(57)【要約】【課題】被膜前駆体溶液の芯体下方への滴下による汚れ、同溶液を再利用する際の空気混入の抑制、および膜厚の均一化。【解決手段】中心軸線Ｏ−Ｏを略上下方向に向けた柱状の芯体１０１に対して、芯体の外径よりも大きな内径を有するノズル１０２であって、被膜の膜厚を芯体とのギャップ部αで規定するためのダイス部１０２ａと、ダイス部の上方にあってギャップ部に被膜前駆体の溶液を供給する供給部１０２ｂと、供給部の上方にあって、ギャップ部でかきとられ、ダイス部ないし供給部で余剰となった溶液を溜めておくための液だめ部１０７を有するノズル１０２を実質同心に外嵌させて芯体に対して相対的に上方向に通過させることで芯体の外面に被膜前駆体の溶液を塗布して被膜とした後、被膜が少なくとも管状物としての強度を保持できるまで芯体に保持した後、芯体から管状物を取り外すことを特徴とする管状物の製造方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
中心軸線を実質上下方向に向けた柱状の芯体に対して、前記芯体の外径よりも大きな内径を有するノズルであって、被膜の膜厚を前記芯体とのギャップ部で規定するためのダイス部と、前記ダイス部の上方にあって前記ギャップ部に被膜前駆体の溶液を供給する供給部と、前記供給部の上方にあって、前記ギャップ部でかきとられ、前記ダイス部ないし前記供給部で余剰となった前記溶液を溜めておくための液だめ部を有するノズルを実質同心に外嵌させて前記芯体に対して相対的に上方向に通過させることで前記芯体の外面に被膜前駆体の溶液を塗布して被膜とした後、前記被膜が少なくとも管状物としての強度を保持できるまで前記芯体に保持した後、前記芯体から管状物を取り外すことを特徴とする管状物の製造方法。
【請求項２】
中心軸線を実質上下方向に向けた柱状の芯体に対して前記芯体の外径よりも大きな内径を有するノズルを外嵌させて前記芯体に対して相対的に上方向に通過させることで前記芯体の外面に被膜前駆体の溶液を塗布して被膜とした後、前記被膜が少なくとも管状物としての強度を保持できるまで前記芯体に保持した後、前記芯体から管状物を取り外す管状物の製造方法であって、
前記ノズルは、前記被膜の膜厚を前記芯体とのギャップ部で規定するためのダイス部と、前記ダイス部の上方にあって前記ギャップ部に前記溶液を供給する供給部と、前記供給部の上方にあって、前記ギャップ部でかきとられ、前記ダイス部ないし前記供給部で余剰となった前記溶液を溜めておくための液だめ部を有し、
前記ダイス部において前記芯体と前記ノズルの間を封止するための、前記ノズルに対し着脱可能なマスキング部材を用い、
前記ノズルと前記マスキング部材を前記芯体に対して相対的に下方に退避させる第１の工程と、
前記芯体をその中心軸線が前記ノズルの中心軸線と実質一致するよう固定する第２の工程と、
前記ノズルと前記マスキング部材を前記芯体に対し相対的に上昇させて、前記ノズルの下端面が前記芯体の下端部よりも上になる所定の溶液塗り始め位置に移動させる第３の工程と、
前記マスキング部材を前記ノズルに対し上方に移動させて、前記マスキング部材の下端面が前記芯体の上端部より下になる所定の溶液塗り終わり位置に移動させる第４の工程と、
前記ノズルを所定の速度で前記芯体に対して相対的に上昇させながら前記供給部から前記ダイス部に前記溶液を供給しつつ、前記ダイス部で前記溶液にせん断を加えることで前記芯体の外面に所定膜厚の前記被膜を形成する第５の工程と、
前記ノズルを、前記溶液塗り終わり位置に位置している前記マスキング部材が前記ダイス部とほぼ接触する位置まで上昇させる第６の工程と、
前記ノズルおよび前記マスキング部材を前記芯体に対して相対的に上方に移動させて、前記マスキング部材の下端面が前記芯体の上端部より上になり前記芯体を取りはずすことが可能な高さになる位置まで移動する第７の工程と、
前記芯体を取りだすために移動させる第８の工程と、
を有することを特徴とする管状物の製造方法。
【請求項３】
前記液だめ部には溜まった前記溶液を吸引するための吸引部が設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の管状物の製造方法。
【請求項４】
前記液だめ部に溜まった前記溶液の液量を検知するための液量検知部を有し、前記液量検知部が検知する液量が所定量以下の時は、前記吸引部は前記溶液の吸引動作を行わないことを特徴とする請求項３に記載の管状物の製造方法。
【請求項５】
前記芯体の外面に形成された被膜を少なくとも管状物としての強度を保持できるまで加熱することを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の管状物の製造方法。
【請求項６】
前記被膜前駆体がポリイミド前駆体であることを特徴とする請求項１乃至６の何れか一項に記載の管状物の製造方法。
【請求項７】
管状物を製造するために芯体の外面に被膜前駆体の溶液を塗布して被膜を形成する塗工装置であって、
柱状の芯体をその中心軸線を実質上下方向に向けた姿勢で固定および固定を解除することができる芯体支持機構と、
前記芯体の外径よりも大きな内径を有するノズルであって、被膜の膜厚を前記芯体とのギャップ部で規定するためのダイス部と、前記ダイス部の上方にあって前記ギャップ部に被膜前駆体の溶液を供給する供給部と、前記供給部の上方にあって、前記ギャップ部でかきとられ、前記ダイス部ないし前記供給部で余剰となった前記溶液を溜めておくための液だめ部を有するノズルと、
前記ノズルを前記芯体に実質同心に外嵌させた状態で前記芯体に対して相対的に上方向に通過させることで前記芯体の外面に被膜前駆体の溶液を被膜とした塗布するために前記ノズルを移動させるノズル移動機構と、を有する
ことを特徴とする塗工装置。
【請求項８】
前記ノズルに対して着脱可能で、前記芯体の下端部の溶液塗り始め部と上端部の溶液塗り終わり部を形成するためのマスキング部材と、前記マスキング部材を移動させるマスキング部材移動機構を有することを特徴とする請求項７に記載の塗工装置。
【請求項９】
前記液だめ部には溜まった前記溶液を吸引するための吸引部が設けられていることを特徴とする請求項７または８に記載の塗工装置。
【請求項１０】
