(57)【要約】【課題】  ウエブ表面に付着している異物を簡易に除去でき且つ除去された異物のフィルムへの再付着を防止することが可能な洗浄装置を提供する。【解決手段】  ウエブ入口４ａおよびウエブ出口５ａをそれぞれ長手方向の両端部に備えた箱型構造体で構成されるウエブ洗浄ユニットであって、その内部はウエブ通過口６ａを有する隔壁６によって該長手方向に並ぶ例えば５つのセルＣ１〜Ｃ５に仕切られており、ウエブ出口５ａを有するセルＣ５に供給される洗浄液がウエブ通過口６ａを経て順次隣接するセルに流れ込んでウエブ入口４ａを有するセルＣ１から排出されるように該箱型構造体は該ウエブ出口側を上にして全体的に傾斜又は直立しており、ウエブ通過口６ａを通過するウエブＷの走行速度よりもそこをウエブＷに対して向流で流れる洗浄液の流速の方が速い。【選択図】  図１
2016101544.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スリット状のウエブ入口およびウエブ出口をそれぞれ長手方向の両端部に備えた箱型構造体で構成されるウエブ洗浄ユニットであって、
該箱型構造体の内部はスリット状のウエブ通過口を有する隔壁によって該長手方向に並ぶ複数のセルに仕切られており、該ウエブ出口を有するセルに供給される洗浄液が該ウエブ通過口を経て順次隣接するセルに流れ込んで該ウエブ入口を有するセルから排出されるように該箱型構造体は該ウエブ出口側を上にして全体的に傾斜又は直立しており、ウエブ通過口を通過するウエブの走行速度よりもそこをウエブに対して向流で流れる洗浄液の流速の方が速いことを特徴とするウエブ洗浄ユニット。
【請求項２】
前記複数のセルの少なくとも１つには、そこを走行するウエブの表面に対向するように超音波発振子が前記箱型構造体の外壁に取り付けられており、該超音波発振子が取り付けられている壁部とこれに対向するウエブまでの距離、及び該ウエブに関して該超音波発振子とは反対側に位置する該箱型構造体の壁部とウエブとの距離の各々が、洗浄液中での超音波波長の４分の１の略整数倍であることを特徴とする、請求項１に記載のウエブ洗浄ユニット。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のウエブ洗浄ユニットと、前記ウエブ入口を有するセルから排出された洗浄液に含まれる異物を除去する除去手段と、前記ウエブ出口を有するセルに異物が除去された洗浄液を供給する循環手段とを有していることを特徴とするウエブ洗浄装置。
【請求項４】
ウエブを上方に向けて連続的に走行させながら、該ウエブに対して向流に洗浄液を流して該ウエブの洗浄を行うウエブ洗浄方法であって、該洗浄液の流れ方向に関して上流側に行くほど該洗浄液の清浄度が高くなるように段階的に清浄度が調整されており、該清浄度が段階的に変化する部分においてウエブの走行速度より洗浄液の流速の方が速いことを特徴とするウエブ洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、長尺フィルム等のウエブを連続的に搬送しながら洗浄液によって洗浄してウエブの表面に付着している異物を除去する洗浄装置および洗浄方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
スマートフォン等の移動体通信機器、テレビ、パソコン、デジタルカメラ等の電子機器が有する液晶ディスプレイのドライバＩＣ搭載用に使われるＣＯＦ（Ｃｈｉｐ  ｏｎ  Ｆｉｌｍ）には、耐熱性樹脂フィルム上に所定のパターンを有する配線が形成されたフレキシブル配線基板が用いられている。このフレキシブル配線基板は、耐熱性樹脂フィルムの片面若しくは両面に金属膜を成膜した金属膜付耐熱性樹脂フィルムに対してフォトリソグラフィーやエッチング等の薄膜技術を適用して金属膜をパターニング加工することによって得られる。
【０００３】
