(57)【要約】【課題】  フィルム表面の平滑性に優れ、表面に粗大突起物がないような適正な加工特性を備え、また、フィルム製造、および、従来その対応が困難とされていた、誘電体層の厚みが０．５μｍ以下の超薄の誘電体層成形用に対応でき、かつ、各種加工工程における巻き特性が良好である離型用ポリエステルフィルムを提供する。【解決手段】  少なくとも片面の表面の算術平均粗さＳａが１５ｎｍ以上であり、最大山高さＳｐが３００ｎｍ以下であるポリエステルフィルムであり、当該フィルムの表裏が重なるように重ね合わせた時の空気漏れ指数が１５０００秒以下であることを特徴とする離型用ポリエステルフィルム。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも片面の表面の算術平均粗さＳａが１５ｎｍ以上であり、最大山高さＳｐが３００ｎｍ以下であるポリエステルフィルムであり、当該フィルムの表裏が重なるように重ね合わせた時の空気漏れ指数が１５０００秒以下であることを特徴とする離型用ポリエステルフィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種離型ポリエステルフィルムに関するものである。具体的には、セラミックコンデンサ生産時に使用されるグリーンシート用、液晶偏光板用、フォトレジスト用、また、ポリエステルフィルム上にエポキシ樹脂等をコーティングして製造される多層基板用などに好適な各種離型用フィルムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ポリエステルフィルム、特にポリエチレンテレフタレートやポリエチレンナフタレートの二軸延伸フィルムは、優れた機械的強度、寸法安定性、平坦性、耐熱性、耐薬品性、光学特性等を有しており、強磁性薄膜テープ、写真フィルム、包装用フィルム、電子部品用フィルム、金属ラミネートフィルム、液晶ディスプレイ用フィルム、太陽電池裏面保護フィルム、タッチパネル式表示装置の透明導電性フィルムのベースフィルム、液晶表示装置に用いられるプリズムシート用のベースフィルム、各種部材の保護用フィルム等の素材として広く用いられている。
【０００３】
また、離型用フィルムは、ポリエステルを基材として、離型性のある樹脂層、例えば、シリコーン樹脂やフッ素樹脂などを塗布して形成される。特に、液晶偏光板用離型用、液晶保護フィルム用離型用、フォトレジスト用、多層基盤、セラミックグリーンシート製造用などの各種離型用途として使用されている。ポリエステルフィルム中には、加工適性、例えば、滑り性、巻き特性等を良くするために粒子を適量配合し、フィルム表面に突起を形成させることが一般的である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２１５３５０号公報
【特許文献２】特開２０１５−１８９１１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、近年の各種用途の精密化等に伴い、使用される離型フィルムについても微細な欠点のない、均一な品質が要求されるようになってきた。離型用フィルムから形成される成形体の品質は、基材として使用されるフィルムの精度や品質、特に粗大突起の有無や表面粗度にかかっている。これらのようなフィルム起因の問題を解決するため、フィルムの表面粗度の制御、フィルムの粗大突起を低減する等様々な改善が図られてきた。しかしながら、表面が非常に平滑なフィルムはフィルム製造および加工工程における巻き特性が悪いため、キズが入り、品質の良い成形体を成形することができなくなってしまう。そのため、小型化、高性能化等の市場の要求には十分応えられていない。
【０００６】
本発明は、フィルム表面の平滑性に優れ、表面に粗大突起物がないような適正な加工特性を備え、また、フィルム製造、および、従来その対応が困難とされていた、誘電体層の厚みが０．５μｍ以下の超薄の誘電体層成形用に対応でき、かつ、各種加工工程における巻き特性が良好である離型用ポリエステルフィルムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、上記課題に鑑み鋭意検討した結果、特定の構成を有するポリエステルフィルムによれば、上記課題を解決できることを見いだし、本発明を完成するに至った。
