(57)【要約】      （修正有）【課題】小型化及びコストを低減することができると共に、エレキクロストークを抑制して液体の噴射特性のばらつきを抑制することができる液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】第１駆動素子３００Ａと、第１駆動素子３００Ａと接続された複数の第１個別配線９１Ａと、第１駆動素子３００Ａに共通して接続された第１共通配線９２Ａと、第２駆動素子３００Ｂと、第２駆動素子３００Ｂと接続された複数の第２個別配線９１Ｂと、第２駆動素子３００Ｂに共通して接続され、第１共通配線９２Ａと接続されていない第２共通配線９２Ｂと、を備え、複数の第１個別配線９１Ａと、第１共通配線９２Ａと、第２個別配線９１Ｂと、第２共通配線９２Ｂとは、共通のフレキシブルケーブル１２０に接続されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズルが第１の方向に沿って並設された第１ノズル列と、
該第１ノズル列の各ノズルから液体を噴射させる第１駆動素子と、
前記第１駆動素子と接続された複数の第１個別配線と、
前記第１駆動素子に共通して接続された第１共通配線と、
前記第１の方向に沿ってノズルが並設された第２ノズル列と、
前記第２ノズル列の各ノズルから液体を噴射させる第２駆動素子と、
前記第２駆動素子と接続された複数の第２個別配線と、
前記第２駆動素子に共通して接続され、前記第１共通配線と接続されていない第２共通配線と、
を備え、
複数の前記第１個別配線と、前記第１共通配線と、前記第２個別配線と、前記第２共通配線とは、共通のフレキシブルケーブルに接続されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記フレキシブルケーブルは、
前記第１共通配線と接続される第１共通接続配線と、
前記第２共通配線と接続される第２共通接続配線と、
を具備し、
前記第１共通接続配線と前記第２共通接続配線とは、当該フレキシブルケーブル上で接続されずに独立して設けられていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記第１共通配線と前記第２共通配線とは、それぞれ共通のフレキシブルケーブルと接続される接続領域を複数有し、
複数の前記第１共通配線は、複数の前記第１個別配線と複数の前記第２個別配線とに対して前記第１の方向の一方側に配置され、
複数の前記第２共通配線は、複数の前記第１個別配線と複数の前記第２個別配線とに対して前記第１の方向の他方側に配置されていることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記第１共通配線と前記第２共通配線とは、それぞれ共通のフレキシブルケーブルと接続される接続領域を複数有し、
複数の第１共通配線は、複数の前記第１個別配線と複数の前記第２個別配線とに対して前記第１の方向の一方側及び他方側の両方に配置され、
複数の前記第２共通配線は、複数の前記第１個別配線と複数の前記第２個別配線とに対して前記第１の方向の一方側及び他方側の両方に配置されていることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
複数の前記第１個別配線と前記第１共通配線と複数の前記第２個別配線と前記第２共通配線とは、それぞれが共通のフレキシブルケーブルと接続される接続領域を一直線上に並設されて配置されていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
複数の前記第１個別配線と複数の前記第２個別配線とは、それぞれが共通のフレキシブルケーブルと接続される接続領域の面積を異ならせていることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
請求項１〜６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドと、
前記フレキシブルケーブルに接続される中継基板と、
前記中継基板を保持する保持部材と、
前記中継基板に一端が接続され、他端が制御装置に接続された外部配線基板と、を具備し、
前記中継基板は、前記制御装置に対して相対的に往復動し、
前記外部配線基板は、前記中継基板の往復動に追従し、
前記第１駆動素子及び前記第２駆動素子を駆動する駆動波形の各充放電の電位差（Ｖ）を、各充放電時間（μｓｅｃ）で割った値の合計をＡ（Ｖ／μＳＥＣ）、前記外部配線基板の長さをＢ（ｍ）、前記外部配線基板の断面積をＣ（ｍ２）、駆動される前記第１駆動素子及び前記第２駆動素子の数をＤ（個）、としたとき、Ａ＊Ｂ＊Ｃ＊Ｄ≧０．００７となることを特徴とする液体噴射装置。
【請求項８】
請求項１〜６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドと、前記フレキシブルケーブルに接続される中継基板と、該中継基板を保持する保持部材と、前記中継基板に接続された外部配線基板と、を具備し、
前記フレキシブルケーブルは、
前記第１共通配線と接続される第１共通接続配線と、
前記第２共通配線と接続される第２共通接続配線と、
を具備し、前記第１共通接続配線と前記第２共通接続配線とは、当該フレキシブルケーブル上で接続されずに独立して設けられており、
前記中継基板は、
前記第１共通接続配線と接続される第１共通中継配線と、
前記第２共通接続配線と接続される第２共通中継配線と、
を具備し、前記第１共通中継配線と前記第２共通中継配線とは当該中継基板上で接続されずに独立して設けられており、
前記外部配線基板は、
前記第１共通中継配線と接続される第１共通外部配線と、
前記第２共通中継配線と接続される第２共通外部配線と、
を具備し、前記第１共通外部配線と前記第２共通外部配線とは当該外部配線基板上で接続されずに独立して設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
【請求項９】
前記フレキシブルケーブルを複数具備し、前記中継基板には、複数の前記フレキシブルケーブルが共通して接続されることを特徴とする請求項８記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項１０】
請求項１〜６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項１１】
請求項８又は９に記載の液体噴射ヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッド、液体噴射ユニット及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを噴射するインクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録ヘッドユニット及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴を吐出する液体噴射ヘッドの代表例としては、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。このインクジェット式記録ヘッドとしては、例えばノズル開口に連通する圧力発生室が形成された流路形成基板と、この流路形成基板の一方面側に設けられた圧電アクチュエーター等の駆動素子と、を具備し、駆動素子によって圧力発生室内のインクに圧力変化を生じさせることで、ノズル開口からインクを噴射するものが知られている。
【０００３】
このようなインクジェット式記録ヘッドでは、複数の駆動素子から流路形成基板上に配線を引き出して、配線とフレキシブルケーブルとを電気的に接続している（例えば、特許文献１及び２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２０８４６２号公報
【特許文献２】特開２０１１−１６７９５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１のように、フレキシブルケーブルを駆動素子の列毎に設ける場合、フレキシブルケーブルと配線との接続領域を確保するためにインクジェット式記録ヘッドが大型化してしまうと共に、フレキシブルケーブルが増大することによってコストが増大してしまうという問題がある。
【０００６】
また、特許文献２のように、１枚のフレキシブルケーブルを複数列の駆動素子に共通して設けた場合、１枚のフレキシブルケーブルを介して複数列の駆動素子に共通して電源を供給すると、一方の駆動素子の列のうち、同時に駆動する数の増減によって、他方の駆動素子の列の駆動、特に電源に変化が生じる、所謂エレキクロストークが発生し、他方の駆動素子の列に対応するノズル開口から噴射されるインク滴の噴射特性、特にインク滴の飛翔速度等にばらつきが生じてしまうという問題がある。
【０００７】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑み、小型化及びコストを低減することができると共に、エレキクロストークを抑制して液体の噴射特性のばらつきを抑制することができる液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズルが第１の方向に沿って並設された第１ノズル列と、該第１ノズル列の各ノズルから液体を噴射させる第１駆動素子と、前記第１駆動素子と接続された複数の第１個別配線と、前記第１駆動素子に共通して接続された第１共通配線と、前記第１の方向に沿ってノズルが並設された第２ノズル列と、前記第２ノズル列の各ノズルから液体を噴射させる第２駆動素子と、前記第２駆動素子と接続された複数の第２個別配線と、前記第２駆動素子に共通して接続され、前記第１共通配線と接続されていない第２共通配線と、を備え、複数の前記第１個別配線と、前記第１共通配線と、前記第２個別配線と、前記第２共通配線とは、共通のフレキシブルケーブルに接続されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、第１個別配線、第１共通配線、第２個別配線及び第２共通配線を共通のフレキシブルケーブルに接続することで、接続するスペースを減少させて小型化を図ることができると共に、フレキシブルケーブルの数を減少させて、コストを低減することができる。また、第１共通配線と第２共通配線とを接続することなく独立して設けることで、第１駆動素子と第２駆動素子との間でのエレキクロストークを抑制して、駆動素子の駆動にばらつきが生じるのを抑制することができる。
