(57)【要約】      （修正有）【課題】特定周波数によってもたらされる画像障害の抑制と、小型化の両立が可能な荷電粒子線装置を提供する。【解決手段】試料搬送装置１２を備えた荷電粒子線装置であって、試料搬送機構１２との間に間隙２１をもって配置されると共に、荷電粒子線カラムと試料室を包囲する防音カバー１３を備え、当該カバーと前記試料搬送装置の配列方向である第１の方向が面方向であるカバーの壁面に、開口が設けられると共に、当該開口は、前記カバーの前記第１の方向の中心位置から、当該壁面の第１の方向の長さの１／８以内の位置に設けられる。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料室と、当該試料室内の試料に荷電粒子線を照射する荷電粒子線カラムと、試料室に導入される試料を搬送する試料搬送装置を備えた荷電粒子線装置において、
前記試料搬送機構との間に第１の間隙をもって配置されると共に、前記荷電粒子線カラムと前記試料室を包囲するカバーを備え、当該カバーと前記試料搬送装置の配列方向である第１の方向が面方向である前記カバーの壁面に、開口が設けられると共に、当該開口は、前記カバーの前記第１の方向の中心位置から、当該壁面の第１の方向の長さの１／８以内の位置に設けられることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記開口の前記第１の方向の寸法が、前記第１の間隙の１／３以上であることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項３】
請求項１において、
前記第１の方向は、前記カバー内に配置される予備排気室と、前記試料室の配列方向に平行であることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項４】
請求項１において、
前記開口には、前記第１の方向に対し、垂直な方向からの直線的な音の浸入を遮断する第１の壁面が設けられていることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項５】
請求項４において、
前記第１の壁面とは異なる方向の面からなる第２の壁面を備え、当該第２の壁面は前記第１の壁面と接続されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項６】
請求項４において、
前記第１の壁面には、吸音材が設けられていることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項７】
請求項６において、
前記第１の壁面に対抗する位置に第３の壁面を備え、当該第３の壁面には吸音材が設けられていることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項８】
請求項６において、
前記第１の壁面に対抗する位置に第３の壁面を備え、前記第１の壁面と第３の壁面との間に、吸音材を配置したことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項９】
請求項１において、
前記カバーには、前記カバーの壁面を開閉可能に支持するヒンジが設けられていることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１０】
荷電粒子線装置を包囲する荷電粒子線装置用防音カバーにおいて、
当該防音カバーは、前記荷電粒子線装置を覆う直方体状であって、当該直方体の上面、側面、或いはその両方に開口が設けられると共に、当該開口は、前記カバーの前記第１の方向の中心位置から、当該壁面の第１の方向の長さの１／８以内の位置に設けられることを特徴とする荷電粒子線装置用防音カバー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，荷電粒子線装置等に用いられる防音カバーに係り、特に特定周波数の音の影響を抑制し得る防音カバー、及び荷電粒子線装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子線を用いて微小構造を高分解能で観察を行う電子顕微鏡などの荷電粒子線装置では、分解能の向上に伴って外部からの微小な振動や音によって画像障害が発生する可能性がある。その対策として、設置環境音に基づく画像障害の抑制を目的とした防音カバーを設置することが考えられる。防音カバーを、荷電粒子線装置を取り巻くように設置することによって、荷電粒子線装置への音波の伝達を抑制することができる。
