(57)【要約】【課題】振動子と摺動部材が相対移動する駆動力を発生させる楕円運動の、振幅楕円比の調整において、調整範囲が広く楕円運動の振幅楕円比の最適な比率へ調整可能で、かつ、振動子の駆動効率を高くできる振動波モータを提供する。【解決手段】振動波モータは、振幅変更手段１６を有し、振幅変更手段１６は振動子１０１が振動により変形する方向において、振動子１０１と少なくとも一部が重なって配置され、振動子１０１と振幅変更手段１６との重なり量Ｌを変更することにより、振動子１０１の振幅３３を変更する。【選択図】  図３
2017079554.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
突起部を有する振動子と、
前記突起部が接触する摺動部材と、
を備え、
前記振動子を振動させることにより前記振動子と前記摺動部材とが相対移動する振動波モータにおいて、
前記振動子の前記振動の振幅を変更する振幅変更手段を有し、前記振幅変更手段は前記振動子が前記振動により変形する方向において、前記振動子と少なくとも一部が重なって配置され、前記振動子と前記振幅変更手段との重なり量を変更することにより、前記振動子の前記振幅を変更することを特徴とする振動波モータ。
【請求項２】
前記振幅変更手段が前記振動子と重なる位置は、前記振動子の振動モードの節の位置にあることを特徴とする請求項１に記載の振動波モータ。
【請求項３】
前記重なり量は、前記振動子の振動モードの節の線上の重なり長さであることを特徴とする請求項１又は２に記載の振動波モータ。
【請求項４】
前記振幅変更手段は、前記振動子の短辺方向の重なり量を変更することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の振動波モータ。
【請求項５】
前記振幅変更手段は、加圧手段を含むことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の振動波モータ。
【請求項６】
前記加圧手段は、振幅変更部材を備え、前記振幅変更部材の先端の形状は略長方形であることを特徴とする、請求項５に記載の振動波モータ。
【請求項７】
前記振動子には、前記加圧手段からの加圧力を受ける加圧ベースが備えられ、前記加圧ベースの受け部は、前記振動子の短辺方向にＲ形状が延びる形状であることを特徴とする、請求項５又は６に記載の振動波モータ。
【請求項８】
前記振動は、超音波領域の周波数で振動し、前記振動波モータは、超音波モータであることを特徴とする、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の振動波モータ。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか１項に記載の振動波モータを備えたレンズ鏡筒。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動子に発生する振動によって、振動子と振動子に摩擦接触する摺動部材が相対移動する振動波モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、デジタルカメラやビデオカメラ等の撮影装置では、フォーカシングやズーミングの駆動源に超音波モータが用いられている。この超音波モータは、例えば特許文献１に開示されているように、二つの突起部を有する振動板に圧電素子を貼りあわせた振動子と、二つの突起部が摺動する摺動部材から構成されている。そして、振動子の圧電素子に互いに位相の異なる２相の交流電圧を印加することで、突起部に超音波振動を励振させ、この振動板の突起部を摺動部材に加圧接触させることで、両者間に発生する摩擦力により振動子と摺動部材とは相対移動する。この相対移動を利用して、前後方向に移動するリニアタイプや、正逆方向に回転する回転タイプの超音波モータが構成される。
【０００３】
