(57)【要約】【課題】メンブレンプレートと圧電素子との接着を過不足なくできるインクジェットヘッドを提供すること。【解決手段】インクを吐出する複数のノズル穴が存在するノズルプレートと、ノズル穴に連通する圧力室を有するインク流路プレートと、圧力室に圧力を与えるメンブレンプレートと、メンブレンプレートを振動させる圧電素子と、を含むインクジェットヘッドにおいて、圧電素子は、メンブレンプレートに設けられた部であるゲタ部に接着され、ゲタ部に複数の凹部を設けたインクジェットヘッドを用いる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出する複数のノズル穴が存在するノズルプレートと、
前記ノズル穴に連通する圧力室を有するインク流路プレートと、
前記圧力室に圧力を与えるメンブレンプレートと、
前記メンブレンプレートを振動させる圧電素子と、を含むインクジェットヘッドにおいて、
前記圧電素子は、メンブレンプレートに設けられた凸部であるゲタ部に接着され、
前記ゲタ部に複数の凹部を設けたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記ゲタ部が、四角柱状であり、前記四角柱の上面は前記接着される面であり、
前記複数の凹部は、前記ゲタ部の前記四角柱の側面に設けられている請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記四角柱のゲタ部は、その下面の面積が、上面の面積より大きく、側面が傾斜している請求項２記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記凹部の形状が、円弧、多角形、島状のいずれか１つである請求項１から３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドと、
前記インクが塗布される被塗布物と前記インクジェットヘッドとを相対的に移動させる移動機構と、
を含むインクジェット装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク塗布ノズル、特に、インクジェットヘッドとインクジェット装置に関するものである
【背景技術】
【０００２】
インクジェットヘッドは、紙等の対象物に必要なときに必要な量のインクを塗布することができるヘッドとして知られている。インク吐出方式としては、発熱抵抗体を利用するものや、圧電素子を利用するものなど、様々な方式のものが提案されている。
【０００３】
しかし、特に、圧電（ピエゾ）方式は、幅広い種類のインクを高精度に制御しながら塗布することができるため、現在、積極的に開発が行われている。
【０００４】
一般的なインクジェットヘッドの構成を、図１２の断面図で説明する。圧電方式のインクジェットヘッドは、複数のノズル穴１を有するノズルプレート２と、インク室１６を形成する複数のインク流路プレート３と、メンブレンプレート４と、それらで囲まれたインク室１６と、インク室１６内に充填されたインクに圧力を印加する圧電素子５と、で構成される。圧電素子５に駆動電圧を印加することで生じる圧電素子５の機械的歪みにより、インク室内のインクに圧力加え、ノズル穴１からインク液滴を吐出するものである。
【０００５】
この構成は、ノズルプレート２と、インク流路プレート３と、メンブレンプレート４と、圧電素子５とを接着剤６で接着することにより形成されている。効率的で、かつ、着弾位置精度の高いインク吐出を実現するためには、次の３点が重要である。
【０００６】
１点目は、圧電素子５の機械的歪みをいかにメンブレンプレート４に伝達するか。２点目は、その伝達されたエネルギーをロス無くインク自身に伝えて押し出すか。３点目は、ノズル穴１からいかにスムーズにインク液滴を飛び出させるかである。
【０００７】
例えば、接着強度が低い場合、圧電素子５に駆動電圧を印加することで生じる機械的歪みによりノズル穴１方向へ垂直にメンブレンプレート４を押し上げる力が効率良く、歪をメンブレンプレート４に伝達できない。或いは、全く伝達できない状況が生じてしまう。
【０００８】
そういった状況が発生すれば、インク室内に存在するインク自体に十分な圧力を加えることができないため、ノズル穴１から吐出されるインクの体積が減少する、或いは、全く吐出しないことになる。
【０００９】
また、圧電素子５の短手方向に接着強度の偏りがあれば、上記の機械的歪みのメンブレンプレート４への伝達方向が、ノズル穴１方向からずれ、インクが真っ直ぐ吐出しないことになりインク着弾位置がずれる。
【００１０】
