(57)【要約】【課題】本明細書は、衝突噴流型の冷却器に関し、フィンの構造を工夫して冷却効率を高める技術を提供する。【解決手段】冷却器２は、筐体７、ベースプレート３、複数のフィン１４、仕切板５、ノズル６を備える。ベースプレート３は、筐体７の一つの側板であって、おもて面に冷却対象物が取り付けられる。複数のフィン４は、ベースプレートの裏面に立設されている。仕切板５は、筐体内の空間をベースプレートから遠い第１流路とベースプレートに近い第２流路に区画する。ノズル６は、仕切板からベースプレートに向けて伸びており、冷媒をベースプレートの裏面に向けて噴出する。冷却器２は、フィンのノズルに対向する位置に、フィンの根元まで達するスリットであってベースプレートに近づくにつれて幅が狭くなるスリットを有している。【選択図】図１
2016032010.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
衝突噴流型の冷却器であって、
内部を冷媒が通る筐体と、
前記筐体の一つの側板であって、おもて面に冷却対象物が取り付けられるベースプレートと、
ベースプレートの裏面に立設されている複数のフィンと、
前記筐体内の空間をベースプレートから遠い第１流路とベースプレートに近い第２流路に区画する仕切板と、
前記仕切板から前記ベースプレートに向けて伸びており、冷媒を前記ベースプレートの裏面に向けて噴出するノズルと、
を備えており、
前記フィンの前記ノズルに対向する位置に、前記フィンの根元まで達するスリットであってベースプレートに近づくにつれて幅が狭くなるスリットが設けられていることを特徴とする冷却器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、冷却器に関する。特に、冷却器筐体の側板に半導体チップなどの冷却対象を取り付け、その側板の裏面（筐体内側の面）に冷媒を衝突させる衝突噴流型の冷却器に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体チップや電子部品の冷却用に、筐体の側板に半導体チップなどの冷却対象を取り付け、その側板の裏面（筐体内側を向く面）に向けて液体の冷媒を噴出させるタイプの冷却器が知られている。そのようなタイプの冷却器は、噴出させた冷媒を、冷却対象を取り付けた側板の裏面に衝突させることから、衝突噴流型と呼ばれる。本明細書では、説明の便宜上、冷却器の一つの側板であって、半導体チップなどの冷却対象を取り付ける側板を「ベースプレート」と称する。そして、冷却対象を取り付ける面を、ベースプレートの「おもて面」と称し、反対側の面（筐体内側を向く面）を「裏面」と称する。
【０００３】
衝突噴流型の冷却器の例が特許文献１に記載されている。その冷却器は、内部を冷媒が通る筐体と、上記したベースプレートと、ベースプレートの裏面に立設されている複数のフィンと、仕切板と、ノズルを備えている。仕切板は、ベースプレートに平行に設けられており、筐体内の空間をベースプレートから遠い第１流路とベースプレートに近い第２流路に二分する。ノズルは、仕切板からベースプレートに向けて伸びており、冷媒をベースプレートの裏面に向けて噴出する。また、筐体には、第１流路に冷媒を供給する供給口が設けられているとともに、第２流路から冷媒を排出する排出口が設けられている。
【０００４】
