(57)【要約】      （修正有）【課題】オイルタンク内において一旦減圧脱気された潤滑オイルに、再び気体が溶解することを抑制でき、かつ、潤滑オイルの供給量を制御しやすい、流体動圧軸受の製造技術を提供する。【解決手段】軸受９０が配置されたチャンバ２０内を減圧する。これにより、オイルタンク１０内の圧力とチャンバ内の圧力とを、大気圧よりも低く、かつ、微差圧または無差圧の状態にする。次に、送液ポンプ３０の動力で、オイルタンク内からチャンバ内へ、潤滑オイル９を供給する。これにより、チャンバ内の軸受に潤滑オイルを注入する。このようにすれば、オイルタンク内からチャンバ内へ、大気圧よりも低い略同一の圧力を維持しながら潤滑オイルを供給できる。このため、オイルタンク内において一旦減圧脱気された潤滑オイルに、再び気体が溶解することを抑制できる。また、送液ポンプの駆動力によって潤滑オイルを供給するので、潤滑オイルの供給量を制御しやすい。【選択図】図１
2016194341.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
減圧環境下のオイルタンク内に貯留された潤滑オイルを、前記オイルタンクと配管および送液ポンプを介して接続されたチャンバ内の軸受に供給する軸受製造方法であって、
前記送液ポンプは、
前記潤滑オイルの流路を構成するハウジングと、
磁気浮上することで前記ハウジングに対して非接触で回転し、前記潤滑オイルに前記チャンバ側へ向かう圧力を発生させるロータと、
を含み、
ａ）前記チャンバ内に前記軸受を配置する工程と、
ｂ）前記チャンバ内を減圧することにより、前記オイルタンク内の圧力と前記チャンバ内の圧力とを、大気圧よりも低く、かつ、前記送液ポンプが無ければ前記配管内において前記潤滑オイルが流動しない微差圧または無差圧の状態にする工程と、
ｃ）前記工程ｂ）の後に、前記送液ポンプの動力で、前記オイルタンク内から前記チャンバ内へ、前記潤滑オイルを供給し、前記軸受に前記潤滑オイルを注入する工程と、
ｄ）前記工程ｃ）の後に、前記チャンバ内を加圧する工程と、
を有する軸受製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の軸受製造方法であって、
前記軸受は、静止軸受部材と回転軸受部材とを有するとともに、前記静止軸受部材と前記回転軸受部材との間の軸受間隙に繋がるテーパ状の開口部を有し、
前記工程ｃ）では、前記潤滑オイルが前記開口部に吐出され、
前記工程ｄ）では、前記潤滑オイルが、前記加圧によって、前記開口部から前記軸受間隙に浸透する軸受製造方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の軸受製造方法であって、
前記チャンバ内に吐出口が配置されたオイル吐出機構をさらに有し、
前記オイル吐出機構は、
前記吐出口を備える注入管部と、
前記注入管部と前記送液ポンプとの間に位置し、前記潤滑オイルの流路を開閉する開閉弁と、
を含み、
前記工程ｃ）は、
ｃ１）前記送液ポンプを始動させることによって、前記潤滑オイルに前記オイル吐出機構へ向かう圧力を発生させる工程と、
ｃ２）前記工程ｃ１）の後に、前記開閉弁を開放する工程と、
ｃ３）前記工程ｃ２）の後に、前記吐出口から、予め定められた量の前記潤滑オイルを吐出する工程と、
ｃ４）前記工程ｃ３）の後に、前記開閉弁を閉鎖する工程と、
ｃ５）前記工程ｃ４）の後に、前記送液ポンプを停止させる工程と、
を有する軸受製造方法。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の軸受製造方法であって、
前記チャンバ内に吐出口が配置されたオイル吐出機構をさらに有し、
前記オイル吐出機構は、
前記吐出口を備える注入管部と、
前記注入管部と前記送液ポンプとの間に位置し、前記潤滑オイルの流路を開閉する開閉弁と、
を含み、
前記送液ポンプを常時駆動させた状態で、前記工程ａ）から前記工程ｅ）までを実行し、
前記工程ｃ）は、
ｃ１）前記開閉弁を開放する工程と、
ｃ２）前記工程ｃ１）の後に、前記吐出口から、予め定められた量の前記潤滑オイルを吐出する工程と、
ｃ３）前記工程ｃ２）の後に、前記開閉弁を閉鎖する工程と、
を有する軸受製造方法。
【請求項５】
請求項１または請求項２に記載の軸受製造方法であって、
前記チャンバ内に吐出口が配置されたオイル吐出機構をさらに有し、
