(57)【要約】【課題】基板に撓みが生ずることを抑えることができ、基板収納空間において、基板を安定して位置決めした状態で搬送することが可能な基板収納容器、及び、当該基板収納容器において用いられる基板支持補助部材を提供すること。【解決手段】基板収納容器は、側方基板支持部５に載置される基板支持補助部材８であって、基板支持補助部材８に基板が載置され、側方基板支持部５が基板支持補助部材８を介して基板を支持する基板支持補助部材８を備える。基板支持補助部材８は、基板の裏面が当接して基板が載置される平板状部８１と、平板状部８１に接続され、平板状部８１に載置された基板の裏面から表面へ向かう方向へ平板状部８１から突出し、平板状部８１に載置された基板の周縁部に当接することにより、平板状部８１に載置された基板の表面に沿った方向において基板の位置決めをする基板位置決め凸部８２と、を有する。【選択図】図２
2016058629.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された容器本体と、
前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、
前記側方基板支持部に載置される基板支持補助部材であって、基板支持補助部材に前記基板が載置され、前記側方基板支持部が基板支持補助部材を介して前記基板を支持する基板支持補助部材と、を備え、
前記基板支持補助部材は、前記基板の裏面が当接して前記基板が載置される平板状部と、前記平板状部に接続され、前記平板状部に載置された前記基板の裏面から表面へ向かう方向へ前記平板状部から突出し、前記平板状部に載置された前記基板の周縁部に当接することにより、前記平板状部に載置された前記基板の表面に沿った方向において前記基板の位置決めをする基板位置決め凸部と、を有する基板収納容器。
【請求項２】
前記平板状部は、前記平板状部に載置された前記基板の中心へ向かう方向において、前記側方基板支持部よりも突出する請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記平板状部に接続されている前記基板位置決め凸部の部分には、前記平板状部に載置された前記基板の中心から離間する方向へ窪んだエッジ逃がし凹部が形成されている請求項１又は請求項２に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記エッジ逃がし凹部には、弾性変形可能な緩衝部材が存在する請求項３に記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記平板状部は、前記基板の周縁部に沿ったＣ字形状を有している請求項１〜請求項４のいずれかに記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記基板位置決め凸部は、前記基板の周縁部に沿う形状を有している請求項１〜請求項５のいずれかに記載の基板収納容器。
【請求項７】
前記基板支持補助部材は、前記側方基板支持部に対して着脱可能に固定される請求項１〜請求項６のいずれかに記載の基板収納容器。
【請求項８】
複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、を備える基板収納容器の、前記側方基板支持部に載置される基板支持補助部材であって、
前記基板の裏面が当接して前記基板が載置される平板状部と、前記平板状部に接続され、前記平板状部に載置された前記基板の裏面から表面へ向かう方向へ前記平板状部から突出し、前記平板状部に載置された前記基板の周縁部に当接することにより、前記平板状部に載置された前記基板の表面に沿った方向において前記基板の位置決めをする基板位置決め凸部と、を備え、
前記平板状部に前記基板が載置され、前記側方基板支持部が前記平板状部を介して前記基板を支持する基板支持補助部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハからなる基板を収納して搬送するための基板収納容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている。
【０００３】
容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。
【０００４】
また、基板収納空間には、基板収納空間内において対をなすように基板支持板状部が壁部に設けられている。基板支持板状部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されていないときに、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板の縁部を支持可能である。
【０００５】
蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。
【０００６】
基板が薄い場合には、フロントリテーナと奥側基板支持部とで基板を支持しているときに、基板に撓みが生ずることがある。基板に撓みが生ずると、基板を基板収納容器から取り出す際に、フォークを基板の下側に挿入したときに、フォークが基板Ｗに接触するトラブルが発生する恐れがある。そこで、基板が撓むことを抑制する部材を有する基板収納容器が提案されている（特許文献１、２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１３−１２０８９６号公報
