(57)【要約】【課題】備蓄用小型液体ヘリウム容器から放出されるヘリウムガスを回収する。【解決手段】複数の備蓄用小型液体ヘリウム容器１１０から放出されるヘリウムガスを回収し、バッファタンク１１４に貯蔵する。バッファタンク１１４に貯蔵されたヘリウムガスを冷凍機１１８で冷却液化し、得られた液体ヘリウムを中間容器１２０に貯蔵する。また、中間容器１２０からの液体ヘリウムを小型ヘリウム容器１２２に移送するとともに、中間容器１２０および小型ヘリウム容器１２２からの蒸発ヘリウムガスを回収し、バッファタンク１１４に供給する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のエンドユーザ用小型液体ヘリウム容器に液体ヘリウムを移送するか、または液体ヘリウムが充填されたエンドユーザ用小型液体ヘリウム容器を保持する施設において、
複数のエンドユーザ用への液体ヘリウムの移送中に蒸発するヘリウムガスまたは液体ヘリウムが充填されたエンドユーザ用小型液体ヘリウム容器から蒸発するヘリウムガスを回収して、バッファタンクに貯蔵し、
バッファタンクに貯蔵されたヘリウムガスを冷凍機で冷却して液化し、
得られた液体ヘリウムをエンドユーザ用小型容器に移送する、
蒸発ヘリウムガスの回収方法。
【請求項２】
請求項１に記載の蒸発ヘリウムガスの回収方法であって、
冷凍機で得られた液体ヘリウムを一旦中間容器に貯蔵し、中間容器の液体ヘリウムをエンドユーザ用小型容器に移送するとともに、
中間容器から蒸発するヘリウムガスを回収し、バッファタンクに供給する、
蒸発ヘリウムガスの回収方法。
【請求項３】
請求項２に記載の蒸発ヘリウムガスの回収方法であって、
中間容器の液体ヘリウムを極低温ポンプを用いてエンドユーザ用小型容器に移送する、
蒸発ヘリウムガスの回収方法。
【請求項４】
請求項１に記載の蒸発ヘリウムガスの回収方法であって、
冷凍機またはエンドユーザ用小型容器のいずれか一方または両方を昇降可能とし、
冷凍機からの液体ヘリウムのトランスファーチューブをエンドユーザ用小型容器に挿脱する、
蒸発ヘリウムガスの回収方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１つに記載の蒸発ヘリウムガスの回収方法であって、
冷凍機で得られた液体ヘリウムは、熱侵入が少ないトランスファーチューブを用いて移送する、
蒸発ヘリウムガスの回収方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１つに記載の蒸発ヘリウムガスの回収方法であって、
冷凍機として、２台以上の２ステージ冷凍機を用い、
バッファタンクからのヘリウムガスを、各冷凍機の第１ステージを順次通過させた後、少なくとも１つの冷凍機の第２ステージにおいてさらに冷却し、その後他の少なくとも１つの冷凍機の第２ステージにおいて液化するとともに、
１つの冷凍機の第１ステージを通過したヘリウムガスに室温ヘリウムガスを追加して他の冷凍機の第１ステージに導入する、
蒸発ヘリウムガスの回収方法。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１つに記載の蒸発ヘリウムガスの回収方法であって、
冷凍機で冷却液化する工程は、バッファタンクにヘリウムガスが存在し、液化が可能な場合に連続して行う、
蒸発ヘリウムガスの回収方法。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１つに記載の蒸発ヘリウムガスの回収方法を実施するための蒸発ヘリウムガスの回収システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は小型液体ヘリウム容器などから放出される蒸発ヘリウムガスの回収に関する。
【背景技術】
【０００２】
日本では、ヘリウムを主として米国またはカタールから約３．６万リットルの大容量液体ヘリウム容器で輸入している。国内のガス販売業者は、そのガスステーションで、大容量液体ヘリウム容器からの液体ヘリウムを１０００、５００、２５０、１００、６０、３０Ｌ等の小容量液体ヘリウム容器にトランスファー（移送）した後、エンドユーザに販売している。
