(57)【要約】【課題】狭い部分や長尺の機能部品への粉塵の混入を防止すること。【解決手段】粉塵防止ブラシ１０は第１，第２のシート１１，１２と、一部分が第１のシートに重なり、毛先が同一方向に向くように毛先を揃えて均一に配置され、第１のシートと第２のシートに挟み込んで接着された毛１３を有している。粉塵防止ブラシ１０は、使用箇所に合わせて容易に切断して狭い部分や長尺の機能部品への粉塵の混入を防止することができる。又この粉塵防止ブラシ１０をスクライブ装置に用いることにより、リニアスライダの移動時に駆動機構への粉塵の混入を抑えることができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のシートと、
一部分が前記第１のシートに重なり、毛先が同一方向に向くように毛先を揃えて均一に配置され、接着された毛と、
前記第１のシートと共に前記毛を挟み込んで接着した前記第１のシートと同一形状の第２のシートと、を具備する粉塵防止ブラシ。
【請求項２】
前記第１，第２のシートは、薄いステンレス鋼から構成されたものである請求項１記載の粉塵防止ブラシ。
【請求項３】
脆性材料基板が設置されるテーブルと、
前記テーブルに設置される脆性材料基板の面に平行なビームを有するブリッジと、
スライドベースを前記ビームの長手方向に沿って直線移動させるリニアスライダと、
前記スライドベースに取付けられ、前記脆性材料基板をスクライブするスクライビングホイールを保持するスクライブヘッドと、
前記ビームのリニアスライダの駆動部分を被うベルトと、
前記ベルトの長手方向に沿って取付けられた請求項１記載の粉塵防止ブラシと、を具備するスクライブ装置。
【請求項４】
前記ビームの長手方向に取付けられ、前記リニアスライダの駆動部を被う上下一対のカバーを更に有し、
前記粉塵防止ブラシは、その毛先が前記カバーに達するように前記ベルトの上下に設けられたものである請求項３記載のスクライブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はリニアスライダ等への粉塵の混入を防止するようにした粉塵防止ブラシ及びこれを用いたスクライブ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶表示パネルや液晶プロジェクタ基板等のフラットパネルディスプレイ等では、製造過程においてマザーガラス基板が貼り合わされた後に所定の大きさの単個のパネルに成るように分断される。このマザーガラス基板等の脆性材料基板の分断には、スクライブ工程とブレイク工程があり、スクライブ工程ではスクライブ装置が用いられる。
【０００３】
スクライブ装置は、特許文献１等に示されるように脆性材料基板の移動台をまたぐようにブリッジが架設され、ブリッジに横方向にビームが設けられている。そしてビームの長手方向にリニアモータが設けられる。リニアモータはスクライブヘッドをビームに沿って移動させるものであり、スクライブヘッドには、スクライビングホイールを有するチップホルダが取付けられている。
【０００４】
又特許文献２にはモータによって送りねじを回転させ、送りねじに沿ってスクライブヘッドを脆性材料基板上で平行に移動させスクライブを行うスクライブ装置が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−１８０９２１号公報
【特許文献２】特開２００４−１０４５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかるに従来のスクライブ装置では、スクライブヘッドはリニアモータや送りねじの側方に張り出して取り付けられている。そしてこのリニアスライダに沿ってスクライブヘッドを移動させると、スクライブ時に粉塵がリニアスライダの駆動機構やリニアスライダのリニアスケールに付着して誤動作を生じることがあるという問題点があった。
【０００７】
本発明はこのような従来の問題点に鑑みてなされたものであって、リニアスライダ等の長尺の機能部品への粉塵の混入を防止するための粉塵防止ブラシ及びこれを用いたスクライブ装置を提供することを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この課題を解決するために、本発明の粉塵防止ブラシは、第１のシートと、一部分が前記第１のシートに重なり、毛先が同一方向に向くように毛先を揃えて均一に配置され、接着された毛と、前記第１のシートと共に前記毛を挟み込んで接着した前記第１のシートと同一形状の第２のシートと、を具備するものである。
