(57)【要約】【課題】低温でベークを行う場合でも、有機溶剤やアルカリ性現像液との接触による過度の溶解が生じにくい、着色硬化物の形成方法と、当該形成方法により着色硬化物を形成することを含む、カラーフィルタの製造方法とを提供すること。【解決手段】（Ａ）光重合性化合物と、（Ｂ）光重合開始剤と、（Ｃ）着色剤と、（Ｄ）シランカップリング剤とを含む着色感光性樹脂組成物を用い、（Ｄ）シランカップリング剤に所定の構造のシラン化合物を含有させ、露光後の着色感光性樹脂組成物のベークを８０〜１５０℃で行う。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
着色感光性樹脂組成物を基板上に塗布することによる塗布膜の形成と、
前記塗布膜の露光と、
露光された前記塗布膜の８０〜１６０℃でのベークと、を含み、
前記着色感光性樹脂組成物が、（Ａ）光重合性化合物と、（Ｂ）光重合開始剤と、（Ｃ）着色剤と、（Ｄ）シランカップリング剤とを含み、
前記（Ｄ）シランカップリング剤が、下式（Ｄ１）：
ＲＤ１ｄＲＤ２（３−ｄ）Ｓｉ−ＲＤ３−ＮＨ−Ｃ（Ｏ）−ＹＤ−ＲＤ４−ＸＤ・・・（Ｄ１）
（式（Ｄ１）中、ＲＤ１はアルコキシ基であり、ＲＤ２はアルキル基であり、ｄは１〜３の整数であり、ＲＤ３はアルキレン基であり、ＹＤは−ＮＨ−、−Ｏ−、又は−Ｓ−であり、ＲＤ４は単結合、又はアルキレン基であり、ＸＤは、置換基を有していてもよく単環でも多環でもよい含窒素ヘテロアリール基であり、ＸＤ中の−ＹＤ−ＲＤ４−と結合する環は含窒素６員芳香環であり、−ＹＤ−ＲＤ４−は前記含窒素６員芳香環中の炭素原子と結合する。）
で表される化合物を含む、着色硬化物の形成方法。
【請求項２】
露光された前記塗布膜の現像をさらに含み、
前記塗布膜の露光が位置選択的に行われ、
前記ベークが、露光後に現像された前記塗布膜に対して行われる、請求項１に記載の着色硬化物の形成方法。
【請求項３】
前記（Ａ）光重合性化合物が、エチレン性不飽和基を有しカルド構造を含む重合体（Ａ’）を含有する、請求項１又は２に記載の着色硬化物の形成方法。
【請求項４】
前記（Ｃ）着色剤が遮光剤である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の着色硬化物の形成方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の方法による着色硬化物の形成を含む、カラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、着色硬化物の形成方法と、当該着色硬化物の形成方法による着色硬化物の形成を含む、カラーフィルタの製造方法とに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ等の表示体は、互いに対向して対となる電極が形成された２枚の基板の間に液晶層を挟む構造となっている。そして一方の基板の内側には、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）等の各色からなる画素を有するカラーフィルタが形成されている。そして、このカラーフィルタでは、各画素における異なる色の混色を防止したり、電極のパターンを隠したりするために、通常、Ｒ、Ｇ、Ｂ各色の画素を区画するようにマトリクス状に配されたブラックマトリクスが形成されている。
【０００３】
一般に、カラーフィルタはフォトリソグラフィー法により形成される。具体的にはまず、基板に黒色の感光性組成物を塗布、露光、現像し、ブラックマトリクスを形成する。その後、次いで、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）各色の感光性組成物毎に、塗布、露光、現像を繰り返すことで各色のパターンを所定の位置に形成してカラーフィルタを形成する。
【０００４】
このような方法によれば、寸法精度や位置精度に優れる着色膜のパターンの形成が容易である。ブラックマトリクス等の着色膜をフォトリソグラフィー法により形成する方法としては、遮光剤としてカーボンブラックを含む感光性樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィー法により着色硬化物（着色膜）を形成する方法が提案されている（特許文献１及び２を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−１９９９６７号公報
【特許文献２】特開２０１１−１７００７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、カラーフィルタ等の形成において、前述の通り、感光性組成物の塗布、露光、現像が繰り返し行われるため、着色膜等の着色硬化物は、有機溶剤や、アルカリ性現像液に繰り返しさらされることが多い。にもかかわらず、従来知られる方法で形成される着色硬化物では、有機溶剤や、アルカリ性現像液との繰り返し接触による過度の溶解が生じることが多い。
【０００７】
この点、着色硬化物を、例えば、２００℃前後の温度でベークすれば、着色硬化物が緊密化され、有機溶剤や、アルカリ性現像液との繰り返し接触による過度の溶解を抑えられるかもしれない。
しかしながら、エネルギーコストの点や、着色剤の種類によっては加熱による色相の変化が生じる場合がある点で、着色硬化物の高温での加熱は好ましくない。
【０００８】
以上の課題に鑑み、本発明は、低温でベークを行う場合でも、有機溶剤やアルカリ性現像液との接触による過度の溶解が生じにくい、着色硬化物の形成方法と、当該形成方法により着色硬化物を形成することを含む、カラーフィルタの製造方法とに関する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは、（Ａ）光重合性化合物と、（Ｂ）光重合開始剤と、（Ｃ）着色剤と、（Ｄ）シランカップリング剤とを含む着色感光性樹脂組成物を用い、（Ｄ）シランカップリング剤に所定の構造のシラン化合物を含有させ、露光後の着色感光性樹脂組成物のベークを８０〜１５０℃で行うことにより、上記の課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１０】
本発明の第一の態様は、
着色感光性樹脂組成物を基板上に塗布することによる塗布膜の形成と、
塗布膜の露光と、
露光された塗布膜の８０〜１６０℃でのベークと、を含み、
着色感光性樹脂組成物が、（Ａ）光重合性化合物と、（Ｂ）光重合開始剤と、（Ｃ）着色剤と、（Ｄ）シランカップリング剤とを含み、
（Ｄ）シランカップリング剤が、下式（Ｄ１）：
ＲＤ１ｄＲＤ２（３−ｄ）Ｓｉ−ＲＤ３−ＮＨ−Ｃ（Ｏ）−ＹＤ−ＲＤ４−ＸＤ・・・（Ｄ１）
（式（Ｄ１）中、ＲＤ１はアルコキシ基であり、ＲＤ２はアルキル基であり、ｄは１〜３の整数であり、ＲＤ３はアルキレン基であり、ＹＤは−ＮＨ−、−Ｏ−、又は−Ｓ−であり、ＲＤ４は単結合、又はアルキレン基であり、ＸＤは、置換基を有していてもよく単環でも多環でもよい含窒素ヘテロアリール基であり、ＸＤ中の−ＹＤ−ＲＤ４−と結合する環は含窒素６員芳香環であり、−ＹＤ−ＲＤ４−は前記含窒素６員芳香環中の炭素原子と結合する。）
で表される化合物を含む、着色硬化物の形成方法である。
【００１１】
本発明の第二の態様は、第一の態様にかかる方法による着色硬化物の形成を含む、カラーフィルタの製造方法である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、低温でベークを行う場合でも、有機溶剤やアルカリ性現像液との接触による過度の溶解が生じにくい、着色硬化物の形成方法と、当該形成方法により着色硬化物を形成することを含む、カラーフィルタの製造方法とを提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
≪着色硬化物の形成方法≫
着色硬化物の形成方法は、
着色感光性樹脂組成物を基板上に塗布することによる塗布膜の形成と、
塗布膜の露光と、
露光された塗布膜の８０〜１６０℃でのベークと、を含む。
また、着色感光性樹脂組成物として、（Ａ）光重合性化合物と、（Ｂ）光重合開始剤と、（Ｃ）着色剤と、（Ｄ）シランカップリング剤とを含む組成物が用いられる。
そして、（Ｄ）シランカップリング剤は、下式（Ｄ１）：
ＲＤ１ｄＲＤ２（３−ｄ）Ｓｉ−ＲＤ３−ＮＨ−Ｃ（Ｏ）−ＹＤ−ＲＤ４−ＸＤ・・・（Ｄ１）
（式（Ｄ１）中、ＲＤ１はアルコキシ基であり、ＲＤ２はアルキル基であり、ｄは１〜３の整数であり、ＲＤ３はアルキレン基であり、ＹＤは−ＮＨ−、−Ｏ−、又は−Ｓ−であり、ＲＤ４は単結合、又はアルキレン基であり、ＸＤは、置換基を有していてもよく単環でも多環でもよい含窒素ヘテロアリール基であり、ＸＤ中の−ＹＤ−ＲＤ４−と結合する環は含窒素６員芳香環であり、−ＹＤ−ＲＤ４−は前記含窒素６員芳香環中の炭素原子と結合する。）
で表される化合物を含む。
【００１４】
着色感光性樹脂組成物が、（Ｄ）シランカップリング剤として、上記式（Ｄ１）で表されるシランカップリング剤を含有することにより、着色感光性組成物からなる塗布膜を８０〜１６０℃でベークしても、有機溶剤やアルカリ性現像液との接触による過度の溶解を起こしにくい着色硬化物を形成することができる。
