(57)【要約】      （修正有）【課題】複数のノズル列に液体を供給する分岐した流路において流量調整を行うことができるヘッドの提供。【解決手段】流路部材２００は、液体供給手段からの液体が供給される第１流路部材２１０と、第１流路部材２１０とに接合される第２流路部材２２０と、第２流路部材２２０に接合されてヘッド本体へ液体を供給する第３流路部材２３０とを備え、液体流路は、第１流路部材２１０と第２流路部材２２０との間に設けられ２つに分岐された第１上流流路５２１と第２上流流路５２２と、第１上流流路５２１及び第２上流流路５２２はそれぞれに連通する異なるフィルター室５３１、５３２に設けられたフィルター２４１，２４２と、各フィルター室に連通し、異なるノズル列に連通する第１下流流路５４１及び第２下流流路５４２とを備え、第１上流流路５４１及び第２上流流路５４２の何れか一方の流路の少なくとも一部を封止する封止部２１５を備える。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズル開口が並設されたノズル列を有するヘッド本体と、液体供給手段から前記ヘッド本体に液体を供給する液体流路、及び当該液体流路に設けられたフィルターを有する流路部材とを備え、前記ノズル列が複数並設されたヘッドであって、
前記流路部材は、前記液体供給手段からの液体が供給される第１流路部材と、前記第１流路部材とに接合される第２流路部材と、前記第２流路部材に接合されて前記ヘッド本体へ液体を供給する第３流路部材とを備え、
前記液体流路は、前記第１流路部材と前記第２流路部材との間に設けられ２つに分岐された第１上流流路と第２上流流路と、前記第１上流流路及び前記第２上流流路はそれぞれに連通する異なるフィルター室に設けられたフィルターと、各フィルター室に連通し、異なるノズル列に連通する第１下流流路及び第２下流流路とを備え、
前記第１上流流路及び前記第２上流流路の何れか一方を封止する封止部を備える
ことを特徴とするヘッド。
【請求項２】
前記封止部は、前記第１流路部材及び前記第２流路部材の少なくとも一方に設けられた突起部で構成されることを特徴とする請求項１に記載のヘッド。
【請求項３】
前記封止部は、前記第１流路部材と前記第２流路部材との相対的な位置決めをする位置決め部材を兼ねることを特徴とする請求項２に記載のヘッド。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れか一項に記載するヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを噴射するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置に搭載されノズル開口を介して液体を吐出する液体噴射ヘッドの代表例として、例えば圧電アクチュエーターの変位による圧力を利用してノズルからインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド（以下、「記録ヘッド」ともいう）が知られている。この種の記録ヘッドでは、一般に、ノズル開口に連通する圧力発生室が形成された流路形成基板の一方面側に圧電アクチュエーターを設け、この圧電アクチュエーターを変形させることで圧力発生室内のインクを加圧してノズル開口からインク滴を吐出させている。
【０００３】
また、複数のノズル列にインクを供給する流路部材としては、各色のインクを貯留したインクカートリッジから供給されたインクが流通する流路を途中で分岐させたものがある（例えば、特許文献１参照）。このような流路部材は、インクカートリッジから供給されたインクから異物や気泡が除去するフィルターを有しており、フィルターよりも下流側の流路を分岐させることで対称配置されたノズル列にインクを供給している。これにより、一種の液体を複数のノズル列にインクを供給することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−３３８３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、コストダウンのために、ノズル列を減らすことがあるが、この場合、液体の吐出量やクリーニング時の液体排出量が大幅に変わるため、フィルタサイズを大きく変更する必要があるので、上述した流路部材では対応できず、また、フィルターより下流での分岐では無駄な流路にインクが流れてしまうという問題がある。
また、１つの流路から分岐した流路に連通するノズル列間において、異なる流量で液体を供給する場合があり、上述した流路部材では、流路幅や長さを変更する必要がある。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑み、複数のノズル列に液体を供給する分岐した流路において流量調整を行うことができるヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口が並設されたノズル列を有するヘッド本体と、液体供給手段から前記ヘッド本体に液体を供給する液体流路、及び当該液体流路に設けられたフィルターを有する流路部材とを備え、前記ノズル列が複数並設されたヘッドであって、前記流路部材は、前記液体供給手段からの液体が供給される第１流路部材と、前記第１流路部材とに接合される第２流路部材と、前記第２流路部材に接合されて前記ヘッド本体へ液体を供給する第３流路部材とを備え、前記液体流路は、前記第１流路部材と前記第２流路部材との間に設けられ２つに分岐された第１上流流路と第２上流流路と、前記第１上流流路及び前記第２上流流路はそれぞれに連通する異なるフィルター室に設けられたフィルターと、各フィルター室に連通し、異なるノズル列に連通する第１下流流路及び第２下流流路とを備え、前記第１上流流路及び前記第２上流流路の何れか一方の流路の少なくとも一部を封止する封止部を備えることを特徴とするヘッドにある。
かかる態様では、封止部により分岐した一方の流路への液体の供給が遮断又は流量が制限でき、異なるヘッド構成に低コストで対応できる。
【０００８】
