(57)【要約】【課題】吐出特性を低下させることなく、かつ個別流路の容積や流体抵抗を変更することなく液滴速度を均一化するとともに、メンテナンス時に効率的な気泡排出が可能な液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】複数のノズル９２が形成されたノズル板９１と、ノズル板９１に接合され、ノズル９２に連通する複数の個別流路９６を形成する流路板９３と、個別流路９６へ液体を供給する共通液室９８を形成する共通液室部材１０５と、振動板９４と、振動板９４上に形成された圧電素子１０３と、を備え、個別流路９６は、加圧液室９６ａ、流体抵抗部９６ｂ、及び共通液室９８から供給される液体の導入部である液導入部９６ｃを有し、個別流路９６の壁面を形成する部材の一部に薄肉部９７を有し、薄肉部９７はノズル９２の配列方向に沿って配置され、配列方向端部の薄肉部９７ａのコンプライアンスが、配列方向端部以外の薄肉部９７ｂよりも大きい液体吐出ヘッド。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する複数のノズルが形成されたノズル板と、
前記ノズル板に接合され、前記ノズルに連通する複数の個別流路を形成する流路板と、
前記個別流路へ液体を供給する共通液室を形成する共通液室部材と、
前記流路板の前記ノズル板接合面と反対側の面に配置された振動板と、
前記振動板上に形成された圧電素子と、を備え、
前記個別流路は、加圧液室、流体抵抗部、及び前記共通液室から供給される液体の導入部である液導入部を有し、
前記個別流路の壁面を形成する部材の一部に薄肉部を有し、
前記薄肉部は前記ノズルの配列方向に沿って配置され、配列方向端部の前記薄肉部のコンプライアンスが、配列方向端部以外の前記薄肉部のコンプライアンスよりも大きいことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記個別流路の壁面を形成する部材が前記ノズル板であり、
前記ノズル板は、前記液導入部に対向する領域に薄肉部を有し、
前記薄肉部は前記ノズルの配列方向に沿って配置され、配列方向端部の前記薄肉部のコンプライアンスが、配列方向端部以外の前記薄肉部のコンプライアンスよりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記個別流路の壁面を形成する部材が前記振動板であり、
前記振動板は、ダンパ領域に薄肉部を有し、
前記薄肉部は前記ノズルの配列方向に沿って配置され、配列方向端部の前記薄肉部のコンプライアンスが、配列方向端部以外の前記薄肉部のコンプライアンスよりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記個別流路は、配列方向の端部に前記共通液室から液体の供給を受けないダミー流路を有し、
前記ダミー流路近傍の前記薄肉部のコンプライアンスが、それ以外の前記薄肉部のコンプライアンスよりも大きいことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
配列方向端部の前記薄肉部の面積が、配列方向端部以外の前記薄肉部の面積よりも大きいことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
配列方向端部の前記薄肉部の厚みが、配列方向端部以外の前記薄肉部の厚みよりも薄いことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
請求項１から６のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えることを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッド及び該液体吐出ヘッドを備えた画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ等の画像形成装置としてのインクジェット記録装置は、インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する個別流路（インク流路）と、個別流路内の圧力を変化させてインクを加圧するための圧力変換手段とを備えた液体吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッドを搭載したものである。圧力変換手段としては、例えば、圧電素子などの電気機械変換素子が用いられる。
【０００３】
ノズルが形成されたノズル板と、個別流路を形成する流路板とが異なる材料からなる場合、これらを熱硬化性の接着剤で接合する際や、圧電素子にワイヤボンディング等で駆動配線を接続する際などに高温加熱が行われると、熱膨張率の違いからノズル板が変形し、流路板にクラック等が発生して破壊されてしまうことがある。
