(57)【要約】【課題】ラスタ方式によりマーキングを行うレーザーマーキング装置であって、各ラインの先頭のドットの濃度の低下を抑え、良好なマーキングを行うことができるレーザーマーキング装置を提供する。【解決手段】画像データに基づいて、ラスタ方式で１ライン毎に、パルスレーザー光を被照射体の所定位置に１画素ずつ露光を行うレーザーマーキング装置１であって、パルスファイバーレーザー１０と、画像データを記憶する記憶部３６と、制御部３１と、を有する。制御部３１は、各ラインの１ドット目において、パルスレーザー光の出力の累積曲線と、累積曲線に対する、被照射体のドットの濃度に応じた吸光率を考慮した補正曲線に基づいて、目標濃度となるように所定回数だけ１ドット目にマーキングを行うように制御する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像データに基づいて、ラスタ方式で１ライン毎に、パルスレーザー光を被照射体の所定位置に１画素ずつ露光を行うレーザーマーキング装置であって、
パルスファイバーレーザーと、
前記画像データを記憶する記憶部と、
制御部と、を有し、
前記制御部は、前記パルスファイバーレーザーの立ち上がり期間であることを条件に、ラインの１ドット目において、目標濃度となるように所定回数だけ１ドット目にマーキングを行うように制御することを特徴とする
レーザーマーキング装置。
【請求項２】
前記制御部は、パルスレーザー光の出力の累積曲線と、累積曲線に対する、被照射体のドットの濃度に応じた吸光率を考慮した補正曲線に基づいて、目標濃度となるように所定回数だけ１ドット目にマーキングを行うように制御することを特徴とする請求項１に記載のレーザーマーキング装置。
【請求項３】
前記制御部は、各ラインの１ドット目において、前記累積曲線と前記補正曲線に基づいて、目標濃度となるように所定回数だけ１ドット目にマーキングを行うように制御することを特徴とする請求項２に記載のレーザーマーキング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザーマーキング装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ファイバーレーザーを使用したレーザーマーキング装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
一般的なレーザーマーキング装置は、樹脂製のカードなどの被照射体（露光対象物）へパルスレーザー光を照射してマーキングを行う場合、ラスタ方式でマーキングを行う。この一般的なレーザーマーキング装置は、被照射体としてのカードへマーキングを行う場合、画像データに基づいて所定の濃度となるように所定のレーザー出力で所定位置に照射を行い、ドットパターンを形成する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−４２０７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、ラスタ方式によりマーキングを行う、ファイバーレーザーを用いた一般的なレーザーマーキング装置では、例えば、各ラインの最初のドット（１番目のドット）や２〜３ドット程度、設定濃度よりも低い濃度となる場合がある（図１０参照）。詳細には、ファイバーレーザーのレーザー出力が各ラインの最初の数ドットまで安定せずに比較的低い出力値となり濃度の低いドットを形成し、レーザー出力が安定したのち設定濃度のドットを形成する。
【０００５】
本発明は、このような問題に対処することを課題の一例とするものである。ラスタ方式によりマーキングを行うレーザーマーキング装置であって、各ラインの先頭のドットの濃度の低下を抑え、良好なマーキングを行うことができるレーザーマーキング装置を提供すること、などを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的を達成するために、本発明によるレーザーマーキング装置は、以下の構成を少なくとも具備するものである。
