(57)【要約】【課題】セラミックヒーターの製造効率を向上させる。【解決手段】本発明のセラミックヒーターの製造方法では、セラミック材料からなるシート材の表面に、発熱部２０及び給電部３０を構成する配線パターンを形成する配線パターン形成工程と、配線パターンが外側となるようにシート材における配線パターンが形成された部分を芯材に巻き付けた後、給電部３０の少なくとも一部が露出するように配線パターンが形成されていない部分を巻き付ける巻き付け工程と、芯材に巻き付けられたシート材を焼成する焼成工程とを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミックからなる長尺状の本体部と、前記本体部の内部に設けられる発熱抵抗体からなる発熱部と、前記発熱部に接続されるとともに、少なくとも一部が前記本体部の側面に露出する給電部とを備えるセラミックヒーターの製造方法であって、
セラミック材料からなるシート材の表面に、前記発熱部及び前記給電部を構成する配線パターンを印刷して形成する配線パターン形成工程と、
前記配線パターンが外側となるように前記シート材における前記配線パターンが形成された部分を芯材に巻き付けた後、前記給電部の少なくとも一部が露出するように前記配線パターンが形成されていない部分を巻き付ける巻き付け工程と、
前記芯材に前記シート材が巻き付けられた成形体を焼成する焼成工程とを有することを特徴とするセラミックヒーターの製造方法。
【請求項２】
前記配線パターン形成工程は、
前記シート材の表面に、第１導体ペーストを印刷して前記発熱部を構成する配線パターンを形成する第１印刷工程と、
前記発熱部を構成する配線パターンを乾燥させる乾燥工程と、
前記乾燥工程後の前記シート材の表面に、第２導体ペーストを印刷して前記給電部を構成する配線パターンを形成する第２印刷工程とを有することを特徴とする請求項１に記載のセラミックヒーターの製造方法。
【請求項３】
前記巻き付け工程に供される前記シート材は、
前記発熱部を構成する配線パターンが形成された発熱領域と、
前記給電部を構成する配線パターンが形成された給電領域と、
前記発熱部及び前記給電部を構成する配線パターンが形成されていないブランク領域とを備え、
前記発熱領域及び前記給電領域が、前記本体部の軸方向となる方向である第１方向に並設されるとともに、前記発熱領域及び前記ブランク領域が、前記第１方向に直交する第２方向に並設されて、前記給電領域の少なくとも一部が前記第１方向に突出した特定形状をなすシート材であり、
前記巻き付け工程において、前記発熱領域及び前記給電領域側から前記ブランク領域側へ向かって、前記シート材を前記芯材に巻き付けることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のセラミックヒーターの製造方法。
【請求項４】
前記配線パターン形成工程後、
前記配線パターンが形成された前記シート材を前記特定形状に加工するシート材加工工程を有することを特徴とする請求項３に記載のセラミックヒーターの製造方法。
【請求項５】
前記巻き付け工程において、前記シート材における前記配線パターンが形成されていない部分を２周以上巻き付けることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のセラミックヒーターの製造方法。
【請求項６】
前記配線パターン形成工程後、
前記シート材の表面に形成された前記発熱部を構成する配線パターン間の隙間を絶縁材料により埋める埋設処理工程を行うことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載のセラミックヒーターの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、セラミックヒーターの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１及び特許文献２には、芯材とこの芯材を被覆する絶縁材料層との間に、高融点金属からなる抵抗発熱体が埋設されたセラミックヒーターの製造方法が記載されている。特許文献１に開示のセラミックヒーターの製造方法では、まず、平板状の転写用部材の表面に発熱部及び給電部を有する配線パターンを印刷によって形成し、その後、その配線パターンを覆うように転写用部材の上に絶縁材料層を印刷によって形成する。このとき、転写用部材の表面に印刷された配線パターンは、転写用部材から絶縁材料層に転写される。次に、絶縁材料層上に芯材を配置し、芯材に絶縁材料層を巻き付ける。このとき、配線パターンが外側に露出されるように芯材に絶縁材料層を巻き付け、そして露出した配線パターンを覆うように、さらに絶縁材料層を巻き付ける。