【０００３】
ここで、エンドユーザには、ＭＲＩやＮＭＲなどを使用している機関も多くある。このような機関では、ＭＲＩやＮＭＲで使用している超電導磁石のクエンチに対し、早急に対応したいという要求がある。そのため、クエンチ等で冷却用の液体ヘリウムが飛散したときに、緊急に液体ヘリウムを充填するために、ヘリウム販売業者は複数の備蓄用小型液体ヘリウム容器を常時用意している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−３２１８７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
この備蓄ヘリウムは通常数千リットルであり、その液体ヘリウムが毎日１−２％蒸発しているので、年間大量の液体ヘリウムが蒸発しているが、適切な回収手段が無いため、大気放散されて貴重な資源が大量に損失されている。また、大容量液体ヘリウム容器から小容量液体ヘリウム容器に液体ヘリウムをトランスファーする際にも蒸発するヘリウムガスもある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、複数のエンドユーザ用小型液体ヘリウム容器に液体ヘリウムを移送するか、または液体ヘリウムが充填されたエンドユーザ用小型液体ヘリウム容器を保持する施設において、複数のエンドユーザ用への液体ヘリウムの移送中に蒸発するヘリウムガスまたは液体ヘリウムが充填されたエンドユーザ用小型液体ヘリウム容器から蒸発するヘリウムガスを回収して、バッファタンクに貯蔵し、バッファタンクに貯蔵されたヘリウムガスを冷凍機で冷却して液化し、得られた液体ヘリウムをエンドユーザ用小型容器に移送する。
【０００７】
また、冷凍機で得られた液体ヘリウムは、熱侵入が少ないトランスファーチューブを用いて移送することが好適である。
【０００８】
また、冷凍機で得られた液体ヘリウムを一旦中間容器に貯蔵し、中間容器の液体ヘリウムをエンドユーザ用小型容器に移送するとともに、中間容器から蒸発するヘリウムガスを回収することが好適である。
【０００９】
また、中間容器の液体ヘリウムを極低温ポンプを用いてエンドユーザ用小型容器に移送することが好適である。
【００１０】
また、冷凍機またはエンドユーザ用小型容器のいずれか一方または両方を昇降可能とし、冷凍機からの液体ヘリウムのトランスファーチューブをエンドユーザ用小型容器に挿脱することが好適である。
【００１１】
また、冷凍機として、２台以上の２ステージ冷凍機を用い、バッファタンクからのヘリウムガスを、各冷凍機の第１ステージを順次通過させた後、少なくとも１つの冷凍機の第２ステージにおいてさらに冷却し、その後他の少なくとも１つの冷凍機の第２ステージにおいて液化するとともに、１つの冷凍機の第１ステージを通過したヘリウムガスに室温ヘリウムガスを追加して他の冷凍機の第１ステージに導入することが好適である。
【００１２】
また、冷凍機で冷却液化する工程は、バッファタンクにヘリウムガスが存在し、液化が可能な場合に連続して行うことが好適である。本発明は、備蓄用ヘリウムから蒸発したヘリウムの液化回収ばかりでなく、ガスステーション等で蒸発したヘリウムガスを簡便に液化回収する用途にも用いることができる。
【００１３】
また、本発明の別の実施形態は、上述のような蒸発ヘリウムガスの回収方法を実施するシステムである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、備蓄用小型液体ヘリウム容器から放出されるガスを回収利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】システムの全体構成を示す図である。
【図２】冷凍機の第１の構成例を示す図である。
【図３】冷凍機の第２の構成例を示す図である。
【図４】昇降機を用いる構成例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態について、図面に基づいて説明する。なお、本発明は、ここに記載される実施形態に限定されるものではない。
