(57)【要約】      （修正有）【課題】光反射のための斜面を端面に有すると共にこの端面を光素子に光学的に結合可能な光学デバイスを提供する。【解決手段】光学デバイスは、光ファイバ１３及びホルダを備え、ホルダの一端部１７ｇは、第１軸Ａｘ１に交差する第１基準面Ｒ１に沿ってホルダの側面から光ファイバ１３のクラッドまで延在する第１端面１７ｉと、一端部１７ｇ及び他端部１７ｈに交差する第２基準面Ｒ２に沿って延在する第２端面と、第１軸Ａｘ１に対してゼロ度より大きく９０度より小さい角度で傾斜する第３基準面Ｒ３に沿って延在する第３端面とを有する。光ファイバ１３のクラッドは第２端面に位置し、光ファイバ１３の一端１３ａは第３端面に位置する。【選択図】図２
2016194658.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学デバイスであって、
一又は複数の光ファイバと、
一端部、他端部、前記一端部から前記他端部への第１軸の方向に前記一端部から延在しており前記光ファイバを支持する支持部を有するホルダと、
を備え、
前記一端部は、前記第１軸に交差する第１基準面に沿って前記ホルダの側面から前記光ファイバのクラッドまで延在する第１端面と、前記一端部及び前記他端部の一方から他方への方向に向かう第２基準面に沿って延在する第２端面と、前記第１軸に対してゼロ度より大きく９０度より小さい角度で傾斜する第３基準面に沿って延在する第３端面とを有し、
前記光ファイバのクラッドは、前記第２端面に位置しており、前記光ファイバの一端は、前記第３端面に位置しており、
前記ホルダの前記第２端面は、前記ホルダの材料からなる複数の第２１エリアを含み、
前記ホルダの前記第３端面は、前記ホルダの材料からなり前記光ファイバの前記一端を囲む第３１エリアを含む、光学デバイス。
【請求項２】
前記光ファイバの配列は、前記一端部及び前記他端部に交差する平面に沿って配列され、
前記ホルダの前記第２端面における前記第２１エリアは、前記光ファイバの前記クラッドの間に位置しており、
前記光ファイバの前記一端は、前記第２端面と前記第３端面との接続部に配列されている、請求項１に記載された光学デバイス。
【請求項３】
前記ホルダは、前記一端部から前記他端部に前記第１軸の方向に延在するガイド部を有する、請求項１又は請求項２に記載された光学デバイス。
【請求項４】
前記ホルダは、前記第３端面上に設けられた保護膜を更に備え、
前記保護膜は、前記光ファイバのコアの屈折率より小さい屈折率の材料または金属の少なくとも一方を備える、請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載された光学デバイス。
【請求項５】
前記光ファイバは、前記ホルダ内に延在する第１部分と、前記ホルダの前記他端部から延出する第２部分とを含む、請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載された光学デバイス。
【請求項６】
前記光ファイバは、前記ホルダの前記一端部から前記ホルダの前記他端部まで延在する、請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載された光学デバイス。
【請求項７】
光学デバイスを備える光処理デバイスであって、
光結合素子と、該光結合素子に接続された光処理素子とを含む半導体光デバイスと、
前記半導体光デバイス上に設けられており、請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載された光学デバイスと、
を備え、
前記光学デバイスの前記光ファイバは、前記ホルダの前記第２端面を介して前記半導体光デバイスの前記光結合素子に光学的に結合される、光処理デバイス。
【請求項８】
前記光学デバイスの前記第２端面と前記半導体光デバイスの前記光結合素子との間に設けられた樹脂体を更に備え、
前記樹脂体は、前記光処理デバイスが処理する光を透過可能である、請求項７に記載された光処理デバイス。
【請求項９】
光学デバイスを作製する方法であって、
一端及び他端を有する支持体と、前記支持体内において前記支持体によって支持されており前記一端から前記他端への第１方向に延在する光ファイバ部品とを含む第１本体部品を形成する工程と、
前記第１本体部品を作製した後に前記支持体の前記一端及び前記光ファイバ部品を加工して、前記第１方向に交差する第１基準面に沿って延在する第１面、及び前記第１基準面に交差する第２基準面に沿って前記一端から前記他端への方向に前記一端から延在する第２面を有する第２本体部品に形成する工程と、
前記第２本体部品を作製した後に前記支持体の前記一端及び前記光ファイバ部品を加工して、前記第１基準面及び前記第２基準面に傾斜する第３基準面に沿って延在する第３面を有する第３本体部品に形成する工程と、
を備え、
前記第２面には、前記光ファイバ部品のクラッドが現れており、
前記第３面には、前記光ファイバ部品の一端面が位置する、光学デバイスを作製する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学デバイス、光処理デバイス、光学デバイスを作製する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、光ファイバ端面を斜めに加工した光学装置の構造を開示する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平４−３０８８０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１では、裸線の光ファイバのコアの延在方向に対して斜めに光ファイバの端面を加工すると共に、当該端面から上記の延在方向に該光ファイバの側面を加工してコアに沿った平坦な側面をクラッドに形成する。光ファイバの端面の斜め加工及びクラッド側面の平坦加工の際には、光ファイバを削ることが伴っており、これ故に、当該光ファイバの破損を伴うことがある。また、加工された光ファイバを光素子に光学的に結合させるように光ファイバを光素子に固定する際には、加工済みの光ファイバを単独で取り扱うことが伴っており、これ故に、当該光ファイバの破損を伴うことがある。これらいずれの場合においても、光ファイバの破損の可能性を低減することが求められる。特に、光通信の高速化に伴って光信号の並列伝送を行うために、複数の光ファイバを並列にして配列すると共に複数の光ファイバを並列に光素子に光学的に結合させることが必要である。これは、複数の光ファイバを実質的に同じ形状に加工すると共にその加工された複数の光ファイバを実質的に同じく光結合させることを要求する。