ここで、前記封止部は、前記第１流路部材及び前記第２流路部材の少なくとも一方に設けられた突起部で構成されることが好ましい。これによれば、１つの部材を変更するだけで封止部が形成でき、確実に封止部を設けることができる。
【０００９】
また、前記封止部は、前記第１流路部材と前記第２流路部材との相対的な位置決めをする位置決め部材を兼ねることが好ましい。これによれば、第１流路部材と第２流路部材との相対的な位置決めを封止部により行うことができる。
【００１０】
本発明の他の態様は、前記態様のヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、封止部により分岐した一方の流路への液体の供給が遮断又は流量が制限でき、異なるヘッド構成に低コストで対応できるヘッドを備えた液体噴射装置が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】インクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【図２】実施形態１に係るヘッドユニットの分解斜視図である。
【図３】実施形態１に係るヘッドユニットの平面図である。
【図４】実施形態１に係るヘッドユニットの断面図である。
【図５】流路部材の要部拡大図である。
【図６】他の実施形態の流路部材の要部拡大図である。
【図７】他の実施形態の流路部材の要部拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
〈実施形態１〉
まず、本発明の液体噴射ヘッドが搭載される液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置を説明する。図１は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００１３】
インクジェット式記録装置Ｉにおいて、ヘッドIIには、インク供給手段を構成するカートリッジ２が着脱可能に設けられ、ヘッドIIを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。
【００１４】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、ヘッド本体１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４には搬送手段としての搬送ローラー８が設けられており、紙等の記録媒体である記録シートＳが搬送ローラー８により搬送されるようになっている。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラーに限られずベルトやドラム等であってもよい。
【００１５】
なお、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、ヘッドIIがキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、ヘッドIIが固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【００１６】
また、上述した例では、インクジェット式記録装置Ｉは、液体貯留手段であるカートリッジ２がキャリッジ３に搭載された構成であるが、特にこれに限定されず、例えば、インクタンク等の液体貯留手段を装置本体４に固定して、貯留手段とヘッドIIとをチューブ等の供給管を介して接続してもよい。また、液体貯留手段がインクジェット式記録装置に搭載されていなくてもよい。
【００１７】
図２は本実施形態に係るヘッドIIに搭載されるヘッド本体の分解斜視図であり、図３はヘッド本体の平面図である。図４は図３のＡ−Ａ′線断面図である。
【００１８】
図示するように、本実施形態に係るヘッド本体１は、流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、保護基板３０、コンプライアンス基板４５等の複数の部材を備える。
【００１９】
流路形成基板１０は、ステンレス鋼やＮｉなどの金属、ＺｒＯ２あるいはＡｌ２Ｏ３を代表とするセラミック材料、ガラスセラミック材料、ＭｇＯ、ＬａＡｌＯ３のような酸化物などを用いることができる。本実施形態では、流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなる。この流路形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２がインクを吐出する複数のノズル開口２１が並設される方向に沿って並設されている。以降、この方向を圧力発生室１２の並設方向、又は第１の方向Ｘと称する。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２が第１の方向Ｘに沿って形成された圧力発生室１２の列が複数列設された列設方向を、以降、第２の方向Ｙと称する。さらに、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの双方に交差する方向を本実施形態では、第３の方向Ｚと称する。各図に示した座標軸は第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ、第３の方向Ｚを表しており、矢印の向かう方向を正（＋）方向、反対方向が負（−）方向ともいう。なお、本実施形態では、各方向（Ｘ、Ｙ、Ｚ）の関係を直交とするが、各構成の配置関係が必ずしも直交するものに限定されるものではない。
【００２０】
流路形成基板１０には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部側に、当該圧力発生室１２よりも開口面積が狭く、圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を付与する供給路等が設けられていてもよい。
【００２１】
流路形成基板１０の一方面側（保護基板３０とは反対側であって−Ｚ方向）には、連通板１５とノズルプレート２０とが順次積層されている。すなわち、流路形成基板１０の一方面に設けられた連通板１５と、連通板１５の流路形成基板１０とは反対面側に設けられたノズル開口２１を有するノズルプレート２０と、を具備する。