【０００４】
このような流路板の破壊は、ノズル板の厚みを薄くして熱膨張による変形を抑えることによって防止できる。しかしながら、ノズル板の厚みを薄くすることでノズル板のコンプライアンスが高くなり、インク滴を吐出する際の圧力によってノズル板が変形し、インク吐出特性が低下してしまうという問題がある。
【０００５】
この問題に対し、ノズル板の流路板側の表面に、部分的に凹部を形成することにより剛性を低下させた応力緩和部を設ける方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
特許文献１に記載のインクジェットヘッドによれば、ノズル板に薄肉部である応力緩和部が設けられているため、個別流路を構成する加圧液室内の圧力変動を効率よく抑え、液滴速度（以下、「吐出速度」ともいう）の変動等を抑制できる。しかしながら、個別流路（以下、「チャネル」ともいう）の位置の違いに起因した液滴速度のバラつきを抑制することは出来ないという問題がある。
【０００７】
一方、配列の両端部分に位置するノズルにおける吐出速度の遅れを抑制し、複数のノズルから均一な吐出速度でインクを吐出させることができる液体噴射ヘッドが提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
複数の溝部が同一形状であっても、貼着時の余剰接着材の流れ込みによって両端部分の溝部の容量が中央部分の溝部に比べて小さくなり、両端部分の溝部によるインク吐出の吐出速度が遅くなるという問題を解決するために、特許文献２に記載の液体噴射ヘッドでは、配列方向の両端に位置する溝部の容積を、中央に位置する溝部の容積よりも大きくすることが開示されている。
【０００９】
しかしながら、個別流路（溝部）の容積をチャネルごとに変化させると、それぞれのチャネルの液室の流体抵抗が変化してしまうという問題がある。例えば、メンテナンス時に吸引動作を実行した場合、インクの流れやすいチャネルと流れにくいチャネルとが存在することとなり、効率的に気泡の排出が行われなくなる。
【００１０】
また、配列端部の個別流路（溝部）のみ容積や構造を変更することは、製作上も困難である。
【００１１】
一方、圧力変動を抑制するために、共通液室に圧力吸収手段のダンパを設ける構成が提案されている（例えば、特許文献３参照）。特許文献３の構成では、共通液室内に設けられた圧力吸収手段により圧力変動を抑え、液滴速度の変動を抑制できるが、個別流路の位置の違いによる流量差に起因した液滴速度のばらつきを抑制することは困難である。
【００１２】
そこで本発明は、吐出特性を低下させることなく、かつ個別流路の容積や流体抵抗を変更することなく液滴速度を均一化するとともに、メンテナンス時に効率的な気泡排出が可能な液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
かかる目的を達成するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、液滴を吐出する複数のノズルが形成されたノズル板と、前記ノズル板に接合され、前記ノズルに連通する複数の個別流路を形成する流路板と、前記個別流路へ液体を供給する共通液室を形成する共通液室部材と、前記流路板の前記ノズル板接合面と反対側の面に配置された振動板と、前記振動板上に形成された圧電素子と、を備え、前記個別流路は、加圧液室、流体抵抗部、及び前記共通液室から供給される液体の導入部である液導入部を有し、前記個別流路の壁面を形成する部材の一部に薄肉部を有し、前記薄肉部は前記ノズルの配列方向に沿って配置され、配列方向端部の前記薄肉部のコンプライアンスが、配列方向端部以外の前記薄肉部のコンプライアンスよりも大きいことを特徴とする液体吐出ヘッドである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、吐出特性を低下させることなく、かつ個別流路の容積や流体抵抗を変更することなく液滴速度を均一化するとともに、メンテナンス時に効率的な気泡排出が可能な液体吐出ヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本実施形態の画像形成装置の一例を示す外観斜視図である。
【図２】本実施形態の画像形成装置の機構の一例を示す断面図である。
【図３】本実施形態の画像形成装置の要部構成の一例を示す上面図である。
【図４】本実施形態の液体吐出ヘッドの一例を示す外観図である。
【図５】図４中のＡ−Ａ断面の断面模式図である。
【図６】振動板及び流路板の構成とインクの流れの一例を示す説明図である。