【０００８】
すなわち、本発明の要旨は、少なくとも片面の表面の算術平均粗さＳａが１５ｎｍ以上であり、最大山高さＳｐが３００ｎｍ以下であるポリエステルフィルムであり、当該フィルムの表裏が重なるように重ね合わせた時の空気漏れ指数が１５０００秒以下であることを特徴とする離型用ポリエステルフィルムに存する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の離型用ポリエステルフィルムは、適正な加工特性を備え、表面の平滑性に優れ、粗大突起物が少なく、フィルム製造および加工工程における巻き特性が良好という優れた特性を有するポリエステルフィルムを提供することができ、本発明の工業的価値は高い。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明のフィルムの３次元測定による表面形状を表す図
【図２】本発明を満足しないフィルムの３次元測定による表面形状を表す図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明において、ポリエステルフィルムに使用するポリエステルは、ホモポリエステルであっても共重合ポリエステルであってもよい。ホモポリエステルからなる場合、芳香族ジカルボン酸と脂肪族グリコールとを重縮合させて得られるものが好ましい。芳香族ジカルボン酸としては、テレフタル酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸などが挙げられ、脂肪族グリコールとしては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、１，４−シクロヘキサンジメタノール等が挙げられる。代表的なポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン−２，６−ナフタレンジカルボキシレート（ＰＥＮ）等が例示される。
【００１２】
一方、共重合ポリエステルの場合は、３０モル％以下の第三成分を含有した共重合体であることが好ましい。共重合ポリエステルのジカルボン酸成分としては、イソフタル酸、フタル酸テレフタル酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸、アジピン酸セバシン酸、オキシカルボン酸（例えば、Ｐ−オキシ安息香酸など）等の一種または二種以上が挙げられ、グリコール成分として、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、１，４−シクロヘキサンジメタノール、ネオペンチルグリコール等の一種または二種以上が挙げられる。
【００１３】
いずれにしても本発明でいうポリエステルとは、通常８０モル％以上、好ましくは９０モル％以上がエチレンテレフタレート単位であるポリエチレンテレフタレート、エチレン−２，６−ナフタレート単位であるポリエチレン−２，６−ナフタレート等であるポリエステルを指す。
【００１４】
特に好ましく使用されるポリエステルはポリエチレンテレフタレートである。使用原料のポリエステル樹脂の極限粘度は、０．５０ｄｌ／ｇ以上が好ましく、０．６５ｄｌ／ｇ以上がさらに好ましい。上限については特に設けないが、生産性の観点から１．０ｄｌ／ｇ以下が現実的である。
【００１５】
本発明においては、溶融押出機を２台または３台以上用いて、いわゆる共押出法により２層または３層以上の積層フィルムとすることができる。層の構成としては、Ａ原料とＢ原料とを用いたＡ／Ｂ構成、またはＡ／Ｂ／Ａ構成、またＣ原料も用いたＡ／Ｂ／Ｃ構成またはそれ以外の構成のフィルムとすることができるが、特に両面の表面特性を変える必要がない場合は、表裏を同じ設計としたＡ／Ｂ／Ａ構成の製造が容易であり好ましい。
【００１６】
本発明におけるポリエステルフィルムの総厚みは、フィルムとして製膜可能な範囲であれば特に限定されるものではないが、通常１０〜２５０μｍ、好ましくは２３〜１００μｍ、さらに好ましくは２５〜４０μｍの範囲である。
