(57)【要約】【課題】板厚の薄い印刷配線板に微細かつ大電流及び放熱に対応した回路を形成しやすくした印刷配線板およびその製造方法を提供する【解決手段】絶縁性布材１と、この絶縁性布材１の少なくとも一方の面に形成された回路部２と、回路部２が形成された絶縁性布材１の両面に積層され含浸された絶縁樹脂層３と、絶縁樹脂層３上に貼付された導電性金属箔４とを備えた積層板５と、前記積層板５の表面に、導電性金属箔４と共に表層を形成した導体層６とを備えることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁性布材と、絶縁性布材の少なくとも一方の面に形成された回路部と、回路部が形成された絶縁性布材の両面に積層され含浸された絶縁樹脂層とを備えた積層板と、
前記積層板の表面に導体層とを備えることを特徴とする印刷配線板。
【請求項２】
絶縁性布材と、絶縁性布材の少なくとも一方の面に形成された回路部と、回路部が形成された絶縁性布材の両面に積層され含浸された絶縁樹脂層と、絶縁樹脂層上に貼付された導電性金属箔とを備えた積層板と、
前記積層板の表面に、導電性金属箔と共に表層を形成した導体層とを備えることを特徴とする印刷配線板。
【請求項３】
前記積層板の絶縁樹脂層に、回路部と電気的に接続されるビアホールが設けられた請求項１または２に記載の印刷配線板。
【請求項４】
前記導体層が回路部の直上に設けられた請求項１〜３のいずれかに記載の印刷配線板。
【請求項５】
前記絶縁性布材がガラスクロスである請求項１〜４のいずれかに記載の印刷配線板。
【請求項６】
前記回路部を充填する導体材料が銅めっき又は導電性樹脂である請求項１〜５のいずれかに記載の印刷配線板。
【請求項７】
前記導電性金属箔が銅箔である請求項１〜６のいずれかに記載の印刷配線板。
【請求項８】
絶縁性布材の両面に絶縁樹脂層を形成し絶縁樹脂層上に導電性金属箔を形成した積層板を得る工程と、
前記積層板の絶縁樹脂層をレーザー加工した後、めっき処理又は導電性樹脂にて回路部を形成するのと同時に、導電性金属箔に、めっき処理をした後、エッチングにて導電回路を形成する工程と、を含むことを特徴とする印刷配線板の製造方法。
【請求項９】
絶縁性布材の両面に絶縁樹脂層を形成した積層板を得る工程と、
前記積層板の絶縁樹脂層をレーザー加工した後、めっき処理又は導電性樹脂にて回路部を形成するのと同時に、絶縁樹脂層表面に選択的にめっき処理をして導電回路を形成する工程と、を含むことを特徴とする印刷配線板の製造方法。
【請求項１０】
前記導電回路が、サブトラクティブ法、ＭＳＡＰ、セミアディティブ法、またはフルアディティブ法のいずれかの工法で形成される請求項８または９に記載の印刷配線板の製造方法。
【請求項１１】
前記レーザー加工が、絶縁性布材に接触するまで続けられる請求項８〜１０のいずれかに記載の印刷配線板の製造方法。
【請求項１２】
前記絶縁樹脂層にビアホールを形成するための穴を形成する工程を含む請求項８〜１１のいずれかに記載の印刷配線板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微細かつ大電流及び放熱に対応した回路を有する印刷配線板およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
回路基板（印刷配線板）において、大電流回路基板や電源回路など、厚肉の導体が要求される場合には、特許文献１に示すような製造方法が提案されている。
この製造方法は、銅板または厚銅箔の一方にハーフエッチングで厚銅回路の片面を形成し、ハーフエッチング側にプリプレグを接触させ積層し、このプリプレグと反対側の面（未加工側）に、厚銅回路の残りを形成する、という工程からなる。
【０００３】
しかしながら、銅板または銅箔単体のハーフエッチングが必要なため、工程が複雑になり製造コストが高くなってしまう。また、一般的な厚銅基板では板厚が厚くなり、最近のモジュール等の薄型の高密度配線基板には適用が困難であるし、銅板または銅箔が厚ければ、微細回路の形成は困難である。