前記オイル吐出機構は、
前記吐出口を備える注入管部と、
前記注入管部と前記送液ポンプとの間に位置し、前記潤滑オイルの流路を開閉する開閉弁と、
を含み、
前記送液ポンプは、前記工程ａ）および前記工程ｂ）において、定常駆動よりも回転数の低い低速駆動を行い、
前記工程ｃ）は、
ｃ１）前記送液ポンプを、前記低速駆動から前記定常駆動に切り替える工程と、
ｃ２）前記工程ｃ１）の後に、前記開閉弁を開放する工程と、
ｃ３）前記工程ｃ２）の後に、前記吐出口から、予め定められた量の前記潤滑オイルを吐出する工程と、
ｃ４）前記工程ｃ３）の後に、前記開閉弁を閉鎖する工程と、
ｃ５）前記工程ｃ４）の後に、前記送液ポンプを、前記定常駆動から前記低速駆動に切り替える工程と、
を有する軸受製造方法。
【請求項６】
請求項３から請求項５までのいずれか１項に記載の軸受製造方法であって、
前記開閉弁における前記流路の開閉位置は、前記チャンバの内部に位置する軸受製造方法。
【請求項７】
請求項３から請求項６までのいずれか１項に記載の軸受製造方法であって、
前記注入管部は、ステンレス製であり、
前記注入管部の内周面の直径は、０．４ｍｍ以下である軸受製造方法。
【請求項８】
請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載の軸受製造方法であって、
前記工程ｂ）では、前記オイルタンク内の気体と、前記チャンバ内の気体とを、共通の減圧ポンプを用いて吸引する軸受製造方法。
【請求項９】
請求項１から請求項８までのいずれか１項に記載の軸受製造方法であって、
前記工程ｂ）では、前記チャンバ内を、２０パスカル以下に減圧する軸受製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、軸受製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ハードディスクドライブ等のディスク駆動装置には、ディスクを回転させるスピンドルモータが搭載されている。この種のスピンドルモータには、低振動性、高回転精度、高耐久性等の性能が求められる。これらの性能を満たすため、スピンドルモータの軸受に、流体動圧軸受が用いられる場合がある。
【０００３】
流体動圧軸受は、静止軸受部材と、回転軸受部材と、それらの間に介在する潤滑オイルとを有する。流体動圧軸受の動作時には、静止軸受部材または回転軸受部材に設けられた動圧溝によって、潤滑オイルに動圧が誘起される。その結果、静止軸受部材に対して回転軸受部材が、精度よく滑らかに回転する。このような流体動圧軸受では、軸受内部の潤滑オイルに気体が含まれていると、当該気体が気泡化するなどして、流体動圧軸受の性能を低下させる場合がある。このため、流体動圧軸受の製造工程では、潤滑オイルを脱気するとともに、脱気後の潤滑オイルへの気体の混入を防止することが求められる。
【０００４】
流体動圧軸受の従来の製造方法については、例えば、特開２００２−２１３４５２号公報に記載されている。
【特許文献１】特開２００２−２１３４５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来、流体動圧軸受に潤滑オイルを注入する工程では、軸受が配置されたチャンバの圧力よりも、供給元のオイルタンクの圧力を高くし、圧力差によって潤滑オイルを供給することが一般的である。このような方法では、供給元のオイルタンクを加圧するため、一旦脱気した潤滑オイルに再び気体が溶け込む虞がある。
【０００６】
特開２００２−２１３４５２号公報の製造方法では、軸受を配置する第１の真空チャンバの設定圧力が、潤滑流体を収容する第２の真空チャンバの設定圧力に対して、同等もしくは若干低く設定される。そして、開閉弁を開いたときに、第２の真空チャンバ内の潤滑流体が、重力によって第１の真空チャンバ側へと流れる。しかしながら、特開２００２−２１３４５２号公報の方法では、重力を利用して潤滑オイルを供給するため、潤滑オイルの供給量を精度よく管理することが困難である。
【０００７】
