(57)【要約】      （修正有）【課題】画像部への現像剤の付着状態を向上させる画像形成装置を提供する。【解決手段】画像部と非画像部とを含む画像パターンに基づいて像担持体の表面を露光する露光装置を有する画像形成装置であって、露光装置は、画像部を構成する複数の画素を第１の光出力値で露光する第１露光方法と、画像部を構成する複数の画素のうち少なくとも非画像部との境界の画素を第１の光出力値１１０Ｐ２よりも高い第２の光出力値１１０Ｐ１で露光する高出力露光画素とし、かつ画像部を構成する複数の画素のうち高出力露光画素以外の一部の画素を第１露光方法に対して低いデューティ比で露光する低出力露光画素として露光する第２露光方法と、を実行する。【選択図】図３１
2017024374.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像部と非画像部とを含む画像パターンに基づいて像担持体の表面を露光する露光装置を有する画像形成装置であって、
前記露光装置は、
前記画像部を構成する複数の画素を第１の光出力値で露光する第１露光方法と、前記画像部を構成する複数の画素のうち少なくとも前記非画像部との境界の画素を前記第１の光出力値よりも高い第２の光出力値で露光する高出力露光画素とし、かつ前記画像部を構成する複数の画素のうち前記高出力露光画素以外の一部の画素を前記第１露光方法に対して低いデューティ比で露光する低出力露光画素として露光する第２露光方法と、を実行する画像形成装置。
【請求項２】
画像部と非画像部とを含む画像パターンに基づいて像担持体の表面を露光する露光装置とを有する画像形成装置であって、
前記露光装置は、
前記画像部を構成する複数の画素を第１の光出力値で露光する第１露光方法と、前記画像部を構成する複数の画素のうち少なくとも前記非画像部との境界の画素を前記第１の光出力値よりも高い第２の光出力値で露光する高出力露光画素とし、かつ前記画像部を構成する複数の画素のうち前記高出力露光画素以外の一部の画素を前記第１の光出力値より低い第３の光出力値で露光される低出力露光画素として露光する第２露光方法と、を実行する画像形成装置。
【請求項３】
前記低出力露光画素は、前記画像部を構成している他の画素と隣接している、
請求項１または２記載の画像形成装置。
【請求項４】
前記露光装置は、前記第２露光方法を行うか否か、前記像担持体の表面に形成される前記画像パターンの静電潜像に付着させる現像剤の付着量に基づいて決定する、
請求項１乃至３のいずれかに記載の画像形成装置。
【請求項５】
前記像担持体への前記現像剤の付着量は、転写体に前記静電潜像の転写像を転写した後の前記像担持体に残留している前記現像剤の付着量に基づいて特定される、
請求項４記載の画像形成装置。
【請求項６】
前記露光装置は、前記転写体に前記転写像を転写する際に前記像担持体に付着される前記現像剤の量をＭ１、前記像担持体に残留している前記現像剤の付着量をＭ２とすると、
（Ｍ１−Ｍ２）／Ｍ１＜０．８０
を満たす際に、前記第２露光方法で露光する請求項５記載の画像形成装置。
【請求項７】
画像部と非画像部とを含む画像パターンに基づいて像担持体の表面を露光して前記画像パターンに対応する画像を形成する画像形成方法であって、
前記像担持体の表面は、前記画像部を構成する複数の画素を第１の光出力値で露光する第１露光方法と、前記画像部を構成する複数の画素のうち少なくとも前記非画像部との境界の画素を前記第１の光出力値よりも高い第２の光出力値で露光する高出力露光画素とし、かつ前記画像部を構成する複数の画素のうち前記高出力露光画素以外の一部の画素を前記第１露光方法で露光した場合に比べて低いデューティ比で露光する低出力露光画素として露光する第２露光方法と、により露光される画像形成方法。
【請求項８】
画像部と非画像部とを含む画像パターンに基づいて像担持体の表面を露光する工程を有する印刷物の生産方法であって、
前記像担持体の表面を露光する工程では、
前記像担持体の表面が、前記画像部を構成する複数の画素を第１の光出力値で露光する第１露光方法と、前記画像部を構成する複数の画素のうち少なくとも前記非画像部との境界の画素を前記第１の光出力値よりも高い第２の光出力値で露光する高出力露光画素とし、かつ前記画像部を構成する複数の画素のうち前記高出力露光画素以外の一部の画素を前記第１露光方法で露光した場合に比べて低いデューティ比で露光する低出力露光画素として露光する第２露光方法と、により露光される印刷物の生産方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像形成装置、画像形成方法、及び印刷物の生産方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
中抜けや虫食いなどと称される、紙に転写された画像パターンの画像部の一部にトナーが付着しない現象がある。このような現象を防止するために、トナー消費量から中抜け防止剤の必要量を求め、現像装置内に中抜け防止剤を供給する画像形成装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
しかしながら、特許文献１に開示されている技術では、トナー量の制御が困難であるため、虫食いを防止することが難しい。また、特許文献１に開示されている技術では、トナーの消費量に基づいて中抜け防止剤を供給するため、画像パターンの形状などの特性に基づいて虫食いを防止することが困難である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、画像部への現像剤の付着状態を向上させることができる画像形成装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、画像部と非画像部とを含む画像パターンに基づいて像担持体の表面を露光する露光装置を有する画像形成装置であって、露光装置は、画像部を構成する複数の画素を第１の光出力値で露光する第１露光方法と、画像部を構成する複数の画素のうち少なくとも非画像部との境界の画素を第１の光出力値よりも高い第２の光出力値で露光する高出力露光画素とし、かつ画像部を構成する複数の画素のうち高出力露光画素以外の一部の画素を第１露光方法に対して低いデューティ比で露光する低出力露光画素として露光する第２露光方法と、を実行することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、画像部への現像剤の付着状態を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明に係る画像形成装置の実施の形態を示す中央断面図である。
【図２】上記画像形成装置のコロトロン型帯電装置を示す模式図である。
【図３】上記画像形成装置のスコロトロン型帯電装置を示す模式図である。
【図４】上記画像形成装置を構成する光走査装置の例を示す模式図である。
【図５】上記光走査装置の光源の例を示す模式図である。
【図６】上記光走査装置の光源の別の例を示す模式図である。
【図７】図１の画像形成装置を構成するプリンタ制御装置及び走査制御装置の例を示すブロック図である。
【図８】上記画像形成装置の画像処理部を示すブロック図である。
【図９】上記画像処理部の画像処理ユニットを示すブロック図である。
【図１０】静電潜像計測装置の例を示す中央断面図である。
【図１１】上記静電潜像計測装置の真空チャンバの例を示す中央断面図である。
【図１２】加速電圧と帯電との関係を示す模式図である。
【図１３】加速電圧と帯電電位との関係を示すグラフである。
【図１４】試料面上の２次電子による電位分布を示す模式図である。
【図１５】試料面上の２次電子による電荷分布を示す模式図である。
【図１６】図４の光走査装置による潜像画像パターンの例を示す模式図である。
【図１７】図４の光走査装置による潜像画像パターンの別の例を示す模式図である。
【図１８】図４の光走査装置による潜像画像パターンのさらに別の例を示す模式図である。
【図１９】図４の光走査装置による潜像画像パターンのさらに別の例を示す模式図である。
【図２０】グリッドメッシュ配置による測定例を示す中央断面図である。
【図２１】｜Ｖａｃｃ｜≧｜Ｖｐ｜のときの入射電子の挙動を示す模式図である。
【図２２】｜Ｖａｃｃ｜＜｜Ｖｐ｜のときの入射電子の挙動を示す模式図である。
【図２３】潜像深さの計測結果の例を示す模式図である。
【図２４】参考例における静電潜像形成方法の例を示す模式図である。
【図２５】本実施の形態に係る静電潜像形成方法の例を示す模式図である。
【図２６】上記静電潜像形成方法の別の例を示す模式図である。
【図２７】上記静電潜像形成方法のさらに別の例を示す模式図である。
【図２８】本実施の形態における画像パターンの例を示す模式図である。
【図２９】参考例の画像パターンを示す模式図である。
【図３０】参考例における（ａ）露光パターンと（ｂ）感光体電位と（ｃ）トナー付着量の例を示す模式図である。
【図３１】本実施の形態における（ａ）露光パターンと（ｂ）感光体電位と（ｃ）トナー付着量の例を示す模式図である。
【図３２】上記画像形成装置の感光体ドラムとトナー検出センサを示す模式図である。
【図３３】書き込みパターンの例を示す模式図である。
【図３４】上記書き込みパターンの転写後の感光体ドラムの表面の例を示す模式図である。
【図３５】上記書き込みパターンの転写後の感光体ドラムの表面に虫食いが生じている例を示す模式図である。
【図３６】黒色トナー用のトナー検出センサの例を示す模式図である。
