(57)【要約】【課題】スクライブする際に、複数のポイントを有するマルチポイントツールのポイント位置を固定し、ポイント位置を容易に変更できるようにすること。【解決手段】マルチポイントツール３０は、スクライブのポイントとなる第１の切欠き３４〜４１とこの間に形成され等間隔のより深い第２の切欠き４２〜４９を有している。刃先固定ピン６０は、マルチポイントツール３０の第２の切欠きの間隔に対応した一対の突起部６１ａ，６１ｂと、軸に対して傾けて形成された貫通孔４２を有している。スクライブする際には第２の切欠きの溝に一対の突起部６１ａ，６１ｂを押し付けて固定する。刃先固定ピン６０の貫通孔にテーパ状部が向き合うように形成されたロックピン６３を挿入し、その位置を変化させてロック及びアンロックを行う。【選択図】図３Ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スクライブヘッドに回転自在に取付けられるマルチポイントツールの位置決めを行うマルチポイントツールの位置決め機構であって、
前記マルチポイントツールは、回転対称体のベースの外周に複数の第１の切欠きが形成され、前記第１の切欠きの間に等間隔に第１の切欠きより深い複数の第２の切欠きが形成されたものであり、
前記位置決め機構は、
一端に前記マルチポイントツールの第２の切欠きの間隔に等しい一対の突起部を有し、中央に軸に垂直な軸に対して傾けた貫通孔を有する刃先固定ピンと、
前記刃先固定ピンの貫通孔に挿入され、前記刃先固定ピンの軸に垂直にスライドすることによって前記刃先固定ピンにより前記マルチポイントツールをロック及びアンロックさせるロックピンと、を具備するマルチポイントツールの位置決め機構。
【請求項２】
スクライブヘッドに回転自在に取付けられるマルチポイントツールの位置決めを行うマルチポイントツールの位置決め機構であって、
前記マルチポイントツールは、回転対称体のベースの外周に複数の第１の切欠きが形成され、前記第１の切欠きの間に等間隔に第１の切欠きより深い複数の第２の切欠きが形成されたものであり、
前記位置決め機構は、
一端に前記マルチポイントツールの第２の切欠きの間隔に等しい一対の突起部を有し、中央に軸に垂直でクランク状に形成された貫通孔を有する前記刃先固定ピンと、
前記刃先固定ピンの貫通孔に挿入され、前記刃先固定ピンの軸に垂直にスライドすることによって前記刃先固定ピンにより前記マルチポイントツールをロック及びアンロックさせるロックピンと、を具備するマルチポイントツールの位置決め機構。
【請求項３】
前記ロックピンは、先細のテーパ状部が互いに向き合うように形成され、このテーパ状部が前記刃先固定ピンの貫通孔に挿入されるものである請求項１又は２記載のマルチポイントツールの位置決め機構。
【請求項４】
前記マルチポイントツールを所定角度回転させるスライダを更に有するものである請求項１又は２記載のマルチポイントツールの位置決め機構。
【請求項５】
スクライブヘッドに回転自在に取付けられるマルチポイントツールであって、
前記マルチポイントツールは、回転対称体のベースの外周に複数の第１の切欠きが形成され、前記第１の切欠きの間に等間隔に第１の切欠きより深い複数の第２の切欠きが形成され、スクライブ時に前記第２の切欠きに刃先固定ピンが当接することによりその回転が抑止されるマルチポイントツール。
【請求項６】
回転自在に取付けられるマルチポイントツールと、
前記マルチポイントツールの位置決め機構を備えるスクライブヘッドであって、
前記マルチポイントツールは、回転対称体のベースの外周に複数の第１の切欠きが形成され、前記第１の切欠きの間に等間隔に第１の切欠きより深い複数の第２の切欠きが形成されたものであり、
前記位置決め機構は、
一端に前記マルチポイントツールの第２の切欠きの間隔に等しい一対の突起部を有し、中央に軸に垂直な軸に対して傾けた貫通孔を有する刃先固定ピンと、
