(57)【要約】【課題】印字安定性の優れた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】吐出チャネルがＸ方向に並設されたチャネル列を有するアクチュエータプレートと、吐出チャネルにＹ方向の一端部でまとめて連通する入口側共通インク室、及び吐出チャネルにＹ方向の他端部でまとめて連通する出口側共通インク室を有し、アクチュエータプレートに積層されたカバープレートと、カバープレートに積層されるとともに、Ｘ方向に長い流路部材５４と、を備え、流路部材５４は、入口側共通インク室内に連通するとともに、撓み変形可能な入口側圧力緩衝部９３と、出口側共通インク室内に連通するとともに、撓み変形可能な出口側圧力緩衝部９９と、を有し、各圧力緩衝部９３，９９は、Ｘ方向に並んで配設されていることを特徴とする。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１方向に沿って延びるチャネルが第１方向に直交する第２方向に並設されたチャネル列を有するアクチュエータプレートと、
複数の前記チャネルに第１方向の一端部でまとめて連通する第１共通液体室、及び前記複数のチャネルに第１方向の他端部でまとめて連通する第２共通液体室を有し、前記アクチュエータプレートに積層されたカバープレートと、
前記カバープレートに積層されるとともに、第２方向に長い流路部材と、を備え、
前記流路部材は、
前記第１共通液体室内に連通するとともに、撓み変形可能な第１圧力緩衝部と、
前記第２共通液体室内に連通するとともに、撓み変形可能な第２圧力緩衝部と、を有し、
前記第１圧力緩衝部及び前記第２圧力緩衝部は、第２方向に並んで配設されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記第１圧力緩衝部は、第１連通路を通して前記第１共通液体室における第２方向の中央部で連通し、
前記第２圧力緩衝部は、第２連通路を通して前記第２共通液体室における第２方向の中央部で連通していることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記第１連通路及び前記第２連通路は、開口面積がそれぞれ同等になっていることを特徴とする請求項２記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記第１圧力緩衝部及び前記第２圧力緩衝部は、容積が同等になっていることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記チャネル内には、前記第１圧力緩衝部及び前記第１共通液体室を通して液体が流入し、前記第２共通液体室及び前記第２圧力緩衝部を通して液体が排出されることを特徴とする請求項１から請求項４の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記第１圧力緩衝部及び前記第２圧力緩衝部間には、両者を仕切る仕切壁が設けられ、
前記仕切壁には、前記第１圧力緩衝部内及び前記第２圧力緩衝部内を連通させるとともに、前記第１圧力緩衝部内及び前記第１共通液体室内を連通させる第１連通路、及び第２圧力緩衝部内及び前記第２共通液体室内を連通させる第２連通路よりも流路断面積が小さいバイパス路が形成されていることを特徴とする請求項５記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
請求項１から請求項６の何れか１項に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、を備えていることを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、記録紙（被記録媒体）に液滴状のインクを吐出して、記録紙に画像や文字を記録する装置として、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）を備えたインクジェットプリンタ（液体噴射装置）がある。
一般に、インクジェットヘッドは、複数のノズル孔からなるノズル列を有するノズルプレートと、ノズル孔に連通する複数のチャネルを有するアクチュエータプレートと、各チャネルにまとめて連通する共通インク室を有するカバープレートと、を備えている。この構成によれば、チャネル内を収縮させてチャネル内の圧力を上昇させることで、チャネル内のインクをノズル孔から吐出させ、記録紙に対してインクを付着させるようになっている。
【０００３】
しかしながら、上述したインクジェットヘッドにおいては、例えばインク吐出時等に発生するチャネル内の圧力変動が共通インク室や、共通インク室を介して他のチャネル等に圧力波となって伝播し、吐出性能（印字安定性）に影響が及ぶという問題がある。具体的には、チャネルを駆動した際に発生した圧力波は共通インク室に伝播し、その他のチャネル内で吐出のために発生させる圧力波の共振周波数以外の周波数成分として吐出に対する影響を与え、速度が低下または上昇する等の影響がある。これと同時に液滴サイズも低下したり増加したりするため、記録紙に対する画質に影響を及ぼす。また、上述した圧力変動は、単位時間あたりの吐出量が多くなったり、液滴サイズが大きくなったりするに従い大きくなる。
【０００４】
そこで、例えば下記特許文献１には、チャネルにおける延在方向一端部にノズル孔が配設されるとともに、延在方向他端部に配設された共通インク室からチャネル内にインクが供給される、いわゆるエッジシュートタイプのヘッドチップにおいて、共通インク室内での圧力変動を緩衝するために、厚さの薄い圧力変動緩衝部分を共通インク室に形成する構成が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−１４６１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上述したインクジェットヘッドのうち、チャネルの延在方向中間部にノズル孔を連通させる、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッドにおいては、チャネルの延在方向両端部で共通インク室にそれぞれ連通することになる。
しかしながら、上述した特許文献１の構成にあっては、チャネルの他端部のみにしか圧力変動緩衝部分が配設されていないため、上述したサイドシュートタイプのインクジェットヘッドに採用した場合に、チャネル内で発生する圧力変動を効果的に抑制することが難しい。
【０００７】
この場合、ノズル孔に対して一端側と他端側との圧力バランス（圧力損失の比率）が不均一となり、液体噴射ヘッド内を所望の圧力に維持することが難しい。そのため、例えばノズル孔内においてメニスカスを安定して保持させることが難しく、印字安定性が低下するおそれがある。
【０００８】
本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、印字安定性の優れた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を提供する。
