(57)【要約】【課題】片状体の相互間隔を大きく広げることができる離間装置および離間方法を提供すること。【解決手段】離間装置１０は、板状部材ＷＦが貼付された接着シートＡＳに張力を付与して当該板状部材ＷＦから形成される複数の片状体ＣＰの相互間隔を広げる離間装置であって、接着シートＡＳにおける板状部材ＷＦが貼付された貼付領域ＡＳ１の外側の保持領域ＡＳ２を保持する保持手段２０と、外縁部がエッジ部３３Ｂとされた複数のエッジ形成部材３３Ｃを有する当接手段３０と、接着シートＡＳをエッジ形成部材３３Ｃに当接させ、保持手段２０と当接手段３０とを相対移動させることで、当該接着シートＡＳにおける貼付領域ＡＳ１と保持領域ＡＳ２との間をエッジ部３３Ｂで折り曲げて当該接着シートＡＳに張力を付与する張力付与手段４０とを備え、当接手段３０は、エッジ形成部材３３Ｃを板状部材ＷＦの面に沿って相互に離間可能に設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状部材が貼付された接着シートに張力を付与して当該板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間装置であって、
前記接着シートにおける前記板状部材が貼付された貼付領域の外側の保持領域を保持する保持手段と、
外縁部がエッジ部とされた複数のエッジ形成部材を有する当接手段と、
前記接着シートをエッジ形成部材に当接させ、前記保持手段と当接手段とを相対移動させることで、当該接着シートにおける前記貼付領域と保持領域との間を前記エッジ部で折り曲げて当該接着シートに張力を付与する張力付与手段とを備え、
前記当接手段は、前記エッジ形成部材を前記板状部材の面に沿って相互に離間可能に設けられていることを特徴とする離間装置。
【請求項２】
前記当接手段は、前記エッジ部を前記保持手段の内縁部よりも外方に移動可能に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の離間装置。
【請求項３】
前記片状体の相互間隔を測定する測定手段を備え、
前記当接手段は、前記測定手段の測定結果を基に前記接着シートに対して部位別にエッジ形成部材を移動可能に設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の離間装置。
【請求項４】
板状部材が貼付された接着シートに張力を付与して当該板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間方法であって、
前記接着シートにおける前記板状部材が貼付された貼付領域の外側の保持領域を保持する工程と、
外縁部がエッジ部とされた複数のエッジ形成部材を前記接着シートに当接させ、前記保持領域とエッジ形成部材とを相対移動させることで、当該接着シートにおける前記貼付領域と保持領域との間を前記エッジ部で折り曲げて当該接着シートに張力を付与する工程と、
前記エッジ形成部材を前記板状部材の面に沿って相互に離間させる工程とを備えていることを特徴とする離間方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、離間装置および離間方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程において、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）を所定の形状、所定のサイズに切断して複数の半導体チップ（片状体）に個片化し、各片状体の相互間隔を広げる装置は、例えば、特許文献１のようなものが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１２３６５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の装置では、テープ拡張手段（当接手段）の上面以上の広さに片状体の相互間隔を広げることができないという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、片状体の相互間隔を大きく広げることができる離間装置および離間方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明の離間装置は、板状部材が貼付された接着シートに張力を付与して当該板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間装置であって、前記接着シートにおける前記板状部材が貼付された貼付領域の外側の保持領域を保持する保持手段と、外縁部がエッジ部とされた複数のエッジ形成部材を有する当接手段と、前記接着シートをエッジ形成部材に当接させ、前記保持手段と当接手段とを相対移動させることで、当該接着シートにおける前記貼付領域と保持領域との間を前記エッジ部で折り曲げて当該接着シートに張力を付与する張力付与手段とを備え、前記当接手段は、前記エッジ形成部材を前記板状部材の面に沿って相互に離間可能に設けられている、という構成を採用している。
