(57)【要約】【課題】ペーストの印刷後に基板上に残留したペーストを拭き取る作業が不要であり、ペーストの無駄も低減できるペースト印刷装置及びペースト印刷方法を提供することを目的とする。【解決手段】ペースト印刷装置１が、基板２の対向する一対の側面を２つの主クランパ２４によってクランプして保持する基板保持ユニット１４と、基板保持ユニット１４に保持された基板２に対し、２つの主クランパ２４のうちの一方の上面から基板２の上面を経て２つの主クランパ２４のうちの他の一方の上面までブレード５２を摺動させてフィルム状マスクＦＭの開口ＫＨにペーストＰｓｔを充填する充填ヘッド４１を備える。２つの主クランパ２４のうち、ブレード５２の摺動の開始側となる方の上面を基板２の上面と同じ高さとし、ブレード５２の摺動の終了側となる方の上面を基板２の上面よりも低い高さとする。【選択図】図１６
2017024326.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の上面に貼り付けたフィルム状マスクの開口を通じて前記基板が有する電極にペーストを印刷するペースト印刷装置であって、
前記基板の対向する一対の側面を２つの第１クランプ部材によってクランプして保持する基板保持部と、
前記基板保持部に保持された基板に対し、前記２つの第１クランプ部材のうちの一方の上面から前記基板の上面を経て前記２つの第１クランプ部材のうちの他の一方の上面までブレードを摺動させて前記フィルム状マスクの前記開口にペーストを充填するペースト充填手段とを備え、
前記２つの第１クランプ部材のうち、前記ブレードの摺動の開始側となる方の上面を前記基板の上面と同じ高さとし、前記ブレードの摺動の終了側となる方の上面を前記基板の上面と同じ高さ或いは前記基板の上面よりも低い高さとすることを特徴とするペースト印刷装置。
【請求項２】
前記基板保持部は、前記ブレードの前記基板に対する摺動方向と直交する方向に対向する一対の側面を２つの第２クランプ部材によってクランプし、前記２つの第２クランプ部材の上面の高さを前記基板の上面と同じ高さとすることを特徴とする請求項１に記載のペースト印刷装置。
【請求項３】
基板の上面に貼り付けたフィルム状マスクの開口を通じて前記基板が有する電極にペーストを印刷するペースト印刷方法であって、
前記基板の対向する一対の側面を２つの第１クランプ部材によってクランプして保持する基板保持工程と、
前記基板保持工程で保持した前記基板に対し、前記２つの第１クランプ部材のうちの一方の上面から前記基板の上面を経て前記２つの第１クランプ部材のうちの他の一方の上面までブレードを摺動させて前記フィルム状マスクの前記開口にペーストを充填するペースト充填工程とを含み、
前記２つの第１クランプ部材のうち、前記ブレードの摺動の開始側となる方の上面を前記基板の上面と同じ高さとし、前記ブレードの摺動の終了側となる方の上面を前記基板の上面と同じ高さ或いは前記基板の上面よりも低い高さとすることを特徴とするペースト印刷方法。
【請求項４】
前記基板保持工程において、前記ブレードの前記基板に対する摺動方向と直交する方向に対向する一対の側面を２つの第２クランプ部材によってクランプし、前記２つの第２クランプ部材の上面の高さは前記基板の上面と同じ高さとすることを特徴とする請求項３に記載のペースト印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の上面に貼り付けたフィルム状マスクの開口を通じて基板が有する電極にペーストを印刷するペースト印刷装置及びペースト印刷方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板の電極にバンプを形成する方法のひとつとして、基板の上面に貼り付けたフィルム状マスク（例えばドライフィルム）の開口に半田ペーストを充填し、フィルム状マスクを除去した後、半田ペーストを溶融してバンプ状にする方法が知られている。