(57)【要約】【課題】容易に周波数調整が可能な動吸振器、フレクシャ及びヘッド支持機構を提供することを目的とする。【解決手段】動吸振器５０は、弾性手段を構成するアーム部５１と、アーム部５１に連結され、質量手段を構成する重り部５２と、を備え、アーム部５１と重り部５２は、それぞれ弾性及び比重の異なる単層材を複数積層して構成されており、アーム部５１の複数の単層材の少なくとも１つと重り部５２の複数の単層材の少なくとも１つが共有している構成である。【選択図】図１０
2016045975.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性手段を構成するアーム部と、
前記アーム部に連結され、質量手段を構成する重り部と、を備え、
前記アーム部と前記重り部は、それぞれ弾性及び比重の異なる単層材を複数積層して構成されており、前記アーム部の複数の単層材の少なくとも１つと前記重り部の複数の単層材の少なくとも１つが共有している構成であることを特徴とする動吸振器。
【請求項２】
前記重り部の複数の単層材のうち前記アーム部の単層材と共有している少なくとも１つの単層材は、直線状、曲線状、円形状または多角形状のいずれかのパターン、あるいは当該パターンの組み合わせからなる幾何学模様のパターンを有していることを特徴とする請求項１に記載の動吸振器。
【請求項３】
前記アーム部を構成する複数の単層材の少なくとも１つと前記重り部を構成する複数の単層材の少なくとも１つは、粘弾性を有する材料から構成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の動吸振器。
【請求項４】
前記アーム部を複数備え、
複数の前記アーム部は、それぞれ前記重り部に連結されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の動吸振器。
【請求項５】
前記重り部は、複数の質量調整パッドからなる質量調整機構をさらに備えることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の動吸振器。
【請求項６】
弾性を有するフレクシャ基板に支持され、導体箔と絶縁層を積層したフレキシブル配線基板で構成されたフレクシャであって、
前記フレクシャは、
本体部と、
前記本体部に設けられた開口部と、
前記開口部内に配置された動吸振器と、を備え、
前記動吸振器は、
弾性手段を構成するアーム部と、
前記アーム部に連結され、質量手段を構成する重り部と、を有し、
前記アーム部と前記重り部は、それぞれ弾性及び比重の異なる単層材を複数積層して構成されており、前記アーム部の複数の単層材の少なくとも１つと前記重り部の複数の単層材の少なくとも１つが共有している構成であることを特徴とするフレクシャ。
【請求項７】
前記アーム部の複数の単層材の少なくとも１つと前記重り部の複数の単層材の少なくとも１つは、前記フレクシャ基板、前記導体箔及び前記絶縁層のいずれかと共有している構成であることを特徴とする請求項６に記載のフレクシャ。
【請求項８】
前記重り部の複数の単層材のうち前記アーム部の単層材と共有している少なくとも１つの単層材は、直線状、曲線状、円形状また多角形状のいずれかのパターン、あるいは当該パターンの組み合わせからなる幾何学模様のパターンを有していることを特徴とする請求項６または７に記載のフレクシャ。
【請求項９】
前記アーム部を構成する複数の単層材の少なくとも１つと前記重り部を構成する複数の単層材の少なくとも１つは、粘弾性を有する材料から構成されていることを特徴とする請求項６から８のいずれか一項に記載のフレクシャ。
【請求項１０】
前記アーム部を複数備え、
複数の前記アーム部は、それぞれ前記重り部に連結されていることを特徴とする請求項６から９のいずれか一項に記載のフレクシャ。
【請求項１１】
前記重り部は、複数の質量調整パッドからなる質量調整機構をさらに備えることを特徴とする請求項６から１０のいずれか一項に記載のフレクシャ。
【請求項１２】
ヘッド素子を有するスライダと、情報を書き込む対象である記録媒体のディスク面に対して荷重を与えるためのロードビームと、前記ロードビームの先端部に設けられた支点突起と、前記スライダを前記支点突起の周りに回動可能に支持するスライダ基板と、前記スライダ基板に回転力を付与する駆動素子と、弾性を有するフレクシャ基板に支持され、導体箔と絶縁層を積層したフレキシブル配線基板で構成されたフレクシャと、を備えたヘッド支持機構であって、
前記フレクシャは、
本体部と、
前記本体部に設けられた開口部と、
前記開口部内に配置された動吸振器と、を有し、
前記動吸振器は、
弾性手段を構成するアーム部と、
前記アーム部に連結され、質量手段を構成する重り部と、を有し、
前記アーム部と前記重り部は、それぞれ弾性及び比重の異なる単層材を複数積層して構成されており、前記アーム部の複数の単層材の少なくとも１つと前記重り部の複数の単層材の少なくとも１つが共有している構成であることを特徴とするヘッド支持機構。
【請求項１３】
前記本体部は、前記ロードビームに固着され、
前記アーム部の複数の単層材の少なくとも１つと前記重り部の複数の単層材の少なくとも１つは、前記フレクシャ基板、前記導体箔及び前記絶縁層のいずれかと共有している構成であることを特徴とする請求項１２に記載のヘッド支持機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、動吸振器、フレクシャ及びヘッド支持機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、磁気ディスク装置に設けられた磁気ディスクに対する記録密度は高密度化が進んでいる。磁気ディスク装置には、磁気ディスクに対してデータの記録及び再生を行う磁気ヘッドを搭載したスライダが設けられており、このスライダはヘッド支持機構によって支持されている。
【０００３】
ところで、ヘッド支持機構は、記録密度の高密度化に伴い、データの記録及び再生を行う動作時のシーク残留振動や磁気ディスクが回転する際に発生する風乱とで励起されるロードビームの共振による磁気ヘッドと目標トラックの位置ずれが起きないよう制振性が要求されている。
【０００４】
このような要求に対して、振動を抑制して磁気ヘッドを磁気ディスク上の目標トラックに精度高く位置決めできるように、特定の周波数の振動を抑える機能を有する小型の動吸振器を備えたヘッドサスペンションが考案されている。
【０００５】
例えば、特許文献１には、磁気ヘッドを搭載したヘッドスライダと、そのヘッドスライダを支持するとともにスライダに負荷力を与える弾性片持ち薄板からなるサスペンション主フレームを備えたヘッドサスペンション機構が開示されている。特許文献１に記載されたヘッドサスペンション機構では、サスペンション主フレームのヘッドスライダ支持部近傍の両縁部に略垂直に立てて形成されたフランジ部の残余の部分を自由端部とし、フランジ部の長さ寸法と自由端部に設けた弾性材の減衰効果で動吸振器を構成している。また、特許文献２に記載されたヘッドサスペンション機構においては、動吸振器機能を有する付加振動系の片持ち梁がサスペンションの先端の中央部に動吸振器の質量部と弾性部を形成されていることも開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−１７２５６８号公報
【特許文献２】特許第４８３８７５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に開示された技術では、サスペンション主フレームが薄肉金属板から構成され、自由端部のビーム部の長さ寸法で動吸振器の固有振動数を抑圧する振動の周波数帯に同調させるよう構成しており、ビーム部の長さを厳密に設定する必要がある。そのため、動吸振器の固有振動数を定める弾性及び質量は、それぞれ独立して設定できないことから自由度が少なく、動吸振器の吸振する周波数の設定が難しいという問題がある。
【０００８】
また、特許文献２に開示された技術では、サスペンション先端の中央部に質量部と弾性部を形成することで設けられた動吸振器機能を有する付加振動系は、ロードビームを構成している薄いステンレス板材からなる動吸振器の長さと弾性部の長さと幅で抑圧する振動の周波数帯を設定おり、動吸振器の吸振する周波数の設定範囲が狭いという問題がある。
【０００９】
