(57)【要約】【課題】低温時の粘度が比較的高いグリースが使用されている減速機を有する産業用ロボットにおいて、電源投入後に暖気運転を行わなくても、減速機が連結されるモータのトルクがグリースの粘度に起因して制限値を超えてしまうのを防止することが可能な産業用ロボットを提供する。【解決手段】産業用ロボット１は、産業用ロボット１を動作させるモータ１６と、モータ１６の動力を減速して伝達するとともに潤滑剤としてグリースが使用される減速機１７とを備えている。産業用ロボット１の通常動作時のモータ１６の回転速度を通常回転速度とすると、産業用ロボット１では、産業用ロボット１の電源投入後、産業用ロボット１の電源投入後にモータ１６に流れた電流の値と時間とに基づいて算出されるサーマル値が所定の閾値を超えるまでは、通常回転速度よりも遅い回転速度でモータ１６が回転し、サーマル値が閾値を超えると、通常回転速度でモータ１６が回転している。【選択図】図１
2017024096.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
産業用ロボットを動作させるモータと、前記モータの動力を減速して伝達するとともに潤滑剤としてグリースが使用される減速機と、前記モータを制御する制御部とを備え、
前記産業用ロボットの通常動作時の前記モータの回転速度を通常回転速度とすると、
前記制御部は、前記産業用ロボットの電源投入後、前記産業用ロボットの電源投入後に前記モータに流れた電流の値と時間とに基づいて算出されるサーマル値または前記モータの温度または前記減速機の温度または前記グリースの温度または前記グリースの粘度または前記産業用ロボットの電源投入後の前記モータの回転量が所定の閾値を超えるまでは、前記通常回転速度よりも遅い回転速度で前記モータを回転させ、前記サーマル値または前記モータの温度または前記減速機の温度または前記グリースの温度または前記グリースの粘度または前記産業用ロボットの電源投入後の前記モータの回転量が前記閾値を超えると、前記通常回転速度で前記モータを回転させることを特徴とする産業用ロボット。
【請求項２】
前記制御部は、前記モータの電流値を二乗した電流二乗値を算出する電流値二乗部と、前記電流値二乗部で算出された前記電流二乗値を所定の時定数でフィルタリングすることによって前記サーマル値を算出する一次ローパスフィルタと、前記一次ローパスフィルタで算出された前記サーマル値と前記閾値とを比較する比較部とを備え、前記産業用ロボットの電源投入後、前記サーマル値が前記閾値を超えるまでは、前記通常回転速度よりも遅い回転速度で前記モータを回転させ、前記サーマル値が前記閾値を超えると、前記通常回転速度で前記モータを回転させることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。
【請求項３】
関節部を有するアームを備え、
前記モータは、前記アームを駆動し、
前記減速機は、前記関節部に配置されていることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。
【請求項４】
前記産業用ロボットを動作させる第２モータと、前記第２モータの動力を減速して伝達する第２減速機とを備え、
前記第２減速機では、潤滑剤として、前記減速機で使用される前記グリースよりも温度低下に伴う粘度の上昇度合の小さいグリースが使用され、
前記産業用ロボットの通常動作時の前記第２モータの回転速度を第２通常回転速度とすると、
前記制御部は、前記産業用ロボットの電源投入後から前記第２通常回転速度で前記第２モータを回転させることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の産業用ロボット。
【請求項５】
関節部を有するアームと、前記アームを昇降可能に保持する第１保持部と、前記第１保持部を回動可能に保持する第２保持部と、前記第２保持部を水平移動可能に保持する第３保持部と、前記アームを駆動する前記モータとを備えるとともに、前記第２モータとして、前記アームを昇降させる昇降モータと、前記第２保持部に対して前記第１保持部を回動させる回動モータと、前記第３保持部に対して前記第２保持部を水平移動させる水平移動モータとを備えることを特徴とする請求項４記載の産業用ロボット。
【請求項６】
産業用ロボットを動作させるモータと、前記モータの動力を減速して伝達するとともに潤滑剤としてグリースが使用される減速機とを備える産業用ロボットの制御方法であって、