【図７】振動板の一例を示す説明図であり、（Ａ）はフィルタ部の拡大図、（Ｂ）は振動板の平面図である。
【図８】第一の実施態様の液体吐出ヘッドの説明図であり、（Ａ）はノズル板の上面図であり、（Ｂ）及び（Ｃ）は液体吐出ヘッド要部断面図である。
【図９】第二の実施態様の液体吐出ヘッドの説明図であり、（Ａ）はノズル板の上面図であり、（Ｂ）及び（Ｃ）は液体吐出ヘッド要部断面図である。
【図１０】薄肉部を説明するための図であり、（Ａ）はノズル板の上面図、（Ｂ）は液体吐出ヘッド要部断面図である。
【図１１】第三の実施態様の液体吐出ヘッドの説明図であり、（Ａ）は振動板の上面図であり、（Ｂ）及び（Ｃ）は液体吐出ヘッド要部断面図である。
【図１２】第四の実施態様の液体吐出ヘッドの説明図であり、（Ａ）は振動板の上面図であり、（Ｂ）及び（Ｃ）は液体吐出ヘッド要部断面図である。
【図１３】薄肉部を説明するための図であり、（Ａ）は振動板の上面図、（Ｂ）及び（Ｃ）は液体吐出ヘッド要部断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明に係る液体吐出ヘッド及び画像形成装置について、図面を参照して説明する。なお、本発明は以下に示す実施形態に限定されるものではなく、他の実施形態、追加、修正、削除など、当業者が想到することができる範囲内で変更することができ、いずれの態様においても本発明の作用・効果を奏する限り、本発明の範囲に含まれるものである。
画像形成装置は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味し、また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味も持たない画像を媒体に付与することも意味する。また、液体吐出ヘッドから吐出される液体とは、画像形成を行うことができる液体であれば特に限定されるものではない。
【００１７】
本実施形態の画像形成装置について、図１〜図３を参照して説明する。本実施形態の画像形成装置は、後述する本発明の液体吐出ヘッドを備え、さらにインク循環システムを含む。
図１は画像形成装置を前方側から見た斜視説明図、図２は機構部の概要を示す側面模式的説明図、図３は機構部の要部平面説明図である。
【００１８】
図１に示す画像形成装置は、装置本体１と、装置本体１に装着された用紙を装填するための給紙トレイ２と、装置本体１に着脱自在に装着されて画像が記録（形成）された用紙をストックするための排紙トレイ３とを備えている。
【００１９】
さらに、装置本体１の前面の一端部側（給排紙トレイ部の側方）には、前面から装置本体１の前方側に突き出し、上面よりも低くなったインクカートリッジを装填するためのカートリッジ装填部４を有し、このカートリッジ装填部４の上面は操作ボタンや表示器などを設ける操作／表示部５としている。
【００２０】
カートリッジ装填部４には、色の異なる色材であるインク、例えば黒（Ｋ）インク、シアン（Ｃ）インク、マゼンタ（Ｍ）インク、イエロー（Ｙ）インクをそれぞれ収容した複数のインクカートリッジ１０ｋ、１０ｃ、１０ｍ、１０ｙ（色を区別しないときは「インクカートリッジ１０」という。）を、装置本体１の前面側から後方側に向って挿入して装填可能とし、このカートリッジ装填部４の前面側には、インクカートリッジ１０を着脱するときに開く前カバー（カートリッジカバー）６を開閉可能に設けている。
【００２１】
図３に示すように、左右の側板２１Ａ、２１Ｂに横架したガイド部材であるガイドロッド３１とステー３２とでキャリッジ３３を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して図３で矢示方向（キャリッジ主走査方向）に移動走査する。
【００２２】
このキャリッジ３３には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色のインク滴を吐出するための本発明の液体吐出ヘッド３４を複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。
また、キャリッジ３３には、キャリッジの主走査動作による圧力変動を抑制するための圧力ダンパ機構３５を搭載している。
【００２３】
液体吐出ヘッド３４は、圧電素子などの圧電アクチュエータ、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いて液体の膜沸騰による相変化を利用するサーマルアクチュエータ、温度変化による金属相変化を用いる形状記憶合金アクチュエータ、静電力を用いる静電アクチュエータなどを、液滴を吐出するための圧力を発生する圧力発生手段として備えたものなどを使用できる。
