(57)【要約】【課題】  摺動部材の温度が１００℃以上であっても摺動部材間の摩擦係数の低い摺動部品を提供することである。【解決手段】  摺動部品１００は、第１の摺動部材１０と、第２の摺動部材２０と、を有する。第２の摺動部材２０は、第１の摺動部材１０に対して相対的に摺動接触する部材である。第１の摺動部材１０の第１面１０ａと、第２の摺動部材２０の第２面２０ａとが、互いに摺動接触している。第１の摺動部材１０の材質は、非導電性ダイヤモンドライクカーボンを有する。第２の摺動部材２０の材質は、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｎｉ合金、Ｃｏ合金のいずれかである。【選択図】図１
2017155896.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の摺動部材と、
前記第１の摺動部材と相対的に摺動接触する第２の摺動部材と、
を有する摺動部品において、
前記第１の摺動部材は、
少なくとも前記第２の摺動部材と接触する面に非導電性ダイヤモンドライクカーボンを有し、
前記第２の摺動部材は、
少なくとも前記第１の摺動部材と接触する面にＮｉ、Ｃｏ、Ｎｉ合金、Ｃｏ合金のいずれかを有すること
を特徴とする摺動部品。
【請求項２】
請求項１に記載の摺動部品において、
水の沸点以上の温度における前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材との間の摩擦係数が、
水の沸点未満の温度における前記第１の摺動部材と前記第２の摺動部材との間の摩擦係数よりも小さいこと
を特徴とする摺動部品。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の摺動部品において、
前記第２の摺動部材は、
前記第１の摺動部材と対面する領域の少なくとも一部に移着物を有すること
を特徴とする摺動部品。
【請求項４】
請求項３に記載の摺動部品において、
前記移着物における１０００ｃｍ-1以上１８００ｃｍ-1以下を範囲とするラマンスペクトルは、
１５００ｃｍ-1以上１６５０ｃｍ-1以下の間に最大値となるピークを有すること
を特徴とする摺動部品。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の摺動部品において、
前記第１の摺動部材の前記非導電性ダイヤモンドライクカーボンは、
導電性を付与するための不純物を添加されていないものであること
を特徴とする摺動部品。
【請求項６】
請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の摺動部品において、
前記第１の摺動部材は、
テトラヘドラル非晶質炭素（ｔａ−Ｃ）であること
を特徴とする摺動部品。
【請求項７】
請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載の摺動部品において、
前記第１の摺動部材は、
前記第２の摺動部材から遠い側から第１層と第２層とを有し、
前記第１層は、
非導電性ダイヤモンドライクカーボンであり、
前記第２層は、
前記第１層に比べてグラファイトに近い構造を有する構造変化層であること
を特徴とする摺動部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書の技術は、相対的に摺動接触する２つの摺動部材を有する摺動部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
相対的に摺動接触する２つの摺動部材を有する摺動部品は、種々の工業製品、工場設備等に用いられている。摺動部品として、例えば、軸受やシャフト等が挙げられる。摺動部品は、スライド摺動、面摺動、回転摺動等、種々の摺動を受ける。そして、駆動系には、多くの摺動部が存在する。
