(57)【要約】【課題】従来の液体噴射ヘッドでは、圧力室の寸法を測定することが難しい。【解決手段】複数の圧力室のうち液体を導入可能な圧力室を区画する壁のうちの一部の壁を挟んで圧力室に重なる位置に設けられた圧電素子を有し、圧電素子は、一部の壁の圧力室側と反対側に設けられた下電極と、下電極の一部の壁側と反対側に設けられた圧電体と、圧電体の下電極側と反対側に設けられた上電極と、上電極の圧電体側と反対側に設けられたリード配線と、を有し、下電極は、圧電素子毎に個別に設けられており、上電極は、複数の圧電素子間にまたがって設けられており、複数の圧力室は、検査用圧力室を含んでおり、検査用圧力室を平面視したとき、少なくとも下電極が検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている、ことを特徴とする液体噴射ヘッド。【選択図】図８
2017114032.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射可能な液体噴射ヘッドであって、
複数の圧力室と、
前記複数の圧力室のうち前記液体を導入可能な圧力室を区画する壁のうちの一部の壁を挟んで前記圧力室に重なる位置に設けられた圧電素子と、
を有し、
前記圧電素子は、
前記一部の壁の前記圧力室側と反対側に設けられた下電極と、
前記下電極の前記一部の壁側と反対側に設けられた圧電体と、
前記圧電体の前記下電極側と反対側に設けられた上電極と、
前記上電極の前記圧電体側と反対側に設けられたリード配線と、
を有し、
前記下電極は、前記圧電素子毎に個別に設けられており、
前記上電極は、複数の前記圧電素子間にまたがって設けられており、
前記複数の圧力室は、検査用圧力室を含んでおり、
前記一部の壁から前記検査用圧力室に向かう方向に前記検査用圧力室を平面視したとき、前記圧電素子を構成する前記下電極と、前記圧電体と、前記上電極と、前記リード配線とのうちの少なくとも前記下電極が、前記検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記一部の壁から前記検査用圧力室に向かう方向に前記検査用圧力室を平面視したとき、
前記圧電体と、前記上電極と、前記リード配線とが、前記検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
液体を噴射可能な液体噴射ヘッドであって、
複数の圧力室と、
前記複数の圧力室のうち前記液体を導入可能な圧力室を区画する壁のうちの一部の壁を挟んで前記圧力室に重なる位置に設けられた圧電素子と、
を有し、
前記圧電素子は、
前記一部の壁の前記圧力室側と反対側に設けられた下電極と、
前記下電極の前記一部の壁側と反対側に設けられた圧電体と、
前記圧電体の前記下電極側と反対側に設けられた上電極と、
前記上電極の前記圧電体側と反対側に設けられたリード配線と、
を有し、
前記下電極は、前記圧電素子毎に個別に設けられており、
前記上電極は、複数の前記圧電素子間にまたがって設けられており、
前記複数の圧力室は、検査用圧力室を含んでおり、
前記一部の壁から前記検査用圧力室に向かう方向に前記検査用圧力室を平面視したとき、
前記下電極が、前記検査用圧力室に重なる領域よりも外側に位置し、
前記圧電体と、前記上電極とが、前記検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
液体を噴射可能な液体噴射ヘッドであって、
複数の圧力室と、
前記複数の圧力室のうち前記液体を導入可能な圧力室を区画する壁のうちの一部の壁を挟んで前記圧力室に重なる位置に設けられた圧電素子と、
を有し、
前記圧電素子は、
前記一部の壁の前記圧力室側と反対側に設けられた下電極と、
前記下電極の前記一部の壁側と反対側に設けられた圧電体と、
前記圧電体の前記下電極側と反対側に設けられた上電極と、
前記上電極の前記圧電体側と反対側に設けられたリード配線と、
を有し、
前記下電極は、前記圧電素子毎に個別に設けられており、
前記上電極は、複数の前記圧電素子間にまたがって設けられており、
前記複数の圧力室は、検査用圧力室を含んでおり、
前記一部の壁から前記検査用圧力室に向かう方向に前記検査用圧力室を平面視したとき、
前記下電極と、前記圧電体とが、前記検査用圧力室に重なる領域よりも外側に位置し、
前記上電極が、前記検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項３または４に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記一部の壁から前記検査用圧力室に向かう方向に前記検査用圧力室を平面視したとき、
前記リード配線が、前記検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項６】
液体を噴射可能な液体噴射ヘッドであって、
複数の圧力室と、
前記複数の圧力室のうち前記液体を導入可能な圧力室を区画する壁のうちの一部の壁を挟んで前記圧力室に重なる位置に設けられた圧電素子と、
を有し、
前記圧電素子は、
前記一部の壁の前記圧力室側と反対側に設けられた下電極と、
前記下電極の前記一部の壁側と反対側に設けられた圧電体と、
前記圧電体の前記下電極側と反対側に設けられた上電極と、
前記上電極の前記圧電体側と反対側に設けられたリード配線と、
を有し、
前記下電極は、前記圧電素子毎に個別に設けられており、
前記上電極は、複数の前記圧電素子間にまたがって設けられており、
前記複数の圧力室は、検査用圧力室を含んでおり、
前記一部の壁から前記検査用圧力室に向かう方向に前記検査用圧力室を平面視したとき、
前記下電極と、前記上電極とが、前記検査用圧力室に重なる領域よりも外側に位置し、
前記圧電体と、前記リード配線とが、前記検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項７】
液体を噴射可能な液体噴射ヘッドであって、
複数の圧力室と、
前記複数の圧力室のうち前記液体を導入可能な圧力室を区画する壁のうちの一部の壁を挟んで前記圧力室に重なる位置に設けられた圧電素子と、
を有し、
前記圧電素子は、
前記一部の壁の前記圧力室側と反対側に設けられた下電極と、
前記下電極の前記一部の壁側と反対側に設けられた圧電体と、
前記圧電体の前記下電極側と反対側に設けられた上電極と、
前記上電極の前記圧電体側と反対側に設けられたリード配線と、
を有し、
前記下電極は、前記圧電素子毎に個別に設けられており、
前記上電極は、複数の前記圧電素子間にまたがって設けられており、
前記複数の圧力室は、検査用圧力室を含んでおり、
前記一部の壁から前記検査用圧力室に向かう方向に前記検査用圧力室を平面視したとき、
前記下電極と、前記圧電体と、前記上電極とが、前記検査用圧力室に重なる領域よりも外側に位置し、
前記リード配線が、前記検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記複数の圧力室が所定の方向に配列し、
前記複数の圧力室の配列の端部に、前記検査用圧力室が位置する、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドを有する、
ことを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子の駆動により液体を噴射する液体噴射ヘッド、および当該液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置は液体噴射ヘッドを備え、この噴射ヘッドから各種の液体を噴射する装置である。この液体噴射装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。
【０００３】
上記の液体噴射ヘッドは、圧力室に液体を導入し、当該圧力室の液体に圧力変動を生じさせて、この圧力室に通じるノズルから液体を噴射するように構成されている。上記圧力室内の液体に圧力変動を生じさせる圧力発生手段としては、圧電素子が好適に用いられる。この圧電素子としては、例えば、圧力室に近い側から順に、圧力室毎に設けられる個別電極として機能する下電極膜と、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の圧電体層と、複数の圧力室に共通な共通電極として機能する上電極膜とが、成膜技術によりそれぞれ積層形成されて構成される（例えば、特許文献１）。このような圧電素子では、圧力室に対応する領域において、圧電体層が下電極膜を覆うように、圧電体層の幅が下電極膜の幅よりも幅広に形成されている。そして、圧電体層において上下の電極膜によって挟まれた部分が、電極膜への電圧の印加によって変形する能動部（活性部）となる。このような圧電素子は、圧力室の一側（例えば、ノズルが形成されるノズルプレートとは反対側）を区画した振動板上に形成される。この振動板は、可撓性を有し、圧電素子の変形に伴って変形する。
【０００４】
ここで、液体噴射ヘッドの品質の指標として、排除体積と呼ばれるものがある。排除体積とは、所定の駆動電圧を印加して圧電素子を駆動させたときの圧力室の容積の変化量（圧力室から排除される液体の体積）を意味する。この排除体積に応じて噴射される液体の量が変化する。所定の液体噴射を実現するためには、排除体積が所定の量となっている必要がある。このような排除体積は、圧力室の寸法に応じて増減する。このため、圧力室の寸法を測定し、管理することが好ましい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−１６０３９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
圧力室の寸法を測定する方法としては、例えば、液体噴射ヘッドの製造過程において、圧力室をノズルプレートで区画する前に、工具顕微鏡などで圧力室の寸法を光学的に測定する方法が挙げられる。しかしながら、特許文献１に記載の液体噴射ヘッドでは、圧力室の寸法を測定することが難しいという課題があった。特許文献１に記載の液体噴射ヘッドにて、ノズルプレートを接合する前にノズルプレート側から、圧力室の開口部の壁面に顕微鏡の焦点を合わせ、開口部の寸法を測定することによって圧力室の寸法を測定する方法が採用される。このとき、顕微鏡の視野には下電極や上電極の像も映り込む。顕微鏡の焦点を開口部の壁面に合わせているため、焦点深度により、下電極や上電極の像はぼやける。これにより、下電極や上電極のぼやけた像が、焦点の合った開口部の壁面の像に干渉しやすい。この結果、開口部の壁面の輪郭部が不鮮明になり、開口部の壁面を把握しにくくなるため、圧力室の寸法を測定しにくくなる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００８】
［適用例１］本適用例に係る液体噴射ヘッドは、液体を噴射可能な液体噴射ヘッドであって、複数の圧力室と、前記複数の圧力室のうち前記液体を導入可能な圧力室を区画する壁のうちの一部の壁を挟んで前記圧力室に重なる位置に設けられた圧電素子と、を有し、前記圧電素子は、前記一部の壁の前記圧力室側と反対側に設けられた下電極と、前記下電極の前記一部の壁側と反対側に設けられた圧電体と、前記圧電体の前記下電極側と反対側に設けられた上電極と、前記上電極の前記圧電体側と反対側に設けられたリード配線と、を有し、前記下電極は、前記圧電素子毎に個別に設けられており、前記上電極は、複数の前記圧電素子間にまたがって設けられており、前記複数の圧力室は、検査用圧力室を含んでおり、前記一部の壁から前記検査用圧力室に向かう方向に前記検査用圧力室を平面視したとき、前記圧電素子を構成する前記下電極と、前記圧電体と、前記上電極と、前記リード配線とのうちの少なくとも前記下電極が、前記検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている、ことを特徴とする。
【０００９】
本適用例では、一部の壁から検査用圧力室に向かう方向に検査用圧力室を平面視したとき、下電極が検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている。したがって、下電極の輪郭は、検査用圧力室の領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室から一部の壁に向かう方向に検査用圧力室を光学的に観測したときに、下電極の輪郭が検査用圧力室の領域内に観測されない。このことにより、検査用圧力室を光学的に観測したときに、検査用圧力室の輪郭の像が、下電極の像に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室を光学的に観測したときに、検査用圧力室の輪郭を明確に把握しやすくなるので、検査用圧力室の寸法を測定しやすい。
