(57)【要約】【課題】供給ライン内を通過する際に流れに乱れが生じ難い機能性インク、この機能性インクを用いた成膜方法および液滴吐出装置、これらを用いて作製された膜付きデバイス、およびこの膜付きデバイスを有する電子機器を提供すること。【解決手段】本発明の機能性インクは、成膜材料と、該成膜材料が溶解または分散される液性媒体とを含み、室温での動粘性係数が２．５×１０−７〜２３５×１０−７ｍ２／ｓであり、室温で供給ライン内を通過する際のレイノルズ数が２，３００以下となるように調整されていることを特徴する。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
成膜材料と、該成膜材料が溶解または分散される液性媒体とを含み、
室温での動粘性係数が２．５×１０−７〜２３５×１０−７ｍ２／ｓであり、室温で供給ライン内を通過する際のレイノルズ数が２，３００以下となるように調整されていることを特徴する機能性インク。
【請求項２】
室温での静的粘性係数が０．３×１０−３〜２０×１０−３Ｐａ・ｓである請求項１に記載の機能性インク。
【請求項３】
密度が８５０〜１，２００ｋｇ／ｍ３である請求項１または２に記載の機能性インク。
【請求項４】
室温での溶存ガス量が５０ｐｐｍ以下である請求項１ないし３のいずれか１項に記載の機能性インク。
【請求項５】
前記供給ラインを構成する管体の内径が０．１×１０−３〜１０×１０−３ｍである請求項１ないし４のいずれか１項に記載の機能性インク。
【請求項６】
前記供給ラインを通過する際の前記機能性インクの速度が０．１〜２ｍ／ｓである請求項１ないし５のいずれか１項に記載の機能性インク。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の前記機能性インクを、供給ラインを介して液滴吐出ヘッドに供給する工程と、
前記機能性インクを前記液滴吐出ヘッドから液滴として吐出して、記録媒体上に付着させることにより、前記機能性インクの液状被膜を形成する工程と、
前記液状被膜を乾燥させて、膜を形成する工程とを有することを特徴とする成膜方法。
【請求項８】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の前記機能性インクを貯留する貯留部と、
前記機能性インクを液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記貯留部と前記液滴吐出ヘッドとを接続し、前記機能性インクを前記貯留部から前記液滴吐出ヘッドに移送する供給ラインとを有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項９】
請求項７に記載の成膜方法または請求項８に記載の液滴吐出装置により形成された膜またはそれを処理した膜を有することを特徴とする膜付きデバイス。
【請求項１０】
請求項９に記載の膜付きデバイスを有することを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能性インク、成膜方法、液滴吐出装置、膜付デバイスおよび電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
成膜材料を溶媒に溶解してなる機能性インクを、液滴吐出法を用いて基材上に供給（塗布）し、その基材上の機能性インクから溶媒を除去（乾燥）することにより成膜を行う方法が実用に供されている。
【０００３】
このような方法に用いる液滴吐出ヘッドは、一般に、ノズル開口を複数備えており、個々のノズル開口から機能性インクを液滴として吐出する。この液滴の吐出を寸法精度よく成膜を行う観点、また、液滴の飛翔特性を向上する観点から、機能性インクの密度、表面張力および粘度、ノズル開口の径、ならびに、液滴の吐出速度の関係を規定した発明が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
しかしながら、機能性インクを、これを貯留する貯留部（インクカートリッジまたはインクタンク）から、液滴吐出ヘッドに安定的に供給できなければ、寸法精度よく成膜すること自体が困難となる。通常、貯留部と液滴吐出ヘッドとは、チューブのような細径の管体で構成される供給ラインで接続されているが、供給ライン内で機能性インクの流れが乱れる（乱流が発生する）と、機能性インクが気泡を巻き込む（取り込む）ことがある。
【０００５】
そして、この気泡が液滴吐出ヘッド内に持ち込まれると、機能性インクを吐出不能なノズル開孔（いわゆる「ノズル抜け」）が発生し、最終的には異物（機能性インクの固形物）が詰まってノズル開口が閉鎖されてしまう。このため、基材上に形成された膜の厚さにバラつきを生じ、この膜が有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）素子を構成する機能膜である場合、発光ムラ等が生じてしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】国際公開公報２０１２／０９８５８０
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、供給ライン内を通過する際に流れに乱れが生じ難い機能性インク、この機能性インクを用いた成膜方法および液滴吐出装置、これらを用いて作製された膜付きデバイス、およびこの膜付きデバイスを有する電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００９】
［適用例１］
本発明の機能性インクは、成膜材料と、該成膜材料が溶解または分散される液性媒体とを含み、
室温での動粘性係数が２．５×１０−７〜２３５×１０−７ｍ２／ｓであり、室温で供給ライン内を通過する際のレイノルズ数が２，３００以下となるように調整されていることを特徴する。
【００１０】
かかる特性を有するように調整された機能性インクは、供給ライン内において、その流れが層流となるため乱れが生じ難くなり、円滑かつ確実に供給ライン内を移送することができる。
【００１１】
［適用例２］
本発明の機能性インクでは、室温での静的粘性係数が０．３×１０−３〜２０×１０−３Ｐａ・ｓであることが好ましい。
【００１２】
これにより、機能性インクは、供給ライン内でより確実に層流となり易く、例えば、液滴吐出する場合には、より確実に液滴として吐出することができる。
【００１３】
［適用例３］
本発明の機能性インクでは、密度が８５０〜１，２００ｋｇ／ｍ３であることが好ましい。
【００１４】
これにより、機能性インクは、供給ライン内でより確実に層流となり易く、例えば、液滴吐出する場合には、より確実に液滴として吐出することができる。
【００１５】
［適用例４］
本発明の機能性インクでは、室温での溶存ガス量が５０ｐｐｍ以下であることが好ましい。
【００１６】
これにより、機能性インクを移送する際に、何らかの要因で機能性インクが気泡を巻き込ん（取り込ん）だとしても、この気泡（ガス）を機能性インクが吸収することができる。このため、例えば、液滴吐出する場合において、機能性インクを安定的かつムラなく吐出することができる。
【００１７】
［適用例５］
本発明の機能性インクでは、前記供給ラインを構成する管体の内径が０．１×１０−３〜１０×１０−３ｍであることが好ましい。
【００１８】
これにより、機能性インクは、供給ライン内を通過させる際に、その流れに乱流が特に生じ難くなる。
【００１９】
［適用例６］
本発明の機能性インクでは、前記供給ラインを通過する際の前記機能性インクの速度が０．１〜２ｍ／ｓであることが好ましい。
【００２０】
これにより、供給ライン内で機能性インクの乱流が発生することをより確実に防止することができる。
【００２１】
［適用例７］
本発明の成膜方法は、本発明の機能性インクを、供給ラインを介して液滴吐出ヘッドに供給する工程と、
前記機能性インクを前記液滴吐出ヘッドから液滴として吐出して、記録媒体上に付着させることにより、前記機能性インクの液状被膜を形成する工程と、
前記液状被膜を乾燥させて、膜を形成する工程とを有することを特徴とする。
【００２２】
かかる構成の成膜方法によれば、基材上に、均一な膜厚の膜を優れた成膜精度で形成することができる。
【００２３】
［適用例８］
本発明の液滴吐出装置は、本発明の機能性インクを貯留する貯留部と、
前記機能性インクを液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記貯留部と前記液滴吐出ヘッドとを接続し、前記機能性インクを前記貯留部から前記液滴吐出ヘッドに移送する供給ラインとを有することを特徴とする。
【００２４】
かかる構成の液滴吐出装置によれば、安定的かつムラなく、機能性インクを液滴として吐出することができるため、基材上に、均一な膜厚の膜を優れた成膜精度で形成することができる。
【００２５】
［適用例９］
本発明の膜付きデバイスは、本発明の成膜方法または本発明の液滴吐出装置により形成された膜またはそれを処理した膜を有することを特徴とする。
このような膜付きデバイスは、寸法精度の高い膜を備えるので、信頼性に優れる。
【００２６】
［適用例１０］
本発明の電子機器は、本発明の膜付きデバイスを有することを特徴とする。
【００２７】
このような電子機器は、寸法精度の高い膜付きデバイスを備えるので、信頼性に優れる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】（ａ）は、本発明の液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図、（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの配置を示す模式的な平面図、（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの要部の概略構成を示す断面図である。
【図２】インク供給機構の構成を示すブロック図である。
【図３】ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドと中間貯留部および圧力調整弁との関係を示す図である。
【図４】図１に示す液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。
【図５】図１に示す液滴吐出装置を用いた成膜方法を説明する図である。
【図６】膜付デバイスの一例である表示装置を示す断面図である。
【図７】図６に示す表示装置が備える発光素子の断面図である。
【図８】電子機器の一例であるモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
【図９】電子機器の一例である携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【図１０】電子機器の一例であるディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明の機能性インク、成膜方法、液滴吐出装置、膜付デバイスおよび電子機器について、図面に示す好適な実施形態に基づいて説明する。なお、各図では、説明の便宜上、各部の縮尺が適宜変更されており、図示の構成は実際の縮尺と必ずしも一致するわけではない。
