(57)【要約】【課題】発泡シートの柔軟性を確保しつつも、厚み方向の放熱性能を向上させる。【解決手段】発泡複合シート１０は、発泡シート１１と、発泡シート１１の少なくとも一方の面に設けられ、金属、金属酸化物及び金属窒化物から選択される少なくとも１種の金属系材料から形成され、その付着量が５〜１０００μｇ／ｃｍ２である金属系薄膜１２とを備え、発泡シート１１に貫通孔１７が設けられ、かつ貫通孔１７の内周面に金属系材料が付着する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
発泡シートと、この発泡シートの少なくとも一方の面に設けられ、金属、金属酸化物及び金属窒化物から選択される少なくとも１種の金属系材料から形成され、その付着量が５〜１０００μｇ／ｃｍ２である金属系薄膜とを備え、
前記発泡シートに貫通孔が設けられ、かつ前記貫通孔の内周面に前記金属系材料が付着した発泡複合シート。
【請求項２】
前記金属系薄膜が、ステンレス、モネル、アルミニウム、銅、銀、チタン及びニッケルからなる群から選択される少なくとも１種の金属系材料から形成される請求項１に記載の発泡複合シート。
【請求項３】
前記金属系薄膜が、前記発泡シートの両面に設けられる請求項１又は２に記載の発泡複合シート。
【請求項４】
前記貫通孔の径が、０．１〜３ｍｍである請求項１〜３のいずれか１項に記載の発泡複合シート。
【請求項５】
前記貫通孔が１００〜８０，０００個／ｍ2設けられる請求項１〜４のいずれか１項に記載の発泡複合シート。
【請求項６】
前記発泡シートの厚みが、０．０５〜１．０ｍｍである請求項１〜５のいずれか１項に記載の発泡複合シート。
【請求項７】
前記発泡シートの見掛け倍率が１．０〜１０ｃｃ／ｇである請求項１〜６のいずれか１項に記載の発泡複合シート。
【請求項８】
前記発泡シートが、ポリオレフィン系発泡シートである請求項１〜７のいずれか１項に記載の発泡複合シート。
【請求項９】
前記発泡シートの一方の面側、又は他方の面側の少なくともいずれかに設けられる接着材をさらに備える請求項１〜８のいずれか１項に記載の発泡複合シート。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項に記載の発泡複合シートが、複数層に積層されてなる多層発泡複合シート。
【請求項１１】
貫通孔が設けられた発泡シートの少なくとも一方の面側から金属、金属酸化物及び金属窒化物から選択される少なくとも１種の金属系材料を付着させて、付着量が５〜１０００μｇ／ｃｍ２である金属系薄膜を前記少なくとも一方の面に形成するとともに、前記貫通孔の内周面に金属系材料を付着させる発泡複合シートの製造方法。
【請求項１２】
前記金属系材料をスパッタリングにより付着させる請求項１１に記載の発泡複合シートの製造方法。
【請求項１３】
前記発泡シートに、パンチング加工、及び針穴加工の少なくともいずれかにより前記貫通孔を開ける請求項１１又は１２に記載の発泡複合シートの製造方法。
【請求項１４】
請求項１１〜１３のいずれか１項に記載の発泡複合シートの製造方法により得た発泡複合シートを、複数層に重ねることで多層発泡複合シートを得る多層発泡複合シートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発泡複合シート、多層発泡複合シート、及びこれらの製造方法に関し、例えば電子機器用途で放熱シートとして使用する発泡複合シート、多層発泡複合シート、及びこれらの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
パーソナルコンピューター、携帯電話、及び電子ペーパー等の各種電子機器内部には、表示パネル、ＣＰＵ、パワーアンプ等の駆動により高い熱量を発する電子部品が多く搭載されている。そのため、これら電子部品及びその周辺が、過熱されるのを防止するために、放熱シートが使用されることがある。放熱シートとしては、例えば、シリコーン樹脂に熱伝導性充填材を混合したシリコーン熱伝導性シートが知られている。
【０００３】
さらに、電子部品の周辺には、衝撃、振動等を吸収するための衝撃吸収材、又は、部品間の隙間を埋めるためのシール材等が多く使用されている。各種電子部品は、小型化、集積化が進み過熱されやすくなっているため、衝撃吸収材及びシール材には、衝撃吸収性能及びシール性に加え、放熱性能が求められることがある。従来、放熱性能と衝撃吸収性能とを兼ね備えた衝撃吸収材として、エラストマー及び熱伝導性フィラーを含む樹脂組成物を発泡させてなる発泡体が知られている（例えば、特許文献１参照）。
さらに、電子機器の小型化及び集積化が進むにつれて、衝撃吸収材、シール材、放熱シート等には、より狭いスペースに配置させることが求められるようになってきている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−２３１１６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載される衝撃吸収材は、柔軟性が高く、衝撃吸収性に優れ、狭いスペースでも圧縮させることで容易に配置することが可能であるが、放熱性能が十分ではなく、更なる放熱性能の向上が望まれている。一方で、シリコーン熱伝導性シートは、放熱性能が良好であるが、柔軟性が低く、衝撃吸収性能及びシール性が不十分であったり、狭い隙間に配置することが難しかったりすることがある。
また、放熱シートは、各種部品の過熱を防止するために、厚み方向に効果的に放熱することが求められることがあるが、特許文献１に記載される発泡体、及びシリコーン熱伝導性シートは、一般的に厚み方向に効果的に放熱することが難しい。
【０００６】
本発明は、以上の問題点に鑑みて成されたものであり、本発明の課題は、柔軟性を良好にしつつも、シートの厚み方向に放熱効果の高いシート部材を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者は、鋭意検討の結果、発泡シートの少なくとも一方の面に、極薄の金属系材料からなる金属系薄膜を設けるとともに、発泡シート内部に、金属系材料が内周面に付着した貫通孔を設けることで上記課題が解決できることを見出し、以下の本発明を完成させた。
すなわち、本発明は、以下の（１）〜（１４）を提供するものである。
（１）発泡シートと、この発泡シートの少なくとも一方の面に設けられ、金属、金属酸化物及び金属窒化物から選択される少なくとも１種の金属系材料から形成され、その付着量が５〜１０００μｇ／ｃｍ２である金属系薄膜とを備え、
前記発泡シートに貫通孔が設けられ、かつ前記貫通孔の内周面に前記金属系材料が付着する発泡複合シート。
（２）前記金属系薄膜が、ステンレス、モネル、アルミニウム、銅、銀、チタン及びニッケルからなる群から選択される少なくとも１種の金属系材料から形成される上記（１）に記載の発泡複合シート。
（３）前記金属系薄膜が、前記発泡シートの両面に設けられる上記（１）又は（２）に記載の発泡複合シート。
（４）前記貫通孔の直径が、０．１〜３ｍｍである上記（１）〜（３）のいずれか１項に記載の発泡複合シート。
（５）前記貫通孔が１００〜８０，０００個／ｍ2設けられる上記（１）〜（４）のいずれか１項に記載の発泡複合シート。
