(57)【要約】      （修正有）【課題】シンプルな構成で降塵異物を容易に捕集することができるとともに、捕集された降塵異物に関する情報を取得することができる降塵異物測定システムおよび降塵異物測定方法を提供する。【解決手段】降塵異物測定システムは、降塵異物を捕集するための捕集部１８と、捕集部１８により捕集される直前の降塵異物または捕集部１８により捕集された降塵異物を検知するための検知部（例えば、各発光素子１２ａおよび各受光素子１４ａからなる複数の光センサ）と、降塵異物に関する情報を保存するためのデータ保存部９８と、検知部による検知情報に基づいて捕集部１８により捕集された降塵異物に関する情報をデータ保存部９８に保存させる制御部９２とを備えている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
降塵異物を捕集するための捕集部と、
前記捕集部により捕集される直前の降塵異物または前記捕集部により捕集された降塵異物を検知するための検知部と、
降塵異物に関する情報を保存するためのデータ保存部と、
前記検知部による検知情報に基づいて前記捕集部により捕集された降塵異物に関する情報を前記データ保存部に保存させる制御部と、
を備えた、降塵異物測定システム。
【請求項２】
前記捕集部は粘着性を有するシート状のものからなる、請求項１記載の降塵異物測定システム。
【請求項３】
前記検知部は、前記捕集部により捕集される直前の降塵異物または前記捕集部により捕集された降塵異物の位置を少なくとも検知するようになっており、
前記制御部は、前記検知部による検知情報に基づいて前記捕集部により捕集された降塵異物の位置に関する情報を前記データ保存部に保存させるようになっている、請求項１または２記載の降塵異物測定システム。
【請求項４】
前記制御部は、前記検知部による検知情報に基づいて前記捕集部により降塵異物が捕集された時刻に関する情報を前記データ保存部に保存させるようになっている、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の降塵異物測定システム。
【請求項５】
前記検知部は、前記捕集部により捕集される直前の降塵異物または前記捕集部により捕集された降塵異物の大きさを少なくとも検知するようになっており、
前記制御部は、前記検知部による検知情報に基づいて前記捕集部により捕集された降塵異物の大きさに関する情報を前記データ保存部に保存させるようになっている、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の降塵異物測定システム。
【請求項６】
前記捕集部の上方領域に電界を形成するための電界形成部と、
前記電界形成部により形成される電界よりも上方における特定の位置から降塵異物を落下させる案内部と、
を更に備え、
前記検知部は、前記捕集部により捕集される直前の降塵異物または前記捕集部により捕集された降塵異物の位置を少なくとも検知するようになっており、
前記制御部は、前記案内部により降塵異物が落下する位置および前記検知部による検知情報に基づいて前記電界形成部により形成された電界による降塵異物の移動量を算出し、この算出された移動量に基づいて前記捕集部により捕集された降塵異物の帯電に関する情報を取得するようになっている、請求項１または２記載の降塵異物測定システム。
【請求項７】
前記捕集部の上方領域に電界を形成するための電界形成部と、
前記電界形成部により形成される電界よりも上方における降塵異物の位置を検知する追加検知部と、
を更に備え、
前記検知部は、前記捕集部により捕集される直前の降塵異物または前記捕集部により捕集された降塵異物の位置を少なくとも検知するようになっており、
前記制御部は、前記検知部による検知情報および前記追加検知部による検知情報に基づいて前記電界形成部により形成された電界による降塵異物の移動量を算出し、この算出された移動量に基づいて前記捕集部により捕集された降塵異物の帯電に関する情報を取得するようになっている、請求項１または２記載の降塵異物測定システム。
【請求項８】
前記電界形成部により形成される電界よりも上方で降塵異物を帯電させる帯電部を更に備えた、請求項６または７記載の降塵異物測定システム。
【請求項９】
前記検知部は、発光素子および受光素子からなる光センサが複数設けられたものからなり、ある前記光センサにおいて前記発光素子から発せられた光が前記受光素子により受けられなくなったときに当該光センサによって降塵異物が検知される、請求項１乃至８のいずれか一項に記載の降塵異物測定システム。
【請求項１０】
前記捕集部は透明または半透明の材料から形成されており、
前記検知部は、前記捕集部における降塵異物が付着する側とは反対側から当該捕集部により捕集された降塵異物を撮像する撮像部を有している、請求項１乃至８のいずれか一項に記載の降塵異物測定システム。
【請求項１１】
前記撮像部はカメラまたはビデオカメラである、請求項１０記載の降塵異物測定システム。
【請求項１２】
前記捕集部における降塵異物が付着する側に少なくとも光を照射する光源を更に備えた、請求項１０または１１記載の降塵異物測定システム。
【請求項１３】
被検査対象物に振動を印加する振動体を更に備えた、請求項１乃至１２のいずれか一項に記載の降塵異物測定システム。
【請求項１４】
捕集部により降塵異物を捕集する工程と、
前記捕集部により捕集される直前の降塵異物または前記捕集部により捕集された降塵異物を検知部により検知する工程と、
前記検知部による検知情報に基づいて前記捕集部により捕集された降塵異物に関する情報をデータ保存部に保存させる工程と、
を備えた、降塵異物測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製造現場において降塵異物の測定を行うための降塵異物測定システムおよびこのような降塵異物測定システムによる降塵異物測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
食品や包装材料、半導体関連部材等の製造現場では、一定の清浄度が求められており、作業員からの発塵物や衣類からの発塵物、衣類に付着している異物、生産装置からの発塵物等が製品に付着することを防止するために、清浄度を維持管理したり塵埃の多いエリアを把握して局所的にブース化したりする等の対処が行われるようになっている。このような製造現場では、現場の清浄度の改善やトラブル対応のために、降塵異物の量を測定したり降塵異物の外観特徴とその成分とを紐付けて把握したりすることが必要となっている。
【０００３】
これに対し、特許文献１には、帯電粒子に対して、所定方向の気流および当該気流を横切る方向に延びる電気力線を有する電界をそれぞれ作用させ、当該帯電粒子の偏倚量から比電化を測定する方法および装置が開示されている。また、特許文献２には、検体中の異物を光学的観測手段によって検査するに際して、検体面の傷や付着した塵による影像ノイズを特別な装置を用いずに簡単に排除して、これらの異物の存在を効率的かつ確実に検査する異物検査方法が開示されている。しかしながら、特許文献１や特許文献２に開示される方法は、食品や包装材料、半導体関連部材等の製造現場（具体的には、例えばクリーンルーム内の製造現場）における降塵異物の観測には適していないという問題があった。また、特許文献１や特許文献２に開示される方法で用いられる装置は比較的構造が複雑かつ大型であるという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−３１１１５４号公報
