(57)【要約】【課題】裁断フェライトグリーンシートを複数枚積み重ねて焼成しても、それらの表面と裏面とが互いに固着しない、裁断焼結フェライトシートを得る。【解決手段】フェライトグリーンシートの原料を、表面に特定の表面特性を有する長尺キャリアシートの上に延展する。得られたフェライトグリーンシートの裏面（拘束面）に長尺キャリアシートの特定の粗面が転写される。フェライトグリーンシートの反対側の表面を拘束することなく自由面にする。このフェライトグリーンシートを複数枚積み重ねて焼成する。得られた焼結フェライトシートは擦り合う面同士が互いに固着せず、滑動性が良くなる。【選択図】図２
2016127151.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粗面加工された表面を有する長尺キャリアシートの上にフェライト原料の混練物を延展することにより、得られた延展物の裏面にその自重の反作用による外部負荷を与えて、長尺キャリアシートの粗面を実質上転写してなる拘束面と、前記延展物の表面に何ら外部負荷を与えることなく、それを外方に露出させて、前記拘束面の表面特性より小さい下記の表面特性を有する自由面とを備えている、相当厚さが３０〜５００μｍのフェライトグリーンシートに成形する成形工程と、
前記フェライトグリーンシートを所定の平面形状に裁断して、多数枚の裁断フェライトグリーンシートを得る裁断工程と、
前記裁断フェライトグリーンシートを複数枚、前記拘束面と自由面とが直接擦り合うように積み重ねて積重グリーンシートを得る積重工程と、
前記積重グリーンシートを８００〜１０００℃の温度範囲で焼成して裁断焼結フェライトシートを得る焼成工程と
からなる裁断焼結フェライトシートを製造する方法；
（１）中心線平均粗さ：１５０〜３００ｎｍ、
（２）最大高さ：２．０〜５．０μｍ、
（３）１００μｍ平方の裁断フェライトグリーンシートを厚み方向に最大高さの１／２の高さで仮想的に切断したときの切断面が単位面積に占める面積占有率：５０〜９５％。
【請求項２】
粗面加工された表面を有する長尺キャリアシートの上にフェライト原料の混練物を延展することにより、得られた延展物の裏面にその自重の反作用による外部負荷を与えて、長尺キャリアシートの粗面を実質上転写して下記の表面特性を有する拘束面を備えている、相当厚さが３０〜５００μｍのフェライトグリーンシートに成形する成形工程と、
前記フェライトグリーンシートを所定の平面形状に裁断して、多数枚の裁断フェライトグリーンシートを得る裁断工程と、
前記裁断フェライトグリーンシートを複数枚、前記拘束面と自由面とが直接擦り合うように積み重ねて積重グリーンシートを得る積重工程と、
前記積重グリーンシートを８００〜１０００℃の温度範囲で焼成して裁断焼結フェライトシートを得る焼成工程と
からなる裁断焼結フェライトシートを製造する方法；
（１）中心線平均粗さ：８５０〜１５００ｎｍ、
（２）最大高さ：７〜１５μｍ、
（３）１００μｍ平方の裁断フェライトグリーンシートを厚み方向に最大高さの１／２の高さで仮想的に切断したときの切断面が単位面積に占める面積占有率：４０〜６５％。
【請求項３】
粗面加工された表面を有する長尺キャリアシートの上にフェライト原料の混練物を延展することにより、得られた延展物の裏面にその自重の反作用による外部負荷を与えて、長尺キャリアシートの粗面を実質上転写してなる、下記（１）項記載の表面特性を有する拘束面と、前記延展物の表面に何ら外部負荷を与えることなく、それを外方に露出させて、下記（２）項記載の表面特性を有する自由面とを備えている、相当厚さが３０〜５００μｍのフェライトグリーンシートに成形する成形工程と、
前記フェライトグリーンシートを所定の平面形状に裁断して、多数枚の裁断フェライトグリーンシートを得る裁断工程と、
前記裁断フェライトグリーンシートを複数枚、前記拘束面と自由面が直接擦り合うように積み重ねて積重グリーンシートを得る積重工程と、
前記積重グリーンシートを８００〜１０００℃の温度範囲で焼成して焼成して裁断焼結フェライトシートを得る焼成工程と
からなる裁断焼結フェライトシートを製造する方法；
（１）拘束面の中心線平均粗さ（Ｒａ１）：８５０〜１５００ｎｍ、最大高さ（Ｒｚ１）：７〜１５μｍ、１００μｍ平方の裁断フェライトグリーンシートを厚み方向に最大高さの１／２の高さで仮想的に切断したときの切断面が単位面積に占める面積占有率：４０〜６５％。
（２）自由面の中心線平均粗さ（Ｒａ２）：１５０〜３００ｎｍ、最大高さ（Ｒｚ２）：２．０〜５．０μｍ、１００μｍ平方の裁断フェライトグリーンシートを厚み方向に最大高さの１／２の高さで仮想的に切断したときの切断面が単位面積に占める面積占有率：５０〜９５％。
【請求項４】
粗面加工された表面を有する長尺キャリアシートの上にフェライト原料の混練物を延展することにより、得られた延展物の裏面にその自重の反作用による外部負荷を与えて、長尺キャリアシートの粗面を実質上転写してなる、下記（１）項記載の表面特性を有する拘束面と、前記延展物の表面に何ら外部負荷を与えることなく、それを外方に露出させて、下記（２）項記載の表面特性を有する自由面とを備えており、表面特性の差が下記（３）項記載の表面特性であり、相当厚さが３０〜５００μｍのフェライトグリーンシートに成形する成形工程と、
