(57)【要約】【課題】所望の表面性を安価に構築することで、ウェブ状成膜対象物の搬送方向に交差する方向へのシワの発生を抑制しつつ、ウェブ状成膜対象物を搬送可能に保持する。【解決手段】回転保持体１は、駆動回転し且つ予め決められた温度に調整される円形断面状の回転部材２と、回転部材２の周面のうち少なくともウェブ状成膜対象物５を保持する領域を含むように固着され、ウェブ状成膜対象物５に対し回転部材２の回転方向よりも当該回転方向に交差する軸方向の方が摩擦抵抗の小さい凹凸パターンを有する表面性調整部材３と、を備える。表面性調整部材３としては、金属又は樹脂にて構成され、メッシュ部３ａが連結部３ｂを介して千鳥状に連接するエキスパンドメタル形状の凹凸パターンを有する態様がある。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェブ状成膜対象物の表面を成膜装置にて成膜するときに、前記ウェブ状成膜対象物を回転保持する回転保持体であって、
駆動回転し且つ予め決められた温度に調整される円形断面状の回転部材と、
前記回転部材の周面のうち少なくとも前記ウェブ状成膜対象物を保持する領域を含むように固着され、ウェブ状成膜対象物に対し前記回転部材の回転方向よりも当該回転方向に交差する軸方向の方が摩擦抵抗の小さい凹凸パターンを有する表面性調整部材と、
を備えたことを特徴とするウェブ状成膜対象物の回転保持体。
【請求項２】
請求項１に記載のウェブ状成膜対象物の回転保持体において、
前記表面性調整部材は、金属又は樹脂にて構成され、メッシュ部が連結部を介して千鳥状に連接するエキスパンドメタル形状の凹凸パターンを有することを特徴とするウェブ状成膜対象物の回転保持体。
【請求項３】
請求項２に記載のウェブ状成膜対象物の回転保持体において、
前記表面性調整部材は、前記回転部材の周面における法線方向に対し前記連結部が当該回転部材の回転方向に抗する方向に向かって傾斜配置されていることを特徴とするウェブ状成膜対象物の回転保持体。
【請求項４】
請求項２に記載のウェブ状成膜対象物の回転保持体において、
前記表面性調整部材は、ステンレス鋼、アルミニウム、チタン又は銅の金属にて構成されていることを特徴とするウェブ状成膜対象物の回転保持体。
【請求項５】
請求項２に記載のウェブ状成膜対象物の回転保持体において、
前記表面性調整部材は、ポリテトラフルオロエチレンの樹脂にて構成されていることを特徴とするウェブ状成膜対象物の回転保持体。
【請求項６】
請求項２に記載のウェブ状成膜対象物の回転保持体において、
前記表面性調整部材は金属にて構成され、金属の表面には保護膜を有することを特徴とするウェブ状成膜対象物の回転保持体。
【請求項７】
請求項２に記載のウェブ状成膜対象物の回転保持体において、
前記表面性調整部材は金属にて構成され、金属の表面はエッチング又は研磨処理にてエッジ部を曲面状に形成したものであることを特徴とするウェブ状成膜対象物の回転保持体。
【請求項８】
請求項２に記載のウェブ状成膜対象物の回転保持体において、
前記表面性調整部材は板厚が０．１ｍｍ以下の金属又は樹脂の板材を用いて構成されていることを特徴とするウェブ状成膜対象物の回転保持体。
【請求項９】
ウェブ状成膜対象物を回転保持体表面に接触保持させて搬送し、前記回転保持体表面に対向して配置された成膜装置にて前記ウェブ状成膜対象物の表面を成膜して成膜体とする成膜体製造方法であって、
前記回転保持体として、駆動回転し且つ予め決められた温度に調整される円形断面状の回転部材と、
前記回転部材の周面のうち少なくとも前記ウェブ状成形対象物を保持する領域を含むように固着され、ウェブ状成膜対象物に対し前記回転部材の回転方向よりも当該回転方向に交差する軸方向の方が摩擦抵抗の小さい凹凸パターンを有する表面性調整部材と、
を備えたものを用いることを特徴とする成膜体製造方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の成膜体製造方法において、
前記表面性調整部材は、金属又は樹脂にて構成され、メッシュ部が連結部を介して千鳥状に連接するエキスパンドメタル形状の凹凸パターンを有することを特徴とする成膜体製造方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の成膜体製造方法において、
前記表面性調整部材と前記回転部材表面との間に形成される隙間に熱伝導性の良いガスを導入することを特徴とする成膜体製造方法。
【請求項１２】
成膜前のウェブ状成膜対象物を収容する収容室、前記収容室に隣接して設けられて成膜用環境を保つ成膜室が設けられる装置筐体と、
前記収容室内のウェブ状成膜対象物を前記成膜室に移動させ、成膜室内で成膜完了した成膜体を前記収容室又は前記成膜室の予め決められた箇所に移動させる移動機構と、
前記成膜室内に一若しくは複数設置され、前記移動機構にて移動させられるウェブ状成膜対象物の表面を成膜する成膜装置と、
を備え、
前記移動機構は、前記成膜室に設置され、前記ウェブ状成膜対象物を保持して駆動回転し且つ予め決められた温度に調整される回転保持体を有し、前記回転保持体として請求項１乃至８のいずれかに記載の回転保持体を用いたことを特徴とする成膜体製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェブ状成膜対象物を回転保持する回転保持体に係り、特に、スパッタリング等の成膜中に発生する熱負荷によるウェブ状成膜対象物のシワの発生を低減させる上で有効な回転保持体及びこれを用いてウェブ状成膜対象物に成膜して成膜体を製造する成膜体製造方法並びにその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネル、ノートパソコン、デジタルカメラ、携帯電話等には、耐熱性樹脂フィルム上に金属膜を被覆して得られる多種類のフレキシブル配線基板が用いられ、このフレキシブル配線基板には、耐熱性樹脂フィルムの片面若しくは両面に金属膜を成膜した金属膜付耐熱性樹脂フィルムが用いられている。そして、金属膜付耐熱性樹脂フィルムは、配線パターンの繊細化、高密度化に伴い、金属膜付耐熱性樹脂フィルム自体が平面であることが重要である。
【０００３】
この種の金属膜付耐熱性樹脂フィルムの製造方法として、従来、金属箔を接着剤により耐熱性樹脂フィルムに貼り付けて製造する方法（３層基板の製造方法）、金属箔に耐熱性樹脂溶液をコーティングしかつ乾燥させて製造する方法（キャスティング法）、および、耐熱性樹脂フィルムに真空成膜法若しくは真空成膜法と湿式めっき法により金属膜を成膜して製造する方法（メタライジング法）等が知られている。また、メタライジング法の真空成膜法には、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームスパッタリング法等がある。
【０００４】
そして、メタライジング法として、特許文献１では、ポリイミド絶縁層上にクロム層をスパッタリングした後、銅をスパッタリングしてポリイミド絶縁層上へ導体層を形成する方法が開示され、特許文献２では、ポリイミドフィルム上に、銅ニッケル合金をターゲットとしてスパッタリングにより形成された第一の金属薄膜と、銅をターゲットとしてスパッタリングにより形成された第二の金属薄膜の順に積層して形成されたフレキシブル回路基板用材料が開示されている。尚、ポリイミドフィルム（基板）の様な耐熱性樹脂フィルムに真空成膜を行うにはスパッタリングウェブコータを用いることが一般的である。