前記刃先固定ピンの貫通孔に挿入され、前記刃先固定ピンの軸に垂直にスライドすることによって前記刃先固定ピンにより前記マルチポイントツールをロック及びアンロックさせるロックピンと、を具備するスクライブヘッド。
【請求項７】
前記マルチポイントツールを所定角度回転させるスライダを具備する請求項６に記載のスクライブヘッド。
【請求項８】
スクライブヘッドと、
スクライブヘッドに回転自在に取付けられるマルチポイントツールと、
前記マルチポイントツールの位置決め機構を備えるスクライブ装置であって、
前記マルチポイントツールは、回転対称体のベースの外周に複数の第１の切欠きが形成され、前記第１の切欠きの間に等間隔に第１の切欠きより深い複数の第２の切欠きが形成されたものであり、
前記位置決め機構は、
一端に前記マルチポイントツールの第２の切欠きの間隔に等しい一対の突起部を有し、中央に軸に垂直な軸に対して傾けた貫通孔を有する刃先固定ピンと、
前記刃先固定ピンの貫通孔に挿入され、前記刃先固定ピンの軸に垂直にスライドすることによって前記刃先固定ピンにより前記マルチポイントツールをロック及びアンロックさせるロックピンと、
前記マルチポイントツールを所定角度回転させるスライダと、を具備するスクライブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はガラス基板やシリコンウエハ等の脆性材料基板をダイヤモンドポイントによってスクライブするためのマルチポイントツール、このマルチポイントツールを固定する位置決め機構、この位置決め機構を内蔵するスクライブヘッド及びスクライブ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来ガラス基板やシリコンウエハをスクライブするために、スクライビングホイールや単結晶ダイヤモンドによるダイヤモンドポイントを用いたツールが用いられている。ガラス基板に対しては、主に基板に対して転動させるスクライビングホイールが用いられてきたが、スクライブ後の基板の強度が向上するなどの利点より、固定刃であるダイヤモンドポイントの使用も検討されてきている。特許文献１，２にはサファイアウエハやアルミナウエハ等の硬度の高い基板をスクライブするためのポイントカッターが提案されている。これらの特許文献には、角錐の稜線上にカットポイントを設けたツールや、先端が円錐になったツールが用いられている。又特許文献３にはガラス板をスクライブするために円錐形の先端を有するガラススクライバを用いたスクライブ装置が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−１８３０４０号公報
【特許文献２】特開２００５−０７９５２９号公報
【特許文献３】特開２０１３−０４３７８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のツールでスクライブを進めていくとポイントが摩耗するため、ポイントを変更する必要がある。角錐形や円錐形のツールでは使用可能な頂点となるポイントは２箇所又は最大で４箇所である。従って２箇所又は４箇所のポイントを変更するとツールを交換する必要があり、交換頻度が高くなるという問題点があった。さらにまた、ポイントの交換のためにはツールを保持する軸を中心に回転させる必要があり、ポイントが基板に接触する角度を精度よく調整することが困難であった。
【０００５】
本発明はこのような従来の問題点に鑑みてなされたものであって、スクライブに使用しているポイントが摩耗しても容易にポイント位置を変更して固定することができるマルチポイントツール、マルチポイントツールの位置決め機構、この位置決め機構を内蔵するスクライブヘッド及びスクライブ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この課題を解決するために、本発明のマルチポイントツールの位置決め機構は、スクライブヘッドに回転自在に取付けられるマルチポイントツールの位置決めを行うマルチポイントツールの位置決め機構であって、前記マルチポイントツールは、回転対称体のベースの外周に複数の第１の切欠きが形成され、前記第１の切欠きの間に等間隔に第１の切欠きより深い複数の第２の切欠きが形成されたものであり、前記位置決め機構は、一端に前記マルチポイントツールの第２の切欠きの間隔に等しい一対の突起部を有し、中央に軸に垂直な軸に対して傾けた貫通孔を有する刃先固定ピンと、前記刃先固定ピンの貫通孔に挿入され、前記刃先固定ピンの軸に垂直にスライドすることによって前記刃先固定ピンにより前記マルチポイントツールをロック及びアンロックさせるロックピンと、を具備するものである。