（６）前記発泡シートの厚みが、０．０５〜１．０ｍｍである上記（１〜５のいずれか１項に記載の発泡複合シート。
（７）前記発泡シートの見掛け倍率が１．０〜１０ｃｃ／ｇである上記（１）〜（６）のいずれか１項に記載の発泡複合シート。
（８）前記発泡シートが、ポリオレフィン系発泡シートである上記（１）〜（７）のいずれか１項に記載の発泡複合シート。
（９）前記発泡シートの一方の面側、又は他方の面側の少なくともいずれかに設けられる接着材をさらに備える上記（１）〜（８）のいずれか１項に記載の発泡複合シート。
（１０）上記（１）〜（９）のいずれか１項に記載の発泡複合シートが、複数層に積層されてなる多層発泡複合シート。
（１１）貫通孔が設けられた発泡シートの少なくとも一方の面側から金属、金属酸化物及び金属窒化物から選択される少なくとも１種の金属系材料を付着させて、付着量が５〜１０００μｇ／ｃｍ２である金属系薄膜を前記少なくとも一方の面に形成するとともに、前記貫通孔の内周面に金属系材料を付着させる発泡複合シートの製造方法。
（１２）前記金属系材料をスパッタリングにより付着させる上記（１１）に記載の発泡複合シートの製造方法。
（１３）前記発泡シートに、パンチング加工、及び針穴加工の少なくともいずれかにより前記貫通孔を開ける上記（１１）又は（１２）に記載の発泡複合シートの製造方法。
（１４）上記（１１）〜（１３）のいずれか１項に記載の発泡複合シートの製造方法により得た発泡複合シートを、複数層に重ねることで多層発泡複合シートを得る多層発泡複合シートの製造方法。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、柔軟性を維持しつつも、厚み方向に放熱効果の高い発泡複合シート、及び多層発泡複合シートを提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】発泡複合シートの一実施形態を示す模式的な断面図である。
【図２】多層発泡複合シートの一実施形態を示す模式的な断面図である。
【図３】多層発泡複合シートの製造過程の一態様を示す模式的な断面図である。
【図４】多層発泡複合シートの使用方法の一態様を示す模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明について実施形態を用いてさらに詳細に説明する。
＜発泡複合シート＞
本発明の発泡複合シートは、発泡シートと、この発泡シートの少なくとも一方の面に設けられた金属系薄膜とを備えるものである。また、発泡シートには、貫通孔が設けられ、その貫通孔の内周面にも金属系材料が付着している。
【００１１】
以下、発泡複合シートの各部材について詳細に説明する。
［発泡シート］
発泡シートは、内部に複数の気泡を有する発泡体であり、樹脂成分を含む発泡体材料を発泡してなるものである。具体的な発泡シートとしては、ポリオレフィン系発泡シートが挙げられる。ポリオレフィン系発泡シートを使用することで、発泡複合シートの柔軟性、衝撃吸収性、シール性を良好にしつつも、発泡シートに適度な機械強度を付与することが可能になる。さらに、後述するパンチング、針穴加工等により貫通孔を開けやすくなる。
また、発泡シートは、架橋したものであることが好ましい。発泡シートは、架橋することで機械強度がより高くなり、パンチング、針穴加工等により貫通孔を開けやすくなる。
【００１２】
ポリオレフィン系発泡シートは、樹脂成分としてポリオレフィン系樹脂を含む発泡体材料を発泡させたものである。ポリオレフィン系樹脂としては、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、またはこれらの混合物が挙げられ、これらの中ではポリエチレン系樹脂が好ましい。より具体的には、チーグラー・ナッタ化合物、メタロセン化合物、酸化クロム化合物等の重合触媒で重合された、ポリエチレン系樹脂若しくはポリプロピレン系樹脂、又はこれらの混合物が挙げられ、これらの中では、メタロセン化合物の重合触媒で重合されたポリエチレン系樹脂が好ましい。メタロセン化合物の重合触媒により得られたポリエチレン系樹脂を用いることにより、薄厚であっても、機械強度が高く衝撃吸収性の高い発泡シートを得やすくなる。
【００１３】
ポリエチレン系樹脂としては、エチレン単独重合体、エチレン−α−オレフィン共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体が挙げられる。エチレン−α−オレフィン共重合体は、エチレンを主成分（通常、全モノマーの７０質量％以上、好ましくは９０質量％以上）とし、エチレンとα−オレフィンとを共重合することにより得られるポリエチレン系樹脂である。ポリエチレン系樹脂を構成するα−オレフィンとして、具体的には、プロピレン、１−ブテン、１−ペンテン、４−メチル−１−ペンテン、１−ヘキセン、１−ヘプテン、及び１−オクテン等が挙げられる。
また、エチレン−酢酸ビニル共重合体としては、通常、エチレンを全モノマーの５０質量％以上使用した共重合体が挙げられる。
なお、ポリエチレン系樹脂は、直鎖状低密度ポリエチレン、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレンのいずれでもよい。
【００１４】
ポリプロピレン系樹脂としては、例えば、プロピレン単独重合体、プロピレンを主成分（通常、全モノマーの７０質量％以上、好ましくは９０質量％以上）とし、プロピレンとα−オレフィンとを共重合することにより得られるプロピレン−α−オレフィン共重合体等が挙げられる。これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
プロピレン−α−オレフィン共重合体を構成するα−オレフィンとしては、具体的には、エチレン、１−ブテン、１−ペンテン、４−メチル−１−ペンテン、１−ヘキセン、１−ヘプテン、１−オクテン等が挙げられる。
【００１５】
（メタロセン化合物）
ポリオレフィン系樹脂を製造するために使用される好適なメタロセン化合物としては、遷移金属をπ電子系の不飽和化合物で挟んだ構造を有するビス（シクロペンタジエニル）金属錯体等の化合物が挙げられる。より具体的には、チタン、ジルコニウム、ニッケル、パラジウム、ハフニウム、及び白金等の四価の遷移金属に、１又は２以上のシクロペンタジエニル環又はその類縁体がリガンド（配位子）として存在する化合物が挙げられる。
このようなメタロセン化合物は、活性点の性質が均一であり各活性点が同じ活性度を備えている。したがって、メタロセン化合物を用いて合成した重合体は、分子量、分子量分布、組成、組成分布等の均一性が高くなるため、メタロセン化合物を用いて合成した重合体を含むシートを架橋した場合には、架橋が均一に進行する。均一に架橋されたシートは、均一に延伸しやすくなるため、発泡シートの厚みを均一にしやすくなり、薄肉化しても高い性能を維持しやすくなる。
【００１６】
リガンドとしては、例えば、シクロペンタジエニル環、インデニル環等が挙げられる。これらの環式化合物は、炭化水素基、置換炭化水素基又は炭化水素−置換メタロイド基により置換されていてもよい。炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、各種プロピル基、各種ブチル基、各種アミル基、各種ヘキシル基、２−エチルヘキシル基、各種ヘプチル基、各種オクチル基、各種ノニル基、各種デシル基、各種セチル基、フェニル基等が挙げられる。なお、「各種」とは、ｎ−、ｓｅｃ−、ｔｅｒｔ−、ｉｓｏ−を含む各種異性体を意味する。