本発明は係る問題に鑑みてなされたものであり、容易に広い周波数帯で周波数の設定が可能な動吸振器、フレクシャ及びヘッド支持機構を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る動吸振器は、弾性手段を構成するアーム部と、アーム部に連結され、質量手段を構成する重り部とを備え、アーム部と重り部は、それぞれ弾性及び比重の異なる単層材を複数積層して構成されており、アーム部の複数の単層材の少なくとも１つと重り部の複数の単層材の少なくとも１つが共有している構成であることを特徴としている。
【００１１】
本発明によれば、アーム部の複数の単層材の少なくとも１つと重り部の複数の単層材の少なくとも１つが同一の単層材を共有している構成であるため、弾性手段と質量手段とが連続的に構成されることから、弾性手段と質量手段との間に構造的境界はなく、アーム部の弾性と重り部の質量で動吸振器の吸振する周波数を容易に定めることができる。
【００１２】
また、本発明に係る動吸振器においては、アーム部と重り部がそれぞれ弾性及び比重の異なる単層材を複数積層して構成されているため、外形形状だけでなく単層材の積層数を調整することでもアーム部の曲げ弾性と重り部の質量がそれぞれ独立して設定することが可能となることから、吸振する周波数の設定が広い周波数帯で行うことができる。
【００１３】
好ましくは、重り部の複数の単層材のうちアーム部の単層材と共有している少なくとも１つの単層材は、直線状、曲線状、円形状、又は多角形状のいずれかのパターン、あるいは当該パターンの組み合わせからなる幾何学模様のパターンを有する構成としてもよい。この場合、同量の寸法誤差により生じるアーム部の弾性と重り部の質量の変化における弾性及び質量のそれぞれの変化率の差が緩和されることから、吸振する周波数の安定性が高い動吸振器得ることができる。また、当該パターンは、重り部およびアーム部の外形形成加工時に一括的に設けることができることから、新たな工程を追加することなく動吸振器を設けることができる。
【００１４】
好ましくは、アーム部を構成する複数の単層材の少なくとも１つと重り部を構成する複数の単層材の少なくとも１つは、粘弾性を有する材料から構成してもよい。この場合、別途粘弾性体を貼り付けることなく、減衰効果を得ることが可能となる。
【００１５】
好ましくは、アーム部を複数備え、複数のアーム部は、それぞれ重り部に連結されている構成としてもよい。この場合、アーム部の弾性が広範囲に設定可能となるため、アーム部の弾性と重り部の質量から定まる動吸振器の吸振する周波数の設定範囲を広げることが可能になる。
【００１６】
好ましくは、重り部は、複数の質量調整パッドからなる質量調整機構をさらに備える構成としてもよい。この場合、重り部の質量が広範囲に調整可能となるため、アーム部の弾性と重り部の質量から定まる動吸振器の吸振する周波数の設定範囲を広げることが可能になる。
【００１７】
本発明に係るフレクシャは、弾性を有するフレクシャ基板に支持され、導体箔と絶縁層を積層したフレキシブル配線基板で構成されたフレクシャであって、フレクシャは、本体部と、本体部に設けられた開口部と、開口部内に配置された動吸振器とを備え、動吸振器は、弾性手段を構成するアーム部と、アーム部に連結され、質量手段を構成する重り部とを有し、アーム部と重り部は、それぞれ弾性及び比重の異なる単層材を複数積層して構成されており、アーム部の複数の単層材の少なくとも１つと重り部の複数の単層材の少なくとも１つが共有している構成であることを特徴としている。
【００１８】
本発明によれば、アーム部の複数の単層材の少なくとも１つと重り部の複数の単層材の少なくとも１つが同一の単層材を共有している構成であるため、弾性手段と質量手段が連続的に構成されることから、弾性手段と質量手段との間に構造的境界はなく、アーム部の弾性と重り部の質量で動吸振器の吸振する周波数を容易に定めることができる。
【００１９】
また、本発明に係るフレクシャにおいては、アーム部と重り部がそれぞれ弾性及び比重の異なる単層材を複数積層して構成されているため、外形形状だけでなく単層材の積層数を調整することでもアーム部の曲げ弾性と重り部の質量がそれぞれ独立して設定することが可能となることから、動吸振器の吸振する周波数の設定が広い周波数帯で行うことができる。
【００２０】
好ましくは、アーム部の複数の単層材の少なくとも１つと重り部の複数の単層材の少なくとも１つは、フレクシャ基板、導体箔及び絶縁層のいずれかと共有している構成としてもよい。この場合、フレクシャの本体部、弾性手段及び質量手段が連続的に構成されることから、フレクシャの本体部と弾性手段と質量手段との間に構造的境界はなく、アーム部の弾性と重り部の質量で動吸振器の吸振する周波数を容易に定めることが可能となる。
【００２１】
好ましくは、重り部の複数の単層材のうちアーム部の単層材と共有している少なくとも１つの単層材は、直線状、曲線状、円形状、又は多角形状のいずれかのパターン、あるいは当該パターンの組み合わせからなる幾何学模様のパターンを有する構成としてもよい。この場合、同量の寸法誤差により生じるアーム部の弾性と重り部の質量の変化における弾性と質量のそれぞれの変化率の差が緩和されることから、吸振する周波数の安定性が高い動吸振器を備えたフレクシャを得ることができる。また、当該パターンは、重り部およびアーム部の外形形成加工時に一括的に設けることができることから、新たな工程を追加することなく動吸振器を備えたフレクシャを得ることができる。
【００２２】
好ましくは、アーム部を構成する複数の単層材の少なくとも１つと重り部を構成する複数の単層材の少なくとも１つは、粘弾性を有する材料で構成してもよい。この場合、別途粘弾性体を貼り付けることなく、減衰効果を得ることが可能となる。
【００２３】
好ましくは、アーム部を複数備え、複数のアーム部は、それぞれ重り部に連結されている構成としてもよい。この場合、アーム部の弾性が広範囲に調整可能となるため、アーム部の弾性と重り部の質量から定まる動吸振器の吸振する周波数の設定範囲を広げることが可能となる。
【００２４】
好ましくは、重り部は複数の質量調整パッドからなる質量調整機構をさらに備える構成としてもよい。この場合、重り部の質量が広範囲に調整可能となるため、アーム部の弾性と重り部の質量から定まる動吸振器の吸振する周波数の設定範囲を広げることが可能となる。
【００２５】
本発明に係るヘッド支持機構は、ヘッド素子を有するスライダと、情報を書き込む対象である記録媒体のディスク面に対して荷重を与えるためのロードビームと、ロードビームの先端部に設けられた支点突起と、スライダを支点突起の周りに回動可能に支持するスライダ支持板と、スライダ支持板に回転力を付与する駆動素子と、弾性を有するフレクシャ基板に支持され、導体箔と絶縁層を積層したフレキシブル配線基板で構成されたフレクシャと、を備えたヘッド支持機構であって、フレクシャは、本体部と、本体部に設けられた開口部と、開口部内に配置された動吸振器と、を有し、アーム部と重り部は、それぞれ弾性及び比重の異なる単層材を複数積層して構成されており、アーム部の複数の単層材の少なくとも１つと重り部の複数の単層材の少なくとも１つが共有している構成であることを特徴としている。
【００２６】
本発明によれば、アーム部の複数の単層材の少なくとも１つと重り部の複数の単層材の少なくとも１つが同一の単層材を共有している構成であるため、弾性手段及び質量手段が連続的に構成されることから、弾性手段と質量手段との間に構造的境界はなく、アーム部の弾性と重り部の質量から動吸振器の吸振する周波数を容易に定めることができる。
【００２７】
また、本発明に係るヘッド支持機構においては、アーム部と重り部がそれぞれ弾性及び比重の異なる単層材を複数積層して構成されているため、アーム部と重り部の外形形状だけでなく単層材の積層数を調整することでもアーム部の曲げ弾性と重り部の質量がそれぞれ独立して設定することが可能となることから、動吸振器の吸振する周波数の設定が広い周波数帯で容易に行うことができる。
【００２８】
好ましくは、フレクシャの本体部は、ロードビームに固着され、アーム部の複数の単層材の少なくとも１つと重り部の複数の単層材の少なくとも１つは、フレクシャ基板、導体箔及び絶縁層のいずれかと共有している構成としてもよい。この場合、フレクシャの動吸振器が固着部を介してロードビームに作用することができるとともに、フレクシャの本体部、弾性手段及び質量手段が連続的に構成されていることから、フレクシャの本体部と弾性手段と質量手段との間に構造的境界はなく、アーム部の弾性と重り部の質量で動吸振器の吸振する周波数を容易に定めることができる。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、容易に広い周波数帯で周波数の設定が可能な動吸振器、フレクシャ及びヘッド支持機構を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の好適な実施形態に係る動吸振器を搭載したヘッド支持機構を備えた磁気ディスク装置の概略平面図である。