【００１０】
ここで、前記フレキシブルケーブルは、前記第１共通配線と接続される第１共通接続配線と、前記第２共通配線と接続される第２共通接続配線と、を具備し、前記第１共通接続配線と前記第２共通接続配線とは、当該フレキシブルケーブル上で接続されずに独立して設けられていることが好ましい。これによれば、第１共通配線と第２共通配線とがフレキシブルケーブルの第１共通接続配線及び第２共通接続配線を介して導通するのを抑制して、エレキクロストークの発生を確実に抑制することができる。
【００１１】
また、前記第１共通配線と前記第２共通配線とは、それぞれ共通のフレキシブルケーブルと接続される接続領域を複数有し、複数の前記第１共通配線は、複数の前記第１個別配線と複数の前記第２個別配線とに対して前記第１の方向の一方側に配置され、複数の前記第２共通配線は、複数の前記第１個別配線と複数の前記第２個別配線とに対して前記第１の方向の他方側に配置されていることが好ましい。これによれば、第１共通配線及び第２共通配線とフレキシブルケーブルを接合する際に用いた接着材を、第１の方向で隣り合う接続領域の間に逃がすことができるため、余分な接着剤による接続不良等の不具合を抑制することができる。
【００１２】
また、前記第１共通配線と前記第２共通配線とは、それぞれ共通のフレキシブルケーブルと接続される接続領域を複数有し、複数の第１共通配線は、複数の前記第１個別配線と複数の前記第２個別配線とに対して前記第１の方向の一方側及び他方側の両方に配置され、複数の前記第２共通配線は、複数の前記第１個別配線と複数の前記第２個別配線とに対して前記第１の方向の一方側及び他方側の両方に配置されていることが好ましい。これによれば、第１の方向において異なる位置の駆動素子の駆動にばらつきが生じるのを抑制することができる。
【００１３】
また、複数の前記第１個別配線と前記第１共通配線と複数の前記第２個別配線と前記第２共通配線とは、それぞれが共通のフレキシブルケーブルと接続される接続領域を一直線上に並設されて配置されていることが好ましい。これによれば、共通のフレキシブルケーブルと容易に接続することができると共に接続するスペースを減少させて小型化を図ることができる。
【００１４】
また、複数の前記第１個別配線と複数の前記第２個別配線とは、それぞれが共通のフレキシブルケーブルと接続される接続領域の面積を異ならせていることが好ましい。これによれば、電圧降下が発生し易い接続部分における面積を大きくすることで、電圧降下の影響を抑制すると共に、電圧降下が発生し難い接続部分における面積を小さくすることで小型化を図ることができる。
【００１５】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドと、前記フレキシブルケーブルに接続される中継基板と、前記中継基板を保持する保持部材と、前記中継基板に一端が接続され、他端が制御装置に接続された外部配線基板と、を具備し、前記中継基板は、前記制御装置に対して相対的に往復動し、前記外部配線基板は、前記中継基板の往復動に追従し、前記第１駆動素子及び前記第２駆動素子を駆動する駆動波形の各充放電の電位差（Ｖ）を、各充放電時間（μｓｅｃ）で割った値の合計をＡ（Ｖ／μＳＥＣ）、前記外部配線基板の長さをＢ（ｍ）、前記外部配線基板の断面積をＣ（ｍ２）、駆動される前記第１駆動素子及び前記第２駆動素子の数をＤ（個）、としたとき、Ａ＊Ｂ＊Ｃ＊Ｄ≧０．００７となることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、エレキクロストークによる影響を低減することができる。特に小ドットの液滴を噴射するため等の傾きが大きな駆動波形で駆動したとしても、エレキクロストークを抑制することができる。また、比較的長さのある外部配線基板を用いたとしても、エレキクロストークを抑制することができるため、外部配線基板の長さを長くして、液体噴射ヘッドの往復動の距離を長くすることができる。したがって、記録ヘッドの往復方向において幅の広い被噴射媒体に液体の着弾を行わせることができる。
【００１６】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドと、前記フレキシブルケーブルに接続される中継基板と、該中継基板を保持する保持部材と、前記中継基板に接続された外部配線基板と、を具備し、前記フレキシブルケーブルは、前記第１共通配線と接続される第１共通接続配線と、前記第２共通配線と接続される第２共通接続配線と、を具備し、前記第１共通接続配線と前記第２共通接続配線とは、当該フレキシブルケーブル上で接続されずに独立して設けられており、前記中継基板は、前記第１共通接続配線と接続される第１共通中継配線と、前記第２共通接続配線と接続される第２共通中継配線と、を具備し、前記第１共通中継配線と前記第２共通中継配線とは当該中継基板上で接続されずに独立して設けられており、前記外部配線基板は、前記第１共通中継配線と接続される第１共通外部配線と、前記第２共通中継配線と接続される第２共通外部配線と、を具備し、前記第１共通外部配線と前記第２共通外部配線とは当該外部配線基板上で接続されずに独立して設けられていることが好ましい。これによれば、第１共通配線と第２共通配線とが、第１共通中継配線及び第２共通中継配線を介して、及び、第１共通外部配線及び第２共通外部配線を介して導通するのを抑制してエレキクロストークの発生を抑制することができる。
【００１７】
また、前記フレキシブルケーブルを複数具備し、前記中継基板には、複数の前記フレキシブルケーブルが共通して接続されることが好ましい。これによれば、フレキシブルケーブル毎に中継基板を設けるのに比べて、小型化を図ることができると共に部品点数を減少させてコストを低減することができる。
【００１８】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッド又は上記態様の液体噴射ヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、小型化及びコストを低減することができると共に、エレキクロストークを抑制して液体の噴射特性のばらつきを抑制した液体噴射装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの要部平面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図５】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図６】本発明の実施形態１に係るフレキシブルケーブルの平面図である。
【図７】本発明の実施形態１に係るヘッドユニットの分解斜視図である。
【図８】本発明の実施形態１に係るヘッドユニットの断面図である。
【図９】本発明の実施形態１に係る中継基板の平面図である。
【図１０】本発明の実施形態１に係る記録装置の概略図である。
【図１１】本発明の実施形態１に係る外部配線の平面図である。
【図１２】本発明の実施形態２に係る記録ヘッドの要部平面図である。
【図１３】本発明の実施形態２に係る記録ヘッドの変形例の要部平面図である。
【図１４】本発明の実施形態３に係る記録ヘッドの要部平面図である。
【図１５】本発明の実施形態４に係る記録ヘッドの要部平面図である。
【図１６】本発明の実施形態４に係る駆動信号を示す駆動波形である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２は、記録ヘッドの流路形成基板の要部平面図であり、図３は、図２のＡ−Ａ′線断面図であり、図４は、図２のＢ−Ｂ′線断面図であり、図５は、図２のＣ−Ｃ′線断面図であり、図６は、フレキシブルケーブルの平面図である。
【００２１】
図示するように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド２（以下、単に記録ヘッド２とも言う）を構成する流路形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２がインクを吐出する複数のノズル開口２１が並設される方向に沿って並設されている。以降、この方向を圧力発生室１２の並設方向、又は第１の方向Ｘと称する。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２の列が複数列設された列設方向を、以降、第２の方向Ｙと称する。さらに、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの両方に直交する方向を第３の方向Ｚと称する。なお、第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ及び第３の方向Ｚは、互いにそれぞれ直交する方向としたが、特にこれに限定されず、直交以外の角度で交差する方向であってもよい。
【００２２】
このような流路形成基板１０の第３の方向Ｚの一方面側には、連通板１５と、ノズルプレート２０とが順次積層されている。
【００２３】
