(57)【要約】  【課題】スプレーパターンを簡単に切替え可能であり、より汎用的な流体ノズルを提供する。  【解決手段】流体ノズル１は、ノズル本体２と、ノズル本体２の混合室２２の開口部を覆うようにノズル本体２の先端面に配置されたプレート３と、ノズル本体２の先端面にプレート３を保持した状態でノズル本体２の先端部２５に着脱可能に固定されたキャップ４と、を備えている。プレート３には、スプレーパターンＳに応じた形状の噴出口３０が形成されている。キャップ４の底面には、噴射方向Ｘに向けてプレート３の噴出口３０を露出させる開口部４１が形成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガスと液体との混合流体を噴出口から噴出する流体ノズルであって、
前記ガスが供給されるガス供給口、前記液体が供給される液体供給口、前記混合流体の噴出方向に向けられる第一の開口部を有する混合室、前記ガス供給口と前記混合室とをつなぐ液体流路、および、前記液体供給口と前記混合室とをつなぐガス流路、が形成され、前記混合室において合流する前記ガスと前記液体とを混合し、前記混合流体として前記第一の開口部に導くノズル本体と、
スプレーパターンに応じた形状の前記噴出口が形成され、前記噴出口が前記混合室の第一の開口部に面した姿勢で前記混合室の第一の開口部に配置されるプレートと、
前記混合流体の噴出方向に向けられる第二の開口部を有し、前記混合室の第一の開口部にかぶせられて前記ノズル本体に着脱可能に固定されるとともに、前記第二の開口部から前記噴出口を露出させた状態で前記プレートを前記混合室の第一の開口部に保持するキャップと、を備える
ことを特徴とする流体ノズル。
【請求項２】
請求項１に記載の二流体ノズルであって、
前記ガス流路は、前記液体流路に対して９０度より小さい角度で傾斜して前記混合室につながる
ことを特徴とする流体ノズル。
【請求項３】
請求項１または２に記載の流体ノズルであって、
前記噴出口から前記混合流体の噴出方向に向かって開口し、前記噴射口から噴出する前記混合流体の通過領域の回りを囲むカバーを備える
ことを特徴とする流体ノズル。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の流体ノズルであって、
前記プレートは、前記キャップと一体的に形成され、
前記キャップの前記第二の開口部が、前記プレートの前記噴出口として機能する
ことを特徴とする流体ノズル。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか一項に記載の流体ノズルと、
前記ノズル本体のガス供給口に前記ガスを供給するガス供給系と、
前記ノズル本体の液体供給口に前記液体を供給する液体供給系と、を備える
ことを特徴とする噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体、液晶の製造プロセス等において、液体とガスとの混合流体を処理対象に向けて混合噴霧する噴射技術に係り、特に、噴霧パターンを簡単に切り替え可能な流体ノズルに関する。
【背景技術】
【０００２】
処理対象に向けて噴出する流体を切替え可能な流体ノズルとして、例えば、特許文献１に記載の二流体ノズルが知られている。この二流体ノズルには、液体供給源からの液体供給路が連結される液体供給口と、ガス供給源からのガス供給路が連結されるガス供給口と、処理対象に向けられる噴射口が形成された混合室と、ガス供給口と混合室とをつなぐ通気路と、液体供給口と混合室とをつなぐ通水路と、が形成されている。ここで、混合室には、第一の絞りを介して通気路がつなげられ、第一の絞りの向きに対してほぼ直角に向けられた第二の絞りを介して通水路がつなげられている。
【０００３】
