(57)【要約】【課題】コスト上昇を抑制しつつスペックルノイズ及び干渉模様を低減することが可能な光走査制御装置を提供する。【解決手段】本光走査制御装置は、レーザから出射された光を走査する走査手段と、前記走査手段により走査された光が結像するスクリーンと、を有し、前記スクリーンの光の入射側若しくは出射側の少なくとも一方の面に複数のマイクロレンズが配列され、夫々の前記マイクロレンズは、第１の方向、前記第１の方向と直交する第２の方向の少なくとも１方向において、中心間距離をランダムにして配列されている。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザから出射された光を走査する走査手段と、
前記走査手段により走査された光が結像するスクリーンと、を有し、
前記スクリーンの光の入射側若しくは出射側の少なくとも一方の面に複数のマイクロレンズが配列され、
夫々の前記マイクロレンズは、第１の方向、前記第１の方向と直交する第２の方向の少なくとも１方向において、中心間距離をランダムにして配列されている光走査制御装置。
【請求項２】
夫々の前記マイクロレンズが等間隔で配置された場合の中心間距離を基準距離としたときに、前記基準距離に対する夫々の前記マイクロレンズの中心間距離の偏差量の正負の分布割合が均等である請求項１記載の光走査制御装置。
【請求項３】
夫々の前記マイクロレンズが等間隔で配置された場合の中心間距離を基準距離としたときに、前記スクリーンに照射されるレーザのスポット径は、前記基準距離よりも小さい請求項１又は２記載の光走査制御装置。
【請求項４】
夫々の前記マイクロレンズは、厚み及び曲率半径が統一されている請求項１乃至３の何れか一項記載の光走査制御装置。
【請求項５】
夫々の前記マイクロレンズは、前記スクリーンの光の入射側の面に配列されている請求項１乃至４の何れか一項記載の光走査制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光走査制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザ光を走査して画像を表示する光走査制御装置が知られている。このような光制御装置において、スペックルノイズによる影響を抑制するために、スクリーンとしてマイクロレンズアレイを用いる場合がある。
【０００３】
しかしながら、スクリーンとしてマイクロレンズアレイを用いると、レンズ配列の規則性のために、干渉模様が視認される場合がある。これを防止するために、例えば、複数のマイクロレンズが配列された第１及び第２マイクロレンズアレイ部を有し、第１マイクロレンズアレイ部に配列されたマイクロレンズ同士の間隔を、第２マイクロレンズアレイ部に配列されたマイクロレンズ同士の間隔よりも狭く構成することが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−２２６３０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記の光走査制御装置では、２枚のマイクロレンズアレイが必要となるため、コストが上昇するという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、コスト上昇を抑制しつつスペックルノイズ及び干渉模様を低減することが可能な光走査制御装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本光走査制御装置（１）は、レーザ（２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂ）から出射された光を走査する走査手段（３１０）と、前記走査手段（３１０）により走査された光が結像するスクリーン（５０）と、を有し、前記スクリーン（５０）の光の入射側若しくは出射側の少なくとも一方の面に複数のマイクロレンズ（５０ｍ）が配列され、夫々の前記マイクロレンズ（５０ｍ）は、第１の方向、前記第１の方向と直交する第２の方向の少なくとも１方向において、中心間距離をランダムにして配列されていることを要件とする。
【０００８】
なお、上記括弧内の参照符号は、理解を容易にするために付したものであり、一例にすぎず、図示の態様に限定されるものではない。
【発明の効果】
