(57)【要約】【課題】  捩じれ振動モードの圧電振動子においては、時計等の回路基板に実装するときの加熱処理に伴う周波数シフトによるエージング特性が発生する。このエージング特性による時計の精度管理に問題があり、エージング特性の改善が望まれている。【解決手段】  一つの基部と該基部から同一の方向に延びる少なくとも２本の脚を有し、各脚の表裏面及び側面に励振電極が設けられることによって、捩じり振動モードで動作する圧電振動子において、各脚の側面に設けられた励振電極の中央部分には電極を設けない無電極部を形成したことを特徴とする。【選択図】図１
2017183972.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一つの基部と該基部から同一の方向に延びる少なくとも２本の脚を有し、各脚の表裏面及び側面に励振電極が設けられることによって、捩じり振動モードで動作する圧電振動子において、前記各脚の側面に設けられた励振電極の中央部分には電極を設けない無電極部を形成したことを特徴とする圧電振動子。
【請求項２】
前記無電極部は、前記各脚の側面に設けられた励振電極の全てに形成されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動子。
【請求項３】
前記各脚の表裏面に設けられた励振電極の少なくとも一方の励振電極の中央部分には電極を設けない無電極部を形成したことを特徴とする請求項１又は２に記載の圧電振動子。
【請求項４】
前記無電極部は、各脚の表裏面に設けられた励振電極の全てに形成されていることを特徴とする請求項３に記載の圧電振動子。
【請求項５】
前記脚の数は３本であり、両端の２本の脚と中心の１本の脚とは逆方向へ捩じり振動を行うことを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の圧電振動子。
【請求項６】
前記無電極部の形状が、周囲を取り囲む励振電極の一部に開口部を有するＵ字形状であることを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載の圧電振動子。
【請求項７】
前記各脚に形成された励振電極はＰｄＴｉ膜、ＰｄＮｉ膜、ＡｕＴｉ膜であることを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載の圧電振動子。
【請求項８】
前記圧電振動子は水晶振動子であることを特徴とする請求項１〜７の何れか１項に記載の圧電振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は移動体通信機や時計等の基準信号源として用いられる捩じれ振動モードの圧電振動子に関し、特にエージング特性を改善した圧電振動子に関する。
【背景技術】
【０００２】
移動体通信機や時計等の基準信号源として、２脚の音叉型圧電振動子が広く採用されている。しかし、この音叉型圧電振動子は高精度な基準信号源としては温度特性に問題があり、この温度特性を改善した高精度な基準信号源としての提案はいろいろある。その１つとして特許文献１には捩じれ振動モードの３脚捩じれモード圧電振動子が提案されている。
【０００３】
以下、図９により特許文献１に記載の３脚捩じれモード圧電振動子に付いて説明する。なお、特許文献１の図面については発明の趣旨を外れない範囲において、一部簡略化し、部品名称及び部品番号についても本発明に対応させて変更している。図９は特許文献１に記載の、３脚捩じれモード圧電振動子を構成する圧電振動子片１００を示し、図９（ａ）は圧電振動子片１００の表面側の平面図、図９（ｂ）は圧電振動子片１００の側面図、図９（ｃ）は圧電振動子片１００の裏面側の平面図である。
【０００４】
圧電振動子片１００の形状は１つの基部１０１から同一方向に伸びる３本の脚１０２，１０３，１０４を有する。電極構成としては、基部１０１に励振電圧を供給する端子電極１０８ａ、１０８ｂが設けられている。また各脚の表面には基部１０１側から励振電極１０５ａ、接続電極１０５ｂが形成されることによって両端の２本の脚１０２，１０４と中心の１本の脚１０３とは逆方向に捩じれ振動を行う３脚捩じれ振動モードの圧電振動子片１００を構成している。図９（ａ）の電極における斜線部と梨地部は逆極性の励振電圧が供給される電極である。図９（ｂ）に示す圧電振動子片１００の側面には、基部１０１に端子電極１０８ａが形成され、図９（ａ）の励振電極１０５ａに対応する位置に励振電極１０５ｃが形成されている。
【０００５】
