(57)【要約】【課題】従来よりも高いエネルギー閉じ込め効果が期待できる圧電振動子の提供。【解決手段】水晶振動子１は、第１主面１１、第１主面１１と表裏の関係にある第２主面１２、第１主面１１と第２主面１２とを接続する接続部１３、を有する水晶基板１４と、第１主面１１及び第２主面１２に設けられている励振電極１５，１６と、接続部１３の、励振電極１６から水晶基板１４の外縁１４ａまでの間に設けられている複数の凸部１７と、を備え、複数の凸部１７は、第１主面１１及び第２主面１２の少なくとも一方の主面（ここでは、第２主面１２）側に突出し、複数の凸部１７の各頂部１７ａは、外縁１４ａに近いほど、突出側とは反対側の他方の主面（ここでは、第１主面１１）に近くなり、複数の凸部１７の、隣り合う凸部１７同士をつなぐ各低部１７ｂは、外縁１４ａに近いほど、他方の主面（第１主面１１）に近くなっている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１主面、前記第１主面と表裏の関係にある第２主面、前記第１主面と前記第２主面とを接続する接続部、を有する圧電基板と、
前記第１主面及び前記第２主面に設けられている励振電極と、
前記接続部の、前記励振電極から前記圧電基板の外縁までの間に設けられている複数の凸部と、を備え、
前記複数の凸部は、前記第１主面及び前記第２主面の少なくとも一方の主面側に突出し、
前記複数の凸部の各頂部は、前記外縁に近いほど、突出側とは反対側の他方の主面に近くなり、
前記複数の凸部の、隣り合う凸部同士をつなぐ各低部は、前記外縁に近いほど、前記他方の主面に近くなっていることを特徴とする圧電振動子。
【請求項２】
前記凸部は、前記励振電極と前記外縁とを結ぶ方向に沿った切断面において、前記低部側の幅よりも前記頂部側の幅の方が狭いことを特徴とする請求項１に記載の圧電振動子。
【請求項３】
前記凸部は、棘状であって、前記低部側の太さよりも前記頂部側の太さの方が細いことを特徴とする請求項２に記載の圧電振動子。
【請求項４】
前記外縁に最も近い前記凸部と前記外縁との間に、前記凸部から前記外縁に向かうに従い、前記圧電基板の厚さが徐々に薄くなっていく形状を有することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の圧電振動子。
【請求項５】
前記圧電基板を搭載するベース基板を有し、
前記圧電基板には、前記励振電極から前記複数の凸部の少なくとも一部を被覆するように延設された引出電極が設けられ、
前記引出電極と前記ベース基板とが、導電性接着剤により固定されていることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の圧電振動子。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の圧電振動子を備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項７】
請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の圧電振動子を備えていることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動子、この圧電振動子を備えている電子機器及び移動体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、圧電基板両主面上中央部に励振用電極を形成すると共に、圧電基板の厚み滑り振動の伝搬方向端部と励振用電極との間に複数の溝を設け、複数の溝の圧電基板厚さ方向の深さは、励振用電極に近いほど浅く、圧電基板長手方向端部に近いほど深くしたことを特徴とする圧電振動子が知られている（例えば、特許文献１、２参照）。
この圧電振動子は、効率的に精度よく圧電基板に複数の溝を設け、その深さを圧電基板長手方向端部に近いほど深くすることにより、圧電基板が疑似的にベベル形状（外周部が傾斜している形状、一例として、外周の角部が面取りされている形状）に近づき、相応のエネルギー閉じ込め効果が期待できるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−９７６２３号公報
