(57)【要約】【課題】ハニカム構造体の側壁および内壁を穿孔することにより流路をつなぐ接続孔を有するハニカム構造体を、焼結されたセラミック段階で、効率良く加工するハニカム構造体の製造方法を提供する。【解決手段】本発明のハニカム構造体の製造方法は、第１端面１１と第２端面１２と第１側壁２１と第２側壁２２とを有し、内壁５０によって仕切られ、第１端面１１から第２端面１２に延びる複数の流路６０を有するセラミックからなるハニカム構造体１０に対し、第１側壁２１から、複数の流路６０を結ぶ接続孔３０を穿孔する穿孔工程を有する。穿孔工程は、第１側壁２１または内壁５０と接続孔３０とが交わる輪郭線３０１に囲まれた領域を、流路６０方向に沿った縦切断ラインＬ１および縦切断ラインＬ１と交差する横切断ラインＬ２により格子状にウォータガイドレーザ法で加工する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１端面と第２端面と第１側壁と第２側壁とを有し、内壁によって仕切られ前記第１端面から前記第２端面に延びる複数の流路を有するセラミックからなるハニカム構造体に対し、前記第１側壁から、前記複数の流路を結ぶ接続孔を穿孔する穿孔工程を有するハニカム構造体の製造方法であって、
前記穿孔工程は、前記第１側壁または前記内壁と前記接続孔とが交わる輪郭線に囲まれた領域を、流路方向に沿った縦切断ラインおよび前記縦切断ラインと交差する横切断ラインにより格子状にウォータガイドレーザ法で加工することを特徴とするハニカム構造体の製造方法。
【請求項２】
前記縦切断ラインおよび横切断ラインにより切断される切りくずは、前記輪郭線の内接円より小さいことを特徴とする請求項１に記載のハニカム構造体の製造方法。
【請求項３】
前記穿孔工程において、レーザ加工の到達する流路に光拡散媒体を挿入することによりレーザ光を減衰させ、底を有する前記接続孔を形成することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のハニカム構造体の製造方法。
【請求項４】
前記光拡散媒体は、曲面を有する光透過性のある棒、失透ガラス棒、気泡を有するガラス棒または水であることを特徴とする請求項３に記載のハニカム構造体の製造方法。
【請求項５】
前記穿孔工程の後に、前記第１端面または前記第２端面に封止部を形成する封止工程を有することを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載のハニカム構造体の製造方法。
【請求項６】
前記セラミックは、炭化珪素、シリコン含浸した炭化珪素、アルミナ、コージェライト、窒化珪素、窒化アルミニウムまたはジルコニアのいずれかよりなることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載のハニカム構造体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハニカム構造体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハニカム構造体は、多数のセルが並列する複数のセル列を形成した構造体であり、集塵フィルタ、固液分離フィルタなどとして利用されている。このような用途では、外部空間と隔離された複数のセルを有するというハニカム構造体の特徴によるものであるが、ある特定の用途においては、セルの一部を意図的に破断して外部空間と連通するスリット（接続孔）を設ける場合がある。このような、スリットを備えた固液分離フィルタでは、濾過液がスリットから直接外部空間に流出するため、濾過液がセル内を移動する距離を短縮することができ、濾過の際の流動抵抗を小さくすることができる。
このような、スリット付きハニカム構造体は、例えばセラミック坏土（はいど）を押出成形し、乾燥、焼成した後、ハニカム構造体の両端面（セル開口面）のスリットを穿設すべきセル列間を結ぶように構造体外側面にけがきを行い、当該けがき部分をマイクログラインダ、ドリルなどで切削してスリットを穿設する方法がある。
