(57)【要約】【課題】精度良く温度を測定することができる温度センサを提供すること。【解決手段】温度センサ１は、金属チューブ９の中間部４５の外周面４５ａの周方向における形状は円形である。また、中間部４５の内周面４５ｂに、小径部４１の内部の空間Ｋ１とシース管５と金属チューブ９との間の空間Ｋ２とを連通する連通溝５１が設けられており、しかも、連通溝５１の深さは、中間部４５の厚みの範囲内である。よって、金属チューブ９の先端側にセメント４７を容易に充填できるとともに、温度測定の方向性を低減できるという効果がある。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
温度によって電気的特性が変化する感温部と、該感温部に接続された電極線と、を有する感温素子と、
シース管と、該シース管内に充填された電気絶縁性を有する絶縁材と、該絶縁材を貫いて配置されると共に先端側が前記電極線に接続された芯線と、を有するシース部材と、
前記先端側が閉塞されると共に、内部に前記感温素子と前記シース部材の少なくとも先端側とが収容された金属チューブと、
を備え、
前記金属チューブは、先端側の小径部と、該小径部より大径の後端側の大径部と、前記小径部と前記大径部とを接続する中間部と、を有し、
前記感温素子が前記小径部の内部の空間に配置され、前記感温素子と前記金属チューブとの間に電気絶縁性を有する充填材が充填された温度センサにおいて、
前記シース管の先端が前記中間部の内周面に当接していると共に、該中間部の内周面に、前記小径部の内部の空間と前記シース管と前記金属チューブとの間の空間とを連通する連通溝が設けられており、
前記連通溝の深さは、前記中間部の厚みの範囲内であることを特徴とする温度センサ。
【請求項２】
前記中間部の外周面の周方向における形状は、円形であることを特徴とする請求項１に記載の温度センサ。
【請求項３】
前記連通溝を、複数有することを特徴とする請求項１又は２に記載の温度センサ。
【請求項４】
前記複数の連通溝は、前記金属チューブの中心軸を中心にして、対向する位置に設けられていることを特徴とする請求項３に記載の温度センサ。
【請求項５】
前記複数の連通溝は、周方向に等間隔に配置されていることを特徴とする請求項３又は４に記載の温度センサ。
【請求項６】
前記連通溝の深さは、前記中間部の厚みの１／２以下であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の温度センサ。
【請求項７】
前記中間部は、内周面が前記金属チューブの中心軸に対して傾斜したテーパ形状であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の温度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばサーミスタ素子や測温抵抗体素子等の感温素子を金属チューブ内に収容した温度センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば自動車の排ガスの温度等を測定する温度センサとして、金属チューブ内に、サーミスタ素子の一対の電極線とシース部材の一対の芯線とが接合された部材を収容するとともに、セメントにてこれらの部材を固定した温度センサが知られている。なお、シース部材とは、シース管内に絶縁材料が充填されるとともに、絶縁材料に芯線が貫挿された長尺の部材である。
【０００３】
この種の温度センサでは、サーミスタ素子を金属チューブに接触させないようにして、金属チューブ内の適切な位置に配置するために、位置決め用の構成が設けられている。具体的には、金属チューブの一部にテーパ部を設け、このテーパ部にシース管の先端を当接させることにより、サーミスタ素子の位置決めを行っている。
【０００４】
ところが、このようにシース管の先端がテーパ部に当たる構成の場合には、当接部分にて、サーミスタ素子の周囲の空間とシース管の周囲の空間とが閉塞されてしまうので、金属チューブの先端側にセメントを充填してサーミスタ素子を固定する作業に不具合が生じることがあった。
【０００５】
具体的には、セメントにてサーミスタ素子を固定する場合には、まず、金属チューブの先端側にスラリー状のセメントを充填し、次に、そのセメント中にシース部材に取り付けられたサーミスタ素子を入れ、次に、遠心力を利用して、スラリー中のセメント成分（固体成分）を金属チューブの先端側に充填するとともに、水分等を後端側（シース管の外周側）に排出する等の作業が行われるが、サーミスタ素子の周囲の空間とシース管の周囲の空間とが閉塞されている場合には、セメント成分（固体成分）を先端側に十分に充填できないことがあった。