【００１７】
図１は、ガスステーション（施設）における液体ヘリウム貯蔵システムの概略構成を示す図である。
【００１８】
ガスステーションに運ばれてきた大容量液体ヘリウム容器（例えば３６，０００Ｌ）の液体ヘリウムは、エンドユーザに提供するための小容量ヘリウム容器（１０００Ｌ、５００Ｌ、２５０Ｌ、１００Ｌ、６０Ｌ、３０Ｌ等）に移し替えられる。また、備蓄用小型液体ヘリウム容器１１０にも充填される。すなわち、小容量ヘリウム容器は、エンドユーザに配達するものであるが、備蓄用小型液体ヘリウム容器１１０は、エンドユーザにおけるＭＲＩ、ＮＭＲなどの装置がクエンチするなどの理由で緊急に液体ヘリウムが必要になった場合に対処するために液体ヘリウムを備蓄するものである。なお、備蓄用小型液体ヘリウム容器１１０は、通常１，０００Ｌまたは５００Ｌである。小容量ヘリウム容器および備蓄用小型液体ヘリウム容器１１０を合わせてエンドユーザ用小容量液体ヘリウム容器という。
【００１９】
ガスステーションにおいては、備蓄用小型液体ヘリウム容器１１０を複数保存しておき、緊急の要請があった場合にこれを配達する。
【００２０】
ここで、備蓄用小型液体ヘリウム容器１１０においては、その内部圧力の上昇により、ある程度のヘリウムガスがリーク弁から放出される。その量はそれほど大きくないとして従来は大気中に放出されていた。また、小容量ヘリウム容器への充填時に発生するヘリウムガスについても、大気中に放散されたり、風船などに充填するガスとして販売されていた。
【００２１】
本実施形態では、備蓄用小型液体ヘリウム容器１１０から放出されるヘリウムガスを回収するとともに、小容量ヘリウム容器への液体ヘリウムの移送、充填時に発生するヘリウムガスも回収する。
【００２２】
図１に示すように、備蓄用小型液体ヘリウム容器１１０の放出ガスのラインに回収ライン１１２を接続し、バッファタンク１１４に導入する。バッファタンク１１４は、備蓄用小型液体ヘリウム容器１１０の放出ガスを全て受け入れられるようにしてある。また、小容量ヘリウム容器への液体ヘリウムの移送時において発生する蒸発ヘリウムガスについてもバッファタンク１１４に供給される。
【００２３】
なお、バッファタンク１１４に所定量のヘリウムガスを貯留するためには、ある程度加圧することも必要である。そこで、回収したヘリウムガスを一旦昇温し、これをポンプでバッファタンク１１４に供給することでバッファタンク１１４内の圧力を２０ＭＰａを下回る圧力（例えば、１９．６ＭＰａ）程度とすることが好適である。これによって、バッファタンク１１４に貯留できるヘリウムガスの容量を大きくできる。
【００２４】
バッファタンク１１４には、ポンプ１１６が接続されており、このポンプ１１６によって、コールドチャンバ１１８に供給される。コールドチャンバ１１８は、冷凍機を有しており、この冷凍機でヘリウムガスを液化する。
【００２５】
コールドチャンバ１１８内の冷凍機において液化された液体ヘリウムは、中間容器１２０に供給され、ここに貯留される。ここで、中間容器１２０には冷凍機から連続して小量の液体ヘリウムが供給されるため通常のトランスファーチューブを用いるとほとんどが蒸発してしまう。そこで、特許第３４４６８８３号公報、特許第３５２３０８５号公報に開示されているような、特別に熱流入の小さいトランスファーチューブを用いることが好適である。すなわち、コールドチャンバ１１８から中間容器１２０に至る流路については他に比べ特別熱侵入の少ないトランスファーチューブを用いることで、小流量の液体ヘリウムであっても、液体のまま移送することができる。なお、中間容器１２０を省略する場合もコールドチャンバ１１８からのトランスファーチューブは、特別に熱侵入の少ないものとすることが好適である。この中間容器１２０は、２５０Ｌ、５００Ｌの容器とすることが好適であるが、必ずしもこの容量とすることはない。
【００２６】
