(57)【要約】【課題】薄型ベイパーチャンバを提供する。【解決手段】第一板２０と第二板３０を組み合わせて結合体を形成する。接合縁部７１は、結合体の周縁に形成されている。また、挿口６０は、接合縁部７１に形成されている。結合体の接合縁部７１にハンダづけを行い、溶接によって密封する。作動液体を注入して空気を抜き、内部を真空にする。挿口６０を閉じる。主に金属粉末を粘着した接着剤を直接焼結することによって、薄型の毛細管構造体５０を形成する。【選択図】図１
2016023923.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一板と、第二板と、吸熱区域及び凝縮区域と、毛細管構造体と、液体作業物質と、を備え、
前記第二板は、前記第一板に対応かつ接合し、周縁に接合縁部が形成されており、前記接合縁部に挿口が形成されており、前記接合縁部及び前記挿口が溶接によって密封されており、
前記第一板と前記第二板との間に空間が形成されており、
前記吸熱区域及び前記凝縮区域は、前記第一板および前記第二板のいずれか一方に定義されており、
前記毛細管構造体は、前記空間内に位置し、前記第一板および前記第二板の少なくとも一方の表面の局部に焼結されており、
前記凝縮区域には、前記毛細管構造体が焼結されていない部分に形成されている空間部が位置しており、
前記液体作業物質は、前記空間の中に充填されていることを特徴とする薄型ベイパーチャンバ。
【請求項２】
前記毛細管構造体は、前記吸熱区域に位置し、前記凝縮区域へ延伸する複数の第一延伸部を有し、
前記空間部は、二つの隣接する前記第一延伸部の間に位置することを特徴とする請求項１に記載の薄型ベイパーチャンバ。
【請求項３】
前記毛細管構造体は、前記吸熱区域に位置し、前記凝縮区域へ延伸する第一延伸部を有し、
前記第一延伸部は、外側へ延伸する第二延伸部を有し、
前記空間部は、前記第一延伸部と前記第二延伸部との間に位置し、
前記空間部は、前記第二延伸部が複数である場合、二つの隣接する前記第二延伸部の間に存在し、
前記第一延伸部が複数である場合、複数の前記第一延伸部は、一部が外へ延伸する前記第二延伸部を有することを特徴とする請求項１に記載の薄型ベイパーチャンバ。
【請求項４】
前記毛細管構造体は、数が二つであり、それぞれ前記第一板及び前記第二板の表面の局部に焼結されており、
二つの前記毛細管構造体は、互いに接触する構成あるいは所定距離離れている構成を有することを特徴とする請求項１に記載の薄型ベイパーチャンバ。
【請求項５】
前記毛細管構造体は、数が一つであり、前記第一板および前記第二板のいずれか一方に焼結されており、他方と接触する構成あるいは他方と所定距離離れている構成を有することを特徴とする請求項１に記載の薄型ベイパーチャンバ。
【請求項６】
前記空間部は、数が複数であり、一部の空間が互いに連通していることを特徴とする請求項１に記載の薄型ベイパーチャンバ。
【請求項７】
前記第一板および前記第二板は、一方の周縁が折れ曲がることで曲折部が形成されており、他方の周縁が前記曲折部により挟持され、挟持関係を形成することを特徴とする請求項１に記載の薄型ベイパーチャンバ。
【請求項８】
排気管をさらに備え、
前記排気管は、前記挿口に挿設されており、外側の端部が露出し密封されており、前記空間と連通していることを特徴とする請求項１に記載の薄型ベイパーチャンバ。
【請求項９】
請求項１に記載の薄型ベイパーチャンバを製造する方法であって、
前記第一板及び前記第二板を用意するステップ１）と、
前記第一板および前記第二板の少なくともの一方の表面に、透かし彫り区域が形成されている治具を設置するステップ２）と、
前記治具が置かれている前記第一板あるいは前記第二板に接着剤を塗り、前記接着剤が前記透かし彫り区域を経由して前記第一板あるいは前記第二板の局部に塗付けるようにするステップ３）と、
前記第一板あるいは前記第二板から前記治具を取り外し、前記第一板あるいは前記第二板の前記接着剤が塗られている区域を接着剤区域と定義し、前記第一板あるいは前記第二板の前記接着剤が塗られていない区域を無接着剤区域と定義するステップ４）と、
前記接着剤が塗られている前記第一板あるいは前記第二板に金属粉末を振り掛け、前記金属粉末が、前記接着剤区域に粘着し、前記無接着剤区域に粘着しないステップ５）と、
