(57)【要約】【課題】ウェーハに貼着された剛性板を破損することなくウェーハの面取り部を除去できる加工方法を提供する。【解決手段】表面（１３ａ）から裏面（１３ｂ）に至る面取り部（１３ｃ）を外周に有する円板状のウェーハ（１３）が剛性板（１５）に貼着された被加工物（１１）の面取り部を複数の切削ブレード（４８，５０）で除去する加工方法であって、複数の切削ブレードとウェーハとが接触する各加工点において切削ブレードの動きの向きとウェーハの動きの向きとが逆になるように複数の切削ブレードとチャックテーブル（１４）とをそれぞれ回転させた状態で、複数の切削ブレードを被加工物（１１）に向けて下降させ、複数の切削ブレードをウェーハと剛性板との貼着面まで切り込ませてウェーハの面取り部を除去する切削工程を含む構成とした。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面から裏面に至る面取り部を外周に有する円板状のウェーハが剛性板に貼着された被加工物の該面取り部を複数の切削ブレードで除去する加工方法であって、
該被加工物を保持する保持面を有し該保持面に直交するとともに該保持面の中心を通る回転軸を有するチャックテーブルに、該ウェーハの中心を該チャックテーブルの回転軸に一致させた状態で該被加工物を載置して該被加工物の該剛性板側を該チャックテーブルで保持する保持工程と、
該保持工程の後、該チャックテーブルの回転軸に直交する直線上に複数の該切削ブレードの回転軸を配置して該面取り部の上方に複数の該切削ブレードを互いに重ならないように位置付ける切削ブレード位置付け工程と、
該切削ブレード位置付け工程の後、複数の該切削ブレードと該ウェーハとが接触する各加工点において該切削ブレードの動きの向きと該ウェーハの動きの向きとが逆になるように複数の該切削ブレードと該チャックテーブルとをそれぞれ回転させた状態で、複数の該切削ブレードを該被加工物に向けて下降させ、複数の該切削ブレードを該ウェーハと該剛性板との貼着面まで切り込ませて該ウェーハの面取り部を除去する切削工程と、を含むことを特徴とする加工方法。
【請求項２】
第１の回転スピンドル及び該第１の回転スピンドルの一端部に装着された第１の切削ブレードを備えた第１の切削手段と、第２の回転スピンドル及び該第２の回転スピンドルの一端部に装着された第２の切削ブレードを備えた第２の切削手段と、該被加工物を保持する該チャックテーブルと、を有し、該第１の切削ブレードと該第２の切削ブレードとが対峙するように該第１の回転スピンドルと該第２の回転スピンドルとが一直線上に配置された切削装置を用い、該切削工程では、該第１の切削ブレードと該第２の切削ブレードとを該ウェーハに切り込ませながら該チャックテーブルを少なくとも１８０度回転させることを特徴とする請求項１に記載の加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、剛性板が貼着されたウェーハの面取り部を除去する加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、小型軽量なデバイスを実現するために、シリコン等の半導体材料でなるウェーハを薄く加工することが求められている。ウェーハは、例えば、表面のストリート（分割予定ライン）で区画される各領域にＩＣ等のデバイスが形成された後、裏面側を研削されることで薄化される。薄化後のウェーハは、ストリートに沿って各デバイスに対応した複数のチップに分割される。
【０００３】
このようなデバイスの製造に使用されるウェーハの外周は、搬送中の欠け等を防ぐために面取りされている。しかしながら、面取りされたウェーハを研削によって薄化すると、ウェーハの外周はナイフエッジのように薄く尖り、かえって欠け等が発生し易くなってしまう。
【０００４】
そこで、研削による薄化の前に、面取りされた部分（面取り部）を切削除去するウェーハの加工方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この加工方法では、ウェーハの研削前に切削ブレードを切り込ませて面取り部を切削除去することで、外周がナイフエッジのように薄く尖ってしまうのを防いでいる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−１７３９６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、補強のために剛性板が貼着されたウェーハの面取り部を上述のように切削すると、発生する屑（切削屑）が切削ブレードの回転によって移動し、ウェーハと剛性板との界面（貼着面）に衝突してしまうことがある。この場合、剛性板が破損して、ウェーハの加工に悪影響を与える可能性が高い。
