(57)【要約】【課題】装置外のスペースを有効活用することができる。【解決手段】露光対象物が載置されるステージの上方には、棒状の光源が着脱可能に設けられた光照射部が設けられる。露光時には、光源の長手方向が露光対象物の走査方向と直交するように光照射部を配置し、光源を交換するときには、光照射部を露光時の位置から略４５度以上回転させる。【選択図】  図６
2016122120.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光対象物が載置されるステージと、
棒状の光源が着脱可能に設けられた光照射部であって、前記ステージの上方に設けられた光照射部と、
露光時には、前記光源の長手方向が前記露光対象物の走査方向と直交するように前記光照射部を配置し、前記光源を交換するときには、前記光照射部を前記露光時の位置から略４５度以上回転させる光源保持部と、
を備えたことを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記ステージは、前記走査方向に沿って第１の位置から第２の位置へ移動可能であり、
前記ステージが前記第１の位置又は前記第２の位置に位置する場合において、前記露光対象物を前記ステージへ又は前記ステージから移動させる移動手段を備え、
前記光照射部は、前記光源を交換するときに、前記光源を前記移動手段が設けられていない側に引き抜くことができるように、前記光源を保持する
ことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記ステージの上方に設けられた撮像部と、
前記撮像部を移動させるレールであって、前記光照射部が回転するときに前記光照射部と前記撮像部とが干渉しない位置まで前記撮像部を移動可能なレールと、
を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記光源保持部は、前記光照射部を回転させるための回転軸が、前記光照射部の略中央に設けられる
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項５】
前記光源保持部は、前記光照射部を回転させるための回転軸が、前記光照射部の長手方向の端部近傍に設けられる
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項６】
前記光源保持部は、前記光照射部を回転させるための回転軸と、前記回転軸を前記走査方向と直交する方向へ移動させる回転軸移動部と、を有する
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、光源と、光源に沿って延設される偏光膜とを備え、偏光膜を通して光源から出射される光を被露光面に照射する偏光露光装置が開示されている。この偏光露光装置においては、検光子の回転方向によって偏光軸の方向を設定し、検光子を通過した光を受光する受光量検出器の出力が極大となるように偏光照射部を回転させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−１８２０８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の発明のような偏光を用いて露光を行う露光装置においては、光源の被露光面側には偏光膜が配置されている。図１３は、偏光を用いて露光を行う従来の露光装置１００の概略を示す図である。
【０００５】
露光装置１００は、主として、光源１０１と、光源用筐体１０２と、偏光膜１０３と、ステージ１０４と、カメラ１０５と、装置枠１０６を有する。光源１０１は、光源用筐体１０２の内部に設けられており、光源１０１の下側（−ｚ側）には偏光膜１０３が設けられる。被露光面を有する被露光対象物Ｗは、ステージ１０４に載置されている。カメラ１０５は、被露光対象物Ｗの位置決めに用いられる。
【０００６】
光源１０１から下方（−ｚ方向）へ出射される光は、偏光膜１０３を通して被露光対象物Ｗの被露光面に照射される。偏光膜１０３は光源１０１の下側に設けられているため、光源１０１を交換する際には、光源１０１を長手方向に沿って（ｙ方向に沿って）引き抜く必要がある。
【０００７】
