(57)【要約】【課題】本発明は、ガラス製の基材の近赤外線フィルターに比べてうねり等が生じやすいフィルムであっても容易かつ確実に検査することができるフィルムの検査方法を提供することを課題とする。【解決手段】本発明に係るフィルムの検査方法は、フィルムの透過光を表面から撮像する工程、及びこの撮像工程で得られた撮像データを用いてフィルムの欠陥を判定する工程を有するフィルムの検査方法であって、上記撮像工程において、焦点の異なる複数の撮像データを取得し、上記判定工程において、上記焦点の異なる複数の撮像データを用いて上記欠陥の認定を行うことを特徴とする。検査対象である上記フィルムは、例えば蒸着フィルムである。上記判定工程の欠陥認定情報として、上記複数の撮像データの光強度を用いるとよい。上記判定工程の欠陥認定情報として、各撮像データにおける所定の光強度以下の暗領域の割合を用いるとよい。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムの透過光を表面から撮像する工程、及びこの撮像工程で得られた撮像データを用いてフィルムの欠陥を判定する工程を有するフィルムの検査方法であって、
上記撮像工程において、焦点の異なる複数の撮像データを取得し、
上記判定工程において、上記焦点の異なる複数の撮像データを用いて上記欠陥の認定を行うことを特徴とするフィルムの検査方法。
【請求項２】
上記フィルムが、蒸着フィルムであることを特徴とする請求項１に記載の検査方法。
【請求項３】
上記判定工程の欠陥認定情報として、上記複数の撮像データの光強度を用いる請求項１又は請求項２に記載のフィルムの検査方法。
【請求項４】
上記判定工程の欠陥認定情報として、各撮像データにおける所定の光強度以下の暗領域の割合を用いる請求項３に記載のフィルムの検査方法。
【請求項５】
上記撮像データが良品データと異なり、かつ上記複数の撮像データのうち上記暗領域割合が０である撮像データが存在する場合、内部欠陥であると認定する請求項４に記載のフィルムの検査方法。
【請求項６】
上記暗領域と認定する光強度の閾値が、最大光強度の１０％以上４０％以下である請求項４又は請求項５に記載のフィルムの検査方法。
【請求項７】
上記判定工程の欠陥認定情報として、各撮像データにおける所定の光強度以上の明領域の割合を用いる請求項２から請求項６のいずれか１項に記載のフィルムの検査方法。
【請求項８】
上記判定工程の欠陥認定情報として、各撮像データの焦点位置をｚ、明領域割合をｆ（ｚ）とし、ｄｆ（ｚ）／ｄｚの０又は正負を用いる請求項７に記載のフィルムの検査方法。
【請求項９】
上記明領域と認定する光強度の閾値が、最大光強度の５５％以上９０％以下である請求項７又は請求項８に記載のフィルムの検査方法。
【請求項１０】
上記判定工程の欠陥認定情報として、各撮像データにおける所定の光強度以下の暗領域の割合及び所定の光強度以上の明領域の割合を用い、
上記各撮像データの焦点位置をｚ、明領域割合をｆ（ｚ）、暗領域割合をｇ（ｚ）とするとｆ（ｚ０）＝０を満たすｚが存在し、かつｚ＜ｚ０のときｄｆ（ｚ）／ｄｚ又はｄｇ（ｚ）／ｄｚが負であり、しかもｚ＞ｚ０のときｄｆ（ｚ）／ｄｚ又はｄｇ（ｚ）／ｄｚが正である場合、内部欠陥であると認定する請求項３に記載のフィルムの検査方法。
【請求項１１】
上記判定工程の欠陥認定情報として、各撮像データにおける所定の光強度以下の暗領域の割合及び所定の光強度以上の明領域の割合を用い、
上記複数の撮像データのうち上記暗領域割合が０である撮像データが存在せず、かつ各撮像データの焦点位置をｚ、明領域割合をｆ（ｚ）とし、ｄｆ（ｚ）／ｄｚが正となる場合があるとき、凹状欠陥であると認定する請求項３に記載のフィルムの検査方法。
【請求項１２】
上記判定工程の欠陥認定情報として、各撮像データにおける所定の光強度以下の暗領域の割合及び所定の光強度以上の明領域の割合を用い、
上記複数の撮像データのうち上記暗領域割合が０である撮像データが存在せず、かつ各撮像データの焦点位置をｚ、明領域割合をｆ（ｚ）とし、ｄｆ（ｚ）／ｄｚが０となる場合、凸状欠陥であると認定する請求項３に記載のフィルムの検査方法。
【請求項１３】
上記撮像工程において撮像された元データに基づいて各領域の光強度を算出した一次データを得て、この一次データを隣接領域の光強度を用いて補正して二次データを得て、この二次データを判定工程において欠陥認定情報として用いる請求項３から請求項１２のいずれか１項に記載のフィルムの検査方法。
【請求項１４】
検査対象であるフィルムを撮像用テーブルに支持させる工程、及びこの撮像用テーブルに支持されたフィルムのうねりを検出する工程をさらに有し、
