(57)【要約】【課題】掃引ポンプの消費電力を低減することができる水処理システムを提供すること。【解決手段】排水ラインＬ３を流通する濃縮水Ｗ３の一部Ｗ３ａが流通するエゼクタラインＬ１０と、脱炭酸膜モジュール１０から排出される炭酸ガスを含む掃引ガスＧ２が流通するガス排出ラインＬ８と、ガス排出ラインＬ８に配置される掃引ポンプ１２と、ガス排出ラインＬ８を流通する掃引ガスＧ２の一部Ｇ２ａがエゼクタ８の吸引部８ｃに向けて流通する吸引流体導入ラインＬ１１と、吸引流体導入ラインＬ１１を開閉する開閉弁９と、を備え、エゼクタ８は、エゼクタラインＬ１０を流通する濃縮水Ｗ３ａを駆動流体として駆動流体導入部８ａから導入して、吸引流体導入ラインＬ１１を流通する掃引ガスＧ２ａを吸引流体として吸引部８ｃから吸引し、掃引ガスＧ２ａが混合された濃縮水Ｗ３ｂを混合流体として混合流体送出部８ｂからエゼクタラインＬ１０へ送出する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給水を透過水と濃縮水とに分離する逆浸透膜モジュールと、
供給水を前記逆浸透膜モジュールに供給する供給水ラインと、
前記供給水ラインを流通する供給水を前記逆浸透膜モジュールに向けて圧送する加圧ポンプと、
前記逆浸透膜モジュールで分離された透過水を送出する透過水ラインと、
前記逆浸透膜モジュールで分離された濃縮水を前記逆浸透膜モジュールの外部へ排出する排水ラインと、
前記排水ラインから分岐して前記排水ラインに合流し、前記排水ラインを流通する濃縮水の一部が流通するエゼクタラインと、
前記逆浸透膜モジュールの上流側又は下流側に配置され、流入した掃引ガスにより被処理水としての供給水又は透過水に含まれる炭酸ガスを除去して、脱炭酸水を製造する脱炭酸膜モジュールと、
前記脱炭酸膜モジュールに流入される掃引ガスが流通する掃引ガスラインと、
前記脱炭酸膜モジュールから排出される炭酸ガスを含む掃引ガスが流通するガス排出ラインと、
前記ガス排出ラインに配置され、前記脱炭酸膜モジュールから排出される炭酸ガスを含む掃引ガスを前記脱炭酸膜モジュールの外部へ排出する掃引ポンプと、
吸引流体が吸引される吸引部、駆動流体が導入される駆動流体導入部、及び、混合流体が送出される混合流体送出部を有するエゼクタと、
前記ガス排出ラインを流通する掃引ガスの一部が前記吸引部に向けて流通する吸引流体導入ラインと、
前記吸引流体導入ラインを開閉する開閉弁と、を備え、
前記エゼクタは、前記エゼクタラインを流通する濃縮水を駆動流体として前記駆動流体導入部から導入して、前記吸引流体導入ラインを流通する掃引ガスを吸引流体として前記吸引部から吸引し、掃引ガスが混合された濃縮水を混合流体として前記混合流体送出部から前記エゼクタラインへ送出する
水処理システム。
【請求項２】
前記排水ラインにおける前記エゼクタラインが分岐する部分と合流する部分との間の部分から分岐され、前記逆浸透膜モジュールで分離された濃縮水の一部を前記逆浸透膜モジュールの上流側に返送する循環水ラインを更に備える
請求項１に記載の水処理システム。
【請求項３】
前記脱炭酸膜モジュールにおける炭酸ガスの除去能力に余力がある場合には、前記開閉弁を開状態となるように制御すると共に、前記脱炭酸膜モジュールにおける炭酸ガスの除去能力に余力がない場合よりも、前記掃引ポンプの駆動力を低く設定するように制御し、又は、前記掃引ポンプの運転を停止するように制御する制御部を備える
請求項１又は２に記載の水処理システム。
【請求項４】
前記脱炭酸膜モジュールにおける炭酸ガスの除去能力に余力がある場合とは、前記脱炭酸膜モジュールにより製造される脱炭酸水の量が装置の通常運転時の量よりも少ない場合である
請求項３に記載の水処理システム。
【請求項５】
被処理水又は脱炭酸水の水温を検出する水温検出手段を更に備え、
前記脱炭酸膜モジュールにおける炭酸ガスの除去能力に余力がある場合とは、前記水温検出手段により検出された水温が所定の気温閾値を上回る場合である
請求項３に記載の水処理システム。
【請求項６】
供給水としての脱炭酸水から前記逆浸透膜モジュールにより分離された透過水又は透過水から前記脱炭酸膜モジュールにより製造された脱炭酸水の電気伝導率を検出する電気伝導率検出手段を更に備え、
前記脱炭酸膜モジュールにおける炭酸ガスの除去能力に余力がある場合とは、前記電気伝導率検出手段により検出された電気伝導率が所定の電気伝導率閾値を下回る場合である
請求項３に記載の水処理システム。
【請求項７】
被処理水、供給水又は透過水のｐＨ値を検出するｐＨ値検出手段を更に備え、
前記脱炭酸膜モジュールにおける炭酸ガスの除去能力に余力がある場合とは、前記ｐＨ値検出手段により検出されたｐＨ値が６以上の場合である
請求項３に記載の水処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、供給水を透過水と濃縮水とに分離する逆浸透膜モジュールと、被処理水から脱炭酸水を製造する脱炭酸膜モジュールと、を備える水処理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
医薬品や化粧品の製造、電子部品や精密機器の洗浄等においては、不純物を含まない高純度の純水が使用される。この種の純水は、一般に、地下水、水道水等の供給水を透過水製造部としての逆浸透膜分離装置で処理し、得られた透過水を精製することにより製造される。逆浸透膜分離装置は、逆浸透膜モジュールを備えており、供給水から透過水と濃縮水とを製造することができる。以下の説明においては、逆浸透膜モジュールを「ＲＯ膜モジュール」、逆浸透膜を「ＲＯ膜」ともいう。
【０００３】
純水の供給プロセスにおいて、供給水に含まれる溶存塩類をＲＯ膜モジュールで除去した後、ＲＯ膜では除去できない遊離炭酸を、脱炭酸膜装置の脱炭酸膜モジュールで除去（脱気処理）することにより、純水の純度を更に高める手法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−６３９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
