(57)【要約】【課題】各電極間の間隔を狭め、且つ振動腕の長さを短縮することを可能とすることにより小型の振動デバイスを提供する。【解決手段】振動デバイスとしてのジャイロ素子３００は、基部１と、基部から突出している駆動用振動腕２ａ，２ｂと、駆動用振動腕に配置されている複数の駆動用電極１１ａ，１１ｂ，１２ｃ，１２ａ，１２ｂ，１１ｃと、複数の駆動用電極上、および複数の駆動用電極間上にあって、駆動用電極と第１絶縁層４１ａ，４１ｂ，４２ｃ，４２ａ，４２ｂ，４１ｃを介して配置されている第１導電層４５，４６と、を備えている。【選択図】図３
2017101985.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
前記基部から突出している駆動用振動腕と、
前記駆動用振動腕に配置されている複数の駆動用電極と、
複数の前記駆動用電極上、および複数の前記駆動用電極間上にあって、前記駆動用電極と第１絶縁層を介して配置されている第１導電層と、を備えていることを特徴とする振動デバイス。
【請求項２】
前記基部から延出している支持部と、
前記支持部に配置され、前記駆動用電極と接続されている引き出し配線と、
前記引き出し配線上にあって、第２絶縁層を介して配置されている第２導電層と、を備えていることを特徴とする請求項１に記載の振動デバイス。
【請求項３】
前記駆動用電極および前記引き出し配線と導通し、前記基部に設けられている接続配線と、
前記接続配線上にあって、前記接続配線と第３絶縁層を介して配置されている第３導電層と、を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の振動デバイス。
【請求項４】
前記基部から突出し、物理量を検出するための検出用振動腕を備え、
前記検出用振動腕は、
検出用電極と、
前記検出用電極上にあって、前記検出用電極と第４絶縁層を介して配置されている第４導電層と、を備えていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の振動デバイス。
【請求項５】
前記第１導電層、前記第２導電層、前記第３導電層、および前記第４導電層は、電位が一定であることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の振動デバイス。
【請求項６】
パッケージを備え、
前記基部、および前記駆動用振動腕が前記パッケージに収納されていることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の振動デバイス。
【請求項７】
前記パッケージに、
前記駆動用振動腕を駆動する駆動回路用部品が搭載されていることを特徴とする請求項６に記載の振動デバイス。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の振動デバイスを備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項９】
請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の振動デバイスを備えていることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動デバイス、電子機器、および移動体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、振動デバイスの一例として、駆動用振動腕を有するジャイロ素子が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に開示されているジャイロ素子では、該駆動用振動腕に複数の電極（駆動用電極）が設けられている。また、ジャイロ素子を小型化するため、該駆動用振動腕の先端部には、駆動用振動腕の質量を増すための、該駆動用振動腕の幅よりも大きな幅の錘部が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−９９０６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文計１に記載されている構成のジャイロ素子（振動デバイス）では、ジャイロ素子（振動デバイス）の小型化が進むにつれて、錘部の大きさも小さくせざるを得なくなり、錘としての機能が低下してしまう虞があった。また、ジャイロ素子（振動デバイス）の小型化が進むにつれて、例えば駆動用電極など複数の電極間の間隔が狭くなり、電極間での信号によるクロストークが生じ易くなり、検出精度に対する影響を受けてしまう虞があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例に係る振動デバイスは、基部と、前記基部から突出している駆動用振動腕と、前記駆動用振動腕に配置されている複数の駆動用電極と、複数の前記駆動用電極上、および複数の前記駆動用電極間上にあって、前記駆動用電極と第１絶縁層を介して配置されている第１導電層と、を備えていることを特徴とする。
【０００７】
本適用例によれば、複数の駆動用電極上、および複数の駆動用電極間上に、駆動用電極と第１絶縁層を介して第１導電層が配置されている。このように、従来錘の付加領域として用いていなかった電極配置領域や配線領域に第１導電層を設けることにより、効果的に駆動用振動腕の質量を増やすことが可能となる。また、第１導電層を、ノイズ信号などを防御するシールド電極として用いることができるため、電極間での信号によるクロストークを抑制することが可能となり、電極間の間隔を縮めることができる。これらにより、特性の安定した小型の振動デバイスを提供することが可能となる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例に記載の振動デバイスにおいて、前記基部から延出している支持部と、前記支持部に配置され、前記駆動用電極と接続されている引き出し配線と、前記引き出し配線上にあって、第２絶縁層を介して配置されている第２導電層と、を備えていることが好ましい。
【０００９】
本適用例によれば、支持部に配置され、駆動用電極と接続されている引き出し配線上に、該引き出し配線と第２絶縁層を介して第２導電層が配置されている。この第２導電層を、ノイズ信号などを防御するシールド電極として用いることができるため、引き出し配線と他の電極との間における信号によるクロストークを抑制することが可能となり、特性を安定させつつ、振動デバイスの小型化を更に進めることが可能となる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例に記載の振動デバイスにおいて、前記駆動用電極および前記引き出し配線と導通し、前記基部に設けられている接続配線と、前記接続配線上にあって、前記接続配線と第３絶縁層を介して配置されている第３導電層と、を備えていることが好ましい。
【００１１】
本適用例によれば、駆動用電極および引き出し配線と導通し、基部に設けられている接続配線上に、該接続配線と第３絶縁層を介して第３導電層が配置されている。この第３導電層を、ノイズ信号などを防御するシールド電極として用いることができるため、接続電極と他の電極との間における信号によるクロストークを抑制することが可能となり、特性を安定させつつ、振動デバイスの小型化を更に進めることが可能となる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例に記載の振動デバイスにおいて、前記基部から突出し、物理量を検出するための検出用振動腕を備え、前記検出用振動腕は、検出用電極と、前記検出用電極上にあって、前記検出用電極と第４絶縁層を介して配置されている第４導電層と、を備えていることが好ましい。
【００１３】
本適用例によれば、物理量を検出するための検出用振動腕の検出用電極上に、該検出用電極と第４絶縁層を介して第４導電層が配置されている。このように、従来錘の付加領域として用いていなかった検出用電極配置領域などに第４導電層を設けることにより、効果的に検出用振動腕の質量を増やすことが可能となる。また、第４導電層を、ノイズ信号などを防御するシールド電極として用いることができるため、電極間での信号によるクロストークを抑制することが可能となり、電極間の間隔を縮めることができる。これらにより、検出信号などの特性の安定した小型の振動デバイスを提供することが可能となる。
【００１４】
［適用例５］上記適用例に記載の振動デバイスにおいて、前記第１導電層、前記第２導電層、前記第３導電層、および前記第４導電層は、電位が一定であることが好ましい。
【００１５】
本適用例によれば、第１導電層、第２導電層、第３導電層、および第４導電層の電位を一定とすることにより、ノイズ信号などを防御するシールド効果を、より効果的に、且つ容易に得ることができる。
【００１６】
［適用例６］上記適用例に記載の振動デバイスにおいて、パッケージを備え、前記基部、および前記駆動用振動腕が前記パッケージに収納されていることが好ましい。
【００１７】
本適用例によれば、基部や駆動用振動腕などがパッケージによって保護されているため、パッケージ外からのダメージを受け難くなり、振動特性の安定した振動デバイスとすることができる。
【００１８】
［適用例７］上記適用例に記載の振動デバイスにおいて、前記パッケージに、前記駆動用振動腕を駆動する駆動回路用部品が搭載されていることが好ましい。
【００１９】
本適用例によれば、駆動用振動腕と該駆動用振動腕を発振させる駆動回路用部品とが、パッケージを介して一体的に備えられているため、簡便、且つ小型の振動デバイスとすることができる。
【００２０】
［適用例８］本適用例に係る電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の振動デバイスを備えていることを特徴とする。
【００２１】
本適用例によれば、特性の安定した小型の振動デバイスを備えているため、性能を安定させつつ小型化を進めた電子機器を提供することが可能となる。
【００２２】
［適用例９］本適用例に係る移動体は、上記適用例のいずれか一例に記載の振動デバイスを備えていることを特徴とする。
【００２３】
本適用例によれば、特性の安定した小型の振動デバイスを備えているため、性能を安定させつつ小型化を進めた移動体を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の振動デバイスの第１実施形態に係る振動素子としてのジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）の概略を示す斜視図。
