(57)【要約】【課題】クリーンルーム間で物品を搬送するクリーン仕様の垂直搬送機１０であり、保守、点検及び修理を簡単に行うことができる装置を提供する。【解決手段】複数の輪体に張架される無端条体を複数備え、無端条体に保持される複数の荷受台５０に載置された物品が、箱体内のクリーン空間９１を走行する。箱体内は、箱状に形成される外壁８１と内部を区画する内壁８２により、クリーン空間９１及び輪体が位置する非クリーン空間９２が形成される。無端条体には歯付きベルト２０（２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ）が使用されるとともに、歯付きベルト２０が、クリーン空間９１及び非クリーン空間９２を走行する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の輪体に張架される無端条体を複数備え、前記無端条体に保持される複数の荷受台が循環して昇降する垂直搬送機において、前記荷受台に載置された物品が箱体内のクリーン空間を搬送されるクリーン仕様の垂直搬送機であって、
前記箱体は、箱状に形成される外壁と内部を区画する内壁によって、前記クリーン空間及び前記輪体が位置する非クリーン空間が形成され、
前記無端条体には歯付きベルトが使用されるとともに、
前記無端条体が、前記非クリーン空間及び前記クリーン空間を走行することを特徴とするクリーン仕様の垂直搬送機。
【請求項２】
前記内壁にＦＦＵが設置され、前記非クリーン空間から前記クリーン空間に向けて空気を流動させ、前記非クリーン空間の塵埃を捕集するとともに、前記クリーン空間に清浄な空気を流入させることを特徴とする請求項１に記載のクリーン仕様の垂直搬送機。
【請求項３】
前記荷受台がシート状の荷受面を備え、循環昇降する一方の側では物品を載置可能な水平状態で走行するとともに、他方の側では物品を載置不可能な垂直状態で走行することを特徴とする請求項１又は２に記載のクリーン仕様の垂直搬送機。
【請求項４】
物品の搬入搬出を行うために、前記外壁に開口部が設けられて水平搬送機が配置されるとともに、前記水平搬送機を覆う外壁により水平走行空間が形成され、
前記クリーン空間が、前記水平走行空間まで延長されるとともに、前記水平走行空間を形成する外壁に、ＦＦＵが設置されていることを特徴とする請求項３に記載のクリーン仕様の垂直搬送機。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、循環走行する複数の無端条体に取り付けられた複数の荷受台によって物品を連続的に昇降する垂直搬送機に関し、特に、クリーンルーム間で物品を搬送するクリーン仕様の垂直搬送機に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体の生産設備等のように、生産ラインがクリーンルーム内に設置されることが多くなり、これが上下の階に亘ることも多くなっている。このような場合に、上下のクリーンルーム間で物品を搬送する垂直搬送機についても、当然、クリーンルームと同程度に清浄な状態が要求されることになる。
【０００３】
特許文献１には、クリーン仕様の垂直搬送機が紹介されている。すなわち、図９（ａ）に示す垂直搬送機１０５を、図９（ｂ）（ｃ）に示す箱体１８０内に納めてクリーン仕様としたものである。
垂直搬送機１０５は、それぞれが４個の輪体１３０、１３０、……によって張架される３本の無端条体１２０（区別するときには１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃと記載する。）に、複数の荷受台１５０、１５０、……が取り付けられ、循環走行するものである。
【０００４】
