(57)【要約】      （修正有）【課題】タービンロータとタービンダイヤフラムとの間のような２つの周方向要素間の限られた空間における相対的な同心度の偏差を測定する装置および方法を提供する。【解決手段】装置は、ハウジング１２と、ハウジング１２から２つの周方向要素の一方までの距離を測定する、ハウジング１２に連結されたセンサ１４とを含む。軸方向ばねプランジャ１６はハウジング１２に接続されており、径方向ばねプランジャ１８はハウジング１２に接続され、かつ軸方向ばねプランジャ１６に直交して配置されている。装置はまた、軸方向ばねプランジャ１６および径方向ばねプランジャ１８の一方から反対側のハウジング１２の側面に、摺動面または転動面を含む。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの周方向要素間の限られた空間における相対的な同心度の偏差を測定するための装置（１０）であって、
ハウジング（１２）と、
前記ハウジング（１２）に連結され、前記ハウジング（１２）から前記２つの周方向要素の一方までの距離を測定するセンサ（３４）と、
前記ハウジング（１２）に連結された軸方向ばねプランジャ（１６）と、
前記ハウジング（１２）に連結され、前記軸方向ばねプランジャ（１６）に直交する径方向ばねプランジャ（１８）と、
前記軸方向ばねプランジャ（１６）および前記径方向ばねプランジャ（１８）の一方から反対側の前記ハウジング（１２）の側面に摺動面（３８）または転動面（３９）とを備える装置（１０）。
【請求項２】
２つの前記周方向要素が、内周要素および外周素子を含み、前記軸方向ばねプランジャ（１６）および前記径方向ばねプランジャ（１８）が、前記内周要素と係合するように前記ハウジング（１２）に配置された、請求項１に記載の装置（１０）。
【請求項３】
前記摺動面（３８）または前記転動面（３９）が、前記外周要素と係合するように前記ハウジング（１２）に対して配置された、請求項２に記載の装置（１０）。
【請求項４】
前記ハウジング（１２）に連結された底部位置指示器（４８）をさらに備える、請求項１に記載の装置（１０）。
【請求項５】
前記底部位置指示器（４８）が、前記ハウジング（１２）の長手方向両端部に１本ずつ取り付けられた２つの巻尺（２６）を備える、請求項４に記載の装置（１０）。
【請求項６】
前記底部位置指示器（４８）が、前記ハウジング（１２）の長手方向両端部に１本ずつ取り付けられた２本のロープを備え、前記ロープが色コードマーキングを含む、請求項４に記載の装置（１０）。
【請求項７】
タービンロータとタービンダイヤフラムとの間の相対的な同心度の偏差を測定するのに適している装置（１０）であって、前記色コードマーキングが、前記装置（１０）が適用されるタービン段に従って配置される、請求項６に記載の装置（１０）。
【請求項８】
前記ハウジング（１２）が、センサケーブルを収容するための切り欠き（２４）を備える、請求項１に記載の装置（１０）。
【請求項９】
前記ハウジング（１２）が、前記センサケーブルを収容するための２つの切り欠き（２４）を前記ハウジング（１２）の両側に備える、請求項８に記載の装置（１０）。
【請求項１０】
前記ハウジング（１２）が前記２つの外周要素間に嵌合するように寸法付けられる、請求項１に記載の装置（１０）。
【請求項１１】
タービンロータとタービンダイヤフラムとの間の相対的な同心度の偏差を測定するのに適している装置（１０）であって、前記ハウジング（１２）が、前記タービンダイヤフラムに形成された溝（１４２）に嵌合するように寸法付けられる、請求項１に記載の装置（１０）。
【請求項１２】
前記ハウジング（１２）が、前記ハウジング（１２）から軸方向に突出する軸方向段差部（４６）を備え、これにより前記ハウジング（１２）が前記タービンダイヤフラムの前記溝（１４２）に応じて形成される、請求項１１に記載の装置（１０）。
【請求項１３】
前記摺動面（３８）または前記転動面（３９）が、前記径方向ばねプランジャ（１８）とは反対側の前記ハウジング（１２）の側面に配置される、請求項１に記載の装置（１０）。
【請求項１４】
前記ハウジング（１２）が、前記センサ（１４）を挿入するための開口部（４０）を備え、前記センサ（１４）の外面にはねじ山が設けられた装置（１０）であって、前記開口部（４０）の両側で前記センサ（１４）にねじ付けられる取り付け部材（４２）をさらに備える、請求項１に記載の装置（１０）。