【０００５】
ところで、上述した真空成膜法において、一般に、スパッタリング法は密着力に優れる反面、真空蒸着法より耐熱性樹脂フィルムに与える熱負荷が大きいといわれている。そして、成膜の際に、耐熱性樹脂フィルムに大きな熱負荷が作用するとフィルムシワが発生してしまう。このシワを防ぐために、金属膜付耐熱性樹脂フィルムの製造装置であるスパッタリングウェブコータでは、キャンロールによりスパッタリング中の耐熱性樹脂フィルムを裏面から冷却する構造になっている。例えば、特許文献３には、スパッタリングウェブコータの一例である巻取式真空スパッタリング装置が開示され、この巻取式真空スパッタリング装置は、水冷キャンロールを備え、サブロールにより水冷キャンロールへの密着を制御している。
【０００６】
しかし、成膜速度を向上させるためにスパッタ装置のカソードに大電力を印加すると、水冷キャンロールだけでは金属膜付耐熱性樹脂フィルムの冷却が不十分となり、フィルムシワが発生する。このシワを低減させるためにキャンロールの表面構造を工夫した技術として、例えば、特許文献４には、キャンロールが、軸方向と略平行に設けられる溝又は軸方向略中央から両端部に向けてＶ字状となるように延びる溝をロール表面に有する耐熱性樹脂フィルムの成膜方法が開示されている。
【０００７】
しかし、キャンロールの表面に溝加工を行うため、製作費が高価になるとともに、補修が極めて困難になるという懸念を有していた。
【０００８】
そこで、金属膜のスパッタリング成膜中に耐熱性樹脂フィルムへ大きな熱負荷が作用した際にシワの発生を低減させること、特に、フィルム幅方向の伸びに起因するシワの発生を低減でき、且つ、安価な金属膜付耐熱性樹脂フィルムの製造装置が望まれていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平２−９８９９４号公報（問題点を解決するための手段）
【特許文献２】特開平６−９７６１６号公報（課題を解決するための手段，図１）
【特許文献３】特開昭６２−２４７０７３号公報（発明を実施するための最良の形態，図１）
【特許文献４】特開２０１１−９４２２１号公報（発明の実施の形態，図２，図３）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明が解決しようとする技術的課題は、所望の表面性を安価に構築することで、ウェブ状成膜対象物の搬送方向に交差する方向へのシワの発生を抑制しつつ、ウェブ状成膜対象物を搬送可能に保持することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
そこで、上記課題を解決するため、本発明者が鋭意研究を続けた結果、ウェブ状成膜対象物、例えばポリイミドフィルム等の長尺耐熱性樹脂フィルムが接触する回転保持体としてのキャンロールについて、長尺耐熱性樹脂フィルムの長手方向より幅方向の方が滑り易くなるように、キャンロールのロール本体の表面にその表面性を調整するための部材を固着することで、当該部材の表面に接触する長尺耐熱性樹脂フィルムに対しその長手方向のグリップ力を保持したまま、フィルム幅方向の伸びに起因するシワの発生が低減されることを見出すに至った。本発明はこのような技術的着想により完成されている。
【００１２】
すなわち、本発明の第１の技術的特徴は、ウェブ状成膜対象物の表面を成膜装置にて成膜するときに、前記ウェブ状成膜対象物を回転保持する回転保持体であって、駆動回転し且つ予め決められた温度に調整される円形断面状の回転部材と、前記回転部材の周面のうち少なくとも前記ウェブ状成膜対象物を保持する領域を含むように固着され、ウェブ状成膜対象物に対し前記回転部材の回転方向よりも当該回転方向に交差する軸方向の方が摩擦抵抗の小さい凹凸パターンを有する表面性調整部材と、を備えたことを特徴とするウェブ状成膜対象物の回転保持体である。
本発明の第２の技術的特徴は、第１の技術的特徴を備えたウェブ状成膜対象物の回転保持体において、前記表面性調整部材は、金属又は樹脂にて構成され、メッシュ部が連結部を介して千鳥状に連接するエキスパンドメタル形状の凹凸パターンを有することを特徴とするウェブ状成膜対象物の回転保持体である。
本発明の第３の技術的特徴は、第２の技術的特徴を備えたウェブ状成膜対象物の回転保持体において、前記表面性調整部材は、前記回転部材の周面における法線方向に対し前記連結部が当該回転部材の回転方向に抗する方向に向かって傾斜配置されていることを特徴とするウェブ状成膜対象物の回転保持体である。
本発明の第４の技術的特徴は、第２の技術的特徴を備えたウェブ状成膜対象物の回転保持体において、前記表面性調整部材は、ステンレス鋼、アルミニウム、チタン又は銅の金属にて構成されていることを特徴とするウェブ状成膜対象物の回転保持体である。
本発明の第５の技術的特徴は、第２の技術的特徴を備えたウェブ状成膜対象物の回転保持体において、前記表面性調整部材は、ポリテトラフルオロエチレンの樹脂にて構成されていることを特徴とするウェブ状成膜対象物の回転保持体である。
本発明の第６の技術的特徴は、第２の技術的特徴を備えたウェブ状成膜対象物の回転保持体において、前記表面性調整部材は金属にて構成され、金属の表面には保護膜を有することを特徴とするウェブ状成膜対象物の回転保持体である。
本発明の第７の技術的特徴は、第２の技術的特徴を備えたウェブ状成膜対象物の回転保持体において、前記表面性調整部材は金属にて構成され、金属の表面はエッチング又は研磨処理にてエッジ部を曲面状に形成したものであることを特徴とするウェブ状成膜対象物の回転保持体である。
本発明の第８の技術的特徴は、第２の技術的特徴を備えたウェブ状成膜対象物の回転保持体において、前記表面性調整部材は板厚が０．１ｍｍ以下の金属又は樹脂の板材を用いて構成されていることを特徴とするウェブ状成膜対象物の回転保持体である。
【００１３】
本発明の第９の技術的特徴は、ウェブ状成膜対象物を回転保持体表面に接触保持させて搬送し、前記回転保持体表面に対向して配置された成膜装置にて前記ウェブ状成膜対象物の表面を成膜して成膜体とする成膜体製造方法であって、前記回転保持体として、駆動回転し且つ予め決められた温度に調整される円形断面状の回転部材と、前記回転部材の周面のうち少なくとも前記ウェブ状成形対象物を保持する領域を含むように固着され、ウェブ状成膜対象物に対し前記回転部材の回転方向よりも当該回転方向に交差する軸方向の方が摩擦抵抗の小さい凹凸パターンを有する表面性調整部材と、を備えたものを用いることを特徴とする成膜体製造方法である。
本発明の第１０の技術的特徴は、第９の技術的特徴を備えた成膜体製造方法において、前記表面性調整部材は、金属又は樹脂にて構成され、メッシュ部が連結部を介して千鳥状に連接するエキスパンドメタル形状の凹凸パターンを有することを特徴とする成膜体製造方法である。
本発明の第１１の技術的特徴は、第１０の技術的特徴を備えた成膜体製造方法において、前記表面性調整部材と前記回転部材表面との間に形成される隙間に熱伝導性の良いガスを導入することを特徴とする成膜体製造方法である。
【００１４】
