(57)【要約】【課題】バンクの撥液性と、基板の親液性とを両立することができ、基材との密着性に優れた硬化膜の形成を可能にするポジ型感光性樹脂組成物及び硬化膜を提供すること。【解決手段】ノボラック樹脂（Ａ）、感光剤（Ｂ）、エポキシ基及びオキセタニル基よりなる群から選択される少なくとも１つを有するフッ素樹脂（Ｃ）並びに架橋剤（Ｄ）を含有するポジ型感光性樹脂組成物。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノボラック樹脂（Ａ）、感光剤（Ｂ）、エポキシ基及びオキセタニル基よりなる群から選択される少なくとも１つを有するフッ素樹脂（Ｃ）並びに架橋剤（Ｄ）を含有するポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項２】
前記フッ素樹脂（Ｃ）は、少なくとも、エチレン性不飽和基含有フッ素系モノマー（ｃ１）と、エポキシ基又はオキセタニル基を含有するエチレン性不飽和基含有モノマー（ｃ２）とを重合させた共重合体である、請求項１に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項３】
前記フッ素樹脂（Ｃ）は、前記エチレン性不飽和基含有フッ素系モノマー（ｃ１）に基づくモノマー単位の含有量が３０〜８０質量％であり、前記エポキシ基又はオキセタニル基を含有するエチレン性不飽和基含有モノマー（ｃ２）に基づくモノマー単位の含有量が１〜４０質量％である、請求項２に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項４】
前記感光剤（Ｂ）は、キノンジアジド基含有化合物である、請求項１〜３のいずれか１項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項５】
更に、シランカップリング剤（Ｅ）を含有する、請求項１〜４のいずれか１項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項６】
前記シランカップリング剤（Ｅ）は、エポキシ基を有する、請求項５に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載のポジ型感光性樹脂組成物を用いて形成された、硬化膜。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポジ型感光性樹脂組成物及び硬化膜に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、有機ＥＬ表示素子、液晶素子、有機ＴＦＴアレイ、カラーフィルタ等の光学素子は、基板上に、画素を取り囲むバンク（隔壁）として硬化膜のパターンを形成した後に、バンクに囲まれた領域内に、種々の機能層を積層して製造されている。硬化膜のパターンは、寸法精度の良好な微細なパターンを容易に形成できることから、ポジ型感光性樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィー法により形成するのが好ましい。この場合、ポジ型感光性樹脂組成物には、現像工程やベーク工程を経ても基材との密着性に優れた硬化膜パターンを形成できることが要求される。
【０００３】
また、バンクに囲まれた画素領域等の領域内に、種々の機能層を積層する方法としては、機能層を構成するインク等の材料を、バンクに囲まれた領域内に注入する方法が知られている。この方法では、所定量の材料を、所定の箇所に正確に注入しやすいことから、インクジェット法が採用されることが多い。
【０００４】
インクを用いて画素を形成する場合、バンクへのインクの付着の予防や、バンクを超えて隣の画素にインクが溢れることを防ぐ目的等で、バンクに撥インク性ないし撥液性を付与することが求められる。バンクに撥液性を付与する方法としては、ポジ型感光性樹脂組成物にフッ素系撥液材料を含有させる方法が提案されている（例えば、特許文献１及び２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−２５１３２７号公報
【特許文献２】特開２０１２−２２０８５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、バンクに囲まれた領域内に注入するインクに対し、基板には、画素ハジキ等を生じないように、親インク性ないし親液性が求められる。バンクの撥液性と、基板の親液性とを両立することは困難であった。
【０００７】
本発明は、上記の課題に鑑み、バンクの撥液性と、基板の親液性とを両立することができ、好ましくは更に、基材との密着性に優れた硬化膜の形成を可能にするポジ型感光性樹脂組成物及び硬化膜を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、ノボラック樹脂（Ａ）及び感光剤（Ｂ）を含有するポジ型感光性樹脂組成物に、エポキシ基及びオキセタニル基よりなる群から選択される少なくとも１つを有するフッ素樹脂（Ｃ）と架橋剤（Ｄ）とを含有することにより上記の課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００９】
本発明の第一の態様は、ノボラック樹脂（Ａ）、感光剤（Ｂ）、エポキシ基及びオキセタニル基よりなる群から選択される少なくとも１つを有するフッ素樹脂（Ｃ）並びに架橋剤（Ｄ）を含有するポジ型感光性樹脂組成物である。
本発明の第二の態様は、第一の態様に係るポジ型感光性樹脂組成物を用いて形成された、硬化膜である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、バンクの撥液性と、基板の親液性とを両立することができ、好ましくは更に、基材との密着性に優れた硬化膜の形成を可能にするポジ型感光性樹脂組成物及び硬化膜を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明のポジ型感光性樹脂組成物について説明する。
本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、ノボラック樹脂（Ａ）、感光剤（Ｂ）、エポキシ基及びオキセタニル基よりなる群から選択される少なくとも１つを有するフッ素樹脂（Ｃ）並びに架橋剤（Ｄ）を含有する。
【００１２】
＜ノボラック樹脂（Ａ）＞
ノボラック樹脂（Ａ）としては、従来から感光性樹脂組成物に配合されている種々のノボラック樹脂を用いることができる。ノボラック樹脂（Ａ）としては、フェノール性水酸基を有する芳香族化合物（以下、単に「フェノール類」という。）とアルデヒド類とを酸触媒下で付加縮合させることにより得られるものが好ましい。
【００１３】
〔フェノール類〕
フェノール類としては、例えば、フェノール；ｏ−クレゾール、ｍ−クレゾール、ｐ−クレゾール等のクレゾール類；２，３−キシレノール、２，４−キシレノール、２，５−キシレノール、２，６−キシレノール、３，４−キシレノール、３，５−キシレノール等のキシレノール類；ｏ−エチルフェノール、ｍ−エチルフェノール、ｐ−エチルフェノール等のエチルフェノール類；２−イソプロピルフェノール、３−イソプロピルフェノール、４−イソプロピルフェノール、ｏ−ブチルフェノール、ｍ−ブチルフェノール、ｐ−ブチルフェノール、並びにｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール等のアルキルフェノール類；２，３，５−トリメチルフェノール、及び３，４，５−トリメチルフェノール等のトリアルキルフェノール類；レゾルシノール、カテコール、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ピロガロール、及びフロログリシノール等の多価フェノール類；アルキルレゾルシン、アルキルカテコール、及びアルキルハイドロキノン等のアルキル多価フェノール類（何れのアルキル基も炭素数１以上４以下である。）；α−ナフトール；β−ナフトール；ヒドロキシジフェニル；並びにビスフェノールＡ等が挙げられる。これらのフェノール類は、単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００１４】
これらのフェノール類の中でも、ｍ−クレゾール及びｐ−クレゾールが好ましく、ｍ−クレゾールとｐ−クレゾールとを併用することがより好ましい。この場合、両者の配合割合を調整することにより、ポジ型感光性樹脂組成物としての感度や、形成される硬化膜の耐熱性等の諸特性を調節することができる。ｍ−クレゾールとｐ−クレゾールの配合割合は特に限定されるものではないが、ｍ−クレゾール／ｐ−クレゾールの質量比で、３／７以上８／２以下が好ましい。ｍ−クレゾールの割合が３／７以上であると、ポジ型感光性樹脂組成物としての感度を向上させることができ、８／２以下であると、硬化膜の耐熱性を向上させることができる。
【００１５】
〔アルデヒド類〕
アルデヒド類としては、例えば、ホルムアルデヒド、パラホルムアルデヒド、フルフラール、ベンズアルデヒド、ニトロベンズアルデヒド、及びアセトアルデヒド等が挙げられる。これらのアルデヒド類は、単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００１６】
〔酸触媒〕
