(57)【要約】      （修正有）【課題】被加工物の破損を生じることなく、小型の装置で精密な平坦化加工が可能であるとともに、装置作動時の振動発生も効果的に抑えられる【解決手段】被加工物Ｗの裏面を保持するホルダ６２と、ホルダ６２を被加工物Ｗの表面内で当該表面に交差する軸回りに回転させる駆動モータ７１と、パッド５を保持してその表面を、被加工物Ｗの表面に対向位置させる支持板４と、支持板４をパッド５の表面に平行な方向で少なくとも触媒反応による平坦化が可能な量だけ往復移動可能とするリニアガイド３と、ホルダ６２ないし支持板４を被加工物Ｗないしパッド５の表面に交差する方向へ前進させて被加工物Ｗの表面とパッド５の表面を互いに当接ないし近接させる駆動シリンダ７２とを備えた平坦加工部ＳＰ１を一対有するとともに、これら平坦加工部ＳＰ１の支持板４を同一直線上で互いに逆位相で往復移動させる主駆動部を有する。【選択図】図２
2017159430.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物、ないし少なくとも表面に触媒層を有する触媒体の一方を保持する第１保持手段と、前記被加工物ないし前記触媒体の他方を保持してその表面を、前記被加工物ないし前記触媒体の一方の表面に当接ないし近接させる第２保持手段と、前記第２保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の他方の表面に平行な方向で少なくとも触媒反応による平坦化が可能な量だけ移動可能とする案内部材とを備えた平坦加工部を有するとともに、少なくとも一つのウエイト部を有し、かつ、前記平坦加工部の前記第２保持手段と前記ウエイト部とを、これらの移動時に生じる起振力が全体として減殺されるようにそれぞれ移動させる主駆動部を有する平坦加工装置。
【請求項２】
被加工物、ないし少なくとも表面に触媒層を有する触媒体の一方を保持する第１保持手段と、前記第１保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の一方の表面内で当該表面に交差する軸回りに回転させる第１駆動手段と、前記被加工物ないし前記触媒体の他方を保持してその表面を、前記被加工物ないし前記触媒体の一方の表面に当接ないし近接させる第２保持手段と、前記第２保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の他方の表面に平行な方向で少なくとも触媒反応による平坦化が可能な量だけ移動可能とする案内部材とを備えた平坦加工部を有するとともに、少なくとも一つのウエイト部を有し、かつ、前記平坦加工部の前記第２保持手段と前記ウエイト部とを、これらの移動時に生じる起振力が全体として減殺されるようにそれぞれ移動させる主駆動部を有する平坦加工装置。
【請求項３】
被加工物、ないし少なくとも表面に触媒層を有する触媒体の一方を保持する第１保持手段と、前記第１保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の一方の表面内で当該表面に交差する軸回りに回転させる第１駆動手段と、前記被加工物ないし前記触媒体の他方を保持してその表面を、前記被加工物ないし前記触媒体の一方の表面に対向位置させる第２保持手段と、前記第２保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の他方の表面に平行な方向で少なくとも触媒反応による平坦化が可能な量だけ往復移動可能とする案内部材と、前記第１保持手段ないし前記第２保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の表面に交差する方向へ前進させて前記被加工物の表面と前記触媒体の表面を互いに当接ないし近接させる第２駆動手段とを備えた平坦加工部を有するとともに、少なくとも一つのウエイト部を有し、かつ、前記平坦加工部の前記第２保持手段と前記ウエイト部とを、これらの移動時に生じる起振力が全体として減殺されるようにそれぞれ移動させる主駆動部を有する平坦加工装置。
【請求項４】
前記主駆動部は、前記第２保持手段と前記ウエイト部とを、同一直線上で互いに反対方向に移動させるものである請求項１ないし３のいずれか一つに記載の平坦加工装置。
【請求項５】
前記ウエイト部が平坦加工の機能を備えている他の平坦加工部である請求項１ないし４のいずれか一つに記載の平坦加工装置
【請求項６】
前記主駆動部は、駆動モータと、当該駆動モータの出力軸の軸心から径方向へ同量離れた互いに対称位置に設けられて出力軸の回転と共に旋回移動する一対の軸部とを有し、前記第２保持手段ないし前記ウエイト部が前記一対の軸部にそれぞれ連携して往復移動させられるようになっている請求項４又は５に記載の平坦加工装置。
【請求項７】
被加工物及び該被加工物に対向させる少なくとも表面に触媒層を有する触媒体の少なくとも一方が，第１位置から少なくとも前記被加工物及び前記触媒体の対向軸に垂直な方向の成分を含む向きに位置する第２位置へ移動する場合に，該移動に伴う装置の重心位置の変動の全部又は少なくとも一部を打ち消す向きにウエイト部を移動させる，触媒支援型化学加工装置の動作方法。
【請求項８】
被加工物及び該被加工物に対向させる少なくとも表面に触媒層を有する触媒体の少なくとも一方を，第１位置から少なくとも前記被加工物及び前記触媒体の対向軸に平行な方向の成分を含む向きに位置する第２位置へ移動させるように動作する場合に，該動作に伴う装置の重心位置の変動の全部又は少なくとも一部を打ち消す向きにウエイト部を移動させる，触媒支援型化学加工装置の動作方法。
【請求項９】
被加工物及び該被加工物に対向させる少なくとも表面に触媒層を有する触媒体の少なくとも一方が，第１位置から少なくとも前記被加工物及び前記触媒体の対向軸に垂直な方向の成分を含む向きに位置する第２位置へ移動する場合に，該移動に伴う装置の重心位置の変動の全部又は少なくとも一部を打ち消す向きにウエイト部を移動させて，該被加工物に触媒支援型化学加工を行う，加工物の製造方法。
【請求項１０】
被加工物及び該被加工物に対向させる少なくとも表面に触媒層を有する触媒体の少なくとも一方を，第１位置から少なくとも前記被加工物及び前記触媒体の対向軸に平行な方向の成分を含む向きに位置する第２位置へ移動させるように動作する場合に，該動作に伴う装置の重心位置の変動の全部又は少なくとも一部を打ち消す向きにウエイト部を移動させて，該被加工物に触媒支援型化学加工を行う，加工物の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は平坦加工装置に関し、特に、触媒支援型化学加工方法を利用した平坦加工に好適に使用できる平坦加工装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１や特許文献２には触媒支援型化学加工方法が開示されている。触媒支援型化学加工方法は、加工基準面に遷移金属からなる触媒を使用し、砥粒等を含まない溶液中に被加工物を配置して、上記加工基準面を被加工物の被加工面に接触ないし近接させて両者を相対運動させ、溶液から生じた活性種と被加工物の表面原子との化学反応で化合物を生成させこれを除去することによって被加工物を加工（エッチング）するもので、ＳｉＣやＧａＮ等の難加工基板の表面を原子レベル程度の高い精度で平坦加工することができる。