近年、電子機器の高機能化に伴い上記フレキシブル配線基板の配線パターンはますます微細化、高密度化する傾向にあり、成膜前の耐熱性樹脂フィルムには、金属膜の付着不良や金属膜へのノジュール（金属粒）発生の原因となる異物が付着していないものが求められている。また、成膜後の金属膜付耐熱性樹脂フィルムにも、金属膜をパターニング加工する際に不良を発生させたりフレキシブル配線基板のショートや導通不良を発生させたりする異物が付着していないものが求められている。
【０００４】
また、上記した液晶ディスプレイ等の表面には、偏光フィルム等の光学用樹脂フィルムが用いられている。光学用樹脂フィルムは、製膜、塗工、貼合等の工程を経て、液晶ディスプレイ等の光学装置の部材、プロセス材として使用されるが、この光学用樹脂フィルムも近年の電子機器の高機能化による液晶ディスプレイの高解像度化により、埃、繊維、フィルム粕等の異物が付着していないものが求められている。それらの異物が液晶ディスプレイの表面に付着していると、これに起因してキズや押し跡等の物理的欠陥が生じたり、表示装置に異物が投影表示されたりする問題が発生するおそれがあるからである。
【０００５】
上記した各種用途に使用される長尺フィルム等のウエブの表面に異物が付着している場合は、これまで例えば簡易的な粘着ローラーを用いて異物をローラー表面に付着させたり、超音波エアーにより洗浄したりすることで異物を取り除くことが行われてきた。しかしながら、簡易的な粘着ローラーではローラー表面に付着した異物が剥離して再びウエブ表面に付着することがあり、超音波エアーによる洗浄でも一旦除去された異物が飛散して再びウエブ表面に付着することがあった。そのため効率が悪く、長尺フィルム等のウエブの表面に付着している異物を効率よく除去できる装置や方法が望まれていた。
【０００６】
このような状況の下、ウエブを効率よく洗浄する方法が各種提案されている。例えば特許文献１には、光学用プラスチックフィルムを純水の浴槽中に浸漬して超音波を用いて洗浄する第１の洗浄工程と、純水を用いてスプレー洗浄する第２の洗浄工程とからなる光学用プラスチックフィルムの洗浄方法が開示されている。この特許文献１の技術は、超音波の周波数や超音波による処理時間、洗浄水の温度を規定することで良好な洗浄効果が得られると記載されている。
【０００７】
また、特許文献２には、超音波を用いて液体洗浄する第１洗浄工程と、第１洗浄工程よりも高い周波数の超音波で液体洗浄する第２洗浄工程とを備えたフィルムの洗浄方法が開示されており、超音波の周波数、超音波発振器とフィルムとの距離、超音波発振器の配置、超音波のエネルギー出力、洗浄時間、洗浄温度を適宜規定することが記載されている。この特許文献２の技術によれば、第１洗浄工程における超音波の周波数を１００ｋＨｚ未満、第２洗浄工程における超音波の周波数を１００ｋＨｚ以上に設定することにより、第１洗浄工程では大きな異物が取り除かれ、第２洗浄工程では小さな異物が取り除かれるので、十分な洗浄効果が得られると記載されている。
【０００８】
さらに、特許文献３には、超音波エネルギーを集束させる構造を有する流水式超音波洗浄ノズルが開示されている。この特許文献３の装置は、半導体ウエハ等の小物に対しては有効な洗浄装置であると考えられる。また、特許文献４には、走行するフィルムの表面に多段階に分けて洗浄液を供給し、各段階においてフィルムの表面に沿った流れを形成して洗浄を行うフィルムの洗浄システムが開示されている。この特許文献４の技術では、超音波洗浄を併用することもできると記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００７−２４６８４９号公報
【特許文献２】特開２００９−２６８９４８号公報
【特許文献３】特許３７８３１７４号公報
【特許文献４】特開２０１０−０８２５１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
