(57)【要約】【課題】ベリリウムを使用せずにＸ線強度の向上を図る。【解決手段】Ｘ線管１は、基板４、容器部３、電極部１１、Ｘ線透過窓５を備えて構成される。基板４は、開口部６が形成された金属材料からなる。箱型の容器部３は、内部が真空状態になるように基板４に取り付けられる。電極部１１は、電子放出用の線状の陰極８と、放出された電子を制御する制御電極９，１０とを含んで容器部３内に設けられる。Ｘ線透過窓５は、開口部６を閉止するように形成されるチタンからなり、陰極８からの電子が衝突したときのチタンから発生する特性Ｘ線を使用するＸ線ターゲットとして機能するとともに、発生したＸ線を透過させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部が形成された金属材料からなる基板と、
内部が真空状態になるように前記基板に取り付けられた箱型の容器部と、
前記容器部の内部に設けられ、電子を放出する線状の陰極と、該陰極から放出された電子を制御する制御電極とを含む電極部と、
前記開口部を閉止するように形成されるチタンからなり、前記陰極からの電子が衝突したときの前記チタンから発生する特性Ｘ線を使用するＸ線ターゲットとして機能するとともに、発生したＸ線を透過させるＸ線透過窓とを備えたことを特徴とするＸ線管。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高真空状態とされたパッケージの内部で電子源から電子を放出させてＸ線ターゲットに衝突させ、Ｘ線ターゲットから放出されたＸ線をパッケージのＸ線透過窓から外部に放射するＸ線管に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から販売されているＸ線管は、ベリリウム（Ｂｅ）をＸ線透過窓として使用しているものが一般的である。この種のＸ線管は、パッケージ内部の電子源と対向するベリリウムのＸ線透過窓の内面側にタングステンなどのＸ線ターゲットが形成され、電子源から放出した電子をＸ線ターゲットに衝突させ、Ｘ線ターゲットから放出されたＸ線をＸ線透過窓を透過させて外部に放射している。
【０００３】
ところが、上述したＸ線管のＸ線透過窓に使用されるベリリウムは、Ｘ線透過特性に優れている反面、毒性が高いために取り扱いが非常に難しく、メンテナンス面での負担も大きいという問題があった。
【０００４】
そこで、本願発明者等は、下記特許文献１に開示されるように、毒性の高いベリリウムに代えてチタン（Ｔｉ）をＸ線透過窓として用いたＸ線管を開発した。
【０００５】
下記特許文献１に開示されるＸ線管は、開口部が形成された４２６合金製の基板と、基板の開口部を塞ぐように設けられたチタン箔のＸ線透過窓と、基板に取り付けられて内部が真空状態とされた扁平箱型の容器部と、容器部の内部において開口部に設けられたＸ線ターゲットと、容器部の内部にてＸ線ターゲットに電子を入射させる電子源とを備えている。また、電子源は、線状の陰極と、陰極から電子を引き出す第１制御電極と、引き出した電子の照射範囲を規制する第２制御電極とを備える。この特許文献１に開示されるＸ線管によれば、第１制御電極によって陰極から引き出された電子は、第２制御電極により照射範囲がＸ線ターゲット近傍に規制される。そして、Ｘ線ターゲットに電子が入射して発生したＸ線は、基板の開口部で規制されたＸ線透過窓から放射される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１３―１８２８６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に開示されるＸ線管は、Ｘ線透過窓にベリリウムを使用した従来のＸ線管のＸ線強度に満たないため、さらにＸ線強度を高め、Ｘ線強度の向上を図ったＸ線管の開発が望まれていた。
【０００８】
そこで、本願発明者等は、特許文献１のＸ線管のＸ線強度を高めて更なる品質向上を図るべく鋭意研究を行う最中、Ｘ線管のＸ線強度を上げるためには、「管電圧（定格ターゲット電圧）を昇圧すること」と「Ｘ線透過窓に使用するチタン箔を従来品よりも薄くすること」がＸ線強度を高めるための条件になることを発見した。