【０００７】
本発明の離間装置において、前記当接手段は、前記エッジ部を前記保持手段の内縁部よりも外方に移動可能に設けられていることが好ましい。
本発明の離間装置において、前記片状体の相互間隔を測定する測定手段を備え、前記当接手段は、前記測定手段の測定結果を基に前記接着シートに対して部位別にエッジ形成部材を移動可能に設けられていることが好ましい。
【０００８】
一方、本発明の離間方法は、板状部材が貼付された接着シートに張力を付与して当該板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間方法であって、前記接着シートにおける前記板状部材が貼付された貼付領域の外側の保持領域を保持する工程と、外縁部がエッジ部とされた複数のエッジ形成部材を前記接着シートに当接させ、前記保持領域とエッジ形成部材とを相対移動させることで、当該接着シートにおける前記貼付領域と保持領域との間を前記エッジ部で折り曲げて当該接着シートに張力を付与する工程と、前記エッジ形成部材を前記板状部材の面に沿って相互に離間させる工程とを備えている、という構成を採用している。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、外縁部がエッジ部とされた複数のエッジ形成部材を板状部材の面に沿って相互に離間可能に設けられているので、片状体の相互間隔を大きく広げることができる。
また、エッジ形成部材を保持手段の内縁部よりも外方に移動可能に設けられているので、片状体の相互間隔をより大きく広げることができる。
さらに、測定手段による測定結果を基にして部位別に張力を付与すれば、片状体の相互間隔を部位別に微調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施形態に係る離間装置を示す側面図。
【図２】前記離間装置の動作説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態において、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向であって図１中紙面に直交する手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１２】
図１、図２（Ａ）において、離間装置１０は、板状部材としてのウエハＷＦが貼付された接着シートＡＳに張力を付与して当該ウエハＷＦから形成される複数の片状体としてのチップＣＰの相互間隔を広げる離間装置であって、接着シートＡＳにおけるウエハＷＦが貼付された貼付領域ＡＳ１の外側の保持領域ＡＳ２を保持する保持手段２０と、外縁部がエッジ部３３Ｂとされた複数のエッジ形成部材３３Ｃを有する当接手段３０と、接着シートＡＳをエッジ形成部材３３Ｃに当接させ、保持手段２０と当接手段３０とを相対移動させることで、当該接着シートＡＳにおける貼付領域ＡＳ１と保持領域ＡＳ２との間をエッジ部３３Ｂで折り曲げて当該接着シートＡＳに張力を付与する張力付与手段４０と、チップＣＰの相互間隔を測定する光学センサや撮像手段等の測定手段５０とを備えている。なお、ウエハＷＦは、切断刃や加圧水等のウエハ切断手段によりチップＣＰに個片化されているか、レーザ光や薬液等のウエハ脆弱化手段によりチップＣＰに個片化可能とされ、接着シートＡＳを介してフレーム部材としてのリングフレームＲＦに支持されて一体物ＷＫとされている。
【００１３】
保持手段２０は、リングフレームＲＦを受容可能な溝２１Ａが形成された一対の支持部材２１を備えている。なお、本実施形態の場合、リングフレームＲＦは、当該保持手段２０を構成する部材となる。
【００１４】
当接手段３０は、ベースプレート３１上に支持された４体の駆動機器としてのリニアモータ３２と、各リニアモータ３２それぞれのスライダ３２Ａに支持された離間テーブル３３とを備えている。各離間テーブル３３は、上下方向に延設された立上部３３Ａと、立上部３３Ａの上端からウエハＷＦの面方向外方に延設されその円弧状の外縁部がエッジ部３３Ｂとされたエッジ形成部材３３Ｃとを備えている。
【００１５】