【特許文献２】特開平６−１０９６６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、シンプルな構成で降塵異物を容易に捕集することができるとともに、捕集された降塵異物に関する情報を取得することができる降塵異物測定システムおよび降塵異物測定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の降塵異物測定システムは、降塵異物を捕集するための捕集部と、前記捕集部により捕集される直前の降塵異物または前記捕集部により捕集された降塵異物を検知するための検知部と、降塵異物に関する情報を保存するためのデータ保存部と、前記検知部による検知情報に基づいて前記捕集部により捕集された降塵異物に関する情報を前記データ保存部に保存させる制御部と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
このような降塵異物測定システムによれば、降塵異物を捕集するための捕集部が設けられており、また、捕集部により捕集される直前の降塵異物または捕集部により捕集された降塵異物を検知部によって検知し、この検知部による検知情報に基づいて捕集部により捕集された降塵異物に関する情報をデータ保存部に保存させることにより、シンプルな構成で降塵異物を容易に捕集することができるとともに、捕集された降塵異物に関する情報を取得することができる。
【０００８】
本発明の降塵異物測定システムにおいては、前記捕集部は粘着性を有するシート状のものからなっていてもよい。
【０００９】
本発明の降塵異物測定システムにおいては、前記検知部は、前記捕集部により捕集される直前の降塵異物または前記捕集部により捕集された降塵異物の位置を少なくとも検知するようになっており、前記制御部は、前記検知部による検知情報に基づいて前記捕集部により捕集された降塵異物の位置に関する情報を前記データ保存部に保存させるようになっていてもよい。
【００１０】
本発明の降塵異物測定システムにおいては、前記制御部は、前記検知部による検知情報に基づいて前記捕集部により降塵異物が捕集された時刻に関する情報を前記データ保存部に保存させるようになっていてもよい。
【００１１】
本発明の降塵異物測定システムにおいては、前記検知部は、前記捕集部により捕集される直前の降塵異物または前記捕集部により捕集された降塵異物の大きさを少なくとも検知するようになっており、前記制御部は、前記検知部による検知情報に基づいて前記捕集部により捕集された降塵異物の大きさに関する情報を前記データ保存部に保存させるようになっていてもよい。
【００１２】
本発明の降塵異物測定システムは、前記捕集部の上方領域に電界を形成するための電界形成部と、前記電界形成部により形成される電界よりも上方における特定の位置から降塵異物を落下させる案内部と、を更に備え、前記検知部は、前記捕集部により捕集される直前の降塵異物または前記捕集部により捕集された降塵異物の位置を少なくとも検知するようになっており、前記制御部は、前記案内部により降塵異物が落下する位置および前記検知部による検知情報に基づいて前記電界形成部により形成された電界による降塵異物の移動量を算出し、この算出された移動量に基づいて前記捕集部により捕集された降塵異物の帯電に関する情報を取得するようになっていてもよい。
【００１３】
あるいは、本発明の降塵異物測定システムは、前記捕集部の上方領域に電界を形成するための電界形成部と、前記電界形成部により形成される電界よりも上方における降塵異物の位置を検知する追加検知部と、を更に備え、前記検知部は、前記捕集部により捕集される直前の降塵異物または前記捕集部により捕集された降塵異物の位置を少なくとも検知するようになっており、前記制御部は、前記検知部による検知情報および前記追加検知部による検知情報に基づいて前記電界形成部により形成された電界による降塵異物の移動量を算出し、この算出された移動量に基づいて前記捕集部により捕集された降塵異物の帯電に関する情報を取得するようになっていてもよい。
【００１４】
また、本発明の降塵異物測定システムは、前記電界形成部により形成される電界よりも上方で降塵異物を帯電させる帯電部を更に備えていてもよい。
【００１５】
本発明の降塵異物測定システムにおいては、前記検知部は、発光素子および受光素子からなる光センサが複数設けられたものからなり、ある前記光センサにおいて前記発光素子から発せられた光が前記受光素子により受けられなくなったときに当該光センサによって降塵異物が検知されるようになっていてもよい。
【００１６】
あるいは、本発明の降塵異物測定システムにおいては、前記捕集部は透明または半透明の材料から形成されており、前記検知部は、前記捕集部における降塵異物が付着する側とは反対側から当該捕集部により捕集された降塵異物を撮像する撮像部を有していてもよい。
【００１７】
この場合、前記撮像部はカメラまたはビデオカメラであってもよい。
【００１８】
また、本発明の降塵異物測定システムは、前記捕集部における降塵異物が付着する側に少なくとも光を照射する光源を更に備えていてもよい。
【００１９】
本発明の降塵異物測定システムは、被検査対象物に振動を印加する振動体を更に備えていてもよい。
【００２０】
本発明の降塵異物測定方法は、捕集部により降塵異物を捕集する工程と、前記捕集部により捕集される直前の降塵異物または前記捕集部により捕集された降塵異物を検知部により検知する工程と、前記検知部による検知情報に基づいて前記捕集部により捕集された降塵異物に関する情報をデータ保存部に保存させる工程と、を備えたことを特徴とする。
【００２１】
このような降塵異物測定方法によれば、捕集部により降塵異物を捕集するようになっており、また、捕集部により捕集される直前の降塵異物または捕集部により捕集された降塵異物を検知部により検知し、検知部による検知情報に基づいて捕集部により捕集された降塵異物に関する情報をデータ保存部に保存させることにより、シンプルな構成で降塵異物を容易に捕集することができるとともに、捕集された降塵異物に関する情報を取得することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の降塵異物測定システムおよび降塵異物測定方法によれば、シンプルな構成で降塵異物を容易に捕集することができるとともに、捕集された降塵異物に関する情報を取得することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の実施の形態による降塵異物測定システムにおける降塵異物測定装置の第１の構成例を概略的に示す斜視図である。
【図２】図１に示す降塵異物測定装置の縦断面図である。
【図３】図１に示す降塵異物測定装置を上方から下向きに見たときの構成を示す上面図である。
【図４】本発明の実施の形態による降塵異物測定システムにおける降塵異物測定装置の第２の構成例を概略的に示す斜視図である。
【図５】本発明の実施の形態による降塵異物測定システムにおける降塵異物測定装置の第３の構成例を概略的に示す斜視図である。