【図３７】カラートナー用のトナー検出センサの例を示す模式図である。
【図３８】現像トナー量と一次転写率との関係を示すグラフである。
【図３９】現像トナー量と転写残トナー量と虫食いレベルとの関係を示すグラフである。
【図４０】本実施の形態に係る画像形成方法のフローチャートである。
【図４１】本実施の形態における画像パターンの別の例を示す模式図である。
【図４２】図４１の画像パターンの露光パターンを示す模式図である。
【図４３】露光パターンのデューティ比を示す模式図である。
【図４４】本発明の別の実施の形態に係る画像形成方法のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明に係る画像形成装置、画像形成方法、及び印刷物の生産方法の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【０００９】
●画像形成装置●
本発明に係る画像形成装置の実施の形態である画像形成装置２０００について説明する。図１に示すように、画像形成装置２０００は、複写機、プリンタ、ファクシミリの各機能を有する複合機であり、本体装置１００１、読取装置１００２、自動原稿給紙装置１００３などを備えている。
【００１０】
本体装置１００１は、４色（ブラック、シアン、マゼンタ、イエロー）を重ね合わせてフルカラーの画像を形成して印刷物の生産方法を実行するタンデム方式の多色カラープリンタである。本体装置１００１には、感光体ドラム２０３０の周りに、帯電、露光、現像、転写、クリーニングという電子写真プロセスを実行するための装置が、感光体ドラム２０３０の回転方向に沿って上記の順に配置されている。また、本体装置１００１は、以上の電子写真プロセスを実行するための装置を制御する装置として、通信制御装置２０８０と、プリンタ制御装置１０６０とを有する。
【００１１】
本体装置１００１は、帯電プロセスを実行する帯電装置２０３２、露光プロセスを実行する光走査装置２０１０、転写プロセスを実行する転写体としての転写ベルト２０４０及び転写ローラ２０４２を有する。また、本体装置１００１は、現像プロセスを実行する感光体ドラム２０３０と現像ローラ２０３３とトナーカートリッジ２０３４、クリーニングプロセスを実行するクリーニングユニット２０３１を有する。また、本体装置１００１は、定着ローラ２０５０と、給紙コロ２０５４と、レジストローラ対２０５６と、排紙ローラ２０５８と、給紙トレイ２０６０と、排紙トレイ２０７０とを有する。
【００１２】
通信制御装置２０８０は、通信ネットワークなどを介してパーソナルコンピュータなどの上位装置との双方向通信を制御する。プリンタ制御装置１０６０は、画像形成装置２０００が備える各手段を統括的に制御する。
【００１３】
プリンタ制御装置１０６０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）と、ＲＯＭ（Read Only Memory）とを有する。また、プリンタ制御装置１０６０は、ＲＡＭ（Random Access Memory）と、Ａ／Ｄ（Analog/Digital）変換器とを有する。プリンタ制御装置１０６０は、上位装置からの要求に応じて各部を統括的に制御するとともに、上位装置からの画像情報を光走査装置２０１０に送る。
【００１４】
ＲＯＭには、ＣＰＵにて解読可能なコードで記述されたプログラム及びこのプログラムを実行する際に用いられる各種データが格納されている。ＲＡＭは、ＣＰＵの作業用の一時書き込み可能なメモリである。Ａ／Ｄ変換器は、アナログ信号をデジタル信号に変換する。
【００１５】
転写ベルト２０４０の紙面下方には、光走査装置２０１０によって露光され静電潜像が形成される像担持体として円筒状に形成された光導電性の感光体ドラム２０３０が設けられている。感光体ドラム２０３０は、転写ベルト２０４０の移動方向、つまり図１の紙面反時計回りの上流側からイエロー用２０３２ｄ、マゼンタ用２０３０ｃ、シアン用２０３０ｂ、ブラック用２０３０ａの順に配設されている。
【００１６】
帯電装置２０３２は、感光体ドラム２０３０の表面を均一に帯電させる。帯電装置２０３２には、例えばオゾン発生の少ない接触式の帯電ローラや、コロナ放電を利用するコロナチャージャを用いることができる。
【００１７】
帯電装置２０３２は、図２に示すコロトロン型帯電装置であってもよいし、図３に示すスコロトロン型帯電装置であってもよいし、あるいはローラ型帯電装置であってもよい。
【００１８】
図１に示すように、感光体ドラム２０３０ａ、帯電装置２０３２ａ、現像ローラ２０３３ａ、トナーカートリッジ２０３４ａ、クリーニングユニット２０３１ａは、組として使用され、ブラック（Ｋ）の画像を形成する画像形成ステーションを構成する。
【００１９】
感光体ドラム２０３０ｂ、帯電装置２０３２ｂ、現像ローラ２０３３ｂ、トナーカートリッジ２０３４ｂ、クリーニングユニット２０３１ｂは、組として使用され、シアン（Ｃ）の画像を形成する画像形成ステーションを構成する。
【００２０】
感光体ドラム２０３０ｃ、帯電装置２０３２ｃ、現像ローラ２０３３ｃ、トナーカートリッジ２０３４ｃ、クリーニングユニット２０３１ｃは、組として使用され、マゼンタ（Ｍ）の画像を形成する画像形成ステーションを構成する。
【００２１】
感光体ドラム２０３０ｄ、帯電装置２０３２ｄ、現像ローラ２０３３ｄ、トナーカートリッジ２０３４ｄ、クリーニングユニット２０３１ｄは、組として使用され、イエロー（Ｙ）の画像を形成する画像形成ステーションを構成する。
【００２２】
光走査装置２０１０は、感光体ドラム２０３０に光書込みを行う光書込装置であって、電子写真プロセスの露光プロセスを実行する。光走査装置２０１０は、通信制御装置２０８０に接続されている上位装置からの多色、例えばブラック、シアン、マゼンタ、イエローの画像情報に基づいて、各色に変調された光ビームを、対応する帯電された感光体ドラム２０３０の表面に照射する。感光体ドラム２０３０の表面では、光ビームが照射された部分だけ電荷が消失し、画像情報に対応した静電潜像が形成される。形成された静電潜像は、いわゆるネガ潜像であって、感光体ドラム２０３０の回転に伴って、対応する現像ローラ２０３３の方向に移動する。光走査装置２０１０の詳細については後述する。
【００２３】
トナーカートリッジ２０３４ａにはブラックトナー、トナーカートリッジ２０３４ｂにはシアントナー、トナーカートリッジ２０３４ｃにはマゼンタトナー、トナーカートリッジ２０３４ｄにはイエロートナーが格納されている。トナーカートリッジ２０３４に格納されている、現像剤としての各色のトナーは、対応する現像ローラ２０３３に供給される。
【００２４】
現像ローラ２０３３の表面には、現像ローラ２０３３の回転に伴い、対応するトナーカートリッジ２０３４からのトナーが薄く均一に塗布される。現像ローラ２０３３の表面に塗布されたトナーは、各色に対応する感光体ドラム２０３０の表面に接すると、感光体ドラム２０３０の表面に形成されている静電潜像に付着して、静電潜像が顕像化されてトナー画像（以下「トナー像」ともいう。）が形成される。形成されたトナー画像は、感光体ドラム２０３０の回転に伴い、転写ベルト２０４０の方向に移動する。
【００２５】
イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの各色のトナー画像は、所定のタイミングで転写ベルト２０４０上に順次転写されて重ね合わされ、カラー画像が形成される。
【００２６】
給紙トレイ２０６０には、記録媒体である転写紙が収納されている。給紙トレイ２０６０の近傍には、給紙コロ２０５４が配置されている。給紙トレイ２０６０に収納されている転写紙の最上位の１枚が給紙コロ２０５４で引き出され、引き出された転写紙は、その先端部がレジストローラ対２０５６に捕らえられる。レジストローラ対２０５６は、感光体ドラム２０３０上のトナー画像が転写位置へ移動するタイミングに合わせて、転写紙を転写ベルト２０４０と転写ローラ２０４２との間隙に向けて送り出す。送り出された転写紙には、転写ベルト２０４０上のカラー画像が転写される。カラー画像が転写された転写紙は、定着ローラ２０５０に送り出される。
【００２７】
定着ローラ２０５０に送り出された転写紙には、熱と圧力とが加えられて、トナーが転写紙上に定着される。トナーが定着された転写紙は、排紙ローラ２０５８を介して排紙トレイ２０７０に送り出されて、排紙トレイ２０７０上に順次スタックされる。
【００２８】
クリーニングユニット２０３１は、トナー画像が転写された後の感光体ドラム２０３０の表面に残ったトナー（残留トナー）を除去する。残留トナーが除去された感光体ドラム２０３０の表面は、再度、対応する帯電装置２０３２に対向する位置に戻る。
【００２９】
本発明に係る画像形成装置において、帯電装置と、光走査装置と、感光体と、画像パターンを光出力に変換するための画像処理部とにより、静電潜像が形成される。つまり、帯電装置と、光走査装置と、感光体と、画像処理部とは、本実施の形態に係る露光装置を構成する。
【００３０】
複写機やレーザプリンタといった電子写真方式における出力画像を得るためのプロセスは、以下のとおりである。電子写真方式では、帯電工程において潜像担持体の一つである感光体を均一に帯電させ、露光工程において感光体に光を照射して部分的に電荷を逃がす。このようにすることで、電子写真方式では、感光体に静電潜像を形成することができる。
【００３１】
●光走査装置の構成
次に、画像形成装置を構成する光走査装置２０１０の構成について説明する。