本発明の第１２の技術的特徴は、成膜前のウェブ状成膜対象物及び成膜後の成膜体を収容する収容室、前記収容室に隣接して設けられて成膜用環境を保つ成膜室が設けられる装置筐体と、前記収容室内のウェブ状成膜対象物を前記成膜室に移動させ、成膜室内で成膜完了した成膜体を前記収容室又は前記成膜室の予め決められた箇所に移動させる移動機構と、前記成膜室内に一若しくは複数設置され、前記移動機構にて移動させられるウェブ状成膜対象物の表面を成膜する成膜装置と、を備え、前記移動機構は、前記成膜室に設置され、前記ウェブ状成膜対象物を保持して駆動回転し且つ予め決められた温度に調整される回転保持体を有し、前記回転保持体として第１乃至第８のいずれかの技術的特徴を備えた回転保持体を用いたことを特徴とする成膜体製造装置である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の第１の技術的特徴によれば、所望の表面性を安価に構築することで、ウェブ状成膜対象物の搬送方向に交差する方向へのシワの発生を抑制しつつ、ウェブ状成膜対象物を搬送可能に保持することができる。
本発明の第２の技術的特徴によれば、ウェブ状成膜対象物を保持する回転保持体に対して所望の表面性を容易に構築することができる。
本発明の第３の技術的特徴によれば、表面性調整部材としてエキスパンドメタル形状の凹凸パターンを使用する上で所望の表面性を確実に得ることができる。
本発明の第４の技術的特徴によれば、表面性調整部材としてエキスパンドメタル形状の凹凸パターンを金属素材にて構築することができる。
本発明の第５の技術的特徴によれば、表面性調整部材としてエキスパンドメタル形状の凹凸パターンを樹脂素材にて構築することができる。
本発明の第６の技術的特徴によれば、保護膜を用いない態様に比べて、回転保持体の表面特性を長期に亘って維持することができる。
本発明の第７の技術的特徴によれば、表面性調整部材のエッジ部によるウェブ状成膜対象物の損傷を有効に防止することができる。
本発明の第８の技術的特徴によれば、板厚が厚い表面性調整部材に比べて、ウェブ状成膜対象物に対する損傷や凹みの発生を有効に防止することができる。
【００１６】
本発明の第９の技術的特徴によれば、ウェブ状成膜対象物に成膜して成膜体を製造するに際し、所望の表面性を安価に構築することで、ウェブ状成膜対象物の搬送方向に交差する方向へのシワの発生を抑制しつつ、ウェブ状成膜対象物を搬送可能に保持することができる。
本発明の第１０の技術的特徴によれば、ウェブ状成膜対象物を成膜して成膜体を製造するに際し、ウェブ状成膜対象物を保持する回転保持体に対して所望の表面性を容易に構築することができる。
本発明の第１１の技術的特徴によれば、ウェブ状成膜対象物を成膜する際の熱負荷に対して冷却作用を有効に強化することができる。
本発明の第１２の技術的特徴によれば、所望の表面性を安価に構築することで、ウェブ状成膜対象物の搬送方向に交差する方向へのシワの発生を抑制しつつ、ウェブ状成膜対象物を搬送可能に保持することが可能な回転保持体を含む成膜体製造装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】（ａ）は本発明に係るウェブ状成膜対象物の回転保持体を用いた成膜体製造装置の実施の形態の概要を示す説明図、（ｂ）は表面性調整部材の一例を示す説明図、（ｃ）は（ａ）中Ｃ部拡大図である。
【図２】実施の形態１に係る成膜体製造装置の全体構成を示す説明図である。
【図３】（ａ）は実施の形態１で用いられるキャンロールを示す説明図、（ｂ）はキャンロールの分割説明図である。
【図４】（ａ）は実施の形態１で用いられる表面性調整部材を示す説明図、（ｂ）は（ａ）中Ｂ部の拡大説明図、（ｃ）は（ｂ）中Ｃ−Ｃ線断面説明図である。
【図５】（ａ）は実施の形態１で用いられるキャンロールの周辺構造を示す説明図、（ｂ）は（ａ）中Ｂ部の拡大説明図である。
【図６】（ａ）は実施の形態１で用いられる表面性調整部材の長尺耐熱性樹脂フィルムとの接触部の構成例を示す説明図、（ｂ）は比較の形態１で用いられる表面性調整部材の設置例を示す説明図である。
【図７】実施の形態１で用いられる表面性調整部材の表面性を評価するための評価方法の一例を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
◎実施の形態の概要
図１（ａ）はウェブ状成膜対象物に成膜して成膜体を製造する成膜体製造装置の実施の形態の概要を示す。
同図において、成膜体製造装置は、成膜前のウェブ状成膜対象物５を収容する収容室、収容室に隣接して設けられて成膜用環境を保つ成膜室が設けられる装置筐体（図示せず）と、収容室内のウェブ状成膜対象物５を成膜室に移動させ、成膜室内で成膜完了した成膜体５'を収容室又は成膜室の予め決められた箇所に移動させる移動機構６と、成膜室内に一若しくは複数設置され、移動機構６にて移動させられるウェブ状成膜対象物５の表面を成膜する成膜装置４と、を備え、移動機構６は、成膜室に設置され、ウェブ状成膜対象物５を保持して駆動回転し且つ予め決められた温度に調整される回転保持体１を有している。
尚、図１（ａ）中、符号７は移動機構６の一構成要素で、ウェブ状成膜対象物５を掛け渡し搬送する搬送部材である。
【００１９】
ここで、装置筐体は収容室と成膜室とを含むものであればよく、収容室はウェブ状成膜対象物５のみならず、ウェブ状成膜対象物５及び成膜体５'を別個に収容するものでもよいし、共用して収容するものでもよい。
また、移動機構６は、収容室と成膜室との間で、ウェブ状成膜対象物５を移動し、成膜後の成膜体５'を収容室又は成膜室の予め決められた箇所に移動させるものであれば適宜選定して差し支えないが、収容室と成膜室とは室内環境が通常異なるので、両者の室内環境を維持するように留意する必要がある。
更に、成膜装置４としては、マグネトロンスパッタ装置、イオンビームスパッタ装置などウェブ状成膜対象物５を成膜するものを広く含む。
【００２０】
本実施の形態において、回転保持体１は、図１（ａ）に示すように、駆動回転し且つ予め決められた温度に調整される円形断面状の回転部材２と、回転部材２の周面のうち少なくともウェブ状成膜対象物５を保持する領域を含むように固着され、ウェブ状成膜対象物５に対し回転部材２の回転方向よりも当該回転方向に交差する軸方向の方が摩擦抵抗の小さい凹凸パターンを有する表面性調整部材３と、を備えたものである。
【００２１】
このような技術的手段において、ウェブ状成膜対象物５は主として長尺耐熱性樹脂フィルムを対象とするが、これに限られるものではなく、ウェブ状で成膜対象となるものを広く含む。
また、回転部材２は円形断面を有する態様で、駆動回転すると共に、成膜装置４による成膜処理時に冷却する上で予め決められた温度に調整されるものであればよい。
更に、表面性調整部材３は回転部材２の周面全域を含むように設けてもよいが、少なくともウェブ状成型対象物５を保持する領域を含むように設ければよい。そして、表面性調整部材３の固着方法としては、回転部材２の周面に固着可能であればよく、例えば接着剤等の固着剤を用いて貼り付けるようにしたり、あるいは、表面性調整部材３が金属製であれば溶接、樹脂製であれば溶着など適宜選定して差し支えない。
