(57)【要約】      （修正有）【課題】半導体製造装置用の流体制御機器のように、清浄度を高く維持されたクリーンルーム内で組立される製品向けの自動施工機に適したコンパクトかつ摺動の少ないボルト供給装置を提供する。【解決手段】ボルト２を保持して他の機器に供給する円形のボルト供給装置１であり、円の軸と平行な軸を持ち、且つ円の中心付近から外軸方向に向う螺旋形状の溝１２と、当該溝に形成され、当該溝より幅狭のボルト保持部１３、からなるボルト保持部材１１と、他の動力を受ける動力伝達部２３と、前記動力伝達部が受けた動力に応じて、ボルト保持部材に保持されたボルトを、ボルト保持部材に形成された螺旋形状の溝に沿って、外周方向又は内周方向に押し込んで移動させる押し込み部２２、からなる駆動部材２１、からなる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボルトを保持して他の機器に供給するボルト供給装置において、
且つ円の中心付近から外軸方向に向う螺旋形状の溝と、
前記溝の内側に形成され、前記溝より幅狭のボルト保持部、からなるボルト保持部材と、
他からの動力を受ける動力伝達部と、
前記動力伝達部が受けた動力に応じて、前記ボルト保持部材に保持されたボルトを、前記螺旋形状の溝に沿って、外周方向又は内周方向に押し込んで移動させる押し込み部、からなる駆動部材、
から構成することを特徴とするボルト供給装置。
【請求項２】
請求項１のボルト供給装置であって、
ボルト保持部材に形成された溝が貫通溝であることを特徴とするボルト供給装置。
【請求項３】
請求項１、又は請求項２のボルト供給装置であって、
ボルト保持部材に形成された溝の両末端に、ボルトの移動を阻害するストッパー部が形成されていることを特徴とするボルト供給装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のボルト供給装置であって、
ボルト供給装置に、他のボルト供給装置と連結可能に形成された連結部があることを特徴とするボルト供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、例えば機械製品の自動施工機にボルトを供給するボルト供給装置に関する。特に、半導体製造装置用の流体制御機器のように、清浄度等を高く維持されたクリーンルーム内で組立される製品向けの自動施工機に適したコンパクトかつ摺動の少ないボルト供給装置である。
【背景技術】
【０００２】  半導体製造プロセスにおいて、パーティクルの介在は回路の短絡や欠損といった製造不良の要因となる。そのため、良品率を向上させるため、半導体の製造は、室内の清浄度等が管理されたクリーンルーム内で行われる。【０００３】  半導体製造プロセスでは、複数の流体（気体、又は液体）を使用する。そのため、エッチャーや、ＣＶＤといった半導体製造装置には、使用する複数の流体を制御するための流体制御装置が組み込まれる。流体制御装置は、クリーンルーム内に搬入されて半導体製造プロセスに使用されるため、流体制御装置自体がパーティクルの発生源と成らぬよう、流体制御装置はクリーンルーム内で組立製造が行われ、装置の汚染（パーティクルの付着等）を避けている。【０００４】  クリーンルーム内は、清浄度、照度、温度等が維持、管理されるため、莫大なランニングコストが発生する。当該ランニングコストは、クリーンルームの大きさと稼働時間に比例して増加する。また、クリーンルームといえど作業者からの発塵は避けられず、流体制御装置の組立てには作業者が介在しない製造が望まれる。この為、流体制御装置の製造コスト低減と品質向上には、省スペースかつ短時間での組立が求められている。【０００５】  流体制御装置を短時間で組立てるために、自動施工機の導入が進められている。また、クリーンルームを小さくするため、クリーンルーム内で使用する自動施工機にも小型化が求められている。【０００６】  流体制御装置は、流路を構成するベースブロックと、バルブやレギュレータといった流体制御機器をボルトで連結することで製作される。即ち、各流体制御装置とベースブロックを連結するために、大量のボルトが使用される。例えば、平均的な規模の流体制御装置の場合、数百本のボルトが使用される。【０００７】  自動施工機で流体制御装置を組み立てるためには、上記のボルトを自動施工機に供給する手段が必要になる。ボルト供給手段に関する先行技術として、特許文献１が存在する。特許文献１に係る発明は、部品整列皿に設けられた整列孔にボルトを挿入設置して使用される。