(57)【要約】【課題】管の内面にランダムに発生する欠陥を精度良く検出する管内面検査装置を提供すること。【解決手段】管内面検査装置１０は、自走式の場合は走行駆動手段２０と走行案内手段３０との間にビームプロファイラ４０を備え、管外牽引式の場合は２つの走行案内手段３０の間にビームプロファイラ４０を備える。ビームプロファイラ４０は、中心軸線方向に配列される管内全周スキャン装置、例えばスリットレーザ発光部４１および撮像部４２を含み、旋回モータ４５によりその中心軸線周りに旋回可能に設けられる。往路ではビームプロファイラを第１の旋回位置に保持した状態で管の内面プロファイルを撮影し、復路ではビームプロファイラを第２の旋回位置に１８０度旋回させた状態で内面プロファイルを補完的に撮影する。【選択図】図１
2017037056.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒形の管内を移動可能な管内面検査装置であって、
自走式管内面検査装置の場合は走行駆動手段と走行案内手段との間もしくは２つの走行駆動手段間に連結されるビームプロファイラを備え、
管外牽引式管内面検査装置の場合は２つの走行案内手段の間に連結されるビームプロファイラを備え、
移動する中心軸線周りに前記ビームプロファイラを旋回させる旋回手段を備えることを特徴とする管内面検査装置。
【請求項２】
前記ビームプロファイラが、自走式管内面検査装置の場合は前記走行駆動手段と前記走行案内手段との間もしくは前記２つの走行駆動手段間に架け渡される支持部材に片側支持されていること、
管外牽引式管内面検査装置の場合は前記走行案内手段と前記走行案内手段との間に架け渡される支持部材に片側支持されていることを特徴とする、請求項１に記載の管内面検査装置。
【請求項３】
前記走行駆動手段側に配置され、管内に押圧されて接触している駆動ガイドは４輪で当該管内面検査装置を支える構造であり、前記走行案内手段側に配置され、管内に押圧されて接触している駆動ガイドは３輪で当該管内面検査装置を支える構造であることを特徴とする請求項２に記載の管内面検査装置。
【請求項４】
前記ビームプロファイラが、前記中心軸線方向に配列される管内全周スキャン装置を含み、
前記管内全周スキャン装置が、検査対象の管の長手方向中心線に直交する平面内において前記管の内面に向けてスキャンすることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の管内面検査装置。
【請求項５】
前記管内全周スキャン装置がスリットレーザ発光部および撮像部を含み、前記スリットレーザ発光部が、検査対象の管の長手方向中心線に直交する平面内において前記管の内面に向けてスリットレーザ光をスキャンすることを特徴とする、請求項４に記載の管内面検査装置。
【請求項６】
前記スリットレーザ発光部と前記撮像部との間隔が調整可能であることを特徴とする、請求項５に記載の管内面検査装置。
【請求項７】
ビームプロファイラを搭載する管内面検査装置により管の内面を検査する管内面検査方法であって、
前記ビームプロファイラを第１の旋回位置に保持した状態で前記管内面検査装置を管の往路方向に走行させながら、前記ビームプロファイラにより前記管の内面プロファイルを撮影する工程と、
前記管の端位置で前記ビームプロファイラを前記第１の旋回位置から第２の旋回位置に旋回させる工程と、
前記ビームプロファイラを前記第２の旋回位置に保持した状態で前記管内面検査装置を前記管の復路方向に走行させながら、前記ビームプロファイラにより前記管の内面プロファイルを撮影する工程と、を含むことを特徴とする管内面検査方法。
【請求項８】
自走式管内面検査装置を用いる場合は、前記ビームプロファイラを走行駆動手段と走行案内手段との間もしくは２つの走行駆動手段間に架け渡される支持部材に片側支持させること、
管外牽引式管内面検査装置を用いる場合は、前記ビームプロファイラを２つの走行案内手段の間に架け渡される支持部材に片側支持させることを特徴とする、請求項７に記載の管内面検査方法。
【請求項９】