また、回路の高さが高いほど、エッチングの裾引きの影響で、回路幅精度が悪くなる。ハーフエッチング分の回路高さｈに対し、エッチングによる裾引きの目安値が１／２ｈ程度ある。回路厚が薄くても１００μｍ以上はあるため、回路幅１００μｍ以下のような微細回路の形成は、回路幅精度が悪く不可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許３８０６２９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の課題は、上記の問題を解決し、板厚の薄い印刷配線板に微細かつ大電流及び放熱に対応した回路を形成しやすくした印刷配線板およびその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者は、上記課題を解決するべく鋭意検討を行なった結果、以下の構成からなる解決手段を見出し、本発明を完成するに至った。
（１）絶縁性布材と、絶縁性布材の少なくとも一方の面に形成された回路部と、回路部が形成された絶縁性布材の両面に積層され含浸された絶縁樹脂層とを備えた積層板と、前記積層板の表面に導体層とを備えることを特徴とする印刷配線板。
（２）絶縁性布材と、絶縁性布材の少なくとも一方の面に形成された回路部と、回路部が形成された絶縁性布材の両面に積層され含浸された絶縁樹脂層と、絶縁樹脂層上に貼付された導電性金属箔とを備えた積層板と、前記積層板の表面に、導電性金属箔と共に表層を形成した導体層とを備えることを特徴とする印刷配線板。
（３）前記積層板の絶縁樹脂層に、回路部と電気的に接続されるビアホールが設けられた（１）または（２）に記載の印刷配線板。
（４）前記導体層が回路部の直上に設けられた（１）〜（３）のいずれかに記載の印刷配線板。
（５）前記絶縁性布材がガラスクロスである（１）〜（４）のいずれかに記載の印刷配線板。
（６）前記回路部を充填する導体材料が銅めっき又は導電性樹脂である（１）〜（５）のいずれかに記載の印刷配線板。
（７）前記導電性金属箔が銅箔である（１）〜（６）のいずれかに記載の印刷配線板。
（８）絶縁性布材の両面に絶縁樹脂層を形成し絶縁樹脂層上に導電性金属箔を形成した積層板を得る工程と、前記積層板の絶縁樹脂層をレーザー加工した後、めっき処理又は導電性樹脂にて回路部を形成するのと同時に、導電性金属箔に、めっき処理をした後、エッチングにて導電回路を形成する工程と、を含むことを特徴とする印刷配線板の製造方法。
（９）絶縁性布材の両面に絶縁樹脂層を形成した積層板を得る工程と、前記積層板の絶縁樹脂層をレーザー加工した後、めっき処理又は導電性樹脂にて回路部を形成するのと同時に、絶縁樹脂層表面に選択的にめっき処理をして導電回路を形成する工程と、を含むことを特徴とする印刷配線板の製造方法。
（１０）前記導電回路が、サブトラクティブ法、ＭＳＡＰ、セミアディティブ法、またはフルアディティブ法のいずれかの工法で形成される（８）または（９）に記載の印刷配線板の製造方法。
（１１）前記レーザー加工が、絶縁性布材に接触するまで続けられる（８）〜（１０）のいずれかに記載の印刷配線板の製造方法。
（１２）前記絶縁樹脂層にビアホールを形成するための穴を形成する工程を含む（８）〜（１１）のいずれかに記載の印刷配線板の製造方法。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の印刷配線板によれば、積層板に回路部を形成する際、絶縁性布材を用いることにより、レーザー光を絶縁性布材で寸止め加工形成しやすくなる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明に係る印刷配線板の一実施形態を示す側断面図である。
【図２】（ａ）〜（ｄ）は、本発明に係る印刷配線板の製造方法における実施形態を示す側断面図である。
【図３】（ａ）は、溝部を形成するためのＣｕダイレクト工法を示す説明図であり、（ｂ）は、ビアホール下穴を形成するためのＣｕダイレクト工法を示す説明図である。