【００２４】
液体吐出ヘッドは各色のインク供給チューブ３６を介して、所定の位置に配置されたサブタンク８ｋ、８ｃ、８ｍ、８ｙ（色を区別しないときは「サブタンク８」という。）に貯蔵されているインクが供給される。サブタンク８には、カートリッジ装填部４に装着された各色のインクカートリッジ１０から各色のインクが補充供給される。
なお、このカートリッジ装填部４にはインクカートリッジ１０内のインクを送液するための供給ポンプユニット７が設けられている。
【００２５】
インク供給チューブ３６は、前ステー２９上の保持部材３７に途中部分が保持されている。
液体吐出ヘッド３４へのインク充填は、キャップ８２（８２ａ〜ｄ）で液体吐出ヘッド３４がキャッピングされた状態で、循環ポンプ１４３により送液することで行われる。循環ポンプ１４３を駆動すると、液体吐出ヘッド３４、インク供給チューブ３６内の空気がサブタンク８内へと送られ、この動作によって負圧になった液体吐出ヘッド３４、インク供給チューブ３６内がインクで満たされる。つまり、インク供給チューブ３６を介してサブタンク８と液体吐出ヘッド３４との間でインクが循環される。
【００２６】
一方、図２に示すように、給紙トレイ２の用紙積載部（圧板）４１上に積載した用紙４２を給紙するための給紙部として、用紙積載部４１から用紙４２を１枚ずつ分離給送する半月コロ（給紙コロ）４３及び給紙コロ４３に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド４４を備え、この分離パッド４４は給紙コロ４３側に付勢されている。
【００２７】
そして、この給紙部から給紙された用紙４２を液体吐出ヘッド３４の下方側に送り込むために、用紙４２を案内するガイド部材４５と、カウンタローラ４６と、搬送ガイド部材４７と、先端加圧コロ４９を有する押さえ部材４８とを備えるとともに、給送された用紙４２を静電吸着して液体吐出ヘッド３４に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト５１を備えている。
【００２８】
搬送ベルト５１は、無端状ベルトであり、搬送ローラ５２とテンションローラ５３との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向（副走査方向）に周回するように構成している。
また、この搬送ベルト５１の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ５６を備えている。この帯電ローラ５６は、搬送ベルト５１の表層に接触し、搬送ベルト５１の回動に従動して回転するように配置されている。
搬送ベルト５１は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ５２が回転駆動されることによって図３のベルト搬送方向に周回移動する。
【００２９】
さらに、液体吐出ヘッド３４で記録された用紙４２を排紙するための排紙部として、搬送ベルト５１から用紙４２を分離するための分離爪６１と、排紙ローラ６２及び排紙コロ６３とを備え、排紙ローラ６２の下方に排紙トレイ３を備えている。
【００３０】
また、装置本体１の背面部には両面ユニット７１が着脱自在に装着されている。
この両面ユニット７１は搬送ベルト５１の逆方向回転で戻される用紙４２を取り込んで反転させて再度カウンタローラ４６と搬送ベルト５１との間に給紙する。また、この両面ユニット７１の上面は手差しトレイ７２としている。
【００３１】
さらに、図３に示すように、キャリッジ３３の走査方向一方側の非印字領域には、液体吐出ヘッド３４のノズルの状態を維持し、回復するための回復手段を含む維持回復機構８１を配置している。
【００３２】
この維持回復機構８１には、液体吐出ヘッド３４の各ノズル面をキャピングするための各キャップ部材（以下「キャップ」という。）８２ａ、８２ｂ、８２ｃ、８２ｄ（区別しないときは「キャップ８２」という。）と、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード８３と、増粘したインクを排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け８４などを備えている。
【００３３】
また、図３に示すように、キャリッジ３３の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘したインクを排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け８８を配置し、この空吐出受け８８には液体吐出ヘッド３４のノズル列方向に沿った開口８９などを備えている。
【００３４】