【図２】本発明の好適な実施形態に係る動吸振器を搭載したヘッド支持機構の斜視図である。
【図３】本発明の好適な実施形態に係る動吸振器を搭載したヘッド支持機構の分解斜視図である。
【図４】本発明の好適な実施形態に係る動吸振器を有するフレクシャの分解斜視図である。
【図５ａ】本発明の好適な実施形態に係る動吸振器を搭載したとヘッド支持機構が備える第１の駆動手段の平面図である。
【図５ｂ】図５ａにおけるＡ−Ａ断面図である。
【図５ｃ】図５ａにおけるＢ−Ｂ断面図である。
【図６】本発明の好適な実施形態に係る動吸振器を搭載したヘッド支持機構の先端要部を上面側から見た平面図である。
【図７】本発明の好適な実施形態に係る動吸振器を搭載したヘッド支持機構の先端要部を下面側から見た平面図である。
【図８ａ】図６におけるＣ−Ｃ断面図である。
【図８ｂ】図６におけるＤ−Ｄ断面図である。
【図８ｃ】図６におけるＦ−Ｆ断面図である。
【図９】本発明の好適な実施形態に係る動吸振器を搭載したヘッド支持機構における第１の駆動手段をフレクシャに接着した部分の断面を示した断面図である。
【図１０】本発明の第１実施形態に係る動吸振器を有するフレクシャを備えるヘッド支持機構における動吸振器の拡大斜視図である。
【図１１】図１０におけるＧ−Ｇ断面を示す断面図である。
【図１２】本発明の第１実施形態に係る動吸振器を簡素化したモデル図である。
【図１３】本発明の第２実施形態に係る動吸振器を示す模式斜視図である。
【図１４】図１３における動吸振器の固有振動数とアーム部の寸法変化係数の関係を示す図である。
【図１５】本発明の第３実施形態に係る動吸振器を示す模式斜視図である。
【図１６】図１５における動吸振器の固有振動数とアーム部の寸法変化係数の関係を示す図である。
【図１７】本発明の第４実施形態に係る動吸振器を示す模式斜視図である。
【図１８】本発明の好適な実施形態に係る動吸振器を搭載したヘッド支持機構の周波数応答特性を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下に図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明する。なお、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。また以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるものや実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成要素は適宜組み合わせることができる。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成要素の種々の省略や置換又は変更を行うことができる。
【００３２】
図１は、本発明の好適な実施形態に係る動吸振器が搭載されたヘッド支持機構を備えたロード／アンロード方式の磁気ディスク装置（ＨＤＤ装置）の全体構成を概略的に示した図である。図１より、磁気ディスク装置１は、ハウジング４、スピンドルモータにより軸５を中心にして回転駆動される磁気ディスク６、先端部にヘッド素子７を有するスライダ３が装着されているヘッド支持機構２、このヘッド支持機構２を先端部で支持する支持アーム８から構成されている。
【００３３】
支持アーム８の後端部にはボイスコイルモータ（ＶＣＭ）のコイル部が装着されており、支持アーム８は水平回動軸９を中心にして磁気ディスク６の表面と平行に回動可能となっている。ＶＣＭはこのコイル部（図示せず）とこれを覆うマグネット部１０とから構成されている。磁気ディスク６のデータ領域の外側から磁気ディスク６の外側に渡ってランプ機構１１が設けられており、その傾斜した表面にヘッド支持機構２の最先端に設けられたタブ１２が乗り上げてスライダ３を磁気ディスク６から離間させアンロード状態となる。
【００３４】
磁気ディスク装置１の動作時（磁気ディスクの高速回転中）に、スライダ３は磁気ディスク６の表面に対向して低浮上量で浮上しておりロード状態にある。一方、非動作時（磁気ディスクの停止中または起動及び停止時の低速回転中）においては、ヘッド支持機構２の先端部のタブ１２がランプ機構１１上にあるのでスライダ３はアンロード状態にある。
【００３５】
図２は、本発明の好適な実施形態に係る動吸振器を搭載したヘッド支持機構の全体構成を概略的に示した斜視図である。なお、以降、説明の便宜上、図のＺ軸正方向をヘッド支持機構２の上面側と呼び、Ｚ軸負方向をヘッド支持機構２の裏面側、または、下面側と呼ぶこととする。スライダ３は、インダクティブ書込みヘッド素子と、巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ）読出しヘッド素子又はトンネル磁気抵抗効果（ＴＭＲ）読出しヘッド素子等のＭＲ読出し薄膜磁気ヘッドからなるヘッド素子７をスライダ３の後端（トレーリングエッジ、図２のＹ軸正方向側）面に備えている。
【００３６】
図２より、ヘッド支持機構２は、その主なる構成要素として、ベースプレート１３、ロードビーム１４、フレクシャ１５、駆動素子１６、及びスライダ３を備えている。また、ベースプレート１３は支持アーム８の先端部に取り付けられるように構成されている。
【００３７】
図２より、ロードビーム１４は、ベースプレート１３に複数の第一のビーム溶接ポイント１７ａなどにより固着されている。また、ロードビーム１４には、板バネ１８が形成されており、スライダ３が情報を書き込む対象である記録媒体のディスク面に対して荷重を与えるよう構成されている。さらに、ロードビーム１４は、両サイドに折り曲げ加工部１９を施し強度を高めた構造となっている。フレクシャ１５は、ロードビーム１４に複数の第二のビーム溶接ポイント１７ｂなどにより固着されている。なお、図２において、スライダ３の姿勢角のピッチ方向はＤｐ、ロール方向はＤｒ、ヨー方向はＤｙで示してある。
【００３８】
図３は、本発明の好適な実施形態に係る動吸振器を搭載したヘッド支持機構を概略的に示した分解斜視図である。図４は、本発明の好適な実施形態に係る動吸振器を有するフレクシャの構成を示した分解斜視図である。なお、図３では、ヘッド支持機構２をロードビーム１４、フレクシャ１５、ベースプレート１３、駆動素子１６、スライダ３に分解した状態を示している。
【００３９】
図３より、スライダ３は、フレクシャ１５に形成されたスライダ基板２０上に接着固定される。ロードビーム１４の先端部近傍の中心線上には支点突起２１が一体的に突出形成されており、支点突起２１が第１のアウトリガ２２ａと第２のアウトリガ２２ｂによって支えられたスライダ基板２０に点接触するピボット構造となるような構造を形成している。これにより、スライダ３は、ディスク面のうねりに対応して浮上姿勢をスムーズに追従できるように構成されている。言い換えれば、スライダ基板２０は、スライダ３を支点突起２１の周りに回動可能に支持していることとなる。
【００４０】
フレクシャ１５は、一般的に２０μｍ程度の薄いステンレス鋼板からなる弾性を有するフレクシャ基板２４上にコーティングした絶縁層４１と、絶縁層４１上に銅箔をめっきした素材を用いてヘッド素子配線２５ａ（配線部）を形成する導体箔２５を積層したフレキシブル配線基板で構成されている。ここで、フレクシャ基板２４とヘッド素子配線２５ａを有するフレキシブル配線基板は、エッチングプロセスで外形形状及び配線構成を任意の形状に精密加工することができる。なお、図４では、本来一体としたフレクシャ１５であるが解かりやすく示すため、ステンレス製フレクシャ基板２４と絶縁層４１上に形成したヘッド素子配線２５ａ（配線部）を分離して表示した。
【００４１】
駆動素子１６は、薄膜圧電体素子であり、スライダ基板２０に回転力を付与する機能を有している。具体的には、駆動素子１６は、第１の駆動手段１６ａ及び第２の駆動手段１６ｂから構成され、それぞれ第１の圧電体支持部２３ａ及び第２の圧電体支持部２３ｂ上に接着される。なお、第１の圧電体支持部２３ａ及び第２の圧電体支持部２３ｂは、フレクシャ１５を形成している絶縁層４１のみで形成されている。
【００４２】