酸触媒としては、例えば、塩酸、硫酸、硝酸、リン酸、及び亜リン酸等の無機酸類；蟻酸、シュウ酸、酢酸、ジエチル硫酸、及びパラトルエンスルホン酸等の有機酸類；並びに酢酸亜鉛等の金属塩類等が挙げられる。これらの酸触媒は、単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００１７】
〔分子量〕
ノボラック樹脂（Ａ）のポリスチレン換算の質量平均分子量（Ｍｗ；以下、単に「質量平均分子量」ともいう。）は、ポジ型感光性樹脂組成物の現像性、解像性等の観点から、下限値として１０００が好ましく、２０００がより好ましく、３０００が更に好ましく、上限値として５００００が好ましく、４００００がより好ましく、３００００が更に好ましく、２００００が更により好ましい。
【００１８】
ノボラック樹脂（Ａ）としては、ポリスチレン換算の質量平均分子量が異なるものを少なくとも２種組み合わせて用いることができる。質量平均分子量が異なるものを大小組み合わせて用いることにより、ポジ型感光性樹脂組成物に現像性、解像性、成膜性等の多面的な優れた特性を付与することができる。
ノボラック樹脂（Ａ）として、質量平均分子量が異なる樹脂の組合せとしては、特に限定されないが、質量平均分子量が１０００〜１００００である低質量平均分子量側の樹脂と、質量平均分子量が５０００〜５００００である高質量平均分子量側の樹脂との組合せが好ましく、質量平均分子量が２０００〜８０００である低質量平均分子量側の樹脂と、質量平均分子量が８０００〜４００００である高質量平均分子量側の樹脂との組合せがより好ましく、質量平均分子量が３０００〜７０００である低質量平均分子量側の樹脂と、質量平均分子量が１００００〜２００００である高質量平均分子量側の樹脂との組合せが更に好ましい。
【００１９】
ノボラック樹脂（Ａ）として、質量平均分子量が異なる樹脂を組合せて用いる場合、それぞれの含有率は特に限定されないが、ノボラック樹脂（Ａ）の全量における低質量平均分子量側の樹脂の含有率は、下限値として５質量％が好ましく、１０質量％がより好ましく、１５質量％が更に好ましく、上限値として５０質量％が好ましく、４０質量％がより好ましい。
【００２０】
本発明のポジ型感光性樹脂組成物におけるノボラック樹脂（Ａ）の含有率は、下限値として５０質量％が好ましく、６０質量％がより好ましく、７０質量％が更に好ましく、上限値として９０質量％が好ましく、８５質量％がより好ましい。上記範囲内とすることにより、他の成分によるバンクの撥液性と基板の親液性とを両立しつつ、基材との密着性にも優れた硬化膜を形成することができるポジ型感光性樹脂組成物を得やすい。
【００２１】
＜感光剤（Ｂ）＞
本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、感光剤（Ｂ）を含有する。感光剤（Ｂ）としては、特に限定されないが、キノンジアジド基含有化合物が好ましい。キノンジアジド基含有化合物としては、例えば、２，３，４−トリヒドロキシベンゾフェノン、２，４，４’−トリヒドロキシベンゾフェノン、２，４，６−トリヒドロキシベンゾフェノン、２，３，６−トリヒドロキシベンゾフェノン、２，３，４−トリヒドロキシ−２’−メチルベンゾフェノン、２，３，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノン、２，２’，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノン、２，３’，４，４’，６−ペンタヒドロキシベンゾフェノン、２，２’，３，４，４’−ペンタヒドロキシベンゾフェノン、２，２’，３，４，５−ペンタヒドロキシベンゾフェノン、２，３’，４，４’，５’，６−ヘキサヒドロキシベンゾフェノン、２，３，３’，及び４，４’，５’−ヘキサヒドロキシベンゾフェノン等のポリヒドロキシベンゾフェノン類；ビス（２，４−ジヒドロキシフェニル）メタン、ビス（２，３，４−トリヒドロキシフェニル）メタン、２−（４−ヒドロキシフェニル）−２−（４’−ヒドロキシフェニル）プロパン、２−（２，４−ジヒドロキシフェニル）−２−（２’，４’−ジヒドロキシフェニル）プロパン、２−（２，３，４−トリヒドロキシフェニル）−２−（２’，３’，４’−トリヒドロキシフェニル）プロパン、４，４’−｛１−［４−〔２−（４−ヒドロキシフェニル）−２−プロピル〕フェニル］エチリデン｝ビスフェノール、及び３，３’−ジメチル−｛１−［４−〔２−（３−メチル−４−ヒドロキシフェニル）−２−プロピル〕フェニル］エチリデン｝ビスフェノール等のビス［（ポリ）ヒドロキシフェニル］アルカン類；トリス（４−ヒドロキシフェニル）メタン、ビス（４−ヒドロキシ−３、５−ジメチルフェニル）−４−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（４−ヒドロキシ−２，５−ジメチルフェニル）−４−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（４−ヒドロキシ−３，５−ジメチルフェニル）−２−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（４−ヒドロキシ−２，５−ジメチルフェニル）−２−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（４−ヒドロキシ−２，５−ジメチルフェニル）−３，４−ジヒドロキシフェニルメタン、及びビス（４−ヒドロキシ−３，５−ジメチルフェニル）−３，４−ジヒドロキシフェニルメタン等のトリス（ヒドロキシフェニル）メタン類又はそのメチル置換体；ビス（３−シクロヘキシル−４−ヒドロキシフェニル）−３−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（３−シクロヘキシル−４−ヒドロキシフェニル）−２−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（３−シクロヘキシル−４−ヒドロキシフェニル）−４−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（５−シクロヘキシル−４−ヒドロキシ−２−メチルフェニル）−２−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（５−シクロヘキシル−４−ヒドロキシ−２−メチルフェニル）−３−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（５−シクロヘキシル−４−ヒドロキシ−２−メチルフェニル）−４−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（３−シクロヘキシル−２−ヒドロキシフェニル）−３−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（５−シクロヘキシル−４−ヒドロキシ−３−メチルフェニル）−４−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（５−シクロヘキシル−４−ヒドロキシ−３−メチルフェニル）−３−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（５−シクロヘキシル−４−ヒドロキシ−３−メチルフェニル）−２−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（３−シクロヘキシル−２−ヒドロキシフェニル）−４−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（３−シクロヘキシル−２−ヒドロキシフェニル）−２−ヒドロキシフェニルメタン、ビス（５−シクロヘキシル−２−ヒドロキシ−４−メチルフェニル）−２−ヒドロキシフェニルメタン、及びビス（５−シクロヘキシル−２−ヒドロキシ−４−メチルフェニル）−４−ヒドロキシフェニルメタン等のビス（シクロヘキシルヒドロキシフェニル）（ヒドロキシフェニル）メタン類又はそのメチル置換体；フェノール、ｐ−メトキシフェノール、ジメチルフェノール、ヒドロキノン、ナフトール、ピロカテコール、ピロガロール、ピロガロールモノメチルエーテル、ピロガロール−１，３−ジメチルエーテル、没食子酸、アニリン、ｐ−アミノジフェニルアミン、及び４，４’−ジアミノベンゾフェノン等の水酸基又はアミノ基を有する化合物；並びにノボラック、ピロガロール−アセトン樹脂、及びｐ−ヒドロキシスチレンのホモポリマー又はこれと共重合し得るモノマーとの共重合体等と、キノンジアジド基含有スルホン酸との完全エステル化合物、部分エステル化合物、アミド化物、又は部分アミド化物等が挙げられる。これらの感光剤は、単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００２２】
上記キノンジアジド基含有スルホン酸としては、特に限定されないが、例えば、ナフトキノン−１，２−ジアジド−５−スルホン酸、ナフトキノン−１，２−ジアジド−４−スルホン酸等のナフトキノンジアジドスルホン酸；オルトアントラキノンジアジドスルホン酸等が挙げられ、ナフトキノンジアジドスルホン酸が好ましい。キノンジアジド基含有スルホン酸、好ましくはナフトキノンジアジドスルホン酸の上記エステル化合物は、ポジ型感光性樹脂組成物を溶液として使用する際に通常用いられる溶剤によく溶解し、且つノボラック樹脂（Ａ）との相溶性が良好である。これらの化合物を感光剤（Ｂ）として、ポジ型感光性樹脂組成物に配合すると、高感度のポジ型感光性樹脂組成物を得やすい。