前記液だめ部に溜まった前記溶液の液量を検知するための液量検知部を有し、前記液量検知部が検知する液量が所定量以下の時は、前記吸引部は前記溶液の吸引動作を行わないことを特徴とする請求項９に記載の塗工装置。
【請求項１１】
前記被膜前駆体がポリイミド前駆体であることを特徴とする請求項７乃至１０の何れか一項に記載の塗工装置。
【請求項１２】
中心軸線を実質上下方向に向けた柱状の芯体に対して前記芯体の外径よりも大きな内径を有し実質同心に外嵌されて相対的に上方向に通過させることで前記芯体の外面に被膜前駆体の溶液を被膜として塗布するノズルであって、前記被膜の膜厚を前記芯体とのギャップ部で規定するためのダイス部と、前記ダイス部の上方にあって前記ギャップ部に前記溶液を供給する供給部と、前記供給部の上方にあって、前記ギャップ部でかきとられ、前記ダイス部ないし前記供給部で余剰となった前記溶液を溜めておくための液だめ部を有することを特徴とする塗工用ノズル。
【請求項１３】
前記ダイス部において前記ノズルの間を封止するめの、前記ノズルに対し着脱可能なマスキング部材を備えることを特徴とする請求項１２に記載の塗工用ノズル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、記録材上のトナー像を加圧加熱する画像加熱装置に用いられる円筒状の無端ベルト（加熱ベルト）などの管状物の製造方法に関する。また、管状物を製造するために芯体の外面に被膜前駆体の溶液を塗布して被膜を形成する塗工装置、及び塗工用ノズルに関する。
【背景技術】
【０００２】
電子写真方式、静電記録方式などの画像形成装置においては、記録材上（シート上）にトナー画像を形成し、これを加熱、加圧して記録材にトナー画像を定着させる画像加熱装置としての定着装置を備える。このような定着装置としては、近年では省エネルギー推進の観点から、熱伝達効率が高く、装置の立ち上がりが速いオンデマンド方式が使用されている。このオンデマンド方式として、熱容量の小さい加熱ベルトとしての無端状の定着ベルトを介して記録材を加熱するベルト加熱方式が提案されている。
【０００３】
ベルト加熱方式としては、固定支持された加熱体としてセラミックヒータを定着ベルトの内周面に摺擦させ、定着ベルトとニップ形成部材としての加圧ローラとの間のニップ部に搬送される記録材を加熱する構造が提案されている。定着ベルトとしては、金属円筒や樹脂円筒を基材とし、弾性層や表層を設けたものがある。このうち樹脂円筒としては耐熱性および摺動性に優れたポリイミドが用いられることがある。ポリイミドには熱伝導性向上のためにカーボンなどのフィラーが混合されることがある。
【０００４】
このようなポリイミド円筒を製造するための方法としては、芯体の外面にポリイミド前駆体の溶液を塗布して所望の膜厚の被膜を形成し、次いで、被膜が少なくとも管状物としての強度を保持できるまで加熱した後、芯体から管状物を取り出す方法がある。
【０００５】
特許文献１は、芯体の外面にポリイミド前駆体溶液を塗布し、該芯体の外側にダイスを通過させて所望の膜厚の被膜を形成し、塗布したポリイミド前駆体溶液の余剰分を受け槽内に滴下させる方法である。この方法においては、ダイスを通過させることでポリイミド前駆体にせん断力を加えて膜厚を規定するため、均一な膜を形成しやすいという特徴がある。
【０００６】
特許文献２は、芯体の外側に、芯体の外径と所定の間隙で位置する吐出スリットヘッドを配置し、それぞれを移動させながら、被膜前駆体溶液を前記吐出スリットヘッドから前記芯体の外表面に対して吐出し、所定の膜厚にキャスト成形する方法である。この方法においては、円筒両端において吐出開始終了を制御しやすく、余剰な塗工分が生じにくいという特徴がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平９−７６３６３号公報
【特許文献２】特開２００４−２９１３６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、特許文献１の技術においては、余剰のポリイミド前駆体溶液が下層内に滴下される工程において芯体の下部を汚してしまう可能性があった。また槽内に余剰なポリイミド前駆体を受けた際に空気が混入してしまい、この溶液を再利用するためには真空脱泡などの工程を加える必要があった。特許文献２の技術においては、吐出量の脈動が管状物の膜圧となって発生することがあった。
【０００９】
本発明の目的はこの課題を解決することができる管状物の製造方法、塗工装置、及び塗工用ノズルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的を達成するための本発明に係る管状物の製造方法の代表的な構成は、中心軸線を上下方向に向けた柱状の芯体に対して、前記芯体の外径よりも大きな内径を有するノズルであって、被膜の膜厚を前記芯体とのギャップ部で規定するためのダイス部と、前記ダイス部の上方にあって前記ギャップ部に被膜前駆体の溶液を供給する供給部と、前記供給部の上方にあって、前記ギャップ部でかきとられ、前記ダイス部ないし前記供給部で余剰となった前記溶液を溜めておくための液だめ部を有するノズルを実質同心に外嵌させて前記芯体に対して相対的に上方向に通過させることで前記芯体の外面に被膜前駆体の溶液を塗布して被膜とした後、前記被膜が少なくとも管状物としての強度を保持できるまで前記芯体に保持した後、前記芯体から管状物を取り外すことを特徴とする。
【００１１】
また、上記の目的を達成するための本発明に係る塗工装置の代表的な構成は、管状物を製造するために芯体の外面に被膜前駆体の溶液を塗布して被膜を形成する塗工装置であって、柱状の芯体をその中心軸線を上下方向に向けた姿勢で固定および固定を解除することができる芯体支持機構と、前記芯体の外径よりも大きな内径を有するノズルであって、被膜の膜厚を前記芯体とのギャップ部で規定するためのダイス部と、前記ダイス部の上方にあって前記ギャップ部に被膜前駆体の溶液を供給する供給部と、前記供給部の上方にあって、前記ギャップ部でかきとられ、前記ダイス部ないし前記供給部で余剰となった前記溶液を溜めておくための液だめ部を有するノズルと、前記ノズルを前記芯体に実質同心に外嵌させた状態で前記芯体に対して相対的に上方向に通過させることで前記芯体の外面に被膜前駆体の溶液を被膜とした塗布するために前記ノズルを移動させるノズル移動機構と、を有することを特徴とする。