或いはハニカム構造体のセル開口面からスリットを穿設すべきセル列の状態を目視しつつ、砥石などで当該セル列に沿って切り込みスリットを穿設する方法もある。
【０００３】
このような製造方法に対し、目的のセル列のみを破断するという正確、精密なスリット穿設が可能であり、かつ、大量生産に適する製造方法として、ハニカム構造体の押出成形工程において、押出されつつある成形体に対してスリット穿設部材を突出させることにより、スリットを穿設することを特徴とするスリット付きハニカム構造体の製造方法が提案されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２３２６１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前述した特許文献１に記載のハニカム構造体の製造方法においては、押出されつつある成形体に加工を施すため、変形しやすく、特に、複数層にわたる加工をする場合、形状を維持することが困難であった。
【０００６】
本発明では、前記課題を鑑み、ハニカム構造体の側壁および内壁を穿孔することにより流路をつなぐ接続孔を有するハニカム構造体を、焼結されたセラミック段階で、効率良く加工するハニカム構造体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するための本発明のハニカム構造体の製造方法は、第１端面と第２端面と第１側壁と第２側壁とを有し、内壁によって仕切られ前記第１端面から前記第２端面に延びる複数の流路を有するセラミックからなるハニカム構造体に対し、前記第１側壁から、前記複数の流路を結ぶ接続孔を穿孔する穿孔工程を有するハニカム構造体の製造方法であって、前記穿孔工程は、前記第１側壁または前記内壁と前記接続孔とが交わる輪郭線に囲まれた領域を、流路方向に沿った縦切断ラインおよび前記縦切断ラインと交差する横切断ラインにより格子状にウォータガイドレーザ法で加工する。
【０００８】
本発明のハニカム構造体の製造方法によれば、ハニカム構造体はセラミックから形成されており、第１端面と第２端面と第１側壁と第２側壁とを有し、内壁によって仕切られ第１端面から第２端面に延びる複数の流路を有する。このため、耐熱性、耐蝕性を備え、高強度であるので、高温環境下あるいは腐食性環境下など過酷な環境下でも流路を形成することができる。
【０００９】
本発明のハニカム構造体の製造方法によれば、ハニカム構造体に、第１側壁から、複数の流路を結ぶ接続孔を穿孔する。このため、従来の一方向に流路の延びたハニカム構造体とは異なり、ハニカム構造体を横切る方向に流体の流れをつくることができる。
この際に、前記穿孔工程は、前記第１側壁または前記内壁と前記接続孔とが交わる輪郭線に囲まれた領域を、流路方向に沿った縦切断ラインおよび前記縦切断ラインと交差する横切断ラインにより格子状にウォータガイドレーザ法で加工する。格子状にレーザ加工するので、切りくずは細かく分断される。さらにウォータガイドレーザ法で加工するので、使用した水によって切りくずは吹き飛ばされ、水流で導かれたレーザ光を遮る障害となりにくくすることができる。また、ウォータガイドレーザ法は、ウォータジェット中をレーザ光が全反射しながら進行していくので、ウォータジェットより外部にレーザ光が漏れにくく、ハニカム構造体の奥深くの内壁であっても容易に加工することができる。
【００１０】
本発明のハニカム構造体の製造方法は、以下の態様が望ましい。
【００１１】
（１）前記縦切断ラインおよび横切断ラインにより切断される切りくずは、前記輪郭線の内接円より小さい。
