(57)【要約】【課題】荷物に対して吊下げ部材を円滑で正確に位置合わせすることができるリフト装置を提供すること。【解決手段】リフト装置１は、昇降動作により荷物Ｗの揚重可能なリフト装置１であって、荷物Ｗの幅方向両側に少なくとも１本ずつ立設され、それぞれが伸縮自在の伸縮支柱２と、伸縮支柱２の間に渡される第１部材３と、荷物Ｗに対して係合可能な吊下げ部材８を有し、第１部材３に取付けられ、荷物Ｗの幅方向に沿って移動自在の第２部材４と、を備える。【選択図】図２
2016088669.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
昇降動作により荷物の揚重可能なリフト装置であって、
前記荷物の幅方向両側に少なくとも１本ずつ立設され、それぞれが伸縮自在の伸縮支柱と、
前記伸縮支柱の間に渡される第１部材と、
前記荷物に対して係合可能な吊下げ部材を有し、前記第１部材に取付けられ、前記荷物の幅方向に沿って移動自在の第２部材と、を備える、
リフト装置。
【請求項２】
前記第１部材は、前記荷物の幅方向に延在する梁部材であり、少なくとも２本が平行又は略平行に設けられ、
前記第２部材は、前記第１部材に渡されて取付けられる梁部材である、
請求項１に記載のリフト装置。
【請求項３】
前記第２部材は、２本設けられ、前記第１部材の両端部において前記第２部材がそれぞれ渡された状態となる格納位置と、前記吊下げ部材が荷物に係合する際に固定される作業位置とのいずれかに配置される、
請求項２に記載のリフト装置。
【請求項４】
前記第１部材に設けられ、前記第２部材を作業位置に保持可能なストッパと、
前記第２部材に設けられ、前記ストッパに当接可能であり、前記ストッパに当接しない位置まで移動可能な固定解除部材と、を備え、
前記固定解除部材が前記ストッパに当接した状態では前記第２部材が前記作業位置に保持され、前記固定解除部材が移動した状態では前記第２部材が作業位置から前記格納位置に移動可能になる、
請求項３に記載のリフト装置。
【請求項５】
前記吊下げ部材が係合する前記荷物とは別の荷物に対して係合可能な第２吊下げ部材を有し、前記第２部材の間において前記第１部材の間に渡され、前記荷物の幅方向に沿って移動自在の第３部材を備える、
請求項３又は４に記載のリフト装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リフト装置に関し、特に、荷物に対して吊下げ部材を円滑で正確に位置合わせすることができるリフト装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば特許文献１に記載されているように、トラックの荷台に配置されて輸送可能であり、伸縮支柱の下部に走行駆動手段を備えた走行台車が配置されている自走式リフター装置があった。これによって、該自走式リフター装置は、トラックの荷台に搭載されて輸送されるときには全高を低く抑えることができ、トラックを駐車状態にして外側に張り出した伸縮支柱を荷物の揚重作業のために伸縮するときには伸縮ストロークをある程度確保することができる（特許文献１の請求項１、段落［００４４］〜［００５０］、及び図１〜５参照。）。
また、ユニット住宅のような大型搬送物を、宙吊りではなく、搬送物の下方から横向き受片を挿入して持ち上げることによって、宙吊り時にリフターの移動慣性で生じる偏荷重等の問題点を解消し、フォークリフトによる搬送よりも安全で保管効率の良い自走式門型リフター（特許文献２の請求項１、段落［００６２］〜［００７６］、図２、４及び５参照。）が知られている。
【０００３】
リフター装置を用いて荷物の揚重作業を行う場合、まず荷物に対して係合状態又は係止状態にされる吊下げ部材の位置合わせを行う必要がある。
【０００４】
上記特許文献に記載の発明においては、吊下げ部材を移動させて位置合わせするのではなく、特許文献１に記載の支持具、又は特許文献２に記載の横向き受片等が、荷物に対して適切な部位に接触するように、リフター装置自体が走行等によって移動して吊下げ部材の荷物に対する位置合わせを行うようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−１５６０４７号公報
【特許文献２】特開２００５−２４７４６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
例えば半導体製造装置等の精密機器における種々の部品の揚重作業を行う場合は、荷物を水平状態に維持しつつ、従来では許容される程度の荷物のブレ、振動及び衝撃等を生じさせないことが要求されることがある。この場合、吊下げ部材を荷物に対して正確に位置合わせをした上で、揚重することが必須である。
【０００７】
よって、本発明が解決しようとする課題は、荷物に対して吊下げ部材を円滑で正確に位置合わせすることができるリフト装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するための手段として、本発明に係るリフト装置は、昇降動作により荷物の揚重可能なリフト装置であって、荷物の幅方向両側に少なくとも１本ずつ立設され、それぞれが伸縮自在の伸縮支柱と、伸縮支柱の間に渡される第１部材と、荷物に対して係合可能な吊下げ部材を有し、第１部材に取付けられ、荷物の幅方向に沿って移動自在の第２部材と、を備える。
