(57)【要約】【課題】バックアップロール上を搬送される被塗布部材に対し、ダイから塗布液を吐出して塗布膜を形成する塗布装置において、バックアップロールの偏心や被塗布部材の搬送方向の厚みムラがあっても、ダイと被塗布部材の間隙を一定に維持することが可能な塗布装置を提供する。【解決手段】バックアップロール上を搬送される被塗布部材に対して塗布液を吐出するダイ本体と、前記ダイ本体の幅方向両端部に位置し、かつ前記ダイ本体よりも前記被塗布部材側に突出させた状態で前記ダイ本体と一体的に移動可能に設けられ、前記被塗布部材に対して気体を噴出する気体噴出部と、前記気体噴出部から噴出する気体の圧力を調整して、前記ダイ本体と前記被塗布部材の間隙を調整する圧力制御部と、を有し、さらに前記気体噴出部の気体噴出面に静圧ポケットを有することを特徴とする塗布装置。【選択図】図１
2017047339.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
バックアップロール上を搬送される被塗布部材に対して塗布液を吐出するダイ本体と、前記ダイ本体の幅方向両端部に位置し、かつ前記ダイ本体よりも前記被塗布部材側に突出させた状態で前記ダイ本体と一体的に移動可能に設けられ、前記被塗布部材に対して気体を噴出する気体噴出部と、前記気体噴出部から噴出する気体の圧力を調整して、前記ダイ本体と前記被塗布部材の間隙を調整する圧力制御部と、を有し、さらに前記気体噴出部の気体噴出面に静圧ポケットを有することを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
前記静圧ポケットの、前記被塗布部材の搬送方向長さが、０より大きくかつ前記バックアップロール直径の１／６０以下であることを特徴とする、請求項１に記載の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、円弧状の表面を持つ支持体であるバックアップロール上を搬送される被塗布部材に対し、ダイから塗布液を吐出して塗布膜を形成する塗布装置、および該ダイと被塗布部材との間に形成される間隙を精度よく維持可能な塗布装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
フィルムや紙、布などの帯状の被塗布部材に機能性の塗布膜を形成する塗布装置の一つに、ダイコーターが知られている。ダイコーターでは、バックアップロール上に抱かれて搬送される帯状の被塗布部材に対し、ダイの先端面を対向して近接させ、この先端面から塗布液を吐出して被塗布部材との間にビードと呼ばれる液溜り（以下、ビードと呼ぶ）を形成しながら、被塗布部材の表面に塗布膜を形成する。
【０００３】
ダイの先端面には、被塗布部材の幅方向に長いスリット状の塗布液吐出口が形成されており、この塗布液吐出口から幅方向に均一な流量で塗布液を吐出することで、被塗布部材の表面に幅方向に均一な厚みの塗布膜を形成することができる。また、ダイ本体に供給する塗布液の流量を時間的に一定に維持することで、被塗布部材の搬送方向に均一な厚みの塗布膜を形成することができる。
【０００４】
さらにダイコーターにおいて、被塗布部材の搬送方向に均一な厚みの塗布膜を形成するためには、ダイ先端面と被塗布部材の間隙（以下、間隙と呼ぶ）を一定に維持する必要がある。
例えば、塗布中に間隙が広がると、ダイ先端面と被塗布部材の間の空間が広くなるため、該空間に形成されるビードの必要体積も大きくなる。この体積変化を補填するため、塗布液吐出口から吐出された塗布液の一部がビードの体積増加に消費され、その結果、被塗布部材上に塗布される塗布液の体積が一時的に小さくなり、形成される塗布膜の厚みが薄くなってしまう。さらに、塗布中の間隙の広がりが大きくなると、ビードが切断してしまい、塗布膜の形成そのものが不可能になる。