図９（ｃ）は圧電振動子片１００の裏面側の平面図である。電極構成は図９（ａ）の表面側と略同じであり、基部１０１に励振電圧を供給する端子電極１０８ａ、１０８ｂが設けられている。また各脚には基部１０１側から励振電極１０５ａ、接続電極１０５ｂが形成されている。さらに各脚には励振電極１０５ａ、接続電極１０５ｂに加えて、脚の先端部に周波数調整用電極１０７が形成されている。この周波数調整用電極１０７は裏面側の脚にのみ設けられており、脚の表面側の電極を設けていない透明部分よりレーザー照射を行って周波数調整用電極１０７のトリミングを行い、脚の質量を変化させて共振周波数の調整を行う。
【０００６】
この３脚捩じれモードの圧電振動子片１００は１つの基部と、該基部から同一の方向に伸びる３本の脚を有し、各脚の上面及び下面に表面電極、裏面電極を設け、各脚の側面に側面電極を設けることによって、３本の脚が捩じれモードで動作する圧電振動子である。この３脚捩じれモード圧電振動子の共振周波数の温度係数は、従来の２脚音叉振動子の温度係数の１／３程度となり、使用環境の温度変化に対して高精度な基準信号源と成り得るものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１３−７８０４３号公報（図１参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記３脚捩じれモード圧電振動子は従来の２脚音叉振動子に比べて、温度特性が良く高精度な基準信号源である。しかしケースに実装した圧電振動子を時計の回路基板等に実装するときの加熱処理によって発振周波数がシフトするエージングの問題がある。以下３脚捩じれモード圧電振動子のエージングについて説明する。図５は３脚捩じれモード圧電振動子のエージングが発生する原理を説明するための、圧電振動子片と電極膜の部分断面図である。図５（ａ）は圧電振動子片５０の表裏面に電極膜６０を成膜した状態を示しており、この状態では電極膜６０を構成する金属粒子６０ａは密に結合していて安定状態となっている。図５（ｂ）は圧電振動片５０が、実装されたケースを時計の回路基板に実装するため加熱処理を行った状態の圧電振動子片５０であり、加熱によって圧電振動子片５０と電極膜６０が膨張する。この結果圧電振動子片５０はその長さ及び厚さが増して弾性率が変化し、また電極膜６０は膨張によって構成する金属粒子６０ａが緩い結合状態となっている。図５（ｃ）は加熱直後の状態であり、圧電振動子片５０はすぐに元の状態に戻るが、電極膜６０は膨張状態を維持し続ける。図５（ｄ）は数日経過した後の状態であり、図５（ａ）に示す安定状態に復帰した状態を示し、圧電振動子片５０と電極膜６０はもとの製造時の状態に戻っている。このように、エージングは、圧電振動子片５０が、実装されたケースを時計の回路基板に実装するときの加熱処理によって変化した電極膜６０が、所定時間をかけて安定状態に復帰するために発生するものである。そのエージングの値は図５（ｂ）の加熱時にシフトした発振周波数Ｆｂと、図５（ｄ）の安定状態に復帰した状態の発振周波数Ｆｄ（Ｆａ）との差であり、加熱によってシフトした発振周波数Ｆｂが元の発振周波数Ｆｄに復帰するまでの経過時間によって決まる。
【０００９】
図６は図５に示すエージングによる発振周波数の変化を示すエージング特性図であり、横軸は実装後の経過時間、縦軸は発振周波数の変化を示している。図６にＴ２で示す従来の捩じれモード圧電振動子のエージング特性は、加熱シフトＳ２が−３．５〜−４．０（ｐｐｍ）で、元の周波数に復帰する復帰シフトＳ２’は０＋α（ｐｐｍ）であり、この復帰シフトＳ２’の傾斜角θ２がエージング特性を表わしている。そして、従来の捩じれモード圧電振動子のエージング特性は１００日間で約４ｐｐｍの変化があり、このエージングを小さくしないと時計の精度を管理する上で問題となる。
【００１０】
すなわち、このエージングがあると次のような問題が発生する。ケースに実装した圧電振動子を時計の回路基板等に加熱実装した後、すぐに次工程に送って時間精度の合わせ込みを行うと、所定日数が経過した後、エージングによってシフトした分の周波数変動が行われ、せっかく合わせ込んだ時間精度に変動が生じて、時間誤差が発生するという問題がある。このため従来は、加熱実装によりシフトした分の周波数変動が無くなるまで放置してエージングを取り去り、その後に時間精度の合わせ込みを行う必要があり、製造日程が大幅に長くなるという問題があった。
【００１１】