【０００６】
この対策として、近年では、シース管を角形等に変形したり、その先端側を切り欠いたり、或いは、金属チューブを角形や凸状等に変形させたりして、テーパ部とシース管の当接部分に隙間を設けるようにした技術が提案されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−１５５７０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上述した従来技術では必ずしも十分ではなく、一層の改善が望まれている。
例えば、圧延等によってシース部材を製造する場合には、断面が円形のシース部材を作製した後に、例えばプレス成形によって角形等に加工するが、この方法では、導線である芯線を変形させる恐れがある。
【０００９】
また、シース部材（詳しくはシース管）の先端を切り欠く場合には、芯線の変形は生じにくいが、テーパ部とシース管との接触位置に関わる寸法精度が悪化することで、温度センサの特性が変化する恐れがある。
【００１０】
それに対して、金属チューブを角形や凸状等に変形する場合には、上述した芯線に関する問題は無いものの、外形形状によっては、温度を測定する際に、金属チューブの周方向において温度の分布状態が変化し、温度測定における方向性が発生するという恐れがある。
【００１１】
例えば、金属チューブを角形や凸状等の形状の場合には、測定対象のガスが金属チューブの周方向のどの位置に当たるかによって、周方向におけるガスの流れや温度分布が変化するので、精度良く温度を測定できない恐れがある。
【００１２】
本発明は、かかる背景に鑑みてなされたものであり、その目的は、精度良く温度を測定することができる温度センサを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
（１）本発明の第１局面は、温度によって電気的特性が変化する感温部と、感温部に接続された電極線と、を有する感温素子と、シース管と、シース管内に充填された電気絶縁性を有する絶縁材と、絶縁材を貫いて配置されると共に先端側が電極線に接続された芯線と、を有するシース部材と、前記先端側が閉塞されると共に、内部に感温素子とシース部材の少なくとも先端側とが収容された金属チューブと、を備えた温度センサに関するものである。
【００１４】
この温度センサでは、金属チューブは、先端側の小径部と、小径部より大径の後端側の大径部と、小径部と大径部とを接続する中間部と、を有し、感温素子が小径部の内部の空間に配置され、感温素子と金属チューブとの間に電気絶縁性を有する充填材が充填されている。
【００１５】
更に、この温度センサでは、シース管の先端が中間部の内周面に当接していると共に、中間部の内周面に、小径部の内部の空間とシース管と金属チューブとの間の空間とを連通する連通溝が設けられ、この連通溝の深さは、中間部の厚みの範囲内とされている。
【００１６】
このように、本第１局面では、中間部の内周面に、小径部の内部の空間とシース管と金属チューブとの間の空間とを連通する連通溝が設けられているので、連通溝を介して、金属チューブの先端側に充填材を容易に充填できる。
【００１７】
具体的には、中間部の内周面に上述した連通溝が設けられているので、例えばスラリー（又はペースト）状のセメント等の充填材（詳しくは例えばスラリー中の固体成分）は、その連通溝を介して、シース管と金属チューブとの間の空間から小径部の内部の空間に容易に移動できる。また、例えばスラリー中の水分等は、連通溝を介して、小径部の内部の空間からシース管と金属チューブとの間の空間に容易に移動できる（即ち排出される）。よって、金属チューブの先端側（特に小径部の内部）に充填材（例えばスラリー中の固体成分）を充填する作業が容易であるので、感温素子を固定する作業が容易である。
【００１８】
しかも、本第１局面では、連通溝の深さは中間部の厚みの範囲内である。つまり、「連通溝の深さ＜中間部の厚み」となるように、連通溝は中間部の厚みの範囲内で形成されている。よって、従来のような中間部の外周面に（連通溝に対応した）凸部等を設けることなく連通溝を設けることが可能である。
