(57)【要約】【課題】可動部の形状の自由度が高く、大きな駆動力を容易に得ることができるマイクロマシンを提供する。【解決手段】一面に液体を保持する基板と、一面の液体を保持する領域に設けられた可動部と、領域において可動部の近傍に設けられた発熱部と、を有し、発熱部は、一面において保持される液体に可動部および発熱部が埋没した状態で駆動することにより、発熱部表面の液体中に気泡を生じさせ、可動部は、気泡の周囲の液体に生じるマランゴニ対流を駆動力として駆動するマイクロマシン。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一面に液体を保持する基板と、
前記一面の前記液体を保持する領域に設けられた可動部と、
前記領域において前記可動部の近傍に設けられた発熱部と、を有し、
前記発熱部は、前記一面において保持される前記液体に前記可動部および前記発熱部が埋没した状態で駆動することにより、前記発熱部表面の前記液体中に気泡を生じさせ、
前記可動部は、前記気泡の周囲の前記液体に生じるマランゴニ対流を駆動力として駆動するマイクロマシン。
【請求項２】
前記領域において前記発熱部の周囲に設けられた壁部を有し、
前記壁部は、前記マランゴニ対流を前記可動部の駆動方向に応じた方向に整流する請求項１に記載のマイクロマシン。
【請求項３】
前記可動部は、回転軸と、
前記マランゴニ対流を受け前記回転軸の周りを回転自在に設けられた回転体、および前記マランゴニ対流を受け前記回転軸の周りを回動自在に設けられた回動体と、の少なくとも一方を有する請求項１または２に記載のマイクロマシン。
【請求項４】
一面に液体を保持する基板と、
前記一面の前記液体を保持する領域に設けられた発熱部と、
前記領域において前記発熱部の周囲に設けられた壁部と、を有し、
前記発熱部は、前記一面において保持される前記液体に前記発熱部および前記壁部が埋没した状態で駆動することにより、前記発熱部の近傍の前記液体にマランゴニ対流を生じさせ、
前記壁部は、前記マランゴニ対流により前記液体が流れる力を前記壁部の形状に応じた方向に整流するマイクロマシン。
【請求項５】
前記発熱部は、前記基板上に設けられた発熱体と、
前記発熱体に光を照射する光源と、を有する請求項１から４のいずれか１項に記載のマイクロマシン。
【請求項６】
前記発熱部は、複数の前記発熱体を有し、
前記光源は、複数の前記発熱体に任意に前記光を照射可能に設けられている請求項５に記載のマイクロマシン。
【請求項７】
前記発熱部は、前記発熱体における前記光の照射位置を走査可能な走査手段を有する請求項５に記載のマイクロマシン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロマシンに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、光硬化性樹脂に光照射して所望の三次元形状を造形する光造形法を用いて成形された、微細な構造を有するマイクロマシンが検討されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載されたマイクロマシン（流体制御デバイス）は、レーザー光の照射による遠隔操作が可能となっている。この流体制御デバイスでは、単一のレーザー光を可動部に選択的に照射して光トラッピングし、レーザー光の集光点の移動によって可動部を駆動させる光ピンセットと称される技術が適用されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第０７／０１１０５２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載のマイクロマシンでは、大きな駆動力を得るためには、光ピンセットのために高出力のレーザーが必要となり、装置が大型化してしまうという課題があった。また、光ピンセット技術を用いて駆動させるマイクロマシンでは、可動部に直接光を照射し光ピンセットを良好に作用させるために、可動部の形状や材料に多くの制約が生じ、設計の自由度が小さくなっていた。
