(57)【要約】【課題】接着シートの剥離不良を防止することができるシート剥離装置および剥離方法を提供すること。【解決手段】シート剥離装置１０は、接着シートＡＳによりフレームＲＦと一体化された被着体ＷＦから接着シートＡＳを剥離する装置であって、接着シートＡＳに所定形状の切込ＣＵを形成する切断手段２０と、接着シートＡＳと被着体ＷＦとを被着体ＷＦの一方の面に交差する所定の剥離方向ＰＤに相対移動させ、当該被着体ＷＦから接着シートＡＳを剥離する剥離手段３０とを備え、切断手段２０は、被着体ＷＦの外縁に接する複数の接線ＳＬ１、ＳＬ２に対して当該被着体ＷＦから離間する側に、相互に繋がることのない不連続部ＤＰを形成する切込ＣＵを設ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着体の一方の面に貼付された接着シートにより、フレームと一体化された一体物における当該被着体から、前記接着シートを剥離するシート剥離装置であって、
前記接着シートに所定形状の切込を形成する切断手段と、
前記接着シートと被着体とを当該被着体の一方の面に交差する所定の剥離方向に相対移動させ、当該被着体から前記接着シートを剥離する剥離手段とを備え、
前記切断手段は、前記被着体の外縁に接する複数の接線に対して当該被着体から離間する側に、相互に繋がることのない不連続部を形成する切込を設けることを特徴とするシート剥離装置。
【請求項２】
前記剥離手段は、前記フレームとで前記接着シートを挟み込むシート挟込手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。
【請求項３】
被着体の一方の面に貼付された接着シートにより、フレームと一体化された一体物における当該被着体から、前記接着シートを剥離するシート剥離方法であって、
前記接着シートに所定形状の切込を形成する切断工程と、
前記接着シートと被着体とを当該被着体の一方の面に交差する所定の剥離方向に相対移動させ、当該被着体から前記接着シートを剥離する工程とを備え、
前記切断工程では、前記被着体の外縁に接する複数の接線に対して当該被着体から離間する側に、相互に繋がることのない不連続部を形成する切込を設けることを特徴とするシート剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート剥離装置および剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被着体に貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−２４０８０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来のシート剥離装置では、ウエハ（被着体）に貼付された接着シート部分は、周囲全体がリングフレーム（フレーム）に繋がった状態となっているので、ウエハから剥離するときに、当該ウエハの外縁全域から剥離が開始されるので、当該接着シートを剥離するための剥離力が大きくなり、接着シートがリングフレームから剥がれて剥離不良を招来するという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、接着シートの剥離不良を防止することができるシート剥離装置および剥離方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のシート剥離装置は、被着体の一方の面に貼付された接着シートにより、フレームと一体化された一体物における当該被着体から、前記接着シートを剥離するシート剥離装置であって、前記接着シートに所定形状の切込を形成する切断手段と、前記接着シートと被着体とを当該被着体の一方の面に交差する所定の剥離方向に相対移動させ、当該被着体から前記接着シートを剥離する剥離手段とを備え、前記切断手段は、前記被着体の外縁に接する複数の接線に対して当該被着体から離間する側に、相互に繋がることのない不連続部を形成する切込を設けることを特徴とする。
【０００７】
本発明のシート剥離装置において、前記剥離手段は、前記フレームとで前記接着シートを挟み込むシート挟込手段を備えていることが好ましい。
【０００８】
本発明のシート剥離方法は、被着体の一方の面に貼付された接着シートにより、フレームと一体化された一体物における当該被着体から、前記接着シートを剥離するシート剥離方法であって、前記接着シートに所定形状の切込を形成する切断工程と、前記接着シートと被着体とを当該被着体の一方の面に交差する所定の剥離方向に相対移動させ、当該被着体から前記接着シートを剥離する工程とを備え、前記切断工程では、前記被着体の外縁に接する複数の接線に対して当該被着体から離間する側に、相互に繋がることのない不連続部を形成する切込を設けることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、被着体に貼付された接着シート部分は、不連続部によって部分的にフレームに繋がった状態となるので、被着体の外縁全域から剥離が開始されることがなくなり、当該接着シートを剥離するための剥離力が大きくなることを防止することができ、接着シートの剥離不良を防止することができる。
【００１０】
また、剥離手段にシート挟込手段を設ければ、接着シートと被着体とを相対移動させる際に、接着シートがフレームから剥離してしまうことを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】（Ａ）は本発明の一実施形態に係るシート剥離装置の側面図。（Ｂ）は（Ａ）の平面図。
【図２】図１のシート剥離装置の動作説明図。
【図３】本発明の変形例の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
