(57)【要約】【課題】薬液を加圧したり、モールドに貫通孔を開けて吸引したりすることなくして薬液を針状凹部に充填でき、且つモールドの捲れ上がりのないシートの製造方法を提供する。【解決手段】ノズル３４のリップ面３２の上流側に薬液２２を吐出する吐出口４２を設け、下流側に針状凹部１５内の空気を吸引する吸引口４３を設け、ノズル３４をモールド１３表面に押し付けた状態で吸引口４３と大気とを連通する吸引口大気連通構造４４を有し、薬液充填工程では、吸引口４３が針状凹部１５上に位置するようにノズル３４を移動させて針状凹部１５内の空気を吸引し、針状凹部１５と吐出口４２とを連通させることにより、薬液２２を針状凹部１５内に充填する工程と、を順に行う。【選択図】図１２Ａ
2017079980.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
針状凸部を有するシートの製造方法において、
針状凹部を有するモールドと、前記針状凹部に液を充填するノズルを有する液供給装置を備えた液充填装置と、を準備する装置準備工程と、
前記液供給装置から液を前記モールドに供給し、前記ノズルを前記モールドの表面に押し付けて接触させた状態で、１つ以上の前記針状凹部に液を充填する動作と、前記ノズルと前記モールドの表面とを接触させた状態で、前記ノズルを前記モールドに対して相対的に移動させる動作と、を有し、前記針状凹部に前記液を充填する液充填工程と、を備え、
前記ノズルは、ノズル先端部に前記モールドの表面に対向して形成されたリップ面と、該リップ面のノズル移動方向から見た下流側に形成され前記液を吐出するスリット状の吐出口と、上流側に形成され前記針状凹部内の空気を吸引する吸引口と、前記ノズルを前記モールドの表面に押し付けた状態で前記吸引口と大気とを連通する吸引口大気連通構造とを有し、
前記液充填工程では、
前記吸引口が前記針状凹部上に位置するように前記ノズルを移動させて針状凹部内の空気を吸引する吸引工程と、
前記吐出口が前記針状凹部上に位置するように前記ノズルを移動させて前記液を前記針状凹部内に充填する充填工程と、を順に行うシートの製造方法。
【請求項２】
前記リップ面は、前記吸引口よりも上流側の上流側リップ面と、前記吐出口よりも下流側の下流側リップ面と、前記吸引口と前記吐出口との間の中間リップ面とで構成され、
前記吸引口大気連通構造は、前記上流側リップ面よりも前記中間リップ面を前記モールド側に突出させて段差をつけることによって、前記ノズルを前記モールドの表面に押し付けたときに前記上流側リップ面と前記モールドの表面との間に形成される隙間である請求項１に記載のシートの製造方法。
【請求項３】
前記吸引口大気連通構造は、前記吸引口のノズル幅方向端部から前記ノズルの幅方向側面に貫通する吸引口貫通孔である請求項１に記載のシートの製造方法。
【請求項４】
前記液の粘度は１０Ｐａ・ｓ以下である請求項１から３の何れか１項に記載のシートの製造方法。
【請求項５】
前記シートは、薬剤を含む針状凸部を有する経皮吸収シートである請求項１から４の何れか１項に記載のシートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、針状凸部を有するシートの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
針状凸部を有するシートの一例として、近年、薬剤を含有する複数の針状凸部（微小針又はマイクロニードルとも称する。）を有する経皮吸収シートが、薬剤を皮膚内に送達するために用いられている。一般的には、経皮吸収シートを皮膚に押し付けて、針状凸部を皮膚内に挿入することにより、針状凸部の薬剤が皮膚内に送達される。
【０００３】
このような経皮吸収シートの製造に対して、種々の提案がなされている。例えば、特許文献１には、液供給装置から薬剤を含む溶解液（薬液）をモールドに供給し、針状凹部の上に位置調整されたノズルをモールドの表面に所望の押し付け力で押し付けて接触させた状態で、１つ以上の針状凹部に薬液を充填する充填工程と、ノズルをモールドの表面に接触させた状態で、ノズルをモールドに対して相対的に移動させる移動工程と、を繰り返すことで、配列された針状凹部に薬液を充填する。これにより、ノズルをモールドの表面に押し付けて、ノズルから針状凹部に必要な溶解液量だけ吐出することで、針状凹部に薬液を効率良く充填することができる。この結果、薬剤を針状凸部に集中させることができ、しかも高い生産効率で経皮吸収シートを製造できるとされている。
【０００４】
また、経皮吸収シートの製造における針状凹部への薬液の充填ではないが、基板に設けられた微細な非貫通孔にペーストを充填する充填装置として特許文献２がある。
【０００５】
特許文献２には、供給口が形成されるとともにペースト供給管に接続されたペースト供給部と、供給口に隣接して排気口が形成されるとともに排気管に接続された排気部とを備えたペースト充填装置によって、基板に形成された非貫通孔の内部の気体を排気口から排気して真空状態にする排気工程と、真空状態の非貫通孔にペーストを加圧しながら加圧充填する充填工程を行うことが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】ＷＯ２０１４／０７７２４２Ａ１
【特許文献２】特開２００３−３７３６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、経皮吸収シートを製造するためのモールドに形成されている針状凹部は一般的に、薬液が充填される凹部入口が微細（例えば５００μｍ程度）の逆円錐状又は逆四角錐状である。
【０００８】
したがって、特許文献１は、薬液を加圧して針状凹部に充填する加圧充填か、又はモールドの針状凹部先端に貫通孔を開けて貫通孔を介して吸引することで薬液を針状凹部に充填する吸引充填かの少なくとも一方を行うが、次の問題がある。
【０００９】
（加圧充填の問題）
ノズル先端部をモールドの表面に押し付けた状態で薬液を加圧して針状凹部に充填する加圧充填は、ノズルとモールドの表面との接触部分から薬液が漏れ出し易く高価な薬剤を含む薬液が針状凹部以外の表面平坦部やノズル先端周面に付着し易い。
【００１０】
（針状凹部先端の貫通孔の問題）