張力付与手段４０は、それぞれの出力軸４１Ａで支持部材２１を支持し、ベースプレート３１の下面に支持された一対の駆動機器としての直動モータ４１を備えている。
【００１６】
以上の離間装置１０において、ウエハＷＦから形成される複数のチップＣＰの相互間隔を広げる手順を説明する。
先ず、図１中実線で示す各部材が初期位置で待機する離間装置１０に対し、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が一体物ＷＫを搬送し、図２（Ａ）に示すように、リングフレームＲＦを支持部材２１の溝２１Ａに挿通させ、位置決めした後退避する。
【００１７】
次に、張力付与手段４０が直動モータ４１を駆動し、支持部材２１を下降させる。これにより、接着シートＡＳにおける貼付領域ＡＳ１と保持領域ＡＳ２との間がエッジ部３３Ｂで折り曲げられて当該接着シートＡＳに張力が付与され、チップＣＰの相互間隔が広がる。ここで、図１中左側の二点鎖線で示すように、相互間隔が広げられたチップＣＰ群の最外縁に位置するチップＣＰがエッジ部３３Ｂの近傍に達すると、チップＣＰの相互間隔が所望の値以下であったとしても、当該相互間隔をそれ以上広げることができなくなる。そこで、当接手段３０がリニアモータ３２を駆動し、エッジ部３３Ｂすなわち離間テーブル３３をウエハＷＦの面に沿って相互に離間させる。そして、測定手段５０の測定結果を基に、チップＣＰの相互間隔が所望の値になった時点で、当接手段３０がリニアモータ３２の駆動を停止する。このとき、当接手段３０は、図１中右側の二点鎖線および、図２（Ｂ）で示すように、エッジ部３３ＢをリングフレームＲＦの内縁部または、支持部材２１の内縁部よりも外方に配置することができる。
【００１８】
この際、測定手段５０の測定結果を基に、チップＣＰの相互間隔が所定の間隔からずれている箇所がある場合、当接手段３０がリニアモータ３２を駆動し、接着シートＡＳに対して部位別に離間テーブル３３を移動させてチップＣＰの相互間隔を極力均一に広げる動作を行うことができる。すなわち、例えば、図２（Ｂ）に示す右部分におけるチップＣＰの相互間隔が所定の間隔よりも狭かった場合（広かった場合）、当接手段３０が同図右部分におけるチップＣＰの相互間隔を広げるように（縮めるように）、当該右部分に対応するリニアモータ３２を駆動する。また、本実施形態のように、リングフレームＲＦの左右２箇所を保持手段２０で保持してチップＣＰの相互間隔を広げる場合、当該保持手段２０で支持されていないリングフレームＲＦの前後部分が上方に撓みやすくなる傾向がある。このため、相互間隔が広げられたチップＣＰ群における中央部の前後方向への広がりが少なくなるので、当接手段３０が同中央部の前後方向におけるチップＣＰの相互間隔を広げるように、当該前後部分に対応するリニアモータ３２を駆動するとよい。なお、チップＣＰの相互間隔を広げたり縮めたりするにあたり、当接手段３０によりいずれのリニアモータ３２を駆動させるかは、使用者の経験値で任意に決定することができる。また、測定手段５０がチップＣＰの相互間隔を測定する箇所も使用者が任意に決定することができる。
【００１９】
その後、搬送装置やピックアップ装置等の図示しない搬送手段が各チップＣＰを保持して搬送し、リードフレームや基板等の被搭載物上に搭載する。その後、全てのチップＣＰの搬送が終了すると、張力付与手段４０および当接手段３０が直動モータ４１およびリニアモータ３２を駆動し、支持部材２１および離間テーブル３３を初期位置に復帰させた後、チップＣＰが取り外された一体物ＷＫを搬送手段が回収し、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２０】
以上のような実施形態によれば、外縁部がエッジ部３３Ｂとされた複数のエッジ形成部材３３ＣをウエハＷＦの面に沿って相互に離間可能に設けられているので、チップＣＰの相互間隔をより大きく広げることができる。
【００２１】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
【００２２】
保持手段２０は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段や、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段や、接着剤、磁力等で接着シートＡＳを支持する構成でもよい。
保持手段２０は、リングフレームＲＦを介することなく、ウエハＷＦに貼付された接着シートＡＳを直接支持してもよい。この場合、一体物ＷＫは、リングフレームＲＦがなくてもよいし、あってもよい。
保持手段２０が接着シートＡＳを支持する箇所は、１箇所でもよいし、３箇所以上でもよい。