本発明に係る液体噴射ヘッドは、第１方向に沿って延びるチャネルが第１方向に直交する第２方向に並設されたチャネル列を有するアクチュエータプレートと、複数の前記チャネルに第１方向の一端部でまとめて連通する第１共通液体室、及び前記複数のチャネルに第１方向の他端部でまとめて連通する第２共通液体室を有し、前記アクチュエータプレートに積層されたカバープレートと、前記カバープレートに積層されるとともに、第２方向に長い流路部材と、を備え、前記流路部材は、前記第１共通液体室内に連通するとともに、撓み変形可能な第１圧力緩衝部と、前記第２共通液体室内に連通するとともに、撓み変形可能な第２圧力緩衝部と、を有し、前記第１圧力緩衝部及び前記第２圧力緩衝部は、第２方向に並んで配設されていることを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、液体噴射ヘッド内等で発生する圧力変動に応じて、圧力緩衝部が撓み変形することで、圧力変動を緩衝することができる。この場合、各共通液体室にそれぞれ圧力緩衝部が連通しているため、液体噴射ヘッド内の圧力変動を効果的に緩衝することができる。
しかも、第１圧力緩衝部及び第２圧力緩衝部が第２方向に並んで配設されているため、仮に圧力緩衝部を第１方向に並んで配設する場合に比べて各圧力緩衝部における第１方向の幅を確保することができる。これにより、圧力緩衝部を撓み変形させ易くなり、圧力緩衝効果をより高めることが可能となる。その結果、チャネルに対して第１圧力緩衝部側及び第２圧力緩衝部側での圧力バランス（圧力損失の比率）を均等に保持することができ、液体噴射ヘッド内を所望の圧力に維持し易くなる。この場合、液体噴射ヘッド内の圧力中心を、チャネルにおける第１方向の中央部で連通する噴射孔近傍に設定できるので、メニスカスを安定して保持することができ、液体を安定して噴射させることができる。
【００１１】
また、前記第１圧力緩衝部は、第１連通路を通して前記第１共通液体室における第２方向の中央部で連通し、前記第２圧力緩衝部は、第２連通路を通して前記第２共通液体室における第２方向の中央部で連通していてもよい。
この構成によれば、第１連通路及び第２連通路が各共通液体室における第２方向の中央部でそれぞれ連通しているため、例えば各連通路が第２方向の片側で各共通液体室に連通する構成に比べて、各チャネルのうち、各連通路から最も離間するチャネルと、連通路と、の第２方向の距離を短縮（半減）できる。これにより、全チャネル間での圧力差を低減（半減）させることができる。
【００１２】
また、前記第１連通路及び前記第２連通路は、開口面積がそれぞれ同等になっていてもよい。
この構成によれば、連通路を通過する際の圧力損失の差を低減でき、流路部材内で液体をスムーズに流通させることができる。
【００１３】
また、前記第１圧力緩衝部及び前記第２圧力緩衝部は、容積が同等になっていてもよい。
この構成によれば、各圧力緩衝部内の容積が同等になっているため、両者の圧力緩衝効果を同等とすることができる。その結果、チャネルに対して第１圧力緩衝部側及び第２圧力緩衝部側での圧力バランスをより均等に保持することができる。
【００１４】
また、前記チャネル内には、前記第１圧力緩衝部及び前記第１共通液体室を通して液体が流入し、前記第２共通液体室及び前記第２圧力緩衝部を通して液体が排出されてもよい。
この構成によれば、循環式の液体噴射ヘッドに採用することで、チャネルに対して上流側（第１共通液体室側）の正圧と、下流側（第２共通液体室側）の負圧と、の圧力バランスを均等に保持することができる。
【００１５】
また、前記第１圧力緩衝部及び前記第２圧力緩衝部間には、両者を仕切る仕切壁が設けられ、前記仕切壁には、前記第１圧力緩衝部内及び前記第２圧力緩衝部内を連通させるとともに、前記第１圧力緩衝部内及び前記第１共通液体室内を連通させる第１連通路、及び第２圧力緩衝部内及び前記第２共通液体室内を連通させる第２連通路よりも流路断面積が小さいバイパス路が形成されていてもよい。
この構成によれば、バイパス路を通した液体の流通を抑制した上で、各圧力緩衝部間で気泡を流通させることができる。この場合、第１圧力緩衝部内の気泡がチャネルを迂回して第２圧力緩衝部内に排出されることになる。これにより、チャネル内で気泡の滞留を抑制し、噴射不良が発生するのを抑制できる。
【００１６】
本発明に係る液体噴射装置は、上記本発明に係る液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、を備えていることを特徴としている。
この構成によれば、上記本発明に係る液体噴射ヘッドを備えているため、印字安定性の優れた液体噴射装置を提供できる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、印字安定性の優れた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】インクジェットプリンタの概略構成図である。
【図２】インクジェットヘッド及びインク循環手段の概略構成図である。
【図３】インクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図４】ノズルプレートを取り外した状態におけるインクジェットヘッドの底面図である。
【図５】図４のＶ−Ｖ線に相当する断面図である。
【図６】図７のＶＩ−ＶＩ線に相当する断面図である。
【図７】流路部材をＺ方向の一端側から見た平面図である。
【図８】流路部材をＺ方向の他端側から見た平面図である。
【図９】流路部材をＺ方向の一端側から見た斜視図である。
【図１０】流路部材をＺ方向の他端側から見た斜視図である。
【図１１】実施形態の他の構成を示す流路部材をＺ方向の他端側から見た平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明に係る実施形態について図面を参照して説明する。以下の実施形態では、本発明の液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置の一例として、インク（液体）を利用して記録紙に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）を例に挙げて説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００２０】
（第１実施形態）
［プリンタ］
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すように、本実施形態のプリンタ１は、紙等の記録紙（被記録媒体）Ｐを搬送する一対の搬送手段（移動機構）２，３と、インクが収容されたインクタンク４と、記録紙Ｐに液滴状のインクを吐出するインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）５と、インクタンク４とインクジェットヘッド５との間でインクを循環させるインク循環手段６と、インクジェットヘッド５を記録紙Ｐの搬送方向（以下、Ｘ方向とする）と直交する方向（記録紙Ｐの幅方向、以下、Ｙ方向とする）に走査させる走査手段（移動機構）７と、を備えている。なお、図中Ｚ方向はＸ方向及びＹ方向と直交する高さ方向を示す。
【００２１】
搬送手段２は、Ｙ方向に延設されたグリッドローラ１１と、グリッドローラ１１に平行に延設されたピンチローラ１２と、グリッドローラ１１を軸回転させるモータ等の駆動機構（不図示）と、を備えている。同様に、搬送手段３は、Ｙ方向に延設されたグリッドローラ１３と、グリッドローラ１３に平行に延設されたピンチローラ１４と、グリッドローラ１３を軸回転させる駆動機構（不図示）と、を備えている。
【００２２】