前記産業用ロボットの通常動作時の前記モータの回転速度を通常回転速度とすると、前記産業用ロボットの電源投入後、前記産業用ロボットの電源投入後に前記モータに流れた電流の値と時間とに基づいて算出されるサーマル値または前記モータの温度または前記減速機の温度または前記グリースの温度または前記グリースの粘度または前記産業用ロボットの電源投入後の前記モータの回転量が所定の閾値を超えるまでは、前記通常回転速度よりも遅い回転速度で前記モータを回転させ、前記サーマル値または前記モータの温度または前記減速機の温度または前記グリースの温度または前記グリースの粘度または前記産業用ロボットの電源投入後の前記モータの回転量が前記閾値を超えると、前記通常回転速度で前記モータを回転させることを特徴とする産業用ロボットの制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、産業用ロボットおよび産業用ロボットの制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、垂直多関節型のロボットとして、各関節を駆動する駆動ユニットを備えるロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のロボットでは、駆動ユニットは、モータと減速機とエンコーダとブレーキとを備えている。モータには、モータの周囲の温度を検出するための温度センサが取り付けられている。特許文献１に記載のロボットでは、停止状態または休止状態のロボットが起動したときに、暖気運転が行われている。
【０００３】
また、従来、ロボットで使用されるモータの過負荷を検出するための過負荷検出装置が知られている（たとえば、特許文献２参照）。特許文献２に記載の過負荷検出装置は、モータの電流値を二乗する電流値二乗手段と、所定の時定数でもって電流値二乗手段からの電流二乗値をフィルタリングすることでサーマル値を得る一次フィルタと、一次フィルタからのサーマル値が所定の基準値よりも大きいときにエラーとする過負荷比較器とを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−６６６６９号公報
【特許文献２】特開平７−１４３６６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本願発明者は、関節部を有するアームを駆動するモータと、関節部に配置されるとともにモータの動力を減速して伝達する減速機とを備える産業用ロボットの開発を行っている。また、本願発明者は、この産業用ロボットにおいて、ロボットの動作精度を向上させるため、減速機の潤滑剤として、低温時に比較的粘度が高くなるグリースを採用することを検討している。長時間停止していたロボットに電源を投入した直後は、減速機が冷えていて、減速機で使用されるグリースが冷えていることがある。そのため、低温時に粘度の高いグリースが減速機で使用される場合、長時間停止していたロボットに電源を投入したときに、グリースの粘度が高くなっていることがある。また、グリースの粘度が高くなっている状態でモータを駆動すると、グリースの粘度の影響でモータのトルクが大きくなって制限値を超え、モータエラーが生じるおそれがある。
【０００６】
このモータエラーの発生を防止するためには、ロボットの電源投入後に、特許文献１に記載のロボットのように暖気運転を行って、グリースの温度を上げてグリースの粘度を低下させれば良い。しかしながら、暖気運転が行われているときのロボットは搬送動作や組立動作等の実際の動作を行うことができないため、ロボットが設置される生産システムの生産性が低下する。また、近年、ロボットが設置される生産システムでは、省スペース化の要求が高まっており、ロボットの設置スペースが狭いと、暖気運転を行うことができないといった事態も生じうる。
【０００７】