【図６】図５に示す降塵異物測定装置の縦断面図である。
【図７】本発明の実施の形態による降塵異物測定システムにおける降塵異物測定装置の第４の構成例を概略的に示す縦断面図である。
【図８】本発明の実施の形態による降塵異物測定システムにおける降塵異物測定装置の第５の構成例を概略的に示す縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１乃至図８は、本実施の形態による降塵異物測定システムの様々な構成例を示す図である。このうち、図１乃至図３は、本実施の形態による降塵異物測定システムにおける降塵異物測定装置の第１の構成例を概略的に示す図であり、図４は、本実施の形態による降塵異物測定システムにおける降塵異物測定装置の第２の構成例を概略的に示す図である。また、図５および図６は、本実施の形態による降塵異物測定システムにおける降塵異物測定装置の第３の構成例を概略的に示す図である。また、図７および図８は、それぞれ、本実施の形態による降塵異物測定システムにおける降塵異物測定装置の第４および第５の構成例を概略的に示す図である。なお、図１乃至図８において、本実施の形態による降塵異物測定装置によって測定される降塵異物を参照符号Ｐで示している。
【００２５】
本実施の形態による降塵異物測定システムは、食品や包装材料、半導体関連部材等の製造現場において発生した降塵異物の測定を行うものである。図１乃至図３は、本実施の形態による降塵異物測定システムにおける降塵異物測定装置１０の第１の構成例を示す図である。図１乃至図３に示すように、第１の構成例による降塵異物測定装置１０は、略直方体形状のケーシング１１と、ケーシング１１の内部における底面に設けられ、降塵異物の捕集を行うシート状の捕集部１８と、ケーシング１１の内部における捕集部１８の上方に設けられた第１棒状部材１２および第２棒状部材１４とを備えている。なお、本願の特許請求の範囲および明細書では、「上方」とは、鉛直方向（すなわち、図１等のＺ方向）における重力の向きとは反対の向き（すなわち、図１や図２における上向き）のことをいう。
【００２６】
図２に示すように、ケーシング１１はその上面が開口しており、当該開口を介して周辺環境の降塵異物がケーシング１１の内部に入るようになっている。なお、図１ではケーシング１１以外の構成部材を見やすくするためにケーシング１１を二点鎖線で示している。また、このケーシング１１の底部に設けられたシート状の捕集部１８は略長方形形状または略正方形形状となっている。具体的には、捕集部１８として、粘着シート、シリコンウエハ、ガラス板、シリーコンゲル、培養用寒天等の異物捕集用媒体が用いられるようになっている。ここで、捕集部１８として粘着シート等の粘着性を有するものが用いられる場合には、捕集部１８に付着した降塵異物がこの捕集部１８から飛散してしまうことを防止することができるようになる。
【００２７】
図１および図３に示すように、捕集部１８の上方において、互いに隣りあう２本の第１棒状部材１２および互いに隣りあう２本の第２棒状部材１４が水平面に沿った長方形の四辺をなすよう配置されている。ここで、互いに対向する第１棒状部材１２および第２棒状部材１４は平行に延びている。また、第１棒状部材１２には複数の発光素子１２ａが等間隔で設けられているとともに、第２棒状部材１４にはこれらの発光素子１２ａに対応するよう複数の受光素子１４ａが等間隔で設けられており、各発光素子１２ａから発せられた光が対応する各受光素子１４ａにより受けられるようになっている。このように、図１乃至図３に示す降塵異物測定装置１０では、捕集部１８の上方において、発光素子１２ａおよび受光素子１４ａからなる光センサが複数設けられている。そして、周辺環境の降塵異物がケーシング１１の上面開口から当該ケーシング１１の内部に入り、捕集部１８により捕集される際に、複数の発光素子１２ａのうちある発光素子１２ａから発せられた光が捕集部１８により捕集される直前の降塵異物によって遮られて受光素子１４ａにより受けられなくなると、当該降塵異物が検知されるようになる。本実施の形態では、図３に示すように、各発光素子１２ａと各受光素子１４ａとの間の光軸が水平面に沿ったＸ方向およびＹ方向にそれぞれ複数延びているため、発光素子１２ａから発せられた光が受けられなくなった受光素子１４ａの位置に基づいて、捕集部１８により捕集される直前の降塵異物について、水平面に沿ったＸ方向およびＹ方向の位置が検知されるようになる。
【００２８】
また、図１乃至図３に示すように、本実施の形態による降塵異物測定装置１０にはＣＰＵ等の制御部９２が接続されており、この制御部９２にはキーボードや操作ボタン等の操作部９４、モニタ等の表示部９６およびメモリ等のデータ保存部９８がそれぞれ接続されている。具体的には、これらの制御部９２、操作部９４、表示部９６およびデータ保存部９８により例えばコンピュータ９０が構成されており、当該コンピュータ９０が降塵異物測定装置１０に接続されている。このようなコンピュータ９０により降塵異物測定装置１０の管理を行うことができるようになっている。また、本実施の形態では、発光素子１２ａおよび受光素子１４ａからなる光センサにより降塵異物が検知されたときに、このような検知情報が降塵異物測定装置１０からコンピュータ９０に送信され、当該コンピュータ９０において制御部９２は光センサによる検知情報に基づいて捕集部１８により捕集された降塵異物に関する情報をデータ保存部９８に保存させるようになっている。また、作業者がコンピュータ９０の操作部９４により降塵異物に関する情報を表示部９６に表示させる旨の指令を制御部９２に入力すると、当該制御部９２はデータ保存部９８に保存されている降塵異物に関する情報を表示部９６に表示させるようになる。
【００２９】
より詳細には、上述したように、本実施の形態の降塵異物測定装置１０には複数の光センサが設けられており、これらの光センサにおける各発光素子１２ａと各受光素子１４ａとの間の光軸が水平面に沿ったＸ方向およびＹ方向にそれぞれ複数延びているため、捕集部１８により捕集される直前の降塵異物について、水平面に沿ったＸ方向およびＹ方向の位置が検知されるようになる。このため、制御部９２は、捕集部１８により捕集された降塵異物に関する情報として、捕集部１８に付着した降塵異物のＸ方向およびＹ方向の位置をデータ保存部９８に保存させるようになっている。なお、厳密には、光センサにより検知される捕集部１８により捕集される直前の降塵異物の位置と、捕集部１８に付着した降塵異物の位置とは異なっているが、ここでは光センサと捕集部１８との間の距離が非常に小さく、また、降塵異物が真下に落ちるものとして、光センサにより検知される捕集部１８により捕集される直前の降塵異物の位置と捕集部１８に付着した降塵異物の位置とが一致するものと想定している。
【００３０】
また、制御部９２は、捕集部１８により捕集された降塵異物に関する情報として、捕集部１８における降塵異物のＸ方向およびＹ方向の位置と、捕集部１８により降塵異物が捕集された時刻とを紐付けてデータ保存部９８に保存させるようになっていてもよい。この場合には、捕集部１８により捕集された複数の降塵異物について、当該捕集部１８により捕集された時刻も降塵異物毎に認識することができるようになる。
【００３１】