前記フェライトグリーンシートを所定の平面形状に裁断して、多数枚の裁断フェライトグリーンシートを得る裁断工程と、
前記裁断フェライトグリーンシートを複数枚、前記拘束面と自由面が直接擦り合うように積み重ねて積重グリーンシートを得る積重工程と、
前記積重グリーンシートを８００〜１０００℃の温度範囲で焼成して焼成して裁断焼結フェライトシートを得る焼成工程と
からなる裁断焼結フェライトシートを製造する方法；
（１）拘束面の中心線平均粗さ（Ｒａ１）：８５０〜１５００ｎｍ、最大高さ（Ｒｚ１）：７〜１５μｍ、１００μｍ平方の裁断フェライトグリーンシートを厚み方向に最大高さの１／２の高さで仮想的に切断したときの切断面が単位面積に占める面積占有率：４０〜６５％。
（２）自由面の中心線平均粗さ（Ｒａ２）：１５０〜３００ｎｍ、最大高さ（Ｒｚ２）：２．０〜５．０μｍ、１００μｍ平方の裁断フェライトグリーンシートを厚み方向に最大高さの１／２の高さで仮想的に切断したときの切断面が単位面積に占める面積占有率：５０〜９５％。
（３）拘束面と自由面との中心線平均粗さの差（Ｒａ１−Ｒａ２）が５５０〜１３５０ｎｍ、最大高さの差（Ｒｚ１−Ｒｚ２）が３．５〜１３μｍ。
【請求項５】
前記長尺キャリアシートが、前記拘束面の中心線平均粗さ（Ｒａ１）よりも大きい中心線平均粗さ（Ｒａ３）を有するポリエチレンテレフタレートからなる請求項１乃至４に記載の裁断焼結フェライトシートの製造方法。
【請求項６】
前記長尺キャリアシートは、その表面又は表面層に、無機微粒体又は熱硬化性樹脂微粒体が付着又は混入している請求項１乃至５に記載の裁断焼結フェライトシートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、裁断焼結フェライトシートの製造方法、特に裁断フェライトグリーンシートを焼成して、裁断焼結フェライトシートを製造する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
フェライトグリーンシートから焼結フェライトシートを製造する方法は周知である。その中に、特開２００５−３４０７５９号公報（特許文献１）の段落「００８２」と「図１２」欄記載の方法がある。すなわち、フェライト原料混練物を長尺キャリアシートの上に延展して、フェライトグリーンシートに成形する成形工程と、前記フェライトグリーンシートを前記長尺キャリアシートから分離した後、それを所定の平面形状に裁断して、多数枚の裁断フェライトグリーンシートを得る裁断工程と、前記裁断フェライトグリーンシートを焼成する焼成工程とからなる裁断焼結フェライトシートを製造する方法がある。
【０００３】
前記特許文献１において、フェライト原料混練物の物理特性によっても若干相異するが、前記長尺キャリアシートの延展された原料混練物から形成された延展物、すなわち、厚みが３０〜５００μｍのフェライトグリーンシートにおいて、長尺キャリアシートの上に載せられた面（裏面）に対して背面側にある面（表面）は、総じて、外部から負荷を受けたことのない自由面になっている。
【０００４】
また、特許第５３６０３５０号公報（特許文献２）には、前記特許文献１に記載の方法と同様の方法によって表面特性を、その中心線平均粗さにして１７０〜８００ｎｍ、最大高さにして３．０〜１０μｍ、１００μｍ平方のフェライトグリーンシートを最大高さの１／２の高さで仮想的に切断したときの切断面が単位面積に占める面積占有率（以下、「１／２面積占有率」とする。）にして１０〜８０％に調整したフェライトグリーンシートを開示している。なお、ここで「表面特性」とは、フェライトグリーンシート及び焼結フェライトシートの表面の粗さを表現する物理的パラメータを総称し、それは、後述する本発明の効果に影響を与える１種又は２種以上のパラメータ、例えば、中心線平均粗さ（Ｒａ）や最大高さ（Ｒｚ）等の特性値をいう。
【０００５】
また、前記長尺キャリアシートの上に載せられたフェライトグリーンシートの裏面は、得られた延展物の自重による反作用なる外部負荷をそのまま受けて拘束面を形成し、その拘束面は、キャリアシートの表面特性にもよるが、総じて、前記自由面より僅かに大きな粗面になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−３４０７５９号公報
【特許文献２】特許第５３６０３５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このような表面特性を有する多数枚の裁断フェライトグリーンシートを前記自由面と拘束面とが擦り合うように複数枚上下に重ねて積重物を作製し、それを焼成して得られた複数枚の裁断焼結フェライトシートのうち、相互に接触する裁断焼結フェライトシート同士は、焼成温度や表面特性によっては、裁断焼結フェライトシート同士の固着が起こる場合がある。その結果、目的物として得られた裁断焼結フェライトシートの品質・性能をその用途によっては十分に発揮させることができなという問題がある。
【０００８】