特許文献１の方法は、浴槽中の洗浄水を連続的に抜き取って異物除去フィルター等によって洗浄水を清浄化した後、清浄化された洗浄水を浴槽に戻す方式を採っているものの、基本的には浴槽中への浸漬水洗であるため、除去された異物が光学用プラスチックフィルムに再付着する問題は免れない。また、第２の洗浄工程では、光学用プラスチックフィルムの搬送方向に直交する幅方向に関して、スプレー洗浄の洗浄水の圧力と流量にバラツキが存在することは否めなく、よって再付着した異物の洗い残しが発生すると考えられる。
【００１１】
また、特許文献２の技術も第１洗浄工程と第２洗浄工程とは浸漬による水洗であるため、除去された異物のフィルム表面への再付着が発生するおそれがある。フィルム表面に再付着した異物は、フィルムへの当たり角度が最適化されたエアナイフによってある程度吹き飛ばすことができるが、この場合においてもエアナイフで吹き飛ばされた異物のフィルムへの再付着が生じ得ると考えられる。また、特許文献３の技術はキャビテーションが使用できないことや洗浄層有効処理長を長くできないこと等の問題があり、長尺フィルム等のウエブの表面に強く付着した汚れを速い処理速度で洗浄するのは困難であると考えられる。
【００１２】
一方、特許文献４の技術は、浸漬洗浄やノズル洗浄ではなく洗浄水の流れを利用して洗浄を行うものであるため、除去された異物がフィルムに再付着する問題は生じにくいと考えられる。しかしながら、極めて狭い隙間での水洗になるので、フィルムの単位面積当たりの洗浄水量が少なく、超音波洗浄を併用しても、異物の除去が十分に行えない可能性がある。さらに、装置が大がかりでその構造が複雑であるため、設備コスト、運転コスト、メンテナンスコストが高額となり、高度な運転管理技術も必要になる。
【００１３】
上記したように、特許文献１〜４の技術は局所的には十分な洗浄効果が得られても一旦除去された異物がフィルムに再付着したり、あるいは除去された異物のフィルムへの再付着は生じにくくても洗浄そのものが不十分であったりし、結果的に十分な洗浄効果が得られない場合が多かった。また、従来の装置は大がかりになるか、あるいは構造が複雑になる点においても問題を有していた。
【００１４】
本発明は、このような従来の問題点に鑑みてなされたものであり、連続的に搬送される長尺フィルム等のウエブの表面に付着している異物を簡易に除去でき、且つ除去された異物のフィルムへの再付着を防止することが可能なウエブ洗浄装置およびウエブ洗浄方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記目的を達成するため、本発明者は、連続的に搬送される長尺フィルム等のウエブを簡易な構造で効果的に洗浄可能な洗浄装置について鋭意研究を重ねた結果、ウエブの搬送方向に対して洗浄液を向流に流すと共に多段階に分けて洗浄を行うことによって、簡単な構造であるにもかかわらず十分な洗浄効果が得られることを見出し、本発明を完成させるに至った。
【００１６】
すなわち、本発明のウエブ洗浄ユニットは、スリット状のウエブ入口およびウエブ出口をそれぞれ長手方向の両端部に備えた箱型構造体で構成されるウエブ洗浄ユニットであって、該箱型構造体の内部はスリット状のウエブ通過口を有する隔壁によって該長手方向に並ぶ複数のセルに仕切られており、該ウエブ出口を有するセルに供給される洗浄液が該ウエブ通過口を経て順次隣接するセルに流れ込んで該ウエブ入口を有するセルから排出されるように該箱型構造体は該ウエブ出口側を上にして全体的に傾斜又は直立しており、ウエブ通過口を通過するウエブの走行速度よりもそこをウエブに対して向流で流れる洗浄液の流速の方が速いことを特徴としている。
【００１７】
