(57)【要約】【課題】被加工物が反っている場合にも被加工物を適切に受け渡すことのできる被加工物の受け渡し方法を提供する。【解決手段】被加工物（１１）の受け渡し方法であって、搬送手段（１８）から保持テーブル（５０）へと被加工物を受け渡す際には、保持テーブルによる吸引を開始する保持テーブル吸引開始ステップと、被加工物を保持テーブルに載置して吸着させる載置ステップと、被加工物が保持テーブルに吸着されたことを確認する第１の確認ステップと、吸着部（１８ａ）による吸着を解除する第１の受け渡しステップと、を実施し、保持テーブルから搬送手段へと被加工物を受け渡す際には、吸着部による吸引を開始する吸着部吸引開始ステップと、被加工物に吸着部を接触させて被加工物を吸着部に吸着させる吸着ステップと、被加工物が吸着部に吸着されたことを確認する第２の確認ステップと、保持テーブルによる被加工物の吸着を解除する第２の受け渡しステップと、を実施する。【選択図】図７
2016154168.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の被加工物を吸引し吸着する吸着面を備え、該吸着面によって吸着した状態で被加工物を保持する被加工物より径の小さい保持テーブルと、
被加工物に加工を施す加工手段と、
被加工物を収容する収容ケースと、
被加工物を吸引し吸着する吸着部を備え、該収容ケースに収容された被加工物を搬出して該保持テーブルに載置し、該保持テーブルに保持された被加工物を該保持テーブルから搬出する機能を有する搬送手段と、
各部を制御する制御手段と、を備えた加工装置において、
該搬送手段と該保持テーブルとの間で被加工物を受け渡す際に適用される被加工物の受け渡し方法であって、
該搬送手段から該保持テーブルへと被加工物を受け渡す際には、
該収容ケースに収容された被加工物を該吸着部によって吸着して搬出する搬出ステップと、
該保持テーブルによる吸引を開始する保持テーブル吸引開始ステップと、
該搬出ステップによって搬出した被加工物を該保持テーブルに載置して吸着させる載置ステップと、
該載置ステップで該保持テーブルに載置された被加工物が該保持テーブルに吸着されたことを確認する第１の確認ステップと、
該第１の確認ステップで被加工物が該保持テーブルに吸着されたことを確認した後に該吸着部による被加工物の吸着を解除する第１の受け渡しステップと、を実施し、
該保持テーブルから該搬送手段へと被加工物を受け渡す際には、
該吸着部による吸引を開始する吸着部吸引開始ステップと、
該保持テーブルに保持された被加工物に該吸着部を接触させて被加工物を該吸着部に吸着させる吸着ステップと、
該吸着ステップで該吸着部に接触した被加工物が該吸着部に吸着されたことを確認する第２の確認ステップと、
該第２の確認ステップで被加工物が該吸着部に吸着されたことを確認した後に該保持テーブルによる被加工物の吸着を解除する第２の受け渡しステップと、を実施することを特徴とする被加工物の受け渡し方法。
【請求項２】
該保持テーブルは、
負圧を発生する吸引源と該吸着面とを繋ぐ第１の吸引経路と、
該第１の吸引経路に配設され該第１の吸引経路内の圧力を測定して該制御手段に送る第１の圧力計と、
該第１の吸引経路を開閉する第１の開閉手段と、を備え、
該搬送手段は、
負圧を発生する吸引源と該吸着部とを繋ぐ第２の吸引経路と、
該第２の吸引経路に配設され該第２の吸引経路内の圧力を測定して該制御手段に送る第２の圧力計と、
該第２の吸引経路を開閉する第２の開閉手段と、を備え、
該制御手段は、
該保持テーブルが被加工物を正常に吸着した際の圧力値を第１の基準値として記憶し、該吸着部が被加工物を正常に吸着した際の圧力値を第２の基準値として記憶するとともに、該第１の圧力計から送られる第１の測定値と該第２の圧力計から送られる第２の測定値とを記憶する記憶手段と、
該第１の測定値を該第１の基準値と比較し、該第２の測定値を該第２の基準値と比較する比較判定部と、を備え、
該第１の確認ステップにおいて、該比較判定部は、該第１の測定値が該第１の基準値以下である場合に、被加工物が該保持テーブルに吸着されたと判定し、
