(57)【要約】【課題】複数の接触部材と、被駆動部材との接触による溝の形成を抑制する。【解決手段】圧電駆動装置は、第１圧電振動体と、被駆動部材に接触可能な第１接触部材と、を有する第１圧電駆動部と、第２圧電振動体と、前記被駆動部材に接触可能な第２接触部材と、を有する第２圧電駆動部と、を備え、前記第１接触部材と前記被駆動部材との接触点の第１位置は、前記第２接触部材と前記被駆動部材との接触点の第２位置とは異なる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１圧電振動体と、被駆動部材に接触可能な第１接触部材と、を有する第１圧電駆動部と、
第２圧電振動体と、前記被駆動部材に接触可能な第２接触部材と、を有する第２圧電駆動部と、を備え、
前記第１接触部材と前記被駆動部材との接触点の第１位置は、前記第２接触部材と前記被駆動部材との接触点の第２位置とは異なる、圧電駆動装置。
【請求項２】
請求項１に記載の圧電駆動装置であって、
前記第１位置は、前記第２位置に対して、前記被駆動部材の移動方向と交差する方向にずれている、圧電駆動装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の圧電駆動装置であって、
前記被駆動部材は、円板形状を有しており、回転可能である、圧電駆動装置。
【請求項４】
請求項３に記載の圧電駆動装置であって、
前記第１圧電駆動部の位置は、前記第２圧電駆動部の位置に対して、前記被駆動部材の半径方向にずれている、圧電駆動装置。
【請求項５】
請求項４に記載の圧電駆動装置であって、
前記第１圧電駆動部のみを用いて前記被駆動部材を回転させるときの前記被駆動部材の角速度は、前記第２圧電駆動部のみを用いて前記被駆動部材を回転させるときの前記被駆動部材の角速度と等しい、圧電駆動装置。
【請求項６】
請求項５に記載の圧電駆動装置であって、
前記第１圧電駆動部を駆動する第１の電圧と、前記第２圧電駆動部を駆動する第２の電圧の比は、前記第１位置と前記被駆動部材の回転中心との距離と、前記第２位置と前記回転中心との距離の比に等しい、圧電駆動装置。
【請求項７】
請求項３〜６のいずれか一項に記載の圧電駆動装置であって、
前記第１圧電駆動部は、前記被駆動部材の回転中心との第１距離がそれぞれ等しい複数の圧電駆動部を有し、
前記第２圧電駆動部は、前記被駆動部材の回転中心との第２距離がそれぞれ等しい複数の圧電駆動部を有し、
前記第１距離と前記第２距離とは異なっており、
前記第１圧電駆動部が有する複数の圧電駆動部を駆動する第１駆動回路と、
前記第２圧電駆動部が有する複数の圧電駆動部を駆動する第２駆動回路と、を備える、圧電駆動装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項に記載の圧電駆動装置であって、
前記第１圧電振動体を配置する第１振動板と、
前記第２圧電振動体を配置する第２振動板と、
を備える、圧電駆動装置。
【請求項９】
複数のリンク部と、
前記複数のリンク部を接続する関節部と、
前記複数のリンク部を前記関節部で回動させる請求項１〜８のいずれか一項に記載の圧電駆動装置と、
を備えるロボット。
【請求項１０】
請求項９に記載のロボットの駆動方法であって、
前記第１圧電振動体および前記第２圧電振動体に周期的に変化する電圧を印加することで前記圧電駆動装置を駆動し、前記複数のリンク部を前記関節部で回動させる、ロボットの駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電駆動装置、ロボット及びロボットの駆動方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、圧電振動体の側面に複数のスペーサ（接触部材）を備えている圧電マイクロモーターが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平０８−２３７９７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１では、複数のスペーサ（接触部材）が被駆動部材と接触してできる接触点の軌跡が重なるため、その軌跡上において摩擦によって被駆動部材に溝が発生し、動作を不安定にするおそれがあった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
（１）本発明の一形態によれば、圧電駆動装置が提供される。この圧電駆動装置は、第１圧電振動体と、被駆動部材に接触可能な第１接触部材と、を有する第１圧電駆動部と、第２圧電振動体と、前記被駆動部材に接触可能な第２接触部材と、を有する第２圧電駆動部と、を備え、前記第１接触部材と前記被駆動部材との接触点の第１位置は、前記第２接触部材と前記被駆動部材との接触点の第２位置とは異なる。この形態によれば、第１接触部材と前記被駆動部材との接触点の第１位置は、第２接触部材と被駆動部材との接触点の第２位置とは異なるので、第１接触部材と前記被駆動部材との接触点の第１位置と第２接触部材と被駆動部材との接触点の第２位置とが同じ圧電駆動装置と比べて被駆動部材に溝を発生し難くできる。その結果、圧電駆動装置の動作を安定にできる。
【０００７】
（２）上記形態の圧電駆動装置において、前記第１位置は、前記第２位置に対して、前記被駆動部材の移動方向と交差する方向にずれていてもよい。この形態によれば、第１位置の軌跡と第２位置の軌跡をずらすことができるので、被駆動部材に溝を発生し難くできる。
【０００８】
（３）上記形態の圧電駆動装置において、前記被駆動部材は、円板形状を有しており、回転可能であってもよい。この形態によれば、前記被駆動部材が、円板形状を有しており、回転可能な場合であっても、第１位置の軌跡と第２位置の軌跡をずらすことができるので、被駆動部材に溝を発生し難くできる。
【０００９】
（４）上記形態の圧電駆動装置において、前記第１圧電駆動部の位置は、前記第２圧電駆動部の位置に対して、前記被駆動部材の半径方向にずれていてもよい。この形態によれば、第１位置の軌跡と第２位置の軌跡は、異なる半径の同心円を描くので、溝を発生し難くできる。