【０００５】
本発明の一側面は、上記の事情を鑑みて為されたものであり、光反射のための斜面を端面に有すると共にこの端面を光素子に光学的に結合可能な光学デバイスを提供することを目的とする。本発明の別の側面は、上記の光学デバイスを備える光処理デバイスを提供することを目的とする。本発明の更なる別の側面は、上記の光学デバイスを作製する方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一側面に係る光学デバイスは、一又は複数の光ファイバと、一端部、他端部、前記一端部から前記他端部への第１軸の方向に前記一端部から延在しており前記光ファイバを支持する支持部を有するホルダと、を備え、前記一端部は、前記第１軸に交差する第１基準面に沿って前記ホルダの側面から前記光ファイバのクラッドまで延在する第１端面と、前記一端部及び前記他端部の一方から他方への方向に向かう第２基準面に沿って延在する第２端面と、前記第１軸に対してゼロ度より大きく９０度より小さい角度で傾斜する第３基準面に沿って延在する第３端面とを有し、前記光ファイバのクラッドは、前記第２端面に位置しており、前記光ファイバの一端は、前記第３端面に位置しており、前記ホルダの前記第２端面は、前記ホルダの材料からなる複数の第２１エリアを含み、前記ホルダの前記第３端面は、前記ホルダの材料からなり前記光ファイバの前記一端を囲む第３１エリアを含む。
【０００７】
本発明の別の側面に係る光処理デバイスは、光処理デバイスであって、光結合素子と、該光結合素子に接続された光処理素子とを含む半導体光デバイスと、前記半導体光デバイス上に設けられており、上記の光学デバイスと、を備え、前記光学デバイスの前記光ファイバは、前記ホルダの前記第２端面を介して前記半導体光デバイスの前記光結合素子に光学的に結合されている。
【０００８】
本発明の更なる別の側面に係る光学デバイスを作製する方法は、一端及び他端を有する支持体と、前記支持体内において前記支持体によって支持されており前記一端から前記他端への第１方向に延在する光ファイバ部品とを含む第１本体部品を形成する工程と、前記第１本体部品を作製した後に前記支持体の前記一端及び前記光ファイバ部品を加工して、前記第１方向に交差する第１基準面に沿って延在する第１面、及び前記第１基準面に交差する第２基準面に沿って前記一端から前記他端への方向に前記一端から延在する第２面を有する第２本体部品に形成する工程と、前記第２本体部品を作製した後に前記支持体の前記一端及び前記光ファイバ部品を加工して、前記第１基準面及び前記第２基準面に傾斜する第３基準面に沿って延在する第３面を有する第３本体部品に形成する工程と、を備え、前記第２面には、前記光ファイバ部品のクラッドが現れており、前記第３面には、前記光ファイバ部品の一端面が位置する。
【０００９】
本発明の上記の目的および他の目的、特徴、並びに利点は、添付図面を参照して進められる本発明の好適な実施の形態の以下の詳細な記述から、より容易に明らかになる。
【発明の効果】
【００１０】
以上説明したように、本発明の一側面によれば、光反射のための斜面を端面に有すると共にこの端面を光素子に光学的に結合可能な光学デバイスが提供される。本発明の別の側面によれば、上記の光学デバイスを備える光処理デバイスが提供される。本発明の更なる別の側面によれば、上記の光学デバイスを作製する方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、本実施形態に係る光学デバイスを概略的に示す図面である。
【図２】図２は、本実施形態に係る光学デバイスを概略的に示す図面である。
【図３】図３は、本実施形態に係る光学デバイスの典型的な構造を示す図面である。
【図４】図４は、本実施形態に係る光学デバイスとＭＴコネクタとの接続を概略的に示す図面である。
【図５】図５は、本実施形態に係る光処理デバイスを概略的に示す図面である。
【図６】図６は、本実施形態に係る光学デバイス及びシリコンフォトニクス素子を概略的に示す平面図である。
【図７】図７は、本実施形態に係る光学デバイス及びシリコンフォトニクス素子の光結合を概略的に示す平面図である。
【図８】図８は、本実施形態に係る別の光学デバイスを概略的に示す図面である。
【図９】図９は、本実施形態に係る別の光学デバイスを概略的に示す図面である。
【図１０】図１０は、本実施形態に係る光学デバイス及びシリコンフォトニクス素子を概略的に示す平面図である。
【図１１】図１１は、本実施形態に係るホルダの構造を示す図面である。
【図１２】図１２は、本実施形態に係るホルダの構造を示す図面である。
【図１３】図１３は、本実施形態に係る光学デバイスを作製する方法における主要な工程を示す図面である。
【図１４】図１４は、本実施形態に係る光学デバイスを作製する方法における主要な工程を示す図面である。
【図１５】図１５は、本実施形態に係る光学デバイスを作製する方法における主要な工程を示す図面である。
【図１６】図１６は、本実施形態に係る光学デバイスを作製する方法における主要な工程を示す図面である。
【図１７】図１７は、本実施形態に係る光学デバイスを作製する方法における主要な工程を示す図面である。
【図１８】図１８は、本実施形態に係る光学デバイスを作製する方法における主要な工程を示す図面である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
引き続き、いくつかの具体例を説明する。
【００１３】
一形態に係る光学デバイスは、（ａ）一又は複数の光ファイバと、（ｂ）一端部、他端部、前記一端部から前記他端部への第１軸の方向に前記一端部から延在しており前記光ファイバを支持する支持部を有するホルダと、を備え、前記一端部は、前記第１軸に交差する第１基準面に沿って前記ホルダの側面から前記光ファイバのクラッドまで延在する第１端面と、前記一端部及び前記他端部の一方から他方への方向に向かう第２基準面に沿って延在する第２端面と、前記第１軸に対してゼロ度より大きく９０度より小さい角度で傾斜する第３基準面に沿って延在する第３端面とを有し、前記光ファイバのクラッドは、前記第２端面に位置しており、前記光ファイバの一端は、前記第３端面に位置しており、前記ホルダの前記第２端面は、前記ホルダの材料からなる複数の第２１エリアを含み、前記ホルダの前記第３端面は、前記ホルダの材料からなり前記光ファイバの前記一端を囲む第３１エリアを含む。
【００１４】
