(57)【要約】【課題】粘着シートに被検査部品を自由に粘着でき、紫外線を照射せずに被検査部品を簡単に剥離でき、しかも、被検査部品を下方から検査できる検査用保持具及びその製造方法を提供する。【解決手段】中空のトレイ本体１と、トレイ本体１の中空を被覆して被検査部品３０を粘着保持する粘着シート１０と、トレイ本体１内に取り付けられる粘着シート１０用の抑えフレーム２０とを備え、トレイ本体１の周壁内周面３から抑えフレーム２０に対向する粘着シート１０用の支持片４を中心部方向に突出させ、粘着シート１０を非シリコーン製で透明の単層シートとしてその厚さを５０〜２００μｍとし、粘着シート１０の裏面周縁部に、トレイ本体１の支持片４表面に粘着する第一の粘着材１１を粘着し、抑えフレーム２０をエンドレスに成形し、抑えフレーム２０の裏面に、粘着シート１０の表面周縁部に粘着する第二の粘着材２１を粘着する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空のトレイ本体と、このトレイ本体内の中空を被覆して被検査部品を着脱自在に粘着保持する可撓性の粘着シートと、トレイ本体内に取り付けられる粘着シート用の抑えフレームとを備えた検査用保持具であって、
トレイ本体の周壁の内面から抑えフレームに対向する粘着シート用の支持片を中心部方向に突出させ、
粘着シートを非シリコーン製で透明の単層シートとし、この粘着シートを５０〜２００μｍの厚さとし、粘着シートの裏面周縁部には、トレイ本体の支持片表面に粘着する第一の粘着材を粘着し、
抑えフレームを、トレイ本体の支持片との間に粘着シートを挟むエンドレスに成形し、抑えフレームの裏面には、粘着シートの表面周縁部に粘着する第二の粘着材を粘着したことを特徴とする検査用保持具。
【請求項２】
トレイ本体と抑えフレームとをそれぞれ樹脂含有の成形材料により平面略枠形に成形し、トレイ本体の周壁下部を幅方向外側に屈曲形成することにより、トレイ本体の周壁下部の内面から支持片の裏面にかけてスタック口を区画形成し、トレイ本体の周壁に位置決め部を形成し、
粘着シートを平面矩形のポリオレフィン系シートとし、この粘着シートを緊張させて抑えフレームの裏面に第二の粘着材を介し粘着した請求項１記載の検査用保持具。
【請求項３】
請求項１又は２に記載した検査用保持具の製造方法であって、粘着シートと抑えフレームとを第二の粘着材により粘着し、抑えフレームの外周縁部から食み出た粘着シートの余剰部を切断して除去し、トレイ本体の支持片表面と粘着シートとを第一の粘着材により粘着することにより、トレイ本体の中空を粘着シートにより被覆することを特徴とする検査用保持具の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子デバイスや光学部品等の被検査部品を保持、検査、管理、搬送等する際に使用される検査用保持具及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＭＥＭＳ等の電子デバイスを保持する場合には、取り扱いの便宜を図るため、各種の保持具が使用されている。この種の保持具としては、図示しないが、（１）搬送容器枠の内部に、電子デバイスを搭載する基材シートが裏面側から貼設され、この基材シートに、電子デバイスの底部面積よりも小さい複数の粘着膜が配列されており、各粘着膜に電子デバイスが粘着保持されるタイプ（特許文献１参照）、（２）フィルムを備えたフレームの積み重ねが可能なタイプ（特許文献２参照）、（３）平面円形のトレイと、このトレイの表面を被覆する電子デバイス用の粘着層とを備え、トレイに、粘着層に被覆される真空防止孔が穿孔されたタイプ（特許文献３参照）が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−１９３６８４号公報
【特許文献２】特開平１１−９７５１８号公報
【特許文献３】特許第５２３４６４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、（１）のタイプの場合には、粘着性を有しない基材シートに電子デバイス用の粘着膜が新たに粘着され、電子デバイスの粘着箇所が限定されるので、基材シートに電子デバイスを自由に粘着することができず、不便であるという問題が生じる。また、（２）のタイプの場合には、フレームのフィルムに紫外線硬化型の接着剤が別に塗布されており、電子デバイスの剥離に際しては、紫外線照射装置により、紫外線を照射しなければならないので、作業が複雑、かつ煩雑となり、しかも、大掛かりな設備を用意せざるを得ないという問題がある。
