(57)【要約】【課題】フットプリントの拡大を抑制しつつ、被搬送物の収容量を増大させることができる、前後方向にコンパクトな構成の装置前自動倉庫を提供する。【解決手段】装置前自動倉庫１は、ロードポートＬの上方に設けられた固定棚３と、前後方向に移動可能なスライド棚４と、ロードポートＬ、固定棚３、スライド棚４の間でＦＯＵＰ１０を移載する移載装置８と、を備え、移載装置８は、ＦＯＵＰ１０を保持する保持部８ｃと、固定棚３よりも前方側に設けられ、保持部８ｃを上下方向及び左右方向に移動させる駆動装置８ｆと、を有し、移載装置８により移載されるＦＯＵＰ１０が、前後方向に関して固定棚３と重なる状態で上下方向に移動可能な通路Ｐが設けられており、スライド棚４は、通路Ｐ内の第１位置と、第１位置の後方側であってスライド棚４及びスライド棚４に載置されたＦＯＵＰ１０が通路Ｐ外に位置する第２位置との間で移動可能である。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被搬送物の移載先の上方に設けられ、前記被搬送物が載置される固定棚と、
前記被搬送物が載置されると共に前後方向に移動可能なスライド棚と、
前記移載先と、前記固定棚と、前記スライド棚と、の間で前記被搬送物を移載する移載装置と、を備え、
前記移載装置は、
前記被搬送物を保持する保持部と、
前記固定棚よりも前方側に設けられ、前記保持部を上下方向及び左右方向に移動させる駆動装置と、を有し、
前記移載装置により移載される前記被搬送物が、前記前後方向に関して前記固定棚と重なる状態で前記上下方向に移動可能な通路が設けられており、
前記スライド棚は、前記通路内の第１位置と、前記第１位置の後方側であって前記スライド棚及び前記スライド棚に載置された前記被搬送物が前記通路外に位置する第２位置との間で移動可能である、装置前自動倉庫。
【請求項２】
前記スライド棚は、前記移載先を有する処理装置の上端部より高い位置に設けられている、請求項１記載の装置前自動倉庫。
【請求項３】
前記駆動装置は、
前記左右方向又は前記上下方向に延在する第１レールと、
前記第１レールに支持され、前記左右方向及び前記上下方向のうち前記第１レールの延在方向ではない方向に延在すると共に、前記第１レールの延在方向に沿って移動可能である第２レールと、を有し、
前記保持部は、前記第２レールに支持されると共に前記第２レールの延在方向に沿って移動可能である、請求項１又は２記載の装置前自動倉庫。
【請求項４】
前記固定棚は、前記上下方向及び前記左右方向のそれぞれに複数設けられており、
前記通路は、前記左右方向において対向する一対の前記固定棚の間に設けられている、請求項１〜３の何れか一項記載の装置前自動倉庫。
【請求項５】
前記固定棚は、前記上下方向の最上段において複数設けられており、前記最上段の位置において前記移載先の上方に設けられた軌道を走行して前記被搬送物を搬送する搬送車との間で前記被搬送物を受け渡し可能であり、
前記スライド棚は、前記最上段において前記左右方向で対向する一対の前記固定棚の間に挟まれる位置に設けられている、請求項４記載の装置前自動倉庫。
【請求項６】
前記スライド棚は、前記最上段に設けられた一対の前記固定棚の間に２つ並んで設けられている、請求項５記載の装置前自動倉庫。
【請求項７】
該装置前自動倉庫の本体から後方に突出して設けられ、前記前後方向に沿って延在すると共に前記スライド棚を移動可能に支持する支持レールを備え、
前記支持レールは、一方の前記スライド棚において他方の前記スライド棚と対向する一端部とは前記左右方向において反対側の他端部に設けられていると共に、他方の前記スライド棚において一方の前記スライド棚と対向する一端部とは前記左右方向において反対側の他端部に設けられており、
前記スライド棚は、前記支持レールの延在方向に沿って前記第１位置と前記第２位置との間で移動可能である、請求項６記載の装置前自動倉庫。
【請求項８】
前記通路の前記左右方向の両側に設けられている前記固定棚において、前記最上段に設けられた前記固定棚の前記左右方向の距離に比して、他の前記固定棚の前記左右方向の距離は短い、請求項６又は７記載の装置前自動倉庫。
【請求項９】
前記通路の前記左右方向の両側に設けられている前記固定棚において、前記最上段に設けられた前記固定棚の前記左右方向の距離と、他の前記固定棚の前記左右方向の距離とが等しい、請求項６又は７記載の装置前自動倉庫。
【請求項１０】
前記本体は、前記固定棚が前記移載先の上方に位置する第１本体位置と、前記固定棚が前記移載先の上方より前方に位置する第２本体位置との間で移動可能であり、
前記支持レールは、前記本体が前記第２本体位置にあるときに前記移載先の上方から退避可能である、請求項７記載の装置前自動倉庫。
【請求項１１】
前記左右方向に延びる中心軸線回りに前記支持レールを回動させる回動装置を更に備え、
