(57)【要約】【課題】加工領域の全体を移設工程を挟み複数の加工範囲に分割して加工するに際し、移設工程に続いて行う加工工程でワークを加工するための加工データを補正し高い加工精度を得る。【解決手段】移動ステージに対して第１の装着位置にワークを装着（Ｓ１）した状態で移動ステージの可動範囲で加工可能な第１の加工範囲に対して加工を行う（Ｓ２）。次に、同じ装着状態でワークに対して第１のアライメントマークを加工する（Ｓ３）。次に、移動ステージ上で第２の装着位置にワークを移設し（Ｓ４〜Ｓ６）、第２のアライメントマークを加工する（Ｓ７）。次に、第１および第２のアライメントマークに対応するワークの位置姿勢を計測（Ｓ８、Ｓ９）する。計測したワークの位置姿勢の差分に基づき第２の加工範囲のための加工データを補正し（Ｓ１０）、この加工データを用いて第２の加工範囲の加工を行う（Ｓ１１）。【選択図】図６
2016118928.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動ステージに装着したワークを工具に対して移動させ、前記移動ステージの可動範囲よりも大きいワークの加工領域に対して加工を行う加工方法において、
前記移動ステージに対して第１の装着位置に前記ワークを装着した状態で前記移動ステージにより前記ワークを移動させ、前記ワークの前記加工領域中の前記移動ステージの可動範囲で加工可能な第１の加工範囲に対して加工を行う第１の加工工程と、
前記移動ステージに対して第１の装着位置に前記ワークを装着した状態のまま前記移動ステージにより前記ワークを移動させ、前記工具によって前記ワークに対して位置決めされたマーク部位に第１のアライメントマークを加工する第１のマーキング工程と、
前記移動ステージに対して第２の装着位置に前記ワークを装着するよう移設する移設工程と、
前記移動ステージに対して第２の装着位置に前記ワークを装着した状態で前記移動ステージにより前記ワークを移動させ、前記工具によって前記ワークに対して位置決めされたマーク部位に第２のアライメントマークを加工する第２のマーキング工程と、
前記第１のアライメントマークおよび第２のアライメントマークの位置姿勢を計測する計測工程と、
前記計測工程で計測した前記第１のアライメントマークおよび第２のアライメントマークの位置姿勢の差分に基づいて、前記ワークの前記加工領域中の前記移動ステージの可動範囲で加工可能な第２の加工範囲に対して加工を行うための加工データを補正する補正工程と、
前記移動ステージに対して第２の装着位置に前記ワークを装着した状態で、前記補正工程で補正された加工データに基づき前記工具および前記移動ステージを制御して前記第２の加工範囲に対して加工を行う第２の加工工程と、
を含むことを特徴とする加工方法。
【請求項２】
請求項１に記載の加工方法において、前記マーク部位が前記ワークより着脱可能に構成されており、少なくとも前記第１の加工工程、前記第１のマーキング工程、前記移設工程、および前記第２のマーキング工程までの間、前記マーク部位が前記ワークに対して同一の位置に装着されており、その後、マーク部位を前記ワークより取り外して前記第１のアライメントマークおよび第２のアライメントマークの位置姿勢の差分を計測する前記計測工程を実行することを特徴とする加工方法。
【請求項３】
請求項１に記載の加工方法において、前記計測工程において３次元座標系における前記第１のアライメントマークおよび第２のアライメントマークの位置姿勢が計測されることを特徴とする加工方法。
【請求項４】
請求項２に記載の前記第１のアライメントマークおよび第２のアライメントマークを加工すべきマーク部位を含み前記ワークに着脱可能なアライメントマーク部品。
【請求項５】
請求項１から３のいずれか１項に記載の加工方法により前記ワークの前記第１および第２の加工範囲に加工を施し部品を製造することを特徴とする部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、移動ステージの可動範囲よりも大きいワークの加工領域に対して加工を行う加工方法、その加工方法に用いられるアライメントマーク部品、およびその加工方法により部品を製造する部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、移動ステージに装着したワークと工具を相対移動させ、ワークの加工、例えば切削加工を行う加工装置が知られている。この種の加工装置では、当然ながらワークと工具を相対移動させる移動ステージの精度が加工精度に影響する。また、加工の対象であるワークの大きさや、加工を加える加工領域の大きさは、移動ステージの可動範囲によって制限を受ける。通常、切削加工のためには、その加工領域以上の可動範囲を有する高精度な移動ステージが必要になる。しかしながら、移動ステージの可動範囲を大きくすると装置が大型化し、大型化した装置では精度が保ちにくい、あるいは必要な精度を確保するために製造コストが増大する、といった問題がある。
【０００３】
上記の問題に鑑み、従来より、移動ステージの可動範囲を超える領域を加工する技術が提案されている（例えば下記の特許文献１）。特許文献１では、工具またはワークを搭載する直線軸の直線送りの可動範囲を超える直線溝を加工する構成が提示されている。一般に、加工装置では、工具とワークを搭載する移動ステージの可動方向は全て異なる場合が多いが、特許文献１では工具とワークのそれぞれが異なる移動ステージに搭載されている。そして、特許文献１の構成では、工具とワークを搭載する移動ステージの両方が加工する直線溝と平行に可動する方向へ動くような軸構成となっている。このように特許文献１では、二つの移動ステージを同一方向に移動して、各移動ステージの可動範囲の組み合わせにより、それぞれの移動ステージの可動範囲が加工すべき直線溝の長さ未満でも必要な直線溝の長さを加工できるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１１０８６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１のように工具とワークで複数の移動ステージを用いるのは、加工領域の全体を複数の加工範囲に分割して加工する方法のひとつである。しかしながら、特許文献１のように異なる２つの移動ステージを同一の方向に駆動するような精密な機構を得るのは非常に困難であり、加工装置の製造コストが増大する可能性がある。
【０００６】
