(57)【要約】  【課題】磁力によって制動可能なスライダの小型化および低コスト化を図ることができるエアスライド装置を提供する。  【解決手段】エアスライド装置１は、スライダ案内面２０を有するレール２と、スライダ案内面２０と対向するレール対向面３０を有し、レール２に沿って移動するスライダ３と、スライダ３に設けられ、エア放出面３２がレール対向面３０として機能するエアベアリング３２と、スライダ３の移動方向Ｘに沿ってレール２に設けられたガイド部４０ａ、４０ｂと、ガイド部４０ａ、４０ｂに沿ってスライダ３に設けられた被ガイド部４１ａ、４１ｂと、を備える。レール２は磁性金属で形成されている。被ガイド部４１ａ、４１ｂは、ヨーク４２ａ、４２ｂと、ヨーク４２ａ、４２ｂを磁化する永久磁石４３ａ、４３ｂと、を有し、ヨーク４２ａ、４２ｂから発生する磁力により、被ガイド部４１ａ、４１ｂをガイド部４０ａ、４０ｂに引き寄せる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スライダ案内面を有するレールと、前記レールのスライダ案内面と対向するレール対向面を有し、前記レールに沿って移動するスライダと、前記レールのスライダ案内面および前記スライダのレール対向面の少なくとも一方に設けられたエアベアリングと、を有するエアスライド装置であって、
前記スライダの移動方向に沿って前記レールに設けられたガイド部と、
前記ガイド部に沿って前記スライダに設けられた被ガイド部と、を備え、
前記ガイド部および前記被ガイド部の一方は、磁性体であり、
前記ガイド部および前記被ガイド部の他方は、磁力を発生して前記ガイド部および前記被ガイド部の一方を引き寄せる磁力発生部材である
ことを特徴とするエアスライド装置。
【請求項２】
請求項１に記載のエアスライド装置であって、
前記レールの前記スライダ案内面は、磁性体で形成されており、
前記ガイド部は、前記レールの前記スライダ案内面の前記スライダの移動方向に沿った両縁部であり、
前記被ガイド部は、前記スライダの前記レール対向面の、前記スライドの移動方向に沿った両端部にそれぞれ設けられている
ことを特徴とするエアスライド装置。
【請求項３】
請求項１に記載のエアスライド装置であって、
前記ガイド部は、前記レールの前記スライダ案内面の前記スライダの移動方向に沿った両端部に設けられたプレート状の磁性体であり、
前記被ガイド部は、前記スライダの前記レール対向面の、前記スライドの移動方向に沿った両端部にそれぞれ設けられている
ことを特徴とするエアスライド装置。
【請求項４】
請求項１に記載のエアスライド装置であって、
前記レールの前記スライダ案内面は、磁性体で形成され、当該スライダ案内面の前記スライダの移動方向に沿った中心線に沿って形成された溝を有し、
前記ガイド部は、前記レールの前記スライダ案内面に形成された前記溝の前記スライダの移動方向に沿った両縁部に設けられ、
前記被ガイド部は、前記スライダの前記レール対向面において、前記レールの前記スライダ案内面に形成された前記溝の前記スライダの移動方向に沿った両縁部に対向する位置にそれぞれ設けられている
ことを特徴とするエアスライド装置。
【請求項５】
請求項１に記載のエアスライド装置であって、
前記レールの前記スライダ案内面は、当該スライダ案内面の前記スライダの移動方向に沿った中心線に沿って形成された溝を有し、
前記ガイド部は、前記レールの前記スライダ案内面に形成された前記溝の幅方向の両側に設けられたプレート状の磁性体であり、
前記被ガイド部は、前記スライダの前記レール対向面において、前記レールの前記スライダ案内面に形成された前記溝の前記スライダの移動方向に沿った両縁部に対向する位置にそれぞれ設けられている
ことを特徴とするエアスライド装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか一項に記載のエアスライド装置であって、
前記被ガイド部は、
