(57)【要約】【課題】基板の伸縮等により基板上のパターンピッチ寸法が変わっても、マスクを高精度に位置合わせ可能なスクリーン印刷装置および導電性ボール印刷搭載装置を提供する。【解決手段】複数のマスク位置識別マーク１１１が付されたマスク１１０を固定するマスク固定部と、複数の基板位置識別マーク２０１が付された基板２００を保持する基板テーブル２０と、マスク位置識別マーク１１１および基板位置識別マーク２０１を撮像する認識カメラ３０と、マスク１１０のテンションを調整することにより、マスク位置識別マーク間の距離であるマスクピッチを調整するマスクピッチ調整手段５０と、を備える。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のマスク位置識別マークが付されたマスクを固定するマスク固定部と、
複数の基板位置識別マークが付された基板を保持する基板テーブルと、
前記マスク位置識別マークおよび前記基板位置識別マークを撮像する認識カメラと、
前記マスクのテンションを調整することにより、前記マスク位置識別マーク間の距離であるマスクピッチを調整するマスクピッチ調整手段と、を備える
ことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項２】
前記マスクピッチ調整手段は、
前記マスクに押し込む押し込みバーと、
前記マスクに対して、前記押し込みバーと反対側の面に配置される押し込み受け部と、を備え、
押し込みバーを前記マスクに対して垂直に押し込むことにより、前記マスクピッチを調整する
ことを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項３】
前記マスクピッチ調整手段は、
サーボモータと、
前記サーボモータの回転軸に取り付けられたウォームギヤと、
前記ウォームギヤが回転することにより回転する平歯車と、
前記平歯車の回転運動を直動運動に変換するボールねじと、
前記ボールねじの直動運動により上下動する押し込みバーと、を備える
ことを特徴とする請求項２に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項４】
前記認識カメラで撮像した画像に基づいて、前記マスクピッチおよび前記基板位置識別マーク間の距離である基板ピッチを検出し、前記マスクピッチと前記基板ピッチの差であるピッチズレ量を検出するピッチズレ量検出部と、
前記ピッチズレ量に基づいて、前記押し込みバーの押し込み量を演算する押し込み量演算部と、を更に備える
ことを特徴とする請求項２または請求項３に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項５】
複数のマスク位置識別マークが付されたマスクを固定するマスク固定部と、
複数の基板位置識別マークが付された基板を保持する基板テーブルと、
前記マスク位置識別マークおよび前記基板位置識別マークを撮像する認識カメラと、
前記マスクのテンションを調整することにより、前記マスク位置識別マーク間の距離であるマスクピッチを調整するマスクピッチ調整手段と、を備える
ことを特徴とする導電性ボール印刷搭載装置。
【請求項６】
前記マスクピッチ調整手段は、
前記マスクに押し込む押し込みバーと、
前記マスクに対して、前記押し込みバーと反対側の面に配置される押し込み受け部と、を備え、
押し込みバーを前記マスクに対して垂直に押し込むことにより、前記マスクピッチを調整する
ことを特徴とする請求項５に記載の導電性ボール印刷搭載装置。
【請求項７】
前記マスクピッチ調整手段は、
サーボモータと、
前記サーボモータの回転軸に取り付けられたウォームギヤと、
前記ウォームギヤが回転することにより回転する平歯車と、
前記平歯車の回転運動を直動運動に変換するボールねじと、
前記ボールねじの直動運動により上下動する押し込みバーと、を備える
ことを特徴とする請求項６に記載の導電性ボール印刷搭載装置。
【請求項８】
前記認識カメラで撮像した画像に基づいて、前記マスクピッチおよび前記基板位置識別マーク間の距離である基板ピッチを検出し、前記マスクピッチと前記基板ピッチの差であるピッチズレ量を検出するピッチズレ量検出部と、