また、本件出願人は上記エージング特性に対する、電極膜６０の材料との関係について検討した。図７は電極膜６０の材料の違いによるエージングの比較を行ったエージング特性図であり、比較する電極材料としては、ＡｕＣｒ膜とＰｄＴｉ膜に付いて行なった。上記特性図における横軸は電極膜の膜厚（Å）であり、縦軸はエージング（ｐｐｍ／ｄｅｃａｄｅ）である。図示の如く、エージングはＡｕＣｒ膜に対して、ＰｄＴｉ膜の方が低い値を示し、圧電振動子の電極膜としてはＡｕＣｒ膜よりＰｄＴｉ膜の方が良いことが解った。
【００１２】
本発明の目的は上記問題点を解決しようとするものであり、捩じれモード圧電振動子のエージングを小さくすることによって、高精度な基準信号源を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するための本発明における構成は、一つの基部と該基部から同一の方向に延びる少なくとも２本の脚を有し、各脚の表裏面及び側面に励振電極が設けられることによって、捩じり振動モードで動作する圧電振動子において、各脚の側面に設けられた励振電極の中央部分には電極を設けない無電極部を形成したことを特徴とする。
【００１４】
上記構成によれば、各脚の励振電極部に電極を設けない無電極部を形成することによって捩じれモード圧電振動子のエージングを小さくし、高精度な基準信号源を提供することである。
【００１５】
無電極部は、各脚の側面に設けられた励振電極の全てに形成されていると良い。
【００１６】
各脚の表裏面に設けられた励振電極の少なくとも一方の励振電極の中央部分には電極を設けない無電極部を形成すると良い。
【００１７】
無電極部は、各脚の表裏面に設けられた励振電極の全てに形成されていると良い。
【００１８】
脚の数は３本であり、両端の２本の脚と中心の１本の脚とは逆方向へ捩じり振動を行うと良い。
【００１９】
無電極部の形状が、周囲を取り囲む励振電極の一部に開口部を有するＵ字形状であると良い。
【００２０】
各脚に形成された励振電極はＰｄＴｉ膜、ＰｄＮｉ膜、ＡｕＴｉ膜であると良い。
【００２１】
上記構成によれば、無電極部形成の効果に加えて、電極膜の種類によるエージングの減少が行なえる。
【００２２】
圧電振動子は水晶振動子であること良い。
【発明の効果】
【００２３】
上記の如く本発明によれば、各脚の励振電極部に電極を設けない無電極部を形成することによって、捩じれモード圧電振動子のエージングを小さくすること、すなわち、振動子を時計の回路基板等に実装するときの加熱処理によってシフトした発振周波数が、徐々に変化して実装前の発振周波数に戻るまでの周波数変化の傾きを小さくして、高精度な基準信号源を提供することである。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の第１実施形態の水晶振動子片を示す平面図及び側面図である。
【図２】図１に示す水晶振動子片を組み込んだ水晶振動子の断面図である。
【図３】図１に示す水晶振動子片の配線を示すＢ−Ｂ断面図である。
【図４】図１に示す水晶振動子片の応力分布を示す平面図及び側面図である。
【図５】エージングのメカニズムを説明する水晶振動子片と電極膜の部分断面図である。
【図６】図５に示す水晶振動子片のエージング特性図である。
【図７】電極膜によるエージングの比較を示すエージング特性図である。
【図８】本発明の第２実施形態の水晶振動子片を示す平面図及び側面図である。
【図９】従来の水晶振動子片を示す平面図及び側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、図面に基づいて本発明の実施形態を詳述する。ただし、以下に示す実施の形態は、本発明の思想を具体化するための圧電振動子片を例示するものであって、本発明を以下の構成に特定しない。特に実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置等は、特定的な記載がない限り本発明の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく、単なる説明例に過ぎない。以下の説明において、同一部品、同一構成要素には同一の名称、符号を付し詳細説明を適宜省略することがある。
【００２６】
（第１実施形態）
以下図面により、本発明の第１実施形態における圧電振動子の構成を説明する。なお、本発明における各実施形態においては、圧電振動子片の最適事例として、水晶振動子片を事例に説明する。図１から図３は第１実施形態における水晶振動子片１０の電極構成を示すものであり、図１（ａ）は３脚捩じれ振動モードの水晶振動子片１０の表面側（微調面）の平面図、図１（ｂ）は水晶振動子片１０の側面図、図１（ｃ）は水晶振動子片１０の裏面側（組調面）の平面図である。
