(57)【要約】【課題】低摩擦特性と高耐摩耗性が高次元で両立され得る摺動部材を提供する。【解決手段】本発明の摺動部材は、基材と、基材上に形成され摺動面を構成する摺動膜とを備える。この摺動膜は、膜全体を１００原子％としたときに、Ｂ：１〜２０％とＨ：０．１〜１３％を含むホウ素含有非晶質炭素（Ｂ−ＤＬＣ）からなる。このＢ−ＤＬＣは、密度が２．２〜２．６ｇ／ｃｍ３である。また、このＢ−ＤＬＣは、全Ｃ量に対するｓｐ３混成軌道を有するＣ（Ｃｓｐ３）の原子割合であるＣｓｐ３量とＨ量との差（Ｃｓｐ３−Ｈ）が２５〜４５％であると好ましい。このようなＢ−ＤＬＣからなる摺動膜は、例えば、スパッタリング法により形成される。本発明に係るＢ−ＤＬＣ膜は、低摩擦特性と高耐摩耗性を発揮すると共に高靱性でもあるため、エンジン等の駆動系部材に好適である。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材と、
該基材上に形成され摺動面を構成する摺動膜と、
を備える摺動部材であって、
前記摺動膜は、全体を１００原子％（単に「％」という。）としたときに、
ホウ素（Ｂ）：１〜２０％と
水素（Ｈ）：０．１〜１３％
を含むホウ素含有非晶質炭素（以下、「Ｂ−ＤＬＣ」という。）からなり、
該Ｂ−ＤＬＣは、密度が２．２〜２．６ｇ／ｃｍ３であることを特徴とする摺動部材。
【請求項２】
前記Ｂ−ＤＬＣは、全Ｃ量に対するｓｐ３混成軌道を有する炭素（Ｃ）（「Ｃｓｐ３」という。）の原子割合であるＣｓｐ３量と前記Ｈ量との差（Ｃｓｐ３−Ｈ）が２５〜４５％である請求項１に記載の摺動部材。
【請求項３】
前記摺動膜は、スパッタリング法により形成される請求項１または２に記載の摺動部材。
【請求項４】
潤滑油の存在する湿式条件下で用いられる請求項１〜３のいずれかに記載の摺動部材。
【請求項５】
相対移動し得る対向した摺動面を有する一対の摺動部材と、
該対向する摺動面間に介在し得る潤滑油と、
を備えた摺動機械であって、
前記摺動部材の少なくとも一方は、請求項１〜４のいずれかに記載の摺動部材からなることを特徴とする摺動機械。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、低摩擦特性と高耐摩耗性を高次元で両立できる摺動部材およびそれを備えた摺動機械に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車に搭載される内燃機関などは、多くの摺動部材（例えばカムとカムフォロア、シリンダーとピストン、種々の軸と軸受け）からなる。このような摺動部材を備える機械（摺動機械）では、各摺動部における摩擦係数を減少させ、摩擦損失の低減等を図ることが強く要求されている。
【０００３】
そこで、例えば、摩擦係数の低減を図れるダイヤモンドライクカーボン膜と呼ばれる非晶質炭素膜（適宜「ＤＬＣ膜」という。）を摺動面に形成することが提案されている。これに関連する記載が下記の特許文献等にある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４７７９５５１号
【特許文献２】特許第５３５８５２１号
【非特許文献】
【０００５】
【非特許文献１】第５回新機械振興賞受賞者業績資料  日産自動車、リケン、日立製作所、日本ＩＴＦ