中間容器１２０に貯蔵された液体ヘリウムは、図示のように別の小型ヘリウム容器１２２に充填することもできる。また、備蓄用小型ヘリウム容器１１０を中間容器１２０から液体ヘリウムを供給される容器としてもよく、備蓄用小型液体ヘリウム容器１１０の減少分の補填に直接利用することができる。小型ヘリウム容器１２２とは、例えば３０Ｌ、６０Ｌ、１００Ｌ等の容器であるが、大容量液体ヘリウム容器（大型コンテナ）から直接トランスファーするのが効率的でない。なお、中間容器１２０から液体ヘリウムをトランスファーする容器をエンドユーザ用小型容器と呼ぶ。
【００２７】
ここで、中間容器１２０内の液体ヘリウムを小型ヘリウム容器１２２に充填するのには、通常の移送方法であるヘリウムガスによる押出法が利用できる。すなわち、中間容器１２０と小型ヘリウム容器１２２をトランスファーチューブ１２６で接続し、排気口からヘリウムガスを適切な圧力で注入することによりトランスファーチューブ１２６を介して中間容器１２０内の液体ヘリウムを小型ヘリウム容器１２２にトランスファーする。しかし、その場合には中間容器１２０内の圧力が上昇し、結果的にコールドチャンバ１１８内の凝縮器の圧力が上がり、液化が一時的に停止してしまう。これを回避するためには、ポンプ１２４を用いることができ、ポンプ１２４としては特開２０１０−１９１６４号公報に記載される低発熱の極低温ポンプを用いることが好適である。
【００２８】
なお、中間容器１２０には、液面計１２８が設けられており、中間容器１２０の液面が適切な範囲にあるようにポンプ１２４を制御することが好ましい。
【００２９】
このようなシステムによれば、備蓄用小型液体ヘリウム容器１１０において放出される、蒸発したヘリウムガスをバッファタンク１１４に集めた後、コールドチャンバ１１８内の冷凍機で液化して小型液体ヘリウム容器である中間容器１２０に溜められる。
【００３０】
特に、この中間容器１２０に溜めるまでの作業は、基本的にコールドチャンバ１１８内の冷凍機の能力を最大限に利用できる範囲で行い、連続して行う。すなわち、業務時間などの制約を受けないようにして、２４時間連続して行う。これによって、業務時間（例えば８時間）だけ、液化するよりも約３倍の量が液化できる。さらに、週末、祭日にも運転することにより、より多くの液化が可能になる。このように、コールドチャンバ１１８内の冷凍機は、基本的に連続してヘリウムガスの液化を行う。すなわち、バッファタンク１１４内に十分なヘリウムガスが存在するようにした上で、連続運転とする。
【００３１】
液化装置としては、２台または３台以上の２段式冷凍機を用いて、液化能力が２５Ｌ／Ｄ以上になるように調整した液化装置を用いることが好適である。
【００３２】
また、中間容器１２０、小型ヘリウム容器１２２から発生するヘリウムガスについても回収して、バッファタンク１１４に供給することが好適である。
【００３３】
このように、本実施形態では、備蓄用小型液体ヘリウム容器１１０において、液体ヘリウムから蒸発するヘリウムガスを回収液化し、これを貯蔵中に蒸発して減量した小型液体ヘリウム容器の増詰や３０，６０，１００Ｌ程度の比較的小さな容量の液体ヘリウム容器の充填に用いる。
【００３４】
ここにおいて、極低温低発熱ポンプ（特開２０１０−１９１６４号公報参照）を用いて、中間容器１２０から小型ヘリウム容器１２２へ液体ヘリウムをトランスファーすることにより、効率的かつ蒸発ヘリウムガスの量を抑制してトランスファーすることができる。
【００３５】
また、本実施形態においては、コールドチャンバ１１８で液化した液体ヘリウムを中間容器１２０に一時保管して、トランスファーすることとしたが、コールドチャンバ１１８からの液体ヘリウムを直接小型ヘリウム容器１２２に供給してもよい。この場合、コールドチャンバ１１８または小型ヘリウム容器１２２の一方または両方に昇降装置を設け、両者を相対的に移動できるようにすることが好適である。
【００３６】
図４に示すように、コールドチャンバ１１８と、小型ヘリウム容器１２２を載置する載置台１３６の下側を昇降機１３０，１３２でそれぞれ支持する。昇降機１３０，１３２は油圧タイプのものを用いることができる。ただし、昇降機１３０，１３２は上方から吊り下げるタイプであっても、側方から支持するタイプであってもよい。昇降機１３０，１３２によってコールドチャンバ１１８、小型ヘリウム容器１２２を昇降することで、コールドチャンバ１１８に取り付けたトランスファーチューブ１３４の挿入管１３４ａを下方に移動し小型ヘリウム容器１２２に挿入し、液体ヘリウムの充填が完了した後に挿入管を上方に移動して引き抜くことができる。もちろん、昇降機を１つとしていずれか一方を昇降してもよい。