側面を前記レールの前記スライダ案内面に向けて、前記ガイド部に沿って前記スライダに設けられたプレート状のヨークと、
前記ヨークを磁化する永久磁石と、を有する
ことを特徴とするエアスライド装置。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか一項に記載のエアスライド装置であって、
前記スライダの移動方向における前記レールの両端部に設けられたサブガイド部と、
前記スライダの移動方向における当該スライダの両端部に設けられた被サブガイド部と、をさらに備え、
前記サブガイド部および前記被サブガイド部の一方は、磁性体であり、
前記サブガイド部および前記被サブガイド部の他方は、磁力を発生して前記サブガイド部および前記被サブガイド部の一方を引き寄せる磁力発生部材である
ことを特徴とするエアスライド装置。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれか一項に記載のエアスライド装置であって
前記レールは、直線状あるいは曲線状に形成されている
ことを特徴とするエアスライド装置。
【請求項９】
請求項１ないし６のいずれか一項に記載のエアスライド装置であって
前記レールは、環状に形成されている
ことを特徴とするエアスライド装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エアによりレール上を非接触で移動するスライダを備えたエアスライド装置に関し、特に、磁力によってスライドを制動可能に構成されたエアスライド装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、エアによりレールに沿って非接触で移動するスライダを磁力によって制動する制動手段を備えたエアスライド装置が知られている。この種のエアスライド装置として、特許文献１および特許文献２に記載のエアスライド装置がある。
【０００３】
特許文献１に記載のエアスライド装置において、スライダは、レールの上面および両側面を覆う断面コ字状に形成され、これらの面と対面するスライダの各内壁にエアベアリングが設けられている。エアベアリングから放出するエアにより、レールの上面および両側面とスライダの各内壁との間にエア層が形成され、これにより、スライダは、レールに沿って非接触で移動する。制動手段は、スライダの各内壁にエアベアリングとともに設けられた永久磁石と、スライダの移動方向に沿ってレールの上面および両側面にそれぞれ埋め込まれた銅板性の導体帯と、を有する。スライダの各内壁に設けられた永久磁石がレールの上面および両側面にそれぞれに埋め込まれた導体帯に引き寄せられ、これにより、エアベアリングから放出するエアによってレールの上面および両側面とスライダの各内壁との間に形成されるエア層が安定し、スライダが上下方向に自励振動するのを効果的に抑制できるとともに、スライダの移動方向の振動を低減でき、したがって、短時間でスライダの位置決め停止が可能となる。
【０００４】
また、特許文献２に記載のエアスライド装置において、レールは、レール台上に設置されている。スライダは、レールの上面および両側面を覆う断面コ字状に形成され、これらの面と対面するスライダの各内壁にエアベアリングが設けられている。エアベアリングから放出するエアにより、レールの上面および両側面とスライダの各内壁との間にエア層が形成され、これにより、スライダは、レールに沿って非接触で移動する。制動手段は、永久磁石を有し、レール台のレール設置面の任意の目標位置に取り付けられた磁気ダンパと、スライダに取り付けられた導電性ダンパプレートと、を有する。スライダがレールに沿って移動して磁気ダンパに近づくと、導電性ダンパプレートが磁気ダンパに引き寄せられ、これにより、スライダを任意の目標位置に停止させることが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−３２２５３１号公報
