(57)【要約】【課題】従来よりも容易かつ確実にコイル状配線の断線前と同等の性能を維持したまま、磁気センサ素子を連続的に運転させる事が可能なフラックスゲート型磁気センサ素子のコイル状配線制御装置を提供する。【解決手段】磁気コアに巻き回され、電気的に並列接続された２つ以上のコイル状配線を含む磁気センサ素子と、２つ以上のコイル状配線に定電流を通電する定電流通電手段と、定電流によりコイル状配線間に発生する定電圧の定電圧値を監視する定電圧監視手段と、定電圧監視手段の監視結果に基づいて任意の時間に取得した電圧値が定電圧値よりも大きいか否かを判断し、電圧値が定電圧値よりも大きいと判断された場合、電圧値と定電圧値とが略同一の値となる様に定電流通電手段が定電流の定電流値を調整する指令信号を生成して定電流通電手段に入力する定電流調整指令信号入力手段と、を備えていることを特徴とする。【選択図】図１
2016194453.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気コアおよび前記磁気コアに巻き回され、互いに電気的に並列接続された２つ以上のコイル状配線を含むフラックスゲート型磁気センサ素子と、
２つ以上の前記コイル状配線と電気的に接続され、２つ以上の前記コイル状配線に定電流を通電する定電流通電手段と、
２つ以上の前記コイル状配線と電気的に接続され、前記定電流により２つ以上の前記コイル状配線に発生する定電圧の定電圧値を監視する定電圧監視手段と、
少なくとも前記定電流通電手段および前記定電圧監視手段と電気的に接続され、前記定電圧監視手段の監視結果に基づいて任意の時間に取得した電圧値が予め設定された前記定電圧値よりも大きいか否かを判断し、前記電圧値が前記定電圧値よりも大きいと判断された場合、前記電圧値と前記定電圧値とが略同一の値となる様に前記定電流通電手段が前記定電流の定電流値を調整する指令信号を生成して前記定電流通電手段に入力する定電流調整指令信号入力手段と、
を備えていることを特徴とするフラックスゲート型磁気センサ素子のコイル状配線制御装置。
【請求項２】
２つ以上の前記コイル状配線は、接続配線によって前記定電流通電手段と電気的に接続され、
前記定電流調整指令信号入力手段は、前記定電圧監視手段の監視結果に基づいて、前記電圧値が定格電圧値以上であるか否かを判断し、前記電圧値が前記定格電圧値以上であると判断された場合、前記接続配線が断線した事を示す接続配線断線検出信号を生成し、前記接続配線断線検出信号をユーザに提示することを特徴とする請求項１記載のフラックスゲート型磁気センサ素子のコイル状配線制御装置。
【請求項３】
磁気コアおよび前記磁気コアに巻き回され、互いに電気的に並列接続された２つ以上のコイル状配線を含むフラックスゲート型磁気センサ素子と、
２つ以上の前記コイル状配線と電気的に接続され、２つ以上の前記コイル状配線に定電圧を印加する定電圧印加手段と、
２つ以上の前記コイル状配線と電気的に接続され、前記定電圧により２つ以上の前記コイル状配線に発生する定電流の定電流値を監視する定電流監視手段と、
少なくとも前記定電圧印加手段および前記定電流監視手段と電気的に接続され、前記定電流監視手段の監視結果に基づいて任意の時間に取得した電流値が予め設定された前記定電流値未満であるか否かを判断し、前記電流値が前記定電流値未満であると判断された場合、前記電流値と前記定電流値とが略同一の値となる様に前記定電圧印加手段が前記定電圧の定電圧値を調整する指令信号を生成して前記定電圧印加手段に入力する定電圧調整指令信号入力手段と、
を備えていることを特徴とするフラックスゲート型磁気センサ素子のコイル状配線制御装置。
【請求項４】
２つ以上の前記コイル状配線は、接続配線によって前記定電圧印加手段と電気的に接続され、
前記定電圧調整指令信号入力手段は、前記定電流監視手段の監視結果に基づいて、前記電流値が０であるか否かを判断し、前記電流値が０であると判断された場合、前記接続配線が断線した事を示す接続配線断線検出信号を生成し、前記接続配線断線検出信号をユーザに提示することを特徴とする請求項３記載のフラックスゲート型磁気センサ素子のコイル状配線制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラックスゲート型磁気センサ素子のコイル状配線制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電流センサや電子コンパスに用いられる磁気センサとして、磁気コアにコイル状配線を巻き回して形成されたフラックスゲート型磁気センサ素子（以下、磁気センサ素子と呼ぶ事もある。）が知られている（例えば特許文献１参照）。
一般的に、このフラックスゲート型磁気センサ素子は、磁気センサ素子の表面や周囲が樹脂で封止されたパッケージ構造として提供されている。
【０００３】
また、前述のパッケージ構造において、磁気センサ素子を封止する樹脂としては一般的に非透明樹脂が用いられている。仮に透明樹脂を用いると、磁気センサ素子内部の電子回路に光が注入される場合があり、この場合、電子回路のキャリア濃度が変化する為、コイル状配線の抵抗値が変化してしまう。したがって、磁気センサ素子が誤動作する恐れがある。このため、磁気センサ素子を封止する樹脂としては、通常、非透明樹脂が用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２０１３−１４５２８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、従来のフラックスゲート型磁気センサ素子では、複数のコイル状配線を使用する場合、次のような問題が起こりやすくなる。
【０００６】
すなわち、前述のパッケージ構造では、磁気センサ素子の表面や周囲は非透明樹脂に覆われているため、コイル状配線は外から視認できない。このため、コイル状配線が断線して磁気センサ素子が故障した場合において、断線したコイル状配線を修復する際には、パッケージ構造を解体してコイル状配線を取り出す必要があった。したがって、この修復作業に比較的多くの手間が掛かるという問題があった。
【０００７】
また、コイル状配線の配線幅は比較的小さい為、顕微鏡を使って確認する必要があり、コイル状配線の全長が長くなるにつれ、また、使用するコイル状配線の本数が多くなるにつれ、断線したコイル状配線を修復するためにより多くの手間が掛かるという問題があった。
