(57)【要約】【課題】冷却時にガラス転移点付近の温度で異常収縮し難く、且つ冷却後に金属ステムから適正に圧縮される封着用ガラスを創案することにより、気密端子等の気密信頼性を高める。【解決手段】本発明の封着用ガラスは、ガラス組成として、モル％表示で、ＳｉＯ２  ６０〜８０％、Ｂ２Ｏ３  ０〜５．８％、Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ  １２〜１８．７％、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ  ２〜１２％を含有し、モル比ＳｉＯ２／Ｂ２Ｏ３が１４以上であることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス組成として、モル％表示で、ＳｉＯ２  ６０〜８０％、Ｂ２Ｏ３  ０〜５．８％、Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ  １２〜１８．７％、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ  ２〜１２％を含有し、モル比ＳｉＯ２／Ｂ２Ｏ３が１４以上であることを特徴とする封着用ガラス。
【請求項２】
ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯの含有量が４〜１０モル％であることを特徴とする請求項１に記載の封着用ガラス。
【請求項３】
Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏの含有量が１８モル％以下であり、且つモル比ＣａＯ／（ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ）が０．２以上であることを特徴とする請求項１又は２に記載の封着用ガラス。
【請求項４】
Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ＋ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯの含有量が２５モル％以下であることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の封着用ガラス。
【請求項５】
更に、ガラス組成中にＦを０．１〜２モル％含むことを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の封着用ガラス。
【請求項６】
顆粒形状であることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の封着用ガラス。
【請求項７】
焼結体であることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の封着用ガラス。
【請求項８】
気密端子の封着に用いることを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載の封着用ガラス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、封着用ガラスに関し、特に冷凍機等に使用される冷媒コンプレッサーの気密端子の封着に好適な封着用ガラスに関する。
【背景技術】
【０００２】
冷媒コンプレッサーの気密端子は、気密性を維持するために、金属ステムと金属ピンを封着用ガラスで封着することにより作製される。
【０００３】
この封着用ガラスは、以下のようにして作製、使用される。まずガラス原料を溶融、成形し、成形後のガラスをボールミルで粉砕した後、所定の篩を通過させることによって微粉末にし、次いでこの微粉末をバインダーと混合して造粒し、顆粒を作製する。その後、この顆粒を打錠成型して貫通孔を有する圧粉体を作製し、これを常温から昇温して、バインダーの分解除去と焼結を行う。次に、得られた焼結体の貫通孔に金属ピンを挿入し、更にこの焼結体を環状の金属ステム内に収容した後、電気炉に投入し、窒素雰囲気下において、ガラス転移点より高い温度で焼成して封着する。その結果、封着用ガラスは、金属ステムによって圧縮された状態となる。なお、金属ステムの熱膨張係数は、一般的に１４０×１０−７〜１５０×１０−７／℃であり、金属ピンの熱膨張係数は、一般的に１００×１０−７〜１１０×１０−７／℃であり、封着用ガラスの熱膨張係数は、一般的に９０×１０−７〜１００×１０−７／℃である。
【０００４】