前記ピッチズレ量に基づいて、前記押し込みバーの押し込み量を演算する押し込み量演算部と、を更に備える
ことを特徴とする請求項６または請求項７に記載の導電性ボール印刷搭載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン印刷装置および導電性ボール印刷搭載装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント基板や半導体向けウエハ基板等の基板へ各種のペーストを塗布したり導電性ボールを印刷搭載したりする際には、ペーストが塗布されるパターンやボール印刷搭載されるパターン等が形成されたスクリーンマスク版の位置合せマークに対し、基板の位置合せマークを視覚認識して位置合せすることにより位置決めし、ペースト塗布精度や導電性ボール搭載精度を高精度に印刷している。
【０００３】
一方で、スクリーンマスクの経時変化や各種基板の収縮変形を要因とした位置合せ不良が存在している。特に昨今の高密度実装化・小型化に伴い基板板厚が非常に薄くなってきており、基板の収縮変形による不良が増加している。
【０００４】
特許文献１（特開２００９−５６７０６号公報）には、メタルマスク版の接合方法により、搭載位置精度の低下を防止し、耐久性を向上し、高精度な印刷搭載を長期に亘り維持できるようにしたメタルマスク版について開示されている。
【０００５】
特許文献２（特開平３−１９４５号公報）には、スクリーンメッシュの張力を均一にし、高精度なスクリーンマスクを提供するスクリーンメッシュ締張装置について開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−５６７０６号公報
【特許文献２】特開平３−１９４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
近年のモバイル携帯端末の爆発的な普及やウェアラブル端末開発の加速に伴い、プリント基板や実装用電子部品の小型・薄型化そして高密度実装化が求められている。これに伴い、位置合せ精度の高精度化・精度確保が問題となっている。
【０００８】
特許文献１または特許文献２に記載された方法によれば、スクリーンマスクやメタルマスクを高精度に製作・維持することができる。一方、薄型化が進展している各種基板の収縮変形によりパターンのピッチ誤差が発生し、位置ズレ・位置精度不良となり、製品の歩留まりを低下させるという問題があった。
【０００９】
このような問題に対して、従来、基板の製作ロット毎にあらかじめ基板上のパターンピッチ寸法を測定し、スクリーンマスク製造時点にスケーリングファクタにより目標寸法を変更して製造し、ロット毎にマスク変更し生産を行う方法を採用している。
【００１０】
このため、基板の製造ロットや基板上のパターンピッチ精度が変わる度にスケーリングファクタを変更しマスクを製造し直しておくことや、予めピッチ寸法を変更したマスクを複数準備しておくことが必要であり、製造コストが上昇・段取り時間が増加する要因となっていた。
【００１１】
そこで、本発明は、基板の伸縮等により基板上のパターンピッチ寸法が変わっても、マスクを高精度に位置合わせ可能なスクリーン印刷装置および導電性ボール印刷搭載装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
このような課題を解決するために、本発明は、複数のマスク位置識別マークが付されたマスクを固定するマスク固定部と、複数の基板位置識別マークが付された基板を保持する基板テーブルと、前記マスク位置識別マークおよび前記基板位置識別マークを撮像する認識カメラと、前記マスクのテンションを調整することにより、前記マスク位置識別マーク間の距離であるマスクピッチを調整するマスクピッチ調整手段と、を備えることを特徴とするスクリーン印刷装置である。
【００１３】