また、特許文献１のように２つの移動ステージを用いる構成では、それぞれの移動ステージの誤差の影響が加工精度に作用するため、移動ステージを１つのみ用いる構成に比して加工精度が低下する可能性がある。特許文献１の構成では、各移動ステージを交互に小さな距離で少しずつ動かすことで誤差の影響を小さくしようとしている。しかしながら、特許文献１の構成では、加工される最終的な形状には、例えば２つの移動ステージの真直度誤差などの合成誤差が作用するため、最終的な加工誤差を小さくするのは困難である。
【０００７】
一方、特許文献１のように複数の移動ステージを用いる構成のデメリットを回避するには、例えば加工に作用させる移動ステージを１つに制限することが考えられる。例えば、工具を固定（あるいは移動ステージに搭載されるにしてもその位置は固定で用いる）して、ワークのみを移動ステージで移動する。その場合、移動ステージの可動範囲を超える加工領域を加工するなら、まず、加工領域中の移動ステージの可動範囲で加工可能な第１の加工範囲に対して加工を行う（第１の加工工程）。続いて移動ステージ上の異なる位置にワークを移設する（移設工程）。そして、移動ステージの可動範囲で加工可能な第２の加工範囲に対して加工を行う（第２の加工工程）。このように移設工程を伴なって加工領域全体を複数の加工範囲に分割して加工を行う処理は、例えば「スティッチング加工」などと呼ばれることがある。
【０００８】
このように加工に作用させる移動ステージを１つに制限するのであれば、複数の移動ステージを用いる場合のような誤差の重畳は回避できる。その代り、この手法では、上記のように複数の加工範囲の切り換えのために第１、第２の加工工程の間に必ずワークの移設工程が必要であり、この移設時に何らかの誤差が生じる可能性がある。
【０００９】
例えば移設時には、ワークの移動ステージに対する設置誤差が生じる可能性がある。また、例えば第２の加工工程のために大きく重いワークを移動ステージの第１の加工工程とは反対の側にはみ出すように移設することにより、移動ステージが支持手段の上で傾斜する可能性がある。以上のような誤差に影響され、移動ステージによってワークを直線移動する場合の真直度が変化する可能性がある。
【００１０】
具体的には、第１、第２の加工工程で連続した直線（溝など）を加工する場合、上記のような誤差の影響によって、直線の繋ぎ目で例えば段差のようなズレが発生する可能性がある。また、加工する直線（溝など）が直線状に連続せず、例えば「く」の字型に形成されてしまうような加工誤差となって現れることも考えられる。このような段差のようなズレは、まずは第１の加工工程の加工を終了し、続いて移設工程に続いて行う第２の加工工程でワークを加工する際に用いる加工データ（例えば移動ステージ制御データ）を補正することになる。
【００１１】
従来の手法によると、上記のように第１の加工工程、移設工程、第２の加工工程を経て加工を行う場合は、例えば事前に試し加工と形状測定を繰り返し、第２の加工工程の加工データを補正する、といった面倒な作業が必要になる可能性が高い。
【００１２】
本発明の課題は、上記の問題に鑑み、加工領域の全体を移設工程を挟んで複数の加工範囲に分割して加工する場合、移設工程に続いて行う加工工程でワークを加工する際に用いる加工データを容易に補正でき、高い加工精度を得られるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するため、本発明においては、移動ステージに装着したワークを工具に対して移動させ、前記移動ステージの可動範囲よりも大きいワークの加工領域に対して加工を行う加工方法において、前記移動ステージに対して第１の装着位置に前記ワークを装着した状態で前記移動ステージにより前記ワークを移動させ、前記ワークの前記加工領域中の前記移動ステージの可動範囲で加工可能な第１の加工範囲に対して加工を行う第１の加工工程と、前記移動ステージに対して第１の装着位置に前記ワークを装着した状態のまま前記移動ステージにより前記ワークを移動させ、前記工具によって前記ワークに対して位置決めされたマーク部位に第１のアライメントマークを加工する第１のマーキング工程と、前記移動ステージに対して第２の装着位置に前記ワークを装着するよう移設する移設工程と、前記移動ステージに対して第２の装着位置に前記ワークを装着した状態で前記移動ステージにより前記ワークを移動させ、前記工具によって前記ワークに対して位置決めされたマーク部位に第２のアライメントマークを加工する第２のマーキング工程と、前記第１のアライメントマークおよび第２のアライメントマークの位置姿勢を計測する計測工程と、前記計測工程で計測した前記第１のアライメントマークおよび第２のアライメントマークの位置姿勢の差分に基づいて、前記ワークの前記加工領域中の前記移動ステージの可動範囲で加工可能な第２の加工範囲に対して加工を行うための加工データを補正する補正工程と、前記移動ステージに対して第２の装着位置に前記ワークを装着した状態で、前記補正工程で補正された加工データに基づき前記工具および前記移動ステージを制御して前記第２の加工範囲に対して加工を行う第２の加工工程と、を含む構成を採用した。
【発明の効果】
【００１４】
上記構成によれば、ワークの移設工程前、後に加工した第１および第２のアライメントマークの位置姿勢の差分に基づいて、第２の加工範囲に対して加工を行うための第２の加工データを補正する。即ち、上記の各アライメントマークに対応する第１の加工工程におけるワーク１６の位置姿勢と、第２の加工工程開始前のワーク１６の位置姿勢の差分に基づき、第２の加工データ３０２を補正して加工領域全体を高精度に加工することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明に沿った加工方法を実施可能な加工装置の概略構成の一例を示した説明図である。
【図２】本発明に沿った加工方法を実施可能な加工装置の制御系の概略構成を示した説明図である。
【図３】本発明に沿った加工方法によりワークに対する加工中の様子を示した説明図である。
【図４】（ａ）〜（ｄ）は本発明に沿った加工方法における加工工程を順に示した説明図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）は本発明に沿った加工方法において、第１のアライメントマークと、第１および第２のアライメントマークで示されるワークの姿勢を示した説明図である。
【図６】図２の制御系により制御される加工工程の流れを示したフローチャート図である。
【図７】ワークに対して着脱可能に構成されたアライメントマーク部品を示した説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、添付図面に示す実施例を参照して本発明を実施するための形態につき説明する。なお、以下に示す実施例はあくまでも一例であり、例えば細部の構成については本発明の趣旨を逸脱しない範囲において当業者が適宜変更することができる。また、本実施形態で取り上げる数値は、参考数値であって、本発明を限定するものではない。