このようなフィルム状マスクを用いたバンプ形成方法において、フィルム状マスクの開口にペーストを充填（電極にペースト印刷）するペースト印刷装置は、矩形の枠状部材をフィルム状マスク付きの基板の上面に接触させ、矩形の枠状部材によってフィルム状マスクの開口を取り囲んだ状態でブレードを摺動させる。このとき枠状部材の上面のブレードの摺動方向に対向する一対の領域は、ブレードの摺動に伴うペーストの移動の起点及び終点のターミナルとして使用され、ブレードは一方のターミナルから摺動を開始し、基板の上面を経て他方のターミナルに至るように移動される（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−４４３３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のようにして基板にペーストを印刷する場合、枠状部材の上面は基板の上面より高い位置に位置することから、ブレードが基板から枠状部材の終点側のターミナルに乗り移る際に、一部のペーストは枠状部材に乗り移ることができずに枠状部材のエッジに残ってしまう。このエッジに残ったペーストはそのまま基板上に残留することになるため、ペーストの印刷後には基板上に残留したペーストを拭き取る作業が必要となるうえ、拭き取る分のペーストが無駄になるという問題点があった。
【０００５】
そこで本発明は、ペーストの印刷後に基板上に残留したペーストを拭き取る作業が不要であり、ペーストの無駄も低減できるペースト印刷装置及びペースト印刷方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のペースト印刷装置は、基板の上面に貼り付けたフィルム状マスクの開口を通じて前記基板が有する電極にペーストを印刷するペースト印刷装置であって、前記基板の対向する一対の側面を２つの第１クランプ部材によってクランプして保持する基板保持部と、前記基板保持部に保持された基板に対し、前記２つの第１クランプ部材のうちの一方の上面から前記基板の上面を経て前記２つの第１クランプ部材のうちの他の一方の上面までブレードを摺動させて前記フィルム状マスクの前記開口にペーストを充填するペースト充填手段とを備え、前記２つの第１クランプ部材のうち、前記ブレードの摺動の開始側となる方の上面を前記基板の上面と同じ高さとし、前記ブレードの摺動の終了側となる方の上面を前記基板の上面と同じ高さ或いは前記基板の上面よりも低い高さとする。
【０００７】
本発明のペースト印刷方法は、基板の上面に貼り付けたフィルム状マスクの開口を通じて前記基板が有する電極にペーストを印刷するペースト印刷方法であって、前記基板の対向する一対の側面を２つの第１クランプ部材によってクランプして保持する基板保持工程と、前記基板保持工程で保持した前記基板に対し、前記２つの第１クランプ部材のうちの一方の上面から前記基板の上面を経て前記２つの第１クランプ部材のうちの他の一方の上面までブレードを摺動させて前記フィルム状マスクの前記開口にペーストを充填するペースト充填工程とを含み、前記２つの第１クランプ部材のうち、前記ブレードの摺動の開始側となる方の上面を前記基板の上面と同じ高さとし、前記ブレードの摺動の終了側となる方の上面を前記基板の上面と同じ高さ或いは前記基板の上面よりも低い高さとする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、ペーストの印刷後に基板上に残留したペーストを拭き取る作業が不要であり、ペーストの無駄も低減できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施の形態におけるペースト印刷装置の斜視図
【図２】（ａ）〜（ｄ）本発明の一実施の形態におけるペースト印刷装置によってペーストが印刷される基板の部分断面図
