(57)【要約】【課題】高い回折効率を実現する回折光学素子を提供する。【解決手段】回折光学素子１は、入射面に垂直に入射する光線と直交する方向（格子の繰り返し方向Ｘ）に複数の格子２が繰り返し配置され、また、複数の格子２の各々は、複数の格子２が繰り返し配置される方向（繰り返し方向Ｘ）に重なるように配置された、層状の複数の透過部３を有し、これらの複数の透過部３は、複数の格子２が繰り返し配置される方向（繰り返し方向Ｘ）の厚さΔＸが所定の光の波長以下であり、且つ、屈折率の異なる少なくとも２つの材料（低屈折率の材料及び高屈折率の材料）で形成されていることを特徴とする【選択図】図１
2016224230.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射面に垂直に入射する光線と直交する方向に複数の格子が繰り返し配置され、
前記複数の格子の各々は、前記複数の格子が繰り返し配置される方向に重なるように配置された、層状の複数の透過部を有し、
前記複数の透過部は、前記複数の格子が繰り返し配置される方向の厚さが所定の光の波長以下であり、且つ、屈折率の異なる少なくとも２つの材料で形成されていることを特徴とする回折光学素子。
【請求項２】
前記２つの材料は、異なる波長分散を持つことを特徴とする請求項１に記載の回折光学素子。
【請求項３】
前記複数の格子の各々における前記複数の透過部は、各々の前記透過部の平均の屈折率が、前記複数の格子が繰り返し配置される方向に増加又は減少するように配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の回折光学素子。
【請求項４】
前記所定の光に対して、次式の条件を満足することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の回折光学素子。
０．６０  ＜  （ｎＨ×Ｔ−ｎＬ×Ｔ）／λ  ＜  １．５０
但し、
λ：前記所定の光の波長
ｎＬ：前記透過部の波長λに対する屈折率の平均値のうちの最小値
ｎＨ：前記透過部の波長λに対する屈折率の平均値のうちの最大値
Ｔ：前記入射面に垂直に入射する光線の方向の前記透過部の厚さ
【請求項５】
前記複数の透過部の各々は、前記２つの材料が混合されて形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の回折光学素子。
【請求項６】
前記複数の透過部の各々は、前記２つの材料の各々で形成された層状の部材が、前記複数の格子が繰り返し配置される方向に重なるように接合されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の回折光学素子。
【請求項７】
前記複数の格子の各々における前記複数の透過部は、前記２つの材料の各々で形成された層状の部材の前記複数の格子が繰り返し配置される方向の厚さの比が、前記複数の格子が繰り返し配置される方向に増加又は減少するように配置されていることを特徴とする請求項６に記載の回折光学素子。
【請求項８】
前記２つの材料の少なくとも一方は、ナノコンポジット材料であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の回折光学素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回折光学素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
回折光学素子は、周期性がある格子を光が通過するときに生じる回折を利用した光学素子であり、各次数の回折光の回折効率は格子の構造に依存する。回折光学素子は使用する次数の回折光の回折効率を最大にする必要があり、例えば、格子に三角形のブレーズを設けることで１つの格子の両端で１波長（１次の回折光を用いる場合）の光路差が生じるように構成している。このような光路差を生じさせるためには、格子形状を必ずしも三角形のブレーズにする必要はない。例えば、２つの電極に挟まれた液晶層に電圧を加えることで、液晶分子の傾斜を変化させて、この液晶層の両端で光路差を発生させるように構成することも可能である（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−２８６０２８号公報