【００１７】
表層の厚さにおいては、通常０．１〜５μｍ、好ましくは０．２〜４μｍ、さらに好ましくは０．３〜３μｍである。表層の厚さが０．１μｍ未満では、表層の含有粒子が脱落する場合があり、一方、表層の厚さが５μｍを超えると、表層含有粒子に基づく形成突起の均一性が損なわれることがある。
【００１８】
本発明のポリエステルフィルムは、少なくとも片面の表面の算術平均粗さＳａが１５ｎｍ以上、最大山高さＳｐが３００ｎｍ以下である。Ｓａが１５ｎｍ未満の場合、走行性に欠け、取り扱い性に問題を生じ、Ｓｐが３００ｎｍより大きい場合、表面の平滑性が損なわれ好ましくない。具体的に示すと、図１に示すように、突起が小さく、かつ下地が荒れている状態であるのが、本発明の特徴である。
【００１９】
具体的に説明すると、算術平均粗さＳａとは、二次元のＲａを三次元に拡張したもので、表面形状曲面と平均面で囲まれた部分の体積を測定面積で割ったものであり、以下の式から求められる。表面をＸＹ面，高さ方向をＺ軸とした時、Ａ：定義された領域（画像全体とする）、Ｚ(x,y)：画像点（ｘ,y）の高さ０の面からの高さとすると、以下のように表される。
【００２０】
【数１】
2017177426.tif 000003
【００２１】
最大山高さＳｐとは表面の平均面からの高さの最大値を表し、以下のように表される。
【００２２】
【数２】
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【００２３】
上記、フィルムの表面粗さ特性は、例えば、表面を構成するフィルム層中に微細な不活性粒子を含有させ、その平均１次粒子径や含有量を制御することで達成できる。例えば、粒子の平均１次粒子径が０．３〜０．６μｍの粒子を、ポリエステルフィルム全体に対して、通常０．４〜１．２重量％、好ましくは０．５〜１．０重量％含有させればよい。平均１次粒子径が０．３μｍ未満の場合や、含有量が０．５重量％未満の場合、十分な滑り性や巻き特性を得ることができないことがある。一方、平均１次粒子径が０．６μｍより大きい場合や、含有量が１．０重量％を超える場合、表面の平滑性が損なわれることがある。
【００２４】
配合する粒子の種類は易滑性付与可能な粒子であれば特に限定されるものではなく、具体例としては、例えば、シリカ、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、炭酸バリウム、硫酸カルシウム、リン酸カルシウム、リン酸マグネシウム、カオリン、酸化アルミニウム、酸化チタン等の粒子が挙げられる。また、特公昭５９−５２１６号公報、特開昭５９−２１７７５５号公報等に記載されている耐熱性有機粒子を用いてもよい。この他の耐熱性有機粒子の例として、熱硬化性尿素樹脂、熱硬化性フェノール樹脂、熱硬化性エポキシ樹脂、ベンゾグアナミン樹脂等が挙げられる。さらにポリエステル製造工程中、触媒等の金属化合物の一部を沈殿、微分散させた析出粒子を用いることもできる。
【００２５】
一方、使用する粒子の形状に関しても特に限定されるわけではなく、球状、塊状、棒状、扁平状等の何れを用いてもよい。また、その硬度、比重、色等についても特に制限はない。これら一連の粒子は、必要に応じて２種類以上を併用してもよい。
【００２６】
本発明では、必要に応じて添加剤を加えてもよい。このような添加剤としては、例えば、安定剤、潤滑剤、架橋剤、ブロッキング防止剤、酸化防止剤、染料、顔料、紫外線吸収剤などが挙げられる。
【００２７】
ポリエステル中に粒子を添加する方法としては、特に限定されるものではなく、従来公知の方法を採用しうる。例えば、ポリエステルを製造する任意の段階において添加することができるが、好ましくはエステル化の段階、もしくはエステル交換反応終了後、重縮合反応を進めてもよい。また、ベント付き混練押出機を用い、エチレングリコールまたは水などに分散させた粒子のスラリーとポリエステル原料とをブレンドする方法、または混練押出機を用い、乾燥させた粒子とポリエステル原料とをブレンドする方法などによって行われる。
【００２８】