図１（ａ）は、気密端子１を示す概念図であり、気密端子１は、金属ステム１１、金属ピン１２及び封着用ガラス１３を有している。図１（ｂ）は、図１（ａ）の気密端子１の要部について、焼成前の金属ステム１１、金属ピン１２及び封着用ガラス１３の状態を示す概念図であり、図１（ｃ）は、図１（ａ）の気密端子１の要部について、焼成後の金属ステム１１、金属ピン１２及び封着用ガラス１３の状態を示す概念図である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−１７５０６９号公報
【特許文献２】特開２０１５−０６４９２８号公報
【特許文献３】特開２０１５−０６９７３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
金属ステムと封着用ガラスは、ガラス転移点よりも高い温度で固着した後、室温まで冷却されるが、冷却時に、金属ステムと封着用ガラス間の収縮差によって応力が発生する。そして、その収縮差は、封着用ガラスの変形で解消されず、その殆どが、金属ステムと封着用ガラス間の応力として残存することになる。そして、その応力が適正でないと、封着用ガラスにクラックが発生する。
【０００７】
詳述すると、封着用ガラスは、金属ステムと封着用ガラスを固着した後、冷却する過程で、ガラス転移点付近の温度で収縮するが、その収縮が大き過ぎると、つまり異常収縮が発生すると、一時的に金属ステムから大きな引張応力を受けることになる。この引張応力は、金属ステムとの界面における封着用ガラスにクラックを生じさせて、冷凍機等に組み込んだ際に、冷媒の気密リークを引き起こす虞がある。また、封着用ガラスは、上記収縮により、一時的に金属ステムから引張応力を受けた後、冷却が進むにつれて、金属ステムとの膨張差が逆転し、最終的には金属ステムから圧縮応力を受けることになる。この圧縮応力が不十分になると、落下、衝撃等の外的要因により封着用ガラスにクラックが発生し易くなる。
【０００８】
本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、その技術的課題は、冷却時にガラス転移点付近の温度で異常収縮し難く、且つ冷却後に金属ステムから適正に圧縮される封着用ガラスを創案することにより、気密端子等の気密信頼性を高めることである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者は、種々の実験を繰り返した結果、ＳｉＯ２に対するＢ２Ｏ３の含有割合を低減しつつ、アルカリ金属酸化物（Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ及びＫ２Ｏ）とアルカリ土類金属酸化物（ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ及びＢａＯ）の含有量を所定範囲に規制することにより、上記技術的課題を解決し得ることを見出し、本発明として、提案するものである。すなわち、本発明の封着用ガラスは、ガラス組成として、モル％表示で、ＳｉＯ２  ６０〜８０％、Ｂ２Ｏ３  ０〜５．８％、Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ  １２〜１８．７％、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ  ２〜１２％を含有し、モル比ＳｉＯ２／Ｂ２Ｏ３が１４以上であることを特徴とする。ここで、「Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ」は、Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ及びＫ２Ｏの合量を指す。「ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ」は、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ及びＢａＯの合量を指す。「ＳｉＯ２／Ｂ２Ｏ３」は、ＳｉＯ２の含有量をＢ２Ｏ３の含有量で割った値を指す。
【００１０】
本発明の封着用ガラスは、Ｂ２Ｏ３の含有量が５．８モル％以下、Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏの含有量が１８．７モル％以下、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯの含有量が１２％以下であり、且つモル比ＳｉＯ２／Ｂ２Ｏ３が１４以上である。このようにすれば、ガラス転移点付近の温度で熱膨張曲線の屈曲が小さくなり、冷却時にガラスが異常収縮し難くなる。その結果、ガラス転移点付近の温度で金属ステムとの熱膨張差が小さくなるため、冷凍機等に組み込んだ際に、封着用ガラスにクラックが発生し難くなる。
