(57)【要約】【課題】第１層から第２層を剥離している最中に、当該第２層が途中で破断してしまうのを確実に防止することができる剥離装置を提供すること。【解決手段】剥離装置１は、帯状をなし、互いに接合された銅板９１と銅箔９２とを有する積層体９を、その長手方向に沿って搬送しつつ、銅板９１から銅箔９２を剥離する装置である。この剥離装置１は、銅箔９２の剥離が開始される起点となる剥離開始部材５を備える。この剥離開始部材５は、棒状体で構成されている。そして、銅箔９２の銅板９１から剥離された剥離部９２１と、銅箔９２の銅板９１に接合して残留している残留部９２２との境界線９５が積層体９の幅方向に対して傾斜するように、当該境界線９５に沿って、剥離開始部材５の外周部５１が銅箔９２上に当接する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状をなし、互いに接合された第１層と第２層とを有する接合体を、その長手方向に沿って搬送しつつ、前記第１層から前記第２層を剥離する剥離装置であって、
前記第２層の剥離が開始される起点となる剥離開始部材を備え、
前記剥離開始部材は、前記第２層の前記第１層から剥離された剥離部と、前記第２層の前記第１層に接合して残留している残留部との境界線が前記接合体の幅方向に対して傾斜するように、前記境界線に沿って前記第２層上に当接する当接部を有することを特徴とする剥離装置。
【請求項２】
前記接合体の幅方向に位置する一方の縁部と他方の縁部とは、それぞれ、機械加工上の性状が異なり、前記一方の縁部が前記第１層と前記第２層とが一括して切断された部分となっており、
前記境界線の一端と他端とは、前記接合体の搬送方向にズレて、前記一端が前記他端よりも前記搬送方向前方に位置しており、前記一方の縁部と重なる請求項１に記載の剥離装置。
【請求項３】
前記剥離開始部材は、棒状体またはローラで構成され、その外周部が前記当接部として機能する請求項１または２に記載の剥離装置。
【請求項４】
前記剥離部を巻き取る巻取り機構と、
前記剥離部が前記巻取り機構により巻き取られる以前に、前記剥離部をその長手方向の途中で少なくとも２回曲げる曲げ機構とを備える請求項１ないし３のいずれか１項に記載の剥離装置。
【請求項５】
前記曲げ機構は、前記剥離部を曲げるために該剥離部が掛け回される棒状体またはローラを有する請求項４に記載の剥離装置。
【請求項６】
前記剥離開始部材と前記曲げ機構とは、ユニット化されている請求項４または５に記載の剥離装置。
【請求項７】
前記巻取り機構は、前記剥離部を巻き取る巻取り用ローラを有し、
前記巻取り用ローラは、前記残留部の鉛直上方に配置されている請求項４ないし６のいずれか１項に記載の剥離装置。
【請求項８】
前記当接部よりも前記接合体の搬送方向上流側直近に設けられ、前記接合体の厚さ方向の揺動を抑制する抑制部材を備える請求項１ないし７のいずれか１項に記載の剥離装置。
【請求項９】
前記境界線の前記接合体の幅方向に対する傾斜角度は、０°を超え、４５°以下である請求項１ないし８のいずれか１項に記載の剥離装置。
【請求項１０】
前記接合体の搬送速度に応じて、前記境界線の前記接合体の幅方向に対する傾斜角度を変化させるよう構成されている請求項１ないし９のいずれか１項に記載の剥離装置。
【請求項１１】
前記第１層と前記第２層との間のボイドの有無の検査に用いられる請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、不良品となった半導体チップが貼付されたテープと、テープが接着されたリングフレームから当該テープを剥離する剥離装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載の剥離装置では、例えばテープを剥離するときの剥離速度の大きさやテープの構成材料の種類等の諸条件によっては、テープの剥離最中に、当該テープの途中が破断してしまい、その結果、連続的な剥離が不可能となるという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−２７４１８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、第１層から第２層を剥離している最中に、当該第２層が途中で破断してしまうのを確実に防止することができる剥離装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的は、下記（１）〜（１１）の本発明により達成される。