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１と特許文献２は、ホウ素（Ｂ）を含有した非晶質硬質炭素膜（適宜「Ｂ−ＤＬＣ膜」という。）を摺動面に形成した摺動部材（摺動構造）を提案している。これらのＢ−ＤＬＣ膜は低摩擦係数を発揮するが、Ｂ量が多くなると摩耗量が増加する。例えば、特許文献２のＢ−ＤＬＣ膜（Ｂ：６．４ａｔ％）は、摩擦係数（μ）が非常に小さいが、その硬さも小さく（１５．４ＧＰａ）、耐摩耗性が十分ではない。このように摩耗量の大きな被膜では、初期のマクロ形状（設計値）が維持されず、摺動機械の予定した性能が安定して発揮されない可能性がある。
【０００７】
非特許文献１は、アーク式イオンプレーティング法により形成された硬質なＢ非含有ＤＬＣ膜（膜厚：１μｍ程度、硬さ：７０ＧＰａ程度）と最適な油性剤との組合わせにより低摩擦特性が得られる旨を開示している。もっとも、そのＢ非含有ＤＬＣ膜は、ダイヤモンドの硬さに匹敵するほど過大に硬質であり、割れや剥離等を生じる可能性が高い。このため、非特許文献１のＤＬＣ膜は、荷重変動等によって大きな衝撃力が作用し得る摺動面には適さない。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑みて為されたものであり、低摩擦特性および耐摩耗性に優れる摺動部材と、その摺動部材を備えた摺動機械を提案することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者はこの課題を解決すべく鋭意研究し、試行錯誤を重ねた結果、従来とは異なる膜組成および膜密度を有するＢ−ＤＬＣ膜を摺動面に設けることにより、低摩擦特性と高耐摩耗性を高次元で両立し得ることを新たに見い出した。これらの成果を発展させることにより、以降に述べる本発明を完成するに至った。
【００１０】
《摺動部材》
（１）本発明の摺動部材は、基材と、該基材上に形成され摺動面を構成する摺動膜と、を備える摺動部材であって、前記摺動膜は、（Ｂ−ＤＬＣ）全体を１００原子％（単に「％」という。）としたときに、ホウ素（Ｂ）：１〜２０％と水素（Ｈ）：０．１〜１３％を含むホウ素含有非晶質炭素（以下、「Ｂ−ＤＬＣ」という。）からなり、該Ｂ−ＤＬＣは、密度が２．２〜２．６ｇ／ｃｍ３であることを特徴とする。
【００１１】
（２）本発明に係る摺動膜は、低摩擦特性を発揮すると共に耐摩耗性にも優れる。このため本発明の摺動部材を用いた摺動機械は、優れた省エネルギー性能（例えば低燃費性）を示すとともに、信頼性や耐久性に優れたものとなる。
【００１２】
（３）本発明に係るＢ−ＤＬＣからなる摺動膜（適宜、単に「Ｂ−ＤＬＣ膜」という。）が、そのような優れた特性（特に高耐摩耗性）を発揮する理由は必ずしも定かではないが、現状では次のように考えられる。本発明に係るＢ−ＤＬＣ膜は、従来のＢ−ＤＬＣ膜と比較して、構成原子（主にＣまたはＢ）の結合状態が異なり、特定範囲の膜密度を有し、優れた摺動特性（低摩擦特性、高耐摩耗性または高靱性等）を発揮するようになったと考えられる。具体的にいうと、従来のＢ−ＤＬＣ膜（例えば、上述した特許文献２に係るＢ−ＤＬＣ膜）は、膜密度が高々１．７〜２．１ｇ／ｃｍ３ 程度に過ぎなかった。また、Ｂを含まない硬質なＤＬＣ膜（例えば、上述した非特許文献１に係るＤＬＣ膜）は、膜密度が３．１ｇ／ｃｍ３ 程度であった。ちなみに、ダイヤモンド（Ｃｓｐ３からなる）の密度は３．５２ｇ／ｃｍ３ である。なお、グラファイト（Ｃｓｐ２からなる）の密度は２．２５ｇ／ｃｍ３ 、Ｂ単体（安定なβ型）の密度は２．３５ｇ／ｃｍ３である。
【００１３】
