(57)【要約】【課題】低床台秤式ロードセル自体の重量を従来の３分の１程度に軽減することのできる低床台秤式ロードセルを提供する。【解決手段】本発明に係る低床台秤式ロードセル１は、略正方形のアルミハニカムパネル製の上部パネル１１と、上部ハニカムパネル１１とほぼ同形状のアルミハニカムパネル製の下部パネル１３と、上部パネル１１と下部パネル１３の間に配置されるロードセル１４と、を含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
略正方形のアルミハニカムパネル製の上部パネルと、
前記上部ハニカムパネルとほぼ同形状のアルミハニカムパネル製の下部パネルと、
前記上部パネルと前記下部パネルの間に配置されるロードセルと、を含む低床台秤式ロードセル。
【請求項２】
前記ロードセルが、
前記上部パネルに固定される上端部と、
前記下部パネルに固定される下端部と、
前記下端部と前記上端部とを連結する起歪部と、
前記起歪部に貼付され、前記起歪部の歪量を計測する歪センサと、からなる請求項１に記載の低床台秤式ロードセル。
【請求項３】
前記下部パネルに取り付けられる可搬用の取っ手をさらに含む請求項１または請求項２に記載の低床台秤式ロードセル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、低床台秤式ロードセルに係り、特に重量を大幅に低減した低床台秤式ロードセルに関する。
【背景技術】
【０００２】  被計量物を容易に搭載するために、床面から秤台までの高さを抑えた低床台秤は、すでに提案されている（例えば、特許文献１参照）。
すなわち、特許文献１に開示された低床台秤は、計量皿を、被計量物を載置する載置面と、この載置面の両側で重量センサユニットを覆うボックス状の被覆部とを有し、載置面をボックス状被覆部の頂面よりも低く設定することにより、計量皿を低床化している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−０１１４８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  しかしながら、特許文献１に開示された低床台秤の計量皿をはじめとする主要部材は中実の鋼鉄製であるため、低床台秤自体の重量が増加することは避けることができない。
例えば、５００ミリメートル四方の台秤では、５０キログラム前後の重量であった。【０００５】  このため、台秤の移動は困難であり、その設置位置は固定せざるをえなかった。
従って、被計量物を台秤設置場所まで移動しなければならないという課題を生じる。
例えば、半導体素子製造プロセスで使用するガスの消費量を知るためにガスボンベの重量を計測する際には、そのたびにガスボンベを台秤設置位置まで移動しなければならないという課題を生じる。【０００６】  本発明は上記課題に鑑みなされたものであって、低床台秤式ロードセル自体の重量を従来の３分の１程度に軽減することのできる低床台秤式ロードセルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】  本発明に係る低床台秤式ロードセル１は、略正方形のアルミハニカムパネル製の上部パネル１１と、上部ハニカムパネル１１とほぼ同形状のアルミハニカムパネル製の下部パネル１３と、上部パネル１１と下部パネル１３の間に配置されるロードセル１４と、を含む。【０００８】  本発明に係る低床台秤式ロードセル１は、ロードセル１４〜１７が、上部パネル１１に固定される上端部１４１〜１７１と、下部パネル１３に固定される下端部１４２〜１７２と、下端部１４２〜１７２と上端部１４１〜１７１とを連結する起歪部１４３〜１７３と、起歪部１４３〜１７３に貼付され起歪部１４３〜１７３の歪量を計測する歪センサ１４４〜１７４と、からなる。【０００９】  本発明に係る低床台秤式ロードセル１は、下部パネル１３に取り付けられる可搬用の取っ手をさらに含む。
【発明の効果】
【００１０】  本発明に係る低床台秤式ロードセルによれば、上部パネルが約５００ミリメートルの正方形である場合には重量を１５キログラム程度にすることが可能となり、被計量物のある場所に容易に移動することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係る低床台秤式ロードセルの一実施形態分解斜視図である。