【００３０】
まず、以下では、本発明の機能性インク、成膜方法、液滴吐出装置、膜付デバイスおよび電子機器の説明を行うのに先立って、本発明の機能性インクを使用可能な液滴吐出装置の一例の全体構成について説明する。
【００３１】
（液滴吐出装置）
図１（ａ）は、液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図、図１（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの配置を示す模式的な平面図、図１（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの要部の概略構成を示す断面図、図２は、インク供給機構の構成を示すブロック図、図３は、ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドと中間貯留部および圧力調整弁との関係を示す図である。なお、図１には、説明の便宜上、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸が図示されている。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」という。また、図１では、Ｚ軸が鉛直方向に沿っており、＋Ｚ軸方向側（Ｚ軸を示す矢印の先端側）を「上」、−Ｚ軸方向側（Ｚ軸を示す矢印の基端側）を「下」という。
【００３２】
図１および図２に示す液滴吐出装置６は、インクジェット装置である。この液滴吐出装置６は、基台７と、１対の案内レール８と、ステージ９と、主走査位置検出装置１０と、支持台１２と、案内部材１３と、カートリッジ設置部１４と、案内レール１５と、キャリッジ１６と、副走査位置検出装置１７と、ヘッドユニット１８と、インク供給機構１０１と、を備えている。
【００３３】
基台７は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に沿った上面７ａを有する直方体形状をなしている。そして、基台７の上面７ａには、Ｙ軸方向に沿って延びている１対の案内レール８が設置されている。
【００３４】
この１対の案内レール８には、図示しない直動機構を介して、ステージ９が取り付けられている。これにより、ステージ９を１対の案内レール８に沿って移動させることで、後述する液滴吐出ヘッド２２をステージ９に対して主走査方向（本実施形態ではＹ軸方向）に相対的に移動させることができる。本実施形態では、かかる直動機構として、例えば、リニアモーターが用いられており、ステージ９がＹ軸方向に沿って所定の速度で往動と復動とを繰り返すようになっている。なお、かかる直動機構は、リニアモーターに限定されず、例えば、ネジ式直動機構等であってもよい。
【００３５】
また、基台７の上面７ａには、主走査位置検出装置１０が設けられている。この主走査位置検出装置１０により、基台７に対するステージ９のＹ軸方向での位置（すなわち主走査方向での位置）が検出される。
【００３６】
ステージ９の上面には、記録媒体２が載置される載置面１１が形成されている。この載置面１１には、図示しない吸引式のチャック機構が設けられている。このチャック機構により、載置面１１上の記録媒体２が載置面１１に対して吸着・固定される。
【００３７】
また、Ｘ軸方向における基台７の両端部には、上側に延びている１対の支持台１２が設けられている。この１対の支持台１２には、Ｘ軸方向に沿って延びている案内部材１３が架設されている。この案内部材１３の上側には、機能性インク（成膜用インク）２６が収納されたカートリッジ（貯留部）Ｃを複数セット可能なカートリッジ設置部１４が設けられている。
【００３８】
一方、案内部材１３の下側には、Ｘ軸方向に沿って延びている案内レール１５が設置されている。この案内レール１５には、図示しない直動機構を介して、キャリッジ１６が取り付けられている。これにより、キャリッジ１６を案内レール１５に沿って移動させることで、後述する液滴吐出ヘッド２２をステージ９に対して副走査方向（本実施形態ではＸ軸方向）に相対的に移動させることができる。本実施形態では、かかる直動機構として、例えば、リニアモーターが用いられており、任意のタイミング（例えば、前述した主走査の往動と復動との切り換え時）にキャリッジ１６がＸ軸方向に沿って移動するようになっている。なお、かかる直動機構は、リニアモーターに限定されず、例えば、ネジ式直動機構等であってもよい。
【００３９】
また、案内部材１３のキャリッジ１６側には、副走査位置検出装置１７が設けられている。この副走査位置検出装置１７により、案内部材１３に対するキャリッジ１６のＸ軸方向での位置（すなわち副走査方向での位置）が検出される。
【００４０】
キャリッジ１６には、ヘッドユニット１８が設置されている。ヘッドユニット１８には、図１（ｂ）に示すように、複数（本実施形態では９つ）の液滴吐出ヘッド２２が設けられている。各液滴吐出ヘッド２２は、ノズルプレート２３を備え、このノズルプレート２３には、複数の吐出ノズル２４が形成されている。なお、液滴吐出ヘッド２２および吐出ノズル２４の数および配置等は、図示のものに限定されない。
【００４１】
より具体的に説明すると、各液滴吐出ヘッド２２は、ノズルプレート２３と、キャビティ２５と、振動板２７と、圧電素子２８と、を有している。
【００４２】
ノズルプレート２３には、Ｘ軸方向に並んでいる複数の吐出ノズル２４が形成されている。このノズルプレート２３に対して上側には、各吐出ノズル２４に対応して、吐出ノズル２４に連通しているキャビティ２５（圧力室）が設けられている。このキャビティ２５は、インク供給機構１０１を介して、カートリッジ設置部１４にセットされたカートリッジＣに連通されており、カートリッジ（インクタンク）Ｃからの機能性インク２６が供給される。
【００４３】
また、キャビティ２５の上側には、振動板２７が配置されている。この振動板２７は、キャビティ２５の内壁面の一部を構成している。この振動板２７のキャビティ２５とは反対側の面には、圧電素子２８が配置されている。この圧電素子２８は、素子駆動信号を受けると、上下方向（Ｚ軸方向）に伸張または収縮して振動板２７を上下方向（Ｚ軸方向）に振動させる。これにより、キャビティ２５内の容積の縮小を伴ってキャビティ２５内が加圧される。その結果、そのキャビティ２５内の容積の縮小分に対応した量の機能性インク２６が吐出ノズル２４から液滴２９として吐出される。吐出された液滴２９は、記録媒体２上に着弾する。
【００４４】
インク供給機構１０１は、ヘッドユニット１８に設けられた９つの液滴吐出ヘッド２２のうちの３つの液滴吐出ヘッド２２を１つの供給単位として機能性インク２６を供給するように構成されている。
【００４５】
１つの供給単位に対する機能性インク２６の供給系は、機能性インク２６が充填された２つのカートリッジＣと、中間貯留部１０３（１０３ａ）と、２つのカートリッジＣと中間貯留部１０３とを繋ぐ供給経路１４８と、中間貯留部１０３と液滴吐出ヘッド２２とを繋ぐ供給経路１４９とを有する。なお、２つのカートリッジＣを区別するため、一方のカートリッジＣに符号１０２ａを付与し、他方のカートリッジＣに符号１０２ｂを付与して説明することもある。また、中間貯留部１０３に接続されるカートリッジＣの数は、２つに限定されず、例えば、１つでもよいし、３つ以上であってもよい。
【００４６】
カートリッジＣには、異物や水分、あるいは気泡等が除去された機能性インク２６が充填されている。また、本実施形態では、カートリッジＣの内部を加圧して機能性インク２６を送り出す加圧手段として圧空が用いられている。圧空は、異物や油分、水分等が予め除去されている。
【００４７】
圧空の取り入れ口ＰａとカートリッジＣとの間には、レギュレーター１０５が設けられている。カートリッジＣの内部を加圧する圧空の圧力設定は、カートリッジＣに充填される機能性インク２６の物理的な特性（粘度等）を考慮して設定される。本実施形態では、レギュレーター１０５として、電気信号により圧空の圧力をほぼ無段階に調整可能な電空レギュレーターが採用されている。これにより、機能性インク２６の種類が変化しでも取り入れた圧空を機能性インク２６に合わせて細かく調整することが可能となっている。
【００４８】
なお、カートリッジＣの内部を加圧する方法は、空気が圧縮された圧空を用いることに限らず、例えば窒素等の不活性ガスを圧縮して用いてもよい。カートリッジＣに充填される機能性インク２６を考慮して加圧方法（加圧手段）を決める。
【００４９】
カートリッジ１０２ａとレギュレーター１０５との間の圧空の供給経路には、開閉バルブ１４３が設けられ、カートリッジ１０２ｂとレギュレーター１０５との間の圧空の供給経路には、開閉バルブ１４４が設けられている。また、それぞれの圧空の供給経路の少なくとも一部は、内部を視認可能とする透明部材で構成されており、この透明部材で構成された部分に、液面検出センサー１０４が取り付けられている。それぞれの圧空の供給経路に機能性インク２６が漏れた場合、これを液面検出センサー１０４で検出して、異常を報知したり、通常は開いている開閉バルブ１４３、１４４を閉じたりすることができるようになっている。
【００５０】
２つのカートリッジ１０２ａ、１０２ｂと中間貯留部１０３とを繋ぐ供給経路１４８には、機能性インク２６を濾過するフィルター１０６が設けられている。カートリッジ１０２ａとフィルター１０６との間には、開閉バルブ１４１が設けられ、カートリッジ１０２ｂとフィルター１０６との間には、開閉バルブ１４２が設けられている。フィルター１０６と中間貯留部１０３との間にも、開閉バルブ１４５が設けられている。２つのカートリッジ１０２ａ、１０２ｂのいずれかを交換した際に、異物等が供給経路１４８に侵入したとしても、フィルター１０６によって取り除くことができる。
【００５１】
中間貯留部１０３は、大気開放型の筒状の容器であって、その上方側の一方の端に、中間貯留部１０３を大気開放可能な開放経路１４０が接続されている。開放経路１４０は、例えば透明なプラスチックチューブからなり、開放経路１４０の開放端には、気体を濾過するフィルター１０７が設けられている。また、フィルター１０７の近傍には、開閉バルブ１４６が設けられ、通常は開かれた状態となっている。フィルター１０７を通過する気体は濾過されるので、中間貯留部１０３に大気中の異物が混入することを防ぐことができる。この場合、ヘッドユニット１８における３つの供給単位に対応する３つの中間貯留部１０３ａ、１０３ｂ、１０３ｃのそれぞれに開放経路１４０が設けられ、それぞれの開放経路１４０は、１つのフィルター１０７に接続されている。
【００５２】
開閉バルブ１４６と中間貯留部１０３との間の開放経路１４０には、液面検出センサー１０４が取り付けられている。中間貯留部１０３が大気開放型であることから、機能性インク２６が供給されてオーバーフローし、開放経路１４０に漏れたときに液面検出センサー１０４により検出して、開閉バルブ１４６を閉じることができる。液面検出センサー１０４は、他にも用いられているので、符号１０４の末尾にａ〜ｅのアルファベットを付与して区分する。
【００５３】