画像データに基づいて、ラスタ方式で１ライン毎に、パルスレーザー光を被照射体の所定位置に１画素ずつ露光を行うレーザーマーキング装置であって、パルスファイバーレーザーと、前記画像データを記憶する記憶部と、制御部と、を有し、前記制御部は、前記パルスファイバーレーザーの立ち上がり期間であることを条件に、ラインの１ドット目において、目標濃度となるように所定回数だけ１ドット目にマーキングを行うように制御することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、ラスタ方式によりマーキングを行うレーザーマーキング装置であって、各ラインの先頭のドットの濃度の低下を抑え、良好なマーキングを行うことができるレーザーマーキング装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施形態に係るレーザーマーキング装置の一例を示す透過側面図。
【図２】本発明の実施形態に係るレーザーマーキング装置の一例を示す透過正面図。
【図３】本発明の実施形態に係るレーザーマーキング装置の一例を示す斜視図。
【図４】本発明の実施形態に係るレーザーマーキング装置の一例を示す機能ブロック図。
【図５】パルスレーザー光のレーザー出力の時間変化の一例を示す図。
【図６】パルスレーザー光のレーザー出力、累積曲線、補正曲線の一例を示す図。
【図７】レーザーマーキング装置の動作の一例を説明するための図、（ａ）はレーザーオン信号の一例を示す図、（ｂ）はレーザー照射状態の一例を示す図。
【図８】本発明の実施形態に係るレーザーマーキング装置により、被照射体上に形成したドットパターンの一例を示す図。
【図９】本発明の実施形態に係るレーザーマーキング装置の動作の一例を示すフローチャート。
【図１０】従来例のレーザーマーキング装置により、被照射体上に形成したドットパターンの一例を示す図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。
本発明の実施形態は図示の内容を含むが、これのみに限定されるものではない。なお、以後の各図の説明で、既に説明した部位と共通する部分は同一符号を付して重複説明を一部省略する。
【００１０】
図１は本発明の実施形態に係るレーザーマーキング装置１の一例を示す透過側面図である。図２はレーザーマーキング装置１の一例を示す透過正面図である。図３はレーザーマーキング装置１の一例を示す斜視図である。図４はレーザーマーキング装置１の一例を示す機能ブロック図である。
【００１１】
レーザーマーキング装置１は、画像データに基づいて、ラスタ方式で１ライン毎に、パルスレーザー光を被照射体（露光対象物）の所定位置に１画素ずつ露光を行う。被照射体７としては、カーボン含有の樹脂製カードなどの所定の部材を採用することができる。
【００１２】
レーザーマーキング装置１は、パルスファイバーレーザー１０と、露光光学系２０と、コントロール部３０と、などを有する。レーザーマーキング装置１は、筐体内にパルスファイバーレーザー１０（レーザー装置）、露光光学系２０、コントロール部３０、などが収容されている。筐部は底部１ａとケース１ｂなどにより構成されている。図３においてケース１ｂは図示していない。尚、コントロール部３０は、筐体外に設けられていてもよい。
【００１３】
パルスファイバーレーザー１０は、ガラスなどの所定の材料にレーザー活性な元素を添加して形成された光ファイバーを備えたファイバーレーザー共振器を有し、ＬＤ（レーザーダイオード）やＬＥＤ（発光ダイオード）などの励起光源からの励起光を増幅して大きい強度のパルスレーザー光を出力する。このパルスファイバーレーザー１０では、動作初期時にレーザー出力が安定しない期間（設定したレーザー出力値（パワー）未満となる期間）と、レーザー出力が安定する期間（設定したレーザー出力値（パワー）となる期間）が存在する。
【００１４】
露光光学系２０は、パルスファイバーレーザー１０から出射されたパルスレーザー光を、画像データに基づいて、ラスタ方式により、樹脂製カードなどの被照射体７（露光対象物）の所定位置に１画素ずつ照射させる。
【００１５】
露光光学系２０は、コリメートレンズなどの光学系２１と、ガルバノスキャナとして一つまたは複数のガルバノミラー２２と、ｆθレンズ２５と、などを有する。