前記走行駆動手段側に配置され、管内に押圧されて接触している駆動ガイドには、４輪で当該管内面検査装置を支える構造を用い、前記走行案内手段側に配置され、管内に押圧されて接触している駆動ガイドには３輪で当該管内面検査装置を支える構造を用いることを特徴とする請求項８に記載の管内面検査方法。
【請求項１０】
前記ビームプロファイラに、前記中心軸線方向に配列される管内全周スキャン装置を用い、
前記管内全周スキャン装置により、検査対象の管の長手方向中心線に直交する平面内において前記管の内面をスキャンすることを特徴とする、請求項７乃至９のいずれか１項に記載の管内面検査方法。
【請求項１１】
前記管内全周スキャン装置にスリットレーザ発光部および撮像部を配置し、前記スリットレーザ発光部により、検査対象の管の長手方向中心線に直交する平面内において前記管の内面に向けてスリットレーザ光を用いてスキャンすることを特徴とする、請求項１０に記載の管内面検査方法。
【請求項１２】
前記スリットレーザ発光部と前記撮像部との間隔を調整できることを特徴とする、請求項１１に記載の管内面検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、鋼管等の内壁面を検査する管内面検査装置および管内面検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電縫鋼管には、鋼管内面側にも外面側と同等の厳格な外観品位とともに、内径側の高い真円度および寸法精度が求められている。
電縫鋼管は、鋼帯を多数の成形ロールによって幅方向に徐々に湾曲させて管状とし、その端面間のシーム部を長手方向に沿って連続的に電気抵抗溶接（電縫溶接）することで製造される。電縫溶接によって管のシーム部には溶接ビードが、管の長手方向に沿って連続的に生成される。これとともに、溶接時に飛来するスパッタ屑が管の内壁面に散在する。
鋼管の内面を平滑化するため、溶接後の鋼管内に内削装置を挿入して溶接ビードを切削する方法が行われている。この種の内削装置は、溶接ビードを切削する切削バイトと、装置本体を移動可能に支持するとともに切削バイトに反力を与える車輪を備えている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
しかし、内削装置を使用して鋼管内の溶接ビードを切削した後にも、例えば図１２に示すように、溶接ビードの内削不良、内削装置の機械的接触による内面欠き疵および内削装置の車輪がスパッタ屑を踏みつけることによるクレータ状の踏み付け疵等が発生する場合がある。
【０００４】
鋼管製品の中間検査においては、このような管内面の内削不良やスパッタ踏み付け疵等の欠陥を事前に発見する必要がある。そのため、従来、管の内部に挿入し、その内壁面を撮影しながら欠陥を検査する管内面検査装置が提案されている（例えば、特許文献２、３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−２４１１５２号公報
【特許文献２】特表２００４−５０９３２１号公報
【特許文献３】特開２０１１−１１２５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献２に記載の検査装置では、広角レンズを用いた撮像装置により管の内面の疵の存在を発見することはできるが、疵の深さまでを検出することはできなかった。また、特許文献３に記載の検査装置は、管の長手方向のシーム部に発生する切削不良等といった予め位置が判明している疵の状態については精度良く検査できるが、管の内面にランダムに発生するスパッタ踏み付け疵等を検出するには不向きであった。
【０００７】
本発明は、このような従来の課題を解決するためになされたものであり、管内面にランダムに発生するスパッタ痕等の欠陥を精度良く検出できる等の管内面検査装置または管内面検査方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明は、円筒形の管内を移動可能な管内面検査装置であって、自走式管内面検査装置の場合は走行駆動手段と走行案内手段との間もしくは２つの走行駆動手段間に連結されるビームプロファイラを備え、管外牽引式管内面検査装置の場合は２つの走行案内手段の間に連結されるビームプロファイラを備え、移動する中心軸線周りに前記ビームプロファイラを旋回させる旋回手段を備えることを特徴とする管内面検査装置である。
