(57)【要約】【課題】圧力室形成基板の小型化が可能な液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置を提供する。【解決手段】ノズル２２に連通して圧力室３０となるべき空間が複数並設されたシリコン製の圧力室形成基板２９と、圧力室形成部材における前記空間の開口を封止して圧力室３０を区画した振動板３１と、振動板３１の圧力室３０に対応する領域に積層された圧電素子３２を収容する圧電素子収容空間３６が形成された封止板３３と、を備え、振動板３１の封止板３３側の面において、圧電素子３２に導通する第１のリード電極３９が圧電素子収容空間３６内から封止板３３より外側に延出され、封止板３３の振動板３１側とは反対側の面には、当該面から封止板３３の外側に向けて延出されて第１のリード電極３９と導通する第２のリード電極４０が形成され、圧電素子３２に駆動信号を送るフレキシブルケーブル１３が、封止板３３上における第２のリード電極４０に導通された。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルに連通して圧力室となるべき空間が複数並設されたシリコン製の圧力室形成基板と、
前記圧力室形成部材における前記空間の開口を封止して圧力室を区画した振動板と、
前記振動板の圧力室に対応する領域に積層された圧電素子を収容する圧電素子収容空間が形成された封止板と、を備え、
前記振動板の封止板側の面において、前記圧電素子に導通する第１のリード電極が前記圧電素子収容空間内から前記封止板より外側に延出され、
前記封止板の振動板側とは反対側の面には、当該面から封止板の外側に向けて延出されて前記第１のリード電極と導通する第２のリード電極が形成され、
前記圧電素子に駆動信号を送る配線部材が、前記封止板上における前記第２のリード電極に導通されたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記封止板は、振動板側とは反対側の面から前記第１のリード電極の前記延出部分に向けて下り傾斜した傾斜面を有することを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記圧力室形成基板及び前記封止板が収容される収容空間が形成されると共に、前記圧力室に液体を供給するリザーバーが形成されたヘッドケースと、
前記圧力室形成基板の振動板側とは反対側の面に接合され、前記リザーバーからの液体を各圧力室に個別に供給する個別連通口が形成されたシリコン製の連通基板と、を備え、
前記圧力室形成基板には、複数並設された圧力室となるべき空間の列が２列形成され、
前記空間の並設方向に対して直交する方向において、前記収容空間を挟んだ両外方に前記リザーバーがそれぞれ形成されたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
２列に形成された前記空間の列に対応して、前記圧電素子の列及び前記圧電素子収容空間がそれぞれ２列形成され、
両圧電素子の列に対応する第２のリード電極は、前記封止板上において、一方の圧電素子収容空間に対応する領域と他方の圧電素子収容空間に対応する領域との間の領域にそれぞれ延設されたことを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項１から請求項４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電圧の印加により変形する圧電素子を備えた液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置は液体噴射ヘッドを備え、この噴射ヘッドから各種の液体を噴射する装置である。この液体噴射装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。
【０００３】
上記の液体噴射ヘッドは、複数のノズル、ノズル毎に形成された圧力室及び各圧力室内の液体に圧力変動を生じさせる圧電素子（アクチュエーターの一種）を備えている。そして、制御部からの駆動信号を、フレキシブルケーブル等の配線部材を介して圧電素子に供給することで、圧力室内の液体に圧力変動（圧力変化）を生じさせ、この圧力変動を利用してノズルから液体を噴射するように構成されている。ここで、上記の圧力室となる空間が形成される圧力室形成基板としては、エッチング処理によって高い加工精度が得られることから、シリコン製の基板が採用されている（例えば、特許文献１参照）。