(57)【要約】【課題】圧縮力が低く、熱伝導性に優れる熱伝導シートの製造方法、および、熱伝導シートを提供する。【解決手段】アクリルポリマーと、高ソーダアルミナ７０〜７５体積％と、前記高ソーダアルミナより粒径が小さく、高級脂肪酸によりコーティングされた水酸化マグネシウム２．７〜５．３体積％と、を含み、圧縮率２０％以下の変形に要する圧縮力が２００Ｎ以下であり、かつ、熱抵抗が０．４５℃／Ｗ以下である、熱伝導シート。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクリルポリマーと、高ソーダアルミナ７０〜７５体積％と、前記高ソーダアルミナより粒径が小さく、高級脂肪酸によりコーティングされた水酸化マグネシウム２．７〜５．３体積％と、を含み、
圧縮率２０％以下の変形に要する圧縮力が２００Ｎ以下であり、かつ、熱抵抗が０．４５℃／Ｗ以下である、熱伝導シート。
【請求項２】
前記高ソーダアルミナは、平均粒径２μｍ〜１０μｍの小粒径アルミナと、平均粒径５０μｍ〜１００μｍの大粒径アルミナとが、２：３〜２：５の体積比で混合されてなる、請求項１に記載の熱伝導シート。
【請求項３】
（メタ）アクリル酸エステルを含むモノマーを重合してなるポリマー、および、（メタ）アクリル酸エステルを含むアクリル系樹脂２０〜２５重量部と、
高ソーダアルミナ２５０〜３００重量部と、
前記高ソーダアルミナより粒径が小さく、高級脂肪酸によりコーティングされた水酸化マグネシウム４〜１３重量部と、
多官能モノマー０．００５〜０．０５重量部と、
重合開始剤０．１〜０．３重量部と、
可塑剤１．２〜２．８重量部％と、
酸化防止剤０．０２〜０．２重量部と、を混合する混合工程と、
前記混合工程で得られた混合物を互いに向かい合う一対のプラスチックシートの間に向けて押し出してシート状に成形する成形工程と、
前記成形工程により成形された成形物を加熱して硬化させる硬化工程と、を実行する、請求項１または請求項２に記載の熱伝導シートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱伝導シート、および、熱伝導シートの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器や素子等から発生する熱をヒートシンクに伝熱するための熱伝導シートとして、従来、アクリル系樹脂に熱伝導性が高い酸化アルミニウム（アルミナ）等の熱伝導フィラーを充填した熱伝導シートが提案されている（特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１１１７５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この種の熱伝導シートにおいて熱伝導性を高めるためには、熱伝導フィラーによる伝熱経路をできるだけ連続させ、かつ、多く確保することが好ましい。換言すると、熱伝導フィラーの充填密度を高くすることが好ましい。しかし、充填密度が高くなるとシートの硬度が高くなり、発熱体である電子機器や素子等に隙間なく密着させることが困難になる。
【０００５】
また、この種の熱伝導シートにおいては、その製法上、シートの表面に薄い樹脂層が形成される。しかしこのようなシート表面の樹脂層は、シート中の熱伝導フィラーと電子機器や素子との直接的な接触を妨げるため、熱伝導性の低下を招くという問題がある。
【０００６】
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、圧縮力が低く、熱伝導性に優れる熱伝導シート、および、熱伝導シートの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するべくなされた本発明は、アクリルポリマーと、高ソーダアルミナ７０〜７５体積％と、前記高ソーダアルミナより粒径が小さく、高級脂肪酸によりコーティングされた水酸化マグネシウム２．７〜５．３体積％と、を含み、圧縮率２０％以下の変形に要する圧縮力が２００Ｎ以下であり、かつ、熱抵抗が０．４５℃／Ｗ以下である、熱伝導シートである。
