(57)【要約】【課題】液滴吐出装置が有する液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルで生じた液滴吐出の不良を、無駄となるインク量を抑制しつつ、迅速に解消することができる吸引方法および吸引装置を提供すること。【解決手段】液滴吐出装置６が備える液滴吐出ヘッド２２が備える複数の吐出ノズル２４のうち、不良が生じていると判定された吐出ノズル（不良ノズル）２４による液滴の吐出を回復させる吸引方法であり、前記不良ノズル、または、前記不良ノズルと、前記不良ノズルに隣接する前記吐出ノズル２４と、から選択的にインクを吸引するとともに、前記不良ノズルを含む、複数の前記吐出ノズルから一括して前記インクを吸引する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴吐出装置が有する液滴吐出ヘッドが備える複数の吐出ノズルのうち、不良が生じていると判定された不良ノズルによる液滴の吐出を回復させる吸引方法であって、
前記不良ノズル、または、前記不良ノズルと、前記不良ノズルに隣接する前記吐出ノズルと、から選択的にインクを吸引する第１工程と、
前記不良ノズルを含む、複数の前記吐出ノズルから一括して前記インクを吸引する第２工程と、を有することを特徴する吸引方法。
【請求項２】
前記第１工程の後に、前記第２工程を実施する請求項１に記載の吸引方法。
【請求項３】
前記第１工程において、前記不良ノズルから選択的にインクを吸引する請求項１または２に記載の吸引方法。
【請求項４】
前記第２工程において、複数の前記吐出ノズルのうち１つの前記吐出ノズルから吸引されるインク量は、
前記第１工程において、前記不良ノズルから吸引されるインク量よりも少なく設定される請求項１ないし３のいずれか１項に記載の吸引方法。
【請求項５】
複数の前記吐出ノズルは、前記液滴吐出ヘッドが備える全ての前記吐出ノズルである請求項１ないし４のいずれか１項に記載の吸引方法。
【請求項６】
前記不良ノズルは、記録媒体に着弾した前記液滴の着弾情報に基づいて許容範囲を超えた場合に、不良が生じていると判定する吐出検査方法を用いて判定されたものである請求項１ないし５のいずれか１項に記載の吸引方法。
【請求項７】
前記着弾情報は、前記液滴の吐出量であり、
前記吐出量の重量低下が、予め設定された所定の吐出重量を基準として５ｗｔ％以上認められた場合に、前記不良ノズルであると判定する請求項６に記載の吸引方法。
【請求項８】
前記着弾情報は、前記液滴の着弾位置であり、
前記着弾位置の、予め設定された所定の着弾点からのずれが、２０μｍ以上と認められた場合に、前記不良ノズルであると判定する請求項６または７に記載の吸引方法。
【請求項９】
液滴吐出装置が有する液滴吐出ヘッドが備える複数の吐出ノズルのうち、不良が生じていると判定された不良ノズルによる液滴の吐出を回復させるために用いられ、
前記不良ノズル、または、前記不良ノズルと、前記不良ノズルに隣接する前記吐出ノズルと、から選択的にインクを吸引する第１吸引部と、
前記不良ノズルを含む、複数の前記吐出ノズルから一括して前記インクを吸引する第２吸引部とを備えることを特徴する吸引装置。
【請求項１０】
前記第１吸引部による、前記不良ノズル、または、前記不良ノズルと、前記不良ノズルに隣接する前記吐出ノズルと、からの選択的なインクの吸引の後に、
前記第２吸引部による、前記不良ノズルを含む、複数の前記吐出ノズルからの一括した前記インクの吸引を実施するよう構成されている請求項９に記載の吸引装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸引方法および吸引装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
成膜材料を溶媒に溶解してなる機能性インクを液滴吐出法を用いて基材上に供給（塗布）し、その基材上の機能性インクから溶媒を除去（乾燥）することにより成膜を行う方法が実用に供されている。
【０００３】
このような方法に用いる液滴吐出装置が有する液滴吐出ヘッドは、一般に、吐出ノズルを複数備えており、個々の吐出ノズルから機能性インクを液滴として吐出する。このため、機能性インクは吐出ノズルで大気に晒されており、メニスカス（吐出ノズルで露出している液体の自由表面）を通じて機能性インクの溶媒成分が蒸発する。この溶媒成分の蒸発は、機能性インクの他の成分の濃度上昇を招き、これに起因して吐出ノズルの開口近傍で、機能性インクの粘度上昇、さらには成膜材料の溶出による凝集体の形成を招き、その結果、液滴の飛行曲がり、吐出ノズルの目詰まり等を引き起こしたりする。
【０００４】
このような液滴の飛行曲がり、吐出ノズルの目詰まり等の不良点に対して、例えば、特許文献１では、液滴吐出ヘッドが備える複数の吐出ノズルを、１つのヘッドクリーニング用の吸引キャップを用いて、一括して吸引することで、開口近傍で粘度が上昇している機能性インク、および、溶出した凝集体を除去することが提案されている。
【０００５】
しかしながら、このように複数の吐出ノズルを一括して吸引する方法では、機能性インクの粘度上昇および凝集体の溶出が認められない吐出ノズルからも機能性インクを吸引することから、吸引による吸引力を、これらが認められる不良な吐出ノズルに対して、選択的に伝達することができない。その結果、これらの除去に多大な時間を要したり、この際に吐出ノズルから吸引され、排液となる機能性インクの増大を招くと言った問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１３−３５１７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、液滴吐出装置が有する液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルで生じた液滴吐出の不良を、無駄となるインク量を抑制しつつ、迅速に解消することができる吸引方法および吸引装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００９】
［適用例１］
本発明の吸引方法は、液滴吐出装置が有する液滴吐出ヘッドが備える複数の吐出ノズルのうち、不良が生じていると判定された不良ノズルによる液滴の吐出を回復させる吸引方法であって、
前記不良ノズル、または、前記不良ノズルと、前記不良ノズルに隣接する前記吐出ノズルと、から選択的にインクを吸引する第１工程と、
前記不良ノズルを含む、複数の前記吐出ノズルから一括して前記インクを吸引する第２工程と、を有することを特徴する。
【００１０】
かかる構成の吸引方法とすることで、液滴吐出装置が有する液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルで生じた液滴吐出の不良を、無駄となるインク量を抑制しつつ、迅速に解消することができる。
【００１１】
［適用例２］
本発明の吸引方法では、前記第１工程の後に、前記第２工程を実施することが好ましい。
【００１２】
かかる構成の吸引方法とすることで、液滴吐出装置が有する液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルで生じた液滴吐出の不良を、無駄となるインク量を抑制しつつ、迅速に解消することができる。
【００１３】
［適用例３］
本発明の吸引方法では、前記第１工程において、前記不良ノズルから選択的にインクを吸引することが好ましい。
【００１４】
これにより、液滴吐出装置が有する液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルで生じた液滴吐出の不良を、迅速に解消することができる。
【００１５】
［適用例４］
本発明の吸引方法では、前記第２工程において、複数の前記吐出ノズルのうち１つの前記吐出ノズルから吸引されるインク量は、
前記第１工程において、前記不良ノズルから吸引されるインク量よりも少なく設定されることが好ましい。
これにより、排液となるインクの排出量を的確に抑制することができる。
【００１６】
［適用例５］
本発明の吸引方法では、複数の前記吐出ノズルは、前記液滴吐出ヘッドが備える全ての前記吐出ノズルであることが好ましい。
【００１７】
かかる構成の吸引方法とすることで、液滴吐出装置が有する液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルで生じた液滴吐出の不良を、無駄となるインク量を抑制しつつ、迅速に解消することができる。
【００１８】
［適用例６］
本発明の吸引方法では、前記不良ノズルは、記録媒体に着弾した前記液滴の着弾情報に基づいて許容範囲を超えた場合に、不良が生じていると判定する吐出検査方法を用いて判定されたものであることが好ましい。
これにより、不良が生じている不良ノズルを優れた精度で特定することができる。
【００１９】
［適用例７］
本発明の吸引方法では、前記着弾情報は、前記液滴の吐出量であり、
前記吐出量の重量低下が、予め設定された所定の吐出重量を基準として５ｗｔ％以上認められた場合に、前記不良ノズルであると判定することが好ましい。
これにより、不良が生じている不良ノズルを優れた精度で特定することができる。
【００２０】
［適用例８］
本発明の吸引方法では、前記着弾情報は、前記液滴の着弾位置であり、
前記着弾位置の、予め設定された所定の着弾点からのずれが、２０μｍ以上と認められた場合に、前記不良ノズルであると判定することが好ましい。
これにより、不良が生じている不良ノズルを優れた精度で特定することができる。
【００２１】
［適用例９］
本発明の吸引装置は、液滴吐出装置が有する液滴吐出ヘッドが備える複数の吐出ノズルのうち、不良が生じていると判定された不良ノズルによる液滴の吐出を回復させるために用いられ、
前記不良ノズル、または、前記不良ノズルと、前記不良ノズルに隣接する前記吐出ノズルと、から選択的にインクを吸引する第１吸引部と、
前記不良ノズルを含む、複数の前記吐出ノズルから一括して前記インクを吸引する第２吸引部とを備えることを特徴する。
【００２２】
かかる構成の吸引装置によれば、液滴吐出装置が有する液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルで生じた液滴吐出の不良を、無駄となるインク量を抑制しつつ、迅速に解消することができる。
【００２３】
［適用例１０］
本発明の吸引装置では、前記第１吸引部による、前記不良ノズル、または、前記不良ノズルと、前記不良ノズルに隣接する前記吐出ノズルと、からの選択的なインクの吸引の後に、
前記第２吸引部による、前記不良ノズルを含む、複数の前記吐出ノズルからの一括した前記インクの吸引を実施するよう構成されていることが好ましい。
【００２４】
かかる構成の吸引装置によれば、液滴吐出装置が有する液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルで生じた液滴吐出の不良を、無駄となるインク量を抑制しつつ、迅速に解消することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の吸引装置を備える液滴吐出装置の第１実施形態の概略構成を示す図（（ａ）は、平面図、（ｂ）は、側面図）である。
【図２】図１に示す液滴吐出装置が備える液滴吐出ヘッドの配置を示す模式的な平面図である。
【図３】図１に示す液滴吐出装置が備える液滴吐出ヘッドの要部の概略構成を示す断面図である。
【図４】図１に示す液滴吐出装置が備える吐出検査装置の概略構成を模式的に示す図である。
【図５】図１に示す液滴吐出装置が備える吸引装置が有する第１吸引部の概略構成を模式的に示す縦断面図である。
【図６】図１に示す液滴吐出装置が備える吸引装置が有する第２吸引部の概略構成を模式的に示す縦断面図である。
【図７】図１に示す液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。
【図８】本発明の吸引装置を備える液滴吐出装置の第２実施形態の概略構成を示す図（（ａ）は、平面図、（ｂ）は、側面図）である。
