(57)【要約】      （修正有）【課題】互いに隣接する記録素子基板間の距離を低減することが可能な液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】液体吐出ヘッドでは、液体を吐出する吐出口を備えた記録素子基板１０を支持する複数の支持部材３０が並設され、各支持部材３０の上に記録素子基板１０が設けられている。支持部材３０が並設された方向において、記録素子基板１０の端部４１２は、その記録素子基板１０を支持する支持部材３０の端部４１３よりも外側に突き出ている。【選択図】図２４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するために利用されるエネルギを発生する記録素子を備える第１及び第２記録素子基板と、
前記第１及び第２記録素子基板を夫々支持する第１及び第２支持部材と、
前記第１及び第２支持部材が並設される流路部材と、を備え、
前記第１記録素子基板の前記第２記録素子基板側の端部は、前記第１支持部材の前記第２支持部材側の端部よりも前記第２記録素子基板側に突出していることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記第２記録素子基板の前記第１記録素子基板側の端部は、前記第２支持部材の前記第１支持部材側の端部よりも前記第１記録素子基板側に突出していることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記第１記録素子基板における前記第１支持部材の側の面に形成された、液体を前記記録素子に供給する液体供給路と、前記第１記録素子基板と前記第１支持部材との間に設けられ、前記液体供給路の一部を形成する蓋部材とを有することを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記蓋部材は、前記支持部材よりも薄いことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記蓋部材は、樹脂フィルムで形成されることを特徴とする請求項３または４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記蓋部材の厚みは、１ｍｍ以下であることを特徴とする請求項３ないし５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記第１記録素子基板は、液体を吐出する吐出口を備える吐出口形成部材と、前記記録素子を備える基板と、を含み、前記基板の前記記録素子が設けられる面の裏面には、前記記録素子に液体を供給するための液体供給路と、前記記録素子からの液体を回収する液体回収路とを備えることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記第１及び第２記録素子基板の外形形状は平行四辺形であることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
当該液体吐出ヘッドは、ページワイド型の液体吐出ヘッドであり、
前記流路部材には前記第１及び第２記録素子基板に液体を供給するための共通供給流路と、前記第１及び第２記録素子基板から液体を回収する共通回収流路とが設けられていることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記第１記録素子基板の、前記第２記録素子基板側の端部と隣接する端部は、前記第１支持部材の端部に対して突出していないことを特徴とする請求項１ないし９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記第１記録素子基板は、液体を吐出する吐出口を備える吐出口形成部材と、前記記録素子を備える基板と、を含み、
前記第１記録素子基板の前記基板の加工精度は、前記第１支持部材の加工精度より高いことを特徴とする請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
前記第１記録素子基板の前記突出している部分には、液体を吐出する吐出口が形成されていることを特徴とする請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
前記流路部材には、前記第１及び第２記録素子基板を含む複数の記録素子基板が直線状に配列されていることを特徴とする請求項１ないし１２のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１４】
前記第１記録素子基板は前記記録素子を内部に備える圧力室を備え、前記圧力室内の液体は当該圧力室の外部との間で循環されることを特徴とする請求項１ないし１３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１５】
請求項１ないし１４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを有することを特徴とする液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出する液体吐出ヘッド及び液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンタのような液体吐出装置は、家庭用印刷に使用されるだけでなく、ビジネス用印刷やリテイルフォト用印刷等の業務用印刷や、電子回路描画やパネルディスプレイ製造等の産業用印刷等にも使用される。このような液体吐出装置では、特に業務用印刷の分野において、高速の印刷が強く要求されている。高速な印刷を可能にする技術としては、液体を吐出する液体吐出ヘッドの幅を被記録媒体の幅よりも長尺にし、液体の吐出口を従来よりも多く配置するライン型ヘッドが考えられている。
液体吐出ヘッドを長尺化する技術としては、吐出口を有する複数の記録素子基板を液体吐出ヘッドの長尺方向に並べたものが提案されている。
特許文献１には、記録素子基板を液体吐出ヘッドの長尺方向に１列に並べる技術が開示されている。
特許文献２には、記録素子基板とその記録素子基板を支持する支持部材とを有する吐出モジュールを複数用意し、その複数の吐出モジュールのそれぞれを個別に取り外し可能な状態で支持プレート上に搭載する方法が記載されている。この方法では、特定の吐出モジュールに不具合が生じても、その不具合が生じた吐出モジュールだけを交換することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４４９５７６２号明細書
【特許文献２】特許第４８２４７９５号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１及び２に記載の技術を用いて、吐出モジュールを個別に取り外し可能な状態で一列に並べると、互いに隣接する記録素子基板間の距離は、支持部材の加工精度や搭載位置合わせ精度が低いために、これらの精度によって制限されてしまう。このため、互いに隣接する記録素子基板間の距離を十分に短くすることができないことがある。
記録素子基板間の距離が長いと、互いに隣接する記録素子基板の隣接部において、各記録素子基板に設けられた吐出口列の走査方向のズレ幅が大きくなったり、各記録素子基板に設けられた吐出口列の長尺方向の間隔が間延びしたりする。このため、記録される画像における記録素子基板間の隣接部に対応する位置にムラ等が生じてしまうことがある。
【０００５】
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、互いに隣接する記録素子基板間の距離を低減することが可能な液体吐出ヘッド及び液体吐出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明による液体吐出ヘッドは、
液体を吐出するために利用されるエネルギを発生する記録素子を備える第１及び第２記録素子基板と、
前記第１及び第２記録素子基板を夫々支持する第１及び第２支持部材と、
前記第１及び第２支持部材が並設される流路部材と、を備え、
前記第１記録素子基板の前記第２記録素子基板側の端部は、前記第１支持部材の前記第２支持部材側の端部よりも前記第２記録素子基板側に突出していることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、支持部材が並設された方向において、記録素子基板の端部は、その記録素子基板を支持する支持部材の端部よりも外側に突き出ている。このため、互いに隣接する記録素子基板間の距離は、記録素子基板の加工精度や搭載位置合わせ精度で規定することができる。したがって、互いに隣接する記録素子基板間の距離を低減することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の適用例１に係る液体吐出装置の概略構成を示す図である。
【図２】本発明の適用例１に係る第１の循環経路を示す模式図である。
【図３】本発明の適用例１に係る第２の循環経路を示す模式図である。
【図４】本発明の適用例１に係る液体吐出ヘッドの概略構成を示す斜視図である。
【図５】本発明の適用例１に係る液体吐出ヘッドの分解斜視図である。
【図６】本発明の適用例１に係る流路部材の表面図である。
【図７】本発明の適用例１に係る流路部材内の流路の拡大透視図である。
【図８】図７のＥ−Ｅ線における断面を示した図である。
【図９】本発明の適用例１に係る吐出モジュールを示す模式図である。
【図１０】本発明の適用例１に係る記録素子基板の平面図である。
【図１１】図１０（ａ）におけるＢ−Ｂ線における記録素子基板及び蓋部材の断面を示す斜視図である。
【図１２】本発明の適用例１に係る記録素子基板の隣接部を部分的に拡大して示す平面図である。
【図１３】本発明の適用例２に係る液体吐出ヘッドの概略構成を示す斜視図である。
