(57)【要約】【課題】従来、不必要なときにグリースが漏れ出すことにより、グリースが消耗され、必要なときにグリースを軸受に供給できず、ターボブロアが破損する恐れがあった。本開示は、ターボブロアへのグリース供給を適切に制御することができるガスレーザ発振装置を提供する。【解決手段】本開示のガスレーザ発振装置は、第１のタンクと、第１のピストンと、第１のグリース供給管と、第１の弁とを有する。第１のタンクは、グリースを貯留する。第１のピストンは、第１のタンク内のグリースを押し出す。第１のグリース供給管は、第１のタンクとターボブロアの第１の軸受との間に設けられ、グリースが通過する。第１の弁は、第１のグリース供給管の途中に設けられている。【選択図】図３
2017183450.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
グリースを貯留する第１のタンクと、
前記第１のタンク内の前記グリースを押し出す第１のピストンと、
前記第１のタンクとターボブロアの第１の軸受との間に設けられ、前記グリースが通過する第１のグリース供給管と、
前記第１のグリース供給管の途中に設けられた第１の弁と、を備えたガスレーザ発振装置。
【請求項２】
ガスレーザ発振部と、
前記ガスレーザ発振部にレーザガスを供給するガス循環経路と、をさらに備え、
前記ターボブロアは、前記ガス循環経路の途中に設けられ、前記レーザガスを循環させる請求項１に記載のガスレーザ発振装置。
【請求項３】
前記第１の弁と前記第１の軸受との間の前記第１のグリース供給管に設けられた第１のガス導入部と、
前記第１のガス導入部と、前記ガス循環経路とを接続する第１のガス供給管と、
前記第１のガス導入管の途中に設けられた第２の弁と、をさらに備えた請求項１または２に記載のガスレーザ発振装置。
【請求項４】
前記第１のガス供給管は分岐しており、
分岐された前記第１のガス供給管は、前記第１のピストンを押すように前記第１のタンクに接続されている請求項３に記載のガスレーザ発振装置。
【請求項５】
グリースを貯留する第２のタンクと、
前記第２のタンク内の前記グリースを押し出す第２のピストンと、
前記第２のタンクとターボブロアの第２の軸受との間に設けられ、前記グリースが通過する第２のグリース供給管と、
前記第２のグリース供給管の途中に設けられた第３の弁と、
前記第３の弁と前記第２の軸受との間の前記第２のグリース供給管に設けられた第２のガス導入部と、
前記第２のガス導入部と、前記ガス循環経路とを接続する第２のガス供給管と、
前記第２のガス導入管の途中に設けられた第４の弁と、をさらに備えた請求項３または４に記載のガスレーザ発振装置。
【請求項６】
前記第２のガス供給管は分岐しており、
分岐された前記第２のガス供給管は、前記第２のピストンを押すように前記第２のタンクに接続されている請求項５に記載のガスレーザ発振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、ガスレーザ発振装置に関し、特に、ターボブロアのベアリングへのグリース供給機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ガスレーザ発振装置ではターボブロアによってレーザガスが循環されており、ターボブロアの軸受には、一定時間ごとにグリースが供給されていた。
【０００３】
図７を用いて、従来のガスレーザ発振装置のグリース供給機構について説明する。図７は、従来のガスレーザ発振装置のグリース供給器９００を示す図である。
【０００４】
図７に示すように、従来のガスレーザ発振装置のグリース供給器９００は、ピストン９１０と、シリンダ９２０と、グリース調整用つまみ９３０と、角度可変ヘッド９４０と、キャップ９３３とを有する。ピストン９１０は、ネジ部９１１を介してシリンダ９２０に挿入されている。グリース９０１は、ピストン９１０とシリンダ９２０との間に充填され、ピストン９１０とシリンダ９２０との間はＯリング９１２によってシールされている。また、グリース９０１は、シリンダ先端部９２１にも充填され、シリンダ先端部９２１は、角度可変ヘッド９４０に挿入されている。