【００２２】
連通板１５には、圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このように連通板１５を設けることによってノズルプレート２０のノズル開口２１と圧力発生室１２とを離せるため、圧力発生室１２の中にあるインクは、ノズル開口２１付近のインクで生じるインク中の水分の蒸発による増粘の影響を受け難くなる。また、ノズルプレート２０は圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通するノズル連通路１６の開口を覆うだけでよいので、ノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることができ、コストの削減を図ることができる。なお、本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル開口２１が開口されて、インク滴が吐出される面を液体噴射面２０ａと称する。
【００２３】
また、連通板１５には、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部１８とが設けられている。
【００２４】
第１マニホールド部１７は、連通板１５を厚さ方向（連通板１５と流路形成基板１０との積層方向）に貫通して設けられている。第２マニホールド部１８は、連通板１５を厚さ方向に貫通することなく、連通板１５のノズルプレート２０側に開口して設けられている。
【００２５】
さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通する供給連通路１９が、圧力発生室１２毎に独立して設けられている。この供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とを連通する。
【００２６】
このような連通板１５としては、ステンレスやＮｉなどの金属、またはジルコニウムなどのセラミックなどを用いることができる。なお、連通板１５は、流路形成基板１０と線膨張係数が同等の材料が好ましい。すなわち、連通板１５として流路形成基板１０と線膨張係数が大きく異なる材料を用いた場合、加熱や冷却されることで、流路形成基板１０と連通板１５との線膨張係数の違いにより反りが生じてしまう。本実施形態では、連通板１５として流路形成基板１０と同じ材料、すなわち、シリコン単結晶基板を用いることで、熱による反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。
【００２７】
ノズルプレート２０には、各圧力発生室１２とノズル連通路１６を介して連通するノズル開口２１が形成されている。このようなノズル開口２１は、第１の方向Ｘに並設され、この第１の方向Ｘに並設されたノズル開口２１の列が第２の方向Ｙに２列形成されている。
【００２８】
このようなノズルプレート２０としては、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属、ポリイミド等の有機物、又はシリコン単結晶基板等を用いることができる。なお、ノズルプレート２０としてシリコン単結晶基板を用いることで、ノズルプレート２０と連通板１５との線膨張係数を同等として、加熱や冷却されることによる反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。
【００２９】
一方、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側には、振動板５０が形成されている。本実施形態では、振動板５０として、流路形成基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５２と、を設けるようにした。なお、圧力発生室１２等の液体流路は、流路形成基板１０を一方面側（ノズルプレート２０が接合された面側）から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力発生室１２等の液体流路の他方面は、弾性膜５１によって画成されている。
【００３０】
流路形成基板１０の振動板５０上には、第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とを有する圧電アクチュエーター３００が設けられている。本実施形態では、圧電アクチュエーター３００が流路内に圧力変化を生じさせる圧力発生手段であって、詳しくは後述する半導体素子である駆動回路１２０によって駆動されるピエゾ素子となっている。
【００３１】
圧電アクチュエーター３００は、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧電アクチュエーター３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極を圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。本実施形態では、第１電極６０を複数の圧電アクチュエーター３００に亘って連続して設けることで共通電極とし、第２電極８０を圧電アクチュエーター３００毎に独立して設けることで個別電極としている。もちろん、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。すなわち、第１電極６０を複数の圧電アクチュエーター３００に亘って連続して設けることで共通電極とし、第２電極を圧電アクチュエーター３００毎に独立して設けることで個別電極としてもよい。なお、上述した例では、振動板５０が弾性膜５１及び絶縁体膜５２で構成されたものを例示したが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、振動板５０として弾性膜５１及び絶縁体膜５２の何れか一方を設けたものであってもよく、また、振動板５０として弾性膜５１及び絶縁体膜５２を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター３００自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。