逆に、塗布中に間隙が狭くなると、ダイ先端面と被塗布部材の間の空間が狭くなるため、該空間に形成されるビードの必要体積も小さくなる。このとき生じる余剰な体積分の塗布液は、被塗布部材上に押し出されて塗布され、その結果、被塗布部材上に塗布される塗布液の体積が一時的に大きくなり、形成される塗布膜の厚みが厚くなってしまう。さらに、塗布中の間隙の狭まりが大きくなると、ダイ先端面と被塗布部材が衝突してしまい、被塗布部材やダイ先端面、バックアップロールが破損する。
【０００５】
以上の観点から、被塗布部材上に均一な厚みの塗布膜を形成するためには、ダイと被塗布部材の間隙を一定に維持する必要がある。
【０００６】
前述のような間隙の広がりや狭まりが生じる原因として、被塗布部材の搬送方向の厚みムラや、被塗布部材を搬送するバックアップロールの偏心、バックアップロールと被塗布部材の間に入り込んだ異物による被塗布部材の浮き上がりなどがある。これらが原因となる間隙の変動は、数μｍ〜十数μｍである場合が多く、この影響を軽減するため、ダイコーターでは間隙を１００μｍ以上に設定して塗布を行うケースが多かった。
【０００７】
ところが近年、ダイコーターの塗布速度の高速化や、塗布膜の薄膜化が求められるにつれて、間隙を１００μｍ以下に設定して塗布を行うケースが増えている。これらのケースでは、前述した間隙変動の影響が無視できないほど大きくなるため、塗布中の間隙変動を小さくすることが課題であった。
【０００８】
そこで、本出願人は特許文献１において、非接触式の間隙維持手段を備えた塗布装置を提案している。この塗布装置は、精密定盤や吸着盤上に固定されたガラス基板などの表面が平坦である被塗布部材に対し、ダイ本体を浮上させることで、ダイ先端面と被塗布部材の表面の間隙を一定に維持するものである。具体的には、ダイ先端面と略平行に設けられた気体噴出面から、被塗布部材の表面に対して気体を噴出し、気体噴出面と被塗布部材の間に高圧の静圧空間を形成してダイ本体を浮上させる。このとき、気体噴出面を有する気体噴出部とダイ本体は一体的に移動可能なように保持されているため、被塗布部材表面の搬送方向のうねりに対して気体噴出面が追従して浮上すると、ダイ本体もこれに追従して浮上し、間隙を一定に維持することができる。また、気体噴出面から噴出する気体の圧力を調整することで、ダイ本体の浮上量を制御し、所望の間隙に制御することが可能である。
【０００９】
ところが、前述の塗布装置はガラス板などの表面が平坦である被塗布部材を対象にしており、この塗布装置をバックアップロール上を搬送されるフィルムなどの、被塗布部材の表面が曲面状である被塗布部材にそのまま適用すると、後述の問題が生じる。
【００１０】
第１の問題は、気体噴出部による浮上力が著しく低下する点である。これは、気体噴出面がダイ先端面と略平行に設けられた平面状であるのに対し、被塗布部材の表面が曲面状であるため、気体噴出面と被塗布部材の表面の隙間は一様ではなく、ダイ先端部とバックアップロールの最近接部からバックアップロールの周方向に進むに連れて隙間が広くなる。そのため、気体噴出面から噴出された気体は、バックアップロールの周方向に逃げてしまい、気体噴出面と被塗布部材の表面の間に高圧の静圧空間が形成されず、気体噴出部が浮上しないという問題がある。その結果、ダイ本体も被塗布部材の表面に対して浮上せず、塗布中の間隙を一定に維持できないばかりか、最悪の場合、ダイ先端面と被塗布部材の表面が衝突して双方を破損する恐れがある。
【００１１】
この問題を解決する手段の一つとして、気体噴出面を被塗布部材の表面に合わせて曲面状とすることが考えられる。この手段であれば、気体噴出面と被塗布部材の表面の隙間を一様にすることができるため、気体噴出面から噴出された気体はバックアップロールの周方向に逃げにくく、気体噴出面と被塗布部材の表面の間に高圧の静圧空間を形成することが可能となる。