【０００３】
特許文献２に開示のセラミックヒーターの製造方法では、絶縁材料層に設けられたスルーホールに導体ペーストを圧入し、絶縁材料層の一方の面に形成した外部端子部と、他方の面に形成した発熱部及び給電部とを導通させる。次に、絶縁材料層に芯材を配置し、外部端子部が外側となるように芯材に絶縁材料層を巻き付ける。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−１９７９５３号公報
【特許文献２】特開２００２−７５５９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１のセラミックヒーターの製造方法では、配線パターンを転写用部材から絶縁材料層に転写する必要がある。特許文献２のセラミックヒーターの製造方法では、絶縁材料層にスルーホールを設け、このスルーホールに導体ペーストを圧入する必要がある。こうしたセラミックヒーターの製造工程の必要性に起因して、製造効率の向上が期待できない面もある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するためのセラミックヒーターの製造方法は、セラミックからなる長尺状の本体部と、前記本体部の内部に設けられる発熱抵抗体からなる発熱部と、前記発熱部に接続されるとともに、少なくとも一部が前記本体部の側面に露出する給電部とを備えるセラミックヒーターの製造方法であって、セラミック材料からなるシート材の表面に、前記発熱部及び前記給電部を構成する配線パターンを印刷して形成する配線パターン形成工程と、前記配線パターンが外側となるように前記シート材における前記配線パターンが形成された部分を芯材に巻き付けた後、前記給電部の少なくとも一部が露出するように前記配線パターンが形成されていない部分を巻き付ける巻き付け工程と、前記芯材に前記シート材が巻き付けられた成形体を焼成する焼成工程とを有することを要旨とする。
【０００７】
この構成によれば、芯材に巻き付けられるシート材そのものに配線パターンを印刷して形成しているため、転写用部材を用いて配線パターンを絶縁材料層に転写する必要がなくなる。したがって、配線パターンの転写工程が必要なくなり、それだけ、製造効率の向上を図ることができる。また、給電部の少なくとも一部は外部に露出しているため、スルーホールを設ける必要がなく、それだけ、製造効率の向上を図ることができる。
【０００８】
上記セラミックヒーターの製造方法について、前記配線パターン形成工程は、前記シート材の表面に、第１導体ペーストを印刷して前記発熱部を構成する配線パターンを形成する第１印刷工程と、前記発熱部を構成する配線パターンを乾燥させる乾燥工程と、前記乾燥工程後の前記シート材の表面に、第２導体ペーストを印刷して前記給電部を構成する配線パターンを形成する第２印刷工程とを有することが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、第１印刷工程後に発熱部を構成する配線パターンを乾燥させる乾燥工程を有しているため、シート材の表面に印刷した第１導体ペーストを相応に乾燥させて定着させることが可能となる。したがって、給電部を構成する配線パターンを印刷する際に、発熱部を構成する配線パターンが剥離することを抑制することができる。
【００１０】
上記セラミックヒーターの製造方法について、前記巻き付け工程に供される前記シート材は、前記発熱部を構成する配線パターンが形成された発熱領域と、前記給電部を構成する配線パターンが形成された給電領域と、前記発熱部及び前記給電部を構成する配線パターンが形成されていないブランク領域とを備え、前記発熱領域及び前記給電領域が、前記本体部の軸方向となる方向である第１方向に並設されるとともに、前記発熱領域及び前記ブランク領域が、前記第１方向に直交する第２方向に並設されて、前記給電領域の少なくとも一部が前記第１方向に突出した特定形状をなすシート材であり、前記巻き付け工程において、前記発熱領域及び前記給電領域側から前記ブランク領域側へ向かって、前記シート材を前記芯材に巻き付けることが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、芯材に１つのシート材を巻き付ける巻き付け工程を経ることで、給電部の少なくとも一部を本体部の外部に露出させることができる。また、第２方向におけるブランク領域の長さを調整することで、発熱部の外周側に形成される絶縁層の厚さを調整することができる。