脱炭酸膜装置には、掃引ガスとしての空気を脱炭酸膜モジュール内に流入させると共に、脱炭酸膜モジュールから排出される炭酸ガスを含む空気を脱炭酸膜モジュールの外部へ排出する真空ポンプ（掃引ポンプ）が設けられている。
脱炭酸膜装置においては、脱炭酸水を製造する際に、空気（掃引ガス）を脱炭酸膜モジュールに流入させるガス掃引運転と、脱炭酸膜モジュールの内部が真空状態になるように脱炭酸膜モジュールの内部から外部に向けて真空引きをする真空引き運転と、について運転状態の切り換えを行うことがある。
【０００６】
ガス掃引運転や真空引き運転を行う際には、必要とする空気の量は、製造する脱炭酸水の量の２倍程度となる。製造する脱炭酸水の量が多い場合には、真空ポンプの吸引する空気量を多くするための容量を大きくする必要がある。真空ポンプの容量が大きくなると、消費電力が大きくなる。そのため、真空ポンプ（掃引ポンプ）の消費電力を低減することが望まれる。真空ポンプ（掃引ポンプ）の消費電力を低減することができれば、水処理システムにおける省エネルギーに寄与することができる。
【０００７】
本発明は、掃引ポンプの消費電力を低減することができる水処理システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、供給水を透過水と濃縮水とに分離する逆浸透膜モジュールと、供給水を前記逆浸透膜モジュールに供給する供給水ラインと、前記供給水ラインを流通する供給水を前記逆浸透膜モジュールに向けて圧送する加圧ポンプと、前記逆浸透膜モジュールで分離された透過水を送出する透過水ラインと、前記逆浸透膜モジュールで分離された濃縮水を前記逆浸透膜モジュールの外部へ排出する排水ラインと、前記排水ラインから分岐して前記排水ラインに合流し、前記排水ラインを流通する濃縮水の一部が流通するエゼクタラインと、前記逆浸透膜モジュールの上流側又は下流側に配置され、流入した掃引ガスにより被処理水としての供給水又は透過水に含まれる炭酸ガスを除去して、脱炭酸水を製造する脱炭酸膜モジュールと、前記脱炭酸膜モジュールに流入される掃引ガスが流通する掃引ガスラインと、前記脱炭酸膜モジュールから排出される炭酸ガスを含む掃引ガスが流通するガス排出ラインと、前記ガス排出ラインに配置され、前記脱炭酸膜モジュールから排出される炭酸ガスを含む掃引ガスを前記脱炭酸膜モジュールの外部へ排出する掃引ポンプと、吸引流体が吸引される吸引部、駆動流体が導入される駆動流体導入部、及び、混合流体が送出される混合流体送出部を有するエゼクタと、前記ガス排出ラインを流通する掃引ガスの一部が前記吸引部に向けて流通する吸引流体導入ラインと、前記吸引流体導入ラインを開閉する開閉弁と、を備え、前記エゼクタは、前記エゼクタラインを流通する濃縮水を駆動流体として前記駆動流体導入部から導入して、前記吸引流体導入ラインを流通する掃引ガスを吸引流体として前記吸引部から吸引し、掃引ガスが混合された濃縮水を混合流体として前記混合流体送出部から前記エゼクタラインへ送出する水処理システムに関する。
【０００９】
また、前記排水ラインにおける前記エゼクタラインが分岐する部分と合流する部分との間の部分から分岐され、前記逆浸透膜モジュールで分離された濃縮水の一部を前記逆浸透膜モジュールの上流側に返送する循環水ラインを更に備えることが好ましい。
【００１０】
また、前記脱炭酸膜モジュールにおける炭酸ガスの除去能力に余力がある場合には、前記開閉弁を開状態となるように制御すると共に、前記脱炭酸膜モジュールにおける炭酸ガスの除去能力に余力がない場合よりも、前記掃引ポンプの駆動力を低く設定するように制御し、又は、前記掃引ポンプの運転を停止するように制御する制御部を備えることが好ましい。
【００１１】
また、前記脱炭酸膜モジュールにおける炭酸ガスの除去能力に余力がある場合とは、前記脱炭酸膜モジュールにより製造される脱炭酸水の量が装置の通常運転時の量よりも少ない場合であることが好ましい。
【００１２】
また、被処理水又は脱炭酸水の水温を検出する水温検出手段を更に備え、前記脱炭酸膜モジュールにおける炭酸ガスの除去能力に余力がある場合とは、前記水温検出手段により検出された水温が所定の気温閾値を上回る場合であることが好ましい。
【００１３】
また、供給水としての脱炭酸水から前記逆浸透膜モジュールにより分離された透過水又は透過水から前記脱炭酸膜モジュールにより製造された脱炭酸水の電気伝導率を検出する電気伝導率検出手段を更に備え、前記脱炭酸膜モジュールにおける炭酸ガスの除去能力に余力がある場合とは、前記電気伝導率検出手段により検出された電気伝導率が所定の電気伝導率閾値を下回る場合であることが好ましい。
【００１４】
また、被処理水、供給水又は透過水のｐＨ値を検出するｐＨ値検出手段を更に備え、前記脱炭酸膜モジュールにおける炭酸ガスの除去能力に余力がある場合とは、前記ｐＨ値検出手段により検出されたｐＨ値が６以上の場合であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、掃引ポンプの消費電力を低減することができる水処理システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】第１実施形態に係る水処理システム１００の全体構成図である。
【図２】第１実施形態の制御部２０において、脱炭酸膜モジュール１０における炭酸ガスの除去能力に余力がある場合の制御を実行する場合の処理手順を示すフローチャートである。
【図３】第２実施形態に係る水処理システム１００Ａの全体構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態に係る水処理システム１００について、図面を参照しながら説明する。図１は、第１実施形態に係る水処理システム１００の全体構成図である。
【００１８】
図１に示すように、第１実施形態に係る水処理システム１００は、脱炭酸膜装置１と、脱炭酸膜装置１の上流側に設けられる逆浸透膜分離装置４と、エゼクタ構成部７と、を備える。
詳述すると、水処理システム１００は、加圧ポンプ２と、加圧側インバータ３と、逆浸透膜モジュールとしてのＲＯ膜モジュール５と、比例制御排水弁６と、脱炭酸膜モジュール１０と、逆止弁１１と、掃引ポンプとしての真空ポンプ１２と、真空側インバータ１３と、エア開閉弁１４と、エアフィルタ１５と、エゼクタ８と、開閉弁してのエゼクタ弁９と、制御部２０と、を備える。加圧ポンプ２、加圧側インバータ３及び制御部２０は、脱炭酸膜装置１及び逆浸透膜分離装置４において共用で用いられる。