【図１４】本発明の適用例２に係る液体吐出ヘッドの分解斜視図である。
【図１５】本発明の適用例２に係る流路部材の表面図である。
【図１６】本発明の適用例２に係る記録素子基板と流路部材との液体の接続関係を示した透視図である。
【図１７】図１６のＦ−Ｆ線における断面を示した図である。
【図１８】本発明の適用例２に係る吐出モジュールを示す模式図である。
【図１９】本発明の適用例２に係る記録素子基板の平面図である。
【図２０】本発明の適用例２に係る液体吐出装置の概略構成を示す図である。
【図２１】本発明の第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの概略構成を示す図である。
【図２２】本発明の第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの上面図である。
【図２３】本発明の第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの吐出口列のズレを示す図である。
【図２４】本発明の第１の実施形態に係る記録素子基板間の隣接部の側面図である。
【図２５】本発明の第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの効果を説明するための図である。
【図２６】本発明の第４の実施形態に係る液体吐出ヘッドの概略構成を示す図である。
【図２７】本発明の第４の実施形態に係る互いに隣接する記録素子基板の概略図である。
【図２８】本発明の第５の実施形態の液体吐出ヘッドの製造工程を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を用いて本発明の各適用例及び各実施形態の例を説明する。ただし、以下の記載は本発明の範囲を限定するものではない。以下の各実施形態の液体吐出ヘッドでは、発熱素子により気泡を発生させて液体を吐出するサーマル方式が採用されているが、ピエゾ方式または他の液体吐出方式が採用されても良い。なお、インク等の液体を吐出する本発明の液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドを搭載した液体吐出装置は、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置に適用可能である。さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置に適用可能である。例えば、バイオチップ作製や電子回路印刷や半導体基板作製などの用途としても用いることができる。
以下の各実施形態の液体吐出装置では、インク等の液体をタンクと液体吐出ヘッド間で循環させる形態が採用されているが、他の形態が採用されても良い。例えば、液体吐出装置は、液体を循環せずに、液体吐出ヘッドの上流側と下流側に２つのタンクを設け、一方のタンクから他方のタンクへ液体を流すことで、圧力室内の液体を流動させる形態でも良い。
以下の各実施形態では、液体吐出ヘッドとして、被記録媒体の幅に対応した長さを有する、所謂ライン型（ページワイド型）の液体吐出ヘッドが採用されている。しかしながら、被記録媒体に対してスキャンを行いながら記録を行うための所謂シリアル型の液体吐出ヘッドが採用されても良い。シリアル型の液体吐出ヘッドとしては、例えば、ブラックインク用及びカラーインク用の記録素子基板を１つずつ搭載するものが挙げられるが、この例に限らない。シリアル型の液体吐出ヘッドは、例えば、数個の記録素子基板を、吐出口列方向に吐出口がオーバーラップするように配置した被記録媒体の幅よりも短いヘッドでもよい。
【００１０】
（適用例１）
（インクジェット記録装置の説明）
図１は、本発明を適用可能な構成の１つである適用例１に係る液体吐出装置の概略構成を示す図である。図１に示す液体吐出装置は、液体としてインクを吐出して記録を行うインクジェット記録装置１０００（以下、記録装置とも称す）である。記録装置１０００は、被記録媒体２を搬送する搬送部１と、被記録媒体２の搬送方向と略直交して配置されるライン型の液体吐出ヘッド３とを備え、被記録媒体２を連続的もしくは間欠的に搬送しながら１パスで連続記録を行うライン型記録装置である。被記録媒体２は、カット紙でも良いし、連続したロール紙でも良い。液体吐出ヘッド３は液体としてＣＭＹＫ（シアン、マゼンタ、イエロー、ブラック）インクを用いたフルカラー印刷が可能である。また、液体吐出ヘッド３は、後述するように液体を液体吐出ヘッドへ供給する供給路である液体供給手段、メインタンク及びバッファタンク（図２参照）が流体的に接続されている。また、液体吐出ヘッド３には、液体吐出ヘッド３へ電力及び論理信号を伝送する電気制御部が電気的に接続される。液体吐出ヘッド３内における液体経路及び電気信号経路については後述する。
【００１１】
（第１の循環経路の説明）
本適用例の記録装置に適用される、液体を循環させる循環経路について説明する。図２は、本適用例の記録装置に適用される循環経路の一形態である第１の循環経路を示す模式図である。図２において、液体吐出ヘッド３は、第１循環ポンプ（高圧側）１００１、第１循環ポンプ（低圧側）１００２、及びバッファタンク１００３等と流体的に接続している。また、図２では、説明を簡略化するためにＣＭＹＫインクの内の一色のインクが流動する経路のみが示されているが、実際には４色分の循環経路が、液体吐出ヘッド３及び記録装置１０００本体に設けられている。
サブタンクとして使用されるバッファタンク１００３はメインタンク１００６と接続される。バッファタンク１００３は、そのタンクの内部と外部とを連通する大気連通口（不図示）を有し、インク中の気泡を外部に排出することが可能である。バッファタンク１００３は、補充ポンプ１００５とさらに接続されている。補充ポンプ１００５は、液体吐出ヘッド３の吐出口から液体を吐出または排出する動作によって液体吐出ヘッド３で液体が消費された際に、消費された分のインクをメインタンク１００６からバッファタンク１００３へ移送する。液体を吐出または排出する動作としては、例えば、記録動作や吸引回復動作などが挙げられる。
２つの第１循環ポンプ１００１及び１００２は、液体吐出ヘッド３の液体接続部１１１から液体を引き出してバッファタンク１００３へ流す機能を有する。第１循環ポンプとしては、定量的な送液能力を有する容積型ポンプが好ましい。具体的には、第１循環ポンプとしては、チューブポンプ、ギアポンプ、ダイヤフラムポンプ及びシリンジポンプ等が挙げられるが、例えば、一般的な定流量弁やリリーフ弁をポンプ出口に配して一定流量を確保する形態のものでもよい。液体吐出ヘッド３の駆動時には、第１循環ポンプ（高圧側）１００１及び第１循環ポンプ（低圧側）１００２によって、それぞれ共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２内を一定量の液体が流れる。この液体の流量は、液体吐出ヘッド３内の各記録素子基板１０間の温度差が、記録画像の画質に影響を与えない程度以上に設定されることが好ましい。しかしながら、あまりに大きな流量が設定されると、液体吐出ユニット３００内の流路の圧損の影響により、各記録素子基板１０間の負圧差が大きくなり過ぎ、画像に濃度ムラが生じてしまう。このため、各記録素子基板１０間の温度差と負圧差を考慮しながら、流量を設定することが好ましい。
負圧制御ユニット２３０は、第２循環ポンプ１００４と液体吐出ユニット３００との間の経路上に設けられている。負圧制御ユニット２３０は、記録デューティ（Duty）の差によって循環経路内の流量が変動した場合でも、負圧制御ユニット２３０よりも下流側の圧力を予め設定した所望の圧力を中心とする一定範囲内に維持するように動作する。負圧制御ユニット２３０よりも下流側は、負圧制御ユニット２３０よりも液体吐出ユニット３００に近い側である。負圧制御ユニット２３０は、互いに異なる制御圧が設定された２つの圧力調整機構を備えている。２つの圧力調整機構としては、それ自身よりも下流の圧力を、所望の設定圧を中心とする一定の範囲以下の変動で制御できるものであれば、特に限定されない。圧力調整機構は、例えば、所謂「減圧レギュレーター」を採用することができる。圧力調整機構として減圧レギュレーターを用いた場合、図２に示すように、第２循環ポンプ１００４によって、液体供給ユニット２２０を介して負圧制御ユニット２３０の上流側を加圧させることが好ましい。この場合、バッファタンク１００３の液体吐出ヘッド３に対する水頭圧の影響を抑制できるので、記録装置１０００におけるバッファタンク１００３のレイアウトの自由度を広げることができる。第２循環ポンプ１００４としては、液体吐出ヘッド３の駆動時に使用するインク循環流量の範囲において、一定圧以上の揚程圧を有するものであればよく、ターボ型ポンプや容積型ポンプ等を使用できる。具体的には、第２循環ポンプ１００４として、ダイヤフラムポンプ等が適用可能である。また第２循環ポンプ１００４の代わりに、例えば負圧制御ユニット２３０に対して所定の水頭差を有するように配置された水頭タンクを適用することも可能である。
２つの圧力調整機構の内、相対的に高圧設定側の機構と相対的に低圧設定側の機構は、液体供給ユニット２２０内を経由して、液体吐出ユニット３００内の共通供給流路２１１と共通回収流路２１２とにそれぞれ接続されている。相対的に高圧設定側の機構は、図２においてＨで示され、相対的に低圧設定側の機構は、図２でＬと示されている。液体吐出ユニット３００には、共通供給流路２１１、共通回収流路２１２、及び各記録素子基板と連通する個別供給流路２１３ａ及び個別回収流路２１３ｂが設けられている。個別流路２１３（個別供給流路２１３ａ及び個別回収流路２１３ｂ）は、共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２と連通している。このため、共通供給流路２１１を流れる液体の一部が、共通供給流路２１１から記録素子基板１０の内部流路を通過して共通回収流路２１２へと流れる流れ（図２の矢印）が発生する。これは、共通供給流路２１１には高圧設定側の圧力調整機構Ｈが接続され、共通回収流路２１２には低圧設定側の圧力調整機構Ｌが接続されているため、２つの共通流路（共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２）間に差圧が生じているからである。