このように構成したインク液体吐出装置においては、給紙トレイ２から用紙４２が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙４２はガイド部材４５で案内され、搬送ベルト５１とカウンタローラ４６との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド部材４７で案内されて先端加圧コロ４９で搬送ベルト５１に押し付けられ、略９０°搬送方向を転換される。
【００３５】
このとき、帯電ローラ５６に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト５１が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスとが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。
【００３６】
このプラスとマイナスとが交互に帯電した搬送ベルト５１上に用紙４２が給送されると、用紙４２が搬送ベルト５１に吸着され、搬送ベルト５１の周回移動によって用紙４２が副走査方向に搬送される。
【００３７】
そこで、キャリッジ３３を移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド３４を駆動することにより、停止している用紙４２にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙４２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。
記録終了信号又は用紙４２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙４２を排紙トレイ３に排紙する。
【００３８】
印字（記録）待機中にはキャリッジ３３は維持回復機構８１側に移動されて、キャップ８２で液体吐出ヘッド３４がキャッピングされて、ノズルを湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、キャップ８２で液体吐出ヘッド３４をキャッピングした状態で図示しない吸引ポンプによってノズルからインクを吸引し（「ノズル吸引」又は「ヘッド吸引」という。）し、増粘したインクや気泡を排出する回復動作を行う。さらに、記録開始前、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出する空吐出動作を行う。これによって、液体吐出ヘッド３４の安定した吐出性能を維持する。
【００３９】
次に、本実施形態の液体吐出ヘッドの一例に関し、図４および図５を参照して説明する。
図４は液体吐出ヘッド３４の外観斜視図を示しており、図４中のＡ−Ａ断面模式図を図５に示す。
【００４０】
本実施形態の液体吐出ヘッド３４は、液滴を吐出する複数のノズル９２が形成されたノズル板９１と、ノズル板９１に接合され、ノズル９２に連通する複数の個別流路９６を形成する流路板９３と、個別流路９６へ液体を供給する共通液室９８を形成する共通液室部材１０５と、流路板９３のノズル板接合面と反対側の面に配置された振動板９４と、振動板９４上に形成された圧電素子１０３と、を備え、個別流路９６は、加圧液室９６ａ、流体抵抗部９６ｂ、及び共通液室９８から供給される液体の導入部である液導入部９６ｃを有する。
【００４１】
図５に示すように、複数のノズル９２が平行に配置されたノズル板９１は、そのノズル板９１の各ノズル９２にインクを供給する流路板９３と接合されている。流路板９３のノズル板と反対方向には、流路板に形成された圧力室の容積を変化させる振動板９４が接合されている。この振動板９４に、インクを吐出するエネルギーを与える圧電素子１０３が接続され、ベースに１０１より支持されている。
圧電素子１０３にはＦＰＣ１０２が接続され駆動の指令が伝達される。このノズル板９１、流路板９３、振動板９４、圧電素子１０３、ベース１０１及びＦＰＣ１０２から構成されるものをヘッドユニットと呼ぶ。インクジェットプリンタなどの画像形成装置のプリンタヘッドは、本体フレームにヘッドユニットを固着した構成となっている。
【００４２】
ヘッドユニットに外部のタンクユニットからインクを供給する際、インクに含まれる不純物を濾し取ために、フィルタユニットが設けられている形状が最も一般的である。インクを吐出するノズル穴を異物により詰まらせてしまうことを防止している。
また、個別流路９６を構成する液導入部９６ｃには、共通液室部材（フレーム部材）１０５によって形成された共通液室９８から液体であるインクがフィルタ部９５を通過して供給される。
【００４３】