モールドの針状凹部先端に貫通孔を開けて貫通孔を介して吸引することで薬液を針状凹部に充填する吸引充填は、モールドの貫通孔の部分が、製造される経皮吸収シートの針状凸部の先端となる。これにより、モールドの針状凹部先端に貫通孔を開けると、針状凸部の先端がシャープ（尖鋭）にならずに皮膚内に挿入されにくくなる。さらには、複数の針状凹部に形成する貫通孔の孔径にバラツキがあると、経皮吸収シートの針状凸部の先端形状にバラツキが生じる。
【００１１】
また、供給口（又は吐出口）及び排気口（又は吸引口）を備えた特許文献２のノズルを、経皮吸収シートを製造に適用した場合には次の問題がある。
【００１２】
（モールドの捲れ上がりの問題）
モールドは材質としてシリコーン等の弾性体や薄い金属板を使用することが多く、ノズル先端部をモールドの表面に押し付けた状態で吸引口に吸引力を与えると、モールドの表面が吸引口に強く吸い付いてしまう。これにより、モールドが捲れ上がってノズルに対する針状凹部位置がズレ易くなる。この結果、吐出口から針状凹部に薬液を充填する際の充填精度が悪くなる。この問題は特に、モールドがシリコーン等の弾性体の場合に生じ易い。
【００１３】
そして、上記した加圧充填の問題、針状凹部先端の貫通孔の問題、及びモールドの捲れ上がりの問題は、経皮吸収シートの製造に限らず、針状凸部を有するシートの製造に共通する問題である。
【００１４】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、液を加圧したり、モールドに貫通孔を開けて吸引したりすることなくして液を針状凹部に充填でき、しかもモールドが吸引によって捲れ上がってノズルに対する針状凹部が位置ズレして充填精度が悪化したりすることがないシートの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の一態様によると、針状凸部を有するシートの製造方法において、針状凹部を有するモールドと、針状凹部に液を充填するノズルを有する液供給装置を備えた液充填装置と、を準備する装置準備工程と、液供給装置から液をモールドに供給し、ノズルをモールドの表面に押し付けて接触させた状態で、１つ以上の針状凹部に液を充填する動作と、ノズルとモールドの表面とを接触させた状態で、ノズルをモールドに対して相対的に移動させる動作と、を有し、針状凹部に液を充填する液充填工程と、を備え、ノズルは、ノズル先端部にモールドの表面に対向して形成されたリップ面と、該リップ面のノズル移動方向から見た下流側に形成され液を吐出するスリット状の吐出口と、上流側に形成され針状凹部内の空気を吸引する吸引口と、ノズルをモールドの表面に押し付けた状態で吸引口と大気とを連通する吸引口大気連通構造とを有し、液充填工程では、吸引口が針状凹部上に位置するようにノズルを移動させて針状凹部内の空気を吸引する吸引工程と、吐出口が針状凹部上に位置するようにノズルを移動させて液を針状凹部内に充填する充填工程と、を順に行う。
【００１６】
ここで、液充填工程は、ノズルを相対的に連続移動しながら吸引工程と充填工程とを行う態様と、ノズルの相対的な移動中に針状凹部の上でノズルを一旦停止して吸引工程を行い再度相対的に移動して充填工程を行う間欠移動の態様との両方を含む。ただし、いずれの場合も、ノズル先端部のリップ面はモールドの表面に接触した状態を有している。
【００１７】
また、ノズルをモールドに対して相対的に移動させるとは、モールドを固定してノズルを移動させる場合と、ノズルを固定してモールドを移動させる場合の両方を含む。
【００１８】
本発明の別態様によれば、リップ面は、吸引口よりも上流側の上流側リップ面と、吐出口よりも下流側の下流側リップ面と、吸引口と吐出口との間の中間リップ面とで構成され、吸引口大気連通構造は、上流側リップ面よりも中間リップ面をモールド側に突出させて段差をつけることによって、ノズルをモールドの表面に押し付けたときに上流側リップ面とモールドの表面との間に形成される隙間である。
【００１９】
ここで、ノズルと針状凹部との相対的な移動で見たときに、上流側とは充填する針状凹部とノズルとが近づく方向の側を言い、下流側とは、充填した針状凹部とノズルとが離れていく方向の側を言うことにする。
【００２０】
本発明の別態様によれば、吸引口大気連通構造は、吸引口のノズル幅方向端部からノズルの幅方向側面に貫通する吸引口貫通孔であることが好ましい。
【００２１】
本発明の別態様によれば、液の粘度は１０Ｐａ・ｓ以下であることが好ましい。液の粘度は１Ｐａ・ｓ以下であることがさらに好ましい。
【００２２】
本発明の別態様によれば、シートは、薬剤を含む針状凸部を有する経皮吸収シートであることが好ましい。
【発明の効果】
【００２３】
本発明のシートの製造方法によれば、液を加圧したり、モールドに貫通孔を開けて吸引したりすることなくして液を針状凹部に充填でき、しかもモールドが吸引によって捲れ上がってノズルに対する針状凹部が位置ズレして充填精度が悪化したりすることがない。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】針状凸部を有する経皮吸収シートの一部拡大図
【図２】別の形状の針状凸部を有する経皮吸収シートの一部拡大図
【図３】図１，２に示す経皮吸収シートの針状凸部の縦断面図
【図４】経皮吸収シートの全体斜視図
【図５】モールドの製造方法の工程図
【図６】液充填装置の概略構成図
【図７】ノズルを下方から見た斜視図
【図８】ノズルの縦断面図
【図９】吸引口大気連通構造の一態様である吸引口貫通孔を説明する部分斜視図
【図１０】経皮吸収シートの製造方法のフロー図
【図１１】薬液充填工程を開始する前の斜視図
【図１２Ａ】薬液充填工程における吸引工程の説明図
【図１２Ｂ】薬液充填工程におけるノズル移動の説明図
【図１２Ｃ】薬液乾燥工程における充填工程の説明図
【図１３】薬液乾燥工程、基材液塗布工程、基材液乾燥工程の工程図
【図１４】剥離工程の説明図
【図１５】別の剥離工程を示す説明図
【図１６】原版の平面図及び側面図
【図１７】実施例の試験Ａの結果を示す表図
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、添付図面にしたがって本発明のシートの製造方法の好ましい実施の形態について説明する。
【００２６】
