(57)【要約】【課題】表面側に形成された膜を乱すことなく、裏面が濡れたウエハを把持および運搬することのできるウエハピンセットの提供を課題とする。【解決手段】本発明のウエハピンセットは、ウエハの外周部を把持する複数の把持片と、前記複数の把持片どうしの間隔を操作する操作部と、を備え、前記把持片は、前記操作部に連結され、前記ウエハの外周部に接触させる把持部と、該把持部の先端に設けられ、該把持部を前記ウエハの外周部に接触させた際に前記ウエハの第１面と隙間を介して対向する対向部とを備え、前記把持部は、少なくとも、前記ウエハの外周部に接触させる接触部分が疎水性とされ、前記対向部は、前記ウエハの前記第１面と隙間を介して対向する側が、親水性の親水面とされていることを特徴とする。【選択図】図１
2016127203.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハの外周部を把持する複数の把持片と、前記複数の把持片どうしの間隔を操作する操作部と、を備え、
前記把持片は、前記操作部に連結され、前記ウエハの外周部に接触させる把持部と、
該把持部の先端に設けられ、該把持部を前記ウエハの外周部に接触させた際に前記ウエハの第１面と隙間を介して対向する対向部と、を備え、
前記把持部は、少なくとも、前記ウエハの外周部に接触させる接触部分が疎水性とされ、
前記対向部は、前記ウエハの前記第１面と隙間を介して対向する側が、親水性の親水面とされていることを特徴とするウエハピンセット。
【請求項２】
前記対向部は、前記親水面以外の部分が疎水性とされている
請求項１に記載のウエハピンセット。
【請求項３】
前記接触部分は、前記ウエハの外周側へ湾曲しており、前記外周部に点接触あるいは線接触にて当接するエッジ形状とされている
請求項１または２に記載のウエハピンセット。
【請求項４】
前記親水面は、前記ウエハの外周側へ向かうに従い前記ウエハの前記第１面から離れるように傾斜している
請求項１から３のいずれか一項に記載のウエハピンセット。
【請求項５】
前記把持片が３つ以上設けられている
請求項１から４のいずれか一項に記載のウエハピンセット。
【請求項６】
前記複数の把持片のうちの少なくとも一つが、他の前記把持片に近接あるいは離間する方向へスライド移動する構成とされている
請求項５に記載のウエハピンセット。
【請求項７】
前記把持片の先端には、前記ウエハの中央へ向かって突出する尖った尖鋭部が設けられている
請求項１から６のいずれか一項に記載のウエハピンセット。
【請求項８】
前記尖鋭部には、前記ウエハを前記親水面上へと誘導可能な傾斜部が設けられている
請求項７に記載のウエハピンセット。
【請求項９】
前記把持片には、前記親水面を有する親水部材が設けられている
請求項１から８のいずれか一項に記載のウエハピンセット。
【請求項１０】
前記親水部材が前記把持片に形成された凹部内に収容されている
請求項９に記載のウエハピンセット。
【請求項１１】
前記親水部材の前記親水面が前記凹部よりも突出している
請求項１０に記載のウエハピンセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微細構造体（反射防止体、ナノインプリント用モールドの原版など）の製造時に、表面に薄膜が形成されたウエハの把持・運搬に好適に使用されるウエハピンセットに関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラスウエハやシリコンウエハ等のウエハの表面に微細加工を施す方法として、ウエハの表面に感光性樹脂（フォトレジスト）による膜（以下レジスト膜）を設け、そのレジスト膜をパターン露光し、現像し、得られたレジスト樹脂によるパターン膜をマスクにドライエッチングしてウエハ表面を微細加工するフォトリソグラフィ法が広く用いられている。特許文献１には、レジスト膜の代わりに単粒子膜を用いること、ウエハの表面に単粒子膜を設ける際にラングミュア・ブロジェット法を利用することが開示されている。
【０００３】