【特許文献２】特開２０１０−２７０８５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１、２に記載の磁力による制動手段を備えたエアスライド装置において、スライダは、レールの上面および両側面を覆う断面コ字状に形成され、これらの面と対面するスライダの各内壁にエアベアリングが設けられている。このため、スライダの幅がレール幅より大きくなり、スライダを小さくすることができないという問題がある。また、レールの上面および両側面と対面するスライダの各内壁にエアベアリングを設けているので、コストが高いという問題もある。
【０００７】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、磁力によって制動可能なスライダの小型化および低コスト化を図ることができるエアスライド装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明では、レールと、レールに沿って移動するスライダと、レールのスライダ案内面およびスライダのレール対向面の少なくとも一方に設けられたエアベアリングと、を有するエアスライド装置において、レールに、スライダの移動方向に沿ってガイド部を設けるとともに、スライダに、ガイド部に沿って被ガイド部を設けた。そして、ガイド部および被ガイド部の一方を磁性体とし、他方を磁力発生部材とした。ここで、レールは、直線状に形成されたものでもよいし、曲線状あるいは環状に形成されたものでもよい。
【０００９】
例えば、本発明は、スライダ案内面を有するレールと、前記レールのスライダ案内面と対向するレール対向面を有し、前記レールに沿って移動するスライダと、前記レールのスライダ案内面および前記スライダのレール対向面の少なくとも一方に設けられたエアベアリングと、を有するエアスライド装置であって、
前記スライダの移動方向に沿って前記レールに設けられたガイド部と、
前記ガイド部に沿って前記スライダに設けられた被ガイド部と、を備え、
前記ガイド部および前記被ガイド部の一方は、磁性体であり、
前記ガイド部および前記被ガイド部の他方は、磁力を発生して前記ガイド部および前記被ガイド部の一方を引き寄せる磁力発生部材である
ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明において、スライダは、エアベアリングによってレールのスライダ案内面とスライダのレール対向面との間に形成されたエア層を介して、スライダに設けられた被ガイド部をレールに設けられたガイド部に引き寄せながら、レールに沿って非接触で移動する。このため、スライダがレールに沿った移動方向に対して垂直方向である左あるいは右にずれて、レールの縁からはみ出そうとした場合でも、スライダをレールに対して正しい位置に戻すことができる。また、スライダがレールに沿った移動方向に移動してレールの端部に到達し、その勢いでレールから飛び出そうとした場合でも、スライダをレールに対して正しい位置に戻すことができる。したがって、本発明によれば、レールに沿ってスライダを移動させるために、スライダをレールの上面および両側面を覆う断面コ字状に形成し、レールのこれらの面と対面するスライダのすべての内壁にエアベアリングを設ける必要がない。これにより、スライダの小型化および低コスト化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１（Ａ）、図１（Ｂ）および図１（Ｃ）は、本発明の一実施の形態に係るエアスライド装置１の上面図、正面図、および側面図である。
【図２】図２（Ａ）〜図２（Ｄ）は、スライダ３の制動原理を説明するための図であり、図２（Ａ）は、図１（Ｃ）に示すエアスライド装置１のＡ部拡大図、図２（Ｂ）は、図１（Ｃ）に示すエアスライド装置１のＢ部拡大図、図２（Ｃ）は、図１（Ｂ）に示すエアスライド装置１のＣ部拡大図、そして、図２（Ｄ）は、図１（Ｂ）に示すエアスライド装置１のＤ部拡大図である。
【図３】図３は、本発明の一実施の形態に係るエアスライド装置１の変形例１ａの図１（Ｃ）に相当する図である。