この光学デバイスによれば、光ファイバの側面は、ホルダの第２端面に位置すると共に第２基準面に沿って延在する。各光ファイバの一端面は、ホルダの第３端面に位置すると共に第３基準面に沿って延在する。ホルダの第２端面がホルダの材料からなる複数の第２１エリアを有しており、光ファイバの側面は第２１エリアの間において第２基準面に沿って延在する。ホルダの第３端面は、ホルダの材料からなる第３１エリアを有しており、光ファイバの一端面は第３１エリアの間において第３基準面に沿って延在する。この構造において、個々の光ファイバはホルダに位置決めされると共に、光ファイバの一端面及び第３１エリアは共に第３基準面に沿って延在する。また、光ファイバの側面及び第２１エリアは共に第２基準面に沿って延在する。光学デバイスを伝搬する光は、光ファイバの一端面による反射によって伝搬方向を変える。また、光学デバイスに係る光は、この光ファイバの一端面と光ファイバの側面との間の領域を伝搬する。この光学デバイスは、光ファイバの端面の傾斜を光反射に利用すると共に光ファイバの端面を光素子に光学的に結合可能である。
【００１５】
一形態に係る光学デバイスでは、前記光ファイバは、前記一端部及び前記他端部に交差する平面に沿って配列され、前記ホルダの前記第２端面における前記第２１エリアは、前記光ファイバの前記クラッドの間に位置しており、前記光ファイバの前記一端は、前記第２端面と前記第３端面との接続部に配列されている。
【００１６】
この光学デバイスによれば、光ファイバの配列は一端部から他端部への方向に第２基準面に沿って延在する。ホルダの第２端面の第２１エリアは、一の光ファイバの側面とこれに隣接の光ファイバの側面との間に位置し、ホルダの第３端面の第３１エリアは、一の光ファイバの一端面とこれに隣接の光ファイバの一端面との間に位置する。複数の光ファイバの側面及び第２１エリアは、第２基準面に沿って配列される。複数の光ファイバの一端面及び第３１エリアは、第３基準面に沿って配列される。第３基準面に位置する個々の光ファイバ端面は、当該光学デバイスを伝搬する光の反射に利用される。また、当該光学デバイスに係る光は、個々の光ファイバの側面を通過する。この光学デバイスは、個々の光ファイバの端面の傾斜を光反射に利用すると共に光ファイバの端面を光素子に光学的に結合可能である。
【００１７】
一形態に係る光学デバイスでは、前記ホルダは、前記一端部から前記他端部に前記第１軸の方向に延在するガイド部を有する。
【００１８】
この光学デバイスによれば、ガイド部は、光学デバイスの光ファイバのための支持部に対して位置決めされている。これ故に、光学デバイスのガイド部は、光学デバイスを光素子に対して位置決めするために役立つ。
【００１９】
一形態に係る光学デバイスは、前記ホルダは、前記第３端面上に設けられた保護膜を更に備え、前記保護膜は、前記光ファイバのコアの屈折率より小さい屈折率の材料または金属の少なくとも一方を備える。
【００２０】
この光学デバイスによれば、保護膜は、光学デバイスと光素子との間に設けられる屈折率調整部材が光ファイバの一端面上に回り込むことにより影響を回避するために有効である。
【００２１】
一形態に係る光学デバイスでは、前記光ファイバは、前記ホルダ内に延在する第１部分と、前記ホルダの前記他端部から延出する第２部分とを含む。
【００２２】
この光学デバイスによれば、ピグテール型が実現される。
【００２３】
一形態に係る光学デバイスでは、前記光ファイバは、前記ホルダの前記一端部から前記ホルダの前記他端部まで延在する。
【００２４】
この光学デバイスによれば、スタブ型が実現される。
【００２５】
一形態に係る光処理デバイスは、光学デバイスを備える光処理デバイスであって、（ａ）光結合素子と、該光結合素子に接続された光処理素子とを含む半導体光デバイスと、（ｂ）前記半導体光デバイス上に設けられており、上記の光学デバイスと、を備え、前記光学デバイスの前記光ファイバは、前記ホルダの前記第２端面を介して前記半導体光デバイスの前記光結合素子に光学的に結合される。
【００２６】
この光処理デバイスによれば、光学デバイスと、該光学デバイスに接続された半導体光デバイスとの厚さを小さくできる。また、この光処理デバイスによれば、光学デバイスの光ファイバを伝搬する光は、光ファイバの一端面による反射を利用してその伝搬方向を変える。また、光ファイバの一端面と光ファイバの側面との間の光ファイバ部分は、光の伝搬経路として利用される。この光学デバイスは、光ファイバの端面の傾斜を光反射に利用すると共に光ファイバの端面を光素子に光学的に結合可能である。光処理デバイスは、光学デバイスと半導体光デバイスとの間に光学的結合を提供できると共に、光学デバイスと半導体光デバイスの組み合わせは、小型の光処理デバイスを実現する。
【００２７】
一形態に係る光処理デバイスは、前記光学デバイスの前記第２端面と前記半導体光デバイスの前記光結合素子との間に設けられた樹脂体を更に備え、前記樹脂体は、前記光処理デバイスが処理する光を透過可能である。
【００２８】
この光処理デバイスによれば、光学デバイスと半導体光デバイスとの間に良好な光学的結合を提供できる。
【００２９】
一形態に係る光学デバイスを作製する方法は、（ａ）一端及び他端を有する支持体と、前記支持体内において前記支持体によって支持されており前記一端から前記他端への第１方向に延在する光ファイバ部品とを含む第１本体部品を形成する工程と、（ｂ）前記第１本体部品を作製した後に前記支持体の前記一端及び前記光ファイバ部品を加工して、前記第１方向に交差する第１基準面に沿って延在する第１面、及び前記第１基準面に交差する第２基準面に沿って前記一端から前記他端への方向に前記一端から延在する第２面を有する第２本体部品に形成する工程と、（ｃ）前記第２本体部品を作製した後に前記支持体の前記一端及び前記光ファイバ部品を加工して、前記第１基準面及び前記第２基準面に傾斜する第３基準面に沿って延在する第３面を有する第３本体部品に形成する工程と、を備え、前記第２面には、前記光ファイバ部品のクラッドが現れており、前記第３面には、前記光ファイバ部品の一端面が位置する。
【００３０】
光学デバイスを作製する方法によれば、第１本体部品の加工によって、光ファイバ部品のクラッドが現れており第１面に出会う第２面を形成することができる。また、第２本体部品の加工によって、光ファイバ部品の一端面が位置し第２面に到達する第３面を形成できる。
【００３１】
本発明の知見は、例示として示された添付図面を参照して以下の詳細な記述を考慮することによって容易に理解できる。引き続いて、添付図面を参照しながら、光学デバイス、光処理デバイス、光学デバイスを作製する方法に係る実施形態を説明する。可能な場合には、同一の部分には同一の符号を付する。
【００３２】