連通板１５には、圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このように連通板１５を設けることによってノズルプレート２０のノズル開口２１と圧力発生室１２とを離せるため、圧力発生室１２の中にあるインクは、ノズル開口２１付近のインクで生じるインク中の水分の蒸発による増粘の影響を受け難くなる。また、ノズルプレート２０は圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通するノズル連通路１６の開口を覆うだけで良いので、ノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることができ、コストの削減を図ることができる。なお、本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル開口２１が開口されて、インク滴が吐出される面を液体噴射面２０ａと称する。
【００２４】
また、連通板１５には、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部１８とが設けられている。
【００２５】
第１マニホールド部１７は、連通板１５を第３の方向Ｚに貫通して設けられている。
【００２６】
また、第２マニホールド部１８は、連通板１５を第３の方向Ｚに貫通することなく、連通板１５のノズルプレート２０側に開口して設けられている。
【００２７】
さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通する供給連通路１９が、圧力発生室１２の各々に対して独立して設けられている。この供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とを連通する。すなわち、供給連通路１９は、マニホールド１００に対して、第１の方向Ｘに並設されている。
【００２８】
ノズルプレート２０には、各圧力発生室１２とノズル連通路１６を介して連通するノズル開口２１が形成されている。すなわち、ノズル開口２１は、同じ種類の液体（インク）を噴射するものが第１の方向Ｘに並設され、この第１の方向Ｘに並設されたノズル開口２１の列が第２の方向Ｙに２列形成されている。
【００２９】
一方、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側には、振動板５０が形成されている。本実施形態では、振動板５０として、流路形成基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５２と、を設けるようにした。なお、圧力発生室１２等の液体流路は、流路形成基板１０を一方面側（ノズルプレート２０が接合された面側）から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力発生室１２の他方面は、弾性膜５１によって画成されている。
【００３０】
また、流路形成基板１０の振動板５０上には、第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とを有する圧電アクチュエーター３００が設けられている。本実施形態では、圧電アクチュエーター３００が、詳しくは後述する半導体素子である駆動回路１２１によって駆動される駆動素子となっている。ここで、本実施形態では、第１電極６０は、圧力発生室１２毎に切り分けてあり、詳しくは後述する能動部毎に独立する個別電極を構成する。この第１電極６０は、圧力発生室１２の第２の方向Ｙにおいては、圧力発生室１２の幅よりも狭い幅で形成されている。すなわち、圧力発生室１２の第１の方向Ｘにおいて、第１電極６０の端部は、圧力発生室１２に対抗する領域の内側に位置している。また、第２の方向Ｙにおいて、第１電極６０の両端部は、それぞれ圧力発生室１２の外側まで延設されている。
【００３１】
圧電体層７０は、第２の方向Ｙが所定の幅となるように、第１の方向Ｘに亘って連続して設けられている。圧電体層７０の第２の方向Ｙの幅は、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの長さよりも広い。このため、圧力発生室１２の第２の方向Ｙでは、圧電体層７０は圧力発生室１２の外側まで設けられている。
【００３２】
圧力発生室１２の第２の方向Ｙにおいて、圧電体層７０のインク供給路側の端部は、第１電極６０の端部よりも外側に位置している。すなわち、第１電極６０の端部は圧電体層７０によって覆われている。また、圧電体層７０のノズル開口２１側の端部は、第１電極６０の端部よりも内側（圧力発生室１２側）に位置しており、第１電極６０のノズル開口２１側の端部は、圧電体層７０に覆われていない。
【００３３】
圧電体層７０は、第１電極６０上に形成される分極構造を有する酸化物の圧電材料からなり、例えば、一般式ＡＢＯ３で示されるペロブスカイト型酸化物からなることができ、鉛を含む鉛系圧電材料や鉛を含まない非鉛系圧電材料などを用いることができる。
【００３４】
このような圧電体層７０には、各隔壁に対応する凹部７１が形成されている。この凹部７１の第１の方向Ｘの幅は、各隔壁の第１の方向の幅と略同一、もしくはそれよりも広くなっている。これにより、振動板５０の圧力発生室１２の第２の方向Ｙの端部に対抗する部分（いわゆる振動板５０の腕部）の剛性が押さえられるため、圧電アクチュエーター３００を良好に変位させることができる。
【００３５】
第２電極８０は、圧電体層７０の第１電極６０とは反対面側に設けられており、複数の能動部に共通する共通電極を構成する。また、第２電極８０は、凹部７１の内面、すなわち、圧電体層７０の凹部７１の側面内に設けるようにしても良く、設けないようにしてもよい。
【００３６】
このような第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０で構成される圧電アクチュエーター３００は、第１電極６０と第２電極８０との間に電圧を印加することで変位が生じる。すなわち両電極の間に電圧を印加することで、第１電極６０と第２電極８０とで挟まれている圧電体層７０に圧電歪みが生じる。そして、両電極に電圧を印加した際に、圧電体層７０に圧電歪みが生じる部分を能動部と称する。これに対して、圧電体層７０に圧電歪みが生じない部分を非能動部と称する。また、圧電体層７０に圧電歪みが生じる能動部において、圧力発生室１２に対向する部分を可撓部と称し、圧力発生室１２の外側の部分を非可撓部と称する。
【００３７】
本実施形態では、第２の方向Ｙにおいて、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０の全てが圧力発生室１２の外側まで連続的に設けられている。すなわち能動部が圧力発生室１２の外側まで連続的に設けられている。このため、能動部のうち圧電アクチュエーター３００の圧力発生室１２に対向する部分が可撓部となり、圧力発生室１２の外側の部分が非可撓部となっている。
【００３８】
また、圧電アクチュエーター３００の第１電極６０からは、引き出し配線である個別配線９１が引き出されている。本実施形態では、第１の方向Ｘに並設された圧電アクチュエーター３００（能動部）の列が第２の方向Ｙに２列設けられており、一方の列の圧電アクチュエーター３００の第１電極６０から引き出された個別配線９１を第１個別配線９１Ａと称する。また、他方の列の圧電アクチュエーター３００の第１電極６０から引き出された個別配線９１を第２個別配線９１Ｂと称する。本実施形態では、第１個別配線９１Ａ、第２個別配線９１Ｂは、それぞれ２列の圧電アクチュエーター３００の間に引き出されており、第１電極６０とは反対側の端部は、第１の方向Ｘに沿った一直線上に並設されている。なお、一方の列の圧電アクチュエーター３００は、本実施形態では、第２の方向Ｙにおいて、図２に示すＹ１側に設けられた圧電アクチュエーター３００のことであり、第１の方向Ｘに並設されたノズル開口２１のノズル列（第１ノズル列）の各ノズル開口２１からインク滴を噴射させる第１駆動素子３００Ａとも称する。また、他方の列の圧電アクチュエーター３００は、第２の方向Ｙにおいて、図２に示すＹ２側に設けられた圧電アクチュエーター３００の列のことであり、第１の方向Ｘに並設されたノズル開口２１のノズル列（第２ノズル列）の各ノズル開口２１からインク滴を噴射させる第２駆動素子３００Ｂとも称する。
【００３９】
また、第２電極８０からは、引き出し配線である共通配線９２が引き出されている。本実施形態では、第１駆動素子３００Ａの第２電極８０から引き出された共通配線９２を第１共通配線９２Ａと称する。また、第２駆動素子３００Ｂの第２電極８０から引き出された共通配線９２を第２共通配線９２Ｂと称する。本実施形態では、第１共通配線９２Ａは、第１の方向Ｘの一方側であるＸ１側から引き出されて、第１個別配線９１Ａ及び第２個別配線９１Ｂの並設された一直線上のＸ１側まで延設されている。また、第２共通配線９２Ｂは、第１の方向Ｘの第１共通配線９２Ａとは反対側のＸ２側から引き出されて、第１個別配線９１Ａ及び第２個別配線９１Ｂの並設された一直線上のＸ２側まで延設されている。すなわち、第１共通配線９２Ａと第２共通配線９２Ｂとは、流路形成基板１０の振動板５０上において、互いに接続されることなく独立して設けられている。
【００４０】
このように、第１共通配線９２Ａと、第２共通配線９２Ｂとを電気的に接続することなく、個別に独立して設けることで、第１駆動素子であるＸ１側の圧電アクチュエーター３００を同時に駆動する数に変動があった場合であっても、第２駆動素子であるＸ２側の圧電アクチュエーター３００を駆動する駆動波形が鈍るのを抑制して、第２駆動素子を常に同じ条件で駆動することができ、インク滴の噴射特性のばらつきを抑制することができ、高品質な印刷を実現できる。ちなみに、第１共通配線９２Ａと第２共通配線９２Ｂとが電気的に接続されていると、同時に全ての第１駆動素子を駆動した際に、第２駆動素子を駆動する駆動波形に鈍りが生じて第２駆動素子の駆動にばらつきが生じる、いわゆるエレキクロストークが発生し、インク滴の噴射特性にばらつきが生じてしまう。本実施形態では、第１共通配線９２Ａと第２共通配線９２Ｂとが電気的に接続されていないため、エレキクロストークの発生を抑制して、インク滴の噴射特性のばらつきを抑制することができる。
【００４１】