【実施例】
【００１７】
図１は本発明に沿った加工方法を実施可能な加工装置１００の概略構成の一例を示している。加工装置１００は、Ｘ、Ｙ、Ｚの３次元座標軸に沿って工具１７とワーク１６の相対位置関係を変化させる（相対移動）移動ステージＸ、Ｙ、Ｚを備えている。同図中において、例えば３次元座標軸のうちＸ軸は図の左〜右方向、Ｙ軸は図の手前〜奥方向、Ｚ軸は図の上〜下方向に相当する。
【００１８】
３次元（ＸＹＺ）座標軸の原点は、加工装置１００の所定部位（その位置は任意である）に設定されるものとする。その場合、この３次元座標系は加工装置座標系と考えることができる。また、加工制御上は、ワーク１６や工具１７についても異なる原点位置を有する３次元（ＸＹＺ）座標軸を用いることが考えられる。本実施例では、説明を容易にするため、例えばワーク１６の位置姿勢は、上記の加工装置１００の所定部位を原点位置に有する加工装置座標系を用いて表現されるものとする。
【００１９】
図１の例では、ワーク１６は移動ステージＸに、工具１７は移動ステージＸの上部に配置された移動ステージＹに装着される。また、移動ステージＸは、加工装置１００の下部構造をなす移動ステージＺ上に配置されており、移動ステージＺによって移動ステージＸを上下動させることができるよう構成されている。
【００２０】
本実施例では、ワーク１６上の目的の部位の位置を検出するプローブ２２１を用いる。このプローブ２２１は例えば接触式の形状センサであって、ワーク１６の対象部位に触針（プローブ）を接触させ、その突出量によって対象部位の位置を検出する。
【００２１】
図１の構成では、プローブ２２１は、工具１７とともに移動ステージＹに装着されている。加工制御に必要な精度の範囲内において、プローブ２２１の装着位置は精密に調整される。また、移動ステージＹによる位置制御と触針検出制御の関係も同様の精度範囲で予め校正が取れているものとする。プローブ２２１は、触針（プローブ）検出によって、例えば上記の加工装置座標系における対象部位の座標値を出力できるものとする。
【００２２】
本実施例では、加工データの補正のために後述のようにワーク１６に対してアライメントマークを加工するが、プローブ２２１は、このアライメントマークの検出にも用いられる。
【００２３】
図４（ａ）〜（ｄ）は、図１の加工装置１００と機能的には同等の構成を実現する多少異なる構成、および加工時の動作の様子を示している。図４（ａ）〜（ｄ）中においては、例えば３次元座標軸のうちＸ軸（１３）は図の左〜右方向、Ｙ軸（１４）は図の手前〜奥方向、Ｚ軸（１５）は図の上〜下方向に相当する。
【００２４】
図４（ａ）〜（ｄ）は、ワーク１６を加工する場合のワーク１６、移動ステージ１８（図１の移動ステージＸに相当）、および工具１７の位置関係を示している。即ち、図４（ａ）〜（ｄ）では、ワーク１６を搭載するＸ軸（図の左右）方向に移動可能な移動ステージ（図１のＸ）は移動ステージ１８として示されている。
【００２５】
図４（ａ）〜（ｄ）の構成では、移動ステージ１８は、ガイドレール様のステージガイド１９上にＸ軸（図の左右）方向に摺動可能に支持されている。また、図４（ａ）〜（ｄ）では、図１の移動ステージＹは図示を省略されており、工具１７はＹ軸方向（図の手前〜奥方向）に関しては固定位置で使用されるものとする。また、工具１７は図１の移動ステージＺに相当する移動ステージ２１によって支持されている。この移動ステージ２１はステージガイド２２上でＺ軸（図の上下）方向に摺動可能である。
【００２６】
なお、以下では、Ｘ軸およびＺ軸方向に移動を制御する上記の移動ステージ１８、２１は、必要に応じて移動ステージ１８（Ｘ）、２１（Ｚ）のように括弧書きでその移動に沿った座標軸を表記する。以下では、図４（ａ）〜（ｄ）の構成に沿って加工制御につき説明するが、移動ステージ１８（Ｘ）、２１（Ｚ）のような括弧書きの座標軸表記によって、必要であれば例えば図１の移動ステージＸ、Ｚとの関係を読み取ることができる。
【００２７】
ここで、図４（ａ）〜（ｄ）に沿って、本実施例におけるワーク１６に対する加工につき考える。以下では、ワーク１６を移動ステージ１８（Ｘ）によって図４（ａ）〜（ｄ）の左右方向（Ｘ軸方向）に移動させ、移動ステージＹの中央に装着された工具１７に対して相対移動させ、ワーク１６に直線溝を加工するものとする。図４（ａ）〜（ｄ）に示したワーク１６は、Ｘ軸方向に移動ステージ１８（Ｘ）を支持するステージガイド１９のほぼ全長に相当する長さ（大きさ）を有する。
【００２８】
また、移動ステージ１８（Ｘ）はステージガイド１９上に摺動自在に支持される。そして、移動ステージ１８（Ｘ）のＸ軸方向の長さは、ステージガイド１９上における安定した姿勢を保てるよう少なくともステージガイド（１９）の全長のほぼ１／２程度を占めるものとする。また、工具１７は、移動ステージ２１（Ｚ）によりＺ軸方向にのみ位置制御が可能であり、ＸおよびＹ軸方向に関しては移動しないものとする。
【００２９】
また、図４（ａ）〜（ｄ）の構成では、移動ステージ１８（Ｘ）がＸ軸方向にステージガイド１９上の全長のほぼ１／２程度の長さがある。このため、移動ステージ１８（Ｘ）の可動範囲２０は、移動ステージ１８（Ｘ）を支持するステージガイド１９の全長の残り１／２程度に過ぎない。この移動ステージ１８（Ｘ）の可動範囲２０の長さは、そのまま工具１７に対してワーク１６を相対移動できる可能な相対移動範囲（相対移動量）に相当する。
【００３０】
ここで、移動ステージ１８（Ｘ）を移動させて工具１７によってワーク１６に直線溝を加工（例えば切削）する場合を考える。この場合、移動ステージ１８（Ｘ）に対するワーク１６の装着位置を変更しなければ、加工できる直線溝の全長は最大でも移動ステージ１８（Ｘ）を支持するステージガイド１９の全長の１／２程度になる。
【００３１】
このため、図４（ａ）〜（ｄ）に示すように、例えばＸ軸方向にステージガイド１９のほぼ全長に相当する長さ（大きさ）を有するワーク１６に、ほぼその全長に近い直線溝を加工する場合には、図示のような分割（スティッチング）加工が必要になる。即ち、直線溝の加工領域の全体を第１の加工範囲２４、第２の加工範囲２５に分割して加工を行う。
【００３２】
まず、図４（ａ）〜（ｂ）に示すように、移動ステージ１８（Ｘ）を移動させて第１の加工範囲２４を加工する第１の加工工程を行い、続いて図４（ｃ）のように移動ステージ１８（Ｘ）に対するワーク１６の装着（搭載）位置を変更する移設工程を行う。この移設工程は作業者の手動操作によって行うか、あるいは不図示のロボット装置などによって実施できる。続いて、図４（ｃ）〜（ｄ）に示すように、移動ステージ１８（Ｘ）を移動させて第１の加工範囲２４に連続して第２の加工範囲２５を加工する。
