(57)【要約】【課題】製造効率の向上を図った上で、母材の第１面上に確実に撥液膜を形成することができる噴射孔プレートの製造方法を提供する。【解決手段】ノズル孔７６が形成された母材７１の第１面８０ａに対して下地膜７２を形成する下地膜形成工程と、ノズル孔７６の内面に付着した下地膜７２を除去する下地膜除去工程と、母材７１の第１面８０ａにおいて下地膜７２上に撥液膜を形成する撥液膜形成工程と、を有している。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
噴射孔が形成された母材の第１面に対して下地膜を形成する下地膜形成工程と、
前記噴射孔の内面に付着した前記下地膜を除去する下地膜除去工程と、
前記母材の前記第１面において前記下地膜上に撥液膜を形成する撥液膜形成工程と、を有していることを特徴とする噴射孔プレートの製造方法。
【請求項２】
前記下地膜は、前記母材との密着性が前記撥液膜と前記母材との密着性よりも高い材料により形成されていることを特徴とする請求項１に記載の噴射孔プレートの製造方法。
【請求項３】
前記下地膜は、前記母材との濡れ性が前記撥液膜と前記母材との濡れ性よりも高い材料により形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の噴射孔プレートの製造方法。
【請求項４】
前記噴射孔は、前記母材の前記第１面から第２面に向かうに従い漸次拡径し、
前記下地膜除去工程は、前記噴射孔の内面に付着した前記下地膜を、前記第２面側から除去することを特徴とする請求項１から請求項３の何れか１項に記載の噴射孔プレートの製造方法。
【請求項５】
前記下地膜除去工程では、保護部材によって前記母材の前記第１面を覆った状態で、前記噴射孔の内面に付着した前記下地膜を、前記母材のうち前記第１面に対向する第２面側から除去することを特徴とする請求項１から請求項４の何れか１項に記載の噴射孔プレートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、噴射孔プレートの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、記録紙等の被記録媒体に液滴状のインクを吐出して、被記録媒体に画像や文字を記録する装置として、インクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタがある。インクジェットヘッドは、インクが充填されるチャネルが形成されたアクチュエータプレートと、チャネル内に連通するノズル孔を有するノズルプレートと、を有している。インクジェットヘッドでは、吐出チャネル内の容積が拡縮するようにアクチュエータプレートが変形することで、吐出チャネル内に充填されたインクがノズル孔を通して吐出される。
【０００３】
上述したインクジェットヘッドでは、インクの吐出時等にノズルプレートの周囲に飛散したインクがノズルプレートの吐出面上に付着する場合がある。吐出面上に付着したインクがノズル孔内に進入すると、インクの偏向や吐出不良等が生じることで、吐出性能が低下するおそれがある。
そこで、例えば下記特許文献１，２のように、ノズルプレートの吐出面上に撥液膜が形成された構成が知られている。この構成によれば、ノズルプレートの吐出面上にインクが濡れ広がるのを抑制し、インクを吐出面上に留まらせることができるので、ノズル孔内にインクが進入するのを抑制することができると考えられる。
【０００４】
一方、撥液膜は、吐出面上での濡れ性や密着性が低いため、吐出面上に直接形成することが難しい。
そのため、例えば特許文献１には、ノズルプレートの吐出面上に下地膜となる液滴保護膜を介して撥液膜を形成する構成が提案されている。
【０００５】
また、撥液膜の形成時において、撥液膜がノズル孔の内面に予期せず付着する場合がある。この場合にも、吐出性能の低下に繋がるおそれがある。
そこで、例えば下記特許文献２には、撥液膜の形成後、撥液膜のうちノズル孔の内面に形成された部分を除去する構成が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−２４０８５４号公報