【図４】（ａ）は、溝部を形成するためのウインドゥ工法を示す説明図であり、（ｂ）は、ビアホール下穴を形成するためのウインドゥ工法を示す説明図である。
【図５】（ｅ）および（ｆ）は、本発明に係る印刷配線板の製造方法における実施形態を示す側断面図である。
【図６】本発明に係る印刷配線板の他の実施形態を示す側断面図である。
【図７】（ａ）〜（ｆ）は、本発明に係る印刷配線板の製造方法における他の実施形態を示す側断面図である。
【図８】（ｇ）および（ｈ）は、本発明に係る印刷配線板の製造方法における他の実施形態を示す側断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明の印刷配線板１００は、図１に示すように、絶縁性布材１と、この絶縁性布材１の少なくとも一方の面に形成された回路部２と、回路部２が形成された絶縁性布材１の両面に積層され含浸された絶縁樹脂層３と、絶縁樹脂層３上に貼付された導電性金属箔４とを備えた積層板５を有し、この積層板５の表面に、導電性金属箔４と共に表層を形成した導体層６とを備える。また、積層板５を貫通し、導体層６を備えたビアホール７を有していてもよい。
【００１０】
絶縁性布材１は、絶縁性を有する素材で、後述するめっき（導体材料）やレーザーが通過しないように、隙間の無いものが好ましい。このような絶縁性を有する素材としては、例えば、ガラス繊維やガラス不織布などがよい。ガラスクロスとしては、例えばガラス繊維から作られるHigh densityガラスクロス、高開織クロスなどが挙げられる。
【００１１】
絶縁性布材１の表面には、絶縁樹脂層３が積層され含浸されている。絶縁樹脂層３を形成する樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、ビスマレイミド−トリアジン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリフェニレンエーテル（ＰＰＥ）樹脂、フェノール樹脂、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）樹脂、ケイ素樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリエステル樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）樹脂、ポリフェニレンオキシド（ＰＰＯ）樹脂などが挙げられる。これらの樹脂は２種以上を混合してもよい。絶縁樹脂層３を形成する樹脂には、シリカ、硫酸バリウム、タルク、クレー、炭酸カルシウム、酸化チタンなどの補強材や無機充填材、フェノール樹脂やメタクリル樹脂からなる有機充填材が含まれていてもよい。
【００１２】
回路部２は、絶縁樹脂層３にレーザ加工によって形成された溝部２ａにめっき処理により導体を充填して形成される。このレーザ加工で用いられるレーザ光としては、ＣＯ2レーザ、ＵＶ−ＹＡＧレーザなどが挙げられる。また、回路部２の直上と、絶縁性布材１に対して反対側の絶縁樹脂層３の層上には導体層６がそれぞれ設けられる。回路部２に充填される導体材料は、回路部２を、後述するビアホール７や他の部品基板と電気的に接続すれば特に制限はなく、例えば、導電性樹脂や金属めっき等が挙げられるが、導体層６と同時形成のしやすさから銅めっきであるのが特に好ましい。
【００１３】
導電回路６ａは、エッチングなどによって形成される。その形成方法は、例えば、感光性レジスト（例えば、ドライフィルムのエッチングレジスト）をロールラミネートで貼り付け、露光および現像して回路部２とビアホール７以外の部分を露出させた後、露出部分の導体層６（導体材料）をエッチングにより除去する。エッチング液としては、例えば塩化第二鉄水溶液などが挙げられる。ドライフィルムのエッチングレジストを剥離して、導電回路６ａが形成される。
【００１４】
前記絶縁樹脂層３の表面には、電解めっきのシード層として導電性金属箔４が積層され、プレス処理等によって積層板５となる。導電性金属箔４としては、電気的に接続されるならば特に制限されないが、例えば、銅箔または薄銅箔であるのが好ましい。