前記縦切断ラインおよび横切断ラインにより切断される切りくずは、前記輪郭線の内接円より小さいと前記各流路内に順次落下しやすくすることができる。さらに、切りくずはウォータジェットの排水とともに排出されやすくすることができる。このような工程によって第１端面と第２端面と第１側壁と第２側壁とを有し、内壁によって仕切られ前記第１端面から前記第２端面に延びる複数の流路を有するセラミックからなるハニカム構造体に対し、前記第１側壁から、前記複数の流路を結ぶ接続孔を形成することができる。
【００１２】
（２）前記穿孔工程において、レーザ加工の到達する流路に光拡散媒体を挿入することによりレーザ光を減衰させ、底を有する前記接続孔を形成する。
【００１３】
本発明のハニカム構造体の製造方法では、穿孔工程において、レーザ加工の到達する流路に光拡散媒体を挿入することによりレーザ光を減衰させる。このため、光拡散媒体より下側では、レーザ光が弱められ、加工することができず、底を有する接続孔を形成することができる。
【００１４】
（３）前記光拡散媒体は、曲面を有する光透過性のある棒、失透ガラス棒、気泡を有するガラス棒または水である。
【００１５】
例えばガラス棒などの曲面を有する光透過性のある棒、失透ガラス棒、気泡を内部に有するガラス棒、水などの光透過性のある物質は、光を吸収しにくいのでレーザ光で直接加熱されるにくい上に、曲面あるいは気泡などで光が散乱されるので、レーザ光の加工の能力を低下させることができる。
これにより、貫通させることなく接続孔の底を残して加工することができる。
【００１６】
（４）前記穿孔工程の後に、前記第１端面または前記第２端面に封止部を形成する封止工程を有する。
第１端面または第２端面封止部を設けることによって、第１端面および第２端面側からの流体の侵入を防止することができる。これにより、流路を流れる流体と接続孔を流れる流体とが直接接することを防止でき内部構造を構成することができる。
【００１７】
（５）前記セラミックは、炭化珪素、シリコン含浸した炭化珪素、アルミナ、コージェライト、窒化珪素、窒化アルミニウムまたはジルコニアのいずれかよりなる。
【００１８】
これにより、耐熱性、耐食性を備え、高強度なハニカム構造体を提供することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、前記穿孔工程は、前記第１側壁または前記内壁と前記接続孔とが交わる輪郭線に囲まれた領域を、前記流路方向に沿った縦切断ラインおよび前記縦切断ラインと交差する横切断ラインにより格子状にウォータガイドレーザ法で加工する。格子状にレーザ加工するので、切りくずは細かく分断される。さらにウォータガイドレーザ法で加工するので、使用した水によって切りくずは吹き飛ばされ、水流で導かれたレーザ光を遮る障害となりにくくすることができる。また、ウォータガイドレーザ法は、ウォータジェット中をレーザ光が全反射しながら進行していくので、ウォータジェットより外部にレーザ光が漏れにくく、ハニカム構造体の奥深くの内壁であっても容易に加工することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明のハニカム構造体の製造方法に用いるハニカム構造材料体の一例の全体斜視図である。
【図２】（Ａ）は本発明のハニカム構造体の製造方法で得られたハニカム構造体の一例を上方から見た斜視図、（Ｂ）は本発明のハニカム構造体の製造方法で得られたハニカム構造体の一例を下方から見た斜視図である。
【図３】本発明のハニカム構造体の製造方法から得られるハニカム構造体の一例の断面図であり、（Ａ）は図２（Ａ）中Ａ−Ａ’位置の断面図、（Ｂ）は図２（Ａ）中Ｂ−Ｂ’位置の断面図である。
【図４】（Ａ）および（Ｂ）はハニカム構造材料体に対する接続孔の製造方法穿孔工程の一例を示す説明図である。
【図５】深さ方向の断面が三角形である接続孔の製造方法の一例を示す説明図である。
【図６】接続孔をレーザ光によって製造する方法の一例を示す説明図であり、（Ａ）は流路内に曲面を有する光透過性のある棒が挿入されている場合、（Ｂ）は流路内に失透ガラス棒が挿入されている場合、（Ｃ）は流路内に水が入れられている場合である。
