(57)【要約】      （修正有）【課題】流路を形成する２つの部材を接合する接着層を通じて空気が流路内に侵入して気泡を発生させ吐出不良が生じるため、接着層の透気性を低減して、吐出不良の発生を低減することができる液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】流路を形成するアクチュエータ基板２０と保持基板５０を接合する接着剤で形成された接着層４０を有し、接着層４０は、面内方向において、一方側がヘッド外部の大気側に臨み、他方側がヘッド内部の流路側に臨み、接着層４０は、接着剤の主剤に比べて透気性の低い添加物４１を含み、接着層４０には、面内方向において、大気側と流路側と間に、他の領域よりも添加物４１が密集している添加物密集領域４５がある。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路を形成する少なくとも２つの部材を接合する接着剤で形成された接着層を有し、
前記接着層は、面内方向において、一方側がヘッド外部の大気側に臨み、他方側がヘッド内部の前記流路側に臨み、
前記接着層は、前記接着剤の主剤に比べて透気性の低い添加物を含み、
前記接着層には、面内方向において、前記大気側と前記流路側と間に、他の領域よりも前記添加物が密集している添加物密集領域がある
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記２つの部材の少なくとも一方の接合面には凸部が形成され、
前記凸部の接合面に前記添加物密集領域がある
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記添加物が前記２つの部材のギャップを規定するギャップ材を兼ねている
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記添加物は、表面が高分子材料で被覆されている
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを含むことを特徴とする液体吐出ユニット。
【請求項６】
前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化した
ことを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ユニット。
【請求項７】
請求項１ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項５若しくは６に記載の液体吐出ユニットを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出ヘッドとして、例えば、ノズル板、流路板、振動板部材、保持基板（保護基板）、共通液室部材などのうちの少なくとも２つの部材を接着剤で接合して流路を構成するものがある。
【０００３】
従来、２つの部材を接合する接着剤にフィラを混入したもの（特許文献１）、接着剤に硬質アクリル、ＳｉＯ２、Ｔｉなどの金属粒子、セラミックスなどのギャップ剤を混入したものが知られている（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平０８−２９０５７３号公報
【特許文献２】特開平１１−０５８７３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したように、２つの部材を接着剤で接合したとき、接合後の接着剤の層（接着層）が、面内方向において、一方側がヘッド外部の大気側に臨み、他方側がヘッド内部の流路側に臨み場合、接着層を介して大気が流路内に透気して流路内で気泡を発生させ、吐出不良を生じることがあるという課題がある。
【０００６】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、接着層の透気性を低減して、吐出不良の発生を低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
流路を形成する少なくとも２つの部材を接合する接着剤で形成された接着層を有し、
前記接着層は、面内方向において、一方側がヘッド外部の大気側に臨み、他方側がヘッド内部の前記流路側に臨み、
前記接着層は、前記接着剤の主剤に比べて透気性の低い添加物を含み、
前記接着層には、面内方向において、前記大気側と前記流路側と間に、他の領域よりも前記添加物が密集している添加物密集領域がある
構成とした。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、接着層の透気性を低減して、吐出不良の発生を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視説明図である。
【図２】同じくノズル配列方向と直交する方向（個別液室長手方向）に沿う要部断面説明図である。
【図３】本発明の第１実施形態の説明に供する要部拡大断面説明図である。
【図４】同じくノズル配列方向に沿う方向での要部平面説明図である。
【図５】比較例の説明に供する要部拡大断面説明図である。
【図６】第１実施形態の接着層の形成方法の異なる例の説明に供する断面説明図である。
【図７】本発明の第２実施形態の説明に供する要部拡大断面説明図である。
【図８】同じくノズル配列方向に沿う方向での要部平面説明図である。
【図９】本発明の第３実施形態の説明に供する要部拡大断面説明図である。
【図１０】同じくノズル配列方向に沿う方向での要部平面説明図である。
【図１１】本発明の第４実施形態の説明に供する要部拡大断面説明図である。