前記第一板あるいは前記第二板に粘着されていない前記金属粉末を除去するステップ６）と、
前記金属粉末が粘着されている前記第一板あるいは前記第二板を焼結し、前記接着剤が焼結後に蒸発かつ散逸し、前記金属粉末が焼結後に前記第一板あるいは前記第二板に前記毛細管構造体を形成し、前記無接着剤区域に前記金属粉末がないため、前記無接着剤区域が前記毛細管構造体に対応する空間部を形成するステップ７）と、
前記第一板と前記第二板を組み合わせて結合体を形成し、前記結合体の周縁に前記接合縁部を形成し、前記接合縁部に前記挿口を形成するステップ８）と、
前記結合体の前記接合縁部にハンダを入れ、溶接によって前記接合縁部を密封するステップ９）と、
前記液体作業物質を注入するステップ１０）と、
空気を抜き、内部を真空にするステップ１１）と、
前記挿口を閉じるステップ１２）と、を含むことを特徴とする薄型ベイパーチャンバの製造方法。
【請求項１０】
前記ステップ４）と前記ステップ５）の順番を入れ替え、
前記接着剤が塗られている前記第一板あるいは前記第二板に前記金属粉末を振り掛け、前記接着剤により前記金属粉末を前記第一板あるいは前記第二板に粘着し、
前記第一板あるいは前記第二板から前記治具を取り外し、前記第一板あるいは前記第二板に少なくとも一つの接着剤区域および少なくとも一つの無接着剤区域を形成し、前記接着剤区域に前記金属粉末が粘着されていることを特徴とする請求項９に記載の薄型ベイパーチャンバの製造方法。
【請求項１１】
前記空間部は、複数であり、少なくとも一部が互いに連通することを特徴とする請求項９に記載の薄型ベイパーチャンバの製造方法。
【請求項１２】
前記ステップ７）の後に行われる押し抜き加工ステップをさらに含み、
前記押し抜き加工ステップは、前記第一板および前記第二板のいずれかに対して押し抜き加工を行い、加工された前記第一板または前記第二板の周縁に立壁が形成されるようにすることを特徴とする請求項９に記載の薄型ベイパーチャンバの製造方法。
【請求項１３】
前記第一板および前記第二板の一方の周縁が折れ曲がることで曲折部が形成されており、
前記ステップ８）において、前記第一板と前記第二板とを組み付ける時、前記第一板および前記第二板の他方の周縁が前記曲折部により挟持され、挟持関係を形成することを特徴とする請求項９に記載の薄型ベイパーチャンバの製造方法。
【請求項１４】
前記ステップ８）の後に行われる二次焼結ステップをさらに含み、
前記二次焼結ステップは前記結合体に対して焼結を行うことを特徴とする請求項９に記載の薄型ベイパーチャンバの製造方法。
【請求項１５】
前記第一板または前記第二板には、前記吸熱区域および前記凝縮区域が定義されており、
少なくとも一つに前記空間部は前記凝縮区域に位置することを特徴とする請求項９に記載の薄型ベイパーチャンバの製造方法。
【請求項１６】
前記第一板または前記第二板には、前記吸熱区域および前記凝縮区域が定義されており、
前記毛細管構造体は、前記吸熱区域に位置し、前記凝縮区域へ延伸する複数の第一延伸部を有し、
前記空間部は、二つの隣接する前記第一延伸部の間に位置することを特徴とする請求項９に記載の薄型ベイパーチャンバの製造方法。
【請求項１７】
前記毛細管構造体は、前記吸熱区域に位置し、前記凝縮区域へ延伸する第一延伸部を有し、
前記第一延伸部は、外側へ延伸する第二延伸部を有し、
前記空間部は、前記第一延伸部と前記第二延伸部との間に位置し、
前記空間部は、前記第二延伸部が複数である場合、二つの隣接する前記第二延伸部の間に存在し、
前記第一延伸部が複数である場合、複数の前記第一延伸部は、一部が外へ延伸する前記第二延伸部を有することを特徴とする請求項９に記載の薄型ベイパーチャンバの製造方法。
【請求項１８】
前記ステップ３）〜前記ステップ７）は、いずれも前記第一板および前記第二板の両方に対して行うことを特徴とする請求項９に記載の薄型ベイパーチャンバの製造方法。
【請求項１９】
前記ステップ８）と前記ステップ９）との間に、排気管を入れるステップをさらに加え、
前記排気管を入れるステップでは、前記排気管を前記挿口に挿入し、
前記ステップ９）では、前記結合体の前記接合縁部にハンダを入れ、且つ、前記排気管と前記挿口との間にハンダを入れ、溶接によって密封を行い、
