(57)【要約】【課題】本発明の課題は、高い磁場強度の使用においても、上述した渦電流効果を生じることなく作動することが可能である真空ポンプを提供することである。【解決手段】課題は、レシーバーに接続するための固定フランジを有するポンプハウジングを有する真空ポンプにおいて、シールドハウジング（３）が設けられており、このシールドハウジングが、ポンプハウジング（２）を少なくとも部分的に取り囲み、そして固定フランジ（９）をほぼ完全に、または完全に取り囲むよう形成されていることにより解決される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レシーバーに接続するための固定フランジを有するポンプハウジングを有する真空ポンプにおいて、
シールドハウジング（３）が設けられており、このシールドハウジングが、ポンプハウジング（２）を少なくとも部分的に取り囲み、そして固定フランジ（９）をほぼ完全に、または完全に取り囲むよう形成されていることを特徴とする真空ポンプ。
【請求項２】
シールドハウジング（３）がレシーバー（２１）に接続するための固定フランジ（８）を有することを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項３】
シールドハウジング（３）がレシーバー（２１）への接続のために、袋穴及び／または貫通穴（１７）を有することを特徴とする請求項１または２に記載の真空ポンプ。
【請求項４】
穴部（１７）がねじ山を有さず、または内側ねじ山を有して形成されていることを特徴とする請求項３に記載の真空ポンプ。
【請求項５】
ポンプハウジング（２）が、一つのハウジング部分を有し、このハウジング部分内に、真空ポンプ（１）の少なくとも一つのローター（７）が設けられていること、およびハウジング部分が完全にシールドハウジング（３）内に設けらてれいることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
【請求項６】
シールドハウジング（３）が、一部品式または多部品式に形成されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
【請求項７】
シールドハウジング（３）とポンプハウジング（２）の間に少なくとも一つのОリング（３０）が設けられていることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
【請求項８】
ポンプハウジング（２）及び／またはシールドハウジング（３）のレシーバー（２１）に対する密閉のために少なくとも一つのＣＦ−シールが設けられていることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
【請求項９】
シールドハウジング（３）のフランジ（８）が標準フランジ固定部として形成されているこを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
【請求項１０】
シールドハウジング（３）が少なくとも部分的に、磁場をシールドする材料から形成されていることを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
【請求項１１】
シールドハウジング（３）が少なくとも部分的に強磁性の材料から形成されていることを特徴とする請求項１から１０のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
【請求項１２】
一つのハウジング部分（１４）が設けられており、このハウジング部分内に電子機器及び／またはモーターが配置されていること、およびハウジング部分（４）が少なくとも部分的にシールドハウジング（３）内及び／または別のシールドハウジング（２９）内に配置されていることを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
【請求項１３】
真空ポンプ（１）が、ターボ分子ポンプとして形成されていることを特徴とする請求項１から１２のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポンプハウジングを有する真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
真空ポンプは、例えば半導体製造のような様々な技術方法で使用される。ポンピングすべきガス（気体、ポンプガスとも称される）を、真空引きすべき容積から搬出するため、及び各技術的方法に必要な真空を発生するためである。その際、特別な意味は、ターボ分子ポンプにある。これは高回転で運転され、そして真空を高純度で発生させることが可能である。