【０００７】
この課題を解決するために、本発明のマルチポイントツールの位置決め機構は、スクライブヘッドに回転自在に取付けられるマルチポイントツールの位置決めを行うマルチポイントツールの位置決め機構であって、前記マルチポイントツールは、回転対称体のベースの外周に複数の第１の切欠きが形成され、前記第１の切欠きの間に等間隔に第１の切欠きより深い複数の第２の切欠きが形成されたものであり、前記位置決め機構は、一端に前記マルチポイントツールの第２の切欠きの間隔に等しい一対の突起部を有し、中央に軸に垂直でクランク状に形成された貫通孔を有する前記刃先固定ピンと、前記刃先固定ピンの貫通孔に挿入され、前記刃先固定ピンの軸に垂直にスライドすることによって前記刃先固定ピンにより前記マルチポイントツールをロック及びアンロックさせるロックピンと、を具備するものである。
【０００８】
ここで前記ロックピンは、先細のテーパ状部が互いに向き合うように形成され、このテーパ状部が前記刃先固定ピンの貫通孔に挿入されるものとしてもよい。
【０００９】
ここで前記マルチポイントツールを所定角度回転させるスライダを更に有するものとしてもよい。
【００１０】
この課題を解決するために、本発明のマルチポイントツールは、スクライブヘッドに回転自在に取付けられるマルチポイントツールであって、前記マルチポイントツールは、回転対称体のベースの外周に複数の第１の切欠きが形成され、前記第１の切欠きの間に等間隔に第１の切欠きより深い複数の第２の切欠きが形成され、スクライブ時に前記第２の切欠きに刃先固定ピンが当接することによりその回転が抑止されるものである。
【００１１】
この課題を解決するために、本発明のスクライブヘッドは、回転自在に取付けられるマルチポイントツールと、前記マルチポイントツールの位置決め機構を備えるスクライブヘッドであって、前記マルチポイントツールは、回転対称体のベースの外周に複数の第１の切欠きが形成され、前記第１の切欠きの間に等間隔に第１の切欠きより深い複数の第２の切欠きが形成されたものであり、前記位置決め機構は、一端に前記マルチポイントツールの第２の切欠きの間隔に等しい一対の突起部を有し、中央に軸に垂直な軸に対して傾けた貫通孔を有する刃先固定ピンと、前記刃先固定ピンの貫通孔に挿入され、前記刃先固定ピンの軸に垂直にスライドすることによって前記刃先固定ピンにより前記マルチポイントツールをロック及びアンロックさせるロックピンと、を具備するものである。
【００１２】
ここで前記マルチポイントツールを所定角度回転させるスライダを具備するようにしてもよい。
【００１３】
この課題を解決するために、本発明のスクライブ装置は、スクライブヘッドと、スクライブヘッドに回転自在に取付けられるマルチポイントツールと、前記マルチポイントツールの位置決め機構を備えるスクライブ装置であって、前記マルチポイントツールは、回転対称体のベースの外周に複数の第１の切欠きが形成され、前記第１の切欠きの間に等間隔に第１の切欠きより深い複数の第２の切欠きが形成されたものであり、前記位置決め機構は、一端に前記マルチポイントツールの第２の切欠きの間隔に等しい一対の突起部を有し、中央に軸に垂直な軸に対して傾けた貫通孔を有する刃先固定ピンと、前記刃先固定ピンの貫通孔に挿入され、前記刃先固定ピンの軸に垂直にスライドすることによって前記刃先固定ピンにより前記マルチポイントツールをロック及びアンロックさせるロックピンと、前記マルチポイントツールを所定角度回転させるスライダと、を具備するものである。