【０００９】
上記構成の管内面検査装置において、前記ビームプロファイラが、自走式管内面検査装置の場合は前記走行駆動手段と前記走行案内手段との間もしくは前記２つの走行駆動手段間に架け渡される支持部材に片側支持されていること、管外牽引式管内面検査装置の場合は前記走行案内手段と前記走行案内手段との間に架け渡される支持部材に片側支持されていることが好ましい。
【００１０】
また、管内面検査装置は、前記走行駆動手段側に配置され、管内に押圧されて接触している駆動ガイドは４輪で当該管内面検査装置を支える構造であり、前記走行案内手段側に配置され、管内に押圧されて接触している駆動ガイドは３輪で当該管内面検査装置を支える構造であることが好ましい。
【００１１】
また、管内面検査装置は、前記ビームプロファイラが、前記中心軸線方向に配列される管内全周スキャン装置を含み、前記管内全周スキャン装置が、検査対象の管の長手方向中心線に直交する平面内において前記管の内面に向けてスキャンすることが好ましい。
【００１２】
また、管内面検査装置は、前記管内全周スキャン装置がスリットレーザ発光部および撮像部を含み、前記スリットレーザ発光部が、検査対象の管の長手方向中心線に直交する平面内において前記管の内面に向けてスリットレーザ光をスキャンすることが好ましい。
【００１３】
また、管内面検査装置は、前記スリットレーザ発光部と前記撮像部との間隔が調整可能であることが好ましい。
【００１４】
更に、本発明は、ビームプロファイラを搭載する管内面検査装置により管の内面を検査する管内面検査方法であって、前記ビームプロファイラを第１の旋回位置に保持した状態で前記管内面検査装置を管の往路方向に走行させながら、前記ビームプロファイラにより前記管の内面プロファイルを撮影する工程と、前記管の端位置で前記ビームプロファイラを前記第１の旋回位置から第２の旋回位置に旋回させる工程と、前記ビームプロファイラを前記第２の旋回位置に保持した状態で前記管内面検査装置を前記管の復路方向に走行させながら、前記ビームプロファイラにより前記管の内面プロファイルを撮影する工程と、を含むことを特徴とする管内面検査方法である。
【００１５】
上記管内面検査方法において、自走式管内面検査装置を用いる場合は、前記ビームプロファイラを走行駆動手段と走行案内手段との間もしくは２つの走行駆動手段間に架け渡される支持部材に片側支持させること、管外牽引式管内面検査装置を用いる場合は、前記ビームプロファイラを２つの走行案内手段の間に架け渡される支持部材に片側支持させることが好ましい。
【００１６】
また、管内面検査方法において、前記走行駆動手段側に配置され、管内に押圧されて接触している駆動ガイドには、４輪で当該管内面検査装置を支える構造を用い、前記走行案内手段側に配置され、管内に押圧されて接触している駆動ガイドには３輪で当該管内面検査装置を支える構造を用いることが好ましい。
【００１７】
また、管内面検査方法において、前記ビームプロファイラに、前記中心軸線方向に配列される管内全周スキャン装置を用い、前記管内全周スキャン装置により、検査対象の管の長手方向中心線に直交する平面内において前記管の内面をスキャンすることが好ましい。
【００１８】
また、管内面検査方法において、前記管内全周スキャン装置にスリットレーザ発光部および撮像部を配置し、前記スリットレーザ発光部により、検査対象の管の長手方向中心線に直交する平面内において前記管の内面に向けてスリットレーザ光を用いてスキャンすることが好ましい。
【００１９】
また、管内面検査方法において、前記スリットレーザ発光部と前記撮像部との間隔を調整できることが好ましい。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の管内面検査装置または管内面検査方法によれば、管内面にランダムに発生する、例えばスパッタ疵等の欠陥を精度良く検出することができる。また、管内面検査装置の管内の移動を安定化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施形態による管内面検査装置の側面を例示するブロック図である。
