(57)【要約】【課題】簡易な構成を有するプラズマ生成素子を提供する。【解決手段】プラズマ生成素子は、誘電体バリア放電が生じることでプラズマを生成する複数のプラズマ生成部が設けられたものであって、互いに並走するとともに複数の近接位置Ｐ１が形成されるように配置された第１導電線部３２および第２導電線部４２と、複数の近接位置Ｐ１の各々に対応して、複数の近接位置Ｐ１に該当する部分の第１導電線部３２および第２導電線部４２間に配置された複数の絶縁部３３，４３とを備え、第１導電線部３２および第２導電線部４２が互いに撚り合わされることなく第１導電線部３２および第２導電線部４２のうちの少なくとも一方が蛇行して位置することにより、複数の近接位置Ｐ１に該当する部分の第１導電線部３２および第２導電線部４２と、複数の絶縁部３３，４３とにより、複数のプラズマ生成部が構成されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
誘電体バリア放電が生じることでプラズマを生成する複数のプラズマ生成部が設けられたプラズマ生成素子であって、
互いに並走するとともに互いの間の距離が短い複数の近接位置が形成されるように配置された第１導電線部および第２導電線部と、
前記複数の近接位置の各々に対応して、前記複数の近接位置に該当する部分の前記第１導電線部および前記第２導電線部間に配置された複数の絶縁部とを備え、
前記第１導電線部および前記第２導電線部が互いに撚り合わされることなく前記第１導電線部および前記第２導電線部のうちの少なくとも一方が蛇行して位置することにより、前記複数の近接位置に該当する部分の前記第１導電線部および前記第２導電線部と、前記複数の絶縁部とにより、前記複数のプラズマ生成部が構成されている、プラズマ生成素子。
【請求項２】
前記第１導電線部は、直線状に延在し、
前記第２導電線部は、波形形状に延在する、請求項１に記載のプラズマ生成素子。
【請求項３】
前記第１導電線部と前記第２導電線部とが同一平面上に並んで配置されている、請求項１または２に記載のプラズマ生成素子。
【請求項４】
前記第１導電線部および前記第２導電線部を１組の導電線部群とした場合に、前記１組の導電線部群が、複数組にわたって設けられ、
前記複数組の導電線部群の各々における、前記第１導電線部および前記第２導電線部が配置された仮想平面を、それぞれ個別設置面と定義した場合に、前記個別設置面の各々が、同一平面上に位置している、請求項３に記載のプラズマ生成素子。
【請求項５】
前記第１導電線部および前記第２導電線部を１組の導電線部群とした場合に、前記１組の導電線部群が、複数組にわたって設けられ、
前記複数組の導電線部群の各々における、前記第１導電線部および前記第２導電線部が配置された仮想平面を、それぞれ個別設置面と定義した場合に、前記個別設置面の各々が、互いに平行に位置している、請求項３に記載のプラズマ生成素子。
【請求項６】
前記絶縁部は、前記第１導電線部および前記第２導電線部の少なくとも一方が絶縁層によって被覆されることにより形成される、請求項１から５のいずれか１項に記載のプラズマ生成素子。
【請求項７】
誘電体バリア放電が生じることでプラズマを生成する複数のプラズマ生成部が設けられたプラズマ生成素子であって、
互いに並走するように配置された複数の第１導電線部と、
互いに並走するととともに前記複数の第１導電線部との間の距離が短い複数の第１近接位置が形成されるように配置された複数の第２導電線部と、
前記複数の第１近接位置の各々に対応して、前記複数の第１近接位置に該当する部分の前記第１導電線部および前記第２導電線部間に配置された複数の第１絶縁部とを備え、
前記複数の第１導電線部および前記複数の第２導電線部が互いに編み込まれることなく交差するように位置することにより、前記複数の第１近接位置が形成され、
前記複数の第１近接位置に該当する部分の前記第１導電線部および前記第２導電線部と、前記複数の第１絶縁部とにより、前記複数のプラズマ生成部が構成されている、プラズマ生成素子。
【請求項８】
前記第１導電線部および前記第２導電線部のいずれもが絶縁層によって被覆され、
前記第１導電線部を被覆する前記絶縁層および前記第２導電線部を被覆する前記絶縁層のうち少なくとも一方が窪むように前記第１導電線部を被覆する前記絶縁層および前記第２導電線部を被覆する前記絶縁層が接触している、請求項７に記載のプラズマ生成素子。
【請求項９】
前記第１導電線部を被覆する前記絶縁層の剛性は、前記第２導電線部を被覆する前記絶縁層の剛性よりも大きく、
前記複数の第１近接位置の各々において、前記第２導電線部を被覆する前記絶縁層の表面が窪むように前記第１導電線部を被覆する前記絶縁層および前記第２導電線部を被覆する前記絶縁層が接触している、請求項８に記載のプラズマ生成素子。
【請求項１０】
互いに並走するとともに前記複数の第２導電線部との間の距離が短い複数の第２近接位置が形成されるように配置された複数の第３導電線部と、
前記複数の第２近接位置の各々に対応して、前記複数の第２近接位置に該当する部分の前記第２導電線部および前記第３導電線部間に配置された複数の第２絶縁部とをさらに備え、
前記複数の第３導電線部は、前記第２導電線部から見た場合に前記第１導電線部が位置する側とは反対側に位置し、
前記複数の第２導電線部および前記複数の第３導電線部が互いに編み込まれることなく交差するように位置することにより、前記複数の第２近接位置が形成され、
前記複数の第２近接位置に該当する部分の前記第２導電線部および前記第３導電線部と、前記複数の第２絶縁部とにより、複数の前記プラズマ生成部がさらに構成されている、請求項７から９のいずれか１項に記載のプラズマ生成素子。
【請求項１１】
請求項１から１０のいずれか１項に記載のプラズマ生成素子と、
前記プラズマ生成素子に高電圧を印加する高電圧回路とを備えたプラズマ生成装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載のプラズマ生成装置と、
前記プラズマ生成装置に空気を通過させるための送風部とを備えた、電気機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、誘電体バリア放電を生じさせてプラズマを生成するプラズマ生成素子、プラズマ生成装置および電気機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
窒素や酸素を含む空気を環境下であってかつ大気圧下でプラズマを生成することができるプラズマ生成素子が開示された文献として、特許第４９８２８５１号公報（特許文献１）が挙げられる。
【０００３】
特許文献１に記載のプラズマ生成素子は、芯線が絶縁層で被覆された複数の導線を撚り合わせて撚線構造とすること、または、複数の導線を編み込んで組み合わせた組紐構造とすることにより構成される。
【０００４】
このように構成することにより、導線同士が接触する部分の近傍に微小の隙間が形成される。この状態で、導線間に電圧を印加することにより、当該隙間において誘電体バリア放電が発生する。この結果、プラズマを生成することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４９８２８５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に開示のプラズマ生成素子においては、複数の導線を撚り合わせたり編み込んだりする必要があるため、構造が複雑となり、生産性の面で難がある。また、１本の導線が破損したような場合には、撚線構造および組紐構造を構成する導線を分解して組み直す必要が生じる。