図５ａは、本発明の好適な実施形態に係る動吸振器を搭載したヘッド支持機構が備える第１の駆動手段の平面図である。図５ｂは、図５ａにおけるＡ−Ａ断面を表し、図５ｃは、図５ａにおけるＢ−Ｂ断面を表している。なお、第１の駆動手段１６ａと第２の駆動手段１６ｂの構造は同様のため、ここでは第１の駆動手段１６ａの構造のみ説明する。第１の駆動手段１６ａは、薄膜圧電体２６の上面側に上部電極２７ａが形成され、下面側に下部電極２７ｂが形成されて構成されている。この第１の駆動手段１６ａは、非常に薄くかつ破損しやすい構成であるので補強材として基台２８が設けられている。
【００４３】
第１の駆動手段１６ａは、薄膜圧電体２６を保護するために素子全体がポリイミド製の絶縁カバー３０で覆われている。なお、図５ａのＣ部、Ｄ部では絶縁カバー３０が一部除去されている。具体的には、Ｃ部では、下部電極２７ｂが露出し第１の電極パッド２９ａと導通している。Ｄ部では、上部電極２７ａが露出しており第２の電極パッド２９ｂと導通している。これにより、第１の電極パッド２９ａ、第２の電極パッド２９ｂに電圧印加することで第１の駆動手段１６ａの薄膜圧電体２６を伸縮させることができる。薄膜圧電体２６の分極方向を矢印で示している。第１の電極パッド２９ａにマイナス電圧を印加し、第２の電極パッド２９ｂにプラス電圧を印加すれば、薄膜圧電体２６は圧電定数ｄ３１により圧電膜の面内方向に収縮することになる。なお、第１の駆動手段１６ａと同様の構造を有する第２の駆動手段１６ｂについては図示しないが、第１の電極パッド２９ａに相当する第３の電極パッド２９ｃにマイナス電圧を印加し、第２の電極パッドに相当する第４の電極パッド２９ｄにプラス電圧を印加すれば、薄膜圧電体２６は圧電定数ｄ３１により圧電膜の面内方向に収縮する。
【００４４】
図６は、本発明の好適な実施形態に係る動吸振器を搭載したヘッド支持機構の先端要部を上面側（スライダ側）から見た平面図である。図７は、本発明の好適な実施形態に係る動吸振器を搭載したヘッド支持機構の先端要部を裏面側から見た平面図（図６のヘッド支持機構を裏面側から見た平面図）である。なお、説明の便宜上、ロードビーム１４は図から除外している。スライダ３は、スライダ基板２０上に接着され、ヘッド電極端子３１に対応したヘッド素子配線２５ａ（配線部）が設置され半田ボールによって接続される。
【００４５】
図６において、スライダ基板２０の両側に配置された第１及び第２のアウトリガ２２ａ、２２ｂには一部の第１の折り曲げ部３２ａ、第２の折り曲げ部３２ｂが形成されている。さらに左右の第１及び第２の折り曲げ部３２ａ、３２ｂのそれぞれの延長方向の交点が支点突起２１に一致するように構成されている。また、スライダ基板２０は、第１及び第２のアウトリガ２２ａ、２２ｂの中間位置に設けられた第１の折り曲げ部３２ａ、第２の折り曲げ部３２ｂの作用により支点突起２１を中心に回動する構成となっている。
【００４６】
スライダ基板２０にはスライダ３を含む回動部分のヨー方向の慣性軸が支点突起２１に一致するように設定されたカウンターバランス３３が形成されている。また、スライダ基板２０にはスライダ３をディスク上からアンロードする際にスライダ３を持ち上げるためのＴ型リミッタ部３４が形成されておりロードビーム１４に形成された孔部３５に係合している。なお、通常動作時はＴ型リミッタ部３４と孔部３５は隙間を介して接触していない。
【００４７】
ヘッド素子配線２５ａ（配線部）はスライダ３を囲む形で配置され、その端部はスライダ３のヘッド電極端子３１に接続されている。このヘッド素子配線２５ａ（配線部）は第１及び第２のアウトリガ２２ａ、２２ｂが固着されているとともに（図６のＣ−Ｃ部）、スライダ基板２０から延出した第１の駆動リブ３６ａと第２の駆動リブ３６ｂにも同様に固着されている（図６のＦ−Ｆ部）。
【００４８】
第１及び第２の駆動手段１６ａ、１６ｂは、第１、第２、第３、第４の電極パッド２９ａ、２９ｂ、２９ｃ、２９ｄに電圧を印加して駆動される。駆動配線３７ａは、第１の駆動手段１６ａの第１の電極パッド２９ａと第２の駆動手段１６ｂの第４の電極パッド２９ｄに入力をインプットするように配置され、第２の電極パッド２９ｂ、第３の電極パッド２９ｃは、グランド配線３７ｂでフレクシャ基板に接地される。これにより駆動配線３７ａに交番駆動信号をインプットすれば、第１の駆動手段１６ａと第２の駆動手段１６ｂとはお互い逆方向に伸縮運動することになる。
【００４９】
図６（図７）に示したフレクシャ１５構成をいくつかの断面毎に図８ａ〜図８ｃを用いて示した。図８ａは図６におけるＣ−Ｃ断面、図８ｂは図６におけるＤ−Ｄ断面、図８ｃは図６におけるＦ−Ｆ断面を示す断面図である。図８ａより、第１のアウトリガ２２ａは、フレクシャ基板２４で構成され、スライダ基板２０に連結して配置されている。図８ｂより、ヘッド素子配線２５ａの裏面側にあるフレクシャ基板２４がエッチングプロセスにより取り除かれ、スライダ基板２０、第１のアウトリガ２２ａ、及びヘッド素子配線２５ａは分離されている。図８ｃより、スライダ基板２０から延出したフレクシャ基板２４である第１の駆動リブ３６ａとヘッド素子配線２５ａの一部分が固着されている。
【００５０】
図９は、本発明の好適な実施形態に係る動吸振器を搭載したヘッド支持機構において、第１の駆動手段のフレクシャに接着した部分の断面（図６におけるＥ−Ｅ断面）を示した図である。第１の駆動手段１６ａは、フレクシャ基板２４を一部残して形成した第１のリンク３９ａに、その先端部を第１のリンク３９ａにオーバーラップした位置で第１の圧電体支持部２３ａ上に接着されている。これは、薄膜圧電体２６の変位を確実に第１のリンク３９ａに伝達するためである。なお、第１の駆動手段１６ａと同様の構造を有する第２の駆動手段１６ｂについては図示しないが、第２の駆動手段１６ｂは、フレクシャ基板２４を一部残して形成した第２のリンク３９ｂに、その先端部を第２のリンク３９ｂにオーバーラップした位置で第２の圧電体支持部２３ｂ上に接着されており、薄膜圧電体の変位を確実に第２のリンクに伝達する構成となっている。
【００５１】
図７において、第１のリンク３９ａは、第１のジョイント４０ａと第２のジョイント４０ｂの間に連結して配置されている。第１のジョイント４０ａ及び第２のジョイント４０ｂは、フレクシャ１５のフレクシャ基板２４をエッチング除去したヘッド素子配線２５ａ（配線部）で形成されており、フレクシャ基板２４を含む構成となっている第１のリンク３９ａに比較して柔軟な構成となっており、第１の駆動手段１６ａが伸縮運動したとき、第１のリンク３９ａは第２のジョイント４０ｂを中心に微小回動運動するように構成されている。同様に、第２のリンク３９ｂは、第３のジョイント４０ｃと第４のジョイント４０ｄの間に連結して配置されており、第３及び第４のジョイント４０ｃ、４０ｄは第１及び第２のジョイント４０ａ、４０ｂと同じ構造であるので、第２の駆動手段１６ｂが伸縮運動したとき、第２のリンク３９ｂは第４のジョイント４０ｄを中心に微小回動運動する。
【００５２】
なお、ヘッド支持機構２のベースプレート１３やロードビーム１４は、各図においてＹ軸方向に平行な中心軸に対して線対称としてある。また、第１のリンク３９ａと第２のリンク３９ｂ、第１のジョイント４０ａ及び第２のジョイント４０ｂと第３のジョイント４０ｃ及び第４のジョイント４０ｄ、第１の駆動手段１６ａと第２の駆動手段１６ｂなどの構造についても同様に各図においてＹ軸方向に平行な中心軸に対して線対称となっている。
【００５３】
図６、図７において、第１の駆動手段１６ａと第２のジョイント４０ｂ及びフレクシャ基板２４とを分離する第１の分離溝４４ａが設けられており、さらにこの第１の分離溝４４ａは薄膜圧電体２６の長手方向（図中Ｘ軸方向）の長さに相当する範囲に沿って形成される。この第１の分離溝４４ａにより薄膜圧電体２６の変位をヘッド素子配線２５ａ（配線部）を含む第２のジョイント４０ｂとフレクシャ基板２４の拘束から解放されて変位を最大化できる。なお、ヘッド支持機構２はＹ軸に平行な対称軸に線対称な形状であるので、図６より第２の分離溝４４ｂについても同様である。
【００５４】
（第１実施形態）
図１０は、本発明の第１実施形態に係る動吸振器を有するフレクシャを備えるヘッド支持機構における動吸振器の拡大斜視図（図６における領域Ｈを拡大して示す拡大斜視図）である。図１１は、図１０におけるＧ−Ｇ断面を示す断面図である。フレクシャ１５は、フレクシャ１５の本体部１５ａと、開口部５３と、動吸振器５０と、を有する。本体部１５ａは、ロードビーム１４に第二のビーム溶接ポイント１７ｂにより固着されている。開口部５３は、本体部１５ａに形成されている。具体的には、ロードビーム１４と本体部１５ａが固着されるビーム溶接ポイント１７ｂの近傍に設けられている。本実施形態では、開口部５３は、六角形状であるがこれに限られることなく、円形、四角形状でもよい。
【００５５】