従って、本発明の課題は、前記自由面の表面特性が、その中心線平均粗さにして１５０〜３００ｎｍ、最大高さにして２．０〜５．０μｍ、１／２面積占有率にして５０〜９５％になっている裁断フェライトグリーンシートを８００〜１０００℃の温度で焼結しても、得られた裁断焼結フェライトシート同士が全く固着しない、滑動性の良い裁断焼結フェライトシートを得ることにある。なお、本発明において「滑動性が良い」とは、重ねた焼結フェライトシートのうち１枚を滑り始めさせるために、滑り面方向に加える力が小さいことを言う。
【０００９】
なお、このような課題を解決する公知技術として、特許第５３６０３５０号公報（特許文献２）記載の発明がある。しかし、この公知技術は、以下、詳述するように、裁断焼結フェライトシートの固着を防止する根本的技術思想及び課題を解決するための手段が、本発明のそれらと全く異なる。
【００１０】
特許文献２は、キャリアシートの表面を粗面加工して、その上にフェライト原料混練物を延展してフェライトグリーンシートを成形して、そのフェライトグリーンシートの裏面に中心線平均粗さにして３７０ｎｍ、最大高さにして４．０μｍ、１／２面積占有率にして７５％にした裁断フェライトグリーンシートを焼成する技術を開示している。この公知技術によると、得られた複数枚の裁断焼結フェライトシートのうち、相互に接触する裁断焼結フェライトシート同士の固着がなく容易に剥離するという効果を挙げている（段落「００６３〜００６４」欄）。
【００１１】
また、このフェライトグリーンシートの自由面は、中心線平均粗さにして１０４ｎｍ、最大高さにして１．３μｍ、１／２面積占有率にして９３％なる表面特性を有する（段落「００６４」欄）。
【００１２】
しかしながら、この特許文献２において、前記フェライトグリーンシートの裏面が、表面の自由面よりも表面特性が格段に大きい場合、キャリアシートによる外部負荷を受けて形成される裏面（拘束面）の表面特性をどの範囲にするかについては具体的に明記されていない。
【００１３】
また、特許文献２は、前記拘束面の中心線平均粗さが１１２０ｎｍの裁断フェライトグリーンシートを使用すると、焼結して得られた裁断焼結フェライトシートの固着が起こらないとしている（段落「００７６」、表１）が、これは、裁断フェライトグリーンシートの自由面がなく、表裏面ともに拘束面であった場合である。
【００１４】
さらに、前記特許文献２は、特許請求の範囲に「少なくとも一方の表面の表面粗さにおいて、中心線平均粗さ・・・（後略）。」なる記載している。この記載に照らして特許文献２発明を検討してみると、それは、前記フェライトグリーンシートの表面と裏面の両方を同一表面特性にする（段落「００６４」参照）という技術思想に立脚している（なお、一方の面に前記の表面特性を採用するにしても、特許文献２においては、他の表面特性をいかにして前記表面特性より大きくするかという技術思想を開示していない。）。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は前記の課題を解決するために、粗面加工された表面を有する長尺キャリアシートの上にフェライト原料の混練物を延展することにより、得られた延展物の裏面にその自重の反作用による外部負荷を与えて、長尺キャリアシートの粗面を実質上転写してなる拘束面と、前記延展物の表面に何ら外部負荷を与えることなく、それを外方に露出させて、前記拘束面の表面特性より小さい下記の表面特性を有する自由面とを備えている、相当厚さが３０〜５００μｍのフェライトグリーンシートに成形する成形工程と、前記フェライトグリーンシートを所定の平面形状に裁断して、多数枚の裁断フェライトグリーンシートを得る裁断工程と、前記裁断フェライトグリーンシートを複数枚、前記拘束面と自由面とが直接擦り合うように積み重ねて積重グリーンシートを得る積重工程と、前記積重グリーンシートを８００〜１０００℃の温度範囲で焼成して裁断焼結フェライトシートを得る焼成工程とからなる裁断焼結フェライトシートを製造する方法を採用する；
（１）中心線平均粗さ：１５０〜３００ｎｍ、
（２）最大高さ：２．０〜５．０μｍ、
（３）１／２面積占有率：５０〜９５％。
【００１６】
さらに本発明は、粗面加工された表面を有する長尺キャリアシートの上にフェライト原料の混練物を延展することにより、得られた延展物の裏面にその自重の反作用による外部負荷を与えて、長尺キャリアシートの粗面を実質上転写して下記の表面特性を有する拘束面と、前記延展物の表面に何ら外部負荷を与えることなく、それを外方に露出させて、前記拘束面の表面特性より小さい表面特性を有する自由面とを備えている、相当厚さが３０〜５００μｍのフェライトグリーンシートに成形する成形工程と、前記フェライトグリーンシートを所定の平面形状に裁断して、多数枚の裁断フェライトグリーンシートを得る裁断工程と、前記裁断フェライトグリーンシートを複数枚、前記拘束面と自由面とが直接擦り合うように積み重ねて積重グリーンシートを得る積重工程と、前記積重グリーンシートを８００〜１０００℃の温度範囲で焼成して裁断焼結フェライトシートを得る焼成工程とからなる裁断焼結フェライトシートを製造する方法を採用する；
