(57)【要約】      （修正有）【課題】平均粒径が０．５μｍ以下という微細粒子により構成される粉体でも、粉体中の粗大粒子の有無の判定やその含有率、およびその形状や大きさの測定をきわめて簡便かつ正確に特定する方法を提供する。【解決手段】粉体を溶媒中に分散させたスラリー１を、フィルタ３を用いて吸引ろ過し、残渣が付着したフィルタを得て、該残渣を構成する粒子８を粗大粒子として評価する工程を備え、前記フィルタ３として、多孔性トラックエッチング膜からなるメンブレンフィルタを用いて、粗大粒子８を的確に分離および捕集することにより、粗大粒子８に関する粉体の評価を適切に行う。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
粉体を溶媒中に分散させたスラリーを、フィルタを用いて吸引ろ過し、残渣が付着したフィルタを得て、該残渣を構成する粒子を粗大粒子として評価する工程を備える、粉体の評価方法であって、
前記フィルタが、多孔性トラックエッチング膜からなるメンブレンフィルタであることを特徴とする、粉体の評価方法。
【請求項２】
前記工程が、
前記粉体を前記溶媒中に分散させて、前記スラリーとしての第１のスラリーを得る、第１工程と、
第１のスラリーを吸引ろ過し、第１の残渣が付着したフィルタを得て、第１の残渣が付着したフィルタを、溶媒中に浸漬し、第１の残渣を溶媒中に分散させて、第２のスラリーを得る、第２工程と、
第２のスラリーを吸引ろ過し、前記残渣が付着したフィルタとしての第２の残渣が付着したフィルタを得る、第３工程と、
第２の残渣を構成する粒子を前記粗大粒子として評価する第４工程と、
を備える、請求項１に記載の粉体の評価方法。
【請求項３】
前記第２のスラリーを第１のスラリーとして第２工程の吸引ろ過に供して、第２工程を複数回繰り返したのち、最後的に得られた第２のスラリーを第３工程に供することを特徴とする、請求項２に記載の粉体の評価方法。
【請求項４】
第２工程の繰り返し回数があらかじめ設定した回数になったとき、あるいは、第２工程の繰り返しで得られる第２のスラリーの濁度の変化が、あらかじめ設定した範囲内になったときに、第２のスラリーを第３工程に供することを特徴とする、請求項３に記載の粉体の評価方法。
【請求項５】
前記粉体を前記溶媒中に分散させる際に、および／または、第１の残渣を前記溶媒中に分散させる際に、超音波を印加することを特徴とする、請求項２〜４のいずれかに記載の粉体の評価方法。
【請求項６】
前記スラリーを吸引ろ過する際に、超音波を印加することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の粉体の評価方法。
【請求項７】
第２工程における第１のスラリーの吸引ろ過を、前記フィルタの下方から第１のスラリーを供給する上抜きろ過法により行う、請求項２〜６のいずれかに記載の粉体の評価方法。
【請求項８】
前記残渣あるいは第２の残渣を構成する粒子の粗大粒子としての評価を、走査型電子顕微鏡を用いた顕微鏡観察により行うことを特徴とする、請求項１〜７のいずれかに記載の粉体の評価方法。
【請求項９】
前記残渣あるいは第２の残渣を構成する粒子の粗大粒子としての評価として、前記残渣あるいは第２の残渣の定量分析により、前記粉体における前記粗大粒子の含有率を求めることを含む、請求項１〜７のいずれかに記載の粉体の評価方法。
【請求項１０】
前記粉体の平均粒径が、０．５μｍ以下であることを特徴とする、請求項１〜９のいずれかに記載の粉体の評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粉体の評価方法、特に、粉体に含まれる粗大粒子の含有率およびその形状や大きさを特定する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、導電性粉末、樹脂、有機溶剤を主成分とする導電性ペーストは、電気回路の配線基板を構成する導電層、電極層、層間接続材や電子部品の電極層などの形成に使用されている。これらの配線基板や電子部品の小型化および高密度化に伴って、導電層および電極層の幅や厚みが縮小される傾向にある。このため、これらに用いられる導電性ペーストを構成する導電性粉末についても、その小径化が進行している。粉体には、通常、特定の大きさ（粒径）を超える粗大粒子が存在するが、導電性粉末の小径化に伴って、導電性粉末中に粗大粒子が存在することによる導電性粉末の特性に対する悪影響が深刻化しており、導電性粉末には、粗大粒子が含まれないこと、あるいは粗大粒子が非常に少ないことという特性が求められている。
【０００３】
この粉体中における粗大粒子の存在による問題は、積層セラミックコンデンサ（ＭＬＣＣ）の内部電極用導電性ペーストの分野で、特に深刻化している。積層セラミックコンデンサは、誘電体グリーンシート上に、主としてニッケル粉末を導電性粉末に用いた導電性ペーストをスクリーン印刷することにより内部電極を形成し、この内部電極が印刷された複数のグリーンシートを、内部電極が交互に重なるように積層して圧着することにより積層体を得て、この積層体を、所定の大きさに切断し、脱バインダ処理を行った後、１３００℃まで高温焼成してセラミック体を得て、最後に、このセラミック体に外部電極を取り付ける工程により、作製されている。
【０００４】
現在、この積層セラミックコンデンサの内部電極用導電性ペーストには、主として平均粒径が０．５μｍ以下であるニッケル粉末が用いられている。また、内部電極の膜厚にもよるが、導電性粉末において、通常、粉体全体の平均粒径の３倍〜５倍程度以上の粒径を基準として、この基準粒径よりも大きな粒子が粗大粒子とみなされる。ここで、導電性粉末が主として一次粒子で構成されている場合、粗大粒子には、一次粒子径が基準以上の大きな粒子だけでなく、一次粒子が強固に連結ないしは凝集して容易に解砕できない状態である二次粒子で、基準の粒径以上の粒径を有する粒子も含まれる。
【０００５】
導電性粉末から粗大粒子を除去するための手段としては、解粒処理や分級処理などが提案されている。たとえば、特開２００１−２４７９０３号公報には、特定の解粒処理により、特定の粒度分布を有し、かつ、特定の範囲の平均一次粒子径を有するニッケル粉末およびその製造方法が開示されている。
【０００６】
一方、導電性粉末のように粗大粒子の存在が問題となる粉体において、その粉体の評価を、その粉体に含まれる粗大粒子の含有率およびその形状や大きさを指標として行うことが考えられる。たとえば、特開２００３−１３０７８６号公報には、インキを圧着部材間で均一に薄く延ばすことにより、インキ中に含まれる粗大粒子の含有度合を確認する方法が開示されている。また、特開２０１２−１９４０５０号公報には、開口面積が順に大きくなる孔群を有する基板上に、高濃度のスラリーなどを掃引塗布して、開口面積の異なる孔群に入り込んだ粒子の量を比較することにより、スラリー中の粗大粒子の大きさ（粒径）を特定する方法が開示されている。