【００２３】
感光剤（Ｂ）としての上記エステル化合物の製造方法としては、特に限定されず、例えば、キノンジアジド基含有スルホン酸を、例えば、ナフトキノン−１，２−ジアジド−スルホニルクロリド等のスルホニルクロリドとして添加し、ジオキサンのような溶媒中において、トリエタノールアミン、炭酸アルカリ、炭酸水素アルカリ等のアルカリの存在下で縮合させ、完全エステル化又は部分エステル化する方法等が挙げられる。
【００２４】
感光剤（Ｂ）の含有量は、ポジ型感光性樹脂組成物の感度の点から、ノボラック樹脂（Ａ）１００質量部に対して、下限値として５質量部が好ましく、１０質量部がより好ましく、上限値として１００質量部が好ましく、５０質量部がより好ましく、３０質量部が更に好ましい。
【００２５】
＜フッ素樹脂（Ｃ）＞
本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、エポキシ基及びオキセタニル基よりなる群から選択される少なくとも１つを有するフッ素樹脂（Ｃ）を含有する。
本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、エポキシ基及びオキセタニル基よりなる群から選択される少なくとも１つを有することにより、現像後の基材に親液性を有し、基材との密着性に優れた硬化膜が得られ、また、硬化膜の緊密性を高めることができ、かかるフッ素樹脂（Ｃ）を含有することにより、更に、得られる硬化膜に撥液性を付与することができる。
【００２６】
本明細書において、エポキシ基とは、オキシラン環構造を有する基を意味し、オキシラン（Ｃ２Ｈ４Ｏ）が有する１個又は２個の水素原子を除いた基（本明細書において、以下、「非脂環式エポキシ基」ともいう。）及び脂環式エポキシ基を含む概念である。
本明細書において、脂環式エポキシ基とは、脂環式化合物の脂環式構造を形成する炭素原子のうちの２個の炭素原子（通常は互いに隣接する炭素原子）に共通の酸素原子１個が結合して形成されたエポキシ基をいう。
本明細書において、オキセタニル基とは、オキセタン（Ｃ３Ｈ６Ｏ）が有する１個又は２個の水素原子を除いた基を意味する。
【００２７】
フッ素樹脂（Ｃ）としては、本発明のポジ型感光性樹脂組成物を用いて形成される硬化膜に撥液性を付与するものであれば特に限定されないが、エポキシ基及びオキセタニル基よりなる群から選択される少なくとも１つを有するエチレン性不飽和基含有モノマーを少なくとも用いて重合させた重合体からなることが好ましく、少なくとも、エチレン性不飽和基含有フッ素系モノマー（ｃ１）（以下、「（ｃ１）成分」ともいう。）と、エポキシ基又はオキセタニル基を含有するエチレン性不飽和基含有モノマー（ｃ２）（以下、「（ｃ２）成分」ともいう。）とを重合させた共重合体からなることがより好ましい。
【００２８】
〔エチレン性不飽和基含有フッ素系モノマー（ｃ１）〕
（ｃ１）成分としては、下記式（ｃ−１）で表される化合物等が挙げられる。
【００２９】
【化１】
2016040577.tif 000002
（式中、Ｘ１及びＸ２はそれぞれ独立に水素原子又はフッ素原子を示し、Ｘ３は水素原子、フッ素原子、メチル基、又はパーフルオロメチル基を示し、Ｘ４及びＸ５は水素原子、フッ素原子、又はパーフルオロメチル基を示し、Ｒｆは炭素数１〜４０の含フッ素アルキル基又は炭素数２〜１００のエーテル性酸素原子を有する含フッ素アルキル基を示し、ａは０〜３の整数を示し、ｂ及びｃはそれぞれ独立に０又は１を示す。）
【００３０】
また、（ｃ１）成分は、−（ＣＦ２）ｄＦ（ｄ＝１〜１０）で表されるパーフルオロアルキル基を有するものが好ましい。ｄは、下限値として１が好ましく、２がより好ましく、上限値として８が好ましく、６がより好ましい。かかるパーフルオロアルキル基は、上記式（ｃ−１）におけるＸ３、Ｘ４及び／若しくはＸ５で表される基であるか並びに／又はＲｆで表される基の全部若しくは一部であってもよいが、Ｒｆで表される基の全部又は一部であることが好ましい。パーフルオロアルキル基を有することにより、得られる硬化膜に優れた撥液性を付与することができる。
【００３１】
フッ素樹脂（Ｃ）における、（ｃ１）成分に基づくモノマー単位の含有率は、下限値として３０質量％が好ましく、４０質量％がより好ましく、上限値として８０質量％が好ましく、７０質量％がより好ましく、６０質量％が更に好ましい。上記範囲内とすることにより、ポジ型感光性樹脂組成物の他の成分との相溶性を維持しつつ、得られる硬化膜に優れた撥液性を付与する傾向がある。
【００３２】
〔エポキシ基又はオキセタニル基を含有するエチレン性不飽和基含有モノマー（ｃ２）〕
（ｃ２）成分としては、エポキシ基又はオキセタニル基と、エチレン性不飽和基とを少なくとも有する化合物であれば特に限定されない。
（ｃ２）成分が有するエチレン性不飽和基としては、特に限定されないが、（メタ）アクリル基及びビニル基が好ましく、（メタ）アクリル基がより好ましい。
【００３３】
（ｃ２）成分としては、下記式（ｃ−２）で表されるモノマーが好ましい。
【化２】
2016040577.tif 000003
【００３４】
上記式中、Ｒｃ１は水素原子又はメチル基を示し、ｅは０又は１を示し、Ｒｃ２は単結合、−Ｒｃ４−、−Ｒｃ４−Ｏ−＊、−Ｒｃ４−Ｓ−＊、−Ｒｃ４−ＮＨ−＊を示し（Ｒｃ４は、炭素原子数１〜６のアルキレン基を示し、＊は、Ｒｃ３との結合手を示す。）、Ｒｃ３はエポキシ基及びオキセタニル基からなる群より選択される基を少なくとも１つ有する有機基を示し、Ｒｃ３においてＲｃ２と直接結合する炭素原子は、環を構成する原子の一つである。
上記式（ｃ−２）におけるＲｃ３が有する環としては、エポキシ基が構成する環又はオキセタニル基が構成する環を少なくとも含み、必要に応じ更にシクロアルキレン基等の異なる環も含んでもよい。
【００３５】
（ｃ２）成分が有するエポキシ基又はオキセタニル基としては、脂環式エポキシ基、非脂環式エポキシ基、オキセタニル基が挙げられ、得られる硬化膜の撥液性及び基板の親液性の観点から、脂環式エポキシ基が好ましい。
脂環式エポキシ基を構成する脂環式基は、単環であっても多環であってもよい。単環の脂環式基としては、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等が挙げられる。また、多環の脂環式基としては、ノルボルニル基、イソボルニル基、トリシクロノニル基、トリシクロデシル基、テトラシクロドデシル基等が挙げられる。
【００３６】
（ｃ２）成分としては、エポキシ基を有する不飽和化合物（ｃ２−Ｉ）、オキセタニル基を有する不飽和化合物（ｃ２−ＩＩ）が挙げられる。エポキシ基を有する不飽和化合物（ｃ２−Ｉ）としては、脂環式エポキシ基を有する不飽和化合物（ｃ２−Ｉａ）、非脂環式エポキシ基を有する不飽和化合物（ｃ２−Ｉｂ）が挙げられる。
【００３７】
脂環式エポキシ基を有する不飽和化合物（ｃ２−Ｉａ）としては、脂環式エポキシ基を有するビニルモノマー、脂環式エポキシ基を有する（メタ）アクリレートモノマーが好ましく、例えば、下記式（ｃ２−１）〜（ｃ２−１５）で表される化合物等が挙げられる。
【００３８】
【化３】
2016040577.tif 000004
【００３９】
【化４】
2016040577.tif 000005
【００４０】
【化５】
2016040577.tif 000006
【００４１】
上記式中、Ｒｃ５は炭素数１〜１０の２価の炭化水素基を示し、ｆは０〜１０の整数を示し、Ｒｃ１及びＲｃ２はそれぞれ独立に、上記と同じである。
Ｒｃ２としては、−Ｒｃ４−が好ましく、炭素数１〜６の２価の脂肪族飽和炭化水素基がより好ましく、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、テトラメチレン基、エチルエチレン基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基等の炭素数１〜６の直鎖状又は分枝鎖状のアルキレン基が更に好ましい。Ｒｃ５としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、テトラメチレン基、エチルエチレン基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基、フェニレン基、シクロヘキシレン基、−ＣＨ２−Ｐｈ−ＣＨ２−（−Ｐｈ−はフェニレン基を示す）が好ましい。
【００４２】
上記式（ｃ２−２）で表される化合物としては、例えば、下記化合物等が挙げられる。下記化合物に関し、環において、エチレン性不飽和基とカルボニルオキシ基とを含む鎖が結合する位置は、下記化合物に示す位置に限られず、他の位置である異性体も本発明に含まれる。
【化６】
2016040577.tif 000007
【００４３】
脂環式エポキシ基を有する不飽和化合物（ｃ２−Ｉａ）としては、現像性がより適度である観点から、上記式（ｃ２−１）〜（ｃ２−５）で表される化合物が好ましく、上記式（ｃ２−１）〜（ｃ２−４）で表される化合物がより好ましく、画素ハジキをより効果的に低減するなど基材の親液性に優れ、硬化膜の基材との密着性にも優れる観点から、上記式（ｃ２−１）又は（ｃ２−３）で表される化合物が更に好ましく、上記式（ｃ２−３）で表される化合物が更により好ましい。
【００４４】