（１）中心線平均粗さ：８５０〜１５００ｎｍ、
（２）最大高さ：７〜１５μｍ、
（３）１／２面積占有率：４０〜６５％。
【００１７】
さらに本発明は、粗面加工された表面を有する長尺キャリアシートの上にフェライト原料の混練物を延展することにより、得られた延展物の裏面にその自重の反作用による外部負荷を与えて、長尺キャリアシートの粗面を実質上転写してなる、下記（１）項記載の表面特性を有する拘束面と、前記延展物の表面に何ら外部負荷を与えることなく、それを外方に露出させて、下記（２）項記載の表面特性を有する自由面とを備えている、相当厚さが３０〜５００μｍのフェライトグリーンシートに成形する成形工程と、前記フェライトグリーンシートを所定の平面形状に裁断して、多数枚の裁断フェライトグリーンシートを得る裁断工程と、前記裁断フェライトグリーンシートを複数枚、前記拘束面と自由面が直接擦り合うように積み重ねて積重グリーンシートを得る積重工程と、前記積重グリーンシートを８００〜１０００℃の温度範囲で焼成して焼成して裁断焼結フェライトシートを得る焼成工程とからなる裁断焼結フェライトシートを製造する方法を採用する；
（１）拘束面の中心線平均粗さ（Ｒａ１）：８５０〜１５００ｎｍ、最大高さ（Ｒｚ１）：７〜１５μｍ、１００μｍ平方の裁断フェライトグリーンシートを厚み方向に最大高さの１／２の高さで仮想的に切断したときの切断面が単位面積に占める面積占有率：４０〜６５％。
（２）自由面の中心線平均粗さ（Ｒａ２）：１５０〜３００ｎｍ、最大高さ（Ｒｚ２）：２．０〜５．０μｍ、１００μｍ平方の裁断フェライトグリーンシートを厚み方向に最大高さの１／２の高さで仮想的に切断したときの切断面が単位面積に占める面積占有率：５０〜９５％。
【００１８】
本発明は、さらに好ましくは、粗面加工された表面を有する長尺キャリアシートの上にフェライト原料の混練物を延展することにより、得られた延展物の裏面にその自重の反作用による外部負荷を与えて、長尺キャリアシートの粗面を実質上転写してなる、下記（１）項記載の表面特性を有する拘束面と、前記延展物の表面に何ら外部負荷を与えることなく、それを外方に露出させて、下記（２）項記載の表面特性を有する自由面とを備えており、表面特性の差が下記（３）項記載の表面特性であり、相当厚さが３０〜５００μｍのフェライトグリーンシートに成形する成形工程と、前記フェライトグリーンシートを所定の平面形状に裁断して、多数枚の裁断フェライトグリーンシートを得る裁断工程と、前記裁断フェライトグリーンシートを複数枚、前記拘束面と自由面が直接擦り合うように積み重ねて積重グリーンシートを得る積重工程と、前記積重グリーンシートを８００〜１０００℃の温度範囲で焼成して焼成して裁断焼結フェライトシートを得る焼成工程とからなる裁断焼結フェライトシートを製造する方法を採用する；
（１）拘束面の中心線平均粗さ（Ｒａ１）：８５０〜１５００ｎｍ、最大高さ（Ｒｚ１）：７〜１５μｍ、１００μｍ平方の裁断フェライトグリーンシートを厚み方向に最大高さの１／２の高さで仮想的に切断したときの切断面が単位面積に占める面積占有率：４０〜６５％。
（２）自由面の中心線平均粗さ（Ｒａ２）：１５０〜３００ｎｍ、最大高さ（Ｒｚ２）：２．０〜５．０μｍ、１００μｍ平方の裁断フェライトグリーンシートを厚み方向に最大高さの１／２の高さで仮想的に切断したときの切断面が単位面積に占める面積占有率：５０〜９５％。
（３）拘束面と自由面との中心線平均粗さの差（Ｒａ１−Ｒａ２）が５５０〜１３５０ｎｍ、最大高さの差（Ｒｚ１−Ｒｚ２）が３．５〜１３μｍ。
【００１９】
さらに本発明は、上述の製造方法に加えて、前記長尺キャリアシートが、前記拘束面の中心線平均粗さ（Ｒａ１）よりも大きい中心線平均粗さ（Ｒａ３）を有するポリエチレンテレフタレートからなる裁断焼結フェライトシートの製造方法を採用する。
【００２０】
さらに本発明は、上述の製造方法に加えて、前記長尺キャリアシートは、その表面又は表面層に、無機微粒体又は熱硬化性樹脂微粒体が付着又は混入している裁断焼結フェライトシートの製造方法を採用する。
【００２１】
上記の手段を採用することにより、本発明は次に述べる作用を発揮する。  すなわち、前記積重グリーンシートにおいて隣接する上下の裁断フェライトグリーンシートを一対の歯車に擬制して観念的に示すと、図５に示すように、前記積重グリーンシート５０は、その下位にある裁断フェライトグリーンシートを１つの下位歯車５１ａとし、上位にある裁断フェライトグリーンシートを前記下位歯車５１ａと噛み合う上位歯車５２ｂとして、把握することができる。すると、各歯車５１ａ、５２ｂの歯５３ａ，５４ｂと歯溝５５ａと５６ｂとを前記裁断フェライトシートの粗面であると擬制することができる。
【００２２】
もし、前記歯車５１ａ、５２ｂの歯丈、ピッチ、歯先円直径等の歯車の形状や大きさ等の機械的特性が同一であれば、両歯車５１ａ、５２ｂは噛み合い、当然に両歯車５１ａ、５２ｂの歯は相互に深く進入する。
【００２３】
ところが、図６に示すように、前記両歯車５１ａ、５２ｂの歯の機械的特性が異なれば、当然に両歯車５１ａ、５２ｂの歯は相互に噛み合うことなく、深く進入もしない。