図１３では、＋ｙ方向に光源１０１を引き抜く場合を例示している。＋ｙ方向に光源１０１を引き抜いて光源１０１を交換する場合には、装置枠１０６の外側に光源１０１の長さＬと同等の交換スペースＡ０が必要となる。そのため、交換スペースＡ０に他の装置等を配置することができず、装置外のスペースを有効活用することができない。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、装置外のスペースを有効活用することができる露光装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明に係る露光装置は、例えば、露光対象物が載置されるステージと、棒状の光源が着脱可能に設けられた光照射部であって、前記ステージの上方に設けられた光照射部と、露光時には、前記光源の長手方向が前記露光対象物の走査方向と直交するように前記光照射部を配置し、前記光源を交換するときには、前記光照射部を前記露光時の位置から略４５度以上回転させる光源保持部と、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
本発明に係る露光装置によれば、光照射部には棒状の光源が着脱可能に設けられており、露光時には、長手方向が露光対象物の走査方向と直交するように光照射部を配置し、光源を交換するときには、光照射部を露光時の位置から略４５度以上回転させる。これにより、装置外のスペースを有効活用することができる。
【００１１】
ここで、前記ステージは、前記走査方向に沿って第１の位置から第２の位置へ移動可能であり、前記ステージが前記第１の位置又は前記第２の位置に位置する場合において、前記露光対象物を前記ステージへ又は前記ステージから移動させる移動手段を備え、前記光照射部は、前記光源を交換するときに、前記光源を前記移動手段が設けられていない側に引き抜くことができるように、前記光源を保持してもよい。これにより、移動手段を有する場合にも、装置外のスペースを有効活用することができる。
【００１２】
ここで、前記ステージの上方に設けられた撮像部と、前記撮像部を移動させるレールであって、前記光照射部が回転するときに前記光照射部と前記撮像部とが干渉しない位置まで前記撮像部を移動可能なレールと、を備えてもよい。これにより、撮像部を光照射部と干渉しないように移動させることができる。その結果、光照射部の回転に関する設計自由度を高くすることができる。
【００１３】
ここで、前記光源保持部は、前記光照射部を回転させるための回転軸が、前記光照射部の略中央に設けられてもよい。これにより、偏光照射部を回転させた後で光源を引き抜くときの光源の交換メンテナンス用の交換スペースのうちの装置枠内部の領域を広くすることができる。
【００１４】
ここで、前記光源保持部は、前記光照射部を回転させるための回転軸が、前記光照射部の長手方向の端部近傍に設けられてもよい。これにより、光照射部の回転に関する設計自由度を高くすることができる。また、撮像部を移動可能なレールを不要にできる。
【００１５】
ここで、前記光源保持部は、前記光照射部を回転させるための回転軸と、前記回転軸を前記走査方向と直交する方向へ移動させる回転軸移動部と、を有してもよい。これにより、光照射部の回転に関する設計自由度を高くすることができる。また、撮像部を移動可能なレールを不要にできる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、装置外のスペースを有効活用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】第１の実施の形態に係る露光装置１の概略を示す正面図である。
【図２】露光装置１の概略を示す平面図である。
【図３】偏光照射部の詳細を示す斜視図である。
【図４】偏光照射部を回転させた場合の一例を示す図である。
【図５】偏光照射部を回転させた場合の他の例を示す図である。
【図６】偏光照射部を回転させた場合の他の例を示す図である。
【図７】露光装置２の概略を示す平面図である。
【図８】偏光照射部を回転させた場合の一例を示す図である。
【図９】偏光照射部を回転させた場合の一例を示す図である。
【図１０】偏光照射部を回転させた場合の一例を示す図である。
【図１１】露光装置３の概略を示す平面図である。
【図１２】露光装置４の概略を示す平面図である。
【図１３】偏光を用いて露光を行う従来の露光装置１００の概略を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して詳細に説明する。
【００１９】
＜第１の実施の形態＞
図１は、第１の実施の形態に係る露光装置１の概略を示す正面図である。図２は、露光装置１の概略を示す平面図である。露光装置１は、例えば、光源からの光を偏光膜を通過させて偏光を得、この偏光をガラス基板等の被露光面に照射して、液晶パネル用の配向膜等を生成するものである。
【００２０】
