(57)【要約】【課題】防振用の駆動部を構成する磁石とヨークを省スペースに配置可能で生産性に優れる撮像装置を得る。【解決手段】防振用の光学要素を支持する可動部材と、可動部材を可動に支持する固定部材のいずれか一方に磁気回路を形成する磁石及びヨークを支持し、他方にコイルを支持する。磁石及びヨークを支持する可動部材または固定部材は、ヨークを支持する支持部と、支持部から突出する突出部を備える。ヨークは、支持部に支持される底部と、底部に形成され突出部を挿通させて位置を決める穴部と、底部からコイル側へ向けて突出する複数の立壁部を備える。駆動部は少なくとも２つの磁石を備えており、この２つの磁石は、突出部を挟んで離間してヨークの底部上に支持され、かつヨークの複数の立壁部に対向して保持される。【選択図】図１２
2017083575.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被写体画像を得る撮像手段の少なくとも一部を支持する可動部材；
上記可動部材を可動に支持する固定部材；
上記可動部材と上記固定部材の一方に支持されて磁気回路を形成する磁石及びヨークと、上記可動部材と上記固定部材の他方に支持されるコイルを有し、上記コイルへの通電によって上記可動部材に推力を付与して像振れ補正を行う駆動部；
を備えた撮像装置において、
上記磁石及びヨークを支持する上記一方の上記可動部材または上記固定部材に、上記ヨークを支持する支持部と、上記支持部から突出する突出部を備え、
上記ヨークは、上記支持部に支持される底部と、上記底部に形成されて上記突出部を挿通させて上記ヨークの位置を決める穴部と、上記底部から上記コイル側へ向けて突出する複数の立壁部を備え、
上記駆動部は少なくとも２つの上記磁石を備え、上記２つの磁石は、上記突出部を挟んで離間して上記ヨークの上記底部上に支持され、かつ上記複数の立壁部に対向して保持されることを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
請求項１記載の撮像装置において、上記２つの磁石はそれぞれ細長形状をなし、互いの長手方向を略平行にして短手方向に上記突出部を挟んだ並列配置で上記ヨークに支持されている撮像装置。
【請求項３】
請求項２記載の撮像装置において、上記２つの磁石の長手方向において上記突出部は上記各磁石よりも短く、上記突出部を挟む領域以外で上記２つの磁石の間に隙間がある撮像装置。
【請求項４】
請求項３記載の撮像装置において、上記隙間内に、接着剤によって上記各磁石を上記突出部と上記ヨークに固定する接着固定部を有する撮像装置。
【請求項５】
請求項２ないし４のいずれか１項記載の撮像装置において、上記ヨークは、上記２つの磁石の長手方向の両端面に対向する一対の上記立壁部を備えている撮像装置。
【請求項６】
請求項２ないし４のいずれか１項記載の撮像装置において、上記ヨークは、上記２つの磁石のうち上記突出部を挟んで対向する側面とは反対側の２つの側面に対向する一対の上記立壁部を備えている撮像装置。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか１項記載の撮像装置において、
上記ヨークの上記底部は、上記撮像手段を構成する光学系の光軸を中心とする円筒面に沿う湾曲形状を有し、上記ヨークの上記立壁部は、上記底部に対して上記光軸を中心とする径方向に突出し、
上記２つの磁石はそれぞれ上記ヨークの底部に沿う湾曲形状を有している撮像装置。
【請求項８】
請求項７記載の撮像装置において、上記光軸を中心とする周方向に位置を異ならせて３つの上記駆動部を備えており、第１の上記駆動部と第２の上記駆動部は上記可動部材に対して上記光軸の傾きを変化させる２つの異なる方向の推力を付与し、第３の上記駆動部は上記可動部材に対して上記光軸を中心とする回転方向の推力を付与する撮像装置。
【請求項９】
請求項８記載の撮像装置において、上記３つの駆動部を構成する３つの上記ヨークの底部は、上記光軸を中心とする同一の円筒面上に位置している撮像装置。
【請求項１０】
請求項８または９記載の撮像装置において、上記３つの駆動部の間の周方向位置に、上記固定部材に対して上記可動部材を可動に支持する支持手段を備える撮像装置。
【請求項１１】
請求項１ないし１０のいずれか１項記載の撮像装置において、上記可動部材に上記磁石と上記ヨークが支持され、上記固定部材に上記コイルが支持される撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、防振（像振れ補正）機構を備えた撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の撮像装置では、手振れなどを起因とする像振れを軽減させるための防振機構の搭載が一般的になっている。防振機構は、撮像装置に加わる振動や姿勢変化を検知して、その影響をキャンセルするように、撮像光学系や撮像素子を光軸に対してシフト（光軸と垂直な平面に沿う移動）やチルト（光軸に対して傾ける動作）させる。撮像光学系や撮像素子を駆動する防振駆動用のアクチュエータとして、応答性に優れているボイスコイルモータなどが用いられる。
【０００３】
撮像装置における防振駆動用のボイスコイルモータは、防振時に動作する光学要素を保持した可動部材と、この可動部材を支持する固定部材の一方に磁石を設け、他方に磁石の磁界内に位置するコイルを設け、コイルに通電して生じる電磁力によって可動部材を駆動する。例えば特許文献１の撮像装置では、外筐に支持されたレンズユニットを、レンズの光軸に直交する２つの支点軸を中心とするヨーイング方向とピッチング方向と、レンズの光軸を中心とするローリング方向とに動作させる第１と第２の駆動部を備えており、各駆動部は、レンズユニットの光軸方向の後端部に取り付けた複数の磁石と、該磁石に対して光軸方向に対向して設けた基板上に支持された複数のコイルによって構成されている。また、特許文献２のように、磁石と共に磁気回路を形成するヨーク（継鉄）を用いて駆動部を構成する場合もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３-２４６４１４号公報
【特許文献２】特開２０１０-１２８３８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の撮像装置における防振駆動用のボイスコイルモータでは、固定部材や可動部材に形成した穴や溝の内部に磁石やヨークを挿入して固定する構成が一般的であった。しかし、穴や溝を形成するためには磁石やヨークの外側を所定の肉厚で囲む保持部を設ける必要があり、可動部材や固定部材が大型化する原因となってしまう。また、磁石とヨークは可動部材や固定部材に対して接着などで固定されるが、可動部材や固定部材の大型化を伴わずに磁石とコイルの両方を効率よく固定できる接着用の領域を確保することが難しかった。
【０００６】
また、防振駆動用のボイスコイルモータに複数の磁石を用いる場合、組み立て段階で磁石同士が吸着してしまったり、ヨークに対して磁石が互いに不適切な位置で吸着してしまったりして、磁石相互の位置精度（間隔）の管理が難しい場合あった。特に磁力が極めて強い磁石の場合には、一旦吸着してしまうと取り外しに手間がかかってしまうため、複数の磁石を用いる場合における製造段階での作業性向上が求められている。
【０００７】
また、特許文献１の撮像装置では、レンズユニットと基板を光軸方向に並べて配置してボイスコイルモータを構成しているため、撮像装置が光軸方向に大型化してしまうという課題がある。
【０００８】
本発明は以上の問題点に鑑みてなされたものであり、防振用の駆動部を構成する磁石とヨークを省スペースに配置可能であり生産性にも優れる撮像装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、被写体画像を得る撮像手段の少なくとも一部を支持する可動部材と、可動部材を可動に支持する固定部材と、可動部材に推力を付与して像振れ補正を行う駆動部を備えた撮像装置に関するものである。駆動部は、可動部材と固定部材の一方に支持されて磁気回路を形成する磁石及びヨークと、可動部材と固定部材の他方に支持されるコイルを有し、コイルへの通電によって推力を生じるタイプが適用対象となる。磁石及びヨークを支持する可動部材または固定部材は、ヨークを支持する支持部と、支持部から突出する突出部を備える。ヨークは、支持部に支持される底部と、底部に形成されて突出部を挿通させてヨークの位置を決める穴部と、底部からコイル側へ向けて突出する複数の立壁部を備える。駆動部は少なくとも２つの磁石を備えており、この２つの磁石は、突出部を挟んで離間してヨークの底部上に支持され、かつヨークの複数の立壁部に対向して保持される。
【００１０】
駆動部を構成する２つの磁石はそれぞれ細長形状をなし、互いの長手方向を略平行にして短手方向に突出部を挟んだ並列配置でヨークに支持されることが好ましい。
【００１１】
この場合、２つの磁石の長手方向において突出部は各磁石よりも短く、突出部を挟む領域以外で２つの磁石の間に隙間があることが好ましい。この隙間内に、接着剤によって各磁石を突出部とヨークに固定する接着固定部を設けるとよい。
【００１２】
ヨークは、２つの磁石の長手方向の両端面に対向する位置に一対の立壁部を備える形態と、２つの磁石のうち突出部を挟んで対向する側面とは反対側の２つの側面に対向する位置に一対の立壁部を備える形態のいずれも選択可能である。
【００１３】
ヨークの底部を、撮像手段を構成する光学系の光軸を中心とする円筒面に沿う湾曲形状とし、底部に対して光軸を中心とする径方向にヨークの立壁部を突出させ、２つの磁石をそれぞれヨークの底部に沿う湾曲形状にすることで、駆動部を光軸方向にコンパクトに構成できると共に、撮像光学系周りにおける駆動部のスペース効率を高めることができる。
【００１４】
一例として、光軸を中心とする周方向に位置を異ならせて３つの駆動部を備え、第１の駆動部と第２の駆動部は可動部材に対して光軸の傾きを変化させる２つの異なる方向の推力を付与し、第３の駆動部は可動部材に対して光軸を中心とする回転方向の推力を付与する設定にすると、動作の自由度が高い防振駆動を実現できる。この場合、３つの駆動部を構成する３つのヨークの底部は、光軸を中心とする同一の円筒面上に位置していることが好ましい。
【００１５】
３つの駆動部の間の周方向位置に、固定部材に対して可動部材を可動に支持する支持手段を備えることが好ましい。
【００１６】
本発明は、磁石及びヨークが可動部材と共に動作するタイプと、コイルが可動部材と共に動作するタイプのいずれの防振機構を備えた撮像装置にも適用が可能である。前者のタイプは、コイルに接続する電気的接続手段の負荷が可動部材や駆動部に影響しない点で優れている。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、可動部材または固定部材に設けた突出部によってヨークの位置を決め、この突出部と底部と複数の立壁を用いてヨーク上に２つの磁石を保持することにより、防振用の駆動部を構成する磁石とヨークを省スペースに配置して撮像装置のコンパクト化を図ることができる。また、ヨークと磁石の組み付け作業を行いやすく、撮像装置の生産性向上を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明を適用した撮像装置の外観を示す前方斜視図である。
【図２】撮像装置の後方斜視図である。
【図３】撮像装置の正面図である。
【図４】撮像装置の背面図である。
【図５】ボールホルダを取り外した状態の撮像装置の背面図である。
【図６】図３のVI矢視図である。
【図７】図３のVII矢視図である。
【図８】図３のVIII矢視図である。
【図９】図３のIX線に沿う断面図である。
【図１０】撮像装置を分解した状態の前方斜視図である。
【図１１】撮像装置を分解した状態の後方斜視図である。