【図４】図４は、本発明の一実施の形態に係るエアスライド装置１の変形例１ｂの図１（Ｃ）に相当する図である。
【図５】図５は、本発明の一実施の形態に係るエアスライド装置１の変形例１ｃの図１（Ｃ）に相当する図である。
【図６】図６（Ａ）、図６（Ｂ）および図６（Ｃ）は、本発明の一実施の形態に係るエアスライド装置１の変形例１ｅの上面図、正面図、および側面図である。
【図７】図７（Ａ）および図７（Ｃ）は、本発明の一実施の形態に係るエアスライド装置１の変形例１ｆの上面図および正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に、本発明の一実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００１３】
図１（Ａ）、図１（Ｂ）および図１（Ｃ）は、本発明の一実施の形態に係るエアスライド装置１の上面図、正面図、および側面図である。
【００１４】
図示するように、本実施の形態に係るエアスライド装置１は、スライダ案内面２０を有するレール２と、レール２のスライダ案内面２０と対向するレール対向面３０を有し、レール２に沿って移動方向Ｘに移動するスライダ３と、を備えている。
【００１５】
レール２は、磁性金属で形成されており、スライダ案内面２０の幅方向の両縁部２１ａ、２１ｂは、スライダ３のレール２に沿った移動方向Ｘの移動をガイドするガイド部４０ａ、４０ｂとして機能する。
【００１６】
スライダ３は、レール２の幅Ｗ１より狭い幅Ｗ２を有し、上面３１０に荷物が載置されるテーブル３１と、テーブル３１の裏面３１１に取り付けられ、エア放出面３２０がスライダ３のレール対向面３０として機能するエアベアリング３２と、テーブル３１の幅方向（スライダ３の移動方向Ｘに対する垂直方向Ｙ）の両側面３１２ａ、３１２ｂ側にそれぞれ設けられた被ガイド部４１ａ、４１ｂと、を有する。
【００１７】
テーブル３１には、図示していないポンプから供給されたエアをエアベアリング３２に供給するエア供給路（不図示）が形成されている。
【００１８】
エアベアリング３２は、テーブル３１から供給されたエアをスライダ３のレール対向面３０であるエア放出面３２０から放出する。これにより、スライダ３のレール対向面３０とレール２のスライダ案内面２０との間にエア層が形成され、スライダ３は、このエア層を介して非接触で移動する。
【００１９】
被ガイド部４１ａは、下面４２０ａをレール２のスライダ案内面２０に向けて、ガイド部４０ａに沿ってガイド部４０ａの上方に配置されたプレート状のヨーク４２ａと、ヨーク４２ａとテーブル３１の側面３１２ａとの間に配置され、ヨーク４２ａを磁化するネオジム磁石等の永久磁石４３ａと、ヨーク４２ａおよび永久磁石４３ａをテーブル３１の側面３１２ａに固定するボルト４４ａと、を有する。
【００２０】
同様に、被ガイド部４１ｂは、下面４２０ｂをレール２のスライダ案内面２０に向けて、ガイド部４０ｂに沿ってガイド部４０ｂの上方に配置されたプレート状のヨーク４２ｂと、ヨーク４２ｂとテーブル３１の側面３１２ｂとの間に配置され、ヨーク４２ｂを磁化するネオジム磁石等の永久磁石４３ｂと、ヨーク４２ｂおよび永久磁石４３ｂをテーブル３１の側面３１２ｂに固定するボルト４４ｂと、を有する。
【００２１】
つぎに、上記構成のエアスライド装置１におけるスライダ３の制動原理を説明する。図２（Ａ）〜図２（Ｄ）は、スライダ３の制動原理を説明するための図であり、図２（Ａ）は図１（Ｃ）に示すエアスライド装置１のＡ部拡大図、図２（Ｂ）は図１（Ｃ）に示すエアスライド装置１のＢ部拡大図、図２（Ｃ）は図１（Ｂ）に示すエアスライド装置１のＣ部拡大図、そして、図２（Ｄ）は図１（Ｂ）に示すエアスライド装置１のＤ部拡大図である。
【００２２】
