(57)【要約】【課題】加圧液室の構成部品間の接合に接着剤を用いる場合にも、上記構成部品間の接合を維持しつつ、耐インク性の高い接液膜を形成することができる接液膜の形成方法を提供する。【解決手段】液滴を吐出するノズル４０３ａなどのノズルと基板４０１などの基板を加工して形成され上記ノズルに連通する加圧液室４０４などの加圧液室と前記加圧液室内の液体に圧力を発生させる電気機械変換素子４００などの圧力発生手段とを有し前記加圧液室を構成する部品間の接合に接着剤５００などの接着剤を用いている液滴吐出装置の、前記加圧液室の液体と接する面を覆う接液膜の形成方法であって、金属酸化膜を成膜し、前記金属酸化膜を成膜後に表面を洗浄し、洗浄後に前記金属酸化膜の表面層に対しオゾンを含んだ電解水より生成した酸素ラジカルによる酸化処理を施す。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズルと基板を加工して形成され上記ノズルに連通する加圧液室と前記加圧液室内の液体に圧力を発生させる圧力発生手段とを有し前記加圧液室を構成する部品間の接合に接着剤を用いている液滴吐出装置の、前記加圧液室の液体と接する面を覆う接液膜の形成方法であって、
金属酸化膜を成膜し、
前記金属酸化膜を成膜後に表面を洗浄し、
洗浄後に前記金属酸化膜の表面層に対しオゾンを含んだ電解水より生成した酸素ラジカルによる酸化処理を施すことを特徴とする接液膜の形成方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出装置において、
前記酸化処理中に光による付加エネルギーを付与するようにすることを特徴とする接液膜の形成方法。
【請求項３】
液滴を吐出するノズルと基板を加工して形成され上記ノズルに連通する加圧液室と前記加圧液室内の液体に圧力を発生させる圧力発生手段とを有し前記加圧液室を構成する部品間の接合に接着剤を用いている液滴吐出装置の、前記加圧液室の液体と接する面を覆う接液膜の形成方法であって、
金属酸化膜を成膜した後、
前記金属酸化膜を成膜後に表面を洗浄し、
洗浄後に前記金属酸化膜の表面層に対し２００［℃］以下の低温プラズマによる酸化処理を施すことを特徴とする接液膜の形成方法。
【請求項４】
請求項３に記載の接液膜の形成方法において、
前記低温プラズマが５０［℃］以上１５０［℃］以下であることを特徴とする接液膜の形成方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一の接液膜の形成方法において、
前記金属酸化膜の成膜後に行う表面の洗浄が、希フッ酸を含む洗浄液により行われるものであることを特徴とする接液膜の形成方法。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一の接液膜の形成方法において、
前記金属酸化膜の成膜を気相原子成長法（ＡＬＤ法）により行うことを特徴とする接液膜の形成方法。
【請求項７】
請求項１乃至５のいずれか一の接液膜の形成方法において、
前記金属酸化膜の成膜をスパッタ法により行うことを特徴とする接液膜の形成方法。
【請求項８】
液滴を吐出するノズルと、
基板を加工して形成され上記ノズルに連通する加圧液室と、
前記加圧液室内の液体に圧力を発生させる圧力発生手段と、
前記加圧液室内の液体と接する面を覆う接液膜とを有し前記加圧液室を構成する部品間の接合に接着剤を用いている液滴吐出装置において、
前記接液膜は、金属成分を含有する材料から形成されオゾンを含んだ電解水により酸化処理されたものであることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項９】
請求項８に記載の液滴吐出装置において、
前記接着剤の一部の最表層がオゾンを含んだ電解水により酸化されたものであることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１０】
請求項８または９に記載の液滴吐出装置において、
前記接液膜の表面側の層の酸化比率が内面側の層の酸化比率よりも高いことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１１】