【００３３】
以上のように、移動ステージ１８（Ｘ）に対してワーク１６を載せ換える移設工程を挟んで、所期の加工領域中の移動ステージの可動範囲でそれぞれ加工可能な第１の加工範囲２４、第２の加工範囲２５に対する加工を行う。上記のような、いわゆるスティッチング加工によって、ワーク１６に対してほぼその全長に近い直線溝を加工することができる。
【００３４】
その場合、前述の通り、移動ステージ１８（Ｘ）に対してワーク１６を載せ換える移設工程の前後で、設置誤差や移動ステージ１８、ステージガイド１９の傾斜や変形などによってワーク１６の姿勢変化が生じる可能性がある。
【００３５】
そこで、本実施例では、図３に示すように、上記の第１、第２の加工工程の間の移設工程の前、後で、ワーク１６に対してそれぞれ第１のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、第２のアライメントマーク２７ａ〜２７ｃを工具１７によって加工する。これら第１、第２のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、および２７ａ〜２７ｃは、それぞれ例えば移動ステージ１８（Ｘ）によりワーク１６を所定の位置（マーク部位）に位置決めして、工具１７によって加工する。アライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、および２７ａ〜２７ｃを加工するための工具は、第１、第２の加工範囲２４あるいは２５を加工するのと同じ工具１７を用いる。
【００３６】
また、ワーク１６上に第１、第２のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、２７ａ〜２７ｃを加工するマーク部位の位置は任意である。しかしながら、後述の加工制御で必要な移動ステージの移動量などを考えると、例えば図３に示すようにワーク１６の中央部などが好適である。また、第１、第２のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、２７ａ〜２７ｃを加工するマーク部位には、完成後のワーク１６の機能に影響を与えない非有効面、ないし余白のような部位を選ぶとよい。
【００３７】
また、第１、第２のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、２７ａ〜２７ｃは、本実施例に係る加工工程のみにおいて有効に用いることができるものである。従って、第１、第２のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、２７ａ〜２７ｃは、本実施例に係る加工工程後に実施される他の工程において、例えば切削などによって除去されるような部位に加工することにしてもよい。また、予め、後続の工程で切削などによって除去することを前提として、ワーク１６の実質本体部分から突出するように形成した部位に第１、第２のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、２７ａ〜２７ｃを加工するようにしてもよい。
【００３８】
上記の第１のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃは、上記の第１の加工工程の後、ワーク１６の移設工程の前に、また、第２のアライメントマーク２７ａ〜２７ｃは、ワーク１６の移設工程の後に加工する。
【００３９】
すなわち、図４（ａ）〜（ｄ）で言えば、第１のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃは、図４（ｂ）に示した移動ステージ１８（Ｘ）に対するワーク１６の搭載状態において、工具１７により加工する。即ち、この状態は、ワーク１６に対して第１の加工範囲２４を加工した直後の状態である。
【００４０】
また、第２のアライメントマーク２７ａ〜２７ｃは、図４（ｃ）に示した移動ステージ１８（Ｘ）に対するワーク１６の搭載状態において、工具１７により加工する。即ち、この状態は、ワーク１６に対して第２の加工範囲２５を加工する（直）前の状態である。
【００４１】
図３は、図４（ｃ）に示した移動ステージ１８（Ｘ）に対するワーク１６の搭載状態に相当し、第１のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、および第２のアライメントマーク２７ａ〜２７ｃを加工し終った状態を示している。
【００４２】
第１のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、および第２のアライメントマーク２７ａ〜２７ｃは、それぞれ例えば半球断面のドット状のマークを３つの合同（ないし相似）形の直角３角形の頂点をなすように加工する。そして、この直角３角形の直角を挟む２辺がそれぞれＸ、Ｙの２軸に平行となるよう、各ドット状のマークの加工位置を決めておく。例えば、図３の例では、アライメントマーク２６ｂ（２７ｂ）と２６ｃ（２７ｃ）を結ぶ直線はＸ軸と平行、アライメントマーク２６ａ（２７ａ）と２６ｂ（２７ｂ）を結ぶ直線はＹ軸と平行になるようにマークの加工位置を定めてある。
【００４３】
具体的には、このような加工は、上記の３角形の頂点の位置に第１、第２のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、および２７ａ〜２７ｃを構成するドット状のマークを加工できるよう、移動ステージ１８（Ｘ）、移動ステージ（Ｙ：図１）を制御して行う。即ち、上記の３角形の頂点の位置に第１、第２のアライメントマークを構成するドット状のマークを加工できるよう、移動ステージ１８（Ｘ）と移動ステージ（Ｙ：図１）によってワーク１６を工具１７に対して相対移動させる。一方、移動ステージ２１（Ｚ）によるＺ軸方向の制御条件は第１、第２のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、および２７ａ〜２７ｃを構成するマークについて変化させず、全て同じ条件を用いる。
【００４４】
上記のような加工条件を用いることにより、第１、第２のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、および２７ａ〜２７ｃは、これらが加工された時のワーク１６の位置姿勢を反映した加工状態になる。
【００４５】