【０００９】
ここで、図８はチタンのＸ線透過率特性を示している。図８に示すように、チタンは、５ｋｅＶ付近に吸収端があり、５ｋｅＶ以上のＸ線を吸収し、Ｘ線透過率が極端に低下する特性を示すことが判った。また、チタン箔の厚さを薄くした場合には、図８に示すように、厚さが１０μｍ、６μｍ、４μｍと薄くなるに連れて５ｋｅＶ以上のＸ線透過率が上昇することも判った。
【００１０】
そして、特許文献１のように、チタン箔をＸ線透過窓とし、タングステンなどをＸ線ターゲットとして用いたＸ線管では、管電圧を５ｋＶから９．８ｋＶ（管電流は１５０μＡ固定）に昇圧すれば、Ｘ線強度を高めることができるという実験結果を得た。また、上述したＸ線管において、Ｘ線透過窓を形成するチタンの厚さを１０μｍから６μｍ、４μｍと薄く形成すれば、５ｋｅＶ以上のＸ線透過率を上昇させることができるという実験結果を得た。
【００１１】
しかしながら、チタン箔をＸ線透過窓とし、タングステンなどをＸ線ターゲットとして用いたＸ線管において、上述したように、管電圧を昇圧し、Ｘ線透過窓の厚さを薄くした場合においても、ベリリウムをＸ線透過窓とし、タングステンなどをＸ線ターゲットとして用いたＸ線管と比較すると、十分なＸ線強度を得ることができないという実験結果を得た。
【００１２】
このように、管電圧を昇圧することと、Ｘ線透過窓に使用するチタン箔を薄くすることがＸ線強度を高めるための条件になるという実験結果を得たが、ベリリウムを使用せずにＸ線強度の更なる向上を図ったＸ線管の提供が望まれていた。
【００１３】
そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、ベリリウムを使用せずにＸ線強度の向上を図ることができるＸ線管を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記した目的を達成するために、請求項１に記載されたＸ線管は、開口部が形成された金属材料からなる基板と、
内部が真空状態になるように前記基板に取り付けられた箱型の容器部と、
前記容器部の内部に設けられ、電子を放出する線状の陰極と、該陰極から放出された電子を制御する制御電極とを含む電極部と、
前記開口部を閉止するように形成されるチタンからなり、前記陰極からの電子が衝突したときの前記チタンから発生する特性Ｘ線を使用するＸ線ターゲットとして機能するとともに、発生したＸ線を透過させるＸ線透過窓とを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、基板の開口部を閉止するように形成されたＸ線透過窓としてのチタンがＸ線ターゲットの機能も兼ね備えた構成なので、従来のように、Ｘ線透過窓と別にＸ線ターゲットを形成する必要がなく、構成の簡略化を図ることができる。しかも、Ｘ線を発生させて透過させる部分がチタン箔のみで形成されるので、Ｘ線を外部に放出する際に阻害要因となる邪魔なものが一切なく、チタンから発生する特性Ｘ線をより効率的に有効利用してＸ線強度の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明のＸ線管の実施の形態の断面図である。
【図２】本発明のＸ線管の実施の形態の平面図である。
【図３】本発明のＸ線管の実施の形態における電極構造を示す分解拡大斜視図である。
【図４】タングステンのＸ線ターゲットの有無による従来のＸ線管と本発明のＸ線管のＸ線スペクトルの対比図である。
【図５】（ａ）本発明の実施例１のＸ線管と比較対象のＸ線管におけるＸ線強度の対比図である。  （ｂ）本発明の実施例１のＸ線管と比較対象のＸ線管を用いて除電装置を構成した場合の除電速度の対比図である。
【図６】（ａ）本発明の実施例１〜３のＸ線管におけるＸ線強度の対比図である。  （ｂ）本発明の実施例１〜３のＸ線管を用いて除電装置を構成した場合の除電速度の対比図である。
【図７】本発明に係るＸ線管の他の実施の形態の断面図である。