【００１２】
また、上記の目的を達成するための本発明に係る塗工用ノズルの代表的な構成は、中心軸線を上下方向に向けた柱状の芯体に対して前記芯体の外径よりも大きな内径を有し実質同心に外嵌されて相対的に上方向に通過させることで前記芯体の外面に被膜前駆体の溶液を被膜として塗布するノズルであって、前記被膜の膜厚を前記芯体とのギャップ部で規定するためのダイス部と、前記ダイス部の上方にあって前記ギャップ部に前記溶液を供給する供給部と、前記供給部の上方にあって、前記ギャップ部でかきとられ、前記ダイス部ないし前記供給部で余剰となった前記溶液を溜めておくための液だめ部を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、芯体の下部を汚してしまう可能性が低減することができる。また、液だめ部たまった被膜前駆体の溶液を脱泡する工程を省きつつ再利用することが可能となる。また、吐出量の脈動が液だめ部によって緩和されるため、膜厚ムラが発生しにくい。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施例１における塗工装置の要部の構成模式図
【図２】同装置の動作フローチャート
【図３】同装置の動作過程を説明する模式図
【図４】ノズルの横断面模式図
【図５】ノズルとこれに保持された状態のシャッターの横断面模式図（その１）
【図６】ノズルとこれに保持された状態のシャッターの横断面模式図（その２）
【図７】溶液塗り始め位置に移動されているノズルとこれに保持された状態のシャッターの横断面模式図
【図８】溶液塗り終わり位置に移動されているシャッターの横断面模式図
【図９】溶液塗り始め位置に移動されているノズル横断面模式図
【図１０Ａ】溶液塗り終わり位置に移動されているノズルとこれに保持された状態のシャッターの横断面模式図
【図１０Ｂ】溶液塗り終わり位置から更に上方所定位置まで上昇移動されているノズルとこれに保持された状態のシャッターの横断面模式図
【図１０Ｃ】図１０Ｂの状態から更に芯金上部支持部が上昇位置に移動した状態時の図
【図１１】定着ベルトの層構成を示す横断面模式図
【図１２】実施例１における定着装置の要部の横断面模式図と制御系統のブロック図
【図１３】実施例１における画像形成装置の構成略図
【図１４】実施例２における塗工装置の要部の構成模式図
【図１５】同装置におけるノズルの横断面模式図
【図１６】実施例３における塗工装置の要部の構成模式図
【図１７】同装置の動作フローチャート（その１）
【図１８】同装置の動作フローチャート（その２）
【発明を実施するための形態】
【００１５】
《実施例１》
（画像形成装置）
図１３は画像形成装置の一例の構成略図である。この画像形成装置は電子写真プロセスを用いた、インライン（タンデム）方式、中間転写方式の４色フルカラー画像形成装置である。
【００１６】
記録材Ｓにトナー像ｔを形成する画像形成部２０は、それぞれ、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックのトナー像を形成する４つの画像形成ステーションＵ（Ｙ・Ｍ・Ｃ・Ｋ）を有する。
【００１７】
各画像形成ステーションＵは、それぞれ、像担持体としての感光ドラム１（Ｙ・Ｍ・Ｃ・Ｋ）を有する。また、それらの感光ドラム１に対するプロセス手段としての、帯電ローラ２（Ｙ・Ｍ・Ｃ・Ｋ）、露光装置３（Ｙ・Ｍ・Ｃ・Ｋ）、現像器４（Ｙ・Ｍ・Ｃ・Ｋ）、一次転写ローラ５（Ｙ・Ｍ・Ｃ・Ｋ）、ドラムクリーナ６（Ｙ・Ｍ・Ｃ・Ｋ）を備えている。更に、画像形成部２０は、各画像形成ステーションＵの感光ドラム１に形成されたトナー像を重畳転写して搬送する中間転写ベルト８を含む中間転写ユニット７を有する。
【００１８】
以上の画像形成部２０の画像形成動作は周知であるので詳細な説明は割愛する。記録材Ｓは記録材供給部（不図示）から給送されて中間転写ベルト８と二次転写ローラ９とで形成される二次転写ニップ部に導入され、中間転写ベルト８側から４色重畳のトナー像の転写を受ける。二次転写ニップ部を通過した記録材Ｓが定着装置Ｆに導入されてトナー像の定着処理を受け、カラー画像形成物として排出される。二次転写ニップ部で記録材Ｓに転写されないで中間転写ベルト８側に残ったトナーはベルトクリーナ１０によって除去される。
【００１９】
（定着装置）
図１２は本実施例における定着装置（画像加熱装置）Ｆの要部の横断面模式図と制御系統のブロック図である。この定着装置Ｆはベルト加熱方式−加圧回転体駆動方式のオンデマンド定着装置である。この定着装置Ｆは、大別して、定着部材としてのベルトユニット１１と、このユニット１１と協働してニップ部（定着ニップ部）Ｎを形成するニップ形成部材としての加圧ローラ（加圧回転体）１２と、これらを収容している装置枠体（筐体）１３を有する。
【００２０】
ベルトユニット１１は、可撓性の無端ベルト（エンドレスベルト：管状物）である定着ベルト（以下、ベルトと記す）１４を有する。また、ベルト１４の内部に配置されている内部部材としての、バックアップ部材を兼ねている加熱体としてのヒータ１５と、ヒータ１５を支持しているヒータホルダ（加熱体支持部材）１６を有する。ヒータ１５とヒータホルダ１６はベルト１４の長手方向（幅方向、母線方向）に長い部材である。
【００２１】
本実施例において、ヒータ１５は、発熱抵抗体層に対する通電により全体に急峻な立ち上がり特性をもって昇温する低熱容量のセラミックヒータである。ヒータホルダ１６は耐熱性の高い液晶ポリマー樹脂で形成されており、ヒータ１５を支持すると共にベルト１４の回転をガイドする役割を果たしている。また、加圧ステイも兼ねている。ヒータ１５はヒータホルダ１６の下面に長手に沿って固定されて支持されており、ベルト１４の内面とヒータ１４の下面（加熱面）が摺動可能な構成になっている。
【００２２】
加圧ローラ１２は芯金１２ａとその芯金周りにローラ状に同心一体に形成された弾性層１２ｂとを有する耐熱性の弾性ローラである。加圧ローラ１２は芯金１２ａの両端部がそれぞれ装置枠体１３の長手方向の一端側と他端側の側板（不図示）間に回転可能に軸受により支持されて配設されている。