【０００８】
このような熱伝導シートによれば、高ソーダアルミナを使用することにより、低ソーダアルミナを使用する場合と比較して、熱抵抗を低減させ、かつ、圧縮力を低く抑えることができる。
【０００９】
また、高級脂肪酸によりコーティングされた水酸化マグネシウムが高ソーダアルミナの表面を覆うことにより、熱伝導シートを押し潰す力が作用した場合に、熱伝導シート中で隣接している高ソーダアルミナ同士が互いに滑ってずれ易くなる。すなわち、シートの硬度が低減するとともに粘性が高まり、容易に変形可能となる（圧縮力が低くなる）。
【００１０】
上記熱伝導シートの高ソーダアルミナは、平均粒径２μｍ〜１０μｍの小粒径アルミナと、平均粒径５０μｍ〜１００μｍの大粒径アルミナとが、２：３〜２：５の体積比で混合されたものであってもよい。
【００１１】
このような構成とすると、大粒径アルミナ同士の間の隙間に小粒径アルミナが分散されることにより充填密度が高まり、熱伝導経路がより多く確保されるから、熱伝導性がさらに向上する。なお、小粒径アルミナと大粒径アルミナの体積比は、２：３〜２：５とすることが好ましい。小粒径アルミナの割合が増え過ぎると粒子同士の摩擦力が大きくなるため、シートの粘性および硬度が高くなる。また、大粒径アルミナの割合が増え過ぎると、構成材料の混練が困難になる。
【００１２】
また本発明は、（メタ）アクリル酸エステルを含むモノマーを重合してなるポリマー、および、（メタ）アクリル酸エステルを含むアクリル系樹脂２０〜２５重量部と、高ソーダアルミナ２５０〜３００重量部と、前記高ソーダアルミナより粒径が小さく、高級脂肪酸によりコーティングされた水酸化マグネシウム４〜１３重量部と、多官能モノマー０．００５〜０．０５重量部と、重合開始剤０．１〜０．３重量部と、可塑剤１．２〜２．８重量部と、酸化防止剤０．０２〜０．２重量部と、を混合する混合工程と、前記混合工程で得られた混合物をダイヘッドを介して互いに向かい合う一対のプラスチックシートの間に向けて押し出してシート状に成形する成形工程と、前記成形工程により成形された成形物を加熱して硬化させる硬化工程と、を実行する、熱伝導シートの製造方法である。
【００１３】
このような製造方法によれば、可塑剤によりシートに柔軟性が付与されるとともに、酸化防止剤によりアクリル系樹脂の（共）重合反応がある程度抑制され、シートの硬度が高くなることが抑制される。このように、シートに柔軟性の付与が付与されるとともに硬度が低減されることにより、熱伝導シートを被着体に密着し易くすることができる。
【００１４】
また、このように低硬度で、かつ、柔軟性を有するアクリルポリマーをバインダ樹脂とし、一対のプラスチックシートの間に押し出してシートを成形するようにした場合には、熱伝導シートの表面に形成される樹脂スキン層を非常に薄く形成することができる。従って、熱伝導シート中の熱伝導フィラーとしての高ソーダアルミナ等を被着体と非常に接近した状態、あるいは、シート表面に露出させて被着体と直に接した状態とすることができ、熱伝導性が向上する（熱抵抗が低くなる）。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、圧縮力が低く、熱伝導性に優れる熱伝導シート、および、熱伝導シートの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】コーターを模式的に表した図
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の熱伝導シートは、アクリルポリマーと、高ソーダアルミナ７０〜７５体積％と、高ソーダアルミナより粒径が小さく、高級脂肪酸によりコーティングされた水酸化マグネシウム２．７〜５．３体積％と、を含んでいる。
【００１８】
本発明においてアクリルポリマーとは、（メタ）アクリル酸エステルを含むモノマーを重合してなるポリマーと、（メタ）アクリル酸エステルと、を含むアクリル系樹脂を重合または共重合させてなるものである。
【００１９】