特許文献１に開示された冷却器は、ベースプレートの裏面に複数のフィンを備えている。複数のフィンは平行に並んでいる。供給口から第１流路に供給された冷媒は、ノズルを通りベースプレートに向かって噴出する。ノズルから噴出した冷媒は、フィンの間を通ってベースプレートの裏面に衝突し、フィンに沿って流れる。その後、冷媒は、第２流路を排出口に向かって流れる。冷却対象の熱は、ベースプレートの裏面だけでなく、フィンからも冷媒へ移動する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−１６６１１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ノズルから噴出した冷媒が全てベースプレートの裏面に達することが望ましいが、ノズル先端とフィンの上端との間に隙間が存在すると、冷媒の一部は隙間を通じて流れ、ベースプレートの裏面に達しない。特に、特許文献１の冷却器のノズルは長尺な開口を有しており、冷媒噴出方向からみて、開口と多くのフィンが重なっている。一部の冷媒はノズルから噴出した直後にフィンの上端に衝突してその流れが乱される。その結果、一部の冷媒はノズルとフィン上端の間の隙間へと流れる。なお、フィンの上端とは、ベースプレートに垂直な方向のフィン先端に相当する。
【０００７】
本明細書が開示する技術は、衝突噴流型の冷却器に関し、ノズルから噴出した冷媒が効率よくベースプレートへ到達するようにフィンの構造を改良するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本明細書が開示する衝突噴流型の冷却器は、内部を冷媒が通る筐体と、ベースプレートと、複数のフィンと、仕切板と、ノズルを備える。上述したように、ベースプレートは筐体の一つの側板であり、そのおもて面に冷却対象物が取り付けられる。複数のフィンは、ベースプレートの裏面に立設されている。仕切板は、筐体内の空間をベースプレートから遠い第１流路とベースプレートに近い第２流路に区画する。ノズルは、仕切板からベースプレートに向けて伸びており、冷媒をベースプレートの裏面に向けて噴出する。そして、フィンのノズルに対向する位置（ノズルの冷媒噴出方向の正面）に、フィンの根元まで達するスリットが設けられている。そのスリットは、ベースプレートに近づくにつれて幅が狭くなっている。
【０００９】
上記の冷却器によれば、ノズルから噴出した冷媒はスリットを通過してベースプレートへ到達する。即ち、冷媒はノズルから噴出した直後にフィンとぶつかることがない。また、スリットは、ベースプレートに近づくにつれて幅が狭くなっている。冷媒の流れ方向はスリットの縁と斜めに交わることになる。それゆえ、スリットの縁でも冷媒の流れが乱れ難くなる。そのような構造も、冷媒をスムーズにベースプレートへ導くことに寄与する。
【００１０】
上記した形状の条件を満たしていれば、スリットの形状は様々でよい。スリットの形状は複数のフィンで同一であってもよいし、異なっていてもよい。例えば、フィン長手方向におけるスリット底部の中央位置が、隣接するスリットで異なっていてもよい。また、隣接するフィンの上記した中央位置のフィン長手方向の距離が、隣接するフィンの間隔よりも大きいほどにスリットの形状が異なっているとよい。
【発明の効果】
【００１１】
本明細書は、衝突噴流型の冷却器に関し、フィンを工夫し、ノズルから噴出する冷媒の流れをスムーズにする技術を提供する。本明細書が開示する技術の詳細とさらなる改良は以下の「発明を実施するための形態」にて説明する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】第１実施例の冷却器の斜視図である（筐体の一部をカットした図）。
【図２】図２（Ａ）は、実施例の冷却器の平面図である（筐体の天板をカットした図）。図２（Ｂ）は、図２（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。図２（Ｃ）は、図２（Ａ）のＣ−Ｃ線に沿った断面図である。
【図３】図３（Ａ）は、第２実施例の冷却器の断面図である。図３（Ｂ）は、フィン１４ａの平面図である。図３（Ｂ）は、フィン１４ｂの平面図である。