【０００３】
ところで、上記加工基準面となる、触媒層たる遷移金属層を形成したパッドの表面と、被加工物たる被加工基板の表面（被加工面）を相対運動させて平坦加工する装置として、従来は特許文献１に示されているように、大径の円形パッドを定盤上で回転させ、旋回移動するパッド表面の円周部に、回転するホルダに保持させた小径の被加工基板の表面を当接ないし近接させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−１１４６３２
【特許文献２】特開２００７−２８３４１０
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし従来の加工装置では、パッド直径が被加工物直径の２倍以上であるため装置が大型であり、ＳｉＣやＧａＮ基板の加工においては、加工時間が長時間となるため、経済的な加工が出来なかった。また、ホルダ内に設けたエアバッグの背圧で被加工基板はパッド面に押し付けられた状態で回転するものの、表面にＰｔ等の触媒層が形成されて滑らかな平面となったパッドと被加工基板の間へ供給された溶液の、いわゆる水貼り効果によって被加工基板がパッド面に吸着し、このためパッドの大きな周回力が被加工基板に作用して当該被加工基板がホルダから引き離されてパッドの外周方向へ飛ばされ、外方に位置しているリテーナに挟まれる等によって破損する危険があった。そして、これは歩留まりを悪化させて加工コストの上昇をもたらしていた。そこで、発明者は先に以上の課題を解決すべく新たな平坦加工装置を提案した（PCT/JP2015/86493）。
【０００６】
ところで先に提案した新たな触媒支援型化学加工装置で、さらに解決すべき課題を生じた。それは、加工レートや平均化を促進するためにパッドを収納した容器を載置する支持板を高速移動させたかったが、従来は支持板を移動させる際の反力による起振力が原因の振動が起こっていた。振動が起こると、加工表面に影響が出るので起振力を減殺することが必要であった。減殺したい起振力は被加工物、ないし少なくとも表面に触媒層を有する触媒体の一方を動作させた際の起振力で、被加工物を打ち付けるような上下方向の振動につながる起振力であり、例としては被加工物と触媒が近接又は当接している面が上下に揺れる原因になるような装置本体を振動させる起振力である。
本発明は触媒支援型化学加工による平坦化を行う装置において、装置作動時の振動発生を効果的に抑えることができる平坦加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本第１発明では、被加工物（Ｗ）、ないし少なくとも表面に触媒層を有する触媒体（５）の一方を保持する第１保持手段（６２）と、前記被加工物（Ｗ）ないし前記触媒体（５）の他方を保持してその表面を、前記被加工物（Ｗ）ないし前記触媒体（５）の一方の表面に当接ないし近接させる第２保持手段（４）と、前記第２保持手段（４）を前記被加工物（Ｗ）ないし前記触媒体（５）の他方の表面に平行な方向で少なくとも触媒反応による平坦化が可能な量だけ移動可能とする案内部材（３）とを備えた平坦加工部（ＳＰ１）を有するとともに、少なくとも一つのウエイト部を有し、かつ、前記平坦加工部（ＳＰ１）の前記第２保持手段（４）と前記ウエイト部とを、これらの移動時に生じる起振力が全体として減殺されるようにそれぞれ移動させる主駆動部（ＰＤ）を有する。なお、この場合の移動は、一方向への単発的な移動であっても、あるいは単発の往復移動や繰り返しの往復移動であっても良い。また、触媒体としては一般的なパッドに限られず、触媒を担持するもの、触媒の単体等、その構造は制約されない。さらに、被加工物や触媒体の保持は、その背面、側面、前面等、いずれを保持するものであっても良く、保持構造も特に限定されない。被加工物も板状のものに限られないことはもちろんである。
「触媒反応による平坦化が可能な量」とは、少なくとも触媒反応による平均化が成立する原子数個以上の移動距離量のことである。触媒体と被加工物の組み合わせによって「触媒反応による平坦化が可能な移動量」は変化する。この移動量は少なくとも触媒反応による平均化を成立させる原子数個分以上を移動させる必要が触媒支援型化学加工にはあるのが理由である。最適な平均化を行うには、最低量の移動量よりも特定の被加工物の点に対して触媒体の新しい原子の面が多く当接ないし近接した方が平均化には好ましい。理由は触媒体の表面は原子レベルで理想的に平らな面で構成されていない限り、触媒体表面には少なくとも原子レベル以上のうねりや反りや表面の荒れが発生している。触媒体にうねりや反りや表面の荒れがある場合には、触媒体の移動量が小さすぎると触媒体のうねりや反りや荒れを被加工物の触媒接触面に転写してしまうので触媒体もしくは、被加工物の移動量は多い方が平均化には好ましい。したがって、本発明の加工は少なくとも触媒反応による平均化を成立させる原子数個以上、触媒体もしくは、被加工物を移動させる必要がある。具体的な数値は被加工物と触媒体の材料の状態に依存している。特定の被加工物の点に対して平均化に作用する触媒体の面は多い方が平均化には好ましい。
【０００８】
本第１発明においては、小型の装置によって被加工物の破損を生じることなく精密な平坦化加工が可能である。そしてこれに加えて、平坦加工部の第２保持手段の移動反力に伴って生じる起振力が全体的に減殺されるから、装置各部に起振力が作用して装置が大きく振動し平坦化加工を損なう不具合が解消される。
【０００９】
本第２発明では、被加工物（Ｗ）、ないし少なくとも表面に触媒層を有する触媒体（５）の一方を保持する第１保持手段（６２）と、前記第１保持手段（６２）を前記被加工物（Ｗ）ないし前記触媒体（５）の一方の表面内で当該表面に交差する軸回りに回転させる第１駆動手段（７１）と、前記被加工物（Ｗ）ないし前記触媒体（５）の他方を保持してその表面を、前記被加工物（Ｗ）ないし前記触媒体（５）の一方の表面に当接ないし近接させる第２保持手段（４）と、前記第２保持手段（４）を前記被加工物（Ｗ）ないし前記触媒体（５）の他方の表面に平行な方向で少なくとも触媒反応による平坦化が可能な量だけ移動可能とする案内部材（３）とを備えた平坦加工部（ＳＰ１）を有するとともに、少なくとも一つのウエイト部を有し、かつ、前記平坦加工部（ＳＰ１）の前記第２保持手段（４）と前記ウエイト部とを、これらの移動時に生じる起振力が全体として減殺されるようにそれぞれ移動させる主駆動部（ＰＤ）を有する。
【００１０】