【０００３】
例えば、特に、ターボ分子ポンプは高解像度の質量分析法で使用される。高解像度の質量分析法は、分子構造の検出及び確認の際、そして化学的及び物理的なプロセスの実験において使用される。異なる収集方法（独語：Ａｕｆｆａｎｇｍｅｔｈｏｄｅｎ）または検出方法を使用のもと、質量スペクトルの発生のための異なる多数の技術が公知である。そのような技術は、例えばフーリエ変換質量分析計（独語：Ｆｏｕｒｉｅｒ−Ｔｒａｎｓｆｏｒｍａｔｉｏｎｓｍａｓｓｅｎｓｐｅｋｔｒｏｍｅｔｅｒ）である。
【０００４】
分光計内では、例えば１０から２０テスラの磁束を有する極めて強い磁場が発生させられる。
【０００５】
この質量分光計の周囲に配置された真空ポンプは、同様に強い磁場にさらされる。これら磁場は、数百ミリテスラの磁束を有することが可能である。
【０００６】
外部の磁場によって、高速で回転するローターを有する真空ポンプ内では、渦流効果によってブレーキトルクが生じる。このブレーキトルクは、モーターの性能増加を生じる。というのはモーターは、予め定められた回転数が保持されるよう構成されているからである。モーターの性能増加は、真空ポンプ内における熱の増加に通じる。熱の増加によって、低い圧力を発生させることがより困難となる。というのは、熱の増加は、より高い分子運動の原因となるからである。最も不都合なケースでは、運転障害、または真空ポンプの損傷すら早い加熱によって生じうる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０００−２００５７６Ａ
【特許文献２】欧州特許出願公開第２７０８７５３Ａ２号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の課題は、高い磁場強度の使用においても、上述した渦電流効果を生じることなく作動することが可能である真空ポンプを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この技術的課題は、請求項１に記載の特徴を有する真空ポンプによって解決される。
【００１０】
レシーバーへの接続のための接続フランジを有しているポンプハウジングを有する発明にかかる真空ポンプは、シールドハウジングが設けられており、このシールドハウジングが、ポンプハウジングを少なくとも部分的に取り囲むよう、そして接続フランジをほぼ完全にまたは完全に取り囲むよう形成されている点において際立っている。
【００１１】
シールドハウジングは、ポンプハウジングを少なくとも部分的に取り囲み、そして接続フランジを軸方向でほぼ完全に、または完全に取り囲む。ほぼ完全にとは、シールドハウジングが、接続フランジを７５％を超えて取り囲み、好ましくは９０％を超えて取り囲むことを意味する。シールドハウジングはポンプハウジングを、好ましくは少なくとも部分的に取り囲み、そして接続フランジを半径方向で完全に取り囲む。
【００１２】
発明にかかるポンプは、高い磁場強度の適用下で使用可能である。というのは、真空ポンプのシールドが行われるからである。このシールドのもとローターにおける渦電流効果が、ポンプの熱的過負荷に通じない。ポンプハウジングは、通常、シールド特性の悪い、または該特性を有さない材料から製造される。シールドは、発明に従い設けられるシールドハウジングによっては図られる。これは、ポンプハウジングを少なくとも部分的に取り囲むよう、そして接続部をほぼ完全にまたは完全に取り囲むよう形成されている。
【００１３】
発明にかかる真空ポンプは、シールドハウジングは、これが固定部を略完全に、または完全に取り囲むことによって、レシーバーに当たるまで、または数ミリメートルの間隔まで、つまり、基本的に、レシーバーの顧客特有のハウジングまで形成されていることが可能であるので、シールドは、レシーバーまで効率的であり、そしてフランジ固定部の領域に脆弱な箇所が発生しないというメリットを有する。
【００１４】
本発明の別の有利な実施形に従い、シールドハウジングはレシーバーへの固定のための固定フランジを有する。これによって、シールドハウジングが、直接レシーバーに設けられており、そしてシールドに脱漏部（これを通して外部の磁場が侵入し、そしてローターに渦電流効果が引き起こされることが可能である）が生じないということが保証される。
【００１５】
