(57)【要約】【課題】良好な気泡排出性を有する流路部材、及びドット抜けを抑制して噴射の信頼性が向上した液体噴射ヘッド、並びに流路部材の製造方法、及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】インクが流れる流路４０を有する単一材料で形成され、流路４０の少なくとも一部には、インクの流れ方向に沿った溝５０が形成された流路部材３０とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が流れる流路を有する単一材料で形成された流路部材であって、
前記流路の少なくとも一部には、前記液体の流れ方向に沿った溝が形成されている
ことを特徴とする流路部材。
【請求項２】
請求項１に記載する流路部材において、
前記流路は、段差を有する
ことを特徴とする流路部材。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載する流路部材において、
前記流路は、曲面を有する
ことを特徴とする流路部材。
【請求項４】
請求項１から請求項３の何れか一項に記載する流路部材を備えたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
焼成することでガス化する材料から犠牲流路を型成形する犠牲流路成形工程と、
前記犠牲流路を型として金属又はセラミックスを成形する本成形工程と、
前記犠牲流路を焼成によりガス化し、前記金属又は前記セラミックスから流路を含む流路部材を形成する焼成工程と、を有し、
前記犠牲流路成形工程では、前記犠牲流路のパーティングラインが前記犠牲流路によって形成される前記流路を流れる液体の流れ方向に沿って形成されるように前記犠牲流路を形成する
ことを特徴とする流路部材の製造方法。
【請求項６】
請求項５に記載の流路部材の製造方法を含むことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流路部材、液体噴射ヘッド、流路部材の製造方法、及び液体噴射ヘッドの製造方法に関し、特に液体としてインクが流通する流路部材、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッド、及びこれらの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドは、ノズル開口が設けられたノズルプレートと、当該ノズルプレートが接合されて圧力発生室を有する流路形成基板と、圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段とを備え、圧力発生手段により圧力発生室に圧力変化を生じさせてノズル開口からインク滴を吐出させるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。このような流路形成基板は、例えば樹脂を成形することで形成される。
【０００３】
特許文献１では、流路形成基板を形成する成形型同士の当接面を、流路形成基板とノズルプレートとの接合面と揃うように流路形成基板を形成している。これにより、樹脂成形により生じる流路形成基板のパーティングラインがノズルプレートとの接合面に揃えられる。
【０００４】
上述したようなインクジェット式記録ヘッドは、インクが充填されたカートリッジからインクが供給される流路部材を備えている（例えば、特許文献２参照）。流路部材は、インクが流通する流路を有しており、樹脂成型により形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−５３９６６号公報
【特許文献２】特開２０１２−２２４０５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献２に開示された流路部材では、二つの部材を接着剤で接合することで形成されている。この流路部材の２つの各部材を、特許文献１のように樹脂成形により形成する場合、２つの部材の接合面にパーティングラインが生じる。このパーティングラインは、接合面において流路内に突出しているので、流路内のインク中の気泡がパーティングラインで滞留してしまう虞がある。
【０００７】
流路の形状が直線ではなく複雑な形状をしている場合では、パーティングラインを除去することも難しい。また、直線状の流路であっても、パーティングラインを完全に除去することは難しい。