本第２発明においては、本第１発明の作用効果に加えて、第１駆動手段を設けたことによって平坦化が効率的に行われる。
【００１１】
本第３発明では、被加工物（Ｗ）、ないし少なくとも表面に触媒層を有する触媒体（５）の一方を保持する第１保持手段（６２）と、前記第１保持手段（６２）を前記被加工物（Ｗ）ないし前記触媒体（５）の一方の表面内で当該表面に交差する軸回りに回転させる第１駆動手段（７１）と、前記被加工物（Ｗ）ないし前記触媒体（５）の他方を保持してその表面を、前記被加工物（Ｗ）ないし前記触媒体（５）の一方の表面に対向位置させる第２保持手段（４）と、前記第２保持手段（４）を前記被加工物（Ｗ）ないし前記触媒体（５）の他方の表面に平行な方向で少なくとも触媒反応による平坦化が可能な量だけ往復移動可能とする案内部材（３）と、前記第１保持手段（６２）ないし前記第２保持手段（４）を前記被加工物（Ｗ）ないし前記触媒体（５）の表面に交差する方向へ前進させて前記被加工物（Ｗ）の表面と前記触媒体（５）の表面を互いに当接ないし近接させる第２駆動手段（７２）とを備えた平坦加工部（ＳＰ１）を有するとともに、少なくとも一つのウエイト部を有し、かつ、前記平坦加工部（ＳＰ１）の前記第２保持手段（４）と前記ウエイト部とを、これらの移動時に生じる起振力が全体として減殺されるようにそれぞれ移動させる主駆動部（ＰＤ）を有する。
【００１２】
本第３発明においては、本第１発明の作用効果に加えて、第２駆動手段を設けたことによって被加工物の表面と触媒体の表面の当接状態ないし近接状態を容易に微調整することができる。
【００１３】
本第４発明では、前記主駆動部（ＰＤ）は、前記第２保持手段（４）と前記ウエイト部とを、同一直線上で互いに反対方向へ移動させるものである。なお、本第４発明は、主駆動部を挟んで左右位置に平坦加工部とウエイト部を設けるものであるが、これは主駆動部を中心とした放射状の複数の直線上にそれぞれ、平坦加工部とウエイト部を設ける構成を含んでいる。
【００１４】
本第４発明においては、平坦加工部の第２保持手段とウエイト部が同一直線上で互いに反対方向へ移動させられるから、移動に伴って生じる起振力が減殺され、この結果、装置各部に起振力が作用して装置が振動する不具合が効果的に解消される。なお、この場合、ウエイト部を平坦加工部と実質的に同重量のものにすれば、起振力が零近くまで減殺される。
【００１５】
本第５発明では、前記ウエイト部が平坦加工の機能を備えている他の平坦加工部である。この場合の他の平坦加工部は、本第１発明から本第３発明に記載の平坦加工部と同一原理に基づく平坦加工部であっても良いし、他の平坦化原理に基づく平坦加工部であっても良い。
【００１６】
本第５発明においては、平坦加工部を複数設けることによって被加工物の平坦加工を効率的に行うことができると同時に、移動に伴って生じる起振力が全体として減殺され、この結果、装置各部に起振力が作用して装置が振動する不具合が解消される。
【００１７】
本第６発明では、前記主駆動部（ＰＤ）は、駆動モータ（８２）と、当該駆動モータ（８２）の出力軸の軸心（Ｃ）から径方向へ同量離れた互いに対称位置に設けられて出力軸（Ｃ）の回転と共に旋回移動する一対の軸部（９３，９４）とを有し、前記第２保持手段（４）ないし前記ウエイト部が前記一対の軸部（９３，９４）にそれぞれ連携して往復移動させられるようになっている。
【００１８】
上記カッコ内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を参考的に示すものである。
【発明の効果】
【００１９】
以上のように、本発明の平坦加工装置によれば、被加工物の破損を生じることなく、小型の装置で精密な平坦化加工が可能であるとともに、装置作動時の振動発生も効果的に抑えられる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施形態を示す、平坦加工装置の部分断面全体側面図である。
【図２】平坦加工部の詳細を示す垂直断面図である。
【図３】主駆動部の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
なお、以下に説明する実施形態はあくまで一例であり、本発明の要旨を逸脱しない範囲で当業者が行う種々の設計的改良も本発明の範囲に含まれる。
【００２２】
図１には平坦加工装置の部分断面全体側面図を示す。平坦加工装置は基台１の左右位置に一対の平坦加工部ＳＰ１，ＳＰ２を備えている。左右の平坦加工部ＳＰ１，ＳＰ２は同一構造で同一重量である。平坦加工部ＳＰ１についてその詳細を、図２を参照しつつ以下に説明する。
【００２３】
図２において、基台１上に対称形のＬ字断面とした架台２１，２２が平行に配設されて、図２の前後方向（図１の左右方向）へ延びている。なお、各架台２１，２２は左右の平坦加工部ＳＰ１，ＳＰ２のものが連続して一体に設けられて同一直線上に位置させられている。左右の各架台２１，２２上にはこれらに沿ってそれぞれ、案内部材であるリニアガイド３を構成するレール３１が固定されている。レール３１には長手方向の二箇所にこれに沿って摺動移動可能なスライダ３２が設けられており、左右前後のスライダ３２上には第２保持手段としての四角形の支持板４が載設されている。これにより、支持板４はレール３１に沿って往復直線移動可能である。なお、架台２１，２２はＬ字断面以外に、フラットバーなどレールを載せる面が出ているものであればよい。また、案内部材は上記構造に限られるものではなく、例えばガイド軸を包持してこれに沿って摺動するようなものでも良い。支持板４は特に四角形である必要は無い。
【００２４】
支持板４の上面中心部には上方へ開放する円形の液貯留用の容器５１が載設されている。容器５１の底面には、表面全面に触媒層がスパッタリング等によって所定厚で形成された触媒体の一例としてのパッド５が設けられている。パッド５の材料としては加工溶液や気体に対する耐性のあるゴムや樹脂、セラミックス、ガラス、金属等を使用する。触媒としてはＰｔ等の遷移金属が使用できる。ここで、パッド５の直径は、被加工物の一例としての被加工基板Ｗの外径より少なくともやや大きい程度のものとすれば良い。なお、容器５１は特に円形である必要は無い。また、容器５１は気体を貯留するものであっても良い。
【００２５】
容器５１の上方には円形断面の主軸６が垂設されており、主軸６はスリーブ６１に垂直姿勢で回転可能に保持されている。主軸６は第１駆動手段としての駆動モータ７１（図１）によって回転させられる。スリーブ６１は第２駆動手段としての駆動シリンダ７２によって昇降させられ、これに応じて上記主軸６はパッド５に対し遠近前後動させられる。主軸６の下端には第１保持手段としての公知のホルダ６２が設けられており、これの下面に被加工基板Ｗが保持されている。なお、主軸６や駆動モータ７１、駆動シリンダ７２等は基台１上やそれより上方に設けられている。
【００２６】