箱体１８０は、箱状に形成される外壁１８１の内部が内壁１８２によって区画されて、クリーンルームと同程度に清浄なクリーン空間１９１と、塵埃発生の可能性がある非クリーン空間１９２とに分離されている。図９（ｃ）に示すＭ−Ｍ矢視断面では、箱体１８０の中央がクリーン空間１９１であり、その両側が非クリーン空間１９２である。
内壁１８２にはスリット状の連通孔１８５が形成されており、クリーン空間１９１と非クリーン空間１９２の間で空気が流通する構造となっている。そして、無端条体１２０と荷受台１５０との連結部分が、連通孔１８５に沿って走行するようになっている。
【０００５】
外壁１８１には、ＦＦＵ（ファンフィルターユニット）１９０が取り付けられており、外部からクリーン空間１９１に清浄な空気が導入されるようになっている。
クリーン空間１９１に導入された空気は、連通孔１８５を経由して、非クリーン空間１９２に流入し、ここから系外に排出されている。
クリーン空間１９１は、物品の搬入及び搬出を行うために、開口部１９５においてクリーンルームに連通されている。
【０００６】
垂直搬送機１０５を箱体１８０内に納めたクリーン仕様の垂直搬送機１１０を、図１０に示す。荷受台１５０に載せられた物品は、クリーン空間１９１を昇降することになる。
一方、全ての輪体１３０は、非クリーン空間１９２に配置され、無端条体１２０は、非クリーン空間１９２のみを走行する。
そして、機内の空気は、クリーン空間１９１から非クリーン空間１９２に向かって連通孔１８５を流れるので、非クリーン空間１９２の塵埃がクリーン空間１９１に流入することはない。
【０００７】
クリーン仕様の垂直搬送機１１０は、無端条体１２０としてチェーンを使用し、輪体１３０としてスプロケットを使用することを基本としている。この組み合わせでは、潤滑用の給油が必要であるが、荷受台１５０と無端条体１２０とは、内壁１８２によって隔離されているので、搬送される物品が潤滑油で汚される心配はない。
【０００８】
しかしながら、クリーン仕様の垂直搬送機１１０には、保守、点検及び修理が、煩雑となる問題がある。保守等は、主として、非クリーン空間１９２にある輪体１３０及び無端条体１２０が対象となるが、これらが潤滑油及び塵埃で汚染されているとともに、外壁１８１及び内壁１８２の非クリーン空間１９２側が汚染されているからである。
このため、クリーンルーム及びクリーン空間１９１を清浄に保持した状態で作業を行うことが困難であるためである。また、外壁１８１及び内壁１８２の汚染面を清掃することが困難であるために、非クリーン空間１９２の内部には汚染が蓄積することになる。
【０００９】
特許文献２には、図１１に示すような歯付きベルト２０及び歯付きプーリ３０を用いる垂直搬送機が記載されている。そして、潤滑油を使用しないので潤滑油による汚染を起こさないこと、静粛な環境が要求される場所でも使用可能であること、食品を取り扱う場所でも使用可能であることなどが記載されている。
【００１０】
図１１（ａ）（ｂ）は、無端条体として使用される歯付きベルト２０の一部分を部分図として示したものである。
歯付きベルト２０は、一定形状のベルト歯２１を一定間隔で備えるとともに、荷受台が取付けられる位置には、軸部材２５が設けられている。軸部材２５は、歯付きベルト２０に固定するための取付部２６と、荷受台を支持するための軸部２７を備えている。
図１１（ｃ）（ｄ）は、歯付きプーリ３０を示し、プーリ歯３１はベルト歯２１と噛合することが記載されている。ここでは、歯付きプーリ３０の片側に鍔３２を備えるものが示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００９−１１３９４２号公報
【特許文献１】特開２０１５−００３８２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明の課題は、クリーンルーム間で物品を搬送するクリーン仕様の垂直搬送機であって、保守、点検及び修理を簡単に行うことができる装置を提供することにある。
