後とを比べると定盤分離直後の方が平面度が小さくなっており、定盤を分離したほうが平面度が良くなることが分かった。
【００４０】
また、表１から読み取れる定盤分離前と定盤分離後における温度変化による平面度の変化量の違いを整理して表２に示す。
【表２】
2017101748.tif 000004
【００４１】
表２に示すように、定盤分離後のほうが定盤分離前に比べて温度変化による平面度の変化が小さかった。これにより、離型剤５０から接着剤４０を分離したほうが、異材複合定盤１００のバイメタル現象を抑制できることがわかった。
【００４２】
本発明は、上述の実施形態、又は実施例に限られるものではなく、例えば、定盤の下面に離型剤を塗布して、定盤載置面に接着剤（挟装材）を接着してもよい。挟装材は、定盤と定盤載置面の両方に接着していてもよいし、いずれとも非接触であってもよい。挟装材は、定盤の下面又は定盤載置面の下面前面に塗布してもよいし、小円ではなく多角形や楕円等、他の図形を分散配置するようにして塗布してもよい。
【符号の説明】
【００４３】
１００  異材複合定盤
１０  定盤
１１  ボルト貫通孔
１２  定盤の下面
２０  架台
２１ａ  定盤載置面
２５ａ  支持面
３０  ボルト
４０  挟装材
５０  離型剤
６  間隙
７  押ピン
８  樹脂製ワッシャー
【図１】
2017101748.tif 000005
【図２】
2017101748.tif 000006
【図３】
2017101748.tif 000007
【図４】
2017101748.tif 000008
【図５】
2017101748.tif 000009
【図６】
2017101748.tif 000010
【図７】
2017101748.tif 000011
【図８】
2017101748.tif 000012
【図９】
2017101748.tif 000013
【図１０】
2017101748.tif 000014
【図１１】
2017101748.tif 000015
【図１２】
2017101748.tif 000016