(57)【要約】【課題】  ＸＹステージの移動位置の補正を簡単かつ高精度で行える補正データを生成して、ＸＹステージの利用時におけるＸＹステージの移動位置を補正する。【解決手段】  ＸＹステージ装置１０のＸＹステージ１２上にフラットパネルディスプレイ２１を載置する。ＸＹステージ１２を移動させて、フラットパネルディスプレイ２０の複数の表示画素をカメラ３０の撮像範囲内の順次位置するようにし、表示画素を順次点灯する。一つの表示画素のＸ軸方向位置及びＹ軸方向位置を用いて、ＸＹステージ１２の移動に伴うＸ軸方向ずれ量及びＹ軸方向ずれ量を検出する。ＸＹステージ装置１０のＸ軸スケーラ及びＹ軸スケーラによってそれぞれ検出されているＸＹステージ１２のＸ軸方向及びＹ軸方向の移動位置に対応させて、前記検出したＸ軸方向ずれ量及びＹ軸方向ずれ量を補正データとして記憶装置に順次記憶する。【選択図】  図１
2017174156.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ軸方向及びＹ軸方向に延設された平板状のＸＹステージと、前記ＸＹステージをＸ軸方向及びＹ軸方向にそれぞれ移動させる駆動装置と、前記ＸＹステージのＸ軸方向の移動位置を検出するＸ軸スケーラと、前記ＸＹステージのＹ軸方向の移動位置を検出するＹ軸スケーラとを備えたＸＹステージ装置のための補正データ生成装置であって、
中心をＸ軸方向及びＹ軸方向にそれぞれ所定の間隔で位置させてマトリクス状に配置された複数の表示画素を有し、前記ＸＹステージ上に載置される平板状のフラットパネルディスプレイと、
前記フラットパネルディスプレイに対向するように固定され、前記複数の表示画素のうちの一部の表示画素を撮像して、撮像した画像を表す画像データを出力するカメラと、
前記Ｘ軸スケーラ及び前記Ｙ軸スケーラから前記ＸＹステージのＸ軸方向の移動位置及びＹ軸方向の移動位置をそれぞれ入力するとともに前記駆動装置を制御して、前記複数の表示画素が前記カメラの撮像範囲内の所定位置に順次位置するように、前記ＸＹステージを順次移動させる移動制御手段と、
前記移動制御手段による前記ＸＹステージの移動毎に、前記カメラの撮像範囲内の所定位置にある一つの表示画素を点灯する点灯制御手段と、
前記移動制御手段による前記ＸＹステージの移動毎に、前記画像データによって表される画像において前記点灯している一つの表示画素の中心のＸ軸方向位置を用いて前記ＸＹステージの移動に伴うＸ軸方向ずれ量を導出するとともに、前記画像データによって表される画像において前記点灯している一つの表示画素の中心のＹ軸方向位置を用いて前記ＸＹステージの移動に伴うＹ軸方向ずれ量を導出するずれ量導出手段と、
前記移動制御手段による前記ＸＹステージの移動毎に、前記ずれ量導出手段によって導出されたＸ軸方向ずれ量及びＹ軸方向ずれ量を、前記Ｘ軸スケーラ及び前記Ｙ軸スケーラによってそれぞれ検出されている前記ＸＹステージのＸ軸方向の移動位置及びＹ軸方向の移動位置と共に補正データとして記憶装置に記憶させる記憶制御手段と
を備えたことを特徴とするＸＹステージ装置のための補正データ生成装置。
【請求項２】
前記請求項１に記載したＸＹステージ装置のための補正データ生成装置において、
前記ずれ量導出手段は、
前記画像データによって表される画像において前記点灯している一つの表示画素の中心のＸ軸方向位置と、前記画像データによって表される画像のＸ軸方向における所定の基準位置との距離の差を前記Ｘ軸方向ずれ量として導出するとともに、
前記画像データによって表される画像において前記点灯している一つの表示画素の中心のＹ軸方向位置と、前記画像データによって表される画像のＹ軸方向における所定の基準位置との距離の差を前記Ｙ軸方向ずれ量として導出する
ＸＹステージ装置のための補正データ生成装置。
【請求項３】
前記請求項１に記載したＸＹステージ装置のための補正データ生成装置において、
前記ずれ量導出手段は、
前記画像データによって表される画像において前記点灯している一つの表示画素の中心のＸ軸方向位置と、前記画像データによって表される画像のＸ軸方向における所定の基準位置との距離の差に、前記Ｘ軸スケーラによって検出されている前記ＸＹステージのＸ軸方向の移動位置と、前記フラットパネルディスプレイ上における前記点灯されている表示画素の予め決められているＸ軸方向位置との距離の差を加えた値を前記Ｘ軸方向ずれ量として導出するとともに、
前記画像データによって表される画像において前記点灯している一つの表示画素の中心のＹ軸方向位置と、前記画像データによって表される画像のＹ軸方向における所定の基準位置との距離の差に、前記Ｙ軸スケーラによって検出されている前記ＸＹステージのＹ軸方向の移動位置と、前記フラットパネルディスプレイ上における前記点灯されている表示画素の予め決められているＹ軸方向位置との距離の差を加えた値を前記Ｙ軸方向ずれ量として導出する
ＸＹステージ装置のための補正データ生成装置。
【請求項４】
Ｘ軸方向及びＹ軸方向に延設された平板状のＸＹステージと、前記ＸＹステージをＸ軸方向及びＹ軸方向にそれぞれ移動させる駆動装置と、前記ＸＹステージのＸ軸方向の移動位置を検出するＸ軸スケーラと、前記ＸＹステージのＹ軸方向の移動位置を検出するＹ軸スケーラとを備えたＸＹステージ装置のための補正データ生成方法であって、
中心をＸ軸方向及びＹ軸方向にそれぞれ所定の間隔で位置させてマトリクス状に配置された複数の表示画素を有する平板状のフラットパネルディスプレイを、前記ＸＹステージ上に載置し、
前記複数の表示画素のうちの一部の表示画素を撮像して、撮像した画像を表す画像データを出力するカメラを、前記フラットパネルディスプレイに対向するように固定し、
前記Ｘ軸スケーラ及び前記Ｙ軸スケーラから前記ＸＹステージのＸ軸方向の移動位置及びＹ軸方向の移動位置をそれぞれ入力するとともに前記駆動装置を制御して、前記複数の表示画素が前記カメラの撮像範囲内の所定位置に順次位置するように、前記ＸＹステージを順次移動させ、
前記ＸＹステージの移動毎に、前記カメラの撮像範囲内の所定位置にある一つの表示画素を点灯し、
前記ＸＹステージの移動毎に、前記画像データによって表される画像において前記点灯している一つの表示画素の中心のＸ軸方向位置を用いて前記ＸＹステージの移動に伴うＸ軸方向ずれ量を導出するとともに、前記画像データによって表される画像において前記点灯している一つの表示画素の中心のＹ軸方向位置を用いて前記ＸＹステージの移動に伴うＹ軸方向ずれ量を導出し、
前記ＸＹステージの移動毎に、前記導出されたＸ軸方向ずれ量及びＹ軸方向ずれ量を、前記Ｘ軸スケーラ及び前記Ｙ軸スケーラによってそれぞれ検出されている前記ＸＹステージのＸ軸方向の移動位置及びＹ軸方向の移動位置と共に補正データとして記憶装置に記憶させる
ようにしたことを特徴とするＸＹステージ装置のための補正データ生成方法。
【請求項５】
前記請求項４に記載したＸＹステージ装置のための補正データ生成方法において、
前記Ｘ軸方向ずれ量の導出においては、前記画像データによって表される画像において前記点灯している一つの表示画素の中心のＸ軸方向位置と、前記画像データによって表される画像のＸ軸方向における所定の基準位置との距離の差を前記Ｘ軸方向ずれ量として導出するとともに、
前記Ｙ軸方向ずれ量の導出においては、前記画像データによって表される画像において前記点灯している一つの表示画素の中心のＹ軸方向位置と、前記画像データによって表される画像のＹ軸方向における所定の基準位置との距離の差を前記Ｙ軸方向ずれ量として導出する
ＸＹステージ装置のための補正データ生成方法。
【請求項６】
前記請求項４に記載したＸＹステージ装置のための補正データ生成方法において、
前記Ｘ軸方向ずれ量の導出においては、前記画像データによって表される画像において前記点灯している一つの表示画素の中心のＸ軸方向位置と、前記画像データによって表される画像のＸ軸方向における所定の基準位置との距離の差に、前記Ｘ軸スケーラによって検出されている前記ＸＹステージのＸ軸方向の移動位置と、前記フラットパネルディスプレイ上における前記点灯されている表示画素の予め決められているＸ軸方向位置との距離の差を加えた値を前記Ｘ軸方向ずれ量として導出するとともに、
前記Ｙ軸方向ずれ量の導出においては、前記画像データによって表される画像において前記点灯している一つの表示画素の中心のＹ軸方向位置と、前記画像データによって表される画像のＹ軸方向における所定の基準位置との距離の差に、前記Ｙ軸スケーラによって検出されている前記ＸＹステージのＹ軸方向の移動位置と、前記フラットパネルディスプレイ上における前記点灯されている表示画素の予め決められているＹ軸方向位置との距離の差を加えた値を前記Ｙ軸方向ずれ量として導出する
ＸＹステージ装置のための補正データ生成方法。
【請求項７】
Ｘ軸方向及びＹ軸方向に延設された平板状のＸＹステージと、前記ＸＹステージをＸ軸方向及びＹ軸方向にそれぞれ移動させる駆動装置と、前記ＸＹステージのＸ軸方向の移動位置を検出するＸ軸スケーラと、前記ＸＹステージのＹ軸方向の移動位置を検出するＹ軸スケーラとを備えたＸＹステージ装置のための移動位置補正装置であって、
前記ＸＹステージのＸ軸方向の移動位置及びＹ軸方向の移動位置によって表わされる前記ＸＹステージの複数の移動位置にそれぞれ対応させて、前記Ｘ軸スケーラによって検出されるＸ軸方向のずれ量を表すＸ軸方向ずれ量と、前記Ｙ軸スケーラによって検出されるＹ軸方向のずれ量を表すＹ軸方向ずれ量とを補正データとして記憶した記憶装置と、
前記記憶装置に記憶されている前記ＸＹステージの複数の移動位置の中から、前記ＸＹステージの移動時に前記Ｘ軸スケーラ及び前記Ｙ軸スケーラによってそれぞれ検出されるＸ軸方向の移動位置及びＹ軸方向の移動位置によって表わされる前記ＸＹステージの移動位置に近い移動位置を探し出して、前記探し出した移動位置に対応したＸ軸方向ずれ量及びＹ軸方向ずれ量を抽出するずれ量抽出手段と、
前記ＸＹステージの移動時に前記Ｘ軸スケーラ及び前記Ｙ軸スケーラによってそれぞれ検出されるＸ軸方向の移動位置及びＹ軸方向の移動位置を、前記ずれ量抽出手段によって抽出されたＸ軸方向ずれ量及びＹ軸方向ずれ量を用いてそれぞれ補正する移動位置補正手段と
を備えたことを特徴とするＸＹステージ装置のための移動位置補正装置。
【請求項８】
前記請求項７に記載したＸＹステージ装置のための移動位置補正装置において、
前記記憶装置に記憶されている補正データは、前記請求項１乃至６のうちのいずれか一つに記載したＸＹステージ装置のための補正データ生成装置又は補正データ生成方法により記憶させた補正データであるＸＹステージ装置のための移動位置補正装置。
【請求項９】
Ｘ軸方向及びＹ軸方向に延設された平板状のＸＹステージと、前記ＸＹステージをＸ軸方向及びＹ軸方向にそれぞれ移動させる駆動装置と、前記ＸＹステージのＸ軸方向の移動位置を検出するＸ軸スケーラと、前記ＸＹステージのＹ軸方向の移動位置を検出するＹ軸スケーラとを備えたＸＹステージ装置のための移動位置補正方法であって、
前記ＸＹステージのＸ軸方向の移動位置及びＹ軸方向の移動位置によって表わされる前記ＸＹステージの複数の移動位置にそれぞれ対応させて、前記Ｘ軸スケーラによって検出されるＸ軸方向のずれ量を表すＸ軸方向ずれ量と、前記Ｙ軸スケーラによって検出されるＹ軸方向のずれ量を表すＹ軸方向ずれ量とを補正データとして記憶した記憶装置を用意し、