【０００９】
また、本発明に係るリフト装置は、第１部材は、荷物の幅方向に延在する梁部材であり、少なくとも２本が平行又は略平行に設けられ、第２部材は、第１部材に渡されて取付けられる梁部材であるのが好ましい。
【００１０】
また、本発明に係るリフト装置は、第２部材は、２本設けられ、第１部材の両端部において第２部材がそれぞれ渡された状態となる格納位置と、吊下げ部材が荷物に係合する際に固定される作業位置とのいずれかに配置されるのが好ましい。
【００１１】
また、本発明に係るリフト装置は、第１部材に設けられ、第２部材を作業位置に保持可能なストッパと、第２部材に設けられ、ストッパに当接可能であり、ストッパに当接しない位置まで移動可能な固定解除部材と、を備え、固定解除部材がストッパに当接した状態では第２部材が作業位置に保持され、固定解除部材が移動した状態では第２部材が作業位置から格納位置に移動可能になるのが好ましい。
【００１２】
また、本発明に係るリフト装置は、吊下げ部材が係合する荷物とは別の荷物に対して係合可能な第２吊下げ部材を有し、第２部材の間において第１部材の間に渡され、荷物の幅方向に沿って移動自在の第３部材を備えるのが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によると、吊下げる荷物が重量物であり、高い精度を以って位置合わせが必要な場合であっても、第２部材が荷物の幅方向に移動自在であるので、吊下げ部材を有する第２部材の正確な位置合わせを円滑に行うことが可能なリフト装置を提供することができる。
【００１４】
また、本発明の好ましい形態によると、第２部材が第１部材に渡される梁部材であることにより、第１部材の間において複数の吊下げ部材が第２部材に配置可能である。よって、第２部材の位置合わせにより、複数の吊下げ部材を一挙にかつ正確に位置合わせを円滑に行うことが可能なリフト装置を提供することができる。
【００１５】
本発明の他の好ましい形態によると、荷物として例えば半導体製造装置の部品を採用する場合、２本の第２部材がそれぞれ格納位置又は作業位置において円滑で正確な位置合わせが可能なリフト装置を提供することができる。これにより、第２部材が格納位置に配置されるとリフト装置が作業領域に対して搬入出可能になり、第２部材が作業位置に配置されると荷物の揚重作業が可能になる。
【００１６】
本発明の他の好ましい形態によると、固定解除部材をスライドすることによりストッパに当接しなくなるので、第２部材を格納位置と作業位置との間で移動させる際に、ストッパを第１部材に取付けるためのボルト等の取付用部材を着脱する必要が無くなる。したがって、第２部材の正確な位置合わせをより一層円滑に行うことが可能なリフト装置を提供することができる。
【００１７】
本発明の他の好ましい形態によると、第３部材を設けることによって、吊下げ部材を荷物に対して円滑で正確な位置合わせを行うことができるだけでなく、例えば荷物の上に載置されて成る別の荷物に対する第２吊下げ部材の正確な位置合わせも円滑に行うことが可能なリフト装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態を示すリフト装置の平面図である。
【図２】リフト装置を後方から前方に向かって見たときの側面図である。
【図３】リフト装置を右方から左方に向かって見たときの側面図である。
【図４】図１〜図３に示したリフト装置の一部拡大概略図である。図４（Ａ）は図３に示したリフト装置の一部拡大概略図であり、図４（Ｂ）は図２に示したリフト装置の一部拡大概略図であり、図４（Ｃ）は図４（Ａ）に示した固定解除部材の動作説明のためのリフト装置の一部拡大概略図である。
【図５】第２部材が作業位置及び格納位置にそれぞれ配置されて成るリフト装置の一部を拡大した概略図である。図５（Ａ）は、第２部材が作業位置及び格納位置にそれぞれ配置されて成るリフト装置を後方から前方に向って見たときの一部を拡大した側面図である。図５（Ｂ）は、第２部材が作業位置及び格納位置にそれぞれ配置されて成るリフト装置を上方から下方に向って見たときの一部を拡大した平面図である。
【図６】図２に示したリフト装置の搬入出口を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下に、本発明に係るリフト装置について、図面を参照しつつ説明する。
まず本発明の一実施形態に係るリフト装置１の概要について図１〜図３を参照しつつ説明する。図１は、本発明の一実施形態を示すリフト装置１の平面図である。図２は、リフト装置１を後方から前方に向かって見たときの側面図である。図３は、リフト装置１を右方から左方に向かって見たときの側面図である。
【００２０】
図１に示すように、リフト装置１は、４本の伸縮支柱２と、２本の第１部材３と、２本の第２部材４と、２本の第３部材５と、２つの走行部材６とを備えている。
【００２１】
なお、本実施形態に係るリフト装置１は、図１〜図２において二点鎖線で示す荷物Ｗ、例えば半導体製造装置の容器における蓋部材及び該蓋部材の上方に載置される他の部品等を揚重する作業、更に別の領域まで搬送する作業に用いることができる。本発明に係るリフト装置は、揚重する荷物が半導体製造装置の一部品に限られず、例えば荷物を水平状態に維持しつつ、ブレ、振動及び衝撃等を生じさせないように揚重することが求められている荷物に対して適用することができる。