本発明のシートの製造方法は、針状凸部を有するシートの製造全てに適用できるが、本実施の形態では、シートの一例として、薬剤を含む針状凸部を有する経皮吸収シートの場合で以下に説明する。
【００２７】
本発明は以下の好ましい実施の形態により説明される。本発明の範囲を逸脱することなく、多くの手法により変更を行うことができ、本実施の形態以外の他の実施の形態を利用することができる。したがって、本発明の範囲内における全ての変更が特許請求の範囲に含まれる。
【００２８】
ここで、図中、同一の記号で示される部分は、同様の機能を有する同様の要素である。また、本明細書中で、数値範囲を“  〜  ”を用いて表す場合は、“  〜  ”で示される上限、下限の数値も数値範囲に含むものとする。
【００２９】
先ず、本実施の形態のシートの製造方法により製造される経皮吸収シートの一例について説明する。
【００３０】
図１、図２は、経皮吸収シート１００の一例を示す一部拡大図であり、針状凸部１１０（微小針、マイクロニードルとも称する）を示している。
【００３１】
経皮吸収シート１００は、皮膚に貼付することにより、皮膚内に薬剤を送達する。図１に示すように、経皮吸収シート１００は、先細り形状のニードル部１１２と、ニードル部１１２と接続された錐台部１１４と、錐台部１１４と接続されたシート状のシート部１１６とを有している。先細り形状のニードル部１１２と錐台部１１４とにより針状凸部１１０が構成される。シート状とは、面積の広い２つの対向する主面（第１主面と第２主面）に対して厚みの薄い、全体として平たい形状を意味し、主面が完全に平坦である必要はない。
【００３２】
シート部１１６の表面には複数個の錐台部１１４が形成される（図１においては一つの錐台部１１４のみ表示）。錐台部１１４は、２つの底面を有し、錐体面で囲まれた立体構造を有している。錐台部１１４の２つの底面のうち面積の広い底面（下底）がシート部１１６と接続される。錐台部１１４の２つの底面のうち面積の狭い底面（上底）がニードル部１１２と接続される。つまり、錐台部１１４の２つの底面のうち、シート部１１６と離れる方向にある底面の面積が小さくなっている。
【００３３】
ニードル部１１２は先細り形状を有しており、ニードル部１１２は、面積の広い底面と、底面から離れた先端が最も狭い面積となる形状を有している。ニードル部１１２の面積の広い底面が、錐台部１１４の面積の狭い底面と接続されているので、ニードル部１１２は錐台部１１４と離れる方向に先細り形状となる。したがって、ニードル部１１２は錐台部１１４とで構成される針状凸部１１０は、全体としてシート部１１６から先端に向けて先細り形状を有している。シート部１１６の上には４〜２５００本の複数の針状凸部１１０が設けられる。但し、この本数に限定されない。
【００３４】
図１において、錐台部１１４は円錐台の形状を有し、ニードル部１１２は円錐の形状を有している。ニードル部１１２の皮膚への挿入の程度に応じて、ニードル部１１２の先端の形状を、０．０１μｍ以上５０μｍ以下の曲率半径の曲面や、平坦面等に適宜変更することができる。
【００３５】
図２は、別の形状を有する針状凸部１１０を示している。図２においては、錐台部１１４は四角錐台の形状を有し、ニードル部１１２は四角錐の形状を有している。
【００３６】
図３は、図１、図２に示される経皮吸収シート１００の断面図である。図３に示されるように、経皮吸収シート１００は薬剤を含む第１層１２０と、薬剤を含まない第２層１２２とにより構成されている。
【００３７】
ここで、薬剤を含むとは、体表に穿刺した際に薬効を発揮する量の薬剤を含むことを意味する。また、薬剤を含まないとは、薬効を発揮する量の薬剤を含んでいないことを意味し、薬剤の量の範囲が、全く含まない０から薬効を発揮しない量までの範囲を含んでいる。薬剤を含む第１層１２０は針状凸部１１０の先端（ニードル部１１２の先端）に形成されている。第１層１２０を針状凸部１１０の先端に形成することにより、皮膚内に効率よく薬剤を送達することができる。以下、「所定量の薬剤を含む」を「薬剤を含む」と、「所定量の薬剤を含まない」を「薬剤を含まない」と必要に応じて称する場合がある。
【００３８】
ニードル部１１２の第１層１２０を除く部分には、薬剤を含まない第２層１２２が形成されている。錐台部１１４は第２層１２２により構成されている。シート部１１６は第２層１２２により構成されている。すなわちシート部１１６と第２層１２２とは同一材料で構成されている。ニードル部１１２、錐台部１１４、及びシート部１１６を構成する第１層１２０、及び第２層１２２の配分は、適宜設定することができる。
【００３９】
シート部１１６の厚みＴは、好ましくは１０μｍ〜２０００μｍの範囲であり、より好ましくは１０μｍ〜１０００μｍの範囲である。錐台部１１４とシート部１１６との接する底面（下底）の幅Ｗ１は、好ましくは１００μｍ〜１５００μｍの範囲であり、より好ましくは１００μｍ〜１０００μｍの範囲である。錐台部１１４とニードル部１１２との接する底面（上底）の幅Ｗ２は、好ましくは１００μｍ〜１５００μｍの範囲であり、より好ましくは１００μｍ〜１０００μｍの範囲である。幅Ｗ１と幅Ｗ２は、上記の数値範囲内で、Ｗ１＞Ｗ２を満たすことが好ましい。
【００４０】
針状凸部１１０の高さＨは、好ましくは１００μｍ〜２０００μｍの範囲であり、より好ましくは２００μｍ〜１５００μｍの範囲である。また、ニードル部１１２の高さＨ１と錐台部１１４の高さＨ２との比であるＨ１／Ｈ２は、好ましくは１〜１０の範囲であり、より好ましくは１．５〜８の範囲である。また、錐台部１１４の高さＨ２は１０μｍ〜１０００μｍの範囲であることが好ましい。
【００４１】
錐台部１１４の傾斜面とシート部１１６の表面に平行な面とのなす角度αは、好ましくは１０°〜６０°の範囲であり、より好ましくは２０°〜５０°の範囲である。また、ニードル部１１２の傾斜面と錐台部１１４の上底に平行な面とのなす角度βは、好ましくは４５°〜８５°の範囲であり、より好ましくは６０°〜８０°の範囲である。
【００４２】
角度βは角度αと等しくても良いが、角度βは角度α以上であることが好ましい。針状凸部１１０を皮膚に穿刺しやすくなるからである。
【００４３】
本実施の形態では、図１、２に示す針状凸部１１０を有する経皮吸収シート１００を示したが、経皮吸収シート１００は、これらの形状に限定されない。
【００４４】