【０００７】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、簡易な構成を有するプラズマ生成素子、プラズマ生成装置および電気機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の局面に基づくプラズマ生成素子は、誘電体バリア放電が生じることでプラズマを生成する複数のプラズマ生成部が設けられたプラズマ生成素子であって、互いに並走するとともに互いの間の距離が短い複数の近接位置が形成されるように配置された第１導電線部および第２導電線部と、上記複数の近接位置の各々に対応して、上記複数の近接位置に該当する部分の上記第１導電線部および上記第２導電線部間に配置された複数の絶縁部とを備え、上記第１導電線部および上記第２導電線部が互いに撚り合わされることなく上記第１導電線部および上記第２導電線部のうちの少なくとも一方が蛇行して位置することにより、上記複数の近接位置に該当する部分の上記第１導電線部および上記第２導電線部と、上記複数の絶縁部とにより、上記複数のプラズマ生成部が構成されている。
【０００９】
上記本発明の第１の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記第１導電線部は、直線状に延在することが好ましく、上記第２導電線部は、波形形状に延在することが好ましい。
【００１０】
上記本発明の第１の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記第１導電線部と上記第２導電線部とが同一平面上に並んで配置されていることが好ましい。
【００１１】
上記本発明の第１の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記第１導電線部および上記第２導線部を１組の導電線部群とした場合に、上記１組の導電線部群が、複数組にわたって設けられることが好ましい。この場合には、上記複数組の導電線部群の各々における、上記第１導電線部および上記第２導電線部が配置された仮想平面を、それぞれ個別設置面と定義した場合に、上記個別設置面の各々が、同一平面上に位置していてもよい。
【００１２】
上記本発明の第１の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記第１導電線部および上記第２導電線部を１組の導電線部群とした場合に、上記１組の導電線部群が、複数組にわたって設けられることが好ましい。この場合には、上記複数組の導電線部群の各々における、上記第１導電線部および上記第２導電線部が配置された仮想平面を、それぞれ個別設置面と定義した場合に、上記個別設置面の各々が、互いに平行に位置していてもよい。
【００１３】
上記本発明の第１の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記絶縁部は、上記第１導電線部および上記第２導電線部の少なくとも一方が絶縁層によって被覆されることにより形成されることが好ましい。
【００１４】
本発明の第２の局面に基づくプラズマ生成素子は、誘電体バリア放電が生じることでプラズマを生成する複数のプラズマ生成部が設けられたプラズマ生成素子であって、互いに並走するように配置された複数の第１導電線部と、互いに並走するととともに上記複数の第１導電線部との間の距離が短い複数の第１近接位置が形成されるように配置された複数の第２導電線部と、上記複数の第１近接位置の各々に対応して、上記複数の第１近接位置に該当する部分の上記第１導電線部および上記第２導電線部間に配置された複数の第１絶縁部とを備え、上記複数の第１導電線部および上記複数の第２導電線部が互いに編み込まれることなく交差するように位置することにより、上記複数の第１近接位置が形成され、上記複数の第１近接位置に該当する部分の上記第１導電線部および上記第２導電線部と、上記複数の第１絶縁部とにより、上記複数のプラズマ生成部が構成されている。
【００１５】
上記本発明の第２の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記第１絶縁部は、上記第１導電線部および上記第２導電線部の少なくとも一方が絶縁層によって被覆されることにより形成されることが好ましい。
【００１６】
上記本発明の第２の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記第１導電線部および上記第２導電線部のいずれもが上記絶縁層によって被覆されることが好ましく、上記第１導電線部を被覆する上記絶縁層および上記第２導電線部を被覆する上記絶縁層のうち少なくとも一方が窪むように上記第１導電線部を被覆する上記絶縁層および上記第２導電線部を被覆する上記絶縁層が接触していることが好ましい。
【００１７】
上記本発明の第２の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記第１導電線部を被覆する上記絶縁層の剛性は、上記第２導電線部を被覆する上記絶縁層の剛性よりも大きいことが好ましく、上記複数の第１近接位置の各々において、上記第２導電線部を被覆する上記絶縁層の表面が窪むように上記第１導電線部を被覆する上記絶縁層および上記第２導電線部を被覆する上記絶縁層が接触していることが好ましい。
【００１８】
上記本発明の第２の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、互いに並走するとともに上記複数の第２導電線部との間の距離が短い複数の第２近接位置が形成されるように配置された複数の第３導電線部と、上記複数の第２近接位置の各々に対応して、上記複数の第２近接位置に該当する部分の上記第２導電線部および上記第３導電線部間に配置された複数の第２絶縁部とをさらに備えることが好ましい。この場合には、上記複数の第３導電線部は、上記第２導電線部から見た場合に上記第１導電線部が位置する側とは反対側に位置することが好ましい。また、上記複数の第２導電線部および上記複数の第３導電線部が互いに編み込まれることなく交差するように位置することにより、上記複数の第２近接位置が形成されることが好ましい。さらにこの場合には、上記複数の第２近接位置に該当する部分の上記第２導電線部および上記第３導電線部と、上記複数の第２絶縁部とにより、複数の上記プラズマ生成部がさらに構成されていることが好ましい。
【００１９】
上記本発明の第２の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記第２絶縁部は、上記第２導電線部および上記第３導電線部の少なくとも一方が絶縁層によって被覆されることにより形成されることが好ましい。
【００２０】