ラングミュア・ブロジェット法によりウエハの表面に単粒子膜を設ける際には、ラングミュア・ブロジェット法により単分子膜を転写させる方法（特許文献２）をそのまま適用することができる。以下、ラングミュア・ブロジェット法により得られる単粒子膜および単分子膜のことを総称して、ラングミュア・ブロジェット膜という。
【０００４】
具体的に、ウエハの表面にラングミュア・ブロジェット膜を設ける方法としては、水槽中の水の表面にラングミュア・ブロジェット膜を形成し、水槽内の水の中にウエハを鉛直方向に沿って浸漬させた後、引き上げる方法が知られている。この方法では、通常、ウエハを固定用具に固定した状態で、水槽内の水の中に浸漬させ、引き上げる。ウエハを引き上げる際に、ウエハの一面側にラングミュア・プロジェット膜が付着する。
【０００５】
その後、固定用具からウエハを取り外し、表面に成膜されたラングミュア・プロジェット膜を乾燥させる。表面のラングミュア・プロジェット膜が完全に乾いたとしても、ウエハの裏面側は濡れている状態のため、裏面側の水分を拭き取る作業が必要となる。この際、作業者が素手でウエハを把持すると、指がラングミュア・プロジェット膜に触れて膜構造を壊しかねない。そのため、ウエハを把持・運搬する用具としてウエハピンセットが用いられる（特許文献３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−３４６３０号公報
【特許文献２】特開昭６３−５４９３３号公報
【特許文献３】特開２００１−１５０３５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、ウエハ裏面に付着した水分を除去するためにウエハクリーニングを実施する際、従来のウエハピンセットを使用すると、ウエハとピンセットとの接触部分における毛細管現象によって、ウエハ裏面に付着した水分が表面側へと這い上がり、単粒子膜の粒子配列を壊してしまうおそれがある。
【０００８】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、表面側に形成された膜を乱すことなく、裏面が濡れたウエハを把持および運搬することのできるウエハピンセットの提供を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、以下の態様を有する。
［１］本発明のウエハピンセットの一つの態様は、ウエハの外周部を把持する複数の把持片と、前記複数の把持片どうしの間隔を操作する操作部と、を備え、前記把持片は、前記操作部に連結され、前記ウエハの外周部に接触させる把持部と、該把持部の先端に設けられ、該把持部を前記ウエハの外周部に接触させた際に前記ウエハの第１面と隙間を介して対向する対向部とを備え、前記把持部は、少なくとも、前記ウエハの外周部に接触させる接触部分が疎水性とされ、前記対向部は、前記ウエハの前記第１面と隙間を介して対向する側が、親水性の親水面とされていることを特徴とする。
【００１０】
［２］本発明のウエハピンセットの一つの態様において、前記対向部は、前記親水面以外の部分が疎水性とされている構成としてもよい。
【００１１】
［３］本発明のウエハピンセットの一つの態様において、前記接触部分は、前記ウエハの外周側へ湾曲しており、前記外周部に点接触あるいは線接触にて当接するエッジ形状とされている構成としてもよい。
【００１２】
［４］本発明のウエハピンセットの一つの態様において、前記親水面は、前記ウエハの外周側へ向かうに従い前記ウエハの前記第１面から離れるように傾斜している構成としてもよい。
【００１３】
［５］本発明のウエハピンセットの一つの態様において、前記把持片が３つ以上設けられている構成としてもよい。
【００１４】
［６］本発明のウエハピンセットの一つの態様において、前記複数の把持片のうちの少なくとも一つが、他の前記把持片に近接あるいは離間する方向へスライド移動する構成とされている構成としてもよい。
【００１５】
［７］本発明のウエハピンセットの一つの態様において、前記把持片の先端には、前記ウエハの中央へ向かって突出する尖った尖鋭部が設けられている構成としてもよい。
【００１６】
［８］本発明のウエハピンセットの一つの態様において、前記先端部には、前記ウエハを前記親水面上へと誘導可能な傾斜部が設けられている構成としてもよい。