【０００９】
ここで前記第１，第２のシートは、薄いステンレス鋼から構成されたものとしてもよい。
【００１０】
この課題を解決するために、本発明のスクライブ装置は、脆性材料基板が設置されるテーブルと、前記テーブルに設置される脆性材料基板の面に平行なビームを有するブリッジと、スライドベースを前記ビームの長手方向に沿って直線移動させるリニアスライダと、前記スライドベースに取付けられ、前記脆性材料基板をスクライブするスクライビングホイールを保持するスクライブヘッドと、前記ビームのリニアスライダの駆動部分を被うベルトと、前記ベルトの長手方向に沿って取付けられた前記粉塵防止ブラシと、を具備するものである。
【００１１】
ここで前記ビームの長手方向に取付けられ、前記リニアスライダの駆動部を被う上下一対のカバーを更に有し、前記粉塵防止ブラシは、その毛先が前記カバーに達するように前記ベルトの上下に設けられたものとしてもよい。
【発明の効果】
【００１２】
このような特徴を有する本発明の粉塵防止ブラシによれば、使用箇所に合わせて容易に切断することができ、リニアスライダなどの可動部が通過する部分に取付けることができる。粉塵防止ブラシをカバーに取付けることにより狭い部分や長尺の機能部品への粉塵の混入を防止することができる。又この粉塵防止ブラシをスクライブ装置に用いることによりリニアスライダの移動時に駆動機構への粉塵の混入を抑えることができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は本発明の実施の形態による粉塵防止ブラシの正面図である。
【図２】図２は本発明の実施の形態による粉塵防止ブラシの部分拡大図、側面図及び製造過程を示す側面図である。
【図３】図３は本発明の実施の形態によるスクライブ装置の概略斜視図である。
【図４】図４は本発明の実施の形態によるスクライブ装置に用いられる粉塵防止ブラシの正面図及び側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
次に本発明の本実施の形態による粉塵防止ブラシについて説明する。図１は粉塵防止ブラシ１０の正面図、図２（ａ）は部分拡大図、図２（ｂ）はその製造過程を示す側面図、図２（ｃ）はその側面図である。これらの図に示すように第１，第２のシート１１，１２はアルミニウムやステンレス（ＳＵＳ）などの同一形状の細長く薄いシート状の部材を用いる。そして図２（ａ）に示すように第１のシート１１に多数のほぼ同一長の毛１３を均一に薄く配置して毛の根元部を接着する。このとき毛先を揃えて第１シート１１の下方に載せ、接着剤で固定する。そして第２のシート１２で毛１３の根元部を挟み込み、接着して一体化する。ここでこの第１，第２のシート１１，１２の厚さを十分薄く、例えば０．１ｍｍとすれば、柔軟で切断が容易となる。従って長く構成した粉塵防止ブラシ１０を使用箇所に応じて適宜所望の長さに切断して使用することができる。毛１３は例えば５〜７ｃｍとし、例えばナイロン製で１．０ｍｍφ以下が好ましく、より好ましくは０．３ｍｍφ〜ｏ．４ｍｍφとする。毛１３には耐電防止機能を持つものを用いてもよい。
【００１５】
こうすれば先端の毛先を揃えた細長く柔軟な粉塵防止ブラシ１０を構成することができる。そしてこの粉塵防止ブラシはリニアスライダなど長尺の機能部品の可動部に取付けることにより、可動部分が移動した場合にも柔軟なブラシの毛の部分を通過するため、ほとんど抵抗とならずに左右に移動させることができる。
【００１６】
図３は本発明の実施の形態によるスクライブ装置を示す斜視図である。本実施の形態によるスクライブ装置２０は、移動台２１が一対の案内レール２２ａ、２２ｂに沿って、ｙ軸方向に移動自在に保持されている。ボ−ルネジ２３は移動台２１と螺合している。ボールネジ２３はモータ２４の駆動により回転し、移動台２１を案内レール２２ａ，２２ｂに沿ってｙ軸方向に移動させる。移動台２１の上面にはモータ２５が設けられている。モータ２５はテーブル２６をｘｙ平面で回転させて所定角度に位置決めするものである。脆性材料基板２７はこのテーブル２６上に載置され、図示しない真空吸引手段などにより保持される。スクライブ装置１の上部には、脆性材料基板２７のアライメントマークを撮像する２台のＣＣＤカメラ２８が設けられている。