中間貯留部１０３が大気開放型であることから、中間貯留部１０３から液滴吐出ヘッド２２への機能性インク２６の供給は、中間貯留部１０３に貯留された機能性インク２６の水頭圧の影響を受ける。本実施形態では、筒状の容器である中間貯留部１０３の下方側の他方の端に、中間貯留部１０３に貯留された機能性インク２６の液位を検出可能な液位センサー１０８が取り付けられている。この液位センサー１０８は、例えば、圧力センサーで構成されている。
【００５４】
中間貯留部１０３の容量は、１つの中間貯留部１０３に繋がる液滴吐出ヘッド２２の数と、主走査によって液滴吐出ヘッド２２から吐出される機能性インク２６の消費量とにより設定されている。また、１つの中間貯留部１０３から３つの液滴吐出ヘッド２２へ機能性インク２６を安定的に供給する観点から、中間貯留部１０３と３つの液滴吐出ヘッド２２との間に、圧力調整弁１０９が設けられている。
【００５５】
圧力調整弁１０９は、例えばダイヤフラム方式の自己封止バルブであって、液滴吐出ヘッド２２におけるキャビティ２５の負圧状態に応じて、機能性インク２６を液滴吐出ヘッド２２に送り込めるようになっている。圧力調整弁１０９を設けることにより、中間貯留部１０３における水頭圧の管理をより緩やかなものとすることができる。
【００５６】
ここで、ヘッドユニット１８における機能性インク供給系について、図３を参照して説明する。図３は、ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドと中間貯留部および圧力調整弁との関係を示す図である。図３に示すように、中間貯留部１０３、圧力調整弁１０９は、ヘッドユニット１８に設けられている。中間貯留部１０３に付随する液位センサー１０８もまた、ヘッドユニット１８に設けられることになる。
【００５７】
中間貯留部１０３と開閉バルブ１４７とを繋ぐ供給経路１４９ａ、開閉バルブ１４７と圧力調整弁１０９とを繋ぐ供給経路１４９ｂ、圧力調整弁１０９と液滴吐出ヘッド２２とを繋ぐ供給経路１４９ｃは、いずれも例えばポリエチレンテレフタレート製の可撓性チューブが用いられている。また、本実施形態では、機能性インク２６として、例えば有機エレクトロルミネッセンス材料を含むインクや、紫外線硬化型のインクを用いた場合でも、機能性インク２６が変質したり、劣化したりする等の不具合が生じないように、遮光性を有するチューブが用いられている。
【００５８】
１つの圧力調整弁１０９に対して、３つの液滴吐出ヘッド２２が供給経路１４９ｃを介して繋がれている。これにより、３つの液滴吐出ヘッド２２を１組として機能性インク２６を吐出可能となっている。換言すれば、図３は、ヘッドユニット１８に搭載された複数の液滴吐出ヘッド２２に対して、機能性インク２６を種類ごとに供給できる構成を示している。したがって、図３には、図示していないが、実際には、９つの液滴吐出ヘッド２２に対して、機能性インク２６を供給するため、ヘッドユニット１８には、３つの中間貯留部１０３（１０３ａ、１０３ｂ、１０３ｃ）と、３つの圧力調整弁１０９とが設けられている。
【００５９】
なお、３つの中間貯留部１０３のそれぞれに異なる種類の機能性インク２６が供給されていてもよいし、同じ種類の機能性インク２６が供給されていてもよい。また、３つの中間貯留部１０３のうち１つの中間貯留部１０３に、他と異なる機能性インク２６を供給することもできる。
【００６０】
また、各供給経路（供給ライン）を構成するチューブ（管体）の内径は、０．１×１０−３〜１０×１０−３ｍ程度であることが好ましく、０．５×１０−３〜７．５×１０−３ｍ程度であることがより好ましい。後述するような特性（室温での動粘性係数が２．５×１０−７〜２３５×１０−７ｍ２／ｓ、室温で各供給経路内を通過する際のレイノルズ数が２，３００以下）を有するように調整された機能性インク２６は、前記サイズの供給経路内を通過させる際に、その流れに乱流が特に生じ難くなる。
【００６１】
さらに、各供給経路内での機能性インク２６の流れの乱れを防止する観点（層流を確実に生成する観点）からは、各供給経路を通過する際の機能性インク２６の速度は、できるだけ速く設定されるのが好ましい。具体的には、機能性インク２６の速度は、０．１〜２ｍ／ｓ程度であることが好ましく、０．３５〜１．５ｍ／ｓ程度であることがより好ましく、０．３５〜１ｍ／ｓ程度であることがさらに好ましい。これにより、各供給経路内で機能性インク２６の乱流が発生することをより確実に防止することができる。
【００６２】
次に、液滴吐出装置６の制御系について説明する。図４は、図１に示す液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。
【００６３】
図４に示すように、液滴吐出装置６は、液滴吐出装置６の各部の動作を制御する制御装置４１（制御部）を備えている。この制御装置４１は、各種の演算処理を行うＣＰＵ（中央演算処理装置）４２と、各種情報を記憶するメモリー４３（記憶部）と、を備えている。
【００６４】
ここで、ＣＰＵ４２には、入出力インターフェイス４６およびデータバス４７を介して、前述した主走査位置検出装置１０および副走査位置検出装置１７がそれぞれ接続されている。また、上記以外にも、ＣＰＵ４２には、入出力インターフェイス４６およびデータバス４７を介して、主走査駆動装置４４、副走査駆動装置４５、ヘッド駆動回路４８、入力装置４９、表示装置５０、インク供給機構駆動回路１１０および各種センサー類（図示せず）がそれぞれ接続されている。
【００６５】
主走査駆動装置４４は、前述したステージ９の主走査方向での移動を行うための駆動源であり、副走査駆動装置４５は、前述したキャリッジ１６の副走査方向での移動を行うための駆動源である。また、ヘッド駆動回路４８は、前述した液滴吐出ヘッド２２を駆動するものである。インク供給機構駆動回路１１０は、インク供給機構１０１の加圧手段、レギュレーター１０５および開閉バルブ１４１〜１４７等を駆動するものである。例えば、加圧手段によるカートリッジＣの加圧の程度を制御することにより、供給経路１４８内を通過する機能性インク２６の速度を調整することができる。
【００６６】
入力装置４９は、液滴吐出装置６の各種動作条件が入力される装置であり、例えば、図示しない外部装置から、記録媒体２に液滴２９を吐出する座標情報が入力される。また、表示装置５０は、液滴吐出装置６の加工条件や作業状況等の各種情報を表示する装置である。操作者は、表示装置５０に表示される情報に基づいて、入力装置４９を用いて操作を行うことができる。
【００６７】
メモリー４３は、例えば、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリー、または、ハードディスク、ＤＶＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置等を有して構成されている。このメモリー４３には、ＣＰＵ４２の動作に必要な各種情報が記憶されている。
【００６８】
具体的に説明すると、メモリー４３には、液滴吐出装置６における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト５１を記憶する記憶領域が設定される。また、メモリー４３には、記録媒体２上に吐出する吐出位置の座標データである吐出位置データ５２を記憶するための記憶領域も設定される。
【００６９】
他にも、メモリー４３には、液滴吐出ヘッド２２を駆動するときの駆動波形と吐出量の関係を示すデータである駆動電圧データ５３や、液滴吐出ヘッド２２を駆動する駆動波形データ５４等の吐出条件を複数記憶するための記憶領域が設定される。また、メモリー４３には、吐出する各場所における駆動電圧のデータである吐出計画データ５５を記憶するための記憶領域が設定される。さらに、メモリー４３には、ＣＰＵ４２のためのワークエリアやテンポラリーファイル等として機能する記憶領域、中間貯留部１０３に機能性インク２６が何回供給されたのかを記憶するための記憶領域やその他各種類の記憶領域が設定される。
【００７０】
ＣＰＵ４２は、メモリー４３に記憶されたプログラムソフト５１に従って、液滴吐出装置６の各部の制御を行う。このＣＰＵ４２は、描画制御部５６と、着弾特性補正制御部６０と、吐出条件設定部６１と、吐出計画設定部６２と、を有している。
【００７１】
描画制御部５６は、液滴吐出ヘッド２２から液滴２９を吐出して描画するための制御を行う。この描画制御部５６は、主走査駆動装置４４を駆動制御する主走査制御部５７と、副走査駆動装置４５を駆動制御する副走査制御部５８と、ヘッド駆動回路４８を駆動制御する吐出制御部５９と、を有している。主走査制御部５７は、ステージ９を主走査方向へ所定の速度で移動させるための制御を行う。副走査制御部５８は、液滴吐出ヘッド２２を副走査方向へ所定の副走査量で移動させるための制御を行う。吐出制御部５９は、液滴吐出ヘッド２２が有する複数のノズルのそれぞれの吐出量や吐出の有無の制御を行う。
【００７２】
着弾特性補正制御部６０は、図示しない吐出検査装置の検査結果（テストパターンの着弾位置や着弾面積等の着弾情報）と、予め設定された適正な着弾情報とずれ量に基づいて、補正値を取得し、描画制御部５６にフィードバックして、液滴吐出ヘッド２２が吐出する液滴２９の記録媒体２への着弾位置を補正する。吐出条件設定部６１は、塗布領域に吐出する機能性インク２６の量と吐出特性とに基づいて、吐出ノズル２４から吐出する液滴２９の吐出量と吐出回数を設定する。吐出計画設定部６２は、液滴２９を吐出する各場所における圧電素子２８の駆動波形を設定する。
【００７３】
（機能性インク）
以下、かかる構成の液滴吐出装置６で用いられる機能性インク２６（本発明の機能性インク）について詳述する。本発明の機能性インクは、成膜材料と、この成膜材料が溶解または分散される液性媒体とを含んでいる。以下、これらの各成分を詳細に説明する。
【００７４】
（成膜材料）
成膜材料は、成膜すべき膜の種類に応じて決定されるものであり、特に限定されず、各種有機材料、各種無機材料およびこれらの混合物を用いることができる。例えば、成膜材料としては、後述する、有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）素子の各層（特に正孔注入層、正孔輸送層および発光層）の構成材料またはその前駆体、配線基板の導体パターンの構成材料またはその前駆体、カラーフィルタの着色層の構成材料またはその前駆体等が挙げられる。
【００７５】
このように、前記成膜材料を有機エレクトロルミネッセンス素子の有機層の構成材料またはその前駆体とすることにより、有機エレクトロルミネッセンス素子の有機層（例えば、正孔輸送層、正孔注入層、発光層、中間層等）を形成することができる。また、前記成膜材料を配線基板の導体パターンの構成材料またはその前駆体とすることにより、配線基板の導体パターンを形成することができる。さらに、前記成膜材料をカラーフィルタの着色層の構成材料またはその前駆体とすることにより、カラーフィルタの着色層を形成することができる。また、成膜材料としては、例えば、上記から選択される２種以上の成分を組み合わせて用いてもよい。
【００７６】
なお、機能性インク２６中において、成膜材料は、後述する液性媒体に溶解しているものであってもよいし、分散しているものであってもよいが、成膜材料が液性媒体中に分散しているものである場合、成膜材料の平均粒径は、２０〜１００ｎｍであるのが好ましく、５〜５０ｎｍであるのがより好ましい。これにより、機能性インク２６中における成膜材料の分散安定性を優れたものとすることができる。