超音波振動は、一つの振動子に上下運動をする突き上げ振動モードと、振り子運動をする送り振動モードとを発生させ、これら複数の異なる振動モードを重ね合せることにより、振動板の突起部の振動が楕円の軌跡になるようにする。そして、一般的に相対移動の駆動効率を向上させるためには、突き上げ振動モードと送り振動モードを重ね合せた楕円運動の振幅楕円比において、振動子ごとに最適なバランス比率が存在する。
【０００４】
しかし、振動板や圧電素子の寸法ばらつき、圧電素子の振動特性ばらつき、振動板と圧電素子の接合ずれにより、突き上げ振動モードと送り振動モードのそれぞれの振動特性がばらついてしまい、最適なバランス比率が崩れて駆動効率が低下するという問題がある。
【０００５】
この問題に対しては、振動子の楕円運動の振幅楕円比を調整する技術が従来提案されている。例えば、特許文献１では振動子に備えられた振動板の長辺方向の端面に、振動板の等価長さを増加させるための調整部材であるねじ（質量体）を装着することにより、突き上げ振動モードと送り振動モードの楕円運動の振幅楕円比を調整している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平９−２１５３４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記の特許文献１に開示された従来技術では以下のような課題がある。振動子の突き上げ振動モードと送り振動モードとを重ね合わせて得られる楕円運動の振幅楕円比を調整する調整部材が、振動板の振幅の大きい位置において振動板の等価長さを増加させるように取り付けられている。この構成では、突き上げ振動モードと送り振動モードとが共に影響し合い、それぞれの振幅が変化してしまう。又、突き上げ振動モードと送り振動モードの振幅の変化量の差で調整が行われているため、調整範囲が狭くなり、部品のばらつきが大きい場合等に、楕円運動の振幅楕円比を最適なバランス比率に調整することが困難となる課題がある。更に、調整に際し、調整部材の質量を更に増加させていくので、振動子の振動が抑制されてしまう課題がある。更に振動子自体の重量が増すので、駆動効率が低下してしまうという課題がある。
【０００８】
そこで、本発明の目的は、振動子の楕円運動の振幅楕円比を調整する際に、該振幅楕円比の調整範囲が広く、振幅楕円比を最適なバランス比率へ調整可能な振動波モータを提供することである。更に、振動子の駆動効率を効率化した振動波モータを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明では上記目的を達成するために、突起部を有する振動子と、突起部が接触する摺動部材と、を備え、振動子を振動させることにより振動子と摺動部材とが相対移動する振動波モータにおいて、振動子の振幅を変更する振幅変更手段を有し、振幅変更手段は振動子が振動により変形する方向において、振動子と少なくとも一部が重なって配置され、振動子と振幅変更手段との重なり量を変更することにより、振動子の振幅を変更することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明により、振動子の楕円運動の振幅楕円比の調整をする際に、該振幅楕円比の調整範囲が広く、振幅楕円比を最適なバランス比率へ調整可能な振動波モータを提供することができる。更に、振動子の駆動効率を効率化した振動波モータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】（Ａ）本発明の実施例における振動子１０１及び振動子１０１と摩擦接触する摺動部材３の概略斜視図である。（Ｂ）振動子１０１と摺動部材３の正面図である。
【図２】（Ａ）本発明の実施例における振動子１０１の第１の曲げ振動モードを示す図である。（Ｂ）第２の曲げ振動モードを示す図である。
【図３】本発明の実施例における振動波モータの構成を示す断面図である。
【図４】（Ａ）本発明の実施例における振動波モータの振幅変更手段を構成する加圧ベース５を示す図である。（Ｂ）振幅変更部材１６を示す図である。（Ｃ）調整部材１９を示す図である。