図１において、左右の平坦加工部ＳＰ１，ＳＰ２の中間には主駆動部ＰＤが設けられている。主駆動部ＰＤの詳細を図３に示す。主駆動部ＰＤは基台１に垂直姿勢で設けられたブラケット板８１を備えており、当該ブラケット板８１上で上下方向へ延びる軸体９が軸受け部材９１，９２（図３参照）によって回転可能に保持されている。軸体９の下端中心には、ブラケット板８１に沿って上下方向に設けられた駆動モータ８２の出力軸８２１が進入結合されている。
【００２７】
上記軸体９の中間部外周には、それぞれ左右方向へ水平に延びる一対のリンク板８３，８４の一端部が相対回動可能に連結されている。軸体９の下側に連結されたリンク板８３は途中で上方へ屈曲して、その他端部は連結軸８３１を介して相対回動可能に平坦加工部ＳＰ１の支持板４に連結されている（図１参照）。一方、軸体９の上側に連結されたリンク板８４は途中で下方へ屈曲して、その他端部は連結軸８４１を介して相対回動可能に平坦加工部ＳＰ２の支持板４に連結されている。ここで、平坦加工部ＳＰ１，ＳＰ２の支持板４の上面は同一水平面上に位置している。
【００２８】
軸体９の上記中間部は、図３中の拡大図に示すように、各リンク板８３，８４が連結された軸部９３，９４の軸心Ｃ１，Ｃ２が軸体９の軸心Ｃ（駆動モータ８２の出力軸８２１の軸心）から偏心させられている。すなわち、リンク板８３が連結された軸部９３とリンク板８４が連結された軸部９４の各軸心Ｃ１，Ｃ２は、軸体９の軸心Ｃから径方向へ同量ｄだけ離れて互いに１８０度の対称位置に位置している。
【００２９】
したがって、駆動モータ８２によって軸体９がその軸心Ｃを中心に回転させられると、軸部９３，９４の各軸心Ｃ１，Ｃ２は軸体９の軸心Ｃ回りに旋回移動させられる。これに伴い、リンク板８３，８４を介して各支持板４は同一直線上で互いに逆位相で距離（振幅）２ｄの間を往復移動させられる。この際の往復移動の一例は、２ｄ＝３ｍｍ、軸体９の回転数（支持板４の往復振動数）は５００ｒｐｍである。
【００３０】
このような構造の平坦加工装置で被加工基板Ｗの下面（被加工面）の平坦加工を行う場合には、左右の支持板４上の容器５１内に、触媒反応に必要な液体、例えばＨＦ、ＨＣｌ、純水等を満たし、駆動モータ７１で主軸６すなわち被加工基板Ｗを回転させると同時に、駆動シリンダ７２によって被加工基板Ｗをパッド５に近接ないし当接させる。この状態で、駆動モータ８２によって支持板４およびその上に設けた容器５１をレール３１に沿う水平方向で直線往復動させる。
【００３１】
すなわち、被加工基板Ｗの被加工面とこれが当接する触媒層を形成したパッド５とを、相対回転させつつその回転軸に交差する平面内で相対往復動させる。これにより、被加工基板Ｗの被加工面が触媒支援型化学加工によって原子レベル程度の高い精度で平坦加工される。この際、左右の平坦加工部ＳＰ１，ＳＰ２の支持板４は同一直線上で互いに逆位相で往復移動（振動）させられるから、互いの振動が相殺されて基台１に対する起振力は十分に小さくなり、その振動が防止される。
【００３２】
ここで、被加工基板Ｗが水貼り効果でパッド５の表面に吸着しても、当該パッド５の表面は微小な往復運動をしているだけであるから、従来のような大きな周回力を被加工基板に作用させることはなく、従来のように被加工基板がホルダから引き離されて外方のリテーナに挟まれ破損する等の問題は生じない。
【００３３】
（その他の実施形態）
上記第１実施形態では、被加工基板を回転させ、パッドを直線往復動させたが、被加工基板を直線往復動させ、パッドを回転させるようにしても良い。この場合、回転は必ずしも必要では無く、さらに必ずしも直線動である必要は無い。また往復動でなく、一方への移動のみでも良い。
往復駆動機構は上記実施形態のものに限られるものではなく、駆動モータの回転運動を直線往復運動に変える通常のクランク機構が使用できる。さらには、ボールねじ機構、磁力による吸引反発機構やシリンダ機構等を使用することもできる。
【００３４】
上記各実施形態において、基台をさらにボールねじ機構やカム機構等によって基台面に平行な方向へ往復移動させるようにしても良い。このようにすると、被加工基板の平坦化が中心部と外周部でより均等化される。上記基台の下にさらに他の基台を設けて当該他の基台をさらにボールねじ機構やカム機構等によって上記基台面に平行な方向へ往復移動させるようにしても良い。また、支持板４上にさらに他の支持板を設けて、当該他の支持板を上記支持板４の板面に平行な方向へ（例えば図１の紙面前後方向へ）往復移動させる機構を設けても良い。被加工物は基板のような板状のものに限定されない。面加工が出来る形状であればよい。触媒基準エッチングが成立可能な部品なども好ましい。このような形状の被加工物を対象とした場合でも，触媒支援型化学加工として触媒基準エッチングを行う場合には，上述したような「被加工物を打ち付けるような上下方向の振動」発生は問題視されるからである。「被加工物を打ち付けるような上下方向の振動」発生を防ぐべきことは，基板のような板状の被加工物を加工対象とする場合に限ったものではない。
上記各実施形態ではホルダ６２を昇降移動させるようにしたが、支持板４を昇降移動させる構造としても良い。
【００３５】
上記実施形態では液貯留用の容器内に別体のパッドを設けたが、パッド自体を容器状に形成して触媒反応に必要な液体を貯留できるようにしても良い。なお、液は必ずしも貯留する必要は無く、被加工基板とパッドの間にかけ流し状態としても良い。
上記第１実施形態では第２駆動手段として駆動シリンダを使用したが、これに代えてボールねじ機構やロボットアーム等を使用することができる。
【００３６】
上記実施形態では一対の同一構造同一重量の平坦加工部ＳＰ１，ＳＰ２を設けたが、一方を平坦加工部と同一重量のウエイト部としても良い。この場合のウエイト部は全体をウエイト体とする必要は無く、例えば平坦加工部の一部の部品を取り去ってそれと同重量のウエイト体を設けたものでも良い。なお、ウェイト部は加圧機構を利用したウェイト部でも良い。また、上記実施形態ではリンク板８３，８４によって軸体９の軸部９３，９４と支持板４を連結しているが、これに限られず、例えば各支持板４を軸体方向へ付勢する付勢部材を設けて、各支持板４の一端を各軸部９３，９４の外周に当接させる構造としても良い。
【００３７】
上記実施形態では一対の支持板４を同一直線上で互いに反対方向へ往復移動させることによって移動時の反力によって生じる起振力が全体として実質的に零になるまで減殺されるようにしたが、支持板４（あるいはウエイト部）は必ずしも同一直線上にある必要は無く、例えば主駆動部の軸体を中心に周方向へ3個以上の複数の支持板（あるいはウエイト部）を等角度間隔で配置して内外方向へ同時に往復移動させるようにしても良い。