【０００８】
そのようなパーティングラインを有する流路部材は、インクを初期充填する時や、インクを強制的に排出するクリーニング時などでは、そのようなパーティングラインに気泡が滞留し、気泡排出性が低下する虞がある。そして、滞留した気泡は、インクジェット式記録ヘッドによるインクの噴射の際に、ドット抜けを誘発する虞がある。
【０００９】
なお、このような問題は、インクを流通させる流路部材のみならず、インク以外の液体を流通させる流路部材においても同様に存在し、さらに、インクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【００１０】
本発明は、このような事情に鑑み、良好な気泡排出性を有する流路部材、及びドット抜けを抑制して噴射の信頼性が向上した液体噴射ヘッド、並びに良好な気泡排出性を有する流路部材の製造方法、及びドット抜けを抑制して噴射の信頼性が向上した液体噴射ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体が流れる流路を有する単一材料で形成された流路部材であって、前記流路の少なくとも一部には、前記液体の流れ方向に沿った溝が形成されていることを特徴とする流路部材にある。
かかる態様では、流路内で気泡が滞留することを抑制することができる。流路部材は従来の流路部材よりも高い耐久性を有する。さらに、流路内で液体中の水分が蒸発することを抑制できる。
【００１２】
また、前記流路は、段差を有することが好ましい。これによれば、流路部材の厚さ方向の大きさが小型化することができる。
【００１３】
また、前記流路は、曲面を有することが好ましい。これによれば、曲面部分で溝に気泡が滞留する虞が低減される。これにより、流路部材は、より一層、気泡の排出性が向上する。
【００１４】
本発明の他の態様は、上記態様の流路部材を備えることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、液体噴射ヘッドは、液体の増粘によるノズル開口の目詰まりが抑制され、信頼性の高い液体の噴射を行うことができる。また、液体の噴射時における気泡によるドット抜けの発生を抑制することができ、信頼性のある噴射を行うことができる。
【００１５】
本発明の他の態様は、焼成することでガス化する材料から犠牲流路を型成形する犠牲流路成形工程と、前記犠牲流路を型として金属又はセラミックスを成形する本成形工程と、前記犠牲流路を焼成によりガス化し、前記金属又は前記セラミックスから流路を含む流路部材を形成する焼成工程と、を有し、前記犠牲流路成形工程では、前記犠牲流路のパーティングラインが前記犠牲流路によって形成される前記流路を流れる液体の流れ方向に沿って形成されるように前記犠牲流路を形成することを特徴とする流路部材の製造方法にある。
かかる態様では、気泡排出性が向上した流路部材を製造することができる。また、ケミカルアタック性の高い液体に対して高耐久の流路部材を製造することができる。さらに、液体の増粘が抑制された流路部材を製造することができる。
【００１６】
本発明の他の態様は、上記流路部材の製造方法を含むことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる態様では、液体の増粘によるノズル開口の目詰まりが抑制され、信頼性の高い液体の噴射を行う液体噴射ヘッドを製造することができる。また、液体の噴射時における気泡によるドット抜けの発生を抑制することができ、信頼性のある噴射を行う液体噴射ヘッドを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施形態１に係るインクジェット式記録装置の斜視図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの概略断面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ’線の概略断面図である。
【図４】ヘッド本体の概略断面図である。
【図５】流路部材を製造する工程を示す概略斜視図である。
【図６】流路部材を製造する工程を示す概略斜視図である。
【図７】図６のＹＺ平面で切った断面図である。
【図８】実施形態２に係る記録ヘッドの概略断面図である。
【図９】実施形態２に係る記録ヘッドの概略平面図である。
【図１０】図９のＢ−Ｂ’線の概略断面図である。