【特許文献２】特開２００３−４６３６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記圧電振動子は、複数の溝が振動領域から外周に向かって徐々に深さを増していくものの、溝以外の部分（溝と溝との間の凸部）については、それらの頂点（上面）の位置が、振動領域から外周に向かっても何ら変化せず、圧電基板の主面の位置と同じままである。
これにより、上記圧電振動子は、複数の溝の底部を基準にしてみればベベル形状に近いものの、上記複数の凸部の頂点（上面）を基準にしてみれば平板形状に近いことから、複数の溝を設けた形状に見合うほどのベベル効果（エネルギー閉じ込め効果）が得られにくい虞がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかる圧電振動子は、第１主面、前記第１主面と表裏の関係にある第２主面、前記第１主面と前記第２主面とを接続する接続部、を有する圧電基板と、前記第１主面及び前記第２主面に設けられている励振電極と、前記接続部の、前記励振電極から前記圧電基板の外縁までの間に設けられている複数の凸部と、を備え、前記複数の凸部は、前記第１主面及び前記第２主面の少なくとも一方の主面側に突出し、前記複数の凸部の各頂部は、前記外縁に近いほど、突出側とは反対側の他方の主面に近くなり、前記複数の凸部の、隣り合う凸部同士をつなぐ各低部は、前記外縁に近いほど、前記他方の主面に近くなっていることを特徴とする。
【０００７】
これによれば、圧電振動子は、励振電極から圧電基板の外縁までの間に設けられている複数の凸部の各頂部が、外縁に近いほど（凸部から外縁に近づくにつれて）、突出側とは反対側の他方の主面に近くなり、隣り合う凸部同士をつなぐ各低部が、外縁に近いほど、他方の主面に近くなっている。
これによって、圧電振動子は、圧電基板が従来の構成（例えば、特許文献１、２）よりも更にベベル形状に近づくことから、従来よりも高いエネルギー閉じ込め効果が期待できる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例にかかる圧電振動子において、前記凸部は、前記励振電極と前記外縁とを結ぶ方向に沿った切断面において、前記低部側の幅よりも前記頂部側の幅の方が狭いことが好ましい。
【０００９】
これによれば、圧電振動子は、凸部が励振電極と外縁とを結ぶ方向に沿って切断した切断面において、低部側の幅よりも頂部側の幅の方が狭いことから、圧電基板がよりベベル形状に近づくことになり、従来よりも、より高いエネルギー閉じ込め効果が期待できる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例にかかる圧電振動子において、前記凸部は、棘状であって、前記低部側の太さよりも前記頂部側の太さの方が細いことが好ましい。
【００１１】
これによれば、圧電振動子は、凸部が棘状であって、低部側の太さよりも頂部側の太さの方が細いことから、圧電基板が更にベベル形状に近づくことになり、従来よりも、更に高いエネルギー閉じ込め効果が期待できる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例にかかる圧電振動子において、前記外縁に最も近い前記凸部と前記外縁との間に、前記凸部から前記外縁に向かうに従い、前記圧電基板の厚さが徐々に薄くなっていく形状を有することが好ましい。
【００１３】
これによれば、圧電振動子は、外縁に最も近い凸部と外縁との間に、凸部から外縁に向かうに従い（凸部から外縁に近づくにつれて）、圧電基板の厚さが徐々に薄くなっていく形状（例えば、フィレット形状）を有することから、圧電基板の外縁部分が、例えば両主面と直角な面で構成されている場合よりも、振動波の端面反射が生じ難くなり、輪郭振動などの不要振動成分（スプリアス）を低減することが期待できる。
【００１４】
［適用例５］上記適用例にかかる圧電振動子において、前記圧電基板を搭載するベース基板を有し、前記圧電基板には、前記励振電極から前記複数の凸部の少なくとも一部を被覆するように延設された引出電極が設けられ、前記引出電極と前記ベース基板とが、導電性接着剤により固定されていることが好ましい。
【００１５】
これによれば、圧電振動子は、励振電極から複数の凸部の少なくとも一部を被覆するように延設された引出電極とベース基板とが、導電性接着剤により固定されていることから、複数の凸部のアンカー効果（絡み合い効果）によって、引出電極（圧電基板）とベース基板との固定強度の向上が期待できる。
【００１６】