そこで、本発明の課題は、潤滑剤として低温時の粘度が比較的高いグリースが使用されている減速機を有する産業用ロボットにおいて、産業用ロボットの電源投入後に暖気運転を行わなくても、減速機が連結されるモータのトルクがグリースの粘度に起因して制限値を超えてしまうのを防止することが可能な産業用ロボットを提供することにある。また、本発明の課題は、潤滑剤として低温時の粘度が比較的高いグリースが使用されている減速機を有する産業用ロボットにおいて、産業用ロボットの電源投入後に暖気運転を行わなくても、減速機が連結されるモータのトルクがグリースの粘度に起因して制限値を超えてしまうのを防止することが可能となる産業用ロボットの制御方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、産業用ロボットを動作させるモータと、モータの動力を減速して伝達するとともに潤滑剤としてグリースが使用される減速機と、モータを制御する制御部とを備え、産業用ロボットの通常動作時のモータの回転速度を通常回転速度とすると、制御部は、産業用ロボットの電源投入後、産業用ロボットの電源投入後にモータに流れた電流の値と時間とに基づいて算出されるサーマル値またはモータの温度または減速機の温度またはグリースの温度またはグリースの粘度または産業用ロボットの電源投入後のモータの回転量が所定の閾値を超えるまでは、通常回転速度よりも遅い回転速度でモータを回転させ、サーマル値またはモータの温度または減速機の温度またはグリースの温度またはグリースの粘度または産業用ロボットの電源投入後のモータの回転量が閾値を超えると、通常回転速度でモータを回転させることを特徴とする。
【０００９】
また、上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットの制御方法は、産業用ロボットを動作させるモータと、モータの動力を減速して伝達するとともに潤滑剤としてグリースが使用される減速機とを備える産業用ロボットの制御方法であって、産業用ロボットの通常動作時のモータの回転速度を通常回転速度とすると、産業用ロボットの電源投入後、産業用ロボットの電源投入後にモータに流れた電流の値と時間とに基づいて算出されるサーマル値またはモータの温度または減速機の温度またはグリースの温度またはグリースの粘度または産業用ロボットの電源投入後のモータの回転量が所定の閾値を超えるまでは、通常回転速度よりも遅い回転速度でモータを回転させ、サーマル値またはモータの温度または減速機の温度またはグリースの温度またはグリースの粘度または産業用ロボットの電源投入後のモータの回転量が閾値を超えると、通常回転速度でモータを回転させることを特徴とする。
【００１０】
本発明では、産業用ロボットの通常動作時のモータの回転速度を通常回転速度とすると、産業用ロボットの電源投入後、産業用ロボットの電源投入後にモータに流れた電流の値と時間とに基づいて算出されるサーマル値またはモータの温度または減速機の温度またはグリースの温度またはグリースの粘度または産業用ロボットの電源投入後のモータの回転量が所定の閾値を超えるまでは、通常回転速度よりも遅い回転速度でモータを回転させ、サーマル値またはモータの温度または減速機の温度またはグリースの温度またはグリースの粘度または産業用ロボットの電源投入後のモータの回転量が閾値を超えると、通常回転速度でモータを回転させている。そのため、本発明では、産業用ロボットの電源投入時に、減速機で使用されるグリースの温度が低くてグリースの粘度が高くなっており、グリースの粘度に起因してモータに作用する負荷が高くなっていても、産業用ロボットの電源投入後から、グリースの温度が高くなってグリースの粘度が低下するまでの間、通常回転速度より遅い回転速度でモータを回転させることが可能になる。したがって、本発明では、産業用ロボットの電源投入後からグリースの粘度が低下するまでの間に、グリースの粘度に起因してモータのトルクが制限値を超えてしまうのを防止することが可能になり、その結果、産業用ロボットの電源投入後に暖気運転を行わなくても、グリースの粘度に起因してモータのトルクが制限値を超えてしまうのを防止することが可能になる。
【００１１】
本発明において、制御部は、モータの電流値を二乗した電流二乗値を算出する電流値二乗部と、電流値二乗部で算出された電流二乗値を所定の時定数でフィルタリングすることによってサーマル値を算出する一次ローパスフィルタと、一次ローパスフィルタで算出されたサーマル値と閾値とを比較する比較部とを備え、産業用ロボットの電源投入後、サーマル値が閾値を超えるまでは、通常回転速度よりも遅い回転速度でモータを回転させ、サーマル値が閾値を超えると、通常回転速度でモータを回転させることが好ましい。このように構成すると、モータ、減速機あるいはグリースの温度や、グリースの粘度や、産業用ロボットの電源投入後のモータの回転量を検出するための手段が不要になる。したがって、産業用ロボットの構成を簡素化することが可能になる。
【００１２】
本発明において、産業用ロボットは、たとえば、関節部を有するアームを備え、モータは、アームを駆動し、減速機は、関節部に配置されている。
【００１３】