【発明の効果】
【００１４】
このような特徴を有する本発明によれば、第２の切欠き部に刃先固定ピンの突起部を係合させることでマルチポイントツールを固定することができる。又ポイントの位置を変更する場合にも、ロックを解除し、所定角度ツールを回転させてから更に再びロックすることで、容易に同じ位置にポイントを調整することができる。従ってマルチポイントツールのポイントの切替えを容易に行うことができるという効果が得られる。また、ツールを回転させても、ツールの正面視において刃先の稜線が基板に接触する角度は変わらないため、ポイントの基板に対する接触角度を調整することが容易である。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は本発明の実施の形態によるスクライブ装置を示す斜視図である。
【図２】図２は本発明の実施の形態の位置決め機構に用いられるマルチポイントツールの正面図及び側面図である。
【図３Ａ】図３Ａは本発明の第１の実施の形態による位置決め機構を内蔵したスクライブヘッドのロック時を示す概略図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは本発明の第１の実施の形態による位置決め機構を内蔵したスクライブヘッドのアンロック時を示す概略図である。
【図４】図４は本実施の形態による刃先固定ピンを示す斜視図及び断面図である。
【図５】図５は本実施の形態によるロックピンを示す斜視図である。
【図６Ａ】図６Ａは本実施の形態によるスライダ保持機構を内蔵するスクライブヘッドを示す概略図である。
【図６Ｂ】図６Ｂは本実施の形態によるスライダ保持機構を内蔵するスクライブヘッドを示す概略図である。
【図７】図７は本発明の第１の実施の形態による位置決め機構によって固定されるマルチポイントツールを用いてスクライブする状態を示す図及びマルチポイントツールを回動させる状態を示す図である。
【図８】図８はマルチポイントツールを回動させる状態を示す図及び回動した後のマルチポイントツールを用いてスクライブする状態を示す図である。
【図９Ａ】図９Ａは本発明の第２の実施の形態による位置決め機構を内蔵したスクライブヘッドのロック時を示す概略図である。
【図９Ｂ】図９Ｂは本発明の第２の実施の形態による位置決め機構を内蔵したスクライブヘッドのアンロック時を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図１は、本発明の実施の形態によるスクライブ装置の一例を示す概略斜視図である。このスクライブ装置１０は、移動台１１が一対の案内レール１２ａ、１２ｂに沿って、ｙ軸方向に移動自在に保持されている。ボ−ルネジ１３は移動台１１と螺合している。モータ１４はボールネジ１３を回転させることにより、移動台１１を案内レール１２ａ，１２ｂに沿ってｙ軸方向に移動させる。移動台１１の上面にはモータ１５が設けられている。モータ１５はテーブル１６をｘｙ平面で回転させて所定角度に位置決めするものである。テーブル１６上には脆性材料基板１７が載置され、図示しない真空吸引手段などにより保持される。スクライブ装置の上部には、脆性材料基板１７のアライメントマークを撮像する２台のＣＣＤカメラ１８ａ，１８ｂが設けられている。
【００１７】
スクライブ装置１０には、移動台１１とその上部のテーブル１６をまたぐようにブリッジ２０がｘ軸方向に沿って支柱２１ａ，２１ｂにより架設されている。ブリッジ２０にはスクライブヘッド２２を保持するリニアモータ２３が設けられている。リニアモータ２３はスクライブヘッド２２をｘ軸方向に沿って直線駆動するものである。スクライブヘッド２２には刃先に圧力を付与する圧力付与部２４を介してツール保持部２５が取付けられている。ツール保持部２５は、マルチポイントツール３０を下端に保持し脆性材料基板１７の表面上に適切な荷重にて圧接させて、刃先が摩耗したときにマルチポイントツール３０を所定角度回転させるものである。