また、本発明は、複数のマスク位置識別マークが付されたマスクを固定するマスク固定部と、複数の基板位置識別マークが付された基板を保持する基板テーブルと、前記マスク位置識別マークおよび前記基板位置識別マークを撮像する認識カメラと、前記マスクのテンションを調整することにより、前記マスク位置識別マーク間の距離であるマスクピッチを調整するマスクピッチ調整手段と、を備えることを特徴とする導電性ボール印刷搭載装置である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、基板の伸縮等により基板上のパターンピッチ寸法が変わっても、マスクを高精度に位置合わせ可能なスクリーン印刷装置および導電性ボール印刷搭載装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本実施形態に係るスクリーン印刷装置を装置正面からみた概略構成模式図である。
【図２】本実施形態に係るスクリーン印刷装置を装置側面からみた構成模式図である。
【図３】スクリーン印刷時における本実施形態に係るスクリーン印刷装置を装置側面からみた構成模式図である。
【図４】本実施形態に係るスクリーン印刷装置を装置側面からみた構成模式図である。
【図５】清掃時における本実施形態に係るスクリーン印刷装置を装置側面からみた構成模式図である。
【図６】本実施形態に係るスクリーン印刷装置が備えるマスクピッチ調整機構の構成模式図である。
【図７】開口部および押し込み受け部を有するホルダープレートの斜視図である。
【図８】マスクピッチ調整機構によりスクリーンマスクを引き延ばした状態を示す構成模式図である。
【図９】印刷テーブルを上昇させた状態を示す構成模式図である。
【図１０】スクリーン印刷時の状態を示す構成模式図である。
【図１１】マスクピッチ調整機構の押し込みバー、開口部および押し込み受け部を有するホルダープレートと、スクリーンマスク版枠体と、を上からみた配置図である。
【図１２】（ａ）はピッチ調整機構の押し込みバー付近の拡大図であり、（ｂ）は力のベクトル図である。
【図１３】押し込みバーの押し込み量と、スクリーンマスクのマスクピッチ寸法の伸び量と、の関係を示したグラフの一例である。
【図１４】変形例に係るピッチ調整機構の押し込みバー付近の拡大図である。
【図１５】従来例に係るスクリーン印刷装置のスクリーンマスクと基板との関係を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明を実施するための形態（以下「実施形態」という）について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図において、共通する部分には同一の符号を付し重複した説明を省略する。
【００１７】
≪スクリーン印刷装置≫
まず、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１について、図１から図３を用いて説明する。図１は、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１を装置正面（基板２００の搬送方向に対して横）からみた概略構成模式図である。図２は、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１を装置側面（基板２００の搬送方向の下流側）からみた構成模式図である。図３は、スクリーン印刷時における本実施形態に係るスクリーン印刷装置１を装置側面（基板２００の搬送方向の下流側）からみた構成模式図である。
【００１８】
図１および図２に示すように、スクリーン印刷装置１は、スキージヘッド１０と、スキージ１１と、スキージ昇降機構１２と、スキージ移動機構１３と、スクリーンマスク版枠体１００を固定する版枠固定部（図示せず）と、基板２００を保持する印刷テーブル２０と、印刷テーブル昇降機構２２と、ＸＹθテーブル２３と、基板搬入コンベア２４と、テーブルコンベア２５と、基板搬出コンベア２６と、認識カメラ３０と、印刷機架台４０と、ペースト３００（図３参照）を供給する材料供給部（図示せず）と、制御部（図示せず）と、を備えている。また、図１および図２では図示を省略しているが、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１は、後述する図６等に示すように、スクリーンマスク１１０を引き延ばすマスクピッチ調整機構５０を備えている。
【００１９】