上記本発明に基づく第２の局面に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記第２導電線部および上記第３導電線部のいずれもが上記絶縁層によって被覆されることが好ましく、上記第２導電線部を被覆する上記絶縁層および上記第３導電線部を被覆する上記絶縁層のうち少なくとも一方が窪むように上記第２導電線部を被覆する上記絶縁層および上記第３導電線部が接触していることが好ましい。
【００２１】
本発明に基づくプラズマ生成装置は、上記のいずれかのプラズマ生成素子と、上記プラズマ生成素子に高電圧を印加する高電圧回路とを備える。
【００２２】
本発明に基づく電気機器は、上記プラズマ生成装置と、上記プラズマ生成装置に空気を通過させるための送風部とを備える。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、簡易な構成を有するプラズマ生成素子、プラズマ生成装置、電気機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】実施の形態１に係るプラズマ生成装置の概略図である。
【図２】実施の形態１に係るプラズマ生成装置の分解斜視図である。
【図３】実施の形態１に係るプラズマ生成装置の部分拡大図である。
【図４】実施の形態２に係るプラズマ生成装置の概略図である。
【図５】実施の形態２に係るプラズマ生成装置の部分拡大図である。
【図６】実施の形態３に係るプラズマ生成装置の概略図である。
【図７】実施の形態３に係るプラズマ生成装置の分解斜視図である。
【図８】実施の形態３に係るプラズマ生成装置の部分断面図である。
【図９】実施の形態４に係るプラズマ生成装置の部分断面図である。
【図１０】実施の形態５に係る空気清浄機の内部構成を示す断面図である。
【図１１】実施の形態５に係る空気清浄機の背面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照して詳細に説明する。なお、以下に示す実施の形態においては、同一のまたは共通する部分について図中同一の符号を付し、その説明は繰り返さない。また、以下に複数の実施の形態が存在する場合は、特に記載がある場合を除き、各々の実施の形態の特徴部分を適宜組み合わせることは、当初から予定されている。
【００２６】
（実施の形態１）
図１および図２は、本実施の形態に係るプラズマ生成装置の概略図および分解斜視図である。図１および図２を参照して、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００について説明する。図中においては、便宜上のため、左右方向をＸ軸方向、前後方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向として記載している。
【００２７】
図１および図２に示すように、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００は、プラズマ生成素子１および高電圧回路５０を備える。プラズマ生成素子１は、第１ユニット１０、および第２ユニット２０を含む。第２ユニット２０は、第１ユニット１０に着脱可能に装着される。
【００２８】
第１ユニット１０は、枠体１１、配線３０を含む。配線３０は、複数の第１被覆導線部３１、複数の接続部３４、および引出配線部３５を有する。配線３０は、複数の第１被覆導線部３１が複数の接続部３４によって接続されることにより構成される。なお、配線３０は、１本の被覆導線が引き回されることにより構成されていてもよい。
【００２９】
枠体１１は、複数の第１被覆導線部３１を保持する。枠体１１は、外形が略矩形形状に構成されており、長辺側と短辺側とを有する。枠体１１は、第２ユニット２０を着脱可能に取付けるための装着部１２を有する。装着部１２は、枠体１１の短辺側の内周面の一部が外周面側に後退することにより形成されている。
【００３０】
複数の第１被覆導線部３１は、直線状に延在する。複数の第１被覆導線部３１は、互いに間隔を開けて並んで配置されている。複数の第１被覆導線部３１は、枠体１１に設けられた挿通孔に一端３１ａ側および他端３１ｂ側が挿入されることにより、枠体１１に保持されている。
【００３１】
第１被覆導線部３１は、後述する第１導電線部３２（図３参照）および絶縁層３３（図３参照）を含む。第１被覆導線部３１は、第１導電線部３２が絶縁層３３にて被覆されることにより構成される。絶縁層３３を構成する材料としては、柔軟性を有する絶縁性樹脂部材を用いることができる。
【００３２】
第１被覆導線部３１の一端３１ａ側および他端３１ｂにおいては、第１導電線部３２は絶縁層３３によって被覆されておらず、第１導電線部３２が露出している。露出した第１導電線部３２が接続部３４によって接続されることにより、複数の第１導電線部３２が電気的に接続されている。具体的には、第１被覆導線部３１の一端３１ａ側同士および他端３１ｂ側同士が交互に接続部３４によって接続されることにより、複数の第１導電線部３２は、直列に接続されている。接続部３４としては、たとえば導電線を有する金属部材等を用いることができる。
【００３３】
複数の第１被覆導線部３１が並ぶ方向（Ｘ軸方向）において一方側に位置する第１被覆導線部３１は、枠体１１の外部に引き出されることにより引出配線部３５を構成する。引出配線部３５は、高電圧回路５０に接続されている。
【００３４】
第２ユニット２０は、枠体２１、配線４０を含む。配線４０は、複数の第２被覆導線部４１、複数の接続部４４、および引出配線部４５を含む。配線４０は、複数の第２被覆導線部４１が複数の接続部４４によって接続されることにより構成される。なお、配線４０は、１本の被覆導線が引き回されることにより構成されていてもよい。
【００３５】
枠体２１は、複数の第２被覆導線部４１を保持する。枠体２１は、一対のベース部２２、および複数の支持部２３を含む。一対のベース部２２のそれぞれは、枠体１１の装着部１２に対応する形状を有し、たとえば直方体形状を有する。
【００３６】
一対のベース部２２は、複数の第１被覆導線部３１の延在方向（Ｙ軸方向）に並ぶように設けられている。一対のベース部２２のそれぞれは、当該装着部１２に着脱可能に嵌り込む。ベース部２２が装着部１２に嵌り込んだ状態において、複数の第１被覆導線部３１とベース部２２とが干渉しないように、ベース部２２には切欠き部２２ａが設けられている。
【００３７】
複数の支持部２３は、一対のベース部２２を繋ぐように設けられている。複数の支持部２３は、互いに間隔を開けて並んで配置されている。複数の支持部２３は、枠体２１が枠体１１に取付けられた状態において、複数の第１被覆導線部３１に干渉しないように設けられている。複数の支持部２３は、枠体２１が枠体１１に取付けられた状態において、複数の第１被覆導線部３１間に位置し、複数の第１被覆導線部３１と交互に並ぶように配置される。
【００３８】
複数の支持部２３は、底部２４および側壁部２５，２６を有する。底部２４は、第２被覆導線部４１の形状に応じた形状を有する。底部２４上に第２被覆導線部４１が載置される。側壁部２５，２６は、底部２４の両縁部から起立するように設けられている。側壁部２５，２６は互い間隔をあけて設けられている。
【００３９】
側壁部２５，２６の間には第２被覆導線部４１が配置される。側壁部２５，２６の間隔は、第２被覆導線部４１の外径よりもわずかに大きくなっている。これにより、第２被覆導線部４１を安定して配置することができる。側壁部２５，２６には、後述する第２被覆導線部４１の折り返し部４１ｃが露出可能となるように切欠き部２７，２８が設けられている。