図４は、経皮吸収シートの全体斜視図である。図４に示すように、経皮吸収シート１００は、第１主面と第２主面とを有するシート部１１６と、シート部１１６の第１主面の上に配置された複数の針状凸部１１０とで構成されている。シート部１１６は、端部１１６Ｃを有し、複数の針状凸部１１０が配置される領域である中心部１１６Ａと、中心部１１６Ａから端部１１６Ｃまでの領域である外縁部１１６Ｂとにより構成されている。シート部１１６は、端部１１６Ｃにより平面視における形状が画定される。図４のシート部１１６は平面視で矩形であるが、多角形、円形、楕円形等でも良い。複数の針状凸部１１０を配置できる中心部１１６Ａ、及び外縁部１１６Ｂを備えることができればシート部１１６の形状は限定されない。本実施形態の経皮吸収シート１００は、外縁部１１６Ｂにおいて厚み部分１１６Ｄを有している。厚み部分１１６Ｄはシート部１１６の外縁部１１６Ｂの中で膜厚の厚い部分である。
【００４５】
針状凸部１１０はシート部１１６から突出している部分であり、シート部１１６の第１主面に接する仮想の補助面を規定することで、針状凸部１１０を特定することができる。
【００４６】
次に、本発明の実施の形態の経皮吸収シートの製造方法において、薬液充填工程を実施するために使用されるモールド１３とモールド１３に薬液を充填する液充填装置４８の好ましい態様を説明する。
【００４７】
[モールド]
図５は、モールド（型）１３の作製を示す工程図である。
【００４８】
図５（Ａ）に示すように、最初に、経皮吸収シートを製造するためのモールド１３を作製するための原版を作製する。
【００４９】
この原版１１の作製方法は２種類あり、１番目の方法は、Ｓｉ基板上にフォトレジストを塗布した後、露光、現像を行う。そして、ＲＩＥ（リアクティブイオンエッチング：Reactive Ion Etching）等のエッチングを行うことにより、原版１１の表面に、経皮吸収シートの針状凸部１１０と同形状である複数の凸部１２をアレイ状に作製する。尚、原版１１の表面に凸部１２を形成するためにＲＩＥ等のエッチングを行う際には、Ｓｉ基板を回転させながら斜め方向からのエッチングを行うことにより、凸部１２を形成することが可能である。
【００５０】
２番目の方法は、ステンレス、アルミニウム合金、Ｎｉ等の金属基板に、ダイヤモンドバイト等の切削工具を用いた加工により、原版１１の表面に複数の凸部１２をアレイ状に作製する方法がある。
【００５１】
次に、図５（Ｂ）に示すように、原版１１を利用してモールド１３を作製する。通常のモールド１３の作製には、Ｎｉ電鋳などによる方法が用いられる。原版１１は、先端が鋭角な円錐の形状又は角錐の形状（例えば四角錐）の形状の凸部１２を有しているため、モールド１３に形状が正確に転写され、モールド１３を原版１１から剥離することができる。しかも安価に製造することが可能な４つの方法が考えられる。
【００５２】
１番目の方法は、原版１１にＰＤＭＳ（polydimethylsiloxane：ポリジメチルシロキサン、例えば、ダウコーニング社製シルガード１８４）に硬化剤を添加したシリコーン樹脂を流し込み、１００℃で加熱処理し硬化した後に、原版１１からモールド１３を剥離する方法である。２番目の方法は、紫外線を照射することにより硬化する紫外線硬化樹脂を原版１１に流し込み、窒素雰囲気中で紫外線を照射した後に、原版１１からモールド１３を剥離する方法である。３番目の方法は、ポリスチレンやＰＭＭＡ（polymethyl methacrylate：ポリメチルメタクリレート）等のプラスチック樹脂を有機溶剤に溶解させたものを剥離剤の塗布された原版１１に流し込み、乾燥させることにより有機溶剤を揮発させて硬化させた後に、原版１１からモールド１３を剥離する方法である。４番目の方法は、Ｎｉ電鋳により反転品を作成する方法である。
【００５３】
これにより、原版１１の凸部１２の反転形状である針状凹部１５を配列したモールド１３が作製される。このようにして作製されたモールド１３を図５（Ｃ）に示す。原版１１の凸部１２は経皮吸収シートの針状凸部１１０の形状と同じであるので、図５（Ｃ）に示すように、経皮吸収シートの針状凸部１１０の反転型である複数の針状凹部１５を有するモールド１３が製造される。尚、上記３つのいずれの方法においてもモールド１３は、何度でも容易に作製することが可能である。
【００５４】
モールド１３に用いる材料としては、弾性のある素材、金属製の素材を用いることができる。中でも弾性のある素材であることが好ましく、気体透過性の高い素材であることが更に好ましい。
【００５５】
気体透過性の代表である酸素透過性は、１×１０−１２（ｍＬ／ｓ・ｍ・Ｐａ）より大きいことが好ましく、１×１０−１０（ｍＬ／ｓ・ｍ・Ｐａ）より大きいことがさらに好ましい。モールド１３を気体透過性の高い素材で製作することにより、モールド１３の裏面から吸引することで薬剤を含む溶解液吸引でき、針状凹部１５内への充填を促進させることができる。また、モールド１３の針状凹部１５に存在する空気をモールド１３側から追い出すことができる。欠陥の少ない経皮吸収シートを製造することができる。
【００５６】
このような材料として、具体的には、シリコーン樹脂（例えば、ダウコーニング社製のシルガード１８４（商標登録）、信越化学工業社製の１３１０ＳＴ(品番）)、紫外線硬化樹脂、ポリスチレン樹脂、ＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリレート）、エポキシ樹脂、ＰＥＴ樹脂（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＯＭ樹脂（ポリオキシメチレン）、テフロン（登録商標）：ＰＴＦＥ樹脂（ポリテトラフルオロエチレン）、ＰＳ樹脂（ポリスチレン）、ＰＥ樹脂（ポリエチレン）、フェノール樹脂、ウレタン樹脂、などの一般的なエンジニアリングプラスチックを溶融、又は溶剤に溶解させたものなどを挙げることができる。
【００５７】
これらの中でもシリコーンゴム系の素材は繰り返し加圧による転写に耐久性があり、且つ、素材との剥離性がよいため、好適に用いることができる。
【００５８】
また、金属製の素材としては、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｉｒ、Ｔｒ、Ｆｅ、Ｃｏ、ＭｇＯ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、α−酸化アルミニウム，酸化ジルコニウム、ステンレス（スタバックス材）などやその合金を挙げることができる。枠１４の材質としては、モールド１３の材質と同様の材質のものを用いることができる。