図１に示すように、スキージ１１はスキージヘッド１０に支持されており、図２および図３に示すように、スキージ昇降機構１２により上下方向に移動することができるようになっている。また、スキージ移動機構１３がスキージヘッド１０をスキージ移動方向（図１において紙面の前後方向、図２において左右方向）に移動させることにより、スキージ１１をスキージ移動方向に移動させることができるようになっている。なお、制御部（図示せず）は、スキージ昇降機構１２およびスキージ移動機構１３の動作を制御することができるようになっている。
【００２０】
ちなみに、図２および図３に示すように、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１は、アタック角度が異なるスキージ１１およびスキージ昇降機構１２を２つ備えており、それぞれのスキージ１１がスキージ昇降機構１２により独立して上下方向に移動することができるようになっている。これにより、往き方向と戻り方向とでスクリーン印刷を行うことができるようになっている。なお、図示は省略するが、フラックス印刷等の場合は、一方のステージ昇降機構１２にスキージ１１を取り付けて使い、他方のステージ昇降機構１２にはスクレーパ（図示せず）と呼ばれる部材を取り付けて使用することができるようになっている。
【００２１】
スクリーンマスク版枠体１００は、図１に示すように、スクリーンマスク１１０を版枠１２０に固定して構成されている。そして、スクリーンマスク版枠体１００の版枠１２０は、スクリーン印刷装置１の版枠固定部（図示せず）により固定されている。これにより、スクリーン印刷時のスキージ１１とスクリーンマスク１１０との摩擦抵抗により、スクリーンマスク１１０が位置ずれしないようになっている。なお、スクリーンマスク１１０には、スクリーン印刷の際、基板２００と位置合わせをするための位置識別マーク１１１（後述する図６参照）が付されている。同様に、基板２００には、スクリーン印刷の際、スクリーンマスク１１０と位置合わせをするための位置識別マーク２０１（後述する図６参照）が付されている。
【００２２】
図１に示すように、印刷テーブル２０は、印刷テーブル昇降機構２２により印刷テーブル２０が上下方向に移動することができるようになっている。印刷テーブル２０が上昇することにより、印刷テーブル２０はテーブルコンベア２５で搬送された基板２００を持ち上げて保持することができ、さらに印刷テーブル２０が上昇することにより、基板２００をスクリーンマスク１１０と接する位置まで持ち上げることができるようになっている。ＸＹθテーブル２３は、印刷テーブル２０をＸＹ方向（水平方向）およびθ方向（水平面に対して垂直な軸を回転軸とする回転方向）に移動する、即ち、印刷テーブル２０に保持された基板２００をＸＹ方向（水平方向）およびθ方向に移動することができるようになっている。なお、制御部（図示せず）は、印刷テーブル昇降機構２２およびＸＹθテーブル２３の動作を制御することができるようになっている。
【００２３】
図１に示すように、基板搬入コンベア２４は、前工程の装置（図示せず）から基板２００を搬入するものである。テーブルコンベア２５は、基板搬入コンベア２４で搬送された基板２００を印刷テーブル２０で保持する位置に搬送するものである。基板搬出コンベア２６は、基板２００を後工程の装置（図示せず）へ搬出するものである。なお、制御部（図示せず）は、基板搬入コンベア２４、テーブルコンベア２５および基板搬出コンベア２６の動作を制御することができるようになっている。
【００２４】
図２に示すように、認識カメラ３０は、上方向を撮像可能な上カメラ３０ａと、下方向を撮像可能な下カメラ３０ｂと、を備え、図示しない認識カメラ移動手段により、ＸＹ方向（水平方向）を移動することができるようになっている。これにより、認識カメラ３０は、上カメラ３０ａによりスクリーンマスク１１０の下面（裏面）から撮像することができるようになっており（図２の矢印参照）、また、下カメラ３０ｂにより基板２００の上面（表面）から撮像することができるようになっている（図２の矢印参照）。なお、認識カメラ移動手段（図示せず）は、認識カメラ３０のＸＹ方向の位置情報を制御部（図示せず）に出力するようになっている。また、認識カメラ３０は、上カメラ３０ａおよび下カメラ３０ｂで撮像した画像情報を制御部（図示せず）に出力するようになっている。
