(57)【要約】【課題】簡単な構成で複数の接着シートを繰り出す。【解決手段】シート供給装置は、帯状の第１剥離シートの一方の面に第１接着シートが仮着された第１原反を繰り出し、第１剥離手段で第１接着シートを第１剥離シートから剥離して供給する第１供給手段と、帯状の第２剥離シートの一方の面に第２接着シートが仮着された第２原反を繰り出し、第２剥離手段で第２接着シートを第２剥離シートから剥離して供給する第２供給手段とを備え、第１供給手段は、駆動手段で回転駆動される駆動ローラと第１ピンチローラとで第１接着シートが剥離された第１剥離シートを挟み込んで第１原反を繰出可能に設けられ、第２供給手段は、駆動ローラと第２ピンチローラとで第２接着シートが剥離された第２剥離シートを挟み込んで第２原反を繰出可能に設けられていることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の第１剥離シートの一方の面に第１接着シートが仮着された第１原反を繰り出し、第１剥離手段で前記第１接着シートを前記第１剥離シートから剥離して供給する第１供給手段と、
帯状の第２剥離シートの一方の面に第２接着シートが仮着された第２原反を繰り出し、第２剥離手段で前記第２接着シートを前記第２剥離シートから剥離して供給する第２供給手段とを備え、
前記第１供給手段は、駆動手段で回転駆動される駆動ローラと第１ピンチローラとで前記第１接着シートが剥離された第１剥離シートを挟み込んで前記第１原反を繰出可能に設けられ、前記第２供給手段は、前記駆動ローラと第２ピンチローラとで前記第２接着シートが剥離された第２剥離シートを挟み込んで前記第２原反を繰出可能に設けられていることを特徴とするシート供給装置。
【請求項２】
帯状の第１剥離シートの一方の面に第１接着シートが仮着された第１原反を繰り出し、第１剥離手段で前記第１接着シートを前記第１剥離シートから剥離して供給する第１供給工程と、
帯状の第２剥離シートの一方の面に第２接着シートが仮着された第２原反を繰り出し、第２剥離手段で前記第２接着シートを前記第２剥離シートから剥離して供給する第２供給工程とを含み、
前記第１供給工程において、駆動手段で回転駆動される駆動ローラと第１ピンチローラとで前記第１接着シートが剥離された第１剥離シートを挟み込んで前記第１原反を繰り出すとともに、前記第２供給工程において、前記駆動ローラと第２ピンチローラとで前記第２接着シートが剥離された第２剥離シートを挟み込んで前記第２原反を繰り出すことを特徴とするシート供給方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート供給装置およびシート供給方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、複数の供給手段で複数の接着シートを同時に供給する装置が知られている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１８１９９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の装置では、第１のラベルＬ１（第１接着シート）を供給する第１の印字装置１２（第１供給手段）の駆動機器と、第２のラベルＬ２（第２接着シート）を供給する第２の印字装置１８（第２供給手段）の駆動機器とが別々なので、構成が複雑になる上、第１のラベルＬ１の繰出速度に第２のラベルＬ２の繰出速度を合わせる初期調整も必要となるという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、簡単な構成で複数の接着シートを同時に繰り出すことができるシート供給装置およびシート供給方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決するために、本発明は、帯状の第１剥離シートの一方の面に第１接着シートが仮着された第１原反を繰り出し、第１剥離手段で前記第１接着シートを前記第１剥離シートから剥離して供給する第１供給手段と、帯状の第２剥離シートの一方の面に第２接着シートが仮着された第２原反を繰り出し、第２剥離手段で前記第２接着シートを前記第２剥離シートから剥離して供給する第２供給手段とを備え、前記第１供給手段は、駆動手段で回転駆動される駆動ローラと第１ピンチローラとで前記第１接着シートが剥離された第１剥離シートを挟み込んで前記第１原反を繰出可能に設けられ、前記第２供給手段は、前記駆動ローラと第２ピンチローラとで前記第２接着シートが剥離された第２剥離シートを挟み込んで前記第２原反を繰出可能に設けられていることを特徴とするシート供給装置である。
【０００７】