【００１７】
［９］本発明のウエハピンセットの一つの態様において、前記把持片には、前記親水面を有する親水部材が設けられている構成としてもよい。
【００１８】
［１０］本発明のウエハピンセットの一つの態様において、前記親水部材が前記把持片に形成された凹部内に収容されている構成としてもよい。
【００１９】
［１１］本発明のウエハピンセットの一つの態様において、前記親水部材の前記親水面が前記凹部よりも突出している構成としてもよい。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、表面側に形成された膜を乱すことなく、裏面が濡れたウエハを把持および運搬することのできるウエハピンセットを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施形態におけるウエハピンセットの全体構成を示す斜視図。
【図２】本発明の一実施形態におけるウエハピンセットの全体構成を示す側面図。
【図３】把持片の概略構成を示す斜視図。
【図４】（Ａ）は把持片の上面図、（Ｂ）は把持片の側面図、（Ｃ）は把持片の正面図。
【図５】ウエハを把持した状態を示す図。
【図６】親水面とウエハとの間の隙間を示す図。
【図７】第２実施形態のウエハピンセットの把持片の概略構成を示す断面図。
【図８】（Ａ）〜（Ｃ）は、第３実施形態のウエハピンセットの把持片の概略構成を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態につき、図面を参照して説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００２３】
以下の説明において、親水性とは、水との接触各が小さいことを意味し、疎水性とは、水との接触角が大きいことを意味する。
親水性の部分は、水との接触角が１５°以下であることが好ましく、１０°以下であることがより好ましい。また、疎水性の部分は、水との接触角が９０°以上であることが好ましく、１００°以上であることがより好ましい。
【００２４】
［第１実施形態］
図１は、本発明の一実施形態におけるウエハピンセットの全体構成を示す図である。
本実施形態におけるウエハピンセット１は、例えば、表面２ａにラングミュア・ブロジェット膜（薄膜）が形成されたウエハ２を把持するものである。具体的に、本実施形態におけるウエハピンセット１は、薄膜乾燥後にウエハ２を持ち上げて、ウエハ２の裏面（第１面）２ｂ側に付着した水分を払拭する際に使用される。本実施形態のウエハピンセット１は、ウエハ２の裏面２ｂが所定面Ｍに位置するようにウエハ２の外周部２ｃを把持する。
【００２５】
ウエハピンセット１は、本体部１１と、ウエハ２の外周部２ｃを保持する複数の把持片１２と、複数の把持片１２どうしの間隔を操作する操作部１３と、を備えている。本実施形態では３つの把持片１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃを有しており、各把持片１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃが各々の配置中心へ向かって突出した姿勢で設けられている。
【００２６】
本体部１１は、二股形状のハンド部１４と、ハンド部１４に連結されたグリップ部１５と、を有している。
【００２７】
ハンド部１４は、先端側が屈曲した長尺部材からなる第１ハンド１６及び第２ハンド１７と、これら第１ハンド１６及び第２ハンド１７の基端側をそれぞれ連結する連結部１８と、により構成されている。連結部１８は、その中央部分がグリップ部１５の長手方向一端側に固定されている。
【００２８】
第１ハンド１６及び第２ハンド１７は、連結部１８を介して略平行に配置されている。第１ハンド１６及び第２ハンド１７の各々の先端側は同じ方向に屈折されており、各先端部分１６ａ，１７ａにそれぞれ把持片１２が設けられている。第１ハンド１６の先端部分１６ａに第１把持片１２Ａが設けられ、第２ハンド１７の先端部分１７ａに第２把持片１２Ｂが設けられている。
【００２９】
