(57)【要約】【課題】安価かつ簡素な構成で電極上に生成される付着堆積物の低減、除去を実現する。【解決手段】冷却水によって冷却されるイオンビーム引き出し用の電極を備え、イオン源運転時のイオン化ガスの種類またはビーム電流値に応じて、前記冷却水の流量を所定流量から減少させる。【選択図】  図１
2016126956.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷却水によって冷却されるイオンビーム引き出し用の電極を備えたイオン源で、
イオン源運転時のイオン化ガスの種類またはビーム電流値に応じて、前記冷却水の流量を所定流量から減少させるイオン源の運転方法。
【請求項２】
クリーニングガスから生成されるプラズマあるいはイオンビームを用いてイオン源内部をクリーニングするクリーニングモードを備え、
前記クリーニングモードでイオン源を運転するとき、ドーパントガスを用いてイオン源を運転するときの流量に比べて、前記冷却水の流量を減少させる請求項１記載のイオン源の運転方法。
【請求項３】
ドーパントガスを用いて所定値未満のビーム電流値でイオン源を運転するとき、所定値以上のビーム電流値でイオン源を運転するときの流量に比べて、前記冷却水の流量を減少させる請求項１記載のイオン源の運転方法。
【請求項４】
前記クリーニングモードでイオン源を運転する際、又は、ドーパントガスを用いて所定値未満のビーム電流値でイオン源を運転する際に、前記冷却水の前記電極への供給を停止する請求項２または３記載のイオン源の運転方法。
【請求項５】
前記冷却水の供給停止後、前記冷却水の流路への気体供給と前記冷却水の排出とを行う請求項４記載のイオン源の運転方法。
【請求項６】
イオン源の運転中、前記電極の温度をモニターし、モニター結果に応じて、イオン源の運転を停止する請求項２乃至５のいずれか１項に記載のイオン源の運転方法。
【請求項７】
前記請求項１乃至４のいずれか１項に記載のイオン源の運転方法を用いるイオン源で、
前記冷却水を循環させる冷却水循環部と、
前記電極と前記冷却水循環部との間に設けられた第１、第２の流路と、
各流路に個別に設けられた流路開閉用の冷却弁と、を備えたイオン源。
【請求項８】
請求項５に記載のイオン源の運転方法を用いるイオン源で、
前記冷却水を循環させる冷却水循環部と、
前記電極と前記冷却水循環部との間に設けられた第１、第２の流路と、
各流路に個別に設けられた流路開閉用の冷却弁と、
前記冷却弁と前記電極との間で前記第１の流路に接続された開閉自在の気体供給路と、
前記気体供給路への気体の供給を行う気体供給部と、
前記冷却弁と前記電極との間で前記第２の流路に接続された開閉自在の排水路と、
前記排水路からの冷却水が排出される冷却水貯留部と、を備えたイオン源。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、イオンビーム引き出し用の電極を備えたイオン源とその運転方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマ生成室では、同室内に導入されるイオン化ガスからプラズマが生成される。プラズマが生成される際、基板処理に必要なイオン以外に種々の副産物も生成される。例えば、プラズマ生成室内にＭｏ製の防着板を配置し、イオン化ガスとしてＢＦ３を使用してプラズマの生成が行われると、ＭｏＦｘといった絶縁物が生成される。
イオン源にはプラズマ生成室からイオンビームを引き出す為の複数枚の電極から構成される電極系が設けられている。
上述した絶縁物が電極系に流れ出すことにより、電極系の表面に付着堆積される。また、イオンビームの引き出しに伴って一部のイオンビームが電極系に衝突し、電極系の表面とイオンビームに含まれるイオンとが相互作用し、電極系の表面に付着堆積物が生成される。
【０００３】