【００３２】
図４に示すように、光走査装置２０１０は、光源１１と、コリメートレンズ１２と、シリンドリカルレンズ１３と、ミラー１４と、ポリゴンミラー１５と、第１走査レンズ２１とを備える。また、光走査装置２０１０は、第２走査レンズ２２と、ミラー２４と、同期検知センサ２６と、走査制御装置とを備える。光走査装置２０１０は、光学ハウジングの所定位置に組み付けられている。
【００３３】
なお、以下の説明において、感光体ドラム２０３０の長手方向（回転軸方向）に沿った方向をＸＹＺ３次元直交座標系のＹ軸方向とし、ポリゴンミラー１５の回転軸に沿った方向をＺ軸方向とし、Ｙ軸とＺ軸の双方に垂直な方向をＸ軸方向とする。
【００３４】
以下の説明において、各光学部材の主走査方向に対応する方向を主走査対応方向とし、副走査方向に対応する方向を副走査対応方向とする。
【００３５】
光源１１は、例えば２次元配列された複数の発光部を有している。各発光部は、全ての発光部を副走査対応方向に延びる仮想線上に正射影したときに、発光部間隔が等しくなるように配置されている。光源１１には、半導体レーザ（ＬＤ：Laser Diode）や、発光ダイオード（ＬＥＤ：Light Emitting Diode）などを用いることができる。
【００３６】
図５において、光走査装置２０１０の光源１１Ａは、マルチビーム光源として、４個の半導体レーザが配列されて構成される半導体レーザアレイである。また、光源１１Ａは、コリメートレンズ１２の光軸方向に対して垂直に配置されている。
【００３７】
図６において、光走査装置２０１０の光源の別の例である光源１１Ｂは、発光点がＹ軸方向とＺ軸方向とを含む平面上に配置された、例えば波長７８０ｎｍの垂直共振器型面発光レーザ（ＶＣＳＥＬ：Vertical Cavity Surface Emitting LASER）である。
【００３８】
光源１１Ｂは、例えば、主走査方向、つまりＹ軸方向に３個、副走査方向、つまりＺ軸方向に４個、計１２個の発光点を有する。光源１１Ｂは、光走査装置２０１０に適用する場合に、一つの走査線上を水平方向に配置した３つの発光点により走査することで、垂直方向の４本の走査線を同時に走査することもできる。以下の説明において、「発光部間隔」とは、２つの発光部の中心間距離をいう。
【００３９】
図４に戻り、コリメートレンズ１２は、光源１１から射出された光の光路上に配置され、光を平行光または略平行光に屈折させる。
【００４０】
シリンドリカルレンズ１３は、ポリゴンミラー１５の偏向反射面の近傍において、コリメートレンズ１２を通過した光を副走査方向にのみ集束させる。シリンドリカルレンズ１３は、ポリゴンミラー１５の反射面近傍に、主走査方向（Ｙ軸方向）に長い線像として光源１１から出射された光を結像させる。
【００４１】
ミラー１４は、シリンドリカルレンズ１３を通過して結像した光をポリゴンミラー１５に向けて反射する。
【００４２】
光源１１とポリゴンミラー１５との間の光路上に配置されている光学系は、偏向器前光学系とも呼ばれている。
【００４３】
ポリゴンミラー１５は、感光体ドラム２０３０の長手方向に直交する方向の回転軸まわりに回転する多面鏡である。ポリゴンミラー１５の各鏡面は、偏向反射面である。ポリゴンミラー１５は、駆動用ＩＣ（Integrated Circuit）がモータ部に適切なクロックを与えることで、所望の速度で等速回転する。ポリゴンミラー１５は、モータ部により矢印方向に等速回転されると、偏向反射面で反射された複数の光ビームが、それぞれ偏向ビームとなって等角速度的に偏向される。
【００４４】
第１走査レンズ２１と、第２走査レンズ２２と、ミラー２４と、同期検知センサ２６は、走査光学系を構成する。走査光学系は、ポリゴンミラー１５で偏向された光の光路上に配置される。
【００４５】
第１走査レンズ２１は、ポリゴンミラー１５で偏向された光の光路上に配置されている。
【００４６】
第２走査レンズ２２は、第１走査レンズ２１を介した光の光路上に配置されている。
【００４７】
ミラー２４は、長尺平面鏡であり、第２走査レンズ２２を介した光の光路を、感光体ドラム２０３０に向かう方向に折り曲げる。
【００４８】
ポリゴンミラー１５で偏向された光は、第１走査レンズ２１と、第２走査レンズ２２とを介して感光体ドラム２０３０に照射され、感光体ドラム２０３０表面に光スポットを形成する。
【００４９】
感光体ドラム２０３０表面の光スポットは、ポリゴンミラー１５の回転に伴って感光体ドラム２０３０の長手方向に沿って移動する。感光体ドラム２０３０表面上の光スポットの移動方向が主走査方向であり、感光体ドラム２０３０の回転方向が副走査方向である。
【００５０】
同期検知センサ２６は、ポリゴンミラー１５からの光を受光し、受光光量に応じた信号光電変換信号を走査制御装置に出力する。同期検知センサ２６の出力信号は、同期検知信号ともいう。
【００５１】
図４に示すように、光走査装置２０１０では、ポリゴンミラー１５の１つの偏向反射面による走査で感光体ドラム２０３０の被走査面上の複数のラインを同時に走査する。各発光点の発光信号を制御する画像処理部内のバッファメモリには、各発光点に対応する１ライン分の印字データが蓄えられている。
【００５２】
印字データは、ポリゴンミラー１５のそれぞれの偏向反射面ごとに読み出され、潜像担持体としての感光体ドラム２０３０上の走査線上で印字データに対応して光ビームが点滅し、走査線にしたがって静電潜像が形成される。
【００５３】
●プリンタ制御装置・走査制御装置
次に、本発明に係る画像形成装置のプリンタ制御装置及び走査制御装置について説明する。
【００５４】
図７のプリンタ制御装置１０６０及び走査制御装置１６を示すブロック図に示すように、プリンタ制御装置１０６０は、画像形成装置２０００の各構成部を統括的に制御する制御部、画像処理部１０６０ａ、露光量設定部１０６０ｂ等を有している。
【００５５】
画像処理部１０６０ａは、後述する画像処理が施された画像データ、オブジェクト情報を識別するタグデータ等を露光量設定部１０６０ｂに出力する。
【００５６】
露光量設定部１０６０ｂは、画像処理部１０６０ａからの画像処理後の画像データの各露光画素の露光量の設定を行い、露光量設定後の画像データ、タグデータ等を走査制御装置１６に出力する。
【００５７】
画像処理部１０６０ａから露光量設定部１０６０ｂに送られる画像データは、白部（非露光部）と黒部（露光部）とが画素ごとに指定されている。
【００５８】
露光量設定部１０６０ｂについては、後に詳述する。
【００５９】
走査制御装置１６は、露光量設定部１０６０ｂからの露光量設定後の画像データ、タグデータ等に基づいて、感光体ドラム２０３０の表面を走査して、感光体ドラム２０３０の表面に静電潜像を形成する。
【００６０】
走査制御装置１６は、露光量設定部１０６０ｂからの画像データ及びタグデータ等を必要に応じて光源の駆動情報を生成し、駆動情報を用いて光源の各発光部を駆動する。
【００６１】
走査制御装置１６は、基準クロック生成回路４２２、画素クロック生成回路４２５、光源変調データ生成回路４０７、光源選択回路４１４、書込みタイミング信号生成回路４１５、及び光源駆動回路４２０を有している。
【００６２】
図７における矢印は、代表的な信号や情報の流れを示すものであり、各ブロックの接続関係の全てを表すものではない。
【００６３】
基準クロック生成回路４２２は、光源駆動回路４２０の基準となる高周波クロック信号を生成する。
【００６４】
画素クロック生成回路４２５は、主にＰＬＬ（Phase Locked Loop）回路からなる。画素クロック生成回路４２５は、同期信号ｓ１と基準クロック生成回路４２２からの高周波クロック信号とに基づいて、画素クロック信号を生成する。
【００６５】
画素クロック信号は、周波数が高周波クロック信号と同一であり、位相が同期信号ｓ１と一致している。
【００６６】
したがって、画素クロック生成回路４２５は、画素クロック信号に画像データを同期させることで、走査ごとの書込み位置を制御することができる。
【００６７】
生成された画素クロック信号は、駆動情報の１つとして光源駆動回路４２０に供給されるとともに、光源変調データ生成回路４０７にも供給される。光源変調データ生成回路４０７に供給された画素クロック信号は、書込みデータｓ１６のクロック信号として使われる。
【００６８】
光源変調データ生成回路４０７は、本発明に係る画像形成装置の光源駆動部に相当する。光源変調データ生成回路４０７は、画像処理ユニット（ＩＰＵ：Image Processing Unit)などからの画像情報に基づいて、発光部毎の書込みデータｓ１６を作成する。書込みデータｓ１６は、駆動情報の１つとして、画素クロック信号のタイミングにより光源駆動回路４２０に供給される。
【００６９】
光源変調データ生成回路４０７は、本実施の形態に係る静電潜像形成方法による潜像を形成するために、画像処理ユニットからの画像パターン情報やタグ情報に基づいて画像データをＰＭ＋ＰＷＭ信号による露光パターンに変換する。
【００７０】
光源選択回路４１４は、光源が発光部を複数含む場合に用いられる回路であり、走査光の像面が走査終端に達すると、次の走査の開始を検知するのに用いられる発光部を複数、例えば３２個の発光部から選択し、選択された発光部を指定する信号を出力する。この光源選択回路４１４の出力信号ｓ１４は、駆動情報の１つとして光源駆動回路４２０に供給される。なお、光源に単一の発光部を用いる場合には、光源選択回路４１４を設けなくても良い。
【００７１】
