(57)【要約】【課題】自己発熱するデバイスのバーンイン試験装置で、テスト部に放出される冷却空気の流れる方向を制御することで、個別に温度制御する手段を提供する。【解決手段】バーンイン試験装置（１０）には、エアーダクト（４０）が等間隔で複数段搭載され、該エアーダクト（４０）の下部には複数のテスト部（６１）を搭載したバーンインボード（６０）が搭載され、該エアーダクト（４０）底部には前記複数のテスト部（６１）に冷却空気を放出する開口穴（４１）が設けられ、該開口穴（４１）の上部には、該開口穴（４１）を通過する冷却空気の流れる方向を制御する風向制御装置（５０）が設けられ、前記テスト部（６１）に放出される冷却空気の流れる方向が制御され、該テスト部（６１）の放熱量を制御しテストデバイスの温度制御を行うことが出来る。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
自己発熱し設定されたテスト温度を超えて発熱する半導体デバイスのバーンイン試験装置の温度制御装置であって、バーンイン試験装置のオーブンには、前記オーブン内を循環する冷却空気を収容するエアーダクトが等間隔で複数段搭載され、該エアーダクトの下部には複数のテスト部を搭載したバーンインボードが搭載され、さらに該エアーダクトには前記バーンインボード上の個々のテスト部に冷却空気を放出する開口穴が設けられ、該開口穴の上部には、該開口穴を通過する冷却空気の流れる方向を制御する風向制御装置が設けられることを特徴とするバーンイン試験装置の温度制御装置。
【請求項２】
前記風向制御装置は、前記エアーダクト上の開口穴の上部に設置され、該風向制御装置に冷却空気を取り込む空気取込穴と該空気取込穴を通過する冷却空気の流れる方向を偏向制御する風向偏向板とを有することを特徴とする請求項１に記載のバーンイン試験装置の温度制御装置。
【請求項３】
前記風向制御装置の風向制御は、前記エアーダクトの個々の開口穴の上部に設置され、該風向制御装置に冷却空気を取り込む空気取込穴と、冷却空気の流れる方向を制御する一対の風向偏向板と、該一対の風向偏向板を所定の傾きに回転制御する駆動装置とを有し、該一対の風向偏向板は、前記空気取込穴の中央部に所定の間隔をおいて設置され、該一対の風向偏向板の上下方向の中央にその回転中心を置き、該一対の風向偏向板の傾きは、初期状態として前記個々の空気取込穴を通過する冷却空気の流れを妨げない上下方向に設定されており、該一対の風向偏向板の上部それぞれを接近させ、且つそれぞれの上部が接触するまで回転させることにより、前記個々の空気取込穴を通過する冷却空気の流れる方向を、前記個々のテスト部の中央部から該個々のテスト部の外部までの間の所定の方向に制御することを特徴とする請求項２に記載のバーンイン試験装置の温度制御装置。
【請求項４】
前記風向制御装置の風向制御は、前記エアーダクトの個々の開口穴の上部に設置され、該風向制御装置に冷却空気を取り込む空気取込穴と、冷却空気の流れる方向を制御する一枚の風向偏向板と、該風向偏向板を所定の傾きに回転制御する駆動装置とを有し、該風向偏向板は、前記空気取込穴の中央部に設置され、該風向偏向板の上下方向の中央にその回転中心を置き、該風向偏向板の傾きは、初期状態として前記個々の空気取込穴を通過する冷却空気の流れを妨げない上下方向に設定されており、該風向偏向板を所定の傾きまで回転させることにより、前記個々の空気取込穴を通過する冷却空気の流れる方向を、前記個々のテスト部の中央部から該個々のテスト部の外部までの間の所定の方向に制御することを特徴とする請求項２に記載のバーンイン試験装置の温度制御装置。
【請求項５】