また、環式化合物をオリゴマーとして重合したものをリガンドとして用いてもよい。
更に、π電子系の不飽和化合物以外にも、塩素や臭素等の一価のアニオンリガンド又は二価のアニオンキレートリガンド、炭化水素、アルコキシド、アリールアミド、アリールオキシド、アミド、アリールアミド、ホスフィド、アリールホスフィド等を用いてもよい。
【００１７】
四価の遷移金属やリガンドを含むメタロセン化合物としては、例えば、シクロペンタジエニルチタニウムトリス（ジメチルアミド）、メチルシクロペンタジエニルチタニウムトリス（ジメチルアミド）、ビス（シクロペンタジエニル）チタニウムジクロリド、ジメチルシリルテトラメチルシクロペンタジエニル−ｔ−ブチルアミドジルコニウムジクロリド等が挙げられる。
メタロセン化合物は、特定の共触媒（助触媒）と組み合わせることにより、各種オレフィンの重合の際に触媒としての作用を発揮する。具体的な共触媒としては、メチルアルミノキサン（ＭＡＯ）、ホウ素系化合物等が挙げられる。なお、メタロセン化合物に対する共触媒の使用割合は、１０〜１００万モル倍が好ましく、５０〜５，０００モル倍がより好ましい。
【００１８】
（チーグラー・ナッタ化合物）
チーグラー・ナッタ化合物は、トリエチルアルミニウム−四塩化チタン固体複合物であって、四塩化チタンを有機アルミニウム化合物で還元し、更に各種の電子供与体及び電子受容体で処理して得られた三塩化チタン組成物と、有機アルミニウム化合物と、芳香族カルボン酸エステルとを組み合わせる方法（特開昭５６−１００８０６号、特開昭５６−１２０７１２号、特開昭５８−１０４９０７号の各公報参照）、及びハロゲン化マグネシウムに四塩化チタンと各種の電子供与体を接触させる担持型触媒の方法（特開昭５７−６３３１０号、特開昭６３−４３９１５号、特開昭６３−８３１１６号の各公報参照）等で製造されたものが好ましい。
【００１９】
なお、発泡シートがポリオレフィン系の場合でも、発泡体材料は、本発明の目的を阻害しない範囲であれば、ポリオレフィン系樹脂以外の樹脂成分を含有することができる。その樹脂成分としては、スチレン系熱可塑性エラストマー、エチレン−プロピレンゴム（ＥＰＭ）、エチレン−プロピレンゴム−ジエンゴム（ＥＰＤＭ）等が挙げられる。なお、ポリオレフィン系樹脂以外の樹脂成分は、発泡体材料の樹脂成分全量に対して、通常３０質量％以下含有され、好ましくは１０質量％以下含有される。
【００２０】
（熱伝導性フィラー）
発泡シートは、その内部に分散された熱伝導性フィラーを含有するものであってもよい。熱伝導性フィラーは、発泡シートの熱伝導性を高めて発泡シートにおける放熱効果を高めやすくなる。また、熱伝導性フィラーの一部が金属系薄膜と接触することで、金属系薄膜による放熱効果をより高めやすくなる。
熱伝導性フィラーとしては、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、タルク、窒化アルミニウム、及び、グラファイト、グラフェン、カーボンブラック、カーボンファイバ、カーボンナノチューブ、カーボンナノホーン等の炭素質材料が挙げられる。
これらの中では、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム等の金属系フィラーが好ましく、中でも酸化マグネシウムがより好ましい。これらは、単独でもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
熱伝導性フィラーとしては、平均粒径が好ましくは０．１〜１００μｍ、より好ましくは０．５〜５０μｍのものを用いることができる。なお、本発明において、平均粒径は体積平均粒径であり、マイクロトラック粒度分布測定装置ＭＴ３３００ＥＸ（日機装株式会社製）による測定値である。
【００２１】
熱伝導フィラーの含有量は、発泡シート中の樹脂成分１００質量部に対して１００〜５００質量部が好ましい。熱伝導体の含有量が１００質量部以上であると、発泡体シートに十分な熱伝導性を付与することができ、熱伝導体の含有量が５００質量部以下であると、発泡体シートの柔軟性が低下することを防ぐことができる。発泡体シートの熱伝導性、柔軟性の観点から、樹脂成分１００質量部に対する熱伝導体の含有量は、１２０〜４８０質量部が好ましく、１５０〜４５０質量部がより好ましい。
発泡体材料は、熱伝導性フィラー以外にも、後述する熱分解型発泡剤、架橋のための有機過酸化物、さらには、必要に応じて配合される、架橋助剤、酸化防止剤、発泡助剤、気泡核調整材、熱安定剤、着色剤、難燃剤、帯電防止剤、充填材等の各種添加剤を、発泡シートの物性を損なわない範囲で含有していてもよい。
【００２２】
発泡シートは、独立気泡を有することが好ましい。発泡シートは、独立気泡を有することにより、水、ホコリ等の侵入防止効果の高いシール材とすることが可能である。また、衝撃を受けた際に、気泡の変形量が抑えられるため、衝撃に対する発泡シートの変形量が抑えられ、衝撃吸収性能を高めやすくなる。
なお、独立気泡を有する発泡シートとは、独立気泡率が７０％以上である発泡シートを意味する。独立気泡率は、ＡＳＴＭＤ ２８５６−９４に基づき測定されるものである。発泡シートの独立気泡率は、９０％以上であることが好ましい。
【００２３】
発泡シートは、その見掛け倍率が１．０〜１０ｃｃ／ｇであるものが好ましく、１．５〜６ｃｃ／ｇであることがより好ましい。見掛け倍率は、以上の範囲となることで、適度な機械強度を有しつつ、良好な柔軟性を有することが可能になり、シール性、衝撃吸収性等を良好にしやすくなる。
発泡シートは、その厚みが０．０５〜１．０ｍｍであることが好ましい。本発明において、発泡シートの厚みが０．０５ｍｍ以上となると、衝撃吸収材又はシール材として必要とされる柔軟性や強度を得ることが可能になる。また、１．０ｍｍ以下とすることで、小型化された各種電子機器の狭い隙間に適用することが可能になる。以上の観点から発泡シートの厚みは、０．１〜０．６ｍｍであることがより好ましい。
発泡シートは、架橋されたものであることが好ましく、発泡シートの架橋度を示すゲル分率は、５〜７０質量％であることが好ましく、１０〜５０質量％であることがより好ましい。ゲル分率が上記下限値以上となると、発泡シートにおいて十分な架橋が形成されて、発泡体の機械強度等をより良好にすることが可能になる。また、上記上限値以下とすることで、発泡シートの柔軟性を良好にすることが可能になり、シール性、衝撃吸収性等を向上させやすくなる。
【００２４】
［金属系薄膜］
金属系薄膜は、発泡シートの一方の面、又は両面に設けられる。金属系薄膜は、金属、金属酸化物及び金属窒化物から選択される少なくとも１種の金属系材料から形成されるものであって、その付着量が各面において５〜１０００μｇ／ｃｍ２となるものである。
発泡複合シートは、このような金属系薄膜を有することで、発泡シートの柔軟性を損なうことなく、発泡複合シートの熱伝導性を向上させて放熱性を良好にする。また、発泡複合シートでは、金属系薄膜により、発泡シートの面方向に沿って熱伝導しやすくなるため、熱源による局所的な過熱を分散させやすくなる。