【０００６】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、可動部の形状の自由度が高く、大きな駆動力を容易に得ることができるマイクロマシンを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明の一態様は、一面に液体を保持する基板と、前記一面の前記液体を保持する領域に設けられた可動部と、前記領域において前記可動部の近傍に設けられた発熱部と、を有し、前記発熱部は、前記一面において保持される前記液体に前記可動部および前記発熱部が埋没した状態で駆動することにより、前記発熱部表面の前記液体中に気泡を生じさせ、前記可動部は、前記気泡の周囲の前記液体に生じるマランゴニ対流を駆動力として駆動するマイクロマシンを提供する。
【０００８】
本発明の一態様においては、前記領域において前記発熱部の周囲に設けられた壁部を有し、前記壁部は、前記マランゴニ対流を前記可動部の駆動方向に応じた方向に整流する構成としてもよい。
【０００９】
本発明の一態様においては、前記可動部は、回転軸と、前記マランゴニ対流を受け前記回転軸の周りを回転自在に設けられた回転体、および前記マランゴニ対流を受け前記回転軸の周りを回動自在に設けられた回動体と、の少なくとも一方を有する構成としてもよい。
【００１０】
また、本発明の別の一態様は、一面に液体を保持する基板と、前記一面の前記液体を保持する領域に設けられた発熱部と、前記領域において前記発熱部の周囲に設けられた壁部と、を有し、前記発熱部は、前記一面において保持される前記液体に前記発熱部および前記壁部が埋没した状態で駆動することにより、前記発熱部の近傍の前記液体にマランゴニ対流を生じさせ、前記壁部は、前記マランゴニ対流により前記液体が流れる力を前記壁部の形状に応じた方向に整流するマイクロマシンを提供する。
【００１１】
本発明の一態様においては、前記発熱部は、前記基板上に設けられた発熱体と、前記発熱体に光を照射する光源と、を有する構成としてもよい。
【００１２】
本発明の一態様においては、前記発熱部は、複数の前記発熱体を有し、前記光源は、複数の前記発熱体に任意に前記光を照射可能に設けられている構成としてもよい。
【００１３】
本発明の一態様においては、前記発熱部は、前記発熱体における前記光の照射位置を走査可能な走査手段を有する構成としてもよい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、可動部の形状の自由度が高く、大きな駆動力を容易に得ることができるマイクロマシンを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】第１実施形態のマイクロマシンを示す概略斜視図である。
【図２】発熱部を説明する概略断面図である。
【図３】第１実施形態のマイクロマシンの駆動の様子を示す概略断面図である。
【図４】第２実施形態に係るマイクロマシンの説明図である。
【図５】第３実施形態に係るマイクロマシンの説明図である。
【図６】第４実施形態に係るマイクロマシンの説明図である。
【図７】第４実施形態の変形例に係るマイクロマシンの説明図である。
【図８】第５実施形態に係るマイクロマシンの説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
［第１実施形態］
以下、図１〜図３を参照しながら、本発明の第１実施形態に係るマイクロマシンについて説明する。なお、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の寸法や比率などは適宜異ならせてある。
【００１７】
図１は、本実施形態のマイクロマシン１００を示す概略斜視図である。図に示すように、本実施形態のマイクロマシン１００は、基板１０と、可動部２０と、発熱部３０とを有している。