【００１２】
上記セラミックヒーターの製造方法について、前記配線パターン形成工程後、前記配線パターンが形成された前記シート材を前記特定形状に加工するシート材加工工程を有することが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、シート材を特定形状に加工した後、配線パターンを形成する構成と比較して、配線パターンの位置決めが容易であるため、配線パターンを形成することが容易になる。
【００１４】
上記セラミックヒーターの製造方法について、前記巻き付け工程において、前記シート材における前記配線パターンが形成されていない部分を２周以上巻き付けることが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、発熱部の外周側に絶縁層が２層以上形成されるため、絶縁層に生じた亀裂等の欠陥が進展しがたい。そのため、発熱部が露出することを抑制することができる。
【００１６】
上記セラミックヒーターの製造方法について、前記配線パターン形成工程後、前記シート材の表面に形成された前記発熱部を構成する配線パターン間の隙間を絶縁材料により埋める埋設処理工程を行うことが好ましい。
【００１７】
巻き付け工程に供されたシート材の巻き付けで発熱部を構成する配線パターン間に生じる隙間が外周側の絶縁層によって埋められることもあるが、この構成によれば、埋設処理工程に伴って形成する中間層によって、より確実にその隙間の発生を抑制することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、セラミックヒーターの製造効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】セラミックヒーターの斜視図。
【図２】セラミックヒーターの横断面図（図１の２−２線断面図）。
【図３】発熱部及び給電部の周方向展開図。
【図４】配線パターン形成工程（第１印刷工程）を示す斜視図。
【図５】配線パターン形成工程（第２印刷工程）を示す斜視図。
【図６】シート材加工工程を示す斜視図。
【図７】巻き付け工程を示す斜視図。
【図８】巻き付け工程の途中の状態を示す斜視図。
【図９】巻き付け工程を経て成形された成形体を示す斜視図。
【図１０】埋設処理工程を示す斜視図。
【図１１】別の実施形態のシート材の平面図。
【図１２】別の実施形態のシート材の平面図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、セラミックヒーターを図面に基づいて説明する。
図１に示すように、セラミックヒーターは、セラミックからなる長尺状の本体部１０を備えている。本体部１０は、円柱状をなしている。本体部１０は、軸方向における一端側に配置されてより径の大きい大径部１０Ａと他端側に配置されてより径の小さい小径部１０Ｂとを有している。
【００２１】
図１及び図２に示すように、本体部１０の大径部１０Ａの内部には、抵抗発熱体からなる発熱部２０と、同じく抵抗発熱体からなる一対の給電部３０の一部とが埋設されている。給電部３０の一部は本体部の小径部１０Ｂの側面に露出している。
【００２２】
発熱部２０は、本体部１０の一端側から他端側に向かって、本体部１０の中心線Ｐに沿って延びるとともに、本体部１０の横断面において、間隔をあけて円状に並ぶ複数の縦方向部分２１と、縦方向部分２１同士を連結する連結部分２２とから構成されている。
【００２３】
図３の周方向展開図に示すように、発熱部２０は、周方向に隣り合う縦方向部分２１の端部同士が、連結部分２２によって本体部１０の一端側及び他端側にて交互に連結されており、発熱部２０は、全体として所謂、櫛歯型の一つながりの導体パターンとなっている。図３において、連結部分２２によって連結された複数の縦方向部分２１のうち、両末端に位置する二つの縦方向部分２１は、発熱部２０よりも本体部１０の軸方向における他端側に設けられる一対の給電部３０に接続されている。給電部３０は、一端側が本体部１０の大径部１０Ａの内部に埋設され、他端側が本体部１０の小径部１０Ｂの側面に露出している。
【００２４】
次に、図４〜図９に基づいて、セラミックヒーターの製造方法について説明する。セラミックヒーターは、以下に記載する配線パターン形成工程、シート材加工工程、巻き付け工程、焼成工程を順に経ることによって製造される。
【００２５】
（配線パターン形成工程）
配線パターン形成工程は、第１印刷工程、第１乾燥工程、第２印刷工程及び第２乾燥工程を有する。