【特許文献２】特開２０１２−１９５５０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、上記公報記載の基板収納容器では、蓋体によって容器本体開口部を閉塞しようとして、フロントリテーナと奥側基板支持部とで基板を挟むようにして支持したときに、基板が位置決めされていないために、基板が割れることがある。
【０００９】
本発明は、基板に撓みが生ずることを抑えることができ、基板収納空間において、基板を安定して位置決めした状態で搬送することが可能な基板収納容器、及び、当該基板収納容器において用いられる基板支持補助部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、前記側方基板支持部に載置される基板支持補助部材であって、基板支持補助部材に前記基板が載置され、前記側方基板支持部が基板支持補助部材を介して前記基板を支持する基板支持補助部材と、を備え、前記基板支持補助部材は、前記基板の裏面が当接して前記基板が載置される平板状部と、前記平板状部に接続され、前記平板状部に載置された前記基板の裏面から表面へ向かう方向へ前記平板状部から突出し、前記平板状部に載置された前記基板の周縁部に当接することにより、前記平板状部に載置された前記基板の表面に沿った方向において前記基板の位置決めをする基板位置決め凸部と、を有する基板収納容器に関する。
【００１１】
また、前記平板状部は、前記平板状部に載置された前記基板の中心へ向かう方向において、前記側方基板支持部よりも突出することが好ましい。また、前記平板状部に接続されている前記基板位置決め凸部の部分には、前記平板状部に載置された前記基板の中心から離間する方向へ窪んだエッジ逃がし凹部が形成されていることが好ましい。
【００１２】
また、前記エッジ逃がし凹部には、弾性変形可能な緩衝部材が存在することが好ましい。また、前記平板状部は、前記基板の周縁部に沿ったＣ字形状を有していることが好ましい。また、前記基板位置決め凸部は、前記基板の周縁部に沿う形状を有していることが好ましい。また、前記基板支持補助部材は、前記側方基板支持部に対して着脱可能に固定されることが好ましい。
【００１３】
また、本発明は、複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、を備える基板収納容器の、前記側方基板支持部に載置される基板支持補助部材であって、前記基板の裏面が当接して前記基板が載置される平板状部と、前記平板状部に接続され、前記平板状部に載置された前記基板の裏面から表面へ向かう方向へ前記平板状部から突出し、前記平板状部に載置された前記基板の周縁部に当接することにより、前記平板状部に載置された前記基板の表面に沿った方向において前記基板の位置決めをする基板位置決め凸部と、を備え、前記平板状部に前記基板が載置され、前記側方基板支持部が前記平板状部を介して前記基板を支持する基板支持補助部材に関する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、基板に撓みが生ずることを抑えることができ、基板収納空間において、基板を安定して位置決めした状態で搬送することが可能な基板収納容器、及び、当該基板収納容器において用いられる基板支持補助部材を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１から基板支持補助部材８が取り外された状態で基板Ｗが基板収納容器１に収納された様子を示す分解斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２の基板支持板状部５に基板支持補助部材８が固定されている状態を示す斜視図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２の基板支持板状部５に基板支持補助部材８が固定されている状態を示す、図２よりも低い位置から見た斜視図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５に基板支持補助部材８が固定されていない状態を示す断面図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５に基板支持補助部材８が固定されている状態を示す断面図である。
【図６】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持補助部材８を示す平面図である。
【図７】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５に固定された基板支持補助部材８に、基板Ｗが載置された様子を示す平面図である。
