(57)【要約】【課題】リチウムを含むガラスプレート４１に、表面粗さＲａが２０ｎｍ以上のインク流路部４１ａが形成される場合でも、インク流路部４１ａにおけるリチウム化合物の生成を抑えて、ノズル詰まりの発生を抑える。【解決手段】インクジェットヘッドにおいて、圧力室が形成されるボディプレートと、ノズルプレートとは、ガラスプレート４１を介して接合される。ガラスプレート４１は、圧力室と連通するインク流路部４１ａを有している。インク流路部４１ａの表面粗さＲａは、２０ｎｍ以上である。ガラスプレート４１の組成に酸化リチウムが含まれている。ガラスプレート４１において、少なくともインク流路部４１ａの表面に、リチウムイオンよりもイオン半径の大きいアルカリ金属イオンを含むイオン交換層４１ｂが形成されている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを収容する圧力室が形成されるとともに、前記圧力室内のインクに圧力を付与するための圧電薄膜が成膜されるボディプレートと、
前記圧力室と連通するインク流路部を有し、前記ボディプレートと陽極接合されるガラスプレートと、
前記インク流路部と連通するノズル孔を有し、前記ガラスプレートを介して前記ボディプレートと接合されるノズルプレートとを備え、
前記インク流路部の表面粗さＲａが、２０ｎｍ以上であり、
前記ガラスプレートの組成に酸化リチウムが含まれており、
前記ガラスプレートにおいて、少なくとも前記インク流路部の表面に、リチウムイオンよりもイオン半径の大きいアルカリ金属イオンを含むイオン交換層が形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記イオン交換層は、前記ガラスプレートの表面全体に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記ボディプレート、前記ガラスプレートおよび前記ノズルプレートを収容するヘッド筐体と、
前記ヘッド筐体を加熱して昇温させる加熱部とをさらに備え、
前記加熱部による加熱温度が、４５℃以上であることを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記ガラスプレートは、酸化ナトリウムを１モル％よりも多く含有していることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記インク流路部の表面粗さＲａが、３００００ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載のインクジェットヘッドを備え、前記インクジェットヘッドから記録媒体に向けてインクを吐出させることを特徴とするインクジェットプリンタ。
【請求項７】
酸化リチウムを組成に含むガラスプレートに、表面粗さＲａが２０ｎｍ以上のインク流路部を形成する工程と、
前記インク流路部を形成した後、リチウムイオンよりもイオン半径の大きいアルカリ金属イオンを含む溶融塩に、前記ガラスプレートを浸漬させることにより、少なくとも前記インク流路部の表面に、前記アルカリ金属イオンを含むイオン交換層を形成する工程と、
インクを収容する圧力室が形成され、かつ、前記圧力室内のインクに圧力を付与するための圧電薄膜が成膜されたボディプレートと、前記イオン交換層が形成された前記ガラスプレートとを、前記圧力室と前記インク流路部とが連通するように陽極接合によって接合する工程と、
ノズル孔を有するノズルプレートを、前記インク流路部と前記ノズル孔とが連通するように、前記ガラスプレートに対して前記ボディプレートとの接合側とは反対側から接合する工程とを有していることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記溶融塩に含まれる前記アルカリ金属イオンは、カリウムイオン、またはカリウムイオンとナトリウムイオンとの両方であることを特徴とする請求項７に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクを収容する圧力室が形成されたボディプレートと、ノズルプレートとを、ガラスプレートを介して接合したインクジェットヘッドと、そのインクジェットヘッドの製造方法と、そのインクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタとに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
現在、インクジェットプリンタによって描画される画像の高画質化へ向け、インクを吐出するインクジェットヘッドの技術向上が必要となっている。特に、インクジェットヘッドの小型化、高密度化へ向け、現在はシリコン（Ｓｉ）基板を用いたＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）素子が増加しており、インクジェットヘッドに用いられる圧電体についても薄膜化が進んでいる。
【０００３】
インクジェットヘッドにおいては、インクを収容する圧力室が形成された、Ｓｉからなるボディプレートと、ノズル孔が形成されたノズルプレートとを、中間プレートとしてのガラスプレートを介して接合した構成が知られている。そして、Ｓｉからなるボディプレートとガラスプレートとを接合する方法としては、陽極接合が知られている。陽極接合とは、高温の状態でＳｉおよびガラスに数百Ｖの直流電圧を印加し、Ｓｉ−Ｏ（酸素）の共有結合を生じさせることによって両者を直接、接合する手法である。
【０００４】
ボディプレートの圧力室の上部に圧電薄膜を成膜してアクチュエータを構成する場合、圧電薄膜の成膜後に、ボディプレートとガラスプレートとを高温（例えば３００℃を超える温度）で陽極接合すると、圧電薄膜の圧電特性が低下することが知られている。したがって、圧電特性の低下を抑制するためには、３００℃以下の低温で陽極接合を行うことが望ましい。しかし、低温で陽極接合を行うと、ガラス中のイオン易動度が低下するため、ボディプレートとガラスプレートとの界面での密着力が低下する。
【０００５】
