(57)【要約】【課題】薄厚ワークであっても精度良く、効率的に研削できる両面研削装置を提供する。【解決手段】１対の研削ホイール１８ａ、１８ｂと、研削ホイール１８ａ、１８ｂ間にワークＷを送り込む搬送手段とを備え、該ワークＷを両面から研削するワークＷの両面研削装置である。前記搬送手段は、研削ホイール１８ａ、１８ｂの外周外側に設けられた第１搬送手段３０と、研削ホイール１８ａ、１８ｂの内周内側に設けられた第２搬送手段５０との少なくとも２つの搬送手段を有し、第１搬送手段３０及び第２搬送手段５０は、研削ホイール１８ａ、１８ｂを介してそれぞれのワークＷの搬送方向が一致するように配置されるとともに該ワークＷを搬送方向に案内するワーク保持手段３３を備えて構成され、第２搬送ユニット５０は、両研削ホイール１８ａ、１８ｂの内周内側にこれら両研削ホイール１８ａ、１８ｂの回転とは分断されて設けられた支持手段４２に固定されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の回転軸に軸支され、それぞれが対向配置された１対の研削ホイールと、前記両研削ホイール間にワークを送り込む搬送手段とを備え、前記両研削ホイールを回転させながら前記両研削ホイール間に前記搬送手段でワークを送り込むことで該ワークを両面から研削するワークの両面研削装置において、
前記搬送手段は、
前記両研削ホイールの外周外側で前記両研削ホイールと隣接した位置に設けられた第１搬送手段と、
前記両研削ホイール間で前記両研削ホイールの内周内側に設けられた第２搬送手段との少なくとも２つの搬送手段を有し、
前記第１搬送手段及び第２搬送手段は、
前記研削ホイールを介してそれぞれのワークの搬送方向が一致するように配置されるとともに該ワークを搬送方向に案内するワーク保持手段を備えて構成され、
前記第２搬送ユニットは、前記両研削ホイールの内周内側にこれら両研削ホイールの回転とは分断されて設けられた支持手段に固定されていることを特徴とするワークの両面研削装置。
【請求項２】
前記搬送手段は、前記両研削ホイールの外周外側に設けられ前記第２搬送手段を介して第１搬送手段と対称に配置された第３搬送手段とをさらに有することを特徴とする請求項１に記載のワークの両面研削装置。
【請求項３】
前記ワーク保持手段は、前記ワーク投入部からワーク排出部に向けてワークを挟持するように複数の搬送ローラが設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載のワークの両面研削装置。
【請求項４】
前記支持手段を備える回転軸は、中空状に形成され、該支持手段は該回転軸の回転とは分断するように挿通されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のワークの両面研削装置。
【請求項５】
対向配置された一対の研削ホイールをそれぞれ回転させながら、前記両研削ホイール間にワークを搬送してワークを両面から研削するワークの両面研削方法であって、
前記両研削ホイールの外周外側に設けられた第１搬送手段のワーク投入部に前記ワークを投入することによって該ワークをワーク排出部へ搬送し、
前記ワーク排出部から排出されるワークを回転する前記両研削ホイールで挟持することで該ワークを両面から研削し、
前記第１搬送手段によって前記ワークを搬送しながら、前記ワークを前記両研削ホイールの内周内側に設けられた第２搬送手段に該ワークを受け渡すようにしたことを特徴とするワークの両面研削方法。
【請求項６】
前記第２搬送手段に受け渡されたワークを第２搬送手段のワーク排出部に向けて搬送し、
前記第２搬送手段のワーク排出部から排出されるワークを前記両研削ホイールで挟持することで該ワークを両面から研削し、または、前記第２搬送手段のワーク排出部から排出されるワークを前記両研削ホイールで研削せずに第２搬送手段のワーク保持手段によって前記ワークを搬送しながら、前記第３の搬送手段のワーク投入部へとワークを搬送するようにしたことを特徴とする請求項５に記載のワークの両面研削方法。
【請求項７】