【０００３】
この防音カバーの設置により、高周波の音波に基づく画像障害を抑制することができるが、低周波ではカバーの設置によりかえってカバーを設置する前と比べて画像障害が悪化する場合がある。この原因はカバー内部に発生するカバー長手方向二次の音響定在波の影響であることが考えられる。
【０００４】
画像障害の程度は荷電粒子線装置本体が、本体表面に印加される音圧により加振された時の装置の振動変位に比例すると考えられる。一般に物体に周波数特性が一定値となるようなランダムな加振力が加わって振動する時、その振動変位の周波数特性は周波数の二乗に比例する．つまり、周波数特性が一定値となるようなランダムな騒音が装置本体に印加された場合、一般に低周波で画像障害が発生しやすくなり、カバーの設置によりこれが悪化する状況はあまり好ましくない。
【０００５】
以上のような状況に対する対策として、装置の固有振動数に対して吸音性能が特化した第一の吸音体と、カバー内に発生する音響定在波の周波数領域に対して特化した第二の吸音体をカバー内に設置して対処する方法が特許文献１に記載されている。また、荷電粒子線装置を包囲するカバーにおいて、カバーの内壁に沿った壁面を持つ筒状体を、カバーに設置する方法が特許文献２に記載されている。さらに、特許文献３には、カバーの角部に、縦・横・高さそれぞれの大きさがカバー寸法の１／４の吸音材を配置する方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−１０４２９８号公報（対応米国特許公開公報ＵＳ２０１３／０２２８６８６）
【特許文献２】ＷＯ２０１３／１３６９０９
【特許文献３】特開２００７−２２６２１６号公報（対応米国特許ＵＳＰ８，１７０，２５５）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
先述のように、設置環境音によって発生する画像障害を防ぐことを目的に防音カバーが設置されるが、画像障害は高周波では比較的良好に低減されるものの、カバー内部に発生するカバー長手方向二次の音響定在波の影響で、低周波ではカバーを設置する前と比べてかえって悪化する場合がある。
【０００８】
上述の各引用文献には、固有の周波数の音の荷電粒子線装置へ到達を抑制するための手法が説明されているが、カバー内に比較的大がかりな吸音機構を搭載することになる。
【０００９】
以下に、特定周波数によってもたらされる画像障害の抑制と、小型化の両立を目的とする防音カバー、及び荷電粒子線装置について説明する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するための一態様として、以下に、試料室と、当該試料室内の試料に荷電粒子線を照射する荷電粒子線カラムと、試料室に導入される試料を搬送する試料搬送装置を備えた荷電粒子線装置であって、試料搬送機構との間に第１の間隙をもって配置されると共に、荷電粒子線カラムと試料室を包囲するカバーを備え、当該カバーと前記試料搬送装置の配列方向である第１の方向が面方向であるカバーの壁面に、開口が設けられると共に、当該開口は、前記カバーの前記第１の方向の中心位置から、当該壁面の第１の方向の長さの１／８以内の位置に設けられる荷電粒子線装置を提案する。
【発明の効果】
【００１１】
上記構成によれば、簡単な構成で特定周波数（特に低周波）の音の存在に起因する画像障害等を抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】防音カバーを備えた荷電粒子線装置の一例を示す図（実施例１）。
【図２】防音カバー内部に配置された電子顕微鏡を説明する図。
【図３】カバー内に発生している音響定在波を説明する図。
【図４】干渉波導入孔を防音カバーに設けたときの音圧定在波の様子を示す図。