以下、被露光対象物Ｗの搬送方向をｘ方向とし、搬送方向に直交する方向をｙ方向とし、鉛直方向をｚ方向とする。なお、図１においては、説明のため、装置枠６０及び門型保持部３１の手前側（＋ｙ側）の部分については図示を省略している。また、図２（後に詳述する図４〜１２についても同様）においては、説明のため、装置枠６０の天面（＋ｚ側の面）については図示を省略している。
【００２１】
露光装置１は、主として、偏光照射部１０と、駆動部２０と、保持部３０と、撮像部４０と、ロボット５０と、装置枠６０と、を備える。
【００２２】
偏光照射部１０は、被露光対象物Ｗに偏光を照射する。図３は、偏光照射部１０の詳細を示す斜視図である。偏光照射部１０は、主として、光源１１と、光学部材１２と、ミラー１３と、筐体１４と、を有する。
【００２３】
光源１１は、棒状の部材であり、偏光していない光（例えば、紫外光）を出射する。光源１１は、長さが略１ｍ〜略２ｍ程度であり、直径が略１０ｍｍ程度である。
【００２４】
光学部材１２は、光源１１の発光長よりやや長い長辺を持つ長方形の部材である。光学部材１２は、その長手方向が光源１１の長手方向に略一致するように、光源１１の下側（−ｚ側）に設けられる。光学部材１２は、例えば、光源１１から出射された無偏光の光を偏光する偏光膜であるが、偏光膜に限定されるものではない。また、光学部材１２は、一個の部材で構成してもよいし、平行四辺形（正方形、長方形を含む）の小片を複数用いて構成してもよい。例えば、平行四辺形の小片を列状に並べて、光源１１の発光長よりやや長い長辺を持つ長方形の光学部材１２としてもよい。
【００２５】
ミラー１３は、断面が楕円形であり、光源１１から出射された光を反射する。ミラー１３は、その長手方向が光源１１の長手方向と一致するように、光源１１の上側（＋ｚ側）に設けられる。これにより、光源１１から出射された光は、光学部材１２を通って、細い線状の光として下方（−ｚ方向）に向けて照射される（図３の２点鎖線参照）。
【００２６】
筐体１４には、光源１１、光学部材１２、及びミラー１３が設けられる。筐体１４の上側（＋ｚ側）の面には、回転駆動部３２（後に詳述）が設けられる。回転駆動部３２は、筐体１４、すなわち偏光照射部１０の略中央に設けられる。
【００２７】
図１及び図２の説明に戻る。駆動部２０は、主として、ステージ２１と、ステージガイドレール２２と、を有する。
【００２８】
ステージ２１は、図示しない駆動手段により、ステージガイドレール２２に沿って移動可能に設けられる（図１、２の太矢印参照）。ステージ２１の上面には、被露光対象物Ｗが載置される。
【００２９】
ステージ２１がステージガイドレール２２に沿ってｘ方向に移動する際には、図示しない位置検出部によりステージスキャン軸２３におけるステージ２１の位置が検出される。これにより、ステージ２１のｘ方向の位置が調整できる。なお、ステージ２１の移動及び位置決めは、すでに公知の技術であるため、説明を省略する。
【００３０】
保持部３０は、主として、門型保持部３１と、回転駆動部３２と、を有する。門型保持部３１は、天面部３１ａと、天面部３１ａを支える２本の柱３１ｂとを有する門型の部材である。門型保持部３１は、ステージ２１及びステージガイドレール２２を上（＋ｚ側）から覆うように設けられる。
【００３１】
天面部３１ａの下側（−ｚ側）には、回転駆動部３２が設けられる。回転駆動部３２は、回転軸３３と、回転軸３３を中心として筐体１４が回転できるように筐体１４を回動自在に支持する図示しない支持部と、筐体１４を回転させる図示しない駆動部と、を有する。これにより、門型保持部３１に偏光照射部１０が回転可能に吊り下げられる。
【００３２】
回転軸３３は、ｚ方向と略平行である。駆動部は、アクチュエータ等の駆動源と、駆動源を制御する制御部と、を有する。支持部の機構、駆動源、制御部が行う制御等は、すでに公知の様々な方法を用いることができるため、詳細な説明を省略する。
【００３３】
撮像部４０は、主として、アライメントカメラ４１と、レール４２と、を有する。アライメントカメラ４１は、ステージ２１上に載置された被露光対象物Ｗのアライメントに使用するものである。アライメントカメラ４１は、露光時に使用するものであり、光源１１を交換する際には使用しない。レール４２は、アライメントカメラ４１をｘ方向に移動させるときに用いられる。
【００３４】
ロボット５０は、被露光対象物Ｗをステージ２１へ移動させたり、被露光対象物Ｗをステージ２１から移動させたりする移動手段である。本実施の形態では、ロボット５０は、装置枠６０の＋ｘ側の端に隣接して設けられる場合を例示している。ロボット５０の位置は、図２等に示す位置には限られない。また、被露光対象物Ｗをステージ２１へ移動させたり、被露光対象物Ｗをステージ２１から移動させたりする移動手段は、ロボット５０に限定されない。