［適用例６］本適用例にかかる電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の圧電振動子を備えていることを特徴とする。
【００１７】
これによれば、電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の圧電振動子を備えていることから、上記適用例のいずれか一例に記載の効果が奏され、優れた性能を発揮することが期待できる。
【００１８】
［適用例７］本適用例にかかる移動体は、上記適用例のいずれか一例に記載の圧電振動子を備えていることを特徴とする。
【００１９】
これによれば、移動体は、上記適用例のいずれか一例に記載の圧電振動子を備えていることから、上記適用例のいずれか一例に記載の効果が奏され、優れた性能を発揮することが期待できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】第１実施形態の水晶振動子の概略構成を示す平面図。
【図２】図１のＡ−Ａ線での断面図。
【図３】図２のＢ部の拡大図。
【図４】図２のＣ視図。
【図５Ａ】棘状の凸部の形成方法の一例について概略を説明する断面図。
【図５Ｂ】棘状の凸部の形成方法の一例について概略を説明する断面図。
【図５Ｃ】棘状の凸部の形成方法の一例について概略を説明する断面図。
【図６】第２実施形態の水晶振動子の概略構成を示す平面図。
【図７】図６のＤ−Ｄ線での断面図。
【図８】第３実施形態の水晶振動子の概略構成を示す平面図。
【図９】図８のＤ−Ｄ線での断面図。
【図１０】圧電振動子を備えている電子機器としてのモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図。
【図１１】圧電振動子を備えている電子機器としての携帯電話（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図。
【図１２】圧電振動子を備えている電子機器としてのデジタルカメラの構成を示す斜視図。
【図１３】圧電振動子を備えている移動体としての自動車を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。
【００２２】
（第１実施形態）
最初に、圧電振動子の一例としての水晶振動子について説明する。
図１は、第１実施形態の水晶振動子の概略構成を示す平面図である。図２は、図１のＡ−Ａ線での断面図である。図３は、図２のＢ部の拡大図である。図４は、図２のＣ視図である。なお、図１では、便宜的に一部の構成要素（リッド）を省略してある。また、わかり易くするために、図１〜図４を含む以降の各図における各構成要素の寸法比率は、実際と異なる。また、図１〜図４を含む以降の関係する各図において、凸部は模式的に示してある。
【００２３】
図１、図２に示すように、第１実施形態の水晶振動子１は、略円盤状の水晶振動片１０と、水晶振動片１０を収容（収納）する略直方体状のパッケージ２０とを備えている。
水晶振動片１０は、第１主面１１、第１主面１１と表裏の関係にある第２主面１２、第１主面１１と第２主面１２とを接続する接続部１３、を有する圧電基板としての水晶基板１４と、水晶基板１４の第１主面１１及び第２主面１２に設けられている励振電極１５，１６と、接続部１３の、第２主面１２側の励振電極１６から水晶基板１４の外縁１４ａまでの間に設けられている複数の凸部１７と、を備えている。
【００２４】
水晶基板１４は、水晶（人工水晶）の原石などから、所定の角度で切り出された平板状の母材（基材、素板）を、ドライエッチングなどの技術を用いて加工することにより、略円盤状に形成されている。本実施形態では、水晶基板１４は、ＳＣカット型水晶基板となっている。
励振電極１５，１６は、平面視で略円形状であって、水晶基板１４の中央部に水晶基板１４の外形と略同心円状に設けられている。
【００２５】
図２、図３に示すように、複数の凸部１７は、第１主面１１及び第２主面１２の少なくとも一方の主面側（ここでは、第２主面１２側）に突出している。
図３に示すように、複数の凸部１７の各頂部１７ａは、水晶基板１４の外縁１４ａに近いほど（凸部１７から外縁１４ａに近づくにつれて）、突出側とは反対側の他方の主面（ここでは、第１主面１１）に近くなっている。
また、複数の凸部１７の、隣り合う凸部１７同士をつなぐ各低部１７ｂは、水晶基板１４の外縁１４ａに近いほど、他方の主面（第１主面１１）に近くなっている。
【００２６】
