(57)【要約】【課題】回転軸の回転角と、周回数とを検出する。【解決手段】回転軸１００に固定されたメインシャフト３のメインシャフト固定歯車４と、サブシャフト６のサブシャフト固定歯車７は噛合しており、回転軸１００に連動して回転する。メインシャフト固定歯車４の歯数はサブシャフト６のサブシャフト固定歯車７の歯数よりも多く設定する。信号処理装置１３は、メインシャフト回転角センサ１０で検出したメインシャフト３の回転角と、サブシャフト回転角センサ１２で検出したサブシャフト６の回転角の組み合わせから、回転軸１００の周回の数を算出すると共に、回転軸１００の周回の数と、サブシャフト６の回転角とに基づいて回転軸１００の回転角を算定する。【選択図】図２
2017101935.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸の回転角を検出する回転角検出装置であって、
前記回転軸に固定される第１シャフトと、
前記第１シャフトの回転角を検出する第１回転角センサと、
第２シャフトと、
前記第２シャフトの回転角を検出する第２回転角センサと、
前記第１シャフトの回転動力を前記第２シャフトに伝達し、当該第２シャフトを当該第１シャフトの回転速度のＰ（但し、Ｐ＞１）倍の回転速度で回動する動力伝達機構と、
検出手段とを有し、
当該検出手段は、前記第１回転角センサが検出した回転角と前記第２回転角センサが検出した回転角との組み合わせに応じて、前記回転軸の周回（２πの回転）の数と、前記回転軸の回転角とを算定することを特徴とする回転角検出装置。
【請求項２】
請求項１記載の回転角検出装置であって、
前記検出手段は、前記第１回転角センサが検出した回転角と前記第２回転角センサが検出した回転角との組み合わせに基づいて、前記回転軸が行った周回の数を算定すると共に、前記回転軸の周回の数と前記第２回転角センサが検出した回転角とに基づいて前記回転軸の回転角を算定することを特徴とする回転角検出センサ。
【請求項３】
請求項１記載の回転角検出装置であって、
前記第２シャフトを複数備え、
前記動力伝達機構は、前記第１シャフトに連動して各第２シャフトを異なる回転速度で回動することを特徴とする回転角検出装置。
【請求項４】
請求項１または２記載の回転角検出装置であって、
前記動力伝達機構は、前記第１シャフトに固定された第１歯車と、前記第２シャフトに固定された、前記第１歯車よりも歯数の少ない第２歯車を含むことを特徴とする回転角検出装置。
【請求項５】
請求項１または２記載の回転角検出装置であって、
前記動力伝達機構は、前記第１シャフトの回転動力を前記第２シャフトに伝達する無段変速機であることを特徴とする回転角検出装置。
【請求項６】
請求項１、２、３、４または５記載の回転角検出装置と、
前記検出手段が検出した前記回転軸の回転角が、所定の単位角変化する度に、所定の信号を出力する信号出力部を有することを特徴とするロータリエンコーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転角を検出する技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
回転角を検出する技術としては、回転軸に磁石を固定し、磁石の磁力をホール素子で検出することにより、回転軸の回転角を検出する回転角検出装置が知られている（たとえば、特許文献１、２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開2012-83212号公報
【特許文献２】特開2015-165250号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
回転軸に固定した磁石の磁力は回転軸の１回転を周期として回転軸の回転に同期して変化するため、検出した回転角に基づいて回転軸が回転した数を追跡しないと、現在、回転軸が何回転目の回転を行っているのかを判別することはできない。したがって、電源のオフなどにより、回転軸が回転した数の追跡が途絶えてしまった後は、現在、回転軸が何回転目の回転を行っているのかを判別することができなくなる。
【０００５】
また、このような回転角検出装置における、さらなる回転角検出の分解能の向上も望まれる。