付着堆積物が絶縁性の物質である場合、イオンビームを引き出す為の電極としての機能が失われ、正常なイオンビームの引き出しが不可能となる。この問題を解決する手法として、特許文献１では、イオン源の不使用時に各電極を通電加熱手段に接続し、電極温度を高温にすることで電極上の付着堆積物を蒸発させて電極の洗浄を行う技術が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平６−１１９８９６
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の手法では、電極を加熱する為の通電加熱手段や電気回路との切り替えを行うスイッチ群を追加で設ける必要があることから、追加部材に係る費用の増加、装置構成の複雑化が課題として残る。
【０００６】
本発明では、安価かつ簡素な構成で電極上に生成される付着堆積物の低減、除去を実現する、イオン源とその運転方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るイオン源の運転方法は、冷却水によって冷却されるイオンビーム引き出し用の電極を備えたイオン源で、イオン源運転時のイオン化ガスの種類またはビーム電流値に応じて、前記冷却水の流量を所定流量から減少させる。
【０００８】
イオン源運転時、プラズマの点灯やイオンビームの引き出しによって電極系を構成する電極の温度は高温となる。電極温度の上昇に伴って電極には熱変形が生じるが、従来、イオン源の電極には、電極の熱変形を防ぐ目的で冷却水が供給されている。
本発明の発明者らはこの点に着目し、所定条件下で冷却水の流量を所定流量から減少させることで、電極の高温化を実現した。
これにより、特許文献１で使用されている通電加熱手段や電気回路を切り替える為のスイッチ群等を追加で備えることなく、電極の高温化を実現することが可能となる。その結果、イオン源を構成する部材費用が安価で済むとともに、装置構成も簡素となる。
【０００９】
上述した所定条件下の例としては、イオン化ガスとしてクリーニングガスを使用する場合や電極系より引き出されるイオンビームのビーム電流値が所定値未満である場合等が挙げられる。
例えば、イオン化ガスとしてクリーニングガスが使用されているときに、冷却水の流量を所定流量から減少させて電極の高温化を実現することで、電極上に生成された付着堆積物が剥がれ易くなり、ひいては付着堆積物の効果的な除去が可能となる。
また、電極系より引き出されるイオンビームのビーム電流値が所定値未満である場合、電極温度が比較的低くなることから、電極上の付着堆積物の生成量が多くなりうるが、冷却水の流量を所定流量から減少させて電極の高温化を実現することで、電極上に生成される付着堆積物の生成量を低減することが可能となる。
【００１０】
イオン源の運転方法の具体例を挙げると、クリーニングガスから生成されるプラズマあるいはイオンビームを用いてイオン源内部をクリーニングするクリーニングモードを備え、前記クリーニングモードでイオン源を運転するとき、ドーパントガスを用いてイオン源を運転するときの流量に比べて、前記冷却水の流量を減少させる構成が挙げられる。
【００１１】
また、別の具体例を挙げると、ドーパントガスを用いて所定値未満のビーム電流値でイオン源を運転するとき、所定値以上のビーム電流値でイオン源を運転するときの流量に比べて、前記冷却水の流量を減少させる構成が挙げられる。
【００１２】
冷却水の流量調整を簡単にするには、前記クリーニングモードでイオン源を運転する際、又は、ドーパントガスを用いて所定値未満のビーム電流値でイオン源を運転する際に、前記冷却水の前記電極への供給を停止することが望ましい。
【００１３】
このような構成であれば、冷却水の供給をオン・オフの２段階で切り替えるだけで済むので、流量調整が簡単に済む。
【００１４】
一方、冷却水の供給を停止しただけでは、流路内に残った水分が電極の高温化に伴って蒸発し、蒸気圧で流路が破裂する等の危険性がある。この点を考慮し、前記冷却水の供給停止後、前記冷却水の流路への気体供給と前記冷却水の排出を行うように構成することが望ましい。
【００１５】