また、複数の凸部１７は、励振電極１６と水晶基板１４の外縁１４ａとを結ぶ方向に沿った切断面（ここでは、図２、図３の断面）において、低部１７ｂ側の幅よりも頂部１７ａ側の幅の方が狭くなっている。なお、切断面は、第２主面１２と直交する面である。
【００２７】
また、複数の凸部１７は、図４に複数の点で示すように、それぞれ独立した棘（とげ）状（換言すれば、略円錐状、略針状）であって、接続部１３の、励振電極１６から水晶基板１４の外縁１４ａまでの間の円環状の領域に設けられている。
なお、図４では、図示の便宜上、複数の凸部１７が整然と配置されているが、複数の凸部１７は、ランダムな位置に設けられていてもよい。
棘状の凸部１７は、それぞれ低部１７ｂ側の太さよりも頂部１７ａ側の太さの方が細くなっている。
【００２８】
図２〜図４に示すように、水晶振動片１０は、水晶基板１４に、励振電極１６から複数の凸部１７の少なくとも一部を被覆するように、水晶基板１４の外縁１４ａまたは外縁１４ａの手前まで延設された引出電極１６ａが設けられている。
また、図１、図２に示すように、水晶振動片１０は、水晶基板１４に、第１主面１１側の励振電極１５から水晶基板１４の外縁１４ａまたは外縁１４ａの手前まで延設された引出電極１５ａが設けられている。
【００２９】
また、図２、図３に示すように、水晶振動片１０は、水晶基板１４の外縁１４ａに最も近い凸部１７と外縁１４ａとの間に、凸部１７から外縁１４ａに向かうに従い（凸部１７から外縁１４ａに近づくにつれて）、水晶基板１４の厚さが徐々に薄くなっていく形状であるフィレット部１８を有している。
【００３０】
ここで、棘状の凸部１７の形成方法の一例について概略を説明する。
図５Ａ〜図５Ｃは、棘状の凸部の形成方法の一例について概略を説明する断面図である。
【００３１】
図５Ａに示すように、棘状の凸部の形成方法の一例としては、まず、後に水晶基板１４となる平板状の母材１４´の第２主面１２に、水晶基板１４の円盤状の外形形状を形成するための耐蝕膜２００を、例えば、スパッタにより形成する。
この際、耐蝕膜２００形成用のマスク３００と第２主面１２との間を所定の距離だけ空けておく。これにより、耐蝕膜２００を、ターゲット材から弾き出された粒子（原子）の、マスク３００の開口部３０１からの矢印で示すような回り込み現象を利用して、外周部の厚さが外縁に向かうに従い徐々に薄くなるように形成する。
【００３２】
なお、耐蝕膜２００の材料としては、特に限定されないが、水晶への密着性やドライエッチングの選択比の観点などから、Ｃｒ（クロム）またはＮｉ（ニッケル）を含むこと（Ｃｒ単体またはＮｉ単体に加えて、Ｃｒ合金またはＮｉ合金を含むこと）が好ましい。他の材料としては、Ｗ（タングステン）、Ｔｉ（チタン）などの単体、またはこれらを含む合金などが挙げられる。
また、耐蝕膜２００の中央の平坦部には、耐蝕膜２００自体のエッチングを回避するために、レジストやメタルハードマスクを積層してもよい。
【００３３】
ついで、図５Ｂ、図５Ｃに示すように、図示しないドライエッチング装置を用いて、母材１４´を、耐蝕膜２００を含めてドライエッチングする。これにより、後に水晶基板１４の接続部１３となる部分が、耐蝕膜２００の外周部の形状を反映（転写）した形状（略湾曲形状）で形成される。
この際、例えば、耐蝕膜２００と母材１４´とのドライエッチングの選択比、耐蝕膜２００の外周部の膜厚のばらつき、エッチング速度のばらつき、エッチングガスのイオンの衝突角度のずれなどに伴う加工の偏りなどを調整することによって、棘状の凸部１７が複数形成される。
【００３４】
なお、ドライエッチングに用いるエッチングガスとしては、特に限定されないが、ＣＦ4、Ｃ4Ｆ8、ＣＨＦ3、ＣＨ2Ｆ2、Ｃ2Ｆ6、Ｃ3Ｆ8、Ｃ4Ｆ6、Ｃ5Ｆ8、ＳＦ6、ＮＦ3などのフッ素系の単体ガス、またはこれらにＡｒ（アルゴン）などの希ガスを含む混合ガスなどが挙げられる。
なお、フィレット部１８は、エッチングガスの濃度、ドライエッチングのバイアス電圧（印加電圧）などを適宜設定することにより、所望の形状に形成することができる。
【００３５】
水晶振動片１０の励振電極１５，１６、引出電極１５ａ，１６ａは、蒸着またはスパッタなどにより、例えば、Ｃｒを下地層とし、その上にＡｕ（金）を含む層が積層された構成の金属被膜からなる。
【００３６】