そこで、本発明は、回転角と完了した周回（２πの回転）の数とを検出できる回転角検出装置を提供することを課題とする。また、併せて、本発明は、回転角検出装置における、回転角検出の分解能を向上することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題達成のために、本発明は、回転軸の回転角を検出する回転角検出装置に、前記回転軸に固定される第１シャフトと、前記第１シャフトの回転角を検出する第１回転角センサと、第２シャフトと、前記第２シャフトの回転角を検出する第２回転角センサと、前記第１シャフトの回転動力を前記第２シャフトに伝達し、当該第２シャフトを当該第１シャフトの回転速度のＰ（但し、Ｐ＞１）倍の回転速度で回動する動力伝達機構と、検出手段とを備えたものである。ただし、検出手段は、前記第１回転角センサが検出した回転角と前記第２回転角センサが検出した回転角との組み合わせに応じて、前記回転軸の周回の数と、前記回転軸の回転角とを算定するものである。
【０００７】
ここで、このような回転角検出装置は、前記検出手段において、前記第１回転角センサが検出した回転角と前記第２回転角センサが検出した回転角との組み合わせに基づいて、前記回転軸が行った周回の数を算定すると共に、前記回転軸の周回の数と前記第２回転角センサが検出した回転角とに基づいて前記回転軸の回転角を算定するように構成してもよい。
【０００８】
または、回転角検出装置に、前記第２シャフトを複数備え、前記動力伝達機構において、前記第１シャフトに連動して各第２シャフトを異なる回転速度で回動するように構成してもよい。
【０００９】
ここで、以上の回転角検出装置において、前記動力伝達機構は、前記第１シャフトに固定された第１歯車と、前記第２シャフトに固定された、前記第１歯車よりも歯数の少ない第２歯車を含むものであってもよいし、前記第１シャフトの回転動力を前記第２シャフトに伝達する無段変速機であってもよい。
【００１０】
また、以上の回転角検出装置と、前記検出手段が検出した前記回転軸の回転角が、所定の単位角変化する度に、所定の信号を出力する信号出力部とを含めてロータリエンコーダを構成するようにしてもよい。
【００１１】
以上のような回転角検出装置によれば、回転速度の異なる第１シャフトと第２シャフトの回転角の組み合わせが、回転軸の完了した周回の数に応じて異なる組み合わせになることを利用して、前記回転軸の完了した周回の数を算定するので、回転軸の回転角を追跡しなくても回転軸の完了した周回の数を検出することができる。また、このように、回転軸の完了した周回の数を算定することにより、回転軸に追従した回転角の変化が第１シャフトよりも大きい第２シャフトの回転角を用いて回転軸の回転角を検出することができるようになるので、回転角検出の分解能を向上することができる。
【発明の効果】
【００１２】
以上のように、本発明によれば、回転角と回転軸の完了した周回の数とを検出できる回転角検出装置を提供することができる。また、本発明によれば、回転角検出装置における、回転角検出の分解能を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態に係る回転角検出装置の構成を示す図である。
【図２】本発明の実施形態に係る回転角検出装置の回転角検出の仕組を示す図である。
【図３】本発明の実施形態に係る回転角検出装置の回転角の検出例を示す図である。
【図４】本発明の実施形態に係る回転角検出装置の他の構成例を示す図である。
【図５】本発明の実施形態に係る回転角検出装置の他の構成例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態について説明する。
図１ａに、本実施形態に係る回転角検出装置の構成を示す。
いま、図中に示すように前後左右上下を定めるものとして、図１ａ１は回転角検出装置の上面を表し、図１ａ２は回転角検出装置の前面を表し、図１ａ３は回転角検出装置の左側面を表し、図１ａ４は回転角検出装置の後面を表し、図１ａ５は図１ａ２の断面線A-Aによる回転角検出装置の断面を表し、図１ａ６は回転角検出装置を斜視したようすを表す。
【００１５】