【図５】上面と側面に、干渉波導入孔を設けた防音カバーの一例を示す図。
【図６】開閉可能な扉状の壁面を有する防音カバーの一例を示す図。（実施例２）
【図７】開閉可能な扉状の壁面を有する防音カバーの他の例を示す図。（実施例３）
【図８】開閉可能な扉状の防音カバーの拡大図（ラビリンスを構成する壁面に対抗するように２つの吸音材を設けた例）。（実施例４）
【図９】開閉可能な扉状の防音カバーの拡大図（ラビリンスを塞ぐように吸音材を設けた例）。（実施例５）
【図１０】荷電粒子線装置に防音カバーを設置した例を示す図。（実施例６）
【図１１】防音カバー内の音圧レベルを解析するための計算モデルを説明する図。
【図１２】防音カバーがない場合、防音カバーを設置した場合、及び干渉波導入孔を設けた防音カバーを設置した場合における音圧周波数特性の解析結果を示す図。
【図１３】音源からの距離と音圧レベルの関係を示す図。
【図１４】防音カバーの第１の開口からの距離と、音圧レベルとの関係を示す図。
【図１５】干渉波導入孔の大きさと、音圧レベルとの関係を示す図。
【図１６】測長用走査電子顕微鏡の側視図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に説明する実施例は、特定周波数によってもたらされる画像障害の抑制と、小型化の両立を目的の１つとする防音カバー、及び荷電粒子線装置に関するものである。また、コストや施工性の観点、およびメンテナンス性をも考慮した構成についても併せて説明する。 
本実施例では、主に荷電粒子線装置において設置環境音によって発生する画像障害を防止することを目的に設けられる防音カバーについて、全周波数帯域において満遍なく画像障害を改善させ、且つ、荷電粒子線装置の設置環境であるクリーンルームでの使用に耐えうる防塵性、及びメンテナンス性を考慮したカバー開閉容易性を損なうことなく実現する防音カバー構造を説明する。
【００１４】
本実施例として、以下に荷電粒子線装置を包囲する防音カバーにおいて、当該防音カバーの長手方向中央付近に対してカバー内に発生した音響定在波の圧力を逃がすことを目的に開けられた開口部（干渉波導入孔）を備えた防音カバー、及び当該防音カバーに包囲される荷電粒子線装置を説明する。
【００１５】
上述のように荷電粒子線装置を包囲する防音カバーについて、防音カバーの長手方向中央付近に対して開口部を設けることで、カバー内に発生した音響定在波の圧力を逃がすことができ、該音響定在波を抑制して特定周波数によってもたらされる画像障害を低減し、結果としとして、全周波数帯域において満遍なく画像障害を改善させる防音カバーを提供できる。
【００１６】
以下に説明する実施例は，音響加振されることによって画像障害が発生する荷電粒子線装置に関する．その一例として，外部環境からの騒音や振動を低減するための防音カバーに関するもので，特にクリーンルームなどで使用されることを想定したものである。
【００１７】
特に本実施例では、設置環境によって引き起こる画像障害の発生を防止することを目的に設置される高分解能荷電粒子線装置用の防音カバーについて、全周波数帯域に渡って満遍なく防音性能を向上させ、且つ、荷電粒子線装置設置環境であるクリーンルームの使用に耐えうる防塵性と、メンテナンス性を考慮したカバー解析の容易性を損なうことなく、安価に実現する構造を説明する。
【００１８】
図１は、防音カバーを備えた荷電粒子線装置の一例を示す図である。なお、本実施例では、荷電粒子線装置の中でも電子ビームの走査によって得られる電子を信号化することによって画像や波形プロファイルを形成する走査電子顕微鏡を例にとって説明するが、これに限られることはなく、例えば集束イオンビームを試料に照射する集束イオンビーム装置のような他の荷電粒子線装置に、後述するような防音カバーを適用することも可能である。更に、以下に説明する実施例では、走査電子顕微鏡の中でも半導体デバイスのパターンの寸法を測定する測長用走査電子顕微鏡に防音カバーを施設した例について説明する。図１に例示する測長用走査電子顕微鏡は、主に試料を搬送するための試料搬送装置１２と、防音カバー３０に覆われた電子顕微鏡によって構成されており、図２は防音カバー内部の電子顕微鏡１１の透視図となる。なお、図２は図１のカバー内部がよくわかるように、試料搬送装置を手前へずらし、カバーの一部を非表示にしたものである。