そうすると、本発明に係るＢ−ＤＬＣ膜の膜密度は、従来のＤＬＣ膜（Ｂ−ＤＬＣ膜を含む。）と異なることは勿論、少なくともダイヤモンドの密度とも大きく異なっている。このような特異な膜密度を発現する構造（原子の結合状態）に起因して、本発明に係るＢ−ＤＬＣ膜は、非常に優れた低摩擦特性と高耐摩耗性とを発現するようになったと考えられる。さらに本発明に係るＢ−ＤＬＣ膜は、その膜密度が、ＨおよびＢを含有しない従来のＤＬＣ膜のように過大ではないため、高靱性でもあり得る。
【００１４】
なお、少なくともＤＬＣ膜（Ｂ−ＤＬＣ膜を含む。）に関していえば、膜硬さ（硬度）と膜密度は基本的に異なる概念である。また、膜硬さと耐摩耗性は必ずしも相関している訳ではない（「森ら,トライボロジスト，54，1，（2009）40-47」参照）。さらに、膜密度と耐摩耗性の関係については、これまで知られていなかった。
【００１５】
《摺動機械》
本発明は摺動部材としてのみならず、それを用いた摺動機械としても把握される。すなわち本発明は、相対移動し得る対向した摺動面を有する一対の摺動部材と、該対向する摺動面間に介在し得る潤滑油と、を備えた摺動機械であって、前記摺動部材の少なくとも一方は、上述した本発明の摺動部材からなることを特徴とする摺動機械でもよい。
【００１６】
《その他》
（１）本発明に係るＢ−ＤＬＣは、ＣおよびＢの他、特性改善に有効な元素（改質元素）を適宜含み得る。また、コスト的または技術的な理由により除去困難な「不可避不純物」を含有し得ることは当然にある。
【００１７】
本発明でいう摺動膜は、摺動面（最表面）がＢ−ＤＬＣ（膜）からなれば足り、その下地層までは問わない。従って、本発明に係る摺動膜は、Ｂ−ＤＬＣ膜のみでも良いし、基材とＢ−ＤＬＣ膜との間にある中間層を含むものでもよい。
【００１８】
（２）本発明に係るＢ−ＤＬＣ膜は、低摩擦特性と共に高耐摩耗性を発現するが、その具体的な摩擦係数や摩耗量等までは問わない。このような特性は、摺動条件（摺動面間の面圧（ヘルツ面圧）、相手材の材質や形状、用いる潤滑油の種類等）により変化するためである。敢えていうなら、本発明に係る摺動面の摩擦係数（湿式条件下）は、例えば０．０１〜０．０６さらには０．０２〜０．０５であると好ましい。
【００１９】
（３）本発明の摺動部材（摺動機械）は、潤滑油の存在する湿式条件下で用いられることにより、特に優れた摩擦特性と耐摩耗性を発揮する。この傾向は、成分（添加剤の種類や量）が異なる種々の潤滑油について該当する。例えば、従来から摩擦調整剤等として用いられてきたジアルキルジチオカルバミン酸モリブデン（ＭｏＤＴＣ）を含む潤滑油（適宜「ＭｏＤＴＣ含有オイル」という。）であっても、逆に、ＭｏＤＴＣを実質的に含まない潤滑油（適宜「ＭｏＤＴＣ非含有オイル」という。）であっても、本発明に係るＢ−ＤＬＣ膜は、低摩擦特性と共に高耐摩耗性を発揮し得る。
【００２０】
（４）特に断らない限り本明細書でいう「ｘ〜ｙ」は下限値ｘおよび上限値ｙを含む。本明細書に記載した種々の数値または数値範囲に含まれる任意の数値を、新たな下限値または上限値として「ａ〜Ｂ」のような数値範囲を新設し得る。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】ＤＬＣ膜（Ｂ−ＤＬＣ膜を含む。）の膜密度と膜硬さの関係を示す分散図である。
【図２】ＤＬＣ膜の膜密度と摩耗深さとの関係を示す分散図である。
【図３】ＤＬＣ膜の摩擦係数と摩耗深さとの関係を示す分散図である。
【図４Ａ】試料３に係るＮＭＲスペクトル図である。
【図４Ｂ】試料Ｃ２に係るＮＭＲスペクトル図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