このため、潤滑油及び塵埃による汚染の発生を抑えるとともに、機内に汚染が蓄積することのない装置を提供することにある。
なお、本発明において「クリーンルーム間」とは、上下の階にあるクリーンルーム間、及び同一階のクリーンルーム内にある段差間を含むこととする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の請求項１に係るクリーン仕様の垂直搬送機は、複数の輪体に張架される無端条体を複数備え、前記無端条体に保持される複数の荷受台が循環して昇降する垂直搬送機において、前記荷受台に載置された物品が箱体内のクリーン空間を搬送されるクリーン仕様の垂直搬送機であって、前記箱体は、箱状に形成される外壁と内部を区画する内壁によって、前記クリーン空間及び前記輪体が位置する非クリーン空間が形成され、前記無端条体には歯付きベルトが使用されるとともに、前記無端条体が、前記非クリーン空間及び前記クリーン空間を走行する手段を採用している。
【００１４】
また、本発明の請求項２に係るクリーン仕様の垂直搬送機は、請求項１に記載のクリーン仕様の垂直搬送機であって、前記内壁にＦＦＵが設置され、前記非クリーン空間から前記クリーン空間に向けて空気を流動させ、前記非クリーン空間の塵埃を捕集するとともに、前記クリーン空間に清浄な空気を流入させる手段を採用している。
【００１５】
また、本発明の請求項３に係るクリーン仕様の垂直搬送機は、請求項１又は２に記載のクリーン仕様の垂直搬送機であって、前記荷受台がシート状の荷受面を備え、循環昇降する一方の側では物品を載置可能な水平状態で走行するとともに、他方の側では物品を載置不可能な垂直状態で走行する手段を採用している。
【００１６】
また、本発明の請求項４に係るクリーン仕様の垂直搬送機は、請求項３に記載のクリーン仕様の垂直搬送機であって、物品の搬入搬出を行うために、前記外壁に開口部が設けられて水平搬送機が配置されるとともに、前記水平搬送機を覆う外壁により水平走行空間が形成され、前記クリーン空間が、前記水平走行空間まで延長されるとともに、前記水平走行空間を形成する外壁に、ＦＦＵが設置されている手段を採用している。
【発明の効果】
【００１７】
本発明のクリーン仕様の垂直搬送機は、無端条体として歯付きベルトを採用することにより潤滑油の必要性をなくし、潤滑油による汚染の発生を皆無とすることが可能であり、歯付きベルトをクリーン空間で走行させることが可能である。
汚染物質としては、歯付きベルトと輪体との摩擦により発生する塵埃のみであり、潤滑油を含まないために、容易に除去することができる。すなわち、内壁にＦＦＵを設置して非クリーン空間からクリーン空間に向けて空気を流動させることにより、クリーン空間には清浄な空気を流入させることが可能であるとともに、非クリーン空間に塵埃が蓄積することを無くすることができる。
【００１８】
また、本発明のクリーン仕様の垂直搬送機は、シート状の荷受面を備える垂直搬送機に適用することが可能である。この搬送機は、昇降する一方の側では物品を載置可能な水平状態を保持して走行するとともに、他方の側では物品を載置不可能な垂直状態で走行するものである。この場合、物品の搬入搬出部に水平搬送機を配置するとともに、水平搬送機を覆う水平走行空間までクリーン空間を延長することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の対象となる垂直搬送機及び箱体の例を示し、（ａ）は垂直搬送機の概略断面図であり、（ｂ）は箱体のＡ−Ａ矢視概略断面図、（ｃ）は箱体のＢ−Ｂ矢視概略断面図である。