【００１０】
（５）上記形態の圧電駆動装置において、前記第１圧電駆動部のみを用いて前記被駆動部材を回転させるときの前記被駆動部材の角速度は、前記第２圧電駆動部のみを用いて前記被駆動部材を回転させるときの前記被駆動部材の角速度と等しくても良い。この形態によれば、第１圧電駆動部のみを用いて被駆動部材を回転させるときの被駆動部材の角速度と、第２圧電駆動部のみを用いて被駆動部材を回転させるときの被駆動部材の角速度が等しいので、被駆動部材を滑らかに回転させることができる。
【００１１】
（６）上記形態の圧電駆動装置において、前記第１圧電駆動部を駆動する第１の電圧と、前記第２圧電駆動部を駆動する第２の電圧の比は、前記第１位置と前記被駆動部材の回転中心との距離と、前記第２位置と前記回転中心との距離の比に等しくてもよい。この形態によれば、第１圧電駆動部によって与えられる被駆動部材の角速度と、第２圧電駆動部によって与えられる被駆動部材の角速度とを等しく出来る。
【００１２】
（７）上記形態の圧電駆動装置において、前記第１圧電駆動部は、前記被駆動部材の回転中心との第１距離がそれぞれ等しい複数の圧電駆動部を有し、前記第２圧電駆動部は、前記被駆動部材の回転中心との第２距離がそれぞれ等しい複数の圧電駆動部を有し、前記第１距離と前記第２距離とは異なっており、前記第１圧電駆動部が有する複数の圧電駆動部を駆動する第１駆動回路と、前記第２圧電駆動部が有する複数の圧電駆動部を駆動する第２駆動回路と、を備えてもよい。この形態のように、第１圧電駆動部や第２圧電駆動部は、それぞれ複数の圧電駆動部を備えていても良い。第１圧電駆動部と第２圧電駆動部との全てについて被駆動部材の回転中心との距離が同じ場合に比べて、溝を発生し難くできる。
【００１３】
（８）上記形態の圧電駆動装置において、前記第１圧電振動体を配置する第１振動板と、前記第２圧電振動体を配置する第２振動板と、を備えてもよい。
【００１４】
（９）本発明の一形態によれば、ロボットが提供される。このロボットは、複数のリンク部と、前記複数のリンク部を接続する関節部と、前記複数のリンク部を前記関節部で回動させる、上記形態のいずれかに記載の圧電駆動装置と、を備える。この形態によれば、圧電駆動装置をロボットの駆動に利用できる。
【００１５】
（１０）本発明の一形態によれば、ロボットの駆動方法が提供される。この駆動方法は、前記第１圧電振動体および前記第２圧電振動体に周期的に変化する電圧を印加することで前記圧電駆動装置を駆動し、前記複数のリンク部を前記関節部で回動させる。
【００１６】
本発明は、種々の形態で実現することが可能であり、例えば、圧電駆動装置の他、圧電駆動装置の駆動方法、圧電駆動装置の製造方法、圧電駆動装置を搭載するロボット、圧電駆動装置を搭載するロボットの駆動方法、送液ポンプ、投薬ポンプ等、様々な形態で実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】圧電駆動部の概略構成を示す平面図及び断面図。
【図２】振動板の平面図。
【図３】圧電駆動部と駆動回路の電気的接続状態を示す説明図。
【図４】圧電駆動部の屈曲振動の例を示す説明図。
【図５】第１の実施形態の圧電駆動装置を示す説明図。
【図６】第２の実施形態の圧電駆動装置を示す説明図。
【図７】第３の実施形態の圧電駆動装置を示す説明図。
【図８】第４の実施形態の圧電駆動装置を示す説明図。
【図９】第５の実施形態の圧電駆動装置を示す説明図。
【図１０】第６の実施形態の圧電駆動装置を示す説明図。
【図１１】第７の実施形態の圧電駆動装置を示す説明図。
【図１２】第７の実施形態の圧電駆動装置の駆動回路の一例を示す説明図。
【図１３】本発明の他の実施形態としての圧電駆動部の断面図。
【図１４】他の実施形態としての圧電駆動部の平面図。
【図１５】上述の圧電駆動部を利用したロボットの一例を示す説明図。
【図１６】ロボットの手首部分の説明図。
【図１７】圧電駆動部を利用した送液ポンプの一例を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
・圧電駆動部の構成：
図１（Ａ）は、本発明に用いられる圧電駆動部１０の概略構成を示す平面図であり、図１（Ｂ）は、圧電駆動部１０を図１（Ａ）のＢ−Ｂ切断線で切ったときに、その断面から圧電駆動部１０を見たときの図である。圧電駆動部１０は、振動板２００と、振動板２００の両面（第１面２１１（「表面」とも呼ぶ）と第２面２１２（「裏面」とも呼ぶ））にそれぞれ配置された２つの圧電振動体１００とを備える。圧電振動体１００は、基板１２０と、基板１２０の上に形成された第１電極１３０と、第１電極１３０の上に形成された圧電体１４０と、圧電体１４０の上に形成された第２電極１５０と、を備えている。第１電極１３０と第２電極１５０は、圧電体１４０を挟持している。２つの圧電振動体１００は、振動板２００を中心として対称に配置されている。２つの圧電振動体１００は同じ構成を有しているので、以下では特に断らない限り、振動板２００の上側にある圧電振動体１００の構成を説明する。
【００１９】
圧電振動体１００の基板１２０は、第１電極１３０と圧電体１４０と第２電極１５０を成膜プロセスで形成するための基板として使用される。また、基板１２０は機械的な振動を行う振動板としての機能も有する。基板１２０は、例えば、Ｓｉ，Ａｌ２Ｏ３，ＺｒＯ２などで形成することができる。シリコン（以下「Ｓｉ」とも呼ぶ。）製の基板１２０として、例えば半導体製造用のＳｉウェハーを利用することが可能である。この実施形態において、基板１２０の平面形状は長方形である。基板１２０の厚みは、例えば１０μｍ以上１００μｍ以下の範囲とすることが好ましい。基板１２０の厚みを１０μｍ以上とすれば、基板１２０上の成膜処理の際に基板１２０を比較的容易に取扱うことができる。また、基板１２０の厚みを１００μｍ以下とすれば、薄膜で形成された圧電体１４０の伸縮に応じて、基板１２０を容易に振動させることができる。