該第２の確認ステップにおいて、該比較判定部は、該第２の測定値が該第２の基準値以下である場合に、被加工物が該吸着部に吸着されたと判定することを特徴とする請求項１に記載の被加工物の受け渡し方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状の被加工物を加工する加工装置において、被加工物を保持する保持テーブルと被加工物を搬送する搬送ユニットとの間で被加工物を受け渡す際に適用される被加工物の受け渡し方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体チップの小型化、軽量化を実現するために、シリコン等の材料でなる半導体ウェーハを薄く加工することが求められている。半導体ウェーハは、例えば、表面の分割予定ライン（ストリート）で区画される各領域にＩＣ等の電子回路（デバイス）が形成された後、裏面側を研削されることで薄化される。
【０００３】
薄化後の半導体ウェーハは、例えば、切削ブレードを備える切削装置でストリートに沿って切削され、各デバイスに対応する複数の半導体チップへと分割される（例えば、特許文献１参照）。分割後の半導体チップは、携帯電話機やパーソナルコンピュータをはじめとする様々な機器に組み込まれる。
【０００４】
上述の切削装置は、半導体ウェーハ等の被加工物を収容する収容ケース（カセット）が載置される載置領域、被加工物を一時的に吸着する仮置きテーブルが配置された仮置き領域、切削時に被加工物を保持するチャックテーブルに対して被加工物を搬入出する搬入出領域、切削後の被加工物を洗浄する洗浄領域、等を含む。各領域間での被加工物の移送には、被加工物を吸着して搬送する搬送ユニットが用いられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−３５９２１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、半導体ウェーハに代表される板状の被加工物を上述のように薄化すると、被加工物に貼着する保護テープの張力等によって被加工物が反り、搬送前後の被加工物の受け渡しに不具合を生じ得る。例えば、被加工物より小径の仮置きテーブルに反った被加工物を載置すると、仮置きテーブルで被加工物を適切に吸着できないことがある。
【０００７】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、被加工物が反っている場合にも被加工物を適切に受け渡すことのできる被加工物の受け渡し方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、板状の被加工物を吸引し吸着する吸着面を備え、該吸着面によって吸着した状態で被加工物を保持する被加工物より径の小さい保持テーブルと、被加工物に加工を施す加工手段と、被加工物を収容する収容ケースと、被加工物を吸引し吸着する吸着部を備え、該収容ケースに収容された被加工物を搬出して該保持テーブルに載置し、該保持テーブルに保持された被加工物を該保持テーブルから搬出する機能を有する搬送手段と、各部を制御する制御手段と、を備えた加工装置において、該搬送手段と該保持テーブルとの間で被加工物を受け渡す際に適用される被加工物の受け渡し方法であって、該搬送手段から該保持テーブルへと被加工物を受け渡す際には、該収容ケースに収容された被加工物を該吸着部によって吸着して搬出する搬出ステップと、該保持テーブルによる吸引を開始する保持テーブル吸引開始ステップと、該搬出ステップによって搬出した被加工物を該保持テーブルに載置して吸着させる載置ステップと、該載置ステップで該保持テーブルに載置された被加工物が該保持テーブルに吸着されたことを確認する第１の確認ステップと、該第１の確認ステップで被加工物が該保持テーブルに吸着されたことを確認した後に該吸着部による被加工物の吸着を解除する第１の受け渡しステップと、を実施し、該保持テーブルから該搬送手段へと被加工物を受け渡す際には、該吸着部による吸引を開始する吸着部吸引開始ステップと、該保持テーブルに保持された被加工物に該吸着部を接触させて被加工物を該吸着部に吸着させる吸着ステップと、該吸着ステップで該吸着部に接触した被加工物が該吸着部に吸着されたことを確認する第２の確認ステップと、該第２の確認ステップで被加工物が該吸着部に吸着されたことを確認した後に該保持テーブルによる被加工物の吸着を解除する第２の受け渡しステップと、を実施することを特徴とする被加工物の受け渡し方法が提供される。