このような圧力室形成基板は、例えば、シリコン単結晶ウェハー上に複数個分形成された後、当該ウェハーを分割することで作製される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−３７１３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、シリコン製の基板は、ステンレス鋼等の金属製の基板や合成樹脂製の基板と比較してコストが嵩み易くなるという問題がある。このため、圧力室形成基板を小型化して、シリコン単結晶ウェハーからの取り数を増やすことが望まれている。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、圧力室形成基板の小型化が可能な液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液体噴射ヘッドは、上記目的を達成するために提案されたものであり、ノズルに連通して圧力室となるべき空間が複数並設されたシリコン製の圧力室形成基板と、
前記圧力室形成部材における前記空間の開口を封止して圧力室を区画した振動板と、
前記振動板の圧力室に対応する領域に積層された圧電素子を収容する圧電素子収容空間が形成された封止板と、を備え、
前記振動板の封止板側の面において、前記圧電素子に導通する第１のリード電極が前記圧電素子収容空間内から前記封止板より外側に延出され、
前記封止板の振動板側とは反対側の面には、当該面から封止板の外側に向けて延出されて前記第１のリード電極と導通する第２のリード電極が形成され、
前記圧電素子に駆動信号を送る配線部材が、前記封止板上における前記第２のリード電極に導通されたことを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、配線部材と第２のリード電極とが導通する空間を封止板の内部に設ける必要が無いため、封止板に設けられた空間を通じて配線部材を振動板上の第２のリード電極と導通させる場合と比べて、圧力室形成基板を小型化できる。これにより、例えば、シリコン単結晶ウェハーからの取り数を増やすことができる。その結果、液体噴射ヘッドの製造コストを削減することができる。
【０００９】
上記構成において、前記封止板は、振動板側とは反対側の面から前記第１のリード電極の前記延出部分に向けて下り傾斜した傾斜面を有することが望ましい。
【００１０】
この構成によれば、封止板の振動板側とは反対側の面から振動板上の第１のリード電極に亘って第２のリード電極を容易に形成することができる。
【００１１】
上記各構成において、前記圧力室形成基板及び前記封止板が収容される収容空間が形成されると共に、前記圧力室に液体を供給するリザーバーが形成されたヘッドケースと、
前記圧力室形成基板の振動板側とは反対側の面に接合され、前記リザーバーからの液体を各圧力室に個別に供給する個別連通口が形成されたシリコン製の連通基板と、を備え、
前記圧力室形成基板には、複数並設された圧力室となるべき空間の列が２列形成され、
前記空間の並設方向に対して直交する方向において、前記収容空間を挟んだ両外方に前記リザーバーがそれぞれ形成されたことが望ましい。
【００１２】
この構成によれば、リザーバー間に圧力室形成基板が設けられると共に、連通基板を介してリザーバーの液体を圧力室に導入するため、圧力室形成基板に圧力室以外の液体流路を形成する必要がない。これにより、圧力室形成基板をより小型化できる。
【００１３】
上記構成において、２列に形成された前記空間の列に対応して、前記圧電素子の列及び前記圧電素子収容空間がそれぞれ２列形成され、
両圧電素子の列に対応する第２のリード電極は、前記封止板上において、一方の圧電素子収容空間に対応する領域と他方の圧電素子収容空間に対応する領域との間の領域にそれぞれ延設されたことが望ましい。
【００１４】
この構成によれば、２列に形成された圧電素子の列にそれぞれ駆動信号を送る配線部材を１つにまとめることができる。その結果、圧電素子の列毎に配線部材を設ける場合と比べて、液体噴射ヘッドの製造が容易になり、液体噴射ヘッドの製造コストを一層削減することができる。
【００１５】
そして、本発明の液体噴射装置は、上記各構成の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】プリンターの構成を説明する斜視図である。
【図２】記録ヘッドの構成を説明する正面図である。
【図３】図２におけるＡ−Ａ断面図である。
【図４】図３における領域Ｂの拡大図である。
【図５】アクチュエーターユニットの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明では、本発明の液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）を搭載した液体噴射装置の一種であるインクジェット式プリンター（以下、プリンター）を例に挙げる。