【００２４】
このように、裁断フェライトグリーンシートの表面特性が同一の範囲にあると、隣接する一対の裁断フェライトグリーンシートの擦り合う領域における一つの裁断フェライトグリーンシートの山の部分と、他の一つの裁断フェライトグリーンシートの谷の部分とが噛み合う頻度が高くなり、その結果、実際の裁断フェライトグリーンシートの山に相当する領域と谷に相当する領域が合致する頻度は小さいとは言え、積重グリーンシートが高温で焼成を受けるとき、両者が固着する頻度が高くなる。
【００２５】
逆に、裁断フェライトグリーンシートの表面特性が相違すればする程、前記擦り合う領域における裁断フェライトグリーンシートの山の部分と裁断フェライトグリーンシートの谷の部分とが噛み合う頻度が小さくなり、その結果、積重グリーンシートを高温で焼成するとき、両者が固着する頻度が小さくなるため、滑動性が良くなる。
【００２６】
そこで、本発明では、隣接する一対の裁断フェライトグリーンシートの擦り合わせ領域ｃにおける表面特性を格段に相異させて、裁断フェライトグリーンシートを焼成する過程で得られた裁断焼結フェライトシート同士の固着が確実に起こらないようにするために、１枚の裁断フェライトグリーンシートの自由面と、他の１枚の裁断フェライトグリーンシートの拘束面との噛み合いに注目して、まず、１枚の裁断フェライトグリーンシートの自由面の表面特性を特定する。
【００２７】
なお、前述した技術思想からすると、前記拘束面の表面特性を特定化してもよいのであるが、特許文献１で説明したように、この発明の分野において、前記キャリアシートの上にフェライト原料混練物を延展すると、得られた延展物であるフェライトグリーンシートの表面が必然的に特定表面を有する自由面になるので、本発明ではこれをそのまま利用する。
【００２８】
本発明においては、図１に示すように、相当厚さがＨ＝３０〜５００μｍのフェライトグリーンシート１を使用するとともに、その表面特性が自由面１１の中心線平均粗さＲａ２にして１５０〜３００ｎｍ、最大高さＲｚ２にして２．０〜５．０μｍ、１／２面積占有率にして５０〜９５％なる表面特性を有する裁断フェライトグリーンシートを使用する。
【００２９】
なお、ここで相当厚さＨとは、裁断フェライトグリーンシートよりもわずかに広い面積を有する極力平滑な（グリーンシートの表面粗さよりも小さい表面粗さを有する）２枚の平面体、例えばガラス板に挟んだ場合、それらの間隔を意味する。従って、これは、裁断フェライトグリーンシートの自由面１１と、その背面に相当する拘束面１２において、最も外側に突出している山部１３の頂点を通る平行面ａ２、ｂ２間の距離に相当する。また、最大高さＲｚとは、ＪＩＳ規格（ＪＩＳ Ｂ ０６０１−２００１）に規定されているとおり、前記山部１３の頂部を通る平面ａ２と、前記自由面１１において最も内側に窪んでいる谷部１４を通る平面ａ１との高低差を意味する。
【００３０】
さらに、面積占有率とは、前記高低差の中間位置で前記山部１３を仮想的に水平に切断したとき現れる山部１３の切断面が単位面積１００μｍ平方当たりに占める比率を意味する。なお、測定装置やソフトウエアなどの環境に応じて、単位面積は１００μｍ平方ではなく９０μｍ平方や９０μｍ×１００μｍ等の面積とすることができるが、相対的な粗さはいずれの面積であっても同じである。
【００３１】
裁断フェライトグリーンシートを複数枚積み重ねて積重グリーンシートを作製した場合、その中の任意の裁断フェライトグリーンシートにおいて、他の裁断フェライトグリーンシートの自由面と擦り合う拘束面１２の表面特性は、前記自由面の表面特性より一段と大きい（言い換えれば、自由面の表面特性は拘束面のそれより一段と小さい。）。なお、表面特性の大小は、裁断フェライトグリーンシートの表面粗さの大きさを相対的に示す値を意味し、例えば、中心線平均粗さの場合、それが大きい方が表面の粗さは大き。面積占有率に関しては、中心線平均粗さと最大高さが同じ場合、面積占有率が低いほど表面特性が大きいことを意味する。
【００３２】
本発明においては、好ましくは、前記拘束面１２として中心線平均粗さＲａ１にして８５０〜１５００ｎｍ（０．８５０〜１．５００μｍ）、最大高さＲｚ１にして７〜１５μｍ、１／２面積占有率にして４０〜６５％なる表面特性を有する裁断フェライトグリーンシート１を使用する。さらに好ましくは、自由面と拘束面との表面特性の差が、中心線平均粗さ（Ｒａ１−Ｒａ２）にして５５０〜１３５０ｎｍ、最大高さ（Ｒｚ１−Ｒｚ２）にして３．５〜１３μｍであるフェライトグリーンシート１を使用する。
【００３３】
前記拘束面のＲａ１が８５０ｎｍ未満であると、自由面のＲａ２に近くなってしまい、固着を完全に抑止することができず、逆に１５００ｎｍより大きくなると、固着は抑止されるがいわゆるオーバースペックとなってしまう。また、前記拘束面のＲｚ１が７μｍ未満であると、自由面のＲｚ２に近くなってしまい、固着を完全に抑止することができず、逆に１５μｍより大きくなると、固着は抑止されるがいわゆるオーバースペックとなってしまう。また、本発明において、中心線平均粗さと最大高さによっては若干相異するが、同一の中心線平均粗さと最大高さを有する場合を想定して、拘束面の１／２面積占有率を公知文献２よりも低めに寄せて表面の粗さを相対的に大きくしている。