金属系薄膜の付着量は、以上の観点から１０〜２００μｇ／ｃｍ２であることがより好ましい。なお、金属系薄膜の付着量は、後述する実施例で記載するように、Ｘ線観察により面積当たりの重量を求めたものである。
【００２５】
金属系薄膜は、発泡シートの両面に設けることが好ましい。本発明では、後述するように、発泡シート表面の金属系薄膜を形成するのと同時に、貫通孔の内周面にも金属系材料を付着させる。そのため、金属系薄膜を発泡シートの両面に設けると、その両面側から金属系材料を付着させることになるので、それに伴い、金属系材料は、貫通孔の両端から、孔内部に侵入することになり、貫通孔の一端から他端にわたって付着しやくなる。
さらに、発泡シートの両面に金属系薄膜を設けると、その両面の金属系薄膜のいずれもが、貫通孔の内周面に付着した金属系材料に接続することで、熱伝導性が向上して、より一層発泡複合シートの放熱性を高めやすくなる。
なお、発泡シートの一方の面又は両面に設けた金属系薄膜は、通常、発泡複合シートの最外面を構成する。発泡複合シートは、金属系薄膜が設けられた最外面を、後述するヒートシンク等の放熱部材に接触するように配置することで放熱効果を高めやすくなる。
【００２６】
金属系材料として使用される金属としては、アルミニウム、銅、銀、ニッケル、チタン等の金属、及びステンレス、モネル等の２種以上の金属からなる合金が挙げられる。また、金属系薄膜を形成する金属酸化物としては、酸化アルミニウム、酸化亜鉛等が挙げられる。また金属窒化物としては、窒化チタン等が挙げられる。これらは、１種単独で使用してもよいし、２種以上を組み合わせて使用してもよい。
これらの中では、放熱効果が高いことから、金属が好ましく、アルミニウム、ステンレス、チタンがより好ましく、中でも熱伝導性が高い点からアルミニウムがさらに好ましい。
【００２７】
［貫通孔］
発泡シートには、シートの厚み方向に貫通する貫通孔が設けられ、その貫通孔の内周面に金属系材料が付着している。このような構成により、発泡複合シートの厚み方向における熱伝導性を高めることが可能になる。
そして、上記したように、本発明では、発泡シートの少なくとも一方の面上には、金属系薄膜が設けられる。そのため、発泡複合シートの他方の面側の熱エネルギーを、貫通孔内部に付着される金属系材料により厚み方向に沿って、一方の面上に形成した金属系薄膜まで伝導して、その金属系薄膜から放熱することが可能になる。したがって、発泡複合シートの放熱性能を優れたものとすることが可能になる。さらに、貫通孔の内周面に付着した金属系材料は、発泡シート表面の金属系薄膜と同様に極薄状に付着しているため、発泡シートの厚み方向における柔軟性を殆ど低下させることもない。
なお、発泡シートには、通常、複数の貫通孔が設けられるとともに、各貫通孔の内周面に金属系材料が付着している。また、貫通孔の内周面に付着する金属系材料の種類は、上記した通りである。ただし、貫通孔の内周面への金属系材料の付着は、通常、発泡シート表面の金属系薄膜の形成と同時に行われる。そのため、内周面に付着される金属系材料は、一般的には、発泡シート表面の金属系薄膜と同一の材料で構成される。
【００２８】
金属系材料は、貫通孔の内周面に付着していればよいが、金属系材料がある程度の面積にわたって内周面に付着して膜状となることが好ましい。金属系材料は、貫通孔の内周面全面に設けられてもよいが、部分的に設けられていてもよい。
そして、貫通孔内部において、金属系材料は、貫通孔の一端から他端まで、連続するように付着することが好ましい。金属系材料が厚み方向において連続していると、その金属系材料が、発泡シートの少なくとも一方の面に設けた金属系薄膜と接続することも相俟って、発泡複合シートの厚み方向の熱伝導性、及び放熱性能をより高めやすくなる。さらに、貫通孔を設けたことにより、発泡複合シートの圧縮強度が低くなり、柔軟性を高めやすくなる。
なお、貫通孔は、発泡シート内部の気泡を突き抜けるようにして設けられることがあるが、そのような場合には、突き抜けられた気泡の内周面にも金属系材料が付着してもよい。
また、貫通孔は、柔軟性を確保する観点からは、貫通孔の内周面に付着した金属系材料によって、塞がれないほうがよい。
【００２９】
貫通孔は、その径が０．１〜３ｍｍであることが好ましく、０．２〜２ｍｍであることがより好ましい。また、貫通孔は、発泡シートにおいて、１００〜８０，０００個／ｍ2設けられることが好ましく、１，０００〜４０，０００個／ｍ2設けられることがより好ましい。貫通孔の径及び個数をこれらの範囲とすることで、柔軟性を確保しつつ、厚み方向の熱伝導性を優れたものとしやすくなる。
【００３０】
発泡シートにおいて、貫通孔は、ＭＤ方向に沿って一定のピッチで複数並べられることが好ましい。この場合、ＣＤ方向に平行に１列又は２列程度に並べられた複数の貫通孔が、さらにＭＤ方向に沿って一定のピッチで複数並べられる。より具体的には、ＣＤ方向に沿って、互い違いとなるように２列に並べた複数の貫通孔からなる配列を、ＭＤ方向に一定のピッチで複数並べていわゆる千鳥状としてもよいし、ＣＤ方向に沿って一列に並べた複数の貫通孔からなる配列を、ＭＤ方向に一定のピッチで複数並べていわゆる並列状としてもよい。
このように規則的に貫通孔を設けることで、発泡シートの孔開けを容易に行うことが可能になる。また、後述するように、発泡複合シートを用いて、多層発泡複合シートを製造する際、発泡シートの貫通孔が重ならないようにすることが容易になる。
なお、ＭＤ方向は、Machine directionを意味し、発泡シートの押出方向、シートの搬送方向等と一致する方向であるとともに、ＣＤ方向は、Cross Machine directionを意味し、ＭＤ方向に直交しかつ発泡シートに平行な方向である。
【００３１】
［接着材］
発泡複合シートは、発泡シートの一方の面側又は他方の面側の少なくともいずれかに設けられる接着材をさらに備えていてもよい。接着材は、後述する多層発泡複合シートを形成するとき、発泡複合シート同士を接着するために使用し、あるいは、発泡複合シートを発泡複合シート以外の部材に接着するために使用する。
接着材は、発泡シートの金属系薄膜が形成される面に設けてもよいし、金属系薄膜が形成されない面に設けてもよい。ただし、接着材は、発泡シートの金属系薄膜が形成された面に設ける場合には、金属系薄膜の上に設ける。また、接着材は、金属系薄膜が形成されない面に設ける場合には、通常、発泡シートの表面に直接形成する。
すなわち、発泡シートの両面に金属系薄膜が設けられる場合には、接着材は、金属系薄膜の上に設けられる。また、発泡シートの一方の面のみに金属系薄膜が設けられる場合、接着材は、金属系薄膜が設けらない他方の面に設けられることが好ましいが、発泡シートの一方の面に設けられた金属系薄膜の上に設けられてもよい。
また、接着材は貫通孔を覆うように貫通孔上にも形成してもよいし、貫通孔上には形成しなくてもよい。
【００３２】
接着材としては、発泡複合シート同士を接着し、又は、発泡複合シートを発泡複合シート以外の部材に接着できるものであれば特に限定されない。接着材としては、具体的には、接着剤層、粘着剤層、両面粘着テープ等が挙げられ、両面粘着テープが好ましい。