（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、ｉ−プロピル（メタ）アクリレート、ｎ―ブチル（メタ）アクリレート、ｉ―ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ｎ−ヘキシル（メタ）アクリレート、ｎ−アミル（メタ）アクリレート、ｉ−アミル（メタ）アクリレート、オクチル（メタ）アクリレート、ｉ−オクチル（メタ）アクリレート、ｉ−ミリスチル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ノニル（メタ）アクリレート、ｉ―ノニル（メタ）アクリレート、ｉ―デシル（メタ）アクリレート、トリデシル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、ｉ―ステアリル（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらは、（共）重合する際に単独で用いる他、２種類以上を併用してもよい。
【００２０】
アクリルポリマーは、上述したアクリル系樹脂に、多官能モノマー、重合開始剤、可塑剤、酸化防止剤等の添加剤を添加し、加熱硬化させることにより得られる。
【００２１】
多官能モノマーとしては、例えば、分子内に２つ以上の（メタ）アクリロイル基を有するもの等があげられる。分子内に２つの（メタ）アクリロイル基を有する２官能（メタ）アクリレートモノマーとしては、例えば１，３−ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９−ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニルジ（メタ）アクリレート、２−エチル−２−ブチル−プロパンジオール（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコール変性トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、ステアリン酸変性ペンタエリスリトールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、２，２−ビス［４−（メタ）アクリロキシジエトキシフェニル］プロパン、２，２−ビス［４−（メタ）アクリロキシプロポキシフェニル］プロパン、２，２−ビス［４−（メタ）アクリロキシテトラエトキシフェニル］プロパン等があげられる。
【００２２】
３官能（メタ）アクリレートモノマーとしては、例えばトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリス［（メタ）アクリロキシエチル］イソシアヌレート等があげられ、４官能以上の（メタ）アクリレートモノマーとしては、例えばジメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールエトキシテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等があげられる。
【００２３】
これらの多官能モノマーのうち、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレートなどが好ましい。
【００２４】
上述した多官能モノマーは、アクリル系樹脂２０〜２５重量部に対し、０．００５〜０．０５重量部の割合で配合されることが好ましい。
【００２５】
重合開始剤としては、ジ−（４−ｔ−ブチルシクロヘキシル）パーオキシジカーボネート、ラウロイルパーオキサイド、ｔ−アミルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、ベンゾイルパーオキサイド、ｔ−ブチルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート等の有機過酸化物があげられる。これらの重合開始剤のうち、ジ−（４−ｔ−ブチルシクロヘキシル）パーオキシジカーボネートが好ましい。