【００１５】
以下、着色感光性樹脂組成物と、着色硬化膜の具体的な形成方法とについて説明する。
【００１６】
＜着色感光性組成物＞
着色感光性組成物（以下、「着色組成物」とも記す。）は、（Ａ）光重合性化合物と、（Ｂ）光重合開始剤と、（Ｃ）着色剤と、（Ｄ）シランカップリング剤とを含む。以下、着色感光性組成物が含む、必須又は任意の材料と、黒色感光性組成物の調製方法とについて説明する。
【００１７】
＜（Ａ）光重合性化合物＞
着色組成物は、（Ａ）光重合性化合物（以下、「（Ａ）成分」とも記す。）を含有する。（Ａ）成分としては、特に限定されず、従来公知の光重合性化合物を用いることができる。その中でも、エチレン性不飽和基を有する樹脂又はエチレン性不飽和基を有するモノマーが好ましい。
エチレン性不飽和基を有する樹脂と、エチレン性不飽和基を有するモノマーとは組み合わせて用いることができる。エチレン性不飽和基を有する樹脂とエチレン性不飽和基を有するモノマーとを組み合わせる場合は、黒色組成物の硬化性が向上し、パターン形成が容易である。
【００１８】
［エチレン性不飽和基を有する樹脂］
エチレン性不飽和基を有する樹脂としては、（メタ）アクリル酸、フマル酸、マレイン酸、フマル酸モノメチル、フマル酸モノエチル、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、エチレングリコールモノメチルエーテル（メタ）アクリレート、エチレングリコールモノエチルエーテル（メタ）アクリレート、グリセロール（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、カルドエポキシジアクリレート等が重合したオリゴマー類；多価アルコール類と一塩基酸又は多塩基酸とを縮合して得られるポリエステルプレポリマーに（メタ）アクリル酸を反応させて得られるポリエステル（メタ）アクリレート；ポリオールと２個のイソシアネート基を持つ化合物とを反応させた後、（メタ）アクリル酸を反応させて得られるポリウレタン（メタ）アクリレート；ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、フェノール又はクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、レゾール型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、ポリカルボン酸ポリグリシジルエステル、ポリオールポリグリシジルエステル、脂肪族又は脂環式エポキシ樹脂、アミンエポキシ樹脂、ジヒドロキシベンゼン型エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂と、（メタ）アクリル酸とを反応させて得られるエポキシ（メタ）アクリレート樹脂等が挙げられる。さらに、エポキシ（メタ）アクリレート樹脂に多塩基酸無水物を反応させた樹脂を好適に用いることができる。なお、本明細書において、「（メタ）アクリル」は、「アクリル又はメタクリル」を意味する。
【００１９】
（Ａ）光重合性化合物が、エチレン性不飽和基を有する重合体である場合、かかる重合体としては、エチレン性不飽和基を有しカルド構造を含む重合体（Ａ’）が好ましい。
（Ａ）光重合性化合物としては、上記のカルド構造を含む重合体（Ａ’）を用いる場合、（Ｃ）着色剤を良好に分散させやすく、保存安定性に優れる着色組成物を得やすい。また、（Ｃ）着色剤が良好に分散された着色組成物を用いることで、均一な色相を呈するカラーフィルタの製造が容易である。
【００２０】
また、エチレン性不飽和基を有する樹脂としては、エポキシ化合物と不飽和基含有カルボン酸化合物との反応物を、さらに多塩基酸無水物と反応させることにより得られる樹脂を好適に用いることができる。
【００２１】
その中でも、下記式（ａ−１）で表される化合物が好ましい。下記式（ａ−１）で表される化合物は、前述のカルド構造を含む重合体（Ａ’）として好適な化合物である。この式（ａ−１）で表される化合物は、それ自体が、光硬化性が高い点で好ましい。
【化１】
2017182001.tif 000002
【００２２】
上記式（ａ−１）中、Ｘａは、下記式（ａ−２）で表される基を表す。
【化２】
2017182001.tif 000003
【００２３】
上記式（ａ−２）中、Ｒａ１は、それぞれ独立に水素原子、炭素数１〜６の炭化水素基、又はハロゲン原子を表し、Ｒａ２は、それぞれ独立に水素原子又はメチル基を表し、Ｗａは、単結合又は下記式（ａ−３）で表される基を表す。
【化３】
2017182001.tif 000004
【００２４】
また、上記式（ａ−１）中、Ｙａは、ジカルボン酸無水物から酸無水物基（−ＣＯ−Ｏ−ＣＯ−）を除いた残基を表す。ジカルボン酸無水物の例としては、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、無水クロレンド酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水グルタル酸等が挙げられる。
【００２５】
また、上記式（ａ−１）中、Ｚａは、テトラカルボン酸二無水物から２個の酸無水物基を除いた残基を表す。テトラカルボン酸二無水物の例としては、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。
また、上記式（ａ−１）中、ｍは、０〜２０の整数を表す。
【００２６】
エチレン性不飽和基を有する樹脂の酸価は、樹脂固形分で、１０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましく、７０〜１１０ｍｇＫＯＨ／ｇであることがより好ましい。酸価を１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上とすることにより、現像液に対する十分な溶解性が得られるので好ましい。また、酸価を１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下とすることにより、十分な硬化性を得ることができ、表面性を良好にすることができるので好ましい。
【００２７】
また、エチレン性不飽和基を有する樹脂の質量平均分子量は、１０００〜４００００であることが好ましく、２０００〜３００００であることがより好ましい。質量平均分子量を１０００以上とすることにより、良好な耐熱性、膜強度を得ることができるので好ましい。また、質量平均分子量を４００００以下とすることにより、良好な現像性を得ることができるので好ましい。
【００２８】
［エチレン性不飽和基を有するモノマー］
エチレン性不飽和基を有するモノマーには、単官能モノマーと多官能モノマーとがある。
単官能モノマーとしては、（メタ）アクリルアミド、メチロール（メタ）アクリルアミド、メトキシメチル（メタ）アクリルアミド、エトキシメチル（メタ）アクリルアミド、プロポキシメチル（メタ）アクリルアミド、ブトキシメトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ヒドロキシメチル（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリル酸、フマル酸、マレイン酸、無水マレイン酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、クロトン酸、２−アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、ｔｅｒｔ−ブチルアクリルアミドスルホン酸、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、２−フェノキシ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−（メタ）アクリロイルオキシ−２−ヒドロキシプロピルフタレート、グリセリンモノ（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、２，２，２−トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレート、フタル酸誘導体のハーフ（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらの単官能モノマーは、単独で用いてもよく、２種以上組み合わせて用いてもよい。
【００２９】