前記風向制御装置の風向制御は、前記エアーダクトの個々の開口穴の上部に設置され、該風向制御装置に冷却空気を取り込む空気取込穴と、冷却空気の流れる方向を制御する一対の風向偏向板と、該一対の風向偏向板を所定の傾きに回転制御する駆動装置とを有し、該一対の風向偏向板は、前記空気取込穴の中央部に隣接して設置され、該一対の風向偏向板の上端にその回転中心を置き、該一対の風向偏向板の傾きは、初期状態として該一対の風向偏向板は前記空気取込穴を通過する冷却空気の流れを妨げない上下方向に設定されており、さらに該一対の風向偏向板の下端それぞれを反対方向の所定の傾きまで回転させることにより、前記個々の空気取込穴を通過する冷却空気の流れる方向を、前記個々のテスト部の中央部から該テスト部の外部までの間の所定の方向に制御し、さらに前記空気取込穴の左右両端に、前記空気取込穴の左端及び右端を通過する冷却空気の流れを誘導する風向案内板を有し、該風向案内板の傾きは前記通気取込穴の中央部に隣接して設置されている前記一対の風向偏向板とリンクし、該一対の風向偏向板それぞれの傾きに同期して、制御されることを特徴とする請求項２に記載のバーンイン試験装置の温度制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体デバイスのバーンイン装置に搭載されるバーンインボード上でテストされる半導体デバイスの温度制御に係るバーンイン試験装置の温度制御装置に関し、詳細には自己発熱する半導体デバイスが実装されるテストソケットに搭載され、半導体デバイスの表面と接触し半導体デバイスと外部冷却空気との間の熱交換を行うヒートシンクに吹き付けられる冷却空気の流れる方向を変える風向制御装置によるバーンイン試験装置の温度制御装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスは、バーンイン装置のオーブン内を所定のテスト温度に制御されオーブン温度環境で、バーンインボードのテストソケットに実装されてテストが実施されている。
また、半導体デバイス自身が発熱するデバイスのバーンインテストでは、一般にバーンインボード上の個々のテストソケットに搭載され温度センサーとヒーターを内蔵したヒートシンクと、該ヒートシンクの上部に設置された冷却ファンとにより、半導体デバイスの温度制御を実施している。冷却ファンはヒートシンクに固定或いは、冷却ファンユニットとしてバーンインボードの上部に設置されることもある
これに対し特許文献１、及び特許文献２に記載の発明では、バーンインボード上部にオーブン内を循環する冷却空気のダクトを設置し、且つ各半導体デバイスが実装された前記バーンインボード上の個々のテスト部の上部に冷却空気が通過する開口穴を設け、該開口穴に設けられた流量制御装置により、該開口穴を流れる冷却空気の流量を制御し、半導体デバイスの温度制御を行っている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
自己発熱する半導体デバイスのバーンインテストの温度制御については、これまで色々な手法が採用されてきた。一般的な制御手法が冷却ファンとヒートシンクによる温度制御であり、特許文献１及び特許文献２に記載の流量制御による温度制御である。
特許文献１、特許文献２による発明は、バーンイン試験装置のオーブン内を循環する冷却空気を収容するエアーダクトが等間隔で複数段搭載され、該エアーダクトの下部には複数のテスト部を搭載したバーンインボードが搭載され、該エアーダクトには前記バーンインボード上の個々のテスト部に冷却空気を放出する開口穴が設けられ、該開口穴の上部には、該開口穴を通過する冷却空気の流量を制御する流量制御装置が設けられている。
そのため、バーンインボード上の制御対象以外のテスト部も該開口穴を通過する冷却空気の分圧が変化し、流れる流量も変化するという課題や、バーンイン装置の冷却空気循環用送風機に大きな負荷が加わるなどの課題も発生する。
本発明は、前記開口穴を流れる冷却空気の流れる方向を偏向制御することにより、前記テスト部に直接吹き付けられる冷却空気の流量を制御し、自己発熱する半導体デバイスの温度制御を行うものである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の課題を解決する為の手段は下記のとおりである。
【０００５】
本発明は、自己発熱する半導体デバイスのバーンインテストにおいて、バーンインボード上の個々のテスト部に実装されたテストデバイスの自己発熱によるデバイス温度を、前記テスト部を構成するヒートシンクに内蔵された温度センサーで検出し、テスト温度との差分はバーンイン装置内を循環する冷却空気による前記ヒートシンクからの放熱、或いは前記ヒートシンクに内蔵されたヒーターによる加熱で温度制御する方式を使用する。