【図１１】実施形態２に係る流路部材を製造する工程を示す概略斜視図である。
【図１２】実施形態３に係る記録ヘッドの概略断面図である。
【図１３】実施形態４に係る流路の断面形状を示す流路部材の断面図である。
【図１４】実施形態４に係る流路の断面形状を示す流路部材の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
〈実施形態１〉
図１は、本実施形態に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置である。本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。インクジェット式記録ヘッドは液体噴射ヘッドの一例であり、単に記録ヘッドともいう。
【００１９】
インクジェット式記録装置Ｉは、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５を備えている。このキャリッジ軸５には、キャリッジ軸５の軸方向に沿って移動可能なキャリッジ３が設けられている。キャリッジ３には、記録ヘッド１が設けられている。また、キャリッジ３には、カートリッジ２Ａ及びカートリッジ２Ｂが着脱可能に設けられている。カートリッジ２Ａ及びカートリッジ２Ｂは、インク供給手段の一例であり、インクを記録ヘッド１に供給する。
【００２０】
装置本体４には駆動モーター６が設けられている。駆動モーター６の駆動力は、図示しない複数の歯車及びタイミングベルト７を介して、キャリッジ３に伝達される。これにより、キャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動する。一方、装置本体４には、搬送手段としての搬送ローラー８が設けられている。搬送ローラー８により、紙等の記録媒体である記録シートＳが搬送される。なお、搬送手段は、搬送ローラー８に限られず、ベルトやドラム等であってもよい。
【００２１】
このようなインクジェット式記録装置Ｉでは、キャリッジ３がキャリッジ軸５に沿って移動すると共に記録ヘッド１によってインクが吐出されて記録シートＳに印刷される。
【００２２】
なお、本実施形態では、記録ヘッド１がインクを吐出する方向をＺ方向、Ｚ方向に直交する平面においてキャリッジ３が往復移動する方向をＸ方向、Ｘ方向及びＺ方向に直交する方向をＹ方向とする。
【００２３】
図２から図４を用いて記録ヘッド１について説明する。図２は記録ヘッド１の概略断面図であり、図３は図２のＡ−Ａ’線の概略断面図であり、図４はヘッド本体の概略断面図である。
【００２４】
記録ヘッド１は、インクを噴射するヘッド本体１０と、流路部材３０とを備えている。図１に示したカートリッジ２Ａ又はカートリッジ２Ｂからインクが流路部材３０に供給され、流路部材３０からインクがヘッド本体１０に供給され、ヘッド本体１０はそのインクを噴射する。
【００２５】
まず、図４を用いてヘッド本体１０について説明する。
ヘッド本体１０は、複数の圧力発生室１２が並設された流路形成基板１１を備える。流路形成基板１１の一方面（ヘッド本体１０がインクを噴射する側の面）には、ノズルプレート１４が接合されている。ノズルプレート１４は、各圧力発生室１２に連通した複数のノズル開口１３が設けられている。流路形成基板１１の他方面（前記一方面とは反対側の面）には、振動板１５が接合されている。
【００２６】
また、流路形成基板１１には、複数の圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバー１７が形成されている。流路形成基板１１には、圧力発生室１２ごとにそれぞれインク供給口１６が設けられており、各インク供給口１６はリザーバー１７に連通している。
【００２７】
振動板１５の圧力発生室１２とは反対側には、ケース２３が設けられている。ケース２３には、流路部材３０から供給されるインクの流路となるインク導入路２４が設けられている。インク導入路２４は、リザーバー１７に連通している。また、ケース２３には、厚さ方向に貫通した貫通孔２５が設けられており、貫通孔２５内に圧電素子１８が収容されている。
【００２８】
圧電素子１８は、圧電材料１９と、電極形成材料２０及び２１とを縦に交互に挟んで積層されたものである。圧電素子１８は、先端の自由端部が振動板１５の各圧力発生室１２に対応する領域に当接しており、振動に寄与しない固定端部が固定基板２２に固着されている。この固定基板はケース２３の貫通孔２５に収容されて固定されている。