本発明の他の態様は、帯状の第１剥離シートの一方の面に第１接着シートが仮着された第１原反を繰り出し、第１剥離手段で前記第１接着シートを前記第１剥離シートから剥離して供給する第１供給工程と、帯状の第２剥離シートの一方の面に第２接着シートが仮着された第２原反を繰り出し、第２剥離手段で前記第２接着シートを前記第２剥離シートから剥離して供給する第２供給工程とを含み、前記第１供給工程において、駆動手段で回転駆動される駆動ローラと第１ピンチローラとで前記第１接着シートが剥離された第１剥離シートを挟み込んで前記第１原反を繰り出すとともに、前記第２供給工程において、前記駆動ローラと第２ピンチローラとで前記第２接着シートが剥離された第２剥離シートを挟み込んで前記第２原反を繰り出すことを特徴とするシート供給方法である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、第２供給手段の駆動源を第１供給手段の駆動源と共有する構成としたので、簡単な構成で第１接着シートの繰り出しに合わせて第２接着シートの繰り出しを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】シート貼付装置の側面図。
【図２】変形例の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態に係るシート供給装置を採用したシート貼付装置１０を図面に基づいて説明する。
なお、実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、当該所定平面に直交する軸とする。さらに、実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が紙面に直交する手前方向であってＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
【００１１】
図１において、シート貼付装置１０は、帯状の第１剥離シートＲＬ１の一方の面に第１接着シートＡＳ１が仮着された第１原反ＲＳ１を繰り出し、第１剥離手段としての第１剥離板２３で第１接着シートＡＳ１を第１剥離シートＲＬ１から剥離して供給する第１供給手段２０と、帯状の第２剥離シートＲＬ２の一方の面に第２接着シートＡＳ２が仮着された第２原反ＲＳ２を繰り出し、第２剥離手段としての第２剥離板３３で第２接着シートＡＳ２を第２剥離シートＲＬ２から剥離して供給する第２供給手段３０と、第１供給手段２０で供給される第１接着シートＡＳ１および、第２供給手段３０で供給される第２接着シートＡＳ２を被着体ＷＫとしてのリングフレームＲＦおよび半導体ウエハ（以下単に「ウエハ」という場合がある）ＷＦに同時に押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ４０と、被着体ＷＫを支持して搬送する移動手段５０とを備えている。
なお、本実施形態における第１供給手段２０と第２供給手段３０とで本願発明のシート供給装置が構成される。
【００１２】
第１供給手段２０は、第１原反ＲＳ１を支持する支持ローラ２１と、第１原反ＲＳ１を案内する複数のガイドローラ２２と、第１剥離板２３と、駆動手段であって駆動機器としての回動モータ２４Ａで回転駆動される駆動ローラ２４と、第１ピンチローラ２５と、第１接着シートＡＳ１が剥離された第１剥離シートＲＬ１を回収する回収ローラ２６と、駆動ローラ２４と共に回転する駆動プーリ２４Ｂと、回収ローラ２６と共に回転する従動プーリ２６Ａと、駆動プーリ２４Ｂと従動プーリ２６Ａとに巻回された滑りベルト２７とを備え、回動モータ２４Ａで回転駆動される駆動ローラ２４と第１ピンチローラ２５とで第１接着シートＡＳ１が剥離された第１剥離シートＲＬ１を挟み込んで第１原反ＲＳ１を繰出可能に設けられている。
【００１３】
第２供給手段３０は、第２原反ＲＳ２を支持する支持ローラ３１と、第２原反ＲＳ２を案内するガイドローラ３２と、第２剥離板３３と、駆動機器としての直動モータ３４Ａの出力軸３４Ｂに支持されたブラケット３４Ｃに回転可能に支持された第２ピンチローラ３４Ｄと、第２接着シートＡＳ２が剥離された第２剥離シートＲＬ２を回収する回収ローラ３５と、第２ピンチローラ３４Ｄと共に回転する第１プーリ３４Ｅと、回収ローラ３５と共に回転する第２プーリ３５Ａと、第１プーリ３４Ｅと第２プーリ３５Ａとに巻回された滑りベルト３６とを備え、駆動ローラ２４と第２ピンチローラ３４Ｄとで第２接着シートＡＳ２が剥離された第２剥離シートＲＬ２を挟み込んで第２原反ＲＳ２を繰出可能に設けられている。
【００１４】
移動手段５０は、駆動機器としてのリニアモータ５１のスライダ５１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって被着体ＷＫを保持可能な支持面５２Ａを有する搬送テーブル５２を備えている。
【００１５】
次に、本実施形態におけるシート貼付装置１０の動作について説明する。