【００２６】
［第１印刷工程］
図４に示すように、焼成することにより絶縁性のセラミックとなるセラミック材料からなるシート材１１は、長方形板状に形成されている。この場合、シート材１１の長手方向が本体部１０の軸方向となる第１方向となり、シート材１１の短手方向が第１方向に直交する第２方向となる。シート材１１の大きさは、１つのセラミックヒーターの製造に合わせた１単位サイズに設定されている。シート材１１の表面に発熱部を構成する配線パターン４０（以下、「第１配線パターン」ともいう。）を印刷して発熱部２０を形成する。第１配線パターン４０は、シート材１１の第１方向においても第２方向においても一方側に偏った領域に印刷され、この領域が発熱領域１１ａとなる。シート材１１の第１方向においても第２方向においても、第１配線パターン４０が印刷されない領域が存在するようにしている。第１配線パターン４０の印刷に用いられるのは、高融点金属材料を含む第１導体ペーストである。
【００２７】
シート材１１を構成するセラミック材料としては、公知のセラミックヒーターの製造に用いられるセラミック材料を用いることができ、例えば、酸化物セラミック、窒化物セラミック、炭化物セラミックが挙げられる。酸化物セラミックとしては、例えば、アルミナ、ジルコニア、コージェライト、ムライトが挙げられる。窒化物セラミックとしては、例えば、窒化アルミニウム、窒化珪素、窒化ホウ素、窒化チタン等が挙げられる。炭化物セラミックとしては、例えば、炭化珪素、炭化ジルコニウム、炭化チタン、炭化タンタル、炭化タングステンが挙げられる。また、シート材１１を構成するセラミック材料には、バインダー等のその他成分が含まれていてもよい。
【００２８】
第１配線パターン４０に用いる第１導体ペーストに含まれる高融点金属材料は特に限定されるものではなく、公知のセラミックヒーターの製造に用いられる高融点金属材料を用いることができる。この高融点金属材料としては、例えば、Ｗ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｔｉ、Ｒｅ、Ｎｉ、Ｃｒ等の高融点金属が挙げられる。第１配線パターン４０の印刷方法としては、とくに限定されないが、例えば、公知のスクリーン印刷を挙げることができる。
【００２９】
［第１乾燥工程］
第１印刷工程でシート材１１の表面に印刷された第１配線パターン４０を乾燥させる。乾燥方法としては、とくに限定されないが、例えば、シート材１１を電気乾燥機に入れて加熱する方法を挙げることができる。
【００３０】
［第２印刷工程］
図５に示すように、第１印刷工程で第１配線パターン４０を形成したシート材１１の表面に、給電部を構成する配線パターン４１（以下、「第２配線パターン」ともいう。）を印刷して給電部３０を形成する。第２配線パターン４１は、シート材１１の第１方向において第１配線パターン４０が印刷された発熱領域に隣接した領域に印刷され、この領域が給電領域１１ｂとなる。第２配線パターン４１の印刷に用いられるのは、高融点金属材料を含む第２導体ペーストである。
【００３１】
第２配線パターン４１に用いる第２導体ペーストに含まれる高融点金属材料は第１配線パターン４０に用いる第１導体ペーストと同様に特に限定されるものではない。また、第１導体ペーストと第２導体ペーストとは、同じ高融点金属材料を用いても、異なる高融点金属材料を用いても構わない。第２配線パターン４１の印刷方法としては、とくに限定されないが、例えば、公知のスクリーン印刷を挙げることができる。［第２乾燥工程］
第２印刷工程でシート材１１の表面に印刷された第２配線パターン４１を乾燥させる。乾燥方法としては、とくに限定されないが、例えば、シート材１１を電気乾燥機に入れて加熱する方法を挙げることができる。
【００３２】
（シート材加工工程）
第１配線パターン４０及び第２配線パターン４１が形成されたシート材１１が特定形状をなすように削除領域１１ｄを削除する。図５に示すように、削除領域１１ｄは、第１配線パターン４０及び第２配線パターン４１が印刷されていないシート材１１の第２方向における非印刷領域１１ｃ、１１ｄのうち、第１方向において他方側に偏った領域であり、このシート材１１の非印刷領域１１ｃ、１１ｄのうち、削除領域１１ｄとして削除されなかった領域がブランク領域１１ｃとなる。シート材１１の第１方向において、発熱領域１１ａと給電領域１１ｂとの境界Ｋ１は、ブランク領域１１ｃと削除領域１１ｄとの境界Ｋ２よりも内側（発熱領域側）に位置している。したがって、給電領域１１ｂは、シート材１１の第２方向において、ブランク領域１１ｃと削除領域１１ｄとの双方に隣接している。