本発明において、産業用ロボットは、産業用ロボットを動作させる第２モータと、第２モータの動力を減速して伝達する第２減速機とを備え、第２減速機では、潤滑剤として、減速機で使用されるグリースよりも温度低下に伴う粘度の上昇度合の小さいグリースが使用され、産業用ロボットの通常動作時の第２モータの回転速度を第２通常回転速度とすると、制御部は、産業用ロボットの電源投入後から第２通常回転速度で第２モータを回転させることが好ましい。このように構成すると、温度が低下しても粘度が高くなりにくいグリースが使用される第２減速機が連結されており、産業用ロボットの電源投入後のグリースの粘度に起因するトルクの増加が発生しにくい第２モータは、産業用ロボットの電源投入後から第２通常回転速度で回転しているため、産業用ロボットが設置される生産システムの生産性の低下を抑制することが可能になる。
【００１４】
この場合には、産業用ロボットは、たとえば、関節部を有するアームと、アームを昇降可能に保持する第１保持部と、第１保持部を回動可能に保持する第２保持部と、第２保持部を水平移動可能に保持する第３保持部と、アームを駆動するモータとを備えるとともに、第２モータとして、アームを昇降させる昇降モータと、第２保持部に対して第１保持部を回動させる回動モータと、第３保持部に対して第２保持部を水平移動させる水平移動モータとを備えている。
【発明の効果】
【００１５】
以上のように、本発明では、潤滑剤として低温時の粘度が比較的高いグリースが使用されている減速機を有する産業用ロボットにおいて、産業用ロボットの電源投入後に暖気運転を行わなくても、減速機が連結されるモータのトルクがグリースの粘度に起因して制限値を超えてしまうのを防止することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。
【図２】図１のＥ−Ｅ方向から産業用ロボットを示す側面図である。
【図３】図１に示す産業用ロボットの制御部と制御部に接続されるモータとモータに連結される減速機のブロック図である。
【図４】図３に示す制御部の一部の構成を説明するためのブロック図である。
【図５】図１に示す産業用ロボットの電源投入時のモータの制御フローの一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
【００１８】
（産業用ロボットの構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。図２は、図１のＥ−Ｅ方向から産業用ロボット１を示す側面図である。図３は、図１に示す産業用ロボット１の制御部３５と制御部３５に接続されるモータ１６、２３、２５、２７、２９とモータ１６、２３、２５、２７、２９に連結される減速機１７、２４、２６、２８、３０のブロック図である。図４は、図３に示す制御部３５の一部の構成を説明するためのブロック図である。
【００１９】
本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、ガラス基板等の基板２を搬送するための水平多関節型ロボットである。ロボット１は、基板２が搭載される２個のハンド３と、２個のハンド３のそれぞれが先端側に連結される２本のアーム４と、２本のアーム４を支持する本体部５と、本体部５を水平方向に移動可能に支持するベース６とを備えている。本体部５は、アーム４の基端側を支持するとともに上下動可能なアームサポート７と、アームサポート７を上下動可能に支持する支持フレーム８と、本体部５の下端部分を構成するとともにベース６に対して水平移動可能な基台９と、支持フレーム８の下端が固定されるとともに基台９に対して回動可能な旋回フレーム１０とを備えている。
【００２０】
アーム４は、第１アーム部１２と第２アーム部１３との２個のアーム部によって構成されている。第１アーム部１２の基端側は、アームサポート７に回動可能に連結されている。第１アーム部１２の先端側には、第２アーム部１３の基端側が回動可能に連結されている。第１アーム部１２と第２アーム部１３との連結部分は関節部１４となっている。第２アーム部１３の先端側には、ハンド３が回動可能に連結されている。
【００２１】