（１）  帯状をなし、互いに接合された第１層と第２層とを有する接合体を、その長手方向に沿って搬送しつつ、前記第１層から前記第２層を剥離する剥離装置であって、
前記第２層の剥離が開始される起点となる剥離開始部材を備え、
前記剥離開始部材は、前記第２層の前記第１層から剥離された剥離部と、前記第２層の前記第１層に接合して残留している残留部との境界線が前記接合体の幅方向に対して傾斜するように、前記境界線に沿って前記第２層上に当接する当接部を有することを特徴とする剥離装置。
【０００７】
（２）  前記接合体の幅方向に位置する一方の縁部と他方の縁部とは、それぞれ、機械加工上の性状が異なり、前記一方の縁部が前記第１層と前記第２層とが一括して切断された部分となっており、
前記境界線の一端と他端とは、前記接合体の搬送方向にズレて、前記一端が前記他端よりも前記搬送方向前方に位置しており、前記一方の縁部と重なる上記（１）に記載の剥離装置。
【０００８】
（３）  前記剥離開始部材は、棒状体またはローラで構成され、その外周部が前記当接部として機能する上記（１）または（２）に記載の剥離装置。
【０００９】
（４）  前記剥離部を巻き取る巻取り機構と、
前記剥離部が前記巻取り機構により巻き取られる以前に、前記剥離部をその長手方向の途中で少なくとも２回曲げる曲げ機構とを備える上記（１）ないし（３）のいずれかに記載の剥離装置。
【００１０】
（５）  前記曲げ機構は、前記剥離部を曲げるために該剥離部が掛け回される棒状体またはローラを有する上記（４）に記載の剥離装置。
【００１１】
（６）  前記剥離開始部材と前記曲げ機構とは、ユニット化されている上記（４）または（５）に記載の剥離装置。
【００１２】
（７）  前記巻取り機構は、前記剥離部を巻き取る巻取り用ローラを有し、
前記巻取り用ローラは、前記残留部の鉛直上方に配置されている上記（４）ないし（６）のいずれかに記載の剥離装置。
【００１３】
（８）  前記当接部よりも前記接合体の搬送方向上流側直近に設けられ、前記接合体の厚さ方向の揺動を抑制する抑制部材を備える上記（１）ないし（７）のいずれかに記載の剥離装置。
【００１４】
（９）  前記境界線の前記接合体の幅方向に対する傾斜角度は、０°を超え、４５°以下である上記（１）ないし（８）のいずれかに記載の剥離装置。
【００１５】
（１０）  前記接合体の搬送速度に応じて、前記境界線の前記接合体の幅方向に対する傾斜角度を変化させるよう構成されている上記（１）ないし（９）のいずれかに記載の剥離装置。
【００１６】
（１１）  前記第１層と前記第２層との間のボイドの有無の検査に用いられる上記（１）ないし（１０）のいずれかに記載の剥離装置。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、第２層の剥離部と残留部との境界線が前記接合体の幅方向に対して傾斜するように、当該境界線に沿って剥離開始部材が第２層上に当接することにより、第１層から第２層を剥離している最中に、当該第２層が途中で破断してしまうのを確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は、本発明の剥離装置の第１実施形態を示す斜視図である。
【図２】図２は、図１中の矢印Ａ方向から見た図（側面図）である。
【図３】図３は、図１中の矢印Ｂ方向から見た図（平面図）である。
【図４】図４は、図１中の矢印Ｃ方向から見た図（正面図）である。
【図５】図５は、図１に示す剥離装置が備える剥離開始部材と接合体との位置関係を示す図（（ａ）平面図、（ｂ）は斜視図）である。
【図６】図６は、本発明の剥離装置（第２実施形態）が備える剥離開始部材と接合体との位置関係を示す図である。
【図７】図７は、図６に示す剥離装置が備える制御部に記憶されている検量線である。
【図８】図８は、例えば回路基板等に用いられる積層板となる母材を示す図である。
【図９】図９は、図８に示す母材の不要部分を切断した図である。