【０００９】
開示の技術によれば、コスト上昇を抑制しつつスペックルノイズ及び干渉模様を低減することが可能な光走査制御装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本実施の形態に係る光走査制御装置を例示するブロック図である。
【図２】光走査制御装置を構成する光走査部を例示する平面図である。
【図３】本実施の形態に係る光走査制御装置を例示する外観図（その１）である。
【図４】本実施の形態に係る光走査制御装置を例示する外観図（その２）である。
【図５】比較例に係るマイクロレンズアレイを例示する図（その１）である。
【図６】本実施の形態に係るマイクロレンズアレイを例示する図（その１）である。
【図７】基準距離について説明する図（その１）である。
【図８】マイクロレンズの座標の偏差量の分布について説明する図である。
【図９】比較例に係るマイクロレンズアレイを例示する図（その２）である。
【図１０】本実施の形態に係るマイクロレンズアレイを例示する図（その２）である。
【図１１】基準距離について説明する図（その２）である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。
【００１２】
図１は、本実施の形態に係る光走査制御装置を例示するブロック図である。図２は、光走査制御装置を構成する光走査部を例示する平面図である。図３及び図４は、本実施の形態に係る光走査制御装置を例示する外観図である。
【００１３】
（光走査制御装置の概略構成）
まず、図１〜図４を参照して、光走査制御装置１の概略構成について説明する。光走査制御装置１は、主要な構成要素として、回路部１０と、光源部２０と、光走査部３０と、光学部４０と、スクリーン５０と、光量検出センサ６０とを有し、これらは筐体１００に格納されている。光走査制御装置１は、例えば、レーザ走査型プロジェクタである。
【００１４】
回路部１０は、光源部２０や光走査部３０を制御する部分であり、例えば、システムコントローラ１１やＣＰＵ（Central Processing Unit）１２、各種駆動回路等により構成することができる。
【００１５】
光源部２０は、ＬＤモジュール２１と、温度制御部２２と、温度センサ２３と、減光フィルタ２４とを有する。
【００１６】
ＬＤモジュール２１は、電流値に応じて出射する光量が変化するレーザ２１１Ｒ、２１１Ｇ、及び２１１Ｂや、レーザ２１１Ｒ、２１１Ｇ、及び２１１Ｂの夫々の直近の光量をモニタする光量検出センサ２１５等を備えている。レーザ２１１Ｒは、例えば、赤色半導体レーザであり、波長λＲ（例えば、６４０ｎｍ）の光を出射することができる。レーザ２１１Ｇは、例えば、緑色半導体レーザであり、波長λＧ（例えば、５３０ｎｍ）の光を出射することができる。レーザ２１１Ｂは、例えば、青色半導体レーザであり、波長λＢ（例えば、４４５ｎｍ）の光を出射することができる。光量検出センサ２１５としては、例えば、フォトダイオード等を用いることができる。光量検出センサ２１５は、減光フィルタ２４を通過前の光量を検出できる任意の位置に配置することができる。
【００１７】
温度制御部２２は、レーザ２１１Ｒ、２１１Ｇ、及び２１１Ｂを所定の温度に制御することができる。温度センサ２３は、レーザ２１１Ｒ、２１１Ｇ、及び２１１Ｂの夫々の温度を検出することができる。温度制御部２２としては、例えば、ペルチェ素子を用いることができる。温度センサ２３としては、例えば、サーミスタを用いることができる。
【００１８】
減光フィルタ２４は、ミラー３１０の前段に配置され、レーザ２１１Ｒ、２１１Ｇ、及び２１１Ｂから出射された光（合成後の光）が入射する。減光フィルタ２４は、スクリーン５０上の輝度を調整する機能を有する。減光フィルタ２４としては、ＮＤ（Neutral Density）フィルタや液晶素子、偏光フィルタ等を用いることができる。減光フィルタ２４は、入射光の光軸に対して傾けて挿入され、透過しない光（減光される光）は、減光フィルタ２４によって吸収若しくは反射される。
【００１９】
光走査部３０は、例えば、圧電素子によりミラー３１０を駆動させるＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）である。ミラー３１０は、レーザ２１１Ｒ、２１１Ｇ、及び２１１Ｂから出射された光（合成後の光）を反射させ、映像信号に応じて入射光を水平方向及び垂直方向の２次元に走査してスクリーン５０に結像させる走査手段として機能する。