【図７】第１側壁または内壁と接続孔とが交わる輪郭線の内接円を示す平面図である。
【図８】（Ａ）および（Ｂ）は本発明の穿孔工程における縦切断ラインと横切断ラインで格子状に構成されるウォータガイドレーザ法の走査パターンの例である。
【図９】切りくずをエアブローにより排出する状態を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明のハニカム構造体の製造方法および得られるハニカム構造体について説明する。
なお、以下の説明において、特に区別する場合を除き、ハニカム構造体はハニカム構造材料体を含む。特別にハニカム構造材料体を区別する場合には、接続孔を形成する前のハニカム構造体を示す。
【００２２】
本発明のハニカム構造体の製造方法は、第１端面と第２端面と第１側壁と第２側壁とを有し、内壁によって仕切られ前記第１端面から前記第２端面に延びる複数の流路を有するセラミックからなるハニカム構造体に対し、前記第１側壁から、前記複数の流路を結ぶ接続孔を穿孔する穿孔工程を有するハニカム構造体の製造方法であって、前記穿孔工程は、前記第１側壁または前記内壁と前記接続孔とが交わる輪郭線に囲まれた領域を、流路方向に沿った縦切断ラインおよび前記縦切断ラインと交差する横切断ラインにより格子状にウォータガイドレーザ法で加工する。
【００２３】
本発明のハニカム構造体の製造方法によれば、ハニカム構造体はセラミックから形成されており、第１端面と第２端面と第１側壁と第２側壁とを有し、内壁によって仕切られ第１端面から第２端面に延びる複数の流路を有する。このため、耐熱性、耐蝕性を備え、高強度であるので、高温環境下あるいは腐食性環境下など過酷な環境下でも流路を形成することができる。
【００２４】
本発明のハニカム構造体の製造方法によれば、ハニカム構造体に、第１側壁から、複数の流路を結ぶ接続孔を穿孔する。このため、従来の一方向に流路の延びたハニカム構造体とは異なり、ハニカム構造体を横切る方向に流体の流れをつくることができる。
この際に、前記穿孔工程は、前記第１側壁または前記内壁と前記接続孔とが交わる輪郭線に囲まれた領域を、流路方向に沿った縦切断ラインおよび前記縦切断ラインと交差する横切断ラインにより格子状にウォータガイドレーザ法で加工する。格子状にレーザ加工するので、切りくずは細かく分断される。さらにウォータガイドレーザ法で加工するので、使用した水によって切りくずは吹き飛ばされ、水流で導かれたレーザ光を遮る障害となりにくくすることができる。また、ウォータガイドレーザ法は、ウォータジェット中をレーザ光が全反射しながら進行していくので、ウォータジェットより外部にレーザ光が漏れにくく、ハニカム構造体の奥深くの内壁であっても容易に加工することができる。
【００２５】
上記ハニカム構造体の形状について説明する。
接続孔を穿孔する前のハニカム構造体は一軸方向に連続する連続体である。このようなハニカム構造体は例えば押出成形によって成形される。成形後、脱脂、焼結工程を経てセラミックからなるハニカム構造体が得られる。接続孔を穿孔する前のハニカム構造体の流路の断面形状は特に限定されない。例えば四角形の格子状、六角形の連続するハニカム状（狭義のハニカム）など特に限定されない。
ハニカム構造体の第１端面および第２端面で流路が開口している。第１側壁と第２側壁は、互いに対向している。
【００２６】
ハニカム構造体に穿孔される接続孔は、形状、深さは限定されない。接続孔は、第１側壁に形成された第１の開口と、内壁に形成された第２の開口によって囲まれる空間であり、第１の開口および第２の開口は、接続孔の一部である。第２の開口は、内壁に形成されているので、１個に限定されず、複数個で接続孔を構成しても良い。
接続孔は、有底孔であっても貫通孔であっても良い。貫通孔である場合には、第２側壁にも開口を有し、第１側壁の開口から第２側壁の開口までの間に存在する内壁にも開口を有している。
【００２７】