液体供給路およびガス供給路の双方の電磁弁を開いた場合、通水路を介して供給される液体と、通気路を介して供給されるガスとが混合室内で混合し、気液混合ミストとして噴射口から噴射される。ガス供給路の電磁弁を開いたまま液体供給路の電磁弁のみを閉じると、液体供給源から混合室への液体供給のみが停止され、ガス供給源から供給されるガスが噴射口から噴射される。このとき液体供給路に液体が残存していても、第二の絞りの抵抗によって混合室への液体吸引が阻止され、ガスの流れに液体が巻き込まれることがない。このため、液体とガスとの混合流体の噴出の他、ガスのみの噴出も可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−１０７４４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記従来の二流体ノズルを含む通常の流体ノズルからは単一のスプレーパターンで混合流体が噴霧されるようになっているため、個々の流体ノズルの用途は、スプレーパターンに応じた特定の範囲に特化されている。このため、例えば、半導体、液晶等の製造プロセスで用いられる噴射装置には、目的の用途に応じたスプレーパターンを有する最適な流体ノズルが選定されており、スプレーパターンを切り替える必要が生じたときには、煩雑な配管作業を伴う流体ノズル全体の交換を行わなければならない。
【０００６】
また、混合室内でガスと液体とが互いに直交する方向から合流するため、噴射口から混合流体が脈流として噴出する可能性がある。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的の一つは、スプレーパターンを簡単に切替え可能な、より汎用的な流体ノズルを提供することにある。さらに、他の目的の一つは、このような流体ノズルから混合流体をより安定に噴出させることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明においては、スプレーパターンに応じた形状の噴出口が形成されたプレートをキャップによりノズル本体の混合室の開口部に着脱可能に装着する。ここで、ノズル本体の混合室におけるガスおよび液体の合流角度を９０度よりも小さくしてもよい。
【０００９】
例えば、本発明に係る流体ノズルは、
ガスと液体との混合流体を噴出口から噴出する流体ノズルであって、
前記ガスが供給されるガス供給口、前記液体が供給される液体供給口、前記混合流体の噴出方向に向けられる第一の開口部を有する混合室、前記ガス供給口と前記混合室とをつなぐ液体流路、および、前記液体供給口と前記混合室とをつなぐガス流路、が形成され、前記混合室において合流する前記ガスと前記液体とを混合し、前記混合流体として前記第一の開口部に導くノズル本体と、
スプレーパターンに応じた形状の前記噴出口が形成され、前記噴出口が前記混合室の第一の開口部に面した姿勢で前記混合室の第一の開口部に配置されるプレートと、
前記混合流体の噴出方向に向けられる第二の開口部を有し、前記混合室の第一の開口部にかぶせられて前記ノズル本体に着脱可能に固定されるとともに、前記第二の開口部から前記噴出口を露出させた状態で前記プレートを前記混合室の第一の開口部に保持するキャップと、を備える。
【００１０】
ここで、前記ガス流路は、前記液体流路に対して９０度よりも小さい角度傾斜して前記混合室につなげられていてもよい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、スプレーパターンに応じた形状の噴出口が形成されたプレートを、ノズル本体の混合室の開口にかぶせられたキャップの着脱操作によって交換することができるため、流体ノズルのスプレーパターンを、様々な用途に対応して簡単に切り替えることができる。また、混合室における液体およびガスの合流角度を小さくすることにより、より安定に噴出口から混合流体を噴出させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、本発明の一実施の形態に係る二流体ノズル１の、噴射方向Ｘの概略断面を示した図である。
【図２】図２（Ａ）および図２（Ｂ）は、ノズル本体２の平面図および正面図であり、図２（Ｃ）は、図２（Ａ）のＡ−Ａ断面図（噴射方向Ｘの断面図）である。
【図３】図３（Ａ）および図３（Ｂ）は、キャップ４の正面図および背面図であり、図３（Ｃ）は、図３（Ａ）のＢ−Ｂ断面図（噴射方向Ｘの断面図）である。
【図４】図４（Ａ）は、プレート３の平面図、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）のＣ−Ｃ断面図（噴射方向Ｘの断面図）である。
【図５】図５（Ａ）、図５（Ｂ）および図５（Ｃ）は、ノズルカバー５の平面図、正面図および下面図であり、図５（Ｄ）は、そのＤ−Ｄ断面図（噴射方向Ｘの断面図）である。