【図８】チタンのＸ線透過率特性を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明を実施するための形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。また、この実施形態によって本発明が限定されるものではなく、この形態に基づいて当業者等により考え得る実施可能な他の形態、実施例及び運用技術等は全て本発明の範疇に含まれるものとする。
【００１８】
［１．本発明の概要について］
厚さ１０μｍのチタン箔でＸ線透過窓を形成し、Ｘ線透過窓の内面にタングステンが有る場合と無い場合のＸ線管を作製した。そして、管電圧９．５ｋＶを駆動条件として作製したＸ線管を駆動し、Ｘ線照射対象物までの距離が３０ｃｍの場合のＸ線スペクトルを調べたところ、図４に示すようなＸ線スペクトルの結果が得られた。
【００１９】
まず、Ｘ線透過窓の内面にタングステンが有る場合は、タングステンがＸ線ターゲットとして機能し、図４の破線のＸ線スペクトルに示すように、エネルギー４．５ｋｅＶ付近のチタンの特性Ｘ線は、タングステンが被覆されているために、８００程度の放射強度となっている。また、連続Ｘ線のピークは１００程度の放射強度となっている。これに対し、Ｘ線透過窓の内面にタングステンが無い場合は、チタン箔自体がＸ線ターゲットとして機能し、図４の実線のＸ線スペクトルに示すように、エネルギー４．５ｋｅＶ付近で放射強度がタングステンのターゲットが有る場合よりも高いピークを持つチタンの特性Ｘ線が放出されることが判った。また、タングステンのターゲットが無い場合の連続Ｘ線は、タングステンのターゲットが有る場合の約半分程度となっている。しかし、チタン箔のＸ線透過窓の内面にタングステンのターゲットが有る場合と無い場合とを比較すると、タングステンのターゲットが無い場合の方が有る場合よりも全体の放射強度が高く得られることが判った。
【００２０】
本発明に係るＸ線管は、図４のＸ線スペクトルに示すように、Ｘ線透過窓の内面にタングステンが無い場合、チタンの特性Ｘ線に着目したものであり、従来のＸ線管で多く用いられているタングステンのＸ線ターゲットを省き、チタンをＸ線透過窓だけでなくＸ線ターゲットとしても機能させる構成を特徴としている。
【００２１】
［２．Ｘ線管の構成について］
＜２−１．管構造について＞
まず、本発明のＸ線管１の構成について説明する。
図１に示すように、本例のＸ線管１は、箱型形状のパッケージ２を本体とする平型管である。パッケージ２は、シールガラス（鉛ガラス）を介在させてガラス製（例えば、ソーダライムガラス）の背面板３ａと枠状の側面板３ｂとを箱型に組み立てた容器部３を大気焼成によってドライシール化し、さらに側面板３ｂの開放側周縁部にシールガラスを形成した状態で第１基板４ａと第２基板４ｂとでチタン箔のＸ線透過窓５を挟んだ構成の基板４を取り付けて閉止される。また、パッケージ２の内部は、背面板３ａに形成した不図示の排気孔から高真空状態に排気されている。
【００２２】
基板４は、Ｘ線不透過性の４２６合金でできた矩形板である。４２６合金とは４２％Ｎｉ、６％Ｃｒ、残部Ｆｅ等の合金であり、容器部３を構成するソーダライムガラスと熱膨張係数が略等しい。なお、容器部３に使用するガラスの材質によって、基板４の金属材料も熱膨張率等を鑑みて適宜変更することができる。
【００２３】
また、図２に示すように、第１基板４ａと第２基板４ｂの中央には、長手方向に沿って細長い矩形状（又はスリット状）の開口部６が形成されている。
【００２４】
Ｘ線透過窓５は、第１基板４ａ及び第２基板４ｂと略同等の大きさのチタン箔で形成される。このチタン箔を第１基板４ａと第２基板４ｂとの間に挟んだ状態で、真空又は不活性ガス（例えば、Ａｒガス）雰囲気中で熱拡散接合によって一体化されることで開口部６がチタン箔のＸ線透過窓５で閉止された基板４を構成している。
【００２５】
なお、熱拡散接合とは、母材を密着させ、母材の融点以下の温度条件で塑性変形が可能な限り生じない程度に加圧して、接合面間に生じる原子の拡散を使用して接合する方法である。
【００２６】
そして、熱拡散接合を用いた方法では、第１基板４ａと第２基板４ｂの他の部分でもチタン箔が固着剤の作用をし、第１基板４ａと第２基板４ｂが強固に固着し、基板４の強度を向上させる効果がある。また、基板４を金属材料としているので、金属のチタン箔からなるＸ線透過窓５との接合性が良好である。