【００２９】
このように構成されたヘッド本体１０では、流路部材３０からのインクがインク導入路２４を介してリザーバー１７に供給され、インク供給口１６から各圧力発生室１２に分配される。そして、圧電素子１８に電圧を印加することにより圧電素子１８を収縮させる。これにより、振動板１５が圧電素子１８と共に変形し、圧力発生室１２の容積が広げられ、圧力発生室１２内にインクが引き込まれる。そして、ノズル開口１３に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路からの記録信号に従い、圧電素子１８の電極形成材料２０及び２１に印加していた電圧を解除すると、圧電素子１８が伸張されて元の状態に戻る。これにより、振動板１５も変位して元の状態に戻るため圧力発生室１２が収縮され、内部圧力が高まりノズル開口１３からインク滴が吐出される。
図２及び図３に示すように、このようなヘッド本体１０には、流路部材３０からインクが供給される。
【００３０】
流路部材３０は、インクが流れる流路４０を有する単一材料で形成された部材である。すなわち、流路部材３０は、複数の部材が接合された接合体ではなく、単一材料から形成された一体の成形部品である。単一材料としては、金型で成型可能な金属又はセラミックスを挙げることができる。
【００３１】
流路４０は、詳細は後述するが、犠牲流路を型として設けられた流路である。本実施形態に係る流路４０は、２箇所で折れ曲がった形状を有している。具体的には、流路４０は、流路部材３０の上面（Ｚ方向の上側の面）に開口してＺ方向に沿った第１流路部４１と、第１流路部４１に連通して水平方向（Ｘ方向）に沿った第２流路部４２と、第２流路部４２に連通してＺ方向に沿い、流路部材３０の下面（Ｚ方向の下側の面）に開口した第３流路部４３とを備える。このように、流路部材３０には、第１流路部４１と第２流路部４２とで折れ曲がり、第２流路部４２と第３流路部４３とで折れ曲がった段差を有する流路４０が形成されている。
【００３２】
なお、本実施形態では、インクの種類ごとに一本の流路４０が設けられている。図１に示したようにインクを充填したカートリッジ２Ａ及び２Ｂは複数有しているので、流路部材３０には複数種類のインクが供給されている。この各種のインクに対応して複数の流路４０が流路部材３０に設けられている。もちろん、流路４０の本数に限定はない。
【００３３】
請求項の段差を有する流路とは、複数箇所で折れ曲ることで階段状となった流路をいう。本実施形態では、２箇所で折れ曲がった流路４０は、１段の段差を有する流路である。もちろん、段差の数は一つに限らず、２以上であってもよい。
このような流路４０の少なくとも一部には、インクの流れ方向に沿った溝５０が形成されている。溝５０は、流路４０の内面に２本設けられている。
【００３４】
インクの流れ方向とは、流路４０によって生じるインクの流れの代表的な方向である。図２の矢印はインクの流れを表している。第１流路部４１及び第３流路部４３はＺ方向に沿っているのでインクの流れ方向はＺ方向であり、第２流路部４２はＹ方向に沿っているのでインクの流れ方向はＹ方向となっている。
【００３５】
溝５０がインクの流れ方向に沿っているとは、インクの流れ方向とほぼ同方向に溝５０が延設されていることをいう。第１流路部４１及び第３流路部４３では、インクの流れ方向であるＺ方向に沿って溝５０が形成されている。また、第２流路部４２では、インクの流れ方向であるＹ方向に溝５０が形成されている。
【００３６】
また、本発明の溝は、流路４０の全長に亘って連続して形成されている溝５０のみではなく、連続していない箇所があっても、全体として流路４０のほぼ全長に亘って設けられている溝をも含む。すなわち、一部に連続しない箇所があっても、全体として流路４０のほぼ全長に亘っている場合には、当該溝は本発明でいう流路４０の少なくとも一部に設けられた溝に該当する。
【００３７】
上述したように、流路４０には二本の溝５０が設けられている。この溝５０の位置は特に限定されない。本実施形態では、図３に示すように、第２流路部４２において流路４０の上面側と下面側のそれぞれに二本の溝５０が対向するように位置している。また、図２に示すように、第１流路部４１及び第３流路部４３においても、第２流路部４２の上下両面のそれぞれに連続した垂直面（ＹＺ平面に平行な面）に二本の溝５０が形成されている。