【０００７】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ウェーハに貼着された剛性板を破損することなくウェーハの面取り部を除去できる加工方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、表面から裏面に至る面取り部を外周に有する円板状のウェーハが剛性板に貼着された被加工物の該面取り部を複数の切削ブレードで除去する加工方法であって、該被加工物を保持する保持面を有し該保持面に直交するとともに該保持面の中心を通る回転軸を有するチャックテーブルに、該ウェーハの中心を該チャックテーブルの回転軸に一致させた状態で該被加工物を載置して該被加工物の該剛性板側を該チャックテーブルで保持する保持工程と、該保持工程の後、該チャックテーブルの回転軸に直交する直線上に複数の該切削ブレードの回転軸を配置して該面取り部の上方に複数の該切削ブレードを互いに重ならないように位置付ける切削ブレード位置付け工程と、該切削ブレード位置付け工程の後、複数の該切削ブレードと該ウェーハとが接触する各加工点において該切削ブレードの動きの向きと該ウェーハの動きの向きとが逆になるように複数の該切削ブレードと該チャックテーブルとをそれぞれ回転させた状態で、複数の該切削ブレードを該被加工物に向けて下降させ、複数の該切削ブレードを該ウェーハと該剛性板との貼着面まで切り込ませて該ウェーハの面取り部を除去する切削工程と、を含むことを特徴とする加工方法が提供される。
【０００９】
本発明において、第１の回転スピンドル及び該第１の回転スピンドルの一端部に装着された第１の切削ブレードを備えた第１の切削手段と、第２の回転スピンドル及び該第２の回転スピンドルの一端部に装着された第２の切削ブレードを備えた第２の切削手段と、該被加工物を保持する該チャックテーブルと、を有し、該第１の切削ブレードと該第２の切削ブレードとが対峙するように該第１の回転スピンドルと該第２の回転スピンドルとが一直線上に配置された切削装置を用い、該切削工程では、該第１の切削ブレードと該第２の切削ブレードとを該ウェーハに切り込ませながら該チャックテーブルを少なくとも１８０度回転させることが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る加工方法では、各加工点において切削ブレードの動きの向きとウェーハの動きの向きとが逆になるように複数の切削ブレードとチャックテーブルとをそれぞれ回転させた状態で、複数の切削ブレードを下降させてウェーハに切り込ませるので、発生する屑は、ウェーハと剛性板との貼着面から離れる方向に移動する。
【００１１】
つまり、本発明に係る加工方法では、発生する屑がウェーハと剛性板との貼着面に衝突することはないので、ウェーハに貼着された剛性板を破損することなくウェーハの面取り部を除去できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】切削装置の構成例を模式的に示す斜視図である。
【図２】図２（Ａ）は、切削ブレード位置付け工程を模式的に示す一部断面正面図であり、図２（Ｂ）は、切削ブレード位置付け工程を模式的に示す平面図である。
【図３】図３（Ａ）は、切削工程を模式的に示す一部断面正面図であり、図３（Ｂ）は、切削工程を模式的に示す平面図である。
【図４】図４（Ａ）は、第１の切削ブレードをウェーハに切り込ませる前の第１の加工点の近傍の様子を模式的に示す断面図であり、図４（Ｂ）は、第１の切削ブレードをウェーハに切り込ませた後の第１の加工点の近傍の様子を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。本実施形態に係る加工方法は、保持工程、切削ブレード位置付け工程（図２（Ａ）及び図２（Ｂ）参照）、及び切削工程（図３（Ａ）、図３（Ｂ）、図４（Ａ）及び図４（Ｂ）参照）を含む。
【００１４】