本発明の目的は、オイルタンク内において一旦減圧脱気された潤滑オイルに、再び気体が溶解することを抑制でき、かつ、潤滑オイルの供給量を制御しやすい、流体動圧軸受の製造技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本願の例示的な第１発明は、減圧環境下のオイルタンク内に貯留された潤滑オイルを、前記オイルタンクと配管および送液ポンプを介して接続されたチャンバ内の軸受に供給する軸受製造方法であって、前記送液ポンプは、前記潤滑オイルの流路を構成するハウジングと、磁気浮上することで前記ハウジングに対して非接触で回転し、前記潤滑オイルに前記チャンバ側へ向かう圧力を発生させるロータと、を含み、ａ）前記チャンバ内に前記軸受を配置する工程と、ｂ）前記チャンバ内を減圧することにより、前記オイルタンク内の圧力と前記チャンバ内の圧力とを、大気圧よりも低く、かつ、前記送液ポンプが無ければ前記配管内において前記潤滑オイルが流動しない微差圧または無差圧の状態にする工程と、ｃ）前記工程ｂ）の後に、前記送液ポンプの動力で、前記オイルタンク内から前記チャンバ内へ、前記潤滑オイルを供給し、前記軸受に前記潤滑オイルを注入する工程と、ｄ）前記工程ｃ）の後に、前記チャンバ内を加圧する工程と、を有する。
【発明の効果】
【０００９】
本願の例示的な第１発明によれば、オイルタンク内からチャンバ内へ、大気圧よりも低い略同一の圧力を維持しながら潤滑オイルを供給できる。このため、オイルタンク内において一旦減圧脱気された潤滑オイルに、再び気体が溶解することを抑制できる。また、送液ポンプの駆動力によって潤滑オイルを供給する。このため、潤滑オイルの供給量を制御しやすい。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、オイル供給装置の構成を示した図である。
【図２】図２は、送液ポンプの構造を示した図である。
【図３】図３は、オイル吐出機構の部分断面図である。
【図４】図４は、制御部とオイル供給装置内の各部との接続構成を示すブロック図である。
【図５】図５は、オイル供給装置の動作の流れを示したフローチャートである。
【図６】図６は、オイルタンク内の圧力、チャンバ内の圧力、および吐出開閉弁の開閉状態の経時変化を示したグラフである。
【図７】図７は、チャンバ内に配置された軸受の断面と、オイル吐出機構の一部分とを示した図である。
【図８】図８は、変形例に係るオイル供給動作を示すフローチャートである。
【図９】図９は、変形例に係るオイル供給動作を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
＜１．オイル供給装置の構成＞
図１は、オイル供給装置１の構成を示した図である。このオイル供給装置１は、流体動圧軸受９０（以下、単に「軸受９０」と称する）の製造工程において、軸受９０の静止軸受部材９１と回転軸受部材９２との間に、潤滑オイル９を供給する装置である。製造後の軸受９０は、例えば、ハードディスクドライブ等のディスク駆動装置に搭載されるスピンドルモータの一部となる。図１に示すように、オイル供給装置１は、オイルタンク１０、チャンバ２０、送液ポンプ３０、オイル吐出機構４０、減圧部５０、復圧部６０、および制御部７０を有する。
【００１２】
オイルタンク１０は、供給前の潤滑オイル９を貯留する耐圧容器である。オイルタンク１０の内部空間は、後述する減圧ポンプ５２によって、大気圧よりも低い圧力に減圧される。また、オイルタンク１０の内部には、回転子１１が設けられている。回転子１１を回転させると、オイルタンク１０内に貯留された潤滑オイル９が撹拌される。このように、潤滑オイル９は、減圧されたオイルタンク１０内に貯留されるとともに、撹拌される。これにより、供給前の潤滑オイル９が脱気される。
【００１３】
チャンバ２０は、軸受９０を内部に収容する耐圧容器である。チャンバ２０は、ベース部２１と、昇降可能なカバー部２２とを有する。ベース部２１の上面には、軸受９０を支持する台座部２３が設けられている。カバー部２２を上昇させると、チャンバ２０が開放されて、軸受９０の搬入および搬出が可能となる。一方、カバー部２２を下降させると、ベース部２１とカバー部２２とが互いに密着して、チャンバ２０が閉鎖される。潤滑オイル９の供給時には、チャンバ２０の内部空間が、後述する減圧ポンプ５２によって、大気圧よりも低い圧力に減圧される。
【００１４】
送液ポンプ３０は、オイルタンク１０とチャンバ２０とを接続する配管３１上に設けられる。送液ポンプ３０を動作させると、オイルタンク１０内に貯留された潤滑オイル９が、配管３１を通ってオイル吐出機構４０へ送られる。本開示では、送液ポンプ３０として磁気浮上式遠心ポンプを用いる。