書込みタイミング信号生成回路４１５は、同期信号ｓ１に基づいて書き込み開始のタイミングを求め、そのタイミング信号である出力信号ｓ１５を上記駆動情報の１つとして光源駆動回路４２０に出力する。
【００７２】
光源駆動回路４２０は、駆動情報に基づいて光源の各発光部の駆動電流、例えばパルス電流を生成し、発光部に駆動電流を供給する。
【００７３】
画像形成装置２０００では、画像部における主走査方向の位置に対応して、つまり画像部の露光開始からの時間に対応して、光出力値を変化させながら露光を行う。図７に示す構成により、光源駆動回路４２０は、パルス幅変調（ＰＷＭ変調）と光量変調（ＰＷ変調）とを同時に実行することによって光源駆動電流を生成することができる。
【００７４】
光源駆動回路４２０は、光源変調データから得られた光源変調信号を電流に変換することができるため、画像形成装置２０００では、光出力と点灯時間を同時に制御可能なＰＭ＋ＰＷＭ変調信号を生成することができる。
【００７５】
図８のブロック図に示すように、画像処理部は、画像処理ユニット１０１と、コントローラ部１０２と、メモリ部１０３と、光書込出力部１０４と、スキャナ部１０５と、を備える。
【００７６】
図９のブロック図に示すように、画像処理ユニット１０１は、濃度変換部１０１ａと、フィルタ部１０１ｂと、色補正部１０１ｃと、セレクタ部１０１ｄと、階調補正部１０１ｅと、階調処理部１０１ｆと、を備えている。
【００７７】
濃度変換部１０１ａは、ルックアップテーブルを用いてスキャナ部１０５からのＲＧＢの画像データを濃度データに変換して、フィルタ部１０１ｂに出力する。
【００７８】
フィルタ部１０１ｂは、濃度変換部１０１ａから入力される濃度データに対して、平滑化処理やエッジ強調処理等の画像補正処理を施して、色補正部１０１ｃに出力する。
【００７９】
色補正部１０１ｃは、色補正、つまりマスキング処理を施す。
【００８０】
セレクタ部１０１ｄは、画像処理ユニット１０１の制御下で、色補正部１０１ｃから入力される画像データに対して、Ｃ（Cyan）、Ｍ（Magenta）、Ｙ（Yellow）、Ｋ（Key Plate）のいずれかを選択する。セレクタ部１０１ｄは、選択したＣ、Ｙ、Ｍ、Ｋのデータを階調補正部１０１ｅに出力する。
【００８１】
階調補正部１０１ｅには、セレクタ部１０１ｄから入力されるＣ、Ｍ、Ｙ、Ｋのデータが予め格納されている。階調補正部１０１ｅには、入力データに対してリニアな特性が得られるγカーブを設定する。
【００８２】
階調処理部１０１ｆは、階調補正部１０１ｅから入力される画像データに対してディザ処理等の階調処理を施して、信号を光書込出力部１０４に出力する。
【００８３】
図８に戻り、コントローラ部１０２は、画像データに対して回転・リピート・集約・圧縮伸張などの処理を行ったあと、処理後の画像データを再度ＩＰＵに出力する。
【００８４】
メモリ部１０３には、種々のデータを記憶するためのルックアップテーブルを用意しておく。
【００８５】
光書込出力部１０４は、制御ドライバにより点灯データに応じて、光源１１の光変調を行い、感光体ドラム２０３０に静電潜像を形成する。光書込出力部１０４は、後述の階調処理部からの入力信号に基づいて静電潜像を形成する。形成された静電潜像は、上述の現像装置１０３２、転写装置１０３３などにより、記録紙に画像を形成する。
【００８６】
スキャナ部１０５は、画像を読み込み、この画像に基づいてＲＧＢ（Red Green Blue）データなどの画像データを生成する。
【００８７】
なお、画像処理ユニット１０１は、画像処理前の画像データ又は画像処理後の画像データ、つまり濃度データを必要に応じてコントローラ部１０２に出力する。
【００８８】
●静電潜像計測装置の構成
次に、本実施の形態に係る静電潜像形成方法により形成された静電潜像の状態を確認することができる、静電潜像計測装置の構成について説明する。
【００８９】
図１０において、静電潜像計測装置３００は、荷電粒子照射系４００と、光走査装置１０１０と、試料台４０１と、検出器４０２と、ＬＥＤ４０３と、制御系と排出系と駆動用電源などを備えている。
【００９０】
荷電粒子照射系４００は、真空チャンバ３４０内に配置されている。荷電粒子照射系４００は、電子銃３１１と、引き出し電極３１２と、加速電極３１３と、コンデンサレンズ３１４と、ビームブランカ３１５と、仕切り板３１６とを有している。また、荷電粒子照射系４００は、可動絞り３１７と、スティグメータ３１８と、走査レンズ３１９と、対物レンズ３２０とを有している。
【００９１】
以下の説明において、電子銃３１１の光線の進行方向をｃ軸方向とし、ｃ軸方向に直交する面内において互いに直交する２つの方向をａ軸方向及びｂ軸方向として説明する。
【００９２】
電子銃３１１は、荷電粒子ビームとしての電子ビームを発生させる。以下の説明において、電子銃３１１の電子ビームの進行方向を＋ｃ軸方向とする。
【００９３】
引き出し電極３１２は、電子銃３１１の＋ｃ軸側に配置され、電子銃３１１で発生された電子ビームを制御する。
【００９４】
加速電極３１３は、引き出し電極３１２の＋ｃ軸側に配置され、電子ビームのエネルギーを制御する。
【００９５】
コンデンサレンズ３１４は、加速電極３１３の＋ｃ軸側に配置され、電子ビームを集束させる。
【００９６】
ビームブランカ３１５は、コンデンサレンズ３１４の＋ｃ軸側に配置され、電子ビームの照射をオンまたはオフさせる。
【００９７】
仕切り板３１６は、ビームブランカ３１５の＋ｃ軸側に配置され、中央に開口を有している。
【００９８】
可動絞り３１７は、仕切り板３１６の＋ｃ軸側に配置され、仕切り板３１６の開口を通過した電子ビームのビーム径を調整する。
【００９９】
スティグメータ３１８は、可動絞り３１７の＋ｃ軸側に配置され、非点収差を補正する。
【０１００】
走査レンズ３１９は、スティグメータ３１８の＋ｃ軸側に配置され、スティグメータ３１８を介した電子ビームをａｂ面内で偏向する。
【０１０１】
対物レンズ３２０は、走査レンズ３１９の＋ｃ軸側に配置され、走査レンズ３１９を介した電子ビームを収束させる。対物レンズ３２０を介した電子ビームは、ビーム射出開口部３２１を通過して試料３２３の表面に照射される。各レンズ等には、駆動用電源が接続されている。
【０１０２】
なお、荷電粒子とは、電界や磁界の影響を受ける粒子をいう。荷電粒子を照射するビームは、電子ビームに代えて、例えばイオンビームを用いてもよい。この場合は、電子銃に代えて、液体金属イオン銃などが用いられる。
【０１０３】
試料３２３は、感光体であり、導電性支持体、電荷発生層（ＣＧＬ：Charge Generation Layer）、及び電荷輸送層（ＣＴＬ：Charge Transport Layer）を有している。
【０１０４】
電荷発生層は、電荷発生材料（ＣＧＭ：Charge Generation Material）を含み、導電性支持体の−ｃ軸側の面上に形成されている。電荷輸送層は、電荷発生層の−ｃ軸側の面上に形成されている。
【０１０５】
試料３２３は、表面、つまり−ｃ側の面に電荷が帯電している状態で露光されると、電荷発生層の電荷発生材料によって光が吸収され、正負両極性のチャージキャリアがそれぞれ発生する。このキャリアは、電界によって、一方は電荷輸送層に、他方は導電性支持体に注入される。
【０１０６】
電荷輸送層に注入されたキャリアは、電界によって電荷輸送層の表面にまで移動し、表面の電荷と結合して消滅する。これにより、試料３２３の表面（−ｃ側の面）には、電荷分布、すなわち、静電潜像が形成される。
【０１０７】
光走査装置１０１０は、光源、カップリングレンズ、開口板、シリンドリカルレンズ、ポリゴンミラー、走査光学系などを有している。また、光走査装置１０１０は、ポリゴンミラーの回転軸に平行な方向に関して光を走査させるための走査機構も有している。
【０１０８】
光走査装置１０１０から出射された光は、反射ミラー３７２及び窓ガラス３６８を介して試料３２３の表面を照射する。
【０１０９】
試料３２３の表面における光走査装置１０１０から射出される光の照射位置は、ポリゴンミラーでの偏向及び走査機構での偏向によって、ｃ軸方向に直交する平面上の互いに直交する２つの方向に沿って変化する。このとき、ポリゴンミラーでの偏向による照射位置の変化方向は主走査方向であり、走査機構での偏向による照射位置の変化方向は副走査方向である。ここでは、ａ軸方向が主走査方向、ｂ軸方向が副走査方向となるように設定されている。
【０１１０】
このように、静電潜像計測装置３００は、光走査装置１０１０から射出される光によって試料３２３の表面を２次元的に走査することができる。静電潜像計測装置３００は、試料３２３の表面に２次元的な静電潜像を形成することが可能である。
【０１１１】
光走査装置１０１０は、ポリゴンミラーの駆動モータにより生じる振動や電磁波が電子ビームの軌道に影響を与えないように、真空チャンバ３４０の外に設けられている。これにより、測定結果に及ぼす外乱の影響を抑制することができる。
【０１１２】
検出器４０２は、試料３２３の近傍に配置され、試料３２３からの２次電子を検出する。
【０１１３】
ＬＥＤ４０３は、試料３２３の近傍に配置され、試料３２３を照明する光を射出する。ＬＥＤ４０３は、測定後に試料３２３の表面に残留している電荷を消去するために用いられる。
【０１１４】
走査光学系を保持する光学ハウジングは、走査光学系全体をカバーで覆い、真空チャンバ内部へ入射する外光を遮光するようにしてもよい。
【０１１５】