請求項８乃至９の液滴吐出装置を用いたことを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液滴を吐出するノズルと、基板を加工して形成され上記ノズルに連通する加圧液室と、加圧液室内の液体に圧力を発生させる圧力発生手段とを備えた液滴吐出装置が知られている。係る液滴吐出装置では、上記圧力発生手段により加圧液室内の液体に圧力を発生させることで、上記ノズルから液滴を吐出することができる。
【０００３】
特許文献１には、係る液滴吐出装置であって、基板の液体が接する部位に耐インク性をもつ接液膜としての金属酸化膜を形成するようにしたものが記載されている。また、上記接液膜の形成方法として、ます、基板の液体が接する部位に水酸基を含む膜を生成し、これを有機金属化合物を含む不活性ガスに曝露して単分子層の有機金属化合物膜を形成するようにすることが記載されている。さらに、有機金属化合物膜を金属酸化膜とする工程で、高周波の電磁波により酸素ガスをプラズマ化して酸素ラジカルを生成させ、酸素ラジカルと有機金属化合物膜とを反応させて金属酸化膜を形成するようにしたものが記載されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
加圧液室の構成部品である基板はステンレス（ＳＵＳ）系材料やシリコン（Ｓｉ）系材料を使用するのが一般的であるが、上記構成部品間の接合にはエポキシ系樹脂を主成分とする接着剤を用いることが多い。構成部品間の接合に用いられた上記接着剤は、インクと直接触れる加圧液室内にまではみ出して固化する。上記接液膜は加圧液室内にはみ出して固化した接着剤を覆うように形成される。上記接液膜の耐インク性を高めるには上記接液膜の酸化処理を十分に行う必要があるが、上記酸化処理は上記接着剤の耐性温度以下で行う必要がある。例えば、エポキシ系樹脂を主成分とする接着剤の耐性温度は１５０［℃］程度であるので、上記酸化処理は１５０［℃］以下で行わなくてはならない。しかしながら、特許文献１に記載の酸化処理は、高周波の電磁波により酸素ガスをプラズマ化して生成した酸素ラジカルにより行うもので、酸化処理中の温度が２００［℃］を超える。このため、上記構成部品間の接合にはエポキシ系樹脂を主成分とする接着剤を用いる場合に、特許文献１に記載の酸化処理を用いると、上記接着剤が変質して上記構成部品間の接合が維持できなくなるおそれがある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上述した課題を解決するために、本発明は、液滴を吐出するノズルと基板を加工して形成され上記ノズルに連通する加圧液室と前記加圧液室内の液体に圧力を発生させる圧力発生手段とを有し前記加圧液室を構成する部品間の接合に接着剤を用いている液滴吐出装置の、前記加圧液室の液体と接する面を覆う接液膜の形成方法であって、金属酸化膜を成膜し、前記金属酸化膜を成膜後に表面を洗浄し、洗浄後に前記金属酸化膜の表面層に対しオゾンを含んだ電解水より生成した酸素ラジカルによる酸化処理を施すことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００６】
加圧液室の構成部品間の接合に接着剤を用いる場合にも、上記構成部品間の接合を維持しつつ、耐インク性の高い接液膜を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本実施形態に係る液滴吐出ヘッドの概略構成の一例を示す断面図。
【図２】同液滴吐出ヘッドの加圧液室の組み立て構成についての説明図。
【図３】図２（ａ）に示した加圧液室の組み立て構成に、さらに接液膜を形成した状態を示す図。
【図４】図３に示した成膜後の接液膜５０１に対し、さらに表面に酸化処理を施した状態を示す図。
【図５】金属酸化膜における接着剤との密着性および耐インク性について説明する図。
【図６】同液滴吐出ヘッドの作製の際に用いる酸化処理の反応例を説明する図。
【図７】本実施形態に係る液滴吐出ヘッドを備えたインクジェット記録装置の一例を示す斜視図。
【図８】同インクジェット記録装置の機構部を側面から見た説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、画像形成装置としてのインクジェット記録装置に使用される液滴吐出ヘッドとして、本発明に係る液滴吐出装置を用いた実施形態を説明する。
図１は本実施形態に係る液滴吐出ヘッドの概略構成の一例を示す断面図である。