【００１３】
図１において、シート剥離装置１０は、被着体としてのウエハＷＦの一方の面に貼付された接着シートＡＳにより、フレームとしてのリングフレームＲＦと一体化された一体物ＷＫにおける当該ウエハＷＦから、接着シートＡＳを剥離する装置であって、接着シートＡＳに所定形状の切込ＣＵを形成する切断手段２０と、接着シートＡＳとウエハＷＦとを当該ウエハＷＦの一方の面に交差する所定の剥離方向ＰＤに相対移動させ、当該ウエハＷＦから接着シートＡＳを剥離する剥離手段３０と、一体物ＷＫを保持する一体物保持手段４０とを備えている。
【００１４】
切断手段２０は、駆動機器としての多関節ロボット２１と、多関節ロボット２１の先端アーム（作業アーム）２２に着脱可能に支持された切断刃２３とを備えている。多関節ロボット２１は、その作業範囲内において先端アーム２２に装着したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な所謂６軸ロボットである。
【００１５】
剥離手段３０は、駆動機器としての直動モータ３１と、直動モータ３１の出力軸３１Ａに支持され、リングフレームＲＦを支持する支持面３２Ａを有する下支持部材３２と、リングフレームＲＦとで接着シートＡＳを挟み込むシート挟込手段３３とを備えている。シート挟込手段３３は、下支持部材３２に支持された駆動機器としての回動モータ３４と、回動モータ３４の出力軸３４Ａに支持された上支持部材３５とを備えている。
【００１６】
一体物保持手段４０は、上面４１Ａから凹んだ凹部４１Ｂおよび直動モータ３１を内部に支持する凹部４１Ｃを有する外側テーブル４１と、凹部４１Ｂ内に設けられ、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハＷＦを吸着保持可能な支持面４２Ａを有する内側テーブル４２とを備えている。
【００１７】
以上のシート剥離装置１０において、ウエハＷＦから接着シートＡＳを剥離する手順を説明する。
先ず、各部材が初期位置に配置された図１に示す状態のシート剥離装置１０に対し、作業者またはベルトコンベア等の図示しない移送手段が、接着シートＡＳを上側にして一体物ＷＫを支持面３２Ａ、４２Ａ上の所定位置に載置する。次に、剥離手段３０および一体物保持手段４０が回動モータ３４および図示しない減圧手段を駆動し、図２（Ａ）に示すように、上支持部材３５とリングフレームＲＦとで接着シートＡＳを挟み込むとともに、支持面４２ＡでウエハＷＦを吸着保持する。
【００１８】
次いで、切断手段２０が多関節ロボット２１を駆動し、図１（Ｂ）に示すように、ウエハＷＦの外縁に接する複数の接線ＳＬ１、ＳＬ２に対して当該ウエハＷＦから離間する側に、相互に繋がることのない不連続部ＤＰを形成する切込ＣＵを設ける。ここで、不連続部ＤＰが形成されることで、ウエハＷＦに貼付された接着シートＡＳ部分は、部分的にリングフレームＲＦに繋がった状態となる。
【００１９】
次いで、剥離手段３０が直動モータ３１を駆動し、図２（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、リングフレームＲＦを剥離方向ＰＤ（ウエハＷＦにおける接着シートＡＳの被着面に直交する方向）に移動させて、接着シートＡＳをウエハＷＦから剥離する。このとき、ウエハＷＦに貼付された接着シートＡＳ部分は、部分的にリングフレームＲＦに繋がった状態となっているので、ウエハＷＦの外縁と接線ＳＬ１、ＳＬ２との接点である剥離開始端縁ＷＦ１、ＷＦ２から、当該接線ＳＬ１、ＳＬ２と略平行な直線（緩やかな円弧の場合もある）に沿う剥離縁ＰＥ１、ＰＥ２を形成しながらウエハＷＦの中央に向け剥離が進んでいく。これにより、ウエハＷＦの外縁全域から接着シートＡＳを剥離するときの剥離力に比べて小さな剥離力で当該接着シートＡＳをウエハＷＦから剥離することができる。
【００２０】
ウエハＷＦから接着シートＡＳ全体が剥離されると、剥離手段３０が直動モータ３１の駆動を停止する。そして、剥離手段３０が回動モータ３４を駆動し、上支持部材３５とリングフレームＲＦとによる接着シートＡＳの挟み込みを解除した後、作業者または図示しない移送手段が接着シートＡＳ付きのリングフレームＲＦをリングフレームストッカや回収箱等の図示しないフレーム回収位置に回収する。また、ウエハＷＦから接着シートＡＳが剥離されると、一体物保持手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面４２ＡでのウエハＷＦの吸着保持を解除した後、作業者または図示しない移送手段がウエハＷＦを次工程に搬送する。そして、剥離手段３０が直動モータ３１を駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２１】
以上のような実施形態によれば、ウエハＷＦに貼付された接着シートＡＳ部分は、不連続部ＤＰによって部分的にリングフレームＲＦに繋がった状態となるので、ウエハＷＦの外縁全域から剥離が開始されることがなくなり、当該接着シートＡＳを剥離するための剥離力が大きくなることを防止することができ、接着シートＡＳの剥離不良を防止することができる。
また、シート剥離装置１０をウエハＷＦの外縁全域から接着シートＡＳを剥離する剥離力に見合う強靭な構造としたり、出力を大きくしたりする必要がなくなり、装置が大型化したり、消費電力が大きくなったりすることも防止することができる。
【００２２】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
【００２３】
例えば、切断手段２０は、切込ＣＵを図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように形成したり、その他の形状となるように形成してもよい。