前記第２搬送手段に受け渡されたワークを再度第１搬送手段へ戻すようにし、該ワークを第１搬送手段のワーク投入部から排出するようにしたことを特徴とする請求項５に記載のワークの両面研削方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、サファイア、シリコンカーバイド、ガリウムナイトライド等のウエハ状のワークやピストンリング、ブレーキディスク等の各種のワークを両面から研削するワークの両面研削装置及び両面研削方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、シリコン等のウエハ（ワーク）が研削ヘッドで片面ずつ研削され、薄厚化されている。また、最近ではＬＥＤの需要拡大から、そのベース基板となるサファイア、シリコンカーバイド、ガリウムナイトライド等も上記同様に多く研削されるようになってきている。また、サファイア基板は時計等の表示画面の保護や最近ではスマートフォン等の表示画面の保護カバーとしても用いられてきている。
【０００３】
上記ワークの研削方法は、上下方向に沿って設けられた研削ヘッドと、その研削ヘッドに対向するテーブルを備え、該テーブル上にワークを吸着保持し、前記研削ヘッドの回転と前記テーブルの回転により前記ワークを研削するものである（例えば特許文献１）。
【０００４】
また、円板に円形状のワーク保持ポケットを該円板の円周方向に沿って複数設けたインデックスキャリアプレートにピストンリング（ワークに相当）を嵌め込んで保持しておき、対向する２つの砥石（研削ホイールに相当）の間に前記インデックスキャリアプレートを回転させながらピストンリングを順次送り込み、前記砥石でワークの両面を同時に研削する両面研削装置も知られている（例えば特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−４４４７２号公報
【特許文献２】特許第３７４９４６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、最近では、特にスマートフォン用の表示画面用の保護カバーなど、サファイア基板をできるだけ薄く研削するとともにより平坦にかつ短時間で歪等を低減する研削方法が要請されている。
【０００７】
しかしながら、特許文献１のように片面ずつ研削ヘッドでウエハ（ワークに相当）を研削する方法は、ウエハの内部歪が残った状態でこの内部歪を矯正するようにウエハをテーブルに強制的に吸着保持して研削を行なうため、前記テーブルからウエハの吸着を解放した際にその内部歪によりウエハが反る問題があった。このように片面ずつウエハを研削する方法は、インゴットからウエハを切り出した際に発生する内部歪を強制的に矯正しながら研削を行なっていくため、テーブルの吸着を解放した際に内部歪による応力が復元力となってウエハに作用し、ウエハが反り易い問題がある。
【０００８】
また、前記特許文献２の両面研削装置では、前記インデックスキャリアプレートにウエハを保持して研削する関係上、前記インデックスキャリアプレートより薄いウエハを研削することは不可能であった。前記インデックスキャリアプレートを薄厚化することも考えられるが、このインデックスキャリアプレートを薄厚化するとワークを保持する保持力が弱くなると共にインデックスキャリアプレートの剛性も低下し、ワークを安定に保持できない問題やワーク研削時にインデックスキャリアプレートを破損する問題があった。
【０００９】
また、前記特許文献２の両面研削装置では、インデックスキャリアプレートから砥石間に送り込まれた１カ所でしか研削されないため、研削に時間を要する問題もある。
【００１０】