スライダ３の移動方向Ｘに対する垂直方向Ｙにおいて（図１（Ｃ）参照）、スライダ３が−Ｙ方向にずれて、被ガイド部４１ａがレール２のスライダ案内面２０から横方向（−Ｙ方向）にはみ出した場合、図２（Ａ）に示すように、ヨーク４２ａから発生する磁力により、ヨーク４２ａおよびレール２間に引力Ｍが働いて、ヨーク４２ａがレール２に引き寄せられる。その結果、ヨーク４２ａがガイド部４０ａの上方に配置される位置まで、スライダ３が＋Ｙ方向に移動する。これにより、スライダ３は、レール２に対して正しい位置に戻る。
【００２３】
また、スライダ３の移動方向Ｘに対する垂直方向Ｙにおいて（図１（Ｃ）参照）、スライダ３が＋Ｙ方向にずれて、被ガイド部４１ｂがレール２のスライダ案内面２０から横方向（＋Ｙ方向）にはみ出した場合、図２（Ｂ）に示すように、ヨーク４２ｂから発生する磁力により、ヨーク４２ｂおよびレール２間に引力Ｍが働いて、ヨーク４２ｂがレール２に引き寄せられる。その結果、ヨーク４２ｂがガイド部４０ｂの上方に配置される位置まで、スライダ３が−Ｙ方向に移動する。これにより、スライダ３は、レール２に対して正しい位置に戻る。
【００２４】
また、スライド３の移動方向Ｘにおいて（図１（Ａ）、図１（Ｂ）参照）、スライダ３が−Ｘ方向に移動して、被ガイド部４１ａ、４１ｂのそれぞれの一方の端部４２１ａ、４２１ｂがレール２の長手方向の一方の端部２２から飛び出した場合、図２（Ｃ）に示すように、ヨーク４２ａ、４２ｂから発生する磁力により、ヨーク４２ａ、４２ｂおよびレール２間に引力Ｍが働いて、ヨーク４２ａ、４２ｂの一方の端部４２１ａ、４２１ｂがレール２に引き寄せられる。その結果、ヨークの一方の端部４２１ａ、４２１ｂがガイド部４０ａ、４０ｂの上方に配置される位置まで、スライダ３が＋Ｘ方向に移動する。これにより、スライダ３は、レール２に対して正しい位置に戻る。
【００２５】
また、スライド３の移動方向Ｘにおいて（図１（Ａ）、図１（Ｂ）参照）、スライダ３が＋Ｘ方向に移動して、被ガイド部４１ａ、４１ｂのそれぞれの他方の端部４２２ａ、４２２ｂがレール２の長手方向の他方の端部２３から飛び出した場合、図２（Ｄ）に示すように、ヨーク４２ａ、４２ｂから発生する磁力により、ヨーク４２ａ、４２ｂおよびレール２間に引力Ｍが働いて、ヨーク４２ａ、４２ｂの他方の端部４２２ａ、４２２ｂがレール２に引き寄せられる。その結果、ヨークの他方の端部４２２ａ、４２２ｂがガイド部４０ａ、４０ｂの上方に配置される位置まで、スライダ３が−Ｘ方向に移動する。これにより、スライダ３は、レール２に対して正しい位置に戻る。
【００２６】
以上、本発明の一実施の形態を説明した。
【００２７】
本実施の形態において、スライダ３は、エアベアリング３２によってレール２のスライダ案内面２０とスライダ３のレール対向面３０との間に形成されたエア層を介して、被ガイド部４１ａ、４１ｂをレール２に設けられたガイド部４０ａ、４０ｂに引き寄せながら、レール２に沿って非接触で移動する。このため、スライダ３がレール２に沿った移動方向Ｘに対して左（図１（Ｃ）の−Ｙ方向）あるいは右（図１（Ｃ）の＋Ｙ方向）にずれて、レール２のスライダ案内面２０から横方向にはみ出そうとした場合でも、スライダ３をレール２に対して正しい位置に戻すことができる。また、スライダ３がレール２の長手方向の端部２２、２３まで移動し、その勢いでレール２から長手方向に飛び出そうとした場合でも、スライダ３をレール２に対して正しい位置に戻すことができる。したがって、本実施の形態によれば、レール２に沿ってスライダ３を移動方向Ｘに移動させるために、スライダ３をレール２の上面（スライダ案内面２０）および両側面を覆う断面コ字状に形成し、レール２のこれらの面と対面するスライダ３のすべての内壁にエアベアリングを設ける必要がない。これにより、スライダ３の小型化および低コスト化を図ることができる。
【００２８】
また、本実施の形態では、スライダ３の被ガイド部４１ａ、４１ｂに永久磁石４３ａ、４３ｂを用いているので、スライダ３をレール２のガイド部４０ａ、４０ｂに引き寄せる磁力が常に作用する。このため、エアベアリング３２へのエア供給が遮断され、エア放出面３２０からのエア放出が停止した場合に、スライダ３をレール２に吸着させてロックさせることができる。