【請求項１５】
ハウジング（１２）と、センサ（１４）と、軸方向ばねプランジャ（１６）と、前記軸方向ばねプランジャ（１６）に直交する径方向ばねプランジャ（１８）と、前記径方向ばねプランジャ（１８）とは反対側の前記ハウジング（１２）側面の摺動面（３８）または転動面（３９）とを含む装置（１０）を使用して２つの周方向要素間の限られた空間における相対的な同心度の偏差を測定する方法であって、前記２つの周方向要素は、内周要素および外周要素を備え、
（ａ）前記２つの周方向要素間に前記ハウジング（１２）を配置する工程と、
（ｂ）内周要素の径方向突出部に軸方向ばねプランジャを当接させる工程と、
（ｃ）前記内周要素に前記径方向ばねプランジャ（１８）を当接させる工程と、
（ｄ）前記ハウジング（１２）から前記２つの周方向要素の一方までの距離を、前記センサ（１４）を使用して測定する工程と、
（ｅ）外周要素に沿ってハウジングの摺動面または転動面でハウジングを摺動または転動させ、工程（ｄ）を所定の間隔で繰り返す工程とを含む。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般に測定装置および方法に関し、より具体的には、タービンロータとタービンダイヤフラムとの間のような２つの周方向要素間の限られた空間における相対的な同心度の偏差を測定する装置および方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
組立時またはオーバーホール時により効率的にタービンを動作させるためには、ロータがステータに対して一定の同心度要件を満たすことが有利である。多くの場合、ロータが所定位置にある状態でロータとステータとの間の同心度を測定することが望ましい。この手法の問題点は、ロータとステータダイヤフラムとの間の径方向間隙が小さいので、アクセス方法がなく空間も限られるため、測定を手動で行えない点である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許第８８６９４１６号明細書
【発明の概要】
【０００４】
例示的な実施形態において、装置は、２つの周方向要素間の限られた空間における相対的な同心度の偏差を測定する。装置は、ハウジングと、ハウジングから２つの周方向要素の一方までの距離を測定する、ハウジングに連結されたセンサとを含む。軸方向ばねプランジャはハウジングに接続されており、径方向ばねプランジャはハウジングに接続され、かつ軸方向ばねプランジャに直交して配置されている。装置はまた、軸方向ばねプランジャおよび径方向ばねプランジャの一方から反対側のハウジングの側面に、摺動面または転動面を含む。
【０００５】
別の例示的な実施形態では、２つの周方向要素間の限られた空間における相対的な同心度の偏差を測定する方法は、（ａ）２つの周方向要素間にハウジングを配置する工程と、（ｂ）内周要素の径方向突出部に軸方向ばねプランジャを当接させる工程と、（ｃ）内周要素に径方向ばねプランジャを当接させる工程と、（ｄ）ハウジングから２つの周方向要素の一方までの距離を、センサを使用して測定する工程と、（ｅ）外周要素に沿ってハウジングの摺動面または転動面でハウジングを摺動または転動させ、工程（ｄ）を所定の間隔で繰り返す工程とを含む。
【０００６】
さらに別の例示的な実施形態では、装置は、タービンロータとタービンダイヤフラムとの間の相対的な同心度の偏差を測定するのに適している。装置は、タービンロータとタービンダイヤフラムとの間に配置可能なハウジングと、ハウジングからタービンロータまでの距離を測定するようにハウジングに対して配置され、ハウジングに連結されたセンサとを含む。複数の軸方向ばねプランジャはハウジングに接続されており、複数の径方向ばねプランジャはハウジングに接続され、かつ軸方向ばねプランジャに直交して配置されている。摺動面または転動面は、軸方向ばねプランジャおよび径方向ばねプランジャの一方から反対側のハウジングの側面に設けられている。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】相対的な同心度が測定可能である２つの周方向要素の概略図である。
【図２】第１の実施形態による例示的な装置の平面図である。
【図３】図２に示される装置の底面図である。
【図４】タービンロータとタービンダイヤフラムとの間に設置される図２の装置を示す図である。