【００２２】
４本の伸縮支柱２は、それぞれが伸縮自在の棒状部材又は筒状部材である。図１に示すように伸縮支柱２は、前後方向に沿って左右両側に２本ずつ並設される。また、図２及び図３に示すように伸縮支柱２は、リフト装置１の接地面に対して略直交して立設されている。更に、左側に２本配置される伸縮支柱２は、それぞれが後述の左側の走行部材６の上部に立設され、右側に２本配置される伸縮支柱２も同様に、それぞれが後述の右側の走行部材６の上部に立設されている。
なお、４本の伸縮支柱２は、本発明における伸縮支柱の一例である。本発明における伸縮支柱は、荷物の幅方向両側、図１における荷物Ｗの左右両側に少なくとも１本ずつ配置されれば良く、３本以上ずつ設けられていても良い。また、荷物Ｗの形状が一部の高さが他の部位に比べて高く形成されている場合には、後述の第１部材３及び第２部材４の形状を適宜に変更した上で、本発明における伸縮支柱はそれぞれが独立して伸縮自在であっても良い。
【００２３】
伸縮支柱２の伸縮機構としては、特に制限されないが、例えば半導体製造装置の部品の揚重作業ではミリ単位での昇降制御が必要となることがあるので、微少な昇降制御が容易な伸縮機構、具体的には電動モータとボールネジとを組み合わせた機構等を採用するのが好ましい。
【００２４】
２つの走行部材６は、特に図２及び図３に示すように各伸縮支柱２の下端部に取付けられ、リフト装置１全体を前後方向に沿って移動可能にする駆動力を発生させる部材である。図１に示すように、走行部材６は、左右両側に配置され、それぞれが車輪６１と、走行フレーム６２と、走行モータ６３とを有する。
【００２５】
図２及び図３に示すように、各走行部材６の下方には、リフト装置１を移動させたい方向に延在するレール７がそれぞれ敷設されている。レール７は、同一形状、同一寸法の長尺状部材が左右両側に設けられ、相互に平行に配置されている。レール７は、その上部において略水平面を形成する走行部７１を有する。
図２及び図３に示すように、走行部材６の車輪６１は、走行部７１の上部に載置され、車輪６１の回転によって走行部７１上を移動可能になっている。走行フレーム６２は、前後方向に延在する長尺状部材である。走行フレーム６２は、左右両側においてそれぞれ前方及び後方に配置される２本の伸縮支柱２の下端部の間を接続する。走行モータ６３は、各伸縮支柱２に内蔵される伸縮用の電動モータとは別のモータであり、電動モータ又は油圧モータ等を用いることができる。
【００２６】
図１及び図２に示すように、２本の第１部材３は、長尺状の梁部材であり、左右方向に沿って相互に平行になるように配置される。２本の第１部材３のうち、一方は左右両側の前方にそれぞれ配置される２本の伸縮支柱２の上端部間に渡され、他方は左右両側の後方にそれぞれ配置される２本の伸縮支柱２の上端部間に渡される。第１部材３は、それぞれが水平方向に沿って延在し、伸縮支柱２が伸縮することによって第１部材３も上下動することができる。つまり、２本の伸縮支柱２と１本の第１部材３とによって１組の門型の組立体が形成され、２つの走行部材６の上に２組の組立体が前後方向に並んで立設されることになる。
なお、第１部材３は、本発明における第１部材の一例である。本発明における第１部材は、例えば上下位置は関係無く伸縮支柱の間に渡されていれば良く、好ましくは少なくとも２本が平行又は略平行に設けられる梁部材であるのが良い。
【００２７】
図１及び図２に示すように、２本の第２部材４は、長尺状の梁部材であり、前後方向に沿って相互に平行になるように配置される。第２部材４のそれぞれが前方及び後方において吊下げ部材８を有し、２本の第１部材３の間に渡される。第２部材４は、第１部材３の上方から掛け渡されるように配置され、可動部材９の配設によって荷物Ｗの幅方向、つまり左右方向に沿って移動自在である。
【００２８】
特に図３に示すように、吊下げ部材８は、荷物Ｗに対して係合可能な部材であり、第２部材４から垂下する板状部材と、該板状部材の下端部に設けられる第２可動部材１０とを介して、第２部材４の下方に設けられる。吊下げ部材８は、係合リング８１と把手８２とを有する。係合リング８１は、荷物Ｗである半導体製造装置の蓋部材の左右両側から水平方向に突出するピンＰに係合可能な環状部材であり、ピンＰを挿通可能な径を有する。把手８２は、荷物Ｗの幅方向において係合リング８１よりも外側に設けられ、ピンＰを係合リング８１に挿通させて係合させる際に作業者が把持して係合リング８１の左右方向の位置の調整を行うことができる部材である。
【００２９】
なお、吊下げ部材８は、本発明における吊下げ部材の一例である。本発明における吊下げ部材としては、例えば半導体製造装置における蓋部材等の荷物に対して係合可能な部材であれば良い。吊下げ部材において、具体的には例えば上記ピンＰに代えて荷物から略水平方向に突出する凸部又は略水平方向に形成される凹部等の被係合部を予め設けておき、該被係合部の形状及び寸法に応じたフック、リング状部材、凸部等の係合部材を吊下げ部材の係合部位として採用することができる。
可動部材９及び第２可動部材１０については、図４を参照しつつ後述する。
【００３０】