【００１７】
スクライブ装置２０には、移動台２１とその上部のテーブル２６をまたぐようにブリッジ３０がｘ軸方向に沿って架設されている。ブリッジ３０は左右の一対の支柱３１ａ，３１ｂとその間のビーム３２から成り、ビーム３２はテーブル２６から所定間隔を隔ててテーブル２６の面に平行に設けられている。ビーム３２の長手方向にはリニアスライダ３３が設けられる。リニアスライダ３３はスクライブヘッド３４をｘ軸方向に沿って移動させる駆動源である。スクライブヘッド３４の下端部には、スクライビングホイールを有するチップホルダが取付けられている。
【００１８】
さて図４（ａ）はスクライブ装置２０のスライダブロックが取付けられるビーム３２とリニアスライダ３３の正面図、図４（ｂ）はその側面図であり、スクライブヘッド３４を取り外した状態を示している。これらの図に示すように、ビーム３２に取付けられたＬＭガイド３３ａ，３３ｂと、ＬＭガイドによりｘ軸方向に移動自在のスライドベース３５によってリニアスライダ３３が構成される。スライドベース３５には図示しないスクライブヘッド３４が取付けられる。そしてリニアスライダ３３には駆動部分をカバーするための横長のベルト３６が取付けられる。ベルト３６は例えばビーム３２の左右の端部でプレート３７ａ，３７ｂに貼り付けて引っ張るようにして取付けられている。ビーム３２には、図４（ｂ）に示すようにスライドベース３５の位置を検出するためのリニアスケール３８が設けられている。そしてリニアスライダの移動部やリニアスケール３８をカバーするため、細長い断面クランク状のカバー３９，４０がビーム３２の上部と下部に設けられている。
【００１９】
さて、スクライブ装置２０は浮遊粉塵の多い場所で使用されることが多く、スクライブ時にこのベルト３６の間から粉塵がリニアスライダ３３の駆動機構やリニアスケール３８に混入する可能性がある。そのため本実施の形態のスクライブ装置では、図４（ａ）に示すようにベルト３６の上下に前述した粉塵防止用のブラシ１０を取付けている。
【００２０】
粉塵防止ブラシ１０は、５〜７ｃｍの多数の毛１３を同一方向に揃えて配置し、薄く引き延ばして先端を揃えると共に、根元部を第１，第２の植毛シート１１，１２で覆って固定したものである。この粉塵防止ブラシ１０はベルト３６の長さに合わせて切断して使用する。そしてこの粉塵防止ブラシ１０の毛先をカバー３９，４０に接触するように配置し、ベルト３６の上下に鋲止めによって固定している。
【００２１】
このようにして上下に粉塵防止ブラシを有するベルト３６を架台の中央に揃えて貼り付けることにより、スクライブ装置２０のテーブル２６に脆性材料基板を搭載してスクライブする際にスライドベース３５及びスクライブヘッド３４が左右に移動した場合にも柔軟なブラシの毛の部分を通過するため、ほとんど抵抗とならずに左右に移動させることができる。そしてブラシの毛の先端がカバーにかかるように形成しているため、リニアスライダ３３の駆動機構やリニアスケール３８にほとんど粉塵を混入させることなく、スクライブを行うことができる。
【００２２】
この実施の形態ではベルト３６の上下に粉塵防止ブラシを設けているが、カバー３９，４０に取付けるようにしてもよい。
【００２３】
又この実施の形態ではスクライブ装置のベルト３６の上下に粉塵防止ブラシを設けているが、粉塵防止ブラシは直線的に移動する機構部を有する種々の装置に適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００２４】
本発明の粉塵防止ブラシには、使用箇所に合わせて容易に切断して所望の部分に取付けることができ、長尺の機能部品への粉塵の混入を防止する種々の用途及び脆性材料基板をスクライブするスクライブ装置に好適である。
【符号の説明】
【００２５】
１０  粉塵防止ブラシ
１１，１２  シート
１３  毛
３０  ブリッジ
３２  ビーム
３３  リニアスライダ
３４  スクライブヘッド
３５  スライドベース
３６  ベルト
３８  リニアスケール
３９，４０  カバー
【図１】
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【図２】
2016055507.tif 000004
【図３】
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【図４】
2016055507.tif 000006