発明の実施形態を挙げて本発明をより詳しく説明する。上述した本発明の構成に本明細書中から任意に選択した一つまたは二つ以上の構成を付加し得る。本明細書で説明する内容は、本発明の摺動部材や摺動機械のみならず、その製造方法にも適用され得る。製造方法に関する構成は、プロダクトバイプロセスとして理解すれば物に関する構成ともなり得る。なお、いずれの実施形態が最良であるか否かは、対象、要求性能等によって異なる。
【００２３】
《基材》
摺動面が形成される基材はその材質を問わないが、通常、金属材料、特に鉄鋼（炭素鋼または合金鋼）材からなる。基材表面は、適宜、窒化、浸炭等の表面処理がなされていてもよい。その表面粗さは問わないが、Ｒａで０．３μｍ以下さらには０．１μｍ以下であると好ましい。また、摺動膜の密着性や耐摩耗性の向上を図るため、Ｂ−ＤＬＣ膜の成膜前の基材表面に各種の下地層（中間層）を一層以上設けてもよい。
【００２４】
《摺動膜（Ｂ−ＤＬＣ膜）》
（１）膜組成
本発明に係るＢ−ＤＬＣは、Ｂ：１〜２０％、２〜１５％さらには３〜１３％、Ｈ：０．１〜１３％、０．５〜１２％さらには１〜１１％、残部：Ｃであると好ましい。Ｂが過少であると、摩擦係数が増大し得る。ＢまたはＨが過多になると、摩耗量が増大し得る。なお、本発明に係るＢ−ＤＬＣは、必ずしもＨを含まなくてもよいが、Ｈを完全に除去することは容易ではない。適量のＨが存在することにより、Ｂ−ＤＬＣ膜の靱性が向上し得る。なお、本明細書でいう膜組成は単に「％」で表すが、それは特に断らない原子割合を意味する。
【００２５】
なお、本発明に係るＢ−ＤＬＣは、適宜、Ａｌ、Ｍｎ、Ｍｏ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｗ、Ｖ、Ｎｉ等を含み得る。これら元素の含有量は問わないが、合計で４％未満さらには２％未満であると好ましい。なお、Ｂ−ＤＬＣの組成は、最表層の厚さ方向に関して、均質的でも、多少変化していても、さらには傾斜していてもよい。
【００２６】
（２）Ｃｓｐ３ 量
本発明に係るＢ−ＤＬＣは、全Ｃ量に対するｓｐ３混成軌道を有するＣ（Ｃｓｐ３）の原子割合であるＣｓｐ３量と、全体組成中のＨ量との差（Ｃｓｐ３−Ｈ）が２５〜４５％さらには２７〜４０％であると好ましい。この差が過小では耐摩耗性が低下し、この差が過大では、摩擦係数の増大または靱性の低下を招き得る。
【００２７】
Ｃｓｐ３量単独では、２５〜５５％、２６〜４０％さらには２７〜３５％であると好ましい。Ｃｓｐ３が過少では、Ｂ−ＤＬＣがグラファイト（Ｃｓｐ２量；１００％、Ｃｓｐ３量：０％）に近づき、耐摩耗性が低下し得る。Ｃｓｐ３が過多では、Ｂ−ＤＬＣがダイヤモンド（Ｃｓｐ２量；０％、Ｃｓｐ３量：１００％）に近づき、摩擦係数の増大や靱性の低下を招き得る。いずれにしても、摺動膜の低摩擦特性と高耐摩耗性を高次元で両立し難くなる。
【００２８】
なお、従来のＢ−ＤＬＣ膜（例えば、上述した特許文献２に係るＢ−ＤＬＣ膜）のＣｓｐ３ 量は４０％程度であるが、Ｈ量を相応に含むため、上述した（Ｃｓｐ３−Ｈ）量は２５％よりもかなり小さくなる。逆に、ＢおよびＨを実質的に含まない硬質なＤＬＣ膜（例えば、上述した非特許文献１に係るＤＬＣ膜）は、Ｃｓｐ３ 量が７０％ 超であり、かなり大きくなる。いずれの場合も、高耐摩耗性と低摩擦特性を高次元で両立することはできない。
【００２９】
ちなみに、ＤＬＣ（Ｂ−ＤＬＣを含む。）中のＣは、実質的に、Ｃｓｐ３か、ｓｐ２混成軌道を有するＣ（Ｃｓｐ２）である。Ｃｓｐ３またはＣｓｐ２は、核磁気共鳴法（ＮＭＲ）により定量される。具体的には、固体ＮＭＲで定量性のあるマジックアングルスピニングを行う高出力デカップリング法（ＨＤ−ＭＡＳ）を用いて、Ｃｓｐ３とＣｓｐ２とにそれぞれ起因したスペクトル図を得る。各スペクトル線と基準線（ベースライン）とで囲まれた領域の面積比に基づいて、全Ｃ量に対するＣｓｐ３またはＣｓｐ２の原子割合が求まる。