例えば、プローブ２２１（図１：図３では同一参照符号の破線により位置のみを図示）によって、３つの異なる位置に加工された第１のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃの最深部位の座標値をそれぞれ検出する。このプローブ２２１による検出時にアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ（の最深部位）が形成している３角形は、加工装置座標系において一意の位置姿勢を取る。上記の加工条件より当然ながら、アライメントマーク２６ａ〜２６ｃ（の最深部位）の３つの座標値の組合せは、これらマークの加工時の移動ステージ１８（Ｘ）に対する装着状態におけるワーク１６の位置姿勢を示す位置姿勢データとして用いることができる。
【００４６】
このことは、第２のアライメントマーク２７ａ〜２７ｃについても同様である。即ち、ワーク１６の移設工程後に加工した第２のアライメントマーク２７ａ〜２７ｃの最深部位の座標値をプローブ２２１で検出する。このワーク１６の移設工程後のアライメントマーク２７ａ〜２７ｃ（の最深部位）の３つの座標値の組合せは、これらマークの加工時の移動ステージ１８（Ｘ）に対する装着状態におけるワーク１６の位置姿勢を示す位置姿勢データとして用いることができる。
【００４７】
なお、例えば、プローブ２２１で検出したアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、２７ａ〜２７ｃの加工装置座標系中の座標値から、ワーク１６の基準位置（例えばその重心など）の座標を算出することができる。また、例えばワーク１６の所定の基準軸（例えばその長手方向の中心軸）を定義しておけば、アライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、または２７ａ〜２７ｃの３角形から、ワーク１６の基準軸のＸ、Ｙ、Ｚ各座標軸廻りの回転角（傾き）を計算することができる。
【００４８】
また、第１のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃに対応する位置姿勢データと、第２のアライメントマーク２７ａ〜２７ｃに対応する位置姿勢データを比較すれば、ワーク１６の移設工程の前と後での相対的な位置姿勢の変化を求めることができる。
【００４９】
即ち、第１および第２のアライメントマークの位置姿勢の差分に基づき、例えば、加工済みの第１の加工範囲２４（図３）にスムーズに連続して第２の加工範囲２５を加工できるよう、第２の加工範囲２５を加工するための加工データを補正できる。
【００５０】
例えば、図５（ａ）、（ｂ）は、ワーク１６のＸ軸（移動ステージ１８（Ｘ））に対する傾き（ないしＹ軸廻りの回転量）を補正して加工範囲２４、２５が連続した直線溝となるよう補正する例を示している。
【００５１】
図５（ａ）は加工範囲２４の加工（第１の加工工程）直後の状態で、第１のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃはこの移動ステージ１８（Ｘ）に対する装着状態で加工される。ここで、プローブ２２１で第１のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃを検出すれば、第１のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃに対応する位置姿勢データからワーク１６の姿勢（特にＸ軸に対する傾き）を計算できる。例えば、Ｘ軸（移動ステージ１８（Ｘ））について異なる位置を持つ少なくとも２つのマークを用いて姿勢（Ｘ軸に対する傾き）２８を計算できる。
【００５２】
一方、図５（ｂ）は、加工範囲２５（図３）を加工できるようワーク１６を移動ステージ１８（Ｘ）上で移設した後の状態で、第２のアライメントマーク２７ａ〜２７ｃはこの移動ステージ１８（Ｘ）に対する装着状態で加工される。同様にプローブ２２１で第２のアライメントマーク２７ａ〜２７ｃを検出すれば、第２のアライメントマーク２７ａ〜２７ｃに対応する位置姿勢データからワーク１６の姿勢（Ｘ軸に対する傾き）２９を計算できる。
【００５３】
図５（ｂ）の状態から工具１７によって加工範囲２５（図３）を加工する（第２の加工工程）。本実施例では、予め用意した第２の加工工程のための加工データはそのまま用いることなく、第２の加工工程に先だって補正する。即ち、本実施例では、第１、第２のアライメントマーク位置姿勢データの差分、特にこの例では上記のワーク１６の位置姿勢（Ｘ軸に対する傾き）２８、２９の差分に対応する量だけ、加工範囲２５の加工データを補正する。
【００５４】
図５（ａ）、（ｂ）の例では、図５（ａ）よりも（ｂ）の方がワーク１６は図の左に大きく傾斜している。例えば、移動ステージ１８（Ｘ）にできるだけ大きな可動範囲２０を確保するためには、移動ステージ１８（Ｘ）のＸ軸方向の長さはそれ程大きくすることができない。そして、この移動ステージ１８（Ｘ）に、その可動範囲２０よりも大きな加工領域を加工できるような大きなワーク１６を装着すれば、多くの場合、移動ステージ１８（Ｘ）から大きくはみ出すようにワーク１６を搭載する状態となる。この時、移動ステージ１８（Ｘ）に対するワーク１６の荷重の不均衡などにより、ワーク１６の移設後には、図５（ａ）、（ｂ）に示すように例えば移動ステージ１８（Ｘ）を支持するステージガイド１９の真直度が移設前後で変化する可能性がある。
【００５５】
この状態で加工範囲２５の加工データを元のまま用いれば加工範囲２５の直線溝は左に行く程、浅く加工されてしまう。従って、これを回避するには加工範囲２５のための加工データを補正する。例えば、移動ステージ１８（Ｘ）を進めるに従って、上記のワーク１６の位置姿勢（Ｘ軸に対する傾き）２８、２９の差分に対応する量だけ、工具１７のワーク１６に対する進入量が大きくなるよう加工範囲２５のための加工データを補正する。なお、工具１７のワーク１６に対する進入量を漸増させるには、図１の構成では移動ステージ（Ｘ）を進めるに従って、移動ステージ（Ｚ）を上昇させるような制御を行う。また、図４（ａ）〜（ｄ）の構成であれば、移動ステージ（Ｘ）を進めるに従って、移動ステージ２１（Ｚ）によって工具１７を下降させるような制御を行うことになる。
【００５６】