上記式（ｃ２−３）で表される化合物としても、Ｒｃ２としては、上述のように、−Ｒｃ４−が好ましく、炭素数１〜６の２価の脂肪族飽和炭化水素基がより好ましく、直鎖状又は分枝鎖状のアルキレン基、例えばメチレン基、エチレン基、プロピレン基、テトラメチレン基、エチルエチレン基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基が更に好ましいが、メチレン基、エチレン基、ｎ−プロピレン基等の炭素数１〜３の２価の脂肪族飽和炭化水素基が更により好ましく、メチレン基及びエチレン基が特に好ましい。
【００４５】
非脂環式エポキシ基を有する不飽和化合物（ｃ２−Ｉｂ）としては、特に限定されず、例えば、グリシジル（メタ）アクリレート、２−メチルグリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシブチル（メタ）アクリレート、６，７−エポキシヘプチル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸エポキシアルキルエステル類；α−エチルアクリル酸グリシジル、α−ｎ−プロピルアクリル酸グリシジル、α−ｎ−ブチルアクリル酸グリシジル、α−エチルアクリル酸６，７−エポキシヘプチル等のα−アルキルアクリル酸エポキシアルキルエステル類等が挙げられ、中でも、共重合反応性、硬化膜の強度等の観点から、グリシジル（メタ）アクリレート、２−メチルグリシジル（メタ）アクリレートが好ましい。
【００４６】
オキセタニル基を有する不飽和化合物（ｃ２−ＩＩ）としては、特に限定されず、例えば、３−メチル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン、３−エチル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン、３−メチル−３−（メタ）アクリロキシエチルオキセタン、３−エチル−３−（メタ）アクリロキシエチルオキセタン等の３−アルキル−３−（メタ）アクリロキシアルキルオキセタン等が挙げられ、中でも、共重合反応性、硬化膜の強度等の観点から、３−（メタ）アクリロキシメチル−３−メチルオキセタン、３−（メタ）アクリロキシメチル−３−エチルオキセタンが好ましい。
【００４７】
脂環式エポキシ基を有する不飽和化合物（ｃ２−Ｉａ）、非脂環式基エポキシ基を有する不飽和化合物（ｃ２−Ｉｂ）及びオキセタニル基を有する不飽和化合物（ｃ２−ＩＩ）は、それぞれ、単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００４８】
フッ素樹脂（Ｃ）における、（ｃ２）成分に基づくモノマー単位の含有率は、下限値として１質量％が好ましく、５質量％がより好ましく、１０質量％が更に好ましく、上限値として４０質量％が好ましく、３０質量％がより好ましい。上記範囲内とすることにより、ポジ型感光性樹脂組成物の他の成分との相溶性を保ちつつ、基材における親液性及び硬化膜の密着性が良好となる傾向がある。
【００４９】
〔カルボキシ基を有するエチレン性不飽和基含有モノマー（ｃ３）〕
フッ素樹脂（Ｃ）は、エチレン性不飽和基含有フッ素系モノマー（ｃ１）及びエポキシ基又はオキセタニル基を含有するエチレン性不飽和基含有モノマー（ｃ２）に加え、カルボキシ基を有するエチレン性不飽和基含有モノマー（ｃ３）（以下、「（ｃ３）成分」ともいう。）を重合させた共重合体であることがより好ましい。（ｃ３）成分を共重合させることにより、フッ素樹脂（Ｃ）の酸価を調整することができ、現像液に対する十分な溶解性を得ることができる。
【００５０】
（ｃ３）成分としては、特に限定されないが、例えば、下記式（ｃ−３）で表される化合物、マレイン酸、イタコン酸、シトラコン酸、クロトン酸等が挙げられる。中でも、（メタ）アクリル酸が好ましく、特にメタクリル酸が好ましい。
【００５１】
【化７】
2016040577.tif 000008
（式中、Ｒｃ６は水素原子又は炭素数１〜５のアルキル基を示す。）
【００５２】
フッ素樹脂（Ｃ）における、（ｃ３）成分に基づくモノマー単位の含有率は、下限値として０．１質量％が好ましく、１質量％がより好ましく、上限値として２０質量％が好ましく、１５質量％がより好ましく、１０質量％が更に好ましい。上記の範囲内とすることにより、現像液への溶解性が適度となる傾向がある。
【００５３】
〔アルキレンオキシ単位を有するエチレン性不飽和基含有モノマー（ｃ４）〕
フッ素樹脂（Ｃ）は、エチレン性不飽和基含有フッ素系モノマー（ｃ１）及びエポキシ基又はオキセタニル基を含有するエチレン性不飽和基含有モノマー（ｃ２）に加え、エチレン性不飽和基と下記式（ｃ４−１）で表される構造とを有するモノマー（ｃ４）（以下、「（ｃ４）成分」ともいう。）を重合させた共重合体であることがより好ましい。（ｃ４）成分を共重合させることにより、現像液との親和性を高めることができる。
【００５４】
【化８】
2016040577.tif 000009
（式中、Ｒｃ７は炭素数１〜５のアルキレン基を示し、ｇは１以上の整数を示し、＊はエチレン性不飽和基と直接又は間接的に結合する結合手を示す。）
【００５５】
（ｃ４）成分としては、特に限定されないが、エチレン性不飽和基と下記式（ｃ４−２）で表される構造とを有するモノマーが好ましい。
【化９】
2016040577.tif 000010
（式中、Ｒｃ８は置換基を有していてもよい炭素数１〜２０のアルキル基又は水素原子を示し、Ｒｃ７、ｇ及び＊は上記と同じ。）
【００５６】
上記式（ｃ４−１）及び（ｃ４−２）において、Ｒｃ７で示される炭素数１〜５のアルキレン基は、直鎖状であっても分岐鎖状であってもよく、炭素数１〜３のアルキレン基が好ましく、エチレン基がより好ましい。Ｒｃ８としては置換基を有していてもよい炭素数１〜２０のアルキル基が好ましく、該アルキル基は、直鎖状であっても分岐鎖状であってもよく、炭素数１〜４のアルキル基が好ましく、メチル基がより好ましい。Ｒｃ８で示されるアルキル基が有していてもよい置換基としては、カルボキシ基、水酸基、炭素数１〜５のアルコキシ基等が挙げられる。ｇとしては１〜６０の整数が好ましく、１〜３０の整数がより好ましく、１〜１０の整数が更に好ましく、１〜５の整数が更により好ましい。
【００５７】
（ｃ４）成分としては、下記式（ｃ４−３）で表される化合物等が挙げられる。
【００５８】
【化１０】
2016040577.tif 000011
（式中、Ｒｃ９は水素原子又はメチル基を示す。Ｒｃ７、Ｒｃ８及びｇは上記式と同じ。）
【００５９】
フッ素樹脂（Ｃ）における、（ｃ４）成分に基づくモノマー単位の含有率は、下限値として０．１質量％が好ましく、１質量％がより好ましく、５質量％が更に好ましく、上限値として４０質量％が好ましく、３０質量％がより好ましく、２０質量％が更に好ましい。上記の範囲内とすることにより、現像液への溶解性が適度となる傾向がある。
【００６０】
〔その他のモノマー（ｃ５）〕
フッ素樹脂（Ｃ）は、更に、その他のモノマー（ｃ５）を重合させた共重合体であってもよい。その他のモノマー（ｃ５）としては、特に限定されないが、不飽和カルボン酸エステル（以下、「（ｃ５−Ｉ）成分」ともいう。）が好ましい。不飽和カルボン酸エステル（ｃ５−Ｉ）としては、特に限定されず、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸アルキルエステル；ベンジル（メタ）アクリレート等のアリール基含有（メタ）アクリレートエステル；フマル酸モノメチル、フマル酸モノエチル等のフマル酸アルキルエステル；グリセロール（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸多価アルコールエステル；等が挙げられ、（メタ）アクリル酸アルキルエステルが好ましい。
【００６１】
フッ素樹脂（Ｃ）における、（ｃ５）成分に基づくモノマー単位の含有率は、特に限定されず、例えば、（ｃ１）〜（ｃ４）成分以外の残量とすることができる。
【００６２】
フッ素樹脂（Ｃ）としては、エチレン性不飽和基含有フッ素系モノマー（ｃ１）、エポキシ基又はオキセタニル基を含有するエチレン性不飽和基含有モノマー（ｃ２）及びカルボキシ基を有するエチレン性不飽和基含有モノマー（ｃ３）を重合させた共重合体が好ましく、上記（ｃ１）成分、（ｃ２）成分、（ｃ３）成分及びアルキレンオキシ単位を有するエチレン性不飽和基含有モノマー（ｃ４）を重合させた共重合体がより好ましく、上記（ｃ１）成分、（ｃ２）成分、（ｃ３）成分、（ｃ４）成分及び不飽和カルボン酸エステル（ｃ５−Ｉ）を重合させた共重合体が更に好ましい。
（ｃ１）成分〜（ｃ５）成分はそれぞれ、単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００６３】
（ｃ１）成分及び（ｃ２）成分並びに必要に応じ（ｃ３）〜（ｃ５）成分の少なくとも何れかの成分を反応させて共重合体を得る方法としては、公知の方法を用いることができる。
【００６４】
フッ素樹脂（Ｃ）の質量平均分子量は、特に限定されないが、下限値として２０００が好ましく、５０００がより好ましく、上限値として５００００が好ましく、２００００がより好ましい。質量平均分子量が２０００以上であると、得られる硬化膜の耐熱性、膜強度を向上させることができ、５００００以下であると、現像液に対する十分な溶解性を得ることができる。
【００６５】