【００１８】
基板１０は、表面（一面）１０ａに液体Ｓを保持する。このような基板１０は、表面１０ａの面方向に広がる板状部材であってもよいが、平面形状に限るものではない。また、基板１０は、液体Ｓを貯留する容器の一部であってもよい。
【００１９】
基板１０としては、透明基板及び不透明基板のいずれも用いることができる。不透明基板の形成材料としては、例えばアルミナ等のセラミックス、ステンレススチール等の金属シートに表面酸化などの絶縁処理を施したもの、熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂などの樹脂材料などが挙げられる。透明基板としては、例えばガラス、窒化ケイ素等の無機物や、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂等の有機高分子（樹脂）、またはこれらの複合材料など光透過性を備えた材料が挙げられる。本実施形態の基板１０としては、透明基板を用いることとする。
【００２０】
可動部２０は、回転軸２１と、回転軸２１を支持する支持部２２と、回転軸２１の周りを回転自在に設けられたプロペラ（回転体）２３と、を有している。
【００２１】
回転軸２１は、例えば表面１０ａの面方向に延在する棒状部材である。
【００２２】
支持部２２は、回転軸２１の両端に接続され、表面１０ａの上方の位置に回転軸２１を支持する部材である。
【００２３】
プロペラ２３は、軸方向に貫通孔２３１を有する円筒部２３ａと、円筒部２３ａの外壁面から放射状に延在して設けられた複数枚の回転翼２３ｂと、を有している。図では、プロペラ２３は回転翼２３ｂを６枚有することとして示している。また、複数の回転翼２３ｂは、円筒部２３ａの外周の周方向に等間隔に設けられている。
【００２４】
回転軸２１は、プロペラ２３の貫通孔２３１に挿通されている。支持部２２は、貫通孔２３１に挿通された回転軸２１を支持している。これにより、プロペラ２３は、回転軸２１の周りを回転自在となっている。
【００２５】
発熱部３０は、表面１０ａに設けられた発熱体３１と、発熱体３１の周囲に設けられた壁部３２と、発熱体３１に光Ｌを照射する光源３３と、を有している。
【００２６】
発熱体３１は、表面が金属材料で覆われた板状部材である。発熱体３１は、金属板または板状の芯材の表面に金属めっきを施した板材を用いることができる。板材の芯材は、形成材料として、可動部２０や壁部３２と同じものを用いることができる。発熱体３１の表面を覆う金属材料としては、例えば銅を挙げることができる。
【００２７】
壁部３２は、表面１０ａにおいて、発熱体３１を取り囲むように設けられた筒状部材である。図では、壁部３２は円筒状を呈するものとして記載している。壁部３２の一端３２ａは、表面１０ａの上方に位置し開口している。
【００２８】
壁部３２の他端３２ｂは、表面１０ａに接している。また、他端３２ｂの一部には、円筒状の壁部３２の内側と外側とを接続する切欠き３２１が設けられている。図では、２箇所の切欠き３２１が、発熱体３１を挟んで対向する位置に設けられている。
【００２９】
光源３３は、光Ｌを射出することができれば種々のものを用いることができる。光源３３としては、レーザー光源のように指向性の高い光を射出する光源を用いてもよく、水銀ランプ等のように拡散光を射出する光源を用いてもよい。また、光源３３は、必要に応じ、公知の拡大光学系、集光光学系を有することとしてもよい。
【００３０】
上述した可動部２０、発熱体３１、壁部３２はいずれも、公知の光造形技術を用いて形成することができる。例えば、可動部２０、発熱体３１、壁部３２は、国際公開第０７／０１１０５２号に記載の方法を用いて形成することができる。
【００３１】
光造形技術の分解能によれば、上述した可動部２０、発熱体３１、壁部３２において最も細い部分のサイズが約０．１μｍ程度の大きさのものまで製造することができる。
【００３２】