【図４】図４は、シミュレーションを行った様々なスリット形状の平面図である。図４（Ａ）は、スリットなしのフィン２４ａの平面図である（比較例）。図４（Ｂ）は、浅い矩形のスリット２９ｂを有するフィン２４ｂの平面図である。図４（Ｃ）は、浅いＶ字形状のスリット２９ｃを有するフィン２４ｃの平面図である。図４（Ｄ）は、深いＶ字形状のスリット２９ｄを有するフィン２４ｄの平面図である。
【図５】シミュレーション結果を示すグラフである。
【図６】図６は製造が容易なスリット付きフィンを示すである。図６（Ａ）は、薄板で作るフィン３４の展開図である。図６（Ｂ）はフィン３４の平面図である。図６（Ｃ）は、フィン３４の正面図である。図６（Ｄ）は、フィン３４の側面図である。
【図７】図７はスリット付きフィンの変形例を示す図である。図７（Ａ）は、フィン４４の展開図である。図７（Ｂ）はフィン４４の平面図である。図７（Ｃ）は、フィン４４の正面図である。図７（Ｄ）は、フィン４４の側面図である。
【図８】図８はスリット付きフィンの別の変形例を示す図である。図８（Ａ）は、フィン５４の展開図である。図８（Ｂ）はフィン５４の平面図である。図８（Ｃ）は、フィン５４の正面図である。図８（Ｄ）は、フィン５４の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図面を参照して第１実施例の冷却器を説明する。図１は、第１実施例の冷却器２の斜視図である。但し、図１では、冷却器２の内部構造が理解できるように、部品の一部はカットして描いてある。ハッチングが、カットした面を表している。図２（Ａ）は、筐体７の天板７ａを除いた平面図を示している。図２（Ｂ）は、図２（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿った断面（側面断面図）を示している。図２（Ｂ）は、また、ノズル６（後述）をその開口の長尺方向に沿って切った断面に相当する。図２（Ｃ）は、図２（Ａ）のＣ−Ｃ線に沿った断面（横断面図）を示している。
【００１４】
冷却器２は、半導体チップなどの冷却対象９２を冷却するデバイスである。冷却対象９２は、ヒートスプレッダを兼ねる絶縁板９１を介して、ベースプレート３のおもて面３ａに取り付けられる。ベースプレート３は、冷却器２の筐体７の一つの側板である。ここで、「おもて面」とは、ベースプレート３の二つの平面を区別するための便宜上の表現であることに留意されたい。本明細書では、ベースプレート３において、冷却器２の外側を向く面を「おもて面３ａ」と称し、冷却器２の内側を向く面を「裏面３ｂ」と称する。冷却器２は、筐体内部、特に、ベースプレート３の裏面側に冷媒を通し、冷却対象を冷却する。冷媒は、典型的には水あるいはＬＬＣ（Long Life Coolant）である。
【００１５】
ベースプレート３の裏面３ｂには、複数のフィン４が取り付けられている。複数のフィン４は、その平面を相互に対向させ、平行に配列されている。フィン４の長手方向（図中のＹ軸方向）の両端は、ベースプレート３の裏面３ｂと直交する筐体内側面７ｂに当接している。各フィンにはＶ字型の３個のスリット９が設けられている。スリット９については後に詳しく説明する。
【００１６】
冷却器２の筐体７は直方体であり、内部空間が冷媒の流路となっている。筐体７の内部には、内部空間をベースプレート３の裏面３ｂに面する空間と、ベースプレート３から遠い空間に区画する仕切板５が設けられている。前者の空間を第１流路１２と称し、後者の空間を第２流路１３と称する。
【００１７】
図２（Ｂ）に示されているように、筐体７の一端には、第１流路１２（仕切板５よりもベースプレート３から遠い空間）に通じる冷媒供給口８が設けられている。筐体７の他端には、第２流路１３（仕切板５よりもベースプレート３に近い空間）に通じる冷媒排出口１８が設けられている。以下、冷媒供給口８を単純に供給口８と称し、冷媒排出口１８を単純に排出口１８と称する。
【００１８】
