(57)【要約】      （修正有）【課題】ノズルが配置された空間の広狭に関わらず、メンテナンスが用意であって、さらには流体を吐出する面積等の特性を自在にかつ極簡便に変更することが可能である、ノズルを提供する。【解決手段】本体部５及び先端部２からなり、該先端部２には、吐出口６が設けられており、上記先端部２は、第一先端部３及び第二先端部４からなり、上記第一先端部３と上記第二先端部４とが嵌合することにより、上記吐出口６が形成されるノズル。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体部及び先端部からなり、
該先端部には、吐出口が設けられており、
前記先端部は、第一先端部及び第二先端部からなり、
前記第一先端部と前記第二先端部とが嵌合することにより、前記吐出口が形成される、ノズル。
【請求項２】
本体部及び先端部からなり、
該先端部には、吐出口が設けられており、
前記先端部は、第一先端部、及び、第二先端部からなり、
前記第一先端部と、前記第二先端部と、が嵌合することにより、前記吐出口が形成されるノズルを用いる、流体の吐出方法であって、
前記第二先端部を第二先端部’に交換することにより、前記吐出口の形状を変更する、流体の吐出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル及び流体の吐出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ノズルは、気体又は液体といった流体の流れる方向を調整する機械部品であり、ノズルの吐出口から吐出される流体の流量、流速、方向又は圧力等の特性を制御するために、幅広く使用されている。具体的なノズルの使用態様としては、例えば、反応ガスと高周波電力とを供給してその先端でプラズマを発生させて照射し、被洗浄部分を洗浄する、プラズマ照射ノズル（特許文献１）が挙げられる。
【０００３】
ノズルのメンテナンスを簡単に、かつ素早く行なうための技術としては、例えば、先端部が本体部に対して分離可能に装着されているノズルが挙げられる（特許文献２）。該ノズルによれば、メンテナンス時にはノズルの先端部のみを分離して整備をすることが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−１１７２１３号公報
【特許文献２】特開２０１３−２２０４２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、先端部が分離可能なノズルであっても、例えば該ノズルの先端部が製造ラインにおける搬送コロと搬送コロとの間のような狭い空間に配置されているような場合には、その先端部を分離するために、結局本体部を含めたノズル全体を取り外す必要が生じることが多々あり、作業の煩雑さが解消しきれないことが問題視されていた。
【０００６】
そこで本発明は、ノズルが配置された空間の広狭に関わらず、メンテナンスが容易であって、さらには流体を吐出する面積等の特性を自在にかつ極簡便に変更することが可能である、ノズルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは鋭意検討をした結果、ノズルの先端部の一部のみを分離交換可能とすることで、狭い空間に配置されたノズルのメンテナンスがさらに容易になるばかりでなく、流体を吐出する面積等の特性を自在にかつ極簡便に変更することが可能であることを見出し、本発明を完成した。
【０００８】
すなわち本発明は、以下の（１）又は（２）に記載された、ノズル及び流体の吐出方法を提供する。
（１）  本体部及び先端部からなり、該先端部には、吐出口が設けられており、上記先端部は、第一先端部及び第二先端部からなり、上記第一先端部と上記第二先端部とが嵌合することにより、上記吐出口が形成される、ノズル。
（２）  本体部及び先端部からなり、該先端部には、吐出口が設けられており、上記先端部は、第一先端部、及び、第二先端部からなり、上記第一先端部と、上記第二先端部と、が嵌合することにより、上記吐出口が形成されるノズルを用いる、流体の吐出方法であって、上記第二先端部を第二先端部’に交換することにより、上記吐出口の形状を変更する、流体の吐出方法。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のノズルによれば、狭い空間に配置されたノズルのメンテナンスがさらに容易になるばかりでなく、流体を吐出する面積等の特性を、製造状況等に応じて自在にかつ極簡便に変更することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明のノズルの一態様における構成を、模式的に表した斜視図である。