【図９】図４に示す吐出検査装置を用いた吐出検査方法を説明する図である。
【図１０】図９に示す吐出検査方法におけるテストパターンの一例を示す平面図である。
【図１１】図５に示す第１吸引部と図６に示す第２吸引部とを備える吸引装置を用いた吸引方法（本発明の吸引方法の一例）を説明する図である。
【図１２】図１に示す液滴吐出装置を用いた成膜方法を説明する図である。
【図１３】発光装置の一例である表示装置を示す断面図である。
【図１４】図１３に示す発光装置が備える発光素子の断面図である。
【図１５】電子機器の一例であるモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
【図１６】電子機器の一例である携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【図１７】電子機器の一例であるディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の吸引方法および吸引装置について、図面に示す好適な実施形態に基づいて説明する。なお、各図では、説明の便宜上、各部の縮尺が適宜変更されており、図示の構成は実際の縮尺と必ずしも一致するわけではない。
【００２７】
まず、以下では、本発明の吸引方法および吸引装置の説明を行うのに先立って、本発明の吸引装置を備える液滴吐出装置の第１実施形態の全体構成について説明する。
【００２８】
（液滴吐出装置）
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の吸引装置を備える液滴吐出装置の第１実施形態の概略構成を示す図（（ａ）は、平面図、（ｂ）は、側面図）、図２は、図１に示す液滴吐出装置が備える液滴吐出ヘッドの配置を示す模式的な平面図、図３は、図１に示す液滴吐出装置が備える液滴吐出ヘッドの要部の概略構成を示す断面図である。なお、図１〜図３には、説明の便宜上、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸が図示されている。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」という。また、図１では、Ｚ軸が鉛直方向に沿っており、＋Ｚ軸方向側（Ｚ軸を示す矢印の先端側）を「上」、−Ｚ軸方向側（Ｚ軸を示す矢印の基端側）を「下」という。
【００２９】
図１に示す液滴吐出装置６は、インクジェット装置である。この液滴吐出装置６は、基台７と、１対の案内レール８と、ステージ９と、副走査位置検出装置１０と、支持台１２と、案内部材１３と、収納タンク１４と、案内レール１５と、キャリッジ１６と、主走査位置検出装置１７と、ヘッドユニット１８と、吐出検査装置１９と、吸引装置５と、案内部材３と、案内部材４とを備えている。
【００３０】
基台７は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に沿った上面７ａを有する直方体形状をなしている。そして、基台７の上面７ａには、Ｘ軸方向に沿って延びている１対の案内レール８が設置されている。
【００３１】
この１対の案内レール８には、図示しない直動機構を介して、ステージ９が取り付けられている。これにより、ステージ９を１対の案内レール８に沿って移動させることで、後述する液滴吐出ヘッド２２をステージ９に対して副走査方向（本実施形態ではＸ軸方向）に相対的に移動させることができる。本実施形態では、かかる直動機構として、例えば、リニアモーターが用いられており、任意のタイミング（例えば、後述する主走査の往動と復動との切り換え時）にステージ９がＸ軸方向に沿って移動するようになっている。なお、かかる直動機構は、リニアモーターに限定されず、例えば、ネジ式直動機構等であってもよい。
【００３２】
また、基台７の上面７ａには、副走査位置検出装置１０が設けられている。この副走査位置検出装置１０により、基台７に対するステージ９のＸ軸方向での位置（すなわち副走査方向での位置）が検出される。
【００３３】
ステージ９の上面には、記録媒体２が載置される載置面１１が形成されている。この載置面１１には、図示しない吸引式のチャック機構が設けられている。このチャック機構により、載置面１１上の記録媒体２が載置面１１に対して吸着・固定される。
【００３４】
また、Ｙ軸方向における基台７の両端の外側には、上側に延びている１対の支持台１２が設けられている。この１対の支持台１２には、Ｙ軸方向に沿って延びている１対の案内部材１３が架設されている。また、支持台１２の上側には、機能性インク（成膜用インク）２６が収納されている収納タンク１４が設置されている。
【００３５】
一方、案内部材１３の側面には、Ｙ軸方向に沿って延びている案内レール１５が設置されている。この案内レール１５には、図示しない直動機構を介して、複数（本実施形態では６つ）のキャリッジ１６が取り付けられている。これにより、キャリッジ１６を案内レール１５に沿って移動させることで、後述するヘッドユニット１８が備える液滴吐出ヘッド２２をステージ９に対して主走査方向（本実施形態ではＹ軸方向）に相対的に移動させることができる。本実施形態では、かかる直動機構として、例えば、リニアモーターが用いられており、キャリッジ１６がＹ軸方向に沿って所定の速度で往動と復動とを繰り返すようになっている。なお、かかる直動機構は、リニアモーターに限定されず、例えば、ネジ式直動機構等であってもよい。
【００３６】
また、案内部材１３のキャリッジ１６側には、主走査位置検出装置１７が設けられている。この主走査位置検出装置１７により、案内部材１３に対するキャリッジ１６のＹ軸方向での位置（すなわち主走査方向での位置）が検出される。
【００３７】
複数（本実施形態では６つ）のキャリッジ１６には、これらに対応して、それぞれ、ヘッドユニット１８が設置されている。ヘッドユニット１８には、図２に示すように、複数（本実施形態では６つ）の液滴吐出ヘッド２２が設けられている。各液滴吐出ヘッド２２は、ノズルプレート２３を備え、このノズルプレート２３には、複数（本実施形態では１４個）の吐出ノズル２４が形成されている。なお、ヘッドユニット１８、液滴吐出ヘッド２２および吐出ノズル２４の数および配置等は、図示のものに限定されない。
【００３８】
より具体的に説明すると、各液滴吐出ヘッド２２は、ノズルプレート２３と、キャビティ２５と、振動板２７と、圧電素子２８と、を有している。
【００３９】
ノズルプレート２３には、本実施形態では、Ｙ軸方向に並んでいる７つの吐出ノズル２４がＸ軸方向に２列並んで形成されている。このノズルプレート２３に対して上側には、各吐出ノズル２４に対応して、吐出ノズル２４に連通しているキャビティ２５（圧力室）が設けられている。このキャビティ２５は、図示しない流路を介して、前述した収納タンク１４に連通されており、収納タンク１４からの機能性インク２６が供給される。
【００４０】
また、キャビティ２５の上側には、振動板２７が配置されている。この振動板２７は、キャビティ２５の内壁面の一部を構成している。この振動板２７のキャビティ２５とは反対側の面には、圧電素子２８が配置されている。この圧電素子２８は、素子駆動信号を受けると、上下方向（Ｚ軸方向）に伸張または収縮して振動板２７を上下方向（Ｚ軸方向）に振動させる。これにより、キャビティ２５内の容積の縮小を伴ってキャビティ２５内が加圧される。その結果、そのキャビティ２５内の容積の縮小分に対応した量の機能性インク２６が吐出ノズル２４から液滴２９として吐出される。吐出された液滴２９は、記録媒体２上に着弾する。
【００４１】
吐出検査装置１９は、記録媒体２上の液滴２９の着弾位置や着弾面積等の物理量を着弾情報として測定し、その測定結果に基づいて、液滴吐出ヘッド２２（吐出ノズル２４）の検査を行う。
【００４２】
以下、吐出検査装置１９の構成について説明する。
図４は、図１に示す液滴吐出装置が備える吐出検査装置の概略構成を模式的に示す図である。
【００４３】
図４に示す吐出検査装置１９は、機能性インク２６を記録媒体２上に液滴２９として吐出する液滴吐出ヘッド２２（吐出ノズル２４）の検査を行う。図４に示すように、この吐出検査装置１９は、記録媒体２に照射される光を出射する光出射部１９１（光源）と、記録媒体２からの光を測定する測定部１９２、１９３（撮像部）と、光出射部１９１および測定部１９２と記録媒体２との間に配置された光学系１９５と、を有している。
【００４４】
本実施形態では、光出射部１９１および測定部１９２は、前述したキャリッジ１６に取り付けられ、一方、測定部１９３は、前述したステージ９に埋設されている（図１参照）。また、図示しないが、光学系１９５もキャリッジ１６に取り付けられている。なお、光出射部１９１、測定部１９２、１９３および光学系１９５は、液滴吐出装置６に組み込まれていなくてもよく、例えば、光出射部１９１、測定部１９２、１９３および光学系１９５を液滴吐出装置６とは別体としてユニット化してもよい。
【００４５】
光出射部１９１は、記録媒体２に対して光を出射（照射）する。光出射部１９１から出射される光は、単一波長または複合波長であってもよいし、さらに所定の波長域で幅を有しているブロードなものであってもよい。
【００４６】
また、光出射部１９１としては、特に限定されないが、例えば、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）光源、レーザー光源、ハロゲン光源等を用いることができる。
【００４７】
本実施形態では、光出射部１９１は、リング型をなしている。そして、光学系１９５は、光出射部１９１からの光を記録媒体２の所定領域（後述するテストパターンが形成される領域）に集光する機能を有する集光レンズである。また、光学系１９５は、記録媒体２からの光を透過する機能を有する。なお、光出射部１９１の形状は、これに限定されず、任意であり、また、光学系１９５は、光出射部１９１や測定部１９２の構成等に応じて適宜設計されるものであり、光出射部１９１および測定部１９２の構成等によっては、省略してもよいし、集光レンズ以外の各種光学素子、例えば、光学フィルターを有していてもよい。
【００４８】
測定部１９２、１９３は、それぞれ、光出射部１９１から記録媒体２に出射された光の記録媒体２からの反射光および透過光を測定する。より具体的には、測定部１９２は、記録媒体２に対して光出射部１９１と同じ側に配置されている。そして、測定部１９２は、リング状の光出射部１９１の内側を通じて、光出射部１９１から記録媒体２に出射された光の記録媒体２からの反射光を測定する（図４（ａ）参照。）。また、測定部１９２は、光出射部１９１に対して記録媒体２とは反対側に配置されている。そして、測定部１９３は、記録媒体２に対して光出射部１９１とは反対側に配置されている。そして、測定部１９３は、光出射部１９１から記録媒体２に出射された光の記録媒体２からの透過光を測定する（図４（ｂ）参照。）。
【００４９】
また、測定部１９２、１９３としては、それぞれ、指標材料の発光を測定することができれば、特に限定されないが、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）、ＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等の撮像素子を用いることができる。このような撮像素子を測定部１９２、１９３として用いることにより、記録媒体２上で指標材料の発光が起きている領域とそうでない領域とを認識し、その結果、記録媒体２上の機能性インクの塗布領域を認識することができる。
【００５０】
記録媒体２からの反射光または透過光を測定する際には、機能性インク２６や記録媒体２の種類等に応じて、測定部１９２、１９３のうちのいずれか一方を適宜選択して測定すればよい。すなわち、測定部１９２、１９３のうちの少なくとも一方を用いるようにすればよい。したがって、本実施形態では、吐出検査装置１９が２つの測定部１９２、１９３を備える場合を例に説明したが、機能性インク２６や記録媒体２の種類等によっては、測定部１９２、１９３のうちのいずれか一方を省略してもよい。