【０００８】
さらに、コイル状配線の修復には磁気センサ素子の電源を一度オフにする必要があるので、コイル状配線の断線前と同等の性能となるまでコイル状配線を修復する為により多くの手間を要していた。
【０００９】
したがって、これらの問題を解決する為には、コイル状配線の断線前と同等の磁気センサ素子の性能を維持したまま、磁気センサ素子を連続的に運転させる事が効果的であり、従来ではこの様な連続運転性の点で改善の余地があった。
【００１０】
本発明は上記課題に鑑み、従来よりも容易かつ確実にコイル状配線の断線前と同等の性能を維持したまま、磁気センサ素子を連続的に運転させる事が可能なフラックスゲート型
磁気センサ素子のコイル状配線制御装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明のフラックスゲート型磁気センサ素子のコイル状配線制御装置は、磁気コアおよび前記磁気コアに巻き回され、互いに電気的に並列接続された２つ以上のコイル状配線を含むフラックスゲート型磁気センサ素子と、２つ以上の前記コイル状配線と電気的に接続され、２つ以上の前記コイル状配線に定電流を通電する定電流通電手段と、２つ以上の前記コイル状配線と電気的に接続され、前記定電流により２つ以上の前記コイル状配線に発生する定電圧の定電圧値を監視する定電圧監視手段と、少なくとも前記定電流通電手段および前記定電圧監視手段と電気的に接続され、前記定電圧監視手段の監視結果に基づいて任意の時間に取得した電圧値が予め設定された前記定電圧値よりも大きいか否かを判断し、前記電圧値が前記定電圧値よりも大きいと判断された場合、前記電圧値と前記定電圧値とが略同一の値となる様に前記定電流通電手段が前記定電流の定電流値を調整する指令信号を生成して前記定電流通電手段に入力する定電流調整指令信号入力手段と、を備えていることを特徴とする。
【００１２】
２つ以上の前記コイル状配線は、接続配線によって前記定電流通電手段と電気的に接続され、前記定電流調整指令信号入力手段は、前記定電圧監視手段の監視結果に基づいて、前記電圧値が定格電圧値以上であるか否かを判断し、前記電圧値が前記定格電圧値以上であると判断された場合、前記接続配線が断線した事を示す接続配線断線検出信号を生成し、前記接続配線断線検出信号をユーザに提示することを特徴とする。
【００１３】
本発明のフラックスゲート型磁気センサ素子のコイル状配線制御装置は、磁気コアおよび前記磁気コアに巻き回され、互いに電気的に並列接続された２つ以上のコイル状配線を含むフラックスゲート型磁気センサ素子と、２つ以上の前記コイル状配線と電気的に接続され、２つ以上の前記コイル状配線に定電圧を印加する定電圧印加手段と、２つ以上の前記コイル状配線と電気的に接続され、前記定電圧により２つ以上の前記コイル状配線に発生する定電流の定電流値を監視する定電流監視手段と、少なくとも前記定電圧印加手段および前記定電流監視手段と電気的に接続され、前記定電流監視手段の監視結果に基づいて任意の時間に取得した電流値が予め設定された前記定電流値未満であるか否かを判断し、前記電流値が前記定電流値未満であると判断された場合、前記電流値と前記定電流値とが略同一の値となる様に前記定電圧印加手段が前記定電圧の定電圧値を調整する指令信号を生成して前記定電圧印加手段に入力する定電圧調整指令信号入力手段と、を備えていることを特徴とする。
【００１４】
２つ以上の前記コイル状配線は、接続配線によって前記定電圧印加手段と電気的に接続され、前記定電圧調整指令信号入力手段は、前記定電流監視手段の監視結果に基づいて、前記電流値が０であるか否かを判断し、前記電流値が０であると判断された場合、前記接続配線が断線した事を示す接続配線断線検出信号を生成し、前記接続配線断線検出信号をユーザに提示することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、２つ以上のコイル状配線が互いに電気的に並列接続されているため、２つのうち、いずれか一方のコイル状配線が断線した場合、２つ以上のコイル状配線の抵抗値の総和が低下する。また、定電流通電手段が、２つ以上のコイル状配線に定電流を通電するため、コイル状配線の抵抗値変化に伴って、コイル状配線に発生する電圧の電圧値も変化する。このため、定電流調整指令信号入力手段が、定電圧監視手段の監視結果に基づいてこの変化後の電圧値を任意の時間に取得した後に、当該変化後の電圧値と予め設定されたコイル状配線に発生する定電圧の定電圧値それぞれとを比較し、当該変化後の電圧値が定電圧値よりも大きいか否か判断する。そして、この判断結果に基づいて、定電流調
整指令信号入力手段が、この変化後の電圧値と定電圧値とが略同一の値となる様、定電流の定電流値を低減して調整する指令信号を生成して、定電流通電手段に入力する。このため、定電流通電手段が、入力された指令信号を基に変化後の電圧値と定電圧値とが略同一の値となる様、定電流の定電流値を低減して調整する。したがって、比較的短時間で断線前と同等の性能を有するコイル状配線として再び使える様になる為、従来よりも容易かつ確実にコイル状配線の断線前と同等の磁気センサの性能を維持したまま、磁気センサを連続的に運転させる事が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１実施形態におけるフラックスゲート型磁気センサ素子のコイル状配線制御装置の平面図である。
【図２】磁気センサ素子を磁気コアの軸線方向に沿って示す側断面図である。
【図３】磁気センサ素子を磁気コアの軸線に垂直な方向に沿って示す断面図である。
【図４】磁気センサ素子の内部構造を示す平面図である。
【図５】本発明の第１実施形態における定電流調整指令信号入力手段の判断フローを示すフロー図である。
【図６】本発明の第２実施形態におけるフラックスゲート型磁気センサ素子のコイル状配線制御装置の平面図である。
【図７】本発明の第２実施形態における定電流調整指令信号入力手段の判断フローを示すフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態におけるフラックスゲート型磁気センサ素子のコイル状配線制御装置の平面図である。
【００１８】