また、各発光素子１２ａおよび各受光素子１４ａからなる複数の光センサにより降塵異物の大きさも検知することができるようになっている場合には、制御部９２は、捕集部１８により捕集された降塵異物に関する情報として、捕集部１８により捕集された降塵異物の大きさに関する情報もデータ保存部９８に保存させるようになっていてもよい。
【００３２】
以上のような構成からなる本実施の形態による降塵異物測定システムによれば、降塵異物を捕集するための捕集部１８が設けられているとともに、捕集部１８により捕集される直前の降塵異物を検知するための検知部として各発光素子１２ａおよび各受光素子１４ａからなる複数の光センサが設けられており、制御部９２は、このような検知部による検知情報に基づいて捕集部１８により捕集された降塵異物に関する情報をデータ保存部９８に保存させるようになっている。このことにより、降塵異物を容易に捕集することができるとともに、捕集された降塵異物に関する情報を取得することができるようになる。
【００３３】
また、本実施の形態による降塵異物測定システムにおいては、上述したように、捕集部１８は粘着性を有するシート状のものからなる。この場合には、捕集部１８に付着した降塵異物がこの捕集部１８から飛散してしまうことを防止することができるようになる。
【００３４】
また、本実施の形態による降塵異物測定システムにおいては、各発光素子１２ａおよび各受光素子１４ａからなる複数の光センサは、捕集部１８により捕集される直前の降塵異物の位置を少なくとも検知するようになっており、制御部９２は、これらの光センサによる検知情報に基づいて捕集部１８により捕集された降塵異物の位置に関する情報をデータ保存部９８に保存させるようになっている。また、制御部９２は、これらの光センサによる検知情報に基づいて捕集部１８により降塵異物が捕集された時刻に関する情報をデータ保存部９８に保存させるようになっていてもよい。この際に、制御部９２は、捕集部１８により捕集された降塵異物の位置と当該降塵異物が捕集部１８により捕集された時刻とを紐付けてデータ保存部９８に保存させることが望ましい。また、各発光素子１２ａおよび各受光素子１４ａからなる複数の光センサにより、捕集部１８により捕集される直前の降塵異物の大きさを検知することができるようになっている場合には、制御部９２は、これらの光センサによる検知情報に基づいて捕集部１８により捕集された降塵異物の大きさに関する情報をデータ保存部９８に保存させるようになっていてもよい。この際に、制御部９２は、捕集部１８により捕集された降塵異物の位置と当該降塵異物の大きさとを紐付けてデータ保存部９８に保存させることが望ましい。
【００３５】
次に、本実施の形態による降塵異物測定システムにおける第２の構成例による降塵異物測定装置２０について図４を用いて説明する。なお、図４に示すような第２の構成例による降塵異物測定装置２０は、図１乃至図３に示すような第１の構成例による降塵異物測定装置１０に接続されたコンピュータ９０と同様の構成のコンピュータ９０に接続されており、このコンピュータ９０により第２の構成例による降塵異物測定装置２０の管理を行うことができるようになっている。第２の構成例による降塵異物測定装置２０に接続されたコンピュータ９０の制御部９２による制御内容は、第１の構成例による降塵異物測定装置１０に接続されたコンピュータ９０の制御部９２による制御内容と略同一であるため、以下の記載ではコンピュータ９０の制御部９２による制御内容の説明を一部省略している。
【００３６】
図４に示すように、第２の構成例による降塵異物測定装置２０は、略直方体形状のケーシング２１と、ケーシング２１の上面に設けられ、降塵異物の捕集を行うシート状の捕集部２８と、ケーシング２１の上面に設けられた捕集部２８の三方の側面を囲うよう設けられた壁部材２２と、ケーシング２１の上面に設けられた捕集部２８における壁部材２２により囲われていない箇所から当該捕集部２８に光を横向きに照射する光源２４とを備えている。このような降塵異物測定装置２０では捕集部２８の三方の側面を囲うよう壁部材２２が設けられているため、捕集部２８に付着した降塵異物がこの捕集部２８から飛散してしまうことを防止することができるようになる。
【００３７】
また、第２の構成例による降塵異物測定装置２０では、シート状の捕集部２８は第１の構成例による降塵異物測定装置１０の捕集部１８と略同一の構成となっているが、当該捕集部２８は透明または半透明となっている。また、図４に示すように、捕集部２８よりも下方にはカメラまたはビデオカメラからなる撮像部２６が配置されており、当該撮像部２６により捕集部２８の裏面側（すなわち、降塵異物が付着しない側）からこの捕集部２８に捕集された降塵異物の撮像が行われるようになっている。なお、撮像部２６としてカメラが用いられる場合には、所定の時間間隔で当該撮像部２６により捕集部２８上の降塵異物の撮像が連続的に行われるようになる。また、光源２４により捕集部２８に光が横向きに照射されるため、この捕集部２８に降塵異物が付着したときに当該降塵異物の影が図４における左向きに延びるようになる。このことにより、撮像部２６により捕集部２８の裏面側から当該捕集部２８に捕集された降塵異物の撮像を行う際に、降塵異物における光源２４により照射された部分が光るとともに降塵異物の影も撮像部２６により撮像されるようになるため、撮像部２６によって降塵異物をより確実に検知することができるようになる。
【００３８】
撮像部２６により撮像された画像または動画に係る情報はコンピュータ９０の制御部９２に送信される。制御部９２は、撮像部２６から送信された画像または動画に基づいて、捕集部２８により捕集された降塵異物の位置や捕集された時刻、あるいは降塵異物の大きさ等に係る情報を取得することができるようになっている。また、制御部９２は、これらの捕集部２８により捕集された降塵異物の位置や捕集された時刻等に係る情報をデータ保存部９８に保存させるようになっている。
【００３９】
図４に示すような構成の降塵異物測定装置２０を有する降塵異物測定システムによれば、降塵異物を捕集するための捕集部２８が設けられているとともに、捕集部２８により捕集された降塵異物を検知するための検知部として撮像部２６が設けられており、制御部９２は、このような検知部による検知情報に基づいて捕集部２８により捕集された降塵異物に関する情報をデータ保存部９８に保存させるようになっている。このことにより、図４に示すような構成の降塵異物測定装置２０を有する降塵異物測定システムでも、降塵異物を容易に捕集することができるとともに、捕集された降塵異物に関する情報を取得することができるようになる。
【００４０】
次に、本実施の形態による降塵異物測定システムにおける第３の構成例による降塵異物測定装置３０について図５および図６を用いて説明する。なお、図５および図６に示すような第３の構成例による降塵異物測定装置３０は、図１乃至図３に示すような第１の構成例による降塵異物測定装置１０に接続されたコンピュータ９０と同様の構成のコンピュータ９０に接続されており、このコンピュータ９０により第３の構成例による降塵異物測定装置３０の管理を行うことができるようになっている。第３の構成例による降塵異物測定装置３０に接続されたコンピュータ９０の制御部９２による制御内容は、第１の構成例による降塵異物測定装置１０に接続されたコンピュータ９０の制御部９２による制御内容と略同一であるため、以下の記載ではコンピュータ９０の制御部９２による制御内容の説明を一部省略している。