このように第１個別配線９１Ａ、第１共通配線９２Ａ、第２個別配線９１Ｂ及び第２共通配線９２Ｂの圧電アクチュエーター３００に接続された端部とは反対側の延設された端部には、共通のフレキシブルケーブル１２０が接続されている。本実施形態では、第１個別配線９１Ａ、第１共通配線９２Ａ、第２個別配線９１Ｂ及び第２共通配線９２Ｂのフレキシブルケーブル１２０が接続される端部をそれぞれ第１個別端子９１ａ、第１共通端子９２ａ、第２個別端子９１ｂ、第２共通端子９２ｂと称し、第１個別端子９１ａ、第１共通端子９２ａ、第２個別端子９１ｂ、第２共通端子９２ｂがフレキシブルケーブル１２０の接続される接続領域となっている。そして、複数の接続領域である第１個別端子９１ａ、第１共通端子９２ａ、第２個別端子９１ｂ及び第２共通端子９２ｂは、上述のように振動板５０上で第１の方向Ｘに沿った一直線上に並設されているため、これら第１個別端子９１ａ、第１共通端子９２ａ、第２個別端子９１ｂ及び第２共通端子９２ｂに共通する１枚のフレキシブルケーブル１２０を容易に接続することができる。
【００４２】
フレキシブルケーブル１２０は、可撓性を有する配線基板であって、本実施形態では、半導体素子である駆動回路１２１が実装されている。このようなフレキシブルケーブル１２０は、図６に示すように、個別配線９１に接続される個別接続配線１２２と、共通配線９２に接続される共通接続配線１２３とが設けられている。ここで個別接続配線１２２は、第１個別配線９１Ａに接続される第１個別接続配線１２２Ａと、第２個別配線９１Ｂに接続される第２個別接続配線１２２Ｂとを有する。そして、第１個別接続配線１２２Ａと第２個別接続配線１２２Ｂとの第１個別配線９１Ａ及び第２個別配線９１Ｂと接続された一端部とは反対側の他端部に駆動回路１２１が接続されている。また、フレキシブルケーブル１２０には、駆動回路１２１に一端が接続され、第１個別接続配線１２２Ａ及び第２個別接続配線１２２Ｂとは反対側の端部まで延設された入力配線１２４が設けられている。入力配線１２４は、例えば、駆動信号（ＣＯＭ）、クロック信号（ＣＬＫ）、ラッチ信号（ＬＡＴ）、チェンジ信号（ＣＨ）、画素データ（ＳＩ）と設定データ（ＳＰ）とを含む設定信号等のヘッド制御信号を駆動回路１２１に供給するためのものである。駆動回路１２１の内部には、例えば、圧電アクチュエーター３００毎にトランスミッションゲート等のスイッチング素子が設けられており、入力配線によって入力されたヘッド制御信号に基づいて、スイッチング素子を開閉させて、所望のタイミングで駆動信号を圧電アクチュエーター３００に供給する。
【００４３】
また、フレキシブルケーブル１２０に設けられた共通接続配線１２３は、第１共通配線９２Ａに接続される第１共通接続配線１２３Ａと、第２共通配線９２Ｂに接続される第２共通接続配線１２３Ｂとを有する。これら第１共通接続配線１２３Ａ及び第２共通接続配線１２３Ｂは、それぞれ駆動回路１２１に接続されることなく、フレキシブルケーブル１２０の一端部から他端部に亘って連続して設けられている。このような第１共通接続配線１２３Ａ及び第２共通接続配線１２３Ｂから第１共通配線９２Ａ及び第２共通配線９２Ｂを介して第２電極８０に電圧（バイアス電圧：ｖｂｓ）が印加される。
【００４４】
このような第１共通接続配線１２３Ａ及び第２共通接続配線１２３Ｂは、フレキシブルケーブル１２０上において、互いに接続されることなく独立して設けられている。したがって、第１共通接続配線１２３Ａ及びこれに接続された第１共通配線９２Ａと、第２共通接続配線１２３Ｂ及びこれに接続された第２共通配線９２Ｂとが互いに電気的に接続されることがなく、エレキクロストークを抑制することができる。ちなみに、上述したように第１共通配線９２Ａ及び第２共通配線９２Ｂが、フレキシブルケーブル１２０が実装される振動板５０上において互いに接続されていない場合であっても、フレキシブルケーブル１２０上において第１共通接続配線１２３Ａと第２共通接続配線１２３Ｂとが互いに電気的に接続されていると、第１共通配線９２Ａ及び第２共通配線９２Ｂが導通し、エレキクロストークが発生してしまう。
【００４５】
また、第１個別端子９１ａ、第１共通端子９２ａ、第２個別端子９１ｂ及び第２共通端子９２ｂは、振動板５０上で第１の方向Ｘに沿った一直線上に並設されているため、これら第１個別端子９１ａ、第１共通端子９２ａ、第２個別端子９１ｂ及び第２共通端子９２ｂに共通する１枚のフレキシブルケーブル１２０を接続するスペースを減少させて、記録ヘッド２の小型化を図ることができる。また、第１駆動素子３００Ａと第２駆動素子３００Ｂとに共通する１枚のフレキシブルケーブル１２０を接続するため、部品点数を減少させてコストを低減することができる。
【００４６】
このような流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護するための空間である保持部３１を有する。保持部３１は、第１の方向Ｘに並設された圧電アクチュエーター３００の列の間に第２の方向Ｙに２つ並んで形成されている。また、保護基板３０には、第２の方向Ｙで並設された２つの保持部３１の間に第３の方向Ｚに貫通する貫通孔３２が設けられている。圧電アクチュエーター３００の電極から引き出された第１個別配線９１Ａ、第１共通配線９２Ａ、第２個別配線９１Ｂ及び第２共通配線９２Ｂの端部は、この貫通孔３２内に露出するように延設され、第１個別配線９１Ａ、第１共通配線９２Ａ、第２個別配線９１Ｂ及び第２共通配線９２Ｂとフレキシブルケーブル１２０の第１個別接続配線１２２Ａ、第１共通接続配線１２３Ａ、第２個別接続配線１２２Ｂ及び第２共通接続配線１２３Ｂとは、貫通孔３２内で電気的に接続されている。なお、第１個別配線９１Ａ、第１共通配線９２Ａ、第２個別配線９１Ｂ及び第２共通配線９２Ｂと、フレキシブルケーブル１２０の第１個別接続配線１２２Ａ、第１共通接続配線１２３Ａ、第２個別接続配線１２２Ｂ及び第２共通接続配線１２３Ｂとの接続方法は、特に限定されず、例えば、ハンダ付けやろう付けなどのろう接や、共晶接合、溶接、導電性粒子を含む導電性接着剤（ＡＣＰ、ＡＣＦ）、非導電性接着剤（ＮＣＰ、ＮＣＦ）等が挙げられる。
【００４７】
また、保護基板３０上には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド１００を流路形成基板１０と共に画成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されると共に、上述した連通板１５にも接合されている。具体的には、ケース部材４０は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。この凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。これにより、流路形成基板１０の外周部には、ケース部材４０と流路形成基板１０とによって第３マニホールド部４２が画成されている。そして、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８と、ケース部材４０と流路形成基板１０とによって画成された第３マニホールド部４２と、によって本実施形態のマニホールド１００が構成されている。マニホールド１００は、圧力発生室１２の並設方向である第１の方向Ｘに亘って連続して設けられており、各圧力発生室１２とマニホールド１００とを連通する供給連通路１９は、第１の方向Ｘに並設されている。
【００４８】
また、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口する面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。このコンプライアンス基板４５が、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８の液体噴射面２０ａ側の開口を封止している。このようなコンプライアンス基板４５は、本実施形態では、可撓性を有する薄膜からなる封止膜４６と、金属等の硬質の材料からなる固定基板４７と、を具備する。固定基板４７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部４９となっている。
【００４９】
なお、ケース部材４０には、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給するための導入路４４が設けられている。また、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通してフレキシブルケーブル１２０が挿通される接続口４３が設けられている。
【００５０】
このような記録ヘッド２では、インクを噴射する際に、インクを導入路４４から取り込み、マニホールド１００からノズル開口２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路１２１からの信号に従い、圧力発生室１２に対応する各圧電アクチュエーター３００に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター３００と共に振動板５０をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室１２内の圧力が高まり所定のノズル開口２１からインク滴が噴射される。
【００５１】
このような記録ヘッド２は、複数個が保持部材に固定されてインクジェット式記録ヘッドユニット（以下、単にヘッドユニットとも言う）を構成する。
【００５２】
ここで、本実施形態のヘッドユニットの一例について図７〜図９を参照して詳細に説明する。なお、図７は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニットの分解斜視図であり、図８は、インクジェット式記録ヘッドユニットの断面図であり、図９は、中間基板の平面図である。なお、ヘッドユニット１における各方向は、当該ヘッドユニット１に保持された記録ヘッド２の第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ及び第３の方向Ｚに基づいて説明する。