フラックスゲート型磁気センサ素子のコイル状配線制御装置１００は、図１に示すように、フラックスゲート型磁気センサ素子１０と、定電流通電手段２０と、定電圧監視手段３０と、定電流調整指令信号入力手段４０と、提示手段５０と、を備えている。また、フラックスゲート型磁気センサ素子１０は、その表面や周囲がパッケージ６０で封止されている。このため、フラックスゲート型磁気センサ素子１０は、パッケージ６０の内部６０Ａに配置され、定電流通電手段２０、定電圧監視手段３０、定電流調整指令信号入力手段４０および提示手段５０はパッケージ６０の外部６０Ｂに配置されている。
以下、まずはフラックスゲート型磁気センサ素子１０の説明をして、その次に定電流通電手段２０と、定電圧監視手段３０と、定電流調整指令信号入力手段４０および提示手段５０、パッケージ６０の説明をする。
【００１９】
フラックスゲート型磁気センサ素子１０は、図１に示すように、磁気コア１と、磁気コア１にらせん状に巻き回された第１コイル２と、磁気コア１にらせん状に巻き回された第２コイル３と、を備えている。
【００２０】
第１コイル２は、図１に示すように、第１コイル状配線２Ａおよび第２コイル状配線２Ｂといった２本の配線を有している。また、第１コイル状配線２Ａおよび第２コイル状配線２Ｂは、磁気コア１の長手方向において互いに離間された２つの範囲、すなわち、第１巻回範囲Ａと第３巻回範囲Ｃとに連続して磁気コア１にそれぞれ巻回されている。
【００２１】
また、第１コイル状配線２Ａと第２コイル状配線２Ｂとは、それぞれの配線同士が略平行になるように、互いに離間されて二重らせん状に磁気コア１に巻回されている。このため、図１に示すように、側面視においては、第１コイル状配線２Ａと第２コイル状配線２Ｂとが磁気コア１の長手方向に沿って交互に並んでいる。したがって、第１コイル状配線
２Ａと第２コイル状配線２Ｂとは、互いに電気的に絶縁されている。
また、第１コイル状配線２Ａの端部と第２コイル状配線２Ｂの端部とは、分岐手段４にて電気的に接続されている。したがって、第１コイル状配線２Ａと第２コイル状配線２Ｂとは、互いに並列接続されている。また、分岐手段４は、パッケージ６０の内部６０Ａにあってもよいし、パッケージ６０の外部６０Ｂにあってもよい。
【００２２】
なお、本実施形態におけるフラックスゲート型磁気センサ素子１０において、第１コイル２は、後述する定電流通電手段２０から供給された交流電流により磁気コア１に励磁磁界を発生させる励磁コイルとしての役割を果たしている。
【００２３】
第２コイル３は、図１に示すように、第３コイル状配線３Ａといった１本の配線から構成されている。また、第３コイル状配線３Ａは、磁気コア１の長手方向において、第１巻回範囲Ａと第３巻回範囲Ｃとの間に存在する１つの範囲、すなわち、第２巻回範囲Ｂにおいて磁気コア１に巻回されている。また、第３コイル状配線３Ａは、検出手段５に接続されている。
なお、本実施形態におけるフラックスゲート型磁気センサ素子１０において、第２コイル３は、第１コイル２により磁気コア１に発生された励磁磁界に基づいて検出信号を出力する検出コイルとしての役割を果たしている。
【００２４】
次に、図２〜４を用いて、フラックスゲート型磁気センサ素子１０の構造について詳細に説明する。
【００２５】
図２は、フラックスゲート型磁気センサ素子を磁気コアの軸線方向に沿って示した側断面図である。図３は、フラックスゲート型磁気センサ素子を図１に示す直線D-Dに沿って示した断面図であり、図４は、フラックスゲート型磁気センサ素子の内部構造を示す平面図である。
【００２６】
図２および図３に示すように、フラックスゲート型磁気センサ素子１０は、非磁性基板１１上に、第１配線層１２と、第１樹脂層１３と、磁気コア１と、第２樹脂層１４と、第２配線層１５と、第３樹脂層１６と、を有する。
【００２７】
非磁性基板１１は、例えば、シリコンウェーハなどのいった絶縁性の酸化膜を例示することができる。
【００２８】
第１配線層１２は、後述する第２配線層１５と接続して第１コイル状配線２Ａおよび第２コイル状配線２Ｂを構成する材料として、非磁性基板１１上に形成されている。ここで、第１配線層１２は、例えば、薄膜状の磁性材料から構成されており、Ｔｉ，Ｃｒ，ＴｉＷなどのバリアメタルをスパッタ成膜した後にＣｕをスパッタ成膜して得られた磁性材料を例示することができる。また、第１配線層１２は、素子サイズや必要とされる抵抗値、およびフィードバック効率などを勘案し、配線数（コイル巻き数）と線幅、および膜厚を好適に設計することができる。例えば、第１樹脂層１３以降の工程における凹凸の影響を軽減するため、膜厚は３μｍ以下が望ましい。例えばＬ／Ｓ＝６μｍ／３μｍ、膜厚＝２μｍのように設定することができる。
【００２９】
第１樹脂層１３は、第１配線層１２と磁気コア１とが絶縁される事を目的として、第１配線層１２上に形成されている。ここで、第１樹脂層１３は、例えば、感光性樹脂から構成されており、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ノボラック系樹脂などを例示することができる。また、第１樹脂層１３の厚さは、第１配線層１２の凹凸を緩和するだけの十分な厚さであることが望ましく、例えば、第１配線層１２の厚さの２倍以上が好適である。
【００３０】
磁気コア１は、交流電流が通電された第１コイル２によって励磁磁界を発生させる事を目的として、第１樹脂層１３上に形成されている。ここで、磁気コア１は、例えば、薄膜状の磁性材料から構成されており、ＣｏＮｂＺｒ、ＣｏＴａＺｒなどに代表される零磁歪のＣｏ系アモルファス膜や、ＮｉＦｅ合金、ＣｏＦｅ合金などといった薄膜状の軟磁性体材料を例示することができる。
【００３１】
第２樹脂層１４は、磁気コア１と第２配線層１５とが絶縁される事を目的として、第１樹脂層１３および磁気コア１上に形成されている。ここで、第２樹脂層１４は、例えば、第１樹脂層１３と同様の材料を用いる事ができる。
【００３２】
第２配線層１５は、第１配線層１２と接続して第１コイル状配線２Ａおよび第２コイル状配線２Ｂを構成する材料として、第１配線層１２および第２樹脂層１４上に形成されている。また、図３に示すように、第２配線層１５は、第２樹脂層１４上面に形成された主配線層１５ａと、第１樹脂層１３および第２樹脂層１４の両側面に形成された層間配線層１５ｂと、第１配線層１２に沿って電気的に接続されるように形成された接続配線層１５ｃと、を有する。ここで、第２配線層１５は、例えば、第１配線層１２と同様の材料を用いる事ができる。また、第２配線層１５は、素子サイズや必要とされる抵抗値、およびフィードバック効率などを勘案し、配線数（コイル巻き数）と線幅、および膜厚を好適に設計することができる。