【００２０】
第１電極１３０は、基板１２０上に形成された１つの連続的な導電体層として形成されている。一方、第２電極１５０は、図１（Ａ）に示すように、５つの導電体層１５０ａ〜１５０ｅ（「第２電極１５０ａ〜１５０ｅ」とも呼ぶ）に区分されている。中央にある第２電極１５０ｅは、基板１２０の幅方向の中央において、基板１２０の長手方向のほぼ全体に亘る長方形形状に形成されている。他の４つの第２電極１５０ａ，１５０ｂ，１５０ｃ，１５０ｄは、同一の平面形状を有しており、基板１２０の四隅の位置に形成されている。図１の例では、第１電極１３０と第２電極１５０は、いずれも長方形の平面形状を有している。第１電極１３０や第２電極１５０は、例えばスパッタリングによって形成される薄膜である。第１電極１３０や第２電極１５０の材料としては、例えばＡｌ（アルミニウム）や、Ｎｉ（ニッケル）、Ａｕ（金）、Ｐｔ（白金）、Ｉｒ（イリジウム）、Ｃｕ（銅）などの導電性の高い任意の材料を利用可能である。なお、第１電極１３０を１つの連続的な導電体層とする代わりに、第２電極１５０ａ〜１５０ｅと実質的に同じ平面形状を有する５つの導電体層に区分してもよい。なお、第２電極１５０ａ〜１５０ｅの間の電気的接続のための配線（又は配線層及び絶縁層）と、第１電極１３０及び第２電極１５０ａ〜１５０ｅと駆動回路との間の電気的接続のための配線（又は配線層及び絶縁層）とは、図１では図示が省略されている。
【００２１】
圧電体１４０は、第２電極１５０ａ〜１５０ｅと実質的に同じ平面形状を有する５つの圧電体層として形成されている。この代わりに、圧電体１４０を、第１電極１３０と実質的に同じ平面形状を有する１つの連続的な圧電体層として形成してもよい。第１電極１３０と圧電体１４０と第２電極１５０ａ〜１５０ｅとの積層構造によって、５つの圧電素子１１０ａ〜１１０ｅ（図１（Ａ））が構成される。
【００２２】
圧電体１４０は、例えばゾル−ゲル法やスパッタリング法によって形成される薄膜である。圧電体１４０の材料としては、ＡＢＯ３型のペロブスカイト構造を採るセラミックスなど、圧電効果を示す任意の材料を利用可能である。ＡＢＯ３型のペロブスカイト構造を採るセラミックスとしては、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、タングステン酸ナトリウム、酸化亜鉛、チタン酸バリウムストロンチウム（ＢＳＴ）、タンタル酸ストロンチウムビスマス（ＳＢＴ）、メタニオブ酸鉛、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等を用いることが可能である。またセラミック以外の圧電効果を示す材料、例えばポリフッ化ビニリデン、水晶等を用いることも可能である。圧電体１４０の厚みは、例えば５０ｎｍ（０．０５μｍ）以上２０μｍ以下の範囲とすることが好ましい。この範囲の厚みを有する圧電体１４０の薄膜は、成膜プロセスを利用して容易に形成することができる。圧電体１４０の厚みを０．０５μｍ以上とすれば、圧電体１４０の伸縮に応じて十分に大きな力を発生することができる。また、圧電体１４０の厚みを２０μｍ以下とすれば、圧電駆動部１０を十分に小型化することができる。
【００２３】
図２は、振動板２００の平面図である。振動板２００は、長方形形状の振動体部２１０と、振動体部２１０の左右の長辺からそれぞれ３本ずつ延びる接続部２２０とを有しており、また、左右の３本の接続部２２０にそれぞれ接続された２つの取付部２３０を有している。なお、図２では、図示の便宜上、振動体部２１０にハッチングを付している。取付部２３０は、ネジ２４０によって他の部材に圧電駆動部１０を取り付けるために用いられる。振動板２００は、例えば、シリコン、シリコン化合物、ステンレス鋼、アルミニウム、アルミニウム合金、チタン、チタン合金、銅、銅合金、鉄−ニッケル合金などの金属、金属酸化物、またはダイヤモンド等の材料で形成することが可能である。
【００２４】
振動体部２１０の上面（第１面）及び下面（第２面）には、圧電振動体１００（図１）がそれぞれ接着剤を用いて接着される。振動体部２１０の長さＬと幅Ｗの比は、Ｌ：Ｗ＝約７：２とすることが好ましい。この比は、振動体部２１０がその平面に沿って左右に屈曲する超音波振動（後述）を行うために好ましい値である。振動体部２１０の長さＬは、例えば０．１ｍｍ以上３０ｍｍ以下の範囲とすることができ、幅Ｗは、例えば０．０２ｍｍ以上９ｍｍ以下の範囲とすることができる。なお、振動体部２１０が超音波振動を行うために、長さＬは５０ｍｍ以下とすることが好ましい。振動体部２１０の厚み（振動板２００の厚み）は、例えば２０μｍ以上８００μｍ以下の範囲とすることができる。振動体部２１０の厚みを２０μｍ以上とすれば、圧電振動体１００を支持するために十分な剛性を有するものとなる。また、振動体部２１０の厚みを８００μｍ以下とすれば、圧電振動体１００の変形に応じて十分に大きな変形を発生することができる。
【００２５】
振動板２００の一方の短辺には、先端が凸になっている接触部材２０が設けられている。接触部材２０は、被駆動体と接触可能な、被駆動体に力を与えるための部材である。接触部材２０は、セラミックス（例えばＡｌ２Ｏ３）などの耐久性がある材料で形成することが好ましい。
【００２６】