【００１０】
［適用例２］上記の液体噴射ヘッドでは、前記一部の壁から前記検査用圧力室に向かう方向に前記検査用圧力室を平面視したとき、前記圧電体と、前記上電極と、前記リード配線とが、前記検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている、ことが好ましい。
【００１１】
本適用例によれば、検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられた下電極に加え、圧電体と、上電極と、リード配線とが、検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられているので、検査用圧力室を区画する壁のうちの一部の壁の剛性が高められる。
【００１２】
［適用例３］本適用例に係る液体噴射ヘッドは、液体を噴射可能な液体噴射ヘッドであって、複数の圧力室と、前記複数の圧力室のうち前記液体を導入可能な圧力室を区画する壁のうちの一部の壁を挟んで前記圧力室に重なる位置に設けられた圧電素子と、を有し、前記圧電素子は、前記一部の壁の前記圧力室側と反対側に設けられた下電極と、前記下電極の前記一部の壁側と反対側に設けられた圧電体と、前記圧電体の前記下電極側と反対側に設けられた上電極と、前記上電極の前記圧電体側と反対側に設けられたリード配線と、を有し、前記下電極は、前記圧電素子毎に個別に設けられており、前記上電極は、複数の前記圧電素子間にまたがって設けられており、前記複数の圧力室は、検査用圧力室を含んでおり、前記一部の壁から前記検査用圧力室に向かう方向に前記検査用圧力室を平面視したとき、前記圧電素子を構成する前記下電極が、前記検査用圧力室の外側に設けられ、前記圧電素子を構成する前記圧電体と、前記上電極とが、前記検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている、ことを特徴とする。
【００１３】
本適用例では、一部の壁から検査用圧力室に向かう方向に検査用圧力室を平面視したとき、下電極が検査用圧力室に重なる領域よりも外側に位置し、圧電体と上電極とが検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている。このため、下電極の輪郭は、検査用圧力室の領域よりも外側に位置する。また、圧電体の輪郭も、検査用圧力室の領域よりも外側に位置する。さらに、上電極の輪郭も、検査用圧力室の領域よりも外側に位置する。これにより、検査用圧力室から一部の壁に向かう方向に検査用圧力室を光学的に観測したときに、下電極の輪郭、および圧電体の輪郭が検査用圧力室の領域内に観測されない。また、圧電体が光透過性を有する場合においては、上電極の輪郭も検査用圧力室の領域内に観測されない。このため、検査用圧力室を光学的に観測したときに、下電極、圧電体、および上電極の像が検査用圧力室の輪郭の像に干渉することを低く抑えることができる。この結果、検査用圧力室を光学的に観測したときに、検査用圧力室の輪郭を明確に把握しやすいので、検査用圧力室の寸法を測定しやすい。
【００１４】
［適用例４］本適用例に係る液体噴射ヘッドは、液体を噴射可能な液体噴射ヘッドであって、複数の圧力室と、前記複数の圧力室のうち前記液体を導入可能な圧力室を区画する壁のうちの一部の壁を挟んで前記圧力室に重なる位置に設けられた圧電素子と、を有し、前記圧電素子は、前記一部の壁の前記圧力室側と反対側に設けられた下電極と、前記下電極の前記一部の壁側と反対側に設けられた圧電体と、前記圧電体の前記下電極側と反対側に設けられた上電極と、前記上電極の前記圧電体側と反対側に設けられたリード配線と、を有し、前記下電極は、前記圧電素子毎に個別に設けられており、前記上電極は、複数の前記圧電素子間にまたがって設けられており、前記複数の圧力室は、検査用圧力室を含んでおり、前記一部の壁から前記検査用圧力室に向かう方向に前記検査用圧力室を平面視したとき、前記圧電素子を構成する前記下電極と、前記圧電体とが、前記検査用圧力室の外側に設けられ、前記圧電素子を構成する前記上電極が、前記検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている、ことを特徴とする。
【００１５】
本適用例では、一部の壁から検査用圧力室に向かう方向に検査用圧力室を平面視したとき、下電極と圧電体とが検査用圧力室に重なる領域よりも外側に位置し、上電極が検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている。このため、下電極の輪郭は、検査用圧力室の領域よりも外側に位置する。また、圧電体の輪郭も、検査用圧力室の領域よりも外側に位置する。さらに、上電極の輪郭も、検査用圧力室の領域よりも外側に位置する。これにより、検査用圧力室から一部の壁に向かう方向に検査用圧力室を光学的に観測したときに、下電極の輪郭、および圧電体の輪郭が検査用圧力室の領域内に観測されない。また、上電極の輪郭も検査用圧力室の領域内に観測されない。このため、検査用圧力室を光学的に観測したときに、下電極、圧電体、および上電極の像が検査用圧力室の輪郭の像に干渉することを低く抑えることができる。この結果、検査用圧力室を光学的に観測したときに、検査用圧力室の輪郭を明確に把握しやすいので、検査用圧力室の寸法を測定しやすい。
【００１６】
［適用例５］上記の液体噴射ヘッドでは、前記一部の壁から前記検査用圧力室に向かう方向に前記検査用圧力室を平面視したとき、前記リード配線が、前記検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている、ことが好ましい。
【００１７】
本適用例によれば、リード配線が、検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられているので、検査用圧力室を区画する壁のうちの一部の壁の剛性が高められる。
【００１８】
［適用例６］本適用例に係る液体噴射ヘッドは、液体を噴射可能な液体噴射ヘッドであって、複数の圧力室と、前記複数の圧力室のうち前記液体を導入可能な圧力室を区画する壁のうちの一部の壁を挟んで前記圧力室に重なる位置に設けられた圧電素子と、を有し、前記圧電素子は、前記一部の壁の前記圧力室側と反対側に設けられた下電極と、前記下電極の前記一部の壁側と反対側に設けられた圧電体と、前記圧電体の前記下電極側と反対側に設けられた上電極と、前記上電極の前記圧電体側と反対側に設けられたリード配線と、を有し、前記下電極は、前記圧電素子毎に個別に設けられており、前記上電極は、複数の前記圧電素子間にまたがって設けられており、前記複数の圧力室は、検査用圧力室を含んでおり、前記一部の壁から前記検査用圧力室に向かう方向に前記検査用圧力室を平面視したとき、前記圧電素子を構成する前記下電極と、前記上電極とが、前記検査用圧力室の外側に設けられ、前記圧電素子を構成する前記圧電体と、前記リード配線とが、前記検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている、ことを特徴とする。
【００１９】
本適用例では、一部の壁から検査用圧力室に向かう方向に検査用圧力室を平面視したとき、下電極と上電極とが検査用圧力室に重なる領域よりも外側に位置し、圧電体とリード配線とが検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている。このため、下電極の輪郭と上電極の輪郭とは、検査用圧力室の領域よりも外側に位置する。また、圧電体の輪郭も、検査用圧力室の領域よりも外側に位置する。さらに、リード配線の輪郭も、検査用圧力室の領域よりも外側に位置する。これにより、検査用圧力室から一部の壁に向かう方向に検査用圧力室を光学的に観測したときに、下電極の輪郭、および上電極の輪郭が検査用圧力室の領域内に観測されない。さらに、圧電体の輪郭も検査用圧力室の領域内に観測されない。また、圧電体が光透過性を有する場合においては、リード配線の輪郭も検査用圧力室の領域内に観測されない。このため、検査用圧力室を光学的に観測したときに、下電極、圧電体、上電極、およびリード配線の像が検査用圧力室の輪郭の像に干渉することを低く抑えることができる。この結果、検査用圧力室を光学的に観測したときに、検査用圧力室の輪郭を明確に把握しやすいので、検査用圧力室の寸法を測定しやすい。
【００２０】
［適用例７］本適用例に係る液体噴射ヘッドは、液体を噴射可能な液体噴射ヘッドであって、複数の圧力室と、前記複数の圧力室のうち前記液体を導入可能な圧力室を区画する壁のうちの一部の壁を挟んで前記圧力室に重なる位置に設けられた圧電素子と、を有し、前記圧電素子は、前記一部の壁の前記圧力室側と反対側に設けられた下電極と、前記下電極の前記一部の壁側と反対側に設けられた圧電体と、前記圧電体の前記下電極側と反対側に設けられた上電極と、前記上電極の前記圧電体側と反対側に設けられたリード配線と、を有し、前記下電極は、前記圧電素子毎に個別に設けられており、前記上電極は、複数の前記圧電素子間にまたがって設けられており、前記複数の圧力室は、検査用圧力室を含んでおり、前記一部の壁から前記検査用圧力室に向かう方向に前記検査用圧力室を平面視したとき、前記圧電素子を構成する前記下電極と、前記圧電体と、前記上電極とが、前記検査用圧力室の外側に設けられ、前記圧電素子を構成する前記リード配線が、前記検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている、ことを特徴とする。
【００２１】
本適用例では、一部の壁から検査用圧力室に向かう方向に検査用圧力室を平面視したとき、下電極と圧電体と上電極とが検査用圧力室に重なる領域よりも外側に位置し、リード配線が検査用圧力室をまたぐ領域にわたって設けられている。このため、下電極の輪郭と、圧電体の輪郭と、上電極の輪郭とは、検査用圧力室の領域よりも外側に位置する。また、リード配線の輪郭も、検査用圧力室の領域よりも外側に位置する。これにより、検査用圧力室から一部の壁に向かう方向に検査用圧力室を光学的に観測したときに、下電極の輪郭、圧電体の輪郭、および上電極の輪郭が検査用圧力室の領域内に観測されない。また、リード配線の輪郭も検査用圧力室の領域内に観測されない。このため、検査用圧力室を光学的に観測したときに、下電極、圧電体、上電極、およびリード配線の像が検査用圧力室の輪郭の像に干渉することを低く抑えることができる。この結果、検査用圧力室を光学的に観測したときに、検査用圧力室の輪郭を明確に把握しやすいので、検査用圧力室の寸法を測定しやすい。
【００２２】
［適用例８］上記の液体噴射ヘッドでは、前記複数の圧力室が所定の方向に配列し、前記複数の圧力室の配列の端部に、前記検査用圧力室が位置する、ことが好ましい。
【００２３】
本適用例によれば、複数の圧力室の配列の端部に検査用圧力室が位置するため、検査用圧力室を他の圧力室から区別しやすい。
【００２４】
［適用例９］本適用例に係る液体噴射装置は、上記の液体噴射ヘッドを有する。
【００２５】
本適用例の液体噴射装置は、圧力室の寸法を測定しやすい液体噴射ヘッドを有している。この液体噴射ヘッドによれば、液体噴射ヘッドにおける液体の噴射性能の水準を管理しやすい。よって、この液体噴射装置では、液体の噴射性能の水準を管理しやすくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】プリンターの構成を説明する斜視図である。
【図２】記録ヘッドの分解斜視図である。
【図３】記録ヘッドの平面図である。
【図４】記録ヘッドの要部の構成を説明するノズル列に直交する方向に沿った断面の模式図である。
【図５】図３におけるＡ−Ａ断面図である。
【図６】記録ヘッドの圧力室の配列における検査用圧力室の配置を説明する平面図である。
【図７】従来の圧力室の寸法測定方法で観測される、圧力室開口部壁面、下電極、および上電極の輪郭を説明した平面図および断面図である。
【図８】実施例１を説明するための断面図である。
【図９Ａ】実施例１の製造方法を説明するための断面図である。
【図９Ｂ】実施例１の製造方法を説明するための断面図である。
【図９Ｃ】実施例１の製造方法を説明するための断面図である。
【図９Ｄ】実施例１の製造方法を説明するための断面図である。
【図９Ｅ】実施例１の製造方法を説明するための断面図である。