【００３３】
第３樹脂層１６は、第２配線層１２を保護する事を目的として、非磁性基板１１および第２配線層１５上に形成されている。ここで、第３樹脂層１６は、例えば、第２樹脂層１４と同様の材料を用いる事ができる。
【００３４】
次に、図４を用いて、第１配線層１２および第２配線層１５と、第１コイル状配線２Ａおよび第２コイル状配線２Ｂとの関係を詳細に説明する。
【００３５】
図４に示すように、第１配線層１２は、直線的に延在している磁気コア１の軸線に垂直な方向に対して傾斜する方向に沿って形成されており、これら複数の第１配線層１２は、磁気コア１の長手方向に沿って互いに間隔をおいて、互いに略平行に形成されている。
また、第２配線層１５は、磁気コア１の軸線に垂直な方向に沿って形成されており、これら複数の第２配線層１５は、磁気コア１の長手方向に互いに間隔をおいて、互いに略平行に形成されている。
【００３６】
また、図４に示すように、第１コイル状配線２Ａは、第２配線層１５（１５ａ、１５ｂ、１５ｃ）の右端部と、第１配線層１２の右端部とが、第２配線層１５の左端部と、当該第１配線層１２と略平行な２つ下隣の第１配線層１２の左端部とがそれぞれ互いに接続されて構成されている。
図４により示された第１コイル状配線２Ａにおいて、第２配線層１５ｄは、第１配線層１２ａの右端部と、第１配線層１２ｃの左端部とを接続している。
第２配線層１５ｆは、第１配線層１２ｃの右端部と、第１配線層１２ｅの左端部とを接続している。
第２配線層１５ｈは、第１配線層１２ｅの右端部と、第１配線層１２ｇの左端部とを接続している。
したがって、第１コイル状配線２Ａは、図４において上から下に向かって順番に１２ａ、１５ｄ、１２ｃ，１５ｆ、１２ｅ、１５ｈ、１２ｇで構成されている。
【００３７】
また、第１コイル状配線２Ａと同様に、第２コイル状配線２Ｂは、図４において上から下に向かって順番に１２ｂ、１５ｅ、１２ｄ、１５ｇ、１２ｆで構成されている。
【００３８】
以上の構成により、フラックスゲート型磁気センサ素子１０は、以下の原理により、磁気コア１に印加された外部磁界の値を測定する事ができる。
まず、後述する定電流通電手段２０により、第１コイル２（励磁コイル）に交流電流（三角波電流）を通電し、第１コイル２に磁界を発生させて、磁気コア１に励磁磁界を励磁させる。このとき、交流電流を通電しているため、磁気コア１に発生する励磁磁界の向きも正負交互に変動する。そして、当該励磁磁界の向きが切り替わる時（励磁磁界の値が０となる時）に、第２コイル３（検出コイル）に誘導電流信号が発生し、第２コイル３に接続された検出手段５にてパルス状の出力電圧として検出される。
ここで、磁気コア１の長手方向に沿って一定の外部磁界Ｈｅｘｔを受けると、以下のメカニズムで、第２コイル３（検出コイル）に誘導電流信号が発生する間隔が一定でなくなる。
磁気コア１に発生する励磁磁界が飽和しない限り、定電流通電手段２０の交流電流の大きさに比例した励磁磁界が発生し、交流電源の電流の向きが変わる一定の間隔で励磁磁界の向きが変化する。
例えば、定電流通電手段２０に起因する磁気コア１内部の励磁磁界の向きと、外部磁界Ｈｅｘｔの向きとが、同方向の場合には、磁気コア１内部の励磁磁界は増加し、一方、定電流通電手段２０に起因する磁気コア１内部の励磁磁界の向きと、外部磁界Ｈｅｘｔの向きとが、逆方向の場合には、磁気コア１内部の励磁磁界は減少する。
そのため、一定の外部磁界Ｈｅｘｔを受けた結果、励磁磁界の向きが切り替わる間隔（励磁磁界の値が０となる間隔）が、一定でなくなる。
換言すると、交流電流の最小値を示す時（ｔ１）から検出される出力電圧のピークを示す時（ｔ２）までの時間幅Ｔ１（｜ｔ２−ｔ１｜）と、交流電流の最大値を示す時（ｔ１'）から検出される出力電圧のピークを示す時（ｔ２'）までの時間幅Ｔ２（｜ｔ２'−ｔ１'｜）とは異なる値を示すようになる。したがって、この時間幅の変化量Ｔ２−Ｔ１と外部磁界Ｈｅｘｔとの関係式（１）から、フラックスゲート型磁気センサ素子１０は、磁気コア１に印加された外部磁界Ｈｅｘｔを測定する事ができる。
Ｔ２−Ｔ１＝Ｈｅｘｔ／Ｈｅｘｃ×Ｔ／２・・（１）
ただし、上記の（１）式において、Ｈｅｘｃは第１コイル２から発生する磁界であり、Ｔは三角波の周期である。
【００３９】
次に、図１を用いて、定電流通電手段２０と、定電圧監視手段３０と、定電流調整指令信号入力手段４０と、提示手段５０およびパッケージ６０の説明をする。定電流通電手段２０は、例えば、交流電流信号（交流電流）と直流電流信号（直流電流）を重畳した信号を出力する事が可能な交流信号源であり、交流信号源内の内部抵抗（図示せず）の値が第１コイル２の抵抗値よりもはるかに高い値になる様、抵抗値を調整する事により、第１コイル２に通電する電流値が一定とする事ができる。
なお、交流電流と直流電流を重畳した場合、得られる出力波形は、時間の経過とともに電流の向きが正または負に変化する交流波形となるが、一般的に、直流出力に含まれる交流成分の割合（リップル率）が、使用範囲にて許容出来る程度に小さければ、直流電流として扱われる。また、この場合、交流成分の割合が小さいほど、検出手段５にて検出される出力電圧のピーク値が小さくなり、当該出力電圧が発生した事が検知されにくくなるため、当該出力電圧が発生する時の測定精度が低下するが、本発明では、当該測定が可能な程度に且つ使用範囲にて許容出来る程度に交流成分の割合を小さく設定している。
また、定電流通電手段２０は、以下の２つの役割を果たしている。
１つ目に、第１コイル２に交流電流を通電し、第１コイル２に磁界を発生させて、磁気コア１に励磁磁界を発生させる役割を果たしている。
２つ目に、第１コイル２に一定の電流値を示す直流電流（以下、定電流と呼ぶ事もある。）を通電する役割を果たしている。
３つ目に、後述する定電流調整指令信号入力手段４０から指令信号を受信した後に、定
電流値を低減して調整する役割を果たしている。