【図３】本発明の一実施の形態におけるペースト印刷装置の側面図
【図４】本発明の一実施の形態におけるペースト印刷装置の平面図
【図５】本発明の一実施の形態におけるペースト印刷装置の要部の（ａ）斜視図（ｂ）側面図
【図６】本発明の一実施の形態におけるペースト印刷装置の制御系統を示すブロック図
【図７】本発明の一実施の形態におけるペースト印刷装置の要部の（ａ）斜視図（ｂ）側面図
【図８】本発明の一実施の形態におけるペースト印刷装置の要部の（ａ）斜視図（ｂ）側面図
【図９】本発明の一実施の形態におけるペースト印刷装置の要部の（ａ）斜視図（ｂ）側面図
【図１０】本発明の一実施の形態におけるペースト印刷装置の要部の（ａ）斜視図（ｂ）側面図
【図１１】本発明の一実施の形態におけるペースト印刷装置の要部の（ａ）斜視図（ｂ）側面図
【図１２】本発明の一実施の形態におけるペースト印刷装置の要部の（ａ）斜視図（ｂ）側面図
【図１３】本発明の一実施の形態におけるペースト印刷装置の平面図
【図１４】本発明の一実施の形態におけるペースト印刷装置の要部の（ａ）斜視図（ｂ）側面図
【図１５】本発明の一実施の形態におけるペースト印刷装置の要部の（ａ）斜視図（ｂ）側面図
【図１６】本発明の一実施の形態におけるペースト印刷装置の要部の（ａ）斜視図（ｂ）側面図
【図１７】本発明の一実施の形態におけるペースト印刷装置の要部の（ａ）斜視図（ｂ）側面図
【図１８】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるペースト印刷装置が備える充填ヘッド及び基板の部分断面図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明のペースト印刷装置１を示している。ペースト印刷装置１は基板２を搬入してペースト（半田ペースト）を印刷する装置である。本実施の形態では、作業者ＯＰから見たペースト印刷装置１の左右方向をペースト印刷装置１の左右方向とし、作業者ＯＰから見たペースト印刷装置１の前後方向をペースト印刷装置１の前後方向とする。更に、ペースト印刷装置１の作業者ＯＰから見た手前側をペースト印刷装置１の前方と称し、ペースト印刷装置１の作業者ＯＰから見た奥側をペースト印刷装置１の後方と称する。ペースト印刷装置１の左右方向をＸ軸方向、ペースト印刷装置１の前後方向をＹ軸方向、ペースト印刷装置１の上下方向をＺ軸方向とする。
【００１１】
ペースト印刷装置１がペーストを印刷する対象とする基板２は、図２（ａ）に示すように、複数の電極２ａを含むパターンを備えた板状の基材２ｂの上面に、電極２ａが露出するようにソルダレジスト２ｃを設けた構成となっている。ソルダレジスト２ｃの上面にはドライフィルム等のフィルム状マスクＦＭが貼り付けられている。フィルム状マスクＦＭには各電極２ａに通じる複数の開口ＫＨが設けられている。
【００１２】
ペースト印刷装置１は後述するペースト充填工程において、フィルム状マスクＦＭの各開口ＫＨにペーストＰｓｔを充填する（図２（ｂ））。フィルム状マスクＦＭの各開口ＫＨにペーストＰｓｔが充填された基板２はペースト印刷装置１から取り出されてリフロー処理される。これによりペーストＰｓｔは溶融し、球形化して半田バンプＳＢとなる（図２（ｃ））。フィルム状マスクＦＭの各開口ＫＨ内に半田バンプＳＢが形成されたらフィルム状マスクＦＭが除去され、完成品としてのバンプ付きの完成基板２Ｃが生成される（図２（ｄ））。
【００１３】
次に、ペースト印刷装置１の構成を説明する。図１及び図３に示すように、ペースト印刷装置１が備える基台１１上にはベーステーブル１２が設けられている。ベーステーブル１２はＸＹθテーブル１３を介して基台１１に取り付けられており、ＸＹθテーブル１３の作動によって基台１１に対して水平面内で移動（Ｘ軸及びＹ軸方向への移動とＺ軸回りの回転）する。
【００１４】