【００１９】
また、水処理システム１００は、塩素濃度検出手段としての塩素センサＳ１と、水温検出手段としての水温センサＳ２と、流量センサＳ３と、気温検出手段としての外気温度センサＳ４と、電気伝導率検出手段としての電気伝導率センサＳ６と、ｐＨ値検出手段としてのｐＨ値検出センサＳ７と、を備える。図１では、電気的な接続の経路を破線で示す（後述する図３についても同じ）。
制御部２０には、加圧側インバータ３、比例制御排水弁６、真空側インバータ１３、エア開閉弁１４、エゼクタ弁９、塩素センサＳ１、水温センサＳ２、流量センサＳ３、外気温度センサＳ４、電気伝導率センサＳ６、ｐＨ値検出センサＳ７が電気的に接続されている。
【００２０】
また、水処理システム１００は、供給水ラインＬ１と、透過水ラインＬ２と、排水ラインとしての濃縮水排水ラインＬ３と、循環水ラインＬ４と、脱炭酸水ラインＬ６と、掃引ガスラインとしての空気吸引ラインＬ７と、ガス排出ラインとしての空気排出ラインＬ８と、エゼクタラインＬ１０と、吸引流体導入ラインＬ１１と、を備える。本明細書における「ライン」とは、流路、経路、管路等の流体の流通が可能なラインの総称である。
【００２１】
なお、本実施形態においては、脱炭酸膜装置１は、加圧ポンプ２と、加圧側インバータ３と、脱炭酸膜モジュール１０と、逆止弁１１と、真空ポンプ１２と、真空側インバータ１３と、エア開閉弁１４と、エアフィルタ１５と、制御部２０と、供給水ラインＬ１と、脱炭酸水ラインＬ６と、掃引ガスラインとしての空気吸引ラインＬ７と、ガス排出ラインとしての空気排出ラインＬ８と、塩素センサＳ１と、水温センサＳ２と、外気温度センサＳ４と、電気伝導率センサＳ６と、ｐＨ値検出センサＳ７と、を備えて構成される。
また、逆浸透膜分離装置４は、ＲＯ膜モジュール５と、加圧ポンプ２と、加圧側インバータ３と、比例制御排水弁６と、制御部２０と、供給水ラインＬ１と、透過水ラインＬ２と、濃縮水排水ラインＬ３と、循環水ラインＬ４と、流量センサＳ３と、を備えて構成される。
また、エゼクタ構成部７は、エゼクタ８と、エゼクタ弁９と、エゼクタラインＬ１０と、吸引流体導入ラインＬ１１と、を備えて構成される。
【００２２】
供給水ラインＬ１は、供給水Ｗ１をＲＯ膜モジュール５に供給するラインである。供給水ラインＬ１の上流側の端部は、供給水Ｗ１の供給源（不図示）に接続されている。供給水ラインＬ１の下流側の端部は、ＲＯ膜モジュール５の一次側入口ポートに接続されている。供給水ラインＬ１には、加圧ポンプ２が設けられている。
【００２３】
加圧ポンプ２は、供給水ラインＬ１を流通する供給水Ｗ１を吸入し、ＲＯ膜モジュール５へ向けて圧送（吐出）する装置である。加圧ポンプ２には、加圧側インバータ３から周波数が変換された駆動電力が供給される。加圧ポンプ２は、供給（入力）された駆動電力の周波数（以下、「駆動周波数」ともいう）に応じた回転速度で駆動される。
【００２４】
加圧側インバータ３は、加圧ポンプ２に、周波数が変換された駆動電力を供給する電気回路（又はその回路を持つ装置）である。加圧側インバータ３には、制御部２０から指令信号が入力される。加圧側インバータ３は、制御部２０により入力された指令信号（電流値信号又は電圧値信号）に対応する駆動周波数の駆動電力を加圧ポンプ２に出力する。
【００２５】
ＲＯ膜モジュール５は、加圧ポンプ２から吐出された供給水Ｗ１を、溶存塩類が除去された透過水Ｗ２と、溶存塩類が濃縮された濃縮水Ｗ３とに膜分離処理する設備である。ＲＯ膜モジュール５は、単一又は複数のＲＯ膜エレメント（不図示）を備える。ＲＯ膜モジュール５は、これらＲＯ膜エレメントにより供給水Ｗ１を膜分離処理し、透過水Ｗ２及び濃縮水Ｗ３を製造する。
本実施形態においては、逆浸透膜分離装置４は、ＲＯ膜モジュール５により分離された透過水Ｗ２を被処理水として脱炭酸膜装置１に供給する。
【００２６】
透過水ラインＬ２は、ＲＯ膜モジュール５で分離された透過水Ｗ２を送出するラインである。透過水ラインＬ２の上流側の端部は、ＲＯ膜モジュール５の二次側ポートに接続されている。透過水ラインＬ２は、被処理水としての透過水Ｗ２を脱炭酸膜モジュール１０に供給するラインである。透過水ラインＬ２の下流側の端部は、脱炭酸膜モジュール１０の水流入口１０ａに接続されている。透過水ラインＬ２には、上流側から下流側に向けて順に、塩素センサＳ１、ｐＨ値検出センサＳ７、脱炭酸膜モジュール１０が設けられている。
【００２７】
塩素センサＳ１は、透過水ラインＬ２を流通する透過水Ｗ２の残留塩素濃度（すなわち、塩素リーク量）を測定する機器である。塩素センサＳ１で測定された透過水Ｗ２の塩素リーク量は、制御部２０へ検出信号として送信される。
【００２８】
ｐＨ値検出センサＳ７は、透過水ラインＬ２を流通する透過水Ｗ２（被処理水）のｐＨ値を検出する機器である。ｐＨ値検出センサＳ７で検出された透過水Ｗ２のｐＨ値は、制御部２０へ検出信号として送信される。
【００２９】
濃縮水排水ラインＬ３は、ＲＯ膜モジュール５で分離された濃縮水Ｗ３を装置外（系外）（ＲＯ膜モジュール５の外部）に送出するラインである。濃縮水排水ラインＬ３の上流側の端部は、ＲＯ膜モジュール５の一次側出口ポートに接続されている。濃縮水排水ラインＬ３には、上流側から下流側に向けて順に、接続部Ｊ３１、接続部Ｊ１、比例制御排水弁６、接続部Ｊ３２が設けられている。
【００３０】
エゼクタラインＬ１０は、濃縮水排水ラインＬ３から分岐して濃縮水排水ラインＬ３に合流し、濃縮水排水ラインＬ３を流通する濃縮水Ｗ３の一部Ｗ３ａが流通するラインである。エゼクタラインＬ１０の上流側の端部は、接続部Ｊ３１において、濃縮水排水ラインＬ３に接続されている。エゼクタラインＬ１０の下流側の端部は、接続部Ｊ３２において、濃縮水排水ラインＬ３に接続されている。エゼクタラインＬ１０には、エゼクタ８が設けられている。接続部Ｊ３１は、濃縮水排水ラインＬ３において、接続部Ｊ３２よりも上流側に配置されている。接続部Ｊ３１は、ＲＯ膜モジュール５の一次側出口ポートと接続部Ｊ１との間に配置されている。接続部Ｊ３２は、濃縮水排水ラインＬ３において、比例制御排水弁６よりも下流側に配置されている。なお、エゼクタラインＬ１０の下流側の端部が接続される接続部Ｊ３２を、濃縮水排水ラインＬ３における接続部Ｊ１と比例制御排水弁６との間に設けてもよい。