【００５９】
（薬剤）
針状凹部１５に充填する液としての溶解液に含有させる薬剤は、生理活性を有する物質であればよく、特に限定されない。薬剤として、ペプチド、タンパク質、核酸、多糖類、ワクチン、医薬化合物、又は化粧品成分から選択することが好ましい。また、医薬化合物は水溶性低分子化合物に属するものであることが好ましい。ここで、低分子化合物とは数百から数千の分子量の範囲の化合物である。
【００６０】
薬剤を含む層に含有させる水溶性の高分子物質は、該層に含有させる薬剤と相互作用しないものを用いることが好ましい。例えば、タンパク質を薬剤として用いる場合、荷電性の高分子物質を混合すると、タンパク質と高分子物質とが静電相互作用によって会合体を形成して凝集、沈殿してしまう。したがって、薬剤に荷電性の物質を用いる場合には、ヒドロキシエチルデンプン、デキストラ等の荷電をもたない水溶性高分子物質を用いることが好ましい。
【００６１】
また、薬剤を含む液の粘度は１０Ｐａ・ｓ以下であることが好ましく、より好ましくは１Ｐａ・ｓ以下である。溶解液の粘度を適切に調整することにより、モールド１３の針状凹部１５に容易に溶解液を注入することが容易となる。例えば、ポリマー樹脂の溶解液の粘度は、細管式粘度計、落球式粘度計、回転式粘度計、又は振動式粘度計で測定することができる。
【００６２】
［液充填装置］
図６は、押し付け力、及び／又は押し込み距離を制御することができる液充填装置４８の概略構成図である。また、図７は、ノズルを下方から見た斜視図、図８はノズルの縦断面図である。
【００６３】
図６に示すように、液充填装置４８は、薬液を貯留する送液タンク３０と送液タンク３０に配管３１を介してノズル３４の吐出側スリット部３３（図８参照）に連結された液供給装置３６と、減圧ポンプ３９と減圧ポンプ３９に配管３７を介してノズル３４の吸引側スリット部３８（図８参照）に連結された減圧装置４１と、液供給装置３６及び減圧装置４１とをＺ軸方向に駆動するＺ軸駆動部５０と、モールド１３を載置するための吸引台５２と、吸引台５２をＸ軸方向に駆動するＸ軸駆動部５４と、上記装置を支持する架台５６と、制御機構５８と、を有している。
【００６４】
そして、ノズル３４をモールド１３の表面に押し付ける押し付け力を一定に制御して薬液２２を針状凹部１５内に充填するには、所望の押し付け力、例えば１．４Ｎ／ｃｍ２（０．１４ｋｇｆ／ｃｍ２）となるＺ座標までＺ軸駆動部５０によりノズル３４をモールド１３に近づける。次に、モールド１３に接触したノズル３４をＸ軸駆動部５４により移動（走査）させながら、押し付け力が一定となるようにＺ軸座標を制御しつつ薬液２２を吐出する。
【００６５】
押し付け力測定の方式は特に限定はしないが、例えばロードセル５３を、例えば吸引台５２の下に、又は吸引台５２に代えて用いることができる。ロードセルとは厚み方向に圧縮する力を測定できる測定器具を意味する。押し付け力は、モールド１３に対して１〜１０００ｋＰａの範囲内の任意の圧力で一定に制御可能であることが好ましい。
【００６６】
また、押し込み距離を一定に制御して薬液２２を針状凹部１５内に充填するには、ノズル３４をモールド１３表面に接触する前に、モールド１３の表面形状をあらかじめ測定する。モールド１３に接触したノズル３４をＸ軸駆動部５４により移動（走査）させながら、モールド１３の表面形状に対して所望の押し込み距離になるようにＺ軸座標をオフセットさせた値をＺ軸駆動部５０にフィードバックしつつ薬液２２を吐出する。
【００６７】
形状測定の方式は特に限定はしないが、例えば非接触式のレーザー変位計６０などの光学測定機器、接触式の触針式段差計等を用いることができる。さらに、ノズル３４のスリット方向の姿勢をモールド１３の表面形状に合わせて制御してもよい。押し込み距離は、モールド１３の厚みに対して１〜１５％の範囲で制御されることが好ましい。モールド１３の形状に合わせてノズル３４とモールド１３と距離を、Ｚ軸駆動部５０によりＺ軸方向に制御しながら動作することで、圧縮変形率が均一化され、充填量精度を向上できる。
【００６８】
押し付け力、及び押し込み距離の制御に関して、押し込み距離が小さい場合は押し付け力を制御することが好ましく、押し込み距離が大きい場合は、押し込み距離を直接制御することが好ましい。
【００６９】
図７及び図８に示すように、ノズル３４には、下流側ノズル先端部３５Ａと上流側先端部３５Ｂとで構成されるノズル先端部３５を有する。また、ノズル先端部３５には、モールド１３の表面に対向して形成されたリップ面３２が形成され、リップ面３２から離れる方向に広がる２つの傾斜面３４Ｃ、３４Ｄを有する。２つの傾斜面３４Ｃ、３４Ｄのうち、ノズル移動方向から見て下流側の傾斜面を下流側傾斜面３４Ｃ、上流側の傾斜面を上流側傾斜面３４Ｄという。換言すると、ノズル３４とモールド１３の針状凹部１５との相対的な移動で見たときに、上流側とは充填する針状凹部１５とノズル３４とが近づく方向の側を言い、下流側とは、充填した針状凹部１５とノズル３４とが離れていく方向の側を言う。
【００７０】
図８に示すように、リップ面３２には、矢印Ｆで示すノズル移動方向から見た下流側に、吐出側スリット部３３の先端に開口し、針状凹部１５内に薬液２２を充填するスリット状の吐出口４２が設けられる。また、ノズル移動方向から見た上流側に、吸引側スリット部３８の先端に開口し、針状凹部１５内の空気を吸引する吸引口４３が設けられる。そして、リップ面３２は、吸引口４３よりも上流側に形成される上流側リップ面３２Ｂと、吐出口４２よりも下流側に形成される下流側リップ面３２Ｃと、吸引口４３と吐出口４２との間の中間リップ面３２Ａとで構成される。
【００７１】
スリット形状の吸引口４３及び吐出口４２により、例えば、１列を構成する複数の針状凹部１５から同時に空気を吸引することが可能となり、針状凹部１５へ同時に薬液２２を充填することが可能となる。吸引口４３及び吐出口４２のノズル幅方向の長さと、吸引口４３の幅（吸引口４３の間隙）及び吐出口４２の幅（吐出口４２の間隙）は、一度に吸引や充填すべき針状凹部１５の数に応じて適宜選択される。
【００７２】