【００１８】
プリンター１の構成について、図１を参照して説明する。プリンター１は、記録紙等の記録媒体２（着弾対象の一種）の表面に対してインク（液体の一種）を噴射して画像等の記録を行う装置である。このプリンター１は、記録ヘッド３、この記録ヘッド３が取り付けられるキャリッジ４、キャリッジ４を主走査方向に移動させるキャリッジ移動機構５、記録媒体２を副走査方向に移送する搬送機構６等を備えている。ここで、上記のインクは、液体供給源としてのインクカートリッジ７に貯留されている。このインクカートリッジ７は、記録ヘッド３に対して着脱可能に装着される。なお、インクカートリッジがプリンターの本体側に配置され、当該インクカートリッジからインク供給チューブを通じて記録ヘッドに供給される構成を採用することもできる。
【００１９】
上記のキャリッジ移動機構５はタイミングベルト８を備えている。そして、このタイミングベルト８はＤＣモーター等のパルスモーター９により駆動される。したがってパルスモーター９が作動すると、キャリッジ４は、プリンター１に架設されたガイドロッド１０に案内されて、主走査方向（記録媒体２の幅方向）に往復移動する。キャリッジ４の主走査方向の位置は、位置情報検出手段の一種であるリニアエンコーダー（図示せず）によって検出される。リニアエンコーダーは、その検出信号、即ち、エンコーダーパルス（位置情報の一種）をプリンター１の制御部に送信する。
【００２０】
また、キャリッジ４の移動範囲内における記録領域よりも外側の端部領域には、キャリッジ４の走査の基点となるホームポジションが設定されている。このホームポジションには、端部側から順に、記録ヘッド３のノズル面（ノズルプレート２１）に形成されたノズル２２を封止するキャップ１１、及び、ノズル面を払拭するためのワイピングユニット１２が配置されている。
【００２１】
次に記録ヘッド３について説明する。図２は、記録ヘッド３の構成を説明する正面図である。図３は、記録ヘッド３の概略断面図であり、図２におけるＡ−Ａ断面図である。図４は、図３における領域Ｂの拡大図である。図５は、アクチュエーターユニット１４の斜視図である。本実施形態における記録ヘッド３は、図２に示すように、ヘッドケース１６とその中央部に一端部が挿入されたフレキシブルケーブル１３（本発明における配線部材に相当）とを備えている。また、図３に示すように、ヘッドケース１６の下部には、アクチュエーターユニット１４および流路ユニット１５が積層された状態で取り付けられている。なお、便宜上、各部材の積層方向を上下方向として説明する。
【００２２】
ヘッドケース１６は、合成樹脂製の箱体状部材であり、その内部には各圧力室３０にインクを供給するリザーバー１８が形成されている。このリザーバー１８は、複数並設された圧力室３０に共通なインクが貯留される空間であり、２列に形成されたノズル列に対応して２つ形成されている。本実勢形態では、ノズル列方向（圧力室３０の並設方向）に対して直交する方向において、収容空間１７を挟んだ両側にリザーバー１８がそれぞれ形成されている。また、ヘッドケース１６の上方には、インクカートリッジ７側からのインクをリザーバー１８に導入するインク導入路１９が形成されている。このインク導入路１９は、リザーバー１８と比較して断面積が小さく設定されている。
【００２３】
さらに、ヘッドケース１６の平面視における中心部分にはノズル列方向に沿って長尺な矩形状の貫通空部２０が、ヘッドケース１６の高さ方向を貫通する状態で形成されている。この貫通空部２０は、後述の収容空間１７と連通して、フレキシブルケーブル１３の一端部が収容される空部を形成する。また、ヘッドケース１６の下面側には、当該下面からヘッドケース１６の高さ方向の途中まで直方体状に窪んだ収容空間１７が形成されている。流路ユニット１５がヘッドケース１６の下面に位置決め状態で接合されると、連通基板２４上に積層されたアクチュエーターユニット１４（圧力室形成基板２９および封止板３３等）が収容空間１７内に収容されるように構成されている。なお、上記の貫通空部２０の下端は、収容空間１７の天井面に開口している。
【００２４】