【００１９】
従って、中間部の外周面に凸部等を設けないようにした場合には、従来のように凸部等を設けた場合に比べて、中間部の周方向（中心軸を回る方向）における方向性が少ない。
例えば、金属チューブ（詳しくは中間部）の中心軸に対して垂直となる一定の方向から測定対象ガス（例えば排ガス）が流れるような環境にて、金属チューブ（詳しくは中間部）を周方向においてどのような向きにして温度センサを取り付けても、温度測定における方向性を低減して、精度良く測定対象ガスの温度を測定することができる。
【００２０】
つまり、従来のように、中間部の外周の一部に凸部等が形成されている場合には、その凸部等が例えば排ガスの流れ方向に対して、周方向のどの位置にあるかによって、例えば排ガスの流れが変化したり温度分布が変化するので測定される温度も異なる可能性がある。
【００２１】
それに対して、本第１局面では、例えば中間部の外周面に凸部等を設けることなく内周面に連通溝を設けることができ、そのため、中間部を中心軸の周りに回転させても、その中間部の周方向における測定対象ガスの流れが変化しにくく、周方向における温度分布も変化しにくい。よって、温度センサの取り付け状態による温度測定の方向性を低減できるという顕著な効果を奏する。
【００２２】
また、本第１局面では、従来のようにシース管を角形にしたり先端を切り欠く加工の必要がないので、上述したシース管を加工する場合の不具合、即ち、芯線の変形や測定精度の低下等が生じにくいという利点がある。
【００２３】
（２）本発明の第２局面では、中間部の外周面の周方向における形状は円形である。
本第２局面では、中間部を中心軸に対して垂直な平面で破断した場合には、その平面と中間部の外周面とが交差する部分の形状（軸方向から見た形状）が円形である。
【００２４】
つまり、金属チューブの中間部は、周方向において方向性がないので、例えば測定対象ガスが中間部の周方向においてどの方向に流れても、（外周面に凸部がある場合に比べて）周方向における温度分布が生じにくい。よって、精度よく温度を測定できるという効果がある。
【００２５】
（３）本発明の第３局面では、連通溝を、複数有する。
本第３局面では、連通溝が複数形成されているので、例えばペースト状のセメントやその成分等の移動が一層容易である。よって、感温素子の固定作業を一層簡易化できる。
【００２６】
（４）本発明の第４局面では、複数の連通溝は、金属チューブの中心軸を中心にして、対向する位置に設けられている。
本第４局面では、複数の連通溝は対向する位置に設けられているので、（そうでない場合に比べて）例えばスラリー状のセメントやその成分等の移動がより一層容易である。よって、感温素子の固定作業をより一層簡易化できる。
【００２７】
（５）本発明の第５局面では、複数の連通溝は、周方向に等間隔に配置されている。
本第５局面では、複数の連通溝は周方向に等間隔に配置されているので、（そうでない場合に比べて）、例えばスラリー状のセメントやその成分等の移動がより一層容易である。よって、感温素子の固定作業をより一層簡易化できる。
【００２８】
（６）本発明の第６局面では、前記連通溝の深さは前記中間部の厚みの１／２以下である。
本第６局面では、連通溝の深さは中間部の厚みの１／２以下であるので、金属チューブの中間部における強度を十分に確保できる。
【００２９】
（７）本発明の第７局面では、中間部は、内周面が金属チューブの中心軸に対して傾斜したテーパ形状である。
本第７局面では、中間部は、内周面が金属チューブの中心軸に対して傾斜したテーパ形状であるので、金属チューブ内にシース部材を挿入した場合に、容易にシース部材（従って感温素子）の位置決めを行うことができる。
【００３０】
＜以下に、本発明の構成について説明する＞
・感温部としては、例えば、サーミスタ、白金抵抗体等の測温抵抗体等が挙げられる。従って感温素子としては、サーミスタ素子、測温抵抗体素子等が挙げられる。
【００３１】
・電極線としては、例えば、Ｐｔ又はＰｔ−Ｒｈ合金、Ｐｔ−Ｉｒ合金、Ｐｔ又はＰｔ合金にアルカリ土類金属元素（例えばＳｒ）を微量添加した線材が挙げられる。
・シース管は、金属製の筒状部材であり、その材料としては、例えばステンレスが挙げられる。
【００３２】
・絶縁材の材料としては、例えば、シリカが挙げられる。
・芯線の材料（導電材料）としては、例えば、ステンレス又はインコネル（登録商標）が挙げられる。
【００３３】