【図６】図６（Ａ）および図６（Ｂ）は、他の形状例に係るキャップ４Ａの正面図およびＥ−Ｅ断面図（噴射方向Ｘの断面図）であり、図６（Ｃ）および図６（Ｄ）は、このキャップ４Ａに収容されるプレート３Ａの正面図およびＦ−Ｆ断面図（噴射方向Ｘの断面図）である。
【図７】図７は、他の形状例に係るノズルカバー５Ａおよびこのノズルカバー５Ａが装着されるキャップ４Ｂを説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、添付図面により、本発明の一実施の形態について説明する。
【００１４】
本実施の形態に係る噴射装置は、例えば、半導体、液晶等の製造プロセスにおいて、処理内容に応じた混合流体を処理対象に向けて噴射するために用いられる装置であり、異なる加圧流体を供給する複数の流体供給系、および、複数の流体供給系からの加圧流体を混合して処理対象に向けて所定のスプレーパターンで噴射する噴射ノズル等、を備えている。ここでは、内部混合型の二流体ノズル１を噴射ノズルの一例として挙げる。
【００１５】
図１は、本実施の形態に係る二流体ノズル１の、噴射方向Ｘの概略断面を示した図である。
【００１６】
図示するように、二流体ノズル１は、噴射装置のノズル取付部に取り付けられるノズルユニットであり、噴射装置の２つの流体供給系（ガス供給系、液体供給系）から供給される２種類の加圧流体（窒素ガス等の気体、および、フッ酸、硫酸溶剤等の液体）を混合するノズル本体２と、ノズル本体２の先端部からガスおよび液体の混合流体を所定のスプレーパターンＳで噴霧させるためのプレート３と、ノズル本体２の先端部にプレート３を保持するキャップ４と、予定された噴射領域外への混合流体の飛散を防止するためのノズルカバー５と、を備えている。これら各パーツ２〜５の詳細は以下の通りである。
【００１７】
図２（Ａ）および図２（Ｂ）は、ノズル本体２の平面図および正面図であり、図２（Ｃ）は、図２（Ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【００１８】
図示するように、ノズル本体２は、例えば、噴射装置のノズル取付部に対応する形状を有するブロック体であり、テフロン（登録商標）等の樹脂材料からの削り出しにより作製される。
【００１９】
ノズル本体２の後端面２７には、ガス供給系の配管からガスが供給されるガス供給口２０と、液体供給系の配管から液体が供給される液体供給口２１と、が形成されている。ガス供給口２０の内周にはネジ部２０１が形成されており、ガス供給系の配管は、このネジ部２０１にねじ込まれた継手を介してガス供給口２０に連結される。一方、液体供給口２１の内周にはテーパーネジ部２１０が形成されており、液体供給系の配管は、このテーパーネジ部２１０にシール材を介してねじ込まれた継手を介して液体供給口２１に連結される。
【００２０】
また、ノズル本体２の内部には、ノズル本体２の先端部２５の端面２５１において開口する混合室２２、ガス供給口２０と混合室２２とをつなぐガス流路２３、および、液体供給口２１と混合室２２とをつなぐ液体流路２４、が形成されている。ここで、液体流路２４は、混合室２２の開口部に向けてまっすぐに混合室２２につなげられ、ガス流路２３は、液体流路２４に対して９０度未満の角度で傾いた方向に向かって混合室２２につなげられている。これにより、ガス流路２３からのガスおよび液体流路２４からの液体は、互いの流入方向に対して９０度未満の角度で傾いた方向から混合室２２に導入されて合流し、混合流体として混合室２２の開口部へ向かって噴出する。
【００２１】
ノズル本体２の先端部２５は、中空円筒形状を有しており、その外周には、ノズル本体２の先端部２５にキャップ４を着脱可能に取り付けるためのネジ部２５２が形成されている。
【００２２】
なお、ノズル本体２の例えば両側面２８には、噴射装置のノズル取付部にノズル本体２を固定するためのネジが締結されるネジ孔２６が形成されている。
【００２３】
図３（Ａ）および図３（Ｂ）は、キャップ４の正面図および背面図であり、図３（Ｃ）は、図３（Ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【００２４】