【図２】本発明の振動デバイスの第１実施形態に係る振動素子としてのジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）の概略を示す平面図。
【図３】Ｈ型ジャイロ素子の電極構成を説明する図であり、図２のＤ−Ｄ断面図。
【図４】Ｈ型ジャイロ素子の電極構成を説明する図であり、図２のＣ−Ｃ断面図。
【図５】Ｈ型ジャイロ素子の配線配置を説明する概略平面図。
【図６】Ｈ型ジャイロ素子の基部の配線構成を説明する図であり、図５のＦ−Ｆ断面図。
【図７】Ｈ型ジャイロ素子の支持部の配線構成を説明する図であり、図５のＥ−Ｅ断面図。
【図８】第１実施形態に係るジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）の製造方法を示す工程フロー図。
【図９】本発明の振動デバイスの第２実施形態に係る振動素子としてのジャイロ素子（ダブルＴ型ジャイロ素子）の概略を示す平面図。
【図１０】ダブルＴ型ジャイロ素子の電極配置を示す平面図（上面図）。
【図１１】ダブルＴ型ジャイロ素子の電極配置を示す平面図（上側から見た透過図）。
【図１２】本発明に係る振動デバイスの第３実施形態に係るジャイロセンサーの概略構成を示す正断面図。
【図１３】本発明に係る振動デバイスの第４実施形態に係るジャイロセンサーの概略構成を示す正断面図。
【図１４】電子機器の一例としてのモバイル型のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図。
【図１５】電子機器の一例としての携帯電話機の構成を示す斜視図。
【図１６】電子機器の一例としてのデジタルスチールカメラの構成を示す斜視図。
【図１７】移動体の一例としての自動車の構成を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明に係る振動デバイス、電子機器、および移動体の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、各図では、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を図示しているものがある。また、本明細書においては、３つの軸を、各実施形態における振動片の切り出し角度を考慮して、Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸を示している。また、以下の説明では、説明の便宜上、図中Ｚ軸方向から見たときの平面視を単に「平面視」とも言う。さらに、説明の便宜上、図中Ｚ軸方向から見たときの平面視において、＋Ｚ軸方向の面を表面、−Ｚ軸方向の面を裏面として説明することがある。
【００２６】
（第１実施形態）
＜ジャイロ素子−１＞
まず、本発明の第１実施形態に係る振動素子としてのジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）の構成について、図１および図２を参照して説明する。図１は、本発明の振動デバイスの第１実施形態に係る振動素子としてのジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）の概略を示す斜視図である。図２は、第１実施形態に係る振動素子としてのジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）の概略を示す平面図である。
【００２７】
１．ジャイロ素子の構成
図１および図２に示すように、第１実施形態に係るジャイロ素子３００は、基材（主要部分を構成する材料）を加工することにより一体に形成された基部１と、駆動用振動腕２ａ，２ｂおよび検出用振動腕３ａ，３ｂと、調整用振動腕５０ａ，５０ｂとを有している。更に、基部１から延出する第１連結部１５ａ、および第１連結部１５ａに連結する支持部としての第１支持部１５ｂと、基部１から第１連結部１５ａと反対方向に延出する第２連結部１６ａ、および第２連結部１６ａに連結する支持部としての第２支持部１６ｂと、が設けられている。さらに、第１支持部１５ｂおよび第２支持部１６ｂは、駆動用振動腕２ａ，２ｂの側で一体的に繋って、固定枠部１７を構成している。そして、ジャイロ素子３００は、第１支持部１５ｂおよび第２支持部１６ｂ（固定枠部１７）の所定の位置で、図示しないパッケージ等の基板に固定される。
【００２８】
本実施形態のジャイロ素子３００では、基材として圧電体材料である水晶を用いた例について説明する。水晶は、電気軸と呼ばれるＸ軸、機械軸と呼ばれるＹ軸及び光学軸と呼ばれるＺ軸を有している。本実施形態では、水晶結晶軸において直交するＸ軸及びＹ軸で規定される平面に沿って切り出されて平板状に加工され、平面と直交するＺ軸方向に所定の厚さを有した所謂水晶Ｚ板を基材として用いた例を説明する。なお、ここでいう所定の厚さは、発振周波数（共振周波数）、外形サイズ、加工性などにより適宜設定される。また、ジャイロ素子３００を形成する平板は、水晶からの切り出し角度の誤差を、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の各々につき多少の範囲で許容できる。例えば、Ｘ軸を中心に０度から２度の範囲で回転して切り出したものを使用することができる。Ｙ軸及びＺ軸についても同様である。
【００２９】
ジャイロ素子３００は、中心部分に位置する略矩形状の基部１と、基部１のＹ軸方向の端部１ａ，１ｂのうち一方の端部（図中−Ｙ軸方向の端部）１ｂから、並行するようにＹ軸に沿って延伸された一対の駆動用振動腕２ａ，２ｂと、基部１の他方の端部（図中＋Ｙ軸方向の端部）１ａからＹ軸に沿って並行するように延伸された一対の検出用振動腕３ａ，３ｂと、を有している。このように、ジャイロ素子３００は、基部１の両端部１ａ，１ｂから、一対の駆動用振動腕２ａ，２ｂと、一対の検出用振動腕３ａ，３ｂとが、それぞれ同軸方向に突出し（延伸）されている。このような形状から、本実施形態に係るジャイロ素子３００は、Ｈ型ジャイロ素子と呼ばれることがある。Ｈ型のジャイロ素子３００は、駆動用振動腕２ａ，２ｂと検出用振動腕３ａ，３ｂとが、基部１の同一軸方向の両端部１ａ，１ｂからそれぞれ延伸されているので、駆動系と検出系が分離される。ジャイロ素子３００は、このように駆動系と検出系が分離されることにより、駆動系と検出系の電極間あるいは配線間の静電結合が低減され易く、検出感度が安定するという特徴を有する。なお、本実施形態ではＨ型振動片を例に駆動用振動腕および検出用振動腕を各々２本ずつ設けているが、駆動用振動腕および検出用振動腕の本数は、それぞれ１本であっても３本以上であっても良い。
【００３０】
Ｈ型のジャイロ素子３００は、一対の駆動用振動腕２ａ，２ｂを所定の共振周波数で面内方向（＋Ｘ軸方向と−Ｘ軸方向）に振動させた状態で、Ｙ軸回りに角速度ωが加わると、駆動用振動腕２ａ，２ｂにコリオリ力が発生し、駆動用振動腕２ａ，２ｂが面内方向と交差する面外方向（＋Ｚ軸方向と−Ｚ軸方向）に、互いに逆方向に屈曲振動する。そして、検出用振動腕３ａ，３ｂは、駆動用振動腕２ａ，２ｂの面外方向の屈曲振動に共振して、同じく面外方向に屈曲振動する。この時、圧電効果により検出用振動腕３ａ，３ｂに設けられている検出用電極に電荷が発生する。ジャイロ素子３００は、この電荷を検出することによりジャイロ素子３００に加わる角速度ω（物理量の一例）を検出することができる。
【００３１】
基部１から突出し、延伸された一対の駆動用振動腕２ａ，２ｂは、図３に示すように、表面２ｃ，２ｇと、表面２ｃ，２ｇと反対側に設けられた裏面２ｄ，２ｈと、表面２ｃ，２ｇと裏面２ｄ，２ｈとを接続する側面２ｅ，２ｆ，２ｋ，２ｊと、を備えている。また、駆動用振動腕２ａ，２ｂの基部１側の一端とは反対側に位置する他端側の先端部には、駆動用振動腕２ａ，２ｂより幅が広い（Ｘ軸方向の寸法が大きい）略矩形状の錘部５２ａ，５２ｂが設けられている（図１および図２参照）。このように、駆動用振動腕２ａ，２ｂに、錘部５２ａ，５２ｂが設けられていることにより、駆動用振動腕２ａ，２ｂの長さ（Ｙ軸方向の寸法）の増大を抑えながら所定の駆動振動を得ることができるため、ジャイロ素子を小型化することが可能となる。なお、駆動用振動腕２ａ，２ｂには、駆動用振動腕２ａ，２ｂを駆動させるための電極が設けられているが、電極の構成については後述する。なお、図示はしていないが、駆動用振動腕２ａ，２ｂには、励振をし易くするための貫通孔が設けられている構成であってもよい。この貫通孔は、表面２ｃ，２ｇと裏面２ｄ，２ｈとを貫通させる。
【００３２】
基部１から突出し、延伸された一対の検出用振動腕３ａ，３ｂには、図４に示すように、表面３ｃ，３ｇと、表面３ｃ，３ｇと反対側に設けられた裏面３ｄ，３ｆと、表面３ｃ，３ｇと裏面３ｄ，３ｆとを接続する側面３ｈ，３ｉ，３ｊ，３ｋと、を備えている。さらに、検出用振動腕３ａ，３ｂには、基部１側の一端とは反対側の他端側に位置する先端部に検出用振動腕３ａ，３ｂより幅が広い（Ｘ軸方向の寸法が大きい）略矩形状の錘部５３ａ，５３ｂが設けられている（図１および図２参照）。このように、検出用振動腕３ａ，３ｂにおいても、錘部５３ａ，５３ｂが設けられていることにより、検出用振動腕３ａ，３ｂの長さ（Ｙ軸方向の寸法）の増大を抑えながら所定の検出振動を得ることができるため、ジャイロ素子を小型化することが可能となる。また、一対の検出用振動腕３ａ，３ｂには、凹部５８ａ，５８ｂが設けられている。本実施形態における凹部５８ａ，５８ｂは、表面３ｃ，３ｇおよび裏面３ｄ，３ｆの両面側から掘り込まれている構成であるが、表面３ｃ，３ｇあるいは裏面３ｄ，３ｆの一方の面から掘り込まれた構成でもよい。
【００３３】
さらに、ジャイロ素子３００には、図１および図２に示すように、水晶の結晶Ｘ軸（電気軸）と交差する方向に検出用振動腕３ａ，３ｂと並行させてかつ検出用振動腕３ａ，３ｂを内側に挟むように、基部１から延伸された一対の調整用振動腕５０ａ，５０ｂが設けられている。即ち、調整用振動腕５０ａ，５０ｂは、Ｙ軸に沿って＋Ｙ軸方向に延伸され、検出用振動腕３ａ，３ｂと所定の間隔を空けて内側に挟むように位置し、かつ並行するように設けられている。なお、調整用振動腕５０ａ，５０ｂは、チューニングアームと呼ばれることもある。このような調整用振動腕５０ａ，５０ｂが設けられていることにより、漏れ出力を調整することが可能となる。換言すれば、駆動振動が漏れる（伝播する）、所謂振動漏れによって生じる電荷を、調整用振動腕５０ａ，５０ｂの電荷を調整することによってキャンセルすることができるため、振動漏れの出力を抑制することが可能となり、ジャイロ素子３００の振動特性を安定させることが可能となる。
【００３４】