【００２７】
Ｘ線透過窓５は、後述する陰極８から放出される電子が衝突したときのチタン箔から発生する特性Ｘ線を使用するＸ線ターゲットとしても機能する。すなわち、Ｘ線透過窓５は、前述した図４のＸ線スペクトルの結果に示すように、Ｘ線ターゲットとしても機能し、ほぼ４．５ｋＶでピークの放射強度を示すチタン箔の特性Ｘ線とチタンをターゲットとした連続Ｘ線になり、従来のＸ線管の２．５倍の放射強度を得ることができる。
【００２８】
＜２−２．電極構成について＞
次に、Ｘ線管１のパッケージ２内部における電極構成について説明する。
図１及び図３に示すように、パッケージ２の内部には、Ｘ線透過窓５と反対側の容器部３の内面に、ガラスへの帯電を防止するための背面電極７が設けられている。
【００２９】
背面電極７の下方には、電子源である線状の陰極８が張設されている。陰極８は、タングステン等からなるワイヤー上の芯線の表面に炭酸塩を施したもので、芯線を通電加熱することで、熱電子を放出するものである。
【００３０】
陰極８の下方には、陰極８から電子を引き出すためのメッシュ状の開口９ａを有する第１制御電極９が設けられている。また、第１制御電極９の下方には、電子線の照射範囲を規制する第２制御電極１０が設けられている。
【００３１】
第２制御電極１０は、周囲の四方を板体に囲まれた箱型の電極部材であり、線状の陰極８と対応する部分に細長いスリットの開口１０ａを有し、かつ開口１０ａにメッシュ１０ｂが形成されている。
【００３２】
第２制御電極１０の開口１０ａ及びメッシュ１０ｂは、前述した第１基板４ａの開口部６及びその近傍に設けられたＸ線ターゲットとしても機能するチタン箔のＸ線透過窓５に対応しており、陰極８から放出された電子が第２制御電極１０から放射される範囲を規制し、第１基板４ａ側のＸ線透過窓５やその近傍に電子を当てることによって、効率的にＸ線を発生させてパッケージ２外に取り出せるように構成されている。また、第２制御電極１０とＸ線透過窓５の距離も、Ｘ線ターゲットとしても機能するＸ線透過窓５に対し、電子が適切な状態で衝突するために適した値に設定されている。
【００３３】
そして、背面電極７、陰極８、第１制御電極９、第２制御電極１０によって電極部１１を構成している。
【００３４】
このような電極構成により、陰極８は、周囲が所定の電位が印加された電極で囲われるので、容器部３内面の帯電の影響を受けることなく、陰極８周囲の電位を安定させることができる。
【００３５】
また、第２制御電極１０には、第１制御電極９によって引き出された電子がＸ線透過窓５以外の場所、例えばパッケージ２の内壁等に衝突し、Ｘ線ターゲットとしても機能するＸ線透過窓５（アノード）と陰極８との絶縁性を悪化させることがないように、陰極８側を遮蔽する機能も有している。
【００３６】
なお、背面電極７は、容器部３と線状の陰極８との距離が十分保たれていれば、容器部３への電子の帯電の影響が少なく不要である。また、制御電極は、第１制御電極９、第２制御電極１０に加えて、線状の陰極８からＸ線透過窓５までの距離、管電圧、あるいはＸ線透過窓５から取り出すＸ線の集束度合いに応じて追加しても良い。
【００３７】
さらに、第１制御電極９ならびに第２制御電極１０は、基板４と同様、容器部３の熱膨張係数をほぼ等しくするために、４２６合金を使用することが望ましい。
【００３８】
そして、上述した構成を備えたＸ線管１によれば、空気等にＸ線を照射してイオン化し、このイオンを帯電した被除電体（Ｘ線照射対象物）に放射することで、被除電体の除電処理を行なうことができる。
【００３９】
［３．性能評価について］
次に、本発明のＸ線管１の性能評価について、具体的な実施例を示して説明する。
【００４０】
Ｘ線透過窓５の厚さが異なる本発明の実施例１〜３のＸ線管と、比較対象となる第１の比較Ｘ線管と第２の比較Ｘ線管をそれぞれ作製し、Ｘ線強度と除電速度の比較を行ったところ、図５及び図６に示すような結果が得られた。
【００４１】
