(57)【要約】      （修正有）【課題】サブフレーム基板とアクチュエータ基板の互いの接合部位に塗布されている接着剤がアクチュエータに向けて流出することを抑止し、アクチュエータの動作不良をなくすことができるインクジェットヘッドを提供する。【解決手段】インクを吐出する複数のノズル孔１１ａに連通し、インクを一時的に貯留するための液室１２ａを加振するアクチュエータ２０を搭載したアクチュエータ基板１３と、サブフレーム基板３０とを有し、それらアクチュエータ基板１３とサブフレーム基板３０とを接着剤１５により接合しているインクジェットヘッド１０において、そのアクチュエータ基板１３は、このアクチュエータ基板１３とサブフレーム基板３０との接合部位に、上記アクチュエータ２０の動作に影響がない領域に接着剤１５を流動させるための凸部２６を形成している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出する複数のノズル孔に連通し、インクを一時的に貯留するための液室を加振するアクチュエータを搭載したアクチュエータ基板と、サブフレーム基板とを有し、それらアクチュエータ基板とサブフレーム基板とを接着剤により接合しているインクジェットヘッドにおいて、
前記アクチュエータ基板は、このアクチュエータ基板と前記サブフレーム基板との接合部位に、前記接着剤を前記アクチュエータの動作に影響がない領域に流動させるための凸部を形成したことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記凸部は、アクチュエータの動作に影響がない領域に前記接着剤を流動させるための複数の段差を形成していることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
インクを吐出する複数のノズル孔に連通し、インクを一時的に貯留するための液室を加振するアクチュエータを搭載したアクチュエータ基板と、サブフレーム基板とを有し、それらアクチュエータ基板とサブフレーム基板とを接着剤により接合しており、そのアクチュエータ基板と前記サブフレーム基板との接合部位に、前記接着剤を前記アクチュエータの動作に影響がない領域に流動させるための凸部を形成したインクジェットヘッドを用いたことを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッド及び画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から知られているインクジェットヘッドは、インクを吐出させる圧力を発生する振動板及びこの振動板を振動させるための圧電素子を形成したアクチュエータ基板と、それらを保護，補強するためのサブフレーム基板を有している。それらアクチュエータ基板とサブフレーム基板は、精密な造形と高精度な位置合わせをした上で接着剤で接合されている。
【０００３】
上記アクチュエータ基板とサブフレーム基板とを接合するときには、そのアクチュエータ基板を下側にし、接着剤を塗布したサブフレーム基板を上側から圧接し、昇温することにより接着剤を固化させている。そのため、接着剤が余分に塗布されているときには、アクチュエータ基板の接合部分からアクチュエータに向かって流れ出してしまう。そして、アクチュエータに向かって流れ出した接着剤はアクチュエータに付着し、動作不良の原因となって歩留まりを低下させる原因となっている。
【０００４】
上記した接合部分からはみ出した接着剤がアクチュエータ基板に到達しないようにするため、主に３つの技術が特許文献１乃至６に開示されている。
第１は、特許文献１乃至３に開示されているように、アクチュエータ基板の接合部分に段差を設ける。これにより、接着剤が流れるパス（流路）を長くし、その段差に接着剤が溜まりやすくすることにより、接着剤がアクチュエータに到達するのを抑制するものである。
【０００５】
第２は、特許文献３に開示されているように、アクチュエータ基板の接合部分と振動板の間に突起物を設けることにより、接着剤がアクチュエータまで流出することを阻止するものである。
【０００６】
第３は、特許文献４乃至特許文献６に開示されているように、アクチュエータ基板の接合部分に切欠きを設けた構成や接合部を島状に分割することにより、接着剤が溜る空隙を設けて接着剤がアクチュエータまで到達するのを抑制する。また、凸部を付加してアクチュエータの長手方向に段差を設けることにより、接着剤がアクチュエータの端部に流れる動線を作り出し、アクチュエータの有効振動面に接着剤を到達させないようにしたものである。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１乃至３に開示された従来技術では、サブフレーム基板に塗布する接着剤の量を均一にできないため、アクチュエータの長手方向の中央部付近に余分な接着剤が多く付着していると、流れ出した接着剤がアクチュエータに到達する虞がある。