【図５】タービンロータとタービンダイヤフラムとの間の空間に挿入される図２の装置を示す図である。
【図６】ローラを利用して空間における装置の移動を容易にする図２の装置を示す図である。
【図７】第２の実施形態による装置を示す図である。
【図８】タービンロータに隣接するタービンダイヤフラムの溝内に設置される図７の装置を示す図である。
【図９】図７の装置内でのセンサの設置を示す図である。
【図１０】図７の装置内でのセンサの設置を示す図である。
【図１１】図７の装置内でのセンサの設置を示す図である。
【図１２】図７の装置内でのセンサの設置を示す図である。
【図１３】タービンダイヤフラム溝内の図７の装置を示す図である。
【図１４】タービンロータ溝内の装置の移動を容易にするためのローラを含む図７の装置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
本発明をタービンへの適用例に関連して説明する。当業者であれば理解するように、装置および方法は、任意の２つの周方向要素間の相対的な同心度の偏差を測定するために適用可能であり、本発明は、上述のタービン適用例に必ずしも限定されない。
【０００９】
図１は、明瞭化のために上側のステータハウジングが取り除かれているタービン組立体の概略図である。タービン動翼／ベーンは、明瞭化のために省略されている。示されるように、ロータ（またはタービン軸）１１０は、ステータハウジング１２０内に配置される。より効率的な動作のためには、ロータ１１０は、ステータハウジング１２０の内周面に対して同心円上に配置されることが望ましい。一部の適用例では、ステータは、ステータハウジング１２０内に入れ子式に重なるステータダイヤフラム１４０（かくれ線で示す）を含むことができる。
【００１０】
図２〜６は、２つの周方向要素間の限られた空間における相対的な同心度の偏差を測定するための第１の実施形態の例示的な装置１０を示している。装置１０は、ハウジング１２およびハウジングに連結されたセンサ１４を含む。上述の目的に適した任意のセンサが使用可能であり、例示的な実施形態では、センサ１４は、２つの要素間の相対的な距離を測定する平坦な渦電流センサである。１つ以上の、好ましくは２つの軸方向ばねプランジャ１６が、ハウジング１２に接続されている。さらに、１つ以上の、好ましくは４つの径方向ばねプランジャ１８もハウジングに接続されている。示されるように、径方向ばねプランジャ１８は、軸方向ばねプランジャ１６に直交して配置されている。ばねプランジャ１６、１８は、ばね等により外向きに付勢された支柱またはスタッドを備える。
【００１１】
ハウジングの裏面には摺動面２０が設けられており、これにより周方向要素間の空間における装置１０の移動が容易になる。代替的な実施形態では、摺動面は適切に配置されたローラ２２を備えていてもよい（図６参照）。
【００１２】
ハウジング１２には、センサケーブルを収容するための切り欠き２４も設けられている。
【００１３】
ハウジング１２は、アルミニウムまたは他の適切な材料から機械加工されるワンピースボディであってもよい。ハウジングは３Ｄ印刷にも適している。ばねプランジャ１６、１８は、圧入、接着剤またはネジ接続により、ハウジング１２にねじ付けられている。示されるように、センサ１４はボルト等によってハウジングに連結されている。底部位置指示器は、ボルト、ワイヤロープ、リベット、接着剤または任意の他の適切な連結機構によって、これらを確実かつ対称的に連結するために、ハウジングに連結されてもよい。
【００１４】
装置の例示的な適用例は、タービンロータとタービンダイヤフラムとの間の相対的な同心度の偏差を測定するためのものである。使用時には、いつ装置がロータの底部または中心位置に配置されたかを判定することが望ましい。したがって装置１０には、ハウジングに連結された底部位置指示器が設けられている。図５を参照すると、例示的な実施形態では、底部位置指示器は２つの巻尺２６を備えており、それぞれハウジング１２の長手方向両端部に取り付けられている。ロータの両側のオペレータが、両方の巻尺の表示が同じであると読み取った場合、装置は溝の中心に位置している。
【００１５】