【図８】本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１の基板支持補助部材８のエッジ逃がし凹部８２１Ａを示す拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の第１実施形態による基板収納容器及び基板支持補助部材について、図１〜図７を参照しながら説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１から基板支持補助部材８が取り外された状態で基板Ｗが基板収納容器１に収納された様子を示す分解斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２の基板支持板状部５に基板支持補助部材８が固定されている状態を示す斜視図である。図３は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２の基板支持板状部５に基板支持補助部材８が固定されている状態を示す、図２よりも低い位置から見た斜視図である。図４は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５に基板支持補助部材８が固定されていない状態を示す断面図である。図５は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５に基板支持補助部材８が固定されている状態を示す断面図である。図６は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持補助部材８を示す平面図である。図７は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５に固定された基板支持補助部材８に、基板Ｗが載置された様子を示す平面図である。
図２、図３においては、説明の便宜上、後述のハンドリング部材９及びトップフランジ２３６の図示を省略している。
【００１７】
ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらを前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらを上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらを左右方向Ｄ３と定義する。各図面において、これらの方向を示す矢印を付して説明する。
【００１８】
また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１等参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍ、表面Ｗ１１と裏面Ｗ２１とを結ぶ方向における厚さ５０μｍ程度のシリコンウェーハである。
【００１９】
図１に示すように、基板収納容器１は、容器本体２と、蓋体３と、シール部材４と、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、奥側基板支持部６（図４等参照）と、フロントリテーナ（図示せず）と、基板支持補助部材８と、を有している。
【００２０】
容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。
【００２１】
基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部６が設けられている。
【００２２】
奥側基板支持部６は、基板収納空間２７内においてフロントリテーナ（図示せず）と対をなすように壁部２０に設けられている。奥側基板支持部６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。
【００２３】
蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８（図１等）に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ（図示せず）は、基板収納空間２７の内部において奥側基板支持部６と対をなすように配置されている。
【００２４】
フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部６と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。
【００２５】
ハンドリング部材９は、後述する一対の側壁２５、２６の外面に沿うように、それぞれ一対の側壁の外面に対向して配置されて、一対設けられている。ハンドリング部材９は、側壁２５、２６に対して着脱可能に固定されている。以下、各部について、詳細に説明する。
【００２６】
基板収納容器１は、プラスチック材等の樹脂で構成されており、特に説明が無い場合には、その材料の樹脂としては、たとえば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が用いられている。これらの成形材料の樹脂に導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電性物質が、これらの成形材料の樹脂に選択的に添加される。また、剛性を上げるために、これらの成形材料の樹脂に、ガラス繊維や炭素繊維等が添加されてもよい。
【００２７】