【００１８】
次に本発明の実施の形態によるマルチポイントツールについて説明する。図２は本実施の形態による位置決め機構によって固定されるマルチポイントツール３０の一例を示す正面図及び側面図である。このマルチポイントツール３０は円板など回転対称形のベース３１を単結晶ダイヤモンドを用いて形成し、その中心に貫通孔３２を有している。図２（ａ）の側面図に示すように、円周部分の両側よりＶ字形に研磨して稜線と傾斜面からなる刃先部３３とする。そして図示のように刃先部３３の円周の８箇所には、レーザ加工、放電加工又は機械研磨などにより第１の切欠き３４〜４１を形成する。第１の切欠きと稜線との交点をポイントとしてスクライブを行う。そしてこの第１の各切欠きは等間隔とし、その切欠きの中間部分にはレーザ加工、放電加工又は機械研磨などにより更に深いＶ字状の第２の切欠き４２〜４９を等間隔で形成する。
【００１９】
図３Ａはこの実施の形態による位置決め機構を内蔵したスクライブヘッド２２のツール保持部２５のロック時を示す概略図、図３Ｂはアンロック時の概略図であり、刃先固定ピン６０のみを断面図で示している。これらの図に示すようにツール保持部２５の端部には前述したマルチポイントツール３０が図示しないピンを貫通孔３２に挿通することにより回転自在に取付けられている。そしてスクライブ時にマルチポイントツール３０を回転させないようにするために、刃先固定ピン６０がマルチポイントツールの２箇所の第２の切欠きに固定される。刃先固定ピン６０はわずかに上下方向に移動自在であり、刃先固定ピン６０によりマルチポイントツール３０をロックするためにロックピン６３が用いられる。
【００２０】
次に刃先固定ピン６０について詳細に説明する。刃先固定ピン６０は図４に斜視図及び断面図を示すように、円柱形の部材であって、その右端部には一対の突起部６１ａ，６１ｂが形成される。突起部６１ａ，６１ｂの先端の間隔はマルチポイントツール３０の第２の切欠き４２〜４９の窪みの底部の間隔と同一とする。又この刃先固定ピン６０の中央部には円柱の中心軸に対して一定の傾斜角度を有する斜めの貫通孔６２が形成されている。
【００２１】
そして刃先固定ピン６０の斜めの貫通孔６２には図５に示すロックピン６３が挿入される。ロックピン６３は一対のテーパ状部６４ａ，６４ｂの部材が接着された構造を有し、その外側には円柱状部６５と６６が突出している。テーパ状部６４ａ，６４ｂは前述した刃先固定ピン６０の貫通孔６２に挿入されている。そして図３Ａに示すようにロックピン６３の一方の円柱部６５の外周にはスプリング６７が設けられ、ロックピン６３を図３Ａの左側に付勢している。ロックピン６３はマルチポイントツール３０を回転させる際に右向きに円柱部６６を押圧することによって刃先固定ピン６０を上方に移動させ、アンロックさせるものである。
【００２２】
ポイントを変更する際、マルチポイントツール３０を所定角度回転させるためにスライダ６８を用いることができる。スライダ６８は図３Ａ，図３Ｂに示すように細長い直方体部材で３箇所の等間隔の突起６８ａ〜６８ｃが形成されたものである。突起部６８ａ，６８ｂ，６８ｃの先端の間隔はマルチポイントツール３０の第２の切欠き４２〜４９の窪みの底の間隔と同一とする。スライダ６８は図７（ｂ）に示すように突起をマルチポイントツール３０の第２の切欠きに当接させ、相対的にスライドさせる。そして突起部６８ａと６８ｂが切欠きに嵌合している状態から突起部６８ｂ，６８ｃが嵌合する状態まで図中右側に移動させることで、マルチポイントツール３０を一定角度回転させることができる。スライダ６８はスクライブヘッドとは別にスクライブ装置に設けられていてもよく、スクライブヘッドに内蔵されていてもよい。
【００２３】
次にスクライブヘッドに内蔵されている場合のスライダの保持機構の一例について説明する。図６Ａに示すように圧力付与部２４，マルチポイントツール保持部２５に隣接して、上下方向にスライダ保持部を駆動するリニア駆動部２６が設けられる。リニア駆動部２６はスライダ保持部２７を上下方向に駆動するものである。スライダ保持部２７にはスライダ６８を水平方向に駆動するためのリニア駆動部２８が設けられ、その先端に前述したスライダ６８が取付けられている。