【００３２】
圧電体層７０は、第１電極６０上に形成される分極構造を有する酸化物の圧電材料からなり、例えば、一般式ＡＢＯ３で示されるペロブスカイト型酸化物からなることができ、鉛を含む鉛系圧電材料や鉛を含まない非鉛系圧電材料などを用いることができる。
【００３３】
また、圧電アクチュエーター３００の各第１電極６０、第２電極８０には、引き出し配線であるリード電極９０の一端がそれぞれ接続されている。リード電極９０の他端部は、振動板５０上であって、第２の方向Ｙで隣り合う圧電アクチュエーター３００の列の外側に向けて引き出されている。引き出されたリード電極９０の他端部は、保護基板３０に設けられた接続配線９２と接続されるリード電極端子９１となっている。なお、各リード電極９０は、本実施形態では、第２の方向Ｙに沿って直線状に延設されている。
【００３４】
流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。
【００３５】
保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を駆動する駆動回路１２０が設けられ、流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側の面に接合される基板である。
【００３６】
保護基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
【００３７】
このような流路形成基板１０、保護基板３０、連通板１５及びノズルプレート２０の接合体には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド１００を形成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されると共に、上述した連通板１５にも接合されている。具体的には、ケース部材４０は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。この凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。また、ケース部材４０には、凹部４１の第２の方向Ｙの両側に凹形状を有する第３マニホールド部４２が形成されている。この第３マニホールド部４２と、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８とによって本実施形態のマニホールド１００が構成されている。
【００３８】
ケース部材４０の材料としては、例えば、樹脂や金属等を用いることができる。ちなみに、ケース部材４０として、樹脂を成形することにより、低コストで量産することができる。
【００３９】
連通板１５のノズルプレート２０側の面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。このコンプライアンス基板４５が、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８のノズルプレート２０側の開口を封止している。このようなコンプライアンス基板４５は、本実施形態では、封止膜４６と、固定基板４７と、を具備する。封止膜４６は、可撓性を有する薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）やステンレス鋼（ＳＵＳ）等により形成された厚さが２０μｍ以下の薄膜）からなり、固定基板４７は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板４７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部４９となっている。
【００４０】
ケース部材４０には、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給するための導入口４４が設けられている。また、ケース部材４０には、保護基板３０が露出し、外部配線（図示せず）が挿通される接続口４３が設けられており、接続口４３に挿入された外部配線が駆動回路１２０と接続されている。
【００４１】
このような構成のヘッド本体１では、インクを噴射する際に、インクが貯留された液体貯留手段から導入口４４を介してインクを取り込み、マニホールド１００からノズル開口２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路１２０からの信号に従い、圧力発生室１２に対応する各圧電アクチュエーター３００に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター３００と共に振動板５０をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室１２内の圧力が高まり所定のノズル開口２１からインク滴が噴射される。
【００４２】
ここで、導入口４４に接続される流路部材を図５（ａ）を参照しながら説明する。
流路部材２００は、インクカートリッジ等のインク供給手段からヘッド本体１に液体を供給する液体流路５００、及び液体流路５００に設けられたフィルター２４０を有する部材である。具体的には流路部材２００は、第１流路部材２１０と、第２流路部材２２０と、第３流路部材２３０とを具備する。
これらの第１流路部材２１０、第２流路部材２２０、及び第３流路部材２３０は、例えば、接着剤や、溶着等によって一体的に形成されている。なお、これらの部材を積層して固定する手段は特に限定されず、ネジやクランプ等で固定してもよい。
【００４３】