前記記憶装置に記憶されている前記ＸＹステージの複数の移動位置の中から、前記ＸＹステージの移動時に前記Ｘ軸スケーラ及び前記Ｙ軸スケーラによってそれぞれ検出されるＸ軸方向の移動位置及びＹ軸方向の移動位置によって表わされる前記ＸＹステージの移動位置に近い移動位置を探し出して、前記探し出した移動位置に対応したＸ軸方向ずれ量及びＹ軸方向ずれ量を抽出し、
前記ＸＹステージの移動時に前記Ｘ軸スケーラ及び前記Ｙ軸スケーラによってそれぞれ検出されるＸ軸方向の移動位置及びＹ軸方向の移動位置を、前記抽出されたＸ軸方向ずれ量及びＹ軸方向ずれ量を用いてそれぞれ補正する
ようにしたことを特徴とするＸＹステージ装置のための移動位置補正方法。
【請求項１０】
前記請求項９に記載したＸＹステージ装置のための移動位置補正方法において、
前記記憶装置に記憶されている補正データは、前記請求項１乃至６のうちのいずれか一つに記載したＸＹステージ装置のための補正データ生成装置又は補正データ生成方法により記憶させた補正データであるＸＹステージ装置のための移動位置補正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＸＹステージの移動位置を補正するための補正データを生成するＸＹステージ装置のための補正データ生成装置及び補正データ生成方法、並びにＸＹステージの移動位置を補正するＸＹステージ装置のための移動位置補正装置及び移動位置補正方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、回路基板の検査、回路基板の配線パターンの形成、回路基板の加工（例えば、孔あけ）などの処理に、ＸＹステージ装置を利用することはよく知られている（例えば、下記特許文献１〜３参照）。この種のＸＹステージ装置は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に延設されて回路基板などを載置する平板状のＸＹステージと、ＸＹステージをＸ軸方向及びＹ軸方向にそれぞれ移動させる駆動装置と、ＸＹステージのＸ軸方向の移動位置を検出するＸ軸スケーラと、ＸＹステージのＹ軸方向の移動位置を検出するＹ軸スケーラとを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−５６６９号公報
【特許文献２】特開２００６−２６１２２８号公報
【特許文献３】特開２００８−２１００２８号公報
【発明の概要】
【０００４】
しかし、上記従来のＸＹステージ装置においては、取付け精度、駆動機構の微小回転（ロール、ピッチ、ヨー）などにより、ＸＹステージの直交度は保証されない。そのために、ガラススケールを用いて、Ｘ軸スケーラ及びＹ軸スケーラによって検出されるＸＹステージの読取り座標値の補正を行うこともあるが、直交度の確認が難しく、ＸＹステージが直交度をずらしながら移動する場合、すなわちＸＹステージがＸＹ平面内で移動方向に直交する方向に微小に揺れながら移動する場合、ＸＹステージの移動位置（ＸＹ座標値）の補正が極めて難しいという問題がある。
【０００５】
本発明は、このような問題に対処するためになされたもので、その目的は、ＸＹステージの移動位置の補正を簡単かつ高精度で行える補正データを生成するＸＹステージ装置のための補正データ生成装置及び補正データ生成方法、並びＸＹステージの移動位置を簡単かつ高精度に補正するＸＹステージ装置のための移動位置補正装置及び移動位置補正方法を提供することにある。なお、下記本発明の各構成要件の記載においては、本発明の理解を容易にするために、実施形態の対応箇所の符号を括弧内に記載しているが、本発明の構成要件は、実施形態の符号によって示された対応箇所の構成に限定解釈されるべきものではない。
【０００６】
前述した目的を達成するために、第１の発明は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に延設された平板状のＸＹステージ（１２）と、ＸＹステージをＸ軸方向及びＹ軸方向にそれぞれ移動させる駆動装置（１３〜１６）と、ＸＹステージのＸ軸方向の移動位置を検出するＸ軸スケーラ（１７）と、ＸＹステージのＹ軸方向の移動位置を検出するＹ軸スケーラ（１８）とを備えたＸＹステージ装置のための補正データ生成装置であって、中心をＸ軸方向及びＹ軸方向にそれぞれ所定の間隔で位置させてマトリクス状に配置された複数の表示画素（ＤＥ）を有し、ＸＹステージ上に載置される平板状のフラットパネルディスプレイ（２０）と、フラットパネルディスプレイに対向するように固定され、複数の表示画素のうちの一部の表示画素を撮像して、撮像した画像を表す画像データを出力するカメラ（３０）と、Ｘ軸スケーラ及びＹ軸スケーラからＸＹステージのＸ軸方向の移動位置及びＹ軸方向の移動位置をそれぞれ入力するとともに駆動装置を制御して、複数の表示画素がカメラの撮像範囲内の所定位置に順次位置するように、ＸＹステージを順次移動させる移動制御手段（Ｓ２２，Ｓ２６，Ｓ２９）と、移動制御手段によるＸＹステージの移動毎に、前記カメラの撮像範囲内の所定位置にある一つの表示画素を点灯する点灯制御手段（Ｓ１４）と、移動制御手段によるＸＹステージの移動毎に、画像データによって表される画像において点灯している一つの表示画素の中心のＸ軸方向位置を用いてＸＹステージの移動に伴うＸ軸方向ずれ量を導出するとともに、画像データによって表される画像において点灯している一つの表示画素の中心のＹ軸方向位置を用いてＸＹステージの移動に伴うＹ軸方向ずれ量を導出するずれ量導出手段（Ｓ１５〜Ｓ１８）と、移動制御手段によるＸＹステージの移動毎に、ずれ量導出手段によって導出されたＸ軸方向ずれ量及びＹ軸方向ずれ量を、Ｘ軸スケーラ及びＹ軸スケーラによってそれぞれ検出されているＸＹステージのＸ軸方向の移動位置及びＹ軸方向の移動位置と共に補正データとして記憶装置（４６）に記憶させる記憶制御手段（Ｓ１９）とを備えたことを特徴とする。
【０００７】
この場合、フラットパネルディスプレイは、例えば、Ｘ軸方向及びＹ軸方向にそれぞれ小さな間隔でマトリクス状に高精度で配置された表示画素を有する高精度の液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）で構成される。この液晶ディスプレイの場合、複数の表示画素のＸ軸方向及びＹ軸方向の間隔は、数１０μｍ〜数１００μｍ程度の短い間隔である。また、本発明においては、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に短い間隔でマトリクス状に配置された複数の表示画素を備えたフラットパネルディスプレイであれば、液晶ディスプレイ以外のディスプレイを用いることも可能である。
【０００８】
また、前記カメラの撮像範囲内の所定位置は、例えば、カメラの撮像範囲の中心位置近傍の位置である。これは、ＸＹステージの移動に伴うＸ軸方向ずれ量及びＹ軸方向ずれ量は、カメラによる画像データを用いて、点灯している一つの表示画素の中心のＸ軸方向位置及びＹ軸方向位置に基づいて導出（計算）されるので、点灯される一つの表示画素はカメラの撮像範囲内の中心付近にあることが望ましいためである。さらに、前記画像データによって表される画像のＸ軸方向及びＹ軸方向における所定の基準位置は、例えば、画像データによって表される画像の中心位置であることが好ましい。しかし、ＸＹステージが移動しても、前記所定の基準位置と点灯している一つの表示画素の中心が常に同一画像上にあり、かつＸ軸方向ずれ量及びＹ軸方向ずれ量は常に画像の同一位置からの距離であればよいので、前記画像データによって表される画像のＸ軸方向及びＹ軸方向における所定の基準位置は、画像の中心位置でなくても、固定された位置であればよい。
【０００９】
前記第１の発明においては、ずれ量導出手段は、移動制御手段によるＸＹステージの移動毎に、点灯している一つの表示画素の中心のＸ軸方向位置を用いてＸＹステージの移動に伴うＸ軸方向ずれ量を計算するとともに、前記点灯している一つの表示画素の中心のＹ軸方向位置を用いてＸＹステージの移動に伴うＹ軸方向ずれ量を導出する。記憶制御手段は、移動制御手段によるＸＹステージの移動毎に、ずれ量導出手段によって導出されたＸ軸方向ずれ量及びＹ軸方向ずれ量を、Ｘ軸スケーラ及びＹ軸スケーラによってそれぞれ検出されているＸＹステージのＸ軸方向の移動位置及びＹ軸方向の移動位置と共に補正データとして記憶装置に記憶させる。これにより、記憶装置には、フラットパネルディスプレイのマトリクス状に配置された複数の表示画素の位置にそれぞれ対応した、ＸＹステージのマトリクス状の複数の位置におけるＸＹステージの移動に伴うＸ軸方向ずれ量及びＹ軸方向ずれ量が、ＸＹステージのマトリクス状のＸ軸方向の移動位置及びＹ軸方向の移動位置と対になって補正データとして記憶されることになる。また、前述のように、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に短い間隔でマトリクス状に配置された複数の表示画素を備えたフラットパネルディスプレイを用いることができるので、ＸＹステージにおいて、細かな間隔のマトリクス状の複数の位置におけるＸＹステージの移動に伴う高精度のＸ軸方向ずれ量及びＹ軸方向ずれ量が、Ｘ軸スケーラ及びＹ軸スケーラによって検出されるＸＹステージのＸ軸方向の移動位置及びＹ軸方向の移動位置と対にして補正データとして記憶される。その結果、取付け精度、駆動機構の微小回転（ロール、ピッチ、ヨー）などにより、ＸＹステージがＸＹ平面内で移動する方向に対して直交する方向に揺れながらＸ軸方向及びＹ軸方向に移動する場合であっても、高精度の補正データが記憶装置に記憶されることになる。
【００１０】
そして、例えば、回路基板の検査、回路基板の配線パターンの形成、回路基板の加工（例えば、孔あけ）などの各種処理にＸＹステージ装置を利用する場合には、後述する第２の発明に係るＸＹステージの移動位置補正装置のように、補正データを用いてＸ軸スケーラ及びＹ軸スケーラにより検出されるＸＹステージのＸ軸方向の移動位置及びＹ軸方向の移動位置が高精度に補正される。
【００１１】
また、前記第１の発明のずれ量導出手段（Ｓ１５，Ｓ１７）は、例えば、画像データによって表される画像において点灯している一つの表示画素の中心のＸ軸方向位置と、画像データによって表される画像のＸ軸方向における所定の基準位置との距離の差をＸ軸方向ずれ量として導出するとともに、画像データによって表される画像において点灯している一つの表示画素の中心のＹ軸方向位置と、画像データによって表される画像のＹ軸方向における所定の基準位置との距離の差をＹ軸方向ずれ量として導出する。なお、前記画像データによって表される画像のＸ軸方向における所定の基準位置をＸ座標値「０」と定めるとともに、Ｙ軸方向における所定の基準位置をＹ座標値「０」と定めておけば、前記距離の差を計算することなく、点灯している一つの表示画素の中心のＸ座標値及びＹ座標値をそれぞれＸ軸方向ずれ量及びＹ軸方向ずれ量として導出することができる。
【００１２】
このＸ軸方向ずれ量及びＹ軸方向ずれ量の導出は、ＸＹステージ又はフラットパネルディスプレイに歪がなく又は歪が極めて小さく、ＸＹステージを移動する毎にＸ軸スケーラ及びＹ軸スケーラによって検出されるＸＹステージのＸ軸方向の移動位置及びＹ軸方向の移動位置と、フラットパネルディスプレイ上において点灯されている表示画素のＸ軸方向位置及びＹ軸方向位置との相対的な差がない又は極めて小さいことを条件としている。この条件下では、前記相対的な差を考慮する必要がないので、ＸＹステージの移動に伴う高精度のＸ軸方向ずれ量及びＹ軸方向ずれ量が、補正データとして記憶されることになる。