【００７７】
機能性インク２６中における成膜材料の含有率は、機能性インク２６の用途に応じて決められるものであり、特に限定されないが、例えば、０．０１〜１０ｗｔ％であるのが好ましく、０．０５〜５ｗｔ％であるのがより好ましい。成膜材料の含有率が前記範囲内の値であると、液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）２２からの吐出安定性を特に優れたものとすることができる。
【００７８】
（液性媒体）
機能性インク２６に含まれる液性媒体は、前述した成膜材料を溶解または分散させるもの、すなわち、溶媒または分散媒である。この液性媒体は、後述する成膜方法において、塗布対象物に対して機能性インク２６に優れた濡れ性を付与するために用いられるが、塗布対象物に対する塗布（供給）の後、その大部分が除去される。
【００７９】
このような液性媒体は、常圧（大気圧）で沸点が２００℃以上の高沸点溶媒およびこの高沸点溶媒より常圧での沸点が低い低沸点溶媒のうちのいずれか一方を単独で、または、これらを混合して用いることができる。
【００８０】
高沸点溶媒としては、特に限定されないが、例えば、Ａ−１）1,1-ビス(3,4-ジメチルフェニル)エタン（1,1-Bis(3,4-Dimethylphenyl)ethane、沸点３３３℃）、Ａ−２）安息香酸ベンジル（Benzyl Benzoate、沸点３２４℃）、Ａ−３）4-(3-フェニルプロピル)ピリジン（4-(3-phenylpropyl)pyridine、沸点３２２℃）、Ａ−４）α,α-ジクロロジフェニルメタン（α,α-Dichlorodiphenylmethane、沸点３０５℃）、Ａ−５）4-イソプロピルビフェニル（4-Isopropylbiphenyl、沸点２９８℃）、Ａ−６）N-メチルジフェニルアミン（N-Methyldiphenylamine、沸点２９７℃）、Ａ−７）ビフェニルエーテル（Dibenzyl Ether、沸点２９５℃）、Ａ−８）2,3,5-トリ-メチルビフェニルエーテル（2,3,5-tri-methy diphenyl ether、235TMDPE、沸点２９５℃）、Ａ−９）2,2,5-トリ-メチルビフェニルエーテル（2,2,5-tri-methy diphenyl ether、225TMDPE、沸点２９０℃）、Ａ−１０）エチル 2-ナフチルエーテル（Ethyl 2-Naphthyl Ether、沸点２８２℃）、Ａ−１１）1-プロピル-4-フェニルベンゼン（1-propyl-4-phenyl benzene、NPBP、沸点２８０℃）、Ａ−１２）2-フェノキシ 1,4-ジメチルベンゼン（2-phenoxy 1,4-dimethyl benzene、25DMDPE、沸点２８０℃）、Ａ−１３）テトラエチレングリコールジメチルエーテル（Tetraethyleneglycol dimethyl ether、沸点２７５℃）、Ａ−１４）2-フェノキシテトラヒドロフラン（2-phenoxytetrahydropuran、沸点２７４．７℃）、Ａ−１５）2-フェニルアニソール（2-Phenylanisole、沸点２７４℃）、Ａ−１６）3-フェノキシトルエン（3-Phenoxytoluene、沸点２７３℃）、Ａ−１７）3-フェニルピリジン（3-phenylpyridine、沸点２７２℃）、Ａ−１８）ジメチルベンジルエーテル（Dimethyl benzyl ether、沸点２７０℃）、Ａ−１９）2-フェニルピリジン（2-Phenylpyridine、沸点２６８℃）、Ａ−２０）2-フェノキシトルエン（2-Phenoxytoluene、MDPE、沸点２６５℃）、Ａ−２１）ジフェニルメタン（Diphenyl  methane、沸点２６５℃）、Ａ−２２）1,2-ジメトキ-4-(1-プロペニル)ベンゼン（1,2-Dimethoxy-4-(1-propenyl)benzene、沸点２６４℃）、Ａ−２３）トリエチレングリコールブチルメチルエーテル（Triethyleneglycol butylmethyl ether、沸点２６１℃）、Ａ−２４）ジフェニルエーテル（Diphenyl ether、沸点２５９℃）、Ａ−２５）4,4'-ジフルオロジフェニルメタン（4,4'-Difluorodiphenylmethane、沸点２５８℃）、Ａ−２６）ジエチレングリコールジブチルエーテル（Diethyleneglycol dibutyl ether、沸点２５６℃）、Ａ−２７）4-メトキシベンズアルデヒドジメチルアセタール（4-Methoxybenzaldehyde Dimethyl Acetal、沸点２５３℃）、Ａ−２８）1,3-ジプロポキシベンゼン（1,3-Dipropoxybenzene、沸点２５１℃）、Ａ−２９）シクロヘキシルベンゼン（Cyclohexylbenzene、ＣＨＢ、沸点２３６℃）、Ａ−３０）ジエチレングリコールモノブチルエーテル（Diethyleneglycol monobutyl ether、沸点２３０℃）、Ａ−３１）1,3-ジメチル-2-イミダゾリジノン（1,3-dimethyl-2-imidazolidinone、ＤＭＩ、沸点２２０℃）、Ａ−３２）p-トルニトリル（p-Tolunitrile、沸点２１８℃）、Ａ−３３）トリエチレングリコールジメチルエーテル（Triethyleneglycol dimethyl ether、沸点２１６℃）、Ａ−３４）トリプロピレングリコールジメチルエーテル（Tripropyleneglycol dimethyl ether、沸点２１５℃）、Ａ−３５）ジエチレングリコールブチルメチルエーテル（Diethyleneglycol butylmethyl ether、沸点２１２℃）、Ａ−３６）o-トルニトリル（o-Tolunitrile、沸点２０５℃）等が挙げられ��これらのうち１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００８１】
一方、低沸点溶媒としては、特に限定されないが、例えば、Ｂ−１）1,2,4-トリメチルベンゼン（沸点１６９℃）、Ｂ−２）1,3,5-トリメチルベンゼン（沸点１６５℃）、Ｂ−３）アニソール（沸点１５４℃）、Ｂ−４）3-フルオロ-o-キシレン（沸点１５０℃）、Ｂ−５）4-ヘプタン（沸点１５０℃）、Ｂ−６）3-ヘプタン（沸点１４８℃）、Ｂ−７）2-フルオロ-m-キシレン（沸点１４７℃）、Ｂ−８）2-ヘプタン（沸点１４５℃）、Ｂ−９）エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート（沸点１４５℃）、Ｂ−１０）o-キシレン（沸点１４４℃）、Ｂ−１１）2,6-ルチジン（沸点１４４℃）、Ｂ−１２）1,2,4-トリメチルシクロヘキサン（沸点１４２℃）、Ｂ−１３）m-キシレン（沸点１３９℃）、Ｂ−１４）p-キシレン（沸点１３８℃）、Ｂ−１５）1-ペンタノール（沸点１３８℃）、Ｂ−１６）2-ヘキサノール（沸点１３５℃）、Ｂ−１７）クロロベンゼン（沸点１３１℃）、Ｂ−１８）シクロペンタノン（沸点１３０℃）、Ｂ−１９）オクタン（沸点１２６℃）、Ｂ−２０）1,2-ジメチルシクロヘキサノン（沸点１２４℃）、Ｂ−２１）1,3-ジメチルシクロヘキサノン（沸点１２４℃）、Ｂ−２２）エチレングリコールモノメチルエーテル（沸点１２４℃）、Ｂ−２３）1,4−ジメチルシクロヘキサン（沸点１２０℃）、Ｂ−２４）プロピレングリコールモノメチルエーテル（沸点１２０℃）、Ｂ−２５）1-ブタノール（沸点１１８℃）、Ｂ−２６）４-フルオロトルエン（沸点１１６℃）、Ｂ−２７）3‐ペンタノール（沸点１１６℃）、Ｂ−２８）ピリジン（沸点１１５℃）、Ｂ−２９）２−フルオロトルエン（沸点１１４℃）、Ｂ−３０）3-フルオロトルエン（沸点１１３℃）、Ｂ−３１）トルエン（沸点１１１℃）、Ｂ−３２）3-ペンタノン（沸点１０２℃）、Ｂ−３３）ジオキサン（沸点１０１℃）、Ｂ−３４）メチルシクロヘキサノン（沸点１０１℃）、Ｂ−３５）1,4−ジオキサン（沸点１０１℃）、Ｂ−３６）2-ペンタノン（沸点１００℃）、Ｂ−３７）水（沸点１００℃）、Ｂ−３８）2-ブタノール（沸点９８℃）、Ｂ−３９）ヘプタン（沸点９８℃）、Ｂ−４０）1-プロパノール（沸点９７℃）、Ｂ−４１）プロピレングリコールジメチルエーテル（沸点９７℃）、Ｂ−４２）アセトニトリル（沸点８８℃）、Ｂ−４３）エチレングリコールジメチルエーテル（沸点８５℃）、Ｂ−４４）2-プロパノール（沸点８２℃）、Ｂ−４５）Tert-ブタノール（沸点８２℃）、Ｂ−４６）シクロヘキサン（沸点８１℃）、Ｂ−４７）2-ブタノン（沸点８０℃）、Ｂ−４８）エタノール（沸点７８℃）、Ｂ−４９）1,3-ジオキソラン（沸点７６℃）、Ｂ−５０）ヘキサン（沸点６９℃）、Ｂ−５１）テトラヒドロフラン（沸点６６℃）、Ｂ−５２）メタノール（沸点６５℃）、Ｂ−５３）アセトン（沸点５７℃）、Ｂ−５４）Tert-ブチルメチルエーテル（沸点５５℃）等が挙げられ、これらのうち１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００８２】
本発明では、機能性インク２６は、室温での動粘性係数が２．５×１０−７〜２３５×１０−７ｍ２／ｓであり、室温で供給経路１４８、１４９ａ〜１４９ｃ（供給ライン）内を通過する際のレイノルズ数が２，３００以下となるように調整されている。かかる特性を有するように調整された機能性インク２６は、各供給経路１４８、１４９ａ〜１４９ｃ内において、その流れが層流となるため乱れが生じ難くなり、円滑かつ確実にカートリッジＣから中間貯留部１０３を介して液滴吐出ヘッド２２に供給される。
【００８３】
また、供給経路内で機能性インク２６の流れに乱れが生じ難いことから、機能性インク２６が気泡を巻き込む（取り込む）ことも防止または抑制することができる。このため、機能性インク２６を吐出不能な吐出ノズル２４が発生することなく、異物（機能性インクの固形物）が詰まって吐出ノズル２４が閉鎖されてしまうこともない。その結果、機能性インク２６を各吐出ノズル２４からバラつきなく安定して吐出することができる。したがって、かかる機能性インク２６を用いて後述する表示装置３００を製造した場合でも、発光ムラ等が生じてしまうこと、すなわち、生産不良となる確率が極めて少ない。
【００８４】
このような機能性インク２６の特性は、成膜材料の種類、分子量および含有量、液性媒体の種類および組み合わせ等を適宜変更することにより調整することができる。
【００８５】
なお、機能性インク２６の室温での動粘性係数は、５×１０−７〜１００×１０−７ｍ２／ｓ程度であることが好ましく、１０×１０−７〜７５×１０−７ｍ２／ｓ程度であることがより好ましい。
【００８６】
一方、室温で各供給経路内を通過する際の機能性インク２６のレイノルズ数は、２，１００以下であることが好ましく、１，８００以下であることがより好ましい。レイノルズ数の下限値は、特に限定されないが、０．１以上であることが好ましく、０．４以上であることがより好ましい。かかる値の動粘性係数およびレイノルズ係数になるように、機能性インク２６を調整することにより、各供給経路内を通過する際の機能性インク２６の速度を適切な範囲に維持しつつ、各供給経路内での機能性インク２６の流れに乱れをより生じ難くすることができる。