【０００９】
本発明において、該保持テーブルは、負圧を発生する吸引源と該吸着面とを繋ぐ第１の吸引経路と、該第１の吸引経路に配設され該第１の吸引経路内の圧力を測定して該制御手段に送る第１の圧力計と、該第１の吸引経路を開閉する第１の開閉手段と、を備え、該搬送手段は、負圧を発生する吸引源と該吸着部とを繋ぐ第２の吸引経路と、該第２の吸引経路に配設され該第２の吸引経路内の圧力を測定して該制御手段に送る第２の圧力計と、該第２の吸引経路を開閉する第２の開閉手段と、を備え、該制御手段は、該保持テーブルが被加工物を正常に吸着した際の圧力値を第１の基準値として記憶し、該吸着部が被加工物を正常に吸着した際の圧力値を第２の基準値として記憶するとともに、該第１の圧力計から送られる第１の測定値と該第２の圧力計から送られる第２の測定値とを記憶する記憶手段と、該第１の測定値を該第１の基準値と比較し、該第２の測定値を該第２の基準値と比較する比較判定部と、を備え、該第１の確認ステップにおいて、該比較判定部は、該第１の測定値が該第１の基準値以下である場合に、被加工物が該保持テーブルに吸着されたと判定し、該第２の確認ステップにおいて、該比較判定部は、該第２の測定値が該第２の基準値以下である場合に、被加工物が該吸着部に吸着されたと判定することが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る被加工物の受け渡し方法では、受け渡し先（保持テーブル又は吸着部）による吸引を開始してから被加工物を受け渡し先に接触させ、被加工物が受け渡し先に吸着されたことを確認した上で受け渡し元（吸着部又は保持テーブル）による被加工物の吸着を解除するので、被加工物が反っている場合にも受け渡し先で被加工物を適切に吸着できる。すなわち、本発明に係る被加工物の受け渡し方法によれば、被加工物が反っている場合にも被加工物を適切に受け渡すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本実施形態に係る被加工物の受け渡し方法が適用される切削装置の構成例を模式的に示す斜視図である。
【図２】主に位置検出ユニットの構造を模式的に示す一部断面側面図である。
【図３】収容ケースの構造を模式的に示す分解斜視図である。
【図４】仮置きテーブル、第１の搬送ユニット、制御装置等の関係を模式的に示す図である。
【図５】図５（Ａ）は、第１の搬送ユニットの吸着ハンドが収容ケースの内部に挿入される様子を模式的に示す斜視図であり、図５（Ｂ）及び図５（Ｃ）は、収容ケースに収容された被加工物が吸着ハンドで吸着される様子を模式的に示す一部断面側面図である。
【図６】図６（Ａ）は、第１の搬送ユニットの吸着ハンドが位置検出ユニットの内部に挿入される様子を模式的に示す一部断面側面図であり、図６（Ｂ）は、被加工物が仮置きテーブルに載置される様子を模式的に示す斜視図である。
【図７】図７（Ａ）は、仮置きテーブル吸引開始ステップを模式的に示す図であり、図７（Ｂ）は、載置ステップを模式的に示す図であり、図７（Ｃ）は、第１の受け渡しステップを模式的に示す図である。
【図８】図８（Ａ）は、吸着ハンド吸引開始ステップを模式的に示す図であり、図８（Ｂ）は、吸着ステップを模式的に示す図であり、図８（Ｃ）は、第２の受け渡しステップを模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。本実施形態に係る被加工物の受け渡し方法は、第１の搬送ユニット（搬送手段）から仮置きテーブル（保持テーブル）へと被加工物を受け渡す一連のステップ（図７（Ａ）、図７（Ｂ）、及び図７（Ｃ）参照）と、仮置きテーブルから第１の搬送ユニットへと被加工物を受け渡す一連のステップ（図８（Ａ）、図８（Ｂ）、及び図８（Ｃ）参照）と、を含む。
【００１３】