【００１３】
また、前記第１の発明のずれ量導出手段（Ｓ１５〜Ｓ１８）は、画像データによって表される画像において点灯している一つの表示画素の中心のＸ軸方向位置と、画像データによって表される画像のＸ軸方向における所定の基準位置との距離の差に、Ｘ軸スケーラによって検出されているＸＹステージのＸ軸方向の移動位置と、フラットパネルディスプレイ上における点灯されている表示画素の予め決められているＸ軸方向位置との距離の差を加えた値をＸ軸方向ずれ量として導出するとともに、画像データによって表される画像において点灯している一つの表示画素の中心のＹ軸方向位置と、画像データによって表される画像のＹ軸方向における所定の基準位置との距離の差に、Ｙ軸スケーラによって検出されているＸＹステージのＹ軸方向の移動位置と、フラットパネルディスプレイ上における点灯されている表示画素の予め決められているＹ軸方向位置との距離の差を加えた値をＹ軸方向ずれ量として導出するようにするとよい。
【００１４】
これによれば、ＸＹステージを移動する毎にＸ軸スケーラ及びＹ軸スケーラによって検出されているＸＹステージのＸ軸方向の移動位置及びＹ軸方向の移動位置と、フラットパネルディスプレイ上における点灯されている表示画素のＸ軸方向位置及びＹ軸方向位置との相対的な差が、ずれ量導出手段によって導出されるＸ軸方向ずれ量及びＹ軸方向ずれ量に考慮される。したがって、ＸＹステージ又はフラットパネルディスプレイにある程度の大きさの歪があって、ＸＹステージを移動する毎にＸ軸スケーラ及びＹ軸スケーラによって検出されるＸＹステージのＸ軸方向の移動位置及びＹ軸方向の移動位置と、フラットパネルディスプレイ上において点灯されている表示画素のＸ軸方向位置及びＹ軸方向位置との相対的な差がある場合でも、ＸＹステージの移動に伴う高精度のＸ軸方向ずれ量及びＹ軸方向ずれ量が補正データとして記憶装置に記憶されることになる。
【００１５】
また、第２の発明は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に延設された平板状のＸＹステージ（１２）と、ＸＹステージをＸ軸方向及びＹ軸方向にそれぞれ移動させる駆動装置（１３〜１６）と、ＸＹステージのＸ軸方向の移動位置を検出するＸ軸スケーラ（１７）と、ＸＹステージのＹ軸方向の移動位置を検出するＹ軸スケーラ（１８）とを備えたＸＹステージ装置のための移動位置補正装置であって、ＸＹステージのＸ軸方向の移動位置及びＹ軸方向の移動位置によって表わされるＸＹステージの複数の移動位置にそれぞれ対応させて、Ｘ軸スケーラによって検出されるＸ軸方向のずれ量を表すＸ軸方向ずれ量と、Ｙ軸スケーラによって検出されるＹ軸方向のずれ量を表すＹ軸方向ずれ量とを補正データとして記憶した記憶装置（６６）と、記憶装置に記憶されているＸＹステージの複数の移動位置の中から、ＸＹステージの移動時にＸ軸スケーラ及びＹ軸スケーラによってそれぞれ検出されるＸ軸方向の移動位置及びＹ軸方向の移動位置によって表わされるＸＹステージの移動位置に近い移動位置を探し出して、前記探し出した移動位置に対応したＸ軸方向ずれ量及びＹ軸方向ずれ量を抽出するずれ量抽出手段（Ｓ６２，Ｓ６３）と、ＸＹステージの移動時にＸ軸スケーラ及びＹ軸スケーラによってそれぞれ検出されるＸ軸方向の移動位置及びＹ軸方向の移動位置を、前記ずれ量抽出手段によって抽出されたＸ軸方向ずれ量及びＹ軸方向ずれ量を用いてそれぞれ補正する移動位置補正手段（Ｓ６４）とを備えたことを特徴とする。
【００１６】
この場合、記憶装置に記憶されている補正データは、例えば、前述したＸＹステージ装置のための補正データ生成装置により記憶させた補正データである。
【００１７】
前記第２の発明においては、ずれ量抽出手段により、記憶装置内にＸＹステージの移動位置に対応させて記憶されている複数のＸ軸方向ずれ量及びＹ軸方向ずれ量の中から、ＸＹステージの移動時にＸ軸スケーラ及びＹ軸スケーラによってそれぞれ検出されるＸ軸方向の移動位置及びＹ軸方向の移動位置によって表わされるＸＹステージの移動位置に近い移動位置に関するＸ軸方向ずれ量及びＹ軸方向ずれ量が抽出される。そして、移動位置補正手段により、ＸＹステージの移動時にＸ軸スケーラ及びＹ軸スケーラによってそれぞれ検出されるＸ軸方向の移動位置及びＹ軸方向の移動位置が、前記抽出されたＸ軸方向ずれ量及びＹ軸方向ずれ量を用いてそれぞれ補正される。したがって、Ｘ軸スケーラ及びＹ軸スケーラによってそれぞれ検出されるＸ軸方向の移動位置及びＹ軸方向の移動位置が、記憶装置に記憶されていて前記Ｘ軸方向の移動位置及びＹ軸方向の移動位置に対応した高精度のＸ軸方向ずれ量及びＹ軸方向ずれ量に応じてそれぞれ補正される。
【００１８】
その結果、第２の発明によれば、例えば、回路基板の検査、回路基板の配線パターンの形成、回路基板の加工（例えば、孔あけ）などの各種処理にＸＹステージ装置を利用する場合、取付け精度、駆動機構の微小回転（ロール、ピッチ、ヨー）などにより、ＸＹステージがＸＹ平面内で移動する方向に対して直交する方向に揺れながらＸ軸方向及びＹ軸方向に移動する場合であっても、Ｘ軸スケーラ及びＹ軸スケーラによってそれぞれ検出されるＸ軸方向の移動位置及びＹ軸方向の移動位置を簡単かつ高精度で補正することができる。
【００１９】
さらに、第１の発明の実施にあたっては、ＸＹステージ装置のための補正データ生成装置の発明に限定されることなく、ＸＹステージ装置のための補正データ生成方法及び補正データデータを生成するコンピュータプログラムの発明としても実施し得るものである。また、第２の発明の実施にあたっては、ＸＹステージ装置のための移動位置補正装置の発明に限定されることなく、ＸＹステージ装置のための移動位置補正方法及びＸＹステージ装置の移動位置を補正するコンピュータプログラムの発明としても実施し得るものである。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】ＸＹステージ装置のための補正データ生成装置をＸＹステージ装置と共に示す概略図である。
【図２】図１の補正データ生成装置及びＸＹステージ装置の電気回路ブロック図である。
【図３】図１及び図２のコンピュータ装置によって実行されるずれ量計測プログラムの前半部分を示すフローチャートである。
【図４】前記ずれ量計測プログラムの後半部分を示すフローチャートである。
【図５】フラットパネルディスプレイの概略平面図である。
【図６】ＸＹステージとフラットパネルディスプレイの配置関係を示す概略平面図である。
【図７】（Ａ）はフラットパネルディスプレイの表示画素の点灯状態を示す画像図であり、（Ｂ）は（Ａ）の表示画像の中央部分の拡大図である。
【図８】Ｘ軸スケーラによって検出されるＸＹステージのＸ軸方向の位置ずれ量を説明するための説明図である。
【図９】ＸＹステージ装置のための移動位置補正装置を、ＸＹステージ装置及びその利用装置と共に示す概略図である。
【図１０】図９の移動位置補正装置、ＸＹステージ装置及びその利用装置の電気回路ブロック図である。
【図１１】図９及び図１０のコンピュータ装置によって実行されるメイン処理プログラムを示すフローチャートである。
【図１２】図１１のメイン処理プログラム中のＸＹステージ移動ルーチンを示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の一実施形態に係るＸＹステージ装置のための補正データ生成装置及び補正データ生成方法、並びにＸＹステージ装置のための移動位置補正装置及び移動位置補正方法について説明する。
【００２２】
ａ．補正データ生成装置及び補正データ生成方法
まず、補正データ生成装置及び補正データ生成方法について図面を用いて説明する。図1は、ＸＹステージ装置１０、並びにフラットパネルディスプレイ２０、カメラ３０及びコンピュータ装置４０からなる補正データ生成装置を示す概略図である。図２は、ＸＹステージ装置１０、並びにフラットパネルディスプレイ２０、カメラ３０及びコンピュータ装置４０からなる補正データ生成装置の電気回路ブロック図である。
【００２３】
ＸＹステージ装置１０は、設置面ＰＬに設置される本体部１１上に、ＸＹステージ１２を配置させている。ＸＹステージ１２は、水平面内にて直交するＸ軸方向及びＹ軸方向に延設された方形状の平板により構成されており、本体部１１の上方の水平面内にて直交するＸ軸方向及びＹ軸方向に移動可能に組み付けられている。実際には、ＸＹステージ１２は、本体部１１に対してＸ軸方向に移動可能なＸステージと、Ｘステージ上をＹ軸方向に移動可能なＹステージとからなるが、本明細書では簡単化のためにＸステージとＹステージを合わせてＸＹステージ１２としている。
【００２４】
ＸＹステージ装置１０は、ＸＹステージ１２をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させるためのＸ軸モータ１３及びＹ軸モータ１４を備えている。Ｘ軸モータ１３及びＹ軸モータ１４は、本体部１１に内蔵された駆動回路１５，１６により駆動制御される。また、ＸＹステージ装置１０は、ＸＹステージ１２に設けられて、予め決められた原点位置（基準点位置）に対するＸＹステージ１２のＸ軸方向位置Ｓｘ及びＹ軸方向位置Ｓｙ（原点位置からＸ軸方向及びＹ軸方向へのＸＹステージ１２の移動距離）をそれぞれ検出するＸ軸スケーラ１７及びＹ軸スケーラ１８を備えている。この場合、Ｘ軸スケーラ１７及びＹ軸スケーラ１８によって検出されるＸ軸方向位置Ｓｘ及びＹ軸方向位置Ｓｙは、ＸＹステージ１２が実際に移動する方向における前記原点位置に対する位置であり、前記原点位置で直交する基準となるＸ軸方向及びＹ軸方向の位置、すなわちＸＹステージ１２が移動方向に対して横方向にずれない状態で移動する理想的なＸ軸方向及びＹ軸方向の位置ではない。
【００２５】
フラットパネルディスプレイ２０は、水平面内にて直交するＸ軸方向及びＹ軸方向に延設された方形状かつ平板状に形成されており、ＸＹステージ１２上に載置固定されている。フラットパネルディスプレイ２０は、図５に示すように、中心をＸ軸方向及びＹ軸方向にそれぞれ所定の間隔で位置させて、マトリクス状に配置された複数の表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)を有する。Ｘ軸方向の表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)の数はＮｘ個であり、Ｙ軸方向の表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)の数はＮｙ個である。各表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)は変数ｉ，ｊによって表され、変数ｉ，ｊはＸ軸正方向（図示左方向）及びＹ軸正方向（図示下方向）に沿ってそれぞれ順次「１」ずつ増加する。そして、図５において最も右上位置にある表示画素の中心位置をフラットパネルディスプレイ２０の原点位置とし、変数ｉ，ｊを「０」，「０」とする表示画素ＤＥ(０，０)が原点位置にあるものとする。なお、値Ｎｘ，Ｎｙは大きな値である。この場合、フラットパネルディスプレイ２０は、例えば、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ：Liquid Crystal Display）で構成されており、複数の表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に数１０μｍ〜数１００μｍ程度の短い間隔で高精度に配置されている。そして、このフラットパネルディスプレイ２０は、ＸＹステージ１２上に載置固定される。なお、マトリクス状に配置された表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)の配置面積はＸＹステージ１２の面積よりも若干大きい。