【０００７】
しかしながら、これらの方法では、粉体自体が直接評価されるのではなく、その粉体をインキやスラリーに含まれた状態で評価をしており、また、平均粒径が１０μｍを超える大きさの粗大粒子が評価対象となっていることから、微細な導電性粉末における粗大粒子の含有率およびその形状や大きさを評価するために適用することは困難である。
【０００８】
導電性粉末などの粉体中における粗大粒子の含有率を検査する方法としては、特開２００１−２４７９０３号公報に開示されているように、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）などを用いて、粉体を顕微鏡観察することが行われている。しかしながら、粉体には、平均粒径以上の粒径を有する一次粒子だけでなく、一次粒子が強固に凝集や連結した平均粒径以上の粒径を有する二次粒子も含まれており、粗大粒子とみなされた対象がこのような二次粒子なのか、あるいは、単に通常の一次粒子が顕微鏡観察において重なって見えているにすぎないかについて判定することは困難である。また、二次粒子の中にはその解砕が困難な粗大粒子と評価されるべき粒子のほか、容易に解砕可能な二次粒子も含まれる。さらに、粉体中の粗大粒子の存在頻度は通常多くても全粒子の数千ｐｐｍ〜数万ｐｐｍ程度にすぎず、また、粉体の顕微鏡観察では観察する粉体サンプルの表面直下に粗大粒子の凝集部分や連結部分が隠れている場合も多く、粗大粒子のみを選択して観察するためには、多大な時間とそれに伴うコストが要求される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００１−２４７９０３号公報
【特許文献２】特開２００３−１３０７８６号公報
【特許文献３】特開２０１２−１９４０５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、粉体評価の重要な指標の一つである粗大粒子の評価において、導電性粉末のように、平均粒径が０．５μｍ以下という微細粒子により構成される粉体であっても、粉体中の特定の大きさ（粒径）を超える粗大粒子の含有率およびその形状や大きさを、きわめて簡便かつ正確に特定することを可能とする、粉体の評価方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
発明者らは、鋭意研究を重ねた結果、粉体を分散させたスラリーを、表面が平滑でかつ孔径の均一性に優れる（すなわち、孔径分布が小さい）フィルタを用いて、吸引ろ過することで、粗大粒子からなる残渣がフィルタ上に得られ、この粗大粒子が付着したフィルタを利用して、その粉体に含まれる粗大粒子の含有率およびその形状や大きさをきわめて簡便かつ正確に特定できることを見出したものである。加えて、ニッケル粉末などの導電性粉末のように、平均粒径が０．５μｍ以下という微細粒子により構成される粉体についても、上記フィルタの孔径を適宜選択することで、評価対象とする粗大粒子の大きさ（粒径）を容易に変更できることも見出している。
【００１２】
すなわち、本発明のうちの第１の発明は、粉体を溶媒中に分散させたスラリーを、フィルタを用いて吸引ろ過し、残渣が付着したフィルタを得て、該残渣を構成する粒子を粗大粒子として評価する工程を備える、粉体の評価方法であって、前記フィルタが、多孔性トラックエッチング膜からなるメンブレンフィルタであることを特徴とする。
【００１３】
本発明のうちの第２の発明は、第１の発明において、前記工程が、
粉体を溶媒中に分散させて、第１のスラリーを得る、第１工程と、
第１のスラリーを吸引ろ過し、第１の残渣が付着したフィルタを得て、第１の残渣が付着したフィルタを、溶媒中に浸漬し、第１の残渣を溶媒中に分散させ、かつ、前記フィルタを除去して、第２のスラリーを得る、第２工程と、
第２のスラリーを吸引ろ過し、第２の残渣が付着したフィルタを得る、第３工程と、
第２の残渣を構成する粒子を粗大粒子として評価する第４工程と、
を備えることを特徴とする。
【００１４】
本発明のうちの第３の発明は、第２の発明において、第２のスラリーを第１のスラリーとして第２工程の吸引ろ過に供して、第２工程を複数回繰り返したのち、最終的に得られた第２のスラリーを第３工程に供することを特徴とする。
【００１５】
本発明のうちの第４の発明は、第３の発明において、第２工程の繰り返し回数があらかじめ設定した回数になったとき、あるいは、第２工程の繰り返しで得られる第２のスラリーの濁度の変化が、あらかじめ設定した範囲内になったときに、第２のスラリーを第３工程に供することを特徴とする。
【００１６】
本発明のうちの第５の発明は、第２の発明ないし第４の発明において、前記粉体を溶媒中に分散させる際に、および／または、第１の残渣を溶媒中に分散させる際に、超音波を印加することを特徴とする。
【００１７】
本発明のうちの第６の発明は、第１の発明ないし第５の発明において、スラリーを吸引ろ過する際に、超音波を印加することを特徴とする。
【００１８】
本発明のうちの第７の発明は、第２の発明ないし第６の発明において、第２工程における第１のスラリーの吸引ろ過を、フィルタの下方から第１のスラリーを供給する上抜きろ過法により行うことを特徴とする。
【００１９】
本発明のうちの第８の発明は、第１の発明ないし第７の発明において、前記残渣あるいは第２の残渣を構成する粒子の粗大粒子としての評価を、走査型電子顕微鏡を用いた顕微鏡観察により行うことを特徴とする。
【００２０】
本発明のうちの第９の発明は、第１の発明ないし第７の発明において、前記残渣あるいは第２の残渣を構成する粒子の粗大粒子としての評価として、前記残渣あるいは第２の残渣の定量分析により、前記粉体における前記粗大粒子の含有率を求めることを含むことを特徴とする。
【００２１】
本発明のうちの第１０の発明は、第１の発明ないし第９の発明において、評価対象となる前記粉体の平均粒径が、０．５μｍ以下であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の粉体の評価方法によれば、溶媒に分散してスラリー化が可能な粉体であれば、多孔性トラックエッチング膜からなるメンブレンフィルタを用いたスラリーの吸引ろ過により、粉体から粗大粒子のみを容易かつ正確に分離することができるため、粉体中の粗大粒子の含有率およびその形状や大きさをきわめて簡便かつ正確に特定することができる。加えて、上記フィルタの孔径を適宜選択すれば、評価対象とする粗大粒子の大きさ（粒径）を容易に変更可能である。したがって、本発明は、各種粉体の評価に適用可能であり、特に、導電性ペーストに用いられるニッケル粉末などの導電性粉末のように、平均粒径が０．５μｍ以下という微細粒子からなる粉体の評価に好適に適用される。