動吸振器５０は、開口部５３の略中央に配置されて、重り部５２と、アーム部５１とから構成されている。本実施形態では、重り部５２は、略正方形状のフレクシャ基板２４と、フレクシャ基板２４上に設けられている略正方形状の絶縁層４１と、絶縁層４１上に設けられている略正方形状の導体箔２５から構成されている。つまり、重り部５２は、弾性及び比重の異なる単層材を複数積層して構成されている。なお、本実施形態では、フレクシャ基板２４はエッチングプロセスで加工され、重り部５２は、エッチングプロセスにより除去せず残され、導体箔２５で構成された正方形の島状のパターン２５ｃが形成されている。また、フレクシャ基板２４で構成された島状のパターン２４ａと導体箔２５の島状のパターン２５ｃは、一辺の長さが等しく、フレクシャ１５の平面方向（ＸＹ面方向）の外形形状は同一となっているがこれに限られることなく、質量調整のためにフレクシャ基板２４の島状パターン２４ａと導体箔２５の島状のパターン２５ｃはそれぞれ異なる形状にしてもよい。
【００５６】
重り部５２は、アーム部５１で支えられている。具体的には、アーム部５１は、重り部５２を挟んで一方（ヘッド支持機構２の先端方向側）に伸びる第１のアーム部５１ａと第１のアーム部５１ａと反対側（ベースプレート側）に伸びる第２のアーム部５１ｂを備えている。第１のアーム部５１ａは、一方端が重り部５２に連結され、他方端がフレクシャ１５の本体部１５ａに連結されている。同様に第２のアーム部５１ｂは、一方端が重り部５２に連結され、他方端が本体部１５ａに連結されている。つまり、動吸振器５０は、中間に集中質量である重り部５２を持つ両端固定梁と等価な構造となる。本実施形態では、第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂは、それぞれの延在方向と直交する方向（図中Ｘ軸方向）の幅が、重り部５２における第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂの延在方向と直交する方向（図中Ｘ軸方向）の幅よりも狭くなっている。この第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂは、矩形状の絶縁層４１と、絶縁層４１上に設けられている矩形状の導体箔２５とから構成され、動吸振器５０の弾性手段を構成している。つまり、第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂは、弾性及び比重の異なる単層材を複数積層して構成されていることになる。これら第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂを構成する絶縁層４１、導体箔２５は、エッチングプロセスにおいて除去せず残すことで形成する。一方、第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂの絶縁層４１の裏面側にあるフレクシャ基板２４は、エッチングプロセスにより除去される。したがって、第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂは、本体部１５ａ及び重り部５２に比べ曲げ弾性が低い。
【００５７】
本実施形態では、第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂと、重り部５２は、絶縁層４１及び導体箔２５が共通の同一部材となっている。つまり、本実施形態では、第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂの複数の単層材（絶縁層４１、導体箔２５）と重り部５２の複数の単層材（フレクシャ基板２４、絶縁層４１、導体箔２５）のうちの２つが同一の単層材を共有した構成である。言い換えれば、フレクシャ基板２４は、第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂにおいてはエッチングプロセスにより除去されるため、アーム部５１ａ、５１ｂと重り部５２との間で共有しない構成の単層材となっている。なお、第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂを構成する導体箔２５と重り部５２を構成する導体箔２５は、配線カバー４２により覆われている。また、本実施形態では、第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂと重り部５２の導体箔２５及び絶縁層４１は、フレクシャ１５の本体部１５ａと同一の単層材を共有した構成となっており、フレクシャ１５の外形形成工程において、フレクシャ１５と一体的に外形形成加工することができる。したがって、本体部１５ａ、弾性手段である第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂ及び質量手段である重り部５２が連続的に構成されることから、本体部１５ａと弾性手段である第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂと質量手段である重り部５２との間に構造的境界はなく、第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂの弾性と重り部５２の質量で動吸振器５０の共振周波数を容易に精度よく定めることが可能となり、且つフレクシャ１５の外形形成工程に動吸振器５０を設けるための追加工程を必要としない。
【００５８】
さらに、本実施形態では、フレクシャ１５の本体部１５ａが第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂの他方端に連結され、第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂを支持する第１及び第２のアーム支持部５４ａ、５４ｂを有している。具体的には、第１及び第２のアーム支持部５４ａ、５４ｂは、導体箔２５から構成され、第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂを構成する導体箔２５と連結されている。この第１及び第２のアーム支持部５４ａ、５４ｂにおける第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂの延在方向と直交する方向（図中Ｘ軸方向）の幅は、第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂのそれぞれの延在方向と直交する方向（図中Ｘ軸方向）の幅よりも広くなっている。
【００５９】
このように動吸振器５０が、ロードビーム１４で励起された振動を吸収することで制振性の高いヘッド支持機構２を実現することができる。そのため、ロードビーム１４の振動モードの一つであるスウェイモードを効率よく抑制することができる。ここで、第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂのばね定数は、第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂのそれぞれの延在方向（図中Ｙ軸方向）における長さと当該延在方向と直交する方向（図中Ｘ軸方向）における幅で調整し、重り部５２の質量は、重り部５２の面積で設定している。なお、本実施形態では、重り部５２の中心がロードビーム１４の中心線上に位置し、第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂは、ロードビーム１４の中心線に平行な対称軸（図中Ｙ軸方向）に線対称となるように配置されている。
【００６０】
さらに、絶縁層４１及び配線カバー４２は、粘弾性を有する材料で構成されていると好ましい。つまり、第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂを構成する複数の単層材（絶縁層４１、導体箔２５）と重り部５２を構成する複数の単層材（フレクシャ基板２４、絶縁層４１、導体箔２５）の１つが粘弾性を有する材料で構成することにより、第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂは、金属で構成される導体箔２５と粘弾性を有する絶縁層４１及び配線カバー４２で構成されることから、非拘束型の制振板と同様の構造となり、別途粘弾性体を貼り付けることなく、減衰効果を得ることが可能となる。この粘弾性を有する材料としては、金属に比べ粘弾性の高いポリイミドなどの樹脂材料が挙げられる。
【００６１】