【００２６】
ここで、ＸＹステージ１２とフラットパネルディスプレイ２０の配置関係について、図６の配置図を用いて説明しておく。フラットパネルディスプレイ２０は、そのＸ軸方向（図示実線矢印Ｘ）及びＹ軸方向（図示実線矢印Ｙ）をＸＹステージ１２のＸ軸移動方向（図示破線矢印Ｘ）及びＹ軸移動方向（図示破線矢印Ｙ）とそれぞれ平行にして、ＸＹステージ１２の上面に密接させて載置固定されている。フラットパネルディスプレイ２０は、ＸＹステージ１２よりも面積の大きな方形状であり、その外周端はＸＹステージ１２の外周端の外側に位置する。なお、フラットパネルディスプレイ２０のＸ軸方向及びＹ軸方向における正負と、ＸＹステージ１２のＸ軸方向及びＹ軸方向の移動における正負とは逆である。
【００２７】
カメラ３０は、設置面ＰＬ上に固定されたフレームＦＲにフラットパネルディスプレイ２０の上面に対向するように固定されるもので、フラットパネルディスプレイ２０の所定領域を撮像して、撮像した画像を表す画像データを出力する。このカメラ３０は、例えば、高解像度のＣＭＯＳカメラで構成されており、複数の表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)のうちの一部の表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)を撮像する。具体的には、１ｍｍ〜２ｍｍ程度の方形状の視野領域内にある表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)を撮像する。
【００２８】
コンピュータ装置４０は、一般のパーソナルコンピュータ装置によって構成され、プログラム処理を実行するためのＣＰＵ４１、ＲＯＭ４２及びＲＡＭ４３に加えて、操作部４４、表示器４５、記憶装置４６及び通信インターフェース回路４７を備えている。
【００２９】
操作部４４は、ユーザによって操作される複数のキー、マウスなどを備えている。この操作部４４の操作は、操作検出回路４４ａによって検出される。表示器４５は、液晶表示器、ＬＥＤ表示器などからなり、表示制御回路４５ａによって制御されて画像を表示する。記憶装置４６は、フラッシュメモリ、ＣＤ（コンパクトディスク）などの書き込み可能な大容量の記録媒体と、前記記録媒体をドライブするドライブ回路とを有し、各種プログラム及び各種データを記憶している。特に、記憶装置４６には、図３及び図４に示すずれ量計測プログラムが記憶されているとともに、フラットパネルディスプレイ２０におけるマトリクス状に配置された各表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置（すなわち、原点位置（表示画素ＤＥ(０，０)の中心位置）に対する位置）が、表示画素位置Ｒｘ（ｉ，ｊ），Ｒｙ（ｉ，ｊ）として記憶されている。通信インターフェース回路４７は、外部との通信を可能とするもので、他のコンピュータ装置、インターネットなどに接続可能となっている。なお、記憶装置４６に前述した各種プログラム及び各種データが記憶されていない場合には、通信インターフェース回路４７を介して外部から取込む。
【００３０】
これらのＣＰＵ４１、ＲＯＭ４２、ＲＡＭ４３、操作検出回路４４ａ、表示制御回路４５ａ、記憶装置４６及び通信インターフェース回路４７は、バス４８に接続されている。バス４８には、ＸＹステージ装置１０、フラットパネルディスプレイ２０及びカメラ３０をコンピュータ装置４０に接続した状態で、駆動回路１５，１６、Ｘ軸スケーラ１７、Ｙ軸スケーラ１８、フラットパネルディスプレイ２０及びカメラ３０も接続されている。
【００３１】
次に、フラットパネルディスプレイ２０、カメラ３０及びコンピュータ装置４０からなる補正データ生成装置の動作について説明する。この補正データ生成装置によるデータ補正は、ＸＹステージ装置１０の製造時に行われるが、後述するＸＹステージ装置１０の利用時に定期的に行うようにしてもよい。
【００３２】
まず、作業者は、補正データを生成しようとするＸＹステージ装置１０を、そのＸＹステージ１２のＸ軸方向及びＹ軸方向がそれぞれ図１の左右方向及び前後方向になるように、本体部１１を設置面ＰＬ上に載置する。前述したＸＹステージ１２及びフラットパネルディスプレイ２０の配置のように、フラットパネルディスプレイ２０をＸＹステージ１２上に載置固定する。そして、カメラ３０を、ＸＹステージ１２が原点位置にある状態で、フラットパネルディスプレイ２０のＸ軸方向及びＹ軸方向が撮像画像のＸ軸方向及びＹ軸方向にそれぞれ一致するとともに、フラットパネルディスプレイ２０の原点位置の表示画素ＤＥ(０，０)よりも若干量だけがＸ軸方向及びＹ軸方向の正側に位置する表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)（ｉ＞０，Ｊ＞０）の中心が撮像画像の中心位置近傍に位置するように、カメラ３０の水平方向位置を調整してカメラ３０をフレームＦＲに固定する。
【００３３】
次に、作業者は、操作部４４を操作して、図３のずれ量計測プログラムの実行開始をコンピュータ装置４０に指示する。この実行開始の指示により、ＣＰＵ４１は、ステップＳ１０にて図３のずれ量計測プログラムの実行を開始し、ステップＳ１１にてＸＹステージ１２を原点位置に移動する。この移動においては、Ｘ軸スケーラ１７及びＹ軸スケーラ１８によって検出されているＸＹステージ１２のＸ軸方向位置Ｓｘ及びＹ軸方向位置Ｓｙを入力し、入力したＸ軸方向位置Ｓｘ及びＹ軸方向位置ＳｙがＸＹステージ１２のＸＹ平面内の原点位置（例えば、Ｘ軸方向位置Ｓｘ及びＹ軸方向位置Ｓｙが共に「０」になる位置）に移動するまで、駆動回路１５，１６を介してＸ軸モータ１３及びＹ軸モータ１４を駆動制御する。そして、入力したＸ軸方向位置Ｓｘ及びＹ軸方向位置ＳｙがＸＹステージ１２のＸＹ平面内の原点位置に一致したとき、Ｘ軸モータ１３及びＹ軸モータ１４の駆動制御を停止する。
【００３４】
次に、ＣＰＵ４１は、ステップＳ１２にて、表示器４５の表示画面４５ｂの中心Ｃ１（図７（Ａ）（Ｂ）参照）の近傍に位置する表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)を初期表示画素として決定する。この場合、まず、フラットパネルディスプレイ２０の原点位置の表示画素ＤＥ(０，０)よりも若干量だけがＸ軸方向及びＹ軸方向において正側に位置する表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)（ｉ＞０，Ｊ＞０）を点灯させる。次に、表示器４５の表示画面４５ｂの中心Ｃ１に対する、表示画面４５ｂ上で点灯している表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)の中心のＸ軸方向及びＹ軸方向のずれ量（距離）を検出する。そして、前記点灯させた表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)のＸ軸方向及びＹ軸方向の点灯位置から前記ずれ量分だけ、表示画面４５ｂの中心Ｃ１に近い側に位置する表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)を初期表示画素として決定する。なお、カメラ３０の位置調整により、表示画面４５ｂの中心Ｃ１の近傍に位置する表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)を初期表示画素として決定できれば、この処理は不要である。また、このステップＳ１２においては、前記初期表示画素として決定した表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)の変数ｉ，ｊを、初期表示画素を表す初期画素値ｉ０，ｊ０として設定しておく。なお、初期画素値ｉ０，ｊ０によって指定される表示画素ＤＥ(ｉ０，ｊ０)は、図６に示すように、フラットパネルディスプレイ２０の右上の端部近傍に位置している。
【００３５】
次に、ＣＰＵ４１は、ステップＳ１３にて、変数ｉ０＋ｉ，ｊ０＋ｊにより点灯される表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)を指定する変数ｉ，ｊを「０」，｛０｝に初期設定するとともに、ＸＹステージ１２の移動方向を表す方向フラグＤＦＬＧを“０”に初期設定する。方向フラグＤＦＬＧは、“０”によりＸＹステージ１２のＸ軸正方向の移動を表し、“１”によりＸＹステージ１２のＸ軸負方向の移動を表す。
【００３６】
前記ステップＳ１３の処理後、ＣＰＵ４１は、ステップＳ１４〜Ｓ３１の循環処理を繰返し実行して、移動に伴うＸＹステージ１２のＸ軸方向及びＹ軸方向の総合位置ずれ量Ｃｘ (ｉ，ｊ)、Ｃｙ(ｉ，ｊ)を検出して記憶装置４６に記憶していく。具体的には、ＸＹステージ１２を表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)の間隔ずつＸ軸方向及びＹ軸方向に順次移動させて、複数の表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)の中心がカメラ３０からの画像データに基づく表示器４５の表示画面４５ｂの中心Ｃ１の近傍に順次位置するようにする。そして、ＸＹステージ１２の移動毎に、表示画面４５ｂの中心Ｃ１の近傍に位置する表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)を点灯させて、カメラ３０からの画像データを用いて、ＸＹステージ１２のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置ずれ量ｄｘ，ｄｙを計算する。また、ＸＹステージ１２の移動毎に、ＸＹステージ１２とフラットパネルディスプレイ２０との相対的なＸ軸方向及びＹ軸方向の相対ずれ量を計算し、計算した相対ずれ量を位置ずれ量ｄｘ，ｄｙに加算して総合位置ずれ量Ｃｘ (ｉ，ｊ)，Ｃｙ(ｉ，ｊ)を計算する。そして、ＸＹステージ１２の移動毎に、前記計算した総合位置ずれ量Ｃｘ (ｉ，ｊ)，Ｃｙ(ｉ，ｊ)を、Ｘ軸スケーラ１７及びＹ軸スケーラ１８によって検出されているＸＹステージ１２のＸ軸方向のステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ)及びＹ軸方向のステージ位置Ｓｙ(ｉ，ｊ)と共に記憶装置４６に記憶していく。
【００３７】