【図１０】図１０は、図９中の一点鎖線［Ｄ］で囲まれた領域の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の剥離装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の剥離装置の第１実施形態を示す斜視図である。図２は、図１中の矢印Ａ方向から見た図（側面図）である。図３は、図１中の矢印Ｂ方向から見た図（平面図）である。図４は、図１中の矢印Ｃ方向から見た図（正面図）である。図５は、図１に示す剥離装置が備える剥離開始部材と接合体との位置関係を示す図（（ａ）平面図、（ｂ）は斜視図）である。図８は、例えば回路基板等に用いられる積層板となる母材を示す図である。図９は、図８に示す母材の不要部分を切断した図である。図１０は、図９中の一点鎖線［Ｄ］で囲まれた領域の拡大図である。なお、以下では、説明の都合上、図１、図２、図４、図５（ｂ）中の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言う。
【００２０】
図１〜図４に示すように、剥離装置１は、銅板（第１層）９１と銅箔（第２層）９２との積層体９を搬送しつつ、銅板９１から銅箔９２を剥離する装置である。この剥離装置１は、積層体９を搬送する搬送機構２と、積層体９の銅板９１に対して銅箔９２の剥離を行なう剥離ユニット３と、剥離された銅箔９２を巻き取る巻取り機構４とを備えている。
【００２１】
まず、剥離装置１の各部の構成について説明する前に、積層体９について説明する。
図８〜図１０に示すように、積層体９は、例えば回路基板等に用いられる積層板１０となる母材１０’から切り落とされた不要部分である。
【００２２】
図８に示すように、母材１０’は、互いに接合された銅板９１と銅箔９２とを有する接合体である。
【００２３】
この銅板９１は、図８に示す構成では平面視で長方形をなし、例えば縦の長さＬが５００ｍｍ以上、５０００ｍｍ以下であるのが好ましい。また、横の長さｗは、５００ｍｍ以上、５０００ｍｍ以下であるのが好ましい。厚さｔ１は、５０μｍ以上、５００μｍ以下であるのが好ましい。
【００２４】
銅箔９２は、銅板９１の一方の面９１１に形成され、当該一方の面９１１を保護する保護層である。銅箔９２の形成方法としては、特に限定されず、例えば、蒸着による方法等が挙げられる。これにより、銅板９１の一方の面９１１に形成された銅箔９２は、当該一方の面９１１に接合されたものとなる。銅箔９２の形成される範囲は、一方の面９１１の全体であってもよいが、一方の面９１１の縁部よりも例えば０〜５０ｍｍ（図８中の「距離ｇ」に対応）程度内側が好ましい。また、銅箔９２の厚さｔ２は、銅板９１の厚さｔ１の１０％以上、１００％以下であるのが好ましい。このような厚さｔ２の銅箔９２は、剥離装置１によって銅板９１から剥離し易いものとなる。
【００２５】
そして、母材１０’から積層板１０を得るには、母材１０’の図８中の左右両端部にそれぞれ切断線１０１を設定して、各切断線１０１に沿って母材１０’を切断する。これにより、母材１０’は、図９に示すように、１枚の積層板１０と、帯状をなす２枚の積層体９とに分けられる。なお、母材１０’の切断は、例えばシャーリング加工により行なうことができる。
積層板１０は、回路基板等に用いられる。
【００２６】
一方、各積層体９は、それぞれ、銅板９１と銅箔９２との間のボイド（気泡）の有無の検査に用いられる。この検査は、各積層体９に対してそれぞれ銅板９１から銅箔９２を剥離して、気泡の痕跡が認められたか否かを例えば目視により確認する。そして、各積層体９の検査結果に応じて、当該積層体９と同じ母材１０’から得られた積層板１０の良不良を判断する。例えば、２枚の積層体９の双方に気泡の痕跡が認められなかった場合には、積層板１０を良品とみなして、回路基板等に好適に用いることができる。これに対し、２枚の積層体９のうちの少なくとも一方の積層体９に気泡の痕跡が認められた場合には、積層板１０を不良品とみなして、例えば破棄する。このように積層体９は、積層板１０の良不良を判断する試験片（サンプル）として機能する。
【００２７】