【図９Ｆ】実施例１の製造方法を説明するための断面図である。
【図９Ｇ】実施例１の製造方法を説明するための断面図である。
【図９Ｈ】実施例１の製造方法を説明するための断面図である。
【図１０】実施例２を説明するための断面図である。
【図１１】実施例３を説明するための断面図である。
【図１２】実施例４を説明するための断面図である。
【図１３】実施例５を説明するための断面図である。
【図１４】実施例６を説明するための断面図である。
【図１５】実施例７を説明するための断面図である。
【図１６】実施例８を説明するための断面図である。
【図１７】実施例９を説明するための断面図である。
【図１８】実施例１０を説明するための断面図である。
【図１９】実施例１１を説明するための断面図である。
【図２０】実施例１２を説明するための断面図である。
【図２１】実施例１３を説明するための断面図である。
【図２２】実施例１４を説明するための断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明では、本発明の液体噴射装置として、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）を搭載したインクジェット式プリンター（以下、プリンター）を例に挙げる。さらに、以下の各図においては、各層や各部材を認識可能な程度の大きさにするため、各層や各部材の尺度を実際とは異ならしめている。
【００２８】
プリンター１の構成について、図１を参照して説明する。プリンター１は、記録紙等の記録媒体２（着弾対象の一種）の表面に対して液体状のインクを噴射して画像等の記録を行う装置である。このプリンター１は、記録ヘッド３、この記録ヘッド３が取り付けられるキャリッジ４、キャリッジ４を主走査方向に移動させるキャリッジ移動機構５、記録媒体２を副走査方向に移送する搬送機構６等を備えている。ここで、上記のインクは、本発明の液体の一種であり、液体供給源としてのインクカートリッジ７に貯留されている。このインクカートリッジ７は、記録ヘッド３に対して着脱可能に装着される。なお、インクカートリッジがプリンターの本体側に配置され、当該インクカートリッジからインク供給チューブを通じて記録ヘッドに供給される構成を採用することもできる。
【００２９】
上記のキャリッジ移動機構５はタイミングベルト８を備えている。そして、このタイミングベルト８はＤＣモーター等のパルスモーター９により駆動される。従ってパルスモーター９が作動すると、キャリッジ４は、プリンター１に架設されたガイドロッド１０に案内されて、主走査方向（記録媒体２の幅方向）に往復移動する。
【００３０】
図２は、本実施形態の記録ヘッド３の構成を示す分解斜視図である。また、図３は、記録ヘッド３の平面図（上面図）である。なお、図３は、後述する封止板２０が接合されていない状態を示している。すなわち、図３は、後述する各層が積層された振動板２１（本発明における圧力室を区画する壁のうちの一部の壁に相当）の平面図である。さらに、図４及び図５は、記録ヘッド３の要部構成を示す図であり、図４はノズル列に直交する方向に沿った断面の模式図、図５はノズル列方向に沿った断面（図３におけるＡ−Ａ′断面）の模式図である。
【００３１】
本実施形態における記録ヘッド３は、圧力室形成基板１５、ノズルプレート１６、アクチュエーターユニット１４、及び、封止板２０等を積層して構成されている。圧力室形成基板１５は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなる板材である。この圧力室形成基板１５には、複数の圧力室２２となる空間（以下、適宜、圧力室空間と称する。）が、隔壁２２ａ（図５）を間に挟んで並設されている。複数の圧力室２２は、所定の方向に配列している。これらの圧力室空間は、ノズル列方向に直交する方向に長尺な空部であり、ノズルプレート１６の各ノズル２５に一対一に対応して設けられている。すなわち、各圧力室空間（或いは圧力室２２）は、ノズル列方向に沿って、ノズル２５の形成ピッチと同じピッチで形成されている。このため、複数の圧力室２２は、ノズル列の方向に沿って配列している。
【００３２】
なお、本実施形態における圧力室２２（圧力室空間）の上部開口（ノズル２５側とは反対側の開口）は、図３に示すように、台形状を呈している。また、圧力室２２（圧力室空間）の長手方向のノズル２５側端部の壁２２ｂは、図４に示すように、圧力室形成基板１５の上下面に対して部分的に傾斜している。この圧力室２２（圧力室空間）の寸法に関し、圧力室２２の高さ（すなわち、圧力室形成基板１５の厚さ）は、約７０〔μｍ〕に設定されている。また、圧力室２２の長手方向の長さ（ノズル列方向に直交する方向の寸法）は、約３６０〔μｍ〕に設定されている。さらに、図５に示す圧力室２２の短手方向の幅ｗ１（ノズル列方向の寸法）は、約７０〔μｍ〕に設定されている。なお、本実施形態における圧力室２２の寸法（長さ及び幅）は、圧力室空間の上部開口（振動板２１側の開口）の内寸法を意味している。
【００３３】
また、図２に示すように、圧力室形成基板１５において、圧力室空間に対して当該圧力室空間長手方向の側方（ノズル２５との連通側とは反対側）に外れた領域には、圧力室形成基板１５を貫通する連通部２３が、圧力室空間の並設方向に沿って形成されている。この連通部２３は、各圧力室空間に共通な空部である。この連通部２３と各圧力室空間とは、インク供給路２４を介してそれぞれ連通されている。なお、連通部２３は、後述する振動板２１の連通開口部２６および封止板２０の液室空部５３と連通して、各圧力室空間（圧力室２２）に共通なインク室であるリザーバー（共通液室）を構成する。インク供給路２４は、圧力室空間よりも狭い幅で形成されており、連通部２３から圧力室空間に流入するインクに対して流路抵抗となる部分である。
【００３４】
圧力室形成基板１５の下面（アクチュエーターユニット１４との接合面側とは反対側の面）には、ノズルプレート１６（ノズル形成基板）が、接着剤や熱溶着フィルム等を介して接合されている。本実施形態におけるノズルプレート１６は、ドット形成密度（例えば、３００ｄｐｉ〜６００ｄｐｉ）に相当するピッチ（隣接ノズル２５の中心間距離）で各ノズル２５が並設されている。各ノズル２５は、圧力室空間に対してインク供給路２４とは反対側の端部で連通する。なお、ノズルプレート１６は、例えば、シリコン単結晶基板やステンレス鋼板などから作製される。
【００３５】
アクチュエーターユニット１４は、振動板２１および圧電素子１９から構成される。振動板２１は、圧力室形成基板１５の上面に形成された酸化シリコン（ＳｉＯｘ）（例えば、二酸化シリコン（ＳｉＯ2））からなる弾性膜１７と、この弾性膜１７上に形成された酸化ジルコニウム（ＺｒＯｘ）からなる絶縁体膜１８と、を含む。この振動板２１における圧力室空間に対応する部分、即ち、圧力室空間の上部開口を塞いで圧力室２２の一部を区画する部分は、圧電素子１９の撓み変形に伴ってノズル２５から遠ざかる方向あるいは近接する方向に変位する変位部として機能する。なお、弾性膜１７の厚さは３００〜２０００〔ｎｍ〕に設定されることが望ましく、絶縁体膜１８の厚さは３０〜６００〔ｎｍ〕に設定されることが望ましい。また、図２に示すように、この振動板２１における圧力室形成基板１５の連通部２３に対応する部分には、当該連通部２３と連通する連通開口部２６が開設されている。
【００３６】
振動板２１（絶縁体膜１８）の圧力室空間に対応する部分、すなわち変位部の上面（ノズル２５側とは反対側の面）には、圧電素子１９が形成されている。本実施形態における圧電素子１９は、振動板２１側から順に下電極２７、圧電体２８および上電極２９が、成膜技術により積層されて構成されている。図５に示すように、下電極２７は、個々の圧力室２２ごとに独立して（個別に）設けられる一方、上電極２９は、複数の圧力室２２に亘って連続して（共通に）設けられている。したがって、下電極２７は、圧力室２２ごとの個別電極となり、上電極２９は、各圧力室２２に共通な共通電極となる。
【００３７】
具体的には、図３及び図５に示すように、ノズル列方向における上電極２９の両端部は、圧力室空間の上部開口の縁を越えて列設された複数の圧力室空間（圧力室２２）の外側まで延設されている。また、図３及び図４に示すように、圧力室２２の長手方向（ノズル列方向に直交する方向）における上電極２９の両端部は、圧力室空間の上部開口の縁を越えて当該圧力室空間（圧力室２２）の外側まで延設されている。圧力室２２の長手方向における下電極２７は、一側（図３における上側）の端部が圧力室空間の上部開口縁を超えてインク供給路２４と重なる位置まで延在され、他側（図３における下側）の端部がリード配線４１まで延在されている。そして、本実施形態では、図５に示すように、圧力室空間上（圧力室２２に対応する領域）における下電極２７のノズル列方向の幅ｗ３は、ノズル列方向における圧力室２２の幅ｗ１よりも狭く形成されている。また、圧力室空間上における圧電体２８は、ノズル列方向における幅ｗ２が圧力室２２の同方向における幅ｗ１よりも狭く形成されると共に、下電極２７の同方向における幅ｗ３よりも広く形成され、下電極２７を覆っている。すなわち、ノズル列方向における寸法が、上電極２９の幅、圧力室２２の幅ｗ１、圧電体２８の幅ｗ２、下電極２７の幅ｗ３の順に小さくなっている。
【００３８】
ここで、圧力室空間上のノズル列方向における圧電体２８の幅ｗ２は、３０〜６０〔μｍ〕に設定されることが望ましい。また、下電極２７の幅ｗ３は、１５〜６０〔μｍ〕に設定されることが望ましい。さらに、下電極２７の一側の外端部から圧電体２８の同側の外端部までの距離ｗ４は、２．５〜８．０〔μｍ〕に設定されることが望ましい。
【００３９】
また、本実施形態では、図３に示すように、圧電体２８が部分的に除去された開口部２８ａによって、圧電体２８が個々の圧電素子１９ごとに分割されている。具体的には、圧電体２８は、圧力室２２の長手方向の両端部（詳しくは、圧力室空間の両側の上部開口縁）を超えて外側まで延在されると共に、複数の圧力室２２に亘って形成されている。そして、隣り合う圧力室２２の間に対応する領域の圧電体２８が部分的に除去されて、圧電体２８が積層されていない開口部２８ａが複数形成されている。すなわち、複数の開口部２８ａがノズル列方向に沿って、圧力室２２の形成ピッチ（ノズル２５の形成ピッチ）と同じピッチで形成されている。換言すると、開口部２８ａと開口部２８ａとの間に、１つの圧力室２２に対応する圧電素子１９が圧力室２２の形成ピッチと同じピッチで形成されている。なお、本実施形態の開口部２８ａは、平面視において、圧力室２２の長手方向に沿って長尺な細長六角形状に形成されている。また、圧力室２２の長手方向において、開口部２８ａから外れた領域の圧電体２８は、複数の圧力室２２に亘って連続して形成されている。ここで、本実施形態の圧電体２８の幅ｗ２とは、一方の開口部２８ａの長辺と他方の開口部２８ａの長辺との間に形成された圧電体２８の幅のことである。要するに、圧力室２２の幅ｗ１、圧電体２８の幅ｗ２及び下電極２７の幅ｗ３とは、各圧力室２２において圧電素子１９が実質的に振動する部分の幅である。
【００４０】
このように構成された圧電素子１９では、下電極２７、圧電体２８および上電極２９が積層された領域、すなわち下電極２７と上電極２９との間に圧電体２８が挟まれた領域が両電極膜２７、２９への電圧の印加により圧電歪みが生じる能動部（活性部）となる。
【００４１】
なお、上電極２９および下電極２７は、イリジウム（Ｉｒ）、白金（Ｐｔ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）、タンタル（Ｔａ）、モリブデン（Ｍｏ）等の各種金属や、これらの合金等が用いられる。また、圧電体２８としては、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の強誘電性圧電性材料や、これにニオブ、ニッケル、マグネシウム、ビスマス又はイットリウム等の金属を添加したリラクサ強誘電体等が用いられる。なお、上電極２９の厚さは、３０〜１００〔ｎｍ〕に設定されることが望ましい。また、下電極２７の厚さは、５０〜３００〔ｎｍ〕に設定されることが望ましい。さらに、圧電体２８の厚さ（詳しくは、能動部における圧電体２８の厚さ）は、０．７〜５〔μｍ〕に設定されることが望ましい。
【００４２】