ステップＳ１４〜Ｓ３１の循環処理の具体的な説明の前に、ＸＹステージ１２のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置ずれ量ｄｘ，ｄｙについて、図８を用いて説明しておく。発光点Ｐ１が基準位置Ｐ００に位置していたことと仮定し、ＸＹステージ１２を基準となるＸ軸方向に所定距離だけ移動させた場合、ＸＹステージ１２が矢印Ａ１で示すように理想的な方向（図示Ｘ軸方向）に移動した場合には、ＸＹステージ１２は移動位置Ｐ０１に移動するはずである。しかし、ＸＹステージ１２が図示Ｘ軸方向に対して直交する方向に揺らいで移動した場合には、例えば矢印Ａ２で示すよう左側（図示上側）に揺らいて移動した場合には、ＸＹステージ１２は移動位置Ｐ０２に移動してしまう。この場合、Ｘ軸スケーラ１７によって検出されるＸ軸方向の移動位置（移動距離）は、矢印Ａ１で示した場合と、矢印Ａ２で示した場合とで同じである。したがって、基準位置Ｐ００から移動位置Ｐ０２までの図示Ｘ軸方向の移動距離は、前記所定距離よりも微小量だけ短くなる。この微小量がＸＹステージ１２のＸ軸方向の位置ずれ量ｄｘとなる。また、ＸＹステージ１２のＹ軸方向の位置ずれ量ｄｙに関しても、Ｘ軸方向の位置ずれ量ｄｘと方向が異なるだけで、Ｘ軸方向の位置ずれ量ｄｘと同様である。
【００３８】
次に、ステップＳ１４〜Ｓ３１の循環処理について詳しく説明する。ステップＳ１４にて、Ｘ方向位置及びＹ方向位置をそれぞれ表す変数ｉ０＋ｉ，ｊ０＋ｊをフラットパネルディスプレイ２０に出力して、表示画素ＤＥ(ｉ０＋ｉ，ｊ０＋ｊ)を点灯させる。これにより、初期においては、変数ｉ，ｊはそれぞれ「０」，「０」であるので、前記ステップＳ１２の処理により初期画素として決定された表示画素ＤＥ(ｉ０，ｊ０)が点灯される。これにより、図７（Ａ）（Ｂ）に示すように、発光点Ｐ１は、表示画面４５ｂの中心Ｃ１の近傍に位置する。図７（Ａ）は表示画面４５ｂの全体を表す平面図であり、図７（Ｂ）は図７（Ａ）の中心Ｃ１の近傍を拡大して示す拡大平面図である。なお、この図７(Ａ)(Ｂ)においては、図５及び図６に示したフラットパネルディスプレイ２０のＸ軸方向及びＹ軸方向に対応させて示している。しかし、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の位置ずれ量ｄｘ，ｄｙに関しては、ＸＹステージ１２が横揺れなく移動した状態に対する不足分を「正」で表す。したがって、位置ずれ量ｄｘ，ｄｙに関しては、図７(Ａ)(Ｂ)のＸＹ座標における図示矢印Ｘ，Ｙで示す右方向及び上方向をそれぞれ「正」とする。
【００３９】
次に、ＣＰＵ４１は、ステップＳ１５にて、カメラ３０からの画像データを入力して、入力した画像データを用いて、表示画面４５ｂ上における発光点Ｐ１（点灯している表示画素ＤＥ(ｉ０＋ｉ，ｊ０＋ｊ)の中心）のＸ軸方向位置及びＹ軸方向位置を発光点位置Ｐｘ(ｉ，ｊ），Ｐｙ(ｉ，ｊ)として検出する。この発光点位置Ｐｘ(ｉ，ｊ），Ｐｙ(ｉ，ｊ)は、表示画面４５ｂの中心Ｃ１で直交するＸＹ座標の座標値である。ただし、発光点位置Ｐｘ(ｉ，ｊ），Ｐｙ(ｉ，ｊ)は、表示画面４５ｂ上のＸ軸方向及びＹ軸方向の長さによって規定されるものではなく、ＸＹステージ１２及びフラットパネルディスプレイ２０上のＸ軸方向及びＹ軸方向の長さによって規定されている。また、表示画面４５ｂの中心Ｃ１のＸＹ座標値をＭｘ、Ｍｙとするが、この座標値Ｍｘ，ＭｙもＸＹステージ１２及びフラットパネルディスプレイ２０を基準にして設定されているものである。なお、座標値Ｍｘ，Ｍｙは、通常「０」，「０」である。
【００４０】
次に、ＣＰＵ４１は、ステップＳ１６にて、Ｘ軸スケーラ１７及びＹ軸スケーラ１８によってそれぞれ検出されているＸＹステージ１２のＸ軸方向位置Ｓｘ及びＹ軸方向位置Ｓｙを入力して、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)として設定する。
【００４１】
前記ステップＳ１６の処理後、ＣＰＵ４１は、ステップＳ１７にて、発光点位置Ｐｘ(ｉ，ｊ），Ｐｙ(ｉ，ｊ)から座標値Ｍｘ，Ｍｙをそれぞれ減算する下記式１，２の演算を実行して、中心Ｃ１から発光点Ｐ１までのＸ軸方向距離及びＹ軸方向距離にそれぞれ対応したＸＹステージ１２の移動に伴う位置ずれ量ｄｘ，ｄｙをそれぞれ計算する。
ｄｘ＝Ｐｘ(ｉ，ｊ)−Ｍｘ  …式１
ｄｙ＝Ｐｙ(ｉ，ｊ)−Ｍｙ  …式２
なお、この位置ずれ量ｄｘ，ｄｙは、発光点Ｐ１が中心Ｃ１上にある場合を基準（「０」，「０」）としている。ただし、ＸＹステージ１２の全ての移動位置において、前記式１，２は共通であり、位置ずれ量ｄｘ，ｄｙは仮想的な基準位置に対して相対的な量であるので、発光点Ｐ１が中心Ｃ１にある場合が存在しなくても問題ない。
【００４２】
次に、ＣＰＵ４１は、ステップＳ１８にて、ＸＹステージ１２の移動に伴う位置ずれ量ｄｘ，ｄｙに、フラットパネルディスプレイ２０の各表示画素ＤＥ(ｉ０＋ｉ，ｊ０＋ｊ)の位置を示す表示画素位置Ｒｘ（ｉ，ｊ），Ｒｙ（ｉ，ｊ）に対する、ＸＹステージ１２のＸ軸方向及びＹ軸方向のステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)の相対的な位置ずれ量を表す相対位置ずれ量Ｓｘ(ｉ，ｊ)−Ｒｘ（ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ) −Ｒｙ（ｉ，ｊ）を加算する下記式３，４の演算により、ＸＹステージ１２のＸ軸方向及びＹ軸方向の総合位置ずれ量Ｃｘ (ｉ，ｊ)、Ｃｙ(ｉ，ｊ)を計算する。
Ｃｘ (ｉ，ｊ)＝ｄｘ＋｛Ｓｘ (ｉ，ｊ)−Ｒｘ(ｉ０＋ｉ)｝  …式３
Ｃｙ (ｉ，ｊ)＝ｄｙ＋｛Ｓｙ (ｉ，ｊ)−Ｒｙ(ｉ０＋ｉ)｝  …式４
なお、位置ずれ量ｄｘ，ｄｙに相対位置ずれ量Ｓｘ(ｉ，ｊ)−Ｒｘ（ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ) −Ｒｙ（ｉ，ｊ）を加算する前記式３，４の演算は、Ｘ軸スケーラ１７及びＹ軸スケーラ１８によって検出されたステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)をフラットパネルディスプレイ２０の座標位置に変換することを意味する。これにより、ＸＹステージ１２とフラットパネルディスプレイ２０との間に歪などによる位置ずれがあっても、総合位置ずれ量Ｃｘ (ｉ，ｊ)，Ｃｙ(ｉ，ｊ)は、位置ずれ量ｄｘ，ｄｙの導出に用いたフラットパネルディスプレイ２０の座標を基準にした値となる。
【００４３】
次に、ＣＰＵ２１は、ステップＳ１９にて、ＸＹステージ１２のＸ軸方向及びＹ軸方向のステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)すなわちＳｘ(０，０），Ｓｙ(０，０)と、総合位置ずれ量Ｃｘ (ｉ，ｊ)，Ｃｙ(ｉ，ｊ)すなわち総合位置ずれ量Ｃｘ (０，０)，Ｃｙ(０，０)とを一組のずれ量データとして、記憶装置４６に設けたずれ量データテーブルに記憶する。
【００４４】
前記ステップＳ１９の処理後、ＣＰＵ４１は、図４のステップＳ２０にて、方向フラグＤＦＬＧが"０"であるか否かを判定する。この方向フラグＤＦＬＧは、初期においてはＸＹステージ１２のＸ軸正方向の移動を表しており、ステップＳ２０においては「Ｙｅｓ」と判定されて、ＣＰＵ４１は、ステップＳ２１にて、変数ｉが予め定めた値ｉmax以上であるか否かを判定する。この値ｉmaxは、Ｘ軸方向の表示画素(ｉ，ｊ)の数Ｎｘと同様に大きな値であるが、数Ｎｘよりは若干小さな値である。この場合、変数ｉは「０」すなわち値ｉmaxよりも小さいので、ステップＳ２１においては「Ｎｏ」と判定され、ＣＰＵ４１は、プログラムをステップＳ２２に進める。
【００４５】
ステップＳ２２において、ＣＰＵ４１は、ＸＹステージ１２を予め決められている表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)のＸ軸方向間隔だけＸ軸正方向に移動させる。これにより、現在点灯中の表示画素ＤＥ(ｉ０，ｊ０)よりも図６にて一つ左側の表示画素ＤＥ(ｉ０＋１，ｊ０)の中心が、表示画面４５ｂの中心Ｃ１の近傍に位置する。次に、ＣＰＵ４１は、ステップＳ２３にて変数ｉに「１」を加算して、プログラムを図３のステップＳ１４に戻す。ステップＳ１４においては、表示画素ＤＥ(ｉ０＋ｉ，ｊ０＋ｊ)を点灯する。この場合、変数ｉは「１」であり、変数ｊは「０」であるので、表示画面４５ｂの中心Ｃ１の近傍に中心を位置させた表示画素ＤＥ(ｉ０＋１，ｊ０)が点灯する。そして、前述したステップＳ１５〜Ｓ１９の処理を実行して、表示画素ＤＥ(ｉ０＋１，ｊ０)に関するステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)すなわちＳｘ(１，０），Ｓｙ(１，０)と、総合位置ずれ量Ｃｘ (ｉ，ｊ)，Ｃｙ(ｉ，ｊ)すなわち総合位置ずれ量Ｃｘ (１，０)，Ｃｙ(１，０)とを一組のずれ量データとして、記憶装置４６に設けたずれ量データテーブルに記憶する。
【００４６】
前記ステップＳ１５〜Ｓ１９の処理後、ＣＰＵ４１は、前述したステップＳ２０，Ｓ２１の判定処理を再び実行する。この場合も、方向フラグＤＦＬＧは”０”であり、変数ｉは値ｉmaxよりも小さいので、前述した場合と同様に、ステップＳ２０にて「Ｙｅｓ」と判定され、かつステップＳ２１にて「Ｎｏ」と判定される。そして、前述したステップＳ２２，Ｓ２３の処理後、ＣＰＵ４１は、前述したステップＳ１４〜Ｓ１９の処理により、表示画素ＤＥ(ｉ０＋ｉ，ｊ０)に関するステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)すなわちＳｘ(ｉ，０），Ｓｙ(ｉ，０)と、総合位置ずれ量Ｃｘ (ｉ，ｊ)，Ｃｙ(ｉ，ｊ)すなわち総合位置ずれ量Ｃｘ (ｉ，０)，Ｃｙ(ｉ，０)とを一組のずれ量データとして、記憶装置４６に設けたずれ量データテーブルに記憶する。
【００４７】
このようなステップＳ１４〜Ｓ２３の処理により、ＸＹステージ１２のＸ軸正方向への移動毎に、変数ｉが順次「１」ずつ増加し、表示画素ＤＥ(ｉ０＋ｉ，ｊ０)が順次点灯されて、表示画素ＤＥ(ｉ０＋ｉ，ｊ０)に関するステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)すなわちＳｘ(ｉ，０），Ｓｙ(ｉ，０)と、総合位置ずれ量Ｃｘ (ｉ，ｊ)，Ｃｙ(ｉ，ｊ)すなわち総合位置ずれ量Ｃｘ (ｉ，０)，Ｃｙ(ｉ，０)とからなる一組のずれ量データが、記憶装置４６に設けたずれ量データテーブルに順次記憶されていく。そして、変数ｉが値ｉmaxに達すると、ＣＰＵ４１は、ステップＳ２１にて「Ｙｅｓ」と判定して、プログラムをステップＳ２４に進める。この場合、表示画素ＤＥ(ｉ０＋ｉmax，ｊ０)が点灯されている。
【００４８】
ステップＳ２４においては、方向フラグＤＦＬＧがＸＹステージ１２のＸ軸負方向への移動を表す“１”に変更される。次に、ＣＰＵ４１は、ステップＳ２５にて変数ｊが予め定めた値ｊmax以上であるか否かを判定する。この値ｊmaxは、Ｙ軸方向の表示画素(ｉ，ｊ)の数Ｎｙと同様な大きな値であるが、数Ｎｙよりは若干小さな値である。この場合、変数ｊは「０」であるので、ステップＳ２５にて「Ｎｏ」と判定され、ＣＰＵ４１は、プログラムをステップＳ２６に進める。
【００４９】