【００８７】
さらに、機能性インク２６の各供給経路内での流れが生じるのを好適に防止しつつ、機能性インク２６を液滴吐出ヘッド２２から確実に液滴として吐出するためには、機能性インク２６の室温での静的粘性係数および密度も重要となる。
【００８８】
具体的には、機能性インク２６の室温での静的粘性係数は、０．３×１０−３〜２０×１０−３Ｐａ・ｓ程度であることが好ましく、０．５×１０−３〜１０×１０−３Ｐａ・ｓ程度であることがより好ましい。一方、機能性インク２６の密度は、８５０〜１，２００ｋｇ／ｍ３程度であることが好ましく、８５０〜１，１５０ｋｇ／ｍ３程度であるこがより好ましい。かかる値の静的粘性係数および粘度を有する機能性インク２６は、各供給経路内でより確実に層流となり易く、液滴吐出ヘッド２２からより確実に液滴として吐出することができる。
【００８９】
また、機能性インク２６の室温での溶存ガス量は、特に限定されないが、５０ｐｐｍ以下であることが好ましく、４０ｐｐｍ以下であることがより好ましい。機能性インク２６中の溶存ガス量を上記範囲に設定することにより、カートリッジＣから液滴吐出ヘッド２２に機能性インク２６を供給（移送）する際に、何らかの要因で機能性インク２６が気泡を巻き込ん（取り込ん）だとしても、この気泡（ガス）を機能性インク２６が吸収することができる。このため、液滴吐出ヘッド２２において機能性インク２６を吐出不能な吐出ノズル２４が発生するのをより確実に低減することができる。
【００９０】
なお、機能性インク２６中の溶存ガス量は、できるだけ少ない方がよいので、その下限値は、特に限定されないが、５ｐｐｍ程度であるのが好ましい。機能性インク２６中の溶存ガス量を５ｐｐｍ未満とするのには、高度かつ高価な減圧装置を必要とするが、効果の増大はそれ程見込めない。また、溶存ガス量としては、窒素ガス量および／または酸素ガス量、特に窒素ガス量を指標とすることができる。なお、本明細書中において「室温」とは、「２３℃」程度のことを言う。
【００９１】
以上説明したような機能性インク２６は、液滴吐出装置６を用いた液相プロセスによる成膜（本発明の成膜方法）に用いられる。
【００９２】
（成膜方法）
次に、前述した機能性インク２６を用いた成膜方法について、図５を参照しつつ説明する。図５は、図１に示す液滴吐出装置６を用いた成膜方法を説明する図である。
【００９３】
本発明の機能性インクを用いた成膜方法、すなわち本発明の成膜方法は、［１］前述した機能性インク２６を、各供給経路（供給ライン）を介して液滴吐出ヘッド２２に供給する工程（インク供給工程）と、［２］機能性インク２６を液滴吐出ヘッド２２から液滴２９として吐出して、基材（記録媒体）２０上に付着させることにより、機能性インク２６の液状被膜２９Ｃを形成する工程（インク付与工程）と、［３］液状被膜２９Ｃを乾燥させて、膜２９Ｆを形成する工程（乾燥工程）と、を有する。
【００９４】
このような成膜方法によれば、機能性インク２６が前述したような特性を有するように調整されているので、機能性インク２６を各供給経路内で乱流を生じることなく、円滑に移送することができるため、液滴吐出ヘッド２２の各吐出ノズル２４からバラつきなく安定して吐出することができる。そのため、均質で均一な膜厚を有する膜２９Ｆを形成すること、すなわち、膜２９Ｆを高精度に形成することができる。その結果、後述する表示装置３００を製造した場合、この表示装置３００は、発光のバラつきがないか、極めて少ない優れた特性を発揮する。また、表示装置３００の製造不良の数も確実に低減することができる。
【００９５】
以下、各工程を順次詳細に説明する。
［１］インク供給工程
１−１．まず、中間貯留部１０３内の機能性インク２６の液位が下限値を下回ったことを、液位センサー１０８が検出すると、開閉バルブ１４７が閉じられ、インクカートリッジＣから中間貯留部１０３への供給経路１４８を介した機能性インク２６の注入が開始される。その後、中間貯留部１０３内の機能性インク２６の液位が上限値に到達したことを、液位センサー１０８が検出すると、中間貯留部１０３への機能性インク２６の注入が停止される。
【００９６】
１−２．その後、中間貯留部１０３内において機能性インク２６の液位が上限値である状態で、開閉バルブ１４７が開かれると、中間貯留部１０３の水頭圧と、液滴吐出ヘッド２２内の流路の負圧状態とに応じて、機能性インク２６は、供給経路１４９ａ、開閉バルブ１４７、供給経路１４９ｂ、圧力調整弁１０９および供給経路１４９ｃを介して液滴吐出ヘッド２２に供給される。
【００９７】
この際、機能性インク２６は、前述したような特性を有するように調整されているため、流れに乱れを生じることなく、各供給経路内を円滑に移送され、気泡を取り込むことが防止される。
【００９８】
［２］インク付与工程
２−１．まず、図５（ａ）に示すように、基材２０を用意する。この基材２０は、成膜の目的とする膜が形成される対象物であり、図５では、説明の便宜上、簡易的に図示しているが、膜２９Ｆとして有機エレクトロルミネッセンス素子の正孔注入層を形成する場合には、基材２０の上面（一方の面）には、陽極が形成されている。
【００９９】
２−２．次いで、図５（ｂ）に示すように、基材２０上に、前述した機能性インク２６を液滴吐出ヘッド２２から液滴２９として吐出・供給する。これにより、基材２０上に機能性インク２６からなる液状被膜２９Ｃが形成される。図５では、説明の便宜上、簡易的に図示しているが、膜２９Ｆとしてエレクトロルミネッセンスの正孔注入層を形成する場合には、液状被膜２９Ｃは、陽極上に形成される。この際、機能性インク２６は、陽極上を円滑に濡れ広がる。
【０１００】
なお、本工程［２］における雰囲気の温度および圧力は、それぞれ、機能性インク２６の組成や液性媒体の沸点および融点に応じて決められるものであり、基材２０上に機能性インク２６を付与することができれば、特に限定されないが、常温常圧であるのが好ましい。したがって、常温常圧下において、基材２０上に付与可能な機能性インクを用いるのが好ましい。これにより、工程［２］を簡単に行える。
【０１０１】
［３］乾燥工程
次に、基材２０上に形成された液状被膜２９Ｃ（機能性インク２６）を加熱する。これにより、液状被膜２９Ｃから液性媒体を除去して、液状被膜２９Ｃを乾燥させることで、図４（ｃ）に示すように、成膜材料を主成分とする膜２９Ｆが形成される。
【０１０２】
乾燥工程［３］における雰囲気の温度および圧力は、それぞれ、機能性インク２６の組成や液性媒体の沸点および融点に応じて決められるものであり、基材２０上の液状被膜２９Ｃから液性媒体を除去することができれば、特に限定されないが、その加熱温度は、液性媒体の沸点よりも５〜３０℃程度高いのがより好ましい。また、圧力は、減圧下であるのが好ましく、１００Ｐａ以上１０−７Ｐａ以下程度であるのがより好ましい。
【０１０３】
また、加熱・減圧の時間は、特に限定されないが、１分以上３０分以下程度に設定される。さらに、液状被膜２９Ｃを加熱する方法は、特に限定されないが、ホットプレートや赤外線等で行うことができ、さらに、前述した液滴吐出装置６のステージ９が備えるラバーヒータにより行ってもよい。なお、液状被膜２９Ｃの乾燥は、加熱による乾燥に限らず、自然乾燥、減圧乾燥、ガスフローによる乾燥等であってもよい。
【０１０４】
なお、以上のようにして得られる膜２９Ｆは、成膜材料またはその前駆体を主成分として構成された膜となる。
【０１０５】
そして、成膜材料として前駆体を用いた場合、膜２９Ｆは、必要に応じて、所定の処理が施される。例えば、成膜材料が低分子量化合物である場合、その低分子量化合物の重合反応を生じさせる処理を行うことにより、高分子量化合物を含んで構成された膜２９Ｆを得ることができる。また、成膜材料が樹脂材料である場合、その樹脂材料の架橋反応を生じさせる処理を行うことにより、高分子量化合物を含んで構成された膜２９Ｆを得ることができる。また、成膜材料が金属粒子およびバインダー（樹脂材料）を含むものである場合、膜２９Ｆに焼成処理を施すことにより、金属で構成された膜２９Ｆを得ることができる。
【０１０６】
以上のような工程を経ることで、基材２０に、均質で均一な膜厚を有する膜２９Ｆが優れた成膜精度で形成される。
【０１０７】
（表示装置）
次に、前述した液滴吐出装置６を用いた成膜方法により成膜された膜またはそれを処理した膜を備える膜付デバイスの一例である表示装置について説明する。図６は、膜付デバイスの一例である表示装置を示す断面図である。なお、以下では、説明の都合上、図６中の上側を「上」、下側を「下」として説明を行う。
【０１０８】
図６に示す表示装置３００は、複数の発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂがサブ画素３００Ｒ、３００Ｇ、３００Ｂに対応して設けられ、トップエミッション構造のディスプレイパネルを構成している。
【０１０９】
なお、本実施形態では表示装置の駆動方式としてアクティブマトリックス方式を採用した例に説明するが、パッシブマトリックス方式を採用したものであってもよい。
【０１１０】
表示装置３００は、基板３０１と、複数の発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂと、複数のスイッチング素子３０２とを有している。
【０１１１】
基板３０１は、複数の発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂおよび複数のスイッチング素子３０２を支持するものである。本実施形態の各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂは、基板３０１とは反対側から光を取り出す構成（トップエミッション型）である。したがって、基板３０１には、透明基板および不透明基板のいずれも用いることができる。なお、各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂが基板３０１側から光を取り出す構成（ボトムエミッション型）とする場合には、基板３０１は、実質的に透明（無色透明、着色透明または半透明）とされる。
【０１１２】
基板３０１の構成材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリプロピレン、シクロオレフィンポリマー、ポリアミド、ポリエーテルサルフォン、ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネート、ポリアリレートのような樹脂材料や、石英ガラス、ソーダガラスのようなガラス材料等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【０１１３】
不透明基板としては、例えば、アルミナのようなセラミックス材料で構成された基板、ステンレス鋼のような金属基板の表面に酸化膜（絶縁膜）を形成したもの、樹脂材料で構成された基板等が挙げられる。
【０１１４】
このような基板３０１上には、複数のスイッチング素子３０２がマトリクス状に配列されている。
【０１１５】