上記撮像工程において、上記うねり検出工程によって検出されたうねりに基づいて焦点を調整して上記複数の撮像データを得る請求項１から請求項１３のいずれか１項に記載のフィルムの検査方法。
【請求項１５】
フィルムの透過光を表面から撮像する撮像部、及びこの撮像部で撮像された撮像データを用いてフィルムの欠陥を検出する判定部を備えるフィルムの検査装置であって、
上記撮像部が、焦点の異なる複数の撮像データを取得し、
上記判定部が、上記焦点の異なる複数の撮像データを用いて欠陥の認定を行うことを特徴とするフィルムの検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルムの検査方法及びフィルムの検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマデイスプレイパネル（ＰＤＰ）は、プラズマ放電を利用して作動するものであり、このプラズマ放電の際に近赤外線（波長：８００〜１０００ｎｍ）が発生することが知られている。このような近赤外線は、他の機器の誤作動の原因となるおそれがある。このため、ＰＤＰは前面に近赤外線カットフィルターを配設されている。また、このような近赤外線カットフィルターは、ビデオカメラ等のＣＣＤやＣＭＯＳイメージセンサにも用いられている。
【０００３】
このような近赤外線カットフィルターとしては、種々のものが知られており、例えば、ガラス製の基材の表面に蒸着膜を積層したものが公知である。このような近赤外線カットフィルターは、ガラス製の基材の表面を研磨した後、基材の表面に金属を蒸着することで蒸着膜を形成し、この蒸着膜によって近赤外線を反射するものである。このような近赤外線カットフィルターは、薄型化等が困難であり、製造コストが高く、さらにカッティング時に異物として基材のガラス片が混入してしまうという不都合がある。
【０００４】
このため、近赤外線カットフィルターとして、樹脂製の基材に金属を蒸着したフィルム（蒸着フィルム）を用いることが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
しかし、この蒸着フィルムにあっては、ガラス製の基材の近赤外線フィルターに比べて、製品検査が困難であるという不都合がある。この原因として、蒸着フィルムは、ガラス製の基材と異なり検査時に近赤外線カットフィルターにうねりが生じ、そのうねりによって検査ノイズが生じていることが考えられる。また、この原因として、ガラス製の基材と異なり、蒸着フィルムは基材表面を研磨しないので、基材の表面性状によって検査ノイズが生じていることが考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−０４４２７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、ガラス製の基材の近赤外線フィルターに比べてうねり等が生じやすいフィルムであっても容易かつ確実に検査することができるフィルムの検査方法及びフィルムの検査装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するためになされた発明は、
フィルムの透過光を表面から撮像する工程、及びこの撮像工程で得られた撮像データを用いてフィルムの欠陥を判定する工程を有するフィルムの検査方法であって、
上記撮像工程において、焦点の異なる複数の撮像データを取得し、
上記判定工程において、上記焦点の異なる複数の撮像データを用いて上記欠陥の認定を行うことを特徴とする。
【０００９】
当該フィルムの検査方法によれば、上記撮像工程で得られた焦点の異なる複数の撮像データを用いることで、判定工程でフィルムの欠陥を容易かつ確実に認定でき、フィルムの検査を容易かつ確実に行うことができる。
【００１０】
検査対象の上記フィルムは、例えば蒸着フィルムである。蒸着フィルムは、従来のガラス製の基材の近赤外線フィルターに比べてうねり等が生じやすいので、当該フィルムの検査方法により上記蒸着フィルムの検査を行うことで、確実な検査を容易に行うことができる。
【００１１】
上記判定工程の欠陥認定情報として、上記複数の撮像データの光強度を用いるとよい。このように撮像データの光強度を用いることで、数値化したデータ（光強度）によってフィルムの検査をより容易かつ確実に行うことができる。
【００１２】
上記判定工程の欠陥認定情報として、各撮像データにおける所定の光強度以下の暗領域の割合を用いるとよい。フィルムにおいて欠陥が生じている箇所は、透過光が弱くなる場合が多く、このため上述のように暗領域の割合を欠陥認定情報として用いることで、フィルムの検査をより容易かつ確実に行うことができる。なお、暗領域とは、その領域の光強度が閾値（所定の光強度）以下の領域を意味する。領域とは、撮像データの一部の領域であり、例えば一つのピクセルを一つの領域とすることも可能であり、複数のピクセルを一つの領域とすることも可能である。