また、特許文献３に開示された従来技術では、上記と同様に余分な接着剤が多く付着していると、アクチュエータと同程度の高さの突起物では流れ出た接着剤が突起物を乗り越えてしまう虞がある。
【０００８】
さらに、特許文献４乃至特許文献６のうち、特許文献４に開示されている従来技術では、接着剤が多く付着していると溜りが十分でなく流れ出す虞がある。また、特許文献５，６に開示されている従来技術では、アクチュエータ基板とサブフレーム基板との接合面の面積が小さくなるため、接合強度がやや弱くなる虞があるという課題が未解決のままである。
【０００９】
そこで本発明は、サブフレーム基板とアクチュエータ基板の互いの接合部位に塗布されている接着剤のアクチュエータに向けての流出を抑止し、アクチュエータの動作不良をなくすことができるインクジェットヘッドの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するための請求項１に記載した本発明は、インクを吐出する複数のノズル孔に連通し、インクを一時的に貯留するための液室を加振するアクチュエータを搭載したアクチュエータ基板と、サブフレーム基板とを有し、それらアクチュエータ基板とサブフレーム基板とを接着剤により接合しているインクジェットヘッドにおいて、前記アクチュエータ基板は、このアクチュエータ基板と前記サブフレーム基板との接合部位に、前記アクチュエータの動作に影響がない領域に前記接着剤を流動させるための凸部を形成している。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、サブフレーム基板とアクチュエータ基板の互いの接合部位に塗布されている接着剤がアクチュエータに向けて流出することを抑止でき、これにより、アクチュエータの動作不良をなくすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】（ａ）は、本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの要部を示す部分断面図、（ｂ）は、そのインクジェットヘッドの接合部に設けた凸部の構造を示す部分斜視図である。
【図２】同上の凸部の作用を示す部分斜視図である。
【図３】（ａ）は、従来の構造からなる接合部を有するインクジェットヘッドの部分断面図、（ｂ）は、そのインクジェットヘッドの構造を上記した図１（ａ）に示すインクジェットヘッドに合わせて簡略化して示す部分断面図である。
【図４】（ａ）は、インクジェットヘッドの接合部に設けた第一の変形例に係る凸部の構造を示す部分斜視図、（ｂ）は、その凸部の作用を示す部分斜視図である。
【図５】（ａ）は、インクジェットヘッドの接合部に設けた第二の変形例に係る凸部の構造を示す部分斜視図、（ｂ）は、その凸部の作用を示す部分斜視図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る画像形成装置の主要な構成を斜視図である。
【図７】同上の画像形成装置の機構部の主要部を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に、本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッド及びこのインクジェットヘッドを用いた画像形成装置について、図面を参照して説明する。図１（ａ）は、本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの一部を拡大して示す部分断面図、（ｂ）は、そのインクジェットヘッドの接合部に設けた凸部の構造を示す部分斜視図である。また、図２は、その凸部の作用を示す部分斜視図である。なお、図１（ｂ），図２においては、後述する凸部の構造を明らかにするために、サブフレーム基板、接着剤、保護膜及びノズル板を省略している。
【００１４】
図１（ａ）に示すインクジェットヘッド１０は、ノズル板１１、流路形成層１２、アクチュエータ基板１３、圧電素子アクチュエータ（以下、単に「アクチュエータ」という。）２０及びサブフレーム基板３０を主要の構成としたものである。
ノズル板１１は、例えばＮｉ（ニッケル）製のものであり、これには、インクを吐出するための複数のノズル孔１１ａが形成されている。
【００１５】