【０００３】
例えば、特許文献１には、摺動面の組織粒界が一方向に傾いており、摺動面の組織粒界が一方向に傾いている層の表面の硬さが、その下の内部の層に比べて大きいことを特徴とする摺動部品が開示されている。また、耐摩耗性に優れた硬化層を有する摺動部材が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−２１２５６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
例えば、車両のエンジンの部品は、エンジンの燃焼時に高温に達する。摺動部品における摺動部材間の摩擦係数は、一般的に低温時と高温時とで異なっている。また、製鉄所等の工場内では、工場設備内で設置されている軸受が高温に達している可能性がある。そこで、高温に達する摺動部品では、高温時における摺動部材間の摩擦係数が小さいことが好ましい。
【０００６】
ところで、摺動部材の表面に水分が付着すると、その表面状態は劇的に変化する。１気圧下では、１００℃以上の摺動部材の表面には水分が付着していない。１００℃未満の摺動部材の表面には水分が付着している可能性がある。したがって、１気圧下では、１００℃を境にして摺動部材間の摩擦係数の特徴が、摺動部材の材質に応じて大きく変化する。そのため、１００℃以上の高温時であっても、摺動部材間の摩擦係数が小さい摺動部品が望まれている。
【０００７】
本明細書の技術は、前述した従来の技術が有する問題点を解決するためになされたものである。すなわちその課題とするところは、摺動部材の温度が１００℃以上であっても摺動部材間の摩擦係数の低い摺動部品を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１の態様における摺動部品は、第１の摺動部材と、第１の摺動部材と相対的に摺動接触する第２の摺動部材と、を有する。第１の摺動部材は、少なくとも第２の摺動部材と接触する面に非導電性ダイヤモンドライクカーボンを有する。第２の摺動部材は、少なくとも第１の摺動部材と接触する面にＮｉ、Ｃｏ、Ｎｉ合金、Ｃｏ合金のいずれかを有する。例えば、第２の摺動部材は、基材の表面にＮｉ、Ｃｏ、Ｎｉ合金、Ｃｏ合金のいずれかをめっきやスパッタリング等により成膜されていてもよい。
【０００９】
一般に、水の沸点は圧力によって変化する。例えば、１気圧の条件下では水の沸点は１００℃である。水の沸点以上においては、第１の摺動部材と第２の摺動部材との間に水分が付着していない。水の沸点未満においては、第１の摺動部材と第２の摺動部材との間に水分が付着しうる。したがって、水の沸点以上の温度条件下と水の沸点未満の温度条件下とで、部材の表面状態は劇的に変化する。その結果、水の沸点以上の温度条件下と水の沸点未満の温度条件下とで、第１の摺動部材と第２の摺動部材との間の摩擦係数は、これらの部材の特性に応じて変化する。そして、この摺動部品においては、水の沸点以上の温度における第１の摺動部材と第２の摺動部材との間の摩擦係数が十分に小さい。
【００１０】
第２の態様における摺動部品においては、水の沸点以上の温度における第１の摺動部材と第２の摺動部材との間の摩擦係数が、水の沸点未満の温度における第１の摺動部材と第２の摺動部材との間の摩擦係数よりも小さい。
【００１１】
第３の態様における摺動部品においては、第２の摺動部材は、第１の摺動部材と対面する領域の少なくとも一部に移着物を有する。
【００１２】
第４の態様における摺動部品においては、移着物における１０００ｃｍ-1以上１８００ｃｍ-1以下を範囲とするラマンスペクトルは、１５００ｃｍ-1以上１６５０ｃｍ-1以下の間に最大値となるピークを有する。
【００１３】
第５の態様における摺動部品においては、第１の摺動部材の非導電性ダイヤモンドライクカーボンは、導電性を付与するための不純物を添加されていない。
【００１４】