保持工程では、ウェーハが剛性板に貼着されてなる被加工物の剛性板側を切削装置のチャックテーブルで保持する。切削ブレード位置付け工程では、ウェーハの外周に形成された面取り部の上方に複数の切削ブレードを位置付ける。
【００１５】
切削工程では、各加工点において切削ブレードの動きの向きとウェーハの動きの向きとが逆になるように複数の切削ブレードとチャックテーブルとをそれぞれ回転させた状態で、複数の切削ブレードを下降させてウェーハに切り込ませる。以下、本実施形態に係る加工方法について詳述する。
【００１６】
まず、本実施形態に係る加工方法で用いる切削装置について説明する。図１は、切削装置の構成例を模式的に示す斜視図である。図１に示すように、切削装置２は、各構造を支持する基台４を備えている。
【００１７】
基台４において、前端の一方側の角部には、切り欠き４ａが形成されており、この切り欠き４ａには、カセット載置台６が昇降可能に設置されている。カセット載置台６の上面には、複数の被加工物１１（図２（Ａ）等参照）を収容する直方体状のカセット８が載置される。
【００１８】
被加工物１１は、シリコン等の材料でなる円板状のウェーハ１３の下面１３ｂ（裏面）側に、所定の剛性を備えた剛性板１５の上面１５ａ側を貼着して構成される。ウェーハ１３の外周には、上面（表面）１３ａから下面１３ｂにかけて面取りされた面取り部１３ｃが形成されている。切削装置２は、この面取り部１３ｃを除去するために使用される。
【００１９】
カセット載置台６と近接する位置には、前後方向（Ｘ軸方向、加工送り方向）に長い矩形状の開口４ｂが形成されている。この開口４ｂ内には、移動テーブル１０、移動テーブル１０を前後方向に移動させるテーブル移動ユニット（不図示）、及びテーブル移動ユニットを覆う防塵・防滴カバー１２が配置されている。
【００２０】
移動テーブル１０上には、被加工物１１を吸引保持するチャックテーブル１４が設置されている。このチャックテーブル１４は、モータ等の回転駆動源（不図示）と連結されており、鉛直方向（Ｚ軸方向）に延びる回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル１４は、上述のテーブル移動ユニットによって移動テーブル１０とともに前後方向に移動する。
【００２１】
チャックテーブル１４の上面は、被加工物１１を吸引保持する保持面となっている。この保持面は、チャックテーブル１４の内部に形成された流路（不図示）を通じて吸引源（不図示）と接続されており、被加工物１１は、保持面に作用する吸引源の負圧でチャックテーブル１４に吸引保持される。
【００２２】
基台４の前面には、左右方向（Ｙ軸方向）に伸びる第１のレール１６が固定されており、この第１のレール１６には、被加工物１１を保持する第１の保持ユニット１８が連結されている。第１の保持ユニット１８は、開口４ｂの上方において被加工物１１を吸引保持し、第１のレール１６に沿って左右方向に移動する。
【００２３】
基台４の上方には、門型の第１の支持構造２０が開口４ｂを跨ぐように配置されている。第１の支持構造２０の前面には、左右方向に伸びる第２のレール２２が固定されており、この第２のレール２２には、第１の昇降ユニット２４を介して第２の保持ユニット２６が連結されている。第２の保持ユニット２６は、第１の昇降ユニット２４によって昇降し、第２のレール２２に沿って左右方向に移動する。
【００２４】
例えば、カセット８内の被加工物１１を第１の保持ユニット１８で保持し、開口４ｂ側に移動させれば、被加工物１１をカセット８から搬出できる。カセット８から搬出された被加工物１１は、第２の保持ユニット２６に受け渡されて、チャックテーブル１４に載置される。
【００２５】
第１の支持構造２０の前面には、左右方向に伸びる第３のレール２８が第２のレール２２の上方に固定されており、この第３のレール２８には、第２の昇降ユニット３０を介して第３の保持ユニット３２が連結されている。第３の保持ユニット３２は、第２の昇降ユニット３０によって昇降し、第３のレール２８に沿って左右方向に移動する。
【００２６】
第１の支持構造２０の後方には、門型の第２の支持構造３４が配置されている。第２の支持構造３４の前面には、第１の移動ユニット３６及び第２の移動ユニット３８を介して、第１のブレードユニット（第１の切削手段）４０及び第２のブレードユニット（第２の切削手段）４２が設けられている。第１のブレードユニット４０は、第１の移動ユニット３６によって左右方向及び鉛直方向に移動し、第２のブレードユニット４２は、第２の移動ユニット３８によって左右方向及び鉛直方向に移動する。