図１及び図２は、本実施形態に係る光学デバイスを概略的に示す図面である。図１の（ａ）部及び図１の（ｂ）部は、光学デバイス１１の外観を示すために斜視図として描かれている。図２の（ｂ）部、図２の（ｃ）部及び図２の（ｄ）部は、光学デバイス１１の構造を示すために、いくつかの方向から平面図として描かれている。図２の（ａ）部は、図２の（ｂ）部、図２の（ｃ）部及び図２の（ｄ）部のＩａ−Ｉａ線にそって取られた断面を示す。図２の（ａ）部には、３つの矢印（ｂ、ｃ、ｄ）が示されており、これらの矢印（ｂ、ｃ、ｄ）は、それぞれ、図２の（ｂ）部、図２の（ｃ）部及び図２の（ｄ）部のための視線を示す。光学デバイス１１は、一又は複数の光ファイバ１３、及びホルダ１７を備える。光ファイバ１３の各々は、一端１３ａ及び他端１３ｂを備える。また、光ファイバ１３の各々は、コア１３ｃ及びクラッド１３ｄを備える。ホルダ１７は、光ファイバ１３を支持するための支持部１７ｃを有しており、更に、ホルダ１７は、一端部１７ｇ及び他端部１７ｈを含む。また、ホルダ１７の支持部１７ｃは、一端部１７ｇから他端部１７ｈへの第１軸Ａｘ１の方向に一端部１７ｇから延在する。一端部１７ｇは、第１端面１７ｉと、第２端面１７ｊと、第３端面１７ｋとを有する。ホルダ１７は、本実施例では、第１側面１７ｍ、第２側面１７ｎ、第３側面１７ｐ、及び第４側面１７ｑを有する。第１端面１７ｉ、第２端面１７ｊ及び第３端面１７ｋは、一端部１７ｇの一端面を構成する。他端部１７ｈは、第４端面１７ｔを有する。第４端面１７ｔは、本実施例では、他端部１７ｈの他端面を構成する。一端部１７ｇの一端面は、他端部１７ｈの他端面の反対側にある。第１端面１７ｉは、第１軸Ａｘ１に交差（例えば直角の交差）を成す第１基準面Ｒ１に沿ってホルダ１７の第１側面１７ｍから光ファイバ１３のクラッド１３ｄまで延在する。第２端面１７ｊは、一端部１７ｇ及び他端部１７ｈに交差する第２基準面Ｒ２に沿って延在する。第３端面１７ｋは、第１軸Ａｘ１に対してゼロ度より大きく９０度より小さい角度ＴＨ１で傾斜する第３基準面Ｒ３に沿って延在する。光ファイバ１３のクラッド１３ｄは、第２端面１７ｊに位置している。光ファイバ１３の一端１３ａは第３端面１７ｋに位置している。ホルダ１７の第２端面１７ｊは、ホルダ１７の材料からなる複数の第２１エリア１７ｒを含む。ホルダ１７の第３端面１７ｋは、ホルダ１７の材料からなり光ファイバ１３の一端１３ａを囲む第３１エリア１７ｓを含む。
【００３３】
図１及び図２に示されるように、この光学デバイス１１では、光ファイバ１３は一端部１７ｇから他端部１７ｈへの方向に第２基準面Ｒ２に沿って延在する。各光ファイバ１３のクラッド面１３ｅは、ホルダ１７の第２端面１７ｊに位置すると共に第２基準面Ｒ２に沿って延在する。各光ファイバ１３の一端１３ａ（端面）は、ホルダ１７の第３端面１７ｋに位置すると共に第３基準面Ｒ３に沿って延在する。ホルダ１７の第２端面１７ｊがホルダ１７の材料からなる複数の第２１エリア１７ｒを有しており、光ファイバ１３のクラッド面１３ｅは第２１エリア１７ｒの間において第２基準面Ｒ２に沿って延在する。ホルダ１７の第３端面１７ｋは、ホルダ１７の材料からなる第３１エリア１７ｓを有しており、光ファイバ１３の一端１３ａは第３１エリア１７ｓの間において第３基準面Ｒ３に沿って延在する。この構造においては、個々の光ファイバ１３はホルダ１７に位置決めされると共に、光ファイバ１３の一端１３ａ及び第３１エリア１７ｓは共に第３基準面Ｒ３に沿って延在する。また、光ファイバ１３のクラッド面１３ｅ及び第２１エリア１３ｒは共に第２基準面Ｒ２に沿って延在する。光ファイバ１３の一端１３ａによる反射は、例えば、光学デバイス１１を伝搬する光の方向を変えるために利用される。例えば、光ファイバ１３を伝搬してその一端１３ａの端面によって反射された光は、光ファイバ１３のクラッド面１３ｅを通過する。また、クラッド面１３ｅを通過して光ファイバ１３に入射した光は、光ファイバ１３の一端１３ａの端面によって反射されて、光ファイバ１３を伝搬していく。この光学デバイス１１は、光ファイバ１３の端面の傾斜を光反射に利用すると共に光ファイバ１３の端面を光素子といった半導体光デバイス１０３に光学的に結合可能である。図１及び図２に示される光学デバイス１１では、光ファイバ１３は、第２基準面Ｒ２に沿って配列されている。ホルダ１７の第２端面１７ｊにおける第２１エリア１７ｒは、光ファイバ１３のクラッド１３ｄの間に位置している。光ファイバ１３の一端１３ａは第２端面１７ｊと第３端面１７ｋとの接続部１７ｕに配列されている。第２１エリア１７ｒ、第３１エリア１７ｓは、光ファイバ１３と光ファイバ１３との間において延在して、ホルダ１７が光ファイバ１３のクラッドの外周をしっかり保持することを可能にしている。この保持によって、個々の光ファイバ１３の向きが移動することを防止できる。ホルダ１７の第２１エリア１７ｒ及び第３１エリア１７ｓは、クラッド面１３ｅが、光ファイバ１３の配列全体にわたって同じ方向を向くことを可能にしている。光ファイバ１３が単一の平面に沿って配列されている。この配列によって、斜め面に端面膜をコーティングする工程において、クラッド面１３ｅに端面膜が回り込んで付着するのを避けるために、クラッド面１３ｅを覆い隠すことが容易になる。
【００３４】
この光学デバイス１１によれば、光ファイバ１３の配列は一端部１７ｇから他端部１７ｈへの方向に第２基準面Ｒ２に沿って延在する。図２の（ａ）部、図２の（ｂ）部、図２の（ｃ）部及び図２の（ｄ）部には、直交座標系Ｓが示されており、光ファイバ１３は、本実施例では、直交座標系ＳのＹ軸及びＺ軸によって規定される平面に平行に配置されている。ホルダ１７の第２端面１７ｊの第２１エリア１７ｒは、一の光ファイバ１３のクラッド面１３ｅとこれに隣接の光ファイバ１３のクラッド面１３ｅとの間に位置し、ホルダ１７の第３端面１７ｋの第３１エリア１７ｓは、一の光ファイバ１３の一端１３ａの傾斜端面とこれに隣接の光ファイバ１３の一端１３ａの傾斜端面との間に位置する。複数の光ファイバ１３のクラッド面１３ｅ及び第２１エリア１７ｒは第２基準面Ｒ２に沿って配列される。複数の光ファイバ１３の一端１３ａの端面及び第３１エリア１７ｓは第３基準面Ｒ３に沿って配列される。光学デバイス１１における複数の光ファイバ１３を伝搬する光は、第３基準面Ｒ３に位置するそれぞれの光ファイバ１３の端面による反射によって伝搬方向を変える。また、光学デバイス１１における複数の光ファイバ１３の端面によって反射した光は、それぞれ、光ファイバ１３のクラッド面１３ｅを通過して光学デバイス１１から出射される。或いは、光ファイバ１３のクラッド面１３ｅを介して光ファイバ１３に入射する光は、光ファイバ１３の端面によって反射されて、光ファイバ１３のコアに沿って伝搬する。この光学デバイス１１は、個々の光ファイバ１３の一端１３ａの端面の傾斜を光反射に利用すると共に光ファイバ１３の一端１３ａの端面を光素子に光学的に結合可能である。