グリップ部１５は、作業者が握りやすい太さの棒状部材からなる。グリップ部１５は、グリップ本体１９と、当該グリップ本体１９のハンド部１４に接続された一端側とは反対の他端側に設けられた操作部１３と、を備えている。
【００３０】
グリップ本体１９は、板状部材１９ａ、板状部材１９ｂ、壁部１９ｃ及び操作収容溝５を有する。具体的には、一端側がハンド部１４の連結部１８に接続される板状部材１９ａと、板状部材１９ａの他端側のみに対向し当該板状部材１９ａから所定の間隔をおいて対向配置される板状部材１９ｂと、これら板状部材１９ａと板状部材１９ｂとの端部どうしを繋ぐようにこれらとは垂直に配置される壁部１９ｃと、を有する。操作収容溝５は、板状部材１９ａと板状部材１９ｂとの間に形成される。操作収容溝５の内部には、上記操作部１３の一部が収容されている。
【００３１】
なお、図１においては、操作部１３の構造を示すためにグリップ本体１９の幅方向両側を開放した図となっているが、実際にはグリップ本体１９の両側に不図示の側壁がそれぞれ設けられる。
【００３２】
操作部１３は、第１把持片１２Ａ及び第２把持片１２Ｂとの間でウエハ２を把持するための第３把持片１２Ｃを有し、第１把持片１２Ａ及び第２把持片１２Ｂに対して当該第３把持片１２Ｃの位置を調整できるよう構成されている。
【００３３】
操作部１３は、第３把持片１２Ｃをグリップ部１５に沿ってスライド移動させるスライド部２１と、スライド部２１を一方向へ付勢するバネ部材２２と、を備えている。操作部１３は、スライド部２１が図中に示す矢印方向へ往復移動することで、第１把持片１２Ａ及び第２把持片１２Ｂに対して、第３把持片１２Ｃを近接あるいは離間する方向へスライド移動させる。
【００３４】
スライド部２１は、グリップ部１５に設けられた操作収容溝５内に挿入される挿入片２１ｂと、挿入片２１ｂに対してその先端から垂直に延出する先端部分２１ａと、スライド部２１をスライド移動させる際に作業者が操作するための操作片２１ｃと、を有して構成されている。操作片２１ｃは、挿入片２１ｂ及び先端部分２１ａのいずれか一方に設けられていればよい。また、操作片２１ｃは、グリップ本体１９から外側へと突出して設けられる。
【００３５】
バネ部材２２には、例えばコイルスプリングが用いられる。バネ部材２２は、操作収容溝５内に収容され、グリップ本体１９とスライド部２１との間に配置されている。具体的に、バネ部材２２の一端側がグリップ本体１９の壁部１９ｃに当接するとともに、他端側がスライド部２１の挿入片２１ｂに当接している。このバネ部材２２の付勢力によって、スライド部２１が操作収容溝５に沿ってスライド移動し、第３把持片１２Ｃが第１把持片１２Ａ及び第２把持片１２Ｂ側へと近づくことになる。
【００３６】
ここで、第１把持片１２Ａ及び第２把持片１２Ｂと、第３把持片１２Ｃと、の最大間隔は、ウエハ２の直径よりも大きく、把持するウエハ２のサイズに応じて設定する。
【００３７】
なお、本実施形態では、スライド部２１のスライド移動を可能にする付勢手段の一つとしてコイル状の圧縮バネを用いたがこれに限らない。
【００３８】
本実施形態のウエハピンセット１は、図２に示すようにウエハ２の裏面２ｂが所定面Ｍに位置するよう、３つの把持片１２の間でウエハ２の外周部２ｃを把持する。
【００３９】
＜把持片＞
図３は、把持片の概略構成を示す斜視図である。図４（Ａ）は把持片の上面図、（Ｂ）は把持片の側面図、（Ｃ）は把持片の正面図である。図５はウエハを把持した状態を示す図である。図６は、親水面とウエハとの間の隙間を示す図である。
【００４０】
図３に示すように、把持片１２は、図１及び図２に示したウエハ２の外周部２ｃに接触する把持部２３と、ウエハ２（所定面Ｍ）との間に隙間を介して対向する対向部２４と、を有して構成されている。対向部２４は、ウエハ２の径方向と平行に延びている。
ウエハピンセット１は、これら各把持片１２の把持部２３によってウエハ２の周囲を挟み込むことで、ウエハ２を略水平に把持することができる。
【００４１】
（把持部）