そこで、本発明は、各種ワークを薄く精度良く高速に研削する両面研削装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１の発明は、一対の回転軸に軸支され、それぞれが対向配置された１対の研削ホイールと、前記両研削ホイール間にワークを送り込む搬送手段とを備え、前記両研削ホイールを回転させながら前記両研削ホイール間に前記搬送手段でワークを送り込むことで該ワークを両面から研削するワークの両面研削装置において、前記搬送手段は、前記両研削ホイールの外周外側で前記両研削ホイールと隣接した位置に設けられた第１搬送手段と、  前記両研削ホイール間で前記両研削ホイールの内周内側に設けられた第２搬送手段との少なくとも２つの搬送手段を有し、前記第１搬送手段及び第２搬送手段は、前記研削ホイールを介してそれぞれのワークの搬送方向が一致するように配置されるとともに該ワークを搬送方向に案内するワーク保持手段を備えて構成され、前記第２搬送ユニットは、前記両研削ホイールの内周内側にこれら両研削ホイールの回転とは分断されて設けられた支持手段に固定されている構成を採用したワークの両面研削装置である。
【００１２】
また、請求項２の発明は、前記請求項１の発明において、前記搬送手段は、前記両研削ホイールの外周外側に設けられ前記第２搬送手段を介して第１搬送手段と対称に配置された第３搬送手段とをさらに有する構成を採用したワークの両面研削装置である。
【００１３】
また、請求項３の発明は、前記請求項１または請求項２のいずれかの発明において、  前記ワーク保持手段は、前記ワーク投入部からワーク排出部に向けてワークを挟持するように複数の搬送ローラが設けられている構成を採用したワークの両面研削装置である。
【００１４】
また、請求項４の発明は、請求項１乃至３のいずれかの発明において、前記支持手段を備える回転軸は、中空状に形成され、該支持手段は該回転軸の回転とは分断するように挿通されている構成を採用したワークの両面研削装置である。
【００１５】
また、請求項５の発明は、対向配置された一対の研削ホイールをそれぞれ回転させながら、前記両研削ホイール間にワークを搬送してワークを両面から研削するワークの両面研削方法であって、前記両研削ホイールの外周外側に設けられた第１搬送手段のワーク投入部に前記ワークを投入することによって該ワークをワーク排出部へ搬送し、前記ワーク排出部から排出されるワークを回転する前記両研削ホイールで挟持することで該ワークを両面から研削し、前記第１搬送手段によって前記ワークを搬送しながら、前記ワークを前記両研削ホイールの内周内側に設けられた第２搬送手段に該ワークを受け渡すようにした方法を採用するワークの両面研削方法である。
【００１６】
また、請求項６の発明は、請求項５の発明において、前記第２搬送手段に受け渡されたワークを第２搬送手段のワーク排出部に向けて搬送し、前記第２搬送手段のワーク排出部から排出されるワークを前記両研削ホイールで挟持することで該ワークを両面から研削し、または、前記第２搬送手段のワーク排出部から排出されるワークを前記両研削ホイールで研削せずに第２搬送手段のワーク保持手段によって前記ワークを搬送しながら、前記第３の搬送手段のワーク投入部へとワークを搬送するようにした方法を採用するワークの両面研削方法である。
【００１７】
また、請求項７の発明は、請求項５の発明において、前記第２搬送手段に受け渡されたワークを再度第１搬送手段へ戻すようにし、該ワークを第１搬送手段のワーク投入部から排出するようにした方法を採用するワークの両面研削方法である。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１及び／または請求項５の発明によれば、ワークの研削開始から研削終了までの間、ワークを保持しながら両面研削できるので、ワークを薄く仕上げることが効率的に行え、しかも両面から同時に研削するので研削後のワークの歪を最小限にすることができる。
【００１９】
また、請求項２の発明によれば、ワークが研削された後、第３搬送手段から排出されるので、ワークを順次効率良く研削していくことができる。また、第２搬送手段と第３搬送手段との間で研削を行なうようにすれば、ワークを２枚同時に研削することもできる。
【００２０】
また、請求項３の発明によれば、ワークの搬送をローラによって行うので、ワークが薄くなっても安定してワークを保持でき、ワークを破損することもない。
【００２１】