一方、多官能モノマーとしては、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、グリセリンジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、２，２−ビス（４−（メタ）アクリロキシジエトキシフェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（メタ）アクリロキシポリエトキシフェニル）プロパン、２−ヒドロキシ−３−（メタ）アクリロイルオキシプロピル（メタ）アクリレート、エチレングリコールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、フタル酸ジグリシジルエステルジ（メタ）アクリレート、グリセリントリアクリレート、グリセリンポリグリシジルエーテルポリ（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート（すなわち、トリレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、又はヘキサメチレンジイソシアネートと、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートとの反応物）、メチレンビス（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリルアミドメチレンエーテル、多価アルコールとＮ−メチロール（メタ）アクリルアミドとの縮合物等の多官能モノマーや、トリアクリルホルマール等が挙げられる。これらの多官能モノマーは、単独で用いてもよく、２種以上組み合わせて用いてもよい。
【００３０】
着色組成物における（Ａ）成分の含有量は、着色組成物の固形分の質量に対して１０〜７０質量％が好ましく、２０〜６５質量％がより好ましく、３０〜６０質量％が特に好ましい。
【００３１】
＜（Ｂ）光重合開始剤＞
着色組成物は、（Ｂ）光重合開始剤（以下、「（Ｂ）成分」とも記す。）を含む。（Ｂ）光重合開始剤としては、本発明の目的を阻害しない範囲で、従来から着色組成物に配合されている種々の光重合開始剤を用いることができる。
【００３２】
（Ｂ）光重合開始剤の具体例としては、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、１−（４−ドデシルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、ビス（４−ジメチルアミノフェニル）ケトン、２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルフォリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン、Ｏ−アセチル−１−［６−（２−メチルベンゾイル）−９−エチル−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタノンオキシム、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、４−ベンゾイル−４’−メチルジメチルスルフィド、４−ジメチルアミノ安息香酸、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸ブチル、４−ジメチルアミノ−２−エチルヘキシル安息香酸、４−ジメチルアミノ−２−イソアミル安息香酸、ベンジル−β−メトキシエチルアセタール、ベンジルジメチルケタール、１−フェニル−１，２−プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキシム、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、２，４−ジエチルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントン、チオキサンテン、２−クロロチオキサンテン、２，４−ジエチルチオキサンテン、２−メチルチオキサンテン、２−イソプロピルチオキサンテン、２−エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、１，２−ベンズアントラキノン、２，３−ジフェニルアントラキノン、アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキシド、クメンヒドロペルオキシド、２−メルカプトベンゾイミダール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）−イミダゾリル二量体、ベンゾフェノン、２−クロロベンゾフェノン、ｐ，ｐ’−ビスジメチルアミノベンゾフェノン、４，４’−ビスジエチルアミノベンゾフェノン、４，４’−ジクロロベンゾフェノン、３，３−ジメチル−４−メトキシベンゾフェノン、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン−ｎ−ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、アセトフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、ｐ−ジメチルアセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルアセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノアセトフェノン、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルトリクロロアセトフェノン、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルジクロロアセトフェノン、α，α−ジクロロ−４−フェノキシアセトフェノン、チオキサントン、２−メチルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、ジベンゾスベロン、ペンチル−４−ジメチルアミノベンゾエート、９−フェニルアクリジン、１，７−ビス−（９−アクリジニル）ヘプタン、１，５−ビス−（９−アクリジニル）ペンタン、１，３−ビス−（９−アクリジニル）プロパン、ｐ−メトキシトリアジン、２，４，６−トリス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−メチル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−［２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル］−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−［２−（フラン−２−イル）エテニル］−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−［２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル］−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−［２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル］−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−ｎ−ブトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−ビス−トリクロロメチル−６−（３−ブロモ−４−メトキシ）フェニル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス−トリクロロメチル−６−（２−ブロモ−４−メトキシ）フェニル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス−トリクロロメチル−６−（３−ブロモ−４−メトキシ）スチリルフェニル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス−トリクロロメチル−６−（２−ブロモ−４−メトキシ）スチリルフェニル−ｓ−トリアジン等が挙げられる。これらの（Ｂ）光重合開始剤は、単独又は２種以上組み合わせて用いることができる。
このような（Ｂ）光重合開始剤の中でも、オキシムエステル系光重合開始剤が好ましい。
【００３３】
オキシム系光重合開始剤の中では、下記式（Ｂ１）で表されるオキシムエステル化合物が好ましい。
【化４】
2017182001.tif 000005
【００３４】
上記式（Ｂ１）中、ＲＢ１は、−ＮＯ２又は−ＣＯＲＢ５を表す。また、ＲＢ５は、置換基を有していてもよい、複素環基、縮合環式芳香族基、又は芳香族基を表す。ＲＢ２〜ＲＢ４はそれぞれ独立して一価の有機基を表す。
微細なパターンを形成する場合の解像性に優れ、基板への密着性が良好な着色膜を形成しやすい着色組成物が得られる点では、式（Ｂ１）で表される化合物の中でも、ＲＢ１が、−ＮＯ２、又はＲＢ５が複素環基及び縮合環式芳香族基から選択される基である−ＣＯＲＢ５である化合物が好ましく、−ＮＯ２、又はＲＢ５が複素環基である−ＣＯＲＢ５である化合物がより好ましい。
【００３５】
ＲＢ５で表される複素環基としては、窒素原子、硫黄原子、及び酸素原子の少なくとも１つの原子を含む５員環以上、好ましくは５員環又は６員環の複素環基が挙げられる。複素環基の例としては、ピロリル基、イミダゾリル基、ピラゾリル基等の含窒素５員環基；ピリジル基、ピラジニル基、ピリミジル基、ピリダジニル基等の含窒素６員環基；チアゾリル基、イソチアゾリル基等の含窒素含硫黄基；オキサゾリル基、イソオキサゾリル基等の含窒素含酸素基；チエニル基、チオピラニル基等の含硫黄基；フリル基、ピラニル基等の含酸素基；等が挙げられる。この中でも、窒素原子又は硫黄原子を１つ含むものが好ましい。この複素環には縮合環が含まれていてもよい。縮合環が含まれる複素環基の例としてはベンゾチエニル基等が挙げられる。