【００１５】
図２は、送液ポンプ３０の構造を示した図である。図２に示すように、送液ポンプ３０は、ハウジング３２、ロータ３３、およびステータ３４を有する。ハウジング３２は、潤滑オイル９の流路を構成する。すなわち、ハウジング３２は、オイルタンク１０とチャンバ２０とを接続する配管３１の一部となる。ロータ３３は、ハウジング３２内に配置される。ロータ３３の外周面は、内部に設けられたマグネット３３１によって、磁化されている。ステータ３４は、ステータコア３４１と複数のコイル３４２とを有する。
【００１６】
コイル３４２に駆動電流が供給されると、ステータコア３４１に回転磁界が生じる。そして、ステータコア３４１とマグネット３３１との間の磁束により、ハウジング３２内において、ロータ３３が浮上しながら回転する。そうすると、ハウジング３２内の潤滑オイル９に、オイルタンク１０からチャンバ２０側へ向かう圧力が発生する。このように、磁気浮上式遠心ポンプでは、ロータ３３が磁気浮上することで、ハウジング３２に対してロータ３３が非接触で回転する。このため、送液ポンプ３０に磁気浮上式遠心ポンプを用いれば、送液ポンプ３０の駆動に伴って、ハウジング３２とロータ３３との接触による粉塵が発生する虞を低減できる。したがって、潤滑オイル９の汚染を抑制しながら、軸受９０へ潤滑オイル９を供給することができる。
【００１７】
オイル吐出機構４０は、チャンバ２０内に収容された軸受９０に対して、潤滑オイル９を吐出する機構である。図３は、オイル吐出機構４０の部分断面図である。図３に示すように、オイル吐出機構４０は、シリンダ４１と、注入管部４２と、吐出開閉弁４３とを有する。シリンダ４１は、チャンバ２０のカバー部２２に固定されている。シリンダ４１の内部には、送液ポンプ３０と注入管部４２との間を繋ぐ潤滑オイル９の流路４１１が形成されている。注入管部４２は、シリンダ４１の下端に接続されたニードル状の管である。注入管部４２の下端は、潤滑オイル９を吐出する吐出口４２１となる。吐出口４２１は、チャンバ２０の内部に配置される。
【００１８】
吐出開閉弁４３は、シリンダ４１の内部に配置された弁体４３１を有する。弁体４３１は、制御部７０からの指令に応じて上下に昇降する。軸受９０に潤滑オイル９を供給するときには、弁体４３１を上昇させて、シリンダ４１内の流路４１１を開放する。そうすると、送液ポンプ３０から送られる潤滑オイル９が、シリンダ４１内の流路４１１および注入管部４２を通って、吐出口４２１から吐出される。一方、潤滑オイル９の供給を停止するときには、弁体４３１を下降させて、シリンダ４１内の流路４１１を閉鎖する。
【００１９】
減圧部５０は、オイルタンク１０の内部およびチャンバ２０の内部を減圧する機構である。図１に示すように、減圧部５０は、排気管５１、減圧ポンプ５２、第１開閉弁５３、第１圧力センサ５４、および第２圧力センサ５５を有する。排気管５１は、主配管５１１、タンク側分岐配管５１２、およびチャンバ側分岐配管５１３を有する。タンク側分岐配管５１２の排気方向上流側の端部は、オイルタンク１０に接続される。チャンバ側分岐配管５１３の排気方向上流側の端部は、チャンバ２０に接続される。一方、タンク側分岐配管５１２およびチャンバ側分岐配管５１３の排気方向下流側の端部は、主配管５１１の排気方向上流側の端部に接続される。また、主配管５１１の排気方向下流側の端部は、減圧ポンプ５２に接続される。
【００２０】
第１開閉弁５３は、チャンバ側分岐配管５１３の経路上に設けられる。第１開閉弁５３を閉鎖した状態で減圧ポンプ５２を動作させると、減圧ポンプ５２の吸引力によって、オイルタンク１０内の気体が外部へ排出される。その結果、オイルタンク１０の内部空間が、大気圧よりも低い圧力に減圧される。また、第１開閉弁５３を開放した状態で減圧ポンプ５２を動作させると、減圧ポンプ５２の吸引力によって、オイルタンク１０の気体およびチャンバ２０内の気体が、外部へ排出される。その結果、オイルタンク１０の内部空間およびチャンバ２０の内部空間が、大気圧よりも低い圧力に減圧される。
【００２１】
このオイル供給装置１では、このように、オイルタンク１０内の気体とチャンバ２０内の気体との双方を、共通の減圧ポンプ５２によって吸引する。このため、後述するオイル供給処理の実行時に、オイルタンク１０内の圧力と、チャンバ２０内の圧力とを、微差圧または無差圧の状態に維持しやすい。なお、オイルタンク１０の内部は、減圧ポンプ５２を動作させている間は、常時減圧される。一方、チャンバ２０の内部は、必要に応じて第１開閉弁５３を開放することによって、適時に減圧される。