供給口８と排出口１８は、ベースプレート３と交差する筐体７の側板のうち、対向する二つの側板の夫々に設けられている。図２（Ｂ）では、図の左側の側板に供給口８が設けられており、図の右側の側板に排出口１８が設けられている。すなわち、冷媒は図中の左から右に流れる。別言すれば、図１、図２（Ａ）〜（Ｃ）に示した座標系において、冷媒はＸ軸の正方向へと流れる。すなわち、Ｘ軸が冷媒流の方向に相当し、Ｘ軸の正方向が、冷媒流の下流側に相当する。
【００１９】
仕切板５からは、３個のノズル６がベースプレート３に向かって伸びている。図２（Ａ）によく示されているように、ノズル６は、第１流路１２における冷媒の流れ方向（Ｘ軸）に沿って長尺な開口を有している。３個のノズル６は、流れ方向に沿って平行に伸びている。供給口８から供給された冷媒は、第１流路１２を通り、次いでノズル６を通って第２流路１３に移動する。このとき、ノズル６から噴出した冷媒は、ベースプレート３の裏面に衝突する。第２流路１３を流れる冷媒は、最後に、排出口１８から排出される。
【００２０】
図１、図２（Ｂ）の矢印太線が冷媒の流れを表している。それらの図を参照して冷媒の流れを説明する。図２（Ｂ）の記号「Ｆｉｎ」は、冷却器２へ流入する冷媒を表している。図２（Ｂ）の記号「Ｆｏｕｔ」は、冷却器２から排出される冷媒を表している。供給口８から供給された冷媒は、第１流路１２を下流へと流れる。冷媒は、第１流路１２を流れる間にノズル６の長尺な開口を通じ、ベースプレート３へ向かって流れの方向を変える。冷媒は、ノズル６からベースプレート３の裏面３ｂに向かって勢いよく噴出する。ノズル６から噴出した冷媒は、ベースプレート３の裏面３ｂに衝突する。裏面３ｂに衝突した冷媒は跳ね返り、平行なフィン４の間を通り、第２流路１３へと移動する。
【００２１】
上述したように、冷却器２は、冷却対象を取り付けたベースプレート３の裏面３ｂに冷媒を勢いよく噴き付けることにより冷却能力を向上させている。また、ベースプレート３から跳ね返った冷媒は、複数の平行なフィン４の間を通る間にフィン４から熱を奪い、ベースプレート３（即ち冷却対象）を冷却する。このような構造の冷却器は、衝突噴流型の冷却器と呼ばれる。
【００２２】
図２（Ｃ）によく示されているように、第２流路１３は、断面がコの字状（Ｕ字状）の溝に相当し、コの字の開口側はフィン４に面している。すなわち、第２流路１３は、フィン４の間の空間と通じている。また、ノズル６は、その先端６ａが、フィン４の上端４ａに接している。「フィン４の上端」とは、ベースプレート３から遠い側のフィンの縁を意味する。なお、ノズルの先端６ａとフィン上端４ａの間には、部品の寸法公差や組み立て公差により隙間が生じることがある。
【００２３】
フィン４について説明する。複数のフィン４は、ノズル６の開口の長手方向（図中のＸ軸方向）に直交するように並んでいる。別言すれば、複数のフィン４は、第１流路１２における冷媒の流れ方向に直交するように並んでいる。各フィン４は、その平坦面を第１流路１２における冷媒流れ方向（Ｘ軸方向）に向けている。図１と図２（Ｃ）によく示されているように、各フィン４にはスリット９が設けられている。スリット９は、Ｖ字形状であり、フィン４の根元に近づくほど幅が狭くなる。スリット９は、フィン４の根元まで達している。別言すれば、スリット９のＶ字の先端がベースプレート３の裏面３ｂに達している。スリット９のＶ字の先端は、別言すれば、スリットの底部である。スリット９は、ノズル６の開口に対向するように設けられている。別言すれば、スリット９は、ノズル６から噴出した冷媒がスリット９を通るように設けられている。さらに、スリット９は、そのＶ字の開いている側の両端がノズル６の先端に当接している。そして、Ｖ字の開いている側がノズル６の開口に向いている。
【００２４】
図１と図２に示すスリット９は、全てのフィン４で同じ形状であるが、後述する第２実施例などでは、隣接するフィンのスリット形状が異なる。
【００２５】