【００２５】
図４は、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１を装置側面（基板２００の搬送方向の下流側）からみた構成模式図である。図５は、清掃時における本実施形態に係るスクリーン印刷装置１を装置側面（基板２００の搬送方向の下流側）からみた構成模式図である。
【００２６】
また、図４および図５に示すように、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１は、版下清掃装置３１を備えていてもよい。スクリーン印刷時は、図４に示すように、版下清掃装置３１は、印刷テーブル２０（印刷テーブル昇降機構２２、ＸＹθテーブル２３）や認識カメラ３０（認識カメラ移動手段）の動作を妨げることのない待機位置に停止している。そして、繰り返しスクリーン印刷を行ったことにより、スクリーンマスク１１０の裏面にペースト３００（図３参照）のペーストにじみや汚れが発生した場合、図５に示すように、版下清掃装置３１を用いてスクリーンマスク１１０の裏面を清掃することができるようになっている。
【００２７】
≪マスクピッチ調整機構≫
次に、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１が備えるマスクピッチ調整機構５０について図６から図１１を用いて説明する。図６は、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１が備えるマスクピッチ調整機構５０の構成模式図である。図７は、開口部５７および押し込み受け部５８を有するホルダープレート５６の斜視図である。
【００２８】
図６に示すように、マスクピッチ調整機構５０は、サーボモータ５１と、ウォームギヤ５２と、平歯車５３と、ボールねじ５４と、押し込みバー５５と、開口部５７および押し込み受け部５８を有するホルダープレート５６（図７を併せて参照）と、架台５９と、を備えて構成されている。
【００２９】
サーボモータ５１は、制御部（図示せず）によりその回転が制御され、回転軸に取り付けられたウォームギヤ５２を回転させる。そして、ウォームギヤ５２は、平歯車５３を回転させる。なお、ウォームギヤ５２と平歯車５３とは、高い減速比を有している。平歯車５３の回転運動は、ボールねじ５４により上下方向（垂直方向）の直動運動に変換され、押し込みバー５５が上下方向（垂直方向）に直動運動することができるようになっている。即ち、制御部（図示せず）は、サーボモータ５１を制御することにより、押し込みバー５５を上下方向（垂直方向）に移動させることができるようになっている。なお、押し込みバー５５の先端部５５ａは、曲面で構成されている。
【００３０】
ホルダープレート５６の上面にはスクリーンマスク１１０（スクリーンマスク版枠体１００）が載置され、スクリーンマスク版枠体１００の版枠１２０は版枠固定部（図示せず）によりホルダープレート５６に固定されるようになっている。ホルダープレート５６の中央には、開口部５７が形成されており、認識カメラ３０（上カメラ３０ａ）がスクリーンマスク１１０の位置識別マーク１１１を撮像することが可能であり、また、印刷テーブル２０を上昇させることによりスクリーンマスク１１０の下面に基板２００の上面を接触させることができるようになっている。
【００３１】
図６および図７に示すように、ホルダープレート５６に形成された開口部５７よりも外側で、押し込みバー５５が下降してくる位置には、押し込み受け部５８が形成されている。押し込み受け部５８の幅（図６において左右方向の幅）は、押し込みバー５５の厚さ（図６において左右方向の厚さ）よりも広くなるように形成されている。また、押し込み受け部５８の受け部端部５８ａは、曲面で構成されている。なお、押し込み受け部５８は、図６ではホルダープレート５６を貫通する孔として図示しているが、これに限られるものではなく、押し込みバー５５が下降するのに十分な深さを有していれば有底の凹部であってもよい。
【００３２】
図１１は、マスクピッチ調整機構５０の押し込みバー５５、開口部５７および押し込み受け部５８を有するホルダープレート５６と、スクリーンマスク版枠体１００と、を上からみた配置図である。
【００３３】