【特許文献２】特開２０１０−２１５７１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、従来のインクジェットヘッドにおいて、下地膜を形成した場合には、下地膜及び撥液膜の双方がノズル孔の内面に予期せず付着するおそれがある。この場合、撥液膜の形成後、下地膜及び撥液膜の双方をノズル孔の内面から除去する必要がある。
しかしながら、下地膜及び撥液層の双方を一括で除去することが難しく、それぞれを別々の方法により除去する必要がある。また、仮に下地膜及び撥液層の双方を一括で除去できる場合であっても、下地膜及び撥液層の双方を除去するために２層分の除去時間がかかる。そのため、製造効率の低下に繋がるという課題がある。
【０００８】
本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、製造効率の向上を図った上で、母材の第１面上に確実に撥液膜を形成することができる噴射孔プレートの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために本発明の一態様に係る噴射孔プレートの製造方法は、噴射孔が形成された母材の第１面に対して下地膜を形成する下地膜形成工程と、前記噴射孔の内面に付着した前記下地膜を除去する下地膜除去工程と、前記母材の前記第１面において前記下地膜上に撥液膜を形成する撥液膜形成工程と、を有している。
【００１０】
この構成によれば、撥液膜の形成前に噴射孔の内面に付着した下地膜を予め除去しておくことで、撥液膜形成工程において噴射孔の内面に撥液膜が形成されるのを抑制した上で、母材の第１面上に撥液膜を確実に形成できる。この場合、下地膜除去工程において下地膜のみを除去すればいいので、下地膜及び撥液膜を形成した後、下地膜及び撥液膜の双方を噴射孔の内面から除去する構成に比べて簡単、かつ短時間で行うことができる。その結果、製造効率の向上を図ることができる。
【００１１】
上記態様において、前記下地膜は、前記母材との密着性が前記撥液膜と前記母材との密着性よりも高い材料により形成されていてもよい。
上記態様によれば、撥液膜と下地膜との密着性が、撥液膜と母材との密着性に比べて高くなっているため、下地膜の形成領域上に撥液膜を確実に形成できる。
【００１２】
上記態様において、前記下地膜は、前記母材との濡れ性が前記撥液膜と前記母材との濡れ性よりも高い材料により形成されていてもよい。
上記態様によれば、撥液膜と下地膜との濡れ性が、撥液膜と母材との密着性よりも高くなっているため、撥液膜が下地膜の形成領域上をスムーズに濡れ広がる。これにより、下地膜の形成領域上に撥液膜を確実に形成することができる。
【００１３】
上記態様において、前記噴射孔は、前記母材の前記第１面から第２面に向かうに従い漸次拡径し、前記下地膜除去工程は、前記噴射孔の内面に付着した前記下地膜を、前記第２面側から除去してもよい。
上記態様によれば、母材の第２面側から下地膜除去工程を行うことで、母材の第１面に下地膜除去工程の影響が及ぶのを抑制した上で、噴射孔の内面に付着した下地膜を噴射孔の大径側から除去できる。これにより、母材の第１面に形成された下地膜が除去されるのを抑制した上で、噴射孔の内面に付着した下地膜を簡単に除去できる。
【００１４】
上記態様において、前記下地膜除去工程では、保護部材によって前記母材の前記第１面を覆った状態で、前記噴射孔の内面に付着した前記下地膜を、前記母材のうち前記第１面に対向する第２面側から除去してもよい。
上記態様によれば、母材の第１面に形成された下地膜が除去されるのを抑制した上で、噴射孔の内面に付着した下地膜を確実に除去できる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の一態様によれば、製造効率の向上を図った上で、母材の第１面上に確実に撥液膜を形成することができる噴射孔プレートの製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施形態に係るインクジェットプリンタの概略構成図である。