また、前述したように、母材１０’の切断は、例えばシャーリング加工により行なわれる。そのため、母材１０’から得られた各積層体９は、それぞれ、図１０に示す状態となっている、すなわち、積層体９の幅方向に位置する縁部（一方の縁部）９３と縁部（他方の縁部）９４とは、それぞれ、機械加工上の性状が異なっている。縁部９３は、銅板９１と銅箔９２とが一括して切断された部分であるため、銅箔９２の切断面にバリ９２３が形成される。これに対し、縁部９４ではバリの形成が防止されている。
【００２８】
次に、剥離装置１の各部の構成について説明する。前述したように、剥離装置１は、搬送機構２と、剥離ユニット３と、巻取り機構４とを備えている。
【００２９】
図２に示すように、搬送機構２は、積層体９を、その長手方向に沿って搬送する機構である。この搬送機構２は、駆動ローラ２１と、従動ローラ２５と、複数のアイドラ２２と、無端ベルト２３とを有している。なお、本実施形態では、積層体９の搬送方向は水平方向となっている。
【００３０】
駆動ローラ２１は、モータ２４と接続されており、当該モータ２４を駆動源として回転することができる。
【００３１】
この駆動ローラ２１に対して積層体９の搬送方向上流側、すなわち、図１中の左側には、従動ローラ２５が離間して配置されている。そして、無端ベルト２３が駆動ローラ２１と従動ローラ２５とに掛け回されている。駆動ローラ２１が回転すると、この回転力が無端ベルト２３を介して従動ローラ２５に伝達される。これにより、無端ベルト２３上に積層体９を載置しつつ、搬送元から搬送先に確実に搬送することができる。
【００３２】
また、駆動ローラ２１と従動ローラ２５との間には、複数のアイドラ２２が間隔をおいて配置されている。これらのアイドラ２２により、無端ベルト２３の撓みが防止され、当該無端ベルト２３を介して積層体９を下側から支持することができる。これにより、積層体９を安定して搬送することができる。
【００３３】
図１〜図４に示すように、剥離ユニット３は、剥離開始部材５と、第１の曲げ用部材６ａと、第２の曲げ用部材６ｂと、抑制部材７と、これらの部材を一括して支持する支持部材８とを有している。
【００３４】
剥離開始部材５は、銅板９１から銅箔９２を剥離する際に、その剥離が開始される起点となる部材である。この剥離により、銅箔９２は、銅板９１から剥離された剥離部９２１と、銅板９１に依然として接合して残留している残留部９２２とに分けられることとなる。なお、剥離部９２１は、剥離開始部材５の外周部５１に掛け回されて、その後、巻取り機構によって巻き取られていく。
【００３５】
剥離開始部材５は、横断面形状が円形の棒状体で構成され、支持部材８に片持ち支持されている。そして、図５に示すように、剥離部９２１と残留部９２２との境界線９５が積層体９の幅方向に対して傾斜するように、当該境界線９５に沿って、剥離開始部材５の外周部５１が銅箔９２上に当接している。
【００３６】
また、境界線９５が積層体９の幅方向に対して傾斜角度θ１で傾斜しているため、当該境界線９５の一端９５１と他端９５２とは、積層体９の搬送方向にズレることとなる。本実施形態では、図５（ａ）に示すように、一端９５１が他端９５２よりも搬送方向前方に位置し、積層体９の縁部９３と重なっている。剥離開始部材５の外周部５１は、このような境界線９５に沿って銅箔９２上に当接する当接部となっている。
【００３７】
ここで、仮に前記と異なり、境界線９５が積層体９の幅方向と平行なるように剥離開始部材５が銅箔９２上に当接している場合に、銅箔９２がどのように剥離されてしまうのかについて述べる。この場合、銅箔９２は、銅板９１から剥離されている最中に、バリ９２３が起因（きっかけ）となって、隣接するバリ９２３同士の間から裂けてしまうことが経験的に分かっている。そして、この裂けが生じた銅箔９２は、剥離が進むにつれて、全体が銅板９１から剥離されるよりも以前に途中で破断してしまう。従って、銅箔９２の連続した剥離が不可能となり、すなわち、剥離作業が中断してしまい、その後のボイド有無の検査が滞ってしまう。
【００３８】