図１１に示すように、押し込みバー５５および押し込み受け部５８は、ホルダープレート５６の開口部５７の外側の周囲４辺に設けられている。また、各押し込みバー５５の長手方向の幅は、スクリーンマスク版枠体１００のスクリーンマスク１１０に形成されたパターン（図１１では、スクリーンマスク版枠体１００の中央付近に図示された白抜き丸群として図示している）が形成されている領域の幅よりも長くなるようになっている。これにより、パターンが形成されている領域のスクリーンマスク１１０を均一に伸ばすことができるようになっている（図１１の矢印参照）。
【００３４】
≪スクリーン印刷装置の動作≫
次に、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１の動作例について説明する。
【００３５】
まず、制御部（図示せず）は、図１および図２に示す印刷テーブル昇降機構２２を制御して印刷テーブル２０を上昇させ、基板搬入コンベア２４およびテーブルコンベア２５で搬送された基板２００を印刷テーブル２０の上に保持させる。
【００３６】
次に、図６に示すように、制御部（図示せず）は、認識カメラ移動手段（図示せず）を制御して一方の位置識別マーク１１１，２０１を撮像可能な位置まで認識カメラ３０を移動させ、認識カメラ３０で位置識別マーク１１１，２０１を撮像する。そして、制御部（図示せず）は、認識カメラ移動手段（図示せず）を制御して他方の位置識別マーク１１１，２０１を撮像可能な位置まで認識カメラ３０を移動させ、認識カメラ３０で位置識別マーク１１１，２０１を撮像する。なお、ここでは、認識カメラ３０が１台であるものとして説明したが、認識カメラ３０を複数備え、認識カメラ３０の移動時間を短縮するように構成してもよい。
【００３７】
次に、制御部（図示せず）のマーク位置検出部（図示せず）は、一方の位置識別マーク２０１を撮像した認識カメラ３０の位置および撮像された画像上の一方の位置識別マーク２０１の位置から、一方の位置識別マーク２０１の位置座標を検出する。同様に、マーク位置検出部（図示せず）は、他方の位置識別マーク２０１の位置座標、一方の位置識別マーク１１１の位置座標および他方の位置識別マーク１１１の位置座標を検出する。
【００３８】
次に、制御部（図示せず）のピッチズレ量検出部（図示せず）は、基板２００上の一方の位置識別マーク２０１の位置座標から他方の位置識別マーク２０１の位置座標までの距離である基板ピッチ寸法と、スクリーンマスク１１０下部の一方の位置識別マーク１１１の位置座標から他方の位置識別マーク１１１の位置座標までの距離であるマスクピッチ寸法と、を算出し、基板ピッチ寸法とマスクピッチ寸法との差分であるピッチズレ量を検出する。
【００３９】
図８は、マスクピッチ調整機構５０によりスクリーンマスク１１０を引き延ばした状態を示す構成模式図である。
図８に示すように、制御部（図示せず）は、ピッチズレ量に基づいて、マスクピッチ調整機構５０のサーボモータ５１を制御して、押し込みバー５５をスクリーンマスク１１０に押し付ける。このように押し込みバー５５をスクリーンマスク１１０に押し付けることにより、スクリーンマスク１１０が水平方向に引き延ばされ、マスクピッチ寸法が大きくなる。
【００４０】
そして、ピッチズレ量が所定の許容量以下となると、制御部（図示せず）は、サーボモータ５１を停止させる。ここで、マスクピッチ調整機構５０のウォームギヤ５２，平歯車５３は高い減速比を有しており、また、マスクピッチ調整機構５０は回転運動を直動運動に変換するボールねじ５４の構造を有している。このような構成により、特段の係止機構を設けなくとも、押し込みバー５５は、スクリーンマスク１１０の反張力で上方に押し戻されることなく、その位置で静止させることができる。
【００４１】
次に、制御部（図示せず）は、ＸＹθテーブル２３を制御して、基板２００の位置識別マーク２０１の位置座標が、引き延ばされたスクリーンマスク１１０の位置識別マーク１１１の位置座標と対応するように、基板２００を移動させる。
【００４２】
図９は、印刷テーブル２０を上昇させた状態を示す構成模式図である。