【００２０】
具体的には、図２に示すように、ミラー３１０は、軸を構成する捻れ梁３３１及び３３２により両側から支持されている。捻れ梁３３１及び３３２と直交する方向に、ミラー３１０を挟むように、駆動梁３５１及び３５２が対をなして設けられている。駆動梁３５１及び３５２の夫々の表面に形成された圧電素子により、捻れ梁３３１及び３３２を軸として、ミラー３１０を軸周りに揺動させることができる。ミラー３１０が捻れ梁３３１及び３３２の軸周りに揺動する方向を、以後、水平方向と呼ぶ。駆動梁３５１及び３５２による水平駆動には、例えば共振振動が用いられ、高速にミラー３１０を駆動することができる。水平変位センサ３９１は、ミラー３１０が水平方向に揺動している状態におけるミラー３１０の水平方向の傾き具合を検出するセンサである。
【００２１】
又、駆動梁３５１及び３５２の外側には、駆動梁３７１及び３７２が対をなして設けられている。駆動梁３７１及び３７２の夫々の表面に形成された圧電素子により、ミラー３１０を水平方向と直交する方向である垂直方向に揺動させることができる。垂直変位センサ３９５及び３９６は、ミラー３１０が垂直方向に揺動している状態におけるミラー３１０の垂直方向の傾き具合を検出するセンサである。なお、光走査部３０は、例えば、ユニット１５０（図３（ｂ）参照）において、駆動回路等と共にセラミックパッケージに搭載され、セラミックカバーに覆われている。
【００２２】
光学部４０は、光走査部３０にて走査された光をスクリーン５０に投射するための光学系であり、例えば、図３（ｂ）等に示すように、反射ミラー４１、反射ミラー４２、反射ミラー４３、凹面ミラー４４等を含んで構成することができる。但し、必要に応じ、反射ミラーに代えてレンズを用いてもよい。光走査部３０から光学部４０に入射した光は、凹面ミラー４４により略平行光とされてスクリーン５０に結像し、スクリーン５０に映像信号に応じた画像が描画される。
【００２３】
スクリーン５０は、スペックルと呼ばれる粒状に見える画像のノイズを除去するため、マイクロレンズアレイを備えている。マイクロレンズアレイを構成する各マイクロレンズは、ディスプレイの画素に相当し、照射されるレーザビームはマイクロレンズのサイズに比べて等しいか、より小さいことが望ましい。スクリーン５０を構成するマイクロレンズアレイの詳細については後述する。
【００２４】
光量検出センサ６０は、減光フィルタ２４を通過後の光量を検出できる任意の位置に配置することができる。光量検出センサ６０は、減光フィルタ２４を通過後のレーザ２１１Ｒ、２１１Ｇ、及び２１１Ｂの夫々の光量を独立に検出可能である。光量検出センサ６０としては、例えば、１つ又は複数のフォトダイオード等を用いることができる。
【００２５】
（光走査制御装置の概略動作）
次に、光走査制御装置１の概略動作について説明する。システムコントローラ１１は、例えば、ミラー３１０の振れ角制御を行うことができる。システムコントローラ１１は、例えば、水平変位センサ３９１、垂直変位センサ３９５及び３９６で得られるミラー３１０の水平方向及び垂直方向の傾きをバッファ回路１３を介してモニタし、ミラー駆動回路１４に角度制御信号を供給することができる。そして、ミラー駆動回路１４は、システムコントローラ１１からの角度制御信号に基づいて、駆動梁３５１及び３５２、駆動梁３７１及び３７２に所定の駆動信号を供給し、ミラー３１０を所定角度に駆動（走査）することができる。
【００２６】
又、システムコントローラ１１は、例えば、ディジタルの映像信号をレーザ駆動回路１５に供給することができる。そして、レーザ駆動回路１５は、システムコントローラ１１からの映像信号に基づいて、レーザ２１１Ｒ、２１１Ｇ、及び２１１Ｂに所定の電流を供給する。これにより、レーザ２１１Ｒ、２１１Ｇ、及び２１１Ｂが映像信号に応じて変調された赤色、緑色、及び青色の光を発し、これらを合成することでカラーの画像を形成することができる。
【００２７】
ＣＰＵ１２は、例えば、レーザ２１１Ｒ、２１１Ｇ、及び２１１Ｂの根元の出射光量を光量検出センサ２１５の出力によりモニタし、ＬＤモジュール２１に光量制御信号を供給することができる。レーザ２１１Ｒ、２１１Ｇ、及び２１１Ｂは、ＣＰＵ１２からの光量制御信号に基づいて、所定の出力（光量）になるように電流制御される。