各スイッチング素子３０２は、各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂに対応して設けられ、各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂを駆動するための駆動用トランジスタである。
【０１１６】
このような各スイッチング素子３０２は、シリコンからなる半導体層３０２ａと、半導体層３０２ａ上に形成されたゲート絶縁層３０２ｂと、ゲート絶縁層３０２ｂ上に形成されたゲート電極３０２ｃと、ソース電極３０２ｄと、ドレイン電極３０２ｅとを有している。
【０１１７】
このような複数のスイッチング素子３０２を覆うように、絶縁材料で構成された平坦化層３０３が形成されている。
【０１１８】
平坦化層３０３上には、各スイッチング素子３０２に対応して発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂが設けられている。
【０１１９】
発光素子２００Ｒは、平坦化層３０３上に、反射膜３０４、腐食防止膜３０５、陽極２０１、積層体（有機ＥＬ発光部）２０８（２０８Ｒ）、陰極２０７、陰極カバー３０６がこの順に積層されている。本実施形態では、各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂの陽極２０１は、画素電極を構成し、各スイッチング素子３０２のドレイン電極３０２ｅに導電部（配線）３０７により電気的に接続されている。また、各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂの陰極２０７は、共通電極とされている。
【０１２０】
また、発光素子２００Ｇ、２００Ｂの構成は、それぞれ、発光素子２００Ｒと同様に構成することができる。ここで、発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂの積層体２０８Ｒ、２０８Ｇ、２０８Ｂ（特に発光層）を互いに異ならせることにより、異なる色を発光させることができる。例えば、発光素子２００Ｒは、赤色発光し、発光素子２００Ｇは、緑色発光し、発光素子２００Ｂは、青色発光する。
【０１２１】
隣接する発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂ同士の間には、隔壁３０８が設けられている。また、陰極カバー３０６には、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂で構成された樹脂層３０９を介して、基板３１０が接合されている。
【０１２２】
前述したように本実施形態の各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂはトップエミッション型であるため、基板３１０には、透明基板が用いられる。
【０１２３】
このような基板３１０の構成材料としては、基板３１０が光透過性を有するものであれば、特に限定されず、前述した基板３０１の構成材料と同様のものを用いることができる。
【０１２４】
（発光素子）
ここで、図７に基づき、発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂを詳細に説明する。図７は、図６に示す表示装置が備える発光素子の断面図である。
【０１２５】
図７に示す発光素子（エレクトロルミネッセンス素子）２００は、前述した発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂを構成するものであり、前述したように２つの電極間（陽極２０１と陰極２０７との間）に積層体２０８が介挿されている。この積層体２０８は、図７に示すように、陽極２０１側から陰極２０７側へ、正孔注入層２０２と正孔輸送層２０３と発光層２０４と電子輸送層２０５と電子注入層２０６とがこの順に積層されている。
【０１２６】
このような発光素子２００にあっては、発光層２０４に対し、陰極２０７側から電子が供給（注入）されるとともに、陽極２０１側から正孔が供給（注入）される。そして、各発光層２０４では、正孔と電子とが再結合し、この再結合に際して放出されたエネルギーによりエキシトン（励起子）が生成し、エキシトンが基底状態に戻る際にエネルギー（蛍光やりん光）を放出（発光）する。
【０１２７】
この発光素子２００は、前述した成膜方法（本発明の成膜方法）を用いて正孔輸送層２０３または正孔注入層２０２が形成されている。これにより、優れた特性を有する発光素子２００および表示装置３００を提供することができる。なお、発光素子２００は、正孔注入層２０２および正孔輸送層２０３のうちのいずれか一方を省略してもよい。
【０１２８】
以下、発光素子２００を構成する各部を順次説明する。
（陽極）
陽極２０１は、後述する正孔注入層２０２を介して正孔輸送層２０３に正孔を注入する電極である。この陽極２０１の構成材料としては、仕事関数が大きく、導電性に優れる材料を用いるのが好ましい。
【０１２９】
陽極２０１の構成材料としては、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）、ＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｚｉｎｃ  Ｏｘｉｄｅ）、Ｉｎ３Ｏ３、ＳｎＯ２、Ｓｂ含有ＳｎＯ２、Ａｌ含有ＺｎＯ等の酸化物、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕまたはこれらを含む合金等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【０１３０】
（陰極）
一方、陰極２０７は、後述する電子注入層２０６を介して電子輸送層２０５に電子を注入する電極である。この陰極２０７の構成材料としては、仕事関数の小さい材料を用いるのが好ましい。
【０１３１】
陰極２０７の構成材料としては、例えば、Ｌｉ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｅｒ、Ｅｕ、Ｓｃ、Ｙ、Ｙｂ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｃｓ、Ｒｂまたはこれらを含む合金等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて（例えば、複数層の積層体等）用いることができる。
【０１３２】
特に、陰極２０７の構成材料として合金を用いる場合には、Ａｇ、Ａｌ、Ｃｕ等の安定な金属元素を含む合金、具体的には、ＭｇＡｇ、ＡｌＬｉ、ＣｕＬｉ等の合金を用いるのが好ましい。かかる合金を陰極２０７の構成材料として用いることにより、陰極２０７の電子注入効率および安定性の向上を図ることができる。
【０１３３】
また、本実施形態の発光素子２００は、トップエミッション型であるため、陰極２０７は、光透過性を有する。
【０１３４】
（正孔注入層）
正孔注入層２０２は、陽極２０１からの正孔注入効率を向上させる機能を有するものである。
【０１３５】
この正孔注入層２０２は、前述した機能性インク２６を用いた成膜方法を用いて形成されたものであり、その構成材料（正孔注入材料）としては、前述した、正孔注入性を有する高分子材料を含む成膜材料が挙げられる。
【０１３６】
このような正孔注入層２０２の平均厚さは、特に限定されないが、５ｎｍ以上、１５０ｎｍ以下程度であるのが好ましく、１０ｎｍ以上、１００ｎｍ以下程度であるのがより好ましい。
【０１３７】
（正孔輸送層）
正孔輸送層２０３は、陽極２０１から正孔注入層２０２を介して注入された正孔を発光層２０４まで輸送する機能を有するものである。
【０１３８】
この正孔輸送層２０３の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、ＴＦＢ（poly(9,9-dioctyl-fluorene-co-N-(4- butylphenyl)-diphenylamine)）等のトリフェニルアミン系ポリマー等のアミン系化合物、ポリフルオレン誘導体（ＰＦ）やポリパラフェニレンビニレン誘導体（ＰＰＶ）、ポリパラフェニレン誘導体（ＰＰＰ）、ポリビニカルバゾール（ＰＶＫ）、ポリチオフェン誘導体、ポリメチルフェニルシラン（ＰＭＰＳ）を含むポリシラン系等の高分子有機材料（高分子材料）が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。また、前述した正孔注入層２０２の構成材料を正孔輸送層２０３の構成材料として用いることもできる。
【０１３９】
このような正孔輸送層２０３の平均厚さは、特に限定されないが、１０〜１５０ｎｍ程度であるのが好ましく、１０〜１００ｎｍ程度であるのがより好ましい。
【０１４０】
（発光層）
この発光層２０４は、発光材料を含んで構成されている。
【０１４１】
発光材料としては、特に限定されず、各種蛍光材料、燐光材料を１種または２種以上組み合わせて用いることができる。発光素子２００を前述した発光素子２００Ｒに用いる場合には、発光材料として赤色蛍光材料または赤色燐光材料が用いられ、発光素子２００を前述した発光素子２００Ｇに用いる場合には、発光材料として緑色蛍光材料または緑色燐光材料が用いられ、発光素子２００を発光素子２００Ｂとして用いる場合には、発光材料として青色蛍光材料または青色燐光材料が用いられる。
【０１４２】
赤色蛍光材料としては、赤色の蛍光を発するものであれば特に限定されず、例えば、ジインデノペリレン誘導体等のペリレン誘導体、ユーロピウム錯体、ベンゾピラン誘導体、ローダミン誘導体、ベンゾチオキサンテン誘導体、ポルフィリン誘導体、ナイルレッド、２−（１，１−ジメチルエチル）−６−（２−（２，３，６，７−テトラヒドロ−１，１，７，７−テトラメチル−１Ｈ，５Ｈ−ベンゾ（ｉｊ）キノリジン−９−イル）エテニル）−４Ｈ−ピラン−４Ｈ−イリデン）プロパンジニトリル（ＤＣＪＴＢ）、４−（ジシアノメチレン）−２−メチル−６−（ｐ−ジメチルアミノスチリル）−４Ｈ−ピラン（ＤＣＭ）等を挙げられる。
【０１４３】
赤色燐光材料としては、赤色の燐光を発するものであれば特に限定されず、例えば、イリジウム、ルテニウム、白金、オスミウム、レニウム、パラジウム等の金属錯体が挙げられ、これら金属錯体の配位子の内の少なくとも１つがフェニルピリジン骨格、ビピリジル骨格、ポルフィリン骨格等を持つものも挙げられる。より具体的には、トリス（１−フェニルイソキノリン）イリジウム、ビス［２−（２’−ベンゾ［４，５−α］チエニル）ピリジネート−Ｎ，Ｃ３’］イリジウム（アセチルアセトネート）（ｂｔｐ２Ｉｒ（ａｃａｃ））、２，３，７，８，１２，１３，１７，１８−オクタエチル−１２Ｈ，２３Ｈ−ポルフィリン−白金（ＩＩ）、ビス［２−（２’−ベンゾ［４，５−α］チエニル）ピリジネート−Ｎ，Ｃ３’］イリジウム、ビス（２−フェニルピリジン）イリジウム（アセチルアセトネート）が挙げられる。
【０１４４】