【図１２】同じくノズル配列方向に沿う方向での要部平面説明図である。
【図１３】前記第１実施形態ないし第３実施形態に相当する接着層の大気側から流路側にかけての添加物の含有率の説明に供する説明図である。
【図１４】本発明の第５実施形態の説明に供する要部拡大断面説明図である。
【図１５】本発明の第６実施形態の説明に供する要部拡大断面説明図である。
【図１６】同じくノズル配列方向に沿う方向での要部平面説明図である。
【図１７】本発明の第７実施形態の説明に供する要部拡大断面説明図である。
【図１８】同じくノズル配列方向に沿う方向での要部平面説明図である。
【図１９】本発明に係る液体を吐出する装置の一例の要部平面説明図である。
【図２０】同装置の要部側面説明図である。
【図２１】本発明に係る液体吐出ユニットの他の例の要部平面説明図である。
【図２２】本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例の正面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図１及び図２を参照して説明する。図１は同ヘッドの分解斜視説明図、図２は同じくノズル配列方向と直交する方向（個別液室長手方向）に沿う要部断面説明図である。
【００１１】
この液体吐出ヘッドは、ノズル板１と、流路板２と、振動板部材３と、圧力発生素子（圧力発生）手段である圧電素子１１と、保持基板５０と、共通液室部材７０と、駆動ＩＣ５０９などを備えている。
【００１２】
なお、本実施形態では、ノズル板１と保持基板５０との間に介在する、流路板２、圧電素子１１を含む振動板部材３などの部材全体を「アクチュエータ基板２０」と総称している。ただし、アクチュエータ基板２０として独立の部材が形成された後にノズル板１や保持基板５０と接合される場合に限定されるものではない。
【００１３】
また、ノズル板１、アクチュエータ基板２０、保持基板５０及び共通液室部材７０を積層している方向を「積層方向」という。
【００１４】
ノズル板１には、液体を吐出する複数のノズル４が配列された２つのノズル列が配置されている。ノズル板１と流路板２は接着剤で接合され、ノズル板１と流路板２との間には接着剤で形成された接着層４０が介在している。
【００１５】
流路板２は、ノズル板１及び振動板部材３とともに、ノズル４が通じる個別液室６と、個別液室６に通じる流体抵抗部７と、流体抵抗部７が通じる液導入部８とを構成している。
【００１６】
そして、個別液室６は、液導入部８から振動板部材３などに形成された供給口９を通じ、更に保持基板５０に設けられた供給口部５１から共通液室部材７０などで形成される共通液室１０に通じている。また、振動板部材３の供給口９にはフィルタ部材を配置することもできる。
【００１７】
振動板部材３は、個別液室６などの壁面の一部をなす変形可能な振動板（振動領域）３０を形成している。そして、この振動板部材３の振動板３０の個別液室６と反対側の面には、振動板３０と一体的に圧電素子１１が設けられ、振動板３０と圧電素子１１によって圧電アクチュエータ構成している。
【００１８】
圧電素子１１は、振動板３０側から下部電極１３、圧電層（圧電体層）１２及び上部電極１４を順次積層形成して構成している。この圧電素子１１上には絶縁膜２２が形成されている。
【００１９】
圧電素子１１の下部電極１３は、共通引出し配線１５を介してアクチュエータ基板２０のノズル配列方向の端部に引き出されて外部と接続する接続パッドなどに接続される。
【００２０】
圧電素子１１の上部電極１４は、個別引出し配線１６が引き出され、個別引出し配線１６はアクチュエータ基板２０と保持基板５０との間を通じて駆動ＩＣ（ドライバＩＣ）５０９に接続される。
【００２１】
振動板部材３の圧電素子１１側表面には下部電極１３を除く領域に絶縁膜２１が形成され、この絶縁膜２１は上部電極１４の周縁部まで形成されている。
【００２２】
ここで、駆動ＩＣ５０９は、保持基板５０に設けられた開口部５２内に配置されている。駆動ＩＣ５０９は、例えばフリップチップボンディングによりアクチュエータ基板２０上に実装され、バンプなどの接続部５１１によって上部電極１４と接続されている。
【００２３】
ここで、駆動ＩＣ５０９から圧電素子１１の上部電極１４と下部電極１３の間に電圧を与えることで、圧電体層１２が電極積層方向、すなわち電界方向に伸張し、振動板３０と平行な方向に収縮する。
【００２４】
このとき、下部電極１３側は振動板３０で拘束されているため、振動板３０の下部電極１３側に引っ張り応力が発生し、振動板３０が個別液室６側に撓み、内部の液体を加圧することで、ノズル４から液体吐出される
【００２５】
保持基板５０は、圧電素子１１を収容する凹部５３を有し、アクチュエータ基板２０を構成する絶縁膜（絶縁層）２２上に接着剤で接合され、アクチュエータ基板２０と保持基板５０との間には接着剤で形成された接着層４０が介在している。
【００２６】
共通液室部材７０は、共通液室１０となる貫通部が形成され、保持基板５０上に接着剤で接合され、保持基板５０と共通液室部材７０との間には接着剤で形成された接着層４０が介在している。
【００２７】
ここで、共通液室１０は、保持基板５０の圧電素子１１の収容部となる凹部５３とは反対側の面を１つの壁面とし、また、保持基板５０で形成されている壁面と反対側の壁面は変形可能なダンパ７１で形成されている。
【００２８】
次に、本発明の第１実施形態について図３及び図４を参照して説明する。図３は同実施形態の説明に供する要部拡大断面説明図、図４は同じくノズル配列方向に沿う方向での要部平面説明図である。
【００２９】