更にまた、表面性調整部材３は回転部材２の回転方向より軸方向の方が摩擦抵抗の小さい凹凸パターンを有する態様を広く含む。この場合、凹凸パターンとしては、回転部材２の軸方向に略平行に延びる態様や、回転部材２の軸方向中央からＶ字状に延びる態様をも含むが、好ましくは後述するエキスパンドメタル形状の態様がよい。
【００２２】
本実施の形態では、回転保持体１を製造するに当たって、回転部材２とは別部品として表面性調整部材３を予め用意しておき、回転部材２周面に表面性調整部材３を固着すればよいため、回転部材２の表面に凹凸パターンを一体的に形成する態様に比べて、製造リスクが抑えられる。
また、表面性調整部材３の凹凸パターンは、回転方向の摩擦抵抗が大きいことから、ウェブ状成膜対象物５に接触したときにウェブ状成膜対象物５に対する保持力（グリップ力）を確保することでウェブ状成膜対象物５を搬送し、一方、軸方向の摩擦抵抗が小さいことから、ウェブ状成膜対象物５に接触したときにシワが発生しようとしても、当該ウェブ状成膜対象物５は軸方向に滑り易いことから、シワの発生は抑えられる。
【００２３】
次に、本実施の形態に係る回転保持体の代表的態様又は好ましい態様について説明する。
表面性調整部材３の代表的態様としては、図１（ｂ）（ｃ）に示すように、金属又は樹脂にて構成され、メッシュ部３ａが連結部３ｂを介して千鳥状に連接するエキスパンドメタル形状の凹凸パターンを有する態様が挙げられる。
本例において、「エキスパンドメタル形状」とは「メッシュ部３ａが連結部３ｂを介して千鳥状に連接するもの」として定義する。ここで、メッシュ部の形状としては例えば菱形や亀甲形が挙げられる。また、エキスパンドメタル形状の凹凸パターンの製造方法としては、金属又は樹脂製の板材を、エキスパンドメタル製造機によって千鳥状に切れ目を入れながら押し広げ、その切れ目をメッシュ部として連結部を介して連接するように成形する方法が挙げられる。
【００２４】
また、エキスパンドメタル形状の表面性調整部材３の好ましい態様としては、図１（ｃ）に示すように、回転部材２の周面における法線方向に対し連結部３ｂが当該回転部材２の回転方向に抗する方向に向かって傾斜配置されている態様が挙げられる。
本態様はエキスパンドメタル形状の連結部３ｂの好ましい配置姿勢を明記したものであり、エキスパンドメタル形状の各連結部３ｂが回転部材２の回転方向に抗する方向に傾斜配置されているため、当該連結部３ｂはウェブ状成膜対象物５が回転する方向に対して大きな摩擦力を与え、ウェブ状成膜対象物５に対する保持力を確保する。
これに対し、各連結部３ｂの頂面がウェブ状成膜対象物５に接触した状態では、各連結部３ｂの頂面接触部は回転部材２の略軸方向に沿ってウェブ状成膜対象物５に接触することから、当該連結部３ｂはウェブ状成膜対象物５の回転方向に交差する幅方向に対しては小さな摩擦力を与えるに過ぎす、ウェブ状成膜対象物５は連結部に沿って滑り易く、シワの発生は抑えられる。
【００２５】
また、表面性調整部材３の素材としては、ステンレス鋼、アルミニウム、チタン又は銅の金属にて構成されていてもよいし、また、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ／テフロン（登録商標））の樹脂にて構成されていてもよい。
更に、表面性調整部材３の好ましい態様としては、金属にて構成され、金属の表面には保護膜を有する態様が挙げられる。本例は、金属製のエキスパンドメタル形状の凹凸パターンを有し、その表面に保護膜を施した態様である。ここで、保護膜としては、例えばハードクロム湿式めっき膜、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）膜、テフロン（登録商標）コーティング膜あるいは金属窒化膜が挙げられる。
更にまた、表面性調整部材３の他の好ましい態様としては、金属にて構成され、金属の表面はエッチング又は研磨処理にてエッジ部を曲面状に形成したものが挙げられる。本例はエキスパンドメタル形状の凹凸パターンがウェブ状成膜対象物５に接触しても、エッジ部が曲面状に形成されているため、ウェブ状成膜対象物５を損傷する懸念がない。
また、表面性調整部材３の他の好ましい態様としては、板厚が０．１ｍｍ以下の金属又は樹脂の板材を用いて構成されている態様が挙げられる。本例は薄膜の表面性調整部材３を使用することで、ウェブ状成膜対象物５を損傷させたり、凹ませたりするのを防止する上で有効である。また、表面性調整部材３はウェブ状成膜対象物５よりも薄い方が望ましい。
【００２６】
また、成膜体５'を製造するに際し、前述した回転保持体１（回転部材２＋表面性調整部材３）を使用することで、回転保持体１によるウェブ状成膜対象物５の搬送性を確保しながら、成膜装置４による成膜処理に伴う熱負荷を受けたとしても、ウェブ状成膜対象物５のシワの発生を抑制することが可能である。
特に、表面性調整部材３としては、エキスパンドメタル形状の態様が好ましく、更に、エキスパンドメタル形状の表面性調整部材３を使用する態様では、表面性調整部材３と回転部材２表面との間に形成される隙間に熱伝導性の良いガス（例えばヘリウムガス）を導入することが好ましい。本例は、エキスパンドメタル形状の凹凸パターンを有する表面性調整部材３の特性を利用し、熱伝導性の良いガスにて空冷効果を与える態様であり、ウェブ状成膜対象物５のシワの発生を抑制するためにウェブ状成膜対象物５の熱膨脹による伸びをより少なくすることが可能である。
【００２７】
以下、添付図面に示す実施の形態に基づいて本発明をより詳細に説明する。
先ず、本実施の形態に係る成膜体製造装置における製造対象は、広く成膜対象物の表面を成膜して成膜体とするものに適用することができるものであるが、その代表的態様として、以下の実施の形態では、金属膜付耐熱性樹脂フィルムを例に挙げて説明する。
−金属膜付耐熱性樹脂フィルム−
金属膜付耐熱性樹脂フィルムとしては、耐熱性樹脂フィルムの表面にＮｉ系合金等から成る膜とＣｕ膜が積層された構造体が例示される。このような構造を有する金属膜付耐熱性樹脂フィルムは、サブトラクティブ法によりフレキシブル配線基板に加工される。ここで、サブトラクティブ法とは、レジストで覆われていない金属膜（例えば、上記Ｃｕ膜）をエッチングにより除去してフレキシブル配線基板を製造する方法である。
上記Ｎｉ合金等から成る膜はシード層と呼ばれ、金属膜付耐熱性樹脂フィルムの電気絶縁性や耐マイグレーション性等の所望の特性によりその組成が選択される。そして、シード層には、Ｎｉ−Ｃｒ合金やインコネルやコンズタンタンやモネル等の各種公知の合金を用いることができる。また、金属膜付耐熱性樹脂フィルムの金属膜（Ｃｕ膜）を更に厚くしたい場合、湿式めっき法を用いて金属膜を形成することがある。そして、電気めっき処理のみで金属膜を形成する場合と、一次めっきとして無電解めっき処理を行い、二次めっきとして電解めっき処理等の湿式めっき法を組み合わせて行う場合がある。湿式めっき処理は、常法による湿式めっき法の諸条件を採用すればよい。
また、上記金属膜付耐熱性樹脂フィルムに用いる耐熱性樹脂フィルムとしては、例えば、ポリイミド系フィルム、ポリアミド系フィルム、ポリエステル系フィルム、ポリテトラフルオロエチレン系フィルム、ポリフェニレンサルファイド系フィルム、ポリエチレンナフタレート系フィルムまたは液晶ポリマー系フィルムから選ばれる樹脂フィルムが挙げられ、金属膜付フレキシブル基板としての柔軟性、実用上必要な強度、配線材料として好適な電気絶縁性を有する点から好ましい。