【００３７】
＜コールドチャンバ内の冷凍機の構成＞
「第１の構成」
＜構成＞
図２は、コールドチャンバ１１８の構成例を示す図である。
【００３８】
ＭＲＩやＮＭＲから蒸発したヘリウムガスを回収し、回収したヘリウムガスは、貯蔵タンクに貯蔵され、ここからポンプなどによって流入管にほぼ室温（３００Ｋ程度）で送られてくる。流入管には、リリーフ弁１０が配置されており、ここで内部のガス圧が例えば０．２ＭＰａを超えないようにする。
【００３９】
流入管にマスフローコントローラ１２が設けられており、流量を計測するとともに、流量をコントロールする。マスフローコントローラ１２からの室温のヘリウムガスは、第１冷凍機第１ステージ１４ａに流入する。ヘリウムガスは、この第１ステージ１４ａにおいて冷却され、第１冷凍機第２ステージ１４ｂでの４．２Ｋにおける冷却能力が最大になる温度、例えば７２Ｋ程度にする。
【００４０】
第１ステージ１４ａからのヘリウムガスは、第２冷凍機第１ステージ１６ａに供給されるが、この流路にはマスフローコントローラ１８を介し室温ヘリウムガスが追加混合できるようになっている。従って、第１ステージ１６ａに流入されるヘリウムガスの温度は７２Ｋより高くなっている。マスフローコントローラ１８により混合する室温ヘリウムガスの量が制御される。
【００４１】
室温ヘリウムガスが混合されたヘリウムガスは第１ステージ１６ａにおいて冷却され、例えば４５Ｋ程度になる。この第１ステージ１６ａで冷却されたヘリウムガスは第２ステージ１６ｂの凝縮器１６ｃに導入され、ここで第２ステージ１６ｂによって冷却される。温度は７．５Ｋ程度になる。なお、凝縮器１６ｃでは、液化は行われず、単に第２ステージ１６ｂによるヘリウムガスの冷却が行われる。
【００４２】
第２冷凍機第２ステージ１６ｂからのヘリウムガスは、第１冷凍機１４の第２ステージ１４ｂの凝縮器１４ｃに流入される。ここで、導入されたヘリウムガスは、第２ステージ１４ｂによって冷却されて液化する。
【００４３】
なお、第１冷凍機第１ステージ１４ａ、第２冷凍機第１ステージ１６ａ、第２冷凍機第２ステージ１６ｂには、ヒータＨ１，Ｈ２，Ｈ３がそれぞれ設けられており、これらヒータを利用して、対応するステージの冷却能力を調整することができる。
【００４４】
液化された４．２Ｋの液体ヘリウムは、貯留タンク２０に導入され、ここに液体ヘリウムが貯留され、各種の用途に利用される。
【００４５】
なお、第１冷凍機１４、第２冷凍機１６は、ＧＭ冷凍機やパルスチューブ冷凍機と呼ばれるタイプのものが好適である。
【００４６】
＜運用＞
まず、第１冷凍機第１ステージ１４ａには、第１冷凍機第２ステージ１４ｂの冷凍能力が最大になる温度付近になるように室温ヘリウムガス量を設定する。この設定は、マスフローコントローラ１２によって行う。
【００４７】
次に、第２冷凍機第１ステージ１６ａに流入するヘリウムガスについては、第１ステージ１６ａで冷却したヘリウムガスを第２ステージ１６ｂで冷却したときに、ヘリウムガスとしてできるだけ液化温度に近い温度（例えば、７．５Ｋ程度）になるような条件とする。本構成において、第２冷凍機１６は、第１ステージ１６ａで冷却したヘリウムガスを第２ステージ１６ｂで冷却する。従って、第１ステージ１６ａへ流入するヘリウムガスの温度、流量を決定する必要がある。この際、冷凍機の販売業者から提供される第２冷凍機１６の平均的な冷却特性表から、第２ステージ１６ｂから流出するヘリウムガスのおおよその温度は予測できる。
【００４８】
しかしながら、個々の冷凍機には、１０％以上の冷凍能力のばらつきがある上に、図示しないコールドチャンバの熱シールドおよびトランスファーチューブの熱シールドを冷却するための熱負荷や装置の仕上がり状態、室温などの環境要因でシステムの液化能力は大きく変動する。他方、ＧＭ冷凍器などの特性として、第１ステージの負荷が適切なときに第２ステージの冷却能力が最大化する。