【００３６】
ＲＢ５で表される縮合環式芳香族基としては、ナフチル基、アントリル基、フェナントリル基等が挙げられる。また、ＲＢ５で表される芳香族基としては、フェニル基が挙げられる。
【００３７】
複素環基、縮合環式芳香族基、又は芳香族基は、置換基を有していてもよい。特にＲＢ５が芳香族基である場合には、置換基を有していることが好ましい。このような置換基としては、−ＮＯ２、−ＣＮ、−ＳＯ２ＲＢ６、−ＣＯＲＢ６、−ＮＲＢ７ＲＢ８、−ＲＢ９、−ＯＲＢ９、−Ｏ−ＲＢ１０−Ｏ−ＲＢ１１等が挙げられる。
【００３８】
ＲＢ６は、それぞれ独立にアルキル基を表し、これらはハロゲン原子で置換されていてもよく、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合により中断されていてもよい。ＲＢ６におけるアルキル基は、炭素原子数１〜５であることが好ましく、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基等が挙げられる。
【００３９】
ＲＢ７、ＲＢ８は、それぞれ独立に水素原子、アルキル基、又はアルコキシ基を表し、これらはハロゲン原子で置換されていてもよく、これらのうちアルキル基及びアルコキシ基のアルキレン部分は、エーテル結合、チオエーテル結合、又はエステル結合により中断されていてもよい。また、ＲＢ７とＲＢ８とが結合して環構造を形成していてもよい。ＲＢ７、ＲＢ８におけるアルキル基又はアルコキシ基は、炭素原子数１〜５であることが好ましく、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基等が挙げられる。
【００４０】
ＲＢ７とＲＢ８とが結合して形成し得る環構造としては、複素環が挙げられる。この複素環としては、少なくとも窒素原子を含む５員環以上、好ましくは５〜７員環の複素環が挙げられる。この複素環には縮合環が含まれていてもよい。複素環の例としては、ピペリジン環、モルホリン環、チオモルホリン環等が挙げられる。これらの中でも、モルホリン環が好ましい。
【００４１】
ＲＢ９は、水素原子の一部又は全部がハロゲン原子で置換されていてもよいアルキル基を表す。ＲＢ９におけるアルキル基は、炭素数１〜５であることが好ましく、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基等が挙げられる。
【００４２】
ＲＢ１０はアルキレン基を表す。ＲＢ１１はアルキル基を表し、これらはハロゲン原子で置換されていてもよく、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合により中断されていてもよい。好ましい炭素原子数やその具体例は、上記ＲＢ６の説明と同様である。
【００４３】
これらの中でも、ＲＢ５としては、ピロリル基、ピリジル基、チエニル基、チオピラリル基、ベンゾチエニル基、ナフチル基、置換基を有するフェニル基が好ましい例として挙げられる。
【００４４】
上記式（Ｂ１）中、ＲＢ２は、一価の有機基を表す。この有機基としては、−ＲＢ１２、−ＯＲＢ１２、−ＣＯＲＢ１２、−ＳＲＢ１２、−ＮＲＢ１２ＲＢ１３で表される基が好ましい。ＲＢ１２、ＲＢ１３は、それぞれ独立にアルキル基、アルケニル基、アリール基、アラルキル基、又は複素環基を表し、これらはハロゲン原子、アルキル基、又は複素環基で置換されていてもよく、これらのうちアルキル基及びアラルキル基のアルキレン部分は、不飽和結合、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合により中断されていてもよい。また、ＲＢ１２とＲＢ１３とが結合して窒素原子とともに環構造を形成していてもよい。
【００４５】
ＲＢ１２、ＲＢ１３で表されるアルキル基としては、炭素原子数１〜２０のものが好ましく、炭素原子数１〜５のものがより好ましい。アルキル基の例としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ヘプチル基、ｎ−オクチル基、イソオクチル基、ｓｅｃ−オクチル基、ｔｅｒｔ−オクチル基、ｎ−ノニル基、イソノニル基、ｎ−デシル基、イソデシル基等の直鎖状又は分枝鎖状の基が挙げられる。また、このアルキル基は置換基を有していてもよい。置換基を有するものの例としては、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、プロピロキシエトキシエチル基、メトキシプロピル基等が挙げられる。
【００４６】
ＲＢ１２、ＲＢ１３で表されるアルケニル基の炭素原子数は、１〜２０が好ましく、１〜５がより好ましい。アルケニル基は、直鎖状であっても分岐鎖状であってもよい。アルケニル基の例としては、ビニル基、アリル基、ブテニル基、エテニル基、プロピニル基等が挙げられる。アルケニル基は置換基を有していてもよい。置換基を有するアルケニル基の例としては、２−（ベンゾオキサゾール−２−イル）エテニル基等が挙げられる。
【００４７】
ＲＢ１２、Ｒ１Ｂ１２で表されるアリール基の炭素原子数は、６〜２０が好ましく、６〜１０がより好ましい。アリール基の例としては、フェニル基、トリル基、キシリル基、エチルフェニル基、ナフチル基、アントリル基、フェナントリル基等が挙げられる。
【００４８】
ＲＢ１２、ＲＢ１３で表されるアラルキル基の炭素原子数は、７〜２０が好ましく、７〜１２がより好ましい。アラルキル基の例としては、ベンジル基、α−メチルベンジル基、α，α−ジメチルベンジル基、フェニルエチル基、フェニルエテニル基等が挙げられる。
【００４９】
ＲＢ１２、ＲＢ１３で表される複素環基としては、窒素原子、硫黄原子、及び酸素原子の少なくとも１つの原子を含む５員環以上、好ましくは５〜７員環の複素環基が挙げられる。この複素環基には縮合環が含まれていてもよい。複素環基の例としては、ピロリル基、ピリジル基、ピリミジル基、フリル基、チエニル基等が挙げられる。
【００５０】
これらのＲＢ１２、ＲＢ１３のうち、アルキル基及びアラルキル基のアルキレン部分は、不飽和結合、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合により中断されていてもよい。
【００５１】
また、ＲＢ１２とＲＢ１３とが結合して形成し得る環構造としては、複素環が挙げられる。この複素環としては、少なくとも窒素原子を含む５員環以上、好ましくは５〜７員環の複素環が挙げられる。この複素環には縮合環が含まれていてもよい。複素環の例としては、ピペリジン環、モルホリン環、チオモルホリン環等が挙げられる。
【００５２】
これらの中でも、ＲＢ２としては、メチル基、エチル基、プロピル基、フェニル基であることが最も好ましい。
【００５３】
上記式（Ｂ１）中、ＲＢ３は、一価の有機基を表す。この有機基としては、炭素数１〜５のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素原子数６〜１２のアリール基、下記式（Ｂ２）で表される基、又は置換基を有していてもよい複素環基が好ましい。置換基としては、上記ＲＢ５の場合と同様の基が挙げられる。炭素原子数６〜１２のアリール基としては、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、フェナントリル基等が挙げられる。
【化５】
2017182001.tif 000006
【００５４】
上記式（Ｂ２）中、ＲＢ１４は、酸素原子で中断されていてもよい炭素原子数１〜５のアルキレン基を表す。このようなアルキレン基としては、メチレン基、エチレン基、ｎ−プロピレン基、イソプロピレン基、ｎ−ブチレン基、イソブチレン基、ｓｅｃ−ブチレン基、ｎ−ペンチレン基、イソペンチレン基、ｓｅｃ−ペンチレン基等の直鎖状又は分枝鎖状の基が挙げられる。これらの中でも、ＲＢ１４はイソプロピレン基であることが最も好ましい。
【００５５】
上記式（Ｂ２）中、ＲＢ１５は、−ＮＲＢ１６ＲＢ１７で表される一価の有機基を表す（ＲＢ１６、ＲＢ１７は、それぞれ独立に一価の有機基を表す）。そのような有機基の中でも、ＲＢ１５の構造が下記式（Ｂ３）で表されるものであれば、オキシム系光重合開始剤の溶解性を向上することができる点で好ましい。
【化６】
2017182001.tif 000007
【００５６】
上記式（Ｂ３）中、ＲＢ１８、ＲＢ１９は、それぞれ独立して炭素原子数１〜５のアルキル基である。このようなアルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基等が挙げられる。これらの中でも、ＲＢ１８、ＲＢ１９はメチル基であることが最も好ましい。
【００５７】