図１等に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、上述の材料により構成されており、第１実施形態では、ポリカーボネートにより一体成形されて構成されている。
【００２８】
第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。
【００２９】
開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。
【００３０】
図１に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。
【００３１】
図１〜図３に示すように、上壁２３の外面においては、リブ２３５Ａ、２３５Ｂが、上壁２３と一体成形されて設けられている。リブ２３５Ａ、２３５Ｂは、容器本体２の剛性を高める。また、上壁２３の中央部には、トップフランジ２３６が固定される。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。なお、図２、図３においては、説明の便宜上、トップフランジ２３６の図示を省略している。
【００３２】
図４に示すように、基板支持板状部５は、第１側壁２５及び第２側壁２６にそれぞれ設けられて、左右方向Ｄ３において対をなすようにして基板収納空間２７内に配置されている。具体的には、基板支持板状部５は、板部５１と板部支持部５２とを有している。板部５１と板部支持部５２とは、樹脂により一体成形されて構成されている。板部５１は、板状の弧形状を有している。板部５１は、第１側壁２５、第２側壁２６に、それぞれ２５枚ずつ計５０枚設けられている。隣接する板部５１は、上下方向Ｄ２において１０ｍｍ〜１２ｍｍ間隔で互いに離間して平行な位置関係で配置されている。なお、最も上に位置する板部５１の上方にも、板部５１と略同一形状のものが配置されているが、これは、最も上に位置して基板収納空間２７内へ挿入される基板Ｗに対して、挿入する際のガイドの役割をする部材である。
【００３３】
また、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１と、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１とは、互いに左右方向Ｄ３において対向する位置関係を有している。また、５０枚の板部５１、及び、板部５１と略同形状の２枚のガイドの役割をする部材は、下壁２４の内面に平行な位置関係を有している。図４等に示すように、板部５１の上面には、凸部５１１、５１２が設けられている。板部５１に支持された基板Ｗは、凸部５１１、５１２の突出端にのみ接触し、面で板部５１に接触しない。
【００３４】
板部支持部５２は、第１板部支持部５２１、第２板部支持部５２２、及び、第３板部支持部５２３により構成されており、これらは、上下方向Ｄ２に延びている。第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１は、第１側壁２５側に設けられた第１板部支持部５２１、第２板部支持部５２２、及び、第３板部支持部５２３に接続されている。同様に、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１は、第２側壁２６側に設けられた第１板部支持部５２１、第２板部支持部５２２、及び、第３板部支持部５２３に接続されている。板部支持部５２が第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ固定されることにより、基板支持板状部５は、第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ固定される。
【００３５】
このような構成の基板支持板状部５により、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を、所定の間隔で離間した状態で且つ互いに平行な位置関係とした状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。
【００３６】
図４等に示すように、奥側基板支持部６は、壁部基板支持部６０を有している。壁部基板支持部６０は、基板支持板状部５の板部５１の後端部に、板部５１と一体で成形されている。なお、奥側基板支持部６は、基板支持板状部５とは別体、即ち、壁部基板支持部６０は、基板支持板状部５の板部５１とは別体で構成されていてもよい。
【００３７】
壁部基板支持部６０は、基板収納空間２７に収納可能な基板Ｗの一枚毎に対応した個数、具体的には、２５個設けられている。第１側壁２５及び第２側壁２６に設けられた壁部基板支持部６０は、左右方向Ｄ３において対をなす位置関係を有している。また、第１側壁２５及び第２側壁２６に設けられた壁部基板支持部６０は、前後方向Ｄ１において、後述するフロントリテーナ（図示せず）と対をなすような位置関係を有している。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、壁部基板支持部６０は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持する。
【００３８】