【００１５】
積層板５にはビアホール７を設けてもよい。このビアホール７は積層板５の上下面に設けた導体層６を通して回路部２と電気的に接続される。
このビアホール７は、後述するビアホール下穴７ａに導体（導電性樹脂や金属めっき）が充填されたものである。
【００１６】
図１に示す印刷配線板１００では、回路部２と絶縁樹脂層３は、印刷配線板の上下面にそれぞれ１層積層されているが、１層に限定されない。例えば、回路部２および絶縁樹脂層３を積層・含浸させた絶縁性布材１を交互に積層させて多層のビルドアップ層としてもよい。この場合、積層した各絶縁樹脂層３にビアホール７が形成されて電気的に接続される。さらに、ビルドアップ印刷配線板に限らず、通常の多層印刷配線板、貼り合わせ多層印刷配線板、多重多層印刷配線板などに適用できることは、言うまでもない。
【００１７】
次に、本発明に係る印刷配線板の製造方法を説明する。本発明に係る印刷配線板の製造方法は、下記の工程（ｉ）〜（ｉｖ）を含む。
（i）絶縁性布材の両面に絶縁樹脂層および導電性金属箔を形成して積層板を得て、積層板の絶縁樹脂層にレーザー加工して回路部形成用の溝部を形成し、かつレーザー加工またはドリル加工にてビアホール下穴を形成する工程。
（ii）前記積層板の回路部形成用の溝部およびビアホール下穴に同一導体材料にて導体層を形成する（めっき処理）工程。
（iii）導体上にドライフィルムを貼付し、露光および現像して回路部および導電回路、ビアホールを形成したい場所以外のドライフィルムを除去する工程。
（iv）ドライフィルムを剥離後、積層板表面の導電性金属箔および導体層をエッチングして回路部および導電回路、ビアホールを形成する工程。
【００１８】
本発明に係る印刷配線板の製造方法を、図２（ａ）〜（ｄ）に基づいて説明する。
まず、図２（ａ）に示すように、絶縁性布材１と絶縁樹脂層３と導電性金属箔４とを前記したようにプレス処理等して積層板５を得て、これにレーザー加工を施し、回路部２のための溝部２ａを形成する。この溝部２ａは放熱・大電流が必要な箇所の絶縁樹脂層３に形成される。
また、溝部２ａを形成する際、積層板５の絶縁樹脂層３と絶縁性布材１とを貫通し、一方の導電性金属箔４まで達するビアホール下穴７ａを形成してもよい。
なお、絶縁性布材１、絶縁樹脂層３、導電性金属箔４は上述の通りであるが、本実施形態では絶縁性布材１としてガラスクロス、導電性金属箔４として銅箔を使用する。また、積層板５は、層数を増やしたビルドアップ層、両面基板や通常の多層基板でも適用できる。
【００１９】
前記溝部２ａは、回路部２を形成するための溝である。溝部２ａは、レーザー加工によって形成する場合、溝部２ａの形成と同時に、溝部２ａ直上の導電性金属箔４を開口させてもよい。このレーザ加工で用いられるレーザ光としては、ＣＯ2レーザー、ＵＶ−ＹＡＧレーザーなどが挙げられる。特にＵＶ−ＹＡＧレーザは、ガラスクロス（絶縁性布材１）を打ち抜くことができないことで、加工の深さを容易に調整可能である点から好ましい。また、一般的なＣＯ2レーザーであっても、ガラスクロスを貫通しない出力に調整することができる。
レーザーの照射条件によって、開口の調節は可能であり、マスク径のサイズを何種類か持つことによって色々な径（回路幅）を作る事が可能になる。
また、溝部２ａの底部がガラスクロス（絶縁性布材１）であると、レーザー光を止めることができ、いわゆるクロス寸止め加工が行ないやすい。
【００２０】
前記クロス寸止めには、例えば、Ｃｕダイレクト工法と、ウインドゥ工法の２つの工法があげられる。
図３（ａ）は、溝部２ａを形成するためのＣｕダイレクト工法を示す説明図である。
この積層板５は、上述した導電性金属箔４と絶縁樹脂層３とガラスクロス（絶縁性布材１）が積層されてなるものであり、導電性金属箔４には、レーザー光を吸収しやすくさせるため、表面処理を行なっており、例えば、Ｖボンド処理（メック株式会社製）があげられる。