第６の態様における摺動部品においては、第１の摺動部材は、テトラヘドラル非晶質炭素（ｔａ−Ｃ）である。
【００１５】
第７の態様における摺動部品においては、第１の摺動部材は、第２の摺動部材から遠い側から第１層と第２層とを有する。第１層は、非導電性ダイヤモンドライクカーボンである。第２層は、第１層に比べてグラファイトに近い構造を有する構造変化層である。
【発明の効果】
【００１６】
本明細書では、摺動部材の温度が１００℃以上であっても摺動部材間の摩擦係数の低い摺動部品が提供されている。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】第１の実施形態における摺動部品の構造を示す図である。
【図２】実験で用いたローラーオンディスク摩擦試験機の概略図である。
【図３】図２を矢印Ｋ１の方向からみた場合の部分図である。
【図４】ディスクを１２０℃に加熱した場合におけるｔａ−Ｃ膜と各種金属との摩擦係数の変化を示すグラフである。
【図５】ｔａ−Ｃ膜と相手部材との間の摩擦係数の温度依存性を示すグラフである。
【図６】摩擦試験後のｔａ−Ｃ膜における構造変化層の屈折率と消衰係数との間の関係を示すグラフである。
【図７】摩擦試験後のディスクの上の様子を示す図である。
【図８】ｔａ−Ｃ膜の相手部材としてＮｉを用いたときの摩擦試験後のディスクの上の移着物のラマンスペクトルを示すグラフである。
【図９】ｔａ−Ｃ膜の相手部材としてＣｏを用いたときの摩擦試験後のディスクの上の移着物のラマンスペクトルを示すグラフである。
【図１０】ｔａ−Ｃ膜の相手部材としてＳＵＪ２を用いたときの摩擦試験後のディスクの上の移着物のラマンスペクトルを示すグラフである。
【図１１】ｔａ−Ｃ膜の相手部材としてＣｕを用いたときの摩擦試験後のディスクの上の移着物のラマンスペクトルを示すグラフである。
【図１２】ｔａ−Ｃ膜の相手部材としてＡｌを用いたときの摩擦試験後のディスクの上の移着物のラマンスペクトルを示すグラフである。
【図１３】ｔａ−Ｃ膜の相手部材として種々の金属を用いたときの摩擦試験後のディスクの上の移着物のラマンスペクトルを示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、具体的な実施形態について、摺動部品を例に挙げて図を参照しつつ説明する。本明細書では、第１の摺動部材と第２の摺動部材とを有し、第１の摺動部材と第２の摺動部材とが摺動接触するものを摺動部品ということとする。
【００１９】
（第１の実施形態）
１．摺動部品
図１は、本実施形態の摺動部品１００の概略構成を示す図である。図１に示すように、摺動部品１００は、第１の摺動部材１０と、第２の摺動部材２０と、を有する。第２の摺動部材２０は、第１の摺動部材１０に対して相対的に摺動接触する部材である。第１の摺動部材１０の第１面１０ａと、第２の摺動部材２０の第２面２０ａとが、互いに摺動接触している。
【００２０】
第１の摺動部材１０の材質は、非導電性ダイヤモンドライクカーボンを有する。第１の摺動部材１０は、導電性を付与するための不純物を添加されていないものである。つまり、第１の摺動部材１０は、不純物を含有しない非導電性ダイヤモンドライクカーボンの単一組成膜である。非導電性ダイヤモンドライクカーボンの電気抵抗率は、１０Ω・ｃｍ以上である。ここで、グラファイトは導電性である。一方、ダイヤモンドは絶縁性である。このため、非導電性ダイヤモンドライクカーボンは、グラファイトよりダイヤモンドに近い構造を有している。非導電性ダイヤモンドライクカーボンは、水素原子を含んでいてもよい。そして、第１の摺動部材１０は、非導電性ダイヤモンドライクカーボンのうち、テトラヘドラル非晶質炭素（ｔａ−Ｃ）であるとよい。テトラヘドラル非晶質炭素（ｔａ−Ｃ）は、一般に水素原子を含んでいない。このように、第１の摺動部材１０は、少なくとも第２の摺動部材２０と接触する第１面１０ａに非導電性ダイヤモンドライクカーボンを有する。