【００２４】
この実施の形態のマルチポイントツール３０を用いてスクライブする場合について、図７，図８を用いて説明する。尚図７，図８では円周部の切欠きを誇張して大きく示している。スクライブする際には、図７に示すようにマルチポイントツール３０の１つの第１の切欠き、例えば切欠き３４の端部をポイントとし、刃先固定ピン６０の突起部６１ａ，６１ｂを第２の切欠き４５，４６に係合させてロックする。こうしてマルチポイントツール３０を回転しない状態で固定し、基板１７に対して図示の矢印Ａ方向に相対的に移動させ、スクライブを行う。このときマルチポイントツール３０は転動させないので、同じポイントでスクライブを行うことができる。
【００２５】
そして基板１７に接しているポイントが摩耗により劣化した場合には、マルチポイントツールを回転させることによりポイントを変更する。
【００２６】
マルチポイントツール３０を回転させるため、スクライブヘッド２２自体を上方に移動させると、マルチポイントツール３０と基板１７との接触がなくなる。この後、図６Ａ（ｂ）に示すようにリニア駆動部２６によってスライダ保持部２７を下方に移動させる。次いで図６Ｂ（ｃ）に示すようにリニア駆動部２８によってスライダ６８を図中右方向に駆動し、更にリニア駆動部２６によってスライダ保持部２７をわずかに上昇させる。こうすれば図６Ｂ（ｄ），及び図７（ｂ）に示すようにスライダ６８の突起部６８ａと６８ｂがＶ字形の切欠き４２，４９に嵌合することとなる。
【００２７】
次に図示しないシリンダ等によりスプリング６７に抗してロックピン６３を図３Ａの矢印Ｂ方向に付勢する。そうすれば図３Ｂに示すように貫通孔６２の内壁とロックピン６３のテーパ状部６４ａ，６４ｂが接する位置 が変化し、刃先固定ピン６０が上方にシフトする。そのためロックピン６３によるマルチポイントツール３０のロックを解除することができる。
【００２８】
そしてリニア駆動部２８によってスライダ６８を図中右側に移動させることによって、図８（ａ）に示すようにマルチポイントツール３０を４５°回動させる。そうすれば切欠き４２，２３に刃先固定ピンの突起部６８ｂ，６８ｃが係合し、マルチポイントツール３０の切欠き３５が基板１７に当接する位置となる。
【００２９】
次に図示しないシリンダによりロックピン６３を矢印Ｃ方向に付勢する。そうすれば貫通孔６２の内壁とロックピン６３のテーパ状部６４ａ，６４ｂが接する位置 が変化し、刃先固定ピン６０が下方にシフトして図８（ｂ）に示すように刃先固定ピン６０の突起部６１ａ，６１ｂを切欠き４６，４７に係合させることができる。こうすればマルチポイントツール３０が再びロックされる。そしてスプリング６７によりロックした状態を維持しながら、切欠き３５の端部をポイントとして基板１７に接触させ、同様にしてスクライブを行う。これを繰り返すことにより、ポイントが摩耗により劣化しても円板の周囲に形成した切欠き数の回数だけ新しいポイントに容易に切り替えてスクライブを行うことができる。
【００３０】
次に本発明の第２の実施の形態について説明する。この実施の形態では刃先固定ピン８０のみが異なっており、その他の構成は第１の実施の形態と同様である。図９Ａ，図９Ｂはこの実施の形態を示すものであり、刃先固定ピン８０のみを断面図で示している。刃先固定ピン８０は、軸の垂直方向から傾けた斜めの貫通孔６２に代えてわずかに中心がずれている２つの孔８１ａ，８１ｂによって断面がクランク状の貫通孔８１としたものである。
【００３１】