【０００４】
しかしながら、従来の回折光学素子では十分な回折効率を得ることができないという課題があった。
【発明の概要】
【０００５】
本発明に係る回折光学素子は、入射面に垂直に入射する光線と直交する方向に複数の格子が繰り返し配置され、複数の格子の各々は、複数の格子が繰り返し配置される方向に重なるように配置された、層状の複数の透過部を有し、複数の透過部は、複数の格子が繰り返し配置される方向の厚さが所定の光の波長以下であり、且つ、屈折率の異なる少なくとも２つの材料で形成されていることを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】第１の実施形態に係る回折光学素子の構造を説明するための説明図であって、（ａ）は回折光学素子の格子の繰り返し方向の断面図を示し、（ｂ）は格子における屈折率の分布を示す。
【図２】上記回折光学素子の製造方法としてのディップ法を説明するための説明図である。
【図３】上記回折光学素子の製造方法としてのスプレー法を説明するための説明図である。
【図４】第２の実施形態に係る回折光学素子の構造を説明するための説明図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。上述したように、回折光学素子は、周期性がある格子を光が通過するときに生じる回折を利用した光学素子であり、以下に２つの実施形態について説明する。
【０００８】
［第１の実施形態］
まず、図１を用いて第１の実施形態に係る回折光学素子の構成について説明する。回折光学素子１は、この回折光学素子１の入射面に垂直に入射する光線と直交する方向（図１においては、格子の繰り返し方向Ｘ）に、複数の格子２が繰り返し配置されて構成されている。また、各々の格子２は、繰り返し方向Ｘに重なるように配置された、層状の複数の透過部３を有している。ここで、各々の透過部３の繰り返し方向Ｘの厚さΔＸは、この回折光学素子１で回折させる光（入射面に入射する光）の波長より短くなるように構成されている。また、これらの透過部３は、屈折率の異なる少なくとも２つの材料で形成されている。具体的には、透過部３毎に、２つの材料の配合比を変化させ、各々の格子２において、繰り返し方向Ｘに適切な屈折率分布を作り、格子２における繰り返し方向Ｘの両端の透過部３を透過する光の光路差（空気換算長）が、この光のほぼ１波長となるように構成されている。
【０００９】
具体的には、格子２の各々において、低屈折率の材料（波長λ０のときの屈折率をｎ１とする）と高屈折率の材料（波長λ０のときの屈折率をｎＮとする）の２つの材料でＮ層の透過部３が形成されている場合について図１を用いて説明する。この図１においては、繰り返し方向Ｘの一方の端（図１における左端）の透過部３から他方の端（図１における右端）の透過部３に対して、その屈折率（平均の屈折率）が増加するように、これらの２つの材料を配合して構成した場合を示している。すなわち、この図１に示す回折光学素子１では、一方の端の透過部３は、低屈折率の材料で形成され（低屈折率の材料が１００％（高屈折率の材料が０％））、他方の端に向かうほど（図１において右側に向かうほど）、透過部３を形成するために低屈折率の材料に高屈折率の材料の配合量が多くなるように混ぜていき、他方の端の透過部３は、高屈折率の材料で形成している（高屈折率の材料が１００％（低屈折率の材料が０％））。このような構成にすると、低屈折率の材料に対する高屈折率の材料の割合が大きくなるほど、図１（ｂ）に示すように透過部３の平均の屈折率は大きくなり、各々の格子２において、繰り返し方向Ｘに対して屈折力が増加する屈折力分布となる。もちろん、繰り返し方向Ｘに対して屈折力が減少する屈折力分布となるように構成してもよい。このように構成することにより、各々の格子２において、透過部３の繰り返し方向Ｘの厚さΔＸが、回折させる光の波長より小さいため、この格子２の見かけの屈折率が、平面波に対しては繰り返し方向Ｘに対して線形に変化し（図１（ｂ）参照）、球面波に対しては繰り返し方向Ｘに対して、この球面波の曲率で変化する。
【００１０】