第１の搬送ユニットから仮置きテーブルへと被加工物を受け渡す一連のステップは、収容ケースに収容された被加工物を第１の搬送ユニットの吸着ハンド（吸着部）で吸着して搬出する搬出ステップと、仮置きテーブルによる吸引を開始する仮置きテーブル吸引開始ステップ（保持テーブル吸引開始ステップ）（図７（Ａ））と、被加工物を仮置きテーブルに載置する載置ステップ（図７（Ｂ））と、被加工物が仮置きテーブルに吸着されたことを確認する第１の確認ステップと、第１の搬送ユニットの吸着ハンドによる被加工物の吸着を解除する第１の受け渡しステップ（図７（Ｃ））と、で構成される。
【００１４】
また、仮置きテーブルから第１の搬送ユニットへと被加工物を受け渡す一連のステップは、第１の搬送ユニットの吸着ハンドによる吸引を開始する吸着ハンド吸引開始ステップ（吸着部吸引開始ステップ）（図８（Ａ））と、被加工物に吸着ハンドを接触させて被加工物を吸着ハンドに吸着させる吸着ステップ（図７（Ｂ））と、被加工物が吸着ハンドに吸着されたことを確認する第２の確認ステップと、仮置きテーブルによる被加工物の吸着を解除する第２の受け渡しステップ（図８（Ｃ））と、で構成される。以下、本実施形態に係る被加工物の受け渡し方法について詳述する。
【００１５】
まず、本実施形態に係る被加工物の受け渡し方法が適用される切削装置について説明する。図１は、切削装置の構成例を模式的に示す斜視図である。図１に示すように、切削装置（加工装置）２は、各構造を支持する基台４を備えている。
【００１６】
基台４において、前端側の一方の角部には、切り欠き４ａが設けられており、この切り欠き４ａには、被加工物１１（図４等参照）の位置を検出する位置検出ユニット６が昇降可能に設置されている。位置検出ユニット６の上方には、複数の被加工物１１を収容する直方体状の収容ケース（カセット）８が載置される。
【００１７】
被加工物１１は、例えば、円盤状に形成された半導体ウェーハや樹脂基板、セラミックス基板、パッケージ基板等である。ただし、被加工物１１は、これら以外の板状物でも構わない。
【００１８】
位置検出ユニット６と近接する位置には、前後方向（Ｘ軸方向、加工送り方向）に長い矩形状の開口４ｂが形成されている。この開口４ｂ内には、移動テーブル１０、移動テーブル１０を前後方向に移動させるテーブル移動ユニット（不図示）、及びテーブル移動ユニットを覆う防塵防滴カバー１２が配置されている。
【００１９】
移動テーブル１０上には、被加工物１１を保持するチャックテーブル１４が設置されている。このチャックテーブル１４は、モータ等の回転駆動源（不図示）と連結されており、鉛直方向（Ｚ軸方向）に平行な回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル１４は、上述のテーブル移動ユニットによって移動テーブル１０とともに前後方向に移動する。
【００２０】
チャックテーブル１４の上面は、被加工物１１を保持する保持面となっている。この保持面は、チャックテーブル１４の内部に形成された流路（不図示）を通じて吸引源（不図示）と接続されており、被加工物１１は、保持面に作用する吸引源の負圧でチャックテーブル１４に吸着、保持される。
【００２１】
基台４の前面には、左右方向（Ｙ軸方向）に平行な第１のレール１６が固定されており、この第１のレール１６には、被加工物１１を搬送する第１の搬送ユニット（搬送手段）１８が連結されている。第１の搬送ユニット１８は、被加工物１１を吸着する吸着ハンド（吸着部）１８ａを備えており、開口４ｂの上方近傍において被加工物１１を吸着、保持した状態で、第１のレール１６に沿って左右方向に移動する。
【００２２】
基台４の上方には、門型の第１の支持構造２０が開口４ｂを跨ぐように配置されている。第１の支持構造２０の前面には、左右方向に平行な第２のレール２２が固定されており、この第２のレール２２には、被加工物１１を搬送する第２の搬送ユニット２４が連結されている。第２の搬送ユニット２４は、第２のレール２２に沿って左右方向に移動する。
【００２３】
例えば、収容ケース８内の被加工物１１を吸着ハンド１８ａで吸着し、第１の搬送ユニット１８を開口４ｂ側に移動させれば、被加工物１１をカセット８から搬出できる。カセット８から搬出された被加工物１１は、位置検出ユニット６で位置を検出された後に、第２の搬送ユニット２４でチャックテーブル１４に載置される。
【００２４】