ＲＢ３で表される複素環基としては、窒素原子、硫黄原子、及び酸素原子の少なくとも１つの原子を含む５員環以上、好ましくは５員環又は６員環の複素環基が挙げられる。複素環基の例としては、ピロリル基、イミダゾリル基、ピラゾリル基等の含窒素５員環基；ピリジル基、ピラジニル基、ピリミジル基、ピリダジニル基等の含窒素６員環基；チアゾリル基、イソチアゾリル基等の含窒素含硫黄基；オキサゾリル基、イソオキサゾリル基等の含窒素含酸素基；チエニル基、チオピラニル基等の含硫黄基；フリル基、ピラニル基等の含酸素基；等が挙げられる。この中でも、窒素原子又は硫黄原子を１つ含むものが好ましい。この複素環には縮合環が含まれていてもよい。縮合環が含まれる複素環基の例としてはベンゾチエニル基等が挙げられる。
【００５８】
また、複素環基は置換基を有していてもよい。置換基としては、上記ＲＢ５の場合と同様の基が挙げられる。
【００５９】
上記式（Ｂ１）中、ＲＢ４は、一価の有機基を表す。この中でも、炭素原子数１〜５のアルキル基であることが好ましい。このようなアルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基等が挙げられる。これらの中でも、ＲＢ４はメチル基であることが最も好ましい。
【００６０】
（Ｂ）成分の質量における、式（Ｂ１）で表される化合物の量の比率は、１０質量％以上が好ましく、３０質量％以上がより好ましく、５０質量％以上が特に好ましい。上限は特に限定されないが、例えば９０質量％以下、好ましくは８０質量％以下である。
特に、（Ｂ）成分の質量における、式（Ｂ１）で表され、且つ、ＲＢ１が、−ＮＯ２、又はＲＢ５が複素環基及び縮合環式芳香族基から選択される基である−ＣＯＲＢ５である化合物の含有量の上限は、９０質量％以下が好ましく、８０質量％以下がより好ましい。
（Ｂ）成分が、かかる範囲の量の式（Ｂ１）で表される化合物を含むことにより、解像性に優れ、基板への密着性に優れるパターンを形成可能な着色組成物を得やすい。
【００６１】
着色組成物における（Ｂ）成分の含有量は、着色組成物の固形分の質量に対して１〜３０質量％が好ましく、２〜２５質量％がより好ましく、５〜２０質量％が特に好ましい。
【００６２】
＜（Ｃ）着色剤＞
着色組成物は、（Ｃ）着色剤を含む。着色組成物に含有される（Ｃ）着色剤としては、特に限定されないが、例えば、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．；Ｔｈｅ  Ｓｏｃｉｅｔｙ  ｏｆ  Ｄｙｅｒｓ  ａｎｄ  Ｃｏｌｏｕｒｉｓｔｓ社発行）において、ピグメント（Ｐｉｇｍｅｎｔ）に分類されている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）番号が付されているものを用いるのが好ましい。
【００６３】
好適に使用できる黄色顔料の例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１（以下、「Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー」は同様であり、番号のみを記載する。）、３、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、２０、２４、３１、５３、５５、６０、６１、６５、７１、７３，７４、８１、８３、８６、９３、９５、９７、９８、９９、１００、１０１、１０４、１０６、１０８、１０９、１１０、１１３、１１４、１１６、１１７、１１９、１２０、１２５、１２６、１２７、１２８、１２９、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５０、１５１、１５２、１５３、１５４、１５５、１５６、１６６、１６７、１６８、１７５、１８０、及び１８５が挙げられる。
【００６４】
好適に使用できる橙色顔料の例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１（以下、「Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ」は同様であり、番号のみを記載する。）、５、１３、１４、１６、１７、２４、３４、３６、３８、４０、４３、４６、４９、５１、５５、５９、６１、６３、６４、７１、及び７３が挙げられる。
【００６５】
好適に使用できる紫色顔料の例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１（以下、「Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット」は同様であり、番号のみを記載する。）、１９、２３、２９、３０、３２、３６、３７、３８、３９、４０、及び５０が挙げられる。
【００６６】
好適に使用できる赤色顔料の例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１（以下、「Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド」は同様であり、番号のみを記載する。）２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１４、１５、１６、１７、１８、１９、２１、２２、２３、３０、３１、３２、３７、３８、４０、４１、４２、４８：１、４８：２、４８：３、４８：４、４９：１、４９：２、５０：１、５２：１、５３：１、５７、５７：１、５７：２、５８：２、５８：４、６０：１、６３：１、６３：２、６４：１、８１：１、８３、８８、９０：１、９７、１０１、１０２、１０４、１０５、１０６、１０８、１１２、１１３、１１４、１２２、１２３、１４４、１４６、１４９、１５０、１５１、１５５、１６６、１６８、１７０、１７１、１７２、１７４、１７５、１７６、１７７、１７８、１７９、１８０、１８５、１８７、１８８、１９０、１９２、１９３、１９４、２０２、２０６、２０７、２０８、２０９、２１５、２１６、２１７、２２０、２２３、２２４、２２６、２２７、２２８、２４０、２４２、２４３、２４５、２５４、２５５、２６４、及び２６５が挙げられる。
【００６７】
好適に使用できる青色顔料の例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１（以下、「Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー」は同様であり、番号のみを記載する。）、２、１５、１５：３、１５：４、１５：６、１６、２２、６０、６４、及び６６が挙げられる。
【００６８】
好適に使用できる、上記の他の色相の顔料の例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３７等の緑色顔料、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２５、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２６、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２８等の茶色顔料、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック７等の黒色顔料が挙げられる。
【００６９】
また、（Ｃ）着色剤を遮光剤とする場合、遮光剤としては黒色顔料を用いることが好ましい。黒色顔料としては、カーボンブラック、チタンブラック、銅、鉄、マンガン、コバルト、クロム、ニッケル、亜鉛、カルシウム、銀等の金属酸化物、複合酸化物、金属硫化物、金属硫酸塩又は金属炭酸塩等、有機物、無機物を問わず各種の顔料を挙げることができる。これらの中でも、高い遮光性を有するカーボンブラックを用いることが好ましい。
【００７０】
カーボンブラックとしては、チャンネルブラック、ファーネスブラック、サーマルブラック、ランプブラック等の公知のカーボンブラックを用いることができるが、遮光性に優れるチャンネルブラックを用いることが好ましい。また、樹脂被覆カーボンブラックを使用してもよい。
【００７１】
樹脂被覆カーボンブラックは、樹脂被覆のないカーボンブラックに比べて導電性が低いことから、液晶表示ディスプレイのような液晶表示素子のブラックマトリクスとして使用した場合に電流のリークが少なく、信頼性の高い低消費電力のディスプレイを製造できる。
【００７２】
また、カーボンブラックの色調を調整するために、補助顔料として上記の有機顔料を適宜添加してもよい。
【００７３】
上記の着色剤を着色組成物において均一に分散させるために、さらに分散剤を使用してもよい。このような分散剤としては、ポリエチレンイミン系、ウレタン樹脂系、アクリル樹脂系の高分子分散剤を用いることが好ましい。特に、着色剤として、カーボンブラックを用いる場合には、分散剤としてアクリル樹脂系の分散剤を用いることが好ましい。
【００７４】
また、無機顔料と有機顔料はそれぞれ単独又は２種以上併用してもよいが、併用する場合には、無機顔料と有機顔料との総量１００質量部に対して、有機顔料を１０〜８０質量部の範囲で用いることが好ましく、２０〜４０質量部の範囲で用いることがより好ましい。
【００７５】