【００１３】
上記撮像データが良品データと異なり、かつ上記複数の撮像データのうち上記暗領域割合が０である撮像データが存在する場合、内部欠陥であると認定するとよい。樹脂製の基材の屈折率の問題によって撮像データが良品データと異なる場合がある。このように基材の屈折率だけが良品と異なる場合（内部欠陥がある場合）、フィルムの使用用途によっては不良品と認定する必要がないことがある。発明者らが鋭意検討したところ、焦点を変更して複数の撮像データをとった際に、内部欠陥のみの場合、暗領域割合が０である撮像データが存在することが判明した。一方、蒸着膜に抜けがあるような欠陥（凹状欠陥）や、蒸着膜に異物が付着しているような欠陥（凸状欠陥）の場合、焦点の異なる複数の撮像データのうち暗領域割合が０とはならない。このため、複数の撮像データのうち上記暗領域割合が０である撮像データが存在するかを判定することで、内部欠陥を容易かつ確実に認定することができる。
【００１４】
上記暗領域と認定する光強度の閾値としては、最大光強度の１０％以上４０％以下であるとよい。暗領域と認定する光強度の閾値が上記範囲内にあることで、適切な暗領域に基づいて容易かつ確実に判定工程を行なうことができる。なお、良品のフィルムの透過光を撮像した際の光強度が最大光強度の５０％となるように、上記最大強度を設定することが好ましい。
【００１５】
上記判定工程の欠陥認定情報として、各撮像データにおける所定の光強度以上の明領域の割合を用いるとよい。このように明領域の割合を欠陥認定情報として用いることで、フィルムの検査をより容易かつ確実に行うことができる。なお、明領域とは、その領域の光強度が閾値（所定の光強度）以上の領域を意味する。
【００１６】
上記判定工程の欠陥認定情報として、各撮像データの焦点位置をｚ、明領域割合をｆ（ｚ）とし、ｄｆ（ｚ）／ｄｚの０又は正負を用いるとよい。このようにｄｆ（ｚ）／ｄｚの０又は正負を用いることで、フィルムの検査をより容易かつ確実に行うことができる。
【００１７】
上記明領域と認定する光強度の閾値が、最大光強度の５５％以上９０％以下であるとよい。明領域と認定する光強度の閾値が上記範囲内にあることで、適切な明領域に基づいて容易かつ確実に判定工程を行なうことができる。
【００１８】
当該フィルムの検査方法は、上記判定工程の欠陥認定情報として、各撮像データにおける所定の光強度以下の暗領域の割合及び所定の光強度以上の明領域の割合を用い、上記各撮像データの焦点位置をｚ、明領域割合をｆ（ｚ）、暗領域割合をｇ（ｚ）とするとｆ（ｚ０）＝０を満たすｚが存在し、かつｚ＜ｚ０のときｄｆ（ｚ）／ｄｚ又はｄｇ（ｚ）／ｄｚが負であり、しかもｚ＞ｚ０のときｄｆ（ｚ）／ｄｚ又はｄｇ（ｚ）／ｄｚが正である場合、内部欠陥であると認定するとよい。発明者らが鋭意検討したところ、焦点を異ならしめて複数の撮像データをとった際に、内部欠陥のみの場合、ｆ（ｚ）及びｇ（ｚ）が上記条件を満たすことが判明した。このため、ｆ（ｚ）及びｇ（ｚ）が上記条件を満たすかを判定することで、内部欠陥を容易かつ確実に認定することができる。
【００１９】
当該フィルムの検査方法は、上記判定工程の欠陥認定情報として、各撮像データにおける所定の光強度以下の暗領域の割合及び所定の光強度以上の明領域の割合を用い、上記複数の撮像データのうち上記暗領域割合が０である撮像データが存在せず、かつ各撮像データの焦点位置をｚ、明領域割合をｆ（ｚ）とし、ｄｆ（ｚ）／ｄｚが正となる場合があるとき、凹状欠陥であると認定するとよい。発明者らが鋭意検討したところ、焦点を異ならしめて複数の撮像データをとった際に、凹状欠陥の場合（蒸着膜に抜けがあるような場合）、ｆ（ｚ）及びｇ（ｚ）が上記条件を満たすことが判明した。このため、ｆ（ｚ）及びｇ（ｚ）が上記条件を満たすかを判定することで、凹状欠陥を容易かつ確実に認定することができる。
【００２０】
当該フィルムの検査方法は、上記判定工程の欠陥認定情報として、各撮像データにおける所定の光強度以下の暗領域の割合及び所定の光強度以上の明領域の割合を用い、上記複数の撮像データのうち上記暗領域割合が０である撮像データが存在せず、かつ各撮像データの焦点位置をｚ、明領域割合をｆ（ｚ）とし、ｄｆ（ｚ）／ｄｚが０となる場合、凸状欠陥であると認定するとよい。発明者らが鋭意検討したところ、焦点を異ならしめて複数の撮像データをとった際に、凸状欠陥の場合（蒸着膜に異物が付着しているような場合）、ｆ（ｚ）及びｇ（ｚ）が上記条件を満たすことが判明した。このため、ｆ（ｚ）及びｇ（ｚ）が上記条件を満たすかを判定することで、凸状欠陥を容易かつ確実に認定することができる。