【００４１】
図５および図６に示すように、第３の構成例による降塵異物測定装置３０は、略直方体形状のケーシング３１と、ケーシング３１の上面に設けられ、降塵異物の捕集を行うシート状の捕集部３８と、ケーシング３１の上面に設けられた捕集部３８の一方の側面を囲うよう設けられた第１壁部材３３と、当該第１壁部材３３に対向する位置に設けられた透明または半透明の第２壁部材３５と、ケーシング３１の上面に設けられた捕集部３８を挟むよう設けられた一対の電界形成部材３２ａ、３２ｂと、透明または半透明の第２壁部材３５を介して捕集部３８に光を横向きに照射する光源３４とを備えている。
【００４２】
第３の構成例による降塵異物測定装置３０では、第２の構成例による降塵異物測定装置２０と同様に、シート状の捕集部３８は透明または半透明となっている。また、図５および図６に示すように、捕集部３８よりも下方にはカメラまたはビデオカメラからなる撮像部３６が配置されており、当該撮像部３６により捕集部３８の裏面側（すなわち、降塵異物が付着しない側）からこの捕集部３８に捕集された降塵異物の撮像が行われるようになっている。なお、撮像部３６としてカメラが用いられる場合には、所定の時間間隔で当該撮像部３６により捕集部３８上の降塵異物の撮像が連続的に行われるようになる。また、光源３４により捕集部３８に光が横向きに照射されるため、この捕集部３８に降塵異物が付着したときに当該降塵異物の影が図５および図６における左向きに延びるようになる。このことにより、撮像部３６により捕集部３８の裏面側から当該捕集部３８に捕集された降塵異物の撮像を行う際に、降塵異物における光源３４により照射された部分が光るとともにこの降塵異物の影も撮像部３６により撮像されるようになるため、撮像部３６によって降塵異物をより確実に検知することができるようになる。
【００４３】
また、第３の構成例による降塵異物測定装置３０では、捕集部３８の上方に吸込部材３９が設けられており、周辺環境の降塵異物はまずこの吸込部材３９に吸い込まれ、当該吸込部材３９から下向きに落下するようになっている。このように、本実施の形態では、特定の位置から降塵異物が自重により下向きに落下して捕集部３８により捕集されるようになっている。また、一対の電界形成部材３２ａ、３２ｂにより、図６における例えば左向きに延びる電気力線を持つ電界（図６の二点鎖線の矢印を参照）が一対の電界形成部材３２ａ、３２ｂの間で形成されるようになる。このような電界が一対の電界形成部材３２ａ、３２ｂの間で形成されることにより、吸込部材３９から下向きに落下する降塵異物が帯電している場合には当該降塵異物は一対の電界形成部材３２ａ、３２ｂにより形成される電界によって電界形成部材３２ａ側または電界形成部材３２ｂ側に寄せられるようになる。
【００４４】
撮像部３６により撮像された画像または動画に係る情報はコンピュータ９０の制御部９２に送信される。制御部９２は、撮像部３６から送信された画像または動画に基づいて、捕集部３８により捕集された降塵異物の位置や捕集された時刻、あるいは降塵異物の大きさ等に係る情報を取得することができるようになっている。また、制御部９２は、これらの捕集部３８により捕集された降塵異物の位置や捕集された時刻等に係る情報をデータ保存部９８に保存させるようになっている。
【００４５】
また、制御部９２は、吸込部材３９が設けられた位置（すなわち、吸込部材３９から降塵異物が落下する位置）および捕集部３８により捕集された降塵異物の位置に基づいて、電界形成部材３２ａ、３２ｂにより形成された電界による降塵異物の移動量（具体的には、降塵異物のＹ方向における移動量）を算出するようになっている。ここで、吸込部材３９から下向きに落下した降塵異物が帯電していない場合には、電界形成部材３２ａ、３２ｂにより形成された電界により影響を受けることなく降塵異物は真下に落下すると考えられるため、降塵異物の移動量はほぼ０となる。一方、吸込部材３９から下向きに落下した降塵異物が帯電している場合は、当該降塵異物がプラスに帯電しているかマイナスに帯電しているかによって、電界形成部材３２ａ、３２ｂにより形成された電界により電界形成部材３２ａ側または電界形成部材３２ｂ側に寄せられるようになる。このように、制御部９２において算出された降塵異物の移動量に基づいて、少なくとも降塵異物がプラスまたはマイナスのどちらに帯電しているかを検知することができるようになる。また、降塵異物の密度が判明しているとともに当該降塵異物の粒径の大きさが撮像部３６により取得される画像または動画に基づいて判明している場合には、制御部９２において算出された降塵異物の移動量に基づいて当該降塵異物の帯電量も検知することができるようになる。このように、本実施の形態では、制御部９２は、算出された降塵異物の移動量に基づいて、捕集部３８により捕集された降塵異物の帯電に関する情報を取得することができるようになっている。
【００４６】
なお、第３の構成例による降塵異物測定装置３０では、降塵異物の帯電による移動量を測定するようになっているが、ケーシング３１が帯電していると降塵異物がケーシング３１の内面に付着する等により降塵異物の帯電による移動量を測定することができない場合があるため、ケーシング３１が電気的に中性となるように当該ケーシング３１はアースされている（具体的には、その一端が地面に接続されたアース線の他端がケーシング３１に接続されている）。
【００４７】
次に、本実施の形態による降塵異物測定システムにおける第４の構成例による降塵異物測定装置４０について図７を用いて説明する。なお、図７に示すような第４の構成例による降塵異物測定装置４０は、図１乃至図３に示すような第１の構成例による降塵異物測定装置１０に接続されたコンピュータ９０と同様の構成のコンピュータ９０に接続されており、このコンピュータ９０により第４の構成例による降塵異物測定装置４０の管理を行うことができるようになっている。第４の構成例による降塵異物測定装置４０に接続されたコンピュータ９０の制御部９２による制御内容は、第１の構成例による降塵異物測定装置１０に接続されたコンピュータ９０の制御部９２による制御内容と略同一であるため、以下の記載ではコンピュータ９０の制御部９２による制御内容の説明を一部省略している。
【００４８】
図７に示すように、第４の構成例による降塵異物測定装置４０は、略直方体形状のケーシング４１と、ケーシング４１の内部を上部領域および下部領域に仕切る仕切り板４３と、仕切り板４３の上面に設けられ、降塵異物の捕集を行うシート状の捕集部５８とを備えている。ここで、第４の構成例による降塵異物測定装置４０では、第１〜第３の構成例による降塵異物測定装置１０、２０、３０と異なり、ケーシング４１の上面は開口しておらず、代わりに当該ケーシング４１の上面には貫通穴４１ａが形成されている。また、発塵しにくいクリーン用品、例えば、クリーン服等や抗菌エプロン等の食品衛生用品等の被検査対象物（図７において参照符号Ｗで表示）がケーシング４１の上面に載置されるようになっており、この被検査対象物から生じた降塵異物が貫通穴４１ａを通ってケーシング４１の内部に入り、捕集部５８により捕集されるようになっている。また、第４の構成例による降塵異物測定装置４０では、被検査対象物に振動を印加する振動体４８が設けられている。このような振動体４８により被検査対象物に振動を印加することによって当該被検査対象物から降塵異物が生じやすくなり、このためより多くの降塵異物を貫通穴４１ａに入れて捕集部５８により捕集させることができるようになる。