また、ロボット１は、２本のアーム４のそれぞれを伸縮させる２個のアーム駆動機構１５を備えている。アーム駆動機構１５は、アーム４を駆動するモータ１６と、モータ１６の動力を減速して伝達する減速機１７とを備えている。モータ１６は、サーボモータであり、たとえば、中空状に形成される第１アーム部１２の内部に配置されている。減速機１７は、たとえば、中空減速機であり、関節部１４に配置されている。モータ１６と減速機１７とは、ベルトおよびプーリを介して連結されている。減速機１７の内部では、歯車や軸受の潤滑剤としてグリースが使用されている。アーム駆動機構１５は、ハンド３が一定方向を向いた状態で、かつ、関節部１４が略直線的に移動するようにアーム４を水平方向へ伸縮させる。
【００２２】
支持フレーム８は、アームサポート７を介してハンド３およびアーム４を昇降可能に保持している。この支持フレーム８は、アームサポート７を昇降可能に保持する柱状の第１支持フレーム２０と、第１支持フレーム２０を昇降可能に保持する柱状の第２支持フレーム２１とを備えている。また、ロボット１は、第１支持フレーム２０に対してアームサポート７を昇降させる昇降機構と、第２支持フレーム２１に対して第１支持フレーム２０を昇降させる昇降機構と、第１支持フレーム２０を上下方向に案内するガイド機構と、アームサポート７を上下方向へ案内するガイド機構とを備えている。
【００２３】
第１支持フレーム２０に対してアームサポート７を昇降させる昇降機構は、たとえば、ボールネジと、ボールネジのネジ軸を回転させるモータ２３と、モータ２３の動力を減速して伝達する減速機２４とを備えている。同様に、第２支持フレーム２１に対して第１支持フレーム２０を昇降させる昇降機構は、たとえば、ボールネジと、ボールネジのネジ軸を回転させるモータ２５と、モータ２５の動力を減速して伝達する減速機２６とを備えている。モータ２３、２５は、サーボモータである。
【００２４】
旋回フレーム１０は、上述のように、基台９に対して回動可能となっている。ロボット１は、基台９に対して旋回フレーム１０を回動させる回動機構を備えている。この回動機構は、モータ２７と、モータ２７の動力を減速して伝達する減速機２８とを備えている。モータ２７は、サーボモータである。回動機構の動力によって旋回フレーム１０が回動すると、ハンド３、アーム４、アームサポート７および支持フレーム８が旋回フレーム１０と一緒に基台９に対して回転する。
【００２５】
基台９は、上述のように、ベース６に対して水平移動可能となっている。ロボット１は、ベース６に対して基台９を水平移動させる水平移動機構を備えている。この水平移動機構は、モータ２９と、モータ２９の動力を減速して伝達する減速機３０とを備えている。モータ２９は、サーボモータである。水平移動機構の動力によって基台９が水平方向へ移動すると、ハンド３、アーム４、アームサポート７、支持フレーム８および旋回フレーム１０が基台９と一緒にベース６に対して水平方向へ移動する。
【００２６】
本形態の支持フレーム８は、アーム４を昇降可能に保持する第１保持部であり、基台９は、第１保持部である支持フレーム８を回動可能に保持する第２保持部であり、ベース６は、第２保持部である基台９を水平移動可能に保持する第３保持部である。また、本形態では、モータ２３、２５は、アーム４を昇降させる昇降モータであり、モータ２７は、基台９に対して支持フレーム８を回動させる回動モータであり、モータ２９は、ベース６に対して基台９を水平移動させる水平移動モータである。また、本形態のモータ２３、２５、２７、２９は、第２モータであり、減速機２４、２６、２８、３０は、第２減速機である。
【００２７】
減速機２４、２６、２８、３０の内部では、歯車や軸受の潤滑剤としてグリースが使用されている。本形態では、減速機２４、２６、２８、３０で使用されるグリースは、減速機１７で使用されるグリースよりも、温度低下に伴う粘度の上昇度合が小さくなっている。すなわち、減速機１７で使用されるグリースは、温度が下がると粘度が高くなるが、減速機２４、２６、２８、３０で使用されるグリースは、温度が下がっても、減速機１７で使用されるグリースほど粘度が高くならない。
【００２８】
図３に示すように、ロボット１の制御部３５には、モータ１６、２３、２５、２７、２９が接続されており、制御部３５は、モータ１６、２３、２５、２７、２９を制御する。この制御部３５は、図４に示すように、モータ１６の電流値を二乗した電流二乗値を算出する電流値二乗部３７と、電流値二乗部３７で算出された電流二乗値を所定の時定数でフィルタリングすることによってサーマル値（負荷率）を算出する一次ローパスフィルタ３８と、一次ローパスフィルタ３８で算出されたサーマル値と所定の閾値とを比較する比較部３９とを備えている。
【００２９】