【図１２】可動ユニットを分解した状態の前方斜視図である。
【図１３】可動ユニットを分解した状態の正面図である。
【図１４】可動ユニットを分解した状態の後方斜視図である。
【図１５】可動ユニットを分解した状態の背面図である。
【図１６】可動ユニットの正面図である。
【図１７】可動ユニットの背面図である。
【図１８】図１６のXVIII矢視図である。
【図１９】図１６のXIX矢視図である。
【図２０】図１６のXX矢視図である。
【図２１】図１６のXXI矢視図である。
【図２２】図１６のXXII線に沿う断面図である。
【図２３】可動ユニットと鏡筒とイメージセンサユニットを組み合わせた状態の前方斜視図である。
【図２４】可動ユニットと鏡筒とイメージセンサユニットを組み合わせた状態の後方斜視図である。
【図２５】固定ユニットを分解した状態の前方斜視図である。
【図２６】固定ユニットを分解した状態の正面図である。
【図２７】固定ユニットを分解した状態の後方斜視図である。
【図２８】固定ユニットを分解した状態の背面図である。
【図２９】完成状態にある固定ユニットを図２６のXXIX矢線に沿って見た図である。
【図３０】図２６のXXX線に沿う断面図である。
【図３１】固定ユニットの前方斜視図である。
【図３２】固定ユニットの後方斜視図である。
【図３３】図７から鏡筒とイメージセンサユニットとコイル支持板を除いた状態の図である。
【図３４】図３３のXXXIV線に沿う断面図である。
【図３５】第２の実施形態の可動ユニットの前方斜視図である。
【図３６】同可動ユニットを分解した状態の前方斜視図である。
【図３７】同可動ユニットを分解した状態の後方斜視図である。
【図３８】第２の実施形態で第１磁石ユニットを保持するヨークの単体形状を示す斜視図である。
【図３９】図３８に示すヨークに第１磁石ユニットを組み合わせた状態を外径側から見た図である。
【図４０】図３８に示すヨークに第１磁石ユニットを組み合わせた状態を内径側から見た図である。
【図４１】図３９のXLI矢視図である。
【図４２】第１磁石ユニットとヨークを分離した状態を図４１と同方向から見た図である。
【図４３】第３の実施形態の可動ユニットの斜視図である。
【図４４】同可動ユニットを分解した状態の斜視図である。
【図４５】同可動ユニットを分解した状態を図４４の反対側から見た斜視図である。
【図４６】第３の実施形態のヨークと磁石ユニットを組み合わせた状態の斜視図である。
【図４７】第３の実施形態の可動ユニットの平面図である。
【図４８】図４７のXLVIII矢視図である。
【図４９】図４７のXLIX矢視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、添付図面を参照しながら本発明の一実施形態に係る撮像装置１０について説明する。撮像装置１０は、被写体画像を得るための撮像手段として、撮像光学系Ｌとイメージセンサユニット１９を有する。図中の「Ｏ」は撮像光学系Ｌの光軸であり、以下の説明では、光軸Ｏに沿う方向（光軸Ｏとその延長線が延びる方向、または光軸Ｏと平行な直線が延びる方向）を光軸方向とし、光軸方向における被写体（物体）側を前方、像側を後方とする。また、光軸Ｏを中心とする放射方向（光軸Ｏと垂直で光軸Ｏと交差する直線が延びる方向）を径方向とし、径方向において光軸Ｏに接近する方向を内径方向、光軸Ｏから離れる方向を外径方向とする。また、光軸Ｏを中心とする円周方向を周方向とする。なお、特に断りがない場合、光軸Ｏとは、後述する可動ユニット１７及び鏡筒１１の傾動を行っていない設計上の初期状態での光軸を意味するものとする。
【００２０】
図１ないし図４、図６ないし図８に撮像装置１０の外観を示す。図９ないし図１１に示すように、撮像装置１０は、鏡筒１１を挿入支持するバレルホルダ（可動部材）１２を備え、鏡筒１１とバレルホルダ１２の結合体がコイルホルダ１３とボールホルダ１４からなるハウジング内に可動に支持されるという基本構造を有している。
【００２１】
図９、図１２ないし図１７、図２２、図３４に示すように、バレルホルダ１２は、光軸Ｏを囲む筒部１２ａの内部に光軸方向に貫通する穴である軸方向貫通部１２ｂを有している。軸方向貫通部１２ｂの後端付近には内径方向へ突出して軸方向貫通部１２ｂの内径サイズ（開口径）を小さくさせる環状の挿入規制フランジ１２ｃが形成されている。
【００２２】
図５、図９、図１２ないし図１８、図２０、図２２ないし図２４に示すように、バレルホルダ１２の筒部１２ａの外面には３つの揺動案内面（支持手段）２０が形成されている。３つの揺動案内面２０は周方向に位置を異ならせて設けられており、それぞれを符号２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃで区別する。各揺動案内面２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃは光軸Ｏ上の所定の点を中心とする同一の球面の一部であり、この球面の中心を球心揺動中心Ｑ（図９、図２２）とする。揺動案内面２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃは周方向に略同じ幅を有しており、かつ周方向に略等間隔（１２０度間隔）で配されている。
【００２３】
図９、図１１、図１４、図１５、図１７ないし図２２、図２４に示すように、バレルホルダ１２の後端面には、光軸方向後方へ突出する複数の傾動制限突起３０が設けられている。傾動制限突起３０は、揺動案内面２０Ａの両側の周方向位置に設けられた一対の傾動制限突起３０Ａ，３０Ｂと、揺動案内面２０Ｂの両側の周方向位置に設けられた一対の傾動制限突起３０Ｃ，３０Ｄと、揺動案内面２０Ｃの両側の周方向位置に設けられた一対の傾動制限突起３０Ｅ，３０Ｆの計６つからなる。各傾動制限突起３０は先端（光軸方向後方の端部）が半球面状の突起であり、バレルホルダ１２の後端面からのそれぞれの突出量が略等しい（図１８ないし図２２参照）。
【００２４】
図１０ないし図１８、図２１ないし図２４、図３４に示すように、バレルホルダ１２の揺動案内面２０Ａ上には、周方向に離間する一対のロール範囲制限突起３１が設けられている。球心揺動中心Ｑ（図９、図２２）を中心とする球面の一部である揺動案内面２０Ａは、光軸方向における前端と後端から中央に進むにつれて光軸Ｏからの距離が大きくなり、一対のロール範囲制限突起３１は、光軸Ｏからの揺動案内面２０Ａの距離が最も大きくなる光軸方向の中央付近（光軸Ｏに対して略垂直で球心揺動中心Ｑを通る平面上）に設けられている。すなわち、揺動案内面２０Ａのうち最も外径方向に突出している箇所にロール範囲制限突起３１が設けられている。
【００２５】
図１２ないし図１７、図３４に示すように、バレルホルダ１２は、３つの揺動案内面２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃの間の周方向位置に３つの支持座２１，２２，２３を有している。支持座２１は揺動案内面２０Ａと揺動案内面２０Ｃの間に位置し、支持座２２は揺動案内面２０Ａと揺動案内面２０Ｂの間に位置し、支持座２３は揺動案内面２０Ｂと揺動案内面２０Ｃの間に位置している。支持座２１，２２，２３はそれぞれ、光軸Ｏを中心とする同一の円筒面の一部である支持面２１ａ，２２ａ，２３ａと、支持面２１ａ，２２ａ，２３ａよりも外径方向に突出する磁石支持突起２１ｂ，２２ｂ，２３ｂを有している。支持面２１ａ，２２ａ，２３ａはそれぞれ支持座２１，２２，２３の周方向の両端部分に一対が設けられており、各一対の支持面２１ａ，２２ａ，２３ａの間は凹状になっている。
【００２６】
図１０ないし図１５、図１８、図２０、図２１、図２３、図２４、図３４に示すように、磁石支持突起２１ｂと磁石支持突起２２ｂは、光軸方向の厚みが小さく周方向に長手方向を向けた板状の突起であり、互いの形状は略共通である。磁石支持突起２１ｂと磁石支持突起２２ｂのそれぞれの光軸方向の前面と後面は、互いに略平行で光軸Ｏに対して略垂直な平面となっている。磁石支持突起２１ｂと磁石支持突起２２ｂはそれぞれ、支持座２１と支持座２２の光軸方向の略中央に位置している。図５、図９、図１２ないし図１７、図１９、図２２、図３３、図３４に示すように、磁石支持突起２３ｂは周方向の厚みが小さく光軸方向に長手方向を向けた板状の突起である。磁石支持突起２３ｂの周方向の両側面は、互いに略平行で光軸方向に延びる平面となっている。磁石支持突起２３ｂは支持座２３の周方向の略中央に位置している。
【００２７】
３つの支持座２１，２２，２３は、磁石支持突起２１ｂ，２２ｂ，２３ｂを除く基礎部分（支持面２１ａ，２２ａ，２３ａ）の形状が略共通であり、この基礎部分が周方向に略等間隔（１２０度間隔）で配されている。図１２ないし図２４、図３４に示すように、支持座２１上にヨーク２４が支持され、支持座２２上にヨーク２５が支持され、支持座２３上にヨーク２６が支持される。各ヨーク２４，２５，２６は金属製の磁性体で形成されており、支持面２１ａ，２２ａ，２３ａに沿う湾曲形状の底壁２４ａ，２５ａ，２６ａと、底壁２４ａ，２５ａ，２６ａの周方向の両端から外径方向に突出する各一対の立壁２４ｂ，２５ｂ，２６ｂを有する。ヨーク２４の底壁２４ａとヨーク２５の底壁２５ａには周方向に長手方向を向けた長穴２４ｃ，２５ｃが貫通形成されており、ヨーク２６の底壁２６ａには光軸方向に長手方向を向けた長穴２６ｃが貫通形成されている。長穴２４ｃと長穴２５ｃはそれぞれ磁石支持突起２１ｂと磁石支持突起２２ｂを挿入可能な形状であり、長穴２６ｃは磁石支持突起２３ｂを挿入可能な形状である。各磁石支持突起２１ｂ，２２ｂ，２３ｂは対応する長穴２４ｃ，２５ｃ，２６ｃに対してガタつきなく挿入される断面形状を有しており、この挿入状態でバレルホルダ１２に対する各ヨーク２４，２５，２６の光軸方向及び周方向の位置が決まる。３つのヨーク２４，２５，２６は、底壁２４ａ，２５ａ，２６ａと立壁２４ｂ，２５ｂ，２６ｂについては略共通の形状を有しており、長穴２４ｃ及び長穴２５ｃに対する長穴２６ｃの形状のみが異なっている。
【００２８】
図１６、図１７、図３４に示すように、ヨーク２４，２５，２６はそれぞれ、湾曲形状の底壁２４ａ，２５ａ，２６ａの内周面を支持面２１ａ，２２ａ，２３ａ上に載せて支持座２１，２２，２３上に支持される。このとき磁石支持突起２１ｂ，２２ｂ，２３ｂがそれぞれ長穴２４ｃ，２５ｃ，２６ｃを通して外径方向に突出する。ヨーク２４，２５，２６が支持座２１，２２，２３上に支持された状態で、光軸Ｏを中心とする同一の円筒面上に底壁２４ａ，２５ａ，２６ａが位置する。図１８ないし図２４に示すように、ヨーク２４，２５，２６の光軸方向の長さはバレルホルダ１２の光軸方向の長さと略一致しており、各磁石支持突起２１ｂ，２２ｂ，２３ｂと各長穴２４ｃ，２５ｃ，２６ｃの係合によって位置を定めた状態で、ヨーク２４，２５，２６の前縁部とバレルホルダ１２の前端面の光軸方向位置が重なり、ヨーク２４，２５，２６の後縁部とバレルホルダ１２の後端面の光軸方向位置が重なる。
【００２９】
図１０ないし図１８、図２０、図２１、図２３、図２４、図３４に示すように、ヨーク２４上に第１磁石ユニット２７が支持され、ヨーク２５上に第２磁石ユニット２８が支持される。第１磁石ユニット２７は周方向に長手方向を向けた円弧形状をなす一組の永久磁石２７-１と永久磁石２７-２からなり、第２磁石ユニット２８も同様に周方向に長手方向を向けた円弧形状をなす一組の永久磁石２８-１と永久磁石２８-２からなる。永久磁石２７-１と永久磁石２７-２は同形状であり、光軸Ｏを中心とする円筒面の一部である内周面２７ａと、内周面２７ａを含む円筒面よりも径の大きい同心状の円筒面の一部である外周面２７ｂを有している。また、永久磁石２７-１と永久磁石２７-２はそれぞれ、長手方向の両端に位置して内周面２７ａと外周面２７ｂを径方向に接続する一対の長手方向端面２７ｃと、一対の長手方向端面２７ｃの間を長手方向に延びて内周面２７ａと外周面２７ｂを径方向に接続する一対の側面２７ｄ，２７ｅを有している。永久磁石２８-１と永久磁石２８-２はいずれも永久磁石２７-１及び永久磁石２７-２と同形状の磁石であり、永久磁石２７-１，２７-２と同様の内周面２８ａ、外周面２８ｂ、一対の長手方向端面２８ｃ、一対の側面２８ｄ，２８ｅを有している。