図４は、タービンロータ１１０とタービンダイヤフラム１４０との間の空間に挿入される装置１０を示している。示されるように、軸方向ばねプランジャ１６および径方向ばねプランジャ１８は、内周要素と係合するようにハウジング１２に対して配置される（図４のロータ１１０）。ばねプランジャ１６、１８は、周方向要素間の空間に装置を安定して反復的に配置するのに役立つ。ロータ１１０は、径方向歯１１２または他の内側リングを含み、それらにより軸方向ばねプランジャ１６が係合される。ロータ歯は、適切なシールを提供し、かつ使用中の熱変化に起因する位置偏差を調整するために使用される。装置１０は、例示的な適用例において、ロータ歯を利用して装置１０の位置を維持する。摺動面２０または転動面２２は、外周要素、すなわち図４のダイヤフラム１４０と係合するようにハウジング１２に対して配置される。一旦挿入されると、センサ１４は、２つの周方向要素間の相対的な距離を測定するが、これにより必要に応じて要素を再整列させて、必要な同心度を実現することが可能になる。あるいは、装置１０を別の方向に向けて配置し、内面（ロータ）１１０上で摺動または転動して、外表面（ダイヤフラム）１４０までの距離を測定してもよい。
【００１６】
装置は、センサヘッド調整を可能にするシミングシステムからも構成されている。シミングシステムは、センサ１４とハウジング１２との間に選択的に挿入された薄い金属シム等を含み、これによりハウジングに対するセンサの位置を調整する。必要に応じ、１つまたはいくつかのシムを挿入することができる。シムは、開口部を含んでいてもよく、そこでセンサをハウジング１２に固定する同型のコネクタを受ける。
【００１７】
図７〜図１４は、２つの周方向要素間の相対的な距離を測定するための代替的な実施形態を示す。装置３０は、ハウジング３２およびハウジングに連結されたセンサ３４を含む。１つ以上の軸方向ばねプランジャ３５はハウジングに接続され、１つ以上の径方向ばねプランジャ３６はハウジングに接続され、かつ軸方向ばねプランジャ３５と直交している。摺動面３８または転動面３９（図１４参照）は、軸方向ばねプランジャ３５とは反対側のハウジング３２の側面に設けられている。
【００１８】
ハウジング３２は、センサ３４が装着されるセンサ装着孔または開口部４０を含んでいる。例示的な実施形態では、センサ３４の外面にねじ山が設けられており、装置３０には、開口部４０の両側でセンサ３４にねじ付けることができる取り付け部材４２が設けられている。
【００１９】
ハウジングは、好ましくは、センサケーブルを収容するための２つの切り欠き４４を含んでいる。ハウジング３２の両側に切り欠きを含むことによって、周方向要素の両側、たとえばタービンの両側から測定を行うことができる。すなわち、装置３０は、どちらの側からでも溝内に挿入することができる。
【００２０】
ハウジング３２は、３Ｄ印刷に適したものと同様の形状および構造である。
【００２１】
例示的な適用例では、装置３０は、タービンロータとタービンダイヤフラムとの間の相対的な同心度の偏差を測定するのに適している。図８および図１３を参照すると、ハウジング３２は、ダイヤフラム１４０の溝１４２に嵌合するように寸法付けられてもよい。図８および図１３に示されるように、ハウジング３２は、ハウジング３２から軸方向に突出する軸方向段差部４６を備えていてもよく、これによりハウジングはタービンダイヤフラムの溝１４２に対応して形成される。
【００２２】
引き続き図８を参照すると、ダイヤフラム溝１４２内に配置された装置によって、軸方向ばねプランジャ３５は溝の側面に作用し、径方向ばねプランジャ３６は溝の底部に作用する。ばねプランジャは、装置３０を溝内に安定して反復的に自己配置する。一旦装置３０が挿入されると、渦電流センサのようなセンサ３４は、２つの要素間の相対的な距離を測定する。
【００２３】
装置３０は、好ましくは底部位置指示器４８を備える。１つの構成において、底部位置指示器は２本のロープを備え、ロープはハウジングの長手方向両端に１本ずつ取り付けられている。ロープには、装置の両側において、均等な単位の色コードマーキングが設けられてもよい。使用する際、オペレータは、色と特定の段の底部位置とを対応させる表にアクセスすることができる。たとえば、オペレータがタービン段５１の装置を使用している場合、表は、その段の底部位置に対応する色コードである赤色を示してもよい。したがってタービンの両側のオペレータは、赤色コードマーカが相応の位置に来るようにロープを配置することができ、これにより装置は確実に底部読み取り位置に配置される。
【００２４】