【００３０】
なお、ＤＬＣ（Ｂ−ＤＬＣを含む）の全体組成に対するＣｓｐ３量は、その全体組成から求まる残部Ｃ量に、固体ＮＭＲ法で定量されたＣｓｐ３量（残部Ｃ量を１００原子％として定量されたＣｓｐ３量）を掛け合わせることにより求まる。但し、本明細書でいうＣｓｐ３ 量は、特に断らない限り、Ｂ−ＤＬＣ中の全Ｃ量を１００％として換算した値である。
【００３１】
（３）膜密度
本発明に係るＢ−ＤＬＣは、密度が２．２〜２．６ｇ／ｃｍ３さらには２．３〜２．５ｇ／ｃｍ３であると好ましい。Ｂ−ＤＬＣの密度が過小では耐摩耗性が低下し、その密度が過大では摩擦係数の増大または靱性の低下を招き、安定した高耐摩耗性が得られない。
【００３２】
前述したように、少なくともＢ−ＤＬＣ膜の場合、膜密度と膜硬さは別概念であり、膜硬さと耐摩耗性の間にも必ずしも明確な相関がある訳ではない。敢えていうと、本発明に係るＢ−ＤＬＣ膜の膜硬さは、例えば、２０〜３０ＧＰａさらには２２〜２６ＧＰａであると好ましい。
【００３３】
《成膜》
本発明に係る摺動膜の成膜方法は種々考えられるが、例えば、スパッタリング法（ＳＰ法）により形成されると好ましい。ＳＰ法は、物理気相成長法（ＰＶＤ法）の一種であり、ターゲットに不活性ガス原子イオンをターゲット表面に衝突させて、飛び出したターゲットの粒子（原子・分子）を、基材に負のバイアス電圧を印加し、摺動面となる基材表面にＤＬＣ膜を堆積させて成膜する方法である。
【００３４】
この他、ＤＬＣ膜は、カソード（バキューム）アーク法（以下単に「ＣＶＡ法」という。）等によっても形成可能である。ＣＶＡ法は、物理気相成長法（ＰＶＤ法）に含まれるイオンプレーティング法の一種であり、真空雰囲気において、カソード（陰極）であるターゲットとアノード（陽極）との間で真空アーク放電を発生させ、ターゲット表面から蒸発・イオン化した粒子を、負のバイアス電圧を印加した基材表面に堆積させて成膜する方法である。
【００３５】
いずれの場合でも、ターゲット、真空雰囲気（導入ガス）、バイアス電圧等を調整することにより、種々のＤＬＣ膜の形成が可能となる。例えば、Ｂ源となる炭化ホウ素（Ｂ４Ｃ）、ホウ素、Ｃ源となるグラファイトなどをターゲットに用いるとよい。Ｂ−ＤＬＣ膜中のＨ量の調整は、例えば、各種炭化水素ガス（Ｃ２Ｈ２、ＣＨ４、Ｃ６Ｈ６等）を処理ガスとしてチャンバー内に導入することにより行える。またアーク放電については、例えば、Ａｒガス中で行われることが多い。
【００３６】
《用途》
本発明の摺動部材は、その具体的な形態や用途を問わず、多種多様な摺動機械に用いることができる。そして本発明の摺動部材を用いれば、流体潤滑、混合潤滑または境界潤滑の条件下で摺動面に高面圧が作用する場合でも、摺動機械の摩擦損失低減や長寿命化を図ることができる。さらに、本発明に係るＢ−ＤＬＣ膜は耐摩耗性に優れるため、摺動面間における平滑性や設計値（クリアランス等の初期マクロ形状）も長く維持され、本発明の摺動機械は初期性能（燃費性能を含む）を長期的に安定して発揮し得る。
【００３７】
摺動機械として、例えば、自動車等に搭載されるエンジンや変速機等の駆動系ユニットがある。また摺動部材として、ピストン若しくはピストンリングとシリンダー（ライナー）、動弁系部材（バルブリフタ若しくはフォロワとカム、バルブとバルブガイド等）、噛合する歯車、ロータとロータハウジング、軸と軸受等がある。
【００３８】