ステップＳ２６において、ＣＰＵ４１は、ＸＹステージ１２を予め決められている表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)のＹ軸方向間隔だけＹ軸正方向に移動させる。これにより、現在点灯中の表示画素ＤＥ(ｉ０＋ｉmax，ｊ０)よりも図６にて一つ下側の表示画素ＤＥ(ｉ０＋ｉmax，ｊ０＋１)の中心が、表示画面４５ｂの中心Ｃ１の近傍に位置する。次に、ＣＰＵ４１は、ステップＳ２７にて、変数ｊに「１」を加算して、プログラムをステップＳ１４に戻す。そして、前述したステップＳ１４〜Ｓ１９の処理により、表示画素ＤＥ(ｉ０＋ｉmax，ｊ０＋１)に関するステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)すなわちＳｘ(ｉmax，１），Ｓｙ(ｉmax，１)と、総合位置ずれ量Ｃｘ (ｉ，ｊ)，Ｃｙ(ｉ，ｊ)すなわち総合位置ずれ量Ｃｘ (ｉmax，１)，Ｃｙ(ｉmax，１)とを一組のずれ量データとして、記憶装置４６に設けたずれ量データテーブルに記憶する。
【００５０】
前記ステップＳ１９の処理後、ＣＰＵ４１は、ステップＳ２０にて、方向フラグＤＦＬＧが"０"であるか否かを判定する。この場合、方向フラグＤＦＬＧは、前記ステップＳ２４の処理により“１”に変更されているので、ステップＳ２０においては「Ｎｏ」と判定されて、ＣＰＵ４１は、ステップＳ２８にて変数ｉが「０」以下であるか否か、すなわち最初にずれ量を検出した表示画素ＤＥ（ｉ０，ｊ０）のＸ軸方向位置の表示画素ＤＥ（ｉ０，ｊ０＋１）に関するずれ量の検出が終了したか否かを判定する。この場合、変数ｉは「０」より大きな値ｉmaxであるので、ＣＰＵ４１は、ステップＳ２８にて「Ｎｏ」と判定し、プログラムをステップＳ２９に進める。
【００５１】
ステップＳ２９において、ＣＰＵ４１は、ＸＹステージ１２を予め決められている表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)のＸ軸方向間隔だけＸ軸負方向（前記ステップＳ２２によるＸＹステージ１２の移動方向とは逆方向）に移動させる。これにより、現在点灯中の表示画素ＤＥ(ｉ０＋ｉmax，ｊ０)よりも図６にて一つ右側の表示画素ＤＥ(ｉ０＋ｉmax−１，ｊ０＋１)の中心が、表示画面４５ｂの中心Ｃ１の近傍に位置する。次に、ＣＰＵ４１は、ステップＳ３０にて変数ｉから「１」を減算して、プログラムをステップＳ１４に戻す。ステップＳ１４においては、表示画素ＤＥ(ｉ０＋ｉ，ｊ０＋ｊ)すなわち表示画素ＤＥ(ｉ０＋ｉmax−１，ｊ０＋１)を点灯する。そして、前述したステップＳ１５〜Ｓ１９の処理を実行して、表示画素ＤＥ(ｉ０＋ｉmax−１，ｊ０＋１)に関するステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)すなわちＳｘ(ｉmax−１，１），Ｓｙ(ｉmax−１，１)と、総合位置ずれ量Ｃｘ (ｉ，ｊ)，Ｃｙ(ｉ，ｊ)すなわち総合位置ずれ量Ｃｘ (ｉmax−１，１)，Ｃｙ(ｉmax−１，１)とを一組のずれ量データとして、記憶装置４６に設けたずれ量データテーブルに記憶する。
【００５２】
前記ステップＳ１９の処理後、ＣＰＵ４１は、前述したステップＳ２０，Ｓ２８の判定処理を再び実行する。この場合も、方向フラグＤＦＬＧが”１”であり、かつ変数ｉが「０」以上であれば、前述した場合と同様に、ステップＳ２０にて「Ｎｏ」と判定され、かつステップＳ２８にて「Ｎｏ」と判定される。そして、前述したステップＳ２９，Ｓ３０の処理後、ＣＰＵ４１は、前述したステップＳ１４〜Ｓ１９の処理により、表示画素ＤＥ(ｉ０＋ｉ，ｊ０＋１)に関するステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)すなわちＳｘ(ｉ，１），Ｓｙ(ｉ，１)と、総合位置ずれ量Ｃｘ (ｉ，ｊ)，Ｃｙ(ｉ，ｊ)すなわち総合位置ずれ量Ｃｘ (ｉ，１)，Ｃｙ(ｉ，１)とを一組のずれ量データとして、記憶装置４６に設けたずれ量データテーブルに記憶する。
【００５３】
このようなステップＳ１４〜Ｓ２０，Ｓ２８〜Ｓ３０の処理により、ＸＹステージ１２のＸ軸負方向への移動毎に、変数ｉが順次「１」ずつ減少し、表示画素ＤＥ(ｉ０＋ｉ，ｊ０＋１)が順次点灯されて、表示画素ＤＥ(ｉ０＋ｉ，ｊ０＋１)に関するステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)すなわちＳｘ(ｉ，１），Ｓｙ(ｉ，１)と、総合位置ずれ量Ｃｘ (ｉ，ｊ)，Ｃｙ(ｉ，ｊ)すなわち総合位置ずれ量Ｃｘ (ｉ，１)，Ｃｙ(ｉ，１)とからなる一組のずれ量データが、記憶装置４６に設けたずれ量データテーブルに順次記憶されていく。そして、変数ｉが「０」になると、ＣＰＵ４１は、ステップＳ２８にて「Ｙｅｓ」と判定して、プログラムをステップＳ３１に進める。この場合、表示画素ＤＥ(ｉ０，ｊ０＋１)が点灯されている。
【００５４】
ステップＳ３１においては、方向フラグＤＦＬＧがＸＹステージ１２のＸ軸正方向への移動を表す“０”に変更される。次に、ＣＰＵ４１は、前述したステップＳ２５の判定処理を実行する。そして、変数ｊが値ｊmax以上になるまで、ＣＰＵ４１は、ステップＳ２５にて「Ｎｏ」と判定し続けて、前述したステップＳ２６，Ｓ２７の処理により、ＸＹステージ１２を表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)のＹ軸方向間隔だけＹ軸正方向に移動させるとともに、変数ｊを「１」ずつ増加させて、前述したステップＳ１４〜Ｓ３１の処理を実行し続ける。そして、変数ｊが値ｊmaxに達すると、ＣＰＵ４１は、ステップＳ２５にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ３２にてずれ量計測プログラムの実行を終了する。
【００５５】
このようなずれ量計測プログラムの実行により、図６の矢印で示すように、点灯される表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)は、図６にて左右方向に往復しながら下方向に移動していく。そして、値ｊmaxが奇数であれば、表示画素ＤＥ(ｉ０，ｊ０)〜ＤＥ(ｉ０，ｊ０＋ｊmax)からなる(ｉmax＋１)・(ｊmax＋１)個の表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)が順次点灯される。また、値ｊmaxが偶数であれば、表示画素ＤＥ(ｉ０，ｊ０)〜ＤＥ(ｉ０＋ｉmax，ｊ０＋ｊmax)からなる(ｉmax＋１)・(ｊmax＋１)個の表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)が順次点灯される。そして、これらの表示画素ＤＥ(ｉ０，ｊ０)〜ＤＥ(ｉ０，ｊ０＋ｊmax)又は表示画素ＤＥ(ｉ０，ｊ０)〜ＤＥ(ｉ０＋ｉmax，ｊ０＋ｊmax)の順次点灯により、各表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)に対応した位置における総合位置ずれ量Ｃｘ(ｉ，ｊ)，Ｃｙ（ｉ，ｊ）が計測されて、ずれ量データテーブルに、ステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)に対応させて記憶される。
【００５６】
上記補正データ生成装置及び補正データ生成方法によれば、ステップＳ１５〜Ｓ１８の処理により、ステップＳ２２，Ｓ２６，Ｓ２９の処理によるＸＹステージ１２の移動毎に、点灯している一つの表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)の中心のＸ軸方向位置及びＹ軸方向位置を用いてＸＹステージ１２の移動に伴うＸ軸方向及びＹ軸方向の総合位置ずれ量Ｃｘ(ｉ，ｊ)，Ｃｙ(ｉ，ｊ)が計算される。そして、ステップＳ１９の処理により、前記ＸＹステージ１２の移動毎に、前記計算された総合位置ずれ量Ｃｘ(ｉ，ｊ)，Ｃｙ(ｉ，ｊ)が、Ｘ軸スケーラ１７及びＹ軸スケーラ１８によってそれぞれ検出されているＸＹステージ１２のＸ軸方向位置Ｓｘ（ｉ，ｊ）及びＹ軸方向位置Ｓｙ(ｉ，ｊ)と共に補正データとして記憶装置４６に記憶される。その結果、記憶装置４６には、フラットパネルディスプレイ２０のマトリクス状に配置された複数の表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)の位置にそれぞれ対応したＸＹステージ１２のマトリクス状の複数の位置におけるＸＹステージ１２の移動に伴うＸ軸方向及びＹ軸方向の総合位置ずれ量Ｃｘ(ｉ，ｊ)，Ｃｙ(ｉ，ｊ)が、ＸＹステージ１２のマトリクス状のＸ軸方向位置Ｓｘ（ｉ，ｊ）及びＹ軸方向位置Ｓｙ(ｉ，ｊ)と対になって補正データとして記憶されることになる。そして、フラットパネルディスプレイ２０は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に短い間隔でマトリクス状に配置された複数の表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)を備えているので、ＸＹステージ１２において、細かな間隔のマトリクス状の複数の位置におけるＸＹステージ１２の移動に伴うＸ軸方向及びＹ軸方向の総合位置ずれ量Ｃｘ(ｉ，ｊ)，Ｃｙ(ｉ，ｊ)が、ＸＹステージ１２のＸ軸方向位置Ｓｘ（ｉ，ｊ）及びＹ軸方向位置Ｓｙ(ｉ，ｊ)と対にして補正データとして記憶されることになる。この補正データは、後述するＸＹステージ１２のＸ軸方向及びＹ軸方向の移動において、ＸＹステージ１２の高精度の位置調整に利用される。
【００５７】
また、総合位置ずれ量Ｃｘ(ｉ，ｊ)，Ｃｙ(ｉ，ｊ)の計算においては、ステップＳ１５〜Ｓ１８の処理により、まず、点灯している一つの表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)の位置と表示画面４５ｂの中心Ｃ１の座標値Ｍｘ，Ｍｙとの距離の差が、ＸＹステージ１２の移動に伴う位置ずれ量ｄｘ，ｄｙとして検出される。そして、この位置ずれ量ｄｘ，ｄｙに、Ｘ軸スケーラ１７及びＹ軸スケーラ１８によって検出されているＸＹステージのＸ軸方向位置Ｓｘ(ｉ，ｊ)及びＹ軸方向位置Ｓｙ(ｉ，ｊ)と、フラットパネルディスプレイ２０上にて予め決められている表示画素位置Ｒｘ(ｉ，ｊ)，Ｒｙ(ｉ，ｊ)との差である、ＸＹステージ１２とフラットパネルディスプレイ２０の各位置における相対位置ずれ量Ｓｘ(ｉ，ｊ)−Ｒｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)−Ｒｙ(ｉ，ｊ)が加えられて総合位置ずれ量Ｃｘ(ｉ，ｊ)，Ｃｙ(ｉ，ｊ)が計算される。その結果、総合位置ずれ量Ｃｘ(ｉ，ｊ)，Ｃｙ(ｉ，ｊ)に、ＸＹステージ１２の移動に伴う位置ずれ量ｄｘ，ｄｙと、相対位置ずれ量Ｓｘ(ｉ，ｊ)−Ｒｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)−Ｒｙ(ｉ，ｊ)とを含ませたので、ＸＹステージ１２上へのフラットパネルディスプレイ２０の載置の際における、ＸＹステージ１２又はフラットパネルディスプレイ２０の歪などによる誤差があっても、高精度な補正データが得られる。
【００５８】