【００２１】
第２の摺動部材２０の材質は、ＮｉまたはＣｏである。第２の摺動部材２０は、少なくとも第１の摺動部材１０と接触する第２面２０ａにＮｉまたはＣｏを有する。
【００２２】
２．摺動部品の摩擦係数
後述するように、非導電性ダイヤモンドライクカーボンとＮｉとを組み合わせた摺動部品では、１００℃以上の状態で、低い摩擦係数を備えている。同様に、非導電性ダイヤモンドライクカーボンとＣｏとを組み合わせた摺動部品では、１００℃以上の状態で、低い摩擦係数を備えている。上記の組み合わせにより、１００℃以上の温度下であっても、低い摩擦係数のままの摺動部品が実現されている。
【００２３】
一般に、水の沸点は圧力によって変化する。例えば、１気圧の条件下では水の沸点は１００℃である。水の沸点以上においては、第１の摺動部材１０と第２の摺動部材２０との間に水分が付着していない。水の沸点未満においては、第１の摺動部材１０と第２の摺動部材２０との間に水分が付着しうる。したがって、水の沸点以上の温度条件下と水の沸点未満の温度条件下とで、部材の表面状態は劇的に変化する。その結果、水の沸点以上の温度条件下と水の沸点未満の温度条件下とで、第１の摺動部材１０と第２の摺動部材２０との間の摩擦係数は、これらの部材の特性に応じて変化する。そして、この摺動部品１００においては、水の沸点以上の温度における第１の摺動部材１０と第２の摺動部材２０との間の摩擦係数が十分に小さい。
【００２４】
そして、この摺動部材１００においては、水の沸点以上の温度における第１の摺動部材１０と第２の摺動部材２０との間の摩擦係数が、水の沸点未満の温度における第１の摺動部材１０と第２の摺動部材２０との間の摩擦係数よりも小さい。
【００２５】
３．移着物
第２の摺動部材２０は、第１の摺動部材１０と対面する第２面２０ａの表面に移着物を有する。つまり、第２の摺動部材２０は、第１の摺動部材１０と対面する領域の少なくとも一部に移着物を有する。この移着物は、主に第１の摺動部材１０から移着したものである。そのため、移着物の成分は、主に第１の摺動部材１０の成分に由来する。ただし、移着物は、第２の摺動部材２０の成分を含むことがある。
【００２６】
移着物は、第１の摺動部材１０と第２の摺動部材２０とがある程度摺動した後に形成される。そして、第１の摺動部材１０および第２の摺動部材２０の材質によるが、移着物は、第１の摺動部材１０と第２の摺動部材２０との間の摩擦係数を小さくする効果を有している。
【００２７】
４．移着物のラマンスペクトル
この移着物についてはラマンスペクトルを測定することができる。後述するように、本実施形態の移着物における１０００ｃｍ-1以上１８００ｃｍ-1以下を範囲とするラマンスペクトルは、１５００ｃｍ-1以上１６５０ｃｍ-1以下の間に最大値となるピークを有する。後述するように、本実施形態の移着物のラマンスペクトルの性質は、第１の摺動部材１０のラマンスペクトルの性質をある程度引き継いでいると考えられる。
【００２８】
５．変形例
５−１．Ｎｉ合金およびＣｏ合金
本実施形態の第２の摺動部材２０の材質はＮｉまたはＣｏである。しかし、これらの代わりに、Ｎｉ合金またはＣｏ合金を用いてもよい。ここで、Ｎｉ合金は、５０％以上のＮｉを含む。Ｃｏ合金は、５０％以上のＣｏを含む。つまり、第２の摺動部材２０の材質は、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｎｉ合金、Ｃｏ合金のいずれかである。つまり、第２の摺動部材２０は、少なくとも第１の摺動部材１０と接触する第２面２０ａにＮｉ、Ｃｏ、Ｎｉ合金、Ｃｏ合金のいずれかを有する。また、Ｎｉ、Ｃｏの双方を含む合金を用いてもよい。
【００２９】
５−２．構造変化層