【００２２】
第１圧力センサ５４は、タンク側分岐配管５１２の経路上に設けられている。第１圧力センサ５４は、オイルタンク１０内の圧力（気圧）を反映した検出値を取得する。第２圧力センサ５５は、チャンバ側分岐配管５１３の経路上の、第１開閉弁５３よりもチャンバ２０側に設けられている。第２圧力センサ５５は、チャンバ２０内の圧力（気圧）を反映した検出値を取得する。また、第１圧力センサ５４および第２圧力センサ５５は、当該検出値を示す検出信号を、制御部７０へ送信する。
【００２３】
復圧部６０は、減圧されたチャンバ２０内の圧力を、再び上昇させる機構である。図１に示すように、復圧部６０は、チャンバ２０に接続されたパージ配管６１と、パージ配管６１に設けられた第２開閉弁６２とを有する。チャンバ２０内の圧力が大気圧よりも低い状態で、第２開閉弁６２を開放すると、チャンバ２０の外部からパージ配管６１を通ってチャンバ２０の内部へ、空気が流れ込む。これにより、チャンバ２０内の圧力が大気圧まで上昇する。
【００２４】
制御部７０は、オイル供給装置１内の各部を動作制御するための手段である。図１中に概念的に示したように、制御部７０は、ＣＰＵ等の演算処理部７１、ＲＡＭ等のメモリ７２、およびハードディスクドライブ等の記憶部７３を有するコンピュータにより構成されている。記憶部７３内には、軸受９０への潤滑オイル９の供給動作を制御するためのコンピュータプログラム７３１が、インストールされている。
【００２５】
図４は、制御部７０とオイル供給装置１内の各部との接続構成を示すブロック図である。図４に示すように、制御部７０は、上述した回転子１１、送液ポンプ３０、吐出開閉弁４３、減圧ポンプ５２、第１開閉弁５３、第１圧力センサ５４，第２圧力センサ５５、および第２開閉弁６２と、電気的に接続されている。制御部７０は、記憶部７３内のコンピュータプログラム７３１をメモリ７２に一時的に読み出し、当該コンピュータプログラム７３１に基づいて、演算処理部７１が演算処理を行うことにより、上記の各部を動作制御する。これにより、後述する潤滑オイル９の供給動作が進行する。
【００２６】
＜２．オイル供給装置の動作＞
続いて、オイル供給装置１における潤滑オイル９の供給動作について説明する。図５は、オイル供給装置１の動作の流れを示したフローチャートである。図６は、オイルタンク１０内の圧力、チャンバ２０内の圧力、および吐出開閉弁４３の開閉状態の経時変化を示したグラフである。なお、初期状態においては、吐出開閉弁４３、第１開閉弁５３、および第２開閉弁６２は、閉鎖されている。
【００２７】
潤滑オイル９の供給処理を開始するときには、まず、第１開閉弁５３を閉鎖した状態で、減圧ポンプ５２を始動させる（ステップＳ１）。減圧ポンプ５２を動作させると、図６のように、オイルタンク１０内の圧力ｐ１は、大気圧Ｐｏよりも低い圧力Ｐａに減圧される。すなわち、オイルタンク１０内が減圧環境下となる。オイルタンク１０内に貯留された潤滑オイル９は、回転子１１の回転と、減圧ポンプ５２による減圧とによって、脱気される。また、オイルタンク１０内に貯留された潤滑オイル９に、気体が新たに溶解することが、抑制される。
【００２８】
なお、以降のステップＳ２〜ステップＳ１３の処理が実行される間も、減圧ポンプ５２の駆動は継続される。
【００２９】
次に、チャンバ２０内に軸受９０を配置する（ステップＳ２）。ステップＳ２では、まず、チャンバ２０のカバー部２２を上昇させて、チャンバ２０を開放する。そして、台座部２３上に軸受９０をセットする。その後、再びカバー部２２を下降させて、チャンバ２０を閉鎖する（ステップＳ３）。チャンバ２０が閉鎖されると、チャンバ２０の内部は密閉された空間となる。
【００３０】
続いて、第１開閉弁５３を開放する（ステップＳ４）。そうすると、減圧ポンプ５２の吸引力によって、チャンバ２０内が減圧される。図６のように、チャンバ２０内の圧力ｐ２は、大気圧Ｐｏから、大気圧Ｐｏよりも低い圧力Ｐａへ向けて、徐々に減圧される。制御部７０は、第２圧力センサ５５からの検出信号が示す検出値に基づいて、チャンバ２０内の圧力ｐ２が、オイルタンク１０内の圧力ｐ１と略同一の圧力Ｐａまで低下したか否かを監視する（ステップＳ５）。なお、減圧後の圧力Ｐａの好ましい数値範囲は、２０パスカル以下である。例えば、減圧後の圧力Ｐａは１０パスカルとされる。