このような構成にしておけば、流路の破裂等の危険性が取り除かれるとともに、流路に残った冷却水を短時間で除去することが可能となる。
【００１６】
また、イオン源の運転中、前記電極の温度をモニターし、モニター結果に応じて、イオン源の運転を停止することが望ましい。
【００１７】
電極温度をリアルタイムにモニターし、必要に応じてイオン源の運転を停止するように構成したので、電極の熱変形量が許容範囲を超えることを未然に防ぐことが可能となる。
【００１８】
上述したイオン源の運転方法を用いるイオン源の構成としては、前記冷却水を循環させる冷却水循環部と、前記電極と前記冷却水循環部との間に設けられた第１、第２の流路と、各流路に個別に設けられた流路開閉用の冷却弁と、を備えたイオン源が挙げられる。
【００１９】
さらに、冷却水の供給停止後に冷却水流路への気体供給と冷却水の排出を行うイオン源の構成としては、前記冷却水を循環させる冷却水循環部と、前記電極と前記冷却水循環部との間に設けられた第１、第２の流路と、各流路に個別に設けられた流路開閉用の冷却弁と、前記冷却弁と前記電極との間で前記第１の流路に接続された開閉自在の気体供給路と、前記気体供給路への気体の供給を行う気体供給部と、前記冷却弁と前記電極との間で前記第２の流路に接続された開閉自在の排水路と、前記排水路からの冷却水が排出される冷却水貯留部と、を備えたイオン源が挙げられる。
【発明の効果】
【００２０】
本来イオン源の電極冷却用として供給されている冷却水の流量を所定条件下で減少させることで、電極温度の高温化が実現され、電極上に生成される付着堆積物の低減、除去が可能となる。また、通電加熱手段等の追加部材が不要となる為、部材費用が安価で装置構成も簡素となる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】イオン源の一構成例を示す模式図である。
【図２】イオン源の運転方法の一構成例を示すフローチャートである。
【図３】イオン源の運転方法の別の構成例を示すフローチャートである。
【図４】イオン源の別の構成例を示す模式図である。
【図５】図２に示す構成例の変形例を示すフローチャートである。
【図６】図３に示す構成例の変形例を示すフローチャートである。
【図７】図５及び図６に示す構成例を組み合したフローチャートである。
【図８】クリーニングモードでのイオン源運転時の一構成例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
図１にはイオン源ＩＳの構成例が描かれている。プラズマ生成室１１の内部には図示されないフィラメントが配置されているとともに、同室内にはプラズマ生成のもととなるＰＨ３、ＢＦ３等のイオン化ガスが導入されている。
【００２３】
プラズマ生成室１１の内部でアーク放電により生成されたプラズマ中のイオンは、電極系を構成する加速電極１２、引出電極１３、抑制電極１４、接地電極１５を介して、イオン源ＩＳの下流側にイオンビームとして引き出される。電極系を構成する各電極は図示されない支持枠に支持されている。この支持枠には冷却水の流路が形成されていて、イオン源運転中に生じる電極の熱変形の抑制を目的として支持枠の流路に冷却水が供給される。
【００２４】
冷却水（例えば、純水）は、冷却水循環部３１（例えば、チラー）から矢印Ａ１で示される方向に第１の流路ｒ１を通して各電極の図示されない支持枠に送水され、矢印Ａ２で示される方向に第２の流路ｒ２を通して各電極から冷却水循環部３１に戻される。ここでは第１の流路ｒ１から第２の流路ｒ２へ冷却水が送水される構成について説明したが、反対に、第２の流路ｒ２から第１の流路ｒ１へ冷却水が送水されるように構成しても良い。
【００２５】
第１の流路ｒ１と第２の流路ｒ２には流路を開閉自在にする為の冷却弁２１が設けられている。例えば、イオン源ＩＳの運転中には冷却弁２１は開いていて、冷却水が各電極と冷却水循環部３１との間で循環されるように構成されている。一方、イオン源ＩＳの停止中には冷却弁２１は閉じられて、電極側への冷却水の供給が停止されるように構成されている。図１に示すイオン源ＩＳの運転方法について図２、図３の図面を用いて説明する。
