(57)【要約】【課題】所望の共振周波数を安定的に出力できる小型の圧電振動片を提供する。【解決手段】圧電振動片３は、幅方向Ｗに並んで配置される第１振動腕部３１および第２振動腕部３２と、各振動腕部３１，３２の基端部３１ｂ，３２ｂ同士を接続する基部３５と、各振動腕部３１，３２の幅方向Ｗにおける外方に位置し、基部３５から延出される第１支持腕部３３および第２支持腕部３４と、を備えている。各振動腕部３１，３２は、基部３５から延出される本体部３１Ａ，３２Ａと、本体部３１Ａ，３２Ａの先端に形成され、幅方向Ｗにおける幅が本体部３１Ａ，３２Ａよりも広い錘部３１Ｂ，３２Ｂと、を備えている。本体部３１Ａ，３２Ａは、幅方向Ｗにおける外方に向かって、幅方向Ｗに対して斜めに延びる第１傾斜部４１および第２傾斜部４３を有する。【選択図】図５
2016134800.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定方向に並んで配置される一対の振動腕部と、
前記一対の振動腕部の基端同士を接続する基部と、
前記一対の振動腕部の前記所定方向における外方に位置し、前記基部から延出される一対の支持腕部と、
を備え、
前記振動腕部は、
前記基部から延出される本体部と、
前記本体部の先端に形成され、前記所定方向における幅が前記本体部よりも広い錘部と、
を備え、
前記本体部は、前記所定方向における外方に向かって、前記所定方向に対して斜めに延びる傾斜部を有する、
ことを特徴とする圧電振動片。
【請求項２】
前記錘部の前記所定方向における幅は、前記本体部の前記所定方向における幅の３倍以上である、
ことを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片。
【請求項３】
一対の前記錘部の前記所定方向における幅の合計値は、全幅の６０％以上１００％未満である、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の圧電振動片。
【請求項４】
前記錘部は、対称形状となっている、
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の圧電振動片。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載の圧電振動片を備えることを特徴とする圧電振動子。
【請求項６】
前記一対の支持腕部をパッケージに対して実装する接合材を備え、
前記接合材は、前記支持腕部の先端部よりも基端側に接触している、
ことを特徴とする請求項５に記載の圧電振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動片および圧電振動子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、携帯電話や携帯情報端末機器等の電子機器には、時刻源や制御信号等のタイミング源、リファレンス信号源等に用いられるデバイスとして、水晶等を利用した圧電振動子が用いられる。この種の圧電振動子として、キャビティが形成されたパッケージ内に圧電振動片を気密封止したものが知られている。近年では、電子機器の小型化に伴い、圧電振動子および圧電振動片の小型化への要求が益々高まりつつある。
【０００３】
ところで、圧電振動片の共振周波数は、一般に振動腕部の長さの２乗に反比例して上昇する。このため、振動腕部を短縮することで圧電振動片を小型化すると、共振周波数が上昇する。そこで、振動腕部を短縮しつつ、振動腕部の先端の質量を増加させることで、共振周波数の上昇を抑制し、電子機器に適用可能な所望の共振周波数を出力させる方法が知られている。
【０００４】