以上のように液体吐出ユニット３００では、液体が共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２のそれぞれを通過しつつ、その液体の一部が各記録素子基板１０を通過するような流れが発生する。このため、各記録素子基板１０で発生する熱を、共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２を流れる液体で記録素子基板１０の外部へ排出することができる。また、本構成により、液体吐出ヘッド３による記録が行われている際に、記録を行っていない吐出口や圧力室においても液体の流れを生じさせることができるため、それらの部位におけるインクの増粘を抑制できる。また増粘した液体や液体中の異物を共通回収流路２１２へと排出することができる。このため、本適用例の液体吐出ヘッド３は、高速で高画質な記録が可能となる。
【００１２】
（第２の循環経路の説明）
図３は、本適用例の記録装置に適用される循環経路のうち、上述した第１の循環経路とは異なる第２の循環経路を示す模式図である。第２の循環経路における第１の循環経路との主な相違点は、負圧制御ユニット２３０を構成する２つの圧力調整機構が共に、負圧制御ユニット２３０よりも上流側の圧力を制御することである。つまり、この２つの圧力調整機構が共に、この圧力を所望の設定圧を中心とする一定範囲内の変動で制御する機構（所謂「背圧レギュレーター」と同じ作用の機構）となっていることである。また他の相違点は、第２循環ポンプ１００４が負圧制御ユニット２３０の下流側を減圧する負圧源として作用することである。さらに他の相違点は、第１循環ポンプ（高圧側）１００１及び第１循環ポンプ（低圧側）１００２が液体吐出ヘッド上流側に配置され、負圧制御ユニット２３０が液体吐出ヘッド下流側に配置されていることである。
第２の循環経路において負圧制御ユニット２３０は、記録デューティ（Duty）の差によって循環経路内の流量が変動した場合でも、自身の上流側の圧力変動を、予め設定された所望の圧力を中心とする一定範囲内に維持するように動作する。負圧制御ユニット２３０の上流側とは、負圧制御ユニット２３０よりも液体吐出ユニット３００側のことである。図３に示すように、第２循環ポンプ１００４によって、液体供給ユニット２２０を介して負圧制御ユニット２３０の下流側が加圧されることが好ましい。この場合、液体吐出ヘッド３に対するバッファタンク１００３の水頭圧の影響を抑制できるので、記録装置１０００におけるバッファタンク１００３のレイアウトの自由度を広げることができる。第２循環ポンプ１００４の代わりに、例えば、負圧制御ユニット２３０に対して所定の水頭差を有するように配置された水頭タンクを適用することが可能である。
図３に示したように負圧制御ユニット２３０は、第１の循環経路と同様に、互いに異なる制御圧が設定された２つの圧力調整機構を備えている。２つの負圧調整機構の内、高圧設定側（Ｈ）の機構と低圧設定側（Ｌ）の機構は、液体供給ユニット２２０内を経由して、液体吐出ユニット３００内の共通供給流路２１１と共通回収流路２１２とにそれぞれ接続されている。２つの負圧調整機構により共通供給流路２１１の圧力が共通回収流路２１２の圧力より相対的に高い。このため、共通供給流路２１１を流れる液体の一部が、共通供給流路２１１から個別流路２１３及び各記録素子基板１０の内部流路を介して共通回収流路２１２へと流れる流れが発生する（図３の矢印）。このように、第２の循環経路では、液体吐出ユニット３００に第１の循環経路と同様な液体の流れを作ることができ、さらに第１の循環経路とは異なる２つの利点がある。
第１の利点は、第２の循環経路では負圧制御ユニット２３０が液体吐出ヘッド３の下流側に配置されているため、負圧制御ユニット２３０から発生するゴミや異物が液体吐出ヘッド３へ流入する懸念が少ないことである。第２の利点は、第２の循環経路では、バッファタンク１００３から液体吐出ヘッド３へ供給する必要のある流量の最大値が、第１の循環経路の場合よりも少なくて済むことである。その理由は次の通りである。
液体を吐出していない記録待機時において、液体吐出ユニット３００内の各記録素子基板１０間の温度差を所望の範囲内にするために必要な、共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２内の流量の合計値の最小値を最小循環流量Ａとする。また、液体吐出ユニット３００の全ての吐出口からインクを吐出する全吐時における吐出流量をＦとする。
第１の循環経路の場合（図２の場合）では、第１循環ポンプ（高圧側）１００１及び第１循環ポンプ（低圧側）１００２の設定流量が最小循環流量Ａと等しくなるので、全吐時に必要な液体吐出ヘッド３への液体供給量はＡ＋Ｆとなる。このため、第１の循環経路における必要供給流量の最大値はＡ＋Ｆとなる。
一方、第２の循環経路の場合（図３の場合）、記録待機時に必要な液体吐出ヘッド３への液体供給量は最小循環流量Ａと等しくなり、全吐時に必要な液体吐出ヘッド３への供給量は、吐出流量Ｆと等しくなる。このため、第１循環ポンプ（高圧側）１００１及び第１循環ポンプ（低圧側）１００２の設定流量の合計値はＡ及びＦの大きい方となる。したがって、第２の循環経路における必要供給流量の最大値は、Ａ及びＦの大きい方となる。
したがって、同一構成の液体吐出ユニット３００を使用する場合、第２の循環経路における必要供給流量の最大値（Ａ又はＦ）は、第１の循環経路における必要供給流量の最大値（Ａ＋Ｆ）よりも必ず小さくなる。このため、第２の循環経路の場合、適用可能な循環ポンプの自由度が高まる。したがって、例えば、構成の簡便な低コストの循環ポンプを使用したり、本体側経路に設置される冷却器（不図示）の負荷を低減したりすることができ、記録装置本体のコストを低減できるという利点がある。この利点は、Ａ又はＦの値が比較的大きくなるライン型ヘッドで特に顕著となり、ライン型ヘッドの中でも長手方向の長さが長いほど顕著となる。
しかしながら、その一方で、第１の循環経路の方が第２の循環経路よりも有利になる点もある。例えば、第２の循環経路では、記録待機時に液体吐出ユニット３００内を流れる流量が最大であるため、記録デューティの低い画像であるほど、各吐出口に高い負圧が印加された状態となる。このため、特に共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２の流路幅（液体の流れ方向と直交する方向の長さ）を小さくしてヘッド幅（液体吐出ヘッドの短手方向の長さ）を小さくした場合、ムラの見えやすい低デューティ画像で吐出口に高い負圧が印加される。このため、サテライト滴の影響が大きくなる恐れがある。一方、第１の循環経路の場合、高い負圧が吐出口に印加されるのは高デューティ画像の形成時であるため、仮にサテライト滴が発生しても視認されにくい。このため、画像への影響は小さいという利点がある。
液体吐出ヘッド及び記録装置本体の仕様（吐出流量Ｆ、最小循環流量Ａ、及びヘッド内流路抵抗など）に応じて第１の循環経路及び第２の循環経路のうちの好ましい方を選択することができる。
【００１３】
（液体吐出ヘッド構成の説明）
適用例１に係る液体吐出ヘッド３の構成について説明する。図４（ａ）及び図４（ｂ）は本適用例に係る液体吐出ヘッド３の斜視図である。液体吐出ヘッド３は、１つの記録素子基板１０でＣＭＹＫの４色のインクを吐出可能な記録素子基板１０を直線状に１５個配列（インラインに配置）したライン型の液体吐出ヘッドである。図４（ａ）に示すように、液体吐出ヘッド３は、各記録素子基板１０と、フレキシブル配線基板４０及び電気配線基板９０を介して電気的に接続された信号入力端子９１及び電力供給端子９２とを備える。信号入力端子９１及び電力供給端子９２は、記録装置１０００の制御部（不図示）と電気的に接続され、それぞれ、論理信号及び吐出に必要な電力を記録素子基板１０に供給する。電気配線基板９０内の電気回路によって配線を集約することで、信号入力端子９１及び電力供給端子９２の数を記録素子基板１０の数に比べて少なくできる。これにより、液体吐出ヘッド３の組み付け時又は液体吐出ヘッド３の交換時に着脱が必要な電気接続部数を少なくできる。図４（ｂ）に示すように、液体吐出ヘッド３の両端部に設けられた液体接続部１１１は、記録装置１０００の液体供給系と接続される。これによりＣＭＹＫ４色のインクが記録装置１０００の供給系から液体吐出ヘッド３に供給され、また液体吐出ヘッド３内を通ったインクが記録装置１０００の供給系へ回収される。このように各色のインクは、記録装置１０００の経路と液体吐出ヘッド３の経路を介して循環可能である。