【００４０】
複数の第２被覆導線部４１は、たとえば蛇行形状を有する。ここで、蛇行形状とは、正弦波形状、矩形波形状、三角波形状、鋸歯状波形状等の各種の波形形状を含むものである。複数の第２被覆導線部４１は、互いに間隔を開けて並んで配置されている。複数の第２被覆導線部４１は、延在方向が変わる部分に折り返し部４１ｃを有する。複数の第２被覆導線部４１は、枠体２１に設けられた挿通孔に一端４１ａ側および他端４１ｂ側が挿入されることにより、枠体２１に保持されている。
【００４１】
第２被覆導線部４１は、後述する第２導電線部４２（図３参照）および絶縁層４３（図３参照）を含む。第２被覆導線部４１は、第２導電線部４２が絶縁層４３にて被覆されることにより構成される。
【００４２】
第２被覆導線部４１の一端４１ａ側および他端４１ｂにおいては、第２導電線部４２は絶縁層４３によって被覆されておらず、第２導電線部４２が露出している。露出した第２導電線部４２が接続部４４によって接続されることにより、複数の第２導電線部４２が電気的に接続されている。具体的には、第２被覆導線部４１の一端４１ａ側同士および他端４１ｂ側同士が交互に接続部４４によって接続されることにより、複数の第２導電線部４２は、直列に接続されている。接続部４４としては、たとえば導電性を有する金属部材等を用いることができる。
【００４３】
複数の第２被覆導線部４１が並ぶ方向において一方側に位置する第２被覆導線部４１は、枠体２１の外部（枠体２１が枠体１１に取付けられた状態にあっては、枠体１１および枠体２１の外部）に引き出されることにより引出配線部４５を構成する。引出配線部４５は、高電圧回路５０に接続されている。
【００４４】
高電圧回路５０は、高周波、高電圧を第１導電線部３２および第２導電線部４２の間に印加する。これにより、第１導電線部３２と第２導電線部４２との間に電位差を発生させる。たとえば、第１導電線部３２および第２導電線部４２に印加される電圧は、交流電圧であることが好ましい。
【００４５】
第２ユニット２０が第１ユニットに装着された装着状態においては、複数の第１導電線部３２と複数の第２導電線部４２とは交互に並ぶように配置される。また、隣り合うように互いに並走する第１導電線部３２と第２導電線部４２とを１組の導電線群とした場合に、プラズマ生成装置１００においては、１組の導電線群が複数組にわたって設けられている。複数組の導電線部群の各々における、第１導電線部３２と第２導電線部４２が配置された仮想平面を、それぞれ個別設置面ＶＰと定義した場合に、個別設置面ＶＰの各々が同一平面上に位置している。
【００４６】
図３は、本実施の形態に係るプラズマ生成装置の部分拡大図である。図３を参照して、プラズマ生成装置１００によるプラズマの生成について説明する。
【００４７】
図３に示すように、第１導電線部３２が線状に延在し、第２導電線部４２は、第１導電線部３２に撚り合わされることなく蛇行しながら延在している。このように延在する第１導電線部３２と第２導電線部４２とが互いに並走することにより、互いの間の距離が短い複数の近接位置Ｐ１が形成される。
【００４８】
近接位置Ｐ１においては、第１被覆導線部３１および第２被覆導線部４１が接触する。近接位置Ｐ１から見た場合において、近接位置Ｐ１近傍においては、第２被覆導線部４１は、第１被覆導線部３１から離れるように延在する。このため、近接位置Ｐ１近傍においては、第１被覆導線部３１および第２被覆導線部４１の間に微小な空間６０が形成される。
【００４９】
当該微小な空間６０において、所定の放電条件を充足することによりプラズマを生成することができる。具体的には、第１被覆導線部３１および第２被覆導線部４１間の距離と雰囲気圧力（流体圧力）との積に応じて決定される放電開始電圧以上の電圧が第１導電線部３２および第２導電線部４２間に印加されることにより、誘電体バリア放電が発生する。
【００５０】
プラズマが生成されると第１導電線部３２および第２導電線部４２の電位差によりプラズマ中の荷電粒子が絶縁層３３，４３の表面に蓄積され、プラズマの生成が終了する。この際、絶縁層３３の表面には第１導電線部３２とは反対の極性を有する電荷が蓄積され、絶縁層４３の表面には第２導電線部４２とは反対の極性を有する電荷が蓄積される。
【００５１】
続いて、第１導電線部３２および第２導電線部４２に対して反対の極性を有する電圧が印加されると、蓄積された電荷が作る電界と、第１導電線部３２および第２導電線部４２間に印加された電圧による電界とにより、再びプラズマが生成される。
【００５２】
第１導電線部３２および第２導電線部４２間に印加される電圧の極性が反転する毎に誘電体バリア放電が繰り返し行われる。このように、交流電圧を第１導電線部３２および第２導電線部４２間に印加することにより、プラズマを効率よく生成することができる。
【００５３】
このように、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００にあっては、複数の近接位置Ｐ１に該当する部分の第１導電線部３２および第２導電線部４２と、絶縁部としての複数の絶縁層３３，４３とにより、複数のプラズマ生成部が構成される。複数のプラズマ生成部からプラズマが発生する。
【００５４】
このようにプラズマを発生させつつ、プラズマ生成装置１００に空気等の処理対象気体を通過させることにより、処理対象気体中に存在する菌やウイルスの不活化、または、臭気等の処理対象気体中に含まれる不純物ガスの分解除去を行なうことができる。これにより処理対象気体を浄化することができる。
【００５５】
以上のように、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００は、第１導電線部３２と第２導電線部４２と撚り合わせることなく、第１導電線部３２と第２導電線部４２との間に複数の近接位置が形成されるように並走させることにより構成することができるため、簡易に構成することができる。
【００５６】
また、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００にあっては、第１導電線部３２と第２導電線部４２とは、互いに遠ざかる所定の方向（たとえばＺ軸方向）に相対的に移動させることにより引き離すことができる。このため、第１導電線部３２および第２導電線部４２のいずれかが破損した場合でも、破損した導線部を容易に交換または修正が可能となる。
【００５７】
たとえば、複数の第２導電線部４２の一部が破損した場合には、第１ユニット１０から第２ユニット２０を取り外す。第２ユニット２０の不良個所のみを交換または修理したり、取り外した第２ユニット２０を予め準備されている他の第２ユニットと交換したりすることにより、プラズマ生成装置１００を容易に修正することができる。
【００５８】
また、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００にあっては、第２導電線部４２の蛇行具合を変更し、近接位置Ｐ１の数を適宜変更することにより、プラズマ生成部の数を適宜変更することができる。これにより、プラズマ発生量を調整することもできる。
【００５９】