また、第２のレール２２の上方には、左右方向に平行な第３のレール２６が固定されている。この第３のレール２６には、被加工物１１を搬送する第３の搬送ユニット２８が連結されている。第３の搬送ユニット２８は、第３のレール２６に沿って左右方向に移動する。
【００２５】
第１の支持構造２０の後方には、門型の第２の支持構造３０が配置されている。第２の支持構造３０の前面には、２組の移動ユニット３２が設けられており、各移動ユニット３２の下部には、切削ユニット（加工手段）３４が配置されている。各切削ユニット３４は、対応する移動ユニット３２によって左右方向及び鉛直方向に移動する。
【００２６】
各切削ユニット３４は、Ｙ軸の周りに回転するスピンドル（不図示）を備えている。各スピンドルの一端側には、円環状の切削ブレード３６が装着されている。また、各スピンドルの他端側には、モータ等の回転駆動源（不図示）が連結されており、切削ブレード３６は、回転駆動源から伝達される回転力で回転する。切削ブレード３６を回転させ、チャックテーブル１４上の被加工物１１に切り込ませることで、被加工物１１を切削できる。
【００２７】
基台４の前端側の他方の角部には、被加工物１１を洗浄する洗浄ユニット３８が配置されている。切削ユニット３４で切削された被加工物１１は、第３の搬送ユニット２８で洗浄ユニット３８に搬送される。洗浄ユニット３８で洗浄された被加工物１１は、第２の搬送ユニット２４で第１の搬送ユニット１８に受け渡されて、カセット８に搬入される。
【００２８】
位置検出ユニット６、テーブル移動ユニット、チャックテーブル１４、第１の搬送ユニット１８、第２の搬送ユニット２４、第３の搬送ユニット２８、移動ユニット３２、切削ユニット３４、洗浄ユニット３８等の各構成要素は、制御装置（制御手段）４０に接続されている。制御装置４０は、被加工物１１を適切に切削できるように各部の動作を制御する。
【００２９】
図２は、主に位置検出ユニット６の構造を模式的に示す一部断面側面図である。なお、図２では、簡略化された収容ケース８を併せて示している。図２に示すように、位置検出ユニット６は、内部に空間を有する直方体状の筐体４２を備えている。筐体４２の一側面は開口されており、内部に被加工物１１を搬入できるようになっている。また、筐体４２の底部は、支持台４４の上部に固定されている。
【００３０】
支持台４４の側面側には、ナット部４４ａが設けられており、このナット部４４ａには、鉛直方向に平行なＺ軸ボールネジ４６が螺合されている。Ｚ軸ボールネジ４６の下端部には、Ｚ軸パルスモータ４８が連結されている。Ｚ軸パルスモータ４８でＺ軸ボールネジ４６を回転させることで、筐体４２及び支持台４４は鉛直方向に移動する。
【００３１】
筐体４２の内部の空間には、被加工物１１を一時的に保持する仮置きテーブル（保持テーブル）５０が配置されている。仮置きテーブル５０は、モータ等の回転駆動源（不図示）と連結されており、鉛直方向に平行な回転軸の周りに回転する。仮置きテーブル５０の上面は、被加工物１１を吸着する吸着面５０ａとなっている。
【００３２】
仮置きテーブル５０と隣接する位置には、被加工物１１の外周縁を検出する外周縁検出ユニット５２が配置されている。外周縁検出ユニット５２は、仮置きテーブル５０で保持した被加工物１１に向けて光を放射する発光部５４と、発光部５４からの光を受光する受光部５６とを備え、受光部５６の受光量に基づいて被加工物１１の外周縁を検出する。切削装置２の制御装置４０は、外周縁検出ユニット５２で検出した外周縁に基づいて被加工物１１の位置を特定できる。
【００３３】
図３は、収容ケース８の構造を模式的に示す分解斜視図である。図３に示すように、収容ケース８は、内部に空間を有する直方体状の本体５８を備えている。本体５８の一側面は開口されており、内部に被加工物１１を挿入できるようになっている。本体５８の内部の空間は、複数（本実施形態では５枚）の隔壁プレート６０で鉛直方向に区画されており、各領域には、さらに被加工物１１を支持する支持プレート６２が挿入されている。
【００３４】
支持プレート６２は、第１の搬送ユニット１８の吸着ハンド１８ａに対応する形状に切り抜かれた切り抜き部６２ａを有しており、鉛直方向における吸着ハンド１８ａの通過が許容されている。これにより、本体５８の内部に吸着ハンド１８ａを挿入した状態で、収容ケース８と第１の搬送ユニット１８とを鉛直方向に相対的に移動できる。