インクタンク４は、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクのインクタンク４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４ＢがＸ方向に並んで設けられている。
【００２３】
図２はインクジェットヘッド５及びインク循環手段６の概略構成図である。
図１、図２に示すように、インク循環手段６は、インクジェットヘッド５にインクを供給するインク供給管２１、及びインクジェットヘッド５からインクを排出するインク排出管２２を有する循環流路２３と、インク供給管２１に接続された加圧ポンプ２４と、インク排出管２２に接続された吸引ポンプ２５と、を備えている。なお、インク供給管２１及びインク排出管２２は、インクジェットヘッド５を支持する走査手段７の動作に対応可能な可撓性を有するフレキシブルホースからなる。
【００２４】
加圧ポンプ２４は、インク供給管２１内を加圧し、インク供給管２１を介してインクジェットヘッド５の後述する入口側共通インク室９０（図３参照）にインクを送り出している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク供給管２１側は正圧となっている。
吸引ポンプ２５は、インク排出管２２内を減圧し、インクジェットヘッド５の後述する出口側共通インク室９１ａ，９１ｂ（図３参照）からインクを吸引している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク排出管２２側は負圧となっている。そして、インクは、加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５の駆動により、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間を、循環流路２３を介して循環可能となっている。
【００２５】
図１に示すように、走査手段７は、Ｙ方向に延設された一対のガイドレール３１，３２と、一対のガイドレール３１，３２に移動可能に支持されたキャリッジ３３と、キャリッジ３３をＹ方向に移動させる駆動機構３４と、を備えている。駆動機構３４は、一対のガイドレール３１，３２の間に配設された一対のプーリ３５，３６と、一対のプーリ３５，３６間に巻回された無端ベルト３７と、一方のプーリ３５を回転駆動させる駆動モータ３８と、を備えている。
【００２６】
一対のプーリ３５，３６は、一対のガイドレール３１，３２の両端部間にそれぞれ配設される。無端ベルト３７は、一対のガイドレール３１，３２間に配設され、この無端ベルト３７にキャリッジ３３が連結される。キャリッジ３３には、複数のインクジェットヘッド５として、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクのインクジェットヘッド５Ｙ，５Ｍ，５Ｃ，５ＢがＹ方向に並んで搭載される。なお、上述した搬送手段２，３及び走査手段７により、インクジェットヘッド５と記録紙Ｐとを相対的に移動させる移動機構を構成している。
【００２７】
＜インクジェットヘッド＞
次に、上述したインクジェットヘッド５について詳述する。なお、インクジェットヘッド５Ｙ，５Ｍ，５Ｃ，５Ｂは、供給されるインクの色以外は何れも同一の構成からなるため、以下の説明では、まとめてインクジェットヘッド５として説明する。
図３はインクジェットヘッド５の分解斜視図、図４はノズルプレート５１を取り外した状態におけるインクジェットヘッド５の底面図である。
図３、図４に示すように、各インクジェットヘッド５は、後述する吐出チャネル７１における延在方向（Ｙ方向（第１方向））の中央部からインクを吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのうち、インクタンク４との間でインクを循環させる循環式のインクジェットヘッド５である。また、本実施形態のインクジェットヘッド５は、複数のノズル孔（噴射孔）８５，８６からなるノズル列８７，８８が二列に亘って形成された二列タイプのインクジェットヘッド５である。
【００２８】
インクジェットヘッド５は、ノズルプレート５１、アクチュエータプレート５２、カバープレート５３、及び流路部材５４を主に備えている。そして、インクジェットヘッド５は、これらノズルプレート５１、アクチュエータプレート５２、カバープレート５３、及び流路部材５４がこの順で接着剤等によりＺ方向に積層された構成とされている。なお、以下の説明では、上述したＺ方向のうち、ノズルプレート５１側（図３における下側）を一端側、流路部材５４側（図３における上側）を他端側として説明する。
【００２９】
＜アクチュエータプレート＞
図５は図４のＶ−Ｖ線に相当する断面図、図６は図７のＶＩ−ＶＩ線に相当する断面図である。
図５、図６に示すように、アクチュエータプレート５２は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成され、その分極方向が厚さ方向（Ｚ方向）に沿って一方向に設定されている。このアクチュエータプレート５２には、Ｘ方向（第２方向）に間隔をあけて並設された複数のチャネル７１，７２からなるチャネル列（第１チャネル列６３及び第２チャネル列６４）が２列配設されている。なお、以下の説明では、主に第１チャネル列６３について説明し、第２チャネル列６４における第１チャネル列６３と対応する箇所には同一の符号を付して説明を省略する。
【００３０】
第１チャネル列６３は、Ｙ方向に沿って延在する複数のチャネル７１，７２が、Ｘ方向に間隔をあけて互いに平行に並んで構成されている。すなわち、各チャネル７１，７２は、Ｙ方向に直線状、かつＸ方向に等間隔に形成されるとともに、圧電体（アクチュエータプレート５２）からなる駆動壁６５によってそれぞれ画成されている。
【００３１】
具体的に、複数のチャネル７１，７２は、インクが充填される吐出チャネル（チャネル）７１と、インクが充填されないダミーチャネル７２と、を有している。そして、これら吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２は、Ｘ方向で交互に並んで配列されている。
図３、図６に示すように、吐出チャネル７１は、Ｘ方向から見た側面視において、Ｚ方向の一端側に向けて凸の湾曲形状を呈している。具体的に、吐出チャネル７１は、Ｙ方向の両端部から中央部に向かうに従いＺ方向の一端側に向けて湾曲しながら延びる切り上がり部６６と、各切り上がり部６６間に位置する中間部６７と、を有している。吐出チャネル７１は、中間部６７を通してアクチュエータプレート５２におけるＺ方向の一端側に位置する第１主面５２ａ上に開口し、切り上がり部６６及び中間部６７を通してＺ方向の他端側に位置する第２主面５２ｂ上に開口している。すなわち、アクチュエータプレート５２において、吐出チャネル７１の中間部６７に位置する部分は、Ｚ方向に貫通している。
【００３２】
ダミーチャネル７２は、Ｘ方向から見た側面視において、Ｚ方向の他端側に向けて凸の湾曲形状を呈している。すなわち、ダミーチャネル７２は、吐出チャネル７１に対してＺ方向に反転した形状になっている。具体的に、ダミーチャネル７２は、Ｙ方向の両端部から中央部に向かうに従いＺ方向の他端側に向けて湾曲しながら延びる切り上がり部６８と、各切り上がり部６８間に位置する中間部６９と、を有している。ダミーチャネル７２は、切り上がり部６８及び中間部６９を通してアクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上に開口し、中間部６９を通してアクチュエータプレート５２の第２主面５２ｂ上に開口している。すなわち、アクチュエータプレート５２において、ダミーチャネル７２の中間部６９に位置する部分は、Ｚ方向に貫通している。