【図２】走行駆動手段を例示する側面図である。
【図３】走行駆動手段を更に例示するため管内面検査装置を後方から見た図である。
【図４】走行案内手段を例示する側面図である。
【図５】走行案内手段を更に例示するため管内面検査装置を前方から見た図である。
【図６】管内面検査装置による走行性能を試験した結果を示すグラフである。
【図７】ビームプロファイラを例示する側面図である。
【図８】管の内面で撮影される内面プロファイルを例示する図である。
【図９】内面プロファイルに基づいて合成した画像を例示する図である。
【図１０】管内面検査装置による管内面検査方法を説明するためのフロー図である。
【図１１】他の実施形態の管内面検査装置による管内面検査方法を説明するためのフロー図である。
【図１２】管の欠陥の発生事例を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明は管内面検査装置に係る発明であって、その管内面検査装置には自ら駆動装置（走行駆動手段）を備えた自走式のものと、検査対象の管外に管内面検査装置を牽引する装置を備える管外牽引式の両方を含む。
自走式管内面検査装置は、当該検査装置の前後の一方に走行駆動手段を備え、他方は走行案内手段である場合と、当該検査装置の前後の両方に走行駆動手段を備える場合を含む。自走式の場合、例えば走行駆動手段と走行案内手段との間又は２つの走行駆動手段間にビームプロファイラが連結される構造である。
一方、管外牽引式管内面検査装置は、当該検査装置の前後の両方に走行駆動手段を備え、ビームプロファイラが、例えば２つの走行案内手段間に連結される構造である。
以下、管内面検査装置の前後の一方に走行駆動手段を備え、他方は走行案内手段である自走式の管内面検査装置を例に説明する。ただし、本発明は、ここで説明する態様に限定されるものではない。
【００２３】
図１は、本発明の一実施形態による自走式の管内面検査装置１０の側面図である。本実施形態による管内面検査装置１０は、電縫鋼管等の円筒形の管内に進入し、または管に挿入して、当該管内の長手方向に沿って走行しながら管の内面の疵等の欠陥の状態を検査する。管内面検査装置１０は、図１に例示するように、一端側（仮に後端部とする。）に走行駆動手段２０を備え、他端側（仮に前端部とする。）に走行案内手段３０を備える。そして、走行駆動手段２０および走行案内手段３０との間にビームプロファイラ４０が連結している。管内面検査装置１０は、これら走行案内手段３０、ビームプロファイラ４０および走行駆動手段２０が連結する方向に沿って往復移動（または走行）可能に構成されている。
【００２４】
（走行駆動手段）
走行駆動手段２０は、管内面検査装置１０の例えば後端部に設けられる。ここで、図２は、走行駆動手段２０の走行ユニット本体部分を拡大して示す側面図である。また、図３は、管内面検査装置１０を中心軸後方から見た図である。
【００２５】
走行駆動手段２０は、走行ユニット本体内に設けられる駆動モータ２１と、好ましくは４輪の駆動輪２２（２２ａ、２２ｂ）および駆動輪２２を支持する支持脚部２３を含む駆動ガイドとを備えている。駆動モータ２１の軸にはウォームギア２４が噛合しており、駆動モータ２１のトルクが支持脚部２３内の図示しない無端ベルト等を介して駆動輪２２に伝達される。
【００２６】
上下の駆動輪２２、２２をそれぞれ先端部に有する支持脚部２３、２３は、各基端側のウォームギア２４の軸を中心に回動可能に軸支されている。また、各支持脚部２３、２３の中間位置には、支承リンク２６、２６が軸支されている。各支承リンク２６、２６のそれぞれの他端は、管内面検査装置１０の軸中心から後方に伸びるロッド２８に沿って摺動するスライダ２７に連結している。スライダ２７は、ロッド２８に支持されるコイルばね２９により常時前方に付勢されている。これにより、駆動輪２２は、検査対象である管の内面に押圧されて接触している。