ばねプランジャを含む記述した実施形態による装置形状は、測定値の高い反復性および精度を提供する。ハウジング内のセンサケーブル切り欠きは、ケーブルの損傷を防止することができ、第２の実施形態では、タービンの両側から測定を行う能力を提供する。装置は、要素の再整列を可能にし、必要な同心度を実現する。好ましい実施形態による装置を使用したダイヤフラムの整列は、クレーンを使用せずに正確かつ反復的に実現できる。装置により停止／設置遅延が防止され、正確かつ高速な読み取りにより、ダイヤフラムの位置補正（クリティカルパス）を最小限にまで減ずる。
【００２５】
現在最も実際的で好ましい実施形態であると考えられるものに関して本発明を記載しているが、本発明は開示された実施形態に限定されるものではなく、逆に、添付した特許請求の趣旨および範囲内に含まれる種々の変更および等価な構成を包含することを意図していることを理解すべきである。
［実施態様１］
２つの周方向要素間の限られた空間における相対的な同心度の偏差を測定するための装置（１０）であって、
ハウジング（１２）と、
前記ハウジング（１２）に連結され、前記ハウジング（１２）から前記２つの周方向要素の一方までの距離を測定するセンサ（３４）と、
前記ハウジング（１２）に連結された軸方向ばねプランジャ（１６）と、
前記ハウジング（１２）に連結され、前記軸方向ばねプランジャ（１６）に直交する径方向ばねプランジャ（１８）と、
前記軸方向ばねプランジャ（１６）および前記径方向ばねプランジャ（１８）の一方から反対側の前記ハウジング（１２）の側面に摺動面（３８）または転動面（３９）とを備える装置（１０）。
［実施態様２］
２つの前記周方向要素が、内周要素および外周素子を含み、前記軸方向ばねプランジャ（１６）および前記径方向ばねプランジャ（１８）が、前記内周要素と係合するように前記ハウジング（１２）に配置された、実施態様１に記載の装置（１０）。
［実施態様３］
前記摺動面（３８）または前記転動面（３９）が、前記外周要素と係合するように前記ハウジング（１２）に対して配置された、実施態様２に記載の装置（１０）。
［実施態様４］
前記ハウジング（１２）に連結された底部位置指示器（４８）をさらに備える、実施態様１に記載の装置（１０）。
［実施態様５］
前記底部位置指示器（４８）が、前記ハウジング（１２）の長手方向両端部に１本ずつ取り付けられた２つの巻尺（２６）を備える、実施態様４に記載の装置（１０）。
［実施態様６］
前記底部位置指示器（４８）が、前記ハウジング（１２）の長手方向両端部に１本ずつ取り付けられた２本のロープを備え、前記ロープが色コードマーキングを含む、実施態様４に記載の装置（１０）。
［実施態様７］
タービンロータとタービンダイヤフラムとの間の相対的な同心度の偏差を測定するのに適している装置（１０）であって、前記色コードマーキングが、前記装置（１０）が適用されるタービン段に従って配置される、実施態様６に記載の装置（１０）。
［実施態様８］
前記ハウジング（１２）が、センサケーブルを収容するための切り欠き（２４）を備える、実施態様１に記載の装置（１０）。
［実施態様９］
前記ハウジング（１２）が、前記センサケーブルを収容するための２つの切り欠き（２４）を前記ハウジング（１２）の両側に備える、実施態様８に記載の装置（１０）。
［実施態様１０］
前記ハウジング（１２）が前記２つの外周要素間に嵌合するように寸法付けられる、実施態様１に記載の装置（１０）。
［実施態様１１］
タービンロータとタービンダイヤフラムとの間の相対的な同心度の偏差を測定するのに適している装置（１０）であって、前記ハウジング（１２）が、前記タービンダイヤフラムに形成された溝（１４２）に嵌合するように寸法付けられる、実施態様１に記載の装置（１０）。
［実施態様１２］
前記ハウジング（１２）が、前記ハウジング（１２）から軸方向に突出する軸方向段差部（４６）を備え、これにより前記ハウジング（１２）が前記タービンダイヤフラムの前記溝（１４２）に応じて形成される、実施態様１１に記載の装置（１０）。
［実施態様１３］
前記摺動面（３８）または前記転動面（３９）が、前記径方向ばねプランジャ（１８）とは反対側の前記ハウジング（１２）の側面に配置される、実施態様１に記載の装置（１０）。
［実施態様１４］