【００１９】
測長用電子顕微鏡は一般に電子顕微鏡本体とそれを外から覆う防音カバー、さらに、電子顕微鏡へ試料を搬入する試料搬送装置で構成されている。試料搬送装置は試料を電子顕微鏡本体へ搬入すると同時に、その前に試料を一端理想的にクリーンな状態に洗浄する機能を有す。この洗浄機能のために試料搬送装置にはＦＦＵ（ファン・フィルタ・ユニット）と呼ばれる装置が搭載されており、これが大きく振動するために、その振動を電子顕微鏡本体へ伝えないように試料搬送装置は電子顕微鏡およびそれを外から覆う防音カバーとの間に振動絶縁用の隙間を介して配置される。
【００２０】
図１６は、測長用走査電子顕微鏡の側視図である。防音カバー３０内には、電子ビームを発生し、当該電子ビームを集束、偏向するためのレンズや偏向器が内蔵された電子顕微鏡カラム１６０１、導入された試料雰囲気を真空状態に維持する試料室１６０２、試料室１６０２に試料を導入する前に、試料雰囲気を大気から真空状態に真空引きするための予備排気室１６０３が内蔵されている。また、試料室１６０２と予備排気室１６０３との間には、予備排気室１６０３内の予備排気時に、両空間を遮断する真空バルブ１６０４が配置されている。また、予備排気室１６０３の大気側の開口にも、図示しない真空バルブが備えられる。
【００２１】
また、防音カバー１３に、隙間２１を介して隣接するように、試料搬送装置１２が備えられている。試料搬送装置１２には、試料搬送装置１２の内圧を高めることで、外部からの異物等の浸入を阻止するＦＦＵ１６０５、ウェハカセット１６０６からウェハを搬出し、予備排気室１６０３に導入する搬送ロボット１６０７が内蔵されている。図１６に例示するように、予備排気室１６０３を備えた走査電子顕微鏡では、予備排気室１６０３が設けられている分、ウェハの導入搬出方向（試料室１６０２と予備排気室１６０３の配列方向、或いは試料搬送装置１２と電子顕微鏡（防音カバー）の配列方向）に装置の長さが長くなる傾向にあり、走査電子顕微鏡を包囲する防音カバー１３も、ウェハの導入方向に直交する方向（図１６の紙面垂直方向）に比べて、ウェハの導入方向に長い直方体となる。後述するように、防音カバーのウェハ搬送方向と平行な壁面（例えばカバーの上面、側面）に、干渉波導入孔３０を設けることによって、高い効果を得ることができる。図１６に例示するような予備排気室を備えた走査電子顕微鏡の場合、ウェハ導入方向の中央部であって、長手方向に直交する方向に長い干渉波導入孔３０を設けることによって、上述のような高い効果を得ることが可能となる。
【００２２】
先述のように、周囲を取り囲むようなカバーで準閉空間が形成されると、カバー内に音響定在波が発生し、これが画像障害を引き起こす原因となる。電子顕微鏡本体が配置されるカバー中央付近で音圧の腹が形成される定在波のうち最も低次のものは、カバー長手方向二次である。図３はこれを示したもので先述の測長電子顕微鏡では試料搬送装置と防音カバーの間に設けられた振動絶縁用の隙間から空気が出入りすることによりこの定在波が励振されると捉えることができる。
【００２３】
ところで，このカバー長手方向二次の音響定在波は、その発生周波数ではカバー長手方向と同じ長さの波長の音波が、そのカバー長手方向を絶えず往来しているわけであるが、それはつまり前記振動絶縁用の隙間と電子顕微鏡本体が配置されるカバー中央付近が波動的に逆位相の振る舞いをすることを意味している。したがって図４に示すように、カバー長手方向中央付近に対して、前記振動絶縁用の隙間と同程度の開口（干渉波導入孔）を新たに設けると、前記振動絶縁用の隙間から流入した空気と同量の空気がカバー中央付近に新たに設けた開口から流出することとなり、カバー長手方向二次の音響定在波が抑制されて，結果的にカバーを設置することによってかえって画像障害増大していたような現象を低減できる。
【００２４】
長手方向のみならず，カバーの主３軸全てに対して二次の音響定在波を抑制しようとすると、図５のような位置に開口が設けられることとなる。先述の測長用電子顕微鏡のように端部に対して隙間を設けるようなことはせず、どの辺に対しても中央近辺に対して開口を有する。なお、空気を逃がす必要のある圧力の腹は、対象となる辺に対して垂直な面内ではこの面とカバーでできる四角形の四隅に発生するため、図５のような位置に開口を設けることが望ましい。