【０００６】
バーンイン装置のオーブンには、前記オーブン内を循環する冷却空気を収容するエアーダクトが等間隔で複数段搭載され、該エアーダクトの下部には複数のテスト部を搭載したバーンインボードが搭載され、さらに該エアーダクトの底辺部には、前記バーンインボード上の個々のテスト部に冷却空気を放出する開口穴が設けられ、該開口穴の上部には、該開口穴を通過する冷却空気の流れる方向を制御する風向制御装置が設けられ、前期個々のテスト部に放出される冷却空気の流れる方向を制御することを特徴としている。
【０００７】
本発明における前記風向制御装置は、前記エアーダクトの個々の開口穴の上部に設置され、前記風向制御装置に冷却空気を取り込む空気取込穴と、冷却空気の流れる方向を偏向制御する風向偏向板とから構成されることを特徴としている。
【０００８】
前記風向制御装置の風向制御は、前記エアーダクトの個々の開口穴の上部に設置され、該風向制御装置に冷却空気を取り込む空気取込穴と、冷却空気の流れる方向を制御する一対の風向偏向板と、該一対の風向偏向板を所定の傾きに回転制御する駆動装置とを有し、該一対の風向偏向板は、前記空気取込穴の中央部に所定の間隔をおいて設置され、該一対の風向偏向板の上下方向の中央にその回転中心を置き、該一対の風向偏向板の傾きは、初期状態として前記個々の空気取込穴を通過する冷却空気の流れを妨げない上下方向に設定されており、該風向偏向板の上部それぞれを接近させ、且つそれぞれの上部が接触するまで回転させることにより、前記個々の空気取込穴を通過する冷却空気の流れる方向を、前記個々のテスト部の中央部から該テスト部の外部までの間の所定の方向に制御することができる。
【０００９】
前記風向制御装置の風向制御は、前記エアーダクトの個々の開口穴の上部に設置され、該風向制御装置に冷却空気を取り込む空気取込穴と、冷却空気の流れる方向を制御する一枚の風向偏向板と、該風向偏向板を所定の傾きに回転制御する駆動装置とを有し、該風向偏向板は、前記空気取込穴の中央に設置され、該風向偏向板の上下方向の中央にその回転中心を置き、該一対の風向偏向板の傾きは、初期状態として前記個々の空気取込穴を通過する冷却空気の流れを妨げない上下方向に設定されており、該風向偏向板を所定の傾きまで回転させることにより、前記個々の空気取込穴を通過する冷却空気の流れる方向を、前記個々のテスト部の中央部から該テスト部の外部までの間の所定の方向に制御することができる。
【００１０】
前記風向制御装置の風向制御は、該風向制御装置を構成する一対の風向制御板を前記空気取込穴の中央部に隣接して設置され、該一対の風向偏向板の上端にその回転中心を置き、該一対の風向偏向板の傾きは、初期状態として該一対の風向偏向板は前記空気取込穴を通過する冷却空気の流れを妨げない上下方向に設定され、さらに該一対の風向偏向板の下端それぞれを反対方向の所定の傾きまで回転させることにより、前記個々の空気取込穴を通過する冷却空気の流れる方向を、前記個々のテスト部の中央部から該テスト部の外部までの間の所定の方向に制御するができる。
【００１１】
前記風向制御装置の風向制御は、該風向制御装置に冷却空気を取り込む空気取込穴の左右両端に、該空気取込穴を通過する冷却空気の流れを誘導する風向案内板を有し、該風向案内板の傾きは前記通気取込穴の中央部に設置されている前記一対の風向偏向板とリンクし、該一対の風向偏向板それぞれの傾きに同期して制御されることにより、前記空気取込穴を通過する冷却空気は、該一対の風向偏向板と前記左右の風向案内板に囲まれた空間を流路とし、前記個々のテスト部へ放出される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば以下の効果を奏することができる
【００１３】