【図２】図１の垂直搬送機と箱体の組合せによるクリーン仕様の垂直搬送機を示し、（ａ）はＡ−Ａ矢視概略断面図、（ｂ）はＢ−Ｂ矢視概略断面図であり、（ｃ）はＣ−Ｃ矢視概略断面図である。
【図３】本発明の対象となる垂直搬送機及び箱体の別の例を示し、（ａ）は垂直搬送機の概略断面図であり、（ｂ）は箱体のＤ−Ｄ矢視概略断面図、（ｃ）は箱体のＥ−Ｅ矢視概略断面図である。
【図４】図３の垂直搬送機と箱体の組合せによるクリーン仕様の垂直搬送機を示し、（ａ）はＤ−Ｄ矢視概略断面図、（ｂ）はＥ−Ｅ矢視概略断面図であり、（ｃ）はＦ−Ｆ矢視概略断面図である。
【図５】図３の垂直搬送機と共に用いる箱体の別の例を示し、（ａ）は箱体のＧ−Ｇ矢視概略断面図、（ｂ）は箱体のＨ−Ｈ矢視概略断面図である。
【図６】図３の垂直搬送機と図５の箱体の組合せによるクリーン仕様の垂直搬送機を示し、（ａ）はＧ−Ｇ矢視概略断面図、（ｂ）はＨ−Ｈ矢視概略断面図である。
【図７】本発明の対象となる垂直搬送機及び箱体のまた別の例を示し、（ａ）は垂直搬送機の概略断面図であり、（ｂ）は箱体のＩ−Ｉ矢視概略断面図、（ｃ）は箱体のＪ−Ｊ矢視概略断面図である。
【図８】図７の垂直搬送機と箱体の組合せによるクリーン仕様の垂直搬送機を示し、（ａ）はＩ−Ｉ矢視概略断面図、（ｂ）はＪ−Ｊ矢視概略断面図であり、（ｃ）はＫ−Ｋ矢視概略断面図である。
【図９】従来の垂直搬送機及び箱体の例を示し、（ａ）は垂直搬送機の概略断面図であり、（ｂ）は箱体のＬ−Ｌ矢視概略断面図、（ｃ）は箱体のＭ−Ｍ矢視概略断面図である。
【図１０】図９の垂直搬送機と箱体の組合せによるクリーン仕様の垂直搬送機を示し、（ａ）はＬ−Ｌ矢視概略断面図、（ｂ）はＭ−Ｍ矢視概略断面図であり、（ｃ）はＮ−Ｎ矢視概略断面図である。
【図１１】従来から知られている歯付きベルト及び歯付きプーリを示し、（ａ）は歯付きベルトの概略平面図、（ｂ）は歯付きベルトの概略正面図、（ｃ）は歯付きプーリの概略正面図、（ｄ）は歯付きプーリの概略側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明では、図１１に示した歯付きベルト２０及び歯付きプーリ３０を使用することを前提としている。これらについては、特許文献２に詳しく記載されているので、ここでは図１１に示した範囲について簡単に説明する。
無端条体として使用される歯付きベルト２０は、一定形状のベルト歯２１を一定間隔で備えるととともに、荷受台５０が取付けられる位置には、軸部材２５が設けられている。軸部材２５は、歯付きベルト２０に固定するための取付部２６と、荷受台５０を支持する軸部２７を備えている。
【００２１】
歯付きプーリ３０は、プーリ歯３１を備えており、歯付きベルト２０のベルト歯２１と噛合するものである。
このため、複数の歯付きプーリ３０によって複数の輪体を形成し、これに無端条体としての歯付きベルト２０を張架することができる。そして、一つの歯付きプーリ３０を駆動源によって回転させることにより、張架された歯付きベルト２０を循環走行させることができる。
ただし、歯付きベルト２０を張架する複数の輪体の中に、歯付きプーリ３０以外の輪体が含まれることはある。
【００２２】
図１には、本発明の対象となる垂直搬送機５及び箱体８０を示している。垂直搬送機５では、輪体として全て歯付きプーリ３０を使用し、無端条体として全て歯付きベルト２０を使用している。そして、上下４個の歯付きプーリ３０に張架される歯付きベルト２０を３本備え、これらを歯付きベルト２０ａ、２０ｂ、２０ｃで示している。
そして、歯付きベルト２０ａ、２０ｂ、２０ｃによって保持される複数の荷受台５０、５０……が循環して走行し、昇降するようになっている。
【００２３】
箱体８０は、箱状を形成する外壁８１と内部を区画する内壁８２により、清浄な環境となるクリーン空間９１と、塵埃を含む環境となる非クリーン空間９２が形成されている。