【００３１】
エゼクタ８は、吸引流体が吸引される吸引部８ｃ、駆動流体が導入される駆動流体導入部８ａ、及び、混合流体が送出される混合流体送出部８ｂを有する。
エゼクタ８は、エゼクタラインＬ１０を流通する濃縮水Ｗ３ａを駆動流体として駆動流体導入部８ａから導入して、吸引流体導入ラインＬ１１（後述）を流通する混合空気Ｇ２ａを吸引流体として吸引部８ｃから吸引し、混合空気Ｇ２ａが混合された濃縮水Ｗ３ｂを混合流体として混合流体送出部８ｂからエゼクタラインＬ１０へ送出する。
【００３２】
循環水ラインＬ４は、ＲＯ膜モジュール５で分離され且つ濃縮水排水ラインＬ３を流通する濃縮水Ｗ３の一部Ｗ３１を、供給水ラインＬ１におけるＲＯ膜モジュール５及び加圧ポンプ２よりも上流側に返送するラインである。循環水ラインＬ４は、濃縮水排水ラインＬ３の接続部Ｊ１から分岐される。接続部Ｊ１は、濃縮水排水ラインＬ３における接続部Ｊ３１（エゼクタラインＬ１０が分岐する部分）と接続部Ｊ３２（エゼクタラインＬ１０が合流する部分）との間に配置される。詳細には、接続部Ｊ１は、濃縮水排水ラインＬ３における接続部Ｊ３１（エゼクタラインＬ１０が分岐する部分）と比例制御排水弁６との間に配置される。循環水ラインＬ４の上流側の端部は、接続部Ｊ１において、濃縮水排水ラインＬ３に接続されている。また、循環水ラインＬ４の下流側の端部は、接続部Ｊ２において、供給水ラインＬ１における加圧ポンプ２よりも上流側に接続されている。
【００３３】
比例制御排水弁６は、濃縮水排水ラインＬ３から装置外へ排出する濃縮水Ｗ３の残部Ｗ３２の排水流量を調節する弁である。比例制御排水弁６の弁開度は、制御部２０から送信される駆動信号により制御される。制御部２０から電流値信号（例えば、４〜２０ｍＡ）を比例制御排水弁６に送信して、弁開度を制御することにより、濃縮水Ｗ３の残部Ｗ３２の排水流量を調節することができる。
【００３４】
脱炭酸膜装置１は、被処理水として供給された透過水Ｗ２から脱炭酸水Ｗ４を製造する。脱炭酸膜モジュール１０は、ＲＯ膜モジュール５の下流側に配置される。脱炭酸膜モジュール１０は、流入した空気Ｇ１（掃引ガス）により被処理水としての透過水Ｗ２に含まれる炭酸ガスを脱気処理（除去）して、脱炭酸水Ｗ４を製造する。脱炭酸膜モジュール１０は、空気Ｇ１が流入する空気流入口１０ｃ、炭酸ガスを含む空気Ｇ２（以下、「混合空気」ともいう）が排出される空気排出口１０ｄ、炭酸ガスを含む透過水Ｗ２が流入する水流入口１０ａ、及び炭酸ガスが除去された脱炭酸水Ｗ４が排出される脱炭酸水排出口１０ｂを備える。外部灌流式の気体分離膜モジュールの場合、空気流入口１０ｃ及び空気排出口１０ｄは、中空糸膜の内側と連通する。一方、水流入口１０ａ及び脱炭酸水排出口１０ｂは、中空糸膜の外側と連通する。脱炭酸膜モジュール１０の水流入口１０ａには、透過水ラインＬ２の下流側の端部が接続され、脱炭酸膜モジュール１０の脱炭酸水排出口１０ｂには、脱炭酸水ラインＬ６の上流側の端部が接続されている。
【００３５】
空気吸引ラインＬ７は、脱炭酸膜モジュール１０に流入される空気Ｇ１（掃引ガス）が流通するラインである。空気吸引ラインＬ７の上流側の端部は、エアフィルタ１５を介して、大気に解放されている。空気吸引ラインＬ７の下流側の端部は、脱炭酸膜モジュール１０の空気流入口１０ｃに接続されている。また、空気吸引ラインＬ７には、上流側から順に、エアフィルタ１５及びエア開閉弁１４が設けられている。エアフィルタ１５は、導入される空気Ｇ１から異物を除去するための部品である。エア開閉弁１４は、空気吸引ラインＬ７を開閉する。エア開閉弁１４は、後述する制御部２０により開閉状態が制御される。
【００３６】
空気排出ラインＬ８は、脱炭酸膜モジュール１０から排出される炭酸ガスを含む混合空気Ｇ２が流通するラインである。空気排出ラインＬ８の上流側の端部は、脱炭酸膜モジュール１０の空気排出口１０ｄに接続されている。空気排出ラインＬ８の下流側からは、混合空気Ｇ２が排出される。空気排出ラインＬ８には、上流側から順に、逆止弁Ｖ１１及び真空ポンプ１２が設けられている。
【００３７】
真空ポンプ１２は、エア開閉弁１４が開状態の場合に、空気吸引ラインＬ７を介して脱炭酸膜モジュール１０に空気Ｇ１を流入させると共に、空気排出ラインＬ８を介して脱炭酸膜モジュール１０から炭酸ガスを含む混合空気Ｇ２を排出させる装置である。
また、真空ポンプ１２は、エア開閉弁１４が閉状態の場合に、空気排出ラインＬ８を介して脱炭酸膜モジュール１０の内部が真空状態になるように、脱炭酸膜モジュール１０の内部から脱炭酸膜モジュール１０の外部に向けて真空引きする装置である。
真空ポンプ１２には、真空側インバータ１３から周波数が変換された駆動電力が供給される。真空ポンプ１２は、真空側インバータ１３から供給された駆動電力の周波数（以下、「駆動周波数」ともいう）に応じた回転速度で駆動される。
【００３８】
真空側インバータ１３は、真空ポンプ１２に、周波数が変換された駆動電力を供給する電気回路（又はその回路を持つ装置）である。真空側インバータ１３には、制御部２０から指令信号が入力される。真空側インバータ１３は、制御部２０により入力された指令信号（電流値信号又は電圧値信号）に対応する駆動周波数の駆動電力を真空ポンプ１２に出力する。
【００３９】
脱炭酸膜装置１において、エア開閉弁１４を開状態にして、真空ポンプ１２を駆動すると、空気吸引ラインＬ７から吸引された空気Ｇ１が、エアフィルタ１５及びエア開閉弁１４を経て脱炭酸膜モジュール１０へ導入される。空気Ｇ１は、脱炭酸膜モジュール１０の内部において中空糸膜の内側を流通し、混合空気Ｇ２は、空気排出口１０ｄから空気排出ラインＬ８に排出される。これにより、脱炭酸膜モジュール１０において、空気が連続的に流通する。
本実施形態においては、空気吸引ラインＬ７、エア開閉弁１４、真空ポンプ１２、真空側インバータ１３及び空気排出ラインＬ８は、ガス掃引手段を構成する。ガス掃引手段は、脱炭酸膜モジュール１０により透過水Ｗ２に含まれる炭酸ガスを除去するために、空気吸引ラインＬ７を流通する空気Ｇ１を脱炭酸膜モジュール１０に流入させて、脱炭酸膜モジュール１０の外部に炭酸ガスを含む混合空気Ｇ２を排出させる。