【００１１】
更に、本発明の封着用ガラスは、Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏの含有量が１２モル％以上、且つＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯの含有量が２モル％以上である。このようにすれば、ガラスの粘性が低下するため、固着温度を低下させることが可能になる。
【００１２】
第二に、本発明の封着用ガラスは、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯの含有量が４〜１０モル％であることが好ましい。
【００１３】
第三に、本発明の封着用ガラスは、Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏの含有量が１８モル％以下であり、且つモル比ＣａＯ／（ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ）が０．２より大きいことが好ましい。このようにすれば、耐水性が顕著に向上し、顆粒を焼成した時に発泡が生じ難くなる。ここで、「ＣａＯ／（ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ）」は、ＣａＯの含有量をＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ及びＢａＯの合量で割った値を指す。
【００１４】
第四に、本発明の封着用ガラスは、Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ＋ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯの含有量が２５モル％以下であることが好ましい。ここで、「Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ＋ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ」は、Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ及びＢａＯの合量を指す。
【００１５】
第五に、本発明の封着用ガラスは、更に、ガラス組成中にＦを０．１〜２モル％含むことが好ましい。
【００１６】
第六に、本発明の封着用ガラスは、顆粒形状であることが好ましい。
【００１７】
第七に、本発明の封着用ガラスは、焼結体であることが好ましい。
【００１８】
第八に、本発明の封着用ガラスは、気密端子の封着に用いることが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】（ａ）は、気密端子を示す概念図である。（ｂ）は、焼成前の金属ステム、金属ピン及び封着用ガラスの状態を示す概念図であり、（ｃ）は、焼成後の金属ステム、金属ピン及び封着用ガラスの状態を示す概念図である。
【図２】固着温度を起点として、実施例の欄における試料Ｎｏ．１の熱膨張曲線と、金属ステムと金属ピンの熱膨張曲線とを重ね合わせたデータを示している。
【図３】固着温度を起点として、実施例の欄における試料Ｎｏ．２の熱膨張曲線と、金属ステムと金属ピンの熱膨張曲線とを重ね合わせたデータを示している。
【図４】固着温度を起点として、実施例の欄における試料Ｎｏ．３の熱膨張曲線と、金属ステムと金属ピンの熱膨張曲線とを重ね合わせたデータを示している。
【図５】固着温度を起点として、実施例の欄における試料Ｎｏ．４の熱膨張曲線と、金属ステムと金属ピンの熱膨張曲線とを重ね合わせたデータを示している。
【図６】固着温度を起点として、実施例の欄における試料Ｎｏ．５の熱膨張曲線と、金属ステムと金属ピンの熱膨張曲線とを重ね合わせたデータを示している。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明の封着用ガラスは、ガラス組成として、モル％表示で、ＳｉＯ２  ６０〜８０％、Ｂ２Ｏ３  ０〜５．８％、Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ  １２〜１８．７％、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ  ２〜１２％を含有し、モル比ＳｉＯ２／Ｂ２Ｏ３が１４以上であることを特徴とする。上記のように各成分の含有量を限定した理由を下記に説明する。なお、各成分の含有量の説明箇所において、％表示は、モル％を指す。