【００５３】
図示するように、ヘッドユニット１は、複数の記録ヘッド２と、複数の記録ヘッド２のフレキシブルケーブル１２０が接続される中継基板２３０と、複数の記録ヘッド２が固定されると共に内部に中継基板２３０が保持される保持部材２００と、を具備する。
【００５４】
保持部材２００は、第３の方向Ｚの一方面側（被噴射媒体側）に設けられて記録ヘッド２を保持するヘッド保持部材２１０と、ヘッド保持部材２１０の第３の方向Ｚの他方面側に設けられてヘッド保持部材２１０との間で中継基板２３０を保持する流路部材２２０と、ヘッド保持部材２１０と流路部材２２０との間に設けられたシール部材２４０と、を具備する。
【００５５】
ヘッド保持部材２１０は、第３の方向Ｚの一方面側（被噴射媒体側）に、内部に記録ヘッド２が収容保持されるヘッド保持部２１１が設けられている。ヘッド保持部２１１は、ヘッド保持部材２１０の液体噴射媒体側の面に開口する凹形状を有する。本実施形態では、ヘッド保持部２１１は、２つの記録ヘッド２が収容可能な大きさで設けられている。また、本実施形態では、記録ヘッド２のケース部材４０の液体噴射面２０ａとは反対面をヘッド保持部２１１の底面に固定している。
【００５６】
また、ヘッド保持部材２１０のヘッド保持部２１１側の面には、ヘッド保持部２１１の開口を覆うカバーヘッド２５０が設けられている。カバーヘッド２５０は、液体噴射面２０ａを露出する露出開口部２５１を有する板状部材からなる。露出開口部２５１は、各記録ヘッド２の液体噴射面２０ａを独立して露出するように２つ形成されている。このような露出開口部２５１は、本実施形態では、ノズルプレート２０を露出する大きさを有し、記録ヘッド２のコンプライアンス基板４５の連通板１５とは反対面側に接合されている。また、カバーヘッド２５０は、本実施形態では、ヘッド保持部材２１０の側面（液体噴射面２０ａとは交差する面）を覆うように、液体噴射面２０ａ側から端部が屈曲して設けられている。
【００５７】
また、ヘッド保持部材２１０の第３の方向Ｚの他方面側（第２保持部材側）には、内部に中継基板２３０が収容される中継基板保持部２１２が設けられている。中継基板保持部２１２内には、中継基板２３０が第３の方向Ｚに対向して配置されている。ここで中継基板２３０は、本実施形態ではリジット基板からなり、中継基板２３０が第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む面方向となるように中継基板保持部２１２内に収容されている。なお、中継基板２３０は、リジット基板に限定されず、例えば、ＦＰＣやＦＦＣ等のフレキシブル基板であってもよい。
【００５８】
また、ヘッド保持部材２１０には、流路部材２２０から供給されたインクを記録ヘッド２に供給するための接続流路２１３が設けられている。本実施形態では、接続流路２１３は、記録ヘッド２の導入路４４毎に独立して設けられている。すなわち、１つの記録ヘッド２には、２つの導入路４４が設けられているため、２個の記録ヘッド２に対して合計４個の接続流路２１３が設けられている。このような接続流路２１３は、一端が中継基板保持部２１２内に第３の方向Ｚに突出して設けられた第１突起部２１４の端面に開口して設けられている。また、接続流路２１３の他端は、ヘッド保持部２１１の底面に開口して設けられており、接続流路２１３は、第３の方向Ｚに直線上に沿って設けられている。
【００５９】
さらに、ヘッド保持部材２１０には、第１の方向Ｘにおいて、１つの記録ヘッド２毎に設けられた２つの接続流路２１３の間に、フレキシブルケーブル１２０を挿通するためのフレキシブルケーブル挿通孔２１５が設けられている。
【００６０】
また、図９に示すように、中継基板２３０には、第１突起部２１４を挿通する第１挿通孔２３１と、フレキシブルケーブル１２０を挿通する第２挿通孔２３２と、が設けられている。そして、第２挿通孔２３２を挿通されたフレキシブルケーブル１２０は、中継基板２３０の記録ヘッド２とは反対側の面で当該中継基板２３０と接続されている。なお、フレキシブルケーブル１２０と中継基板２３０との接続方法は、特に限定されず、例えば、ハンダ付けやろう付けなどのろう接や、共晶接合、溶接、導電性粒子を含む導電性接着剤（ＡＣＰ、ＡＣＦ）、非導電性接着剤（ＮＣＰ、ＮＣＦ）等が挙げられる。本実施形態では、ヘッドユニット１には、記録ヘッド２が２つ保持されるため、２枚のフレキシブルケーブル１２０が共通する１つの中継基板２３０に接続される。したがって、記録ヘッド２のフレキシブルケーブル１２０毎に中継基板２３０を設けるのに比べて、小型化を図ることができると共に部品点数を減少させてコストを低減することができる。
【００６１】
このような中継基板２３０には、フレキシブルケーブル１２０の共通接続配線１２３と接続される共通中継配線２３３が設けられている。具体的には、共通中継配線２３３は、フレキシブルケーブル１２０の第１共通接続配線１２３Ａと接続される第１共通中継配線２３３Ａと、第２共通接続配線１２３Ｂと接続される第２共通中継配線２３３Ｂとを有する。本実施形態では、１つの中継基板に２つのフレキシブルケーブル１２０が共通して接続されるため、中継基板２３０には、フレキシブルケーブル１２０毎に第１共通中継配線２３３Ａ及び第２共通中継配線２３３Ｂが設けられている。すなわち、中継基板２３０には、２つの第１共通中継配線２３３Ａと２つの第２共通中継配線２３３Ｂとが設けられている。これら第１共通中継配線２３３Ａ及び第２共通中継配線２３３Ｂは、中継基板２３０上において互いに電気的に接続されることなく独立して設けられている。したがって、中継基板２３０の第１共通中継配線２３３Ａ及び第２共通中継配線２３３Ｂのそれぞれに接続されるフレキシブルケーブル１２０の第１共通接続配線１２３Ａ及び第１共通配線９２Ａと、第２共通接続配線１２３Ｂ及び第２共通配線９２Ｂとが電気的に接続されることがなく、圧電アクチュエーター３００のエレキクロストークを抑制することができる。
【００６２】
また、中継基板２３０には、第２の方向Ｙの一端側にコネクター２３４が設けられている。コネクター２３４は、図７及び図８に示すように、本実施形態では、中継基板２３０において、ヘッド保持部材２１０とは反対面側のＹ１側に固定されている。そして、ヘッド保持部材２１０には、コネクター２３４に相対向する側壁、すなわち、Ｙ１側の側壁に中継基板保持部２１２と外部とを連通する接続孔２１６が設けられており、コネクター２３４は、接続孔２１６によってＹ１側の側面から外部に露出される。このようなコネクター２３４には、ヘッドユニット１の外部から詳しくは後述する外部配線基板４１０が接続される。すなわち、外部配線基板４１０は、ヘッドユニット１の第２の方向ＹのＹ１側に導出される。なお、中継基板２３０には、フレキシブルケーブル１２０の入力配線１２４と、コネクター２３４とを接続する個別中継配線２３５が設けられている。また、中継基板２３０には、コンデンサー、トランジスター及び集積回路等の電子部品が実装されていてもよい。
【００６３】
このようなヘッド保持部材２１０の記録ヘッド２と反対側の面には、流路部材２２０が固定されている。流路部材２２０は、第３の方向Ｚに積層された第１流路部材２２１及び第２流路部材２２２を具備する。なお、本実施形態の流路部材２２０は、第１流路部材２２１と第２流路部材２２２とを積層することで構成したが、特にこれに限定されず、流路部材２２０は、単一の部材であっても３つ以上の部材が積層されたものであってもよい。また、流路部材２２０を構成する複数の部材の積層方向も特に限定されず、第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙであってもよい。
【００６４】
第１流路部材２２１には、第３の方向Ｚに貫通して設けられた第１流路２２３を有する。第１流路２２３の第２流路部材２２２とは反対側の開口部には、インク（液体）が保持されたインクタンクやインクカートリッジなどの液体貯留手段に接続される針状の接続部材２２４が、インクに含まれる気泡や異物を除去するためのフィルター２２５を介して固定されている。
【００６５】
接続部材２２４は、第１流路２２３に連通する貫通孔２２６を有する。そして、接続部材２２４が液体貯留手段に接続されることで、液体貯留手段内のインクは接続部材２２４の貫通孔２２６を介して第１流路２２３に供給される。なお、接続部材２２４には、インクカートリッジなどの液体貯留手段が直接接続されてもよく、また、インクタンクなどの液体貯留手段がチューブ等の供給管などを介して接続されてもよい。
【００６６】
第２流路部材２２２には、第３の方向Ｚに貫通する第２流路２２７が設けられている。第２流路２２７は、第１流路部材２２１とは反対側で、ヘッド保持部材２１０の接続流路２１３に連通する。
【００６７】
また、第１流路部材２２１と第２流路部材２２２との間には、第１流路２２３と第２流路２２７とを連通する連通流路２２８が設けられている。連通流路２２８は、第３の方向Ｚに直交する面内方向、すなわち、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む面内に沿って設けられている。このような連通流路２２８は、第２流路部材２２２に設けられた溝部を第１流路部材２２１によって封止することで形成されている。このように第１流路２２３と第２流路２２７とを連通流路２２８で接続することで、第１流路２２３と第２流路２２７とが第３の方向Ｚから平面視した際に重ならない位置に配置することが可能となる。したがって、記録ヘッド２よりも大型のインクカートリッジを用いることができると共に流路の設計自由度を高めることができる。
【００６８】
このような流路部材２２０の第２流路２２７とヘッド保持部材２１０の接続流路２１３とは、シール部材２４０を介して接続されている。シール部材２４０は、ゴムやエラストマー等の弾性材料で形成された板状部材からなる。
【００６９】
このようなヘッドユニット１は、インクジェット式記録装置Ｉに搭載される。図１０は、本実施形態のインクジェット式記録装置の一例を示す概略図であり、図１１は、ヘッドユニットと制御装置との接続状態を示す外部配線の平面図である。