ここで、各々の格子２における、繰り返し方向Ｘの一方の端の透過部３を透過する光の光路長（空気換算長）Ｄ１と、他方の端の透過部３を透過する光の光路長（空気換算長）Ｄ２は、次式（ａ）、（ｂ）のように表される。なお、Ｔは、図１に示すように、回折光学素子１の入射面に垂直に入射する光線の方向（上述した格子２の繰り返し方向Ｘと直交する方向）の厚さ（回折光学素子１の厚さ）である。
【００１１】
Ｄ１  ＝  ｎ１×Ｔ                                    （ａ）
Ｄ２  ＝  ｎＮ×Ｔ                                    （ｂ）
【００１２】
そして、波長λ０の光に対して、次式（ｃ）の条件を満足することにより、この回折光学素子１で回折する１次の回折光の回折効率を最大にすることができる。ここで、回折効率は、透過型の回折光学素子１において、１次回折光を利用する場合、入射強度Ｉｉと一次回折光の強度Ｉｄとの割合（η＝Ｉｄ／Ｉｉ×１００［％］）を示す。
【００１３】
Ｄ２−Ｄ１  ＝  λ０                                  （ｃ）
【００１４】
このように、上述した回折光学素子１は、所定の波長（λ０）の光に対して回折効率が最大となるように設計されている。
【００１５】
上述した式（ｃ）の関係は、単波長の光に対しては成立するが、所定の波長帯域の光にこの回折光学素子１を用いる場合には、全ての波長で式（ｃ）の関係を満足することはできない。そのため、この回折光学素子１で使用する光の波長をλとしたとき、回折光学素子１の各々の格子２は、以下の条件式（１）を満足することが望ましい。なお、ｎＨは格子２を構成する透過部３の波長λに対する屈折率の各々の平均値のうちの最大値を示し、ｎＬは格子２を構成する透過部３の波長λに対する屈折率の各々の平均値のうちの最小値を示す（図１では、ｎＬ＝ｎ１となり、ｎＨ＝ｎＮとなる）。
【００１６】
０．６０  ＜  （ｎＨ×Ｔ−ｎＬ×Ｔ）／λ  ＜  １．５０      （１）
【００１７】
本実施形態に係る回折光学素子１の格子２を構成する透過部３を、この条件式（１）を満足するように形成することにより、回折効率を向上させることができる。なお、この条件式（１）による効果を確実にするために、条件式(１）の上限値を１．３５とすることが望ましい。また、この条件式（１）による効果を更に確実にするために、条件式（１）の上限値を１．２０とすることが望ましい。また、この条件式（１）による効果を確実にするために、条件式(１）の下限値を０．７５とすることが望ましい。また、この条件式（１）による効果を更に確実にするために、条件式（１）の下限値を０．９０とすることが望ましい。
【００１８】
また、この回折光学素子１を用いて、所望の波長帯域（例えば、ｄ線（波長：５８７．６ｎｍ）を含むＦ線（波長：４８６．１ｎｍ）からＣ線（波長：６５６．３ｎｍ）の帯域）の光を回折させる場合、当該波長帯域におけるそれぞれの波長に対して上述した条件式（１）を満足する材料を用いて透過部３を形成することが望ましい。この構成により所望の波長帯域（例えば、Ｆ線からＣ線に亘る波長帯域）の光の回折効率を向上させることができる。
【００１９】
なお、図１においては、本実施形態に係る回折光学素子１を、繰り返し方向Ｘに格子２が形成された平板状の回折格子とした場合について示したが、格子２及び各々の格子２に形成される透過部３を、光軸を中心に同心円状に配置した回折レンズとして用いてもよい。この場合、格子２を球面レンズとして形成するときは、光軸から周辺部に向かって変化する、透過する光の入射角度に応じて、格子の間隔を調整する（例えば、光軸から周辺方向に向かって格子間隔が広くなる）ように構成してもよい。また、図１においては、繰り返し方向Ｘに対して一方の端の透過部３を低屈折率の材料で形成し、他方の端の透過部３を高屈折率の材料で形成した場合について説明したが、両方若しくは一方の透過部３を、低屈折率と高屈折率の材料を混合して形成してもよい。また、低屈折率の材料と高屈折率の材料は、無機材料、有機材料、ナノコンポジット材料を用いることができる。たとえば、ナノコンポジット材料としては、酸化ジルコニウム、酸化イットリウム、酸化ランタン、酸化ハフニウム、酸化スカンジウム、アルミナ、シリカ酸化チタン、ＩＴＯ（酸化インジウムスズ）、酸化亜鉛、酸化チタン、チタン酸バリウム、フッ化カルシウム、フッ化マグネシウム、フッ化バリウム等を用いることができる。