しかしながら、剥離ユニット３（剥離装置１）では、前述したように境界線９５が傾斜角度θ１で傾斜するように剥離開始部材５が銅箔９２を押さえ付けている。また、このときの境界線９５の一端９５１は、他端９５２よりも搬送方向前方に位置し、バリ９２３が生じている方の縁部９３と重なっている。このような条件下で積層体９を搬送しつつ剥離を行なうと、銅箔９２の長手方向において、積層体９の縁部９３側と縁部９４側とでは、バリがない縁部９４側が、バリ９２３がある縁部９３側よりも先行して剥離される状態となる。これにより、銅板９１から銅箔９２を剥離している最中に、当該銅箔９２が途中で破断してしまうのが確実に防止される。よって、銅箔９２全体が銅板９１から剥離されるまで、銅箔９２の連続剥離が可能となる。そして、剥離後のボイド有無の検査に迅速に移行することができる。
【００３９】
なお、傾斜角度θ１は、積層体９の搬送速度ｖの大小にもよるが、０°を超え、４５°以下であるのが好ましく、５°以上、２０°以下であるのがより好ましい。このような数値範囲により、銅箔９２の途中破断をより確実に防止することができる。
【００４０】
図４に示すように、剥離開始部材５は、剥離部９２１が掛け回される部分の外径が、当該剥離開始部材５の中心軸方向に沿って一定となっている。この外径は、１ｍｍ以上、１０ｍｍ以下であるのが好ましく、１ｍｍ以上、５ｍｍ以下であるのがより好ましい。
【００４１】
なお、剥離開始部材５の根元部５２は、外径が拡径している。これにより、例えば剥離開始部材５に過剰な外力が作用した場合に、当該剥離開始部材５が根元部５２から折れ曲がってしまうのを確実に防止することができる。
【００４２】
また、剥離開始部材５の全長は、剥離部９２１が十分に掛け回される程度であり、例えば、剥離部９２１の幅の１００％以上、５００％以下であるのが好ましく、１５０％以上、２００％以下であるのがより好ましい。
【００４３】
剥離開始部材５の構成材料としては、特に限定されず、例えば、ステンレス鋼等のような硬質の各種金属材料を用いることができる。
【００４４】
また、図２に示すように、剥離開始部材５の無端ベルト２３を介して反対側には、複数のアイドラ２２のうちの１つのアイドラ２２（図中のアイドラ２２ａ）が配置されている。このアイドラ２２ａにより、剥離開始部材５の銅箔９２に対する押圧力を銅箔９２ごと受けることができ、よって、銅箔９２の剥離を安定して行なうことができる。
【００４５】
図２に示すように、剥離開始部材５よりも搬送方向上流側であって、当該剥離開始部材５よりも上方には、第１の曲げ用部材６ａが配置されている。また、第１の曲げ用部材６ａよりも搬送方向下流側であって、当該第１の曲げ用部材６ａよりも上方には、第２の曲げ用部材６ｂが配置されている。
【００４６】
第１の曲げ用部材６ａと第２の曲げ用部材６ｂとは、剥離部９２１が巻取り機構４により巻き取られる以前に、当該剥離部９２１をその長手方向の途中で掛け回して２回曲げる曲げ機構である。第１の曲げ用部材６ａによって曲げられる方向と、第２の曲げ用部材６ｂによって曲げられる方向とは、互いに反対方向となっている。
【００４７】
図４に示すように、剥離部９２１は、剥離後一旦斜め上方に向かうが、第１の曲げ用部材６ａと第２の曲げ用部材６ｂとによって方向が転換される。これにより、剥離部９２１は、残留部９２２の鉛直上方に位置する巻取り機構４側に戻されて、当該巻取り機構４で円滑に巻き取られる。
【００４８】
第１の曲げ用部材６ａと第２の曲げ用部材６ｂとは、それぞれ、横断面形状が円形の棒状体で構成され、傾斜して支持部材８に片持ち支持されている。図４に示すように、各曲げ用部材は、それぞれ、剥離開始部材５と同様に、剥離部９２１が掛け回される部分の外径が、当該曲げ用部材の中心軸方向に沿って一定となっている。また、第２の曲げ用部材６ｂの根元部６２は、剥離開始部材５と同様に、外径が拡径している。これにより、例えば第２の曲げ用部材６ｂに過剰な外力が作用した場合に、当該第２の曲げ用部材６ｂが根元部６２から折れ曲がってしまうのを確実に防止することができる。第１の曲げ用部材６ａにも拡径した根元部６２が設けられていてもよい。
【００４９】
従って、剥離ユニット３では、第１の曲げ用部材６ａと第２の曲げ用部材６ｂとに、剥離開始部材５を構成する棒状体と共通の棒状体を用いることができる。これにより、剥離ユニット３を構成する部品の種類を抑えることができ、よって、剥離ユニット３の製造コストの低コスト化を図ることができる。
【００５０】