上記、方法で得られるマスターバッチを使用してポリエステルフィルムを製造するが、本発明においては、使用するマスターバッチ中の粒子の体積平均粒子径の変動係数ＣＶが２３０％以下であることが好ましく、さらに好ましくは１００％以下、特に好ましくは３０％以下である。ＣＶが２３０％より大きい場合、マスターバッチ中の粒子の均一性が悪くなる傾向があり、粒子が大きな凝集体を形成している状態となることがあり、その場合、図２に示すように、フィルム中に凝集が残ってしまうため表面の平滑性に影響を及ぼすことがある。
【００２９】
本発明において、表面平滑性と良好な巻き取り性を有するためには、後述の測定方法による、片側表層ともう一方の表層とが重なるように積層して測定した空気漏れ指数が１５０００秒以下であることが必要である。当該空気漏れ指数が１５０００秒より大きい場合、フィルム巻上げの際に噛み込んだエアが抜けにくく、シワや端面不揃いなどのロール外観の不良となる場合がある。また、巻き込んだエアが十分時間経過後、特に搬送中に抜けることで、巻き芯方向にフィルムがズレたり、ズレによりキズが入ったりして問題となる。なお、空気漏れ指数を上記範囲にするには、フィルム表層に添加する滑剤粒子の粒子径、添加量、フィルムの延伸条件等を調節することで達成できる。
【００３０】
次に本発明におけるポリエステルフィルムの製造例について具体的に説明する。先に記したように、ポリエステルに不活性粒子を含有させる方法としては、エチレングリコールに不活性粒子を所定割合にてスラリーの形で分散し、ポリエステル重合完結前の任意段階で添加する方法がある。また、不活性粒子を添加剤用ホッパーから添加し、ベント方式の二軸混練押出機に供給しポリエステルに練り込む方法も効果的である。
【００３１】
上記不活性粒子混練時、押出機の吐出量Ｑとスクリュー回転数Ｎの比であるＱ／Ｎを変化させることにより、粒子の分散性の異なるマスターバッチを得ることができる。好ましくはＱ／Ｎが１．０以下、さらに好ましくはＱ／Ｎが０．５以下である。Ｑ／Ｎが１．０よりも大きい場合、練りが弱いため、マスターバッチ中の不活性粒子の凝集に繋がり、粗大突起の原因となる可能性がある。ここで、Ｑ／Ｎの値は、使用する押出機の径により異なるため、以下の換算式を用いて算出する。
【００３２】
Ｑは吐出量、Ｄはスクリュー径、Ｎはスクリュー回転数を示している。
【００３３】
【数３】
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【００３４】
【数４】
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【００３５】
【数５】
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【００３６】
また、微小な凝集や異物もフィルム欠陥となるため、例えば５μｍ以上の異物を９５％以上捕集するフィルターを用いることが効果的である。
【００３７】
ポリエステルフィルムの製造方法としては、以下の製造例に何ら限定されるものではない。先に述べたポリエステル原料を使用し、ダイから押し出された溶融シートを冷却ロールで冷却固化して未延伸シートを得る方法が好ましい。この場合、シートの平面性を向上させるためシートと回転冷却ドラムとの密着性を高めることが好ましく、静電印加密着法および／または液体塗布密着法が好ましく採用される。次に得られた未延伸シートは二軸方向に延伸される。その場合、まず、前記の未延伸シートを一方向にロールまたはテンター方式の延伸機により延伸する。延伸温度は、通常７０〜１４０℃、好ましくは８５〜１２０℃であり、延伸倍率は通常２．５〜７．０倍、好ましくは３．０〜６．０倍である。次いで、一段目の延伸方向と直交する方向に延伸するが、その場合、延伸温度は通常９０〜１７０℃であり、延伸倍率は通常３．０〜７．０倍、好ましくは３．５〜６．０倍である。そして、引き続き１８０〜２７０℃の温度で緊張下または３０％以内の弛緩下で熱処理を行い、二軸配向フィルムを得る。上記の延伸においては、一方向の延伸を２段階以上で行う方法を採用することもできる。その場合、最終的に二方向の延伸倍率がそれぞれ上記範囲となるように行うのが好ましい。
【００３８】