フッ素樹脂（Ｃ）の含有量は、ノボラック樹脂（Ａ）１００質量部に対して、下限値として０．１質量部が好ましく、０．５質量部がより好ましく、１質量部が更に好ましく、１．５質量部が更により好ましく、上限値として１０質量部が好ましく、８質量部がより好ましく、６質量部が更に好ましく、４質量部が更により好ましい。フッ素樹脂（Ｃ）を上記含有量とすることにより、感度、現像性、解像性、撥液性のバランスがとりやすい。
【００６６】
＜架橋剤（Ｄ）＞
本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、架橋剤（Ｄ）を含有する。架橋剤（Ｄ）は、硬化膜形成の操作によってノボラック樹脂（Ａ）を架橋させることができる化合物であれば特に限定されないが、メラミン化合物、ヘキサメチレンテトラミン、尿素誘導体等のアミン系架橋剤；エポキシ化合物が好ましく、アミン系架橋剤がより好ましく、メラミン化合物が更に好ましい。本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、架橋剤（Ｄ）を含有することにより、耐水性、耐熱性、及び耐溶剤性に優れる硬化膜を形成することができる。
【００６７】
メラミン化合物としては、メラミンから誘導され得る化学構造を有する化合物であって、ノボラック樹脂（Ａ）に対して架橋剤として作用する化合物であれば特に限定されないが、下記式（ｄ１）で表される化合物が好ましい。
【００６８】
【化１１】
2016040577.tif 000012
（式中、Ｒｄ１〜Ｒｄ６はそれぞれ独立に水素原子又は−ＣＨ２−Ｏ−Ｒｄ７で表される基を示し、Ｒｄ７は水素原子又は炭素原子数１〜１０のアルキル基であり、Ｒｄ１〜Ｒｄ６の少なくとも１つは−ＣＨ２−Ｏ−Ｒｄ７で表される基である。）
【００６９】
上記式（ｄ１）において、−ＣＨ２−Ｏ−Ｒｄ７で表される基は、Ｒｄ１〜Ｒｄ６の２個以上であることが好ましい。
Ｒｄ７で示されるアルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｔ−ブチル基、ｎ−ヘキシル基等の炭素原子数１〜６のアルキル基が好ましい。
【００７０】
上記式（ｄ１）で表されるメラミン化合物としては、ヘキサメチロールメラミン、ヘキサブチロールメラミン及び部分メチロール化メラミン並びにこれらのアルキル化体；テトラメチロールベンゾグアナミン及び部分メチロール化ベンゾグアナミン並びにこれらのアルキル化；等が挙げられる。
【００７１】
エポキシ化合物としては、エポキシ基を有する化合物であって、ノボラック樹脂（Ａ）に対して架橋剤として作用する化合物であれば特に限定されない。エポキシ化合物としては、１分子中に２以上のエポキシ基を有する多官能エポキシ化合物が好ましい。尚、後述のシランカップリング剤（Ｅ）は、架橋剤（Ｄ）として使用されるエポキシ化合物には含めない。
【００７２】
エポキシ化合物としては、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、多官能脂環式エポキシ樹脂、脂肪族ポリグリシジルエーテル等が好ましい。
【００７３】
上記架橋剤（Ｄ）は、単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。
架橋剤（Ｄ）の含有量は、ノボラック樹脂（Ａ）１００質量部に対して、下限値として３質量部が好ましく、１０質量部がより好ましく、１５質量部が更に好ましく、上限値として４０質量部が好ましく、３０質量部がより好ましく、２５質量部が更に好ましい。架橋剤の含有量が３質量部以上であると、樹脂の架橋が十分であり、４０質量部以下であると、硬化膜の無色透明性及び得られる組成物の貯蔵安定性を維持することができる。
【００７４】
＜シランカップリング剤（Ｅ）＞
本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、シランカップリング剤（Ｅ）を含有するものであることが好ましい。
シランカップリング剤（Ｅ）は、ケイ素原子に結合するアルコキシ基及び／又は反応性基を介して、ノボラック樹脂（Ａ）が有するフェノール性水酸基、フッ素樹脂（Ｃ）が有するエポキシ基及び／又はオキセタニル基と反応し得るので、架橋剤として作用し、ポジ型感光性樹脂組成物を用いて形成される硬化膜を緊密化することができ、硬化膜の耐水性、耐溶剤性、耐熱性等を向上し得るほか、硬化膜のＰＣＴ密着性、パターン密着性等の基板との密着性を向上することができ、更に、硬化膜の撥液性、基材の親液性も向上することができる場合がある。
【００７５】
シランカップリング剤（Ｅ）としては、特に限定されず、例えば、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、ｎ−プロピルトリメトキシシラン、ｎ−プロピルトリエトキシシラン、ｎ−ブチルトリメトキシシラン、ｎ−ブチルトリエトキシシラン等のモノアルキルトリアルコキシシラン；ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン等のジアルキルジアルコキシシラン；フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン等のモノフェニルトリアルコキシシラン；ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン等のジフェニルジアルコキシシラン；ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン等のモノビニルトリアルコキシシラン；３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン等の（メタ）アクリロキシアルキルモノアルキルジアルコキシシラン；３−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン等の（メタ）アクリロキシアルキルトリアルコキシシラン；３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−トリエトキシシリル−Ｎ−（１，３−ジメチル−ブチリデン）プロピルアミン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルトリメトキシシラン等のアミノ基含有トリアルコキシシラン；３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン等の非脂環式エポキシ基含有アルキルトリアルコキシシラン；３−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン等の非脂環式エポキシ基含有アルキルモノアルキルジアルコキシシラン；２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリエトキシシラン等の脂環式エポキシ基含有アルキルトリアルコキシシラン；２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルメチルジエトキシシラン等の脂環式エポキシ基含有アルキルモノアルキルジアルコキシシラン；〔（３−エチル−３−オキセタニル）メトキシ〕プロピルトリメトキシシラン、〔（３−エチル−３−オキセタニル）メトキシ〕プロピルトリエトキシシラン等のオキセタニル基含有アルキルトリアルコキシシラン；３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等のメルカプトアルキルトリアルコキシシラン；３−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン等のメルカプトアルキルモノアルキルジアルコキシシラン；３−ウレイドプロピルトリエトキシシラン等のウレイドアルキルトリアルコキシシラン；３−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン等のイソシアネートアルキルトリアルコキシシラン；３−トリメトキシシリルプロピルコハク酸無水物等の酸無水物基含有アルキルトリアルコキシシラン；Ｎ−ｔ−ブチル−３−（３−トリメトキシシリルプロピル）コハク酸イミド等のイミド基含有アルキルトリアルコキシシラン；等が挙げられる。シランカップリング剤（Ｅ）は、単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００７６】
シランカップリング剤（Ｅ）としては、特に限定されず、例えば、ケイ素原子に結合するアルコキシ基を有するシランカップリング剤のほか、アルコキシ基と、エポキシ基、オキセタニル基、ビニル基、（メタ）アクリロイル基、メルカプト基、ウレイド基、イソシアネート基、酸無水物基、イミド基及びアミノ基よりなる群から選択される少なくとも１つの反応性基とを有するシランカップリング剤等に分類されるが、後者の反応性基を有するシランカップリング剤が好ましい。反応性基を有するシランカップリング剤としては、ビニル基、アミノ基、エポキシ基又はオキセタニル基を有するシランカップリング剤が好ましく、現像液との相溶性が高く、残渣（溶け残り）を低減でき、また、硬化膜の撥液性及び基材の親液性に優れ、特に硬化膜の基材との密着性に優れる観点から、エポキシ基を有するシランカップリング剤がより好ましい。
【００７７】
エポキシ基を有するシランカップリング剤としては、非脂環式エポキシ基を有するシランカップリング剤及び脂環式エポキシ基を有するシランカップリング剤の何れも好ましく用いることができる。
【００７８】