【００２６】
重合開始剤は、アクリル系樹脂２０〜２５重量部に対し、０．１〜０．３重量部の割合で配合されることが好ましい。
【００２７】
可塑剤は汎用のものを使用することができ、例えば、フタル酸系、アジピン酸系、リン酸系、トリメリット酸系、ポリエステル系等が好適である。これらの可塑剤は、いずれか一種を単独で用いてもよいし、二種以上を混合して用いてもよい。可塑剤を配合することにより、熱伝導シートに柔軟性が付与される。
【００２８】
可塑剤は、アクリル系樹脂２０〜２５重量部に対し、１．２〜２．８重量部の割合で配合されることが好ましい。可塑剤の配合割合が少ないと、可塑剤を加えたことによる効果が弱くなり、熱伝導シートの硬度が高くなる。また、可塑剤の配合割合が多すぎると、熱伝導シートの表面から可塑剤が滲み出す（ブリードする）傾向がある。
【００２９】
酸化防止剤としては、例えば、ラジカル補足作用をもつフェノール系の酸化防止剤を使用することができる。このような酸化防止剤を配合すると、シート製造時のアクリル系樹脂の重合反応を抑制することができ、もって、シートの硬度を低く抑えることができる。
【００３０】
酸化防止剤は、アクリル系樹脂２０〜２５重量部に対し、０．０２〜０．２重量部の割合で配合されることが好ましい。酸化防止剤の配合割合が少ないと、アクリル系樹脂の重合反応が進み、シートの硬度が高くなる。また、酸化防止剤の配合割合が多いと、樹脂の硬化が妨げられる傾向がある。
【００３１】
一方、熱伝導フィラーとしての高ソーダアルミナは略球形であり、アクリル系樹脂２０〜２５重量部に対し、２５０〜３００重量部の割合で配合される。また、熱伝導シート全体の体積に対する配合割合は７０〜７５体積％とされる。
【００３２】
なお高ソーダアルミナとは、可溶性ナトリウム量が１００ｐｐｍ以上であるものを指し、本発明では、１２０ｐｐｍ以上のものを使用することがより好ましい。可溶性ナトリウム量とは、高ソーダアルミナと水とを接触させた場合に水中へ溶解するナトリウムイオン（Ｎａ+）量である。
【００３３】
上述した高ソーダアルミナは、平均粒径２μｍ〜１０μｍの小粒径アルミナと、平均粒径５０μｍ〜１００μｍの大粒径アルミナとが、２：３〜２：５の体積比で配合されたものであってもよい。これらのアルミナはいずれも略球形であり、粒径は、レーザー回折法等によって求められる平均粒径Ｄ50で示される。
【００３４】
高ソーダアルミナの粒径をこのような配合とすると、熱伝導シート中の高ソーダアルミナの充填密度を高めることができる。
【００３５】
高級脂肪酸によりコーティングされた水酸化マグネシウムとしては、平均粒径０．５μｍ〜１．５μｍのものが好ましい。なお粒径は、レーザー回折法等によって求められる平均粒径Ｄ50で示される。
【００３６】
また、水酸化マグネシウムをコーティングしている高級脂肪酸としては、パルミチン酸、ステアリン酸、オレイン酸、リノール酸等が挙げられる。
【００３７】
水酸化マグネシウムは、アクリル系樹脂２０〜２５重量部に対し、４〜１３重量部の割合で配合される。また、熱伝導シート全体の体積に対する配合割合は２．７〜５．３体積％とされる。
【００３８】
このような本実施形態の熱伝導シートは、上述したアクリル系樹脂と、高ソーダアルミナと、高ソーダアルミナより粒径が小さく、高級脂肪酸によりコーティングされた水酸化マグネシウムと、多官能モノマーと、重合開始剤と、可塑剤と、酸化防止剤と、を混合する混合工程と、混合工程で得られた混合物を互いに向かい合う一対のプラスチックシートの間に向けて押し出してシート状に成形する成形工程と、成形工程により成形された成形物を加熱して硬化させる硬化工程と、を実行することにより得られる。
【００３９】
このうち成形工程は、コーターを使用することができる。コーター１０は、図１に示すように、上下方向に対向配置された一対のロール１３，１３を備えており、ホッパ１１の下端が一対のロール１３，１３間に向けて開口している。また、一対のロール１３，１３にはそれぞれ高分子フィルム１４，１４が巻回されており、ロール１３，１３の回転に伴い、一対の高分子フィルム１４，１４が同方向（ホッパ１１の反対方向）に向けて所定の距離を隔てて送り出されるようになっている。