【００２７】
水晶振動子片１０の形状は１つの基部１から同一方向に伸びる３本の脚２，３，４を有する。電極構成としては、基部１に励振電圧を供給するＡ端子としての端子電極８ａとＢ端子としての端子電極８ｂが設けられている。また各脚の表面には基部１側から励振電極５ａ、接続電極５ｂが形成されることによって、両端の２本の脚２，４と中心の１本の脚３とは逆方向に捩じれ振動を行う３脚捩じれ振動モードの水晶振動子片１０を構成している。そして、励振電極５ａには本発明の特徴である窓形状の表面無電極部９ａが設けられ、この表面無電極部９ａには励振電圧が供給されないようになっている。図１（ａ）の電極における斜線部と梨地部は逆極性の励振電圧が供給される電極である。
【００２８】
図１（ｂ）に示す水晶振動子片１０の側面には、基部１に端子電極８ａが形成され、図１（ａ）の励振電極５ａに対応する位置から先端まで励振電極５ｃが形成され、この励振電極５ｃには側面無電極部９ｂが設けられている。なお、この側面無電極部９ｂは後述するエージング特性の効果を高めるために励振電極５ａ、接続電極５ｂの範囲に渡って大きく形成されている。また、側面の先端側にも電極５ｃを設けているのは、水晶振動子片１０の側面の先端側に電極膜を設けないと脚の捩じれ量が大きくなってエージング特性が悪くなる。このため膜形成によって脚に適正な膜応力を与えてエージング特性の劣化を防止している。
【００２９】
図１（ｃ）は水晶振動子片１０の裏面側の平面図である。電極構成は図１（ａ）の表面側と略同じであり、基部１に励振電圧を供給する端子電極８ａ、８ｂが設けられている。また各脚の裏面には基部１側から励振電極５ａ、接続電極５ｂ形成されている。そして、励振電極５ａには窓形状の裏面無電極部９ｃが設けられている。さらに各脚には励振電極５ａ、接続電極５ｂに加えて、脚の先端部に周波数調整用電極７が形成されている。
【００３０】
この周波数調整用電極７は裏面側の脚にのみ設けられており、脚の表面側の電極を設けていない透明部分よりレーザー照射を行って周波数調整用電極７のトリミングを行い、脚の質量を変化させて共振周波数の調整を行う。上記図１に示す各電極には、図７に示すごとくエージング特性が良好な金属膜としてＰｄＴｉ膜を形成した。またエージング特性が良好な金属膜としては、ＰｄＴｉ膜のほかにもＰｄＮｉ膜、ＡｕＴｉ膜があり、これらの電極膜を採用しても同様な効果が得られる。
【００３１】
次に図２により、水晶振動子片１０をケースに実装した水晶振動子２０の構成を説明する。図２は水晶振動子２０の断面図を示し、セラミックケース２１の基台部２２に図１に示す水晶振動子片１０を実装し、セラミックケース２１の内部を真空状態に保って、セラミックケース２１の上部を金属蓋２３で封止している。セラミックケース２１の基台部２２に対する水晶振動子片１０の実装は、水晶振動子片１０の基部１に設けた端子電極８ａ、８ｂと、基台部２２の上面に設けた金属膜を溶着して固定する。なお、図２の水晶振動子２０に組み込まれた水晶振動子片１０は、図１（ａ）のＡ−Ａ断面を示している。
【００３２】
また、水晶振動子２０の周波数調整は、レーザー光線を水晶振動子片１０の先端部の透明部分を通して周波数調整用電極７に照射し、周波数調整用電極７をトリミングすることにより、脚の質量を変化させて共振周波数の調整を行う。そしてレーザートリミング終了後に金属蓋２３で封止して水晶振動子２０が完成する。
【００３３】
次に図３により水晶振動子片１０の各電極の接続構成に付いて説明する。図３は図１（ａ）に示す水晶振動子片１０のＢ―Ｂ部分の脚の断面とその電極接続を示す電極接続図である。各脚２，３，４の表裏面には中央にそれぞれ表面無電極部９ａ、裏面無電極部９ｃを設けた励振電極５ａが形成されている。また各脚２，３，４の側面には中央にそれぞれ側面無電極部９ｂを設けた励振電極５ｃが形成されている。
【００３４】
そして表裏面の対向する励振電極５ａ同士が同電位となるよう接続され、また側面の対向する励振電極５ｃ同士が同電位となるよう接続されている。さらに中央の脚３の側面の励振電極５ｃは、両端の脚２，４の表裏面の励振電極５ａと同電位となるよう接続され、中央の脚３の表裏面の励振電極５ａは両端の脚２，４の側面の励振電極５ｃと同電位となるよう接続されている。また、両端の脚２，４の表裏面の励振電極５ａは一方の端子電極８ａ（Ａ）に接続され、中央の脚３の表裏面の励振電極５ａは他方の端子電極８ｂ（Ｂ）に接続されている。