【００４０】
一方、脱炭酸膜装置１において、エア開閉弁１４を閉状態にして、真空ポンプ１２を駆動すると、空気排出ラインＬ８を介して、脱炭酸膜モジュール１０の中空糸膜の内部が真空状態になるように、脱炭酸膜モジュール１０の内部から脱炭酸膜モジュール１０の外部に向けて真空引きする。
本実施形態においては、空気吸引ラインＬ７、エア開閉弁１４、真空ポンプ１２、真空側インバータ１３及び空気排出ラインＬ８は、真空引き手段を構成する。真空引き手段は、脱炭酸膜モジュール１０により透過水Ｗ２に含まれる炭酸ガスを除去するために、脱炭酸膜モジュール１０の内部が真空状態になるように、脱炭酸膜モジュール１０の内部から脱炭酸膜モジュール１０の外部に向けて真空引きして、脱炭酸膜モジュール１０の外部に炭酸ガスを排出させる。
【００４１】
吸引流体導入ラインＬ１１には、空気排出ラインＬ８を流通する混合空気Ｇ２の一部Ｇ２ａがエゼクタ８の吸引部８ｃに向けて流通する。吸引流体導入ラインＬ１１の上流側の端部は、接続部Ｊ４において、空気排出ラインＬ８における脱炭酸膜モジュール１０と逆止弁１１との間に接続されている。吸引流体導入ラインＬ１１の下流側の端部は、エゼクタ８の吸引部８ｃに接続されている。吸引流体導入ラインＬ１１には、エゼクタ弁９が配置されている。
【００４２】
エゼクタ弁９は、吸引流体導入ラインＬ１１を開閉する弁である。エゼクタ弁９を開状態とすることで、吸引流体導入ラインＬ１１が開状態となり、エゼクタ８は、吸引部８ｃを介して、吸引流体導入ラインＬ１１を流通する混合空気Ｇ２ａを吸引流体として吸引する。
【００４３】
脱炭酸水ラインＬ６は、脱炭酸膜モジュール１０で製造された脱炭酸水Ｗ４を送出するラインである。脱炭酸水ラインＬ６の上流側の端部は、脱炭酸膜モジュール１０の脱炭酸水排出口１０ｂに接続されている。脱炭酸水ラインＬ６の下流側の端部は、需要先の装置（不図示）や処理水タンク（不図示）などに接続されている。脱炭酸水ラインＬ６には、上流側から下流側に向けて順に、水温センサＳ２、流量センサＳ３、電気伝導率センサＳ６、が設けられている。
【００４４】
水温センサＳ２は、脱炭酸水Ｗ４の温度を検出する機器である。水温センサＳ２で検出された脱炭酸水Ｗ４の温度（以下、「検出水温値」ともいう）は、制御部２０へ検出信号として送信される。
【００４５】
なお、本実施形態においては、水温センサＳ２を脱炭酸膜モジュール１０の下流側に配置して、水温センサＳ２が脱炭酸水Ｗ４の温度を検出するように構成したが、これに制限されない。水温センサＳ２を脱炭酸膜モジュール１０の上流側に配置して、水温センサＳ２が被処理水としての透過水Ｗ２の温度を検出するように構成してもよい。脱炭酸膜モジュール１０の上流側及び下流側において、水の温度をほぼ同じ水温値と看做せるためである。
【００４６】
流量センサＳ３は、脱炭酸水ラインＬ６を流通する脱炭酸水Ｗ４の流量を検出する機器である。流量センサＳ３で検出された脱炭酸水Ｗ４の流量（以下、「検出流量値」ともいう）は、制御部２０へパルス信号として送信される。
【００４７】
電気伝導率センサＳ６は、脱炭酸水ラインＬ６を流通する脱炭酸水Ｗ４の電気伝導率を検出する機器である。電気伝導率センサＳ６で検出される脱炭酸水Ｗ４は、ＲＯ膜モジュール５により分離された透過水Ｗ２から脱炭酸膜モジュール１０により製造された脱炭酸水である。電気伝導率センサＳ６で検出された脱炭酸水Ｗ４の電気伝導率は、制御部２０へ検出信号として送信される。
【００４８】
外気温度センサＳ４は、脱炭酸膜装置１の外気の気温を検出する。外気温度センサＳ４で測定された外気の温度（以下、「検出外気温度値」ともいう）は、制御部２０へ検出信号として送信される。
【００４９】
制御部２０は、ＣＰＵ及びメモリを含むマイクロプロセッサ（不図示）により構成される。制御部２０は、脱炭酸膜装置１及び逆浸透膜分離装置４を制御する。
【００５０】
制御部２０は、逆浸透膜分離装置４において、ＲＯ膜モジュール５における透過水Ｗ１１の流量フィードバック水量制御を実行する。制御部２０は、ＲＯ膜モジュール５における透過水Ｗ２の流量フィードバック水量制御として、流量センサＳ３の検出流量値が予め設定された目標流量値となるように、速度形デジタルＰＩＤアルゴリズムにより加圧ポンプ２の駆動周波数を演算し、当該駆動周波数の演算値に対応する指令信号（電流値信号又は電圧値信号）を加圧側インバータ３に出力する。制御部２０において、流量フィードバック水量制御を実行することにより、ＲＯ膜モジュール５で製造される透過水Ｗ２の流量を、予め設定された目標流量値に安定させることができる。
【００５１】
制御部２０は、脱炭酸膜装置１において、通常運転と劣化抑制運転とを実行可能である。
制御部２０による脱炭酸膜装置１における通常運転とは、脱炭酸水を製造するために、空気Ｇ１（掃引ガス）を脱炭酸膜モジュール１０に流入させた状態で、加圧ポンプ２を動作させて脱炭酸膜モジュール１０に透過水Ｗ２を通水することにより、脱炭酸水Ｗ４を製造する運転である。
【００５２】
一方、制御部２０による脱炭酸膜装置１における劣化抑制運転とは、脱炭酸膜モジュール１０の内部が真空状態になるように脱炭酸膜モジュール１０の内部から外部に向けて真空引きした状態で、加圧側インバータ３を制御して加圧ポンプ２を動作させて脱炭酸膜モジュール１０に透過水Ｗ２を通水させる運転である。透過水Ｗ２中の塩素の濃度が高い場合などに、通常運転時におけるガス掃引運転を実行した状態で、脱炭酸膜モジュール１０に透過水Ｗ２を通水すると、脱炭酸膜モジュール１０が劣化する可能性がある。そのため、脱炭酸膜装置１における劣化抑制運転は、脱炭酸膜モジュール１０の劣化を抑制するために実行される。
【００５３】
制御部２０は、脱炭酸膜モジュール１０における炭酸ガスの除去能力に余力がある場合には、エゼクタ弁９を開状態となるように制御すると共に、脱炭酸膜モジュール１０における炭酸ガスの除去能力に余力がない場合よりも、真空ポンプ１２の駆動力を低く設定するように制御し、又は、真空ポンプ１２の運転を停止するように制御する。
脱炭酸膜モジュール１０における炭酸ガスの除去能力に余力がある場合には、真空ポンプ１２の駆動力を弱めても、エゼクタ８を用いて混合空気Ｇ２ａを掃引すれば、脱炭酸膜モジュール１０における炭酸ガスの除去能力を維持することができる。そのため、エゼクタ弁９を開状態にして、吸引流体導入ラインＬ１１を介してエゼクタ８を用いて空気を掃引させる制御が実行される。