【００２６】
図２はイオン源ＩＳの運転方法の一構成例を示すフローチャートである。イオン源ＩＳの運転に先立って、装置の操作者によって運転条件を示すレシピ情報が入力される（Ｓ１）。ここで言うレシピ情報とは、例えば、イオン注入装置に使用されるイオン源であれば、被処理基板（半導体ウエハやガラス基板等）に照射されるイオンビームのエネルギー、ビーム電流、注入量、イオン源で使用されるイオン化ガスを指す。
【００２７】
次に、入力されたレシピ情報に基づき、引き出されるイオンビームのビーム電流の値と予め定められた所定値との比較が行われる（Ｓ２）。
所定値の設定方法としては、種々の方法が考えられる。
例えば、イオン化ガスの種類やイオンビームのエネルギーに基づいて複数の所定値を設けるようにしても良い。具体的に言えば、イオン化ガスとしてＢＦ３を使用する際、エネルギーが５０ＫｅＶ以上であれば第一の所定値を１００μＡとし、エネルギーが５０ＫｅＶ未満では第二の所定値を５０μＡとする。また、イオン化ガスとしてＰＨ３を使用する場合には、ＢＦ３使用時の所定値と異なる所定値を使用する。
一方、イオン化ガスの種類やイオンビームのエネルギーに関わらず、ひとつのビーム電流の値を所定値として設けるようにしても良い。
【００２８】
ビーム電流の値と所定値との比較の結果、ビーム電流の値が所定値未満であれば、冷却水の流量が所定流量から減少される（Ｓ３）。
冷却水の流量調整は、図１に記載の冷却弁２１の開閉量を調整することで行われる。例えば、手動で冷却弁２１の開閉量を調整する場合、ビーム電流の値と所定値との比較結果を、モニター等のユーザーインターフェースに表示したり、警報音を鳴らしたりして、装置の操作者に認識できるように構成しておく。その上で、モニターや警報音を確認した装置の操作者により冷却弁２１の開閉量の調整が行われる。
一方、自動で冷却弁２１の開閉量の調整を行う場合には、図１のイオン源ＩＳに制御装置を設けておく。この場合の構成例としては、ビーム電流の値と所定値との比較結果を制御装置に送信し、送信された比較結果に基づいて制御装置が冷却弁２１に連結された開閉量を調整する為の機構を動作させ、冷却弁２１の開閉量の調整が行われる。
【００２９】
ここで冷却水の流量を減らすとは、例えば、冷却弁２１を全開にした状態で供給される冷却水の流量（所定流量）と比較して減らすという意味であり、冷却水の流量を減らした時の冷却弁２１の状態は全開状態からある程度閉まった状態にあるか、完全に閉められた状態となる。
冷却弁２１の開閉量の調整が行われた後、プラズマ生成用のイオン化ガスがプラズマ生成室１１に導入される等して、イオン源の運転が開始される（Ｓ４）。
【００３０】
一方、ビーム電流の値が所定値以上の値であれば、冷却弁２１の開閉量は調整されずに、イオン源の運転が開始される（Ｓ４）。
【００３１】
電極系から引出されるイオンビームのビーム電流の値が比較的小さい値であれば電極温度は低温となるが、冷却水の流量を減少させることで電極温度を高温にすることが可能となる。
この実施形態では、ビーム電流の値に応じて冷却水の流量が所定流量から減少される構成について述べたが、図３の実施形態に記載されているように、プラズマ生成室１１に導入されるイオン化ガスの種類に応じて冷却水の流量が所定流量から減少されるようにしても良い。なお、各実施形態を示すフローチャートで同じ符号が使用される処理は同一の処理となる。
【００３２】
図３の実施形態では、イオン化ガスとしてクリーニングガスが用いられるかどうかの確認が行われる（Ｓ２１）。この点が、図２に示す実施形態とは異なっている。
図３の実施形態では、イオン化ガスがクリーニングガスであれば、冷却水の流量が所定流量から減少される。例えば、クリーニング時に使用されるイオン化ガスはヘリウムやアルゴン等の希ガス、水素、ドーパントガスを水素で希釈したガスで、通常の運転時に使用されるイオン化ガスはＰＨ３、ＢＦ３等のドーパントガスである。