【００３８】
なお、特に図示しないが、流路部材３０は、ヘッド本体１０との間に流路４０を横断するフィルターが設けられていてもよい。フィルターによりインク中の気泡を捕捉することができる。
【００３９】
以上に説明した本実施形態に係る流路部材３０は、インクが流通する流れ方向に沿った溝５０を有する流路４０を備えている。このような溝５０は、インク中の気泡の動きを阻害しない。つまり、気泡が溝５０に入り込んだとしても、その溝５０に沿って下流側へインクとともに気泡は移動する。もしくは、第１流路部４１では、溝５０に沿って気泡の浮力で上流側へ浮上する。いずれにしても、流路４０内で気泡が滞留することを抑制することができる。
【００４０】
また、流路部材３０は、単一材料から形成された一体の成型部品である。このような構成の流路部材３０では、従来の２つの部材を接合した流路部材で生じ得る部材の剥離の虞がない。したがって、流路部材３０は従来の流路部材よりも高い耐久性を有する。
【００４１】
なお、従来の流路部材では、剥離を生じさせる原因の一つとして、ケミカルアタック性の高いインクが挙げられる。このようなインクは、二つの部材を接着する接着剤の強度を弱めるものであるため、使用しにくいものであった。しかしながら、本実施形態の流路部材３０は、剥離が生じない構成であるので、そのようなケミカルアタック性の高いインクを用いることができ、かつ、高い耐久性を有する。
【００４２】
さらに、流路部材３０は、従来の流路部材のように二つの部材間の接着界面がない。したがって、接着界面からインク中の水分が蒸発することを抑制できる。
【００４３】
本実施形態に係る記録ヘッド１によれば、流路部材３０においてインク中の水分蒸発が抑制されるので、インクが増粘することを抑制することができる。これにより、記録ヘッド１は、インクの増粘によるノズル開口１３の目詰まりが抑制され、信頼性の高いインクの噴射を行うことができる。
【００４４】
また、記録ヘッド１は、クリーニングにより流路４０から気泡をより確実に排出することができる。そして、クリーニングにより気泡が流路４０から排出されるので、インクの噴射時における気泡によるドット抜けの発生を抑制することができる。このような流路部材３０を有する記録ヘッド１では、ドット抜けが抑制されて信頼性のある噴射を行うことができる。
【００４５】
本実施形態の流路４０は、段差を有している。このような段差を有する流路４０を備えた流路部材３０は、水平方向に流路４０を引き回すことができるので、ヘッド本体１０の配置に合わせてインクを供給することができる。また、流路４０は水平方向の第２流路部４２を有しているので、流路部材３０のＺ方向の厚さを小型化することができる。
【００４６】
このように、本実施形態の流路部材３０は、厚さ方向の大きさが小型化され、かつ、ヘッド本体１０の配置に合わせて柔軟にインクを供給することができる。
【００４７】
上述した流路部材３０の製造方法について説明する。図５及び図６は流路部材を製造する工程を示す概略斜視図であり、図７は図６のＹＺ平面で切った断面図である。
【００４８】
まず、図５に示すように、焼成することでガス化する材料から犠牲流路６０を型成形する犠牲流路成型工程を行う。具体的には、一対の金型９１、金型９２に設けられた所定形状の凹部９３、凹部９４内に、焼成することでガス化する材料を注入して成形する。焼成によりガス化する材料の一例としてはアクリル樹脂が好ましい。
【００４９】
犠牲流路６０の形状は、流路部材３０に形成しようとする流路４０の形状とする。本実施形態では、図２に示したように、流路４０は段差のある形状であるため、犠牲流路６０もその流路４０と同形状となるように段差のある形状となっている。
【００５０】
本実施形態では、犠牲流路６０は、Ｚ方向に沿った第１犠牲流路部６１と、第１犠牲流路部６１に連続して水平方向（Ｘ方向）に沿った第２犠牲流路部６２と、第２犠牲流路部６２に連続してＺ方向に沿った第３犠牲流路部６３とを備える。このように、犠牲流路６０は、第１犠牲流路部６１と第２犠牲流路部６２とで折れ曲がり、第２犠牲流路部６２と第３犠牲流路部６３とで折れ曲がった段差を有する。このような犠牲流路６０は、図２に示した流路４０内の空間部分と同形状となっている。
【００５１】
金型９１及び金型９２には、上述した形状の犠牲流路６０が形成されるように凹部９３及び凹部９４が設けられている。
【００５２】