図１、図２に戻って、パッケージ２０は、平面形状が略矩形で凹部２２が設けられ、凹部２２内に水晶基板１４（水晶振動片１０）を搭載（収容）するベース基板としてのパッケージベース２１と、パッケージベース２１の凹部２２を覆う略矩形平板状のリッド（蓋）２３と、を備えている。
パッケージベース２１には、セラミックグリーンシートを成形して積層し焼成した酸化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体、炭化珪素質焼結体、ガラスセラミックス焼結体などのセラミックス系の絶縁性材料、水晶、ガラス、シリコン（高抵抗シリコン）などが用いられている。
リッド２３には、パッケージベース２１と同材料、または、コバール、４２アロイなどの金属が用いられている。
【００３７】
パッケージベース２１の凹部２２内の紙面左側の端部に設けられた段部（段差部）２２ａには、水晶振動片１０の引出電極１６ａに対向する位置に、内部端子２４ａが設けられている。
パッケージベース２１の凹部２２内の紙面右側の端部に設けられた段部２２ｂには、平面視で、水晶振動片１０の引出電極１５ａの仮想延長形状と重なる位置に、内部端子２４ｂが設けられている。
【００３８】
水晶振動子１は、水晶振動片１０の引出電極１６ａと、パッケージベース２１の内部端子２４ａとが、導電性接着剤３０により固定されている。換言すれば、水晶振動子１は、水晶基板１４とパッケージベース２１とが導電性接着剤３０により固定されていることになる。
導電性接着剤３０としては、特に限定されないが、例えば、Ａｕ、Ａｇ（銀）、Ｃｕ（銅）、Ａｌ（アルミニウム）、Ｎｉなどを主成分とする金属や、Ｃ（炭素）などを主成分とする導電性物質が粒子状に形成され、エポキシ系、シリコーン系、ポリイミド系などの樹脂に混合されているものが挙げられる。
水晶振動子１は、水晶振動片１０の引出電極１５ａと、パッケージベース２１の内部端子２４ｂとが、Ａｕ、Ａｌなどからなるボンディングワイヤー４０により接続されている。これらにより、水晶振動子１は、水晶振動片１０の励振電極１５，１６が引出電極１５ａ，１６ａを経由して内部端子２４ａ，２４ｂと電気的に接続されている。
【００３９】
パッケージベース２１の凹部２２とは反対側の外底面２５（外側の底面）の紙面左右方向の両端部には、矩形状の外部端子２６ａ，２６ｂが設けられている。
外部端子２６ａ，２６ｂは、図示しない内部配線により内部端子２４ａ，２４ｂと電気的に接続されている。詳述すると、外部端子２６ａは、内部端子２４ａと電気的に接続され、外部端子２６ｂは、内部端子２４ｂと電気的に接続されている。
なお、内部端子２４ａ，２４ｂ、外部端子２６ａ，２６ｂは、例えば、Ｗ、Ｍｏ（モリブデン）などのメタライズ層にＮｉ、Ａｕなどの各被膜をメッキなどにより積層した構成の金属被膜からなる。
【００４０】
水晶振動子１は、水晶振動片１０がパッケージベース２１の凹部２２内に搭載された状態で、パッケージベース２１の凹部２２がリッド２３により覆われ、パッケージベース２１とリッド２３とがシームリング、低融点ガラス、接着剤などの接合部材２７で接合されることにより、パッケージベース２１の凹部２２が気密に封止されている。
なお、パッケージベース２１の気密に封止された凹部２２内は、減圧された真空状態（真空度の高い状態）またはＮ2（窒素）、Ａｒ、Ｈｅ（ヘリウム）などの不活性ガスが充填された状態となっている。
【００４１】
なお、パッケージ２０は、平板状のパッケージベース２１と凹部を有するリッド２３などから構成されていてもよい。また、パッケージ２０は、パッケージベース２１及びリッド２３の両方に凹部を有していてもよい。
【００４２】
水晶振動子１は、例えば、搭載された電子機器のＩＣチップ内に集積化された発振回路から、外部端子２６ａ，２６ｂを経由して印加される駆動信号によって、水晶振動片１０が厚みすべり振動を励振されて所定の周波数で共振（発振）し、外部端子２６ａ，２６ｂから共振信号（発振信号）を出力する。
【００４３】
上述したように、第１実施形態の水晶振動子１は、接続部１３の励振電極１６から水晶基板１４の外縁１４ａまでの間に設けられている複数の凸部１７の各頂部１７ａが、外縁１４ａに近いほど、突出側（ここでは、第２主面１２側）とは反対側の他方の主面（ここでは、第１主面１１）に近くなり、隣り合う凸部１７同士をつなぐ各低部１７ｂが、外縁１４ａに近いほど、他方の主面（第１主面１１）に近くなっている。