流路形成層１２は、例えばＳｉ（シリコン）製のものであり、上記したノズル板１１の表面に液室１２ａの側面を区画する隔壁１２ｂを形成している。その液室１２ａは、これに連通するノズル孔１１ａから吐出させるインクを一時的に貯留するための空間である。
【００１６】
アクチュエータ基板１３は、振動板１４、上記のアクチュエータ２０、層間絶縁膜２１及び接合部２２を有している。
振動板１４は、例えばＴｉＯ２（酸化チタン）製のものであり、上記した流路形成層１２上に積層して配設されることにより、液室１２ａの一面を区画している。すなわち、液室１２ａは、ノズル板１１、隔壁１２ｂ及び振動板１４によって区画形成されている。
層間絶縁膜２１は、例えばＳｉＯ３（酸化アルミニウム）製のものであり、例えばＰｔ（プラチナ）製の下部電極（図示しない）とともにノズル板１１の表面に積層して形成されている。その層間絶縁膜２１上であって液室１２ａに対応する位置に上記したアクチュエータ２０が配設されている。
【００１７】
アクチュエータ２０は、振動板１４を介して液室１２ａを加振するためのものであり、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）製の圧電体層２０ａ、上部電極層及び個別電極２０ｂを順次積層させて形成したものである。
【００１８】
サブフレーム基板３０には、上記したアクチュエータ基板１３に向けて隔壁部３０ａが所定の間隔をもって突設されている。その隔壁部３０ａが、アクチュエータ基板１３の接合部２２に接着剤１５によって接合されることにより、アクチュエータ２０の保護空間を区画形成している。その接合部２２が、アクチュエータ基板１３と前記サブフレーム基板３０との接合部位である。
【００１９】
接合部２２は上記層間絶縁膜２１上に配置されており、層間絶縁膜２３、金属配線２４及び保護膜２５を有しており、上記アクチュエータ２０の駆動による振動板１４の変位を阻害しないように、流路形成層１２の隔壁１２ｂ上に配置している。
【００２０】
層間絶縁膜２３は例えばＳｉＯ２製のものであり、アクチュエータ２０とほぼ同じ厚みにした断面方形にして形成されており、これの上面に、その層間絶縁膜２３とほぼ同形同大にした金属配線２４が配設されている。
【００２１】
本実施形態において示す層間絶縁膜２３の両側面には、この層間絶縁膜２３と同等の材質からなる凸部２６，２７を側方に突出させて形成している。
凸部２６，２７のうち、液室１２ａに臨む層間絶縁膜２３の内側面２３ａに形成された凸部２６は、上記アクチュエータ２０の動作に影響がない領域Ａ（図１（ｂ），２参照）に接着剤１５を誘導するためのものである。
【００２２】
本実施形態において示す凸部２６は断面方形にしているとともに、上記アクチュエータ２０の長手方向αの両端部に段差２６ａ，２６ａを形成するように層間絶縁膜２３よりもやや短尺にして形成されている。なお、凸部２７は、凸部２６と同様にして層間絶縁膜２３よりもやや短尺にして形成されている。
保護膜２５は、例えばＳｉＮ（窒化珪素）製のものであり、アクチュエータ２０の上記金属配線２４と層間絶縁膜２３全体を被覆するように形成されたものである。
【００２３】
上述したアクチュエータ基板１３とサブフレーム基板３０は、それぞれシリコン基板上に形成されるものであり、ウェハ状態で貼り合せた構造となっている。このように接合されたアクチュエータ基板１３とサブフレーム基板３０をチップ分離した後に、上記したノズル板１１を接合することによりインクジェットヘッド１０が形成されている。
【００２４】
上記の構造にした凸部２６は、アクチュエータ２０の形成と同時に形成することができる。すなわち、アクチュエータ２０を形成するフォトレジストパターンに接合部２２と凸部２６，２７を含めておくことにより、アクチュエータ２０とほぼ同じ高さで凸部２６，２７を形成できる。また、接合部２２は、さらに金属配線２４が載置されることにより、厚みの差を持たせて形成することができる。
【００２５】
上述した構造からなる凸部２６を設けたことにより、隔壁部３０ａに塗布した接着剤１５は、図２に流出方向βで示すように、その凸部２６によってアクチュエータ２０の端部の上記領域Ａに誘導させられるようになる。
すなわち、アクチュエータ２０の両端部に対応する接合部２２の接着剤１５が振動板１４上面に流れ出すと、この先に流れ出した接着剤１５に後から流れ出す接着剤１５が引き寄せられる。そして、それらの接着剤１５は、アクチュエータ基板１３の接合部２２に沿って凸部２６の段差２６ａから流れ出す。そのため、アクチュエータ２０の中央部付近に対応する部位の接着剤１５も、先に流出した接着剤１５に誘引され、その一部がアクチュエータ２０に沿ったα方向に流れるようになる。このため、アクチュエータ２０に向けて流れ出す接着剤１５の量が減少し、そのアクチュエータ２０まで到達する接着剤１５が無くなるか減少するのである。