【００７０】
図１０に示すインクジェット式記録装置Ｉにおいて、ヘッドユニット１は、インク供給手段を構成する複数のインクカートリッジ９が着脱可能に設けられ、このヘッドユニット１を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。本実施形態では、ヘッドユニット１には、４つのインクカートリッジ９が装着されて、２つの記録ヘッド２から４つの異なるインクが噴射される。
【００７１】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、ヘッドユニット１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４には搬送手段としての搬送ローラー８が設けられており、紙等の記録媒体である記録シートＳが搬送ローラー８により搬送されるようになっている。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラーに限られずベルトやドラム等であってもよい。
【００７２】
また、装置本体４には、インクジェット式記録装置Ｉの制御を行う制御手段である制御装置４００が搭載されており、制御装置４００とヘッドユニット１の中継基板２３０とは、外部配線基板４１０を介して接続されている。すなわち、本実施形態では、ヘッドユニット１の中継基板２３０は、キャリッジ３によって制御装置４００に対して相対的に第２の方向Ｙに往復動し、外部配線基板４１０は、中継基板２３０の第２の方向Ｙの往復動に追従する。
【００７３】
ここで、図１１に示すように、外部配線基板４１０は、中継基板２３０の共通中継配線２３３に接続される共通外部配線４１１と、個別中継配線２３５に接続される個別外部配線４１２と、を有する。共通外部配線４１１は、本実施形態では、第１共通中継配線２３３Ａに接続される第１共通外部配線４１１Ａと、第２共通中継配線２３３Ｂに接続される第２共通外部配線４１１Ｂと、を有する。本実施形態では、外部配線基板４１０には、中継基板２３０の第１共通中継配線２３３Ａ、第２共通中継配線２３３Ｂの数に合わせて、２つの第１共通外部配線４１１Ａと２つの第２共通外部配線４１１Ｂとが設けられている。
【００７４】
これら第１共通外部配線４１１Ａと第２共通外部配線４１１Ｂとは、外部配線基板４１０上で接続されることなく独立して設けられている。このように、第１共通外部配線４１１Ａ及び第２共通外部配線４１１Ｂを独立して設けることで、第１共通外部配線４１１Ａに接続された第１共通中継配線２３３Ａ、第１共通接続配線１２３Ａ及び第１共通配線９２Ａと、第２共通外部配線４１１Ｂに接続された第２共通中継配線２３３Ｂ、第２共通接続配線１２３Ｂ及び第２共通配線９２Ｂと、が接続されるのを第１駆動素子３００Ａと第２駆動素子３００Ｂとの間におけるエレキクロストークの発生を抑制することができる。
【００７５】
なお、外部配線基板４１０には、中継基板２３０の個別中継配線２３５に接続される個別外部配線４１２が設けられており、ヘッド制御信号等は、個別外部配線４１２から中継基板２３０の個別中継配線２３５及びフレキシブルケーブル１２０の入力配線１２４を介して駆動回路１２１に供給される。
【００７６】
（実施形態２）
図１２は、本発明の実施形態２に係る記録ヘッドの要部平面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００７７】
図１２に示すように、第１駆動素子３００Ａとなる一方の圧電アクチュエーター３００の列に対して、第１共通配線９２Ａを第１の方向Ｘの両側であるＸ１及びＸ２から引き出し、第２駆動素子３００Ｂとなる他方の圧電アクチュエーター３００の列に対して、第２共通配線９２Ｂを第１の方向Ｘの両側であるＸ１及びＸ２から引き出すようにした。
【００７８】
すなわち、第１共通配線９２Ａは、第１駆動素子３００Ａの第２電極８０の第１の方向ＸのＸ１側及びＸ２側の両方に設けられている。そして、それぞれの第１共通配線９２Ａの端部は、第１の方向Ｘに沿って一直線上に並設された第１個別端子９１ａ及び第２個別端子９１ｂのＸ１側及びＸ２側に延設されており、延設された端部が第１共通端子９２ａとなっている。つまり、本実施形態では、第１共通端子９２ａが２つ設けられている。
【００７９】
同様に、第２共通配線９２Ｂは、第２駆動素子３００Ｂの第２電極８０の第１の方向ＸのＸ１側及びＸ２側の両方に設けられている。そして、それぞれの第２共通配線９２Ｂの端部は、第１の方向Ｘに沿って一直線上に並設された第１個別端子９１ａ及び第２個別端子９１ｂのＸ１側及びＸ２側に延設されている。つまり、本実施形態では、第２共通端子９２ｂが２つ設けられている。
【００８０】
このような流路形成基板１０の振動板５０上に形成された第１共通配線９２Ａ、第２共通配線９２Ｂは、互いに接続されることなく独立して設けられている。これにより、第１駆動素子３００Ａと第２駆動素子３００Ｂとの間でエレキクロストークが発生するのを抑制することができる。
【００８１】
また、第１駆動素子３００ＡであるＸ１側の圧電アクチュエーター３００の列には、第１の方向Ｘの両側から第１共通配線９２Ａを介して電圧（ｖｂｓ）が印加されるので、第１の方向Ｘに並設された複数の圧電アクチュエーター３００の第２電極８０に印加する電圧の低下を抑制することができる。ちなみに、例えば、複数の圧電アクチュエーター３００の並設方向（第１の方向Ｘ）において、一方側（Ｘ１側）のみに第１共通配線９２Ａを設けると、Ｘ１側の圧電アクチュエーター３００と、Ｘ２側の圧電アクチュエーター３００とに印加される電圧に差が生じてしまう（電圧降下）。このため、複数の圧電アクチュエーター３００を同じ電圧で駆動することができずに、変位量にばらつきが生じて、インク滴の噴射特性のばらつきによる印刷不具合が生じてしまう。これに対して、第２電極８０の電気抵抗値を下げるために、第２電極８０の厚さを厚くすると、第２電極８０が圧電アクチュエーター３００の変位を阻害し、圧電アクチュエーター３００の変位量が低下してしまう。本実施形態では、第１の方向Ｘに並設された複数の圧電アクチュエーター３００の両側に第１共通配線９２Ａを設けることで、Ｘ１側の圧電アクチュエーター３００と、Ｘ２側の圧電アクチュエーター３００とに印加される電圧に差が生じるのを抑制して、圧電アクチュエーター３００の変位量のばらつきを抑制することができ、インク滴の噴射特性のばらつきを低減して、印刷品質を向上することができる。
【００８２】
なお、第２共通配線９２Ｂにおいても同様に、第２駆動素子３００ＢであるＸ２側の圧電アクチュエーター３００のＸ１側及びＸ２側に第２共通配線９２Ｂを設けることで、第２駆動素子３００Ｂの電圧降下を抑制して、印刷品質を向上することができる。
【００８３】
また、本実施形態では、第１共通配線９２Ａの第１共通端子９２ａと、第２共通配線９２Ｂの第２共通端子９２ｂとを、第１個別配線９１Ａの第１個別端子９１ａと第２個別配線９１Ｂの第２個別端子９１ｂとが並設された一直線上に沿って並設するようにしたため、フレキシブルケーブル１２０と各端子との接続に必要なスペースを低減させて、小型化を図ることができる。
【００８４】
なお、本実施形態では、フレキシブルケーブル１２０、中継基板２３０及び外部配線基板４１０については特に図示していないが、上述した実施形態１と同様に、第１共通配線９２Ａに接続される第１共通接続配線１２３Ａ、第１共通中継配線２３３Ａ及び第１共通外部配線４１１Ａと、第２共通配線９２Ｂに接続される第２共通接続配線１２３Ｂ、第２共通中継配線２３３Ｂ及び第２共通外部配線４１１Ｂとは、互いに接続されることなく独立して設けられている。これにより、第１共通配線９２Ａと第２共通配線９２Ｂとを導通させることなく、エレキクロストークを確実に抑制することができる。
【００８５】
また、本実施形態では、第１共通配線９２Ａを２つ設けているが、第１共通配線９２Ａに接続される第１共通接続配線１２３Ａ、第１共通中継配線２３３Ａ及び第１共通外部配線４１１Ａの少なくとも１つは、２つの第１共通配線９２Ａに対して１つずつ設けるようにしてもよく、また、２つの第１共通配線９２Ａに対して１つだけ設けるようにしてもよい。もちろん、第２共通配線９２Ｂに接続される第２共通接続配線１２３Ｂ、第２共通中継配線２３３Ｂ及び第２共通外部配線４１１Ｂについても同様である。
【００８６】
さらに、本実施形態では、第１共通配線９２Ａの第１共通端子９２ａと、第２共通配線９２Ｂの第２共通端子９２ｂとを、第１の方向Ｘに一直線上に並設するようにしたが、特にこれに限定されない。例えば、図１３に示すように、第１共通端子９２ａを第１個別端子９１ａ及び第２個別端子９１ｂの並設された一直線上に沿って配置し、第２共通端子９２ｂを、第２の方向Ｙにおいて第１共通端子９２ａの隣に配置するようにしてもよい。このような場合、フレキシブルケーブル１２０と第２共通端子９２ｂとを他のフレキシブル基板で接続するようにしてもよく、また１枚のフレキシブルケーブル１２０を第１共通端子９２ａと第２共通端子９２ｂとに接続するようにすることもできる。
【００８７】
（実施形態３）
図１４は、本発明の実施形態３に係る記録ヘッドの要部平面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００８８】
図１４に示すように、本実施形態では、第１駆動素子３００ＡであるＸ１側の圧電アクチュエーター３００の列の第２電極８０には、Ｘ１側に第１共通配線９２Ａが設けられている。
【００８９】
このような第１共通配線９２Ａの第２電極８０に接続された端部とは反対側は、２又に分岐されて、第１の方向Ｘに２つの第１共通端子９２ａが並設されている。このような第１共通端子９２ａには、特に図示していないが、上述した実施形態１と同様のフレキシブルケーブル１２０の第１共通接続配線１２３Ａが接続されている。なお、第１共通接続配線１２３Ａは、２つの第１共通端子９２ａに共通して接続される１本の第１共通接続配線１２３Ａであっても、２つの第１共通端子９２ａのそれぞれに接続される合計２本の第１共通接続配線１２３Ａであってもよい。もちろん、第１共通接続配線１２３Ａは、第１共通配線９２Ａと同様に、接続される端子部分のみが分岐されていてもよい。