【００３０】
第１磁石ユニット２７は、永久磁石２７-１が前方、永久磁石２７-２が後方となる関係で光軸方向（永久磁石２７-１と永久磁石２７-２の短手方向）に並列してヨーク２４上に配置される。図１６ないし図１８、図２１、図２３、図２４、図３４に示すように、永久磁石２７-１と永久磁石２７-２のそれぞれの内周面２７ａが底壁２４ａ上に載置され、一対の長手方向端面２７ｃが一対の立壁２４ｂに対向する。内周面２７ａは底壁２４ａに沿う湾曲面であり、内周面２７ａと底壁２４ａの当接によって永久磁石２７-１と永久磁石２７-２が径方向に安定して支持される。また、一対の長手方向端面２７ｃを一対の立壁２４ｂで挟むことによって永久磁石２７-１と永久磁石２７-２の周方向の位置が定められる。さらに、長穴２４ｃを通して突出する磁石支持突起２１ｂを永久磁石２７-１の側面２７ｅと永久磁石２７-２の側面２７ｄの間に挟むことによって、永久磁石２７-１と永久磁石２７-２は光軸方向に所定の間隔をもって離間して並列する。磁石支持突起２１ｂは永久磁石２７-１と永久磁石２７-２よりも周方向に短く、永久磁石２７-１と永久磁石２７-２の長手方向の中央付近に磁石支持突起２１ｂが挟まれることにより、永久磁石２７-１の側面２７ｅと永久磁石２７-２の側面２７ｄの間に接着剤注入空間（隙間）Ｍ１が形成される（図１８、図２１）。以上のヨーク２４と磁石支持突起２１ｂによる支持状態で、永久磁石２７-１の側面２７ｄはバレルホルダ１２の前端面（ヨーク２４の前縁部）と略同じ光軸方向位置にあり、永久磁石２７-２の側面２７ｅはバレルホルダ１２の後端面（ヨーク２４の後縁部）と略同じ光軸方向位置にある（図１８、図２１、図２３、図２４）。つまり、永久磁石２７-１と磁石支持突起２１ｂと永久磁石２７-２のそれぞれの光軸方向の幅の和が、バレルホルダ１２やヨーク２４の光軸方向長と略一致しており、第１磁石ユニット２７はバレルホルダ１２の前後に突出せずに支持される。
【００３１】
第２磁石ユニット２８は、永久磁石２８-１が前方、永久磁石２８-２が後方となる関係で光軸方向（永久磁石２８-１と永久磁石２８-２の短手方向）に並列してヨーク２５上に配置される。図１６ないし図１８、図２０、図２３、図２４、図３４に示すように、永久磁石２８-１と永久磁石２８-２のそれぞれの内周面２８ａが底壁２５ａ上に載置され、一対の長手方向端面２８ｃが一対の立壁２５ｂに対向する。内周面２８ａは底壁２５ａに沿う湾曲面であり、内周面２８ａと底壁２５ａの当接によって永久磁石２８-１と永久磁石２８-２が径方向に安定して支持される。また、一対の長手方向端面２８ｃを一対の立壁２５ｂで挟むことによって永久磁石２８-１と永久磁石２８-２の周方向の位置が定められる。さらに、長穴２５ｃを通して突出する磁石支持突起２２ｂを永久磁石２８-１の側面２８ｅと永久磁石２８-２の側面２８ｄの間に挟むことによって、永久磁石２８-１と永久磁石２８-２は光軸方向に所定の間隔をもって離間して並列する。磁石支持突起２２ｂは永久磁石２８-１と永久磁石２８-２よりも周方向に短く、永久磁石２８-１と永久磁石２８-２の長手方向の中央付近に磁石支持突起２２ｂが挟まれることにより、永久磁石２８-１の側面２８ｅと永久磁石２８-２の側面２８ｄの間に接着剤注入空間（隙間）Ｍ２が形成される（図１８、図２０、図２３、図２４）。以上のヨーク２５と磁石支持突起２２ｂによる支持状態で、永久磁石２８-１の側面２８ｄはバレルホルダ１２の前端面（ヨーク２５の前縁部）と略同じ光軸方向位置にあり、永久磁石２８-２の側面２８ｅはバレルホルダ１２の後端面（ヨーク２５の後縁部）と略同じ光軸方向位置にある（図１８、図２０、図２３、図２４）。つまり、永久磁石２８-１と磁石支持突起２２ｂと永久磁石２８-２のそれぞれの光軸方向の幅の和が、バレルホルダ１２やヨーク２５の光軸方向長と略一致しており、第２磁石ユニット２８はバレルホルダ１２の前後に突出せずに支持される。
【００３２】
図９ないし図１７、図１９、図２０、図２２ないし図２４、図３４に示すように、ヨーク２６上に第３磁石ユニット２９が支持される。第３磁石ユニット２９は、光軸方向に長手方向を向けた一組の永久磁石２９-１と永久磁石２９-２からなる。永久磁石２９-１と永久磁石２９-２は同形状であり、光軸Ｏを中心とする円筒面の一部である内周面２９ａと、内周面２９ａを含む円筒面よりも径の大きい同心状の円筒面の一部である外周面２９ｂを有している。また、永久磁石２９-１と永久磁石２９-２はそれぞれ、長手方向の両端に位置して内周面２９ａと外周面２９ｂを径方向に接続する一対の長手方向端面２９ｃと、一対の長手方向端面２９ｃの間を長手方向に延びて内周面２９ａと外周面２９ｂを径方向に接続する一対の側面２９ｄ，２９ｅを有している。
【００３３】
第１磁石ユニット２７や第２磁石ユニット２８と異なり、第３磁石ユニット２９は、永久磁石２９-１と永久磁石２９-２を周方向（永久磁石２９-１と永久磁石２９-２の短手方向）に並列させてヨーク２６上に配置される。図９、図１６、図１７、図１９、図２２ないし図２４、図３４に示すように、永久磁石２９-１と永久磁石２９-２のそれぞれの内周面２９ａが底壁２６ａ上に載置され、永久磁石２９-１の側面２９ｄが一対の立壁２６ｂの一方に対向し、永久磁石２９-２の側面２９ｅが一対の立壁２６ｂの他方に対向する。内周面２９ａは底壁２６ａに沿う湾曲面であり、内周面２９ａと底壁２６ａの当接によって永久磁石２９-１と永久磁石２９-２が径方向に安定して支持される。長穴２６ｃを通して突出する磁石支持突起２３ｂを永久磁石２９-１の側面２９ｅと永久磁石２９-２の側面２９ｄの間に挟むことによって、永久磁石２９-１と永久磁石２９-２は周方向に所定の間隔をもって離間して並列する。磁石支持突起２３ｂは永久磁石２９-１と永久磁石２９-２よりも光軸方向に短く、永久磁石２９-１と永久磁石２９-２の長手方向の中央付近に磁石支持突起２３ｂが挟まれることにより、永久磁石２９-１の側面２９ｅと永久磁石２９-２の側面２９ｄの間に接着剤注入空間（隙間）Ｍ３が形成される（図１９、図２２）。磁石支持突起２３ｂを挟んだ状態の永久磁石２９-１と永久磁石２９-２が一対の立壁２６ｂで両側から挟まれて第３磁石ユニット２９の周方向の位置が定められる。別言すれば、永久磁石２９-１と磁石支持突起２３ｂと永久磁石２９-２のそれぞれの周方向の幅の和が、周方向におけるヨーク２６の一対の立壁２６ｂの間隔と略一致している。また、永久磁石２９-１と永久磁石２９-２のそれぞれの光軸方向の長さ（一対の長手方向端面２９ｃの間隔）はバレルホルダ１２やヨーク２６の光軸方向の長さと略一致しており、永久磁石２９-１と永久磁石２９-２はそれぞれ、一対の長手方向端面２９ｃがバレルホルダ１２の前後の端面（ヨーク２６の前後の縁部）と重なり、その前後に突出せずに支持される（図１９、図２２）。
【００３４】
接着剤注入空間Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３のそれぞれに接着剤を注入する。接着剤注入空間Ｍ１に注入した接着剤によってヨーク２４と第１磁石ユニット２７がバレルホルダ１２（磁石支持突起２１ｂ）に対して固定され、接着剤注入空間Ｍ２に注入した接着剤によって、ヨーク２５と第２磁石ユニット２８がバレルホルダ１２（磁石支持突起２２ｂ）に対して固定され、接着剤注入空間Ｍ３に注入した接着剤によって、ヨーク２６と第３磁石ユニット２９がバレルホルダ１２（磁石支持突起２３ｂ）に対して固定される。つまり、接着剤注入空間Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３内に、各磁石ユニット２７，２８，２９を構成する各磁石をそれぞれ磁石支持突起２１ｂ，２２ｂ，２３ｂとヨーク２４，２５，２６に対して接着固定する接着固定部が形成される。
【００３５】
以上のようにしてヨーク２４，２５，２６と磁石ユニット２７，２８，２９をバレルホルダ１２に組み付けることで、図１６ないし図２２に示すサブアッセンブリである可動ユニット１７になる。可動ユニット１７では、ヨーク２４と第１磁石ユニット２７（磁石支持突起２１ｂを含む）のセットと、ヨーク２５と第２磁石ユニット２８（磁石支持突起２２ｂを含む）のセットと、ヨーク２６と第３磁石ユニット２９（磁石支持突起２３ｂを含む）のセットは、それぞれが周方向と光軸方向に略同じサイズとなり、これら３つのセットが周方向に略等間隔（１２０度間隔）で配置される。
【００３６】
図５、図１６、図１７、図３４に示すように、可動ユニット１７における各磁石ユニット２７，２８，２９は、それぞれの外周面２７ｂ，２８ｂ，２９ｂが光軸Ｏを中心とする同一の円筒面上に位置し、外周面２７ｂ，２８ｂ，２９ｂを含む円筒面よりも径が小さく光軸Ｏを中心とする別の同一の円筒面上にそれぞれの内周面２７ａ，２８ａ，２９ａが位置する。
【００３７】
可動ユニット１７で第１磁石ユニット２７，第２磁石ユニット２８，第３磁石ユニット２９を構成する各永久磁石のＮ極とＳ極を図１３、図１５ないし図１７に符号「Ｎ」と「Ｓ」で概念的に表した。各永久磁石は径方向にＮ極とＳ極が並ぶように着磁されており、永久磁石２７-１と永久磁石２８-２と永久磁石２９-１はそれぞれ内径側がＳ極で外径側がＮ極であり、永久磁石２７-２と永久磁石２８-１と永久磁石２９-２はそれぞれ内径側がＮ極で外径側がＳ極となっている。各磁石ユニット２７，２８，２９を短手方向に並列する２つの永久磁石に分割した構成にすることで、各磁石ユニット２７，２８，２９を一つの大型の永久磁石で構成する場合よりも着磁を行いやすく、軽量化の面でも有利となる。
【００３８】
図９、図２５ないし図２８、図３０ないし図３２に示すように、コイルホルダ１３は、光軸Ｏを囲む筒部１３ａの内部に光軸方向に貫通する軸方向貫通部１３ｂを有している。コイルホルダ１３の前端には内径方向に突出する前壁１３ｃが形成されており、前壁１３ｃの内縁部として形成された円形の中央開口１３ｄは、軸方向貫通部１３ｂよりも開口径が小さい。
【００３９】
図５、図９ないし図１１、図２５ないし図２８、図３０ないし図３２、図３４に示すように、コイルホルダ１３の軸方向貫通部１３ｂ内には、筒部１３ａの内周面から内径方向へ突出する３つの支持座（支持手段）４０が設けられている。３つの支持座４０は周方向に略等間隔（１２０度間隔）で設けられており、それぞれを符号４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃで区別する。各支持座４０は内径方向に進むにつれて周方向の幅を狭くする楔状の断面形状を有しており、その内径側の先端部にボール保持溝４１が形成されている。ボール保持溝４１は光軸方向に長手方向が向く有底の長溝であり、外径方向に底面が位置して内径方向に開口されている。ボール保持溝４１の光軸方向の後端部は開放されており、ボール保持溝４１の前端部は前壁１３ｃに隣接する前方規制壁４１ａによって閉じられている。図９や図３０に示すように、前方規制壁４１ａが設けられているボール保持溝４１の前端付近の領域は、その後方部分よりも各支持座４０の内径方向への突出量が大きく、ボール保持溝４１の深さが大きくなっている。各支持座４０の後端面には、内部にネジ溝を有するビス穴４２が形成されている。各ビス穴４２の周囲の環状の領域に当付面４３が形成されている。各当付面４３は光軸Ｏに対して略垂直で後方を向く平面である。
【００４０】