第１の発明によれば、バーンイン装置のオーブン内には、前記オーブン内を循環する冷却空気を収容するエアーダクトが等間隔で複数段搭載され、該エアーダクトの下部には複数のテスト部を搭載したバーンインボードが搭載されている。該エアーダクトの底辺部には、前記バーンインボード上の個々のテスト部に冷却空気を放出する開口穴が設けられ、該開口穴の上部には、該開口穴を通過する冷却空気の流れる方向を制御する風向制御装置が設けられ、前期個々のテスト部に放出される冷却空気の流れる方向を制御することにより、該個々のテスト部の放熱量を制御しテストデバイスの温度制御を行うことが出来る。
【００１４】
第２の発明によれば、前記風向制御装置は前記エアーダクトの個々の開口穴の上部に設置され、前記個々の開口穴を通過する冷却空気の流れる方向を偏向制御する風向偏向板を有し、前期個々のテスト部に放出される冷却空気の流れる方向を制御し、該個々のテスト部の放熱量を制御することが出来る。
【００１５】
第３の発明によれば、前記風向制御装置は前記エアーダクトの個々の開口穴の上部に設置され、前記個々の開口穴を通過する冷却空気の流れる方向を制御することにより温度制御を行うものであり、該風向制御装置は、冷却空気を取り込む空気取込穴と、冷却空気の流れる方向を制御する一対の風向偏向板と、該一対の風向偏向板を所定の傾きに回転制御する駆動装置とを有し、該一対の風向偏向板は、前記空気取込穴の中央部に所定の間隔をおいて設置され、該一対の風向偏向板の上下方向の中央にその回転中心を置き、該一対の風向偏向板の傾きは、初期状態として前記個々の空気取込穴を通過する冷却空気の流れを妨げない上下方向に設定されており、さらに該一対の風向偏向板の上部それぞれを接近させ、且つそれぞれの上部が接触するまで回転させることにより、前記個々の空気取込穴を通過する冷却空気の流れる方向を、前記個々のテスト部の中央部から該個々のテスト部の外部までの間の最適な方向に制御することができ、該個々のテスト部の放熱量を制御しテストデバイスの温度制御を行うことができる。
【００１６】
第４の発明によれば、前記風向制御装置は前記エアーダクトの個々の開口穴の上部に設置され、冷却空気を取り込む空気取込穴と、冷却空気の流れる方向を制御する一枚の風向偏向板と、該風向偏向板を所定の傾きに回転制御する駆動装置とを有し、該風向偏向板は、前記空気取込穴の中央部に設置され、該風向偏向板の上下方向の中央にその回転中心を置き、該風向偏向板の傾きは、初期状態として該風向偏向板は前記空気取込穴を通過する冷却空気の流れを妨げない上下方向に設定されており、さらに該風向偏向板を所定の傾きまで回転させることにより、前記個々の空気取込穴を通過する冷却空気の流れる方向を、前記個々のテスト部の中央部から該個々のテスト部の外部までの間の所定の方向に制御することができ、該個々のテスト部の放熱量を制御しテストデバイスの温度制御を行うことができる。
【００１７】
第５の発明によれば、前記風向制御装置は前記エアーダクトの個々の開口穴の上部に設置され、冷却空気を取り込む空気取込穴と、冷却空気の流れる方向を制御する一対の風向偏向板と、該一対の風向偏向板を所定の傾きに回転制御する駆動装置とを有し、該一対の風向偏向板は、前記空気取込穴の中央部に隣接して設置され、該一対の風向偏向板の上端にその回転中心を置き、該一対の風向偏向板の傾きは、初期状態として該一対の風向偏向板は前記空気取込穴を通過する冷却空気の流れを妨げない上下方向に設定されており、さらに該一対の風向偏向板の下端それぞれを反対方向の所定の傾きまで回転させることにより、前記個々の空気取込穴を通過する冷却空気の流れる方向を、前記個々のテスト部の中央部から該個々のテスト部の外部までの間の所定の方向に制御し、さらに前記冷却空気を取り込む空気取込穴の左右両端に、前記空気取込穴の左端及び右端を通過する冷却空気の流れを誘導する風向案内板を有し、該風向案内板の傾きは前記通気取込穴の中央部に設置されている前記一対の風向偏向板とリンクし、該一対の風向偏向板それぞれの傾きに同期して制御されることにより、前記空気取込穴を通過する冷却空気は、該一対の風向偏向板と前記左右の風向案内板に囲まれた空間を流路とし、その下方の前記バーンインボード上の個々のテスト部へ放出することができ、該個々のテスト部の放熱量を制御しテストデバイスの温度制御を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明に係るバーンイン装置の概要を示す断面図である