前記回動装置は、支持レールが前記前後方向に延在すると共に前記本体の後方に突出する第１姿勢と、支持レールが前記上下方向に延在する第２姿勢との間で前記支持レールを回動させる、請求項１０記載の装置前自動倉庫。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、装置前自動倉庫に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体製造工場の処理装置に適用される装置前自動倉庫として、被搬送物の移載先が収容される収容空間を画成する収容部を有する本体と、本体内の収容部の上方に設けられ、被搬送物が載置される固定棚と、本体内において移載先と固定棚との間で被搬送物を移載する移載装置と、を備える装置前自動倉庫が知られている（例えば、特許文献１参照）。このような装置前自動倉庫では、移載装置により移載される被搬送物が、前後方向に関して固定棚と重なる状態で上下方向に移動可能とされているため、前後方向にコンパクトな構成とされる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−２８５２７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したような装置前自動倉庫では、処理装置の稼働率を向上させる観点から、固定棚等への被搬送物の収容量を増大させることが求められている。一方、半導体製造工場の限られたスペースにおいては、平面視における寸法（すなわち、フットプリント）を拡大することは難しい。
【０００５】
そこで、本発明は、フットプリントの拡大を抑制しつつ、被搬送物の収容量を増大させることができる、前後方向にコンパクトな構成の装置前自動倉庫を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の装置前自動倉庫は、被搬送物の移載先の上方に設けられ、被搬送物が載置される固定棚と、被搬送物が載置されると共に前後方向に移動可能なスライド棚と、移載先と、固定棚と、スライド棚と、の間で被搬送物を移載する移載装置と、を備え、移載装置は、被搬送物を保持する保持部と、固定棚よりも前方側に設けられ、保持部を上下方向及び左右方向に移動させる駆動装置と、を有し、移載装置により移載される被搬送物が、前後方向に関して固定棚と重なる状態で上下方向に移動可能な通路が設けられており、スライド棚は、通路内の第１位置と、第１位置の後方側であってスライド棚及びスライド棚に載置された被搬送物が通路外に位置する第２位置との間で移動可能である。
【０００７】
本発明によれば、前後方向にコンパクトな構成の装置前自動倉庫において、第１位置とされたスライド棚に対して移載装置が被搬送物を受け渡しできると共に、スライド棚を第２位置に移動させることで移載装置による被搬送物の通路を形成できる。第２位置が、移載装置が設けられた側の逆側であるため、第２位置とされたスライド棚が移載装置の作動を妨げない。第２位置が、処理装置の上方等のデッドスペースとなるように装置前自動倉庫を設置することで、フットプリントの拡大を抑制しつつ、被搬送物の収容量を増加させることができる。
【０００８】
本発明の装置前自動倉庫では、スライド棚は、移載先を有する処理装置の上端部より高い位置に設けられていてもよい。この場合、デッドスペースとなる処理装置の上方に第２位置を位置させることにより、処理装置の上方を被搬送物の収納領域として用いることができる。よって、本体の寸法を維持したままで、被搬送物の収容量を増大させることができる。
【０００９】
本発明の装置前自動倉庫では、駆動装置は、左右方向又は上下方向に延在する第１レールと、第１レールに支持され、左右方向及び上下方向のうち第１レールの延在方向ではない方向に延在すると共に、第１レールの延在方向に沿って移動可能である第２レールと、を有し、保持部は、第２レールに支持されると共に第２レールの延在方向に沿って移動可能であってもよい。この場合、前後方向にコンパクトな構成の駆動装置により、保持部を上下方向及び左右方向に移動させることができる。
【００１０】
本発明の装置前自動倉庫では、固定棚は、上下方向及び左右方向のそれぞれに複数設けられており、通路は、左右方向において対向する一対の固定棚の間に設けられていてもよい。この場合、被搬送物の収納領域を拡大することができるため、本体の寸法を維持したままで、被搬送物の収容量を増大させることができる。
【００１１】
本発明の装置前自動倉庫では、固定棚は、上下方向の最上段において複数設けられており、最上段の位置において移載先の上方に設けられた軌道を走行して被搬送物を搬送する搬送車との間で被搬送物を受け渡し可能であり、スライド棚は、最上段において左右方向で対向する一対の固定棚の間に挟まれる位置に設けられていてもよい。この場合、搬送車と最上段の固定棚との間で受け渡しされる被搬送物を、当該最上段の固定棚とスライド棚との間で速やかに移載することができる。
【００１２】
本発明の装置前自動倉庫では、スライド棚は、最上段に設けられた一対の固定棚の間に２つ並んで設けられていてもよい。この場合、搬送車と最上段の固定棚との間で受け渡しされる被搬送物を、当該最上段の固定棚とスライド棚との間で速やかに移載することができると共に、本体の寸法を維持したままで、被搬送物の収容量を一層増大させることができる。
【００１３】