【００３３】
したがって、吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２は、アクチュエータプレート５２における両主面５２ａ，５２ｂ上でのＹ方向における開口長がそれぞれ異なっている。第１チャネル列６３は、図４に示すように、第１主面５２ａ上においてダミーチャネル７２の開口長が吐出チャネル７１の開口長よりも長くなり、図３に示すように、第２主面５２ｂ上において吐出チャネル７１の開口長がダミーチャネル７２の開口長よりも長くなっている。この場合、図４に示すように、第１主面５２ａ上ではダミーチャネル７２が両切り上がり部６８の長さ分だけ吐出チャネル７１よりもＹ方向の両側に突出している。また、図３に示すように、第２主面５２ｂ上では、吐出チャネル７１が両切り上がり部６６の長さ分だけダミーチャネル７２よりもＹ方向の両側に突出している。
【００３４】
また、図６に示すように、アクチュエータプレート５２の後述する第１尾部７０Ａのうち、ダミーチャネル７２に対してＹ方向の外側（一端側）に位置する部分には、浅溝部７７が形成されている。浅溝部７７は、Ｙ方向の内側端部がダミーチャネル７２内に連通し、Ｙ方向の外側端部がアクチュエータプレート５２のＹ方向における外側端面で開口している。
【００３５】
図３、図４に示すように、第２チャネル列６４は、上述した第１チャネル列６３と同様に吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２が交互に並設されてなり、第１チャネル列６３に対してＹ方向に間隔をあけて配設されている。具体的に、第２チャネル列６４の吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２は、第１チャネル列６３の吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２の配列ピッチに対して半ピッチずれて配列されている。したがって、本実施形態のインクジェットヘッド５では、第１チャネル列６３及び第２チャネル列６４の吐出チャネル７１同士、並びに第１チャネル列６３及び第２チャネル列６４のダミーチャネル７２同士が千鳥状（互い違い）に配置されている。すなわち、隣り合うチャネル列６３，６４間において、吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２同士がＹ方向で対向している。なお、アクチュエータプレート５２のうち、Ｙ方向の両端部（各チャネル列６３，６４に対してＹ方向の外側に位置する部分はそれぞれ尾部（第１尾部７０Ａ及び第２尾部７０Ｂ）を構成している。
【００３６】
ここで、図３、図６に示すように、隣り合うチャネル列６３，６４間において、Ｙ方向で対向する吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２は、Ｙ方向の内側端部同士がＺ方向で重なり合う位置に相互に近接配置されている。具体的に、Ｙ方向で対向する第１チャネル列６３の吐出チャネル７１及び第２チャネル列６４のダミーチャネル７２は、Ｙ方向の内側に位置する切り上がり部６６，６８の一部同士がＺ方向で重なり合っている。一方、Ｙ方向で対向する第１チャネル列６３のダミーチャネル７２及び第２チャネル列６４の吐出チャネル７１は、Ｙ方向の内側に位置する切り上がり部６８，６６の一部同士がＺ方向で重なり合っている。
【００３７】
図３〜図６に示すように、アクチュエータプレート５２の駆動壁６５のうち、各吐出チャネル７１に面する内側面（吐出チャネル７１の内面のうち、Ｙ方向で対向する面）には、共通電極７３がそれぞれ形成されている。これら共通電極７３は、Ｚ方向における幅が吐出チャネル７１の半分程度とされ、各吐出チャネル７１の内側面において、Ｚ方向の一端縁から中間部分に至る範囲に形成されている。なお、共通電極７３は、Ｙ方向における長さが吐出チャネル７１の中間部６７と同等（第１主面５２ａ上における吐出チャネル７１の開口長と同等）とされている。
【００３８】
図４、図６に示すように、アクチュエータプレート５２における第１主面５２ａ上の尾部７０Ａ，７０Ｂには、共通電極７３と、後述するフレキシブルプリント基板８０，８１と、を電気的に接続する複数の共通配線７４が形成されている。共通配線７４は、Ｙ方向に沿って互いに平行に延在する帯状とされ、そのＹ方向の内側端部が吐出チャネル７１の共通電極７３に接続されるとともに、吐出チャネル７１に対してＹ方向の外側に向けて引き出されている。
【００３９】
また、図３、図５、図６に示すように、アクチュエータプレート５２の駆動壁６５のうち、各ダミーチャネル７２に面する内側面には、個別電極７５が形成されている。これら個別電極７５は、Ｚ方向における幅がダミーチャネル７２の半分程度とされ、各ダミーチャネル７２の内側面において、Ｚ方向の一端縁から中間部分に至る範囲に形成されている。この場合、各個別電極７５のうち、同一のダミーチャネル７２内で対向する個別電極７５同士は互いに電気的に分離されている。なお、個別電極７５は、浅溝部７７の内側面にも連なっている。
一方、吐出チャネル７１を挟んで対向する個別電極７５同士は、尾部７０Ａ，７０Ｂにおいて、共通配線７４よりもＹ方向の外側に位置する個別配線７６を介して電気的に接続されている。
【００４０】
図４に示すように、アクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上において、第１尾部７０Ａには、第１チャネル列６３側の各配線７４，７６に接続される第１フレキシブルプリント基板８０が圧着されている。一方、第２尾部７０Ｂには、第２チャネル列６４側の各配線７４，７６に接続される第２フレキシブルプリント基板８１が圧着されている。
【００４１】
＜ノズルプレート＞
図３に示すように、ノズルプレート５１は、厚みが５０μｍ程度のポリイミド等のフィルム材からなり、アクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上に接着されている。なお、ノズルプレート５１は、Ｙ方向における幅がアクチュエータプレート５２よりも狭くなっており、アクチュエータプレート５２におけるＹ方向の外側端部（尾部７０Ａ，７０Ｂ）を露出させている。そして、アクチュエータプレート５２のうち、ノズルプレート５１から露出した部分に上述したフレキシブルプリント基板８０，８１がそれぞれ圧着されている。
【００４２】
ノズルプレート５１には、Ｘ方向に間隔をあけて並設された複数のノズル孔（第１ノズル孔８５及び第２ノズル孔８６）からなるノズル列（第１ノズル列８７及び第２ノズル列８８）が２列配設されている。
【００４３】
第１ノズル列８７は、ノズルプレート５１をＺ方向に貫通する複数の第１ノズル孔８５を有し、これら第１ノズル孔８５がＸ方向に間隔をあけて一直線上に並んで構成されている。これら第１ノズル孔８５は、上述した第１チャネル列６３の吐出チャネル７１内に連通している。
第２ノズル列８８は、ノズルプレート５１をＺ方向に貫通する複数の第２ノズル孔８６を有し、上述した第１ノズル列８７と平行に配設されている。各第２ノズル孔８６は、上述した第２チャネル列６４の吐出チャネル７１内に連通している。したがって、各ダミーチャネル７２は、ノズル孔８５，８６には連通しておらず、ノズルプレート５１によりＺ方向の一端側から覆われている。