図９、図１１、図２５、図２７、図２８、図３０、図３２、図３４に示すように、コイルホルダ１３の筒部１３ａには、径方向に貫通する３つの貫通穴４５，４６，４７が形成されている。貫通穴４５，４６，４７は３つの支持座４０の間の周方向位置にあり、支持座４０Ａと支持座４０Ｃの間に貫通穴４５が位置し、支持座４０Ａと支持座４０Ｂの間に貫通穴４６が位置し、支持座４０Ｂと支持座４０Ｃの間に貫通穴４７が位置する。貫通穴４５，４６はそれぞれ周方向に長手方向を向けた長穴であり、筒部１３ａを平面状に展開した場合に略矩形となる展開形状を有している。貫通穴４５と貫通穴４６の周方向長は略等しく、貫通穴４５と貫通穴４６の光軸方向長も略等しい。貫通穴４７も筒部１３ａを平面状に展開した場合に略矩形となる展開形状を有しているが、周方向長と光軸方向長の比率が貫通穴４５及び貫通穴４６とは異なっており、貫通穴４７の周方向長は貫通穴４５及び貫通穴４６の周方向長よりも小さく、貫通穴４７の光軸方向長は貫通穴４５及び貫通穴４６の光軸方向長よりも大きい。周方向における貫通穴４５，４６，４７の長さの中央をそれぞれ周方向の基準位置とした場合、３つの貫通穴４５，４６，４７の基準位置は周方向に略等間隔（１２０度間隔）の関係である。
【００４１】
コイルホルダ１３の筒部１３ａの外周面上には、貫通穴４５，４６，４７の周囲に有底の支持凹部４８，４９，５０が形成されている。支持凹部４８，４９は周方向に長手方向が向く凹部であり、互いの周方向長と光軸方向長が略等しい。支持凹部５０は、支持凹部４８，４９よりも周方向には短く光軸方向には長い凹部である（図３３参照）。
【００４２】
図１、図２、図６ないし図１１、図２５ないし図２９、図３１、図３２に示すように、支持凹部４８，４９，５０上にそれぞれコイル支持板５１，５２，５３が支持される。コイル支持板５１，５２，５３は筒部１３ａの外周面に沿う湾曲形状の板状部材であり、支持凹部４８，４９，５０上に支持される状態でコイル支持板５１，５２，５３の外面が筒部１３ａの外周面と略面一になる。すなわち、コイル支持板５１，５２，５３が光軸Ｏを中心とする同一の円筒面上に位置する。コイル支持板５１とコイル支持板５２は略共通の形状であり、それぞれの周方向及び光軸方向の中央付近に、内径方向へ突出するコイル支持突起５１ａ，５２ａが形成され、各コイル支持突起５１ａ，５２ａの裏側にセンサ支持凹部５１ｂ，５２ｂが形成されている。コイル支持板５３は、コイル支持板５１及びコイル支持板５２よりも周方向には短く光軸方向には長い。コイル支持板５３の周方向及び光軸方向の中央付近に、内径方向へ突出するコイル支持突起５３ａが形成され、コイル支持突起５３ａの裏側にセンサ支持凹部５３ｂが形成されている。コイル支持板５１，５２，５３にはさらに径方向に貫通する貫通穴５１ｃ，５２ｃ，５３ｃが形成されている。
【００４３】
コイル支持板５１に第１コイル５４が支持され、コイル支持板５２に第２コイル５５が支持され、コイル支持板５３に第３コイル５６が支持される。第１コイル５４と第２コイル５５はそれぞれ、周方向に延びる各一対の長辺部５４ａ，５５ａの周方向端部を光軸方向に延びる各一対の短辺部５４ｂ，５５ｂで接続した空芯コイルである。第３コイル５６は、光軸方向に延びる一対の長辺部５６ａの光軸方向端部を周方向に延びる一対の短辺部５６ｂで接続した空芯コイルである。第１コイル５４と第２コイル５５は略同じ形状であり、互いの長辺部５４ａ，５５ａの周方向長が略等しく、かつ互いの短辺部５４ｂ，５５ｂの光軸方向長が略等しい。第３コイル５６の長辺部５６ａの光軸方向長は第１コイル５４及び第２コイル５５の短辺部５４ｂ，５５ｂの光軸方向長よりも大きく、第３コイル５６の短辺部５６ｂの周方向長は第１コイル５４及び第２コイル５５の長辺部５４ａ，５５ａの周方向長よりも小さい。各コイル５４，５５，５６は、コイル支持板５１，５２，５３の内周面に沿う円筒面の一部である湾曲した外周面５４ｃ，５５ｃ，５６ｃと、外周面５４ｃ，５５ｃ，５６ｃを含む円筒面よりも小径の円筒面上に位置する湾曲した内周面５４ｄ，５５ｄ，５６ｄを有している。
【００４４】
第１コイル５４は、一対の長辺部５４ａと一対の短辺部５４ｂで囲まれる中空部にコイル支持突起５１ａを挿入し、外周面５４ｃをコイル支持板５１の内周面に当接させてコイル支持板５１に取り付けられる。コイル支持板５１と第１コイル５４は接着などで固定される。この状態でコイル支持板５１をコイルホルダ１３の支持凹部４８上に支持させると、第１コイル５４が貫通穴４５内に挿入されて内周面５４ｄがコイルホルダ１３の内径側に向く（図５、図３２、図３４）。
【００４５】
第２コイル５５は、一対の長辺部５５ａと一対の短辺部５５ｂで囲まれる中空部にコイル支持突起５２ａを挿入し、外周面５５ｃをコイル支持板５２の内周面に当接させてコイル支持板５２に取り付けられる。コイル支持板５２と第２コイル５５は接着などで固定される。この状態でコイル支持板５２をコイルホルダ１３の支持凹部４９上に支持させると、第２コイル５５が貫通穴４６内に挿入されて内周面５５ｄがコイルホルダ１３の内径側に向く（図５、図３４）。
【００４６】
第３コイル５６は、各一対の長辺部５６ａと短辺部５６ｂで囲まれる中空部にコイル支持突起５３ａを挿入し、外周面５６ｃをコイル支持板５３の内周面に当接させてコイル支持板５３に取り付けられる。コイル支持板５３と第３コイル５６は接着などで固定される。この状態でコイル支持板５３をコイルホルダ１３の支持凹部５０上に支持させると、第３コイル５６が貫通穴４７内に挿入されて内周面５６ｄがコイルホルダ１３の内径側に向く（図５、図９、図３２、図３４）。
【００４７】
コイル支持板５１，５２，５３を介してコイルホルダ１３に取り付けられた状態の各コイル５４，５５，５６の位置関係を図３４に示す。図３４から分かるように、各コイル５４，５５，５６は、それぞれの外周面５４ｃ，５５ｃ，５６ｃが光軸Ｏを中心とする同一の円筒面上に位置し、外周面５４ｃ，５５ｃ，５６ｃを含む円筒面よりも径が小さく光軸Ｏを中心とする別の同一の円筒面上にそれぞれの内周面５４ｄ，５５ｄ，５６ｄが位置する。
【００４８】
図１、図２、図６ないし図１１、図２５ないし図２９、図３１、図３２に示すように、コイル支持板５１，５２，５３のセンサ支持凹部５１ｂ，５２ｂ，５３ｂ内にホールセンサ（磁気センサ）５７，５８，５９が取り付けられる。センサ支持凹部５１ｂ，５２ｂ，５３ｂはそれぞれ、内径方向に突出するコイル支持突起５１ａ，５２ａ，５３ａの内部空間を利用して凹設されており、外径方向に向けて開放された凹部となっている。そのため、センサ支持凹部５１ｂ，５２ｂ，５３ｂ内に取り付けられたホールセンサ５７，５８，５９は、各コイル５４，５５，５６の中空部分の内側に収まる状態で保持される（図９、図３４参照）。図３４に示すように、この保持状態における各ホールセンサ５７，５８，５９は、周方向に略等間隔（１２０度間隔）で位置し、かつ光軸Ｏを中心とする同一の円筒面上に位置する（光軸Ｏからの径方向距離が略等しい）。
【００４９】
以上のようにしてコイル支持板５１，５２，５３を介して第１コイル５４，第２コイル５５，第３コイル５６とホールセンサ５７，５８，５９をコイルホルダ１３に組み付けることで、図２９、図３１、図３２に示すサブアッセンブリである固定ユニット１８が構成される。
【００５０】
固定ユニット１８（コイルホルダ１３）の軸方向貫通部１３ｂ内に、３つの定位置ボール（支持手段）６１と３つの付勢ボール（支持手段）６２（図５、図９ないし図１１）を介して可動ユニット１７（バレルホルダ１２）が支持される。各定位置ボール６１と各付勢ボール６２は略同径の金属製の球状体である。コイルホルダ１３に設けた３つの支持座４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃの各ボール保持溝４１内に定位置ボール６１と付勢ボール６２が１つずつ挿入され、計６つの定位置ボール６１と付勢ボール６２でバレルホルダ１２を支持する。３つの定位置ボール６１はそれぞれ、前方規制壁４１ａが形成されるボール保持溝４１の前端部分に保持され、３つの付勢ボール６２はそれぞれ、ボール保持溝４１の後端付近に保持される。各定位置ボール６１と各付勢ボール６２の径とボール保持溝４１の溝幅が略一致しており、定位置ボール６１と付勢ボール６２はボール保持溝４１に対する周方向の移動が規制される。
【００５１】
可動ユニット１７は、バレルホルダ１２に形成した揺動案内面２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃの周方向位置をそれぞれ支持座４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃに対応させて（径方向に対向させて）、軸方向貫通部１３ｂ内に挿入される。すると、揺動案内面２０Ａが支持座４０Ａのボール保持溝４１上に支持された定位置ボール６１と付勢ボール６２に当接し、揺動案内面２０Ｂが支持座４０Ｂのボール保持溝４１上に支持された定位置ボール６１と付勢ボール６２に当接し、揺動案内面２０Ｃが支持座４０Ｃのボール保持溝４１上に支持された定位置ボール６１と付勢ボール６２に当接する。
【００５２】
この状態で３つの定位置ボール６１は、対応する揺動案内面２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃとボール保持溝４１の底面の間に挟まれ、さらに前方規制壁４１ａに当接することによって、光軸方向と径方向の移動が規制される（位置が定まる）。より詳しくは、図９から分かるように、定位置ボール６１は、ボール保持溝４１の底面によって外径方向への移動が規制され、前方規制壁４１ａによって光軸方向前方への移動が規制される。揺動案内面２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃは、ボール保持溝４１の光軸方向の前半分に対向する領域では、光軸方向前方から後方に進むにつれて内径側から外径側に進む傾斜を有している（図９、図２２参照）。そのため定位置ボール６１は、揺動案内面２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃによって内径方向と光軸方向後方への移動が規制される。言い換えれば、揺動案内面２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃと前方規制壁４１ａとボール保持溝４１の底面によって、光軸方向前方から後方に進むにつれて径方向の幅が小さくなる楔状の空間が形成されており、この楔状の空間内に定位置ボール６１が移動を規制されて嵌った状態になる。このように定位置ボール６１は、可動ユニット１７を組み付けることによって、光軸方向と周方向と径方向のいずれの方向にも移動制限された一定位置で保持される。なお、定位置ボール６１は、この一定位置における転動（自身の中心位置を一定に保った転がり動作）は可能となっている。
【００５３】
揺動案内面２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃは、ボール保持溝４１の光軸方向の後半分に対向する領域では、光軸方向後方から前方に進むにつれて内径側から外径側に進む傾斜を有している（図９、図２２参照）。つまり、揺動案内面２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃは、定位置ボール６１に当接する部分と付勢ボール６２に当接する部分では、傾斜方向が逆になっている。そのため付勢ボール６２は、対応する揺動案内面２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃとボール保持溝４１の底面の間に挟まれると、ボール保持溝４１の底面によって外径方向への移動が規制されることに加えて、揺動案内面２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃによって内径方向と光軸方向前方への移動が規制される。但し、付勢ボール６２はボール保持溝４１の後端の開口部付近に位置するため、固定ユニット１８にボールホルダ１４を取り付けない段階では各付勢ボール６２が露出し（図５参照）、光軸方向後方への各付勢ボール６２の移動は規制されない。