なお、上述した本実施の形態においては、第１導電線部３２が直線状に延在し、第２導電線部４２が波形形状に蛇行する場合を例示して説明したが、これに限定されず、第１導電線部３２および第２導電線部４２の両方が蛇行していてもよい。
【００６０】
また、第１導電線部３２と第２導電線部４２との間に複数の近接位置を形成できるとともに、互いに遠ざかる所定の方向に相対的に移動させることにより引き離すことができる限り、第１導電線部３２および第２導電線部４２は適宜形状を変更することができる。
【００６１】
（実施の形態２）
図４は、本実施の形態に係るプラズマ生成装置の概略図である。図４を参照して、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００Ａについて説明する。
【００６２】
図４に示すように、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００Ａは、実施の形態１に係るプラズマ生成装置１００と比較した場合に、複数の第１ユニット１０Ａおよび複数の第２ユニット２０Ａを含む点およびこれら複数の第１ユニット１０Ａおよび複数の第２ユニット２０Ａの構成が相違する。その他の構成についてはほぼ同様である。
【００６３】
第１ユニット１０Ａおよび第２ユニット２０Ａは、基本的に実施の形態１に係る第１ユニット１０および第２ユニット２０に準じた構成を有する。第１ユニット１０Ａは、２つの第１被覆導線部３１を含む。第１被覆導線部３１は、第１導電線部３２（図５参照）が絶縁層３３（図５参照）によって被覆されることにより構成される。第２ユニット２０Ａは、１つの第２被覆導線部４１を含む。第２被覆導電線部４１は、第２導電線部４２（図５参照）が絶縁層４３によって被覆されることにより構成される。
【００６４】
第２ユニット２０Ａおよび第１ユニット１０Ａが装着された装着状態においては、２つの第１被覆導線部３１の間に第２被覆導線部４１が位置することとなる。これら２つの第１被覆導線部３１および第２被覆導線部４１は、同一平面上に並んで配置される。
【００６５】
プラズマ生成装置１００Ａにあっては、装着状態における第１ユニット１０Ａおよび第２ユニット２０ＡがＸ軸方向に並ぶように配置されている。装着状態における第１ユニット１０Ａおよび第２ユニット２０Ａは、枠体８１の差し込み部８２に差し込まれることにより保持されている。
【００６６】
近接位置を形成し隣り合うように互いに並走する第１導電線部３２と第２導電線部４２とを１組の導電線群とした場合に、プラズマ生成装置１００Ａにおいては、１組の導電線群が複数組にわたって設けられている。複数組の導電線部群の各々における、第１導電線部３２と第２導電線部４２が配置された仮想平面を、それぞれ個別設置面ＶＰと定義した場合に、個別設置面ＶＰの各々が互いに平行に位置している。
【００６７】
図５は、本実施の形態に係るプラズマ生成装置の部分拡大図である。図５を参照して、プラズマ生成装置１００Ａによるプラズマの生成について説明する。
【００６８】
本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００Ａにあっても、第１導電線部３２が線状に延在し、第２導電線部４２は、第１導電線部３２に撚り合わされることなく蛇行しながら延在している。このように延在する第１導電線部３２と第２導電線部４２とが互いに並走することにより、互いの間の距離が短い複数の近接位置Ｐ１が形成される。
【００６９】
また、近接位置Ｐ１近傍においては、第１被覆導線部３１および第２被覆導線部４１の間に微小な空間６０が形成される。本実施の形態においても、複数の近接位置Ｐ１に該当する部分の第１導電線部３２および第２導電線部４２と、絶縁部としての複数の絶縁層３３，４３とにより、複数のプラズマ生成部が構成される。所定の放電開始電圧以上の電圧を第１導電線部３２および第２導電線部４２間に印加することにより、複数のプラズマ生成部からプラズマを発生することができる。
【００７０】
このような構成においても、実施の形態とほぼ同様の効果を得ることができる。また、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００Ａにおいては、１組の導電線群が設けられている個別設置面ＶＰに平行な方向（図５中Ｚ軸方向）に空気を通過させる際には、第１導電線部３２、第２導電線部４２およびこれを保持する枠体２１の支持部２３と、通過する空気とが接触する部分を減らすことができるため圧力損失を減らすことができる。
【００７１】
（実施の形態３）
図６は、本実施の形態に係るプラズマ生成装置の概略図である。図６においては、プラズマ生成装置１００Ｂを水平方向に配置した場合を例示している。図７は、本実施の形態に係るプラズマ生成装置の分解斜視図である。図６および図７を参照して、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００Ｂについて説明する。
【００７２】
図６および図７に示すように、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００Ｂは、プラズマ生成素子１Ｂおよび高電圧回路５０を備える。プラズマ生成素子１Ｂは、第１ユニット１０Ｂ，第２ユニット２０Ｂおよび第３ユニット１０Ｃを含む。第１ユニット１０Ｂ、第２ユニット２０Ｂおよび第３ユニット１０Ｃは、着脱可能に組み込まれる。
【００７３】
第１ユニット１０Ｂは、枠体１１Ｂ、配線３０Ｂを含む。配線３０Ｂは、複数の第１被覆導線部３１Ｂ、複数の折り返し部３４Ｂ、および引出配線部３５Ｂを有する。配線３０Ｂは、１本の被覆導線が引き回されることにより構成されている。
【００７４】
枠体１１Ｂは、複数の第１被覆導線部３１Ｂを保持する。枠体１１Ｂは、複数の貫通孔、配線引き回し用凹部１５Ｂ、嵌合凹部１６Ｂおよび突き当り部１７Ｂが設けられている。複数の貫通孔は、上述の被覆導線を挿通させるためのものである。複数の貫通孔は、配線引き回し用凹部１５Ｂに連通するように設けられている。
【００７５】
配線引き回し用凹部１５Ｂは、配線の引き回すための経路を規定する。配線引き回し用凹部１５Ｂは、枠体１１Ｂの前後方向（Ｙ軸方向）の周面に設けられる。配線引き回し用凹部１５Ｂは、枠体１１Ｂの外周面の一部が窪むことにより構成される。配線引き回し用凹部１５Ｂには、配線３０Ｂの折り返し部３４Ｂが収容される。
【００７６】
嵌合凹部１６Ｂは、後述する枠体１１Ｃの嵌合凸部１６Ｃと嵌合することにより、枠体１１Ｂと枠体１１Ｃとを着脱可能に固定する。嵌合凹部１６Ｂは、枠体１１Ｂの下端の一部が上方側に向けて後退することにより構成される。
【００７７】
突き当り部１７Ｂは、枠体１１Ｂの左右方向（Ｘ軸方向）の両端側において、枠体１１Ｂの上端側の一部が外側へ突出することにより構成される。突き当り部１７Ｂは、第１ユニット１０Ｂ、第２ユニット２０Ｂおよび第３ユニット１０Ｃが組み合わされた組合せ状態において、後述する枠体２１Ｂの上面に突き当たる。これにより、組合せ状態において第１ユニット１０Ｂの位置が安定する。
【００７８】
複数の第１被覆導線部３１Ｂは、配線３０Ｂ（一本の被覆導線）の一部である。一本の被覆導線が前後方向（Ｙ軸方向）における枠体１１Ｂの一端側および他端側で交互に折り返されることにより、複数の第１被覆導線部３１Ｂは、互いに並走するように配置される。
【００７９】