【００４４】
＜カバープレート＞
図３に示すように、カバープレート５３は、各チャネル列６３，６４を閉塞するようにアクチュエータプレート５２の第２主面５２ｂ上に接着された板状とされている。
図３、図６に示すように、カバープレート５３には、入口側共通インク室９０及び出口側共通インク室（第１出口側共通インク室９１ａ、及び第２出口側共通インク室９１ｂ）が形成されている。
【００４５】
入口側共通インク室９０は、カバープレート５３をＸ方向に沿って延びるスリットとされている。入口側共通インク室９０は、各チャネル列６３，６４の吐出チャネル７１におけるＹ方向の内側端部同士とＺ方向で対向し、各吐出チャネル７１内にまとめて連通している。
【００４６】
第１出口側共通インク室９１ａは、カバープレート５３をＸ方向に沿って延びるスリットとされている。第１出口側共通インク室９１ａは、第１チャネル列６３の吐出チャネル７１におけるＹ方向の外側端部とＺ方向で対向し、第１チャネル列６３の吐出チャネル７１内にまとめて連通している。
第２出口側共通インク室９１ｂは、第２チャネル列６４の吐出チャネル７１におけるＹ方向の外側端部とＺ方向で対向し、第２チャネル列６４の吐出チャネル７１内にまとめて連通している。
したがって、入口側共通インク室９０及び各出口側共通インク室９１ａ，９１ｂは、それぞれ各吐出チャネル７１に連通する一方、ダミーチャネル７２には連通していない。
【００４７】
＜流路部材＞
図７は流路部材５４をＺ方向の一端側から見た平面図であり、図８は流路部材５４をＺ方向の他端側から見た平面図である。また、図９は流路部材５４をＺ方向の一端側から見た斜視図であり、図１０は流路部材５４をＺ方向の他端側から見た斜視図である。
図６〜図１０に示すように、流路部材５４は、共通インク室９０，９１ａ，９１ｂを閉塞するように、カバープレート５３上に接着された板状の流路プレート９２と、流路プレート９２上に接着され、流路プレート９２と協働して入口側圧力緩衝部９３及び出口側圧力緩衝部９９を画成するフィルム９４と、を備えている。なお、流路プレート９２は、Ｚ方向から見た平面視でＸ方向に長い長方形状を呈している。
【００４８】
流路プレート９２は、上述したインク供給管２１が接続される導入ポート９５と、インク排出管２２が接続される導出ポート９６と、導入ポート９５及び入口側共通インク室９０間を接続するインク供給部９７と、導出ポート９６及び出口側共通インク室９１ａ，９１ｂ間を接続するインク排出部９８と、を有している。
【００４９】
導入ポート９５は、流路プレート９２のうち、Ｘ方向の一端部において、Ｙ方向の中央部に位置し、Ｚ方向に延設されている。導入ポート９５のうち、インクの流通方向に沿う上流側の開口部はＺ方向の他端側に向けて開放され、下流側の開口部はＺ方向の一端部においてＸ方向の内側に向けて開放されている。
導出ポート９６は、流路プレート９２のうち、Ｘ方向の他端部において、Ｙ方向の中央部に位置し、Ｚ方向に延設されている。導出ポート９６のうち、上流側の開口部はＺ方向の一端部においてＸ方向の内側に向けて開放され、下流側の開口部はＺ方向の他端側に向けて開放されている。
【００５０】
インク供給部９７は、入口側共通インク室９０内に連通する入口側連通室１００と、入口側連通室１００よりも上流側に位置する入口側収容部１０１と、入口側収容部１０１及び入口側連通室１００間を接続する連通路１０２と、入口側収容部１０１及び導入ポート９５間を接続する導入路１０３と、を備えている。
【００５１】
図６、図７、図９に示すように、入口側連通室１００は、Ｚ方向の一端側に向けて開口するとともに、Ｚ方向に沿う断面視で矩形状の溝であり、流路プレート９２のうちＹ方向の中央部において、Ｘ方向に沿って延設されている。また、入口側連通室１００は、入口側共通インク室９０を全域に亘ってＺ方向の他端側から覆っている。
【００５２】
図６、図８、図１０に示すように、入口側収容部１０１は、Ｚ方向の他端側に向けて開口するとともに、Ｚ方向に沿う断面形状が矩形状の溝であり、流路プレート９２におけるＸ方向の一端部に延設されている。具体的に、図８、図１０に示すように、入口側収容部１０１は、Ｘ方向の一端部（外側端部）に位置して導入路１０３が接続される上流側ガイド部１０１ａと、Ｘ方向の他端部（内側端部）に位置して連通路１０２が接続される下流側ガイド部１０１ｂと、これら各ガイド部１０１ａ，１０１ｂ間を接続する中間流路１０１ｃと、を有している。
【００５３】
上流側ガイド部１０１ａは、中間流路１０１ｃに対して二又に分岐している。具体的に、上流側ガイド部１０１ａは、Ｚ方向から見た平面視でＷ字状とされ、Ｘ方向の他端側（下流側）に向かうに従いＹ方向における流路幅が漸次拡大している。
下流側ガイド部１０１ｂは、Ｚ方向から見た平面視でＶ字状とされ、Ｘ方向の他端側（下流側）に向かうに従いＹ方向における流路幅が漸次縮小している。
中間流路１０１ｃは、流路プレート９２におけるＹ方向のほぼ全域に亘って形成されている。すなわち、中間流路１０１ｃは、Ｙ方向における幅が入口側連通室１００よりも広く形成されている。この場合、入口側収容部１０１におけるＹ方向の両端部は、出口側共通インク室９１ａ，９１ｂとそれぞれＺ方向で重なる位置まで延設されている。なお、中間流路１０１ｃは、Ｙ方向における流路幅がＸ方向の全体に亘って一様となっている。
【００５４】
図６〜図１０に示すように、連通路１０２は、流路プレート９２において、Ｘ方向及びＹ方向の中央部に位置し、流路プレート９２をＺ方向に貫通している。連通路１０２は、Ｚ方向の一端側開口部が入口側連通室１００内におけるＸ方向の中央部で開口している。したがって、本実施形態の連通路１０２は、Ｚ方向から見た平面視で入口側共通インク室９０及びチャネル列６３，６４におけるＸ方向の中央部に位置している。図示の例において、連通路１０２は、Ｚ方向から見た平面視でＸ方向を長軸方向とする長円形状とされ、その中心が入口側連通室１００におけるＸ方向及びＹ方向の中心と一致している。なお、連通路１０２の内径は、Ｚ方向の全体に亘って一様になっている。
【００５５】
一方、連通路１０２は、Ｚ方向の他端側開口部が入口側収容部１０１における下流側ガイド部１０１ｂの内側で開口している。この場合、連通路１０２は、下流側ガイド部１０１ｂにおけるＸ方向の他端部に位置し、下流側ガイド部１０１ｂによりＸ方向の他端側から取り囲まれている。
【００５６】
図７〜図１０に示すように、導入路１０３は、流路プレート９２におけるＺ方向の一端面に形成された導入溝１１０と、導入溝１１０内と入口側圧力緩衝部９３内とを連通する一対の導入孔１１１と、を備えている。
図７、図９に示すように、導入溝１１０は、上流端が導入ポート９５における下流端に連通し、下流側が二又に分岐した後、入口側連通室１００に対してＹ方向の両側をＸ方向に沿って延在している。導入溝１１０は、アクチュエータプレート５２のうち、各チャネル列６３，６４以外の部分にＺ方向で対向している。すなわち、導入溝１１０は、アクチュエータプレート５２によって閉塞され、チャネル列６３，６４内には直接連通していない。
【００５７】
図７、図８、図１０に示すように、各導入孔１１１は、流路プレート９２をＺ方向に貫通するとともに、Ｚ方向から見た平面視でＸ方向を長軸方向とする長円形状とされている。導入孔１１１は、上流端が導入溝１１０の下流端でそれぞれ開口し、下流端が入口側収容部１０１における上流側ガイド部１０１ａの内側で開口している。なお、各導入孔１１１は、上流側ガイド部１０１ａにおけるＸ方向の一端部に位置し、上流側ガイド部１０１ａによりＸ方向の一端側から各別に取り囲まれている。また、各導入孔１１１の内径は、Ｚ方向の全体に亘って一様になっている。