また、図１に示すように、定電流通電手段２０は、接続配線６と電気的に接続されており、接続配線６は、第１コイル状配線２Ａの両端部および第２コイル状配線２Ｂの両端部と、分岐手段４において電気的に接続されている。したがって、第１コイル状配線２Ａと第２コイル状配線２Ｂには、接続配線６を介して共通の定電流通電手段２０から定電流が通電される。
また、図１に示すように、定電流通電手段２０は、後述する定電流調整指令信号入力手段４０と電気的に接続（電源供給およびデータ授受目的含む）されており、装置内部には、定電流調整指令信号入力手段４０から指令信号を受信する信号処理用ＩＣ（図示せず）が内臓されている。
【００４０】
定電圧監視手段３０は、例えば、電圧計であり、互いに並列接続された第１コイル状配線２Ａおよび第２コイル状配線２Ｂからなる第１コイル２で発生する電圧における電圧値の変化を監視し、この監視結果を後述する定電流調整指令信号入力手段４０に送信する役割を果たしている。
また、図１に示すように、定電圧監視手段３０は、第１コイル状配線２Ａおよび第２コイル状配線２Ｂと電気的に並列接続されている。
【００４１】
定電流調整指令信号入力手段４０は、例えば、信号処理用ＩＣであり、以下の４つの役割を果たしている。
１つ目に、定電流通電手段２０にて定電流値Ｉ１の定電流を通電し始めた際に、第１コイル２の２つのコイル状配線に発生する定電圧の定電圧値Ｖ１を取得し、電圧値情報記憶部（図示せず）に保存し、設定する役割を果たしている。
また、２つ目に、定電圧監視手段３０の監視結果に基づいて第１コイル２の２つのコイル状配線に発生する電圧の電圧値Ｗ１を任意の時間に取得し、電圧値Ｗ１と定電圧値Ｖ１との差△１を求める計算を行う役割を果たしている。
また、３つ目に、電圧値Ｗ１と定電圧値Ｖ１との差△１を算出した後に、以下の判断項目（１）〜（２）について判断を行い、この判断結果に基づいて、後述する指令信号もしくは接続配線断線検出信号を生成する役割を果たしている。
（１）電圧値Ｗ１と定電圧値Ｖ１との差△１が、△１＞０であるか否か（電圧値Ｗ１が定電圧値Ｖ１よりも大きいか否か）
（２）電圧値Ｗ１が後述する定格電圧値Ｕ１との関係で、Ｗ１≧Ｕ１であるか否か（電圧値Ｗ１が定格電圧値Ｕ１以上か否か）
また、４つ目に、上記（１）〜（２）の判断結果に基づいて生成した指令信号を定電流通電手段２０に入力する役割もしくは上記（１）〜（２）の判断結果に基づいて生成した接続配線断線検出信号を後述する提示手段５０に入力する役割を果たしている。
また、図１に示すように、定電流調整指令信号入力手段４０は、定電流通電手段２０および定電圧監視手段３０と電気的に接続（電源供給およびデータ授受目的含む）されている。
【００４２】
次に、図５を用いて、本実施形態における定電流調整指令信号入力手段４０の作用について詳細に説明する。
【００４３】
図５は、本発明の第１実施形態における定電流調整指令信号入力手段の判断フローを示すフロー図である。
【００４４】
本実施形態の場合、第１コイル状配線２Ａの抵抗値をＲａ、第２コイル状配線２Ｂの抵抗値をＲｂ（ただし、Ｒａ＞Ｒｂ）とすると、第１コイル２の抵抗値Ｒ１は、ＲａＲｂ／（Ｒａ＋Ｒｂ）となり、この時、定電流値Ｉ１の定電流を第１コイル２に通電させると、第１コイル２に発生する定電圧の定電圧値Ｖ１は、ＲａＲｂＩ１／（Ｒａ＋Ｒｂ）となる
。
このため、定電圧値Ｖ１は、予め測定された抵抗値Ｒａ、Ｒｂおよび定電流を通電して測定された定電流値Ｉ１から定まる。そして、定電圧値Ｖ１は、電圧値Ｗ１と定電圧値Ｖ１との差△１の算出および後述する判断を行う前に予め取得され、この取得された定電圧値Ｖ１は、電圧値情報記憶部に保存される。
以上の流れにより、電圧値Ｗ１と定電圧値Ｖ１との差△１の算出および後述する判断を行う際に使用するパラメータとして定電圧値Ｖ１が設定される。
また、定電流調整指令信号入力手段４０には、定格電圧値Ｕ１（ただし、Ｕ１＞Ｖ１）も併せて電圧値情報記憶部に保存されている。
なお、上記の定格電圧値Ｕ１は、フラックスゲート型磁気センサ素子１０の作製時に任意に決める値であり、例えば、フラックスゲート型磁気センサ素子１０の使用前もしくは使用時のいずれかに電圧値情報記憶部に保存して設定する事が出来る。
また、２つの第１コイル状配線２Ａと、第２コイル状配線２Ｂが同時に断線する可能性は限りなく少ないため、以下、それぞれの第１コイル状配線が断線した場合のみ説明する。
【００４５】
以上により、図５に示すように、以下のステップＳ101〜S109に基づいて、定電流調整指令信号入力手段４０は、指令信号もしくは接続配線断線検出信号を生成し、後述する提示手段５０に入力する。
【００４６】
まず、定電流通電手段２０にて定電流値Ｉ１の定電流を通電して、第１コイル状配線２Ａと第２コイル状配線２Ｂに発生する定電圧の定電圧値Ｖ１を取得し、電圧値情報記憶部に保存する事により、定電圧値Ｖ１を設定する（ステップS101）。
次に、定電圧監視手段３０の監視結果に基づいて第１コイル状配線２Ａおよび第２コイル状配線２Ｂに発生する電圧の電圧値Ｗ１を任意の時間に取得する（ステップS102）。
次に、この電圧値Ｗ１と定電圧値Ｖ１との差△１を求める計算を行う（ステップS103）。
【００４７】
次に、電圧値Ｗ１と定電圧値Ｖ１との差△１が、△１＞０であるか否か判断する（ステップS104）。
ここで、ステップS104で、電圧値Ｗ１と定電圧値Ｖ１との差△１が、△１＞０でないと判断した場合（NOの場合）は、第１コイル状配線２Ａおよび第２コイル状配線２Ｂのどちらも断線していないと判断して、ステップS102に戻り、ステップS104まで繰り返し計算を行う。また、電圧値Ｗ１と定電圧値Ｖ１との差△１が、△１＞０と判断した場合（YESの場合）は、次に、電圧値Ｗ１と定格電圧値Ｕ１との関係が、Ｗ１≧Ｕ１であるか否か判断する（ステップS105）。
【００４８】
ここで、ステップS105で、Ｗ１＜Ｕ１と判断した場合（NOの場合）は、第１コイル状配線２Ａもしくは第２コイル状配線２Ｂのいずれか一方が断線していると判断して、電圧値Ｗ１と定電圧値Ｖ１との差△１が、△１≒０となる様、すなわち、電圧値W１と定電圧値Ｖ１とが略同一の値となる様に定電流通電手段２０が定電流値Ｉ１を低減して調整する指令信号を生成する（ステップS106）。
【００４９】