着色組成物における（Ｃ）着色剤の使用量は、着色組成物の用途に応じて適宜決定すればよいが、一例として、着色組成物中の溶剤以外の成分の質量の合計１００質量部に対して、５〜７０質量部が好ましく、２５〜６０質量部がより好ましい。上記の範囲とすることにより、目的とするパターン形状を備えるブラックマトリクスや各着色層を形成することが容易である。
【００７６】
特に、着色組成物を使用してブラックマトリクスを形成する場合には、ブラックマトリクスの被膜１μｍ当たりのＯＤ値が４以上となるように着色組成物における遮光剤の量を調整することが好ましい。ブラックマトリクスにおける被膜１μｍ当たりのＯＤ値が４以上あれば、液晶表示ディスプレイのブラックマトリクスに用いた場合に、十分な表示コントラストを得ることができる。
【００７７】
着色剤は、分散剤を用いて適当な濃度で分散させた分散液とした後、着色組成物に添加することが好ましい。
【００７８】
＜（Ｄ）シランカップリング剤＞
（Ｄ）シランカップリング剤は、下記式（Ｄ１）で表される化合物を必須に含む。
ＲＤ１ｄＲＤ２（３−ｄ）Ｓｉ−ＲＤ３−ＮＨ−Ｃ（Ｏ）−ＹＤ−ＲＤ４−ＸＤ・・・（Ｄ１）
（式（Ｄ１）中、ＲＤ１はアルコキシ基であり、ＲＤ２はアルキル基であり、ｄは１〜３の整数であり、ＲＤ３はアルキレン基であり、ＹＤは−ＮＨ−、−Ｏ−、又は−Ｓ−であり、ＲＤ４は単結合、又はアルキレン基であり、ＸＤは、置換基を有していてもよく単環でも多環でもよい含窒素ヘテロアリール基であり、ＸＤ中の−ＹＤ−ＲＤ４−と結合する環は含窒素６員芳香環であり、−ＹＤ−ＲＤ４−は前記含窒素６員芳香環中の炭素原子と結合する。）
【００７９】
（Ｄ）シランカップリング剤は、ケイ素原子に結合するアルコキシ基及び／又は反応性基を介して、着色組成物に含まれる種々の成分と結合又は相互作用したり、基板等の支持体の表面と結合したりする。このため、着色組成物に（Ｄ）シランカップリング剤を配合すると、露光部が良好に硬化しやすい。式（Ｄ１）で表されるシラン化合物を含むシランカップリング剤を用いる場合、かかる効果が顕著である。
このため、式（Ｄ１）で表されるシラン化合物をシランカップリング剤として含む着色組成物を用いると、有機溶剤やアルカリ性現像液に過度に溶解しにくく、基板への密着性が良好な着色硬化物を形成しやすい。
【００８０】
式（Ｄ１）中、ＲＤ１はアルコキシ基である。ＲＤ１について、アルコキシ基の炭素原子数は１〜６が好ましく、１〜４がより好ましく、シランカップリング剤の反応性の観点から１又は２が特に好ましい。ＲＤ１の好ましい具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、ｎ−プロポキシ基、イソプロポキシ基、ｎ−ブトキシ基、イソブトキシ基、ｓｅｃ−ブトキシ基、ｔｅｒｔ−ブトキシ基、ｎ−ペンチルオキシ基、及びｎ−ヘキシルオキシ基が挙げられる。これらのアルコキシ基の中では、メトキシ基、及びエトキシ基が好ましい。
【００８１】
アルコキシ基であるＲＤ１が加水分解されて生成するシラノール基が基板の表面等と反応することで、着色組成物を用いて形成される塗膜の基板等の支持体の表面への密着性が向上されやすい。このため、塗膜の基板等の支持体の表面への密着性を向上させやすい点から、ｄは３であるのが好ましい。
【００８２】
式（Ｄ１）中、ＲＤ２はアルキル基である。ＲＤ２について、アルキル基の炭素原子数は１〜１２が好ましく、１〜６がより好ましく、シランカップリング剤の反応性の観点から１又は２が特に好ましい。ＲＤ２の好ましい具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ヘプチル基、ｎ−オクチル基、ｎ−ノニル基、ｎ−デシル基、ｎ−ウンデシル基、及びｎ−ドデシル基が挙げられる。
【００８３】
式（Ｄ１）中、ＲＤ３はアルキレン基である。ＲＤ３について、アルキレン基の炭素原子数は１〜１２が好ましく、１〜６がより好ましく、２〜４が特に好ましい。ＲＤ３の好ましい具体例としては、メチレン基、１，２−エチレン基、１，１−エチレン基、プロパン−１，３−ジイル基、プロパン−１，２−ジイル基、プロパン−１，１−ジイル基、プロパン−２，２−ジイル基、ブタン−１，４−ジイル基、ブタン−１，３−ジイル基、ブタン−１，２−ジイル基、ブタン−１，１−ジイル基、ブタン−２，２−ジイル基、ブタン−２，３−ジイル基、ペンタン−１，５−ジイル基、ペンタン−１，４−ジイル基、及びヘキサン−１，６−ジイル基、ヘプタン−１，７−ジイル基、オクタン−１，８−ジイル基、ノナン−１，９−ジイル基、デカン−１，１０−ジイル基、ウンデカン−１，１１−ジイル基、及びドデカン−１，１２−ジイル基が挙げられる。これらのアルキレン基の中では、１，２−エチレン基、プロパン−１，３−ジイル基、及びブタン−１，４−ジイル基が好ましい。
【００８４】
ＹＤは−ＮＨ−、−Ｏ−、又は−Ｓ−であり、−ＮＨ−であるのが好ましい。−ＣＯ−Ｏ−、又は−ＣＯ−Ｓ−で表される結合よりも、−ＣＯ−ＮＨ−で表される結合のほうが加水分解を受けにくいため、ＹＤが−ＮＨ−である化合物をシランカップリング剤として含む着色組成物を用いると、基板等の支持体への密着性に優れる塗膜を形成できる。
【００８５】
ＲＤ４は単結合、又はアルキレン基であり、単結合であるのが好ましい。ＲＤ４がアルキレン基である場合の好ましい例は、ＲＤ３と同様である。
【００８６】
ＸＤは、置換基を有していてもよく単環でも多環でもよい含窒素ヘテロアリール基であり、ＸＤ中の−ＹＤ−ＲＤ４−と結合する環は含窒素６員芳香環であり、−ＹＤ−ＲＤ４−は該含窒素６員芳香環中の炭素原子と結合する。理由は不明であるが、このようなＸＤを有する化合物をシランカップリング剤として含む着色組成物を用いると、基板等の支持体への密着性に優れる塗膜を形成できる。
【００８７】
ＸＤが多環ヘテロアリール基である場合、ヘテロアリール基は、複数の単環が縮合した基であってもよく、複数の単環が単結合を介して結合した基であってもよい。ＸＤが多環ヘテロアリール基である場合、多環ヘテロアリール基に含まれる環数は１〜３が好ましい。ＸＤが多環ヘテロアリール基である場合、ＸＤ中の含窒素６員芳香環に縮合又は結合する環は、ヘテロ原子を含んでいても含んでいなくてもよく、芳香環であっても芳香環でなくてもよい。
【００８８】
含窒素ヘテロアリール基であるＸＤが有していてもよい置換基としては、炭素原子数１〜６のアルキル基、炭素原子数１〜６のアルコキシ基、炭素原子数２〜６のアルケニル基、炭素原子数２〜６のアルケニルオキシ基、炭素原子数２〜６の脂肪族アシル基、ベンゾイル基、ニトロ基、ニトロソ基、アミノ基、ヒドロキシ基、メルカプト基、シアノ基、スルホン酸基、カルボキシル基、及びハロゲン原子等が挙げられる。ＸＤが有する置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。ＸＤが有する置換基の数は、５以下が好ましく、３以下がより好ましい。ＸＤが複数の置換基を有する場合、複数の置換基は同じであっても、異なっていてもよい。
【００８９】
ＸＤの好ましい例としては、下記式の基が挙げられる。
【化７】
2017182001.tif 000008
【００９０】
上記の基の中でも、下記式の基がＸＤとしてより好ましい。
【化８】
2017182001.tif 000009
【００９１】
以上説明した、式（Ｄ１）で表される化合物の好適な具体例としては、以下の化合物１〜８が挙げられる。
【化９】
2017182001.tif 000010
【００９２】
（Ｄ）シランカップリング剤は、式（Ｄ１）で表されるシラン化合物以外のシランカップリング剤を含んでいてもよい。かかるシランカップリング剤としては、特に限定されない。
シランカップリング剤の好適な例としては、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、ｎ−プロピルトリメトキシシラン、ｎ−プロピルトリエトキシシラン、ｎ−ブチルトリメトキシシラン、ｎ−ブチルトリエトキシシラン等のモノアルキルトリアルコキシシラン；ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン等のジアルキルジアルコキシシラン；フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン等のモノフェニルトリアルコキシシラン；ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン等のジフェニルジアルコキシシラン；ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン等のモノビニルトリアルコキシシラン；３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン等の（メタ）アクリロキシアルキルモノアルキルジアルコキシシラン；３−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン等の（メタ）アクリロキシアルキルトリアルコキシシラン；３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−トリエトキシシリル−Ｎ−（１，３−ジメチル−ブチリデン）プロピルアミン