【００３５】
ロボット５０は、ステージ２１へ被露光対象物Ｗを載置可能な位置（図２点線参照）と、被露光対象物Ｗを露光装置１から取り出す位置（図２実線参照）との間で、回転可能である。ロボット５０は、すでに公知であるため、説明を省略する。
【００３６】
装置枠６０は、偏光照射部１０と、駆動部２０と、保持部３０と、撮像部４０とを覆う枠である。装置枠６０には図示しない第１の開口部が設けられており、第１の開口部を介して作業者が装置枠６０の内部に出入りしたり、光源１１等を出し入れしたりすることができる。また、装置枠６０には、ロボット５０が被露光対象物Ｗをステージ２１へ移動（載置）させたり、被露光対象物Ｗをステージ２１から移動（取り出し）させたりするための、第２の開口部（図示せず）が設けられる。
【００３７】
このように構成された露光装置１の作用について説明する。露光装置１は、被露光対象物Ｗを走査方向であるＸ方向に移動させながら、偏光照射部１０から照射された光を被露光対象物Ｗの被露光面に照射して、液晶パネル用の配向膜等を生成する。この露光装置１の作用は、すでに公知であるため、詳細な説明を省略する。なお、走査は、偏光照射部１０を移動させてもよいし、被露光対象物Ｗ（ステージ２１）を移動させてもよいし、それらの両方を相対的に移動させてもよい。
【００３８】
このような露光動作を行うと、光源１１は消耗品であるため、一定期間毎に光源１１を交換する必要がある。光源１１は細くて長いため、手で触ると割れ易い。したがって、光源１１の長さと略同一の長さの（図示しない）治具を光源１１の下に挿入し、治具の上に光源１１を載せてから治具を引き抜くことにより、光源１１を交換する。
【００３９】
光源１１を交換する際には、回転駆動部３２により、回転軸３３を中心として筐体１４、すなわち偏光照射部１０を回転させる。図４は、偏光照射部１０を回転させた場合の一例を示す図である。図４では、偏光照射部１０を、露光時の位置から、ｚ軸を中心として時計回りに４５度回転させた状態を示す。装置枠６０の内部は、ステージガイドレール２２が配置されているところまで作業者が入ることができる。そのため、ロボット５０が設けられていない側（ここでは、−ｘ側）に光源１１を引き抜いて光源１１を交換する場合において、装置枠６０内部の領域の一部を、光源１１の交換メンテナンス用の交換スペースＡ１として使用し、交換スペースＡ１の装置枠６０外部の広さを狭くすることができる。したがって、光源１１の交換時に光源１１を回転させない場合と比べて、装置枠６０外部の他の装置等を配置することができない領域を狭くすることができる。その結果、露光装置１の近傍のスペースを有効活用することができる。
【００４０】
図５は、偏光照射部１０を回転させた場合の他の例を示す図である。図５では、偏光照射部１０を、露光時の位置から、ｚ軸を中心として反時計回りに４５度回転させた状態を示す。図５においては、図４における偏光照射部１０の位置を点線で表示している。
【００４１】
図４に示す場合と同様に、図５に示す場合においても、ロボット５０が設けられていない側に光源１１を引き抜いて光源１１を交換する場合において、装置枠６０内部の領域の一部を、光源１１の交換メンテナンス用の交換スペースＡ２として使用し、露光装置１の近傍のスペースを有効活用することができる。
【００４２】
ただし、偏光照射部１０を反時計回りに４５度回転させた場合には、筐体１４と、２つのアライメントカメラ４１のうちの筐体１４側（−ｘ側）に設けられたアライメントカメラ４１とが当接してしまう。したがって、２つのアライメントカメラ４１のうちの筐体１４と干渉するアライメントカメラ４１を、レール４２に沿って移動させる。これにより、筐体１４とアライメントカメラ４１とが干渉せず、偏光照射部１０を回転させることができる。図１に示すように、レール４２の高さ（ｚ方向の位置）と、筐体１４の高さとは異なるため、レール４２と筐体１４とが干渉することはない。
【００４３】
なお、本実施の形態では、レール４２を走査方向（ｘ方向）に沿って設けているが、筐体１４とアライメントカメラ４１とが干渉しない位置へアライメントカメラ４１を移動させることができるのであれば、レール４２をｘ方向に沿って設ける必要は無い。
【００４４】
図６は、偏光照射部１０を回転させた場合の他の例を示す図である。図５では、偏光照射部１０を、露光時の位置から、ｚ軸を中心と９０度回転させた状態を示す。図６においては、図４及び図５における偏光照射部１０の位置を点線で表示している。
【００４５】
図４、５に示す場合と同様に、図６に示す場合においても、装置枠６０内部の領域の一部を、光源１１の交換メンテナンス用の交換スペースＡ３として使用し、露光装置１の近傍のスペースを有効活用することができる。