【００２３】
このように、本発明の粉体の評価方法により、各種粉体の開発、改良および品質評価の効率化を十分に図ることができる。さらには、本発明の粉体の評価方法は、各種粉体を適用した製品、特に、導電性粉末が用いられる導電性ペーストや、該導電性ペーストを内部電極用材料として適用した積層セラミックコンデンサなどの品質改良にも大きく貢献することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１ａ〜図１ｄは、孔径の異なる、ポリカーボネート製の多孔性トラックエッチング膜からなるメンブレンフィルタを示す走査型電子顕微鏡像である。
【図２】図２は、本発明の粉体の評価方法のプロセスを示すフロー図である。
【図３】図３は、本発明の第２工程における下抜き（順方向）吸引ろ過の一例を表した模式図である。
【図４】図４は、本発明の第２工程における上抜き（逆方向）吸引ろ過の一例を表した模式図である。
【図５】図５は、実施例１にて、ポリカーボネート製の多孔性トラックエッチング膜からなるメンブレンフィルタに付着したニッケル粉末の粗大粒子を示す走査型電子顕微鏡像である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
本発明の粉体の評価方法は、粉体を溶媒中に分散させたスラリーを、フィルタを用いて吸引ろ過し、残渣が付着したフィルタを得て、該残渣を構成する粒子を粗大粒子として評価する工程を備える、粉体の粗大粒子の評価方法も関する。特に、本発明の粉体の評価方法は、前記フィルタとして、多孔性トラックエッチング膜からなるメンブレンフィルタを適用することを特徴としている。
【００２６】
本発明で用いられる多孔性トラックエッチング膜からなるメンブレンフィルタは、以下に述べるトラックエッチング法により得られるフィルタであり、図１ａ〜図１ｄに示すように、フィルタ表面が平滑で、かつ孔径分布がきわめて狭く、均一な孔径を有しているため、所定の孔径（たとえば、０．２μｍ、０．４μｍ（図１ａ）、０．６μｍ（図１ｂ）、０．８μｍ（図１ｃ）、１．２μｍ（図１ｄ）など）のフィルタを用いればその孔径より大きな粗大粒子だけをフィルタ表面で完全に捕捉できるという特徴がある。
【００２７】
ここで、トラックエッチング法とは、ポリマーフィルムなどに、中性子線、重イオン線などを照射して、フィルム中に直線のトラック（照射跡）を形成した後、ダメージを受けたトラック部分をウェットケミカルエッチング（アルカリ水溶液により処理）して、均一な大きさの直線状の細孔を得る方法である。細孔の大きさ（孔径）は、ウェットケミカルエッチングの処理時間で制御することができる。
【００２８】
トラックエッチング法が適用可能なフィルタ材質としては、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエステル（ＰＥＴ）、ポリイミド（ＰＩ）などが挙げられ、実際に、これらの材質の多孔性トラックエッチング膜からなるメンブレンフィルタが、メルク株式会社（商品名：アイソポアフィルタ）やＧＥヘルスケア・ジャパン株式会社（商品名：サイクロポアメンブレン、ニュークリポアメンブレン）などから市販されている。中でも、ポリカーボネート（ＰＣ）製の多孔性トラックエッチング膜からなるメンブレンフィルタは、比較的安価で、孔径の品ぞろえが広く、かつ入手しやすいため、好適に用いられる。
【００２９】
フィルタに、多孔性トラックエッチング膜からなるメンブレンフィルタを用いると、粉体から粗大粒子のみを、容易かつ正確に分離できて、粗大粒子の含有率を精度よく求められるだけでなく、フィルタ表面が平滑なため、フィルタに捕捉した粗大粒子の形状や大きさの顕微鏡観察も容易となる。
【００３０】
なお、適用すべきフィルタの孔径は、後述の通り、評価対象となる粉体において、フィルタに捕捉され、実際に評価される粗大粒子の大きさ（粒径）に応じて、上述した所定の孔径から適宜選択される。たとえば、その粉体の用途やその用途に対する粗大粒子の大きさ、さらには、粉体の粒度分布の程度や粗大粒子の含有率に応じて、粉体の平均粒径の２倍〜５倍程度の孔径を有するフィルタを用いることができる。
【００３１】
ところで、従来から一般的に用いられているメンブレンフィルタは、一般に、０．１μｍ〜数μｍ程度の粒子を精度よく分離することが可能な精密ろ過膜として広く知られており、表示孔径を超える大きさの粒子をほとんど全てフィルタ表面上に捕捉することが可能である。このようなメンブレンフィルタとしては、多孔性セルロース混合エステル膜、多孔性親水性ポリビニリデンフロライド（ＰＶＤＦ）膜、多孔性親水性ポリテトラフルオロエチレン膜（ＰＴＦＥ）膜などが挙げられ、デュラポアフィルタ、オムニポアフィルタなどの名称で市販されているが、孔径分布が広く、表面凹凸も大きいため、表示孔径未満の大きさの微細な粒子もフィルタ内部に残留したり、フィルタ表面に固着したりするため、本発明に適用するメンブレンフィルタとしては好ましくない。微細な粒子のフィルタ内部やフィルタ表面への残留は、粗大粒子の含有率の算出に対してだけでなく、粗大粒子の顕微鏡観察にも悪影響を及ぼすためである。
【００３２】
ここで、本発明の粉体の評価方法の具体的な手順の一例を、図２のフロー図を用いて説明する。まず、粉体を溶媒中に分散させて、第１のスラリーを得る（第１工程、Ｓ１）。次に、第１のスラリーを吸引ろ過し、第１の残渣が付着したフィルタを得て（第２工程の第１段階、Ｓ２−１）、得られた第１の残渣が付着したフィルタを、溶媒中に浸漬し（第２工程の第２段階、Ｓ２−２）、第１の残渣を溶媒中に分散させ、かつ、前記フィルタを除去して、第２のスラリーを得る（第２工程の第３段階、Ｓ２−３）。第２工程の第１段階〜第３段階までを、１回もしくは複数回行った後、第２のスラリーを吸引ろ過し、第２の残渣が付着したフィルタを得る（第３工程、Ｓ３）。最後に、第２の残渣をフィルタに付着した状態で粗大粒子として評価する（第４工程、Ｓ４）。
【００３３】
以下、それぞれの工程について、図２〜図４を参照しながら、さらに詳しく説明する。
【００３４】
（第１工程）
本発明の第１工程（Ｓ１）は、評価対象となる粉体を溶媒中に分散させて、第１のスラリーを得る工程である。
【００３５】
溶媒としては、粉体が容易に分散可能であること、粉体との反応性を有しないこと、吸引ろ過に適した粘度であること、ろ過作業中の安全性確保の観点から揮発性や引火性が高くないことなどを考慮した上で、任意の溶媒を選択することが可能である。好ましい溶媒の例としては、純水、アセトン、エタノール、２−プロパノール、およびこれらの混合物を挙げることができ、これらの中でも純水が入手性や安全性の面から好ましい。
【００３６】