【００４９】
また、第４の構成例による降塵異物測定装置４０では、ケーシング４１の内部における仕切り板４３により仕切られた上部領域に、降塵異物を帯電させる帯電機構５０、複数の発光素子４２ａが設けられた第１棒状部材４２、各発光素子４２ａに対向するよう複数の受光素子４４ａが設けられた第２棒状部材４４、および捕集部５８の上方で電界を形成するための電界形成部材５２ａ、５２ｂがそれぞれ設けられている。ここで、帯電機構５０は、貫通穴４１ａを通ってケーシング４１の内部に入った降塵異物をプラスまたはマイナスに帯電させるようになっている。
【００５０】
また、複数の発光素子４２ａが設けられた第１棒状部材４２および複数の受光素子４４ａが設けられた第２棒状部材４４は、第１の構成例による降塵異物測定装置１０の第１棒状部材１２および第２棒状部材１４と同様の構成となっている。すなわち、図７では図示していないが、帯電機構５０の下方には、互いに隣りあう２本の第１棒状部材４２および互いに隣りあう２本の第２棒状部材４４が水平面に沿った長方形の四辺をなすよう配置されており、互いに対向する第１棒状部材４２および第２棒状部材４４は平行に延びている。また、第１棒状部材４２には複数の発光素子４２ａが等間隔で設けられているとともに、第２棒状部材４４にはこれらの発光素子４２ａに対応するよう複数の受光素子４４ａが等間隔で設けられており、各発光素子４２ａから発せられた光が対応する各受光素子４４ａにより受けられるようになっている。このように、図７に示す降塵異物測定装置４０では、発光素子４２ａおよび受光素子４４ａからなる光センサが帯電機構５０の下方に複数設けられている。そして、被検査対象物から生じた降塵異物がケーシング４１の貫通穴４１ａから当該ケーシング４１の内部に入り、帯電機構５０により帯電された後、複数の発光素子４２ａのうちある発光素子４２ａから発せられた光がこの帯電された降塵異物によって遮られて受光素子４４ａにより受けられなくなると、当該降塵異物が検知されるようになる。また、図７に示す降塵異物測定装置４０では、各発光素子４２ａと各受光素子４４ａとの間の光軸が水平面に沿ったＸ方向およびＹ方向にそれぞれ複数延びているため、発光素子４２ａから発せられた光が受けられなくなった受光素子４４ａの位置に基づいて、帯電機構５０により帯電された降塵異物について、水平面に沿ったＸ方向およびＹ方向の位置が検知されるようになる。
【００５１】
また、捕集部５８の上方で電界を形成するための電界形成部材５２ａ、５２ｂは、第３の構成例による降塵異物測定装置３０の電界形成部材３２ａ、３２ｂと同様の構成となっている。すなわち、一対の電界形成部材５２ａ、５２ｂにより、図７における例えば左向きに延びる電気力線を持つ電界（図７の二点鎖線の矢印を参照）が一対の電界形成部材５２ａ、５２ｂの間で形成されるようになる。このような電界が一対の電界形成部材５２ａ、５２ｂの間で形成されることにより、帯電機構５０により帯電された降塵異物はこの電界によって電界形成部材５２ａ側または電界形成部材５２ｂ側に寄せられるようになる。
【００５２】
第４の構成例による降塵異物測定装置４０では、シート状の捕集部５８は第１の構成例による降塵異物測定装置１０の捕集部１８と略同一の構成となっているが、当該捕集部５８は透明または半透明となっている。また、ケーシング４１の内部を上部領域および下部領域に仕切る仕切り板４３も透明または半透明となっている。また、図７に示すように、ケーシング４１の内部における仕切り板４３により仕切られた下部領域には、捕集部５８に付着した降塵異物に光を照射するための光源５４およびカメラまたはビデオカメラからなる撮像部５６がそれぞれ配置されており、当該撮像部５６により捕集部５８の裏面側（すなわち、降塵異物が付着しない側）からこの捕集部５８に捕集された降塵異物の撮像が行われるようになっている。また、光源５４により捕集部５８に向かって光が照射されるため、この捕集部５８に降塵異物が付着したときに当該降塵異物の影が捕集部５８に沿って延びるようになる。このように、撮像部５６により捕集部５８の裏面側から当該捕集部５８に捕集された降塵異物の撮像を行う際に、降塵異物における光源５４により照射された部分が光るとともにこの降塵異物の影も撮像部５６により撮像されるようになるため、撮像部５６によって降塵異物をより確実に検知することができるようになる。
【００５３】
撮像部５６により撮像された画像または動画に係る情報はコンピュータ９０の制御部９２に送信される。制御部９２は、撮像部５６から送信された画像または動画に基づいて、捕集部５８により捕集された降塵異物の位置や捕集された時刻、あるいは降塵異物の大きさ等に係る情報を取得することができるようになっている。また、制御部９２は、これらの捕集部５８により捕集された降塵異物の位置や捕集された時刻等に係る情報をデータ保存部９８に保存させるようになっている。
【００５４】
また、制御部９２は、帯電機構５０により帯電された直後の降塵異物の位置および捕集部５８により捕集された降塵異物の位置に基づいて、一対の電界形成部材５２ａ、５２ｂにより形成された電界による降塵異物の移動量を算出するようになっている。具体的には、第１棒状部材４２に設けられた各発光素子４２ａおよび第２棒状部材４４に設けられた各受光素子４４ａからなる複数の光センサによる降塵異物の検知結果に基づいて、帯電機構５０により帯電された直後の降塵異物の位置（具体的には、Ｘ方向およびＹ方向を含む平面上での位置）が検知され、また、撮像部５６により撮像された画像または動画に基づいて捕集部５８により捕集された降塵異物の位置（具体的には、Ｘ方向およびＹ方向を含む平面上での位置）が検知されるようになり、両者の位置に基づいて降塵異物の移動量（具体的には、Ｘ方向およびＹ方向における移動量）が検知されるようになる。ここで、貫通穴４１ａを通ってケーシング４１の内部に入った降塵異物は帯電機構５０により強制的に帯電されるため、一対の電界形成部材５２ａ、５２ｂにより形成された電界により当該降塵異物は電界形成部材５２ａ側または電界形成部材５２ｂ側に寄せられるようになる。このため、制御部９２において算出された降塵異物の移動量に基づいて、貫通穴４１ａを通ってケーシング４１の内部に入った降塵異物の材質等の情報を取得することができるようになる。すなわち、降塵異物の材質によって帯電機構５０により降塵異物が帯電したときの帯電量が異なるようになるため、一対の電界形成部材５２ａ、５２ｂにより形成された電界による降塵異物の移動量も異なるようになる。このように、本実施の形態では、制御部９２は、算出された降塵異物の移動量に基づいて、捕集部５８により捕集された降塵異物の材質に関する情報を取得することができるようになっている。
【００５５】