ここで、上記ステップS106において、「略同一の値」とは、電圧値W１と定電圧値Ｖ１とが互いに完全に同一の値を示している必要は無く、具体的には、小数点５桁までは同一の値で、小数点６桁以下は異なる値となる程度の誤差があっても良い事を示している。
また、上記ステップS106において、定電流値Ｉ１を具体的にどの程度低減するかについては電圧値Ｗ１による。ここで、本実施形態の場合、第１コイル状配線２Ａが断線した場合は、第１コイル２の抵抗値Ｒ１'は、Ｒｂとなり、第１コイル２に発生する電圧の電圧値W１は、ＲｂＩ１となる。このため、電圧値W１を定電圧値Ｖ１（＝ＲａＲｂＩ１／（Ｒ
ａ＋Ｒｂ））にする為には、定電流値Ｉ１をＲａ／（Ｒａ＋Ｒｂ）倍に低減して調整すれば可能となる。また、第２コイル状配線２Ｂが断線した場合は、第１コイル２の抵抗値Ｒ１'は、Ｒａとなり、第１コイル２に発生する電圧の電圧値W１は、ＲａＩ１となる。このため、電圧値W１を定電圧値Ｖ１（＝ＲａＲｂＩ１／（Ｒａ＋Ｒｂ））にする為には、定電流値Ｉ１をＲｂ／（Ｒａ＋Ｒｂ）倍に低減して調整すれば可能となる。
そして、最後に、上記ステップS106で生成した指令信号を定電流通電手段２０に入力する（ステップS107）。
【００５０】
また、Ｗ１≧Ｕ１と判断した場合（YESの場合）は、第１コイル２の全てのコイル状配線が同時に断線することはないので、接続配線６が断線していると判断して、接続配線６が断線しており、定電流通電手段２０が定電流値Ｉ１を低減して調整するのが不可能である旨を示す接続配線断線検出信号を生成する（ステップS108）。
そして、最後に、上記ステップS108で生成した接続配線断線検出信号を提示手段５０に入力する（ステップS109）。
【００５１】
提示手段５０は、例えば、ディスプレイやスピーカー等の装置であり、定電流調整指令信号入力手段４０が出力した接続配線断線検出信号に基づいて、接続配線６が断線した旨の情報を、ディスプレイの場合、メッセージとして所定画面に出力表示させ、スピーカーの場合、音声として外部に出力させて、ユーザに提示させる役割を果たしている。
また、図１に示すように、提示手段５０は、定電流調整指令信号入力手段４０と電気的（電源供給およびデータ授受目的含む）に接続されている。
【００５２】
パッケージ６０は、例えば、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、シリコン樹脂等の非透明の絶縁樹脂であり、フラックスゲート型磁気センサ素子１０の表面や周囲を封止して保護する役割を果たしている。
【００５３】
次に、本実施形態におけるフラックスゲート型磁気センサ素子のコイル状配線制御装置１００の作用効果について説明する。
【００５４】
本実施形態によれば、第１コイル状配線２Ａおよび第２コイル状配線２Ｂの２つのコイル状配線が互いに電気的に並列接続されているため、２つのうち、いずれか一方のコイル状配線が断線した場合、２つのコイル状配線の抵抗値の総和が低下する。また、定電流通電手段２０が、２つのコイル状配線に定電流を通電するため、第１コイル状配線２Ａまたは第２コイル状配線２Ｂの抵抗値変化に伴って、２つのコイル状配線に発生する電圧の電圧値も変化する。
このため、定電流調整指令信号入力手段４０は、定電圧監視手段３０の監視結果に基づいてこの変化した電圧値Ｗ１を任意の時間に取得した後に、電圧値Ｗ１と、予め設定された定電圧値Ｖ１とを比較し、判断する。
次に、この判断結果に基づいて、定電流調整指令信号入力手段４０が、電圧値W１と定電圧値Ｖ１とが略同一の値となる様、定電流通電手段２０が定電流値Ｉ１を低減して調整する指令信号を生成し、定電流通電手段２０に入力する。
そして、定電流通電手段２０が、入力された指令信号を基に変化後の電圧値Ｗ１と定電圧値Ｖ１とが略同一の値となる様、定電流値Ｉ１を低減して調整する。したがって、比較的短時間で断線前と同等の性能（定電圧値Ｖ１）を有するコイル状配線として再び使える様になる為、従来よりも容易かつ確実にコイル状配線の断線前と同等の磁気センサの性能を維持したまま、磁気センサを連続的に運転させる事が可能となる。
また、定電流調整指令信号入力手段４０は、電圧値Ｗ１と定格電圧値Ｕ１とを比較し、判断する。
次に、この判断結果に基づいて、定電流調整指令信号入力手段４０が、接続配線６が断線した旨を示す接続配線断線検出信号を生成し、提示手段５０に入力する。
そして、提示手段５０は、定電流調整指令信号入力手段４０から受信した接続配線断線検出信号に基づいて、接続配線６が断線した旨の情報をユーザに提示する。したがって、ユーザはこの情報に基づいて、瞬時に接続配線６が断線した事を知る事が出来るようになる為、より容易かつ確実に、定電流通電手段２０が定電流値Ｉ１を低減して調整するのが不可能である事を知る事が出来るようになる。
【００５５】
（第２実施形態）
図６は、本発明の第２実施形態におけるフラックスゲート型磁気センサ素子のコイル状配線制御装置の平面図であり、図７は、本発明の第２実施形態における定電圧調整指令信号入力手段の判断フローを示すフロー図である。
【００５６】
本実施形態のフラックスゲート型磁気センサ素子のコイル状配線制御装置１００Ｂは、図６に示すように、定電流通電手段２０の代わりに定電圧印加手段２０Ｂを備えている点、定電圧監視手段３０の代わりに定電流監視手段３０Ｂを備えている点、および定電流調整指令信号入力手段４０の代わりに定電圧調整指令信号入力手段４０Ｂを備えている点で、第１実施形態と相違するが、それ以外の構成は第１実施形態と同様である。以下に、第２実施形態におけるフラックスゲート型磁気センサ素子のコイル状配線制御装置１００Ｂについて説明する。なお、第１実施形態と同様の部分は説明を省略する。
【００５７】
本実施形態のフラックスゲート型磁気センサ素子のコイル状配線制御装置１００Ｂでは、図６に示すように、定電圧印加手段２０Ｂを備えている。
定電圧印加手段２０Ｂは、例えば、交流電圧信号（交流電圧）と直流電圧信号（直流電圧）を重畳した信号を出力する事が可能な交流信号源であり、交流信号源内の内部抵抗（図示せず）の値が第１コイル２の抵抗値よりもはるかに低い値になる様、抵抗値を調整する事により、第１コイル２に印加する電圧値を一定とする事ができる。