【００２１】
ＳｉＯ２は、ガラス骨格を形成するための主成分であり、その含有量は６０〜８０％であり、好ましくは６５〜７５％、より好ましく６８〜７２％である。ＳｉＯ２の含有量が少な過ぎると、熱膨張係数が不当に高くなる虞がある。また耐水性が低下し易くなる。一方、ＳｉＯ２の含有量が多過ぎると、固着温度が上昇し易くなる。
【００２２】
Ｂ２Ｏ３は、溶融性を高めると共に、固着温度を低下させる成分であり、また耐水性を高める成分であるが、冷却時にガラス転移点付近の温度で異常収縮を助長する成分である。Ｂ２Ｏ３の含有量は０〜５．８％であり、好ましくは０超〜５．３％、より好ましくは１〜４．８％、特に好ましくは２〜３．５％である。Ｂ２Ｏ３の含有量が少な過ぎると、固着温度が上昇し易くなり、また耐水性が低下し易くなる。なお、耐水性が低いと、造粒工程でガラス粉末が水の影響を受け易くなり、顆粒を焼成した時に発泡が生じ易くなる。一方、Ｂ２Ｏ３の含有量が多過ぎると、ガラス転移点付近の温度で熱膨張曲線の屈曲が大きくなり、冷却時にガラスが異常収縮し、一時的に金属ステムから大きな引張応力を受け易くなる。
【００２３】
モル比ＳｉＯ２／Ｂ２Ｏ３は１４以上であり、好ましくは１７以上、より好ましくは２０以上、更に好ましくは２３〜２５０である。モル比ＳｉＯ２／Ｂ２Ｏ３が小さ過ぎると、ガラス転移点付近の温度で熱膨張曲線の屈曲が大きくなり、冷却時にガラスが異常収縮し、一時的に金属ステムから大きな引張応力を受け易くなる。一方、モル比ＳｉＯ２／Ｂ２Ｏ３が大き過ぎると、高温粘性が高くなり、封着工程で流動不足になり易い。また耐水性が低下し易くなる。
【００２４】
アルカリ金属酸化物（Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ及びＫ２Ｏ）は、溶融性を高めると共に、固着温度を低下させる成分であるが、冷却時にガラス転移点付近の温度で異常収縮を助長する成分であり、また耐水性を低下させる成分である。Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏの含有量は１２〜１８．７％であり、好ましくは１２．５〜１８％、より好ましくは１３〜１７％、更に好ましくは１４〜１６％である。Ｌｉ２Ｏの含有量は、好ましくは０〜１０％、より好ましくは１〜７％、更に好ましくは２〜６％、特に好ましくは２．５〜４％である。Ｎａ２Ｏの含有量は、好ましくは１〜１５％、より好ましくは２〜１２％、更に好ましくは３〜１０％、特に好ましくは４〜７％である。Ｋ２Ｏの含有量は、好ましくは１〜１５％、より好ましくは２〜１２％、更に好ましくは３〜１０％、特に好ましくは４〜７％である。アルカリ金属酸化物の含有量が少な過ぎると、固着温度が高くなるため、冷却後に発生する残留応力が大きくなり、気密リークの発生確率が上昇し易くなる。一方、アルカリ金属酸化物の含有量が多過ぎると、冷却時にガラスが異常収縮し、一時的に金属ステムから大きな引張応力を受け易くなる。また耐水性が低下し易くなる。
【００２５】
アルカリ土類金属酸化物（ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ及びＢａＯ）は固着温度を低下させる成分である。ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯの含有量は２〜１２％であり、好ましくは４〜１１％、より好ましくは５〜９％、特に好ましくは６〜８％である。ＭｇＯの含有量は、好ましくは０〜５％、より好ましくは０〜３％、更に好ましくは０〜１％である。ＣａＯの含有量は、好ましくは０〜１０％、より好ましくは１〜８％、更に好ましくは３〜７％である。ＳｒＯの含有量は、好ましくは０〜５％、より好ましくは０〜３％、更に好ましくは０〜１％である。ＢａＯの含有量は、好ましくは０〜７％、より好ましくは１〜５％、更に好ましくは２〜４％である。アルカリ土類金属酸化物の含有量が少な過ぎると、固着温度が高くなるため、冷却後に発生する残留応力が大きくなり、気密リークの発生確率が上昇し易くなる。一方、アルカリ土類金属酸化物が多過ぎると、ガラス転移点付近の温度で熱膨張曲線の屈曲が大きくなり、冷却時にガラスが異常収縮し、一時的に金属ステムから大きな引張応力を受け易くなる。
【００２６】
Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏの含有量を１８モル％以下に規制した上で、モル比ＣａＯ／（ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ）を０．２以上（望ましくは０．３以上、特に０．４以上）に規制することが好ましい。Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏの含有量が多過ぎると、耐水性が低下して、顆粒を焼成した時に発泡が生じ易くなる。また、モル比ＣａＯ／（ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ）が小さ過ぎると、耐水性が低下して、顆粒を焼成した時に発泡が生じ易くなる。なお、ＣａＯは、アルカリ土類金属酸化物の中で、耐水性を高める効果が高い。
【００２７】
Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ＋ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯの含有量は、好ましくは２５モル％以下、２４％以下、特に２３％以下である。Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ＋ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯの含有量が多過ぎると、ガラス転移点付近の温度で熱膨張曲線の屈曲が大きくなり、冷却時にガラスが異常収縮し、一時的に金属ステムから大きな引張応力を受け易くなる。
【００２８】
上記成分以外にも、例えば、以下の成分を導入してもよい。
【００２９】
Ａｌ２Ｏ３は、耐水性を高める成分であり、その含有量は、好ましくは０〜８％、より好ましくは１〜６％、更に好ましくは２〜４％である。Ａｌ２Ｏ３の含有量が少な過ぎると、耐水性が低下し易くなる。一方、Ａｌ２Ｏ３の含有量が多過ぎると、固着温度が上昇し易くなる。
【００３０】
ＴｉＯ２とＺｒＯ２は、耐水性を高める成分であり、それらの個別の含有量は、好ましくは０〜４％、より好ましくは０〜２％、更に好ましくは０．１〜１％である。ＴｉＯ２とＺｒＯ２の含有量が少な過ぎると、耐水性が低下し易くなる。一方、ＴｉＯ２とＺｒＯ２の含有量が多過ぎると、固着温度が上昇し易くなる。
【００３１】
Ｆは、高温粘性を低下させつつ、ガラス転移点付近の温度で異常収縮を低減する成分である。Ｆの含有量は、好ましくは０〜２％、より好ましくは０．１〜１％である。Ｆの含有量が多過ぎると、環境負荷が増大し易くなる。
【００３２】
上記成分以外にも、本発明の効果を不当に妨げない限り、例えば、Ｃｌ２、Ｌａ２Ｏ３、ＭｎＯ２、Ｃｒ２Ｏ３、Ｆｅ２Ｏ３、Ｃｏ２Ｏ３等を個別に０．１〜３％導入してもよい。
【００３３】
本発明の封着用ガラスにおいて、３０〜３８０℃での熱膨張係数は、好ましくは６０×１０−７〜１３０×１０−７／℃、より好ましくは８０×１０−７〜１１０×１０−７／℃、更に好ましくは８５×１０−７〜１０５×１０−７／℃、特に好ましくは９０×１０−７〜１００×１０−７／℃である。熱膨張係数が高過ぎると、気密端子の作製後に、封着用ガラスが金属ステムによって十分に圧縮された状態にならず、封着強度を維持し難くなる。一方、熱膨張係数が低過ぎると、気密端子の作製後に、封着用ガラスが金属ピンによって過度に引っ張られた状態になり、金属ピンとの界面において、封着用ガラスにクラックが発生し易くなる。なお、「熱膨張係数」は、３０〜３８０℃の温度範囲において、押棒式熱膨張係数測定装置（ＴＭＡ）で測定した平均線熱膨張係数を指す。
【００３４】
気密端子の作製後に、封着用ガラスが適正な圧縮応力を受けるためには、固着温度の温度範囲における収縮量が、金属ステムの収縮量より小さく、且つ金属ピンの収縮量より大きいことが好ましい。つまり、本発明の封着用ガラスにおいて、３０℃から固着点の温度範囲における熱膨張係数は、好ましくは１００×１０−７〜１５０×１０−７／℃、より好ましくは１２５×１０−７〜１３５×１０−７／℃である。なお、「固着温度」は、ＴＭＡによる熱膨張曲線において、ガラス転移点をＴｇ（℃）、屈伏点をＴｆ（℃）とした時に、Ｔｆ−（Ｔｆ−Ｔｇ）／３の式から算出される温度を指す。
【００３５】
本発明の封着用ガラスにおいて、固着温度は、好ましくは５８５℃以下、より好ましくは５５０℃以下、更に好ましくは４８０〜５３５℃、特に好ましくは５００〜５２５℃である。固着温度が高過ぎると、冷却後に発生する残留応力が大きくなり、気密リークの発生確率が上昇し易くなる。