これらの溶媒に、粉体に加えて、適量の分散剤（広義には界面活性剤を含む）を添加することにより、スラリー中の粉体の分散安定性が高まり、その凝集を抑制することが可能となって、スラリーのろ過性が良くなるため好ましい。このような分散剤として、有機系の分散剤では、アニオン性分散剤、カチオン性分散剤、非イオン性（ノニオン性）分散剤、高分子分散剤などが挙げられ、これら有機系の分散剤の具体的な製品としては、ディスパロンシリーズ（楠本化成株式会社製）、エフカシリーズ（ＢＡＳＦジャパン株式会社製）、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋシリーズ（ビックケミー・ジャパン株式会社製）、Ｓｏｌｓｐｅｒｓｅシリーズ（日本ルブリゾール株式会社製）、アジスパーシリーズ（味の素ファインテクノ株式会社）などが挙げられる。また、無機系分散剤では、テトラリン酸、ピロリン酸、ヘキサメタリン酸などのリン酸系化合物またはその塩（たとえばナトリウム塩）が挙げられる。溶媒に純水を用いた場合には、ヘキサメタリン酸塩としてのヘキサメタリン酸ナトリウムが広く用いられている。なお、粉体に対する分散剤の混合比（濃度）については、適宜設定することができる。
【００３７】
粉体を溶媒中に分散させる方法は、撹拌や振動付与などの公知の手段を用いればよい。ただし、分散作業中に粉体に含まれる粗大粒子が粉砕されるなどの形態変化を防止する点から、いわゆる超音波洗浄機のような超音波発振子を配した槽に水を満たし、その槽内に粉体と溶媒を混合させたビーカーなどを配置して、超音波（２０ｋＨｚ〜５０ｋＨｚ程度）を印加しながら粉体を溶媒中に分散させることにより、第１のスラリーを得ることが好ましい。
【００３８】
スラリー中の粉体の濃度は、吸引ろ過の効率を考慮して適宜設定することができる。粉体を溶媒中に分散させる時間は、第１のスラリー中の粉体の濃度やスラリーの状態を考慮して、粉体が溶媒中に十分に分散している状態になるまでの時間を適宜設定すればよい。
【００３９】
（第２工程）
本発明の第２工程（Ｓ２）は、第１のスラリー１を、フィルタ３を介して吸引ろ過し、第１の残渣が付着したフィルタ３を得て（第１段階、Ｓ２−１）、ろ過後のフィルタ３を溶媒中に浸漬し（第２段階、Ｓ２−２）、ろ過後のフィルタ３に捕集された第１の残渣を再度溶媒中に分散させた後、フィルタ３だけを取り除いて、第１の残渣が溶媒中に分散した第２のスラリーとする（第３段階、Ｓ２−３）工程である。
【００４０】
［第１段階］
第２工程の第１段階（Ｓ２−１）の作業は、フィルタ３の上方から第１のスラリー１を供給し、下向きに吸引ろ過する方法（下抜きろ過法）と、フィルタ３の下方から第１のスラリー１を供給し、上向きに吸引ろ過する方法（上抜きろ過法）がある。
【００４１】
図３は、フィルタ３の上方から第１のスラリー１を供給し、下向きに吸引ろ過する方法（下抜きろ過法）を示す模式図である。ろ過装置は、フィルタ３をフィルタフォルダ４の上側に配置し、フィルタ３が載置されたフィルタフォルダ４の上側に吸引カップなどのスラリー投入容器２を配置し、フィルタフォルダ４の下流側に、スラリー流通経路５および回収瓶などのろ液回収容器６を配置し、かつ、ろ液回収容器６に減圧ポンプ７を接続することにより構成される。それぞれの構成要素の接続部分は、スラリーやろ液の漏れがないように封止される。
【００４２】
第１工程で準備した第１のスラリー１を、スラリー投入容器２に注ぎ込み、減圧ポンプ７を稼働させることにより、第１のスラリー１は下方に吸引され、フィルタ３を介して下抜きでろ過（ろ別）される。なお、第１のスラリー１をスラリー投入容器２に注ぎ込んだ後に、ビーカーなどの壁面に付着した粉体を、第１工程で使用した溶媒によって洗い流して、その溶媒もスラリー投入容器２に注ぎ込むことが好ましい。
【００４３】
このような下抜きろ過法による吸引ろ過では、吸引ろ過によるスラリー中の粉体の捕集方向と粉体の重力による沈降方向とが同じになるため、フィルタ３の孔が粗大粒子などにより閉塞した状態で、粉体がさらに沈降して堆積するため、フィルタが目詰まりしやすく、ろ過速度が急激に低下する場合がある。このような粉体によるフィルタ３の孔の閉塞を抑制するために、水１１などの溶媒が入った容器１０内に設置した超音波ホモジナイザなどの超音波発振子９を用い、超音波発振子９の発振面から生じる微細な異物粒子の混入を防止しながら、超音波を印加しつつ吸引ろ過を行うことが好ましい。このような超音波の印加によって、第１のスラリー１中の粉体粒子の分散状態がより良好に保たれるため、スラリー１中において粉体が沈降しにくくなるとともに、フィルタの目詰まりを抑制することが可能となる。
【００４４】
図４は、フィルタ３の下方から第１のスラリー１を供給し、上向きに吸引ろ過する方法（上抜きろ過法）を示す模式図である。ろ過装置は、フィルタ３をフィルタフォルダ（基材）４の下側に配置し、フィルタ３が載置されたフィルタフォルダ４の下側にビーカーなどのスラリー投入容器２を配置し、フィルタフォルダ４の下流側に、スラリー流通経路５および回収瓶などのろ液回収容器６を配置し、かつ、ろ液回収容器６に減圧ポンプ７を接続することにより構成される。同様に、それぞれの構成要素の接続部分は封止される。
【００４５】
第１工程で準備した第１のスラリー１を、ビーカーなどのスラリー投入容器２に注ぎ込み、第１のスラリー１の液面にフィルタ３が上方から当接するように、フィルタフォルダ４を配置した状態で、減圧ポンプ７を稼働させることにより、第１のスラリー１は上方に吸引され、フィルタ３を介して上抜きでろ過（ろ別）される。同様に、第１のスラリー１をスラリー投入容器２に注ぎ込んだ後に、ビーカーなどの壁面に付着した粉体を、第１工程で使用した溶媒によって洗い流して、その溶媒もスラリー投入容器２に注ぎ込むことが好ましい。
【００４６】
上抜きろ過法による吸引ろ過では、吸引ろ過によるスラリー中の粉体の捕集方向と粉体の重力による沈降方向とが逆になるため、フィルタ３に捕集されるべき粉体が重力で沈降したとしても、フィルタ３の表面上に堆積しがたく、フィルタ３の孔が粗大粒子などにより閉塞しにくくなる。そのため、スラリー中のフィルタ３の孔径よりも小さい粒径の粒子がフィルタを通過しやすくなり、吸引ろ過における粗大粒子の分離が容易となる。
【００４７】
なお、上抜きろ過法では、超音波洗浄機などの超音波発生装置９ａを搭載した槽１３内を水で満たし、この槽１３内に、第１のスラリー１を収容するスラリー投入容器２を配置して、超音波を印加しながら吸引ろ過を行うことが好ましい。超音波を印加しながら吸引ろ過を行うことで、第１のスラリー１の分散状態を維持するだけでなく、ろ過中に沈降して、ろ過されずにスラリー投入容器２内を沈降して残留する粉体の量を減らすことができる。
【００４８】