【００５４】
脱炭酸膜モジュール１０における炭酸ガスの除去能力に余力がある場合とは、脱炭酸膜モジュール１０により製造される脱炭酸水Ｗ４の量が装置の通常運転時の量よりも少ない場合や、水温センサＳ２により検出された水温が所定の水温閾値（気温閾値）を上回る場合や、電気伝導率センサＳ６により検出された電気伝導率が所定の電気伝導率閾値を下回る場合や、ｐＨ値検出センサＳ７により検出されたｐＨ値が６以上の場合などが挙げられる。ｐＨ値検出センサＳ７により検出されたｐＨ値としては、前述のように、ｐＨ値が６以上であることが好ましく、ｐＨ値が６．５以上であることがより好ましい。
【００５５】
脱炭酸膜モジュール１０における炭酸ガスの除去能力に余力がある場合を、脱炭酸膜モジュール１０により製造される脱炭酸水Ｗ４の量が装置の通常運転時の量よりも少ない場合とした理由は、以下の通りである。通常運転時の脱炭酸水Ｗ４の量よりも脱炭酸水Ｗ４の量が少ない場合には、脱炭酸膜モジュール１０の膜の劣化が進行しておらず、脱炭酸膜モジュール１０の性能は低下していないためである。この場合には、真空ポンプ１２の駆動力を最大に設定しなくてもよく、脱炭酸膜モジュール１０における炭酸ガスの除去能力に余力がある場合と看做すことができる。
【００５６】
脱炭酸膜モジュール１０における炭酸ガスの除去能力に余力がある場合を、水温センサＳ２により検出された水温が所定の水温閾値を上回る場合とした理由は、以下の通りである。水温センサＳ２により検出された水温が所定の水温閾値を上回る場合においては、透過水Ｗ２中の酸素の溶存量が少ないためである。この場合には、真空ポンプ１２の駆動力を最大に設定しなくてもよく、脱炭酸膜モジュール１０における炭酸ガスの除去能力に余力がある場合と看做すことができる。
【００５７】
脱炭酸膜モジュール１０における炭酸ガスの除去能力に余力がある場合を、電気伝導率センサＳ６により検出された電気伝導率が所定の電気伝導率閾値を下回る場合とした理由は、以下の通りである。電気伝導率センサＳ６により検出された電気伝導率が所定の電気伝導率閾値を下回る場合には、脱炭酸水Ｗ４の濃縮度が低く、脱炭酸膜モジュール１０の膜の劣化が進行しておらず、脱炭酸膜モジュール１０の性能は低下していないためである。この場合には、真空ポンプ１２の駆動力を最大に設定しなくてもよく、脱炭酸膜モジュール１０における炭酸ガスの除去能力に余力がある場合と看做すことができる。
【００５８】
脱炭酸膜モジュール１０における炭酸ガスの除去能力に余力がある場合を、ｐＨ値検出センサＳ７により検出されたｐＨ値が６以上の場合とした理由は、以下の通りである。ｐＨ値検出センサＳ７により検出されたｐＨ値が６以上の場合には、透過水Ｗ２の炭酸ガス溶存量が少ないためである。この場合には、真空ポンプ１２の駆動力を最大に設定しなくてもよく、脱炭酸膜モジュール１０における炭酸ガスの除去能力に余力がある場合と看做すことができる。
【００５９】
次に、前記脱炭酸膜モジュールにおける炭酸ガスの除去能力に余力がある場合における処理手順について、図２を参照して説明する。図２は、第１実施形態の制御部２０において、脱炭酸膜モジュール１０における炭酸ガスの除去能力に余力がある場合の制御を実行する場合の処理手順を示すフローチャートである。図２に示すフローチャートの処理は、水処理システム１００の運転中において、繰り返し実行される。
【００６０】
図２に示すステップＳＴ１において、制御部２０は、脱炭酸膜装置１において通常運転を実行する。具体的には、制御部２０は、通常運転時におけるガス掃引運転を実行し、エア開閉弁１４を開状態として、空気Ｇ１（掃引ガス）を脱炭酸膜モジュール１０に流入させるように、真空ポンプ１２を駆動するように真空側インバータ１３を制御する。また、制御部２０は、加圧ポンプ２を駆動するように加圧側インバータ３を制御して、透過水Ｗ２を脱炭酸膜モジュール１０に通水させる。
【００６１】
ステップＳＴ２において、制御部２０は、脱炭酸膜モジュール１０における炭酸ガスの除去能力に余力があるか否かを判定する。脱炭酸膜モジュール１０における炭酸ガスの除去能力に余力がある場合は、前述の通りである。
脱炭酸膜モジュール１０における炭酸ガスの除去能力に余力があると判定された場合（ＹＥＳ）には、処理は、ステップＳＴ３へ移行する。また、脱炭酸膜モジュール１０における炭酸ガスの除去能力に余力がないと判定された場合（ＮＯ）には、処理は、ステップＳＴ２を繰り返す。
【００６２】
ステップＳＴ３において、制御部２０は、エゼクタ弁９を開状態にして、真空ポンプ１２の駆動力を低く設定し、又は、真空ポンプ１２の運転を停止する。
これにより、吸引流体導入ラインＬ１１が開状態となり、エゼクタ８は、エゼクタラインＬ１０を流通する濃縮水Ｗ３ａを駆動流体として駆動流体導入部８ａから導入して、吸引流体導入ラインＬ１１を流通する混合空気Ｇ２ａを吸引流体として吸引部８ｃから吸引し、混合空気Ｇ２ａが混合された濃縮水Ｗ３ｂを混合流体として混合流体送出部８ｂからエゼクタラインＬ１０へ送出する。
【００６３】
真空ポンプ１２の駆動力を低く設定した場合には、真空ポンプ１２を用いて混合空気Ｇ２を掃引すること、及び、エゼクタ８を用いて混合空気Ｇ２ａを掃引することを併用して、空気Ｇ１を脱炭酸膜モジュール１０に流入させる。真空ポンプ１２の運転を停止した場合には、エゼクタ８を用いて混合空気Ｇ２ａを掃引することのみで、空気Ｇ１を脱炭酸膜モジュール１０に流入させる。
なお、真空ポンプ１２の駆動力を低くする設定や真空ポンプ１２の運転の停止については、脱炭酸膜モジュール１０における炭酸ガスの除去能力の余力の度合や、真空ポンプ１２の容量等に基づいて設定される。
そして、本フローチャートの処理は終了する（ステップＳＴ１へリターンする）。
【００６４】
上述した第１実施形態に係る水処理システム１００によれば、例えば、以下のような効果が得られる。
