(57)【要約】      （修正有）【課題】構造が簡単であり、処理効率が高く、業務施設で発生される大量の被処理ガスを脱臭処理しうるプラズマ処理装置を提供する。【解決手段】内周面を電極とする筒状外側電極１１と、筒状外側電極１１の内部で、絶縁スペーサー１３により同心状に保持され、外周面を電極とする筒状内側電極１２と、筒状外側電極１１と筒状内側電極１２の間に形成される処理空間１５に被処理ガスを導入するためのインレット１４と、処理済みガスを排気するためのアウトレット１６を備えた放電部１０と、筒状外側電極１１と筒状内側電極１２の間に所定の電圧を印加する電源部４０を備え、筒状外側電極１１と筒状内側電極１２の間に火花放電を発生させない電圧を印加する。【選択図】図１
2016007551.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内周面を電極とする筒状外側電極と、外周面を電極とする筒状内側電極と、前記筒状外側電極の内部で、前記筒状内側電極を前記筒状外側電極と同心状に保持するための複数の絶縁スペーサーを有し、前記筒状外側電極と前記筒状内側電極の間に形成される空間をプラズマ処理が行われる処理空間とし、前記筒状外側電極の一方の端部を前記処理空間に被処理ガスを導入するためのインレットとし、前記筒状外側電極の他方の端部を前記処理空間から処理済みガスを排気するためのアウトレットとする放電部と、前記筒状外側電極と前記筒状内側電極の間に所定の電圧を印加する電源部とを備えたプラズマ処理装置であって、
前記筒状外側電極の内径をＤ１、前記筒状内側電極の外径をＤ２として、
６≧Ｄ１／Ｄ２≧３
Ｄ１−Ｄ２≧２０ｍｍ
Ｄ２≧１０ｍｍ
前記筒状外側電極と前記筒状内側電極が対抗している部分の軸方向の長さをＬとして、
２０００ｍｍ≧Ｌ≧５００ｍｍ
の条件を満たし、
前記筒状外側電極と前記筒状内側電極の間に印加される電圧は、前記筒状外側電極の内周面と前記筒状内側電極の外周面の間で火花放電を発生させない電圧であることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項２】
前記筒状外側電極の内周面と前記筒状内側電極の外周面のいずれか一方又は両方に、カーボンを含む導電層が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ処理装置。
【請求項３】
前記筒状外側電極と前記筒状内側電極のいずれか一方又は両方はカーボンを含む導電性樹脂で形成されていることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ処理装置。
【請求項４】
複数の前記放電部が互いに平行に配列され、複数の前記放電部のインレントが同一のインレットパイプに連通され、かつ、複数の前記放電部のアウトレットがそれぞれ同一のアウトレットパイプに連通されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
【請求項５】
前記インレットパイプ及び前記アウトレットパイプは水平に保持され、かつ、垂直方向に平行に配列され、前記複数の放電部はそれぞれ前記インレットパイプ及び前記アウトレットパイプの間で垂直方向に保持され、かつ、水平方向に平行に配列されていることを特徴とする請求項４に記載のプラズマ処理装置。
【請求項６】
前記インレットパイプ及び前記アウトレットパイプは垂直に保持され、かつ、水平方向に平行に配列され、前記複数の放電部はそれぞれ前記インレットパイプ及び前記アウトレットパイプの間で水平方向に保持され、かつ、垂直方向に平行に配列されていることを特徴とする請求項４に記載のプラズマ処理装置。
【請求項７】
前記インレットパイプ及び前記アウトレットパイプと、前記インレットパイプ及び前記アウトレットパイプの間に平行に配列された前記複数の放電部を１つの放電部ユニットとして、複数の前記放電部ユニットを直列又は並列に接続したことを特徴とする請求項５又は６に記載のプラズマ処理装置。
【請求項８】