ハニカム構造体の接続孔の輪郭線とは、第１側壁および内壁表面の接続孔の輪郭線である。第１側壁および内壁表面上の輪郭線は、互いに同一形状、相似形状、異形状であっても良い。例えば、同一形状の場合には、前記輪郭線のレーザ加工時に常に光線が平行に保たれている。例えば相似形状の場合には、レーザ加工時に、常に同一の点を通過するように光線を制御することによって得ることができる。異形状の場合には、光線の向きを変えながら加工することにより得ることができる。ウォータガイドレーザ法は、レンズを用いてレーザ光を加工点に収束させるのではなく、あらかじめ収束したレーザ光がウォータジェット中を進行していくので、レーザ光のエネルギーが収束した状態を維持することができ、奥深い孔、溝などであっても容易に加工することができる。
【００２８】
ウォータガイドレーザ法は、ウォータジェットとレーザ加工加工機を複合させた加工機であれば良く、例えば、ＳＹＮＯＶＡ社製Ｌａｓｅｒ  Ｍｉｃｒｏｊｅｔ加工機（ＳＹＮＯＶＡ社の登録商標）などが利用できる。
【００２９】
本発明のハニカム構造体の製造方法は、前記縦切断ラインおよび横切断ラインにより切断される切りくずが、前記輪郭線の内接円より小さいことが好ましい。
前記縦切断ラインおよび横切断ラインにより切断される切りくずは、前記輪郭線の内接円より小さいと前記各流路内に順次落下しやくすすることができる。さらに、前記各流路の一方から他方にエアブローを行ってもよい。エアブローをすることによって前記各流路から前記ハニカム構造体の外部に前記各切りくずを排出することができる。このような工程によって、第１端面と第２端面と第１側壁と第２側壁とを有し、内壁によって仕切られ前記第１端面から前記第２端面に延びる複数の流路を有するセラミックからなるハニカム構造体に対し、前記第１側壁から、前記複数の流路を結ぶ接続孔を形成することができる。
また、切りくずをウォータジェットの排水とともに排出し、第１端面と第２端面と第１側壁と第２側壁とを有し、内壁によって仕切られ前記第１端面から前記第２端面に延びる複数の流路を有するセラミックからなるハニカム構造体に対し、前記第１側壁から、前記複数の流路を結ぶ接続孔を形成することができる。
【００３０】
本発明のハニカム構造体の製造方法は、前記穿孔工程において、レーザ加工の到達する流路に光拡散媒体を挿入することによりレーザ光を減衰させ、底を有する前記接続孔を形成することが好ましい。
【００３１】
本発明のハニカム構造体の製造方法では、穿孔工程において、レーザ加工の到達する流路に光拡散媒体を挿入することによりレーザ光を減衰させる。このため、光拡散媒体より下側では、レーザ光が弱められ、加工することができず、底を有する接続孔を形成することができる。
【００３２】
本発明のハニカム構造体の製造方法は、前記光拡散媒体が、曲面を有する光透過性のある棒、失透ガラス棒、気泡を有するガラス棒または水であることが好ましい。
【００３３】
例えばガラス棒などの曲面を有する光透過性のある棒、失透ガラス棒、気泡を内部に有するガラス棒、水などの光透過性のある物質は、光を吸収しにくいのでレーザ光で直接加熱されるにくい上に、曲面あるいは気泡などで光が散乱されるので、レーザ光の加工の能力を低下させることができる。
これにより、貫通させることなく接続孔の底を残して加工することができる。
【００３４】
本発明のハニカム構造体の製造方法は、前記穿孔工程の後に、前記第１端面または前記第２端面に封止部を形成する封止工程を有することが好ましい。
第１端面または第２端面封止部を設けることによって、第１端面および第２端面側からの流体の侵入を防止することができる。これにより、流路を流れる流体と接続孔を流れる流体とが直接接することを防止でき内部構造を構成することができる。
封止部は、どのように形成してもよく特に限定されない。例えば、セラミック骨材と無機バインダとからなる無機ペーストを塗布し、焼結することによって封止することができる。セラミック骨材は、例えば、炭化珪素、アルミナ、アルミナ、コージェライト、窒化珪素、窒化アルミニウムまたはジルコニアなどが利用でき、特に限定されない。また、無機バインダは、特に限定されないが例えばアルミナゾル、シリカゾルなどのセラミックゾルが利用できる。