また、本発明のウエブ洗浄方法は、ウエブを上方に向けて連続的に走行させながら、該ウエブに対して向流に洗浄液を流して該ウエブの洗浄を行うウエブ洗浄方法であって、該洗浄液の流れ方向に関して上流側に行くほど該洗浄液の清浄度が高くなるように段階的に清浄度が調整されており、該清浄度が段階的に変化する部分においてウエブの走行速度より洗浄液の流速の方が速いことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、連続的に搬送されるウエブに対して簡易な構造で十分な洗浄効果を得ることができ、しかも除去された異物のフィルムへの再付着を防止することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一具体例の洗浄ユニットの部分断面側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の洗浄ユニットの一具体例について図１を参照しながら詳細に説明する。なお、本発明の洗浄ユニットが対象とするウエブとしては、限定するものではないが、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリイミド系フィルム、ポリアミド系フィルム、ポリエステル系フィルム、ポリテトラフルオロエチレン系フィルム、ポリフェニレンサルファイド系フィルム、ポリエチレンナフタレート系フィルム、ポリビニルアルコール系フィルム、トリアセチルセルロースフィルム、ポリフッ化ビニリデン系フィルム、ポリプロピレン系フィルム等のプラスチックフィルムのほか、金属膜付プラスチックフィルム、金属箔や鋼板、織物等のウエブ状の長尺物を挙げることができる。
【００２１】
図１には本発明の一具体例のウエブ洗浄ユニットをウエブＷの走行方向に沿って部分的に切断した側面図が洗浄対象物であるウエブＷと共に示されている。この図１には更にウエブＷを搬送する１対のローラーＲがウエブ洗浄ユニットの紙面右側及び左側に示されている。ウエブＷは、これらローラーＲのほか、図示しないウエブの巻出し部や巻取り部などの搬送装置によって連続的に搬送されるようになっている。かかる搬送装置によって、ウエブＷは水平に対して斜め上に上昇するパスライン（搬送経路）が形成されている。
【００２２】
本発明の一具体例の洗浄ユニットは、かかるパスラインに対して平行であって且つ該パスラインを挟んで上下方向に対向するように設けられた上側板部１及び下側板部２と、それらの両側部同士をそれぞれ接続する側壁部３と、それらの入口側端部同士を接続する入口壁部４と、それらの出口側端部同士を接続する出口壁部５とによって、後述するウエブ入口及びウエブ出口を除いて密閉構造の略直方体形状の箱型構造体を構成している。このような密閉構造にすることで、外部からの異物の混入を防ぐことができる。
【００２３】
入口壁部４の高さ方向の略中央部には水平方向に延在するスリット状のウエブ入口４ａが設けられており、このウエブ入口４ａを通ってウエブＷは上記箱型構造体の内側に導入される。同様に出口壁部５の高さ方向の略中央部には水平方向に延在するスリット状のウエブ出口５ａが設けられており、洗浄されたウエブＷはこのウエブ出口５ａを通って上記箱型構造体の内側から外側に排出される。
【００２４】
この箱型構造体の内部は、上記パスラインに沿って略等間隔をあけて設けられた４枚の略矩形の隔壁６によって、ウエブ入口４ａからウエブ出口５ａに向かって一列に並ぶ５つのセルＣ１〜Ｃ５に仕切られている。この隔壁６の高さ方向の略中央部にも、上記した入口壁部４や出口壁部５と同様に、水平方向に延在するスリット状のウエブ通過口６ａが設けられており、互に隣接するセルからセルにウエブＷが移動する際にウエブ通過口６ａを通過する。
【００２５】
本発明の一具体例の洗浄ユニットは、下側板部２のウエブ出口側端部が出口壁部５よりも外側に突出しており、ウエブ出口５ａの高さとほぼ同じ高さにまで該端部が至っている。そして、この下側板部２の突出した部分の両側部には側壁が立設しており、液貯留部を形成している。これにより、パイプ等の液供給部から供給される洗浄水は、一旦この液貯留部に貯められた後、上記した出口壁部５のウエブ出口５ａから洗浄ユニット内のセルＣ５に導入される。洗浄ユニット内に導入された洗浄水は、ウエブ入口４ａを有するセルＣ１に向かって重力により各隔壁６のウエブ通過口６ａを通って隣接するセルからセルに流れ込んで行き、最後に入口壁部４のウエブ入口４ａから排出される。