なお、以下では、流路を形成する２つの部材をアクチュエータ基板２０と保持基板５０とし、保持基板５０の供給口部５１をヘッド内部側の流路とした例で説明する。ただし、ノズル板１と流路板２との接合部分、保持基板５０と共通液室部材７０との接合部分、その他、流路板２と振動板部材３とを接合する場合にその接合部分などにも本発明を適用することができる。
【００３０】
アクチュエータ基板２０と保持基板５０との間には接着剤で形成された接着層４０が介在している。接着層４０は、面内方向において、一方側がヘッド外部の大気側に臨み、他方側がヘッド内部の流路側（ここでは供給口部５１）に臨んでいる。
【００３１】
接着層４０は、エポキシ系樹脂、ウレタン系樹脂、エラストマー系樹脂などを主剤とする接着剤で形成している。接着剤としては、弾性接着剤の範疇に属するものを使用することで、ヘッドの駆動に伴う振動を接着層４０で吸収することができ、振動抑制を図れる。ただし、接着層４０を形成する接着剤を弾性接着剤に限定するものではない。
【００３２】
弾性接着剤と称される接着剤は、一般的には、硬化した接着剤がゴム状の弾性体となり、振動などの応力を吸収する作用を有するものである。本実施形態では、単純なエポキシ樹脂接着剤よりも弾性率が低い接着剤を弾性接着剤とする。この場合の弾性接着剤には、例えばエポキシ樹脂と変成アルコールを含むエポキシ系樹脂、ウレタン系樹脂、エラストマー系樹脂などの接着剤が含まれる。
【００３３】
この接着層４０には、接着剤の主剤よりも透気性の低い添加物４１が含まれている。添加物４１としては、揺変剤、ギャップ剤、シリカ、アルミナ等のフィラなどを使用できる。
【００３４】
そして、接着層４０には、面内方向において、大気側と流路側との間に、他の領域よりも添加物４１が密集している添加物密集領域（添加物密集部分）４５がある。添加物密集領域４５は、大気側から流路側に通じる方向（図３）と、大気側から流路側に通じる方向と交差する方向（図４）において、添加物４１が密集している領域である。
【００３５】
本実施形態では、接着層４０内の大気側に添加物密集領域４５を配置している。
【００３６】
このように、接着層４０内に、添加物４１が部分的に密集している添加物密集領域４５があることで、大気側から流路側に気体が接着層４０を通過しようとするとき、気体が通過可能な経路の断面積が狭くなり、あるいは、経路長が長くなるので、経路の抵抗が大きくなる。これにより、大気側から流路側への気体の透過（透気）が抑制され、流路内での気泡の発生を低減できる。
【００３７】
一方、添加物密集領域４５以外の部分では、添加物４１が存在しない、あるいは、添加物４１が存在しても密集していない（疎になっている）ことにより、接着剤本来の弾性によってヘッド駆動時の振動を吸収ないし減衰することができる。
【００３８】
すなわち、圧電素子１１を駆動して液体を吐出するとき、アクチュエータ基板２０に振動が発生し、アクチュエータ基板２０に接合された保持基板５０やノズル板１に振動が伝搬し、更に保持基板５０を介して共通液室部材７０に振動が伝搬することがある。
【００３９】
この場合、部材を接合する接着層に弾性率が低い接着剤を使用することで、振動を吸収することができるが、弾性率が低い接着剤を用いることで、弾性率が低い接着剤は透気性が高くなる。
【００４０】
そのため、図５に示すように、接着層４０を介して大気が流路内に侵入して液中に気泡３００が発生することがある。
【００４１】
そこで、本実施形態では、弾性率が低い接着剤を使用して接着層４０によって振動低減作用を得るようにした場合でも、添加物４１を含ませることで接着層４０の透気性を低くして、気泡の発生を抑制している。
【００４２】
このとき、添加物４１を全体に分散させると、接着層４０の有する振動吸収性が低下して振動抑制作用が低減することになるので、部分的な添加物密集領域４５を形成することで、振動吸収性の低減防止と透気性の低下の両立を図っている。
【００４３】
ここで、接着層４０の弾性率が高くなる（振動吸収性が低下する）ことを抑制するためには、添加物密集領域４５はできるだけ小さい領域とすることが好ましい。また、添加物４１の大きさをナノレベルにすることにより、体積に対する表面積が大きくなって添加物４１同士が凝集し易く、透気性低減の効果を更に向上することができる。
【００４４】
このようにして、接着層の弾性率を低く保ったまま、透気性を抑制することが可能となり、振動伝搬を抑制し、かつ、流路内での気泡発生も抑制されることで、吐出不良も低減することができる。
【００４５】
次に、第１実施形態の接着層の形成方法の異なる例について図６を参照して説明する。図６は同説明に供する断面説明図である。
【００４６】
図６（ａ）に示す第１例では、保持基板５０の接合面１５０の大気側の領域に添加物４１を含有する接着剤１４０を塗布し、アクチュエータ基板２０の接合面１２０の大気側を除く領域に添加物４１を含有しない接着剤１４０を塗布して、保持基板５０とアクチュエータ基板２０を接合する。
【００４７】
図６（ｂ）に示す第２例では、アクチュエータ基板２０の接合面１２０の大気側の領域に添加物４１を含有する接着剤１４０を塗布し、大気側を除く領域に添加物４１を含有しない接着剤１４０を塗布して、保持基板５０とアクチュエータ基板２０を接合する。
【００４８】
これによって、第１実施形態のように、接着層４０の面内方向の大気側で添加物４１が密集した添加物密集領域４５を有する接着層４０を形成することができる。
【００４９】
次に、本発明の第２実施形態について図７及び図８を参照して説明する。図７は同実施形態の説明に供する要部拡大断面説明図、図８は同じくノズル配列方向に沿う方向での要部平面説明図である。