尚、上記金属膜付耐熱性樹脂フィルムとして、長尺耐熱性樹脂フィルムへＮｉ-Ｃｒ合金やＣｕ等の金属膜を積層した構造体を例示したが、上記金属膜のほか、目的に応じて酸化物膜、窒化物膜、炭化物膜等の成膜にも適用できることは勿論である。
【００２８】
図２は本実施の形態１に係る成膜体製造装置の全体構成を示す。
−成膜体製造装置の全体構成−
本実施の形態では、成膜体製造装置は、ウェブ状の長尺耐熱性樹脂フィルムの表面を金属膜で成膜して成膜体とする製造装置を示し、この種の金属膜付耐熱性樹脂フィルムの製造装置には、長尺状耐熱樹脂フィルム面に効率よく金属膜が成膜されるスパッタリングウェブコータが一般的に用いられている。
すなわち、金属膜付耐熱性樹脂フィルムの製造装置（スパッタリングウェブコータ）１０は、装置筐体としての真空チャンバ１１を有し、この真空チャンバ１１内の上部には成膜前の長尺耐熱性樹脂フィルム１３が収容される収容室１１ａを、下部に成膜室１１ｂを確保するように仕切り板１２によって区画されている。
また、長尺耐熱性樹脂フィルム１３は、仕切り板１２に設けられた開口１２ａを通じて収容室１１ａから成膜室１１ｂに搬入されている。尚、仕切り板１２の開口１２ａの気密性を高めるため、２本のロールが近接して配置されたスリットロールを開口１２ａに付設してもよい。また、収容室１１ａと成膜室１１ｂとは、別系統のドライポンプ、メカニカルブースターポンプとターボ分子ポンプを用いて、独立排気している。
【００２９】
また、長尺耐熱性樹脂フィルム１３は、収容室１１ａ内に設けられた巻出しロール１４から巻き出されて成膜室１１ｂ内の巻取りロール２２に巻き取られるようになっており、これ等巻出しロール１４と巻取りロール２２間の搬送路上に、モータ駆動されかつ温調された冷媒が内部に循環するキャンロール１９が配置されている。
更に、上記巻出しロール１４と巻取ロール２２間の搬送路上には、長尺耐熱性樹脂フィルム１３を案内するガイドロール１５、１６、１７、２１が設けられており、かつ、キャンロール１９の両側近傍には、キャンロール１９の周速度との調整によってキャンロール１９外周面に長尺耐熱性樹脂フィルム１３を密着させるモータ駆動のフィードロール１８、２０が配置されている。
そして、巻出しロール１４と巻取りロール２２はパウダークラッチ等により長尺耐熱性樹脂フィルム１３の張力バランスを保っており、キャンロール１９の回転とこれに連動して回転するモータ駆動のフィードロール１８、２０により、巻出しロール１４から長尺耐熱性樹脂フィルム１３が巻き出されて巻取りロール２２に巻き取られるようになっている。
【００３０】
更に、キャンロール１９の近傍には、キャンロール１９の外周面に対向して複数（本例では４つ）の成膜装置としてマグネトロンスパッタ装置３１〜３４が設置されている。
そして、本例では、各マグネトロンスパッタ装置３１〜３４による成膜処理を行う前に
長尺耐熱性樹脂フィルム１３と金属膜との密着性を高めるための表面処理ユニット２５が収容室１１ａ内に設けられている。尚、表面処理ユニット２５における真空中での表面処理方法として、プラズマ処理、イオンビーム処理、ＵＶ光処理等がある。
また、マグネトロンスパッタ装置３１〜３４による成膜処理には、板状ターゲットを使用することが好ましいが、板状ターゲットを用いた場合、ターゲット上にノジュール（異物の成長）が発生することがある。このため、ノジュール（異物の成長）の発生がなく、ターゲットの使用効率も高い円筒形のロータリーターゲットを使用してもよい。
【００３１】
−キャンロールの構成−
本実施の形態において、キャンロール１９は、図３（ａ）（ｂ）に示すように、モータ駆動され且つ温調された冷媒が内部を循環する金属製の回転ロール４１と、この回転ロール４１の周面を覆うように固着され、回転ロール４１の表面性を調整する表面性調整部材４２と、を備えている。
＜表面性調整部材＞
本例において、表面性調整部材４２は、長尺耐熱性樹脂フィルム１３に対しその長手方向（搬送方向）より幅方向の方が滑り易くなるように形成されており、これにより長尺耐熱性樹脂フィルム１３は幅方向に自由に伸びることが可能になってフィルムシワの発生が抑制されるようになっている。
本例では、表面性調整部材４２としては、金属あるいは樹脂による板材にエキスパンドメタル形状Ｅｍの凹凸パターンを成形したものが用いられ、回転ロール４１の周面全域に固着されている。ここで、表面性調整部材４２の素材のうち金属としては熱伝導率の高いステンレス鋼、アルミニウム、チタン又は銅が用いられ、また、樹脂としてはテフロン（登録商標）が用いられる。更に、表面性調整部材４２の回転ロール４１への固着法としては溶接、溶着、耐熱性接着剤等の使用が可能である。
【００３２】
ここで、エキスパンドメタル形状について説明する。
本例において、エキスパンドメタル形状Ｅｍは、図４（ａ）に示すように、菱形状のメッシュ部４２ａが連結部４２ｂを介して千鳥状に連接するものである。
このようなエキスパンドメタル形状Ｅｍの製造方法としては、既存のエキスパンドメタル製造機に設置された金型（上刃，下刃）の上刃が、メッシュ寸法に応じたストロークで上下運動を繰り返し、更に、カム機構又はレバー機構にて上刃の上下運動に連動して横方向へ１／２ストローク移動する一方、原板である板材は上刃の上下運動に連動して送り装置にて間欠的に横方向及び上下方向に直交する前方向に送られる。このような成形原理によって、上刃は原板に千鳥状の切れ目を入れ、同時にこれを押し広げながらメッシュ部４２ａを成形する。
このため、エキスパンドメタル形状Ｅｍのメッシュ部４２ａは、図４（ｂ）（ｃ）に示すように、板厚Ｔの原板としての板材に対し刻み幅Ｗの棒状枠４２ｃを有し、各棒状枠４２ｃの交差箇所を連結部４２ｂにて重ねて連接するようにしたものである。このため、連結部４２ｂは連結長さＪにて各棒状枠４２ｃを連結し、かつ、全厚Ｈ（Ｈ＞Ｗ）の厚みを有している。尚、図４（ｂ）中、ＳＷはメッシュ部４２ａの短手方向中心間距離を示し、ＬＷはメッシュ部４２ａの長手方向の中心間距離を示す。
更に、本実施の形態では、メッシュ部４２ａの連結部４２ｂは、図４（ｃ）に示すように、表面性調整部材４２を平面上に設置したときに、その法線方向に対して傾斜配置されるようになっている。
このように製造された表面性調整部材４２は、例えば耐熱性樹脂フィルムの厚さよりも薄い原板としての板材を用いることが望ましく、本例では０．１ｍｍ以下の板厚Ｔの板材が用いられている。このようなエキスパンドメタル形状Ｅｍの凹凸パターンを有する表面性調整部材４２は、図３（ｂ）に示すように、全体として可撓性を有するシート状に形成されるため、回転ロール４１の周面に倣って配置することが可能である。
【００３３】
また、本例においては、表面性調整部材４２は、図５（ａ）（ｂ）に示すように、エキスパンドメタル形状Ｅｍの凹凸パターンのうち、キャンロール１９の回転ロール４１の周面における法線方向Ｌ０に対し連結部４２ｂが当該回転ロール４１の回転方向に抗する方向に向かって所定角度θで傾斜するように配置されている。ここで、傾斜角度θとしては適宜選定して差し支えないが、本例では２０〜４０度の範囲で選定されている。
このように表面性調整部材４２を配置することにしたのは以下の理由による。