【図５】（Ａ）本発明の実施例における振動波モータを構成するガイド部材９を示す図である。（Ｂ）天板７を示す底面図である。
【図６】（Ａ）乃至（Ｃ）本発明の実施例における振動波モータの振幅楕円比の調整機構の模式図である。
【図７】本発明の実施例における振動波モータを用いたレンズ鏡筒４１の構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に、本発明の好ましい実施の形態を、添付の図面に基づいて詳細に説明する。なお、すべての図面において、振動波モータの移動方向をＸ方向、移動方向に直交し振動子１０１を加圧する方向を−Ｚ方向、Ｘ方向及びＺ方向それぞれに直交する方向をＹ方向と定義する。なお、Ｚ方向においては適宜、上下方向及び上側、下側が用いられる。
【実施例】
【００１３】
以下、図１乃至図５を用いて、本発明の実施例の振動波モータの構成を説明する。図１（Ａ）には、振動子１０１が摺動部材３に摩擦接触する状態における概略斜視図が示されており、図１（Ｂ）には、上記状態における正面図が示されている。振動波モータの駆動源である振動子１０１は、駆動時に高周波駆動電圧が印加される圧電素子２と、圧電素子２に与える高周波駆動電圧によって超音波領域の周波数の振動（超音波振動）が発生する振動板１から構成されている。圧電素子２は、２つの電極（不図示）を有し、２つの電極のそれぞれに高周波駆動電圧が印加される。又、圧電素子２と振動板１とは、接着剤等で接合されている。
【００１４】
更に、振動板１には突起部１ａが移動方向に沿って並んで２つ形成されている。圧電素子２に高周波駆動電圧が印加されると、振動子１０１に超音波振動が励振される。この振動子１０１が摺動部材３に対して後述の加圧手段（不図示）により加圧されることにより、突起部１ａと摺動部材３との間に摩擦力が発生し、この摩擦力により振動子１０１と摺動部材３とがＸ方向に相対移動する。
【００１５】
図２（Ａ）、（Ｂ）には、振動子１０１の２つの異なる振動モードがそれぞれ示されている。振動子１０１の圧電素子２に特定の周波数の高周波駆動電圧を印加することにより、複数の振動モードが励振される。そして、これら複数の振動モードを重ね合せることにより、突起部１ａに駆動源としての楕円運動が発生する。本実施例では、図１（Ａ）に示された振動子１０１と摺動部材３の構成に対して、図２（Ａ）、（Ｂ）に示された２つの曲げ振動モードを振動子１０１に励振させている。
【００１６】
図２（Ａ）には、圧電素子２の２つの電極（不図示）に正の電圧、或いは負の電圧を同時に印加した場合に発生する、振動子１０１の短辺方向の第１の曲げ振動モードが示されている。又、第１の曲げ振動モードの節３２、及び腹３１がそれぞれ一点鎖線で示されている。突起部１ａは、第１の曲げ振動モードにおいて振動の腹３１となる所、又はその近傍に位置している。そして、突起部１ａは、Ｚ方向に往復運動、即ち上下運動（３３）の形態の第１の曲げ振動をする。この上下運動（３３）は、駆動の突き上げ振動の振幅３３の成分である。
【００１７】
図２（Ｂ）には、圧電素子２の２つの電極（不図示）のそれぞれに、正と負、或いは負と正の異なる電圧を同時に印加した場合に発生する、振動子１０１の長辺方向の第２の曲げ振動モードが示されている。又、第２の曲げ振動モードの腹３４及び節３５がそれぞれ一点鎖線で示されている。突起部１ａは、第２の曲げ振動モードにおいて振動の節３５となる所、又はその近傍に位置している。そして、突起部１ａが位置する所を支点としてＸ方向に往復運動（３６）、即ち振り子運動（３６）の形態の第２の曲げ振動をする。この振り子運動は、駆動の送り振動の振幅３６の成分である。
【００１８】
図２（Ａ）、（Ｂ）において振動子１０１は、それぞれ直交して示されている。したがって、第１の曲げ振動モードの曲げの方向と第２の曲げ振動モードの曲げの方向とは直交している。又、振動子１０１の形状は、第１の曲げ振動モードと第２の曲げ振動モードの共振周波数が一致するか、又は近くなるように設計される。
【００１９】