把持部２３は、図３に示したように対向部２４から遠ざかる方向、すなわちウエハ２の外周側へ湾曲し、ウエハ２の外周部２ｃと対向する部分がエッジ形状とされている。図４（Ａ）に示すように本実施形態の把持部２３は、その延在方向に交差する断面が三角形状を呈しており、一つの頂点ｑ側に形成される当接エッジ（接触部分）２５を有する。当接エッジ２５は、ウエハ２の外周部２ｃに点接触あるいは線接触する部分である。
【００４２】
把持部２３は、図４（Ｂ）に示すように、対向部２４の外周側の一端側から外側へ向かって延出しているとともに、対向部２４に対して略垂直な方向へＳ字を描くように湾曲している。より具体的には、図４（Ａ）に示すように、把持部２３を上方側から見た際、把持部２３の一方の端部２３ａが、対向部２４に接続される他方の端部２３ｂと湾曲部位２３ｃとの間に位置するような形状とされている。把持部２３の端部２３ａは、上記の第１ハンド１６、第２ハンド１７あるいはスライド部２１の各先端部分１６ａ，１７ａ，２１ａに接続される。
【００４３】
このように、本実施形態では、各把持片１２の把持部２３が第１ハンド１６、第２ハンド１７あるいはスライド部２１における各先端部分１６ａ，１７ａ，２１ａから外側へ向かって拡がるように湾曲させ、当接エッジ２５を対向部２４から遠ざけた構造とした。これにより、ウエハ２を把持した際に、ウエハ２に対向部２４が接触するのを避けることができる。
【００４４】
把持部２３の湾曲度合は、把持の対象となるウエハ２の板厚に応じて設定される。一般的なウエハ２の板厚は０．５ｍｍ〜１ｍｍ程度である。図５に示すように、ウエハ２の外周部２ｃは外側へ突出する曲面とされている。そのため、ウエハ２の板厚に関わらず、把持部２３の当接エッジ２５がウエハ２の外周部２ｃに点接触する。
【００４５】
本実施形態では、把持部２３は全体が疎水性とされている。具体的に把持部２３は、ウエハ２の表面２ａにラングミュア・ブロジェット膜を成膜する際に付着した水に対して疎水性を有する。
把持部２３を疎水性とする手段としては、把持部２３の全体を疎水性の材質で構成する方法、あるいは把持部２３の表面を疎水性の材質で構成する方法、把持部２３の表面に疎水化剤を塗布して疎水化処理を施す方法、などが挙げられる。
疎水性の材質としては、ＰＴＦＥ、ＰＦＡ、ＰＥなどの疎水性の高分子材料が挙げられる。また、疎水化剤としては、フッ素系コーティング剤などが挙げられる。
【００４６】
（対向部）
対向部２４は、図４（Ａ），（Ｂ）に示すように、図１及び図２に示したウエハ２の裏面２ｂに対向する親水面２６を有している。本実施形態においては、対向部２４の上面２４ａに親水化処理を施すことで親水面２６としている。
【００４７】
ウエハ２の表面２ａにラングミュア・ブロジェット膜を成膜する際に付着した液が水または水溶液の場合、上記親水化処理としては、シリカ、光触媒、親水樹脂などの親水性材料によるコーティングが挙げられる。
【００４８】
ウエハ２の裏面２ｂ側の水分が親水面２６に保持されることで、上述した把持部２３の当接エッジ２５側へ水分が移動するのを防止できる。
【００４９】
また、本実施形態では、対向部２４の親水面２６以外の表面は疎水性とされている。そのため親水面２６に水分が保持されやすい。
【００５０】
対向部２４は、図６に示すように、親水面２６がウエハ２の裏面２ｂに対して隙間Ｌを介して位置するとともに、ウエハ２の外周側へ行くに従って親水面２６がウエハ２の裏面２ｂから離れるように傾斜した構成となっている。これにより、ウエハ２の裏面２ｂと親水面２６との間の隙間Ｌがウエハ２の周縁側へ行くに従い大きくなる。
【００５１】
ウエハ２の裏面２ｂと親水面２６との間の最も狭い部分の隙間Ｌは、０．５ｍｍ程度設けるようにする。具体的には、０．１ｍｍ〜２．０ｍｍが好ましく、０．２ｍｍ〜１．０ｍｍがより好ましく、０．３ｍｍ〜０．６ｍｍが最も好ましい。
【００５２】
本実施形態の親水面２６は、図４（Ａ）に示すように親水面２６の法線方向から見た形状が雫状とされているが、これに限らず、例えば、円形状、楕円形状、多角形状あるいはその他の形状であってもよい。
【００５３】