振動腕部の先端の質量を増加させる方法として、振動腕部の先端に錘部を設ける方法が知られている。例えば、特許文献１に記載の圧電振動片は、基部と、基部から延びる少なくとも１本の腕部（請求項における「本体部」に相当。）と腕部の先端部に形成され腕部より幅が広い錘部とを有する振動腕（請求項における「振動腕部」に相当。）と、備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−１８２０２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の圧電振動片にあっては、一対の振動腕部が基部から平行に延びている。このため、錘部の幅を広くするには限界があり、圧電振動片を小型化しつつ、共振周波数の上昇を抑制するのは困難である。したがって、従来の圧電振動片にあっては、小型化を実現しつつ、所望の共振周波数を安定的に出力するという点で課題がある。
【０００７】
そこで本発明は、小型化しつつ、所望の共振周波数を安定的に出力できる圧電振動片および圧電振動子を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の圧電振動片は、所定方向に並んで配置される一対の振動腕部と、前記一対の振動腕部の基端同士を接続する基部と、前記一対の振動腕部の前記所定方向における外方に位置し、前記基部から延出される一対の支持腕部と、を備え、前記振動腕部は、前記基部から延出される本体部と、前記本体部の先端に形成され、前記所定方向における幅が前記本体部よりも広い錘部と、を備え、前記本体部は、前記所定方向における外方に向かって、前記所定方向に対して斜めに延びる傾斜部を有する、ことを特徴とする。
本発明によれば、振動腕部が基部から外方に向かって斜めに延びる傾斜部を有しているため、錘部同士の接触を防止しつつ、錘部の幅を広く設定し、振動腕部の先端の質量を増加させることができる。これにより、共振周波数の上昇を抑制しつつ、振動腕部の長さを短縮することができる。したがって、小型化しつつ、所望の共振周波数を安定的に出力できる圧電振動片が得られる。
【０００９】
上記の圧電振動片において、前記錘部の前記所定方向における幅は、前記本体部の前記所定方向における幅の３倍以上である、ことが望ましい。
本発明によれば、錘部の幅を本体部の幅の３倍以上とすることで、振動腕部の先端の質量を十分に確保することができる。このため、共振周波数の上昇を抑制しつつ、振動腕部を短縮することが可能となり、圧電振動片を小型化することができる。
【００１０】
上記の圧電振動片において、一対の前記錘部の前記所定方向における幅の合計値は、全幅の６０％以上１００％未満である、ことが望ましい。
本発明によれば、一対の錘部の幅の合計値を、圧電振動片の全幅の６０％以上１００％未満とすることで、錘部同士の間に隙間を設けつつ、振動腕部の先端の質量を十分に確保することができる。このため、共振周波数の上昇を抑制しつつ、振動腕部を短縮することが可能となり、圧電振動片を小型化することができる。
【００１１】
上記の圧電振動片において、前記錘部は、対称形状となっている、ことが望ましい。
本発明によれば、錘部を対称形状とすることで、各振動腕部の重量バランスの均衡を保つことができる。このため、各振動腕部の振動のブレが抑制され、振動を安定させることができる。したがって、所望の共振周波数を安定的に出力することが可能となる。
【００１２】
本発明の圧電振動子は、上記の圧電振動片を備えることを特徴とする。
本発明によれば、上述の圧電振動片を備えているため、小型化しつつ、所望の共振周波数を安定的に出力できる圧電振動片が得られる。
【００１３】
上記の圧電振動子において、前記一対の支持腕部をパッケージに対して実装する接合材を備え、前記接合材は、前記支持腕部の先端部よりも基端側に接触している、ことが望ましい。