・金属チューブは先端側が閉塞された筒状の部材であり、その材料としては、例えば、ステンレスが挙げられる。
・充填材の材料としては、例えば、セメントが挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】第１実施形態の温度センサを軸線方向に破断して示す断面図である。
【図２】温度センサの先端側を（連通溝の配置された平面に沿って）軸線方向に破断し拡大して示す断面図である。
【図３】温度センサの先端側を（図２の平面と垂直な平面に沿って）軸線方向に破断し拡大して示す断面図である。
【図４】図２において連通溝及びその周囲を拡大して示す断面図である。
【図５】中間部を軸線方向に対して垂直に破断した断面（図４のＡ−Ａ断面）を示す断面図である。
【図６】金属チューブの製造工程を示す説明図である。
【図７】温度センサの製造工程を説明する説明図である。
【図８】第２実施形態の温度センサを軸線方向に破断して示す断面図である。
【図９】温度センサの先端側を（連通溝の配置された平面に沿って）軸線方向に破断し拡大して示す断面図である。
【図１０】他の実施形態における連通溝の配置や形状を、中間部を軸線方向に対して垂直に破断した端面にて示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
以下、本発明が適用された温度センサの実施形態について、図面を用いて説明する。
［１．第１実施形態］
［１−１．温度センサの全体構成］
図１に示すように、第１実施形態の温度センサ１は、感温素子であるサーミスタ素子２と、一対の金属製の芯線３をシース管５の内側にて絶縁保持したシース部材７と、先端側が閉塞し軸線Ｏ方向（軸方向）に延びる筒状の金属チューブ（ハウジング）９と、金属チューブ９を支持する取付部材１１と、六角ナット部１３及びネジ部１５を有するナット部材１７と、取付部材１１の後端側に内嵌する外筒１９とを備えている。
【００３６】
なお、軸線Ｏ方向とは、温度センサ１の長手方向（軸線Ｏの延びる方向）であり、図１においては上下方向に相当する。また、温度センサ１における先端側は図１における下側であり、後端側は図１における上側である（以下同様）。
【００３７】
前記温度センサ１は、金属チューブ９の先端側の内部に、温度を測定するために前記サーミスタ素子２を収納したセンサである。この温度センサ１は、例えば内燃機関の排気管などの流通管に装着され、温度センサ１の先端側が、測定対象ガス（排ガス）が流れる流通管内に配置されることにより、測定対象ガスの温度を検出する。
【００３８】
以下、各構成について詳細に説明する。
図２及び図３に拡大して示す様に、シース部材７は、円筒形状の金属製（例えばステンレス合金製）のシース管５と、導電性金属（例えばステンレス合金：例えばＳＵＳ３１０Ｓ）からなる一対の芯線３と、シース管５と２本の芯線３との間を電気的に絶縁して芯線３を保持するシリカ等の絶縁粉末（絶縁材）２３とから構成される。
【００３９】
芯線３は、その先端側（図２、図３の左側）が、例えばレーザ溶接によりサーミスタ素子２の電極線２５と接続されており、その後端側が、例えば抵抗溶接により加締め端子２７（図１参照）と接続されている。
【００４０】
図１に示すように、前記芯線３は、自身の後端側が加締め端子２７を介して外部回路（例えば、車両の電子制御装置（ＥＣＵ）等）接続用のリード線２９と接続されている。
なお、一対の芯線３および一対の加締め端子２７は、絶縁チューブ３１により互いに絶縁され、リード線２９は、導線を絶縁性の被覆材にて被覆され耐熱ゴム製の補助リング３３の内部を貫通する状態で配置される。
【００４１】
取付部材１１は、径方向外側に突出する円筒状の突出部３５と、突出部３５から後端側に延びる円筒状の後端側鞘部３７とを有している。後端側鞘部３７は、後端側に延びる円筒状のスリーブ３９を有しており、このスリーブ３９に金属チューブ９が接合されている。つまり、この取付部材１１は、金属チューブ９の後端側の外周面を取り囲んで金属チューブ９を支持する。
【００４２】
金属チューブ９は、耐腐食性金属（例えば、耐熱性金属でもあるＳＵＳ３１０Ｓなどのステンレス合金）からなる。この金属チューブ９は、鋼板の深絞り加工によりチューブ先端側が閉塞した軸線Ｏ方向に延びる筒状をなし、筒状のチューブ後端側が開放した形態である。
【００４３】
