(57)【要約】【課題】モスアイ構造に係る微細構造体に関して、従来に比して効率良く大量生産できるようにする。【解決手段】可視光域の最短波長より短いピッチによる微細凹凸構造を備えた微細構造体の製造方法において、前記微細構造体の製造用金型を作製する製造用金型の作製工程と、前記製造用金型を使用した賦型処理により前記微細構造体を作製する賦型工程とを備える。前記製造用金型の作製工程では、前記製造用金型の母材２２の表面の切削により、前記表面に、１方向に延長する第１の微細溝２５を作製する第１の切削工程ＳＰ３と、前記第１の微細溝２５を埋め戻す埋戻し工程ＳＰ４と、前記埋戻し工程ＳＰ４により第１の微細溝２５を埋戻した前記表面の切削により、前記第１の微細溝２５と交差する第２の微細溝２８を作製する第２の切削工程ＳＰ５と、前記埋戻し工程ＳＰ４による埋戻しに供した部材２６を、前記第１の微細溝２５より除去する除去工程ＳＰ６とを備える。【選択図】図４
2016071167.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可視光域の最短波長より短いピッチによる微細凹凸構造を備えた微細構造体の製造方法において、
前記微細構造体の製造用金型を作製する製造用金型の作製工程と、
前記製造用金型を使用した賦型処理により前記微細構造体を作製する賦型工程とを備え、
前記製造用金型の作製工程では、
前記製造用金型の母材の表面の切削により、前記表面に、１方向に延長する第１の微細溝を作製する第１の切削工程と、
前記第１の微細溝を埋め戻す埋戻し工程と、
前記埋戻し工程により第１の微細溝を埋戻した前記表面の切削により、前記第１の微細溝と交差する第２の微細溝を作製する第２の切削工程と、
前記埋戻し工程による埋戻しに供した部材を、前記第１の微細溝より除去する除去工程とを備える
微細構造体の製造方法。
【請求項２】
母材が、円筒形状又は円柱形状であり、
前記第１及び第２の切削工程は、
前記母材の周側面に前記第１及び第２の微細溝を作製する
請求項１に記載の微細構造体の製造方法。
【請求項３】
前記第２の切削工程は、
前記第１の微細溝と直交する方向に延長するように、前記第２の微細溝を作製する
請求項１又は請求項２に記載の微細構造体の製造方法。
【請求項４】
請求項１、請求項２、請求項３の何れかに記載の微細構造体の製造方法により製造された
微細構造体。
【請求項５】
賦型処理による微細構造体の製造に使用する製造用金型の作製方法において、
前記微細構造体が、可視光域の最短波長より短いピッチによる微細凹凸構造を備えた微細構造体であり、
前記製造用金型の製造方法は、
前記製造用金型の母材の表面の切削により、前記表面に、１方向に延長する第１の微細溝を作製する第１の切削工程と、
前記第１の微細溝を埋め戻す埋戻し工程と、
前記埋戻し工程により第１の微細溝を埋戻した前記表面の切削により、前記第１の微細溝と交差する第２の微細溝を作製する第２の切削工程と、
前記埋戻し工程による埋戻しに供した部材を、前記第１の微細溝より除去する除去工程とを備える
製造用金型の製造方法。
【請求項６】
母材が、円筒形状又は円柱形状であり、
前記第１及び第２の切削工程は、
前記母材の周側面に前記第１及び第２の微細溝を作製する
請求項５記載の製造用金型の製造方法。
【請求項７】
前記第２の切削工程は、
前記第１の微細溝と直交する方向に延長するように、前記第２の微細溝を作製する
請求項５は請求項６に記載の製造用金型の製造方法。
【請求項８】
請求項５、請求項６、請求項７の何れかに記載の製造用金型の製造方法により製造された
製造用金型。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、可視光域の最短波長より短いピッチによる微細凹凸構造を備えた微細構造体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、可視光域の最短波長より短いピッチによる微細凹凸構造を備えた微細構造体に関して、フィルム形状による反射防止物品である反射防止フィルムに関する工夫が種々に提案されている（特許文献１〜３）。この反射防止フィルムは、透明基材（透明フィルム）の表面に多数の微小突起を配置することにより、反射防止を図る最短波長である可視光域の最短波長より短いピッチによる微細凹凸構造を作製し、この微細凹凸構造により反射防止を図る。この方法は、いわゆるモスアイ（ｍｏｔｈ  ｅｙｅ（蛾の目））構造の原理を利用したものであり、入射光に対する屈折率を基板の厚み方向に連続的に変化させ、これにより屈折率の不連続界面を消失させて反射防止を図るものである。