【００５４】
コイルホルダ１３の軸方向貫通部１３ｂ内にボールホルダ１４が組み付けられる。図９ないし図１１に示すように、ボールホルダ１４は軸方向貫通部１３ｂの内周部に嵌る径の円盤状部材であり、径方向の中央に位置する円形の中央開口１４ａと、中央開口１４ａの外径側を囲む板状の蓋部１４ｂと、蓋部１４ｂの外縁部から光軸方向前方に向けて突出する環状の外周フランジ１４ｃを有している。蓋部１４ｂの前面側には周方向に略等間隔（１２０度間隔）で３つの前方突出部６５が設けられている。各前方突出部６５には、光軸方向に貫通するビス挿通穴６６が形成され、ビス挿通穴６６よりも内径側には前方へ向くボール保持面６７が形成されている。さらに蓋部１４ｂの前面側には、中央開口１４ａを囲む環状の領域に傾動規制面６８が形成されている。ボール保持面６７と傾動規制面６８はそれぞれ光軸Ｏに対して略垂直な平面である。図９に示すように、ビス挿通穴６６は内径の大きさを３段階に異ならせており、内径サイズが最も大きい大径部６６ａと最も小さい小径部６６ｂが光軸方向の最後部と最前部に位置し、その間の光軸方向位置に中間の内径サイズの中間部６６ｃが形成されている。
【００５５】
ボールホルダ１４は、コイルホルダ１３の３つの支持座４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃの後面に対して３つの前方突出部６５が光軸方向に対向するように周方向位置を定めて、軸方向貫通部１３ｂ内へ光軸方向後方から挿入される。支持座４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃに対向する３つの前方突出部６５をそれぞれ前方突出部６５Ａ，６５Ｂ，６５Ｃとする。軸方向貫通部１３ｂ内に挿入されたボールホルダ１４は、３つの固定ビス６９を用いてコイルホルダ１３に固定される。
【００５６】
図９ないし図１１に示すように、３つの固定ビス６９はそれぞれ、ネジ溝を外周面に有する螺合部６９ａを一端に有し、頭部６９ｂを他端に有し、螺合部６９ａと頭部６９ｂを軸部６９ｃで接続した構成である。頭部６９ｂの径は、ボールホルダ１４におけるビス挿通穴６６の中間部６６ｃの内径よりも大きく、大径部６６ａの内径よりも小さい。軸部６９ｃの径は、ビス挿通穴６６の小径部６６ｂの内径と略同じ大きさである。各固定ビス６９は螺合部６９ａを前方に向けて光軸方向後方からビス挿通穴６６内に挿入され、螺合部６９ａがビス穴４２内のネジ溝に螺合する。図９に示すように、ビス挿通穴６６の中間部６６ｃ内には軸部６９ｃを囲む筒状のコイルバネ７０が挿入され、コイルバネ７０の前端部が小径部６６ｂと中間部６６ｃの間の段部に当接し、コイルバネ７０の後端部が固定ビス６９の頭部６９ｂに当接する。ビス穴４２への螺合部６９ａの螺合量が大きくなるにつれて、頭部６９ｂの押し込みによってコイルバネ７０が圧縮され、圧縮されたコイルバネ７０によってボールホルダ１４に対して光軸方向前方への付勢力が働く。
【００５７】
各固定ビス６９は、軸部６９ｃの前端部がコイルホルダ１３の当付面４３に当接する図９の位置がビス穴４２への締め込みの限界となる。この状態で、ボールホルダ１４に形成した各前方突出部６５Ａ，６５Ｂ，６５Ｃのボール保持面６７が付勢ボール６２に対して後方から当接し、コイルバネ７０からボールホルダ１４に加わる光軸方向前方への付勢力を各付勢ボール６２が受ける。図９に示すように、付勢ボール６２が挿入されているボール保持溝４１の後端付近では、光軸方向前方に進むにつれてボール保持溝４１の底面と揺動案内面２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃの径方向間隔が小さくなる楔状の空間になっており、ボール保持面６７から付勢力を受ける付勢ボール６２はこの楔状空間が狭くなる方向へ押し込まれるため、光軸方向と径方向のいずれにも安定した状態で付勢ボール６２が支持される。また、ボール保持溝４１から後方への付勢ボール６２の脱落がボール保持面６７によって防止される。なお、付勢ボール６２とボール保持面６７を確実に当接させるために、図９の状態で各前方突出部６５Ａ，６５Ｂ，６５Ｃの前面と当付面４３の間には僅かに光軸方向の隙間が確保されている。また、ビス挿通穴６６における中間部６６ｃと大径部６６ａの間の段部と、固定ビス６９の頭部６９ｂとの間には、光軸方向へ僅かな隙間がある。そのため、当付面４３と頭部６９ｂによって規制される前後範囲の間でボールホルダ１４の光軸方向位置や傾きを僅かに変化させることが可能であり、これによって３つの付勢ボール６２の位置のばらつきなどを吸収して安定した保持を行うことができる。
【００５８】
以上のように３つの定位置ボール６１と３つの付勢ボール６２を介して固定ユニット１８（コイルホルダ１３）の軸方向貫通部１３ｂ内に支持された可動ユニット１７（バレルホルダ１２）は、各定位置ボール６１及び各付勢ボール６２に対する３つの揺動案内面２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃの接触位置を変化させながら、揺動案内面２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃを含む球面の中心である球心揺動中心Ｑを中心とする方向自在な回転動作を行うことが可能である。この可動ユニット１７（バレルホルダ１２）の回転動作に際しては、揺動案内面２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃの位置変化に伴って定位置ボール６１や付勢ボール６２が転動してもよいし、定位置ボール６１や付勢ボール６２を転動させずに揺動案内面２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃが摺動してもよい。揺動案内面２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃと定位置ボール６１及び付勢ボール６２は点接触の関係であるため、いずれの態様でも少ない抵抗でスムーズに可動ユニット１７を動作させることができる。
【００５９】
可動ユニット１７を構成するバレルホルダ１２内に鏡筒１１が支持される。鏡筒１１は複数のレンズで構成される撮像光学系Ｌ（図９参照）を内部に保持した筒状体である。図９ないし図１１に示すように、鏡筒１１は光軸方向に進むにつれて段階的に径の大きさを変化させており、光軸方向の最前部に最も径が大きい大径部１１ａを有し、その後方に大径部１１ａよりも小径の中間部１１ｂを有し、光軸方向の最後部に最も径が小さい小径部１１ｃを有する。
【００６０】
鏡筒１１は、小径部１１ｃを後方に向けて前方からバレルホルダ１２の軸方向貫通部１２ｂに挿入され、中間部１１ｂと小径部１１ｃの間の段部が挿入規制フランジ１２ｃの前面に当接することで光軸方向へのそれ以上の挿入が規制される（図９）。図１、図２、図６ないし図９、図２３、図２４に示すように、この状態で小径部１１ｃは挿入規制フランジ１２ｃの内側を通ってバレルホルダ１２の後方に突出し、大径部１１ａは軸方向貫通部１２ｂに挿入されずにバレルホルダ１２の前方に位置する。バレルホルダ１２から後方に突出した小径部１１ｃの外周面には周面ネジ１１ｄ（図９ないし図１１）が形成されており、周面ネジ１１ｄに対して押え環１５が取り付けられる。押え環１５は周面ネジ１１ｄに螺合するネジ溝を内周面に有する環状体であり、挿入規制フランジ１２ｃの後面に当て付くまで押え環１５を締め付けることで、バレルホルダ１２に対して鏡筒１１が固定される。図９に示すように、ボールホルダ１４の中央開口１４ａの開口径は押え環１５の径よりも大きく、コイルホルダ１３にボールホルダ１４を取り付けた後に、中央開口１４ａを通して押え環１５の着脱が可能である。
【００６１】
鏡筒１１の大径部１１ａとバレルホルダ１２はそれぞれ、コイルホルダ１３の前壁１３ｃの中央開口１３ｄを通過しない径方向の大きさを有しているため、鏡筒１１はコイルホルダ１３の軸方向貫通部１３ｂに対して光軸方向前方から挿入可能で、バレルホルダ１２はコイルホルダ１３の軸方向貫通部１３ｂに対して光軸方向後方から挿入可能となる。撮像装置１０の組み立ての手順として、コイルホルダ１３の軸方向貫通部１３ｂに対してバレルホルダ１２を含む可動ユニット１７を後方から挿入した上でボールホルダ１４を取り付け、続いてバレルホルダ１２の軸方向貫通部１２ｂに対して前方から鏡筒１１を挿入し、ボールホルダ１４の中央開口１４ａを通して押え環１５を組み付けてバレルホルダ１２に鏡筒１１を固定させるとよい。可動ユニット１７の取り付けに際しては、一対のロール範囲制限突起３１の間に支持座４０Ａが位置するように周方向位置を定める。また、コイルホルダ１３の軸方向貫通部１３ｂに可動ユニット１７を挿入する前に各ボール保持溝４１に定位置ボール６１を収めておき、可動ユニット１７の挿入後に付勢ボール６２をボール保持溝４１の後端部分に収め、さらにボールホルダ１４の取り付けを行う。
【００６２】
バレルホルダ１２の軸方向貫通部１２ｂに挿入した状態の鏡筒１１は、大径部１１ａがコイルホルダ１３の前方に突出し、小径部１１ｂの後端部分がコイルホルダ１３の後方に突出しており、大径部１１ａの外周部に環状のバランサ１６を取り付け、小径部１１ｂの後端部分にイメージセンサユニット１９を取り付ける。鏡筒１１と可動ユニット１７は、先に述べた球心揺動中心Ｑを中心とする方向自在な回転動作を一体的に行う。鏡筒１１の後端部分に設けたイメージセンサユニット１９に対して、鏡筒１１の前端部分にバランサ１６を設けることで、鏡筒１１と可動ユニット１７からなる可動部分の重心が球心揺動中心Ｑと略一致するように重量バランスをとっている。
【００６３】
イメージセンサユニット１９は光軸Ｏ上に受光面が位置するイメージセンサ１９ａ（図９）を有しており、撮像光学系Ｌを通して得られる被写体像がイメージセンサ１９ａにより光電変換され、その画像信号がフレキシブル基板１９ｂを通して伝送される。フレキシブル基板１９ｂは撮像装置１０を制御する制御回路７１（図９に概念的に示す）に接続し、制御回路７１において画像信号の処理を行い、表示デバイスへの画像表示や記録媒体への画像データの記録を行う。制御回路７１にはさらに、撮像装置１０の姿勢を検知する姿勢検知センサ７２（図９）からの信号が入力される。
【００６４】
コイルホルダ１３に対する各コイル５４，５５，５６と各ホールセンサ５７，５８，５９の組み付けは、コイルホルダ１３に可動ユニット１７や鏡筒１１を取り付ける前と取り付けた後の任意の段階で行うことができる。前述のように、各コイル５４，５５，５６を取り付けた状態のコイル支持板５１，５２，５３をコイルホルダ１３の支持凹部４８，４９，５０上に載せて接着などで固定することで、各コイル５４，５５，５６が貫通穴４５，４６，４７内に挿入される。貫通穴４５を通してコイルホルダ１３の軸方向貫通部１３ｂ内に露出した第１コイル５４の内周面５４ｄが、可動ユニット１７を構成する第１磁石ユニット２７の各永久磁石２７-１，２７-２の外周面２７ｂに対向して位置する。同様に、貫通穴４６を通してコイルホルダ１３の軸方向貫通部１３ｂ内に露出した第２コイル５５の内周面５５ｄが、第２磁石ユニット２８の各永久磁石２８-１，２８-２の外周面２８ｂに対向して位置し、貫通穴４７を通してコイルホルダ１３の軸方向貫通部１３ｂ内に露出した第３コイル５６の内周面５６ｄが、第３磁石ユニット２９の各永久磁石２９-１，２９-２の外周面２９ｂに対向して位置する。径方向に対向する第１コイル５４と第１磁石ユニット２７が第１のアクチュエータ（駆動部）を構成し、径方向に対向する第２コイル５５と第２磁石ユニット２８が第２のアクチュエータ（駆動部）を構成し、径方向に対向する第３コイル５６と第３磁石ユニット２９が第３のアクチュエータ（駆動部）を構成する。
【００６５】