なお、交流電圧と直流電圧を重畳した場合、得られる出力波形は、時間の経過とともに電圧の向きが正または負に変化する交流波形となるが、一般的に、直流出力に含まれる交流成分の割合（リップル率）が、使用範囲にて許容出来る程度に小さければ、直流電圧として扱われる。また、この場合、交流成分の割合が小さいほど、検出手段５にて検出される出力電圧のピーク値が小さくなり、当該出力電圧が発生した事が検知されにくくなるため、当該出力電圧が発生する時の測定精度が低下するが、本発明では、当該測定が可能な程度に且つ使用範囲にて許容出来る程度に交流成分の割合を小さく設定している。
また、定電圧印加手段２０Ｂは、以下の２つの役割を果たしている。
１つ目に、第１コイル２に交流電圧を印加し、第１コイル２に磁界を作らせて、磁気コア１に励磁磁界を発生させる役割を果たしている。
２つ目に、第１コイル２に一定の電圧値を示す直流電圧（以下、定電圧と呼ぶ事もある。）を印加する役割を果たしている。
３つ目に、後述する定電圧調整指令信号入力手段４０Ｂから入力された指令信号を受信した後に、定電圧値を増加して調整する役割を果たしている。
また、図６に示すように、定電圧印加手段２０Ｂは、接続配線６と電気的に接続されており、接続配線６は、第１コイル状配線２Ａの両端部および第２コイル状配線２Ｂの両端部と、分岐手段４において電気的に接続されている。したがって、第１コイル状配線２Ａと第２コイル状配線２Ｂには、接続配線６を介して共通の定電圧印加手段２０Ｂから定電圧が印加される。
また、図６に示すように、定電圧印加手段２０Ｂは、後述する定電圧調整指令信号入力手段４０Ｂと電気的（電源供給およびデータ授受目的含む）に接続されており、装置内部には、定電圧調整指令信号入力手段４０Ｂから指令信号を受信する信号処理用ＩＣ（図示せず）が内臓されている。
【００５８】
定電流監視手段３０Ｂは、例えば、電流計であり、互いに並列接続された第１コイル状
配線２Ａおよび第２コイル状配線２Ｂからなる第１コイル２で発生する電流における電流値の変化を監視し、この監視結果を後述する定電圧調整指令信号入力手段４０Ｂに入力する役割を果たしている。
また、図６に示すように、定電流監視手段３０Ｂは、第１コイル状配線２Ａおよび第２コイル状配線２Ｂと電気的に直列接続されている。
【００５９】
定電圧調整指令信号入力手段４０Ｂは、例えば、第１実施形態における定電流調整指令信号入力手段４０と同様の信号処理用ＩＣを用いる事ができ、以下の４つの役割を果たしている。
１つ目に、定電圧印加手段２０Ｂにて定電圧値Ｖ１の定電圧を印加し始めた際に、第１コイル２の２つのコイル状配線に発生する定電流の定電流値Ｉ２を取得し、電流値情報記憶部（図示せず）に保存し、設定する役割を果たしている。
また、２つ目に、定電流監視手段３０Ｂの監視結果に基づいて第１コイル２の２つのコイル状配線に発生する電流の電流値Ｗ２を任意の時間に取得し、電流値Ｗ２と定電流値Ｉ２との差△２を求める計算を行う役割を果たしている。
また、３つ目に、電流値Ｗ２と定電流値Ｉ２との差△２を算出した後に、以下の判断項目（１）〜（２）について判断を行い、この判断結果に基づいて、指令信号もしくは接続配線断線検出信号を生成する役割を果たしている。
（１）電流値Ｗ２と定電流値Ｉ２との差△２が、△２＜０であるか否か（電流値Ｗ２が定電流値Ｉ２未満か否か）
（２）電流値W２が０であるか否か
また、4つ目に、上記（１）〜（２）の判断結果に基づいて生成した指令信号を定電圧印加手段２０Ｂに入力する役割もしくは、上記（１）〜（２）の判断結果に基づいて生成した接続配線断線検出信号を提示手段５０に入力する役割を果たしている。
また、図６に示すように、定電圧調整指令信号入力手段４０Ｂは、定電圧印加手段２０Ｂおよび定電圧監視手段３０Ｂと電気的（電源供給およびデータ授受目的含む）に接続されている。
【００６０】
次に、図７を用いて、本実施形態における定電圧調整指令信号入力手段４０Ｂの作用について詳細に説明する。
【００６１】
本実施形態の場合、第１コイル状配線２Ａの抵抗値をＲａ、第２コイル状配線２Ｂの抵抗値をＲｂ（ただし、Ｒａ＞Ｒｂ）とすると、第１コイル２の抵抗値Ｒ２は、ＲａＲｂ／（Ｒａ＋Ｒｂ）となり、この時、定電圧値Ｖ２の定電圧を第１コイル２に通電させると、第１コイル２に発生する定電流の定電流値Ｉ２は、Ｖ２（Ｒａ＋Ｒｂ）／ＲａＲｂとなる。
このため、定電流値Ｉ２は、予め測定された抵抗値Ｒａ、Ｒｂおよび定電圧を印加して測定された定電圧値Ｖ２から定まる。そして、定電流値Ｉ２は、電流値Ｗ２と定電流値Ｉ２との差△２の算出および後述する判断を行う前に予め取得され、この取得された定電流値Ｉ２は、電流値情報記憶部に保存される。
以上の流れにより、電流値Ｗ２と定電流値Ｉ２との差△２の算出および後述する判断を行う際に使用するパラメータとして定電流値Ｉ２が設定される。
また、２つの第１コイル状配線２Ａと、第２コイル状配線２Ｂが同時に断線する可能性は限りなく少ないため、以下、それぞれの第１コイル状配線が断線した場合のみ説明する。
【００６２】
以上により、図７に示すように、以下のステップＳ101〜S109に基づいて、定電圧調整指令信号入力手段４０Ｂは、指令信号もしくは接続配線断線検出信号を生成し、提示手段５０に入力する。
【００６３】
まず、定電圧印加手段２０Ｂにて定電圧値Ｖ２の定電圧を印加して、第１コイル状配線２Ａと第２コイル状配線２Ｂに発生する定電流の定電流値Ｉ２を取得し、電流値情報記憶部に保存する事により、定電流値Ｉ２を設定する（ステップS101）。
次に、定電流監視手段３０Ｂの監視結果に基づいて第１コイル状配線２Ａおよび第２コイル状配線２Ｂに発生する電流の電流値Ｗ２を任意の時間に取得する（ステップS102）。
次に、この電流値Ｗ２と定電流値Ｉ２との差△２を求める計算を行う（ステップS103）。
【００６４】
次に、電流値Ｗ２と定電流値Ｉ２との差△２が、△２＜０であるか否か判断する（ステップS104）。
ここで、ステップS104で、電流値Ｗ２と定電流値Ｉ２との差△２が、△２＜０でないと判断した場合（NOの場合）は、第１コイル状配線２Ａおよび第２コイル状配線２Ｂのどちらも断線していないと判断して、ステップS102に戻り、ステップS104まで繰り返し計算を行う。また、電流値Ｗ２と定電流値Ｉ２との差△２が、△２＜０と判断した場合（YESの場合）は、次に、電流値W２が、Ｗ２＝０であるか否かを判断する（ステップS105）。
【００６５】