圧力室空間の上部開口縁よりも圧力室空間長手方向の外側に外れた領域における圧電体２８上であって、上電極２９に対して所定の間隔を隔てた位置（図４における左側の位置）には、リード配線４１が形成されている。そして、圧電体２８においてリード配線４１が形成されている位置には、図４に示すように、当該圧電体２８を貫通する状態で、圧電体２８の上面から下電極２７に至るスルーホール４２が形成されている。リード配線４１は、個別電極である下電極２７に対応してパターニングされている。このリード配線４１は、上記のスルーホール４２を通じて下電極２７に導通されている。そして、このリード配線４１を介して各圧電素子１９に選択的に駆動電圧（駆動パルス）が印加される。
【００４３】
なお、リード配線４１は、例えば、ニッケル（Ｎｉ）、イリジウム（Ｉｒ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）、タンタル（Ｔａ）、モリブデン（Ｍｏ）、クロム（Ｃｒ）などの各種の金属及びこれらの金属の合金、それらの導電性酸化物（例えば酸化イリジウムなど）、ストロンチウム（Ｓｒ）とルテニウム（Ｒｕ）の複合酸化物、ランタン（Ｌａ）とニッケル（Ｎｉ）の複合酸化物などを用いることができる。また、リード配線４１は、複数の導電層の積層で構成されていても、単層で構成されていてもよい。
【００４４】
図２に示すように、アクチュエーターユニット１４における圧力室形成基板１５との接合面である下面とは反対側の上面には、圧電素子１９を収容可能な収容空部５１を有する封止板２０が接合される。この封止板２０には、収容空部５１よりもノズル列に直交する方向の外側に外れた位置であって、振動板２１の連通開口部２６および圧力室形成基板１５の連通部２３に対応する領域には、液室空部５３が設けられている。液室空部５３は、封止板２０を厚さ方向に貫通して圧力室空間（圧力室２２）の並設方向に沿って設けられており、上述したように連通開口部２６および連通部２３と一連に連通して各圧力室空間の共通のインク室となるリザーバーを画成する。なお、図示しないが、封止板２０には、収容空部５１と液室空部５３の他に、封止板２０を厚さ方向に貫通する配線開口部が設けられ、この配線開口部内にリード配線４１の端部が露出される。そして、このリード配線４１の露出部分には、プリンター本体側からの図示しない配線部材の端子が電気的に接続される。
【００４５】
上記構成の記録ヘッド３では、インクを噴射する際において、インクカートリッジ７からインクを取り込み、リザーバー、インク供給路２４、圧力室２２、およびノズル２５に至るまでの流路内がインクで満たされる。そして、プリンター本体側からの駆動信号の供給により、圧力室２２に対応するそれぞれの下電極２７と上電極２９との間に両電極の電位差に応じた電界が付与され、圧電素子１９および振動板２１の変位部が変位することにより、圧力室２２内に圧力変動が生じる。この圧力変動を制御することで、ノズル２５からインクが噴射される。
【００４６】
また、上記構成の記録ヘッド３において、ノズル２５より噴射されるインク量を決定する指標として、排除体積と呼ばれるものがある。排除体積とは、圧力室２２に対応するそれぞれの下電極２７と上電極２９との間に、所定の電位差を印加し、圧電素子１９を駆動させ、振動板２１の変位部を変位させたときの、圧力室２２の容積の変化量のことである。この排除体積に応じて吐出されるインクの量は変化する。したがって所定のインク量を吐出するためには、排除体積が所定の量となっている必要がある。このような排除体積は、圧力室２２の寸法に応じて増減する。このため、圧力室２２の寸法を測定し、管理することが好ましい。
【００４７】
圧力室２２の寸法を測定する方法として、例えば、記録ヘッド３の製造過程において、圧力室２２をノズルプレート１６で区画する前に、工具顕微鏡などで圧力室２２の寸法を、光学的に測定する方法が挙げられる。具体的には、図６に示すように、記録ヘッド３にて、ノズルプレート１６を圧力室２２に接合する前に、ノズルプレート１６側から、圧力室２２の開口部３０の壁面３１に顕微鏡の焦点を合わせて、圧力室２２の開口部３０の寸法を測定することで、圧力室２２の寸法を測定する方法が挙げられる。
【００４８】
しかしながら、上記の方法で圧力室２２の寸法を測定することが難しいという課題があった。圧力室２２の寸法測定では、まず、ノズルプレート１６を圧力室２２に接合する前に、ノズルプレート１６側から、開口部３０の壁面３１に顕微鏡の焦点を合わせて、圧力室２２の開口部３０の輪郭３２を光学的に観測する。そして、光学的に観測される開口部３０の輪郭３２に基づいて開口部３０の寸法を計測することによって、圧力室２２の寸法が測定され得る。なお、本実施形態では、振動板２１は、光透過性を有している。
【００４９】
このとき、開口部３０の輪郭３２を光学的に観測したときの画像には、振動板２１を通して下電極２７の像も映り込む。なお、本実施形態では、圧電体２８も光透過性を有している。このため、開口部３０の輪郭３２を光学的に観測したときの画像には、圧電体２８を通して上電極２９の像も映り込む。このため、光学的に観測した画像には、開口部３０の輪郭３２の像に加え、下電極２７の輪郭３４や上電極２９の輪郭３５の像も映し出される。このとき、顕微鏡の焦点を開口部３０の壁面３１に合わせているため、焦点深度により、下電極２７や上電極２９の像はぼやける。すなわち、下電極２７の輪郭３４や上電極２９の輪郭３５の像がぼやける。これにより、ぼやけた下電極２７の輪郭３４や上電極２９の輪郭３５の像が、開口部３０の輪郭３２の像に干渉しやすい。この結果、開口部３０の輪郭３２が不鮮明になり、開口部３０の輪郭３２を把握しにくく（光学的に観測しにくく）なるため、圧力室２２の寸法を測定しにくくなる。
【００５０】
そこで、本実施形態では、検査用の圧力室２２（以下、検査用圧力室３３と呼ぶ）が設けられている。つまり、本実施形態では、記録ヘッド３において、複数の圧力室２２に検査用圧力室３３が含まれている。本実施形態では、図７に示すように、複数の圧力室２２の配列の端部に検査用圧力室３３が位置している。図７では、１つのノズル列に対応する複数の圧力室２２の配列が模式的に平面図として図示されている。図７に示す例では、複数の圧力室２２の配列の両端部に検査用圧力室３３が設けられている。
【００５１】
本実施形態では、複数の圧力室２２のうち検査用圧力室３３を除く圧力室２２は、上述したリザーバーおよびインク供給路２４を介してインクを導入可能に構成されている。また、本実施形態では、複数の圧力室２２のうち検査用圧力室３３を除く圧力室２２に対して圧電素子１９が設けられている。検査用圧力室３３は、検査用圧力室３３の開口部３０の輪郭３２を光学的に観測しやすいように構成されている。これにより、記録ヘッド３にて、ノズルプレート１６を圧力室２２および検査用圧力室３３に接合する前に、ノズルプレート１６側から、振動板２１の検査用圧力室３３の開口部３０の輪郭３２に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室３３の開口部の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室３３の寸法を測定することで、圧力室２２の寸法を測定および管理することが可能になっている。
【００５２】
なお、複数の圧力室２２の配列における検査用圧力室３３の配置は、複数の圧力室２２の配列の両端部に限定されない。複数の圧力室２２の配列における検査用圧力室３３の配置構成としては、複数の圧力室２２の配列の一方の端部だけに配置する構成も採用され得る。また、図７に示す例では、複数の圧力室２２の配列において、６個の検査用圧力室３３が設けられている。しかしながら、複数の圧力室２２の配列における検査用圧力室３３の個数は、これに限定されず、少なくとも１個の検査用圧力室３３が設けられていれば、５個以下の個数や、６個を超える個数など、種々の個数が採用され得る。本実施形態では、複数の圧力室２２の配列において、検査用圧力室３３が複数の圧力室２２の配列の端部に位置している。この構成によれば、１つのノズル列に対応する複数の圧力室２２が、当該ノズル列を形成する複数のノズル２５が配置されるピッチを維持して、ノズル列方向に連続的に配置される。このことにより、当該ノズル列を形成する各ノズル２５より、各ノズル２５が配置されるピッチにて、インクを噴射することができる。
【００５３】
以下、検査用圧力室３３の実施例について、図面を参照して説明する。以下において、検査用圧力室３３を実施例ごとに識別するために、検査用圧力室３３に実施例ごとに異なるアルファベット文字や記号等を付記する。
【００５４】
（実施例１）
実施例１の検査用圧力室３３Ａは、図８に示すように、振動板２１の検査用圧力室３３Ａと反対側において、下電極２７が検査用圧力室３３Ａの開口部３０をまたぐ領域にわたって設けられている。つまり、実施例１では、振動板２１から検査用圧力室３３Ａに向かう方向に検査用圧力室３３Ａを平面視したとき、下電極２７が検査用圧力室３３Ａをまたぐ領域にわたって設けられている。なお、実施例１では、圧電体２８と、上電極２９と、リード配線４１とが、検査用圧力室３３Ａと重なる領域よりも外側に位置している。つまり、実施例１では、振動板２１から検査用圧力室３３Ａに向かう方向に検査用圧力室３３Ａを平面視したとき、圧電体２８と、上電極２９と、リード配線４１とが、検査用圧力室３３Ａの領域に重なっていない。
【００５５】
したがって、下電極２７の輪郭３４は、検査用圧力室３３Ａの領域よりも外側に位置する。また、圧電体２８の輪郭、上電極２９の輪郭３５、リード配線４１の輪郭も、検査用圧力室３３Ａの領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室３３Ａから振動板２１に向かう方向に検査用圧力室３３Ａを光学的に観測したときに、下電極２７の輪郭３４が検査用圧力室３３Ａの領域内に観測されない。また、圧電体２８の輪郭、上電極２９の輪郭３５、リード配線４１の輪郭も検査用圧力室３３Ａの領域内に観測されない。このことにより、検査用圧力室３３Ａを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ａの開口部３０の輪郭３２の像が、下電極２７、圧電体２８、上電極２９、リード配線４１の像に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室３３Ａを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ａの開口部３０の輪郭３２を明確に把握しやすくなる。したがって本実施例に係る記録ヘッド３にて、ノズルプレート１６を圧力室２２および検査用圧力室３３Ａに接合する前に、ノズルプレート１６側から、振動板２１の検査用圧力室３３Ａの開口部３０の輪郭３２に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室３３Ａの開口部の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室３３Ａの寸法を測定することで、圧力室２２の寸法を測定および管理することが可能になっている。
【００５６】
次に、上記実施例１の製造方法を図９Ａ〜図９Ｈを参照しながら説明する。検査用圧力室３３および圧力室２２に振動板２１が、開口部３０と反対側に設けられている（図９Ａ）。この振動板２１から検査用圧力室３３Ａに向かう方向に検査用圧力室３３Ａを平面視したとき、検査用圧力室３３Ａに重ねて設けられた振動板２１の検査用圧力室３３Ａと反対側の面全面に、下電極２７となる下金属膜２７ａを、スパッタ法等により形成する（図９Ｂ）。その後、この下金属膜２７ａを、検査用圧力室３３Ａをまたぐ領域にわたって下電極２７が形成されるようにエッチングによりパターニングする（。具体的には、フォトリソグラフィー法によって、エッチングに対するマスクとなるレジストパターンを下金属膜２７ａの振動板２１と反対側に設け、水溶液などのエッチング溶液によって下金属膜２７ａを上面側からエッチングした後、レジストパターンを除去する図９Ｃ）。また、このとき、圧力室２２に重なる領域には、圧力室２２ごとに個別の下電極２７がパターニングされる。これにより、圧力室２２ごとに個別の下電極２７が形成される。
【００５７】