【発明の効果】
【００３４】
上記手段を採用することにより、本発明は、前記積重グリーンシートにおいて、図２に示すように、１枚の第一裁断フェライトグリーンシート２の上に他の１枚の第二裁断フェライトグリーンシート３を重ねて、第一裁断フェライトグリーンシート２の自由面１１と第二裁断フェライトグリーンシート３の拘束面１２とによって形成された擦り合わせ領域ｃにおける空間が上下に広がって比較的大きい。
【００３５】
これに対して、図３に示す公知技術のように、前記拘束面１２の表面特性が比較的小さい、例えば、自由面の表面特性と同等の表面特性を有する第一、第二裁断フェライトグリーンシート２、３を積重した場合、擦り合わせ領域ｃにおける前記空間が比較的小さい。
【００３６】
さらに、本発明に係る前記擦り合わせ領域ｃにおいて、第一裁断フェライトグリーンシート２の山部が第二裁断フェライトグリーンシート３の谷部に進入する頻度を公知技術のそれと比較すると、本発明の方が公知技術より小さい。
【００３７】
よって、そのような積重グリーンシートを焼成すると、前記表面特性が大きくなるにつれて、本発明に係る積重グリーンシートの方が公知技術により得られた裁断焼結フェライトシートより固着の発生が抑止されるとともに滑動生が良くなるという優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明に係る裁断フェライトグリーンシートの一部断面を示す概念図である。
【図２】本発明に係る積重グリーンシートの一部断面を示す概念図である。
【図３】従来技術に係る積重グリーンシートの一部断面を示す概念図である。
【図４（ａ）】本発明に係る成形工程を示す断面図である。
【図４（ｂ）】図４（ａ）におけるＡ部の拡大断面図である。
【図５】従来技術に係る積重グリーンシートの凹凸を歯車に擬制して示す概念図である。
【図６】本発明に係る積重グリーンシートの凹凸を歯車に擬制して示す概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００３９】
次に本発明を実施するための形態について、さらに図面を追加して説明する。
【００４０】
（混錬物の原料）
まず、フェライト粉末、その粉末同士を粘着結合させるバインダー、そのバインダーの流動性を調整する可塑剤及びそれらを混ぜやすくする溶剤（溶媒）を準備する。フェライト粉末としては、周知のＮｉ−Ｚｎ−Ｃｕフェライトを採用し、バインダーとしてＰＶＢ（ポリビニルブチラール）を前記フェライト粉末１００重量部に対して５〜１０重量部使用し、可塑剤としてブチルフタル酸ブチルを同様に１〜５重量部使用し、溶剤を同様に４０〜８０重量部使用する。なお、溶剤はグリコールエーテル、メチルエチルケトン、トルエン、メタノール、エタノール、ｎ−ブタノールなどの有機溶媒から選ばれる。
【００４１】
（混錬工程）
次に、前記原料を混錬する。混錬手段としては、特に限定されるものではないが、好ましくは、ボールミルが使用される。溶剤とフェライト粉末を先にボールミル内に充填してそれらを混合した後に、得られた混合物にバインダーと可塑剤を添加してさらに混合する。得られた均一なフェライト原料混錬物は、真空容器で充分に減圧脱泡して、後続する成形工程で得られる延展物のクラックの発生を防止する。
【００４２】
（成形工程）
次に、フェライト原料混錬物を成形してフェライトグリーンシートを得る。成形方法は、図４（ａ）に示すドクターブレード法を用いて、所定の間隔を有する２枚のブレード２１の間からフェライト原料混錬物２３を長尺キャリアシート２２の上に吐出・延展して、所定の厚みの延展物２４を得る。
【００４３】
前記長尺キャリアシートとしては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）又はポリイミド等の耐熱性の合成樹脂フィルムを粗面加工したものを使用するが、好ましくはＰＥＴを使用する。
【００４４】
ＰＥＴフィルムとしては、その表面又は表面層に、無機微粒体又は熱硬化性樹脂微粒体を付着又は混入させた特定の表面特性、すなわち、前記拘束面の中心線平均粗さ（Ｒａ１）よりも大きい中心線平均粗さ（Ｒａ３）を有するＰＥＴフィルムを使用する。前記表面特性を有するＰＥＴフィルムは、例えば、特開２００７−６２１７９号に記載されている物や、前記ドクターブレード法によって吐出されたＰＥＴグリーンシートの上に、前記微粒体（Ｓｉ、炭化物又は熱硬化性樹脂微粒体）をスプレー塗布して、特定の表面粗さを有するように粗面処理した物を使用する。このとき、中心線平均粗さは、得ようとする拘束面の中心線平均粗さよりも大きい値とし、具体的には９００〜１６００ｎｍの表面粗さに粗面処理された物が望ましい。
【００４５】
前記成形工程において、粗面処理された長尺キャリアシート２２を用いることによって、図４（ｂ）に示すように、長尺キャリアシートの凹凸が延展物２４の裏面２４ａに実質的に転写されて、エントロピーが小さくなる。その結果、拘束面１２ができる。
【００４６】