前記ステップ１２）では、前記排気管を密封することに変更することを特徴とする請求項９に記載の薄型ベイパーチャンバの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放熱装置に関し、特に薄型蒸気ベイパーチャンバ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、ステップ（ａ）〜ステップ（ｅ）を含む蒸気チャンバ装置毛細管成型方法（ｖａｐｏｒ  ｃｈａｍｂｅｒ  ｃａｐｉｌｌａｒｙ  ｆｏｒｍａｔｉｏｎ  ｍｅｔｈｏｄ）を紹介した。ステップ（ａ）は、基板（ｂａｓｅ  ｐｌａｔｅ）（図の符号１０）及び対応した蓋板（ｃｏｖｅｒ  ｐｌａｔｅ）（図の符号２０）を提供する。ステップ（ｂ）は、基板あるいは蓋板の内壁に複数の支持凸部（ａ  ｐｌｕｒａｌｉｔｙ  ｏｆ  ｓｕｐｐｏｒｔ  ｐｒｏｔｒｕｓｉｏｎｓ）（図の符号３０）を形成する。ステップ（ｃ）は、支持凸部の表面、基板の内壁及び蓋板の内壁に毛細管構造体（ｃａｐｉｌｌａｒｙ  ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ）（図の符号４０）を塗ることである。ステップ（ｄ）は、互いに空間（ｃａｖｉｔｙ）（図の符号１００）を形成するために基板及び蓋板を層畳及び密封する。ステップ（ｅ）は、空間の中に液体作業物質（ｗｏｒｋｉｎｇ  ｆｌｕｉｄ）（図の符号５０）を充填し、空間を真空にし、密封する。また、毛細管構造体が直接蒸気チャンバ装置の殻体の内壁に形成することが出来るため、支持強度及び蒸気チャンバ装置の効率が、向上する。
【０００３】
前述の毛細管構造体は、支持凸部の表面に塗られている。支持凸部及び毛細管構造体が相当な厚みを持つため、蒸気チャンバ装置の厚みを、更に削減することができない。つまり、薄型ベイパーチャンバは、従来技術では製造が不可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許２０１３−００２２３１２号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、薄型ベイパーチャンバを提供することにある。該薄型ベイパーチャンバは、構造上に従来技術に使用された凸部構造を備えておらず、金属粉末から構成された毛細管構造体及び金属粉末の間に形成された空間部のみを有することにより超薄蒸気チャンバ装置が形成される。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明による薄型ベイパーチャンバは、第一板と、第二板と、吸熱区域及び凝縮区域と、毛細管構造体と、液体作業物質と、を備える。第二板は、第一板に対応かつ接合し、周縁に接合縁部が形成されており、接合縁部に挿口が形成されており、接合縁部及び挿口が溶接によって密封されている。第一板と第二板との間に空間が形成されている。吸熱区域及び凝縮区域は、第一板および第二板のいずれか一方に定義されている。毛細管構造体は、空間内に位置し、第一板および第二板の少なくとも一方の表面の局部に焼結されている。凝縮区域には、毛細管構造体が焼結されていない部分に形成されている空間部が位置している。液体作業物質は空間の中に充填されている。
【０００７】
上述構造の薄型ベイパーチャンバは、金属粉末から構成された毛細管構造体及び金属粉末同士の間に形成された空間部のみを備える。よって、超薄い蒸気チャンバ装置は、形成されている。
【０００８】
本発明による薄型ベイパーチャンバの製造方法は、以下の通りであり、従来技術より更に薄い薄型ベイパーチャンバを製造することが可能である。
【０００９】
ステップ１）では第一板及び第二板を用意する。
ステップ２）では、第一板および第二板の少なくともの一方の表面に、透かし彫り区域が形成されている治具を設置する。
ステップ３）では、治具が置かれている第一板あるいは第二板に接着剤を塗り、接着剤が透かし彫り区域を経由して第一板あるいは第二板の局部に塗付けるようにする。
ステップ４）では、第一板あるいは第二板から治具を取り外し、第一板あるいは第二板の接着剤が塗られている区域を接着剤区域と定義し、第一板あるいは第二板の接着剤が塗られていない区域を無接着剤区域と定義する。