両面粘着テープは、基材と、基材の両面に設けられた粘着剤層とを備えるものである。両面粘着テープは、発泡複合シート同士を接着させるときには、２つの粘着剤層のいずれも発泡複合シートに接着する。また、発泡複合シートを他の部材に接着させるときには、一方の粘着剤層が発泡複合シートに接着し、他方の粘着剤層が、発泡複合シート以外の部材に接着する。接着材として両面粘着テープを使用すると、発泡複合シートに容易に接着材を設けることが可能になる。
【００３３】
接着材の厚みは、１〜２００μｍであることが好ましく、より好ましくは３〜１５０μｍであり、更に好ましくは５〜１００μｍである。接着材の厚みが２００μｍ以下であると、発泡複合シート、及び後述する多層発泡複合シートにおいて、接着材により柔軟性及び熱伝導性が低下することを防止する。また、１μｍ以上とすることで、適度な接着性を発揮することが可能になる。
粘着剤層を構成する粘着剤としては、特に制限はなく、例えば、アクリル系粘着剤、ウレタン系粘着剤、ゴム系粘着剤等が挙げられる。また、両面粘着テープの基材としては、特に限定されないが、樹脂フィルム、紙基材、不織布等が挙げられる。
【００３４】
本発明の発泡複合シートの一態様を図１に示す。本態様の発泡複合シート１０では、気泡１４を複数有する発泡シート１１の両面１１Ａ、１１Ｂに、金属系材料から形成された金属系薄膜１２が設けられる。また、発泡シート１１には、複数の貫通孔１７が設けられ、その各貫通孔１７の内周面には、金属系材料により形成された薄膜１８が設けられる。薄膜１８は、貫通孔１７の厚み方向における一端１７Ａから他端１７Ｂまで連続して設けられ、発泡シート１１の両面１１Ａ，１１Ｂに設けられた金属系薄膜１２、１２に接続している。また、本態様においては、貫通孔１７により突き抜けられた気泡１４の内周面にも金属系材料が付着されている。
【００３５】
［多層発泡複合シート］
本発明の多層発泡複合シートは、上記発泡複合シートが、複数層に積層されてなる積層体である。多層発泡複合シートは、内周面に金属系材料が付着された貫通孔、及び金属系薄膜を有する発泡複合シートが複数層に積層されることで、放熱性、特に厚み方向に沿う放熱性が良好になりやすい。
多層発泡複合シートにおいては、多層発泡複合シートの各層を構成する各発泡シートの間に、金属系薄膜を配置するように、発泡複合シートが複数層に積層されることが好ましい。各層を構成する発泡シートの間に金属系薄膜を配置すると、多層発泡複合シートの放熱性をより高めやすくなる。特に、発泡シート間の熱伝導性が良好になるので、貫通孔内に金属系材料が設けられることと相俟って、厚み方向における熱伝導性が良好になりやすい。
多層発泡複合シートにおいて、発泡複合シート同士は、通常、接着材により接着されるが、各発泡複合シート同士を、接着材を用いなくても接着可能であれば、接着材は省略可能である。
【００３６】
多層発泡複合シートは、２層以上の発泡複合シートを積層していればよいが、２〜２０層の発泡複合シートを積層することが好ましい。また、多層発泡複合シートは、その総厚みが、好ましくは０．２〜３０ｍｍ、より好ましくは０．２〜２０ｍｍである。各発泡複合シートは極薄であるので、多層発泡複合シートも比較的薄物となり、各種電子機器の狭い隙間に適用することが可能になる。
【００３７】
また、多層発泡複合シートにおいては、各層を構成する発泡複合シートそれぞれに設けられる各貫通孔は、その発泡複合シートと隣接する発泡複合シートに設けられた各貫通孔に重ならないように異なる位置に設けられることが好ましい。このように、隣接する２層の発泡複合シートにおける貫通孔が、互いに重ならないようにすることで、熱伝導性を向上することができる。
また、多層発泡複合シートにおいて、各層の発泡複合シートそれぞれに設けられた各貫通孔は、他の層を構成する全ての発泡複合シートに設けられる貫通孔と異なる位置に設けられることがより好ましい。なお、貫通孔の位置が異なるとは、厚み方向に沿って多層発泡複合シートを平面視したとき、貫通孔同士が重ならないことを意味する。
【００３８】
ここで、多層発泡複合シートの一態様について、図２を用いて説明すると、本態様では、多層発泡複合シート２０を構成する各発泡シート１１の両面１１Ａ，１１Ｂのいずれにも金属系薄膜１２，１２が設けられる。これにより、発泡複合シート１０を複数層積層すると、必然的に各発泡シート１１の間に金属系薄膜１２が配置されることになる。さらに多層発泡複合シート２０の最外面２０Ａ、２０Ｂのいずれにも金属系薄膜１２、１２が設けられることになる。
多層発泡複合シート２０は、最外面に金属系薄膜１２が設けられることで、多層発泡複合シート２０に伝熱された熱が、最外面から放熱しやすくなる。また、金属系薄膜１２、１２が設けられる最外面２０Ａ、２０Ｂの一方が、例えば、後述するように、ヒートシンク等の放熱部材に接触して配置することで、放熱効果を高めやすくなる。
さらに、本態様では、各層を構成する各発泡複合シート１０は、互いに同じ配列で貫通孔１７を有するとともに、これら貫通孔１７は、各発泡複合シート１０が互いに微小量ずつＭＤ方向にずらされることで、他の発泡複合シート１０の貫通孔１７と重ならないように配置される。なお、発泡複合シート１０における貫通孔１７は、上記で詳述したように、ＭＤ方向に沿って一定のピッチで複数並べられたものである。
【００３９】
一方で、図示しないが、各発泡複合シートの一方の面のみに金属系薄膜が設けられる場合には、発泡複合シートの金属系薄膜が設けられる一方の面を、金属系薄膜が設けられない他方の面に貼り合わせていくことで、各発泡シートの間に金属系薄膜が設けられることになる。この場合も、多層発泡複合シートの一方の最外面に金属系薄膜が設けられ、放熱効果が高められる。
【００４０】
［発泡複合シートの製造方法］
次に、本発明の発泡複合シートの製造方法について説明する。
本発明の発泡複合シートは、貫通孔が設けられた発泡シートの少なくとも一方の面側から金属系材料を付着させ、発泡シートの少なくとも一方の面に金属系薄膜を形成するとともに、貫通孔の内周面にも金属系材料を付着させることで製造するものである。
【００４１】
（発泡シートの製造）
発泡シートの製造方法について説明すると、発泡シートは、発泡体材料に気泡を形成して製造するが、好ましくは、発泡体材料をシート状に加工して、発泡させる方法が挙げられる。
発泡体材料をシート状に加工する方法は、ポリオレフィン系樹脂等の樹脂成分、並びに必要に応じて配合される熱伝導性フィラー、及びその他添加剤を押出機に供給して溶融混練し、押出機から押出すことによってシート状にされた発泡体材料を得る方法が挙げられる。あるいは、カレンダー、コンベアベルトキャスティングなどを用いて混練しながら連続的に搬送することにより発泡体材料を、所定厚みを有するシート状に加工してもよい。
【００４２】
発泡体材料を発泡させる方法は、シート状の発泡体材料を加熱して、発泡体材料に配合された熱分解型発泡剤を発泡させることで行う方法が挙げられる。ここで、熱分解型発泡剤の具体例としては、分解温度が１６０℃〜２７０℃程度の有機系又は無機系の化学発泡剤が挙げられる。