また、図２及び図３に示すように、金属チューブ９は、径が小さく設定された先端側の小径部４１と、径が小径部４１よりも大きく設定された後端側の大径部４３と、小径部４１と大径部４３との間の中間部４５とを備えている。
【００４４】
なお、小径部４１は先端側が閉塞された円筒形状であり、中間部４５は円錐台形状であり、大径部４３は円筒形状であり、各部４１、４５、４３は軸線Ｏに対して同軸となっている。
【００４５】
また、金属チューブ９の内部に、サーミスタ素子２およびセメント４７が収納されており、セメント４７は、サーミスタ素子２の周囲に充填されることで、サーミスタ素子２の揺動を防止している。このセメント４７は、後に詳述するように、小径部４１の内部と中間部４５の内部と大径部４３の内部の先端部分とに充填されている。なお、セメント４７は、非晶質のシリカにアルミナ骨材を含有した絶縁材よりなる。
【００４６】
サーミスタ素子２は、温度によって電気的特性（電気抵抗値）が変化するサーミスタ焼結体（感温部）４９と、このサーミスタ焼結体４９の電気的特性の変化を取り出すための一対の電極線２５とから構成される。
【００４７】
サーミスタ焼結体４９は、例えば六角柱形状のセラミック焼結体であり、例えば、（Ｓｒ、Ｙ）（Ａｌ、Ｍｎ、Ｆｅ）Ｏ３をベース組成としたペロブスカイト型酸化物で形成されている。電極線２５は、例えば白金（Ｐｔ）から構成されている。
【００４８】
［１−２．中間部の構成］
次に、本第１実施形態の要部である中間部４５の構成について説明する。
図４に示すように、中間部４５は、軸線０方向に延びる小径部４１と大径部４３に対して、所定角度（例えば４５°）で交わるように傾斜している。つまり、中間部４５は、金属チューブ９の中心軸である軸線０に対してテーパ状に傾斜した（頂点が先端側である）円錐台形状となっている。
【００４９】
また、金属チューブ９自体は、円筒形状であるので、金属チューブ９を軸線０に対して垂直に破断した場合には、金属チューブ９の外周面９ａ（従って中間部４５の外周面４５ａ）は、軸線Ｏを円の中心とした円形（即ち軸線Ｏ方向から見た場合に円形）となっている。つまり、金属チューブ９の外周面９ａの周方向における形状は円形である。
【００５０】
さらに、中間部４５の内周面４５ｂには、小径部４１の内部の空間Ｋ１とシース管５と大径部４３との間の空間Ｋ２とを連通するように、４箇所に連通溝５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、５１ｄ（５１と総称する：図５参照）が設けられている。
【００５１】
つまり、各連通溝５１は、中間部４５の内周面４５ｂにおいて、小径部４１の内周面４１ｂから大径部４３の内周面４３ｂに到るように、直線状に設けられている。
詳しくは、各連通溝５１は、軸線Ｏを含む平面に沿って、図５に示すように、軸線Ｏを中心にして９０°の中心角にて等間隔に形成されている。
【００５２】
また、連通溝５１の深さは、中間部４５の厚みの範囲内である（即ち「連通溝５１の深さ＜中間部４５の厚み」である）。つまり、連通溝５１の外周側の中間部４５の外周面４５ａが、（連通溝５１が形成されていない箇所に比べて）外周側に凸状に突出することがないように、連通溝５１は、中間部４５の厚みの範囲内に設けられている。
【００５３】
なお、本第１実施形態では、連通溝５１の深さは、軸線Ｏに沿った長手方向のどの位置でも同じであるが、仮に深さが場所によって異なる場合には、連通溝５１の最大の深さを採用できる。また、ここでは、中間部４５の厚みは、連通溝５１の部分以外は一定であるが、上述のように、中間部４５の外周面４５ａの一部（即ち連通溝５１に対応する部分）を凸状に外周側に突出させない限りは、中間部４５の厚みが一部異なっていてもよい。
【００５４】
さらに、軸線Ｏと垂直な方向における各連通溝５１の断面形状は、円弧形状であり、幅Ｗは例えば０．２ｍｍであり、その深さＤ（連通溝５１が無い場合の内周面４５ａからの深さ）は、例えば０．１ｍｍである。ここで、各連通溝５１の深さＤとは、中間部４の厚み方向における深さであり、この深さＤは、中間部４５の厚み(例えば０．３ｍｍ)の１／２以下である。
【００５５】
図４に戻り、シース管５の先端部５ａの外周部分は、中間部４５の内周面４５ｂの全周にわたって（但し各連通溝５１の開口端以外の部分）当接している。詳しくは軸線Ｏ方向における中間部分（例えば中央）にて当接している。よって、シース管５の先端部５ａの外周部分と中間部４５の内周面４５ｂとは、各連通溝５１の部分にて隙間となっており、この連通溝５１にセメント４７が充填されている。