第１の摺動部材１０は、第２の摺動部材２０から遠い側から第１層と第２層とを有していてもよい。第１層は、第２の摺動部材２０と接触しない層である。第２層は、第２の摺動部材２０と接触する層である。つまり、第２層は、第１面１０ａを有する。第１層の材質は非導電性ダイヤモンドライクカーボンである。第２層の材質は第１層の材質に比べてグラファイトに近い構造を有する。
【００３０】
つまり、第２層は、摩擦により誘起された構造変化層（摩擦誘起構造変化層）である。構造変化層は、第１の摺動部材１０と第２の摺動部材２０とがある程度摺動した後に形成される。つまり、摩擦により、第１の摺動部材１０の表面が、グラファイトに近い構造に変化すると考えられる。
【００３１】
５−３．組み合わせ
上記の変形例を、適宜組み合わせてもよい。例えば、摺動部品は、移着層および構造変化層の双方を有していてもよい。
【００３２】
６．本実施形態のまとめ
本実施形態の摺動部品１００は、第１の摺動部材１０と、第２の摺動部材２０と、を有する。第１の摺動部材１０の材質は、非導電性ダイヤモンドライクカーボンを有する。第２の摺動部材２０の材質は、ＮｉまたはＣｏを有する。上記の組み合わせの摺動部品は、１００℃以上の状態で、低い摩擦係数を備えている。
【実施例】
【００３３】
Ａ．実験１（摩擦係数）
１．実験方法
図２および図３は、本実験で用いたローラーオンディスク摩擦試験機の概略構成を示す図である。実施形態の第１の摺動部材１０に対応する部品として、ローラーを用いた。ローラーは、基材の円筒面にｔａ−Ｃ膜を成膜したものである。基材はＳＵＪ２である。基材の直径は５ｍｍである。基材の円筒長さは５ｍｍである。ｔａ−Ｃ膜は、基材の円筒外面上に円筒形状に成膜されている。ｔａ−Ｃ膜の膜厚は７００ｎｍである。ここで、ｔａ−Ｃ膜は、テトラヘドラル非晶質炭素膜である。ｔａ−Ｃ膜は、日本アイ・ティ・エフ株式会社製である。ｔａ−Ｃ膜の成膜方法は、フィルター型カソーディック真空アーク法（Ｆｉｌｔｅｒｅｄ  Ｃａｔｈｏｄｉｃ  Ｖａｃｕｕｍ  Ａｒｃ：ＦＣＶＡ）である。          
【００３４】
実施形態の第２の摺動部材２０に対応する部品として、ディスクを用いた。ディスクの形状は、正方形の板形状である。正方形の一辺の長さは２０ｍｍである。ディスクの板厚は１ｍｍである。ディスクの材料として、各種の金属材料を用いた。具体的には、Ｎｉ、Ｃｏ、ＳＵＪ２、Ｃｕ（Ｃ１１００）、Ａｌ（Ａ５０５２）である。
【００３５】
この状態で、ローラーの回転を静止した状態で、ディスクを回転させた。ローラーとディスクとの間に加えた力は、０．１ｋｇｆであった。ディスクの回転中心とローラーの中心との間の距離は５ｍｍであった。ディスクの回転速度は１９０ｒｐｍであった。ローラーの中心における速度は、０．１ｍ／ｓであった。ローラーがスライドする距離は、１００ｍであった。そして、ローラーとディスクとの間の摩擦係数を測定した。その際に、ヒーターによりディスクを加熱した。そして、ディスクの温度が２３℃、７０℃、１２０℃の場合の摩擦係数を測定した。なお、当該実験は、１気圧下で行った。
【００３６】
２．実験結果
図４は、ディスクを１２０℃に加熱した場合におけるｔａ−Ｃ膜と各種金属との摩擦係数の変化を示すグラフである。図４の横軸は、ローラーをスライドさせた距離である。図４の縦軸は、ローラーとディスクとの間の摩擦係数である。図４に示すように、ディスクとしてＣｕ、Ａｌを用いた場合には、ディスクの回転開始直後に摩擦係数が急上昇した。ディスクとしてＳＵＪ２を用いた場合には、スライド距離の増加とともに徐々に摩擦係数が増加した。つまり、ディスクを１２０℃に加熱したときには、ＳＵＪ２もしくはＣｕもしくはＡｌと、ｔａ−Ｃと、の間の摩擦係数は高い。
【００３７】
一方、ディスクとしてＣｏ、Ｎｉを用いた場合には、ＣｏまたはＮｉと、ｔａ−Ｃと、の間の摩擦係数は十分に低い。すなわち、ｔａ−Ｃの相手部材となる摺動部材としてＣｏ、Ｎｉは好適である。