電流値二乗部３７は、モータ１６を制御するためのトルク指令値または電流指令値、あるいは、モータ１６に流れる電流のフィードバック値等から特定されるモータ１６の電流値を二乗して電流二乗値を算出する。一次ローパスフィルタ３８は、たとえば、上述の特許文献２に記載の一次フィルタと同様に構成されている。すなわち、一次ローパスフィルタ３８は、特許文献２に記載されているように、減算器と係数乗算要素と加算器と遅延要素とから構成されており、モータ１６に流れた電流の値と時間とに基づいてサーマル値を算出している。比較部３９は、一次ローパスフィルタ３８で算出されたサーマル値と所定の閾値とを比較して比較結果を出力する。
【００３０】
（電源投入時の産業用ロボットの制御方法）
図５は、図１に示すロボット１の電源投入時のモータ１６の制御フローの一例を示すフローチャートである。以下の説明では、ロボット１の通常動作時（すなわち、ロボット１の電源が投入されてから十分に時間が経過した後のロボット１の動作時）のモータ１６、２３、２５、２７、２９のそれぞれの回転速度を通常回転速度とする。なお、本形態では、モータ２３、２５、２７、２９のそれぞれの通常回転速度は第２通常回転速度である。
【００３１】
電源が切られた状態のロボット１の電源が投入されてロボット１が起動すると、制御部３５は、モータ１６のサーマル値を算出し（ステップＳ１）、算出したサーマル値と所定の閾値とを比較する（ステップＳ２）。ステップＳ２において、サーマル値が閾値を超えていない場合に、制御部３５にモータ１６の起動指令が入力されると、制御部３５は、通常回転速度よりも遅い回転速度（低回転速度）でモータ１６を回転させる（ステップＳ３）。ステップＳ３では、たとえば、通常回転速度の７５％の回転速度でモータ１６を回転させる。なお、ステップＳ２および後述のステップＳ５においてサーマル値と比較される閾値は、実験によって予め算出されている。この閾値は、ロボット１の電源投入後、モータ１６のトルクが通常動作時のトルクと等しくなったときのサーマル値と閾値とがほぼ等しくなるように設定されている。
【００３２】
その後、制御部３５は、一定の周期で（たとえば、４００ｍｓｅｃの周期で）サーマル値を算出し（ステップＳ４）、算出したサーマル値と閾値とを比較する（ステップＳ５）。ステップＳ５において、サーマル値が閾値を超えていない場合に、制御部３５にモータ１６の起動指令が入力されると、ステップＳ３に戻って、制御部３５は、低回転速度でモータ１６を回転させる。一方、ステップＳ５において、サーマル値が閾値を超えている場合に、制御部３５にモータ１６の起動指令が入力されると、制御部３５は、通常回転速度でモータ１６を回転させる（ステップＳ６）。また、ステップＳ２において、サーマル値が閾値を超えている場合に、制御部３５にモータ１６の起動指令が入力されたときにも、ステップＳ６へ進んで、制御部３５は、通常回転速度でモータ１６を回転させる。
【００３３】
このように、制御部３５は、ロボット１の電源投入後、サーマル値が所定の閾値を超えるまでは、通常回転速度よりも遅い低回転速度でモータ１６を回転させる。また、制御部３５は、サーマル値が閾値を超えると、通常回転速度でモータ１６を回転させる。一方、制御部３５は、モータ２３、２５、２７、２９については、ロボット１の電源投入後から通常回転速度でモータ２３、２５、２７、２９を回転させる。なお、ロボット１の電源が投入されてから所定時間が経過した後もステップＳ５においてサーマル値が閾値を超えない場合には、制御部３５は、異常が発生したとして、ロボット１を停止させても良い。
【００３４】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、ロボット１の電源投入後、サーマル値が所定の閾値を超えるまでは、通常回転速度よりも遅い低回転速度でモータ１６を回転させ、サーマル値が閾値を超えると、通常回転速度でモータ１６を回転させている。そのため、本形態では、ロボット１の電源投入時に、減速機１７で使用されるグリースの温度が低くてグリースの粘度が高くなっており、グリースの粘度に起因してモータ１６に作用する負荷が高くなっていても、ロボット１の電源投入後からグリースの温度が高くなってグリースの粘度が低下するまでの間、通常回転速度より遅い低回転速度でモータ１６を回転させることが可能になる。したがって、本形態では、ロボット１の電源投入後からグリースの粘度が低下するまでの間に、グリースの粘度に起因してモータ１６のトルクが制限値を超えてしまうのを防止することが可能になり、その結果、ロボット１の電源投入後に暖気運転を行わなくても、減速機１７のグリースの粘度に起因してモータ１６のトルクが制限値を超えてしまうのを防止することが可能になる。