スリット９の利点について説明する。ノズル６から噴出した冷媒は、ベースプレート３の裏面３ｂに達する。衝突噴流型の冷却器では、できるだけ多くの冷媒がベースプレート３の裏面３ｂに勢いよくぶつかることが望ましい。しかし、ノズル６の先端６ａとフィン４の上端４ａとの間には隙間が生じることがあり、冷媒の一部はその隙間へと流れる。従来の衝突噴流型の冷却器では、ノズルの開口とフィンの上端が交差しているので、ノズルから噴出直後の冷媒の一部はフィンの上端にぶつかり、流れが乱される。この乱れが、ノズル先端とフィン上端の間の隙間へ冷媒を導くことを助長する。これに対して実施例の冷却器２では、ノズル６の開口に対してフィン４のスリット９が対向している。ノズル６から噴出した冷媒は、スリット９を通り、ベースプレート３の裏面３ｂに達する。冷媒は、ノズル６から噴出した直後にはフィン４に邪魔されることがない。従って冷媒は、フィン４に邪魔されることなくノズル６から勢いよく噴出することができる。スリット９は、ノズル６から噴出する冷媒の流れに対する抵抗を軽減する。また、スリット９はＶ字形状であるので、Ｖ字の縁は、冷媒の流れる方向と斜めに交差する。この斜めに交差する点も、冷媒の流れに対する抵抗を軽減する。上記の理由により、冷却能力の向上が期待できる。
【００２６】
また、図２（Ｂ）によく示されているように、第１流路１２を流れている冷媒は、ノズル６の長尺な開口を通り抜け、さらにスリット９を通り抜ける。複数のフィン４は、その平坦面を、第１流路１２における冷媒の流れ方向に向けている。仮に、スリット９が設けられていないと、冷媒の流れは、第１流路１２からフィン４の間にほぼ直角に向きを変える。これに対してスリット９が設けられていることで、冷媒の流れは、直角よりも緩やかな角度でベースプレートへ向かう。流れ方向の変化が緩やかになることは、流路抵抗の低減に寄与し、冷却器の性能向上に繋がる。
【００２７】
（第２実施例）図１と図２に示した冷却器２では、スリット９の形状は全てのフィン４で同じであった。図３に示す第２実施例の冷却器２ａでは、隣接するフィンのスリット形状が異なる。図３（Ａ）は、冷却器２ａの断面図である。図３（Ａ）は、図２（Ｃ）に相当する。図３（Ｂ）は、一のフィン１４ａの平面図である。図３（Ｂ）は、一のフィン１４ａに隣接する別のフィン１４ｂの平面図である。フィン１４ａは、３個のスリット１９ａ１、１９ａ２、及び、１９ａ３を有する。３個のスリット１９ａ１−１９ａ３は、いずれもＶ字形状であるが、Ｖ字の先端位置Ｔａ１、Ｔａ２、及び、Ｔａ３が、フィンの長手方向（Ｙ軸方向）で偏っている。そして、フィン１４ａに隣接するフィン１４ｂも３個のスリット１９ｂ１、１９ｂ２、及び、１９ｂ３を有する。３個のスリット１９ｂ１−１９ｂ３も、いずれもＶ字形状であるが、Ｖ字の先端位置Ｔｂ１、Ｔｂ２、及び、Ｔｂ３が、フィンの長手方向（Ｙ軸方向）で偏っている。いずれのフィンのスリットも、フィンの根本まで達している。別言すれば、スリットのＶ字の先端（スリットの尖った底）が、ベースプレート３に達している。
【００２８】
図３に示したＶ字状のスリットは、いずれも、フィン長手方向（Ｙ軸方向）におけるＶ字の先端位置が、Ｖ字の開いた側のスリット中心からずれている。逆に、図１、図２に示したスリットの形状は、フィン長手方向におけるＶ字の先端位置がＶ字の開いた側のスリット中心に位置している。別言すれば、図１と図２のスリットは、フィンをその平坦面の法線方向（Ｘ軸方向）からみたときにフィンの長手方向で対称形であり、図３のフィンは、非対称形である。
【００２９】