振動板２１の検査用圧力室３３Ａと反対側の面に、下電極２７を設けた後、下電極２７の振動板２１と反対側に、検査用圧力室３３Ａと重なる領域よりも外側に位置するように、圧電体２８を設ける。当該下電極２７が形成された振動板２１の検査用圧力室３３Ａと反対側の面全面に、圧電体２８となるＰＺＴ層２８ｂを形成する（図９Ｄ）。ＰＺＴ層２８ｂの形成方法は、特に限定されないが、例えば、金属有機物を触媒に溶解・分散したいわゆるゾルを塗布乾燥してゲル化し、さらに高温で焼成することで金属酸化物からなるＰＺＴ層２８ｂを得る、いわゆるゾル−ゲル法が用いられる。その他、スパッタやＩＪ塗布法等の種々の方法でＰＺＴ層２８ｂを形成してもよい。その後、フォトリソグラフィー法によって、ＰＺＴ層２８ｂの振動板２１と反対側に、エッチングに対するマスクとなるレジストパターンを形成し、このＰＺＴ層２８ｂをエッチングにより、圧力室２２に重なる領域に個別の圧電体２８が位置するようにパターニングした後、レジストパターンを除去する（図９Ｅ）。このとき、検査用圧力室３３Ａに重なる領域には、圧電体２８が形成されない。つまり、圧力室２２に重なる領域からＰＺＴ層２８ｂが除去される。このため、圧電体２８は、検査用圧力室３３Ａと重なる領域よりも外側に位置する。
【００５８】
その後、下電極２７および圧電体２８が形成された振動板２１の検査用圧力室３３Ａと反対側の面全面に、スパッタ法等により上電極２９となる上金属膜２９ａを形成する（図９Ｆ）。そして、フォトリソグラフィー法によって、上金属膜２９ａの振動板２１と反対側に、にエッチングに対するマスクとなるレジストパターンを形成し、この上金属膜２９ａをエッチングにより、圧力室２２に重なる領域に上電極２９が位置するようにパターニングした後、レジストパターンを除去する（図９Ｇ）。このとき、検査用圧力室３３Ａに重なる領域には、上電極２９が形成されない。つまり、圧力室２２に重なる領域から上金属膜２９ａが除去される。このため、上電極２９は、検査用圧力室３３Ａと重なる領域よりも外側に位置する。
【００５９】
上電極２９までパターニングした後、リード配線４１をパターニングする。はじめに、下電極２７、圧電体２８および上電極２９が形成された振動板２１の検査用圧力室３３Ａと反対側の面全面に、金属層４３をスパッタ法等により形成する（図９Ｈ）。そして、フォトリソグラフィー法及びエッチングによって、金属層４３をパターニングしてリード配線４１（図８）を形成する。このとき、検査用圧力室３３Ａに重なる領域には、リード配線４１が形成されない。つまり、圧力室２２に重なる領域から金属層４３が除去される。このため、リード配線４１は、検査用圧力室３３Ａと重なる領域よりも外側に位置する。このようにして、本実施例のアクチュエーターユニット１４を形成することができる。
【００６０】
（実施例２）
実施例２の検査用圧力室３３Ｂは、図１０に示すように、振動板２１の検査用圧力室３３Ｂと反対側において、下電極２７と圧電体２８とが検査用圧力室３３Ｂの開口部３０をまたぐ領域にわたって設けられている。つまり、実施例２では、振動板２１から検査用圧力室３３Ｂに向かう方向に検査用圧力室３３Ｂを平面視したとき、下電極２７と圧電体２８とが検査用圧力室３３Ｂをまたぐ領域にわたって設けられている。このことを除いて、実施例２は、実施例１と同様の構成を有している。このため、実施例２において、実施例１と同様の構成については、実施例１と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００６１】
なお、実施例２では、上電極２９とリード配線４１とが、検査用圧力室３３Ｂと重なる領域よりも外側に位置している。つまり、実施例２では、振動板２１から検査用圧力室３３Ｂに向かう方向に検査用圧力室３３Ｂを平面視したとき、上電極２９とリード配線４１とが、検査用圧力室３３Ｂの領域に重なっていない。
【００６２】
したがって、下電極２７の輪郭３４と圧電体２８の輪郭は、検査用圧力室３３Ｂの領域よりも外側に位置する。また上電極２９の輪郭３５とリード配線４１の輪郭も、検査用圧力室３３Ｂの領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室３３Ｂから振動板２１に向かう方向に検査用圧力室３３Ｂを光学的に観測したときに、下電極２７の輪郭３４が検査用圧力室３３Ｂの領域内に観測されない。なお、圧電体２８は、検査用圧力室３３Ｂの領域内において、下電極２７に重なるように設けられている。したがって、検査用圧力室３３Ｂを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｂの領域内において、圧電体２８の像は観測されない。また、上電極２９の輪郭３５とリード配線４１の輪郭も検査用圧力室３３Ｂの領域内に観測されない。このことにより、検査用圧力室３３Ｂを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｂの開口部３０の輪郭３２の像が、下電極２７、圧電体２８、上電極２９、リード配線４１に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室３３Ｂを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｂの開口部３０の輪郭３２を明確に把握しやすくなる。したがって本実施例に係る記録ヘッド３にて、ノズルプレート１６を圧力室２２および検査用圧力室３３Ｂに接合する前に、ノズルプレート１６側から、振動板２１の検査用圧力室３３Ｂの開口部３０の輪郭３２に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室３３Ｂの開口部の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室３３Ｂの寸法を測定することで、圧力室２２の寸法を測定および管理することが可能になっている。さらに、圧電体２８があるので、振動板２１を補強することができる。
【００６３】
なお、実施例２の製造方法では、実施例１の圧電体２８をパターニングする工程において、検査用圧力室３３Ｂに重なる領域にわたって圧電体２８を残す。その他の工程については、実施例１と同様であるため、詳細な説明を省略する。
【００６４】
（実施例３）
実施例３の検査用圧力室３３Ｃは、図１１に示すように、振動板２１の検査用圧力室３３Ｃと反対側において、下電極２７と、圧電体２８と、上電極２９とが検査用圧力室３３Ｃの開口部３０をまたぐ領域にわたって設けられている。つまり、実施例３では、振動板２１から検査用圧力室３３Ｃに向かう方向に検査用圧力室３３Ｃを平面視したとき、下電極２７と、圧電体２８と、上電極２９とが検査用圧力室３３Ｃをまたぐ領域にわたって設けられている。このことを除いて、実施例３は、実施例１と同様の構成を有している。このため、実施例３において、実施例１と同様の構成については、実施例１と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００６５】
なお、実施例３では、リード配線４１が、検査用圧力室３３Ｃと重なる領域よりも外側に位置している。つまり、実施例３では、振動板２１から検査用圧力室３３Ｃに向かう方向に検査用圧力室３３Ｃを平面視したとき、リード配線４１が、検査用圧力室３３Ｃの領域に重なっていない。
【００６６】
したがって、下電極２７の輪郭３４と、圧電体２８の輪郭と、上電極の輪郭３５とは、検査用圧力室３３Ｃの領域よりも外側に位置する。またリード配線４１の輪郭も、検査用圧力室３３Ｃの領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室３３Ｃから振動板２１に向かう方向に検査用圧力室３３Ｃを光学的に観測したときに、下電極２７の輪郭３４が検査用圧力室３３Ｃの領域内に観測されない。なお、圧電体２８と上電極２９は、検査用圧力室３３Ｃの領域内において、下電極２７に重なるように設けられている。したがって、検査用圧力室３３Ｃを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｃの領域内において、圧電体２８と上電極２９の像は観測されない。また、リード配線４１の輪郭も検査用圧力室３３Ｃの領域内に観測されない。このことにより、検査用圧力室３３Ｃを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｃの開口部３０の輪郭３２の像が、下電極２７、圧電体２８、上電極２９、リード配線４１に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室３３Ｃを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｃの開口部３０の輪郭３２を明確に把握しやすくなる。したがって本実施例に係る記録ヘッド３にて、ノズルプレート１６を圧力室２２および検査用圧力室３３Ｃに接合する前に、ノズルプレート１６側から、振動板２１の検査用圧力室３３Ｃの開口部３０の輪郭３２に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室３３Ｃの開口部の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室３３Ｃの寸法を測定することで、圧力室２２の寸法を測定および管理することが可能になっている。さらに、圧電体２８と上電極２９とがあるので、振動板２１を補強することができる。
【００６７】
なお、実施例３の製造方法では、実施例２の上電極２９をパターニングする工程において、検査用圧力室３３Ｃに重なる領域にわたって上電極２９を残す。その他の工程については、実施例２と同様であるため、詳細な説明を省略する。
【００６８】
（実施例４）
実施例４の検査用圧力室３３Ｄは、図１２に示すように、振動板２１の検査用圧力室３３Ｄと反対側において、下電極２７と、圧電体２８と、リード配線４１とが検査用圧力室３３Ｄの開口部３０をまたぐ領域にわたって設けられている。つまり、実施例４では、振動板２１から検査用圧力室３３Ｄに向かう方向に検査用圧力室３３Ｄを平面視したとき、下電極２７と、圧電体２８と、リード配線４１とが検査用圧力室３３Ｄをまたぐ領域にわたって設けられている。このことを除いて、実施例４は、実施例１と同様の構成を有している。このため、実施例４において、実施例１と同様の構成については、実施例１と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００６９】
なお、実施例４では、上電極２９が、検査用圧力室３３Ｄと重なる領域よりも外側に位置している。つまり、実施例４では、振動板２１から検査用圧力室３３Ｄに向かう方向に検査用圧力室３３Ｄを平面視したとき、上電極２９が、検査用圧力室３３Ｄの領域に重なっていない。
【００７０】
したがって、下電極２７の輪郭３４と、圧電体２８の輪郭と、リード配線４１の輪郭とは、検査用圧力室３３Ｄの領域よりも外側に位置する。また上電極２９の輪郭３５も、検査用圧力室３３Ｄの領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室３３Ｄから振動板２１に向かう方向に検査用圧力室３３Ｄを光学的に観測したときに、下電極２７の輪郭３４が検査用圧力室３３Ｄの領域内に観測されない。なお、圧電体２８とリード配線４１は、検査用圧力室３３Ｄの領域内において、下電極２７に重なるように設けられている。したがって、検査用圧力室３３Ｄを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｄの領域内において、圧電体２８とリード配線４１の像は観測されない。また、上電極２９の輪郭３５も検査用圧力室３３Ｄの領域内に観測されない。このことにより、検査用圧力室３３Ｄを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｄの開口部３０の輪郭３２の像が、下電極２７、圧電体２８、上電極２９、リード配線４１に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室３３Ｄを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｄの開口部３０の輪郭３２を明確に把握しやすくなる。したがって本実施例に係る記録ヘッド３にて、ノズルプレート１６を圧力室２２および検査用圧力室３３Ｄに接合する前に、ノズルプレート１６側から、振動板２１の検査用圧力室３３Ｄの開口部３０の輪郭３２に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室３３Ｄの開口部の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室３３Ｄの寸法を測定することで、圧力室２２の寸法を測定および管理することが可能になっている。さらに、圧電体２８とリード配線４１とがあるので、振動板２１を補強することができる。
【００７１】