【００３８】
図５は、ｔａ−Ｃ膜と相手部材との間の摩擦係数の温度依存性を示すグラフである。図５に示すように、ディスクとしてＣｕ、Ａｌ、ＳＵＪ２を用いた場合には、１２０℃におけるｔａ−Ｃと相手部材（Ｃｕ、Ａｌ、ＳＵＪ２）との間の摩擦係数は、７０℃におけるｔａ−Ｃと相手部材（Ｃｕ、Ａｌ、ＳＵＪ２）との間の摩擦係数よりも大きい。本実験は、１気圧の条件下で行った。したがって、水の沸点以上の温度における第１の摺動部材１０と第２の摺動部材２０との間の摩擦係数が、水の沸点未満の温度における第１の摺動部材１０と第２の摺動部材２０との間の摩擦係数よりも大きい。
【００３９】
一方、ディスクとしてＣｏ、Ｎｉを用いた場合には、１２０℃におけるｔａ−Ｃと相手部材（ＣｏもしくはＮｉ）との間の摩擦係数は、７０℃におけるｔａ−Ｃと相手部材（ＣｏもしくはＮｉ）との間の摩擦係数よりも小さい。本実験は、１気圧の条件下で行った。したがって、水の沸点以上の温度における第１の摺動部材１０と第２の摺動部材２０との間の摩擦係数が、水の沸点未満の温度における第１の摺動部材１０と第２の摺動部材２０との間の摩擦係数よりも小さい。
【００４０】
これは、水の沸点以上で第１の摺動部材１０および第２の摺動部材２０の表面状態が劇的に変化したためであると考えられる。そして、ｔａ−Ｃの相手部材としてＣｏもしくはＮｉを用いた摺動部品は、摺動部材の周囲の温度が１００℃以上の環境下になりうる装置の内部の摺動部品として好適である。例えば、摺動部材の周囲の温度が１００℃以上２００℃以下の環境下で、上記の摺動部品は好適である。
【００４１】
Ｂ．実験２（構造変化層）
１．実験方法
上記の実験１の摩擦試験後に、反射分光膜厚計を用いて構造変化層の光学特性を測定した。
【００４２】
２．実験結果
図６は、摩擦試験後のｔａ−Ｃ膜における構造変化層の屈折率と消衰係数との間の関係を示すグラフである。図６の横軸は消衰係数である。図６の縦軸は屈折率である。消衰係数が大きいほど、測定する層の光の吸収が強い。屈折率が大きいほど、測定する層の密度が高い。
【００４３】
図６において、「ａｓ−ｄｅｐｏｓｉｔｅｄ」とは、成膜直後の状態、すなわち摩擦試験による構造変化層の形成前の状態を測定したことを意味する。図６に示すように、摩擦試験後には、ｔａ−Ｃの相手部材としていずれの材料を用いた場合であっても、消衰係数がａｓ−ｄｅｐｏｓｉｔｅｄの場合よりも大きい。
【００４４】
つまり、ローラーをディスクにより摩擦することによって、ｔａ−Ｃ膜は光をより吸収するようになったことが分かる。ここで、黒色のグラファイトは透明のダイヤモンドより光を吸収する。つまり、この実験結果は、ｔａ−Ｃ膜の表面に、グラファイトに近い構造の構造変化層が形成されたことを示唆している。
【００４５】
Ｃ．実験３（移着物）
１．実験方法
図７は、上記の摩擦試験後におけるディスクの上の様子を示す図である。図７に示すように、ディスクの上面には、移着物が付着している。そして、その移着物が付着しているディスクと、摩擦試験を行う前の通常のディスクと、に対して、ラマンスペクトルを測定した。
【００４６】
２．実験結果
図８は、ｔａ−Ｃ膜の相手部材としてＮｉを用いたときの摩擦試験後のディスクの上の移着物のラマンスペクトルを示すグラフである。図８の横軸はラマンシフト（ｃｍ-1）である。図８の縦軸は強度である。そして、図８中、強度の大きいスペクトルが、移着物を有するディスク（摩擦試験後）のスペクトルである。そして、図８中、強度の小さいスペクトルが、移着物を有さないディスク（摩擦試験前）のスペクトルである。これらの縦軸、横軸およびスペクトルの区別については、これ以降の図についても同様である。
【００４７】
図８に示すように、ｔａ−Ｃ膜の相手部材としてＮｉを用いた場合には、ラマンスペクトルは、１５００ｃｍ-1以上１６５０ｃｍ-1以下の領域Ｒ１に最大値となるピークを有する。１０００ｃｍ-1以上１８００ｃｍ-1以下を測定範囲とすると、このピークは、この測定範囲において最大値をとる。