フィン１４ａのスリット１９ａ１と、フィン１４ｂのスリット１９ｂ１は、フィンの並び方向で隣接している。いずれのスリットもＶ字の開いている側がノズル６の開口に対向している。しかし、Ｖ字の先端（スリットの尖った底）のフィン長手方向（Ｙ軸方向）の位置が互いにずれている。スリット１９ａ１の先端位置Ｔａ１とスリット１９ｂ１の先端位置Ｔｂ１のフィン長手方向の距離Ｌは、隣接するフィン１４ａと１４ｂの間の距離よりも大きい。冷却器２ａでは、平行に並んだ複数のフィンのうち、フィンの並び方向で偶数番目のフィンは図３（Ｂ）に示す形状を有しており、奇数番目のフィンは図３（Ｃ）に示す形状を有している。即ち、並び方向で偶数番目のフィンのスリット形状が第１Ｖ字形状であり、奇数番目のフィンのスリット形状が第２Ｖ字形状であり、第１Ｖ字形状と第２Ｖ字形状は、フィンの長手方向におけるＶ字の先端位置（スリットの底）が異なっている。さらに別言すると、フィンの長手方向におけるスリットのＶ字の先端位置が、フィンの並び方向にそって交互に変化している。
【００３０】
図１、図２で示した冷却器２のスリットと、図３で示した冷却器２ａのスリットを含め、幾つかのスリット形状の効果をシミュレーションで検証した。図４の（Ａ）から（Ｄ）に、シミュレーションで用いたスリットの形状を示す。図４（Ａ）のフィン２４ａは、比較のためのフィンであり、スリットを有さない。図４（Ｂ）のフィン２４ｂは、根元まで達しない矩形のスリット２９ｂを有する。図４（Ｃ）のフィン２４ｃは、根元まで達しないＶ字状のスリット２９ｃを有する。図４（Ｄ）のフィン２４ｄは、根元まで達するＶ字状のスリット２９ｄを有する。図４（Ｄ）のスリット形状は、図１、図２で示した冷却器２のフィン４に設けられたスリット９の形状と同一である。図示は割愛するが、図３で用いたスリットの形状についてもシミュレーションした。
【００３１】
シミュレーションでは、ノズル６から冷媒を突出させたときの、位置Ｐ（図４（Ａ）〜（Ｄ）参照）での冷媒の流速、圧力損失ΔＰ比、及び、平均等価熱伝達率Ａを求めた。スリットなし（図４（Ａ））のときの位置Ｐの流速は０．３（ｍ／ｓｅｃ）であった。図４（Ｂ）から図４（Ｄ）の各ケースにおいて、位置Ｐでの流速は、それぞれ、０．６、０．８、０．９（ｍ／ｓｅｃ）であった。根本まで達するＶ字状のスリット２９ｄを備えたフィン２４ｄの場合（図４（Ｄ）、位置Ｐでの流速は、スリットがない場合の流速のおよそ３倍となることが解った。
【００３２】
図５は、スリットなしの場合（図４（Ａ））を基準としたときの、各スリット形状のフィンにおける平均等価熱伝達率Ａの比と、圧力損失ΔＰの比をプロットしたグラフである。平均等価熱伝達率Ａは、フィンから冷媒への熱の伝えやすさの指標であり、数値が大きい方が、熱が伝わり易いことを表す（即ち冷却能力が高いことを表す）。圧力損失ΔＰは、数値が小さいほど、冷媒の流速が低下し難いことを表す。圧力損失ΔＰが小さいほど、冷却器としては性能が高い。すなわち、図５のグラフは、左上にいくほど冷却能力が高いことを表す。なお、熱伝達率の単位は［Ｗ／ｍ２Ｋ］であり、物質表面温度（フィン表面温度）と冷媒との温度差１度当たりの物質（フィン）の表面単位面積から冷媒に移動する熱量の大きさで表される。
【００３３】
プロットＱａがスリットなしの場合の結果である。スリットなしの場合を基準とするので、プロットＱａは、縦軸の値と横軸の値がともに１．０である。プロットＱｂは、図４（Ｂ）に示した浅い矩形のスリット２９ｂの場合の結果である。プロットＱｃは、図４（Ｃ）に示した浅いＶ字状のスリット２９ｃの場合の結果である。プロットＱｄは、図４（Ｄ）に示した根元まで達するＶ字状のスリット２９ｄの場合の結果である。プロットＱｅは、図３に示したＶ字状のスリットの場合の結果である。
【００３４】
図５のシミュレーション結果では、図３のスリット形状（根元まで届くＶ字状であって、スリットのＶ字の先端のフィン長手方向の位置がスリット中心からずれている形状）が最も冷却性能が高い。次いで、図４（Ｄ）の形状（全てのフィンが根元まで達する同一のＶ字状のスリットの場合）が、冷却性能が高い、という結果を得た。
【００３５】