【図２】ロードセルの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】  以下本発明の実施形態を説明する。
【００１３】  図１は、本発明に係る低床台秤式ロードセルの一実施形態の分解斜視図である。
すなわち、図１に図示された低床台秤式ロードセル１は、上部パネル１１と、上部パネル１１の上面を覆うステンレスカバー１２と、下部パネル１３と、上部パネル１１と下部パネル１３との間に設置される４個のロードセル１４〜１７と、からなる。
【００１４】  なお、本発明に係る低床台秤式ロードセルにあっては、低床台秤式ロードセル自体の重量を低減するために、上部パネル１１および下部パネル１２は、アルミハニカムパネルで作成する。
【００１５】  図２は、ロードセル１４の斜視図である。
すなわち、ロードセル１４は、上部パネル１１に固定される上端部１４１と、下部パネル１３に固定される下端部１４２と、下端部１４２と上端部１４１とを連結する起歪部１４３と、起歪部１４３の上面および下面の少なくとも一方の面に貼付される歪センサ１４４とから構成される。
なお、下端部１４２は起歪部１４３に対して下方に偏倚し、上端部１４１は起歪部１４３に対して上方に偏倚するように構成される。
【００１６】  また、上端部１４１、下端部１４２および起歪部１４３は一体の弾性体（例えばステンレス鋼材）で成形されている。
すなわち、下端部１４２が下部パネル１３に、上端部１４１が上部パネル１１に取り付けられた状態では、下端部１４２と上部パネル１１との間、および上端部１４１と下部パネル１３の間には隙間ができ、被計量物の計量時には起歪部１４３が撓むように構成されている。
なお、ロードセル１５〜１７も同一の構造を有する。
【００１７】  すなわち、組立が完了した状態では、下部パネル１３を設置場所に設置したときに、上部パネル１１は、４個のロードセル１４〜１７によって、下部ハニカムパネル１３の上方に支持されていることとなる。
なお、ステンレスカバー１２は被計量物が直接上部パネル１１と接触し、上部パネル１１を損傷することを防止するために、上部パネル１１を覆うように設置される。
【００１８】  ステンレスカバー１２の上面に図示しない被計量物が搭載されると、被計量物の重量により、ロードセル１４〜１７の起歪部１４３〜１７３が撓む。
そして、起歪部１４３〜１７３の撓みは起歪部１４３〜１７３に貼付された歪センサ１４４〜１７４によって被計量物の重量に比例した電気信号に変換される。
【００１９】  下部パネル１３には加算回路が設置されており、歪センサ１４４〜１７４から出力される電気信号を加算して、被計量物の重量に比例した電気信号を出力する。
【００２０】  以上説明した低床台秤式ロードセル１によれば、上部パネル１１の大きさを一辺５００ミリメートルの正方形とした場合には、低床台秤式ロードセル１自体の重量は１３キログラム程度となり、一人で容易に搬送することが可能となる。
【００２１】  この結果、低床台秤式ロードセル１を計量場所に移動して設置することにより、被計量物の移動距離を大幅に低減でき、被計量物の重量計測に要する時間および費用を削減することができることとなる。
【００２３】  なお、下部パネル１３に取っ手を取り付け、搬送を容易にすることも可能である。
【００２４】  本発明に係る低床台秤式ロードセルは、上記の半導体製造設備だけでなく、産業廃棄設備、食品製造設備、鉄鋼板製造設備、化学製品製造設備等において、広く使用することができ、産業上の利用可能性を有する。
【符号の説明】
【００２５】  １…低床台秤式ロードセル
１１…上部パネル
１２…ステンレスカバー
１３…下部パネル
１４、１５、１６、１７…ロードセル
１４１，１５１、１６１、１７１…上端部
１４２，１５２、１６２、１７２…下端部
１４３，１５３、１６３、１７３…起歪部
１４４，１５４、１６４、１７４…歪センサ
【図１】
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【図２】
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