【００５１】
ここで、機能性インク２６が記録媒体２に着弾して浸透することで定着した記録媒体２の定着領域と、この定着領域を除く非定着領域とでは、機能性インクの存在の有無に起因して、反射光および透過光の反射率および透過率がそれぞれ異なってくる。したがって、以上説明したような吐出検査装置１９によれば、光出射部１９１から記録媒体２に出射された光の記録媒体２からの反射光および透過光のうちの少なくとも一方を測定し、その測定結果に基づいて、定着領域と非定着領域との状態、すなわち、機能性インクの塗布状態を認識することができる。そのため、記録媒体２からの反射光および透過光に基づいて、液滴吐出ヘッド２２（吐出ノズル２４）の検査（吐出検査）を実施することができ、液滴吐出ヘッド２２において、液滴２９の飛行曲がり、吐出ノズル２４の目詰まり等の不良が発生している吐出ノズル２４の有無、さらには、不良が生じている吐出ノズルの位置を優れた精度で知ることができる。
【００５２】
以上、吐出検査装置１９の構成を説明したが、吐出検査装置１９を用いた吐出検査方法については、後に詳述する。
【００５３】
また、Ｙ軸方向における基台７の中央付近（ステージ９と後述する第２吸引部５０２との間）には、上側に延びている案内部材３が設けられている。この案内部材３の側面には、図示しないＸ軸方向およびＺ軸方向にそれぞれ沿って伸びている案内レールが設置されている。これらのうち、Ｚ軸方向に伸びる案内レールには、図示しない直動機構を介して、Ｙ軸方向に伸びる案内レールが取り付けられ、さらに、このＹ軸方向に伸びる案内レールには、図示しない直動機構を介して、後述する吸引装置５が備える第１吸引部５０１が取り付けられている。かかる構成とすることで、第１吸引部５０１を、副走査方向（本実施形態ではＸ軸方向）に移動させることができるとともに、上下方向（本実施形態ではＺ軸方向）に移動させることができる。本実施形態では、かかる直動機構としては、前述した案内部材１３で、説明したのと同様のものを用いることができる。
【００５４】
さらに、Ｙ軸方向における基台７のステージ９と反対側の端部付近には、上側に延びている１対の案内部材４が設けられている。これら案内部材４の側面には、図示しないＺ軸方向にそれぞれ沿って伸びている案内レールが設置されている。このＺ軸方向に伸びる案内レールには、図示しない直動機構を介して、後述する吸引装置５が備える第２吸引部５０２が取り付けられている。かかる構成とすることで、第２吸引部５０２を、上下方向（本実施形態ではＺ軸方向）に移動させることができる。本実施形態では、かかる直動機構としては、前述した案内部材１３で、説明したのと同様のものを用いることができる。
【００５５】
これら第１吸引部５０１と第２吸引部５０２とで吸引装置（本発明の吸引装置）５が構成される。
【００５６】
この吸引装置５は、吐出検査装置１９を用いた液滴吐出ヘッド２２の吐出検査で、不良が生じていると判定された液滴吐出ヘッド２２（吐出ノズル２４）に対して、機能性インク２６を吸引することで、かかる不良を解消して、液滴吐出ヘッド２２による正常な液滴２９の吐出を回復させるためのものである。
【００５７】
以下、吸引装置５が備える第１吸引部５０１および第２吸引部５０２の構成について説明する。
【００５８】
図５は、図１に示す液滴吐出装置が備える吸引装置が有する第１吸引部の概略構成を模式的に示す縦断面図、図６は、図１に示す液滴吐出装置が備える吸引装置が有する第２吸引部の概略構成を模式的に示す縦断面図である。
【００５９】
第１吸引部５０１は、案内部材３が備える案内レールに沿って、副走査方向および上下方向に移動させることで、不良が生じていると判定された液滴吐出ヘッド２２に当接され、不良が生じている吐出ノズル２４から機能性インク２６を選択的に吸引することで、この不良の原因となっている粘度上昇が生じている機能性インク、さらには機能性インクの凝集体を吐出ノズル２４から除去するために用いられる。
【００６０】
第１吸引部５０１は、本実施形態では、支持台５７１と、キャップ部５７３と、チューブ５７５と、バルブ５７６と、吸引ポンプ５７７と、を有している。また、キャップ部５７３は、筐体５７９と、ばね５８１と、枠５８３と、パッキン５８５と、ストッパー５８７と、を有している。
【００６１】
キャップ部５７３は、支持台５７１に載置されている。支持台５７１は、キャップ部５７３の筐体５７９を支持している。
【００６２】
ばね５８１は、筐体５７９内に収容されており、筐体５７９の底部５７９ａに支持されている。
【００６３】
枠５８３は、筐体５７９内に収容されており、ばね５８１を介して筐体５７９に支持されている。
【００６４】
ばね５８１は、筐体５７９の底部５７９ａと枠５８３の底面５８３ａとの間に挟持されており、枠５８３の底面５８３ａを上方に向けて付勢している。
【００６５】
パッキン５８５は、ゴムやエラストマ等の弾性体で構成され、図５に示すように、その上面５８５ａが平坦面で構成され、上面５８５ａの中心部には、内部に形成された空間５８９に連通する貫通孔５８８を備えている。このパッキン５８５は、枠５８３内に収容されている。案内部材３が備える案内レールに沿った第１吸引部５０１の移動により、不良が生じている吐出ノズル２４に貫通孔５８８が対応するように、パッキン５８５を、液滴吐出ヘッド２２の下面に当接させると、液滴吐出ヘッド２２とパッキン５８５とにより、貫通孔５８８と空間５８９とからなる閉空間が形成される。なお、パッキン５８５は、弾性体で構成されることから、かかる閉空間の気密性を高める機能を発揮する。
【００６６】
このように平坦面で構成される上面５８５ａを貫通孔５８８を備えるものとし、この貫通孔５８８に対応して不良が生じている吐出ノズル２４が配置するように上面５８５ａを液滴吐出ヘッド２２を当接することで、不良が生じている吐出ノズル２４から選択的に機能性インク２６を吸引することができる。
【００６７】
ストッパー５８７は、筐体５７９の上面に設けられ、ばね５８１によって付勢されている枠５８３が筐体５７９外に突出してしまうことを規制している。
【００６８】
チューブ５７５は、一端側がバルブ５７６に接続され、他端がパッキン５８５に接続されている。バルブ５７６のパッキン５８５側とは反対側には、吸引ポンプ５７７が設けられている。吸引ポンプ５７７は、バルブ５７６を介してチューブ５７５によって、支持台５７１内から、筐体５７９、枠５８３およびパッキン５８５を経て空間５８９に連通している。吸引ポンプ５７７としては、エジェクタポンプなどの流体作動式ポンプや、機械式ポンプ、回転式ポンプ等の種々の真空ポンプが採用され得る。
【００６９】
ここで、第１吸引部５０１では、バルブ５７６を開いた状態で吸引ポンプ５７７を作動させることで、液滴吐出ヘッド２２の不良が生じていると判定され、貫通孔５８８が対応するようにパッキン５８５が配設された吐出ノズル２４から機能性インク２６を液滴吐出ヘッド２２の外に吸引することができる。なお、吐出ノズル２４から機能性インク２６を液滴吐出ヘッド２２の外に吸引する動作は、吸引動作と呼ばれる。この吸引動作は、不良が生じていると判定された吐出ノズル２４から機能性インク２６を強制的に排出させる。そして、吐出ノズル２４の近傍で、粘度が上昇している機能性インク２６や、機能性インク２６が溶出して形成された凝集体を除去することで、吐出された液滴２９の飛行経路が曲がる飛行曲がりや、液滴２９の吐出が阻害される目詰まりを解消させるために実施される。
【００７０】
第２吸引部５０２は、案内部材４が備える案内レールに沿って、上下方向に移動させることで、不良が生じていると判定された複数のヘッドユニット１８に当接され、ヘッドユニットが備える液滴吐出ヘッド２２（複数の吐出ノズル２４）から機能性インク２６を一括して吸引することで、液滴吐出ヘッド２２（複数の吐出ノズル２４）から液滴２９を均一に吐出し得る状態とするために用いられる。
【００７１】
第２吸引部５０２は、支持台５７１と、キャップ部５９３と、チューブ５７５と、バルブ５７６と、吸引ポンプ５７７と、を有しており、前述した第１吸引部５０１を、Ｙ軸方向に沿って、並べ連結させたような構成をなしている。
【００７２】
以下、第２吸引部５０２において、単に、連結させたのみで、第１吸引部５０１と同一の構成をなす部材については、同一の符号を付すとともに、その説明を省略する。
【００７３】
キャップ部５９３は、筐体５７９と、ばね５８１と、枠５８３と、パッキン５９５と、ストッパー５８７と、を有している。
【００７４】
パッキン５９５は、ゴムやエラストマなどの弾性体で構成され、断面が−Ｚ軸方向に向かって凹となる凹部を、Ｙ軸方向に沿って複数（本実施形態では６つ）有しており、この凹部の形状は、それぞれ、ヘッドユニット１８の形状に対応している。このパッキン５９５は、枠５８３内に収容されている。案内部材４が備える案内レールに沿った第２吸引部５０２の移動により、各ヘッドユニット１８にパッキン５９５が備える凹部が対応するように、パッキン５８５を、ヘッドユニット１８の周縁部に当接させると、パッキン５９５の凹部とヘッドユニット１８とで囲まれた領域に空間５９９が形成される。なお、パッキン５９５は、弾性体で構成されることから、空間５９９の気密性を高める機能を発揮する。
【００７５】
ここで、第２吸引部５０２では、バルブ５７６を開いた状態で吸引ポンプ５７７を作動させることによって、ヘッドユニット１８が備える液滴吐出ヘッド２２（吐出ノズル２４）から一括して機能性インク２６を液滴吐出ヘッド２２の外に吸引することができる。このように機能性インク２６を一括して吸引することで、液滴吐出ヘッド２２が備える吐出ノズル２４を機能性インク２６が満たされた状態とすることができるため、液滴吐出ヘッド２２が備える各吐出ノズル２４から液滴２９を均一に吐出し得る状態とすることができる。
【００７６】
なお、バルブ５７６は、図６に示すように、各空間５９９（凹部）に対応して設けられているため、開くバルブ５７６を適宜選択することで、所望の位置の空間５９９を吸引することができる。そのため、各ヘッドユニット１８が備える液滴吐出ヘッド２２を一括して吸引することができるし、複数のヘッドユニット１８のうち、不良が生じていると判定された吐出ノズル２４を備える液滴吐出ヘッド２２を有するものを選択的に吸引することもできる。
【００７７】
以上、第１吸引部５０１と第２吸引部５０２とを備える吸引装置５の構成を説明したが、吸引装置５を用いた吸引方法については、後に詳述する。
【００７８】
［液滴吐出装置の制御系］
次に、吸引装置５および吐出検査装置１９を含む液滴吐出装置６の制御系について説明する。
【００７９】
図７は、図１に示す液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。
図７に示すように、液滴吐出装置６は、液滴吐出装置６の各部の動作を制御する制御装置４１（制御部）を備えている。この制御装置４１は、各種の演算処理を行うＣＰＵ（中央演算処理装置）４２と、各種情報を記憶するメモリー４３（記憶部）と、を備えている。
【００８０】
ここで、ＣＰＵ４２には、入出力インターフェイス４６およびデータバス４７を介して、前述した副走査位置検出装置１０、主走査位置検出装置１７、吐出検査装置１９および吸引装置５がそれぞれ接続されている。また、上記以外にも、ＣＰＵ４２には、入出力インターフェイス４６およびデータバス４７を介して、副走査駆動装置４４、主走査駆動装置４５、ヘッド駆動回路４８、入力装置４９および表示装置５０がそれぞれ接続されている。
【００８１】
副走査駆動装置４４は、前述したステージ９の副走査方向での移動を行うための駆動源であり、主走査駆動装置４５は、前述したキャリッジ１６の主走査方向での移動を行うための駆動源である。また、ヘッド駆動回路４８は、前述した液滴吐出ヘッド２２を駆動するものである。
【００８２】
入力装置４９は、液滴吐出装置６の各種動作条件が入力される装置であり、例えば、図示しない外部装置から、記録媒体２に液滴２９を吐出する座標情報が入力される。また、表示装置５０は、液滴吐出装置６の加工条件や作業状況等の各種情報を表示する装置である。操作者は、表示装置５０に表示される情報に基づいて、入力装置４９を用いて操作を行うことができる。