図６〜図８を参照して、製造が容易なスリット付きフィンを説明する。図６〜図８で説明するフィンは、一枚の金属板を折り曲げて作ることができる。図６（Ａ）は、フィン３４の展開図を示す。図６（Ｂ）は、フィン３４の平面図を示し、図６（Ｃ）は、フィン３４の正面図を示し、図６（Ｄ）はフィン３４の側面図を示す。「フィンの平面図」とは、図２（Ａ）と同じ視点からみた図に相当する。「フィンの正面図」とは、図２（Ｃ）と同じ視点から見た図に相当する。「フィンの側面図」とは、図２（Ｂ）と同じ視点からみた図に相当する。
【００３６】
図６（Ａ）に示すように、一枚の金属板１３４には、一対の山折線Ｓ１（点線）と、一対の谷折線Ｓ２（一点鎖線）が、交互に付けられている。一対の谷折線Ｓ２と、別の一対の谷折線Ｓ２の間の領域が一つのフィンを構成する。一対の山折線Ｓ１の箇所が、フィンの上端に相当する。符号３４ａが示す範囲が一つのフィンを構成し、これに隣接する符号３４ｂが示す範囲が別のフィンを構成する。符号３４ｃ、３４ｄが示す範囲も夫々が一つのフィンを構成する。一つのフィンを構成する各範囲には、３個の矩形の孔３９ａあるいは孔３９ｂが設けられている。山折線Ｓ１と谷折線Ｓ２に沿って金属板１３４を折り曲げたとき、孔３９ａ、３９ｂはスリットを形成する。谷折線Ｓ２がフィンの根元に相当し、谷折線Ｓ２に矩形の孔３９ａ、３９ｂの角が接している。従って一枚の金属板１３４を折り曲げたとき、孔３９ａと孔３９ｂは夫々、フィンの根元まで達するＶ字状のスリットを構成する。
【００３７】
孔３９ａ、３９ｂは、孔の中心を通る直線であって山折線Ｓ１（谷折線Ｓ２）に直交する直線ＣＬに対して非対称である。直線ＣＬの伸びる方向がフィンの並び方向に対応する。また、山折線Ｓ１（谷折線Ｓ２）の伸びる方向がフィンの長手方向に相当する。フィンの並び方向で隣接する孔は、フィン長手方向で互いに逆向きである。即ち、フィン３４は、フィンの並び方向で隣接するスリットの形状が相違する。すなわち、フィンの並び方向で隣接するＶ字状のスリットは、スリットのＶ字の先端のフィン長手方向の位置がずれている。このことは、金属板１３４を折り曲げてフィンを作る際、金属板１３４の破断を防ぐことに寄与する。
【００３８】
また、直線ＣＬに沿って形状の異なる孔３９ａと孔３９ｂが互い違いに並んでいる。このことは、複数のフィン３４が、フィンの並び方向に沿って偶数番目のフィンが第１Ｖ字形状のスリット（孔３９ａ）を有しており、奇数番目のフィンが第２Ｖ字形状のスリット（孔３９ｂ）を有することを意味する。
【００３９】
図７に、製造が容易なフィンの変形例を示す。図７（Ａ）は、フィン４４の展開図を示す。図７（Ｂ）は、フィン４４の平面図を示し、図７（Ｃ）は、フィン４４の正面図を示し、図７（Ｄ）はフィン４４の側面図を示す。各図の意味は、図６と同様である。図７（Ａ）の符号４４ａ、４４ｂ、４４ｃ、４４ｄが示す範囲が夫々一つのフィンを構成する。図７のフィンでは、フィンの並び方向（直線ＣＬの方向）に沿って、大きい矩形の孔４９ａと小さい矩形の孔４９ｂが交互に並んでいる。大きい矩形の孔４９ａは谷折線Ｓ２に角が接している。この孔４９ａは、一枚の金属板１４４を折り曲げたときに、根元まで達するＶ字状のスリットを構成する。小さい矩形の孔４９ｂは、その角が谷折線Ｓ２まで達していない。それゆえ、孔４９ｂは、根元に達しないＶ字状のスリットを構成する。フィン４４は、フィンの並び方向に沿って根元まで達するＶ字状のスリット（孔４９ａ）と根元まで達しないＶ字状のスリット（孔４９ｂ）が交互に並ぶことになる。
【００４０】
図８に、製造が容易なフィンの別の変形例を示す。図８（Ａ）は、フィン５４の展開図を示す。図８（Ｂ）は、フィン５４の平面図を示し、図８（Ｃ）は、フィン５４の正面図を示し、図８（Ｄ）はフィン５４の側面図を示す。各図の意味は、図６と同様である。図８（Ａ）の符号５４ａ、５４ｂ、５４ｃ、５４ｄが示す範囲が夫々一つのフィンを構成する。符号５４ｂ〜５４ｄの範囲には、夫々、谷折線Ｓ２と角が接する矩形孔５９ａが設けられている。この孔５９ａは、一枚の金属板１５４を折り曲げたときに、根元まで達するＶ字状のスリットを構成する。符号５４ａが示す範囲だけ、他の範囲の孔５９ａよりも小さい孔５９ｂが設けられている。符号５４ａの範囲に相当する一つのフィンだけが、根元まで達しないＶ字状のスリット（孔５９ｂ）を有することになる。