【００２６】
ところで、図３（ａ）は、従来の構造からなる接合部を有するインクジェットヘッドの部分断面図、（ｂ）は、そのインクジェットヘッドの構造を上記した図１に示すインクジェットヘッドに合わせて簡略化して示す部分断面図である。なお、図３（ａ），（ｂ）において、上記図１，２において説明したものと同等のものについては、それらと同一の符号を付して説明を省略する。
【００２７】
図３（ａ），（ｂ）に示す従来のインクジェットヘッドにおいては、接着剤１５の塗布量が適量であり、サブフレーム基板３０の接合位置が適正であれば、塗布された接着剤１５は接合部２２の両側からアクチュエータ２０に向けて流出することなく固化する。この場合、アクチュエータ２０になんら影響を及ぼすことはない。
【００２８】
しかし、図示はしてはいないが、接着剤１５の塗布量が多過ぎたときやサブフレーム基板３０の接合位置が僅かにずれたりしたときには、接着剤１５がアクチュエータ２０に向けて流出し、接着剤１５がアクチュエータ２０の上にまで到達する場合がある。
接着剤１５がアクチュエータ２０の上にまで到達した場合、接着剤１５が付着してしまったアクチュエータ２０は設計どおりの振動が阻害される。このため、結果としてインクがノズル孔１１ａから適正に吐出されずに印刷不良を引き起こし、インクジェットヘッド１０の品質検査で不合格となり、歩留まりが低下してしまうのである。
【００２９】
これに対し、上述したインクジェットヘッド１０によれば、接着剤１５の塗布量が多過ぎたときやサブフレーム基板３０の接合位置が僅かにずれた場合であっても、余剰の接着剤１５は凸部２６によってアクチュエータ２０に向けて流れ出す量が減少する。これにより、そのアクチュエータ２０まで到達する接着剤１５を無くすか動作不良を生じさせない程度に減少させることができる。
【００３０】
次に、第一の変形例に係る凸部について、図４（ａ），（ｂ）を参照して説明する。図４（ａ）は、インクジェットヘッドの接合部に設けた第一の変形例に係る凸部の構造を示す部分斜視図、（ｂ）は、その凸部の作用を示す部分斜視図である。なお、上記図１乃至３において説明したものと同と上のものについては、それらと同一の符号を付して説明を省略する。
【００３１】
図４（ａ）に示す第一の変形例に係る凸部２８，２９のうち、凸部２８は、上記した金属配線２４の内側面２４ａ、換言すると液室１２ａに臨む側部に突出させ、また、凸部２９は凸部２８と同様にして金属配線２４の外側面に突出させてそれぞれ形成している。
本例において示す凸部２８は、上記したアクチュエータ２０の動作に影響がない領域Ａに接着剤１５を誘導するためのものである。この凸部２８は、金属配線２４と同等の材質からなるものであり、縦長方形断面にし、かつ、上記したアクチュエータ２０の長手方向αにおいて段差２８ａ，２８ａを形成するように、金属配線２４よりも短尺にして形成されている。
【００３２】
上述した構造からなる凸部２８を設けたことにより、隔壁部３０ａに塗布した接着剤１５は、同図（ｂ）に矢印βで示すように、その凸部２８の段差２８ａを介して流出方向βをアクチュエータ２０の端部の領域Ａに誘導されるようになる。このような構造にした凸部２８であっても、上記としたものと同様の効果を得ることができる。
【００３３】
次に、第二の変形例に係る凸部について、図５を参照して説明する。図５（ａ）は、インクジェットヘッドの接合部に設けた第二の変形例に係る凸部の構造を示す部分斜視図、（ｂ）は、その凸部の作用を示す部分斜視図である。なお、上記図１乃至４において説明したものと同等のものについては、それらと同一の符号を付して説明を省略する。
【００３４】
第二の変形例に係る凸部２６，２７、２８，２９のうち、凸部２６は層間絶縁膜２３の内側面２３ａに突出させて、また、凸部２７は凸部２６と同様にして層間絶縁膜２３の外側面に突出させてそれぞれ形成している。
凸部２８は、金属配線２４の内側面２４ａ、換言すると液室１２ａに臨む側部に突出させ、また、凸部２９は凸部２８と同様にして金属配線２４の外側面に突出させてそれぞれ形成している。
【００３５】
上記凸部２６，２８は、アクチュエータ２０の動作に影響がない領域Ａに上記の接着剤１５を流動させるべく上下二段にして形成されている。
本例において示す凸部２６は、アクチュエータ２０の長手方向αにおいて層間絶縁膜２３よりもやや短尺にして配設することにより下段の段差２６ｂを形成している。この凸部２６は、上記した層間絶縁膜２３と同一又は同等の材質からなるものであり、縦長方形断面にして形成されている。
【００３６】