図５は、液体吐出ヘッド３を構成する各部品またはユニットの分解斜視図である。図５では、液体吐出ユニット３００、液体供給ユニット２２０、及び電気配線基板９０が筺体８０に取り付けられている。液体供給ユニット２２０には、液体接続部１１１（図３）が設けられるとともに、液体供給ユニット２２０の内部には、供給される液体中の異物を取り除くため、液体接続部１１１の各開口と連通する各色別のフィルタ２２１（図２、図３）が設けられている。２つの液体供給ユニット２２０は、それぞれに２色分ずつのフィルタ２２１が設けられている。フィルタ２２１を通過した液体はそれぞれの色に対応して液体供給ユニット２２０上に配置された負圧制御ユニット２３０へ供給される。負圧制御ユニット２３０は、各色別の圧力調整弁からなるユニットであり、内部に設けられる弁やバネ部材等によって、液体の流量の変動に伴って生じる記録装置１０００の供給系内（液体吐出ヘッド３の上流側の供給系）の圧損変化を大幅に減衰させる。これにより、圧力制御ユニットよりも下流側（液体吐出ユニット３００側）の負圧変化をある一定範囲内で安定化させることが可能になる。各色の負圧制御ユニット２３０には、図２で記述したように、各色２つの圧力調整弁が内蔵されており、それぞれ異なる制御圧力に設定される。また、２つの圧力調整弁のうち高圧側が液体供給ユニット２２０を介して液体吐出ユニット３００内の共通供給流路２１１と連通し、低圧側が液体供給ユニット２２０を介して液体吐出ユニット３００内の共通回収流路２１２と連通している。
筺体８０は、液体吐出ユニット支持部８１及び電気配線基板支持部８２から構成され、液体吐出ユニット３００及び電気配線基板９０を支持するとともに、液体吐出ヘッド３の剛性を確保している。電気配線基板支持部８２は、電気配線基板９０を支持するための部材であって、液体吐出ユニット支持部８１にネジ止めにより固定されている。液体吐出ユニット支持部８１は液体吐出ユニット３００の反りや変形を矯正して、複数の記録素子基板１０の相対位置精度を確保する機能を有し、それにより記録される画像におけるスジやムラを抑制する。そのため液体吐出ユニット支持部８１は、十分な剛性を有することが好ましく、材料としては、ＳＵＳ（ステンレス）やアルミ等の金属材料、もしくはアルミナ等のセラミックが好適である。液体吐出ユニット支持部８１には、ジョイントゴム１００が挿入される開口８３及び８４が設けられている。液体供給ユニット２２０から供給される液体は、ジョイントゴム１００を介して液体吐出ユニット３００を構成する第３流路部材７０へと導かれる。
液体吐出ユニット３００は、複数の吐出モジュール２００及び流路部材２１０からなり、液体吐出ユニット３００の被記録媒体側の面にはカバー部材１３０が取り付けられる。ここで、カバー部材１３０は、図５に示したように長尺の開口１３１が設けられた額縁状の表面を持つ部材であり、開口１３１からは吐出モジュール２００に含まれる記録素子基板１０及び封止材部１１０（図９）が露出している。開口１３１の周囲の枠部は、記録待機時に液体吐出ヘッド３をキャップするキャップ部材の当接面としての機能を有する。このため、開口１３１の周囲に沿って接着剤、封止材、充填材等を塗布し、液体吐出ユニット３００の吐出口面上の凹凸や隙間を埋めることで、キャップ時に閉空間が形成されるようにすることが好ましい。
【００１４】
次に液体吐出ユニット３００に含まれる流路部材２１０の構成について説明する。図５に示したように、流路部材２１０は、第１流路部材５０、第２流路部材６０、第３流路部材７０を積層したものである。流路部材２１０は、液体供給ユニット２２０から供給された液体を各吐出モジュール２００に分配し、また吐出モジュール２００から環流する液体を液体供給ユニット２２０に戻す。流路部材２１０は液体吐出ユニット支持部８１にネジ止めで固定されており、これにより流路部材２１０の反りや変形が抑制されている。
図６（ａ）〜（ｆ）は、第１〜第３流路部材の各流路部材の表面と裏面を示した図である。図６（ａ）は、第１流路部材５０の、吐出モジュール２００が搭載される側の面を示し、図６（ｆ）は、第３流路部材７０の、液体吐出ユニット支持部８１と当接する側の面を示す。第１流路部材５０及び第２流路部材６０は、図６（ｂ）及び図６（ｃ）のそれぞれで示された当接面が互いに対向するように接合し、第２流路部材及び第３流路部材は、図６（ｄ）と図６（ｅ）のそれぞれで示された当接面が互いに対向するように接合する。第２流路部材６０及び第３流路部材７０を互いに接合すると、第２流路部材６０及び第３流路部材７０のそれぞれに形成される共通流路溝６２及び７１により、流路部材の長手方向に延在する８本の共通流路が形成される。これにより色毎に共通供給流路２１１と共通回収流路２１２のセットが流路部材２１０内に形成される（図７）。第３流路部材７０の連通口７２はジョイントゴム１００の各穴と連通しており、液体供給ユニット２２０と流体的に流通している。第２流路部材６０の共通流路溝６２の底面には連通口６１が複数形成されており、第１流路部材５０の個別流路溝５２の一端部と連通している。第１流路部材５０の個別流路溝５２の他端部には連通口５１が形成されており、連通口５１を介して、複数の吐出モジュール２００と流体的に連通している。この個別流路溝５２により流路部材の中央側へ流路を集約することが可能となる。
第１〜第３流路部材５０〜７０は、液体に対する耐腐食性を有し、かつ線膨張率の低い材料で形成されることが好ましい。第１〜第３流路部材５０〜７０の材料としては、例えば、アルミナ、ＬＣＰ（液晶ポリマー）、ＰＰＳ（ポリフェニルサルファイド）またはＰＳＦ（ポリサルフォン）を母材として、無機フィラーを添加した複合材料（樹脂材料）が好適である。無機フィラーとしては、シリカ微粒子やファイバー等が挙げられる。流路部材２１０の形成方法としては、３つの流路部材を積層させて互いに接着しても良いし、材料として樹脂複合樹脂材料を選択した場合には、溶着による接合方法を用いても良い。
【００１５】
次に図７を用いて流路部材２１０内の各流路の接続関係について説明する。図７は、第１〜第３流路部材を接合して形成される流路部材２１０内の流路の一部を第１の流路部材５０の吐出モジュール２００が搭載される面側から拡大してみた透視図である。流路部材２１０には、色毎に液体吐出ヘッド３の長手方向に延びる共通供給流路２１１（２１１ａ、２１１ｂ、２１１ｃ、２１１ｄ）、及び共通回収流路２１２（２１２ａ、２１２ｂ、２１２ｃ、２１２ｄ）が設けられている。各色の共通供給流路２１１には、個別流路溝５２によって形成される複数の個別供給流路（２１３ａ、２１３ｂ、２１３ｃ、２１３ｄ）が連通口６１を介して接続されている。また、各色の共通回収流路２１２には、個別流路溝５２によって形成される複数の個別回収流路（２１４ａ、２１４ｂ、２１４ｃ、２１４ｄ）が連通口６１を介して接続されている。このような流路構成により各共通供給流路２１１から個別供給流路２１３を介して、流路部材の中央部に位置する記録素子基板１０に液体を集約することができる。また記録素子基板１０から個別回収流路２１４を介して、各共通回収流路２１２に液体を回収することができる。
図８は、図７のＥ−Ｅ線における断面を示した図である。この図に示すように、それぞれの個別回収流路２１４ａ及び２１４ｃは、連通口５１を介して、吐出モジュール２００と連通している。図８では個別回収流路２１４ａ及び２１４ｃのみ図示されているが、別の断面においては、図７に示すように個別供給流路２１３と吐出モジュール２００とが連通している。各吐出モジュール２００に含まれる支持部材３０及び記録素子基板１０には、第１流路部材５０からの液体を記録素子基板１０に設けられる記録素子１５（図１０）に供給するための流路が形成されている。また、各吐出モジュール２００に含まれる支持部材３０及び記録素子基板１０には、記録素子１５に供給した液体の一部または全部を第１流路部材５０に回収（環流）するための流路が形成されている。ここで、各色の共通供給流路２１１は対応する色の負圧制御ユニット２３０（高圧側）と液体供給ユニット２２０を介して接続されており、共通回収流路２１２は負圧制御ユニット２３０（低圧側）と液体供給ユニット２２０を介して接続されている。この負圧制御ユニット２３０により、共通供給流路２１１と共通回収流路２１２間に差圧（圧力差）を生じさせるようになっている。このため、図７及び図８に示したように各流路を接続した本適用例の液体吐出ヘッド３内では、各色で共通供給流路２１１〜個別供給流路２１３ａ〜記録素子基板１０〜個別回収流路２１３ｂ〜共通回収流路２１２へと順に流れる流れが発生する。
【００１６】
（吐出モジュールの説明）
図９（ａ）は、１つの吐出モジュール２００の斜視図であり、図９（ｂ）はその分解図である。吐出モジュール２００の製造方法としては、先ず、記録素子基板１０及びフレキシブル配線基板４０を、液体連通口３１が予め設けられた支持部材３０上に接着する。そして、記録素子基板１０上の端子１６と、フレキシブル配線基板４０上の端子４１とをワイヤーボンディングによって電気的に接続し、その後、ワイヤーボンディング部（電気接続部）を封止材部１１０で覆って封止する。フレキシブル配線基板４０の記録素子基板１０と反対側の端子４２は、電気配線基板９０の接続端子９３（図５参照）と電気接続される。支持部材３０は、記録素子基板１０を支持する支持体であるとともに、記録素子基板１０と流路部材２１０とを互いに流体的に連通させる流路部材であるため、平面度が高く、また十分に高い信頼性をもって記録素子基板と接合できるものが好ましい。支持部材３０の材質としては、例えば、アルミナや樹脂材料が好ましい。
【００１７】
（記録素子基板の構造の説明）
本適用例における記録素子基板１０の構成について説明する。図１０（ａ）は記録素子基板１０の吐出口１３が形成される側の面の平面図であり、図１０（ｂ）は図１０（ａ）のＡで示した部分の拡大図であり、図１０（ｃ）は図１０（ａ）の裏面の平面図である。
図１０（ａ）に示すように、記録素子基板１０の吐出口形成部材１２には、各インク色に対応する４列の吐出口列が形成されている。以下、複数の吐出口１３が配列される吐出口列が延びる方向を「吐出口列方向」と呼称する。