ステップ５）では、接着剤が塗られている第一板あるいは第二板に金属粉末を振り掛け、金属粉末が、接着剤区域に粘着し、無接着剤区域に粘着しない。
ステップ６）では、第一板あるいは第二板に粘着されていない金属粉末を除去する。
ステップ７）では、金属粉末が粘着されている第一板あるいは第二板を焼結し、接着剤が焼結後に蒸発かつ散逸し、金属粉末が焼結後に第一板あるいは第二板に毛細管構造体を形成し、無接着剤区域に金属粉末がないため、無接着剤区域が毛細管構造体に対応する空間部を形成する。
ステップ８）では、第一板と第二板を組み合わせて結合体を形成し、結合体の周縁に接合縁部を形成し、接合縁部に挿口を形成する。
ステップ９）では、結合体の接合縁部にハンダを入れ、溶接によって接合縁部を密封する。
ステップ１０）では、液体作業物質を注入する。
ステップ１１）では、空気を抜き、内部を真空にする。
ステップ１２）では、挿口を閉じる。
【００１０】
上述のステップの通り、本発明は、主に金属粉末を粘着した接着剤を直接焼結することによって、薄型の毛細管構造体を形成する。本発明が従来技術で用いられている凸部技術手段を使用しないため、極めて薄い薄型ベイパーチャンバの製造が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態による薄型ベイパーチャンバを示す分解斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態による薄型ベイパーチャンバを示す斜視図である。
【図３】本発明の一実施形態による薄型ベイパーチャンバを示す斜視図である。
【図４】本発明の一実施形態による薄型ベイパーチャンバの内部状態を示す図２の４−４線断面図である。
【図５】本発明の第二実施形態による薄型ベイパーチャンバの製造方法を示すブロック図である。
【図６】第一板に治具を置く前の状態を示す作業略図である。
【図７】第一板の上に治具を置く時の状態を示す作業略図である。
【図８】治具が第一板の上に位置し接着剤が塗られた状態を示す作業略図である。
【図９】第一板から治具を取り外した状態を示す作業略図である。
【図１０】第一板に金属粉末を振り掛ける時の状態を示す作業略図である。
【図１１】第一板から粘着されない金属粉末を除去した状態を示す作業略図である。
【図１２】第一板に毛細管構造体を焼結した状態を示す作業略図である。
【図１３】第一板を押し抜いた後の状態を示す作業略図である。
【図１４】第一板と第二板を組み合わせる時の状態を示す作業略図である。
【図１５】第一板と第二板を組み合わせた状態を他の角度から示す作業略図である。
【図１６】排気管を入れる時の状態を示す作業略図である。
【図１７】製品の内部状態を示す図１６の１７−１７線断面図である。
【図１８】治具を取り除かない第一板に金属粉末を振り掛ける状態を示す作業略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
（第一実施形態）
本発明の技術特徴を詳細に説明するために、実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１３】
図１〜図４に示すように、本発明の一実施形態による薄型ベイパーチャンバ２００は、主に第一板２０と第二板３０と毛細管構造体５０と排気管８０と液体作業物質（図に示されない）から構成されている。
【００１４】
第一板２０は、第二板３０に対応し、また第二板３０を接合する。接合縁部７１は、周縁に形成されている。接合縁部７１は、外へ伸び、挿口６０を形成する。接合縁部７１は、溶接によって密封されている。空間Ａ（図４に示される）は、第一板２０と第二板３０との間に形成されている。
【００１５】
吸熱区域２１及び凝縮区域２２は、第一板２０、第二板３０のいずれかに定義されている。本実施形態において、吸熱区域２１及び凝縮区域２２が第一板２０に設置されていることを例に挙げる。
【００１６】