また、調整用振動腕５０ａ，５０ｂは、駆動用振動腕２ａ，２ｂおよび検出用振動腕３ａ，３ｂよりも全長が短く形成されている。これにより、漏れ出力を調整するための調整用振動腕５０ａ，５０ｂの振動が、駆動用振動腕２ａ，２ｂと検出用振動腕３ａ，３ｂによるジャイロ素子３００の主要な振動を阻害することがないので、ジャイロ素子３００の振動特性が安定するとともに、ジャイロ素子３００の小型化にも有利となる。
【００３５】
さらに、調整用振動腕５０ａ，５０ｂの基部１側の一端とは反対側に位置する他端側の先端部には、調整用振動腕５０ａ，５０ｂより幅が広い（Ｘ軸方向の寸法が大きい）略矩形状の錘部５４ａ，５４ｂが設けられている。このように、調整用振動腕５０ａ，５０ｂの先端部に錘部５４ａ，５４ｂを設けることにより、調整用振動腕５０ａ，５０ｂの長さを短縮することができる。
【００３６】
基部１の中央は、ジャイロ素子３００の重心とすることができる。そして、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は、互いに直交し、重心を通るものとする。ジャイロ素子３００の外形は、重心を通るＹ軸方向の仮想の中心線に対して線対称とすることができる。これにより、ジャイロ素子３００の外形はバランスのよいものとなり、ジャイロ素子３００の特性が安定して、検出感度が向上するので好ましい。このようなジャイロ素子３００の外形形状は、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチング（ウェットエッチングまたはドライエッチング）により形成することができる。なお、ジャイロ素子３００は、１枚の水晶ウエハーから複数個取りすることが可能である。
【００３７】
次に、ジャイロ素子３００の電極配置の一例について、図３、図４、図５、図６、および図７を参照して説明する。図３および図４は、Ｈ型ジャイロ素子の電極構成を説明する図であり、図３は図２のＤ−Ｄ断面図であり、図４は図２のＣ−Ｃ断面図である。図５は、Ｈ型ジャイロ素子の配線配置を説明する概略平面図である。図６は、Ｈ型ジャイロ素子の基部の配線構成を説明する図であり、図５のＦ−Ｆ断面図である。図７は、Ｈ型ジャイロ素子の支持部の配線構成を説明する図であり、図５のＥ−Ｅ断面図である。
【００３８】
先ず、駆動用振動腕２ａ，２ｂに設けられた、駆動用振動腕２ａ，２ｂを駆動させるための駆動用電極１１ａ，１１ｂ，１２ｃ，１２ａ，１２ｂ，１１ｃについて説明する。図３に示すように、駆動用振動腕２ａの表面（一方の主面）２ｃには駆動用電極１１ａが、および裏面（他方の主面）２ｄには駆動用電極１１ｂが、錘部５２ａ（図２参照）までの間に形成されている。また、駆動用振動腕２ａの一方の側面２ｅ、および他方の側面２ｆには駆動用電極１２ｃが、駆動用振動腕２ａの錘部５２ａ（図２参照）までの間に形成されている。このように、駆動用振動腕２ａには、複数の駆動用電極１１ａ，１１ｂ，１２ｃが設けられている。同様に、駆動用振動腕２ｂの表面（一方の主面）２ｇには駆動用電極１２ａが、および裏面（他方の主面）２ｈには駆動用電極１２ｂが、錘部５２ｂ（図２参照）までの間に形成されている。また、駆動用振動腕２ｂの一方の側面２ｊ、および他方の側面２ｋには駆動用電極１１ｃが、駆動用振動腕２ｂの錘部５２ｂ（図２参照）までの間に形成されている。このように、駆動用振動腕２ｂには、複数の駆動用電極１２ａ，１２ｂ，１１ｃが設けられている。
【００３９】
また、駆動用振動腕２ａには、複数の駆動用電極１１ａ，１１ｂ，１２ｃ上、および複数の駆動用電極１１ａ，１１ｂ，１２ｃの電極間上に、第１絶縁層４１ａ，４１ｂ，４２ｃが設けられている。さらに、第１絶縁層４１ａ，４１ｂ，４２ｃ上には、第１導電層４５が設けられている。換言すれば、第１導電層４５は、複数の駆動用電極１１ａ，１１ｂ，１２ｃ上、および複数の駆動用電極１１ａ，１１ｂ，１２ｃの電極間上にあって、第１絶縁層４１ａ，４１ｂ，４２ｃを介して配置されている。
【００４０】
同様に、駆動用振動腕２ｂには、複数の駆動用電極１２ａ，１２ｂ，１１ｃ上、および複数の駆動用電極１２ａ，１２ｂ，１１ｃの電極間上に、第１絶縁層４２ａ，４２ｂ，４１ｃが設けられている。さらに、第１絶縁層４２ａ，４２ｂ，４１ｃ上には、第１導電層４６が設けられている。換言すれば、第１導電層４６は、複数の駆動用電極１２ａ，１２ｂ，１１ｃ上、および複数の駆動用電極１２ａ，１２ｂ，１１ｃの電極間上にあって、第１絶縁層４２ａ，４２ｂ，４１ｃを介して配置されている。
【００４１】
駆動用振動腕２ａ，２ｂに、上述のような構成で第１導電層４５，４６が設けられていることにより、従来、錘（質量）の付加領域として用いていなかった駆動用振動腕２ａ，２ｂの電極配置領域や配線領域においても駆動用振動腕２ａ，２ｂの質量を増やすことが可能となる。これにより、効果的に駆動用振動腕２ａ，２ｂの質量を増やすことができ、駆動用振動腕２ａ，２ｂを小型とすることができ、結果的にジャイロ素子３００の小型化を実現することが可能となる。
【００４２】
また、第１導電層４５は、第１絶縁層４１ａ，４１ｂ，４２ｃを介して駆動用電極１１ａ，１１ｂ，１２ｃと絶縁され、第１導電層４６は、第１絶縁層４２ａ，４２ｂ，４１ｃを介して駆動用電極１２ａ，１２ｂ，１１ｃと絶縁されているため、例えば接地電位（ＧＮＤ電位）など電位の一定な電極とすることができる。このように、第１導電層４５，４６を電位の一定な電極とすることにより、各電極間での信号によるクロストークを抑制することが可能となり、電極間の間隔を縮めることができる。この場合、第１導電層４５，４６は、少なくとも駆動用電極１１ａ，１１ｂ，１２ｃ，１２ａ，１２ｂ，１１ｃ上に配置されていればよく、同等な効果を奏する。
【００４３】
なお、駆動用振動腕２ａ，２ｂに、励振をし易くするための貫通孔が設けられている場合、貫通孔には、絶縁層および導電層を設けてもよいし、設けなくてもよい。
【００４４】
駆動用振動腕２ａ，２ｂに形成された駆動用電極１１ａ，１１ｂ，１２ｃ，１２ａ，１２ｂ，１１ｃは、駆動用電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃが同電位であり、これと異なる電位であって駆動用電極１２ａ，１２ｂ，１２ｃが同電位となるように、駆動用振動腕２ａ，２ｂを介して対向配置されている。また、駆動用電極１１ａ，１１ｂ，１２ｃが、第１支持部１５ｂに設けられている外部接続パッド９ａ（図５参照）、および駆動用電極１２ａ，１２ｂ，１１ｃが、第２支持部１６ｂに設けられている外部接続パッド９ｂ（図５参照）、を通して駆動用電極１１ａ，１１ｂ，１２ｃと駆動用電極１２ａ，１２ｂ，１１ｃとの間に電位差を交互に与えることにより駆動用振動腕２ａ，２ｂは、いわゆる音叉振動が励振される。
【００４５】
次に、調整用振動腕５０ａ，５０ｂに設けられた電極について説明する。図示しないが、調整用振動腕５０ａには、表裏面に同電位の調整用電極が形成されている。また調整用振動腕５０ａの両側面のそれぞれには、同電位である他の調整用電極が形成されている。同様に、調整用振動腕５０ｂには、表裏面に同電位の調整用電極が形成されている。また調整用振動腕５０ｂの両側面には、同電位である他の調整用電極が形成されている。
【００４６】
次に、検出用振動腕３ａ，３ｂに形成され、検出用振動腕３ａ，３ｂが振動することによって基材である水晶に発生する歪みを検出する検出用電極について説明する。図４に示すように、検出用振動腕３ａ，３ｂには、前述したように、凹部５８ａ，５８ｂが設けられている。本実施形態における凹部５８ａ，５８ｂは、表面３ｃ，３ｇおよび裏面３ｄ，３ｆの両面側に設けられている。
【００４７】
検出用振動腕３ａには、側面３ｈに、検出用振動腕３ａの厚み方向（Ｚ軸方向）の略中央に有って検出用振動腕３ａの延伸方向（Ｙ軸方向）に沿って設けられた電極分割部３ｍによって分割された、表面３ｃ側の第１検出用電極２１ａと裏面３ｄ側の第２検出用電極２２ｂとが設けられている。さらに、第１検出用電極２１ａと対向する凹部５８ａの内側面には、第２検出用電極２２ａが設けられ、第２検出用電極２２ｂと対向する凹部５８ａの内側面には、第１検出用電極２１ｂが設けられている。また、側面３ｈとは反対側の側面３ｉに、検出用振動腕３ａの厚み方向の略中央に有って検出用振動腕３ａの延伸方向に沿って設けられた電極分割部３ｎによって分割された、表面３ｃ側の第２検出用電極２２ａと裏面３ｄ側の第１検出用電極２１ｂとが設けられている。さらに、第２検出用電極２２ａと対向する凹部５８ａの内側面には、第１検出用電極２１ａが設けられ、第１検出用電極２１ｂと対向する凹部５８ａの内側面には、第２検出用電極２２ｂが設けられている。
【００４８】
また、検出用振動腕３ａには、複数の検出用電極（第１検出用電極２１ａ，２１ｂ、第２検出用電極２２ａ，２２ｂ）上、および複数の検出用電極（第１検出用電極２１ａ，２１ｂ、第２検出用電極２２ａ，２２ｂ）の電極間上に、第４絶縁層４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂが設けられている。さらに、第４絶縁層４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂ上には、第４導電層６ａ，７ａが設けられている。換言すれば、第４導電層６ａ，７ａは、複数の検出用電極（第１検出用電極２１ａ，２１ｂ、第２検出用電極２２ａ，２２ｂ）上、および複数の検出用電極（第１検出用電極２１ａ，２１ｂ、第２検出用電極２２ａ，２２ｂ）の電極間上にあって、第４絶縁層４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂを介して配置されている。なお、第４絶縁層４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂおよび第４導電層６ａ，７ａは、凹部５８ａの底部に設けられてもよい。
【００４９】
そして、第１検出用電極２１ａと第１検出用電極２１ｂとは、図示しないが、検出用振動腕３ａの先端部などを経由して電気的に接続されている。第２検出用電極２２ａと第２検出用電極２２ｂとは、図示しないが、検出用振動腕３ａの先端部などを経由して電気的に接続されている。なお、第１検出用電極２１ａ，２１ｂおよび第２検出用電極２２ａ，２２ｂは、検出用振動腕３ａの先端近傍まで延設されている。また、第１検出用電極２１ａ，２１ｂおよび第２検出用電極２２ａ，２２ｂは、接続配線２１，２２（図５参照）のいずれかを介して外部接続パッド８ａまたは外部接続パッド８ｂ（図５参照）に、それぞれが電気的に接続されている。また、第１検出用電極２１ａ，２１ｂおよび第２検出用電極２２ａ，２２ｂは、調整用振動腕５０ａ（図２参照）に形成された図示しない調整用電極にも電気的に接続されている。