また、凸部２８は、アクチュエータ２０の長手方向αにおいて金属配線２４の側面２４、換言すると液室１２ａに臨む側部に上記凸部２６よりもさらに短尺にして配設することにより上段の段差２８ａを形成している。この凸部２８は、上記した金属配線２４と同一又は同等の材質からなるものであり、縦長方形断面にして形成されている。
【００３７】
上記した本例に係る凸部によれば、複数の段差を有しているので、図５（ｂ）において矢印βで示すように、アクチュエータ２０の端部に向かう接着剤１５がより多くなるため、アクチュエータ２０の中心部に向かう接着剤をさらに減少させることができる。
なお、本例においては、上下二段の段差２６ａ，２８ａを有する凸部２６，２８について例示したが、これに限るものではなく、三段以上の段差を形成するように凸部を配設してもよいことは勿論である。
【００３８】
図６は、本発明の一実施形態に係る画像形成装置の主要な構成を斜視図、図７は、その画像形成装置の機構部の主要部を示す側面図である。なお、以下には、画像形成装置としてインクジェットプリンタを例として説明する。
【００３９】
このインクジェットプリンタは、キャリッジ７２、このキャリッジ７２に搭載された記録ヘッド７３、この記録ヘッド７３にインクを供給するインクカートリッジ７４等で構成される印字機構部６１等を収納している。キャリッジ７２は、装置本体６０内部において主走査方向に移動可能に支持されている。
【００４０】
装置本体６０の下方部には、前方側から多数枚の用紙６２を積載可能な給紙カセット（或いは給紙トレイでもよい。）６３を抜き差し自在に装着することができようになっている。
また、用紙６２を手差しで給紙するための手差しトレイ６４を開倒することができるように配設されている。これにより、給紙カセット６３や手差しトレイ６４から給送される用紙６２を取り込み、印字機構部６１によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイに排紙するようになっている。
【００４１】
印字機構部６１は、図示しない左右の側板に横架した主ガイドロッド７０と従ガイドロッド７１とでキャリッジ７２を主走査方向（図１１において紙面垂直方向）に摺動自在に保持している。
【００４２】
このキャリッジ７２には、各色のインクを供給するための各インクカートリッジ７４を交換可能に装着した記録ヘッド７３が搭載されている。
記録ヘッド７３には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する上記したインクジェットヘッド１０が複数搭載されている。インクジェットヘッド１０は、複数のインク吐出口（ノズル）を主走査方向と交差する方向に配列し、かつ、インク滴吐出方向を下方に向けて装着されている。
【００４３】
インクカートリッジ７４は、上方に大気と連通する大気口、下方にはインクジェットヘッド１０にインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有している。その多孔質体の毛管力により、インクジェットヘッド１０に供給されるインクをわずかな負圧に維持している。なお、本実施形態においては、各色の記録ヘッド７３を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する１個のヘッドを用いてもよい。
【００４４】
ここで、キャリッジ７２は、後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド７０に摺動自在に嵌装され、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド７１に摺動自在に載置している。また、主走査モータ７５により回転駆動される駆動プーリ７６と従動プーリ７７との間にタイミングベルト７８を張装している。そのタイミングベルト７８はキャリッジ７２に固定され、主走査モータ７５の正逆回転により上記キャリッジ７２が往復駆動され、主走査方向に移動走査される。
【００４５】
一方、給紙カセット６３にセットした用紙６２を記録ヘッド７３の下方側に搬送するために、給紙ローラ８０、フリクションパッド８１、ガイド部材８３、搬送ローラ８４、搬送コロ８５及び先端コロ８６が適宜配設されている。
【００４６】
給紙ローラ８０及びフリクションパッド８１は、給紙カセット６３から用紙６２を分離給装するものである。また、ガイド部材８３は、用紙６２を案内し、搬送ローラ８４は給紙された用紙６２を反転させて搬送するように配設されている。先端コロ８６は、その搬送ローラ８４の周面に押し付けられる搬送コロ８５及び搬送ローラ８４からの用紙６２の送り出し角度を規定するものである。なお、搬送ローラ８４は副走査モータ８７によってギヤ列を介して回転駆動される。