毛細管構造体５０は、空間Ａの内部に位置し、且つ第一板２０の表面の局部に焼結されている。空間部５１は、毛細管構造体を焼結しない位置に形成されている。本実施形態において、空間部５１は、複数であり、凝縮区域２２に位置する。空間部５１の中の一部分の空間部５１同士は、空間上に互いに連通する。一実施形態において、毛細管構造体５０は、吸熱区域２１に対応し、また凝縮区域２２へ複数の第一延伸部５２を伸ばす。空間部５１は、二つの隣接の第一延伸部５２の間に存在する。複数の第二延伸部５３は、各第一延伸部５２から外へ平行に伸びる。空間部５１は、二つの隣接の第二延伸部５３の間あるいは第二延伸部５３と第一延伸部５２との間に存在する。第二板３０の周縁は、折れ曲がり、曲折部３３を形成し、第一板２０の周縁を挟持し、挟持関係を形成する。数及び設置における前述の第一延伸部５２及び第二延伸部５３の可能な変化方式について、既に前掲の一実施形態の中に説明したため、ここに再び詳細に説明しなくても良い。
【００１７】
排気管８０は、挿口６０を挿設し、外端が露出し、また空間Ａに連通する。排気管８０の外端は、閉じられている。しかしながら、排気管８０は、必要な部材ではない。排気管８０がない場合、挿口６０を直接密封してもよい。
【００１８】
液体作業物質は、空間Ａに充填されている。液体作業物質は、本発明の技術分野の人によく知られ且つ図面に示されにくいため、図面に示さない。
【００１９】
第一板２０と第二板３０の中の板が毛細管構造体５０を有する一方、他方の板が該毛細管構造体に接触する状態のみを例に挙げ、前述の構造を説明する。実施上、他方の板は、毛細管構造体に接触せずある予定距離を隔ててもよい。また、第一板２０と第二板３０の両方は、毛細管構造体５０を備え、毛細管構造体５０が互いに接触してもよいあるいはある予定距離を隔ててもよい。前述の構造は、本発明の一実施形態によって理解されることができるため、図面に示されなくても良い。
【００２０】
以上に本発明の一実施形態の構造を説明したため、次に本発明の一実施形態の使用状態を説明する。
【００２１】
図１〜図４に示すように、未作業時、液体作業物質（図に示されない）は、吸収され、毛細管構造体５０に収納されている。作業時、加熱源（図に示されない）が第一板２０の吸熱区域２１に対応する毛細管構造体を加熱すると、液体作業物質は、蒸発し気相になる。気相になった液体作業物質は、空間部５１によって第一板２０の凝縮区域２２に対応する複数の空間部５１へ拡散する。気相になった液体作業物質は、冷却で凝縮し液相になり、再び毛細管構造体５０に吸収され、加熱区に位置する毛細管構造体５０の中で回流する。よって、液体作業物質が液相と気相との間の変化によって熱エネルギーを伝達するため、均温熱伝達の効果の達成が可能になる。
【００２２】
本発明の一実施形態が達成した効果は、以下の通りである：薄型ベイパーチャンバは、極めて薄く、従来技術の装置がかなり厚い問題を解決するため、より高い応用性を有する。
【００２３】
（第二実施形態）
図５〜図１８に示すように、本発明の第二実施形態が提供した薄型ベイパーチャンバの製造方法は、以下のステップを含む。
【００２４】
ａ）備え付ける。
第一板２０及び第二板３０を備え付ける。図６は、第一板２０のみを示す。図１５は、第二板３０を示す。
【００２５】
ｂ）治具を置く。
図６及び図７に示すように、第一板２０と第二板３０の中の板の表面の上に治具１０を設置する。治具１０は、透かし彫り区域１１を有する。本実施形態において、透かし彫り区域１１の数が一つであることを例に挙げる。しかしながら、透かし彫り区域１１の数は、複数であってもよい。また、本実施形態において、治具１０が第一板２０に設置されていることを例に挙げる。しかしながら、治具１０は、第一板２０と第二板３０の両方に設置されてもよい、第一板２０あるいは第二板の上にのみに設置されるとは限らない。前述の方式は、本発明の第二実施形態によって理解できるため、図面に表示しない。
【００２６】
ｃ）接着剤を塗る。
図８に示すように、治具１０を置く第一板２０に接着剤４０を塗る。接着剤４０は、治具１０の透かし彫り区域１１によって第一板２０の局部表面に塗られている。治具１０が第一板２０と第二板３０の両方に設置されていると、つまり、第一板２０と第二板３０の両方に接着剤４０を塗る。接着剤４０を塗る方式は、塗布、吹き付けあるいは他の周知の方式である。
【００２７】
ｄ）治具を取り外す。
