(57)【要約】      （修正有）【課題】水滴の影響による光電センサーの誤動作を抑制した光電センサー装置を提供する。【解決手段】光電センサー装置は、被検出物Ｗ（パネル）に対して検査光Ａ１を投射する投光側光電センサーＳ１と、被検出物Ｗにおいて反射した検査光Ａ１を検出する受光側光電センサーＳ２と、を備え、投光側光電センサーＳ１と受光側光電センサーＳ２の少なくとも一方において、光電センサーが光透過性樹脂製の筐体Ｒに収納され、筐体Ｒの内部には、光電センサーの先端側に向けて気体を通すための通路Ｐが設けられ、通路Ｐを通して検査光Ａ１の光軸方向に気体が噴射される。【選択図】図１
2016201230.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検出物に対して検査光を投射する投光側光電センサーと、
前記被検出物において反射した前記検査光を検出する受光側光電センサーと、
を備え、
前記投光側光電センサーと前記受光側光電センサーの少なくとも一方において、光電センサーが光透過性樹脂製の筐体に収納され、当該筐体の内部には、当該光電センサーの先端側に向けて気体を通すための通路が設けられ、当該通路を通して前記検査光の光軸方向に当該気体が噴射される、
光電センサー装置。
【請求項２】
前記投光側光電センサーと前記受光側光電センサーの両方において、光電センサーが光透過性樹脂製の筐体に収納され、当該筐体の内部には、当該光電センサーの先端側に向けて気体を通すための通路が設けられ、当該通路を通して前記検査光の光軸方向に当該気体が噴射される、
請求項１に記載の光電センサー装置。
【請求項３】
前記筐体表面は疎水性を有する、
請求項１または請求項２に記載の光電センサー装置。
【請求項４】
前記筐体の前記光電センサーの先端側は半球形状である、
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の光電センサー装置。
【請求項５】
前記気体は加熱された気体である、
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の光電センサー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光電センサー装置に関し、例えば、液晶ディスプレイの製造工程におけるガラスパネル洗浄工程においてガラスパネルを検出するための光電センサー装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイの製造工程では、ガラスパネル（以下では単にパネルと記載する）に付着した異物の除去を目的として、純水等の液剤を使用してパネル洗浄処理を行っている。一般に、パネル洗浄処理を行うパネル洗浄装置においては、パネルを検出するたに光電センサーが設けられている。光電センサーを用いてパネルを検出する場合、光電センサー表面やパネル表面に水滴等の液剤が付着していると、光電センサーが発する光が水滴等で乱反射して、パネルを検出できないなどの誤動作が発生することがある。この誤動作により、生産ラインが停止するなどして、生産性が低下する問題がある。
【０００３】
特許文献１には、スリットが光センサーの光軸ラインを遮ることにより、ストッパー位置を検出する装置が記載されている。この装置において、スリット表面に気体を吹き付けることによりスリット表面の水滴を除去する技術が開示されている。しかしながら、特許文献１の技術においては、光センサーの投光側、受光側に付着した水滴を除去することができない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２５１８８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
光電センサー表面やパネル表面に水滴等の液剤が付着していると、検査光が乱反射するため、パネルを検出できない誤動作が発生し、装置エラーとなる場合があった。装置エラーが発生すると、生産ラインが停止し、生産性が低下する問題がある。
【０００６】
また、特許文献１の技術においては、光センサーの投光側、受光側に付着した水滴を除去することができない。
【０００７】