このとき、長尺キャリアシート２２に接していない延展物２４の表面２４ｂは、特別に外力が加えられることないため、そのエントロピーは拘束面よりも増大し、自由面１１となる。
【００４７】
上記工程によって延展されて得られた延展物２４は、徐々に乾燥・硬化されてフェライトグリーンシート１となる。得られたフェライトグリーンシート１の表面粗さは、拘束面において、中心線平均粗さは８５０〜１５００ｎｍであり、最大高さは７．０〜１５μｍとなるが、好ましくは、中心線平均粗さは９００〜１３００ｎｍであり、最大高さは９〜１２μｍである。また、１／２面積占有率は４０〜８０％となるが、好ましくは７０〜８０％である。
【００４８】
（裁断工程）
次に、前記フェライトグリーンシートを５０ｍｍ四方、１００ｍｍ四方、２００ｍｍ四方等の大きさに裁断し、裁断フェライトグリーンシートを得る。
【００４９】
（積重工程）
次に、前記裁断フェライトグリーンシートをアルミナセッター上に、拘束面と自由面とが直接擦り合うように２〜１００枚程度重ねて、積重グリーンシートを得る。
【００５０】
（焼成工程）
次に、前記積重グリーンシートを焼成し、焼結積重体を得る。焼成条件は、電気炉を用いてバインダー成分の除去とフェライトを粒子成長させる工程を設けることが好ましい。バインダー除去は１５０℃〜５５０℃で４〜８０時間、フェライト粒子の成長は８５０℃〜９６０℃で１〜５時間の条件で行う。
【００５１】
裁断フェライトグリーンシートの加熱変形や割れを防止するために、バインダー除去は室温から１０〜２０℃／時間程度で昇温した後に一定温度を保持する方が良い。またその後、３０〜６０℃／時間で昇温した後に一定温度を保持し十分に焼結しフェライト粒子を成長させた後に徐々に冷却することが好ましい。ただし、保持温度、昇温速度、焼成時間はこの範囲に限定されず、処理するフェライトグリーンシートの枚数によって最適な条件を選定できる。
【００５２】
前記裁断フェライトグリーンシートを焼成すると、拘束面の中心線平均粗さが８５０ｎｍ以上で最大高さが５μｍ以上である裁断焼結フェライトシートが得られる。このとき、前記裁断フェライトグリーンシートの中心線平均粗さが１５００ｎｍを越えるか、最大高さが１５μｍを越えると平滑性が失われ、割れやすくなる。
【００５３】
（検査工程）
前記焼成工程にて前記焼結積重体が得られるが、製品としては裁断焼結フェライトシート１枚ごとに検査を行わなければならない。そのため、前記焼結積重体から裁断焼結フェライトシートを１枚ごとに品質を保ったまま分離させる必要がある。そのためには、得られた前記焼結積重体に、焼結フェライトシートの弾性領域内で人為的、機械的、熱力学的、電磁的又は流体力学的に負荷を加えて、バイメタルを変形させるように又はミクロ的な２次元方向にずらす。すると、本発明は、焼結積重体内の隣接する裁断焼結フェライトシート同士が固着せずに滑動性が良いため、非常に小さな前記負荷を加えるだけで、裁断焼結フェライトシートを容易に１枚ずつに分離することができる。
【００５４】
［実験結果］
本発明の具体的な実験結果を挙げる。
【００５５】
［実施例］
累積５０％体積粒子径１．０μｍに調整したＮｉ−Ｚｎ−Ｃｕフェライト粉末を１００重量部とバインダーとしてＰＶＢをボールミルにて混合し、フェライト原料混錬物を得た。得られたフェライト原料混錬物を、ドクターブレード法を用いて、粗面加工を施したＰＥＴフィルム上に延展した。ＰＥＴフィルムは、表面特性が中心線平均粗さＲａ３＝１４００ｎｍ、最大高さＲｚ３＝１２μｍとなるようにＳｉ粒子とＵＶ硬化樹脂を混錬したものをスプレー塗布して粗面加工を施したものを使用した。ＰＥＴフィルム上に延展したフェライト原料混錬物を乾燥させた後に所定形状に裁断し、拘束面の表面特性が、中心線平均粗さＲａ１＝１２８７ｎｍ、最大高さＲｚ１＝１０．４μｍ、１／２面積占有率にして６０％、自由面の表面特性が、中心線平均粗さＲａ２＝２６６ｎｍ、最大高さＲｚ２＝４．０μｍ、１／２面積占有率にして８２％である裁断フェライトグリーンシートを得た。
【００５６】
この裁断フェライトグリーンシートを、拘束面と自由面とが擦り合うように１０枚重ねて積重グリーンシートとし、この積重グリーンシートをアルミナセッターに載せ、温度４００℃で４時間かけてバインダーを除去し、焼成温度９００℃で３時間焼成し、焼結積重体を得た。この焼結積重体に人為的に弾性領域の負荷を加えて検査したところ、１０枚全て容易に分離することができた。この裁断焼結フェライトシートの拘束面の表面特性は、中心線平均粗さＲａ＝１１５０ｎｍ、最大高さＲｚ＝９．４μｍ、１／２面積占有率にして５７％であった。
【００５７】
［比較例１］
実施例と同じフェライト原料混錬物を、表面にサンドブラスト加工によって表面特性を、Ｒａ３＝５３０ｎｍ、Ｒｚ３＝５．６μｍに調整したＰＥＴフィルム上に、ドクターブレード法を用いて一定の厚さに延展・乾燥させた後に所定形状に裁断し、拘束面の表面特性が、Ｒａ１＝３７０ｎｍ、Ｒｚ１＝４．０μｍ、１／２面積占有率にして７３％、自由面の表面特性が、Ｒａ２＝１０４ｎｍ、Ｒｚ２＝１．３μｍ、１／２面積占有率９３％である裁断フェライトグリーンシートを得た。
【００５８】