【００１２】
ところが、この手段では曲面状の気体噴出面と被塗布部材表面の曲率を精度よく合わせる必要があるため、被塗布部材の厚みを変えたり、気体噴出部に供給する気体の圧力を調整して間隙を変えたりすると、気体噴出面と被塗布部材の曲率にずれが生じ、その結果、気体噴出面と被塗布部材の表面の隙間が一様ではなくなり、隙間の広くなった部分から気体が逃げてダイ本体の浮上力が低下してしまう。
【００１３】
また、前述の手段では気体噴出面と被塗布部材の表面の隙間が一様となるよう、気体噴出部の位置および角度を精密よく調整する必要が生じる。具体的には、気体噴出面の曲面の中心軸と、被塗布部材の表面の曲面の中心軸（すなわちバックアップロールの中心軸）を一致させる必要があるが、後者の位置を正確に把握することは難しく、これらを精度よく位置決めすることは現実的ではない。
【００１４】
以上、曲率の一致とバックアップロールの中心軸との一致の２つの観点から、気体噴出面を被塗布部材の表面に合わせて曲面状とする手段は非常に困難である。
【００１５】
第２の問題は、気体噴出部から流出する気体の流量が増加する点である。前述第１の問題で述べたように、気体噴出面が平面状であるのに対し、被塗布部材の表面が曲面状であると、気体噴出面から噴出された気体はバックアップロールの周方向に逃げてしまい、ダイの浮上力が低下する。この対策として、気体噴出部に供給する気体の圧力を増加させて浮上力を高めることが考えられるが、その際、バックアップロールの周方向に逃げる気体の流量が増えてしまう。その結果、気体の消費量が増えてしまうばかりか、塗布膜が形成された側にも気体が流出するため、気体噴出部の近傍で塗布膜の乾燥が進み、乾燥ムラとなって塗布膜の品質が低下する恐れがある。
【００１６】
さらに、気体噴出面から噴出した気体がダイ本体方向に流出し、ビードに吹き付けられると、ビードの形状が乱れ、均一な厚みの塗布膜が形成できなくなる恐れもある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１７】
【特許文献１】特開２０１４−１８０６０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
本発明は以上の事情に基づいて行ったもので、バックアップロール上を搬送される被塗布部材に対しても、ダイと被塗布部材の間隙を一定に維持することが可能な塗布装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明の塗布装置は、バックアップロール上を搬送される被塗布部材に対して塗布液を吐出するダイ本体と、前記ダイ本体の幅方向両端部に位置し、かつ前記ダイ本体よりも前記被塗布部材側に突出させた状態で前記ダイ本体と一体的に移動可能に設けられ、前記被塗布部材に対して気体を噴出する気体噴出部と、前記気体噴出部から噴出する気体の圧力を調整して、前記ダイ本体と前記被塗布部材の間隙を調整する圧力制御部と、を有し、さらに前記気体噴出部の気体噴出面に静圧ポケットを有することを特徴とする。
【００２０】
またここで、前記静圧ポケットの、前記被塗布部材の搬送方向長さは、０より大きくかつバックアップロール直径の１／６０以下であることが好ましい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の塗布装置によれば、バックアップロール上を搬送される被塗布部材の表面に対し、ダイ本体と一体的に移動可能に設けられた気体噴出部から気体を噴出して、ダイ本体を浮上させることで間隙を形成する。その際、被塗布部材の搬送方向の厚みムラやバックアップロールの偏心があっても、被塗布部材の表面に対して間隙が決定されるため、間隙を一定に維持することができる。また、気体噴出部に供給する気体の圧力を調整することで、浮上量を変化させ、間隙を高精度に制御することが可能である。さらに、気体噴出部の気体噴出面に静圧ポケットを形成することで、気体噴出面から噴出された気体は、いったん静圧ポケットの内部に溜まるため、被塗布部材の表面が曲面状であっても該気体が逃げにくく、少ない気体の消費量で高い浮上力を得ることが可能となる。さらに、気体噴出部をダイ本体よりも被塗布部材側に突出させて設けることで、気体噴出部から気体を噴出していない場合でも、ダイ本体と被塗布部材の間に隙間が形成させるため、ダイ本体と被塗布部材が衝突してダイ本体を破損することがない。