図９に示すように、制御部（図示せず）は、印刷テーブル昇降機構２２（図１参照）を制御して印刷テーブル２０を上昇させ、スクリーンマスク１１０の位置識別マーク１１１と基板２００の位置識別マーク２０１が位置合わせされた状態でスクリーンマスク１１０の下面に基板２００の上面を接触させる。
【００４３】
図１０は、スクリーン印刷時の状態を示す構成模式図である。
制御部（図示せず）は、図３に示すように、材料供給部（図示せず）からペースト３００を供給し、図１０に示すように、スキージ昇降機構１２（図３参照）およびスキージ移動機構１３（図３参照）を制御してスキージ１１を移動させ、スクリーン印刷を行う。
【００４４】
基板２００へのスクリーン印刷が終了すると、制御部（図示せず）は、印刷テーブル昇降機構２２（図１参照）を制御して印刷テーブル２０を下降させ、基板２００をテーブルコンベア２５および基板搬出コンベア２６により後処理の装置（図示せず）へと搬出する。
【００４５】
≪作用効果≫
本実施形態に係るスクリーン印刷装置１の作用効果について説明する。
【００４６】
図１５は、従来例に係るスクリーン印刷装置のスクリーンマスク１１０と基板２００との関係を示した図である。図１５に示すように、従来例に係るスクリーン印刷装置では、基板２００が伸縮することにより、スクリーンマスク１１０のパターンと基板２００のパターンとが合わなくなることがあった。
【００４７】
これに対し、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１は、図６に示すマスクピッチ調整機構５０を備えていることにより、スクリーンマスク１１０のマスクピッチ寸法を調整することができるようになっている。これにより、スクリーンマスク１１０のマスクピッチ寸法と基板２００の基板ピッチ寸法とを合わせる、即ち、スクリーンマスク１１０のパターンと基板２００のパターンとを合わせることができる。
【００４８】
これにより、スクリーン印刷の精度を向上させることができるので、従来よりも高品質なスクリーン印刷が可能となり、微細なパターンのスクリーン印刷が可能となる。また、伸縮の発生しやすい薄型の基板２００であっても、高品質・高精度のスクリーン印刷が可能となり、製品の歩留まりの向上に貢献する。
【００４９】
図１２（ａ）は、ピッチ調整機構５０の押し込みバー５５付近の拡大図であり、図１２（ｂ）は、力のベクトル図である。図１２（ａ）に示すように、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１のピッチ調整機構５０は、押し込みバー５５をスクリーンマスク１１０に対して垂直に押し込む（押し込み力Ｆ）ことにより、スクリーンマスク１１０を引き延ばす張力Ｔを発生させる様になっている。ここで、図１２（ｂ）に示すように、例えば、押し込み受け部５８の半値幅Ｘの寸法を２７［ｍｍ］とし、押し込みバー５５の押し込み量Ｚを５［ｍｍ］とし、６００ｋｇの張力Ｔを発生させるための押し込みバー５５の押し込み力Ｆは約１０９ｋｇとなる。即ち、押し込みバー５５をスクリーンマスク１１０に対して垂直に押し込む構成とすることにより、小さい力（押し込み力Ｆ）でスクリーンマスク１１０を引き延ばすのに必要な張力Ｔを発生させることができる。
【００５０】
また、図６に示すように、押し込みバー５５の先端部５５ａは曲面で形成され、押し込み受け部５８の受け部端部５８ａは曲面で形成されている。これにより、押し込みバー５５をスクリーンマスク１１０に対して垂直に押し込んだ際、スクリーンマスク１１０が傷ついたり、破損したりすることを防止する。
【００５１】
図１３は、押し込みバー５５の押し込み量と、スクリーンマスク１１０のマスクピッチ寸法の伸び量と、の関係を示したグラフの一例である。図１３に示すように、押し込みバー５５の押し込み量とスクリーンマスク１１０のマスクピッチ寸法の伸び量との間には、一定の関係性が得られる。このようなスクリーンマスク１１０の特性を制御部（図示せず）に予め入力しておけば、ピッチズレ量検出部（図示せず）で検出したピッチズレ量から押し込みバー５５の押し込み量、即ち、サーボモータ５１の制御量を容易に算出することができる。
【００５２】
≪変形例≫
なお、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々の変更が可能である。
【００５３】