複数の前記放電部が互いに水平に保持され、かつ、水平方向又は垂直方向に平行に配列され、隣接する２つの前記放電部のうち一方の放電部のアウトレットと他方の放電部のインレットがＵ字管で連通されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
【請求項９】
前記放電部のアウトレット又は前記アウトレットパイプの下流側にブロワーが接続されていることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマを利用して、ＶＯＣ（Volatile Organic Compound:揮発性有機化合物）の分解や工業用施設において発生する臭気性の排ガスの脱臭処理、窒素酸化物などの有害物質の分解などを行うプラズマ処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、食品加工施設や食品保管施設、下水処理施設やゴミ処理施設などの業務施設から発生する臭気ガスを脱臭処理する方法の一つとして、プラズマ脱臭法が知られている。このプラズマ脱臭法は、被処理ガスが放電電極を通過する際に、放電電極によって発生される活性ラジカルによって臭気成分を分解し、他の物質に変化させて脱臭しようとするものである。
【０００３】
上記のような業務施設用のプラズマ処理装置としては、例えば特許文献１に記載されているようなものが知られている。この従来の業務用のプラズマ処理装置は、被処理ガス中の埃などをプレフィルタで除去し、さらに数ｋＶの高電圧が印加された放電極を通過させる。放電極からはコロナ放電が発生され、放電により放出された電子が被処理ガス中の臭気成分に衝突して，臭気成分の分子を活性化させる。活性化された分子の一部が電離され、ラジカルとなり、臭気成分を酸化分解させたり，オゾンを生成させたりする。オゾンも臭気成分を酸化させるため、被処理ガス中から臭気成分が除去され、被処理ガスが脱臭処理される。
【０００４】
特許文献１は、放電極に関して詳しくは記載していないが、放電極は、垂直に保持された網目状電極であり、放電によって放電極に硫酸アンモニウムや硝酸アンモニウムなどの分解困難な物質が付着し、プラズマ放電によるラジカルの発生が徐々に少なくなり、脱臭機能が低下することが知られている。特許文献１は、この放電極の汚れを洗浄することを特徴としたものである。また、コロナ放電を利用しているため、コロナ放電が発生した場所の付近でしかプラズマは発生せず、その分だけ処理効率は低くなる。
【０００５】
特許文献２に記載されたプラズマ処理装置は、大気圧、常温下でのプラズマ脱臭処理を目的としており、垂直方向に並列された被処理ガス供給管と処理済ガス排出管の間に、水平に保持された多数のキャピラリー放電管が垂直方向に配列され、各キャピラリー放電管の入口と出口に針電極が配置されている。そして、針電極に高電圧を印加し、コロナ放電を発生させて、被処理ガスがキャピラリー管を通過する間にプラズマによる脱臭処理を行っている。
【０００６】
特許文献２によれば、キャピラリー放電管は、外形１０ｍｍ、内径２〜３ｍｍ、長さ１００ｍｍ程度の絶縁管であり、針電極のキャップは２０ｍｍ程度である。キャピラリー放電管１本あたりの被処理ガスの流量は、コンマ数リットル／分〜数十リットル／分である。そのため、業務施設で発生される大量の被処理ガスを処理するためには、多数のキャピラリー放電管を用意しなければならず、プラズマ処理装置のコスト上昇の原因となる。また、２本の針電極をキャピラリー放電管の内部で正確な位置に保持しなければならず、プラズマ処理装置の維持管理が困難である。また、コロナ放電を利用しているため、処理効率が低くなる。
【０００７】