【０００５】
（３）のタイプの場合、トレイのメッシュ網を省略するので、粘着層を繰り返し使用しても、粘着層の変形を有効に防止することができるものの、トレイが板なので、電子デバイスを下方から観察して欠陥の有無を検査することができず、電子デバイスの検査作業に支障を来すおそれがある。さらに、電子デバイスをトレイの下方から突き上げてピックアップするときには、トレイが障害物となるので、利用が困難となる。
【０００６】
本発明は上記に鑑みなされたもので、粘着シートに被検査部品を自由に粘着することができ、紫外線を照射することなく、被検査部品を簡単に取り外すことができ、しかも、被検査部品を下方からも観察して検査することのできる検査用保持具及びその製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明においては上記課題を解決するため、中空のトレイ本体と、このトレイ本体内の中空を被覆して被検査部品を着脱自在に粘着保持する可撓性の粘着シートと、トレイ本体内に取り付けられる粘着シート用の抑えフレームとを備えたものであって、
トレイ本体の周壁の内面から抑えフレームに対向する粘着シート用の支持片を中心部方向に突出させ、
粘着シートを非シリコーン製で透明の単層シートとし、この粘着シートを５０〜２００μｍの厚さとし、粘着シートの裏面周縁部には、トレイ本体の支持片表面に粘着する第一の粘着材を粘着し、
抑えフレームを、トレイ本体の支持片との間に粘着シートを挟むエンドレスに成形し、抑えフレームの裏面には、粘着シートの表面周縁部に粘着する第二の粘着材を粘着したことを特徴としている。
【０００８】
なお、トレイ本体と抑えフレームの少なくともいずれか一方に光透過性を付与することができる。
また、トレイ本体と抑えフレームとをそれぞれ樹脂含有の成形材料により平面略枠形に成形し、トレイ本体の周壁下部を幅方向外側に屈曲形成することにより、トレイ本体の周壁下部の内面から支持片の裏面にかけてスタック口を区画形成し、トレイ本体の周壁に位置決め部を形成し、
粘着シートを平面矩形のポリオレフィン系シートとし、この粘着シートを緊張させて抑えフレームの裏面に第二の粘着材を介し粘着することができる。
【０００９】
また、粘着シートの表裏両面のいずれか一方に、位置決め模様を形成することもできる。
また、トレイ本体の周壁上部の内面と抑えフレームの外面のいずれか一方に凹部を形成し、他方には凸部を形成し、これら凹部と凸部とを嵌合させることが可能である。
【００１０】
また、本発明においては上記課題を解決するため、請求項１又は２に記載した検査用保持具の製造方法であって、
粘着シートと抑えフレームとを第二の粘着材により粘着し、抑えフレームの外周縁部から食み出た粘着シートの余剰部を切断して除去し、トレイ本体の支持片表面と粘着シートとを第一の粘着材により粘着することにより、トレイ本体の中空を粘着シートにより被覆することを特徴としている。
【００１１】
ここで、特許請求の範囲におけるトレイ本体と抑えフレームとは、平面視で筒形、枠形、リング形等に形成される。被検査部品としては、少なくとも脆弱な電子デバイス（例えば、ＭＥＭＳ、３Ｄ−ＩＣ、ＬＣＤドライバＩＣ等）や全体観察が好ましい微細な光学部品（例えば、ＬＥＤレンズ等）等が単数複数含まれる。また、粘着シートには、弾性変形可能なシートの他、フィルムが含まれる。
【００１２】
本発明によれば、検査用保持具の自己粘着性を有する粘着シートの表面に必要数の被検査部品を粘着保持させることにより、被検査部品を検査等することができる。この被検査部品の検査の際、トレイ本体が中空で粘着シートが透明なので、被検査部品を上下方向から観察することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、粘着シートに必要数の被検査部品を自由に粘着したり、紫外線を照射せずに被検査部品を簡単に取り外すことができ、しかも、被検査部品を上下方向から観察して検査することができるという効果がある。また、必要な場合には、被検査部品を粘着シートの下方から突き上げてピックアップすることができる。また、粘着シートが非シリコーン製なので、シリコーンの低分子シロキサンが被検査部品に移行して汚染を生じさせることがない。
【００１４】
また、粘着シートが接着材層の積層された積層構造ではなく、単層シートなので、接着材の接着成分が被検査部品に移行することがない。また、粘着シートの厚さが５０〜２００μｍの範囲なので、ハンドリングに支障を来したり、シートの延伸が困難になることが少ない。