図１及び図３において、ベーステーブル１２には基板保持ユニット１４（基板保持部）が設けられている。基板保持ユニット１４はユニット昇降手段１５を介してベーステーブル１２に取り付けられており、ユニット昇降手段１５の作動によってベーステーブル１２に対して昇降する（図３中に示す矢印Ａ）。
【００１５】
図３及び図４及び図５（ａ），（ｂ）において、基板保持ユニット１４はユニット昇降手段１５によって昇降される昇降テーブル２１を備えている。昇降テーブル２１上には、Ｘ軸方向に延びてＹ軸方向に対向する２つのコンベア支持部２２が設けられている。２つのコンベア支持部２２には、Ｙ軸方向に対向する２つの搬送コンベア２３と、Ｙ軸方向に対向する２つの主クランパ２４（第１クランプ部材）が設けられている。
【００１６】
図５（ａ），（ｂ）において、２つのコンベア支持部２２はコンベア支持部移動機構２２Ａ（図３）の作動によってＹ軸方向に移動し、互いに近接し或いは互いに離間する（矢印Ｂ）。２つの主クランパ２４はそれぞれ主クランパ昇降機構２４Ａ（図３）の作動によって個別に昇降し（矢印Ｃ）、主クランパ開閉機構２４Ｂ（図３）の作動によってＹ軸方向に開閉する（矢印Ｄ）。
【００１７】
図１及び図４において、基板保持ユニット１４の左方には搬入コンベア２５が設けられており、基板保持ユニット１４の右方には搬出コンベア２６が設けられている。搬入コンベア２５は外部から送られてきた基板２を受け取って右方に搬送し、基板保持ユニット１４の搬送コンベア２３に受け渡す。搬出コンベア２６は基板保持ユニット１４の搬送コンベア２３から受け取った基板２を右方に搬送し、外部に搬出する。
【００１８】
図３及び図４において、昇降テーブル２１の中央部の２つのコンベア支持部２２の間の位置には下受け部２７が設けられている。下受け部２７は下受け部昇降手段２８を介して昇降テーブル２１に取り付けられており、下受け部昇降手段２８の作動によって昇降テーブル２１に対して昇降する（図５（ａ），（ｂ）中に示す矢印Ｅ）。下受け部２７は上面には基板２の下面を支持する複数の下受けピン２７Ｐが着脱自在に取り付けられている。
【００１９】
図５（ａ）において、昇降テーブル２１の下受け部２７の前後の位置にはＸ軸方向に対向する２つの副クランパ２９（第２クランプ部材）が設けられている。２つの副クランパ２９はそれぞれ副クランパ昇降手段３０を介して下受け部２７に取り付けられており、副クランパ昇降手段３０の作動によって昇降する（図５（ａ）中に示す矢印Ｆ）。また、２つの副クランパ２９は、副クランパ昇降手段３０に設けられた副クランパ開閉機構３０Ａ（図４）の作動によってＸ軸方向に開閉する（図５（ａ）中に示す矢印Ｇ）。本実施の形態では、主クランパ２４のＸ軸方向の寸法は基板２のＸ軸方向の寸法よりも大きく、副クランパ２９のＹ軸方向の寸法は基板２のＹ軸方向の寸法と同じとなっている。
【００２０】
図１、図３及び図４において、基板保持ユニット１４の上方にはペースト圧出型のペースト充填手段としての充填ヘッド４１が設けられている。充填ヘッド４１は基台１１に設けられたヘッド移動機構４２を介して基台１１に取り付けられており、充填ヘッド４１はヘッド移動機構４２の作動によって基台１１に対してＹ軸方向に移動し（図３中に示す矢印Ｈ）、昇降する（図３中に示す矢印Ｊ）。
【００２１】
図３において、充填ヘッド４１は内部にペーストＰｓｔを収納したペースト収納部５１を有するとともに、下方に突出して延びた２つのブレード５２を有している。２つのブレード５２はＸ軸方向に直線状に延びた下端部がＹ軸方向（すなわち充填ヘッド４１の移動方向）に対向するように配置されており、それぞれが充填ヘッド４１の中心部の下方に向かって傾斜することで全体として逆「ハ」の字を形成している。２つのブレード５２の下端部同士が対向する部分は、ペースト収納部５１に通ずるペーストＰｓｔの吐出口（ペースト吐出口５３）となっている。ペースト収納部５１内のペーストＰｓｔがシリンダ等の加圧手段５４によって加圧されると、ペースト吐出口５３よりペーストＰｓｔが下方に圧出される。