有機系発泡剤としては、アゾジカルボンアミド、アゾジカルボン酸金属塩（アゾジカルボン酸バリウム等）、アゾビスイソブチロニトリル等のアゾ化合物、Ｎ，Ｎ’−ジニトロソペンタメチレンテトラミン等のニトロソ化合物、ヒドラゾジカルボンアミド、４，４’−オキシビス（ベンゼンスルホニルヒドラジド）、トルエンスルホニルヒドラジド等のヒドラジン誘導体、トルエンスルホニルセミカルバジド等のセミカルバジド化合物等が挙げられる。
無機系発泡剤としては、酸アンモニウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素アンモニウム、炭酸水素ナトリウム、亜硝酸アンモニウム、水素化ホウ素ナトリウム、無水クエン酸モノソーダ等が挙げられる。
これらの中では、微細な気泡を得る観点、及び経済性、安全面の観点から、アゾ化合物、ニトロソ化合物が好ましく、アゾジカルボンアミド、アゾビスイソブチロニトリル、Ｎ，Ｎ’−ジニトロソペンタメチレンテトラミンがより好ましく、アゾジカルボンアミドが特に好ましい。これらの熱分解型発泡剤は、単独で又は２以上を組み合わせて使用することができる。
熱分解型発泡剤の含有量は、発泡シートの気泡が破裂せずに適切に発泡ができるように、樹脂成分１００質量部に対して１〜２５質量部が好ましく、１〜２０質量部がより好ましい。ただし、熱伝導性フィラーを使用する場合、少量の発泡剤では十分に発泡しないため、３〜２５質量部が好ましく、５〜２０質量部がより好ましい。一方で、熱伝導性フィラーを使用しない場合には、１〜１２質量部が好ましく、１〜８質量部がより好ましい。熱分解型発泡剤の含有量が上記範囲内であると、発泡体材料の発泡性が向上し、所望の発泡倍率を有する発泡シートを得やすくなり、柔軟性、衝撃吸収性、シール性に優れた発泡シートを得やすくなる。
熱分解型発泡剤を分解させて発泡させる方法としては、特に制限はなく、例えば、発泡体材料を熱風により加熱する方法、赤外線により加熱する方法、塩浴による方法、オイルバスによる方法等が挙げられ、これらは併用してもよい。
【００４３】
本製造方法では、発泡体材料は、架橋することが好ましい。架橋は、発泡前のシート状の発泡体材料に対して行うことが好ましい。発泡体材料を架橋する方法としては、例えば、発泡体材料に電子線、α線、β線、γ線等の電離性放射線を照射する方法、発泡体材料に予め有機過酸化物を配合しておき、発泡体材料を加熱して有機過酸化物を分解させる方法等が挙げられ、これらの方法は併用されてもよい。これらの中では、電離性放射線を照射する方法が好ましい。電離性放射線の照射量は、０．５〜１０Ｍｒａｄが好ましく、１〜８Ｍｒａｄがより好ましい。
また、発泡シートは、延伸させることが好ましい。延伸は発泡体材料を発泡させた後に行ってもよいし、発泡体材料を発泡させつつ行ってもよい。なお、発泡体材料を発泡させた後、発泡シートを延伸する場合には、発泡シートを冷却することなく発泡時の溶融又は軟化状態を維持したまま続けて発泡シートを延伸したほうがよいが、発泡シートを冷却した後、再度、発泡シートを加熱して溶融又は軟化状態とした上で発泡シートを延伸してもよい。
【００４４】
また、発泡体材料は、物理発泡を行うことによって、発泡させてもよい。この場合、上記熱分解型発泡剤を使用する代わりに、発泡体材料に物理発泡剤を含浸させることが好ましい。物理発泡剤の含浸は、シート状にされた発泡体材料に対して行うことが好ましい
発泡体材料に含浸させる物理発泡剤としては、高圧の不活性ガスを用いることが好ましい。不活性ガスとしては、発泡体材料に対して不活性で、かつ含浸可能なものであれば特に制限されず、例えば、二酸化炭素、窒素ガス、空気等が挙げられる。これらのガスは混合して用いてもよい。これらのうち、発泡体の素材として用いる樹脂への含浸量が多く、含浸速度の速い二酸化炭素が好適である。また、不純物の少ないクリーンな樹脂発泡体を得る観点からも二酸化炭素が好ましい。なお、発泡体材料に含浸させる際の不活性ガスは、超臨界状態又は亜臨界状態であることが好ましい。
【００４５】
（貫通孔の形成）
次に、上記のようにして得られた発泡シートに、貫通孔を開ける。貫通孔の形成は、特に限定されないが、パンチング加工、及び針穴加工の少なくともいずれかにより行うことが好ましい。パンチング加工及び針穴加工は、例えば、針山に設けられた複数の針、又はパンチング機の複数のパンチを発泡シートに押し当てて孔開けを行うことが好ましい。
針山又はパンチング機においては、ＣＤ方向に沿って列状に設けられた複数の針又は複数のパンチが、１列又は２列以上設けられることが好ましい。２列以上設けられる場合、各列の針又はパンチは、隣接する列の針又はパンチと互い違いでもよいし、ＣＤ方向において同じ位置に設けられてもよい。
このようなパンチング機又は針山を用いると、一定の速度でＭＤ方向に搬送する発泡シートに、一定の間隔で複数の針又はパンチを押し当てるだけで、上記したように所定の配列の貫通孔をＭＤ方向に沿って一定のピッチで設けることが可能になる。
なお、発泡シートに設けられる穴の径、及び個数は上記したとおりであるので、その説明は省略する。
【００４６】
（金属系材料の付着）
次いで、穴が開けられた発泡シートの一方の面側又は両面側から金属系材料を付着させて、発泡シートの一方の面又は両面に金属系材料により金属系薄膜を形成するとともに、各貫通孔の内周面に金属系材料を付着させる。上記のように、金属系材料の付着は、両面側から行うことが好ましく、すなわち、発泡シートの両面に金属系薄膜を形成することが好ましい。なお、発泡シートの各面における金属系材料の付着量は、上記したとおりである。また、発泡シートの両面への金属系薄膜の付着は、同時に行ってもよいし、同時に行行なわずに別々におこなってもよい。
金属系材料の付着は、スパッタリングにより行うことが好ましい。極薄の金属系薄膜は、金属蒸着等により形成することも可能であるが、加工温度が低く発泡シートの加熱劣化を防げる点、及び金属系薄膜を薄くかつ均一な厚みとしやすい点等からスパッタリングが好ましい。
【００４７】
（接着材の形成）
本製造方法においては、発泡シートの表面に、接着材を形成してもよい。接着材の形成は、金属系薄膜が既に形成されている発泡シートに対して行ってもよいが、金属系薄膜を発泡シートに形成する前に行ってもよい。また、貫通孔を開ける前に行ってもよいし、開けた後に行ってもよい。なお、貫通孔を開けた後に行うと、接着材にも貫通孔と同じ位置に孔が開けられ、接着材は貫通孔上には設けられなくなる。また、金属系薄膜を形成する前に発泡シート上に接着材を形成する場合、発泡シートの一面に接着材を形成した後、発泡シートの接着材が形成されない面の上に、金属系薄膜を形成することになる。
接着材は、例えば、両面粘着シートを発泡シートの一方の面又は他方の面側に貼付することで形成することが可能である。また、粘着剤又は接着剤を塗布して粘着剤層又は接着剤層として接着材を形成してもよい。粘着剤又は接着剤を塗布する方法としては、コーター等の塗工機を用いて粘着剤又は接着剤を塗布する方法、スプレーを用いて粘着剤又は接着剤を噴霧、塗布する方法、刷毛を用いて粘着剤又は接着剤を塗布する方法等が挙げられる。
なお、粘着剤又は接着剤を塗布等して接着材を形成する場合には、貫通孔を開けた後に接着材を形成しても、貫通孔上に接着材が設けられないことがある。
【００４８】
［多層発泡複合シートの製造方法］