【００５０】
本実施形態では、接着層４０内の流路側に他の部分よりも添加物が密集している添加物密集領域４５を配置している。
【００５１】
このように構成したので、前記第１実施形態と同様の作用効果が得られる。また、接着剤の主剤の流路への流れ出しを抑制することができる。
【００５２】
次に、本発明の第３実施形態について図９及び図１０を参照して説明する。図９は同実施形態の説明に供する要部拡大断面説明図、図１０は同じくノズル配列方向に沿う方向での要部平面説明図である。
【００５３】
本実施形態では、接着層４０内の大気側及び流路側に他の部分よりも添加物が密集している添加物密集領域４５、４５を配置している。ここでは、他の部分は接着層４０内の中央部となる。
【００５４】
このように、接着層４０には複数の添加物密集領域４５を配置することもでき、より透気性を低減することができる。
【００５５】
次に、本発明の第４実施形態について図１１及び図１２を参照して説明する。図１１は同実施形態の説明に供する要部拡大断面説明図、図１２は同じくノズル配列方向に沿う方向での要部平面説明図である。
【００５６】
本実施形態では、接着層４０には、面内方向において、大気側と流路側との間で、大気側に、他の部分（ここでは、中央部及び流路側）よりも添加物４１が密集している添加物密集領域４５を配置している。
【００５７】
そして、接着層４０には、他の部分である中央部及び流路側でも、添加物密集領域４５の密度よりも低い密度で添加物４１が含まれている。
【００５８】
このように、添加物４１の含有率が部分的に高ければ（密度が高ければ）、他の部分にも添加物４１が含まれていても、振動抑制作用を得ることができる。ただし、他の部分では接着層４０の弾性を確保するために添加物４１の含有率は小さくする。
【００５９】
次に、前記第１実施形態ないし第３実施形態に相当する接着層の大気側から流路側にかけての添加物の含有率について図１３を参照して説明する。
【００６０】
図１３（ａ）は前記第１実施形態に相当し、大気側の添加物密集領域４５で添加物４１の含有率が高く、添加物密集領域４５を外れると急激に含有率が低下し、流路側に向かって漸次含有率が低下する構成である。ただし、第１実施形態では、添加物密集領域４５以外には添加物４１は含有されていない点で異なっている。
【００６１】
図１３（ｂ）は前記第２実施形態に相当し、大気側から添加物４１の含有率が漸次増加し、流路側の添加物密集領域４５で急激に含有率が増大する構成である。ただし、第２実施形態では、添加物密集領域４５以外には添加物４１は含有されていない点で異なっている。
【００６２】
図１３（ｃ）は前記第３実施形態に相当し、大気側の添加物密集領域４５で添加物４１の含有率が高く、添加物密集領域４５を外れると急激に含有率が低下し、中央部に向かって漸次含有率が低下した後、流路側に向かって漸次増加し、流路側の添加物密集領域４５で急激に含有率が増大する構成である。ただし、第３実施形態では、添加物密集領域４５以外には添加物４１は含有されていない点で異なっている。
【００６３】
次に、本発明の第５実施形態について図１４を参照して説明する。図１４は同実施形態の説明に供する要部拡大断面説明図である。
【００６４】
本実施形態では、２つの部材の一方の部材であるアクチュエータ基板２０に凸部２０ａを形成して、接合面１２０の一部を凸面１２０ａとしている。そして、この接合面１２０の凸面１２０ａの部分を、添加物４１が密集する添加物密集領域４５としている。
【００６５】
これにより、大気に臨む面積を変えることなく、接着層４０の膜厚（層厚）を厚くすることができる。したがって、前記第１実施形態などと同様に透気性抑制の効果を維持したまま、振動抑制効果を高めることができる。
【００６６】
次に、本発明の第６実施形態について図１５及び図１６を参照して説明する。図１５は同実施形態の説明に供する要部拡大断面説明図、図１６は同じくノズル配列方向に沿う方向での要部平面説明図である。
【００６７】
本実施形態では、平均粒子径の異なる２種類のフィラなどの添加物４１Ａ、４１Ｂを混在させている。例えば、添加物４１Ａは、添加物４１Ｂより平均粒子経が大きく、接着層４０の厚みよりも薄い平均粒子経としている。
【００６８】
そして、本実施形態では、これらの添加物４１Ａと添加物４１Ｂとが密集している添加物密集領域４５が接着層４０の面内において大気側にある。
【００６９】
添加物密集領域４５では、添加物４１Ｂは、添加物４１Ａ、４１Ａの隙間、添加物４１Ａとアクチュエータ基板２０の接合面１２０との間、添加物４１Ａと保持基板５０の接合面１５０との隙間に入り込んでいる。
【００７０】
これにより、気体が接着層を通過する経路の抵抗値が大きくなり、気体の透過を抑制できる。
【００７１】
この場合、添加物４１Ａを弾性体、添加物４１Ｂを無機材とすることが好ましい。弾性体の添加物４１Ａにより添加物密集領域４５における振動の低減効果を高めることができ、無機材の添加物４１Ｂより添加物４１Ｂ自体を通過する気体量を低減できる。
【００７２】
次に、本発明の第７実施形態について図１７及び図１８を参照して説明する。図１７は同実施形態の説明に供する要部拡大断面説明図、図１８は同じくノズル配列方向に沿う方向での要部平面説明図である。
【００７３】
本実施形態は、添加物４１が接着層４０の厚みを規定するギャップ材を兼ねている例である。
【００７４】
以上の各実施形態において、接着剤に混入する添加物４１としては、ゴムやエラストマーといった軟質の材料を使用することで振動抑制作用を得ることができるが、軟質の材料にすると低分子構造となって透気性抑制作用が少なくなる。