つまり、理想的なインク吐出を実現するには、前述したようにメンブレンプレート４へのエネルギー伝達が最も重要で、そのエネルギー伝達効率を安定かつ向上させるためには、圧電素子５とメンブレンプレート４間の接着強度を十分確保するとともにその偏りを減少させることが必要である。
【００１１】
安定した接着強度を確保する従来の方法として、圧電素子５の接着面にスクリーン印刷法やディスペンス工法により熱硬化型接着剤をパターン塗布し、圧電素子５とメンブレンプレート４の位置アライメントをした後に接着させ、その後、高温炉に投入し接着剤を硬化させる方法がある（特許文献１）。
【００１２】
メンブレンプレート４と圧電素子５の接着状態を示す断面図を、図１３（ａ）に示す。圧電素子５側から見たメンブレンプレート４の上面図を図１３（ｂ）に示す。メンブレンプレート４は２層構造で、圧電素子５との接着面側が凸型のゲタ部８になっておりその形状は直線状である。また、ゲタ部８は圧電素子５だけでなく圧電素子５の近傍に位置する柱部７（不動部、動かない部分）とも接着されている。これは、実際に駆動する圧電素子５の部分だけでなく、柱部７も接着することでメンブレンプレート４を効率よく動作させることができるからである。柱部７は、圧電素子５の一部として作製されるが、駆動しない部分である。圧電素子５は、圧電素子として駆動する部分である。
【００１３】
接着剤６の量と接着剤６の広がり方の関係を図１４（ａ）〜図１４（ｃ）の断面図に示す。図１４（ａ）のように接着剤６の量が少ない場合は接着後の接着剤６があまり広がらず、接着面積は少ない。よって、接着強度が減少し、極端な場合ではメンブレンプレート４が圧電素子５から剥離してしまうことがある。
【００１４】
また、図１４（ｂ）のように、接着剤６の量が多く、メンブレンプレート４と圧電素子５の接着後に接着剤６が片側にはみ出してしまうと、その部分が接着強度は増加するが、ゲタ部８の両側で接着強度の偏りが発生するため、ゲタ部８の動作が斜め方向に動いてしまう。
【００１５】
次に、図１４（ｃ）のように、接着剤６の量が多く、メンブレンプレート４と圧電素子５の接着後に接着剤６が両側にはみ出し、さらに隣接するゲタ部８とつながってしまうと接着強度は大きくなる。しかし、メンブレンプレート４自体の動作を抑制してしまい、結局吐出効率が悪化してしまう。或いは、隣接するゲタ部８と接着されている柱部（不動部）７も駆動することになり、結果として、隣のノズル穴からもインクが吐出されるクロストーク不良も発生する。
【００１６】
上記課題を解決するために、ゲタ部８の幅に応じた接着剤６の幅になるように接着剤量の調整をする。また、接着剤６の偏りを減少させるために接着時のゲタ部８と圧電素子５の接着位置調整（アライメント）を実施している。
【００１７】
図１５（ａ）の断面図に、特許文献２のインクジェットヘッドにおけるメンブレンプレート４と圧電素子５の接着状態を示す。図１５（ｂ）に接着前のメンブレンプレート４の断面図を示す。接着前のメンブレンプレート４は、ゲタ部８の高さが圧電素子５の部分と柱部７（不動部）の部分とでは異なっている。圧電素子５の部分のほうが高い構造になっている。この構造により、メンブレンプレート４の圧電素子５への押し付け量を増加させることが可能になる。結果として接着強度を増加させる効果がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１８】
【特許文献１】特開２０１３−４３３０８号公報
【特許文献２】特開平８−１９３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
しかしながら、適当な接着剤量に調整したとしても、実際の接着時には、圧電素子５の表面とゲタ部８の表面には若干傾きが存在すること、また、圧電素子５の上の接着剤位置が偏っていることがある。また、圧電素子５の表面状態ばらつきによる接着剤の濡れ性が変化しゲタ部８の側面に接着剤が這い上がってしまうことも発生する。そのような接着剤這い上がりや偏りにより接着面積がばらつき、結果として吐出特性が悪いインクジェットヘッドになることがある。
【００２０】
また、特許文献２のように圧電素子５の部分のゲタ部８の高さを高くすると、確かに接着強度は向上する。しかし、接着後のメンブレンプレート４に応力が加わり、連続駆動をするとメンブレンプレート４自身の耐久性が減少することが予想される。さらに、メンブレンプレート４がインク室１６内のインクに圧力を加えるときの方向が放射線状になるため、効率的な吐出ができない。
【００２１】
本発明の目的は、メンブレンプレートと圧電素子との接着を過不足なくできるインクジェットヘッドを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