本発明の別の有利な実施形に従い、シールドハウジングはレシーバーへの接続のための袋穴（独語：Ｓａｃｋｌｏｃｈｂｏｈｒｕｎｇｅｎ）および／または貫通穴を有しているということが意図されている。これらの穴部は、ねじ山を有さず形成されているか、または内側ねじ山を有して形成されていることが可能である。
【００１６】
シールドハウジングが、対応する袋穴（又はめくら孔、独語：Ｓａｃｋｌｏｃｈｂｏｈｒｕｎｇｅｎ）及び／または貫通穴を有するレシーバーに固定するための固定フランジを有することによって、シールドハウジングは、固定フランジの領域において、ポンプハウジングの固定フランジの通常の外直径に相当する外直径を有する。
【００１７】
これによって、ポンプハウジング及びシールハウジングを有する真空ポンプの大きさが、先行技術に属するポンプハウジングよりも大きくないことが保証される。この実施形は、シールドハウジングが、大きさの拡大を生じず、よってシステム内において衝突を起こさないというメリットを有する。
【００１８】
シールドは、発明に従い、シールドハウジング内にハウジングフランジの固定機能が統合されているように形成されている。
【００１９】
本発明の有利な実施形に従い、シールドハウジングは、レシーバー側にフランジを有する。固定フランジは、すでに説明したように、ポンプハウジングではなくシールドハウジングとレシーバーを接続するのに有利である。
【００２０】
本発明の別の有利な実施形に従い、ポンプハウジングが、当該ハウジング部分内に真空ポンプの少なくとも一つのローターが配置されているというハウジング部分を有すること、および当該ハウジング部分が、完全にシールドハウジング内に配置されていることが意図されている。
【００２１】
この発明に従う実施形は、ポンプハウジングの固定フランジがシールドハウジングによって取り囲まれているのみならず、ポンプハウジングの（ローターを収容する）全体の領域が、シールドハウジングによって取り囲まれているというメリットを有する。これは、ローター全体が、シールドハウジングによって間接的に取り囲まれているので、記載した渦電流効果がローターに生じないことを意味する。間接的とは、シールドハウジングが、ポンプハウジングを、そしてポンプハウジングがローターを取り囲んでいることを意味する。
【００２２】
本発明の別の有利な実施形に従い、シールドハウジングが一部品式、または他部品式に構成されているこが意図されている。シールドハウジングは、一部品式に構成され、そして真空ポンプはポンプハウジングとともに、シールドハウジング内へと取り込まれることが可能である。シールドハウジングは、一又は複数のカバー線（独語：Ｍａｎｔｅｌｌｉｎｉｅｎ）に沿って形成されていることが可能であるので、シールドハウジングは、ポンプハウジングの周りに設けられることが可能である。これは例えば接続フランジの領域内もそうである。
【００２３】
本発明の別の有利な実施形は、シールドハウジングとポンプハウジングの間に少なくとも一つのОリングが設けられていることを意図する。
【００２４】
０リングはシール作用を有する。主として、少なくとも一つのОリングが、機械的安定化、つまり緩衝に使用されることが意図されている。Оリングは、主として公差の補償を行う。
【００２５】
本発明の別の有利な実施形に従い、少なくとも一つのＣＦシールがポンプハウジング及び／またはシールドハウジングのレシーバーに対する密閉のために設けられていることが意図されている。ＣＦシールは、両方のフランジ対が、特殊鋼から形成されている点、フランジの間に銅リングシールが設けられている点、両方のフランジが、（特殊鋼）切断エッジを有し、これが銅リング内に入り込み、これによってシールを形成する点で際立っている。
【００２６】
このシールは（高真空領域に設けられることが可能であるが）、ガス放出を伴わず、ポンプハウジングとレシーバーの間および／またはシールドハウジングとレシーバーの間の接続部の密閉のために使用され、真空密な接続を保証する。
【００２７】
本発明の特に有利な実施形に従い、シールドハウジングのフランジは標準フランジとして形成されている。これは、シールドハウジングの固定フランジの外部の寸法が、例えばＩＳＯ−ＦやＩＳＯ−ＣＦのような標準フランジ固定に相当することを意味する。その際、シールドの壁部厚さの高さに基づいて、ポンプの使用は、極めて高い磁場強度においてもポンプの温度態様に著しい影響なく可能である。
【００２８】
シールドが、ポンプハウジングの標準フランジの周りに追加的に設けられるとき、極めてた大きな、そしてこれによって高価である、シールドの為の原材料が生じる。
【００２９】