上記第２の曲げ振動モードを実現するために、圧電素子２は長辺方向に２つの領域に分極されている。即ち、振動子１０１の長辺を等分する中央線（振動の節３５と重畳する線）から＋Ｘ方向と−Ｘ方向において圧電層が分極されており、この２つの圧電層により第２の曲げ振動を可能としている。そして、それぞれ直交する第１の曲げ振動モードと第２の曲げ振動モードとを同時に励振し、これら２つの振動モードを重ね合わせることで、Ｘ−Ｚ面内で上下運動（３３）と振り子運動（３６）が合成され、突起部１ａは楕円運動３７をする。この楕円運動３７により、振動子１０１は摺動部材３に対して相対移動することができる。
【００２０】
図３は、振動子１０１を備えた振動波モータの構成を示す断面図である。図４（Ａ）乃至（Ｃ）は、後述の振幅変更手段を構成する部品を示す図である。図５（Ａ）は、振動波モータを構成するガイド部材９の平面図及び側面図である。図５（Ｂ）は、振動波モータを構成する天板７の底面図である。まず、図３を参照して、振動波モータの構成を説明する。
【００２１】
振動波モータの駆動源である振動子１０１は、振動波モータの駆動時に高周波駆動電圧が印加される圧電素子２と、圧電素子２に与える高周波駆動電圧により超音波振動が発生する振動板１とを接着剤等で固定して構成されている。又、振動板１には、突起部１ａがＸ方向に並んで２つ形成されている。そして、振動子１０１は、剛性が弱いばね材から形成された振動子保持部材６に接着剤等で固定され保持されている。
【００２２】
振動子１０１を保持している振動子保持部材６は、ガイド部材９の下側に取り付けられている。振動子保持部材６が取り付けられることにより形成されるガイド部材９の内部空間には、振動子１０１を加圧する加圧手段が備えられている。加圧手段は、加圧力２６を発生し、この加圧力２６によって振動子１０１は摺動部材３に加圧接触している。振動子１０１の上側には、加圧手段からの加圧力２６を受ける加圧ベース５が取り付けられている。
【００２３】
図４（Ａ）には、加圧ベース５の平面図及び正面図が示されている。加圧ベース５の長辺方向のほぼ中央に加圧力受け部５ａが形成されており、加圧力受け部５ａの形状は、振動子１０１の短辺方向にＲ形状が延びる略半円筒形状となっている。
【００２４】
図４（Ｂ）には、振幅変更部材１６の平面図、正面図及び底面図が示されている。振幅変更部材１６は、加圧力受け部５ａと接する先端面１６ｂを有する先端部１６ａ、加圧ばね１７の一端部を受ける受け部１６ｃ、加圧力２６を伝達する加圧軸部１６ｄ及びピン孔１６ｅを備えている。先端部１６ａの形状は略長方形であり、先端部１６ａの長辺方向の長さは、加圧ベース５の短辺方向の長さより長くなっている。即ち、先端部１６ａの長さは、加圧力受け部５ａの長さより長い。
【００２５】
図４（Ｃ）には、調整部材１９の平面図及び正面図が示されている。調整部材１９は、略円形の円盤形状をしており、中央に嵌合孔１９ａ、該嵌合孔１９ａと平行な方向に二つのかに目孔１９ｂ、及び該嵌合孔１９ａに直交する方向にピン孔１９ｃを備えている。振幅変更部材１６の加圧軸部１６ｄは、調整部材１９の嵌合孔１９ａに嵌合すると共に、振幅変更部材１６にあるピン孔１６ｅと調整部材１９にあるピン孔１９ｃにピン２２が打ち込まれることにより、振幅変更部材１６と調整部材１９とは一体となる。
【００２６】
振幅変更部材１６と一体となった調整部材１９は、ガイド部材９のほぼ中央に配置される（図３参照）。そして、加圧蓋２０をガイド部材９のほぼ中央にある嵌合凹部９ｃに嵌合する際に、調整部材１９を加圧蓋２０の中央にある嵌合孔２０ａに嵌合する。更に、加圧蓋２０は、ねじ２１によりガイド部材９に固定される。このような構成により、振幅変更部材１６の先端面１６ｂは、加圧力受け部５ａのＲ形状頂点線５ｂ（一点鎖線、図４（Ａ）参照）に接した状態になる。
【００２７】
加圧ばね１７は、振幅変更部材１６の受け部１６ｃとワッシャ１８との間に挟持されており、ワッシャ１８を固定端として、振幅変更部材１６の先端部１６ａを−Ｚ方向へ加圧する。振幅変更部材１６の先端面１６ｂは、振動子１０１に取り付けられた加圧ベース５の加圧力受け部５ａに加圧力２６を付加する。加圧力２６は、振動子１０１を保持する剛性が弱いばね材からなる振動子保持部材６を変形させると共に、振動子保持部材６に取り付けられた振動子１０１を摺動部材３へ加圧する。