【００３５】
図４は、仮置きテーブル５０、第１の搬送ユニット１８、制御装置４０等の関係を模式的に示す図である。図４に示すように、仮置きテーブル５０の吸着面５０ａは、第１の吸引経路５０ｂを通じて吸引源６４と接続されており、被加工物１１は、吸着面５０ａに作用する吸引源６４の負圧で仮置きテーブル５０に吸着、保持される。
【００３６】
第１の吸引経路５０ｂには、第１の吸引経路５０ｂ内の圧力を測定して、測定結果（第１の測定値）を制御装置４０へと送る第１の圧力計５０ｃが配置されている。なお、吸着面５０ａに作用する負圧は、第１の吸引経路５０ｂに設けられた第１のバルブ（第１の開閉手段）５０ｄによって制御される。
【００３７】
一方、第１の搬送ユニット１８の吸着ハンド１８ａは、第２の吸引経路１８ｂを通じて吸引源６４と接続されており、被加工物１１は、吸着ハンド１８ａに作用する吸引源６４の負圧で第１の搬送ユニット１８に吸着、保持される。
【００３８】
第２の吸引経路１８ｂには、第２の吸引経路１８ｂ内の圧力を測定して、測定結果（第２の測定値）を制御装置４０へと送る第２の圧力計１８ｃが配置されている。吸着ハンド１８ａに作用する負圧は、第２の吸引経路１８ｂに設けられた第２のバルブ（第２の開閉手段）１８ｄによって制御される。
【００３９】
制御装置４０は、各種の情報を記憶する記憶部４０ａと、被加工物１１が仮置きテーブル５０（吸着面５０ａ）又は第１の搬送ユニット１８（吸着ハンド１８ａ）に吸着されたか否かを判定する比較判定部４０ｂと、を備えている。
【００４０】
記憶部４０ａには、被加工物１１が仮置きテーブル５０に吸着されたか否かを判定する際の基準となる第１の基準値と、被加工物１１が第１の搬送ユニット１８に吸着されたか否かを判定する際の基準となる第２の基準値と、が予め記憶されている。また、記憶部４０ａには、第１の圧力計５０ｃから送られる第１の測定値と、第２の圧力計１８ｃから送られる第２の測定値と、が記憶される。
【００４１】
第１の基準値は、仮置きテーブル５０が被加工物１１を正常に吸着した際の圧力値に相当し、比較判定部４０ｂは、第１の測定値を第１の基準値と比較して、例えば、第１の測定値が第１の基準値以下である場合に、被加工物１１が仮置きテーブル５０に吸着されたと判定する。
【００４２】
また、第２の基準値は、第１の搬送ユニット１８の吸着ハンド１８ａが被加工物１１を正常に吸着した際の圧力値に相当し、比較判定部４０ｂは、第２の測定値を第２の基準値と比較して、例えば、第２の測定値が第２の基準値以下である場合に、被加工物１１が第１の搬送ユニット１８に吸着されたと判定する。
【００４３】
図５（Ａ）は、第１の搬送ユニット１８の吸着ハンド１８ａが収容ケース８（本体５８）の内部に挿入される様子を模式的に示す斜視図であり、図５（Ｂ）及び図５（Ｃ）は、収容ケース８に収容された被加工物１１が吸着ハンド１８ａで吸着される様子を模式的に示す一部断面側面図である。
【００４４】
収容ケース８に収容された被加工物１１を吸着ハンド１８ａで吸着するには、まず、図５（Ａ）に示すように、搬出対象の被加工物１１を支持する支持プレート６２と、この支持プレート６２の下方に隣接する隔壁プレート６０との間に、吸着ハンド１８ａを挿入する。
【００４５】
次に、図５（Ｂ）及び図５（Ｃ）に示すように、吸着ハンド１８ａを収容ケース８に対して上昇させて（吸着ハンド１８ａに対して収容ケース８を下降させて）、支持プレート６２の上方に隣接する本体５８の内壁面又は隔壁プレート６０に被加工物１１を押し当てる。これにより、被加工物１１は平坦に矯正されるので、第２のバルブ１８ｄを開いて負圧を作用させれば、反っている被加工物１１でも吸着ハンド１８ａで吸着できる。
【００４６】
図６（Ａ）は、第１の搬送ユニット１８の吸着ハンド１８ａが位置検出ユニット６（筐体４２）の内部に挿入される様子を模式的に示す一部断面側面図であり、図６（Ｂ）は、被加工物１１が仮置きテーブル５０に載置される様子を模式的に示す斜視図である。
【００４７】
第１の搬送ユニット１８の吸着ハンド１８ａに吸着された被加工物１１を仮置きテーブル５０に載置するには、まず、図６（Ａ）に示すように、位置検出ユニット６の筐体４２の内部に吸着ハンド１８ａを挿入する。