なお、実施例４の製造方法では、実施例２のリード配線４１をパターニングする工程において、検査用圧力室３３Ｄに重なる領域にわたってリード配線４１を残す。その他の工程については、実施例２と同様であるため、詳細な説明を省略する。
【００７２】
（実施例５）
実施例５の検査用圧力室３３Ｅは、図１３に示すように、振動板２１の検査用圧力室３３Ｅと反対側において、下電極２７と、圧電体２８と、上電極２９と、リード配線４１とが検査用圧力室３３Ｅの開口部３０をまたぐ領域にわたって設けられている。つまり、実施例５では、振動板２１から検査用圧力室３３Ｅに向かう方向に検査用圧力室３３Ｅを平面視したとき、下電極２７と、圧電体２８と、上電極２９と、リード配線４１とが検査用圧力室３３Ｅをまたぐ領域にわたって設けられている。このことを除いて、実施例５は、実施例１と同様の構成を有している。このため、実施例５において、実施例１と同様の構成については、実施例１と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００７３】
上記の構成により、実施例５では、下電極２７の輪郭３４と、圧電体２８の輪郭と、上電極２９の輪郭３５と、リード配線４１の輪郭とは、検査用圧力室３３Ｅの領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室３３Ｅから振動板２１に向かう方向に検査用圧力室３３Ｅを光学的に観測したときに、下電極２７の輪郭３４が検査用圧力室３３Ｅの領域内に観測されない。なお、圧電体２８と、上電極２９と、リード配線４１は、検査用圧力室３３Ｅの領域内において、下電極２７に重なるように設けられている。したがって、検査用圧力室３３Ｅを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｅの領域内において、圧電体２８と、上電極２９と、リード配線４１の像は観測されない。このことにより、検査用圧力室３３Ｅを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｅの開口部３０の輪郭３２の像が、下電極２７、圧電体２８、上電極２９、リード配線４１に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室３３Ｅを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｅの開口部３０の輪郭３２を明確に把握しやすくなる。したがって本実施例に係る記録ヘッド３にて、ノズルプレート１６を圧力室２２および検査用圧力室３３Ｅに接合する前に、ノズルプレート１６側から、振動板２１の検査用圧力室３３Ｅの開口部３０の輪郭３２に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室３３Ｅの開口部の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室３３Ｅの寸法を測定することで、圧力室２２の寸法を測定および管理することが可能になっている。さらに、圧電体２８と、上電極２９と、リード配線４１とがあるので、振動板２１を補強することができる。
【００７４】
なお、実施例５の製造方法では、実施例３のリード配線４１をパターニングする工程において、検査用圧力室３３Ｅに重なる領域にわたってリード配線４１を残す。その他の工程については、実施例３と同様であるため、詳細な説明を省略する。
【００７５】
（実施例６）
実施例６の検査用圧力室３３Ｆは、図１４に示すように、振動板２１の検査用圧力室３３Ｆと反対側において、下電極２７と上電極２９とが検査用圧力室３３Ｆの開口部３０をまたぐ領域にわたって設けられている。つまり、実施例６では、振動板２１から検査用圧力室３３Ｆに向かう方向に検査用圧力室３３Ｆを平面視したとき、下電極２７と上電極２９とが検査用圧力室３３Ｆをまたぐ領域にわたって設けられている。このことを除いて、実施例６は、実施例１と同様の構成を有している。このため、実施例６において、実施例１と同様の構成については、実施例１と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００７６】
なお、実施例６では、圧電体２８とリード配線４１とが、検査用圧力室３３Ｆと重なる領域よりも外側に位置している。つまり、実施例６では、振動板２１から検査用圧力室３３Ｆに向かう方向に検査用圧力室３３Ｆを平面視したとき、圧電体２８とリード配線４１とが、検査用圧力室３３Ｆの領域に重なっていない。
【００７７】
したがって、下電極２７の輪郭３４と上電極２９の輪郭３５とは、検査用圧力室３３Ｆの領域よりも外側に位置する。また圧電体２８の輪郭とリード配線４１の輪郭も、検査用圧力室３３Ｆの領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室３３Ｆから振動板２１に向かう方向に検査用圧力室３３Ｆを光学的に観測したときに、下電極２７の輪郭３４が検査用圧力室３３Ｆの領域内に観測されない。なお、上電極２９は、検査用圧力室３３Ｆの領域内において、下電極２７に重なるように設けられている。したがって、検査用圧力室３３Ｆを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｆの領域内において、上電極２９の像は観測されない。また、圧電体２８の輪郭とリード配線４１の輪郭も検査用圧力室３３Ｆの領域内に観測されない。このことにより、検査用圧力室３３Ｆを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｆの開口部３０の輪郭３２の像が、下電極２７、圧電体２８、上電極２９、リード配線４１に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室３３Ｆを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｆの開口部３０の輪郭３２を明確に把握しやすくなる。したがって本実施例に係る記録ヘッド３にて、ノズルプレート１６を圧力室２２および検査用圧力室３３Ｆに接合する前に、ノズルプレート１６側から、振動板２１の検査用圧力室３３Ｆの開口部３０の輪郭３２に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室３３Ｆの開口部の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室３３Ｆの寸法を測定することで、圧力室２２の寸法を測定および管理することが可能になっている。さらに、上電極２９があるので、振動板２１を補強することができる。
【００７８】
なお、実施例６の製造方法では、実施例１の上電極２９をパターニングする工程において、検査用圧力室３３Ｆに重なる領域にわたって上電極２９を残す。その他の工程については、実施例１と同様であるため、詳細な説明を省略する。
【００７９】
（実施例７）
実施例７の検査用圧力室３３Ｇは、図１５に示すように、振動板２１の検査用圧力室３３Ｇと反対側において、下電極２７と、上電極２９と、リード配線４１とが検査用圧力室３３Ｇの開口部３０をまたぐ領域にわたって設けられている。つまり、実施例７では、振動板２１から検査用圧力室３３Ｇに向かう方向に検査用圧力室３３Ｇを平面視したとき、下電極２７と、上電極２９と、リード配線４１とが検査用圧力室３３Ｇをまたぐ領域にわたって設けられている。このことを除いて、実施例７は、実施例１と同様の構成を有している。このため、実施例７において、実施例１と同様の構成については、実施例１と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００８０】
なお、実施例７では、圧電体２８が、検査用圧力室３３Ｇと重なる領域よりも外側に位置している。つまり、実施例７では、振動板２１から検査用圧力室３３Ｇに向かう方向に検査用圧力室３３Ｇを平面視したとき、圧電体２８が、検査用圧力室３３Ｇの領域に重なっていない。
【００８１】
したがって、下電極２７の輪郭３４と、上電極２９の輪郭３５と、リード配線４１の輪郭は、検査用圧力室３３Ｇの領域よりも外側に位置する。また圧電体２８の輪郭も、検査用圧力室３３Ｇの領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室３３Ｇから振動板２１に向かう方向に検査用圧力室３３Ｇを光学的に観測したときに、下電極２７の輪郭３４が検査用圧力室３３Ｇの領域内に観測されない。なお、上電極２９とリード配線４１は、検査用圧力室３３Ｇの領域内において、下電極２７に重なるように設けられている。したがって、検査用圧力室３３Ｇを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｇの領域内において、上電極２９とリード配線４１の像は観測されない。また、圧電体２８の輪郭も検査用圧力室３３Ｇの領域内に観測されない。このことにより、検査用圧力室３３Ｇを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｇの開口部３０の輪郭３２の像が、下電極２７、圧電体２８、上電極２９、リード配線４１に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室３３Ｇを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｇの開口部３０の輪郭３２を明確に把握しやすくなる。したがって本実施例に係る記録ヘッド３にて、ノズルプレート１６を圧力室２２および検査用圧力室３３Ｇに接合する前に、ノズルプレート１６側から、振動板２１の検査用圧力室３３Ｇの開口部３０の輪郭３２に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室３３Ｇの開口部の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室３３Ｇの寸法を測定することで、圧力室２２の寸法を測定および管理することが可能になっている。さらに、上電極２９とリード配線４１とがあるので、振動板２１を補強することができる。
【００８２】
なお、実施例７の製造方法では、実施例６のリード配線４１をパターニングする工程において、検査用圧力室３３Ｇに重なる領域にわたってリード配線４１を残す。その他の工程については、実施例６と同様であるため、詳細な説明を省略する。
【００８３】
（実施例８）
実施例８の検査用圧力室３３Ｈは、図１６に示すように、振動板２１の検査用圧力室３３Ｈと反対側において、下電極２７とリード配線４１とが検査用圧力室３３Ｈの開口部３０をまたぐ領域にわたって設けられている。つまり、実施例８では、振動板２１から検査用圧力室３３Ｈに向かう方向に検査用圧力室３３Ｈを平面視したとき、下電極２７とリード配線４１とが検査用圧力室３３Ｈをまたぐ領域にわたって設けられている。このことを除いて、実施例８は、実施例１と同様の構成を有している。このため、実施例８において、実施例１と同様の構成については、実施例１と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００８４】
なお、実施例８では、圧電体２８と上電極２９とが、検査用圧力室３３Ｈと重なる領域よりも外側に位置している。つまり、実施例８では、振動板２１から検査用圧力室３３Ｈに向かう方向に検査用圧力室３３Ｈを平面視したとき、圧電体２８と上電極２９とが、検査用圧力室３３Ｈの領域に重なっていない。
【００８５】