図１に示すように、２本の第３部材５は、長尺状の梁部材であり、２本の第２部材４の間において、前後方向に沿って相互に平行になるように配置される。各第３部材５は、第２部材４に対して略平行に配置され、第１部材３の間に渡される。第３部材５は、第２部材４と同様に、可動部材９の配設によって荷物Ｗの幅方向、つまり左右方向に沿って移動自在である。第３部材５は、荷物Ｗとは別の荷物（図１〜図２には図示せず。）を吊下げることのできる第２吊下げ部材（図１〜図２には図示せず。）が取付け可能である。第２吊下げ部材は、例えば第３部材５に対して着脱自在であり、蓋部材等の荷物Ｗの上に載置又は取付けられる備品等の別の荷物を移動させる必要が生じた場合に適宜取付けられる。第２吊下げ部材として具体的には、例えばスリング、チェーン、又は上記吊下げ部材８と同様の部材を用いることができる。
【００３１】
図２及び図３に一点鎖線で示すように、各伸縮支柱２を伸長することによって、第１部材３、第２部材４及び第３部材５を天井面に近接する高さまで上昇させることができる。また、図２に示すように、第２部材４は、伸縮支柱２の伸縮動作とは関係無く移動可能であり、実線で示す作業位置ＰＯと、一点鎖線で示す格納位置ＰＳとのいずれかに配置される。
なお、作業位置ＰＯ及び格納位置ＰＳについては図４及び図５を参照しつつ後述する。
【００３２】
特に図３に示すように、前後の伸縮支柱２の間において、左右両側の各走行部材６の上部には制御部１１がそれぞれ配設されている。制御部１１は、リフト装置１の各部材に入力される電気信号を制御可能な部材であり、演算処理、各部材の駆動及び停止等を行うことができる。制御部１１には、リフト装置１を駆動又は停止するスイッチ、緊急遮断スイッチ、駆動時に点灯又は点滅する表示灯等が適宜に付設される。
また、制御部１１からはケーブルが延在し、表示パネル付きの操作入力部Ｃが接続されている。作業者は、リフト装置１から離れた位置において、操作入力部Ｃを用いることによってリフト装置１に対する種々の操作を入力することができるようになっている。なお、本発明においては、操作入力部Ｃはケーブルを介する有線ではなく、無線で操作を入力可能になっていても良い。
【００３３】
ここで、図４を参照しつつ、第２部材４の正確な位置合わせを補助する部材について詳述する。なお、第２部材４の格納位置ＰＳは、第１部材３の両端部において第２部材４がそれぞれ渡された状態となる位置であり、第２部材４の作業位置ＰＯは、吊下げ部材８が荷物Ｗに係合する際に固定される位置である。
図４は、図１〜図３に示したリフト装置１の一部拡大概略図である。図４（Ａ）は特に図３に示したリフト装置１の一部拡大概略図であり、図４（Ｂ）は特に図２に示したリフト装置１の一部拡大概略図であり、図４（Ｃ）は図４（Ａ）に示した第２部材４を作業位置ＰＯから格納位置ＰＳへと移動可能にする動作説明のためのリフト装置１の一部拡大概略図である。
【００３４】
図４（Ｂ）に示すように、本実施形態においては、第２部材４の作業位置ＰＯ又は格納位置ＰＳへの位置合わせと、第３部材５の適宜の位置への位置合わせとを補助する部材の一つとして、可動部材９が設けられている。可動部材９は、第２部材４及び第３部材５を荷物Ｗの幅方向に沿って移動自在にする部材である。特に図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示すように、可動部材９は、案内部材９１と摺動部材９２とを有する。
【００３５】
案内部材９１は、第１部材３の上面部において、図１に示すように第１部材３の一端部から他端部に亘って延在する長尺状部材である。特に図４（Ａ）に示すように、案内部材９１の側面部には凹状の溝部が形成されている。案内部材９１は、第１部材３の一端部から他端部までの範囲内で、少なくとも第２部材４及び第３部材５を移動させたい範囲において設けておくのが良い。
【００３６】
摺動部材９２は、第２部材４の両端部、つまり図３に示す第２部材４の前端部及び後端部に設けられ、案内部材９１に対する係合及び摺動が可能な部材である。具体的には、摺動部材９２は、案内部材９１の上面部及び側面部を覆うように配置され、案内部材９１の側面部に形成される溝部に対して係合可能な凸部を有する。摺動部材９２が案内部材９１を強固に挟持する等していない限り、基本的に摺動部材９２は案内部材９１に対して荷物Ｗの幅方向に沿って円滑に摺動可能である。好ましくは、摺動部材９２は案内部材９１との接触部位において直線運動を可能にする循環型のベアリングを有することによって、案内部材９１に対してより一層円滑な摺動が可能になる。なお、図４には図示していないが、第３部材５の両端部においても、摺動部材９２が設けられている。
案内部材９１及び摺動部材９２を有する可動部材９としては、例えばいわゆるリニアガイド等を用いるのが好ましい。
【００３７】
可動部材９が案内部材９１及び摺動部材９２を有することによって、２本の伸縮支柱２及び１本の第１部材３から成る門型の上記組立体と、第２部材４及び第３部材５とを容易には脱離しない係合状態にすることができる。これにより、上述したようにリフト装置１の下部において走行部材６が前後の上記組立体を接続するだけでなく、リフト装置１の上部において第２部材４及び第３部材５が前後の組立体を接続することになる。つまり、リフト装置１全体が前後方向、左右方向及び上下方向において、一体的な接続構造を形成することになる。
【００３８】
本実施形態においては、図４（Ｂ）に示した第２部材４の作業位置ＰＯ又は格納位置ＰＳへの位置合わせを補助する部材として、可動部材９以外に、内側ストッパ１２、外側ストッパ１３及び固定解除部材１４が設けられている。