【００２２】
充填ヘッド４１は、基板２に設けられたフィルム状マスクＦＭの開口ＫＨにペーストＰｓｔの充填を行うときには、１枚の基板２につき、後側から前側へ、或いは前側から後側へ１回だけ移動して、充填ヘッド４１が備える２つのブレード５２の下端を基板２の上面（フィルム状マスクＦＭの上面）で摺動させる。従って、充填ヘッド４１は、或る１枚の基板２に対して後側から前側へ移動してペーストＰｓｔの充填を行った場合には、次の基板２については、前側から後側へ移動してペーストＰｓｔの充填を行う。
【００２３】
次に、上記構成のペースト印刷装置１により基板２にペーストＰｓｔを印刷する手順（ペースト印刷方法）について説明する。図６に示すように、ペースト印刷装置１の各部の動作制御はペースト印刷装置１が備える制御装置６０が行う。印刷対象とする基板２が外部から送られてくると、その基板２を搬入コンベア２５が受け取り、基板保持ユニット１４の搬送コンベア２３に受け渡す（図７（ａ）中に示す矢印Ｋ）。搬送コンベア２３は搬入コンベア２５から基板２を受け取って搬送し、２つの主クランパ２４の間の所定の作業位置に位置決めする（図７（ａ），（ｂ））。基板２が作業位置に位置決めされたら下受け部２７が上昇し（図８（ａ），（ｂ）中に示す矢印Ｅ１）、複数の下受けピン２７Ｐの上端を基板２の下面に当接させて、基板２を下方から支持する（図８（ａ），（ｂ））。
【００２４】
下受け部２７が基板２を下方から支持したら、基板保持工程を実行する。基板保持工程では、先ず、２つのコンベア支持部２２が互いに離間する方向に移動する（図９（ａ），（ｂ）中に示す矢印Ｂ１）。これにより基板２が下受け部２７のみによって支持されるようになったら（図９（ａ），（ｂ））、下受け部２７が上昇して基板２の上面が規定の高さになるように基板２を持ち上げる（図１０（ａ），（ｂ）中に示す矢印Ｅ１）。また、２つの主クランパ２４の一方はその上面が基板２の上面の高さ（すなわち上記規定の高さ）となるように上昇し、他の一方はその上面が基板２の高さよりも微小量ΔＺ（例えば０．５〜１ｍｍ程度）だけ低い高さとなるように上昇する。２つの副クランパ２９はそれぞれ上面が基板２の上面の高さとなるように上昇する（図１０（ａ），（ｂ）中に示す矢印Ｃ１，Ｆ１）。
【００２５】
ここで、２つの主クランパ２４のうち、上面の高さが基板２の上面の高さとなるように上昇するのは、これから移動する充填ヘッド４１の移動方向の始点側、すなわち基板２上を摺動するブレード５２の摺動開始側となる方の主クランパ２４である。また、上面の高さが規定の高さよりも微小量ΔＺだけ低い高さとなるように上昇するのは、これから移動する充填ヘッド４１の移動の方向の終点側、すなわち基板２上を摺動するブレード５２の摺動終了側となる方の主クランパ２４である。ここでは、これから移動する充填ヘッド４１の移動方向が後側から前側へ向かう方向であるとし、摺動開始側となる後側の主クランパ２４の上面の高さが基板２の上面の高さと一致し、摺動終了側となる前側の主クランパ２４の高さが基板２の上面の高さよりも微小量ΔＺだけ低い高さとなるように、２つの主クランパ２４が上昇するものとする（図１０（ａ），（ｂ））。
【００２６】
主クランパ２４と副クランパ２９がそれぞれ上昇したら、２つの副クランパ２９が互いに近接する方向に移動し（図１１（ａ）中に示す矢印Ｇ１）、基板２をＸ軸方向からクランプする（図１１（ａ），（ｂ））。次いで、２つの主クランパ２４が互いに近接する方向に移動し（図１２（ａ），（ｂ）中に示す矢印Ｄ１）、基板２をＹ軸方向からクランプして保持する（図１２（ａ），（ｂ））。これにより基板２が２つの主クランパ２４によってＹ軸方向に対向する２つの側面がクランプされるとともに、２つの副クランパ２９によってＸ軸方向に対向する２つの側面がクランプされた状態となり、基板保持工程が終了する（図１３）。