【００２１】
当該フィルムの検査方法は、上記撮像工程において撮像された元データに基づいて各領域の光強度を算出した一次データを得て、この一次データを隣接領域の光強度を用いて補正して二次データを得て、この二次データを判定工程において欠陥認定情報として用いるとよい。これにより、補正された二次データを用いて、容易かつ確実に欠陥の認定を行うことができる。
【００２２】
当該フィルムの検査方法は、検査対象であるフィルムを撮像用テーブルに支持させる工程、及びこの撮像用テーブルに支持されたフィルムのうねりを検出する工程をさらに有し、上記撮像工程において、上記うねり検出工程によって検出されたうねりに基づいて焦点位置を調整して上記複数の撮像データを得るとよい。これにより、検査対象であるうねりに対応して好適に焦点の異なる複数の撮像データを得ることができ、それにより検査精度の向上が図られる。
【００２３】
上記課題を解決するためになされたさらに別の発明は、
フィルムの透過光を表面から撮像する撮像部、及びこの撮像部で撮像された撮像データを用いてフィルムの欠陥を認定する判定部を備えるフィルムの検査装置であって、
上記撮像部が、焦点の異なる複数の撮像データを取得し、
上記判定部が、上記焦点の異なる複数の撮像データを用いて欠陥の認定を行うことを特徴とする。
【００２４】
当該フィルムの検査装置によれば、上記撮像部によって撮像された焦点の異なる複数の撮像データを用いることで、判定部でフィルムの欠陥を容易かつ確実に認定でき、フィルムの検査を容易かつ確実に行うことができる。
【００２５】
なお、複数の撮像データにおいて焦点が異なるとは、フィルムの同一箇所を撮像する撮像データにおいて焦点位置がフィルム厚み方向で相違することを意味する。また、焦点位置とは、撮像する際の焦点のフィルム厚み方向の位置である。この焦点位置は、例えば検査対象であるフィルムが正確に位置している場合におけるフィルムの中心位置（仮想中心位置）から、焦点までの距離で数値として表すことができる。
【発明の効果】
【００２６】
以上説明したように、本発明は、焦点の異なる複数の撮像データを用いることで、フィルムの検査を容易かつ確実に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の一実施形態である検査方法の検査対象であるフィルムの概略的要部拡大断面図である。
【図２】本発明の一実施形態である検査方法の検査対象であるフィルムの欠陥を説明するための図であって、（Ａ）は内部欠陥、（Ｂ）は凹状欠陥、（Ｃ）は凸状欠陥それぞれを説明するための概略的要部拡大断面図である。
【図３】本発明の一実施形態のフィルムの検査装置の概略的斜視図である。
【図４】図１のフィルムの検査時の状態を説明するための図であり、（Ａ）は撮像用テーブルに支持されたフィルムを説明するための概略的要部拡大断面図であり、（Ｂ）は撮像部によって変更する焦点を説明するための概略的要部拡大断面図である。
【図５】図２のフィルムの複数の撮像データに基づいて得られたグラフであり、横軸が焦点位置、縦軸が明領域又は暗領域のピクセル数であるグラフであって、（Ａ）は内部欠陥のフィルムの結果、（Ｂ）は凹状欠陥のフィルムの結果、（Ｃ）は凸状欠陥のフィルムの結果を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を説明するが、まず本実施形態の検査対象のフィルムである金属蒸着フィルムの概要について説明する。
【００２９】
［蒸着フィルム］
本実施形態において検査対象となる蒸着フィルム１は、図１に示すように、樹脂製の基材フィルム２と、この基材フィルム２に金属の蒸着によって積層される蒸着膜３とを有している。なお、基材フィルム２表面の全面に亘って蒸着膜３を積層することも可能であるが、本実施形態においては、基材フィルム２表面の周辺部に蒸着を行わずに、基材フィルム２表面の中央部のみに蒸着を行うことが好ましく、これにより後述する蒸着フィルム１のうねり抑制効果が向上する。なお、本実施形態にあっては、基材フィルム２が平面視方形状であり、基材フィルム２の全面に蒸着しても良いし、全面に蒸着せずに一部に蒸着すること（蒸着する領域と蒸着しない領域とを配する）ことも可能である。
【００３０】