【００５８】
このように、入口側収容部１０１内において、各導入孔１１１及び連通路１０２は離間して配設されるとともに、そのうち各導入孔１１１はＸ方向の一端部に位置し、連通路１０２はＸ方向の中央部に位置している。言い換えると、連通路１０２は、Ｚ方向から見た平面視において、各導入孔１１１と、チャネル列６３，６４におけるＸ方向の他端部と、の間の中間部分に位置している。なお、各導入孔１１１における開口面積（例えば、入口側収容部１０１での開口面積）の総和と、上述した連通路１０２における開口面積（例えば、入口側収容部１０１での開口面積）と、は同等になっている。これにより、導入孔１１１及び連通路１０２を通過する際の圧力損失の差を低減でき、流路部材５４内でインクをスムーズに流通させることができる。
【００５９】
図６、図７、図９に示すように、インク排出部９８は、各出口側共通インク室９１ａ，９１ｂに各別に連通する一対の出口側連通室１１３と、各出口側連通室１１３よりも下流側に位置する出口側収容部１１５と、出口側連通室１１３及び出口側収容部１１５間を接続する一対の連通路１１６と、出口側収容部１１５及び導出ポート９６間を接続する導出路１１７と、を備えている。
各出口側連通室１１３は、Ｚ方向の一端側に向けて開口するとともに、Ｚ方向に沿う断面視で矩形状の溝であり、流路プレート９２のうちＹ方向の両端部において、Ｘ方向に沿って延設されている。また、各出口側連通室１１３は、各出口側共通インク室９１ａ，９１ｂをＺ方向の他端側から各別に覆っている。
【００６０】
図８、図１０に示すように、出口側収容部１１５は、上述した入口側収容部１０１と同様に、Ｚ方向に沿う断面形状が矩形状の溝であり、流路プレート９２におけるＸ方向の他端部に延設されるとともに、Ｘ方向における長さが入口側収容部１０１と同等に形成されている。具体的に、出口側収容部１１５は、Ｘ方向の一端部（内側端部）に位置して連通路１１６が接続される上流側ガイド部１１５ａと、Ｘ方向の他端部（外側端部）に位置して導出路１１７が接続される下流側ガイド部１１５ｂと、これら各ガイド部１１５ａ，１１５ｂ間を接続する中間流路１１５ｃと、を有している。
【００６１】
上流側ガイド部１１５ａは、中間流路１１５ｃに対して二又に分岐するとともに、上述した入口側収容部１０１の下流側ガイド部１０１ｂに対してＹ方向の両側に配置されている。すなわち、出口側収容部１１５の上流側ガイド部１１５ａは、流路プレート９２におけるＸ方向の中央部において、入口側収容部１０１の下流側ガイド部１０１ｂに対して入り組んで形成されている。なお、上流側ガイド部１１５ａは、Ｚ方向から見た平面視でＷ字状とされ、Ｘ方向の他端側（下流側）に向かうに従いＹ方向における流路幅が漸次拡大している。
下流側ガイド部１１５ｂは、中間流路１１５ｃに対して二又に分岐している。具体的に、下流側ガイド部１１５ｂは、Ｚ方向から見た平面視でＷ字状とされ、Ｘ方向の他端側（下流側）に向かうに従いＹ方向における流路幅が漸次縮小している。
【００６２】
中間流路１１５ｃは、Ｙ方向における流路幅が上述した入口側収容部１０１の中間流路１０１ｃの流路幅と同等になっており、流路プレート９２におけるＹ方向のほぼ全域に亘って形成されている。
【００６３】
図６〜図８に示すように、各連通路１１６は、流路プレート９２において、Ｘ方向の中央部であって、Ｙ方向の両端部に位置し、流路プレート９２をＺ方向に貫通している。各連通路１１６は、Ｚ方向の一端側開口部が各出口側連通室１１３内におけるＸ方向の中央部で各別に開口している。したがって、本実施形態の連通路１１６は、Ｚ方向から見た平面視で出口側共通インク室９１ａ，９１ｂ及びチャネル列６３，６４におけるＸ方向の中央部に位置している。
【００６４】
各連通路１１６は、Ｚ方向から見た平面視でＸ方向を長軸方向とする半長円形状とされ、その中心が出口側連通室１１３におけるＸ方向の中心と一致している。この場合、連通路１１６は、Ｘ方向における長さがインク供給部９７の連通路１０２と同等とされるとともに、インク供給部９７の連通路１０２に対してＹ方向の両側であって、Ｘ方向で同等の位置に配置されている。なお、連通路１１６は、Ｚ方向の一端部が他端部に比べて内径が大きくなっている。
【００６５】
一方、連通路１１６は、Ｚ方向の他端側開口部が出口側収容部１１５における上流側ガイド部１１５ａの内側で開口している。この場合、連通路１１６は、上流側ガイド部１１５ａにおけるＸ方向の一端部に位置し、上流側ガイド部１１５ａによりＸ方向の一端側から取り囲まれている。なお、インク供給部９７における連通路１０２の入口側収容部１０１での開口面積と、インク排出部９８における各連通路１１６の出口側収容部１１５での開口面積の総和と、はそれぞれ同等になっている。これにより、連通路１０２，１１６を通過する際の圧力損失の差を低減でき、流路部材５４内でインクをスムーズに流通させることができる。
【００６６】
図７〜図１０に示すように、導出路１１７は、流路プレート９２をＺ方向に貫通する一対の導出孔１２１と、流路プレート９２におけるＺ方向の一端面において導出孔１２１と導出ポート９６との間を接続する導出溝１２２と、を備えている。
各導出孔１２１は、Ｚ方向から見た平面視でＸ方向を長軸方向とする長円形状とされている。各導出孔１２１は、上流端が出口側収容部１１５における下流側ガイド部１１５ｂの内側で開口している。なお、各導出孔１２１は、下流側ガイド部１１５ｂにおけるＸ方向の他端部に位置し、下流側ガイド部１１５ｂによりＸ方向の他端側から各別に取り囲まれている。また、各導出孔１２１の内径は、Ｚ方向の全体に亘って一様になっている。
【００６７】
導出溝１２２は、流路プレート９２においてＸ方向の他端部に形成されるとともに、Ｚ方向の一端側に向けて開放されている。具体的に、導出溝１２２は、下流端が導出ポート９６の上流端に連通し、上流端が二又に分岐した後上述した導出孔１２１に接続されている。なお、導出溝１２２は、アクチュエータプレート５２のうち、各チャネル列６３，６４以外の部分にＺ方向で対向している。すなわち、導出溝１２２は、アクチュエータプレート５２によって閉塞され、チャネル列６３，６４内には直接連通していない。
【００６８】
ここで、図６に示すように、流路プレート９２のＺ方向における他端面には、各収容部１０１，１１５をＺ方向の他端側から閉塞する上述したフィルム９４が配設されている。フィルム９４は、例えばポリアミド等の樹脂材料により形成されるとともに、厚さが例えば１５μｍ程度であって、撓み変形可能とされている。そして、入口側収容部１０１とフィルム９４とにより画成された空間は、入口側共通インク室９０に上流側で連通し、インクを貯留するとともに、一部が撓み変形可能な入口側圧力緩衝部９３を構成している。一方、出口側収容部１１５とフィルム９４とにより画成された空間は、出口側共通インク室９１ａ，９１ｂに下流側でまとめて連通し、インクが排出されるとともに、一部が撓み変形可能な出口側圧力緩衝部９９を構成している。すなわち、各圧力緩衝部９３，９９は、流路部材５４において、Ｘ方向に並んで配設されている。この場合、各圧力緩衝部９３，９９の容積は、互いに同等になっている。
【００６９】
なお、流路プレート９２においてＺ方向の両端面には、流路プレート９２と、アクチュエータプレート５２及びフィルム９４それぞれと、の接着に用いられる接着剤を収容する接着剤収容部１２０が形成されている。