先ず、図１中実線で示すシート貼付装置１０に対し、作業者が第１原反ＲＳ１および第２原反ＲＳ２を同図のようにセットする。その後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、第２供給手段３０が直動モータ３４Ａを駆動し、第２ピンチローラ３４Ｄで第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２を駆動ローラ２４との間に挟み込む。次いで、第１供給手段２０が回動モータ２４Ａを駆動し、図１中実線で示すように、先頭の第２接着シートＡＳ２が第２剥離板３３で第２剥離シートＲＬ２から所定長さ剥離したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検出手段に検出されると、第１供給手段２０が回動モータ２４Ａの駆動を停止する。次いで、第２供給手段３０が直動モータ３４Ａを駆動し、第２ピンチローラ３４Ｄと駆動ローラ２４とによる第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２の挟み込みを解除する。その後、第１供給手段２０が回動モータ２４Ａを駆動し、第１原反ＲＳ１を繰り出し、図１中実線で示すように、先頭の第１接着シートＡＳ１が第１剥離板２３で第１剥離シートＲＬ１から所定長さ剥離したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検出手段に検出されると、回動モータ２４Ａの駆動を停止し、スタンバイ状態となる。なお、第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２は、滑りベルト２７、３６を介して回転する回収ローラ２６、３５にそれぞれ回収される。
【００１６】
次いで、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない移送手段が、図１中実線で示す位置よりも右方の所定の待機位置で待機している搬送テーブル５２の支持面５２Ａ上に被着体ＷＫを載置すると、移動手段５０が図示しない減圧手段を駆動し、それらを吸着保持した後、リニアモータ５１を駆動し、搬送テーブル５２を左方に移動させる。そして、被着体ＷＫにおけるリングフレームＲＦが第１接着シートＡＳ１の貼付開始位置に到達したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検出手段に検出されると、第１供給手段２０が回動モータ２４Ａを駆動し、搬送テーブル５２の搬送速度に合わせて第１原反ＲＳ１を繰り出す。これにより、先頭の第１接着シートＡＳ１は、第１剥離シートＲＬ１から剥離され、押圧ローラ４０によりリングフレームＲＦに押圧されて貼付される。
【００１７】
先頭の第１接着シートＡＳ１の貼付中、被着体ＷＫにおけるウエハＷＦが第２接着シートＡＳ２の貼付開始位置に到達したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検出手段に検出されると、第２供給手段３０が直動モータ３４Ａを駆動し、第２ピンチローラ３４Ｄで第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２を駆動ローラ２４との間に挟み込む。これにより、先頭の第２接着シートＡＳ２は、第２剥離シートＲＬ２から剥離され、第１接着シートＡＳ１と同時に押圧ローラ４０によりウエハＷＦに押圧されて貼付される。その後、次回貼付予定の第２接着シートＡＳ２が図示しない検出手段に検出されると、第２供給手段３０が直動モータ３４Ａを駆動し、第２ピンチローラ３４Ｄと駆動ローラ２４とによる第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２の挟み込みを解除する。そして、次回貼付予定の第１接着シートＡＳ１が図示しない検出手段に検出されると、第１供給手段２０が回動モータ２４Ａの駆動を停止し、再びスタンバイ状態となる。これにより、第１接着シートＡＳ１の外縁部がリングフレームＲＦに貼付され、第２接着シートＡＳ２が第１接着シートＡＳ１とウエハＷＦとの間に貼付され、一体物ＷＫ１が形成される。
【００１８】
一体物ＷＫ１が形成されると、移動手段５０がリニアモータ５１の駆動を停止し、搬送テーブル５２を所定の位置で停止させた後、図示しない減圧手段の駆動を停止するので、人手または図示しない移送手段が、一体物ＷＫ１を次工程に搬送する。そして、移動手段５０がリニアモータ５１を駆動し、搬送テーブル５２を所定の待機位置に復帰させた後、上記同様の動作が繰り返される。
【００１９】
以上のような本実施形態によれば、第２供給手段３０の駆動源を第１供給手段２０の駆動源と共有する構成としたので、簡単な構成で第１接着シートＡＳ１の繰り出しに合わせて第２接着シートＡＳ２の繰り出しを行うことができる。
