(57)【要約】      （修正有）【課題】切削屑の絡みつきを防止可能な汎用性の高い補助部材を備えたバイトホイールアセンブリを提供する。【解決手段】バイトシャンク５０の下端に着脱可能に固定された先端に切り刃５６を有するバイト工具５２と、バイトシャンク５０に装着された補助部材５８と、を備え、補助部材５６はバイトシャンク５０に装着される装着部と、被加工物の旋回切削時に切り刃５６が被加工物上を移動する移動方向前方に向かって、切り刃５６の直上でバイトシャンク５０から張り出す庇部６０、６２と、を含み、庇部６０、６２は切り刃５６の上方からホイール基台の半径方向外側に向かって延在し、延在した庇部６０、６２の下面は、ホイール基台の半径方向外側に向かって上方に傾斜した逃げ面に形成され、切り刃５６が被加工物を旋回切削して形成される切削屑が切り刃５６を除いたバイトホイールアセンブリに付着することを防止することを特徴とする。【選択図】図３
2016078217.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
バイト切削装置のスピンドルに装着されるバイトホイールアセンブリであって、
ホイール基台と、
該ホイール基台に固定されたバイトシャンクと、
該バイトシャンクの下端に着脱可能に固定された先端に切り刃を有するバイト工具と、
該バイトシャンクに装着された補助部材と、を備え、
該補助部材は、該バイトシャンクに装着される装着部と、
被加工物の旋回切削時に該切り刃が被加工物上を移動する移動方向前方に向かって、該切り刃の直上で該バイトシャンクから張り出す庇部と、を含み、
該庇部は、該切り刃の上方から該ホイール基台の半径方向外側に向かって延在し、延在した該庇部の下面は、該ホイール基台の半径方向外側に向かって上方に傾斜した逃げ面に形成され、該切り刃が被加工物を旋回切削して形成される切削屑が該切り刃を除いたバイトホイールアセンブリに付着することを防止することを特徴とするバイトホイールアセンブリ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を旋回切削するバイトホイールアセンブリに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの軽薄短小化を実現するための技術には様々な物がある。一例として、半導体ウェーハに形成されたデバイス表面に１０〜１００μｍ程度の高さのバンプと呼ばれる金属突起物を複数形成し、これらのバンプを配線基板に形成された電極に相対させて直接接合するフリップチップボンディングと呼ばれる実装技術が実用化されている。
【０００３】
半導体ウェーハのデバイス表面に形成されるバンプは、メッキやスタッドバンプといった方法により形成される。このため個々のバンプの高さは不均一であり、そのままでは複数のバンプを配線基板の電極に全て一様に接合するのは困難である。
【０００４】
そこで、半導体ウェーハの表面に形成された複数のバンプを所望の高さへ切削することが望まれている。バンプを所望の高さへ切削する方法として、バイトホイールを用いてバンプを封止樹脂と共に削り取る方法が、例えば特開２００９−１２１０５号公報で提案されている。
【０００５】
バイトホイールは、ホイール基台と、ホイール基台に配設された切り刃を含むバイト工具とを備え、バイトホイールを回転させつつ、切り刃を被加工物へ当接した状態でバイトホイールと被加工物とを摺動させることにより旋回切削を遂行する。
【０００６】
切り刃によって被加工物が切削されると、切削屑が発生する。この切削屑は切り刃の切削方向の先端側、即ち、バイトホイールの回転方向における前側に発生する。被加工物が金属や樹脂等の延性材を含む場合、切削屑は糸状に発生することになり、この糸状の切削屑がバイトホイールに絡みつく不具合が生じる恐れがある。
【０００７】
そこで、特開２０１４−７９８３７号公報には、この糸状の切削屑の付着を防止するために、バイトシャンクを覆うようにカバーを装着したバイトホイールが開示されている。これは、バイトシャンク周辺の切削屑が付着しやすい表面部分を覆うことで、切削屑が引っ掛かるような凹凸をなくし、切削屑の絡みつきを抑制するようにしたものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００９−１２１０５号公報
【特許文献２】特開２０１４−７９８３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、特許文献２に開示された補助部材（カバー）を有するバイトホイールでは、バイト工具の向き（すくい角や逃げ角）の微妙な違いにより、それに対応したカバーを形成する必要があり、汎用性が低いという問題があった。