ガルバノミラー２２は、例えば、ガルバノミラー２２ａ（Ｘ軸走査用ガルバノミラー）、ガルバノミラー２２ｂ（Ｙ軸走査用ガルバノミラー）などを有し、ガルバノミラー駆動部２３ａ，２３ｂ（ガルバノコントローラー）により駆動制御される駆動モータ２３１，２３２で角度制御を行う。また、ガルバノミラー２２の角度を検出するセンサ（不図示）などが設けられていてもよい。
【００１６】
ｆθレンズ２５は、ガルバノミラー２２で反射されたパルスレーザー光を、被照射体７上に集光させるように構成されている。例えば、ｆθレンズ２５は、ガルバノミラー２２などにより、所定角度ずつ走査されたパルスレーザー光を、被照射体７の結像面上で所定のピッチで走査させるように構成されている。
【００１７】
尚、本実施形態では、被照射体７上を走査する走査光学系としてガルバノミラー２２とｆθレンズ２５を用いたが、この形態に限られるものではなく、例えば、ガルバノミラー２２の代わりにポリゴンミラーなどを用いてもよい。
【００１８】
また、本実施形態では、レーザーマーキング装置１は、画像データに応じてラスタ方式により、各画素毎に被照射体７上を走査しながらレーザー露光を行うが、走査時に、レーザー露光を行う必要のない画素をスキップし、レーザー露光を行う必要のある次の画素まで移動させるようにガルバノミラーを移動制御する。
【００１９】
レーザーマーキング装置１の筐体に、カードなどの被照射体７を挿入する開口部１ｃが設けられている。被照射体７は搬送部２７により、ｆθレンズ２５による集光範囲の所定位置に移動され、レーザー露光された後、所定の排出口などに搬送される。尚、レーザーマーキング装置１は、複数の被照射体７を収容部に収容し、搬送部２７により被照射体７を一つずつ搬送するように構成されていてもよい。
【００２０】
搬送部２７は、被照射体７を露光範囲などに搬送するように構成されている。本実施形態では、搬送部２７は、駆動モータ２７１、ローラ２７２、無端ベルト２７３、などを有する。駆動モータ２７１によりローラ２７２を回転駆動することにより、無端ベルト２７３上に載置された被照射体７を移動させるように構成されている。搬送部２７は、コントロール部３０により制御される。尚、搬送部２７は、この形態に限られるものではない。
【００２１】
コントロール部３０は、レーザーマーキング装置１の各構成要素を統括的に制御する。コントロール部３０は、制御部３１（ＣＰＵ）と、通信部３２と、表示部３３と、入力部３４と、インタフェース３５（ＩＦ）と、記憶部３６と、などを有する。コントロール部３０の各構成要素はバスなどの通信線などでデータ通信可能に接続されている。
【００２２】
制御部３１（ＣＰＵ）は、コントロール部３０およびレーザーマーキング装置１の各構成要素を統括的に制御する。制御部３１は、記憶部３６に記憶されているプログラム（ＰＲＧ）を実行することにより、本発明に係る機能をレーザーマーキング装置１に実現する。制御部３１の詳細な動作を後述する。
【００２３】
通信部３２は、制御部３１の制御により、有線式または無線式の通信路を介して外部のコンピュータ５０（ＰＣ）などとデータ通信を行う。この外部のコンピュータ５０は、ユーザの操作などにより画像データを作成することができる。
【００２４】
表示部３３は、液晶パネル表示装置などの表示装置であり、制御部３１の制御により、本発明に係る情報を表示する。
入力部３４は、各種操作スイッチやボタンなどの操作入力装置であり、ユーザの操作に応じた信号を制御部３１に出力する。
インタフェース３５（ＩＦ）は、ガルバノミラー駆動部２３ａ，２３ｂ、搬送部２７などに電気的に接続されている。制御部３１は、インタフェース３５を介してガルバノミラー駆動部２３ａ，２３ｂや搬送部２７を駆動制御する。
【００２５】
記憶部３６は、ＲＡＭやＲＯＭなどの記憶装置であり、本実施形態では、印画データ記憶部３７などを有する。記憶部３６は、レーザーマーキング装置１の制御用プログラム（ＰＲＧ）や、補正用データＤなどを記憶する。補正用データＤは、後述する、パルスレーザー光のレーザー出力の累積曲線、累積曲線に対する、被照射体のドットの濃度に応じた吸光率を考慮した補正曲線などを記憶する。
【００２６】
印画データ記憶部３７は、画像データ、各種パラメータなどを記憶する。印画データ記憶部３７は、例えば、外部のコンピュータ５０などから送信された画像データを記憶してもよい。
【００２７】