走査光学系において、走査レンズは、fθ特性を有しており、光偏光器が一定速度で回転しているときに、光ビームが像面に対して略等速に移動する構成となっている。また、走査光学系において、ビームスポット径も略一定に走査することができるように構成されている。
【０１１６】
静電潜像計測装置３００では、走査光学系が真空チャンバに対して離れて配置されるので、ポリゴンスキャナ等の光偏向器を駆動する際に発生する振動が直接真空チャンバ３４０に伝播されることによる影響は少ない。
【０１１７】
走査光学系を保持する構造体にダンパなどの防振手段を設けることで、さらに高い防振効果を得ることができる。
【０１１８】
走査光学系を設けることにより、静電潜像計測装置３００では、感光体の母線方向に対して、ラインパターンを含めた任意の潜像パターンを形成することができる。
【０１１９】
所定の位置に潜像パターンを形成するために、光偏向手段からの走査ビームを検知する同期検知センサ２６を有してもよい。試料の形状は、平面であっても曲面であってもよい。
【０１２０】
図１１に示すように、真空チャンバ１は、鉛直軸に対して４５°の位置に、外部から真空チャンバ１内部に光源からの光を入射させるためのガラス窓が設けられている。真空チャンバ１の外部には、光走査装置１０１０と同様の構成を有する光走査装置１７１が配置されている。
【０１２１】
光走査装置１７１は、光源、光偏向器としてのポリゴンミラー、走査レンズ、及び同期検知手段等を有している。光走査装置１７１を保持する光学ハウジングは、光走査装置１７１全体をカバーで覆い、真空チャンバ内部へ入射する外光（有害光）を遮光してもよい。
【０１２２】
●静電潜像計測の方法
次に、静電潜像計測の方法について説明する。
【０１２３】
静電潜像計測装置３００では、静電潜像計測にあたり、感光体の試料３２３に電子ビームを照射させる。
【０１２４】
図１２に示すように、静電潜像計測装置３００では、加速電極３１３に印加される電圧である加速電圧｜Ｖａｃｃ｜として、試料３２３での２次電子放出比が１となる電圧よりも高い電圧が設定される。このように加速電圧を設定することにより、試料３２３では、入射電子の量が放出電子の量よりも上回るため電子が試料３２３に蓄積され、チャージアップを起こす。この結果、静電潜像計測装置３００では、試料３２３の表面をマイナス電荷で一様に帯電させることができる。
【０１２５】
図１３に示すように、加速電圧と帯電電位との間には、一定の関係がある。このため、静電潜像計測装置３００では、加速電圧と照射時間を適切に設定することにより、試料３２３の表面に、画像形成装置２０００における感光体ドラム２０３０と同様な帯電電位を形成することができる。
【０１２６】
なお、照射電流の大きいほうが、短時間で目的の帯電電位に到達することができるため、ここでは照射電流を数ｎＡとしている。
【０１２７】
その後、静電潜像計測装置３００では、静電潜像が観察できるように、試料３２３における入射電子量を１／１００倍〜１／１０００倍にする。
【０１２８】
静電潜像計測装置３００では、光走査装置１０１０を制御して、試料３２３の表面を２次元的に光走査し、試料３２３に静電潜像を形成する。なお、光走査装置１０１０は、試料３２３の表面に所望のビーム径及びビームプロファイルの光スポットが形成されるように調整されている。
【０１２９】
静電潜像の形成に必要な露光エネルギーは、試料の感度特性によって決まるが、通常、２〜１０ｍＪ／ｍ２程度である。感度が低い試料では、必要な露光エネルギーは１０ｍＪ／ｍ２以上になる場合がある。つまり、帯電電位や必要な露光エネルギーは、試料の感光特性やプロセス条件に合わせて設定される。静電潜像計測装置３００の露光条件は、画像形成装置２０００に合わせた露光条件と同様に設定されている。
【０１３０】
そこで、このような場合には、静電場の環境や電子軌道をあらかじめ計算しておき、その計算結果に基づいて検出結果を補正することにより、静電潜像のプロファイルを高精度に求めることができる。
【０１３１】
図１４において、荷電粒子を捕獲する検出器４０２と、試料３２３との間の空間における電位分布とを、等高線で説明図的に示す。試料３２３の表面は、光減衰により電位が減衰した部分を除いては負極性に一様に帯電した状態であり、検出器４０２には正極性の電位が与えられている。そのため、実線で示される電位等高線群においては、試料３２３の表面から検出器４０２に近づくにしたがい電位が高くなる。
【０１３２】
したがって、負極性に均一帯電している部分であるＱ１点やＱ２点で発生した２次電子ｅ１１、ｅ１２は、検出器４０２の正電位に引かれ、矢印Ｇ１や矢印Ｇ２で示されるように変位し、検出器４０２に捕獲される。
【０１３３】
一方、Ｑ３点は光照射されて負電位が減衰した部分であり、Ｑ３点近傍では電位等高線の配列は破線で示されるように、Ｑ３点を中心とした半円形の波紋状に広がる。この波紋状の電位分布では、Ｑ３点に近いほど電位が高くなっている。
【０１３４】
換言すると、Ｑ３点の近傍で発生した２次電子ｅ１３には、矢印Ｇ３で示すように、試料３２３側に拘束する電気力が作用する。このため、２次電子ｅ１３は、破線の電位等高線で示されるポテンシャルの穴に捕獲され、検出器４０２に向かって移動することができない。
【０１３５】
図１５において、ポテンシャルの穴が模式的に示されている。検出器４０２により検出される２次電子の強度（２次電子数）の大きい部分は、静電潜像の地の部分、つまり均一に負帯電している部分や図１４における点Ｑ１やＱ２に代表される部分に対応する。検出器４０２により検出される２次電子の強度、つまり２次電子数の小さい部分は、静電潜像の画像部、つまり光照射された部分や図１４における点Ｑ３に代表される部分に対応する。
【０１３６】
したがって、検出器４０２の出力から得られる電気信号を適当なサンプリング時間でサンプリングすれば、サンプリング時刻Ｔをパラメータとして、表面電位分布（電位コントラスト像）Ｖ（ａ，ｂ）は、サンプリングに対応した微小領域ごとに特定できる。
【０１３７】
そして、表面電位分布Ｖ（ａ，ｂ）を２次元的な画像データとして構成し、これを表示装置で表示する、あるいはプリンタで印刷すれば、静電潜像は、可視的な画像として得ることができる。
【０１３８】
静電潜像について、例えば、捕獲される２次電子の強度を「明るさの強弱で表現」すれば、静電潜像の画像部分は暗く、地の部分は明るくコントラストがつき、表面電荷分布に応じた明暗像として表現、つまり出力することができる。また、静電潜像について、表面電位分布を知ることができれば、表面電荷分布も知ることができる。
【０１３９】
なお、静電潜像について、表面電荷分布や表面電位分布のプロファイルを求めることにより、静電潜像をさらに高精度に測定することが可能である。
【０１４０】
図１６に示すように、光走査装置による潜像画像パターンとしては、いわゆる１ドット孤立パターンや１ドット格子パターンと称されるものが挙げられる。
【０１４１】
図１７に示すように、光走査装置による潜像画像パターンとしては、いわゆる２ドット孤立パターンと称されるものが挙げられる。
【０１４２】
図１８に示すように、光走査装置による潜像画像パターンとしては、いわゆる２ｂｙ２パターンと称されるものが挙げられる。
【０１４３】
図１９に示すように、光走査装置による潜像画像パターンとしては、いわゆる２ドットラインパターンと称されるものが挙げられる。
【０１４４】
なお、光走査装置による潜像画像パターンは、上述のものに限定されず、様々なパターンを形成することができる。
【０１４５】
検出器４０２での検出対象は、試料３２３からの２次電子に限定されるものではない。例えば、入射電子ビームが試料３２３の表面に到達する前に、試料３２３の表面近傍で反発された電子（以下「１次反発電子」ともいう。）を検出器４０２が検出してもよい。
【０１４６】
図２０に示すように、グリッドメッシュ配置による測定例では、試料台４０１と試料３２３との間に絶縁部材４０４と導電部材４０５を設け、導電部材４０５に±Ｖｓｕｂの電圧が印加されるようになっている。
【０１４７】
試料３２３の下側の導電部材４０５には、電圧±Ｖｓｕｂを印加できる電圧印加部が接続されている。また、試料３２３の上側には、入射電子ビームが試料電荷の影響を受けることを抑制するために、グリッドメッシュ３２５が配置されている。以上のように構成することで、検出器４０２では、１次反発電子が検出される。
【０１４８】
検出器４０２には、検出器４０２に対向して導電板３２４やサイドグリッドが設けられてもよい。
【０１４９】
一般的に加速電圧は正で表現することが一般的であるが、Ｖａｃｃは負であるため、加速電圧を負（Ｖａｃｃ＜０）で表現する。また、試料３２３の電位ポテンシャルをＶｐ（＜０）とする。
【０１５０】
電位とは単位電荷が持つ電気的な位置エネルギーであるため、入射電子は、電位０（Ｖ）では加速電圧Ｖａｃｃに相当する速度で移動する。すなわち、電子の電荷量をｅとし電子の質量をｍとすると、電子の初速度ｖ０は、ｍｖ０２／２＝ｅ×｜Ｖａｃｃ｜で表される。ここで、真空中ではエネルギー保存の法則により、加速電圧の働かない領域では電子は等速で運動する。
【０１５１】
試料３２３に接近するに従い、電位が高くなり、電子は、試料３２３の電荷によりクーロン反発の影響を受けて速度が遅くなる。したがって、一般的に以下のような現象が起こる。
【０１５２】
図２１に示すように、｜Ｖａｃｃ｜≧｜Ｖｐ｜のときは、入射電子の速度は減速されるものの、試料３２３に到達する。
【０１５３】