図１０（ｂ）に示すように、各吐出口１３に対応した位置には液体を熱エネルギにより発泡させるための発熱素子である記録素子１５が配置されている。本発明において記録素子は発熱素子に限られず、圧電素子等、液体を吐出するために利用されるエネルギを発生する各種素子が適用可能である。隔壁２２により、記録素子１５を内部に備える圧力室２３が区画されている。記録素子１５は記録素子基板１０に設けられる電気配線（不図示）によって、図１０（ａ）の端子１６と電気的に接続されている。記録素子１５は、記録装置１０００の制御回路から、電気配線基板９０（図５）及びフレキシブル配線基板４０（図９）を介して入力されるパルス信号に基づいて発熱して液体を沸騰させ、その沸騰による発泡の力で液体を吐出口１３から吐出する。図１０（ｂ）に示すように、各吐出口列に沿って、一方の側には液体供給路１８が、他方の側には液体回収路１９が延在している。液体供給路１８及び液体回収路１９は記録素子基板１０に設けられた吐出口列方向に伸びた流路であり、それぞれ供給口１７ａ、回収口１７ｂを介して吐出口１３と連通している。供給口１７ａは、圧力室２３に液体を供給するために使用され、回収口１７ｂは、圧力室２３から液体を回収するために使用される。圧力室２３の中の液体は、供給口１７ａ及び回収口１７ｂを介して外部との間で循環される。
図１０（ｃ）及び後述する図１１に示すように、記録素子基板１０の、吐出口１３が形成される面の裏面にはシート状の蓋部材２０が積層されており、蓋部材２０には、後述する液体供給路１８及び液体回収路１９に連通する開口２１が複数設けられている。本適用例においては、液体供給路１８の１本に対して３個、液体回収路１９の１本に対して２個の開口２１が蓋部材２０に設けられている。図１０（ｂ）に示すように蓋部材２０のそれぞれの開口２１は、図６（ａ）に示した複数の連通口５１と連通している。図１１に示すように蓋部材２０は、記録素子基板１０の基板１１に形成される液体供給路１８及び液体回収路１９の壁の一部を形成する蓋としての機能を有する。蓋部材２０は、液体に対して十分な耐食性を有していることが好ましく、また、混色防止の観点から、開口２１の開口形状及び開口位置には高い精度が求められる。このため蓋部材２０の材料としては、感光性樹脂材料やシリコン板を用い、フォトリソプロセスによって開口２１を設けることが好ましい。このように蓋部材２０は開口２１により流路のピッチを変換するものであり、圧力損失を考慮すると厚みは薄いことが望ましく、フィルム状の部材で構成されることが望ましい。
【００１８】
次に、記録素子基板１０内での液体の流れについて説明する。図１１は、図１０（ａ）におけるＢ−Ｂ線における記録素子基板１０及び蓋部材２０の断面を示す斜視図である。記録素子基板１０はＳｉにより形成される基板１１と感光性の樹脂により形成される吐出口形成部材１２とが積層されており、基板１１の裏面には蓋部材２０が接合されている。基板１１の一方の面側には記録素子１５が形成されており（図１０）、その裏面側には、吐出口列に沿って延在する液体供給路１８及び液体回収路１９を構成する溝が形成されている。基板１１と蓋部材２０によって形成される液体供給路１８及び液体回収路１９はそれぞれ、流路部材２１０内の共通供給流路２１１と共通回収流路２１２と接続されており、液体供給路１８と液体回収路１９との間には差圧が生じている。液体吐出ヘッド３の複数の吐出口１３から液体を吐出して記録を行っている際に、吐出を行っていない吐出口１３では、この差圧によって、液体供給路１８内の液体は、供給口１７ａ、圧力室２３、回収口１７ｂを経由して液体回収路１９へ流れる。この液体の流れ（図１０の矢印Ｃで示した流れ）によって、吐出を行っていない吐出口１３や圧力室２３において、吐出口１３からの蒸発によって生じる増粘インクや、泡や異物等を液体回収路１９へ回収することができる。また吐出口１３や圧力室２３のインクの増粘を抑制することができる。液体回収路１９に回収された液体は、蓋部材２０の開口２１及び支持部材３０の液体連通口３１（図９ｂ参照）を通じて、流路部材２１０内の連通口５１、個別回収流路２１４、共通回収流路２１２の順に回収される。そして最終的には液体は記録装置１０００の供給経路へと回収される。
つまり、記録装置１０００本体から液体吐出ヘッド３へ供給される液体は、下記の順に流動し、供給及び回収される。液体は、先ず、液体供給ユニット２２０の液体接続部１１１から液体吐出ヘッド３の内部に流入する。そして、液体は、ジョイントゴム１００、第３流路部材に設けられた連通口７２及び共通流路溝７１、第２流路部材に設けられた共通流路溝６２及び連通口６１、第１流路部材に設けられた個別流路溝５２及び連通口５１の順に供給される。その後、液体は、支持部材３０に設けられた液体連通口３１、蓋部材に設けられた開口２１、基板１１に設けられた液体供給路１８及び供給口１７ａを順に介して圧力室２３に供給される。圧力室２３に供給された液体のうち、吐出口１３から吐出されなかった液体は、基板１１に設けられた回収口１７ｂ及び液体回収路１９、蓋部材に設けられた開口２１、支持部材３０に設けられた液体連通口３１を順に流れる。さらに液体は、第１流路部材に設けられた連通口５１及び個別流路溝５２、第２流路部材に設けられた連通口６１及び共通流路溝６２、第３流路部材７０に設けられた共通流路溝７１及び連通口７２、ジョイントゴム１００を順に流れる。そして、液体供給ユニットに設けられた液体接続部１１１から液体吐出ヘッド３の外部へ液体が流動する。図２に示す第１の循環経路においては、液体接続部１１１から流入した液体は負圧制御ユニット２３０を経由した後にジョイントゴム１００に供給される。図３に示す第２の循環経路においては、圧力室２３から回収された液体は、ジョイントゴム１００を通過した後、負圧制御ユニット２３０を介して液体接続部１１１から液体吐出ヘッドの外部へ流動する。
また図２及び図３に示したように、液体吐出ユニット３００の共通供給流路２１１の一端から流入した液体の全てが個別供給流路２１３ａを経由して圧力室２３に供給されるわけではない。個別供給流路２１３ａに流入することなく、共通供給流路２１１の他端から液体供給ユニット２２０に流動する液体もある。このように、記録素子基板１０を経由することなく流動する経路を備えることで、本適用例のような微細で流抵抗の大きい流路を備える記録素子基板１０であっても、液体の循環流の逆流を抑制することができる。このように本適用例の液体吐出ヘッド３では、圧力室２３や吐出口１３近傍の液体の増粘を抑制できるため、吐出のヨレや不吐を抑制でき、結果として高画質な画像を記録することができる。
【００１９】
（記録素子基板間の位置関係の説明）
図１２は、互いに隣接する吐出モジュールにおける、記録素子基板１０間の隣接部を部分的に拡大して示す平面図である。図１０に示すように、本適用例では略平行四辺形状の記録素子基板１０を用いている。図１２に示すように各記録素子基板１０における吐出口１３が配列される各吐出口列１４ａ〜１４ｄは、被記録媒体の搬送方向に対して一定角度傾くように配置されている。これにより、記録素子基板１０同士の隣接部における吐出列は、少なくとも１つの吐出口が被記録媒体の搬送方向にオーバーラップする。
図１２では、線Ｄ上の２つの吐出口が互いにオーバーラップしている。このような配置によって、仮に記録素子基板１０の位置が所定位置から多少ずれた場合でも、オーバーラップする吐出口の駆動制御によって、記録画像の黒スジや白抜けを目立たなくするようにすることができる。複数の記録素子基板１０を千鳥配置ではなく、直線状（インライン）に配置してもよい。この場合でも、図１２のような構成により液体吐出ヘッド３の被記録媒体の搬送方向の長さの増大を抑えつつ、記録素子基板１０同士のつなぎ部における黒スジや白抜けを抑制することができる。なお、本適用例では、記録素子基板１０の主平面は平行四辺形状であるが、これに限らず、例えば長方形状、台形状またはその他の形状の記録素子基板１０を用いた場合でも、本発明の構成を好ましく適用することができる。
【００２０】
（適用例２）
本発明の適用例２による記録装置１０００及び液体吐出ヘッド３の構成を説明する。なお以降の説明においては、主として適用例１と異なる部分のみを説明し、適用例２と同様の部分については説明を省略することがある。
（インクジェット記録装置の説明）
図２０は、本発明の適用例２によるインクジェット記録装置を示す図である。適用例２の記録装置１０００は、ＣＭＹＫのインクのそれぞれに対応した単色用の液体吐出ヘッド３を４つ並列配置させることで被記録媒体２へフルカラー記録を行う点が適用例１とは異なる。適用例１では、１色あたりに使用できる吐出口列数は１列であったのに対し、本適用例においては、１色あたりに使用できる吐出口列数は２０列となっている（図１９（ａ））。このため、記録データを複数の吐出口列に適宜振り分けて記録を行うことで、非常に高速な記録が可能となる。更に、不吐になる吐出口があったとしても、その吐出口に対して被記録媒体の搬送方向に対応する位置にある、他列の吐出口から補間的に吐出を行うことで信頼性が向上するため、商業印刷等に好適である。適用例１と同様に、各液体吐出ヘッド３に対して、記録装置１０００の供給系、バッファタンク１００３及びメインタンク１００６（図２）が流体的に接続される。また、各液体吐出ヘッド３には、液体吐出ヘッド３へ電力及び吐出制御信号を伝送する電気制御部が電気的に接続される。
（循環経路の説明）
記録装置１０００及び液体吐出ヘッド３間の液体循環経路としては、適用例１と同様に、図２及び図３に示した第１及び第２の循環経路のどちらも用いることができる。
（液体吐出ヘッド構造の説明）
本発明の適用例２に係る液体吐出ヘッド３の構造について説明する。図１３（ａ）及び（ｂ）は本適用例に係る液体吐出ヘッド３の斜視図である。液体吐出ヘッド３は液体吐出ヘッド３の長手方向に直線状に配列される１６個の記録素子基板１０を備え、１色の液体でも記録が可能なインクジェット式のライン型記録ヘッドである。液体吐出ヘッド３は、適用例１同様、液体接続部１１１、信号入力端子９１及び電力供給端子９２を備える。しかしながら、本適用例の液体吐出ヘッド３は、適用例１に比べて吐出口列が多いため、液体吐出ヘッド３の両側に信号入力端子９１及び電力供給端子９２が配置されている。これは記録素子基板１０に設けられる配線部で生じる電圧低下や信号伝送遅れを低減させるためである。