本実施形態の液滴吐出ヘッドは、基板４０１、振動板４０２、ノズル板４０３、加圧液室（圧力室）４０４、電気機械変換素子４００などを備える。
【０００９】
基板４０１は、ステンレス（ＳＵＳ）系材料またはシリコン（Ｓｉ）系材料により形成されている。ノズル板４０３には、画像形成用の液滴（インク滴）を吐出するノズル４０３ａが形成されている。加圧液室４０４は、基板４０１に形成された隔壁部４０１ａと、振動板４０２と、ノズル板４０３とで囲まれるように形成され、ノズル板４０３のノズル４０３ａに連通している。電気機械変換素子４００は、加圧液室４０４内のインクを吐出するための圧力を発生するピエゾ方式の圧力発生手段である。電気機械変換素子４００は、振動板４０２を変形させる圧電体からなる薄膜の電気機械変換膜、電気機械変換膜に電圧を印加するための下部電極および上部電極などを備える。
【００１０】
上記電気機械変換膜を構成する圧電体は、電圧の印加によって変形する圧電特性を有する材料である。この圧電体として、例えば、ペロブスカイト結晶構造を有する三元系金属酸化物であるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ：Ｐｂ（Ｚｒｘ，Ｔｉ１−ｘ）Ｏ３）を用いることができる。電気機械変換素子４００は、所定の電圧が印加されることにより自らが変形し、加圧液室４０４に対して振動板４０２の表面を変位させることで加圧液室４０４内の液体に圧力を発生させる。この圧力により、加圧液室４０４に連通したノズル４０３ａから液滴（インク滴）を吐出させることができる。
【００１１】
図２は、加圧液室４０４の組み立て構成について説明する図である。
基板４０１の隔壁部４０１ａは、単独の部材、もしくは複数の部材の組み合わせによって構成されている（図２では複数の部材を組み合わせて構成）。この構成では、振動板４０２、隔壁部４０１ａ、ノズル板４０３などの部品は、接着剤で接合されている。振動板４０２、隔壁部４０１ａおよびノズル板４０３の接合には十分な量の接着剤５００を使用する。図２（ａ）は、隔壁部４０１ａの加圧液室４０４に面している箇所の全面に接着剤５００を塗布した状態を、図２（ｂ）は、部品の接合面のみに接着剤５００を塗布した状態をそれぞれ示す。部品の接合面以外に塗布した接着剤５００、または接合面から加圧液室４０４にはみ出した接着剤５００はその状態のまま固化する。
【００１２】
図３は、図２（ａ）に示した加圧液室４０４の組み立て構成に、さらに接液膜５０１を形成した状態を示す図である。
図３（ａ）に示すように、接液膜５０１は、隔壁部４０１ａの加圧液室４０４側の面および振動板４０２の加圧液室４０４側の面に形成される。また、図３（ｂ）は図３（ａ）における隔壁部４０１ａの加圧液室４０４側の面を拡大した図であるが、隔壁部４０１ａの加圧液室４０４内側にはみ出した接着剤５００を接液膜５０１で覆うようにしている。
【００１３】
接液膜５０１は、Ｔａ、Ａｌ、Ｈｆ、Ｚｒ、Ｓｉなどの金属を含んだ酸化物で構成される。接液膜５０１の成膜は、気相原子成長法（以下「ＡＬＤ法」という）などにより行われる。接液膜５０１を成膜する際の温度は２００〜１５０［℃］程度とする。上記成膜温度が２００［℃］を超えると、固化していた接着剤５００が融解し安定した形状を保持できないおそれがある。接液膜５０１の膜厚は１０［ｎｍ］以上１５０［ｎｍ］以下が望ましい。接液膜５０１は成膜された時点でも酸化物となっているが、低温処理により成膜しているため、未酸化の金属分子も多く含まれている状態になっている。
【００１４】
図４は、図３に示した成膜後の接液膜５０１に対し、さらに表面に酸化処理を施した状態を示す図である。
図４（ａ）に示すように、接液膜５０１の表面が酸化処理により完全に酸化された十分酸化層５０１ａが形成される。また、十分酸化層５０１ａの内部には酸化がなされていない箇所が残る不十分酸化層５０１ｂが残る。図４（ｂ）は、図４（ａ）における隔壁部４０１ａの加圧液室４０４側の面を拡大した図であるが、隔壁部４０１ａは接着剤５００、接液膜５０１における不十分酸化層５０１ｂ、接液膜５０１における十分酸化層５０１ａの順に覆われている。
【００１５】