【００３９】
図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示すように、内側ストッパ１２は、取付部１２１と当接部１２２とを有する。また、外側ストッパ１３は、取付部１３１と当接部１３２とを有する。特に図４（Ｂ）に示すように、内側ストッパ１２は、第１部材３の上面部において外側ストッパ１３よりも荷物Ｗの幅方向内側に配置される。
【００４０】
内側ストッパ１２及び外側ストッパ１３は、いずれも屈曲されて形成される板状部材である。内側ストッパ１２及び外側ストッパ１３は、それぞれが矩形板を略９０°に屈曲されることによって、一端側に取付部１２１及び１３１が形成され、他端部に適宜に緩衝材等を貼付することによって当接部１２２及び１３２が形成されている。
【００４１】
内側ストッパ１２の取付部１２１及び外側ストッパ１３の取付部１３１は、第１部材３の上面部にネジ止めによって固定される。内側ストッパ１２の当接部１２２及び外側ストッパ１３の当接部１３２は、取付部１２１及び１３１からそれぞれ第１部材３の上方に立ち上がる部位であり、作業位置ＰＯに配置される第２部材４に対して荷物Ｗの幅方向内側及び外側から挟みこむように当接可能である。したがって、内側ストッパ１２及び外側ストッパ１３は、第２部材４を作業位置ＰＯに保持可能な部材である。
【００４２】
なお、内側ストッパ１２及び外側ストッパ１３は、本発明におけるストッパの一例である。本発明においては、内側ストッパ１２に代えて第１部材３の上面部に突出する凸部等を設けることとしても良い。
もっとも、本実施形態のように内側ストッパ１２及び外側ストッパ１３がネジ止めによって第１部材３に固定されていると、例えば荷物の種類が変更されることによって作業位置ＰＯが外側又は内側に変位する場合であっても、ネジ止めの位置を変更するだけで容易に内側ストッパ１２及び外側ストッパ１３の固定位置を変更することができるので好ましい。
【００４３】
固定解除部材１４は、第２部材４の両端部に設けられ、外側ストッパ１３に当接可能であり、外側ストッパ１３に当接しない位置まで移動可能な板状部材である。本実施形態における固定解除部材１４の移動態様は、後述の回動中心部１４１及びネジ１４ａを中心とした回動である。固定解除部材１４は、回動中心部１４１と、孔１４２と、逃げ部１４３と、延在部１４４とを有する。
【００４４】
回動中心部１４１は、固定解除部材１４が移動する際に回動動作の中心となる部位である。回動中心部１４１は、第２部材４の移動時以外は、図４（Ａ）に示すように固定解除部材１４が回動していない状態で、ネジ１４ａによって第２部材４に対して固定されている。
【００４５】
孔１４２は、回動中心部１４１を中心とした円弧状の切欠部位である。孔１４２は、ネジ１４ｂが挿通され、第２部材４の移動時以外は、図４（Ａ）に示すように固定解除部材１４が回動していない状態で、ネジ１４ｂによって第２部材４に対して固定されている。
固定解除部材１４が回動する際には、緩められたネジ１４ｂが孔１４２の一端部に当接する姿勢から、他端部に当接する姿勢までの範囲で、固定解除部材１４が回動することになる。つまり、孔１４２の大きさとネジ１４ｂとによって、固定解除部材１４の回動範囲が決定される。
【００４６】
逃げ部１４３は、孔１４２近傍において幅が小さく形成される部位である。逃げ部１４３は、固定解除部材１４が回動すると、外側ストッパ１３の当接部１３２に対する固定解除部材１４の当接状態を解除する。
【００４７】
延在部１４４は、孔１４２から延在し、更にリフト装置１の前後方向に沿って突出して形成される部位である。延在部１４４における孔１４２近傍の部位は、図４（Ａ）に示す状態では外側ストッパ１３の当接部１３２に当接する。延在部１４４において前後方向に沿って突出する部位は、固定解除部材１４を回動させるために作業者が把持可能な部位である。
【００４８】
図４（Ａ）に示す位置から第２部材４を移動させるには、まず固定解除部材１４の回動中心部１４１のネジ１４ａと孔１４２を挿通するネジ１４ｂとを緩めておく。これにより、固定解除部材１４は、第２部材４に対する固定状態が解除されて回動可能になる。ネジ１４ａ及び１４ｂを緩めただけの状態では、固定解除部材１４の延在部１４４と外側ストッパ１３の当接部１３２とが当接した状態が維持されている。
【００４９】
次に、延在部１４４の端部を把持して、図４（Ｃ）に示す矢印の方向に延在部１４４を引っ張る。これにより固定解除部材１４は、回動することによって図４（Ｃ）に実線で示す姿勢まで傾斜する。固定解除部材１４は、ネジ１４ｂが孔１４２の他端部に当接するまで回動可能である。
【００５０】
固定解除部材１４が回動すると、図４（Ａ）に示す回動前の状態では外側ストッパ１３の当接部１３２に対して当接していた延在部１４４が移動し、逃げ部１４３によって当接状態が解除される。このとき、固定解除部材１４の逃げ部１４３によって、延在部１４４が外側ストッパ１３の当接部１３２に対して当接しないように避けた状態となるので、内側ストッパ１２及び外側ストッパ１３によって挟み込まれていた固定解除部材１４の固定状態が移動可能な状態に切り替わる。
【００５１】