本発明によれば、接合材が支持腕部の先端部よりも基端側に接触しているため、接合材が支持腕部の先端部の表面に移動することを抑制できる。これにより、支持腕部の先端部の周辺に位置する錘部と接合材とが接触して振動腕部の振動が乱れることを防止できる。したがって、所望の共振周波数を安定的に出力できる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、振動腕部が基部から外方に向かって斜めに延びる傾斜部を有しているため、錘部同士の接触を防止しつつ、錘部の幅を広く設定し、振動腕部の先端の質量を増加させることができる。これにより、共振周波数の上昇を抑制しつつ、振動腕部の長さを短縮することができる。したがって、小型化しつつ、所望の共振周波数を安定的に出力できる圧電振動片が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】圧電振動子の外観斜視図である。
【図２】圧電振動子の内部構成図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面図である。
【図４】圧電振動子の分解斜視図である。
【図５】圧電振動片の平面図である。
【図６】変形例の圧電振動片の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
（圧電振動子）
図１は、圧電振動子の外観斜視図である。図２は、圧電振動子の内部構成図である。図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面図である。図４は、圧電振動子の分解斜視図である。
【００１７】
図１〜４に示すように、本実施形態の圧電振動子１は、内部に気密封止されたキャビティＣを有するパッケージ２と、キャビティＣ内に収容された圧電振動片３と、を備えたセラミックパッケージタイプの表面実装型振動子とされている。
なお、圧電振動子１は、概略直方体状に形成されており、本実施形態では平面視において圧電振動子１の長手方向を長手方向Ｌといい、短手方向を幅方向Ｗといい、これら長手方向Ｌおよび幅方向Ｗに対して直交する方向を厚み方向Ｔという。
【００１８】
パッケージ２は、パッケージ本体５と、パッケージ本体５に対して接合されるとともに、パッケージ本体５との間にキャビティＣを形成する封口板６と、を備えている。
パッケージ本体５は、互いに重ね合わされた状態で接合された第１ベース基板１０および第２ベース基板１１と、第２ベース基板１１上に接合されたシールリング１２と、を備えている。
【００１９】
第１ベース基板１０および第２ベース基板１１の四隅には、平面視１／４円弧状の切欠部１５が、両ベース基板１０，１１の厚み方向の全体に亘って形成されている。これら第１ベース基板１０および第２ベース基板１１は、例えばウエハ状のセラミック基板を２枚重ねて接合した後、両セラミック基板を貫通する複数のスルーホールを行列状に形成し、その後、各スルーホールを基準としながら両セラミック基板を格子状に切断することで作製される。その際、スルーホールが４分割されることで、切欠部１５となる。
【００２０】
なお、第１ベース基板１０および第２ベース基板１１はセラミックス製としたが、その具体的なセラミックス材料としては、例えばアルミナ製のＨＴＣＣ（Ｈｉｇｈ  Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  Ｃｏ−Ｆｉｒｅｄ  Ｃｅｒａｍｉｃ）や、ガラスセラミックス製のＬＴＣＣ（Ｌｏｗ  Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  Ｃｏ−Ｆｉｒｅｄ  Ｃｅｒａｍｉｃ）等が挙げられる。
【００２１】
第１ベース基板１０の上面は、キャビティＣの底面に相当する。
第２ベース基板１１は、第１ベース基板１０に重ねられており、第１ベース基板１０に対して焼結などにより結合されている。すなわち、第２ベース基板１１は、第１ベース基板１０と一体化されている。
【００２２】
第２ベース基板１１には、貫通部１１ａが形成されている。貫通部１１ａは、四隅が丸みを帯びた平面視長方形状に形成されている。貫通部１１ａの内側面は、キャビティＣの側壁の一部を構成している。貫通部１１ａの幅方向Ｗ両側の内側面には、内方に突出する実装部１４Ａ，１４Ｂが設けられている。実装部１４Ａ，１４Ｂは、貫通部１１ａの長手方向Ｌの略中央に形成されている。