【００４１】
実施例で説明した技術に関する留意点を述べる。第２実施例の冷却器２ａと、図６〜図８で示したフィンを用いた冷却器は、並び方向で隣接するフィンのスリットの形状が異なる。図５にて例示したように、そのようなスリット形状は、冷却器の性能を高める効果が期待できる。
【００４２】
また、第２実施例の冷却器２ａと、図６〜図８で示したフィンを用いた冷却器は、フィン長手方向におけるスリットの底の中央位置（Ｖ字の先端の位置）が、隣接するスリットで異なっている。さらに、第２実施例の冷却器２ａと、図６〜図８で示したフィンを用いた冷却器では、隣接するフィンのフィン長手方向におけるスリット底の中央位置（Ｖ字の先端の位置）の距離が、隣接するフィンの間隔よりも大きい。また、隣接するフィンのフィン長手方向におけるスリット底の中央位置（Ｖ字の先端の位置）の距離は、フィンの厚みの２倍以上であるとよい。
【００４３】
また、第１実施例の冷却器２は、次の特徴を有している。ノズル６の開口は、第１流路１２における冷媒流れ方向（図中のＸ軸方向）に沿って長尺である。フィン４は、その平坦面が第１流路１２における冷媒の流れ方向に垂直になるように立設している。仮にスリットが設けられていないと、冷媒は、第１流路１２からノズル６を通過しフィン４の間へ直角に流れを変えることになる。スリットが設けられていると、冷媒は、第１流路１２からノズル６を通過し、フィン４のスリット９を通じてフィンを横切るようにその流れが変わる。即ちスリットは、流れの変化が緩やかとなるという効果を奏する。
【００４４】
スリットの形状の一例は、スリットの底がとがっているＶ字形状である。Ｖ字の先端はベースプレートに達している。その場合、隣接するスリットのＶ字の先端位置がフィンの長手方向で異なっているとよい。特に、複数のフィンの並び方向で偶数番目のフィンのスリット形状が第１Ｖ字形状であり、奇数番目のフィンのスリット形状が第２Ｖ字形状であり、第１Ｖ字形状と第２Ｖ字形状は、フィンの長手方向におけるＶ字の先端位置が異なっているとよい。
【００４５】
スリットは、ベースプレートに近づくにつれて幅が狭まっているればよく、スリットの底はとがっていることが好ましいが、とがっていなくてもよい。
【００４６】
説明で用いた図（特に図１と図２）では、理解を助けるために、フィンの厚みを大きく、また隣接するフィンの間の距離を大きく描いてある。実際にはフィンは薄板金属板で作られており、図よりも薄く、また、フィン間の距離も図よりも狭いことに留意されたい。
【００４７】
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【符号の説明】
【００４８】
２、２ａ：冷却器
３：ベースプレート
３ａ：おもて面
３ｂ：裏面
４、１４ａ、１４ｂ、２４ａ−２４ｄ、３４、４４、５４：フィン
４ａ：フィン上端
５：仕切板
６：ノズル
６ａ：ノズル先端
７：筐体
７ａ：天板
７ｂ：筐体内側面
８：冷媒供給口
９：スリット
１２：第１流路
１３：第２流路
１８： 冷媒排出口
１９ａ１−１９ａ３、１９ｂ１−１９ｂ３：スリット
２９ｂ−２９ｄ：スリット
３９ａ、３９ｂ、４９ａ、４９ｂ、５９ａ、５９ｂ：孔
９１：絶縁板
９２：冷却対象
１３４、１４４、１５４：金属板
Ｓ１：山折線
Ｓ２：谷折線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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