上記目的を達成するために、インクを吐出する複数のノズル穴が存在するノズルプレートと、前記ノズル穴に連通する圧力室を有するインク流路プレートと、前記圧力室に圧力を与えるメンブレンプレートと、前記メンブレンプレートを振動させる圧電素子と、を含むインクジェットヘッドを用いる。ここで、圧電素子は、メンブレンプレートに設けられた凸部であるゲタ部に接着され、ゲタ部に複数の凹部を設けたするインクジェットヘッドを用いる。
上記インクジェットヘッドと、インクが塗布される被塗布物とインクジェットヘッドとを相対的に移動させる移動機構と、を含むインクジェット装置を用いる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明により、接着剤を局所的に保持させ或いは途切れさせることにより、接着剤量を増加させることなく接着領域を増加させることが可能になり、また接着剤ヒケによる接着剤偏りを防止し、安定した接着領域を確保できるため、インクジェットヘッドの信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】実施の形態１におけるインクジェットヘッドの概略図
【図２】（ａ）実施の形態１におけるメンブレンプレートと圧電素子５の位置関係を示す断面図、（ｂ）メンブレンプレートの上面図
【図３】（ａ）実施の形態１における  接着前のゲタ部と接着剤の位置関係を示す平面図、（ｂ）接着後の位置関係を示す平面図、（ｃ）（ａ）の断面図、（ｄ）（ｂ）のくびれ部での断面図、（ｅ）（ｂ）のくびれ部間での断面図
【図４】（ａ）従来のインクジェットヘッドにおける接着前のゲタ部と接着剤の位置関係を示す図、（ｂ）（ａ）の接着後の位置関係を示す平面図、（ｃ）（ａ）の断面図、（ｄ）（ｂ）の断面図
【図５】（ａ）アライメントズレがある場合の、従来の接着前のゲタ部と接着剤の位置関係を示す平面図、（ｂ）（ａ）の接着後の位置関係を示す平面図、（ｃ）（ａ）の断面図、（ｄ）（ｂ）の断面図
【図６】（ａ）アライメントズレがある場合の、実施の形態１における接着前のゲタ部と接着剤の位置関係を示す平面図、（ｂ）（ａ）の接着後の位置関係を示す平面図、（ｃ）（ａ）の断面図、（ｄ）（ｂ）の断面図
【図７】（ａ）接着前の圧電素子とメンブレンプレートがほぼ平行に接着される場合の接着剤の挙動を示す平面図、（ｂ）（ａ）の接着後の接着剤の挙動を示す平面図、（ｃ）（ａ）の断面図、（ｄ）（ｂ）の断面図
【図８】（ａ）接着前の圧電素子５とメンブレンプレートが傾いて接着される場合の接着剤の挙動を示す平面図、（ｂ）（ａ）接着後の接着剤の挙動を示す平面図、（ｃ）（ｂ）後、さらに接着した場合の接着剤の挙動を示す平面図、（ｄ）（ａ）の断面図、（ｅ）（ｂ）の断面図、（ｆ）（ｃ）の断面図
【図９】（ａ）実施の形態１における、接着前の圧電素子とメンブレンプレートが傾いて接着される場合の接着剤の挙動を示す平面図、（ｂ）接着後の接着剤の挙動を示す平面図、（ｃ）さらに接着した場合の接着剤の挙動を示す平面図、（ｄ）さらに接着した場合の接着剤の挙動を示す平面図、（ｄ）（ａ）の断面図、（ｅ）（ｂ）の断面図、（ｆ）（ｃ）の断面図
【図１０】（ａ）実施の形態１における、くびれ形状が円弧で形成されている場合の平面図、（ｂ）実施の形態１における、くびれ部が多角形で形成されている場合の平面図、（ｃ）実施の形態１における、くびれ部が島状になっている場合を示す平面図
【図１１】（ａ）実施の形態２におけるメンブレンプレートと圧電素子の位置関係を示す断面図、（ｂ）（ａ）のメンブレンプレートの平面図、（ｃ）実施の形態２における別のメンブレンプレートと圧電素子の位置関係を示す断面図、（ｄ）実施の形態２における別のメンブレンプレートの平面図
【図１２】従来のインクジェットヘッドの断面図
【図１３】（ａ）従来のインクジェットヘッドにおけるメンブレンプレートと圧電素子の位置関係を示す断面図、（ｂ）メンブレンプレートの平面図
【図１４】（ａ）従来の接着剤量が少ない場合の接着剤の広がり方を示す図、（ｂ）従来の接着剤量が多い（片側のみはみ出した）場合を示す図、（ｃ）従来の接着剤量が多い（両側はみ出した）場合を示す図
【図１５】（ａ）特許文献２のインクジェットヘッドにおけるメンブレンプレートと圧電素子の接着状態を示す断面図、（ｂ）接着前のメンブレンプレートの断面図
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下に、本発明の実施形例を挙げ、図面を参照しながら説明する。
【００２６】