【００４０】
混合工程で得られた混合物Ｃは一対の高分子フィルム１４，１４間に押し出され、シート状に成形される（成形工程）。そしてその後、加熱装置１５内で加熱され、硬化する（硬化工程）。このようにして、熱伝導シートが作製される。
【００４１】
＜試験例＞
以下、試験例により本発明をさらに詳細に説明する。
【００４２】
１．高ソーダアルミナと低ソーダアルミナとの比較検討
（熱伝導シートの作製）
表１に示す配合割合で各種材料を混練し（混合工程）、真空脱泡して気泡を取り除いた後、コーター１０にて成形し（成形工程）、加熱装置１５で１０５℃に加熱硬化させた後に切削等の加工を施して、縦２５ｍｍ×横２５ｍｍ×厚さ２ｍｍ（試験片サイズＡ）、および、縦１０ｍｍ×横１０ｍｍ×厚さ１ｍｍ（試験片サイズＢ）の２種類のシート状の試料を作製した。
【００４３】
熱伝導フィラーとしてのアルミナは、平均粒径２μｍ〜１０μｍの小粒径アルミナと、平均粒径５０μｍ〜１００μｍの大粒径アルミナの２粒径について、それぞれ、高ソーダ品と低ソーダ品を用意した。そして、実施例１として高ソーダ品の小粒径アルミナが２３．７体積％、高ソーダ品の大粒径アルミナが４７．３体積％となるように配合したものを作製した。また、比較例１として低ソーダ品の小粒径アルミナを２３．７体積％、低ソーダ品の大粒径アルミナを４７．３体積％となるように配合したものを作製した。
【００４４】
得られた試験片サイズＡの各試料について、ＡＳＴＭＤ５４７０規格に準拠した測定装置を用いて、熱抵抗を測定した。また、試験片サイズＢの各試料について、測定装置（テンシロン万能試験機  ＲＴＣ−１２１０Ａ、エー・アンド・デイ株式会社製）を用いて、圧縮率２０％の変形に要する圧縮力を測定した。結果を表１に併せて示す。
【００４５】
【表１】
2017199776.tif 000002
【００４６】
表１に示す結果より、同じ配合割合の２粒径のアルミナを使用した場合、高ソーダ品を使用する方が、低ソーダ品を使用するよりも熱抵抗も圧縮力も小さくなることが確認された。
【００４７】
２．小粒径アルミナおよび大粒径アルミナの配合割合の検討
表２に示す配合割合で各種材料を混練し、上記と同様のシート状の試料を作製した。
【００４８】
熱伝導フィラーとしてのアルミナについて、平均粒径３μｍの小粒径アルミナ（高ソーダ品）と、平均粒径７５μｍの大粒径アルミナ（高ソーダ品）について、配合割合が小粒径：大粒径＝１：１（比較例２）、２：３（参考例１）、１：２（参考例２、実施例２）、２：５（参考例３）、１：３（比較例３）となる試料を作製した。
【００４９】
混合工程において得られた材料を用いて、ブルックフィールド法により、測定装置（製品名「回転粘度計」、英弘精機株式会社製)を用いて、粘性を測定した。また、縦２０ｍｍ×横５０ｍｍ×厚さ１０ｍｍ（試験片サイズＣ）の試料について、硬度計（製品名「ＡＳＫＥＲＣ硬度計」、高分子計器株式会社製）を用いて、アスカーＣ硬度を測定した。結果を表２に併せて示す。
【００５０】
【表２】
2017199776.tif 000003
【００５１】
表２に示す結果より、小粒径の配合割合が大粒径と同等の比較例２では、アスカー硬度が６２と高くなりすぎることがわかった。また、小粒径の配合割合が大粒径の１／３以下となった比較例３では、大粒径が多すぎて、混練が不可となった。これにより、小粒径アルミナ（高ソーダ品）：大粒径アルミナ（高ソーダ品）との配合割合は、２：３〜２：５の範囲内が好ましいことが確認された。
【００５２】
３．酸化防止剤の添加量の検討
アクリル系樹脂２０．９８重量部に対し、酸化防止剤の添加量を表３に示す配合割合で、０重量部（比較例４）、０．０２５重量部（実施例３）、０．０５重量部（実施例４）、０．０７５重量部（実施例５）、０．１重量部（実施例６）、０．３重量部（比較例５）と変化させて、各種材料を配合し、上記と同様のシート状の試料を作製した。
【００５３】