【００２２】
さらに静圧ポケットの、被塗布部材の搬送方向長さを、０より大きくかつバックアップロールの１／６０以下にすることで、静圧ポケットからバックアップロールの周方向に気体が逃げにくくなり、静圧ポケットの内部に高圧の静圧空間が形成され、より大きな浮上力を得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係るダイコーター１の概略側面図である。
【図２】被塗布部材６の厚みが増加した場合のダイコーター１の側面概略図である。
【図３】ダイ２、気体噴出部３、および保持部４を図１中のＷ方向から見た場合の斜視図である。
【図４】気体噴出部３の拡大断面図である。
【図５】別の形態の気体噴出部３の拡大断面図である。
【図６】別の形態の気体噴出部３の拡大断面図である。
【図７】図４と同じ形態の気体噴出部３の拡大断面図である。
【図８】静圧ポケット３２の長さＬとバックアップロール５の直径Ｄの比率と、気体噴出部３の浮上力の関係を算出したグラフである。
【図９】図１中のＷ方向から見た気体噴出部３の拡大斜視図である。
【図１０】肉厚ｔと、静圧ポケット３２からＹ方向に流出する気体の風速の関係を算出したグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の好ましい実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明は本発明の実施形態の１つを例示するものであり、これに限定されるものではなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００２５】
図１は、本発明に係るダイコーター１の概略側面図である。ダイコーター１にはダイ２が設けられており、ダイ２の先端面２１は、支持体であるバックアップロール５上を搬送される帯状の被塗布部材６の表面に対し、所定の間隙Ｇを隔てて近接するよう配置されている。このダイ先端面２１に形成されたスリット状の吐出口２２から塗布液を吐出して、被塗布部材６の表面に塗布膜（不図示）を形成する。
さらに、ダイコーター１の幅方向両端部にはそれぞれ気体噴出部３が設けられており、保持部４によってダイ２と一体的に保持されている。このとき、気体噴出部３はダイ２よりも被塗布部材６側に突出量ｄだけ突出するように保持されている。さらに、ダイ２、気体噴出部３、保持部４は、アーム４３と回転軸４２によって、図中のＹ軸回転方向に一体的に搖動可能に設けられている。このとき、ダイ２、気体噴出部３、保持部４は回転軸４２の上方に位置するよう設けられているため、ダイ２、気体噴出部３、保持部４は被塗布部材６に近接または離間する方向に一体的に移動可能である。さらに、回転軸４２より上部にある可動部全体の重心が回転軸４２に対して被塗布部材６側に位置するように調整されており、重力による回転トルクの作用によって、ダイ２、気体噴出部３、保持部４には被塗布部材６に押付けられるように押付け力が発生する。このとき、気体噴出部３は前述の突出量ｄだけダイ２よりも被塗布部材６側に突出しているため、押付け力によってダイ２が被塗布部材６に近接しても、先に気体噴出部３が被塗布部材６に接触し、ダイ２が被塗布部材６に接触することはなく、その結果、ダイ２が破損することはない。
【００２６】