図３（ａ）に示すようにガラスクロス（絶縁性布材１）にてレーザーＬが止まる出力でレーザー加工すると、導電性金属箔４の下の絶縁樹脂層３への影響が減り、絶縁性布材１を底面とする溝部２ａが形成される。
【００２１】
また、ビアホール下穴７ａを形成するには、図３（ｂ）に示すように、レーザー加工の出力をあげ、ガラスクロス（絶縁性布材１）を貫通させればよい。
【００２２】
図４（ａ）は、溝部２ａを形成するためのウインドゥ工法を示す説明図である。
ウィンドウ工法は、積層板５の表面に予め開口部９を設けておき、これにレーザー加工を施すやり方である。図４（ａ）に示すように、ガラスクロス（絶縁性布材１）が底面になるようにレーザーＬを照射すると、溝部２ａが形成される。
また、ビアホール下穴７ａの形成は、図４（ｂ）に示すように、レーザーＬを照射して行なう。
【００２３】
レーザー加工によって積層板５にビアホール下穴７ａを形成すると、それぞれの底部に薄い樹脂膜が残存する場合がある。この場合、デスミア処理が行なわれる。デスミア処理は、強アルカリによって樹脂を膨潤させ、次いで酸化剤（例えば、クロム酸、過マンガン酸塩水溶液など）を用いて樹脂を分解除去する。あるいは、研磨材によるウェットブラスト処理やプラズマ処理によって、樹脂膜を除去してもよい。さらに、必要ならばビアホール下穴７ａの内壁面を粗面化してもよい。粗面化処理としては、例えば、酸化剤（例えば、クロム酸、過マンガン酸塩水溶液など）によるウェットプロセス、プラズマ処理やアッシング処理などのドライプロセスなどが挙げられる。
【００２４】
次いで、図２（ｂ）に示すように、溝部２ａおよびビアホール下穴７ａの穴内の内壁面と積層板５の表面にめっき処理を施し導体層６を形成する。導体層６は、例えば、銅めっきは化学銅めっき（無電解銅めっき）でもよく、電解銅めっきでもよい。これにより溝部２ａおよびビアホール下穴７ａには銅めっきが充填される。
【００２５】
次いで、図２（ｃ）に示すように、積層板５の表面にドライフィルム８（感光性めっきレジスト）をラミネート加工で貼り付け、露光および現像して、回路部２およびビアホール７を形成したい場所以外のドライフィルムを除去すると、図２（ｄ）に示すように、それぞれ導体層６を有する回路部２と導電回路６ａ、ビアホール７が作られ、印刷配線板１００が完成する。
【００２６】
図２（ｄ）で得た印刷配線板１００に、任意回数のビルドアップを行ない、多層印刷配線板（厚銅回路基板）を作ることもできる。
ビルドアップを行なう際は、図５（ｅ）に示すように、まず印刷配線板１００の上下面にそれぞれ、絶縁樹脂層３１と絶縁性布材１１と導電性金属箔４１とを積層する。これに、回路部２１とビアホール７１と導体層６１とを設ければ、多層印刷配線板が作成される。なお、それぞれの部材は上述した積層板５を構成するものと同じ作用を持ち、且つ同じ工程により形成されるため説明は省略する。
【００２７】
最後に、基板表面の所定の位置にソルダーレジスト１２を形成する。ソルダーレジスト１２の形成方法は、まず、スプレーコート、ロールコート、カーテンコート、スクリーン法などを用い、感光性液状ソルダーレジストを１０〜８０μｍ程度の厚みで塗布して乾燥する、あるいは感光性ドライフィルム・ソルダーレジストをロールラミネートで貼り付ける。その後、露光および現像してパッド部分を開口させて加熱硬化させる。外形加工を施し、図５（ｆ）に示す印刷配線板２００が得られる。
【００２８】
ソルダーレジスト１２を形成する前に、形成面をＣＺ処理などの銅の粗面化処理に供してもよい。ソルダーレジスト１２の開口部に、無電解ニッケルめっきを３μｍ以上の厚みで形成し、その上に無電解金めっきを０．０３μｍ以上（好ましくは０．０５μｍ以上、ワイヤーボンディング用途の場合は０．３μｍ以上）の厚みで形成してもよい。さらに、その上にはんだプリコートを施す場合もある。無電解めっきではなく、電解めっきで形成してもよい。めっきではなく、水溶性防錆有機被膜（例えば、四国化成工業（株）製タフエースなど）を形成してもよく、もしくは、無電解銀、無電解スズめっきを形成してもよい。
【００２９】