【００８３】
メモリー４３は、例えば、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリー、または、ハードディスク、ＤＶＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置等を有して構成されている。このメモリー４３には、ＣＰＵ４２の動作に必要な各種情報が記憶されている。
【００８４】
具体的に説明すると、メモリー４３には、液滴吐出装置６における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト５１を記憶する記憶領域が設定される。また、メモリー４３には、記録媒体２上に吐出する吐出位置の座標データである吐出位置データ５２を記憶するための記憶領域も設定される。
【００８５】
他にも、メモリー４３には、液滴吐出ヘッド２２を駆動するときの駆動波形と吐出量の関係を示すデータである駆動電圧データ５３や、液滴吐出ヘッド２２を駆動する駆動波形データ５４等の吐出条件を複数記憶するための記憶領域が設定される。また、メモリー４３には、吐出する各場所における駆動電圧のデータである吐出計画データ５５を記憶するための記憶領域が設定される。さらに、メモリー４３には、ＣＰＵ４２のためのワークエリアやテンポラリーファイル等として機能する記憶領域やその他各種類の記憶領域が設定される。
【００８６】
ＣＰＵ４２は、メモリー４３に記憶されたプログラムソフト５１に従って、液滴吐出装置６の各部の制御を行う。このＣＰＵ４２は、描画制御部５６と、吸引制御部５１０と、吐出検査制御部１９０と、着弾特性補正制御部６０と、吐出条件設定部６１と、吐出計画設定部６２と、を有している。
【００８７】
描画制御部５６は、液滴吐出ヘッド２２から液滴２９を吐出して描画するための制御を行う。この描画制御部５６は、副走査駆動装置４４を駆動制御する副走査制御部５７と、主走査駆動装置４５を駆動制御する主走査制御部５８と、ヘッド駆動回路４８を駆動制御する吐出制御部５９と、を有している。副走査制御部５７は、ステージ９を副走査方向へ所定の速度で移動させるための制御を行う。主走査制御部５８は、液滴吐出ヘッド２２を主走査方向へ所定の副走査量で移動させるための制御を行う。吐出制御部５９は、液滴吐出ヘッド２２が有する複数のノズルのそれぞれの吐出量や吐出の有無の制御を行う。
【００８８】
吐出検査制御部１９０は、吐出検査装置１９による液滴吐出ヘッド２２の吐出検査を実行するための制御を行う。この吐出検査制御部１９０は、光出射部１９１の制御を行う光源制御部１９６と、測定部１９２、１９３の制御を行う受光制御部１９７と、を有している。
【００８９】
吸引制御部５１０は、吐出検査装置１９の検査結果（テストパターンの着弾位置や着弾面積等の着弾情報）に基づいて、吸引装置５による液滴吐出ヘッド２２（吐出ノズル２４）の不良を解消する動作を実行するための制御を行う。この吸引制御部５１０は、第１吸引部５０１の制御を行う第１吸引制御部５１１と、第２吸引部５０２の制御を行う第２吸引制御部５１２と、を有している。
【００９０】
着弾特性補正制御部６０は、吐出検査装置１９の検査結果（テストパターンの着弾位置や着弾面積等の着弾情報）と、予め設定された適正な着弾情報とずれ量に基づいて、補正値を取得し、描画制御部５６にフィードバックして、液滴吐出ヘッド２２が吐出する液滴２９の記録媒体２への着弾位置を補正する。吐出条件設定部６１は、塗布領域に吐出する機能性インク２６の量と吐出特性とに基づいて、吐出ノズル２４から吐出する液滴２９の吐出量と吐出回数を設定する。吐出計画設定部６２は、液滴２９を吐出する各場所における圧電素子２８の駆動波形を設定する。
【００９１】
＜第２実施形態＞
また、吸引装置５および吐出検査装置１９を含む液滴吐出装置６は、前記第１実施形態で示した構成のものの他、例えば、以下のような第２実施形態で示す構成のものであってもよい。
【００９２】
図８は、本発明の吸引装置を備える液滴吐出装置の第２実施形態の概略構成を示す図である。
【００９３】
以下、第２実施形態における液滴吐出装置６について、前記第１実施形態における液滴吐出装置６との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００９４】
図８に示す液滴吐出装置６では、基台７の上面７ａには、Ｘ軸方向に沿って延びている１対の案内レール８と、Ｙ軸方向に沿って延びている１対の案内レール１５と、が設置されている。これらのうち、Ｙ軸方向に伸びる案内レール１５には、図示しない直動機構を介して、Ｘ軸方向に伸びる案内レール８が取り付けられ、さらに、この案内レール８には、図示しない直動機構を介して、ステージ９が取り付けられている。これにより、ステージ９を１対の案内レール８に沿って移動させることで液滴吐出ヘッド２２をステージ９に対して副走査方向（本実施形態ではＸ軸方向）に相対的に移動させることができ、さらに、ステージ９を１対の案内レール１５に沿って移動させることで液滴吐出ヘッド２２をステージ９に対して主走査方向（本実施形態ではＹ軸方向）に相対的に移動させることができる。
【００９５】
また、Ｘ軸方向における基台７の両端の外側には、上側に延びている１対の支持台１２が設けられている。この１対の支持台１２には、Ｘ軸方向に沿って伸びるヘッドユニット１８が架設されている。本実施形態では、ヘッドユニット１８は、支持台１２に固定されており、ステージ９をＸ軸方向およびＹ軸方向の双方に移動させることで、液滴吐出ヘッド２２をステージ９に対して相対的に移動させる主走査および副走査が実施される。
【００９６】
また、Ｙ軸方向に伸びる案内レール１５には、図示しない直動機構を介して、第１吸引部５０１が設けられた案内部材３が取り付けられている。これにより、案内部材３を１対の案内レール１５に沿って移動させることで、液滴吐出ヘッド２２（吐出ノズル２４）に対応して第１吸引部５０１を配置させることができる。
【００９７】
さらに、Ｙ軸方向に伸びる案内レール１５には、図示しない直動機構を介して、第２吸引部５０２が設けられた案内部材４が取り付けられている。これにより、案内部材４を１対の案内レール１５に沿って移動させることで、ヘッドユニット１８に対応して第２吸引部５０２を配置させることができる。
【００９８】
液滴吐出装置６をかかる構成のものとしても、前記第１実施形態の液滴吐出装置６と同様に、後述する吐出検査方法、吸引方法および成膜方法を適用することができる。
【００９９】
［吐出検査方法］
次に、前述した吐出検査装置１９を用いた吐出検査方法について説明する。
【０１００】
ここで、機能性インクとして、成膜材料の濃度が極めて薄く、しかも、ほとんど着色されていないものを用いると、塗布された機能性インクを単に観察しても、その塗布状態（特に塗布領域と非塗布領域との境界部）を測定（認識）することが難しい。その上、近年、ディスプレイの高精細化が進むにつれ、かかる液相プロセスに用いる液滴吐出ヘッドのノズルも高精細化されるため、１回で吐出される液滴の吐出量が極めて少なく、塗布状態を測定することがますます難しくなる。
【０１０１】
このような機能性インクを用いたとしても、吐出検査装置１９を用いた吐出検査方法によれば、その塗布状態（特に塗布領域と非塗布領域との境界部）を測定（認識）することが可能となる。
【０１０２】
図９は、図４に示す吐出検査装置を用いた吐出検査方法を説明する図である。また、図１０は、図９に示す吐出検査方法におけるテストパターンの一例を示す平面図である。
【０１０３】
吐出検査装置１９を用いた吐出検査方法は、［Ａ］機能性インクを液滴吐出ヘッド２２を用いて液滴２９として吐出して記録媒体２上に塗布（供給）して定着させる工程と、［Ｂ］記録媒体２に光を照射し、記録媒体２に液滴２９が定着した定着領域２９Ａと、液滴が定着していない非定着領域２９Ｂとにおける光の反射率および透過率のうちの少なくとも一方の差を測定する工程と、を有し、工程［Ｂ］における測定の結果に基づいて、液滴吐出ヘッド２２の検査を行う。
【０１０４】
以下、吐出検査方法の各工程を順次詳細に説明する。
［Ａ］
−Ａ１−
まず、図９（ａ）に示すように、記録媒体２を用意する。
【０１０５】
記録媒体２は、吐出検査用の記録媒体である。この記録媒体２は、基材３２と、基材３２上に積層されたインク吸収層３３と、を有している。
【０１０６】
基材３２（支持層）は、シート状をなしている、この基材３２の構成材料は、工程［Ｂ］の測定において、測定部１９２を用いるか、または、測定部１９３を用いるかによって、適宜選択することができる。なお、基材３２の構成材料に応じて、工程［Ｂ］において、測定部１９２を用いるか、または、測定部１９３を用いるかを選択して決定してもよい。
【０１０７】
基材３２の具体的な構成材料としては、特に限定されないが、例えば、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）樹脂等の樹脂材料を用いることができる。
【０１０８】
また、基材３２の厚さは、特に限定されないが、例えば、数μｍ〜数ｍｍ程度とされる。
【０１０９】
インク吸収層３３（受容層）は、例えば、シリカ、アルミナ等の無機微粒子と、ＰＶＡ（ポリビニルアルコール）等の樹脂材料からなるバインダーとを含んで構成されている。このインク吸収層３３の厚さは、特に限定されないが、数μｍ〜数百μｍ程度とされる。
【０１１０】
このようなインク吸収層３３が設けられていることにより、記録媒体２上に塗布された機能性インク（液滴２９）が、インク吸収層３３に浸透し、最終的には定着することとなり、その結果、インク吸収層３３（記録媒体２）に機能性インクが定着した定着領域２９Ａと、機能性インクが定着していない非定着領域２９Ｂとが形成される。
【０１１１】
このような記録媒体２は、測定部１９２により記録媒体２からの反射光を測定する場合、光出射部１９１からの光に対して透過性を有していてもよいし、光出射部１９１からの光に対して透過性を有していなくてもよい。
【０１１２】
−Ａ２−
次に、図９（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド２２から機能性インクの液滴２９を吐出し、記録媒体２のインク吸収層３３上に着弾させる。これにより、液滴（機能性インク）２９がインク吸収層３３に、浸透することで定着し、その結果、インク吸収層３３に、機能性インクからなる定着領域（ドット）２９Ａが形成されるとともに、機能性インクが定着しない非定着領域２９Ｂが形成される。
【０１１３】
ここで、液滴２９は、液滴吐出ヘッド２２の各ノズルから吐出され、記録媒体２上には、行列状に配置された複数の定着領域（ドット）２９Ａからなるテストパターンが形成される（図１０参照。）。
【０１１４】
［Ｂ］
次に、図９（ｃ）に示すように、記録媒体２に対して、光出射部１９１から光を照射すると、この光が、記録媒体２により反射および透過されることで、記録媒体２からの反射光および透過光が発生する。この際、記録媒体２の定着領域２９Ａと非定着領域２９Ｂとでは、光出射部１９１における光の反射率および透過率が異なる。そのため、記録媒体２からの反射光および透過光の強度が、記録媒体２の定着領域２９Ａと非定着領域２９Ｂとで異なることとなる。より具体的には、図９（ｃ）に示すように、反射光は、記録媒体２の非定着領域２９Ｂよりも定着領域２９Ａにおいて、その強度が高くなり、透過光は、記録媒体２の定着領域２９Ａよりも非定着領域２９Ｂにおいて、その強度が高くなる。そして、この状態、すなわち、記録媒体２の定着領域２９Ａと非定着領域２９Ｂとにおける反射率（反射光の強度）および透過率（透過光の強度）のうちの少なくとも一方の差を測定する。なお、図９（ｃ）では、説明の便宜上、測定部１９３を用いて透過光を測定する場合を例に図示しているが、測定部１９２を用いて反射光を測定することもできる。
【０１１５】