【００２３】
シールリング１２は、第１ベース基板１０および第２ベース基板１１の外形よりも一回り小さい導電性の枠状部材であり、第２ベース基板１１の上面に接合されている。具体的には、シールリング１２は、銀ロウ等のロウ材や半田材等による焼付けによって第２ベース基板１１上に接合、あるいは、第２ベース基板１１上に形成（例えば、電解メッキや無電解メッキの他、蒸着やスパッタリング等により）された金属接合層に対する溶着等によって接合されている。
【００２４】
シールリング１２の材料としては、例えばニッケル基合金等が挙げられ、具体的にはコバール、エリンバー、インバー、４２−アロイ等から選択すれば良い。特に、シールリング１２の材料としては、セラミックス製とされている第１ベース基板１０および第２ベース基板１１に対して熱膨張係数が近いものを選択することが好ましい。例えば、第１ベース基板１０および第２ベース基板１１として、熱膨張係数６．８×１０-6／℃のアルミナを用いる場合には、シールリング１２としては、熱膨張係数５．２×１０-6／℃のコバールや、熱膨張係数４．５〜６．５×１０-6／℃の４２−アロイを用いることが好ましい。
【００２５】
封口板６は、シールリング１２上に重ねられた導電性基板であり、シールリング１２に対する接合によってパッケージ本体５に対して気密に接合されている。封口板６、シールリング１２、第２ベース基板１１の貫通部１１ａ、および第１ベース基板１０の上面により画成された空間は、気密に封止されたキャビティＣとして機能する。
【００２６】
封口板６の溶接方法としては、例えばローラ電極を接触させることによるシーム溶接や、レーザ溶接、超音波溶接等が挙げられる。また、封口板６とシールリング１２との溶接をより確実なものとするため、互いになじみの良いニッケルや金等の接合層を、少なくとも封口板６の下面と、シールリング１２の上面とにそれぞれ形成することが好ましい。
【００２７】
第２ベース基板１１の実装部１４Ａ，１４Ｂの上面には、圧電振動片３との接続電極である一対の電極パッド２０Ａ，２０Ｂが形成されている。また、第１ベース基板１０の下面には、一対の外部電極２１Ａ，２１Ｂが長手方向Ｌに間隔をあけて形成されている。電極パッド２０Ａ，２０Ｂおよび外部電極２１Ａ，２１Ｂは、例えば蒸着やスパッタリング等で形成された単一金属による単層膜、または異なる金属が積層された積層膜であり、不図示の配線を介して互いにそれぞれ導通している。
【００２８】
（圧電振動片）
図５は、圧電振動片の平面図である。
図５に示すように、圧電振動片３は、水晶やタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料から形成された振動片であり、所定の電圧が印加されたときに振動するものである。なお、以下の説明では、圧電材料として水晶を例に挙げて説明する。また、圧電振動子１の長手方向Ｌ、幅方向Ｗおよび厚み方向Ｔは、圧電振動片３の長手方向、幅方向（請求項における「所定方向」に相当。）および厚み方向と一致している。したがって、以下の説明では、圧電振動片３の長手方向、幅方向および厚み方向の各方向について、圧電振動子１の長手方向Ｌ、幅方向Ｗおよび厚み方向Ｔの各方向と同一の符号を付して説明する。
【００２９】
圧電振動片３は、その幅方向Ｗにおける幅Ｄ１（全幅）が例えば５００〜５５０μｍ程度に設定された板状の部材である。圧電振動片３は、一対の振動腕部（第１振動腕部３１および第２振動腕部３２）と、基部３５と、一対の支持腕部（第１支持腕部３３および第２支持腕部３４）と、を備えている。圧電振動片３は、厚み方向Ｔから見て、第１振動腕部３１および第２振動腕部３２の間を通り長手方向Ｌに沿う中心線Ｐに対して線対称に形成されている。
【００３０】