特許文献３に記載されたプラズマ処理装置は、内周面を放電面とする筒状外側電極と外周面を放電面とする筒状内側電極との間に被処理ガスを流入させ、プラズマ脱臭処理を行っている。この装置では、特に、筒状外側電極と筒状内側電極との間に形成される筒形環状通路の幅を狭くして放電電流密度を高くするとともに、筒形環状通路に被処理ガスを導入するガス導入部の断面積を徐々に狭くして，被処理ガスを筒状円筒通路内で螺旋状に旋回させながら流動させている。筒状円筒通路の隙間は１０ｍｍ以下が好ましいとされている。しかしながら、特許文献３の装置によれば、プラズマ処理が行われる筒状円筒通路の断面積が狭く、また、構造が複雑であるため、業務施設で発生される大量の被処理ガスを処理するには適していない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１０−２４０６３０号公報
【特許文献２】特開平１０−３２５号公報
【特許文献３】特開２００４−１８１２８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上記従来例の問題を解決するためになされたものであり、構造が簡単であり、処理効率が高く、業務施設で発生される大量の被処理ガスを脱臭処理しうるプラズマ処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために本発明に係るプラズマ処理装置は、内周面を電極とする筒状外側電極と、外周面を電極とする筒状内側電極と、前記筒状外側電極の内部で、前記筒状内側電極を前記筒状外側電極と同心状に保持するための複数の絶縁スペーサーを有し、前記筒状外側電極と前記筒状内側電極の間に形成される空間をプラズマ処理が行われる処理空間とし、前記筒状外側電極の一方の端部を前記処理空間に被処理ガスを導入するためのインレットとし、前記筒状外側電極の他方の端部を前記処理空間から処理済みガスを排気するためのアウトレットとする放電部と、前記筒状外側電極と前記筒状内側電極の間に所定の電圧を印加する電源部とを備え、
前記筒状外側電極の内径をＤ１、前記筒状内側電極の外径をＤ２として、
６≧Ｄ１／Ｄ２≧３
Ｄ１−Ｄ２≧２０ｍｍ
Ｄ２≧１０ｍｍ
前記筒状外側電極と前記筒状内側電極が対抗している部分の軸方向の長さをＬとして、
２０００ｍｍ≧Ｌ≧５００ｍｍ
の条件を満たし、
前記筒状外側電極と前記筒状内側電極の間に印加される電圧は、前記筒状外側電極の内周面と前記筒状内側電極の外周面の間で火花放電を発生させない電圧であることを特徴とする。
【００１１】
前記筒状外側電極の内周面と前記筒状内側電極の外周面のいずれか一方又は両方に、カーボンを含む導電層が形成されていてもよい。
【００１２】
または、前記筒状外側電極と前記筒状内側電極のいずれか一方又は両方はカーボンを含む導電性樹脂で形成されていてもよい。
【００１３】
複数の前記放電部が互いに平行に配列され、複数の前記放電部のインレントが同一のインレットパイプに連通され、かつ、複数の前記放電部のアウトレットがそれぞれ同一のアウトレットパイプに連通されていてもよい。
【００１４】
また、前記インレットパイプ及び前記アウトレットパイプは水平に保持され、かつ、垂直方向に平行に配列され、前記複数の放電部はそれぞれ前記インレットパイプ及び前記アウトレットパイプの間で垂直方向に保持され、かつ、水平方向に平行に配列されていてもよい。
【００１５】
または、前記インレットパイプ及び前記アウトレットパイプは垂直に保持され、かつ、水平方向に平行に配列され、前記複数の放電部はそれぞれ前記インレットパイプ及び前記アウトレットパイプの間で水平方向に保持され、かつ、垂直方向に平行に配列されていてもよい。
【００１６】
前記インレットパイプ及び前記アウトレットパイプと、前記インレットパイプ及び前記アウトレットパイプの間に平行に配列された前記複数の放電部を１つの放電部ユニットとして、複数の前記放電部ユニットを直列又は並列に接続してもよい。
【００１７】
あるいは、複数の前記放電部が互いに水平に保持され、かつ、水平方向又は垂直方向に平行に配列され、隣接する２つの前記放電部のうち一方の放電部のアウトレットと他方の放電部のインレットがＵ字管で連通されていてもよい。
【００１８】