なお、上記補正データ生成装置及び補正データ生成方法においては、ＸＹステージ１２の移動に伴う位置ずれ量ｄｘ，ｄｙに、ＸＹステージ１２とフラットパネルディスプレイ２０の各位置における相対位置ずれ量Ｓｘ(ｉ，ｊ)−Ｒｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)−Ｒｙ(ｉ，ｊ)を加味して総合位置ずれ量Ｃｘ(ｉ，ｊ)，Ｃｙ(ｉ，ｊ)を計算するようにした。しかし、フラットパネルディスプレイ２０又はＸＹステージ１２に歪が無く、ＸＹステージ１２の移動毎にＸ軸スケーラ１７及びＹ軸スケーラ１８によって検出されるＸＹステージ１２のステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)と、表示画素位置Ｒｘ(ｉ，ｊ)，Ｒｙ(ｉ，ｊ)との相対位置ずれ量Ｓｘ(ｉ，ｊ)−Ｒｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)−Ｒｙ(ｉ，ｊ)が常に一定であれば、ＸＹステージ１２の移動において前記相対位置ずれ量Ｓｘ(ｉ，ｊ)−Ｒｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)−Ｒｙ(ｉ，ｊ)を考慮しなくてもよい。この場合には、ステップＳ１６の処理を省略して、ステップＳ１７の処理によって計算したＸＹステージ１２の移動に伴う位置ずれ量ｄｘ，ｄｙを、ステップＳ１８にて総合位置ずれ量Ｃｘ(ｉ，ｊ)，Ｃｙ(ｉ，ｊ)として設定すればよい。
【００５９】
上記補正データ生成装置及び補正データ生成方法においては、フラットパネルディスプレイ２０として、Ｘ軸方向及びＹ軸方向にそれぞれ小さな間隔で高精度でマトリクス状に配置された表示画素ＤＥ(ｉ，ｊ)を有する液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）を用いた。しかし、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に短い間隔で高精度でマトリクス状に配置された複数の表示画素を備えていれば、液晶ディスプレイ以外のフラットパネルディスプレイをフラットパネルディスプレイ２０として利用することも可能である。また、カメラ３０に関しても、高精度で画像を撮像することができれば、ＣＭＯＳカメラ以外のカメラも利用できる。
【００６０】
ｂ．移動位置補正装置及び移動位置補正方法
次に、前記ずれ量を計測したＸＹステージ装置１０のための移動位置補正装置及び移動位置補正方法について図面を用いて説明する。図９は、ＸＹステージ装置１０、並びに利用装置５０及びコンピュータ装置６０からなる移動位置補正装置を示す概略図である。図１０は、ＸＹステージ装置１０、並びに利用装置５０及びコンピュータ装置６０からなる移動補正装置の電気回路ブロック図である。
【００６１】
ＸＹステージ装置１０は、前記ａの補正データ生成装置で総合位置ずれ量Ｃｘ (ｉ，ｊ)、Ｃｙ(ｉ，ｊ)が計測されたＸＹステージ装置１０と同一である。したがって、ＸＹステージ装置１０については説明を省略する。なお、ＸＹステージ装置１０は、利用者によって設置面ＰＬに設置されている。
【００６２】
利用装置５０は、ＸＹステージ装置１０を用いて、回路基板５１の検査、回路基板５１の配線パターンの形成、回路基板５１の加工（例えば、孔あけ）などの処理を行うものである。この場合、回路基板５１は、ＸＹステージ装置１０のＸＹステージ１２上に載置される。そして、利用装置５０は、設置面ＰＬ上に固定されたフレームＦＲに回路基板５１に対向するように固定される。
【００６３】
コンピュータ装置６０も、一般のパーソナルコンピュータ装置によって構成され、ＣＰＵ６１、ＲＯＭ６２、ＲＡＭ６３、操作部６４、操作検出回路６４ａ、表示器６５、表示制御回路６５ａ、記憶装置６６、通信インターフェース回路６７及びバス６８を備えている。ＣＰＵ６１、ＲＯＭ６２、ＲＡＭ６３、操作部６４、操作検出回路６４ａ、表示器６５、表示制御回路６５ａ、記憶装置６６、通信インターフェース回路６７及びバス６８は、上記ａで説明したコンピュータ装置４０におけるＣＰＵ４１、ＲＯＭ４２、ＲＡＭ４３、操作部４４、操作検出回路４４ａ、表示器４５、表示制御回路４５ａ、記憶装置４６、通信インターフェース回路４７及びバス４８と同様に構成されているので、それらの説明を省略する。ただし、記憶装置６６には、利用装置５０で利用される図１１に示すメイン処理プログラムが記憶されている。また、記憶装置６６には、上記ａで説明したステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ)，Ｓｙ(ｉ，ｊ)及び総合位置ずれ量Ｃｘ (ｉ，ｊ)、Ｃｙ(ｉ，ｊ)からなる補正データを記憶したずれ量データテーブルが設けられている。なお、この場合も、メイン処理プログラム及び補正データが記憶装置６６に記憶されていなければ、メイン処理プログラム及び補正データを通信インターフェース回路６７を介して外部から取込む。また、このコンピュータ装置６０を用い、上記ａで説明したようにして、定期的に総合位置ずれ量Ｃｘ (ｉ，ｊ)、Ｃｙ(ｉ，ｊ)を計測して、ステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ)，Ｓｙ(ｉ，ｊ)と共に記憶装置６６に記憶させるようにしてもよい。
【００６４】
そして、コンピュータ装置６０のバス６８には、上記ａの場合と同様に、ＸＹステージ装置１０の駆動回路１５，１６、Ｘ軸スケーラ１７及びＹ軸スケーラ１８が接続されるとともに、利用装置５０も接続されている。
【００６５】
このように構成したＸＹステージ装置１０、利用装置５０及びコンピュータ装置６０からなるシステムの動作を説明する。まず、作業者は、設置面ＰＬ上に載置されたＸＹステージ装置１０のＸＹステージ１２上に、回路基板５１を適切に位置決めして載置する。また、利用装置５０も適切な位置に配置する。その後、作業者はコンピュータ装置６０の操作部６４を操作して、処理開始を指示する。
【００６６】
この処理開始の指示により、ＣＰＵ６１は、図１１のステップＳ５０にてメイン処理プログラムの実行を開始して、ステップＳ５１にて後述する処理に必要な初期設定処理を実行する。前記ステップＳ５１の処理後、ＣＰＵ６１は、ステップＳ５２にてＸＹステージ１２のＸ軸方向及びＹ軸方向の移動位置Ｘ１，Ｙ１を指定する。この移動位置Ｘ１，Ｙ１の指定は、プログラム制御により自動的に行われることもあるし、作業者の操作部６４の操作に連動して行われることもある。
【００６７】
前記ステップＳ５２の移動位置Ｘ１，Ｙ１の指定後、ＣＰＵ６１は、ステップＳ５３にてＸＹステージ移動ルーチンを実行する。このＸＹステージ移動ルーチンは、図１２に示されており、ＣＰＵ６１は、ステップＳ６０にてＸＹステージ移動ルーチンの実行を開始する。このＸＹステージ移動ルーチンの実行開始後、ＣＰＵ６１は、ステップＳ６１にて、Ｘ軸スケーラ１７及びＹ軸スケーラ１８によって検出されたＸＹステージ１２のＸ軸方向位置Ｓｘ及びＹ軸方向位置Ｓｙを入力しながら、ＸＹステージ１２を指定された移動位置Ｘ１，Ｙ１に移動させる。この場合、ＣＰＵ６１は、駆動回路１５を介してＸ軸モータ１３及びＹ軸モータ１４をフィードバック制御することにより、ＸＹステージ１２の移動を制御する。
【００６８】
次に、ＣＰＵ６１は、ステップＳ６２にて、記憶装置６６内のずれ量データテーブルに記憶されている全てのＸ軸方向及びＹ軸方向のステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)（ｉ＝０〜ｉmax，ｊ＝０〜ｊmax）の中から、前記ステップＳ６１の処理によりＸＹステージ１２を移動位置Ｘ１，Ｙ１に移動させた状態においてＸ軸スケーラ１７及びＹ軸スケーラ１８によって検出されたＸＹステージ１２のＸ軸方向位置Ｓｘ及びＹ軸方向位置Ｓｙに近いステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ)，Ｓｙ(ｉ，ｊ)の組を探し出す。このステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)の探し出しは、値Ｓｘ，Ｓｙによって規定されるＸＹ座標位置と、値Ｓｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)によって規定されるＸＹ座標位置との距離が小さい一組の値Ｓｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)を検出することである。したがって、計算値{Ｓｘ−Ｓｘ(ｉ，ｊ)}２＋{Ｓｙ−Ｓｙ(ｉ，ｊ)}２が最小となる一組のステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)を探し出せばよい。なお、簡単化のために、計算値｜Ｓｘ−Ｓｘ(ｉ，ｊ)｜＋｜Ｓｙ−Ｓｙ(ｉ，ｊ)｜が最小となる一組のステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)を探し出してもよい。そして、探す出したステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)を規定する変数ｉを値ｉｘ，ｉｙとして設定するとともに、探す出したステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)を規定する変数ｊを値ｊｘ，ｊｙとして設定する。
【００６９】
次に、ＣＰＵ６１は、ステップＳ６３にて、記憶装置６６内のずれ量データテーブルに記憶されていて、値ｉｘ，ｊｘにより指定される総合位置ずれ量Ｃｘ(ｉｘ,jｘ)と、値ｉｙ，ｊｙにより指定される総合位置ずれ量Ｃｙ(ｉｙ,ｊｙ)とを、前記ずれ量データテーブルから読み出す。すなわち、Ｘ軸スケーラ１７及びＹ軸スケーラ１８によって検出されたＸＹステージ１２のＸ軸方向位置Ｓｘ及びＹ軸方向位置Ｓｙに近いステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)に対応して前記ずれ量データテーブルに記憶されている総合位置ずれ量Ｃｘ(ｉｘ,jｘ)，Ｃｙ(ｉｙ,ｊｙ)の組を読み出す。そして、この読み出した総合位置ずれ量Ｃｘ(ｉｘ,jｘ)，Ｃｙ(ｉｙ,ｊｙ)を、Ｘ軸方向位置Ｓｘ及びＹ軸方向位置Ｓｙにおける補正用ずれ量Ｃｘ，Ｃｙとして設定する。これにより、補正用ずれ量Ｃｘ，Ｃｙは、ＸＹステージ１２を移動位置Ｘ１，Ｙ１に移動させた状態におけるＸ軸スケーラ１７及びＹ軸スケーラ１８によって検出されたＸＹステージ１２のＸ軸方向位置Ｓｘ及びＹ軸方向位置Ｓｙのずれ量を表す。厳密には、補正用ずれ量Ｃｘ，Ｃｙは、ＸＹステージ１２を移動位置Ｘ１，Ｙ１に移動させた状態におけるＸ軸スケーラ１７及びＹ軸スケーラ１８によって検出されたＸＹステージ１２のＸ軸方向位置Ｓｘ及びＹ軸方向位置Ｓｙの各ずれ量に極めて近い値である。
【００７０】