緑色蛍光材料としては、緑色の蛍光を発するものであれば特に限定されず、例えば、クマリン誘導体、キナクリドン誘導体等のキナクリドンおよびその誘導体、９，１０−ビス［（９−エチル−３−カルバゾール）−ビニレニル］−アントラセン、ポリ（９，９−ジヘキシル−２，７−ビニレンフルオレニレン）、ポリ［（９，９−ジオクチルフルオレン−２，７−ジイル）−コ−（１，４−ジフェニレン−ビニレン−２−メトキシ−５−｛２−エチルヘキシルオキシ｝ベンゼン）］、ポリ［（９，９−ジオクチル−２，７−ジビニレンフルオレニレン）−オルト−コ−（２−メトキシ−５−（２−エトキシルヘキシルオキシ）−１，４−フェニレン）］等が挙げられる。
【０１４５】
緑色燐光材料としては、緑色の燐光を発するものであれば特に限定されず、例えば、イリジウム、ルテニウム、白金、オスミウム、レニウム、パラジウム等の金属錯体が挙げられ、具体的には、ファク−トリス（２−フェニルピリジン）イリジウム（Ｉｒ（ｐｐｙ）３）、ビス（２−フェニルピリジネート−Ｎ，Ｃ２’）イリジウム（アセチルアセトネート）、ファク−トリス［５−フルオロ−２−（５−トリフルオロメチル−２−ピリジン）フェニル−Ｃ，Ｎ］イリジウム等が挙げられる。
【０１４６】
青色蛍光材料としては、青色の蛍光を発するものであれば、特に限定されず、例えば、ジスチリルジアミン系化合物等のジスチリルアミン誘導体、フルオランテン誘導体、ピレン誘導体、ペリレンおよびペリレン誘導体、アントラセン誘導体、ベンゾオキサゾール誘導体、ベンゾチアゾール誘導体、ベンゾイミダゾール誘導体、クリセン誘導体、フェナントレン誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体、テトラフェニルブタジエン、４，４’−ビス（９−エチル−３−カルバゾビニレン）−１，１’−ビフェニル（ＢＣｚＶＢｉ）、ポリ［（９．９−ジオクチルフルオレン−２，７−ジイル）−コ−（２，５−ジメトキシベンゼン−１，４−ジイル）］、ポリ［（９，９−ジヘキシルオキシフルオレン−２，７−ジイル）−オルト−コ−（２−メトキシ−５−｛２−エトキシヘキシルオキシ｝フェニレン−１，４−ジイル）］、ポリ［（９，９−ジオクチルフルオレン−２，７−ジイル）−コ−（エチルニルベンゼン）］等が挙げられる。
【０１４７】
青色燐光材料としては、青色の燐光を発するものであれば、特に限定されず、例えば、イリジウム、ルテニウム、白金、オスミウム、レニウム、パラジウム等の金属錯体が挙げられ、具体的には、ビス［４，６−ジフルオロフェニルピリジネート−Ｎ，Ｃ２’］−ピコリネート−イリジウム、トリス［２−（２，４−ジフルオロフェニル）ピリジネート−Ｎ，Ｃ２’］イリジウム、ビス［２−（３，５−トリフルオロメチル）ピリジネート−Ｎ，Ｃ２’］−ピコリネート−イリジウム、ビス（４，６−ジフルオロフェニルピリジネート−Ｎ，Ｃ２’）イリジウム（アセチルアセトネート）等が挙げられる。
【０１４８】
以上のような発光材料は、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。
【０１４９】
また、発光層２０４中には、前述した発光材料の他に、発光材料がゲスト材料として添加されるホスト材料が含まれていてもよい。
【０１５０】
ホスト材料は、正孔と電子とを再結合して励起子を生成するとともに、その励起子のエネルギーを発光材料に移動（フェルスター移動またはデクスター移動）させて、発光材料を励起する機能を有する。このようなホスト材料を用いる場合、例えば、ゲスト材料である発光材料をドーパントとしてホスト材料にドープして用いることができる。
【０１５１】
このようなホスト材料としては、用いる発光材料に対して前述したような機能を発揮するものであれば、特に限定されないが、例えば、ナフタセン誘導体、ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体のようなアセン誘導体（アセン系材料）、ジスチリルアリーレン誘導体、ペリレン誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体、ジスチリルアミン誘導体、トリス（８−キノリノラト）アルミニウム錯体（Ａｌｑ３）等のキノリノラト系金属錯体、トリフェニルアミンの４量体等のトリアリールアミン誘導体、オキサジアゾール誘導体、シロール誘導体、ジカルバゾール誘導体、オリゴチオフェン誘導体、ベンゾピラン誘導体、トリアゾール誘導体、ベンゾオキサゾール誘導体、ベンゾチアゾール誘導体、キノリン誘導体、４，４’−ビス（２，２’−ジフェニルビニル）ビフェニル（ＤＰＶＢｉ）等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることもできる。
【０１５２】
前述したような赤色発光材料（ゲスト材料）およびホスト材料を用いる場合、発光層２０４中における発光材料の含有量（ドープ量）は、０．０１〜１０ｗｔ％であるのが好ましく、０．１〜５ｗｔ％であるのがより好ましい。赤色発光材料の含有量をこのような範囲内とすることで、発光効率を最適化することができる。
【０１５３】
このような発光層２０４の平均厚さは、特に限定されないが、１０〜１５０ｎｍ程度であるのが好ましく、１０〜１００ｎｍ程度であるのがより好ましい。また、発光層２０４は、積層された複数の発光層で構成されていてもよく、その場合、任意の発光層間に発光しない中間層が介在していてもよい。
【０１５４】
（電子輸送層）
電子輸送層２０５は、陰極２０７から電子注入層２０６を介して注入された電子を発光層２０４に輸送する機能を有するものである。
【０１５５】
電子輸送層２０５の構成材料（電子輸送材料）としては、例えば、トリス（８−キノリノラト）アルミニウム（Ａｌｑ３）等の８−キノリノールなしいその誘導体を配位子とする有機金属錯体等のキノリン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ペリレン誘導体、ピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、キノキサリン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、ニトロ置換フルオレン誘導体等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【０１５６】
電子輸送層２０５の平均厚さは、特に限定されないが、０．５〜１００ｎｍ程度であるのが好ましく、１〜５０ｎｍ程度であるのがより好ましい。
なお、この電子輸送層２０５は、省略することができる。
【０１５７】
（電子注入層）
電子注入層２０６は、陰極２０７からの電子注入効率を向上させる機能を有するものである。
【０１５８】
この電子注入層２０６の構成材料（電子注入材料）としては、例えば、各種の無機絶縁材料、各種の無機半導体材料が挙げられる。
【０１５９】
このような無機絶縁材料としては、例えば、アルカリ金属カルコゲナイド（酸化物、硫化物、セレン化物、テルル化物）、アルカリ土類金属カルコゲナイド、アルカリ金属のハロゲン化物およびアルカリ土類金属のハロゲン化物等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。これらを主材料として電子注入層を構成することにより、電子注入性をより向上させることができる。特にアルカリ金属化合物（アルカリ金属カルコゲナイド、アルカリ金属のハロゲン化物等）は仕事関数が非常に小さく、これを用いて電子注入層２０６を構成することにより、発光素子２００は、高い輝度が得られるものとなる。
【０１６０】
アルカリ金属カルコゲナイドとしては、例えば、Ｌｉ２Ｏ、ＬｉＯ、Ｎａ２Ｓ、Ｎａ２Ｓｅ、ＮａＯ等が挙げられる。
【０１６１】
アルカリ土類金属カルコゲナイドとしては、例えば、ＣａＯ、ＢａＯ、ＳｒＯ、ＢｅＯ、ＢａＳ、ＭｇＯ、ＣａＳｅ等が挙げられる。
【０１６２】
アルカリ金属のハロゲン化物としては、例えば、ＣｓＦ、ＬｉＦ、ＮａＦ、ＫＦ、ＬｉＣｌ、ＫＣｌ、ＮａＣｌ等が挙げられる。
【０１６３】
アルカリ土類金属のハロゲン化物としては、例えば、ＣａＦ２、ＢａＦ２、ＳｒＦ２、ＭｇＦ２、ＢｅＦ２等が挙げられる。
【０１６４】
また、無機半導体材料としては、例えば、Ｌｉ、Ｎａ、Ｂａ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｙｂ、Ａｌ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｃｄ、Ｍｇ、Ｓｉ、Ｔａ、ＳｂおよびＺｎのうちの少なくとも１つの元素を含む酸化物、窒化物または酸化窒化物等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【０１６５】
電子注入層２０６の平均厚さは、特に限定されないが、０．１〜１０００ｎｍ程度であるのが好ましく、０．２〜１００ｎｍ程度であるのがより好ましく、０．２〜５０ｎｍ程度であるのがさらに好ましい。
なお、この電子注入層２０６は、省略することができる。
【０１６６】
（電子機器）
図８は、電子機器の一例であるモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
【０１６７】
この図において、パーソナルコンピュータ１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部を備える表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
【０１６８】
このパーソナルコンピュータ１１００において、表示ユニット１１０６が備える表示部が前述の表示装置３００で構成されている。
【０１６９】
図９は、電子機器の一例である携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【０１７０】
この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６とともに、表示部を備えている。
携帯電話機１２００において、この表示部が前述の表示装置３００で構成されている。
【０１７１】
図１０は、電子機器の一例であるディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
【０１７２】
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）等の撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【０１７３】
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。
【０１７４】
ディジタルスチルカメラ１３００において、この表示部が前述の表示装置３００で構成されている。
【０１７５】
ケースの内部には、回路基板１３０８が設置されている。この回路基板１３０８は、撮像信号を格納（記憶）し得るメモリが設置されている。
【０１７６】
また、ケース１３０２の正面側（図示の構成では裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤ等を含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【０１７７】
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、回路基板１３０８のメモリに転送・格納される。
【０１７８】