図２２に示すように、｜Ｖａｃｃ｜＜｜Ｖｐ｜のときは、入射電子の速度は試料３２３の電位ポテンシャルの影響を受けて徐々に減速し、試料３２３に到達する前に速度が０となって、反対方向に進む。
【０１５４】
空気抵抗の無い真空中では、エネルギー保存の法則がほぼ成立する。したがって、入射電子のエネルギーを変えたときの試料３２３表面上でのエネルギー、すなわちランディングエネルギーがほぼ０となる条件を計測することで、試料３２３表面の電位を計測することができる。
【０１５５】
入射電子が試料３２３に到達したとき発生する２次電子と１次反発電子とでは、検出器４０２に到達する量が大きく異なるので、明暗のコントラストの境界より識別することができる。
【０１５６】
走査電子顕微鏡などには、反射電子の検出器があるが、この場合の反射電子とは、一般的に試料の物質との相互作用により、入射電子が後方背面に反射（散乱）され、試料表面から飛び出す電子のことを指す。
【０１５７】
反射電子のエネルギーは入射電子のエネルギーに匹敵する。反射電子の速度ベクトルは試料の原子番号が大きいほど大きいとされる。また、反射電子は、試料の組成の違い、及び表面の凹凸などを検出するのに利用される。
【０１５８】
これに対して、１次反発電子は、試料表面の電位分布の影響を受けて試料表面に到達する前に反転する電子のことであり、反射電子とは全く異なる。
【０１５９】
図２３において、静電潜像を計測した結果の一例が示されている。Ｖｔｈは、ＶａｃｃとＶｓｕｂとの差（＝Ｖａｃｃ−Ｖｓｕｂ）である。
【０１６０】
また、電位分布Ｖ（ａ，ｂ）は、各走査位置（ａ，ｂ）でランディングエネルギーがほぼ０となるときのＶｔｈ（ａ，ｂ）から求めることができる。Ｖｔｈ（ａ，ｂ）は、電位分布Ｖ（ａ，ｂ）と一意的な対応関係があり、電荷分布がなだらかであれば、Ｖｔｈ（ａ，ｂ）は近似的に電位分布Ｖ（ａ，ｂ）と等価となる。
【０１６１】
図２３（Ａ）におけるＶｔｈと静電潜像の中心からの距離との関係を示す曲線は、試料表面の電荷分布によって生じた表面電位分布の一例である。
【０１６２】
ここで、Ｖａｃｃは−１８００Ｖとしている。静電潜像の中心では、電位が約−６００Ｖであり、静電潜像の中心から離れるにつれて、電位がマイナス側に大きくなる。静電潜像の中心から７５μｍを超える周辺領域の電位は、約−８５０Ｖになっている。
【０１６３】
図２３（Ｂ）は、Ｖｓｕｂ＝−１１５０Ｖに設定したときの検出器４０２の出力を画像化した図である。このとき、Ｖｔｈ＝−６５０Ｖである。
【０１６４】
また、図２３（Ｃ）は、Ｖｓｕｂ＝−１１００Ｖに設定したときの検出器４０２の出力を画像化した図である。このとき、Ｖｔｈ＝−７００Ｖである。
【０１６５】
１次反発電子を検出して静電潜像のプロファイルを求める方法では、ＶａｃｃまたはＶｓｕｂを変えながら、試料表面を電子ビームで走査させ、Ｖｔｈ（ａ，ｂ）を計測することにより、試料の表面電位情報を得ることができる。１次反発電子を検出して静電潜像のプロファイルを求める方法を用いることにより、従来困難であった、静電潜像のプロファイルをミクロンオーダーで可視化することができる。
【０１６６】
１次反発電子を検出して静電潜像のプロファイルを求める方法では、入射電子のエネルギーが極端に変化するため、入射電子の軌道がずれて、走査倍率が変化する、あるいは歪曲収差を生じる場合がある。
【０１６７】
このような場合には、静電場の環境や電子軌道をあらかじめ計算しておき、その計算結果に基づいて検出結果を補正することにより、静電潜像のプロファイルを高精度に求めることができる。
【０１６８】
以上説明したように、静電潜像計測装置３００を用いることにより、静電潜像における電荷分布、表面電位分布、電界強度分布、及び試料表面に直交する方向に関する電界強度を、それぞれ高精度に求めることができる。
【０１６９】
●画像形成方法●
次に、本発明に係る画像形成方法の実施の形態について説明する。
【０１７０】
本実施の形態に係る画像形成方法において、潜像形成に用いる光出力波形は、ライン画像やベタ画像を含む画像部に対して、目標とする画像濃度を得るのに必要な光出力値で所定時間だけ感光体を露光させる波形である。
【０１７１】
なお、画像部とは、複数の画素で構成され、画像パターンにおいてトナーを付着させて画像を形成するための部分である。また、非画像部とは、画像パターンにおいてトナーを付着させず画像を形成しない部分である。
【０１７２】
以下の説明において、目標とする画像濃度を「目標画像濃度」という。また、以下の説明において、目標画像濃度を得るために必要な所定光出力値を「目標露光出力値」あるいは「基準光出力値」という。また、以下の説明において、目標画像濃度を得るために目標露光出力値で画像部の画素全体を露光させる所定時間を、「目標露光時間」という。
【０１７３】
また、以下の説明において、目標露光出力値で目標露光時間だけ露光させる露光方法を、「標準露光」という。さらに、以下の説明において、ベタ画像（solid image)とは、線画像に比較して大面積の画像部をいう。
【０１７４】
さらに、以下の説明において、目標露光出力値より強い光出力値で目標露光時間より短い露光時間だけ感光体を露光させることを、「時間集中露光」という。時間集中露光では、例えば、１画素を露光する際に、１画素分の目標露光出力値に３画素分の目標露光出力値を加算した合計４画素分の光出力値を１画素分の露光時間で露光する。
【０１７５】
なお、以下の説明において、時間集中露光のことをＴＣ（Time Concentration）露光ともいう。
【０１７６】
図２４に示すように、参考例の画像形成方法における標準露光により静電潜像を形成する方式（以下「露光方式１」という。）は、ライン画像やベタ画像を含む１ドットの画像部に対して、上述の通り目標露光出力値で目標露光時間だけ感光体を露光させる波形である。ここで、目標露光出力値を１００％の光出力値とし、目標露光時間をＤｕｔｙ比１００％とする。
【０１７７】
図２５に示すように、本実施の形態に係る画像形成方法の時間集中露光により静電潜像を形成する方式の例（以下「露光方式２」という。）は、目標露光出力値の２００％の光出力値で目標露光時間に対してＤｕｔｙ比５０％で感光体を露光させる。ここで、画像部の幅を１とすると、露光させる区間の幅は４／８画素である。
【０１７８】
図２６に示すように、本実施の形態における時間集中露光により静電潜像を形成する方式の別の例（以下「露光方式３」という。）は、目標露光出力値の４００％の光出力値で目標露光時間に対してＤｕｔｙ比２５％で感光体を露光させる。画像部の幅を１とすると、露光させる区間の幅は２／８画素である。
【０１７９】
図２７に示すように、本実施の形態における時間集中露光により静電潜像を形成する方式の例（以下「露光方式４」という。）は、目標露光出力値の８００％の光出力値で目標露光時間に対してＤｕｔｙ比１２．５％で感光体を露光させる。画像部の幅を１とすると、露光させる区間の幅は１／８画素である。
【０１８０】
以上説明した露光方式２〜４では、露光方式１と比較してパルス幅が狭い。つまり、露光方式２〜４では、露光方式１と同じ光量で露光させると形成される潜像が小さくなるため、潜像形成時の積分光量が同等となるようにパルス幅に応じて光量を制御している。また、時間集中露光による露光方式２〜４では、標準露光による露光方式１と比較して、短いパルス幅で強い光量により露光が行われる。
【０１８１】
以上の説明では、露光方式２〜４は、いずれも積分光量が一定となるように光出力値を設定しているが、本実施の形態に係る画像形成方法における光出力値は、これに限定されるものではない。
【０１８２】
●露光処理の適用例（１）
次に、本実施の形態に係る画像形成方法における、露光処理の適用例を説明する。
【０１８３】
図２８は、複数の画素により構成されていて記録紙上にトナーが定着する画像部１１０と、トナーが定着しない非画像部１２０とを含む、「ａ」の文字画像の画像パターン１００の一部の拡大図である。画像部１１０には、非画像部１２０との境界部分に、画像部１１０の輪郭部１１１がある。なお、図２８において、ハッチングで示す画像部１１０と輪郭部１１１は、一部のみ描画している。
【０１８４】
図２９に示すように、電子写真画像、特に文字画像の画像パターン２００では、記録紙に転写された画像パターン２００の画像部２１０の一部にトナーが付着しない虫食い部２１１が生じる現象（以下「虫食い現象」という。）が発生する。虫食い現象は、例えば文字画像の場合に文字の鮮明性や可読性を低下させるなど、画像パターン２００の画像品質を低下させてしまう。
【０１８５】
図３０は、参考例の画像パターン２００における（ａ）露光パターンの光出力値２１０Ｐと（ｂ）感光体電位２１０Ｅの変化と（ｃ）トナー２１０Ｔの付着量の例を示す。参考例では、画像部２１０に相当する部分の感光体ドラムの全体を、目標露光出力値の１００％の光出力値２０１Ｐで、目標露光時間をＤｕｔｙ比１００％の標準露光で露光する。このため、画像パターン２００を形成するときの感光体電位２１０Ｅは、画像部２１０において概ね均一な値である。この結果、感光体ドラムにおける画像部２１０のトナー２１０Ｔの高さは、画像部２１０の中央付近でアーチ状に高くなり、他の部分で低くなる。文字画像の虫食い現象は、画像部２１０の境界Ｂから離れていてトナー２１０Ｔの付着量が最も多くなる中央部周辺で発生しやすい。
【０１８６】
虫食い現象は、例えば、感光体ドラムから転写ベルトへの一次転写時に生じる。一次転写時に、感光体ドラムから転写ベルトに対して強く圧縮されることで、トナーが微小に変形することがある。虫食い現象は、トナーが微小に変形すると、感光体ドラムとトナーとのファンデルワールス力が増加することで、感光体ドラムへの付着力が増加してトナーの一部が感光体上に残ってしまうことで発生する。