図９に示すように、第一板２０から治具１０を取り外す。第一板２０に接着剤４０を塗る区域は、接着剤区域４１と定義されている。接着剤４０を塗らない区域は、無接着剤区域４２と定義されている。数量上に、本実施形態において接着剤区域４１及び複数の無接着剤区域４２は、定義されている。治具１０が第一板２０と第二板３０の両方に設置されている時、第一板２０及び第二板３０から治具１０を取り外す。
【００２８】
ｅ）金属粉末を粘着する。
図１０に示すように、接着剤４０を塗る第一板２０に金属粉末４３を振り掛ける。接着剤区域４１の金属粉末４３は、粘着されている。複数の無接着剤区域４２の金属粉末４３は、粘着されてない。また、金属粉末４３同士がより密着な配列及び堆積状態になるために、押し圧治具（図に示されない）で粘着された金属粉末４３を堅く、平たく押圧してもよい。第一板２０及び第二板３０が全て接着剤を塗られる場合、第一板２０及び第二板３０に対して金属粉末を粘着するステップを行う。本実施形態において、金属粉末４３が銅粉であることを例に挙げる。
【００２９】
ｆ）金属粉末を除去する。
図１１に示すように、第一板２０に粘着されない金属粉末４３を除去する。実施上、粘着されない金属粉末を落とすために、第一板２０を引っくり返してもよい。第一板２０と第二板３０の両方が金属粉末４３を粘着する場合、第一板２０及び第二板３０に対して金属粉末を除去するステップを行う。
【００３０】
ｇ）第一回焼結を行う。
図１０及び図１２に示すように、金属粉末４３を粘着した第一板２０を焼結する。接着剤４０は、焼結の後蒸発し散逸する。焼結の後の金属粉末４３は、第一板２０に毛細管構造体５０を形成する。無接着剤区域４２は、金属粉末がないため、毛細管構造体５０に対して空間部５１を形成する。空間部５１の中の一部分の空間部５１同士は、空間上に互いに連通する。本発明の第二実施形態において、空間部５１が複数であることを例に挙げる。しかしながら、空間部５１の数は、一つであってもよい、複数に限らない。
吸熱区域２１及び凝縮区域２２（図６に示される）は、第一板２０、第二板３０のいずれかに定義されている。空間部５１は、凝縮区域２２に位置する。本実施形態において、毛細管構造体５０は、吸熱区域２１から凝縮区域２２へ複数の第一延伸部５２を伸ばす。複数の第二延伸部５３は、各第一延伸部５２あるいは複数の第一延伸部の中の一部分の第一延伸部から外へ平行に伸びる。空間部５１は、二つの隣接の第一延伸部５２の間、二つの隣接の第二延伸部５３の間あるいは第二延伸部５３と第一延伸部５２との間に存在する。また、毛細管構造体５０は、吸熱区域２１から凝縮区域２２へ第二延伸部を伸ばさず複数の第一延伸部５２を伸ばしてもよい。空間部５１は、二つの隣接の第一延伸部５２の間に存在する。また、毛細管構造体５０は、吸熱区域２１から凝縮区域２２へ単一の第一延伸部５２を伸ばしてもよい。複数あるいは単一の第二延伸部５３は、単一の第一延伸部５２から外へ伸びる。前述の構造は、本発明の第二実施形態によって理解されることができるため、図面に示されてない。第一板２０と第二板３０の両方が金属粉末４３を粘着する場合、第一板２０及び第二板３０に対して第一回焼結のステップを行う。よって、毛細管構造体５０は、第一板２０及び第二板３０の上に形成されている。
【００３１】
ｈ）押し抜く。
図１３に示すように、第一板２０、第二板３０のいずれかに対して押し抜きを行う。本発明の第二実施形態において、第一板２０に対して押し抜きを行うため、直立壁２３は、押し抜かれた第一板２０の周囲に形成されている。
【００３２】
ｉ）組合せる。
図１４及び図１５に示すように、第一板２０と第二板３０を組み合わせて更に結合体７０を形成する。接合縁部７１は、結合体７０の周縁に形成されている。外へ伸びる挿口６０は、接合縁部７１に形成されている。また、第二板３０は、第一板２０の上の毛細管構造体５０に接触する。本実施形態において、第二板３０は、周縁が折れ曲がり、曲折部３３を形成する。第一板２０と第二板３０を組み合わせる時、曲折部３３は、第一板２０の周縁を挟持するため、挟持関係を形成する。実際に、曲折部３３は、第一板２０に形成されてもよいため、第二板３０の周縁を挟持する。つまり、曲折部３３は、第二板３０に形成されるとは限らない。また、第一板２０及び第二板３０の押し抜き、折れ曲がりの関係は、逆になってもよい。つまり、第二板３０を押し抜き、第一板２０を折り曲げる。組合せのステップにおいて、第二板３０は、予定距離を第一板の上の毛細管構造体５０と隔ててもよい、毛細管構造体に接触するとは限らない。また、第一板２０及び第二板３０が毛細管構造体を有する場合、第一板２０と第二板３０を組み合わせる時、二つの毛細管構造体は、互いに接触してもよいあるいは距離を隔ててもよい。前述の構造は、本発明の第二実施形態により理解できるため、図面に表示さない。