【０００３】
またこの種の微細構造体は、親水性、防曇性を発揮し、特許文献４、５には、この親水性、防曇性を利用した微細構造体に関する工夫が提案されている。
【０００４】
ところでこの種の微細構造体は、効率良く反射防止を図り、さらには親水性、防曇性を発揮できることにより、種々の分野への適用が考えられ、このためには効率良く大量生産することが望まれる。特に、この種の微細構造体にあっては、建材用途としての使用も考えられ、この場合には、大面積の微細構造体を従来に比して格段的に効率良く大量生産することが望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭５０−７００４０号公報
【特許文献２】特表２００３−５３１９６２号公報
【特許文献３】特許第４６３２５８９号公報
【特許文献４】特許第５４２６１００号公報
【特許文献５】特公平７−１０２１６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、モスアイ構造に係る微細構造体に関して、従来に比して効率良く大量生産できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者は、上記課題を解決するために鋭意研究を重ね、製造用金型を使用した賦型処理により作製するようにし、切削加工により交差するように微細溝を作製して製造用金型を作製する。またこのとき、一旦作成した微細溝を埋戻して交差する微細溝を作製する、との着想に至り、本発明を完成するに至った。
【０００８】
具体的には、本発明では、以下のようなものを提供する
【０００９】
（１）  可視光域の最短波長より短いピッチによる微細凹凸構造を備えた微細構造体の製造方法において、
前記微細構造体の製造用金型を作製する製造用金型の作製工程と、
前記製造用金型を使用した賦型処理により前記微細構造体を作製する賦型工程とを備え、
前記製造用金型の作製工程では、
前記製造用金型の母材の表面の切削により、前記表面に、１方向に延長する第１の微細溝を作製する第１の切削工程と、
前記第１の微細溝を埋め戻す埋戻し工程と、
前記埋戻し工程により第１の微細溝を埋戻した前記表面の切削により、前記第１の微細溝と交差する第２の微細溝を作製する第２の切削工程と、
前記埋戻し工程による埋戻しに供した部材を、前記第１の微細溝より除去する除去工程とを備える。
【００１０】
（１）によれば、工具の損傷を格段に低減して効率良く切削加工して製造用金型を作成することができ、モスアイ構造に係る微細構造体を従来に比して効率良く大量生産することができる。
【００１１】
（２）  （１）において、母材が、円筒形状又は円柱形状であり、
前記第１及び第２の切削工程は、
前記母材の周側面に前記第１及び第２の微細溝を作製する。
【００１２】
（２）によれば、ロール版による製造用金型を効率良く作成することができ、このロール版を使用して微細構造体を効率良く大量生産することができる。
【００１３】
（３）  （１）又は（２）において、
前記第２の切削工程は、
前記第１の微細溝と直交する方向に延長するように、前記第２の微細溝を作製する。
【００１４】
（３）によれば、四角錐形状、四角柱形状等による微小突起を密に作成してなる表面形状により金型を作成して、対応する微小凹部を備えてなる微小構造体を作成することができる。
【００１５】
（４）  （１）、（２）、（３）の何れかに記載の微細構造体の製造方法により製造された微細構造体。
【００１６】
（４）によれば、従来に比して効率良く大量生産することか可能な微小構造体を提供することができる。