図１２は、本発明の第１実施形態に係る動吸振器を簡素化したモデル図である。動吸振器５０は、重り部５２を第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂで二方向から支持しているので、上述したように中間に集中質量を持つ両端固定梁とみなすことができる。一般的に、動吸振器５０が吸振する周波数は動吸振器５０の共振周波数であり、動吸振器５０の持つ固有振動数と同調する。このとき、動吸振器５０の１次曲げの固有振動数は、固有振動数をω５０、ばね定数（曲げ弾性）ｋ、質量ｍ、とすると以下の式（１）で表される。
【００６２】
【数１】
2016045975.tif 000003
【００６３】
一方、ばね定数ｋは、両端固定梁の中間点に加える集中荷重をＷ、たわみをδとすると以下の式（２）で表される。
【００６４】
【数２】
2016045975.tif 000004
【００６５】
また、たわみδは、両端固定梁の長さをＬ、梁のヤング率をＥ、梁の断面２次モーメントをＩとすると以下の式（３）で表される。
【００６６】
【数３】
2016045975.tif 000005
【００６７】
この式（３）を式に（２）に代入すると、以下の式（４）となる。
【００６８】
【数４】
2016045975.tif 000006
【００６９】
そして、式（４）を式（１）に代入すると、動吸振器５０の固有振動数ω５０は、以下の式（５）で表される。
【００７０】
【数５】
2016045975.tif 000007
【００７１】
すなわち、式（５）より、梁となる第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂのヤング率Ｅと断面２次モーメントＩ及び質量ｍで動吸振器５０の固有振動数ω５０は調整できることとなる。なお、ここでは粘性係数を考慮していない。
【００７２】
以上のように、本実施形態に係る動吸振器５０は、アーム部５１の複数の単層材の少なくとも１つと重り部５２の複数の単層材の少なくとも１つが共有している構成である。そのため、弾性手段と質量手段とが連続的に構成されることから、弾性手段と質量手段との間に構造的境界はなく、アーム部５１の弾性と重り部５２の質量で周波数を容易に定めることができる。
【００７３】
また、本実施形態に係る動吸振器５０においては、アーム部５１と重り部５２がそれぞれ弾性及び比重の異なる単層材を複数積層して構成されているため、外形形状だけでなく単層材の積層数を調整することでもアーム部５１の曲げ弾性と重り部５２の質量がそれぞれ独立して設定することが可能となることから、吸振する周波数の設定が広い周波数帯で行うことができる。
【００７４】
さらに、本実施形態に係る動吸振器５０は、アーム部５１を複数備え、複数のアーム部５１ａ、５１ｂは、それぞれ重り部５２に連結されている。そのため、アーム部５１ａ、５１ｂの弾性が広範囲に調整可能となるため、アーム部５１ａ、５１ｂの弾性と重り部５２の質量から定まる動吸振器５０の吸振する周波数の設定範囲を広げることが可能になる。なお本実施形態では、第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂはそれぞれ一本の構成を示したが、複数本のアーム部で構成されていてもよい。
【００７５】
（第２実施形態）
図１３は、本発明の第２実施形態に係る動吸振器を示す模式斜視図である。本実施形態に係る動吸振器５０１は、重り部５２１と、第１および第２のアーム部５１ａ、５１ｂとから構成されている。重り部５２１は、略正方形状の絶縁層４１と、絶縁層４１上に設けられている導体箔２５１から構成され、動吸振器５０１の質量手段を構成している。つまり、重り部５２１は、弾性及び比重の異なる単層材を複数積層して構成されていることとなる。本実施形態では、重り部５２１は、複数の直線状のパターン２５ｅから構成された導体箔２５１、絶縁層４１で構成されている。これら複数の直線状のパターン２５ｅは互いに間隔を空けて配置されている。なお、直線状パターンは、局部的に複数のつなぎ部２５ｅ２で連結され一体化されている。すなわち本実施形態に係る動吸振器５０１は、上述の第１の実施形態に係る動吸振器５０において、フレクシャ基板２４を取り除いた点、ならびに島状パターン２５ｃから構成された導体箔２５を備えた重り部５２に代えて、複数の直線状のパターン２５ｅから構成された導体箔２５１を備えた重り部５２１とした点が相違点であり、その他の構成は第１の実施形態と同一である。よって同一構成の部分については説明を割愛する。本実施形態では、絶縁層４１の下部にフレクシャ基板２４ａを設けていないが、フレクシャ基板２４ａを設けてもよい。また、つなぎ部２５ｅ２で直線状パターンを連結しているが、つなぎ部２５ｅ２が無くてもよい。
【００７６】
本実施形態では、複数の直線状のパターン２５ｅは、アーム部５１の延在方向（図中Ｙ軸方向）と直交する方向（図中Ｘ軸方向）に伸びており、当該延在方向に沿って間隔を空けて配置されている。すなわち、導体箔２５１は、ストライプ状のパターンを呈している。また、直線状のパターン２５ｅは、アーム部５１の延在方向の幅をｄ１、アーム部５１の延在方向と直交する方向の長さをｃ１、絶縁層４１の平面に対する鉛直方向（図中Ｚ軸方向）の厚みをｔとし、第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂは、延在方向の長さをＬ１／２、延在方向と直交する方向の幅をｂ１、絶縁層４１の平面に対する鉛直方向の厚みをｔとする。
【００７７】
動吸振器５０１は、重り部５２１を第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂで二方向から支持しているので、上述したように両端固定梁とみなすことができる。このとき、第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂの延在方向と直交する方向の断面形状が幅ｂ１、厚みｔの長方形形状となるため、水平方向の断面２次モーメントＩ５１は、一般的に以下の式（６）で表される。
【００７８】
【数６】
2016045975.tif 000008
【００７９】
アーム部５１のばね定数（曲げ弾性）ｋ５１は、式（６）を式（４）に代入すると、以下の式（７）で表される。
【００８０】
【数７】
2016045975.tif 000009
【００８１】
また、重り部５２１の質量ｍ５２１は、導体箔２５１の比重をρ、直線状のパターン２５ｅの本数をｎ１とすると、以下の式（８）で表される。
【００８２】
【数８】
2016045975.tif 000010
【００８３】
なお、導体箔２５１を支持している絶縁層４１は、比重が低く、また層の厚みが薄いため重り部５２１の質量に対して支配的ではないので考慮しないものとする。そして、式（７）及び式（８）を前述の式（１）に代入すると、動吸振器５０１の固有振動数ω５０１は以下の式（９）で表される。
【００８４】
【数９】
2016045975.tif 000011
【００８５】
一般的に、エッチング加工はエッチングレートにより加工量が変化する。そこで、第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂの幅ｂ１に例えばエッチング加工によるばらつきに起因する変化率（α−１）を考慮する。すなわちエッチングバラつきによる寸法変化係数αを設定する。このとき、第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂの幅ｂ１が図中破線で示したαｂ１になるので、第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂのばね定数（曲げ弾性）ｋα５１は以下の式（１０）で表される。
【００８６】
【数１０】
2016045975.tif 000012
【００８７】
一方、重り部５２１も第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂと同様にエッチング加工によるばらつきに起因する（α−１）ｂ１の寸法誤差が生じる。このとき、重り部５２１の質量ｍα５２１は、係数βを用いて、直線状パターン２５ｅの幅ｄ１をアーム部５１の幅ｂ１のβ倍として、ｄ１＝βｂ１とすると、以下の式（１１）で表される。
【００８８】
【数１１】
2016045975.tif 000013
【００８９】
ところで、直線状のパターン２５ｅの長さｃ１が第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂの幅ｂ１の比べ十分に大きい場合には、（α−１）ｂ１の寸法誤差は、ｃ１に比べで非常に小さく、ほとんど変化しないと見なせるので、簡略化して、質量ｍα５２１は以下の式（１２）のように表すことができる。