本発明の摺動部材は、乾式条件下で用いられても、湿式条件下で用いられてもよい。もっとも、潤滑油の存在する湿式条件下で用いられることにより、低摩擦特性を確保しつつ、優れた耐摩耗性が発揮される。潤滑油は種々の添加剤を含み得る。潤滑油がエンジンオイルである場合なら、代表的な添加剤としてＭｏＤＴＣがある。本発明の摺動部材を用いれば、ＭｏＤＴＣ含有オイルを用いる場合でも、ＭｏＤＴＣ非含有オイルを用いる場合でも、優れた耐摩耗性が発揮され得る。なお、本発明に係る潤滑油は、エンジン油に限らず、駆動系油（ＡＴＦまたはミッションオイル）、ギア油等でもよい。
【実施例】
【００３９】
成膜方法の選択または成膜条件の調整により、種々のＤＬＣ膜（Ｂ−ＤＬＣ膜を含む）を基材表面に成膜した。それぞれについて膜特性（組成、膜密度、構造等）を測定・観察すると共に摺動特性（耐摩耗性、摩擦特性）を評価した。このような具体例に基づき、以下に本発明をさらに詳しく説明する。
【００４０】
《試料の製造》
表１に示す種々の試料（摺動部材）を製造した。各試料は、基材であるブロック試験片（１５．７ｍｍ×６．３ｍｍ×１０ｍｍ）の摺動面となる一面に、種々の被膜を形成したものである。但し、試料Ｃ０は、基材の研磨面をそのまま摺動面とした。
【００４１】
〈基材〉
試料Ｃ０以外の基材には、マルテンサイト系ステンレス鋼（ＪＩＳ  ＳＵＳ４４０Ｃ）の焼入れ焼戻し材（ＨＲＣ５８）を用いた。各基材の表面（被処理面）は、成膜前の表面粗さがＲａ：０．００８μｍとなるように研磨しておいた。
【００４２】
試料Ｃ０の基材には、浸炭鋼（ＪＩＳ  ＳＣＭ４２０）の焼入れ焼戻し材を用いた。試料Ｃ０の基材表面は、鏡面仕上げ面（Ｒａ：０．０８μｍ）されており、その表面硬さはＨＶ６００であった。なお、表面粗さ（Ｒａ）は、ＪＩＳ  Ｂ０６０１：’０１に準拠した算術平均粗さである。
【００４３】
〈成膜〉
各試料（試料Ｃ０を除く。以下、同様）の基材表面に、スパッタリング法（ＳＰ法）またはカソードアーク法（ＣＶＡ法）により、各種のＤＬＣ膜を成膜した。
【００４４】
（１）試料１〜３と試料Ｃ１・Ｃ２（ＳＰ法）
試料１〜３のＢ−ＤＬＣ膜は、Ｂ４ＣおよびＣ（グラファイト）をターゲットとして、Ａｒガスでスパッタリングして成膜した。この成膜には、アンバラスドマグネトロンスパッタリング装置（株式会社神戸製鋼製）を用いた。試料１および試料２では、チャンバーへＣ２Ｈ２を導入して、Ｂ−ＤＬＣ膜中のＨ量を調整した。試料３は、チャンバーへ炭化水素ガスを導入せず、Ａｒガスのみで成膜した。一方、試料Ｃ１・Ｃ２の成膜は、基本的に特許文献２（特許第５３５８５２１号公報）の記載に沿って、チャンバーへＣＨ４を導入して行った。いずれの試料も、成膜厚さ（膜厚）は１μｍとした。膜厚は、後述する試料Ｃ３・Ｃ４についても同様である。
【００４５】
（２）試料Ｃ３・試料Ｃ４
試料Ｃ３はＳＰ法により、試料Ｃ４はＣＶＡ法により、Ｂ含有ターゲットを用いずに、Ｃ（グラファイト）ターゲットのみを用いて、（Ｂ非含有）ＤＬＣ膜を成膜したものである。特に試料Ｃ４は、炭化水素ガス等を導入せず、Ｈ非含有（Ｈフリー）なＤＬＣ膜を成膜したものである。なお、ＣＶＡ法による成膜は、日本ＩＴＦ製、Ｍ７２０Ｅを用いて、Ａｒガス中でアーク放電させることにより行った。
【００４６】
《測定・観察》
各試料に係る膜特性をそれぞれ測定し、その結果を表１に併せて示した。被膜中のＢ量は電子線マイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）（日本電子製、ＪＸＡ−８２００）により測定し、Ｈ量は弾性反跳検出分析（ＥＲＤＡ）（Ｎａｔｉｏｎａｌ ＥｌｅＣｔｒｏｓｔａｔｉＣｓ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ製、Ｐｅｌｌｅｔｒｏｎ  ３ＳＤＨ）により測定した。