更に、固定解除部材１４を回動した状態で、第２部材４を荷物Ｗの幅方向外側に移動させることによって、図２及び図４（Ｂ）に示した作業位置ＰＯから格納位置ＰＳへの第２部材４の移動が可能になる。延在部１４４が当接部１３２を避けた状態で第２部材４を移動させることにより、延在部１４４を当接部１３２の一方側から他方側に跨いで移動させることができる。
なお、図２等に示した第２部材４の格納位置ＰＳから作業位置ＰＯへの移動は、固定解除部材１４を回動した状態で、第２部材４を荷物Ｗの幅方向内側に向って、内側ストッパ１２の当接部１２２に第２部材４が当接するまで移動させることによって達成される。
【００５２】
本実施形態における外側ストッパ１３及び固定解除部材１４のように、第２部材４の位置を固定しておくための部材として、従来のリフト装置では第１部材３及び第２部材４に対して単にネジ止めされただけの板状部材等を用いることが多かった。これにより、従来では第２部材４を移動させる際に固定に用いていたネジを全て一旦取り外し、第２部材４を移動させた後に再度ネジ止めする形態、又は、第２部材４を移動させ、ネジは取り外した状態で別領域に保管しておく形態等を採らざるを得なかった。これらの形態では、ネジを取り外す作業が必要になって作業工数が増大するだけでなく、取り外したネジを紛失する可能性もあった。
【００５３】
これに対して、本実施形態では外側ストッパ１３及び固定解除部材１４を設けることによって、第２部材４の移動には、外側ストッパ１３のネジを含む固定用のネジを全て取り外す必要は無い。上述したように、第２部材４の移動にはネジ１４ａ及び１４ｂを緩めて固定解除部材１４を外側ストッパ１３に当接しないように回動させるだけで良い。つまり、本実施形態によると、ネジを取り外す作業が必要無いので作業工数の削減に寄与することができ、ネジを紛失する可能性も生じないので好ましい。
【００５４】
更に好ましくは、固定解除部材１４を回動可能な状態にした上で、伸縮支柱２の伸縮による荷物Ｗの揚重作業等で生じる振動等で固定解除部材１４が不意に回動しないのであれば、固定解除部材１４をネジ１４ａとネジ１４ｂとによってネジ止めしておく必要は無い。ネジ１４ａ及び１４ｂに代えてピンを挿通しただけの形態を採用することができる。これにより、固定解除部材１４は常に回動可能な状態になる。よって、リフト装置１の静置時及び揚重作業時等において、固定解除部材１４はその自重によって図４（Ａ）に示す状態の姿勢を維持することができ、第２部材４を移動させるにはネジ１４ａ及び１４ｂを緩める工程を経ずに固定解除部材１４を回動させるだけで良い。よって、該好ましい形態によって、更なる作業工数の削減に寄与することができる。
【００５５】
図４（Ｃ）に示したように固定解除部材１４を回動することによって、第２部材４は内側ストッパ１２及び外側ストッパ１３に保持されていた位置、つまり図２及び図４（Ｂ）に示した作業位置ＰＯから移動可能になる。第２部材４は案内部材９１及び摺動部材９２によって円滑に移動可能であるので、固定解除部材１４を適宜に回動させつつ第２部材４を移動させると、図２等に示した第２部材４の作業位置ＰＯ又は格納位置ＰＳへの正確な位置合わせを円滑に行うことができる。
【００５６】
第２部材４は作業位置ＰＯ又は格納位置ＰＳに配置されるので、荷物Ｗの幅方向において内側ストッパ１２より外側の範囲で第２部材４が移動可能になっている。これに対して、第３部材５は別の荷物の位置に応じて位置合わせされるので、荷物Ｗの幅方向において内側ストッパ１２より内側の範囲内で第３部材５が移動可能になっている。
なお、作業位置ＰＯに配置される第２部材４と、可動範囲内の外側寄りに配置される第３部材５とが干渉しないように、荷物Ｗの幅方向における内側ストッパ１２より内側に第３部材５を外側に移動させないストッパを設けておくのが良い。
【００５７】
本実施形態において可動部材９は、第１部材３に設けられる案内部材９１に対して、摺動部材９２が第２部材４及び第３部材５にそれぞれ設けられている。各摺動部材９２は同一機能を有しているが、第２部材４に設けられる目的と第３部材５に設けられる目的とが異なる。つまり、摺動部材９２が第２部材４に設けられる目的は、荷物Ｗの揚重作業、及びリフト装置１の搬入出のために、図２等に示す作業位置ＰＯ又は格納位置ＰＳに正確かつ円滑に配置することである。これに対して、摺動部材９２が第３部材５に設けられる目的は、別の荷物の揚重作業のために、別の荷物に対して位置合わせを正確かつ円滑に行うことである。したがって、１つの案内部材９１において内側ストッパ１２より外側では、第２部材４の摺動部材９２が摺動し、内側ストッパ１２より内側では第３部材５の摺動部材９２が摺動することになる。
【００５８】
続いて示す図５は、第２部材４が作業位置ＰＯ及び格納位置ＰＳにそれぞれ配置されたリフト装置１の一部を拡大した概略図である。図５（Ａ）は、第２部材４が作業位置ＰＯ及び格納位置ＰＳにそれぞれ配置されたリフト装置１を後方から前方に向って見たときの一部を拡大した側面図である。図５（Ｂ）は、第２部材４が作業位置ＰＯ及び格納位置ＰＳにそれぞれ配置されたリフト装置１を上方から下方に向って見たときの一部を拡大した平面図である。
【００５９】
第２部材４が作業位置ＰＯに配置されている場合は、上記吊下げ部材８が荷物Ｗに係合可能であると共に、吊下げ部材８が荷物Ｗに係合した状態で揚重作業が可能である。リフト装置１を用いた揚重作業は、例えば次のように行うことができる。
【００６０】