第１実施形態に係る脱炭酸膜装置１は、逆浸透膜モジュール５で分離された濃縮水Ｗ３を逆浸透膜モジュール５の外部へ排出する濃縮水排水ラインＬ３と、濃縮水排水ラインＬ３から分岐して濃縮水排水ラインＬ３に合流し、濃縮水排水ラインＬ３を流通する濃縮水Ｗ３の一部Ｗ３ａが流通するエゼクタラインＬ１０と、被処理水から脱炭酸水Ｗ４を製造する脱炭酸膜モジュール１０と、脱炭酸膜モジュール１０から排出される炭酸ガスを含む混合空気Ｇ２が流通する空気排出ラインＬ８と、空気排出ラインＬ８に配置される掃引ポンプ１２と、吸引流体が吸引される吸引部８ｃ、駆動流体が導入される駆動流体導入部８ａ、及び、混合流体が送出される混合流体送出部８ｂを有するエゼクタ８と、空気排出ラインＬ８を流通する混合空気Ｇ２の一部Ｇ２ａが吸引部８ｃに向けて流通する吸引流体導入ラインＬ１１と、吸引流体導入ラインＬ１１を開閉するエゼクタ弁９と、を備え、エゼクタ８は、エゼクタラインＬ１０を流通する濃縮水Ｗ３ａを駆動流体として駆動流体導入部８ａから導入して、吸引流体導入ラインＬ１１を流通する混合空気Ｇ２ａを吸引流体として吸引部８ｃから吸引し、混合空気Ｇ２ａが混合された濃縮水Ｗ３ｂを混合流体として混合流体送出部８ｂからエゼクタラインＬ１０へ送出する。
【００６５】
そのため、ＲＯ膜モジュール５により分離された濃縮水Ｗ３を駆動流体として利用して、エゼクタ８を用いて、吸引流体導入ラインＬ１１を介して、混合空気Ｇ２ａを掃引することができる。よって、真空ポンプ１２の駆動力を弱めても、脱炭酸膜モジュール１０における炭酸ガスの除去能力を維持することができる。従って、真空ポンプ１２の駆動力を弱めることで、真空ポンプ（掃引ポンプ）の消費電力を低減することができる。これにより、省エネルギーに寄与することができる。
【００６６】
また、本実施形態に係る水処理システム１００においては、濃縮水排水ラインＬ３における接続部Ｊ３１（エゼクタラインＬ１０が分岐する部分）と接続部Ｊ３２（エゼクタラインＬ１０が合流する部分）との間の接続部Ｊ１から分岐される循環水ラインＬ４を更に備える。そのため、濃縮水Ｗ３の一部Ｗ３１をＲＯ膜モジュール５よりも上流側に返送する循環水ラインＬ４を備える構成においても、エゼクタラインＬ１０を介してエゼクタ８から送出される混合流体を、濃縮水排水ラインＬ３介して、装置外（系外）に送出することができる。これにより、循環水ラインＬ４側には空気が混合された混合流体が送出されないため、ＲＯ膜モジュール５の上流側には、空気が混合された混合流体が供給されない。よって、ＲＯ膜モジュール５の性能を維持することができる。
【００６７】
また、本実施形態に係る水処理システム１００においては、脱炭酸膜モジュール１０における炭酸ガスの除去能力に余力がある場合には、エゼクタ弁９を開状態となるように制御すると共に、脱炭酸膜モジュール１０における炭酸ガスの除去能力に余力がない場合よりも、真空ポンプ１２の駆動力を低く設定するように制御し、又は、真空ポンプ１２の運転を停止するように制御する制御部２０を備える。そのため、真空ポンプ１２の駆動力を弱めた状態（真空ポンプ１２の駆動力を低くした状態、真空ポンプ１２の運転を停止した状態）で、エゼクタ８を用いて混合空気Ｇ２ａを掃引することで、真空ポンプ（掃引ポンプ）１２の消費電力を低減することができる。
【００６８】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係る水処理システム１００Ａの構成について、図３を参照して説明する。図３は、第２実施形態に係る水処理システム１００Ａの全体構成図である。
図３に示すように、第１実施形態では逆浸透膜分離装置４を脱炭酸膜装置１の上流側に配置したのに対して、第２実施形態では逆浸透膜分離装置４を脱炭酸膜装置１の下流側に配置した点において、第２実施形態に係る水処理システム１００Ａは、第１実施形態の水処理システム１００とは異なる。脱炭酸膜モジュール１０は、ＲＯ膜モジュール５の上流側に配置される。
なお、第２実施形態では、主に第１実施形態との相違点について説明する。第２実施形態では、第１実施形態と同一又は同等の構成については同じ符号を付して説明する。また、第２実施形態では、第１実施形態と重複する説明を適宜に省略する。
【００６９】
図３に示すように、第２実施形態に係る水処理システム１００Ａにおいては、第１実施形態に係る水処理システム１００において供給水ラインＬ１、ＲＯ膜モジュール５、透過水ラインＬ２、脱炭酸膜モジュール１０及び脱炭酸水ラインＬ６が上流側から下流側に向かってこの順に配置される（図１参照）のに対して、供給水ラインＬ１、脱炭酸膜モジュール１０、脱炭酸水ラインＬ６、ＲＯ膜モジュール５及び透過水ラインＬ２が上流側から下流側に向かってこの順に配置される。また、第２実施形態に係る水処理システム１００Ａにおいては、供給水ラインＬ１に、供給ポンプ２ａが設けられている。
【００７０】
供給水ラインＬ１は、被処理水としての供給水Ｗ１を脱炭酸膜モジュール１０に供給するラインである。供給水ラインＬ１の上流側の端部は、供給水Ｗ１の供給源（不図示）に接続されている。供給水ラインＬ１の下流側の端部は、脱炭酸膜モジュール１０の水流入口１０ａに接続されている。供給水ラインＬ１には、上流側から下流側に向けて順に、供給ポンプ２ａ、塩素センサＳ１、ｐＨ値検出センサＳ７、脱炭酸膜モジュール１０が設けられている。
本実施形態においては、脱炭酸膜装置１は、脱炭酸膜モジュール１０により製造された脱炭酸水Ｗ４を供給水として逆浸透膜分離装置４に供給する。
【００７１】
供給ポンプ２ａは、供給水ラインＬ１を流通する供給水Ｗ１を吸入し、脱炭酸膜モジュール１０へ向けて圧送（吐出）する装置である。供給ポンプ２ａには、供給側インバータ３ａから周波数が変換された駆動電力が供給される。供給ポンプ２ａは、供給（入力）された駆動電力の周波数（以下、「駆動周波数」ともいう）に応じた回転速度で駆動される。
【００７２】
供給側インバータ３ａは、供給ポンプ２ａに、周波数が変換された駆動電力を供給する電気回路（又はその回路を持つ装置）である。供給側インバータ３ａは、制御部２０と電気的に接続されている。供給側インバータ３ａには、制御部２０から指令信号が入力される。供給側インバータ３ａは、制御部２０により入力された指令信号（電流値信号又は電圧値信号）に対応する駆動周波数の駆動電力を供給ポンプ２ａに出力する。
【００７３】