【００７５】
そこで、添加物４１としては、軟質な材料の表面を架橋密度の高い（硬質な）材料（高分子材料）で被覆したものを使用することで、振動抑制作用と透気性抑制作用を両立して得ることができるようになる。架橋密度が高く、硬化後高分子材料になる材料の例としては、接着剤の主剤などに主に使用されるエポキシ系樹脂、アクリル系樹脂などがある。
【００７６】
次に、上記液体吐出ヘッドの各部の具体的構成の一例について説明する。
【００７７】
ノズル板１は、例えば、ＳＵＳ、ニッケル等の金属または合金やシリコン、セラミックス等の無機材料、ポリイミド等の樹脂材料で形成できる。流路板２は、例えば、シリコン基板を使用し、エッチングによって個別液室６となる溝や凹部を形成することができる。
【００７８】
振動板部材３は、シリコンや窒化物、酸化物、炭化物等、これらの積層膜を使用することができる。積層膜としては、例えばＳｉ３Ｎ４とＳｉＯ２の積層膜などを使用できる。
【００７９】
圧電体層１２は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛、チタン酸バリウムが一般的に用いられる。下部電極１３、上部電極１４は、例えば、金属、合金、導電性化合物などの単層膜或いは積層膜で形成することができる。例えば、Ｐｔ、Ｉｒ、Ｉｒ酸化物、Ｐｄ、Ｐｄ酸化物等挙げられる。また、振動板部材３との間にＴｉ、Ｔａ、Ｗ、Ｃｒ等で形成する密着層を介在されることができる。
【００８０】
保持基板５０は、例えば、ガラス、シリコンやＳｉＯ２、ＺｒＯ２、Ａｌ２Ｏ３等のセラミクス材料で形成することができる。
【００８１】
次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図１９及び図２０を参照して説明する。図１９は同装置の要部平面説明図、図２０は同装置の要部側面説明図である。
【００８２】
この装置は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。
【００８３】
このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド４０４及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド４０４は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド４０４は、複数のノズル１１からなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。
【００８４】
液体吐出ヘッド４０４の外部に貯留されている液体を液体吐出ヘッド４０４に供給するための供給機構４９４により、ヘッドタンク４４１には、液体カートリッジ４５０に貯留されている液体が供給される。
【００８５】
供給機構４９４は、液体カートリッジ４５０を装着する充填部であるカートリッジホルダ４５１、チューブ４５６、送液ポンプを含む送液ユニット４５２等で構成される。液体カートリッジ４５０はカートリッジホルダ４５１に着脱可能に装着される。ヘッドタンク４４１には、チューブ４５６を介して送液ユニット４５２によって、液体カートリッジ４５０から液体が送液される。
【００８６】
この装置は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。
【００８７】
搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド４０４に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。
【００８８】
そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。
【００８９】
さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド４０４の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。
【００９０】
維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド４０４のノズル面（ノズル１１が形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。
【００９１】
主走査移動機構４９３、供給機構４９４、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。
【００９２】
このように構成したこの装置においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。
【００９３】
そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド４０４を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成する。
【００９４】
このように、この装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。
【００９５】
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図２１を参照して説明する。図２１は同ユニットの要部平面説明図である。
【００９６】
この液体吐出ユニットは、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド４０４で構成されている。