【００３５】
ホルダ１７は、ガイド部１７ｄを備えることができる。このガイド部１７ｄは、一端部１７ｇから他端部１７ｈに第１軸Ａｘ１の方向に延在する。この光学デバイス１１によれば、ガイド部１７ｄは、光学デバイス１１の光ファイバ１３のための支持部１７ｃに対して位置決めされている。これ故に、光学デバイス１１のガイド部１７ｄは、光学デバイス１１を光素子に対して位置決めするために役立つ。本実施例では、ガイド部１７ｄは、一端部１７ｇから他端部１７ｈに第１軸Ａｘ１の方向に延在する孔であることができる。
【００３６】
一実施例では、光ファイバ１３は石英製シングルモードファイバであることができる。ホルダ１７の材料は、例えば石英フィラーを含有したポリフェニレンサルファイド（耐熱温度：１５０度）、又はガラス材等であることができる。光ファイバ１３のピッチは、例えば２５０μｍであり、ガイドピンのためのガイド部１７ｄは例えば７００μｍ径である。クラッド面１３ｅを支持する第２１エリア１７ｒの長さＬは、第２端面１７ｊにおいて接続部１７ｕから接続部１７ｖへの方向に例えば１．５ｍｍであり、適切な光結合のために１ｍｍ以上であることが好ましい。適切な光ファイバ保持のために第３１エリア１７ｓの幅は、３ｍｍ以上であることができる。また、ホルダ１７の幅Ｗは、例えば６.４ｍｍであることができ、ホルダ１７の厚さＴは、例えば２.４ｍｍであることができる。
【００３７】
図３は、本実施形態に係る光学デバイスの典型的な構造を示す図面である。図３の（ａ）部を参照すると、光学デバイス１１の一構造が示されている。この構造の光学デバイス１１では、光ファイバ１３は、ホルダ１７内に延在する第１部分１４ａと、ホルダ１７の他端面から延出する第２部分１４ｂとを含むことができる。本実施例では、第２部分１４ｂは、光ファイバ１３の他端１３ｂを備えており、他端１３ｂには光コネクタＣＯＮが設けられている。この構造によれば、ピグテール型が実現される。
【００３８】
また、図３の（ｂ）部を参照すると、光学デバイス１１の別の構造が示されている。この構造の光学デバイス１１では、光ファイバ１３は、ホルダ１７の一端部１７ｇ（具体的には第３端面１７ｋ）からホルダ１７の第４端面１７ｔまで延在する。この構造によれば、光学デバイス１１にスタブ型を提供できる。本実施例では、図４に示されるように、第４端面１７ｔは、例えばＭＴコネクタＭＴＣＯＮに接続されることができる。ＭＴコネクタＭＴＣＯＮの接続端面として用いられる一端面には、複数の光ファイバ端が配列されており、図４の（ａ）部に示されるように、光学デバイス１１、ＭＴコネクタＭＴＣＯＮ及びガイドピンＧＰＩＮを準備する。ＭＴコネクタＭＴＣＯＮの他端面からは、複数の光ファイバを束ねるファイバリボンＰＩＧＴが延出する。図４の（ｂ）部に示されるように、ガイドピンＧＰＩＮによる位置合わせによって、光学デバイス１１の第４端面１７ｔのファイバ端は、ＭＴコネクタＭＴＣＯＮの接続端面のファイバ端に光学的に結合される。
【００３９】
図５は、本実施形態に係る光処理デバイスを概略的に示す図面である。図５の（ａ）部及び（ｂ）部を参照すると、光処理デバイス１０１は、光学デバイス１１及び半導体光デバイス１０３を備える。半導体光デバイス１０３は、光結合素子１０３ａと、該光結合素子１０３ａに接続された光処理素子１０３ｂとを含む。光結合素子１０３ａは、半導体光デバイス１０３の主面１０３ｃに設けられている。光学デバイス１１は、半導体光デバイス１０３上に配置されている。光学デバイス１１の光ファイバ１３は、ホルダ１７の第２端面１７ｊのクラッド面１３ｅを介して半導体光デバイス１０３の光結合素子１０３ａに光学的に結合されている。この光処理デバイス１０１によれば、光学デバイス１１と半導体光デバイス１０３との間に良好な光学的結合を提供できる。光結合素子１０３ａは、例えばグレーティングカプラＧＣを備えることができる。
【００４０】
このように、光学デバイス１１の光ファイバ１３は、ホルダ１７の第２端面１７ｊを介して半導体光デバイス１０３の光結合素子１０３ａに光学的に結合されている。この光学的な結合を示すために、図５の（ａ）部及び（ｂ）部には、矢印ＡＲＷ１と共に第２軸Ａｘ２（矢印ＡＲＷ１の方向に延在する軸）が示されている。光学デバイス１１の光ファイバ１３を伝搬してきた光は光ファイバ１３の一端１３ａにおいて反射されて、クラッド面１３ｅを介して半導体光デバイス１０３の光結合素子１０３ａに入力する。また、半導体光デバイス１０３の光結合素子１０３ａによって放出された光は、クラッド面１３ｅを介して光学デバイス１１の光ファイバ１３の一端１３ａに到達して、該一端１３ａによって反射された後に光学デバイス１１の光ファイバ１３を伝搬していく。クラッド面１３ｅを横切る伝搬方向（第２軸Ａｘ２）は、主面１０３ｃの法線軸ＮＶに対して第１角度ＢＥＴＡを成しており、この角度は、半導体光デバイス１０３の光結合素子１０３ａと光学デバイス１１の一端１３ａとの結合角になる。光処理デバイス１０１によれば、図５の（ａ）部に示されるように、光学デバイス１１と、該光学デバイス１１に接続された半導体光デバイス１０３との厚さ、つまり半導体光デバイス１０３の厚さＴ１を小さくできる。
【００４１】
光学デバイス１１の光ファイバ１３の一端１３ａと半導体光デバイス１０３の光結合素子１０３ａとの光結合を可能にするために、第３端面１７ｋのための第３基準面Ｒ３と第２端面１７ｊのための第２基準面Ｒ２との成す傾斜角ＴＨは、当該光学デバイス１１が結合されるべき光素子の光結合素子１０３ａの結合角に関連づけられる。この光学デバイス１１によれば、光素子からの光の受光及び／又は光素子への光の出射が容易になる。
【００４２】
図５の（ｂ）部に示されるように、光処理デバイス１０１は、必要な場合には樹脂体１０５を更に備えることができる。樹脂体１０５は、光学デバイス１１の第２端面１７ｊと半導体光デバイス１０３の光結合素子１０３ａとの間に設けられ、また樹脂体１０５の屈折率は、光ファイバ１３の屈折率に実質的に等しいことが好ましい。樹脂体１０５は、例えばエポキシ樹脂等である。光ファイバ１３を伝搬する光は、樹脂体１０５を透過でき、光処理デバイス１０１で処理される光は、樹脂体１０５を透過できる。
【００４３】
半導体光デバイス１０３がグレーティングカプラＧＣを備える表面入出力型のＳｉフォトニクス素子を備えるとき、石英製の光ファイバ１３及びＳｉフォトニクス素子の表面に設けられたＳｉＯ２膜と実質的に同じ屈折率（１．４５〜１．５程度）を有する光学樹脂を樹脂体１０５として用いることができる。樹脂体１０５の充填により、半導体光デバイス１０３と光学デバイス１１との光結合における反射損失を低減できる。また、樹脂体１０５の利用は、クラッド面１３ｅの表面粗さが光結合損失に影響することを低減できる。