複数の第１被覆導線部３１Ｂは、Ｙ軸方向に沿って直線状に延在する。複数の第１被覆導線部３１Ｂは、互いに間隔を開けて左右方向（Ｘ軸方向）に並んで配置されている。第１被覆導線部３１Ｂは、第１導電線部３２Ｂ（図８参照）が絶縁層３３Ｂ（図８参照）にて被覆されることにより構成される。絶縁層３３Ｂとしては、絶縁性プラスチック、絶縁性セラミック等で構成される。これにより、絶縁層３３Ｂは、相当程度の高い剛性を有する。
【００８０】
複数の第１被覆導線部３１Ｂが並ぶ方向（Ｘ軸方向）において一方側において、１本の被覆導線が枠体１１Ｂの外部に引き出されることにより引出配線部３５Ｂが構成される。引出配線部３５Ｂは、高電圧回路５０に接続されている。
【００８１】
第２ユニット２０Ｂは、枠体２１Ｂ、配線４０Ｂを含む。配線４０Ｂは、複数の第２被覆導線部４１Ｂ、複数の折り返し部４４Ｂ、および引出配線部４５Ｂを含む。配線４０Ｂは、１本の被覆導線が引き回されることにより構成されている。
【００８２】
枠体２１Ｂは、配線引き回し用溝部２５Ｂを有する。配線引き回し用溝部２５Ｂは、配線引き回し用溝部２５Ｂは、枠体１１Ｂの左右方向（Ｘ軸方向）の外周面に設けられる。配線引き回し用溝部２５Ｂは、枠体１１Ｂの外周面の一部が窪むことにより構成される。配線引き回し用溝部２５Ｂ内で、配線４０Ｂが折り返される。配線引き回し用溝部２５Ｂ内には、配線４０Ｂの折り返し部４４Ｂが収容される。
【００８３】
複数の第２被覆導線部４１Ｂは、配線４０Ｂ（一本の被覆導線）の一部である。一本の被覆導線が左右方向（Ｘ軸方向）における枠体１１Ｂの一方側および他方側で交互に折り返されることにより、複数の第２被覆導線部４１Ｂは、互いに並走するように配置される。
【００８４】
複数の第２被覆導線部４１Ｂは、第１被覆導線部３１Ｂと交差する方向に沿って延在する。具体的には、複数の第２被覆導線部４１Ｂは、Ｘ軸方向に沿って直線状に延在する。複数の第２被覆導線部４１Ｂは、互いに間隔を開けて前後方向（Ｙ軸方向）に並んで配置されている。第２被覆導線部４１Ｂは、第２導電線部４２Ｂが絶縁層４３Ｂにて被覆されることにより構成される。絶縁層４３Ｂとしては、絶縁性プラスチック、絶縁性セラミック等で構成される。これにより、絶縁層４３Ｂは、相当程度の高い剛性を有する。
【００８５】
複数の第２被覆導線部４１Ｂが並ぶ方向（Ｙ軸方向）において一方側において、１本の被覆導線が枠体２１Ｂの外部に引き出されることにより引出配線部４５Ｂが構成される。引出配線部４５Ｂは、高電圧回路５０に接続されている。
【００８６】
第３ユニット１０Ｃは、枠体１１Ｃ、配線３０Ｃを含む。配線３０Ｃは、複数の第３被覆導線部３１Ｃ、複数の折り返し部３４Ｃ、および引出配線部３５Ｃを有する。配線３０Ｃは、１本の被覆導線が引き回されることにより構成されていている。
【００８７】
枠体１１Ｃは、複数の第３被覆導線部３１Ｃを保持する。枠体１１Ｃは、複数の貫通孔、配線引き回し用凹部１５Ｃ、嵌合凸部１６Ｃおよび突き当り部１７Ｃが設けられている。複数の貫通孔は、上述の被覆導線を挿通させるためのものである。複数の貫通孔は、配線引き回し用凹部１５Ｃに連通するように設けられている。
【００８８】
配線引き回し用凹部１５Ｃは、配線の引き回すための経路を規定する。配線引き回し用凹部１５Ｃは、枠体１１Ｃの周面の一部が窪むことにより構成される。配線引き回し用凹部１５Ｃには、配線３０Ｃの折り返し部３４Ｃが収容される。
【００８９】
嵌合凸部１６Ｃは、枠体１１Ｂの嵌合凹部１６Ｂと嵌合することにより、枠体１１Ｂと枠体１１Ｃとを着脱可能に固定する。嵌合凸部１６Ｃは、枠体１１Ｃの上端の一部が上方に向けて突出することにより構成される。嵌合凸部１６Ｃは、嵌合凹部１６Ｂに対応する位置に設けられている。
【００９０】
突き当り部１７Ｃは、枠体１１Ｃの左右方向の両端側において、枠体１１Ｃの下端側の一部が外側へ突出することにより構成される。突き当り部１７Ｃは、第１ユニット１０Ｂ、第２ユニット２０Ｂおよび第３ユニット１０Ｃが組み合わされた組合せ状態において、後述する枠体２１Ｂの下面に突き当たる。これにより、組合せ状態において第３ユニット１０Ｃの位置が安定する。
【００９１】
複数の第３被覆導線部３１Ｃは、配線３０Ｃ（一本の被覆導線）の一部である。一本の被覆導線が前後方向（Ｙ軸方向）における枠体１１Ｃの一端側および他端側で交互に折り返されることにより、複数の第３被覆導線部３１Ｃは、互いに並走するように配置される。
【００９２】
複数の第３被覆導線部３１Ｃは、第２被覆導線部４１Ｂと交差する方向に沿って延在する。また、複数の第３被覆導線部３１Ｃは、第１被覆導線部３１Ｂと平行な方向に延在する。
【００９３】
具体的には、複数の第３被覆導線部３１Ｃは、Ｙ軸方向に沿って直線状に延在する。複数の第３被覆導線部３１Ｃは、互いに間隔を開けて左右方向（Ｘ軸方向）に並んで配置されている。第３被覆導線部３１Ｃは、第３導電線部３２Ｃが絶縁層３３Ｃにて被覆されることにより構成される。絶縁層３３Ｃとしては、絶縁性プラスチック、絶縁性セラミック等で構成される。これにより、絶縁層３３Ｃは、相当程度の高い剛性を有する。
【００９４】
複数の第３被覆導線部３１Ｃが並ぶ方向（Ｘ軸方向）において一方側において、１本の被覆導線が枠体１１Ｃの外部に引き出されることにより引出配線部３５Ｃが構成される。引出配線部３５Ｃは、高電圧回路５０に接続されている。
【００９５】
第１ユニット１０Ｂ、第２ユニット２０Ｂおよび第３ユニット１０Ｃを組み合わせる際には、まず、図７中矢印Ａに示すように、第１ユニット１０Ｂの外周面が第２ユニット２０Ｂの内周面に対向するように上方側から第１ユニット１０Ｂを第２ユニット２０Ｂに嵌め込む。この際、第１ユニット１０Ｂの突き当り部１７Ｂが第２ユニットの枠体２１Ｂの上面に突き当たる。
【００９６】
続いて、図７中矢印Ｂに示すように、第３ユニット１０Ｃの外周面が第２ユニット２０Ｂの内周面に対向するように下方側から第３ユニット１０Ｃを第２ユニット２０Ｂに嵌め込む。この際、第１ユニット１０Ｂの嵌合凹部１６Ｂと第３ユニット１０Ｃの嵌合凸部１６Ｃとが嵌合するとともに、第３ユニット１０Ｃの突き当り部１７Ｃが第２ユニットの枠体２１の下面に突き当たる。これにより、第１ユニット１０Ｂ、第２ユニット２０Ｂおよび第３ユニット１０Ｃが組み合わされる。
【００９７】
図８は、本実施の形態に係るプラズマ生成装置の部分断面図である。図６および図８を参照して、プラズマ生成装置１００Ｂによるプラズマの生成について説明する。
【００９８】
図６および図８に示すように、第１ユニット１０Ｂ、第２ユニット２０Ｂおよび第３ユニット１０Ｃが組み合わされた組合せ状態においては、互い並走する複数の第１導電線部３２Ｂと、互いに並走する複数の第２導電線部４２Ｂとが異なる方向に延在することにより、互いの間の距離が短い複数の第１近接位置Ｐ１が形成される。
【００９９】
具体的には、複数の第１近接位置Ｐ１は、複数の第１導電線部３２Ｂおよび複数の第２導電線部４２Ｂが互いに編み込まれることなく交差するように位置することにより形成される。
【０１００】
第１近接位置Ｐ１においては、第１被覆導線部３１Ｂおよび第２被覆導線部４１Ｂが接触する。この場合には、第１被覆導線部３１Ｂの表面を構成する絶縁層３３Ｂと第２被覆導線部４１Ｂの表面を構成する絶縁層４３Ｂとが高い剛性を有することから、第１被覆導線部３１Ｂおよび第２被覆導線部４１Ｂは、互いに点接触する。第１近接位置Ｐ１近傍においては、第１被覆導線部３１Ｂおよび第２被覆導線部４１Ｂの間に微小な空間６０が形成される。