【図２】実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視図である。
【図３】実施形態に係るヘッドチップの斜視図である。
【図４】実施形態に係るヘッドチップの分解斜視図である。
【図５】図４のＶ−Ｖ線に相当する断面図である。
【図６】実施形態に係るノズルプレートの製造方法を説明するための工程図である。
【図７】実施形態に係るノズルプレートの製造方法を説明するための工程図である。
【図８】実施形態に係るノズルプレートの製造方法を説明するための工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明に係る実施形態について図面を参照して説明する。以下の実施形態では、インク（液体）を利用して被記録媒体に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）を例に挙げて説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００１８】
［プリンタ］
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すように、本実施形態のプリンタ１は、一対の搬送機構２，３と、インク供給機構４と、インクジェットヘッド５と、走査機構６と、を備えている。なお、以下の説明では、必要に応じてＸ，Ｙ，Ｚの直交座標系を用いて説明する。この場合、Ｘ方向は被記録媒体Ｐ（例えば、紙等）の搬送方向に一致している。Ｙ方向は走査機構６の走査方向に一致している。Ｚ方向は、Ｘ方向及びＹ方向に直交する高さ方向を示している。
【００１９】
搬送機構２，３は、被記録媒体ＰをＸ方向に搬送する。具体的に、搬送機構２は、Ｙ方向に延設されたグリットローラ１１と、グリットローラ１１に平行に延設されたピンチローラ１２と、グリットローラ１１を軸回転させるモータ等の駆動機構（不図示）と、を備えている。同様に、搬送機構３は、Ｙ方向に延設されたグリットローラ１３と、グリットローラ１３に平行に延設されたピンチローラ１４と、グリットローラ１３を軸回転させる駆動機構（不図示）と、を備えている。
【００２０】
インク供給機構４は、インクが収容されたインクタンク１５と、インクタンク１５とインクジェットヘッド５とを接続するインク配管１６と、を備えている。
インクタンク１５は、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクをそれぞれ収容するインクタンク１５Ｙ，１５Ｍ，１５Ｃ，１５Ｋである。本実施形態において、インクタンク１５Ｙ，１５Ｍ，１５Ｃ，１５Ｋは、Ｘ方向に並んで設けられている。
インク配管１６は、例えば可撓性を有するフレキシブルホースである。インク配管１６は、各インクタンク１５と各インクジェットヘッド５との間を各別に接続している。
【００２１】
走査機構６は、インクジェットヘッド５をＹ方向に往復走査させる。具体的に、走査機構６は、Ｙ方向に延設された一対のガイドレール２１，２２と、一対のガイドレール２１，２２に移動可能に支持されたキャリッジ２３と、キャリッジ２３をＹ方向に移動させる駆動機構２４と、を備えている。
【００２２】
駆動機構２４は、Ｘ方向におけるガイドレール２１，２２の間に配設されている。駆動機構２４は、Ｙ方向に間隔をあけて配設された一対のプーリ２５，２６と、一対のプーリ２５，２６間に巻回された無端ベルト２７と、一方のプーリ２５を回転駆動させる駆動モータ２８と、を備えている。
【００２３】
キャリッジ２３は、無端ベルト２７に連結されている。キャリッジ２３には、複数のインクジェットヘッド５がＹ方向に並んだ状態で搭載されている。本実施形態において、インクジェットヘッド５は、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクをそれぞれ吐出可能なインクジェットヘッド５Ｙ，５Ｍ，５Ｃ，５Ｋである。
【００２４】
＜インクジェットヘッド＞