【００２６】
これにより、ウエブ入口４ａから洗浄ユニット内に入ったウエブＷは、隔壁６のウエブ通過口６ａによって連通している複数のセルＣ１〜Ｃ５を順次通過しながら斜め上方に走行してウエブ出口５ａから出るまでの間に、各セル内に満たされている洗浄水によって洗浄される。ウエブ入口４ａ、ウエブ出口５ａ、及びウエブ通過口６ａの各々を流れる洗浄水は、そこを通過するウエブＷの走行の向きに対して逆向きに流れるので、これらセル内の洗浄水の清浄度はウエブ出口側に近づくに従って徐々に高くなっており、より効率的に洗浄を行うことが可能になる。
【００２７】
さらに、本発明の一具体例の洗浄ユニットでは、これらウエブ入口４ａ、ウエブ出口５ａ、及びウエブ通過口６ａの各々を走行するウエブＷの速度よりも、ここをウエブＷに対して向流で流れる洗浄水の流速の方が速くなっている。そのため、ウエブＷから離脱した異物がウエブに伴って隣接する上側のセルに送り込まれるのを防ぐことができる。すなわち、下流側の洗浄水によって上流側の洗浄水が汚染されるのを防ぐことができ、一旦除去された洗浄水中の異物をウエブＷに再付着させないようにすることが可能になる。
【００２８】
上記したウエブ入口４ａ、ウエブ出口５ａ、及びウエブ通過口６ａを形成するスリット状の開口部を流れる洗浄液の流速は、洗浄ユニットに供給される洗浄液の流量と各開口部の開口面積で決まるため、上記したようにウエブＷの搬送速度よりも速い流速が確保されるように各開口部の開口面積と洗浄水の流量とが定められる。その際、各開口部を通過する洗浄水の圧力損失はそこでの洗浄水の流速の影響を受けるので、この圧力損失に見合う程度の液ヘッドが確保されるように洗浄ユニットの傾斜角度を調整することが必要になる場合がある。なお、ウエブＷの厚み方向の変動により該ウエブＷと開口部の下側縁部との間又はウエブＷと開口部の上側縁部との間が近接した場合であっても、これらの下側縁部又は上側縁部とウエブＷとの間には常時洗浄液が存在することになるので、ウエブＷの表面に傷が発生することは無い。
【００２９】
本発明の一具体例の洗浄ユニットは、ウエブ入口４ａの斜め下方に受液槽７が設置されており、洗浄ユニットから排出される洗浄液を受け入れるようになっている。受液槽７に受入れられた洗浄水は、再度洗浄水としてリサイクルすべく配管系８により前述した洗浄ユニットの液貯留部に供給される。この配管系８には、受液槽７の底部から排出される洗浄水を昇圧させるポンプ９と、洗浄水中に含まれる異物等を除去するフィルター等の異物除去手段１０が設けられている。なお、上記したように洗浄水をリサイクルせずに洗浄ユニットに常時新しい洗浄水を供給してもよいし、配管系８内を循環している洗浄水の水質を確認しながら、必要に応じて循環している洗浄水の抜取りとメイクアップ水の補充とを行ってもよい。
【００３０】
本発明の一具体例の洗浄ユニットは、各セルに１つの超音波発振子１１が設けられている。各超音波発振子１１は、下側板部２の外壁面に当接させた状態で固定するのが好ましく、これによりウエブＷの上面に付着した異物を浮き上がらせてウエブＷから容易に剥離させる効果が期待できる。更に、超音波発振子１１を下側板部２の外壁面に固定することにより、ウエブＷをその厚み方向に挟んで上下方向において互いに対向している下側板部２及び上側板部１に超音波の反射板の役割を担わせることができる。
【００３１】
このように下側板部２及び上側板部１に反射板の役割を担わせる場合は、下側板部２とウエブＷの距離及び上側板部１とウエブＷとの距離を、各々超音波の波長の４分の１の整数倍に設定することが好ましい。このように超音波の波長の４分の１の整数倍とすることで、ウエブＷの位置における超音波の振幅が最大となり、より高い洗浄効果が得られる。
【００３２】