前記放電部のアウトレット又は前記アウトレットパイプの下流側にブロワーが接続されていてもよい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、コロナ放電やグロー放電のような火花放電を利用しておらず、前記筒状外側電極と前記筒状内側電極の間に生じる電界により、被処理ガス中の電子を励起し，プラズマを発生させているので、広い範囲でプラズマが発生され、プラズマ処理効率が高くなる。また、複数の絶縁スペーサーによって筒状外側電極の内部で、筒状内側電極を筒状外側電極と同心状に保持しているので、従来のプラズマ処理装置に比べて構造が簡単である。さらに、筒状外側電極及び筒状外側電極及び被処理ガスの流速が上記条件を満たすことにより、従来のプラズマ処理装置に比べて大量に被処理ガスを処理することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施形態に係るプラズマ処理装置の基本パーツである放電部の構成を示す正面断面図。
【図２】上記放電部の構成を示す側面図。
【図３】複数の上記放電部を直列接続した構成例を示す図。
【図４】複数の上記放電部を並列接続してユニット化した構成例を示す図。
【図５】複数の上記放電部ユニットを並列接続した構成例を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明の一実施形態に係るプラズマ処理装置について説明する。図１に、本実施形態に係るプラズマ処理装置の構成を示す。このプラズマ処理装置は、前述の食品加工施設や食品保管施設、下水処理施設やゴミ処理施設などの他、半導体製造工場や塗装工場など、様々な業務施設において発生又は使用されるＶＯＣなどの被処理ガスを無臭又は無害な物質に分解処理するために用いられる。そのため、本発明に係るプラズマ処理装置は、設置される場所や被処理ガスの量などに応じて様々な変形が可能なように、システム化されている。
【００２２】
図１は、本発明のプラズマ処理装置１を構成する基本パーツを構成する放電部１０の構成を示す。なお、わかりやすくするため、図面の縦横比を変更している。放電部１０は、内周面を電極とする筒状外側電極１１（陰極）と、外周面を電極とする筒状内側電極１２（陽極）と、筒状外側電極１１の内部で、筒状内側電極１２を筒状外側電極１１と同心状に保持するための複数の絶縁スペーサー１３などで構成されている。筒状外側電極１１の一端１４をインレットとしてそこから被処理ガスが導入され、筒状外側電極１１と筒状内側電極１２の間に形成される処理空間１５で被処理ガスがプラズマ処理され、他端１６をアウトレットとしてそこから処理済ガスが排出される。
【００２３】
筒状外側電極１１及び筒状内側電極１２として、継ぎ目のないシームレスパイプを用いることが好ましく、その材料は特に限定されない。例えば、ステンレスパイプであってもよいし、例えばグラファイトやカーボンナノチューブなどのカーボンで強化された導電性樹脂（ＣＦＲＰ：Carbon Fiber Reinforced Plastics）パイプであってもよい。あるいは、ステンレスパイプの内周面又は外周面に、グラファイトやカーボンナノチューブなどのカーボンを含む樹脂層をコーティングしたものであってもよい。絶縁スペーサー１３は、耐薬品性及び耐熱性に優れた、例えばフッ素系樹脂などで形成され、図２に示すような略Ｘ状、あるいは略Ｙ状を有している。なお、シームレスのステンレスパイプは高価であり、重量が重いこと、４００℃以上の高温に耐えにくいこと、強酸及び強アルカリによって腐食する可能性があることから、カーボン樹脂チューブの方が好ましい。
【００２４】
プラズマ処理装置１は、大量の非処理ガスを処理するため、例えば、筒状外側電極１１の内径を１００ｍｍ、筒状内側電極１２の外径を２０ｍｍ、筒状外側電極１１と筒状内側電極１２が対抗している部分の軸方向の長さを１６００ｍｍとしている。この寸法は、一例であって、これに限定されるものではなく、筒状内側電極１２の外径は１０ｍｍ以上あればよい。一方、筒状外側電極１１の内径を大きくしすぎると、筒状外側電極１１の内周面と筒状内側電極１２の外周面の間の距離が長くなり、放電が起こりにくくなる。そのため、筒状外側電極１１の内径をＤ１、筒状内側電極１２の外径をＤ２として、
６≧Ｄ１／Ｄ２≧３
Ｄ１−Ｄ２≧２０ｍｍ
Ｄ２≧１０ｍｍ