要するに，上述したような「被加工物を打ち付けるような上下方向の振動」発生を防ぐように，当該上下方向の振動が装置に発生した場合（そのような重心位置の変動が装置に発生した場合）に，当該装置の振動（重心位置の変動）の全部又は少なくとも一部を打ち消す向きに，ウエイト部が移動可能であればよい。この場合，打ち消したい対象である「上下方向の振動」に対して，これを直接打ち消す向きにウエイトを移動させても良いし，このような「上下方向の振動」を引き起こす原因とされる振動（装置の重心位置の変動）があれば，その振動を打ち消す向きにウエイトを移動させても良い。
【００３８】
触媒反応に必要な液体に代えて気体を使用しても良い。または液体と気体を一緒に使用しても良い。上記実施形態ではホルダ６２および支持板４を上下方向に対向させて配設したが、左右方向で対向させて位置させても良い。触媒反応に少なくとも気体やミストを使用する場合には、ホルダ６２を下方に支持板４を上方に設けても良く、これに伴う必要な構成の配置変更は本発明の要旨を逸脱しない範囲で上下左右方向に変更しても良い。駆動モータ８２の出力軸８２１との結合は、カップリングやベルト、歯車を使った接続でも良い。ホルダ６２はバイトなどで掴んだりネジ止めや治具で挟んだり凹凸や穴にはめ込む等の構造でも良い。
【００３９】
なお，上記実施形態によれば，次のような装置，動作方法及び加工物の製造方法であってもよいことは言うまでもない。
以下、[００４０]欄の[1]，[3]，[5]でいう「対向軸に垂直な方向の成分」への移動とは，例えば，前述した「被加工物を打ち付けるような上下方向」の振動に対応するものであり，上記実施形態において，本来的に直接的に相殺したい振動に相当する移動である。上記第１実施形態でいうと，主軸６に沿った方向（上下方向）の振動に相当する移動を意味する。
[2]，[4]，[6]でいう「対向軸に水平な方向の成分」への移動とは，例えば，前述した「被加工物を打ち付けるような上下方向」の振動を引き起こす起因になっている移動である。上記第１実施形態でいうと，一方の平坦加工部の往復移動方向（水平方向）への移動を意味する。
[1]から[6]でいう「装置の重心位置の変動の全部又は少なくとも一部を打ち消す向き」は，例えば，前述した「移動時の反力によって生じる起振力が全体として減殺される」ことを意味する。これを[2]，[4]，[6]について上記第１実施形態でいうと，一方の平坦加工部（例えば，平坦加工部ＳＰ１）の移動に対して，他方の平坦加工部（例えば，平坦加工部ＳＰ２）を，同一直線上で互いに逆位相で往復させることを意味する。
【００４０】
[1]被加工物及び該被加工物に対向させる少なくとも表面に触媒層を有する触媒体の少なくとも一方が，第１位置から少なくとも前記被加工物及び前記触媒体の対向軸に垂直な方向の成分を含む向きに位置する第２位置へ移動する場合に，該移動に伴う装置の重心位置の変動の全部又は少なくとも一部を打ち消す向きに移動可能であるウエイト部を有する，触媒支援型化学加工装置。
[2]被加工物及び該被加工物に対向させる少なくとも表面に触媒層を有する触媒体の少なくとも一方を，第１位置から少なくとも前記被加工物及び前記触媒体の対向軸に水平な方向の成分を含む向きに位置する第２位置へ移動させるように動作する手段と，該動作する手段の動作に伴う装置の重心位置の変動の全部又は少なくとも一部を打ち消す向きに移動可能であるウエイト部と，を有する触媒支援型化学加工装置。
[3]被加工物及び該被加工物に対向させる少なくとも表面に触媒層を有する触媒体の少なくとも一方が，第１位置から少なくとも前記被加工物及び前記触媒体の対向軸に垂直な方向の成分を含む向きに位置する第２位置へ移動する場合に，該移動に伴う装置の重心位置の変動の全部又は少なくとも一部を打ち消す向きにウエイト部を移動させる，触媒支援型化学加工装置の動作方法。
[4]被加工物及び該被加工物に対向させる少なくとも表面に触媒層を有する触媒体の少なくとも一方を，第１位置から少なくとも前記被加工物及び前記触媒体の対向軸に平行な方向の成分を含む向きに位置する第２位置へ移動させるように動作する場合に，該動作に伴う装置の重心位置の変動の全部又は少なくとも一部を打ち消す向きにウエイト部を移動させる，触媒支援型化学加工装置の動作方法。
[5]被加工物及び該被加工物に対向させる少なくとも表面に触媒層を有する触媒体の少なくとも一方が，第１位置から少なくとも前記被加工物及び前記触媒体の対向軸に垂直な方向の成分を含む向きに位置する第２位置へ移動する場合に，該移動に伴う装置の重心位置の変動の全部又は少なくとも一部を打ち消す向きにウエイト部を移動させて，該被加工物に触媒支援型化学加工を行う，加工物の製造方法。
[6]被加工物及び該被加工物に対向させる少なくとも表面に触媒層を有する触媒体の少なくとも一方を，第１位置から少なくとも前記被加工物及び前記触媒体の対向軸に平行な方向の成分を含む向きに位置する第２位置へ移動させるように動作する場合に，該動作に伴う装置の重心位置の変動の全部又は少なくとも一部を打ち消す向きにウエイト部を移動させて，該被加工物に触媒支援型化学加工を行う，加工物の製造方法。
【符号の説明】
【００４１】
１…基台、３…リニアガイド（案内部材）、４…支持板（第２保持手段）、５…パッド（触媒体）、７１…駆動モータ（第１駆動手段）、６２…ホルダ（第１保持手段）、７２…駆動シリンダ（第２駆動手段）、８２…駆動モータ、９３，９４…軸部、ＳＰ１，ＳＰ２…平坦加工部、ＰＤ…主駆動部、Ｗ…被加工物。
【図１】
2017159430.tif 000003
【図２】
2017159430.tif 000004
【図３】
2017159430.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成29年3月24日(2017.3.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物、ないし少なくとも表面に触媒層を有する触媒体の一方を保持する第１保持手段と、前記被加工物ないし前記触媒体の他方を保持してその表面を、前記被加工物ないし前記触媒体の一方の表面に当接ないし近接させる第２保持手段と、前記第２保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の他方の表面に平行な方向で少なくとも触媒反応による平坦化が可能な量だけ移動可能とする案内部材とを備えた平坦加工部を有するとともに、少なくとも一つのウエイト部を有し、かつ、前記平坦加工部の前記第２保持手段と前記ウエイト部とを、これらの移動時の反力によって生じる起振力が全体として減殺されるようにそれぞれ移動させる主駆動部を有する平坦加工装置。
【請求項２】
被加工物、ないし少なくとも表面に触媒層を有する触媒体の一方を保持する第１保持手段と、前記第１保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の一方の表面内で当該表面に交差する軸回りに回転させる第１駆動手段と、前記被加工物ないし前記触媒体の他方を保持してその表面を、前記被加工物ないし前記触媒体の一方の表面に当接ないし近接させる第２保持手段と、前記第２保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の他方の表面に平行な方向で少なくとも触媒反応による平坦化が可能な量だけ移動可能とする案内部材とを備えた平坦加工部を有するとともに、少なくとも一つのウエイト部を有し、かつ、前記平坦加工部の前記第２保持手段と前記ウエイト部とを、これらの移動時の反力によって生じる起振力が全体として減殺されるようにそれぞれ移動させる主駆動部を有する平坦加工装置。