【００５６】
なお、上述したように、小径部４１の内部の空間Ｋ１とシース管５と大径部４３との間の空間Ｋ２とには、セメント４７が充填されており、中間部４５の内部（但しシース部材７の周囲）及び連通溝５１の内部にもセメント４５が充填されている。
【００５７】
［１−３．温度センサの製造方法］
次に、温度センサ１の製造方法について説明する。
本第１実施形態の温度センサ１を製造する場合には、シース部材７、取付部材１１、サーミスタ素子２等の部品を公知の手法により準備する。
【００５８】
＜金属チューブの製造工程＞
金属チューブ９については、下記の方法により製造する。
まず、例えば周知の深絞りによって、先端側が閉塞し、連通溝５１の無い金属チューブ９を作製する。
【００５９】
次に、図６に示すように、この金属チューブ９を、金型（外型）６１の挿入孔６３内に配置する。この挿入孔６３は、金属チューブ９の外形に沿った形状を有するものである。
次に、金属チューブ９の内部孔６５の形状に沿った外形を有する金型（内型）６７を用意する。この内型６７の前記中間部４５の連通溝５１に対応する部分には、連通溝５１に対応した形状の凸部６９が形成されている。
【００６０】
次に、この内型６７を、金属チューブ９の内部孔６５に対して、軸線Ｏ方向に沿って圧入することによって、中間部４５の内周面４５ａの一部を凹ませて、連通溝５１を形成する。
【００６１】
この方法よって、金属チューブ９を製造することができる。なお、深絞りの一連の作業の途中で、上述したようにして連通溝５１を形成してもよい。
＜組み付け工程＞
また、これとは別に、サーミスタ素子２の一対の電極線２５の後端を、各々一対の芯線３の先端に当接させて配置し、例えばレーザ溶接により接合する。
【００６２】
レーザ溶接後の製造工程は従来と同様であるので簡単に説明する。
例えば前記図１に示す様に、取付部材１１の内部に金属チューブ９を圧入し、スリーブ３９に対して溶接作業を行うことで、金属チューブ９と取付部材１１とを一体化する。
【００６３】
＜先端部品作製工程＞
続いて、サーミスタ素子２が溶接されたシース部材７と取付部材１１が溶接された金属チューブ９とからなる先端部品７１（図７参照）を組み立てる。
【００６４】
この作業については、図７を用いて説明する。
先端部品７１を製造するにあたっては、まず、取付部材１１が溶接された金属チューブ９の先端部分の中にノズル７３を挿入し、スラリー状（又はペースト状）のセメント４７を注入する。なお、この段階では、金属チューブ９にサーミスタ素子２等は挿入されていない。
【００６５】
次に、サーミスタ素子２が溶接されたシース部材７を、セメント４７が注入された金属チューブ９の内部に挿入する。このとき、小径部４１、大径部４３、中間部４５の各内部や連通溝５１に、スラリー状のセメント４７が充填される。
【００６６】
そして、シース部材７を金属チューブ９の内部に挿入した状態で、金属チューブ９に径方向外側から金型７５を対向させた状態で押し当てる長孔加締を行う。この長孔加締により、金属チューブ９とシース部材７とは完全に位置決め固定される。
【００６７】
このようにして、先端部品７１ができあがる。
＜遠心脱泡処理＞
そして、この先端部品７１に対して、周知の遠心脱泡処理を実施する。
【００６８】
この処理により、スラリー状のセメント４７中の固体成分が、連通溝５１を介して大径部４３側から小径部４１側に移動するので、金属チューブ９の先端側に、セメント４７の固体成分が十分に充填される（即ち小径部４１内に隙間なく充填される）。また、水分や気泡は、小径部４１側から大径部４３側に移動する。
【００６９】
そして、遠心脱泡処理が終了すると、この先端部品７１を熱処理し、セメント４７を乾燥（硬化）させる。
このようにして、熱処理後の先端部品７１が得られる。
【００７０】
なお、先端部品７１とその他の部品との組み付け工程は、従来と同様であるので、その説明は省略する。
［１−４．効果］
（１）第１実施形態では、中間部４５の外周面４５ａの周方向における形状が円形である。また、金属チューブ９の中間部４５の内周面４５ｂに、小径部４１の内部の空間Ｋ１とシース管５と金属チューブ９との間の空間Ｋ２とを連通する連通溝５１が設けられている。さらに、連通溝５１の深さは、中間部４５の厚みの範囲内である。よって、金属チューブ９の先端側にセメント４７を容易に充填できるとともに、温度測定の方向性を低減できるという効果がある。