また、本発明のポリエステルフィルム製造に関しては、同時二軸延伸法を採用することもできる。同時二軸延伸法は、前記の未延伸シートを通常７０〜１７０℃、好ましくは８５〜１４０℃で温度コントロールされた状態で機械方向および幅方向に同時に延伸し配向させる方法であり、延伸倍率としては、面積倍率で４〜５０倍、好ましくは７〜３５倍、さらに好ましくは１０〜２５倍である。そして、引き続き、１７０〜２５０℃の温度で緊張下または３０％以内の弛緩下で熱処理を行い、延伸配向フィルムを得る。上述の延伸方式を採用する同時二軸延伸装置に関しては、スクリュー方式、パンタグラフ方式、リニアー駆動方式等、従来公知の延伸方式を採用することができる。
【００３９】
本発明においては、前記の通りポリエステルの溶融押出機を２台または３台以上用いて、いわゆる共押出法により２層または３層以上の積層フィルムとすることができる。層の構成としては、Ａ原料とＢ原料とを用いたＡ／Ｂ構成、またはＡ／Ｂ／Ａ構成、またＣ原料も用いたＡ／Ｂ／Ｃ構成またはそれ以外の構成のフィルムとすることができる。例えばＡ層にポリエステル樹脂と粒子を用い表面形状を設計し、Ｂ原料としては粒子を含有しない原料を用い、Ａ／Ｂ構成のフィルムとすることができる。この場合Ｂ層の原料を自由に選択できることからコスト的な利点などが大きい。また当該フィルムの再生原料をＢ層に配合しても表層であるＡ層により表面粗度の設計ができるので、さらにコスト的な利点が大きくなる。
【００４０】
本発明のポリエステルフィルムには、塗布層を設けても構わない。すなわち、上述のポリエステルフィルムの延伸工程中にフィルム表面を処理する、いわゆる塗布延伸法（インラインコーティング）を施しても構わない。
【００４１】
また、塗布層は、帯電防止剤、消泡剤、塗布性改良剤、増粘剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、発泡剤、染料、顔料などを含有していてもよい。
【００４２】
塗布剤の塗布方法としては、リバースロールコーター、グラビアコーター、ロッドコーター、エアドクターコーターまたはこれら以外の塗布装置を使用することができる。
【００４３】
なお、塗布剤のフィルムへの塗布性や接着性を改良するため、塗布前にフィルムに化学処理や放電処理を施してもよい。また、表面特性をさらに改良するため、塗布層形成後に放電処理を施してもよい。
【００４４】
塗布層の厚みは、最終的な乾燥厚さとして、通常０．０２〜０．５μｍ、好ましくは０．０３〜０．３μｍの範囲である。塗布層の厚さが０．０２μｍ未満の場合は、効果が十分に発揮されない恐れがある。塗布層の厚さが０．５μｍを超える場合は、フィルムが相互に固着しやすくなったり、特にフィルムの高強度化のために塗布処理フィルムを再延伸する場合は、工程中のロールに粘着しやすくなったりする傾向がある。上記の固着の問題は、特にフィルムの両面に同一の塗布層を形成する場合に顕著に現れる。
【００４５】
なお、必要に応じて、フィルムの製造後にコートするオフラインコートと呼ばれる方法でコートしてもよい。コーティングの材料としては、オフラインコートの場合は水系および／または溶剤系いずれでもよい。
【実施例】
【００４６】
以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はその要旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、種々の諸物性、特性は以下のように測定、または定義されたものである。実施例中、「％」は「重量％」を意味する。
【００４７】
（１）極限粘度
測定試料をフェノール／テトラクロロエタン＝５０／５０（重量部）の溶媒に溶解させて濃度ｃ＝０．０１ｇ／ｃｍ３の溶液を調製し、３０℃にて溶媒との相対粘度ηｒを測定し、極限粘度[η]を求めた。
【００４８】
（２）フィルム厚さ
フィルム小片をエポキシ樹脂にて固定成形した後、ミクロトームで切断し、フィルムの断面を透過型電子顕微鏡写真にて観察した。その断面のうちフィルム表面とほぼ平行に２本、明暗によって界面が観察される。その２本の界面とフィルム表面までの距離を１０枚の写真から測定し、平均値を層厚さとした。
【００４９】
（３）フィルム積層厚さ