なお、図３に示すように、第１の曲げ用部材６ａの積層体９の幅方向に対する傾斜角度θ２−１は、曲げ用部材６ａの配置位置にもよるが、例えば０°を超え、１８０°未満であるのが好ましい。図４に示すように、第１の曲げ用部材６ａの水平方向に対する傾斜角度θ２−２も、曲げ用部材６ａの配置位置にもよるが、例えば０°を超え、１８０°未満であるのが好ましい。
【００５１】
また、図３に示すように、第２の曲げ用部材６ｂの積層体９の幅方向に対する傾斜角度θ３−１は、曲げ用部材６ｂの配置位置にもよるが、例えば０°を超え、１８０°未満であるのが好ましい。図４に示すように、第２の曲げ用部材６ｂの水平方向に対する傾斜角度θ３−２も、曲げ用部材６ｂの配置位置にもよるが、例えば０°を超え、１８０°未満であるのが好ましい。
【００５２】
図２に示すように、剥離開始部材５よりも搬送方向上流側直近には、抑制部材７が配置されている。抑制部材７は、積層体９を上方から覆って、積層体９の厚さ方向の揺動を抑制する板状をなす部材である。これにより、銅箔９２の剥離に先立って、すなわち、剥離の直前に積層体９の上下動を制することができ、よって、剥離を容易かつ確実に行なうことができる。
【００５３】
なお、抑制部材７は、積層体９との間隔ｄが搬送方向に向かって漸減している。これにより、積層体９の揺動を徐々に減衰させることができ、剥離上好ましい。
【００５４】
抑制部材７は、支持部材８と一体的に形成されているのが好ましく、構成材料としては、特に限定されず、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等の各種熱可塑性エラストマーを用いることができる。
【００５５】
支持部材８は、剥離開始部材５と、第１の曲げ用部材６ａと、第２の曲げ用部材６ｂと、抑制部材７とを互いの位置関係を維持したまま一括して支持する部材である。これにより、各部材同士をユニット化することができ、よって、例えば剥離開始部材５が不本意に破損した場合、剥離ユニット３ごと交換することができ、メンテナンス性に富む。また、剥離ユニット３を備えていない既存の剥離装置に、剥離ユニット３を取り付けることができる。この場合、既存の剥離装置でも銅箔９２の連続剥離が可能となる。
【００５６】
また、図１、図３および図４に示すように、支持部材８は、積層体９に対して縁部９３側に偏在している。これにより、支持部材８が銅箔９２の剥離の邪魔になるのを防止することができる。
【００５７】
図４に示すように、巻取り機構４は、銅箔９２の剥離部９２１を巻き取る機構である。この巻取り機構４は、回転可能に支持された巻取り用ローラ４１と、巻取り用ローラ４１の駆動源となるモータ（図示せず）とを有している。巻取り用ローラ４１は、残留部９２２の鉛直上方に配置されている。そして、巻取り用ローラ４１が回転することにより、前述したように方向転換された剥離部９２１を迅速に巻き取ることができる。
【００５８】
＜第２実施形態＞
図６は、本発明の剥離装置（第２実施形態）が備える剥離開始部材と接合体との位置関係を示す図である。図７は、図６に示す剥離装置が備える制御部に記憶されている検量線である。
【００５９】
以下、これらの図を参照して本発明の剥離装置の第２実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【００６０】
本実施形態は、傾斜角度θ１を可変とさせるよう構成されていること以外は前記第１実施形態と同様である。
【００６１】
図６に示すように、本実施形態では、剥離装置１は、積層体９の搬送速度ｖが可変となるよう構成されている（図６（ａ）では搬送速度ｖが最小搬送速度ｖｍｉｎとなっており、図６（ｂ）では搬送速度ｖが最大搬送速度ｖｍａｘとなっている）。この構成は、例えば搬送機構２が減速機を有する構成とすることにより可能である。
【００６２】
そして、搬送速度ｖの大小に応じて、境界線９５の傾斜角度θ１を変化させるよう、剥離開始部材５が支持部材８対して回動可能に支持されている。図７に示すように、搬送速度ｖが増大すればするほど、傾斜角度θ１も増大する。このような検量線は、剥離装置１の制御部に予め記憶されている。
【００６３】
なお、剥離開始部材５を回動させる回動機構としては、特に限定されず、例えば、互いに噛み合った歯車と、歯車を回転させるモータとで構成することができる。