なお、第１の比較Ｘ線管は、厚さ１０μｍのチタン箔をＸ線透過窓とし、タングステンをＸ線ターゲットとした従来のＸ線管に相当するものであり、管電圧５ｋＶ、管電流１５０μＡを駆動条件として、被除電体（Ｘ線照射対象物）までの距離が３０ｃｍの場合におけるＸ線強度と除電速度を測定した。
【００４２】
また、第２の比較Ｘ線管は、厚さ１０μｍのチタン箔をＸ線透過窓とし、タングステンをＸ線ターゲットとしたＸ線管であり、管電圧９．８ｋＶ、管電流１５０μＡを駆動条件として、被除電体（Ｘ線照射対象物）までの距離が３０ｃｍのときのＸ線強度と除電速度を測定した。
【００４３】
＜実施例１＞
実施例１のＸ線管として、厚さ１０μｍのチタン箔をＸ線透過窓５とするＸ線管を作製し、第２の比較Ｘ線管と同一の駆動条件：管電圧９．８ｋＶ、管電流１５０μＡにより、被除電体（Ｘ線照射対象物）までの距離が３０ｃｍのときのＸ線強度と除電速度を測定し、第１の比較Ｘ線管と第２の比較Ｘ線管との比較を行った。なお、チタン箔の裏面には、第１の比較Ｘ線管や第２の比較Ｘ線管のようなＸ線ターゲットとしてのタングステンを成膜せず、チタン箔自体をＸ線ターゲットとした。
【００４４】
実施例１のＸ線管では、Ｘ線透過窓のチタン箔自体がＸ線ターゲットとなるため、図４の実線で示すように、Ｘ線管から被除電体（Ｘ線照射対象物）までの距離が３０ｃｍのときの放射強度がほぼ４．５ｋｅＶのチタンの特性Ｘ線のみになった。
【００４５】
そして、第１の比較Ｘ線管のＸ線強度を１として、実施例１のＸ線管と第１の比較Ｘ線管のＸ線強度を比較すると、図５（ａ）に示すように、実施例１のＸ線管では第１の比較Ｘ線管の約３５倍のＸ線強度が得られた。また、実施例１のＸ線管によれば、図５（ａ）に示すように、同一の駆動条件である第２の比較Ｘ線管と比較しても、Ｘ線強度が２割増加するという結果が得られた。
【００４６】
また、第１の比較Ｘ線管の除電速度を１として、実施例１のＸ線管と第１の比較Ｘ線管の除電速度を比較すると、実施例１のＸ線管によれば、図５（ｂ）に示すように、第１の比較Ｘ線管の約７．５倍の除電速度が得られた。また、実施例１のＸ線管によれば、図５（ｂ）に示すように、同一の駆動条件である第２の比較Ｘ線管と比較しても、除電速度が１１％上昇するという結果が得られた。
【００４７】
＜実施例２＞
実施例２のＸ線管として、厚さ６μｍのチタン箔をＸ線透過窓５とするＸ線管を作製し、実施例１のＸ線管と同一の駆動条件：管電圧９．８ｋＶ、管電流１５０μＡにより、被除電体（Ｘ線照射対象物）までの距離が３０ｃｍのときのＸ線強度と除電速度を測定し、実施例１のＸ線管との比較を行った。なお、チタン箔の裏面には、第１の比較Ｘ線管や第２の比較Ｘ線管のようなＸ線ターゲットとしてのタングステンを成膜せず、チタン箔自体をＸ線ターゲットとした。
【００４８】
実施例２のＸ線管では、Ｘ線透過窓のチタン箔自体がＸ線ターゲットとなるため、図４の実線で示すように、実施例１のＸ線管と同様、Ｘ線管から被除電体（Ｘ線照射対象物）までの距離が３０ｃｍのときの放射強度がほぼ４．５ｋｅＶのチタンの特性Ｘ線のみになった。
【００４９】
そして、実施例２のＸ線管によれば、図６（ａ）に示すように、同一の駆動条件である実施例１のＸ線管と比較して、Ｘ線強度が１．３５倍に上昇するという結果が得られた。また、実施例２のＸ線管によれば、図６（ｂ）に示すように、同一の駆動条件である実施例１のＸ線管と比較して、除電速度が１．１５倍に上昇するという結果が得られた。
【００５０】
＜実施例３＞
実施例３のＸ線管として、厚さ４μｍのチタン箔をＸ線透過窓５とするＸ線管を作製し、実施例１のＸ線管と同一の駆動条件：管電圧９．８ｋＶ、管電流１５０μＡにより、被除電体（Ｘ線照射対象物）までの距離が３０ｃｍのときのＸ線強度と除電速度を測定し、実施例１のＸ線管との比較を行った。なお、チタン箔の裏面には、第１の比較Ｘ線管や第２の比較Ｘ線管のようなＸ線ターゲットとしてのタングステンを成膜せず、チタン箔自体をＸ線ターゲットとした。
【００５１】
実施例３のＸ線管では、Ｘ線透過窓のチタン箔自体がＸ線ターゲットとなるため、図４の実線で示すように、実施例１のＸ線管と同様、Ｘ線管から被除電体（Ｘ線照射対象物）までの距離が３０ｃｍのときの放射強度がほぼ４．５ｋｅＶのチタンの特性Ｘ線のみになった。
【００５２】