【００４８】
仮置きテーブル５０の上方に吸着ハンド１８ａを位置付け、吸着ハンド１８ａを仮置きテーブル５０に対して下降させれば（仮置きテーブル５０を吸着ハンド１８ａに対して上昇させれば）、被加工物１１を仮置きテーブル５０に載置できる。図６（Ｂ）に示すように、本実施形態に係る仮置きテーブル５０は、被加工物１１より小径に形成されている。
【００４９】
次に、上述した切削装置２で実施される被加工物の受け渡し方法について説明する。第１の搬送ユニット１８から仮置きテーブル５０へと被加工物１１を受け渡す際には、まず、収容ケース８に収容された被加工物１１を第１の搬送ユニット１８の吸着ハンド１８ａで吸着して搬出する搬出ステップを実施する。
【００５０】
この搬出ステップでは、上述したように、収容ケース８の内部に挿入した吸着ハンド１８ａを収容ケース８に対して上昇させ、本体５８の内壁面又は隔壁プレート６０に被加工物１１を押し当てる（図５（Ａ）、図５（Ｂ）、図５（Ｃ））。次に、第２のバルブ１８ｄを開いて吸着ハンド１８ａで被加工物１１を吸着し、この吸着ハンド１８ａを収容ケース８から引き出す。以上により、被加工物１１は収容ケース８から搬出される。
【００５１】
搬出ステップを実施した後には、仮置きテーブル５０による吸引を開始する仮置きテーブル吸引開始ステップ（保持テーブル吸引開始ステップ）を実施する。図７（Ａ）は、仮置きテーブル吸引開始ステップを模式的に示す図である。
【００５２】
仮置きテーブル吸引開始ステップでは、図７（Ａ）に示すように、第１のバルブ５０ｄを開いて、吸着面５０ａに吸引源６４の負圧を作用させる。これにより、仮置きテーブル５０による吸引が開始される。なお、この段階で第１の圧力計５０ｃから制御装置４０に送られ記憶部４０ａに記憶される第１の測定値は、記憶部４０ａに記憶されている第１の基準値より大きくなる。
【００５３】
仮置きテーブル吸引開始ステップを実施した後には、被加工物１１を仮置きテーブル５０に載置する載置ステップを実施する。図７（Ｂ）は、載置ステップを模式的に示す図である。
【００５４】
載置ステップでは、上述したように、仮置きテーブル５０の上方に吸着ハンド１８ａを位置付け、吸着ハンド１８ａを仮置きテーブル５０に対して下降させる（図６（Ａ）、図６（Ｂ））。図７（Ｂ）に示すように、被加工物１１が仮置きテーブル５０の吸着面５０ａに接触すると、第１の吸引経路５０ｂの圧力は低下し始める。
【００５５】
載置ステップを実施した後には、被加工物１１が仮置きテーブル５０に吸着されたことを確認する第１の確認ステップを実施する。具体的には、比較判定部４０ｂが、記憶部４０ａに記憶された第１の測定値と第１の基準値とを比較して、第１の測定値が第１の基準値以下の場合に、被加工物１１が仮置きテーブル５０に吸着されたと判定する。被加工物１１が仮置きテーブル５０に吸着されたと判定されると、第１の確認ステップは終了する。
【００５６】
第１の確認ステップを実施した後には、第１の搬送ユニット１８の吸着ハンド１８ａによる被加工物１１の吸着を解除する第１の受け渡しステップを実施する。図７（Ｃ）は、第１の受け渡しステップを模式的に示す図である。この第１の受け渡しステップでは、図７（Ｃ）に示すように、第２のバルブ１８ｄを閉じて吸着ハンド１８ａによる被加工物１１の吸着を解除する。これにより、被加工物１１は、第１の搬送ユニット１８から仮置きテーブル５０へと受け渡される。
【００５７】
一方で、仮置きテーブル５０から第１の搬送ユニット１８へと被加工物１１を受け渡す際には、まず、第１の搬送ユニット１８の吸着ハンド１８ａによる吸引を開始する吸着ハンド吸引開始ステップ（吸着部吸引開始ステップ）を実施する。図８（Ａ）は、吸着ハンド吸引開始ステップを模式的に示す図である。
【００５８】
吸着ハンド吸引開始ステップでは、図８（Ａ）に示すように、第２のバルブ１８ｄを開いて、吸着ハンド１８ａに吸引源６４の負圧を作用させる。これにより、第１の搬送ユニット１８の吸着ハンド１８ａによる吸引が開始される。なお、この段階で第２の圧力計１８ｃから制御装置４０に送られ記憶部４０ａに記憶される第２の測定値は、記憶部４０ａに記憶されている第２の基準値より大きくなる。