【００４９】
そこで、第２ステージ１６ｂから流出するヘリウムガスの温度が１０Ｋ以下、例えば７．５Ｋとなるように、混合する第１ステージ１６ａへ供給するヘリウムガスの量および温度をマスフローコントローラ１８を用いて調整する。また、必要な場合には、ヒータＨ１，Ｈ２，Ｈ３に電流を流して最適な条件に設定する。マスフローコントローラ１２，１８における流量と、ヒータＨ１，Ｈ２，Ｈ３の加熱量をパラメータとして変動させ、冷却能力を調べることで最適な値を求めることができる。
【００５０】
そして、第２冷凍機第２ステージ１６ｂからの低温のヘリウムガスが第１冷凍機１４の第２ステージ１４ｂに供給され、ここで液化される。なお、液体ヘリウムはこれを貯留する容器である凝縮器１６ｃ内に溜まった後、貯留タンク２０に導入される。
【００５１】
このように、本構成によれば、流入（室温）ヘリウムガスを第１冷凍機第１ステージ１４ａ→第２冷凍機第１ステージ１６ａ→第２冷凍機第２ステージ１６ｂ→第１冷凍機第２ステージ１４ｂの順番でヘリウムスを冷却液化し、第２冷凍機の第１ステージ１６ａに導入されるヘリウムガスに室温ヘリウムガスを混合することおよびヒータＨ１，Ｈ２，Ｈ３を適切に設定することで、全体システムとして効率的なヘリウムガスの液化が行える。
【００５２】
「第２の構成」
図３に、第２の構成例を示す。この構成では、３つの２ステージ冷凍機を有する。すなわち、第１ステージ２２ａ、第２ステージ２２ｂを有する第３冷凍機２２を有している。また、第３冷凍機第１ステージ２２ａに導入されるヘリウムガスに室温の流入ガスを混合する経路を有しており、この経路には流量を計測するとともに制御するマスフローコントローラ２４が配置されている。
【００５３】
そして、第１冷凍機第１ステージ１４ａ、第２冷凍機第１ステージ１６ａ、第３冷凍機第１ステージ２２ａ、第２冷凍機第２ステージ１６ｂによりヘリウムガスを冷却し、１０Ｋ以下の低温のヘリウムガスを得る。そして、この低温のヘリウムガスを第１冷凍機第２ステージ１４ｂ、第３冷凍機第２ステージ２２ｂで液化し、凝縮器１４ｃ，２２ｃにおいて液体ヘリウムを得る。
【００５４】
さらに、第２冷凍機の第１ステージ１６ａに導入されるヘリウムガス、および第３冷凍機の第１ステージ２２ａに供給するヘリウムガスについては、マスフローコントローラ１８、２４によって流量が調整された室温ヘリウムガスを混合することおよびヒータＨ１〜Ｈ５を適切に設定することで、全体システムとして効率的なヘリウムガスの液化を行う。なお、いずれの冷凍機の第２ステージを液化に用いるかは任意に選択することができる。
【００５５】
特に、本構成では、３つの冷凍機の第１ステージを直列に接続しながら、２つの中間部分で室温ヘリウムガスを混合することで、各冷凍機の第１ステージの冷却負荷を個別に調整でき、各冷凍機の第２ステージの冷却能力も設定できる。そして、１つの冷凍機の第２ステージを液体ヘリウム温度に近い低温までの冷却に用い、他の２つの冷凍機の第２ステージを液化に利用することで、３台の冷凍機の能力を十分に利用することができる。なお、冷凍機の数は２台または３台に限る必要はなく、同様な考え方で４台以上を用いても良い。
【符号の説明】
【００５６】
１０  リリーフ弁、１２，１８，２４  マスフローコントローラ、１４  第１冷凍機、１４ａ  第１冷凍機第１ステージ、１４ｂ  第１冷凍機第２ステージ、１４ｃ，１６ｃ，２２ｃ  凝縮器、１６  第２冷凍機、１６ａ  第２冷凍機第１ステージ、１６ｂ  第２冷凍機第２ステージ、２０  貯留タンク、２２  第３冷凍機、２２ａ  第３冷凍機第１ステージ、２２ｂ  第３冷凍機第２ステージ、１１０  備蓄用小型液体ヘリウム容器、１１２  回収ライン、１１４  バッファタンク、１１６  ポンプ、１１８  コールドチャンバ（冷凍機）、１２０  中間容器、１２２  小型ヘリウム容器、Ｈ１〜Ｈ５  ヒータ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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