図３に示す、成膜後の接液膜５０１の表面は多少酸化されているものの、完全に酸化された状態ではない。このため、接液膜５０１の表面には金属と水酸基（ＯＨ基）との結合や金属同士の結合が多く残っている。金属と酸素原子（Ｏ）との結合以外の結合箇所では、インクに含まれるアルカリ成分やＯＨ基の還元作用などにより侵食を受けやすい。このため、上記状態の接液膜５０１は耐インク性を十分に発揮できない。これら酸素以外が結合している箇所についても完全に酸素原子（Ｏ）と結合させるようにするためには、成膜後の接液膜５０１に対し、反応性が十分に高い酸化処理を施す必要がある。
【００１６】
図５は、金属酸化膜における接着剤との密着性および耐インク性について説明する図である。
金属酸化膜において接着剤の主成分であるＳｉの含有量を増やすと、金属酸化膜と接着剤との密着性は向上するが耐インク性は低下する。一方、金属酸化膜において金属成分であるＴａの含有量を増やすと、耐インク性は向上するが接着剤との密着性は低下する。これに対し、酸素原子（Ｏ）の含有量を増やすと、接着剤との密着性および耐インク性のいずれも向上させることができる。つまり、金属酸化膜および接着剤を十分に酸化させる処理を行うことは、接着剤との密着性および耐インク性の向上のいずれに対しても有効である。なお、図５では、金属酸化膜の金属としてＴａを用いた場合について示しているが、上記金属がＺｒ、Ｈｆ、ＡｌなどＴａ以外のものに置き換わっても同様である。
【００１７】
しかしながら、上述したように、加圧液室４０４の組み立て構成に接着剤５００を用いている場合、高周波の電磁波により酸素ガスをプラズマ化して生成した酸素ラジカルを用いて酸化するなど、２００［℃］を超える高温環境下で行う酸化処理は適用できない。このため、２００［℃］以下の環境下で行う酸化処理を選択する必要がある。
【００１８】
本実施形態における接液膜５０１の酸化処理は、主にオゾンを用いたオゾン酸化法もしくは低温プラズマを用いたプラズマ酸化法を用いる。このため、通常のエポキシ接着剤の耐熱温度である１５０［℃］以下で行うことが可能である。いずれの方法でも、反応性の高い酸素ラジカルを発生させることができる。
【００１９】
図６は、本実施形態で用いる酸化処理の反応例を説明する図である。
電解水中にオゾンを添加したオゾン水による酸化反応により、５０〜１５０［℃］の低温での酸化処理が可能としている。この酸化処理を用いることで、基板や振動板などの加圧液室の構成部品間の接合にエポキシ系接着剤を用いる場合にも、上記構成部品間の接合を維持しつつ、耐インク性の高い接液膜を形成することができる。
【００２０】
酸化処理を行う前の接液膜５０１の表面は、希フッ酸を含む洗浄液により洗浄され、自然酸化膜が除去されていることが好ましい。さらに、このオゾンを用いた酸化方法として、オゾンを充満した状態で、赤外線光または紫外線（ＵＶ）光を当ててエネルギーを供給し反応促進させるようにしてもよい。また、時間幅の短いパルス光を得ることが可能なパルスレーザーを照射するか、ナノ秒〜マイクロ秒オーダーでＵＶ光を照射するなどの、いわゆるフラッシュランプ励起によりオゾンによる酸化を促進するようにしてもよい。
【００２１】
また、低温でのプラズマによる酸化処理も用いることができる。密閉されたチャンバー装置の中で、常温〜２００［℃］程度の低温プラズマを用いた、酸素ガス、シランガス等を促進材料とした低温プラズマ酸化が有効である。プラズマ酸化を用いる場合、プラズマ発生源と酸化対象サンプル（ここでは、接液膜）との間に電位差を設けることで、プラズマ運動に指向性を持たせることで、サンプルの方へ酸素ラジカルがアタックしやすくなる。これにより、接液膜の表面から内側にある部分も酸化することが可能となる。プラズマ発生源と接液膜との間に電位差が数十Ｖ程度であっても酸化促進の効果が期待できる。
【００２２】
上記酸化処理によって形成される接液膜としての金属膜表面の酸化膜の膜厚は、１［ｎｍ］以上になっていればよい。酸素ラジカルによって酸化された膜は、強固な酸化膜であり、接液膜の耐インク性が十分である。図６に示すように、上記金属酸化膜の表面は、金属と酸素とが結合したものが主となるが、一部の金属の結合手にＯＨ基がついていたり金属同士の結合があったりと、完全には酸化されていない状態になっている。この状態では、インク中の水分（ＯＨ基）やアルカリ成分に対しての耐性が低い。金属表面を酸素ラジカルに接触させると、金属表面の酸素と結合していない金属の結合手が酸素原子（Ｏ）と結合し、金属酸化膜の酸化をより促進することができる。