【００１７】
（５）  賦型処理による微細構造体の製造に使用する製造用金型の作製方法において、
前記微細構造体が、可視光域の最短波長より短いピッチによる微細凹凸構造を備えた微細構造体であり、
前記製造用金型の製造方法は、
前記製造用金型の母材の表面の切削により、前記表面に、１方向に延長する第１の微細溝を作製する第１の切削工程と、
前記第１の微細溝を埋め戻す埋戻し工程と、
前記埋戻し工程により第１の微細溝を埋戻した前記表面の切削により、前記第１の微細溝と交差する第２の微細溝を作製する第２の切削工程と、
前記埋戻し工程による埋戻しに供した部材を、前記第１の微細溝より除去する除去工程とを備える。
【００１８】
（５）によれば、工具の損傷を格段に低減して効率良く切削加工して製造用金型を作成することができ、モスアイ構造に係る微細構造体を従来に比して効率良く大量生産することができる。
【００１９】
（６）  （５）において、
母材が、円筒形状又は円柱形状であり、
前記第１及び第２の切削工程は、
前記母材の周側面に前記第１及び第２の微細溝を作製する。
【００２０】
（６）によれば、ロール版による製造用金型を効率良く作成することができ、このロール版を使用して微細構造体を効率良く大量生産することができる。
【００２１】
（７）  （５）又は（６）において、
前記第２の切削工程は、
前記第１の微細溝と直交する方向に延長するように、前記第２の微細溝を作製する
【００２２】
（７）によれば、四角錐形状、四角柱形状等による微小突起を密に作成してなる表面形状により金型を作成して、対応する微小凹部を備えてなる微小構造体を作成することができる。
【００２３】
（８）  （５）、（６）、（７）の何れかに記載の微細構造体の製造方法により製造された製造用金型。
【００２４】
（８）によれば、従来に比して効率良く大量生産することか可能な微小構造体の製造用金型を提供することができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、モスアイ構造に係る微細構造体に関して、従来に比して効率良く大量生産することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の第１実施形態に係る微小構造体を示す図である。
【図２】図１の微小構造体の製造工程を示す図である。
【図３】図２の製造工程に使用するロール版を示す図である。
【図４】図３のロール版の製造工程を示すフローチャートである。
【図５】図４の製造工程の説明に供する図である。
【図６】第１切削工程の説明に供する図である。
【図７】第２切削工程の説明に供する図である。
【図８】微細溝の説明に供する図である。
【図９】切削工程の他の例を示す図である。
【図１０】図９とは異なる切削工程の他の例を示す図である。
【図１１】図９、図１０とは異なる切削工程の他の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
〔第１実施形態〕
図１は、本発明の第１実施形態に係る微細構造体を示す図（概念斜視図）である。この微細構造体１は、全体形状がフィルム形状により形成された反射防止フィルムであり、可視光域の最短波長でより短いピッチによる微細凹凸構造により反射防止を図る。この実施形態では、この微細構造体１が窓、ショーケース等に貼り付けられて保持され、この微細構造体１により日光、電燈光等の外来光の反射を低減し、さらには展示物の視認性を向上する。なお微細構造体は、その形状を平坦なフィルム形状とする場合に限らず、平坦なシート形状、平板形状（相対的に厚みの薄い順に、フィルム、シート、板と呼称する）とすることもでき、また平坦な形状に代えて、湾曲形状、立体形状を呈したフィルム形状、シート形状、板形状とすることもでき、さらには各種レンズ、各種プリズム等の立体形状のものを用途に応じて適宜採用することができる。
【００２８】