本発明の多層発泡複合シートは、上記のようにして得た、発泡複合シートを複数層に重ねることで製造する。発泡複合シートは、発泡複合シートを複数枚用意して、これらを重ねてもよいし、発泡複合シートを折りたたんで重ねてもよいし、これらの方法を組み合わせてもよいが、複数枚の発泡複合シートを積層することが好ましい。
発泡複合シートの積層は、上記のように各層を構成する発泡シートの間に、金属系薄膜が配置されるように行うことが好ましい。
【００４９】
また、発泡複合シート同士は、通常、発泡複合シートの表面に予め形成された接着材により接着される。例えば、各層において、発泡シートの両面に金属系薄膜が設けられる場合には、いずれかの金属系薄膜の上に予め接着材を形成して、その接着材により発泡複合シート同士を接着する。
また、各層において、発泡シートの一方の面のみに金属系薄膜が設けられる場合には、金属系薄膜が形成されない発泡シートの他方の面に接着材を予め形成しておき、各層を構成する発泡複合シートの一方の面を、隣接する層を構成する発泡複合シートの他方の面側に貼り合わせていくことで、多層発泡複合シートを製造してもよい。この場合、得られる多層発泡複合シートの一方の最外面には、金属系薄膜が設けられるとともに、他方の最外面には接着材が設けられることになる。
また、発泡複合シートを積層するときには、上記したように、隣接する層を構成する発泡複合シートにおける貫通孔同士は、互いに重ならないようにすることが好ましく、各層を構成する発泡複合シートそれぞれの貫通孔は、他の全ての層を構成する発泡複合シートそれぞれの各貫通孔と重ならないようにすることがより好ましい。
【００５０】
得られた多層発泡複合シートは、必要に応じて外縁部近傍を切断して適宜形状を整えてもよい。具体的には、図３では、同じサイズで同じ配列の貫通孔１７を有する発泡複合シート１０を複数枚重ねて、多層発泡複合シート２０を得る態様を示すが、本態様においては、各発泡複合シート１０をＭＤ方向に互いに微小量ずらした上で重ねられる。そのため、発泡複合シート１０の外縁部１０Ｅの位置も互いにずれることになる。したがって、外縁部１０Ｅ近傍において、多層発泡複合シート１０を厚み方向に沿う切断ラインＬに沿って切断して、外縁部の形状を整えることが好ましい。
【００５１】
［発泡複合シート及び多層発泡複合シートの使用方法］
本発明の発泡複合シート又は多層発泡複合シートは、例えば、電子機器内部で使用されるものである。電子機器としては、携帯電話、タブレット型端末、電子ペーパー、ノート型ＰＣ、ビデオカメラ、デジタルカメラ等の携帯機器が好ましい。発泡複合シート又は多層発泡複合シートは、電子機器内部において熱源の近傍に配置され、熱源から発した熱を拡散させたり、放熱させたりする放熱シートとして使用する。発泡複合シート又は多層発泡複合シートは、柔軟性が高く、かつ薄くすることが可能であるため、狭いスペースにも適切に配置することが可能である。
【００５２】
また、発泡複合シート又は多層発泡複合シートは、電子機器内部の特定の部品に取り付けられ、又はその部品の周囲に設けられて、その部品に衝撃が加わることを防止する衝撃吸収材として使用する。また、電子機器内部の隙間を埋めて、埃や水分等が電子機器内部に侵入するのを防止するシール材としても用いる。すなわち、発泡複合シート又は多層発泡複合シートは、放熱シートとして使用しつつ、衝撃吸収材又はシール材として使用することも可能である。
【００５３】
発泡複合シート又は多層発泡複合シートは、放熱シートとして使用する場合、例えば、熱源と、ヒートシンクとの間に配置され、ヒートシンクとともに、熱源からの発熱を放熱させる放熱機構を構成する。
熱源は、駆動又は使用するときに発熱する部材であり、具体的には、ＣＰＵ、バッテリー、パワーアンプ等が挙げられる。また、ヒートシンクは、鉄、ステンレス鋼等の金属部材、グラファイトシート、又はこれらの積層体等で構成される。
発泡複合シート又は多層発泡複合シートの少なくとも一方の最外面には、上記したように金属系薄膜が設けられ、その最外面の金属系薄膜がヒートシンク側に向けられることが好ましく、ヒートシンクに接触することがより好ましく、ヒートシンクを構成するグラファイトシートに接触することがさらに好ましい。なお、発泡複合シート又は多層発泡複合シートの他方の最外面は、熱源に向けられることになる。熱源と、ヒートシンクとの間には、発泡複合シート又は多層発泡複合シートを１枚配置してもよいし、２枚以上配置してもよい。
【００５４】
また、発泡複合シート、及び多層発泡複合シートは、厚さ方向に圧縮した状態で配置して使用することが好ましい。これらは、圧縮した状態で使用することで、発泡シート内の気泡が小さくなるので、気泡内部の気体による断熱効果が低くなって、放熱性が良好になりやすい。具体的には、発泡複合シート、及び多層発泡複合シートは、好ましくは圧縮率２０〜８０％、より好ましくは圧縮率３０〜７０％で圧縮させて配置する。
なお、圧縮率とは、発泡複合シート又は多層発泡複合シートの圧縮前の厚みをＤ１，圧縮後の発泡複合シート又は多層発泡複合シートの厚みをＤ２とすると、｛（Ｄ１−Ｄ２）／Ｄ１｝×１００で算出される値である。
【００５５】
以下、図４を用いて、多層発泡複合シート２０を、熱源２２と、ヒートシンク２３の間に配置して使用する一態様を具体的に説明する。
本態様においては、熱源２２としてのＣＰＵとパワーアンプ（ＰＡ）が基板２５上に設けられるとともに、これらと一定の距離を置いてヒートシンク２３が設けられる。ヒートシンク２３は、金属部材２３Ａと、グラファイトシートからなる熱拡散シート２３Ｂとの積層構造であり、熱拡散シート２３Ｂが、熱源２２側に向けられている。
また、熱源２２を構成するＣＰＵとパワーアンプが筐体２６内に配置されている。そのため、多層発泡複合シート２０は、熱源２２と筐体２６の間、及び筐体２６とヒートシンク２３の間の両方に配置される。また、発泡複合シート１０は、いずれも厚さ方向に圧縮した状態で配置される。なお、筐体２６は、例えば、電磁波を遮蔽するための電磁波シールドである。
なお、ヒートシンク２３と、基板２５の距離は、通常、０．１〜１ｍｍ程度であるが、電子機器を小型化する観点から、０．１〜０．６ｍｍであることが好ましい。
【００５６】
熱源２２と、ヒートシンク２３の間の各多層発泡複合シート２０は、一方の最外面２０Ａに金属系薄膜１２が設けられ（図２参照）、その最外面２０Ａ（すなわち、金属系薄膜）はヒートシンク２３側（すなわち、図４における上側）に向けられる。また、他方の最外面２０Ｂが熱源側（すなわち、図４における下側）に向けられる。
筐体２６とヒートシンク２３の間の多層発泡複合シート２０は、最外面２０Ｂに設けられた接着材により筐体２６に接着されていてもよい。同様に、熱源２２と筐体２６の間の多層発泡複合シート２０は、最外面２０Ｂに設けられた接着材により、熱源２２を構成するＣＰＵ、パワーアンプ、及び基板２５表面に接着されていてもよい。
さらに、筐体２６とヒートシンク２３の間に配置された、多層発泡複合シート２０は、その最外面２０Ａに設けられた金属系薄膜がヒートシンク２３（すなわち、熱拡散シート２３Ｂ）に接触する。
【００５７】
各多層発泡複合シート２０は、上記のように、通常、厚さ方向に圧縮した状態で配置される。ここで、筐体２６と熱源２２の間の多層発泡複合シート２０は、その最外面２０Ｂが、凹凸面を構成する基板２５及び熱源２２の表面に接触するので、その凹凸面に対応した形状に変形して圧縮することが好ましい。