図１４は、液体吐出ヘッド３の斜視分解図であり、液体吐出ヘッド３を構成する各部品またはユニットがその機能毎に分割されて表示されている。各ユニット及び部材の役割や液体吐出ヘッド内の液体流通の順序は基本的に適用例１と同様であるが、液体吐出ヘッドの剛性を担保する機能が異なる。適用例１では、主として液体吐出ユニット支持部８１によって液体吐出ヘッド剛性が担保されていたが、適用例２の液体吐出ヘッドでは、液体吐出ユニット３００に含まれる第２流路部材６０によって液体吐出ヘッドの剛性が担保されている。本適用例における液体吐出ユニット支持部８１は第２流路部材６０の両端部に接続されており、この液体吐出ユニット３００は記録装置１０００のキャリッジと機械的に結合されて、液体吐出ヘッド３の位置決めを行う。負圧制御ユニット２３０を備える液体供給ユニット２２０と、電気配線基板９０とは、液体吐出ユニット支持部８１に結合される。２つの液体供給ユニット２２０内にはそれぞれフィルタ（不図示）が内蔵されている。２つの負圧制御ユニット２３０は、それぞれ異なる負圧、即ち相対的に高低差のある負圧で圧力を制御するように設定されている。また、この図のように液体吐出ヘッド３の両端部にそれぞれ、高圧側と低圧側の負圧制御ユニット２３０を設置した場合、液体吐出ヘッド３の長手方向に延在する共通供給流路２１１と共通回収流路２１２における液体の流れが互いに対向する。この場合、共通供給流路２１１と共通回収流路２１２の間で熱交換が促進されて、２つの共通流路内における温度差が低減される。このため、共通流路に沿って複数設けられる各記録素子基板１０における温度差が生じにくく、温度差による記録ムラが生じにくくなるという利点がある。
次に液体吐出ユニット３００の流路部材２１０の詳細について説明する。図１４に示すように流路部材２１０は、第１流路部材５０及び第２流路部材６０を積層したものであり、液体供給ユニット２２０から供給された液体を各吐出モジュール２００に分配する。また流路部材２１０は、吐出モジュール２００から環流する液体を液体供給ユニット２２０へと戻すための流路部材として機能する。流路部材２１０の第２流路部材６０は、内部に共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２が形成された流路部材であるとともに、液体吐出ヘッド３の剛性を主に担うという機能を有する。このため、第２流路部材６０の材料としては、液体に対する十分な耐食性と高い機械強度を有するものが好ましい。具体的には第２流路部材６０の材料としては、ＳＵＳやＴｉ、アルミナ等が好ましい。
図１５（ａ）は、第１流路部材５０の、吐出モジュール２００が搭載される側の面を示し、図１５（ｂ）は、その裏面である、第２流路部材６０と当接される側の面を示す。適用例１とは異なり、適用例２における第１流路部材５０は、各吐出モジュール２００に対応した複数の部材を隣接して配列したものである。このような複数の部材から構成される場合、それらの部材を配列させることで、液体吐出ヘッドの長さに対応することができる。このため、例えば、Ｂ２サイズ及びそれ以上の長さに対応した比較的ロングスケールの液体吐出ヘッド３に。特に好適である。図１５（ａ）に示すように、第１流路部材５０の連通口５１は吐出モジュール２００と流体的に連通し、図１５（ｂ）に示すように、第１流路部材５０の個別連通口５３は第２流路部材６０の連通口６１と流体的に連通する。図１５（ｃ）は第２流路部材６０の、第１流路部材５０と当接される側の面を示し、図１５（ｄ）は第２流路部材６０の厚み方向中央部の断面を示し、図１５（ｅ）は第２流路部材６０の、液体供給ユニット２２０と当接する側の面を示す。第２流路部材６０の流路や連通口の機能は、適用例１の１色分の流路や連通路と同様である。第２流路部材６０の共通流路溝７１は、一方が図１６に示す共通供給流路２１１であり、他方が共通回収流路２１２であり、それぞれ、液体吐出ヘッド３長手方向に沿って、一端側から他端側に液体が供給される。本適用例においては、適用例１と異なり、共通供給流路２１１と共通回収流路２１２の液体の長手方向は互いに反対方向である。
図１６は、記録素子基板１０と流路部材２１０との液体の接続関係を示した透視図である。図１６に示したように、流路部材２１０内には、液体吐出ヘッド３の長手方向に延びる一組の共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２が設けられている。第２流路部材６０の連通口６１は、各々の第１流路部材５０の個別連通口５３と位置を合わせて接続されており、第２流路部材６０の連通口７２から共通供給流路２１１を介して第１流路部材５０の連通口５１へと連通する液体供給経路が形成されている。同様に、第２流路部材６０の連通口７２から共通回収流路２１２を介して第１流路部材５０の連通口５１へと連通する液体供給経路も形成されている。
図１７は、図１６のＦ−Ｆ線における断面を示した図である。この図に示したように、共通供給流路は、連通口６１、個別連通口５３、連通口５１を介して、吐出モジュール２００に接続されている。図１７では不図示であるが、別の断面においては、個別回収流路が同様の経路で吐出モジュール２００へ接続されていることは、図１６を参照すれば明らかである。適用例１と同様に、各吐出モジュール２００及び記録素子基板１０には、各吐出口１３に連通する流路が形成されており、供給した液体の一部または全部が、吐出動作を休止している吐出口１３（圧力室２３）を通過して、環流できるようになっている。また適用例１と同様に、共通供給流路２１１は液体供給ユニット２２０を介して負圧制御ユニット２３０（高圧側）と接続され、共通回収流路２１２は液体供給ユニット２２０を介して負圧制御ユニット２３０（低圧側）と接続されている。このため、共通供給流路２１１と共通回収流路２１２との間の差圧によって、共通供給流路２１１から記録素子基板１０の吐出口１３（圧力室２３）を通過して共通回収流路２１２へと流れる流れが発生する。
【００２１】
（吐出モジュールの説明）
図１８（ａ）に、１つの吐出モジュール２００の斜視図を、図１８（ｂ）にその分解図を示す。適用例１との差異は、記録素子基板１０の複数の吐出口列方向に沿った両辺部（記録素子基板１０の各長辺部）のそれぞれに複数の端子１６が配置される点である。また、その端子１６に電気接続されるフレキシブル配線基板４０が、１つの記録素子基板１０に対して２枚配置される点である。これは記録素子基板１０に設けられる吐出口列数が２０列あり、適用例１の８列よりも大幅に増加しているためである。即ち、端子１６から、吐出口列に対応して設けられる記録素子１５までの最大距離を短くして、記録素子基板１０内の配線部で生じる電圧低下や信号伝送遅れを低減することを目的としたものである。また支持部材３０の液体連通口３１は、記録素子基板１０に設けられ、全ての吐出口列を跨るように開口している。その他の点は、適用例１と同様である。
（記録素子基板の構造の説明）
図１９（ａ）は、記録素子基板１０の吐出口１３が設けられた側の面の模式図であり、図１９（ｃ）は、図１９（ａ）にて示された面の裏面を示す模式図である。図１９（ｂ）は、図１９（ｃ）において、記録素子基板１０の裏面側に設けられている蓋部材２０を除去した場合における記録素子基板１０の面を示す模式図である。図１９（ｂ）に示すように、記録素子基板１０の裏面には、吐出口列方向に沿って、液体供給路１８と液体回収路１９とが交互に設けられている。吐出口列数は、適用例１よりも大幅に増加しているものの、適用例１との本質的な差異は、前述のように端子１６が記録素子基板の吐出口列方向に沿った両辺部に配置されていることである。吐出口列毎に一組の液体供給路１８と液体回収路１９が設けられていること、蓋部材２０に、支持部材３０の液体連通口３１と連通する開口２１が設けられていることのような基本的な構成は、適用例１と同様である。
【００２２】
以下に、本発明の特徴部について各実施形態を用いて説明する。
（第１の実施形態）
図２１は、本発明の第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドを示す図である。具体的には、図２１（ａ）はインク等の液体を吐出する液体吐出ヘッドの斜視図であり、図２１（ｂ）は液体吐出ヘッドの分解斜視図である。
図２１に示す本実施形態の液体吐出ヘッド３は、複数の記録素子基板１０と、複数の支持部材３０と、流路部材２１０とを有する。記録素子基板１０及び支持部材３０は、互いに同数ある。記録素子基板１０のそれぞれは、支持部材３０のそれぞれに１つずつ支持され、複数の支持部材３０は１つの流路部材２１０の上に並設される。
図２２は、液体吐出ヘッド３の上面図であり、記録素子基板１０の形状や配列の異なる４つの例が示されている。図２２（ａ）の例では、平行四辺形状を有する記録素子基板１０が一列に並んで配置されている。なお、本実施形態における平行四辺形とは、隣接する辺のなす角が直角ではない外形形状のものを指す。以下、液体吐出ヘッド３における記録素子基板１０が配列される方向を長尺方向４０１とし、記録素子基板１０の表面に平行な面内において長尺方向４０１と垂直な方向を走査方向４０２とする。
図２２（ｂ）の例では、一方の組の対辺が平行であり、他方の組の対辺がそれぞれ階段状の形状を有する記録素子基板１０が一列に並んで配置されている。図２２（ｃ）の例では、図２２（ａ）の例と同様に平行四辺形状を有する記録素子基板１０が一列に並んで配置されているが、互いに隣接する記録素子基板同士が走査方向４０２にずれている。図２２（ｄ）の例では、長方形状の記録素子基板１０が一列に並んで配置されている。
図２２（ａ）〜（ｃ）の例では、互いに隣接する記録素子基板１０が長尺方向及び走査方向の両方において、少なくとも部分的にはオーバーラップしている。図２２（ｄ）の例では、互いに隣接する記録素子基板１０が長尺方向においてのみオーバーラップしている。