制御部３１は、レーザーマーキング動作時、パルスファイバーレーザー１０（レーザー装置）にパルスレーザー光を照射させる。詳細には、制御部３１は、所定の動作クロック信号Ｓｃ、レーザーオン信号Ｓａ、レーザーパワー値Ｓｐ（レーザー出力）をレーザーコントローラ１１に出力することで、ファイバーケーブル１２、レーザーヘッド１３を介して、パルスレーザー光の出力を制御する。
【００２８】
図５はパルスレーザー光のレーザー出力の時間変化の一例を示す図である。図５において、縦軸にパルスレーザー光のレーザー出力（任意単位）を示し、横軸に時間を示す。
パルスファイバーレーザー１０（レーザー装置）は、動作初期時、パルスレーザー光のレーザー出力が設定値よりも低い安定しない期間が存在する。これをパルスファイバーレーザー１０（レーザー装置）の立ち上がり期間（レーザー出力不安定期間）という。その後、パルスレーザー光のレーザー出力が安定する（安定期間）。
【００２９】
＜レーザー出力の安定期間＞
パルスファイバーレーザー１０のレーザー出力が安定期間のとき、レーザーオン信号Ｓａがオン（ＯＮ）の場合、指定されたレーザー出力（パワー値）で、動作クロック信号Ｓｃに同期して、パルスレーザー光がパルスファイバーレーザー１０から出力される。例えば、レーザー出力の設定値を１００（任意単位）に設定し、１つのパルスレーザー光を被照射体７に照射した場合、目標濃度１００（任意単位）のドットを形成する。
【００３０】
＜パルスファイバーレーザー１０の初期動作時の立ち上がり期間（レーザー出力不安定期間）＞
本実施形態では、動作クロック信号の周波数毎に、レーザー出力が安定するまでに必要な周期数（クロック数）を求めておき、その周波数と周期数（クロック数）とを関連付けて記憶部３６に記憶しておく。その周期分のパルス数のレーザー出力の積算値で目標のレーザー出力（レーザーパワー値）となるように、予め実験などにより決定しておく。そして、目標値としての各レーザー出力（レーザーパワー値）と、レーザー出力の積算回数とを関連付けて補正用データＤ（データテーブル）として記憶部３６に記憶しておく。
制御部３１は、最初の１ドット目にマーキングを行う場合、レーザー出力の目的値（レーザーパワー値）をキーワードとしてデータテーブルを参照し、一致する条件のレーザーパワー値のパターンで、周期分のパルス数を、最初のトッド位置に対してパルスレーザー光を照射する。
具体的には、パルスファイバーレーザー１０（レーザー装置）の動作初期時の立ち上がり期間では、設定値よりも低いレーザー出力となる。例えば、レーザー出力の設定値を１００に設定した場合、最初のパルスレーザー光（レーザー出力１０％）、２番目のパルスレーザー光（レーザー出力２０％）、３番目のパルスレーザー光（レーザー出力７０％）が照射されるとする。
【００３１】
制御部３１は、同一ドットに、１番目のパルスレーザー光（レーザー出力１０％）、２番目のパルスレーザー光（レーザー出力２０％）、３番目のパルスレーザー光（レーザー出力７０％）を照射することで、目的の濃度のドットを形成する。
【００３２】
＜吸光率＞
また、制御部３１は、後述するように、ドットの濃度に応じた吸光率を考慮して、目的の濃度となるように、同一ドットに照射されるパルスレーザー光の照射回数やレーザー出力を制御してもよい。
例えば、パルスレーザー光非照射時、被照射体７の吸光率は比較的小さい。パルスレーザー光を照射してドットを形成した場合、そのドットの濃度に応じて吸光率が大きくなる。このため、上記形成されたドット（吸光率の大きいドット）にさらにパルスレーザー光を照射した場合、ドットの濃度が非常に大きくなる。
詳細には、例えば、１つのパルスレーザー光（レーザー出力１００％）により、被照射体７の所定位置に濃度１００（任意単位）のドットを形成するとする。第１のパルスレーザー光（レーザー出力５０％）を被照射体７の所定位置に照射した後、単純に、同じドットの位置に第２のパルスレーザー光（レーザー出力５０％）を照射した場合、濃度１００を超えてしまう。