【００３５】
本発明のハニカム構造体の製造方法は、前記セラミックが、炭化珪素、シリコン含浸した炭化珪素、アルミナ、コージェライト、窒化珪素、窒化アルミニウムまたはジルコニアのいずれかよりなる。
【００３６】
これにより、耐熱性、耐食性を備え、高強度なハニカム構造体を提供することができる。
【００３７】
次に、本発明のハニカム構造体の製造方法について具体的に説明する。
図３は本発明のハニカム構造体の製造方法から得られるハニカム構造体の一例の断面図であり、（Ａ）は図２（Ａ）中Ａ−Ａ’位置の断面図、（Ｂ）は図２（Ａ）中Ｂ−Ｂ’位置の断面図である。なお、それぞれ断面図は、第1側壁２１に垂直な面である。図４（Ａ）および（Ｂ）はハニカム構造材料体に対する接続孔の製造方法穿孔工程の一例を示す説明図である。図５は深さ方向の断面が三角形である接続孔の製造方法の一例を示す説明図である。図６は接続孔をレーザ光によって製造する方法の一例を示す説明図であり、（Ａ）は流路内に曲面を有する光透過性のある棒が挿入されている場合、（Ｂ）は流路内に失透ガラス棒が挿入されている場合、（Ｃ）は流路内に水が入れられている場合である。図７は第１側壁または内壁と接続孔とが交わる輪郭線の内接円を示す平面図である。図８（Ａ）、図８（Ｂ）は、本発明の穿孔工程における縦切断ラインと横切断ラインで格子状に構成されるウォータガイドレーザ法の走査パターンの一例である。図９は、切りくずをエアブローにより排出する状態を示す説明図である。
【００３８】
次に、前述したようなハニカム構造体の製造方法について説明する。
まず、図４（Ａ）に示すように、ハニカム構造材料体１００において接続孔３０を形成する流路６０の一方（ここでは第１端面１１）から他方（ここでは第２端面１２）にウォータガイドレーザー法で加工する。
すなわち、ウォータジェットＷＪは、第１端面１１における図１（Ａ）中左側から１列目、３列目、５列目および７列目に流入させる。
【００３９】
このとき、図４（Ａ）および図４（Ｂ）に示すように、各流路６０のうちの一部（例えば最下段の流路）に光拡散媒体９０を挿入することによりレーザ光ＬＢを減衰させる。これにより、光拡散媒体９０を挿入した流路６０におけるレーザ光ＬＢの発光源から遠い側の内壁５０に開口を形成しないようにして、底５１を有する接続孔３０を形成する。ここでは、第２側壁２２が底５１となる。
【００４０】
なお、図５に示すように、三角柱形状の領域Ｒ１、Ｒ２を形成する場合には、光拡散媒体９０を挿入する深さを流路毎に変えるとともに、レーザ加工機８０を流路６０に沿って矢印方向へ移動させることにより形成することができる。
光拡散媒体９０としては、以下のものが適用できる。
図６（Ａ）は、光拡散媒体９０として曲面を有するガラス棒９１（ここでは、例えば丸棒）を用いた場合であり、ガラスの凸面によるレーザ光ＬＢの拡散によってレーザ光ＬＢを遮断することができる。
図６（Ｂ）は、光拡散媒体９０として気泡を有する失透ガラス棒９２を用いた説明図であり、ガラス内部の乱反射によってレーザ光ＬＢを拡散させレーザ光ＬＢを遮断することができる。
図６（Ｃ）は、光拡散媒体９０として気泡を有する水９３を用いた説明図であり、加工による熱、水の乱流によって発生した気泡の乱反射によってレーザ光ＬＢを拡散させレーザ光ＬＢを遮断することができる。
【００４１】
図７（Ａ）および図７（Ｂ）に示すように、レーザ光ＬＢによる切断に当たっては、第１側壁２１または内壁５０と、接続孔３０とが交わる輪郭線３０１に囲まれた領域（第１の開口３１または第２の開口３２）を、流路６０方向に沿った縦切断ラインＬ１および縦切断ラインＬ１と交差する横切断ラインＬ２により格子状にウォータガイドレーザ法で加工する。
【００４２】