次に、図７に示すような第４の構成例による降塵異物測定装置４０を用いた降塵異物測定方法の一例について述べる。第４の構成例による降塵異物測定装置４０を用いて降塵異物の測定を行うにあたり、まず、ケーシング４１の上面に被検査対象物を載置した後、振動体４８によって当該被検査対象物に振動を印加する。また、予め設定された所定時間（例えば、数十秒から数分）だけ帯電機構５０をオフにする。そして、帯電機構５０をオフにしている期間における撮像部５６により撮像された画像または動画に基づいて、ケーシング４１内で浮遊している降塵異物がこの所定時間内で自由落下して捕集部５８により捕集されたときの当該降塵異物の情報（具体的には、捕集部５８により捕集された降塵異物の位置や捕集された時刻、あるいは降塵異物の大きさ等に係る情報）が制御部９２により取得され、この情報がデータ保存部９８に保存される。
【００５６】
次に、予め設定された所定時間（例えば、数十秒から数分）だけ帯電機構５０をオンとし、ケーシング４１内で浮遊している降塵異物を正帯電させる。そして、この所定時間の期間における撮像部５６により撮像された画像または動画に基づいて、帯電機構５０により正帯電された降塵異物がこの所定時間内で自由落下して捕集部５８により捕集されたときの当該降塵異物の情報（具体的には、捕集部５８により捕集された降塵異物の位置や捕集された時刻、あるいは降塵異物の材質や大きさ等に係る情報）が制御部９２により取得され、この情報がデータ保存部９８に保存される。
【００５７】
次に、予め設定された所定時間（例えば、数十秒から数分）だけケーシング４１内で浮遊している降塵異物を帯電機構５０により負帯電させる。そして、この所定時間の期間における撮像部５６により撮像された画像または動画に基づいて、帯電機構５０により負帯電された降塵異物がこの所定時間内で自由落下して捕集部５８により捕集されたときの当該降塵異物の情報（具体的には、捕集部５８により捕集された降塵異物の位置や捕集された時刻、あるいは降塵異物の材質や大きさ等に係る情報）が制御部９２により取得され、この情報がデータ保存部９８に保存される。
【００５８】
その後、予め設定された所定時間（例えば、数十秒から数分）だけ帯電機構５０を再びオフにする。そして、この所定時間の期間における撮像部５６により撮像された画像または動画に基づいて、帯電機構５０により帯電されなかった降塵異物がこの所定時間内で自由落下して捕集部５８により捕集されたときの当該降塵異物の情報（具体的には、捕集部５８により捕集された降塵異物の位置や捕集された時刻、あるいは降塵異物の大きさ等に係る情報）が制御部９２により取得され、この情報がデータ保存部９８に保存される。
【００５９】
図７に示すような第４の構成例による降塵異物測定装置４０を用いて上記のような一連の降塵異物の測定を行うことにより、降塵異物の材質や帯電状況に応じて様々な降塵異物の情報が取得されるため、発塵しにくいクリーン用品、例えば、クリーン服等や抗菌エプロン等の食品衛生用品等の被検査対象物から発生してケーシング４１の内部に入った降塵異物の分析を精度良く行うことができるようになる。
【００６０】
次に、本実施の形態による降塵異物測定システムにおける第５の構成例による降塵異物測定装置６０について図８を用いて説明する。なお、図８に示すような第５の構成例による降塵異物測定装置６０は、図１乃至図３に示すような第１の構成例による降塵異物測定装置１０に接続されたコンピュータ９０と同様の構成のコンピュータ９０に接続されており、このコンピュータ９０により第５の構成例による降塵異物測定装置６０の管理を行うことができるようになっている。第５の構成例による降塵異物測定装置６０に接続されたコンピュータ９０の制御部９２による制御内容は、第１の構成例による降塵異物測定装置１０に接続されたコンピュータ９０の制御部９２による制御内容と略同一であるため、以下の記載ではコンピュータ９０の制御部９２による制御内容の説明を一部省略している。
【００６１】
図８に示すように、第５の構成例による降塵異物測定装置６０は、略直方体形状のケーシング６１と、ケーシング６１の内部における底面に設けられ、降塵異物の捕集を行うシート状の捕集部７８とを備えている。ここで、第５の構成例による降塵異物測定装置６０では、第４の構成例による降塵異物測定装置４０と同様に、ケーシング６１の上面は開口しておらず、当該ケーシング６１の上面には貫通穴６１ａが形成されている。また、発塵しにくいクリーン用品、例えば、クリーン服等や抗菌エプロン等の食品衛生用品等の被検査対象物（図８において参照符号Ｗで表示）がケーシング６１の上面に載置されるようになっており、この被検査対象物から生じた降塵異物が貫通穴６１ａを通ってケーシング６１の内部に入り、捕集部７８により捕集されるようになっている。また、第５の構成例による降塵異物測定装置６０では、第４の構成例による降塵異物測定装置４０と同様に、被検査対象物に振動を印加する振動体６８が設けられている。このような振動体６８により被検査対象物に振動を印加することによって当該被検査対象物から降塵異物が生じやすくなり、このためより多くの降塵異物を貫通穴６１ａに入れて捕集部７８により捕集させることができるようになる。
【００６２】
また、第５の構成例による降塵異物測定装置６０では、ケーシング６１の内部における捕集部７８よりも上方に、降塵異物を帯電させる帯電機構７０、複数の発光素子６２ａが設けられた第１棒状部材６２、各発光素子４２ａに対向するよう複数の受光素子６４ａが設けられた第２棒状部材６４、捕集部７８の上方で電界を形成するための電界形成部材７２ａ、７２ｂ、複数の発光素子７４ａが設けられた第３棒状部材７４、各発光素子７４ａに対向するよう複数の受光素子７６ａが設けられた第４棒状部材７６がそれぞれ設けられている。ここで、帯電機構７０は、第４の構成例による降塵異物測定装置４０の帯電機構５０と同様に、貫通穴６１ａを通ってケーシング６１の内部に入った降塵異物を帯電させるようになっている。
【００６３】
また、複数の発光素子６２ａが設けられた第１棒状部材６２および複数の受光素子６４ａが設けられた第２棒状部材６４は、第１の構成例による降塵異物測定装置１０の第１棒状部材１２および第２棒状部材１４と同様の構成となっている。すなわち、図８では図示していないが、帯電機構７０の下方には、互いに隣りあう２本の第１棒状部材６２および互いに隣りあう２本の第２棒状部材６４が水平面に沿った長方形の四辺をなすよう配置されており、互いに対向する第１棒状部材６２および第２棒状部材６４は平行に延びている。また、第１棒状部材６２には複数の発光素子６２ａが等間隔で設けられているとともに、第２棒状部材６４にはこれらの発光素子６２ａに対応するよう複数の受光素子６４ａが等間隔で設けられており、各発光素子６２ａから発せられた光が対応する各受光素子６４ａにより受けられるようになっている。このように、図８に示す降塵異物測定装置６０では、帯電機構７０の下方に、発光素子６２ａおよび受光素子６４ａからなる光センサが複数設けられており、各発光素子６２ａと各受光素子６４ａとの間の光軸が水平面に沿ったＸ方向およびＹ方向にそれぞれ複数延びているため、発光素子６２ａから発せられた光が受けられなくなった受光素子６４ａの位置に基づいて、帯電機構７０により帯電された降塵異物について、水平面に沿ったＸ方向およびＹ方向の位置が検知されるようになる。
【００６４】