各振動腕部３１，３２は、基部３５における幅方向Ｗの両端部からそれぞれ延出している。各振動腕部３１，３２は、長手方向Ｌに沿うように延在するとともに、幅方向Ｗに並んで配置されている。各振動腕部３１，３２は、基端部３１ｂ，３２ｂを固定端として、先端部３１ａ，３２ａを自由端として振動する。各振動腕部３１，３２は、基端に形成された本体部３１Ａ，３２Ａと、先端に形成された錘部３１Ｂ，３２Ｂと、を有している。
【００３１】
本体部３１Ａ，３２Ａは、それぞれ基部３５から延出している。
第１振動腕部３１の本体部３１Ａは、基部３５から幅方向Ｗにおける外側に向かって、長手方向Ｌに対して斜めに延びる第１傾斜部４１と、第１傾斜部４１の先端から長手方向Ｌに沿って延びる第１直状部４２と、を有する。第１傾斜部４１は、基部３５の長手方向Ｌにおける一方側の端縁上であって、幅方向Ｗの一方側の角部から、直線状に延びている。長手方向Ｌにおける第１傾斜部４１の寸法は、長手方向Ｌにおける本体部３１Ａの寸法の半分以下であって、本実施形態では５分の１程度となっている。
【００３２】
第２振動腕部３２の本体部３２Ａは、基部３５から幅方向Ｗにおける外側に向かって、長手方向Ｌに対して斜めに延びる第２傾斜部４３と、第２傾斜部４３の先端から長手方向Ｌに沿って延びる第２直状部４４と、を有する。第２傾斜部４３は、基部３５の長手方向Ｌにおける一方側の端縁上であって、幅方向Ｗの他方側の角部から、直線状に延びている。長手方向Ｌにおける第２傾斜部４３の寸法は、長手方向Ｌにおける本体部３２Ａの寸法の半分以下であって、本実施形態では５分の１程度となっている。
【００３３】
これら本体部３１Ａ，３２Ａには、それぞれ溝部３７が形成されている。溝部３７は、本体部３１Ａ，３２Ａの両主面上において、厚み方向Ｔに凹むとともに、本体部３１Ａ，３２Ａの延在方向に沿って延在している。溝部３７は、各振動腕部３１，３２の基端部３１ｂ，３２ｂから、本体部３１Ａ，３２Ａの先端に亘って形成されている。
【００３４】
本体部３１Ａ，３２Ａの表面上には、これら各振動腕部３１，３２を幅方向Ｗに振動させる２系統の励振電極（不図示）が設けられている。各励振電極は、互いに電気的に絶縁された状態でパターニングされ、各振動腕部３１，３２を所定の周波数で振動させることができるように配設されている。
【００３５】
錘部３１Ｂ，３２Ｂは、それぞれ本体部３１Ａ，３２Ａの先端から長手方向Ｌに沿って延出している。錘部３１Ｂ，３２Ｂは、平面視矩形状であって、幅方向Ｗにおける幅が本体部３１Ａ，３２Ａよりも広くなっている。より具体的に、錘部３１Ｂは、厚み方向Ｔから見て第１直状部４２を幅方向Ｗに２等分する中心線Ｑ１に対して、線対称に形成されている。錘部３１Ｂの幅方向Ｗにおける幅Ｄ２は、例えば２００〜２４０μｍ程度であって、本体部３１Ａの第１直状部４２の幅方向Ｗにおける幅Ｄ４の３倍以上となっている。錘部３２Ｂは、厚み方向Ｔから見て第２直状部４４を幅方向Ｗに２等分する中心線Ｑ２に対して、線対称に形成されている。錘部３２Ｂの幅方向Ｗにおける幅Ｄ３は、錘部３１Ｂの幅Ｄ２と等しく、本体部３２Ａの第２直状部４４の幅方向Ｗにおける幅Ｄ５の３倍以上となっている。
【００３６】
このように、各振動腕部３１，３２の先端に幅広の錘部３１Ｂ，３２Ｂを設けることにより、各振動腕部３１，３２の先端の質量および振動時の慣性モーメントを増大させることができる。これにより、錘部３１Ｂ，３２Ｂを有しない圧電振動片と比較して、共振周波数の上昇を抑制しつつ、各振動腕部３１，３２を短縮することができる。
【００３７】
基部３５は、各振動腕部３１，３２の基端部３１ｂ，３２ｂ同士を一体に接続している。基部３５は、平面視矩形状であって、幅方向Ｗにおける幅Ｄ６が、例えば圧電振動片３の全幅Ｄ１の半分程度となっている。
【００３８】