このような測定の結果に基づいて、液滴吐出ヘッド２２（吐出ノズル２４）の検査（吐出検査）を行う。詳述すると、測定部１９２、１９３で測定された反射光および透過光のうちの少なくとも一方に関する情報（テストパターンの撮像データ）は、図示しない画像処理装置に送られる。この画像処理装置では、測定された発光状態に関する情報に基づいて、画像処理計算を行なうことにより、記録媒体２上の各定着領域２９Ａの径（着弾径）や位置（着弾位置）が算出され、その結果、液滴（機能性インク）２９の吐出状態・インク量等を求めることができる。このとき、反射光および透過光のうちの少なくとも一方の強度が所定の閾値以上であるか否かによって、定着領域２９Ａの外周縁（図１０に示す定着領域２９Ａと非定着領域２９Ｂとの境界）が決定される。すなわち、前記強度が所定の閾値以上である領域を機能性インクが塗布された定着領域２９Ａ、一方、前記強度が閾値未満である領域を機能性インクが塗布されていない非定着領域２９Ｂと判断する。
【０１１６】
なお、本実施形態では、撮像素子のような測定部１９２、１９３を用いて測定を行ったが、定着領域２９Ａの径や定着領域２９Ａ同士の間隔が比較的大きい場合には、肉眼によって定着領域２９Ａと非定着領域２９Ｂとの前記差を認識することができ、これによっても、液滴吐出ヘッド２２のノズル目詰まり等による定着領域抜けの有無の判定等の吐出検査を行うことができる。
【０１１７】
また、吐出検査において、記録媒体２に着弾した機能性インク（定着領域２９Ａ）の着弾径（吐出量）や着弾位置および着弾形状等の着弾情報の算出値と、予め設定された所望の各適正値との比較を行い、これらの値の差（ずれ量）が許容範囲を超えた場合には、着弾特性補正制御部６０により、ずれ量に応じた補正値を取得し、その補正値を描画制御部５６にフィードバックして、液滴吐出ヘッド２２が備える吐出ノズル２４からの吐出量や吐出位置等の吐出特性を補正することもできる。
【０１１８】
さらに、かかる描画制御部５６により吐出ノズル２４の補正をし得る範囲を、ずれ量が超えた場合、すなわち、予め設定された所定の吐出重量からの重量低下または予め設定された所定の着弾位置からの位置ずれが、補正をし得る範囲を超えた場合には、吸引制御部５１０により、吸引装置５の作動を制御して、許容範囲を超え不良と判定された吐出ノズル２４を、後述する吸引方法を実施する。
【０１１９】
なお、吐出量のずれ量が補正し得る範囲を超えていると判断する基準は、予め設定された所定の吐出重量を基準として、好ましくは５ｗｔ％以上の重量低下が認められる場合、より好ましくは３ｗｔ％以上の重量低下が認められる場合、さらに好ましくは１ｗｔ％以上の重量低下が認められる場合とするのがよい。
【０１２０】
さらに、着弾位置が補正し得る範囲を超えていると判断する基準は、予め設定された所定の着弾点（着弾位置）を基準として、好ましくは２０μｍ以上の着弾位置の位置ずれが認められる場合、より好ましくは１０μｍ以上の着弾位置の位置ずれが認められる場合、さらに好ましくは３μｍ以上の着弾位置の位置ずれが認められる場合とするのがよい。
【０１２１】
これにより、液滴吐出ヘッド２２（吐出ノズル２４）による液滴２９の吐出を優れた精度で実施することができる。
【０１２２】
以上説明したような吐出検査方法によれば、記録媒体２の定着領域２９Ａと非定着領域２９Ｂとにおける反射率および透過率のうちの少なくとも一方の差を測定し、その測定結果に基づいて、機能性インクの塗布状態を認識することができる。しかも、吐出ノズル２４の詰まりに起因する定着領域２９Ａの有無の検出（ノズル抜けの有無）にとどまらず、飛行曲がりに起因する定着領域２９Ａの位置や、吐出ノズル２４の一部の詰まりに起因する面積（着弾位置や着弾面積）等の吐出情報を検出することができる。そのため、機能性インクが高濃度に着色されていなくても、液滴吐出ヘッド２２の検査（吐出検査）を行うことができる。
【０１２３】
［吸引方法］
次に、前述した吸引装置５を用いた吸引方法（本発明の吸引方法）について説明する。
【０１２４】
この吸引方法を適用することで、前述した吐出検査方法により不良が生じていると判定された吐出ヘッド２２（吐出ノズル２４）による液滴２９の吐出を回復させることができる。
【０１２５】
図１１は、図５に示す第１吸引部と図６に示す第２吸引部とを備える吸引装置を用いた吸引方法（本発明の吸引方法の一例）を説明する図である。
【０１２６】
吸引装置５を用いた吸引方法は、［Ａ］液滴吐出ヘッド２２が備える複数の吐出ノズル２４のうち、不良が生じていると判定された吐出ノズル２４から選択的に機能性インク２６を吸引する工程（第１工程）と、［Ｂ］不良が生じていると判定された吐出ノズル２４を備える液滴吐出ヘッド２２を有するヘッドユニット１８から機能性インク２６を一括して吸引する工程（第２工程）とを、を有する。
【０１２７】
以下、吸引方法の各工程を順次詳細に説明する。
［Ａ］まず、液滴吐出ヘッド２２が備える複数の吐出ノズル２４のうち、不良が生じていると判定された吐出ノズル（不良ノズル）２４から選択的に機能性インク２６を吸引する（図１１（ａ））。
【０１２８】
−Ａ１−
まず、案内部材３に設けられた、第１吸引部５０１を副走査方向に移動させた後に上下方向に移動させることにより、図１１（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド２２が備える複数の吐出ノズル２４のうち、不良が生じていると判定された吐出ノズル（不良ノズル）２４に対して、第１吸引部５０１が備えるパッキン５８５が備える貫通孔５８８が対応するように、不良が生じていると判定された吐出ノズル２４を備える液滴吐出ヘッド２２に対応して第１吸引部５０１を配置する。
【０１２９】
−Ａ２−
次いで、第１吸引部５０１において、バルブ５７６を開いた状態で吸引ポンプ５７７を作動させる。
【０１３０】
これにより、第１吸引部５０１が配置された液滴吐出ヘッド２２が備える複数の吐出ノズル２４のうち、貫通孔５８８が対応するようにパッキン５８５が配設された吐出ノズル２４、すなわち、液滴吐出ヘッド２２の不良が生じていると判定された吐出ノズル（不良ノズル）２４から選択的に機能性インク２６が液滴吐出ヘッド２２の外に吸引される。
【０１３１】
この吐出ノズル２４から機能性インク２６を液滴吐出ヘッド２２の外に吸引する吸引動作により、吐出ノズル２４の近傍で、粘度が上昇している機能性インク２６や、機能性インク２６が溶出して形成された凝集体が除去される。その結果、不良が生じていると判定された吐出ノズル２４における、吐出された液滴２９の飛行経路が曲がる飛行曲がりや、液滴２９の吐出が阻害される目詰まりが解消される。
【０１３２】
特に、液滴吐出ヘッド２２の不良が生じていると判定された吐出ノズル２４から選択的に機能性インク２６を吸引し、他の不良が生じていない吐出ノズル２４からの吸引を実施しないことから、吸引ポンプ５７７からの吸引力を、不良が生じていると判定された吐出ノズル２４に対して選択的に伝達することができるため、この吐出ノズル２４による液滴２９の吐出を迅速に回復させることができる。さらに、他の不良が生じていない吐出ノズル２４からの吸引が実施されず、これらの吐出ノズル２４からは機能性インク２６が排出されないため、排液となる機能性インク２６の排出量を的確に抑制することができる。
【０１３３】
［Ｂ］次に、不良が生じていると判定された吐出ノズル２４を備える液滴吐出ヘッド２２を有するヘッドユニット１８から機能性インク２６を一括して吸引する（図１１（ｂ））。
【０１３４】
−Ｂ１−
次いで、案内部材４に設けられた、第２吸引部５０２を上下方向に移動させることにより、図１１（ｂ）に示すように、各ヘッドユニット１８に対して、第２吸引部５０２が備えるパッキン５９５が有する各凹部が対応するように、ヘッドユニット１８に対して第２吸引部５０２を配置する。
【０１３５】
−Ｂ２−
次いで、第２吸引部５０２において、複数のヘッドユニット１８のうち、不良が生じていると判定された吐出ノズル２４を備える液滴吐出ヘッド２２を有するヘッドユニット１８が当接されている凹部に接続されているバルブ５７６を選択的に開いた状態で吸引ポンプ５７７を作動させる。
【０１３６】
これにより、複数のヘッドユニット１８のうち、不良が生じていると判定された吐出ノズル２４を備える液滴吐出ヘッド２２を有するヘッドユニット１８の各液滴吐出ヘッド２２から選択的に機能性インク２６が液滴吐出ヘッド２２の外に吸引される。このように機能性インク２６を、ヘッドユニット１８が備える複数の液滴吐出ヘッド２２から一括して吸引することで、各液滴吐出ヘッド２２が備える吐出ノズル２４を機能性インク２６が満たされた状態とすることができる。そのため、液滴吐出ヘッド２２が備える各吐出ノズル２４から液滴２９を均一に吐出し得る状態とすることができる。
【０１３７】
ここで、液滴吐出ヘッド２２が備える各吐出ノズル２４は、通常、これらに連通する各キャビティ２５に対して共通のリザーバーが設けられている。そのため、前記工程−Ａ２−において、不良が生じていると判定された吐出ノズル２４から選択的に機能性インク２６を吸引すると、連通するリザーバーおよびキャビティ２５を介して他の不良が生じていない吐出ノズル２４に対して、この吸引に起因する吸引力が伝播し、その結果、これらの吐出ノズル２４において、気泡が生じることがある。
【０１３８】
そのため、本工程−Ｂ２−において、ヘッドユニット１８が備える複数の液滴吐出ヘッド２２から一括して吸引することで、この気泡を排出して、各液滴吐出ヘッド２２が備える吐出ノズル２４を機能性インク２６が満たされた状態とすることができ、液滴吐出ヘッド２２が備える各吐出ノズル２４から液滴２９を均一に吐出し得る状態とすることができる。
【０１３９】
なお、前記工程−Ａ２−において、不良が生じていると判定された吐出ノズル２４から選択的に機能性インク２６を吸引することに起因する吸引力の伝播は、共通のリザーバーを介して行われる他、共通の収納タンク１４を介して行われることも考えられる。そのため、液滴吐出装置６の構成を考慮して、本実施形態のように、複数のヘッドユニット１８のうち、不良が生じていると判定された吐出ノズル２４を備える液滴吐出ヘッド２２を有するヘッドユニット１８の各液滴吐出ヘッド２２から選択的に機能性インク２６を吸引するようにしてもよいし、かかる方法の他、例えば、ヘッドユニット１８が備える複数の液滴吐出ヘッド２２のうち不良が生じていると判定された吐出ノズル２４を備える液滴吐出ヘッド２２から選択的に機能性インク２６を吸引するようにしてもよいし、さらには、複数のヘッドユニット１８から一括して機能性インク２６を吸引するようにしてもよい。
【０１４０】
また、本工程−Ｂ２−において、機能性インク２６が一括して吸引される、複数の吐出ノズル２４のうち１つの吐出ノズル２４から吸引されるインク量は、前記工程−Ｂ１−において、不良と判定された吐出ノズル２４から吸引されるインク量よりも少なく設定されている。これにより、排液となる機能性インク２６の排出量を的確に抑制することができる。
【０１４１】
以上のことから、かかる構成の吸引方法によれば、不良が生じていると判定された吐出ノズル２４による液滴２９の吐出不良を、無駄となるインク量を抑制しつつ、迅速に解消することができる。
【０１４２】
以上説明したような吐出検査方法および吸引方法が実施された液滴吐出装置６を用いて、例えば、基材２Ａが備える隔壁２０の開口部２１に成膜性インクを液滴２９として供給することにより、開口部２１で露出する基材２Ａ上に膜２９Ｄが形成されるが、以下、液滴吐出装置６を用いた液相プロセスによる成膜方法について説明する。
【０１４３】
［成膜方法］
図１２は、図１に示す液滴吐出装置を用いた成膜方法を説明する図である。
【０１４４】
成膜性インクを用いた成膜方法は、［１］成膜性インクを開口部２１で露出する基材２Ａ上に液滴２９として供給して、液状被膜２９Ｃを形成する工程（供給工程）と、［２］液状被膜２９Ｃを加熱して、乾燥させることにより膜２９Ｄを形成する工程（成膜工程）と、を有する。
【０１４５】
以下、各工程を順次詳細に説明する。
［１］供給工程（インク付与工程）