【０１８７】
本実施の形態に係る画像形成方法では、虫食い現象を防止または抑制するために、画像パターン１００に基づいて感光体ドラムの表面を露光して感光体ドラムの表面に静電潜像を形成する際に、以下に説明する露光処理を適用する。
【０１８８】
本実施の形態に係る画像形成方法では、感光体ドラムにおける画像部の複数の画素に対して、感光体ドラムの露光に必要な第１の光出力値、つまり目標光出力値で露光（標準露光）する第１露光方法と、第１露光方法とは異なる第２露光方法とを実行する。具体的には、第２露光方法では、画像部を構成する複数の画素のうち、感光体ドラムにおける非画像部との境界にある画素に相当する部分が、第１露光方法の第１の光出力値より高い第２の光出力値で露光する高出力露光画素とする。また、第２露光方法では、高出力露光画素以外の一部の画素を、第１露光方法に対して低いデューティ比または第１の光出力値より低い第３の光出力値で露光する低出力露光画素とする。
【０１８９】
図３１は、本実施の形態に係る画像形成方法により形成される画像パターン２００における（ａ）露光パターン１１０Ｐと（ｂ）感光体電位１１０Ｅの変化と（ｃ）トナー１１０Ｔ付着量の例を示す。
【０１９０】
本実施の形態に係る画像形成方法では、画像部１１０に相当する部分の感光体ドラムのうち、境界Ｂで示す画像部１１０の輪郭部１１１に位置する画素に相当する部分を高出力露光画素として、目標露光出力値を上回る光出力値１１０Ｐ１で露光する。
【０１９１】
本実施の形態に係る画像形成方法では、高出力露光画素以外の画素に相当する画像部１１０の端部より中央寄りの部分を、低出力露光画素として、感光体ドラムを露光するのに必要な目標露光出力値より低い光出力値１１０Ｐ３で露光する。低出力露光画素に相当する部分は、目標光出力値１１０Ｐ２で露光される部分または高出力露光画素と互いに隣接している。第２露光方法を実行するか否かは、例えば、感光体ドラムの表面に付着させるトナーの付着量に基づいて決定される。
【０１９２】
上述のように、本実施の形態に係る画像形成方法では、高出力露光画素以外の画素に相当する部分のうち低出力露光画素以外の画素を、第１露光方法により目標光出力値１１０Ｐ２で露光する。
【０１９３】
本実施の形態に係る画像形成方法において、光出力値１１０Ｐ１と目標光出力値１１０Ｐ２と光出力値１１０Ｐ３の積分値は、画像パターン２００に相当する部分を露光する場合の光出力値２１０Ｐの積分値と同様である。つまり、本実施の形態に係る画像形成方法において、高出力露光画素の光出力値１１０Ｐ１のうち、目標光出力値１１０Ｐ２を上回る分については、低出力露光画素の目標光出力値１１０Ｐ２から間引いた分を加算している。目標光出力値１１０Ｐ２と低出力露光画素の光出力値１１０Ｐ３の光量制御は、例えば光源駆動回路４２０が、一定のデューティ比のパルス幅変調（ＰＷＭ変調）、光量変調（ＰＷ変調）、あるいはＰＷＭ変調とＰＷ変調の両方により行う。
【０１９４】
以上のような光出力値で感光体ドラムを露光するため、本実施の形態に係る画像形成方法では、図３０に示す感光体電位２１０Ｅと比較すると、感光体電位１１０Ｅが、境界Ｂ付近が中央部より明らかに高くなる。
【０１９５】
以上のような光出力値で感光体ドラムを露光することにより、本実施の形態に係る画像形成方法では、感光体ドラムにおける画像部１１０におけるトナー１１０Ｔ付着量が特に中央部において減少する。本実施の形態に係る画像形成方法では、トナー１１０Ｔの高さ方向の形状は、図３０（ｂ）で示したトナー２１０Ｔのアーチ状から台形状に近づく。本実施の形態に係る画像形成方法では、このようなトナー１１０Ｔの高さ方向の形状により、転写時のトナー１１０Ｔに対する感光体ドラムによる圧が低下し、トナー１１０Ｔと感光体ドラムとの間の付着力が増加するのが抑制される。
【０１９６】
以上のように、本実施の形態に係る画像形成方法によれば、画像パターン１００の画像部１１０において特に中央部周辺のトナー１１０Ｔ付着量を減らすことにより、虫食い現象を抑制することができる。
【０１９７】
●感光体ドラムの残留トナー検出機構
次に、本実施の形態に係る画像形成方法を実行する画像形成装置２０００における、感光体ドラムの残留トナー検出機構について説明する。
【０１９８】
画像形成装置２０００は、使用している間にトナーの特性が経時的に変動するのに伴い、感光体ドラム２０３０へのトナーの付着量が変化する。
【０１９９】
図３２に示すように、画像形成装置２０００には、トナーを転写ベルト２０４０に転写した後の感光体ドラム２０３０が回転する位置に、感光体ドラム２０３０の表面に残留しているトナーを検出するトナー検出センサ２０３５が設けられている。トナー検出センサ２０３５は、上記位置に感光体ドラム２０３０の表面の状態を検出できるように配置されている。
【０２００】
図３３に示すように、画像形成装置２０００は、虫食い現象の状態を特定するためのテストパターンとして、例えば黒一色のベタ画像を形成するための書き込みパターンＰ１を出力させる。
【０２０１】
図３４に示すように、書き込みパターンＰ１を転写ベルト２０４０に転写した後、正常な状態の感光体ドラム２０３０の表面には、トナーが残留しない。
【０２０２】
一方、図３５に示すように、書き込みパターンＰ１を転写ベルト２０４０に転写した後、虫食い現象が生じている感光体ドラム２０３０の表面には、感光体ドラム２０３０上に転写残のトナーＴ１が生じる。
【０２０３】
図３６と図３７に示すように、トナー検出センサ２０３５は、黒色トナーＴ１１に検出光Ｌ１を照射する正反射光用光源２０３５１と、カラートナーＴ１２に検出光Ｌ２を照射する拡散光用光源２０３５２とを備える。また、トナー検出センサ２０３５は、検出光Ｌ１の反射光ＲＬ１と検出光Ｌ２の反射光ＲＬ２を受光する受光センサ２０３５３を備える。
【０２０４】
トナー検出センサ２０３５は、検出対象とするトナーの色により検出方法が異なる。つまり、黒色トナーＴ１１を検出する際には、図３６に示すように正反射光用光源２０３５１により、黒色トナーＴ１１に正反射光の検出光Ｌ１を照射する。また、カラートナーＴ１２を検出する際には、図３７に示すように拡散光用光源２０３５２により、カラートナーＴ１２に拡散光の検出光Ｌ２を照射する。
【０２０５】
画像形成装置２０００は、トナー検出センサ２０３５により、転写ベルト２０４０に転写像を転写した後の感光体ドラム２０３０に残留しているトナーの付着量に基づいて感光体ドラム２０３０へのトナーの付着量、虫食い現象の有無を特定できる。
【０２０６】
画像形成装置２０００は、プリンタ制御装置１０６０が、書き込みパターンＰ１で使用したトナーの付着量Ｍ１を記憶している。また、プリンタ制御装置１０６０は、トナー検出センサ２０３５が検出した反射光量から、表１に示す反射光量と虫食い面積との関係を特定するテーブルに基づいて、感光体ドラム２０３０上の残留トナー量Ｍ２を特定する。
【０２０７】
2017024374.tif 000003
【０２０８】
プリンタ制御装置１０６０は、トナーの付着量Ｍ１と残留トナー量Ｍ２とに基づいて、下記式により、一次転写率Ｔｒを算出する。虫食い現象が生じない場合、一次転写率Ｔｒは、概ね９８％以上である。
【０２０９】
Ｔｒ＝（Ｍ１−Ｍ２）／Ｍ１
【０２１０】
図３８に示すように、感光体ドラム２０３０などの経時の条件変化により、付着量Ｍ１が増加すると、感光体ドラム２０３０からのトナーへの転写圧が上昇し、虫食い現象が生じる。虫食い現象が生じることにより残留トナー量Ｍ２が増加し、一次転写率Ｔｒは低下する。
【０２１１】
図３９に示すように、残留トナー量Ｍ２が減少すると、虫食いのレベルＬＶは低下する傾向にある。このため、プリンタ制御装置１０６０は、一次転写率Ｔｒが規定値、例えば８０％に達した際に、上述のような露光処理を行うことができる。このようにすることで、本実施の形態に係る画像形成方法では、文字画像内部のトナーＴ１の付着量を減少させるために画像パターン１００の画像部１１０の中央部を低出力露光画素として光出力値を下げることで虫食い現象を抑制することができる。
【０２１２】
●静電潜像形成処理のフローチャート
図４０のフローチャートを用いて、以上説明した本実施の形態に係る画像形成方法を説明する。
【０２１３】
画像形成装置２０００では、書き込みパターンＰ１のテストモードにおいて、トナー検出センサ２０３５が、書き込みパターンＰ１を転写ベルト２０４０に転写後の感光体ドラム２０３０上の残留トナー量Ｍ２を検知する（Ｓ１０１）。
【０２１４】
画像形成装置２０００では、プリンタ制御装置１０６０が、検出された残留トナー量Ｍ２とトナーの付着量Ｍ１とに基づいて、残留トナー量Ｍ２が規定値以上、つまり一次転写率Ｔｒが規定値以下であるか否かを判定する（Ｓ１０２）。
【０２１５】
プリンタ制御装置１０６０は、残留トナー量Ｍ２が規定値以上である場合には（Ｓ１０２：ＹＥＳ）、虫食い現象が生じていると判断し、書き込みデータの高出力露光画素と低出力露光画素とに対応する部分の光出力値を変更する（Ｓ１０３）。光出力値の変更により、書き込みデータの露光量は低減される（Ｓ１０４）。
【０２１６】
プリンタ制御装置１０６０は、残留トナー量Ｍ２が規定値以下である場合には（Ｓ１０２：ＮＯ）、虫食い現象が生じていないと判断し、通常の書き込みを行う（Ｓ１０５）。
【０２１７】
●実施の形態の効果