図示するように、回転角検出装置は、ベース１、カバー２、メインシャフト３、メインシャフト固定歯車４、メインシャフト用ベアリング５、サブシャフト６、サブシャフト固定歯車７、サブシャフト用ベアリング８、メインシャフト固定磁石９、メインシャフト回転角センサ１０、サブシャフト固定磁石１１、サブシャフト回転角センサ１２、ベース１に固定された信号処理装置１３を備えている。
【００１６】
ここで、メインシャフト３は、メインシャフト用ベアリング５によって前後方向の軸を回転軸として回転可能にベース１によって軸支されている。また、サブシャフト６は、サブシャフト用ベアリング８によって前後方向の軸を回転軸として回転可能にベース１によって軸支されている。また、メインシャフト固定歯車４はメインシャフト３に固定されており、サブシャフト固定歯車７は、サブシャフト６に固定されている。そして、メインシャフト固定歯車４とサブシャフト固定歯車７は噛合しており、サブシャフト６はメインシャフト３の回転に連動して回転する。なお、メインシャフト固定歯車４とサブシャフト固定歯車７とのバックラッシはバネ力により挟み込む方法等、一般的に使用される方法により除去される
次に、メインシャフト３の左端面にはメインシャフト固定磁石９が固定されており、メインシャフト回転角センサ１０は、メインシャフト固定磁石９と対向する配置でベース１に固定されている。そして、メインシャフト回転角センサ１０は、ホール素子やMR素子などを用いて検出したメインシャフト固定磁石９の磁力に基づいて、ベース１に対するメインシャフト３の回転角を検出する。なお、メインシャフト回転角センサ１０は、実際には、回転角センサを搭載した基板をベース１に固定することによりベース１に固定する。
【００１７】
また、サブシャフト６の左端面にはサブシャフト固定磁石１１が固定されており、サブシャフト回転角センサ１２は、サブシャフト固定磁石１１と対向する配置でベース１に固定されている。そして、サブシャフト回転角センサ１２は、ホール素子やMR素子などを用いて検出したサブシャフト固定磁石１１の磁力に基づいて、ベース１に対するサブシャフト６の回転角を検出する。なお、サブシャフト回転角センサ１２は、実際には、回転角センサを搭載した基板をベース１に固定することによりベース１に固定する。
【００１８】
さて、このような回転角検出装置は、図１ｂに示すように、回転角を検出する回転軸１００にメインシャフト３を固定して使用する。
ここで、図２は、回転軸１００、メインシャフト３、メインシャフト固定歯車４、メインシャフト固定磁石９、メインシャフト回転角センサ１０、サブシャフト６、サブシャフト固定歯車７、サブシャフト固定磁石１１、サブシャフト回転角センサ１２の関係を示した図である。
【００１９】
図示するように、メインシャフト固定磁石９、サブシャフト固定磁石１１は、一方の半円部分がＮ極、他方の半円部分がＳ極となっている円板状の磁石である。
したがって、メインシャフト３の回転に伴い、メインシャフト回転角センサ１０で検出されるメインシャフト固定磁石９の磁力は、メインシャフト３の１回転を１周期として変化し、メインシャフト回転角センサ１０によって検出される磁力とメインシャフト３の回転角は１対１に対応することとなる。よって、メインシャフト固定磁石９の磁力より、メインシャフト回転角センサ１０でメインシャフト３、したがって回転軸１００の０πから２πの間の回転角を検出することができる。
【００２０】
また、同様に、サブシャフト６の回転に伴い、サブシャフト回転角センサ１２で検出されるサブシャフト固定磁石１１の磁力は、サブシャフト６の１回転を１周期として変化し、サブシャフト回転角センサ１２によって検出される磁力とサブシャフト６の回転角は１対１に対応することとなる。よって、サブシャフト固定磁石１１の磁力より、サブシャフト回転角センサ１２でサブシャフト６の０πから２πの間の回転角を検出することができる。
【００２１】
次に、メインシャフト固定歯車４の歯数は、サブシャフト固定歯車７の歯数より多く、メインシャフト固定歯車４の歯数とサブシャフト固定歯車７の歯数の比、すなわち、メインシャフト固定歯車４の歯数：サブシャフト固定歯車７の歯数を、メインシャフト固定歯車４の歯数：サブシャフト固定歯車７の歯数=Ｎ：Ｍとして、Ｎ＞Ｍとなるように設定している。したがって、サブシャフト６の回転速度はメインシャフト３の回転速度のＮ/Ｍ倍となり、したがって、サブシャフト６の総回転角はメインシャフト３の総回転角のＮ/Ｍ倍となる。