まず、図１２（ａ）に示すように、開口部２１が形成された隔壁２０を備える基材２Ａを用意し、次いで、図１２（ｂ）に示すように、開口部２１内で露出する基材２Ａ上に、前述した成膜性インクを液滴吐出ヘッド２２から液滴２９として吐出・供給する。これにより、開口部２１内で露出する基材２Ａ上に成膜性インクからなる液状被膜２９Ｃが形成される。
【０１４６】
なお、本工程［１］における雰囲気の温度および圧力は、それぞれ、成膜性インクの組成や液性媒体の沸点および融点に応じて決められるものであり、基材２Ａ上に成膜性インクを付与することができれば、特に限定されないが、常温常圧であるのが好ましい。したがって、常温常圧下において、基材２Ａ上に付与可能な成膜性インクを用いるのが好ましい。これにより、工程［１］を簡単に行える。
【０１４７】
［２］成膜工程（乾燥工程）
次に、基材２Ａ上に形成された液状被膜２９Ｃ（成膜性インク）を加熱する。
【０１４８】
これにより、液状被膜２９Ｃから液性媒体を除去して、液状被膜２９Ｃを乾燥させることで、図１２（ｃ）に示すように、成膜用インクに含まれる成膜材料を主成分とする膜２９Ｄが形成される。
【０１４９】
乾燥工程［２］における雰囲気の温度および圧力は、それぞれ、成膜性インクの組成や液性媒体の沸点および融点に応じて決められるものであり、基材２Ａ上の液状被膜２９Ｃから液性媒体を除去することができれば、特に限定されるものではない。
【０１５０】
また、液状被膜２９Ｃを加熱する方法は、特に限定されないが、ホットプレートや赤外線などで行うことができ、さらに、前述した液滴吐出装置６のステージ９が備えるラバーヒータにより行ってもよい。
【０１５１】
以上のような工程を有する成膜方法を用いることにより、隔壁２０が備える開口部２１内で露出する基材２Ａ上に膜２９Ｄが形成され、これにより、基材２Ａ上に膜２９Ｄが形成された膜付きデバイスが得られる。
【０１５２】
なお、本実施形態では、隔壁２０を備える基材２Ａの開口部２１で開口する基材２Ａ上に、膜２９Ｄを形成する場合について説明したが、かかる場合に限定されず、基材２Ａは、隔壁２０の形成が省略されたものであってもよい。
【０１５３】
また、この膜付きデバイスとしては、例えば、有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）素子を備える表示装置、カラーフィルターおよび配線基板等が挙げられるが、以下では、膜付きデバイスとして、有機ＥＬ素子を備える表示装置に適用した場合について説明する。
【０１５４】
なお、この場合、有機ＥＬ素子が備える有機層のうち、例えば、正孔注入層、正孔輸送層および発光層のうちの少なくとも１層の形成に、上述した膜付きデバイスが備える膜を形成するための液滴吐出装置を用いた成膜方法を適用することができ、正孔注入層、正孔輸送層および発光層を成膜するために用いる成膜用インクに含まれる成膜材料としては、それぞれ、後述する、正孔注入性を有する高分子材料、正孔輸送性を有する高分子材料、および、発光性を有する有機材料を用いることができる。
【０１５５】
（表示装置）
次に、前述した成膜方法を用いて成膜された正孔注入層を備える発光装置の一例である表示装置について説明する。
【０１５６】
図１３は、発光装置の一例である表示装置を示す断面図である。なお、以下では、説明の都合上、図１３中の上側を「上」、下側を「下」として説明を行う。
【０１５７】
図１３に示す表示装置３００は、複数の発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂがサブ画素３００Ｒ、３００Ｇ、３００Ｂに対応して設けられ、トップエミッション構造のディスプレイパネルを構成している。
【０１５８】
なお、本実施形態では表示装置の駆動方式としてアクティブマトリックス方式を採用した例に説明するが、パッシブマトリックス方式を採用したものであってもよい。
【０１５９】
表示装置３００は、基板３０１と、複数の発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂと、複数のスイッチング素子３０２とを有している。
【０１６０】
基板３０１は、複数の発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂおよび複数のスイッチング素子３０２を支持するものである。本実施形態の各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂは、基板３０１とは反対側から光を取り出す構成（トップエミッション型）である。したがって、基板３０１には、透明基板および不透明基板のいずれも用いることができる。なお、各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂが基板３０１側から光を取り出す構成（ボトムエミッション型）とする場合には、基板３０１は、実質的に透明（無色透明、着色透明または半透明）とされる。
【０１６１】
基板３０１の構成材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリプロピレン、シクロオレフィンポリマー、ポリアミド、ポリエーテルサルフォン、ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネート、ポリアリレートのような樹脂材料や、石英ガラス、ソーダガラスのようなガラス材料等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【０１６２】
不透明基板としては、例えば、アルミナのようなセラミックス材料で構成された基板、ステンレス鋼のような金属基板の表面に酸化膜（絶縁膜）を形成したもの、樹脂材料で構成された基板等が挙げられる。
【０１６３】
このような基板３０１上には、複数のスイッチング素子３０２がマトリクス状に配列されている。
【０１６４】
各スイッチング素子３０２は、各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂに対応して設けられ、各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂを駆動するための駆動用トランジスタである。
【０１６５】
このような各スイッチング素子３０２は、シリコンからなる半導体層３０２ａと、半導体層３０２ａ上に形成されたゲート絶縁層３０２ｂと、ゲート絶縁層３０２ｂ上に形成されたゲート電極３０２ｃと、ソース電極３０２ｄと、ドレイン電極３０２ｅとを有している。
【０１６６】
このような複数のスイッチング素子３０２を覆うように、絶縁材料で構成された平坦化層３０３が形成されている。
【０１６７】
平坦化層３０３上には、各スイッチング素子３０２に対応して発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂが設けられている。
【０１６８】
発光素子２００Ｒは、平坦化層３０３上に、反射膜３０４、腐食防止膜３０５、陽極２０１、積層体（有機ＥＬ発光部）２０８（２０８Ｒ）、陰極２０７、陰極カバー３０６がこの順に積層されている。本実施形態では、各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂの陽極２０１は、画素電極を構成し、各スイッチング素子３０２のドレイン電極３０２ｅに導電部（配線）３０７により電気的に接続されている。また、各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂの陰極２０７は、共通電極とされている。
【０１６９】
また、発光素子２００Ｇ、２００Ｂの構成は、それぞれ、発光素子２００Ｒと同様に構成することができる。ここで、発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂの積層体２０８Ｒ、２０８Ｇ、２０８Ｂ（特に発光層）を互いに異ならせることにより、異なる色を発光させることができる。例えば、発光素子２００Ｒは、赤色発光し、発光素子２００Ｇは、緑色発光し、発光素子２００Ｂは、青色発光する。
【０１７０】
隣接する発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂ同士の間には、隔壁３０８が設けられている。また、陰極カバー３０６には、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂で構成された樹脂層３０９を介して、基板３１０が接合されている。
【０１７１】
前述したように本実施形態の各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂはトップエミッション型であるため、基板３１０には、透明基板が用いられる。
【０１７２】
このような基板３１０の構成材料としては、基板３１０が光透過性を有するものであれば、特に限定されず、前述した基板３０１の構成材料と同様のものを用いることができる。
【０１７３】
（発光素子）
ここで、図１４に基づき、発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂを詳細に説明する。
【０１７４】
図１４は、図１３に示す発光装置が備える発光素子の断面図である。
図１４に示す発光素子（エレクトロルミネッセンス素子）２００は、前述した発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂを構成するものであり、前述したように２つの電極間（陽極２０１と陰極２０７との間）に積層体２０８が介挿されている。この積層体２０８は、図１４に示すように、陽極２０１側から陰極２０７側へ、正孔注入層２０２と正孔輸送層２０３と発光層２０４と電子輸送層２０５と電子注入層２０６とがこの順に積層されている。
【０１７５】
このような発光素子２００にあっては、発光層２０４に対し、陰極２０７側から電子が供給（注入）されるとともに、陽極２０１側から正孔が供給（注入）される。そして、各発光層２０４では、正孔と電子とが再結合し、この再結合に際して放出されたエネルギーによりエキシトン（励起子）が生成し、エキシトンが基底状態に戻る際にエネルギー（蛍光やりん光）を放出（発光）する。
【０１７６】
この発光素子２００は、前述した成膜方法を用いて正孔輸送層２０３または正孔注入層２０２が形成されている。これにより、優れた特性を有する発光素子２００および表示装置３００を提供することができる。なお、発光素子２００は、正孔注入層２０２および正孔輸送層２０３のうちのいずれか一方を省略してもよい。
【０１７７】
以下、発光素子２００を構成する各部を順次説明する。
（陽極）
陽極２０１は、後述する正孔注入層２０２を介して正孔輸送層２０３に正孔を注入する電極である。この陽極２０１の構成材料としては、仕事関数が大きく、導電性に優れる材料を用いるのが好ましい。
【０１７８】
陽極２０１の構成材料としては、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）、ＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｚｉｎｃ  Ｏｘｉｄｅ）、Ｉｎ３Ｏ３、ＳｎＯ２、Ｓｂ含有ＳｎＯ２、Ａｌ含有ＺｎＯ等の酸化物、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕまたはこれらを含む合金等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【０１７９】
（陰極）
一方、陰極２０７は、後述する電子注入層２０６を介して電子輸送層２０５に電子を注入する電極である。この陰極２０７の構成材料としては、仕事関数の小さい材料を用いるのが好ましい。
【０１８０】
陰極２０７の構成材料としては、例えば、Ｌｉ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｅｒ、Ｅｕ、Ｓｃ、Ｙ、Ｙｂ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｃｓ、Ｒｂまたはこれらを含む合金等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて（例えば、複数層の積層体等）用いることができる。