【０００５】
グリース調整つまみ９３０は、シリンダ９２０の上端側に設けられ、作業者がグリース調整つまみ９３０を回すことにより、ピストン９１０はネジ部９１１のピッチに従って回る。グリース調整つまみ９３０は、ワンウェイクラッチ９３１を有し、ピストン９１０はグリース９０１を押し出すように下にだけ移動する。また、シリンダ９２０の表面には、目盛り９２２があり、ピストン９１０の位置からグリース９０１の供給量がわかるようになっている。
【０００６】
また、シリンダ先端部９２１は、角度可変ヘッド９４０に挿入され、角度可変ヘッド９４０との間はＯリング９２３によってシールされている。また、シリンダ先端部９２１の端は、Ｏリング９２４を介してボール９５０によって塞がれており、ボール９５０は、コイルバネ９６０によって、シリンダ先端部９２１に押し付けられている。また、シリンダ９２０の外周には、Ｏリング９２５が設けられ、ターボブロア本体と外気とがシールされている。
【０００７】
角度可変ヘッド９４０は、Ｏリング９７０を介してグリースメタル９８０と接続され、グリース９０１は、グリースメタル９８０内の通路９８１を通って、ターボブロアの軸受に供給される。
（例えば、特許文献１参照）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平６−２１６４３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
従来のグリース供給器９００は、コイルバネ９６０によってボール９５０をシリンダ先端部９２１に押し付けることで、グリース９０１の漏れを防いでいた。しかし、ターボブロア内の圧力が非常に低いため、通路９８１を介してボール９５０を吸引し、グリース９０１が供給時以外にも漏れ出す恐れがある。特に、ピストン９１０の移動を伴わなくても、グリース９０１内の微小な気泡が減圧によって膨張し、グリース９０１が漏れ出す恐れがある。不必要なときにシリンダ９２０内のグリース９０１が漏れ出すことにより、グリース９０１が消耗され、必要なときにグリース９０１を軸受に供給できず、ターボブロアが破損する恐れがある。本開示は、ターボブロアへのグリース供給を適切に制御することができるガスレーザ発振装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本開示のガスレーザ発振装置は、第１のタンクと、第１のピストンと、第１のグリース供給管と、第１の弁とを有する。第１のタンクは、グリースを貯留する。第１のピストンは、第１のタンク内のグリースを押し出す。第１のグリース供給管は、第１のタンクとターボブロアの第１の軸受との間に設けられ、グリースが通過する。第１の弁は、第１のグリース供給管の途中に設けられている。
【発明の効果】
【００１１】
これにより、本開示のガスレーザ発振装置１００は、ターボブロアへのグリース供給を適切に制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、本開示の実施の形態に係るガスレーザ発振装置１００の構成を示す図である。
【図２】図２は、本開示の実施の形態に係る送風装置２００の構成を示す図である。
【図３】図３は、本開示の実施の形態に係るグリース供給機構３００を示す図である。
【図４】図４は、本開示の実施の形態に係るグリース供給機構３００のバリエーションを示す図である。
【図５】図５は、本開示の実施の形態に係るグリース供給機構３００のバリエーションを示す図である。
【図６】図６は、本開示の実施の形態に係るグリース供給機構３００のバリエーションを示す図である。
【図７】図７は、従来のガスレーザ発振装置のグリース供給器９００を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
（実施の形態）
まず、ガスレーザ発振装置１００の主要構成について、説明する。
【００１４】