以上説明したように、本実施の形態に係る画像形成方法では、文字画像などの画像パターンを出力する際に画像部１１０内部のトナー付着量が多くなる部分に、低出力露光画素を設けて感光体ドラム２０３０に対する露光を断続的に行う。このようにすることで、本実施の形態に係る画像形成方法によれば、感光体ドラム２０３０へのトナーの付着量を減少させて感光体ドラム２０３０表面とトナーとの間の付着力が増加しないようにして、虫食い現象を抑制することできる。
【０２１８】
また、本実施の形態に係る画像形成方法によれば、トナー検出センサ２０３５により残留トナー量Ｍ２を検出するため、画像パターンの形状などの特性に基づいて虫食い現象を抑制するための条件を反映させることができる。
【０２１９】
また、本実施の形態に係る画像形成方法によれば、残留トナー量Ｍ２から一次転写率Ｔｒを算出してトナー付着量を制御するため、画像を形成するトナー量に適正化することができ、文字の可読性を維持することができる。
【０２２０】
●露光処理の適用例（２）
次に、本実施の形態に係る画像形成方法における、露光処理の他の適用例を説明する。本実施の形態では、露光パターンの形成処理のみが先に説明した例と相違する。
【０２２１】
図４１に示す画像パターン１００の画像部１１０の一部Ｘにおける露光パターンを図４２に示す。
【０２２２】
図４２に示すように、本実施の形態に係る画像形成方法では、画像パターン１００の内部におけるトナー付着量を低減するため、画像部１１０内において露光部１１２と非露光部１１３とを副走査方向において交互に配置して、縞状に露光する。
【０２２３】
図４３に示すように、露光部１１２と非露光部１１３との光出力値の制御は、光走査装置２０１０の光源１１の露光部１１２と非露光部１１３との露光時間のデューティ比を制御することにより行う。つまり、本実施の形態に係る画像形成方法では、画像部１１０におけるトナー付着量の制御を露光時間のデューティ比の制御により行う。
【０２２４】
本実施の形態に係る画像形成方法によれば、露光部１１２と非露光部１１３との露光時間のデューティ比を変化させることで、先に説明した適用例のように光出力値を変化させた場合と同様に、トナー付着量を調整することができる。
【０２２５】
●静電潜像形成処理のフローチャート
図４４のフローチャートを用いて、以上説明した本実施の形態に係る画像形成方法を説明する。
【０２２６】
画像形成装置２０００では、書き込みパターンＰ１のテストモードにおいて、トナー検出センサ２０３５が、書き込みパターンＰ１を転写ベルト２０４０に転写後の感光体ドラム２０３０上の残留トナー量Ｍ２を検知する（Ｓ２０１）。
【０２２７】
画像形成装置２０００では、プリンタ制御装置１０６０が、検出された残留トナー量Ｍ２とトナーの付着量Ｍ１とに基づいて、残留トナー量Ｍ２が規定値以上、つまり一次転写率Ｔｒが規定値以下であるか否かを判定する（Ｓ２０２）。
【０２２８】
プリンタ制御装置１０６０は、残留トナー量Ｍ２が規定値以上である場合には（Ｓ２０２：ＹＥＳ）、虫食い現象が生じていると判断し、書き込みデータの画像部１１０について露光部１１２と非露光部１１３とを形成し、データを変更する（Ｓ２０３）。プリンタ制御装置１０６０は、ルックアップテーブル（ＬＵＴ）を参照して、露光部１１２と非露光部１１３との書き込みデューティ比を低減する（Ｓ２０４）。
【０２２９】
プリンタ制御装置１０６０は、残留トナー量Ｍ２が規定値以下である場合には（Ｓ２０２：ＮＯ）、虫食い現象が生じていないと判断し、通常の書き込みを行う（Ｓ２０５）。
【０２３０】
●実施の形態の効果
以上説明したように、本実施の形態に係る画像形成方法では、露光部１１２のデューティ比を下げて、トナー付着量が減少することで、一次転写時に感光体ドラム２０３０から転写ベルト２０４０に与えられる圧力が分散される。これにより、本実施の形態に係る画像形成方法では、感光体ドラム２０３０の表面とトナーとの付着力が上昇しないため、感光体ドラム２０３０の残留トナー量Ｍ２を減少させて虫食い現象を抑制することができる。
【０２３１】
また、本実施の形態に係る画像形成方法によれば、露光部１１２と非露光部１１３とが副走査方向において縞状に形成されていることから、ジッタの影響を受けにくく、形成される画像にムラも生じにくく、良好な画像を提供することができる。
【符号の説明】
【０２３２】
１１        ：光源
１２        ：コリメートレンズ
１３        ：シリンドリカルレンズ
１４        ：ミラー
１５        ：ポリゴンミラー
１６        ：走査制御装置
２１        ：第１走査レンズ
２２        ：第２走査レンズ
２４        ：ミラー
２６        ：同期検知センサ
１００      ：画像パターン
１０１      ：画像処理ユニット
１０２      ：コントローラ部
１０３      ：メモリ部
１０４      ：光書込出力部
１０５      ：スキャナ部
１１０      ：画像部
１１１      ：輪郭部
１１２      ：露光部
１１３      ：非露光部
１２０      ：非画像部
１７１      ：光走査装置
１７２      ：ガラス窓
２００      ：画像パターン
２１０      ：画像部
２１１      ：非画像部
３００      ：静電潜像計測装置
４０７      ：光源変調データ生成回路
４１４      ：光源選択回路
４１５      ：書込みタイミング信号生成回路
４２０      ：光源駆動回路
４２２      ：基準クロック生成回路
４２５      ：画素クロック生成回路
１００１    ：本体装置
１００２    ：読取装置
１００３    ：自動原稿給紙装置
１０１０    ：光走査装置
１０３２    ：現像装置
１０３３    ：転写装置
１０６０    ：プリンタ制御装置
２０００    ：画像形成装置
２０１０    ：光走査装置
２０３０    ：感光体ドラム
２０３１    ：クリーニングユニット
２０３２    ：帯電装置
２０３３    ：現像ローラ
２０３４    ：トナーカートリッジ
２０３５    ：トナー検出センサ
２０４０    ：転写ベルト
２０４２    ：転写ローラ
２０５０    ：定着ローラ
２０５４    ：給紙コロ
２０５６    ：レジストローラ対
２０５８    ：排紙ローラ
２０６０    ：給紙トレイ
２０７０    ：排紙トレイ
２０８０    ：通信制御装置
２０３５１  ：正反射光用光源
２０３５２  ：拡散光用光源
２０３５３  ：受光センサ
【先行技術文献】
【特許文献】
【０２３３】
【特許文献１】特開２００６−３０８６５９号公報
【図１】
2017024374.tif 000004
【図２】
2017024374.tif 000005
【図３】
2017024374.tif 000006
【図４】
2017024374.tif 000007
【図５】
2017024374.tif 000008
【図６】
2017024374.tif 000009
【図７】
2017024374.tif 000010
【図８】
2017024374.tif 000011
【図９】
2017024374.tif 000012
【図１０】
2017024374.tif 000013
【図１１】
2017024374.tif 000014
【図１２】
2017024374.tif 000015
【図１３】
2017024374.tif 000016
【図１４】
2017024374.tif 000017
【図１５】
2017024374.tif 000018
【図１６】
2017024374.tif 000019
【図１７】
2017024374.tif 000020
【図１８】
2017024374.tif 000021
【図１９】
2017024374.tif 000022
【図２０】
2017024374.tif 000023
【図２１】
2017024374.tif 000024
【図２２】
2017024374.tif 000025
【図２３】
2017024374.tif 000026
【図２４】
2017024374.tif 000027
【図２５】
2017024374.tif 000028
【図２６】
2017024374.tif 000029
【図２７】
2017024374.tif 000030
【図２８】
2017024374.tif 000031
【図２９】
2017024374.tif 000032
【図３０】
2017024374.tif 000033
【図３１】
2017024374.tif 000034
【図３２】
2017024374.tif 000035
【図３３】
2017024374.tif 000036
【図３４】
2017024374.tif 000037
【図３５】
2017024374.tif 000038
【図３６】
2017024374.tif 000039
【図３７】
2017024374.tif 000040
【図３８】
2017024374.tif 000041
【図３９】
2017024374.tif 000042
【図４０】
2017024374.tif 000043
【図４１】
2017024374.tif 000044
【図４２】
2017024374.tif 000045
【図４３】
2017024374.tif 000046
【図４４】
2017024374.tif 000047