図３は、圧電駆動部１０と駆動回路３００の電気的接続状態を示す説明図である。５つの第２電極１５０ａ〜１５０ｅのうちで、対角にある一対の第２電極１５０ａ，１５０ｄが配線１５１を介して互いに電気的に接続され、他の対角の一対の第２電極１５０ｂ，１５０ｃも配線１５２を介して互いに電気的に接続されている。これらの配線１５１，１５２は成膜処理によって形成しても良く、或いは、ワイヤ状の配線によって実現してもよい。図３の右側にある３つの第２電極１５０ｂ，１５０ｅ，１５０ｄと、第１電極１３０（図１）は、配線３１０，３１２，３１４，３２０を介して駆動回路３００に電気的に接続されている。駆動回路３００は、一対の第２電極１５０ａ，１５０ｄと第１電極１３０との間に周期的に変化する交流電圧又は脈流電圧を印加することにより、圧電駆動部１０を超音波振動させて、接触部材２０に接触するローター（被駆動体）を所定の回転方向に回転させることが可能である。ここで、「脈流電圧」とは、交流電圧にＤＣオフセットを付加した電圧を意味し、その電圧（電界）の向きは、一方の電極から他方の電極に向かう一方向である。また、他の一対の第２電極１５０ｂ，１５０ｃと第１電極１３０との間に交流電圧又は脈流電圧を印加することにより、接触部材２０に接触するローターを逆方向に回転させることが可能である。このような電圧の印加は、振動板２００の両面に設けられた２つの圧電振動体１００に同時に行われる。なお、図３に示した配線１５１，１５２，３１０，３１２，３１４，３２０を構成する配線（又は配線層及び絶縁層）は、図１では図示が省略されている。
【００２７】
図４は、圧電駆動部１０の屈曲振動の例を示す説明図である。圧電駆動部１０の接触部材２０は、被駆動体としてのローター５０の外周に接触している。図４に示す例では、駆動回路３００（図３）は、第１の対角に配置された一対の第２電極１５０ａ，１５０ｄと第１電極１３０との間に交流電圧又は脈流電圧を印加しており、圧電素子１１０ａ，１１０ｄは図４の矢印ｘの方向に伸縮する。これに応じて、圧電駆動部１０の振動体部２１０は、図４（Ａ）に示す蛇行していないまっすぐな形状と、図４（Ｂ）に示す振動体部２１０の平面内で屈曲して蛇行形状（Ｓ字形状）に交互に変形し、接触部材２０の先端が矢印ｙの向きに楕円運動する。その結果、ローター５０は、その中心５１の周りに第１の方向ｚ（図４では時計回り方向）に回転する。本実施形態では、振動体部２１０は、図４（Ａ）に示すような蛇行していないまっすぐな形状と、図４（Ｂ）に示すような振動体部２１０の平面内で屈曲して蛇行形状（Ｓ字形状）と、に交互に変形することを屈曲振動と呼ぶ。図２で説明した振動板２００の３つの接続部２２０（図２）は、このような振動体部２１０の振動の節（ふし）の位置に設けられている。なお、駆動回路３００が、第１の対角とは異なる第２の対角に配置された他の一対の第２電極１５０ｂ，１５０ｃと第１電極１３０との間に交流電圧又は脈流電圧を印加する場合には、ローター５０は逆方向（第２の方向あるいは、反時計回り方向）に回転する。なお、屈曲振動では、時計回り時に駆動される２つの圧電素子１１０ａ，１１０ｄは、振動体部２１０（あるいは圧電振動体１００）の中心２０５に対して点対称位置にあり、反時計回り時に駆動される２つの圧電素子１１０ｂ，１１０ｃは、振動体部２１０（あるいは圧電振動体１００）の中心２０５に対して点対称位置にある。中央の第２電極１５０ｅに、一対の第２電極１５０ａ，１５０ｄ（又は他の一対の第２電極１５０ｂ，１５０ｃ）と同じ電圧を印加すれば、圧電駆動部１０が長手方向に伸縮するので、接触部材２０からローター５０に与える力をより大きくすることが可能である。なお、駆動回路３００が屈曲振動時に駆動する圧電素子は、点対称位置になくてもよく、例えば、中心２０５に対して偏った位置にあっても良い。なお、圧電駆動部１０（又は圧電振動体１００）のこのような動作については、上記先行技術文献１（特開２００４−３２０９７９号公報、又は、対応する米国特許第７２２４１０２号）に記載されており、その開示内容は参照により組み込まれる。
【００２８】
・第１の実施形態：
図５は、第１の実施形態の圧電駆動装置１０００を示す説明図である。図５（Ａ）は、圧電駆動装置１０００をｚ方向（被駆動部材６０の法線方向）から見た図を示し、図５（Ｂ）は、圧電駆動装置１０００をｙ方向（被駆動部材６０の移動方向と交差する方向）から見た図を示している（後述する図６〜図８についても同じ）。圧電駆動装置１０００は、３つの圧電駆動部１０ｓ１、１０ｓ２、１０ｓ３と、被駆動部材６０を備える。被駆動部材６０は、長方形の板状部材である。３つの圧電駆動部１０ｓ１、１０ｓ２、１０ｓ３は、上述した圧電駆動部１０により構成されている。圧電駆動部１０ｓ１を第１圧電駆動部１０ｓ１、圧電駆動部１０ｓ２を第２圧電駆動部１０ｓ２、圧電駆動部１０ｓ３を第３圧電駆動部１０ｓ３とも呼ぶ。また、第１圧電駆動部１０ｓ１の圧電振動体１００を第１圧電振動体と呼び、振動板２００を第１振動板と呼ぶ。第２圧電駆動部１０ｓ２の圧電振動体１００や振動板２００についても、同様に、第２圧電振動体、第２振動板と呼ぶ。第３圧電駆動部１０ｓ３についても同様である。これらの呼び方については、以後の実施形態において同様である。第１圧電駆動部１０ｓ１の第１接触部材２０ｓ１、第２圧電駆動部１０ｓ２の第２接触部材２０ｓ２、第３圧電駆動部１０ｓ３の第３接触部材２０ｓ３が被駆動部材６０と接触してできる接触点の位置（第１位置Ｐ１、第２位置Ｐ２、第３位置Ｐ３）は、ｘ方向、ｙ方向、いずれも重なっておらず、異なる位置である。すなわち、被駆動部材６０の移動方向及び被駆動部材６０の移動方向と交差する方向のいずれともずれている。その結果、３つの圧電駆動部１０ｓ１、１０ｓ２、１０ｓ３が駆動することにより形成される接触点の軌跡Ｌ２０ｓ１、Ｌ２０ｓ２、Ｌ２０ｓ３は重ならない。なお、第１位置Ｐ１、第２位置Ｐ２、第３位置Ｐ３のｘ方向の位置は同じ位置であっても良い。第１位置Ｐ１、第２位置Ｐ２、第３位置Ｐ３のｙ方向の位置が異なっていれば、接触点の軌跡Ｌ２０ｓ１、Ｌ２０ｓ２、Ｌ２０ｓ３は重ならないからである。
【００２９】
接触部材２０ｓ１、２０ｓ２、２０ｓ３は、上述したように、セラミックス（例えばＡｌ２Ｏ３）などの耐久性がある材料で形成されており、硬い。そのため、長年の使用により、接触部材２０ｓ１、２０ｓ２、２０ｓ３が被駆動部材６０を削り、軌跡Ｌ２０ｓ１、Ｌ２０ｓ２、Ｌ２０ｓ３の跡に溝を形成する場合がある。ここで、溝が深くなったり、溝の深さが異なると、接触部材２０ｓ１、２０ｓ２、２０ｓ３による押圧力が小さくなったり、異なったりして、被駆動部材６０の移動が滑らかで無くなり、圧電駆動装置１０００動作を不安定にする虞がある。本実施形態では、接触部材２０ｓ１、２０ｓ２、２０ｓ３が被駆動部材６０と接触してできる接触点の位置（第１位置Ｐ１、第２位置Ｐ２、第３位置Ｐ３）が異なっているため、接触部材２０ｓ１、２０ｓ２、２０ｓ３が被駆動部材６０と接触してできる接触点の位置、特にｙ方向の位置が同一の場合に比べて、溝が形成され難い。その結果、圧電駆動装置１０００の動作を不安定にし難い。