これによって、水晶振動子１は、水晶基板１４が従来の構成（例えば、特許文献１、２）よりも更にベベル形状に近づくことから、従来よりも高いエネルギー閉じ込め効果が期待できる（例えば、高次屈曲などの短波長の不要振動モードが抑制されることにより、ＣＩ値の低下が見込まれるなど）。
【００４４】
また、水晶振動子１は、凸部１７が励振電極１６と外縁１４ａとを結ぶ方向に沿って切断した切断面（図２、図３の切断面）において、低部１７ｂ側の幅よりも頂部１７ａ側の幅の方が狭いことから、水晶基板１４がよりベベル形状に近づくことになり、従来よりも、より高いエネルギー閉じ込め効果が期待できる。
なお、水晶振動子１は、凸部１７の低部１７ｂ側の幅と頂部１７ａ側の幅とが、略等しく形成されていてもよい。
【００４５】
また、水晶振動子１は、複数の凸部１７がそれぞれ独立した棘状であって、低部１７ｂ側の太さよりも頂部１７ａ側の太さの方が細いことから、水晶基板１４が更にベベル形状に近づくことになり、従来よりも、更に高いエネルギー閉じ込め効果が期待できる。
なお、水晶振動子１は、複数の凸部１７が畝（うね）状に形成され、平面視で複数の畝状の凸部１７が、励振電極１６を囲むように略同心円状に形成されていてもよい。
【００４６】
また、水晶振動子１は、外縁１４ａに最も近い凸部１７と外縁１４ａとの間に、凸部１７から外縁１４ａに向かうに従い、水晶基板１４の厚さが徐々に薄くなっていく形状のフィレット部１８を有する。
このことから、水晶振動子１は、水晶基板１４の外縁１４ａ部分が、例えば両主面（１１，１２）と直角な面で構成されている場合よりも、振動波の端面反射が生じ難くなり、輪郭振動などの不要振動成分（スプリアス）を低減することが期待できる。
なお、水晶振動子１は、フィレット部１８がなくてもよい。
【００４７】
また、水晶振動子１は、励振電極１６から複数の凸部１７の少なくとも一部を被覆するように延設された引出電極１６ａとパッケージベース２１の内部端子２４ａとが、導電性接着剤３０により固定されていることから、複数の凸部１７のアンカー効果（絡み合い効果）によって、引出電極１６ａ（水晶基板１４）とパッケージベース２１との固定強度の向上が期待できる。
【００４８】
また、水晶振動子１は、水晶振動片１０がパッケージベース２１に１箇所で固定されていることから、後述する第２、第３実施形態のような、２箇所で固定されている場合よりも、水晶基板１４とパッケージベース２１との間の熱膨張係数の違いに伴い生じる熱応力を低減することができる。
【００４９】
（第２実施形態）
次に、他の構成の水晶振動子について説明する。
図６は、第２実施形態の水晶振動子の概略構成を示す平面図である。図７は、図６のＤ−Ｄ線での断面図である。なお、第１実施形態との共通部分には、同一の符号を付与して詳細な説明を省略し、第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００５０】
図６、図７に示すように、第２実施形態の水晶振動子２は、第１実施形態と比較して、引出電極１５ａと内部端子２４ｂとの接続部分の構成が異なる。
水晶振動子２は、引出電極１５ａが、励振電極１５から引出電極１６ａと略同方向に引き出され、第１主面１１から接続部１３に回り込み、複数の凸部１７の少なくとも一部を被覆するように、励振電極１６の手前まで延設されている。
【００５１】
パッケージベース２１の凹部２２内の段部２２ａには、内部端子２４ａと隣り合って、水晶振動片１０の引出電極１５ａに対向する位置に、内部端子２４ｂが設けられている。
水晶振動子２は、水晶振動片１０の引出電極１５ａと、パッケージベース２１の内部端子２４ｂとが、引出電極１６ａ及び内部端子２４ａと同様に、導電性接着剤３０により固定されている。
【００５２】
上述したように、第２実施形態の水晶振動子２は、引出電極１５ａと、パッケージベース２１の内部端子２４ｂとが、引出電極１６ａ及び内部端子２４ａと同様に、導電性接着剤３０により固定されている。
これにより、水晶振動子２は、引出電極１５ａ，１６ａと内部端子２４ａ，２４ｂとの電気的な接続が、導電性接着剤３０により一括して行えることから、第１実施形態よりも生産性を向上させることができる。
【００５３】
（第３実施形態）
次に、別の構成の水晶振動子について説明する。
図８は、第３実施形態の水晶振動子の概略構成を示す平面図である。図９は、図８のＤ−Ｄ線での断面図である。なお、第１、第２実施形態との共通部分には、同一の符号を付与して詳細な説明を省略し、第１、第２実施形態と異なる部分を中心に説明する。なお、図８では凸部を省略してある。