本発明の装置前自動倉庫では、装置前自動倉庫の本体から後方に突出して設けられ、前後方向に沿って延在すると共にスライド棚を移動可能に支持する支持レールを備え、支持レールは、一方のスライド棚において他方のスライド棚と対向する一端部とは左右方向において反対側の他端部に設けられていると共に、他方のスライド棚において一方のスライド棚と対向する一端部とは左右方向において反対側の他端部に設けられており、スライド棚は、支持レールの延在方向に沿って第１位置と第２位置との間で移動可能であってもよい。この場合、２つのスライド棚のそれぞれを他方のスライド棚に近い側の端部においてそれぞれ支持する支持レールを設けないことにより、通路が支持レールによって妨げられない。よって、容易に通路を形成することができる。
【００１４】
本発明の装置前自動倉庫では、通路の左右方向の両側に設けられている固定棚において、最上段に設けられた固定棚の左右方向の距離に比して、他の固定棚の左右方向の距離は短くてもよい。この場合、他の固定棚と移載先との間での被搬送物の移載に要する時間を短縮することができる。
【００１５】
本発明の装置前自動倉庫では、通路の左右方向の両側に設けられている固定棚において、最上段に設けられた固定棚の左右方向の距離と、他の固定棚の左右方向の距離とが等しくてもよい。この場合、２つのスライド棚のうち一方のみを第２位置に位置させるだけで、他方のスライド棚の位置によらずに、容易に通路を形成することができる。
【００１６】
本発明の装置前自動倉庫では、本体は、固定棚が移載先の上方に位置する第１本体位置と、固定棚が移載先の上方より前方に位置する第２本体位置との間で移動可能であり、支持レールは、本体が第２本体位置にあるときに移載先の上方から退避可能であってもよい。この場合、例えば装置前自動倉庫のメンテナンス等のために本体を第２本体位置に移動させた場合であっても、搬送車と移載先との間で被搬送物を直接移載することが可能となるため、処理装置の稼働を継続することができる。
【００１７】
本発明の装置前自動倉庫では、左右方向に延びる中心軸線回りに支持レールを回動させる回動装置を更に備え、回動装置は、支持レールが前後方向に延在すると共に本体の後方に突出する第１姿勢と、支持レールが上下方向に延在する第２姿勢との間で支持レールを回動させてもよい。この場合、例えば装置前自動倉庫のメンテナンス等のために本体を第２本体位置に移動させた場合であっても、搬送車と移載先との間で被搬送物を直接移載することが可能となるため、処理装置の稼働を継続することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、本体の寸法を維持したままで、被搬送物の収容量を増大させることができる装置前自動倉庫を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本実施形態の装置前自動倉庫の前方側を示す斜視図である。
【図２】装置前自動倉庫の後方側を示す斜視図である。
【図３】装置前自動倉庫の内部構造を示す正面図である。
【図４】装置前自動倉庫の内部構造を示す側面図である。
【図５】スライド棚を示す図である。
【図６】支持レールの回動動作を説明するための図である。
【図７】本実施形態の装置前自動倉庫の固定棚及びスライド棚の配置を模式的に示す正面図である。
【図８】変形例の装置前自動倉庫の固定棚及びスライド棚の配置を模式的に示す正面図である。
【図９】変形例の装置前自動倉庫の固定棚及びスライド棚の配置を模式的に示す正面図である。
【図１０】変形例の装置前自動倉庫の固定棚及びスライド棚の配置を模式的に示す正面図である。
【図１１】変形例の装置前自動倉庫の固定棚及びスライド棚の配置を模式的に示す正面図である。
【図１２】変形例の装置前自動倉庫の固定棚及びスライド棚の配置を模式的に示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。また、装置前自動倉庫を設置した状態において、図中に示すＸ軸方向を「前後方向」、Ｙ軸方向を「左右方向」、Ｚ軸方向を「上下方向」とする。特にＸ軸正方向を「前方」、Ｘ軸負方向を「後方」とする。
【００２１】
［装置前自動倉庫の構成］
図１〜図３に示されるように、装置前自動倉庫１は、例えば半導体処理装置（処理装置）Ｍを備える半導体製造工場に配置されている。装置前自動倉庫１は、例えば天井搬送車（搬送車）Ｖから半導体処理装置Ｍのロードポート（移載先）Ｌに移載されるべき被搬送物を一時保管するための倉庫である。装置前自動倉庫１は、半導体処理装置Ｍの前面に近接して配置される。すなわち、装置前自動倉庫１の背面が、半導体処理装置Ｍの前面と相対向するように設置される。
【００２２】
ここでは、被搬送物は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ（Front  Opening  Unified  Pod）１０である。天井搬送車Ｖは、半導体製造工場の天井付近に敷設された軌道Ｔを走行してＦＯＵＰ１０を搬送するＯＨＴ（Overhead  Hoist  Transfer）である。軌道Ｔは、ロードポートＬの上方に設けられている。
【００２３】
半導体処理装置Ｍは、ロードポートＬにＦＯＵＰ１０が載置されると、当該ＦＯＵＰ１０に収容されている半導体ウェハを装置内に取り込み、所定の処理を行う。そして、半導体処理装置Ｍは、半導体ウェハの処理を完了すると、当該半導体ウェハをＦＯＵＰ１０に再び収容する。なお、ロードポートＬは、半導体処理装置Ｍの前面側に位置している。
【００２４】