【００１５】
請求項２記載の発明によれば、トレイ本体と抑えフレームとを成形材料により成形すれば、生産性や量産性を向上させたり、軽量化を図ることが可能になる。また、トレイ本体のスタック口に他のトレイ本体の上部を嵌入すれば、複数の検査用保持具を上下方向に積層して簡単に管理することが可能になる。また、トレイ本体の位置決め部を利用すれば、各種作業の際、検査用保持具を容易に位置合わせすることが可能になる。
【００１６】
また、粘着シートをポリオレフィン系シートとすれば、引張強さ、引裂強さ、衝撃強さ等の機械的性質、防水・防湿性、耐薬品性、軽量性、透明性、通気性に優れた効果が期待できる。さらに、抑えフレームの裏面に粘着シートを緊張状態で第二の粘着材により粘着すれば、被検査部品から粘着シートが剥離される方向の力が作用しやすくなるのを防ぐことができ、粘着シートが切れ易くなるとを防止することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明に係る検査用保持具の実施形態を模式的に示す平面説明図である。
【図２】本発明に係る検査用保持具の実施形態を模式的に示す部分断面説明図である。
【図３】本発明に係る検査用保持具の実施形態を模式的に示す裏面説明図である。
【図４】本発明に係る検査用保持具の第２の実施形態を模式的に示す平面説明図である。
【図５】本発明に係る検査用保持具の第３の実施形態を模式的に示す部分断面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における検査用保持具は、図１ないし図３に示すように、剛性を有する中空のトレイ本体１と、このトレイ本体１の中空を被覆して微細なＬＥＤレンズ等の複数の被検査部品３０を粘着保持する粘着シート１０と、トレイ本体１内に嵌合される粘着シート１０用の抑えフレーム２０とを備え、トレイ本体１から粘着シート１０用の支持片４を突出させ、粘着シート１０を透明の単層シートとして被検査部品３０を下方から観察可能とするとともに、この粘着シート１０の裏面に、トレイ本体１の支持片４に粘着する第一の粘着材１１を粘着し、抑えフレーム２０に、粘着シート１０に粘着する第二の粘着材２１を粘着するようにしている。
【００１９】
トレイ本体１は、例えば所定の樹脂を含有する成形材料により、図１ないし図３に示すように背の低い平面中空枠形に射出成形され、周壁２の内周面３から、上方の抑えフレーム２０との間に粘着シート１０の周縁部を挟持する断面矩形の支持片４が中心部方向に水平に突出する。
【００２０】
トレイ本体１用の樹脂としては、強度や剛性が確保できるのであれば、特に限定されるものではないが、例えばＡＢＳ、ＡＡＳ、アクリル系樹脂、ポリカーボネート等が使用される。トレイ本体１に剛性の他、耐熱性が要求される場合には、スーパーエンジニアリングプラスチック（例えば、ＰＥＳやＰＩ等）が使用される。また、トレイ本体１用の成形材料には、導電性カーボン等の帯電防止剤が必要に応じて配合される。
【００２１】
トレイ本体１の周壁２は、その下部が幅方向外側に断面略Ｌ字形に屈曲形成され、この下部の屈曲により、上部外面と下部外面との間に、支持片４の平坦な表面よりも下方に位置する段差受面５が平坦に形成されるとともに、下部の内周面３から支持片４の平坦な裏面にかけて積層用のスタック口６が区画形成される。このスタック口６には、同じ構成を有する他のトレイ本体１の周壁２上部が下方から嵌入されるが、この嵌入の際、嵌入されたトレイ本体１の周壁２下部が他のトレイ本体１の段差受面５に安定した姿勢で支持される。
【００２２】
トレイ本体１の四隅部のうち、少なくとも一隅部の周壁２外面は、図１や図３に示すように、選択的に斜めに切り欠かれることにより、トレイ本体１の位置合わせ用の位置決め部７として機能する。また、少なくとも一隅部の周壁２底面には、図示しない任意の位置合わせ穴が穿孔される。
【００２３】
粘着シート１０は、図１や図２に示すように、複数の被検査部品３０を着脱自在に搭載可能な平面矩形のフィルムからなり、裏面の周縁部に、トレイ本体１の支持片４表面に粘着する第一の粘着材１１が粘着される。
【００２４】
係る粘着シート１０は、可撓性を有する非シリコーン製のフィルム、具体的には延伸されたポリオレフィン系のフィルムであるのが好ましい。これは、粘着シート１０がシリコーン製の場合には、シリコーンの低分子シロキサンが被検査部品３０に移行し、被検査部品３０の汚染という好ましくない事態が生じるからである。また、ポリオレフィン系のフィルムは、引張強さ、引裂強さ、衝撃強さ等の機械的性質、防水・防湿性、耐薬品性、軽量性、透明性、通気性に優れるからである。