の条件を満たすことが好ましい。また、筒状外側電極１１と筒状内側電極１２の長さを長くしすぎると、筒状外側電極１１の内周面と筒状内側電極１２の外周面を平行に保持することが困難となる、そのため、筒状外側電極１１と筒状内側電極１２が対抗している部分の軸方向の長さをＬとして、
２０００ｍｍ≧Ｌ≧５００ｍｍ
の条件を満たすことが好ましい。
【００２５】
筒状外側電極１１と筒状内側電極１２の間に１３，０００〜２５，０００Ｖの電圧を印加し、筒状外側電極１１の内周面と筒状内側電極１２の外周面との間で放電を発生させる。ここで、筒状外側電極１１の内周面及び筒状内側電極１２の外周面に凹凸があると、その箇所で火花放電が発生する。前述のように、コロナ放電など、火花放電が発生すると、その付近でしかプラズマは生成されず、プラズマ処理の効果が発揮されにくい。また、筒状外側電極１１と筒状内側電極１２の間に印加する電圧が高すぎたり、筒状外側電極１１の内周面及び筒状内側電極１２の外周面の距離が短すぎたりすると、火花放電が発生する可能性がある。従って、筒状外側電極１１と筒状内側電極１２の間に印加する電圧は、実際に製作される筒状外側電極１１と筒状内側電極１２の寸法に合わせて、適宜調節する。電圧２３，０００Ｖは、筒状外側電極１１の内周面と筒状内側電極１２の外周面との間の距離を４０ｍｍとした場合の火花放電を発生させないための上限値である。なお、筒状外側電極１１及び筒状内側電極１２と電源部４０との接続点は、特に限定されないが、図に示す構成例では、筒状外側電極１１と筒状内側電極１２の長手方向の中央部近傍としている。
【００２６】
プラズマによる被処理ガスの分解や脱臭作用は、様々な原理が複合的に作用して行われる。被処理ガスは、空気とＶＯＣなどの混合物であり、様々な物質が含まれている。筒状外側電極１１と筒状内側電極１２の間の処理空間１５で放電が生じると、被処理ガスに含まれる様々な物質が活性化され、プラズマ化される。すなわち、被処理ガス中に含まれるＶＯＣ等の被処理物質が直接プラズマ化され、他の物質に変換される場合がある。また、空気中の酸素などがプラズマ化され、それによってオゾンが発生され、そのオゾンによって被処理物質が酸化される場合もある。このように、様々な原理によって、被処理ガス中の被処理物質が、臭気性のないＣＯ２やＨ２Ｏなどの他の物質に変換され、ＶＯＣの分解や臭気ガスの脱臭、有害物質の分解などが行われる。
【００２７】
被処理ガスを放電部１０内の放電空間に供給するためのブロワー４１は、被処理ガスが発生される実験設備やクリーンルームとインレット１４の間（インレット１４の前方）に設けてもよいし、図３（ｂ）に示すように、アウトレット１６の後方に設けてもよい。このようなプラズマ処理装置は、どのような場面で使用されるか想定ができず、被処理物質の中には強酸性のものや強アルカリ性のものが含まれている可能性がある。被処理ガス又は処理済みガスが直接ブロワーを構成するインペラーなどに衝突することを考慮すると、ブロワーをアウトレット１６の後方に設けた方が好ましいといえる。被処理ガスの流速は、上記数値例の場合、被処理ガスの流速をＳとして、後述する構成例として、放電部２４本を並列に配置した場合、
５ｍ／秒≧Ｓ≧２．５ｍ／秒
が好ましい。ブロワーの吸引パワーに関しても、被処理ガスの量や放電部の本数などに応じて適宜調節することはいうまでもない。
【００２８】
図３は、複数の上記放電部１０を直列に接続した構成例を示す。図３中（ａ）は、例えば、２つの放電部１０Ａ及び１０Ｂを水平に保持し、かつ、水平方向又は垂直方向に平行に配置し、放電部１０Ａのアウトレット１６Ａともう一つの放電部１０Ｂのインレット１４ＢをＵ字管２０で接続している。放電部１０Ａのインレット１４Ａを被処理ガスが発生される実験設備やクリーンルームなどに接続し、他方の放電部１０Ｂのアウトレット１６Ｂに排気ブロワーを接続する。この使用例は、実験設備などの比較的小規模な施設に適する。また、放電部１０の直列数は、特に限定されず、図３（ｂ）に示すように、多数の放電部１０Ａ、１０Ｂ・・・をＵ字管２０Ａ、２０Ｂ・・・を介して、いわゆるつづら折り状に直列接続してもよい。これら複数の放電部１０の配列方向は、水平方向であってもよいし、ラック２１などを利用して垂直方向に配列してもよい。このように、筒状外側電極１１の外周部の両端にフランジを取り付けることによって、放電部１０の直列数を任意に選択することができ、且つ、Ｕ字管２０などの部品を共通化することによって、システム化することができる。