（実施の形態１）
図１は、実施の形態１におけるインクジェットヘッドの概略断面図である。図１において、従来の図と同じ構成要素については、同じ符号を用い、説明を省略する。
【００２７】
ノズルプレート２及びインク流路プレート３は、厚みは数十ミクロンから数百ミクロン程度で、例えば、ステンレスやシリコン、高分子材料等で製造される。
【００２８】
ノズルプレート２は、例えば、レーザやエッチングにより同一サイズのノズル穴１を複数、等間隔で開けられたプレートである。
【００２９】
インク流路プレート３は、ステンレス等のプレート上に穴とスリットを形成されたプレートで、こちらもレーザやエッチングで加工することが可能である、また、複雑なインク流路を形成する際には、様々な形状に加工されたプレートを複数層重ねあわすことにより製造することができる。
【００３０】
メンブレンプレート４は、圧電素子５の機械的ひずみに同期した動作が必要である。また、メンブレンプレート４自体でのエネルギー吸収量をほぼゼロにしたいため、薄膜（厚みは１０ミクロン前後）で、かつ、剛性が高い材料を適用する必要がある。例えば、ステンレスやニッケル、高分子材料等を活用し鍍金等で製造される。
【００３１】
圧電素子５は、積層型を適用し、インク吐出に必要な駆動力を生み出すための機械的歪み量や動作周波数により圧電材料の分極率や積層数を決定することが必要である。
【００３２】
インク室１６は、インク流路プレート３に形成された開口からなる。インクが流れる流路である。
【００３３】
ノズルプレート２とインク流路プレート３間、インク流路プレート３とメンブレンプレート１１間、メンブレンプレート１１と圧電素子５間の接着には熱硬化型や常温型の接着剤６を使用する。
【００３４】
接着剤６を塗布する方法として、スクリーン版を用いることが望ましい。スクリーン版を適用することにより接着剤パターンを高精度に塗布することができる。塗布する接着剤６の膜厚は５〜１０ミクロン程度である。メンブレンプレート１１と圧電素子５を接着する場合は、メンブレンプレート１１自体が薄膜でハンドリングが難しいため、圧電素子５側にスクリーン印刷により接着剤６を塗布する。
【００３５】
接着剤を塗布する方法としてスクリーン印刷について述べたが、接着剤６の塗布方法には制限されない。例えば、ディスペンサーや凸版印刷、グラビア印刷などを用いても良い。また、使用する接着剤６には特に制限は無く、エポキシ系接着剤やアクリル系接着剤などを用いても良い。また、全体を均一に加圧しかつ均一に硬化させるために、前記接着剤は熱硬化性の特徴を併せ持つほうが望ましい。
【００３６】
さらに接着後の接着層の膜厚均一性を確保するために、接着剤６の中にスペーサを含有することが望ましい。このスペーサには、例えば、シリカ粒子などを用いる。粒子径は１〜１０ミクロンであることが望ましい。
【００３７】
１ミクロンより小さいと粒子が凝集しやすい。１０ミクロンより大きいと接着剤厚みが大きくなりすぎ、せんだん応力に対して弱くなる傾向がある。
【００３８】
スペーサ含有率は０．１〜１０ｗｔ％にすると良い。０．１ｗｔ％未満であるとスペーサの役割が弱まる。１０ｗｔ％以上であると接着強度が低下する。
【００３９】
接着剤中のスペーサを均一に分散させるため、例えば、３本ロールのような混練機を用いると良い。
【００４０】
＜メンブレンプレート１１と圧電素子５の接着領域＞
実施の形態１は、メンブレンプレート１１の構造に関するもののため、メンブレンプレート１１と圧電素子５の接着領域に着目して説明する。
【００４１】
図２（ａ）は、図１の点線部分を拡大したもので、実施の形態１におけるメンブレンプレート１１と圧電素子５の位置関係を示す断面図である。図２（ｂ）は、メンブレンプレート１１の上面図である。図２（ａ）、図２（ｂ）において、図１、１２と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明は省略する。
【００４２】
従来の図１３（ｂ）に示めしたメンブレンプレート４では、ゲタ部８の端面形状は、四角柱状で、直線であったが、この例では、図２（ｂ）に示すように、四角柱状であるが、くびれ部１３（凹部）を有する。
【００４３】
ゲタ部１２は、４０〜７０ミクロン程度の幅であり、ゲタ部１２の端面から１０〜２５ミクロン程度のくびれ部１３（凹部）が形成されている。くびれ部１３の周期は３０〜５０ミクロンが望ましいが、それ以上でもよい。ゲタ部１２の幅は、圧電素子５の幅より小さいのがよい。ゲタ部１２と圧電素子５との接着部分で、ゲタ部１２の面積は、圧電素子５の面積より小さい。圧電素子５の振動、変位を、確実にゲタ部１２に伝達する。圧電素子５の接続部の端部の影響を無くしている。