Ｓｉとガラスとの陽極接合に関して、例えば特許文献１では、リチウムイオン（Ｌｉ+）が陽極接合の際のイオン易動度が高いことに着目し、ガラスに酸化リチウム（Ｌｉ2Ｏ）を含有させることで、陽極接合での接合強度の向上を図るようにしている。このように、リチウム含有ガラスを用いて陽極接合を行う手法は、例えば特許文献２でも開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】国際公開第２０１２／１３２３２８号公報（請求項１、段落〔０００９〕、〔００１５〕、〔００３３〕〜〔００３５〕等参照）
【特許文献２】特開２０１０−１４３７９２号公報（請求項１、３、段落〔００２３〕〜〔００２６〕、図４、図５等参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、インクジェットヘッドの分野において、陽極接合での接合強度の向上を図るべく、上述したリチウム含有ガラスを、インクジェットヘッドのガラスプレートに単に適用しただけでは、インクジェットヘッドの駆動時に、ノズルが詰まる現象が生じることがわかった。このような現象が生じる理由は、以下のように推測している。
【０００８】
インクジェットヘッドのガラスプレートには、ボディプレートの圧力室と、ノズルプレートのノズル孔とを連通してインクの流路を形成するインク流路部（連通孔）が形成される。このインク流路部は、ガラスプレートに対して例えばブラスト加工を行うことによって形成される。ブラスト加工では、表面粗さＲａが２０ｎｍ未満のインク流路部を形成することは一般的に困難であり、表面粗さＲａが２０ｎｍ以上となる凹凸がインク流路部の表面（連通孔の内面）に形成される。表面粗さＲａが２０ｎｍ以上では、表面の凹部や凸部に応力が集中しやすく、ガラス中の原子の結合が切れやすい。したがって、ガラス中で他の原子との結合が切れたリチウムが、インク流路部を流れるインク中に析出し、インクと化学的に反応してリチウム化合物を生成する。このリチウム化合物がインク流路部においてインクの流れを阻害するため、ノズル詰まりが発生すると推測している。
【０００９】
このようなリチウム化合物の生成やノズル詰まりの問題は、インクジェットヘッドに特有の問題であり、インクジェットヘッドへの適用を想定していない上述した特許文献１および２では一切検討されていない。
【００１０】
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、その目的は、リチウム含有ガラスをインクジェットヘッドのガラスプレートに適用し、そのガラスプレートに、表面粗さＲａが２０ｎｍ以上のインク流路部が形成される場合でも、インク流路部におけるリチウム化合物の生成を抑えて、ノズル詰まりの発生を抑えることができるインクジェットヘッドと、そのインクジェットヘッドの製造方法と、そのインクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタとを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一側面に係るインクジェットヘッドは、インクを収容する圧力室が形成されるとともに、前記圧力室内のインクに圧力を付与するための圧電薄膜が成膜されるボディプレートと、前記圧力室と連通するインク流路部を有し、前記ボディプレートと陽極接合されるガラスプレートと、前記インク流路部と連通するノズル孔を有し、前記ガラスプレートを介して前記ボディプレートと接合されるノズルプレートとを備え、前記インク流路部の表面粗さＲａが、２０ｎｍ以上であり、前記ガラスプレートの組成に酸化リチウムが含まれており、前記ガラスプレートにおいて、少なくとも前記インク流路部の表面に、リチウムイオンよりもイオン半径の大きいアルカリ金属イオンを含むイオン交換層が形成されている。
【００１２】
ガラスプレートの組成に酸化リチウムが含まれているため、ボディプレートとガラスプレートとを低温で陽極接合しても、接合強度を向上させることができる。このような低温での陽極接合を実現できるため、ボディプレートに成膜されている圧電薄膜の圧電特性が、陽極接合によって低下するのを抑えることができる。
【００１３】
また、ガラスプレートの少なくともインク流路部の表面に、イオン交換層が形成されている。イオン交換層では、イオン交換によりイオン半径のより大きいイオンが表層に入り込み圧縮応力が形成されるため、インク流路部の表面粗さが２０ｎｍ以上であり、表面の凹部または凸部に引張応力が集中しやすい状態であっても、応力が緩和されて原子同士の結合が切れにくくなる。このため、ガラスプレート内部のリチウムイオンの外部への移動がイオン交換層によって妨げられる。これにより、ガラスプレートに含まれるリチウムが、インク流路部を流れるインク中に析出するのを抑えることができ、上記リチウムとインクとの化学的な反応によってリチウム化合物が生成されるのを抑えることができる。その結果、上記リチウム化合物によってインク流路部が詰まり、インクが吐出されなくなる、いわゆるノズル詰まりの発生を抑えることができる。
【００１４】
前記イオン交換層は、少なくとも前記ガラスプレートのインク流路部の表面に形成されていればよい。例えば、ガラスプレートの上下面にイオン交換層を設けない場合、ガラスプレート全体を溶融塩に浸漬してイオン交換処理を行い、その後ガラスプレートの上下面を研磨して、インク流路部の表面にのみイオン交換層を残存させることで問題なく実現できる。
【００１５】
前記イオン交換層は、前記ガラスプレートの表面全体に形成されていてもよい。この場合、例えば、ガラスプレート全体を溶融塩に浸漬してイオン交換処理を行うことで、そのような構成を容易に実現できる。
【００１６】
上記のインクジェットヘッドは、前記ボディプレート、前記ガラスプレートおよび前記ノズルプレートを収容するヘッド筐体と、前記ヘッド筐体を加熱して昇温させる加熱部とをさらに備え、前記加熱部による加熱温度が、４５℃以上であってもよい。
【００１７】