超音波発振子１１は図１に示すように各セルに１個設置することが好ましいが、設置されていないセルがあっても良いし、洗浄ユニットに全く設置しなくても良い。例えば、図１に例示した５つのセルのうち、異物付着量が最も多い状態のウエブＷの洗浄を行う下から１つ目のセルＣ１と２つ目のセルＣ２にのみに超音波発振子１１を設置してもよいし、セルの役割を異物除去用と洗浄用とに分け、例えば下から１つ目のセルＣ１と３つ目のセルＣ３と５つ目のセルＣ５にのみ超音波発振子１１を設置してもよい。このように、ウエブＷの汚れの状況や異物の除去効果等を確認しながら設置する超音波発振子１１の個数や設置場所を適宜定めればよい。
【００３３】
本発明の一具体例の洗浄ユニットは、各隔壁６の最下部に狭い隙間等の開口部を有しているのが好ましい。これにより、上側のセルで除去された異物は、重力により順次下側のセルへと送られるので、各セル内に異物が滞留することがなくなる。さらに、洗浄水の供給を停止した時、セル内に溜った洗浄水を自然に排出させることができる。同様の観点から、洗浄水を完全に抜き取れるように受液槽７の最下部には液抜きバルブを設置するのが好ましい。これにより、定期的な洗浄の際に受液槽７内に異物が滞留しないようにすることができる上、受液槽７の掃除が容易になる。なお、隔壁６の最下部に開口部を設ける場合は、前述した隔壁６のウエブ通過口６ａを流れる洗浄水の流速を計算するベースとなる開口部の開口面積に、この最下部の開口部の開口面積を含める必要がある。
【００３４】
本発明の一具体例の洗浄ユニットは、さらに、各隔壁６の最上部に狭い隙間などの開口部を設けることが好ましい。この最上部の開口部には空気抜きの役割を担わせることができ、各セルの上部に空気が滞留して洗浄効果が低下するのを防ぐことができる。なお、この場合も、隔壁６の最下部に開口部を設けた場合と同様に、隔壁６のウエブ通過口６ａを流れる洗浄水の流速を計算するベースとなる開口部の開口面積に、この最上部の開口部の開口面積を含める必要がある。
【００３５】
上記したように、洗浄ユニット及び受液槽７は、ヘッド圧によって洗浄水を流す構造であり、洗浄ユニットの液貯留部や受液槽７の上部は大気開放されている。従って、運転条件の変動時や非定常運転時にこれら液貯留部や受液槽７から洗浄水がオーバーフローすることがある。そこで、本発明の一具体例の洗浄ユニットにおいては、これら洗浄ユニット及び受液槽７、並びにこれらをつなぐ配管系８からなるウエブ洗浄装置が槽１２の内部に設置されている。
【００３６】
以上、本発明の洗浄ユニット及びこれを備えたウエブ洗浄装置の一具体例について説明したが、本発明は上記した一具体例に限定されるものではない。例えば、洗浄液に使用する液体は上記したように水のほか、アルコールや四塩化炭素等の脱脂用溶媒、ナフテン系やパラフィン系等の洗浄溶剤、界面活性剤等のあらゆる洗浄液を用いることができる。また、水平に対して斜め上にウエブが上昇するように洗浄ユニットの長手方向を水平に対して傾斜させる場合のほか、ウエブが鉛直方向に上昇するように例えば洗浄ユニットのウエブ出口側を真上にして略垂直に直立させても構わない。このように洗浄ユニットを直立させる場合は、洗浄液のヘッド圧並びに上記したスリット状のウエブ入口４ａ、ウエブ出口５ａ、及びウエブ通過口６ａの開口面積によって定まる各開口部での液速度がウエブＷの搬送速度よりも速くなるように開口面積を調整すれば良い。
【実施例】
【００３７】
図１に示すような４枚の隔壁６によって５つのセルに仕切られたウエブ洗浄ユニットを作製して、洗浄水を循環させながら約５００ｍｍ幅のプラスチックフルムの洗浄を行った。具体的には、上側板部１、下側板部２、及び側壁部３用として各々矩形のステンレス板を用意し、入口壁部４、出口壁部５、及び隔壁６用として各々フッ素樹脂系材料のテフロン（登録商標）製の矩形板材を用意した。なお、入口壁部４、出口壁部５、及び隔壁６の各々は、上下方向の中央部分をウエブが通過するように中央で２つに分割した。上記部材を組み合わせて５つのセルからなる長手方向の長さ１２００ｍｍの洗浄ユニットを作製した。