シランカップリング剤（Ｅ）の含有量は、ノボラック樹脂（Ａ）１００質量部に対して、下限値として０．１質量部が好ましく、０．５質量部がより好ましく、１質量部が更に好ましく、上限値として１０質量部が好ましく、７質量部がより好ましく、５質量部が更に好ましく、３質量部が更により好ましい。上記下限値以上であると、基材との密着性、硬化膜の撥液性、基材の親液性が十分であり、上記上限値以下であると、保管中のシランカップリン剤同士の縮合反応による、現像時の残渣を防止することができる。
【００７９】
＜その他の成分＞
本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、本発明の目的を阻害しない範囲で、増感剤、界面活性剤、可塑剤等の種々の添加剤を含有していてもよい。
【００８０】
〔増感剤〕
増感剤としては、特に限定されず、ポジ型レジスト組成物において通常用いられる増感剤の中から任意に選択することができる。増感剤としては、例えば、分子量１０００以下のフェノール性水酸基を有する化合物等が挙げられる。
【００８１】
〔界面活性剤〕
本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、塗布性、消泡性、及びレベリング性等を向上させるため、界面活性剤を含有していてもよい。界面活性剤としては、例えばＢＭ−１０００、ＢＭ−１１００（ＢＭ ケミー社製）、メガファックＦ１４２Ｄ、メガファックＦ１７２、メガファクＦ１７３、メガファックＦ１８３（大日本インキ化学工業社製）、フロラードＦＣ−１３５、フロラーロＦＣ−１７０Ｃ、フロラードＦＣ−４３０、フロラードＦＣ−４３１（住友スリーエム社製）、サーフロンＳ−１１２、サーフロンＳ−１１３、サーフロンＳ−１３１、サーフロンＳ−１４１、サーフロンＳ−１４５（旭硝子社製）、ＳＨ−２８ＰＡ、ＳＨ−１９０、ＳＨ−１９３、ＳＺ−６０３２、ＳＦ−８４２８（東レシリコーン社製）、ＢＹＫ−３１０、ＢＹＫ−３３０（ビックケミージャパン社製）等の名称で市販されているシリコン系又はフッ素系界面活性剤を使用することができる。
【００８２】
界面活性剤の含有量は、ノボラック樹脂（Ａ）１００質量部に対して、５質量部以下が好ましい。
【００８３】
〔可塑剤〕
本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、クラックの発生を抑制するために、可塑剤として、アルカリ可溶性アクリル樹脂を含有していてもよい。アルカリ可溶性アクリル樹脂としては、一般に、可塑剤としてポジ型フォトレジスト組成物に配合されているものを使用することができる。
【００８４】
アルカリ可溶性アクリル樹脂としては、より具体的には、エーテル結合を有する重合性化合物に基づく構成単位を３０質量％以上９０質量％以下と、カルボキシ基を有する重合性化合物に基づく構成単位を２質量部以上５０質量部以下と、を含有するものが挙げられる。
【００８５】
エーテル結合を有する重合性化合物としては、２−メトキシエチル（メタ）アクリレート、メトキシトリエチレングリコール（メタ）アクリレート、３−メトキシブチル（メタ）アクリレート、エチルカルビトール（メタ）アクリレート、フェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、及びテトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート等のエーテル結合とエステル結合とを有する（メタ）アクリル酸誘導体等のラジカル重合性化合物が挙げられる。これらの中でも、２−メトキシエチルアクリレート及びメトキシトリエチレングリコールアクリレートを用いることが好ましい。これらの化合物は単独で用いてもよく、二種以上混合して用いてもよい。
【００８６】
カルボキシ基を有する重合性化合物としては、アクリル酸、メタクリル酸、及びクロトン酸等のモノカルボン酸；マレイン酸、フマル酸、及びイタコン酸等のジカルボン酸；並びに２−メタクリロイルオキシエチルコハク酸、２−メタクリロイルオキシエチルマレイン酸、２−メタクリロイルオキシエチルフタル酸、及び２−メタクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸等のカルボキシ基とエステル結合とを有するメタクリル酸誘導体等のラジカル重合性化合物が挙げられる。これらの中でも、アクリル酸、及びメタクリル酸を用いることが好ましい。これらの化合物は単独で用いてもよく、二種以上を混合して用いてもよい。
【００８７】
アルカリ可溶性アクリル樹脂成分中におけるエーテル結合を有する重合性化合物の含有量は、３０〜９０質量％が好ましく、４０〜８０質量％がより好ましい。かかる範囲内の量のアルカリ可溶性アクリル樹脂成分を可塑剤としてポジ型感光性樹脂組成物に配合することにより、硬化膜におけるクラックの発生を抑制しつつ均質な硬化膜を形成しやすい。
【００８８】
アルカリ可溶性アクリル樹脂成分中におけるカルボキシ基を有する重合性化合物に基づく構成単位の含有量は、２〜５０質量％が好ましく、５〜４０質量％がより好ましい。かかる範囲内の量のカルボキシ基を有する重合性化合物に基づく構成単位を含むアルカリ可溶性アクリル樹脂成分を可塑剤としてポジ型感光性樹脂組成物に配合することにより、ポジ型感光性樹脂組成物の現像性を良好にすることができる。
【００８９】
アルカリ可溶性アクリル樹脂成分のポリスチレン換算の質量平均分子量は、１００００〜８０００００が好ましく、３００００〜５０００００がより好ましい。
【００９０】
アルカリ可溶性アクリル樹脂成分中には、物理的・化学的特性を適度にコントロールする目的で、他のラジカル重合性化合物に基づく構成単位を含んでいてもよい。ここで、「他のラジカル重合性化合物」とは、前出の重合性化合物以外のラジカル重合性化合物の意味である。
【００９１】
このような他のラジカル重合性化合物としては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、及びブチル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸アルキルエステル類；２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、及び２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸ヒドロキシアルキルエステル類；フェニル（メタ）アクリレート、及びベンジル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸アリールエステル類；マレイン酸ジエチル、及びフマル酸ジブチル等のジカルボン酸ジエステル類；スチレン、及びα−メチルスチレン等のビニル基含有芳香族化合物；酢酸ビニル等のビニル基含有脂肪族化合物；ブタジエン及びイソプレン等の共役ジオレフィン類；アクリロニトリル及びメタクリロニトリル等のニトリル基含有重合性化合物；塩化ビニル及び塩化ビニリデン等の塩素含有重合性化合物；並びにアクリルアミド及びメタクリルアミド等のアミド結合含有重合性化合物等を用いることができる。これらの化合物は単独で用いてもよく、二種以上を混合して用いてもよい。これらの化合物の中でも、特に、ｎ−ブチルアクリレート、ベンジルメタクリレート、及びメチルメタクリレート等を用いることが好ましい。アルカリ可溶性アクリル樹脂成分中の他のラジカル重合性化合物に基づく構成単位の含有量は５０質量％未満が好ましく、４０質量％未満がより好ましい。
【００９２】
アルカリ可溶性アクリル樹脂成分を合成する際に用いられる重合溶媒としては、例えばエタノール及びジエチレングリコール等のアルコール類；エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、及びジエチレングリコールエチルメチルエーテル等の多価アルコールのアルキルエーテル類；エチレングリコールエチルエーテルアセテート、及びプロピレングリコールメチルエーテルアセテート等の多価アルコールのアルキルエーテルアセテート類；トルエン及びキシレン等の芳香族炭化水素類；アセトン及びメチルイソブチルケトン等のケトン類；並びに酢酸エチル及び酢酸ブチル等のエステル類等を用いることができる。これらの重合性溶媒の中でも、特に、多価アルコールのアルキルエーテル類及び多価アルコールのアルキルエーテルアセテート類を用いることが好ましい。
【００９３】
アルカリ可溶性アクリル樹脂成分を合成する際に用いられる重合触媒としては、通常のラジカル重合開始剤が使用でき、例えば２，２’−アゾビスイソブチロニトリル等のアゾ化合物；並びにベンゾイルパーオキシド、及びジ−ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシド等の有機過酸化物等を使用することができる。
【００９４】
ポジ型感光性樹脂組成物におけるアルカリ可溶性アクリル樹脂成分の配合量は、ノボラック樹脂（Ａ）１００質量部に対し、３０質量部以下が好ましく、２０質量部以下がより好ましい。
【００９５】
＜溶剤＞