したがって、下電極２７の輪郭３４とリード配線４１の輪郭は、検査用圧力室３３Ｈの領域よりも外側に位置する。また圧電体２８の輪郭と上電極２９の輪郭３５も、検査用圧力室３３Ｈの領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室３３Ｈから振動板２１に向かう方向に検査用圧力室３３Ｈを光学的に観測したときに、下電極２７の輪郭３４が検査用圧力室３３Ｈの領域内に観測されない。なお、リード配線４１は、検査用圧力室３３Ｈの領域内において、下電極２７に重なるように設けられている。したがって、検査用圧力室３３Ｈを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｈの領域内において、上電極２９とリード配線４１の像は観測されない。また、圧電体２８の輪郭と上電極２９の輪郭３５も検査用圧力室３３Ｈの領域内に観測されない。このことにより、検査用圧力室３３Ｈを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｈの開口部３０の輪郭３２の像が、下電極２７、圧電体２８、上電極２９、リード配線４１に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室３３Ｈを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｈの開口部３０の輪郭３２を明確に把握しやすくなる。したがって本実施例に係る記録ヘッド３にて、ノズルプレート１６を圧力室２２および検査用圧力室３３Ｈに接合する前に、ノズルプレート１６側から、振動板２１の検査用圧力室３３Ｈの開口部３０の輪郭３２に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室３３Ｈの開口部の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室３３Ｈの寸法を測定することで、圧力室２２の寸法を測定および管理することが可能になっている。さらに、リード配線４１があるので、振動板２１を補強することができる。
【００８６】
なお、実施例８の製造方法では、実施例１のリード配線４１をパターニングする工程において、検査用圧力室３３Ｈに重なる領域にわたってリード配線４１を残す。その他の工程については、実施例１と同様であるため、詳細な説明を省略する。
【００８７】
（実施例９）
実施例９の検査用圧力室３３Ｉは、図１７に示すように、振動板２１の検査用圧力室３３Ｉと反対側において、上電極２９が検査用圧力室３３Ｉの開口部３０をまたぐ領域にわたって設けられている。つまり、実施例９では、振動板２１から検査用圧力室３３Ｉに向かう方向に検査用圧力室３３Ｉを平面視したとき、上電極２９が検査用圧力室３３Ｉをまたぐ領域にわたって設けられている。このことを除いて、実施例９は、実施例１と同様の構成を有している。このため、実施例９において、実施例１と同様の構成については、実施例１と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００８８】
なお、実施例９では、下電極２７と、圧電体２８と、リード配線４１とが、検査用圧力室３３Ｉと重なる領域よりも外側に位置している。つまり、実施例９では、振動板２１から検査用圧力室３３Ｉに向かう方向に検査用圧力室３３Ｉを平面視したとき、下電極２７と、圧電体２８と、リード配線４１とが、検査用圧力室３３Ｉの領域に重なっていない。
【００８９】
したがって、上電極の輪郭３５は、検査用圧力室３３Ｉの領域よりも外側に位置する。また下電極２７の輪郭３４と、圧電体２８の輪郭と、リード配線４１の輪郭も、検査用圧力室３３Ｉの領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室３３Ｉから振動板２１に向かう方向に検査用圧力室３３Ｉを光学的に観測したときに、上電極２９の輪郭３５が検査用圧力室３３Ｉの領域内に観測されない。また、下電極２７の輪郭３４と、圧電体２８の輪郭と、リード配線４１の輪郭も検査用圧力室３３Ｉの領域内に観測されない。このことにより、検査用圧力室３３Ｉを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｉの開口部３０の輪郭３２の像が、下電極２７、圧電体２８、上電極２９、リード配線４１に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室３３Ｉを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｉの開口部３０の輪郭３２を明確に把握しやすくなる。したがって本実施例に係る記録ヘッド３にて、ノズルプレート１６を圧力室２２および検査用圧力室３３Ｉに接合する前に、ノズルプレート１６側から、振動板２１の検査用圧力室３３Ｉの開口部３０の輪郭３２に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室３３Ｉの開口部の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室３３Ｉの寸法を測定することで、圧力室２２の寸法を測定および管理することが可能になっている。
【００９０】
なお、実施例９の製造方法では、実施例６の下電極２７をパターニングする工程において、検査用圧力室３３Ｉと重なる領域から下金属膜２７ａを除去する。つまり、実施例９の製造方法では、実施例６の下電極２７をパターニングする工程において、検査用圧力室３３Ｉと重なる領域よりも外側に下電極２７を残す。その他の工程については、実施例６と同様であるため、詳細な説明を省略する。
【００９１】
（実施例１０）
実施例１０の検査用圧力室３３Ｊは、図１８に示すように、振動板２１の検査用圧力室３３Ｊと反対側において、リード配線４１が検査用圧力室３３Ｊの開口部３０をまたぐ領域にわたって設けられている。つまり、実施例１０では、振動板２１から検査用圧力室３３Ｊに向かう方向に検査用圧力室３３Ｊを平面視したとき、リード配線４１が検査用圧力室３３Ｊをまたぐ領域にわたって設けられている。このことを除いて、実施例１０は、実施例１と同様の構成を有している。このため、実施例１０において、実施例１と同様の構成については、実施例１と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００９２】
なお、実施例１０では、下電極２７と、圧電体２８と、上電極２９とが、検査用圧力室３３Ｊと重なる領域よりも外側に位置している。つまり、実施例１０では、振動板２１から検査用圧力室３３Ｊに向かう方向に検査用圧力室３３Ｊを平面視したとき、下電極２７と、圧電体２８と、上電極２９とが、検査用圧力室３３Ｊの領域に重なっていない。
【００９３】
したがって、リード配線４１の輪郭は、検査用圧力室３３Ｊの領域よりも外側に位置する。また下電極２７の輪郭３４と、圧電体２８の輪郭と、上電極２９の輪郭３５も、検査用圧力室３３Ｊの領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室３３Ｊから振動板２１に向かう方向に検査用圧力室３３Ｊを光学的に観測したときに、リード配線４１の輪郭が検査用圧力室３３Ｊの領域内に観測されない。また、下電極２７の輪郭３４と、圧電体２８の輪郭と、上電極２９の輪郭３５も検査用圧力室３３Ｊの領域内に観測されない。このことにより、検査用圧力室３３Ｊを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｊの開口部３０の輪郭３２の像が、下電極２７、圧電体２８、上電極２９、リード配線４１に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室３３Ｊを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｊの開口部３０の輪郭３２を明確に把握しやすくなる。したがって本実施例に係る記録ヘッド３にて、ノズルプレート１６を圧力室２２および検査用圧力室３３Ｊに接合する前に、ノズルプレート１６側から、振動板２１の検査用圧力室３３Ｊの開口部３０の輪郭３２に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室３３Ｊの開口部の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室３３Ｊの寸法を測定することで、圧力室２２の寸法を測定および管理することが可能になっている。
【００９４】
なお、実施例１０の製造方法では、実施例８の下電極２７をパターニングする工程において、検査用圧力室３３Ｊと重なる領域から下金属膜２７ａを除去する。つまり、実施例１０の製造方法では、実施例８の下電極２７をパターニングする工程において、検査用圧力室３３Ｊと重なる領域よりも外側に下電極２７を残す。その他の工程については、実施例８と同様であるため、詳細な説明を省略する。
【００９５】
（実施例１１）
実施例１１の検査用圧力室３３Ｋは、図１９に示すように、振動板２１の検査用圧力室３３Ｋと反対側において、圧電体２８と上電極２９とが検査用圧力室３３Ｋの開口部３０をまたぐ領域にわたって設けられている。つまり、実施例１１では、振動板２１から検査用圧力室３３Ｋに向かう方向に検査用圧力室３３Ｋを平面視したとき、圧電体２８と上電極２９とが検査用圧力室３３Ｋをまたぐ領域にわたって設けられている。このことを除いて、実施例１１は、実施例１と同様の構成を有している。このため、実施例１１において、実施例１と同様の構成については、実施例１と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００９６】
なお、実施例１１では、下電極２７とリード配線４１とが、検査用圧力室３３Ｋと重なる領域よりも外側に位置している。つまり、実施例１１では、振動板２１から検査用圧力室３３Ｋに向かう方向に検査用圧力室３３Ｋを平面視したとき、下電極２７とリード配線４１とが、検査用圧力室３３Ｋの領域に重なっていない。
【００９７】
したがって、圧電体２８の輪郭と上電極２９の輪郭３５は、検査用圧力室３３Ｋの領域よりも外側に位置する。また下電極２７の輪郭３４とリード配線４１の輪郭も、検査用圧力室３３Ｋの領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室３３Ｋから振動板２１に向かう方向に検査用圧力室３３Ｋを光学的に観測したときに、圧電体２８の輪郭が検査用圧力室３３Ｋの領域内に観測されない。なお、圧電体２８が光透過性を有する場合においては、上電極２９の輪郭３５も検査用圧力室３３Ｋの領域内に観測されない。また、下電極２７の輪郭３４とリード配線４１の輪郭も検査用圧力室３３Ｋの領域内に観測されない。このことにより、検査用圧力室３３Ｋを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｋの開口部３０の輪郭３２の像が、下電極２７、圧電体２８、上電極２９、リード配線４１に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室３３Ｋを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｋの開口部３０の輪郭３２を明確に把握しやすくなる。したがって本実施例に係る記録ヘッド３にて、ノズルプレート１６を圧力室２２および検査用圧力室３３Ｋに接合する前に、ノズルプレート１６側から、振動板２１の検査用圧力室３３Ｋの開口部３０の輪郭３２に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室３３Ｋの開口部３０の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室３３Ｋの寸法を測定することで、圧力室２２の寸法を測定および管理することが可能になっている。さらに、圧電体２８があるので、振動板２１を補強することができる。
【００９８】
なお、実施例１１の製造方法では、実施例３の下電極２７をパターニングする工程において、検査用圧力室３３Ｋと重なる領域から下金属膜２７ａを除去する。つまり、実施例１１の製造方法では、実施例６の下電極２７をパターニングする工程において、検査用圧力室３３Ｋと重なる領域よりも外側に下電極２７を残す。その他の工程については、実施例３と同様であるため、詳細な説明を省略する。
【００９９】
（実施例１２）
実施例１２の検査用圧力室３３Ｌは、図２０に示すように、振動板２１の検査用圧力室３３Ｌと反対側において、圧電体２８と、上電極２９と、リード配線４１とが検査用圧力室３３Ｌの開口部３０をまたぐ領域にわたって設けられている。つまり、実施例１２では、振動板２１から検査用圧力室３３Ｌに向かう方向に検査用圧力室３３Ｌを平面視したとき、圧電体２８と、上電極２９と、リード配線４１とが検査用圧力室３３Ｌをまたぐ領域にわたって設けられている。このことを除いて、実施例１２は、実施例１と同様の構成を有している。このため、実施例１２において、実施例１と同様の構成については、実施例１と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【０１００】
なお、実施例１２では、下電極２７が、検査用圧力室３３Ｌと重なる領域よりも外側に位置している。つまり、実施例１２では、振動板２１から検査用圧力室３３Ｌに向かう方向に検査用圧力室３３Ｌを平面視したとき、下電極２７が、検査用圧力室３３Ｌの領域に重なっていない。