本願発明において、マイクロマシンなどのようにマイクロと称する部材については、光造形技術において製造可能なサイズの部材を示す。したがって、０．１μｍ程度の大きさの部分加工が可能な、１μｍ〜数百μｍサイズの部材による構造体をマイクロマシンと称する。
【００３３】
図２は、発熱部３０を説明する概略断面図である。光源３３から射出された光Ｌは、光透過性を有する基板１０を介して発熱体３１に照射され、発熱体３１を加熱する。これにより、発熱体３１の表面３１ａでは、液体Ｓの一部が気化し、液体Ｓの気泡Ｂを生じる。
【００３４】
また、発熱体３１が発熱することにより、発熱体３１の近傍の液体Ｓ１の方が、液体Ｓ１よりも相対的に発熱体３１から遠い位置の液体Ｓ２よりも高温となる。
【００３５】
すると、気泡Ｂにおいては、「マランゴニ効果」により、発熱体３１に近い側の表面の表面張力が、発熱体３１から遠い側の表面の表面張力よりも小さくなる。図では、気泡Ｂにおける「発熱体３１に近い側の表面」を符号Ｘ１で示し、「発熱体３１に遠い側の表面」を符号Ｘ２で示す。このように気泡Ｂにおいて表面張力の差を生じることにより、気泡Ｂの周囲の液体Ｓには、「マランゴニ対流」が生じる。
【００３６】
すなわち、基板１０の表面１０ａの面方向における気泡Ｂの近傍では、表面１０ａから離間する方向の流れ（上昇流）が生じ、表面１０ａの面方向において気泡Ｂから遠ざかった位置では、基板１０の表面１０ａに近づく方向の流れ（下降流）が生じる。これにより液体Ｓが対流する。
【００３７】
本実施形態のマイクロマシン１００においては、発熱体３１の周囲に壁部３２が設けられている。そのため、壁部３２の近傍では、マランゴニ対流は、切欠き３２１から液体Ｓを吸い込む流れＦ１と、一端３２ａの開口部から液体Ｓを排出する流れＦ２と、に整えられる。流れＦ２は、一端３２ａの開口部方向にまとめられ、壁部３２の一端３２ａから上方に向かう大きな流れＦを形成する。
【００３８】
これにより、壁部３２が無い場合と比べて、マランゴニ対流は、壁部３２の形状に応じた方向に整えられる。
【００３９】
なお、このようにしてマランゴニ対流を整流する発熱部３０は、本発明における「マイクロマシン」の一態様である。
【００４０】
図３は、本実施形態のマイクロマシン１００の駆動の様子を示す概略断面図であり、図１における線分III−IIIにおける矢視断面図である。
【００４１】
マイクロマシン１００を駆動する際には、まず、発熱部３０により気泡Ｂを形成する。すなわち、光源３３から光Ｌを射出し発熱体３１を加熱して、発熱体３１の表面３１ａに気泡Ｂを形成する。これにより、気泡Ｂの周囲ではマランゴニ対流（液体Ｓの流れＦ）が生じる。
【００４２】
可動部２０のプロペラ２３は、流れＦにより動く液体Ｓを回転翼２３ｂに受ける。これにより、可動部２０では、プロペラ２３が流れＦの方向に応じて符号Ｄを付した矢印方向に回転する。
【００４３】
本実施形態のマイクロマシン１００では、壁部３２が可動部２０のプロペラ２３の駆動方向に応じてマランゴニ対流を整流し、大きな流れＦを形成しているため、プロペラ２３を容易に回転させることができる。
【００４４】
なお、発熱体３１が発熱することにより、発熱体３１の近傍の液体Ｓと発熱体３１から遠い位置の液体Ｓとでは温度差を生じ、温度勾配に起因する対流を生じる。しかし、このような温度勾配に起因した対流は、液体Ｓの流速が遅い。そのため、このような温度勾配に起因した対流のみでは、プロペラ２３を回転させる駆動力を得にくい。
【００４５】
一方で、本実施形態のマイクロマシン１００では、上述したように発熱体３１の表面に液体Ｓの気泡Ｂを生じさせることにより、液体Ｓにマランゴニ対流を生じさせ、このマランゴニ対流を、プロペラ２３を回転させる駆動力として利用している。マランゴニ対流は、上述した液体Ｓの温度勾配に起因した対流と比べて流速が速いため、大きな駆動力を得やすい。そのため、良好に可動部２０を可動させることが可能となる。
【００４６】