【００３５】
次に水晶振動子片１０に対する捩じれ振動モードに伴う応力発生について説明する。水晶振動子片１０の捩じれ振動モードに伴う応力発生についてはシミュレーションによって確認したものである。図４は水晶振動子片１０に対する捩じれ振動モードに伴う、応力発生状態を示すものであり、図４（ａ）は水晶振動子片１０の平面図、（ｂ）は側面図である。なお、発生応力と電極との位置関係を解り易くするため、励振電極５ａを点線で示している。
【００３６】
図４（ａ）に濃い斜線で示すように、応力７０ａは水晶振動子片１０の各脚２，３，４の付け根部分に設けられた励振電極５ａの範囲に発生し、基部１の方向が大きく、先端に向かって小さくなる略３角形状となっている。また、図４（ｂ）に示す水晶振動子片１０の側面図に示すように、側面においても励振電極５ａに対応する位置に応力７０ｂとして発生し、その形状は基部１の方向が大きく、先端に向かって小さくなる略３角形状となっている。
【００３７】
捩じれ振動モードの水晶振動子片１０においては、上記応力７０ａ、７０ｂが集中する部分の状態によって周波数シフトが発生することが解った。本発明における捩じれ振動モードの水晶振動子片１０では、各脚２，３，４の側面の励振電極５ｃに形成する側面無電極部９ｂと、表裏面の励振電極５ａに形成する表面無電極部９ａ、裏面無電極部９ｃは、いずれも応力７０ａ、７０ｂが集中する部分に形成している。この結果、応力集中部に電極を設けないことによって、実装の加熱処理によるエージング特性の改善に加えて、応力集中によるエージング特性の改善も行なわれた。また無電極部の形成で、電界に寄与しない部分のロスが低減されることにより水晶振動子片１０としてのＣＩ値を小さくすることができた。
【００３８】
上記の如く本発明においては、エージング特性に影響する周波数シフトとして、水晶振動子２０を時計等の回路基板に実装するときの加熱シフト（以後実装シフトと呼ぶ）と、電極の金属膜の密度によるシフト（以後材料シフトと呼ぶ）と、応力集中によるシフト（以後応力シフトと呼ぶ）の存在が確認できたので、これらのシフトに対する対策として、各無電極部の形成を応力集中が行なわれる各脚の又部近傍の励振電極に形成し、さらに従来使用されていた密度の大きいＡｕＣｒ膜に替えて、密度の小さいＰｄＴｉ膜で形成することによって、実装シフト、材料シフト、応力シフトのすべてに対するエージング特性の改善が行なわれた。
【００３９】
上記実装シフト、材料シフト、応力シフトに対する解決方法を下記に詳述する。実装シフトは図５に示すように、水晶振動子２０を時計等の回路基板に実装するときの加熱処理によって電極膜が膨張して周波数変化が生ずるものであり、無電極部を設けて励振電極の形状を小さくすることによって、熱膨張による周波数変化を小さくしている。また、材料シフトは電極膜の密度によって周波数変化が生ずるものであり、密度の大きいＡｕＣｒ膜に替えて、密度の小さいＰｄＴｉ膜で形成することによって周波数変化を小さくしている。さらに応力シフトは応力集中部の応力が電極膜に影響することによって周波数変化が生ずるものであり、応力集中部に電極膜が存在すると熱履歴後のエージング特性を悪化させるものである。従って応力集中部に無電極部を設けることによって、電極膜への応力の影響を小さくすることによって、周波数変化を小さくしている。
【００４０】
本発明の上記実装シフト、材料シフト、応力シフトに対する対策による効果を図６により説明する。図６に示す本発明の水晶振動子片１０のエージング特性Ｔ１を、従来のエージング特性Ｔ２と比較すると、従来の実装シフト（加熱シフト）Ｓ２が−３．５〜−４．０（ｐｐｍ）であったのに対し、本発明の実装シフトＳ１は−１．０〜−２．０（ｐｐｍ）と小さくなり、従来のエージングシフトＳ２’の傾斜角θ２に比べて、本発明のエージングシフトＳ１’の傾斜角θ１の大きさも１／３と小さくなり、エージング特性が改善されていることが解る
【００４１】
（第２実施形態）
次に図８により、本発明の第２実施形態における水晶振動子片の構成に付いて説明する。図８は第２実施形態における水晶振動子片３０の電極構成を示すものであり、図８（ａ）は３脚捩じれ振動モードの水晶振動子片３０の表面側の平面図、図８（ｂ）は水晶振動子片３０の側面図、図８（ｃ）は水晶振動子片３０の裏面側の平面図である。なお、水晶振動子片３０の基本的構成は、図１に示す水晶振動子片１０と同じであり、同一要素及び対応する要素には同一番号を付し、重複する説明は省略する。
【００４２】