【００７０】
［プリンタの動作方法］
次に、上述したように構成されたプリンタ１を利用して、記録紙Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つのインクタンク４にはそれぞれ異なる色のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク４内のインクがインク循環手段６を介してインクジェットヘッド５内に充填された状態となっている。
【００７１】
このような初期状態のもと、プリンタ１を作動させると、搬送手段２，３のグリッドローラ１１，１３が回転することで、これらグリッドローラ１１，１３及びピンチローラ１２，１４間に記録紙Ｐを搬送方向（Ｘ方向）に向けて搬送する。また、これと同時に駆動モータ３８がプーリ３５，３６を回転させて無端ベルト３７を動かす。これにより、キャリッジ３３がガイドレール３１，３２にガイドされながらＹ方向に往復移動する。
そしてこの間に、各インクジェットヘッド５より４色のインクを記録紙Ｐに適宜吐出させることで、文字や画像等の記録を行うことができる。
【００７２】
ここで、各インクジェットヘッド５の動きについて、以下に詳細に説明する。
本実施形態のようなサイドシュートタイプのうち、循環式のインクジェットヘッド５では、まず図２に示す加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５を作動させることで、循環流路２３内にインクを流通させる。この場合、インク供給管２１を流通するインクは、導入ポート９５を通って流路部材５４内に流入する。具体的に、導入ポート９５内に流入したインクは、導入路１０３を通って入口側圧力緩衝部９３内に流入し、その後連通路１０２を通って入口側連通室１００内に流入する。そして、入口側連通室１００内に流入したインクは、入口側共通インク室９０内に流入した後、各チャネル列６３，６４の吐出チャネル７１内に供給される。
【００７３】
このとき、本実施形態では、連通路１０２が入口側連通室１００（入口側共通インク室９０）に対してＸ方向の中央部で連通しているため、入口側共通インク室９０内に流入したインクは、入口側共通インク室９０内をＹ方向の両側に向けて流通する。そして、インクは、入口側共通インク室９０内を流通する過程で各吐出チャネル７１内に分配される。
【００７４】
また、各吐出チャネル７１内のインクは、各出口側共通インク室９１ａ，９１ｂ内に流入し、その後各出口側連通室１１３から流路部材５４内に流入する。具体的に、各出口側連通室１１３内に流入したインクは、連通路１１６を通って出口側圧力緩衝部９９内に流入する。出口側圧力緩衝部９９内に流入したインクは、導出路１１７を通って導出ポート９６内に流入する。その後、導出ポート９６内に流入したインクは、インク排出管２２を通ってインクタンク４に戻された後、再びインク供給管２１に供給される。これにより、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクを循環させる。
【００７５】
そして、キャリッジ３３（図１参照）によって往復移動が開始されると、共通電極７３を基準電位ＧＮＤとし、個別電極７５を駆動電位Ｖｄｄとして各電極７３，７５間に電圧を印加する。すると、吐出チャネル７１を画成する２つ駆動壁６５に厚み滑り変形が生じ、これら２つの駆動壁６５が吐出チャネル７１にダミーチャネル７２側へ突出するように変形する。すなわち、本実施形態のアクチュエータプレート５２は分極方向が一方向であり、電極７３，７５が駆動壁６５のＺ方向における中間部分までしか形成されていない。そのため、各電極７３，７５間に電圧を印加することで、駆動壁６５におけるＺ方向の中間部分を中心にしてＶ字状に屈曲変形する。これにより、吐出チャネル７１があたかも膨らむように変形する。
【００７６】
このように、２つの駆動壁６５の圧電厚み滑り効果による変形によって、吐出チャネル７１の容積が増大する。そして、吐出チャネル７１の容積が増大したことにより、入口側共通インク室９０内に貯留されたインクが吐出チャネル７１内に誘導される。そして、吐出チャネル７１の内部に誘導されたインクは、圧力波となって吐出チャネル７１の内部に伝播し、この圧力波がノズル孔８５，８６に到達したタイミングで、電極７３，７５間に印加した電圧をゼロにする。これにより、駆動壁６５が復元し、一旦増大した吐出チャネル７１の容積が元の容積に戻る。この動作によって、吐出チャネル７１の内部の圧力が増加し、インクが加圧される。その結果、液滴状のインクがノズル孔８５，８６を通って外部に吐出されることで、上述したように記録紙Ｐに文字や画像等を記録することができる。
なお、本実施形態におけるインクを吐出チャネル７１の内部に循環させる動作と、吐出チャネル７１からインクを吐出する動作は、個別に実施しても、同時に実施しても構わない。
【００７７】
ここで、本実施形態では、インクジェットヘッド５内の圧力変動に応じて、圧力緩衝部９３，９９を画成するフィルム９４が撓み変形することで、圧力変動を緩衝している。まず、本実施形態のような循環式のインクジェットヘッド５では、各ノズル孔８５，８６内部でメニスカスが形成されるように、各ノズル孔８５，８６近傍での圧力が常に負圧（例えば、−１ｋＰａ程度）になるように加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５の駆動が制御されている。なお、吸引ポンプ２５の吸引力は、加圧ポンプ２４の加圧力よりも高くなるように設定されている。
【００７８】
この場合、チャネル列６３，６４に対して上流側（入口側共通インク室９０側）は正圧となり、下流側（出口側共通インク室９１ａ，９１ｂ側）は負圧となっている。そのため、入口側圧力緩衝部９３のフィルム９４は、入口側圧力緩衝部９３の容積を拡大させるようにＺ方向の他端側に向けて撓み変形する。一方、出口側圧力緩衝部９９のフィルム９４は、出口側圧力緩衝部９９の容積を縮小させるようにＺ方向の一端側に向けて撓み変形する。
【００７９】
この状態で、上述したように吐出チャネル７１の容積の減少により各ノズル孔８５，８６からインクが吐出されると、吐出チャネル７１内の圧力が瞬間的に減少する。すると、吐出チャネル７１内の圧力変動が圧力波となって各共通インク室９０，９１ａ，９１ｂを介して各圧力緩衝部９３，９９内に伝播し、フィルム９４が撓み変形する。すなわち、フィルム９４が各圧力緩衝部９３，９９内の容積を縮小させるようにＺ方向の一端側に向けて撓み変形する。これにより、吐出チャネル７１内で発生した圧力変動を緩衝することができる。
【００８０】
また、圧力緩衝部９３，９９には、各共通インク室９０，９１ａ，９１ｂを介して各吐出チャネル７１がまとめて連通しているので、何れかの吐出チャネル７１での圧力変動が各圧力緩衝部９３，９９を介して他の吐出チャネル７１に伝播される、いわゆるクロストークも抑制できる。
なお、上述の説明では、インク吐出時に起こる圧力変動について説明したが、これに限られない。例えばキャリッジ３３の移動時やインク給排時等において、循環流路２３の揺動によってインクジェットヘッド５内に発生する圧力変動についても、フィルム９４が撓み変形することで圧力変動を緩衝することが可能である。
【００８１】
ここで、本実施形態では、入口側圧力緩衝部９３及び出口側圧力緩衝部９９がＸ方向に並んで配設される構成とした。