【００２０】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、第１供給手段は、帯状の第１剥離シートの一方の面に第１接着シートが仮着された第１原反を繰り出し、第１剥離手段で第１接着シートを第１剥離シートから剥離して供給するものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせてその範囲内であればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
【００２１】
第１供給手段２０は、第１剥離シートＲＬ１の一方の面に帯状の第１接着シート基材が仮着された第１原反ＲＳ１を繰り出してもよい。この場合、第１供給手段２０は、第１剥離板２３に対して第１原反ＲＳ１の繰出方向上流側に、第１接着シート基材に閉ループ状の切り込みを形成し、当該切り込みの内側に第１接着シートＡＳ１を形成する第１切断手段を備えていてもよい。
第１剥離手段は、第１剥離板２３の代わりに回転可能な剥離用ローラを採用してもよい。
第１供給手段２０は、駆動プーリ２４Ｂ、従動プーリ２６Ａおよび滑りベルト２７の代わりに、駆動機器で回収ローラ２６を回転駆動させてもよい。
【００２２】
第２供給手段３０は、被着体ＷＫに当接する前に、第１供給手段２０で供給される第１接着シートＡＳ１に第２接着シートＡＳ２を当接させてもよいし、第１供給手段２０で供給される第１接着シートＡＳ１に当接する前に、被着体ＷＫに第２接着シートＡＳ２を当接させてもよいし、それらに同時に第２接着シートＡＳ２を当接させてもよい。
被着体ＷＫに当接する前に、第１供給手段２０で供給される第１接着シートＡＳ１に第２接着シートＡＳ２を当接する場合、第２供給手段３０は、第１接着シートＡＳ１と第２接着シートＡＳ２とを相互に押圧する貼付前押圧手段を備えていてもよい。このような貼付前押圧手段は、第２接着シートＡＳ２に対して第１接着シートＡＳ１に向かう方向に大気やガス等の気体を吹き付けるものでもよいし、ローラ等の押圧部材でもよいし、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段でもよく、第１接着シートＡＳ１の接着面に第２接着シートＡＳ２を当接させるものであれば何でもよい。また、貼付前押圧手段は、第１接着シートＡＳ１に対して第２接着シートＡＳ２に向かう方向に気体の吹き付けや押圧等を行ってもよいし、両方向から気体の吹き付けや押圧等を行ってもよく、第１接着シートＡＳ１と第２接着シートＡＳ２とを相互に押圧できるものであれば何でもよい。
貼付前押圧手段が大気やガス等の気体を吹き付けるものである場合、気体の吹き付けにより生じる付勢力により第１接着シートＡＳ１や第２接着シートＡＳ２が押圧ローラ４０の上方（押圧ローラ４０の右側上方）に捲り上がる虞れがあるため、第２供給手段３０が捲り上がり防止手段を備えていることが好ましい。このような捲り上がり防止手段は、図１中二点鎖線で示すような板状部材３６Ｂでもよいし、第１接着シートＡＳ１に対して第２接着シートＡＳ２に向かう方向に大気やガス等の気体を吹き付けて付勢するものでもよく、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２が捲り上がることを防止できるのであれば何でもよい。
第２供給手段３０は、図２に示すように、第１剥離シートＲＬ１を介することなく、駆動ローラ２４と第２ピンチローラ３４Ｄとで第２剥離シートＲＬ２を挟み込む構成としてもよく、この場合、適宜なガイドローラ３２等を設け、第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２それぞれが相互に干渉しないようにすればよい。
第２供給手段３０は、第２剥離シートＲＬ２の一方の面に帯状の第２接着シート基材が仮着された第２原反ＲＳ２を繰り出してもよい。この場合、第２供給手段３０は、第２剥離板３３に対して第２原反ＲＳ２の繰出方向上流側に、第２接着シート基材に閉ループ状の切り込みを形成し、当該切り込みの内側に第２接着シートＡＳ２を形成する第２切断手段を備えていてもよい。
第１、第２切断手段は、カッター刃、カッターローラ、レーザカッタ、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材を採用することができる。
第２供給手段３０は、第１供給手段２０と同じタイミングで第２原反ＲＳ２を繰り出したり、繰り出しを停止したりしてもよいし、第１供給手段２０と異なるタイミングで第２原反ＲＳ２を繰り出したり、繰り出しを停止したりしてもよい。
第２剥離手段は、第２剥離板３３の代わりに回転可能な剥離用ローラを採用してもよい。
滑りベルト２７、３６は、丸ベルト、平ベルト、タイミングベルト、スプロケット、チェイン、ワイヤ等でもよい。
第２供給手段３０は、第１プーリ３４Ｅ、第２プーリ３５Ａおよび滑りベルト３６の代わりに、駆動機器で回収ローラ３５を回転駆動させてもよい。
【００２３】