インクの粘度を低下させて吐出すべく、ヘッド筐体の温度を高くすると、ガラスプレート内部のリチウムがインク流路部を流れるインク中に析出しやすくなり、リチウム化合物が生成されやすくなる。したがって、インク流路部の表面にイオン交換層を形成することで、リチウム化合物の生成を抑える本発明の構成は、インクの粘度を低下させて吐出すべく、加熱部により、加熱温度４５℃以上でヘッド筐体を加熱してインクを昇温させて使用する場合に非常に有効となる。なお、上記した加熱部の加熱温度（４５℃以上）は、ヘッドの連続駆動時に発生する熱によりヘッドが昇温する温度（３０〜４０℃）よりも高い温度、つまり、ヘッドの連続駆動時よりもさらにリチウムが析出しやすくなる温度である。
【００１８】
前記ガラスプレートは、酸化ナトリウムを１モル％よりも多く含有していることが望ましい。この場合、イオン交換層形成のためのイオン交換処理において、リチウムイオンからナトリウムイオン、そしてよりイオン半径の大きいカリウムイオンへのイオン交換が促進される。したがって、イオン交換層では、イオン半径のより大きいアルカリ金属イオンが増大するため、イオン半径のより小さいリチウムイオンの移動が確実に妨げられる。その結果、ガラスプレートに含まれるリチウムのインクへの析出およびリチウム化合物の生成を確実に抑えることができる。
【００１９】
前記インク流路部の表面粗さＲａが、３００００ｎｍ以下であることが望ましい。このような表面粗さＲａの範囲において、リチウムイオンの移動を確実に抑えて、インク流路部内のインク中へのリチウムの析出およびリチウム化合物の生成を確実に抑えることができる。
【００２０】
本発明の他の側面に係るインクジェットプリンタは、上述したインクジェットヘッドを備え、前記インクジェットヘッドから記録媒体に向けてインクを吐出させる。上述したインクジェットヘッドの構成によれば、陽極接合による圧電薄膜の圧電特性の低下を抑えるとともに、リチウム化合物の生成によるノズル詰まりの発生を抑えることができるので、高速で高精細な描画が可能で、吐出不良による画質低下を回避した、高性能なインクジェットプリンタを実現することができる。
【００２１】
本発明のさらに他の側面に係るインクジェットヘッドの製造方法は、酸化リチウムを組成に含むガラスプレートに、表面粗さＲａが２０ｎｍ以上のインク流路部を形成する工程と、前記インク流路部を形成した後、リチウムイオンよりもイオン半径の大きいアルカリ金属イオンを含む溶融塩に、前記ガラスプレートを浸漬させることにより、少なくとも前記インク流路部の表面に、前記アルカリ金属イオンを含むイオン交換層を形成する工程と、インクを収容する圧力室が形成され、かつ、前記圧力室内のインクに圧力を付与するための圧電薄膜が成膜されたボディプレートと、前記イオン交換層が形成された前記ガラスプレートとを、前記圧力室と前記インク流路部とが連通するように陽極接合によって接合する工程と、ノズル孔を有するノズルプレートを、前記インク流路部と前記ノズル孔とが連通するように、前記ガラスプレートに対して前記ボディプレートとの接合側とは反対側から接合する工程とを有している。この製造方法によれば、上記したインクジェットヘッドの構成による効果と同様の効果を得ることができる。
【００２２】
前記溶融塩に含まれる前記アルカリ金属イオンは、カリウムイオン、またはカリウムイオンとナトリウムイオンとの両方であることが望ましい。
【００２３】
上記溶融塩にガラスプレートを浸漬させることにより、ガラスプレートに含まれるリチウムイオンを、最終的にイオン半径の大きいカリウムイオンに交換して、上述したイオン交換層を形成することができる。
【発明の効果】
【００２４】
リチウム含有ガラスをインクジェットヘッドのガラスプレートに適用し、そのガラスプレートに、表面粗さＲａが２０ｎｍ以上のインク流路部が形成される場合でも、ガラスプレートにおいて、インク流路部の表面にイオン交換層が形成されていることにより、ガラスプレート内部のリチウムイオンの外部への移動が、イオン交換層によって妨げられる。これにより、ガラスプレートに含まれるリチウムが、インク流路部を流れるインク中に析出するのを抑えて、リチウム化合物が生成されるのを抑えることができる。その結果、上記リチウム化合物によるノズル詰まりの発生を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施の一形態に係るインクジェットプリンタの概略の構成を示す説明図である。
【図２Ａ】上記インクジェットプリンタが備えるインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの概略の構成を示す平面図である。
【図２Ｂ】図２Ａの平面図におけるＡ−Ａ’線矢視断面図である。
【図３】上記インクジェットヘッドのヘッド本体の断面図である。
【図４】上記インクジェットヘッドが有するガラスプレートの詳細な構成を示す断面図である。
【図５】上記インクジェットヘッドの製造工程の大まかな流れを示すフローチャートである。
【図６】上記ガラスプレートの処理工程を示す断面図である。
【図７】上記圧電アクチュエータの製造工程を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
本発明の実施の一形態について、図面に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、本明細書において、数値範囲をＡ〜Ｂと表記した場合、その数値範囲に下限Ａおよび上限Ｂの値は含まれるものとする。
【００２７】
〔インクジェットプリンタの構成〕
図１は、本実施形態のインクジェットプリンタ１の概略の構成を示す説明図である。インクジェットプリンタ１は、インクジェットヘッド２から記録媒体Ｐに向けてインクを吐出させることにより、記録媒体Ｐ上に画像を形成するものである。このインクジェットプリンタ１は、例えば、インクジェットヘッド２が記録媒体の幅方向にライン状に設けられた、いわゆるラインヘッド方式のインクジェット記録装置で構成されている。
【００２８】
インクジェットプリンタ１は、上記のインクジェットヘッド２と、繰り出しロール３と、巻き取りロール４と、２つのバックロール５・５と、中間タンク６と、送液ポンプ７と、貯留タンク８と、定着機構９とを備えている。