【請求項３】
被加工物、ないし少なくとも表面に触媒層を有する触媒体の一方を保持する第１保持手段と、前記第１保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の一方の表面内で当該表面に交差する軸回りに回転させる第１駆動手段と、前記被加工物ないし前記触媒体の他方を保持してその表面を、前記被加工物ないし前記触媒体の一方の表面に対向位置させる第２保持手段と、前記第２保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の他方の表面に平行な方向で少なくとも触媒反応による平坦化が可能な量だけ往復移動可能とする案内部材と、前記第１保持手段ないし前記第２保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の表面に交差する方向へ前進させて前記被加工物の表面と前記触媒体の表面を互いに当接ないし近接させる第２駆動手段とを備えた平坦加工部を有するとともに、少なくとも一つのウエイト部を有し、かつ、前記平坦加工部の前記第２保持手段と前記ウエイト部とを、これらの移動時の反力によって生じる起振力が全体として減殺されるようにそれぞれ移動させる主駆動部を有する平坦加工装置。
【請求項４】
前記主駆動部は、その軸体を中心に前記第２保持手段と前記ウエイト部とを周方向へ２個以上互いに間隔をおいて配置して前記第２保持手段および前記ウエイト部を内外方向へ同時に往復移動させるものである請求項１ないし３のいずれか一つに記載の平坦加工装置。
【請求項５】
前記主駆動部は、前記第２保持手段と前記ウエイト部とを、同一直線上で互いに逆位相で反対方向に移動させるものである請求項１ないし４のいずれか一つに記載の平坦加工装置。
【請求項６】
前記ウエイト部が平坦加工の機能を備えている他の平坦加工部である請求項１ないし５のいずれか一つに記載の平坦加工装置
【請求項７】
前記主駆動部は、駆動モータと、当該駆動モータの出力軸の軸心から径方向へ同量離れた互いに対称位置に設けられて出力軸の回転と共に旋回移動する一対の軸部とを有し、前記第２保持手段ないし前記ウエイト部が前記一対の軸部にそれぞれ連携して往復移動させられるようになっている請求項５又は６に記載の平坦加工装置。
【請求項８】
被加工物、ないし少なくとも表面に触媒層を有する触媒体の一方を保持する第１保持手段と、前記被加工物ないし前記触媒体の他方を保持してその表面を、前記被加工物ないし前記触媒体の一方の表面に当接ないし近接させる第２保持手段と、前記第２保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の他方の表面に平行な方向で少なくとも触媒反応による平坦化が可能な量だけ移動可能とする案内部材とを備えた平坦加工部を有するとともに、少なくとも一つのウエイト部を有し、かつ、前記平坦加工部の前記第２保持手段と前記ウエイト部とを、これらの移動時の反力によって生じる起振力が全体として減殺されるようにそれぞれ移動させる主駆動部を有する平坦加工装置の動作方法。
【請求項９】
被加工物、ないし少なくとも表面に触媒層を有する触媒体の一方を保持する第１保持手段と、前記第１保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の一方の表面内で当該表面に交差する軸回りに回転させる第１駆動手段と、前記被加工物ないし前記触媒体の他方を保持してその表面を、前記被加工物ないし前記触媒体の一方の表面に当接ないし近接させる第２保持手段と、前記第２保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の他方の表面に平行な方向で少なくとも触媒反応による平坦化が可能な量だけ移動可能とする案内部材とを備えた平坦加工部を有するとともに、少なくとも一つのウエイト部を有し、かつ、前記平坦加工部の前記第２保持手段と前記ウエイト部とを、これらの移動時の反力によって生じる起振力が全体として減殺されるようにそれぞれ移動させる主駆動部を有する平坦加工装置の動作方法。
【請求項１０】
被加工物、ないし少なくとも表面に触媒層を有する触媒体の一方を保持する第１保持手段と、前記第１保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の一方の表面内で当該表面に交差する軸回りに回転させる第１駆動手段と、前記被加工物ないし前記触媒体の他方を保持してその表面を、前記被加工物ないし前記触媒体の一方の表面に対向位置させる第２保持手段と、前記第２保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の他方の表面に平行な方向で少なくとも触媒反応による平坦化が可能な量だけ往復移動可能とする案内部材と、前記第１保持手段ないし前記第２保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の表面に交差する方向へ前進させて前記被加工物の表面と前記触媒体の表面を互いに当接ないし近接させる第２駆動手段とを備えた平坦加工部を有するとともに、少なくとも一つのウエイト部を有し、かつ、前記平坦加工部の前記第２保持手段と前記ウエイト部とを、これらの移動時の反力によって生じる起振力が全体として減殺されるようにそれぞれ移動させる主駆動部を有する平坦加工装置の動作方法。
【請求項１１】
被加工物、ないし少なくとも表面に触媒層を有する触媒体の一方を保持する第１保持手段と、前記被加工物ないし前記触媒体の他方を保持してその表面を、前記被加工物ないし前記触媒体の一方の表面に当接ないし近接させる第２保持手段と、前記第２保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の他方の表面に平行な方向で少なくとも触媒反応による平坦化が可能な量だけ移動可能とする案内部材とを有する平坦加工部と、少なくとも一つのウエイト部とを備え、前記平坦加工部の前記第２保持手段と前記ウエイト部とを、これらの移動時の反力によって生じる起振力が全体として減殺されるようにそれぞれ移動させることを特徴とする加工物の製造方法。
【請求項１２】