【００２９】
なお、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で数々の変形が可能である。
【００３０】
例えば、上記の実施の形態では、レール２を磁性金属で形成することにより、レール２のスライダ案内面２０の幅方向の両縁部２１ａ、２１ｂをガイド部４０ａ、４０ｂとして機能させている。しかし、本発明はこれに限定されない。図３に示すスライダ装置１ａのように、レール２を非磁性体で形成し、レール２の幅方向の両端部に磁性金属プレート２４ａ、２４ｂを取り付けることにより、磁性金属プレート２４ａ、２４ｂをガイド部４０ａ、４０ｂとして機能させてもよい。
【００３１】
また、上記の実施の形態では、ガイド部４０ａ、４０ｂをレール２に幅方向の両側（スライダ案内面２０の両縁部２１ａ、２１ｂ）に設けているが、本発明はこれに限定されない。図４に示すスライダ装置１ｂのように、磁性金属からなるレール２のスライダ案内面２０の中央に、スライダ３の移動方向Ｘ（図１（Ａ）、図１（Ｂ）参照）に沿って溝２５を形成し、この溝２５の両縁部２６ａ、２６ｂをガイド部４０ａ、４０ｂとして機能させてもよい。この場合、スライダ３のテーブル３１の裏面３１１の中央に、レール２のスライダ案内面２０の溝２５と対向する溝３１３を形成して、溝３１３の両側面３１４ａ、３１４ｂにそれぞれ被ガイド部４１ａ、４１ｂを設ける。ここで、被ガイド部４１ａにおいて、プレート状のヨーク４２ａは、下面４２０ａをレール２のスライダ案内面２０に向けて、ガイド部４０ａに沿ってガイド部４０ａの上方に配置され、永久磁石４３ａは、溝３１３内に配置され、ヨーク４２ａと接触してヨーク４２ａを磁化する。同様に、被ガイド部４１ｂにおいて、プレート状のヨーク４２ｂは、下面４２０ｂをレール２のスライダ案内面２０に向けて、ガイド部４０ｂに沿ってガイド部４０ｂの上方に配置され、永久磁石４３ｂは、溝３１３内に配置され、ヨーク４２ｂと接触してヨーク４２ｂを磁化する。
【００３２】
ここで、図５に示すスライダ装置１ｄのように、レール２を非磁性体で形成し、スライダ案内面２０の溝２５の両端部に磁性金属プレート２７ａ、２７ｂを取り付けることにより、磁性金属プレート２７ａ、２７ｂをガイド部４０ａ、４０ｂとして機能させてもよい。
【００３３】
また、上記の実施の形態では、レール２に一対のガイド部４０ａ、４０ｂを設けるとともに、これらのガイド部４０ａ、４０ｂに対応する一対の被ガイド部４１ａ、４１ｂをスライダ３に設けている。しかし、本発明はこれに限定されない。レール２にガイド部を一または三以上設けるとともに、ガイド部毎に、ガイド部に対応する被ガイド部をスライダ３に設けてもよい。
【００３４】
また、上記の実施の形態において、スライダ３の移動方向Ｘにおけるレール２の両端部２２、２３を、スライダ３のレール２からの飛び出しを防ぐサブガイド部４５ａ、４５ｂとして機能させてもよい。この場合、図６に示すエアスライド装置１ｅのように、スライダ３のテーブル３１の長手方向（スライダ３の移動方向Ｘ）の両端部３１５ａ、３１５ｂ側に、被サブガイド部４６ａ、４６ｂを設ける。
【００３５】
被サブガイド部４６ａは、下面４７０ａをレール２のスライダ案内面２０に向けて、サブガイド部４５ａに沿って配置されたプレート状のヨーク４７ａと、ヨーク４７ａとテーブル３１の側面３１３ａとの間に配置され、ヨーク４７ａを磁化するネオジム磁石等の永久磁石４８ａと、ヨーク４７ａおよび永久磁石４８ａをテーブル３１の側面３１３ａに固定するボルト４９ａと、を有する。
【００３６】
同様に、被サブガイド部４６ｂは、下面４７０ｂをレール２のスライダ案内面２０に向けて、サブガイド部４５ｂに沿って配置されたプレート状のヨーク４７ｂと、ヨーク４７ｂとテーブル３１の側面３１３ｂとの間に配置され、ヨーク４７ｂを磁化するネオジム磁石等の永久磁石４８ｂと、ヨーク４７ｂおよび永久磁石４８ｂをテーブル３１の側面３１３ｂに固定するボルト４９ｂと、を有する。