【００４４】
実施の形態１では、圧電素子５の幅が４０〜８０ミクロンであり、接着強度を確保するためには接着面積をできるだけ増大させる必要がある。そのため、ゲタ部１２の幅は３０〜７０ミクロンにしている。くびれ部１３の凹部寸法はゲタ部１２の幅により、その最適な幅が異なる。例えば、ゲタ部１２の幅（一番広い部分）が４０ミクロンの場合、１０〜１５ミクロン程度が望ましい。
【００４５】
１５ミクロンより大きいと、ゲタ部１２のくびれ部１３を除いた幅が元々のゲタ部１２の幅の１／４以下になるため、圧電素子５で発生する機械的歪みを、インク室に効率よく伝達できなくなる。
【００４６】
１０ミクロンより小さいと、接着時に圧電素子５がゲタ部より大きくずれた場合、ゲタ部１２のくびれ部１３が接着剤上に重ならない可能性があり、後述するくびれ部１３の効果が見込めないことが予想される。
【００４７】
＜くびれ部１３の周期について＞
くびれ部１３の周期は、３０ミクロンより小さいと、凹部寸法が１０ミクロンの場合、メンブレンプレート４の製造上のバラツキにより、隣接するくびれ部１３同士がくっつく可能性があるため、くびれ部１３の効果が小さくなることが予想される。
【００４８】
５０ミクロンより大きくなると、後述するように、接着時にアライメントズレが発生して圧電素子５がゲタ部に対して斜めに接着した場合、圧電素子５とゲタ部との重なり面積が小さくなってしまう。そのため、接着面積が小さくなり、接着強度が不足する。
また、圧電素子５の幅が変われば、ゲタ部１２の幅も変わり、結果的にくびれ部１３寸法も変わる。
【００４９】
図３（ａ）は、本発明の実施形態１における接着前のゲタ部１２と接着剤６の位置関係を示す平面図である。図３（ｂ）は、図３（ａ）の接着後の位置関係を示したものである。図３（ｃ）は、図３（ａ）のくびれ部１３のところの断面図である。図３（ｄ）と図３（ｅ）は、図３（ｂ）の断面図である。図３（ｄ）は、くびれ部１３のところの断面図である。図３（ｅ）は、くびれ部１３の中間部分での断面図である。
【００５０】
また、図４（ａ）は従来のインクジェットヘッドにおける接着前のゲタ部８と接着剤６の位置関係を示す平面図である。図４（ｂ）は、図４（ａ）の接着後の位置関係を示したものである。
【００５１】
図４（ａ）のように圧電素子５と圧電素子５上の中央部に塗布された接着剤６によりゲタ部８が接着される場合、ゲタ部８と圧電素子５はそれらの位置を調整したあと、接着される。接着されたあとは、図４（ｂ）に示すように、接着剤６がゲタ部８と圧電素子５により均等に押しつぶされるため左右平均して広がる。同じ接着剤量Ｙ（図４（ｄ））だけゲタ部８の外側にはみ出ることになる。この場合のゲタ部８と圧電素子５の接着強度はゲタ部８の両側でほぼ同等である。
【００５２】
また、実施形態１の図３（ａ）の場合、ゲタ部１２にくびれ部１３が存在し、図３（ｂ）、図３（ｄ）、図３（ｅ）のような状態になる。従来の図４（ｂ）同様、接着剤６は左右均等に広がり、はみ出し量は左右同等量である。くびれ部１３のところで、接着剤量Ｘ、くびれ１３間の中間のところで、接着剤量Ｙである。
【００５３】
くびれ部１３が存在することで、その部分のはみ出し量は多くなることになる（接着剤量Ｘ＞接着剤量Ｙ）。つまり、ゲタ部１２と圧電素子５との接着強度が大きくなることになる。
【００５４】
かかる構成によれば、圧電素子５と接着されるゲタ部１２に凹構造（くびれ部１３）が含まれていることにより圧電素子５とゲタ部１２の接着強度を増加させ、インクジェットヘッドの吐出効率や信頼性を向上させることができる。
【００５５】
なお、実施の形態１において、くびれ部１３は、隣接するゲタ部１２でも同じ周期で形成されているが、周期はずれていてもかまわない。またゲタ部１２の両側で周期が異なっていてもよい。くびれ部１３は、メンブレンプレート４のゲタ部１２の長手方向の全体に形成されているが、一部分でもかまわない。
【００５６】
また、従来の図４（ｂ）において、圧電素子５とゲタ部８を接着した場合の接着剤６の状態を説明したが、接着剤６は常に圧電素子５の中央部に塗布されるとは限らない。例えば、スクリーン印刷で塗布される場合、その塗布位置のばらつきは数ミクロンから１０ミクロン程度である。また、中央部に塗布されたとしても、圧電素子５表面の接着剤濡れ性に分布が存在する場合、左右どちらかに偏って濡れ広がることがある。
【００５７】
＜位置づれの場合＞
図５（ａ）は、アライメントズレがある場合の、従来の接着前のゲタ部８と接着剤６の位置関係を示す平面図である。図５（ｃ）は、図５（ａ）の断面図である。
【００５８】