【００２７】
第１のブレードユニット４０及び第２のブレードユニット４２は、それぞれＹ軸の周りに回転する第１の回転スピンドル４４及び第２の回転スピンドル４６（図２（Ａ）等参照）を備えている。第１の回転スピンドル４４及び第２の回転スピンドル４６の一端側には、それぞれ円環状の第１の切削ブレード４８及び第２の切削ブレード５０（図２（Ａ）等参照）が装着されている。
【００２８】
第１の回転スピンドル４４及び第２の回転スピンドル４６の他端側には、それぞれモータ（不図示）が連結されており、第１の切削ブレード４８及び第２の切削ブレード５０は、各モータから伝達される回転力で回転する。第１の切削ブレード４８及び第２の切削ブレード５０を回転させて、チャックテーブル１４で吸引保持された被加工物１１に切り込ませることで、被加工物１１を加工できる。
【００２９】
基台４において、切り欠き４ａと反対側に位置する前端の角部には、被加工物１１を洗浄する洗浄ユニット５２が配置されている。第１の切削ブレード４８及び第２の切削ブレード５０で加工された被加工物１１は、第３の保持ユニット３２で洗浄ユニット５２に搬送される。洗浄ユニット５２で洗浄された被加工物１１は、第２の保持ユニット２６で第１の保持ユニット１８に受け渡されて、カセット８に搬入される。
【００３０】
次に、上述した切削装置２を用いて実施される本実施形態の加工方法について説明する。本実施形態の加工方法では、はじめに、被加工物１１をチャックテーブル１４で保持する保持工程を実施する。この保持工程では、まず、カセット８から搬出された被加工物１１を、第２の保持ユニット２６でチャックテーブル１４に載置する。
【００３１】
チャックテーブル１４の回転軸は、保持面と直交するとともに、保持面の中心を通るように構成されている。保持工程では、この回転軸にウェーハ１３の中心を合わるように、剛性板１５の下面１５ｂを保持面に接触させる。その後、保持面に吸引源の負圧を作用させることで、被加工物１１は、ウェーハ１３の上面１３ａ側が露出した状態でチャックテーブル１４に吸引保持される。
【００３２】
保持工程を実施した後には、ウェーハ１３の外周に形成された面取り部１３ｃの上方に第１の切削ブレード４８及び第２の切削ブレード５０を位置付ける切削ブレード位置付け工程を実施する。図２（Ａ）は、切削ブレード位置付け工程を模式的に示す一部断面正面図であり、図２（Ｂ）は、切削ブレード位置付け工程を模式的に示す平面図である。
【００３３】
図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示すように、切削ブレード位置付け工程では、まず、チャックテーブル１４を前後方向に移動させて、チャックテーブル１４の回転軸と直交する直線上に第１の回転スピンドル４４及び第２の回転スピンドル４６を位置付ける。
【００３４】
次に、第１のブレードユニット４０及び第２のブレードユニット４２を左右方向に移動させて、ウェーハ１３の面取り部１３ｃの上方に第１の切削ブレード４８及び第２の切削ブレード５０を位置付ける。これにより、第１の切削ブレード４８及び第２の切削ブレード５０は、被加工物１１を挟んで互いに対峙する。
【００３５】
なお、本実施形態では、チャックテーブル１４を前後方向に移動させた後に、第１のブレードユニット４０及び第２のブレードユニット４２を左右方向に移動させているが、第１のブレードユニット４０及び第２のブレードユニット４２を左右方向に移動させた後に、チャックテーブル１４を前後方向に移動させても良い。
【００３６】
切削ブレード位置付け工程を実施した後には、第１の切削ブレード４８及び第２の切削ブレード５０をウェーハ１３に切り込ませる切削工程を実施する。図３（Ａ）は、切削工程を模式的に示す一部断面正面図であり、図３（Ｂ）は、切削工程を模式的に示す平面図である。なお、図３（Ｂ）では、第１の切削ブレード４８及び第２の切削ブレード５０の下端側の動きの向きをそれぞれ破線で示している。
【００３７】
切削工程では、まず、第１の切削ブレード４８及び第２の切削ブレード５０とチャックテーブル１４とを、それぞれ所定の方向に回転させる。具体的には、第１の切削ブレード４８とウェーハ１３とが接触する第１の加工点において、第１の切削ブレード４８の動きの向きとウェーハ１３の動きの向きとが逆になるように第１の切削ブレード４８とチャックテーブル１４とを回転させる。