このため、本発明の実施形態に係るレーザーマーキング装置１の制御部３１は、同一位置のドットに、複数回、パルスレーザー光を照射する場合、ドットの濃度に対応する吸光率に基づいて予め補正曲線を求めておき、その補正曲線に基づいて目的の濃度となるようにパルスレーザー光の照射回数やレーザー出力を制御する。この際、制御部３１は、補正曲線に基づいて、パルスレーザー光の照射回数を減らす補正処理や、パルスレーザー光のレーザー出力値を低くする補正処理を行ってもよい。
【００３３】
図６はパルスレーザー光のレーザー出力、累積曲線、補正曲線の一例を示す図である。図６において横軸に時間を示し、縦軸にパルスレーザー光のレーザー出力、累積曲線、補正曲線それぞれの大きさ（任意単位）を示す。
パルスファイバーレーザー１０からのパルスレーザー光のレーザー出力（レーザーパワー値）は、立ち上がり期間の動作初期時に小さく、時間経過とともに大きくなる。累積曲線は、パルスレーザー光のレーザー出力の累積曲線であり時間経過とともに急激に増加する。
補正曲線は、被照射体７に形成されるドットの濃度に対応する吸光率に基づいて決定される。実際に実験を行い、ドットの濃度に対応する吸光率に基づいて補正曲線を決定してもよいし、コンピュータの演算によるシミュレーションの結果に基づいて補正曲線を決定してもよい。ドットの濃度が大きいほど、吸光率は大きくなる。
【００３４】
図７はレーザーマーキング装置１の動作の一例を説明するための図である。図７（ａ）はレーザーオン信号Ｓａの一例を示す図、図７（ｂ）はレーザー照射状態の一例を示す図である。図８はレーザーマーキング装置１により、被照射体上に形成したドットパターンの一例を示す図である。
図７、図８に示した例では、最初の１ドット目は、目的の濃度となるように複数回のレーザーパルス光の照射を行い、レーザー出力が安定する２ドット目以降では、目的の濃度となるように１回のレーザーパルス光の照射を行う。
詳細には、パルスファイバーレーザー１０にパルス状のレーザーオン信号Ｓａを入力した場合、動作初期時、小さい強度の第１番目のパルスレーザー光Ｐが出射され、露光光学系２０により被照射体７の最初の１ドット目に照射される。次に、パルス状のレーザーオン信号Ｓａを入力した場合、中強度の第２番目のパルスレーザー光Ｐが出射され、同じ１ドット目に照射される。次に、パルス状のレーザーオン信号Ｓａを入力した場合、大きい強度の第３番目のパルスレーザー光Ｐが出射され、同じ１ドット目に照射される。
次に、レーザー出力が安定する２ドット目以降では、目的の濃度となるように１回のレーザーパルス光の照射を行う。
そして、ラスタ方式により、各ラインのドットを形成することで、全てのマーキングを終了する。
【００３５】
次に、レーザーマーキング装置１の動作の一例を説明する（図１〜図９等参照）。
レーザーマーキング装置１の記憶部３６の印画データ記憶部３７は、画像データや各種パラメータなどを記憶している。この画像データや各種パラメータなどは、例えば、予め外部のコンピュータ５０（ＰＣ）から通信部３２を介して、記憶部３６の印画データ記憶部３７に記憶される。
【００３６】
ステップＳＴ１１において、制御部３１は、記憶部３６から画像データ等を読み出す。
ステップＳＴ１２において、制御部３１は、ガルバノミラー２２（２２ａ，２２ｂ）を制御する。詳細には、制御部３１は、画像データ等に基づいて所定の画素の位置データＳ２３に基づいて、ガルバノミラー駆動部２３ａ，２３ｂ（ガルバノコントローラ）により、駆動モータ２３１，２３２等を駆動して、ガルバノミラー２２ａ，２２ｂを、被照射体７の所定位置にパルスレーザー光が照射されるように、位置制御を行う。
【００３７】
ステップＳＴ１３において、制御部３１は、パルスファイバーレーザー１０（レーザー装置）の立ち上がり期間（レーザー出力不安定期間）であるか否かを判別し、立ち上がり期間である場合にステップＳＴ１４の処理に進み、立ち上がり期間でない場合（レーザー出力安定期間である場合）、ステップＳＴ１９の処理に進む。
【００３８】
ステップＳＴ１４において、制御部３１は、画像データの各ラインの１ドット目を処理するか否かを判別し、１ドット目である場合にステップＳＴ１５の処理に進み、１ドット目でない場合、ステップＳＴ１７の処理に進む。
【００３９】
ステップＳＴ１５において、制御部３１は、上述したように、各ラインの１ドット目において、パルスファイバーレーザー１０によるレーザー出力の累積曲線と、累積曲線に対する、被照射体７のドットの濃度に応じた吸光率を考慮した補正曲線に基づいて、目標濃度となるように所定回数だけ１ドット目にマーキングを行い、次のドットの処理に進む（ステップＳＴ１６，ＳＴ１２）。