また、捕集部７８の上方で電界を形成するための電界形成部材７２ａ、７２ｂは、第３の構成例による降塵異物測定装置３０の電界形成部材３２ａ、３２ｂと同様の構成となっている。すなわち、一対の電界形成部材７２ａ、７２ｂにより、図８における例えば左向きに延びる電気力線を持つ電界（図８の二点鎖線の矢印を参照）が一対の電界形成部材７２ａ、７２ｂの間で形成されるようになる。このような電界が一対の電界形成部材７２ａ、７２ｂの間で形成されることにより、帯電機構７０により帯電された降塵異物はこの電界によって電界形成部材７２ａ側または電界形成部材７２ｂ側に寄せられるようになる。
【００６５】
また、複数の発光素子７４ａが設けられた第３棒状部材７４および複数の受光素子７６ａが設けられた第４棒状部材７６は、第１の構成例による降塵異物測定装置１０の第１棒状部材１２および第２棒状部材１４と同様の構成となっている。すなわち、図８では図示していないが、捕集部７８の近傍には、互いに隣りあう２本の第３棒状部材７４および互いに隣りあう２本の第４棒状部材７６が水平面に沿った長方形の四辺をなすよう配置されており、互いに対向する第３棒状部材７４および第４棒状部材７６は平行に延びている。また、第３棒状部材７４には複数の発光素子７４ａが等間隔で設けられているとともに、第４棒状部材７６にはこれらの発光素子７４ａに対応するよう複数の受光素子７６ａが等間隔で設けられており、各発光素子７４ａから発せられた光が対応する各受光素子７６ａにより受けられるようになっている。このことにより、ケーシング６１の貫通穴６１ａから当該ケーシング６１の内部に入った降塵異物が捕集部７８により捕集される際に、複数の発光素子７４ａのうちある発光素子７４ａから発せられた光が捕集部７８により捕集される直前の降塵異物によって遮られて受光素子７６ａにより受けられなくなると、当該降塵異物が検知されるようになる。ここで、図８に示す降塵異物測定装置６０では、各発光素子７４ａと各受光素子７６ａとの間の光軸が水平面に沿ったＸ方向およびＹ方向にそれぞれ複数延びているため、発光素子７４ａから発せられた光が受けられなくなった受光素子７６ａの位置に基づいて、捕集部７８により捕集される直前の降塵異物について、水平面に沿ったＸ方向およびＹ方向の位置が検知されるようになる。
【００６６】
また、制御部９２は、帯電機構７０により帯電された直後の降塵異物の位置および捕集部７８により捕集される直前の降塵異物の位置に基づいて、一対の電界形成部材７２ａ、７２ｂにより形成された電界による降塵異物の移動量を算出するようになっている。具体的には、第１棒状部材６２に設けられた各発光素子６２ａおよび第２棒状部材６４に設けられた各受光素子６４ａからなる複数の光センサによる降塵異物の検知結果に基づいて、帯電機構７０により帯電された直後の降塵異物の位置（具体的には、Ｘ方向およびＹ方向を含む平面上での位置）が検知され、また、第３棒状部材７４に設けられた各発光素子７４ａおよび第４棒状部材７６に設けられた各受光素子７６ａからなる複数の光センサによる降塵異物の検知結果に基づいて、捕集部７８により捕集される直前の降塵異物の位置（具体的には、Ｘ方向およびＹ方向を含む平面上での位置）が検知されるようになり、両者の位置に基づいて降塵異物の移動量（具体的には、Ｘ方向およびＹ方向における移動量）が検知されるようになる。ここで、貫通穴６１ａを通ってケーシング６１の内部に入った降塵異物は帯電機構７０により強制的に帯電されるため、電界形成部材７２ａ、７２ｂにより形成された電界により当該降塵異物は電界形成部材７２ａ側または電界形成部材７２ｂ側に寄せられるようになる。このため、制御部９２において算出された降塵異物の移動量に基づいて、貫通穴６１ａを通ってケーシング６１の内部に入った降塵異物の材質等の情報を取得することができるようになる。すなわち、降塵異物の材質によって帯電機構７０により降塵異物が帯電したときの帯電量が異なるようになるため、一対の電界形成部材７２ａ、７２ｂにより形成された電界による降塵異物の移動量も異なるようになる。このように、本実施の形態では、制御部９２は、算出された降塵異物の移動量に基づいて、捕集部７８により捕集された降塵異物の材質に関する情報を取得することができるようになっている。
【００６７】
また、図８に示すような第５の構成例による降塵異物測定装置６０を用いた降塵異物測定方法として、上述した第４の構成例による降塵異物測定装置４０を用いた降塵異物測定方法と同様の方法を用いることができる。すなわち、第５の構成例による降塵異物測定装置６０を用いて降塵異物の測定を行うにあたり、まず、ケーシング６１の上面に被検査対象物を載置した後、振動体６８によって当該被検査対象物に振動を印加する。また、予め設定された所定時間（例えば、数十秒から数分）だけ帯電機構７０をオフにし、その後、予め設定された所定時間（例えば、数十秒から数分）だけケーシング６１内で浮遊している降塵異物を帯電機構５０により正帯電および負帯電させ、さらに、予め設定された所定時間（例えば、数十秒から数分）だけ帯電機構５０を再びオフにし、これらの工程でそれぞれ捕集部７８により捕集された降塵異物の情報を取得することにより、発塵しにくいクリーン用品、例えば、クリーン服等や抗菌エプロン等の食品衛生用品等の被検査対象物から発生してケーシング６１の内部に入った降塵異物の分析を精度良く行うことができるようになる。
【００６８】
なお、本実施の形態による降塵異物測定システムは、上述したような構成のものに限定されることはなく、様々な変更を加えることができる。
【００６９】
例えば、本実施の形態による降塵異物測定システムの降塵異物測定装置で用いられる捕集部は、粘着シート、シリコンウエハ、ガラス板、シリーコンゲル、培養用寒天等の異物捕集用媒体に限定されることはない。降塵異物を捕集することができるのであれば、捕集部として上記の構成以外のものを用いてもよい。
【符号の説明】
【００７０】
１０    降塵異物測定装置
１１    ケーシング
１２    第１棒状部材
１２ａ  発光素子
１４    第２棒状部材
１４ａ  受光素子
１８    捕集部
２０    降塵異物測定装置
２１    ケーシング
２２    壁部材
２４    光源
２６    撮像部
２８    捕集部
３０    降塵異物測定装置
３１    ケーシング
３２ａ、３２ｂ  電界形成部材
３３    第１壁部材
３４    光源
３５    第２壁部材
３６    撮像部
３８    捕集部
３９    吸込部材
４０    降塵異物測定装置
４１    ケーシング
４１ａ  貫通穴
４２    第１棒状部材
４２ａ  発光素子
４３    仕切り板
４４    第２棒状部材
４４ａ  受光素子
４８    振動体
５０    帯電機構
５２ａ、５２ｂ  電界形成部材
５４    光源
５６    撮像部
５８    捕集部
６０    降塵異物測定装置
６１    ケーシング
６１ａ  貫通穴
６２    第１棒状部材
６２ａ  発光素子
６４    第２棒状部材
６４ａ  受光素子
６８    振動体
７０    帯電機構
７２ａ、７２ｂ  電界形成部材
７４    第３棒状部材
７４ａ  発光素子
７６    第４棒状部材
７６ａ  受光素子
７８    捕集部
９０    コンピュータ
９２    制御部
９４    操作部
９６    表示部
９８    データ保存部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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