つまり、図５（ｂ）に示すように、エキスパンドメタル形状Ｅｍの連結部４２ｂが耐熱性樹脂フィルム１３の搬送方向（キャンロール１９の回転方向に相当）に抗する方向に向かって傾斜配置されていると、連結部４２ｂの頂面が耐熱性樹脂フィルム１３の搬送方向への移動を阻止するように耐熱性樹脂フィルム１３に強く食い込むことから、連結部４２ｂと耐熱性樹脂フィルム１３との接触部における摩擦抵抗（摩擦力）が大きくなり、その分、連結部４２ｂによる耐熱性樹脂フィルム１３の保持力（グリップ力）が強くなる点で好ましい。
これに対し、図６（ｂ）に示す比較の形態１にあっては、エキスパンドメタル形状Ｅｍの連結部４２ｂが耐熱性樹脂フィルム１３の搬送方向（キャンロール１９の回転方向に相当）に向かって傾斜配置されているため、連結部４２ｂの頂面が耐熱性樹脂フィルム１３の搬送方向に沿って当該耐熱性樹脂フィルム１３に食い込む。このため、連結部４２ｂと耐熱性樹脂フィルム１３との接触部における摩擦抵抗（摩擦力）が図５（ｂ）に示す態様に比べて小さくなり、その分、連結部４２ｂによる耐熱性樹脂フィルム１３の保持力（グリップ力）が弱くなってしまう。
よって、本例では、表面性調整部材４２としては、図５（ｂ）に示すような態様で、回転ロール４１周面に設置する方式が採用されている。
【００３４】
また、本例では、表面性調整部材４２は、図５（ｂ）に示すように、エキスパンドメタル形状Ｅｍの凹凸パターンを有し、このエキスパンドメタル形状Ｅｍの連結部４２ｂの頂面が長尺耐熱性樹脂フィルム１３に接触しているが、連結部４２ｂの頂面はキャンロール１９の略軸方向に沿って延びているため、連結部４２ｂの頂面と長尺耐熱性樹脂フィルム１３との接触部では、キャンロール１９の回転方向の摩擦抵抗よりも軸方向の摩擦抵抗が小さい特性を有している。
このため、成膜装置３１〜３４による成膜処理に伴って長尺耐熱性樹脂フィルム１３が熱負荷を受けたとしても、長尺耐熱性樹脂フィルム１３はキャンロール１９の軸方向に沿って滑り易いことから、長尺耐熱性樹脂フィルム１３が幅方向に対してシワを発生するという懸念は少ない。
このように、本例における表面性調整部材４２は、キャンロール１９の軸方向については長尺耐熱性樹脂フィルム１３に対して小さい摩擦係数を有するものであるが、キャンロール１９の回転方向については長尺耐熱性樹脂フィルム１３を保持して搬送するという観点から、長尺耐熱性摩擦抵抗１３に対して大きな摩擦係数を有するものであることが必要である。
【００３５】
また、表面性調整部材４２の素材として金属を用いる場合にあっては、図６（ａ）に示すように、エキスパンドメタル形状Ｅｍの連結部４２ｂの頂面か耐熱性樹脂フィルム１３に接触することになるが、連結部４２ｂの頂面の隅部４３が鋭利なエッジ部であると、耐熱性樹脂フィルム１３を損傷する懸念があるため、連結部４２ｂの頂面の隅部４３をエッチングや研磨加工により滑らかに仕上げるようにしてもよい。
また、表面性調整部材４２の表面性を維持するという観点から、図６（ａ）に示すように、表面性調整部材４２の表面にハードクロム湿式めっき膜、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）膜、テフロン（登録商標）コーティング膜あるいは金属窒化膜などの保護膜４４を施すようにしてもよい。
【００３６】
−表面性調整部材の性能評価−
本実施の形態では、表面性調整部材４２の性能評価は、図７に示すように、例えば以下のように行われる。
ここで、曲面状のキャンロール１９上での性能評価試験は困難なため、本例では、性能評価試験は平面上で実施可能な簡易な性能評価装置を用いて行うようにしている。
本例において、性能評価装置５０は、所定厚（例えば厚さ０．１ｍｍ）のステンレス鋼製（又はテフロン（登録商標）製）の板材を用いてエキスパンドメタル形状Ｅｍに加工した試験シート５１（表面性調整部材４２に相当）を作製し、この試験シート５１をステンレス鋼製の台座５２の表面に接着剤で貼り付けたものである。ここで、ステンレス鋼製エキスパンドメタル形状Ｅｍに加工した試験シート５１は連結部４２ｂのエッジが鋭利であったため、エッチング処理によりエッジ部分を滑らかに加工してある。
そして、大気中にて、試験シート５１の表面に所定厚（例えば厚さ３８μｍ）の試験用の耐熱性樹脂フィルム（例えばポリイミドフィルム）５３を配置し、その上に所定重量（例えば１００ｇ）のおもりＷｔを乗せ、図７に示すように、試験シート５１の連結部４２ｂの傾斜姿勢に対し、試験用の耐熱性樹脂フィルム５３を矢印Ａ方向（試験シート５１の連結部４２ｂの傾斜姿勢に抗する方向）、矢印Ｂ方向（矢印Ａ方向の反対方向）、矢印Ｃ方向（矢印Ａ，Ｂ方向に直交する方向）に向けて耐熱性樹脂フィルム５３を移動させ、そのときに移動に伴う力を測定する。
このような性能評価試験を行った結果、例えば以下のような結果に至る。
矢印Ａ方向に移動させる力をＦＡとすると、
矢印Ｂ方向に移動させる力ＦＢはＦＡの１／２以下であり、
矢印Ｃ方向に移動させる力ＦＣはＦＡの１／３以下であった。
このことから、上記エキスパンドメタル形状Ｅｍに加工した試験シート５１の作用により、試験シート５１の設置モデルでは、矢印Ａ方向に移動させる力ＦＡが大きく、矢印Ｃ方向に移動させる力ＦＣが小さいことなら、試験シート５１の摩擦力（摩擦抵抗）の方向性が大気中にて確認された。そして、同様な現象が、真空中においても起こっていると推測される。
【００３７】
−表面性調整部材の有効な適用例−
図５（ａ）（ｂ）に示すように、エキスパンドメタル形状Ｅｍに加工した表面性調整部材４２はメッシュ部４２ａが連結部４２ｂを介して階段状に配置される立体構造を有しているため、キャンロール１９の回転ロール４１と長尺耐熱性樹脂フィルム１３との間に挟まれたとしても、ガスが通過することが可能である。そこで、本実施の形態においては、熱伝導率の良いガスＧＳ（例えばヘリウムガス）をガス吹出し口２７からエキスパンドメタル形状Ｅｍに加工した表面性調整部材４２に吹き付けることで、長尺耐熱性樹脂フィルム１３とキャンロール１９との熱伝導を向上させることができる。
本例では、ガス吹出し口２７はキャンロール１９とフィードロール１８との間に設けられ、長尺耐熱性樹脂フィルム１３がキャンロール１９に掛け渡される直前の位置にてキャンロール１９の表面及び耐熱性樹脂フィルム１３に熱伝導率の良いガスＧＳを吹き付けるようになっている。
【００３８】
−フィードロール−
本実施の形態では、キャンロール１９に対して長尺耐熱性樹脂フィルム１３を密着させるために、キャンロール１９の前後にモータ駆動されるフィードロール１８，２０を配置する構成が採用されている。つまり、キャンロール１９に隣接し搬送路の上流側に配置される上流側モータ駆動フィードロール１８と、キャンロール１９に隣接し搬送路の下流側に配置される下流側モータ駆動フィードロール２０とを備えた態様である。
ここで、上流側モータ駆動フィードロール１８、キャンロール１９及び下流側モータ駆動フィードロール２０の周速度は、長尺耐熱性樹脂フィルム１３の搬送方向下流側に位置する程速くなるように制御されており、上記周速度が搬送方向下流側に位置する程速くなるように制御されることで、長尺耐熱性樹脂フィルム１３は上述したように搬送方向に伸ばされ、キャンロール１９表面に接触（密着）させることが可能となる。