ここで微細構造体１は、透明フィルムの形状（形態）の基材２の表面に多数の微小凹部５が配置される。ここで基材２は、例えばＴＡＣ（Triacetylcellulose）、等のセルロース(纖維素)系樹脂、ＰＭＭＡ(ポリメチルメタクリレート)等のアクリル系樹脂、ＰＥＴ（Polyethylene  terephthalate）等のポリエステル系樹脂、ＰＰ（ポリプロピレン）等のポリオレフィン系樹脂、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）等のビニル系樹脂、ＰＣ（Polycarbonate）等の各種透明樹脂フィルムを適用することができる。なお上述したように微細構造体の形状はフィルム形状に限らず、種々の形状を採用可能である。基材２は、このような微細構造体の形状に応じて、これらの材料の他に、例えばソーダ硝子、カリ硝子、鉛ガラス等の硝子、ＰＬＺＴ等のセラミックス、石英、螢石等の各種透明無機材料等を適用することができる。
【００２９】
微細構造体１は、基材２上に、微小凹部群からなる微細な凹凸形状の受容層となる未硬化状態の樹脂層（以下、適宜、受容層と呼ぶ）４を形成し、該受容層４を賦型処理して硬化させ、これにより基材２の表面に微小凹部５が配置される。この実施形態では、この受容層４に、賦型処理に供する賦型用樹脂の１つであるアクリレート系紫外線硬化性樹脂が適用され、基材２上に紫外線硬化性樹脂層による受容層４が形成される。なお受容層４にあっては、賦型処理に適用可能な各種樹脂材料を広く適用することができる。
【００３０】
微小凹部５は、この微細構造体１の表面を鉛直方向が見た場合の形状が正方形形状である柱状の凹部であり、この正方形形状の直交する２辺の延長方向にそれぞれ繰り返し作成され、微細構造体１の表面にマトリックス状に設けられる。微細構造体１は、この２辺の延長方向に係る繰り返しピッチＰｘ及びＰｙが、この微細構造体１において反射防止を図る最短波長Λｍｉｎより短くなるように設定される。すなわちＰｘ≦Λｍｉｎ、Ｐｙ≦Λｍｉｎに設定される。この実施形態では、窓、ショーケース等に配置して反射を防止し、視認性を向上することにより、反射防止を図る波長帯域は可視光域の波長帯域である。この可視光域における最短波長Λｍｉｎは、個人差、視聴条件を加味して概ね３８０ｎｍであり、これにより繰り返しピッチＰｘ及びＰｙは共に３８０ｎｍ以下に設定される。しかしながら充分な反射防止機能を確保する観点から、好ましくは２００ｎｍ以下、より好ましくは１００ｎｍ以下に設定される。これにより微細構造体１は、この微小凹部５により厚み方向に徐々に屈折率が変化するように作製され、モスアイ構造の原理により広い波長範囲で入射光の反射を低減する。
【００３１】
また微小凹部５は、深さ５０ｎｍ以上、好ましくは、深さ１００ｎｍ以上、より好ましくは深さ２００ｎｍ以上により作製され、これにより反射防止に供する波長帯域で、さらに広い視野角おいて、充分に反射率を低減できるように構成される。しかしながら微小凹部５は、生産工程における歩留まり等を考慮して、深さは、繰り返しピッチＰｘ、Ｐｙ以下とされる。
【００３２】
また微小凹部５は、繰り返しの方向に係る幅Ｗｘ、Ｗｙが、対応する繰り返しピッチＰｘ、Ｐｙの１／３以上、２／３以下とされ、これにより後述する賦型用金型の微細溝を確実に作成できるように構成され、また高い生産性を確保できるように構成される。
【００３３】
［製造工程］
図２は、この微細構造体１の製造工程を示す図である。この製造工程１０は、樹脂供給工程において、ダイ１２により帯状フィルム形態の基材２に受容層４を構成する未硬化で液状の紫外線硬化性樹脂を塗布する。なお紫外線硬化性樹脂の塗布については、ダイ１２による場合に限らず、各種の手法を適用することができる。続いてこの製造工程１０は、押圧ローラ１４により、微細構造体の賦型用金型であるロール版１３の周側面に基材２を加圧押圧し、これにより未硬化状態で液状の紫外線硬化性樹脂をロール版１３の周側面に密着させると共に、ロール版１３の周側面に作製された微細な凹凸形状の凹部に紫外線硬化性樹脂を充分に充填する。この製造工程は、この状態で、紫外線の照射により紫外線硬化性樹脂を硬化させ、これにより基材２の表面に微小凹部群を作製する。この製造工程は、続いて剥離ローラ１５を介してロール版１３から、硬化した紫外線硬化性樹脂と一体に基材２を剥離する。製造工程１０は、必要に応じてこの基材２に粘着層等を作製した後、所望の大きさに切断して微細構造体１を作製する。これにより微細構造体１は、ロール材による長尺の基材２に、賦型用金型であるロール版１３の周側面に作製された微細凹凸形状を順次賦型して、効率良く大量生産される。