【００３５】
本形態では、制御部３５は、ロボット１の電源投入後から通常回転速度でモータ２３、２５、２７、２９を回転させている。すなわち、本形態では、温度が下がっても減速機１７で使用されるグリースほど粘度が高くならないグリースが使用される減速機２４、２６、２８、３０が連結されており、ロボット１の電源投入後のグリースの粘度に起因するトルクの増加が発生しにくいモータ２３、２５、２７、２９は、ロボット１の電源投入後から通常回転速度で回転させている。そのため、本形態では、ロボット１が設置される生産システムの生産性の低下を抑制することが可能になる。
【００３６】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【００３７】
上述した形態では、ロボット１の電源投入後、サーマル値が所定の閾値を超えるまでは、通常回転速度よりも遅い低回転速度でモータ１６を回転させ、サーマル値が閾値を超えた後に、通常回転速度でモータ１６を回転させている。この他にもたとえば、ロボット１の電源投入後、モータ１６の温度または減速機１７の温度あるいは減速機１７で使用されるグリースの温度が所定の閾値を超えるまでは、低回転速度でモータ１６を回転させ、モータ１６の温度または減速機１７の温度あるいは減速機１７で使用されるグリースの温度が閾値を超えた後に、通常回転速度でモータ１６を回転させても良い。
【００３８】
また、減速機１７で使用されるグリースの粘度またはロボット１の電源投入後のモータ１６の回転量が所定の閾値を超えるまでは、低回転速度でモータ１６を回転させ、減速機１７で使用されるグリースの粘度またはロボット１の電源投入後のモータ１６の回転量が閾値を超えた後に、通常回転速度でモータ１６を回転させても良い。ただし、上述した形態のようにサーマル値を用いる場合には、モータ等の温度やグリースの粘度等を検出するための手段が不要になるため、ロボット１の構成を簡素化することが可能になる。
【００３９】
上述した形態では、温度が下がると減速機１７で使用されるグリースの粘度が高くなるため、ロボット１の電源投入後からサーマル値が閾値を超えるまで、通常回転速度よりも遅い回転速度でモータ１６を回転させている。この他にもたとえば、温度が下がると減速機２４で使用されるグリースの粘度が高くなる場合には、ロボット１の電源投入後から、ロボット１の電源投入後にモータ２３に流れた電流の値と時間とに基づいて算出されるサーマル値が所定の閾値を超えるまで、通常回転速度よりも遅い回転速度でモータ２３を回転させても良い。
【００４０】
同様に、温度が下がると減速機２６で使用されるグリースの粘度が高くなる場合には、ロボット１の電源投入後からサーマル値が所定の閾値を超えるまで、通常回転速度よりも遅い回転速度でモータ２５を回転させても良いし、温度が下がると減速機２８で使用されるグリースの粘度が高くなる場合には、ロボット１の電源投入後からサーマル値が所定の閾値を超えるまで、通常回転速度よりも遅い回転速度でモータ２７を回転させても良いし、温度が下がると減速機３０で使用されるグリースの粘度が高くなる場合には、ロボット１の電源投入後からサーマル値が所定の閾値を超えるまで、通常回転速度よりも遅い回転速度でモータ２９を回転させても良い。
【００４１】
上述した形態では、ロボット１は、基板２を搬送するためのロボットであるが、ロボット１は、半導体ウエハ等の基板２以外の搬送対象物を搬送するロボットであっても良い。また、上述した形態では、ロボット１は、水平多関節型のロボットであるが、本発明が適用されるロボットは、垂直多関節型のロボット等の他の形式のロボットであっても良い。
【符号の説明】
【００４２】
１  ロボット（産業用ロボット）
４  アーム
６  ベース（第３保持部）
８  フレーム（第１保持部）
９  基台（第２保持部）
１４  関節部
１６  モータ
１７  減速機
２３、２５  モータ（昇降モータ、第２モータ）
２４、２６、２８、３０  減速機（第２減速機）
２７  モータ（回動モータ、第２モータ）
２９  モータ（水平移動モータ、第２モータ）
３５  制御部
３７  電流値二乗部
３８  一次ローパスフィルタ
３９  比較部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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