また、長尺耐熱性樹脂フィルム１３に張力を付与するためにガイドロール１７，２１をエキスパンドロールとし、フィードロール１８，２０とエキスパンドロールとの両者を組み合わせることで、キャンロール１９の表面に長尺耐熱性樹脂フィルム１３を接触（密着）させるようにしてもよい。このように、フィードロール１８，２０とエキスパンドロールとの両者を組み合わせて長尺耐熱性樹脂フィルム１３を長さ方向に伸ばす方法は、エキスパンドロールを用いない上述のフィードロール１８，２０とキャンロール１９とによる制御方式よりも正確な調整が可能となる。
ここで、各ロール表面はハードクロム湿式めっき膜に形成されていてもよく、あるいは、ＣＶＤ法（化学気相成膜法）、ＡＬＤ法（原子層堆積法）、イオンプレーティング法、スパッタリング法等により形成された硬質で耐摩耗性の高いＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）膜表面若しくは金属窒化膜表面に形成されていてもよい。
【実施例】
【００３９】
以下、本発明を適用した具体的な実施例について説明するが、本発明は、これらの実施例に限定されるものではない。
＜実施例１＞
図２に示す金属膜付耐熱性樹脂フィルムの製造装置１０（スパッタリングウェブコータ）を用い、長尺耐熱性樹脂フィルム１３には、幅５００ｍｍ、長さ５００ｍ、厚さ３８μｍの宇部興産株式会社製の耐熱性ポリイミドフィルム「ユーピレックス（登録商標）」を使用した。
また、図２に示すキャンロール１９は、直径９００ｍｍ、幅７５０ｍｍのステンレス鋼製の回転ロール４１（図３参照）を有している。厚さ０．１ｍｍのステンレス製の板材をエキスパンドメタル形状に加工した表面性調整部材４２をキャンロール１９表面に、エキスパンドメタル形状の連結部４２ｂの頂面が耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）１３の搬送方向に抗する方向に向かうように、キャンロール１９表面に溶接して固着した。ステンレス鋼製のエキスパンドメタル形状に加工した表面性調整部材４２は連結部４２ｂの頂面隅部のエッジ部分が鋭利であったため、エッチング処理によりエッジ部分を滑らかに加工してある。
【００４０】
また、収容室１１ａの表面処理ユニット２５には、酸素ガスが３０ｓｃｃｍ導入されるイオンビーム照射を採用し、ＤＣイオンビーム電圧３ｋＶを印加した。
また、耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）１３に成膜される金属膜はシード層であるＮｉ−Ｃｒ膜の上にＣｕ膜を成膜するものとし、かつ、マグネトロンスパッタ装置３１のターゲットにはＮｉ−Ｃｒターゲットを用い、マグネトロンスパッタ装置３２〜３４のターゲットにはＣｕターゲットを用い、更に、アルゴンガスを３００ｓｃｃｍ導入し、マグネトロンスパッタ装置３１〜３４の各カソードへの印加電力は１０ｋＷの電力制御で成膜を行った。
【００４１】
また、巻出しロール１４と巻取りロール２２の張力は８０Ｎとした。更に、上流側モータ駆動フィードロール１８の周速度はキャンロール１９の周速度の９９％とし、かつ、下流側モータ駆動フィードロール２０の周速度はキャンロール１９の周速度の１０１％とした。この設定により、耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）１３は徐々に引っ張られることになり、キャンロール１９表面に強く密着する。ここで、耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）１３がキャンロール１９表面に強く密着しないと熱伝導による冷却効果は期待できない。また、キャンロール１９は水冷により２０℃に制御されており、さらに、ガス吹出し口２７からエキスパンドメタル形状に加工した表面性調整部材４２にヘリウムガスを１０ｓｃｃｍ吹き付けて、耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）１３とキャンロール１９との熱伝導を向上させている。
【００４２】
そして、収容室１１ａの巻出しロール１４に耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）１３をセットし、かつ、表面処理ユニット２５、キャンロール１９を経由して耐熱性ポリイミドフィルム１３の先端部を巻取りロール２２に取り付けた。
また、真空チャンバ１１における成膜室１１ｂと収容室１１ａとを複数台のドライポンプにより５Ｐａまで排気した後、更に、複数台のターボ分子ポンプとクライオコイルを用いて３×１０-3Ｐａまで排気した。
また、耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）１３の搬送速度を３ｍ／分にした後、表面処理ユニット２５のイオンビームに酸素ガスを導入して電圧を印加し、かつ、各マグネトロンスパッタ装置３１〜３４のカソードにアルゴンガスを導入して電力を印加し、Ｎｉ−Ｃｒ膜のシード層とその上に成膜するＣｕ膜の成膜を開始した。
【００４３】
更に、耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）１３の長さ２９０ｍ分が通過して時点で、イオンビーム、各プラズマ反応室のプラズマとマグネトロンスパッタ装置３１〜３４の各カソードへの電力を停止し、それぞれのガス導入も停止した。
最後に、耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）１３の搬送を停止し、かつ、各ポンプを停止してから成膜室１１ｂと収容室１１ａをベント（大気開放）し、巻出しロール１４の耐熱性ポリイミドフィルム１３の終端部を外し、全ての耐熱性ポリイミドフィルム１３を巻取りロール２２に巻き取ってから取り外した。
【００４４】
そして、成膜中におけるキャンロール１９上の耐熱性ポリイミドフィルム１３表面の観察が可能なマグネトロンスパッタ装置３２のカソードの成膜ゾーンとマグネトロンスパッ装置３３のカソードの成膜ゾーンにある成膜室１１ｂの撮像カメラ２６により、キャンロール１９上の耐熱性ポリイミドフィルム１３を観察したところ、マグネトロンスパッタ装置３２のカソードの成膜ゾーンを通過した成膜直後には、キャンロール１９の回転方向と軸方向とにシワの原因となる耐熱性ポリイミドフィルム１３の浮きが見られたが、マグネトロンスパッタ装置３３のカソードの成膜ゾーンに入る直前には耐熱性ポリイミドフィルム１３の浮きは次第に無くなっていた。
【００４５】
そして、耐熱性ポリイミドフィルム１３の浮きが次第に無くなった理由は上記キャンロール１９の作用によるものと推測される。すなわち、この実施例に係る金属膜付耐熱性樹脂フィルムの製造装置におけるキャンロール１９表面には、上述したように、エキスパンドメタル形状のステンレス鋼製の表面性調整部材４２が設けられており、この表面性調整部材４２と耐熱性ポリイミドフィルム１３との接触部では、キャンロール１９の回転方向における摩擦力は大きく、キャンロール１９の軸方向における摩擦力は小さいため、耐熱性ポリイミドフィルム１３がキャンロール１９表面上を搬送されている内にフィルム幅方向に滑り移動して広がったためであると考えられる。