なお、本態様では、筐体２６と熱源２２の間の多層発泡複合シート２０は、最外面２０Ｂが、基板２５及び熱源２２の表面（すなわち、凹凸面）と完全に一致した形状に変形するように示されるが、このように完全に一致した形状に変形する必要はなく、最外面２０Ｂと熱源２２又は基板２５の間に隙間があってもよい。
以上説明した態様では、熱源２２からの熱は、発泡シート間の金属系薄膜により面方向に拡散しつつ、発泡シート間の金属系薄膜及び貫通孔内部の金属系材料により厚み方向に伝導する。そして、最外面２０Ａの金属系薄膜によりヒートシンク２３に伝導して、ヒートシンク２３から効率よく放熱される。
【００５８】
なお、本態様では、多層発泡複合シートの代わりに、発泡シートが単層である発泡複合シート１０を使用してもよく、ヒートシンク２３と筐体２６の間、及び筐体２６と熱源２２の間にそれぞれ、１枚の発泡複合シート１０が設けられる構成であってもよい。この場合も、各発泡複合シート１０において、ヒートシンクに向けられる表面（最外面）に金属系薄膜が設けられ、ヒートシンク２３がその金属系薄膜に接触することが好ましい。また、熱源側の表面（最外面）には、接着材が設けられ、各発泡複合シートは、接着材により筐体、基板、熱源等に接着されてもよい。
また、図４に示した態様では、筐体２６が省略されてもよい。筐体２６が省略される場合、熱源２２と、ヒートシンク２３との間に、多層発泡複合シート又は発泡複合シートが、通常１枚設けられる。その場合にも、多層発泡複合シート又は発泡複合シートは、ヒートシンクに向けられた表面（最外面）に金属系薄膜が設けられ、その金属系薄膜がヒートシンク２３に接触することが好ましい。また、熱源側の表面（最外面）に接着材が設けられ、多層発泡複合シート又は発泡複合シートは、接着材により基板及び熱源に接着してもよい。
【実施例】
【００５９】
以下、本発明を実施例により更に詳細に説明するが、本発明はこれら実施例によってなんら限定されるものではない。
【００６０】
［測定方法］
本明細書における各物性の測定方法は、次の通りである。
＜金属系薄膜の付着量＞
金属系薄膜の付着量は、蛍光Ｘ線分析装置（株式会社リガク製、装置名．ＲＩＸ１０００）にて、測定治具にシートを挟み、１ｃｍ2の面積にＸ線を照射することで定量的に測定した。
＜発泡シートの厚み＞
発泡シート、発泡複合シート、及び多層発泡複合シートの厚みは、ダイヤルゲージで計測したものである。
＜見掛け倍率＞
ＪＩＳ  Ｋ６７６７に準拠して発泡シートの見掛け密度を測定し、その逆数を見掛け倍率とする。
＜２５％圧縮強度＞
２５％圧縮強度は、ＪＩＳ  Ｋ６７６７に準拠して測定したものである。
＜架橋度（ゲル分率）＞
発泡シートから約１００ｍｇの試験片を採取し、試験片の重量Ａ（ｍｇ）を精秤する。次に、この試験片を１０５℃のキシレン３０ｃｍ3中に浸漬して２４時間放置した後、２００メッシュの金網で濾過して金網上の不溶解分を採取、真空乾燥し、不溶解分の重量Ｂ（ｍｇ）を精秤する。得られた値から、下記式によりゲル％（質量％）を算出する。
ゲル％（質量％）＝１００×（Ｂ／Ａ）
＜放熱テスト＞
実施例、比較例で得られた発泡複合シート、及び実施例で得られた多層発泡複合シートについて、２ｃｍ各にカットし、厚みを１ｃｍ以上に重ねた試料を用意し、ホットディスク法により、京都電子工業（株）製「ＴＰＳ−１５００」を用いて、熱伝導率を２３℃にて測定して、放熱性を評価した。
【００６１】
［実施例１］
メタロセン化合物の重合触媒により得られたポリエチレン系樹脂（ダウ・ケミカル株式会社製、商品名．ＰＬ１８５０Ｇ）１００質量部と、熱分解型発泡剤としてのアゾジカルボンアミドを３．５質量部と、酸化防止剤としてのフェノール系酸化防止剤を０．４質量部と、チオジプロピオン酸ジラウリルを０．２質量部とを、押出機に供給して１４０℃で溶融混練して得た発泡体材料を押出成形し、厚み０．３ｍｍの長尺シート状にした。
次に、上記長尺シート状の発泡体材料の両面に加速電圧５００ｋＶの電子線を４．５Ｍｒａｄ照射して発泡体材料を架橋した。
その後、この発泡体材料を熱風及び赤外線ヒーターにより２５０℃に保持された発泡炉内に連続的に送り込んで加熱して発泡させると同時に、ＭＤ方向及びＣＤ方向に延伸し、発泡シートを得た。この発泡シートには、パンチング加工により複数の貫通孔を設けた。貫通孔は、並列状に配置した。貫通孔は、その径が１．０ｍｍであり、４，０００個／ｍ2設けた。
この貫通孔を設けた発泡シートは、独立気泡率９９％、見掛け倍率３．０ｃｃ／ｇ、ゲル分率３０質量％、厚みが０．３ｍｍであった。
【００６２】
貫通孔を設けた発泡シートをロール状に巻取り、スパッタリング装置の密閉チャンバ内にセットし、このチャンバ内圧力を一旦５×１０−６Ｔｏｒｒに減圧し、次いでアルゴンガスを導入して圧力７×１０−４Ｔｏｒｒの低圧アルゴンガス雰囲気とし、貫通孔を設けた発泡シートを１．０ｍ／分の速度で引出し走行させながら５０ＫＷＨの電力を投入し、発泡シートの一方の面にアルミニウムをスパッタして、アルミニウム金属膜を形成した。同様の操作により、発泡シートの他方の面にもアルミニウムをスパッタして、アルミニウム金属膜を形成した。このように、発泡シートの両面にスパッタリングすることで、貫通孔の内周面は、金属系材料により被膜された。
なお、発泡複合シートにおいて、各面におけるアルミニウム薄膜の付着量は、１３．０μｇ／ｃｍ２であった。さらに、発泡複合シートは、２５％圧縮強度が３０ＫＰａであった。
【００６３】
［実施例２］
上記で得られた発泡複合シートの一方の金属系薄膜の上に、厚み１０μｍの両面粘着テープ（積水化学工業株式会社製、商品名．３８０１Ｘ）を貼付した後、発泡複合シートを切断して、３枚の発泡複合シートを用意した。そして、３枚の発泡複合シートを、両面粘着テープにより接着されるように重ね合わせて、多層発泡複合シートを得た。なお、各発泡複合シートは、重ね合わせるときに、互いにＭＤ方向に微小量ずらされており、それにより、貫通孔同士が重ならないようにした。
［比較例１］
発泡シートに貫通孔を設けなかった点を除いて実施例１と同様に実施した。
【００６４】
【表１】
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【００６５】
実施例１、２では、２５％圧縮強度が低く、柔軟性が良好であった。また、放熱性テストの結果が優れていることから明らかなように、貫通孔内部の金属系材料、及び発泡シート表面の金属系薄膜により、シートの厚み方向に沿って熱が伝導したため、放熱性が優れていたことが理解できる。
それに対して、比較例１では、柔軟性は比較的良好であったが、放熱性テストの結果から明らかなように、内周面に金属系材料が付着した貫通孔を設けなかったため、放熱性能が実施例１、２に比べると低かった。
【符号の説明】
【００６６】
１０  発泡複合シート
１１  発泡シート
１２  金属系薄膜
１４  気泡
１７  貫通孔
１８  薄膜
２０  多層発泡複合シート
２２  熱源
２３  ヒートシンク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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