【００４７】
そして、キャリッジ７２の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ８４から送り出された用紙６２を記録ヘッド７３の下方側で案内する印写受け部材８９を搬送経路上に設けている。この印写受け部材８９の用紙搬送方向下流側には、搬送コロ９０及び拍車９１、排紙ローラ９２及び拍車９５、排紙経路を形成するガイド部材９６，９７が配設されている。
搬送コロ９０と拍車９１は、用紙６２を排紙方向へ送り出すために、また、排紙ローラ９２と拍車９５は用紙６２を排紙トレイに送り出すように、それぞれ回転駆動されるようになっている。
【００４８】
記録時には、キャリッジ７２を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド７３を駆動することにより、停止している用紙６２にインクを吐出して１行分を記録し、用紙６２を所定量搬送後次の行の記録を行う。そして、記録終了信号又は用紙６２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙６２を排紙する。
【００４９】
また、キャリッジ７２の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、記録ヘッド７３の吐出不良を回復するための回復装置１００を配置している。回復装置１００はキャッピング手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ７２は、印字待機中にはこの回復装置１００側に移動されてキャッピング手段で記録ヘッド７３をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中等に記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
【００５０】
吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段で記録ヘッド７３の吐出口（ノズル）を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出す。そして、吐出口面に付着したインクやゴミ等は、クリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜（不図示）に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
以上詳述した本実施形態に係るインクジェットヘッド１０を適用することにより、インクジェットヘッドの製造工程での歩留まりが向上することで、記録ヘッド７３の製造コストの低減を図ることができる。
【符号の説明】
【００５１】
１０      インクジェットヘッド
１１ａ    ノズル孔
１２ａ    液室
１３      アクチュエータ基板
２０      アクチュエータ
２１      層間絶縁膜
２２      接合部（接合部位）
２３      層間絶縁膜
２４      金属配線
２５      保護膜
２６，２７、２８，２９      凸部
２６ａ    段差
２６ｂ    段差
２８ａ    段差
３０      サブフレーム基板
３０ａ    隔壁部
６０      装置本体
６２      用紙
６４      手差しトレイ
７１      従ガイドロッド
７２      キャリッジ
７３      記録ヘッド
７４      インクカートリッジ
７５      主走査モータ
７７      従動プーリ
８０      給紙ローラ
８４      搬送ローラ
９０      搬送コロ
９２      排紙ローラ
β        流出方向
【先行技術文献】
【特許文献】
【００５２】
【特許文献１】特開２０１４−１７２３２８号公報
【特許文献２】特開２０１４−２１３４８０号公報
【特許文献３】特開２０１４−１５１５３７号公報
【特許文献４】特開２０１３−１６３３４１号公報
【特許文献５】特開２０１４−０１４９６７号公報
【特許文献６】特開２０１４−１７２３５２号公報
【図１】
2016172374.tif 000003
【図２】
2016172374.tif 000004
【図３】
2016172374.tif 000005
【図４】
2016172374.tif 000006
【図５】
2016172374.tif 000007
【図６】
2016172374.tif 000008
【図７】
2016172374.tif 000009