【００７１】
具体的には、中間部４５の内周面４５ａには連通溝５１が設けられているので、遠心脱泡の際に、スラリー状のセメント４７の固体成分を、連通溝５１を介してシース管５と金属チューブ９との間の空間Ｋ２から小径部４１の内部の空間Ｋ１に容易に充填することができる。よって、サーミスタ素子２の固定作業が容易である。
【００７２】
しかも、連通溝５１は中間部４５の厚みの範囲内に設けられており、中間部４５はテーパ形状（外周面４５ａの周方向が円形）であるので、即ち、従来のように中間部４５の外周面４５ａに部分的に凸部等が形成されていないので、中間部４５の周方向における方向性が少ない。
【００７３】
従って、例えば、中間部４５の中心軸に対して垂直となる一定の方向から排ガスが流れるような場合に、中間部４５を周方向においてどのような向きにして温度センサ１を排気管に取り付けても、温度測定の方向性が少なく、精度良く排ガスの温度を測定することができる。
【００７４】
また、第１実施形態では、従来のようにシース管５を角形にしたり先端を切り欠く加工の必要がないので、上述したシース管５を加工する場合の不具合（芯線３の変形や測定精度の低下等）がないという利点がある。
【００７５】
（２）第１実施形態では、連通溝５１が複数形成されているので、詳しくは、連通溝５１は、金属チューブ９の中心軸を中心にして、（２対が対向するとともに）周方向に等間隔に設けられているので、（そうでない場合に比べて）スラリー状のセメント４７の固体成分を容易に充填できる。
【００７６】
（３）第１実施形態では、連通溝５１の（平均の）深さは、中間部の（平均の）厚みの１／２以下であるので、金属チューブ９の中間部４５における強度を十分に確保できる。
（４）第１実施形態では、中間部４５は、内周面４５ｂが金属チューブ９の中心軸に対して傾斜したテーパ形状であるので、金属チューブ９内にシース部材７を挿入した場合に、容易にシース部材７（従ってサーミスタ素子２）の位置決めを行うことができる。
【００７７】
［１−５．特許請求の範囲との対応関係］
ここで、特許請求の範囲と第１実施形態とにおける文言の対応関係について説明する。
第１実施形態の、サーミスタ焼結体４９、電極線２５、サーミスタ素子２、シース管５、絶縁粉末２３、芯線３、シース部材７、金属チューブ９、セメント４７、小径部４１、大径部４３、中間部４５、温度センサ１、内周面４５ｂ、連通溝５１、外周面４５ａが、それぞれ、本発明の、感温部、電極線、感温素子、シース管、絶縁材、芯線、シース部材、金属チューブ、充填材、小径部、大径部、中間部、温度センサ、連通溝、外周面の一例に該当する。
【００７８】
［２．第２実施形態］
次に、第２実施形態について説明するが、前記第１実施形態と同様な構成については、その説明は省略する。
【００７９】
なお、第２実施形態は、第１実施形態とは感温素子の種類が異なる。
［２−１．温度センサの全体構成］
図８に示すように、第２実施形態の温度センサ８１は、温度を測定する感温素子である抵抗体素子８２と、一対の金属製の芯線８３をシース管８５の内側にて絶縁保持したシース部材８７と、先端側が閉塞し軸線Ｏ方向に延びる筒状の金属チューブ８９と、金属チューブ８９を支持する取付部材９１と、六角ナット部９３及びネジ部９５を有するナット部材９７と、取付部材９１の後端側に内嵌する外筒９９等とを備えている。
【００８０】
なお、抵抗体素子９２以外は、第１実施形態と同様な構成であるので、その説明は省略する。
［２−２．抵抗体素子］
図９に示すように、抵抗体素子８２は、温度に応じて電気的特性が変化する先端感温部１０１と、先端感温部１０１に接続された一対の電極線１０３とを備えている。
【００８１】
先端感温部１０１は、セラミック基体１０５と、金属抵抗体１０７と、接合層１０９と、セラミック被覆層１１１と、電極パッド１１３とを有する。
セラミック基体１０５は、アルミナからなり、セラミックグリーンシートを予め焼成してなる焼成済みシートである。
【００８２】
金属抵抗体１０７は、白金（Ｐｔ）を主体に構成され、温度に応じて電気的特性（電気抵抗値）が変化する測温抵抗体である。金属抵抗体１０７は、セラミック基体１０５の表面に所定のパターン形状で形成されている。
【００８３】