吸引ろ過により第１のスラリーの量が減少した時に、粉体の沈降物が認められる場合には、いったん吸引ろ過を中断し、この沈降物がなくなるまで第１工程で用いた溶媒を追加して、スラリー投入容器２内の沈降物を再分散させる操作を行ってもよい。この操作を行ってから、吸引ろ過を再開し、第１のスラリー１の全量について吸引ろ過させる。粉体の沈降物がなくなる状態とは、目視で判断して沈降物が認められない程度で十分であり、上述したように超音波を印加しながら、１回〜２回程度、溶媒を追加すればこのような状態に至る。
【００４９】
吸引ろ過により第１のスラリー１の量が減少した時で、粉体の沈降物が認められない場合であっても、スラリー投入容器２の壁面に付着した粉体を、同様に第１工程で用いた溶媒により粉体を洗い流して再分散させて、全量の吸引ろ過を行う。
【００５０】
下抜きろ過法および上抜きろ過法のいずれで吸引ろ過をする場合でも、ろ過速度は、フィルタ３の孔を粉体が閉塞させにくい程度の速度とすればよく、作業時間などを考慮して適宜設定することができる。
【００５１】
本発明に用いられるフィルタ３は薄い材料であるため、吸引に用いる減圧ポンプ７などに直接接続した状態で、吸引ろ過を行うことが困難である場合が多い。通常、図３および図４に示すように、合成樹脂製、ステンレス製、セラミック製、ガラス製などのフィルタフォルダ（基材）４にフィルタ３を付着させた状態で、吸引ろ過が行われる。フィルタフォルダ４は、フィルタ３を通過したろ液１２の通過に障害とならず、かつ、フィルタ３を支持できる強度を有している限り、特にその材質および形状は限定されることはない。なお、ろ液１２が通過する部分（ろ過部）の多孔質体４ａは、フィルタ３を載置する際にフィルタ３との隙間ができにくくなるように、多孔質体４ａとフィルタフォルダ４との接続部に段差が生じないことが重要であり、この点からすると、多孔質体４ａとフィルタフォルダ４は一体成型品であって、多孔質体４ａとフィルタフォルダ４は同じ材料で構成されていることが好ましい。
【００５２】
［第２段階］
第２段階の操作では、第１段階で第１のスラリー１を全量吸引ろ過した後に、第１の残渣（粗大粒子８を含む粉体）が付着したフィルタ（ろ過後フィルタ）３を取り出し、新たにビーカーなどの容器に、好ましくは第１工程で使用した溶媒と同じ溶媒を入れ、取り出したフィルタ３を溶媒中に浸漬させる。
【００５３】
［第３段階］
第３段階の操作では、溶媒中に浸漬させたフィルタ３から、第１の残渣（粗大粒子を含む粉体）を溶媒中に再分散させた後、フィルタ３を除去して、第２のスラリーを得る。第１の残渣を再分散させる方法は限定されないが、第１工程と同じく超音波を印加しながら再分散させて、粗大粒子を含む粉体が溶媒中に分散したスラリーとすることが好ましい。第１の残渣（フィルタ３に捕集された粗大粒子を含む粉体）が第２のスラリーとして再分散させて、フィルタ３への粉体の付着がなくなったことを確認した上で、フィルタ３だけを液中から取り除く。
【００５４】
第２工程における、第１段階〜第３段階の操作は、１回もしくは複数回繰り返して行うことができる。すなわち、必要に応じて、第３段階で得られた第２のスラリーを第１のスラリー１として第１段階に戻して、再度吸引ろ過に供することができる。第１段階〜第３段階の操作の複数回の繰返しを行うことにより、最終的な吸引ろ過後のフィルタ３に、実質的に粗大粒子８のみからなる第２の残渣を残存させることが可能となる。
【００５５】
なお、第２工程において、吸引ろ過を繰り返すたびに、得られるスラリー（第２のスラリー）は希薄化されて急速に透明度を増し、最終的には、粗大粒子の含有率に応じた透明度に到達することとなる（この透明度は、粗大粒子の含有率が多いほど低く、逆に少ないほど高くなる。一般に粗大粒子の含有率は、多くても数万ｐｐｍ程度であり、目視で透明なレベルにはなる）。したがって、吸引ろ過後に再分散させたスラリーの透明度の変化（スラリーの濁度の変化）を判定し、その変化が、あらかじめ設定した範囲内になるまで、第２のスラリーを第１のスラリー１として第１段階に戻し（つまり、第２工程を繰り返し）、透明度の変化（スラリーの濁度の変化）が、あらかじめ設定した範囲内であれば、第２のスラリーを第３工程に供するという濁度基準に基づいて評価を進めることができる。また、別の濁度基準として、第２工程の繰り返し回数をあらかじめ設定し、その回数で透明度の変化（スラリーの濁度の変化）にかかわらず、第２のスラリーを第３工程に供するやり方も可能である。
【００５６】
スラリーの透明度（濁度）については、一般的には、ビーカーなどの透明な容器内で、横から目視して透明度（濁度）を判断すればよい。また、濁度判定により、スラリーの透明度を判断することもできる。前述の通り、スラリーの透明度（スラリーの濁度）は、第２工程での吸引ろ過の繰返しにより急速に透明度を増し、最終的には、粗大粒子の含有率に応じた度合いに到達するため、透明度（濁度）の変化の判断は、それほど厳密に実施する必要はなく、判断に迷った場合には、１回余分に第２工程での吸引ろ過を繰り返せばよい。
【００５７】
この手順により、特に重要ではないが、第４工程において、第２工程で吸引ろ過を繰り返した回数をもって、複数の粉体サンプルにそれぞれ含まれるフィルタ３を目詰まりさせやすい大きさ（粒径）の粗大粒子８の含有率を、相対的に評価することも可能となる。すなわち、粉体に含まれる粗大粒子８の含有量が多いほど、フィルタ３の孔を閉塞させやすい大きさ（粒径）の粗大粒子８の含有率も相対的に多くなる傾向があるため、フィルタ３が目詰まりしやすくなる。フィルタ３の目詰まりが生じると、本来はフィルタ３の孔をろ液１２として通過するべき粒子も、１回の吸引ろ過のみではフィルタ３に捕集されてしまう可能性が高くなる。したがって、粉体に含まれる粗大粒子８の含有量が多いほど、吸引ろ過後に再分散させて得られるスラリーが一定の透明度になるまでに必要とされる吸引ろ過の回数が増えることとなる。つまり、吸引ろ過の繰り返し回数が、粉体に含まれる粗大粒子の含有率の相対的な指標となる。
【００５８】
（第３工程）
本発明の第３工程は、第２工程で吸引ろ過を少なくとも１回以上行った後、第１の残渣、すなわち、第２工程において最終的に得られ、実質的に粗大粒子のみから粉体が溶媒中に分散した第２のスラリーを、フィルタを介して吸引ろ過して、第２の残渣が付着したフィルタを得る工程である。第２工程にて、フィルタの孔径以下のサイズの粒子はフィルタを通過してろ液として回収されるため、最終的に得られた第２のスラリー中には粗大粒子が主として残存しているため、第３工程で得られる第２の残渣は、実質的に粗大粒子のみによって構成される。
【００５９】
第３工程において吸引ろ過する方法は、第２の残渣すなわち粗大粒子を捕集できる限り、任意である。上抜きろ過法も適用可能であるが、第２のスラリー中には実質的に粗大粒子のみが存在する状態であり、フィルタの目詰まりを気にする必要がないことから、下抜きろ過法を適用すれば十分である。また、粗大粒子のろ過回収が目的なので、第２のスラリーに対する超音波の印加も特に必要とされない。通常、第２のスラリーには少量の分散剤が含まれているため、吸引ろ過後、第２の残渣が捕集されたフィルタに純水などを通水させて、洗浄することが好ましい。