【図２】本発明に係る風向制御装置が搭載されるエアーダクトの外観斜視図である
【図３】本発明に係るバーンインボードの外観斜視図である
【図４】本発明に係る一対の風向偏向板で構成される風向制御装置の初期状態とバーンインボード上のテスト部の構成を示す外観斜視図（ａ）と断面図（ｂ）である
【図５】本発明に係る一対の風向偏向板で構成される風向制御装置の最大傾斜状態とバーンインボード上のテスト部の構成を示す外観斜視図（ａ）と断面図（ｂ）である
【図６】本発明に係る一枚の風向偏向板で構成される風向制御装置の初期状態とバーンインボード上のテスト部の構成を示す外観斜視図（ａ）と断面図（ｂ）である
【図７】本発明に係る一枚の風向偏向板で構成される風向制御装置の回転状態とバーンインボード上のテスト部の構成を示す外観斜視図（ａ）と断面図（ｂ）である
【図８】本発明に係る風向案内板を有する風向制御装置とバーンインボード上のテスト部の構成を示す初期状態の断面図（ａ）と回転状態の断面図である（ｂ）。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の第一の実施形態であるバーンイン試験装置の温度制御装置について、図面を参照しつつさらに具体的に説明する。
ここで、添付図面において同一の部材には同一符号を付しており、また重複した説明は省略されている。理解を容易にするため、図４〜図７において同一部材名には同一符号を付している。
なお、ここでの説明は本発明が実施される一形態であることから、本発明は該当形態に限定されるものではない。
【００２０】
図１は、本発明の第一の実施形態に係るバーンイン試験装置の温度制御装置であり、自己発熱するテストデバイス７０を指定のテスト温度で試験する為、バーンイン試験装置１０のオーブン内の空気を冷却する熱交換器２０、冷却された空気を所定の風圧でオーブン内を循環させる循環用送風機３０で構成されている。さらに、オーブン内を循環する冷却空気を収容し前記冷却空気を下方へ放出するエアーダクト４０が一定の間隔で複数段搭載され、該エアーダクト４０の下部には複数のテスト部６１を搭載したバーンインボード６０が搭載されている。該エアーダクトの底辺部には、前記バーンインボード上の個々のテスト部に冷却空気を放出する開口穴４１が設けられ、該開口穴の上部には、該開口穴を通過する冷却空気の流れる方向を制御する風向制御装置５０或は８０が設けられ、前期個々のテスト部６１に放出される冷却空気の流れる方向を制御している。該テスト部６１で冷却空気の熱交換が行われ、暖められた冷却空気は前記バーンインボード６０の左側の図示はされていないが循環空気排出口より前記熱交換器２０へ排出され、排出された空気は前記熱交換器２０で再び冷却されオーブン内の前記循環用送風機３０へ循環される。
【００２１】
図２は、第一の実施形態に係るエアーダクト４０の概略構成を示す外観斜視図であり、前記エアーダクトはバーンイン試験装置１０のオーブン内を循環する冷却空気を収容し、該エアーダクトの下方に搭載されるバーンインボード６０上の個々のテスト部６１に冷却空気を放出する。該エアーダクト４０の底辺部には冷却空気を前記個々のテスト部６１へ放出するための開口穴４１が設けられ、該開口穴４１の上部には風向制御装置５０或は８０が搭載され、該風向制御装置内を通過する冷却空気の流れる方向を一定の範囲で偏向することが出来る。
【００２２】
図３は、第一の実施形態に係るバーンインボード６０の概略構成を示す外観斜視図であり、バーンインボード６０と複数のテスト部６１で構成され、該テスト部６１は、テストデバイス７０が実装されるテストソケット６２と冷却空気との熱交換を行うヒートシンク６３で構成されている。さらに図３では図示されていないが前記ヒートシンク６３は後述する温度センサー６４とヒーター６５を内蔵している。
【００２３】
図４は、本発明の第二及び第三の実施形態に係る風向制御装置５０とバーンインボード６０上のテスト部６１との位置関係を示し、前記風向制御装置５０の主要構成部材である一対の風向偏向板５２の初期状態を示す外観斜視図（ａ）と断面図（ｂ）である。