【００９０】
【数１２】
2016045975.tif 000014
【００９１】
寸法誤差が生じた場合の動吸振器５０１の固有振動数ωα５０１は、式（１０）と式（１２）より、以下の式（１３）で表される。
【００９２】
【数１３】
2016045975.tif 000015
【００９３】
エッチング加工によるばらつきに起因する変化率を（α−１）としたとき、式（９）と式（１３）より、固有振動数の変化率ωα５０１／ω５０１は、以下の式（１４）ように表すことができる。
【００９４】
【数１４】
2016045975.tif 000016
【００９５】
式（１４）より、β＝１、すなわち直線状パターン２５ｅの幅ｄ１と、アーム部５１の幅ｂ１が等しい場合は、動吸振器５０１の固有振動数は寸法変化係数αで変動することがわかる。また、寸法変化係数αに対する動吸振器５０１の固有振動数の変化率ωα５０１／ω５０１は、係数βの値によって定まることがわかる。つまり、重り部５２１の質量を定める直線状のパターン２５ｅの本数ｎ１、直線状のパターン２５ｅの長さｃ１、及び直線状のパターン２５ｅの厚さｔは、固有振動数の変化率ωα５０１／ω５０１に影響を与えないことから、動吸振器５０１の固有振動数は、広い周波数帯で設定することができる。
【００９６】
図１４は、式（１４）の係数βをパラメータとし、横軸に寸法変化係数α、縦軸に固有振動数の変化率ωα５０１／ω５０１を示した図である。本例においては、寸法変化係数αが０．９から１．１の範囲において、係数βの値が０．３から１．１までの場合におけるそれぞれの固有振動数の変化率ωα５０１／ω５０１の推移を示している。なお、図１４の中のＲｅｆは、重り部５２１が寸法変化係数αによらず一定、すなわち、アーム部５１のばね定数のみが変化した場合の固有振動数の変化率を示したものである。図１４に示すように、係数βの値が小さくなる、すなわち、アーム部５１の幅ｂ１に対して重り部５２１の複数の直線状パターン２５ｅの幅ｄ１の値が小さくなると、動吸振器５０１の固有振動数が受ける影響が小さくなっており、β＝０．３４の時、固有振動数の変化率ωα５０１／ω５０１が最も小さく、寸法変化係数αにより動吸振器５０１の固有振動数が受ける影響が小さくなることがわかる。
【００９７】
以上のように、本実施形態に係る動吸振器５０１は、重り部５２１の複数の単層材のうちアーム部５１の単層材と共有している少なくとも１つの単層材は、直線状のパターン２５ｅを有する構成としている。そのため、同量の寸法誤差により生じるアーム部５１の弾性変化と重り部５２１の質量変化のそれぞれの変化の度合いが緩和されることから、吸振する周波数の安定性が高い動吸振器５０１を得ることができる。また、直線状のパターン２５ｅは、重り部およびアーム部の外形形成加工時に一括的に設けることができることから、新たな工程を追加することなく動吸振器を設けることができる。
【００９８】
（第３実施形態）
図１５は、本発明の第３実施形態に係る動吸振器を示す模式斜視図である。本実施形態に係る動吸振器５０２は、重り部５２２と、第１および第２のアーム部５１ａ、５１ｂとから構成されている。重り部５２２は、複数の略正方形状のパターン２５ｆから構成され、これら複数の略正方形状のパターン２５ｆが互いに間隔を空けて配置され、それぞれの正方形状パターンはつなぎ部２５ｆ２で連結され一体化されており、略正方形状の絶縁層４１に設けられている。つまり、第１の実施形態同様に重り部５２２は、弾性及び比重の異なる単層材を複数積層して構成されている。すなわち本実施形態に係る動吸振器５０２は、上述の第１の実施形態に係る動吸振器５０において、フレクシャ基板２４を取り除いた点、ならびに島状パターン２５ｃから構成された導体箔２５を備えた重り部５２に代えて、複数の略正方形状のパターン２５ｆから構成された導体箔２５２を備えた重り部５２２とした点が相違点であり、その他の構成は第１の実施形態と同一である。よって同一構成の部分については説明を割愛する。本実施形態では、絶縁層４１の下部にフレクシャ基板２４ａを設けていないが、フレクシャ基板２４ａを設けてもよい。また、つなぎ部２５ｆ２で直線状パターンを連結しているが、つなぎ部２５ｅ２が無くてもよい。
【００９９】
ここで、複数の略正方形状のパターン２５ｆは、アーム部５１の延在方向ならびに当該延在方向と直交する方向に沿って間隔を空けて配置されている。すなわち、導体箔２５２は、ドットマトリックス状のパターンを呈している。略正方形状のパターン２５ｆは、一辺の長さがｄ２、各正方形状のパターン２５ｆの絶縁層４１の平面に対する鉛直方向（図中Ｚ軸方向）の厚みをｔとし、実施形態１同様に第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂの延在方向の長さをＬ２／２、延在方向と直交する方向の幅ｂ１、絶縁層４１の平面に対する鉛直方向の厚みをｔとする。
【０１００】
動吸振器５０２の固有振動数ω５０２は、アーム部５１のばね定数（曲げ弾性）ｋ５１と重り部５２２の質量ｍ５２２から求めることができる。質量手段となる重り部５２２を構成している導体箔２５２は、１つの大きさがｄ２×ｄ２の正方形のパターン２５ｆを任意の個数ｎ２個ドットマトリックス状に配置した構成となっている。任意の個数ｎ２は、動吸振器５０２により吸振させたい周波数に同調させるように重り部５２２の質量ｍ５２２を調整することで定められ、その質量ｍ５２２は以下の式（１５）で表される。
【０１０１】
【数１５】
2016045975.tif 000017
【０１０２】
式（１５）と式（７）のアーム部５１のばね定数ｋ５１より、動吸振器５０２の固有振動数ω５０２は、以下の式（１６）で表される。
【０１０３】
【数１６】
2016045975.tif 000018
【０１０４】
ここで、第１及び第２のアーム部５１ａ、５１ｂの幅ｂ１が寸法変化係数αで変動した場合、すなわち（α−１）ｂ１の寸法誤差が生じた場合の重り部５２２の質量ｍα５２２は以下の式（１７）で表される。
【０１０５】
【数１７】
2016045975.tif 000019
【０１０６】
上述した第２実施形態と同様に、係数βを用いて長さｄ２をアーム部５１の幅ｂ１のβ倍とし、ｄ２＝βｂ１とすると、寸法誤差が生じた場合の動吸振器５０２の固有振動数ωα５０２は、式（１７）と式（１０）の寸法誤差が生じたアーム部のばね定数ｋα５１より以下の式（１８）で表される。
【０１０７】
【数１８】
2016045975.tif 000020
【０１０８】
式（１６）と式（１８）より、固有振動数の変化の比率ωα５０２／ω５０２は、以下の式（１９）ように表すことができる。
【０１０９】
【数１９】
2016045975.tif 000021
【０１１０】
式（１９）より、寸法変化係数αに対する動吸振器５０２の固有振動数の変化率ωα５０２／ω５０２は、係数βの値によって定まることがわかる。つまり、重り部５２２の質量を定める略正方形形状パターン２５ｆの個数ｎ２、及び略正方形形状パターン２５ｆの厚さｔは、固有振動数の変化率ωα５０１／ω５０１に影響を与えないことから、動吸振器５０１の固有振動数は、広い周波数帯で設定することができる。
【０１１１】
図１６は、式（１９）において係数βをパラメータとし、横軸に寸法変化係数α、縦軸に固有振動数の変化率ωα５０２／ω５０２を示した図である。本例においては、寸法変化係数αが０．９から１．１の範囲において、係数βの値が０．５から１．２までの場合のそれぞれの固有振動数の変化率ωα５０２／ω５０２の推移を示している。なお、図１６の中のＲｅｆは、重り部５２２が寸法変形係数αによらず一定、すなわち、アーム部５１のばね定数のみが変化した場合の固有振動数の変化率ωα５０２／ω５０２を示したものである。
【０１１２】
図１６に示すように、係数βの値が０．７の場合に動吸振器５０２の固有振動数に与える影響が最も少なることがわかる。このように、重り部５２２が、アーム部５１の幅ｂ１に対して一辺の長さが０．７ｂ１の正方形を複数個配置したパターンで構成された場合には、動吸振器５０２の固有振動数の調整は正方形の個数で容易に調整でき、且つアーム部５１での寸法誤差による動吸振器５０２の固有振動数の変動が小さい動吸振器を実現可能である。また、アーム部の幅に生じる寸法誤差は、一般的に例えばエッチング加工装置の工程能力や加工精度などに起因するが、寸法変化係数αは、同じ工程能力や加工精度でもアーム部の幅が小さいほど大きな変化率となる。このような場合においても、アーム部での寸法誤差による動吸振器の固有振動数の変動が小さい動吸振器を得ることができる。なお、重り部に設ける形状パターンは正方形に限るものではない。例えば、円形状パターンや、多角形形状を複数配置したパターンなどを用いてもよい。