この基材フィルム２は、積層される複数の樹脂層４，５を備える多層構造体である。本実施形態における蒸着フィルム１は近赤外線カットフィルターとして用いられるものであり、基材フィルム２は、色素を含有する第１樹脂層４と、この第１樹脂層４に積層される第２樹脂層５とを有する。この第１樹脂層４の主成分としては、特に限定されるものではないが、環状オレフィン樹脂が好適に用いられる。また、第２樹脂層５の主成分としては、特に限定されるものではないが、アクリル樹脂が好適に用いられる。
【００３１】
次に、図２を参酌しつつ、上記蒸着フィルム１に生じ得る欠陥について説明する。蒸着フィルム１に生じ得る欠陥としては、内部欠陥、凹状欠陥、凸状欠陥等がある。
【００３２】
内部欠陥は、基材フィルム２の屈折率に異常が生じている場合である。具体的には、図２（Ａ）に示すように、第１樹脂層４表面に凹部１ａ（又は凸部）が存在し、これに対応して第２樹脂層５の裏面に凸部（又は凹部）が存在することで、基材フィルム２の屈折率に異常が生じている場合がある。このような蒸着フィルム１の透過光を撮像すると、内部欠陥の存在によって撮像データが良品データと異なることになる。しかし、赤外線カットフィルター等の用途に用いる場合、この内部欠陥は製品的には問題とならない。このため、欠陥が内部欠陥である場合には、蒸着フィルム１は不良品と判断する必要は必ずしもない。
【００３３】
凹状欠陥は、図２（Ｂ）のように蒸着膜３表面に凹部１ｂが存在する欠陥であり、具体的には、蒸着膜３に抜けが生じている場合等に発生する。凸状欠陥は、図２（Ｃ）のように蒸着膜３表面又は基材フィルム２裏面に凸部１ｃが存在する欠陥であり、具体的には、蒸着膜３表面又は基材フィルム２裏面に異物が付着している場合等に発生する。
【００３４】
［検査装置］
本発明の一実施形態の蒸着フィルムの検査装置は、図３に示すように、蒸着フィルム１の透過光を表面から撮像する撮像部１０、及びこの撮像部１０で撮像された撮像データを用いて金属蒸着フィルム１の欠陥を認定する判定部２０を備えている。上記撮像部１０は、焦点の異なる複数の撮像データを取得する。上記判定部２０は、上記焦点の異なる複数の撮像データを用いて欠陥の認定を行う。
【００３５】
（撮像部）
上記撮像部１０は、焦点を変更可能であり、焦点の異なる複数の撮像データを取得できる。この撮像部１０は、公知の種々の撮像装置から構成することができ、例えばＣＣＤラインセンサーから構成することができる。
【００３６】
（判定部）
また、判定部２０は、例えばＭＰＵ等からなる演算処理部、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ハードディスク、モニター、操作手段などを備えるコンピューターにより構成することができ、ＲＯＭ、ハードディスクに記憶されているコンピュータプログラムに基づいて演算処理部が各部を制御することで後述する所望の認定を行い得る。
【００３７】
（照明部）
また、当該蒸着フィルムの検査装置は、撮像用テーブルに支持される蒸着フィルム１を挟んで撮像部１０に対向する照明部（図示省略）を有している。つまり、照明部の具体的構成は、限定されるものではないが、光源と、光源からの光を撮像部１０に向けて出射する光学系レンズとを有することが好ましく、光学系レンズとしてフレネルレンズを有するとよい。
【００３８】
（撮像用テーブル及びうねり検出部）
当該蒸着フィルムの検査装置は、撮像部１０によって撮像可能に蒸着フィルム１を支持可能な撮像用テーブル（図示省略）と、撮像用テーブルに支持された蒸着フィルム１のうねりを検出するうねり検出部（図示省略）とを有している。
【００３９】
上記撮像用テーブルは、従来公知のものを採用可能であるが、本実施形態においては蒸着フィルム１のうねりを抑制するために蒸着フィルム１を保持する機構を有する。この保持機構は、蒸着フィルム１の対向する辺又は四隅を挟持し、互いに離反する方向に張力を付与でき、これにより上記うねりの抑制効果が向上する。
【００４０】
上記うねり検出部は、撮像用テーブルに支持された蒸着フィルム１表面の各部分の高さ（他の部分との相対的な高さ）を検知可能なものであれば従来公知のものを採用可能であり、例えばレーザ変位系を用いることができる。
【００４１】
［検査方法］
次に、本実施形態の蒸着フィルムの検査方法について説明する。
【００４２】
当該蒸着フィルムの検査方法は、蒸着フィルム１の透過光を表面から撮像する工程、及びこの撮像工程で得られた撮像データを用いて蒸着フィルム１の欠陥を判定する工程を有している。
【００４３】
（前工程）
また、当該蒸着フィルムの検査方法は、上記撮像工程の前に撮像される蒸着フィルム１のうねりを少なくするための前工程を有している。
【００４４】
この前工程は、蒸着フィルム１を撮像用テーブルに支持させる工程、及びこの撮像用テーブルに支持された蒸着フィルム１のうねりを検出する工程を有している。