【００５４】
図８、図９に示すように、第３実施形態の水晶振動子３は、第１、第２実施形態と異なり、複数の凸部１７が、第１主面１１側及び第２主面１２側の両方に突出して設けられている。
水晶振動子３は、第１主面１１側に突出している複数の凸部１７の各頂部１７ａが、外縁１４ａに近いほど、突出側とは反対側の他方の主面（第２主面１２）に近くなり、隣り合う凸部１７同士をつなぐ各低部１７ｂが、外縁１４ａに近いほど、他方の主面（第２主面１２）に近くなっている。
第２主面１２側に突出している複数の凸部１７は、第１、第２実施形態と同様に、各頂部１７ａ及び各低部１７ｂが、外縁１４ａに近いほど、他方の主面（第１主面１１）に近くなっている。
【００５５】
上述したように、第３実施形態の水晶振動子３は、複数の凸部１７が、第１主面１１側及び第２主面１２側の両方に突出して設けられており、各頂部１７ａ及び各低部１７ｂが、外縁１４ａに近いほど、他方の主面に近くなっている。
これにより、水晶振動子３は、水晶基板１４の両主面側がベベル形状に近づくことから、第１、第２実施形態よりも高いエネルギー閉じ込め効果が期待できる。
【００５６】
なお、上記各実施形態では、圧電基板の材料を水晶としたが、これに限定されるものではなく、例えば、ＬｉＴａＯ3（タンタル酸リチウム）、Ｌｉ2Ｂ4Ｏ7（四ホウ酸リチウム）、ＬｉＮｂＯ3（ニオブ酸リチウム）、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）、ＺｎＯ（酸化亜鉛）、ＡｌＮ（窒化アルミニウム）などの圧電体としてもよい。
また、上記各実施形態では、水晶基板をＳＣカット型としたが、これに限定されるものではなく、ＡＴカット型、音叉型、双音叉型、Ｈ型、ダブルＴ型などとしてもよい。これによれば、水晶振動子は、基準クロック発信源や、角速度センサー、加速度センサー及び圧力センサーなど各種センサーのセンサー素子として、優れた性能を発揮することができる。
【００５７】
（電子機器）
次に、上述した圧電振動子を備えている電子機器について説明する。
図１０は、圧電振動子を備えている電子機器としてのモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
図１０に示すように、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０１を有する表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このようなパーソナルコンピューター１１００には、上述した圧電振動子のいずれかが内蔵されている（ここでは、一例として水晶振動子１）。
【００５８】
図１１は、圧電振動子を備えている電子機器としての携帯電話（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
図１１に示すように、携帯電話１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０１が配置されている。
このような携帯電話１２００には、上述した圧電振動子のいずれかが内蔵されている（ここでは、一例として水晶振動子１）。
【００５９】
図１２は、圧電振動子を備えている電子機器としてのデジタルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図１２には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
デジタルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面（図中手前側）には、表示部１３１０が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。
また、ケース１３０２の正面側（図中奥側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【００６０】
撮影者が表示部１３１０に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。