【００４７】
Ｃｓｐ３量は、固体核磁気共鳴装置（日本電子製、ＥＣＡ７００）を用いて固体ＮＭＲ法により測定した。具体的にいうと、Ａｌ基板上に成膜（膜厚：０．１μｍ）したサンプルから、Ａｌ基板を溶解させて得られた粉末（Ｂ−ＤＬＣ）について測定を行った。なお、表１に示したＨ量は、ＥＲＤＡによる測定結果を、ＥＰＭＡの測定結果を考慮して、膜全体に対する原子割合（ａｔ％）として換算したものである。Ｃｓｐ３量は、膜中に含まれるＣ量全体を１００ａｔ％として求めた値である。  
【００４８】
膜硬さは、ナノインデンター試験機（ＴＲＩＢＯＳＣＯＰＥ，ＨＹＳＩＴＲＯＮ社製）により測定した。膜密度はＸ線反射率法（ＸＲＲ）により求めた。具体的にいうと、Ｘ線反射率測定装置（リガク社製ＳｍａｒｔＬａｂ）を用いて、入射Ｘ線波長：０．１５４１ｎｍ（ＣｕＫα１）、出力：４５ｋＶ×２００ｍＡ、測定範囲：０．０〜０．５°、測定ステップ：０．００２°とした条件下で測定を行う。こうして得られたＸ線反射率曲線から求まる各試料の臨界角と上述した各試料の膜組成とを考慮してフィッテングを行うことにより、膜密度を求めた。
【００４９】
《摩擦試験》
各試料の成膜面（試料Ｃ０は研磨面）を摺動面として、リング・オン・ブロック型摩擦試験機（ＬＦＷ−１、ＦＡＬＥＸ社製）により摩擦試験を行った。この試験は、潤滑油の存在する状況下で、各試料からなるブロック試験片（摺動面幅：６．３ｍｍ）と、ＦＡＬＥＸ社製の標準試験片（Ｓ−１０／浸炭材：ＳＡＥ４６２０、φ３５ｍｍ×８．８ｍｍ、表面硬さ：ＨＶ８００、表面粗さ：１．７〜２．０μｍＲｚｊｉｓ）であるリング試験片とを、押圧しつつ摺接させて行った。このとき、押圧荷重：１３３Ｎ（ヘルツ面圧：２１０ＭＰａ）、両試験片のすべり速度：０．３ｍ／ｓ、潤滑油の油温：８０℃（一定）、試験時間：３０分間とした。潤滑油には、トヨタ自動車株式会社の純正エンジン油（ＭｏＤＴＣ非含有／トヨタキャッスル  ＳＮ  ０Ｗ−２０／ＩＬＳＡＣ規格：ＧＦ−５）を用いた。
【００５０】
摩擦係数は、試験終了直前の１分間における平均値とした。また摩耗深さは、表面粗さ測定に用いた白色干渉法非接触形状測定機（Ｎｅｗ  Ｖｉｅｗ  ５０２２、ザイゴ株式会社製）により得られた形状に基づき特定される、非摺動面から摺動面の最深部までの深さ、とした。こうして得られた各試料に係る摩擦係数と摩耗深さを表１に併せて示した。
【００５１】
《評価》
（１）膜密度と膜硬さ
表１に示した各試料の膜密度と膜硬さの関係を図１に示した。概観すると、膜密度が増加するほど膜硬さも増加するようにみえる。しかし、試料１〜３の場合、特に試料２と試料３を比較すると明らかなように、膜密度（さらには膜組成）が変化しても、膜硬さは殆ど変化していない。このように膜密度が本発明の範囲内にあるＢ−ＤＬＣ膜の場合、膜密度と膜硬さは必ずしも相関していない。
【００５２】
（２）膜密度と耐摩耗性
各試料の摩耗深さと膜密度との関係を図２に示した。図２から明らかなように、膜密度が２．２ｇ／ｃｍ３以上になると、Ｂ−ＤＬＣ膜の摩耗深さは急激に低下し、Ｂ−ＤＬＣ膜は実質的に摩耗しないほどの高耐摩耗性を発現することがわかった。また図２および表１から、膜密度が本発明に係る範囲内にあるＢ−ＤＬＣ膜は、ＢおよびＨを含み、膜硬さが２５ＧＰａ以下であっても、ＢおよびＨを含まず、膜硬さが５０ＧＰａ程度の非常に硬質なＤＬＣ膜（試料Ｃ４）と同程度の優れた耐摩耗性を発揮することもわかった。