基板支持補助部材８は、基板支持板状部５に載置され、一体成形されて構成された基板支持板状部５及び奥側基板支持部６（以下、「一体成形支持部材」という）に固定される。基板支持補助部材８は、側方基板支持部としての基板支持板状部５に載置されて用いられる。基板支持補助部材８には、基板Ｗが載置され、基板支持板状部５が基板支持補助部材８を介して基板を支持する。
【００３９】
具体的には、図６に示すように、基板支持補助部材８は、基板支持板状部５及び奥側基板支持部６と同一の樹脂により構成されており、平板状部８１と、基板位置決め凸部８２と、前側切欠き８３と、後側切欠き８４と、後部被係止部８５と、側方凸部８６と、を有する。基板支持補助部材８は、左右方向Ｄ３において対称形状を有しているため、一方についてのみ説明し、他方については、説明を省略する。
【００４０】
平板状部８１は、図６に示すように、基板Ｗの周縁部に沿った平板状のＣ字形状を有している。基板支持補助部材８の外径、即ち、平板状部８１の外径は、基板Ｗの直径よりも若干大きく、基板支持補助部材８の内径、即ち、平板状部８１の内径は、２００ｍｍ〜２５０ｍｍ程度である。このため、基板支持補助部材８には、基板収納容器１に収納される基板Ｗの裏面の周縁部が、基板Ｗの半径方向において２５ｍｍ〜５０ｍｍ程度当接して載置される。これにより、基板Ｗは、基板支持補助部材８の平板状部８１を介して基板支持板状部５によって支持される。基板Ｗの中央部分の大部分は、基板支持補助部材８には載置されない。また、基板収納容器１に収納される基板Ｗの半径方向において、第１側壁２５と第２側壁２６とにそれぞれ設けられた基板支持板状部５の板部５１の間の距離は、基板支持補助部材８の内径よりも大きい。このため、図７に示すように、平板状部８１は、平板状部８１に載置された基板Ｗの中心Ｃ（図６参照）へ向かう方向において、側方基板支持部としての基板支持板状部５の板部５１よりも突出する。
【００４１】
基板位置決め凸部８２は、平板状部８１と一体成形されて接続されている。基板位置決め凸部８２は、平板状部８１に載置された基板Ｗの裏面Ｗ２１から表面Ｗ１１へ向かう方向である上方向Ｄ２１へ平板状部８１の上面から突出している。平板状部８１の上面からの基板位置決め凸部８２の高さは、略１００μｍ程度である。なお、図７においては、説明の便宜上、上下方向Ｄ２における基板位置決め凸部８２の高さ及び平板状部８１の厚さを、上下方向Ｄ２において隣接する板部５１の間隔等と比較して、強調して大きく図示している。基板位置決め凸部８２は、基板Ｗの周縁部に沿う形状を有している。具体的には、基板位置決め凸部８２は、Ｃ字形状を有している平板状部８１の一端から他端に至るまで略全周にわたって、平板状部８１に載置された基板Ｗの周縁部に沿って存在している。平板状部８１に載置された基板Ｗの側面Ｗ３１と基板位置決め凸部８２との間には、基板Ｗの直径が３００ｍｍの場合には、例えは、略０．５ｍｍ〜１．０ｍｍ程度のクリアランスが確保されている。基板位置決め凸部８２は、平板状部８１に載置された基板Ｗの周縁部の側面Ｗ３１に当接可能である。この当接により、平板状部８１に載置された基板Ｗの表面Ｗ１１に沿った方向、即ち、前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３に平行な方向において、基板Ｗの位置決めをする。
【００４２】
前側切欠き８３は、Ｃ字形状を有する平板状部８１の前端から、平板状部８１の中心角で略２０°程度後方向Ｄ１２へ向かった、平板状部８１の前部の外周に形成されている。前側切欠き８３は、平板状部８１の外周から平板状部８１の半径方向内方へ窪んだ切欠きにより構成されている。前側切欠き８３が形成されている基板支持補助部材８の部分には、基板位置決め凸部８２は存在していない。
【００４３】
後側切欠き８４は、Ｃ字形状を有する平板状部８１の前端から、平板状部８１の中心角で略９０°程度後方向Ｄ１２へ向かった、平板状部８１の後部の外周に形成されている。後側切欠き８４は、平板状部８１の外周から平板状部８１の半径方向内方へ窪んだ切欠きにより構成されている。後側切欠き８４が形成されている基板支持補助部材８の部分には、基板位置決め凸部８２は存在していない。
【００４４】
後部被係止部８５は、平板状部８１の後部であって、後側切欠き８４よりも後側に存在している。後部被係止部８５は、平板状部８１の後部において後方向Ｄ１２へ向かって突出しており、前方向Ｄ１１へ向かって窪んだ細い係合溝８５１が形成されている。係合溝８５１には、容器本体２の奥壁２２の内面に設けられ、奥壁２２の内面から前方向Ｄ１１へ向かって突出する係合凸部２２１（図４等参照）が係合可能である。この係合により、基板支持補助部材８の後部は、容器本体２の奥壁２２に対して固定される。
【００４５】
側方凸部８６は、Ｃ字形状を有する平板状部８１の前部であって、前側切欠き８３よりも後方向Ｄ１２で且つ後側切欠き８４よりも前方向Ｄ１１の部分の外周から突出している。側方凸部８６は、平板状部８１が基板支持板状部５の板部５１に載置されたときに、図５に示すように、第２板部支持部５２２に係止可能である。
【００４６】