【００４８】
図９は、ｔａ−Ｃ膜の相手部材としてＣｏを用いたときの摩擦試験後のディスクの上の移着物のラマンスペクトルを示すグラフである。図９に示すように、ｔａ−Ｃ膜の相手部材としてＣｏを用いた場合には、ラマンスペクトルは、１５００ｃｍ-1以上１６５０ｃｍ-1以下の領域Ｒ１に最大値となるピークを有する。１０００ｃｍ-1以上１８００ｃｍ-1以下を測定範囲とすると、このピークは、この測定範囲において最大値をとる。
【００４９】
図１０は、ｔａ−Ｃ膜の相手部材としてＳＵＪ２を用いたときの摩擦試験後のディスクの上の移着物のラマンスペクトルを示すグラフである。図１０に示すように、ｔａ−Ｃ膜の相手部材としてＳＵＪ２を用いた場合には、ラマンスペクトルは、１３２０ｃｍ-1近傍で最大値となるピークを有する。１５００ｃｍ-1以上１６５０ｃｍ-1以下の領域Ｒ１にもピークを有するが、このピークは、１０００ｃｍ-1以上１８００ｃｍ-1以下の測定範囲内における最大値ではない。
【００５０】
図１１は、ｔａ−Ｃ膜の相手部材としてＣｕを用いたときの摩擦試験後のディスクの上の移着物のラマンスペクトルを示すグラフである。図１１に示すように、ｔａ−Ｃ膜の相手部材としてＣｕを用いた場合には、ラマンスペクトルは、１０００ｃｍ-1以上１８００ｃｍ-1以下の測定範囲内でピークを有さない。
【００５１】
図１２は、ｔａ−Ｃ膜の相手部材としてＡｌを用いたときの摩擦試験後のディスクの上の移着物のラマンスペクトルを示すグラフである。図１２に示すように、ｔａ−Ｃ膜の相手部材としてＡｌを用いた場合には、ラマンスペクトルは、１０００ｃｍ-1以上１８００ｃｍ-1以下の測定範囲内でピークを有さない。
【００５２】
図１３は、ｔａ−Ｃ膜の相手部材として種々の金属を用いたときの摩擦試験後のディスクの上の移着物のラマンスペクトルを示すグラフである。図１３に示すように、ｔａ−Ｃ膜の相手部材としてＣｏ、Ｎｉを用いた場合には、ラマンスペクトルは、１５００ｃｍ-1以上１６５０ｃｍ-1以下の区間（領域Ｒ１）に最大値となるピークを有する。また、ｔａ−Ｃ膜の成膜直後のラマンスペクトルも、１０００ｃｍ-1以上１８００ｃｍ-1以下の測定範囲内で１５００ｃｍ-1以上１６５０ｃｍ-1以下の間に最大値となるピークを有する。
【００５３】
以上のことから、ｔａ−Ｃ膜の相手部材としてＣｏ、Ｎｉを用いた場合には、第２の摺動部材２０の第２面２０ａの表面に、第１の摺動部材１０であるｔａ−Ｃ膜に由来する移着膜が好適に形成されたと考えらえる。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本明細書の摺動部品は、自動車のエンジンにおける摺動部品、例えば、シリンダブロック、ピストンリングに適用することができる。また、この摺動部品は、製鉄所等、やや高温になる工場内の軸受等に適用することができる。また、オイルを用いることが好ましくない食品工場における加熱装置の軸受、アクチュエーター等に適用することができる。
【符号の説明】
【００５５】
１００…摺動部品
１０…第１の摺動部材
１０ａ…第１面
２０…第２の摺動部材
２０ａ…第２面
【図１】
2017155896.tif 000003
【図２】
2017155896.tif 000004
【図３】
2017155896.tif 000005
【図４】
2017155896.tif 000006
【図５】
2017155896.tif 000007
【図６】
2017155896.tif 000008
【図７】
2017155896.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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