本発明は、以上のような課題を解決するためになされたものであり、水滴の影響による光電センサーの誤動作を抑制した光電センサー装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る光電センサー装置は、被検出物に対して検査光を投射する投光側光電センサーと、被検出物において反射した検査光を検出する受光側光電センサーと、を備え、投光側光電センサーと受光側光電センサーの少なくとも一方において、光電センサーが光透過性樹脂製の筐体に収納され、筐体の内部には、光電センサーの先端側に向けて気体を通すための通路が設けられ、通路を通して検査光の光軸方向に気体が噴射される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る光電センサー装置によれば、被検出物の表面に付着した水滴を気体の噴射により吹き飛ばして除去することが可能である。また、筐体に水滴が付着した場合であっても、筐体から気体を噴射することにより、筐体に付着した水滴を除去することが可能である。さらに、筐体に収納された光電センサー側からの気体の噴射により、もう一方の光電センサーに付着した水滴を除去することができる。従って、被検出物および光電センサーに付着した水滴の影響による光電センサーの誤動作を抑制することが可能である。
【００１０】
また、筐体は光透過性の材料で形成されているため、筐体に収納される光電センサーの検査光が阻害されることがない。筐体で光電センサーを覆うことにより、光電センサーを液剤付着による故障などの悪影響から保護することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施の形態１に係る光電センサー装置の構成を示す図である。
【図２】実施の形態１に係る投光側光電センサーの上面図および断面図である。
【図３】実施の形態３に係る光電センサー装置の構成を示す図である。
【図４】前提技術に係る光電センサー装置の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
＜前提技術＞
本発明の実施形態を説明する前に、本発明の前提となる技術について説明する。図４は、前提技術における光電センサー装置の構成を示す図である。光電センサー装置は、例えば液晶ディスプレイ製造工程のパネル洗浄工程において、パネルの有無を検出するために用いられる。
【００１３】
前提技術における光電センサー装置は、投光側光電センサーＳ１と受光側光電センサーＳ２を備える。投光側光電センサーＳ１および受光側光電センサーＳ２は、図示していないシーケンサなどのＰＬＣ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｌｏｇｉｃ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）に接続されている。
【００１４】
投光側光電センサーＳ１から射出された検査光Ａ１は、パネルＷ表面で反射し、受光側光電センサーＳ２に入射する。投光側光電センサーＳ１から射出された検査光Ａ１が、受光側光電センサーＳ２に入射するか否かで、パネルＷの有無を検知する構造となっている。
【００１５】
図４に示すように、パネルＷは、搬送ローラーＣ等のパネル搬送機構により、パネル洗浄装置内を矢印Ａ３の方向に搬送される。パネル洗浄装置内のパネル停止位置には、光電センサー装置（投光側光電センサーＳ１および受光側光電センサーＳ２）が設置されている。光電センサー装置がパネルＷの存在を検知すると、前述したＰＬＣからの信号に基づきパネル搬送機構が停止する。
【００１６】
このとき、投光側光電センサーＳ１、受光側光電センサーＳ２の表面、パネルＷの表面（反射面）に液剤等の水滴が付着していると、検査光が乱反射し、パネルＷを検知できないことがある。パネルＷを検知できないと、生産ラインが停止するなどして、生産性が低下する問題があった。以下で説明する実施の形態１から４は上述した課題を解決するものである。
【００１７】
＜実施の形態１＞
図１は、本実施の形態１における光電センサー装置の構成を示す図である。また、図２（ａ）、図２（ｂ）は、投光側光電センサーＳ１の上面図と断面図である。
【００１８】
図２に示すように、投光側光電センサーＳ１は筐体Ｒに収納されている。筐体Ｒは光透過性樹脂で形成されている。受光側光電センサーＳ２も同様に筐体Ｒに収納されている。