【００５３】
（３）摩擦特性と耐摩耗性
各試料の摩擦係数と摩耗深さの関係を図３に示した。図３から明らかなように、試料１〜３は、他の試料と異なり、摩擦係数と摩耗深さの両方が共に非常に低くなっていることがわかった。つまり試料１〜３は、摩耗深さが大きくて耐摩耗性に欠ける試料Ｃ１・試料Ｃ２や摩擦係数が大きくて低摩擦特性に欠ける試料Ｃ３・試料Ｃ４とは、特性が明らかに大きく相違している。このように本発明に係る膜組成および膜密度を有するＢ−ＤＬＣ膜は、従来のＤＬＣ膜（Ｂ−ＤＬＣ膜を含む。）と異なり、高耐摩耗性と低摩擦特性を高次元で両立できることが明らかとなった。
【００５４】
（４）結合状態
固体ＮＭＲ法で試料３と試料Ｃ２の各Ｂ−ＤＬＣ膜を分析して得られた１３Ｃに係るスペクトル図を、それぞれ図４Ａと図４Ｂに示した。また、それぞれの１１Ｂに係るスペクトル図も各図に併せて示した。
【００５５】
１３Ｃに係るＣｓｐ３とＣｓｐ２のスペクトルから算出した各試料のＣｓｐ３量を表１に示した。ＮＭＲ分析には高額な費用を要するため、試料３と試料Ｃ２についてのみＣｓｐ３量を定量した。試料Ｃ４のＣｓｐ３量は文献値（出典：「水素非含有ダイヤモンドライクカーボン膜の油中摩擦摩耗特性」  馬渕豊 ２０１４年 名古屋大学博士論文）である。
【００５６】
これらの分析結果から、Ｂ−ＤＬＣ膜中におけるＢまたはＣの結合状態がわかる。先ず、１１Ｂに係るスペクトル図から、Ｂは３配位または４配位で結合し得るが、Ｂ−ＤＬＣ膜中では３配位が主体のＢ−Ｃ結合となっていることがわかる。
【００５７】
また、膜中のＨはすべてＣ−Ｈ結合していると仮定して、それを除いたＣ−Ｃ結合またはＣ＝Ｃ結合している膜中のＣのみについて考えると、表１に示した試料３、試料Ｃ２および試料Ｃ４に係るＣｓｐ３量、Ｃｓｐ３量−Ｈ量および膜密度をそれぞれ対比することにより、以下のことがわかる。先ず、試料３は試料Ｃ２よりもＣｓｐ３量が小さいにも拘わらず、試料Ｃ２よりも膜密度および膜硬さが大きくなっている。一般的に考えれば、グラファイトのＣｓｐ３量が０％で、ダイヤモンドのＣｓｐ３量が１００％であることからもわかるように、Ｃｓｐ３量が大きいほど密度や硬さも大きくなると考えられる。このような傾向が試料３と試料Ｃ２とでは逆転している。この理由は、試料３は試料Ｃ２よりもＨ含有量が少ないためと考えられる。つまり、Ｂ−ＤＬＣ中に未結合水素がないと仮定すると、Ｃ−Ｃ結合（一部Ｃ−Ｂ結合）に供されるＣｓｐ３量は、試料３の方が試料Ｃ２よりも多いといえる。換言すると、試料３は試料Ｃ２よりも、Ｃｓｐ３量−Ｈ量さらにはＣｓｐ３量−Ｈ量−Ｂ量が大きいために、上記のような逆転現象が生じたと考えられる。
【００５８】
いずれにしても、同じＢ−ＤＬＣ膜でありながら、試料３と試料Ｃ２とは、構成元素の結合状態が大きく異なるＤＬＣ膜であるといえる。また、試料３のＢ−ＤＬＣ膜は、試料Ｃ４のＤＬＣ膜のようにＣｓｐ３量が過大ではないため、柔軟性（変形性）に優れ、高靱性であるともいえる。
【００５９】
（５）膜組織
試料３と試料Ｃ２のＢ−ＤＬＣ膜はいずれも、Ｘ線回折像から、実質的に無配向な非晶質構造からなることも確認されている。
【００６０】
こうして本発明に係るＢ−ＤＬＣ膜を摺動面に設けることにより、低摩擦性と耐摩耗性を高次元で両立した摺動部材が得られることが確認された。
【００６１】
【表１】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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