有利には、シールドはＩＳＯ−Ｆフランジ固定によって、ＩＳＯ−Ｆカラーフランジのように、ＩＳＯ−Ｋハウジングに適合される。これによって標準ＩＳＯ−Ｋフランジを有するポンプの、発明にかかるシールドハウジングを後付けし、そして引き続いて、ＩＳＯ−Ｆフランジ接続によって組み付けることが可能である。
【００３０】
発明にかかるシールドハウジングは、適当な内直径及び外直径を有する原材料から少ないコストで製造されることが可能である。
【００３１】
本発明の別の有利な実施形に従い、少なくとも部分的に、磁場をシールドする材料から形成されている。好ましくは、シールドハウジングは、少なくとも部分的に強磁性の材料から形成されている。
【００３２】
材料として、例えば軟鉄、ニッケル、または銅が使用されることが可能である。その際、鉄は、もっとも安価な材料であり、よって好ましくはこれが使用される。
【００３３】
例えば、シールドハウジングを安価な構造用鋼（独語：Ｂａｕｓｔａｈｌ）から製造する可能性が存在する。
【００３４】
本発明の別の有利な実施形に従い、当該ハウジング部分内に電子機器及び／またはモーターが配置されている、という一つのハウジング部分が設けられていること、および該ハウジング部分が、少なくとも部分的にシールドハウジング内及び／または別のシールドハウジング内に設けられていることが意図されている。
【００３５】
この実施形は、電子機器および／またはモーターもが外部に存在する磁場に対してシールドされるというメリットを有する。このことは、真空ポンプの運転にも同様に有利に作用する。
【００３６】
特に有利な実施形に従い、真空ポンプはターボ分子ポンプとして形成されている。このポンプは特に高回転で作動する。このポンプは、９０，０００回転／分の回転数で作動され、そして発明にかかるシールドは、このポンプにおいて特に有利である。
【００３７】
発明にかかるシールドハウジングの使用は、追加的な接続部（独語：Ａｎｚａｐｆｕｎｇｅｎ）（スプリットフローポンプ）を有する真空ポンプにおいても可能である。シールドハウジングは、この接続部のために適当な開口部を有する。これら開口部は、しかし、適当な形状のもと、シールド効果に対して不利でない。
【００３８】
シールドハウジングは、基本的にシール作用を有さない。これによって表面品質に対する要求は低いもののみである。シールドは、真空領域に対する接触を有さないので、真空技術に対しては不適当であるが、安価である材料が使用されることが可能である。
【００３９】
しかし、シールドハウジングもまたシール機能を有することは排除されない。
【００４０】
シールドが、少なくともローター（ローターは、ローターディスクを設けられている）のすべての領域を取り囲むので、シールドハウジングはハウジング安全性に貢献する。ポンプハウジングは、よって薄い原部材、または小さな原部材から製造されることが可能である。これによって真空ポンプの製造の際のコスト削減が行われる。
【００４１】
レシーバーに対する接続のための固定フランジがシールドハウジングによって形成されることによって、ポンプハウジングのフランジは、明らかに小さな直径で形成されていることが可能である。これによって、ポンプハウジングは、明らかに小さな直径の原部材から製造されることが可能である。原部材（原材料）が、明らかに小さな直径を有するので、この部材のコストは、先行技術に属する真空ポンプのための部材に対して著しく削減される。
【００４２】
シールドの質量に基づいて、真空ポンプの振動挙動はポジティブに影響を受けることが可能である。そのうえ、シールドハウジングとポンプハウジングの間の接続は、緩衝作用を有するように形成されることが可能である。
【００４３】
本発明の別の特徴及びメリットは、添付の図面に基づいて生じる。該図面には、発明にかかる真空ポンプの複数の実施例が、例示的にのみあらわされている。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】シールドハウジングを有する真空ポンプの斜視図
【図２】図１のポンプの長手方向断面図
【図３】図１のポンプの部分断面図
【図４】シールドハウジングを有する真空ポンプの第二の実施例の斜視図
【図５】図４のポンプの長手方向断面図
【図６】図４のポンプの部分断面図
【図７】ブラケットを有するＩＳＯ−ＫＦフランジの長手方向断面図
【図８】ＩＳＯ−Ｆカラーリングを有するＩＳＯ−ＫＦフランジの長手方向断面図
【図９】ＩＳＯ−Ｆフランジの長手方向断面図
【図１０】ＣＦ−フランジの長手方向断面図
【図１１】変更された実施例
【発明を実施するための形態】
【００４５】