【００４０】
ステップＳＴ１７において、制御部３１は、レーザー出力の不安定期間、各ラインの２ドット目以降（レーザー出力不安定期間）、目標濃度のドットを１つのパルスレーザー光にて形成することができれば補正なしで１つのパルスレーザー光の出力を行い、目標濃度のドットを複数のパルスレーザー光にて形成するときには、複数回のパルスレーザー光の出力を抑える補正処理を行うことで、複数回のパルスレーザー光により目標濃度のドットを形成する処理を行い、次のドットの処理に進む（ステップＳＴ１８，ＳＴ１２）。
【００４１】
ステップＳＴ１９において、制御部３１は、レーザー出力の安定期間、通常のマーキング処理を行う。詳細には、制御部３１は、設定されたレーザー出力（パワー値）で、パルスレーザー光をパルスファイバーレーザー１０から出力させることで、目標濃度のドットを形成する。
【００４２】
ステップＳＴ２０において、制御部３１は、全てのラインについてマーキング処理を終了したか否かを判別し、全てのラインについてマーキング処理を終了した場合、一連のマーキング処理を終了し、それ以外の場合ステップＳＴ２１の処理に進む。
【００４３】
ステップＳＴ２１において、制御部３１は、各ラインの最後のドットを処理したか否かを判別し、各ラインの最後のドットを処理した場合、次のラインの処理に進み（ステップＳＴ２２，ＳＴ１２）、それ以外の場合、次のドットの処理に進む（ステップＳＴ２３，ＳＴ１２）。
【００４４】
尚、ステップＳＴ２０において、制御部３１は、搬送部２７を駆動して、レーザー露光された被照射体７を所定の排出口へ搬送するとともに、次の被照射体７を、露光範囲に搬送する処理を行う。
【００４５】
尚、ステップＳＴ２０において、全てのラインについてマーキング処理を終了した場合、制御部３１は、搬送部２７を駆動して、マーキングされた被照射体７を所定の排出口へ搬送する。
【００４６】
以上、説明したように、本発明の実施形態に係るレーザーマーキング装置１は、画像データに基づいて、ラスタ方式で１ライン毎に、パルスレーザー光を被照射体の所定位置に１画素ずつ露光を行う。レーザーマーキング装置１は、パルスファイバーレーザー１０（レーザー装置）と、画像データを記憶する記憶部３６と、制御部３１と、を有する。制御部３１は、各ラインの１ドット目において、パルスレーザー光のレーザー出力の累積曲線と、累積曲線に対する、被照射体７のドットの濃度に応じた吸光率を考慮した補正曲線に基づいて、目標濃度となるように所定回数だけ１ドット目にマーキングを行うように制御する。
すなわち、各ラインの先頭のドットの濃度の低下を抑え、良好なマーキングを行うことができるレーザーマーキング装置１を提供することができる。
【００４７】
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこれらの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。
また、上述の各図で示した実施形態は、その目的及び構成等に特に矛盾や問題がない限り、互いの記載内容を組み合わせることが可能である。
また、各図の記載内容はそれぞれ独立した実施形態になり得るものであり、本発明の実施形態は各図を組み合わせた一つの実施形態に限定されるものではない。
【符号の説明】
【００４８】
１…レーザーマーキング装置、７…被照射体（露光対象物）、１０…パルスファイバーレーザー（レーザー装置）、１１…レーザーコントローラ、１２…ファイバーケーブル、２０…露光光学系、２２，２２ａ，２２ｂ…ガルバノミラー、２３ａ，２３ｂ…ガルバノミラー駆動部、２５…ｆθレンズ、２７…搬送部、３０…コントロール部、３１…制御部、３６…記憶部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2016055324.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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