【００４６】
ただし、図５に示す場合と同様に、偏光照射部１０を９０度回転させた場合にも、筐体１４と、２つのアライメントカメラ４１のうちの筐体１４側に設けられたアライメントカメラ４１とが当接してしまう。したがって、２つのアライメントカメラ４１のうちの筐体１４と干渉するアライメントカメラ４１を、レール４２に沿って移動させる。
【００４７】
なお、偏光照射部１０の回転角度は図４〜６に示す場合に限定されない。ロボット５０が設けられていない側に光源１１を引く抜くことができ、かつ光源１１の交換メンテナンス用の領域のうちの装置枠６０外部の広さを狭くできるのであれば、様々な回転角度を採用することができる。本実施の形態では、図６に示すように、偏光照射部１０の回転角度θ１が４５度〜１３５度（時計回り、反時計回り共に）の範囲内であれば、ロボット５０が設けられていない側に光源１１を引く抜くことができ、かつ光源１１の交換メンテナンス用の領域のうちの装置枠６０外部の広さを狭くすることができる。
【００４８】
本実施の形態によれば、光源１１の交換時に偏光照射部１０を回転させることで、光源１１の交換に必要な装置外のスペースを狭くすることができる。また、アライメントカメラ４１を移動させることで、偏光照射部１０の回転に関する設計自由度を高くすることができる。
【００４９】
＜第２の実施の形態＞
第１の実施の形態では、装置枠のｘ方向の一端に隣接してロボットが設けられていたが、ロボットが設けられる位置等はこれに限られない。
【００５０】
第２の実施の形態は、装置枠のｙ方向の一端に隣接してロボットを設ける形態である。以下、第２の実施の形態に係る露光装置２について説明する。なお、第１の実施の形態に係る露光装置１と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
【００５１】
図７は、露光装置２の概略を示す平面図である。露光装置２は、２台のロボット５０を有する。ロボット５０は、装置枠６０の＋ｙ側の端に隣接して設けられる。ロボット５０は、ステージ２１が＋ｘ方向の端に位置する時に被露光対象物Ｗをステージ２１へ移動させたり、被露光対象物Ｗをステージ２１へ移動させたりできる位置、及びステージ２１が−ｘ方向の端に位置する時に被露光対象物Ｗをステージ２１へ移動させたり、被露光対象物Ｗをステージ２１から移動させたりできる位置の２箇所に設けられる。
【００５２】
露光装置２は、２組の撮像部４０を有する。撮像部４０は、ステージ２１が＋ｘ方向の端に位置する時に被露光対象物Ｗをアライメント可能な位置、及びステージ２１が−ｘ方向の端に位置する時に被露光対象物Ｗをアライメント可能な位置の２箇所に設けられる。
【００５３】
図８、９は、偏光照射部１０を回転させた場合の一例を示す図である。図８では、偏光照射部１０を、露光時の位置から、ｚ軸を中心として反時計回りに４５度回転させた状態を示す。図９では、偏光照射部１０を、露光時の位置から、ｚ軸を中心として時計回りに４５度回転させた状態を示す。図９においては、図８における偏光照射部１０の位置を点線で表示している。
【００５４】
ロボット５０が設けられていない側（ここでは、−ｙ側）に光源１１を引き抜いて光源１１を交換する場合において、装置枠６０内部の領域の一部を、光源１１の交換メンテナンス用の交換スペースＡ４、Ａ５として使用し、露光装置２の近傍のスペースを有効活用することができる。
【００５５】
このとき、偏光照射部１０の回転時に筐体１４と干渉してしまうアライメントカメラ４１を、レール４２に沿って移動させることで、偏光照射部１０を回転させることができる。
【００５６】
図１０は、偏光照射部１０を回転させた場合の他の例を示す図である。図１０では、偏光照射部１０を、露光時の位置から、ｚ軸を中心として９０度回転させた状態を示す。図１０においては、図８、９における偏光照射部１０の位置を点線で表示している。
【００５７】
偏光照射部１０を９０度回転させた場合には、偏光照射部１０とロボット５０とは平行である。すなわち、±ｘ方向のどちらもロボット５０が設けられていない側であり、光源１１は＋ｘ方向、−ｘ方向のどちらからも引き抜くことができる。光源１１を−ｘ方向に引き抜くときの交換メンテナンス用の領域は交換スペースＡ６とし、光源１１を＋ｘ方向に引き抜くときの交換メンテナンス用の領域は交換スペースＡ７とする。なお、図１０には交換スペースＡ６、Ａ７の両方が実線で示されているが、交換スペースＡ６、Ａ７はどちらか一方でよい。
【００５８】