【００９０】
また、第２駆動素子３００ＢであるＸ２側の圧電アクチュエーター３００の列の第２電極８０には、Ｘ２側に第２共通配線９２Ｂが設けられている。
【００９１】
このような第２共通配線９２Ｂの第２電極８０に接続された端部とは反対側は、２又に分岐されて、第１の方向Ｘに２つの第２共通端子９２ｂが並設されている。このような第２共通端子９２ｂには、特に図示していないが、上述した実施形態１と同様のフレキシブルケーブル１２０の第２共通接続配線１２３Ｂが接続されている。なお、第２共通接続配線１２３Ｂは、２つの第２共通端子９２ｂに共通して接続される１本の第２共通接続配線１２３Ｂであっても、２つの第２共通端子９２ｂのそれぞれに接続される合計２本の第２共通接続配線１２３Ｂであってもよい。もちろん、第２共通接続配線１２３Ｂは、第２共通配線９２Ｂと同様に、接続される端子部分のみが分岐されていてもよい。
【００９２】
このように、第１共通配線９２Ａを分岐して第１共通端子９２ａを２つ設けると共に、第２共通配線９２Ｂを分岐して第２共通端子９２ｂを２つ設けることで、第１共通配線９２Ａ、第２共通配線９２Ｂは、フレキシブルケーブル１２０の第１共通接続配線１２３Ａ及び第２共通接続配線１２３Ｂとの接続部分において、複数箇所で接続されている。なお、本実施形態では、第１共通配線９２Ａ及び第２共通配線９２Ｂを２又に分岐するようにしたが、特にこれに限定されず、３つ以上に分岐されていてもよい。
【００９３】
このように第１共通端子９２ａ、第２共通端子９２ｂをそれぞれ複数設けることで、フレキシブルケーブル１２０の第１共通接続配線１２３Ａ及び第２共通接続配線１２３Ｂとの接続領域を複数設けることができるため、第１共通端子９２ａ、第２共通端子９２ｂとフレキシブルケーブル１２０との接合にＮＣＰやＮＣＦ等の接着剤を用いる場合、第１の方向Ｘで隣り合う第１共通端子９２ａの間、及び、第２共通端子９２ｂの間に余分な接着剤を逃がすことができ、余分な接着剤による接続不良等の不具合を抑制することができる。ちなみに、例えば、単一の接合領域の面積を広く、例えば、第１の方向Ｘに幅広となるように設けた場合、第１共通端子９２ａ及び第２共通端子９２ｂ上の余分な接着剤が逃げることができずに、第１共通端子９２ａ及び第２共通端子９２ｂと第１共通接続配線１２３Ａ及び第２共通接続配線１２３Ｂとの間に残留し、電気的な接続不良が発生する虞があるからである。
【００９４】
（実施形態４）
図１５は、本発明の実施形態４に係る記録ヘッドの要部平面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００９５】
図１５に示すように、本実施形態では、実施形態２と同様に、第１駆動素子となる一方の圧電アクチュエーター３００の列に対して、第１共通配線９２Ａを第１の方向Ｘの両側から引き出し、第２駆動素子となる他方の圧電アクチュエーター３００の列に対して、第２共通配線９２Ｂを第１の方向Ｘの両側から引き出すようにした。
【００９６】
そして、第１駆動素子３００Ａの第１共通配線９２Ａの第１共通端子９２ａ、すなわちフレキシブルケーブル１２０と接続される面積と、第２駆動素子３００Ｂの第２共通配線９２Ｂの第２共通端子９２ｂ、すなわちフレキシブルケーブル１２０と接続される面積とは異なる面積となっている。本実施形態では、第１共通配線９２Ａの第１共通端子９２ａの第１の方向Ｘの幅Ｗ１を、第２共通配線９２Ｂの第２共通端子９２ｂの第１の方向Ｘの幅Ｗ２よりも小さくすることで、第１共通端子９２ａの面積が、第２共通端子９２ｂの面積よりも小さくなるようにした。
【００９７】
ここで、本実施形態では、第１駆動素子３００Ａである圧電アクチュエーター３００と第２駆動素子３００Ｂである圧電アクチュエーター３００とは、異なる駆動信号を示す駆動波形で駆動される。
【００９８】
具体的に、第１駆動素子３００Ａを駆動する第１駆動波形と、第２駆動素子３００Ｂを駆動する第２駆動波形について図１６を参照して説明する。なお、図１６は、駆動信号を示す駆動波形である。
【００９９】
図１６（ａ）に示すように、第１駆動素子３００Ａを駆動する第１駆動波形は、ノズル開口２１からインク滴を吐出させる波形であり、基準電位ｖｂｓを維持した状態から第１電位Ｖ１まで印加して圧力発生室１２を膨張させる膨張要素Ｐ１と、膨張状態を一定時間維持する膨張維持要素Ｐ２と、第１電位Ｖ１から第２電位Ｖ２まで印加して圧力発生室１２を収縮させる収縮要素Ｐ３と、収縮状態を一定時間維持する収縮維持要素Ｐ４と、第２電位Ｖ２の収縮状態から基準電位ｖｂｓの基準容積まで圧力発生室１２を復帰させる膨張復帰要素Ｐ５と、を具備する。このようなＰ１〜Ｐ５が一定の周期で繰り返されている。
【０１００】
これに対して、図１６（ｂ）に示すように、第２駆動素子３００Ｂを駆動する第２駆動波形は、ノズル開口２１からインク滴を吐出させる波形であり、第１駆動波形と同様に、膨張要素Ｐ１、膨張維持要素Ｐ２、収縮要素Ｐ３、収縮維持要素Ｐ４及び膨張復帰要素Ｐ５を具備する。このような第２駆動波形の収縮要素Ｐ３は、第１駆動波形の収縮要素Ｐ３よりも傾き、すなわち、単位時間当たりの電位の変化率が大きくなっている。
【０１０１】
このように、第２駆動波形の収縮要素Ｐ３は、第１駆動波形の収縮要素Ｐ３に比べて単位時間あたりの電位の変化率が大きいため、第２駆動波形によって駆動する第２駆動素子３００Ｂの第２共通配線９２Ｂとフレキシブルケーブル１２０との接続部分における電気抵抗値による電圧降下への影響は、第１駆動波形によって駆動する第１駆動素子３００Ａの第１共通配線９２Ａとフレキシブルケーブル１２０との接続部分における電気抵抗値による電圧降下への影響に比べて大きい。したがって、電圧降下への影響が大きな第２共通配線９２Ｂとフレキシブルケーブル１２０との接続部分である第２共通端子９２ｂの面積を、第１共通配線９２Ａとフレキシブルケーブル１２０との接続部分である第１共通端子９２ａの面積よりも大きくすることで、接続部分における電気抵抗値を低下させて、電圧降下への影響を抑制することができる。
【０１０２】
すなわち、本実施形態では、電圧降下が発生し易い接続部分に対して接続面積を大きくし、電圧降下が発生し難い接続部分に対して接続面積を小さくしている。このように電圧降下が発生し難い第１共通配線９２Ａとフレキシブルケーブル１２０との接続部分の面積を小さくすることで、実装領域を低減して、記録ヘッド２の小型化を図ることができる。すなわち、第１共通配線９２Ａとフレキシブルケーブル１２０とを第２共通配線９２Ｂとフレキシブルケーブル１２０との接続面積と同じ面積で接続すると、第１共通端子９２ａを形成するためのスペースが必要になると共に、フレキシブルケーブル１２０を接続するためのスペースが必要になり、記録ヘッド２が大型化してしまうからである。
【０１０３】
なお、本実施形態では、電圧降下が発生し易い例として、第１駆動素子３００Ａと第２駆動素子３００Ｂとを異なる駆動波形で駆動する構成を示したが、電圧降下が発生し易くなる原因としては他の原因も考えられる。他の原因としては、例えば、第１駆動素子３００Ａと第２駆動素子３００Ｂとを同じ駆動波形で駆動する場合において、第１駆動素子３００Ａである圧電アクチュエーター３００の数と、第２駆動素子３００Ｂである圧電アクチュエーター３００の数とが異なる場合が考えられる。すなわち、第１駆動素子３００Ａである圧電アクチュエーター３００の数が少なく、第２駆動素子３００Ｂである圧電アクチュエーター３００の数が多い場合、第２駆動素子３００Ｂである圧電アクチュエーター３００を同時に駆動した際に、第２共通配線９２Ｂとフレキシブルケーブル１２０との接続面積が小さいと、電圧降下が発生してしまう。このため、第２共通配線９２Ｂとフレキシブルケーブル１２０との接触面積を大きくすることで、接続部分における電気抵抗値を低下させて、同時に駆動した際の電圧降下の影響を抑制することができる。また、第１共通配線９２Ａの第１共通端子９２ａを第２共通配線９２Ｂの第２共通端子９２ｂよりも小さな面積とすることで、記録ヘッド２の小型化を図ることができる。
【０１０４】
なお、第１駆動素子３００Ａである圧電アクチュエーター３００の数が少ない場合とは、第１の方向Ｘに並設された圧電アクチュエーター３００の列のうち、第２の方向Ｙに分割して使用する場合なども考えられる。例えば、Ｙ１側及びＹ２側に並設された圧電アクチュエーター３００の数が同じ場合であっても、一方のＹ２側の圧電アクチュエーター３００の列に対応するノズル開口２１からは同じインク、例えば、ブラックインクを噴射させ、Ｙ１側の圧電アクチュエーター３００の列を３つに分割して、分割したそれぞれの圧電アクチュエーター３００に対応するノズル開口２１から、例えば、シアン、マゼンダ、イエローのインクを噴射させるようにした場合であっても、ブラックを噴射するＹ１側の圧電アクチュエーター３００（第２駆動素子３００Ｂ）の数に対して、それぞれシアン、マゼンダ、イエローを噴射するＹ２側の圧電アクチュエーター３００（第１駆動素子３００Ａ）の数は少ないことになる。もちろん、Ｙ１側の圧電アクチュエーター３００の数と、Ｙ２側の圧電アクチュエーター３００の数とを異なる数として、少ない数の列を第１駆動素子３００Ａとしてもよい。
【０１０５】
（実施例１〜３）
上述した実施形態１と同様の記録ヘッド２において、当該記録ヘッド２の駆動素子である圧電アクチュエーター３００を駆動する駆動波形の各充放電の電位差（Ｖ）を、各充放電時間（μｓｅｃ）で割った値の合計、所謂、傾きの合計をＡ（Ｖ／μｓｅｃ）、当該記録ヘッド２に接続された外部配線基板の長さをＢ（ｍ）、外部配線基板の断面積をＣ（ｍ２）、１つの記録ヘッド２において駆動される圧電アクチュエーター３００の数をＤ（個）、としたとき、下記表１となるように、実施例１〜３の記録装置を構成した。なお、充放電には、例えば駆動波形の膨張要素や収縮要素が含まれる。また、駆動波形の各充放電の電位差とは、図１６（ａ）に示す第１駆動波形において、膨張要素Ｐ１の電位差の絶対値と、収縮要素Ｐ３の電位差の絶対値と、膨張復帰要素Ｐ５の電位差の絶対値とを合計した値である。