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルトリメトキシシラン等のアミノ基含有トリアルコキシシラン；３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン等の非脂環式エポキシ基含有アルキルトリアルコキシシラン；３−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン等の非脂環式エポキシ基含有アルキルモノアルキルジアルコキシシラン；２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリエトキシシラン等の脂環式エポキシ基含有アルキルトリアルコキシシラン；２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルメチルジエトキシシラン等の脂環式エポキシ基含有アルキルモノアルキルジアルコキシシラン；〔（３−エチル−３−オキセタニル）メトキシ〕プロピルトリメトキシシラン、〔（３−エチル−３−オキセタニル）メトキシ〕プロピルトリエトキシシラン等のオキセタニル基含有アルキルトリアルコキシシラン；３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等のメルカプトアルキルトリアルコキシシラン；３−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン等のメルカプトアルキルモノアルキルジアルコキシシラン；３−ウレイドプロピルトリエトキシシラン等のウレイドアルキルトリアルコキシシラン；３−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン等のイソシアネートアルキルトリアルコキシシラン；３−トリメトキシシリルプロピルコハク酸無水物等の酸無水物基含有アルキルトリアルコキシシラン；Ｎ−ｔ−ブチル−３−（３−トリメトキシシリルプロピル）コハク酸イミド等のイミド基含有アルキルトリアルコキシシラン；等が挙げられる。これらのシランカップリング剤は、単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００９３】
（Ｄ）シランカップリング剤の質量に対する、式（Ｄ１）で表されるシラン化合物の質量の比率は、５０質量％以上が好ましく、７０質量％以上がより好ましく、９０質量％以上が特に好ましく、１００質量％が最も好ましい。
【００９４】
着色組成物中の（Ｄ）シランカップリング剤の含有量は特に限定されない。（Ｄ）シランカップリング剤の含有量は、着色組成物全体の質量に対して、１０００〜１００００質量ｐｐｍが好ましく、１５００〜９０００質量ｐｐｍがより好ましく、２０００〜８０００質量ｐｐｍが特に好ましい。
【００９５】
＜（Ｓ）溶剤＞
着色組成物は、希釈のための（Ｓ）溶剤を含有することが好ましい。（Ｓ）溶剤としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコール−ｎ−プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテル類；エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類；ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル類；メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン等のケトン類；２−ヒドロキシプロピオン酸メチル、２−ヒドロキシプロピオン酸エチル等の乳酸アルキルエステル類；２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、２−ヒドロキシ−３−メチルブタン酸メチル、３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルプロピオネート、酢酸エチル、酢酸ｎ−プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、蟻酸ｎ−ペンチル、酢酸イソペンチル、プロピオン酸ｎ−ブチル、酪酸エチル、酪酸ｎ−プロピル、酪酸イソプロピル、酪酸ｎ−ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸ｎ−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸エチル等の他のエステル類；トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類；Ｎ−メチルピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド等のアミド類等が挙げられる。
【００９６】
これらの中でも、アルキレングリコールモノアルキルエーテル類、アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、ケトン類、上述した他のエーテル類、乳酸アルキルエステル類、上述した他のエステル類が好ましく、アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、ケトン類、上述した他のエーテル類、上述した他のエステル類がより好ましい。（Ｓ）溶剤は、単独で又は２種以上組み合わせて用いることができる。
【００９７】
（Ｓ）溶剤の含有量は、着色組成物の固形分濃度が１〜５０質量％となる量が好ましく、５〜３０質量％となる量がより好ましい。
【００９８】
＜その他の成分＞
着色組成物は、以上説明した成分以外に、熱重合禁止剤、消泡剤、界面活性剤等を含んでいてもよい。
熱重合禁止剤としてはヒドロキノン、ヒドロキノンモノエチルエーテル等を用いることができる。消泡剤としてはシリコーン系、フッ素系化合物を用いることができる。界面活性剤としてはアニオン系、カチオン系、ノニオン系等の公知の各種熱重合禁止剤を用いることができる。
【００９９】
＜着色組成物の調製方法＞
着色組成物は、例えば、それぞれ所定の量の（Ａ）光重合性化合物、（Ｂ）光重合開始剤、（Ｃ）着色剤、及び（Ｄ）シランカップリング剤と、必要に応じてその他の成分とを、所望する固形分濃度になるように、（Ｓ）溶剤中に均一に、分散、溶解させて調製される。
（Ｃ）着色剤が（Ｓ）溶剤中に予め濃厚に分散されたマスターバッチを用いて、着色組成物を調製してもよい。
得られた着色組成物は、所望の開口径を有するフィルターを用いてろ過されてもよい。
【０１００】
＜着色硬化物の形成方法＞
以上説明した着色組成物を用いて、着色硬化物が形成される。
着色硬化物の形成方法は、前述の通り、
着色感光性樹脂組成物を基板上に塗布することによる塗布膜の形成と、
塗布膜の露光と、
露光された塗布膜の８０〜１６０℃でのベークと、を含む。
【０１０１】
まず、着色組成物を、基板上にロールコータ、リバースコータ、バーコータ等の接触転写型塗布装置やスピンナー（回転式塗布装置）、カーテンフローコータ、ダイコーター、スリットコーター等の非接触型塗布装置を用いて塗布して、塗布膜を形成する。
【０１０２】
着色組成物の塗布後、通常、塗布膜を乾燥させて溶剤を除去する。乾燥方法は特に限定されず、例えば（１）ホットプレートにて８０℃から１２０℃、好ましくは９０℃から１００℃の温度にて６０秒間から１２０秒間乾燥する方法、（２）室温にて数時間から数日放置する方法、（３）温風ヒータや赤外線ヒータ中に数十分から数時間入れて溶剤を除去する方法、のいずれの方法を用いてもよい。
【０１０３】
次いで、紫外線、エキシマレーザー光等の活性エネルギー線を照射して塗布膜を露光する。照射するエネルギー線量は、着色組成物の組成によっても異なるが、例えば３０ｍＪ／ｃｍ２から２０００ｍＪ／ｃｍ２程度が好ましい。
ブラックマトリクスや、ブラックマトリクス中に形成される着色膜は通常パターン化されている。着色硬化物がパターン化された着色膜である場合、塗布膜の露光は、パターン形状に応じて位置選択的に行われる。位置選択的な露光の方法は限定されないが、通常、ネガ型のマスクを介して、位置選択的な露光が行なわれる。
【０１０４】
塗布膜が位置選択的に露光された場合には、露光後の塗布膜を、アルカリ現像液により現像することによって所望の形状にパターニングする。現像方法は特に限定されず、例えば浸漬法、スプレー法等を用いることができる。アルカリ現像液としては、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等の有機系のものや、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、アンモニア、４級アンモニウム水酸化物等の水溶液が挙げられる。
【０１０５】
次いで、全面露光された塗布膜か、露光及び現像を施された塗布膜が、ポストベークに供される。露光された塗布膜のポストベークは、８０〜１６０℃、好ましくは８０〜１５０℃、さらに好ましくは８０〜１００℃で行われる。
ポストベークの時間は、典型的には、２０〜１２０分であり、好ましくは２０〜６０分、さらに好ましくは２０〜３０分である。