この裁断フェライトグリーンシートを、拘束面と自由面とが擦り合うように１０枚重ねて積重グリーンシートとし、この積重グリーンシートをアルミナセッターに載せ、実施例と同じ焼成条件で焼成し、焼結積重体を得た。この焼結積重体に人為的に弾性領域内の負荷を加えて検査したところ、焼成中に拘束面と自由面とが固着しており、分離することができず、割れを生じた。この裁断焼結フェライトシートの拘束面の表面特性は、破片を分析したところ、Ｒａ＝２９２ｎｍ、Ｒｚ＝３．５μｍ、１／２面積占有率にして１２％であった。
【００５９】
［比較例２］
実施例と同じ方法によって製造された裁断フェライトグリーンシート（表面特性も実施例１と同じ）を、拘束面同士、自由面同士が擦り合うように１０枚重ねて積重グリーンシートとし、この積重グリーンシートを実施例１と同じ条件で焼成し、焼結積重体を得た。この焼結積重体に人為的に弾性領域内の負荷を加えて検査したところ、焼成中に自由面同士が固着しており、分離することができなかった。この裁断焼結フェライトシートの拘束面の表面特性は実施例と同様に、中心線平均粗さＲａ＝１１５０ｎｍ、最大高さＲｚ＝９．４μｍ、１／２面積占有率にして５７％であった。
【００６０】
この結果から、フェライトグリーンシートにおいて擦り合わせ面の表面特性が近い場合、積み重ねて焼成すると擦り合わせ面でフェライトグリーンシートが固着されるが、本発明は、擦り合わせ面を表面特性の離れた拘束面と自由面とにすることによって、複数枚積み重ねて焼成しても擦り合わせ面が固着されず、滑動性が良いという、優れた効果を発揮する。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
本発明によると、裁断焼結フェライトシートの拘束面に適度な表面特性を設けることが容易に行え、離型粉末を用いることなく積み重ねた状態で焼成しても擦り合う自由面と拘束面とが固着せず、滑動性の良い裁断焼結フェライトシートが工業的に得られる。
【符号の説明】
【００６２】
１：フェライトグリーンシート
２：第一裁断フェライトグリーンシート
３：第二裁断フェライトグリーンシート
１１：自由面
１２：拘束面
１３：山部
１４：谷部
２１：ブレード
２２：長尺キャリアシート
２３：フェライト原料混錬物
２４：延展物
２４ａ：裏面
２４ｂ：表面
５０：積重グリーンシート
５１ａ：下位歯車
５１ｂ：上位歯車
５３ａ、５４ｂ：歯
５５ａ、５６ｂ：歯溝
Ｈ：相当厚さ
Ｒａ１、Ｒａ２：中心線平均粗さ
Ｒｚ１、Ｒｚ２：最大高さ
ａ１、ａ２、ｂ１、ｂ２：平面
ｃ：擦り合わせ領域
【図１】
2016127151.tif 000003
【図２】
2016127151.tif 000004
【図３】
2016127151.tif 000005
【図４（ａ）】
2016127151.tif 000006
【図４（ｂ）】
2016127151.tif 000007
【図５】
2016127151.tif 000008
【図６】
2016127151.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成27年1月23日(2015.1.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
従って、本発明の課題は、前記自由面の表面特性が、その  中心線平均粗さにして１５０〜３００ｎｍ、最大高さにして２．０〜５．０μｍ、１／２面積占有率にして５０〜９５％になっている裁断フェライトグリーンシートを８００〜１０００℃の温度で焼結しても、得られた裁断焼結フェライトシート同士が全く固着しない、滑動性の良い裁断焼結フェライトシートを得ることにある。なお、本発明において滑動性とは、前記拘束面と自由面とが直接擦り合うように重ねた２枚の裁断焼結フェライトシートのうち、少なくとも１枚に外部負荷をかけたときの相互の滑りやすさを意味し、例えば滑動性が良い焼結フェライトシートは、小さい外部負荷を受けて滑り出す。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
（検査工程）
前記焼成工程にて前記焼結積重体が得られるが、製品としては裁断焼結フェライトシート１枚ごとに検査を行わなければならない。そのため、前記焼結積重体から裁断焼結フェライトシートを１枚ごとに品質を保ったまま分離させる必要がある。そのためには、得られた前記焼結積重体に、焼結フェライトシートの弾性領域内で人為的、機械的、熱力学的、電磁的又は流体力学的に外部負荷を加えて、バイメタルを変形させるように又はミクロ的な２次元方向にずらす。すると、まず、裁断焼結フェライトシートは外部負荷を受けるが、その負荷は弾性領域内の負荷であるので、破壊は起こらない。次に、本発明で得られた裁断焼結フェライトシートの活動性が良いので、小さい外部負荷を受けて滑り出す。そのため、焼結積重体から裁断焼結フェライトシートを１枚ずつに分離することができる。なお、もし前記拘束面と自由面との間に固着が起こっている場合、当然に隣接する２枚の裁断焼結フェライトシート間に滑動が起こらない。このようにして、この検査工程において固着が起こっているか否かを検査する。