各支持腕部３３，３４は、各振動腕部３１，３２の幅方向Ｗにおける外方に位置し、基部３５の幅方向Ｗの両端部から延出している。より具体的に、第１支持腕部３３は、基部３５の幅方向Ｗの一端部から、幅方向Ｗの外方に向かって延び、さらに第１振動腕部３１に向かって屈曲して長手方向Ｌに沿って延びている。第２支持腕部３４は、基部３５の幅方向Ｗの他端部から、幅方向Ｗの外方に向かって延び、さらに第２振動腕部３２に向かって屈曲して長手方向Ｌに沿って延びている。各支持腕部３３，３４の先端部３３ａ，３４ａは、長手方向Ｌにおいて錘部３１Ｂ，３２Ｂよりも基部３５側に位置している。
【００３９】
各支持腕部３３，３４の表面には、圧電振動片３をパッケージ２に実装する際のマウント部として、不図示のマウント電極がそれぞれ設けられている。各マウント電極は、各支持腕部３３，３４の先端付近に配置されている。
２系統のマウント電極と、２系統の励振電極とは、不図示の引き回し電極によりそれぞれ導通されている。引き回し電極は、各支持腕部３３，３４のそれぞれから、基部３５を経由して各振動腕部３１，３２に至る経路に形成されている。
【００４０】
図２〜４に示すように、上記のように構成された圧電振動片３は、気密封止されたパッケージ２のキャビティＣ内に収容されている。圧電振動片３の各マウント電極（不図示）は、パッケージ２の実装部１４Ａ，１４Ｂに設けられた２つの電極パッド２０Ａ，２０Ｂにそれぞれ導電性を有する接合材８を介して電気的および機械的に接合されている。これにより、圧電振動片３は、支持腕部３３，３４において支持される。
接合材８は、接合初期の段階において流動性を持ち、接合後期の段階において固化して接合強度を発現する性質を有する。接合材８は、例えば銀ペースト等の導電性接着剤や、金属バンプ等が好適である。ここで、接合材８は、各支持腕部３３，３４の先端部３３ａ，３４ａよりも基端側に接触しており、各支持腕部３３，３４の先端部３３ａ，３４ａの表面への移動を抑制されている。
【００４１】
外部電極２１Ａ，２１Ｂ（図３参照）に所定の電圧が印加されると、各励振電極に電流が流れ、各励振電極間に電界が発生する。各振動腕部３１，３２は、各励振電極間に発生する電界による逆圧電効果によって例えば互いに接近、離間する方向（幅方向Ｗ）に所定の共振周波数で振動する。各振動腕部３１，３２の振動は、時刻源、制御信号のタイミング源やリファレンス信号源などとして用いられる。
【００４２】
このように、本実施形態の圧電振動片３は、各振動腕部３１，３２は、基部３５から延出される本体部３１Ａ，３２Ａと、本体部３１Ａ，３２Ａの先端に形成され、幅方向Ｗにおける幅が本体部３１Ａ，３２Ａよりも広い錘部３１Ｂ，３２Ｂと、を備えている。本体部３１Ａ，３２Ａは、幅方向Ｗにおける外方に向かって、幅方向Ｗに対して斜めに延びる第１傾斜部４１および第２傾斜部４３を有する。
この構成によれば、各振動腕部３１，３２が基部３５から外方に向かって斜めに延びる第１傾斜部４１および第２傾斜部４３を有しているため、錘部３１Ｂ，３２Ｂ同士の接触を防止しつつ、錘部３１Ｂ，３２Ｂの幅を広く設定し、各振動腕部３１，３２の先端の質量を増加させることができる。これにより、共振周波数の上昇を抑制しつつ、各振動腕部３１，３２の長さを短縮することができる。したがって、小型化しつつ、所望の共振周波数を安定的に出力できる圧電振動片３が得られる。
【００４３】
また、基部３５の幅方向Ｗにおける幅Ｄ６を大きくすると、各振動腕部３１，３２の振動エネルギーが基部３５を通って、各支持腕部３３，３４へ伝搬しやすくなり、ＣＩ値が上昇してしまう。本実施形態では、各振動腕部３１，３２が、幅方向Ｗにおける外方に向かって延びる第１傾斜部４１および第２傾斜部４３を有するため、基部３５の幅Ｄ６を大きくすることなく、錘部３１Ｂ，３２Ｂの幅を広く設定することができる。
【００４４】
また、錘部３１Ｂの幅Ｄ２が、本体部３１Ａ（第１直状部４２）の幅Ｄ４の３倍以上であり、錘部３２Ｂの幅Ｄ３が、本体部３２Ａ（第２直状部４４）の幅Ｄ５の３倍以上である。これにより、各振動腕部３１，３２の先端の質量を十分に確保することができるため、各振動腕部３１，３２を短縮することが可能となる。したがって、共振周波数の上昇を抑制しつつ、圧電振動片３を小型化することができる。