【００２９】
インクジェットヘッド２は、記録媒体Ｐに向けてインクを吐出するものであり、本実施形態では、一方のバックロール５から定着機構９に向かって搬送される記録媒体Ｐと対向する位置に配置されている。このインクジェットヘッド２は、インクを吐出するヘッド本体２ａ（図２Ａ等参照）と、ヘッド本体２ａを収容するヘッド筐体２ｂとを有している。インクジェットヘッド２は、異なる色のインクに対応して複数設けられてもよい。なお、ヘッド本体２ａの詳細については後述する。
【００３０】
ヘッド筐体２ｂには、加熱部としてのヒータＨが巻き付けられている。このヒータＨにより、ヘッド筐体２ｂを加熱して昇温させ、ヘッド筐体２ｂの内部のインクを昇温させることが可能となる。インクを昇温させることにより、常温では高粘度のインクであっても、吐出時には粘度を低下させた状態でインクを吐出することが可能となり、インク吐出特性の低下を回避することが可能となる。上記高粘度のインクとしては、例えばインク吐出後に紫外線照射によって硬化される（ゲル状の）ＵＶインクがある。
【００３１】
上記ヒータＨの加熱温度は、本実施形態では、４５℃以上に設定されている。この加熱温度は、ヘッドの連続駆動時に発生する熱により昇温するヘッドの温度（３０〜４０℃）よりも高い。このような加熱温度でヘッドを昇温させることにより、インクの粘度をより低下させて、インクをより吐出しやすくすることができる。なお、上記したヒータＨの加熱温度は、ヒータ自体の温度であって、インクの温度ではない（インクジェットヘッド２内のインクの温度を測定することは実際には困難であるため、ここではヒータＨの温度を規定している）。
【００３２】
繰り出しロール３、巻き取りロール４および各バックロール５は、軸回りに回転可能な円柱形状からなる部材である。繰り出しロール３は、周面に幾重にも亘って巻回された長尺状の記録媒体Ｐを、インクジェットヘッド２との対向位置に向けて繰り出すロールである。この繰り出しロール３は、モータ等の図示しない駆動手段によって回転することで、記録媒体Ｐを図１のＸ方向へ繰り出して搬送する。
【００３３】
巻き取りロール４は、繰り出しロール３より繰り出されて、インクジェットヘッド２によってインクが吐出された記録媒体Ｐを周面に巻き取る。
【００３４】
各バックロール５は、繰り出しロール３と巻き取りロール４との間に配設されている。記録媒体Ｐの搬送方向上流側に位置する一方のバックロール５は、繰り出しロール３によって繰り出された記録媒体Ｐを、周面の一部に巻き付けて支持しながら、インクジェットヘッド２との対向位置に向けて搬送する。他方のバックロール５は、インクジェットヘッド２との対向位置から巻き取りロール４に向けて、記録媒体Ｐを周面の一部に巻き付けて支持しながら搬送する。
【００３５】
中間タンク６は、貯留タンク８より供給されるインクを一時的に貯留する。また、中間タンク６はインクチューブ１０と接続されており、インクジェットヘッド２におけるインクの背圧を調整して、インクジェットヘッド２にインクを供給する。
【００３６】
送液ポンプ７は、貯留タンク８に貯留されたインクを中間タンク６に供給するものであり、供給管１１の途中に配設されている。貯留タンク８に貯留されたインクは、送液ポンプ７によって汲み上げられ、供給管１１を介して中間タンク６に供給される。
【００３７】
定着機構９は、インクジェットヘッド２によって記録媒体Ｐに吐出されたインクを当該記録媒体Ｐに定着させる。この定着機構９は、吐出されたインクを記録媒体Ｐに加熱定着するためのヒータや、吐出されたインクにＵＶ（紫外線）を照射することによりインクを硬化させるためのＵＶランプ等で構成されている。
【００３８】
上記の構成において、繰り出しロール３から繰り出される記録媒体Ｐは、バックロール５により、インクジェットヘッド２との対向位置に搬送され、インクジェットヘッド２から記録媒体Ｐに対してインクが吐出される。その後、記録媒体Ｐに吐出されたインクは定着機構９によって定着され、インク定着後の記録媒体Ｐが巻き取りロール４によって巻き取られる。このようにラインヘッド方式のインクジェットプリンタ１では、インクジェットヘッド２を静止させた状態で、記録媒体Ｐを搬送しながらインクが吐出され、記録媒体Ｐに画像が形成される。
【００３９】
なお、インクジェットプリンタ１は、シリアルヘッド方式で記録媒体に画像を形成する構成であってもよい。シリアルヘッド方式とは、記録媒体を搬送しながら、その搬送方向と直交する方向にインクジェットヘッドを移動させてインクを吐出し、画像を形成する方式である。この場合、インクジェットヘッドは、キャリッジ等の構造体に支持された状態で、記録媒体の幅方向に移動する。また、記録媒体としては、長尺状のもの以外にも、予め所定の大きさ（形状）に裁断されたシート状のものを用いてもよい。
【００４０】
〔インクジェットヘッド（ヘッド本体）の構成〕
次に、上記したインクジェットヘッド２のヘッド本体２ａの構成について説明する。図２Ａは、ヘッド本体２ａの一部である圧電アクチュエータ２１の概略の構成を示す平面図であり、図２Ｂは、その平面図におけるＡ−Ａ’線矢視断面図である。また、図３は、圧電アクチュエータ２１にノズルプレート３１を接合してなるヘッド本体２ａの断面図である。
【００４１】
インクジェットヘッド２（ヘッド本体２ａ）は、ボディプレート２２上に、熱酸化膜２３、下部電極２４、圧電薄膜２５、上部電極２６をこの順で有している。圧電アクチュエータ２１は、上記したボディプレート２２、熱酸化膜２３、下部電極２４、圧電薄膜２５および上部電極２６によって構成されている。なお、下部電極２４と圧電薄膜２５との間に、圧電薄膜２５の結晶配向性を制御するための配向制御層（シード層、バッファ層）をさらに設けて圧電アクチュエータ２１を構成してもよい。
【００４２】
ボディプレート２２は、厚さが例えば１００〜３００μｍ程度の単結晶Ｓｉ（シリコン）単体からなる半導体基板またはＳＯＩ（Silicon on Insulator）基板で構成されている。図２Ｂでは、ボディプレート２２をＳＯＩ基板で構成した場合を示している。ボディプレート２２は、厚さ７５０μｍ程度の基板を研磨処理によって厚さ１００〜３００μｍ程度に調整したものであるが、ボディプレート２２の厚さは、適用するデバイスに応じて適宜調整されればよい。上記のＳＯＩ基板は、酸化膜を介して２枚のＳｉ基板を接合したものである。