【００３０】
・第２の実施形態：
図６は、第２の実施形態の圧電駆動装置１０００ｓを示す説明図である。圧電駆動装置１０００ｓは、３つの圧電駆動部１０ｓ１、１０ｓ２、１０ｓ３と、被駆動部材６０を備える。第１の実施形態との違いは、接触部材２０ｓ１、２０ｓ２、２０ｓ３が被駆動部材６０と接触してできる接触点の位置（第１位置Ｐ１、第２位置Ｐ２、第３位置Ｐ３）のｙ方向の間隔が狭まっており、軌跡Ｌ２０ｓ１と軌跡Ｌ２０ｓ２が一部重なり、軌跡Ｌ２０ｓ２と軌跡Ｌ２０ｓ３が一部重なっている点である。なお、このように２つの軌跡Ｌ２０ｓ１と軌跡Ｌ２０ｓ２が一部重なっていても、第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２、特に第１位置Ｐ１の中心と第２位置Ｐ２の中心が異なっている場合には、接触点の位置が異なる場合に含まれるものとする。
【００３１】
上述したように、接触部材２０ｓ１、２０ｓ２、２０ｓ３の先端は凸となっている。そのため、軌跡Ｌ２０ｓ１、Ｌ２０ｓ２、Ｌ２０ｓ３の中心線Ｌ２０ｓ１ｃ、Ｌ２０ｓ２ｃ、Ｌ２０ｓ３ｃが、接触部材２０ｓ１、２０ｓ２、２０ｓ３が最も強く押圧する位置である。これに対し、軌跡Ｌ２０ｓ１、Ｌ２０ｓ２、Ｌ２０ｓ３の重なる部分は、接触部材２０ｓ１、２０ｓ２、２０ｓ３が強く押圧しない。すなわち、軌跡Ｌ２０ｓ１、Ｌ２０ｓ２、Ｌ２０ｓ３の重なる部分における押圧力は、中心線軌跡Ｌ２０ｓ１ｃ、Ｌ２０ｓ２ｃ、Ｌ２０ｓ３ｃにおける押圧力よりも弱い。したがって、軌跡Ｌ２０ｓ１、Ｌ２０ｓ２、Ｌ２０ｓ３の重なる部分については、２つの接触部材、例えば接触部材２０ｓ１、２０ｓ２により押圧されても、被駆動部材６０が削られ難い。その結果、２つの軌跡Ｌ２０ｓ１と軌跡Ｌ２０ｓ２の一部が重なっていていても、完全に重なっていなければ、溝が形成され難く、圧電駆動装置１０００ｓの動作を不安定にし難い。
【００３２】
・第３の実施形態：
図７は、第３の実施形態の圧電駆動装置１０００ｔを示す説明図である。圧電駆動装置１０００ｔは、９個の圧電駆動部１０ｓ１〜１０ｓ９を備える。圧電駆動部１０ｓ１〜１０ｓ３の接触点の位置Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３のｘ方向の位置は同じであり、圧電駆動部１０ｓ４〜１０ｓ６の接触点の位置Ｐ４〜Ｐ６、圧電駆動部１０ｓ７〜１０ｓ９の接触点の位置Ｐ７〜Ｐ９についても同様である。また、圧電駆動部１０ｓ１〜１０ｓ９の軌跡の中心線Ｌ２０ｓ１ｃ〜Ｌ２０ｓ９ｃは、互いにずれている。なお、図７では、圧電駆動部１０ｓ１〜１０ｓ９の軌跡を図示すると見難くなるので、軌跡の図示を省略している。第３の実施形態の圧電駆動装置１０００ｔにおいても、第２の実施形態と同様に、２つの軌跡の一部が重なっていたとしても、完全に重ならないので、被駆動部材６０が削られ難く、圧電駆動装置１０００ｔの動作を不安定にし難い。
【００３３】
・第４の実施形態：
図８は、第４の実施形態の圧電駆動装置１０００ｕを示す説明図である。圧電駆動装置１０００ｕは、３つの圧電駆動部１０ｓ１、１０ｓ２、１０ｓ３と、被駆動部材６０を備える。第１の実施形態との違いは、３つの圧電駆動部１０ｓ１、１０ｓ２、１０ｓ３は、接触部材２０ｓ１、２０ｓ２、２０ｓ３が被駆動部材６０と接触してできる接触点の位置（第１位置Ｐ１、第２位置Ｐ２、第３位置Ｐ３）が、ｘ方向には重なっていないが、ｙ方向には重なっている点である。そのため、接触点の軌跡Ｌ２０ｓ１、Ｌ２０ｓ２、Ｌ２０ｓ３の一部が重ならない。すなわち、図８の第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２までの間は、１つの接触部材２０ｓ１のみが接触し、第２位置Ｐ２から第３位置Ｐ３までの間は、２つの接触部材２０ｓ１と２０ｓ２のみが接触し、第３位置Ｐ３からｘ座標のマイナス方向は、３つの接触部材２０ｓ１、２０ｓ２、２０ｓ３が接触する。したがって、第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２までの間や、第２位置Ｐ２から第３位置Ｐ３までの間は、第３位置Ｐ３からｘ座標のマイナス方向よりも被駆動部材６０が削られ難く、圧電駆動装置１０００ｕの動作を不安定にし難い。
【００３４】
・第５の実施形態：
図９は、第５の実施形態の圧電駆動装置１０００ｖを示す説明図である。圧電駆動装置１０００ｖは、４つの圧電駆動部１０ｓ１、１０ｓ２、１０ｓ３、１０ｓ４と、被駆動部材７０を備える。被駆動部材７０は、円板形状を有する部材であり、中心７１周りに回転可能である。４つの圧電駆動部１０ｓ１、１０ｓ２、１０ｓ３、１０ｓ４は、上述した圧電駆動部１０により構成されており、それぞれの接触部材２０ｓ１、２０ｓ２、２０ｓ３、２０Ｓ４が被駆動部材７０と接触してできる接触点の位置（第１位置Ｐ１、第２位置Ｐ２、第３位置Ｐ３、第４位置Ｐ４）が、半径方向、円周方向、いずれも重なっておらず、異なる位置である。接触点の位置（第１位置Ｐ１、第２位置Ｐ２、第３位置Ｐ３、第４位置Ｐ４）の位置は、半径方向にずれている。その結果、接触点の軌跡Ｌ２０ｓ１、Ｌ２０ｓ２、Ｌ２０ｓ３、Ｌ２０ｓ４が重ならない。その結果、溝が形成され難く、圧電駆動装置１０００ｖの動作を不安定にし難い。
【００３５】
・第６の実施形態：
図１０は、第６の実施形態の圧電駆動装置１０００ｗを示す説明図である。圧電駆動装置１０００ｗは、２つの圧電駆動部１０ｓ１、１０ｓ２と、被駆動部材７２を備える。被駆動部材７２は、円板形状を有する部材であり、中心７３周りに回転可能である。２つの圧電駆動部１０ｓ１、１０ｓ２は、上述した圧電駆動部１０により構成されている。第１圧電駆動部１０ｓ１が被駆動部材７０と接触してできる接触点の位置（第１位置Ｐ１）と被駆動部材７２の回転中心との第１距離はＬ１であり、第２圧電駆動部１０ｓ２が被駆動部材７０と接触してできる接触点の位置（第２位置Ｐ２）と被駆動部材７２の回転中心との第２距離はＬ２である。