装置前自動倉庫１は、本体２と、固定棚３と、スライド棚４と、支持レール５と、進退機構６と、回動装置７と、移載装置８と、を備える。
【００２５】
本体２は、装置前自動倉庫１の筐体である。本体２の前方及び側方は壁面によって覆われ、本体２の後方及び上方は開口している。本体２は、ロードポートＬが収容される収容空間Ｒを画成する収容部２ａを有する。収容部２ａは、本体２の下部に形成されている。収容部２ａは、本体２の後方の開口部を介してロードポートＬを進入及び退出させることができる。
【００２６】
本体２は、下面の４隅に車輪２ｂを有する。本体２は、車輪２ｂによって前後方向に移動可能とされている。本体２は、装置前自動倉庫１の通常の稼働時には、第１本体位置に位置している。第１本体位置とは、ロードポートＬが収容空間Ｒに収容された状態となる本体２の位置である（図４参照）。一方、本体２は、例えば装置前自動倉庫１のメンテナンス時には、第２本体位置に位置している。第２本体位置とは、ロードポートＬが収容部２ａの外に出た状態となる本体２の位置である（図２参照）。このように、本体２は、第１本体位置と第２本体位置との間で移動可能である。
【００２７】
固定棚３は、本体２内の収容部２ａの上方に設けられる。固定棚３には、ＦＯＵＰ１０が載置される。固定棚３は、本体２の後方部（背面部）から本体２内部に向かって突き出して設けられている。或いは、固定棚３は、本体２の側方部（側面部）から本体２内部に向かって突き出して設けられたものであってもよい。固定棚３のうち少なくとも１つは、ロードポートＬの直上（鉛直上方）に設けられる。固定棚３に載置されるＦＯＵＰ１０の少なくとも一部と、ロードポートＬに載置されるＦＯＵＰ１０の少なくとも一部とが平面視において重なるように、少なくとも１つの固定棚３が設けられている。
【００２８】
固定棚３は、上下方向及び左右方向のそれぞれに複数設けられている。固定棚３は、上下方向の最上段において複数設けられた第１固定棚３ａと、最上段以外の段において複数設けられた第２固定棚３ｂと、を有する。図４に示されるように、複数の固定棚３は、前後方向に関して、ＦＯＵＰ１０の載置位置が何れも同じ位置となるように設けられている。すなわち、複数の固定棚３にそれぞれ載置されたＦＯＵＰ１０が、前後方向において何れも同じ位置となるように、各固定棚３に載置されるＦＯＵＰ１０の位置決めを行う位置決め部材（不図示）が設けられている。
【００２９】
図３及び図４に示されるように、第１固定棚３ａは、本体２が前記第１本体位置とされた状態において軌道Ｔの下方（鉛直下方）に位置し、軌道Ｔにおける天井搬送車Ｖとの間でＦＯＵＰ１０を受け渡し可能な入出庫ポートとしての機能を有する。天井搬送車Ｖから第１固定棚３ａにＦＯＵＰ１０を受け渡す場合、ＦＯＵＰ１０を保持している天井搬送車Ｖは、ＦＯＵＰ１０の載置されていない第１固定棚３ａの直上に停止し、昇降装置（不図示）によってＦＯＵＰ１０を下降させて第１固定棚３ａに載置する。逆に、第１固定棚３ａから天井搬送車ＶにＦＯＵＰ１０を受け渡す場合、ＦＯＵＰを保持していない天井搬送車Ｖは、ＦＯＵＰ１０が載置されている第１固定棚３ａの直上に停止し、昇降装置によってＦＯＵＰ１０を取得して上昇させる。
【００３０】
第２固定棚３ｂは、第１固定棚３ａからロードポートＬにＦＯＵＰ１０を移載する場合に、例えばロードポートＬがＦＯＵＰ１０を移載可能な状態にないとき、当該ＦＯＵＰ１０を載置して一時保管するための領域（バッファ）である。ロードポートＬがＦＯＵＰ１０を移載可能な状態となると、第２固定棚３ｂに一時保管されたＦＯＵＰ１０は、移載装置８によりロードポートＬに移載される。
【００３１】
固定棚３は、本体２内に縦方向に延在する通路Ｐを挟んで配置されている（図７参照）。すなわち、通路Ｐは、左右方向において対向する一対の固定棚３の間に設けられている。通路Ｐは、移載装置８が、第１固定棚３ａ及び第２固定棚３ｂとロードポートＬとの間でＦＯＵＰ１０を移載する際のＦＯＵＰ１０の移動経路である。図４に破線で示されるように、移載装置８がＦＯＵＰ１０を移載する際、通路Ｐを移動するＦＯＵＰ１０の前後方向の位置は、固定棚３に載置されたＦＯＵＰ１０の位置と等しい。固定棚３の配置について、詳しくは後述する。
【００３２】
図４及び図５に示されるように、スライド棚４は、本体２に設けられている。スライド棚４は、第１固定棚３ａからロードポートＬにＦＯＵＰ１０を移載する場合に、例えばロードポートＬがＦＯＵＰ１０を移載可能な状態にないとき、当該ＦＯＵＰ１０を載置して一時保管するための領域（バッファ）である。ロードポートＬがＦＯＵＰ１０を移載可能な状態となると、スライド棚４に一時保管されたＦＯＵＰ１０は、移載装置８によりロードポートＬに移載される。
【００３３】
スライド棚４は、一対の第１固定棚３ａの間に左右方向に２つ並んで設けられている。以下の説明では、これらのスライド棚のうち、前方から見て左側のスライド棚４を左スライド棚４Ｌ、右側のスライド棚を右スライド棚４Ｒとする。なお、図５には左スライド棚４Ｌを例示しているが、右スライド棚４Ｒについても、図５に対して例えば左右対称の位置に支持レール５及び進退機構６が設けられている以外は同様である。
【００３４】