【００２５】
ここまでの説明で，干渉波導入孔なる新たな開口をカバー長手方向中央に設けることで低周波の画像障害問題を回避できることを示したが、一方で今度は逆に、防音カバーによって防音性能が発揮されていた高周波で、本来の防音カバーの性能が低下する可能性がある。
【００２６】
そこで、図６のように、低周波の音を呼び込むように設けられた新たな開口部（干渉波導入孔）に対して高周波の騒音を低減することを目的に、フレームや治具および隣り合うカバーとの間で入り組んだ回廊（ラビリンス）を作り、高周波の騒音をここで多重反射させて低減するように工夫してもよい。このように開口の音の通路となる部分に屈曲部を設けることによって、多重反射による高周波成分を低減することができる。なお、この屈曲部を形成する場合には、少なくとも開口に直交する方向（開口を面としたときに当該面に直交する方向）から直線的に浸入する音を遮断するための第１の壁面が必要となる。また、第１の壁面に対し異なる第２の方向の面を持つ第２の壁面を第１の壁面と接続するように構成し、且つ第１の壁面に対抗する位置に第３の壁面を形成し、第１と第３の壁面との間に通路を確保することによって、図６に例示するようなラビリンスを形成することが可能となる。さらには、この回廊（ラビリンス）の周囲を吸音材で覆えば、高周波騒音の低減効果は更に大きくなる。荷電粒子線装置の設置環境がクリーンルームであることを考えると、この吸音材は防塵繊維で包まれていることが望ましい。低周波数に置いて有る程度の音響透過性が確認できるのであれば、該回廊部を完全に吸音材で塞いでしまっても差し障り無い。
【００２７】
また、図のようにカバーの一方の端部で該回廊を形成するならば、もう一方の端部をフレームに対してヒンジなどで支持すれば、カバーが開閉可能となり、メンテナンス時に必用なカバーの撤去作業が非常に簡便となる。
【００２８】
上記に示したような新たな開口部（干渉波導入孔）に対して論じた高周波騒音の低減に関する施策は、例えば測長用電子顕微鏡において振動絶縁のために設けられる試料搬送装置と防音カバーの間の隙間に対しても講じてもよく、これを表現すると図７のようになる。
【００２９】
ここまで図６および図７を用いて、回廊（ラビリンス）の形成方法についてカバー同士、あるいは、カバーとフレームもしくはフレームから伸びた治具で形成する実施例を説明した。一方で図８に示すように一つのカバー単体で開口部および回廊を形成し、ここに防塵繊維で包まれた吸音材を配置してもよい。また、先述のように、低周波数に置いて有る程度の音響透過性が確認できるのであれば、図９のように該回廊部を完全に吸音材で塞いでしまっても良い。 
以上の議論全て荷電粒子線装置のひとつである測長用電子顕微鏡を対象として論じてきたが、一般的な防音カバーを有する荷電粒子線装置でも床面との位置調整のために、床面近傍に対し、先の測長用電子顕微鏡の振動絶縁用の隙間に類するような既存の隙間が設けられる場合が多い。この場合でも、図４に示すようにカバー長手方向中央に対して干渉波導入孔なる新たな開口を設けることで同様な効果が期待できる。
【００３０】
また図６ないし図９で示したような開口部の回廊構造や、防塵繊維で覆われた吸音材の設置、回廊側と反対の端部を支持する構造、あるいはカバー単体で開口や回廊を設けるなどの構造案は、図１０に示すような縦方向に長い荷電粒子線装置に対しても適用可能である。図１０に例示した防音カバー１３も、図１に例示した防音カバーと同様に、荷電粒子線装置を覆う直方体であり、当該直方体の最も長い辺の長手方向の中央部に、干渉波導入孔３０が設けられる。
【００３１】