図２３は、液体吐出ヘッド３の吐出口列のズレを示す図である。図２３（ａ）は、図２２（ａ）の例における互いに隣接する記録素子基板１０間の隣接部の拡大図であり、対応する吐出口列における吐出口列のズレ幅４０３を示す。図２３（ａ）に示すように、吐出口列のズレは、記録素子基板１０の隣接部で発生し、互いに隣接する記録素子基板１０間の距離である素子間距離４０４が小さいほど、吐出口列のズレ幅４０３は小さくなる。このため、素子間距離４０４は小さいほどよい。これは、図２２（ａ）の例に限らず、互いに隣接する記録素子基板１０が長尺方向及び走査方向の両方において、図２２（ｂ）及び図２２（ｃ）の例のような、少なくとも部分的にオーバーラップしている液体吐出ヘッド３全般についても同様である。
図２３（ｂ）は、図２２（ｄ）の例における互いに隣接する記録素子基板１０間の隣接部の拡大図である。図２３（ｂ）の例では、吐出口列のズレは生じないが、素子間距離４０４が小さいほどよいことは、図２２（ａ）に示した対象液体吐出ヘッドと同様である。これは、素子間距離４０４が小さいほど、隣接部における吐出口列間の間隔４０５が小さくなるためである。以下、図２２（ａ）に示したような互いに隣接する記録素子基板１０が長尺方向及び走査方向の両方において少なくとも一部がオーバーラップしている液体吐出ヘッド３を例に説明するが、同様な効果は図２３（ｂ）の例に対しても適応される。
【００２３】
以下、本実施形態の特徴についてより詳細に説明する。
図２４は、互いに隣接する記録素子基板１０間の隣接部の側面を示す図である。図２４に示すように互いに隣接する記録素子基板１０の間の隙間部４１０では、記録素子基板１０と支持部材３０との接合面４１１が記録素子基板１０の端部４１２から記録素子基板１０の内側に入り込んでいる。つまり、記録素子基板１０の端部４１２は、支持部材３０の端部４１３よりも外側に突き出して配置され、互いに隣接する支持部材３０間の距離（間隔）よりも、互いに隣接する記録素子基板１０間の距離（間隔）の方が小さい。
記録素子基板１０は、ウエハプロセス（半導体プロセス）により作成された回路等を有し、例えば、シリコンで形成される。記録素子基板１０の外形の加工には、例えば、各種エッチングやダイシングが用いられる。支持部材３０は、機械加工や成型加工で作成されており、例えば、樹脂やＳＵＳ等の金属で形成される。この場合、記録素子基板１０の加工精度は支持部材３０の加工精度よりも高い。
記録素子基板１０の端部が支持部材３０の端部よりも外側に突き出していない場合、互いに隣接する記録素子基板１０間の距離である素子間距離４０４は、支持部材３０の加工精度と記録素子基板１０の搭載位置合わせ精度によって規定される。なぜならば、素子間距離４０４を、支持部材３０の加工精度や搭載位置合わせ精度で可能な距離よりも小さくしようとすると、支持部材３０同士が干渉することがあるからである。
これに対して、本実施形態のように記録素子基板１０の端部４１２が支持部材３０の端部４１３よりも外側に突き出している場合、隣接する記録素子基板１０間の素子間距離４０４は、支持部材３０の加工精度に依らない。素子間距離４０４は、記録素子基板１０の加工精度と、記録素子基板１０の搭載位置合わせ精度で規定される。この場合、支持部材３０の加工精度や記録素子基板１０の搭載位置合わせ精度が低くても、記録素子基板１０の端部が支持部材３０の端部から、その公差よりも突き出していれば、支持部材３０同士が干渉することはない。したがって、以下のように液体吐出ヘッド３を構成すれば、互いに隣接する記録素子基板１０間の距離を小さくすることができる。
図２５は、本実施形態の液体吐出ヘッドの効果を説明するための図であり、液体吐出ヘッドにおける互いに隣接する記録素子基板１０間の隣接部の側面図である。具体的には、図２５（ａ）は第１の比較例を示し、図２５（ｂ）は、本実施形態の第１の例を示し、図２５（ｃ）は第２の比較例を示し、図２５（ｄ）は、本実施形態の第２の例を示す。図２５（ａ）及び図２５（ｂ）は、記録素子基板１０を搭載した支持部材３０を流路部材２１０に配置する例であり、図２５（ａ）及び図２５（ｂ）は、流路部材２１０に配置した支持部材３０に記録素子基板１０を搭載する例である。
支持部材３０の加工精度が±０．１ｍｍ、記録素子基板１０の加工精度が±０．０１ｍｍ、支持部材３０の搭載位置合わせ精度が±０．１ｍｍ、記録素子基板１０の搭載位置合わせ精度が±０．０１ｍｍであるとする。
図２５（ａ）及び図２５（ｃ）に示すように比較例では、記録素子基板１０の端部が支持部材３０の端部よりも外側に突き出していない。この場合、互いに隣接する支持部材３０間の距離である部材間距離４０６は、支持部材３０の加工精度を支持部材３０の搭載位置合わせ精度に加算して２倍した０．４ｍｍよりも大きい値に設定する必要がある。このため、素子間距離４０４は少なくとも０．４ｍｍとなる。
図２５（ｂ）に示す本実施形態の第１の例では、素子間距離４０４は、記録素子基板１０の加工精度を記録素子基板１０の搭載位置合わせ精度に加算して２倍した０．０４ｍｍでよい。このため、本実施形態の第１の例では、図２５（ａ）に示す比較例と比較して、素子間距離４０４を０．３６ｍｍ小さくすることができる。
図２５（ｄ）に示す本実施形態の第２の例では、素子間距離４０４は、記録素子基板１０の加工精度に支持部材３０の搭載位置合わせ精度を加算して２倍した０．２２ｍｍでよい。このため、本実施形態の第１の例では、図２５（ｃ）に示す比較例と比較して、素子間距離４０４を０．１８ｍｍ小さくすることができる。
図２５（ｄ）の例では、記録素子基板１０の搭載位置合わせ精度がある程度低くても、支持部材３０の搭載位置合わせ精度を高くすることで、素子間距離４０４をさらに小さくすることができる。例えば、記録素子基板１０の搭載位置合わせ精度を±０．１ｍｍ、支持部材３０の搭載位置合わせ精度を±０．０１ｍｍとすることで、素子間距離４０４を０．０４ｍｍとすることができる。また、この場合には、高い精度が要求される部材搭載工程は１回だけでよい。
以上のように記録素子基板１０の端部４１２が支持部材３０の端部４１３よりも外側に突き出すことにより、素子間距離４０４を小さくすることができ、互いに隣接する記録素子基板１０の隣接部における吐出口列のズレ幅４０３を低減することができる。したがって、支持部材３０の加工精度や支持部材３０の搭載位置合わせ精度に依らず、互いに隣接する記録素子基板１０の隣接部における被記録媒体２の走査方向の記録素子基板１０間のズレ幅を低減し、吐出口列のズレ幅４０３を低減することができる。その結果、隣接部に対応する画像のムラ等の不具合を低減し、高画質な画像を形成することが可能となる。
また、本実施形態では、互いに隣接する記録素子基板１０の間の隙間部４１０から、記録素子基板１０における吐出口１３が設けられた第１の面に、記録素子基板１０と支持部材３０とを互いに接合させる接着剤が這い上がることを抑制することができる。記録素子基板１０と支持部材３０との接合に接着剤を用いた場合、本実施形態のように記録素子基板１０の端部が支持部材３０の端部よりも外側に突き出していると、次の利点がある。つまり、接合面から接着剤がはみ出した場合でも、はみ出した接着剤が突き出している記録素子基板１０の端部の裏面に滞るため、隙間部４１０からの接着剤の這い上がりを抑制することができる。
複数の支持部材３０は１つの流路部材２１０上に配置されていることが望ましい。この場合、長尺方向４０１に対して精度良く支持部材３０を配置することが可能となり、高画質な画像を形成することが可能となる。
流路部材２１０における記録素子基板１０が並設された箇所の長さは、記録装置１０００にセット可能な被記録媒体２の最大幅以上になっていることの望ましい。この場合、記録素子基板１０間の隣接部に対応する箇所の画像を高画質にしつつ、その高画質な画像を被記録媒体２の幅方向全体に記録することが可能になる。
なお、本実施形態では、記録素子基板１０を個別に交換可能な構成としたが、この構成に限らない。例えば、記録素子基板１０を個別に交換可能でなくても、支持部材３０を個別に加工することに利点がある液体吐出ヘッド３に対しても、本実施形態と同様な効果を得ることができる。
本実施形態では、図２２（ａ）〜図２２（ｄ）に示すように支持部材３０に対して、互いに隣接する側の記録素子基板１０の端面が支持部材３０の端部よりも外側に突き出す構成であれば良い。図２２に示すように、互いに隣接しない側においては記録素子基板１０よりも支持部材３０を外側に突き出す構成とすることで記録素子基板を安定して支持することが可能となる。また、図９に示すように、記録素子基板１０と接合するフレキシブル配線基板４０も安定的に支持することが可能となる。このように記録素子基板１０が互いに隣接する側では、支持部材３０に対して記録素子基板１０を外側に突き出す構成とすることが好ましい。また、記録素子基板１０が互いに隣接しない側（フレキシブル配線基板４０と接合する側）では、記録素子基板１０に対して支持部材３０を外側に突き出す構成とすることが好ましい。
ここで、互いに隣接する記録素子基板１０の夫々を第１及び第２記録素子基板とし、第１及び第２記録素子基板を夫々支持する支持部材３０を第１及び第２支持部材とする。この場合、流路部材２１０には、第１及び第２支持部材が並設されることになる。さらに第１記録素子基板の第２記録素子基板側の端部は、第１支持部材の第２支持部材側の端部よりも第２記録素子基板側に突出していることが好ましいことになる。また、第２記録素子基板の第１記録素子基板側の端部は、第２支持部材の第１支持部材側の端部よりも第１記録素子基板側に突出していることが好ましい。
しかしながら本発明においては図２２の形態に限られず、記録素子基板１０の全周において記録素子基板１０の端部を支持部材３０に対して突き出す構成においても本発明を適用可能である。
【００２４】
（第２の実施形態）