【００３３】
図６に示すように、削除領域１１ｄが削除されたシート材１１では、発熱領域１１ａと給電領域１１ｂとが第１方向に並設されるとともに、発熱領域１１ａとブランク領域１１ｃとが第２方向に並設されて、給電領域１１ｂの一部が第１方向に突出している。したがって、シート材加工工程を経たシート材１１は、発熱領域１１ａ、給電領域１１ｂ、及びブランク領域１１ｃを有し、全体としてＬ字状の特定形状をなす。
【００３４】
（巻き付け工程）
シート材加工工程を経たシート材１１は、芯材１２に巻き付けられる。芯材１２は、焼成することにより絶縁性のセラミックとなるセラミック材料からなる円柱状の棒材である。図７に示すように、シート材１１を裏返し、シート材１１の発熱領域１１ａ及び給電領域１１ｂのあるシート材１１の端縁にシート材１１の第１方向に沿うように芯材１２を配置させる。
【００３５】
芯材１２の長さは、図６に示すように、シート材１１における発熱領域１１ａ及び給電領域１１ｂが位置する部分の第１方向の長さＬ１にほぼ等しく、シート材１１におけるブランク領域１１ｃの第１方向の長さＬ２よりも長くなっている。芯材１２の円周は、シート材１１における発熱領域１１ａ及び給電領域１１ｂが位置する部分の第２方向の長さＬ３にほぼ等しく、シート材１１におけるブランク領域１１ｃの第２方向の長さＬ４は、芯材１２にシート材１１を１周分、巻き付けた状態の円周よりも長くなっている。
【００３６】
芯材１２の形状は特に限定されるものではなく、円柱状以外に、円筒状、角柱状、角筒状等を採用することができる。芯材１２を構成するセラミック材料は特に限定されるものではなく、公知のセラミックヒーターの製造に用いられるセラミック材料を用いることができる。ただ、シート材１１を構成するセラミック材料と熱膨張係数が近いものであることが好ましく、同セラミック材料と同じであることがより好ましい。また、芯材１２を構成するセラミック材料には、バインダー等のその他成分が含まれていてもよい。また、芯材１２は焼成されたセラミックであってもよい。
【００３７】
図８に示すように、発熱領域１１ａ及び給電領域１１ｂが外側となるように芯材１２にシート材１１を第２方向に沿って巻き付ける。芯材１２の円周とシート材１１の長さＬ３との関係は上述のとおりほぼ等しいため、芯材１２にシート材１１を１周分、巻き付けた状態では、第１配線パターン４０及び第２配線パターン４１が外周側に露出している。
【００３８】
図８に示すように、発熱領域１１ａ及び給電領域１１ｂが巻き付けられた芯材１１は、さらに第２方向に沿ってブランク領域１１ｃが巻き付けられる。ブランク領域１１ｃの第２方向における長さは、芯材１２に対してブランク領域１１ｃによる層が３層となるように設定されている。したがって、発熱領域１１ａ及び給電領域１１ｂが巻き付けられた芯材１２は、３周にわたってブランク領域１１ｃを巻き付ける。
【００３９】
図９は、芯材１２にシート材１１が巻き付けられた後の成形体の全体構成を示している。シート材１１は、削除領域１１ｄが削除されて全体としてＬ字状をなすように形成され、このシート材１１が巻き付け工程に供される。そのため、芯材１２にシート材１１を巻き付けた状態では、ブランク領域１１ｃは、発熱領域１１ａの全体を被覆する。また、ブランク領域１１ｃは、給電領域１１ｂのうち、第１方向の内側（第１配線パターン側）部分を被覆するものの、第１方向の外側部分を被覆しない。したがって、給電領域１１ｂのうち、第１方向の外側部分は、外部に露出している。
【００４０】
（焼成工程）
巻き付け工程を経た成形体を焼成する。この焼成によって、成形体がセラミック化してセラミックヒーターが得られる。上記のように、巻き付け工程に供されるシート材１１は、全体としてＬ字状をなしている。そのため、本体部１０は、大径部１０Ａと小径部１０Ｂとを有していて、給電部３０は、一端側が大径部１０Ａの内部に埋設され、他端側が本体部１０の小径部１０Ｂの側面に露出している。
【００４１】
焼成工程における焼成条件は特に限定されるものではなく、セラミックヒーターの用途等に応じて適宜、設定することができる。また、焼成工程の前に乾燥工程や脱脂工程を行ってもよい。図２では、芯材１２とシート材１１との間に界面が示されているが、芯材１２とシート材１１とが同じ絶縁性セラミックで構成されている場合、焼成工程後に芯材１２とシート材１１との界面は消失させることができる。
【００４２】
次に、本実施形態の効果について記載する。