図５（ｂ）は、図５（ａ）の接着後の位置関係を示す図である。図５（ｄ）は、図５（ｂ）の断面図である。
【００５９】
図５（ａ）のように接着剤６が圧電素子５の左側に偏っている状態である。この状態で、メンブレンプレートと圧電素子５の接着をすると、図５（ｂ）のように接着剤６の広がり方に偏りが発生し、具体的には左側はゲタ部８の外側まではみ出すが、右側はゲタ部８外側まで接着剤６ははみでない状況で接着されることがある。
【００６０】
この場合、結果としてゲタ部８の左側では接着強度は確保されるが、右側の接着強度は弱くなってしまう。図５（ｄ）で、左右での接着力を矢印で示す。このような状態のときに、圧電素子５がメンブレンプレート方向に駆動した際に接着剤６とメンブレンプレートの境界に力が働くと接着強度が低い場所（この場合ではゲタ部８の右側）でゲタ部８が剥離してしまう。また、接着初期状態では剥離することが無くても、圧電素子５の駆動回数が増加すると最終的には剥離してしまう。
【００６１】
ここで、図６（ａ）に、アライメントズレがある場合の、実施形態１における接着前のゲタ部１２と接着剤６の位置関係を示す。図６（ｃ）は、図６（ａ）のくびれ部１３での断面図である。図６（ｂ）は、図６（ａ）での接着後の位置関係を示す。図６（ｄ）は、図６（ｂ）くびれ部１３での断面図である。
【００６２】
この図に示すように、実施形態１の場合、ゲタ部１２の端面に、くびれ部１３が存在することで、もし、アライメントズレが存在しても、その部分のはみ出し量が確保することができる。つまり、ゲタ部１２右側においても接着強度（図の矢印）が大きいことになる。
【００６３】
かかる構成によれば、圧電素子５と接着されるゲタ部１２の構造に凹構造（くびれ部１３）が含まれていることによりアライメントズレに対する尤度が大きくなり、インクジェットヘッド信頼性を向上させることができる。
【００６４】
なお、実施の形態１において、ゲタ部１２は４０〜７０ｕｍ程度の幅で、ゲタ部端面から１０〜２０ミクロン程度の凹部（くびれ）構造が形成されているが、ゲタ部１２の幅や接着剤幅によりくびれ部１３の幅も変化することはいうまでもない。また、接着後の接着剤厚みにより、くびれ部１３が小さくてもいいこともある。
【００６５】
＜圧電素子５の長手方向について＞
次は、圧電素子５の長手方向の接着剤の挙動を説明する。図７（ａ）、図７（ｃ）は、接着前の圧電素子５とゲタ部８がほぼ平行に接着される場合の接着剤６の挙動を示す平面図と断面図である。図７（ｂ）、図７（ｄ）では、接着後の接着剤６の挙動を示す平面図と断面図である。
【００６６】
図７（ａ）のように、ゲタ部８と圧電素子５の位置関係が平行になっている（つまりギャップａ＝ギャップｂ）場合で、このまま平行状態を保持しながら接着すると接着後の接着剤６の広がり量は元々塗布されている位置（図中の点線部分）から左右同じ量になる。
【００６７】
一方、圧電素子５とゲタ部８が傾いている場合は、接着剤６の広がり量は異なってくる。
【００６８】
次に、圧電素子５とゲタ部８が傾いている場合を図８で説明する。
【００６９】
図８（ａ）、図８（ｄ）は、接着前の圧電素子５とゲタ部８が傾いて接着される場合の接着剤の挙動を示す平面図と断面図である。
【００７０】
図８（ｂ）、図８（ｅ）は、接着後の接着剤の挙動を示す平面図と断面図である。
【００７１】
図８（ｃ）、図８（ｆ）は、さらに、接着した場合の接着剤の挙動を示す平面図、断面図である。
【００７２】
圧電素子５とゲタ部８が傾いた状態（ギャップａ＜ギャップｂ）で接着される場合、まず、最初に、ギャップの小さい接着剤６の左側でゲタ部８と接着剤６が接触する（図８（ｂ））。
【００７３】
そのまま、少しゲタ部８を下降させると、接着剤６の左端のみ押しつぶされる（接着剤拡がり量Ａ）が、まだ右端は接着剤６とベタ部８間に空隙が存在する。さらに、図８（ｃ）のように、そのまま下降し続けると接着剤６の左端では押しつぶされ量が増加するために接着剤拡がり量が増加し、またゲタ部８と圧電素子５間のギャップが小さくなるにつれて毛細管現象が発生し、接着剤６はさらにギャップの狭い方向（左側）に広がることになる（接着剤拡がり量Ｂ）。
【００７４】
さらにその毛細管現象の影響で接着剤全体が左側に引っ張られるため、接着剤ヒケと呼ばれる現象が発生し、接着剤６右端の位置が元々の位置よりも左側にシフトすることになる（接着剤の後退量：Ｃ）。結果として、本来の接着剤６が広がってほしい領域から異なる場所に接着剤６が移動してしまうため、接着強度が必要な場所でその強度を十分確保できないことになる。
【００７５】