図１に本開示の実施の形態に係るガスレーザ発振装置１００の構成を示す。ガスレーザ発振装置１００は、放電管１０１、電極１０２および１０３、電源１０４、全反射鏡１０６、部分反射鏡１０７、レーザガス流路１１０、熱交換器１１１および１１２、送風装置２００を備えている。
【００１５】
放電管１０１はガラスなどの誘電体からなり、電極１０２および１０３は放電管周辺に設けられ、電源１０４は電極に接続される。電極１０２および１０３の間に挟まれた放電管１０１内で放電空間１０５が形成される。全反射鏡１０６、部分反射鏡１０７は放電空間１０５の両端に固定配置され、光共振器を形成している。レーザビーム１０８は部分反射鏡１０７より出力される。
【００１６】
レーザガス流１０９はガスレーザ発振装置１００の中を循環している。レーザガス流路１１０は放電管１０１とレーザガス導入部１１３で接続されている。熱交換器１１１および１１２、送風装置２００の運転により温度上昇したレーザガスの温度を下げレーザガスを循環させる働きを有する。
【００１７】
以上が本開示の実施の形態に係るガスレーザ発振装置１００の構成である。
【００１８】
次に、送風装置２００の主要構成について説明する。
【００１９】
図２に本開示の実施の形態に係る送風装置２００の構成を示す。送風装置２００はモータロータ２０１、回転軸２０２、翼車２０３、モータステータ２０４、ハウジング２０５、スクロール２０６、上部軸受２０７、下部軸受２０８、共回転リング２０９、ナット２１０、固定部スペーサ２１１を備えている。
【００２０】
送風装置２００の構成は、回転部と非回転部とに分けられ、回転部はモータロータ２０１、回転軸２０２、翼車２０３、上部軸受２０７および下部軸受２０８で構成されている。非回転部は、回転部を納めるハウジング２０５、翼車を覆うスクロール２０６と、共回転リング２０９で構成されている。
【００２１】
モータロータ２０１は回転軸２０２と結合され、回転軸２０２の先端に翼車２０３が備えられている。モータロータ２０１と同軸にモータステータ２０４が配置され、モータステータ２０４はハウジング２０５に固定されている。モータステータ２０４へ外部より交流電力が供給されると、モータロータ２０１が回転し、回転軸２０２を介して翼車２０３を回転させる。
【００２２】
翼車２０３の周囲にはスクロール２０６が配置され、翼車２０３の回転によりレーザガスが圧縮されレーザガス流１０９が発生し、送風装置２００内の圧力は非常に低くなる。回転軸２０２は上下２ヶ所に配置された上部軸受２０７および下部軸受２０８により、回転可能な状態で保持されている。上部軸受２０７および下部軸受２０８は回転軸２０２と結合されている。
【００２３】
以上が本開示の実施の形態に係る送風装置２００の構成である。
【００２４】
次に、グリース供給機構３００の構成と動作について説明する。
【００２５】
図３に本開示の実施の形態に係るグリース供給機構３００を示す。グリース供給機構３００は加圧室３０２、ピストン３０３、グリース弁３０５、ガス弁３０６、充填部３０７およびグリースタンク３０８を備えている。
グリースタンク３０８と充填部３０７の間にグリース弁３０５を設けている。グリースタンク３０８と送風装置２００はグリース弁３０５によって遮断しているため、送風装置２００内の圧力が非常に低くなった場合でも、グリースタンク３０８からグリース３０４が漏れ出すことを防止している。
【００２６】
グリースタンク３０８とグリース弁３０５と充填部３０７はグリース供給管３０９で接続されており、グリース供給管３０９内をグリース３０４が移動する。
【００２７】
圧縮ガス３０１と充填部３０７の間にガス弁３０６を設けている。
【００２８】
圧縮ガス３０１とガス弁３０６と充填部３０７はガス供給管３１０で接続されており、ガス供給管３１０内を圧縮ガスが移動する。
【００２９】
充填部３０７から上部軸受２０７近傍までグリース供給管３０９を設けている。
【００３０】
送風装置２００に真空ポンプ３１３を取り付け、送風装置２００と真空ポンプ３１３の間に排気弁３１２を設ける。
【００３１】