【００２７】
このような走行駆動手段２０のリンク機構によれば、上下の支持脚部２３、２３には、互いに広がる向きにコイルばね２９からの付勢力が均等に作用し、これにより上下の駆動輪２２、２２が管の内面に同一の押圧力で接触する。つまり、管の内径が異なる場合でも、上下の支持脚部２３、２３が可動する範囲においては、各駆動輪２２、２２を均等の押圧力で管内面に接触させることができる。これにより、駆動モータ２１からのトルクを、駆動輪２２、２２を介して管内面に作用させて、管内面検査装置１０に推進力を発生させることができる。
【００２８】
また、駆動モータ２１の軸の回転方向を変えることで、管内面検査装置１０を管内で往復動させることができる。また、コイルばね２９からの付勢力を上下の駆動輪２２、２２に均等に作用させることで、管の内径が異なる場合でも常に走行駆動手段２０を管の中心に保持して、管内面検査装置１０を安定的に走行させることができる。
【００２９】
また、駆動モータ２１に出力したパルスをカウントすることで、管内面検査装置１０の管内における位置、つまり、後述するビームプロファイラ４０による検査位置を把握することができる。また、駆動モータ２１またはウォームギア２４等の軸にロータリエンコーダを設け、そのカウント出力に基づいて上記検査位置を検出してもよい。このような検査位置等の情報は、管内面検査装置１０による検査動作中に随時、外部の検査制御装置に出力されてもよいし、または管内面検査装置１０に搭載する制御装置のメモリに一時的に記録されてもよい。
【００３０】
なお、機構的なアンバランス等により、管内面検査装置１０が走行中に徐々に旋回（走行軸を中心としたねじり回転）することも考えられる。しかし、例えば駆動モータ２１や、後述する旋回モータ４５の下部に錘等の重量部を設けて重心位置を下げる等の対策をすることで、そのような望ましくない旋回動作を防ぐことができる。
【００３１】
管内面検査装置１０の管内における位置、つまり、後述するビームプロファイラ４０による検査位置は、例えば走行駆動手段２０の移動量に基づいて検出することができる。このような検査位置等の情報は、管内面検査装置１０による検査動作中に随時、外部の検査制御装置に出力されてもよいし、または管内面検査装置１０に搭載する制御装置のメモリに一時的に記録されてもよい。
【００３２】
（走行案内手段）
図４は、走行案内手段３０を拡大して示す側面図である。また、図５は、管内面検査装置１０を中心軸前方から見た図である。走行案内手段３０は、管内面検査装置１０の例えば前端部に設けられる。
【００３３】
走行案内手段３０は、管の内面に接触して自由に転動する複数の案内輪３１、３１、３１が、放射状に伸びる支持脚部３２、３２、３２の先端部に支持されている。管内に押圧されて接触している駆動ガイドは、３輪で管内面検査装置１０を支える構造であることが好ましい。その場合それぞれの支持脚部３２の基端は、管内面検査装置１０の軸中心から前方に伸びるロッド３３の先端部の軸３４に、相互の角度が１２０度に配分されて軸支されている。すなわち、図５に示すように、管内面検査装置１０を前方から見たとき３本の支持脚部３２、３２、３２が放射状に均等に回動するように軸支されている。
【００３４】
また、各支持脚部３２の中間位置には、支承リンク３５が軸支されている。各支承リンク３５のそれぞれの他端は、ロッド３３に沿って摺動するスライダ３６に連結している。スライダ３６は、直動シリンダ３７の本体に接続しており、直動シリンダ３７とともに連動するように設けられている。
【００３５】
すなわち、直動シリンダ３７を伸長動作させることで、３本の支持脚部３２、３２、３２を互いに広がる向きに回動させることができる。そして、管の内径に合わせて、各案内輪３１、３１、３１が均等の押圧力で管の内面に接触される。これにより、管の内径が異なる場合でも、管内を移動する管内面検査装置１０を常に管の中心に保持して、装置の移動を案内することができる。
【００３６】