図８（Ａ）には、第１の開口３１の切除方法の一例が示されている。
第１の開口３１の長手方向に沿った外形線３４５と、第１の開口３１を幅方向に二分割する１本の直線状の貫通溝３４６（縦切断ライン）を設ける。このように平行な外形線３４５、貫通溝３４６を先に設けるので、この時点では切りくず３３が発生しない。
そして、第１の開口３１の幅一杯に複数の横方向の貫通溝３４７（横切断ライン）を設ける。このとき、切りくず３３の対角線は、輪郭線３０１の内接円Ｒ（図７参照）より小さくする。
横方向の貫通溝３４７は、レーザ加工機８０を移動させることにより連続して形成できる。この結果、レーザ加工機８０の移動に従って順次切りくず３３が発生する。切り出された切りくず３３の大きさは、いずれも第１の開口３１の長さおよび幅よりも小さなサイズとなるので、第１の開口３１から、底５１または流路６０に落下する。
【００４３】
また、図８（Ｂ）には、第１の開口３１の切除方法の別の例が示されている。
すなわち、第１の開口３１の長手方向に沿った外形線３４５と、第１の開口３１を幅方向に二分割する１本の直線状の貫通溝３４６（縦切断ライン）を設ける。このように平行な外形線３４５、貫通溝３４６を先に設けるので、この時点では切りくず３３が発生しない。
そして、第１の開口３１の幅一杯に複数のＶ字形状の貫通溝３４７を設ける。このときの台形の切りくずの対角線は、前記輪郭線の内接円Ｒよりも小さくする。
Ｖ字形状の貫通溝３４７は、レーザ加工機８０を移動させることにより連続して形成できる。この結果、レーザ加工機８０の移動に従って順次切りくず３３が発生する。切り出された切りくず３３の大きさは、いずれも第１の開口３１の長さおよび幅よりも小さなサイズとなるので、第１の開口３１から、底５１または流路６０に落下する。
【００４４】
必須ではないがレーザ光ＬＢによる切除が終了したら、ウォータジェットＷＪを停止してから、各流路６０の一方（例えば第１端面１１）から他方（例えば第２端面１２）にエアブローＡＢを行うことが望ましい。また、振動、衝撃を与え、切りくずを落下させることもできる。
図９に示すように、エアブローＡＢを行うのは第１の開口３１および第２の開口３２を形成した列の流路６０であり、ウォータジェットＷＪを流入させた流路６０と同じ流路６０である。前述したように、切りくず３３は第１の開口３１の幅よりも小さく形成されているので、流路６０の内接円Ｒよりも小さくなっており、流路６０内を容易に移動することができる。
【００４５】
これにより、第１の開口３１を切り抜いた後の切りくず３３は、流路６０を通ってハニカム構造材料体１００の外部に容易に排出される。図９に示すように、切りくず３３のほとんどは第２端面１２から排出される。なお、形成した第１の開口３１の三角柱形状の領域Ｒ１から上方へ排出される切りくず３３もある。
なお、第２端面１２側の接続孔３０を形成する際には、既に第１端面１１側の接続孔３０（領域Ｒ１）が形成されているので、切りくず３３は、領域Ｒ１からも排出される。
【００４６】
接続孔３０を形成した後、ハニカム構造材料体１００における第１の開口３１または第２の開口３２を有する各流路６０における第１端面１１および第２端面１２にそれぞれ封止部７０を形成する。すなわち、封止部７０は、ハニカム構造材料体１００の第１端面１１における図１（Ａ）中左側から１列目、３列目、５列目および７列目および第２端面１２において対応する位置に設けられている。
これにより、ハニカム構造体１０が製造される。
【００４７】
次に本発明のハニカム構造体の製造方法から得られるハニカム構造体について、図を用いて具体的に説明する。
図１は、本発明のハニカム構造体の製造方法に用いるハニカム構造材料体の一例の全体斜視図である。図２（Ａ）は、本発明のハニカム構造体の製造方法で得られたハニカム構造体の一例を上方から見た斜視図、図２（Ａ）は、本発明のハニカム構造体の製造方法に用いるハニカム構造体の一例を下方から見た斜視図である。図３は本発明のハニカム構造体の製造方法から得られるハニカム構造体の断面図であり、（Ａ）は図２（Ａ）中Ａ−Ａ’位置の断面図、（Ｂ）は図２（Ａ）中Ｂ−Ｂ’位置の断面図であり、それぞれ断面図は、第1側壁２１に垂直な面である。