【００２３】
接着剤５００のうち加圧液室４０４内にはみ出しているものの表面を上記酸化処理にて酸化するようにしてもよい。接着剤５００の表面を酸化して強固な酸化膜を形成させるようにすることは、接液膜５０１と同様に、加圧液室４０４内のインク耐性を向上に有効である。
【００２４】
なお、本発明は、ピエゾ方式、サーマル方式のいずれのインクジェット記録装置の液滴吐出ヘッドにも適用可能である。また、インクジェット記録装置向けの液滴吐出ヘッドに限らず、例えば、液体定量吐出装置（ディスペンサ）など、液滴吐出装置全般への適用可能である。
【００２５】
次に、本発明の実施形態に係る液滴吐出ヘッドを備えた画像形成装置としてのインクジェット記録装置について説明する。
【００２６】
図７は、本実施形態に係る液滴吐出ヘッドを備えたインクジェット記録装置の一例を示す斜視図である。
図８は、同インクジェット記録装置の機構部を側面から見た説明図である。
本実施形態のインクジェット記録装置は、記録装置本体８１の内部に印字機構部８２等を収納している。印字機構部８２は、主走査方向に移動可能なキャリッジと、キャリッジに搭載した液滴吐出ヘッド９４へ画像形成用の液体であるインクを供給する液体カートリッジとしてのインクカートリッジ９５等で構成されている。また、記録装置本体８１の下方部には、前方側から多数枚の記録媒体としての用紙８３を積載可能な給紙カセット（或いは給紙トレイでもよい。）８４を抜き差し自在に装着することができる。また、用紙８３を手差しで給紙するための手差しトレイ８５を開倒することができる。そして、給紙カセット８４或いは手差しトレイ８５から給送される用紙８３を取り込み、印字機構部８２によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ８６に排紙する。
【００２７】
印字機構部８２は、左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド９１と従ガイドロッド９２とでキャリッジ９３を主走査方向に摺動自在に保持している。このキャリッジ９３には、複数のインク吐出口としてのノズルを主走査方向と交差する方向に配列し液滴吐出方向を下方に向けるように、複数の液滴吐出ヘッド９４が装着されている。複数の液滴吐出ヘッド９４は、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）及びブラック（Ｂｋ）の各色の液滴を吐出するヘッド（インクジェットヘッド）である。また、キャリッジ９３には、液滴吐出ヘッド９４に各色の液体（インク）を供給するための各インクカートリッジ９５が交換可能に装着されている。
【００２８】
インクカートリッジ９５は上方に大気と連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有している。この多孔質体の毛管力により液滴吐出ヘッド９４へ供給される液体（インク）をわずかな負圧に維持している。また、本実施形態では各色に対応させて４個の液滴吐出ヘッド９４を用いているが、各色の液滴を吐出する複数のノズルを有する１個の液滴吐出ヘッドを用いてもよい。
【００２９】
ここで、キャリッジ９３は後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド９１に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド９２に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ９３を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ９７で回転駆動される駆動プーリ９８と従動プーリ９９との間にタイミングベルト１００が張装されている。このタイミングベルト１００はキャリッジ９３に固定されており、主走査モータ９７の正逆回転によりキャリッジ９３が往復駆動される。
【００３０】
一方、給紙カセット８４にセットした用紙８３を液滴吐出ヘッド９４の下方側に搬送するために、給紙ローラ１０１及びフリクションパッド１０２と、ガイド部材１０３と、搬送ローラ１０４と、先端コロ１０６とを備えている。給紙ローラ１０１及びフリクションパッド１０２は、給紙カセット８４から用紙８３を分離給装し、ガイド部材１０３は用紙８３を案内する。また、搬送ローラ１０４は、給紙された用紙８３を反転させて搬送する。先端コロ１０６は、搬送ローラ１０４の周面に押し付けられる搬送コロ１０５及び搬送ローラ１０４からの用紙８３の送り出し角度を規定する。搬送ローラ１０４は副走査モータ１０７によってギヤ列を介して回転駆動される。