また、型成形により、犠牲流路６０には、金型９１及び金型９２の互いに接合される接合面９５、接合面９６により、パーティングライン７０が形成されている。本実施形態では、犠牲流路６０のＹ方向におけるほぼ中央を通るＸＺ平面において、犠牲流路６０の表面を囲うようにパーティングライン７０が形成されている。
【００５３】
パーティングライン７０の断面形状は犠牲流路６０の表面から若干突出している。詳細は後述するが、このパーティングライン７０により流路４０の溝５０が形成される。
【００５４】
次に、図６に示すように、犠牲流路６０を型として金属又はセラミックスを成型する本成形工程を行う。具体的には、金型（図示せず）の内部に犠牲流路６０を配置し、さらに金属粉末とバインダーとの混合物、又はセラミック粉末とバインダーとの混合物を金型内に注入してインサート成形する。このインサート成形により得られた成形物８０には、内部に犠牲流路６０が埋め込まれている。
【００５５】
図７に示すように、上述したパーティングライン７０は、犠牲流路６０の表面から若干突出しているため、成形物８０に溝５０が形成されている。
【００５６】
次に、特に図示しないが、成形物８０を脱脂及び焼結する焼成工程を行う。この焼成工程において、犠牲流路６０は気化し、成形物８０から除去される。この結果、溝５０を有する流路４０が形成された流路部材３０が形成される（図２〜３参照）。
【００５７】
上述した本成形工程及び焼成工程は、公知の金属粉末射出成形法（メタルインジェクションモールド法）であるので、成形物８０の成型に用いる金属やセラミック、脱脂や焼成の条件等についての詳細な説明は省略する。
【００５８】
ここで、犠牲流路成型工程では、パーティングライン７０が、犠牲流路６０によって形成される流路４０を流通するインクの流れ方向に沿って形成されるように、型成形を行う。上述したように、犠牲流路６０が除去されると、流路４０が形成される。犠牲流路成形工程では、この流路４０を流通するインクの流れ方向にパーティングライン７０が沿うように犠牲流路６０を形成する。
【００５９】
本実施形態では、図２の矢印が示す流れ方向に沿って、流路４０内をインクが流通している。このインクの流れに沿うように、パーティングライン７０が形成されている。すなわち、図５に示すように、第１犠牲流路部６１及び第３犠牲流路部６３では、金型９１及び金型９２の接合面９５及び接合面９６とは垂直な面（ＹＺ平面）において、Ｚ方向に延びる第１パーティングライン７１、第３パーティングライン７３が形成されている。第２犠牲流路部６２では、金型９１及び金型９２の接合面９５及び接合面９６とは垂直な面（ＸＹ平面）において、Ｘ方向に延びる第２パーティングライン７２が形成されている。
【００６０】
犠牲流路成形工程では、このようなインクの流れ方向に沿ったパーティングライン７０が形成されるように、金型９１及び金型９２により犠牲流路６０を形成する。このようなパーティングライン７０を有する犠牲流路６０を形成し、この犠牲流路６０を用いて流路部材３０を成形することで、インクの流れ方向に沿った溝５０が設けられた流路４０を有する流路部材３０を製造することができる。
【００６１】
また、流路４０とインク導入路２４（図４参照）とが連通するように、流路部材３０にヘッド本体１０を取り付けることで、記録ヘッド１を製造することができる。
【００６２】
以上に説明した本実施形態に係る流路部材３０の製造方法によれば、インクが流通する流れ方向に沿った溝５０を有する流路４０が設けられた流路部材３０を製造することができる。上述したように、この溝５０はインク中の気泡の動きを阻害しないので、流路４０内で気泡が滞留することが抑制され、気泡排出性が向上した流路部材３０を製造することができる。
【００６３】
また、流路部材３０の製造方法では、単一材料から一体の成型部品として流路部材３０を製造する。したがって、従来の２つの部材からなる流路部材のように剥離の虞がなく、高い耐久性を有する流路部材３０を製造することができる。また、ケミカルアタック性の高いインクに対して高耐久の流路部材３０を製造することができる。
【００６４】
さらに、流路部材３０の製造方法では、従来の流路部材と比較して流路部材３０の流路４０内で水分蒸発が抑制されるので、インクの増粘が抑制された流路部材３０を製造することができる。
【００６５】