表面からエッチングしながらＸＰＳ（Ｘ線光電子光法）、ＩＲ（赤外分光法）あるいはコンフォーカル顕微鏡などで、その粒子濃度の深さプロファイルを測定する。片面に積層したフィルムにおける表層では、表面という空気−樹脂の界面のために粒子濃度は低く、表面から遠ざかるにつれて粒子濃度は高くなる。本発明の片面に積層したフィルムの場合は、深さ［Ｉ］で一旦極大値となった粒子濃度がまた減少し始める。この濃度分布曲線をもとに極大値の粒子濃度の１／２になる深さ［ＩＩ］（ここで、ＩＩ＞Ｉ）を積層厚さとした。さらに、無機粒子などが含有されている場合には、二次イオン質量分析装置（ＳＩＭＳ）を用いて、フィルム中の粒子のうち最も高濃度の粒子の起因する元素とポリエステルの炭素元素の濃度比（Ｍ＋／Ｃ＋）を粒子濃度とし、層（Ａ）の表面からの深さ（厚さ）方向の分析を行う。そして上記同様の手法から積層厚さを得る。
【００５０】
（４）フィルム表面粗さ（Ｓａ、Ｓｚ、Ｓｐ）
ブルカー・エイエックスエス株式会社の「Ｃｏｎｔｏｕｒ  ＧＴ-Ｘ」（登録商標）を用いて測定し、得られたる表面のプロファイル曲線より、算術平均粗さＳａ値、最大高さＳｚ、最大山高さＳｐ値を求めた。
【００５１】
（５）平均１次粒径
走査型電子顕微鏡（ＨＩＴＡＣＨＩ製、「Ｓ３４００Ｎ」）を用いて、粉体を観察した。得られた画像データから粒子１個の大きさを測定し、１０点の平均値を平均１次粒径とした。
【００５２】
（６）変動係数ＣＶ
測定試料をフェノール／テトラクロロエタン＝４０：６０（重量部）の溶媒を用いて溶解し、濃度ｃ＝０．０３ｇ／ｍｌの溶液を調製し、レーザー回折型粒度分布計（日機装社製、「ＭＴ−３０００ＩＩ」）を用いて測定した。得られたデータより、体積平均粒子径、体積平均粒子径の標準偏差及び変動係数ＣＶを求めた。変動係数ＣＶの値は下記式により求めることができる。
変動係数ＣＶ（％）＝  体積平均粒子径の標準偏差（μｍ）×１００／体積平均粒子径
（μｍ）。
【００５３】
（７）空気漏れ指数
東洋精機製のデジベック平滑度試験機ＤＢ−２を用いて温度２３℃、湿度５０％ＲＨの雰囲気下で測定した。加圧装置の圧力は１００ｋＰａ、真空容器は容積３８ｍｌの小真空容器を使用し、１ｍＬの空気が流れる時間、すなわち容器内の圧力が５０．７ｋＰａから４８．０ｋＰａに変化するまでの時間（秒）を計測し、得られた秒数の１０倍を空気漏れ指数とした。サンプルサイズは７０ｍｍ四方として、フィルムの表裏が重なるように２０枚を積層し、空気の漏れが均一になるように積層したフィルムの中央に直径５ｍｍの穴を開けて測定した。この空気漏れ指数の値が大きいほど、フィルム同士の隙間から空気が漏れるのに時間を要するので、フィルム同士がより密に接していることを示している。
【００５４】
（８）巻き特性
本発明のポリエステルフィルムを５００ｍｍ幅でスリットし、１００００ｍ巻き取った後、フィルム表層部から２０００ｍごとに解体していき、フィルム面のキズ発生の有無を確認し、以下のように判断した。
（判定基準）
◎：フィルムを巻き取る際に傷が入りにくく、加工時の取り扱い性も良好である
○：フィルムを巻き取る際に発生する傷を軽減でき、加工時の取り扱い性も問題ない
×：フィルムを巻き取る際に傷が発生し、生産または加工には適さない
【００５５】
（９）転写基材の平坦性評価
ポリエステルフィルムの表面に、硬化型シリコーン樹脂（信越化学工業（株）社製「ＫＳ−７７９Ｈ」）１００部、硬化剤（信越化学工業（株）社製「ＣＡＴ−ＰＬ−８」１部、メチルエチルケトン／トルエン混合溶媒（混合比率１：１）２２００部よりなる離型剤を乾燥後の塗布量が０．１ｇ／ｍ２となるように塗布し、離型フィルムを得た。この離型フィルムの離型面に、チタン酸バリウム（富士チタン工業（株）社製：平均１次粒径０．７μｍ）１００部、ポリビニルブチラール樹脂（積水化学工業（株）社製「エスレック  ＢＭ−Ｓ」）３０部、可塑剤（フタール酸ジオクチル）５部、トルエン／エタノール混合溶媒（混合比率：６：４）２００部よりなるセラミックスラリーを塗布し、乾燥後の塗布量が０．５ｇ／ｍ２となるように塗布しグリーンシートを得た。得られたグリーンシートの表面（測定対象面積：１００ｃｍ２）を走査型レーザー顕微鏡（レーザーテック（株）社製）による表面観察を行い、以下の判定基準により評価した。