第１のアクチュエータでは第１磁石ユニット２７と共にヨーク２４が磁気回路を形成し、第２のアクチュエータでは第２磁石ユニット２８と共にヨーク２５が磁気回路を形成し、第３のアクチュエータでは第３磁石ユニット２９と共にヨーク２６が磁気回路を形成する。ヨーク２４，２５，２６は、底壁２４ａ，２５ａ，２６ａと立壁２４ｂ，２５ｂ，２６ｂで各磁石ユニット２７，２８，２９を囲み、立壁２４ｂ，２５ｂ，２６ｂの先端を外径方向に位置するコイル５４，５５，５６に向けることによって、各磁石ユニット２７，２８，２９の磁力線をコイル５４，５５，５６側（外周面２７ｂ，２８ｂ，２９ｂと立壁２４ｂ，２５ｂ，２６ｂの先端の間）に集中させて、コイル５４，５５，５６に作用する磁力を増幅させる。先に述べたように、ヨーク２４，２５，２６はさらに、対応する磁石ユニット２７，２８，２９を保持する機能を有する。
【００６６】
各ホールセンサ５７，５８，５９は、コイル支持板５１，５２，５３のセンサ支持凹部５１ｂ，５２ｂ，５３ｂ内に組み付けられることで、各磁石ユニット２７，２８，２９の外周面２７ｂ，２８ｂ，２９ｂに対して径方向に若干の隙間を有する状態で位置する（図９、図３４参照）。各ホールセンサ５７，５８，５９は、対応する各コイル５４，５５，５６の長手方向及び短手方向の略中心（径方向に延びる直線に沿って各コイル５４，５５，５６を平面視したときの各コイル５４，５５，５６の外形中心）に位置している（図６ないし図８、図２９、図３１ないし図３４参照）。ホールセンサ５７によって第１のアクチュエータ（第１磁石ユニット２７）における磁界の変化を検出し、ホールセンサ５８によって第２のアクチュエータ（第２磁石ユニット２８）における磁界の変化を検出し、ホールセンサ５９によって第３のアクチュエータ（第３磁石ユニット２９）における磁界の変化を検出する。センサ支持凹部５１ｂ，５２ｂ，５３ｂは内径方向に突出するコイル支持突起５１ａ，５２ａ，５３ａの内部空間を利用して凹設されているので、優れたスペース効率でホールセンサ５７，５８，５９を配置することができる。また、ホールセンサ５７，５８，５９を磁石ユニット２７，２８，２９に近づけて位置させて、検出の精度を高めることができる。
【００６７】
コイル支持板５１，５２，５３の外周面上に図示を省略するフレキシブル基板が配設される。フレキシブル基板は、センサ支持凹部５１ｂ，５２ｂ，５３ｂ内のホールセンサ５７，５８，５９に接続するセンサ接続部と、貫通穴５１ｃ，５２ｃ，５３ｃを通して第１コイル５４と第２コイル５５と第３コイル５６のそれぞれに接続するコイル接続部を有している。フレキシブル基板は制御回路７１（図９）に接続し、ホールセンサ５７，５８，５９で得られる磁界の情報がフレキシブル基板を介して制御回路７１に送られ、このセンサ情報に基づいて可動ユニット１７と鏡筒１１の姿勢が検出される。また、制御回路７１によって第１コイル５４，第２コイル５５，第３コイル５６への通電制御が行われる。なお、図９では制御回路７１と第３コイル５６及びホールセンサ５９の接続関係のみを示しているが、第１コイル５４、第２コイル５５、ホールセンサ５７，５８についても同様に制御回路７１と電気的に接続される。
【００６８】
第１のアクチュエータでは、第１コイル５４の一対の長辺部５４ａと第１磁石ユニット２７の各永久磁石２７-１，２７-２のそれぞれの長手方向が周方向を向き、前側の長辺部５４ａと永久磁石２７-１が径方向に対向し、後側の長辺部５４ａと永久磁石２７-２が径方向に対向している。永久磁石２７-１と永久磁石２７-２はそれぞれ図１３、図１５ないし図１７に示すように着磁されているため、第１コイル５４に通電すると、フレミングの左手の法則により、第１コイル５４の長辺部５４ａに沿って電流の流れる方向と、永久磁石２７-１，２７-２による長辺部５４ａ周りの磁界の向きに対して略垂直な方向の推力が働く。この第１のアクチュエータによる推力を図６、図１８、図２１、図２９に矢印Ｆ１１と矢印Ｆ１２で概念的に示した。第１コイル５４の電流の方向によって推力の作用方向がＦ１１とＦ１２に切り替わる。第１のアクチュエータでは、第１磁石ユニット２７の長手方向と第１コイル５４の長辺部５４ａがそれぞれ周方向に長く延びている。これによって推力Ｆ１１，Ｆ１２を効率良く生じさせることができる。
【００６９】
第２のアクチュエータでは、第２コイル５５の一対の長辺部５５ａと第２磁石ユニット２８の各永久磁石２８-１，２８-２のそれぞれの長手方向が周方向を向き、前側の長辺部５５ａと永久磁石２８-１が径方向に対向し、後側の長辺部５５ａと永久磁石２８-２が径方向に対向している。永久磁石２８-１と永久磁石２８-２はそれぞれ図１３、図１５ないし図１７に示すように着磁されているため、第２コイル５５に通電すると、フレミングの左手の法則により、第２コイル５５の長辺部５５ａに沿って電流の流れる方向と、永久磁石２８-１，２８-２による長辺部５５ａ周りの磁界の向きに対して略垂直な方向の推力が働く。この第２のアクチュエータによる推力を図６、図８、図１８、図２０に矢印Ｆ２１と矢印Ｆ２２で概念的に示した。第２コイル５５の電流の方向によって推力の作用方向がＦ２１とＦ２２に切り替わる。第２のアクチュエータでは、第２磁石ユニット２８の長手方向と第２コイル５５の長辺部５５ａがそれぞれ周方向に長く延びている。これによって推力Ｆ２１，Ｆ２２を効率良く生じさせることができる。
【００７０】
第３のアクチュエータでは、第３コイル５６の一対の長辺部５６ａと第３磁石ユニット２９の各永久磁石２９-１，２９-２のそれぞれの長手方向が光軸方向に延び、一方の長辺部５６ａと永久磁石２９-１が径方向に対向し、他方の長辺部５６ａと永久磁石２９-２が径方向に対向している。永久磁石２９-１と永久磁石２９-２はそれぞれ図１３、図１５ないし図１７に示すように着磁されているため、第３コイル５６に通電すると、フレミングの左手の法則により、第３コイル５６の長辺部５６ａに沿って電流の流れる方向と、永久磁石２９-１，２９-２による長辺部５６ａ周りの磁界の向きに対して略垂直な方向の推力が働く。この第３のアクチュエータによる推力を図７、図８、図１９、図２０、図３３に矢印Ｆ３１と矢印Ｆ３２で概念的に示した。第３コイル５６の電流の方向によって推力の作用方向がＦ３１とＦ３２に切り替わる。第１及び第２のアクチュエータと異なり、第３のアクチュエータでは、第３磁石ユニット２９の長手方向と第３コイル５６の長辺部５６ａが延びる方向がそれぞれ、周方向ではなく光軸方向になっている。これによってローリング方向の推力Ｆ３１，Ｆ３２を効率良く生じさせることができる。
【００７１】
各コイル５４，５５，５６はコイルホルダ１３に固定的に支持されているので、各アクチュエータの推力は、各磁石ユニット２７，２８，２９を有する可動ユニット１７を動作させる力として働く。前述の通り、可動ユニット１７は球心揺動中心Ｑを中心として回転自在に支持されており、第１のアクチュエータと第２のアクチュエータの推力Ｆ１１，Ｆ１２，Ｆ２１，Ｆ２２によって、可動ユニット１７と鏡筒１１は球心揺動中心Ｑを中心として光軸Ｏを傾けるチルト動作を行う。例えば、第１のアクチュエータと第２のアクチュエータの中間の周方向位置を通りチルト前の光軸Ｏを含む仮想平面Ｐ１（図３）と、仮想平面Ｐ１に垂直でチルト前の光軸Ｏを含む仮想平面Ｐ２（図３）を設定し、仮想平面Ｐ１に沿う可動ユニット１７と鏡筒１１の傾動をピッチング方向の動作、仮想平面Ｐ２に沿う可動ユニット１７と鏡筒１１の傾動をヨーイング方向の動作とすると、第１のアクチュエータと第２のアクチュエータの推力Ｆ１１，Ｆ１２，Ｆ２１，Ｆ２２によって、ピッチング方向の成分とヨーイング方向の成分を含むあらゆる方向のチルト動作を可動ユニット１７と鏡筒１１に行わせることができる。
【００７２】
また、第３のアクチュエータの推力Ｆ３１，Ｆ３２によって、可動ユニット１７と鏡筒１１は光軸Ｏを中心とするローリング方向の回転動作（周方向の角度変化）を行う。可動ユニット１７と鏡筒１１が第１と第２のアクチュエータの駆動によって初期状態からチルトした状態にあるときには、第３アクチュエータＶ３の推力Ｆ３１，Ｆ３２のうち、チルトした状態の光軸を中心とする回転方向の推力成分により回転動作を行う。
【００７３】
ピッチング方向やヨーイング方向の成分を含む可動ユニット１７のチルト動作が所定量まで達すると、バレルホルダ１２に計６つ設けた傾動制限突起３０Ａ，３０Ｂ, ３０Ｃ，３０Ｄ，３０Ｅ，３０Ｆのいずれかが、ボールホルダ１４の傾動規制面６８に当接し、それ以上の可動ユニット１７の傾動が機械的に制限される。６つの傾動制限突起３０Ａ，３０Ｂ, ３０Ｃ，３０Ｄ，３０Ｅ，３０Ｆは、光軸Ｏからの径方向距離が略同じで、光軸方向の位置も同じであり、かつ隣り合う２つの傾動制限突起３０の周方向間隔が全て略一致している。別言すれば、図１５や図１７のように光軸Ｏに沿って見た状態で、周方向に隣り合う傾動制限突起３０Ａ，３０Ｂ, ３０Ｃ，３０Ｄ，３０Ｅ，３０Ｆの中心を順に直線で接続すると正六角形となる。このように配置したことで、可動ユニット１７のチルト動作量を、特定の方向に偏りを持たずに概ね均等に制限することができる。特に、光軸Ｏを含む平面のうち、隣接する２つの傾動制限突起３０から等距離を通る平面に沿って可動ユニット１７が傾動した場合には、該２つの傾動制限突起３０が共に傾動規制面６８に当接する。例えば、第１コイル５４の周方向の中央を通り光軸Ｏを含む平面に沿って可動ユニット１７が傾動した場合、傾動制限突起３０Ａ，３０Ｆのペアまたは傾動制限突起３０Ｃ，３０Ｄのペアが傾動規制面６８に当接する。第２コイル５５の周方向の中央を通りと光軸Ｏを含む平面に沿って可動ユニット１７が傾動した場合、傾動制限突起３０Ｂ，３０Ｃのペアまたは傾動制限突起３０Ｅ，３０Ｆのペアが傾動規制面６８に当接する。第３コイル５６の周方向の中央を通り光軸Ｏを含む平面（仮想平面Ｐ１）に沿って可動ユニット１７が傾動した場合、傾動制限突起３０Ａ，３０Ｂのペアまたは傾動制限突起３０Ｄ，３０Ｅのペアが傾動規制面６８に当接する。２つの傾動制限突起３０が傾動規制面６８に当接するこれらの状態では、１つの傾動制限突起３０が傾動規制面６８に当接する状態よりも可動ユニット１７の高い安定性と精度を得ることができ、撮像装置１０の起動時や防振機能が無効状態から有効状態に切り替わったときなどに、これらの傾動の機械的移動端を基準位置として参照して、チルト動作に関するホールセンサ５７，５８，５９（特にホールセンサ５７，５８）による検出のイニシャライズ（初期化）を行う。特に、第１コイル５４の周方向の中央を通り光軸Ｏを含む平面に沿って可動ユニット１７が傾動する場合（傾動制限突起３０Ａ，３０Ｆのペアまたは傾動制限突起３０Ｃ，３０Ｄのペアが傾動規制面６８に当接する場合）と、第２コイル５５の周方向の中央を通り光軸Ｏを含む平面に沿って可動ユニット１７が傾動する場合（傾動制限突起３０Ｂ，３０Ｃのペアまたは傾動制限突起３０Ｅ，３０Ｆのペアが傾動規制面６８に当接する場合）が、ホールセンサ５７，５８で検出される磁束密度変化量が大きいため、この２つの平面に沿う傾動方向でイニシャライズを行うと効果的である。
【００７４】
６つの傾動制限突起３０Ａ，３０Ｂ, ３０Ｃ，３０Ｄ，３０Ｅ，３０Ｆの光軸方向の突出量を等しくすることで、イニシャライズ時の移動量計算や部品管理が容易になるという利点がある。但し、各傾動制限突起３０の突出量を異なるものにすることも可能である。
【００７５】
ローリング方向に可動ユニット１７が回転動作すると、その動作方向に応じて、バレルホルダ１２の揺動案内面２０Ａ上に設けた一対のロール範囲制限突起３１の一方と他方が支持座４０Ａの一方と他方の側面に当接することで、動作範囲が制限される。図５に示すように、一対のロール範囲制限突起３１の周方向間隔は支持座４０Ａの周方向幅よりも大きく、各ロール範囲制限突起３１と支持座４０Ａの間の周方向の隙間が、ローリング方向への可動ユニット１７（バレルホルダ１２）の可動量となる。撮像装置１０の起動時や防振機能が無効状態から有効状態に切り替わったときなどに、各ロール範囲制限突起３１が支持座４０Ａに当接する機械的移動端を基準位置として参照して、ロール動作に関するホールセンサ５７，５８，５９（特にホールセンサ５９）による検出のイニシャライズを行う。