（１）第１印刷工程にしても第２印刷工程にしても、シート材そのものに第１配線パターン及び第２配線パターンを印刷し、それら第１配線パターン及び第２配線パターンが印刷されたシート材が巻き付け工程に供される。たとえば、転写用部材に配線パターンを印刷し、その配線パターンを絶縁材料層に転写する場合のように、巻き付け工程に供されることのない部材に配線パターンを印刷する必要がなく、また、配線パターンの転写も不要となる。したがって、配線パターン形成工程の効率が向上する。
【００４３】
（２）巻き付け工程では、第１配線パターン及び第２配線パターンが外側となるようにシート材の発熱領域及び給電領域を芯材に巻き付け、さらに、配線パターンが印刷されていないブランク領域を芯材に巻き付ける。このとき、給電領域の一部は、ブランク領域によって被覆されることなく外部に露出している。そのため、巻き付け工程に供されるシート材について、スルーホールを設ける必要がなく、それだけ、製造効率の向上を図ることができる。
【００４４】
（３）第１印刷工程後に第１配線パターンを乾燥させる第１乾燥工程を有している。そのため、シート材の表面に印刷した第１導体ペーストを相応に乾燥させて定着させることが可能となる。したがって、第２配線パターンを印刷する際に、第１配線パターンが剥離することを抑制することができる。
【００４５】
（４）巻き付け工程に供されるシート材は、発熱領域、給電領域及びブランク領域からなるＬ字状に形成されている。したがって、芯材に対して発熱領域及び給電領域を巻き付け、さらに、ブランク領域を巻き付けるという巻き付け工程を経ることによって、給電部の一部を本体部の側面に露出させることができる。
【００４６】
（５）たとえば、シート材を特定形状に加工した後、配線パターンを形成する構成の場合、シート材が特定形状であるが故に配線パターンを形成する工程において位置決めが複雑になることも考えられる。本実施形態では、配線パターン形成工程後、第１配線パターン及び第２配線パターンが形成されたシート材を特定形状に加工するシート材加工工程を有する。したがって、配線パターンの位置決めが容易であるため、配線パターン形成工程がそれだけ容易となる。
【００４７】
（６）シート材におけるブランク領域の第２方向の長さは、芯材にシート材を２周以上、巻き付けることができる長さに設定されている。したがって、発熱部の外周側に絶縁層が２層以上形成されることになるため、絶縁層に生じた亀裂等の欠陥が進展しがたい。そのため、発熱部が露出することを抑制することができる。
【００４８】
なお、本実施形態は、次のように変更して具体化することも可能である。また、上記実施形態の構成や以下の変更例に示す構成を適宜組み合わせて実施することも可能である。
・配線パターン形成工程の後に、シート材の表面に形成された第１配線パターン及び第２配線パターンによる凹凸をならすための埋設処理工程を付加してもよい。図１０に示すように、この埋設処理工程では、第１配線パターン４０及び第２配線パターン４１の隙間に絶縁材料を埋設した中間層１３を形成するようにしている。このように埋設処理工程に伴って形成する中間層１３によって、第１配線パターン４０及び第２配線パターン４１を形成した箇所と形成していない箇所との凹凸が抑制され、第１配線パターン４０及び第２配線パターン４１の間の隙間が発生することを抑制できる。なお、埋設処理工程に伴って形成する中間層１３については、第１配線パターン４０及び第２配線パターン４１の表面が露出するように形成されてもよいし、第１配線パターン４０及び第２配線パターン４１の表面が露出することなく、埋設されるように形成されてもよい。
【００４９】
中間層を形成する方法は特に限定されない。例えば、第１配線パターン及び第２配線パターンが形成されたシート材の上にシート状の中間層を載置して形成することができる。中間層を構成する絶縁材料は特に限定されるものではなく、公知のセラミックヒーターの製造に用いられるセラミック材料を用いることができるが、シート材を構成するセラミック材料と熱膨張係数が近いものであることが好ましく、シート材を構成するセラミック材料と同じであることがより好ましい。
【００５０】
・上記実施形態では、第１印刷工程で発熱部を構成する配線パターンを印刷し、第２印刷工程で給電部を構成する印刷パターンを印刷した。これに代えて、第１印刷工程で給電部を構成する第２配線パターンを印刷し、第２印刷工程で発熱部を構成する第１印刷パターンを印刷することとしてもよい。
【００５１】
・第１印刷工程と第２印刷工程の間の第１乾燥工程は、省略してもよい。また、第２印刷工程の後の第２乾燥工程は、省略してもよい。また、第１配線パターンの第１導体ペーストと第２配線パターンの第２導体ペーストとを同一の材料にすることとすれば、第１印刷工程と第２印刷工程に分ける必要はなく、１つの印刷工程によって第１配線パターン及び第２配線パターンの形成が可能となる。