図示するように、キャップ４は、底付き中空円筒形状を有しており、その内周にはネジ部４０が形成されている。このネジ部４０とノズル本体２の先端部２５の外周に形成されたネジ部２５２とを締結させることにより、キャップ４は、その底面４２を混合室２２の開口部にかぶせた状態でノズル本体２の先端部２５に着脱可能に固定される。
【００２５】
キャップ４の底面４２には、噴出方向Ｘに向けられる、後述するプレート３の噴出口３０よりも大きな開口部４１が所定の位置に形成されている。
【００２６】
また、キャップ４は、プレート３をスムーズに挿入可能な内径Ｒ３を有しており、キャップ４の底面４２の開口部４１に対して後述するプレート３の噴出口３０を位置合わせしながらキャップ４の内部にプレート３を挿入すると、プレート３は、キャップ４の内周により案内され、キャップ４の底面４２の開口部４１と噴出口３０とが重なり合った状態でキャップ４の底面４２上に配置される。この状態を維持したままキャップ４をノズル本体２の先端部２５にかぶせて、キャップ４内周のネジ部４０とノズル本体２の先端部２５外周のネジ部２５２とを締結させると、プレート３が、混合室２２の開口部を覆う位置でノズル本体２の先端部２５の端面２５１とキャップ４の底面４２とにより挟み込まれる。これにより、プレート３は、混合室２２の開口部に噴出口３０が面した姿勢でノズル本体２の先端部２５の端面２５１内に配置されるとともに、キャップ４に対するプレート３の回転が阻止される。このようにしてノズル本体２の先端部２５にプレート３およびキャップ４を取り付けることにより、プレート３は、混合室２２の開口部につながる噴出口３０をキャップ４の底面４２の開口部４１から噴出方向Ｘ側に露出させた状態でノズル本体２の先端部２５に保持される。
【００２７】
図４（Ａ）は、プレート３の平面図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【００２８】
図示するように、プレート３は、ノズル本体２の先端部２５の端面２５１における混合室２２の開口部の内径Ｒ１（図２（Ｃ）参照）よりも大きく、かつ、ノズル本体２の先端部２５に装着されるキャップ４の内径Ｒ３（図３（Ｃ）参照）よりも小さな外径Ｒ２を有する円板形状を有している。このプレート３は、混合室２２の開口部を覆うようにノズル本体２の先端部２５の端面２５１に重ね合わせられ、この位置においてキャップ４により保持される（図１参照）。このプレート３には、混合室２２の開口部に面する領域内に、スプレーパターンＳに応じた形状（例えばスリット状）の噴出口３０が形成されている。このため、噴出方向Ｘにおいて混合室２２の開口部にプレート３の噴出口３０が重なり、混合室２２の開口部に向かった混合流体は、プレート３の噴出口３０を通過して所期のスプレーパターンで処理対象に向かって噴出する。
【００２９】
図５（Ａ）、図５（Ｂ）および図５（Ｃ）は、ノズルカバー５の平面図、正面図および下面図であり、図５（Ｄ）は、そのＤ−Ｄ断面図である。
【００３０】
図示するように、ノズルカバー５は、ノズル本体２の先端部２５に固定されたキャップ４の外周に着脱可能に装着される中空円筒状の取付部５０と、取付部５０から噴射方向Ｘに向けてドーム状に広がるスカート部５１と、を同軸に有している。
【００３１】
取付部５０の内側は、取付部５０の縁部５２側よりもスカート部５１側が小径とされた段付き孔となっている。縁部５２側に位置する大径部５４の内径Ｒ５は、キャップ４の外径Ｒ４（図３（Ｂ）参照）よりもわずかに小さい寸法、あるいは、キャップ４の外径Ｒ４とほぼ同じ寸法とされている。大径部５４と小径部５５との境界に位置する段差面５３に当接するまでキャップ４を取付部５０の内側に軸Ｏ方向に圧入することにより、取付部５０がキャップ４の外周に取り外し可能に固定される。この状態において、スカート部５１は、キャップ底面４２の開口部４１から噴出方向Ｘに向かって開口する姿勢で配置される。これにより、キャップ底面４２の開口部４１内の噴出口３０から噴出方向Ｘに向けて噴出する混合流体の通過領域がスカート部５１により軸Ｏ周りに囲まれるため、予定された対象領域外への混合流体の飛散が防止される。
【００３２】
なお、キャップ４の外周にネジ部を形成するとともに、ノズルカバー５の取付部５０の内周に、キャップ４の外周に形成されたネジ部と螺合するネジ部を形成することにより、ノズルカバー５をキャップ４に取り付けるようにしてもよい。