押圧手段は、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用してもよいし、大気やガス等のエアの噴き付けにより押圧する構成を採用してもよい。
押圧手段は、押圧部材を移動させずに被着体ＷＫを押圧部材に向けて移動させて押圧してもよいし、被着体ＷＫを移動させずに押圧部材を被着体ＷＫに向けて移動させて押圧してもよいし、押圧部材と被着体ＷＫとの両方を互いに移動させて押圧してもよい。
押圧手段は、第１接着シートＡＳ１と第２接着シートＡＳ２とを別々に被着体ＷＫに押圧して貼付してもよい。
【００２４】
移動手段５０は、被着体ＷＫを移動させずに、または、被着体ＷＫを移動させつつ、第１、第２供給手段２０、３０、押圧ローラ４０等の他の手段を適宜な方向に移動させて上記と同様の貼付動作を行ってもよい。
移動手段５０は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着等で被着体ＷＫを保持する構成でもよい。
被着体ＷＫを他の装置で搬送する場合、シート貼付装置１０において移動手段５０はあってもよいしなくてもよく、その他押圧手段等は、それぞれ必要に応じて採用すればよく、あってもよいしなくてもよい。
【００２５】
シート貼付装置１０は、図２中二点鎖線で示すように、例えば、帯状の第３剥離シートＲＬ３の一方の面に図示しない第３接着シートが仮着された第３原反を繰り出し、第１、第２剥離手段と同等の図示しない第３剥離手段で第３接着シートを第３剥離シートＲＬ３から剥離して供給する第３供給手段６０を備えてもよい。このような第３供給手段６０は、駆動機器としての直動モータ６４Ａの出力軸６４Ｂに支持されたブラケット６４Ｃに回転可能に支持され第３ピンチローラ６４Ｄと駆動ローラ２４とで第３接着シートが剥離された第３剥離シートＲＬ３を挟み込んで第３原反を繰り出す構成とすればよい。なお、シート貼付装置１０は、第２、第３供給手段３０、６０と同等な構成で４つ以上の供給手段を採用してもよい。
シート貼付装置１０は、天地反転して配置したり横置きにしたりして、被着体ＷＫの下面や側面に第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を貼付するように構成してもよい。
前記実施形態では、本願発明のシート供給装置を採用したシート貼付装置１０を図示して説明したが、シート供給装置を単体として使用してもよく、この場合、シート供給装置から供給された、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を人手で保持し、被着体ＷＫに同時に押圧して貼付することができる。
【００２６】
さらに、本発明における各接着シート（第１、第２、第３・・・接着シートＡＳ１、ＡＳ２・・・）や被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、各接着シートは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはない。感熱接着性のものが採用された場合は、各接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設ければよい。また、このような各接着シートは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層とからなるもの、それらの間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよいし、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、ウエハＷＦだけでもよいしリングフレームＲＦだけでもよいし、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、電極基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、各接着シートは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
【００２７】
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００２８】
２０・・・第１供給手段
２３・・・第１剥離板（第１剥離手段）
２４Ａ・・・回動モータ（駆動手段）
２４・・・駆動ローラ
２５・・・第１ピンチローラ
３０・・・第２供給手段
３３・・・第２剥離板（第２剥離手段）
３４Ｄ・・・第２ピンチローラ
ＡＳ１・・・第１接着シート
ＡＳ２・・・第２接着シート
ＲＬ１・・・第１剥離シート
ＲＬ２・・・第２剥離シート
ＲＳ１・・・第１原反
ＲＳ２・・・第２原反
【図１】
2017007672.tif 000003
【図２】
2017007672.tif 000004