このように低い温度でポストベークが行なわれるため、上記方法に従って形成される着色硬化物では、加熱による変色等が抑制される。
また、上記温度でポストベークを行う場合には、フレキシブルディスプレイの基板として使用されている、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のプラスチック基板を使用することが可能である。
これらの樹脂の耐熱温度よりも、ポストベーク温度が低いため、プラスチック基板における、熱による、反り、縮み、皺等の発生のような変形を防ぐことができるためである。
ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）の耐熱温度は、１２０〜１４０℃であり、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）の耐熱温度は１５０〜１６０℃である。
さらに、ディスプレイの種類によっては有機ＥＬ素子が基板上に搭載され、当該素子上にカラーフィルタが形成されることがある。ここで、一般的な有機ＥＬ素子の耐熱温度は１００℃程度であるため、上記方法によれば、１００℃以下でポストベークを行い、有機ＥＬ素子にダメージを与えることなく、カラーフィルタを形成することができる。
【０１０６】
以上のようにして形成される、着色硬化物は、カラーフィルタに含まれる、ブラックマトリクスや、ブラックマトリクス内に形成される着色膜等として好適に使用される。
また、以上のようにして形成される着色硬化物は、有機溶剤やアルカリ性現像液に繰り返し接触しても、過度に溶解しにくい。このため、以上説明した着色硬化物の形成方法は、有機溶剤やアルカリ性現像液を用いるフォトリソグラフィー法による膜形成が繰り返し行われる、カラーフィルタの製造時における着色硬化物の形成方法として好適である。
【実施例】
【０１０７】
以下、実施例を示して本発明をさらに具体的に説明するが、本発明の範囲は、これらの実施例に限定されるものではない。
【０１０８】
〔調製例１〕
まず、５００ｍｌ四つ口フラスコ中に、ビスフェノールフルオレン型エポキシ樹脂（エポキシ当量２３５）２３５ｇ、テトラメチルアンモニウムクロライド１１０ｍｇ、２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−メチルフェノール１００ｍｇ、及びアクリル酸７２．０ｇを仕込み、これに２５ｍｌ／分の速度で空気を吹き込みながら９０〜１００℃で加熱溶解した。次に、溶液が白濁した状態のまま徐々に昇温し、１２０℃に加熱して完全溶解させた。この際、溶液は次第に透明粘稠になったが、そのまま撹拌を継続した。この間、酸価を測定し、１．０ｍｇＫＯＨ／ｇ未満になるまで加熱撹拌を続けた。酸価が目標値に達するまでに１２時間を要した。そして室温まで冷却し、無色透明で固体状の下記式（ａ−４）で表されるビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレートを得た。
【化１０】
2017182001.tif 000011
【０１０９】
次いで、このようにして得られた上記のビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレート３０７．０ｇに３−メトキシブチルアセテート６００ｇを加えて溶解した後、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物８０．５ｇ及び臭化テトラエチルアンモニウム１ｇを混合し、徐々に昇温して１１０〜１１５℃で４時間反応させた。酸無水物基の消失を確認した後、１，２，３，６−テトラヒドロ無水フタル酸３８．０ｇを混合し、９０℃で６時間反応させ、樹脂Ａ−１を得た。酸無水物基の消失はＩＲスペクトルにより確認した。なお、この樹脂Ａ−１は、上記式（ａ−１）で表される樹脂に相当する。
【０１１０】
〔実施例１〜４、比較例１〜５、及び参考例〕
実施例１〜４、比較例１〜５、及び参考例において、それぞれ表１に記載の量の（Ａ）光重合性化合物と、（Ｂ）光重合開始剤と、表１に記載の種類の（Ｃ）着色剤と、表１に記載のシランカップリング剤とを、固形分濃度が２０質量％となるように溶剤に、分散・溶解させて着色感光性樹脂組成物を得た。溶剤としては、３−メトキシブチルアセテート２０質量％と、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート８０質量％との混合物を用いた。
【０１１１】
（Ａ）光重合性化合物としては、以下のＡ１及びＡ２を用いた。
Ａ１：上記調製例１で得た樹脂Ａ−１
Ａ２：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
【０１１２】
（Ｂ）光重合開始剤として、下記構造の化合物を用いた。
【化１１】
2017182001.tif 000012
【０１１３】
（Ｃ）着色剤として、以下のＣ１、及びＣ２を用いた。
Ｃ１：カーボンブラック分散液「ＣＦブラック」（商品名：御国色素社製、固形分含有量：２５質量％）
Ｃ２：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６の分散液「ＣＦブルー」（商品名：御国色素社製、固形分含有量：２０質量％）
【０１１４】
（Ｄ）シランカップリング剤として、以下のＤ１、及びＤ２を用いた。
【０１１５】
＜Ｄ１＞
【化１２】
2017182001.tif 000013
【０１１６】
＜Ｄ２＞
【化１３】
2017182001.tif 000014
【０１１７】
各実施例、比較例、及び参考例の着色感光性樹脂組成物を用いて、以下の方法に従って、現像耐性と、溶剤耐性とを評価した。評価結果を表１に記す。
【０１１８】
＜現像耐性＞
着色感光性樹脂組成物を、ガラス基板（１００ｍｍ×１００ｍｍ）上にスピンコーターを用いて塗布し、６０℃で１２０秒間プリベークを行い、膜厚１．０μｍの塗布膜を形成した。
次いで、ミラープロジェクションアライナー（製品名：ＴＭＥ−１５０ＲＴＯ、株式会社トプコン製）を使用し、露光ギャップを５０μｍとして、塗布膜全面に紫外線を照射した。露光量は、２００ｍＪ／ｃｍ２とした。
露光後の塗膜を、２６℃の０．０４質量％ＫＯＨ水溶液で５０秒間浸漬後、表１に記載のポストベーク温度にて３０分間ポストベークを行うことにより、着色硬化膜を備える現像耐性確認用基板を得た。
形成された着色硬化膜の膜厚を、触針式表面形状測定器（製品名：Ｄｅｋｔａｋ−３ＳＴ、Ｖｅｅｃｏ社製）を使用して測定した後、同基板を２６℃の０．０４質量％ＫＯＨ水溶液への１２０秒間浸漬を３回行った後、再度、基板上の着色硬化膜の膜厚を測定した。
初回に計測した膜厚に対する、２回目に計測した膜厚（計４回アルカリ現像液へ浸漬した後の膜厚）の比率を、残膜率として算出した。
残膜率が９５％以上である場合を「○」と判定し、残膜率が９５％未満６０％以上である場合を「△」と判定し、残膜率が６０％未満である場合を「×」と判定した。
【０１１９】
＜溶剤耐性＞
現像耐性の評価方法と同様に、塗布膜の形成、露光、アルカリ現像液への浸漬、ポストベークを行い、着色硬化膜を備える溶剤耐性確認用基板を得た。
形成された着色硬化膜の膜厚を、触針式表面形状測定器（製品名：Ｄｅｋｔａｋ−３ＳＴ、Ｖｅｅｃｏ社製）を使用して測定した後、着色硬化膜上に、スピンコーターを用いてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）を塗布し、次いで１００℃１２０秒間のベークを行った。ＰＧＭＥＡをプリベークにより除去した後、再度、基板上の着色硬化膜の膜厚を測定した。
初回に計測した膜厚に対する、２回目に計測した膜厚（着色硬化膜上へのＰＧＭＥＡ塗布及びベーク後の膜厚）の比率を、残膜率として算出した。
残膜率が９５％以上である場合を「○」と判定し、残膜率が９５％未満６０％以上である場合を「△」と判定し、残膜率が６０％未満である場合を「×」と判定した。
【０１２０】
【表１】
2017182001.tif 000015
【０１２１】
実施例より、式（Ｄ１）で表されるシラン化合物を（Ｄ）シランカップリング剤として含む着色感光性樹脂組成物からなる塗布膜に対して、露光と、アルカリ現像液への浸漬と、８０〜１５０℃でのポストベークとを行う場合、形成された着色硬化膜が、アルカリ現像液や有機溶剤に溶解しにくいことが分かる。
【０１２２】
比較例１及び２によれば、着色感光性樹脂組成物が式（Ｄ１）で表されるシラン化合物を（Ｄ）シランカップリング剤として含んでいても、ポストベーク温度が低すぎる場合、アルカリ現像液と有機溶剤との双方に溶解しにくい着色硬化膜を形成しにくいことが分かる。
【０１２３】
比較例３によれば、着色感光性樹脂組成物が（Ｄ）シランカップリング剤を含まない場合、１００℃でのベークでは、アルカリ現像液にも有機溶剤にも溶解しやすい着色硬化膜しか形成できないことが分かる。
【０１２４】
比較例４及び５によれば、着色感光性樹脂組成物が、式（Ｄ１）に含まれない構造のシラン化合物を（Ｄ１）シランカップリング剤として含む場合、１００℃や１５０℃でポストベークを行っても、アルカリ現像液と有機溶剤との双方に溶解しにくい着色硬化膜を形成しにくいことが分かる。