【００２０】
本実施形態に係る回折光学素子１を以上のように構成すると、格子２が層状に形成された複数の透過部３で構成され、各々の透過部３の平均屈折率を異なる値とすることで、格子２毎に所定の屈折率分布（たとえば、図１（ｂ）に示すような屈折率分布）とすることができ、従来技術の回折光学素子のようなブレーズ面（界面）が不要となる。そのため、このような界面での反射が大幅に減り、回折効率を向上させることができる。また、ブレーズ面を設ける必要がないため、後述する実施例に示すように、この回折光学素子１に対する入射光の角度依存性を少なくすることができる。また、従来技術の回折光学素子は、２つの光学部材を貼り合わせることによる明確な構造があるため、ブレーズ形状が表面に反映され、性能劣化につながるが、本実施形態に係る回折光学素子１ではそのような性能劣化を少なくすることができる。さらに、従来技術の回折光学素子では、周囲の温度が変化した場合、材料の膨張などでブレーズ形状の変化や、張り合わせの場合、応力による屈折率変化などが起こり、性能劣化が発生する場合があるが、本実施形態に係る回折光学素子１はそのような構造を有していないため、そのような性能劣化を少なくすることができる。
【００２１】
次に、このような回折光学素子１の製造方法として、２つの方法を図２及び図３を用いて説明する。図２は、回折レンズにおける格子２の透過部３を、紫外線硬化樹脂を用いてディップ法で形成する場合を示している。この図２は、各々の格子２の透過部３がＮ層で構成される場合を示している。まず、低屈折率材料の紫外線硬化樹脂と、高屈折率材料の紫外線硬化樹脂とを、上述したように所定の屈折率分布となるように混合した混合液を、透過部３の層の数だけ準備する。図２は、図１に示す回折光学素子１の製造方法に対応するものであり、低屈折率材料が１００％の紫外線硬化樹脂の液と、低屈折率及び高屈折率の紫外線硬化樹脂を所定の割で混合した複数の混合液と、高屈折率材料が１００％の紫外線硬化樹脂の液とを準備している。そして、ステップ１からステップＮの順で、基盤になる部材を上述した混合液に浸し、引き上げ、紫外線を照射して硬化させるという処理を繰り返すことにより、Ｎ層の透過部３から構成される一つの格子２を形成し、さらに、このステップ１からステップＮの処理を、回折光学素子１が有する格子２の数だけ繰り返すことにより、円筒状の回折光学素子１′が形成される。なお、透過部３の繰り返し方向Ｘの厚みΔＸは、混合液の粘性、温度、引き上げ速度で調整することができる。そして、この回折光学素子１′の両面を研磨後、ガラス基板３に接着して研磨するか、数ミクロンの厚さにスライス後、ガラス基板３に接着して研磨することにより、上述した構造の回折光学素子１を得ることができる。
【００２２】
なお、このような図２に示すディップ法の他に、図３に示すスプレー法で製造することも可能である。このスプレー法は、上述した低屈折率と高屈折率の紫外線硬化樹脂の混合液を、回折光学素子１の基盤となる部材を回転させながら吹き付け、紫外線を照射して硬化させることで、透過部３を形成するものである。このスプレー法の場合の透過部３の繰り返し方向Ｘの厚みΔＸは、混合液の粘性、温度、吹き付け速度で調整することができる。また、その他の処理は図２と同様である。また、スプレー法の代わりに蒸着法を用いることもできる（回転する基盤に混合液を吹き付ける代わりに、蒸着させる）。このとき、２つの部材の蒸散の割合を変化させることで、上述した透過部３を形成させることができる。
【００２３】
［第２の実施形態］
上述した第１の実施形態では、回折光学素子１の格子２の各々を構成する透過部３を、低屈折率と高屈折率の材料（例えば、紫外線硬化樹脂）を混合して形成した場合について説明したが、図４に示すように、各々の透過部３を、繰り返し方向Ｘに重なるように配置された、層状の２つの部分部材３ａ，３ｂで構成してもよい。このとき、各々の透過部３の繰り返し方向Ｘの厚さは同一とし、この透過部３を構成する部分部材３ａ，３ｂの厚さの比を、上述した屈折力分布となるように設定する。具体的には、図４の場合、繰り返し方向Ｘの一方の端の１番目の透過部３１は、低屈折率の部材３ａで形成している（低屈折率の材料が１００％（高屈折率の材料が０％））。