【００２８】
なお、光量検出センサ２１５は、レーザ２１１Ｒ、２１１Ｇ、及び２１１Ｂの出射光量を独立に検出する３つのセンサを含む構成とすることができる。或いは、光量検出センサ２１５は、１つのセンサのみから構成してもよい。この場合には、レーザ２１１Ｒ、２１１Ｇ、及び２１１Ｂを順次発光させて、１つのセンサで順次検出することで、レーザ２１１Ｒ、２１１Ｇ、及び２１１Ｂの出射光量の制御が可能となる。
【００２９】
又、ＣＰＵ１２は、レーザ２１１Ｒ、２１１Ｇ、及び２１１Ｂの温度を温度センサ２３の出力によりモニタし、温度制御回路１６に温度制御信号を供給することができる。そして、温度制御回路１６は、ＣＰＵ１２から温度制御信号に基づいて、温度制御部２２に所定の電流を供給する。これにより、温度制御部２２が加熱又は冷却され、各レーザが所定の温度になるように制御することができる。
【００３０】
光量検出センサ６０は、減光フィルタ２４を通過後の光量を検出する。前述のように、各レーザの光量調整を実施するための光量検出センサ２１５はＬＤモジュール２１の中に実装されており、レーザ２１１Ｒ、２１１Ｇ、及び２１１Ｂの根元の（減光フィルタ２４を通過前の）出射光量を検出している。しかしながら、光走査制御装置１で実際に表示される画像はスクリーン５０に結像した光によるので、根元のレーザ光量による調整では正しい調整ができない場合がある。
【００３１】
例えば、光路上に減光フィルタ２４を設けているので、減光フィルタ２４の特性によっては、期待通りの減光比が得られないことから、減光フィルタ２４を通過後の光量が期待通りにならない場合がある。又、減光フィルタ２４のＲ／Ｇ／Ｂ夫々の減光比にばらつきがある場合に至っては、減光フィルタ２４を通過後のホワイトバランスが崩れてしまうおそれがある。又、温度や経年劣化により、光走査部３０の特性が変動する場合もある。このような問題は、光量検出センサ２１５により、光走査部３０を通過前の光量を如何に精密に制御しても解決することはできない。
【００３２】
そこで、光走査制御装置１では、減光フィルタ２４を通過後の光量を検出する光量検出手段として、光量検出センサ６０を設けている。光量検出センサ６０の検出結果は制御手段であるＣＰＵ１２に入力され、ＣＰＵ１２は光量検出センサ６０で検出した光量に基づいて、各レーザの電流値を制御する光量制御信号をＬＤモジュール２１に供給することができる。
【００３３】
これにより、減光フィルタ２４や光走査部３０の特性の変動を含めたレーザ光の光量を検出できるため、スクリーン５０に実際に表示される画像に対応した正確な光量制御を行うことが可能となる。なお、光量検出センサ６０は、レーザ２１１Ｒ、２１１Ｇ、及び２１１Ｂの夫々の光量を独立に検出可能であり、ＣＰＵ１２は、光量検出センサ６０で検出した夫々の光量に基づいて、夫々のレーザの電流値を制御すことができる。
【００３４】
（マイクロレンズアレイ）
以下、スクリーン５０のマイクロレンズアレイについて詳説する。図５は、比較例に係るマイクロレンズアレイ（従来のマイクロレンズアレイ）を例示する図（その１）であり、図５（ａ）は斜視図、図５（ｂ）は各マイクロレンズの中心位置を模式的に示した平面図である。又、図６は、本実施の形態に係るマイクロレンズアレイを例示する図（その１）であり、図６（ａ）は斜視図、図６（ｂ）は各マイクロレンズの中心位置を模式的に示した平面図である。
【００３５】
図５に示すように、従来のマイクロレンズアレイは、例えば、個々のマイクロレンズ５００ｍの平面形状が四角形であり、各マイクロレンズ５００ｍの中心５００ｃが、Ｘ方向（横方向）及びＸ方向と直交するＹ方向（縦方向）に等間隔で配置されている。
【００３６】
これに対して、図６に示すように、本実施の形態に係るマイクロレンズアレイは、各マイクロレンズ５０ｍの中心５０ｃが、Ｘ方向及びＹ方向にランダム性を持って配置されている。つまり、各マイクロレンズ５０ｍは、Ｘ方向及びＹ方向において、中心間距離をランダムにして配列されている（Ｘ方向及びＹ方向に異なる間隔で配置されている）。
【００３７】