このような印刷配線板の製造方法は、コアビア層や、ＩＶＨ（Interstitial Via Hole）層など、導体を形成した後のあらゆる部位に適用できる。また、バックドリル、スキップビアなどを有する印刷配線板でも、有効に適用できる。
【００３０】
（他の実施形態）
図６は、本発明に係る印刷配線板の他の実施形態を示している。図６に示す印刷配線板１００’は、絶縁性布材１と、この絶縁性布材１の少なくとも一方の面に形成された回路部２と、回路部２が形成された絶縁性布材１の両面に積層され含浸された絶縁樹脂層３とを備えた積層板５’を有し、この積層板５’の表面に導体層６を備える。また、積層板５’を貫通し、導体層６を備えたビアホール７を有していてもよい。
この印刷配線板１００’は、導電性金属箔を有していないので、上述した印刷配線板１００よりも板厚を薄くすることが可能で、更にセミアディティブ法、フルアディティブ法などが適用可能となる。
なお、印刷配線板１００’のうち、上述した印刷配線板１００を構成するものと同じ作用を持つ部材は、同一符号を付して説明は省略する。
【００３１】
図６に示す印刷配線板１００’では、回路部２と絶縁樹脂層３は、印刷配線板の上下面にそれぞれ１層積層されているが、１層に限定されない。例えば、回路部２および絶縁樹脂層３を積層・含浸させた絶縁性布材１を交互に積層させて多層のビルドアップ層としてもよい。この場合、積層した各絶縁樹脂層３にビアホール７が形成されて電気的に接続される。さらに、ビルドアップ印刷配線板に限らず、通常の多層印刷配線板、貼り合わせ多層印刷配線板、多重多層印刷配線板などに適用できることは、言うまでもない。
【００３２】
次に、本発明に係る印刷配線板の他の実施形態の製造方法を説明する。この製造方法は、下記の工程（ｉ）〜（ｖ）を含む。
（i）絶縁性布材の両面に絶縁樹脂層を形成して積層板を得て、積層板の絶縁樹脂層にレーザー加工して回路部形成用の溝部を形成し、かつレーザー加工またはドリル加工にてビアホール下穴を形成する工程。
（ii）前記積層板の表面と、回路部形成用の溝部およびビアホール下穴の内壁面にシード層を形成する（触媒付与、無電解銅めっき）工程。
（iii）導体層上にドライフィルムを貼付し、露光および現像して、回路部および導電回路、ビアホールを形成したい場所のドライフィルムを除去する工程。
（iv）ドライフィルムを剥離後、絶縁樹脂層表面に選択的にめっき処理をして回路部および導電回路、ビアホールを形成する工程。
（v）絶縁樹脂層表面のドライフィルムを除去し、次いで、フラッシュエッチングにて、回路部および導電回路、ビアホール以外の絶縁樹脂層表面のシード層を除去する工程。
【００３３】
本発明に係る印刷配線板の製造方法における他の実施形態を、図７（ａ）〜（ｆ）に基づいて説明する。
まず、図７（ａ）に示すように、絶縁性布材１と絶縁樹脂層３とをプレス処理等して積層板５’を得て、これにレーザー加工を施し、回路部２のための溝部２ａを形成する。このとき、積層板５’の絶縁樹脂層３と絶縁性布材１とを貫通するビアホール下穴７ａを形成してもよい。
【００３４】
次いで、図７（ｂ）に示すように、前記積層板５’の表面と、回路部形成用の溝部２ａおよびビアホール下穴７ａの内壁面に、触媒付与、無電解銅めっきを施し、電解めっきのシード層６ｂを形成する。
【００３５】
次いで、図７（ｃ）に示すように、積層板５’の表面のシード層６ｂの上にドライフィルム８をラミネート加工で貼り付けた後、露光および現像して、回路部２、導電回路６ａおよびビアホール７を形成したい場所のドライフィルム８を除去する。
このとき、ドライフィルム８の厚みで、積層板５’上の導体層６の厚み（銅めっき厚）を調整することができる。すなわち、厚いドライフィルム８が無い場合や、厚いドライフィルム８の露光および現像が困難な場合、通常の厚みのドライフィルム８の貼り付け（ラミネート加工）、露光、現像を複数回繰り返すことで、厚いドライフィルム８を適用した時と同様の効果がある。
【００３６】