スライド棚４は、本体２内において、半導体処理装置Ｍの上端部Ｍａより高い位置に設けられている。スライド棚４は、支持レール５及び進退機構６によって、支持レール５の延在方向に沿って移動可能に支持されている。図４及び図５に示されるように、スライド棚４は、その少なくとも一部が通路Ｐ内に位置する第１位置と、第１位置に対し後方側であってスライド棚４及びそのスライド棚４に載置されたＦＯＵＰ１０が通路Ｐ外に位置する第２位置との間で移動可能とされている。第２位置は、本体２に対して後方側の位置であり、半導体処理装置Ｍの上方（鉛直上方）である。スライド棚４の配置について、詳しくは後述する。
【００３５】
支持レール５は、スライド棚４を当該支持レール５に沿って移動可能に支持する。支持レール５は、本体２から後方に突出して設けられ、前後方向に沿って延在している。支持レール５は、左スライド棚４Ｌにおいて右スライド棚４Ｒと対向する一端部（すなわち、左スライド棚４Ｌの右側の端部）とは左右方向において反対側の他端部（すなわち、左スライド棚４Ｌの左側の端部）に設けられている。また、支持レール５は、右スライド棚４Ｒにおいて左スライド棚４Ｌと対向する一端部（すなわち、右スライド棚４Ｒの左側の端部）とは左右方向において反対側の他端部（すなわち、右スライド棚４Ｒの右側の端部）に設けられている。なお、支持レール５は、左スライド棚４Ｌの右側の端部、及び、右スライド棚４Ｒの左側の端部には設けられていない。
【００３６】
進退機構６は、支持レール５の延在方向に沿って延在するシリンダ６ａ及びピストン６ｂの動作により、スライド棚４を支持レール５の延在方向に沿って移動させる。進退機構６は、左右方向においてスライド棚４の中央部に位置している。シリンダ６ａとしては、例えば空気圧シリンダ、油圧シリンダ等を用いることができる。或いは、シリンダ６ａ及びピストン６ｂに代えて、モータ及び歯付ベルトを用いた構成としてもよい。また、進退機構６は、リニアガイド６ｃ及びレール６ｄを更に有すると共に、リニアガイド６ｃの２倍のストロークでスライド棚４を移動させる倍速機構６ｅを有する。
【００３７】
図６に示されるように、回動装置７は、左右方向に延びる中心軸線Ａ回りに支持レール５を回動させる。回動装置７としては、例えばモータを用いることができる。回動装置７は、支持レール５が前後方向に延在すると共に本体２の後方に突出する第１姿勢と、支持レール５が上下方向に延在する第２姿勢との間で支持レール５を回動させる。回動装置７は、例えば装置前自動倉庫１の通常の稼働時に支持レール５を第１姿勢とし、例えば装置前自動倉庫１のメンテナンス時に支持レール５を第２姿勢とする。
【００３８】
図３及び図４に示されるように、移載装置８は、本体２内において、ロードポートＬ、固定棚３、スライド棚４の間でＦＯＵＰ１０を移載する。移載装置８は、ＦＯＵＰ１０を保持する保持部８ｃと、保持部８ｃを上下方向及び左右方向に移動させる駆動装置８ｆと、を有する。駆動装置８ｆは、固定棚３よりも前方側に設けられている。駆動装置８ｆは、本体２に固定され、本体２の左右方向に延在する第１レール８ａと、第１レール８ａに支持され、本体２の上下方向に延在すると共に、第１レール８ａの延在方向に沿って移動可能である第２レール８ｂと、図示しない駆動源と、を有する。保持部８ｃは、第２レール８ｂに支持され、第２レール８ｂの延在方向に沿って移動可能とされている。
【００３９】
保持部８ｃは、後方に向かって突出するヘッド部８ｄと、ヘッド部８ｄの下面側に設けられた支持部８ｅと、を含む。ヘッド部８ｄは、固定棚３に載置されたＦＯＵＰ１０を保持することができる位置まで、第２レール８ｂから後方に突出している。ヘッド部８ｄは、第２レール８ｂに対して前後方向に移動しない。すなわち、前後方向に関して、第２レール８ｂと支持部８ｅとの距離は一定である。支持部８ｅは、ＦＯＵＰ１０の上面に設けられたフランジ部１１を掬い取って支持する。なお、保持部８ｃは、ヘッド部８ｄに備えられた把持部（チャック）によってフランジ部１１を把持するものであってもよい。
【００４０】
［固定棚３及びスライド棚４の配置］
固定棚３及びスライド棚４の配置について説明する。図７に示されるように、固定棚３は、通路Ｐの左右方向の両側に設けられている。すなわち、通路Ｐは、その左右方向の両側に配置された固定棚３によって規定されている。通路Ｐの左右方向の幅は、ＦＯＵＰ１０を保持した保持部８ｃが上下方向に通過可能な幅とされている。通路Ｐの左右方向の両側に設けられている第１固定棚３ａの左右方向の距離に比して、第２固定棚３ｂの左右方向の距離は短い。
【００４１】
固定棚３は、本体２が第１本体位置に位置しているときには、ロードポートＬの上方に位置している。一方、固定棚３は、本体２が第２本体位置に位置しているときには、ロードポートＬの上方より前方に位置している。
【００４２】
第１固定棚３ａは、左右方向に並んで設けられた左スライド棚４Ｌ及び右スライド棚４Ｒの左右方向の両側に設けられている。すなわち、左スライド棚４Ｌ及び右スライド棚４Ｒは、最上段において左右方向で対向する一対の第１固定棚３ａの間に挟まれる位置に設けられている。第１固定棚３ａ、左スライド棚４Ｌ、右スライド棚４Ｒは、上下方向において同じ高さの位置に配置されている。
【００４３】
［装置前自動倉庫１の動作］
装置前自動倉庫１の動作について説明する。装置前自動倉庫１は、以下の第１動作及び第２動作を実行することができる。
【００４４】