非クリーン空間９２には、歯付きプーリ３０及びその近傍に位置する歯付きベルト２０が収納される。そして、箱体８０の上部に２個の非クリーン空間９２が、箱体８０の下部に２個の非クリーン空間９２が設けられている。
【００２４】
各非クリーン空間９２において、内壁８２にはＦＦＵ（ファンフィルターユニット）９０が設置されており、非クリーン空間９２からクリーン空間９１に向けて空気を流動させて、非クリーン空間９２の塵埃を捕集することができる。同時に、クリーン空間９１に清浄な空気を流入させることができる。
また、内壁８２には、スリット状の連通孔８５が形成されており、連通孔８５を通してクリーン空間９１から非クリーン空間９２に向かって空気の流通が可能となっている。
なお、クリーン空間９１は、開口部９５においてクリーンルームに連通されて、物品の搬入及び搬出を行うことができる。
【００２５】
図２には、垂直搬送機５と箱体８０とにより形成されたクリーン仕様の垂直搬送機１０を示している。箱体８０内の４つの非クリーン空間９２内に、全ての歯付きプーリ３０が収納されている。また、歯付きプーリ３０の近傍を走行する各歯付きベルト２０も、当然非クリーン空間９２に位置することになる。歯付きプーリ３０から少し離れた場所では、歯付きベルト２０が、クリーン空間９１を走行するようになっている。
この結果、歯付きベルト２０は、非クリーン空間９２及びクリーン空間９１の両空間を走行するのである。また、荷受台５０に載置された物品は、必ずクリーン空間９１を搬送されるのである。
【００２６】
クリーン空間９１と非クリーン空間９２とを区画する内壁８２には、図１（ｂ）に示したスリット状の連通孔８５が形成されている。このため、歯付きベルト２０が非クリーン空間９２に位置するときは、荷受台５０と歯付きベルト２０との連結部分が連通孔８５に沿って走行することになる。
また、ＦＦＵ９０によって非クリーン空間９２からクリーン空間９１に向かって流れる空気と同量の空気が、連通孔８５を通してクリーン空間９１から非クリーン空間９２に向かって流れることになる。
【００２７】
クリーン仕様の垂直搬送機１０は、無端条体として歯付きベルト２０を使用するので、潤滑油を必要とせずに静粛な走行を実現することができる。そして、非クリーン空間９２を形成する外壁８１及び内壁８２の壁面が、潤滑油によって汚染されることはない。
歯付きベルト２０には、歯付きプーリ３０と噛合するときに、磨耗して塵埃を発生する可能性があり、非クリーン空間９２が塵埃によって汚染される可能性がある。しかしながら、ＦＦＵ９０を稼働させておくことによって簡単に塵埃を捕集することができるので、塵埃が蓄積することはない。
【００２８】
このため、非クリーン空間９２を形成する外壁８１及び内壁８２の壁面に、塵埃が蓄積する可能性は非常に低く、保守、点検及び修理を行う際に、クリーンルーム及びクリーン空間９１を清浄に保持した状態で、容易に行うことができる。
【００２９】
図３には、本発明の対象となる垂直搬送機６及び箱体８０を示している。
図３（ａ）に示す垂直搬送機６は、４本の歯付きベルト２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄに保持される複数の荷受台５０、５０……が循環して走行して、昇降するようになっている。特許文献２にも紹介されているように、その荷受台５０の荷受面は、シート状であり可撓性の荷受ベルトで構成されている。
そして、循環昇降する一方の側（図の中央）では、物品を載置可能な水平状態で走行するとともに、他方の側（図の左側）では、物品を載置不可能な垂直状態で走行するようになっている。
【００３０】
垂直搬送機６では、４本の無端条体に全て歯付きベルト２０が使用されているが、その裏面は、平面を備えるものとしている。