一方、図９（ａ），図９（ｄ）に本発明の実施形態１における、圧電素子５とゲタ部１２が傾いて接着される場合の接着剤の挙動を示す平面図と断面図を示す。
図９（ｂ）、図９（ｆ）に接着後の接着剤の挙動を示す平面図と断面図を示す。
図９（ｃ）、図９（ｇ）に、さらに接着した場合の接着剤の挙動を示す平面図と断面図を示す。
【００７６】
圧電素子５とゲタ部１２が傾いた状態（ギャップａ＜ギャップｂ）で接着される場合、従来のインクジェットヘッドでの接着時と同様に、ギャップの小さい接着剤６の左端でゲタ部８と接着剤６が接触する（図９（ｂ））。この場合、その左端にくびれ部１３が存在すると左側に広がろうとする接着剤６がそのくびれ部１３にトラップされる。（図９（ｂ）、図９（ｅ）中の丸印部）よって、結果的には接着剤６の広がり量が従来のインクジェットヘッドの場合に比べて抑制されることになる。
【００７７】
具体的には、接着剤６が塗布された最初の位置から接着後の広がり量をA‘とすると、Ａ‘＜Ａ（くびれ部１３なしの従来の広がり、図８（ｅ））になる。
【００７８】
さらに、図９（ｃ）のように、そのまま、ゲタ部１２を下降させると、接着剤６の左端では押しつぶされ量は増加するが、接着剤６自身は複数のくびれ部１３に、次々に、トラップされるため、毛細管現象による接着剤６の拡がりは発生するものの、現状のインクジェットヘッドのように接着剤広がり量は少ない（Ｂ‘（図９（ｆ）＜Ｂ（図８（ｆ））。
【００７９】
接着剤６の右端の状況についても同様で、くびれ部１３の存在により接着剤６の引っ張り量が小さく、接着剤６のヒケも発生しにくくなる。
【００８０】
結果として、接着剤６の右端の位置も従来の位置とほとんど変化しないため、接着強度が必要な場所で十分な接着強度を確保できることになる。ここでは、くびれ部１３に接着剤６をトラップさせて接着剤６の拡がりを減少させることと説明したが、局所的に接着剤６を途切れさせる（分割する）こともできる。分割させることにより、接着剤６のヒケ等の接着剤６の移動を極力押さえ、所望の場所でメンブレンプレートと圧電素子５を接着できることになる。
【００８１】
かかる構成によれば、圧電素子５と接着されるゲタ部１２の接着面（ゲタ部）の構造に凹構造（くびれ部１３）が含まれていることにより、ゲタ部１２（メンブレンプレート１１）と圧電素子５間に傾きが存在しても、所望の位置に接着剤６が存在することになり、結果として接着強度を確保することが可能になるため、インクジェットヘッド信頼性を向上させることができる。
【００８２】
また、実施の形態１で、ゲタ部１２と圧電素子５が傾いた場合での接着状態について説明したが、これは、ゲタ部１２（メンブレンプレート１１）を保持しているジグと圧電素子５の上面が平行になるようにジグ調整することによりある程度改善することは可能である。
【００８３】
しかし、実際の接着工程においては、ノズルプレート２等の各部材の表面汚れを洗浄する工程や接着後に加熱して接着剤を硬化させる工程が存在する。具体的には、表面の有機物を除去するためにＵＶ照射を実施することがある。
【００８４】
この場合、圧電素子５、ゲタ部１２（メンブレンプレート１１）ともに表面の濡れ性が低下し、さらに場所によるバラツキが発生する可能性がある。もしそういったことが発生すると接着剤６の広がり量も増加し、また左右で偏ることが予想される。
【００８５】
また、接着後に加熱して硬化させる場合も、温度上昇につれて一旦、接着剤６の粘度が低下し、接着剤６が濡れ広がる、または、場所による部材の温まり方の偏りによりその濡れ広がり量も偏ることも考えられる。また、圧電素子５の表面粗さ等、部材自身の表面状態はばらついており、安定した接着状態を維持することは困難である。
【００８６】
しかし、かかる構成によれば、圧電素子５と接着されるゲタ部１２（メンブレンプレート１１）の接着面（ゲタ部）の構造に凹構造（くびれ部１３）が含まれていることによりメンブレンプレート１１や圧電素子５表面の濡れ性ばらつきや部材の表面状態ばらつきが存在しても、接着強度を確保することが可能になり、インクジェットヘッド信頼性を向上させることができる。
【００８７】
＜くびれ部１３変形例＞
これまで実施の形態１において、ゲタ部に存在するくびれ部１３の形状について説明してきた。しかし、図１０（ａ）の平面図のようにくびれ部１３の形状が円弧形状になっているものや、図１０（ｂ）の平面図のように多角形形状（方形）になっていても構わない。
【００８８】
さらに、直線と円弧が混合された形状でも同じ効果を得ることができる。また、図１０（ｃ）のように左右のくびれ部１３つながり、島状の構造をしていてもよい。
【００８９】