【００２３】
ベルトユニット１１はこの加圧ローラ１２の上側にヒータ１５の側を対向させて加圧ローラ１２に実質平行に配置されている。そして、ヒータホルダ１６の両端部がそれぞれ装置枠体１３の長手方向の一端側と他端側の側板に対して加圧ローラ１２に向う方向にスライド移動可能な状態で支持されている。そのヒータホルダ１６の両端部がそれぞれ加圧機構（不図示）によって加圧ローラ１２に向う方向に所定の押圧力をもって付勢されている。
【００２４】
そのためヒータホルダ１６が加圧ローラ１２に向って付勢されてヒータ１５がベルト１４を介して加圧ローラ１２に対して弾性層１２ｂの弾性に抗して圧接する。これにより、ベルト１４と加圧ローラ１２との間に記録材搬送方向ａに関して所定幅のニップ部Ｎが形成される。
【００２５】
加圧ローラ１２は芯金１２ａの端部に設けられた駆動機構１７により矢印Ｒ１２の反時計方向に所定の周速度にて回転する駆動力を得る。駆動機構１７は制御部１８により制御される。この加圧ローラ１２の回転駆動に伴って、ベルト１４はニップ部Ｎにおいてその内面がヒータ１５の下面（加熱面）に密着して摺動しながらニップ部Ｎにおける加圧ローラ１２との摩擦力により矢印Ｒ１４の時計方向に従動回転する。
【００２６】
ヒータ１５は制御部１８で制御される給電部１９からの通電により昇温して加熱される。制御部１８はヒータ１５が所定の温度に立ち上げられてその温度が維持されるように温調系統（不図示）により給電部１９からヒータ１５への供給電力を制御する。
【００２７】
上記のように、加圧ローラ１２が駆動され、ヒータ１５が所定の温度に加熱された状態において、未定着トナー像ｔを担持した記録材Ｓが画像形成部２０の側からニップ部Ｎに導入されて挟持搬送される。これにより、ニップ部Ｎで記録材Ｓの加熱と加圧が同時に行なわれ、トナー像ｔが記録材Ｓに固着像として定着される。ニップ部Ｎを通過した記録材部分はベルト１４の面から曲率分離して排出搬送されていく。
【００２８】
（定着ベルト）
図１１はベルト１４の層構成を示したベルトの横断面模式図である。本実施例におけるベルト１４は最内側を樹脂基材１４ａとする全体に可撓性を有する５層構造となっている。即ち、樹脂基材１４ａの外周面にはプライマ層１４ｂを介して弾性層１４ｃがあり、さらに弾性層１４ｃの表面に接着剤層１４ｄを介して離型層１４ｅが形成されている。
【００２９】
樹脂基材１４ａとして用いられる材料は、ポリイミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリアミドイミド樹脂等がある。本実施例のベルト１４において樹脂基材１４ａはポリイミドからなり、厚さ６０μｍ、内径２４ｍｍ、長さ３８０ｍｍの円筒状である。以下、樹脂基材１４ａをポリイミド基材１４ａと記す。
【００３０】
弾性層１４ｃとしては、耐熱性、弾性を備えたフッ素ゴム、シリコーンゴム等が用いられる。本実施例の弾性層１４ｃは厚さ２００μｍのシリコーンゴムである。離型層１４ｅとしては、トナーに対する離型性を有する材料であることが好ましい。本実施例の離型層１４ｅは厚さ３０μｍのテトラフルオロエチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）である。
【００３１】
（ポリイミド基材１４ａ）
本実施例のベルト１４の樹脂基材１４ａは上記のようにポリイミド樹脂からなる。ポリイミド基材１４ａは、例えば、次のようにして形成される。芳香族テトラカルボン酸二無水物或いはその誘導体と、芳香族ジアミンとの略等モルを有機極性溶媒中で反応させて得られる被膜前駆体としてのポリイミド前駆体の溶液を、芯体（成形型）の外周面に塗布、乾燥、加熱し、脱水閉環反応することにより形成される。
【００３２】
ポリイミド前駆体の溶液としては、芳香族ポリイミド前駆体とすることが好ましい。このために、それぞれのポリイミド前駆体は、例えば、芳香族テトラカルボン酸と芳香族ジアミンとからなる。芳香族テトラカルボン酸の代表例としては次のようなものが上げられる。ピロメリット酸二無水物、３，３’，４，４‘−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４‘−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、２，３，６，７，−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、などである。
【００３３】
これら芳香族テトラカルボン酸は、単独あるいは２種以上組合せて用いることができる。これら芳香族ジアミンは、単独あるいは２種以上組合せて用いることができる。
【００３４】
このポリイミド前駆体を芯体に塗布できるように、これらポリイミド前駆体を有機極性溶媒で反応させてポリイミド前駆体溶液とする。有機極性溶媒としては、ジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、フェノール、Ｏ−，Ｍ−，Ｐ−クレゾール、などが挙げられる。
【００３５】
本実施例では、芳香族テトラカルボン酸として３，３‘，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を、芳香族ジアミンとしてパラフェニレンジアミンを用いたポリイミド前駆体のＮ−メチル−２−ピロリドン溶液をポリイミド前駆体溶液とした。ポリイミド前駆体溶液の粘度は１〜１００００Ｐａ・ｓｅｃ程度、より好ましくは１０〜１０００Ｐａ・ｓｅｃである。
【００３６】
また、ポリイミド前駆体溶液は、熱伝導性付与或いは耐摩耗性付与を目的とした無機フィラーを含有することができる。無機フィラーとしては、炭化ケイ素（ＳｉＣ）、窒化ケイ素（Ｓｉ3Ｎ4）、窒化ホウ素（ＢＮ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、シリカ（ＳｉＯ2）などが挙げられる。また、二硫化モリブデン（ＭｏＳ2）、グラファイト、窒化チタン（ＴｉＮ）、マイカ（雲母）、合成マイカなども挙げられる。