【００３６】
図１０（Ｂ）は、圧電駆動部１０ｓ１、１０ｓ２を駆動するための駆動信号の一例を示す説明図である。駆動信号の第１の電圧Ｖ１、第２の電圧Ｖ２の最大値をＶ１ｍａｘ、Ｖ２ｍａｘとすると、Ｖ１ｍａｘ：Ｖ２ｍａｘ＝Ｌ１：Ｌ２の関係にある。すなわち、Ｖ２ｍａｘ＝Ｖ１ｍａｘ×Ｌ２／Ｌ１である。一般に、ある電圧Ｖｌｉｍｉｔまでであれば、圧電体に印加される電圧と圧電体の変位量とは、ほぼ比例し、圧電駆動部１０ｓ１、１０ｓ２の屈曲振動の変位量は、圧電体に印加される電圧にほぼ比例する。したがって、Ｖ１ｍａｘ：Ｖ２ｍａｘ＝Ｌ１：Ｌ２の関係があるようにすれば、第１の圧電駆動部１０ｓ１のみにより被駆動部材７２を駆動したときの被駆動部材７２の角速度ω１と、第２の圧電駆動部１０ｓ２のみにより被駆動部材７２を駆動したときの被駆動部材７２の角速度ω２とをほぼ等しくできる。その結果、２つの圧電駆動部１０ｓ１、１０ｓ２で被駆動部材７２を駆動したときに、滑らかに駆動することができる。なお、Ｖ２ｍａｘは、±１０％程度の誤差があっても良い。すなわち、０．９×Ｖ１ｍａｘ×Ｌ２／Ｌ１≦Ｖ２ｍａｘ≦＝１．１×Ｖ１ｍａｘ×Ｌ２／Ｌ１であってもよい。なお、Ｖ２ｍａｘの誤差は、±５％程度であれば、なお良い。なお、Ｖ１ｍａｘとＶ２ｍａｘは、Ｖｌｉｍｉｔより低い電圧である。
【００３７】
図１０（Ｃ）は、圧電駆動部１０ｓ１、１０ｓ２を駆動するための駆動信号の別の例を示す説明図である。この例では、駆動信号の振幅Ｖ１、Ｖ２の最大値は同じであるが、周期（あるいは周波数）が異なる。第１の圧電駆動部１０ｓ１の駆動信号Ｖ１の周期をＴ１、第２の圧電駆動部１０ｓ２の駆動信号Ｖ２の周期をＴ２とすると、Ｔ１：Ｔ２＝Ｌ２：Ｌ１の関係があるようにすれば、第１の圧電駆動部１０ｓ１のみにより被駆動部材７２を駆動したときの被駆動部材７２の角速度ω１と、第２の圧電駆動部１０ｓ２のみにより被駆動部材７２を駆動したときの被駆動部材７２の角速度ω２とをほぼ等しくできる。その結果、２つの圧電駆動部１０ｓ１、１０ｓ２で被駆動部材７２を駆動したときに、滑らかに駆動することができる。なお、周期Ｔ２は、±１０％程度の誤差があっても良い。すなわち、０．９×Ｔ１×Ｌ１／Ｌ２≦Ｔ２≦＝１．１×Ｔ１×Ｌ１／Ｌ２であってもよい。また、周波数は、周期の逆数に比例するので、第１の圧電駆動部１０ｓ１の駆動信号の周波数をｆ１、第２の圧電駆動部１０ｓ２の駆動信号の周波数をｆ２としたときに、ｆ１：ｆ２＝Ｌ１：Ｌ２の関係があるようしてもよい。
【００３８】
なお、第１の圧電駆動部１０ｓ１のみにより被駆動部材７２を駆動したときの被駆動部材７２の角速度ω１と、第２の圧電駆動部１０ｓ２のみにより被駆動部材７２を駆動したときの被駆動部材７２の角速度ω２とをほぼ等しくできるのであれば、例えば駆動電圧を下げてその分周期を短くするなど、駆動電圧の制御と周期（周波数）の制御とを組み合わせてもよい。
【００３９】
以上、第６の実施形態によれば、第１の圧電駆動部１０ｓ１のみにより被駆動部材７２を駆動したときの被駆動部材７２の角速度ω１と、第２の圧電駆動部１０ｓ２のみにより被駆動部材７２を駆動したときの被駆動部材７２の角速度ω２とをほぼ等しくできる。その結果、２つの圧電駆動部１０ｓ１、１０ｓ２で被駆動部材７２を駆動したときに、滑らかに駆動することができる。
【００４０】
・第７の実施形態：
図１１は、第７の実施形態の圧電駆動装置１０００ｘを示す説明図である。圧電駆動装置１０００ｘは、４つの圧電駆動部１０ｓ１〜１０ｓ４と、被駆動部材７０を備える。被駆動部材７０の回転中心７１と第１圧電駆動部１０ｓ１、第２圧電駆動部１０ｓ２との間の距離は、いずれもＬ１であり、被駆動部材７０の回転中心７１と第３圧電駆動部１０ｓ３、第４圧電駆動部１０ｓ４との間の距離は、いずれもＬ２である。したがって、圧電駆動部１０ｓ１の接触部材２０ｓ１による接触点の軌跡Ｌ２０ｓ１と、圧電駆動部１０ｓ２の接触部材２０ｓ２による接触点の軌跡Ｌ２０ｓ２とが重なる。また、軌跡Ｌ２０ｓ３と軌跡Ｌ２０ｓ４についても同様に重なる。しかし、軌跡Ｌ２０ｓ１と軌跡Ｌ２０ｓ３とは重ならない。このように、全ての軌跡が重ならない場合だけでなく、一部の軌跡が重なるように構成しても良い。全ての軌跡が重なる場合と比べると、溝が形成され難く、圧電駆動装置１０００ｘの動作を不安定にし難い。
【００４１】
図１２は、第７の実施形態の圧電駆動装置１０００ｘの駆動回路の一例を示す説明図である。第７の実施形態では２つの駆動回路３００ａ、３００ｂを備える。第１駆動回路３００ａは、軌跡が重なる第１圧電駆動部１０ｓ１と第２圧電駆動部１０ｓ２を駆動し、第２駆動回路３００ｂは、軌跡が重なる第３圧電駆動部１０ｓ３と第２圧電駆動部１０ｓ４を駆動する。第１駆動回路３００ａと第２駆動回路３００ｂとは、同じ構成を備えるので、第１駆動回路３００ａを例にとって説明する。
【００４２】
第１駆動回路３００ａは、制御回路３３０と、基準クロック発生回路３３５と、分周回路３４０と、増幅回路３５０と、を備える。基準クロック発生回路３３５は、所定の周波数（例えば数百ｋＨｚ〜数ＭＨｚ）の基準クロック信号Ｃｌｋを発生させる。分周回路３４０は、クロック信号Ｃｌｋを分周して、基準クロック信号Ｃｌｋよりも周波数の低いデジタル信号ＤＳを生成する。増幅回路３５０は、Ｄ級アンプであり、デジタル信号ＤＳを用いて、交流電圧（「駆動信号Ｄｒｖ１」とも呼ぶ。）を生成する。駆動信号Ｄｒｖ１は、第１圧電駆動部１０ｓ１と第２圧電駆動部１０ｓ２に入力される。制御回路３３０は、分周回路３４０に対して、クロック信号Ｃｌｋからの分周の回数や、それぞれの分周開始のタイミングを指示し、制御する。また、制御回路３３０は、駆動信号Ｄｒｖ１を生成するときの増幅率を指示する。分周の回数や、それぞれの分周開始のタイミング、増幅率は、被駆動部材７０の回転中心７１と第１圧電駆動部１０ｓ１、第２圧電駆動部１０ｓ２との間の距離Ｌ１に応じて決定される。第２駆動回路３００ｂについても、分周の回数や、それぞれの分周開始のタイミング、増幅率は、被駆動部材７０の回転中心７１と第３圧電駆動部１０ｓ３、第４圧電駆動部１０ｓ４との間の距離Ｌ２に応じて決定され、駆動信号Ｄｒｖ２が生成される。