前記ハウジング（１２）が、前記センサ（１４）を挿入するための開口部（４０）を備え、前記センサ（１４）の外面にはねじ山が設けられた装置（１０）であって、前記開口部（４０）の両側で前記センサ（１４）にねじ付けられる取り付け部材（４２）をさらに備える、実施態様１に記載の装置（１０）。
［実施態様１５］
ハウジング（１２）と、センサ（１４）と、軸方向ばねプランジャ（１６）と、前記軸方向ばねプランジャ（１６）に直交する径方向ばねプランジャ（１８）と、前記径方向ばねプランジャ（１８）とは反対側の前記ハウジング（１２）側面の摺動面（３８）または転動面（３９）とを含む装置（１０）を使用して２つの周方向要素間の限られた空間における相対的な同心度の偏差を測定する方法であって、前記２つの周方向要素は、内周要素および外周要素を備え、
（ａ）前記２つの周方向要素間に前記ハウジング（１２）を配置する工程と、
（ｂ）内周要素の径方向突出部に軸方向ばねプランジャを当接させる工程と、
（ｃ）前記内周要素に前記径方向ばねプランジャ（１８）を当接させる工程と、
（ｄ）前記ハウジング（１２）から前記２つの周方向要素の一方までの距離を、前記センサ（１４）を使用して測定する工程と、
（ｅ）外周要素に沿ってハウジングの摺動面または転動面でハウジングを摺動または転動させ、工程（ｄ）を所定の間隔で繰り返す工程とを含む。
［実施態様１６］
前記装置（１０）が底部位置指示器（４８）を含む方法であって、前記底部位置指示器（４８）を使用して、前記ハウジング（１２）が前記２つの周方向要素の底部位置に位置していると判定する工程をさらに含む、実施態様１５に記載の方法。
［実施態様１７］
タービンロータとタービンダイヤフラムとの間の相対的な同心度の偏差を測定するのに適している装置（１０）であって、
前記タービンロータと前記タービンダイヤフラムとの間に配置可能なハウジング（１２）と、
前記ハウジング（１２）に連結されたセンサ（１４）であって、前記ハウジング（１２）から前記タービンロータまでの距離を測定するように前記ハウジング（１２）に対して配向されたセンサ（１４）と、
前記ハウジング（１２）に連結された複数個の軸方向ばねプランジャ（１６）と、
前記ハウジング（１２）に連結されており、かつ前記軸方向ばねプランジャ（１６）に直交する複数個の径方向ばねプランジャ（１８）と、
前記軸方向ばねプランジャ（１６）および前記径方向ばねプランジャ（１８）の一方から反対側の前記ハウジング（１２）の側面の摺動面（３８）または転動面（３９）とを含む、装置（１０）。
［実施態様１８］
前記ハウジング（１２）が、前記タービンロータと前記タービンダイヤフラムとの間に適合するように寸法付けられる、実施態様１７に記載の装置（１０）。
［実施態様１９］
前記ハウジング（１２）が、前記タービンダイヤフラムの溝（１４２）に嵌合するように寸法付けられる、実施態様１７に記載の装置（１０）。
【符号の説明】
【００２６】
１１０  ロータ（タービン軸）
１２０  ステータハウジング
１４０  ステータダイヤフラム
１０  装置
１２  ハウジング
１４  センサ
１６  軸方向ばねプランジャ
１８  径方向ばねプランジャ
２０  摺動面
２２  ローラ
２４  切り欠き
２６  巻尺
１１２  径方向歯
３０  装置
３２  ハウジング
３４  センサ
３５  軸方向ばねプランジャ
３６  径方向ばねプランジャ
３８  摺動面
３９  転動面
４０  センサ装着孔／開口部
４２  取り付け部材
４４  切り欠き
１４２  溝
４６  軸方向段差部
４８  底部位置指示器
【図１】
2017083432.tif 000003
【図２】
2017083432.tif 000004
【図３】
2017083432.tif 000005
【図４】
2017083432.tif 000006
【図５】
2017083432.tif 000007
【図６】
2017083432.tif 000008
【図７】
2017083432.tif 000009
【図８】
2017083432.tif 000010
【図９】
2017083432.tif 000011
【図１０】
2017083432.tif 000012
【図１１】
2017083432.tif 000013
【図１２】
2017083432.tif 000014
【図１３】
2017083432.tif 000015
【図１４】
2017083432.tif 000016
【外国語明細書】
2017083432000001.pdf