【００４５】
上記蒸着フィルム１を撮像用テーブルへ支持させる工程は、蒸着フィルム１を撮像用テーブルの保持機構に保持させる工程である。この工程では、蒸着フィルム１の対向する一対の辺（二辺）全体を上記保持機構に挟持させ、二辺が互いに離反させる方向（二辺の直交方向）に張力を付与している。
【００４６】
上記うねり検出工程は、上述のように撮像用テーブルの保持機構に保持された蒸着フィルム１の表面の各部分の高さ（他の部分との相対的な高さ）を検知する工程である。そして、上記判定部２０は、蒸着フィルム１のうねりの量（図４（Ａ）におけるＷ１）を算出する。なお、うねりの量とは、蒸着フィルム１において相対的に最も低い部分と最も高い部分との高さの差とすることができる。なお、図４（Ａ）では、説明のため模式的に記載したものに過ぎず、うねりを誇張して記載したものである。
【００４７】
（撮像工程）
上記撮像工程においては、異なる焦点による撮像がなされ、焦点の異なる複数の撮像データを取得する。具体的には、図４（Ｂ）に示すように、撮像部１０によって所定範囲（Ｗ２）内で焦点Ｆを変えて撮像を行う。
【００４８】
ここで、撮像のために変更される焦点の範囲Ｗ２（同一箇所の撮像に際して焦点を変更する蒸着フィルム厚み方向の範囲（図示上フィルムの最も表面側の焦点と最も裏面側の焦点との間隔））は、上記うねり検出工程で検出されたうねりの量Ｗ１に基づいて上記判定部２０によって決定される。この焦点の範囲Ｗ２は、うねりの量Ｗ１よりも大きいことが好ましい。うねりの量Ｗ１に対する上記焦点の範囲Ｗ２の比としては、１．１以上が好ましく、１．２以上がより好ましく、１．３以上がより好ましい。上記比が上記下限に満たないと、複数の焦点の撮像データによる好適な検査を、蒸着フィルム１の面全体で行えなくなるおそれがある。なお、上記比の上限は特に限定されるものではないが、上記比は、例えば３以下（又は２以下）であるとよい。上記比が上記上限を超えると、撮像回数が増え過ぎるおそれ、又は後述する各撮像データの焦点のピッチが広くなり過ぎるおそれがある。
【００４９】
なお、上記説明においては、うねりの量Ｗ１に基づいて焦点の範囲Ｗ２を決定するものであったが、焦点の範囲Ｗ２をあらかじめ設定しておき、設定された範囲Ｗ２で焦点の異なる撮像データを得ることも可能である。
【００５０】
また、焦点の範囲Ｗ２としては、１ｍｍ以上が好ましく、１．４ｍｍ以上がより好ましく、１．８ｍｍ以上がさらに好ましい。焦点の範囲Ｗ２が上記下限に満たないと、複数の焦点の撮像データによる好適な検査を、蒸着フィルム１の面全体で行えなくなるおそれがある。また、焦点の範囲Ｗ２としては、３ｍｍ以下が好ましく、２．６ｍｍ以下がより好ましく、２．２ｍｍ以下がさらに好ましい。焦点の範囲Ｗ２が上記上限を超えると、撮像回数が増え過ぎるおそれ、又は後述する各撮像データの焦点のピッチが広くなり過ぎるおそれがある。
【００５１】
上記撮像工程においては、上述のように上記焦点の範囲Ｗ２において、焦点を所定ピッチごと変更して複数回の撮像がなされる。なお、焦点の変更は、撮像部１０をフィルム厚み方向の位置を変更することによって行うことが可能であり、また撮像部１０の光学系（ピント）を変更することによって行うことも可能である。
【００５２】
ここで、各撮像データの焦点のピッチ（一の焦点とこの焦点に隣接する焦点との蒸着フィルムの厚み方向の間隔）は、特に限定されるものではないが、例えば２５０μｍである。このピッチとしては、５０μｍ以上が好ましく、２００μｍ以上がより好ましく、２３０μｍ以上がさらに好ましい。上記ピッチとしては、５００μｍ以下が好ましく、３００μｍ以下がより好ましく、２７０μｍ以下がさらに好ましい。上記ピッチが上記範囲内であることで、好適な焦点の範囲Ｗ２で好適な数の撮像データで容易に精度の高い検査を行うことができる。上記ピッチが上記下限に満たないと、撮像回数が増えすぎるおそれ等がある。逆に、上記ピッチが上記上限を超えると、検査の精度が低下するおそれがある。
【００５３】
上記焦点の範囲Ｗ２における撮像回数（焦点を異ならしめて撮像する回数）は、特に限定されるものではないが、例えば９回である。この撮像回数としては、５回以上が好ましく、７回以上がより好ましく、８回以上がさらに好ましい。上記撮像回数としては、２０回以下が好ましく、１５回以下がより好ましく、１０回以下がさらに好ましい。上記撮像回数が上記範囲内であることで、好適な焦点の範囲Ｗ２で好適なピッチで得られる撮像データで容易に精度の高い検査を行うことができる。上記撮像回数が上記下限に満たないと、検査の精度が低下するおそれがある。逆に、上記撮像回数が上記上限を超えると、撮像回数が増えすぎ、検査処理速度の低下を招くおそれがある。