切断手段２０は、３つ以上の不連続部ＤＰが形成されるように切込ＣＵを設けてもよく、この場合、接着シートＡＳは、所定の剥離開始端縁としての３つ以上（不連続部ＤＰの数と同じ数）の地点から剥離が進んでいくこととなる。
切断手段２０は、切断刃２３の代わりにレーザカッター、熱カッター、エアカッター、圧縮水カッター等の他の構成のものを採用してもよい。
切断手段２０は、接線ＳＬ１、ＳＬ２間における切込ＣＵの形状をウエハＷＦの外形形状に合わせることなく、例えば、多角形、楕円形、その他の形状とした切込ＣＵを形成してもよい。
切込ＣＵは、接着シートＡＳとウエハＷＦとを相対移動させたときに、ウエハＷＦに貼付された接着シートＡＳ部分が接線ＳＬ１、ＳＬ２に対して当該ウエハＷＦから離間する側で、不連続部ＤＰによって部分的にリングフレームＲＦに繋がった状態となっていればよいので、切断手段２０は、例えば、切取線のような断続的な（部分的に繋がった）切込ＣＵを形成してもよい。
【００２４】
剥離手段３０は、ウエハＷＦの一方の面に直交する方向を剥離方向ＰＤとしてもよいし、当該一方の面に任意の傾斜角度で交差する方向を剥離方向ＰＤとしてもよい。
シート挟込手段３３は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段により接着シートＡＳとリングフレームＲＦとを挟み込む構成を採用してもよいし、エア噴き付けにより接着シートＡＳをリングフレームＲＦに押圧する構成を採用してもよいし、なくてもよい。
シート挟込手段３３がリングフレームＲＦとで接着シートＡＳを挟み込む位置は、いずれの位置でもよく、１箇所でもよいし複数個所でもよい。
剥離手段３０は、切込ＣＵを形成するときにシート挟込手段３３で接着シートＡＳをリングフレームＲＦとで挟み込んでいなくてもよい。
剥離手段３０は、一体物ＷＫの位置を固定しておき一体物保持手段４０を移動させて、または、一体物ＷＫおよび一体物保持手段４０の両方を移動させてウエハＷＦから接着シートＡＳを剥離してもよい。
【００２５】
一体物保持手段４０は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力等でウエハＷＦやリングフレームＲＦを保持する構成でもよい。
一体物保持手段４０は、他の装置や人手でウエハＷＦを保持する場合、なくてもよい。
【００２６】
シート剥離装置１０は、図３に示すように、剥離手段３０の代わりに、一対の把持爪３６Ａを有し、リングフレームＲＦとで接着シートＡＳを挟み込むシート挟込手段であって駆動機器としてのチャックシリンダ３６と、チャックシリンダ３６を移動させる駆動機器としての図示しない多関節ロボットとを備えた剥離手段３０Ａを採用し、一体物保持手段４０の代わりに、チャックシリンダ３６の下側の把持爪３６Ａが入り込む凹部４３と、リングフレームＲＦを突き当てて当該リングフレームＲＦのＸＹ平面方向への移動を規制する突き当て部４４とを備えた一体物保持手段４０Ａを採用してもよい。この場合、剥離手段３０Ａが多関節ロボットを駆動し、リングフレームＲＦを突き当て部４４に突き当て、当該突き当て部４４に突き当てたリングフレームＲＦ部分が回転中心となる剥離方向ＰＤ１にチャックシリンダ３６を移動させる。このような構成とすれば、リングフレームＲＦをフレーム回収位置に搬送する動作の途中で、ウエハＷＦから接着シートＡＳを剥離することができるので、装置の大型化や制御の複雑化を防止することができる。
シート剥離装置１０は、接着シートＡＳに貼付されたウエハＷＦや当該ウエハＷＦを個片化したチップ等を他の接着シートや、転写テーブル等の他の部材に転写する例えば特許文献１に記載されたような剥離装置（シート転写装置）等に使用してもよい。
【００２７】
ウエハＷＦの他方の面には、保護シートや紙等の他の部材が貼付されていてもよい。
被着体の形状は、例えば円形、楕円形、三角形以上の多角形、その他の形状であってもよい。
フレームは、リングフレームＲＦ以外に、環状でない（外周が繋がっていない）フレームや、円形、楕円形、三角形以上の多角形、その他の形状であってもよい。
【００２８】
また、本発明における接着シートＡＳ、被着体、およびフレームの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよい。また、接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００２９】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、剥離手段は、接着シートと被着体とを当該被着体の一方の面に交差する所定の剥離方向に相対移動させ、当該被着体から接着シートを剥離可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３０】
１０            シート剥離装置
２０            切断手段
３０            剥離手段
３３            シート挟込手段
３６            チャックシリンダ（シート挟込手段）
ＡＳ            接着シート
ＣＵ            切込
ＤＰ            不連続部
ＰＤ、ＰＤ１    剥離方向
ＲＦ            リングフレーム（フレーム）
ＳＬ１、ＳＬ２  接線
ＷＦ            ウエハ（被着体）
ＷＫ            一体物
【図１】
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【図２】
2016154200.tif 000004
【図３】
2016154200.tif 000005