そして、繰り返し方向Ｘに沿って、２番目の透過部材３２、３番目の透過部材３３、・・・Ｎ−１番目の透過部材３Ｎ−１は、第１の実施形態の混合率と同様に、繰り返し方向Ｘの厚みの比を変化させた部分部材３ａ，３ｂを形成している（図４において右方に行くほど部分部材３ａに対する部分部材３ｂの割合が大きくなる）。また、他方の端のＮ番目の透過部３Ｎは、高屈折率の部材３ｂで形成している（高屈折率の材料が１００％（低屈折率の材料が０％））。このような構成とすることにより、各々の格子２において、透過部３の繰り返し方向Ｘの厚さΔＸ（低屈折率及び高屈折率の部分部材３ａ，３ｂの合計の厚さ）が回折させる光の波長より小さいため、この格子２の見かけの屈折率が、平面波に対しては繰り返し方向Ｘに対して線形に変化し、球面波に対しては繰り返し方向Ｘに対して、この球面波の曲率で変化する。そのため、低屈折率及び高屈折率の材料の屈折率を、各々の格子の繰り返し方向Ｘの両端での光路（空気換算長）の差が透過する光の１波長となるように選定することにより、回折した光（１次の回折光）の回折効率を最大にすることができる。この場合も、Ｆ線からＣ線の帯域の光に対して、上述した条件式（１）を満足することが望ましい。
【００２４】
この第２の実施形態に係る回折光学素子１も、第１の実施形態で説明したディップ法やスプレー法、蒸着法で製造することができる。また、このような製造方法以外にも、例えば、低屈折率の材料又は高屈折率の材料のいずれか一方で形成された部材に対して、フォトリソグラフィーや電子線リソグラフィーで溝を作成し、この溝にもう一方の材料を充填する方法を用いることができる。もしくは、ナノプリンティングで一方の材料を積み上げて凹凸を作成し、凹の部分にもう一方の材料を充填する方法を用いることもできる。あるいは、一方の材料で形成された部材に対して金型の転写で溝を作成し、この溝にもう一方の材料を充填する方法を用いることもできる。
【００２５】
なお、以上で説明した条件及び構成は、それぞれが上述した効果を発揮するものであり、全ての条件及び構成を満たすものに限定されることはなく、いずれかの条件又は構成、或いは、いずれかの条件又は構成の組み合わせを満たすものでも、上述した効果を得ることが可能である。
【００２６】
本実施形態に係る回折光学素子を以上のように構成すると、高い回折効率を実現する回折光学素子を提供することができる。
【実施例】
【００２７】
次に、図１の構成の回折光学素子１の回折効率について、従来技術の回折光学素子（格子に三角形のブレーズを設けた密着複層型の回折光学素子）との比較を示す。なお、以下に示す実施例の回折光学素子１は、上述した第１の実施形態の構成を有している場合であるが、第２の実施形態の構成を有する回折光学素子でも同様の効果を得ることができる。
【００２８】
［第１の実施例］
まず、第１の実施例として、図１に示す回折光学素子１の入射面に入射する光の入射角度を変化させたときの回折効率（回折光の次数Ｍは１とする）について以下の表１に示す。ここで、低屈折率の材料の屈折率ｎ１を１．５２７８００とし、高屈折率の材料の屈折率ｎＮを１．５５７１４７としている。また、格子間隔Ｐは２００μｍとし、格子２毎の透過部３の数Ｎは５００とし、この回折光学素子１の厚さＴは２０μｍとしている。また、この回折光学素子１に入射する光の波長λは５８７．６ｎｍとしている。したがって、各々の透過部３の繰り返し方向Ｘの厚さΔＸは４００ｎｍ（＝２００μｍ／５００）となるため、回折させる光の波長より小さくなるように構成されている。
【００２９】
【表１】
2016224230.tif 000003
【００３０】
この表１における従来技術の回折光学素子は、本第１実施例の回折光学素子１と同じ、厚さＴ、格子間隔Ｐを有し、屈折率がｎ１、ｎＮである２つの材料に三角形のブレーズを設けて接合した密着複層型の回折光学素子であって、格子の両端の光路差が本第１実施例の回折光学素子と同じであり、且つ、屈折率分布が同じになるように構成したものである。また、入射角度は、回折光学素子１の入射面に垂直に入射する（図１の繰り返し方向Ｘに直交する方向に入射する）ときを０度とし、従来技術の回折光学素子のブレーズ面に垂直入射する方向を負として表している。また、ｋ番目の透過部３の平均の屈折率ｎｋは、次式（ｄ）のように表される。
【００３１】