【００５４】
（判定工程）
上記判定工程においては、上記焦点の異なる複数の撮像データを用いて上記欠陥の認定を上記判定部２０が行う。この判定工程の欠陥認定情報として、上記複数の撮像データの光強度が用いられる。
【００５５】
上記判定工程は、各撮像データについて暗領域及び明領域の割合を算出する工程と、各撮像データの暗領域及び明領域の割合に基づいて欠陥を認定する工程とを有している。暗領域とは、各撮像データにおける第１の閾値以下の光強度の領域である。明領域とは、各撮像データにおける第２の閾値以上の光強度の領域である。
【００５６】
暗領域及び明領域の割合を算出する工程では、各撮像データのピクセル（位置情報）ごとの光強度を上記第１及び第２の閾値と比較し、第１の閾値以下であるピクセルを暗領域と認定し、第２の閾値以上であるピクセルを明領域と認定し、暗領域及び明領域それぞれのピクセル数を上記暗領域及び明領域の割合とする。
【００５７】
具体的には、一つの撮像データのうち例えば第１の閾値以下のピクセルが１０個あり、第２の閾値以上のピクセルが２０個あった場合、暗領域の割合を１０個、明領域の割合を２０個と認定する。なお、第１の閾値以上かつ第２の閾値以下のピクセルについては、特にデータとして使用しない。このような暗領域及び明領域の割合を、焦点の異なる撮像データごとに認定する。
【００５８】
上記第１の閾値及び第２の閾値は、検査対象や用いる光学系等によって適宜設計変更可能であるが、第１の閾値の下限としては、最大光強度の１０％が好ましく、２０％がより好ましく、３０％がさらに好ましい。一方、第１の閾値の上限としては、最大光強度の４０％が好ましく、３７％がより好ましく、３５％がさらに好ましい。第１の閾値が上記範囲内にあることで、適切な暗領域に基づいて容易かつ確実に判定工程を行なうことができる。上記第１の閾値が上記下限に満たないと、本来欠陥であるものを認定できなくなるおそれがある。上記第１の閾値が上記上限を超えると、本来欠陥でない部分を欠陥と認定するおそれがある。なお、最大光強度は、良品の蒸着フィルム１の透過光を撮像した際の光強度が最大光強度の５０％となるように設定されている。
【００５９】
上記第２の閾値の下限としては、最大光強度の５５％が好ましく、５８％がより好ましく、６０％がさらに好ましい。一方、第２の閾値の上限としては、最大光強度の９０％が好ましく、７０パーセントがより好ましく、６５％がさらに好ましい。第２の閾値が上記範囲内にあることで、適切な明領域に基づいて容易かつ確実に判定工程を行なうことができる。上記第２の閾値が上記下限に満たないと、本来欠陥でない部分を欠陥と認定するおそれがある。上記第１の閾値が上記上限を超えると、本来欠陥であるものを認定できなくなるおそれがある。
【００６０】
上述のように焦点の異なる撮像データごとに暗領域及び明領域の割合を認定した結果を図５に示す。この図５（Ａ）は内部欠陥がある蒸着フィルム１の結果、同図（Ｂ）は凹状欠陥がある蒸着フィルム１の結果、同図（Ｃ）は凸状欠陥がある蒸着フィルム１の結果である。この図５は、横軸が撮像データの焦点位置であり、縦軸がその焦点の撮像データの明領域又は暗領域のピクセル数である。なお、この図５において焦点位置０は、蒸着フィルムが撮像用テーブルの保持機構に正確に保持された場合における蒸着フィルムの中心位置（仮想中心位置）と焦点とが一致していることを意味し、図５の横軸の数値は、上記仮想中心位置から焦点までの距離を意味し、数値が正の場合には焦点が上記仮想中心位置よりも撮像部側にあることを意味する。
【００６１】
上記判定工程においては、撮像データが良品データと異なり、かつ複数の撮像データのうち暗領域割合が０である撮像データが存在する場合、内部欠陥であると判定部２０が認定する。
【００６２】
具体的には、各撮像データの焦点位置をｚ、明領域割合をｆ（ｚ）、暗領域割合をｇ（ｚ）とするとｆ（ｚ０）＝０を満たすｚが存在し、かつｚ＜ｚ０のときｄｆ（ｚ）／ｄｚ又はｄｇ（ｚ）／ｄｚが負であり、しかもｚ＞ｚ０の時ｄｆ（ｚ）／ｄｚ又はｄｇ（ｚ）／ｄｚが正である場合（図５（Ａ）参照）、判定部２０は内部欠陥であると認定する。
【００６３】
また、上記判定工程においては、複数の撮像データのうち暗領域割合が０である撮像データが存在せず、かつｄｆ（ｚ）／ｄｚが正となる場合（図５（Ｂ）参照）、判定部２０は凹状欠陥であると認定する。
【００６４】
さらに、上記判定工程においては、複数の撮像データのうち上記暗領域割合が０である撮像データが存在せず、かつ各撮像データの焦点位置をｚ、明領域割合をｆ（ｚ）とし、ｄｆ（ｚ）／ｄｚが０となる場合、判定部２０は凸状欠陥であると認定する。