【００４４】
図６は、本実施形態に係る光学デバイス及びシリコンフォトニクス素子を概略的に示す平面図である。図７は、本実施形態に係る光学デバイス及びシリコンフォトニクス素子の光結合を概略的に示す平面図である。図６に示されるように、光学デバイス１１における光ファイバ１３の配列のピッチは、半導体光デバイス１０３として参照されるシリコンフォトニクス素子のグレーティングカプラＧＣのピッチＰＴに合っている。図７に示されるように、光学デバイス１１は、半導体光デバイス１０３の主面１０３ｃ上において光学的に位置決めされて、光学デバイス１１の光ファイバ１３の配列は、シリコンフォトニクス素子のグレーティングカプラＧＣの配列に光学的に結合される。
【００４５】
図６及び図７を参照すると、シリコンフォトニクス素子の一辺には、素子と外部光の入力及び／又は出力のためのグレーティングカプラＧＣが配列されている。これらのグレーティングカプラＧＣの配列のうちの４つは、マッハツェエンダー変調器といった光変調器１０３ｄに光導波路を介して接続されて、変調光の出力のために使用される。グレーティングカプラＧＣのうちの１つは、光変調器１０３ｄに光導波路を介して接続されて、変調光前の入力光を受けるために使用される。グレーティングカプラＧＣの配列のうちの４つは、受光素子１０３ｅに光導波路を介して接続されて、信号光の入力のために使用される。
【００４６】
光送信器では、入力光は、４つの光導波路に分岐されて、４つのマッハツェエンダー変調器（ＭＯＤ）に提供される。これらのマッハツェエンダー変調器（ＭＯＤ）には、変調駆動回路１０３ｆから変調用の電気信号が導電線を介して供給される。これらの電気信号に応じて、マッハツェエンダー変調器（ＭＯＤ）は、入力光の変調（振幅変調、位相変調等）を行う。マッハツェエンダー変調器（ＭＯＤ）は、それぞれのグレーティングカプラＧＣに光導波路を介して接続されて、個々のグレーティングカプラＧＣから変調光が出力される。
【００４７】
光受信器では、グレーティングカプラＧＣで受光した個々の信号光は、それぞれ、光導波路を介してｐｉｎ型フォトダイオード（ＰＤ）に入力されえる。個々のｐｉｎ型フォトダイオードは、受けた光信号に応じた光電流といった電気信号を生成する。これらの電気信号は、トランスインピーダンスアンプといった信号処理回路１０３ｇに提供されて、増幅といった所望の処理が行われる。
【００４８】
半導体光デバイス１０３は、シリコンフォトニクス素子に限定されることなく、例えば面発光レーザ、斜め反射ミラー付の分布帰還（ＤＦＢ）型半導体レーザ、面型受光素子等であることができる。面発光レーザ、斜め反射ミラー付のＤＦＢ半導体レーザ、及び面型受光素子では、個々の光素子からの入射方向及び／又は出射方向は、例えば当該光素子の表面に対して垂直方向である。一方、グレーティングカプラＧＣを持つ表面入出力型のＳｉフォトニクス素子の入射方向及び／又は出射方向は、当該光素子の表面に対して垂直方向から５度〜１５度程度の角度で傾いている。斜め反射面で反射された光のビーム形状は、光ファイバ１３のクラッドの伝搬中に発散して広がっていく。発明者の知見によれば、図５の（ａ）部に示されるように、間隔ＤＴがゼロより大きく２５μｍ以下であるとき、高効率の光結合（−１ｄＢ以下）が実現される。
【００４９】
光学デバイス１１の光ファイバ１３が石英シングルモードファイバであると共に半導体光デバイス１０３はシリコンフォトニクス素子のグレーティングカプラＧＣである実施例では、第２端面１７ｊにおける光ファイバ１３のクラッド面１３ｅと光ファイバ１３のコア１３ｃ外周との間隔（図３に示された「ＤＴ」）が２５μｍ以下であることが好ましく、または、主面１０３ｃの法線軸ＮＶと第２軸Ａｘ２との成す第１角度ＢＥＴＡは、５度〜１５度の範囲であることが好ましい。このような光学的な配置により、光学デバイス１１と半導体光デバイス１０３との間に、高効率な光結合を提供できる。この角度範囲内の角度を光結合に提供するためには、第２端面１７ｊと第３端面１７ｋとの成す第２角度ＡＬＰＨＡは、４２．５度〜３７．５度の範囲にある。発明者の知見によれば、小さい第２角度ＡＬＰＨＡは、第２端面１７ｊと第３端面１７ｋとの接続部１７ｕの近傍の斜め部分にチッピングが生じやすく、また第１端面１７ｉと第２端面１７ｊとの接続部１７ｖの近傍には、応力の集中が起こりやすい。このような理由から、光学デバイス１１を半導体光デバイス１０３に実装する際に、光ファイバ１３が破損しやすくなる。
【００５０】
図８は、実装する際における光ファイバの破損を低減可能な光学デバイスを概略的に示す図面である。図５に示される第１角度ＢＥＴＡの実現と共に第２角度ＡＬＰＨＡの形成を容易にするために、第１軸Ａｘ１（ホルダ１７内の光ファイバ１３が延在する導波軸）が第２基準面Ｒ２（第２端面１７ｊが延在する平面）に対して、ゼロより大きい第３角度ＧＡＭＭＡを成すことが好ましい。この構造によれば、所望の第１角度ＢＥＴＡを図１に示される光学デバイス１１において実現することに比べて、同じ角度の第１角度ＢＥＴＡを実現するための第２角度ＡＬＰＨＡの値を大きくできる。一例を示せば、第１角度ＢＥＴＡが８度であるとき、図１の構造において第２角度ＡＬＰＨＡは４１度である。一方、第３角度ＧＡＭＭＡを１０度に取った場合には、８度の第１角度ＢＥＴＡを形成するために、第２角度ＡＬＰＨＡは４６度になる。また、この構造によれば、接続部１７ｖが、光ファイバ１３内ではなく、ホルダ１７内に位置するように加工できる。この構造によって、接続部１７ｖ近傍の応力が光ファイバ１３へ集中することを低減できる。
【００５１】
また、図８に示される構造は、傾斜端面の作製において利点を発揮する。光ファイバ１３のための光ファイバ部品をホルダ１７用の部品に組み立てて組立体を作製した後に、図９に示されるように、この中間生産物をダイシング装置６のダイシングソー５０を用いて２方向（Ｄ１及びＤ２）から順に切り込みを入れて、中間生産物を作製する。図８に示される第３角度ＧＡＭＭＡは第２方向Ｄ２に関連しており、この第２方向Ｄ２に応じて切り込みの角度が決まる。この中間生産物の傾斜面を研磨して、第２端面１７ｊ及び第３端面１７ｋを完成させる。研磨前において、傾斜面に露出される光ファイバ端面のサイズは初期値ＦＩであり、光ファイバ端面のサイズは研磨の進行と共に徐々に大きくなる。このサイズは、研磨面の観察によって測定される。傾斜面に露出される光ファイバ端面のサイズは、所望の間隔ＤＴを提供できる最終値ＦＦである。所望の間隔ＤＴに到達することの判断が、研磨面における光ファイバ端面のサイズによって判断できる。これによって、間隔ＤＴの制御が容易になる。第２端面１７ｊは、ダイシングソーを用いる切り込みよって形成される。第２端面１７ｊ及び平坦なクラッド面１３ｅを提供するためには、その表面粗さの程度に応じて、必要な場合に光学研磨を行うことが良い。また必要な場合には、クラッド面１３ｅ上に無反射コートを施すことができる。第３端面１７ｋのための斜め反射面は反射面における散乱損を抑えるために光学研磨されることが望ましい。