さらに、気体噴出部３には、被塗布部材６に対向して近接する気体噴出面３１が形成されており、この気体噴出面３１から被塗布部材６に向かって気体を噴出することで、気体噴出部３は被塗布部材６から離間する向きに、浮上力が発生する。この浮上力と前述の押付け力の釣り合いによって、気体噴出部３の浮上量Ｆが一義的に決定され、その結果、ダイ２と被塗布部材６の間の間隙Ｇも一義的に決定される。具体的には、間隙Ｇは、前述の気体噴出部３の突出量ｄと、気体噴出部３の浮上量Ｆの足し合わせとなる。
【００２７】
このとき、バックアップロール５に回転中の偏心や、バックアップロール５上を搬送される被塗布部材６に搬送方向の厚みムラが存在しても、気体噴出部３は被塗布部材６の表面に対して浮上するため、浮上量Ｆないしは間隙Ｇは一定に維持される。
図２は、被塗布部材６の厚みが搬送方向に局所的に大きくなった場合の、ダイコーター１の概略側面図である。被塗布部材６の厚みが局所的に大きくなると、前述の浮上力と押付け力の釣り合いを取るため、ダイ２および気体噴出部３は回転軸４２を中心に回転し、被塗布部材６から離間する向きに移動するため、浮上量が一定に維持される。このとき、被塗布部材６の厚みムラは数μｍから数十μｍと、アーム４３の長さＬａと比較して非常に小さいため、前述の回転によるダイ２の傾きθは無視できる。
【００２８】
次に、間隙Ｇの調整手段について説明する。気体噴出部３には、これに供給する気体の圧力を調整する圧力制御部（不図示）が設けられており、気体噴出面３１から噴出する気体の圧力を調整することで、気体噴出部３の浮上量Ｆないしは、間隙Ｇを変更することができる。具体的には、気体噴出面３１から噴出する気体の圧力を上げる（下げる）ことで、気体噴出部３の浮上力を増加（低下）させ、気体噴出部３の浮上量Ｆが大きく（小さく）なり、その結果、間隙Ｇを広く（狭く）することができる。
【００２９】
さらに、回転軸４２に対して、ダイ２とは反対側におもり４１が設けられている。このおもり４１の重量を変更することで、前述の押付け力を調整し、気体噴出部３の浮上量ないしは、間隙Ｇを変更することができる。具体的には、気体噴出面３１から噴出する気体の圧力が一定のときに、おもり４１の重量を増やす（減らす）ことで、気体噴出部３に作用するＺ方向右向きの押付力が減少（増加）し、気体噴出部３の浮上量が大きく（小さく）なり、その結果、間隙Ｇを広く（狭く）することができる。
【００３０】
図３は、ダイ２、気体噴出部３、および保持部４を図１中のＷ方向から見た場合の斜視図である。ダイ２の先端面２１には被塗布部材（不図示）の幅方向に長いスリット状の吐出口２２が形成されている。また、ダイ２の幅方向両端部にはそれぞれ気体噴出部３が設けられ、さらに気体噴出部３の気体噴出面３１には、静圧ポケット３２が形成されている。静圧ポケット３２は図３に示すように、四方を覆う壁面３８によって構成されている。
【００３１】
図４は、気体噴出部３の拡大断面図である。気体噴出部３の気体噴出面３１には、静圧ポケット３２が形成されている。さらに、気体噴出部３の内部は中空構造となっており、マニホールド３３が形成されている。マニホールド３３と静圧ポケット３２は壁面３７で区切られており、さらに壁面３７にはマニホールド３３と静圧ポケット３２を連通する噴出孔３４が開口している。さらに、マニホールド３３には気体供給配管３５が連通している。
図４の気体噴出部３において、気体供給配管３５から供給された気体は、マニホールド３３に一旦溜められたのち、噴出孔３４を通って、被塗布部材６の表面に噴出される。噴出された気体は静圧ポケット３２の内部に一旦溜められたのち、気体噴出面３１と被塗布部材６の隙間ｇを通って気体噴出部３の外部に流出する。このとき、気体噴出面３１と被塗布部材６の隙間ｇが非常に狭いため、気体噴出面３１と被塗布部材６の間に気体の流量に応じた圧力損失が発生し、その結果、静圧ポケット３２の内部に高圧の静圧空間が形成される。これにより、静圧ポケット３２の内部にある壁面３７には図４において左向きの力ｆ’が発生し、これが浮上力となって、気体噴出部３は被塗布部材６に対して浮上する。