【００３３】
クリーニングの手法については、様々な手法が従来から使用されているが、本発明で想定されるクリーニングは、クリーニングガスをプラズマ化し、当該プラズマを用いてプラズマ生成室１１内や電極間のクリーニングを行う手法やクリーニングガスから生成されるプラズマからイオンビームを引き出し、所定の電極にイオンビームを故意に衝突させて電極のクリーニングを行う手法である。
これらのクリーニングでは、電極近傍にプラズマが生成されたり、電極にイオンビームが照射されたりするので、電極温度が他のクリーニングの手法に比べて比較的高温となる。
【００３４】
このようなクリーニングの手法と併用して、冷却水の流量を所定流量から減少させて電極温度の高温化を行うことで、クリーニング効果を向上させることが可能となる。
【００３５】
図３の実施形態ではクリーニング時に冷却水の流量を所定流量から減少させるものであったが、使用されるドーパントガスの種類によっては、電極温度に違いが生じることも考えられる。
例えば、電極系から引出されるイオンビームのビーム電流の値が同じ場合、ドーパントガスとしてＰＨ３を使用する際の電極での消費電力は、ドーパントガスとしてＢＦ３を使用する場合に比べて少ない傾向にある。つまり、ドーパントガスとしてＰＨ３を使用する場合、ＢＦ３を使用する場合に比べて、電極温度は低温となる傾向にある。この点を鑑み、イオン源の通常運転時に使用されるドーパントガスの種類によっても冷却水の流量を所定流量から減少させるように構成しても良い。
【００３６】
上述した図２、図３に示す実施形態では、所定条件下で、本来イオン源の電極冷却用として供給されている冷却水の流量を所定流量から減少させることにより、電極温度の高温化を実現し、電極上に生成される付着堆積物の低減、除去を可能とした。
また、これらの構成では、電極の高温化にあたって、通電加熱手段等の追加部材を必要としない為、イオン源を構成する部材費用が安価で済み、イオン源の装置構成も簡素となる。
【００３７】
図２、図３に示す実施形態で、冷却水を所定流量から減少させる際、冷却弁２１を完全に閉めて電極への冷却水の供給を停止することが考えられる。冷却弁２１を完全に閉め、冷却水の供給を完全に停止したとしても、冷却水の流路には少量の水が残っている。この水はイオン源の運転時、電極が高温化させることで水蒸気となる。流路内に残る水量が多く、流路内の体積が小さいと、水蒸気の圧力によって流路が破裂してしまう危険性がある。
【００３８】
そこで、イオン源の運転を安全に行う為に、図４に示すイオン源ＩＳの構成を使用することが考えられる。
【００３９】
図１のイオン源ＩＳとの主な違いは、気体供給部４１と冷却水貯留部５１が追加されている点にある。気体供給部４１（例えば、圧縮された気体が充填されたボンベ）から矢印Ｂ方向に向けて気体（例えば、空気、窒素等）が気体供給路ｒｇを通じて、冷却弁２１と電極との間で第１の流路ｒ１に供給される。気体供給路ｒｇには気体弁２２が設けられていて、気体弁２２の開閉により、気体の供給がコントロールされる。
また、冷却水貯留部５１（例えば、冷却水を溜める為のタンク）には矢印Ｃ方向に向けて冷却水が排出されるように構成されている。さらに、冷却水貯留部５１に続く排水路ｒｅは、開閉可能な排水弁２３を介して冷却弁２１と電極との間の第２の流路ｒ２に接続されている。
【００４０】
図４のイオン源を用いた具体的な運転方法について図５乃至図７を用いて以下に説明する。
【００４１】
図５は図２の実施形態の変形例に当たるフローチャートである。図２の実施形態との違いは、ビーム電流の値を所定値未満と判断してからイオン源の運転を開始するまでの処理にある。この点について詳述する。
【００４２】