【００５０】
同様に、検出用振動腕３ｂには、側面３ｊに、検出用振動腕３ｂの厚み方向（Ｚ軸方向）の略中央に有って検出用振動腕３ｂの延伸方向（Ｙ軸方向）に沿って設けられた電極分割部３ｒによって分割された、表面３ｇ側の第２検出用電極３１ａと裏面３ｆ側の第１検出用電極３２ｂとが設けられている。さらに、第２検出用電極３１ａと対向する凹部５８ｂの内側面には、第１検出用電極３２ａが設けられ、第１検出用電極３２ｂと対向する凹部５８ｂの内側面には、第２検出用電極３１ｂが設けられている。また、側面３ｊとは反対側の側面３ｋに、検出用振動腕３ｂの厚み方向の略中央に有って検出用振動腕３ｂの延伸方向に沿って設けられた電極分割部３ｓによって分割された、表面３ｇ側の第１検出用電極３２ａと裏面３ｆ側の第２検出用電極３１ｂとが設けられている。さらに、第１検出用電極３２ａと対向する凹部５８ｂの内側面には、第２検出用電極３１ａが設けられ、第２検出用電極３１ｂと対向する凹部５８ｂの内側面には、第１検出用電極３２ｂが設けられている。
【００５１】
また、検出用振動腕３ｂには、複数の検出用電極（第１検出用電極３２ａ，３２ｂ、第２検出用電極３１ａ，３１ｂ）上、および複数の検出用電極（第１検出用電極３２ａ，３２ｂ、第２検出用電極３１ａ，３１ｂ）の電極間上に、第４絶縁層４ｃ，４ｄ，５ｃ，５ｄが設けられている。さらに、第４絶縁層４ｃ，４ｄ，５ｃ，５ｄ上には、第４導電層６ｂ，７ｂが設けられている。換言すれば、第４導電層６ｂ，７ｂは、複数の検出用電極（第１検出用電極３２ａ，３２ｂ、第２検出用電極３１ａ，３１ｂ）上、および複数の検出用電極（第１検出用電極３２ａ，３２ｂ、第２検出用電極３１ａ，３１ｂ）の電極間上にあって、第４絶縁層４ｃ，４ｄ，５ｃ，５ｄを介して配置されている。なお、第４絶縁層４ｃ，４ｄ，５ｃ，５ｄおよび第４導電層６ｂ，７ｂは、凹部５８ｂの底部に設けられてもよい。
【００５２】
検出用振動腕３ａ，３ｂに、上述のような構成で第４導電層６ａ，７ａ，６ｂ，７ｂが設けられていることにより、従来、錘（質量）の付加領域として用いていなかった駆動用振動腕２ａ，２ｂの電極配置領域や配線領域においても検出用振動腕３ａ，３ｂの質量を増やすことが可能となる。これにより、効果的に検出用振動腕３ａ，３ｂの質量を増やすことができ、検出用振動腕３ａ，３ｂを小型とすることができ、結果的にジャイロ素子３００の小型化を実現することが可能となる。
【００５３】
そして、第２検出用電極３１ａと第２検出用電極３１ｂとは、図示しないが、検出用振動腕３ｂの先端部などを経由して電気的に接続されている。第１検出用電極３２ａと第１検出用電極３２ｂとは、図示しないが、検出用振動腕３ｂの先端部などを経由して電気的に接続されている。なお、第２検出用電極３１ａ，３１ｂおよび第１検出用電極３２ａ，３２ｂは、検出用振動腕３ｂの先端近傍まで延設されている。また、第２検出用電極３１ａ，３１ｂおよび第１検出用電極３２ａ，３２ｂは、接続配線２１，２２（図５参照）のいずれかを介して外部接続パッド８ａまたは外部接続パッド８ｂに、それぞれが電気的に接続されている。また、第２検出用電極３１ａ，３１ｂおよび第１検出用電極３２ａ，３２ｂは、調整用振動腕５０ｂ（図２参照）に形成された図示しない調整用電極にも電気的に接続されている。
【００５４】
検出用振動腕３ａにおいては、第１検出用電極２１ａと第１検出用電極２１ｂとは同電位となるように接続され、第２検出用電極２２ａと第２検出用電極２２ｂとは同電位となるように接続されている。これにより、検出用振動腕３ａの振動によって生じる歪みが、第１検出用電極２１ａ，２１ｂと第２検出用電極２２ａ，２２ｂの電極間の電位差を検出することにより検出される。同様に、検出用振動腕３ｂにおいては、第１検出用電極３２ａと第１検出用電極３２ｂとは同電位となるように接続され、第２検出用電極３１ａと第２検出用電極３１ｂとは同電位となるように接続されている。これにより、検出用振動腕３ｂの振動によって生じる歪みが、第１検出用電極３２ａ，３２ｂと第２検出用電極３１ａ，３１ｂの電極間の電位差を検出することにより検出される。
【００５５】
次に、基部１、第１連結部１５ａ、第２連結部１６ａ、第１支持部１５ｂ、および第２支持部１６ｂに設けられている配線および接続端子について図５、図６、および図７を参照して説明する。なお、図５では、便宜上図６および図７に示す第２絶縁層５７または第３絶縁層５８を介して設けられた第２導電層５１，５２または第３導電層５３，５４を透視した図としている。
【００５６】
図５に示すように、基部１、第１連結部１５ａ、および第１支持部１５ｂには、検出用振動腕３ａの第１検出用電極２１ａ，２１ｂまたは第２検出用電極２２ａ，２２ｂと、外部接続パッド８ａと、を接続する接続配線２１が設けられている。同様に、基部１、第１連結部１５ａ、および第１支持部１５ｂには、駆動用電極１１ａ，１１ｂと、外部接続パッド９ａと、を接続する引き出し配線１１が設けられている。
【００５７】
また、基部１、第２連結部１６ａ、および第２支持部１６ｂには、検出用振動腕３ｂの第２検出用電極３１ａ，３１ｂまたは第１検出用電極３２ａ，３２ｂと、外部接続パッド８ｂと、を接続する接続配線２２が設けられている。同様に、基部１、第２連結部１６ａ、および第２支持部１６ｂには、駆動用電極１２ａ，１２ｂと、外部接続パッド９ｂと、を接続する引き出し配線１２が設けられている。このように、第１検出用電極２１ａ，２１ｂ，３２ａ，３２ｂおよび第２検出用電極２２ａ，２２ｂ，３１ａ，３１ｂは、接続配線２１，２２を介して外部接続パッド８ａ，８ｂと電気的に導通されており、駆動用電極１１ａ，１１ｂ，１２ｃ，１２ａ，１２ｂ，１１ｃ，は、引き出し配線１１，１２を介して外部接続パッド９ａ，９ｂと電気的に導通されている。
【００５８】
そして、引き出し配線１１，１２および接続配線２１，２２には、図６および図７に示すように、基部１、第１連結部１５ａ、第２連結部１６ａ、第１支持部１５ｂ、および第２支持部１６ｂ上で、第２絶縁層５７または第３絶縁層５８を介して設けられた第２導電層５１，５２または第３導電層５３，５４が設けられている。なお、第２絶縁層５７および第３絶縁層５８と、第２導電層５１，５２および第３導電層５３，５４とは、引き出し配線１１，１２および接続配線２１，２２のそれぞれの配線間に設けられていてもよく、それぞれの配線上も含めた配線領域Ｑ１，Ｑ２，Ｑ３，Ｑ４（図５参照）を形成することができる。
【００５９】
なお、図６では、基部１の第２連結部１６ａに設けられている引き出し配線１２と接続配線２２を一例として示し、図７では、第１支持部１５ｂに設けられている引き出し配線１１と接続配線２１を一例として示しているが、基部１の第１連結部１５ａ側および第２支持部１６ｂにおいても同様の構成を有している。
【００６０】
なお、上述した駆動用電極１１ａ，１１ｂ，１２ｃ，１２ａ，１２ｂ，１１ｃ、第１検出用電極２１ａ，２１ｂ，３２ａ，３２ｂ、および第２検出用電極２２ａ，２２ｂ，３１ａ，３１ｂ、調整用電極、引き出し配線１１，１２、接続配線２１，２２、および外部接続パッド８ａ，８ｂ，９ａ，９ｂの構成は、特に限定されず、導電性を有し、薄膜形成が可能であればよい。具体的な構成としては、例えば、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等の金属材料、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）等の導電材料により形成することができる。なお、上述の各種材料の下地層として、クロム（Ｃｒ）、ニッケル（Ｎｉ）等を用いることもできる。
【００６１】
また、上述した第１絶縁層４１ａ，４１ｂ，４２ｃ，４２ａ，４２ｂ，４１ｃ、第２絶縁層５７、第３絶縁層５８、および第４絶縁層４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂ，４ｃ，４ｄ，５ｃ，５ｄの構成は、特に限定されず、電気的絶縁性を有し、薄膜形成が可能であればよい。具体的な構成としては、例えば、酸化シリコン（ＳｉＯ2）、窒化アルミ（ＡｌＮ）、酸化アルミ（Ａｌ2Ｏ3）等を用いることができる。
【００６２】
また、上述した第１導電層４５，４６、第２導電層５１，５２、第３導電層５３，５４、および第４導電層６ａ，７ａ，６ｂ，７ｂの構成は、特に限定されず、導電性を有し、薄膜形成が可能であればよい。具体的な構成としては、例えば、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金等の金属材料、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）等の導電材料により形成することができる。
【００６３】
なお、具体的には、例えば駆動用振動腕２ａにおいて、水晶基板上に駆動用電極１１ａとして、先ず下地層としてクロム（Ｃｒ）層を設け、そのクロム層上に金（Ａｕ）層を設ける。さらに、第１絶縁層４１ａとして、下地層のクロム層を設け、そのクロム層上に酸化シリコン（ＳｉＯ2）層を設ける。さらに、第１導電層４５として、下地層のクロム層を設け、そのクロム層上に金（Ａｕ）層を設ける。なお、下地層としてクロム（Ｃｒ）層を設けることにより、金（Ａｕ）の密着性を高めることができる。ここで、好ましくは第１導電層４５として、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）を用いることができる。この場合は、酸化シリコン（ＳｉＯ2）層上に酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）を設けることができる。なお、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）は、例えば、駆動用振動腕２ａなどの振動を阻害することが少なくなり好適である。
【００６４】
２．ジャイロ素子の製造方法
次に、上述した振動素子の第１実施形態に係るジャイロ素子３００の製造方法の一例を、図８を参照して説明する。図８は、第１実施形態に係るジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）の製造方法を示す工程フロー図である。なお、以下に説明する製造方法は、一例であって、他の製造方法を適用してジャイロ素子３００を製造することができる。
【００６５】