【０１８１】
特に、陰極２０７の構成材料として合金を用いる場合には、Ａｇ、Ａｌ、Ｃｕ等の安定な金属元素を含む合金、具体的には、ＭｇＡｇ、ＡｌＬｉ、ＣｕＬｉ等の合金を用いるのが好ましい。かかる合金を陰極２０７の構成材料として用いることにより、陰極２０７の電子注入効率および安定性の向上を図ることができる。
【０１８２】
また、本実施形態の発光素子２００は、トップエミッション型であるため、陰極２０７は、光透過性を有する。
【０１８３】
（正孔注入層）
正孔注入層２０２は、陽極２０１からの正孔注入効率を向上させる機能を有するものである。
【０１８４】
この正孔注入層２０２は、前述した、機能性インクを用いた成膜方法を用いて形成されたものであり、その構成材料（正孔注入材料）としては、前述した、正孔注入性を有する高分子材料を含む成膜材料が挙げられる。
【０１８５】
このような正孔注入層２０２の平均厚さは、特に限定されないが、５ｎｍ以上、１５０ｎｍ以下程度であるのが好ましく、１０ｎｍ以上、１００ｎｍ以下程度であるのがより好ましい。
【０１８６】
（正孔輸送層）
正孔輸送層２０３は、陽極２０１から正孔注入層２０２を介して注入された正孔を発光層２０４まで輸送する機能を有するものである。
【０１８７】
この正孔輸送層２０３の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、ＴＦＢ（poly(9,9-dioctyl-fluorene-co-N-(4- butylphenyl)-diphenylamine)）等のトリフェニルアミン系ポリマー等のアミン系化合物、ポリフルオレン誘導体（ＰＦ）やポリパラフェニレンビニレン誘導体（ＰＰＶ）、ポリパラフェニレン誘導体（ＰＰＰ）、ポリビニカルバゾール（ＰＶＫ）、ポリチオフェン誘導体、ポリメチルフェニルシラン（ＰＭＰＳ）を含むポリシラン系などの高分子有機材料（高分子材料）が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。また、前述した正孔注入層２０２の構成材料を正孔輸送層２０３の構成材料として用いることもできる。
【０１８８】
このような正孔輸送層２０３の平均厚さは、特に限定されないが、１０〜１５０ｎｍ程度であるのが好ましく、１０〜１００ｎｍ程度であるのがより好ましい。
【０１８９】
（発光層）
この発光層２０４は、発光材料を含んで構成されている。
【０１９０】
発光材料としては、特に限定されず、各種蛍光材料、燐光材料を１種または２種以上組み合わせて用いることができる。発光素子２００を前述した発光素子２００Ｒに用いる場合には、発光材料として赤色蛍光材料または赤色燐光材料が用いられ、発光素子２００を前述した発光素子２００Ｇに用いる場合には、発光材料として緑色蛍光材料または緑色燐光材料が用いられ、発光素子２００を発光素子２００Ｂとして用いる場合には、発光材料として青色蛍光材料または青色燐光材料が用いられる。
【０１９１】
赤色蛍光材料としては、赤色の蛍光を発するものであれば特に限定されず、例えば、ジインデノペリレン誘導体等のペリレン誘導体、ユーロピウム錯体、ベンゾピラン誘導体、ローダミン誘導体、ベンゾチオキサンテン誘導体、ポルフィリン誘導体、ナイルレッド、２−（１，１−ジメチルエチル）−６−（２−（２，３，６，７−テトラヒドロ−１，１，７，７−テトラメチル−１Ｈ，５Ｈ−ベンゾ（ｉｊ）キノリジン−９−イル）エテニル）−４Ｈ−ピラン−４Ｈ−イリデン）プロパンジニトリル（ＤＣＪＴＢ）、４−（ジシアノメチレン）−２−メチル−６−（ｐ−ジメチルアミノスチリル）−４Ｈ−ピラン（ＤＣＭ）等を挙げられる。
【０１９２】
赤色燐光材料としては、赤色の燐光を発するものであれば特に限定されず、例えば、イリジウム、ルテニウム、白金、オスミウム、レニウム、パラジウム等の金属錯体が挙げられ、これら金属錯体の配位子の内の少なくとも１つがフェニルピリジン骨格、ビピリジル骨格、ポルフィリン骨格等を持つものも挙げられる。より具体的には、トリス（１−フェニルイソキノリン）イリジウム、ビス［２−（２’−ベンゾ［４，５−α］チエニル）ピリジネート−Ｎ，Ｃ３’］イリジウム（アセチルアセトネート）（ｂｔｐ２Ｉｒ（ａｃａｃ））、２，３，７，８，１２，１３，１７，１８−オクタエチル−１２Ｈ，２３Ｈ−ポルフィリン−白金（ＩＩ）、ビス［２−（２’−ベンゾ［４，５−α］チエニル）ピリジネート−Ｎ，Ｃ３’］イリジウム、ビス（２−フェニルピリジン）イリジウム（アセチルアセトネート）が挙げられる。
【０１９３】
緑色蛍光材料としては、緑色の蛍光を発するものであれば特に限定されず、例えば、クマリン誘導体、キナクリドン誘導体等のキナクリドンおよびその誘導体、９，１０−ビス［（９−エチル−３−カルバゾール）−ビニレニル］−アントラセン、ポリ（９，９−ジヘキシル−２，７−ビニレンフルオレニレン）、ポリ［（９，９−ジオクチルフルオレン−２，７−ジイル）−コ−（１，４−ジフェニレン−ビニレン−２−メトキシ−５−｛２−エチルヘキシルオキシ｝ベンゼン）］、ポリ［（９，９−ジオクチル−２，７−ジビニレンフルオレニレン）−オルト−コ−（２−メトキシ−５−（２−エトキシルヘキシルオキシ）−１，４−フェニレン）］等が挙げられる。
【０１９４】
緑色燐光材料としては、緑色の燐光を発するものであれば特に限定されず、例えば、イリジウム、ルテニウム、白金、オスミウム、レニウム、パラジウム等の金属錯体が挙げられ、具体的には、ファク−トリス（２−フェニルピリジン）イリジウム（Ｉｒ（ｐｐｙ）３）、ビス（２−フェニルピリジネート−Ｎ，Ｃ２’）イリジウム（アセチルアセトネート）、ファク−トリス［５−フルオロ−２−（５−トリフルオロメチル−２−ピリジン）フェニル−Ｃ，Ｎ］イリジウム等が挙げられる。
【０１９５】
青色蛍光材料としては、青色の蛍光を発するものであれば、特に限定されず、例えば、ジスチリルジアミン系化合物等のジスチリルアミン誘導体、フルオランテン誘導体、ピレン誘導体、ペリレンおよびペリレン誘導体、アントラセン誘導体、ベンゾオキサゾール誘導体、ベンゾチアゾール誘導体、ベンゾイミダゾール誘導体、クリセン誘導体、フェナントレン誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体、テトラフェニルブタジエン、４，４’−ビス（９−エチル−３−カルバゾビニレン）−１，１’−ビフェニル（ＢＣｚＶＢｉ）、ポリ［（９．９−ジオクチルフルオレン−２，７−ジイル）−コ−（２，５−ジメトキシベンゼン−１，４−ジイル）］、ポリ［（９，９−ジヘキシルオキシフルオレン−２，７−ジイル）−オルト−コ−（２−メトキシ−５−｛２−エトキシヘキシルオキシ｝フェニレン−１，４−ジイル）］、ポリ［（９，９−ジオクチルフルオレン−２，７−ジイル）−コ−（エチルニルベンゼン）］等が挙げられる。
【０１９６】
青色燐光材料としては、青色の燐光を発するものであれば、特に限定されず、例えば、イリジウム、ルテニウム、白金、オスミウム、レニウム、パラジウム等の金属錯体が挙げられ、具体的には、ビス［４，６−ジフルオロフェニルピリジネート−Ｎ，Ｃ２’］−ピコリネート−イリジウム、トリス［２−（２，４−ジフルオロフェニル）ピリジネート−Ｎ，Ｃ２’］イリジウム、ビス［２−（３，５−トリフルオロメチル）ピリジネート−Ｎ，Ｃ２’］−ピコリネート−イリジウム、ビス（４，６−ジフルオロフェニルピリジネート−Ｎ，Ｃ２’）イリジウム（アセチルアセトネート）等が挙げられる。
【０１９７】
以上のような発光材料は、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。
【０１９８】
また、発光層２０４中には、前述した発光材料の他に、発光材料がゲスト材料として添加されるホスト材料が含まれていてもよい。
【０１９９】
ホスト材料は、正孔と電子とを再結合して励起子を生成するとともに、その励起子のエネルギーを発光材料に移動（フェルスター移動またはデクスター移動）させて、発光材料を励起する機能を有する。このようなホスト材料を用いる場合、例えば、ゲスト材料である発光材料をドーパントとしてホスト材料にドープして用いることができる。
【０２００】
このようなホスト材料としては、用いる発光材料に対して前述したような機能を発揮するものであれば、特に限定されないが、例えば、ナフタセン誘導体、ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体のようなアセン誘導体（アセン系材料）、ジスチリルアリーレン誘導体、ペリレン誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体、ジスチリルアミン誘導体、トリス（８−キノリノラト）アルミニウム錯体（Ａｌｑ３）等のキノリノラト系金属錯体、トリフェニルアミンの４量体等のトリアリールアミン誘導体、オキサジアゾール誘導体、シロール誘導体、ジカルバゾール誘導体、オリゴチオフェン誘導体、ベンゾピラン誘導体、トリアゾール誘導体、ベンゾオキサゾール誘導体、ベンゾチアゾール誘導体、キノリン誘導体、４，４’−ビス（２，２’−ジフェニルビニル）ビフェニル（ＤＰＶＢｉ）等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることもできる。
【０２０１】
前述したような赤色発光材料（ゲスト材料）およびホスト材料を用いる場合、発光層２０４中における発光材料の含有量（ドープ量）は、０．０１〜１０ｗｔ％であるのが好ましく、０．１〜５ｗｔ％であるのがより好ましい。赤色発光材料の含有量をこのような範囲内とすることで、発光効率を最適化することができる。
【０２０２】
このような発光層２０４の平均厚さは、特に限定されないが、１０〜１５０ｎｍ程度であるのが好ましく、１０〜１００ｎｍ程度であるのがより好ましい。また、発光層２０４は、積層された複数の発光層で構成されていてもよく、その場合、任意の発光層間に発光しない中間層が介在していてもよい。
【０２０３】
（電子輸送層）
電子輸送層２０５は、陰極２０７から電子注入層２０６を介して注入された電子を発光層２０４に輸送する機能を有するものである。
【０２０４】
電子輸送層２０５の構成材料（電子輸送材料）としては、例えば、トリス（８−キノリノラト）アルミニウム（Ａｌｑ３）等の８−キノリノールなしいその誘導体を配位子とする有機金属錯体などのキノリン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ペリレン誘導体、ピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、キノキサリン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、ニトロ置換フルオレン誘導体等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【０２０５】
電子輸送層２０５の平均厚さは、特に限定されないが、０．５〜１００ｎｍ程度であるのが好ましく、１〜５０ｎｍ程度であるのがより好ましい。
なお、この電子輸送層２０５は、省略することができる。
【０２０６】
（電子注入層）
電子注入層２０６は、陰極２０７からの電子注入効率を向上させる機能を有するものである。
【０２０７】
この電子注入層２０６の構成材料（電子注入材料）としては、例えば、各種の無機絶縁材料、各種の無機半導体材料が挙げられる。
【０２０８】
このような無機絶縁材料としては、例えば、アルカリ金属カルコゲナイド（酸化物、硫化物、セレン化物、テルル化物）、アルカリ土類金属カルコゲナイド、アルカリ金属のハロゲン化物およびアルカリ土類金属のハロゲン化物等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。これらを主材料として電子注入層を構成することにより、電子注入性をより向上させることができる。特にアルカリ金属化合物（アルカリ金属カルコゲナイド、アルカリ金属のハロゲン化物等）は仕事関数が非常に小さく、これを用いて電子注入層２０６を構成することにより、発光素子２００は、高い輝度が得られるものとなる。