【００５２】
図１０の（ａ）部及び（ｂ）部に示されるように、ホルダ１７は、第３端面１７ｋの光ファイバ１３の一端１３ａ上に設けられた保護膜３１を更に備えることができる。保護膜３１は、光ファイバ１３のコア１３ｃの屈折率より小さい屈折率の材料または金属の少なくとも一方を備えることが好ましい。保護膜３１は、光学デバイス１１と半導体光デバイス１０３との間の屈折率調整部材として働く樹脂体１０５が、第３端面１７ｋに伴う光ファイバ１３の一端１３ａ上に回り込んで、光ファイバ１３の一端１３ａに光学的に結合することを回避するために有効である。保護膜３１は、例えば誘電体多層膜、金属膜、又は誘電体と金属よりなる多層膜、等を備えることができる。誘電体多層膜は、例えばＴｉＯ２／ＳｉＯ２の多層膜、ａ−Ｓｉ／ＳｉＯ２の多層膜を備える。金属膜は例えばＡｌ単層を備えることができる。誘電体と金属よりなる多層膜は、例えばＡｌ２Ｏ３／Ａｇ／Ａｌ２Ｏ３構造、Ａｌ２Ｏ３／Ａｇ構造を備えることができ、Ａｇの酸化による経時変化の防止の機能を果たす。
【００５３】
図１１は、本実施形態に係るホルダの構造を示す図面である。図１１の（ａ）部及び（ｂ）部を参照すると、ホルダ１７の支持部１７ｃは、一端部１７ｇから他端部１７ｈへの方向に第１端面１７ｉ及び第３端面１７ｋから延在する貫通孔を含み、この貫通孔内において、光ファイバ１３は接着部材２３によりホルダ１７に固定される。光ファイバ１３の配列は、貫通孔の配列によって規定される。また、ホルダ１７のガイド部１７ｄは、一端部１７ｇから他端部１７ｈへの方向に第１端面１７ｉ及び第３端面１７ｋから延在する貫通孔を含む。ガイド部１７ｄには、例えばガイドピンが挿入される。
【００５４】
ホルダ１７は、第１部材１９及び第２部材２１を備える。第１部材１９は、光ファイバ１３を支持するための第１溝ＧＶ１を有し、この第１溝ＧＶ１は、第１１支持面１９ａａ及び第１２支持面１９ａｂを有する。第２部材２１は、光ファイバ１３を支持するための第２溝ＧＶ２を有し、この第２溝ＧＶ２は、第２１支持面２１ａａ及び第２２支持面２１ａｂを有する。第１部材１９及び第２部材２１は、第１溝ＧＶ１及び第２溝ＧＶ２が上記の貫通孔を構成するように接着部材２３により張り合わされる。第１部材１９は、ガイドのための第３溝ＧＶ３を有し、この第３溝ＧＶ３は、第１３支持面１９ｂａ及び第１４支持面１９ｂｂを有する。第２部材２１は、ガイドのための第４溝ＧＶ４を有し、この第４溝ＧＶ４は、第２３支持面２１ｂａ及び第２４支持面２１ｂｂを有する。第１部材１９及び第２部材２１は、第３溝ＧＶ３及び第４溝ＧＶ４が上記の貫通孔を構成するように接着部材２３により張り合わされる。本実施例では、第１溝ＧＶ１〜第４溝ＧＶ４の各々は、例えばＶ溝を備える。
【００５５】
ホルダ１７は、図１２に示されるような構造を有することができる。図１２を参照すると、第１部材１９は、図１１に示される第１溝ＧＶ１を備えるけれども、第２部材２１は、溝を用いることなく共通の平坦面２１ｃによって光ファイバ１３を支持する。
【００５６】
図１１及び図１２に示される光学デバイス１１では、第１部材１９及び第２部材２１として、耐熱製ガラスからなるガラス部材が用いられる。このガラス部材にはＶ型溝が形成されており、図１１に示される光学デバイス１１では、第１部材１９及び第２部材２１として、実質的に同じ構造のガラス部材が用いられる。これらのガラス部材のＶ溝に光ファイバを挟み込んで、ガラス部品及び光ファイバ部品は、耐熱性接着剤といった接着部材２３によって互いに接着されている。このような耐熱性接着剤としては、例えば熱硬化性エポキシ接着剤が、使用されることができ、硬化後（つまり接着後）において、ガラス部品の温度変化に対して小さい体積変化を示す。光ファイバの位置をＶ溝によって所望の位置に正確に整列させるために、個々の光ファイバは、ガラス部材の２つのＶ溝の４つの斜面に接している。この支持を実現するために、光ファイバを挟む２つのガラス部材は、互いに接触することなく、光ファイバを介する支持によって１〜５μｍ程度の間隙で隔置される。耐熱性接着剤は、２つのガラス部材のＶ溝および上記の間隙に充填されている。これ故に、耐熱性接着剤は、光ファイバがＶ溝に接する部分を除き、光ファイバのクラッド外周の全体に接触している。ホルダ１７は、第１部材１９及び第２部材２１並びに光ファイバ１３の間にしっかりと充たされた接着部材２３を含む。これ故に、図１１及び図１２に示されるように、ホルダ１７の第１端面１７ｉ、第２端面１７ｊ及び第３端面１７ｋにおける支持部１７ｃと光ファイバ１３との間に領域は、接着部材２３で充填されている。
【００５７】
既に説明された例示によれば、ホルダ１７の第１端面１７ｉ、第２端面１７ｊ及び第３端面１７ｋは、ダイシングソーによる切削によって形成される。第１端面１７ｉ、第２端面１７ｊ及び第３端面１７ｋを形成するために、ダイシングソーは、第１部材１９及び第２部材２１のためのガラス部品、光ファイバ部品及び硬化した耐熱性接着剤を削る。発明者らの実験によれば、２つのＶ溝を用いる４面で光ファイバを支持する構造に比べて、１つのＶ溝と平坦面２１ｃの３つの面で光ファイバを支持する構造は、切削に際した光ファイバ部品の破損や溝内の接着剤の剥がれの発生を低減できる。発明者の検討によれば、ホルダ１７の第１端面１７ｉ、第２端面１７ｊ及び第３端面１７ｋを形成する加工に際して、図１２に示される構造では、溝形状の支持部１７ｃの加工量が少ないことによって、光ファイバの破損や溝内の接着剤の剥がれが低減されている。
【００５８】
図１３〜図１８を参照しながら、光学デバイス１１を作製する方法における主要な工程を説明する。図１３に示されるように、光ファイバ１３に対応する光ファイバ部品６７、第１部材１９に対応する第１部品６９、及び第２部材２１に対応する第２部品７１を準備する。本実施例では、第１部品６９は、光ファイバ１３を支持する第１溝ＧＶ１に対応する複数の支持溝６９ａを有しており、支持溝６９ａは、第１１支持面１９ａａ及び第１２支持面１９ａｂにそれぞれ対応する第１支持面６９ａａ及び第２支持面６９ａｂを有する。支持溝６９ａは、例えばＶ溝であることができる。複数の支持溝６９ａは、第１部品６９の面６９ｃに設けられている。第２部品７１は、第１部品６９における支持溝６９ａの配列の幅より広い第３支持面７１ｃを有している。