この構成によれば、仮に圧力緩衝部９３，９９をＹ方向に並んで配設する場合に比べて各圧力緩衝部９３，９９におけるＹ方向の幅を確保することができる。これにより、圧力緩衝部９３，９９（フィルム９４）を撓み変形させ易くなり、圧力緩衝効果をより高めることが可能となる。その結果、吐出チャネル７１に対して上流側及び下流側での圧力バランスを均等に保持することができ、インクジェットヘッド５内を所望の圧力に維持し易くなる。この場合、インクジェットヘッド５内の圧力中心をノズル孔８５，８６近傍に設定できるので、メニスカスを安定して保持することができ、インクを安定して吐出させることができる。
【００８２】
また、連通路１０２，１１６が各共通インク室９０，９１ａ，９１ｂにおけるＸ方向の中央部でそれぞれ連通している構成とした。
この構成によれば、例えば連通路１０２，１１６がＸ方向の一端部で各共通インク室９０，９１ａ，９１ｂに連通する構成に比べて、各吐出チャネル７１のうち、連通路１０２，１１６から最も離間する吐出チャネル７１と、連通路１０２，１１６と、のＸ方向の距離を短縮（半減）できる。これにより、全吐出チャネル７１間での圧力差を低減（半減）させることができる。
【００８３】
また、各圧力緩衝部９３，９９内の容積が同等になっているため、両者の圧力緩衝効果を同等とすることができる。その結果、吐出チャネル７１に対して上流側及び下流側での圧力バランスをより均等に保持することができる。
【００８４】
そして、本実施形態のプリンタ１では、上述したインクジェットヘッド５を備えているため、印字安定性の優れたプリンタ１を提供できる。
【００８５】
なお、本発明の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００８６】
例えば、上述した実施形態では、液体噴射装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であっても構わない。
【００８７】
また、上述した実施形態では、ノズル列８７，８８がそれぞれＸ方向に沿って直線状に延在している場合について説明したが、これに限らず、例えばノズル列８７，８８が斜めに延在していてもよい。
また、ノズル孔８５，８６の形状に関しても、円形に限定されるものではない。例えば、三角等の多角形状や、楕円形状や星型形状でも構わない。
また、上述した実施形態では、各チャネル列６３，６４間において、吐出チャネル７１同士及びダミーチャネル７２同士が半ピッチずれた千鳥状に配列された構成について説明したが、これに限られない。吐出チャネル７１同士及びダミーチャネル７２同士が、Ｘ方向で異なる位置に形成されていれば構わない。
【００８８】
さらに、上述した実施形態では、ノズル列８７，８８が二列並んだ二列タイプのインクジェットヘッド５について説明したが、これに限らず、ノズル列は一列であっても三列以上の複数列であっても構わない。
【００８９】
また、上述した実施形態では、サイドシュートタイプのうち、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクが循環する循環式について説明したが、これに限られない。例えば、サイドシュートタイプのうち、吐出チャネル７１の両端部からノズル孔８５，８６に向けてインクを供給する構成としても構わない。
また、上述した実施形態では、切り上がり部６６，６８を円弧状に形成した場合について説明したが、これに限らず、Ｙ方向の中央部から内側端部に向かうに従い傾斜して延在していれば構わない。
【００９０】
さらに、上述した実施形態では、分極方向が厚さ方向に一方向のアクチュエータプレート５２を用いた場合について説明したが、これに限られない。例えば、分極方向が異なる２枚の圧電体を積層した、いわゆるシェブロン方式のアクチュエータプレート５２を用いても構わない。
【００９１】
また、図１１に示すように、流路部材５４において、吐出チャネル７１を迂回するバイパス路１３０を形成しても構わない。具体的に、バイパス路１３０は、流路プレート９２のうち、各収容部１０１，１１５間を仕切る仕切壁１３１をＸ方向に貫通している。バイパス路１３０は、その流路断面積が上述した連通路１０２よりも十分に小さくなっている。これにより、バイパス路１３０を通したインクの流通を抑制し、気泡を積極的に流通させるようになっている。図示の例において、バイパス路１３０は、仕切壁１３１におけるＺ方向の一端縁に形成され、連通路１０２，１１６とは連通していない。
【００９２】
この構成によれば、上述したように入口側圧力緩衝部９３内にインクが流入すると、入口側圧力緩衝部９３内に存在する気泡がインクに押し出され、バイパス路１３０を通って出口側圧力緩衝部９９内に排出される。その後、出口側圧力緩衝部９９内に排出された気泡は、導出ポート９６を通ってインクジェットヘッド５の外部に排出される。すなわち、本実施形態では、入口側圧力緩衝部９３内の気泡が吐出チャネル７１を迂回して出口側圧力緩衝部９９内に排出されることになる。これにより、吐出チャネル７１内で気泡の滞留を抑制し、インクの吐出不良が発生するのを抑制できる。
また、このバイパス路１３０は、流路プレート９２のＺ方向の他端側の表面に配置することが好ましい。このように配置することで、浮力に従って鉛直方向上側に蓄積された気泡を積極的に出口側圧力緩衝部９９内へ排出することができる。
【００９３】
しかも、流路プレート９２において、連通路１０２を間に挟んで導入路１０３の反対側にバイパス路１３０が形成されているため、入口側圧力緩衝部９３内にインクをスムーズに流入させることができるとともに、バイパス路１３０内へのインクの流入を抑制できる。なお、上述した構成では、入口側圧力緩衝部９３及び出口側圧力緩衝部９９間をバイパス路１３０で接続する構成としたが、吐出チャネル７１を迂回する構成であれば、バイパス路１３０の位置は適宜設計変更が可能である。
【００９４】
また、上述した実施形態では、各共通インク室９０，９１ａ，９１ｂにおけるＸ方向の中央部で連通路１０２，１１６がそれぞれ連通する構成について説明したが、これに限られない。すなわち、入口側圧力緩衝部９３において導入路及び連通路１０２が離間し、出口側圧力緩衝部９９において導出路及び連通路１１６が離間して配置されていれば、それらのレイアウトは適宜設計変更が可能である。
【００９５】
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせても構わない。
【符号の説明】
【００９６】
１…インクジェットプリンタ（液体噴射装置）
２，３…搬送手段（移動機構）
５，５Ｙ，５Ｍ，５Ｃ，５Ｂ…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
７…走査手段（移動機構）
５２…アクチュエータプレート
５３…カバープレート
５４…流路部材
６３…第１チャネル列（チャネル列）
６４…第２チャネル列（チャネル列）
７１…吐出チャネル（チャネル）
９０…入口側共通インク室（第１共通液体室）
９１ａ…第１出口側共通インク室（第２共通液体室）
９１ｂ…第２出口側共通インク室（第２共通液体室）
９３…入口側圧力緩衝部（第１圧力緩衝部）
９９…出口側圧力緩衝部（第２圧力緩衝部）
１０２…連通路（第１連通路）
１１６…連通路（第２連通路）
１３０…バイパス路
１３１…仕切壁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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