グリースタンク３０８内にグリース３０４が充填されており、ピストン３０３はグリース３０４と加圧室３０２の間に摺動可能な状態で挿入されている。
加圧室３０２は圧縮ガス３０１で加圧されており、グリース弁３０５が開くとピストン３０３を介してグリース３０４が押し出され、グリース供給管３０９内を移動して充填部３０７に充填される。
【００３２】
グリース弁３０５が閉じるとグリース３０４の移動が止まる。
【００３３】
グリース弁３０５の開閉時間を制御することで、グリース３０４の供給量を制御している。
【００３４】
グリース弁３０５を閉じグリース３０４が充填部３０７に充填された状態で、ガス弁３０６を開くと、送風装置２００内の圧力は非常に低いため、充填部３０７に充填されたグリース３０４はグリース供給管３０９を移動して上部軸受２０７へ吐出され、上部軸受２０７にグリース３０４が供給される（下部軸受２０８においても同様）。
【００３５】
ガス弁３０６を閉じると圧縮ガス３０１の移動が止まる。
ガス弁３０６を開くと、送風装置２００内の圧力が上昇し、ガスレーザ発振装置１００内の圧力に影響を及ぼすため、排気弁３１２を開く。
【００３６】
ガス弁３０６の開閉時間と排気弁３１２を制御することで、ガスレーザ発振装置１００内の圧力が変動しないように制御している。
【００３７】
また、図４〜図６に示すように、必要に応じてグリースタンク、ガス弁、グリース弁の体系を変更しても良い。
【００３８】
図４に、本開示の実施の形態に係るグリース供給機構３００のバリエーションを示す。図４は、図３に対して、グリースタンク３０８を１つにまとめ、さらに、ガス弁３０６も１つにまとめた点が異なる。その他の点については、同様であるため、説明を省略する。
【００３９】
図５に、本開示の実施の形態に係るグリース供給機構３００のバリエーションを示す。図５は、図３に対して、グリースタンク３０８を１つにまとめた点が異なる。その他の点については、同様であるため、説明を省略する。
【００４０】
図６に、本開示の実施の形態に係るグリース供給機構３００のバリエーションを示す。図６は、図３に対して、ガス弁３０６を１つにまとめた点が異なる。その他の点については、同様であるため、説明を省略する。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本開示のガスレーザ発振装置は、ターボブロアへのグリース供給を適切に制御することができ、産業上有用である。
【符号の説明】
【００４２】
１００  ガスレーザ発振装置
１０１  放電管
１０２  電極
１０４  電源
１０５  放電空間
１０６  全反射鏡
１０７  部分反射鏡
１０８  レーザビーム
１０９  レーザガス流
１１０  レーザガス流路
１１１  熱交換器
１１３  レーザガス導入部
２００  送風装置
２０１  モータロータ
２０２  回転軸
２０３  翼車
２０４  モータステータ
２０５  ハウジング
２０６  スクロール
２０７  上部軸受
２０８  下部軸受
２０９  共回転リング
２１０  ナット
２１１  固定部スペーサ
３００  グリース供給機構
３０１  圧縮ガス
３０２  加圧室
３０３  ピストン
３０４  グリース
３０５  グリース弁
３０６  ガス弁
３０７  充填部
３０８  グリースタンク
３０９  グリース供給管
３１０  ガス供給管
３１２  排気弁
３１３  真空ポンプ
９００  グリース供給器
９０１  グリース
９１０  ピストン
９１１  ネジ部
９１２  Ｏリング
９２０  シリンダ
９２１  シリンダ先端部
９２２  目盛り
９２３  Ｏリング
９２４  Ｏリング
９２５  Ｏリング
９３０  グリース調整つまみ
９３１  ワンウェイクラッチ
９３３  キャップ
９４０  角度可変ヘッド
９５０  ボール
９６０  コイルバネ
９７０  Ｏリング
９８０  グリースメタル
９８１  通路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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