【００６４】
以上のような構成により、銅箔９２の剥離に際し、搬送速度ｖが変化しても、その変化に応じて、好ましい条件の傾斜角度θ１を選択することができる。
【００６５】
以上、本発明の剥離装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、剥離装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
【００６６】
また、本発明の剥離装置は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
【００６７】
また、搬送機構は、前記実施形態では無端ベルトを用いた構成のものとなっているが、これに限定されず、積層体の端部を挟持しつつ巻き取る構成のもの（ロール・ピンチ）であってもよい。
【００６８】
また、剥離装置では、巻取り機構を省略することができる。この場合、積層体の剥離部は、剥離装置の下方に自然に垂らした状態とするのが好ましい。
【００６９】
また、剥離開始部材、第１の曲げ用部材および第２の曲げ用部材は、それぞれ、前記各実施形態では棒状体で構成されているが、これに限定されず、例えば、ローラで構成されていてもよい。
【００７０】
また、剥離開始部材、第１の曲げ用部材および第２の曲げ用部材は、それぞれ、前記各実施形態では片持ち支持されているが、これに限定されず、例えば、両持ち支持されていてもよい。
【００７１】
剥離された銅箔は、巻取り機構により巻き取られる以前に、前記各実施形態では２回曲げられているが、これに限定されず、巻取り機構の配置位置によっては、例えば、曲げが省略されたり、３回以上曲げられてもよい。
【００７２】
積層体は、前記各実施形態では２層構造のものであるが、これに限定されず、例えば、３層以上の構造のものであってもよい。例えば、積層体が銅板とその両面にそれぞれ形成された銅箔とを有するものである場合、剥離ユニットを積層体の両面側にそれぞれ配置して、各銅箔をそれぞれ剥離することができる。
【００７３】
また、積層体となる母材は、前記各実施形態では銅板の方が銅箔よりも面積が大きいものであるが、これに限定されず、銅箔の方が銅板よりも面積が大きいものであってもよい。
【符号の説明】
【００７４】
１            剥離装置
２            搬送機構
２１          駆動ローラ
２２、２２ａ  アイドラ
２３          無端ベルト
２４          モータ
２５          従動ローラ
３            剥離ユニット
４            巻取り機構
４１          巻取り用ローラ
５            剥離開始部材
５１          外周部
５２          根元部
６ａ          第１の曲げ用部材
６ｂ          第２の曲げ用部材
６２          根元部
７            抑制部材
８            支持部材
９            積層体
９１          銅板（第１層）
９１１        一方の面
９２          銅箔（第２層）
９２１        剥離部
９２２        残留部
９２３        バリ
９３          縁部（一方の縁部）
９４          縁部（他方の縁部）
９５          境界線
９５１        一端
９５２        他端
１０          積層体
１０’        母材
１０１        切断線
ｄ            間隔
ｇ            距離
Ｌ            長さ
ｔ１、ｔ２    厚さ
ｗ            長さ
ｖ            搬送速度
ｖｍｉｎ      最小搬送速度
ｖｍａｘ      最大搬送速度
θ１、θ２−１、θ２−２、θ３−１、θ３−２  傾斜角度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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