【００３４】
図３は、ロール版１３の構成を示す斜視図である。ロール版１３は、円筒形状又は円柱形状の金属材料である母材２２の周側面に、矢印Ａにより部分的に拡大して示すように、微細構造体１の表面形状に対応する微細凹凸形状が作製される。ここで母材２２は、この種の賦型処理に十分な強度を備え、また切削加工により微細凹凸形状の作製が容易な、円柱形状又は円筒形状の各種金属材料を広く適用できるものの、この実施形態では、銅のパイプ材が適用される。ロール版１３は、母材２２の周側面に、このパイプ材の管軸に沿った方向と円周方向とに、それぞれ微小凹部５に対応する微小凸部２３が繰り返し作成され、またこの作成周期である繰り返しピッチピッチＰｘ及びＰｙが、微細構造体１において反射防止を図る最短波長Λｍｉｎより短くなるように作成される。また微細構造体１の微小凹部５に係る幅Ｗｘ、Ｗｙ、深さに対応する幅、高さにより微小凸部２３が作製される。
【００３５】
図４は、このロール版１３の作製工程を示すフローチャートである。また図５は、この図４との対比により各工程の説明に供する図である。この製造工程は、平滑化工程（ＳＰ１）において、バイトを使用した母材周側面の切削処理により母材２２の周側面を平滑化した後、電解溶出作用と、砥粒による擦過作用の複合による電解複合研磨法により母材２２の周側面を超鏡面化する（ＳＰ２）。これによりこの製造工程は、微細構造体１の表面形状に対応する平滑度により母材２２の周側面を平滑化する（図５（Ａ））。
【００３６】
続いてこの製造工程は、図６に示すように、一次切削工程（ＳＰ３）において、母材２２を切削装置に装着し、バイト２４の先端を母材２２の周側面に押し当て、この状態で矢印Ｂにより示すように母材２２を回転させながら、矢印Ｃにより示すようにバイト２４を母材２２の管軸に沿った方向に移動させ、これにより母材２２の周側面をらせん状に切削加工し、円周方向に延長する断面矩形形状による凹溝である微細溝２５を母材２２の周側面に作製する（図５（Ｂ））。なおバイト２４は、同時並列的に複数の微細溝２５を作製可能に、先端が櫛歯状に形成されており、これによりこの工程では、この母材２２の円周方向に延長する複数の微細溝を同時並列的に作成して切削工程に要する時間を短縮する。これによりこの製造工程は、ピッチＰｙにより微細溝２５を作製する。
【００３７】
続いてこの製造工程は、埋戻し工程（ＳＰ４）において、一次切削工程で作成した微細溝２５を埋戻し材により埋戻し、母材２２の周側面をほぼ平坦にし、一次切削工程の前の状態に母材２２の周側面を戻す（図５（Ｃ））。より具体的に、この実施形態においては、この埋戻し材に紫外線硬化性樹脂が適用され、紫外線硬化性樹脂２６を母材２２の周側面に塗工した後、紫外線の照射によりこの紫外線硬化性樹脂２６を硬化させ、これにより微細溝２５を埋め戻す。なお埋戻し材にあっては、微細な微細溝２５を充分に埋め戻すことが可能なことを条件に、種々の材料を広く適用することができる。
【００３８】
続いてこの製造工程は、二次切削工程（ＳＰ５）における切削加工により、一次切削工程により作製した微細溝２５と交差する断面矩形形状による微細溝２８を作製する（図５（Ｄ））。より具体的にこの工程では、図７に示すように、母材２２を間欠的に回転させながら、矢印Ｄにより示すように、バイト２４により母材２２の中心軸方向に母材２２の周側面を切削し、これにより微細溝２５と延長方向が直交する微細溝２８を作製する。
【００３９】