【００６５】
［利点］
当該蒸着フィルムの検査装置及び検査方法によれば、上述のように焦点の異なる複数の撮像データを用いることで、蒸着フィルム１の欠陥を容易かつ確実に認定でき、蒸着フィルムの検査を容易かつ確実に行うことができる。特に、欠陥認定情報として、数値化したデータ（光強度）によって蒸着フィルムの検査をより容易かつ確実に行うことができる。
【００６６】
特に、当該蒸着フィルムの検査装置及び検査方法は、ガラス製の基材と異なり基材フィルム２の表面が研磨されておらず、またうねりが生じやすく、検査データにノイズが多いにも拘らず、上述のように容易に精度の高い検査を行うことができる。
【００６７】
また、当該蒸着フィルムの検査装置及び検査方法は、上述のように他の欠陥と内部欠陥とを判別することができるので、内部欠陥のみでは不良品とならない製品の場合に、内部欠陥だけを有する製品を他の不良品と区別することができる。
【００６８】
また、上述のように凸状欠陥及び凹状欠陥をも判別できるので、各製品に対して、その後の処理を円滑に行い得る。
【００６９】
さらに、当該蒸着フィルムの検査方法は、撮像工程の前に蒸着フィルムに張力を与えることでうねりを減少させているので、より精度の高い検査を行うことができる。
【００７０】
また、撮像用テーブルに支持された蒸着フィルム１のうねりを検出する工程を有し、この工程によって検出されたうねりに基づいて焦点の範囲（焦点の変更範囲）を決定することで、より精度の高い検査を容易かつ確実に行うことができる。
【００７１】
［その他の実施形態］
本願発明は、上記実施形態のものに限定されるものではなく、本願発明の意図する範囲内で適宜設計変更可能である。
【００７２】
つまり、上記実施形態では、撮像工程において撮像されたデータをそのまま用い、判定工程を行なうものであったが、撮像された元データを補正し、その補正データに基づいて各種判定を行うことも可能である。具体的には、撮像工程において撮像された元データに基づいて各領域の光強度を算出した一次データを得て、この一次データを隣接領域の光強度を用いて補正して二次データを得て、この二次データを判定工程において欠陥認定情報として用いることも可能である。これにより、補正された二次データを用いて、容易かつ確実に欠陥の認定を行うことができる。
【００７３】
具体的には、撮像部から送られた各撮像データについて、所望の画像処理を行ったうえで、位置情報（例えばＸ座標及びＹ座標）と光強度（例えば２５６階調のデータ）とに数値化することで上記一次データを得ることができる。そして、隣接する位置情報（隣接領域）の光強度と統合することで二次データが得ることができる。
【００７４】
また、上記実施形態では、内部欠陥、凹状欠陥及び凸状欠陥を認定するものについて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、焦点の異なる複数の撮像データを用いて欠陥の認定を行うものであれば適宜設計変更可能である。例えば、内部欠陥、凹状欠陥及び凸状欠陥のいずれか１つのみ、又は他の欠陥の認定を行うものも本願発明の意図する範囲内である。
【００７５】
さらに、上記実施形態では、撮像を行う工程の前工程として、蒸着フィルムを撮像用テーブルに支持させる工程、及びこの撮像用テーブルに支持された蒸着フィルムのうねりを検出する工程を有するものについて説明したが、本願発明において上記前工程は必須の構成要件ではない。また、上記実施形態のように前工程を行なう場合にあっても、上記支持工程及びうねり検出工程のみを行うものに限定されず、上記支持工程の前に、うねりを抑制すべく蒸着フィルムの一部を切除する工程を行うことも可能である。具体的には、例えば方形状の蒸着フィルムの対向する一対の辺（二辺）において、四隅部を残しつつ各辺の中央部を切除し（切除される二辺以外の二辺は四隅部同様に切除されない）、この切除されない二辺を上記保持機構に保持させることで、二軸の反りを一軸に抑制でき、うねりを全体的に抑制しやすい。
【産業上の利用可能性】
【００７６】
以上のように、本発明は、フィルムを容易かつ確実に検査できるので、例えば近赤外線カットフィルターに用いられる蒸着フィルムの検査に好適に用いることができる。
【符号の説明】
【００７７】
１  フィルム（蒸着フィルム）
１ａ，１ｂ，１ｃ  欠陥
２  基材フィルム
３  蒸着膜
４  第１樹脂層
５  第２樹脂層
１０  撮像部
２０  判定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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