本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、上記の各成分を適当な溶剤に溶解して、溶液の形で用いることが好ましい。このような溶剤としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、及びエチレングリコールモノブチルエーテル等のエチレングリコールアルキルエーテル類；ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、及びジエチレングリコールジブチルエーテル等のジエチレングリコールジアルキルエーテル類；メチルセロソルブアセテート、及びエチルセロソルブアセテート等のエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類；プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、及びプロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート等のプロピレングリコールアルキルエーテルアセテート類；アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、及びメチルアミルケトン等のケトン類；トルエン及びキシレン等の芳香族炭化水素類；ジオキサン等の環式エーテル類；並びに２−ヒドロキシプロピオン酸メチル、２−ヒドロキシプロピオン酸エチル、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、オキシ酢酸エチル、２−ヒドロキシ−３−メチルブタン酸メチル、３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、蟻酸エチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、アセト酢酸メチル、及びアセト酢酸エチル等のエステル類等が挙げられる。これらの溶剤は、単独で用いてもよく、二種以上を混合して用いてもよい。
【００９６】
ポジ型感光性樹脂組成物における溶剤の含有量は、ポジ型感光性樹脂組成物の粘度や塗布性を勘案して適宜調整される。具体的には、溶剤は、ポジ型感光性樹脂組成物の固形分濃度が、好ましくは５〜５０質量％、より好ましくは１０〜３０質量％となるように使用される。
【００９７】
本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、本発明の目的を阻害しない範囲で、更に、着色剤、種々の添加剤を含んでいてもよい。添加剤としては、増感剤、界面活性剤、可塑剤等が挙げられる。
【００９８】
＜ポジ型感光性樹脂組成物の調製方法＞
ポジ型感光性樹脂組成物は、上記の各成分を所定の比率で配合した後、通常の方法で混合、撹拌することにより調製することができる。また、必要に応じて、更にメッシュ、メンブレンフィルター等を用いて濾過してもよい。
【００９９】
＜硬化膜の形成方法＞
硬化膜は、基板上にポジ型感光性樹脂組成物の塗布膜を形成する塗布工程と、塗布膜に位置選択的に活性線を照射して露光する露光工程と、露光された塗布膜を現像する現像工程と、を含む方法により形成される。
【０１００】
〔塗布工程〕
塗布工程においては、必要に応じて種々の機能層を備える基板上に、スピンナー等を用いてポジ型感光性樹脂組成物を塗布して塗布膜を形成する。塗布膜の膜厚は、典型的には、０．５〜１０μｍであるのが好ましい。塗布膜には必要に応じて、８０〜１５０℃の温度条件下、プレベーク（ポストアプライベーク（ＰＡＢ））が、４０〜６００秒間、好ましくは６０〜３６０秒間施される。
【０１０１】
〔露光工程〕
塗布膜に対して、例えば、波長３６５ｎｍ（ｉ線）、４０５ｎｍ（ｈ線）、４３５ｎｍ（ｇ線）付近の光を発光する光源である低圧水銀灯、高圧水銀灯、及び超高圧水銀灯を用いて、所望のマスクパターンを介して位置選択的に露光を行う。なお、露光に用いる活性線としては、上記低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯によるＧ線、Ｈ線、及びＩ線のほかにも、ＡｒＦエキシマレーザー、ＫｒＦエキシマレーザー、Ｆ２エキシマレーザー、極紫外線（ＥＵＶ）、真空紫外線（ＶＵＶ）、電子線（ＥＢ）、Ｘ線、及び軟Ｘ線等の放射線も使用できる。露光後、必要に応じて８０〜１５０℃の温度条件下で、４０〜６００秒間、好ましくは６０〜３６０秒間露光後加熱（ＰＥＢ）を行ってもよい。
【０１０２】
〔現像工程〕
現像工程では、露光された塗布膜に対して、アルカリ現像液、例えば、濃度０．１〜１０質量％のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を用いて２０〜３０℃の温度で現像処理が施された後、必要に応じて、純水による水リンスや、乾燥が行われる。
【０１０３】
現像後、好ましくは、パターン化された塗布膜に対して、ベーク処理（ポストベーク）が施される。ポストベークを施すことにより、硬化膜を形成することができ、耐水性、耐熱性、及び耐溶剤性に優れた硬化膜を得ることができる。ベーク処理の温度は、１００〜４００℃が好ましく、１５０〜３００℃がより好ましい。また、ベーク処理の時間は、１５〜６０分であるのが好ましく、３０分以下であるのがより好ましい。
【０１０４】
＜硬化膜＞
得られる硬化膜は、ＰＣＴ密着性、パターン密着性等の基材との密着性及び撥液性に優れるとともに、例えば基板上に形成した場合に硬化膜に隣接する、画素領域内等のように硬化膜の形成を所望しない箇所において、基材の親液性に優れているので、例えば、液晶素子用又は有機ＥＬ素子用の硬化膜として用いることができ、有機ＥＬ素子用の硬化膜として好適である。液晶素子、有機ＥＬ素子等の発光素子においては、例えば３００〜４００ｎｍの紫外光の透過率が高すぎると、透過光がＴＦＴメタル配線にダメージを与えるおそれがあるので、透過率は例えば１０％以下など低い方が好ましく、この観点からも、上記硬化膜は光透過性を最適なものとすることができ、好適である。硬化膜としては、絶縁膜、平坦化膜、隔壁等が好適であり、隔壁が特に好適である。隔壁としては、インクジェット法により画素を形成する際の隔壁が好適である。
本発明のポジ型感光性樹脂組成物を用いて形成された硬化膜もまた、本発明の一つである。
本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、特に、有機ＥＬ素子用の隔壁材料等、上記各種の硬化膜を形成する材料として有用である。
【実施例】
【０１０５】
以下、実施例により本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【０１０６】
（樹脂成分）
実施例において、ノボラック樹脂（Ａ）として、合成例１により得たクレゾールノボラック樹脂（ｍ−クレゾール：ｐ−クレゾール＝６：４）であってポリスチレン換算の質量平均分子量５０００のノボラック樹脂Ａ１と、質量平均分子量１５０００のノボラック樹脂Ａ２とを、表１に記載の量で用いた。比較例において、ノボラック樹脂（Ａ）に代り、比較合成例１により得たアルカリ可溶性樹脂（比較樹脂Ａ３）を用いた。
【０１０７】
〔合成例１〕ノボラック樹脂Ａ１及びＡ２の合成
ｍ−クレゾール及びｐ−クレゾールを６：４の比率で用い、ホルムアルデヒド及び触媒量のシュウ酸を仕込み、還流下で反応させ、反応時間を調整することにより、ポリスチレン換算の質量平均分子量５０００のノボラック樹脂Ａ１と、質量平均分子量１５０００のノボラック樹脂Ａ２とを得た。
【０１０８】
ポリスチレン換算の質量平均分子量は、測定装置（Ｓｈｏｄｅｘ  ＳＹＳＴＥＭ２１、Ｓｈｏｄｅｘ社製）を用い、カラム（Ｓｈｏｄｅｘ  ＫＦ−Ｇ、ＫＦ−８０１、Ｓｈｏｄｅｘ社製）に、濃度０．０２ｇ／１０ｍｌＴＨＦのサンプルを２０μｌ注入し、カラムオーブン４０℃、溶離液としてテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）を流量１．０ｍＬ／分で流し、ＵＶ２８０ｎｍの吸収量を検出することにより、測定した。
【０１０９】
〔比較合成例１〕比較樹脂Ａ３の合成
還流冷却器、攪拌機を備えたフラスコに、ｐ−ヒドロキシフェニルメタクリレート５６質量部、グリシジルメタクリレート４４質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート６００質量部、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル６質量部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながら液温を８０℃に上昇させ、８０℃で６時間反応した。ゲルパーミッションクロマトグラフィーによりモノマーの消失を確認し、１００℃に昇温して３０分間エージングを行った。１００℃減圧下でプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを蒸留により取り除き、固形分濃度を３０％に調整し、ヒドロキシフェニルメタクリレート（ａ１）とグリシジルメタクリレート（ａ２）との共重合体（（ａ１）：（ａ２）＝５：５、質量平均分子量１００００）を含む溶液を得た。
【化１２】
2016040577.tif 000013
【０１１０】
（感光剤）
実施例及び比較例において、感光剤として下記のＢ１を用いた。
Ｂ１：２，３，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノンの１，２−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸の部分エステル（Ｒ＝３、Ｈ＝１）
【化１３】
2016040577.tif 000014
【０１１１】
（フッ素樹脂）