なお、次のような補間演算を実行して、前記ＸＹステージ１２のＸ軸方向位置Ｓｘ及びＹ軸方向位置Ｓｙの各ずれ量の精度を向上させるとさらによい。この場合、前記ステップＳ６２の処理において、前記検出されたＸＹステージ１２のＸ軸方向位置Ｓｘ及びＹ軸方向位置Ｓｙに近いステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)の組の探し出しに加えて、ステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)との間にＸ軸方向位置Ｓｘを挟むＸ軸方向隣りのステージ位置Ｓｘ(ｉ＋１，ｊ），Ｓｙ(ｉ＋１，ｊ)（又はＳｘ(ｉ−１，ｊ），Ｓｙ(ｉ−１，ｊ)）の組と、ステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)との間にＹ軸方向隣りのステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ＋１），Ｓｙ(ｉ，ｊ＋１)（又はＳｘ(ｉ，ｊ−１），Ｓｙ(ｉ，ｊ−１)）の組とを前記ずれ量データテーブルから探し出す。ステップＳ６３の処理においては、前記３組のステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)，Ｓｘ(ｉ＋１，ｊ），Ｓｙ(ｉ＋１，ｊ)（又はＳｘ(ｉ−１，ｊ），Ｓｙ(ｉ−１，ｊ)），Ｓｘ(ｉ，ｊ＋１），Ｓｙ(ｉ，ｊ＋１)（又はＳｘ(ｉ，ｊ−１），Ｓｙ(ｉ，ｊ−１)）に対応した３組の総合位置ずれ量Ｃｘ(ｉｘ,ｊｘ)，Ｃｙ(ｉｙ,ｊｙ)，Ｃｘ(ｉｘ＋１,ｊｘ) ，Ｃｙ(ｉｙ＋１,ｊｙ)（又はＣｘ(ｉｘ−１,ｊｘ），Ｃｙ(ｉｙ−１，ｊｙ))，Ｃｘ(ｉｘ,ｊｘ＋１) ，Ｃｙ(ｉｙ,ｊｙ＋１)（又はＣｘ(ｉｘ,ｊｘ−１），Ｃｙ(ｉｙ,ｊｙ−１))を前記ずれ量データテーブルから読み出す。そして、Ｘ軸方向位置ＳｘとＸ軸方向で隣合う２つのステージ位置Ｓｘ(ｉ，ｊ)， Ｓｘ(ｉ＋１，ｊ）（又はＳｘ(ｉ−１，ｊ））を用いて、Ｘ軸方向の２つの総合位置ずれ量Ｃｘ(ｉｘ,jｘ)，Ｃｘ(ｉｘ＋１,jｘ)（又はＣｘ(ｉｘ−１,jｘ)）を補間演算して、Ｘ軸方向の補正用ずれ量Ｃｘを導出する。また、Ｙ軸方向位置ＳｙとＹ軸方向で隣合う２つのステージ位置Ｓｙ(ｉ，ｊ)，Ｓｙ(ｉ，ｊ＋１)（又はＳｙ(ｉ，ｊ−１)）を用いて、Ｙ軸方向の２つ総合ずれ量Ｃｙ(ｉｙ,ｊｙ)，Ｃｙ(ｉｙ,ｊｙ＋１)（又はＣｙ(ｉｙ,ｊｙ−１)）を補間演算して、Ｙ軸方向の補正用ずれ量Ｃｙを導出する。
【００７１】
次に、ＣＰＵ６１は、ステップＳ６４にて、前記ステップＳ６１の処理によりＸＹステージ１２を移動位置Ｘ１，Ｙ１に移動させた状態においてＸ軸スケーラ１７及びＹ軸スケーラ１８によって検出されたＸＹステージ１２のＸ軸方向位置Ｓｘ及びＹ軸方向位置Ｓｙを、前記ステップＳ６３の処理によって設定した補正用ずれ量Ｃｘ，Ｃｙを用いて下記式５，６の演算の実行により補正して、補正Ｘ軸方向位置Ｓｘ’及び補正Ｙ軸方向位置Ｓｙ’を導出する。
Ｓｘ’＝Ｓｘ−Ｃｘ  …式５
Ｓｙ’＝Ｓｙ−Ｃｙ  …式６
【００７２】
次に、ＣＰＵ６１は、ステップＳ６５にて、ＸＹステージ１２の補正Ｘ軸方向位置Ｓｘ’及び補正Ｙ軸方向位置Ｓｙ’が、指定されたＸＹステージ１２の移動位置Ｘ１，Ｙ１にほぼ一致しているか否かを判定する。具体的には、値Ｓｘ’、Ｘ１の差Ｓｘ’−Ｘ１の絶対値｜Ｓｘ’−Ｘ１｜が予め定めた微小値ΔＸ未満であり、かつ値Ｓｙ’、Ｙ１の差Ｓｙ’−Ｙ１の絶対値｜Ｓｙ’−Ｙ１｜が予め定めた微小値ΔＹ未満であるか否かを判定する。言い換えれば、ＸＹステージ１２の実際のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置が、指定されたＸＹステージ１２の移動位置Ｘ１，Ｙ１にほぼ一致している否かを判定する。ステップＳ６５にて「Ｎｏ」と判定されると、ＣＰＵ６１はプログラムをステップＳ６６に進める。一方、ステップＳ６５にて「Ｙｅｓ」と判定されると、ＣＰＵ６１は、ステップＳ６７にてＸＹステージ移動ルーチンの実行を終了する。
【００７３】
ステップＳ６６においては、ＣＰＵ６１は、Ｘ軸スケーラ１７及びＹ軸スケーラ１８によって検出されたＸＹステージ１２のＸ軸方向位置Ｓｘ及びＹ軸方向位置Ｓｙを入力しながら、ＸＹステージ１２を補正用ずれ量Ｃｘ，ＣｙだけＸ軸方向及びＹ軸方向に補正移動させる。すなわち、ＸＹステージ１２の実際の移動位置が指定されたＸＹステージ１２の移動位置Ｘ１，Ｙ１になるように、ＸＹステージ１２を補正移動する。
【００７４】
前記ステップＳ６６の処理後、ＣＰＵ６１は、プログラムをステップＳ６２に戻して、前記ステップＳ６２〜Ｓ６５の処理を実行する。そして、ＸＹステージ１２のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置が、指定されたＸＹステージ１２の移動位置Ｘ１，Ｙ１にほぼ位置するまで、ステップＳ６５における「Ｎｏ」との判定の基に、前記ステップＳ６６，Ｓ６２〜Ｓ６５の処理を繰返し実行する。なお、この場合にステップＳ５２にて用いられるＸ軸方向位置Ｓｘ及びＹ軸方向位置Ｓｙは、前記ステップＳ６５のＸＹステージ１２の補正移動時において、Ｘ軸スケーラ１７及びＹ軸スケーラ１８によって最後に検出されたＸ軸方向位置Ｓｘ及びＹ軸方向位置Ｓｙである。そして、ＸＹステージ１２の補正Ｘ軸方向位置Ｓｘ’及び補正Ｙ軸方向位置Ｓｙ’が、指定されたＸＹステージ１２の移動位置Ｘ１，Ｙ１にほぼ一致すれば、前述のように、ＣＰＵ６１は、ステップＳ６５にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ６７にてＸＹステージ移動ルーチンの実行を終了する。
【００７５】
このＸＹステージ移動ルーチンの実行終了後、ＣＰＵ６１は、ステップＳ５４にて回路基板５１に対して所定の処理を実行して、ステップＳ５５にて回路基板５１に対する全ての処理が終了したか否かを判定する。回路基板５１に対する全ての処理が終了していなければ、ＣＰＵ６１は、ステップＳ５５にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ５２〜Ｓ５５の処理を繰り返し実行する。回路基板５１に対する全ての処理が終了すれば、ＣＰＵ６１は、ステップＳ５５にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ５６にてメイン処理プログラムの実行を終了する。そして、作業者は、新たな回路基板５１に対する処理を行う。
【００７６】
上記移動位置補正装置及び移動位置補正方法によれば、ステップＳ６２，Ｓ６３の処理により、記憶装置６６内にＸＹステージ１２の移動位置Ｓｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)に対応させて記憶されている複数のＸ軸方向及びＹ軸方向の総合位置ずれ量Ｃｘ(ｉ，ｊ)，Ｃｙ(ｉ，ｊ)の中から、ＸＹステージ１２の移動時にＸ軸スケーラ１７及びＹ軸スケーラ１７によってそれぞれ検出されるＸ軸方向位置Ｓｘ及びＹ軸方向位置Ｓｙによって表わされるＸＹステージ１２の移動位置に近い移動位置Ｓｘ(ｉ，ｊ），Ｓｙ(ｉ，ｊ)に関する総合位置ずれ量Ｃｘ(ｉｘ，ｊｘ)，Ｃｙ(ｉｙ，ｊｙ)が抽出される。そして、ステップＳ６４の処理により、ＸＹステージ１２の移動時にＸ軸スケーラ１７及びＹ軸スケーラ１８によってそれぞれ検出されるＸ軸方向位置Ｓｘ及びＹ軸方向位置Ｓｙが、前記抽出されたＸ軸方向及びＹ軸方向の総合位置ずれ量Ｃｘ(ｉｘ，ｊｘ)，Ｃｙ(ｉｙ，ｊｙ)を用いてそれぞれ補正される。したがって、Ｘ軸スケーラ１７及びＹ軸スケーラ１８によってそれぞれ検出されるＸ軸方向位置Ｓｘ及びＹ軸方向位置Ｓｙが、記憶装置６６に記憶されている高精度のフラットパネルディスプレイ２０を用いて計算された総合位置ずれ量Ｃｘ(ｉ，ｊ)，Ｃｙ(ｉ，ｊ)に応じてそれぞれ補正される。その結果、Ｘ軸スケーラ１７及びＹ軸スケーラ１８によってそれぞれ検出されるＸ軸方向位置Ｓｘ及びＹ軸方向位置Ｓｙが、簡単かつ精度よく補正される。
【００７７】
なお、上記移動位置補正装置及び移動位置補正方法においては、ステップＳ６５の判定処理より実際のＸＹステージ１２のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置が、指定されたＸＹステージ１２の移動位置Ｘ１，Ｙ１に対して予め決められた許容範囲内にあるか否かを判定した。そして、実際のＸＹステージ１２のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置が、指定されたＸＹステージ１２の移動位置Ｘ１，Ｙ１の許容範囲内になければ、ステップＳ６６の処理により、ＸＹステージ１２を補正移動して、実際のＸＹステージ１２のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置が、指定されたＸＹステージ１２の移動位置Ｘ１，Ｙ１に来るようにした。
【００７８】
しかし、回路基板５１のある位置を単に特定すればよい場合（すなわち、回路基板５１を単に特定の位置に移動させればよい場合）、例えば回路基板５１の特定の２つの位置の距離を測定する場合には、前記図５のステップＳ６５，Ｓ６６の処理を省略してもよい。この場合、ステップＳ５２にて、回路基板５１の特定の位置を検出するためのＸＹステージ１２のＸ軸方向及びＹ軸方向の移動位置Ｘ１，Ｙ１をそれぞれ決定する。この移動位置Ｘ１，Ｙ１の決定においては、例えば、表示器６５の表示画面６５ａ上に回路基板５１の前記特定位置近傍を表示して、作業者が前記特定位置を指定するようにすればよい。そして、ＣＰＵ６１は、ステップＳ５３のＸＹステージ移動ルーチンの実行において、図６のステップＳ６１〜Ｓ６４の処理を実行して、Ｘ軸スケーラ１７及びＹ軸スケーラ１８によりそれぞれ検出されたＸ軸方向位置Ｓｘ及びＹ軸方向位置Ｓｙを総合位置ずれ量Ｃｘ(ｉ，ｊ)，Ｃｙ(ｉ，ｊ)で補正して、補正Ｘ軸方向位置Ｓｘ’及び補正Ｙ軸方向位置Ｓｙ’を求めて、ステップＳ６７にてＸＹステージ移動ルーチンの実行を終了する。そして、２つの特定位置に関する補正Ｘ軸方向位置Ｓｘ’及び補正Ｙ軸方向位置Ｓｙ’を求めた後、ステップＳ５４にて、各２つずつの補正Ｘ軸方向位置Ｓｘ’及び補正Ｙ軸方向位置Ｓｙ’の差を計算すれば、２つの特定位置間の距離を高精度で測定できる。
【００７９】
また、上記移動位置補正装置及び移動位置補正方法においては、ＸＹステージ装置１０を、回路基板５１の検査、回路基板５１の配線パターンの形成、回路基板５１の加工（例えば、孔あけ）などの処理に用いた。しかし、上記移動位置補正装置及び移動位置補正方法を、回路基板５１とは異なる他の対象物をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させながら、前記対象物の検査、加工などの処理に利用するようにしてもよい。この場合も、対象物となる物体をＸＹステージ１２の上面に載置して、利用装置５０及びコンピュータ装置６０によって、対象物を検査したり、加工したりするようにすればよい。
【符号の説明】
【００８０】
１０…ステージ装置、１１…本体部、１２…ＸＹステージ、１３…Ｘ軸モータ、１４…Ｙ軸モータ、１５，１６…駆動回路、１７…Ｘ軸スケーラ、１８…Ｙ軸スケーラ、２０…フラットパネルディスプレイ、３０…カメラ、４０，６０…コンピュータ装置、４４，６４…操作部、４５，６５…表示器、４５ｂ…表示画面、４６，６６…記憶装置、５０…利用装置、５１…回路基板
【図１】
2017174156.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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