【００７６】
以上のように、第１から第３のアクチュエータを用いて、可動ユニット１７と鏡筒１１にピッチング、ヨーイング、ローリングの各動作成分を含む自在な方向の動作（球心揺動中心Ｑを中心とする回転）を行わせることができる。この動作によって、光軸Ｏの向き（イメージセンサ１９ａの受光面の傾き）や、光軸Ｏを中心とするイメージセンサ１９ａの回転方向位置を変化させることができる。例えば、撮像装置１０に手振れによる振動などが作用した場合に、その姿勢変化に伴うイメージセンサ１９ａ上での画像の振れを軽減させる方向及び大きさに可動ユニット１７と鏡筒１１を動作させて撮影画像品質の低下を軽減する防振（像振れ補正）制御を行うことができる。防振制御は、姿勢検知センサ７２（図９）による撮像装置１０の姿勢情報と、ホールセンサ５７，５８，５９による可動ユニット１７及び鏡筒１１の位置情報に基づいて、制御回路７１が各コイル５４，５５，５６の通電を制御することで実行される。特に本実施形態の撮像装置１０では、撮像光学系Ｌとイメージセンサユニット１９を支持する鏡筒１１を方向自在に回転可能に支持することで、光軸Ｏと垂直な平面に沿って光学系を動作させるタイプの撮像装置に比して、コンパクトな構成でありながら対応可能な像振れ補正角を大きくすることが可能になっている。そのため、手持ちで撮影することを前提としたカメラのみならず、身体の任意の位置に取り付けられるウエアラブルカメラや、自動車などの移動機械に搭載されるカメラのような、大きな像振れが生じやすい条件の撮像装置においても、優れた防振補正効果を得ることができる。
【００７７】
また、可動ユニット１７と鏡筒１１を含む可動部分の重心と球心揺動中心Ｑが略一致するため、可動ユニット１７と鏡筒１１を駆動する際の負荷変動が少なく、小型軽量な第１，第２及び第３のアクチュエータでレスポンス良く高精度に可動ユニット１７と鏡筒１１の動作を制御することができる。
【００７８】
以上の撮像装置１０は、各アクチュエータを構成する磁石ユニット２７，２８，２９を省スペースに支持することができ、その組み付け時の作業性にも優れた構成になっている。まず、バレルホルダ１２の支持座２１，２２，２３上に支持したヨーク２４，２５，２６の底壁２４ａ，２５ａ，２６ａと一対の立壁２４ｂ，２５ｂ，２６ｂによって各磁石ユニット２７，２８，２９を保持しており、バレルホルダ１２において各磁石ユニット２７，２８，２９や各ヨーク２４，２５，２６の外側を囲繞する壁部を要さない構成としたので、磁石ユニット２７，２８，２９の周囲のスペース効率を高めることができる。例えば、バレルホルダ１２とコイルホルダ１３の間の径方向空間のうち、各磁石ユニット２７，２８，２９と各ヨーク２４，２５，２６の間に周方向のスペースを得ることができ、この周方向スペースを３つの支持座４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃ（固定ユニット１８によって可動ユニット１７を可動に支持する手段）の配置スペースとして活用することができる。また、光軸方向においても各磁石ユニット２７，２８，２９と各ヨーク２４，２５，２６の厚み以上のスペースを要さないため、可動ユニット１７の光軸方向サイズを小型化できる。
【００７９】
各ヨーク２４，２５，２６は、支持座２１，２２，２３から突出する磁石支持突起２１ｂ，２２ｂ，２３ｂを長穴２４ｃ，２５ｃ，２６ｃに挿入させることにより容易に位置決めできる。磁石支持突起２１ｂ，２２ｂ，２３ｂは、各磁石ユニット２７，２８，２９を構成する永久磁石２７-１，２７-２のペアと永久磁石２８-１，２８-２のペアと永久磁石２９-１，２９-２のペアの間に隙間を持たせるスペーサとしても機能し、生産工程においてこれらの対をなす永久磁石が不用意に吸着してしまう可能性を軽減することができる。特に防振駆動用のアクチュエータでは強力な磁石を用いる場合が多いため、この構成が有効である。それぞれの永久磁石は、磁石支持突起２１ｂ，２２ｂ，２３ｂによって隔てられたヨーク２４，２５，２６内のスペースに無駄なく収まる形状であり、ヨーク２４，２５，２６に対する個々の永久磁石の位置決めの手間もかからない。さらに、磁石ユニット２７，２８，２９は対応するヨーク２４，２５，２６内に収めた段階で磁力によりヨーク２４，２５，２６に吸着されるため、接着によって最終的に固定する前の仮組みの段階でも安定した保持状態が得られる。
【００８０】
磁石支持突起２１ｂ，２２ｂ，２３ｂを各磁石ユニット２７，２８，２９の長手方向の大きさよりも短くして、永久磁石２７-１，２７-２のペア、永久磁石２８-１，２８-２のペア、永久磁石２９-１，２９-２のペアのそれぞれの間に接着剤注入空間Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３が形成されている。そのため、各磁石ユニット２７，２８，２９の外側に接着剤注入用のスペースを要さず、アクチュエータ周りの大型化を伴わずに各磁石ユニット２７，２８，２９と各ヨーク２４，２５，２６を接着固定させることができる。接着剤注入空間Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３への接着剤の注入によって各磁石ユニット２７，２８，２９と各ヨーク２４，２５，２６を同時にバレルホルダ１２に対して固定できるため、作業工数も少なくて済む。また、ヨーク２４，２５については、各一対の立壁２４ｂ，２５ｂによって接着剤注入空間Ｍ１，Ｍ２の周方向端部を塞いでいるので、接着剤注入空間Ｍ１，Ｍ２からの接着剤の漏出が生じにくく、接着時の作業性向上に寄与する。
【００８１】
各ヨーク２４，２５，２６の立壁２４ｂ，２５ｂ，２６ｂは金属板の曲げ加工によって形成可能であり、長穴２４ｃ，２５ｃ，２６ｃは金属板の打ち抜き加工によって形成可能である。また、バレルホルダ１２の材質を合成樹脂とする場合、光軸方向に移動する成形用の型などによって磁石支持突起２１ｂ，２２ｂ，２３ｂを形成可能である。これらの製造手法はいずれも安価で手間のかからないものであり、撮像装置１０の生産コストを抑えつつ上記の効果を得ることができる。
【００８２】
図３５ないし図４２は、第２の実施形態に係る可動ユニット１１７とその構成要素を示している。可動ユニット１１７は、バレルホルダ１２と第１磁石ユニット２７については先に説明した第１の実施形態の可動ユニット１７と共通の構成であり、これらの共通要素には同じ符号を付している。また可動ユニット１１７以外の構成要素については第１の実施形態と共通しており、図示を省略している。
【００８３】
可動ユニット１１７におけるヨーク１２４は、バレルホルダ１２の支持座２１上に載置される湾曲形状の底壁（底部）１２４ａを有する点と、底壁１２４ａに磁石支持突起２１ｂを挿通させる長穴（穴部）１２４ｃが形成されている点では先の実施形態のヨーク２４と共通しているが、底壁１２４ａの周方向の端部ではなく、底壁１２４ａの光軸方向の前後縁部から外径方向に突出する一対の立壁（立壁部）１２４ｂを有している点が異なっている。光軸方向前方の立壁１２４ｂは永久磁石２７-１の前方を向く側面２７ｄに対向し、光軸方向後方の立壁１２４ｂは永久磁石２７-２の後方を向く側面２７ｅに対向しており、一対の立壁１２４ｂが光軸方向の両側から永久磁石２７-１と永久磁石２７-２を挟んで保持する構成となっている。一対の立壁１２４ｂの光軸方向の間隔は、光軸方向における永久磁石２７-１と磁石支持突起２１ｂと永久磁石２７-２の幅の和と略一致しており、一対の立壁１２４ｂと磁石支持突起２１ｂの間の２つのスペースに永久磁石２７-１と永久磁石２７-２がそれぞれガタつくことなく収まる。一対の立壁１２４ｂの周方向長は、永久磁石２７-１，２７-２の周方向長よりも僅かに大きく、第１磁石ユニット２７の長手方向の全体をカバーすることができる。
【００８４】
ヨーク１２４における一対の立壁１２４ｂは、第１磁石ユニット２７の外径方向に配置されたコイル５４（図１ないし図３４に示す第１の実施形態を参照）に向けて突出しており、第１の実施形態のヨーク２４と同様に、永久磁石２７-１及び永久磁石２７-２の外周面２７ｂと立壁１２４ｂの先端の間に磁力線を集中させて、コイル５４に作用する磁力を強めることができる。
【００８５】
図３５ないし図４２では、第１の実施形態における第２磁石ユニット２８と第３磁石ユニット２９については図示を省略しているが、これらの磁石ユニットを保持するヨークについてもヨーク１２４と同様に立壁の突出位置を変更することが可能である。すなわち、第１の実施形態のヨーク２５とヨーク２６では、底壁２５ａ，２６ａの周方向の両端から外径方向に突出する各一対の立壁２５ｂ，２６ｂを備えているが、これに代えて、底壁２５ａ，２６ａの光軸方向の前後の縁部から外径方向に突出する一対の立壁を設けることができる。
【００８６】
図４３ないし図４９は、第３の実施形態に係る可動ユニット２１７とその構成要素を示している。この可動ユニット２１７は、磁石ユニット２２７とヨーク２２４がそれぞれ湾曲せずに平らな形状を有している点で、第１の実施形態の可動ユニット１７や第２の実施形態の可動ユニット１１７とは異なる。
【００８７】
磁石ユニット２２７を構成する永久磁石２２７-１と永久磁石２２７-２は略共通の直方体形状であり、各永久磁石２２７-１，２２７-２は、長手方向に延びる底面２２７ａ及びコイル対向面２２７ｂと、一対の長手方向端面２２７ｃと、底面２２７ａ及びコイル対向面２２７ｂに対して略垂直で長手方向に延びる側面２２７ｄ及び側面２２７ｅを有している。
【００８８】
ヨーク２２４は、各永久磁石２２７-１，２２７-２の底面２２７ａを支持する長方形状の底壁（底部）２２４ａと、底壁２２４ａの長手方向端部から底壁２２４ａに対して略垂直に突出する一対の立壁（立壁部）２２４ｂと、底壁２２４ａの短手方向の略中央に長手方向へ向けて形成した長穴（穴部）２２４ｃを有している。
【００８９】
可動部材２１２は第１及び第２の実施形態におけるバレルホルダ１２に相当する部材であり、図中には可動部材２１２のうちバレルホルダ１２の支持座２１に相当する支持座２２１のみを示している。支持座２２１は、ヨーク２２４の底壁２２４ａを支持する平面状の支持面（支持部）２２１ａと、支持面２２１ａに対して略垂直に突出する薄板状の磁石支持突起（突出部）２２１ｂを有している。支持面２２１ａに沿う平面内での磁石支持突起２２１ｂの長さは、永久磁石２２７-１及び永久磁石２２７-２の長手方向の長さよりも短い。
【００９０】
ヨーク２２４は、長穴２２４ｃに磁石支持突起２２１ｂに挿通させ、支持面２２１ａに底壁２２４ａを載置させて支持座２２１上に支持される。永久磁石２２７-１は側面２２７ｅを磁石支持突起２２１ｂ側に向けてヨーク２２４上に取り付けられ、永久磁石２２７-２は側面２２７ｄを磁石支持突起２２１ｂ側に向けてヨーク２２４上に取り付けられる。各永久磁石２２７-１，２２７-２は、底面２２７ａがヨーク２２４の底壁２２４ａ上に載置され、一対の長手方向端面２２７ｃがヨーク２２４の一対の立壁２２４ｂに対向して挟まれる状態で支持される。そして、永久磁石２２７-１の側面２２７ｅと永久磁石２２７-２の側面２２７ｄの間に形成された接着剤注入空間（隙間）Ｍ４（図４３、図４７）に接着剤を注入して、支持座２２１に対してヨーク２２４と磁石ユニット２２７を固定する。
【００９１】
図４３ないし図４９には図示を省略しているが、磁石ユニット２２７のコイル対向面２２７ｂに対向する位置にコイルが設けられる。コイルは永久磁石２２７-１，２２７-２の長手方向に沿って延びる一対の辺部と、該一対の辺部を接続する一対に接続部を有する扁平形状の空芯コイルであり、コイルに通電すると電流の方向に応じて図４７と図４９に矢印で示す推力Ｆ４１，Ｆ４２が生じる。
【００９２】