【００２５】
粘着シート１０は、被検査部品３０を下方から支障なく突き上げてピックアップできるよう、引張り破断強度がＪＩＳ  Ｋ  ７１２７下で５ＭＰａ以上、好ましくは９ＭＰａ以上、引張り破断伸びがＪＩＳ  Ｋ  ７１２７下で５００％以上、好ましくは６００％以上、常温の曲げ弾性率がＪＩＳ  Ｋ  ７１７１下で１０〜２３０ＭＰａの範囲に調整されることが好ましい。
【００２６】
粘着シート１０としては、自己粘着性を有する透明の単層フィルムが最適である。これは、粘着シート１０がフィルムに接着材層の積層された積層構造の場合には、接着材層の接着成分が被検査部品３０に移行し、好ましくない事態が生じるからである。また、粘着シート１０の可視光線透過率は、被検査部品３０の下方からの目視観察を容易にするため、少なくとも７０％以上、好ましくは８０％以上、より好ましくは８５％以上、さらに好ましくは８８％以上が良い。
【００２７】
粘着シート１０の厚さは、５０〜２００μｍ、好ましくは５０〜１５０μｍ、より好ましくは５０〜１００μｍが良い。これは、粘着シート１０の厚さが５０μｍ未満の場合には、検査用保持具の製造時のハンドリングに支障を来し、逆に粘着シート１０の厚さが２００μｍを越える場合には、フィルムの延伸維持が困難になるという理由に基づく。
【００２８】
第一の粘着材１１は、例えば耐久性に優れるアクリル系の透明な両面粘着テープ等が使用される。この第一の粘着材１１は、予め平面枠形に形成されたタイプでも良いし、枠形に組み合わされる複数の両面粘着テープ等でも良い。
【００２９】
抑えフレーム２０は、図１や図２に示すように、トレイ本体１と同様の成形材料（例えば、ＡＢＳ樹脂やＡＡＳ樹脂等）により、平面視で中空枠形に射出成形され、トレイ本体１の支持片４表面に上方から対向して粘着シート１０の周縁部以外の大部分を露出させる。この抑えフレーム２０の平坦な裏面には、粘着シート１０の表面周縁部に粘着する第二の粘着材２１が粘着される。
【００３０】
第二の粘着材２１は、例えば第一の粘着材１１同様、耐久性に優れるアクリル系の透明な両面粘着テープ等が使用される。この第二の粘着材２１も、予め平面枠形に形成されたタイプでも良いし、枠形に組み合わされる複数の両面粘着テープ等でも良い。
【００３１】
上記構成において、検査用保持具を製造する場合には、先ず、幅広の粘着シート１０を用意し、この幅広の粘着シート１０を延伸してその表面と抑えフレーム２０の裏面とを第二の粘着材２１により粘着し、抑えフレーム２０の外周縁部から食み出た粘着シート１０の余剰部を切断して除去することにより、粘着シート１０を緊張させた状態で抑えフレーム２０と一体化する。
【００３２】
この際、粘着シート１０は、抑えフレーム２０に略２〜２０％延伸された状態で粘着固定されることが好ましい。これは、２％未満の延伸の場合には、粘着シート１０が弛むことにより、粘着シート１０の周縁部と被検査部品３０との形成する角度が大きくなり、被検査部品３０から粘着シート１０が剥離される方向の力が作用しやすくなるので、好ましくないからである。逆に、粘着シート１０が２０％を越えて延伸される場合には、粘着シート１０が切れ易くなるという理由に基づく。
【００３３】
粘着シート１０と抑えフレーム２０とを一体化したら、トレイ本体１の支持片４表面と粘着シート１０の裏面とを第一の粘着材１１で粘着することにより、トレイ本体１の周壁２表面よりも抑えフレーム２０の表面を下方に位置させ、トレイ本体１の中空を粘着シート１０により上方から被覆すれば、検査用保持具を製造することができる。
【００３４】
検査用保持具を製造したら、検査用保持具の自己粘着性を有する粘着シート１０の表面に必要数の被検査部品３０を粘着保持させることにより、被検査部品３０を保持、検査、管理、搬送等することができる。被検査部品３０の検査の際、粘着シート１０が透明なので、被検査部品３０を上下方向から観察することができる。被検査部品３０の検査が終了したら、粘着シート１０の表面から被検査部品３０を引き上げたり、被検査部品３０を粘着シート１０の下方から突き上げてピックアップすれば、被検査部品３０を取り外すことができる。
【００３５】
上記構成によれば、粘着シート１０が自己粘着性の単層シートなので、被検査部品３０の粘着箇所が限定されることがなく、粘着シート１０に被検査部品３０を自由に粘着することができる。また、紫外線照射装置により紫外線を照射しなくても、粘着シート１０から被検査部品３０を簡単に取り外すことができるので、保持、検査、搬送等の各種作業の円滑化、簡素化、迅速化を図ることができ、大掛かりな設備を確実に削減することもできる。