【００２２】
さて、回転軸１００がｎ回の周回（２πの回転）を完了しているときに、メインシャフト回転角センサ１０でメインシャフト３の回転角θ１が検出されたときの、回転軸１００とメインシャフト３の総回転角は、
（２π×ｎ+θ１）
となり、このときのサブシャフト６の総回転角は、サブシャフト６の回転速度がメインシャフト３の回転速度のＮ/Ｍ倍であることより、
{Ｎ×（２π×ｎ+θ１）｝/Ｍ...（式１）
となる。そして、式１を２πで割った商が、サブシャフト６の周回の数ｍとなり、式１を２πで割った余りが、サブシャフト６の回転角θ２となる。したがって、サブシャフト６の総回転角は、
（２π×ｍ+θ２）
によっても表すことができ、
{Ｎ×（２π×ｎ+θ１）｝/Ｍ=（２π×ｍ+θ２）...（式２）
が成り立つ。
【００２３】
そして、サブシャフト６の総回転角が、（２π×ｍ+θ２）であるときの、メインシャフト３の総回転角は、メインシャフト３の回転速度がサブシャフト６の回転速度のＭ/Ｎ倍であることより、
{Ｍ×（２π×ｍ+θ２）｝/Ｎ...（式３）
となるので、回転軸１００とメインシャフト３の回転角θは、式３を２πで割った余りとして表すことができる。
【００２４】
そこで、信号処理装置１３は、メインシャフト回転角センサ１０で検出した回転角θ１とサブシャフト回転角センサ１２で検出した回転角θ２より、式１を２πで割った商をｍとして、式２を最も良く満たすｎ、ｍの組を求め、求めたｎを回転軸１００が完了した周回の数とする。なお、式２を最も良く満たすｎ、ｍとは、[{Ｎ×（２π×ｎ+θ１）｝/Ｍ]-（２π×ｍ+θ２）を最小とするｎ、ｍの組である。
【００２５】
また、信号処理装置１３は、式２を満たすｎ、ｍを求めたならば、式３を２πで割った余りを、回転軸１００の回転角θとして算定する。
そして、信号処理装置１３は、算定した回転軸１００が完了した周回の数ｎや回転軸１００の回転角θを外部に出力する。また、信号処理装置１３において、回転軸１００の回転角θが所定の単位角度増加する度にパルス信号を出力するようにしてもよい。また、信号処理装置１３において、{Ｍ×（２π×ｍ+θ２）｝/Ｎによって求めた回転軸の総回転角を外部に出力するようにしてもよい。
【００２６】
ここで、このように、サブシャフト回転角センサ１２で検出したサブシャフト６の回転角θ２を用いて回転軸１００の回転角θを算定するのは、以下の理由によるものである。
すなわち、サブシャフト６は回転軸１００よりも回転速度が大きいので、回転軸１００の回転角の変化に連動して表れる、サブシャフト６の回転角θ２の変化は、回転軸１００に固定されたメインシャフト３に表れる回転角θ１の変化よりも大きくなる。したがって、回転角センサの回転角の分解能が同じ場合、メインシャフト３の回転角θ１を検出するよりも、サブシャフト６の回転角θ２を検出し、検出したサブシャフト６の回転角θ２より回転軸１００の回転角θを算定した方が、回転軸１００の回転角θを、より良い分解能で検出することができるようになる。
【００２７】
なお、本実施形態において、回転軸１００が完了した周回の数ｎとして算定できる最大数は、メインシャフト固定歯車４の歯数：サブシャフト固定歯車７の歯数=Ｎ：ＭとしてＭに一致する。そこで、Ｍを大きくすることが、検出できる回転軸１００の完了した周回の数を大きくする上で好ましい。
【００２８】
以下、このような信号処理装置１３による、回転軸１００の完了した周回の数ｎと、回転軸１００の回転角θの算定の具体例を示す。
図３は、メインシャフト固定歯車４の歯数：サブシャフト固定歯車７の歯数=Ｎ：Ｍ=５：４とした場合、すなわち、サブシャフト６をメインシャフト３よりも５/４倍速く回転させた場合の、回転軸１００の総回転角に対する、メインシャフト回転角センサ１０で検出されるメインシャフト３の回転角θ１と、サブシャフト回転角センサ１２で検出されるサブシャフト６の回転角θ２を示したものである。
【００２９】
なお、Ｎ：Ｍ=５：４とした場合には４回転完了まで、回転軸１００の完了した周回の数を算定することができる。
さて、図示するように、メインシャフト回転角センサ１０で検出されるメインシャフト３の回転角θ１はメインシャフト３に固定された回転軸１００の０πから２πの間の回転角を表すものとなる。また、サブシャフト回転角センサ１２で検出されるサブシャフト６の回転角θ２は、回転軸１００よりも５/４倍速く回転するサブシャフト６の０πから２πの間の回転角を表すものとなる。