【００１０】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、切削屑の絡みつきを防止可能な汎用性の高い補助部材を備えたバイトホイールアセンブリを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明によると、バイト切削装置のスピンドルに装着されるバイトホイールアセンブリであって、ホイール基台と、該ホイール基台に固定されたバイトシャンクと、該バイトシャンクの下端に着脱可能に固定された先端に切り刃を有するバイト工具と、該バイトシャンクに装着された補助部材と、を備え、該補助部材は、該バイトシャンクに装着される装着部と、被加工物の旋回切削時に該切り刃が被加工物上を移動する移動方向前方に向かって、該切り刃の直上で該バイトシャンクから張り出す庇部と、を含み、該庇部は、該切り刃の上方から該ホイール基台の半径方向外側に向かって延在し、延在した該庇部の下面は、該ホイール基台の半径方向外側に向かって上方に傾斜した逃げ面に形成され、該切り刃が被加工物を旋回切削して形成される切削屑が該切り刃を除いたバイトホイールアセンブリに付着することを防止することを特徴とするバイトホイールアセンブリが提供される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のバイトホイールアセンブリでは、切り刃の上方を覆う庇部を有する補助部材をバイトシャンクに取り付け、ホイール基台の半径方向外側へ延在する端部側を斜め上方に傾斜させた逃げ面を形成したことで、切り刃で形成された切削屑は、補助部材の庇部によってホイール基台の外側へ案内され、バイトホイールアセンブリに付着することを防止できる。
【００１３】
また、バイト工具をバイトシャンクに対してすくい角や逃げ角等の角度を調整して固定した場合、特許文献２に開示されたカバーでは、切り刃が固定されたバイト工具の基台に密着するよう、その都度カバーを設計し、制作する必要があったが、本願発明の補助部材はその必要がなく、非常に高い汎用性を有するという効果も奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明実施形態に係るバイトホイールアセンブリを具備したバイト切削装置の斜視図である。
【図２】本発明実施形態に係るバイトホイールアセンブリで被加工物を旋回切削している様子を示す一部断面側面図である。
【図３】図３（Ａ）は本発明実施形態に係るバイトユニットの分解斜視図、図３（Ｂ）はバイトユニットの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、本発明実施形態に係るバイトホイールアセンブリを具備したバイト切削装置の斜視図が示されている。４は、バイト切削装置のベースであり、ベース４の後方にはコラム６が立設されている。コラム６には、上下方向に伸びる一対のガイドレール（一本のみ図示）８が固定されている。
【００１６】
この一対のガイドレール８に沿ってバイト切削ユニット１０が上下方向に移動可能に装着されている。バイト切削ユニット１０は、そのハウジング２０が一対のガイドレール８に沿って上下方向に移動する移動基台１２に取り付けられている。
【００１７】
バイト切削ユニット１０は、ハウジング２０と、ハウジング２０中に回転可能に収容されたスピンドル２２（図２参照）と、スピンドル２２を回転するモータ２３と、スピンドル２２の先端に固定されたマウント２４と、マウント２４に着脱可能に装着されたバイトホイールアセンブリ２６とを含んでいる。バイトホイールアセンブリ２６は、ホイール基台２５と、ホイール基台２５に装着されたバイトユニット４８とを含んでいる。
【００１８】
バイト切削ユニット１０は、バイト切削ユニット１０を一対のガイドレール８に沿って上下方向に移動するボールねじ１４とパルスモータ１６とから構成されるバイト切削ユニット送り機構１８を備えている。パルスモータ１６を駆動すると、ボールねじ１４が回転し、バイト切削ユニット１０が上下方向に移動される。
【００１９】
ベース４の中間部分にはチャックテーブル３０を有するチャックテーブル機構２８が配設されており、チャックテーブル３０は図示しないチャックテーブル移動機構によりＹ軸方向に移動される。３３は蛇腹であり、チャックテーブル移動機構をカバーする。