なお、以上では、ワーク１６の姿勢、例えばＹ軸廻りの回転量（Ｘ軸に対する傾き）に関する加工制御について説明した。しかしながら、本実施例では、例えば３角形を形成するよう３点の第１、第２のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、２７ａ〜２７ｃを移設工程前、後に加工するようにしている。そして、これら第１、第２のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、２７ａ〜２７ｃの各マークの位置（座標）をプローブ２２１で計測している。これら第１、第２のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、２７ａ〜２７ｃの各マークは例えばそれぞれ１つの平面を画成するような３角形の頂点位置に加工される。
【００５７】
このため、第１、第２のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、２７ａ〜２７ｃの各マークの位置（座標）の組合せを介してアライメントマーク２６ａ〜２６ｃまたは２７ａ〜２７ｃの加工装置座標系における位置姿勢を計測できる。同時に、これらアライメントマーク２６ａ〜２６ｃまたは２７ａ〜２７ｃの位置姿勢は、これらアライメントマークの加工時の加工装置座標系におけるワーク１６の位置姿勢を反映している。このため、移設工程前、後の同様にワーク１６のＸ軸廻り、およびＺ軸廻りの回転量についても、同様のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、２７ａ〜２７ｃの計測を介して、第２の加工範囲２５のための加工データを補正することができる。
【００５８】
以上のようにして、ワーク１６に対して、（例えば直線溝の）加工範囲２５が加工範囲２４に段差や傾きなどなくスムーズに連続するよう加工することができる。
【００５９】
なお、以上では、ワーク１６の位置姿勢（Ｘ軸に対する傾き）２８、２９の差についてのみ説明したが、当然ながらワーク１６の位置についても同様の制御を行うことができる。例えば第１、第２のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、２７ａ〜２７ｃの位置姿勢データの差分、特にマークから検出されるワーク１６の高さに差があれば、そのまま加工範囲２５の加工を開始すれば加工範囲２４との間に段差が生じ不連続となる可能性がある。従って、第１、第２のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、２７ａ〜２７ｃの位置姿勢データ差分、特に位置の差分があれば、その分だけ加工すべき加工範囲２５の直線溝が平行移動するように加工範囲２５のための加工データを補正すればよい。
【００６０】
上記のような加工制御は、加工装置１００（図１）の制御系によって行う。加工装置１００（図１）の制御系は、例えば図２に示すように構成することができる。
【００６１】
図２の制御系は、汎用マイクロプロセッサなどから成るＣＰＵ２０１、ＲＯＭ２０２、ＲＡＭ２０３、外部記憶装置２０４、インターフェース２０５、２０７、２０８、ネットワークインターフェース２０６などから構成される。
【００６２】
ＲＯＭ２０２は、例えば後述する加工制御プログラムを格納するために用いることができる。なお、ＲＯＭ２０２に格納した加工制御プログラムと制御データを後から更新（アップデート）できるよう、そのための記憶領域はＥ（Ｅ）ＰＲＯＭなどの記憶デバイスによって構成されていてもよい。ＲＡＭ２０３は、ＤＲＡＭ素子などから構成され、ＣＰＵ２０１が各種の制御、処理を実行するためのワークエリアとして用いられる。
【００６３】
外部記憶装置２０４は、例えばＳＳＤやＨＤＤのディスク装置で構成される。外部記憶装置２０４は、例えば後述する加工制御プログラムなどをファイル形式で格納することができる。なお、外部記憶装置２０４は、着脱式の各種光ディスクのような記録媒体、あるいは、着脱式のＳＳＤやＨＤＤのディスク装置、着脱式のフラッシュメモリから構成されていてもよい。このような各種の着脱式のコンピュータ読み取り可能な記録媒体は、例えば、本発明の一部を構成する加工制御プログラムをＲＯＭ２０２（Ｅ（Ｅ）ＰＲＯＭ領域）にインストールしたり、アップデートするために用いることができる。この場合、各種の着脱式のコンピュータ読み取り可能な記録媒体は、本発明を構成する制御プログラムを格納しており、記録媒体それ自体も本発明を構成することになる。本実施例の加工制御は、ＣＰＵ２０１がＲＯＭ２０２（あるいは外部記憶装置２０４）に格納されたファームウェアや、後述の加工制御プログラムを実行することにより実現される。
【００６４】
また、図２の制御系は、インターフェース２０５、２０７、２０８を有している。例えば、インターフェース２０５、２０７、２０８は、それぞれＣＰＵ２０１が工具１７、移動ステージ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）、およびプローブ２２１と通信するために用いられる。ＣＰＵ２０１は、インターフェース２０５、２０７を介して工具１７、移動ステージ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）を動作させる駆動源（例えばモータなど）を制御することによりワーク１６に対する加工処理の全体を制御する。また、ＣＰＵ２０１は、インターフェース２０８を介して、プローブ２２１からアライメントマークの計測データを読み取る。これらのインターフェース２０５、２０７、２０８は、上述のような任意の通信インターフェース（例えばパラレルないしシリアル通信インターフェース）により構成される。
【００６５】
ネットワークインターフェース（ＮＩＦ）２０６は、他の加工装置や、ネットワーク上のサーバ（いずれも不図示）などと通信するために用いられる。このネットワークインターフェース２０６では、有線、無線接続によるネットワーク通信方式、例えば有線接続ではＩＥＥＥ８０２．３、無線接続ではＩＥＥＥ８０２．１１、８０２．１５のような通信方式を用いることができる。なお、工具１７、移動ステージ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）、およびプローブ２２１との通信は、全てネットワークインターフェース２０６を経由して行うようにしてもよい。
【００６６】
図６は、図２の制御系を用いて行われる本実施例の加工制御の流れを示している。図示の制御はＣＰＵ２０１が実行する加工制御プログラムとして、例えばＲＯＭ２０２や外部記憶装置２０４に格納しておくことができる。
【００６７】
図６において、（例えば直線溝の）加工領域を加工するための第１の加工範囲２４を加工するための第１の加工データ３０１、および第２の加工範囲２５を加工するための第２の加工データ３０２は、予め外部記憶装置２０４に格納されているものとする。
【００６８】