図２は、インクジェットヘッド５の斜視図である。なお、インクジェットヘッド５Ｙ，５Ｍ，５Ｃ，５Ｋは、供給されるインクの色以外は何れも同一の構成からなるため、以下の説明ではまとめてインクジェットヘッド５として説明する。
図２に示すように、インクジェットヘッド５は、キャリッジ２３に固定される固定プレート３１と、固定プレート３１上に固定されたヘッドチップ３２と、インク供給機構４から供給されるインクをヘッドチップ３２に供給するインク供給部３３と、ヘッドチップ３２に駆動電圧を印加する制御部３４と、を備えている。
【００２５】
固定プレート３１には、ベースプレート３５がＺ方向に起立した状態で固定されている。
【００２６】
インク供給部３３は、固定プレート３１に固定された流路部材３６と、ベースプレート３５に固定された圧力緩衝器３７と、流路部材３６及び圧力緩衝器３７間を接続するインク連結管３８と、を主に備えている。
圧力緩衝器３７には、上述したインク配管１６が接続されている。圧力緩衝器３７は、インク配管１６を介してインクが供給されると、インクを内部に一旦貯留する。また、圧力緩衝器３７は、貯留したインクをインク連結管３８及び流路部材３６を介してヘッドチップ３２に供給する。
【００２７】
制御部３４は、ベースプレート３５に固定されたＩＣ基板４１と、ＩＣ基板４１に搭載された制御回路４２と、を主に有している。
制御回路４２は、ヘッドチップ３２を駆動するための集積回路等を有している。制御回路４２は、図示しない配線パターンがプリントされたフレキシブルプリント基板４４を介してヘッドチップ３２に電気的に接続されている。
【００２８】
＜ヘッドチップ＞
図３は、ヘッドチップ３２の斜視図である。図４は、ヘッドチップ３２の分解斜視図である。
図３、図４に示すヘッドチップ３２は、後述する吐出チャネル５５における延在方向（Ｚ方向）の端部からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプのものである。具体的に、ヘッドチップ３２は、アクチュエータプレート５１と、カバープレート５２と、支持プレート５３と、ノズルプレート（噴射孔プレート）５４と、を備えている。以下の説明では、Ｙ方向のうち、カバープレート５２側を表側とし、アクチュエータプレート５１側を裏側とする。また、Ｚ方向のうち、ノズルプレート５４側を下方とし、ノズルプレート５４とは反対側を上方として説明する。
【００２９】
アクチュエータプレート５１は、分極方向が厚さ方向（Ｙ方向）に沿って一方向に設定された、いわゆるモノポール基板である。なお、アクチュエータプレート５１は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等からなるセラミックス基板が好適に用いられている。また、アクチュエータプレート５１は、分極方向がＺ方向で異なる２枚の圧電基板を積層して形成しても構わない（いわゆる、シェブロンタイプ）。
【００３０】
アクチュエータプレート５１の表面には、複数のチャネル５５，５６がＸ方向に間隔をあけて並設されている。各チャネル５５，５６は、それぞれＺ方向に沿って直線状に形成されている。したがって、各チャネル５５，５６は、アクチュエータプレート５１からなる駆動壁５７によってそれぞれＸ方向に仕切られている。
【００３１】
上述した複数のチャネル５５，５６は、インクが充填される吐出チャネル５５、及びインクが充填されない非吐出チャネル５６（図４参照）である。吐出チャネル５５及び非吐出チャネル５６は、Ｘ方向に交互に並んで配置されている。なお、チャネル５５内面（駆動壁５７）には、蒸着等により図示しない駆動電極が形成されている。駆動電極は、上述したフレキシブルプリント基板４４を介して駆動電圧が印加されることで、圧電滑り効果により駆動壁５７を変形させる。
【００３２】
カバープレート５２は、Ｙ方向から見た平面視で矩形状に形成されている。カバープレート５２は、アクチュエータプレート５１の上端部を露出させた状態で、アクチュエータプレート５１の表面に接合されている。
【００３３】
カバープレート５２は、表面に形成された共通インク室６１と、裏面に形成された複数のスリット６２と、を有している。