【００３２】
図５は、別の形態の気体噴出部３の拡大断面図である。静圧ポケット３２が形成されていない以外は、図４の気体噴出部３と同じである。図５の気体噴出部３において、気体供給配管３５から供給された気体は、マニホールド３３に一旦溜められたのち、噴出孔３４を通って、気体噴出面３１から被塗布部材６の表面に噴出される。このとき、被塗布部材６の表面が曲面状であるため、噴出された気体は気体噴出面３１の中央部には入りこまず、隙間ｇを通って気体噴出部３の外部に流出する。このように、図５の気体噴出部３では噴出された気体が気体噴出面３１に溜められず、高圧の静圧空間が形成されないため、図４の気体噴出部３に対して浮上力が著しく低下する。
【００３３】
図６は、別の形態の気体噴出部３の拡大断面図である。噴出孔３４および壁面３７の代わりに、多孔質部材３６が使われている以外は、図４の気体噴出部３と同じである。図６の気体噴出部３では、マニホールド３３に溜められた気体は、多孔質部材３６を通過して被塗布部材６に噴出する。噴出した気体は静圧ポケット３２の内部に一旦溜められてから、気体噴出面３１と被塗布部材６の隙間ｇを通って気体噴出部３の外部に流出する。このように、気体の噴出孔の形態は特に制限されるものではなく、静圧ポケット３２を通じて被塗布部材６の表面に気体を噴出するものであれば良い。
【００３４】
図７は、図４と同じ形態の気体噴出部３の拡大断面図である。図７において、静圧ポケット３２は噴出された気体が気体噴出面３１と被塗布部材６の間から流出する前に、気体をいったん溜められれば良いので、静圧ポケット３２の深さＨは、気体噴出面３１と被塗布部材６の隙間である浮上量Ｆよりも大きければ良い。
【００３５】
また、図７において、静圧ポケット３２の被塗布部材の６の搬送方向長さＬは、バックアップロール５の直径Ｄの１／６０以下であることが好ましい。より好ましくは１／７５以下、さらに好ましくは１／１００以下である。これは、被塗布部材６の表面が曲面状であるため、静圧ポケット３２の長さＬが大きくなるにつれて、気体噴出面３１と被塗布部材６の隙間ｇが大きくなり、静圧ポケット３２から気体が逃げやすくなるためである。その結果、静圧ポケット３２の内部に高圧の静圧空間が形成できず、気体噴出部３の浮上力が低下し、気体噴出部３と被塗布部材６が衝突する恐れがある。また、バックアップロール直径Ｄが小さくなると、被塗布部材６の表面の曲率が大きくなり、気体噴出面３１と被塗布部材６の隙間ｇがさらに大きくなるため、静圧ポケット３２からより多くの気体が逃げてしまう。
【００３６】
図８は、静圧ポケット３２の長さＬとバックアップロール５の直径Ｄの比率と、気体噴出部３の浮上力の関係を算出したグラフの一例である。このとき、バックアップロール５の直径Ｄを３００ｍｍ、気体噴出面３１の形状を１０ｍｍ四方の正方形状、気体噴出面３１から噴出する気体の圧力を１００ｋＰａ、静圧ポケット３２の深さＨを０．１ｍｍ、静圧ポケット３２の幅方向（Ｙ方向）長さを３ｍｍ、浮上量Ｆを１０μｍとした。本発明の発明者らは、Ｌ／Ｄが１／６０以下であれば静圧ポケット３２を設けない場合（図８中の「無し」表記の点）に比べ、浮上力が増加することを見出した。対して、Ｌ／Ｄを１／６０より大きくすると静圧ポケット３２を設けない場合に比べて浮上力が低下することを見出した。前述の結果を鑑みて、気体噴出部３の浮上力を向上する目的で、気体噴出面３１に静圧ポケット３２を設ける場合、静圧ポケット３２の長さＬとバックアップロール５の直径Ｄの比率Ｌ／Ｄは１／６０以下にするのが好ましく、より好ましくは１／７５以下、さらに好ましくは１／１００以下である。