【００４３】
ボディプレート２２には、複数の圧力室２２ａが形成されている。各圧力室２２ａには、中間タンク６（図１参照）より供給されるインクが収容される。ボディプレート２２における圧力室２２ａの上壁（圧力室２２ａよりも圧電薄膜形成側に位置する壁）は、従動膜となる振動板２２ｂを構成しており、圧電薄膜２５の駆動（伸縮）に伴って変位（振動）し、圧力室２２ａ内のインクに圧力を付与する。
【００４４】
なお、本実施形態では、ボディプレート２２と熱酸化膜２３とを区別しているが、これらをまとめて１つのボディプレートと呼んでもよい。また、ボディプレート２２と後述するガラスプレート４１との間に金属板（図示せず）を介在させてもよいが、この場合は、ボディプレート２２と上記金属板とをまとめて１つのボディプレートと呼ぶことができる。
【００４５】
熱酸化膜２３は、例えば厚さが０．１μｍ程度のＳｉＯ2（酸化シリコン）からなり、ボディプレート２２の保護および絶縁の目的で形成されている。
【００４６】
下部電極２４は、複数の圧力室２２ａに共通して設けられるコモン電極であり、Ｔｉ（チタン）層とＰｔ（白金）層とを積層して構成されている。Ｔｉ層は、熱酸化膜２３とＰｔ層との密着性を向上させるために形成されている。Ｔｉ層の厚さは例えば０．０２μｍ程度であり、Ｐｔ層の厚さは例えば０．１μｍ程度である。
【００４７】
圧電薄膜２５は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などの強誘電体薄膜で構成されており、各圧力室２２ａに対応して設けられている。圧電薄膜２５の膜厚は、例えば１μｍ以上１０μｍ以下である。圧電薄膜２５は、ＰＺＴにランタン（Ｌａ）やニオブ（Ｎｂ）などの添加物を添加したもので構成されていてもよい。
【００４８】
上部電極２６は、各圧力室２２ａに対応して設けられる個別電極であり、Ｔｉ層とＰｔ層とを積層して構成されている。Ｔｉ層は、圧電薄膜２５とＰｔ層との密着性を向上させるために形成されている。Ｔｉ層の厚さは例えば０．０２μｍ程度であり、Ｐｔ層の厚さは例えば０．１〜０．２μｍ程度である。上部電極２６は、下部電極２４との間で圧電薄膜２５を膜厚方向から挟むように設けられている。なお、Ｐｔ層の代わりに、金（Ａｕ）からなる層を形成してもよい。
【００４９】
下部電極２４、圧電薄膜２５および上部電極２６は、圧力室２２ａ内のインクを外部に吐出させるための薄膜圧電素子２７を構成している。この薄膜圧電素子２７は、駆動回路２８から下部電極２４および上部電極２６に印加される電圧（駆動信号）に基づいて駆動される。インクジェットヘッド２は、薄膜圧電素子２７および圧力室２２ａを縦横に並べることにより形成される。
【００５０】
ボディプレート２２は、圧電薄膜２５の成膜側とは反対側において、中間プレートとしてのガラスプレート４１を介して、ノズルプレート３１と接合されている。すなわち、ヘッド本体２１ａは、ノズルプレート３１およびガラスプレート４１をさらに含んで構成されている。ノズルプレート３１およびガラスプレート４１は、例えば１００〜３００μｍの厚さに設定されている。ヘッド本体２ａは、ヘッド筐体２ｂ（図１参照）に収容されていることから、ヘッド本体２ａに含まれるボディプレート２２、ガラスプレート４１およびノズルプレート３１も、ヘッド筐体２ｂに収容されていることになる。
【００５１】
ノズルプレート３１は、例えばシリコン基板で構成されている。ノズルプレート３１には、圧力室２２ａに収容されるインクをインク滴として外部に吐出するためのノズル孔３１ａが形成されている。ノズルプレート３１は、ガラスプレート４１と陽極接合または接着剤によって接合されている。
【００５２】
ガラスプレート４１は、インクの流路となるインク流路部４１ａを有しており、ボディプレート２２と陽極接合によって接合されている。インク流路部４１ａは、ボディプレート２２の圧力室２２ａと連通する連通孔であり、ガラスプレート４１の厚さ方向に貫通して形成されている。インク流路部４１ａの内径は、ガラスプレート４１の厚さ方向において一定であってもよいし、連続的または段階的に変化してもよい。なお、ガラスプレート４１の詳細については後述する。上記したノズルプレート３１のノズル孔３１ａは、ガラスプレート４１のインク流路部４１ａと連通している。
【００５３】
上記の構成において、駆動回路２８による電圧の印加により、下部電極２４と上部電極２６との間に電位差を付与すると、圧電薄膜２５が、下部電極２４と上部電極２６との電位差に応じて、厚さ方向に垂直な方向（ボディプレート２２の面に平行な方向）に伸縮する。そして、圧電薄膜２５と振動板２２ｂとの長さの違いにより、振動板２２ｂに曲率が生じ、振動板２２ｂが厚さ方向に変位（湾曲、振動）する。
【００５４】
したがって、圧力室２２ａ内にインクを収容しておけば、上述した振動板２２ｂの振動により、圧力室２２ａ内のインクに圧力波が伝搬される。その結果、圧力室２２ａ内のインクが、ガラスプレート４１のインク流路部４１ａおよびノズルプレート３１のノズル孔３１ａを介して、インク滴として外部に吐出される。
【００５５】
〔ガラスプレートの詳細について〕
次に、上記したガラスプレート４１の詳細について説明する。ガラスプレート４１は、酸化リチウム（Ｌｉ2Ｏ）を含有するリチウム含有ガラスである。リチウムイオン（Ｌｉ+）は、イオン半径が小さく、イオン易動度が高い。このため、ボディプレート２２を陽極に接続し、ガラスプレート４１を陰極に接続して、これらを陽極接合する際に、３００℃以下の低温で陽極接合を行っても、ガラスプレート４１の内部のＬｉ+の陰極側への移動によって、ボディプレート２２とガラスプレート４１との界面でＳｉ−Ｏの共有結合を確実に生じさせることができる。これにより、上記界面での密着力の低下を抑えて、接合強度を向上させることができる。このように、陽極接合を低温で行える結果、圧電薄膜２５の圧電特性の低下を抑えることができる。