また、吸引口４３及び吐出口４２のノズル幅方向の長さを長くすることで、より多くの針状凹部１５から一度に空気を吸引でき、また一度に薬液２２を充填することができる。これにより生産性を向上させることが可能となる。
【００７３】
ここで、ノズル幅方向とは、図７にＭで示す方向であり、図８の表裏方向を言う。また、図７のＮの方向をノズル移動方向又は吐出口４２、吸引口４３の幅方向（隙間方向）を言う。
【００７４】
さらには、吸引口４３の下流側リップ面３２Ｂに、リップ面３２をモールド１３の表面に押し付けた状態で吸引口４３と大気とを連通する吸引口大気連通構造４４が形成される。
【００７５】
図７及び図８には、吸引口大気連通構造４４は、上流側リップ面３２Ｂよりも中間リップ面３２Ａをモールド１３側に突出させて段差Ｌ１(図８参照)をつけ、上流側リップ面３２Ｂとモールド１３の表面との間に形成される隙間４４Ａにより構成される。この場合、段差Ｌ１は、５０μｍ以上、１ｍｍ以下であることが好ましい。
【００７６】
段差Ｌ１が５０μｍ以上であれば、モールド１３表面の表面粗さ、ノズル３４のリップ面３２の真直度、あるいはモールド１３を載せる吸引台５２の真直度等の因子によって、上流側リップ面３２Ｂがモールド１３の表面に部分的であっても接触しにくくなる。これにより、上流側リップ面３２Ｂとモールド１３の表面との間に隙間４４Ａを確実に形成できる。また、段差Ｌ１が１ｍｍ以下であれば、隙間４４Ａから空気が入り込み易くなり過ぎて、針状凹部１５内の空気を吸引する吸引力が小さくなり過ぎてしまうこともない。
【００７７】
図９は、吸引口大気連通構造４４の別態様であり、上流側リップ面３２Ｂと中間リップ面３２Ａとを段差Ｌのない面一とし、吸引口４３のノズル幅方向端部からノズル３４の幅方向側面に貫通することにより、吸引口４３を大気に連通させる吸引口貫通孔４４Ｂを形成したものである。吸引口貫通孔４４Ｂの孔径は、吸引口貫通孔４４Ｂから吸引口４３側に空気が入り込み過ぎて、針状凹部１５内の空気を吸引する吸引力が小さくなり過ぎてしまわない大きさに形成される。吸引口貫通孔４４Ｂは、ノズル幅方向の片側に形成してもよいが、両側に形成することがより好ましい。また、吸引口４３からノズル先端部３５の上流側傾斜面３４Ｄに貫通させることで吸引口貫通孔４４Ｂを形成することも可能である。
【００７８】
ノズル３４の製作加工上の観点で、上流側リップ面３２Ｂと中間リップ面３２Ａとの間の段差Ｌ１を均一に形成させにくい場合や、モールド１３とノズル３４の設置時の平行出し精度の観点で、モールド１３とノズル３４がわずかにでも斜めになってしまうような場合には、吸引口大気連通構造４４としてノズル幅方向端部に吸引口貫通孔４４Ｂを設けるほうが良い。例えば、ノズル３４を複数個加工する場合のノズル加工のバラツキや、ノズル３４をその都度設置する際の設置バラツキを低減でき、安定的に製造することに有利な場合があるためである。
【００７９】
一方、上流側リップ面３２Ｂと中間リップ面３２Ａとの段差Ｌ１によって吸引口大気連通構造４４を設けるほうがモールド１３を擦っている幅が短くなる。これにより、ノズル３４によってわずかに潰されてしまう針状凹部１５の体積変化への影響が少なくなり、針状凹部１５ごとの充填量のバラツキの軽減が期待できる。また、モールド１３を痛めたり、擦れによる発塵したりする懸念が少ない。
【００８０】
したがって、吸引口大気連通構造４４を、上流側リップ面３２Ｂとモールド１３の表面との間に隙間４４Ａで形成するか、吸引口貫通孔４４Ｂで形成するかは適宜使い分けることが好ましい。
【００８１】
ノズル３４に用いる材料としては、弾性のある素材、金属製の素材を用いることができる。例えば、テフロン（登録商標）、ポリアセタール、ポリエチレン、ステンレス鋼（ＳＵＳ）、チタン等が挙げられる。
【００８２】
［経皮吸収シートの製造方法］
次に、本発明の実施の形態の一態様である経皮吸収シートの製造方法を説明する。
【００８３】
経皮吸収シートの製造方法は、上記したモールド１３及び液充填装置４８を準備する装置準備工程を行った後、図１０に示すように、薬液充填工程と、薬液乾燥工程と、基材液充填工程と、基材液乾燥工程と、剥離工程との５つの工程をこの順で行う。図１０は薬液基材液との２層構造の一例であり、形成したい針形状の必要に応じて工程を変えることができる。
【００８４】
図１１に示すように、配列された針状凹部１５を有するモールド１３が、基台２０の上に配置される。モールド１３には、５×５に配列された、３組の複数の針状凹部１５が形成されている。また、液供給装置３６と減圧装置４１とを有する液充填装置４８が準備され、ノズル３４が配列された針状凹部１５の１列目手前位置の上方に針状凹部１５の１列目と平行になるように位置調整される。そして、ノズル３４が、モールド１３の表面に所定の押し付け力で押し付けられた後、矢印Ｆで示すノズル移動方向に移動し、吸引工程と充填工程とを順に行う薬液充填工程が行われる。この場合、ノズル３４をモールド１３に対して相対的に移動させればよく、ノズル３４を固定して、モールド１３を移動させてもよい。
【００８５】
図１２Ａ〜図１２Ｃは、薬液充填工程における吸引工程、吸引工程から充填工程へのノズル移動、及び充填工程の各ステップを図示したものである。また、図１２Ａ〜図１２Ｃの符号Ｓは、ノズル３４のリップ面３２とモールド１３の表面との接触部分を示す。
【００８６】
図１２Ａに示すように、吸引口４３が１列目の針状凹部１５上に位置するようにノズル３４を移動（走査）させて針状凹部１５内の空気を吸引する吸引工程を行う。この吸引工程において、ノズル３４には、リップ面３２をモールド１３の表面に押し付けた状態で吸引口４３と大気とを連通可能な吸引口大気連通構造４４が形成されている。図１２Ａでは、吸引口大気連通構造４４として、上流側リップ面３２Ｂとモールド１３の表面との間に形成された隙間４４Ａで例示している。
【００８７】
これにより、針状凹部１５内の空気を吸引口４３から吸引する際に、モールド１３の表面が吸引口４３に強く吸い付いてしまうことがない。したがって、モールド１３が基台２０から捲れ上がってノズル３４に対する針状凹部１５の位置にズレが生じるということがなくなる。これにより、吐出口４２から針状凹部１５内に薬剤を充填する際の充填精度が良くなる。
【００８８】