【００３０】
ここで、上述のように信号処理装置１３は、このようにメインシャフト回転角センサ１０で検出される０πから２πの間のメインシャフト３の回転角θ１と、サブシャフト回転角センサ１２で検出される０πから２πの間のサブシャフト６の回転角θ２より、回転軸１００が周回を何回完了しているかと、回転軸１００の回転角θとを算出する。
【００３１】
まず、回転軸１００が回転をｎ回完了しているときに、メインシャフト回転角センサ１０でメインシャフト３の回転角θ１が検出されたときの回転軸１００の総回転角は、（２π×ｎ+θ１）となる。
【００３２】
また、回転軸１００が回転をｎ回完了しているときに、メインシャフト回転角センサ１０でメインシャフト３の回転角θ１が検出されたときの、サブシャフト６の総回転角は、サブシャフト６がメインシャフト３より５/４倍速く回転していることより、{５×（２π×ｎ+θ１）｝/４となる。また、このとき、{５×（２π×ｎ+θ１）｝/４を２πで割った余りが、サブシャフト回転角センサ１２でサブシャフト６の回転角θ２として検出される。
【００３３】
そこで、たとえば、メインシャフト回転角センサ１０でメインシャフト３の回転角として１πが検出されたときには、次のように、回転軸１００が何回転目の回転中であるかを算定する。なお、上述のようにθ１とθ２の組み合わせにより回転軸１００が周回を何回完了しているか判断が可能である。
【００３４】
すなわち、図３に示すように、回転軸１００の総回転角が１π（０回転+１π）であるためにメインシャフト回転角センサ１０で１πが検出されたときの、サブシャフト６の総回転角は５π/４となるので、サブシャフト回転角センサ１２で検出されるサブシャフト６の回転角が５π/４に近い値であれば、回転軸１００が完了した周回の数ｎは０であると算定する。
【００３５】
また、回転軸１００の総回転角が３π（１回転+１π）であるためにメインシャフト回転角センサ１０で１πが検出されたときの、サブシャフト６の総回転角は（５×３π）/４=２π+７π/４となり、サブシャフト回転角検出センサで検出される回転角は７π/４πとなるので、サブシャフト回転角センサ１２で検出されるサブシャフト６の回転角が７π/４πに近い値であれば、回転軸１００が完了した周回の数ｎは１であると算定する。
【００３６】
また、回転軸１００が総回転角が５π（２回転+１π）であるためにメインシャフト回転角センサ１０で１πが検出されたときの、サブシャフト６の総回転角は（５×５π）/４=３×２π+１π/４となり、サブシャフト回転角検出センサで検出される回転角は１π/４となるので、サブシャフト回転角センサ１２で検出されるサブシャフト６の回転角が１π/４に近い値であれば、回転軸１００が完了した周回の数ｎは２であると算定する。
【００３７】
そして、次に、算定した回転軸１００が完了した周回の数と、サブシャフト回転角センサ１２で検出されたサブシャフト６の回転角θ２より、回転軸１００の回転角θを次のように算定する。
【００３８】
サブシャフト６の回転角θ２であるときに、サブシャフト６が完了した回転がｍ回であれば、サブシャフト６の総回転角は、２π×ｍ+θ２である。
そして、サブシャフト６の総回転角が２πｍ+θ２であるときの回転軸１００の総回転角は、{４×（２π×ｍ+θ２）｝/５となる。
また、回転軸１００の周回の数がｎであるとき、ｍは{５×（２π×ｎ+θ１）｝/４を２πで割った商として求まり、回転軸１００の総回転角{４×（２π×ｍ+θ２）｝/５を、２πで割った余りが、回転軸１００の回転角θとなる。
【００３９】
以上、本発明の実施形態について説明した。
以上のように本実施形態によれば、回転速度の異なるメインシャフト３とサブシャフト６の回転角の組み合わせが、回転軸１００の完了した周回の数に応じて異なる組み合わせになることを利用して、回転軸１００の完了した周回の数を算定するので、回転軸１００の回転角を追跡しなくても回転軸１００の完了した周回の数を検出することができる。また、回転軸１００に追従した回転角の変化がメインシャフト３よりも大きいサブシャフト６の回転角を用いて回転軸１００の回転角を検出するので、回転軸１００の回転角検出の分解能を向上することができる。