【００４５】
また、錘部３１Ｂ，３２Ｂは、対称形状となっているため、各振動腕部３１，３２の重量バランスの均衡を保つことができる。このため、各振動腕部３１，３２の振動のブレが抑制され、振動を安定させることができる。したがって、所望の共振周波数を安定的に出力することが可能となる。
【００４６】
また、本実施形態によれば、圧電振動片３を備えることにより、小型化しつつ、所望の共振周波数を安定的に出力できる圧電振動子１が得られる。
【００４７】
また、本実施形態では、接合材８が各支持腕部３３，３４の先端部３３ａ，３４ａよりも基端側に接触しているため、接合材８が各支持腕部３３，３４の先端部３３ａ，３４ａの表面に移動することを抑制できる。これにより、各支持腕部３３，３４の先端部３３ａ，３４ａの周辺に位置する錘部３１Ｂ，３２Ｂと接合材８とが接触して各振動腕部３１，３２の振動が乱れることを防止できる。したがって、所望の共振周波数を安定的に出力できる。
【００４８】
なお、本発明は、図面を参照して説明した上述の実施形態に限定されるものではなく、その技術的範囲において様々な変形例が考えられる。
例えば、上記実施形態においては、第１傾斜部４１および第２傾斜部４３が直線状に延在していた。しかしながらこれに限定されず、第１傾斜部４１および第２傾斜部４３は、図６に示すように、それぞれ直状部と基部との間で屈曲する形状であってもよい。また、第１傾斜部および第２傾斜部は、湾曲する形状であってもよい。なお、何れの場合であっても、長手方向Ｌにおける第１傾斜部および第２傾斜部の寸法は、長手方向Ｌにおける本体部の寸法の半分以下となっていることが望ましい。
【００４９】
また、上記実施形態においては、錘部３１Ｂの幅Ｄ２、錘部３２Ｂの幅Ｄ３、および圧電振動片３の全幅Ｄ１をそれぞれ規定して説明したが、錘部３１Ｂの幅Ｄ２と錘部３２Ｂの幅Ｄ３の合計値は、圧電振動片３の全幅Ｄ１の６０％以上１００％未満であれば構わない。この場合には、錘部３１Ｂ，３２Ｂ同士の間に隙間を設けつつ、各振動腕部３１，３２の先端の質量を十分に確保することができる。このため、共振周波数の上昇を抑制しつつ、各振動腕部３１，３２を短縮することが可能となり、圧電振動片３を小型化することができる。
【００５０】
また、上記実施形態においては、圧電振動片３を用いた圧電振動子１として、セラミックパッケージタイプの表面実装型振動子について説明したが、圧電振動片３を、ガラス材によって形成されるベース基板およびリッド基板が陽極接合によって接合されるガラスパッケージタイプの圧電振動子に適用することも可能である。
【００５１】
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施の形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能である。
【符号の説明】
【００５２】
１…圧電振動子  ２…パッケージ  ３…圧電振動片  ８…接合材  ３１…第１振動腕部（振動腕部）  ３１Ａ，３２Ａ…本体部  ３１Ｂ，３２Ｂ…錘部  ３１ｂ，３２ｂ…振動腕部の基端部  ３２…第２振動腕部（振動腕部）  ３３…第１支持腕部（支持腕部）  ３３ａ，３４ａ…支持腕部の先端部  ３４…第２支持腕部（支持腕部）  ４１…第１傾斜部（傾斜部）  ４３…第２傾斜部（傾斜部）  Ｄ１…圧電振動片の幅（全幅）  Ｄ２，Ｄ３…錘部の幅  Ｄ４，Ｄ５…直状部の幅（本体部の幅）  Ｗ…幅方向（所定方向）
【図１】
2016134800.tif 000003
【図２】
2016134800.tif 000004
【図３】
2016134800.tif 000005
【図４】
2016134800.tif 000006
【図５】
2016134800.tif 000007
【図６】
2016134800.tif 000008