【００２８】
図３において、加圧手段は、振幅変更部材１６、加圧ばね１７、ワッシャ１８、調整部材１９、加圧蓋２０等から構成される。又、振幅変更手段は、上記加圧手段と振動子１０１に取り付けられた加圧ベース５から構成される。調整部材１９は、ガイド部材９と加圧蓋２０とに挟持され位置決めされると共に、調整部材１９に備えられた、かに目孔１９ｂを使ってＺ軸周り（回転方向ｒ）に回転させることが可能である（図４（Ｃ）参照）。調整部材１９を回転させることにより、振幅変更部材１６の先端面１６ｂが加圧ベース５のＲ形状頂点線５ｂに接する長さ（重なり量Ｌ）を変更することが可能である。つまり、振幅変更部材１６の先端面１６ｂは、振動子１０１が振動して変形する方向において、振動子１０１と重なって配置され、振動子１０１に取り付けられた加圧ベース５のＲ形状頂点線５ｂとの接する長さを変更することが可能である。
【００２９】
そして、振幅変更部材１６の先端面１６ｂと振動子１０１との重なり量Ｌを変更することにより、振動子１０１の上下運動（３３）が変更され突き上げ振動の振幅３３が制御される。重なり量Ｌを変更する位置は、突き上げ振動モード（第１の曲げ振動モード）の振幅を抑制させ易い腹３１の位置（図２（Ａ）参照）であると共に、送り振動モード（第２の曲げ振動モード）の節３５の位置（図２（Ｂ）参照）でもある。一般的に、節３５の位置では振動しないので、重なり量Ｌを変更したことによる送り振動への影響は非常に小さく、結果として振幅３６は変更されないことになる。
【００３０】
振動波モータは、略箱型形状のユニットベース４の内部に保持されている。ユニットベース４内の底面には、振動子１０１に摩擦接触する金属材料から形成された摺動部材３が固定され、ユニットベース４の開放端部には天板７が固定されている。そして、振動波モータを構成するガイド部材９と天板７との間には、４つの転動部材８が挟持されている。転動部材８は、天板７とガイド部材９とに挟持された状態で転動することにより、ガイド部材９のＸ方向への移動を許容している。
【００３１】
図５（Ａ）には、ガイド部材９の平面図及び側面図が示され、ガイド部材９の上面には２つのガイド溝９ｂ、及びガイド部材９のほぼ中央には貫通孔９ａ、加圧蓋２０が嵌合する嵌合凹部９ｃが形成されている。又、図５（Ｂ）には、天板７の底面図が示され、天板７の下面には２つのガイド溝７ｂが備えられている。天板７がユニットベース４に固定される際、ガイド部材９のガイド溝９ｂと対応関係にある天板７のガイド溝７ｂとによって形成される２つの空間にそれぞれ２つの転動部材８が挟持される。なお、天板７に設けられた孔７ａは、天板７をユニットベース４に取付けるためのねじ取付け孔であり、角孔７ｃは調整部材１９を回転させるための開口部である。
【００３２】
以上のような構成で本発明の実施例の振動波モータは構成され、加圧手段が振動子１０１を摺動部材３に対して加圧することで、突起部１ａが摺動部材３に摩擦接触する。振動子１０１に固定された圧電素子２に高周波駆動電圧が印加されると、振動子１０１に超音波振動が励振される。そして、突起部１ａと摺動部材３の両者間の摩擦力により駆動力が生じ、摺動部材３に対し振動子１０１がＸ方向に相対移動する。振動子１０１のＸ方向の移動に伴い、転動部材８が転動することで、振動子１０１が取り付けられているガイド部材９はＸ方向に移動する。なお、本実施例では振動子１０１が移動し、摺動部材３が固定される構成としたが、振動子１０１を固定し、摺動部材３が移動する構成でもよい。
【００３３】
次に、振動子１０１と摺動部材３とが相対移動するための駆動力を発生させる楕円運動の振幅楕円比を調整する方法について説明する。本発明の実施例の振動子１０１の楕円運動の振幅楕円比を調整する方法は、振幅楕円比の調整範囲が広く、楕円運動の振幅楕円比の最適な比率へ調整可能で、かつ、振動子１０１の駆動効率を高くすることができる特徴を有する。