【００１９】
図２（ｂ）に示すように、筐体Ｒの内部には、光電センサーの先端側に向けて気体（例えば乾燥空気、窒素など）を通すための通路Ｐが設けられている。通路Ｐの一方の開口端は、光電センサーの先端側に設けられている。通路Ｐの他方の開口端は、配管継手Ｆを介して気体の配管Ｈと接続されている。配管Ｈは、図示していないレギュレータや電磁弁などの空圧制御機器を介して、気体の供給源に接続されている。空圧制御機器は、ＰＬＣからの制御信号に従い、気体の噴射を制御する。
【００２０】
通路Ｐを通して、投光側光電センサーＳ１の光軸方向（矢印Ａ２で示す方向）に気体が噴射される。光軸方向に気体を噴射することで、パネル上の検査光の反射位置に液剤等の水滴が付着していても、水滴を気体の噴射により吹き飛ばして除去することができる。
【００２１】
また、図２（ｂ）に示すように、投光側光電センサーＳ１の先端を含む全体は筐体Rに覆われている。そのため、パネル洗浄の際に薬液等が投光側光電センサーＳ１に直接付着することを防止することができる。さらに、気体の噴射によって、筐体Ｒの先端部分ＲＴに付着した水滴も除去することができる。図２（ｂ）に示すように、筐体Ｒの光電センサーＳ１の先端側（先端部分ＲＴ）は半球形状である。
【００２２】
以上では、図２（ａ），（ｂ）を用いて投光側光電センサーＳ１を収納する筐体Ｒの構造について説明したが、受光側光電センサーＳ２を収納する筐体Ｒの構造はこれと同じため説明を省略する。なお、本実施の形態１の光電センサー装置におけるその他の構成は前提技術と同じため、説明を省略する。
【００２３】
なお、本実施の形態１においては、投光側光電センサーＳ１および受光側光電センサーS２の両方が筐体Ｒに収納され、気体が噴射可能な構成とした。しかしながら、例えば、投光側光電センサーＳ１のみ筐体Ｒに収納され、気体が噴射可能な構成としてもよい。この場合も、パネルに付着した水滴を気体の噴射により吹き飛ばして除去することが可能である。また、受光側光電センサーＳ２に付着した水滴を、投光側光電センサーＳ１側からの気体の噴射によりに吹き飛ばして除去することができる。
【００２４】
＜効果＞
本実施の形態１における光電センサー装置は、被検出物に対して検査光を投射する投光側光電センサーＳ１と、被検出物において反射した検査光を検出する受光側光電センサーＳ２と、を備え、投光側光電センサーＳ１と受光側光電センサーＳ２の少なくとも一方において、光電センサーが光透過性樹脂製の筐体Ｒに収納され、筐体Ｒの内部には、光電センサーの先端側に向けて気体を通すための通路Ｐが設けられ、通路Ｐを通して検査光の光軸方向に気体が噴射される。
【００２５】
前提技術（図４）においては、被検出物（パネル）表面に水滴が付着していると、検出光が水滴で乱反射してパネルを検知できない問題があった。この問題を解決するために、本実施の形態１では、投光側光電センサーＳ１、受光側光電センサーＳ２の少なくとも一方において、光電センサーを筐体Ｒに収納して、筐体Ｒを通して光軸方向に気体を噴射可能な構成とした。これにより、パネル表面に付着した水滴を気体の噴射により吹き飛ばして除去することが可能である。また、筐体Ｒの先端部分ＲＴに水滴が付着した場合であっても、筐体Ｒの先端部分ＲＴから気体を噴射することにより、筐体Ｒに付着した水滴を除去することが可能である。さらに、筐体Ｒに収納された光電センサー側からの気体の噴射により、筐体Ｒに収納されていない光電センサーに付着した水滴を除去することができる。
【００２６】
従って、本実施の形態１における光電センサー装置によれば、パネルおよび光電センサーに付着した水滴の影響による光電センサーの誤動作を抑制することが可能である。
【００２７】
また、筐体Ｒに収納されている光電センサーにおいては、筐体Ｒは光透過性の材料で形成されているため、検査光が阻害されることがない。筐体Ｒで光電センサーを覆うことにより、光電センサーを液剤付着による故障などの悪影響から保護することが可能となる。
【００２８】
また、本実施の形態１における光電センサー装置において、投光側光電センサーＳ１と受光側光電センサーＳ２の両方において、光電センサーが光透過性樹脂製の筐体Ｒに収納され、筐体Ｒの内部には、光電センサーの先端側に向けて気体を通すための通路Ｐが設けられ、通路Ｐを通して検査光の光軸方向に気体が噴射される。