しかし、特許文献１に係る発明は、ボルトの収納効率が悪く、数百のボルトを収納しようとすると過大なスペースを必要とするという問題があった。【０００８】  また、他の先行技術として、特許文献２がある。特許文献２に係る発明は、ボルトを不整列に容器に投入したのち、供給通路を通過する過程で整列供給される、ボルトの整列供給装置である。特許文献２に係る発明は、ボルトを不整列に多量に容器へ投入保管できるため、省スペースで多量のボルトを供給できる。しかし、容器に投入されたボルトは、他のボルトと激しく衝突・摺動を起こす事でパーティクルを発生させるため、クリーンルーム内で使用できないという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】  特開平３−１１７５２６公報
【特許文献２】  特開平１−１０４５１１公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】  上述の通り、従来のボルト供給装置では、クリーンルーム内で製作される流体制御装置の自動施工機に多量のボルトを供給することが出来ず、又は供給出来たとしても、ボルトが他のボルトや容器と衝突・摺動する事でパーティクルが発生するため、清浄度が高く維持管理されたクリーンルーム内で使用することが出来ないという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【００１１】  請求項１に係る発明は、ボルトを保持して他の機器に供給するボルト供給装置において、円の中心から外軸方向に向う螺旋形状の溝と、前記溝の内側に形成された、前記溝より幅狭のボルト保持部からなるボルト保持部材と、他からの動力を受ける動力伝達部と、前記動力伝達部が受けた動力に応じて、前記ボルト保持部材に保持されたボルトを、螺旋形状の溝に沿って、外周方向又は内周方向に押し込んで移動させる押し込み部からなる駆動部材、から構成することを特徴とするボルト供給装置に関する。【００１２】  請求項２に係る発明は、請求項１のボルト供給装置であって、ボルト保持部材に形成された溝が貫通溝であることを特徴とするボルト供給装置に関する。【００１３】  請求項３に係る発明は、請求項１、又は請求項２のボルト供給装置であって、ボルト保持部材に形成された溝の両末端に、ボルトの移動を阻害するストッパー部が形成されていることを特徴とするボルト供給装置に関する。【００１４】  請求項４に係る発明は、請求項１乃至請求項３のボルト供給装置であって、ボルト供給装置に、他のボルト供給装置と連結可能に形成された連結部があることを特徴とするボルト供給装置に関する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、本件ボルト供給装置の斜視図である。ボルトが中心部にストックされている状態を表している。
【図２】図２は、図１と同じく本件ボルト供給装置の斜視図であるが、ボルトが外径側のストッパー部まで移動した状態を表している。
【図３】図３は、ボルト保持部材の斜視図である。
【図４】図４は、駆動部材の斜視図である。
【図５】図５は、本件ボルト供給装置が実際に使用されている状態を表している。
【発明を実施するための形態】
【００１６】  本発明の実施形態を、図１乃至図５を用いて説明する。
【００１７】  図１に、本願発明に係るボルト供給装置（１）全体を示す。図１は、ボルト（２）がストックされている状態、即ち、まだ自動施工機（３１）へのボルト供給が開始されていない状態を示している。
【００１８】  ボルト（２）は、ボルト保持部材（１１）に形成された螺旋溝（１２）に沿って移動する。具体的には、ボルト保持部材（１１）のストッパー部（内径側）（１５）を始点に、ストッパー部（外径側）（１４）までボルト（２）は移動する。
【００１９】  ボルト（２）は、ボルト保持部材（１１）に構成された螺旋溝（１２）に挿入されるが、ボルト（２）頭部がボルト保持部（１３）に係合することにより、ボルト（２）は螺旋溝（１３）内に載置されている。
【００２０】  ボルト（２）は、駆動部材（２１）に構成された押し込み部（２２）に押されることで移動する。駆動部材（２１）は、駆動部材（２１）に構成された動力伝達部（２３）に他の動力源（図示省略）からの動力が伝達されることで駆動する。動力源は、電気モーター等が想定される。この際、駆動部材（２１）はボルト保持部材（１１）とは連動せずに、駆動部材（２１）単独で稼働する。ボルト保持部材（１１）と駆動部材（２１）の連結部（１６）については後述する。