【０１０６】
また、Ｂは、上述した実施形態１の外部配線基板４１０のヘッドユニット１の中継基板２３０に接続された一端部から制御装置４００に接続された他端部までの長さのことである。
【０１０７】
さらに、Ｃは、外部配線基板４１０の共通外部配線４１１の断面積のことである。
【０１０８】
また、Ｄは、外部配線基板４１０の１つの共通外部配線４１１が接続された１つの記録ヘッド２において、駆動される圧電アクチュエーター３００の数である。すなわち、実施例１及び２では、１つの記録ヘッド２における８００個の圧電アクチュエーター３００を駆動し、実施例３では、１つの記録ヘッド２における４００個の圧電アクチュエーター３００を駆動している。なお、実施形態１以外の実施形態の記録ヘッド２の場合のように、例えば、フレキシブルケーブル１２０や共通外部配線４１１が２つ以上のものは、実施形態１の記録ヘッド２よりも、第１駆動素子３００Ａと第２駆動素子３００Ｂとの間でエレキクロストークが発生するのを抑制することができることは言うまでもない。
【０１０９】
（比較例１〜３）
実施形態１の記録ヘッド２に対して、２列の圧電アクチュエーターの共通電極である第１電極から引き出された第１共通配線及び第２共通配線を流路形成基板上で電気的に接続した記録ヘッドを用いて、実施例１〜３と同じ条件Ａ〜Ｄとしたものを比較例１〜３の記録装置とした。
【０１１０】
（比較例４〜６）
比較例１〜３と同じ２列の圧電アクチュエーターの第１電極が互いに導通した記録ヘッドにおいて、下記表１のＡ〜Ｄで比較例４〜６の記録装置を構成した。
【０１１１】
（試験例）
実施例１〜３、比較例１〜６の記録装置において、エレキクロストークの判定を行った。この結果を下記表１に示す。なお、エレキクロストークの判定は、記録シートＳに条件Ｄに示す圧電アクチュエーター３００の数によってテストパターンを印刷させて、印刷結果の濃度むらを測定することで行った。ちなみに印刷結果から圧電アクチュエーターの列内のエレキクロストークによる濃度むらと、圧電アクチュエーターの列間でのエレキクロストークによる濃度むらとの両方が観測できるが、下記表１には、圧電アクチュエーターの列間でのエレキクロストークによる濃度むらを観測した結果を示す。
【０１１２】
【表１】
2016088084.tif 000003
【０１１３】
表１に示すように、実施例１〜３の記録ヘッド２では、エレキクロストークによる濃度むらが観測されなかった。これに対して、Ａ〜Ｄが同じ条件となる比較例１〜３の記録ヘッドでは、エレキクロストークによる濃度むらが観測された。このため、Ａ、Ｂ、Ｃ及びＤを乗算した結果が０．００７以上（Ａ＊Ｂ＊Ｃ＊Ｄ≧０．００７）の場合において、実施形態１の記録ヘッド２の構成とすることで、圧電アクチュエーターの列間、すなわち、第１駆動素子と第２駆動素子とにおけるエレキクロストークを抑制することができる。
【０１１４】
また、外部配線基板４１０として、長いものを用いた場合、外部配線基板４１０に設けられた配線、特に共通外部配線４１１の電気抵抗値が高くなり、エレキクロストークが発生し易い。しかしながら、実施例１〜３のように実施形態１の構成の記録ヘッド２を用いることで、共通外部配線４１１の断面積Ｃを大きくして共通外部配線の電気抵抗値を下げることなく、エレキクロストークを抑制することができる。したがって、記録ヘッド２を第２の方向Ｙに往復動させる距離を長くすることができる。さらに、記録ヘッド２の往復方向である第２の方向Ｙにおいて、第２の方向Ｙに幅の広い記録シートＳにインク滴を着弾させて印刷を行うことができる。
【０１１５】
特に、上述した実施例１〜３では、条件Ａが高い場合、すなわち、傾きの合計が大きな駆動波形で駆動させた場合であっても、エレキクロストークを確実に抑制することができる。ちなみに、例えば、大ドットのインク滴（液滴）を噴射する駆動波形の傾きの合計Ａは、小さく、小ドットのインク滴（液滴）を噴射する駆動波形の傾きの合計Ａは大きくなる。したがって、条件Ａが高くて、傾きの合計が大きな小ドットを噴射させる駆動波形であっても上述した実施形態１の記録ヘッド２であれば、エレキクロストークを抑制することができる。
【０１１６】
また、比較例４〜６では、流路形成基板上において、２列の圧電アクチュエーターの第１共通配線と第２共通配線とを連通させた構成であったとしても、エレキクロストークが発生しない。このため、比較例４〜６の条件Ａ〜Ｄであっても、上述した実施形態等の記録ヘッド２と同じ構成にしても、エレキクロストークを抑制することができる。
【０１１７】
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
【０１１８】
例えば、上述した各実施形態では、第１電極６０を各圧電アクチュエーター３００の個別電極とし、第２電極８０を複数の圧電アクチュエーター３００の共通電極としたが、特にこれに限定されず、第１電極６０を複数の圧電アクチュエーター３００の共通電極とし、第２電極８０を各圧電アクチュエーター３００の個別電極としてもよい。
【０１１９】
また、上述した各実施形態では、流路形成基板１０（振動板５０）上に個別配線９１及び共通配線９２を引き出すようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、保護基板３０上に個別配線９１及び共通配線９２を引き出すようにしてもよい。すなわち、保護基板３０上において、個別配線９１及び共通配線９２とフレキシブルケーブル１２０とを接続するようにしてもよい。もちろん、保護基板３０に限定されず、流路形成基板１０（振動板５０）に接合される他の部材に個別配線９１及び共通配線９２を引き出すようにしても、本発明を適用することができる。
【０１２０】
さらに、上述した各実施形態では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる駆動素子として、薄膜型の圧電アクチュエーター３００を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、駆動素子として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。
【０１２１】
また、上述した例では、インクジェット式記録装置Ｉは、液体貯留手段であるインクカートリッジ９がキャリッジ３に搭載された構成であるが、特にこれに限定されず、例えば、インクタンク等の液体貯留手段を装置本体４に固定して、貯留手段とヘッドユニット１とをチューブ等の供給管を介して接続してもよい。また、液体貯留手段がインクジェット式記録装置に搭載されていなくてもよい。
【０１２２】
さらに、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、ヘッドユニット１がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、ヘッドユニット１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【０１２３】
また、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。また、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置Ｉを挙げて説明したが、上述した他の液体噴射ヘッドを用いた液体噴射装置にも用いることが可能である。
【符号の説明】
【０１２４】
Ｉ  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  １  インクジェット式記録ヘッドユニット（液体噴射ヘッドユニット）、  ２  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ９  インクカートリッジ、  １０  流路形成基板、  ２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル開口、  ３０  保護基板、  ４０  ケース部材、  ４５  コンプライアンス基板、  ５０  振動板、  ６０  第１電極、  ７０  圧電体層、  ８０  第２電極、  ９１  個別配線、  ９１Ａ  第１個別配線、  ９１Ｂ  第２個別配線、  ９２  共通配線、  ９２Ａ  第１共通配線、  ９２ａ  第１共通端子、  ９２Ｂ  第２共通配線、  ９２ｂ  第２共通端子、  １００  マニホールド、  １２０  フレキシブルケーブル、  １２１  駆動回路、  １２２  個別接続配線、  １２２Ａ  第１個別接続配線、  １２２Ｂ  第２個別接続配線、  １２３  共通接続配線、  １２３Ａ  第１共通接続配線、  １２３Ｂ  第２共通接続配線、  １２４  入力配線、  ２００  保持部材、  ２１０  ヘッド保持部材、  ２２０  流路部材、  ２２１  第１流路部材、  ２２２  第２流路部材、  ２３０  中継基板、  ２３３  共通中継配線、  ２３３Ａ  第１共通中継配線、  ２３３Ｂ  第２共通中継配線、  ２３４  コネクター、  ２３５  個別中継配線、  ２４０  シール部材、  ２５０  カバーヘッド、  ３００  圧電アクチュエーター（駆動素子）、  ３００Ａ  第１駆動素子、  ３００Ｂ  第２駆動素子、  ４００  制御装置、  ４１０  外部配線基板、  ４１１  共通外部配線、  ４１１Ａ  第１共通外部配線、  ４１１Ｂ  第２共通外部配線、  ４１２  個別外部配線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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