図６に、管内径がφ１１４．３ミリ（実施例１）、φ１６９．０ミリ（実施例２）、φ１９０．７ミリ（実施例３）における走行ずれ量を測定した結果を示す。また同図には、比較例として、前後の駆動ガイドがそれぞれ２輪の場合（比較例１）と、それぞれ３輪の場合（比較例２）の結果も示される。
【００３７】
このように本実施形態では、走行駆動手段側に配置され、管内に押圧されて接触している駆動ガイドは４輪で当該管内面検査装置１０を支える構造であり、前記走行案内手段側に配置され、管内に押圧されて接触している駆動ガイドは３輪で当該管内面検査装置１０を支える構造であることにより、管内の安定走行を可能にしている。
【００３８】
（ビームプロファイラ）
ビームプロファイラ４０には管内全周スキャン装置が備えられている。管内全周スキャン装置は管内の全周を観察できるものであればよく、例えばスリットレーザ、自然光、赤外線、超音波などが挙げられるが、ここでは最も外乱を受け難いスリットレーザを例にして、以下説明する。尚、本発明はスリットレーザによるスキャンに限定されない。図１の例では、スリットレーザによる管内全周スキャン装置がスリットレーザ発光部４１と撮像部４２とを備え、これらが管内面検査装置１０の中心軸線上に配列されている。
【００３９】
図７は、ビームプロファイラ４０の構成を示す側面図である。ビームプロファイラ４０は、走行駆動手段２０および走行案内手段３０との間に架け渡される支持板部材４３の片側に支持されている。ビームプロファイラ４０は、スリットレーザ発光部４１と撮像部４２とを備え、これらが管内面検査装置１０の中心軸線上に配列されている。
【００４０】
ここで、スリットレーザ発光部４１および撮像部４２が配列される「中心軸線」は、管の長手方向中心線と一致している。また、この中心軸線の方向は、管内面検査装置１０が移動（または走行）する方向にも一致している。
【００４１】
図７の例によるスリットレーザ発光部４１は、この管長手方向中心軸線に直交し、かつ、この中心軸線周りにスリットレーザ光をスキャンするように設けられている。すなわち、検査動作中は、対象の管の長手方向中心線に直交する仮想平面内にスリットレーザ光が放射され、管の内面には、当該管の内周に沿って直線状にスリットレーザ光が投影される。
【００４２】
これにより、管内面の欠陥部分では、例えば図８に示すような内面プロファイルが観察される。このような内面プロファイルを撮像部４２が撮影することで、管の内面にランダムに生成される、例えばスパッタ踏み付け疵等の形状や大きさのみならず、ある程度の疵の深さまで精度良く測定することができる。
【００４３】
撮像部４２が撮影したスリットレーザ投影画像（内面プロファイル）の情報は、管内面検査装置１０の検査位置情報とともに、例えば外部の検査制御装置に出力される。検査制御装置は、スリットレーザ投影法を用いて、スリットレーザ投影画像（内面プロファイル）の変異から、スパッタ痕等の欠陥の形状、大きさ、深さ等を定量的に測定することができる。また、検査制御装置は、その欠陥が発見された管内面の検査位置情報と当該欠陥測定情報との関連付けを行うことができる。検査制御装置は、撮影された内面プロファイルに基づいて、例えば図９に示すようにプロファイルを合成する等の処理を行い、疵等の欠陥の詳細かつ直観的な解析をすることもできる。結果、欠陥の手直しが必要な位置や量が定量的に把握でき、効率的な手直しが可能となる。また、不要な手直しを加えることを回避し、能力改善効果が期待できる。
なお、管内面検査装置１０に搭載される制御装置が、撮像部４２によるスリットレーザ投影画像に基づいて欠陥を測定する構成でもよい。
【００４４】
また、スリットレーザ発光部４１と撮像部４２の中心軸線方向における相対的距離（間隔）は調整可能であることが好ましい。例えば、図７に示すように、撮像部４２の前後の位置を適宜調整することで、検査対象の管の内径に関わらず、撮像部４２へ入射するスリットレーザ光の角度を一定にすることができる。これにより、様々な内径の管の検査にも対応することができる。
【００４５】
また、本実施形態による管内面検査装置１０は、移動（または走行）する中心軸線周りにビームプロファイラ４０を旋回させることができる旋回モータ４５を備えている。