そして、実施例３のＸ線管によれば、図６（ａ）に示すように、同一の駆動条件である実施例１のＸ線管と比較して、Ｘ線強度が１．４２倍に上昇するという結果が得られた。また、実施例３のＸ線管によれば、図６（ｂ）に示すように、同一の駆動条件である実施例１のＸ線管と比較して、除電速度が１．２７倍に上昇するという結果が得られた。
【００５３】
このように、実施例１〜３のＸ線管によれば、いずれの場合も第１の比較Ｘ線管及び第２の比較Ｘ線管と比較して、Ｘ線強度と除電速度が上昇するという結果が得られた。また、図６（ａ），（ｂ）に示すように、チタン箔の厚さを薄くすることにより、更にＸ線強度と除電速度が上昇するという結果が得られた。
【００５４】
そして、以上説明したように、上述した実施形態のＸ線管によれば、基板４の開口部６を閉止するように形成されたＸ線透過窓５としてのチタン箔がＸ線ターゲットの機能も兼ね備えた構成なので、従来のように、Ｘ線透過窓と別にＸ線ターゲットを形成する必要がなく、構成の簡略化を図ることができる。しかも、Ｘ線を発生させて透過させる部分がチタン箔のみで形成されるので、Ｘ線を外部に放出する際に阻害要因となる邪魔なものが一切なく、チタンから発生する特性Ｘ線をより効率的に有効利用してＸ線強度の向上を図ることができる。
【００５５】
そして、本実施形態のＸ線管におけるチタンの特性Ｘ線は、図４に示すように、４．５ｋｅＶ付近に発生し、特許文献１に開示される従来のＸ線透過窓にベリリウムを使用したＸ線管よりもエネルギーは低いが、イオン化効率が高い数ｋｅＶに近い。このため、ベリリウムを使用したＸ線管より低いＸ線強度であっても高い除電能力を得ることができる。しかも、エネルギーが低いため、Ｘ線使用領域のＸ線遮蔽が薄くより簡便になる。
【００５６】
また、本実施形態のＸ線管によれば、特許文献２に開示される従来のタングステンをＸ線ターゲットとし、チタンをＸ線透過窓とするＸ線管と比較して、さらにＸ線強度が増し、除電能力の向上を図ることができる。
【００５７】
そして、本実施形態のＸ線管によれば、チタン箔の厚さを１０μｍ、６μｍ、４μｍと薄く形成していけば、毒性が高い酸化物を発生するベリリウムを使用することなく同等の除電能力を得ることができる。
【００５８】
ところで、上述した実施形態では、図１に示すように、チタン箔のＸ線透過窓５を２枚の基板４（第１基板４ａ、第２基板４ｂ）で挟み込む構成として説明したが、この構成に限定されるものではない。例えば図７に示すＸ線管１のように、基板４の開口部６を塞ぐように基板４の外面側にチタン箔のＸ線透過窓５を設ける構成としてもよい。また、図７において、チタン箔のＸ線透過窓５を基板４の内面側に開口部６を塞ぐように設けることもできる。すなわち、基板４の一方の面において開口部６を塞ぐようにチタン箔のＸ線透過窓５を設ける構成としてもよい。なお、図７のＸ線管において、図１と同一の構成要素には同一番号を付し、その説明を省略している。
【００５９】
また、図１に示すＸ線管１では、その製造工程中、２枚の４２６合金からなる第１基板４ａと第２基板４ｂとでチタン箔を挟み、熱拡散接合させるため、４２６合金とチタン箔は接合されるが、４２６合金どうしは完全には接合されない。このため、これら基板４を多数重ねて一度に熱拡散接合すれば、基板４の製造を効率的に行うことができる。
【００６０】
さらに、上述した実施形態では、対象物にＸ線を照射して除電を行なう用途に用いられるＸ線管として説明したが、もちろん用途を限定するものではなく、その他の用途に使用してもかまわない。
【符号の説明】
【００６１】
１  Ｘ線管
２  パッケージ
３  容器部
３ａ  背面板
３ｂ  側面板
４  基板
４ａ  第１基板
４ｂ  第２基板
５  Ｘ線透過窓
６  開口部
７  背面電極
８  陰極
９  第１制御電極
９ａ  開口
１０  第２制御電極
１０ａ  開口
１０ｂ  メッシュ
１１  電極部
【図１】
2016134251.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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