ｎｋ＝（ｎＮ−ｎ１）×（ｋ−１）／（Ｎ−１）＋ｎ１      （ｄ）
但し、ｎ１＜ｎｋ＜ｎＮ
【００３２】
この表１から明らかなように、本実施形態に係る回折光学素子１は、−１０°〜２０°の入射光に対しては、従来技術の回折光学素子よりも回折効率が高くなっている。また、−２０°の入射光に対しては、従来技術の回折光学素子の場合、ブレーズ面に対する入射角度が垂直に近づくため、本実施形態に係る回折光学素子１よりも回折効率が高くなっているが、２０°と−２０°の入射光に対する回折効率を比較した場合、従来技術の回折光学素子では回折効率が大きく変化するのに対し、本実施形態に係る回折光学素子１では、ほぼ同じ回折効率となっているため、本実施形態に係る回折光学素子１の回折効率は、従来技術の回折光学素子よりも、入射光の角度依存性が低いと言える。
【００３３】
また、この第１実施例に係る回折光学素子１の条件式（１）の対応値は次のようになる。
【００３４】
［条件式（１）の条件式対応値］
λ＝５８７．６ｎｍ（ｄ線）のとき：０．９９８９
但し、ｎＬ＝ｎ１＝１．５２７８００、ｎＨ＝ｎＮ＝１．５５７１４７、Ｔ＝２０μｍ
【００３５】
このように、この第１の実施例に係る回折光学素子１は、ｄ線の光に対して条件式（１）を満足している。
【００３６】
［第２の実施例］
次に、第２の実施例として、図１に示す回折光学素子１に入射する入射角度が０°の光の、波長毎の回折効率（回折光の次数Ｍは１とする）について以下の表２に示す。なお、この第２の実施例において、入射光の波長λは、４８６．１ｎｍ、５８７．６ｎｍ、６５６．３ｎｍとし、低屈折率及び高屈折率の部材の屈折率ｎ１，ｎＮはそれぞれ、λ＝４８６．１ｎｍのときは、ｎ１＝１．５３９１００、ｎＮ＝１．５６５０００とし、λ＝５８７．６ｎｍのときは、ｎ１＝１．５２７８００、ｎＮ＝１．５５７１４７とし、λ＝６５６．３ｎｍのときは、ｎ１＝１．５２３３００、ｎＮ＝１．５５３８００としている。また、第１の実施例と同様に、回折光学素子１の厚さＴは２０μｍとし、格子間隔Ｐは２００μｍとし、格子２毎の透過部３の数Ｎは５００としている。そのため、このような屈折力の材料を用いることで、λ＝４８６．１ｎｍのときは、１つの格子の繰り返し方向Ｘの両端の光路差（空気換算長）が５１８．００ｎｍであり、λ＝５８７．６ｎｍのときは５８６．９４ｎｍであり、λ＝６５６．３ｎｍのときは６１０．００ｎｍである。従来技術の回折光学素子も、入射光の波長λ毎に、本第２の実施例と同じ屈折率の部材を用いた密接複層型回折光学素子を用いており、厚さＴ及び格子間隔Ｐが同一で、格子の両端の光路差が本第２実施例の回折光学素子と同じであり、且つ、同じ屈折率分布となるようにブレーズ面が設けられている。
【００３７】
【表２】
2016224230.tif 000004
【００３８】
本実施形態に係る回折光学素子１は、従来技術の回折光学素子に設けられたブレーズ面がないため、表２に示すように、低屈折率及び高屈折率の材料を光の波長に応じて適切に選択することにより、いずれの波長の光に対しても、従来技術の回折光学素子よりも高い回折効率を得ることができる。
【００３９】
また、この第２実施例に係る回折光学素子１の条件式（１）の対応値は次のようになる。
【００４０】
［条件式（１）の条件式対応値］
λ＝４８６．１ｎｍ（Ｆ線）のとき：１．０６５６
但し、ｎＬ＝ｎ１＝１．５３９１００、ｎＨ＝ｎＮ＝１．５６５０００、Ｔ＝２０μｍ
λ＝５８７．６ｎｍ（ｄ線）のとき：０．９９８９
但し、ｎＬ＝ｎ１＝１．５２７８００、ｎＨ＝ｎＮ＝１．５５７１４７、Ｔ＝２０μｍ
λ＝６５６．３ｎｍ（Ｃ線）のとき：０．９２９５
但し、ｎＬ＝ｎ１＝１．５２３３００、ｎＨ＝ｎＮ＝１．５５３８００、Ｔ＝２０μｍ
【００４１】
このように、この第２の実施例に係る回折光学素子１は、Ｆ線、ｄ線及びＣ線の光に対して条件式（１）を満足している。
【符号の説明】
【００４２】
１  回折光学素子    ２  格子    ３  透過部
【図１】
2016224230.tif 000005
【図２】
2016224230.tif 000006
【図３】
2016224230.tif 000007
【図４】
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