把持片１２には、図３及び図４に示すような尖鋭部２８が設けられている。尖鋭部２８は、対向部２４の先端から把持部２３とは反対側（ウエハ２の中央）に向かって突出する尖った部位である。尖鋭部２８は、先端へ行くに従って対向部２４の底面２４ｃ側へ向かって薄厚化されており、その中央にウエハ２を親水面２６上へと誘導可能な傾斜部２９が設けられている。傾斜部２９は、対向部２４の上面２４ａ（親水面２６）と底面２４ｃとを繋ぐ線状部分である。
【００５４】
上記尖鋭部２８により、例えば作業台上に載置されたウエハ２を把持する際、ウエハ２と作業台との間に尖鋭部２８がスムーズに挿入され、親水面２６上の把持位置（所定面Ｍ）へとウエハ２を誘導することができる。
【００５５】
このような構成のウエハピンセット１を使用する場合には、作業者が本体部１１のグリップ部１５を握り、親指で操作片２１ｃを押しながらスライド部２１を本体端部側（ハンド部１４とは反対側）へと引く。バネ部材２２のバネ力に抗してスライド部２１を引くことで、第１把持片１２Ａ及び第２把持片１２Ｂと第３把持片１２Ｃとの間隔を拡げることができる。例えば、作業台上に載置されたウエハ２の外側に３つの把持片１２がくるように間隔を拡げた後に、スライド部２１を元の位置へと戻す。
【００５６】
スライド部２１がバネ部材２２の付勢力によって元の位置へと戻る際、第３把持片１２Ｃが第１把持片１２Ａ及び第２把持片１２Ｂに近接することで、各把持片１２における対向部２４の尖鋭部２８がウエハ２と作業台との間に入り込み、傾斜部２９に沿ってウエハ２が親水面２６上へと誘導されることとなる。
【００５７】
ウエハピンセット１は、図２に示したように、各把持片１２の把持部２３における当接エッジ２５においてウエハ２の外周部２ｃを把持する。本実施形態におけるウエハピンセット１は、ウエハ２の裏面２ｂが所定面Ｍに位置するようにウエハ２の外周部２ｃを把持する。所定面Ｍは、本体部１１に対して略平行する面である。
【００５８】
本実施形態のウエハピンセット１は、主に、表面２ａにラングミュア・プロジェット膜が形成され、かつ裏面２ｂが濡れた状態のウエハ２を把持する際に使用される。上述したように、ウエハピンセット１は、３つの把持片１２の各当接エッジ２５がウエハ２の外周部２ｃに点接触あるいは線接触にて当接することで、ウエハ２を把持するため、３つの把持片１２とウエハ２の外周部２ｃとの接触部分において毛細管現象は生じ難い。そのため、ウエハ２の裏面２ｂに付着した水が表面２ａ側へと這い上がることが防止され、ラングミュア・プロジェット膜の粒子配列の破壊を最小限に留めることができる。
【００５９】
また、本実施形態のウエハピンセット１は、ウエハ２の裏面２ｂが所定面Ｍに位置するように、３つの把持片１２の間でウエハ２の外周部２ｃを把持する。この所定面Ｍは、親水面２６から所定の間隔をおいた位置に設定されている。つまり、ウエハピンセット１により把持された状態のウエハ２は、その裏面２ｂに各把持片１２が接触しておらず、各把持片１２の親水面２６から浮くようにして把持される。そのため、ウエハ２の裏面２ｂに付着した水をこの隙間Ｌに保持できる。また、親水面２６が親液性のため、保持した液体が表面２ａに這い上がることを防止することができる。特に、対向部２４の親水面２６以外の部分が疎水性のため、隙間Ｌに安定して水を保持しやすい。
【００６０】
なお、隙間Ｌに保持された水は、ウエハ２の裏面２ｂの水を拭き取る際に傾斜部２９側から隙間Ｌに拭き取り布を差し入れることにより、容易に除去できる。
【００６１】
以上のように、本実施形態によれば、ウエハ２の表面２ａに形成された膜を乱すことなく、裏面が濡れたウエハ２を把持および運搬することのできるウエハピンセット１を提供することができる。
【００６２】
［第２実施形態］
図７は、第２実施形態におけるウエハピンセットの把持片の概略構成を示す断面図である。
以下に示す本実施形態のウエハピンセットが有する把持片の基本構成は、先の実施形態と略同様であるが、把持片に親水性樹脂層を備えた点において異なる。よって、以下の説明では、先の実施形態と異なる構成及び効果について詳しく説明し、共通な箇所の説明は省略する。また、説明に用いる各図面において、先の実施形態と共通の構成要素には同一の符号を付すものとする。
【００６３】