【００４３】
本実施形態では、被駆動部材７０の中心との距離が等しい複数の圧電駆動部、例えば、第１圧電駆動部１０ｓ１と第２圧電駆動部１０ｓ２とは、同一の駆動回路３００ａで駆動される。本実施形態では、同一の電圧を印加、あるいは、周期、周波数が同一である複数の圧電駆動部については、一つの駆動回路３００ａで駆動するので、それぞれの圧電駆動部にそれぞれ駆動回路を設ける場合と比較して小型化が可能となる。
【００４４】
・圧電駆動装置の他の実施形態：
図１３は、本発明の他の実施形態としての圧電駆動部１０ａの断面図であり、第１実施形態の図１（Ｂ）に対応する図である。この圧電駆動部１０ａでは、圧電振動体１００が、図１（Ｂ）とは上下を逆にした状態で振動板２００に配置されている。すなわち、ここでは、第２電極１５０が振動板２００に近く、基板１２０が振動板２００から最も遠くなるように配置されている。なお、図１３においても、図１（Ｂ）と同様に、第２電極１５０ａ〜１５０ｅの間の電気的接続のための配線（又は配線層及び絶縁層）と、第１電極１３０及び第２電極１５０ａ〜１５０ｅと駆動回路との間の電気的接続のための配線（又は配線層及び絶縁層）とは、図示が省略されている。この圧電駆動部１０ａも、第１実施形態と同様な効果を達成することができる。第２の実施形態と同様に、圧電振動体１００の基板１２０を振動板２００より突出させても良く、接触部材の形状を第３の実施形態と同様の形状としても良い。
【００４５】
図１４（Ａ）、（Ｂ）は、本発明の更に他の実施形態としての圧電駆動部１０ｂの平面図であり、第１実施形態の図１（Ａ）に対応する図である。図１４（Ａ）、（Ｂ）では、図示の便宜上、振動板２００の接続部２２０や取付部２３０は図示が省略されている。図１４（Ａ）の圧電駆動部１０ｂでは、一対の第２電極１５０ｂ，１５０ｃが省略されている。この圧電駆動部１０ｂも、図４に示すような１つの方向ｚにローター５０を回転させることが可能である。なお、図１４（Ａ）の３つの第２電極１５０ａ，１５０ｅ，１５０ｄには同じ電圧が印加されるので、これらの３つの第２電極１５０ａ，１５０ｅ，１５０ｄを、連続する１つの電極層として形成してもよい。
【００４６】
図１４（Ｂ）は、本発明の更に他の実施形態としての圧電駆動部１０ｃの平面図である。この圧電駆動部１０ｃでは、図１（Ａ）の中央の第２電極１５０ｅが省略されており、他の４つの第２電極１５０ａ，１５０ｂ，１５０ｃ，１５０ｄが図１（Ａ）よりも大きな面積に形成されている。この圧電駆動部１０ｃも、第１実施形態とほぼ同様な効果を達成することができる。
【００４７】
図１及び図１４（Ａ）、（Ｂ）から理解できるように、圧電振動体１００の第２電極１５０としては、少なくとも１つの電極層を設けることができる。但し、図１及び図１４（Ａ），（Ｂ）に示す実施形態のように、長方形の圧電振動体１００の対角の位置に第２電極１５０を設けるようにすれば、圧電振動体１００及び振動板２００を、その平面内で屈曲する蛇行形状に変形させることが可能である点で好ましい。
【００４８】
上記各実施形態において、圧電振動体１００は振動板２００に配置されているが、振動板２００はなくてもよい。この場合、接触部材２０は、圧電振動体１００に接続される。振動板２００を備えない構成であっても、複数の接触部材２０と被駆動部材７０の接触位置を異ならせることができるので、被駆動部材７０に溝を発生し難くできる。
【００４９】
・圧電駆動装置を用いた装置の実施形態：
上述した圧電駆動部１０は、共振を利用することで被駆動体に対して大きな力を与えることができるものであり、各種の装置に適用可能である。圧電駆動部１０は、例えば、ロボット（電子部品搬送装置（ＩＣハンドラー）も含む）、投薬用ポンプ、時計のカレンダー送り装置、印刷装置（例えば紙送り機構。ただし、ヘッドに利用される圧電駆動装置では、振動板を共振させないので、ヘッドには適用不可である。）等の各種の機器における駆動装置として用いることが出来る。以下、代表的な実施の形態について説明する。
【００５０】
図１５は、上述の圧電駆動部１０を利用したロボット２０５０の一例を示す説明図である。ロボット２０５０は、複数本のリンク部２０１２（「リンク部材」とも呼ぶ）と、それらリンク部２０１２の間を回動又は屈曲可能な状態で接続する複数の関節部２０２０とを備えたアーム２０１０（「腕部」とも呼ぶ）を有している。それぞれの関節部２０２０には、上述した圧電駆動部１０が内蔵されており、圧電駆動部１０を用いて関節部２０２０を任意の角度だけ回動又は屈曲させることが可能である。アーム２０１０の先端には、ロボットハンド２０００が接続されている。ロボットハンド２０００は、一対の把持部２００３を備えている。ロボットハンド２０００にも圧電駆動部１０が内蔵されており、圧電駆動部１０を用いて把持部２００３を開閉して物を把持することが可能である。また、ロボットハンド２０００とアーム２０１０との間にも圧電駆動部１０が設けられており、圧電駆動部１０を用いてロボットハンド２０００をアーム２０１０に対して回転させることも可能である。
【００５１】
図１６は、図１５に示したロボット２０５０の手首部分の説明図である。手首の関節部２０２０は、手首回動部２０２２を挟持しており、手首回動部２０２２に手首のリンク部２０１２が、手首回動部２０２２の中心軸Ｏ周りに回動可能に取り付けられている。手首回動部２０２２は、圧電駆動部１０を備えており、圧電駆動部１０は、手首のリンク部２０１２及びロボットハンド２０００を中心軸Ｏ周りに回動させる。ロボットハンド２０００には、複数の把持部２００３が立設されている。把持部２００３の基端部はロボットハンド２０００内で移動可能となっており、この把持部２００３の根元の部分に圧電駆動部１０が搭載されている。このため、圧電駆動部１０を動作させることで、把持部２００３を移動させて対象物を把持することができる。