図６のステップＳ１では、ワーク１６を移動ステージ１８（Ｘ）上の第１の装着位置に装着する。ステップＳ２では第１の加工データ３０１を用いて第１の加工範囲２４を加工する（第１の加工工程）。ＣＰＵ２０１は、ステップＳ２において、第１の加工データ３０１に基づき、インターフェース２０５、２０７を介して工具１７、移動ステージ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）を動作させる駆動源（例えばモータなど）を制御する。
【００６９】
ステップＳ３では、工具１７によって、第１のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃをワーク１６の所定位置に加工する（第１のマーキング工程）。ここでは、ＣＰＵ２０１は、予め外部記憶装置２０４などに用意したマークの加工データに基づき、インターフェース２０５、２０７を介して工具１７、移動ステージ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）を動作させる駆動源（例えばモータなど）を制御する。
【００７０】
ステップＳ４〜Ｓ６は、加工範囲２５を加工する前のワーク１６の移設工程に相当する。この移設工程は、作業者の手動による作業や、不図示のロボット装置などによって自動的に行うことができる。まず、ステップＳ４では、ワーク１６を移動ステージ１８（Ｘ）から取り外す。ステップＳ５では、ワーク１６と移動ステージ１８（Ｘ）との相対位置関係を変更する。例えば、ここでは必要に応じて移動ステージ１８（Ｘ）をステージガイド１９上の他端の可動範囲側に移動させる。ステップＳ６では、ワーク１６を移動ステージ１８（Ｘ）上の第２の装着位置に再取付（再装着）する。なお、ワーク１６は、所定の治具やホルダを介して装着したり、あるいはピンと孔のような係合機構を用いて必要な装着精度を確保できるよう移動ステージ１８（Ｘ）に対して、装着される。
【００７１】
ステップＳ７では、工具１７によって、第２のアライメントマーク２７ａ〜２７ｃをワーク１６の所定位置に加工する（第２のマーキング工程）。ＣＰＵ２０１は、予め外部記憶装置２０４などに用意したマークの加工データに基づき、インターフェース２０５、２０７を介して工具１７、移動ステージ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）を動作させる駆動源（例えばモータなど）を制御する。
【００７２】
ステップＳ８は、第１のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃの位置姿勢の計測工程に相当する。ここでは、プローブ２２１を用いて、第１のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃの各々のマークの基準点（例えば上記の最深部位）の座標を検出する。また、ステップＳ９では、プローブ２２１を用いて、第２のアライメントマーク２７ａ〜２７ｃの各々のマークの基準点（例えば上記の最深部位）の座標を検出する。ＣＰＵ２０１は、インターフェース２０８を介して第１、第２のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、２７ａ〜２７ｃから検出した計測値３０３、３０４を読み取る。
【００７３】
ステップＳ１０において、ＣＰＵ２０１は、第１、第２のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、２７ａ〜２７ｃから読み取った計測値３０３、３０４を用いて、第２の加工範囲２５を加工するための第２の加工データ３０２を補正する（補正工程）。ここでは、計測した第１および第２のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、２７ａ〜２７ｃの位置姿勢の差分に基づいて、移動ステージ１８（Ｘ）の可動範囲で加工可能な第２の加工範囲２５に対して加工を行うための第２の加工データ３０２を補正する。第２の加工データ３０２の補正は、例えば図５（ａ）、（ｂ）に関連して説明したように、移設工程前、後のワーク１６の位置、および姿勢（例えばＸ、Ｙ、Ｚ軸各軸廻りの回転量）のいずれについても行うことができる。
【００７４】
ステップＳ１１では、ステップＳ１０で補正した補正後の第２の加工データ３０２を用いて第２の加工範囲２５を加工する（第２の加工工程）。ここでＣＰＵ２０１は、補正後の第２の加工データ３０２に基づき、インターフェース２０５、２０７を介して工具１７、移動ステージ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）を動作させる駆動源（例えばモータなど）を制御する。
【００７５】
以上のようにして、本実施例によれば、加工領域の全体を複数の加工範囲２４、２５に分割して加工する場合、ワーク１６の移設工程前、後に第１および第２のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、２７ａ〜２７ｃをそれぞれ加工する。そして、これら第１および第２のアライメントマークの位置姿勢の差分に基づいて、移動ステージ１８（Ｘ）の可動範囲で加工可能な第２の加工範囲２５に対して加工を行うための第２の加工データ３０２を補正するようにしている。このため、移設工程に続いて行う第２の加工工程でワークを加工する際に用いる第２の加工データを容易に補正でき、高い加工精度を得ることができる。即ち、ワーク１６に対して、例えば直線溝の加工範囲２５が加工範囲２４に段差や傾きなどなくスムーズに連続するよう加工領域の全体を加工することができる。
【００７６】
本実施例では、ワーク１６の移設工程前、後に加工した第１および第２のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、２７ａ〜２７ｃの位置姿勢の差分に基づいて、第２の加工範囲２５に対して加工を行うための第２の加工データ３０２を補正するようにしている。即ち、上記の各アライメントマークに対応する第１の加工工程におけるワーク１６の位置姿勢と、第２の加工工程開始前のワーク１６の位置姿勢の差分に基づき、第２の加工データ３０２を補正して加工領域全体を高精度に加工することができる。
【００７７】