そして、本実施形態に係る記録ヘッド１の製造方法によれば、流路部材３０におけるインクの増粘が抑制された記録ヘッド１を製造することができる。すなわち、ノズル開口１３の目詰まりが抑制され、信頼性の高いインクの噴射を行う記録ヘッド１を製造することができる。
【００６６】
また、記録ヘッド１の製造方法では、クリーニングにより流路４０から気泡をより確実に排出させることができ、インクの噴射時における気泡によるドット抜けの発生が抑制された記録ヘッド１を製造することができる。すなわち、本製造方法によれば、ドット抜けが抑制されて信頼性のあるインクの噴射を行う記録ヘッド１を製造することができる。
【００６７】
〈実施形態２〉
実施形態１では、溝５０は、流路４０（第２流路部４２）の上面及び下面側に設けられていたが、このような態様に限定されない。
【００６８】
図８から図１０を用いて、記録ヘッド１Ａについて説明する。図８は記録ヘッド１Ａの概略断面図であり、図９は記録ヘッド１Ａの概略平面図であり、図１０は図９のＢ−Ｂ’線の概略断面図である。なお、実施形態１と同一のものには同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００６９】
流路部材３０Ａは、実施形態１とは異なる面に溝５０Ａが設けられている。具体的には、図１０に示すように、第２流路部４２の左右両面（水平面（ＸＹ平面）に垂直な面（ＸＺ平面））に二本の溝５０Ａが対向するように形成されている。また、図９に示すように、第１流路部４１及び第３流路部４３においても、第２流路部４２の左右両面に面一なそれぞれ面に、二本の溝５０Ａが形成されている。
【００７０】
このような溝５０Ａが設けられた流路４０を有する流路部材３０であっても、実施形態１と同様に、溝５０Ａはインクの流れ方向に沿っているので、インク中の気泡の動きを阻害しない。したがって、実施形態１の流路部材３０と同等の作用効果を奏する。また、流路部材３０Ａを備えた記録ヘッド１Ａについても実施形態１の記録ヘッド１と同等の作用効果を奏する。
【００７１】
このような流路部材３０Ａの製造方法について説明する。図１１は流路部材を製造する工程を示す概略斜視図である。
【００７２】
本実施形態の犠牲流路成形工程では、実施形態１とは異なる位置として犠牲流路６０の側面（ＸＺ平面に平行な側面）に、パーティングライン７０Ａが形成されるように犠牲流路６０を形成する。具体的には、第１犠牲流路部６１及び第３犠牲流路部６３に、犠牲流路６０のＸＺ平面においてＺ方向に延びる第１パーティングライン７１Ａ、第３パーティングライン７３Ａを形成し、第２犠牲流路部６２に、犠牲流路６０のＸＺ平面においてＸ方向に延びる第２パーティングライン７２Ａを形成するように金型（図示せず）を用いて犠牲流路６０を形成する。
【００７３】
以降、この犠牲流路６０を用いて、実施形態１と同様に本成形工程及び焼成工程を行うことで、図８に示した流路部材３０Ａを製造することができる。また、このような流路部材３０Ａにヘッド本体１０を取り付けることで記録ヘッド１Ａを製造することができる。このような本実施形態に係る流路部材３０Ａの製造方法及び記録ヘッド１Ａの製造方法においても実施形態１と同等の作用効果を奏する。
【００７４】
〈実施形態３〉
実施形態１の流路４０は、直線状の第１流路部４１〜第３流路部４３を連結させた形状であったが、流路の形状は特に限定はない。例えば、流路は、流路部材３０を直線状に貫いた流路であってもよいし、途中で折れ曲がったり、途中で滑らかに曲がっていてもよい。
【００７５】
本実施形態では、曲面を有する流路を備える流路部材３０Ｂについて説明する。図１２は記録ヘッド１Ｂの概略断面図である。なお、実施形態１と同一のものには同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００７６】
本実施形態に係る流路４０Ｂは、流路４０Ｂの形状がほぼ円形であり、２箇所で折れ曲がっている。流路４０Ｂは、第１流路部４１と第２流路部４２とが折れ曲がって連続しており、第２流路部４２と第３流路部４３とが折れ曲がって連続している。この折れ曲がった箇所が曲面４５、曲面４６となっている。曲面４５、曲面４６を有する流路４０Ｂとは、流路４０Ｂの側面視（又は平面視）において流路４０Ｂの輪郭の一部に曲線を含む形状の流路をいう。
【００７７】