まず、装置前自動倉庫１の第１動作について説明する。装置前自動倉庫１の第１動作は、一例として、ＦＯＵＰ１０をロードポートＬに移載することができない場合であって、全ての第２固定棚３ｂにＦＯＵＰ１０が載置されているときに実行される。なお、ＦＯＵＰ１０をロードポートＬに移載することができない場合としては、例えば半導体処理装置Ｍが他のＦＯＵＰ１０に収容されていた半導体ウェハに対して処理を行っている最中である場合等が挙げられる。
【００４５】
第１動作において、装置前自動倉庫１は、天井搬送車Ｖによって第１固定棚３ａにＦＯＵＰ１０が載置されると共に、スライド棚４を第２位置から第１位置に移動させる。このとき、第１位置に移動したスライド棚４によって通路Ｐが一時的に塞がれた状態となる。
【００４６】
スライド棚４は、第１位置において移載装置８との間でＦＯＵＰ１０の受け渡しが可能とされる。移載装置８は、第１位置とされたスライド棚４に対して、前後方向に関して固定棚３におけるＦＯＵＰ１０の載置位置と同じ位置にＦＯＵＰ１０を受け渡しする。このような動作を実現するために、第１位置とされたスライド棚４に載置されたＦＯＵＰ１０と、固定棚３に載置されたＦＯＵＰ１０とが前後方向において同じ位置となるように、固定棚３及びスライド棚４に載置されるＦＯＵＰ１０の位置決めを行う位置決め部材（不図示）が設けられている。
【００４７】
装置前自動倉庫１は、移載装置８によって第１固定棚３ａからスライド棚４にＦＯＵＰ１０を移載する。そして、装置前自動倉庫１は、ＦＯＵＰ１０が載置されたスライド棚４を再び第２位置に移動させる。これにより、スライド棚４及びそのスライド棚４に載置されたＦＯＵＰ１０が通路Ｐ外となり、それらによって通路Ｐが塞がれていない状態となる。なお、支持レール５は、左スライド棚４Ｌ及び右スライド棚４Ｒのそれぞれにおいて、他方のスライド棚４に近い側の端部を支持する位置には設けられていないため、支持レール５によっても通路Ｐは塞がれていない。
【００４８】
続いて、例えば半導体処理装置Ｍが他のＦＯＵＰ１０に収容されていた半導体ウェハに対して行っていた処理が完了して当該半導体ウェハをＦＯＵＰ１０に再び収容すると、装置前自動倉庫１は、移載装置８によってロードポートＬに載置されているＦＯＵＰ１０を例えば第１固定棚３ａに移載する。これにより、ＦＯＵＰ１０をロードポートＬに移載することができる状態になる。なお、移載装置８によってＦＯＵＰ１０をロードポートＬから第１固定棚３ａに移載する際、スライド棚４は第２位置とされる。この状態では、スライド棚４及びそのスライド棚４に載置されたＦＯＵＰ１０によって通路Ｐが塞がれていない状態であるため、図３に破線で示されるように、ＦＯＵＰ１０を保持した保持部８ｃは、通路Ｐを移動することができる。
【００４９】
続いて、装置前自動倉庫１は、ＦＯＵＰ１０が載置されたスライド棚４を第２位置から第１位置に移動させると共に、移載装置８によってスライド棚４から当該ＦＯＵＰ１０を取得する。その後、装置前自動倉庫１は、スライド棚４を再び第２位置に移動させる。これにより、スライド棚４によって通路Ｐが塞がれていない状態となる。
【００５０】
続いて、移載装置８は、保持しているＦＯＵＰ１０を、通路Ｐを移動してロードポートＬに移載する。
【００５１】
次に、装置前自動倉庫１の第２動作について説明する。装置前自動倉庫１の第１動作は、例えば、装置前自動倉庫１のメンテナンスを行う場合であって、半導体処理装置Ｍの稼働を継続するときに実行される。
【００５２】
第２動作において、装置前自動倉庫１は、本体２が半導体処理装置Ｍから離間するように、本体２を第２本体位置に移動させる。この場合において、支持レール５が第１姿勢とされているときには、支持レール５は、本体の後方に突出しているため、ロードポートＬの上方に位置する状態となる。従って、この状態では、天井搬送車ＶとロードポートＬとの間を支持レール５が塞ぎ、天井搬送車ＶからロードポートＬにＦＯＵＰ１０を直接載置することができない。
【００５３】
そこで、支持レール５は、本体２が第２本体位置にあるときにロードポートＬの上方から退避可能に構成されている。具体的には、本体２が第２本体位置にあり、且つ、支持レール５が回動装置７によって回動されて第２姿勢となることによって、支持レール５は、ロードポートＬの上方から退避する。従って、支持レール５が第２姿勢とされた状態では、天井搬送車ＶとロードポートＬとの間が支持レール５によって塞がれていないため、天井搬送車ＶからロードポートＬにＦＯＵＰ１０を直接載置することができる。
【００５４】
［作用及び効果］
以上説明したように、装置前自動倉庫１では、保持部８ｃによって保持されるＦＯＵＰ１０の少なくとも一部が前後方向に関して固定棚３の少なくとも一部と重なる状態において、移載装置８は、保持部８ｃの突出量を変化させることなくＦＯＵＰ１０を搬送する。このため、装置前自動倉庫１は、前後方向にコンパクトな構成となる。装置前自動倉庫１では、ＦＯＵＰ１０が載置されると共に本体２の前後方向に移動可能なスライド棚４が本体２に設けられている。スライド棚４は、少なくとも一部が通路Ｐ内に位置する第１位置と、通路Ｐ外に位置する第２位置との間で移動可能である。これにより、スライド棚４が第１位置に位置している場合には、移載装置８によりスライド棚４に対してＦＯＵＰ１０を受け渡しでき、スライド棚４が第２位置に位置している場合には、通路Ｐを移載装置８の保持部８ｃが移動できる。第２位置は、第１位置に対し前後方向に関して移載装置８が設けられた側の反対側であるため、第２位置とされたスライド棚４は、移載装置８の動作を妨げない。そのため、従来では移載装置８によるＦＯＵＰ１０の移動経路としてのみ用いられていた通路Ｐの一部を、ＦＯＵＰ１０の収納領域として用いることができる。従って、装置前自動倉庫１では、本体２の寸法を維持したままで、ＦＯＵＰ１０の収容量を増大させることができる。