【００３３】
ｊ）第二回焼結を行う。
結合体７０に焼結を行う。
【００３４】
ｋ）排気管をいれる。
図１６に示すように、挿口６０に排気管８０を挿入する。
【００３５】
ｌ）溶接する。
結合体７０の接合縁部７１及び排気管８０と挿口６０との間にハンダ（図にしめされない）づけを行い、溶接によって密封する。
【００３６】
ｍ）液体作業物質を注入する。
液体作業物質を注入する。
【００３７】
ｎ）内部を真空にする。
空気を抜き、内部を真空にする。
【００３８】
ｏ）口を閉じる。
排気管８０を閉じる。ここまで、本実施形態による薄型ベイパーチャンバを完成した。薄型ベイパーチャンバの内部状態は、図１７に表示されている。
【００３９】
上述の治具を取り外すステップｄ）と金属粉末を粘着するステップｅ）の順番を互いに入れ替えてもよい。図１８に示すように、先に金属粉末を粘着するステップを行う時、金属粉末４３を接着剤４０塗られた第一板２０あるいは第二板３０に振り掛ける。金属粉末４３は、接着剤４０に第一板２０あるいは第二板３０に粘着されている。次に治具１０を取り外すステップを行う時、第一板２０あるいは第二板３０から治具１０を取り外す。接着剤区域４１及び無接着剤区域４２は、第一板２０あるいは第二板３０の上に形成されている。金属粉末４３は、接着剤区域４１の上に粘着されている。ステップの入れ替えは、前述の実施形態によって理解できるため、図面に表示しない。
【００４０】
前述のｋ）排気管を入れるステップを省略してもよい。Ｉ）溶接のステップにおいて溶接方式を接合縁部７１のみの溶接に変えてもよい。ｏ）のステップにおいて挿口６０を閉じるステップに変えても良い。これは、ｋ）排気管を入れるステップがなくてもステップｌ）〜ｏ）の作業を完成できることを説明する。また、前述の押し抜くステップｈ）及び第二回焼結のステップｊ）において、押し抜きは、第一板と第二板の結合ための作業である。従って、他の結合方法を使用する場合、押し抜きの技術手段を使わなくても良い。つまり、前述の押し抜きのステップは、本発明の必要な技術手段ではない。結合体７０中の構造がもっと穏やかになるために、第二回焼結のステップを行う。実際の実施形態において、ニーズによってこのステップを省略してもよい。
【００４１】
前述の製造方法により、接着剤４０を塗った後金属粉末４３を接着剤４０に振り掛け焼結ステップを行うことによって毛細管構造体５０を製造する。金属粉末４３を接着剤４０に振り掛け焼結ステップを行うことによって毛細管構造体５０を製造しまた第一板２０あるいは第二板３０の上に毛細管構造体がない位置に空間部５１を形成する方法によって、非常に薄い毛細管構造体５０を製造することが可能になる。本発明によって製造される蒸気チャンバ装置は、内部の毛細管構造体が極めて薄い。よって、厚さが極めて薄い薄型ベイパーチャンバを製造することが可能である。
【符号の説明】
【００４２】
２００  薄型ベイパーチャンバ
１０  治具          
１１  透かし彫り区域        
２０  第一板
２１  吸熱区域        
２２  凝縮区域                
２３  直立壁
３０  第二板        
３３  折曲部          
４０  接着剤
４１  接着剤区域    
４２  無接着剤区域          
４３  金属粉末
５０  毛細管構造体        
５１  空間部                
５２  第一延伸部        
５３  第二延伸部        
６０  挿口                  
７０  結合体      
７１  接合縁部      
８０  排気管
Ａ  空間      
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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