ここで、ステップS105で、Ｗ２≠０と判断した場合（NOの場合）は、第１コイル状配線２Ａもしくは第２コイル状配線２Ｂのいずれか一方が断線していると判断して、電流値Ｗ２と定電流値Ｉ２との差△２が、△２≒０となる様、すなわち、電流値W２と定電流値Ｉ２とが略同一の値となる様に定電圧印加手段２０Ｂが定電圧値Ｖ２を増加して調整する指令信号を生成する（ステップS106）。
【００６６】
ここで、上記ステップS106において、「略同一の値」とは、電流値Ｗ２と定電流値Ｉ２とが互いに完全に同一の値を示している必要は無く、具体的には、小数点５桁までは同一の値で、小数点６桁以下は異なる値となる程度の誤差があっても良い事を示している。
また、上記ステップS106において、定電圧値Ｖ２を具体的にどの程度低減するかについては電流値W２による。ここで、本実施形態の場合、第１コイル状配線２Ａが断線した場合は、第１コイル２の抵抗値Ｒ１'は、Ｒｂとなり、第１コイル２に発生する電流の電流値W２は、Ｖ２／Ｒｂとなる。このため、電流値W２を定電流値Ｉ２（＝Ｖ２（Ｒａ＋Ｒｂ）／ＲａＲｂ）にする為には、定電圧値Ｖ２を（Ｒａ＋Ｒｂ）／Ｒａ倍に増加して調整すれば可能となる。また、第２コイル状配線２Ｂが断線した場合は、第１コイル２の抵抗値Ｒ１'は、Ｒａとなり、第１コイル２に発生する電流の電流値W２は、Ｖ２／Ｒａとなる。このため、電流値W２を定電流値Ｉ２（＝Ｖ２（Ｒａ＋Ｒｂ）／ＲａＲｂ）にする為には、定電圧値Ｖ２を（Ｒａ＋Ｒｂ）／Ｒｂ倍に増加して調整すれば可能となる。
そして、最後に、上記ステップS106で生成した指令信号を定電圧印加手段２０Ｂに入力する（ステップS107）。
【００６７】
また、Ｗ２＝０と判断した場合（YESの場合）は、第１コイル２の全てのコイル状配線が同時に断線することはないので、接続配線６が断線していると判断して、接続配線６が断線しており、定電圧印加手段２０Ｂが定電圧値Ｖ２を増加して調整するのが不可能である旨を示す接続配線断線検出信号を生成する（ステップS108）。
そして、最後に、上記ステップS108で生成した接続配線断線検出信号を提示手段５０に入力する（ステップS109）。
【００６８】
本実施形態におけるフラックスゲート型磁気センサ素子のコイル状配線制御装置１００Ｂについても、第１実施形態におけるフラックスゲート型磁気センサ素子のコイル状配線制御装置１００と同様の効果を得ることができるが、作用が異なる。このため、以下、本実施形態におけるフラックスゲート型磁気センサ素子のコイル状配線制御装置１００Ｂの作用の説明をして、併せて効果の説明をする。
【００６９】
本実施形態によれば、第１コイル状配線２Ａおよび第２コイル状配線２Ｂの２つのコイル状配線が互いに電気的に並列接続されているため、２つのうち、いずれか一方のコイル状配線が断線した場合、２つのコイル状配線の抵抗値の総和が低下する。また、定電圧印加手段２０Ｂが、２つのコイル状配線に定電圧を印加するため、第１コイル状配線２Ａまたは第２コイル状配線２Ｂの抵抗値変化に伴って、２つのコイル状配線に発生する電流の電流値も変化する。
このため、定電圧調整指令信号入力手段４０Ｂは、定電流監視手段３０Ｂの監視結果に基づいてこの変化した電流値Ｗ２を任意の時間に取得した後に、電流値Ｗ２と予め設定された定電流値Ｉ２とを比較し、判断する。
次に、この判断結果に基づいて、定電圧調整指令信号入力手段４０Ｂが、電流値Ｗ２と定電流値Ｉ２とが略同一の値となる様、定電圧印加手段２０Ｂが定電圧値Ｖ２を増加して調整する指令信号を生成し、定電圧印加手段２０Ｂに入力する。
そして、定電圧印加手段２０Ｂが、入力された指令信号を基に変化後の電流値Ｗ２と定電流値Ｉ２とが略同一の値となる様、定電圧値Ｖ２を増加して調整する。したがって、比較的短時間で断線前と同等の性能（定電流値Ｉ２）を有するコイル状配線として再び使える様になる為、従来よりも容易かつ確実にコイル状配線の断線前と同等の磁気センサの性能を維持したまま、磁気センサを連続的に運転させる事が可能となる。
また、定電圧調整指令信号入力手段４０Ｂは、電流値Ｗ２が０か否か判断する。次に、この判断結果に基づいて、定電流調整指令信号入力手段４０が、接続配線６が断線した旨を示す接続配線断線検出信号を生成し、提示手段５０に入力する。
そして、提示手段５０は、定電圧調整指令信号入力手段４０Ｂから受信した接続配線断線検出信号に基づいて、接続配線６が断線した旨の情報をユーザに提示する。したがって、ユーザはこの情報に基づいて、瞬時に接続配線６が断線した事を知る事が出来るようになる為、より容易かつ確実に、定電圧印加手段２０Ｂが定電圧値Ｖ２を増加して調整するのが不可能である事を知る事が出来るようになる。
【００７０】
なお、以上説明した実施形態におけるフラックスゲート型磁気センサ素子１０では、第１コイル２が電気的に並列な２つのコイル状配線を有していたが、第１コイル２の代わりに第２コイル３が有していてもよい。
【００７１】
また、以上説明した実施形態におけるフラックスゲート型磁気センサ素子１０では、第１コイル２が２つのコイル状配線を有していたが、３つ以上の任意の数のコイル状配線を有していてもよい。
なお、この場合、コイル状配線の数が増加すると、その増加分に応じてコイル状配線の抵抗の数が増加する。
この為、この増加分に応じて、抵抗値Ｒの数が増加するが、それ以外の点については、以上説明した実施形態と同様である。
【００７２】
なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
【符号の説明】
【００７３】
１…磁気コア
２…第１コイル
２Ａ，２Ｂ…第１コイル状配線
３…第２コイル
３Ａ…第２コイル状配線
４…分岐手段
５…検出手段
６…接続配線
１０…フラックスゲート型磁気センサ素子
１１…非磁性基板
１２…第１配線層
１３…第１樹脂層
１４…第２樹脂層
１５…第２配線層
１６…第３樹脂層
２０…定電流通電手段
２０Ｂ…定電圧印加手段
３０…定電圧監視手段
３０Ｂ…定電流監視手段
４０…定電流調整指令信号入力手段
４０Ｂ…定電圧調整指令信号入力手段
５０…提示手段
６０…パッケージ
１００，１００Ｂ…フラックスゲート型磁気センサ素子のコイル状配線制御装置
【図１】
2016194453.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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