【００６０】
（第４工程）
本発明の第４工程は、第３工程でフィルタに捕集された第２の残渣すなわち粗大粒子を観察および定量分析などして、粉体に含まれる粗大粒子の含有率（％、ｐｐｍなど）、および、その形状と大きさを求めることにより、当該粉体を評価する工程である。
【００６１】
観察には、公知の方法を用いればよいが、たとえば平均粒径０．５μｍという微細な粉体中に存在する粗大粒子の形状を拡大して観察する目的から、走査型顕微鏡（ＳＥＭ）を用いることが好ましい。観察を行うまでの前処理についても、観察方法に応じて公知の前処理を適用することができる。本発明では、特定の大きさ（粒径）を超える粗大粒子だけを高度に分離および捕集しているため、ＳＥＭによる観察像（ＳＥＭ像）を画像解析により、たとえば、粗大粒子が、粗大な一次粒子なのか、一次粒子が強固に凝集や連結して粗大となった二次粒子なのか、という粗大粒子の形成原因を適切に解析することができ、粗粒粒子のより効果的な低減対策に繋げることが可能となる。
【００６２】
粉体の粗大粒子の評価に関する最も重要な指標として、フィルタに捕集された粗大粒子の質量を定量分析により求め、第１工程で用いた粉体全体の質量に対する割合として、粉体に含まれる特定の大きさ（粒径）を超える粗大粒子の含有率（％、ｐｐｍなど）を算出することができる。なお、フィルタに捕集された粗大粒子の定量分析には、公知の分析方法およびその前処理方法を用いることができ、たとえば、粉体が金属粉末である場合には、高周波誘導結合プラズマ発光分光分析法（ＩＣＰ法）が好適である。また、粉体が半導体や電気絶縁体の粉末である場合には、蛍光Ｘ線分析法（ＸＲＦ法）や、グロー放電分光分析法（ＧＤＳ法）などの公知の質量分析法を適用することができる。
【００６３】
（粉体）
本発明の粉体の評価方法が適用できる粉体としては、導電性ペーストに使用されるニッケル粉末などの金属粉末や非導電性粒子表面に導電性物質を被覆した導電性粉末などに限らず、セラミックスシートに使用される酸化物、窒化物、炭化物などの化合物粉末やこれらの複合粉末など、溶媒に分散可能な粉体であれば、特に制限されることはない。
【００６４】
具体的には、プラチナ（Ｐｔ）、金（Ａｕ）、パラジウム（Ｐｄ）、銀（Ａｇ）などの貴金属粉末や、銅（Ｃｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、クロム（Ｃｒ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）などの金属粉末およびこれらを主元素とする合金粉末、マグネシウム（Ｍｇ）、アルミニウム（Ａｌ）、シリコン（Ｓｉ）、カルシウム（Ｃａ）、スカンジウム（Ｓｃ）、チタン（Ｔｉ）、バナジウム（Ｖ）、クロム（Ｃｒ）、マンガン（Ｍｎ）、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）、亜鉛（Ｚｎ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、ストロンチウム（Ｓｒ）、イットリウム（Ｙ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ニオブ（Ｎｂ）、モリブデン（Ｍｏ）、インジウム（Ｉｎ）、スズ（Ｓｎ）、バリウム（Ｂａ）、ランタノイド、ハフニウム（Ｈｆ）、タンタル（Ｔａ）、タングステン（Ｗ）などを含む酸化物粉末、窒化物粉末、炭化物粉末もしくはこれらの化合物粉末が挙げられるが、これらに制限されることはない。
【００６５】
粉体の平均粒径も、フィルタの孔径が許す範囲内で特に制限されるものではないが、本発明は微細化された粉体に含まれる粗大粒子の評価に特に効果を発揮するものであり、平均粒径が０．５μｍ以下の粉体に適用することが好ましく、平均粒径が０．４μｍ以下の粉体に適用することがさらに好ましい。ここで平均粒径は、粉体を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）によりＳＥＭ画像を得て、このＳＥＭ画像を画像処理することにより、粒子形状の全体が見える粒子の面積を測定し、測定された面積から真円換算によりそれぞれの粒子の直径を算出して、さらにその平均値を求めたものである。下限については特に限定されないが、一般的に入手できるフィルタ（多孔性トラックエッチング膜からなるメンブレンフィルタ）の孔径下限（フィルタメーカーにより異なるが、たとえば、孔径０．０１５μｍや０．１μｍ）ないしはＳＥＭ画像での観察の可否などに応じて決められるものであり、原則として０．０１μｍ程度が、本発明の適用可能な粉体の平均粒径の下限となる。
【００６６】
たとえば積層セラミックコンデンサの内部電極に用いられるニッケル粉末などの導電性粉末の場合、粉体全体の平均粒径の３倍〜５倍程度以上の粒径を有する粒子が粗大粒子とみなされているが、本発明は、特性の大きさ（粒径）を超える粗大粒子を高度に分離および捕集することができるため、粉体中の粗大粒子の含有率およびその形状や大きさの評価に関して、十分にその要求を満たすことができる。たとえば、粉体の平均粒径が０．３μｍの場合には、その粉体の用途やその用途に対する粗大粒子の影響に応じて、粉体の平均粒径の２倍〜５倍程度の孔径、すなわち０．６μｍ〜１．５μｍ程度の孔径を有するフィルタ（多孔性トラックエッチング膜からなるメンブレンフィルタ）を用いることにより、粗大粒子に関する粉体の評価を適切に行うことが可能となる。
【００６７】
評価対象とする粗大粒子の大きさ（粒径）を、粉体の平均粒径の何倍以上の倍率に定めるかについては適宜定めればよいが、上記倍率を過度に小さくすると、第２工程における第１段階〜第２段階の操作を繰り返す回数が増え、評価に過度の長時間を要することになるため、好ましいとはいえない。ところで、第２工程を繰り返す回数は、上記倍率だけでなく、評価する粉体に含まれる粗大粒子の含有率およびその形状や大きさ、粉体自体の粒径分布にも左右される。したがって、たとえば、粗大粒子の含有率が低く、粉体自体の粒径の分布が十分に狭いと予想される粉体を評価する場合には、上記倍率を、たとえば平均粒径の２倍と定めて、その値（平均粒径の２倍）と同程度の孔径を有するフィルタを用いて評価することができる。たとえば、平均粒径が０．３μｍで、粗大粒子の含有率が低く、粉体自体の粒径の分布も十分に狭いニッケル粉末を粉体として用いる場合、孔径が０．６μｍ程度のフィルタを用いることで、本発明を好適に適用することができる。
【００６８】
（粉体の評価方法の適用）