バーンイン試験装置１０のオーブン内を循環する冷却空気は、前記エアーダクト４０に収容され、前記エアーダクト４０上の前記風向制御装置５０に設けられた空気取込穴５４及び前記エアーダクト４０の底辺に設けられた開口穴４１を通過し、その下部に搭載される前記バーンインボード６０上の個々のテスト部６１に放出され、テストデバイス７０の発熱はヒートシンク６３を通じて冷却空気に放熱される。前記テスト部６１は、前記テストデバイス７０が実装される前記テストソケット６２と冷却空気との熱交換を行う前記ヒートシンク６３で構成され、該ヒートシンク６３は前記テストデバイス７０の温度を測定する温度センサー６４とテストデバイス７０の発熱量が不足する場合、必要な温度に加熱するためのヒーター６５とを内蔵している。
図（ａ）及び図（ｂ）で示される風向制御装置５０は、冷却空気の流れる方向を変える一対の風向偏向板５２、該風向偏向板５２を所定の傾きに回転制御させるため駆動装置５３、及び空気取込穴５４を有するフレーム５１で構成され、該一対の風向偏向板５２は、前記空気取込穴５４の中央部に所定の間隔を置いて設置され、該一対の風向偏向板５２の上下方向の中央にその回転中心を置き、該一対の風向偏向板５２の傾きは、初期状態として、前記空気取込穴５４を通過する冷却空気の流れを妨げない上下方向に設定されている。前記風向制御装置５０の空気取込穴５４を通過する冷却空気の流れは、該一対の風向偏向板５２の傾きに沿って前記空気取込穴５４直下の前記個々のテスト部６１の中央部に向かって流れる。
【００２４】
図５は、本発明の第二及び第三の実施形態に係る風向制御装置５０とバーンインボード６０上のテスト部６１との位置関係を示し、前記風向制御装置５０の主要構成部材である一対の風向偏向板５２の回転状態を示す外観斜視図（ａ）と断面図（ｂ）である。
該風向制御装置５０はすべて図４と同じであり、前記一対の風向偏向板５２はそれぞれが反対方向にそれぞれの上部が接触する傾に設定されている。前記風向制御装置５０の空気取込穴５４を通過する冷却空気の流れは、該一対の風向偏向板の傾きに沿い、前記個々のテスト部６１の上部で左右に振り分けられて流れる。
【００２５】
図６は、本発明の第二及び第四の実施形態に係る風向制御装置５０とバーンインボード６０上のテスト部６１との位置関係を示し、前記風向制御装置５０の主要構成部材である一枚の風向偏向板５２の初期状態を示す外観斜視図（ａ）と断面図（ｂ）である。
基本構成は風向偏向板５２一枚が前記空気取込穴５４の中央に設置されていることを除くと図４とすべて同じであり、風向偏向板５２の傾きは、初期状態として前記空気取込穴５４を通過する冷却空気の流れを妨げない上下方向に設定されている。該空気取込穴５４を通過する冷却空気の流れは、前記風向偏向板５２の傾きに沿って該空気取込穴５４直下の前記個々のテスト部６１の中央部に向かって流れる。
【００２６】
図７は、本発明の第二及び第四の実施形態に係る風向制御装置５０とバーンインボード６０上のテスト部６１との位置関係を示し、前記風向制御装置５０の主要構成部材である一枚の風向偏向板５２の回転状態を示す外観斜視図（ａ）と断面図（ｂ）である。
基本構成は風向偏向板５２一枚が前記空気取込穴５４の中央に設置されていることを除くと図４とすべて同じであり、該風向偏向板５２の傾きは所定の傾きに設定されている。前記空気取込穴５４を通過する冷却空気の流れは、前記個々のテスト部６１の中央部から該個々のテスト部６１の外部の方向に向かって流れる。
【００２７】
図８は、本発明の第二及び第五の実施形態に係る風向制御装置８０であり、基本構成は第二の実施形態と同じである。なお、風向制御装置８０の構成部材名は理解を容易にするため図４〜図７と同じ部材名を使用している。
前記風向制御装置８０は、冷却空気の流れる方向を変える一対の風向偏向板８３、該風向偏向板８３を所定の傾きに回転制御させるため駆動装置５３、及び空気取込穴８２を有するフレーム８１で構成されている。