図８に示すように、ジャイロ素子３００の製造方法は、以下の工程を含む。ジャイロ素子３００の製造方法は、基板を準備する工程（ステップＳ１０２）と、基板にジャイロ素子３００の外形形状を形成する工程（ステップＳ１０４）と、外形が形成された基板に電極を形成する工程（ステップＳ１０６）と、電極が形成された基板に絶縁層を形成する工程（ステップＳ１０８）と、絶縁層が形成された基板に導電層を形成する工程（ステップＳ１１０）と、を含んでいる。以下、図８に示す工程フローに沿って、各工程の詳細について順次説明する。
【００６６】
［基板を準備する工程（ステップＳ１０２）］
先ず、ジャイロ素子３００の基材となる基板（水晶ウェハー）を用意する（ステップＳ１０２）。基板（水晶ウェハー）は、水晶結晶軸であるＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸からなる直交座標系において、Ｘ軸およびＹ軸で規定される平面に沿って切り出されて平板状に加工され、平面と直交するＺ軸方向に所定の厚さを有した所謂水晶Ｚ板である。なお、基板（水晶ウェハー）は、切り出した水晶Ｚ板を所定の厚みに切断研磨することによって形成する。
【００６７】
［外形形成工程（ステップＳ１０４）］
そして、フォトリソグラフィー法やドライエッチング法もしくはウェットエッチング法を用いることによって、用意された基板（水晶ウェハー）を加工し、ジャイロ素子３００（Ｈ型ジャイロ素子）の外形形状を画定する（ステップＳ１０４）。小型化の進むジャイロ素子３００（Ｈ型ジャイロ素子）の外形形状を画定するための加工法として、例えば、ドライエッチング法を用いることが好ましく、これにより小型の外形形状をより正確に確定することができる。具体的には、より幅の狭い領域を除去する場合において、基板の表裏面に対して、ドライエッチング法によって除去された側面のなす角度を、概ね９０度とすることができる。これにより、ジャイロ素子３００の外形形状が画定された基材が準備される。
【００６８】
この場合のドライエッチング法では、例えば、Ｃ2Ｆ6と、Ｃ4Ｆ8と、Ｏ2とを用いることができる。そして、Ｃ2Ｆ6と、Ｃ4Ｆ8と、Ｏ2との流量比を以下に示すような比率とすることにより、除去領域の狭い、即ち小型化に対応したエッチングにおいても、より好ましい外形を画定することができる。
具体的に、Ｃ2Ｆ6とＣ4Ｆ8との流量比は、１：０．２〜４．８とすることが好ましい。また、より好ましくは、Ｃ2Ｆ6とＣ4Ｆ8との流量比を、１：０．４〜２．４とする。また、さらに好ましくは、Ｃ2Ｆ6とＣ4Ｆ8との流量比を、１：０．８〜１．２とすることができる。
加えて、Ｃ2Ｆ6とＯ2との流量比は、１：０．３５〜０．４５とすることが好ましい。また、より好ましくは、Ｃ2Ｆ6とＯ2との流量比との流量比を、１：０．２〜０．２５とする。また、さらに好ましくは、Ｃ2Ｆ6とＯ2との流量比との流量比を、１：０．１〜０．１２とすることができる。
【００６９】
［電極形成工程（ステップＳ１０６）］
次に、外形形状が画定されたジャイロ素子３００の基材において露出している面（外表面）に、後に電極となる導電材料としての金属膜を、例えば、スパッタリング法や蒸着法などを用いて形成する。金属膜を構成する材料としては、例えば、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等の金属材料、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）等の導電材料を用いることができる。また、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、ニッケル（Ｎｉ）などの下地層を設けてもよい。
【００７０】
そして、形成された金属膜上に、マスクを画定し、フォトリソグラフィー法やウェットエッチング法を用いて、種々の電極を形成する（ステップＳ１０６）。種々の電極としては、駆動用電極１１ａ，１１ｂ，１２ｃ，１２ａ，１２ｂ，１１ｃ、第１検出用電極２１ａ，２１ｂ，３２ａ，３２ｂ、および第２検出用電極２２ａ，２２ｂ，３１ａ，３１ｂ、調整用電極、引き出し配線１１，１２、接続配線２１，２２、および外部接続パッド８ａ，８ｂ，９ａ，９ｂが含まれる。以下では、これらの電極を総称して、「種々の電極」と呼称することがある。
【００７１】
［絶縁層形成工程（ステップＳ１０８）］
次に、形成された上述の種々の電極上、および種々の電極間上に、絶縁層を、例えば、ＣＶＤ（ｃｈｅｍｉｃａｌ  ｖａｐｏｒ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法などを用いて形成する（ステップＳ１０８）。絶縁層としては、第１絶縁層４１ａ，４１ｂ，４２ｃ，４２ａ，４２ｂ，４１ｃ、第２絶縁層５７、第３絶縁層５８、および第４絶縁層４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂ，４ｃ，４ｄ，５ｃ，５ｄが含まれる。絶縁層を構成する材料としては、酸化シリコン（ＳｉＯ2）、窒化アルミ（ＡｌＮ）、酸化アルミ（Ａｌ2Ｏ3）等を用いることができる。
【００７２】
［導電層形成工程（ステップＳ１１０）］
次に、形成された上述の絶縁層上に、導電層を形成する（ステップＳ１１０）。導電層は、例えば、スパッタリング法や蒸着法などを用いて形成する。導電層を構成する材料としては、例えば、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金等の金属材料や酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）などの導電材料を用いることができる。導電層としては、第１導電層４５，４６、第２導電層５１，５２、第３導電層５３，５４、および第４導電層６ａ，７ａ，６ｂ，７ｂが含まれる。
【００７３】
以上のような工程によって、第１実施形態に係るジャイロ素子３００を形成することができる。
【００７４】
このような第１実施形態に係る振動素子としてのジャイロ素子３００によれば、駆動用振動腕２ａ，２ｂに第１導電層４５，４６が設けられていることにより、従来、錘（質量）の付加領域として用いていなかった領域において、駆動用振動腕２ａ，２ｂの質量を増やすことが可能となる。これにより、効果的に駆動用振動腕２ａ，２ｂの質量を増やすことができ、駆動用振動腕２ａ，２ｂを小型とすることができ、結果的にジャイロ素子３００の小型化を実現することが可能となる。
【００７５】
また、検出用振動腕３ａ，３ｂに、第４導電層６ａ，７ａ，６ｂ，７ｂが設けられていることにより、従来、錘（質量）の付加領域として用いていなかった領域において、検出用振動腕３ａ，３ｂの質量を増やすことが可能となる。これにより、効果的に検出用振動腕３ａ，３ｂの質量を増やすことができ、検出用振動腕３ａ，３ｂを小型とすることができ、結果的にジャイロ素子３００の小型化を実現することが可能となる。
【００７６】
また、第１導電層４５，４６、第２導電層５１，５２、第３導電層５３，５４、および第４導電層６ａ，７ａ，６ｂ，７ｂを、例えば接地電極（ＧＮＤ電位）のような電位が一定の電極とすることにより、各電極間での信号によるクロストークを抑制することが可能となり、電極間の間隔を縮めることができる。したがって、検出信号などの特性を安定化させることができるとともに、ジャイロ素子３００の小型化を実現することが可能となる。
【００７７】
（第２実施形態）
＜ジャイロ素子−２＞
次に、本発明の第２実施形態に係る振動素子としてのジャイロ素子（ダブルＴ型ジャイロ素子）の構成について、図９、図１０、および図１１を参照して説明する。図９は、本発明の振動デバイスの第２実施形態に係る振動素子としてのジャイロ素子（ダブルＴ型ジャイロ素子）の概略を示す平面図である。図１０は、ダブルＴ型ジャイロ素子の電極配置を示す平面図（上面図）である。図１１は、ダブルＴ型ジャイロ素子の電極配置を示す平面図（上側から見た透過図）である。
【００７８】
１．振動素子の構成
図９に示すように、第２実施形態に係るジャイロ素子４００は、振動片４０３と、振動片４０３に形成された電極とを有している。
【００７９】
振動片４０３の構成材料としては、例えば、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどの圧電材料が挙げられる。これらの中でも、振動片４０３の構成材料としては、水晶を用いることが好ましい。水晶を用いることで、他の材料と比較して優れた周波数温度特性を有するジャイロ素子４００が得られる。なお、以下では、振動片４０３を水晶で構成した場合について説明する。
【００８０】
振動片４０３は、水晶基板の結晶軸であるＹ軸（機械軸）およびＸ軸（電気軸）で規定されるＸＹ平面に広がりを有し、Ｚ軸（光軸）方向に厚みを有する板状をなした、所謂Ｚカット水晶板で構成されている。なお、Ｚ軸は、振動片４０３の厚さ方向と一致しているのが好ましいが、常温近傍における周波数温度変化を小さくする観点から、厚さ方向に対して若干（例えば、−５°≦θ≦１５°程度）傾けてもよい。
【００８１】
このような振動片４０３は、中心部に位置する基部４３０と、基部４３０からＹ軸方向両側に延出している検出用振動腕としての第１検出腕３２１および第２検出腕３２２と、基部４３０からＸ軸方向両側に延在している第１連結腕３３１および第２連結腕３３２と、第１連結腕３３１の先端部からＹ軸方向両側に延出している駆動用振動腕としての第１駆動腕３４１および第２駆動腕３４２と、第２連結腕３３２の先端部からＹ軸方向両側に延出している駆動用振動腕としての第３駆動腕３４３および第４駆動腕３４４と、を有している。このような形状から、本実施形態に係るジャイロ素子４００は、ダブルＴ型ジャイロ素子と呼ばれることがある。
【００８２】
検出用振動腕としての第１検出腕３２１は、基部４３０から＋Ｙ軸方向に延出し、その先端部には幅広のハンマーヘッド３２１１が設けられている。一方、検出用振動腕としての第２検出腕３２２は、基部４３０から−Ｙ軸方向に延出し、その先端部には幅広のハンマーヘッド３２２１が設けられている。これら第１検出腕３２１および第２検出腕３２２は、ジャイロ素子４００の重心Ｇを通るＸＺ平面に関して面対称に配置されている。なお、ハンマーヘッド３２１１，３２２１は、必要に応じて設ければよく、省略してもよい。また、必要に応じて、第１検出腕３２１および第２検出腕３２２の上面および下面に長さ方向（長手方向）に延在する有底の溝を形成してもよい。
【００８３】
第１連結腕３３１は、基部４３０から＋Ｘ軸方向に延出している。一方、第２連結腕３３２は、基部４３０から−Ｘ軸方向に延出している。これら第１連結腕３３１および第２連結腕３３２は、重心Ｇを通るＹＺ平面に関して面対称に配置されている。
【００８４】