被加工物、ないし少なくとも表面に触媒層を有する触媒体の一方を保持する第１保持手段と、前記第１保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の一方の表面内で当該表面に交差する軸回りに回転させる第１駆動手段と、前記被加工物ないし前記触媒体の他方を保持してその表面を、前記被加工物ないし前記触媒体の一方の表面に当接ないし近接させる第２保持手段と、前記第２保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の他方の表面に平行な方向で少なくとも触媒反応による平坦化が可能な量だけ移動可能とする案内部材とを有する平坦加工部と、少なくとも一つのウエイト部とを備え、前記平坦加工部の前記第２保持手段と前記ウエイト部とを、これらの移動時の反力によって生じる起振力が全体として減殺されるようにそれぞれ移動させることを特徴とする加工物の製造方法。
【請求項１３】
被加工物、ないし少なくとも表面に触媒層を有する触媒体の一方を保持する第１保持手段と、前記第１保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の一方の表面内で当該表面に交差する軸回りに回転させる第１駆動手段と、前記被加工物ないし前記触媒体の他方を保持してその表面を、前記被加工物ないし前記触媒体の一方の表面に対向位置させる第２保持手段と、前記第２保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の他方の表面に平行な方向で少なくとも触媒反応による平坦化が可能な量だけ往復移動可能とする案内部材と、前記第１保持手段ないし前記第２保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の表面に交差する方向へ前進させて前記被加工物の表面と前記触媒体の表面を互いに当接ないし近接させる第２駆動手段とを有する平坦加工部と、少なくとも一つのウエイト部とを備え、前記平坦加工部の前記第２保持手段と前記ウエイト部とを、これらの移動時の反力によって生じる起振力が全体として減殺されるようにそれぞれ移動させることを特徴とする加工物の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するために、本第１発明では、被加工物（Ｗ）、ないし少なくとも表面に触媒層を有する触媒体（５）の一方を保持する第１保持手段（６２）と、前記被加工物（Ｗ）ないし前記触媒体（５）の他方を保持してその表面を、前記被加工物（Ｗ）ないし前記触媒体（５）の一方の表面に当接ないし近接させる第２保持手段（４）と、前記第２保持手段（４）を前記被加工物（Ｗ）ないし前記触媒体（５）の他方の表面に平行な方向で少なくとも触媒反応による平坦化が可能な量だけ移動可能とする案内部材（３）とを備えた平坦加工部（ＳＰ１）を有するとともに、少なくとも一つのウエイト部を有し、かつ、前記平坦加工部（ＳＰ１）の前記第２保持手段（４）と前記ウエイト部とを、これらの移動時の反力によって生じる起振力が全体として減殺されるようにそれぞれ移動させる主駆動部（ＰＤ）を有する。なお、この場合の移動は、一方向への単発的な移動であっても、あるいは単発の往復移動や繰り返しの往復移動であっても良い。また、触媒体としては一般的なパッドに限られず、触媒を担持するもの、触媒の単体等、その構造は制約されない。さらに、被加工物や触媒体の保持は、その背面、側面、前面等、いずれを保持するものであっても良く、保持構造も特に限定されない。被加工物も板状のものに限られないことはもちろんである。
「触媒反応による平坦化が可能な量」とは、少なくとも触媒反応による平均化が成立する原子数個以上の移動距離量のことである。触媒体と被加工物の組み合わせによって「触媒反応による平坦化が可能な移動量」は変化する。この移動量は少なくとも触媒反応による平均化を成立させる原子数個分以上を移動させる必要が触媒支援型化学加工にはあるのが理由である。最適な平均化を行うには、最低量の移動量よりも特定の被加工物の点に対して触媒体の新しい原子の面が多く当接ないし近接した方が平均化には好ましい。理由は触媒体の表面は原子レベルで理想的に平らな面で構成されていない限り、触媒体表面には少なくとも原子レベル以上のうねりや反りや表面の荒れが発生している。触媒体にうねりや反りや表面の荒れがある場合には、触媒体の移動量が小さすぎると触媒体のうねりや反りや荒れを被加工物の触媒接触面に転写してしまうので触媒体もしくは、被加工物の移動量は多い方が平均化には好ましい。したがって、本発明の加工は少なくとも触媒反応による平均化を成立させる原子数個以上、触媒体もしくは、被加工物を移動させる必要がある。具体的な数値は被加工物と触媒体の材料の状態に依存している。特定の被加工物の点に対して平均化に作用する触媒体の面は多い方が平均化には好ましい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本第２発明では、被加工物（Ｗ）、ないし少なくとも表面に触媒層を有する触媒体（５）の一方を保持する第１保持手段（６２）と、前記第１保持手段（６２）を前記被加工物（Ｗ）ないし前記触媒体（５）の一方の表面内で当該表面に交差する軸回りに回転させる第１駆動手段（７１）と、前記被加工物（Ｗ）ないし前記触媒体（５）の他方を保持してその表面を、前記被加工物（Ｗ）ないし前記触媒体（５）の一方の表面に当接ないし近接させる第２保持手段（４）と、前記第２保持手段（４）を前記被加工物（Ｗ）ないし前記触媒体（５）の他方の表面に平行な方向で少なくとも触媒反応による平坦化が可能な量だけ移動可能とする案内部材（３）とを備えた平坦加工部（ＳＰ１）を有するとともに、少なくとも一つのウエイト部を有し、かつ、前記平坦加工部（ＳＰ１）の前記第２保持手段（４）と前記ウエイト部とを、これらの移動時の反力によって生じる起振力が全体として減殺されるようにそれぞれ移動させる主駆動部（ＰＤ）を有する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本第３発明では、被加工物（Ｗ）、ないし少なくとも表面に触媒層を有する触媒体（５）の一方を保持する第１保持手段（６２）と、前記第１保持手段（６２）を前記被加工物（Ｗ）ないし前記触媒体（５）の一方の表面内で当該表面に交差する軸回りに回転させる第１駆動手段（７１）と、前記被加工物（Ｗ）ないし前記触媒体（５）の他方を保持してその表面を、前記被加工物（Ｗ）ないし前記触媒体（５）の一方の表面に対向位置させる第２保持手段（４）と、前記第２保持手段（４）を前記被加工物（Ｗ）ないし前記触媒体（５）の他方の表面に平行な方向で少なくとも触媒反応による平坦化が可能な量だけ往復移動可能とする案内部材（３）と、前記第１保持手段（６２）ないし前記第２保持手段（４）を前記被加工物（Ｗ）ないし前記触媒体（５）の表面に交差する方向へ前進させて前記被加工物（Ｗ）の表面と前記触媒体（５）の表面を互いに当接ないし近接させる第２駆動手段（７２）とを備えた平坦加工部（ＳＰ１）を有するとともに、少なくとも一つのウエイト部を有し、かつ、前記平坦加工部（ＳＰ１）の前記第２保持手段（４）と前記ウエイト部とを、これらの移動時の反力によって生じる起振力が全体として減殺されるようにそれぞれ移動させる主駆動部（ＰＤ）を有する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本第４発明では、前記主駆動部（ＰＤ）は、その軸体を中心に前記第２保持手段と前記ウエイト部とを周方向へ２個以上互いに間隔をおいて配置して前記第２保持手段および前記ウエイト部を内外方向へ同時に往復移動させる。