【００３７】
（本実施例の特徴的な部分）
上述のポリイミド樹脂による樹脂基材１４ａの製造方法と製造装置について説明する。図１は本実施例におけるリングコート法塗工装置（以下、塗工装置と記す）１００の要部の構成模式図である。ここで、以下の説明において上下とは重力方向において上と下である。
【００３８】
この塗工装置１００は、アルミニウムやステンレスなどの円柱状の芯体（成形型、金型：以下、芯金と記す）１０１として用いる。この芯金１０１をその中心軸線Ｏ−Ｏ（仮想線：以下、軸線と記す）の方向を上下方向にした縦向き姿勢で支持する芯金下部支持部１１４と芯金上部支持部１１３を有する。なお、芯金１０１の中心軸線Ｏ−Ｏと上下方向の垂直線の角度は厳密に平行ではなくともよいが、その角度は５°以内（実質上下方向）であることが好ましい。
【００３９】
また、塗工装置１００は塗工用ノズル１０２を有する。このノズル１０２は、芯金１０１の外径よりも大きな内径を有し、芯金１０１に実質同心に外嵌している状態で芯金１０１に対して相対的に矢印Ａのように下から上に移動されることで芯金１０１の外面にポリイミド前駆体の溶液を被膜として塗工する。
【００４０】
また、塗工装置１００は、芯金１０１とノズル１０２の間のギャップ部（塗工ギャップ部）を封止するためのマスキング部材としてのシャッター１０８を有する。このシャッター１０８は、後述するように、芯金１０１にほぼ同心に外嵌して、かつノズル１０２に対して着脱可能である。
【００４１】
ノズル１０２は図４に示すような横断面形状のリング状部材であって、溶液補給口１０３を備えている。溶液補給口１０３は図１のようにフレキシブルチューブ１０４を介して第１ポンプ機構１１１に連結されている。第１ポンプ機構１１１は制御部２００で制御され、溶液タンク１１０に貯留されているポリイミド前駆体溶液をチューブ１０４と溶液補給口１０３を通じてノズル１０２と芯金１０１の間に供給する。
【００４２】
ノズル１０２は制御部２００で制御される第１移動機構（ノズル移動機構）１１５の作動によって、芯金１０１に対してほぼ同心に外嵌している状態にて、芯金１０１の軸線Ｏ−Ｏに沿って上下方向に移動可能である。そして、芯金１０１に対するポリイミド前駆体溶液の塗工時には、第１移動機構１１５の作動によって芯金１０１に対して相対的に上方、すなわち矢印Ａの上方向に移動する。ノズル１０２の最下部は芯金１０１の外面に形成される被膜の膜厚を芯金１０１とのギャップ部（以下、塗工ギャップと記す）αで規定するためのダイス部１０２ａであって、本実施例では塗工ギャップαが０．６ｍｍである。
【００４３】
ダイス部１０２ａの上方には溶液供給ノズル１０２ｂが備えられていて、第１ポンプ機構１１１によって矢印Ｂ方向に押し出されたポリイミド前駆体溶液がチューブ１０４・溶液補給口１０３を通じてノズル１０２と芯金１０１の間に供給される。またノズル１０２の上方部（図４の網掛け部）は液だめ部１０７であり、余剰となったポリイミド前駆体溶液を保持する。
【００４４】
シャッター１０８は図５に示すような横断面形状のリング状部材であって、ノズル１０２による芯金下端部のポリイミド前駆体溶液塗り始め部と、芯金上端部のポリイミド前駆体溶液塗り終わり部を形成するための所謂マスキングに用いられる部材である。シャッター１０８は内径が芯金１０１の外径とほぼ同じく直径２４ｍｍで、外面は断面が逆三角（クサビ形状）を描くようになっている。シャッター１０８の上端の厚みは２ｍｍ、下端の厚みは０．４ｍｍである。
【００４５】
シャッター１０８はノズル１０２の上側において芯金１０１に対して外嵌して、芯金１０１の軸線Ｏ−Ｏに沿って同心に上下方向に移動可能である。そして、シャッター１０８は制御部２００で制御される第２移動機構（マスキング部材移動機構）１１６に支持されて上下動される。あるいは、シャッター１０８は第２移動機構１１６による支持が解除されてノズル１０２に支持されることによって第１移動機構１１５で移動されるノズル１０２と共に上下動される。
【００４６】
芯金１０１は制御部２００で制御される第３移動機構１１７の作動によって塗工装置１００に対する取り付けのための移動と取り出しのための移動がなされる。また、芯金上部支持部１１３は制御部２００で制御される第４移動機構１１８の作動によって上下方向に移動される。そして、芯金上部支持部１１３は下降移動されることで芯金下部支持部１１４との間に芯金１０１を縦向きの姿勢で固定して支持し、上昇移動されることで芯金１０１の固定支持を解除する。本実施例においては、上記の金上部支持部１１３と芯金下部支持部１１４と第４移動機構１１８が芯体支持機構を構成している。
【００４７】
本実施例の塗工装置１００は上記のポンプ機構１１１および移動機構１１５〜１１７が制御部２００にて所定にシーケンス制御されて装置動作が一元的に制御される。なお、移動機構１１５〜１１７は図の煩雑をさけるために何れも具体的な機構構成は図には省略したけれども適宜の機構構成を採択し得る。例えば、ラックとピニオンを用いた移動機構、ギアとチェーンやタイミングベルトを用いた移動機構、ねじ棒とスライダを用いた移動機構、電磁ソレノイドを用いた移動機構、油圧を用いた移動機構、掴み具を有する移動機構など適宜の機構構成を採択し得る。
【００４８】
上記の塗工装置１００の動作概略を主として図２のフローチャート及び図３を参照して説明する。
【００４９】
ノズル１０２は、図３の（ａ）のように、芯金下部支持部１１４に対して所定に対応している位置をホームポジション１０２Ａとしている。また、シャッター１０８はホームポジション１０２Ａに位置しているノズル１０２に対して第２移動機構１１６に支持された状態にて所定に嵌入している下降位置をホームポジション１０８Ａとしている。
【００５０】
また、芯金上部支持部１１３は第４移動機構１１８の作動により、図３の（ａ）の２点鎖線示のように所定の下降位置１１３Ａと、この下降位置１１３Ａよりも所定に上昇した実線示の上昇位置１１３Ｂとの間を移動可能である。芯金上部支持部１１３の下降位置１１３Ａは芯金下部支持部１１４との間に芯金１０１を縦向きの姿勢で固定して支持する位置である。上昇位置１１３Ｂは芯金１０１の固定支持を解除して芯金１０１を塗工装置１００から取り外し可能とする位置あるいは芯金１０１を塗工装置１００に対して取り付け可能とする位置である。