本発明の粉体の評価方法は、気相法や液相法など公知の粉末合成方法を用いて作製される粉末（たとえばニッケル粉末）の開発および改良だけでなく、これらの粉末の製造工程に適用すれば、粉末の品質管理（粗粒粒子の含有率の特定）に活用することもできる。
【００６９】
一例として、ニッケル粉末の製造工程への本発明の粉体の評価方法を適用する場合、ニッケル粉末には、粉末合成方法の違いにより種々のタイプの粉末が存在するものの、いずれにおいても、粗大粒子の含有率を左右する工程、すなわち解砕処理工程や分級処理工程の後に、検査工程として適用することが好ましい。気相法や液相法など公知の粉末合成方法にて作製されたニッケル粉末は、合成の際に一次粒子が強固に連結や凝集した二次粒子となったり、あるいは一次粒子同士が弱く結合して二次粒子を形成したりする場合がある。
【００７０】
後者の場合には、一次粒子同士は外力により容易にほぐされて元の一次粒子まで分散可能であり、このほぐす処理を解砕処理というが、粗大粒子の評価は、解砕度合いを評価するという点からすると、この解砕処理工程の後に行うことが好ましい。
【００７１】
一方で、ニッケル粉末の製造過程で分級処理を行う場合には、本発明の評価方法を検査工程に適用すると、分級処理工程における品質管理や工程能力の把握にきわめて有効である。すなわち、粒径分布の広いニッケル粉末が得られた場合には、分級処理工程において、その用途に応じて分級処理により粒径分布を調整する必要があるが、本発明の評価方法を用いた検査工程を分級処理工程に追加すれば、分級処理されたニッケル粉末の品質（粗粒粒子の含有率）を正確に把握および確認することができる。
【実施例】
【００７２】
以下、本発明の実施例および比較例によって、本発明をさらに詳細に説明するが、本発明は、これらの実施例によって何ら限定されることはない。
【００７３】
（実施例１）
硫酸ニッケル六水和物の水溶液を、水酸化ナトリウム水溶液で中和し、さらに、ヒドラジンで還元して晶析させた後、晶析物に対してスパイラルジェットミルによる解砕処理を施して、ニッケル粉末を得た。このニッケル粉末を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ、ＪＥＯＬ  Ｌｔｄ.製、ＪＳＭ−７１００Ｆ）で観察し、そのＳＥＭ画像から平均粒径を求めると０．３μｍであった。０．８μｍを超える粒子が粗大粒子であるとみなして、このニッケル粉末の評価を行った。
【００７４】
評価手順としては、ニッケル粉末０．１ｇと０．１質量％のヘキサメタリン酸水溶液１００ｍｌを２５０ｍｌビーカー中で混合し、このビーカーを超音波洗浄機の槽内に設置して、超音波（２６ＫＨｚ、３００Ｗ）を３分間印加し、ニッケル粉末を分散させ、第１のスラリー１を得た（第１工程：Ｓ１）。
【００７５】
図３に示すように、メンブレンフィルタ３として、０．８μｍの孔径であるポリカーボネート製の多孔性トラックエッチング膜（メルク社製、アイソポアフィルタ；登録商標、図１ｃ参照）を用い、メンブレンフィルタ３をフィルタフォルダ４のガラスからなる多孔質体４ａ上に付着させ、かつ、基材としてのフィルタフォルダ４に、スラリー投入容器２としての吸引カップを取り付けて、吸引カップ２に第１のスラリー１を注ぎ込んだ。さらに、第１のスラリー１の入っていたビーカーに対して、５０ｍｌの０．１質量％のヘキサメタリン酸水溶液を、その壁面を洗い流すように注ぎ込み、この液も吸引カップ２に注ぎ込んだ。次いで、超音波ホモジナイザ９を水１１の入ったビーカー１０内に設置して、超音波ホモジナイザ９により水１１とビーカー１０を介して超音波（２６ＫＨｚ、３００Ｗ）を第１のスラリー１に印加しながら、減圧ポンプ７を稼働して、下抜きろ過を行った（第２工程の第１段階：Ｓ２−１）。
【００７６】
吸引ろ過終了後、フィルタフォルダ４からろ過後のメンブレンフィルタ３を取出し、別に用意した０．１質量％のヘキサメタリン酸水溶液１００ｍｌを入れた２５０ｍｌビーカー（図示せず）に、ろ過後のメンブレンフィルタ３を浸漬させた（第２工程の第２段階：Ｓ２−２）。
【００７７】
このビーカーを超音波洗浄機の槽内に設置して、超音波（２６ＫＨｚ、３００Ｗ）を１分間印加して、ろ過後のメンブレンフィルタ３に捕集された、第１の残渣であるニッケル粉末を、ヘキサメタリン酸水溶液に再分散させた。再分散により粉体の付着がなくなったメンブレンフィルタ３だけを取り出した後、さらに超音波を１分間印加して粗大粒子を含むニッケル粉末がヘキサメタリン酸水溶液中に分散した第２のスラリーを得た（第２工程の第３段階：Ｓ２−３）。
【００７８】
得られた第２のスラリーを観察したところ（Ｓ２−４）、横から見てビーカー越しに向こう側が十分に見えなかった。このため、第２のスラリーを第１のスラリーとして再度第２工程の第１段階の吸引ろ過に供し、第２のスラリーが横から見てビーカー越しに向こう側が十分に見える透明度（濁度）になるまで、第２工程の第１段階〜第３段階の操作を合計５回繰り返した（第２工程：Ｓ２）。なお、「ビーカーを横から写真撮影した場合に、その透明度（濁度）の変化が写真から認められない程度」をあらかじめ濁度基準として設定しておいた。第２のスラリーの透明度（濁度）が、この濁度基準を満たしていると判断して、第２のスラリーを第３工程に供した。
【００７９】
次に、第２工程と同様に、第２のスラリーについて、吸引ろ過を行った。ただし、第３工程では、超音波ホモジナイザ９は使用しなかった。さらに、純水５０ｍｌを注ぎ込み、吸引ろ過させることで、ろ過後のメンブレンフィルタ（ポリカーボネート製の多孔性トラックエッチング膜）３を純水で洗浄して、第２の残渣が付着したろ過後のメンブレンフィルタ３を得た（第３工程）。
【００８０】
第３工程で得られたろ過後のメンブレンフィルタ３を取出し、自然乾燥後、ＳＥＭを用いてろ過後のメンブレンフィルタ３に捕集された第２の残渣、すなわち評価対象であるニッケル粉末に含まれていた粗大粒子を観察し、図５に示すＳＥＭ画像を得た。
【００８１】
このＳＥＭ画像から、ニッケル粉末中の粗大粒子のほとんどは、一次粒子が不規則に連結した連結粒子（二次粒子）であることが分かった。このＳＥＭ画像において、粒子形状の全体が見える粒子の面積を画像処理により測定し、測定された面積から真円換算によりそれぞれの粒子の直径を算出したところ、これらの粗大粒子の粒径は、おおよそ０．９μｍ〜１．５μｍの範囲にあった。また、フィルタ上に捕集されたニッケル粉末を、ＩＣＰ分光分析法により定量し、評価に用いた粉体全体の質量（０．１ｇ）に対する割合として、ニッケル粉末に含まれる粗大粒子の含有率を求めたところ、１５００質量ｐｐｍであった（第４工程：Ｓ４）。
【００８２】
（実施例２）