図１から３はターボ分子ポンプ１を示す。このターボ分子ポンプは、ポンプハウジング２及びシールドハウジング３を有している。
【００４６】
特別に設けられたハウジング４内には、電子機器が組込まれている。（図示されていない）モーターは、モーターハウジング３３内に設けられている。真空ポンプ１は、ターボ分子ポンプ段５とホルベックポンプ段６を有する。ポンプ段は、図３にのみ表されている。
【００４７】
シールドハウジング３は、ホルベックポンプ段６とターボ分子ポンプ段５が、真空ポンプ１のフランジ９を含めて軸方向で完全にシールドハウジング３によって取り囲まれているような、軸方向寸法を有する。これによって、真空ポンプ１の使用の際に、高い磁場強度の領域内において、ローターのシールドが存在し、ローター７における渦電流効果（渦電流効果は真空ポンプ１の熱負荷に通じる可能性がある）が防止されるということが保証される。
【００４８】
ローター７は、ターボ分子ポンプ段５の領域内におけるローター羽根１１を担持する軸を有する。ローター羽根１１は、複数のステーター羽根１２の中に達している。ステーター羽根は、ポンプハウジング２に固定されている。ホルベックポンプ段６は、軸に設けられ回転しポンプ効果を発する構造１３と、ステーターに設けられポンプ効果を発する構造１４を有している。
【００４９】
シールドハウジング３は、フランジ８と共にレシーバーにおける固定機能を担う。シールドハウジング３は、この為、フランジ８を有する。これはＩＳＯ標準フランジとして形成されている。
【００５０】
この場合、フランジ８はＩＳＯ−Ｆ−フランジとして形成されている。
【００５１】
図１から３に表されている真空ポンプ１は、固定フランジ９を有する。この固定フランジは、シールドハウジング３の内部に設けられるフランジ９として形成されている。レシーバーにおける固定は、シールドハウジング３におけるＩＳＯ−Ｆ−フランジによって行われる。シールドハウジング３からポンプフランジに対する接続はＩＳＯ−Ｆ−カラーフランジ（独語：Ｕｅｂｅｒｗｕｒｆｆｌａｎｓｃｈ）におけるように行われる。シールドハウジング３の外直径は、全軸方向長さにわたって一定である。
【００５２】
ポンプハウジング２とシールドハウジング３の間には、Ｏリング３０が設けられている。Ｏリング３０は、シール機能を有さず、まず、公差の補償とポンプハウジング２と、そしてシールドハウジング３の間の緩衝の為に使用される。
【００５３】
図４から６には、真空ポンプ１が表されている。この真空ポンプは、ポンプハウジング２とシールドハウジング３を有する。シールドハウジング３は、フランジ８を有する。この中では固定ねじ１６が、この為に設けられた孔部１７内に配置されることが可能である。その上、レシーバーに対するシールの為に、ＣＦシール１８が設けられている。
【００５４】
その上、真空ポンプ１は、シールドされていない電子機器ハウジング４を有する。
【００５５】
真空ポンプ１は、インレット１９及びアウトレット２０を有する。インレット１９は、図示されていないレシーバーと接続されている。
【００５６】
図４から６内には、良好な視認性の為に、ローターとステーターから成るポンプ構造は表されていない。しかしこれは、図１から３に表されているのと同様または類似の構造を有することが可能である。
【００５７】
図４から６内に表された真空ポンプ１もまた、シールドハウジングの固定フランジを介して、レシーバーにおける固定を実現する。ＣＦシール１８の切断エッジは、ポンプハウジング２に設けられている。
【００５８】
図５に表されているように、シールドハウジング３は、外直径Ａを有する。他方でポンプハウジング２は外直径Ｂを有する。先行技術におけるように、ポンプハウジング２の固定フランジが、標準フランジとして形成されているとき、ポンプハウジング２は外直径Ａを有し、レシーバーの形成された標準接続部に接続されることができる。つまり、ポンプハウジング２が製造される未加工材料は直径Ａを有する必要がある。ポンプハウジング２は、例えば未加工材料から旋削によって作られる（独語：ｇｅｄｒｅｈｔ  ｗｅｒｄｅｎ）。未加工材料は、製造されるポンプハウジング２の最も大きい直径に相当する外直径を有する必要がある。
【００５９】
これによって、本発明にかかる固定機能は、シールドハウジング３によって行われ、シールドハウジング３はもはや、外直径Ａを有さず、一方でポンプハウジングが最大の外直径Ｂを有すると。これによって外直径Ｂを有する未加工材料が使用されることが可能である。ポンプハウジング２は通常、特殊鋼（独語：Ｅｄｅｌｓｔａｈｌ）から製造されるので、未加工材料の外直径の減少が著しくコスト削減的である。