まず、リフト装置１の走行部材６を駆動することによって、荷物Ｗが配置されている領域までリフト装置１を移動させる。これにより、荷物Ｗに対して前後方向の位置合わせは完了し、車輪６１を回転不能にロックしておくのが好ましい。なお、このとき第２部材４は格納位置ＰＳに配置されていることとする。
【００６１】
次に、第２部材４の作業位置ＰＯへの位置合わせを行う。具体的には、格納位置ＰＳに配置されている第２部材４を、例えば手動等によって荷物Ｗの幅方向内側に移動させる。第２部材４が作業位置ＰＯに達する前に固定解除部材１４を回動させておくことによって、固定解除部材１４が当接部１３２に当接すること無く、延在部１４４が当接部１３２を跨いで第２部材４が作業位置ＰＯに到達することができる。換言すると、固定解除部材１４が回動すると、第２部材４の移動時に当接部１３２に固定解除部材１４の逃げ部１４３の下方をくぐらせることができ、固定解除部材１４が当接部１３２に当接しない。このときの第２部材４の移動は、可動部材９の案内部材９１及び摺動部材９２によって円滑に達成される。
なお、内側ストッパ１２及び外側ストッパ１３は、第２部材４を挟み込んで保持すると第２部材４が作業位置ＰＯに位置するように、第１部材３に対してそれぞれ固定されている。内側ストッパ１２及び外側ストッパ１３の固定位置は、荷物Ｗの形状、寸法、及び吊下げ部材８が係合するピンＰの位置等に応じて予め決定される。
【００６２】
第２部材４が作業位置ＰＯに達した後は、固定解除部材１４の回動状態を解除することによって、延在部１４４と外側ストッパ１３の当接部１３２とを当接状態にすることができる。このとき、内側ストッパ１２は第２部材４の一部に当接している。よって、内側ストッパ１２と外側ストッパ１３とが第２部材４を挟み込んで保持することにより、第２部材４は作業位置ＰＯに固定される。
【００６３】
第２部材４が作業位置ＰＯに配置された後に、揚重作業の準備工程として吊下げ部材８を荷物ＷのピンＰに係合させる。具体的には、作業者が吊下げ部材８の把手８２を把持し、荷物Ｗの幅方向内側に向かって吊下げ部材８を押圧する又は引っ張る。これにより、吊下げ部材８のピンＰが係合リング８１を挿通して係合する。このとき、第２可動部材１０によって、吊下げ部材８の詳細な位置合わせを円滑にかつ正確に行うことができる。なお、図２の右側吊下げ部材８近傍に、吊下げ部材８の可動方向を示している。
第２可動部材１０の機構としては、基本的に可動部材９と同様であれば良く、例えば図５（Ａ）に示すように、側面部に溝部を有する第２案内部材１０１と、直線運動を可能にする循環型のベアリングを内蔵する第２摺動部材１０２とを有する形態が好ましい。第２部材４自体は可動部材９、内側ストッパ１２、外側ストッパ１３及び固定解除部材１４によって位置合わせされて固定状態であるが、第２可動部材１０によって、第２部材４から垂下して設けられる吊下げ部材８を荷物Ｗに対して更に正確に位置合わせしつつ係合させることができる。つまり、本実施形態では、可動部材９による第２部材４の位置合わせと、第２可動部材１０による吊下げ部材８の位置合わせ及び荷物Ｗへの係合とが可能である。
【００６４】
全ての吊下げ部材８が荷物ＷのピンＰに係合した後に、各伸縮支柱２を伸長する。これにより、荷物Ｗである蓋部材は、半導体製造装置の容器本体から離れて吊下げ状態となる。半導体製造装置の容器本体から蓋部材を揚重することによって、容器本体内部の保守管理作業が可能になる。
なお、各伸縮支柱２を伸長した状態で、走行部材６を駆動することによって、荷物Ｗを別領域に搬送しても良い。更に、搬送した領域において各伸縮支柱２を短縮することによって、荷物Ｗを一旦下ろしても良い。
以上により、第２部材４が格納位置ＰＳに配置されていた状態から、荷物Ｗを揚重するまでの一連の動作が完了する。
【００６５】
なお、例えば半導体製造装置の容器本体の蓋部材の上面部において、別の荷物（図示せず）が載置されている場合がある。別の荷物としては、例えば半導体製造装置の備品等を挙げることができる。別の荷物が荷物Ｗに載置されている場合は、まず別の荷物の揚重及び別領域への搬送を行った後に、荷物Ｗの揚重作業を行うのが良い。
【００６６】
別の荷物の左右方向の幅が荷物Ｗとして揚重される蓋部材の幅と同程度であり、かつ、荷物Ｗと同様に別の荷物の左右両側にも吊下げ部材８が係合可能な部位が設けられている場合は、第２部材４を作業位置ＰＯに配置し、吊下げ部材８を別の荷物に係合させて揚重することができる。この場合、本実施形態における第３部材５は設ける必要が無い。
【００６７】
もっとも、別の荷物は荷物Ｗと異なる寸法を有することが多く、更に荷物Ｗの上面部において様々な箇所に載置され得るので、第２部材４よりも可動範囲が広い第３部材５を設けておくのが好ましい。第３部材５を別の荷物に対して円滑に正確な位置合わせを行った上で、第３部材５に適宜に取付けられる第２吊下げ部材（図示せず）を別の荷物に対して係合することによって、別の荷物の揚重作業が可能になる。別の荷物の数、形状及び寸法等に応じて、第３部材５の数を決定するのが良い。別の荷物を吊下げた状態で、走行部材６を駆動することによって別の荷物を別領域に搬送し、更に各伸縮支柱２を短縮することによって別の荷物を下ろしても良い。別の荷物を別領域に搬送した後に、上述した荷物Ｗの揚重作業を行うことができる。
【００６８】