セラミック被覆層１１１は、アルミナからなり、セラミックグリーンシートを予め焼成してなる焼成済みシートである。セラミック被覆層１１１は、金属抵抗体１０７のうち、セラミック基体１０５と接する面とは反対側の面において、金属抵抗体１０７の先端側を被覆している。
【００８４】
接合層１０９は、アルミナからなる。接合層１０９は、接合前はアルミナ粉末を含むペーストであり、焼成済みのセラミック基体１０５とセラミック被覆層１１１とを上記ペーストで貼り合わせた後、熱処理されることで、最終的に接合層１０９となる。
【００８５】
金属抵抗体１０７のうち後端側（図９の右側）は、セラミック被覆層１１１によって被覆される導体パターンより幅広に形成された電極パッド１１３を介して、一対の電極線１０３が電気的に接続される。
【００８６】
電極パッド１１３と一対の電極線１０３とは、抵抗溶接、レーザ溶接等の溶接により、溶接点１１５において接合されている。
電極パッド１１３と一対の電極線１０３との接合部分は、被覆部材１１７によって被覆されている。被覆部材１１７は、アルミノケイ酸塩ガラスを主体とするガラス材料により構成されている。
【００８７】
一対の電極線１０３は、金属抵抗体１０７の後端側から、シース部材８７側（後端側）に向かって延びるように配置されている。
そして、一対の電極線１０３の後端と一対の芯線８３の先端とは、レーザ溶接により接合されている。
【００８８】
本第２実施形態においても、金属チューブ８９は、第１実施形態と同様に、小径部１２１と大径部１２３とを備えるとともに、その間にテーパ形状の中間部１２５を備えており、更に、中間部１２５の内周面１２５には、周方向に等間隔に４箇所に（軸線Ｏ方向に沿って延びるように）連通溝１３１が形成されている。
【００８９】
そして、シース管８５の先端部８５ａの外周部分は、中間部１２５の内周面１２５ｂに当接しており、小径部１２１の内部と大径部１２３の内部とは、各連通溝１３１によって連通している。
【００９０】
なお、小径部１２１の内部と大径部１２３の内部（即ちシース部材８７の外周側の空間）、更には中間部１２５の内部（但しシース部材８７以外の部分）及び各連通溝１３１には、第１実施形態と同様に、セメント１３５が充填されている。
【００９１】
上述した第２実施形態の構成によって、前記第１実施形態と同様な効果を奏する。
［３．他の実施形態］
本発明は前記実施形態になんら限定されるものではなく、本発明を逸脱しない範囲において種々の態様で実施しうることはいうまでもない。
【００９２】
（１）例えば、感温素子、絶縁材、充填材等については、上述した実施形態に限定されるものではない。
（２）また、連通溝の形状（例えば断面形状）や本数については、上述した実施形態に限定されるものではない。また、連通溝を周方向に等間隔に配置しなくてもよい。
【００９３】
例えば図１０（ａ）に示すように、中間部１４１に１本の連通溝１４３を形成してもよい。また、例えば図１０（ｂ）に示すように、中間部１５１に、中心軸を中心にして対向するように一対の連通溝１５３を形成してもよい。
【００９４】
また、連通溝の形状としては、中心軸と垂直な断面形状がＶ字（図１０（ｃ）参照）であっても、長方形（図１０（ｄ）参照）であってもよい。
（３）さらに、温度センサの製造方法は、前記実施形態に限定されるものではない。
【００９５】
例えば、金属チューブの中間部の内周面に対して、内周面の連通溝に対応する箇所を、レーザ加工や機械加工等によって除去する加工を行うことによって、連通溝を形成してもよい。
【００９６】
（４）温度センサによって測定される対象は、ガスや液体等の流体が挙げられる。
（５）上述した実施形態等の構成要素を適宜組み合わせることも可能である。
【符号の説明】
【００９７】
１、８１…温度センサ
２…サーミスタ素子
３、８３…芯線
５、８５…シース管
７、８７…シース部材
９、８９…金属チューブ
２３…絶縁粉末
２５、１０３…電極線
４１、１２１…小径部
４３、１２３…大径部
４５、１２５、１４１、１５１…中間部
４７、１３５…セメント
４９…サーミスタ焼結体
５１、５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、５１ｄ、１３１、１４３…連通溝
８２…抵抗体素子
１０１…先端感温部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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