【図２】図１のノズルにおいて第二先端部のみを交換した場合における構成を、模式的に表した斜視図である。
【図３】本発明のノズルの一態様において、スリット状の吐出口の形成を模式的に表した平面図である。
【図４】図３のノズルにおいて第二先端部を反転した場合における、スリット状の吐出口の形成を模式的に表した平面図である。
【図５】図３のノズルを用いて、搬送される基板の裏面を洗浄する工程を表した概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明のノズルは、本体部及び先端部からなり、該先端部には、吐出口が設けられており、上記先端部は、第一先端部及び第二先端部からなり、上記第１先端部と上記第２先端部とが嵌合することにより、上記吐出口が形成されることを特徴とする。
【００１２】
以下、図を用いて本発明のノズルの具体的な構成について説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００１３】
図１は、本発明のノズルの一態様における構成を、模式的に表した斜視図である。図１に示すノズル１ａは、本体部５及び先端部２ａとから構成されている。先端部２ａには、吐出口６ａが設けられており、先端部２ａは、第一先端部３及び第二先端部４ａからなる。図１では第一先端部３と第二先端部４ａとが嵌合した状態にあり、それによって正円状の吐出口６ａが形成されている。
【００１４】
本体部５は、後にノズル１ａの吐出口６ａから吐出されることとなる流体を、必要に応じて一時的に貯留した上で、供給部（図示しない）を介して、先端部２ａに供給する役割を担う。先端部２ａは、本体部５の供給部と、吐出口６ａとを連通する流路（図示しない）をその内部に有しており、該流路を通過する流体の流量、流速、方向又は圧力等の特性を制御して、吐出口６から吐出する役割を担う。ここで流路を通過する流体の流量等の特性は、本体部からの供給圧力等によってもある程度の変更は可能であるが、流路や吐出口６の形状を適切な設計にすることで、より精密な制御が可能となるものである。より精密な制御を実現するため、ノズル１ａの長手方向に対して垂直な先端部２ａの断面の面積は、ノズル１ａの長手方向に対して垂直な本体部５の断面の面積よりも、小さいことが好ましい。
【００１５】
なお、本体部５と第一先端部３とは、別部品としてそれぞれを用意しても構わないし、同一の素材により一体成型がされていても構わない。
【００１６】
図２は、本発明のノズルの一態様において、第二先端部のみを交換した場合における構成を、模式的に表した斜視図である。すなわち、図２に示すノズル１ｂは、図１に示したノズル１ａについて、第二先端部４ａを第二先端部４ｂに交換したものである。第二先端部４ａに代えて、第二先端部４ｂを第一先端部３に嵌合させた先端部２ｂには、正円状の吐出口６ａに代えて、半円状の吐出口６ｂが形成されることとなる。
【００１７】
なお、図２においては、図１に対して吐出口の形状が変化することしか明示されていないが、第二先端部４ｂの内部の形状を第二先端部４ａのそれに対して適宜変化させることで、吐出口の形状の変化による流体の吐出面積の変更のみならず、吐出される流体の流速や方向等も併せて変更をすることができる。
【００１８】
図３は、本発明のノズルの一態様において、スリット状の吐出口の形成を模式的に表した平面図である。なお、図３においてはノズルの先端部のみが示されており、本体部の図示は省略している。図３のノズルの先端部２は略直方体であり、その一面に、３つのスリット状の吐出口が設けられている（図３は、上記の略直方体において吐出口が設けられた面の平面図である）。先端部２は、第一先端部３及び第二先端部４からなる。図３では第一先端部３と第二先端部４とが嵌合した状態にあり、それによってスリット状の吐出口６が計３つ形成されている。
【００１９】