【００５５】
装置前自動倉庫１では、スライド棚４は、半導体処理装置Ｍの上端部Ｍａより高い位置に設けられている。このため、デッドスペースとなる半導体処理装置Ｍの上方に第２位置を位置させることにより、半導体処理装置Ｍの上方をＦＯＵＰ１０の収納領域として用いることができる。よって、本体２の寸法を維持したままで、ＦＯＵＰ１０の収容量を増大させることができる。
【００５６】
装置前自動倉庫１では、駆動装置８ｆは、左右方向又は上下方向に延在する第１レール８ａと、第１レール８ａに支持され、左右方向及び上下方向のうち第１レール８ａの延在方向ではない方向に延在すると共に、第１レール８ａの延在方向に沿って移動可能である第２レール８ｂと、を有し、保持部８ｃは、第２レール８ｂに支持されると共に第２レール８ｂの延在方向に沿って移動可能である。このため、前後方向にコンパクトな構成の駆動装置８ｆにより、保持部８ｃを上下方向及び左右方向に移動させることができる。
【００５７】
装置前自動倉庫１では、固定棚３は、上下方向及び左右方向のそれぞれに複数設けられており、通路Ｐは、左右方向において対向する一対の固定棚３の間に設けられている。このため、ＦＯＵＰ１０の収納領域を拡大することができる。よって、本体２の寸法を維持したままで、ＦＯＵＰ１０の収容量を増大させることができる。
【００５８】
装置前自動倉庫１では、第１固定棚３ａは、上下方向の最上段において複数設けられており、最上段の位置においてロードポートＬの上方に設けられた軌道Ｔを走行してＦＯＵＰ１０を搬送する天井搬送車Ｖとの間でＦＯＵＰ１０を受け渡し可能であり、スライド棚４は、最上段において左右方向で対向する一対の第１固定棚３ａの間に挟まれる位置に設けられている。このため、天井搬送車Ｖと第１固定棚３ａとの間で受け渡しされるＦＯＵＰ１０を、当該第１固定棚３ａとスライド棚４との間で速やかに移載することができる。
【００５９】
装置前自動倉庫１では、スライド棚４は、一対の第１固定棚３ａの間に２つ並んで設けられている。このため、天井搬送車Ｖと第１固定棚３ａとの間で受け渡しされるＦＯＵＰ１０を、当該第１固定棚３ａとスライド棚４との間で速やかに移載することができると共に、本体２の寸法を維持したままで、ＦＯＵＰ１０の収容量を増大させることができる。
【００６０】
装置前自動倉庫１では、本体２から後方に突出して設けられ、前後方向に沿って延在すると共にスライド棚４を移動可能に支持する支持レール５を備え、支持レール５は、左スライド棚４Ｌにおいて右スライド棚４Ｒと対向する一端部とは左右方向において反対側の他端部に設けられていると共に、右スライド棚４Ｒにおいて左スライド棚４Ｌと対向する一端部とは左右方向において反対側の他端部に設けられており、スライド棚４は、支持レール５の延在方向に沿って第１位置と第２位置との間で移動可能である。このため、前方から見た左スライド棚４Ｌの右側の端部を支持する支持レール、及び、前方から見た右スライド棚４Ｒの左側の端部を支持する支持レールを設けないことにより、通路Ｐが支持レール５によって妨げられない。よって、容易に通路Ｐを形成することができる。
【００６１】
装置前自動倉庫１では、通路Ｐの左右方向の両側に設けられている固定棚３において、第１固定棚３ａの左右方向の距離に比して、第２固定棚３ｂの左右方向の距離は短い。このため、第２固定棚３ｂとロードポートＬとの間でのＦＯＵＰ１０の移載に要する時間を短縮することができる。
【００６２】
装置前自動倉庫１では、本体２は、固定棚３がロードポートＬの上方に位置する第１本体位置と、固定棚３がロードポートＬの上方より前方に位置する第２本体位置との間で移動可能であり、支持レール５は、本体２が第２本体位置にあるときにロードポートＬの上方から退避可能である。このため、例えば装置前自動倉庫１のメンテナンス等のために本体２を第２本体位置に移動させた場合であっても、天井搬送車ＶとロードポートＬとの間でＦＯＵＰ１０を直接移載することが可能となるため、半導体処理装置Ｍの稼働を継続することができる。
【００６３】
装置前自動倉庫１では、左右方向に延びる中心軸線Ａ回りに支持レール５を回動させる回動装置７を更に備え、回動装置７は、支持レール５が前後方向に延在すると共に本体２の後方に突出する第１姿勢と、支持レール５が上下方向に延在する第２姿勢との間で支持レール５を回動させる。このため、例えば装置前自動倉庫１のメンテナンス等のために本体２を第２本体位置に移動させた場合であっても、天井搬送車ＶとロードポートＬとの間でＦＯＵＰ１０を直接移載することが可能となるため、半導体処理装置Ｍの稼働を継続することができる。
【００６４】
［変形例］