【００６０】
シールドハウジング３は通常、シール機能を有さないので、表面品質に対する要求は低い。同時に、比較的プラスバリューのある材料が、シールドハウジング３に使用されることが可能である。というのは、磁場シールド作用のみが与えられる必要があるからである。この作用は例えば、構造用鋼（独語：Ｂａｕｓｔａｈｌ）のみが満たす。というのは、これは強磁性だからである。
【００６１】
図７は、ブラケット（独語：Ｐｒａｔｚｅｎ）を有するＩＳＯ−Ｋ−フランジによってシールドハウジング３に固定されていることを示している。シールドハウジング３のねじ穴１７ないに入るねじ２３によって、レシーバー２１のフランジ２４がシールドハウジング３のフランジ８と解除可能かつ位置固定的に接続される。
【００６２】
ポンプハウジング２のフランジ９とレシーバーのフランジ２４の間には、密閉のためにОリングシール２５が設けられている。有利には、このため、Оリング２５を有するセンタリングリング３１が使用されている。追加的に、シールドハウジング３とポンプハウジング２の間に、Оリングシール３４が設けられている。
【００６３】
図８は、カラーリング２６（ＩＳＯ−Ｆ）を有する別の固定可能性（固定手段）を示す。カラーリングは、レシーバー２１のフランジ２４に設けられている。ねじ２３は、カラーリング２６を通ってシールドハウジング３のフランジ８の穴１７内へと入り、そしてこれによってポンプハウジング２をレシーバー２１と接続する。ポンプハウジング２のフランジ９とレシーバーのフランジ２４の間には、Оリングシール、例えばОリングシール２５を有するセンタリングリング３１のようなものが設けられている。
【００６４】
追加的に、シールドハウジング３とポンプハウジング２の間にОリングシール３４が設けられている。
【００６５】
図９はＩＳＯ−Ｆ−フランジ２７を示す。このフランジは、レシーバー２１に設けられている。ＩＳＯ−Ｆ−フランジ２７は、ねじ２３によってシールドハウジング３に固定されている。ねじは姉部１７内へと入る。穴部１７は、フランジ８内に設けられている。シールドハウジング３内には、ポンプハウジング２が設けられている。ポンプハウジング２とシールドハウジング３の間にはОリングシール３４が設けられている。ＩＳＯ−Ｆ−フランジ２７とポンプハウジング２の間には、センタリングリング３１およびОリングシール２５が設けられている。
【００６６】
図１０はＣＦ−フランジ２８を示す。このフランジはレシーバー２１に設けられている。シールドハウジング３は、穴部１７を有するフランジ８を有する。ねじ穴１７内にはねじ２３が入り込む。これらねじは、ＣＦ−フランジ２８をシールドハウジング３と接続する。ポンプハウジング２のフランジ９とＣＦ−フランジの間にはＣＦシール１８が設けられている。
【００６７】
シールドハウジング３は、好ましくは、シールドハウジング３がハウジングフランジの固定機能を担うように形成されている。外側の寸法は、フランジ領域内において、例えばＩＳＯ−ＦまたはＩＳＯ−ＣＦのような標準フランジ固定のそれに相当する。ＩＳＯ−Ｆ−カラーフランジと同様、ＩＳＯ−Ｆ−フランジ固定部を有するシールドハウジング３を、ＩＳＯ−Ｋ−ハウジングに合わせることも可能である。このようにして、標準ＩＳＯ−Ｋ−ポンプに発明にかかるシールドハウジング３を後付けし、そしてＩＳＯ−Ｆ−フランジ接続によって取り付けることが可能である。
【００６８】
図１１は、図２にあらわされているような真空ポンプ１を示す。同じ部材には同じ参照符号が付されている。図２と異なり、電子機器ハウジング４は、追加的にシールドハウジング２９内に設けられており、追加的な電子機器のシールドを達成する。代替として、または追加的に、モーターハウジング３３をシールドハウジング３２内に配置する可能性も存在する。
【符号の説明】
【００６９】
１  シールドハウジング３のフランジ
９  ポンプハウジング２のフランジ
１０  軸
１１  ローター羽根
１２  ステーター羽根
１３  ホルベックポンプ段のポンプ効果を発する構造
１４  ホルベックポンプ段のポンプ効果を発する構造
１７  穴部
１８  ＣＦシール
２４  Оリングシール
Ａ  外直径
Ｂ  外直径
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2016118200.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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