【０１１３】
ここで、図１４より、第２の実施形態における固有振動数の変化率ωα５０１／ω５０１は、係数βの値が０．３４近傍を境に、それより大きい係数βの固有振動数の変化率推移と逆の挙動を示していることがわかる。また、図１６の本実施形態の固有振動数の変化率ωα５０２／ω５０２は、係数βの値が０．７を下回ると、０．７以上の固有振動数の変化率推移と逆の挙動を示していることがわかる。すなわち、第２の実施形態では、係数βの値が０．３４を下回るあたりで、本実施形態では係数βの値が０．７を下回るあたりでアーム部５１のばね定数の変化率よりも重り部５２１、重り部５２２の変化率の方が大きいことを示している。したがって、この係数βの値の差を用いて、第２の実施形態のような直線状のパターン２５ｅと本実施形態に示す略正方形形状パターン２５ｆの組み合わせにより、動吸振器の固有振動数の変動を相殺し、アーム部での寸法誤差による動吸振器の固有振動数の変動が小さい動吸振器を実現することも可能である。
【０１１４】
以上のように、本実施形態に係る動吸振器５０２は、重り部５２２の複数の単層材のうちアーム部５１の単層材と共有している少なくとも１つの単層材は、複数の略正方形形状のパターン２５ｆを有する構成としている。そのため、同量の寸法誤差により生じるアーム部５１の弾性変化と重り部５２２の質量の質量変化のそれぞれの変化率の差度合いが緩和されることから、吸振する周波数の安定性が高い動吸振器を得ることができる。また、略正方形形状パターン２５ｅは、重り部５２２およびアーム部５１の外形形成加工時に一括的に設けることができることから、新たな工程を追加することなく動吸振器５０２を設けることができる。
【０１１５】
（第４実施形態）
図１７は、本発明の第４の実施形態に係る動吸振器を示す模式斜視図である。
本実施形態に係る動吸振器５０３は、第３の実施形態に係る動吸振器５０２において、重り部５２２に代えて、多角形状のパターン上の配線カバー層４２に半田をつけるための穴（図示しない）を設けることで形成した質量調整機構５５を備えた重り部５２３とした点が相違点であり、その他の構成は第３の実施形態と同一である。よって同一構成の部分については説明を割愛する。具体的には、複数の質量調整機構５５は、略正方形状のパターン２５ｆを覆うように形成している配線カバー４２に穴４２ａを設けて露出させ、この部分に半田を付加することで質量調整を行うように構成されている。なお、質量調整機構５５に用いる質量調整用材料は半田に限るものではない。例えば金ボールや銀ボールでもよく、比重の大きな接着剤などを用いてもよい。
【０１１６】
以上のように、本実施形態に係る動吸振器５０３は、重り部５２３が、複数の質量調整機構５５を備えている。そのため、重り部５２３の質量が広範囲に調整可能となるため、アーム部５１の弾性と重り部５２３の質量から定まる動吸振器５０３の吸振する周波数の設定範囲を広げることが可能になる。
【０１１７】
以下、フレクシャに設けられた動吸振器がロードビームのスウェイモードを抑制できることを実施例１として示す。なお、実施例１として第１実施形態に係る動吸振器５０を有するフレクシャ１５を備えたヘッド支持機構２を用いた。また比較例１として実施例１と特性比較をするために、ヘッド支持機構２において、フレクシャ１５から動吸振器５０を取り除いたヘッド支持機構を用いた。
【０１１８】
実施例１のヘッド支持機構２及び比較例１のヘッド支持機構のシーク動作時における周波数応答特性を図１８に示す。シーク動作は、読み出すトラックをボイスコイルモータ（ＶＣＭ）により支持アーム８を大きく水平回動軸９を中心に最大加速で回動させ最大加速で停止させる動作である。この動作によってサスペンションのロードビーム１４が大きな共振を発生する。その中でもっとも大きな共振が図１８中のスウェイモードｆｒ１である。また、第１および第２の駆動手段によりスライダ３を回動駆動する機構によって、ヘッド素子の位置を微小調整する場合、その制御帯域が抑える必要のある共振周波数をカバーする帯域を有していれば問題ないが、制御帯域がカバーしていない場合には、その共振周波数のゲインが小さい方が望ましい。ヘッド支持機構２を備えた磁気ディスク装置１は、サンプリング周波数を４８ｋＨｚに設定しており、この場合の制御帯域は６ｋＨｚとしている。この比較例の場合、スウェイモードｆｒ１のピークが２６ｋＨｚ付近であり、制御帯域を超えている。よって、第一および第二の駆動手段では抑制できない。動吸振器５０を取り付けることにより、比較例１ではスウェイモードのピークが２６ｋＨｚ付近で約３４ｄＢであるが、実施例１ではスウェイモードｆｒ１のピークは約２９ｄＢに抑制されていることがわかる。つまり、実施例１では、シーク動作時におけるロードビーム１４で励起されたスウェイモードによる振動が、動吸振器５０により大きく抑制されたことを確認することができた。
【符号の説明】
【０１１９】
１…磁気ディスク装置、２…ヘッド支持機構、３…スライダ、４…ハウジング、５…スピンドルモータの軸、６…磁気ディスク、７…ヘッド素子、８…支持アーム、９…ＶＣＭの水平回動軸、１０…マグネット部、１１…ランプ機構、１２…タブ、１３…ベースプレート、１４…ロードビーム、１５…フレクシャ、１５ａ…フレクシャの本体部、１６ａ…第１の駆動手段（薄膜圧電体素子）、１６ｂ…第２の駆動手段（薄膜圧電体素子）、１７ａ…第一のビーム溶接ポイント、１７ｂ…第二のビーム溶接ポイント、１８…板バネ、１９…折り曲げ加工部、２０…スライダ支持板、２１…支点突起、２２ａ…第１のアウトリガ、２２ｂ…第２のアウトリガ、２３ａ…第１の圧電体支持部、２３ｂ…第２の圧電体支持部、２４，２４３…フレクシャ基板、２４ａ…フレクシャ基板のパターン形状、２４ｂ…フレクシャ基板の矩形状パターン形状、２５，２５１，２５２，２５３…導体箔、２５ａ…ヘッド素子配線、２５ｃ…重り部の導体箔のパターン、２５ｅ…導体箔の直線パターン形状、２５ｅｔ，２５ｆｔ…つなぎ部、２５ｆ…導体箔のドットマトリックスパターン形状、２５ｇ…導体箔の直線パターン形状、２６…薄膜圧電体、２７ａ…上部電極、２７ｂ…下部電極、２８…基台、２９ａ…第１の電極パッド、２９ｂ…第２の電極パッド、２９ｃ…第３の電極パッド、２９ｄ…第４の電極パッド、３０…絶縁カバー、３１…ヘッド電極端子、３２ａ…第１の折り曲げ部、３２ｂ…第２の折り曲げ部、３３…カウンターバランス、３４…Ｔ型リミッタ部、３５…ロードビームの孔部、３６ａ…第１の駆動リブ、３６ｂ…第２の駆動リブ、３７ａ…駆動配線、３７ｂ…グランド配線、３９ａ…第１のリンク、３９ｂ…第２のリンク、４０ａ…第１のジョイント、４０ｂ…第２のジョイント、４０ｃ…第３のジョイント、４０ｄ…第４のジョイント、４１…絶縁層、４２…配線カバー層、４４ａ…第１の分離溝、４４ｂ…第２の分離溝、５０，５０１，５０２，５０３…動吸振器、５１ａ，５１ｂ…アーム部、５２，５２１，５２２，５２３…重り部、５３…開口部、５４ａ，５４ｂ…アーム支持部、５５…質量調整機構。
【図１】
2016045975.tif 000022
【図２】
2016045975.tif 000023
【図３】
2016045975.tif 000024
【図４】
2016045975.tif 000025
【図５ａ】
2016045975.tif 000026
【図５ｂ】
2016045975.tif 000027
【図５ｃ】
2016045975.tif 000028
【図６】
2016045975.tif 000029
【図７】
2016045975.tif 000030
【図８ａ】
2016045975.tif 000031
【図８ｂ】
2016045975.tif 000032
【図８ｃ】
2016045975.tif 000033
【図９】
2016045975.tif 000034
【図１０】
2016045975.tif 000035
【図１１】
2016045975.tif 000036
【図１２】
2016045975.tif 000037
【図１３】
2016045975.tif 000038
【図１４】
2016045975.tif 000039
【図１５】
2016045975.tif 000040
【図１６】
2016045975.tif 000041
【図１７】
2016045975.tif 000042
【図１８】
2016045975.tif 000043