この場合においても、装置枠６０内部の領域の一部を、交換スペースＡ６、Ａ７として使用し、露光装置２の近傍のスペースを有効活用することができる。
【００５９】
ただし、図８、９に示す場合と同様に、偏光照射部１０を９０度回転させた場合にも、筐体１４と、アライメントカメラ４１とが当接してしまう。したがって、筐体１４と干渉するアライメントカメラ４１を、レール４２に沿って移動させて、筐体１４がアライメントカメラ４１と干渉せずに回転できるようにする。  
【００６０】
なお、偏光照射部１０の回転角度は図８〜１０に示す場合に限定されない。第１の実施の形態と同様に、ロボット５０が設けられていない側に光源１１を引く抜くことができ、かつ光源１１の交換メンテナンス用の領域のうちの装置枠６０外部の広さを狭くできるのであれば、様々な回転角度を採用することができる。本実施の形態では、図１０に示すように、偏光照射部１０の回転角度θ２が反時計回りに４５度〜９０度の範囲内、又は偏光照射部１０の回転角度θ３が時計回りに４５度〜９０度の範囲内であれば、ロボット５０が設けられていない側に光源１１を引く抜くことができ、かつ光源１１の交換メンテナンス用の領域のうちの装置枠６０外部の広さを狭くすることができる。
【００６１】
本実施の形態によれば、光源１１の交換時に偏光照射部１０を回転させることで、光源１１の交換に必要な装置外のスペースを狭くすることができる。また、アライメントカメラ４１を移動させることで、偏光照射部１０の回転に関する設計自由度を高くすることができる。
【００６２】
＜第３の実施の形態＞
第１の実施の形態及び第２の実施の形態では、偏光照射部１０の回転軸３３は、門型保持部３１の天面部３１ａの略中央に設けられていたが、回転軸３３の位置はこれに限られない。
【００６３】
第２の実施の形態は、回転軸３３を天面部３１ａの長手方向の端近傍に設ける形態である。以下、第３の実施の形態に係る露光装置３について説明する。露光装置３と露光装置１との差異は、回転軸の位置のみであるため、第１の実施の形態に係る露光装置１と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
【００６４】
図１１は、露光装置３の概略を示す平面図である。露光装置３の保持部３０Ａにおいては、回転軸３３は、天面部３１ａの長手方向の両端（図１１においては、−ｙ方向及び＋ｙ方向の端）近傍に設けられる。
【００６５】
図１１は、偏光照射部１０を、露光時の位置から反時計回りに９０度回転させた場合を示す。回転軸３３が−ｙ方向の端近傍に設けられている場合には、偏光照射部１０を時計回りに９０度回転させ、回転軸３３が＋ｙ方向の端近傍に設けられている場合には、偏光照射部１０を反時計回りに９０度回転させる。これにより、筐体１４と、アライメントカメラ４１とが当接することなく、偏光照射部１０を回転させることができる。
【００６６】
露光装置３では、ロボット５０が装置枠６０の＋ｘ側の端に隣接して設けられているため、偏光照射部１０を９０度回転させてから、光源１１を−ｘ方向に引き抜く。この場合にも、装置枠６０内部の領域の一部を、露光装置３の近傍のスペースを有効活用することができる。
【００６７】
本実施の形態によれば、回転駆動部３２（回転軸３３）の位置を偏光照射部１０の略中央に限定しないことで、偏光照射部１０の回転に関する設計自由度を高くすることができる。
【００６８】
なお、図１１においては、回転軸３３が天面部３１ａの−ｙ方向の端近傍、及び＋ｙ方向の端近傍の２箇所に設けられたが、回転軸３３は−ｙ方向の端近傍、及び＋ｙ方向の端近傍のいずれか一方でよい。また、図１１には、レール４２が図示されているが、レール４２は必須ではない。
【００６９】
また、偏光照射部１０の回転角度は９０度に限定されない。第１、２の実施の形態と同様に、ロボット５０が設けられていない側に光源１１を引く抜くことができ、かつ光源１１の交換メンテナンス用の領域のうちの装置枠６０外部の広さを狭くできるのであれば、様々な回転角度を採用することができる。本実施の形態では、偏光照射部１０の回転角度が０〜９０度の範囲内であれば、ロボット５０が設けられていない側に光源１１を引く抜くことができ、かつ光源１１の交換メンテナンス用の領域のうちの装置枠６０外部の広さを狭くすることができる。
【００７０】
＜第４の実施の形態＞
第１の実施の形態及び第２の実施の形態では、偏光照射部１０の回転軸３３は、門型保持部３１の天面部３１ａの略中央に設けられていたが、回転軸３３の位置はこれに限られない。
【００７１】
第２の実施の形態は、回転軸３３を移動可能に設ける形態である。以下、第４の実施の形態に係る露光装置４について説明する。露光装置４と露光装置１との差異は、回転軸が移動できるか否かのみであるため、第１の実施の形態に係る露光装置１と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