ヘッドケース１６の下面に接合される流路ユニット１５は、連通基板２４、ノズルプレート２１およびコンプライアンスシート２８を有している。連通基板２４は、シリコン製の板材であり、本実施形態では、表面（上面および下面）を（１１０）面としたシリコン単結晶基板から作製されている。この連通基板２４には、図４に示すように、リザーバー１８と連通し、各圧力室３０に共通なインクが貯留される共通液室２５と、この共通液室２５を介してリザーバー１８からのインクを各圧力室３０に個別に供給する個別連通路２６とが、異方性エッチングによって形成されている。共通液室２５は、ノズル列方向（圧力室３０の並設方向）に沿った長尺な空部であり、２つのリザーバー１８に対応して２列形成されている。この共通液室２５は、連通基板２４の板厚方向を貫通した第１液室２５ａと、連通基板２４の下面側から上面側に向けて当該連通基板２４の板厚方向の途中まで窪ませ、上面側に薄板部を残した状態で形成された第２液室２５ｂと、から構成される。個別連通路２６は、第２液室２５ｂの薄板部において、圧力室３０に対応して当該圧力室３０の並設方向に沿って複数形成されている。この個別連通路２６は、連通基板２４と圧力室形成基板２９とが位置決め状態で接合された状態で、対応する圧力室３０の長手方向における外側の端部と連通する。
【００２５】
また、連通基板２４の各ノズル２２に対応する位置には、連通基板２４の板厚方向を貫通したノズル連通路２７が形成されている。すなわち、ノズル連通路２７は、ノズル列に対応して当該ノズル列方向に沿って複数形成されている。このノズル連通路２７によって、圧力室３０とノズル２２とが連通する。本実施形態のノズル連通路２７は、連通基板２４と圧力室形成基板２９とが位置決めされて接合された状態で、対応する圧力室３０の長手方向における内側（個別連通路２６とは反対側）の端部と連通する。
【００２６】
ノズルプレート２１は、連通基板２４の下面（圧力室形成基板２９とは反対側の面）に接合されたシリコン製の基板（例えば、シリコン単結晶基板）である。本実施形態のノズルプレート２１は、連通基板２４における共通液室２５間に対応する領域に接合されている。このノズルプレート２１には、複数のノズル２２が直線状（列状）に開設されている。この列設された複数のノズル２２（ノズル列）は、一端側のノズル２２から他端側のノズル２２までドット形成密度に対応したピッチ（例えば１８０ｄｐｉ）で、主走査方向に直交する副走査方向に沿って等間隔に設けられている。本実施形態では、ノズルプレート２１にノズル列が２列形成されている。なお、一方のノズル列と他方のノズル列とは、列設方向に半ピッチずれて形成されている。また、ノズルプレート２１のノズル列方向に対して直交する方向の寸法は、ノズル連通路２７とノズル２２との液密が確実に確保される範囲内で可及的に小さく設定されている。
【００２７】
コンプライアンスシート２８は、連通基板２４のノズルプレート２１が接合された領域から外れた領域であって、共通液室２５に対応する領域に、当該共通液室２５の下面側の開口を塞ぐ状態で接合されている。このコンプライアンスシート２８は、可撓性を有する可撓膜２８ａと、この可撓膜２８ａが上面に固定される硬質な固定板２８ｂと、からなる。固定板２８ｂの共通液室２５に対応する位置には、可撓膜２８ａの可撓変形が阻害されないように開口が設けられている。これにより、共通液室２５の下面側は、可撓膜２８ａのみによって区画されたコンプライアンス部となる。このコンプライアンス部によって、リザーバー１８および共通液室２５内のインクに発生する圧力変化を吸収することができる。
【００２８】
アクチュエーターユニット１４は、圧力室形成基板２９、振動板３１、圧電素子３２および封止板３３が積層されてユニット化されている。このアクチュエーターユニット１４は、収容空間１７内に収容可能なように、収容空間１７よりも小さく形成されている。
【００２９】
圧力室形成基板２９は、シリコン製の板材であり、本実施形態では、表面（上面および下面）を（１１０）面としたシリコン単結晶基板から作製されている。この圧力室形成基板２９には、圧力室３０となるべき空間が各ノズル２２に対応して複数並設されている。本実施形態では、２列に形成されたノズル列に対応して、圧力室３０となるべき空間の列が２列形成されている。なお、一方の圧力室３０の列と他方の圧力室３０の列とは、ノズル列方向に半ピッチずれて形成されている。圧力室３０は、ノズル列方向に直交する方向に長尺な空部であり、長手方向の一側の端部に個別連通路２６が連通し、他側の端部にノズル連通路２７が連通している。
【００３０】
振動板３１は、圧力室形成基板２９の上面（連通基板２４側とは反対側の面）に積層され、圧力室３０となるべき空間の上部開口を封止している。すなわち、振動板３１により、圧力室３０が区画されている。この振動板３１は、例えば、圧力室形成基板２９の上面に形成された二酸化シリコン（ＳｉＯ２）からなる弾性膜と、この弾性膜上に形成された酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）からなる絶縁体膜と、から成る。そして、この絶縁膜上（すなわち、振動板３１の圧力室形成基板２９側とは反対側の面）における各圧力室３０に対応する領域に圧電素子３２がそれぞれ積層されている。