【００３７】
図６に示すエアスライド装置１ｅによれば、スライダ３が−Ｘ方向に移動して、被ガイド部４６ａがレール２の一方の端部２２から−Ｘ方向に飛び出そうとした場合、ヨーク４７ａから発生する磁力により、ヨーク４７ａおよびレール２間に引力が働いて、ヨーク４７ａがレール２に引き寄せられる。その結果、ヨーク４７ａがサブガイド部４５ａの上方に配置される位置まで、スライダ３が＋Ｘ方向に移動する。これにより、スライダ３は、レール２に対して正しい位置に戻る。また、スライダ３が＋Ｘ方向に移動して、被ガイド部４６ｂがレール２の他方の端部２３から＋Ｘ方向に飛び出そうとした場合、ヨーク４７ｂから発生する磁力により、ヨーク４７ｂおよびレール２間に引力が働いて、ヨーク４７ｂがレール２に引き寄せられる。その結果、ヨーク４７ｂがサブガイド部４５ｂの上方に配置される位置まで、スライダ３が−Ｘ方向に移動する。これにより、スライダ３は、レール２に対して正しい位置に戻る。
【００３８】
また、上記の実施の形態では、直線状のレール２を用いているが、レール２は曲線状に形成されたものでもよい。あるいは、図７に示すエアスライド装置１ｆのように、レール２を環状に形成して、このレール２のスライダ案内面２０上にスライダ３を配置してもよい。
【００３９】
また、上記の実施の形態では、スライダ３のテーブル３１の裏面３１１にエアベアリング３２を取り付けて、エアベアリング３２のエア放出面３２０をスライダ３のレール対向面３０として機能させているが、本発明はこれに限定されない。レール２の表面にエアベアリングを取り付けて、エアベアリングのエア放出面をレール２のスライダ案内面２０として機能させるようにしてもよい。
【００４０】
また、上記の実施の形態では、エアスライド３をレール２の上側に配置しているが、本発明はこれに限定されない。例えば、スライダ案内面２０を下方に向けてレール２を配置し、レール対向面３０を上方に向けてスライダ３をレール２の下側に配置してもよい。あるいは、レール２を垂直に配置し、レール２のスライダ案内面２０側にスライダ３を、レール対向面３がスライダ案内面２０と対向するように垂直に配置してもよい。これらの場合においても、スライダ３は、エアベアリング３２によってレール２のスライダ案内面２０とスライダ３のレール対向面３０との間に形成されたエア層を介して、被ガイド部４１ａ、４１ｂをレール２に設けられたガイド部４０ａ、４０ｂに引き寄せながら、レール２に沿って非接触で移動することができる。
【符号の説明】
【００４１】
１、１ａ〜１ｆ：エアスライド装置、２：レール、３：スライダ、  ２０：スライダ案内面、  ２１ａ、２１ｂ：スライダ案内面２０の幅方向の縁部、  ２２、２３：レール２の端部、  ２４ａ、２４ｂ、２７ａ、２７ｂ：磁性金属プレート、  ２５：スライダ案内面２０の溝、  ２６ａ、２６ｂ：溝２５の縁部、  ３０：レール対向面、  ３１：テーブル、  ３２：エアベアリング、  ４０ａ、４０ｂ：ガイド部、  ４１ａ、４１ｂ：被ガイド部、  ４２ａ、４２ｂ、４７ａ、４７ｂ：ヨーク、  ４３ａ、４３ｂ、４８ａ、４８ｂ：永久磁石、  ４４ａ、４４ｂ、４９ａ、４９ｂ：ボルト、  ４５ａ、４５ｂ：サブガイド部、  ４６ａ、４６ｂ：被サブガイド部、  ３１０：テーブル３１の上面、  ３１１：テーブル３１の裏面、  ３１２ａ、３１２ｂ：テーブル３１の幅方向の側面、  ３１３：テーブル３１の裏面３１１の溝、  ３１４ａ、３１４ｂ：溝３１３の側面、  ３１５ａ、３１５ｂ：テーブル３１の長手方向の端部、  ４２０ａ、４２０ｂ、４７０ａ、４７０ｂ：ヨーク４２ａ、４２ｂ、４７ａ、４７ｂの下面、  ４２１ａ、４２１ｂ、４２２ａ、４２２ｂ：被ガイド部４１ａ、４１ｂの端部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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