可動ユニット２１７は、第１及び第２の実施形態における可動ユニット１７，１１７と同様に、可動部材２１２がピッチング方向やヨーイング方向の成分を含むチルト動作（光軸Ｏを含む平面に沿う傾動）やローリング動作（光軸Ｏを中心とする回転）を行うように構成することができる。この場合、球心揺動中心Ｑ（図９、図２２）を中心とする円弧の接線方向に推力Ｆ４１，Ｆ４２が向くように、磁石ユニット２２７とヨーク２２４を含むアクチュエータを配置するとよい。そして、このアクチュエータとは別に同様のアクチュエータを２つ以上追加してそれぞれの推力の作用方向を異ならせた配置にすることで、第１の実施形態と同等の防振動作を実現できる。
【００９３】
可動ユニット２１７は、第１の実施形態とは異なり、可動部材２１２を平面的に移動させる形態にすることも可能である。詳しくは、支持座２２１における支持面２２１ａを含む平面に沿って可動部材２１２を移動可能に支持することにより、推力Ｆ４１，Ｆ４２の作用方向に直線的に可動部材２１２を動作させることができる。そして推力Ｆ４１，Ｆ４２と交差する方向への推力を発生する同様の構成のアクチュエータを少なくとも１つ追加することにより、支持面２２１ａを含む平面に沿う任意の方向に可動部材２１２が移動可能となる。この場合、光学系の光軸に対して支持面２２１ａ（可動部材２１２の移動平面）が垂直となるように配置することによって、可動部材２１２が保持する光学要素が光軸直交平面に沿って移動するタイプの防振機構として成立する。
【００９４】
なお、第２の実施形態のヨーク１２４と同様に、ヨーク２２４は、底壁２２４ａの長手方向の端部ではなく、短手方向の端部から一対の立壁２２４ｂを突出させる形態に変更することも可能である。この場合、一対の立壁２２４ｂによって、永久磁石２２７-１の側面２２７ｄと永久磁石２２７-２の側面２２７ｅを挟む形態となる。
【００９５】
第３の実施形態から分かるように、本発明における磁石とヨークは、撮像光学系の光軸Ｏを中心として湾曲した形状には限定されず、防振駆動の態様や撮像装置の内部構造に応じて磁石やヨークの形状を適宜変更することができる。
【００９６】
以上の各実施形態では各ヨークに一対の立壁を設けているが、各ヨークにおいて磁石ユニットを囲む３つ以上の立壁を設けることも可能である。例えば、第１の実施形態のヨーク２４の変形例として、第１磁石ユニット２７の長手方向端面２７ｃに対向する一対の立壁２４ｂに加えて、永久磁石２７-１の側面２７ｄに対向する立壁（第２の実施形態のヨーク１２４における光軸方向前方の立壁１２４ｂと同様の部位）や、永久磁石２７-２の側面２７ｅに対向する立壁（第２の実施形態のヨーク１２４における光軸方向後方の立壁１２４ｂと同様の部位）を設けることができる。このようにヨークの立壁による磁石ユニットの囲繞範囲を増やすことで、ヨークの外側への磁束漏れを低減させる効果が得られる。なお、図示実施形態よりもヨークの立壁を増やす場合、磁石ユニットの三方ではなく四方の全てを囲むように立壁を形成する方が、ホールセンサによる検出精度に関して有利である。
【００９７】
以上、図示実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明は要旨の範囲内において図示実施形態とは異なる形態にすることが可能である。例えば、第１の実施形態の撮像装置１０は３つのアクチュエータを備えているが、第３磁石ユニット２９とヨーク２６と第３コイル５６からなる第３のアクチュエータを省略して、光軸Ｏを中心とするローリング方向の動作を行わないタイプの防振機構とした撮像装置にも適用が可能である。また、第１の実施形態の撮像装置１０では、第１磁石ユニット２７とヨーク２４と第１コイル５４からなる第１のアクチュエータと、第２磁石ユニット２８とヨーク２５と第２コイル５５からなる第２のアクチュエータによって可動ユニット１７及び鏡筒１１のチルト動作を行わせているが、チルト動作用のアクチュエータを３つ以上にすることも可能である。
【００９８】
図示の各実施形態は、防振動作時に移動する可動部材（バレルホルダ１２や可動部材２１２）に磁石とヨークを支持し、防振動作時に移動しない固定部材（コイルホルダ１３）にコイルを支持した、いわゆるムービングマグネットタイプの防振機構に適用したものである。ムービングマグネットタイプは、フレキシブル基板などによる電気的接続を要する各コイル５４，５５，５６や各ホールセンサ５７，５８，５９が移動しないので、こうした電気的接続手段による負荷がかからないという利点がある。但し、ムービングコイルタイプの防振機構にも本発明は適用可能である。ムービングコイルタイプの変形例を第１の実施形態の撮像装置１０に適用した場合、バレルホルダ１２に支持される各コイル５４，５５，５６の外径方向に対向してコイルホルダ１３に支持される各磁石ユニット２７，２８，２９が位置し、コイルホルダ１３から内径方向に向けて磁石支持突起２１ｂ，２２ｂ，２３ｂが突出し、さらにヨーク２４，２５，２６は立壁２４ｂ，２５ｂ，２６ｂを内径方向に向けて突出させてコイルホルダ１３に支持される構成となる。ホールセンサ５７，５８，５９はバレルホルダ１２に支持される。
【００９９】
第１の実施形態の撮像装置１０では、撮像光学系Ｌとイメージセンサユニット１９を含む撮像手段の全体にチルト動作やローリング動作を行わせているが、撮像光学系Ｌの一部のレンズ（レンズ群）やイメージセンサ１９ａのみを動作させて像振れ補正を行うタイプの撮像装置にも本発明を適用可能である。
【符号の説明】
【０１００】
１０  撮像装置
１１  鏡筒
１１ａ  大径部
１１ｂ  中間部
１１ｃ  小径部
１１ｄ  周面ネジ
１２  バレルホルダ（可動部材）
１２ａ  筒部
１２ｂ  軸方向貫通部
１２ｃ  挿入規制フランジ
１３  コイルホルダ（固定部材）
１３ａ  筒部
１３ｂ  軸方向貫通部
１３ｃ  前壁
１３ｄ  中央開口
１４  ボールホルダ
１４ａ  中央開口
１４ｂ  蓋部
１４ｃ  外周フランジ
１５  押え環
１６  バランサ
１７  可動ユニット
１８  固定ユニット
１９  イメージセンサユニット（撮像手段）
１９ａ  イメージセンサ
１９ｂ  フレキシブル基板
２０（２０Ａ  ２０Ｂ  ２０Ｃ）  揺動案内面（支持手段）
２１  ２２  ２３  支持座
２１ａ  ２２ａ  ２３ａ  支持面（支持部）
２１ｂ  ２２ｂ  ２３ｂ  磁石支持突起（突出部）
２４  ２５  ２６  ヨーク
２４ａ  ２５ａ  ２６ａ  底壁（底部）
２４ｂ  ２５ｂ  ２６ｂ  立壁（立壁部）
２４ｃ  ２５ｃ  ２６ｃ  長穴（穴部）
２７  第１磁石ユニット
２８  第２磁石ユニット
２９  第３磁石ユニット
２７-１  ２８-１  ２９-１  永久磁石
２７-２  ２８-２  ２９-２  永久磁石
２７ａ  ２８ａ  ２９ａ  内周面
２７ｂ  ２８ｂ  ２９ｂ  外周面
２７ｃ  ２８ｃ  ２９ｃ  長手方向端面
２７ｄ  ２７ｅ  ２８ｄ  ２８ｅ  ２９ｄ  ２９ｅ  側面
３０（３０Ａ  ３０Ｂ  ３０Ｃ  ３０Ｄ  ３０Ｅ  ３０Ｆ）  傾動制限突起
３１  ロール範囲制限突起
４０（４０Ａ  ４０Ｂ  ４０Ｃ）  支持座（支持手段）
４１  ボール保持溝
４１ａ  前方規制壁
４２  ビス穴
４３  当付面
４５  ４６  ４７  貫通穴
４８  ４９  ５０  支持凹部
５１  ５２  ５３  コイル支持板
５１ａ  ５２ａ  ５３ａ  コイル支持突起
５１ｂ  ５２ｂ  ５３ｂ  センサ支持凹部
５１ｃ  ５２ｃ  ５３ｃ  貫通穴
５４  第１コイル
５５  第２コイル
５６  第３コイル
５４ａ  ５５ａ  ５６ａ  長辺部
５４ｂ  ５５ｂ  ５６ｂ  短辺部
５４ｃ  ５５ｃ  ５６ｃ  外周面
５４ｄ  ５５ｄ  ５６ｄ  内周面
５７  ５８  ５９  ホールセンサ
６１  定位置ボール（支持手段）
６２  付勢ボール（支持手段）
６５（６５Ａ，６５Ｂ，６５Ｃ）  前方突出部
６６  ビス挿通穴
６６ａ  大径部
６６ｂ  小径部
６６ｃ  中間部
６７  ボール保持面
６８  傾動規制面
６９  固定ビス
６９ａ  螺合部
６９ｂ  頭部
６９ｃ  軸部
７０  コイルバネ
７１  制御回路
７２  姿勢検知センサ
１１７  可動ユニット
１２４  ヨーク
１２４ａ  底壁（底部）
１２４ｂ  立壁（立壁部）
１２４ｃ  長穴（穴部）
２１７  可動ユニット
２１２  可動部材
２２１  支持座
２２１ａ  支持面（支持部）
２２１ｂ  磁石支持突起（突出部）
２２４  ヨーク
２２４ａ  底壁（底部）
２２４ｂ  立壁（立壁部）
２２４ｃ  長穴（穴部）
２２７  磁石ユニット
２２７-１  ２２７-２  永久磁石
２２７ａ  底面
２２７ｂ  コイル対向面
２２７ｃ  長手方向端面
２２７ｄ  ２２７ｅ  側面
Ｌ  撮像光学系（撮像手段）
Ｍ１  Ｍ２  Ｍ３  Ｍ４  接着剤注入空間（隙間）
Ｏ  光軸
Ｑ  球心揺動中心
【図１】
2017083575.tif 000003
【図２】
2017083575.tif 000004
【図３】
2017083575.tif 000005
【図４】
2017083575.tif 000006
【図５】
2017083575.tif 000007
【図６】
2017083575.tif 000008
【図７】
2017083575.tif 000009
【図８】
2017083575.tif 000010
【図９】
2017083575.tif 000011
【図１０】
2017083575.tif 000012
【図１１】
2017083575.tif 000013
【図１２】
2017083575.tif 000014
【図１３】
2017083575.tif 000015
【図１４】
2017083575.tif 000016
【図１５】
2017083575.tif 000017
【図１６】
2017083575.tif 000018
【図１７】
2017083575.tif 000019
【図１８】
2017083575.tif 000020
【図１９】
2017083575.tif 000021
【図２０】
2017083575.tif 000022
【図２１】
2017083575.tif 000023
【図２２】
2017083575.tif 000024
【図２３】
2017083575.tif 000025
【図２４】
2017083575.tif 000026
【図２５】
2017083575.tif 000027
【図２６】
2017083575.tif 000028
【図２７】
2017083575.tif 000029
【図２８】
2017083575.tif 000030
【図２９】
2017083575.tif 000031
【図３０】
2017083575.tif 000032
【図３１】
2017083575.tif 000033
【図３２】
2017083575.tif 000034
【図３３】
2017083575.tif 000035
【図３４】
2017083575.tif 000036
【図３５】
2017083575.tif 000037
【図３６】
2017083575.tif 000038
【図３７】
2017083575.tif 000039
【図３８】
2017083575.tif 000040
【図３９】
2017083575.tif 000041
【図４０】
2017083575.tif 000042
【図４１】
2017083575.tif 000043
【図４２】
2017083575.tif 000044
【図４３】
2017083575.tif 000045
【図４４】
2017083575.tif 000046
【図４５】
2017083575.tif 000047
【図４６】
2017083575.tif 000048
【図４７】
2017083575.tif 000049
【図４８】
2017083575.tif 000050
【図４９】
2017083575.tif 000051