【００５２】
なお、ロボットとしては、単腕のロボットに限らず、腕の数が２以上の多腕ロボットにも圧電駆動部１０を適用可能である。ここで、手首の関節部２０２０やロボットハンド２０００の内部には、圧電駆動部１０の他に、力覚センサーやジャイロセンサー等の各種装置に電力を供給する電力線や、信号を伝達する信号線等が含まれ、非常に多くの配線が必要になる。従って、関節部２０２０やロボットハンド２０００の内部に配線を配置することは非常に困難だった。しかしながら、上述した実施形態の圧電駆動部１０は、通常の電動モーターや、従来の圧電駆動装置よりも駆動電流を小さくできるので、関節部２０２０（特に、アーム２０１０の先端の関節部）やロボットハンド２０００のような小さな空間でも配線を配置することが可能になる。
【００５３】
図１７は、上述の圧電駆動部１０を利用した送液ポンプ２２００の一例を示す説明図である。送液ポンプ２２００は、ケース２２３０内に、リザーバー２２１１と、チューブ２２１２と、圧電駆動部１０と、ローター２２２２と、減速伝達機構２２２３と、カム２２０２と、複数のフィンガー２２１３、２２１４、２２１５、２２１６、２２１７、２２１８、２２１９と、が設けられている。リザーバー２２１１は、輸送対象である液体を収容するための収容部である。チューブ２２１２は、リザーバー２２１１から送り出される液体を輸送するための管である。圧電駆動部１０の接触部材２０は、ローター２２２２の側面に押し付けた状態で設けられており、圧電駆動部１０がローター２２２２を回転駆動する。ローター２２２２の回転力は減速伝達機構２２２３を介してカム２２０２に伝達される。フィンガー２２１３から２２１９はチューブ２２１２を閉塞させるための部材である。カム２２０２が回転すると、カム２２０２の突起部２２０２Ａによってフィンガー２２１３から２２１９が順番に放射方向外側に押される。フィンガー２２１３から２２１９は、輸送方向上流側（リザーバー２２１１側）から順にチューブ２２１２を閉塞する。これにより、チューブ２２１２内の液体が順に下流側に輸送される。こうすれば、極く僅かな量を精度良く送液可能で、しかも小型な送液ポンプ２２００を実現することができる。なお、各部材の配置は図示されたものには限られない。また、フィンガーなどの部材を備えず、ローター２２２２に設けられたボールなどがチューブ２２１２を閉塞する構成であってもよい。上記のような送液ポンプ２２００は、インシュリンなどの薬液を人体に投与する投薬装置などに活用できる。ここで、上述した実施形態の圧電駆動部１０を用いることにより、従来の圧電駆動装置よりも駆動電流が小さくなるので、投薬装置の消費電力を抑制することができる。従って、投薬装置を電池駆動する場合は、特に有効である。
【００５４】
・変形例：
なお、この発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。
【００５５】
・変形例１：
上記実施形態では、基板１２０の上に第１電極１３０と圧電体１４０と第２電極１５０とが形成されていたが、基板１２０を省略して、振動板２００の上に第１電極１３０と圧電体１４０と第２電極１５０とを形成するようにしてもよい。
【００５６】
・変形例２：
上記実施形態では、振動板２００の両面にそれぞれ１つの圧電振動体１００を設けていたが、圧電振動体１００の一方を省略することも可能である。但し、振動板２００の両面にそれぞれ圧電振動体１００を設けるようにすれば、振動板２００をその平面内で屈曲した蛇行形状に変形させることがより容易である点で好ましい。
【００５７】
以上、いくつかの実施例に基づいて本発明の実施の形態について説明してきたが、上記した発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨並びに特許請求の範囲を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその等価物が含まれることはもちろんである。
【符号の説明】
【００５８】
１０、１０ａ〜１０ｃ、１０ｓ１〜１０ｓ９…圧電駆動部    ２０、２０ｓ１〜２０ｓ９…接触部材    ５０…ローター    ５１、７１、７３…中心    ６０、７０、７２…被駆動部材    １００、１００ａ〜１００ｅ…圧電振動体    １２０…基板    １３０…第１電極    １４０…圧電体    １５０、１５０ａ〜１５０ｅ…第２電極（導電体層）    １５１、１５２…配線    ２００…振動板    ２０５…中心    ２１０…振動体部    ２１１…第１面    ２１２…第２面    ２２０…接続部    ２３０…取付部    ２４０…ネジ    ３００…駆動回路    ３１０…配線    ３３０…制御回路    ３３５…基準クロック発生回路    ３４０…波形形成回路    ３４２、３４４…分周回路    ３５０、３５２…増幅回路    １０００、１０００ｓ〜１０００ｘ…圧電駆動装置    ２０００…ロボットハンド    ２００３…把持部    ２０１０…アーム    ２０１２…リンク部    ２０２０…関節部    ２０２２…手首回動部    ２０５０…ロボット    ２２００…送液ポンプ    ２２０２…カム    ２２０２Ａ…突起部    ２２１１…リザーバー    ２２１２…チューブ    ２２１３…フィンガー    ２２２２…ローター    ２２２３…減速伝達機構    Ｃｌｋ…基準クロック信号    ＤＳ…デジタル信号    Ｄｒｖ１、Ｄｒｖ２…駆動信号    Ｌ２０ｓ１ｃ〜Ｌ２０ｓ９ｃ…中心線    Ｌ２０ｓ１〜Ｌ２０Ｓ９…軌跡    Ｐ１…第１位置    Ｐ２…第２位置    Ｐ３…第３位置    Ｐ４…第４位置    Ｔ１、Ｔ２…周期    Ｖ１、Ｖ２…電圧
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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