なお、例えば、図５（ａ）において、第１のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃで検出した位置姿勢（Ｘ軸に対する傾き）２８のみを用いて第２の加工範囲２５のための第２の加工データ３０２を補正することも考えられないことはない。しかしながら、図５（ａ）、（ｂ）で説明したように、移設工程において移動ステージ１８（Ｘ）から大きくはみ出すようにワーク１６を搭載し直す場合には、ステージガイド１９の真直度が移設前後で変化する可能性がある。このため、前述のように移設前、後でワーク１６の位置姿勢が２８、２９のように変化してしまう可能性がある。このような状況では、第１のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃで検出した位置姿勢２８のみを用いて第２の加工範囲２５のための第２の加工データ３０２を補正しても第１、第２の加工範囲２４、２５を正確に連続的に加工することはできない。
【００７８】
一方、本実施例は、ワーク１６の移設工程前、後に加工した第１および第２のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、２７ａ〜２７ｃの位置姿勢の差分に基づいて、第２の加工範囲２５のための第２の加工データ３０２を補正する構成である。このため、移設工程によって影響を受けるワーク１６の位置姿勢２８、２９の差分を反映させ、第２の加工データ３０２を正確に補正することができ、加工領域全体を精度よく連続的に加工することができる。
【００７９】
なお、以上では、第１および第２のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、２７ａ〜２７ｃを加工した部位を切削などの手法により後程、除去する手順について触れた。しかしながら、第１および第２のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、２７ａ〜２７ｃを加工した（おそらくは最終的には不要の）部位を除去するのではなく、図７に示すような着脱可能なアライメントマーク部品３０に加工する構成も考えられる。
【００８０】
図７のワーク１６には、その中央部側面にアライメントマーク部品３０が装着されている。図７のアライメントマーク部品３０は、例えば直方体形状のブロックで、不図示のネジ止めや嵌合構造によりワーク１６に着脱できるよう構成されている。第１および第２のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、２７ａ〜２７ｃを加工すべきマーク部位は、例えばアライメントマーク部品３０の上面とする。
【００８１】
アライメントマーク部品３０は、必要な加工精度を確保できる程度の物性を有する金属や樹脂などから構成する。なお、図７において２３は、ワーク１６に対する加工領域全体（前述の加工範囲２４、２５から成る加工領域全体に相当する）を示している。
【００８２】
このようなアライメントマーク部品３０を用い、その上面に第１および第２のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、２７ａ〜２７ｃを加工する場合も、加工制御の原理は上述と同様である。
【００８３】
アライメントマーク部品３０は、第１の加工工程前にワーク１６に装着しておき、少なくとも移設工程を経て第２のアライメントマーク２７ａ〜２７ｃを加工するまではワーク１６に装着しておく。図６の制御手順でいえば、図６のステップＳ１に先立ってワーク１６に装着しておき、ステップＳ２〜ステップＳ７までを同様に実行する。
【００８４】
そして、この着脱可能なアライメントマーク部品３０を用いる場合には、アライメントマーク部品３０を取り外してから、ステップＳ８、Ｓ９の第１および第２のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、２７ａ〜２７ｃを計測する計測工程を実施できる。
【００８５】
即ち、本実施例の補正原理によれば、第２の加工データ３０２を補正するには、ワーク１６の位置姿勢２８、２９の差分のみが必要であって、第１および第２のアライメントマークの計測時にこれらのマークは必ずしもワーク１６と一体をなしている必要はない。
【００８６】
従って、本実施例の補正原理によれば、第２のアライメントマーク２７ａ〜２７ｃを加工した後であれば、アライメントマーク部品３０は取り外してしまうことができる。そして、第１および第２のアライメントマーク２６ａ〜２６ｃ、２７ａ〜２７ｃを計測する計測工程は、例えば、加工装置１００とは別の場所に別途用意した、上述のプローブ２２１と同様の計測装置を用いて実施することができる。
【００８７】
上記のように、図７のような着脱可能なアライメントマーク部品３０を用いることにより、ワーク１６にアライメントマークを加工可能な非有効面がない、またはそれを確保するのが困難なワーク形状の場合にも、本実施例の加工制御を実施することができる。また、図７のような着脱可能なアライメントマーク部品３０を用いることにより、加工装置１００上に上述のプローブ２２１のようなアライメントマークを計測するための計測手段を配置する必要がなくなる。このため、加工装置１００に本実施例の加工制御を実施するための特別な構成が必要なくなり、汎用的な加工装置１００を用いて簡単安価に本実施例の加工制御を実施することができる。
【００８８】
なお、以上では、ワーク１６に対して加工すべき加工領域全体を移設工程を挟んで加工する加工範囲２４、および２５の２つに分割する構成につき説明した。しかしながら、３つ以上の多数の加工範囲に加工領域全体を分割してスティッチング加工を行う場合でも、上述の実施例と同様の手順を繰り返し実行することにより、加工領域全体を多数の加工範囲の分割加工により加工することができる。
【００８９】
また、上述の実施例において、ワークの前記第１および第２の加工範囲に加工を施す手法は、樹脂や金属などの任意の材質から成るワークに対して、例えば直線溝などの加工領域を加工して何らかの部品を製造する製造方法として実施することができる。
【００９０】
なお、本発明は、上述の実施例の１以上の機能を実現するプログラムをネットワーク又は記憶媒体を介してシステムまたは装置に供給し、そのシステムまたは装置のコンピュータにおける１つ以上のプロセッサがプログラムを読出し実行する処理でも実現できる。また、１以上の機能を実現する回路（例えば、ＡＳＩＣ）によっても実現可能である。
【符号の説明】
【００９１】
１６…ワーク、１７…工具、１８、２１…移動ステージ（Ｘ、Ｚ）、２０…可動範囲、２３…加工領域、２４、２５…加工範囲、２６ａ、２６ｂ、２６ｃ、２７ａ、２７ｂ、２７ｃ…アライメントマーク、３０…アライメントマーク部品、２０１…ＣＰＵ、２０２…ＲＯＭ、２０３…ＲＡＭ、２０４…外部記憶装置、２２１…プローブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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