また、圧電素子５の表面に、くびれ部１３の形状と同様な凸凹構造を形成しても同様な効果がある。しかし、圧電素子５表面を加工することで、圧電素子５自身の重要な役割である機械的ひずみを安定して発生することが困難なため不適である。
（実施の形態２）
図１１（ａ）、図１１（ｂ）は、実施の形態２におけるインクジェットヘッドの概略図である。図１１（ａ）は、断面図、図１１（ｂ）は平面図を示す。
図１１（ａ）、図１１（ｂ）において、図１と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。
【００９０】
実施の形態１との違いは、ゲタ部１２の側面が傾斜していること。テーパとなっていることである。断面としては、台形である。上面より下面の面積が広い、四角柱状である。
【００９１】
具体的に説明すると、ゲタ部１２の上面（圧電素子５との接着面）の幅をｃ、ゲタ部１２の下面（メンブレンプレート１１に接している部分）の幅をｄとしたとき、ｃ＜ｄになっている。メンブレンプレート１１のゲタ部１２上面の幅は４０〜７０ミクロン程度の幅であり、ゲタ部１２の端面には１０〜２０ミクロン程度の凹部（くびれ部１３）構造が形成されている。くびれ構造の周期は１０〜５０ミクロンが望ましいが、それ以上でもよい。
【００９２】
接着剤６は、圧電素子５とゲタ部１２の傾斜部分との間を接着する。傾斜している分、接着面積が増え、接着強度が高くなる。
【００９３】
さらに、くびれ部１３部分、および、その側面の傾斜部分があるので、さらに、接着強度が高い。
【００９４】
接着剤６の塗布位置がずれた場合、実施の形態１の場合より、さらに、接着強度を保てる。側面の傾斜により、強度を補うことができる。また、図１４で説明した接着量のずれに対しても、この構造では広い範囲で許容できる。
【００９５】
また、図１１(a)では、ゲタ部１２とメンブレンプレート１１は一体構造になっているが、それぞれが別の部材で、部材同士が接着されていても構わない。
【００９６】
さらに、ゲタ部１２が、小さくなった場合を図１１（ｃ）に示す。図１１（ｃ）は、断面図を示す。
【００９７】
図１１（ａ）との相違点は、ゲタ部１２を多層構造としている点である。ゲタ部１２が小さくなると、圧電素子５との接着性が悪くなる。そのため、ゲタ部１２を多層構造として、その側面に段差を設けた。この結果、接着剤６とゲタ部１２との接着性が高くなる。
【００９８】
さらに、くびれ部１３の変形例を図１１（ｄ）に示す。図１１（ｄ）は、平面図である。
【００９９】
図１１（ｂ）との相違点は、くびれ部１３の位置、形状である。
くびれ部１３が、実施の形態１、図１１（ｂ）と異なり、ゲタ部１２の上面に位置する。メンブレンプレート１１まで達していず、凹部である。ライン状でもよいし、円錐、円柱状でもよい。凹凸であればよい。側面のくびれ部１３と組み合わせてもよい。効果は同様である。接着剤６を、局所的に保持させ、或いは、途切れさせることにより、接着剤６の量を増加させることなく接着領域を増加させることが可能になり、また、接着剤６のヒケによる接着剤６の偏りを防止し、安定した接着領域を確保できる。このため、インクジェットヘッドの信頼性を向上させることができる。
上面に設けるくびれ部１３の大きさ、ピッチは、実施の形態１と同様が好ましい。
【０１００】
＜なお書き＞
実施の形態は、組み合わせることができる。
【０１０１】
なお、上記実施の形態では、圧電素子５、メンブレンプレート１１、インク流路プレート３、ノズルプレート２を１直線上に積層したが、これに限定されない。たとえば、ノズルプレート２が、インク流路プレート３の面に対して、垂直方向に位置してもよい。４つの部材が組み合わさって、各役割を達成できればよい。
【産業上の利用可能性】
【０１０２】
発明のインクジェットヘッドは、家庭用インクジェットヘッド、産業用インクジェットヘッドとして利用可能である。特に、産業としては、高密度かつ高精細な吐出が必要とされる有機ELディスプレイパネル製造における有機発光材料の塗布、プラズマディスプレイ製造における蛍光材料塗布、カラーフィルター製造用、及び曲面で構成される家電や車載部品への加飾用のインクジェットヘッドとして利用できる。
【符号の説明】
【０１０３】
１  ノズル穴
２  ノズルプレート
３  インク流路プレート
４  メンブレンプレート
５  圧電素子
６  接着剤
７  柱部
８  ゲタ部
１１  メンブレンプレート
１２  ゲタ部
１３  くびれ部
１６  インク室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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