【００３８】
各隔壁６を組み込む際、その上下方向の中央部と、その最上端と上側板部１との間と、その最下端と下側板部２との間とに各々幅５４０ｍｍ、高さ５ｍｍの隙間を確保した。同様に入口壁部４及び出口壁部５の各々においても、上下方向の中央部と、その最上端と上側板部１との間と、その最下端と下側板部２との間とに各々幅５４０ｍｍ、高さ５ｍｍの隙間を確保した。これにより、入口壁部４、出口壁部５、及び隔壁６の各々の上下方向の中央部を通過するウエブＷと下側板部２との距離、および該ウエブＷと上側板部１との距離は、水中での超音波波長の４分の１である１５ｍｍになった。また、各セルの寸法は、幅５４０ｍｍ、長さ２００ｍｍとなった。この洗浄ユニットをその長手方向が水平に対して３０度傾くように傾斜させた。
【００３９】
この洗浄ユニットの前後に、該洗浄ユニット内を走行するウエブＷのパスラインを画定するステンレス製の１対のローラーＲを設置した。これら１対のローラーＲはフリーローラーとし、モーター等の動力によって駆動されないようにした。また、５つの超音波発振子（本多電子株式会社製  洗浄機用振動子  型番ＨＥＣ−３０５０２）１１を、それぞれ５つのセルＣ１〜Ｃ５内を走行するウエブＷに対向するように、下側板部２の下面に接着させた。これら超音波発振子１１にはキャビテーションによる洗浄効果の高い超音波周波数５０ｋＨｚのものを選択した。洗浄ユニットの下側端部の斜め下に受液槽７を設置し、その底部から排出される洗浄水が、ポンプ９及び異物除去手段１０を経て洗浄ユニットの上側端部の液貯留部にリサイクルされるように配管系８を設置した。異物除去手段１０には目開き１μｍのカートリッジフィルター（ＪＮＣフィルター株式会社製  ＣＰ２−０１）を使用した。
【００４０】
洗浄対象であるウエブＷには、東レ・デュポン製の厚さ１２.５μｍ×幅５２４ｍｍのポリイミドフィルム（カプトン５０ＥＮ）を使用し、これを１０ｍ／分の搬送速度で搬送させた。洗浄水の循環流量は２００Ｌ／分とした。なお、洗浄水流量を２００Ｌ／分とすることで、隔壁６の上下方向中央部に設けた狭い隙間を流れる洗浄水の流速は２５ｍ／分になる。ウエブＷの搬送速度は上記したように１０ｍ／分であるので、洗浄水の流速はウエブの搬送速度の約２.５倍となった。
【００４１】
洗浄効果を確認するため、ポンプ９によって配管系８を経て洗浄ユニットの洗浄水が循環している状態で、受液槽７の底部から抜き出した洗浄水をパーティクルカウンター（リオン株式会社製  液中パーティクルセンサ  ＫＬ−１１Ａ）に吸引サンプリングし、大きさ２μｍ以上の粒子数を測定した。その結果、２５ミリリットル当たりの粒子数が５００〜６００個であった。
【００４２】
比較のため、上記した隔壁中央部の隙間を流れる洗浄水の流速が２.５ｍ／分となるように洗浄水の循環流量を２０Ｌ／分にし、且つ洗浄ユニットの傾斜角度を水平に対して１５度としたとした以外は上記と同様にしてウエブＷの洗浄を行った。そして、上記と同様に循環している状態で抜き出した洗浄水をパーティクルカウンターで吸引サンプリングし、大きさ２μｍ以上の粒子数を測定した。その結果、２５ミリリットル当たりの粒子数は５０〜６０個であった。この結果から、本発明の方法に従って洗浄を行うことによって、ウエブの表面に付着した異物を確実かつ効果的に除去できると判断できる。
【符号の説明】
【００４３】
１      上側板部
２      下側板部
３      側壁部
４      入口壁部
４ａ    ウエブ入口
５      出口壁部
５ａ    ウエブ出口
６      隔壁
６ａ    ウエブ通過口
７      受液槽
８      配管系
９      ポンプ
１０    異物除去手段
１１    超音波発振子
１２    槽
Ｗ      ウエブ
Ｃ１〜Ｃ５    セル
Ｒ      ローラー
【図１】
2016101544.tif 000003