また、このデジタルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、ビデオ信号出力端子１３１２には、テレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４には、パーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。更に、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。
このようなデジタルカメラ１３００には、上述した圧電振動子のいずれかが内蔵されている（ここでは、一例として水晶振動子１）。
【００６１】
このような電子機器は、上述した圧電振動子を備えていることから、上記各実施形態で説明した効果が奏され、優れた性能を発揮することができる。
なお、上述した圧電振動子を備えている電子機器としては、これら以外に、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、各種ナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類、フライトシミュレーター、ＧＰＳモジュール、ネットワーク機器、放送機器などが挙げられる。
いずれの場合にも、これらの電子機器は、上述した圧電振動子を備えていることから、上記各実施形態で説明した効果が奏され、優れた性能を発揮することができる。
【００６２】
（移動体）
次に、上述した圧電振動子を備えている移動体について説明する。
図１３は、圧電振動子を備えている移動体としての自動車を示す斜視図である。
【００６３】
図１３に示す自動車１５００は、上述した圧電振動子のいずれか（ここでは、一例として水晶振動子１）を、搭載されている各種電子制御式装置（例えば、電子制御式燃料噴射装置、電子制御式ＡＢＳ装置、電子制御式一定速度走行装置など）の基準クロックを発生するタイミングデバイスとして用いている。
これによれば、自動車１５００は、上述した圧電振動子を備えていることから、上記各実施形態で説明した効果が奏され、優れた性能を発揮することができる。
【００６４】
上述した圧電振動子は、上記自動車１５００に限らず、自走式ロボット、自走式搬送機器、列車、船舶、飛行機、人工衛星などを含む移動体のタイミングデバイスとして好適に用いることができ、いずれの場合にも上記各実施形態で説明した効果が奏され、優れた性能の移動体を提供することができる。
【００６５】
上述した実施形態は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば、各実施形態を適宜組み合わせることも可能である。
【００６６】
本発明は、上記実施形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的および効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成または同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【００６７】
１，２，３…圧電振動子としての水晶振動子、１０…水晶振動片、１１…第１主面、１２…第２主面、１３…接続部、１４…圧電基板としての水晶基板、１４ａ…水晶基板の外縁、１４´…母材、１５，１６…励振電極、１５ａ，１６ａ…引出電極、１７…凸部、１７ａ…頂部、１７ｂ…低部、１８…フィレット部、２０…パッケージ、２１…ベース基板としてのパッケージベース、２２…凹部、２２ａ，２２ｂ…段部、２３…リッド、２４ａ，２４ｂ…内部端子、２５…外底面、２６ａ，２６ｂ…外部端子、２７…接合部材、３０…導電性接着剤、４０…ボンディングワイヤー、２００…耐蝕膜、３００…マスク、３０１…開口部、１１００…電子機器としてのパーソナルコンピューター、１１０１…表示部、１１０２…キーボード、１１０４…本体部、１１０６…表示ユニット、１２００…電子機器としての携帯電話、１２０１…表示部、１２０２…操作ボタン、１２０４…受話口、１２０６…送話口、１３００…電子機器としてのデジタルカメラ、１３０２…ケース、１３０４…受光ユニット、１３０６…シャッターボタン、１３０８…メモリー、１３１０…表示部、１３１２…ビデオ信号出力端子、１３１４…入出力端子、１４３０…テレビモニター、１４４０…パーソナルコンピューター、１５００…移動体としての自動車。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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