【００２７】
このように本実施の形態では、基板保持ユニット１４は、基板保持工程において、基板２のＹ軸方向に対向する一対の側面を２つの主クランパ２４によってクランプする際、２つの主クランパ２４のうち、ブレード５２の摺動の開始側となる方の上面を基板２の上面と同じ高さとし、ブレード５２の摺動の終了側となる方の上面を基板２の上面よりも低い高さとしている。また、ブレード５２の基板２に対する摺動方向（Ｙ軸方向）と直交する方向（Ｘ軸方向）に対向する一対の側面を２つの副クランパ２９によってクランプする際、２つの副クランパ２９の上面の高さを基板２の上面と同じ高さとしている。
【００２８】
上記基板保持工程が終了したら、基板保持工程で保持した基板２に対してペースト充填工程を実行する。ペースト充填工程では、基板保持ユニット１４がベーステーブル１２に対して上昇するとともに（図１４（ａ）中に示す矢印Ａ１）、摺動開始側である後側の主クランパ２４の上方に位置した充填ヘッド４１が下降し（図１４（ａ），（ｂ）中に示す矢印Ｊ１）、２つのブレード５２の下端部を摺動開始側である後側の主クランパ２４の上面に当接させる（図１４（ａ），（ｂ））。そして、充填ヘッド４１は後方から前方に移動し、２つのブレード５２を後側の主クランパ２４の上面から基板２の上面を経て前側の主クランパ２４の上面まで摺動させる（図１５（ａ），（ｂ）→図１６（ａ），（ｂ）→図１７（ａ），（ｂ）。これらの図中に示す矢印Ｈ１）。充填ヘッド４１が移動している間、加圧手段５４は充填ヘッド４１のペースト収納部５１を加圧し、充填ヘッド４１のペースト吐出口５３からペーストＰｓｔを下方に圧出させる（図１５（ｂ）、図１６（ｂ）、図１７（ｂ）中に示す矢印Ｐ）。これによりフィルム状マスクＦＭの各開口ＫＨにペーストＰｓｔが充填される（ペースト充填工程）。
【００２９】
このペースト充填工程において、２つの主クランパ２４のうち摺動開始側（ここでは後側）の主クランパ２４の上面は基板２の上面と同じ高さとなっているので、充填ヘッド４１のブレード５２が摺動開始側の主クランパ２４から基板２に乗り移る際に（図１４（ａ），（ｂ）→図１５（ａ），（ｂ））、ペーストＰｓｔはスムーズに基板２の上面に乗り移り、基板２の上面にペーストＰｓｔは残留しない。また、２つの主クランパ２４のうち摺動終了側（ここでは前側）の主クランパ２４の上面は基板２の上面よりも低い高さとなっているので、充填ヘッド４１のブレード５２が基板２から摺動終了側の主クランパ２４に乗り移る際に（図１６（ａ），（ｂ）→図１７（ａ），（ｂ）及び図１８（ａ）→図１８（ｂ））、ペーストＰｓｔは摺動終了側の主クランパ２４上にスムーズに乗り移る。ペーストＰｓｔが摺動終了側の主クランパ２４上に乗り移る際、基板２の上面と主クランパ２４の上面との間の差（この差は前述の微小量ΔＺに等しい）によって主クランパ２４上にペーストＰｓｔが残留することがあっても（図１８（ｂ）において符号ΔＰｓｔで示す）、これは基板２にとっては側面に位置するものであり、基板２の上面に残留するものではない（図１８（ｂ））。すなわちペースト充填工程において、基板２上にペーストＰｓｔは残留しない。
【００３０】
上記のようにしてフィルム状マスクＦＭの各開口ＫＨにペーストＰｓｔを充填したら充填ヘッド４１は上昇し、２つのブレード５２の下端部を摺動終了側の主クランパ２４の上面から離間させる。そして、主クランパ２４及び副クランパ２９が基板２のクランプを解除したうえで２つのコンベア支持部２２が互いに近接する方向に移動し、次いで下受け部２７が下降する。これにより基板２が２つの搬送コンベア２３のみによって支持された状態となったら（図７（ａ），（ｂ））、搬送コンベア２３は基板２を搬送して搬出コンベア２６に受け渡し、搬出コンベア２６は搬送コンベア２３から受け取った基板２をペースト印刷装置１の外部に搬出する。ペーストＰｓｔの充填が終わった基板２を搬出コンベア２６によって外部に搬出したら、搬入コンベア２５が新たに基板２を搬入し、前述の要領で基板２にペーストＰｓｔを印刷（フィルム状マスクＦＭの各開口ＫＨにペーストＰｓｔを充填）する。なお、次の基板２に対するペーストＰｓｔの印刷では充填ヘッド４１を前側から後側に移動させることになるので、今度は前側の主クランパ２４が摺動開始側、後側の主クランパ２４が摺動終了側となって、上昇後の上面の高さが逆転する。