【００２９】
図４は、複数の上記放電部１０をインレットパイプ３１及びアウトレットパイプ３２によって並列に接続し、放電部をユニット化した構成例を示す。図４に示す放電部ユニット１は、インレットパイプ３１及びアウトレットパイプ３２を水平に保持し、かつ、垂直方向に平行に配置し、インレットパイプ３１とアウトレットパイプ３２の間に複数（例えば１２本）の放電部１０を垂直に保持し、かつ、水平方向に平行に配置したものである。インレットパイプ３１及びアウトレットパイプ３２として、例えば円筒状の管を用い、その両端部にフランジ３３を取り付けることによって、複数のユニットを直列又は並列に接続することも可能である。インレットパイプ３１とアウトレットパイプ３２は、地面に対して垂直な複数のラック３４によって、水平に保持されている。各放電部１０は、インレットパイプ３１とアウトレットパイプ３２の間で、インレット１４側が上に、アウトレット１６側が下になるように、複数の水平ホルダー３５によって垂直に保持されている。水平ホルダー３５は、ラック３４の間に装架されている。
【００３０】
図５は、図４に示す放電部ユニット１と同様の２つの放電部ユニット１Ａ及び１Ｂを並列接続した構成例を示す（ラック及び水平ホルダーの図示を省略）。水平に保持され、垂直方向の上方に平行に配列されたインレットパイプ３１Ａ及び３１Ｂの一方の端部に二股に分岐した補助インレットパイプ３６を接続し、他方の端部を塞いでいる。同様に、水平に保持され、垂直方向の下方に平行に配列されたアウトレットパイプ３２Ａ及び３２Ｂの一方の端部に二股に分岐した補助アウトレットパイプ３７を接続し、他方の端部を塞いでいる。補助インレットパイプ３６及び補助アウトレットパイプ３７の位置は、図示するように互いに逆方向であってもよいし、あるいは、同方向であってもよい。また、図示していないが、３つ以上の放電部ユニット１を並列接続してもよいし、複数の放電部ユニット１を直列接続したものを、さらに複数組並列接続してもよい。図５に示す構成例では、結果的に、放電部１０が２４本並列に配列されることになる。
【００３１】
また、図４に示す放電部ユニット１を垂直面内で９０度回転させ、インレットパイプ３１及びアウトレットパイプ３２を垂直に保持し、インレットパイプ３１とアウトレットパイプ３２の間に複数の放電部１０を水平に保持し、かつ、垂直方向に平行に配置して使用することも可能である。本実施形態に係るプラズマ処理装置は、上記のようにシステム化されているので、設置される場所や、被処理ガスの量などに応じて、様々な変形が可能である。
【００３２】
次に、図５に示す装置を用いて様々な被処理ガスのプラズマ脱臭処理を行った実験結果を示す。個々の放電部１０の寸法は、上記の通り、筒状外側電極１１の内径を１００ｍｍ、筒状内側電極１２の外径を２０ｍｍ、筒状外側電極１１の内周面と筒状内側電極１２の外周面の距離、すなわち放電距離を４０ｍｍ、筒状外側電極１１と筒状内側電極１２が対抗している部分の軸方向の長さを１６００ｍｍとしている。また、放電部１０の配列数は２４本である。ブロワー４１の吸引力は、２４本の放電部１０全体に対して２．５ｍ３／秒である。電源部４０の入力電圧は１２Ｖ、電流は３Ａ、消費電力は３６Ｗである。この電圧を２３，０００Ｖに昇圧して筒状外側電極１１と筒状内側電極１２に印加している。
【００３３】
補助インレットパイプ３６の上流側で被処理ガスの濃度（原臭）（ｐｐｍ）を測定し、補助アウトレットパイプ３７の下流側で処理済みガスの濃度（ｐｐｍ）を測定した。なお、被処理ガスの種類に応じて、異なる実験設備や異なる検出装置を使用したことは言うまでもない。
【実施例１】
【００３４】
被処理ガス：硫化ジメチル（（ＣＨ３）２Ｓ）