【００４８】
図１および図２に示すように、本発明のハニカム構造体１０（図２（Ａ）および図２（Ｂ）参照）を製造するためのハニカム構造材料体１００は、炭化珪素、シリコン含浸した炭化珪素、アルミナ、コージェライト、窒化珪素、窒化アルミニウムまたはジルコニアのいずれかよりなるセラミック製である。
ハニカム構造材料体１００は、第１側壁２１および第２側壁２２を有し、例えば断面矩形状の柱状部材である。ハニカム構造材料体１００の断面は、内壁５０によって仕切られ、長手方向一方の端面である第１端面１１から他方の端面である第２端面１２に延びる開口形状が矩形である流路６０を複数有する。ハニカム構造材料体１００には、例えば、８列×８行の６４の流路６０が設けられている。
なお、以下の説明において、特に区別する場合を除き、ハニカム構造体１０はハニカム構造材料体１００も含む。
【００４９】
ハニカム構造体１０は、ハニカム構造材料体１００の第１側壁２１における第１端面１１側および第２側壁２２における第２端面１２側に第１の開口３１を設け、第１の開口３１の内側に対向する内壁５０に第２の開口３２を設けて製造される。第１の開口３１は、第１端面１１または第２端面１２から長手方向内側にスリット状に設けられた長方形の開口（スリット）である。
また、第２の開口３２は、第１の開口３１に対向する内壁５０において長手方向にスリット状に設けられた長方形の開口（スリット）である（図３（Ａ）参照）。
【００５０】
第１の開口３１は、第１端面１１における図１中左側から１列目、３列目、５列目および７列目に設けられている。第２の開口３２は、第１の開口３１と同じ列の内壁５０に設けられている（図３（Ａ）参照）。
また、第１の開口３１および第２の開口３２が設けられている第１端面１１および第２端面１２には、封止部７０が設けられている（図２（Ａ）および（Ｂ）参照）。
図３（Ａ）に示すように、第２の開口３２は、第１側壁２１から第２側壁２２側に向かうにつれて短く形成されており、三角柱形状の領域Ｒ１が形成されている。また、第２端面１２側では、第２側壁２２に開口する三角形状の領域Ｒ２が形成されている。
【００５１】
第１端面１１側の領域Ｒ１と第２端面１２側の領域Ｒ２とは、流路６０によって接続されており、クランク状の接続孔３０を構成する。
なお、図３（Ｂ）に示すように、接続孔３０が設けられていない断面では、流体は、流路６０を通って第１端面１１から第２端面１２に直線状に流れる。
【００５２】
本発明のハニカム構造体の製造方法は、前述した各実施形態に限定されるものでなく、適宜な変形、改良などが可能である。
前述した実施形態においては、切りくず３３をエアブローＡＢにより流路６０から排出する場合を例示したが、この他、振動、衝撃落下させる、切りくず３３を直接把持して取り出すなどの方法を利用することも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明のハニカム構造体の製造方法は、スリットを有するハニカム構造体の製造に用いることができる。
【符号の説明】
【００５４】
１０  ハニカム構造体
１１  第１端面
１２  第２端面
２１  第１側壁
２２  第２側壁
３０  接続孔
３０１  輪郭線
３３  切りくず
５０  内壁
５１  底
６０  流路
７０  封止部
９０  光拡散媒体
９１  ガラス棒（棒）
９２  失透ガラス棒
９３  水
Ｌ１  縦切断ライン
Ｌ２  横切断ライン
ＬＢ  レーザ光
Ｒ  内接円
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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