【００３１】
以上説明したように、本実施の形態におけるペースト印刷装置１では、ブレード５２の基板２に対する摺動方向（Ｙ軸方向）に対向する２つの主クランパ２４によって基板２の対向する２つの側面をクランプするようになっており、２つの主クランパ２４のうち、ブレード５２の摺動の開始側となる方の上面を基板２の上面と同じ高さとし、ブレード５２の摺動の終了側となる方の上面を基板２の上面よりも低い高さとしている。このため、ブレード５２が摺動開始側の主クランパ２４から基板２に乗り移る際及び基板２から摺動終了側の主クランパ２４に乗り移る際において、ペーストＰｓｔは基板２の上面に残留せず、ペーストＰｓｔの印刷後に基板２上に残留したペーストＰｓｔを拭き取る作業は不要となる。また、ペーストＰｓｔを拭き取る作業がなくなるので、その分、ペーストＰｓｔの無駄も低減できる。
【００３２】
なお、上述の実施の形態では、２つの主クランパ２４のうち、ブレード５２の摺動終了側となる方の上面は基板２の上面よりも低い高さとなるようにしていたが、基板２の上面と同じ高さになるようにしてもよい。この場合もブレード５２が基板２から摺動終了側の主クランパ２４に乗り移る際に、ペーストＰｓｔはスムーズに摺動終了側の主クランパ２４の上面に乗り移るので、上述の実施の形態の場合と同様の効果が得られる。
【００３３】
また、上述の実施の形態では、基板保持ユニット１４が、ブレード５２の基板２に対する摺動方向（Ｙ軸方向）から基板２をクランプする２つの主クランパ２４のほか、ブレード５２の基板２に対する摺動方向と直交する方向（Ｘ軸方向）から基板２をクランプする２つの副クランパ２９を備えた構成となっていたが、ブレード５２のＸ軸方向の寸法が基板２のＸ軸方向の寸法よりも小さく、ブレード５２が基板２の領域内でのみ摺動するような状況である場合には、副クランパ２９は必ずしも必要でない。
【００３４】
また、基板保持ユニット１４に保持された基板２上でブレード５２を摺動させてフィルム状マスクＦＭの各開口ＫＨにペーストＰｓｔを充填するペースト充填手段は、上述の実施の形態に示したようなペーストＰｓｔを圧出するタイプのものでなければならないわけではなく、ブレードによってペーストＰｓｔを基板２上で単純に掻き寄せるスキージタイプのもの等であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
ペーストの印刷後に基板上に残留したペーストを拭き取る作業が不要であり、ペーストの無駄も低減できるペースト印刷装置及びペースト印刷方法を提供する。
【符号の説明】
【００３６】
１  ペースト印刷装置
２  基板
２ａ  電極
１４  基板保持ユニット（基板保持部）
２４  主クランパ（第１クランプ部材）
２９  副クランパ（第２クランプ部材）
４１  充填ヘッド（ペースト充填手段）
５２  ブレード
ＦＭ  フィルム状マスク
ＫＨ  開口
Ｐｓｔ  ペースト
【図１】
2017024326.tif 000003
【図２】
2017024326.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2017024326.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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