図２６及び図２７は、本発明の第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドを示す図である。図２６は、液体吐出ヘッドの概略図である。具体的には、図２６（ａ）は、液体吐出ヘッドの斜視図であり、図２６（ｂ）は、液体吐出ヘッドの分解斜視図である。また、図２７は、互いに隣接する記録素子基板の概略図である。具体的には、図２７（ａ）は、液体吐出ヘッドの上面図であり、図２７（ｂ）は、図２７（ａ）のＣ−Ｃ線に沿った断面図である。
本実施形態の液体吐出ヘッドは、図２６及び図２７に示すように、第１の実施形態の液体吐出ヘッドと比較して、記録素子基板１０と支持部材３０との間に蓋部材２０が設けられている点で異なる。また、本実施形態の液体吐出ヘッドでは、吐出口１３に液体を供給するための裏面供給路４２０が記録素子基板１０の裏面に設けられており、蓋部材２０は裏面供給路４２０の蓋として機能する。さらに裏面供給路４２０に液体を供給するための供給口１７ａが蓋部材２０に設けられている。供給口１７ａは、例えば、支持部材３０内に設けられた供給路と連通している。蓋部材２０は、樹脂フィルムで形成されており、支持部材３０よりも薄い。蓋部材２０の厚みは１ｍｍ以下が好ましく、０．１ｍｍ以下がより好ましい。
また、本実施形態の液体吐出ヘッド３では、記録素子基板１０の端部における支持部材３０の端部よりも外側に突き出した箇所にも吐出口１３が配置されている。裏面供給路４２０が蓋部材２０で覆われるので、この外側に突き出した箇所の吐出口１３にも液体を供給することができる。
なお、第１の実施形態と同様に、互いに隣接する記録素子基板１０の夫々を第１及び第２記録素子基板とし、第１及び第２記録素子基板を夫々支持する支持部材３０を第１及び第２支持部材とする。この場合、蓋部材２０は、第１記録素子基板における第１支持部材の側の面に形成された、液体を記録素子に供給する流路である裏面供給路４２０と、第１記録素子基板と第１支持部材との間に設けられ、裏面供給路４２０を覆う。
なお、裏面供給路４２０の蓋である蓋部材２０は、記録素子基板１０と同等の加工精度で加工が可能となるように、支持部材３０よりも厚みの小さい部材となっている。例えば、蓋部材２０は、シリコン基板を加工することで形成することができ、この場合、蓋部材２０の厚みは１ｍｍ以下にすることができる。シリコン基板の加工には、リソグラフィによる加工、ウエハ加工用のブレードダイシングによる加工またはレーザー加工を用いることが可能であり、これらの場合、記録素子基板１０の加工精度と同等な加工精度が得られる。また、蓋部材２０は、樹脂フィルムを加工することで形成することができ、この場合、蓋部材２０の厚みは０．１ｍｍ以下にすることができる。樹脂フィルムの加工には、シリコン基板の加工と同様に、リソグラフィによる加工、ウエハ加工用のブレードダイシングによる加工またはレーザー加工を用いることが可能であり、これらの場合、記録素子基板１０の加工精度と同等な加工精度が得られる。さらに、記録素子基板１０と蓋部材２０とは、液体の接着剤を用いずに互いに接合されることが望ましい。この場合、記録素子基板１０や蓋部材２０内の供給路に接着剤が入り込むことを抑制することができる。
本実施形態では、記録素子基板１０における支持部材３０の端部４１３よりも外側に突き出した箇所にも吐出口１３が配置されている。このため、本実施形態では、第１の実施形態と比較して、互いに隣接する記録素子基板１０間の互いに隣接する吐出口１３の距離をさらに短くすることができる。したがって、互いに隣接する記録素子基板１０間の隣接部における吐出口列のズレ幅をさらに低減することが可能になる。
例えば、第１の実施形態と同様に、互いに隣接する記録素子基板１０間の素子間距離４０４が０．０２ｍｍの場合と、０．２ｍｍの場合について考える。これらの場合、記録素子基板１０の端から０．０５ｍｍの位置に吐出口１３が配置される。記録素子基板１０の斜辺の角度が４５度の場合には、吐出口列のズレ幅は、約０．１７ｍｍまたは約０．４２ｍｍとなる。このため、第１の実施形態と比較して、大幅に低減することが可能になる。
以上のように本実施形態では、支持部材３０の加工精度や支持部材３０の搭載位置合わせ精度に依らない。したがって、互いに隣接する記録素子基板１０の隣接部における被記録媒体２の走査方向の記録素子基板１０間のズレ幅を低減し、吐出口列のズレ幅４０３を低減することができる。その結果、つなぎ目の画像におけるムラ等の不具合を低減し、高品位な画像形成が可能となる。
また、第１の実施形態と同様に、記録素子基板１０間の隙間部４１０から、記録素子基板１０における吐出口１３が設けられた第１の面に、記録素子基板１０と支持部材３０とを互いに接合させる接着剤が這い上がることを抑制することができる。
なお、第１の実施形態において、本実施形態と同様に記録素子基板１０における支持部材３０の端部よりも外側に突き出した箇所に吐出口１３を設けることは可能である。この場合、外側に突き出した箇所の吐出口１３に液体を供給するための供給路を、吐出口１３が形成された面に形成する必要がある。しかしながら、この場合、供給路の高さは最大でも数十μｍであるのに対して、第４の実施形態のような裏面供給路４２０の高さは数百μｍにすることができる。したがって、第４の実施形態の方が記録素子基板１０における支持部材３０の端部よりも外側に突き出した箇所に設けられた吐出口１３に液体を十分に供給しやすく、記録される画像における隣接部に対応する箇所をより高画質にすることができる。
また、裏面供給路４２０が形成されている裏面とは、記録素子基板１０における吐出口１３が形成された面の実質的な裏面である。つまり、記録素子基板１０が複数の基板を重ねた構造の場合、裏面とは、吐出口１３が形成された基板の、吐出口１３が形成された面の裏面ではなく、記録素子基板１０全体の吐出口１３が形成された面の裏面である。
また、互いに隣接する記録素子基板１０間の距離と、互いに隣接する蓋部材２０間の距離とは、図２７の例では等しいが、記録素子基板１０間の距離が蓋部材２０間の距離よりも短くてもよい。
【００２５】
（第２の実施形態における液体吐出ヘッドの製造工程）
図２８は、第２の実施形態の液体吐出ヘッドの製造工程を説明するためのフローチャートである。
先ず、液体を発泡させるための記録素子１５のような必要な回路などが形成された記録素子基板１０に対して吐出口１３を形成する吐出口形成工程が行われる（ステップＳ５０１）。このとき、記録素子基板１０は、ウエハの状態である。続いて、記録素子基板１０の裏面に裏面供給路４２０を形成する裏面供給路形成工程が行われる（ステップＳ５０２）。さらに、記録素子基板１０の裏面に蓋部材２０を形成する蓋部材形成工程が行われる（ステップＳ５０３）。その後、記録素子基板１０の外形を加工して、記録素子基板１０をウエハの状態からチップの状態にする切断工程が行われる（ステップＳ５０４）。その後、蓋部材２０と支持部材３０が対向するように記録素子基板１０を支持部材３０に接合する接合工程が行われ（ステップＳ５０５）、記録素子基板１０を接合した支持部材３０を流路部材２１０に並設する配置工程が行われる（ステップＳ５０６）。
以上のように、接合工程（ステップＳ５０５）の前に、蓋部材形成工程（ステップＳ５０３）によって記録素子基板１０の裏面に蓋部材２０が形成されることで、第２の実施形態の液体吐出ヘッドを作成することができる。したがって、支持部材３０の加工精度や支持部材３０の搭載位置合わせ精度に依らず、互いに隣接する記録素子基板１０の走査方向におけるズレ幅を低減して、吐出口列のズレ幅を低減することができる。よって、記録される画像の、記録素子基板１０の隣接部に対応する箇所で生じるムラ等の不具合を低減し、高画質な画像を形成することが可能となる。
蓋部材２０がシリコン基板で形成される場合、ウエハ状態の記録素子基板１０にウエハ状態のシリコン基板で形成された蓋部材２０を接合することができる。このため、チップ状態の記録素子基板１０のそれぞれに対して蓋部材２０を接合するよりも工程数を削減することが可能となる。
また、蓋部材２０は樹脂フィルムで形成される場合、ウエハ状態の記録素子基板１０にフィルム状態の樹脂をラミネートすることで蓋部材２０を接合することができる。このため、シリコン基板で形成される場合と同様に、チップ毎に蓋部材２０を接合するよりも工程の削減が可能となる。
なお、本実施形態で説明した製造工程は単なる一例であって、これに制限されるものではない。例えば、吐出口形成工程（ステップＳ５０１）、裏面供給路形成工程（ステップＳ５０２）、蓋部材形成工程（ステップＳ５０３）及び切断工程（ステップＳ５０４）の順序は、本実施形態に限定されるものではない。接合工程（ステップＳ５０５）の前に蓋部材形成工程（ステップＳ５０３）があればよい。
【００２６】
以上説明した液体吐出ヘッド３及び記録装置１０００は、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置に適用可能である。例えば、液体吐出ヘッド３及び記録装置１０００は、バイオチップ作製や電子回路印刷などの用途としても用いることができる。
【符号の説明】
【００２７】
３    液体吐出ヘッド
１０    記録素子基板
１１    基板
１２    吐出口形成部材
１３    吐出口
１８    液体供給路
１９    液体回収路
２０    蓋部材
３０    支持部材
２１１  共通供給流路
２１２  共通回収流路
４１２    記録素子基板の端部
４１３    支持部材の端部
【図１】
2017124606.tif 000003
【図２】
2017124606.tif 000004
【図３】
2017124606.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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