【００５６】
また、図４は、ガラスプレート４１の詳細な構成を示す断面図である。ガラスプレート４１の上述したインク流路部４１ａは、例えばブラスト加工によって形成される。ブラスト加工としては、例えばサンドブラスト、ショットブラスト、グリッドブラスト等を用いることができる。このようなブラスト加工により、インク流路部４１ａの表面粗さＲａは、２０ｎｍ以上となる。ここで、表面粗さＲａを規定する対象となるインク流路部４１ａの表面とは、インク流路部４１ａを構成する連通孔の内面（連通孔内のインクと接触する面）のことを指す。
【００５７】
なお、表面粗さＲａは、ＪＩＳ（Japanese Industrial Standards）  Ｂ０６０１：１９９４に基づいて求められる表面粗さを表すパラメータであり、「算術平均粗さ」とも呼ばれ、具体的には以下の式で表される。ただし、粗さ曲線をｙ＝ｆ（ｘ）とする。このとき、粗さ曲線からその平均線の方向に基準長さＬだけを抜き取り、この抜き取り部分における平均線の方向をｘ軸とし、縦倍率の方向をｙ軸としている。なお、ｙ、Ｌ、Ｒａの単位は、ここでは全てｎｍとしている。
【００５８】
【数１】
2017024293.tif 000003
【００５９】
なお、ブラスト加工のみでインク流路部４１ａの表面粗さＲａを２０ｎｍ未満にすることは、一般的には困難ではあるが、他の工程を追加するなどにより、表面粗さＲａを２０ｎｍ未満にすることも可能である。ただし、インク流路部４１ａの表面粗さＲａを２０ｎｍ未満とした場合、インク流路部４１ａの表面が平坦に近づき、凹部または凸部に応力が集中しにくくなるため、ガラス中のＬｉと他の原子との結合が切れにくくなる。このため、イオン交換層を形成しなくても、ガラス中のＬｉがインク中に析出しにくくなり、Ｌｉ化合物が生成されにくくなる。したがって、この場合は、Ｌｉ化合物の生成によるノズル詰まりの問題はほとんど生じない。
【００６０】
また、少なくともインク流路部４１ａの表面には、イオン交換層４１ｂが形成されている。イオン交換層４１ｂは、リチウムイオン（Ｌｉ+）を、Ｌｉ+よりもイオン半径の大きいアルカリ金属イオンで交換した層である。上記のアルカリ金属イオンとしては、ナトリウムイオン（Ｎａ+）やカリウムイオン（Ｋ+）が挙げられる（イオン半径はＬｉ+＜Ｎａ+＜Ｋ+）。つまり、イオン交換層４１ｂは、Ｌｉ+からＮａ+、Ｎａ+からＫ+へのイオン交換が行われた層である。本実施形態では、イオン交換層４１ｂは、ガラスプレート４１の表面全体に形成されている。なお、ガラスプレート４１の表面全体には、勿論、インク流路部４１ａの表面も含まれる。イオン交換層４１ｂの有無は、例えばエネルギー分散型Ｘ線分析（ＥＤＸ：Energy Dispersive X-ray Spectroscopy）などの組成分析法を用いて確認することができる。
【００６１】
ここで、ガラスプレート４１の表面にイオン交換層４１ｂが形成されている場合、その下層、つまり、ガラスプレート４１の表面から例えば深さ１００μｍまでの領域（イオン交換層４１ｂを除く）には、少なくともＬｉが残っているものとする。この領域にＬｉが残存していない場合、ガラスプレート４１がＬｉを含有することによる上述の効果、つまり、低温で陽極接合を行える効果や、陽極接合による圧電薄膜２５の圧電特性の低下を抑える効果を得ることが困難となる。
【００６２】
イオン交換層４１ｂは、イオン交換処理によって化学強化された圧縮応力層であり、原子同士の結合が強いため、インク流路部４１ａの表面粗さが２０ｎｍ以上であり、表面の凹部または凸部に引張応力が集中しやすい状態であっても、イオン交換層４１ｂにおいて原子同士の結合が切れにくくなる。このため、ガラスプレート４１の内部からインク流路部４１ａへのＬｉ+の移動が、イオン交換層４１ｂによって妨げられる。これにより、ガラスプレート４１に含まれるＬｉが、インク流路部４１ａの内部を流れるインク中に析出するのを抑えることができ、Ｌｉとインクとの化学反応によってＬｉ化合物が生成されるのを抑えることができる。その結果、Ｌｉ化合物によってインク流路部４１ａが詰まり、インクが吐出されなくなる、いわゆるノズル詰まりの発生を抑えることができる。
【００６３】
また、イオン交換層４１ｂは、ガラスプレート４１の表面全体に形成されている。このようなイオン交換層４１ｂは、後述するように、ガラスプレート４１全体を溶融塩に浸漬してイオン交換処理を行うことで容易に実現できる。このため、イオン交換層４１ｂ付きのガラスプレート４１を容易に得ることが可能となり、インクジェットヘッド２の製造コストの低減を図ることが可能となる。なお、イオン交換層４１ｂは、ガラスプレート４１において、インク流路部４１ａの表面（連通孔の内面）にのみ、つまり、インク流路を形成する側壁の表面にのみ形成されてもよい。
【００６４】
また、上述したＬｉの析出は、ヘッドの連続駆動時に生じる発熱により、インクの温度が上昇すると生じやすいことがわかっている。特に、（ゲル状）ＵＶインクは常温で粘度が高いため、インクの粘度を低下させるためにヘッド筐体２ｂをヒータＨ（図１参照）で加熱すると、Ｌｉの析出がさらに顕著に現れることも確認されている。したがって、上記のようにガラスプレート４１の表面にイオン交換層４１ｂを形成して、Ｌｉの析出およびＬｉ化合物の生成を抑える本実施形態の構成は、ヘッドの連続駆動時に非常に有効となり、さらに高粘度のインクを使用する場合、つまり、ヒータＨによる加熱によってインクの粘度を低下させる場合において、より有効となる。
【００６５】
また、本実施形態では、ガラスプレート４１は、上記したＬｉ2Ｏのほか、酸化ナトリウム（Ｎａ2Ｏ）を１モル％よりも多く含有している。これにより、イオン交換層形成のためのイオン交換処理において、Ｌｉ+から、よりイオン半径の大きいアルカリ金属イオンへのイオン交換が促進される。例えば、イオン交換処理において、Ｌｉ+からＮａ+、Ｎａ+からＫ+へのイオン交換が促進される。このようなイオン交換処理が行われたイオン交換層４１ｂでは、Ｌｉ+よりもイオン半径の大きいアルカリ金属イオンが増大するため、イオン半径の小さいＬｉ+の移動がイオン交換層４１ｂによって確実に妨げられる。したがって、ガラスプレート４１に含まれるＬｉのインクへの析出およびＬｉ化合物の生成を確実に抑えることができる。