【００３３】
このような二流体ノズル１によれば、スプレーパターンに応じた形状の噴出口３０が形成されたプレート３が、ノズル本体２の先端部２５に着脱可能に固定されたキャップ４によってノズル本体２の先端部２５の端面２５１に保持されるため、噴射装置のノズル取付部からノズル本体２を取り外すことなく（つまり、煩雑な配管作業を伴うことなく）、ノズル本体２の先端部２５からキャップ４を着脱する簡単な操作でプレート３のみを交換することができる。このため、様々な用途に対応してスプレーパターンを簡単に切り替えることができるため、より汎用的な二流体ノズルを実現することができる。
【００３４】
また、液体流路２４およびガス流路２３が、互いに対して９０度未満の角度傾いた方向から混合室２２につながっているため、混合室２２におけるガスおよび液体の合流角度を９０度よりも小さくすることができる。これにより、合流後の脈動の発生が抑制され、混合流体を、より安定にプレート３の噴出口３０から噴出させることができる。
【００３５】
また、プレート３の噴出口３０から噴出方向Ｘに向けて噴出する混合流体の通過領域がノズルカバー５のスカート部５１によって囲まれているため、予定された噴射領域外への混合流体の飛散を防止することができる。このため、例えば、処理対象と比較してスプレー幅が広すぎる場合であっても、余分な混合流体の飛散を許容するスペースを確保しておく必要がなく、作業スペースを節約することができる。
【００３６】
なお、本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で数々の変形は可能である。
【００３７】
例えば、上記の実施の形態においては、一種類の液体と一種類のガスとを混合噴霧する二流体ノズル１への適用例に挙げたが、本発明は、三種類以上の流体を混合噴霧する流体ノズルに適用してもよい。
【００３８】
また、上記の実施の形態においては、ノズル本体２の先端部２５の端面２５１とキャップ４の底面４２との間でプレート３を挟み込んで、キャップ４に対するプレート３の回転を阻止しているが、以下に示すように、ノズル本体２の先端部２５に装着されるキャップ４Ａおよびこのキャップ４Ａに収容されるプレート３Ａに、互いに係合する部位を設けることによって、キャップ４Ａに対するプレート３Ａの回転を阻止してもよい。
【００３９】
図６（Ａ）および図６（Ｂ）は、キャップ４Ａの正面図およびＥ−Ｅ断面図であり、図６（Ｃ）および図６（Ｄ）は、このキャップ４Ａに収容されるプレート３Ａの正面図およびＦ−Ｆ断面図である。
【００４０】
図示するように、プレート３Ａは、上述のプレート３と同様、噴出口３０付き円板形状を有しているが、上述のプレート３とは異なり、その外周に、径方向に突き出した１つ以上の突部３１が形成されている。図６（Ｃ）および図６（Ｄ）には、対向する２か所の位置に突部３１が形成されている場合を例示している。
【００４１】
一方、キャップ４Ａは、上述のキャップ４と同様、収容したプレート３の噴出口３０を処理対象側に露出させるための開口部４１が形成された底面４２付きの中空円筒形状を有しているが、上述のキャップ４とは異なり、その内側は、キャップ開口端４３側よりも底面４２側が小径とされた段付き孔となっている。
【００４２】
キャップ開口端４３側に位置する大径部４５の内周には、ノズル本体２の先端部２５外周のネジ部２５２に締結されるネジ部４０が形成されている。また、底面４２側に位置する小径部４６は、プレート３Ａをスムーズに挿入可能な内径を有しており、その内周には、プレート３Ａ外周の突部３１をキャップ底面４２に向かって案内するガイド溝４４が軸Ｏ方向に形成されている。ガイド溝４４および開口部４１は、プレート３Ａにおける突部３１および噴出口３０に対応する位置関係を有しており、図６（Ｃ）および図６（Ｄ）には、図６（Ａ）および図６（Ｂ）に示したプレート３Ａにおける突部３１および噴出口３０に対応する位置関係でガイド溝４４および開口部４１が形成されている場合を例示している。
【００４３】