【００３８】
また、第２の切削ブレード５０とウェーハ１３とが接触する第２の加工点において、第２の切削ブレード５０の動きの向きとウェーハ１３の動きの向きとが逆になるように第２の切削ブレード５０とチャックテーブル１４とを回転させる。すなわち、第１の切削ブレード４８と第２の切削ブレード５０との回転方向は、互いに逆向きになる。
【００３９】
第１の切削ブレード４８及び第２の切削ブレード５０とチャックテーブル１４とをそれぞれ回転させた後には、第１の切削ブレード４８及び第２の切削ブレード５０を下降させてウェーハ１３に切り込ませる。切り込みの深さは、第１の切削ブレード４８及び第２の切削ブレード５０が、ウェーハ１３と剛性板１５との貼着面（ウェーハの下面１３ｂ及び剛性板１５の上面１５ａ）に達する程度とする。
【００４０】
図４（Ａ）は、第１の切削ブレード４８をウェーハ１３に切り込ませる前の第１の加工点の近傍の様子を模式的に示す断面図であり、図４（Ｂ）は、第１の切削ブレード４８をウェーハ１３に切り込ませた後の第１の加工点の近傍の様子を模式的に示す断面図である。
【００４１】
図４（Ａ）に示すように、第１の加工点の近傍において、第１の切削ブレード４８の動きの向きＡとウェーハ１３の動きの向きＢとは逆になっている。この状態で、第１の切削ブレード４８を下降させると、図４（Ｂ）に示すように、ウェーハ１３（面取り部１３ｃ）は切削される。第２の加工点の近傍についても同様である。
【００４２】
このとき、ウェーハ１３から発生する屑（切削屑）１３ｄは、第１の切削ブレード４８の回転によって、ウェーハ１３と剛性板１５との貼着面（下面１３ｂ及び上面１５ａ）から離れる方向に移動する。つまり、発生する屑１３ｄがウェーハ１３と剛性板１５との貼着面に衝突することはない。
【００４３】
このように、第１の切削ブレード４８及び第２の切削ブレード５０をウェーハ１３に切り込ませた状態で、チャックテーブル１４を１８０度以上回転させれば、ウェーハ１３の面取り部１３ｃは除去される。
【００４４】
以上のように、本実施形態に係る加工方法では、第１の加工点及び第２の加工点において、第１の切削ブレード４８の動きの向きとチャックテーブル１４の動きの向きとが逆になり、第２の切削ブレード５０の動きの向きとチャックテーブル１４の動きの向きとが逆になるように第１の切削ブレード４８及び第２の切削ブレード５０とチャックテーブル１４とをそれぞれ回転させた状態で、第１の切削ブレード４８及び第２の切削ブレード５０を下降させてウェーハ１４に切り込ませるので、発生する屑１３ｄは、ウェーハ１３と剛性板１５との貼着面から離れる方向に移動する。
【００４５】
つまり、本実施形態に係る加工方法では、発生する屑１３ｄがウェーハ１３と剛性板１５との貼着面に衝突することはないので、ウェーハ１３に貼着された剛性板１５を破損することなくウェーハ１３の面取り部１３ｃを除去できる。
【００４６】
なお、上記実施形態に係る構成、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００４７】
２  切削装置
４  基台
４ａ  切り欠き
４ｂ  開口
６  カセット載置台
８  カセット
１０  移動テーブル
１２  防塵・防滴カバー
１４  チャックテーブル
１６  第１のレール
１８  第１の保持ユニット
２０  第１の支持構造
２２  第２のレール
２４  第１の昇降ユニット
２６  第２の保持ユニット
２８  第３のレール
３０  第２の昇降ユニット
３２  第３の保持ユニット
３４  第２の支持構造
３６  第１の移動ユニット
３８  第２の移動ユニット
４０  第１のブレードユニット（第１の切削手段）
４２  第２のブレードユニット（第２の切削手段）
４４  第１の回転スピンドル
４６  第２の回転スピンドル
４８  第１の切削ブレード
５０  第２の切削ブレード
５２  洗浄ユニット
１１  被加工物
１３  ウェーハ
１３ａ  上面（表面）
１３ｂ  下面（裏面）
１３ｃ  面取り部
１３ｄ  屑（切削屑）
１５  剛性板
１５ａ  上面
１５ｂ  下面
【図１】
2016058518.tif 000003
【図２】
2016058518.tif 000004
【図３】
2016058518.tif 000005
【図４】
2016058518.tif 000006