本第５発明では、前記主駆動部（ＰＤ）は、前記第２保持手段（４）と前記ウエイト部とを、同一直線上で互いに逆位相で反対方向へ移動させるものである。なお、本第４発明は、主駆動部を挟んで左右位置に平坦加工部とウエイト部を設けるものであるが、これは主駆動部を中心とした放射状の複数の直線上にそれぞれ、平坦加工部とウエイト部を設ける構成を含んでいる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本第５発明においては、平坦加工部の第２保持手段とウエイト部が同一直線上で互いに反対方向へ移動させられるから、移動に伴って生じる起振力が減殺され、この結果、装置各部に起振力が作用して装置が振動する不具合が効果的に解消される。なお、この場合、ウエイト部を平坦加工部と実質的に同重量のものにすれば、起振力が零近くまで減殺される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本第６発明では、前記ウエイト部が平坦加工の機能を備えている他の平坦加工部である。この場合の他の平坦加工部は、本第１発明から本第３発明に記載の平坦加工部と同一原理に基づく平坦加工部であっても良いし、他の平坦化原理に基づく平坦加工部であっても良い。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本第６発明においては、平坦加工部を複数設けることによって被加工物の平坦加工を効率的に行うことができると同時に、移動に伴って生じる起振力が全体として減殺され、この結果、装置各部に起振力が作用して装置が振動する不具合が解消される。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本第７発明では、前記主駆動部（ＰＤ）は、駆動モータ（８２）と、当該駆動モータ（８２）の出力軸の軸心（Ｃ）から径方向へ同量離れた互いに対称位置に設けられて出力軸（Ｃ）の回転と共に旋回移動する一対の軸部（９３，９４）とを有し、前記第２保持手段（４）ないし前記ウエイト部が前記一対の軸部（９３，９４）にそれぞれ連携して往復移動させられるようになっている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
容器５１の上方には円形断面の主軸６が垂設されており、主軸６はスリーブ６１に垂直姿勢で回転可能に保持されている。主軸６は第１駆動手段としての駆動モータ７１によって回転させられる。スリーブ６１は第２駆動手段としての駆動シリンダ７２によって昇降させられ、これに応じて上記主軸６はパッド５に対し遠近前後動させられる。主軸６の下端には第１保持手段としての公知のホルダ６２が設けられており、これの下面に被加工基板Ｗが保持されている。なお、主軸６や駆動モータ７１、駆動シリンダ７２等は基台１上やそれより上方に設けられている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成29年6月28日(2017.6.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１１】
被加工物、ないし少なくとも表面に触媒層を有する触媒体の一方を保持する第１保持手段と、前記被加工物ないし前記触媒体の他方を保持してその表面を、前記被加工物ないし前記触媒体の一方の表面に当接ないし近接させる第２保持手段と、前記第２保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の他方の表面に平行な方向で少なくとも触媒反応による平坦化が可能な量だけ移動可能とする案内部材とを有する平坦加工部と、少なくとも一つのウエイト部とを備えた平坦加工装置を使用し、前記平坦加工部の前記第２保持手段と前記ウエイト部とを、これらの移動時の反力によって生じる起振力が全体として減殺されるようにそれぞれ移動させることを特徴とする加工物の製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１２】
被加工物、ないし少なくとも表面に触媒層を有する触媒体の一方を保持する第１保持手段と、前記第１保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の一方の表面内で当該表面に交差する軸回りに回転させる第１駆動手段と、前記被加工物ないし前記触媒体の他方を保持してその表面を、前記被加工物ないし前記触媒体の一方の表面に当接ないし近接させる第２保持手段と、前記第２保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の他方の表面に平行な方向で少なくとも触媒反応による平坦化が可能な量だけ移動可能とする案内部材とを有する平坦加工部と、少なくとも一つのウエイト部とを備えた平坦加工装置を使用し、前記平坦加工部の前記第２保持手段と前記ウエイト部とを、これらの移動時の反力によって生じる起振力が全体として減殺されるようにそれぞれ移動させることを特徴とする加工物の製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１３】
被加工物、ないし少なくとも表面に触媒層を有する触媒体の一方を保持する第１保持手段と、前記第１保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の一方の表面内で当該表面に交差する軸回りに回転させる第１駆動手段と、前記被加工物ないし前記触媒体の他方を保持してその表面を、前記被加工物ないし前記触媒体の一方の表面に対向位置させる第２保持手段と、前記第２保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の他方の表面に平行な方向で少なくとも触媒反応による平坦化が可能な量だけ往復移動可能とする案内部材と、前記第１保持手段ないし前記第２保持手段を前記被加工物ないし前記触媒体の表面に交差する方向へ前進させて前記被加工物の表面と前記触媒体の表面を互いに当接ないし近接させる第２駆動手段とを有する平坦加工部と、少なくとも一つのウエイト部とを備えた平坦加工装置を使用し、前記平坦加工部の前記第２保持手段と前記ウエイト部とを、これらの移動時の反力によって生じる起振力が全体として減殺されるようにそれぞれ移動させることを特徴とする加工物の製造方法。