しかして何ら微細溝２５を埋め戻すことなく、微細溝２５と交差する微細溝２８を切削により作製する場合、バイト２４の刃先は、微細溝２５を横切る毎に微細溝２５の壁面に衝突することになり、この衝突の際に急激かつ大きな応力を受けることになる。これに対してバイト２４の刃先は、極めて微細形状により作製することが必要になる。その結果、バイト２４にあっては刃先が短い時間で損傷し、安定かつ短時間でロール版を二次切削できなくなる。しかしながらこの実施形態のように微細溝２５を埋戻して二次切削する場合には、このような微細溝２５の壁面への衝突によるバイト刃先の損傷を有効に回避することができ、安定かつ短時間で母材２２を二次加工することができる。なおこれにより埋戻しに供する紫外線硬化性樹脂にあっては、母材２２を構成する金属材料と硬さ、柔らかさが近いものが望ましい。
【００４０】
またこのようにバイトを使用した切削工程によりロール版を作製する場合にあっては、一次切削工程による微細溝のピッチと、二次切削工程による微細溝のピッチとを可変することができ、その結果、微細構造体１における凹部５の繰り返しピッチＰｘ及びＰｙを直交する方向で異ならせることができる。また切削加工に供するバイトの変更により繰り返しの方向に係る微小凹部５の幅Ｗｘ及びＷｙ、さらには微細溝の断面形状を異ならせることができる。微小構造体においては、このようなピッチＰｘ及びＰｙ、幅Ｗｘ及びＷｙ等を異ならせることにより、光学特性に異方性を設け、この直交する２方向における反射特性を異ならせることができる。これによりこの微細構造体１により反射防止を図る場合に、微細構造体の適用分野を拡大することができる。具体的に、例えばショーウインドウに貼り付けて展示されている商品の視認性を向上する場合に、光学特性の異方性を積極的に利用してショーウインドウの設置環境に応じて視認性を向上することができる。
【００４１】
続いてこの製造工程は、除去工程（ＳＰ６）において、微細溝２５に残存する紫外線硬化性樹脂（埋戻し材）を除去した後、洗浄し、これによりロール版１３が作製される。ここでこの除去工程においては、埋戻し材に応じて種々の手法を広く適用することができるものの、この実施形態では、ロール版の周側面に粘着テープを貼り付けて引き剥がすことにより、残存する埋戻し材を除去する。なおこれに代えて有機溶剤を使用した溶解により除去してもよく、加熱により埋戻し材を分解して除去するようにしてもよい。
【００４２】
この実施形態によれば、製造用金型を使用した賦型処理により微細構造体を作製するようにして、切削加工により交差するように微細溝を作製してこの製造用金型を作製することにより、効率良く金型を作製し、さらにこの金型を使用して大面積の微細構造体を効率良く大量生産することができる。またこのとき、一旦作成した微細溝を埋戻して交差する微細溝を作製することにより、切削処理により使用するバイトの損傷を有効に回避して金型を作製することができ、これにより一段と効率良く形状の大きな金型を作製することができ、一段と効率良く微細構造体を大量生産することができる。
【００４３】
またこの金型がロール版であることにより、この金型に係る母材を回転させながらバイトを移動させてらせん状に切削加工することにより、ロール版の円周方向に延長する微細溝を効率良く作成することができ、また幅の大きなロール版を簡易かつ効率良く作成することができる。従ってこのロール版を使用して効率良く大面積の微細構造体を大量生産することができる。
【００４４】
また直交するように２つの微細溝を作製することにより、微細凹部に係る凸部を効率良く金型に作製することができる。
【００４５】
〔第２実施形態〕
この実施形態では、ステンレス等の金属材料によるパイプ材の周側面に、直接に、又は中間層を介して、銅の薄膜を作製し、原版用の母材を作製する。さらにこの原版用の母材の周側面に、第１実施形態について上述したと同様にして微細凹凸形状を作製する。その後、この実施形態では、この母材の周側面に、管軸に延長する方向に、レーザーの照射等により表面薄膜の切断線を設け、この切断線により母材の周側面からこの薄膜を剥離する。またこの剥離した薄膜を、平板形状の金属板等によるベース材に貼り付け、これにより平板による賦型用金型を作製する。
【００４６】
この実施形態では、このようにして作成した平板による金型を使用した枚葉の処理により、微細構造体を作製する。
【００４７】