【００４０】
ところで、以上の実施形態では、回転角検出装置に、メインシャフト３と連動して回転するサブシャフト６を一本のみ設けたが、サブシャフト６は複数本、メインシャフト３と連動して回転するように設けてもよい。
【００４１】
すなわち、たとえば、図４ａに示すように、図２に示したサブシャフト６に加え、第２サブシャフト４０１、サブシャフト固定歯車７と噛合する第２サブシャフト固定歯車４０２、第２サブシャフト４０１に固定した第２サブシャフト固定磁石４０３、第２サブシャフト回転角センサ４０４を設けるようにしてもよい。
【００４２】
または、図４ｂに示すように、図２に示したサブシャフト６に加え、第２サブシャフト４０１、メインシャフト固定歯車４と噛合する第２サブシャフト固定歯車４０２、第２サブシャフト４０１に固定した第２サブシャフト固定磁石４０３、第２サブシャフト回転角センサ４０４を設けるようにしてもよい。
【００４３】
ただし、いずれの場合も、サブシャフト６と第２サブシャフト４０１の回転速度が異なるように第２サブシャフト固定歯車４０２の歯数は設定する。
このようにサブシャフトの数を増やすことにより、回転軸１００の回転速度に対する比が異なる複数の回転速度の各々について、当該回転速度で回転した場合の回転角を取得することができる。そして、たとえば、上記複数の回転速度に対応する比の各々を適切に設定し、回転軸１００の回転角と、転軸１００の回転速度に対する比が異なる複数の回転速度の各々について取得した回転角の組み合わせとに応じて、回転軸１００の完了した周回の数ｎを算定するようにすれば、検出できる周回の数ｎの最大値をより大きくしたり、周回の数ｎの検出の信頼性を向上することができる。
【００４４】
ここで、以上の実施形態で示した回転角検出装置は、メインシャフト３とサブシャフト６の回転速度の比を一定としたが、これはメインシャフト３とサブシャフト６の回転速度の比を可変としてもよい。
【００４５】
すなわち、たとえば、図５ａ１、ｂ１に示すように、メインシャフト３とサブシャフト６を無段変速機構によって連結し、オペレータの設定に従い、信号処理装置１３においてメインシャフト３とサブシャフト６の回転速度の比を制御するようにしてもよい。
【００４６】
ここで、図５ａ１、ｂ１に示した無段変速機構は、メインシャフト３に固定したコーンディスク５０１と、サブシャフト６に回動しないように連結した上下２枚のフランジディスク５０２と、バネ５０３より構成されている。
【００４７】
そして、図５ａ２、ｂ２に示すように、上下２枚のフランジディスク５０２はバネ５０３の作用等により一定の圧力でコーンディスク５０１に圧接され、コーンディスク５０１から回転方向の動力がフランジディスク５０２に伝達される。また、コーンディスク５０１のフランジディスク５０２との接触点の半径は、サブシャフト６とメインシャフト３の距離を変更することにより変化し、これにより、サブシャフト６のメインシャフト３に対する回転速度の比が変化する。
【００４８】
なお、図５に示したような機構を無段変速機構として備える場合には、サブシャフト６を移動し、メインシャフト３とサブシャフト６の間の距離を変化させる移動機構を回転角検出装置に備え、信号処理装置１３において、この移動機構を制御することにより、メインシャフト３とサブシャフト６の回転速度の比を設定する。
【符号の説明】
【００４９】
１…ベース、２…カバー、３…メインシャフト、４…メインシャフト固定歯車、５…メインシャフト用ベアリング、６…サブシャフト、７…サブシャフト固定歯車、８…サブシャフト用ベアリング、９…メインシャフト固定磁石、１０…メインシャフト回転角センサ、１１…サブシャフト固定磁石、１２…サブシャフト回転角センサ、１３…信号処理装置、１００…回転軸、４０１…第２サブシャフト、４０２…第２サブシャフト固定歯車、４０３…第２サブシャフト固定磁石、４０４…第２サブシャフト回転角センサ、５０１…コーンディスク、５０２…フランジディスク、５０３…バネ。
【図１】
2017101935.tif 000003
【図２】
2017101935.tif 000004
【図３】
2017101935.tif 000005
【図４】
2017101935.tif 000006
【図５】
2017101935.tif 000007