また、請求項４の発明によれば、ワークの研削開始から研削終了までの間、絶えずワークを保持しながら両面研削できるので、ワークを薄く仕上げることが効率的に行え、しかも両面から同時に研削するので研削後のワークの歪を最小限にすることができる。また、両面研削装置を停止させることなく、連続的にワークを投入することができるので、ワークを高速に研削することができる。
【００２２】
また、請求項６の発明によれば、研削ホイールの内側でワークを保持することができ、研削ホイールの２箇所でワークを研削できるので、２枚のワークを同時に研削することも可能になる。また、搬送手段を研削ホイールの内側に配置することができるので、装置を小型化できる。なお、１枚だけのワークを研削するか２枚のワークを同時に研削するかは、必要とするワークの研削精度に応じて適宜選択できる。
【００２３】
また、請求項７の発明によれば、インデックスキャリアプレートのような大型の搬送手段を用いることないので、装置を小型化できる。  
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】は、本発明のワークの両面研削装置の全体平面図である。
【図２】は、本発明のワークの両面研削装置の一部切欠き正面図である。
【図３】は、本発明のワークの両面研削装置の一部切欠き断面図である。
【図４】は、本発明のワークの両面研削装置の一部切欠き要部拡大説明図である。
【図５】は、本発明のワークの両面研削装置の一部切欠き斜視説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
本発明のワークの両面研削装置の一実施形態について図１乃至図４に基づいて以下に説明する。
【００２６】
図１は、本発明のワークの両面研削装置１の全体平面図であり、図２は、本発明のワークの両面研削装置の一部を切り欠いた正面図である。両面研削装置１は、矩形状の機台２と、該機台２上の図示左右方向に間隔を開けて設けられた２枚のベース板３、３と、両ベース板３、３上にそれぞれ設けられた支持台５ａ、５ｂと、前記支持台５ａ、５ｂ上にそれぞれ対向するように設けられた２台の移動枠１０ａ、１０ｂと、前記両移動枠１０ａ、１０ｂ間に設けられた第１搬送手段３０、第２搬送手段５０及び第３搬送手段６０とを備えて構成されている。
【００２７】
前記機台２上には、支柱４が複数立設され、その支柱４上に２枚のベース板３、３が設けられている。両ベース板３、３は、支柱４のそれぞれに設けられた図示しない上下方向の高さ調整機構によって、それぞれのベース板３、３の傾斜を調整できるようになっている。前記それぞれのベース板３、３上には、それぞれ支持台５ａ、５ｂが設けられている。これら支持台５ａ、５ｂのそれぞれは、図示しない適宜な機構でθ方向に角度の調整が可能になっている。
【００２８】
前記支持台５ａ、５ｂ上には、機台２の長手方向に沿ってそれぞれ２本のレール６、６が敷設されている。前記支持台５ａ上には移動枠１０ａが、他方の支持台５ｂ上には移動枠１０ｂが形成されている。前記移動枠１０ａ及び移動枠１０ｂは、それぞれ各支持台５ａ、５ｂ上のレール６、６と摺動可能に嵌合したスライドガイド７、７を介して移動可能に設けられ、前記移動枠１０ａと移動枠１０ｂとが互いに接近離反動するようになっている。
【００２９】
前記移動枠１０ａは、前記両スライドガイド７、７上に固定された支持枠１６、１６と、両支持枠１６、１６上に立設された側板１１、１１と、両側板１１、１１間に設けられたスピンドル２２ａと、両側板１１、１１間に懸架された支持台１２ａと、該支持台１２ａ上に設けられたモータ２４ａと、前記モータ２４ａに接続されたスピンドル２２ａに接続された研削ホイール１８ａなどから構成されている。
【００３０】
前記移動枠１０ｂも、前記移動枠１０ａとほぼ同様に前記両スライドガイド７、７上に固定された支持枠１６、１６と、両支持枠１６、１６上に立設された側板１１、１１と、両側板１１、１１間に設けられたスピンドル２２ｂと、両側板１１、１１間に懸架された支持台１２ｂと、該支持台１２ｂ上に設けられたモータ２４ｂと、前記スピンドル２２ｂに接続された研削ホイール１８ｂなどから構成されている。