【０１０１】
また、第１ユニット１０Ｂ、第２ユニット２０Ｂおよび第３ユニット１０Ｃが組み合わされた組合せ状態においては、互い並走する複数の第２導電線部４２Ｂと、互いに並走する複数の第３導電線部３２Ｃとが異なる方向に延在することにより、互いの間の距離が短い複数の第２近接位置Ｐ２が形成される。
【０１０２】
具体的には、複数の第２近接位置Ｐ２は、複数の第２導電線部４２Ｂおよび複数の第３導電線部３２Ｃが互いに編み込まれることなく交差するように位置することにより形成される。
【０１０３】
第２近接位置Ｐ２においては、第２被覆導線部４１Ｂおよび第３被覆導線部３１Ｃが接触する。第３被覆導線部３１Ｃは、第２被覆導線部４１Ｂから見た場合に、第１被覆導線部３１Ｂとは反対側から第２被覆導線部４１Ｂに接触する。
【０１０４】
この場合には、第２被覆導線部４１Ｂの表面を構成する絶縁層４３Ｂと第３被覆導線部３１Ｃの表面を構成する絶縁層３３Ｃとが高い剛性を有することから、第２被覆導線部４１Ｂと第３被覆導線部３１Ｃとが互いに点接触する。第２近接位置Ｐ２近傍においては、第２被覆導線部４１Ｂおよび第３被覆導線部３１Ｃの間に微小な空間６０が形成される。
【０１０５】
本実施の形態においても、実施の形態１同様に、当該微小な空間６０において、所定の放電条件を充足することによりプラズマを生成することができる。
【０１０６】
具体的には、第１被覆導線部３１Ｂおよび第２被覆導線部４１Ｂ間の距離と雰囲気圧力（流体圧力）との積に応じて決定される放電開始電圧以上の電圧が第１導電線部３２Ｂおよび第２導電線部４２Ｂ間に印加されることにより、誘電体バリア放電が発生する。
【０１０７】
このように、複数の第１近接位置Ｐ１に該当する部分の第１導電線部３２Ｂおよび第２導電線部４２Ｂと、複数の第１絶縁部としての絶縁層３３Ｂ，４３Ｂとにより、複数のプラズマ生成部が構成される。これら複数のプラズマ生成部からプラズマが発生する。
【０１０８】
また、第２被覆導線部４１Ｂおよび第３被覆導線部３１Ｃ間の距離と雰囲気圧力（流体圧力）との積に応じて決定される放電開始電圧以上の電圧が第２導電線部４２Ｂおよび第３導線線部３２Ｃ間に印加されることにより、誘電体バリア放電が発生する。
【０１０９】
このように、複数の第２近接位置Ｐ２に該当する部分の第２導電線部４２Ｂおよび第３導電線部３２Ｃと、複数の第２絶縁部としての絶縁層４３Ｂ，３３Ｃにより、複数のプラズマ生成部がさらに構成される。これら複数のプラズマ生成部からプラズマが発生する。
【０１１０】
以上のように、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００Ｂは、複数の第１導電線部３２Ｂと複数の第２導電線部４２Ｂとを互いに編み込むことなく、交差する位置に配置することにより構成することができるため、簡易に構成することができる。
【０１１１】
同様に、複数の第２導電線部４２Ｂと複数の第３導電線部３２Ｃとを互いに編み込むことなく、交差する位置に配置することにより構成することができるため、簡易に構成することができる。
【０１１２】
また、本実施の形態においても第１導電線部３２Ｂと第２導電線部４２Ｂとは、互いに遠ざかる所定の方向に相対的に移動させることにより引き離すことができる。同様に第２導電線部４２Ｂと第３導電線部３２Ｃとは、互いに遠ざかる所定の方向に相対的に移動させることにより、引き離すことができる。このため、第１導電線部３２Ｂ、第２導電線部４２Ｂおよび第３導電線部３２Ｃのいずれかが破損した場合でも、破損した導線部を容易に交換または修正が可能となる。
【０１１３】
より具体的には、第１ユニット１０Ｂを第２ユニット２０Ｂの上方に移動させることにより第１ユニット１０Ｂを第２ユニット２０Ｂから取り外したり、第３ユニット１０Ｃを第２ユニット２０Ｂの下方に移動させることにより第３ユニット１０Ｃを第２ユニット２０Ｂから取り外したりする。その後、第１ユニット１０Ｂ、第２ユニット２０Ｂおよび第３ユニット１０Ｃのうち不良個所を有するものを他のユニットに交換したり、修理したりする。これにより、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００Ｂにあってもリペア性が向上する。
【０１１４】
また、本実施の形態においても、第１導電線部３２Ｂ、第２導電線部４２Ｂおよび第３導電線部３２Ｃの本数を適宜変更することにより、容易にプラズマの生成量を調整することができる。
【０１１５】
なお、上述した実施の形態においては、プラズマ生成装置１００Ｂが、第１ユニット１０Ｂ、第２ユニット２０Ｂおよび第３ユニット１０Ｃを備える場合を例示して説明したが、これに限定されず、プラズマ生成装置１００Ｂは、第１ユニット１０Ｂと第２ユニット２０Ｂとによって構成されていてもよいし、第２ユニット２０Ｂと第３ユニット１０Ｃとによって構成されていてもよい。また、４つ以上のユニットが組み合わされることにより構成されてもよい。
【０１１６】
実施の形態のように、第１ユニット１０Ｂ、第２ユニット２０Ｂおよび第３ユニット１０Ｃを備える場合には、Ｚ軸方向における第２ユニット２０Ｂの第２被覆導線部４１Ｂの上端側および下端側の両側にてプラズマを生成することができるため、プラズマを効率よく発生させることができる。
【０１１７】
（実施の形態４）
図９は、本実施の形態に係るプラズマ生成装置の部分断面図である。図９を参照して、本実施の形態に係るプラズマ生成装置について説明する。
【０１１８】
図９に示すように、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００Ｃは、実施の形態３に係るプラズマ生成装置１００Ｂと比較した場合に、第２被覆導線部４１Ｃの表面を構成する絶縁層４３Ｃの構成が相違する。
【０１１９】
絶縁層４３Ｃは、絶縁層３３Ｂ，３３Ｃよりも剛性が低く、柔軟性を有する絶縁性樹脂部材等で構成されている。絶縁層４３Ｃが上記のように構成されることにより、第１近接位置Ｐ１においては、第２導電線部４２Ｃを被覆する絶縁層４３Ｃの表面が窪むように第１導電線部３２Ｂを被覆する絶縁層３３Ｂと第２導電線部４２Ｃを被覆する絶縁層４３Ｃとが接触する。すなわち、第１被覆導線部３１Ｂと第２被覆導線部４１Ｃとが面接触する。
【０１２０】
第１被覆導線部３１Ｂと第２被覆導線部４１Ｃとが面接触することにより、第１被覆導線部３１Ｂと第２被覆導線部４１Ｃとの間に微小な空間を形成しつつ、第１導電線部３２Ｂと第２導電線部４２Ｃとの距離をより近づけることができる。これにより、第１近接位置Ｐ１近傍において、プラズマをより安定して生成することができる。
【０１２１】
また、第２近接位置Ｐ２においては、第２導電線部４２Ｃを被覆する絶縁層４３Ｃの表面が窪むように第３導電線部３２Ｃを被覆する絶縁層３３Ｃと第２導電線部４２Ｃを被覆する絶縁層４３Ｃとが接触する。すなわち、第３被覆導線部３１Ｃと第２被覆導線部４１Ｃとが面接触する。
【０１２２】