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記一実施形態に限定されない。例えば、図８に示されるように、通路Ｐの左右方向の両側に設けられている固定棚３において、最上段に設けられた第１固定棚３ａの左右方向の距離と、第２固定棚３ｂの左右方向の距離とが等しくてもよい。この場合、２つのスライド棚４のうち一方のみを第２位置に位置させるだけで、他方のスライド棚４の位置によらずに、容易に通路Ｐを形成することができる。
【００６５】
また、図９に示されるように、通路Ｐの左右方向の両側に設けられている固定棚３において、最上段に設けられた第１固定棚３ａの左右方向の距離と、第２固定棚３ｂの左右方向の距離とが等しく、且つ、スライド棚４は１つのみ設けられていてもよい。この場合、第１固定棚３ａの左右方向の距離を短くすることができるため、第１固定棚３ａとロードポートＬとの間でのＦＯＵＰ１０の移載に要する時間を短縮することができる。
【００６６】
また、図１０に示されるように、通路Ｐの左右方向の両側に設けられている固定棚３において、最上段に設けられた第１固定棚３ａの左右方向の距離と、第２固定棚３ｂの左右方向の距離とが等しく、且つ、スライド棚４を１つのみ設けられた構成が、左右方向に複数（ここでは、２つ）並んで設けられていてもよい。この場合、第１固定棚３ａの左右方向の距離を短くすることができるため、第１固定棚３ａとロードポートＬとの間でのＦＯＵＰ１０の移載に要する時間を短縮することができる。
【００６７】
また、図１１に示されるように、左スライド棚４Ｌ及び右スライド棚４Ｒのそれぞれが上下方向に２段設けられていてもよい。この場合、ＦＯＵＰ１０の収納領域を拡大することができるため、本体２の寸法を維持したままで、ＦＯＵＰ１０の収容量を一層増大させることができる。
【００６８】
また、図１２に示されるように、通路Ｐの左右方向の両側に設けられている固定棚３において、最上段に設けられた第１固定棚３ａの左右方向の距離と、第２固定棚３ｂの左右方向の距離とが等しく、且つ、左スライド棚４Ｌ及び右スライド棚４Ｒのそれぞれが上下方向に２段設けられていてもよい。この場合、２つのスライド棚４のうち一方のみを第２位置に位置させるだけで、他方のスライド棚４の位置によらずに、容易に通路Ｐを形成することができる。また、ＦＯＵＰ１０の収納領域を拡大することができるため、本体２の寸法を維持したままで、ＦＯＵＰ１０の収容量を一層増大させることができる。
【００６９】
また、移載装置８は、本体２の上下方向に延在する第１レール８ａと、第１レール８ａに支持され、本体２の左右方向に延在すると共に、第１レール８ａの延在方向に沿って移動可能である第２レール８ｂと、第２レール８ｂに支持され、ＦＯＵＰ１０を保持すると共に第２レール８ｂの延在方向に沿って移動可能である保持部８ｃと、を有していてもよい。
【００７０】
また、支持レール５がロードポートＬの上方から退避する態様は、支持レール５の全体が回動することに限定されない。例えば、支持レール５は、本体２から後方に突出している部分のみが折れ曲がることによってロードポートＬの上方から退避してもよく、或いは、支持レール５が本体２から取り外されることによってロードポートＬの上方から退避してもよい。
【００７１】
また、本体２が第１本体位置に位置し、支持レール５が第１姿勢をとり、スライド棚４が第１位置に位置している場合において、天井搬送車Ｖは、スライド棚４にＦＯＵＰ１０を直接移載してもよい。この場合、天井搬送車Ｖが保持しているＦＯＵＰ１０がスライド棚４に載置されるまでに要する時間を短縮することができる。
【００７２】
また、上記実施形態では、天井搬送車ＶはＯＨＴであるとした。しかし、天井搬送車ＶはＯＨＴに限定されず、ロードポートＬの上方を走行し、装置前自動倉庫１に対してＦＯＵＰ１０を移載することができる装置であればよい。
【００７３】
また、被搬送物は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ１０に限定されず、ガラスウェハ、レチクル等が収容されたその他の容器であってもよい。また、装置前自動倉庫１は、半導体製造工場以外の施設にも適用可能である。
【符号の説明】
【００７４】
１…装置前自動倉庫、２…本体、２ａ…収容部、３…固定棚、４…スライド棚、８…移載装置、８ａ…第１レール、８ｂ…第２レール、８ｃ…保持部、８ｆ…駆動装置、１０…ＦＯＵＰ（被搬送物）、Ｌ…ロードポート（移載先）、Ｐ…通路、Ｒ…収容空間。
【図１】
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【図２】
2017186115.tif 000004
【図３】
2017186115.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2017186115.tif 000008
【図７】
2017186115.tif 000009
【図８】
2017186115.tif 000010
【図９】
2017186115.tif 000011
【図１０】
2017186115.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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