そして、歯付きベルト２０を張架する輪体としては、歯付きベルト２０に噛合する歯付きプーリ３０とともに、歯付きベルト２０の裏面側を張架する平プーリ３５も、合わせて使用されている。
【００３１】
箱体８０は、箱状を形成する外壁８１と内部を区画する内壁８２により、清浄な環境となるクリーン空間９１と、塵埃を含む環境となる非クリーン空間９２が形成されている。
非クリーン空間９２には、歯付きプーリ３０、平プーリ３５、及びその近傍に位置する歯付きベルト２０等が収納される。そして、箱体８０の上部に２個の非クリーン空間９２が設けられ、箱体８０の下部に２個の非クリーン空間９２が設けられている。
【００３２】
各非クリーン空間９２において、内壁８２にはＦＦＵ９０が設置されており、非クリーン空間９２からクリーン空間９１に向けて空気を流動させて、非クリーン空間９２の塵埃を捕集することができる。同時に、クリーン空間９１に清浄な空気を流入させることができる。
また、内壁８２には、スリット状の連通孔８５が形成されており、連通孔８５を通してクリーン空間９１から非クリーン空間９２に向かって空気の流通が可能となっている。
なお、外壁８１には開口部９５が設けられており、クリーン空間９１がクリーンルームに連通されるとともに、ここに水平搬送機７０が配置されて、物品の搬入及び搬出を行うようになっている。
【００３３】
図４には、垂直搬送機６と箱体８０とにより形成されたクリーン仕様の垂直搬送機１１を示している。箱体８０内の４つの非クリーン空間９２内に、全ての歯付きプーリ３０と平プーリ３５が収納されている。また、歯付きプーリ３０と平プーリ３５の近傍を走行する各歯付きベルト２０も、当然、非クリーン空間９２に位置することになる。歯付きプーリ３０から少し離れた場所では、歯付きベルト２０が、クリーン空間９１を走行するようになっている。
この結果、歯付きベルト２０は、非クリーン空間９２及びクリーン空間９１の両空間を走行するのである。また、荷受台５０に載置された物品は、必ずクリーン空間９１を搬送されるのである。
【００３４】
クリーン空間９１と非クリーン空間９２とを区画する内壁８２には、図３（ｂ）に示したスリット状の連通孔８５が形成されている。このため、歯付きベルト２０が非クリーン空間９２に位置するときは、荷受台５０と歯付きベルト２０との連結部分が連通孔８５に沿って走行することになる。
また、ＦＦＵ９０によって非クリーン空間９２からクリーン空間９１に向かって流れる空気と同量の空気が、連通孔８５を通してクリーン空間９１から非クリーン空間９２に向かって流れることになる。
【００３５】
クリーン仕様の垂直搬送機１１は、無端条体として歯付きベルト２０を使用するので、潤滑油を必要とせずに静粛な走行を実現することができる。そして、非クリーン空間９２を形成する外壁８１及び内壁８２の壁面が、潤滑油によって汚染されることはない。
歯付きベルト２０には、歯付きプーリ３０と噛合するときに、磨耗して塵埃を発生する可能性があり、非クリーン空間９２が塵埃によって汚染される可能性がある。しかしながら、ＦＦＵ９０を稼働させておくことによって簡単に塵埃を捕集することができるので、塵埃が蓄積することはない。
【００３６】
このため、非クリーン空間９２を形成する外壁８１及び内壁８２の壁面に、塵埃が蓄積する可能性は非常に低く、保守、点検及び修理を行う際に、クリーンルーム及びクリーン空間９１を清浄に保持した状態で、容易に行うことができる。
【００３７】
図５は、垂直搬送機６と組み合わせて用いる箱体８０の別の例を示しているが、図３（ｂ）（ｃ）と異なる点について説明する。
物品の搬入搬出を行う水平搬送機７０が配置される位置に、水平搬送機７０を覆う外壁８１によって水平走行空間９３が設けられており、クリーン空間９１が水平走行空間９３まで延長されている。