図４は、図３のノズルにおいて第二先端部を１８０°反転した場合における、スリット状の吐出口の形成を模式的に表した平面図である。図４においてもノズルの先端部のみが示されており、本体部の図示は省略している。図４でも第一先端部３と第二先端部４とが嵌合した状態にあり、それによってスリット状の吐出口６が計５つ形成されている。
【００２０】
図３及び図４で示したように、第二先端部の複数箇所（例えば、略直方体の二つの面）をそれぞれ第１先端部に嵌合可能としておき、それぞれの箇所で異なる形状の吐出口が形成できるようにすることもできる。
【００２１】
図５は、図３のノズルを用いて、搬送される基板の裏面を洗浄する工程を表した概略図である。図５では一の車軸に５つずつの搬送コロ７が設けられており、このような車軸が等間隔で並べられている（一部の車軸及び搬送コロ７は、ノズル先端部の図示を阻害しないよう、破線にて表示してある）。そして、これら車軸が同一方向に回転することで、搬送コロ７と接触した基板８が矢印の方向に搬送される。ここで、基板８の裏面と搬送コロ７とが接触した際に、搬送コロ７に由来する汚れが基板８の裏面に付着する場合がある。このような汚れを洗浄して除去すべく、基板８の裏面に向けて洗浄液を吐出するためのノズルが、基板８の搬送方向において互いに隣接する搬送コロ７と搬送コロ７との間に設けられている。そして、洗浄液は基板の裏面の内、搬送コロと接触した部位にのみ吐出されればよい。基板８は、一の車軸に設けられた５つの搬送コロ７の内、両端を除く３つの搬送コロ７とのみ接触するから、図３のノズルではスリット状の吐出口６が３つとなっており、基板８の裏面の必要な部位にのみ洗浄液を吐出して洗浄をすることができる。このようにスリット状の吐出口を、単に一つの横長の吐出口とするのではなく、必要部位にのみ吐出口６を設ける設計とすることで、洗浄液の節約等によるコストダウンにつながるばかりでなく、吐出される洗浄液の流速等の特性の調整が、極めて容易となる。
【００２２】
次に、例えば生産計画に従い、搬送する基板を、基板８よりも幅広の基板８’（図示しない）に切替えるケースを想定する。基板８’は、一の車軸に設けられた５つの搬送コロ７の内、全ての搬送コロ７と接触するものとする。この場合には、図３のノズルのように３つの吐出口６では足りず、一の車軸に設けられた５つの搬送コロ７の内、両端の搬送コロ７と接触した部位についても洗浄液の吐出が必要となる。このような場合において、ノズルの第二先端部４を１８０°反転させて第一先端部に再び嵌合させ、スリット状の吐出口６を計５つに、すなわち図４の状態にすることで、基板８’の裏面の必要な部位にのみ洗浄液を吐出して洗浄をすることができる。
【００２３】
本発明の流体の吐出方法は、本体部及び先端部からなり、該先端部には、吐出口が設けられており、上記先端部は、第一先端部、及び、第二先端部からなり、上記第一先端部と、上記第二先端部と、が嵌合することにより、上記吐出口が形成されるノズルを用いる、流体の吐出方法であって、上記第二先端部を第二先端部’に交換することにより、上記吐出口の形状を変更することを特徴とする。
【００２４】
例えば上記の図１及び図２の例においては、第二先端部４ｂが「第二先端部’」に相当することとなる。また、図３及び図４の例において示したように、一の第二先端部が「第二先端部’」の役割を兼ねても構わない。このように一の部品が「第二先端部」及び「第二先端部’」の両方の役割を果たすことで、部品の材料費のコストダウン、保管場所の省スペース化、又は、交換時間の短縮化等のメリットが想定される。
【符号の説明】
【００２５】
１ａ，１ｂ  ・・・ノズル
２，２ａ，２ｂ  ・・・先端部
３，３ａ，３ｂ  ・・・第一の先端部
４，４ａ，４ｂ  ・・・第二の先端部
５・・・  本体部
６，６ａ，６ｂ  ・・・吐出口
７・・・  搬送コロ
８，８’・・・  基板
【産業上の利用可能性】
【００２６】
本発明のノズルは、ノズルの先端部が搬送コロと搬送コロとの間のような狭い空間に配置されるような場合、例えば、カラーフィルタ基板の製造プロセス等において、特に好適に利用可能である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2016077926.tif 000006
【図５】
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