第２工程において、図４に示すように、スラリー投入容器２としてビーカーを用い、超音波洗浄機１３内に、第１のスラリー１が注ぎ込まれたビーカー２を配置し、かつ、第１のスラリー１の液面に、メンブレンフィルタ３としての０．８μｍの孔径であるポリカーボネート製の多孔性トラックエッチング膜が上方から当接するように、フィルタフォルダ４を配置して、超音波を印加しながら、上抜きろ過を行ったこと以外は、実施例１と同様に第２のスラリーを得て、得られた第２の残渣である粗大粒子を観察および測定して、ニッケル粉末の評価を行った。第２工程の繰り返し回数は４回であった。
【００８３】
実施例1と同様に、粗大粒子の粒径は、おおよそ０．９μｍ〜１．５μｍの範囲にあり、ニッケル粉末に含まれる粗大粒子の含有率は、１５００質量ｐｐｍであった。
【００８４】
（実施例３）
炭酸バリウムと二酸化チタンの粉末をそれぞれ用意し、これらの粉末をボールミルにて２４時間混合後、加熱処理を行うことで固相反応した後、ビーズミルによる解砕処理を施してチタン酸バリウム粉末を得た。このチタン酸バリウム粉末をＳＥＭで観察し、その画像から平均粒径を求めると０．２μｍであった。０．４μｍを超える粒子が粗大粒子であるとみなして、メンブレンフィルタ３として、０．４μｍの孔径であるポリカーボネート製の多孔性トラックエッチング膜（メルク社製、アイソポアフィルタ；登録商標、図１ａ参照）を用いたこと以外は、チタン酸バリウム粉末の評価を、実施例１と同様にして行った。
【００８５】
チタン酸バリウム粉末中の粗大粒子のほとんどが、一次粒子が不規則に結合した凝集粒子（二次粒子）であった。また、粗大粒子の粒径は、おおよそ０．５μｍ〜１．０μｍの範囲にあり、チタン酸バリウム粉末に含まれる粗大粒子の含有率は、２０００質量ｐｐｍであった。
【００８６】
（実施例４）
塩化ニッケル六水和物を純水に溶解させ、この溶液にｐＨが８．５となるように調整しながら水酸化ナトリウム水溶液を添加および混合し、水酸化ニッケルの沈殿物を生成させた。この水酸化ニッケルの沈殿物を、ろ過、洗浄し、乾燥させて、水酸化ニッケル粉末を得た。さらに、水酸化ニッケル粉末を、大気焼成炉中において６００℃で３時間加熱処理した後、ビーズミルによる解砕処理を施して酸化ニッケル粉末を得た。この酸化ニッケル粉末をＳＥＭで観察し、その画像から平均粒径を求めると０．３μｍであった。０．８μｍを超える粒子が粗大粒子であるとみなして、この酸化ニッケル粉末の評価を、実施例1と同様にして行った。
【００８７】
酸化ニッケル粉末中の粗大粒子のほとんどが、一次粒子が不規則に結合した凝集粒子（二次粒子）であった。また、粗大粒子の粒径は、おおよそ１μｍ〜３μｍの範囲にあり、酸化ニッケル粉末に含まれる粗大粒子の含有率は、３４０００質量ｐｐｍであった。
【００８８】
（実施例５）
粗大粒子の基準値を１．２μｍとして、メンブレンフィルタ３として、孔径が１．２μｍの孔径であるポリカーボネート製の多孔性トラックエッチング膜（メルク社製、アイソポアフィルタ；登録商標、図１ｄ参照）を用いたこと以外は、実施例１と同様に第２のスラリーを得て、得られた第２の残渣である粗大粒子を観察および測定して、ニッケル粉末の評価を行った。第２工程の繰り返し回数は、２回であった。
【００８９】
実施例1と同様に評価したところ、粗大粒子の粒径は、おおよそ１．３μｍ〜１．５μｍの範囲にあり、ニッケル粉末に含まれる粗大粒子の含有率は、４００質量ｐｐｍであった。
【００９０】
（実施例６）
晶析条件を変更した以外は、実施例１と同様の方法で晶析させた後、スパイラルジェットミルによる解砕処理を施してニッケル粉末を用意した。このニッケル粉末をＳＥＭで観察し、そのＳＥＭ画像から平均粒径を求めると０．２μｍであった。０．６μｍを超える粒子が粗大粒子であるとみなして、メンブレンフィルタ３として、孔径が０．６μｍの孔径であるポリカーボネート製の多孔性トラックエッチング膜（メルク社製、アイソポアフィルタ；登録商標、図１ｂ参照）を用いたこと以外は、実施例１と同様に第２のスラリーを得て、得られた第２の残渣である粗大粒子を観察および測定して、ニッケル粉末の評価を行った。第２工程の繰り返し回数は、５回であった。
【００９１】
実施例1と同様に評価したところ、粗大粒子の粒径は、おおよそ０．７μｍ〜１．０μｍの範囲にあり、ニッケル粉末に含まれる粗大粒子の含有率は、５００質量ｐｐｍであった。
【００９２】
（比較例１）
実施例１で用意したニッケル粉末について、そのままＳＥＭ観察によるＳＥＭ画像を得た後、このＳＥＭ画像に画像処理を行って、粗大粒子（連結粒子）の含有率を求めた。ここで、粗大粒子（連結粒子）の含有率は、一次粒子の全個数に対する、連結粒子に含まれる一次粒子の合計個数の割合（％、ｐｐｍなど）、および、一次粒子の平均粒径と上記連結粒子を構成する一次粒子の粒径（一次粒子の面積を画像処理により測定し、測定された面積から真円換算により算出した粒子の直径）から質量割合（質量％、質量ｐｐｍ）として算出することができる。前述の通り、ＳＥＭ観察では観察する粉末サンプルの表面直下に粗大粒子の凝集部分や連結部分が隠れており、また粉末が充填した状態では凝集箇所の判別が困難なため、粉末サンプル表面に露出している連結箇所の検出を画像処理で行った。粉末サンプル表面に露出している連結箇所は少ないため、倍率５０００倍のＳＥＭ画像を異なる２０視野について、連結箇所の検出を行い、肉眼による確認および検証も実施して、１日（８時間）かけてニッケル粉末に含まれる粗大粒子（連結粒子）の含有率を算出した。凝集箇所の判別が困難であり、かつ粉末サンプルの表面直下に粗大粒子の凝集部分や連結部分が隠れているため、粗大粒子の粒径は不明で、ニッケル粉末に含まれる粗大粒子（連結粒子）の含有率は、１００質量ｐｐｍであった。
【産業上の利用可能性】
【００９３】
本発明の粉体の評価方法は、粉体に含まれる特定の大きさ（粒径）の粗大粒子の含有率およびその形状や大きさを、きわめて簡便かつ正確に特定することができるため、粉体で構成される薄い平滑な塗布膜が求められる積層セラミックコンデンサ（ＭＬＣＣ）などのような電子部品向けの粉体を含む、各種粉体の開発、改良および品質評価に利用することができる。
【符号の説明】
【００９４】
１  第１のスラリー
２  スラリー投入容器
３  フィルタ（メンブレンフィルタ）
４  フィルタフォルダ
４ａ  多孔質体
５  スラリー流通経路
６  ろ液回収容器
７  減圧ポンプ
８  粗大粒子
９  超音波ホモジナイザ
１０  ビーカー
１１  水
１２  ろ液
１３  超音波洗浄機の槽
【図１ａ】
2017191011.tif 000003
【図１ｂ】
2017191011.tif 000004
【図１ｃ】
2017191011.tif 000005
【図１ｄ】
2017191011.tif 000006
【図２】
2017191011.tif 000007
【図３】
2017191011.tif 000008
【図４】
2017191011.tif 000009
【図５】
2017191011.tif 000010