【００３６】
また、トレイ本体１が枠形で観察可能な視認領域が拡大するので、被検査部品３０を下方から観察して欠陥の有無を確実に外観検査することができ、検査作業に支障を来すおそれを有効に排除することができる。また、トレイ本体１に底が存在しないので、粘着シート１０の下方から被検査部品３０を突き上げて簡単にピックアップすることが可能になる。
【００３７】
また、トレイ本体１の支持片４の裏面ではなく、表面に粘着シート１０を粘着するので、例え被検査部品３０が重くても、トレイ本体１から粘着シート１０が剥がれることがなく、検査作業の安全性の向上が大いに期待できる。さらに、トレイ本体１の支持片４と抑えフレーム２０とが粘着シート１０を挟持するので、被検査部品３０を突き上げて粘着シート１０を変形させ、被検査部品３０をピックアップする場合にも、トレイ本体１から粘着シート１０が脱落するのを有効に防止することが可能になる。
【００３８】
次に、図４は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、粘着シート１０の表裏両面のいずれか一方に、被検査部品３０用のアライメントマーク１２を印刷して配列形成するようにしている。
複数のアライメントマーク１２は、図４に一部省略して示すように、好ましくは粘着シート１０の裏面にマトリックスに印刷される。各アライメントマーク１２は、平面円形の他、必要に応じ、矩形、多角形、十字形等に印刷される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００３９】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、自動機の検査での位置決めが可能になるのは明らかである。
【００４０】
次に、図５は本発明の第３の実施形態を示すもので、この場合には、トレイ本体１の周壁２上部の内周面３に溝形の凹部８を切り欠くとともに、抑えフレーム２０の外周面に凸部２２を突出形成し、これらトレイ本体１の凹部８と抑えフレーム２０の凸部２２とを着脱自在に密嵌させるようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００４１】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、凹部８と凸部２２との密嵌により、トレイ本体１の支持片４との間に粘着シート１０の周縁部を挟持する抑えフレーム２０が外れにくくなるので、トレイ本体１の支持片４と抑えフレーム２０とに粘着シート１０の周縁部をさらに強固に挟持させることができるのは明らかである。
【００４２】
なお、上記実施形態のトレイ本体１と抑えフレーム２０の少なくともいずれか一方には、被検査部品３０の観察範囲を拡大するため、光透過性を付与して透明としても良い。また、トレイ本体１の周壁２上部の内周面３に凸部２２を突出形成するとともに、抑えフレーム２０の外周面に凹部８を溝形に切り欠き、これら凸部２２と凹部８とを嵌合させても良い。
【００４３】
また、トレイ本体１の支持片４表面と段差受面５とを同じ高さに揃えて整合させても良い。また、トレイ本体１の周壁２外面には、位置合わせ用の位置決め部７を必要数切り欠くこともできる。さらに、被検査部品３０を、ＭＥＭＳ、３Ｄ−ＩＣ、ＬＣＤドライバＩＣ等とすることもできる。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明に係る検査用保持具及びその製造方法は、例えば音楽機器、光学機器、情報機器、精密機器、半導体の製造分野等で使用される。
【符号の説明】
【００４５】
１        トレイ本体
２        周壁
３        内周面（内面）
４        支持片
５        段差受面
６        スタック口
７        位置決め部
８        凹部
１０      粘着シート
１１      第一の粘着材
１２      アライメントマーク
２０      抑えフレーム
２１      第二の粘着材
２２      凸部
３０      被検査部品
【図１】
2017036059.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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