【００３１】
やがて、チャンバ２０内の圧力ｐ２が、圧力Ｐａまで低下する。これにより、オイルタンク１０内の圧力とチャンバ２０内の圧力とが、微差圧または無差圧の状態となる。このため、チャンバ２０内に供給される脱気済みの潤滑オイル９に、気体が新たに溶解しにくい状態となる。なお、本開示における「微差圧または無差圧」とは、送液ポンプが無ければ、吐出開閉弁を開放したとしても、配管内において潤滑オイルが流動しない圧力関係を指す。
【００３２】
チャンバ２０内の圧力ｐ２が圧力Ｐａまで低下すると、次に、制御部７０は、送液ポンプ３０を始動させる（ステップＳ６）。これにより、配管３１内の潤滑オイル９に、オイルタンク１０からチャンバ２０側へ向かう圧力が発生する。その後、制御部７０は、吐出開閉弁４３を開放する（ステップＳ７）。これにより、オイル吐出機構４０の注入管部４２の先端に設けられた吐出口４２１から、潤滑オイル９が吐出される。
【００３３】
図７は、チャンバ２０内に配置された軸受９０の断面と、オイル吐出機構４０の一部分とを示した図である。図７に示すように、軸受９０は、静止軸受部材９１と回転軸受部材９２とを有する。静止軸受部材９１と回転軸受部材９２との間には、潤滑オイル９が充填されるべき軸受間隙９３が存在する。また、軸受９０は、静止軸受部材９１と回転軸受部材９２との間に、軸受間隙９３に繋がる環状かつテーパ状の開口部９４を有する。開口部９４における静止軸受部材９１と回転軸受部材９２との間隔は、軸受間隙９３の外側へ向かうにつれて拡大する。
【００３４】
チャンバ２０を閉鎖した状態では、チャンバ２０内に収容された軸受９０の開口部９４の上方に、注入管部４２の吐出口４２１が配置される。このため、ステップＳ７では、吐出口４２１から軸受９０の開口部９４へ向けて、潤滑オイル９が吐出される。そして、吐出後の潤滑オイル９は、軸受９０の開口部９４に、全周に亘って保持される。
【００３５】
なお、注入管部４２には、例えば、ステンレス製の中空管部品が使用される。中空管部品の内径（内周面の直径）の好ましい数値範囲は、０．４ｍｍ以下である。また、中空管部品の内径のより好ましい数値範囲は、０．２ｍｍ以下である。一方、中空管部品の外径（外周面の直径）は、例えば０．７ｍｍ以下とされる。このようなサイズの中空管部品を用いることで、軸受９０の開口部９４に、効率よく潤滑オイル９を吐出できる。
【００３６】
このオイル供給装置１では、送液ポンプ３０の動力を利用して、潤滑オイル９を供給する。このため、吐出開閉弁４３を一定時間開放すれば、一定の吐出量を精度よく得ることができる。制御部７０は、吐出開閉弁４３を開放した後の経過時間ｔが、予め設定された時間Ｔａに達した否かを監視する（ステップＳ８）。そして、経過時間ｔが時間Ｔａに達すると、吐出開閉弁４３を閉鎖する（ステップＳ９）。これにより、オイル吐出機構４０からの潤滑オイル９の吐出を停止する。
【００３７】
このように、このオイル供給装置１では、吐出開閉弁４３を一定時間開放することによって、吐出口４２１から、予め定められた量の潤滑オイル９を吐出する。
【００３８】
その後、制御部７０は、送液ポンプ３０を停止させるとともに（ステップＳ１０）、第１開閉弁５３を閉鎖する（ステップＳ１１）。これにより、チャンバ２０内の減圧を停止する。また、制御部７０は、復圧部６０の第２開閉弁６２を開放する（ステップＳ１２）。そうすると、チャンバ２０の外部からパージ配管６１を通ってチャンバ２０の内部へ、空気が流れ込む。これにより、図６のように、チャンバ２０内の圧力ｐ２が再び大気圧Ｐｏまで上昇する。すなわち、チャンバ２０内が加圧される。これにより、図７中の矢印Ａのように、開口部９４に保持された潤滑オイル９が、開口部９４から軸受間隙９３に浸透する。
【００３９】
軸受間隙９３への潤滑オイル９の浸透が完了すると、チャンバ２０のカバー部２２を上昇させる。これにより、チャンバ２０を開放する（ステップＳ１３）。そして、チャンバ２０から軸受９０を取り出して、当該軸受９０に対する潤滑オイル９の供給処理を完了する。
【００４０】
なお、潤滑オイル９を注入すべき次の軸受９０がある場合には、ステップＳ１３の完了後、ステップＳ２に戻って、チャンバ２０内に次の軸受９０を配置する。そして、ステップＳ３〜Ｓ１３の処理を繰り返す。その間も、減圧ポンプ５２の駆動は継続される。したがって、オイルタンク１０内の圧力は、常に減圧状態に維持される。