半導体製造装置が設置される領域は、基本的にクリーンルーム内である。つまり、リフト装置１の保守管理の前後において、荷物Ｗが設置されているクリーンルームに対してリフト装置１を搬入出する必要が生じる。通常、クリーンルームへの適宜の装置の搬入出は、クリーンルーム内の清浄度を確保し続けるために、装置の最低限の外形及び寸法に合わせた搬入出口を介して行われる。
【００６９】
例えば本実施形態に係るリフト装置１のクリーンルームに対する搬入出は、図６に示すように壁１５及び１６に形成される搬入出口１７を介して行われる。図６は、リフト装置１の搬入出口１７を示す概略図である。
図６に示すように、搬入出口１７は、左右両側において上下方向に延在する縦開口部１７１と、左右の縦開口部１７１の上端部間を接続する横開口部１７２とによって形成されている。搬入出口１７はクリーンルームの清浄度を確保するために、できる限り小さい開口面積が求められているので、リフト装置１の搬入出の際には、壁１５に接触しないように第２部材４を格納位置ＰＳに配置しておく必要がある。適宜に固定解除部材１４を回動させることによって第２部材４を格納位置ＰＳに配置すると、荷物Ｗの幅方向、つまりリフト装置１の左右方向において、第２部材４に設けられる吊下げ部材８の位置と伸縮支柱２の位置とが略重複状態となる。これによって、リフト装置１が搬入出口１７を通過することができるようになる。
【００７０】
なお、搬入出口１７の縦開口部１７１の上下方向の高さは、伸縮支柱２を全縮状態にした高さに、第２部材４及び第３部材５の上下方向の高さを付加した寸法が少なくとも確保されている。また、搬入出口１７の横開口部１７２の左右方向の幅は、左右のレール７の最も外側に張り出した部位同士の間隔が少なくとも確保されている。搬入出口１７の形状及び寸法は、クリーンルームの清浄度を確保可能な限り適宜変更することができる。
【００７１】
本実施形態においては、第２部材４が作業位置ＰＯに配置されていても、基本的に吊下げ部材８の荷物Ｗに対する係合状態及び非係合状態の切り換えは第２可動部材１０を介して行う構成となっている。これにより、リフト装置１が搬入出口１７を介してクリーンルーム内に搬入された後であれば、荷物Ｗが設置される作業領域へのリフト装置１の到達前又は到達後のいずれであっても、第２部材４を格納位置ＰＳから作業位置ＰＯに移動させることができる。つまり、リフト装置１の作業領域への到達前に第２部材４が作業位置ＰＯに配置されたとしても、吊下げ部材８が第２可動部材１０を用いて荷物Ｗの幅方向外側に移動させておけば、吊下げ部材８が荷物Ｗに干渉することはないようになっている。
【００７２】
図６に示す形態以外の搬入出口としては、例えば壁１５が設けられず、壁１６のみが設けられることによって、図６に示す搬入出口１７よりも開口面積が大きい搬入出口等を挙げることができる。また、リフト装置１が搬入出口を通過してから荷物Ｗが設置される作業領域に到達するまでの間に、一対のレール７の間に例えば壁１５と同等の大きさの適宜の装置又は障害物等が配置されていることもある。
このような場合は、伸縮支柱２を全縮状態とした上で、壁１５と同等の大きさの適宜の装置又は障害物に対して吊下げ部材８が接触しないように、リフト装置１が上記適宜の装置又は障害物を超えるまでは、第２部材４を格納位置ＰＳに配置しておくのが良い。これにより、リフト装置１が壁１６だけでなく、上記適宜の装置又は障害物等に干渉しないので、リフト装置１の円滑な作業領域への移動が可能となる。
【００７３】
本発明における第１部材としては、上述の実施形態に示した第１部材３のような２本の梁部材に代えて、左右両側に１本ずつ設けられる伸縮支柱の間に渡される１本の梁部材であっても良く、前後方向及び左右方向に適宜の幅を有する板状部材であっても良い。
【００７４】
上述した実施形態において可動部材９の案内部材９１は、第１部材３の上面部に設けられるのが好ましいが、本発明においては、案内部材に対して摺動部材が係合状態及び円滑な摺動状態を維持することができる限り、第１部材の側面部又は下面部に設けられても良い。
【００７５】
以上、本発明者によってなされた発明を適用した実施形態について説明したが、この実施形態による本発明の開示の一部をなす論述及び図面により、本発明は限定されることはない。すなわち、この実施形態に基づいて当業者等によりなされる他の実施形態、実施例及び運用技術等は全て本発明の範疇に含まれることは勿論であることを付け加えておく。
【符号の説明】
【００７６】
１：リフト装置、２：伸縮支柱、３：第１部材、４：第２部材、５：第３部材、６：走行部材、６１：車輪、６２：走行フレーム、６３：走行モータ、７：レール、７１：走行部、７２：規制部材、８：吊下げ部材、８１：係合リング、８２：把手、９：可動部材、９１：案内部材、９２：摺動部材、１０：第２可動部材、１０１：第２案内部材、１０２：第２摺動部材、１１：制御部、１２：内側ストッパ、１３：外側ストッパ、１２１及び１３１：取付部、１２２及び１３２：当接部、１４：固定解除部材、１４ａ及び１４ｂ：ネジ、１４１：回動中心部、１４２：孔、１４３：逃げ部、１４４：延在部、１５及び１６：壁、１７：搬入出口、Ｗ：荷物、ＰＳ：格納位置、ＰＯ：作業位置、Ｃ：操作入力部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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