共通インク室６１は、Ｚ方向において、吐出チャネル５５の上端部と同等の位置に形成されている。共通インク室６１は、カバープレート５２の裏面側に向けて窪むとともに、Ｘ方向に延設されている。共通インク室６１には、上述した流路部材３６を通してインクが流入する。
スリット６２は、共通インク室６１のうち、吐出チャネル５５とＹ方向で対向する位置に形成されている。スリット６２は、共通インク室６１内と各吐出チャネル５５内とを各別に連通している。一方、非吐出チャネル５６は、共通インク室６１内には連通していない。
【００３４】
支持プレート５３は、アクチュエータプレート５１及びカバープレート５２を支持するともに、ノズルプレート５４を同時に支持している。支持プレート５３には、Ｚ方向に貫通するとともにＸ方向に沿って延びる嵌合孔５３ａが形成されている。アクチュエータプレート５１及びカバープレート５２は、嵌合孔５３ａ内に嵌め込まれた状態で支持プレート５３に支持されている。
【００３５】
図５は、図４のＶ−Ｖ線に相当する断面図である。
図４、図５に示すように、ノズルプレート５４は、アクチュエータプレート５１及びカバープレート５２の下端面に、例えば接着等により固定されている。図５に示すように、ノズルプレート５４は、母材７１と、母材７１の下面（吐出面）に形成された下地膜７２（プライマー）と、下地膜７２の下面に形成された撥液膜７３と、を有している。
【００３６】
母材７１には、母材７１をＺ方向に貫通するノズル孔（噴射孔）７６が形成されている。ノズル孔７６は、上方から下方に向かうに従い漸次縮径するテーパ状に形成されている。ノズル孔７６は、母材７１のうち上述した吐出チャネル５５にＺ方向で対向する位置に各別に形成されている。すなわち、各ノズル孔７６は、Ｘ方向に間隔をあけて複数形成されている。これにより、上述した吐出チャネル５５は、ノズル孔７６を通して外部に連通している。一方、非吐出チャネル５６は、母材７１により閉塞されている。なお、母材７１は、樹脂材料（ポリイミド等）や金属材料（ＳＵＳ等）、ガラス等による単層構造、又は積層構造とされている。また、母材７１の厚さは、例えば５０μｍ程度とされている。
【００３７】
下地膜７２は、母材７１の下面のうち、ノズル孔７６を除く領域の全域に亘って形成されている。下地膜７２は、母材７１との密着性（共有結合等の化学結合力）が撥液膜７３と母材７１との密着性よりも高く、かつ母材７１との濡れ性が撥液膜７３と母材７１との濡れ性よりも高い材料により形成されている。このような材料としては、シリコーン化合物やＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ−ｌｉｋｅ  Ｃａｒｂｏｎ）等を用いることができる。なお、下地膜７２の膜厚は、例えば数μｍ〜数ｎｍ程度に設定されている。また、下地膜７２の形成領域は、適宜変更が可能である。すなわち、下地膜７２は、母材７１の下面全体に亘って形成する必要はなく、部分的に（例えばノズル孔７６の周囲等）形成しても構わない。
【００３８】
撥液膜７３は、下地膜７２の下面全体に亘って形成されている。撥液膜７３には、フッ素含有シランカップリング剤等が好適に用いられている。なお、撥液膜７３は、下地膜７２よりも厚く形成されていることが好ましい。また、撥液膜７３の形成領域は、適宜変更が可能である。すなわち、撥液膜７３は、母材７１や下地膜７２の下面全体に亘って形成する必要はなく、部分的に（例えばノズル孔７６の周囲等）形成しても構わない。
【００３９】
［プリンタの動作方法］
次に、上述したプリンタ１を利用して、被記録媒体Ｐに情報を記録する方法について説明する。
図１に示すように、プリンタ１を作動させると、搬送機構２，３のグリッドローラ１１，１３が回転することで、これらグリッドローラ１１，１３及びピンチローラ１２，１４間を被記録媒体ＰがＸ方向に搬送される。また、これと同時に駆動モータ２８がプーリ２６を回転させて無端ベルト２７を走行させる。これにより、キャリッジ２３がガイドレール２１，２２にガイドされながらＹ方向に往復移動する。