次に、干渉波導入孔となる開口の適切な位置や大きさの条件について、図面を用いて説明する。図１１は干渉波導入孔の位置および大きさに関する数値音響解析モデルの模式図を示したものである。当該モデルは、な長さ８００ｍｍ、幅５００ｍｍ、高さ７００ｍｍのカバーを想定したもので、面積が最小となる面（５００ｍｍ×７００ｍｍの面）の一方の面は１０ｍｍの隙間を介して、他部材と隣接している。当該他部材とは試料搬送装置に相当するものである。また、面積が最大となる面（８００ｍｍ×７００ｍｍの面）の外側１０００ｍｍの位置に体積加速度が１ｍ3／ｓ2の出力を有するような点音源を設定した。この時のカバー内中央音圧の周波数応答に関して、干渉波導入孔を設けた場合と、設けなかった場合について計算し、さらにそもそもカバー自体が存在しない場合のカバー中央相当位置の音圧周波数特性と比較した。
【００３２】
計算結果を図１２に示す。そもそもカバーが無い場合では，図１３に示すように音源と受音点の距離で音圧は決まる（一般に音響学の分野では「距離減衰」として知られる）。この場合では音源と受音点の距離は１２５０ｍｍであるので、カバーが無い場合では受音点音圧レベルは図１２の実線で示すように７１．８ｄＢとなる。
【００３３】
一方で開口の無いカバーをつけると計算結果図１２の破線で示すように、多くの周波数では、カバー無しに比べて騒音レベルが下がるが、ある特定の周波数（図では４４２Ｈｚ、４９３Ｈｚ、５５１Ｈｚなど）にピークが発生する。最も大きい４４２Ｈｚのピークが、長手方向（８００ｍｍの方向）二次の音響定在波であることは、この波長λを０．８ｍ（８００ｍｍ）、音速ｃを３４０ｍ／ｓとしたときに、発生周波数がｆ＝ｃ／λ＝４２５Ｈｚと求められ、この演算結果が４４２Ｈｚとほぼ等しいことから判断できる。
【００３４】
これに対し，図１１に示したようにカバーに対して幅１０ｍｍの干渉波導入孔を設けた場合では、図１２の実線で示すように上記の定在波に起因する４４２Ｈｚのピークのレベルが１０ｄＢ近くも低減していることが分かる。
【００３５】
このように、防音カバーの長手方向中央付近に対して干渉波導入孔のような開口部を設けることで、カバー端部の開口部から流入する空気を原因として発生する音響定在波の圧力を逃がすことができ、その開口位置はカバー長手方向中央付近が最適である。また、カバー長手方向中央付近に設けられる開口は、カバー端部に設けられる開口と同程度の大きさにすることが望ましい。図１４および図１５は開口部の位置と大きさに関する解析結果を示す図である。
【００３６】
図１４はカバー端部の開口部の間隔を１０ｍｍ、カバー中央部の開口部の間隔を１０ｍｍと固定して、カバー中央部の開口部の位置を変化させた場合のカバー内中央音圧レベルの変化を示した図である。図のように、カバー中央に開口する時が最も音圧レベルが低減し、それから逸れるに従って音圧レベルが大きくなることが分かる。開口無しに比べて３ｄＢ以上、音圧レベルを低下させる場合には、開口は、カバー端部から３２０〜５４０ｍｍの位置に設置する。
【００３７】
以上のような検証から、カバーの長手方向の中央（４００ｍｍの位置）を基準として、前記該荷電粒子線装置用カバーの長手方向長さの１／４の長さの範囲に開口を設けることによって、音圧レベルを効果的に低下できることがわかる。換言すれば、カバー長手方向の中心から、カバー長手方向の長さの１／８の範囲に、開口を設けることによって、上記の効果を実現することができる。
【００３８】
図１５はカバー端部の隙間の間隔を１０ｍｍ、カバーに設けられる開口部の位置をカバー長手方向中央に固定して、カバーに設けられる開口部の大きさを変化させた場合のカバー内中央音圧レベルの変化を示したものである。図のように開口部の大きさを、カバー端部の開口部の大きさと同程度とすることによって、音圧レベルを最も低下させることができる。開口無しに比べて３ｄＢ以上の音圧レベル低下効果を達成する場合には、３．３ｍｍ以上の開口を設ける必要があることがわかる。カバー端部に設けられる開口の１／３以上の大きさの開口を、カバーに形成することによって、上記効果の実現が可能となる。  
【符号の説明】
【００３９】
１０  荷電粒子線装置
１１  電子顕微鏡
１２  試料搬送装置
１３  防音カバー
２１  振動絶縁用隙間
３０  干渉波導入孔
４１  フレーム
４２  治具
４３  ヒンジ
５１  回廊
５２  吸音材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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