【００３１】
本実施形態の圧電素子３２は、所謂撓みモードの圧電素子である。この圧電素子３２は、例えば、振動板３１上に、下電極層（個別電極）、圧電体層および上電極層（共通電極）が順次積層されてなる。本実施形態では、２列に形成された圧力室３０の列に対応して、圧電素子３２の列が２列形成されている。なお、一方の圧電素子３２の列と他方の圧電素子３２の列とは、ノズル列方向に半ピッチずれて形成されている。また、図４に示すように、振動板３１上には、各圧電素子３２（詳しくは、下電極層）に導通する第１のリード電極３９がそれぞれ形成されている。この第１のリード電極３９は、後述する圧電素子収容空間３６内から封止板３３より外側まで延出されている。なお、下電極層を圧電素子３２から延出させて、第１のリード電極３９とすることができる。
【００３２】
封止板３３は、２列に形成された圧電素子３２の列を覆うように振動板３１上に積層されている。この封止板３３は、絶縁性を有する部材（例えば、合成樹脂、セラミック等）や表面に絶縁膜を製膜したシリコン基板等からなる。また、封止板３３の内部には、圧電素子３２の列を収容可能な長尺な圧電素子収容空間３６が形成されている。圧電素子収容空間３６は、封止板３３の下面側（振動板３１側）から上面側（ヘッドケース１６側）に向けて封止板３３の高さ方向途中まで形成された窪みである。本実施形態では、並設された圧電素子３２の列が２列に形成されているため、これに対応して、圧電素子収容空間３６が２列形成されている。
【００３３】
また、封止板３３のノズル列方向に対して直交する方向における両端部には、圧力室形成基板２９の上面と平行な上面（振動板３１側とは反対側の面）から振動板３１上の第１のリード電極３９の延出部分に向けて下り傾斜した傾斜面４２が形成されている。図４に示すように、この傾斜面４２の下端は、第１のリード電極３９の外側（圧電素子３２側とは反対側）の一部が露出するように、第１のリード電極３９の端部よりも内側に位置している。そして、振動板３１上の第１のリード電極３９の露出部分（延出部分）、並びに、封止板３３の傾斜面４２および上面に亘って第２のリード電極４０が、第１のリード電極３９毎に形成されている。すなわち、第２のリード電極４０の一側の端部は、封止板３３の上面から封止板３３の外側に向けて延出されて第１のリード電極３９と導通する。一方、第２のリード電極４０の他側の端部は、封止板３３の上面において、一方の圧電素子収容空間３６に対応する領域と他方の圧電素子収容空間３６に対応する領域との間のケーブル接合領域４３まで延設されフレキシブルケーブル１３の対応する端子と導通する。
【００３４】
本実施形態では、圧電素子３２の列が２列形成されているため、図５に示すように、それぞれの圧電素子３２の列に対応する第２のリード電極４０が、封止板３３の両側から傾斜面４２に沿って封止板３３上まで延在している。そして、封止板３３上のケーブル接合領域４３において、一方の圧電素子３２の列に対応する第２のリード電極４０と、他方の圧電素子３２の列に対応する第２のリード電極４０とは、ノズル列方向に沿って交互に配置されている。そして、ケーブル接合領域４３上の各第２のリード電極４０は、１枚のフレキシブルケーブル１３の各端子と導通されている。なお、フレキシブルケーブル１３がケーブル接合領域４３に接合された状態において、当該接合部分及びその他の第２のリード電極４０が露出する部分は、絶縁性を有する熱可塑性樹脂等の保護層で覆うことによって保護されることが望ましい。
【００３５】
なお、フレキシブルケーブル１３は、ポリイミド等の矩形状のベースフィルムの上に、銅や金等からなる導体箔およびレジストやポリイミド等からなる絶縁体膜を積層した配線部材の一種である。このフレキシブルケーブル１３の一方の面（表面）には、図２に示すように、圧電素子３２への駆動信号（噴射パルス）の送信を制御する駆動ＩＣ３４が実装されると共に、この駆動ＩＣ３４に接続される電極配線のパターンが形成されている。各電極配線は、フレキシブルケーブル１３の端子領域１３ａ（図４参照）で露出して、封止板３３のケーブル接合領域４３における対応する第２のリード電極４０と導通する。図４に示すように、本実施形態のフレキシブルケーブル１３の端部は、端子領域１３ａの各端子が封止板３３側に露出するように、一側に向けて折り曲げられている。なお、本発明の配線部材はフレキシブルケーブル１３に限らず、第２のリード電極４０を介して圧電素子３２に駆動信号を送ることができれば、どのようなものであっても良い。
【００３６】