駆動用振動腕としての第１駆動腕３４１は、第１連結腕３３１の先端部から＋Ｙ軸方向に延出し、その先端部には幅広のハンマーヘッド３４１１が設けられている。また、駆動用振動腕としての第２駆動腕３４２は、第１連結腕３３１の先端部から−Ｙ軸方向に延出し、その先端部には幅広のハンマーヘッド３４２１が設けられている。また、駆動用振動腕としての第３駆動腕３４３は、第２連結腕３３２の先端部から＋Ｙ軸方向に延出し、その先端部には幅広のハンマーヘッド３４３１が設けられている。また、駆動用振動腕としての第４駆動腕３４４は、第２連結腕３３２の先端部から−Ｙ軸方向に延出し、その先端部には幅広のハンマーヘッド３４４１が設けられている。これら第１駆動腕３４１、第２駆動腕３４２、第３駆動腕３４３、および第４駆動腕３４４は、重心Ｇに関して点対称に配置されている。なお、ハンマーヘッド３４１１，３４２１，３４３１，３４４１は、必要に応じて設ければよく、省略してもよい。
【００８５】
また、第１検出腕３２１、第２検出腕３２２、第１駆動腕３４１、第２駆動腕３４２、第３駆動腕３４３、および第４駆動腕３４４の上面および下面には、それぞれ長さ方向（長手方向）に延在する有底の溝３５１が形成されている。このため、第１検出腕３２１、第２検出腕３２２、第１駆動腕３４１、第２駆動腕３４２、第３駆動腕３４３、および第４駆動腕３４４は、錘部（ハンマーヘッド３２１１，３２２１，３４１１，３４２１，３４３１，３４４１）を除いた部分の長手方向の全長にわたって、横断面形状が「Ｈ」字状をなしている。これにより、各腕に形成された電極同士のＸ軸方向の間隔が狭くなる。よって、各電極の間の電界効率が向上する。その結果、第１検出腕３２１、第２検出腕３２２、第１駆動腕３４１、第２駆動腕３４２、第３駆動腕３４３、および第４駆動腕３４４では、比較的少ない歪み量で比較的大きい電荷量を発生させることができる。従って、優れた感度を有するジャイロ素子４００を得ることができる。
【００８６】
図１０および図１１に示すように、振動片４０３は、電極として、第１検出信号電極４１１と、第１検出信号端子４１２と、第１検出接地電極（検出接地電極）４２１と、第１検出接地端子４２２と、第２検出信号電極４３１と、第２検出信号端子４３２と、第２検出接地電極（検出接地電極）４４１と、第２検出接地端子４４２と、駆動信号電極４５１と、駆動信号端子４５２と、駆動接地電極４６１と、駆動接地端子４６２と、を有している。ここで、第１検出信号電極４１１と、第１検出接地電極（検出接地電極）４２１と、第２検出信号電極４３１と、第２検出接地電極（検出接地電極）４４１とが検出用電極に相当し、駆動信号電極４５１と、駆動接地電極４６１とが駆動用電極に相当する。
【００８７】
なお、図１０および図１１では、説明の便宜上、第１検出信号電極４１１と第２検出信号電極４３１および第１検出信号端子４１２と第２検出信号端子４３２、第１検出接地電極４２１と第２検出接地電極４４１および第１検出接地端子４２２と第２検出接地端子４４２、駆動信号電極４５１および駆動信号端子４５２、駆動接地電極４６１および駆動接地端子４６２を、それぞれ異なるハッチングで図示している。また、振動片４０３の側面に形成されている電極を太線で図示している。
【００８８】
第１検出信号電極４１１は、第１検出腕３２１の上面および下面（ハンマーヘッド３２１１を除く部分）に形成され、第２検出信号電極４３１は、第２検出腕３２２の上面および下面（ハンマーヘッド３２２１を除く部分）に形成されている。このような第１検出信号電極４１１、第２検出信号電極４３１は、第１検出腕３２１、第２検出腕３２２の検出振動が励起されたときに、該振動によって発生する電荷を検出するための電極である。
【００８９】
第１検出信号端子４１２は、基部４３０の＋Ｘ軸側の列の＋Ｙ軸側に設けられており、図示しない配線を介して第１検出腕３２１に形成された第１検出信号電極４１１と電気的に接続されている。また、第２検出信号端子４３２は、基部４３０の＋Ｘ軸側の列の−Ｙ軸側に設けられており、図示しない配線を介して第２検出腕３２２に形成された第２検出信号電極４３１と電気的に接続されている。
【００９０】
第１検出接地電極４２１は、第１検出腕３２１の両側面に形成され、互いがハンマーヘッド３２１１上を経由して電気的に接続されている。同様に、第２検出接地電極４４１は、第２検出腕３２２の両側面に形成され、互いがハンマーヘッド３２２１上を経由して電気的に接続されている。このような第１検出接地電極４２１および第２検出接地電極４４１は、第１検出信号電極４１１および第２検出信号電極４３１に対してグランドとなる電位を有する。
【００９１】
第１検出接地端子４２２は、基部４３０の−Ｘ軸側の列の＋Ｙ軸側に設けられており、図示しない配線を介して第１検出腕３２１に形成された第１検出接地電極４２１と電気的に接続されている。また、第２検出接地端子４４２は、基部４３０の−Ｘ軸側の列の−Ｙ軸側に設けられており、図示しない配線を介して第２検出腕３２２に形成された第２検出信号電極４３１と電気的に接続されている。
【００９２】
このように第１検出信号電極４１１および第２検出信号電極４３１と、第１検出信号端子４１２および第２検出信号端子４３２と、第１検出接地電極４２１および第２検出接地電極４４１と、第１検出接地端子４２２および第２検出接地端子４４２と、を配置することで、第１検出腕３２１に生じた検出振動は、第１検出信号電極４１１と第１検出接地電極４２１との間の電荷として現れ、第１検出信号端子４１２と第１検出接地端子４２２とから信号（検出信号）として取り出すことができる。また、第２検出腕３２２に生じた検出振動は、第２検出信号電極４３１と第２検出接地電極４４１との間の電荷として現れ、第２検出信号端子４３２と第２検出接地端子４４２とから信号（検出信号）として取り出すことができる。
【００９３】
また、第１実施形態と同様に、検出用電極としての第１検出信号電極４１１上、第２検出信号電極４３１上、第１検出接地電極４２１上および第２検出接地電極４４１上と、それぞれの検出用電極間上とに、図示しない第４絶縁層が設けられている。さらに、第４絶縁層上には、図示しない第４導電層が設けられている。換言すれば、第４導電層は、複数の検出用電極（第１検出信号電極４１１、第２検出信号電極４３１、第１検出接地電極４２１および第２検出接地電極４４１）上、および複数の検出用電極の電極間上にあって、第４導電層を介して配置されている。
【００９４】
このように、第１検出信号電極４１１上、第２検出信号電極４３１上、第１検出接地電極４２１上、および第２検出接地電極４４１上と、それぞれの検出用電極間上とに、図示しない第４絶縁層および図示しない第４導電層が設けられていることにより、検出用振動腕の質量を効果的に増やすことができ、検出用振動腕を小型化することができる。これによりジャイロ素子４００の小型化を図ることが可能となる。
【００９５】
また、図示しないが、基部４３０や第１連結腕３３１および第２連結腕３３２に設けられている配線（不図示）上、例えば、第１検出接地端子４２２と第１検出接地電極４２１とを電気的に接続する配線上には、図示しないが、第１実施形態と同様に、配線上もしくは配線間上に第２絶縁層または第３絶縁層を介して設けられた第２導電層または第３導電層が設けられている。
【００９６】
このように、基部４３０や第１連結腕３３１および第２連結腕３３２に設けられている配線（不図示）上、および配線間上に配置される第２導電層または第３導電層を、例えば接地電極などのような電位の一定な電極とすることにより、各配線間での信号によるクロストークを抑制することが可能となり、配線間の間隔を縮めることができる。したがって、検出信号などの特性を安定化させることができるとともに、ジャイロ素子４００の小型化を実現することが可能となる。
【００９７】
駆動用電極としての駆動信号電極４５１は、第１駆動腕３４１および第２駆動腕３４２の上面および下面（ハンマーヘッド３４１１，３４２１を除く部分）に形成されている。さらに、駆動信号電極４５１は、第３駆動腕３４３および第４駆動腕３４４の両側面に形成され、互いがハンマーヘッド３４３１，３４４１上を経由して電気的に接続されている。このような駆動信号電極４５１は、第１駆動腕３４１、第２駆動腕３４２、第３駆動腕３４３、および第４駆動腕３４４の駆動振動を励起させるための電極である。
【００９８】
駆動信号端子４５２は、基部４３０の−Ｘ軸側の列の中央部（すなわち、第１検出接地端子４２２と第２検出接地端子４４２との間）に設けられており、図示しない配線を介して第１駆動腕３４１、第２駆動腕３４２、第３駆動腕３４３、および第４駆動腕３４４に形成された駆動信号電極４５１と電気的に接続されている。
【００９９】
駆動接地電極４６１は、第３駆動腕３４３および第４駆動腕３４４の上面および下面（ハンマーヘッド３４３１，３４４１を除く部分）に形成されている。さらに、駆動接地電極４６１は、第１駆動腕３４１および第２駆動腕３４２の両側面に形成され、互いがハンマーヘッド３４１１，３４２１上を経由して電気的に接続されている。このような駆動接地電極４６１は、駆動信号電極４５１に対してグランドとなる電位を有する。
【０１００】
駆動接地端子４６２は、基部４３０の＋Ｘ軸側の列の中央部（すなわち、第１検出信号端子４１２と第２検出信号端子４３２との間）に設けられており、図示しない配線を介して第１駆動腕３４１、第２駆動腕３４２、第３駆動腕３４３、および第４駆動腕３４４に形成された駆動接地電極４６１と電気的に接続されている。
【０１０１】
このように駆動信号電極４５１、駆動信号端子４５２、駆動接地電極４６１、および駆動接地端子４６２を配置することにより、駆動信号端子４５２と駆動接地端子４６２との間に駆動信号を印加することで、第１駆動腕３４１、第２駆動腕３４２、第３駆動腕３４３、および第４駆動腕３４４に形成された駆動信号電極４５１と駆動接地電極４６１との間に電界を生じさせ、第１駆動腕３４１、第２駆動腕３４２、第３駆動腕３４３、および第４駆動腕３４４のそれぞれを駆動振動させることができる。
【０１０２】
また、第１実施形態と同様に、駆動用電極としての駆動信号電極４５１と、駆動接地電極４６１上と、それぞれの駆動用電極間上とに、図示しない第１絶縁層が設けられている。さらに、第１絶縁層上には、図示しない第１導電層が設けられている。換言すれば、第１導電層は、複数の駆動用電極としての駆動信号電極４５１と駆動接地電極４６１との上、および駆動信号電極４５１と駆動接地電極４６１との間の上にあって、第１絶縁層を介して配置されている。
【０１０３】
このように、駆動信号電極４５１上と、駆動接地電極４６１上と、それぞれの駆動用電極間上とに、図示しない第１絶縁層および図示しない第１導電層が設けられていることにより、駆動用振動腕の質量を効果的に増やすことができ、駆動用振動腕を小型化することができる。これによりジャイロ素子４００の小型化を図ることが可能となる。