この間に、各インクジェットヘッド５において、ヘッドチップ３２の駆動電極に駆動電圧を印加する。これにより、駆動壁５７に厚みすべり変形を生じさせ、吐出チャネル５５内に充填されたインクに圧力波を発生させる。この圧力波により、吐出チャネル５５の内圧が高まり、インクがノズル孔７６を通して吐出される。そして、インクが被記録媒体Ｐ上に着弾することで、各種情報が被記録媒体Ｐ上に記録される。
【００４０】
上述したプリンタ１においては、インクの吐出時等にノズルプレート５４の周囲に飛散したインクがノズルプレート５４の下面に付着する場合がある。本実施形態において、ノズルプレート５４の下面に付着したインクは、撥液膜７３上で作用する表面張力により、ノズルプレート５４の下面上に濡れ広がるのが抑制される。その結果、ノズルプレート５４の下面上にインクを留まらせることができ、インクがノズル孔７６内に進入するのを抑制することができる。
【００４１】
［ノズルプレートの製造方法］
次に、上述したノズルプレート５４の製造方法について説明する。図６〜図８は、ノズルプレート５４の製造方法を説明するための工程図である。
本実施形態におけるノズルプレート５４の製造方法は、母材形成工程と、下地膜形成工程と、下地膜除去工程と、撥液膜形成工程と、を有している。
図６に示すように、母材形成工程では、母材７１にノズル孔７６を形成する。ノズル孔７６は、母材７１のうちノズル孔７６の形成領域に対して例えばレーザ光を照射することにより形成される。これにより、母材７１の第１面８０ａ（図５における下面に相当）から第２面８０ｂ（図５における上面に相当）にかけて漸次拡径するノズル孔７６が形成される。
【００４２】
図７に示すように、下地膜形成工程では、母材７１の第１面８０ａに対して下地膜７２を形成する。具体的には、まず下地膜７２の液体材料を、各種塗布方法（例えばスプレーコートやディップコート、スピンコート等）を用いて塗布する。その後、塗布した液体材料を、加温やエネルギー線（例えば、紫外線等）照射等によって硬化させる。なお、下地膜７２に固体材料等を用いる場合には、スパッタリングや蒸着等の各種成膜方法を用いて下地膜７２を形成することができる。
【００４３】
ここで、下地膜形成工程において、母材７１の第１面８０ａに対して下地膜７２を形成した場合、下地膜７２は、母材７１の第１面８０ａに加え、第１面８０ａ以外の部分（例えば、ノズル孔７６の内面）にも少なからず形成される。なお、下地膜形成工程において、下地膜７２は、ノズル孔７６を第１面８０ａ側から覆っていても構わない。
【００４４】
そこで、下地膜形成工程の後、下地膜７２のうち、ノズル孔７６の内面に付着した部分（以下、付着部分７２ａという。）を除去する下地膜除去工程を行う。具体的には、図８に示すように、Ｏ2プラズマ処理やＡｒプラズマ処理、エネルギー線（例えば、紫外線等）照射等を母材７１の第２面８０ｂから行う（図８中の矢印参照）。これにより、下地膜７２の付着部分７２ａ（図７参照）が除去される。
【００４５】
続いて、撥液膜形成工程では、下地膜７２上に撥液膜７３を形成する。具体的には、まず撥液膜７３の液体材料を、各種塗布方法（例えばスプレーコートやディップコート、スピンコート等）を用いて塗布する。本実施形態において、撥液膜７３は、下地膜７２との濡れ性が母材７１との濡れ性に比べて高い材料により構成されている。すなわち、下地膜７２の形成領域で撥液膜７３に作用する表面張力は、下地膜７２の非形成領域で撥液膜７３に作用する表面張力に比べて小さい。そのため、撥液膜７３は、下地膜７２の形成領域上をスムーズに濡れ広がる。
【００４６】
その後、塗布した液体材料を、加温やエネルギー線（例えば、紫外線等）照射等によって硬化させる。これにより、撥液膜７３が下地膜７２の非形成領域（ノズル孔７６の内面）に形成されるのを抑制した上で、下地膜７２の形成領域上に確実に形成される。なお、撥液膜７３に固体材料等を用いる場合には、スパッタリングや蒸着等の各種成膜方法を用いて撥液膜７３を形成することができる。但し、撥液膜７３に液体材料を用いる方が、撥液膜７３の膜厚を簡単に確保でき、撥液膜７３の耐久性を確保し易い。
以上により、上述したノズルプレート５４（図５参照）が完成する。
【００４７】