図７に示すように、本実施形態のウエハピンセットは、各把持片１２（１２ａ，１２ｂ，１２ｃ）が親水化しやすい親水性基材層２７を備えた構成とされている。本実施形態では、対向部２４の上面２４ａ全体を覆うようにして親水性基材層２７が積層されており、当該樹脂層の表面が親水面２６とされている。親水性基材層２７は親水性の材料から構成され、材料としては、例えば、シリカ、光触媒、親水性樹脂などが挙げられる。
【００６４】
本実施形態によれば、対向部２４の上面２４ａに設けられた親水性基材層２７によって、面方向で略均一な親水性を有する親水面２６を形成することができる。これにより、把持片１２における親水面２６の親水性を高めることができる。
【００６５】
［第３実施形態］
図８（Ａ）〜（Ｃ）は、第３実施形態におけるウエハピンセットの把持片の概略構成を示す断面図である。
以下に示す本実施形態のウエハピンセットが有する把持片の基本構成は、先の実施形態と略同様であるが、各把持片に親水部材をさらに備えた点において異なる。よって、以下の説明では、先の実施形態と異なる構成及び効果について詳しく説明し、共通な箇所の説明は省略する。また、説明に用いる各図面において、先の実施形態と共通の構成要素には同一の符号を付すものとする。
【００６６】
図８（Ａ）に示すように、本実施形態のウエハピンセットは、各把持片１２（１２ａ，１２ｂ，１２ｃ）が親水部材３１を備えた構成とされている。この親水部材３１は、親水性材料、または表面を親液化しやすい材料から構成されている。例えば、ガラス、アクリル、テフロン（登録商標）、無機材料など、表面に親水化処理を施すことのできる部材であればよい。また、ウレタン系、ナイロン系、ＥＶＯＨ系、ＥＶＡ系などの材料を用いても構わない。
【００６７】
なお、親水部材３１としては、少なくとも表面の親水面２６が水に対して親水性とされるものであればよい。例えば、親水部材３１の材料として、表面３１Ａに親水性処理を施した親水性シリコンや親水性ポリオレフィンを採用してもよい。これにより、親水部材３１が水分を引き寄せることができる。
【００６８】
親水部材３１は、図８（Ａ），（Ｂ）に示すように、把持片１２の対向部２４に設けられた凹部３２内に収容されている。親水部材３１は、図８（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、凹部３２の開口３２ａと対向部２４の上面２４ａとを覆う大きさの親水部位３４と、凹部３２の内側に嵌め込まれる収容部位３５と、凹部３２の底部３２ｂに形成された固定孔３２ｃに挿入される固定部位３６と、を有した構成とされている。
【００６９】
親水部材３１の形状は上述した形状に限られず、少なくとも表面の親水面２６が凹部３２よりも突出していればよい。図８（Ｂ）に示すように、対向部２４の上面２４ａよりも親水面２６の方が上方に位置していればよい。
【００７０】
本実施形態の構成によれば、各把持片１２に親水部材３１をさらに設けることによって、把持片１２における親水面２６の親水性をより一層高めることができる。
【００７１】
なお、親水部材３１の形状は上述したものに限らない。さらに、接着材を用いて凹部３２内に親水部材３１を固定してもよい。また、凹部３２等を形成することなく、対向部２４の上面２４ａに板状の親水部材を設けてもよい。
【００７２】
また、把持片１２の数も上述した数に限られず、２つあるいは４つ以上備えた構成としてもよい。
【００７３】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。各実施形態の構成を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【００７４】
１…ウエハピンセット
２…ウエハ
２ｂ…裏面（第１面）
２ｃ…外周部
Ｌ…隙間
Ｍ…所定面
１２（１２Ａ、１２Ｂ，１２Ｃ）…把持片
１３…操作部
２３…把持部
２４…対向部
２５…当接エッジ（接触部分）
２６…親水面
２８…尖鋭部
２９…傾斜部
３１…親水部材
３２…凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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