【００２９】
従って、投光側光電センサーＳ１および受光側光電センサーＳ２の両方から、パネルＷの検査光の反射位置に向けて気体が噴射されるため、パネルＷに付着した水滴をより確実に除去することが可能である。また、投光側光電センサーＳ１および受光側光電センサーＳ２の両方が筐体Ｒで覆われているため、光電センサーに直接水滴が付着することを防止することが可能である。よって、光電センサーを液剤付着による故障などの悪影響からより確実に保護することが可能となる。
【００３０】
また、本実施の形態１における光電センサー装置において、筐体Ｒの光電センサーの先端側（先端部分ＲＴ）は半球形状である。
【００３１】
筐体Ｒの先端部分ＲＴを半球形状とすることにより、液剤が付着しても半球面に沿って流れ落ち滞留することがない。よって、より効果的に筐体Ｒ表面に付着した液剤を除去することが可能である。従って、検査光の乱反射をより確実に抑制することが可能となる。
【００３２】
＜実施の形態２＞
本実施の形態２では、筐体Ｒの表面が疎水性を有するとする。それ以外の構成は図１、２（ａ），（ｂ）と同じため説明を省略する。本実施の形態２において筐体Ｒは疎水性を有する光透過性樹脂で形成される。また、筐体Ｒの表面を、疎水性を有する材料でコーティングしてもよい。その他の構成は実施の形態１と同じため説明を省略する。
【００３３】
＜効果＞
本実施の形態２における光電センサー装置において、筐体Ｒ表面は疎水性を有する。
【００３４】
従って、筐体Ｒ表面に疎水性を持たせることにより、液剤（水滴）が付着しても、はじかれて流れ落ち滞留することがない。更に、筐体Ｒ表面に疎水性を持たせることにより、筐体Ｒ表面に付着した液剤を気体の噴射により吹き飛ばし除去する作用についても、より効果的となる。その結果、光電センサーを収納する筐体Ｒの表面に付着した液剤（水滴）をより効果的に除去することが可能となり、検査光の乱反射をより効果的に抑制することが可能となる。
【００３５】
＜実施の形態３＞
図３は、本実施の形態３における光電センサー装置の構成を示す図である。本実施の形態３においては、通路Ｐを通して筐体Ｒの先端部分ＲＴから噴射される気体は加熱された温風であることを特徴とする。本実施の形態３においては、例えば、図３に示すように、配管Ｈにコイルヒーター等の加熱機構Ｈ１が取り付けられており、配管Ｈを通過する気体が加熱されて温風となる。その他の構成は実施の形態１と同じため説明を省略する。
【００３６】
＜効果＞
本実施の形態３における光電センサー装置において、気体は加熱された気体である。
【００３７】
従って、噴射する気体を加熱して温風とすることにより、液剤（水滴）がパネルＷおよび筐体Ｒ表面に付着しても速やかに乾燥させることが可能となる。よって、より効果的に、光電センサーを収納する筐体ＲおよびパネルＷ表面に付着した液剤（水滴）を除去することが可能となり、検査光の乱反射を抑制することが可能となる。また、投光側光電センサーＳ１、受光側光電センサーＳ２のどちらかが筐体Ｒに収納されていない場合であっても、筐体Ｒから噴射する温風により、筐体Ｒに収納されていない光電センサーに付着した水滴を効果的に除去することができる。
【００３８】
なお、実施の形態１から３においては、光電センサー装置を、液晶ディスプレイ製造工程におけるパネル洗浄装置に適用した。しかしながら、本発明の光電センサー装置の適用対象はこれに限定されるものではない。本発明の光電センサーは、液剤（薬液や水滴などの液体）が付着する環境下において（即ち、ウエット処理装置用の）、平板状の検出物（ワーク）を検出することに用いることが可能である。
【００３９】
なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
【符号の説明】
【００４０】
Ｗ  パネル、Ｓ１  投光側光電センサー、Ｓ２  受光側光電センサー、Ｒ  筐体、ＲＴ  先端部分、Ｐ  通路、Ｆ  配管継手、Ｈ  配管、Ｈ１  加熱機構、Ｃ  搬送ローラー。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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