【００６６】
本実施形態では、上述したように、インク流路部４１ａの表面粗さＲａが２０ｎｍ以上である場合において、ガラスプレート４１の表面にイオン交換層４１ｂを形成することで、Ｌｉの析出およびＬｉ化合物の生成を抑えるようにしているが、インク流路部４１ａの表面粗さＲａは、３００００ｎｍ以下であることが望ましい。これは、上記表面粗さＲａが３００００ｎｍを超えると、インク流路部４１ａの表面の凹部または凸部での応力集中が大きくなりすぎて、イオン交換層４１ｂを形成しても、原子同士の結合が切れやすくなり、ガラス中のＬｉ+の移動をイオン交換層４１ｂで抑えて、Ｌｉの析出およびＬｉ化合物の生成を抑える効果が十分に得られなくなるおそれがあるためである。
【００６７】
〔インクジェットヘッドの製造方法〕
次に、本実施形態のインクジェットヘッド２の製造方法について以下に説明する。図５は、インクジェットヘッド２の製造工程の大まかな流れを示すフローチャートである。また、図６は、ガラスプレート４１の処理工程を示す断面図である。
【００６８】
まず、図６に示すように、Ｌｉ2Ｏを含有するガラスプレート４１に対してブラスト加工を行うことにより、表面粗さＲａが２０ｎｍ以上のインク流路部４１ａを形成する（Ｓ１：インク流路部形成工程）。その後、Ｌｉ+よりもイオン半径の大きいアルカリ金属イオンを含む溶融塩に、ガラスプレート４１を浸漬させることにより、ガラスプレート４１の表面全体（インク流路部４１ａの表面を含む）に、上記アルカリ金属イオンを含むイオン交換層４１ｂを形成する（Ｓ２：イオン交換層形成工程）。上記溶融塩に含まれるアルカリ金属イオンは、Ｋ+、またはＫ+とＮａ+との両方が含まれる。
【００６９】
次に、圧力室２２ａおよび圧電薄膜２５が成膜され、圧電アクチュエータ２１が構成されたボディプレート２２と、イオン交換層４１ｂが形成されたガラスプレート４１とを、圧力室２２ａとインク流路部４１ａとが連通するように陽極接合によって接合する（Ｓ３：第１の接合工程）。なお、圧電アクチュエータ２１の製造方法については後述する。そして、ノズル孔３１ａを有するノズルプレート３１を、インク流路部４１ａとノズル孔３１ａとが連通するように、ガラスプレート４１に対してボディプレート２２との接合側とは反対側から接合する（Ｓ４：第２の接合工程）。Ｓ４での接合は、陽極接合によって行ってもよいし、接着剤を用いて行ってもよい。これにより、図３で示したインクジェットヘッド２（ヘッド本体２ａ）が完成する。
【００７０】
次に、上記した圧電アクチュエータ２１の製造方法について説明する。図７は、圧電アクチュエータ２１の製造工程を示す断面図である。
【００７１】
まず、ボディプレート２２を用意する。ボディプレート２２としては、ＭＥＭＳに多く利用されている結晶シリコン（Ｓｉ）を用いることができ、ここでは、酸化膜２２ｅを介して２枚のＳｉ基板２２ｃ・２２ｄが接合されたＳＯＩ構造のものを用いている。
【００７２】
ボディプレート２２を加熱炉に入れ、１５００℃程度に所定時間保持して、Ｓｉ基板２２ｃ・２２ｄの表面にＳｉＯ2からなる熱酸化膜２３ａ・２３ｂをそれぞれ形成する。次に、一方の熱酸化膜２３ａ上に、ＴｉおよびＰｔの各層をスパッタ法で順に成膜し、下部電極２４を形成する。なお、上記の熱酸化膜２３ａは、図３の熱酸化膜２３に対応する。
【００７３】
続いて、ボディプレート２２を６００℃程度に再加熱し、ＰＺＴの層２５ａをスパッタ法で成膜する。次に、ボディプレート２２に感光性樹脂３５をスピンコート法で塗布し、マスクを介して露光、エッチングすることによって感光性樹脂３５の不要な部分を除去し、形成する圧電薄膜２５の形状を転写する。その後、感光性樹脂３５をマスクとして、反応性イオンエッチング法を用いて層２５ａの形状を加工し、圧電薄膜２５とする。
【００７４】
次に、圧電薄膜２５を覆うように、下部電極２４上にＴｉおよびＰｔの各層をスパッタ法で順に成膜し、層２６ａを形成する。続いて、層２６ａ上に感光性樹脂３６をスピンコート法で塗布し、マスクを介して露光、エッチングすることによって感光性樹脂３６の不要な部分を除去し、形成する上部電極２６の形状を転写する。その後、感光性樹脂３６をマスクとして、反応性イオンエッチング法を用いて層２６ａの形状を加工し、上部電極２６を形成する。
【００７５】
次に、ボディプレート２２の裏面（熱酸化膜２３ｂ側）に感光性樹脂３７をスピンコート法で塗布し、マスクを介して露光、エッチングすることによって、感光性樹脂３７の不要な部分を除去し、形成しようとする圧力室２２ａの形状を転写する。そして、反応性イオンエッチング法により、感光性樹脂３７をマスクとしてボディプレート２２の除去加工を行って圧力室２２ａを形成し、熱酸化膜２３ｂを除去する。これにより、圧電アクチュエータ２１が完成する。その後は、上述した方法によって、ボディプレート２２にガラスプレート４１を介してノズルプレート３１を接合することにより、インクジェットヘッド２を完成させることができる。
【００７６】
以上のように、本実施形態のインクジェットヘッド２の製造方法は、Ｌｉ2Ｏが組成に含まれるガラスプレート４１に、表面粗さＲａが２０ｎｍ以上のインク流路部４１ａを形成する工程（Ｓ１）と、少なくともインク流路部４１ａの表面にイオン交換層４１ｂを形成する工程（Ｓ２）と、ボディプレート２２と、イオン交換層４１ｂが形成されたガラスプレート４１とを陽極接合によって接合する工程（Ｓ３）と、ノズルプレート３１とガラスプレート４１とを接合する工程（Ｓ４）とを有している。ガラスプレート４１がＬｉ2Ｏを含有しているため、低温での陽極接合を実現でき、これによって、ボディプレート２２に成膜されている圧電薄膜２５の圧電特性が低下するのを抑えることができる。
【００７７】
また、ガラスプレート４１の表面にイオン交換層４１ｂが形成されているため、インク流路部４１ａの表面粗さＲａが２０ｎｍ以上であっても、ガラスプレート４１に含まれるＬｉが、インク流路部４１ａを流れるインク中に析出するのを抑えることができる。その結果、上記Ｌｉとインクとの化学反応によるＬｉ化合物の生成、およびそのＬｉ化合物によるノズル詰まりの発生を抑えることができる。