得られた各試料について、上記と同様に、熱抵抗（試験片サイズＡ）および圧縮率２０％の変形に要する圧縮力（試験片サイズＢ）を測定した。さらに、試験片サイズ２０×２０ｍｍ×１ｍｍ（試験片サイズＤ）の試料を薬包紙に静置し、加熱装置内に入れて、４０℃の温度条件下で約１６８時間放置する耐熱試験処理を行った。その後、オイルブリードの程度を観察した。結果を表３に併せて示す。
【００５４】
【表３】
2017199776.tif 000004
【００５５】
表３に示す結果より、酸化防止剤を０．０２５〜０．１重量部の配合割合とした場合に、熱抵抗および圧縮力が小さくなることが確認された。酸化防止剤が含まれない場合は、圧縮力が２００Ｎ以上と大きくなる。また、酸化防止剤が０．３重量部より多くなると、材料が硬化しなくなる。これは、酸化防止剤によりアクリル系樹脂の重合が抑制されたためと考えられる。
【００５６】
４．可塑剤の添加量の検討
アクリル系樹脂２０．９８重量部に対し、可塑剤の添加量を表４に示す配合割合で、０重量部（比較例６）、１．０重量部（比較例７）、１．５重量部（実施例７）、２．０重量部（実施例８）、２．５重量部（実施例９）、３．０重量部（比較例８）、と変化させて各種材料を配合し、上記と同様のシート状の試料を作製した。
【００５７】
得られた各試料について、上記と同様に、熱抵抗（試験片サイズＡ）、圧縮率２０％の変形に要する圧縮力（試験片サイズＢ）を測定した。さらに、上記と同様に耐熱試験を行い、オイルブリードの程度を観察した（試験片サイズＤ）。結果を表４に併せて示す。
【００５８】
【表４】
2017199776.tif 000005
【００５９】
表４に示す結果より、可塑剤を１．５重量部〜２．５重量部の配合割合とした場合に、熱抵抗および圧縮力の双方が小さくなることが確認された。可塑剤が１．０重量部より少ない場合は、圧縮力が２００Ｎより大きくなる。また、可塑剤が３．０重量部より多くなると、熱抵抗が高くなるとともに、オイルブリードが観察されるため、好ましくない。
【００６０】
５．水酸化マグネシウムの添加量の検討
表５に示す配合割合で、高級脂肪酸によりコーティングした水酸化マグネシウムの添加量を１．４体積％（比較例９）、２．７体積％（参考例４）、４．０体積％（参考例５）、５．３体積％（参考例６）、６．６体積％（比較例１０）と変化させ、各種材料を配合して、上記と同様のシート状の試料を作製した。
【００６１】
混合工程において得られた材料について、上記と同様に粘度を測定するとともに、チキソ性を観察した。また、得られた試験片サイズＣの試料について、アスカーＣ硬度を測定した。結果を表５に併せて示す。
【００６２】
【表５】
2017199776.tif 000006
【００６３】
表５に示す結果より、高級脂肪酸によりコーディングした水酸化マグネシウムを２．７〜５．３体積％の配合割合とした場合に、粘性が小さく、かつ、チキソ性が良く、かつ、アスカー硬度が低くなることが確認された。水酸化マグネシウムの添加量が１．４体積％と少なすぎる場合（比較例９）は、粘性が高く、かつ、アスカー硬度が高くなる。また、添加量が５．３体積％より大きくなる（比較例１０）と脱泡が困難になり、硬度が高くなる。これは、水酸化マグネシウムが熱伝導フィラー同士の滑り性に寄与しているためと考えられる。
【００６４】
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
【００６５】
上記実施形態においては、熱伝導フィラーとして、いずれも略球形の平均粒径２μｍ〜１０μｍの小粒径アルミナと、平均粒径５０μｍ〜１００μｍの大粒径アルミナの２種類の混合物で構成したが、参考例として、多角形状で平均粒径範囲５０μｍ〜１００μｍの炭化ケイ素等をさらに含む構成としてもよい。この場合の材料の配合割合および試験結果の一例を表６に示す。
【００６６】
【表６】
2017199776.tif 000007
【符号の説明】
【００６７】
１０：コーター
１１：ホッパ
１３：ロール
１４：高分子フィルム
１５：加熱装置
【図１】
2017199776.tif 000008