【００２０】
ベース４の前側部分には、第１のウェーハカセット３２と、第２のウェーハカセット３４と、ウェーハ搬送ロボット３６と、複数の位置決めピン４０を有する位置決め機構３８と、ウェーハ搬入機構（ローディングアーム）４２と、ウェーハ搬出機構（アンローディングアーム）４４と、スピンナ洗浄ユニット４６が配設されている。
【００２１】
図２に示すように、バイトホイールアセンブリ２６は、ホイール基台２５と、ホイール基台２５に装着されたバイトユニット４８とから構成される。バイトユニット４８のバイトシャンク５０は、ホイール基台２５に形成された嵌合穴に嵌合されて着脱可能に固定されている。
【００２２】
図３（Ａ）に示すように、バイトユニット４８のバイトシャンク５０には、バイト工具５２の基台５４の厚さと同等の深さを有するピット５１が形成されており、このピット５１中にバイト工具５２の基台５４が挿入される。
【００２３】
基台５４の先端にはダイヤモンドからなる切り刃５６が固着されている。基台５４には取り付け穴５７が形成されており、バイトシャンク５０のピット５１にはこの取り付け穴５７に対応するねじ穴が形成されている。
【００２４】
５８は切削屑の付着を防止する補助部材であり、水平庇部６０と、傾斜庇部６２と、水平庇部６０に立設された装着部６４とから構成される。装着部６４には取り付け穴６５が形成されており、この取り付け穴６５中にねじ６６を挿入して、バイト工具５２の基台５４に形成された取り付け穴５７を介してバイトシャンク５０に形成されたねじ穴に螺合することにより、バイトシャンク５０に対してバイト工具５２と補助部材５８が共締めされる。
【００２５】
図３（Ｂ）に示すように、ねじ６６により補助部材５８がバイト工具５２と共にバイトシャンク５０に取り付けられると、補助部材５８の水平庇部６０及び傾斜庇部６２が切り刃５６の上方からホイール基台２５の半径方向外側に向かって延在し、傾斜庇部６２の下面は、ホイール基台２５の半径方向外側に向かって上方に傾斜した逃げ面を形成する。逃げ面の角度は１０°〜６０°、好ましくは２０°〜４０°である。
【００２６】
図３に示した実施形態では、バイト工具５２及び補助部材５８を一本のねじ６２でバイトシャンク５０に対して共締めしているが、まずバイト工具５２をバイトシャンク５０に固定し、次いで補助部材５８をバイト工具５２の基台５４又はバイトシャンク５０に固定するようにしてもよい。
【００２７】
次に、図２を参照して、上述した実施形態に係るバイトホイールアセンブリ２６の作用について説明する。バイト切削ユニット１０のスピンドル２２を約２０００ｒｐｍで回転させつつ、バイトホイール送り機構１８を駆動して、バイトユニット４８の切り刃５６をウェーハ１１の表面に被覆された封止樹脂１３に所定深さ切り込ませ、チャックテーブル３０を矢印Ｙ１方向に例えば１ｍｍ／ｓの送り速度で移動させながら、封止樹脂１３と共に図示しないバンプを旋回切削する。この旋回切削時には、チャックテーブル３０は回転させずに矢印Ｙ１方向に直線的に加工送りする。
【００２８】
ウェーハ１１の封止樹脂１３を切削すると、切り刃５６による旋回切削のため、切削屑５５は切り刃５６の回転方向前側で且つホイール基台２５の半径方向外側に主に形成される。図３（Ｂ）で、矢印Ｒ１は切り刃５６の回転方向を示している。
【００２９】
本実施形態のバイトユニット４８では、切り刃５６の上方に補助部材５８の庇部６０，６２を設け、ホイール基台２５の半径方向外側へ延在する端部側の庇部６２を斜め上方に傾斜させて逃げ面を形成したことで、切り刃５６で形成された切削屑５５は庇部６０，６２によってバイトホイールアセンブリ２６の外側へ案内され、バイトホイールアセンブリ２６に切削屑５５が付着することが防止される。
【００３０】
上述した実施形態では、補助部材５８は水平庇部６０と傾斜庇部６２を有しているが、水平庇部６２は必ずしも必須ではなく、補助部材５８の庇部全体を斜め上方に傾斜した庇部６２にしても良い。
【符号の説明】
【００３１】
２    バイト切削装置
１０    バイト切削ユニット
２５    ホイール基台
２６    バイトホイールアセンブリ
３０    チャックテーブル
４８    バイトユニット
５０    バイトシャンク
５２    バイト工具
５４    基台
５５    切削屑
５６    切り刃
５８    補助部材
６０，６２    庇部
【図１】
2016078217.tif 000003
【図２】
2016078217.tif 000004
【図３】
2016078217.tif 000005