【００３７】
さらに、図９は、図１中のＷ方向から見た気体噴出部３の拡大斜視図であり、図９中のＸ方向は被塗布部材６の搬送方向を、図９中のＹ方向は被塗布部材６の幅方向を、それぞれ表している。気体噴出部３の気体噴出面３１の中央部には、静圧ポケット３２が形成されており、静圧ポケット３２は四方を壁面３８で囲われている。
【００３８】
図９において、静圧ポケット３２を囲う壁面３８のうち、静圧ポケット３２に対してＹ方向にある壁面３８ａの肉厚ｔは、１ｍｍ以上であるのが好ましい。これは、肉厚ｔが１ｍｍよりも小さいと、静圧ポケット３２から図９のＹ方向、すなわち、被塗布部材（不図示）の中央部方向に流出する気体の風速が大きくなり、その結果、被塗布部材上に形成された塗布膜に気体が吹き付けて乾燥ムラを引き起こし、塗布膜の品質を低下させる恐れがある。また、ビードに気体が吹き付けられてビードの形状が乱れ、塗布膜に膜厚ムラや膜切れを引き起こし、塗布膜の品質を低下させる恐れがある。
【００３９】
図１０は、静圧ポケット３２を囲う壁面３８のうち、静圧ポケット３２に対してＹ方向にある壁面３８ａの肉厚ｔと、静圧ポケット３２からＹ方向に流出する気体の風速の関係を算出したグラフである。このとき、バックアップロール５の直径Ｄを３００ｍｍ、気体噴出面３１の形状を１０ｍｍ四方の正方形状、気体噴出面３１から噴出する気体の圧力を１００ｋＰａ、静圧ポケット３２の深さＨを０．１ｍｍ、静圧ポケット３２の搬送方向長さＬを３ｍｍ（Ｌ／Ｄ＝１／１００）、浮上量Ｆを１０μｍとした。本発明の発明者らは、静圧ポケット３２を囲う壁面のうち、静圧ポケット３２に対してＹ方向にある壁面３８ａの肉厚ｔが１ｍｍより小さいと、静圧ポケット３２からＹ方向に流出する気体の風速が著しく大きくなることを見出した。前述の結果を鑑みて、静圧ポケット３２を囲う壁面３８のうち、静圧ポケット３２に対してＹ方向にある壁面３８ａの肉厚ｔは、１ｍｍ以上であるのが好ましく、より好ましくは２ｍｍ以上、さらに好ましくは３ｍｍ以上である。
【００４０】
なお、本実施形態の各図面において、静圧ポケット３２の形状は矩形としたが、これに限定されず、例えば円形や楕円形、多角形でも良い。
【００４１】
また、本実施形態において、ダイ２をバックアップロール５の側方に配置して塗布する構成としたが、これに限定されず、ダイ２をバックアップロール５の任意の位置に配置して塗布する構成でも良い。例えば、ダイ２をバックアップロール５の上方に配置して塗布する構成でも良い。
【符号の説明】
【００４２】
１  ダイコーター
２  ダイ
３  気体噴出部
４  保持部
５  バックアップロール
６  被塗布部材
２１  ダイ先端面
２２  吐出口
３１  気体噴出面
３２  静圧ポケット
３３  マニホールド
３４  噴出孔
３５  気体供給配管
３６  多孔質部材
３７  壁面
３８、３８ａ  静圧ポケット３２を覆う壁面
４１  おもり
４２  回転軸
４３  アーム
ｄ  ダイ２に対する気体噴出部３の突出量
Ｄ  バックアップロールの直径
Ｆ  浮上量
ｆ’左向きの力
Ｇ  ダイ２と被塗布部材６の間隙
ｇ  気体噴出面３１と被塗布部材６の隙間
Ｈ  静圧ポケット３２の深さ
Ｌａ  アーム４３の長さ
Ｌ  静圧ポケット３２のＸ方向（被塗布部材６の搬送方向）長さ
ｔ  肉厚（静圧ポケットを囲う壁面のうち、Ｙ方向の壁面の肉厚）
θ  ダイ２の傾き
【図１】
2017047339.tif 000003
【図２】
2017047339.tif 000004
【図３】
2017047339.tif 000005
【図４】
2017047339.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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