また、箱体８０の上部には、図３と同様に２個の非クリーン空間９２が設けられているが、下部においては、箱体８０を上下に区画すように、１個の広い非クリーン空間９２ａが設けられている。そして、非クリーン空間９２ａ内を歯付きベルト２０とともに搬送台５０が走行するようになっている。
【００３８】
箱体８０の上部にある２個の非クリーン空間９２には、図３と同様に内壁８２にＦＦＵ９０が設置されている。
また、箱体８０の中間部には、外壁８１にＦＦＵ９０ａが設置されており、荷受台５０の走行によって、箱体８０内の気流が乱れるような場合に、箱体８０の内側に向かって、又は外側に向かって空気を流すようにしている。
また、箱体８０の底部外壁８１にはＦＦＵ９０ｂが設置され、水平走行空間９３の底部外壁８１にはＦＦＵ９０ｃが設置されている。
【００３９】
図６には、垂直搬送機６と図５に記載の箱体８０によるクリーン仕様の垂直搬送機１２を示している。箱体８０内の２つの非クリーン空間９２内及び非クリーン空間９２ａに、全ての歯付きプーリ３０と平プーリ３５が収納されている。また、歯付きプーリ３０と平プーリ３５の近傍を走行する各歯付きベルト２０も、当然、非クリーン空間９２、９２ａに位置することになる。歯付きプーリ３０から少し離れた場所では、歯付きベルト２０が、クリーン空間９１を走行するようになっている。
この結果、歯付きベルト２０は、非クリーン空間９２、９２ａ及びクリーン空間９１を走行するのである。
【００４０】
クリーン仕様の垂直搬送機１２では、荷受台５０が、クリーン空間９１だけでなく、非クリーン空間９２ａを走行する点で、クリーン仕様の垂直搬送機１１とは異なっている。
歯付きベルト２０を使用する本発明では、ＦＦＵ９０ｂを稼働させておくことにより、非クリーン空間９２ａに塵埃が蓄積することがないので、ここを荷受台５０が走行しても実質的に汚染されないからである。
そして、搬送される物品が非クリーン空間９２ａを通過することはなく、荷受台５０に載置された物品は、必ずクリーン空間９１を搬送されるからである。
【００４１】
水平搬送機７０の型式は特に限定されないが、例えば、ベルトコンベヤを使用することにより、クリーンな環境を保持することができる。ベルトコンベヤでは、使用するベルト自身によって上下に区画されるので、上部を清浄な空間とし、下部を塵埃が発生する可能性のある空間とすることができる。
したがって、水平走行空間９３の下部の外壁８１にＦＦＵ９０ｃを設置して、外部に向けて空気を流動させることにより、ベルトから発生する塵埃を捕集するとともに、クリーンルームを清浄に保持することができる。
【００４２】
図７には、本発明の対象となる垂直搬送機７及び箱体８０を示している。
図７（ａ）に示す垂直搬送機７は、図３（ａ）に示した垂直搬送機６と同様の機種であるが、垂直搬送機６の２つの搬入搬出部が反対側に位置しているのに対して、２つの搬入搬出部が同一の側である点で異なり、このため、各歯付きベルト２０を張架する輪体の組み合わせが異なっている。
【００４３】
垂直搬送機７は、４本の歯付きベルト２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄに保持される複数の荷受台５０、５０……が循環して走行し、昇降する。その荷受台５０の荷受面は、シート状であり可撓性の荷受ベルトで構成されている。
そして、循環昇降する一方の側（図の中央）では、物品を載置可能な水平状態で走行するとともに、他方の側（図の左側）では、物品を載置不可能な垂直状態で走行するようになっている。
【００４４】
垂直搬送機７では、４本の無端条体に全て歯付きベルト２０が使用されているが、その裏面は、平面を備えるものとしている。
そして、歯付きベルト２０を張架する輪体としては、歯付きベルト２０に噛合する歯付きプーリ３０とともに、歯付きベルト２０の裏面側を張架する平プーリ３５も、合わせて使用されている。