塩素センサＳ１は、供給水ラインＬ１を流通する供給水Ｗ１の残留塩素濃度（すなわち、塩素リーク量）を測定する機器である。塩素センサＳ１で測定された供給水Ｗ１の塩素リーク量は、制御部２０へ検出信号として送信される。
【００７４】
ｐＨ値検出センサＳ７は、供給水ラインＬ１を流通する供給水Ｗ１（被処理水）のｐＨ値を検出する機器である。ｐＨ値検出センサＳ７で検出された供給水Ｗ１のｐＨ値は、制御部２０へ検出信号として送信される。
【００７５】
脱炭酸水ラインＬ６は、脱炭酸水Ｗ４をＲＯ膜モジュール５に供給するラインである。脱炭酸水ラインＬ６の上流側の端部は、脱炭酸膜モジュール１０の脱炭酸水排出口１０ｂに接続されている。脱炭酸水ラインＬ６の下流側の端部は、ＲＯ膜モジュール５の一次側入口ポートに接続されている。脱炭酸水ラインＬ６には、水温センサＳ２、加圧ポンプ２が設けられている。
【００７６】
加圧ポンプ２は、脱炭酸水ラインＬ６を流通する脱炭酸水Ｗ４を吸入し、ＲＯ膜モジュール５へ向けて圧送（吐出）する装置である。加圧ポンプ２には、加圧側インバータ３から周波数が変換された駆動電力が供給される。加圧ポンプ２は、供給（入力）された駆動電力の周波数（以下、「駆動周波数」ともいう）に応じた回転速度で駆動される。
【００７７】
加圧側インバータ３は、加圧ポンプ２に、周波数が変換された駆動電力を供給する電気回路（又はその回路を持つ装置）である。加圧側インバータ３には、制御部２０から指令信号が入力される。加圧側インバータ３は、制御部２０により入力された指令信号（電流値信号又は電圧値信号）に対応する駆動周波数の駆動電力を加圧ポンプ２に出力する。
【００７８】
ＲＯ膜モジュール５は、加圧ポンプ２から吐出された脱炭酸水Ｗ４を、溶存塩類が除去された透過水Ｗ２と、溶存塩類が濃縮された濃縮水Ｗ３とに膜分離処理する設備である。ＲＯ膜モジュール５は、単一又は複数のＲＯ膜エレメント（不図示）を備える。ＲＯ膜モジュール５は、これらＲＯ膜エレメントにより脱炭酸水Ｗ４を膜分離処理し、透過水Ｗ２及び濃縮水Ｗ３を製造する。
【００７９】
透過水ラインＬ２は、ＲＯ膜モジュール５で分離された透過水Ｗ２を送出するラインである。透過水ラインＬ２の上流側の端部は、ＲＯ膜モジュール５の二次側ポートに接続されている。透過水ラインＬ２の下流側の端部は、需要先の装置（不図示）や処理水タンク（不図示）などに接続されている。透過水ラインＬ２には、流量センサＳ３、電気伝導率センサＳ６が設けられている。
【００８０】
流量センサＳ３は、透過水ラインＬ２を流通する透過水Ｗ２の流量を検出する機器である。流量センサＳ３で検出された透過水Ｗ２の流量（以下、「検出流量値」ともいう）は、制御部２０へパルス信号として送信される。
【００８１】
電気伝導率センサＳ６は、透過水ラインＬ２を流通する透過水Ｗ２の電気伝導率を検出する機器である。電気伝導率センサＳ６で検出される透過水Ｗ２は、脱炭酸膜モジュール１０により製造された脱炭酸水Ｗ４からＲＯ膜モジュール５により分離された透過水である。電気伝導率センサＳ６で検出された透過水Ｗ２の電気伝導率は、制御部２０へ検出信号として送信される。
【００８２】
濃縮水排水ラインＬ３は、第１実施形態の水処理システム１００と同様の構成であるため、第１実施形態の説明を援用して、その説明を省略する。
循環水ラインＬ４は、ＲＯ膜モジュール５で分離され且つ濃縮水排水ラインＬ３を流通する濃縮水Ｗ３の一部Ｗ３１を、脱炭酸水ラインＬ６における脱炭酸膜モジュール１０と加圧ポンプ２との間に返送するラインである。循環水ラインＬ４は、濃縮水排水ラインＬ３の接続部Ｊ１から分岐される。接続部Ｊ１は、濃縮水排水ラインＬ３における接続部Ｊ３１（エゼクタラインＬ１０が分岐する部分）と接続部Ｊ３２（エゼクタラインＬ１０が合流する部分）との間に配置される。詳細には、接続部Ｊ１は、濃縮水排水ラインＬ３における接続部Ｊ３１（エゼクタラインＬ１０が分岐する部分）と比例制御排水弁６との間に配置される。循環水ラインＬ４の上流側の端部は、接続部Ｊ１において、濃縮水排水ラインＬ３に接続されている。また、循環水ラインＬ４の下流側の端部は、接続部Ｊ２において、脱炭酸水ラインＬ６における脱炭酸膜モジュール１０と加圧ポンプ２との間に接続されている。
【００８３】
第２実施形態においては、脱炭酸膜装置１は、脱炭酸膜モジュール１０により製造された脱炭酸水Ｗ４を供給水として逆浸透膜分離装置４に供給する。
また、制御部２０は、第１実施形態と同様に、脱炭酸膜装置１、逆浸透膜分離装置４及びエゼクタ弁９を制御する。
【００８４】
第２実施形態の水処理システム１００Ａによれば、前述の第１実施形態と同様の効果が奏される。
【００８５】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明した。しかし、本発明は、上述した実施形態に限定されることなく、種々の形態で実施することができる。
例えば、前記実施形態では、脱炭酸膜モジュールに流入される掃引ガスを空気Ｇ１で構成したが、これに制限されない。掃引ガスを、例えば、窒素等の不活性ガスで構成してもよい。
【符号の説明】
【００８６】
５  ＲＯ膜モジュール（逆浸透膜モジュール）
２  加圧ポンプ
８  エゼクタ
８ａ  駆動流体導入部
８ｂ  混合流体送出部
８ｃ  吸引部
９  エゼクタ弁（開閉弁）
１０  脱炭酸膜モジュール
１２  真空ポンプ（掃引ポンプ）
２０  制御部
１００，１００Ａ  水処理システム
Ｇ１  空気（掃引ガス）
Ｇ２  混合空気（炭酸ガスを含む掃引ガス）
Ｌ１  供給水ライン
Ｌ２  透過水ライン
Ｌ３  濃縮水排水ライン
Ｌ４  循環水ライン
Ｌ７  空気吸引ライン（掃引ガスライン）
Ｌ８  空気排出ライン（ガス排出ライン）
Ｌ１０  エゼクタライン
Ｌ１１  吸引流体導入ライン
Ｓ２  水温センサ（水温検出手段）
Ｓ６  電気伝導率センサ（電気伝導率検出手段）
Ｓ７  ｐＨ値検出センサ（ｐＨ値検出手段）
Ｇ１  空気（掃引ガス）
Ｇ２  混合空気（炭酸ガスを含む掃引ガス）
Ｇ２ａ  混合空気の一部
Ｗ１  供給水（被処理水）
Ｗ２  透過水（被処理水）
Ｗ３  濃縮水
Ｗ３ａ  濃縮水の一部
Ｗ３１  濃縮水の一部
Ｗ４  脱炭酸水
【図１】
2017064580.tif 000003
【図２】
2017064580.tif 000004
【図３】
2017064580.tif 000005