○：グリーンシート表面に深さ０．０５μｍ以上の凹みが１個以下／１００ｃｍ２
△：グリーンシート表面に深さ０．０５μｍ以上の凹みが１個以上５個未満／１００ｃｍ２
×：グリーンシート表面に深さ０．０５μｍ以上の凹みが５個以上／１００ｃｍ２
【００５６】
（１０）総合判定
表面粗さ、空気漏れ指数、巻き特性、転写基材の平滑性などを総合的に判断し、フィルム表面の平滑性に優れ、表面に粗大突起物がないような適正な加工特性を備え、また、フィルム製造および加工工程における巻き特性が良好である離型用ポリエステルフィルムを○、不十分なものを×とした。
【００５７】
以下の実施例および比較例で使用した原料は、以下のようにして準備した。
・ポリエステル（１）
ジメチルテレフタレート１００部、エチレングリコール７０部、および酢酸カルシウム一水塩０．０７部を反応器にとり、加熱昇温すると共にメタノール留去させエステル交換反応を行い、反応開始後、約４時間半を要して２３０℃に昇温し、実質的にエステル交換反応を終了した。
【００５８】
次に燐酸０．０４部および三酸化アンチモン０．０３５部を添加し、常法に従って重合した。すなわち、反応温度を徐々に上げて、最終的に２８０℃とし、一方、圧力は徐々に減じて、最終的に０．０５ｍｍＨｇとした。４時間後、反応を終了し、常法に従い、チップ化してポリエステル（１）を得た。得られたポリエチレンテレフタレートの極限粘度は０．６６ｄｌ／ｇであった。
【００５９】
・ポリエステル（２）
さらに上記の実質的に粒子を含有しないホモポリエステルペレットに、平均１次粒径０．３μｍの球状シリカをポリエステルに対し１．５重量％添加し、ベント式二軸混練機を用いて練り込み、ポリエステル（２）を得た。この時、吐出量とスクリュー回転数の比であるＱ／Ｎは０．６１であった。
【００６０】
実施例１：
上記ポリエステル（１）およびポリエステル（２）を４０：６０の比率で混合したポリエステルをＡ層用の原料とし、上記ポリエステル（１）をＢ層用の原料とした。Ａ層およびＢ層用原料をそれぞれ別個の溶融押出機により溶融押出して（Ａ／Ｂ／Ａ）の２種３層積層の無定形シートを得た。ついで、冷却したキャスティングドラム上に、シートを共押出し冷却固化させて無配向シートを得た。次いで、９０℃にて縦方向に３．０倍延伸した後、テンター内で予熱工程を経て１３０℃で横方向に４．０倍延伸、２３０℃で１５秒間の熱処理を行い、製膜機にて巻き取ることで厚さ３１μｍ(Ａ層：２μｍ、Ｂ層：２７μｍ)のポリエステルフィルムを得た。評価結果を下記表１に示す。
【００６１】
実施例２：
実施例１において、ポリエステルＡ層の粒子量が０．８重量％、マスターバッチ中の体積平均粒子径の変動係数が６８とすること以外は実施例１と同様にしてポリエステルフィルムを得た。評価結果を表１に示す。
【００６２】
実施例３：
実施例１において、ポリエステルＡ層の粒子量が１．０重量％、マスターバッチ中の体積平均粒子径の変動係数が１３、Ａ層の厚さを０．５μｍとすること以外は実施例１と同様にしてポリエステルフィルムを得た。評価結果を表１に示す。
【００６３】
実施例４：
実施例１において、配合粒子種が平均１次粒径０．４μｍの炭酸カルシウム、ポリエステルＡ層の粒子量が０．７重量％、マスターバッチ中の体積平均粒子径の変動係数が１３とすること以外は実施例１と同様にしてポリエステルフィルムを得た。評価結果を表１に示す。
【００６４】
実施例５：
実施例１において、配合粒子種が平均１次粒径０．４μｍの炭酸カルシウム、ポリエステルＡ層の粒子量が０．８重量％、マスターバッチ中の体積平均粒子径の変動係数が１４０、Ａ層の厚さを１．０μｍとすること以外は実施例１と同様にしてポリエステルフィルムを得た。評価結果を表１に示す。
【００６５】
実施例６：
実施例１において、配合粒子種が平均１次粒径０．５μｍの有機粒子、ポリエステルＡ層の粒子量が０．６重量％、マスターバッチ中の体積平均粒子径の変動係数が１０とすること以外は実施例１と同様にしてポリエステルフィルムを得た。評価結果を表１に示す。
【００６６】
実施例７：