【００５１】
ステップ（工程）Ｓ１：制御部２００は、芯金１０１を塗工装置１００に取り付ける準備として、ノズル１０２がホームポジション１０２Ａに位置していないときには第１移動機構１１５を作動させてホームポジション１０２Ａに位置させる。また、シャッター１０８がホームポジション１０８Ａに位置していないときには第２移動機構１１６を作動させてホームポジション１０８Ａに位置させる。また、芯金上部支持部１１３が上昇位置１１３Ｂに位置していないときには第４移動機構１１７を作動させて上昇位置１１３Ｂに位置させる。図３の（ａ）はこの装置状態時を示している。
【００５２】
ステップＳ２：制御部２００は第２移動機構１１６によりホームポジション１０８Ａに位置させているシャッター１０８の支持を解除する。これによって、第２移動機構１１６による支持が解除されたシャッター１０８は自重で少し下降移動してホームポジション１０２Ａに位置しているノズル１０２に対して落ち込む。この落ち込み状態において、図５、図６に示すように、シャッター１０８が塗工ギャップαをふさぎ、同時にシャッター１０８はノズル１０２に接触、あるいはポリイミド前駆体溶液を介して略接触することで支持される。
【００５３】
ステップＳ３：制御部２００は、芯金１０１の装置への取り付けのために、芯金１０１を支持させた第３移動機構１１７を作動させて芯金１０１を上昇位置１１３Ｂに位置している芯金上部支持部１１３と芯金下部支持部１１４との間に縦向き姿勢で移動する。そして、芯金１０１の下端部を、図３の（ｂ）のように、ホームポジション１０２Ａに位置しているノズル１０２が支持しているシャッター１０８の内径穴部に合致させて挿入し、芯金１０１の下端面を芯金下部支持部１１４に受け止めさせる。
【００５４】
本実施例において芯金１０１は直径２４ｍｍ、高さ（長さ）４００ｍｍの円柱状であって、表面に離形層を形成しておく。離型剤としては（株）日板研究所製の「セラミカ（商品名）」などを用いることができる。
【００５５】
ステップＳ４：制御部２００は第４移動機構１１８を作動させて芯金上部支持部１１３を下降位置１１３Ａに下降移動させる。これにより、芯金１０１が、図３の（ｃ）のように、芯金下部支持部１１４と芯金上部支持部１１３との間に軸線方向Ｏ−Ｏを上下方向にした縦向きの姿勢で固定支持される。即ち、芯金１０１は芯金下部支持部１１４と芯金上部支持部１１３との間にその中心軸線がノズル１０２の中心軸線と実質一致するように固定される。
【００５６】
また、制御部２００は第３移動機構１１７を作動させて芯金１０１の支持を解除するとともに、第３移動機構１１７を芯金１０１から退避させた所定の待機位置に移動させる。
【００５７】
ステップＳ５：制御部２００は第１移動機構１１５を動作させて、シャッター１０８を保持しているノズル１０２をホームポジション１０２Ａから上昇させる。そして、図３の（ｄ）のように、ノズル１０２の下面１０２ｃが芯金１０１の下面１０１ａから上に１０ｍｍの上昇位置１０２Ｂになるように停止させる。このノズル１０２の上昇位置１０２Ｂがノズ１０２による芯金下端部のポリイミドポ前駆体溶液塗り始め位置（下方所定位置）である。このとき塗工装置１００の下部は図７のようになる。
【００５８】
ステップＳ６：制御部２００は第２移動機構１１６を作動させることでシャッター１０８を保持して上昇させてノズル１０２から引き抜く。そして、更にシャッター１０８を上昇動させて、図３の（ｅ）のように、シャッター１０８の下端面１０８ａの高さが芯金１０１の上端面１０１ｂ（図８）から１０ｍｍ低い位置１０８Ｂとなるようにする。このシャッター１０８の上昇位置１０８Ｂがノズ１０２による芯金上端部のポリイミドポ前駆体溶液塗り終わり位置（上方所定位置）である。
【００５９】
即ち、このシャッター１０８の動作は芯金１０１に対するポリイミド前駆体溶液の塗り終わりの位置にシャッター１０８を待機させる動作である。このとき塗工装置１００の上部は図８のようになり、塗工装置１００の下部は図９のようになる。
【００６０】
ステップ７：制御部２００は、図３の（ｅ）、図９の装置状態において、第１ポンプ機構１１１を動作させて、芯金１０１とノズル１０２の間にポリイミド前駆体溶液を所定量満たす。
【００６１】
ステップＳ８：制御部２００はステップ７の後に装置１００を所定の時間待機状態にする。この間に芯金１０１とノズル１０２の間のポリイミド前駆体溶液の液面が安定する。
【００６２】
ステップＳ９：制御部２００は、第１移動機構１１５により、ノズル１０２を所定の速度で上昇動させる。このステップＳ９が「塗工工程」であり、途中の状態を示すのが図１である。図１において１０４ａ−１は、ノズル１０２が芯金１０１の軸線Ｏ−Ｏに沿って下から上に移動されることで芯金１０１の外面に塗布されたポリイミド前駆体溶液の塗工層（被膜）を示している。
【００６３】
上記の所定の速度とは、ポリイミド前駆体溶液の粘度によっても異なるが、０．１ｍｍ／ｓｅｃ以上１００ｍｍ／ｓｅｃ以下、好ましくは０．５ｍｍ／ｓｅｃ以上５０ｍｍ／ｓｅｃが好ましい。この範囲より遅すぎると塗工に時間がかかり、ノズル１０２の下部でのポリイミド前駆体溶液のタレが発生するおそれがある。またこの範囲より早すぎると、ノズル１０２内のポリイミド前駆体溶液が追従せずに塗工ムラになるおそれがある。
【００６４】
塗工工程において、ダイス部１０２ａが供給されたポリイミド前駆体溶液をせん断することで、溶液が一定の膜厚（所定膜厚）の被膜となって芯金１０１に付着する。即ち、膜厚を芯金とダイスのギャップで規定できるため、均一な被膜を形成しやすい。これにより、第１ポンプ機構１１１がポリイミド前駆体溶液を吐出する際の圧力変化による膜圧変化を最小限に抑制することができる。
【００６５】
ダイス部１０２ａによって上方にかきとられたポリイミド前駆体溶液は、余剰分が液だめ部１０７に保持される。即ち、ポリイミド前駆体溶液を保持する保持部を上方に備えたダイスを、芯金に対して上方に移動させ、余剰のポリイミド前駆体溶液を液だめへと溜めておくことで、ポリイミド前駆体溶液の下方への滴下を抑止する。このような構成にすることで、ポリイミド前駆体溶液が下方にかきとられて芯金１０１の下部を汚す現象を最小限に抑えることができる。