【０１０４】
以上のような電極の構成としては、導電性を有していれば特に限定されないが、例えば、Ｃｒ（クロム）、Ｗ（タングステン）などのメタライズ層（下地層）に、Ｎｉ（ニッケル）、Ａｕ（金）、Ａｇ（銀）、Ｃｕ（銅）などの各被膜を積層した金属被膜で構成することができる。
【０１０５】
なお、ハンマーヘッド３２１１，３２２１上に形成されている金属膜は、検出振動モードの周波数を調整するための調整膜として機能し、例えば、レーザー照射等によって金属膜の一部を除去し、第１検出腕３２１および第２検出腕３２２の質量を調整することで、検出モードの周波数を調整することができる。一方、ハンマーヘッド３４１１，３４２１，３４３１，３４４１上に形成されている金属膜は、駆動振動モードの周波数を調整するための調整膜として機能し、例えば、レーザー照射等によって金属膜の一部を除去し、第１駆動腕３４１、第２駆動腕３４２、第３駆動腕３４３、および第４駆動腕３４４の質量を調整することで、駆動モードの周波数を調整することができる。
【０１０６】
次に、ジャイロ素子４００の駆動について簡単に説明する。ジャイロ素子４００に角速度が加わらない状態において、駆動信号端子４５２と駆動接地端子４６２との間に電圧（交番電圧）を印加すると、駆動信号電極４５１と駆動接地電極４６１との間に電界が生じ、各駆動腕３４１，３４２，３４３，３４４がＸ軸方向に屈曲振動を行う。このとき、第１駆動腕３４１および第２駆動腕３４２と、第３駆動腕３４３および第４駆動腕３４４とがジャイロ素子４００の重心Ｇを通るＹＺ平面に関して面対称の振動を行っているため、基部４３０、第１検出腕３２１、第２検出腕３２２、第１連結腕３３１、および第２連結腕３３２は、ほとんど振動しない。
【０１０７】
このような駆動振動を行っている状態で、ジャイロ素子４００にＺ軸まわりの角速度ωが加わると、検出振動が励振される。具体的には、各駆動腕３４１，３４２，３４３，３４４および第１連結腕３３１および第２連結腕３３２にＹ軸方向のコリオリの力が働き、新たな振動が励起される。この矢印Ｙ軸方向の振動は、重心Ｇに対して周方向の振動である。また同時に、第１検出腕３２１および第２検出腕３２２には、Ｙ軸方向の振動に呼応してＸ軸方向の検出振動が励起される。そして、この振動により第１検出腕３２１および第２検出腕３２２に発生した電荷を、第１検出信号電極４１１および第２検出信号電極４３１と第１検出接地電極４２１および第２検出接地電極４４１とから信号として取り出し、この信号に基づいて角速度が求められる。
【０１０８】
２．ジャイロ素子の製造方法
上述した振動素子の第２実施形態に係るジャイロ素子４００は、前述した第１実施形態のジャイロ素子３００と同様の製造方法で製造することができる。したがって、ここでの説明は省略する。
【０１０９】
このような第２実施形態に係る振動素子としてのジャイロ素子４００によれば、駆動信号電極４５１上と、駆動接地電極４６１上と、それぞれの駆動用電極間上とに、図示しない第１絶縁層および図示しない第１導電層を設けることにより、駆動用振動腕の質量を効果的に増やすことができ、駆動用振動腕を小型化することができる。また、第１検出信号電極４１１上、第２検出信号電極４３１上、第１検出接地電極４２１上、および第２検出接地電極４４１上と、それぞれの検出用電極間上とに、図示しない第４絶縁層および図示しない第４導電層を設けることにより、検出用振動腕の質量を効果的に増やすことができ、検出用振動腕を小型化することができる。これらによりジャイロ素子４００の小型化を図ることが可能となる。
【０１１０】
また、図示しない第１導電層、第２導電層、第３導電層、および第４導電層を、電位の一定な電極とすることにより、各電極間や各配線間での信号によるクロストークを抑制することが可能となり、電極間や配線間の間隔を縮めることができる。したがって、検出信号などの特性を安定化させることができるとともに、ジャイロ素子４００の小型化を実現することが可能となる。
【０１１１】
（第３実施形態）
次に、本発明の振動デバイスの第３実施形態に係るジャイロセンサーについて、図１２を参照しながら説明する。図１２は、本発明に係る振動デバイスの第３実施形態に係るジャイロセンサーの概略構成を示す正断面図である。図１２に示す振動デバイスの第３実施形態に係るジャイロセンサー５００では、前述の第１実施形態で説明した、少なくとも基部１および駆動用振動腕２ａ，２ｂを有するジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）３００を備えた構成を例示している。
【０１１２】
図１２に示すように、ジャイロセンサー５００は、パッケージ５１０の凹部に収納されたジャイロ素子３００、および駆動回路用部品としての回路素子５２０を有している。ジャイロ素子３００、および回路素子５２０が収納されたジャイロセンサー５００は、パッケージ５１０の開口部を蓋体５３０により密閉され、内部を気密に保持されている。
【０１１３】
パッケージ５１０は、平板状の第１基板５１１と、枠状の第２基板５１２と、枠状の第３基板５１３と、枠状の第４基板５１４と、実装端子５１１ｃとが積層・固着されて形成されている。パッケージ５１０には、枠状の第２基板５１２と、枠状の第３基板５１３と、枠状の第４基板５１４とによって、中央部にジャイロセンサー５００や回路素子５２０を収納する収納空間であるキャビティーが形成されている。実装端子５１１ｃは、第１基板５１１の外部底面５１１ｂに複数形成されている。第２基板５１２は、第１基板５１１の上面５１１ａに積層され、中央部が除去された環状体である。第３基板５１３は、第２基板５１２の上面５１２ａに積層され、第２基板５１２の上面５１２ａが露出するように中央部が除去された環状体である。第４基板５１４は、第３基板５１３の上面５１３ａに積層され、第３基板５１３の上面５１３ａが露出するように中央部が除去された環状体である。
【０１１４】
第１基板５１１、第２基板５１２、第３基板５１３、および第４基板５１４は、絶縁性を有する材料で構成されている。このような材料としては、特に限定されず、例えば、酸化物系セラミックス、窒化物系セラミックス、炭化物系セラミックス等の各種セラミックスを用いることができる。また、パッケージ５１０に設けられた、例えば後述するパッド端子５１５や端子電極５１２ｂ，５１３ｂなどの各電極、端子、あるいはそれらを電気的に接続する配線パターンや層内配線パターン（不図示）などは、一般的に、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）などの金属配線材料を絶縁材料上にスクリーン印刷して焼成し、その上にニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）などのめっきを施すことにより形成される。
【０１１５】
第２基板５１２の中央部が除去されて露出した第１基板５１１の上面５１１ａには、パッド端子５１５が設けられ、パッド端子５１５上に、例えば導電性接着剤５４０を介して駆動回路用部品としての回路素子５２０が接合されている。回路素子５２０は、ジャイロ素子３００の少なくとも駆動用振動腕２ａ，２ｂ（図２参照）を駆動振動させるための駆動回路と、角速度が加わったときにジャイロ素子３００に生ずる検出信号を検出する検出回路とを含んでいる。回路素子５２０は、例えば金（Ａｕ）の細線ＢＷによって、第３基板５１３の中央部が除去されて露出した第２基板５１２の上面５１２ａに設けられた端子電極５１２ｂと電気的に接続されている。第４基板５１４の中央部が除去されて露出した第３基板５１３の上面５１３ａには、端子電極５１３ｂが設けられ、端子電極５１３ｂ上に、例えば導電性接着剤５５０を介してジャイロ素子３００が電気的接続を取って接合されている。
【０１１６】
蓋体５３０は、パッケージ５１０の開口を塞ぎ、封止材５６０を介してパッケージ５１０に接合されることで、パッケージ５１０のキャビティーを気密封止している。蓋体５３０は、例えばコバール合金などの金属材料で形成することができる。なお、気密封止されたキャビティー内は、減圧雰囲気、もしくはＮ2雰囲気とすることができる。
【０１１７】
ジャイロセンサー５００によれば、基部１や駆動用振動腕２ａ，２ｂ（図２参照）を備えたジャイロ素子３００と該駆動用振動腕２ａ，２ｂを発振させる駆動回路用部品としての回路素子５２０とが、パッケージ５１０を介して一体的に備えられているため、簡便、且つ小型の振動デバイス（ジャイロセンサー５００）とすることができる。
【０１１８】
なお、上述の構成では、駆動回路用部品として、回路素子５２０をキャビティー内に収納する構成で説明したが、駆動用回路部品をパッケージ５１０の外部に搭載する構成であってもよい。
【０１１９】
（第４実施形態）
次に、本発明の振動デバイスの第４実施形態に係るジャイロセンサーについて、図１３を参照しながら説明する。図１３は、本発明に係る振動デバイスの第４実施形態に係るジャイロセンサーの概略構成を示す正断面図である。図１３に示す振動デバイスの第４実施形態に係るジャイロセンサー６００では、前述の第１実施形態で説明した、少なくとも基部１および駆動用振動腕２ａ，２ｂを有するジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）３００を備えた構成を例示している。
【０１２０】
図１３に示すように、ジャイロセンサー６００は、パッケージ６１０の凹部に、ジャイロ素子３００を収容し、パッケージ６１０の開口部を蓋体６１６により密閉し、内部を気密に保持されている。パッケージ６１０は、平板状の第１基板６１１と、第２基板６１２と、枠状の第３基板６１３と、実装端子６１４とが積層・固着されて形成されている。実装端子６１４は、第１基板６１１の外部底面に複数形成されている。第２基板６１２は、第１基板６１１の上面に積層され、ジャイロ素子３００を離間させるための凹陥部６１９と、ジャイロ素子３００を支持する支持部６１７とを備えている。なお、第２基板６１２の上面には、実装端子６１４と接続された配線やジャイロ素子３００の電極との接続配線などが設けられているが図示を省略している。第３基板６１３は、中央部が除去された環状体であり、第１基板６１１および第２基板６１２と併せてジャイロ素子３００を収容するキャビティー６２０が形成される。
【０１２１】