【００４１】
以上のように、このオイル供給装置１では、オイルタンク１０内からチャンバ２０内へ、大気圧よりも低い略同一の圧力を維持しながら潤滑オイル９を供給する。このため、オイルタンク１０内において一旦減圧脱気された潤滑オイル９に、再び気体が溶解することを抑制しながら、チャンバ２０内の軸受９０に潤滑オイル９を注入できる。
【００４２】
従来のオイル供給装置では、図６中の二点鎖線Ｌのように、オイルタンク内の圧力を上昇させて、圧力差により潤滑オイルを供給するのが一般的であった。しかしながら、このオイル供給装置１では、オイルタンク１０とチャンバ２０との間の圧力差ではなく、送液ポンプ３０の駆動力によって、潤滑オイル９を供給する。このため、潤滑オイル９の供給量を制御しやすい。また、低圧のオイルタンク１０から高圧のチャンバ２０へ送液ポンプ３０を利用して潤滑オイル９を供給する場合と比較して、送液ポンプ３０に必要なパワーを抑えることができる。
【００４３】
また、このオイル供給装置１では、潤滑オイル９の供給に重力を利用しないので、チャンバ２０よりも高い位置にオイルタンク１０を配置する必要がない。オイルタンク１０およびチャンバ２０の位置関係は、自由に変更可能である。例えば、オイルタンク１０とチャンバ２０とを同じ高さに配置して、オイル供給装置１の高さ寸法を抑えることもできる。
【００４４】
また、このオイル供給装置１では、吐出開閉弁４３が開放されている間は、常に送液ポンプ３０が駆動している。このため、吐出開閉弁４３の開閉によって、潤滑オイル９の吐出量を容易に制御できる。また、吐出開閉弁４３を開放している間に、潤滑オイル９が逆流したり、吐出口４２１から空気が混入したりすることも、抑制できる。
【００４５】
また、図３に示すように、このオイル供給装置１では、吐出開閉弁４３における流路４１１の開閉位置が、チャンバ２０の内部に位置する。このため、当該開閉位置がチャンバ２０の外部に位置する場合と比べて、当該開閉位置から吐出口４２１までの流路の長さが短い。したがって、吐出開閉弁４３の閉鎖時に、閉鎖位置から吐出口４２１までの流路内に保持される潤滑オイル９の量を低減できる。このようにすれば、吐出前の潤滑オイル９に対する空気の溶解量を、より低減できる。
【００４６】
＜３．変形例＞
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではない。
【００４７】
図８は、変形例に係るオイル供給動作を示すフローチャートである。上記の実施形態では、１つの軸受９０に対する潤滑オイル９の注入が完了する度に、送液ポンプ３０を停止させていた。これに対し、図８の例では、送液ポンプ３０を常時駆動させた状態で、複数の軸受９０に対する潤滑オイル９の注入を行う。
【００４８】
具体的には、図８の例では、チャンバ２０内に最初の軸受９０をセットする前に、送液ポンプ３０を始動させておく（ステップＳａ）。そして、チャンバ２０内に軸受９０をセットしてチャンバ２０内を減圧した後に、吐出開閉弁４３を開放する（ステップＳ７）。これにより、潤滑オイル９の吐出を開始する。その後、予め定められた量の潤滑オイル９が吐出されると、吐出開閉弁４３を閉鎖する（ステップＳ９）。これにより、潤滑オイル９の吐出を停止する。さらに、チャンバ２０内を加圧して軸受間隙９３に潤滑オイル９を浸透させ、チャンバ２０から軸受９０を取り出す。
【００４９】
その後、潤滑オイル９を注入すべき次の軸受９０があるかどうかを判断する（ステップＳｂ）。次の軸受９０がある場合には、ステップＳ２に戻って、次の軸受９０をチャンバ２０内にセットする。一方、ステップＳｂにおいて、次の軸受９０が無い場合にのみ、送液ポンプ３０を停止させる（ステップＳｃ）。
【００５０】
このように、図８の例では、送液ポンプ３０を駆動させたまま、ステップＳ２〜Ｓ１３の処理を繰り返し実行する。このため、軸受９０ごとに送液ポンプ３０の停止および再駆動を行うことなく、複数の軸受９０に対して、潤滑オイル９の供給を迅速に行うことができる。また、吐出開閉弁４３が開放されている間は、常に送液ポンプ３０が駆動している。このため、吐出開閉弁４３の開閉によって、潤滑オイル９の吐出量を容易に制御できる。また、吐出開閉弁４３を開放している間に、潤滑オイル９が逆流したり、吐出口４２１から空気が混入したりすることも、抑制できる。