このようなプレート３Ａおよびキャップ４Ａを用いた場合、キャップ４Ａの小径部４６のガイド溝４４に対してプレート３Ａ外周の突部３１を位置合わせしながらキャップ４Ａの内部にプレート３Ａを挿入すると、プレート３Ａ外周の突部３１がキャップ４Ａの小径部４６のガイド溝４４によって案内され、プレート３Ａは、キャップ４Ａの底面４２の開口部４１に噴出口３０が位置合わせされた状態でキャップ４の底面４２上に配置される。キャップ４Ａをノズル本体２の先端部２５にかぶせて、キャップ４の大径部４５内周のネジ部４０とノズル本体２の先端部２５外周のネジ部２５２とを締結させると、プレート３Ａを、プレート３Ａ外周の突部３１とキャップ４Ａの小径部４６のガイド溝４４との係合によって回転が阻止された状態でノズル本体２の先端部２５に保持させることができる。
【００４４】
また、上記の実施の形態においては、ノズルキャップ５の取付部５０の大径部５４の内径Ｒ５をキャップ４の外径Ｒ４よりもわずかに小さい寸法あるいはキャップ４の外径Ｒ４とほぼ同じ寸法とすることにより、ノズルキャップ５とキャップ４との摩擦でノズルキャップ５の取付部５０をキャップ４の外周に取り外し可能に固定しているが、使用中にノズルキャップ５がキャップ４から脱落しないようにノズルキャップ５をキャップ４に装着できれば、必ずしも、このような構成を採用する必要はない。例えば、図７（Ａ）に示すように、取付部５０の大径部５４の内周面に凹部（例えば、軸Ｏ周りに環状溝）５６が形成されたノズルキャップ５Ａと、この凹部５６に嵌り合う凸部（例えば、軸Ｏ周りに環状の凸部、軸Ｏ周りの複数箇所に形成された凸部）４７が外周面に形成されたキャップ４Ｂと、を用いてもよい。ノズルキャップ５Ａの取付部５０内にキャップ４Ｂを軸Ｏ方向に挿入すると、ノズルキャップ５Ａがわずかに弾性変形してから復元し、図７（Ｂ）に示すように、ノズルキャップ５Ａ内周の凹部５６にキャップ４Ｂ外周の凸部４７が嵌め込まれる。ノズルキャップ５Ａ内周の凹部５６とキャップ４Ｂ外周の凸部４７との係合により、キャップ４Ｂに対するノズルキャップ５Ａの軸Ｏ方向の移動が阻止されるため、ノズルキャップ５Ａの取付部５０をキャップ４Ｂの外周に固定することができる。
【００４５】
なお、図７（Ａ）、（Ｂ）には、ノズルキャップ５Ａの内周面に凹部５６を形成し、この凹部５６に嵌り合う凸部４７をキャップ４Ｂの外周面に形成しているが、ノズルキャップ５Ａおよびキャップ４Ｂが、ノズルキャップ５Ａの取付部５０内へのキャップ４Ｂの挿入により互いに係合する部位を有していればよく、これらの係合部位の形状は、図７（Ａ）、（Ｂ）に示したものに限られない。例えば、ノズルキャップ５Ａの内周面に凸部が形成され、この凸部が嵌り込む凹部がキャップ４Ｂの外周面に形成されていてもよいし、キャップ開口端４３に係合するスナップフィット部がノズルキャップに形成されていてもよい。
【００４６】
また、上記の実施の形態において、プレート３、３Ａをキャップ４、４Ａと一体的に形成し、キャップ４、４Ａの底面４２の開口部４１を、スプレーパターンＳに応じた形状（例えばスリット状）に形成することにより、プレート３、３Ａの噴出口３０として機能させてもよい。このようにすることで、二流体ノズル１の部品点数を削減することができる。
【符号の説明】
【００４７】
１：二流体ノズル、  ２：ノズル本体、  ３、３Ａ：プレート、  ４、４Ａ、４Ｂ：キャップ、  ５、５Ａ：ノズルカバー、  ２０：ガス供給口、  ２１：液体供給口、  ２２：混合室、  ２３：ガス流路、  ２４：液体流路、  ２５：ノズル本体の先端部、  ２６：ネジ孔、  ２７：ノズル本体の後端面、  ２８：ノズル本体の側面、  ３０：噴出口、  ３１：突部、  ４０：ネジ部、  ４１：キャップの開口部、  ４２：キャップ底面、  ４３：キャップ開口端、  ４４：ガイド溝、  ４５：大径部、  ４６：小径部、  ４７：凸部、  ５０：ノズルカバーの取付部、  ５１：ノズルカバーのスカート部、  ５２：取付部の縁部、  ５３：取付部内側の段差面、  ５４：大径部、  ５５：小径部、  ５６：凹部、  ２０１：ネジ部、  ２１０：テーパーネジ部、  ２５１：ノズル本体の先端部の端面、  ２５２：ネジ部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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