そして、成膜が完了した後、巻取りロール２２に巻き取られた耐熱性ポリイミドフィルム１３を大気中にて展開してシワの有無を確認したところ、シワは発見できなかった。
【００４６】
＜実施例２＞
本実施例は、図２に示す金属膜付耐熱性樹脂フィルムの製造装置の移動機構の一部が変更されている以外は実施例１と同様にして、金属膜付耐熱樹脂フィルムを製造した。
すなわち、本実施例に係る金属膜付耐熱性樹脂フィルムの製造装置は、図２に示した金属膜付耐熱性樹脂フィルムの製造装置と異なり、キャンロール１９の両側近傍に設けられた上流側モータ駆動フィードロール１８と下流側モータ駆動フィードロール２０に代え、モータ駆動を行わないエキスパンドロール（図示せず）を夫々組み込んだものである。
本実施例に係る金属膜付耐熱性樹脂フィルムの製造装置におけるキャンロール１９表面には、実施例１と同様なエキスパンドメタル形状に加工したステンレス鋼製の表面性調整部材４２が設けられており、この表面性調整部材４２と耐熱性ポリイミドフィルム１３との接触部では、キャンロール１９の回転方向における摩擦力は大きく、キャンロール１９の軸方向における摩擦力は小さく、耐熱性ポリイミドフィルム１３がキャンロール１９の表面上を搬送されている内にフィルム幅方向に滑り移動して広げられた結果、実施例１と同様に、シワの発生が抑制されている。そして、成膜が完了した後、巻取りロール２２に巻き取られた耐熱性ポリイミドフィルム１３を大気中にて展開してシワの有無を確認したところ、シワは発見できなかった。
【００４７】
＜実施例３＞
本実施例は、図２に示す金属膜付耐熱性樹脂フィルムの製造装置１０（スパッタリングウェブコータ）を用い、キャンロール１９の構成以外については、実施例１と略同様な構成を有している。
本実施例では、図２に示すキャンロール１９は、直径９００ｍｍ、幅７５０ｍｍのステンレス鋼製の回転ロール４１（図３参照）表面にハードクロムめっきが施されている。厚さ０．１ｍｍのテフロン（登録商標）製の板材をエキスパンドメタル形状に加工した表面性調整部材４２を、キャンロール１９表面に、エキスパンドメタル形状の連結部４２ｂの頂面が耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）１３の搬送方向に抗する方向に向かうように耐熱性接着剤で貼り付けた。
【００４８】
本実施例においても、撮像カメラ２６により、キャンロール１９上の耐熱性ポリイミドフィルム１３を観察したところ、マグネトロンスパッタ装置３２のカソードの成膜ゾーンを通過した成膜直後には、キャンロール１９の回転方向と軸方向とにシワの原因となるフィルムの浮きが見られたが、マグネトロンスパッタ装置３３のカソードの成膜ゾーンに入る直前にはフィルムの浮きは次第に無くなっていた。
耐熱性ポリイミドフィルム１３の浮きが次第に無くなった理由は実施例１と同様にキャンロール１９の作用によるものと推測される。すなわち、この実施例に係る金属膜付耐熱性樹脂フィルムの製造装置におけるキャンロール１９表面には、上述したように、エキスパンドメタル形状を加工したテフロン（登録商標）製の表面性調整部材４２が設けられており、この表面性調整部材４２と耐熱性ポリイミドフィルム１３との接触部では、キャンロール１９の回転方向における摩擦力は大きく、キャンロール１９の軸方向における摩擦力は小さいため、耐熱性ポリイミドフィルム１３がキャンロール１９表面上を搬送されている内にフィルム幅方向に滑り移動して広がったためであると考えられる。
そして、成膜が完了した後、巻取りロール２２に巻き取られた耐熱性ポリイミドフィルム１３を大気中にて展開してシワの有無を確認したところ、シワは発見できなかった。
【００４９】
＜実施例４＞
本実施例は、キャンロール１９の構成以外については、実施例２と同様な構成（モータ駆動を行わないエキスパンドロールを採用）を採用し、キャンロール１９については実施例３と同様な構成（テフロン（登録商標）製の表面性調整部材４２を使用）を採用したものである。
本実施例においても、実施例２と略同様に、キャンロール１９上では耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）１３のシワの発生が抑制されていることが確認された。そして、成膜が完了した後、巻取りロール２２に巻き取られた耐熱性ポリイミドフィルム１３を大気中にて展開してシワの有無を確認したところ、シワは発見できなかった。
【００５０】
＜比較例１＞
本比較例は、キャンロール１９表面に、実施例１や実施例３の表面性調整部材４２を固着していないキャンロールを用いた以外は実施例１と同様にして、金属膜付耐熱性樹脂フィルムを製造した。
本比較例において、撮像カメラ２６から、実施例１と同様、キャンロール１９上の耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）１３を観察したところ、マグネトロンスパッタ装置３２のカソードの成膜ゾーンを通過した成膜直後にキャンロール１９の回転方向と軸方向とにシワの原因となるフィルムの浮きが見られ、かつ、マグネトロンスパッタ装置３３のカソードの成膜ゾーンに入る直前でもフィルムの浮きは変化せず、そのままマグネトロンスパッタ装置３３のカソードの成膜ゾーンへ入っていった。
そして、成膜が完了した後、巻取りロール２２に巻き取られた耐熱性ポリイミドフィルム１３を大気中にて展開してシワの有無を確認したところ、シワが数カ所に発生していた。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明に係る成膜体製造装置によれば、例えば耐熱性樹脂フィルム面へ金属膜をスパッタ装置にて成膜する際、耐熱性樹脂フィルムに大きな熱負荷が作用したとしてもフィルムシワの発生が抑制されるため、製造された金属膜付耐熱性樹脂フィルムを、液晶テレビ、携帯電話等のフレキシブル配線基板に適用できる産業上の利用可能性を有している。
【符号の説明】
【００５２】
１  回転保持体
２  回転部材
３  表面性調整部材
３ａ  メッシュ部
３ｂ  連結部
４  成膜装置
５  ウェブ状成膜対象物
５'  成膜体
６  移動機構
７  搬送部材
１０  金属膜付耐熱性樹脂フィルムの製造装置
１１  真空チャンバ
１１ａ  収容室
１１ｂ  成膜室
１２  仕切り板
１２ａ  開口
１３  長尺耐熱性樹脂フィルム（耐熱性ポリイミドフィルム）
１４  巻出しロール
１５  ガイドロール
１６  ガイドロール
１７  ガイドロール
１８  上流側モータ駆動フィードロール
１９  キャンロール
２０  下流側モータ駆動フィードロール
２１  ガイドロール
２２  巻取りロール
２５  表面処理ユニット
２６  撮像カメラ
２７  ガス吹出し口
３１  マグネトロンスパッタ装置
３２  マグネトロンスパッタ装置
３３  マグネトロンスパッタ装置
３４  マグネトロンスパッタ装置
４１  回転ロール
４２  表面性調整部材
４２ａ  メッシュ部
４２ｂ  連結部
４２ｃ  棒状枠
４３  隅部
４４  保護膜
５１  試験シート
５２  台座
５３  試験用の耐熱性樹脂フィルム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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