【０１０１】
したがって、圧電体２８の輪郭と、上電極２９の輪郭３５と、リード配線４１の輪郭は、検査用圧力室３３Ｌの領域よりも外側に位置する。また下電極２７の輪郭３４も、検査用圧力室３３Ｌの領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室３３Ｌから振動板２１に向かう方向に検査用圧力室３３Ｌを光学的に観測したときに、圧電体２８の輪郭が検査用圧力室３３Ｌの領域内に観測されない。なお、圧電体２８が光透過性を有する場合においては、上電極２９の輪郭３５とリード配線４１の輪郭も検査用圧力室３３Ｌの領域内に観測されない。また、下電極２７の輪郭３４も検査用圧力室３３Ｌの領域内に観測されない。このことにより、検査用圧力室３３Ｌを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｌの開口部３０の輪郭３２の像が、下電極２７、圧電体２８、上電極２９、リード配線４１に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室３３Ｌを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｌの開口部３０の輪郭３２を明確に把握しやすくなる。したがって本実施例に係る記録ヘッド３にて、ノズルプレート１６を圧力室２２および検査用圧力室３３Ｌに接合する前に、ノズルプレート１６側から、振動板２１の検査用圧力室３３Ｌの開口部３０の輪郭３２に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室３３Ｌの開口部３０の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室３３Ｌの寸法を測定することで、圧力室２２の寸法を測定および管理することが可能になっている。さらに、圧電体２８とリード配線４１とがあるので、振動板２１を補強することができる。
【０１０２】
なお、実施例１２の製造方法では、実施例１１のリード配線４１をパターニングする工程において、検査用圧力室３３Ｌに重なる領域にわたってリード配線４１を残す。その他の工程については、実施例１１と同様であるため、詳細な説明を省略する。
【０１０３】
（実施例１３）
実施例１３の検査用圧力室３３Ｍは、図２１に示すように、振動板２１の検査用圧力室３３Ｍと反対側において、圧電体２８とリード配線４１とが検査用圧力室３３Ｍの開口部３０をまたぐ領域にわたって設けられている。つまり、実施例１３では、振動板２１から検査用圧力室３３Ｍに向かう方向に検査用圧力室３３Ｍを平面視したとき、圧電体２８とリード配線４１が検査用圧力室３３Ｍをまたぐ領域にわたって設けられている。このことを除いて、実施例１３は、実施例１と同様の構成を有している。このため、実施例１３において、実施例１と同様の構成については、実施例１と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【０１０４】
なお、実施例１３では、下電極２７と上電極２９とが、検査用圧力室３３Ｍと重なる領域よりも外側に位置している。つまり、実施例１３では、振動板２１から検査用圧力室３３Ｍに向かう方向に検査用圧力室３３Ｍを平面視したとき、下電極２７と上電極２９とが、検査用圧力室３３Ｍの領域に重なっていない。
【０１０５】
したがって、圧電体２８の輪郭とリード配線４１の輪郭は、検査用圧力室３３Ｍの領域よりも外側に位置する。また下電極２７の輪郭３４と上電極２９の輪郭３５も、検査用圧力室３３Ｍの領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室３３Ｍから振動板２１に向かう方向に検査用圧力室３３Ｍを光学的に観測したときに、圧電体２８の輪郭が検査用圧力室３３Ｍの領域内に観測されない。なお、圧電体２８が光透過性を有する場合においては、リード配線４１の輪郭も検査用圧力室３３Ｍの領域内に観測されない。また、下電極２７の輪郭３４と上電極２９の輪郭３５も検査用圧力室３３Ｍの領域内に観測されない。このことにより、検査用圧力室３３Ｍを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｍの開口部３０の輪郭３２の像が、下電極２７、圧電体２８、上電極２９、リード配線４１に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室３３Ｍを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｍの開口部３０の輪郭３２を明確に把握しやすくなる。したがって本実施例に係る記録ヘッド３にて、ノズルプレート１６を圧力室２２および検査用圧力室３３Ｍに接合する前に、ノズルプレート１６側から、振動板２１の検査用圧力室３３Ｍの開口部３０の輪郭３２に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室３３Ｍの開口部３０の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室３３Ｍの寸法を測定することで、圧力室２２の寸法を測定および管理することが可能になっている。さらに、圧電体２８があるので、振動板２１を補強することができる。
【０１０６】
なお、実施例１３の製造方法では、実施例１０の圧電体２８をパターニングする工程において、検査用圧力室３３Ｍに重なる領域にわたって圧電体２８を残す。その他の工程については、実施例１０と同様であるため、詳細な説明を省略する。
【０１０７】
（実施例１４）
実施例１４の検査用圧力室３３Ｎは、図２２に示すように、振動板２１の検査用圧力室３３Ｎと反対側において、上電極２９とリード配線４１とが検査用圧力室３３Ｎの開口部３０をまたぐ領域にわたって設けられている。つまり、実施例１４では、振動板２１から検査用圧力室３３Ｎに向かう方向に検査用圧力室３３Ｎを平面視したとき、上電極２９とリード配線４１とが検査用圧力室３３Ｎをまたぐ領域にわたって設けられている。このことを除いて、実施例１４は、実施例１と同様の構成を有している。このため、実施例１４において、実施例１と同様の構成については、実施例１と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【０１０８】
なお、実施例１４では、下電極２７と圧電体２８とが、検査用圧力室３３Ｎと重なる領域よりも外側に位置している。つまり、実施例１４では、振動板２１から検査用圧力室３３Ｎに向かう方向に検査用圧力室３３Ｎを平面視したとき、下電極２７と圧電体２８とが、検査用圧力室３３Ｎの領域に重なっていない。
【０１０９】
したがって、上電極２９の輪郭３５とリード配線４１の輪郭は、検査用圧力室３３Ｎの領域よりも外側に位置する。また下電極２７の輪郭３５と圧電体２８の輪郭も、検査用圧力室３３Ｎの領域よりも外側に位置する。このため、検査用圧力室３３Ｎから振動板２１に向かう方向に検査用圧力室３３Ｎを光学的に観測したときに、上電極２９の輪郭３５が検査用圧力室３３Ｎの領域内に観測されない。なお、リード配線４１は、検査用圧力室３３Ｎの領域内において、上電極２９に重なるように設けられている。したがって、検査用圧力室３３Ｎを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｎの領域内において、リード配線４１の像は観測されない。また、下電極２７の輪郭３４と圧電体２８の輪郭も検査用圧力室３３Ｎの領域内に観測されない。このことにより、検査用圧力室３３Ｎを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｎの開口部３０の輪郭３２の像が、下電極２７、圧電体２８、上電極２９、リード配線４１に干渉されることが低く抑えられる。この結果、検査用圧力室３３Ｎを光学的に観測したときに、検査用圧力室３３Ｎの開口部３０の輪郭３２を明確に把握しやすくなる。したがって本実施例に係る記録ヘッド３にて、ノズルプレート１６を圧力室２２および検査用圧力室３３Ｎに接合する前に、ノズルプレート１６側から、振動板２１の検査用圧力室３３Ｎの開口部３０の輪郭３２に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室３３Ｎの開口部３０の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室３３Ｎの寸法を測定することで、圧力室２２の寸法を測定および管理することが可能になっている。さらに、リード配線４１があるので、振動板２１を補強することができる。
【０１１０】
なお、実施例１４の製造方法では、実施例９のリード配線４１をパターニングする工程において、検査用圧力室３３Ｎに重なる領域にわたってリード配線４１を残す。その他の工程については、実施例９と同様であるため、詳細な説明を省略する。
【０１１１】
本発明は上述した実施形態に限定されず、上述した実施形態に種々の変更や改良などを加えることが可能である。上記各実施例では、振動板２１の検査用圧力室３３と反対側において、下電極２７、圧電体２８、上電極２９、リード配線４１などを活用して検査用圧力室３３の開口部３０の寸法を測定する例を示したが、この構成に限定するものではない。たとえば、下電極２７、圧電体２８、上電極２９、リード配線４１以外に、遮光性を有する膜を、検査用圧力室３３の開口部３０をまたぐ領域にわたって設けてもいい。このことによって、記録ヘッド３にて、ノズルプレート１６を圧力室２２および検査用圧力室３３に接合する前に、ノズルプレート１６側から、振動板２１の検査用圧力室３３の開口部３０の輪郭３２に顕微鏡の焦点を合わせて、検査用圧力室３３の開口部３０の寸法を測定しやすくなっている。そして、検査用圧力室３３の寸法を測定することで、圧力室２２の寸法を測定および管理することが可能になっている。さらに、遮光性を有する膜を設けることで、振動板２１を補強することができる。
【符号の説明】
【０１１２】
１…プリンター、３…記録ヘッド、１４…アクチュエーターユニット、１５…圧力室形成基板、１６…ノズルプレート、１７…弾性膜、１８…絶縁体膜、１９…圧電素子、２０…封止板、２１…振動板、２２…圧力室、２２ａ…隔壁、２３…連通部、２５…ノズル、２６…連通開口部、２７…下電極、２７ａ…下金属膜、２８…圧電体、２８ｂ…ＰＺＴ層、２９…上電極、２９ａ…上金属膜、３０…開口部、３１…壁面、３２…輪郭、３３，３３Ａ，３３Ｂ，３３Ｃ，３３Ｄ，３３Ｅ，３３Ｆ，３３Ｇ，３３Ｈ，３３Ｉ，３３Ｊ，３３Ｋ，３３Ｌ，３３Ｍ，３３Ｎ…検査用圧力室、３４…輪郭、３５…輪郭、４１…リード配線、４２…スルーホール、４３…金属層。
【図１】
2017114032.tif 000003
【図２】
2017114032.tif 000004
【図３】
2017114032.tif 000005
【図４】
2017114032.tif 000006
【図５】
2017114032.tif 000007
【図６】
2017114032.tif 000008
【図７】
2017114032.tif 000009
【図８】
2017114032.tif 000010
【図９Ａ】
2017114032.tif 000011
【図９Ｂ】
2017114032.tif 000012
【図９Ｃ】
2017114032.tif 000013
【図９Ｄ】
2017114032.tif 000014
【図９Ｅ】
2017114032.tif 000015
【図９Ｆ】
2017114032.tif 000016
【図９Ｇ】
2017114032.tif 000017
【図９Ｈ】
2017114032.tif 000018
【図１０】
2017114032.tif 000019
【図１１】
2017114032.tif 000020
【図１２】
2017114032.tif 000021
【図１３】
2017114032.tif 000022
【図１４】
2017114032.tif 000023
【図１５】
2017114032.tif 000024
【図１６】
2017114032.tif 000025
【図１７】
2017114032.tif 000026
【図１８】
2017114032.tif 000027
【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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