【００３６】
本発明の封着用ガラスは、顆粒形状であることが好ましい。このようにすれば、打錠成型により、所定形状の圧粉体、特に金属ピンを通すための貫通孔を有する圧粉体を容易に作製することができる。
【００３７】
本発明の封着用ガラスは、焼結体であることが好ましい。このようにすれば、金属ピンを挿入した後、金属ステム内に収容する際に、封着用ガラスの欠けを抑制することができる。
【００３８】
焼結体の封着密度は、好ましくは８２％以上、８５％以上、８８％以上、９２％以上、特に９５〜９９％である。焼結体の封着密度は、焼結体中の泡の割合を反映している。封着密度が小さい程、焼結体中の泡の割合が大きくなり、封着不良が発生し易くなる。ここで、「封着密度」は、{（焼結体の密度）／（泡なしのガラスバルクの密度）}×１００の式で算出した値を指す。
【実施例】
【００３９】
以下、本発明を実施例に基づいて説明する。なお、以下の実施例は単なる例示である。本発明は、以下の実施例に何ら限定されない。
【００４０】
表１は、本発明の実施例（試料Ｎｏ．１〜３）及び比較例（試料Ｎｏ．４〜６）を示している。
【００４１】
【表１】
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【００４２】
まず表中のガラス組成になるように、ガラス原料を調合したガラスバッチを白金坩堝に入れ、１５００℃で４時間溶融した。ガラスバッチの溶解に際しては、白金スターラーを用いて攪拌し、均質化を行った。次いで、溶融ガラスをカーボン板上に流し出し、板状に成形した後、徐冷点より２０℃程度高い温度から、３℃／分で常温まで徐冷した。得られた各ガラス試料について、種々の特性を評価した。
【００４３】
α３０〜Ｔｓｅｔは、３０℃から固着温度までの温度範囲においてＴＭＡで測定した平均線熱膨張係数である。なお、固着温度は、ＴＭＡによる熱膨張曲線において、ガラス転移点をＴｇ（℃）、屈伏点をＴｆ（℃）とした時に、Ｔｆ−（Ｔｆ−Ｔｇ）／３の式から算出される温度である。
【００４４】
△αＴｇは、固着温度を起点として、金属ステムの熱膨張曲線とガラス試料の熱膨張曲線を重ね合わせた後、ガラス試料のガラス転移点（屈曲点）における両者の熱膨張差を評価したものである。なお、△αＴｇは、引張応力による封着用ガラスのクラックを防止する観点から、１５×１０−７／℃以下が好ましい。
【００４５】
封着密度は、{（焼結体の密度）／（成形後のガラスバルクの密度）}×１００の式で算出した値である。封着密度が大きい程、焼成体中の発泡が少ないことを意味する。なお、焼結体は、成形後のガラスを平均粒径Ｄ５０２５〜３０μｍに粉砕・分級した後、得られたガラス粉末を顆粒化し、（ガラス粉末の軟化点＋３０℃）の温度で１０分間焼成したものである。
【００４６】
図２は、固着温度を起点として、金属ステムと金属ピンの熱膨張曲線と、試料Ｎｏ．１の熱膨張曲線とを重ね合わせたデータを示している。図３は、固着温度を起点として、金属ステムと金属ピンの熱膨張曲線と、試料Ｎｏ．２の熱膨張曲線とを重ね合わせたデータを示している。図４は、固着温度を起点として、金属ステムと金属ピンの熱膨張曲線と、試料Ｎｏ．３の熱膨張曲線とを重ね合わせたデータを示している。図５は、固着温度を起点として、金属ステムと金属ピンの熱膨張曲線と、試料Ｎｏ．４の熱膨張曲線とを重ね合わせたデータを示している。図６は、固着温度を起点として、金属ステムと金属ピンの熱膨張曲線と、試料Ｎｏ．５の熱膨張曲線とを重ね合わせたデータを示している。なお、図２〜６において、実線は金属ステム（熱膨張係数１５０×１０−７／℃）と金属ピン（熱膨張係数１１０×１０−７／℃）の熱膨張曲線を示しており、点線はガラス試料の熱膨張曲線を示している。
【００４７】
表１、図２〜６から明らかなように、試料Ｎｏ．１〜３は、ガラス転移点付近の温度において金属ステムとの熱膨張差が小さかった。一方、試料Ｎｏ．４〜６は、ガラス転移点付近の温度において金属ステムとの熱膨張差が大きかった。よって、試料Ｎｏ．４〜６を用いて、気密端子を作製する場合、一時的な引張応力によりクラックが発生する虞があるものと考えられる。
【符号の説明】
【００４８】
１  気密端子
１１  金属ステム
１２  金属ピン
１３  封着用ガラス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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