【００５９】
図１４に示されるように、光ファイバ部品６７が第１部品６９及び第２部品７１によって挟まれるように、複数の支持溝６９ａにそれぞれ複数の光ファイバ部品６７を配置する。第１部品６９及び第２部品７１の間には、間隔ＧＡＰが形成される。光ファイバ部品６７並びに第１部品６９及び第２部品７１の隙間に、接着部材７３が充填されるように、接着剤を設ける。この工程によって、第１本体部品ＳＰ１が形成される。第１本体部品ＳＰ１は、支持体７５と、光ファイバ部品６７とを含む。支持体７５は、接着部材７３並びに該接着部材７３に接着された第１部品６９及び第２部品７１によって構成される。支持体７５は、図１５に示されるように、一端７５ａ及び他端７５ｂを有する。光ファイバ部品６７は、支持体７５内において支持体７５によって支持されており、一端７５ａから他端７５ｂへの第１方向ＤＲＣに延在する。端面加工を考慮して、光ファイバ部品６７の一端６７ａは、一端７５ａに対して奥まっている一方で、光ファイバ部品６７の他端６７ｂは、他端７５ｂから突出している。図１５は図１４のＸＶ−ＸＶ線にそって取られた断面を示す。
【００６０】
図１６に示されるように、スタブ型を作製するときには、支持体７５の他端７５ｂを研磨して、支持体７５の研磨面７５ｃを形成する。第１本体部品ＳＰ１の支持体７５は、一端７５ａ及び研磨面７５ｃを有する。
【００６１】
図１７に示されるように、第１本体部品ＳＰ１を作製した後に、本実施例では、ダイシング装置のダイシングソー５０を用いて、光ファイバ部品６７及び支持体７５の一端７５ａを加工して、第１面７５ｉ及び第２面７５ｊを有する第２本体部品ＳＰ２に形成する。第１面７５ｉは、第１方向ＤＲＣに交差する第１基準面Ｒ１に沿って延在する。第２面７５ｊは、第１基準面Ｒ１に交差する第２基準面Ｒ２に沿って一端７５ａから他端７５ｂへの方向に一端７５ａから延在する。本実施例では、第１基準面Ｒ１は第１方向ＤＲＣに実質的に直交しており、第２基準面Ｒ２は、第１方向ＤＲＣに実質的に平行に延在することができる。第１基準面Ｒ１に沿って第１面７５ｉを形成するようにダイシングソー５０で切り込みをいれる。切り込み深さは、ラインＣＵＴまでの深さよりも、第２面７５ｊを形成するダイシングソー５０の刃の厚さの程度だけ浅くする。次に第２基準面Ｒ２に沿って第２面７５ｊを形成するようにダイシングソー５０で切り込みをいれる。この切り込みの深さは、ダイシングソー５０の刃先が第１面７５ｉを形成するためにいれた切り込み部分に達する深さである。第２基準面Ｒ２の位置、換言すれば、ダイシングソー５０の刃の切り込みの位置は、光ファイバ部品６７のコアを外すと共に光ファイバ部品６７のクラッドを第１方向ＤＲＣに切削できるように位置決めされる。この位置は、図１４及び図１７においてラインＣＵＴによって示されている。
【００６２】
図１８に示されるように、第２本体部品ＳＰ２を作製した後に、本実施例では、ダイシング装置のダイシングソー５０を用いて、支持体７５の一端７５ａ及び光ファイバ部品６７を加工して、第３面７５ｋを有する第３本体部品ＳＰ３に形成する。第３面７５ｋは、第１基準面Ｒ１及び第２基準面Ｒ２に傾斜する第３基準面Ｒ３に沿って延在する。
【００６３】
第３本体部品ＳＰ３の第３面７５ｋを研磨して、ダイシングソー５０によって形成された切削面の粗さを低減することが良い。また、必要な場合には、第３本体部品ＳＰ３の第２面７５ｊを研磨して、ダイシングソー５０によって形成された切削面の粗さを低減することが良い。これらの工程により、光学デバイス１１を作製する方法における主要な工程が完了した。
【００６４】
この作製方法によれば、ダイシング装置を用いて、第１本体部品ＳＰ１に切り込みを形成することによって、第１基準面Ｒ１に沿って延在する第１面７５ｉ、及び第２基準面Ｒ２に沿った第２面７５ｊを有する第２本体部品ＳＰ２に形成できる。第２基準面Ｒ２に沿った第２面７５ｊを加工するダイシング装置のダイシングソー５０は、一端における光ファイバ部品６７のコアを避けると共に光ファイバ部品６７のクラッドを部分的に削るように位置決めされる。この切り込みにより、第２面７５ｊに光ファイバ部品６７のクラッドが現れる。切り込みの深さは、クラッド面１７ｅの長さを規定する。
【００６５】
上記の作製工程から理解されるように、第１面７５ｉ、第２面７５ｊ及び第３面７５ｋは、それぞれ、例えば図１に示される第１端面１７ｉ、第２端面１７ｊ及び第３端面１７ｋに対応している。これ故に、第１面７５ｉ（第１端面１７ｉ）には光ファイバ部品６７のクラッド端が現れており、第２面７５ｊ（第２端面１７ｊ）には光ファイバ部品６７のクラッド側面が現れており、第３面７５ｋ（第３端面１７ｋ）には、光ファイバ部品６７の一端面が位置する。この作製方法によれば、第１本体部品ＳＰ１の加工によって、光ファイバ部品６７のクラッド端面が現れる第１面７５ｉと、光ファイバ部品６７のクラッド側面が現れる第２面７５ｊとを形成することができる。また、第２本体部品ＳＰ２の加工によって、光ファイバ部品６７の一端面が位置する第３面７５ｋを形成できる。第３面７５ｋは、鋭角を成して第２面７５ｊに到達する。
【００６６】
好適な実施の形態において本発明の原理を図示し説明してきたが、本発明は、そのような原理から逸脱することなく配置および詳細において変更され得ることは、当業者によって認識される。本発明は、本実施の形態に開示された特定の構成に限定されるものではない。したがって、特許請求の範囲およびその精神の範囲から来る全ての修正および変更に権利を請求する。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
以上説明したように、本実施形態によれば、光反射のための斜面を端面に有すると共にこの端面を光素子に光学的に結合可能な光学デバイスが提供される。本実施形態によれば、上記の光学デバイスを備える光処理デバイスが提供される。本実施形態によれば、上記の光学デバイスを作製する方法が提供される。
【符号の説明】
【００６８】
１１…光学デバイス、１３…光ファイバ、１３ａ…一端、１３ｂ…他端、１３ｃ…コア、１３ｄ…クラッド、１７…ホルダ、１７ｃ…支持部、１７ｇ…一端部、１７ｈ…他端部、１７ｉ…第１端面、１７ｊ…第２端面、１７ｋ…第３端面、１７ｒ…第２１エリア、１７ｓ…第３１エリア、Ｒ１…第１基準面、Ｒ２…第２基準面、Ｒ３…第３基準面、ＴＨ１…角度。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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