図１に示すように、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部２８のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面２８１）に対向する面には、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム、シリコンゴム等により構成されている。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。
【００４７】
蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４は、シール面２８１と蓋体３の内面とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。
【００４８】
蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂと、蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部３２Ｃ、３２Ｄと、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部３２Ｃ、３２Ｄは、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。
【００４９】
蓋体３の外面には操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂ、下側ラッチ部３２Ｃ、３２Ｄを蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂが蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部３２Ｃ、３２Ｄが蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。
【００５０】
蓋体３の蓋体本体３０の内側には、フロントリテーナ（図示せず）が固定されて設けられている。フロントリテーナ（図示せず）は、フロントリテーナ基板受け部（図示せず）を有している。フロントリテーナ基板受け部（図示せず）は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部（図示せず）は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられている。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、フロントリテーナ基板受け部（図示せず）は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。
【００５１】
次に、基板支持補助部材８の基板支持板状部５への装着及び固定と、基板Ｗの基板支持補助部材８への載置について説明する。
先ず、略Ｃ字形状を有する基板支持補助部材８の開口部分を前方向Ｄ１１へ指向させ、且つ、基板支持補助部材８の平板状部８１の上面及び下面を前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３に平行な位置関係として、基板支持補助部材８を、容器本体２の基板収納空間２７へ挿入する。そして、上下方向Ｄ２に隣接する板部５１と板部５１との間に位置させるか、又は、最も上に位置している基板支持板状部５の板部５１と、最も上に位置する板部５１の上方に配置された板部５１と略同一形状のものとの間に位置させて、図５に示すように、後部被係止部８５の係合溝８５１を容器本体２の奥壁２２の係合凸部２２１に係合させる。また、基板支持補助部材８の弾性変形を利用して、一対の側方凸部８６を、それぞれ第２板部支持部５２２に対して後方向Ｄ１２に押して変形させて、第２板部支持部５２２の後部に当接させる。
【００５２】
これにより、図５に示すように、基板支持補助部材８の平板状部８１が基板支持板状部５の板部５１に載置された状態で、基板支持補助部材８の後部は、容器本体２に直接固定され、基板支持補助部材８の側部は、基板支持板状部５を介して容器本体２に固定される。このとき、基板支持補助部材８には、前側切欠き８３、後側切欠き８４が形成されているため、凸部５１１は、前側切欠き８３内に配置され、凸部５１２は、後側切欠き８４内に配置される。以上により、基板支持補助部材８は、図５に示すように、側方基板支持部としての基板支持板状部５に対して、着脱可能に固定される。
【００５３】
このようにして、基板支持板状部５の板部５１に載置された基板支持補助部材８の平板状部８１には、基板Ｗが載置される。基板Ｗは、図６に示すように、平板状部８１の上面に基板Ｗの裏面Ｗ２１の周縁部が当接し、且つ、基板位置決め凸部８２が基板Ｗの側面Ｗ３１に対向した状態で側面Ｗ３１に沿うような位置関係を有して、基板支持補助部材８の平板状部８１に、基板Ｗは載置される。
【００５４】
このとき、基板位置決め凸部８２が基板Ｗの側面Ｗ３１に当接可能となり、この当接により、基板Ｗは、平板状部８１上において、上下方向Ｄ２に直交する方向において、基板位置決め凸部８２によって位置決めされる。また、基板Ｗ自体の重量により、基板Ｗの中心Ｃが、下方向Ｄ２２へ突出するように、基板Ｗが僅かに撓んで僅かに変形する。しかし、基板Ｗの半径方向内方における平板状部８１の端部８１１が、基板Ｗの半径方向内方における基板Ｗの周縁部の部分を押上げるような状態で当接して支持して、基板Ｗの撓みを抑える。なお、図７においては、説明の便宜上、基板Ｗは撓んでいない状態で図示している。