【００３１】
そして、キャリッジ９３の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ１０４から送り出された用紙８３を液滴吐出ヘッド９４の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材１０９が設けられている。この印写受け部材１０９の用紙搬送方向下流側には、用紙８３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ１１１、拍車１１２が設けられている。さらに、用紙８３を排紙トレイ８６に送り出す排紙ローラ１１３及び拍車１１４と、排紙経路を形成するガイド部材１１５，１１６とが配設されている。
【００３２】
記録時には、キャリッジ９３を移動させながら画像信号に応じて液滴吐出ヘッド９４を駆動することにより、停止している用紙８３にインクを吐出して１行分を記録し、用紙８３を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙８３の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙８３を排紙する。
【００３３】
また、キャリッジ９３の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、液滴吐出ヘッド９４の吐出不良を回復するための回復装置１１７を配置している。回復装置１１７はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ９３は印字待機中にはこの回復装置１１７側に移動されてキャッピング手段で液滴吐出ヘッド９４がキャッピングされ、吐出口であるノズルを湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
【００３４】
吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段で液滴吐出ヘッド９４の吐出口（ノズル）を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出す。これにより、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
【００３５】
以上に説明したものは一例であり、本発明は、次の態様毎に特有の効果を奏する。
（態様Ａ）
液滴を吐出するノズル４０３ａなどのノズルと基板４０１などの基板を加工して形成され上記ノズルに連通する加圧液室４０４などの加圧液室と前記加圧液室内の液体に圧力を発生させる電気機械変換素子４００などの圧力発生手段とを有し前記加圧液室を構成する部品間の接合に接着剤５００などの接着剤を用いている液滴吐出装置の、前記加圧液室の液体と接する面を覆う接液膜の形成方法であって、金属酸化膜を成膜し、前記金属酸化膜を成膜後に表面を洗浄し、洗浄後に前記金属酸化膜の表面層に対しオゾンを含んだ電解水より生成した酸素ラジカルによる酸化処理を施す。
成膜後の金属酸化膜の表面は、多少酸化されているものの十分に酸化された状態ではない。上記金属酸化膜が十分に酸化されていないと、アルカリ成分やＯＨ基といった還元作用のある成分を含むインクなどの液体に触れた場合に侵食を受けやすく、接液膜としての耐インク性を十分に発揮できない。オゾンを含んだ電解水より生成した酸素ラジカルにより酸化処理を施すことで、上記金属酸化膜の表面層を十分に酸化することができる。これにより、接液膜としての耐インク性を高めることができる。また、上記接着剤の耐熱温度は一般的に２００［℃］以下である。上記酸化処理中の温度は２００［℃］以下であるので、加圧液室の構成部品間の接合状態を良好に維持することができる。
【００３６】
（態様Ｂ）
態様Ａにおいて、前記酸化処理中に光による付加エネルギーを付与するようにする。
これによれば、上記金属酸化膜の表面層の酸化を促進することができる。
【００３７】
（態様Ｃ）