【００２１】  図２に、ボルト（２）がボルト保持部材（１１）のストッパー部（内径側）（１５）付近から、ストッパー部（外径側）（１４）に移動した状態を示す。
【００２２】  ストッパー部（外径側）（１４）に移動したボルト（２）は、順次、自動施工機（３１）に供給される。供給方法については後述する。ボルト（２）がストッパー部（外径側）（１４）まで移動すると、当該ボルト（２）と駆動部材（２１）の押し込み部（２２）がロック材となり、駆動部材（２１）の駆動が停止する。即ち、ストッパー部（外径側）（１４）に移動したボルト（２）が自動施工機（３１）に供給され、ストッパー部（外径側）（１４）から取り除かれれば、駆動部材（２１）の駆動が再開し、次のボルト（２）がストッパー部（外径側）（１４）まで移動する。なお、図１、及び図２において、ボルト（２）を一定量のみ収納しているのが、本実施例の場合、ボルト供給装置１つでボルト約１００本を収納可能であり、また、ボルトのサイズやボルト保持部材（１１）のサイズ等によって、収容できるボルトの数は変更することが出来る。
【００２３】  図３には、ボルト保持部材（１１）のみを示し、図４には駆動部材（２１）のみを示している。ボルト保持部材（１１）には連結部ａ（１６ａ）が構成され、駆動部材（２１）には連結部ｂ（１６ｂ）が構成されている。
【００２４】  ボルト保持部材（１１）の連結部ａ（１６ａ）に、駆動部材（２１）の連結部ｂ（１６ｂ）が挿入されることにより、ボルト保持部材（１１）と駆動部材（２１）は連結する。ボルト保持部材（１１）とは連動せず、駆動部材（２１）は、ボルト保持部材（１１）とは別体で駆動する必要があるため、連結部ａ（１６ａ）と連結部ｂ（１６ｂ）の嵌め合いは余裕があることが望ましい。
【００２５】  ボルト保持部材（１１）は上記の通り、駆動部材（２１）とは着脱可能に構成されている。よって、ボルト保持部材（１１）の螺旋溝（１２）へのボルト（２）の設置は、クリーンルーム外で事前に行った上で、当該ボルト（２）が設置されたボルト供給装置（１）がクリーンルーム内で使用される。
【００２６】  図５に、実際に本願ボルト供給装置（１）が使用され、自動施工機（３１）にボルト（２）が供給されている状態を示す。
【００２７】  ボルト保持部材（１１）のストッパー部（外径側）（１４）に移動したボルト（２）のボルトヘッドに電動ドライバー（３４）が差し込まれることで、ボルト（２）と電動ドライバー（３４）が一時的に固着する。電動ドライバー（３４）はエアシリンダー（３２）によって移動される。
【００２８】  電動ドライバー（３４）に一時的に固着したボルト（２）は、電動ドライバー（３４）の移動にともなってボルト供給装置（１）から流体制御装置（３）の所定箇所に移動する。その後、電動ドライバー（３４）が回転することにより、流体制御装置（３）の所定箇所に設けられたネジ穴に螺合することで、ボルト（２）と電動ドライバー（３４）が離間する。ボルト（２）が所定箇所に螺合された流体制御装置（３）は、順次、運搬レール（３３）によって移動する。
【００２９】  ボルト供給装置（１）の自動施工機（３１）への固定方法は、前述した駆動部材（２１）の動力伝達部（２３）への伝達動力源により適宜選択されるが、ボルト保持部材（１１）が駆動部材（２１）の駆動に連動されないよう、ボルト保持部材（１１）を固定する構造が望ましい。
【発明の効果】
【００３０】  以上の通り、本願発明に係るボルト供給装置を用いれば、最小限のスペースでクリーンルーム内の自動施工機にボルトを供給することが可能になる。また、ボルトの衝突・摺動を最小限にすることで、パーティクルの発生を最小限に抑えることに成功している。
【符号の説明】
【００３１】（１）：ボルト供給装置、（２）：ボルト、（３）：流体制御装置、
（１１）：ボルト保持部材、（１２）：螺旋溝、（１３）：ボルト保持部、（１４）：ストッパー部（外径側）、（１５）：ストッパー部（内径側）、（１６）：連結部、（１６ａ）：連結部ａ、（１６ｂ）：連結部ｂ、
（２１）：駆動部材、（２２）：押し込み部、（２３）：動力伝達部、
（３１）：自動施工機、（３２）：エアシリンダー、（３３）：運搬レール、（３４）：電動ドライバー、
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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