スクリーン５０においてマイクロレンズアレイが形成される面は、光の入射側若しくは出射側の何れかの面のみとすることができる。マイクロレンズアレイを何れの面に形成しても、後述のスペックル低減機能を保持しつつ干渉模様を低減する効果は同等である。但し、マイクロレンズアレイを光の入射側に形成すると、光の出射側から滑らかな画像を視認できる点で好適である。なお、光の入射側及び出射側の両面にマイクロレンズアレイを形成し、少なくとも一方の面のマイクロレンズの配置をランダムとした場合にも同様の効果が得られる。
【００３８】
図６（ｂ）の各マイクロレンズ５０ｍにおいて、十字線の交点は図５（ｂ）の中心５００ｃがあった位置を示しており、矢印は図５（ａ）の中心５００ｃに対して中心５０ｃがずれた方向を示している。
【００３９】
なお、各マイクロレンズ５０ｍの曲率は球面形状、非球面形状の何れであってもよいが、何れの場合も各マイクロレンズ５０ｍの厚み及び曲率半径は統一される。これにより、各マイクロレンズ５０ｍの焦点距離を等しくすることができる。
【００４０】
次に、各マイクロレンズ５０ｍの中心５０ｃをランダム性を持って配置する手法について説明する。図７は、基準距離について説明する図（その１）であり、マイクロレンズアレイを模式的に例示する平面図である。
【００４１】
図７の各マイクロレンズ５０ｍにおいて、十字線の交点は各マイクロレンズ５０ｍの中心がＸ方向及びＹ方向に等間隔で配置された場合の位置を示している。このとき、隣接するマイクロレンズ５０ｍのＸ方向の中心間距離を基準距離Ｒｘ、隣接するマイクロレンズ５０ｍのＹ方向の中心間距離を基準距離Ｒｙとする。基準距離Ｒｘ、基準距離Ｒｙは、要求仕様に応じて適宜決定できるが、例えば、数１０〜数１００μｍ程度とすることができる。
【００４２】
ここで、マイクロレンズ５０ｍがｎ個あるとし、各マイクロレンズ５０ｍの中心が等間隔で配置された場合の中心座標を（ｘ１，ｙ１）、（ｘ２，ｙ２）、（ｘ３，ｙ３）、・・・（ｘｎ，ｙｎ）とする。この時、各マイクロレンズ５０ｍは基準距離Ｒｘ、基準距離Ｒｙ毎に配置され、これがマイクロレンズ５０ｍの標準寸法となる。基準距離Ｒｘと基準距離Ｒｙは等しくてもよいし、異なっていてもよい。
【００４３】
次に、上記の中心座標に対する各マイクロレンズ５０ｍの座標の偏差を（Δｘ１，Δｙ１）、（Δｘ２，Δｙ２）、（Δｘ３，Δｙ３）、・・・（Δｘｎ，Δｙｎ）とすると、各マイクロレンズ５０ｍの中心座標は表１で表される。
【００４４】
【表１】
2016224212.tif 000003
【００４５】
ここで、偏差（Δｘｉ，Δｙｉ）（ｉ＝１〜ｎ）は乱数によって設定されるランダムな数値である。その偏差量の分布は、０を中心として正負の値をとることになるので、その正負の分布割合が均等となることが望ましい。つまり、基準距離Ｒｘ、基準距離Ｒｙに対する各マイクロレンズ５０ｍの中心間距離の偏差量の正負の分布割合が均等であることが望ましい。これは、例えば、図８（ａ）に例示する正規分布、若しくは、図８（ｂ）に例示する一様分布等により実現することができる。
【００４６】
偏差量の分布を均等とすることにより、各マイクロレンズ５０ｍのサイズの平均は、基準距離Ｒｘ、基準距離Ｒｙと略等しくなる。そのため、スクリーン５０の拡散角を、基準距離Ｒｘ、基準距離Ｒｙで大きさが決まるレンズの開口数ＮＡ（Numerical Aperture）で求めることができる。
【００４７】
なお、発明者らの検討により、偏差量は、基準距離Ｒｘ、基準距離Ｒｙに対して３０%以下とすることが望ましい。つまり、Δｘ／Ｒｘ≦３０％、Δｙ／Ｒｙ≦３０％とすることが望ましい。これにより、スペックル低減機能を保持しつつ、干渉模様を低減することが可能となる。
【００４８】
なお、図５〜図７を参照して、マイクロレンズの平面形状が四角形である場合（升目状に配置された四角配列の場合）について説明したが、これには限定されない。例えば、マイクロレンズの平面形状は六角形（蜂の巣状に配置された三角配列）であってもよいし、これら以外の平面形状であってもよい。
【００４９】
マイクロレンズ５００ｍの平面形状が六角形の場合を図９〜図１０に示す。図９は、比較例に係るマイクロレンズアレイ（従来のマイクロレンズアレイ）を例示する図（その２）であり、図９（ａ）は斜視図、図９（ｂ）は各マイクロレンズの中心位置を模式的に示した平面図である。又、図１０は、本実施の形態に係るマイクロレンズアレイを例示する図（その２）であり、図１０（ａ）は斜視図、図１０（ｂ）は各マイクロレンズの中心位置を模式的に示した平面図である。図１１は、基準距離について説明する図（その２）であり、マイクロレンズアレイを模式的に例示する平面図である。