【００４５】
箱体８０は、箱状を形成する外壁８１と内部を区画する内壁８２により、清浄な環境となるクリーン空間９１と、塵埃を含む環境となる非クリーン空間９２が形成されている。
非クリーン空間９２には、歯付きプーリ３０、平プーリ３５、及びその近傍に位置する歯付きベルト２０等が収納される。そして、箱体８０の上部に２個の非クリーン空間９２が設けられ、箱体８０の下部に２個の非クリーン空間９２が設けられている。
【００４６】
各非クリーン空間９２において、内壁８２にはＦＦＵ９０が設置されており、非クリーン空間９２からクリーン空間９１に向けて空気を流動させて、非クリーン空間９２の塵埃を捕集することができる。同時に、クリーン空間９１に清浄な空気を流入させることができる。
また、内壁８２には、スリット状の連通孔８５が形成されており、連通孔８５を通してクリーン空間９１から非クリーン空間９２に向かって空気の流通が可能となっている。
なお、外壁８１には開口部９５が設けられており、クリーン空間９１がクリーンルームに連通されるとともに、ここに水平搬送機７０が配置されて、物品の搬入及び搬出を行うようになっている。
【００４７】
図８には、垂直搬送機７と箱体８０とにより形成されたクリーン仕様の垂直搬送機１３を示している。箱体８０内の４つの非クリーン空間９２内に、全ての歯付きプーリ３０と平プーリ３５が収納されている。また、歯付きプーリ３０と平プーリ３５の近傍を走行する各歯付きベルト２０も、当然、非クリーン空間９２に位置することになる。歯付きプーリ３０から少し離れた場所では、歯付きベルト２０が、クリーン空間９１を走行するようになっている。
この結果、歯付きベルト２０は、非クリーン空間９２及びクリーン空間９１の両空間を走行するのである。また、荷受台５０に載置された物品は、必ずクリーン空間９１を搬送されるのである。
【００４８】
クリーン空間９１と非クリーン空間９２とを区画する内壁８２には、図７（ｂ）に示したスリット状の連通孔８５が形成されている。このため、歯付きベルト２０が非クリーン空間９２に位置するときは、荷受台５０と歯付きベルト２０との連結部分が連通孔８５に沿って走行することになる。
また、ＦＦＵ９０によって非クリーン空間９２からクリーン空間９１に向かって流れる空気と同量の空気が、連通孔８５を通してクリーン空間９１から非クリーン空間９２に向かって流れることになる。
【００４９】
クリーン仕様の垂直搬送機１３は、無端条体として歯付きベルト２０を使用するので、潤滑油を必要とせずに静粛な走行を実現することができる。そして、非クリーン空間９２を形成する外壁８１及び内壁８２の壁面が、潤滑油によって汚染されることはない。
歯付きベルト２０には、歯付きプーリ３０と噛合するときに、磨耗して塵埃を発生する可能性があり、非クリーン空間９２が塵埃によって汚染される可能性がある。しかしながら、ＦＦＵ９０を稼働させておくことによって簡単に塵埃を捕集することができるので、塵埃が蓄積することはない。
【００５０】
このため、非クリーン空間９２を形成する外壁８１及び内壁８２の壁面に、塵埃が蓄積する可能性は非常に低く、保守、点検及び修理を行う際に、クリーンルーム及びクリーン空間９１を清浄に保持した状態で、容易に行うことができる。
【符号の説明】
【００５１】
１０：  クリーン仕様の垂直搬送機
２０：  歯付きベルト
５０：  荷受台
８０：  箱体
８１：  外壁
８２：  内壁
９１：  クリーン空間
９２：  非クリーン空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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