図５の実施形態で、ビーム電流の値が所定値未満と判断されると、開いている冷却弁２１が閉められて、電極への冷却水の供給が停止される（Ｓ３１）。次に、閉まっている気体弁２２が開けられて、第１の流路ｒ１に気体が供給される（Ｓ３２）。その後、もしくは気体弁２２が開くと同時に、閉まっている排水弁２３が開けられる（Ｓ３３）。この一連の処理が行われることで、冷却水の流路に残った水を冷却水貯留部５１に短時間で排出することが可能となり、流路に残った水の水蒸気による流路の破裂を防止することが可能となる。
【００４３】
気体の供給に当たって、気体供給部４１から供給される気体の圧力は、流路に残る水の水圧よりも高い圧力にしている。また、より短時間で流路に残る水を取り除く為に、比較的高温の気体を用意しておき、このような気体を冷却水の流路に供給するようにしても良い。
【００４４】
図５の実施形態では、図２の実施形態で示した構成と同様にビーム電流の値と所定値との比較結果に基づき、所定値未満の場合に各弁体の開閉状態を所定のものにする構成であったが、この構成を図３の実施形態で示した構成に適用しても良い。
具体的な構成例は図６に示す実施形態となる。図６の実施形態においても、図３の実施形態と同様に、クリーニングガスかどうかを確認する処理（Ｓ２１）に代えて、ドーパントガスの種類が特定のものかどうかを確認する処理を設けるようにしても良い。
【００４５】
また、図５の実施形態と図６の実施形態とを組み合わせて使用しても構わない。図７に示す実施形態はこの場合の構成例である。個々の処理はこれまでの実施形態で説明したものと同一である為、詳細な説明は省略するが、クリーニングガスを用いる場合のルートでのイオン源の運転開始とは、イオン源をクリーニングモードで運転することの意味であり、その他のルートを辿りイオン源の運転を開始する場合にはドーパントガスを用いてイオン源を通常運転するという意味である。
【００４６】
実験上、または理論上、本発明の冷却水の流量調整を実施しても、電極の熱変形量はイオン源の運転に支障を与えないものとして考えられているが、イオン源の運転状況によっては、予期せぬアクシデント等により電極の熱変形量が許容される範囲を超えてしまう可能性がある。
このような点を考慮し、イオン源の運転中、電極温度をリアルタイムにモニターし、モニター結果に応じて、イオン源の運転を停止する等の措置を講じるようにしてもよい。
具体例としては、図８に示す実施形態が挙げられる。
【００４７】
図８に示す実施形態は、イオン源をクリーニングモードで運転したときの実施形態で、電極温度をリアルタイムでモニターし、所定値との比較結果に基づいてクリーニングの停止、継続を判断するものである。
【００４８】
まず、イオン源の運転に先立ち、クリーニングモードが選択される（Ｓ１１）。次に、冷却弁２１、気体弁２２、排水弁２３の状態を所定の状態に設定し（Ｓ３１〜Ｓ３３）、イオン源のクリーニングを開始する（Ｓ４１）。その後、クリーニング実施中（イオン源の運転中）に電極温度が所定温度以上であるかどうかを確認する（Ｓ５１）。ここで言う所定温度は、個々のイオン源の構成によって許容される電極の熱変形量に基づいて決定される。電極温度のモニター方法としては、例えば、熱電対で各電極の温度を個別に計測し、電極温度のモニターを行う手法が用いられる。
【００４９】
モニター中、いずれかの電極の電極温度が電極ごとに設定された所定温度以上になった場合、クリーニングが停止されて（Ｓ４２）、クリーニングが終了する（Ｓ４４）。
一方、全ての電極の電極温度が電極ごとに設定された所定温度未満である場合には、クリーニングが継続され（Ｓ４３）、所定のクリーニング時間が経過したかどうかの判別が行われる（Ｓ５２）。ここで所定時間が経過していない場合、再び電極温度の計測が行われ、電極温度に応じてクリーニングの停止、継続の判断が繰り返し行われる。
反対に、所定のクリーニング時間が経過している場合には、クリーニングが終了する（Ｓ４４）。このような構成を用いることで、電極の過度な熱変形を未然に防ぐことが可能となる。
【００５０】
図８の実施形態では、クリーニングの終了をクリーニング中の経過時間が所定時間であるかどうかによって判別するようにしているが、これ以外の手法を用いてクリーニングの終了を判別しても良い。  