また、本実施形態のマイクロマシン１００では、発熱部３０を制御することにより、マランゴニ対流の強さを制御し、プロペラ２３の回転速度を制御することができる。例えば、発熱部３０が有する光源３３から射出された光Ｌの強さを制御することで、発熱体３１の発熱量を制御することができる。これにより、発熱体３１の表面に生じる気泡Ｂの大きさや、図２における符号Ｘ１の表面張力と、符号Ｘ２の表面張力との差が変化する。その結果、マランゴニ対流の強さを制御することができる。
【００４７】
一例として、マイクロマシン１００では、光源３３から射出する光Ｌの光量を上げるほど、プロペラ２３の回転速度が上がる。
【００４８】
以上のような構成のマイクロマシン１００によれば、大きな駆動力を容易に得ることができ、良好に可動部を駆動させることができる。
【００４９】
また、従来のマイクロマシンのように、可動部に直接光をあてて光ピンセットにより可動部を動かす場合には、光ピンセットが良好に機能するように可動部の形状や材質を最適化する必要があった。
【００５０】
対して、本実施形態のマイクロマシン１００のように、マランゴニ対流を駆動力とする場合、可動部が対流を受けて駆動可能な形状を有してさえいれば、種々の形状や材質の可動部を動かすことが可能である。したがって、可動部の形状の自由度が高くなる。
【００５１】
すなわち、本実施形態のマイクロマシン１００によれば、可動部の形状の自由度が高く、大きな駆動力を容易に得ることができる。
【００５２】
なお、本実施形態においては、発熱部３０が壁部３２を有することとしたが、壁部３２がなくても本発明の効果を奏する。
【００５３】
また、本実施形態においては、発熱部３０が発熱体３１と、発熱体３１に光Ｌを照射する光源３３と、を有する構成としたが、これに限らない。発熱体３１の表面に気泡を生じさせ、マランゴニ対流を発生させることができるならば、発熱体３１に配線を接続して通電し、発熱体３１の抵抗発熱により発熱体３１を加熱する構成としてもよい。
【００５４】
［第２実施形態］
図４は、本発明の第２実施形態に係るマイクロマシン２００の説明図であり、図１に対応する図である。本実施形態のマイクロマシン２００は、第１実施形態のマイクロマシン１００と一部共通している。したがって、本実施形態において第１実施形態と共通する構成要素については同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
【００５５】
マイクロマシン２００が有する発熱部４０は、一対の発熱体４１１，４１２と、一対の光源４２１，４２２とを有している。
【００５６】
発熱体４１１、４１２は、基板１０の表面１０ａに設けられている。発熱体４１１、４１２は、第１実施形態の発熱体３１と同様の構成のものを使用可能である。発熱体４１１，４１２は、可動部２０の回転軸２１の延在方向と交差する方向において、可動部２０の両側に配置されている。
【００５７】
光源４２１は、発熱体４１１に照射する光Ｌ１を射出する。光Ｌ１が照射された発熱体４１１は、光Ｌ１を吸収し発熱する。すると、発熱体４１１の表面に液体Ｓの気泡Ｂ１が生じ、液体Ｓにマランゴニ対流を生じる。
【００５８】
同様に、光源４２２は、発熱体４１２に照射する光Ｌ２を射出する。光Ｌ２が照射された発熱体４１２は、光Ｌ２を吸収し発熱する。すると、発熱体４１２の表面に液体Ｓの気泡Ｂ２が生じ、液体Ｓにマランゴニ対流を生じる。
【００５９】
このようなマイクロマシン２００では、光源４２１から光Ｌ１を照射し発熱体４１１を加熱すると、符号Ｄ１を付した矢印方向にプロペラ２３を回転させる駆動力が生じる。一方、光源４２２から光Ｌ２を照射し発熱体４１２を加熱すると、符号Ｄ２を付した矢印方向にプロペラ２３を回転させる駆動力が生じる。
【００６０】
これにより、マイクロマシン２００では、プロペラ２３の回転方向をＤ１，Ｄ２の両方向に制御可能である。また、例えば、プロペラ２３が符号Ｄ１の矢印方向に回転している際に、光源４２２から光Ｌ２を照射し発熱体４１２を加熱すると、プロペラ２３を符号Ｄ１の矢印方向に回転させる駆動力が生じる。そのため、プロペラ２３の符号Ｄ１方向への回転にブレーキを掛けることができる。