【００３４】
図６（Ａ）乃至（Ｃ）は、本発明の実施例における振動波モータにおいて、振動子１０１の楕円運動３７の振幅楕円比の調整機構を模式的に示している。図６（Ａ）の左図には、振幅変更部材１６が取付けられた振動子１０１の平面図が示されている。理解しやすいように受け部１６ｃ及び加圧軸部１６ｄの記載は省略している。又、回転方向ｒに回転させることができる振幅変更部材１６が調整位置（ｂ）に位置する場合について、振幅変更部材１６の先端部１６ａが実線で示されている。調整位置（ａ）は、先端部１６ａが振動子１０１の長辺方向に平行になる場合の位置、調整位置（ｃ）は、先端部１６ａが振動子１０１の短辺方向に平行になる場合の位置であり、それぞれ破線によって示されている。
【００３５】
図６（Ａ）の右図には、上記左図における断面線Ａ−Ａに沿った断面図が示されると共に、振幅変更部材１６の先端部１６ａの各調整位置における振動子１０１の突き上げ振動の振幅３３が示されている。図６（Ｂ）には、振動子１０１、該振動子１０１に取り付けられる加圧ベース５、及び振幅変更部材１６の先端部１６ａの配置関係を示す正面図が示されている。又、図６（Ｃ）には、振幅変更部材１６の先端部１６ａの各調整位置と楕円運動３７の振幅楕円比との関係が示されている。なお、突き上げ振動の振幅３３は、説明を解り易くするため誇張して示されている。
【００３６】
図６（Ｂ）において、振幅変更部材１６の先端面１６ｂは、振動子１０１に取り付けられた加圧ベース５のＲ形状頂点線５ｂに対して、振動子１０１が振動により変形する方向に少なくとも一部が重なって配置されている。この振動子１０１と振幅変更部材１６との重なり量Ｌを変更することにより、振動子１０１の振幅を変更することができる。なお、振幅変更部材１６は模式図のため先端部１６ａのみ示されている。
【００３７】
ここで、重なり量Ｌの変更について以下に述べる。振幅変更部材１６と一体になっている調整部材１９に備えられた、かに目孔１９ｂを用いて振幅変更部材１６をＺ軸周りに回転させる。図６（Ａ）において、振幅変更部材１６を回転させることにより、先端部１６ａは、位置（ａ）、（ｂ）、（ｃ）へと回転する。この先端部１６ａの回転により、先端部１６ａの先端面１６ｂと加圧ベース５のＲ形状頂点線５ｂの重なり量ＬがＬａ、Ｌｂ、Ｌｃへと変化する。
【００３８】
先端面１６ｂと加圧ベース５のＲ形状頂点線５ｂとの重なり量が増えることにより、振動子１０１の突き上げ振動による変形が抑制されるので、振動子１０１の振幅は小さくなる。即ち、先端部１６ａの先端面１６ｂと加圧ベース５のＲ形状頂点線５ｂとの重なり量ＬをＬａ、Ｌｂ、Ｌｃへと長くすると、振動子１０１の振動による突き上げ振動の振幅は３３ａ、３３ｂ、３３ｃへと小さくなる。そして、楕円運動の振幅楕円比が変化し振幅楕円運動の軌跡が３７ａ、３７ｂ、３７ｃへと変化する（図６（Ｃ）参照）。
【００３９】
ここで、重なり量Ｌが変化しても送り振動の振幅３６は一定である。それは、先端面１６ｂと加圧ベース５のＲ形状頂点線５ｂの重なり部が、送り振動モードの節３５の位置（図２（Ｂ）参照）にあるので、送り振動が抑制されにくいため、送り振動の振幅３６は一定となる。図３において説明したように、振幅変更手段により変更される重なり量Ｌは、振動子１０１の送り振動モードの節３５の線上の重なり長さである。
【００４０】
一般的に送り振動モードの振幅が大きい方が駆動効率は良いが、これに対して突き上げ振動モードの振幅が余分に大きいと、無駄な動きが発生し駆動効率が悪く消費電力のみが増加する。又、突き上げ振動モードの振幅が余分に小さいと速度低下が発生する。そして、目標速度を一定にする制御では、駆動電圧を更に上昇させることが必要となり結果として電力が増加する。しかしながら、本発明の実施例の楕円運動３７の振幅楕円比の調整機構では、振動子１０１と摺動部材３とを相対移動させるための駆動力に必要な送り振動モードを抑制せずに、突き上げ振動モードのみを抑制し、楕円運動の振動楕円比を調整可能としている。そのため、高速度、省電力、駆動効率が高い振動波モータを実現可能としている。