第２被覆導線部４１Ｃと第３被覆導線部３１Ｃとが面接触することにより、第２被覆導線部４１Ｃと第３被覆導線部３１Ｃとの間に微小な空間を形成しつつ、第２導電線部４２Ｃと第３導電線部３２Ｃとの距離をより近づけることができる。これにより、第２近接位置Ｐ２近傍において、プラズマをより安定して生成することができる。
【０１２３】
以上のような構成とすることにより、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００Ｃにあっては、実施の形態１に係るプラズマ生成装置１００と同等以上の効果を得ることができる。特に、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００Ｃにあっては、上述のようにより安定してプラズマを生成することができる。
【０１２４】
なお、本実施の形態にあっては、絶縁層４３Ｃの剛性が絶縁層３３Ｂ，３３Ｃの剛性よりも低く、絶縁層４３Ｃが柔軟性を有する場合を例示して説明したが、これに限定されず、絶縁層４３Ｃの剛性が絶縁層３３Ｂ，３３Ｃの剛性よりも高く、絶縁層３３Ｂ，３３Ｃが柔軟性を有していてもよい。また、絶縁層３３Ｂ，３３Ｃ，４３Ｃのいずれもが低い剛性を有し、柔軟性を有していてもよい。
【０１２５】
（実施の形態５）
図１０は、本実施の形態に係る空気清浄機の内部構成を示す断面図である。図１１は、本実施の形態に係る空気清浄機の背面図である。図１０および図１１を参照して、本実施の形態に係る空気清浄機２００について説明する。なお、空気清浄機２００は、プラズマ生成装置を具備する電子機器の一例であり、プラズマ生成装置としては、たとえば実施の形態１に係るプラズマ生成装置１００が用いられる。
【０１２６】
図１０および図１１に示すように、空気清浄機２００は、プラズマ生成装置１００、吸込口２２０および吹出口２３０が設けられた本体部２１０、送風経路２４０および送風部としての送風機２５０を備える。
【０１２７】
吸込口２２０は、本体部２１０の背面側に設けられている。吹出口２３０は、本体部２１０の上方に設けられている。送風経路２４０は、本体部２１０内に設けられ、吸込口２２０および吹出口２３０を接続する。送風経路２４０内には、送風機２５０が設けられている。送風経路２４０の一部は、送風機２５０のケーシングによって規定される。
【０１２８】
送風機２５０は、吸込口２２０から吸い込んだ空気を吹出口２３０に向けて送風する。送風機２５０としては、シロッコファン、クロスフローファン等の各種の送風機を採用することができる。
【０１２９】
プラズマ生成装置１００は、送風経路２４０に配置される。具体的には、プラズマ生成装置１００は、吸込口２２０近傍の位置や、送風機２５０と吹出口２３０との間に位置する送風経路２４０に配置される。
【０１３０】
このようにプラズマ生成装置１００を配置し、プラズマを生成しつつプラズマ生成装置１００に空気を通過させることにより、空気中に存在する菌やウイルスの不活化、または、臭気等の空気中に含まれる不純物ガスの分解除去を行なうことができる。これにより、吸込口２２０から吸い込まれる空気および吹出口２３０から吹出されることとなる空気を浄化することができる。これにより、吹出口２３０から清浄な空気を吹出すことができる。
【０１３１】
なお、本実施の形態においては電気機器の一例として空気清浄機について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、電気機器は、これ以外に空気調和機（エアコンディショナー）、冷蔵機器、掃除機、加湿器、除湿機などであってもよく、空気を吸込んで送風する際に、プラズマ生成装置１００に空気を通過させるための送風部を有する電気機器であればよい。
【０１３２】
また、本実施の形態においては、プラズマ生成装置として実施の形態１に係るプラズマ生成装置１００を用いる場合を例示して説明したが、これに限定されず、実施の形態２から４に係るプラズマ生成装置１００Ａ〜１００Ｃのいずれかが用いられてもよい。
【０１３３】
上述した実施の形態１から４においては、第１導電線部および第２導電線部の両方が絶縁層によって被覆される場合を例示して説明したが、これに限定されず、近接位置Ｐ１の近傍において、第１導電線部３２および第２導電線部４２の間において第１導電線部３２および第２導電線部４２の少なくともいずれかに接触する態様で絶縁層が設けられていればよい。
【０１３４】
具体的には、少なくとも近接位置Ｐ１近傍において第１導線線部および第２導電線部の少なくともいずれかが絶縁層に覆われていればよい。この場合においては、第１導電線部および第２導電線部の間において絶縁層が介在する限り、必ずしも第１導電線部および第２導電線部が周方向全体に絶縁層によって覆われていなくてもよい。
【０１３５】
また、本実施の形態においては、近接位置Ｐ１において、第１被覆導線部および第２被覆導線部が接触する場合を例示して説明したが、これに限定されず、近接位置Ｐ１においてプラズマ生成可能な隙間が形成できる限り、第１被覆導線部および第２被覆導線部が離間していてもよい。
【０１３６】
なお、上述した近接位置Ｐ１での第１導電性部材、第２導電性部材および絶縁層の関係は、実施の形態４における近接位置Ｐ２での第２導電性部材、第３導電性部材および絶縁層の関係に適用することができる。また、近接位置Ｐ２において、第２被覆導線部と第３被覆導線部とは互いに離間していてもよい。
【０１３７】
また、実施の形態１から４においては、複数の第１導電線部、複数の第２導電線部がそれぞれ直列に電気的に接続される場合を例示して説明した、並列に電気的に接続してもよい。
【０１３８】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【符号の説明】
【０１３９】
１，１Ｂ  プラズマ生成素子、１０，１０Ａ，１０Ｂ  第１ユニット、１０Ｃ  第３ユニット、１１，１１Ｂ，１１Ｃ  枠体、１２  装着部、１５Ｂ，１５Ｃ  配線引き回し用凹部、１６Ｂ  嵌合凹部、１６Ｃ  嵌合凸部、１７Ｂ，１７Ｃ  突き当り部、２０，２０Ａ，２０Ｂ  第２ユニット、２１，２１Ｂ  枠体、２２  ベース部、２２ａ  切欠き部、２３  支持部、２４  底部、２５  側壁部、２５Ｂ  配線引き回し用溝部、２６  側壁部、２７，２８  切欠き部、３０，３０Ｂ，３０Ｃ  配線、３１，３１Ｂ  第１被覆導線部、３１Ｃ  第３被覆導線部、３２，３２Ｂ  第１導電線部、３２Ｃ  第３導電線部、３３，３３Ｂ，３３Ｃ  絶縁層、３４  接続部、３４Ｂ，３４Ｃ  折り返し部、３５，３５Ｂ，３５Ｃ  引出配線部、４０，４０Ｂ  配線、４１，４１Ｂ，４１Ｃ  第２被覆導線部、４１ｃ，４４Ｂ  折り返し部、４２，４２Ｂ，４２Ｃ  第２導電線部、４３，４３Ｂ，４３Ｃ  絶縁層、４４  接続部、４４Ｂ  折り返し部、４５，４５Ｂ  引出配線部、５０  高電圧回路、６０  空間、８１  枠体、８２  差し込み部、１００，１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ  プラズマ生成装置、２００  空気清浄機、２１０  本体部、２２０  吸込口、２３０  吹出口、２４０  送風経路、２５０  送風機。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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