【００６１】
以上のようなマイクロマシン２００によっても、可動部の形状の自由度が高く、大きな駆動力を容易に得ることができる。また、可動部の駆動を良好に制御可能である。
【００６２】
なお、上記実施形態においては、基板１０の表面１０ａに発熱体４１１，４１２の２枚の発熱体を設けることとしたが、さらに多くの発熱体を設けることとしても構わない。この場合、複数の発熱体と同数の光源を設けて発熱体に光Ｌを照射することとしてもよく、１つの光源が２以上の発熱体に光Ｌを照射することとして、光源の数を減らすこととしてもよい。
【００６３】
［第３実施形態］
図５は、本発明の第３実施形態に係るマイクロマシン３００の説明図であり、図１に対応する図である。
【００６４】
マイクロマシン３００が有する可動部５０は、回転軸５１と、回転軸５１の周りを回転自在に設けられたプロペラ（回転体）２３と、を有している。
【００６５】
回転軸５１は、基板１０の表面１０ａの垂直方向に延在する棒状部材である。回転軸５１は、プロペラ２３の貫通孔２３１に挿通されている。また、回転軸５１の上端部には貫通孔２３１よりも径が大きい頭部５１ａが形成されている。これにより、プロペラ２３の抜け止めがなされている。
【００６６】
このような可動部５０では、プロペラ２３が回転軸５１の周りを回転自在となっている。すなわち、マイクロマシン３００では、可動部５０のプロペラ２３は、表面１０ａに沿って回転可能に設けられている。
【００６７】
マイクロマシン３００が有する発熱部６０は、第１実施形態の発熱部３０から壁部３２を除いたものと同じ構成となっている。すなわち、発熱部６０は、発熱体６１と、発熱体６１に光Ｌを照射する光源６３と、を有している。
【００６８】
このようなマイクロマシン３００では、発熱部６０により発熱体６１の表面６１ａに気泡Ｂを生じさせ、生じるマランゴニ対流によりプロペラ２３を回転させることができる。
【００６９】
以上のようなマイクロマシン３００によっても、可動部の形状の自由度が高く、大きな駆動力を容易に得ることができる。
【００７０】
［第４実施形態］
図６は、本発明の第４実施形態に係るマイクロマシン４００の説明図であり、図１に対応する図である。
【００７１】
マイクロマシン４００が有する発熱部７０は、発熱体７１と、光Ｌを射出する光源７２と、発熱体７１における光Ｌの照射位置を走査可能な走査手段７３と、を有している。
【００７２】
発熱体７１は、基板１０上で一方向に延在して設けられた帯状の部材である。発熱体７１の形成材料としては、上述の発熱体３１と同様のものを用いることができる。
【００７３】
走査手段７３としては、公知の構成を用いることができる。例えば、走査手段７３としてガルバノミラーを用いることができる。
【００７４】
このようなマイクロマシン４００では、走査手段７３により光Ｌの照射位置を変更することにより、発熱体７１の加熱位置を変更することができる。発熱体７１の表面７１ａにおいては、光Ｌの照射位置に対応して気泡Ｂが生じる。そのため、光Ｌの照射位置を変更することにより、発熱体７１の表面に生じる気泡Ｂの位置を動かすことができる。これにより、気泡Ｂの周囲で生じるマランゴニ対流の発生位置を変更することができる。
【００７５】
上述のように気泡Ｂの位置が変化すると、プロペラ２３に伝わるマランゴニ対流の強さが変わるため、プロペラ２３の駆動力が変化する。したがって、プロペラ２３の回転数を変更することができる。
【００７６】
以上のようなマイクロマシン４００によっても、可動部の形状の自由度が高く、大きな駆動力を容易に得ることができる。また、可動部の駆動を良好に制御可能である。
【００７７】
なお、本実施形態のマイクロマシン４００は、第３実施形態で示した可動部５０を備えることとして説明したが、これに限らない。