【００６６】
ステップＳ１０：上記のステップＳ９と平行して行われ、制御部２００は、第１ポンプ機構１１１を作動させ、塗工工程でノズル１０２から排出した分のポリイミド前駆体溶液を補充する。
【００６７】
ステップＳ１１：制御部２００は、第１移動機構１１５の動作によりノズル１０２を、上方の位置１０８Ｂに位置しているャッター１０８がダイス部１０２ａと略接触する位置１０２Ｃ（図３の（ｆ））まで上昇させる。これにより、全長４００ｍｍの芯金１０１に対して下端部の１０ｍｍ幅の部分と上端部の１０ｍｍ幅の部分を除くその間の３８０ｍｍの長さ部分に対してポリイミド前駆体溶液の塗工層１４ａ−１が形成される。
【００６８】
その後、第２移動機構１１６によるシャッター１０８の保持を解除する。この段階で、シャッター１０８は自重によってダイス部１０２ａと略嵌合し、芯金１０１に対するポリイミド前駆体溶液の供給を停止させる。この状態を示すのが図１０Ａである。
【００６９】
ステップＳ１２：制御部２００は、第１移動機構１１５を作動させて、シャッター１０８を支持している状態のノズル１０２を上昇移動させる。そして、図１０Ｂのように、シャッター１０８の下端面１０８ａが芯金１０１を取り外すことが可能な高さになる位置（上方所定位置）１０２Ｄまで上昇移動させて停止させる。このステップＳ１２の間、シャッター１０８は自重及び芯金１０１との摩擦力によってダイス部１０２ａと略嵌合しているので、芯金１０１の上部に対するポリイミド前駆体溶液の付着を最小限に抑えることができる。
【００７０】
ステップＳ１３：制御部２００は、第３移動機構１１７を作動させて芯金１０１を保持する。
【００７１】
ステップＳ１４：制御部２００は、第４移動機構１１８を作動させて、図１０Ｃのように、芯金上部支持部１１３を下降位置１１３Ａから上昇位置１１３Ｂに移動させることによって芯金１０１の固定を解除する。
【００７２】
ステップＳ１５：制御部２００は、第３移動機構１１７を作動させて、芯金１０１を塗工装置１００の外へと移動させる。
【００７３】
図３の（ｇ）は塗工装置１００から取り出された、ポリイミド前駆体溶液塗工済みの芯金１０１を示している。１０１Ａは芯金１０１のポリイミド前駆体溶液が塗工された長さ３８０ｍｍの塗工部分、１０１Ｂは芯金１０１の下端部と上端部のそれぞれ１０ｍｍ幅の非塗工部分である。
【００７４】
（ポリイミド前駆体の固化）
装置１００から取り出された芯金１０１のポリイミド前駆体溶液塗工層１０４ａ−１は、芯金１０１に付着した状態で温風乾燥などによって有機極性溶媒を乾燥させる。その後３００℃前後の加熱を受けることで脱水閉環反応により固体状のポリイミド基材１４ａとなる。即ち、ポリイミド前駆体溶液塗工層１０４ａ−１が少なくとも管状物としての強度を保持できるまで加熱する。その後、これに外力を加えて芯金１０１から離型する。
【００７５】
このとき、芯金１０１は線膨張係数の高いアルミなどの材質を用いていると、脱水閉官反応後のポリイミド基材１４ａの内径は芯金１０１の熱膨張時に決まり、脱型する際は芯金１０１が収縮しているので、脱型が容易である。
【００７６】
本実施例の構成は次に説明する実施例２や３の構成と比較して簡易である。本実施例の構成においては、単位時間当たりの第１ポンプ機構１１１の供給量ｐ（ｌ／ｓｅｃ）を所定の範囲に調整しておくことや、所定塗工回数に応じて作業者が液だめ部１０７の液面を監視し供給量ｐ（ｌ／ｓｅｃ）の微調整を行うことなどが好ましい。
【００７７】
《実施例２》
図１４と図１５は本実施例２における塗工装置１００の要部の構成模式図である。本実施例の塗工装置１００は、実施例１の塗工装置１００に付加し、溶液吸引口１０５および第２ポンプ機構１１２が備えられている。
【００７８】
即ち、図１５に示すように、ノズル１０２の液だめ部１０７に対し、余剰の溶液を吸引するための吸引ノズル（溶液回収ノズル：吸引部）１０２ｄが備えられている。第２ポンプ機構１１２は吸引ノズル１０２ｄ、溶液吸引口１０５、フレキシブルチューブ１０６を介し、液だめ部１０７のポリイミド前駆体溶液を図１４の矢印Ｃの向きに吸引し、溶液タンク１１０へ回収する。
【００７９】
その他の装置構成は実施例１の装置１００と同様であるから同じ符号を付して再度の説明を省略する。
【００８０】
第２ポンプ機構１１２を作業者が制御部２００の操作部２０１を操作して適宜作動させることで、実施例１に比べ作業者が第１ポンプ機構１１１の供給量ｐ（ｌ／ｓｅｃ）を調整する幅が広げられる。単位時間当たりの第２ポンプ機構１１２の吸引量ｑ（ｌ／ｓｅｃ）およびその作動タイミングは、作業者が任意に設定可能である。液だめ部１０７からのポリイミド前駆体溶液の溢れを効率よく防止し、液だめ部１０７の液面を監視する間隔を長くすることができる。
【００８１】
ただし、作業者は、吸引ノズル１０２ｄによる空気の吸引を防止するため、液だめ部１０７の液面が吸引ノズル１０２ｄを十分覆っていることを確認する必要がある。液面を確認して空気の吸引を防止していれば、溶液タンク１１０への空気の混入がなく、回収した液を脱泡処理するなどの手間がかからない。このように、液だめにたまったポリイミド前駆体溶液を、空気を混合しない形で吸引することで、脱泡工程を省きつつポリイミド前駆体溶液を再利用することができる。
【００８２】
《実施例３》
図１６は本実施例３の塗工装置の要部の構成模式図であり、上記実施例２の塗工装置１００を更に発展させたものである。即ち、本実施例の塗工装置は、実施例２の塗工装置１００に付加し、レーザー変位計１０８が備えられている。レーザー変位計（レーザー測長器：液量検知部）２１０は折り返しミラー２１１を介してノズル１０２の液だめ部１０７の液面を検出する。
【００８３】
レーザー変位計２１０と折り返しミラー２１１のユニットはノズル１０２に支持されておりノズル１０２と所定の位置関係を保ってノズル１０２と共に上下移動される。或いは、ノズル１０２を上下移動させる第１移動機構１１５にズル１０２とともに支持されており、ノズル１０２と所定の位置関係を保ってノズル１０２と共に上下移動される。レーザー変位計２１０は制御部２００に接続され、制御部２００からの指示に応じてその検出結果ｘを制御部２００に送信する。