【００５１】
図９は、他の変形例に係るオイル供給動作を示すフローチャートである。図９の例では、チャンバ２０内に軸受９０をセットする前に、送液ポンプ３０を、定常駆動よりも回転数の低い低速駆動で始動させておく（ステップＳｄ）。そして、チャンバ２０内の減圧が完了するまでのステップＳ２〜Ｓ５の間は、送液ポンプ３０を低速駆動させる。続いて、吐出開閉弁４３を開放する直前に、送液ポンプ３０を、低速駆動から定常駆動に切り替える（ステップＳｅ）。そして、潤滑オイル９の吐出が完了するまでのステップＳ７〜Ｓ９の間は、送液ポンプ３０を定常駆動させる。やがて、潤滑オイル９の吐出が完了すると、送液ポンプ３０を、定常駆動から再び低速駆動に切り替える（ステップＳｆ）。
【００５２】
このように、図９の例では、吐出開閉弁４３が開放されている間は、常に送液ポンプ３０が定常駆動している。このため、吐出開閉弁４３の開閉によって、潤滑オイル９の吐出量を容易に制御できる。また、吐出開閉弁４３を開放している間に、潤滑オイル９が逆流したり、吐出口４２１から空気が混入したりすることも、抑制できる。また、図９の例では、吐出開閉弁４３の閉鎖時には、送液ポンプ３０を低速駆動させる。これにより，吐出開閉弁４３へ加わる潤滑オイル９の圧力を低減し、吐出開閉弁４３の損傷を抑制できる。また、オイル供給装置１の消費電力も抑えることができる。
【００５３】
また、上記の実施形態では、オイル吐出機構４０から潤滑オイル９を吐出した後に、チャンバ２０内を大気圧に復圧させていた。しかしながら、復圧後のチャンバ２０内の圧力は、必ずしも大気圧でなくてもよい。例えば、オイル吐出機構４０から潤滑オイル９を吐出した後に、チャンバ２０内を、大気圧よりも高い圧力まで加圧してもよい。
【００５４】
また、上記の実施形態では、オイルタンク１０内の圧力とチャンバ２０内の圧力とを微差圧または無差圧の状態とするために、圧力センサ５４，５５を用いて圧力を実測していた。しかしながら、減圧ポンプ５２によるオイルタンク１０内およびチャンバ２０内の圧力変化に再現性があれば、圧力を実測することなく、減圧ポンプ５２の駆動時間や、第１開閉弁５３の開放時間に基づいて、オイルタンク１０内の圧力およびチャンバ２０内の圧力を推定してもよい。
【００５５】
また、上記の実施形態では、オイルタンク１０内の減圧と、チャンバ２０内の減圧とに、共通の減圧ポンプ５２を用いていた。しかしながら、オイルタンク１０内の減圧と、チャンバ２０内の減圧とに、それぞれ別の減圧ポンプを用いてもよい。その場合、オイルタンク１０内の圧力とチャンバ２０内の圧力とが微差圧または無差圧の状態となるように、２つの減圧ポンプの吸引力を、圧力センサの検出値に基づいて制御すればよい。
【００５６】
また、上記の実施形態や変形例に登場した各要素を、矛盾が生じない範囲で、適宜に組み合わせてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
本発明は、軸受製造方法に利用できる。
【符号の説明】
【００５８】
１  オイル供給装置
９  潤滑オイル
１０  オイルタンク
１１  回転子
２０  チャンバ
２１  ベース部
２２  カバー部
２３  台座部
３０  送液ポンプ
３１  配管
３２  ハウジング
３３  ロータ
３４  ステータ
４０  オイル吐出機構
４１  シリンダ
４２  注入管部
４３  吐出開閉弁
５０  減圧部
５１  排気管
５２  減圧ポンプ
５３  第１開閉弁
５４  第１圧力センサ
５５  第２圧力センサ
６０  復圧部
６１  パージ配管
６２  第２開閉弁
７０  制御部
９０  流体動圧軸受
９１  静止軸受部材
９２  回転軸受部材
９３  軸受間隙
９４  開口部
４１１  流路
４２１  吐出口
４３１  弁体
【図１】
2016194341.tif 000003
【図２】
2016194341.tif 000004
【図３】
2016194341.tif 000005
【図４】
2016194341.tif 000006
【図５】
2016194341.tif 000007
【図６】
2016194341.tif 000008
【図７】
2016194341.tif 000009
【図８】
2016194341.tif 000010
【図９】
2016194341.tif 000011