例えば、図７に示すマイクロマシン５００のように、第１実施形態、第２実施形態で示した可動部２０を備えるマイクロマシンにおいて、本実施形態の発熱部７０を適用することもできる。その場合、図に示すように発熱体７１は、プロペラ２３の下部、すなわち基板１０の法線方向からの視野においてプロペラ２３と重なる位置に設けるとよい。また、発熱体７１は、回転軸２１と交差する方向に延在して設けられているとよい。この場合、発熱体７１は、回転軸２１と直交する方向に延在していると好ましい。
【００７８】
このようなマイクロマシン５００であっても、走査手段７３により光Ｌの照射位置を変更することで気泡Ｂの位置を動かし、プロペラ２３の回転数を変更することができる。例えば、気泡を、回転軸２１の下部に発生させると、プロペラ２３を停止させることができる。また、気泡を、基板１０の法線方向からの視野において回転軸２１と重なる位置から発熱体７１の両端のいずれかに近づけて発生させると、プロペラの回転方向および回転速度を制御することができる。気泡Ｂ１を発生させると、符号Ｄ１を付した矢印方向にプロペラ２３を回転させる駆動力が生じる。気泡Ｂ２を発生させると、符号Ｄ２を付した矢印方向にプロペラ２３を回転させる駆動力が生じる。
【００７９】
［第５実施形態］
図８は、本発明の第５実施形態に係るマイクロマシン６００の説明図であり、図１に対応する図である。
【００８０】
マイクロマシン６００が有する発熱部４０は、一対の発熱体４１１，４１２と、一対の光源４２１，４２２とを有している。発熱部４０としては、第２実施形態における発熱部４０と同じ構成のものを用いることができる。
【００８１】
マイクロマシン６００が有する可動部８０は、回動軸８１と、回動軸８１の周りを回動自在に設けられたアーム部（回動体）８２と、を有している。
【００８２】
回動軸８１は、基板１０の表面１０ａの垂直方向に延在する棒状部材である。
【００８３】
アーム部８２は、軸方向に貫通孔８２１を有する円筒部８２ａと、円筒部８２ａの外壁面から突出して設けられたアーム８２ｂと、を有している。アーム部８２の形状は適宜変更可能である。
【００８４】
回動軸８１は、アーム部８２の貫通孔８２１に挿通されている。また、回動軸８１の上端部には貫通孔８２１よりも径が大きい頭部８１ａが形成されている。これにより、アーム部８２の抜け止めがなされている。
【００８５】
このような可動部８０では、アーム部８２が回動軸８１の周りを回動自在となっている。
【００８６】
このようなマイクロマシン６００では、光源４２１から光Ｌ１を照射し発熱体４１１を加熱すると、発熱体４１１の表面に生じた気泡Ｂ１がマランゴニ対流を形成する。また、光源４２２から光Ｌ２を照射し発熱体４１２を加熱すると、発熱体４１２の表面に生じた気泡Ｂ２がマランゴニ対流を形成する。可動部８０では、これらのマランゴニ対流を駆動力としてアーム部８２が回動する。
【００８７】
すなわち、マイクロマシン６００では、発熱体４１１および発熱体４１２のいずれの表面に気泡を生じさせるかを制御することにより、アーム部８２の回動を制御することができる。
【００８８】
以上のようなマイクロマシン６００によっても、可動部の形状の自由度が高く、大きな駆動力を容易に得ることができる。
【００８９】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【符号の説明】
【００９０】
１０…基板、１０ａ…表面（一面）、２０，５０，８０…可動部、２１，５１…回転軸、２３…プロペラ（回転体）、３０，４０，６０，７０…発熱部、３１，６１，７１，４１１，４１２…発熱体、３２…壁部、３３，６３，７２，４２１，４２２…光源、７３…走査手段、８２…アーム部（回動体）、１００，２００，３００，４００，５００，６００…マイクロマシン、Ｂ，Ｂ１，Ｂ２…気泡、Ｌ，Ｌ１，Ｌ２…光、Ｓ…液体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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