【００４１】
又、送り振動の振幅３６が一定で、突き上げ振動の振幅３３ａ、３３ｂ、３３ｃのみが調整されるので、楕円運動の振動楕円比のバランス比率を広範囲に変更することが可能であり、最適なバランス比率に調整が容易に可能となる。
【００４２】
バランス比率を最適に調整することにより、振動子１０１と摺動部材３の摩擦状態が一定に保たれるので駆動力の低下が起こらず、結果として速度低下が発生しない。又、駆動力の低下が起きないので無駄な消費電力の増加がなく、結果として駆動効率の低下を回避することが可能となる。
【００４３】
バランス比率の調整後は、振幅変更部材１６の回転ずれを防止するために、調整部材１９と加圧蓋２０とを接着剤等で固定している。なお、従来技術では、振幅楕円比を調整するために振動子の振動板の長辺方向の端面に、振動板の等価長さを増加させるねじ（質量体）を装着しており、振動波モータの長辺方向のスペースがより必要となっていた。これに対して、本発明では、振幅楕円比を調整するための振幅変更手段が既存の加圧手段と加圧ベース５を利用する構造となり、振動波モータのスペースを増やしていない。これにより、コンパクトな振動波モータを提供することが可能となる。
【００４４】
以上、説明したように、振動子１０１の楕円運動の振幅楕円比の調整において、調整範囲が広く楕円運動の振幅楕円比の最適な比率へ調整可能で、かつ、振動子１０１の駆動効率を高くできる振動波モータを提供することができる。本発明の実施例では、送り振動モードの節３５と突き上げ振動モードの腹３１との交点において、突き上げ振動モードの振幅３３を調整した。しかし、これに限定されず、突き上げ振動モードの節３２と送り振動モードの腹３４との交点において、送り振動モードの振幅３３を調整するように構成してもよい。
【００４５】
次に、図７を参照して、本発明の振動波モータをレンズ装置のフォーカシングの駆動源に応用したレンズ鏡筒４１の構成を説明する。レンズ鏡筒４１内には、被写体側に撮像光学系としての１、２群レンズ鏡筒４２が備えられている。次に、絞りユニット４８、フォーカスレンズ４３が備えられ、フォーカスレンズ４３を保持するレンズ移動枠４４が備えられている。次に、４、５群レンズ鏡筒４５が備えられている。なお、１、２群レンズ鏡筒４２、４、５群レンズ鏡筒４５には、固定レンズが組み込まれている。
【００４６】
そして、レンズ移動枠４４を光軸４９に沿って前後移動させる２つのメインガイドバー４６がレンズ鏡筒４１の鏡筒内壁へ光軸４９に平行に付けられている。又、レンズ鏡筒４１の鏡筒内部には、振動波モータを構成するガイド部材９が光軸４９に沿って移動可能となるようにユニットベース４が取り付けられている。ガイド部材９とレンズ移動枠４４とは、連結部材４７で連結されると共に、振動子１０１の駆動力はレンズ移動枠４４に伝達されて、フォーカスレンズ４３を光軸４９方向に移動させることが可能となる。
【００４７】
以上、本発明の好ましい実施の形態について説明したが、本発明はこれらの実施の形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
【符号の説明】
【００４８】
１０１  振動子
１ａ    突起部
３      摺動部材
５      加圧ベース（振幅変更手段）
１６    振幅変更部材（加圧手段、振幅変更手段）
１７    加圧ばね（加圧手段、振幅変更手段）
１８    ワッシャ（加圧手段、振幅変更手段）
１９    調整部材（加圧手段、振幅変更手段）
２０    加圧蓋（加圧手段、振幅変更手段）
３２    節（第１の曲げ振動モード）
３５    節（第２の曲げ振動モード）
４１    レンズ鏡筒
Ｌ      重なり量
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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