【００５５】
上記構成の第１実施形態による基板収納容器１、基板支持補助部材８によれば、以下のような効果を得ることができる。
上述のように、基板収納容器１は、複数の基板Ｗを収納可能な基板収納空間２７が内部に形成され、一端部に基板収納空間２７に連通する容器本体開口部２１が形成された容器本体２と、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３と、基板収納空間２７内において対をなすように配置され、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能な側方基板支持部としての基板支持板状部５と、基板支持板状部５に載置される基板支持補助部材８であって、基板支持補助部材８に基板Ｗが載置され、基板支持板状部５が基板支持補助部材８を介して基板Ｗを支持する基板支持補助部材８と、を備えている。基板支持補助部材８は、基板Ｗの裏面Ｗ２１が当接して基板Ｗが載置される平板状部８１と、平板状部８１に接続され、平板状部８１に載置された基板Ｗの裏面２１から表面１１へ向かう方向へ平板状部８１から突出し、平板状部８１に載置された基板Ｗの周縁部に当接することにより、平板状部８１に載置された基板Ｗの表面に沿った方向において基板Ｗの位置決めをする基板位置決め凸部８２と、を有する。
【００５６】
また、基板支持補助部材８は、複数の基板Ｗを収納可能な基板収納空間２７が内部に形成され、一端部に基板収納空間２７に連通する容器本体開口部２１が形成された容器本体２と、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３と、基板収納空間２７内において対をなすように配置され、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能な側方基板支持部としての基板支持板状部５と、を備える基板収納容器１の、基板支持板状部５に載置される。基板支持補助部材８は、基板Ｗの裏面Ｗ２１が当接して基板Ｗが載置される平板状部８１と、平板状部８１に接続され、平板状部８１に載置された基板Ｗの裏面Ｗ２１から表面Ｗ１１へ向かう方向へ平板状部８１から突出し、平板状部８１に載置された基板Ｗの周縁部に当接することにより、平板状部８１に載置された基板Ｗの表面Ｗ２１に沿った方向において基板Ｗの位置決めをする基板位置決め凸部８２と、を備える。平板状部８１に基板Ｗが載置され、側方基板支持部としての基板支持板状部５が平板状部８１を介して基板Ｗを支持する。
【００５７】
この構成により、平板状部８１により基板Ｗを支持して基板Ｗの撓みを抑えるとともに、基板Ｗの表面Ｗ２１と裏面Ｗ２２とを結ぶ方向において、即ち、上下方向Ｄ２に直交する方向において、基板支持補助部材８に対して基板Ｗを位置決めすることができる。
【００５８】
また、平板状部８１は、平板状部８１に載置された基板Ｗの中心Ｃへ向かう方向において、側方基板支持部としての基板支持板状部５よりも突出する。
【００５９】
この構成により、側方基板支持部としての基板支持板状部５の板部５１で基板Ｗを支持する場合と比較して、基板支持補助部材８の平板状部８１により基板Ｗを支持するほうが、より基板Ｗの中心に近い基板Ｗの部分を支持することができる。このため、基板Ｗ自体の重量により、基板Ｗの中心Ｃが、下方向Ｄ２２へ突出するように、基板Ｗが僅かに撓んで僅かに変形しても、基板Ｗの半径方向内方における平板状部８１の端部８１１が、基板Ｗの半径方向内方における基板Ｗの周縁部の部分を押上げるような状態で当接して支持して、基板Ｗの撓みを抑えることができる。このため、基板Ｗを基板収納容器１から取り出す際に、フォーク（図示せず）を基板Ｗの下側に挿入したときに、フォークが基板Ｗに接触するトラブルを減少することができる。
【００６０】
また、平板状部８１は、基板Ｗの周縁部に沿ったＣ字形状を有している。この構成により、平板状部８１は、基板Ｗの裏面Ｗ２１の周縁部を支持することができる。
【００６１】
また、基板位置決め凸部８２は、基板Ｗの周縁部に沿う形状を有している。この構成により、前後方向Ｄ１や左右方向Ｄ３のみならず、これ以外の方向であって、基板Ｗの表面Ｗ１１と裏面Ｗ２１とを結ぶ方向（上下方向Ｄ２に直交する方向）において、基板支持補助部材８に対して基板Ｗを位置決めすることができる。
【００６２】
また、基板支持補助部材８は、側方基板支持部としての基板支持板状部５に対して着脱可能に固定される。
【００６３】
この構成により、従来から用いられている側方基板支持部としての基板支持板状部５を用いて、薄い基板Ｗを載置する場合にのみ基板支持補助部材８を側方基板支持部としての基板支持板状部５に固定して、基板支持補助部材８を使用することができる。従って、１つの基板収納容器１において、基板支持補助部材８が載置されている板部５１と、基板支持補助部材８が載置されていない板部５１と、を混在させることができ、通常の厚さの基板と薄い基板とを混在させて、１つの基板収納容器１に収納することができる。