【００７２】
図１２は、露光装置４の概略を示す平面図である。保持部３０Ｂは、主として、門型保持部３１と、回転駆動部３２とに加えて、回転駆動部３２を天面部３１ａの長手方向（ｙ方向）に沿って移動させる軸移動部を有する。
【００７３】
軸移動部は、天面部３１ａの下側（−ｚ側）に天面部３１ａの長手方向（ｙ方向）に沿って設けられたレール３４と、レール３４に沿って回転駆動部３２を移動させる図示しない駆動部と、を有する。駆動部は、アクチュエータ等の駆動源と、駆動源を制御する制御部と、を有する。駆動部の制御等は、すでに公知の様々な方法を用いることができるため、詳細な説明を省略する。
【００７４】
図１２は、偏光照射部１０を露光時の位置から９０度回転させ、回転駆動部３２をレール３４に沿って−ｙ方向に移動させた場合を示す。偏光照射部１０の回転と、回転駆動部３２の移動との順序は任意である。また、レール４２は必須ではない。
【００７５】
露光装置４においては、回転軸３３が筐体１４の長手方向略中央に位置するため、回転軸３３が筐体１４の端部近傍に位置する露光装置３に対して、偏光照射部１０を回転させた後で光源１１を引き抜くときの光源１１の交換メンテナンス用の交換スペースＡ１０のうちの装置枠６０内部の領域を広くすることができる。
【００７６】
なお、偏光照射部１０の回転角度は９０度に限定されない。第１〜３の実施の形態と同様に、ロボット５０が設けられていない側に光源１１を引く抜くことができ、かつ光源１１の交換メンテナンス用の領域のうちの装置枠６０外部の広さを狭くできるのであれば、様々な回転角度を採用することができる。本実施の形態では、回転駆動部３２の位置に応じて、０〜９０度の範囲内の様々な角度とすることができる。
【００７７】
本実施の形態によれば、回転駆動部３２（回転軸３３）を移動可能とすることで、偏光照射部１０の回転に関する設計自由度を高くすることができる。
【００７８】
以上、この発明の実施形態を、図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
【００７９】
また、本発明において、「略」とは、厳密に同一である場合のみでなく、同一性を失わない程度の誤差や変形を含む概念である。例えば、略中央とは、厳密に中央の場合には限られない。また、例えば、単に平行、直交等と表現する場合において、厳密に平行、直交等の場合のみでなく、略平行、略直交等の場合を含むものとする。また、本発明において「近傍」とは、例えばＡの近傍であるときに、Ａの近くであって、Ａを含んでもいても含んでいなくてもよいことを示す概念である。
【符号の説明】
【００８０】
１、２、３、４      ：露光装置
１０                ：偏光照射部
１１                ：光源
１２                ：光学部材
１３                ：ミラー
１４                ：筐体
２０                ：駆動部
２１                ：ステージ
２２                ：ステージガイドレール
２３                ：ステージスキャン軸
３０、３０Ａ、３０Ｂ：保持部
３１                ：門型保持部
３１ａ              ：天面部
３１ｂ              ：柱
３２                ：回転駆動部
３３                ：回転軸
３４                ：レール
４０                ：撮像部
４１                ：アライメントカメラ
４２                ：レール
５０                ：ロボット
６０                ：装置枠
１００              ：露光装置
１０１              ：光源
１０２              ：光源用筐体
１０３              ：偏光膜
１０４              ：ステージ
１０５              ：カメラ
１０６              ：装置枠
Ｗ                  ：被露光対象物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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