図１２Ｂでは、ノズル３４がモールド１３に対して相対的に上流側に移動することによって、内部の空気が吸引された針状凹部１５上から吸引口４３が離れて吐出口４２が近づく。これにより、ノズル３４と針状凹部１５との関係が吸引工程から充填工程に進む。
【００８９】
そして、図１２Ｃに示す充填工程では、吐出口４２が１列目の針状凹部１５上に位置するようにノズル３４を移動させて針状凹部１５と吐出口４２とを連通させることにより、薬液２２を針状凹部１５内に充填する。
【００９０】
これにより、薬液を加圧したり、モールド１３に貫通孔を開けて吸引したりすることなくして薬液を針状凹部１５に充填でき、しかもモールド１３が吸引によって捲れ上がってノズル３４に対する針状凹部１５が位置ズレして充填精度が悪化したりすることがない。
【００９１】
また、モールド１３に貫通孔を開ける必要がないので、製造された経皮吸収シートの針状凸部１１０をシャープ（尖鋭）することができるとともに、先端形状のバラツキをなくすことができる。また、針先形状を自由にデザインすることができるだけでなく、貫通孔を開ける工程や設備が必要なく、安価な設備とすることができる。
【００９２】
本発明の実施の形態における薬液充填工程は、特に、薬液２２の粘度が１０Ｐａ・ｓ以下であることが好ましく、このような低粘度の薬液２２の充填は、ペースト状物の充填（例えば特許文献２）とは異なる。即ち、低粘度の薬液２２を加圧充填したり吸引充填したりすると容易に勢いよく流動し、リップ面３２とモールド１３の表面との接触部分Ｓから外に漏れ出し易い。したがって、本発明の実施の形態における薬液充填工程は、１０Ｐａ・ｓ以下の低粘度の薬液２２を針状凹部１５内に充填する際に一層効果を発揮する。１Ｐａ・ｓ以下の低粘度の薬液２２であれば、一層効果を発揮する。
【００９３】
また、モールド１３に吸引のための貫通孔を開ける必要がないので、製造された経皮吸収シートの針状凸部１１０の先端形状をシャープにすることができるとともに、先端形状のバラツキをなくすことができる。
【００９４】
また、上記した薬液充填工程において、下流側リップ面３２Ｃと中間リップ面３２Ａとは、モールド１３の表面に接触した状態で移動する必要がある。したがって、モールド１３との摩擦を軽減するため、下流側リップ面３２Ｃと中間リップ面３２Ａには、潤滑性の表面処理や表面改質剤を塗布することが好ましい。例えば、下流側リップ面３２Ｃと中間リップ面３２Ａにフッ素樹脂をコーティングしたり、ＤＬＣ（Diamond-Like Carbon）膜を成膜したりすることができる。
【００９５】
また、ノズル３４への薬液２２付着による汚れを抑制するために、下流側リップ面３２Ｃから下流側傾斜面３４Ｃにかけて撥水性や非粘着性のコーティングを施すことにより、充填時に薬液２２の濡れ上りを抑制することが好ましい。
【００９６】
また、充填時に薬液２２がノズル幅方向に均一に濡れ広がるように、吐出側スリット部３３の内壁面には親水性のコーティングを施すことが好ましい。
【００９７】
また、吸引口大気連通構造４４を、上流側リップ面３２Ｂとモールド１３の表面との間に形成される隙間４４Ａにより構成する場合、工程上のゴミや空気中のゴミや水分等の流入により吸引口４３や吸引側スリット部３８が詰まったり、汚れたりしないように、上流側リップ面３２Ｂにフィルタ（図示せず）や気体透過性のフィルム（図示せず）を貼り合わせて隙間４４Ａを埋めることが好ましい。同様に、吸引口大気連通構造４４を吸引口貫通孔４４Ｂで形成した場合にも、吸引口貫通孔４４Ｂにフィルタ（図示せず）や気体透過性のフィルム（図示せず）を設けることが好ましい。
【００９８】
そして、図１３（Ａ）に示した薬液充填工程が完了すると、形成したい針形状の必要に応じて、薬液乾燥工程と２層目以降の充填工程とを繰り返し行った後、剥離工程に進む。例えば、薬液２２を乾燥固化して薬剤を含む第１層１２０を針状凹部１５内に形成する薬液乾燥工程（図１３（Ｂ））、薬剤を含む第１層１２０の上に薬剤を含まない基材液２４を塗布して基材液２４を針状凹部１５に充填する基材液充填工程（図１３（Ｃ））、及び基材液２４を乾燥個化して第２層１２２を形成する基材液乾燥工程（図１３（Ｄ））を行い、その後に図１４又は図１５の剥離工程に進む。図１４又は図１５における符号４０は、粘着性の粘着層が形成され、製造された経皮吸収シートをモールド１３から剥離する剥離用のシート状基材である。
【００９９】
以下に、本発明の実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。なお、以下の実施例に示される材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更することができる。したがって、本発明の範囲は以下に示す具体例により限定的に解釈されるべきものではない。
【実施例】
【０１００】
［試験Ａ］
試験Ａでは、ノズル３４の吸引口大気連通構造４４の有り無しによって、モールドに１０列×１０行に配列された針状凹部１５（合計１００個）への「充填精度」、及び「モールドの捲れ上がりの問題」にどのように影響するかを試験した。吸引口大気連通構造４４は、下流側リップ面３２Ｂとモールド１３の表面との間に形成される隙間４４Ａの態様とした。
【０１０１】
（モールド）
一辺４０ｍｍの平滑なＮｉ板の表面に、図１６に示すような、底面が５００μｍの直径Ｄ１で、１５０μｍの高さＨ１の円錐台１２Ｂ上に、３００μｍの直径Ｄ２で，５００μｍの高さＨ２の円錐１２Ａが形成された針状構造の凸部１２を、１０００μｍのピッチＰにて１０列×１０行の配列に研削加工することで、原版１１を作製した。
【０１０２】
この原版１１の上に、シリコーンゴム（ダウコーニング社製ＳＩＬＡＳＴＩＣ−ＭＤＸ４−４２１０）を０．７５０ｍｍの厚みで膜を熱硬化させて形成し、剥離して、シリコーンゴム製の反転品を作成した。
【０１０３】
このシリコーンゴム反転品の、中央部に１０列×１０行に配列された針状凹部が形成された、一辺３０ｍｍの平面部外を切り落としたものをモールド１３として用いた。針状凹部１５の開口部が広い方をモールド１３の表面とし、逆側の面をモールド１３の裏面とした。
【０１０４】
（薬液の調製）
ヒドロキシエチルスターチ（Ｆｒｅｓｅｎｉｕｓ  Ｋａｂｉ社製）を水で溶解し、８％の水溶液に調液したものに、薬剤としてヒト血清アルブミン（和光純薬社製）を２質量％、添加し、薬剤を含むポリマー溶解液、つまり薬液２２とした。調液後、３ｋＰａの減圧環境下で４分間晒し、十分な脱気を行った。