【００４６】
次に、図１０のフローを参照して、管内面検査装置１０による管内面検査方法を説明する。管内面検査装置１０は、例えば外部の検査制御装置と有線または無線で接続され、当該検査制御装置により動作制御されるものとする。ただし、管内面検査装置１０本体に搭載される制御装置により自律的に制御されるものでもよい。
【００４７】
まず、管内面検査装置１０が、検査対象の管の内部に進入しまたは挿入される。ビームプロファイラ４０は第１の旋回位置に保持される。その状態で管内面検査装置１０を管の往路方向に走行させながら、ビームプロファイラ４０により管の内面プロファイルを撮影する（図１０（ａ））。
【００４８】
次に、管の端位置では、制御装置が旋回モータ４５を駆動して、ビームプロファイラ４０を第１の旋回位置から第２の旋回位置、例えば１８０度反転させる（図１０（ｂ））。そして、ビームプロファイラ４０を第２の旋回位置に保持した状態で、管内面検査装置１０を管の復路方向に反転走行させながら、ビームプロファイラ４０により管の内面プロファイルを撮影する（図１０（ｃ））。
【００４９】
本実施形態では、管の往路方向に管内面検査装置１０が移動するとき、ビームプロファイラ４０を支持している支持板部材４３が死角となり、管内面の下方のプロファイルが撮影されないことが考えられる。しかし、復路方向に管内面検査装置１０が移動するときには、ビームプロファイラ４０の旋回位置が反転しているため、死角であった管内面の下方のプロファイル情報を補完することができる。したがって、管内面にランダムに発生する、例えばスパッタ痕を含む全ての欠陥を精度良く検出することができる。
【００５０】
なお、ビームプロファイラ４０は、走行駆動手段２０および走行案内手段３０との間に架け渡される２本以上の支持板部材４４、４４により支持されるものでもよい。この実施形態の管内面検査装置１１によれば、管内面検査装置全体の剛性を増すことができるとともに、走行安定性を改善することができる。
【００５１】
例えば２本の支持板部材４４、４４にビームプロファイラ４０が挟持される実施形態の管内面検査装置１１では、次のようにして管の内面の状態が検査される。まず、ビームプロファイラ４０を第１の旋回位置に保持し、その状態で管内面検査装置１１を管の往路方向に走行させながら、ビームプロファイラ４０により管の内面プロファイルを撮影する（図１１（ａ））。
【００５２】
次に、管の端位置では、制御装置が旋回モータ４５を駆動して、ビームプロファイラ４０を第１の旋回位置から例えば９０度旋回させる（図１１（ｂ））。そして、管内面検査装置１１を管の復路方向に反転走行させながら、ビームプロファイラ４０により管の内面プロファイルを撮影する（図１１（ｃ））。
【００５３】
本実施形態では、管の往路方向に管内面検査装置１１が移動するとき、ビームプロファイラ４０を支持している上下の支持板部材４４、４４が死角となり、管内面の上下のプロファイルが撮影されない。しかし、復路方向に管内面検査装置１１が移動するときには、ビームプロファイラ４０が第１の旋回位置から９０度旋回しているため、死角であった管内面の上下のプロファイルを撮影でき補完することができる。これにより、管内面の全周にわたり、スパッタ痕等を含む全ての欠陥を精度良く検出することができる。
【符号の説明】
【００５４】
１０、１１  管内面検査装置
２０  走行駆動手段
３０  走行案内手段
４０  ビームプロファイラ（管内全周スキャン装置）
４５  旋回モータ
【図６】
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【図８】
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【図９】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図７】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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