気温２６℃、被処理ガス及び処理済みガスをそれぞれ検出装置に２分間導入した後にその被処理ガス及び処理済みガスを排出する工程を３回繰り返した後、それぞれの検出装置に被処理ガス及び処理済みガスを再度導入することを１回として、以下の３回の測定を行った。
【表１】
2016007551.tif 000003
【実施例２】
【００３５】
被処理ガス：アセトアルデヒド（ＣＨ３ＣＨＯ）
気温２６℃、被処理ガス及び処理済みガスをそれぞれ検出装置に３分間導入した後にその被処理ガス及び処理済みガスを排出した後、それぞれの検出装置に被処理ガス及び処理済みガスを再度導入することを１回として、以下の３回の測定を行った。
【表２】
2016007551.tif 000004
【実施例３】
【００３６】
被処理ガス：酢酸エチルエーテル（ＣＨ３ＣＯＯＣ２Ｈ５）
気温２６℃、被処理ガス及び処理済みガスをそれぞれ検出装置に３分間導入した後にその被処理ガス及び処理済みガスを排出する工程を２回繰り返した後、それぞれの検出装置に被処理ガス及び処理済みガスを再度導入することを１回として、以下の３回の測定を行った。
【表３】
2016007551.tif 000005
【実施例４】
【００３７】
被処理ガス：イソプロピルアルコール（Ｃ３Ｈ７ＯＨ）
気温２６℃、被処理ガス及び処理済みガスをそれぞれ検出装置に１．５分間導入した後にその被処理ガス及び処理済みガスを排出した後、それぞれの検出装置に被処理ガス及び処理済みガスを再度導入することを１回として、以下の３回の測定を行った。
【表４】
2016007551.tif 000006
【実施例５】
【００３８】
被処理ガス：トルエン（Ｃ６Ｈ５ＣＨ３）
気温２６℃、被処理ガス及び処理済みガスをそれぞれ検出装置に１．５分間導入した後にその被処理ガス及び処理済みガスを排出する工程を２回繰り返した後、それぞれの検出装置に被処理ガス及び処理済みガスを再度導入することを１回として、以下の３回の測定を行った。
【表５】
2016007551.tif 000007
【実施例６】
【００３９】
被処理ガス：アンモニア（ＮＨ３）
気温３２℃、被処理ガス及び処理済みガスをそれぞれ検出装置に３分間導入した後にその被処理ガス及び処理済みガスを排出する工程を２回繰り返した後、それぞれの検出装置に被処理ガス及び処理済みガスを再度導入することを１回として、以下の３回の測定を行った。
【表６】
2016007551.tif 000008
【実施例７】
【００４０】
上記実施例１〜６は、それぞれ特定の種類の物質をどの程度処理できるかを実験したものであったが、実施例７は、工場設備から排出される複数の物質が含まれる混合被処理ガスを処理した結果を示す。
【表７】
2016007551.tif 000009
【００４１】
これら実施例１〜７の実験結果から、本実施形態に係るプラズマ処理装置によって、硫化ジメチル、アセトアルデヒド、酢酸エチルエーテル、イソプロピルアルコール、トルエン、酢酸エチル、メチルエチルケトン、メチルメルカプシン、ホルムアルデヒドなどのＶＯＣや、アンモニア、硫化水素、窒素酸化物などの臭気物質や有害物質を効果的に除去できることがわかる。
【符号の説明】
【００４２】
１  放電部ユニット
１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ  放電部
１１  筒状外側電極
１２  筒状内側電極
１３  絶縁スペーサー
１４  インレット
１５  放電空間
１６  アウトレット
２０、２０Ａ、２０Ｂ  Ｕ字管
２１  ラック
３１、３１Ａ、３１Ｂ  インレットパイプ
３２、３２Ａ、３２Ｂ  アウトレットパイプ
３３  フランジ
３４  ラック
３５  水平ホルダー
３６  補助インレットパイプ
３７  補助アウトレットパイプ
４０  電源部
４１  ブロワー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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