【００５０】
マイクロレンズ５００ｍの平面形状が六角形の場合にも、マイクロレンズ５００ｍの平面形状が四角形である場合と同様の手法により、各マイクロレンズ５０ｍの中心５０ｃをＸ方向及びＹ方向にランダム性を持って配置することができる。偏差量の分布を正規分布若しくは一様分布等とすることが望ましい点、及び、偏差量を基準距離Ｒｘ、基準距離Ｒｙに対して３０%以下とすることが望ましい点（つまり、Δｘ／Ｒｘ≦３０％、Δｙ／Ｒｙ≦３０％とすることが望ましい点）についても同様である。
【００５１】
このように、スクリーン５０をマイクロレンズアレイ５０ｍにより構成し、各マイクロレンズ５０ｍの中心５０ｃをＸ方向及びＹ方向にランダム性を持って配置することにより、スペックル低減機能を保持しつつ、干渉模様を低減することが可能となる。但し、各マイクロレンズ５０ｍの中心５０ｃをＸ方向、Ｙ方向の何れか１方向のみにおいてランダム性を持って配置しても、スペックル低減機能を保持しつつ、干渉模様を低減することが可能となる。
【００５２】
なお、スクリーン５０に照射した光ビームのスポット径（FWHM：半値幅）は、基準距離Ｒｘ、基準距離Ｒｙよりも小さいことが望ましい。スクリーン５０に照射した光ビームのスポット径が基準距離Ｒｘ、基準距離Ｒｙよりも大きいと、光ビームが複数のマイクロレンズ５０ｍに跨って照射される確率が高まり、干渉模様が発生し易くなるからである。
【００５３】
以上、好ましい実施の形態について詳説したが、上述した実施の形態に制限されることはなく、特許請求の範囲に記載された範囲を逸脱することなく、上述した実施の形態に種々の変形及び置換を加えることができる。
【００５４】
例えば、上記の実施の形態では、本発明に係る光走査制御装置をレーザ走査型プロジェクタに適用する例を示した。しかし、これは一例であり、本発明に係る光走査制御装置は、スクリーンに画像を表示する様々な機器に適用可能である。このような機器としては、例えば、車載用のヘッドアップディスプレイ、レーザプリンタ、レーザ走査型脱毛器、レーザヘッドランプ、レーザーレーダ等を挙げることができる。
【００５５】
なお、本発明に係る光走査制御装置のスクリーンを中間スクリーンとし、映像を間接的にフロントガラスやコンバイナに映すことで、スペックルノイズと干渉模様を低減した車載用のヘッドアップディスプレイが構築できる。
【００５６】
又、上記の実施の形態では、３つのレーザを有する例を示したが、レーザは最低１つ有していればよい。この場合、単色の光走査制御装置を実現できる。
【符号の説明】
【００５７】
１  光走査制御装置
１０  回路部
１１  システムコントローラ
１２  ＣＰＵ
１３  バッファ回路
１４  ミラー駆動回路
１５  レーザ駆動回路
１６  温度制御回路
２０  光源部
２１  ＬＤモジュール
２２  温度制御部
２３  温度センサ
２４  減光フィルタ
３０  光走査部
４０  光学部
４１、４２、４３  反射ミラー
４４  凹面ミラー
５０  スクリーン
５０ｍ  マイクロレンズ
５０ｃ  マイクロレンズの中心
６０  光量検出センサ
１００  筐体
１５０  ユニット
２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂ  レーザ
２１５  光量検出センサ
３１０  ミラー
３５１、３５２、３７１、３７２  駆動梁
３９１  水平変位センサ
３９５、３９６  垂直変位センサ
【図１】
2016224212.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2016224212.tif 000010
【図８】
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【図９】
2016224212.tif 000012
【図１０】
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【図１１】
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