【０２０９】
アルカリ金属カルコゲナイドとしては、例えば、Ｌｉ２Ｏ、ＬｉＯ、Ｎａ２Ｓ、Ｎａ２Ｓｅ、ＮａＯ等が挙げられる。
【０２１０】
アルカリ土類金属カルコゲナイドとしては、例えば、ＣａＯ、ＢａＯ、ＳｒＯ、ＢｅＯ、ＢａＳ、ＭｇＯ、ＣａＳｅ等が挙げられる。
【０２１１】
アルカリ金属のハロゲン化物としては、例えば、ＣｓＦ、ＬｉＦ、ＮａＦ、ＫＦ、ＬｉＣｌ、ＫＣｌ、ＮａＣｌ等が挙げられる。
【０２１２】
アルカリ土類金属のハロゲン化物としては、例えば、ＣａＦ２、ＢａＦ２、ＳｒＦ２、ＭｇＦ２、ＢｅＦ２等が挙げられる。
【０２１３】
また、無機半導体材料としては、例えば、Ｌｉ、Ｎａ、Ｂａ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｙｂ、Ａｌ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｃｄ、Ｍｇ、Ｓｉ、Ｔａ、ＳｂおよびＺｎのうちの少なくとも１つの元素を含む酸化物、窒化物または酸化窒化物等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【０２１４】
電子注入層２０６の平均厚さは、特に限定されないが、０．１〜１０００ｎｍ程度であるのが好ましく、０．２〜１００ｎｍ程度であるのがより好ましく、０．２〜５０ｎｍ程度であるのがさらに好ましい。
なお、この電子注入層２０６は、省略することができる。
【０２１５】
（電子機器）
図１５は、電子機器の一例であるモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
【０２１６】
この図において、パーソナルコンピュータ１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部を備える表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
【０２１７】
このパーソナルコンピュータ１１００において、表示ユニット１１０６が備える表示部が前述の表示装置３００で構成されている。
【０２１８】
図１６は、電子機器の一例である携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【０２１９】
この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６とともに、表示部を備えている。
【０２２０】
携帯電話機１２００において、この表示部が前述の表示装置３００で構成されている。
【０２２１】
図１７は、電子機器の一例であるディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
【０２２２】
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【０２２３】
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。
【０２２４】
ディジタルスチルカメラ１３００において、この表示部が前述の表示装置３００で構成されている。
【０２２５】
ケースの内部には、回路基板１３０８が設置されている。この回路基板１３０８は、撮像信号を格納（記憶）し得るメモリが設置されている。
【０２２６】
また、ケース１３０２の正面側（図示の構成では裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【０２２７】
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、回路基板１３０８のメモリに転送・格納される。
【０２２８】
また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示のように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニタ１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピュータ１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、回路基板１３０８のメモリに格納された撮像信号が、テレビモニタ１４３０や、パーソナルコンピュータ１４４０に出力される構成になっている。
【０２２９】
なお、電子機器は、図１５のパーソナルコンピュータ（モバイル型パーソナルコンピュータ）、図１６の携帯電話機、図１７のディジタルスチルカメラの他にも、例えば、テレビや、ビデオカメラ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器（例えば金融機関のキャッシュディスペンサー、自動券売機）、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電表示装置、超音波診断装置、内視鏡用表示装置）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレータ、その他各種モニタ類、プロジェクター等の投射型表示装置等に適用することができる。
【０２３０】
以上、本発明の吸引方法および吸引装置を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものでない。
【０２３１】
例えば、前記実施形態では、複数の吐出ノズルのうち、不良が生じていると判定された吐出ノズル（不良ノズル）から選択的に機能性インクを吸引する場合について説明したが、かかる場合に限らず、不良ノズルと、この不良ノズルに隣接する吐出ノズルとから選択的にインクを吸引するようにしてもよい。このように、複数の吐出ノズルのうち、不良ノズルに隣接する吐出ノズルからも機能性インクを吸引したとしても、隣接するものに限定すれば、前述したのと同様の効果を得ることができる。
【０２３２】
また、不良ノズルから選択的にインクを吸引する第１工程の後に、不良ノズルを含む複数の前記吐出ノズルから一括して機能性インクを吸引する第２工程を実施する場合に限らず、前記第１工程と前記第２工程との順番を逆にして、前記第２工程の後に、前記第１工程を実施するようにしてもよい。
【０２３３】
さらに、前記実施形態では、液滴吐出装置から吐出される液滴は、機能性インクからなる場合について説明したが、有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）素子を備える表示装置、カラーフィルターおよび配線基板等を形成するために用いる機能性インクに限らず、液滴は、画像等を印字するために用いるインク等からなるものであってもよい。ただし、特に、有機ＥＬ素子を備える表示装置を形成するために用いられる機能性インクは、高価であるため、この機能性インクを液滴として吐出する場合に、本発明の吸引方法および吸引装置を適用することで、無駄となるインク量を抑制することができるため、表示装置を製造する際のコストの削減を図ることができる。
【０２３４】
また、前述した実施形態では、膜付きデバイスを、有機ＥＬ素子を備える表示装置に適用する場合について説明したが、膜付きデバイスは、配線を備える回路基板にも適用することができる。なお、この場合、配線を形成するための成膜材料としては、ポリアセチレン、ポリ（p−フェニレンビニレン）、ポリピロール、ポリチオフェン、ポリアニリン、ポリ（p−フェニレンスルフィド）のような導電性高分子材料を高分子材料として含有するものが挙げられる。
【符号の説明】
【０２３５】
２‥‥記録媒体
２Ａ‥‥基材
３‥‥案内部材
４‥‥案内部材
５‥‥吸引装置
５０１‥‥第１吸引部
５０２‥‥第２吸引部
５１０‥‥吸引制御部
５１１‥‥第１吸引制御部
５１２‥‥第２吸引制御部
５７１‥‥支持台
５７３‥‥キャップ部
５７５‥‥チューブ
５７６‥‥バルブ
５７７‥‥吸引ポンプ
５７９‥‥筐体
５７９ａ‥‥底部
５８１‥‥ばね
５８３‥‥枠
５８３ａ‥‥底面
５８５‥‥パッキン
５８５ａ‥‥上面
５８７‥‥ストッパー
５８８‥‥貫通孔
５８９‥‥空間
５９３‥‥キャップ部
５９５‥‥パッキン
５９９‥‥空間
６‥‥液滴吐出装置
７‥‥基台
７ａ‥‥上面
８‥‥案内レール
９‥‥ステージ
１０‥‥副走査位置検出装置
１１‥‥載置面
１２‥‥支持台
１３‥‥案内部材
１４‥‥収納タンク
１５‥‥案内レール
１６‥‥キャリッジ
１７‥‥主走査位置検出装置
１８‥‥ヘッドユニット
１９‥‥吐出検査装置
２０‥‥隔壁
２１‥‥開口部
２２‥‥液滴吐出ヘッド
２３‥‥ノズルプレート
２４‥‥吐出ノズル
２５‥‥キャビティ
２６‥‥機能性インク
２７‥‥振動板
２８‥‥圧電素子
２９‥‥液滴
２９Ａ‥‥定着領域
２９Ｂ‥‥非定着領域
２９Ｃ‥‥液状被膜
２９Ｄ‥‥膜
３２‥‥基材
３３‥‥インク吸収層
４１‥‥制御装置
４２‥‥ＣＰＵ
４３‥‥メモリー
４４‥‥主走査駆動装置
４５‥‥副走査駆動装置
４６‥‥入出力インターフェイス
４７‥‥データバス
４８‥‥ヘッド駆動回路
４９‥‥入力装置
５０‥‥表示装置
５１‥‥プログラムソフト
５２‥‥吐出位置データ
５３‥‥駆動電圧データ
５４‥‥駆動波形データ
５５‥‥吐出計画データ
５６‥‥描画制御部
５７‥‥主走査制御部
５８‥‥副走査制御部
５９‥‥吐出制御部
６０‥‥着弾特性補正制御部
６１‥‥吐出条件設定部
６２‥‥吐出計画設定部
１９０‥‥吐出検査制御部
１９１‥‥光出射部
１９２‥‥測定部
１９３‥‥測定部
１９５‥‥光学系
１９６‥‥光源制御部
１９７‥‥受光制御部
２００‥‥発光素子
２００Ｂ‥‥発光素子
２００Ｇ‥‥発光素子
２００Ｒ‥‥発光素子
２０１‥‥陽極
２０２‥‥正孔注入層
２０３‥‥正孔輸送層
２０４‥‥発光層
２０５‥‥電子輸送層
２０６‥‥電子注入層
２０７‥‥陰極
２０８‥‥積層体
２０８Ｂ‥‥積層体
２０８Ｇ‥‥積層体
２０８Ｒ‥‥積層体
３００‥‥表示装置
３００Ｂ‥‥サブ画素
３００Ｇ‥‥サブ画素
３００Ｒ‥‥サブ画素
３０１‥‥基板
３０２‥‥スイッチング素子
３０２ａ‥‥半導体層
３０２ｂ‥‥ゲート絶縁層
３０２ｃ‥‥ゲート電極
３０２ｄ‥‥ソース電極
３０２ｅ‥‥ドレイン電極
３０３‥‥平坦化層
３０４‥‥反射膜
３０５‥‥腐食防止膜
３０６‥‥陰極カバー
３０７‥‥導電部（配線）
３０８‥‥隔壁
３０９‥‥樹脂層
３１０‥‥基板
１１００‥‥パーソナルコンピュータ
１１０２‥‥キーボード
１１０４‥‥本体部
１１０６‥‥表示ユニット
１２００‥‥携帯電話機
１２０２‥‥操作ボタン
１２０４‥‥受話口
１２０６‥‥送話口
１３００‥‥ディジタルスチルカメラ
１３０２‥‥ケース
１３０４‥‥受光ユニット
１３０６‥‥シャッタボタン
１３０８‥‥回路基板
１３１２‥‥ビデオ信号出力端子
１３１４‥‥入出力端子
１４３０‥‥テレビモニタ
１４４０‥‥パーソナルコンピュータ
【図１】
2016168515.tif 000003
【図２】
2016168515.tif 000004
【図３】
2016168515.tif 000005
【図４】
2016168515.tif 000006
【図５】
2016168515.tif 000007
【図６】
2016168515.tif 000008
【図７】
2016168515.tif 000009
【図８】
2016168515.tif 000010
【図９】
2016168515.tif 000011
【図１０】
2016168515.tif 000012
【図１１】
2016168515.tif 000013
【図１２】
2016168515.tif 000014
【図１３】
2016168515.tif 000015
【図１４】
2016168515.tif 000016
【図１５】
2016168515.tif 000017
【図１６】
2016168515.tif 000018
【図１７】
2016168515.tif 000019