図１４は、変形例に係るピッチ調整機構５０の押し込みバー５５Ｂ付近の拡大図である。本実施形態に係るスクリーン印刷装置１では、図６に示すように、押し込みバー５５の先端部５５ａは曲面で形成されるものとして説明したが、これに限定されるものではない。図１４に示すように、押し込みバー５５Ｂの先端部に、ボール６０と、ボール６０を回転自在に支持するボール受け部６１と、を有する構造としてもよい。ここで、図１１に示すように、ピッチ調整機構５０は、２組の押し込みバー５５で、図１１の紙面において左右方向および上下方向にスクリーンマスク１１０を引き延ばすようになっている。このため、左右方向に引っ張る押し込みバー５５とスクリーンマスク１１０との接触部では、左右方向だけでなく上下方向（押し込みバー５５の長手方向）にも引っ張られることとなる。このため、図１４に示すように押し込みバー５５Ｂの先端部を回転自在なボール６０でスクリーンマスク１１０と接触するようにすることにより、押し込みバー５５の長手方向の摩擦を低減することができる。
【００５４】
なお、図示は省略するが、押し込み受け部５８の受け部端部５８ａに回転自在なボールを配置して、摩擦を低減するようにしてもよい。
【００５５】
図６に示すように、スクリーンマスク１１０を引き延ばす方向に対して、２つの押し込みバー５５を左右に設けるものとして説明したが、これに限られるものではなく、一方のみであってもよい。このような構成であっても本実施形態に係るスクリーン印刷装置１と同様の作用効果を得られる。但し、押し込みバー５５を一方のみとすると、スクリーンマスク１１０の伸び量に対する押し込みバー５５の押し込み量が大きくなる。このため、図６のように押し込みバー５５を左右に設けることが望ましい。
【００５６】
また、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１は、コンタクト印刷するものとして説明したが、これに限られるものではなく、ギャップ印刷（オフコンタクト印刷）にも適用することができる。
【００５７】
また、本実施形態は、パターンが形成されたスクリーンマスク１１０と、スキージブラシ１１を用いて、基板２００にペースト３００をスクリーン印刷するスクリーン印刷装置１について、ピッチ調整機構５０を適用する場合を例に説明したが、これに限られるものではない。例えば、導電性ボールが挿通可能な開口部を有するマスクと、スキージブラシと、を用いて、導電性ボールを基板上に配置する導電性ボール印刷搭載装置について、ピッチ調整機構５０を適用してもよい。この場合でも、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１と同様の作用効果を得られる。
【００５８】
また、フォトマスクを用いる露光装置において、ピッチ調整機構５０を適用し、露光対象基板の伸縮に対応して、フォトマスクを引き延ばす露光装置としてもよい。この場合でも、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１と同様の作用効果を得られる。
【符号の説明】
【００５９】
１      スクリーン印刷装置
１０    スキージヘッド
１１    スキージ
２０    印刷テーブル（基板テーブル）
２２    印刷テーブル昇降機構
２３    ＸＹθテーブル
３０    認識カメラ
３０ａ  上カメラ
３０ｂ  下カメラ
５０    マスクピッチ調整機構（マスクピッチ調整手段）
５１    サーボモータ
５２    ウォームギヤ
５３    平歯車
５４    ボールねじ
５５    押し込みバー
５５ａ  先端部
５６    ホルダープレート（マスク固定部）
５７    開口部
５８    押し込み受け部
５８ａ  受け部端部
１００  スクリーンマスク版枠体
１１０  スクリーンマスク（マスク）
１１１  位置識別マーク（マスク位置識別マーク）
１２０  版枠
２００  基板
２０１  位置識別マーク（基板位置識別マーク）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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