【００６４】
以下、本発明の第２実施形態による基板収納容器について図８を参照しながら説明する。図８は、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１の基板支持補助部材８のエッジ逃がし凹部８２１Ａを示す拡大断面図である。
【００６５】
第２実施形態による基板収納容器の基板支持補助部材８Ａは、エッジ逃がし凹部８２１Ａを有している点で、第１実施形態による基板収納容器１とは異なる。これ以外の各部の構成については、第１実施形態による基板収納容器１の各部の構成と同様である。第１実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。
【００６６】
図８に示すように、平板状部８１に接続されている基板位置決め凸部８２の部分には、エッジ逃がし凹部８２１Ａが形成されている。エッジ逃がし凹部８２１Ａは、平板状部８１の周方向に沿って、基板位置決め凸部８２の全体にわたって形成されている。エッジ逃がし凹部８２１Ａは、平板状部８１の上面に平行に、平板状部８１に載置された基板ＷＡの中心から離間する方向（図８における右方向Ｄ３２）へ窪んでおり、エッジ逃がし凹部８２１Ａが延びる平板状部８１の周方向に直交する断面においては、コの字形状を有している。平板状部８１の上面からのエッジ逃がし凹部８２１Ａの高さは、略２５μｍ程度である。
【００６７】
エッジ逃がし凹部８２１Ａには、弾性変形可能な緩衝部材８２２Ａが存在する。緩衝部材８２２Ａは、エッジ逃がし凹部８２１Ａに充填されており、例えば、ゴムや、スポンジ等の発泡体等により構成されている。薄い基板ＷＡは、べべル形状を有する通常の厚さの基板の側面が、裏面側から削られて形成される。このため、図８に示すように、基板ＷＡの側面ＷＡ３１は、表面ＷＡ１１から裏面ＷＡ２１に近付くにつれて、基板ＷＡの直径が広がるような傾斜を有しており、裏面ＷＡ２１と側面ＷＡ３１とで鋭角が形成されている。このような鋭角の部分がエッジ逃がし凹部８２１Ａに入りこむと、当該鋭角の部分は、緩衝部材８２２Ａに当接する。
【００６８】
上記構成の第２実施形態による基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。上述のように、平板状部８１に接続されている基板位置決め凸部８２の部分には、平板状部８１に載置された基板ＷＡの中心から離間する方向へ窪んだエッジ逃がし凹部８２１Ａが形成されている。
【００６９】
この構成により、基板ＷＡの側面ＷＡ３１が、表面ＷＡ１１から裏面ＷＡ２１に近付くにつれて基板ＷＡの直径が広がるように傾斜を有しており、裏面ＷＡ２１と側面ＷＡ３１とで鋭角が形成されていても、このような鋭角の部分がエッジ逃がし凹部８２１Ａに入りこむことができる。このため、当該鋭角の部分が基板位置決め凸部８２に衝突して、基板ＷＡに割れが発生することを減少させることができる。
【００７０】
また、エッジ逃がし凹部８２１Ａには、弾性変形可能な緩衝部材８２２Ａが存在する。この構成により、基板ＷＡの側面ＷＡ３１が、表面ＷＡ１１から裏面ＷＡ２１に近付くにつれて基板ＷＡの直径が広がるように傾斜を有しており、裏面ＷＡ２１と側面ＷＡ３１とで鋭角が形成されている場合に、このような鋭角の部分がエッジ逃がし凹部８２１Ａに入りこんだときに、鋭角の部分が緩衝部材８２２Ａに当接する。このため、傾斜を有する側面ＷＡ３１の一部が基板位置決め凸部８２に強く衝突しようとする衝撃を、緩衝部材８２２Ａによって緩衝することができる。これにより、基板ＷＡに割れが発生することを減少させることができる。
【００７１】
本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。例えば、第２実施形態では、エッジ逃がし凹部８２１Ａには、弾性変形可能な緩衝部材８２２Ａが存在したが、この構成に限定されない。例えば、エッジ逃がし凹部８２１Ａには、弾性変形可能な緩衝部材８２２Ａは存在していなくてもよい。
【００７２】
また、容器本体、蓋体、及び、基板支持補助部材の形状や、容器本体に収納可能な基板の枚数、寸法は、本実施形態における容器本体２、蓋体３、及び、基板支持補助部材８の形状や、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数、寸法に限定されない。例えば、基板Ｗの直径は３００ｍｍであったが、この値に限定されない。例えば、基板Ｗの直径は３００ｍｍ〜４５０ｍｍであればよい。
【符号の説明】
【００７３】
１    基板収納容器
２    容器本体
３    蓋体
５    基板支持板状部（側方基板支持部）
８    基板支持補助部材
２１    容器本体開口部
２７    基板収納空間
８１    平板状部
８２    基板位置決め凸部
８２１Ａ    エッジ逃がし凹部
８２２Ａ    緩衝部材
Ｃ    中心
Ｗ    基板
Ｗ１１    表面
Ｗ２１    裏面
Ｗ３１    側面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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