第１流路部材２１０には、インク供給手段と連結されるインク供給口５１０と、インク供給口５１０からのインクを面内方向で二つに分岐する上流流路５２１、５２２とが設けられている。上流流路５２１、５２２は、第１流路部材２１０及び第２流路部材２２０の境界に設けられ、それぞれ第１フィルター室５３１及び第２フィルター室５３２に接続している。第１フィルター室５３１には、フィルター２４１が保持され、第２フィルター室５３２には、フィルター２４２が保持されている。第１フィルター室５３１及び第２フィルター室５３２は、それぞれ下流流路５４１及び５４２に接続し、下流流路５４１及び５４２は、ケース部材４０の導入口４４に接続される。
なお、液体流路５００には、インクカートリッジなどの液体保持部が直接接続されてもよく、また、インクタンクなどの液体保持部がチューブ等の供給管などを介して接続されてもよい。
【００４４】
本実施形態のインクジェット式記録装置Ｉは、液体貯留手段であるカートリッジ２に対して１つのヘッド本体１が接続され、ヘッド本体１は２列のノズル列を有する。よって、通常構造では、ブラック、イエロー、マゼンタ及びシアンに対応する４つのヘッド本体１が搭載され、各色２列のノズル列を使用するが、廉価版構造では、例えば、ブラックは２列のノズル列を使用するが、イエロー、マゼンタ及びシアンは１列のノズル列を使用する場合がある。
【００４５】
この場合、ノズル列が１列のヘッドを別途設計しても良いが、部品の共通化で、２列のノズル列を有するヘッド本体１を用いるが、一方は使用しない場合がある。このような場合に使用する流路部材を図５（ｂ）に示す。
図５（ｂ）に示す流路部材２００Ａは、一方の上流流路５２２を封止する封止突起２１５を第１流路部材２１０に設けたものである。これにより、第２フィルター室５３２及び下流流路５４２にはインクが流れなくなり、下流流路５４２に接続されるノズル列は使用不可となる。
【００４６】
このような流路部材２００Ａを用いることにより、最低限の部品変更によって、通常構造と、廉価構造に対応でき、部品点数の増加を防止できる。
また、インク供給口５１０の直ぐ下流で分岐した上流流路の一方を封止する構造としているので、使用しない第２フィルター室５３２にはインクが供給されず、インクの無駄を排除できる。
【００４７】
なお、本実施形態では、一方の上流流路を完全に封止する例を説明したが、一部だけを塞いて流量を低減し、流量の異なるノズル列を使用するようにすることもできる。
また、封止突起は、第２流路部材２２０に設けてもよく、又は両方に設けてもよい。さらに、封止突起により、第１流路部材２１０と第２流路部材２２０との位置決めを行うこともできる。
【００４８】
〈実施形態２〉
図６は、実施形態２に係る流路部材の断面である。図６に示すように、本実施形態の流路部材２００Ｂは、第１流路部材２１０に一体的に設けた封止突起２１５の代わりに、接着剤による封止部２１６により上流流路５２２を封止したものである。なお、封止部２１６は、本実施形態では、第１流路部材２１０と第２流路部材２２０とを接合する接着層２１７と同じ接着剤を用いて形成したものである。
【００４９】
なお、本実施形態でも、一方の上流流路を完全に封止するのではなく、一部だけを塞いて流量を低減し、流量の異なるノズル列を使用するようにすることもできるが、封止突起と比較して、流量調整の精度が低下する。
【００５０】
〈実施形態３〉
図７は、実施形態３に係る流路部材の断面である。図７に示すように、本実施形態の流路部材２００Ｃは、第１流路部材２１０に一体的に設けた封止突起２１５の代わりに、ゴムやエラストマーからなるブッシュの一部で構成された封止部２１８により上流流路５２２を封止したものである。なお、封止部２１８は、第１流路部材２１０と第２流路部材２２０との間を封止するブッシュ２１９の一部として形成したものである。
【００５１】
なお、本実施形態でも、一方の上流流路を完全に封止するのではなく、一部だけを塞いて流量を低減し、流量の異なるノズル列を使用するようにすることもできるが、封止突起と比較して、流量調整の精度が低下する。
【００５２】
〈他の実施形態〉
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
【００５３】
上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、ヘッド本体１がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、ヘッド本体１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【００５４】
また、上述した例では、インクジェット式記録装置Ｉは、液体貯留手段であるカートリッジ９がキャリッジ３に搭載された構成であるが、特にこれに限定されず、例えば、インクタンク等の液体貯留手段を装置本体４に固定して、貯留手段とヘッド本体１とをチューブ等の供給管を介して接続してもよい。また、液体貯留手段がインクジェット式記録装置に搭載されていなくてもよい。
【００５５】
さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。
【符号の説明】
【００５６】
Ｉ  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  II  記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  １  ヘッド本体、  ２０  ノズルプレート、  ２０ａ  液体噴射面、  ２１  ノズル開口、  ４４  導入口、  １００  マニホールド、  １２０  駆動回路、  ２００  流路部材、  ２１０  第１流路部材、  ２２０  第２流路部材、  ２３０  第３流路部材、  ２４０，２４１，２４２  フィルター、  ５００  液体流路、  ５１０  インク供給口、  ５２１  第１上流流路、  ５２２  第２上流流路、  ５３１  第１フィルター室、  ５３２  第２フィルター室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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