【００３１】
前記支持台５ａ上には、前記レール６、６間に固定枠８が立設され、該固定枠８にモータ９が固定されている。前記モータ９には、移動枠１０ａに向けてボールネジ２０が接続され、該ボールネジ２０は、前記移動枠１０ａに固定されたナット部材２１と螺合している（図２参照）。従って、前記モータ９を駆動することで前記移動枠１０ａは、レール６、６に沿って移動可能になっている。
【００３２】
前記支持台５ｂは、前記支持台５ａと同様であるので説明は省略するが、前記支持台５ｂ上に移動枠１０ｂがレール６、６に沿って移動可能に設けられ、前記移動枠１０ａと移動枠１０ｂとは接近離反動可能になっている。
【００３３】
前記研削ホイール１８ａ、１８ｂには、それぞれダイヤモンド砥粒がビトリファイドボンド、メタルボンド、レジンボンドなどで固定された砥石１９が複数配置されている。なお、この砥石１９の配置は、研削するワークＷの材質などによって適宜選択できる。また、砥石１９も研削するワークＷの材質などによって、例えば炭化ケイ素、アルミナ、ボロンなど各種の材料から適宜選択できる。
【００３４】
前記モータ２４ａは、モータ軸に駆動プーリ１３ａが接続されている。前記スピンドル２２ａの回転軸２３の後端側には従動プーリ１４ａが接続され、前記駆動プーリ１３ａと従動プーリ１４ａにベルト１５が掛け渡されている。従って、前記モータ２４ａを駆動することで、前記回転軸２３が駆動回転され研削ホイール１８ａが回転するようになっている。
【００３５】
また、同様に前記モータ２４ｂには、駆動プーリ１３ｂが接続され、該駆動プーリ１３ｂとスピンドル２２ｂの図示しない回転軸に接続された従動プーリ１４ｂとの間にベルト１５が掛け渡されている。従って、前記モータ２４ｂを駆動することで、スピンドル２２ｂの回転軸が駆動回転され研削ホイール１８ｂが回転するようになっている。
【００３６】
また、本実施形態においては、前記機台２上の長手方向中央には前記長手方向と直交する幅方向に沿って、直線状に第１搬送手段３０、第２搬送手段５０、第３搬送手段６０が設けられている。なお、後述するが、第３搬送手段６０は、必要に応じて設けることができ、例えば第３搬送手段６０を廃して第１搬送手段３０と第２搬送手段５０の少なくとも２つの搬送手段のみで構成しても良い。
【００３７】
本発明の両面研削装置１で研削されるワークＷは、本実施形態においては、例えば矩形状のサファイア基板である。なお、前記両面研削装置１で研削されるワークＷとしては、上記サファイアの他に例えば炭化ケイ素、窒化ガリウムなどの硬質な基板が好ましく研削されるが、シリコン、ガラス、水晶、セラミックス、樹脂基板などの各種ワークも研削できる。
【００３８】
前記第１搬送手段３０は、機台２上に立設された支持板３１の上端側に支持された支持軸４３に固定支持されている。また、前記第３搬送手段６０も、前記第１搬送手段３０と同様に機台２上に前記移動枠１０ａ、１０ｂを挟んだ位置に設けられた支持板３１に支持軸４３を介して固定支持されている。また、前記第１搬送手段３０は、前記第３搬送手段６０は、研削ホイール１８ａ、１８ｂを介して対称となるように配置されている。
【００３９】
前記第１搬送手段３０、第２搬送手段５０及び第３搬送手段６０の構成は同じであるので第１搬送手段３０について代表して説明する。図４及び図５のように、第１搬送手段３０は、間隔を開けて設けられた矩形状の２枚の支持板３２、３２と、前記両支持板３２、３２間に軸支された複数の搬送ローラ３３と、前記搬送ローラ３３の少なくとも１本を駆動するモータ３５とを備えて構成されている。
【００４０】
また、前記第１搬送手段３０には、ワークＷを投入するワーク投入部４４と、投入したワークＷが排出されるワーク排出部４５が設けられている。前記搬送ローラ３３は、２本が対向配置され、対向配置された２本の搬送ローラ３３、３３（ワーク保持手段に相当）が１対となって、前記１対の搬送ローラ３３、３３の複数がワーク投入部４４からワーク排出部４５に沿って並行に配置されている。また、上下の支持板３２、３２には、搬送方向に沿ってワークＷを上下方向から支持するガイドローラ３４が複数設けられワークＷの上下方向の動きを規制するようになっている。