このように、本実施形態では、撥液膜形成工程に先立って、ノズル孔７６の内面に付着した下地膜７２の付着部分７２ａを除去する下地膜除去工程を有する構成とした。
この構成によれば、撥液膜７３の形成前に付着部分７２ａを予め除去しておくことで、撥液膜形成工程においてノズル孔７６の内面に撥液膜７３が形成されるのを抑制した上で、母材７１の第１面８０ａ上に撥液膜７３を確実に形成できる。この場合、下地膜除去工程において下地膜７２のみを除去すればいいので、下地膜７２及び撥液膜７３を形成した後、下地膜７２及び撥液膜７３の双方をノズル孔７６の内面から除去する構成に比べて簡単、かつ短時間で行うことができる。その結果、製造効率の向上を図ることができる。
なお、仮に母材７１のうち、ノズル孔７６の内面（下地膜７２の非形成領域）に撥液膜７３のみが直接形成された場合には、超音波洗浄等により簡単に除去することができる。これにより、下地膜７２及び撥液膜７３の双方をノズル孔７６の内面から除去する場合に比べてノズルプレート５４の製造効率を向上できる。
【００４８】
本実施形態では、母材７１の第２面８０ｂ側から下地膜除去工程を行うことで、母材７１の第１面８０ａに下地膜除去工程の影響が及ぶのを抑制した上で、ノズル孔７６の大径側から付着部分７２ａを除去できる。これにより、母材７１の第１面８０ａに形成された下地膜７２が除去されるのを抑制した上で、付着部分７２ａを簡単に除去できる。
【００４９】
本実施形態において、撥液膜７３と下地膜７２との濡れ性が、撥液膜７３と母材７１との濡れ性に比べて高くなっているため、撥液膜７３が下地膜７２の形成領域上をスムーズに濡れ広がる。これにより、下地膜７２の形成領域上に撥液膜７３を確実に形成することができる。
また、本実施形態において、撥液膜７３と下地膜７２との密着性が、撥液膜７３と母材７１との密着性に比べて高くなっているため、下地膜７２の形成領域上撥液膜７３を確実に形成することができる。
【００５０】
なお、本発明の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００５１】
例えば、上述した実施形態では、液体噴射装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であっても構わない。
【００５２】
上述した実施形態では、ノズル孔７６が一列のインクジェットヘッド５を例にして説明したが、これに限らず、ノズル孔が二列以上のインクジェットヘッド５に本発明を適用しても構わない。
【００５３】
上述した実施形態では、エッジシュートのインクジェットヘッドについて説明したが、これに限られない。例えば、吐出チャネルにおける延在方向の中央部からインクを吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッドに本発明を適用しても構わない。
また、インクに加わる圧力の方向と、インク滴の吐出方向と、を同一方向とした、いわゆるルーフシュートタイプのヘッドチップ３２に本発明を適用しても構わない。
【００５４】
なお、上述した下地膜除去工程において、保護部材によって母材７１の第１面８０ａ側を覆った状態で、母材７１の第２面８０ｂから付着部分７２ａを除去しても構わない。
この構成によれば、母材７１の第１面８０ａに形成された下地膜７２が除去されるのを抑制した上で、付着部分７２ａを確実に除去できる。なお、保護部材としては、下地膜７２から容易に剥がせる材料（例えば、マスキングテープ等）を下地膜７２に貼り付けてもよく、下地膜７２上に配置するだけでも構わない。
【００５５】
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせても構わない。
【符号の説明】
【００５６】
５４…ノズルプレート（噴射孔プレート）
７１…母材
７２…下地膜
７３…撥液膜
７６…ノズル孔（噴射孔）
８０ａ…第１面
８０ｂ…第２面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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