この場合にも刃先を回転させる場合には、ロックピン６３の円柱状部６６を矢印方向Ｂに押圧する。こうすれば図９Ｂに示すように、スプリング６７に抗してロックピン６３が右側に移動することとなって刃先固定ピン８０を上方に移動させることができる。これによってマルチポイントツール３０のロックが解除され、回転自在となる。そしてスライダ６８をスライドさせることによって所定角度を回転させる。そしてロックピン６３を矢印Ｃ左方向に付勢することで刃先固定ピン８０を下方に移動させる。これによってマルチポイントツール３０をロックすることができる。これを繰り返せばポイントが摩耗により劣化してもマルチポイントツールに形成した切欠きの回数だけ新しいポイントに容易に切り替えてスクライブを行うことができる。また、ツールを回転させても、ツールの正面視において刃先の稜線が基板に接触する角度は変わらないため、ポイントの基板に対する接触角度を調整することが容易である。特に、第１の切欠きが等間隔に設けられていると、ツールを回転させるだけで新しいポイントの位置と角度を容易に設定することができる。
【００３２】
尚前述した実施の形態ではマルチポイントツールの円周上の周囲に８つの第１の切欠きと第２の切欠きとを形成しているが、更に多数の切欠きを形成してもよいことはいうまでもない。又第２の切欠きの形状はＶ字状に限らず、Ｕ字状など他の形状であってもよい。更に第２の切欠きは等間隔で形成されている必要がある。また、第１の切欠きについても、第２の切欠きにより位置決めが行われる際に同じ位置で基板に接することができるよう、等間隔であることが好ましい。
【００３３】
又前述した各実施の形態ではスクライブヘッドにマルチポイントツールの位置決め装置を設けるようにしているが、スクライブ装置自体にこの位置決め装置を設けるようにしてもよい。スライダをスクライブ装置自体に設ける場合、テーブルの端部やスクライブヘッドの待機位置付近に設けることが好ましい。スライダがスクライブ装置自体に設けられている場合には、ポイントを変更するときにスクライブヘッドをスライダ６８の位置まで相対的に水平方向へ移動させ、さらにスライダ６８に当接するまでスクライブヘッドまたはスライダ６８を相対的に垂直方向へ移動させるようにすればよい。その後ポイントが変更される動作については第1の実施の形態と同様であり、その説明を省略する。
【００３４】
さらに、前述した各実施の形態ではスライダを細長い直方体部材で３箇所の等間隔の突起６８ａ〜６８ｃが形成されたものとしているが、マルチポイントツールの1箇所の第２の切欠きに当接することができるよう、少なくとも１つの突起があればよい。この場合、スライダの移動距離、すなわちマルチポイントツールの回転量をあらかじめ設定しておけばよい。また、スライダは直方体部材に限られるものではなく、マルチポイントツールの切欠きに当接できる突起を有する円柱体や任意の形状でよい。
【００３５】
又前述した各実施の形態では刃先固定ピンに貫通孔を形成しているが、ロックピンが挿入される溝部としてもよい。また、刃先固定ピンは円柱体としているが角柱でもよく、ロックピンについてもテーパ状部を有する形状であれば角柱、角錐を組み合わせた形状など任意の形状とすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本発明マルチポイントツールは脆性材料基板をスクライブするスクライブ装置に用いることができ、特に摩耗が多いスクライブ対象にも有効に使用することができる。
【符号の説明】
【００３７】
２２  スクライブヘッド
２４  圧力付与部
２５  ツール保持部
２６  リニア駆動部
２７  スライダ保持部
２８  リニア駆動部
３０  マルチポイントツール
３１  ベース
３２  貫通孔
３３  研磨面
３４〜４１  第１の切欠き
４２〜４９  第２の切欠き
６０，８０  刃先固定ピン
６１ａ，６１ｂ  突起部
６２，８１  貫通孔
６３  ロックピン
６４ａ，６４ｂ  テーパ状部
６５，６６  円柱部
６７  スプリング
６８  スライダ
６８ａ，６８ｂ，６８ｃ  突起部
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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