次いで、図７（ｄ）に示すように、回路部２および導電回路６ａ、ビアホール７を形成したい場所に選択的にめっき処理を施し、導体層６を形成する。これにより、回路部形成用の溝部２ａ、ビアホール下穴７ａは、導体層６（銅めっき）で充填されて回路部２およびビアホール７が形成され、積層板５’上には導電回路６ａが形成される。
【００３７】
最後に、図７（ｅ）に示すように、ドライフィルム８を剥離した後、ドライフィルム８の下の電解めっきのシード層６ｂを、フラッシュエッチングなどで除去すると、図７（ｆ）に示すように、印刷配線板１００’が完成する。フラッシュエッチングは、例えば硫酸過水系のエッチング液を用いる。
【００３８】
図７（ｆ）で得た印刷配線板１００’に、任意回数のビルドアップを行ない、多層印刷配線板（厚銅回路基板）を作ることもできる。
ビルドアップを行なう際は、図８（ｇ）に示すように、まず印刷配線板１００’の上下面にそれぞれ、絶縁樹脂層３１と絶縁性布材１１とを積層する。これに、回路部２１とビアホール７１と導体層６１とを設ければ、多層印刷配線板が作成される。
なお、それぞれの部材は上述した積層板５’を構成するものと同じ作用を持ち、且つ同じ工程により形成されるため説明は省略する。
【００３９】
このビルドアップの回路形成は、ＭＳＡＰ、セミアディティブ法、フルアディティブ法およびサブトラクティブ法から任意に選択することができる。例えば、サブトラクティブ法、ＭＳＡＰによって、銅箔（導電性金属箔）を積層板５’の表面に用いて積層した場合は、積層後に銅箔を除去する工程を加えればよい。また、銅箔を用いないセミアディティブ法、フルアディティブ法の場合は、離型フィルムなどを使用し、積層時の絶縁樹脂層３１の樹脂流れ防止を行なえばよい。
【００４０】
最後に、基板表面の所定の位置にソルダーレジスト１２を形成し、その後、露光および現像してパッド部分を開口させて加熱硬化させ、外形加工を施して、図８（ｈ）に示す印刷配線板２００’が得られる。
【００４１】
ソルダーレジスト１２を形成する前に、形成面をＣＺ処理などの銅の粗面化処理に供してもよい。ソルダーレジスト１２の開口部に、無電解ニッケルめっきを３μｍ以上の厚みで形成し、その上に無電解金めっきを０．０３μｍ以上（好ましくは０．０５μｍ以上、ワイヤーボンディング用途の場合は０．３μｍ以上）の厚みで形成してもよい。さらに、その上にはんだプリコートを施す場合もある。無電解めっきではなく、電解めっきで形成してもよい。めっきではなく、水溶性防錆有機被膜（例えば、四国化成工業（株）製タフエースなど）を形成してもよく、もしくは、無電解銀、無電解スズめっきを形成してもよい。
【００４２】
以上述べたように、本発明の印刷配線板は、絶縁性布材１としてガラスクロスを用いることにより、積層板５をレーザー加工時に、寸止め加工でガラスクロスを底にした溝に回路部を形成することができる。さらに、任意回数のビルドアップを繰り返すことで、回路部の直上に回路を形成して、板厚の薄い印刷配線板に微細かつ大電流及び放熱に対応した回路を形成できる。
また、本発明の印刷配線板の製造方法によると任意の部分に厚銅回路を得る事ができる。一般的なサブトラクティブ法で厚銅回路を形成可能であるので製造コストも低い。さらに、ＭＳＡＰ法、セミアディティブ法、フルアディティブ法も適用可能なので、厚銅回路同一層に回路幅３５μｍ以下、回路間隙３５μｍ以下も形成可能となる。
【符号の説明】
【００４３】
１    絶縁性布材
２    回路部
２ａ  溝部
３    絶縁樹脂層
４    導電性金属箔
５、５’  積層板
６    導体層
６ａ  導電回路
６ｂ  シード層
７    ビアホール
７ａ  ビアホール下穴
８    ドライフィルム
９    開口部
１１  絶縁性布材
１２  ソルダーレジスト
２１  回路部
３１  絶縁樹脂層
４１  導電性金属箔
６１  導体層
７１  ビアホール
１００、２００  印刷配線板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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