【００５２】
・シート材加工工程を配線パターン形成工程の前に変更することも可能である。特定形状をなすようにシート材を加工し、その特定形状をなすシート材が配線パターン形成工程に供される。
【００５３】
・配線パターン形成工程に供されるシート材の形状は、長方形板状に限定されない。セラミックヒーターの形状に合わせて、シート材の形状は適宜変更が可能である。シート材の大きさは、上記実施形態の１単位サイズに限定されない。上記実施形態の１単位サイズが複数、確保することができる大きさの複数単位サイズのものでも構わない。この複数単位サイズのシート材の場合、第１印刷工程、第１乾燥工程、第２印刷工程及び第２乾燥工程、さらにシート材加工工程を、各１単位サイズに対応した領域に対して同時平行で実行されるようにしてもよい。この製造方法によれば、巻き付け工程に供されるシート材を連続的に製造することが容易になる。
【００５４】
・巻き付け工程に供されるシート材の形状は特定形状に限定されない。たとえば、発熱領域と給電領域とを有する第１シート材と、ブランク領域からなる第２シート材とを別々に形成するようにし、それぞれ第１シート材を芯材に巻き付ける工程と、その後に、第２シート材を芯材に巻き付ける工程とを備えるようにしてもよい。
【００５５】
また、図１１に示すように、長方形板状に形成されたシート材１１を巻き付け工程に供するようにすることも可能である。この場合、配線パターン形成工程で形成される第１配線パターン４０及び第２配線パターン４１は、シート材１１の長手方向に対して傾斜させている。また、巻き付け工程では、このシート材１１の長手方向に対する傾斜に合わせて芯材１２を配置し、その傾斜を軸中心としてシート材１１を芯材１２に巻き付ける。このようにしても、給電領域の一部は、第１配線パターン４０及び第２配線パターン４１が形成されていないブランク領域によって被覆されることなく給電部３０を本体部１０の外部に露出させることができる。この製造方法では、シート材１１を特定形状に形成する必要がなくなり、それだけ、製造効率の向上が可能となる。また、この製造方法において、巻き付け工程後に、芯材１２の第１方向の長さに合わせてシート材１１を削除することも可能である。
【００５６】
・巻き付け工程に供されるシート材１１の特定形状は、Ｌ字状に限定されない。たとえば、図１２に示すように、特定形状を台形状とすることも可能である。このシート材１１では、ブランク領域と削除領域との境界がシート材１１の第２方向において傾斜している。そして、巻き付け工程を経た成形体は、第２配線パターン４１の一部がブランク領域によって被覆されることなく外側に露出し、第１配線パターン４０は第２配線パターン４１から遠ざかる部位ほど２層の絶縁層によって被覆されることとなる。この製造方法によれば、本体部１０の第１方向において絶縁層の数に変化を与えることができ、その絶縁層の数の変化に応じて発熱部２０の発熱量に変化を与えることができる。
【００５７】
・上記実施形態では、巻き付け工程において、シート材を裏返し、シート材の発熱領域及び給電領域のあるシート材の端縁にシート材の第１方向に沿うように芯材を配置させた。これに代えて、シート材を裏返しすることなく、シート材の裏側から芯材を配置することとしてもよい。
【００５８】
・シート材におけるブランク領域の第２方向の長さは、芯材に対してシート材を巻き付ける回数に応じて変更することが可能である。たとえば、ブランク領域を芯材に対して２周よりも多く巻き付けるようにしてもよいし、２周よりも少なく巻き付けるようにしてもよい。このように、ブランク領域の第２方向の長さを変更して、芯材に対するブランク領域の巻き付け回数を変更することで、第１配線パターン及び第２配線パターンを被覆する絶縁層の層厚を変更することができる。
【符号の説明】
【００５９】
Ｐ…中心線、１０…本体部、１０Ａ…本体部の大径部、１０Ｂ…本体部の小径部、１１…シート材、１１ａ…発熱領域、１１ｂ…給電領域、１１ｃ…ブランク領域、１１ｄ…削除領域、１２…芯材、１３…中間層、２０…発熱部、２１…縦方向部分、２２…連結部分、３０…給電部、４０…発熱部を構成する配線パターン、４１…給電部を構成する配線パターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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