図８に示す第２実施形態における水晶振動子片３０が、図１に示す第１実施形態における水晶振動子片１０と異なるところは、水晶振動子片３０の表裏面における表面無電極部９ａ及び裏面無電極部９ｃと、側面における側面無電極部９ｂの形状である。すなわち、水晶振動子片１０における各無電極部の形状は、周囲を励振電極によって取り囲まれた窓形状であったのに対し、水晶振動子片３０における各無電極部の形状は、周囲を取り囲む励振電極の一部に開口部９ｋを有するＵ字形状になっていることである。このように各無電極部の形状を、窓形状からＵ字形状に変更することによってエージング特性の向上がみられた。
【００４３】
次に、図９に示す圧電振動片１００と同様の励振電極に無電極部を設けない構成に対する、本発明の励振電極に窓形状の無電極部を形成した水晶振動子片１０と、励振電極にＵ字形状の無電極部を形成した水晶振動子片３０との各特性比較を例示する。なお、励振電極の幅に対する無電極部の幅は、水晶振動子片の励振が可能な範囲で、できるだけ大きくする方がエージング特性に対しては望ましいが、今回は励振が可能な条件として、励振電極の幅Ｍに対して無電極部の幅Ｍ１を５０％としたときのデータを例示している。なお、エージング特性をＥＧとし、ＣＩ値をＣＩとして表わすことにする。
例１：無電極部なし（参考）  ＥＧ：２．０（ｐｐｍ／ｄｅｃａｄｅ）
ＣＩ：９．６（ＫΩ）
例２：窓形無電極部          ＥＧ：１．６（ｐｐｍ／ｄｅｃａｄｅ）
ＣＩ：７．０（ＫΩ）
例３：Ｕ字形無電極部        ＥＧ：１．４（ｐｐｍ／ｄｅｃａｄｅ）
ＣＩ：６．７（ＫΩ）
上記の如く、例１の参考例に対して、例２の窓形無電極部を設けた水晶振動子片１０では、ＥＧで２０％改善され、ＣＩで２．６ＫΩ小さくなり、また、例３のＵ字形無電極部を設けた水晶振動子片３０では、ＥＧで３０％改善され、ＣＩで２．９ＫΩ小さくなっている。
【００４４】
上記の如く、本発明における水晶振動子片ではエージング特性及びＣＩ値の改善が行なわれ、移動体通信機や時計等の基準信号源として高精度な基準信号源を提供することができる。また構成的にも励振電極の形状を変更するだけで良いため、コストアップすることなくエージング特性及びＣＩ値の改善を行うことができる。本発明の実施形態として３脚捩じれ振動モードの水晶振動子片について示したが、これに限定されることなく、２脚捩じれ振動モードや４脚捩じれ振動モードの水晶振動子片にでも良く、さらに水晶振動子片以外の圧電振動子を適用できることは当然である。
【符号の説明】
【００４５】
１、１０１                            基部
２，３，４、１０２，１０３，１０４    脚
５ａ、５ｃ、１０５ａ、１０５ｃ        励振電極
５ｂ、１０５ｂ                        接続電極
７，１０７                            周波数調整用電極
８ａ，８ｂ，１０８ａ、１０８ｂ        端子電極
９ａ                                  表面無電極部
９ｂ                                  側面無電極部
９ｃ                                  裏面無電極部
９ｋ                                  開口部
１０、３０                            水晶振動子片
２０                                  水晶振動子
２１                                  セラミックケース
２２                                  基台部
２３                                  金属蓋
５０、１００                          圧電振動子片
６０                                  電極膜
６０ａ                                金属粒子
７０ａ、７０ｂ                        応力
Ｓ１，Ｓ２                            実装シフト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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