【００９７】
なお、この液体吐出ユニットの例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０、及び供給機構４９４の少なくともいずれかを更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。
【００９８】
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図２２を参照して説明する。図２２は同ユニットの正面説明図である。
【００９９】
この液体吐出ユニットは、流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド４０４と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。
【０１００】
なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド４０４と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。
【０１０１】
本願において、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて、液体を吐出させる装置である。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。
【０１０２】
この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。
【０１０３】
例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。
【０１０４】
また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。
【０１０５】
上記「液体が付着可能もの」とは液体が一時的にでも付着可能なものを意味する。「液体が付着するもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。
【０１０６】
また、「液体」は、インク、処理液、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、結着剤、造形液なども含まれる。
【０１０７】
また、「液体を吐出する装置」には、特に限定しない限り、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置のいずれも含まれる。
【０１０８】
また、「液体を吐出する装置」としては他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液をノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。
【０１０９】
「液体吐出ユニット」とは、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体である。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。
【０１１０】
ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。
【０１１１】
例えば、液体吐出ユニットとして、図２０で示した液体吐出ユニット４４０のように、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。
【０１１２】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。
【０１１３】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、図２０で示したように、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。
【０１１４】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。
【０１１５】
また、液体吐出ユニットとして、図２１で示したように、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。
【０１１６】
主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。
【０１１７】
また、「液体吐出ヘッド」は、使用する圧力発生手段が限定されるものではない。例えば、上記実施形態で説明したような圧電アクチュエータ（積層型圧電素子を使用するものでもよい。）以外にも、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものでもよい。
【０１１８】
また、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。
【符号の説明】
【０１１９】
１  ノズル板
２  流路板
３  振動板部材
４  ノズル
６  個別液室
９  供給口
１１  圧電素子
２０  アクチュエータ基板
４０  接着層
４１  添加物
５０  保持基板
５１  供給口部（流路）
７０  共通液室部材
１４０  接着剤
４０３  キャリッジ
４０４  液体吐出ヘッド
４４０  液体吐出ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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