液滴を吐出するノズル４０３ａなどのノズルと基板４０１などの基板を加工して形成され上記ノズルに連通する加圧液室４０４などの加圧液室と前記加圧液室内の液体に圧力を発生させる電気機械変換素子４００などの圧力発生手段とを有し前記加圧液室を構成する部品間の接合に接着剤５００などの接着剤を用いている液滴吐出装置の、前記加圧液室の液体と接する面を覆う接液膜の形成方法であって、金属酸化膜を成膜した後、前記金属酸化膜を成膜後に表面を洗浄し、洗浄後に前記金属酸化膜の表面層に対し２００［℃］以下の低温プラズマによる酸化処理を施す。
２００［℃］以下の低温プラズマでも、上記金属酸化膜の表面層を十分に酸化することができる。上記酸化処理によって上記金属酸化膜の表面層が十分に酸化されることで、接液膜の耐インク性を高めることができる。また、上記接着剤の耐熱温度は一般的に２００［℃］以下である。上記低温プラズマが２００［℃］以下であることにより、加圧液室の構成部品間の接合状態を良好に維持することができる。
【００３８】
（態様Ｄ）
態様Ｃにおいて、前記低温プラズマが５０［℃］以上１５０［℃］以下である。
上記接着剤としてエポキシ樹脂系のものが使用されることが多い。エポキシ樹脂系の耐熱温度は１５０［℃］程度である。上記低温プラズマが５０［℃］以上１５０［℃］以下であることにより、加圧液室の構成部品間の接合状態を良好に維持しつつ、耐インク性の高い接液膜を形成することができる。
【００３９】
（態様Ｅ）
態様Ａ〜Ｄのいずれか一において、前記金属酸化膜の成膜後に行う表面の洗浄が、希フッ酸を含む洗浄液により行われるものであることを特徴とする接液膜の形成方法。
【００４０】
（態様Ｆ）
態様Ａ〜Ｅのいずれか一において、前記金属酸化膜の成膜を気相原子成長法（ＡＬＤ法）により行う。
【００４１】
（態様Ｇ）
態様Ａ〜Ｅのいずれか一において、前記金属酸化膜の成膜をスパッタ法により行う。
【００４２】
（態様Ｈ）
液滴を吐出するノズル４０３ａなどのノズルと、基板４０１などの基板を加工して形成され上記ノズルに連通する加圧液室４０４などの加圧液室と、前記加圧液室内の液体に圧力を発生させる電気機械変換素子４００などの圧力発生手段と、前記加圧液室内の液体と接する面を覆う接液膜とを有し前記加圧液室を構成する部品間の接合に接着剤５００などの接着剤を用いている液滴吐出装置において、前記接液膜は、金属成分を含有する材料から形成されオゾンを含んだ電解水により酸化処理されたものである。
【００４３】
（態様Ｉ）
態様Ｈにおいて、前記接着剤の一部の最表層がオゾンを含んだ電解水により酸化されたものである。
上記接着剤の一部である加圧液室内にはみ出しているものの最表層がオゾンを含んだ電解水により酸化されていると、加圧液室内のインク耐性をさらに向上させることができる。
【００４４】
（態様Ｊ）
態様ＨまたＩにおいて、前記接液膜の十分酸化層５０１ａなどの表面側の層の酸化比率が不十分酸化層５０１ｂなどの内面側の層の酸化比率よりも高い。
上記接液膜の表面側は液体と直接接するので、加圧液室内のインク耐性を高めるためには上記接液膜の表面側の層の酸化比率を十分に高くする必要がある。これに対し、上記接液膜の内面側の層は液体と直接接するわけではないので、上記内面側の層の酸化比率は上記表面側の層の酸化比率ほど高くする必要はない。上記接液膜のすべてを十分に酸化する場合に対し反応性が弱い酸化処理を選択することができる。
【００４５】
（態様Ｋ）
画像形成装置において、態様Ｈ〜Ｊの液滴吐出装置を用いた。
【符号の説明】
【００４６】
４００電気機械変換素子
４０１  基板
４０３ａ  ノズル
４０４  加圧液室
５００  接着剤
【先行技術文献】
【特許文献】
【００４７】
【特許文献１】特開２００９−１１３２２９号公報
【図１】
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【図２】
2016168754.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2016168754.tif 000008
【図７】
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【図８】
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