この実施形態のように、このようにパイプ材の周側面に微細凹凸形状を作製し、この微細凹凸形状を展開して平板による金型を作製する場合でも、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００４８】
〔第３実施形態〕
この実施形態では、切削に供するバイトの交換により、一次切削工程による微細溝のピッチと、二次切削工程による微細溝のピッチを異ならせ、これに代えて、又はこれに加えて、繰り返しの方向に係る微小凹部５の幅Ｗｘ及びＷｙを異ならせる。このようにピッチＰｘ及びＰｙ、幅Ｗｘ及びＷｙを異ならせることにより、光学特性に異方性を設ける。
【００４９】
このように光学異方性を設ける場合にあっても、上述の実施系と同一の効果を得ることができる。
【００５０】
〔他の実施形態〕
以上、本発明の実施に好適な具体的な構成を詳述したが、本発明は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述の実施形態を種々に組み合わせ、さらには上述の実施形態の構成を種々に変更することができる。
【００５１】
すなわち上述の実施形態では、断面矩形形状により一次切削工程による微細溝、二次切削工程による微細溝を作製する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、種々の形状を広く適用することができる。具体的に図８（Ａ）に示すように、断面三角形形状により隣接する微細溝と接するように微細溝を作成してもよく、また図８（Ｂ）に示すように、両壁面にテーパーを設けるようにして微細溝を作成しもよく、またさらには図８（Ｃ）に示すように、頂点が丸みを帯びた断面三角形形状により微細溝を作製するようにしてもよい。またさらに図８（Ｄ）に示すように、断面に係る壁面の形状を微細溝の両側で異ならせるようにし、これにより光学異方性を設けるようにしてもよい。
【００５２】
また上述の実施形態では、直交する２つの方向で微細溝の断面形状を等しくする場合について述べたが、本発明はこれに限らず、断面形状を異ならせるようにして光学異方性を確保するようにしてもよい。
【００５３】
また上述の実施形態においては、直交する２方向に直線的に切削加工する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、図９において符号Ｌ１、Ｌ２により一次切削加工、二次切削加工におけるバイト先端の軌跡を示すように、蛇行する軌跡により切削加工するようにしても良く、また図１０に示すように、一次切削加工、二次切削加工におけるバイト先端の軌跡Ｌ１、Ｌ２が斜めに交差するように切削加工してもよい。
【００５４】
また上述の実施形態では、一次切削加工、二次切削加工による２回の切削加工により金型を作成する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、図１１に示すように、一次切削加工（工具先端の軌跡を符号Ｌ１により示す）、二次切削加工の後（工具先端の軌跡を符号Ｌ２により示す）、さらにこの２回の切削加工による軌跡Ｌ１、Ｌ２と交差するように三次切削加工するようにしてもよい。またこのように３回以上切削加工することにより、例えば四角注形状による凹部と、三角柱形状による凹部とを混在させる場合のように、異なる形状による凹部を混在させるようにしてもよい。
【００５５】
また上述の実施形態では、反射防止フィルムに係る微小構造体を作成する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、親水性、防曇性を利用した微細構造体を作成する場合にも広く適用することができる。
【符号の説明】
【００５６】
１  微細構造体
２  二次切削加工
４  受容層
５  微小凹部
１０  製造工程
１２  ダイ
１３  ロール版
１４  押圧ローラ
１５  剥離ローラ
２２  母材
２３  微小凸部
２４  バイト
２５、２８  微細溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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