第１基板６１１、第２基板６１２、および第３基板６１３は、絶縁性を有する材料で構成されている。このような材料としては、特に限定されず、例えば、酸化物系セラミックス、窒化物系セラミックス、炭化物系セラミックス等の各種セラミックスを用いることができる。また、パッケージ６１０に設けられた、例えば前述の配線や接続配線などの各電極、端子（不図示）、あるいはそれらを電気的に接続する配線パターンや層内配線パターン（不図示）などは、一般的に、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）などの金属配線材料を絶縁材料上にスクリーン印刷して焼成し、その上にニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）などのめっきを施すことにより形成される。
【０１２２】
蓋体６１６は、パッケージ６１０の開口を塞ぎ、封止材６１５により接合されることで、パッケージ６１０のキャビティー６２０を気密封止している。蓋体６１６は、例えばコバール合金などの金属材料で形成することができる。
【０１２３】
パッケージ６１０のキャビティー６２０内に収納されたジャイロ素子３００は、支持部６１７の上面側に接合部材６１８を介して接続されている。接合部材６１８は、例えば、導電性接着剤などの導電性の接合部材を用いることにより、電気的な接続を図るとともに機械的な接続を行うことができる。
【０１２４】
上述したジャイロセンサー６００によれば、少なくとも基部１や駆動用振動腕２ａ，２ｂを有するジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）３００がパッケージ６１０内に収納されているため、外乱などの影響を受け難くなり、角速度の検出特性などを安定化することが可能となる。
【０１２５】
なお、第３実施形態および第４実施形態では、基部１および駆動用振動腕２ａ，２ｂを有するジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）３００を備えた構成を例示して説明したが、第２実施形態のジャイロ素子４００を用いる構成とすることができる。
【０１２６】
（電子機器）
次に、図１４、図１５、および図１６を参照して、前述の実施形態に係る振動素子を備えた電子機器について説明する。なお、以下の説明では、振動素子の一例としてジャイロ素子３００を用いた例について説明する。図１４、図１５、および図１６は、ジャイロ素子３００を備える電子機器の一例を示す斜視図である。
【０１２７】
図１４は、電子機器としてのデジタルビデオカメラ１０００にジャイロ素子３００を適用した例を示す。図１４に示すデジタルビデオカメラ１０００は、受像部１１００、操作部１２００、音声入力部１３００、および表示ユニット１４００を備えている。このようなデジタルビデオカメラ１０００に、上述の実施形態のジャイロ素子３００を搭載する手ぶれ補正機能を具備させることができる。
【０１２８】
図１５は、電子機器としての携帯電話機２０００にジャイロ素子３００を適用した例を示す。図１５に示す携帯電話機２０００は、複数の操作ボタン２１００およびスクロールボタン２２００、並びに表示ユニット２３００を備える。スクロールボタン２２００を操作することによって、表示ユニット２３００に表示される画面がスクロールされる。
【０１２９】
図１６は、電子機器としての情報携帯端末（ＰＤＡ：Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ａｓｓｉｓｔａｎｔｓ）３０００にジャイロ素子３００を適用した例を示す。図１６に示すＰＤＡ３０００は、複数の操作ボタン３１００および電源スイッチ３２００、並びに表示ユニット３３００を備える。電源スイッチ３２００を操作すると、住所録やスケジュール帳といった各種の情報が表示ユニット３３００に表示される。
【０１３０】
このような携帯電話機２０００やＰＤＡ３０００に、上述の実施形態のジャイロ素子３００を搭載することにより、様々な機能を付与することができる。例えば、図１５の携帯電話機２０００に、図示しないカメラ機能を付与した場合に、上記のデジタルビデオカメラ１０００と同様に、手振れ補正を行うことができる。また、図１５の携帯電話機２０００や、図１６のＰＤＡ３０００に、ＧＰＳ（Ｇｌｏｂａｌ  Ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍ）として広く知られる汎地球測位システムを具備した場合に、上述の実施形態のジャイロ素子３００を搭載することにより、ＧＰＳによって、携帯電話機２０００やＰＤＡ３０００の位置や姿勢を認識させることができる。
【０１３１】
なお、本発明の実施形態に係るジャイロ素子３００を一例とする振動素子は、図１４のデジタルビデオカメラ１０００、図１５の携帯電話機２０００、および図１６の情報携帯端末３０００の他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、タブレット型パーソナルコンピューター、ルーターやスイッチなどのストレージエリアネットワーク機器、ローカルエリアネットワーク機器、移動体端末基地局用機器、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、リアルタイムクロック装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、有線又は無線の通信機能を有し各種のデータを送信可能なガスメーターや水道メーターや電力量計（スマートメーター）等の各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター、ヘッドマウントディスプレイ、モーショントレース、モーショントラッキング、モーションコントローラー、ＰＤＲ（歩行者位置方位計測）等の電子機器に適用することができる。等の電子機器に適用することができる。
【０１３２】
（移動体）
次に、前述の実施形態に係る振動素子を備えた移動体について説明する。なお、以下の説明では、振動素子の一例としてジャイロ素子３００を用いた例について説明する。図１７は移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。自動車１５００には、ジャイロ素子３００が搭載されている。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車１５００には、ジャイロ素子３００を内蔵してタイヤなどを制御する電子制御ユニット１５１０が車体に搭載されている。また、ジャイロ素子３００は、他にもキーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Ｔｉｒｅ  Ｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｍｏｎｉｔｏｒｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍ）、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム、等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ  Ｃｏｎｔｒｏｌ  Ｕｎｉｔ）に広く適用できる。
【０１３３】
以上、実施の形態について具体的に説明したが、本発明は上記した実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えることが可能である。例えば、上記実施形態および変形例では、振動素子あるいは振動素子としてのジャイロ素子の形成材料として水晶を用いた例を説明したが、水晶以外の圧電体材料を用いることができる。例えば、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）や、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ3）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ2Ｂ4Ｏ7）、ランガサイト（Ｌａ3Ｇａ5ＳｉＯ14）などの酸化物基板や、ガラス基板上に窒化アルミニウムや五酸化タンタル（Ｔａ2Ｏ5）などの圧電体材料を積層させて構成された積層圧電基板、あるいは圧電セラミックスなどを用いることができる。また、圧電体材料以外の材料を用いて振動素子を形成することができる。例えば、シリコン半導体材料などを用いて振動素子を形成することもできる。また、振動素子の振動（駆動）方式は圧電駆動に限らない。圧電基板を用いた圧電駆動型のもの以外に、静電気力を用いた静電駆動型や、磁力を利用したローレンツ駆動型などの振動素子においても、本発明の構成およびその効果を発揮させることができる。
【符号の説明】
【０１３４】
１…基部、１ａ…他方の端部、１ｂ…一方の端部、２ａ，２ｂ…駆動用振動腕、２ｃ，２ｇ…表面（一方の主面）、２ｄ，２ｈ…裏面（他方の主面）、２ｅ，２ｆ，２ｋ，２ｊ…側面、３ａ，３ｂ…検出用振動腕、３ｃ，３ｇ…表面、３ｄ，３ｆ…裏面、３ｈ，３ｉ，３ｊ，３ｋ…側面、３ｍ，３ｎ，３ｒ，３ｓ…電極分割部、４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ…第４絶縁層、６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂ…第４導電層、８ａ，８ｂ，９ａ，９ｂ…外部接続パッド、１１，１２…引き出し配線、１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１２ａ，１２ｂ，１２ｃ…駆動用電極、１５ａ…第１連結部、１５ｂ…第１支持部、１６ａ…第２連結部、１６ｂ…第２支持部、１７…固定枠部、２１，２２…接続配線、２１ａ，２１ｂ，３２ａ，３２ｂ…第１検出用電極、２２ａ，２２ｂ，３１ａ，３１ｂ…第２検出用電極、４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４２ａ，４２ｂ，４２ｃ…第１絶縁層、４５，４６…第１導電層、５０ａ，５０ｂ…調整用振動腕、５１，５２…第２導電層、５３，５４…第３導電層、５２ａ，５２ｂ，５３ａ，５３ｂ，５４ａ，５４ｂ…錘部、５７…第２絶縁層、５８…第３絶縁層、５８ａ，５８ｂ…凹部、３００，４００…振動デバイスとしてのジャイロ素子、５００，６００…振動デバイスとしてのジャイロセンサー、１０００…電子機器としてのデジタルビデオカメラ、１５００…移動体としての自動車、２０００…電子機器としての携帯電話機、３０００…電子機器としての情報携帯端末（ＰＤＡ）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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