実施例において、フッ素樹脂（Ｃ）として下記合成例１により得たフッ素樹脂Ｃ１〜Ｃ５を用い、比較例において、エポキシ基又はオキセタニル基を含有するエチレン性不飽和基含有モノマー（ｃ２）に代りメタクリル酸（ＭＡＡ）を用いて比較合成例２により得た比較フッ素樹脂Ｃ６を用いた。
【０１１２】
〔合成例２〕フッ素樹脂Ｃ１〜Ｃ５の合成
実施例において、エチレン性不飽和基含有フッ素系モノマー（ｃ１）としてパーフルオロブチル基含有メタクリレート（ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）ＣＯＯＣＨ２ＣＨ２（ＣＦ２）４Ｆ）  ５０質量部、エポキシ基又はオキセタニル基を含有するエチレン性不飽和基含有モノマー（ｃ２）として後述の化合物  ２５質量部、カルボキシ基を有するエチレン性不飽和基含有モノマー（ｃ３）としてメタクリル酸（ＭＡＡ）  ５質量部、アルキレンオキシ単位を有するエチレン性不飽和基含有モノマー（ｃ４）としてメトキシエチレングリコールメタクリレート（２−ＭＥＭＡ）  １０質量部、その他のモノマー（ｃ５）としてメチルメタクリレート（ＭＭＡ）  １０質量部、ｎ−ドデシルメルカプタン  ７ｇ、２，２’−アゾビス（４−メトキシ−２，４−ジメチルバレロニトリル）  ２  質量部を、３−メトキシブチルアセテート  ３４８  質量部に溶解し、窒素雰囲気下、４０℃で撹拌しながら重合させ、共重合体を得た。得られた共重合体は、ＧＰＣで測定した質量平均分子量が１０，０００であった。なお、この共重合体は、３−メトキシブチルアセテートにて固形分濃度３０質量％に調整した。
（ｃ２）成分としては、エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート、エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート、エポキシ−ビニルシクロヘキサン、３−エチル−３−メタクリロキシメチルオキセタン又はグリシジルメタクリテートの何れかを表１に記載のようにそれぞれ選択した。（ｃ２）成分としてこれらの各モノマーを用いて得られたフッ素樹脂をそれぞれＣ１〜Ｃ５と表す。
【化１４】
2016040577.tif 000015
【０１１３】
〔比較合成例２〕比較フッ素樹脂Ｃ６の合成
合成例１において、（ｃ２）成分に代りメタクリル酸（ＭＡＡ）を用いること以外は合成例１と同様にして、比較フッ素樹脂Ｃ６を得た。
【０１１４】
（架橋剤）
実施例及び比較例において、架橋剤として、下記化学構造を有するヘキサメチロールメラミンのメチル化体（ニカラックＭＷ−１００ＬＭ、三和ケミカル社製）を用いた。
【化１５】
2016040577.tif 000016
【０１１５】
（シランカップリング剤）
実施例及び比較例において、下記Ｅ１〜Ｅ５のシランカップリング剤の何れかを表１に記載のように選択した。
【化１６】
2016040577.tif 000017
【０１１６】
〔実施例１〜１３及び比較例１〜９〕
表１に記載の種類及び量（質量部）の、樹脂成分、感光剤、フッ素樹脂、架橋剤及びシランカップリング剤を混合した後、プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＭ）５０質量部及びジエチレングリコールメチルエチルエーテル（ＭＥＤＧ）５０質量部で希釈して、各実施例及び比較例のポジ型感光性樹脂組成物を得た。
【０１１７】
【表１】
2016040577.tif 000018
【０１１８】
ＩＴＯガラス基板上に、スピンコーターを用いてポジ型感光性樹脂組成物を塗布した後、７０℃で１２０秒間プリベークを行い、膜厚２．００μｍの塗布膜を形成した。得られた塗布膜を、格子状のフォトマスクを介して露光装置（ＭＰＡ−６００ＦＡ、３６５ｍＷ、１００ｍＪ、キヤノン社製）を用いて露光した後、濃度２．３８質量％のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＨ）水溶液を現像液として用いて現像し、次いで、２２０℃で６０秒間ポストベークを行い、硬化膜を形成した。
【０１１９】
＜評価＞
１．硬化膜上の撥液性
得られた硬化膜上におけるメトキシベンゼンの接触角を硬化膜上にメトキシベンゼンを２．０μＬ滴下し接触角計（ＤＲＯＰ  ＭＡＳＴＥＲ−７００、協和界面科学社製）を用いて測定した。下記基準により評価し、結果を表２に示す。
◎：接触角５５°以上
○：接触角５０°以上５５°未満
△：接触角４０°以上５０°未満
×：接触角４０°未満
【０１２０】
２．基板上の親液性
形成された格子内（画素領域内）におけるメトキシベンゼンの接触角を上記１．と同様の方法により測定し、下記基準により評価した。結果を表２に示す。
◎：接触角５°未満
○：接触角５°以上１０°未満
△：接触角１０°以上２０°未満
×：接触角２０°以上
【０１２１】
３．ＰＣＴ密着性
ポストベーク後のパターンについて、ＰＣＴ試験（Ｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｃｏｏｋｅｒ  Ｔｅｓｔ）を行った。ＰＣＴ試験は、ＡＳＴＭ  Ｄ３３５９−０９ｅ２に従い、得られた硬化膜の表面に碁盤目状の傷を付けた基板を１２０℃、１００％ＲＨ、２気圧の条件で２４時間放置した後、粘着テープ（セロハンテープ、ニチバン社製）による剥離試験（クロスハッチテスト）を行い、基板の表面からのパターンの剥がれ具合（除去面積）を観察し、下記基準に従って評価した。結果を表２に示す。
５Ｂ：除去面積０％
４Ｂ：除去面積０％超、５％未満
３Ｂ：除去面積５％以上、１５％未満
２Ｂ：除去面積１５％以上、３５％未満
１Ｂ：除去面積３５％以上、６５％未満
０Ｂ：除去面積６５％以上
【０１２２】
４．パターン密着性（現像後解像度）
ＩＴＯガラス基板上に、スピンコーターを用いてポジ型感光性樹脂組成物を塗布した後、ホットプレート上で７０℃で１２０秒間プリベークを行い、膜厚２．００μｍの塗布膜を形成した。得られた塗布膜を、フォトマスクを介して露光装置（ＭＰＡ−６００ＦＡ、３６５ｍＷ、１００ｍＪ、キヤノン社製）を用いて露光した後、現像操作として濃度２．３８質量％のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＨ）水溶液を現像液として適用し、６０秒間保持してパドル現像を行った後、スピンナーの回転により現像液の振り切りを行った。この現像操作を３回繰り返した後、３０秒間水洗し、１３０℃で１０分間ステップベークを行って乾燥させた。次いで、２２０℃で６０分間ポストベークを行い、膜厚２．０μｍの硬化膜を形成した。
フォトマスクとして、ライン幅がそれぞれ５、７．５、１０、１２．５、１５、２０、５０、１００μｍであるＩｓｏ  ｌｉｎｅが形成され、スペースが２００×２０μｍであるラインアンドスペースマスク（２００μｍ×５０μｍ×３ピクセル）を用い、得られたラインパターンを光学顕微鏡により観察して、ライン幅に応じたラインパターン形成の有無により評価した。パターン欠けが発生することなくラインパターンが形成された最も幅の狭いライン幅（μｍ）を表２に示す。
【０１２３】
５．透過率
実施例で得られた硬化膜について、分光光度計（ＭＣＰＤ−３０００、大塚電子社製）を用いて測定した波長３５０ｎｍにおける最低透過率を透過率（Ｔ％）として評価した。結果を表２に示す。
【０１２４】
【表２】
2016040577.tif 000019
【０１２５】
表２から、樹脂成分としてノボラック樹脂（Ａ）である樹脂Ａ１及びＡ２を用いた実施例１〜１３は、比較樹脂ＡＣを用いた比較例８〜９に比べ、硬化膜の撥液性、画素領域内（基材）の親液性、透過率、ＰＣＴ密着性及びパターン密着性の何れにおいても優れていた。
フッ素樹脂を用いた実施例１〜１３は、フッ素樹脂を用いなかった比較例７に比べ、硬化膜の撥液性、ＰＣＴ密着性及びパターン密着性の何れにおいても優れていた。
フッ素樹脂において（ｃ２）成分を用いた実施例１〜１３は、（ｃ２）成分を用いなかった比較例１〜５に比べ、硬化膜の撥液性、画素領域内の親液性及びパターン密着性の何れにおいても優れていた。
架橋剤を用いた実施例１は、架橋剤を用いなかった比較例６に比べ、硬化膜の撥液性、画素領域内の親液性、ＰＣＴ密着性及びパターン密着性の何れにおいても優れていた。
【０１２６】
また、フッ素樹脂の（ｃ２）成分として脂環式エポキシ基を有する不飽和化合物（ｃ２−Ｉａ）を用いた実施例１〜１３は、３−エチル−３−メタクリロキシメチルオキセタンを用いた実施例４及びグリシジルメタクリテートを用いた実施例５に比べ、硬化膜の撥液性が優れる場合があり、画素領域内の親液性にも優れる場合があった。フッ素樹脂の（ｃ２）成分としては、脂環式エポキシ基を有する（メタ）アクリレートモノマーを用いた実施例１〜２が、実施例３〜５に比べ、硬化膜の撥液性と、画素領域内の親液性との両立に特に優れていた。
【０１２７】
更に、シランカップリング剤を用いた実施例１〜８及び１０〜１３は、シランカップリング剤を用いなかった実施例９に比べ、ＰＣＴ密着性及びパターン密着性において優れており、硬化膜の撥液性及び画素領域内の親液性においても優れる傾向にあった。シランカップリング剤としてエポキシ基を有するシランカップリング剤を用いた実施例１〜８及び１０は、エポキシ基を有しないシランカップリング剤を用いた実施例１１〜１３に比べ、ＰＣＴ密着性及びパターン密着性において優れており、硬化膜の撥液性及び画素領域内（基材）の親液性においても優れる傾向にあった。