【０１０５】
（液充填装置）
液充填装置４８は、モールド１３と、ノズル３４の充填移動方向（Ｘ軸方向）における相対位置を座標制御するＸ軸駆動部５４、ノズル３４をモールド１３の表面に対して上下動させるＺ軸駆動部５０、ノズル３４を取り付け可能な液供給装置３６（武蔵エンジニアリング社製超微量定量ディスペンサーＳＭＰ−３）、モールド１３を固定する吸引台５２、モールド１３の表面形状を測定するレーザー変位計６０（パナソニック社製ＨＬ−Ｃ２０１Ａ）、ノズル３４の押し付け力を測定するロードセル５３（共和電業製ＬＣＸ−Ａ−５００Ｎ）、モールド１３の表面形状及びノズル３４の押し付け力の測定値を基にＺ軸駆動部５０を制御する制御機構５８を備えたものを使用した。そして、水平な吸引台５２上にモールド１３を設置し、モールド１３の裏面からゲージ圧９０ｋＰａで吸引して、モールド１３を吸引台５２に固定した。
【０１０６】
ノズル３４は、図７で示したような形状のステンレス鋼（ＳＵＳ）であって、ノズル幅方向Ｍの長さが２０ｍｍ、ノズル移動方向Ｎの幅が幅２ｍｍのリップ面３２を有するものを準備した。このノズル３４のリップ面３２には、ノズル移動方向上流側と下流側とにノズル幅方向の長さが１２ｍｍ、ノズル移動方向の幅が０．２ｍｍのスリット状の吐出口４２と吸引口４３とを有する。そして、このノズル３４の吐出側スリット部３３を薬液タンク（３ｍＬの薬液貯留）に連結し、吸引側スリット部３８を減圧装置４１に連結した。
【０１０７】
また、吸引口大気連通構造は、図７及び図８に示すように、上流側リップ面３２Ｂよりも中間リップ面３２Ａをモールド１３側に突出させて段差をつけることによって、ノズル３４をモールド１３の表面に押し付けたときに上流側リップ面３２Ｂとモールド１３の表面との間に形成される隙間である態様のものを用いた。
【０１０８】
図１１に示すように、ノズル３４が、配列された針状凹部１５の１列目手前位置（１列目に対して２ｍｍ離れた位置）の上方に針状凹部１５の１列目と平行になるようにノズル３４を位置調整した。次に、ノズル３４を１．４Ｎ／ｃｍ２の押し付け力でモールド１３の表面に押し付けた。
【０１０９】
次に、ノズル３４をモールド１３の表面に押し付けた状態で、押し付け力の変動が±０．５Ｎ／ｃｍ２に収まるようにＺ軸駆動部５０を制御しつつ、ノズル３４をノズル移動方向に１ｍｍ／秒の移動速度で移動させながら、吸引工程、充填工程を順番に行った。
【０１１０】
先ず、吸引口４３が１列目の針状凹部１５上に位置するようにノズル３４を移動させて針状凹部１５内の空気を吸引した。
【０１１１】
そして、吐出口４２から薬液２２を０．３１μＬ／秒で１０秒間吐出し、針状凹部１５内に薬液２２を充填した。
【０１１２】
１列目から１０列目の針状凹部１５について上記の吸引及び充填を繰り返して、全ての針状凹部１５に薬液２２を充填した後、１０列目の針状凹部１５からノズル移動方向に２ｍｍ移動した位置でノズル３４の移動を停止した。そして、ノズル３４をモールド１３の表面から離した。
【０１１３】
（試験の評価方法）
「充填個数」は上記試験の後、モールド１３の上方から顕微鏡で１０列×１０行に配列された針状凹部１５（合計１００個）を観察し、針状凹部１５の容積全体に薬液２２が充填されている針状凹部１５の個数(図１７の表の「充填個数」)を数えた。
【０１１４】
「モールドの捲れ上がり」は、上記試験の後、薬液充填工程の開始前のモールド１３の初期位置と、薬液充填工程の終了後のモールド１３の試験終了位置とを対比し、初期位置からの位置ズレがあるかを目視で判定した。そして、位置ズレがない場合をＡ、位置ずれがある場合をＢとした。
【０１１５】
（試験結果）
図１７の表に示すように、ノズルに吸引口４３を有しない試験１（比較例１）は、針状凹部１５に薬液２２が充填されている針状凹部１５の充填個数が０個であった。
【０１１６】
また、吸引口大気連通構造を有しない試験２（比較例２）は、ノズル先端部３５をモールド１３の表面に押し付けた状態で吸引口４３に吸引力を与えると、モールド１３表面が吸引口４３に強く吸い付いてしまい、モールド１３が捲れ上がる現象が観察された。この結果、モールド１３に初期位置から５００μｍ〜２ｍｍ程度の位置ズレが発生し、モールド１３の針状凹部１５以外の表面平坦部分に薬液２２の付着が部分的に見られた。
【０１１７】
このように吸引口大気連通構造を有しない試験２は、充填個数は１００個であったが、モールド１３が吸引によって捲れ上がってノズル３４に対する針状凹部１５が位置ズレしてモールド１３の針状凹部１５以外の表面平坦部分に薬液２２の付着が発生したことにより充填精度が悪化した。
【０１１８】
これに対して、ノズルに吸引口４３を有し且つ吸引口大気連通構造を有する試験３（実施例）は、充填個数が１００個であり、全ての針状凹部１５に充填することができ、しかも位置ズレも発生しなかったことにより、モールド１３の針状凹部１５以外の表面平坦部分に薬液２２の付着が認められず、充填精度の悪化もなかった。
【０１１９】
なお、図１７には示さなかったが、吸引口大気連通構造４４を吸引口貫通孔４４Ｂとしたノズル３４を使用した場合も、位置ズレが発生しなかった。
【符号の説明】
【０１２０】
１…ポリマーシート、１１…原版、１２…凸部、１３…モールド、１５…針状凹部、２０…基台、２２…薬液、２４…基材液、３０…送液タンク、３１…配管、３２…リップ面、３２Ａ…中間リップ面、３２Ｂ…上流側リップ面、３２Ｃ…下流側リップ面、３３…吐出側スリット部、３４…ノズル、３５…ノズル先端部、３６…液供給装置、３７…配管、３８…吸引側スリット部、３９…減圧ポンプ、４１…減圧装置、４２…吐出口、４３…吸引口、４４…吸引口大気連通構造、４８…液充填装置、５０…Ｚ軸駆動部、５２…吸引台、５３…ロードセル、５４…Ｘ軸駆動部、５６…架台、５８…制御機構、Ｓ…接触部分、Ｆ…ノズル移動方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１２Ｃ】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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