前記一対の風向制御板８３は、前記空気取込穴８２の中央部に隣接して設置され、該一対の風向偏向板８３の上端にその回転中心を置き、該一対の風向偏向板８３の傾きは、初期状態として該一対の風向偏向板８３は前記空気取込穴８２を通過する冷却空気の流れを妨げない上下方向に設定されおり、さらに該一対の風向偏向板８３の下端それぞれを反対方向の所定の傾きまで回転させることが可能であり、前記個々の空気取込穴８２を通過する冷却空気の流れは、図（ａ）では前記テスト部６１の中央部に向かい、図（ｂ）では該テスト部６１の外部周辺に向かって流れる。
さらに前記風向制御装置８０は、前記空気取込穴８２の左右両端に該空気取込穴８２の左端及び右端を通過する冷却空気の流れを誘導する風向案内板８４を有し、該風向案内板８４は前記一対の風向偏向板８３とそれぞれリンクし、該一対の風向偏向板８３それぞれに同期して傾きが制御されることにより、前記空気取込穴８２を通過する冷却空気は、該一対の風向偏向板８３と前記左右の風向案内板８４それぞれに囲まれた空間を流路とし、その下方の前記バーンインボード上の個々のテスト部６１へ放出される。
【００２８】
本発明の第二、第三、第四及び第五の実施形態に係る風向制御装置５０或は８０による温度制御は、該風向制御装置５０或は８０に設けられた前記空気取込穴５４或は８２を通過する冷却空気と、該風向制御装置５０或は８０の下部の前記テスト部６１を構成する前記ヒートシンク６３との間の熱交換によりに行われる。最大熱交換量は、前記風向偏向板５２向きが図４（ｂ）、図６（ｂ）及び図８（ａ）に示されるように、それぞれ冷却空気の流れを妨げない上下方向の傾きの状態時であり、最少熱交換量は前記一対の風向偏向板５２或は８３の向きが図５（ｂ）、図７（ｂ）及び図８（ｂ）に示されるようにそれぞれが最大傾斜した状態時である。
前記風向制御装置５０或は８０による温度制御は、前記ヒートシンク６３に内蔵された前記温度センサー６４による前記テストデバイス７０の測定温度と設定されたテスト温度との差異を算出し、冷却熱量の過不足分を前記風向偏向板５２或は８３の向きを上下方向の傾きから最大傾斜の間の最適な傾きに制御することにより行われ、前記テストデバイス７０の発熱量が不足する場合、前記ヒートシンク６３に内蔵された前記ヒーター６５の加熱により温度制御が補完される。以上のように、風向偏向板５２或は８３の傾きの制御、さらに風向案内板８４の傾きを制御することより効率的なテストデバイスの温度制御が行われる。
【産業上の利用可能性】
【００２９】
本発明の風向制御装置による温度制御装置は、今後益々高集積化する半導体デバイスが自己発熱し、且つそれぞれの発熱量が異なる半導体デバイスを同じバーンイン装置で効率的にテストすることへの要求に、簡単な制御機構により応えることが出来る。
本発明による風向制御による温度制御装置は、低発熱デバイスから高発熱デバイスまで広範囲に、且つ効率的に対応できる制御装置である。
【符号の説明】
【００３０】
１０  バーンイン試験装置
２０  熱交換器
３０  循環用送風機
４０  エアーダクト
４１  開口穴  
５０  風向制御装置
５１  フレーム
５２  風向偏向板
５３  駆動装置
５４  空気取込穴
６０  バーンインボード
６１  テスト部
６２  テストソケット
６３  ヒートシンク
６４  温度センサー
６５  ヒーター
７０  テストデバイス
８０  風向制御装置
８１  フレーム
８２  空気取込穴
８３  風向偏向板
８４  風向案内板
【先行技術文献】
【特許文献】
【００３１】
【特許文献１】特許第４６４２４３７号
【特許文献２】特許第４８８６５８０号
【図１】
2016180730.tif 000003
【図２】
2016180730.tif 000004
【図３】
2016180730.tif 000005
【図４】
2016180730.tif 000006
【図５】
2016180730.tif 000007
【図６】
2016180730.tif 000008
【図７】
2016180730.tif 000009
【図８】
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