そして、記録ヘッド３は、インクカートリッジ７からのインクをインク導入路１９、リザーバー１８、共通液室２５および個別連通路２６を介して圧力室３０に導入し、制御部からの駆動信号を、フレキシブルケーブル１３、第２のリード電極４０および第１のリード電極３９を介して圧電素子３２に供給することで、圧電素子３２を駆動させて圧力室３０に圧力変動を生じさせる。この圧力変動を利用することで連通基板２４のノズル連通路２７を介してノズル２２からインク滴を噴射させている。
【００３７】
このように、フレキシブルケーブル１３が封止板３３上における第２のリード電極４０に導通されたので、フレキシブルケーブル１３と第２のリード電極４０とが導通する空間を封止板３３の内部に設ける必要が無く、フレキシブルケーブルを封止板に設けられた空間を通して振動板上の第２のリード電極と導通させる場合と比べて、圧力室形成基板２９を小型化できる。これにより、例えば、シリコン単結晶ウェハーからの圧力室形成基板２９の取り数を増やすことができる。その結果、記録ヘッド３の製造コストを削減することができる。また、圧力室形成基板２９としてシリコン製の基板を採用したので、エッチング処理によって高い加工精度が得られる。さらに、エッチング処理によって加工できるため、製造が容易になり、また、歩留まりも向上する。加えて、封止板３３に傾斜面４２を形成したので、この傾斜面４２に沿って封止板３３の上面から振動板３１上の第１のリード電極３９に亘って第２のリード電極４０を形成することができる。これにより、第２のリード電極４０の形成が容易になる。
【００３８】
また、リザーバー１８間に圧力室形成基板２９が設けられると共に、連通基板２４を介してリザーバー１８のインクを圧力室３０に導入するため、圧力室形成基板２９に圧力室３０以外の液体流路を形成する必要がなく、圧力室形成基板２９をより小型化できる。さらに、封止板３３上にフレキシブルケーブル１３が接続されたので、２列に形成された圧電素子３２の列、すなわち圧力室３０の列の間隔を可及的に小さくできる。これにより、ノズル列間の間隔を可及的に小さくでき、ノズルプレート２１を小型化できる。その結果、記録ヘッド３の製造コストをさらに削減することができる。また、連通基板２４としてシリコン製の基板を採用したので、エッチング処理によって高い加工精度が得られる。さらに、エッチング処理によって加工できるため、製造が容易になり、また、歩留まりも向上する。そして、両圧電素子３２の列に対応する第２のリード電極４０が、封止板３３上における一方の圧電素子収容空間３６に対応する領域と他方の圧電素子収容空間３６に対応する領域との間のケーブル接合領域４３にそれぞれ延設されたので、各圧電素子３２の列にそれぞれ駆動信号を送るフレキシブルケーブル１３を１枚にまとめることができる。その結果、圧電素子の列毎にフレキシブルケーブルを設ける場合と比べて、記録ヘッド３の製造が容易になり、記録ヘッド３の製造コストを一層削減することができる。
【００３９】
ところで、上記実施形態においては、２つのリザーバー１８の間に圧力室形成基板２９が設けられたが、これには限られず、一方のリザーバーの少なくとも一部と他方のリザーバーの少なくとも一部との間に圧力室形成基板が設けられていればよい。要するに、少なくとも圧力室形成基板の上面（あるいは下面）と平行な面内において、２つのリザーバーの間に圧力室形成基板が設けられていればよく、圧力室形成基板の上面（あるいは下面）と垂直な方向において、圧力室形成基板とリザーバーの一部とが重なってもよい。また、上記実施形態においては、連通基板２４の下面において共通液室２５の開口がコンプライアンスシート２８で塞がれる構成を例示したが、これには限られず、例えば、共通液室の開口がノズルプレートで塞がれる構成を採用することもできる。
【００４０】
そして、以上では、液体噴射ヘッドとして、インクジェットプリンターに搭載されるインクジェット式記録ヘッドを例示したが、インク以外の液体を噴射するものにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００４１】
１…プリンター，３…記録ヘッド，１３…フレキシブルケーブル，１４…アクチュエーターユニット，１５…流路ユニット，１６…ヘッドケース，１７…収容空間，１８…リザーバー，１９…インク導入路，２０…貫通空部，２１…ノズルプレート，２２…ノズル，２４…連通基板，２５…共通液室，２６…個別連通路，２８…コンプライアンスシート，２９…圧力室形成基板，３０…圧力室，３１…振動板，３２…圧電素子，３３…封止板，３４…駆動ＩＣ，３６…圧電素子収容空間，３９…第１のリード電極，４０…第２のリード電極，４２…傾斜面，４３…ケーブル接合領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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