保持手段２０は、１体でもよいし、３体以上でもよい。
【００２３】
当接手段３０の各エッジ部３３Ｂの形状は、円弧状、楕円弧状、直線状さらにはそれら形状が適宜に組み合わさった形状でもよく、エッジ部３３Ｂで形成される辺縁の平面形状は、円形、楕円形、三角形や四角形以上の多角形、幾何学形など、任意の形状でもよく、板状体の平面形状よりも大きな相似関係にある形状としてもよいし、相似関係にない形状としてもよい。
当接手段３０は、接着シートＡＳに対して部位別に張力を付与できなくてもよい。
当接手段３０によるチップＣＰの相互間隔の測長や微調整は、測定手段５０の測定結果に基づかずに行ってもよく、例えば、リニアモータ３２の出力値を基に行ったり、スライダ３２Ａの位置を基に行ったり、使用者が相互間隔を測長したりしてもよい。
離間テーブル３３は、２体や３体でもよいし、５体以上でもよく、その数に合わせてリニアモータ３２を設ければよい。
当接手段３０は、ウエハＷＦが貼付された貼付面にエッジ部３３Ｂを当接させる構成でもよく、例えば、Ｘ−Ｙ平面に平行な面を設けることなく線状部材でエッジ部３３Ｂを形成する離間テーブルを採用することができる。このようなＸ−Ｙ平面に平行な面のないエッジ部３３Ｂだけのものの場合、上記実施形態に対して天地反転させた一体物ＷＫのリングフレームＲＦを支持部材２１の溝２１Ａに挿通し、ウエハＷＦを下側にしてチップＣＰの相互間隔を広げることができる。
【００２４】
張力付与手段４０は、保持手段２０を固定しておき当接手段３０を移動させてもよいし、保持手段２０および当接手段３０の両方を移動させてもよい。
張力付与手段４０は、相互間隔が広げられたチップＣＰ群の最外縁に位置するチップＣＰがエッジ部３３Ｂの近傍に達した時点で、直動モータ４１の駆動を停止し、当接手段３０がリニアモータ３２を駆動し、チップＣＰの相互間隔を広げてもよいし、直動モータ４１の駆動を停止することなく当接手段３０がリニアモータ３２を駆動し、チップＣＰの相互間隔を広げてもよいし、相互間隔が広げられたチップＣＰ群の最外縁に位置するチップＣＰがエッジ部３３Ｂの近傍に達する前から当接手段３０とリンクしてチップＣＰの相互間隔を広げてもよい。
測定手段５０は、なくてもよい。
【００２５】
板状部材や片状体の形状は、例えば円形、楕円形、三角形や四角形以上の多角形等、その他の形状であってもよい。
フレーム部材は、リングフレーム以外に、環状でない（外周が繋がっていない）フレームや、円形以外に三角形や四角形等の多角形や楕円形等、その他の形状であってもよい。
【００２６】
また、本発明における接着シートＡＳの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形以上の多角形、その他の形状であってもよい。また、接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、さらには、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層または複層の中間層を有するものや、中間層のない単層または複層のものであってよい。さらに、板状部材としては、例えば、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができ、片状体は、それらが個片化されたものであればよい。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
【００２７】
本発明における手段は、それら手段について説明した動作や機能を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物に全く限定されることはない。例えば、保持手段は、接着シートにおける板状部材が貼付された貼付領域の外側の保持領域を保持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的または間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００２８】
１０…離間装置
２０…保持手段
３０…当接手段
３３Ｂ…エッジ部
３３Ｃ…エッジ形成部材
４０…張力付与手段
５０…測定手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳ１…貼付領域
ＡＳ２…保持領域
ＣＰ…チップ（片状体）
ＷＦ…ウエハ（板状部材）
【図１】
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【図２】
2016122708.tif 000004