【００７８】
また、溶融塩に含まれるアルカリ金属イオンが、Ｋ+、またはＫ+とＮａ+との両方であるので、この溶融塩を用いてイオン交換処理を行うことで、ガラスプレート４１に含まれるＬｉ+を、最終的にイオン半径の大きいＫ+に交換して、原子間の結合強度の強いイオン交換層４１ｂを確実に形成することができる。
【００７９】
〔実施例〕
以下、本実施形態のインクジェットヘッド２の具体例について、実施例として説明する。また、実施例との比較のため、比較例についても併せて説明する。
【００８０】
まず、ガラスプレート４１を用意した。ガラスプレート４１の組成は、例えば、ＳｉＯ2：８０モル％、Ｂ2Ｏ3：１０モル％、Ａｌ2Ｏ3：２モル％、Ｌｉ2Ｏ：５モル％、Ｎａ2Ｏ：３モル％である。なお、ガラスプレート４１は、Ｌｉ2Ｏを含有する組成であればよく、上記した組成に限定されるわけではないが、Ｌｉ2Ｏを最低４〜５モル％含有する組成であることが望ましい。
【００８１】
次に、ガラスプレート４１に対してブラスト加工を行って、インク流路部４１ａを形成した。その後、３６０℃の溶融塩にガラスプレート４１を１時間浸漬させ、イオン交換処理を行って、ガラスプレート４１の表面にイオン交換層４１ｂを形成した。なお、上記溶融塩としては、硝酸カリウムと硝酸ナトリウムとの混合塩（硝酸カリウム：硝酸ナトリウム＝１：１）を用いた。そして、ガラスプレート４１を洗浄処理した後、インク流路部４１ａの表面粗さＲａを光干渉型表面形状粗さ測定器Wyko（Veeco社）によって測定した。なお、上記したイオン交換処理の条件では、イオン交換層４１ｂが厚さ３０μｍ程度で形成されていることがＥＤＸによって確認された。
【００８２】
上記の処理を、ブラスト加工の手法（種類）を変えて行い、インク流路部４１ａの表面粗さＲａの異なるガラスプレート４１を、１つの表面粗さＲａにつき、１０枚作製した。
【００８３】
そして、作製したガラスプレート４１を陰極に接続し、ボディプレート２２を陽極に接続して、これらを陽極接合した。このときの陽極接合の条件は、温度：２００℃、印加電圧：１ｋＶ、印加時間：３時間、である。その後、ガラスプレート４１とノズルプレート３１とを接着剤で接合し、インクジェットヘッド２を完成させた。
【００８４】
なお、比較のため、一部のインクジェットヘッドについては、ガラスプレート４１に対してブラスト加工を行った後、上記のイオン交換処理をせずに（イオン交換層を形成せずに）、ボディプレート２２と陽極接合を行ってインクジェットヘッドを作製した。
【００８５】
（評価）
水系インクを用い、作製したインクジェットヘッドを、１５ｋＨｚの駆動周波数で１時間連続駆動して、インクの吐出テストを行った。このとき、吐出したインク中のＬｉの有無（Ｌｉ析出の有無）と、Ｌｉ化合物が形成されてノズルが詰まることによる吐出不良（ノズル欠）とを調べた。Ｌｉ析出の有無については、インク中に入り込んだＬｉ量を、ＩＣＰ−ＡＥＳ（Inductively Coupled Plasma Atomic Emission Spectroscopy；発光分光分析法）によって調べ、Ｌｉが少しでも検出された場合は、「Ｌｉ析出あり」とし、Ｌｉ検出量がゼロの場合は、「Ｌｉ析出なし」とした。ノズル欠については、インクの吐出を目視で観察し、インクが吐出された場合は、「ノズル欠なし」とし、吐出されなかった場合は、「ノズル欠あり」とした。そして、インクジェットヘッド１０台中、「Ｌｉ析出なし」の台数、および「ノズル欠なし」の台数を調べた。その結果を表１に示す。
【００８６】
【表１】
2017024293.tif 000004
【００８７】
実施例１および２では、１０台ともＬｉ析出およびノズル欠がなく、インク吐出において全く問題がなかった。実施例３および４では、Ｌｉ析出およびノズル欠が少し確認されたが、１０台中７台以上でＬｉ析出およびノズル欠がないため、インク吐出において大きな問題はないと言える。
【００８８】
これに対して、比較例１および２では、Ｌｉ析出あり、ノズル欠ありが、１０台中４台以上で発生しており、インクの吐出に問題がある（ノズル詰まりが発生している）と言える。比較例１および２では、イオン交換処理を行っておらず、ガラスプレート４１にイオン交換層が形成されていないため、ガラスプレート４１に含まれるＬｉがインク流路部４１ａ内のインク中に析出し、Ｌｉ化合物が生成されてノズル詰まりが発生したものと考えられる。
【００８９】
また、実施例３および４の結果より、インク流路部４１ａの表面粗さＲａが３００００ｎｍを超えると、Ｌｉ析出およびノズル欠が増大する傾向にあることから、上記表面粗さＲａは、３００００ｎｍ以下であることが望ましいと言える。さらに、実施例１〜３の結果より、インク流路部４１ａの表面粗さＲａが１００００ｎｍ以下であることが、Ｌｉ析出およびノズル欠を確実に抑えることができる点で、より望ましいと言える。
【産業上の利用可能性】
【００９０】
本発明のインクジェットヘッドは、インクジェットプリンタに利用可能である。
【符号の説明】
【００９１】
１      インクジェットプリンタ
２      インクジェットヘッド
２ｂ    ヘッド筐体
２２      ボディプレート
２２ａ    圧力室
２５      圧電薄膜
３１      ノズルプレート
３１ａ    ノズル孔
４１      ガラスプレート
４１ａ    インク流路部
４１ｂ    イオン交換層
Ｈ      ヒータ（加熱部）
【図１】
2017024293.tif 000005
【図２Ａ】
2017024293.tif 000006
【図２Ｂ】
2017024293.tif 000007
【図３】
2017024293.tif 000008
【図４】
2017024293.tif 000009
【図５】
2017024293.tif 000010
【図６】
2017024293.tif 000011
【図７】
2017024293.tif 000012