また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示のように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニタ１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピュータ１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、回路基板１３０８のメモリに格納された撮像信号が、テレビモニタ１４３０や、パーソナルコンピュータ１４４０に出力される構成になっている。
【０１７９】
なお、電子機器は、図８のパーソナルコンピュータ（モバイル型パーソナルコンピュータ）、図９の携帯電話機、図１０のディジタルスチルカメラの他にも、例えば、テレビや、ビデオカメラ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器（例えば金融機関のキャッシュディスペンサー、自動券売機）、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電表示装置、超音波診断装置、内視鏡用表示装置）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレータ、その他各種モニタ類、プロジェクター等の投射型表示装置等に適用することができる。
【０１８０】
以上、本発明の機能性インク、成膜方法、液滴吐出装置、膜付デバイスおよび電子機器を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものでない。
【０１８１】
例えば、本発明の機能性インクは、正孔注入層以外の層（膜）を形成するために用いることができる。具体的には、回路基板が備える配線の成膜にも用いることができる。なお、この場合、配線を形成するための成膜材料としては、ポリアセチレン、ポリ（p−フェニレンビニレン）、ポリピロール、ポリチオフェン、ポリアニリン、ポリ（p−フェニレンスルフィド）のような導電性高分子材料を高分子材料として含有するものが挙げられる。
【実施例】
【０１８２】
次に、本発明の具体的実施例について説明する。なお、以下で記載する特性は、いずれも室温におけるものとする。
【０１８３】
（実施例Ａ）
１．機能性インクの作成
上述したような成膜材料および液性媒体を用いて、動粘性係数が２．５×１０−７〜２３５×１０−７ｍ２／ｓの範囲、静的粘性係数が０．３×１０−３〜２０×１０−３Ｐａ・ｓの範囲で、密度が１，２００ｋｇ／ｍ３、溶存窒素ガス量が５０ｐｐｍ以下を満足する異なるサンプルＮｏ．１Ａ〜１２Ａの機能性インクを作成した。
【０１８４】
２．７２時間連続吐出検査
図１等に示す液滴吐出装置によりサンプルＮｏ．１Ａ〜１２Ａの機能性インクを７２時間連続して吐出し、その吐出安定性を検査した。なお、各供給経路を構成するチューブの内径を１０×１０−３ｍとし、チューブを通過する際の機能性インクの速度を２ｍ／ｓとした。
【０１８５】
７２時間経過後において、機能性インクを安定的に吐出できた場合を「ＯＫ」、７２時間経過以前に、機能性インクの安定的に吐出するのが不可能となった場合（ノズル抜けの発生等が生じた場合）を「ＮＧ」とした。
【０１８６】
３．レイノルズ数の計算
レイノルズ数Ｒｅは、以下の式に従って計算した。
【０１８７】
【数１】
2016193983.tif 000002
【０１８８】
なお、ρは、機能性インクの密度（ｋｇ／ｍ３）、ｖは、供給経路１４８、１４９ｂを通過する際の機能性インクの速度（ｍ／ｓ）、μは、機能性インクの静的粘性係数（Ｐａ・ｓ）、ＤＨは、供給経路１４８、１４９ｂを構成するチューブの内径（ｍ）を示す。
この結果を、以下の表１に示す。
【０１８９】
【表１】
2016193983.tif 000003
【０１９０】
（実施例Ｂ）
１．機能性インクの作成
密度が８５０ｋｇ／ｍ３となるようにした以外は、実施例Ａと同様にしてサンプルＮｏ．１Ｂ〜１２Ｂの機能性インクを作成した。
【０１９１】
２．７２時間連続吐出検査
実施例Ａと同様にして、７２時間連続吐出検査を行った。
【０１９２】
３．レイノルズ数の計算
実施例Ａと同様にして、レイノルズ数を計算した。
【０１９３】
【表２】
2016193983.tif 000004
【０１９４】
（実施例Ｃ）
１．機能性インクの作成
実施例Ａと同様にしてサンプルＮｏ．１Ｃ〜１２Ｃの機能性インクを作成した。
【０１９５】
２．７２時間連続吐出検査
チューブを通過する際の機能性インクの速度を０．１ｍ／ｓとした以外は、実施例Ａと同様にして、７２時間連続吐出検査を行った。
【０１９６】
３．レイノルズ数の計算
実施例Ａと同様にして、レイノルズ数を計算した。
【０１９７】
【表３】
2016193983.tif 000005
【０１９８】
（実施例Ｄ）
１．機能性インクの作成
実施例Ｂと同様にしてサンプルＮｏ．１Ｄ〜１２Ｄの機能性インクを作成した。
【０１９９】
２．７２時間連続吐出検査
実施例Ｃと同様にして、７２時間連続吐出検査を行った。
【０２００】
３．レイノルズ数の計算
実施例Ａと同様にして、レイノルズ数を計算した。
【０２０１】
【表４】
2016193983.tif 000006
【０２０２】
（実施例Ｅ）
１．機能性インクの作成
実施例Ａと同様にしてサンプルＮｏ．１Ｅ〜１２Ｅの機能性インクを作成した。
【０２０３】
２．７２時間連続吐出検査
供給経路を構成するチューブの内径を０．１×１０−３ｍとしとした以外は、実施例Ａと同様にして、７２時間連続吐出検査を行った。
【０２０４】
３．レイノルズ数の計算
実施例Ａと同様にして、レイノルズ数を計算した。
【０２０５】
【表５】
2016193983.tif 000007
【０２０６】
（実施例Ｆ）
１．機能性インクの作成
実施例Ｂと同様にしてサンプルＮｏ．１Ｆ〜１２Ｆの機能性インクを作成した。
【０２０７】
２．７２時間連続吐出検査
実施例Ｅと同様にして、７２時間連続吐出検査を行った。
【０２０８】
３．レイノルズ数の計算
実施例Ａと同様にして、レイノルズ数を計算した。
【０２０９】
【表６】
2016193983.tif 000008
【０２１０】
（実施例Ｇ）
１．機能性インクの作成
実施例Ａと同様にしてサンプルＮｏ．１Ｇ〜１２Ｇの機能性インクを作成した。
【０２１１】
２．７２時間連続吐出検査
チューブを通過する際の機能性インクの速度を０．１ｍ／ｓとし，供給経路を構成するチューブの内径を０．１×１０−３ｍとしとした以外は、実施例Ａと同様にして、７２時間連続吐出検査を行った。
【０２１２】
３．レイノルズ数の計算
実施例Ａと同様にして、レイノルズ数を計算した。
【０２１３】
【表７】
2016193983.tif 000009
【０２１４】
（実施例Ｈ）
１．機能性インクの作成
実施例Ｂと同様にしてサンプルＮｏ．１Ｈ〜１２Ｈの機能性インクを作成した。
【０２１５】
２．７２時間連続吐出検査
実施例Ｇと同様にして、７２時間連続吐出検査を行った。
【０２１６】
３．レイノルズ数の計算
実施例Ａと同様にして、レイノルズ数を計算した。
【０２１７】
【表８】
2016193983.tif 000010
【０２１８】
表１〜表８に示すように、室温での動粘性係数が２．５×１０−７〜２３５×１０−７ｍ２／ｓであり、室温で各供給経路内を通過する際のレイノルズ数が２，３００以下となるように調整された機能性インクは、いずれも７２時間経過後においても問題なく吐出が可能であった。これに対して、上記特性を有するように調整されていない機能性インクは、いずれも７２時間経過以前において、安定的な吐出が不可能となった。
【符号の説明】
【０２１９】
２‥‥記録媒体
６‥‥液滴吐出装置
７‥‥基台
７ａ‥‥上面
８‥‥案内レール
９‥‥ステージ
１０‥‥主走査位置検出装置
１１‥‥載置面
１２‥‥支持台
１３‥‥案内部材
１４‥‥カートリッジ設置部
１５‥‥案内レール
１６‥‥キャリッジ
１７‥‥副走査位置検出装置
１８‥‥ヘッドユニット
１９‥‥吐出検査装置
２０‥‥基材
２２‥‥液滴吐出ヘッド
２３‥‥ノズルプレート
２４‥‥吐出ノズル
２５‥‥キャビティ
２６‥‥機能性インク
２７‥‥振動板
２８‥‥圧電素子
２９‥‥液滴
２９Ｃ‥‥液状被膜
２９Ｆ‥‥膜
４１‥‥制御装置
４２‥‥ＣＰＵ
４３‥‥メモリー
４４‥‥主走査駆動装置
４５‥‥副走査駆動装置
４６‥‥入出力インターフェイス
４７‥‥データバス
４８‥‥ヘッド駆動回路
４９‥‥入力装置
５０‥‥表示装置
５１‥‥プログラムソフト
５２‥‥吐出位置データ
５３‥‥駆動電圧データ
５４‥‥駆動波形データ
５５‥‥吐出計画データ
５６‥‥描画制御部
５７‥‥主走査制御部
５８‥‥副走査制御部
５９‥‥吐出制御部
６０‥‥着弾特性補正制御部
６１‥‥吐出条件設定部
６２‥‥吐出計画設定部
１１０‥‥インク供給機構駆動回路
１０１‥‥インク供給機構
Ｐａ‥‥取り入れ口
Ｃ（１０２ａ、１０２ｂ）‥‥カートリッジ
１０３（１０３ａ〜１０３ｃ）‥‥中間貯留部
１０４（１０４ａ〜１０４ｅ）‥‥液面検出センサー
１０５‥‥レギュレーター
１０６、１０７‥‥フィルター
１０８‥‥液位センサー
１０９‥‥圧力調整弁
１４０‥‥開放経路
１４１〜１４７‥‥開閉バルブ
１４８、１４９（１４９ａ〜１４９ｃ）‥‥供給経路
２００‥‥発光素子
２００Ｂ‥‥発光素子
２００Ｇ‥‥発光素子
２００Ｒ‥‥発光素子
２０１‥‥陽極
２０２‥‥正孔注入層
２０３‥‥正孔輸送層
２０４‥‥発光層
２０５‥‥電子輸送層
２０６‥‥電子注入層
２０７‥‥陰極
２０８‥‥積層体
２０８Ｂ‥‥積層体
２０８Ｇ‥‥積層体
２０８Ｒ‥‥積層体
３００‥‥表示装置
３００Ｂ‥‥サブ画素
３００Ｇ‥‥サブ画素
３００Ｒ‥‥サブ画素
３０１‥‥基板
３０２‥‥スイッチング素子
３０２ａ‥‥半導体層
３０２ｂ‥‥ゲート絶縁層
３０２ｃ‥‥ゲート電極
３０２ｄ‥‥ソース電極
３０２ｅ‥‥ドレイン電極
３０３‥‥平坦化層
３０４‥‥反射膜
３０５‥‥腐食防止膜
３０６‥‥陰極カバー
３０７‥‥導電部
３０８‥‥隔壁
３０９‥‥樹脂層
３１０‥‥基板
１１００‥‥パーソナルコンピュータ
１１０２‥‥キーボード
１１０４‥‥本体部
１１０６‥‥表示ユニット
１２００‥‥携帯電話機
１２０２‥‥操作ボタン
１２０４‥‥受話口
１２０６‥‥送話口
１３００‥‥ディジタルスチルカメラ
１３０２‥‥ケース
１３０４‥‥受光ユニット
１３０６‥‥シャッタボタン
１３０８‥‥回路基板
１３１２‥‥ビデオ信号出力端子
１３１４‥‥入出力端子
１４３０‥‥テレビモニタ
１４４０‥‥パーソナルコンピュータ
【図１】
2016193983.tif 000011
【図２】
2016193983.tif 000012
【図３】
2016193983.tif 000013
【図４】
2016193983.tif 000014
【図５】
2016193983.tif 000015
【図６】
2016193983.tif 000016
【図７】
2016193983.tif 000017
【図８】
2016193983.tif 000018
【図９】
2016193983.tif 000019
【図１０】
2016193983.tif 000020