【００４１】
前記支持板３２の上方には間隔を開けて支持板４６、４６が設けられ、この支持板４６にはモータ３５が固定されている。前記モータ３５の軸には駆動プーリ３６が固定され、前記支持板４６と支持板３２との間には従動プーリ３７が軸支されている。前記駆動プーリ３６と従動プーリ３７との間にはベルト３８が張設されている。前記従動プーリ３７は、前記搬送ローラ３２の少なくとも１つの軸に固定されており、前記モータ３５を駆動することで搬送ローラ３２が搬送方向にワークＷを搬送するように回転駆動されるようになっている。
【００４２】
また、搬送ローラ３２の軸は、支持板３２に軸支され、その軸の下端には、支持板３２を介して従動プーリ３９が固定されている。前記従動プーリ３９のそれぞれは、ベルト４０が掛け渡され、モータ３５の回転力を全ての搬送ローラ３２に伝達するようになっている。本実施形態においては全ての搬送ローラ３２に駆動力を付与しているが、ワークＷが搬送される形態であれば、搬送ローラ３２の部分的な駆動であっても良いし、ワークＷの搬送に応じて順次駆動するようにしても良い。また、搬送ローラ３２の駆動は、間欠的であっても良い。
【００４３】
前記ワークＷがワーク投入部４４に投入されると、対向配置された１対の搬送ローラ３３、３３間にワークＷが挟持されながら搬送され、ワーク排出部４５からワークＷが排出されるようになっている。なお、搬送ローラ３３は、ワークＷに損傷を与えないようゴムや樹脂などで形成することが好ましい。
【００４４】
前記第２搬送手段５０は、前記研削ホイール１８ａ、１８ｂの内周内側に設けられている。前記第２搬送手段５０は、前記研削ホイール１８ａ、１８ｂの内周内側に設けられる関係上、前記第１搬送手段３０及び前記第２搬送手段６０とは、前記機台２上への支持方法が異なるため、この支持方法について以下に説明する。
【００４５】
図３は、前記研削ホイール１８ａ及び前記スピンドル２２ａの一部を切り欠いた要部拡大断面図である。前記第２搬送手段５０は、一方の側面に支持板４１が設けられ、この支持板４１に固定された固定軸４２が図示右側に向けて延設されている。
【００４６】
また、前記スピンドル２２ａの回転軸２３は、内部に貫通穴が穿設されており、この貫通穴に前記回転軸２３の回転と分断するように固定軸４２（支持手段に相当）が挿通されている。前記固定軸４２の他端側は、前記スピンドル２２ａを貫通し、支持台５ａ上に立設された支持板１７に固定されている。すなわち、前記第２搬送手段５０は、支持板１７に固定支持されている。
【００４７】
前記スピンドル２２ａの回転軸２３は、一端にフランジを介して研削ホイール１８ａを固定するベース板が設けられており、このベース板に研削ホイール１８ａが着脱可能になっている。また、前記回転軸２３の他端側には従動プーリ１４ａが接続されている。
【００４８】
以上が、本発明の両面研削装置１の一実施形態に係る構成であり、次に前記両面研削装置１でのワークＷの研削方法について図４及び図５に従って説明する。
【００４９】
まず、ワークＷの研削に先立ち、移動枠１０ａ、１０ｂを接近させ、ワークＷの研削に最適となるように研削ホイール１８ａ、１８ｂ間の隙間、角度を調整しておく。
【００５０】
続いて、図４及び図５のようにワークＷが第１搬送手段３０のワーク投入部４４に手動または自動で投入される。前記ワーク投入部４４に投入されたワークＷは、モータ３５によって駆動された搬送ローラ３３、３３に挟持されて、ワークＷがワーク排出部４５に向けて搬送される。
【００５１】
前記第１搬送手段３０のワーク排出部４５から排出されるワークＷは、互いに回転する研削ホイール１８ａ、１８ｂの砥石１９、１９に挟持されて研削されながら、第２搬送手段５０のワーク投入部４４へ投入される。この時、一時的に第１搬送手段３０と第２搬送手段５０の両方にワークＷが保持されるようにしておくことが、ワークＷを安定に搬送する上で好ましい。
【００５２】