【００５９】
吸着ハンド吸引開始ステップを実施した後には、被加工物１１に吸着ハンド１８ａを接触させて被加工物１１を吸着ハンド１８ａに吸着させる吸着ステップを実施する。図８（Ｂ）は、吸着ステップを模式的に示す図である。
【００６０】
吸着ステップでは、仮置きテーブル５０の下方に吸着ハンド１８ａを位置付け、吸着ハンド１８ａを仮置きテーブル５０に対して上昇させる（仮置きテーブル５０を吸着ハンド１８ａに対して下降させる）。図８（Ｂ）に示すように、被加工物１１が吸着ハンド１８ａに接触すると、第２の吸引経路１８ｂの圧力は低下し始める。
【００６１】
吸着ステップを実施した後には、被加工物１１が吸着ハンド１８ａに吸着されたことを確認する第２の確認ステップを実施する。具体的には、比較判定部４０ｂが、記憶部４０ａに記憶された第２の測定値と第２の基準値とを比較して、第２の測定値が第２の基準値以下の場合に、被加工物１１が吸着ハンド１８ａに吸着されたと判定する。被加工物１１が吸着ハンド１８ａに吸着されたと判定されると、第２の確認ステップは終了する。
【００６２】
第２の確認ステップを実施した後には、仮置きテーブル５０による被加工物１１の吸着を解除する第２の受け渡しステップを実施する。図８（Ｃ）は、第２の受け渡しステップを模式的に示す図である。この第２の受け渡しステップでは、図８（Ｃ）に示すように、第１のバルブ５０ｄを閉じて仮置きテーブル５０による被加工物１１の吸着を解除する。これにより、被加工物１１は、仮置きテーブル５０から第１の搬送ユニット１８へと受け渡される。
【００６３】
以上のように、本実施形態に係る被加工物の受け渡し方法では、受け渡し先（仮置きテーブル（保持テーブル）５０又は吸着ハンド（吸着部）１８ａ）による吸引を開始してから被加工物１１を受け渡し先に接触させ、被加工物１１が受け渡し先に吸着されたことを確認した上で受け渡し元（吸着ハンド１８ａ又は仮置きテーブル５０）による被加工物１１の吸着を解除するので、被加工物１１が反っている場合にも受け渡し先で被加工物１１を適切に吸着できる。
【００６４】
なお、本発明は上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。たとえば、上記実施形態では、被加工物１１の下面側を吸着する吸着ハンド（吸着部）１８ａを用いる被加工物の受け渡し方法について説明しているが、本発明に係る被加工物の受け渡し方法は、被加工物１１の上面側を吸着する吸着ハンド（吸着部）を用いて実施することもできる。
【００６５】
その他、上記実施形態に係る構成、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００６６】
２  切削装置（加工装置）
４  基台
４ａ  切り欠き
４ｂ  開口
６  位置検出ユニット
８  収容ケース（カセット）
１０  移動テーブル
１２  防塵防滴カバー
１４  チャックテーブル
１６  第１のレール
１８  第１の搬送ユニット（搬送手段）
１８ａ  吸着ハンド（吸着部）
１８ｂ  第２の吸引経路
１８ｃ  第２の圧力計
１８ｄ  第２のバルブ（第２の開閉手段）
２０  第１の支持構造
２２  第２のレール
２４  第２の搬送ユニット
２６  第３のレール
２８  第３の搬送ユニット
３０  第２の支持構造
３２  移動ユニット
３４  切削ユニット（加工手段）
３６  切削ブレード
３８  洗浄ユニット
４０  制御装置（制御手段）
４０ａ  記憶部
４０ｂ  比較判定部
４２  筐体
４４  支持台
４４ａ  ナット部
４６  Ｚ軸ボールネジ
４８  Ｚ軸パルスモータ
５０  仮置きテーブル（保持テーブル）
５０ａ  吸着面
５０ｂ  第１の吸引経路
５０ｃ  第１の圧力計
５０ｄ  第１のバルブ（第１の開閉手段）
５２  外周縁検出ユニット
５４  発光部
５６  受光部
５８  本体
６０  隔壁プレート
６２  支持プレート
６２ａ  切り抜き部
６４  吸引源
１１  被加工物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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