そして、このような曲面４５及び曲面４６を含む流路４０Ｂには、２つの溝５０が流路４０Ｂを流通するインクの流れ方向に沿って形成されている。これらの溝５０は、曲面４５及び曲面４６にも形成されている。したがって、溝５０も滑らかに曲がりながら方向転換している。これにより、流路４０Ｂの折れ曲がった部分で溝５０に気泡が滞留する虞が低減され、流路４０Ｂの下流に向けてインクとともに、気泡をより確実に排出することができる。もしくは、第２流路部４２から第１流路部４１にかけて、曲面４５に設けられた溝５０に沿って浮力で上流側へ気泡が浮上しやすくなっている。いずれにしても、流路４０Ｂ内で気泡が滞留することをより確実に抑制することができる。
【００７８】
〈実施形態４〉
図１３及び図１４は、流路の断面形状を示す流路部材の断面図である。実施形態１と同一のものには同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００７９】
図１３に示すように、流路４０の断面形状は、実施形態１では矩形状であったが、本実施形態のように円形であってもよい。もちろん、矩形や円形には限定されず、任意の断面形状の流路４０であってもよい。
【００８０】
また、実施形態１では、溝５０の断面形状は矩形状であったが、このような態様に限定されない。同図に示すように、三角形状の断面形状を有する溝５０Ｂであってもよい。
【００８１】
さらに、図１４に示すように、流路４０はほぼ円形状であるが、左右の弧が若干上下にずれることで段差が形成されている。このような段差も、本発明の溝に含まれる。以降この段差を溝５０Ｃと称する。このような溝５０Ｃは、極僅かにずれて接合された金型によって形成された犠牲流路により生じる形状である。
【００８２】
溝５０Ｃも、実施形態１の溝５０と同様に流路４０におけるインクの流れ方向に沿って形成されているので、溝５０Ｃに気泡が引っかかったとしても、インクとともに下流に排出することができる。
【００８３】
〈他の実施形態〉
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
上述した実施形態１では、流路部材３０には流路４０が段差を有していたがこれに限らず、任意の形状の流路であってもよい。また、一本の流路４０は、インクが供給される入口が一つであり、インクが排出される出口が一つであったが、このような態様に限定されない。例えば、途中で分岐して複数の記録ヘッド１（リザーバー１７）にインクが供給されるような流路４０であってもよい。
【００８４】
また、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、縦振動型の圧電素子を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、下電極、圧電体層及び上電極を成膜及びリソグラフィー法により積層形成した薄膜型の圧電素子を有する圧電素子や、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型のアクチュエーター装置などを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室１２内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。
【００８５】
さらに、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、記録ヘッド１がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【００８６】
さらに、本発明は、広く流路部材全般を対象としたものであり、インク以外の液体を流通させる流路部材にも適用することができる。また、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。
【符号の説明】
【００８７】
Ｉ…インクジェット式記録装置、１、１Ａ、１Ｂ…記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、１０…ヘッド本体、１３…ノズル開口、１４…ノズルプレート、１８…圧電素子、３０、３０Ａ、３０Ｂ…流路部材、４０、４０Ｂ…流路、５０、５０Ａ、５０Ｂ、５０Ｃ…溝、６０…犠牲流路、７０、７０Ａ…パーティングライン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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