前記第２搬送手段５０のワーク投入部４４へ搬送されたワークＷは、前記第２搬送手段５０のワーク排出部４５から排出されながら、再び研削ホイール１８ａ、１８ｂの砥石１９、１９に挟持されて研削される。研削されたワークＷは、前記第３搬送手段６０のワーク投入部４４に投入される。この時、一時的に第２搬送手段５０と第３搬送手段６０の両方にワークＷが保持されるようにしておくことが、ワークＷを安定に搬送する上で好ましい。研削が完了したワークＷは、前記第３搬送手段６０のワーク排出部４５から排出される。
【００５３】
本実施形態においては、第２搬送手段５０と第３搬送手段６０との間でも研削するようにしたが、別の実施形態として研削ホイール１８ａ、１８ｂのそれぞれの隙間を適宜調整して、第２搬送手段５０と第３搬送手段６０の間では研削しないようにすることもできる。
【００５４】
また、別の実施形態として、１枚目のワークＷが第１搬送手段３０と第２搬送手段５０との間で研削された後、第２搬送手段５０に搬送された際に２枚目のワークＷを第１搬送手段３０に投入するようにすれば、２枚のワークを同時に研削することもできる。１枚だけのワークを研削するのか、２枚のワークを同時に研削するのかは、ワークに要求される精度、砥石の性能等に応じて適宜選択することができる。
【００５５】
また、別の実施形態として、第３搬送手段６０を廃した実施形態も採用できる。この場合、第１搬送手段３０から排出されて研削ホイール１８ａ、１８ｂで研削されたワークＷは、第２搬送手段５０に受け渡され、研削が終了したワークＷを再度第１搬送手段３０に搬送し、第１搬送手段３０のワーク投入部４４から排出されるようにすれば良い。
【００５６】
以上が、本発明の両面研削装置１の研削動作であるが、本発明は、上記実施形態に限定されず、発明の範囲内で適宜の変更が行なえる。
【００５７】
例えば、本実施形態においては、第２搬送手段５０をスピンドル２２ａの内部に挿通した固定軸４２で支持するようにしているが、スピンドル２２ａの回転と独立して、支持できるものであれば使用できる。
【００５８】
また、本実施形態においては、研削ホイール１８ａ、１８ｂは、横型に配置されているが、縦型に配置されていても良い。また、研削するワークも矩形状のものに限定されず、円形、三角形など各種の形状のものに適用できる。
【００５９】
また、ワークもサファイア、ガリウムナイトライド、シリコンカーバイド、シリコン、水晶、ガラスなどのウエハだけでなく、ピストンリング、ブレーキディスクなど各種のワークが研削できる。
【符号の説明】
【００６０】
Ｗ    ワーク
１    両面研削装置
２    機台
３    ベース板
４    支柱
５ａ  支持台
５ｂ  支持台
６    レール
７    スライドガイド
８    固定枠
９    モータ
１０ａ  移動枠
１０ｂ  移動枠
１１    側板
１２ａ  支持台
１２ｂ  支持台
１３ａ  駆動プーリ
１３ｂ  駆動プーリ
１４ａ  従動プーリ
１４ｂ  従動プーリ
１５    ベルト
１６    支持枠
１７    支持板
１８ａ  研削ホイール
１８ｂ  研削ホイール
１９    砥石
２０    ボールネジ
２１    ナット部材
２２ａ  スピンドル
２２ｂ  スピンドル
２３ａ  回転軸
２３ｂ  回転軸
２４    モータ
３０    第１搬送手段
３１    固定板
３２    支持板
３３    搬送ローラ（ワーク保持手段）
３４    ガイドローラ
３５    モータ
３６    駆動プーリ
３７    従動ローラ
３８    ベルト
３９    プーリ
４０    ベルト
４１    支持板
４２    固定軸（支持手段）
４３    固定軸
４４    ワーク投入部
４５    ワーク排出部
４６    支持板
５０    第２搬送手段
６０    第３搬送手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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