実施例１において、配合粒子種が平均１次粒径０．６μｍの有機粒子、ポリエステルＡ層の粒子量が０．５重量％、マスターバッチ中の体積平均粒子径の変動係数が１５、Ａ層の厚さを３．０μｍとすること以外は実施例１と同様にしてポリエステルフィルムを得た。評価結果を表１に示す。
【００６７】
比較例１：
実施例１において、配合粒子種が平均１次粒径０．２μｍのアルミナ粒子、ポリエステルＡ層の粒子量が１．５重量％、マスターバッチ中の体積平均粒子径の変動係数が１４とすること以外は実施例１と同様にしてポリエステルフィルムを得た。評価結果を表１に示す。得られたフィルムは、転写基材の平滑性は良好であったが、巻き特性が悪いものであった。
【００６８】
比較例２：
実施例１において、ポリエステルＡ層の粒子量が０．６重量％、マスターバッチ中の体積平均粒子径の変動係数が３０２とすること以外は実施例１と同様にしてポリエステルフィルムを得た。評価結果を表１に示す。得られたフィルムは、巻き特性は良好であったが、転写基材の平滑性が悪いものであった。
【００６９】
比較例３：
実施例１において、ポリエステルＡ層の粒子量が０．４重量％、マスターバッチ中の体積平均粒子径の変動係数が２８とすること以外は実施例１と同様にしてポリエステルフィルムを得た。評価結果を表１に示す。得られたフィルムは、転写基材の平滑性は良好であったが、巻き特性が悪いものであった。
【００７０】
比較例４：
実施例１において、配合粒子種が平均１次粒径０．４μｍの有機粒子、ポリエステルＡ層の粒子量が０．７重量％、マスターバッチ中の体積平均粒子径の変動係数が４２１とすること以外は実施例１と同様にしてポリエステルフィルムを得た。評価結果を表１に示す。得られたフィルムは、巻き特性は良好であったが、転写基材の平滑性が悪いものであった。
【００７１】
比較例５：
実施例１において、配合粒子種が平均１次粒径０．４μｍの有機粒子、ポリエステルＡ層の粒子量が１．１重量％、マスターバッチ中の体積平均粒子径の変動係数が９８とすること以外は実施例１と同様にしてポリエステルフィルムを得た。評価結果を表１に示す。得られたフィルムは、巻き特性は良好であったが、転写基材の平滑性が悪いものであった。
【００７２】
比較例６：
実施例１において、配合粒子種が平均１次粒径０．５μｍの炭酸カルシウム、ポリエステルＡ層の粒子量が０．６重量％、マスターバッチ中の体積平均粒子径の変動係数が２４０とすること以外は実施例１と同様にしてポリエステルフィルムを得た。評価結果を表１に示す。得られたフィルムは、巻き特性は良好であったが、転写基材の平滑性が悪いものであった。
【００７３】
比較例７：
実施例１において、配合粒子種が平均１次粒径０．６μｍの有機粒子、ポリエステルＡ層の粒子量が０．５重量％、マスターバッチ中の体積平均粒子径の変動係数が３２６とすること以外は実施例１と同様にしてポリエステルフィルムを得た。評価結果を表１に示す。得られたフィルムは、巻き特性は良好であったが、転写基材の平滑性が悪いものであった。
【００７４】
比較例８：
実施例１において、配合粒子種が平均１次粒径０．７μｍの球状シリカ、ポリエステルＡ層の粒子量が０．３重量％、マスターバッチ中の体積平均粒子径の変動係数が１１とすること以外は実施例１と同様にしてポリエステルフィルムを得た。評価結果を表１に示す。得られたフィルムは、巻き特性は良好であったが、転写基材の平滑性が悪いものであった。
【００７５】
以上、得られた結果をまとめて下記表１に示す。
【００７６】
【表１】
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【００７７】
上記表１中、ＳＩは球状シリカ、ＣＡは炭酸カルシウム、ＯＰは有機粒子、Ａｌはアルミナ粒子をそれぞれ意味する。
【産業上の利用可能性】
【００７８】
本発明の離型フィルムは、例えば、誘電体層の厚みが０．５μｍ以下の超薄の誘電体層成形用として好適に利用することができる。
【図１】
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【図２】
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