【００８４】
その他の装置構成は実施例２の装置１００と同様であるから同じ符号を付して再度の説明を省略する。
【００８５】
図１７は本実施例の塗工装置の動作を説明するためのフローチャートである。概略は実施例１の図２のフローチャートと同様である。異なる点はステップＳ１０で、第１ポンプ機構１１１および第２ポンプ機構１１２の動作をレーザー変位計２１０の検出結果に基づいて制御する点である。
【００８６】
図１８は図１７のステップＳ１０の制御内容のフローチャートである。本フローは図１７のステップＳ８に引き続き、図１７のステップＳ９と並行して行われる。
【００８７】
ステップＳ２１において、レーザー変位計２１０がノズル１０２内の液面を検知して検知結果ｘを制御部２００に送信する。
【００８８】
ステップＳ２２で、その検知結果ｘが第１の閾値α以上であるかどうかを判断する。この閾値αとは、その液面検知結果において１回分の塗工工程の開始に必要な液量が、シャッター１０８の体積およびシャッター１０８に付着してもちあがる分の液量を除いた上で、十分であるかどうかの境界である。本実施例の場合、具体的にはシャッター１０８がダイス部１０２ａに挿入されている状態で、液面が溶液供給ノズル１０２ｂを覆う状態である。
【００８９】
ステップＳ２２でＮの場合、溶液不足で塗工不良となる恐れがあり、装置の異常や調整不足が疑われるため、制御部２００は図１７のフローを中断させ、塗工装置１００の動作を停止する。この場合は、制御部２００は操作部２０１の表示部に作業者に点検を促す表示をする。
【００９０】
ステップＳ２２でＹの場合、続いてステップＳ２３で検知結果ｘが第２の閾値β以下であるかどうかを判断する。ステップＳ２３でＮの場合、第２ポンプ機構１１２を動作させる前に、制御部２００は、ステップＳ２４として再度レーザー変位計２１０から検知結果ｘの取得を行い、次いでステップＳ２５として最新の検知結果ｘが第３の閾値γより大きいことを確認する。
【００９１】
第３の閾値γとは、ポリイミド前駆体溶液が溶液回収ノズル１０２ｄを十分覆っているかどうかの境界であり、ｘがγ以上であれば溶液回収ノズル１０２ｄから空気を吸引することはない。逆にｘがγより小さい場合、溶液回収ノズル１０２ｄから空気を吸引する可能性があり、連続して安定した塗工を実行する効果が失われてしまう。
【００９２】
理屈上はα＜γ＜βとなるはずで、ステップＳ２５でＮとなることはないはずでステップＳ２５は一見不要のように思われる。しかし、ポリイミド前駆体溶液が所定の粘度をもっているため液面が徐々に変化している可能性などを考慮し、また極力溶液回収ノズル１０２ｄから空気を吸引する可能性を極力無くしたいため、このようにする。
【００９３】
上記のように、制御部２００は、レーザー変位計２１０か検知するノズル１０２の液だめ部１０７の液面すなわち液量が所定量以下の時は溶液回収ノズル１０２ｄによる溶液の吸引動作は行わない。これにより、液だめにたまったポリイミド前駆体溶液を、空気を混合しない形で吸引することで、脱泡工程を省きつつポリイミド前駆体溶液を再利用することができる。
【００９４】
ステップＳ２５でこのような確認をした後、なおその結果がＮであった場合は、装置の異常や調整不足が疑われるため、制御部２００は図１７のフローを中断させ、塗工装置１００の動作を停止する。この場合は、制御部２００は操作部２０１の表示部に作業者に点検を促す表示をする。
【００９５】
ステップＳ２５でＹの場合は、ステップＳ２６で第１ポンプ機構１１１を停止させ、第２ポンプ機構１１２を動作させ、余剰のポリイミド前駆体溶液の回収を行う。
【００９６】
ステップＳ２３でＹの場合は、ステップＳ２６で塗工工程により芯金１０１に付着するだけの量、ないしは少し多めの量のポリイミド前駆体溶液を、第１ポンプ機構１１１を動作させてノズル１０２内に供給し、第２ポンプ機構１１２は停止させる。
【００９７】
続いてステップＳ２８で塗工工程が終了したかどうかを確認する。ステップＳ２８でＹであれば、ステップＳ２９で第１ポンプ機構１１１、第２ポンプ機構１１２を停止させて終了する。ステップＳ２８でＮであれば、ステップＳ２１に戻り、塗工動作を続ける。
【００９８】
本実施例では、レーザー変位計２１０を用い、図１８のようなフローチャートに基づいて塗工工程を行うことで、作業者をつけることなく連続して安定した塗工が可能となる。
【００９９】
また、単位時間当たりの第１ポンプ機構１１１の供給量ｐ（ｌ／ｓｅｃ）、第２ポンプ機構１１２が回収するポリイミド前駆体溶液の量ｑ（ｌ／ｓｅｃ）も許容される範囲が大きくなるため、調整が容易である。
【０１００】
以上３つの実施例について説明したが、必ずしも上記構成にとらわれるものではなく、所期の効果が得られる範囲で適宜変更を加えることが可能である。たとえば、実施例３において、２つの閾値を設けてその間で液面が保たれるようにしたが、検出結果ｘの目標値ｙを定めそれを下回ったら供給、上回ったら回収といった動作をさせてもよい。
【０１０１】
また、液面の検知には光学式のものを例として挙げたが、液面に接触して変位するような接触式の変位計を用いてもよい。また、単位時間当たりの芯金１０１へのポリイミド前駆体溶液の塗工量をｒ（ｌ／ｓｅｃ）として、ｒ（ｌ／ｓｅｃ）がｑ−ｐ（ｌ／ｓｅｃ）になるべく等しいことが好ましい。
【０１０２】
また、被膜前駆体溶液は実施例のポリイミド前駆体溶液に限られない。その他の熱硬化性樹脂等の被膜形成用の前駆体の溶液を用いることもできる。
【符号の説明】
【０１０３】
１００・・塗工装置、１０１・・芯体、１０２・・ノズル、１０２ａ・・ダイス部、１０２ｂ・・供給部、１０７・・液だめ部、α・・ギャップ部、１０４ａ−１・・被膜、１０８・・マスキング部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１０Ｃ】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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