また、図８の実施形態では、イオン源のクリーニング時に電極温度を計測する構成であったが、ドーパントガスを用いた通常のイオン源の運転時に使用される本発明の構成で電極温度をモニターするように構成しても良い。
【００５１】
上述した構成例では、個々の電極の温度を計測する構成について述べたが、計測される電極温度は電極系を構成する１つの電極の温度を代表値として用いて、図８の実施形態を実施しても良い。
また、各電極の温度を計測し、その平均値を算出して、算出された平均温度をモニター中の電極温度として所定値と比較するようにしても良い。
さらに、熱電対による温度計測に代えて、各電極に印加される電圧値、各電極を流れる電流値を、電圧計、電流計を用いて計測し、各電極で消費される電力値をモニターするようにしても良い。電力値と電極温度とはおおよそ相関関係にあるので、電力値をモニターしておくことで電極温度を間接的にモニターすることが可能となる。
上述したように、電極温度のモニターは電極温度を直接モニターする手法でもいいし、電極温度を間接的にモニターする手法でも良い。
なお、電極温度、電力値のモニター対象とする電極は、冷却水の流量調整が行われる電極であり、それ以外の電極に対して、電極温度等のモニターを行う必要はない。
＜その他の変形例＞
【００５２】
上述した実施形態では各電極の支持枠に冷却水の流路を設ける構成について述べたが、電極の支持枠に連結される他の部材に冷却水の流路を設けて、電極の冷却を行う構成を用いても良い。
【００５３】
また、電極系を構成する全ての電極に流れる冷却水の流量調整を行うことに代えて、特定の電極に限って冷却水の流量調整を行うように構成しても良い。
さらに、プラズマ生成室１１を冷却水で冷却する構成のイオン源であれば、上述した実施形態で述べた電極に流す冷却水の流量調整に加えて、プラズマ生成室１１に流れる冷却水の流量調整も行うようにしても良い。
【００５４】
また、図２、図３、図５〜図７の実施形態に示すフローチャートで、装置の操作者がレシピを入力する処理に代えて、予め装置にレシピ情報を入力し、これを装置に一旦記憶しておき、各実施形態のフローチャートに示す初めの処理が行われる際に、装置に記憶されたレシピ情報を読み出すよう構成しても良い。
【００５５】
さらに、図５〜図８の実施形態に示すフローチャートに記載の冷却弁２１の開け閉めに係る処理（Ｓ３１）において、開いている状態の冷却弁２１が閉められると説明したが、イオン源の構成によっては初めから冷却弁２１は閉められた状態にあることが考えられる。
この場合、冷却弁２１の開閉に係る処理（Ｓ３１）では冷却弁２１は閉められた状態を維持することになる。加えて、図５〜図７の実施形態に示すフローチャートでは、所定条件を充足しないと判断された場合、イオン源の運転開始前に、閉められた状態にある冷却弁２１が開けられることになる。
イオン源の構成によっては、このようにして冷却弁２１の開閉が行われても良い。
【００５６】
上述した以外に、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良および変更を行ってもよいのはもちろんである。
【符号の説明】
【００５７】
１１       プラズマ生成室
２１       冷却弁
２２       気体弁
２３       排水弁
３１       冷却水循環部
４１       気体供給部
５１       冷却水貯留部
ＩＳ       イオン源
ｒ１       第１の流路
ｒ２       第２の流路
【図１】
2016126956.tif 000003
【図２】
2016126956.tif 000004
【図３】
2016126956.tif 000005
【図４】
2016126956.tif 000006
【図５】
2016126956.tif 000007
【図６】
2016126956.tif 000008
【図７】
2016126956.tif 000009
【図８】
2016126956.tif 000010