加圧液室９６ａのインクを加圧する圧力を発生するための駆動手段（圧力変換手段、アクチュエータ手段）としての圧電素子１０３をノズル９２の列に対応するようにベース１０１上に接合配置している。なお、圧電素子１０３は具体的には２つの圧電素子をノズル９２の各々に対応するよう配置されている。そして、圧電素子１０３に駆動のためのＦＰＣ１０２を接合した状態で、振動板９４に当接するように組み立てている。この圧電素子１０３の変位により振動板９４が変形し、加圧液室９６ａ内部の圧力上昇により、内部のインクがノズル９２より液滴となって吐出される。
【００４４】
共通液室部材１０５には、各ノズル列に対応する共通液室９８に外部の液体供給手段、例えばインクカートリッジやサブタンクからインクを供給するための液体供給口が形成されるとともに、圧電素子１０３及びベース１０１からなる圧電ユニットを収納するための開口部が形成されている。
【００４５】
図６に振動板９４及び流路板９３の構成、並びにインクの流れを示す。
振動板９４は、ダイアフラム部９９及びフィルタ部９５を有する。
共通液室９８から流れてきたインクは、矢印Ｆで示すように振動板９４に設けられたフィルタ部９５を通過し、個別流路９６へと送られる。
個別流路９６は、図６に示すようにインク流入口付近（液導入部９６ｃ端部）でノズル配列方向に連通した形状であってもよい。フィルタ部９５を設けることにより、異物等の詰まりが生じてインクの流れが悪化することが懸念されるが、液導入部９６ｃを連通した形状とすることで、インクの流れが著しく悪化することを防止することができる。なお、液導入部９６ｃの連通は、例えば、８チャネル（個別流路）毎の連通や、１６チャネル（個別流路）毎の連通であってもよい。
【００４６】
振動板９４のフィルタ部９５の拡大図を図７（Ａ）、上面図を図７（Ｂ）にそれぞれ示す。
フィルタ部９５に形成されたフィルタ穴９５ａは、ノズル９２の穴を異物が塞ぐことを防ぐためにも１０〜２０μｍの径であることが好ましい。
また、単位面積当たりのフィルタ穴９５ａの数を多く設けることにより圧力損失の増大を抑制することができるため、フィルタ穴９５ａは図７（Ａ）に示すような千鳥配置にすることが好ましい。
【００４７】
フィルタ部９５は、液が導入される領域の全面が連続して開口した形態であってもよいが、図７（Ｂ）に示すように、分割された形態とすることによりフィルタ部９５周辺の強度を保つことができる。
具体的には、ノズル配列方向で２以上の液室に対応する間隔で複数のリブが形成され、前記リブによりフィルタ部９５が複数に分割された形態とすることができる（特許文献４：特開２０１１−２５６６３参照）。
【００４８】
振動板９４は、例えば、複数の層で構成される。複数の層で構成された振動板部材は、例えば、ニッケルプレートで形成したものであって、電鋳によって作製されたものが挙げられる。複数の層で構成された振動板部材は、例えば、薄肉部であるダンパ領域９４ａは単層で形成し、補強領域９４ｂを多層で形成した態様とすることができる。なお、薄肉部であるダンパ領域９４ａは金属Ｎｉのような気体の透過性が低い素材で構成されていることが好ましいが、樹脂膜等で形成されていてもよい。
【００４９】
本実施形態の液体吐出ヘッドは、個別流路の壁面を形成する部材（例えば、ノズル板９１及び振動板９４）のいずれかの一部に薄肉部を有し、該薄肉部はノズル９２の配列方向に沿って配置される。
【００５０】
図１０に基づきノズル板９１の薄肉部９７を説明する。
図１０（Ａ）はノズル板９１の上面図であり、図１０（Ｂ）は（Ａ）中のＢ及びＣで示す断面の模式図である。
図１０に示すように、液体吐出ヘッドのノズル板９１は、液導入部９６ｃに対向する領域に薄肉部９７を有し、薄肉部９７はノズル９２の配列方向に沿って配置されている。
【００５１】
図１３に基づき振動板９４の薄肉部９７を説明する。
図１３（Ａ）は振動板９４の上面図であり、図１３（Ｂ）及び（Ｃ）は、（Ａ）中のＤ及びＥで示す断面模式図である。（図１３（Ａ）のフィルタ９５及びダイアフラム部９９は一部のみ表示し、中央側の配列を省略している。）
図１３に示すように、液体吐出ヘッドの振動板９４は、ダンパ領域である薄肉部９７を有し、薄肉部９７はノズル９２の配列方向に沿って配置されている。
【００５２】
図１３（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、個別流路９６は配列方向の端部に共通液室９８から液体の供給を受けないダミー流路を有していてもよい。ダミー流路は液体を供給するための液導入部のフィルタ部９５を設ける必要が無いため、振動板９４のダンパ領域である薄肉部９７を大きく設けることができる。
【００５３】
本実施形態の液体吐出ヘッドは、配列方向端部の薄肉部（以下、「端部薄肉部」ともいう）のコンプライアンスが、配列方向端部以外の薄肉部（以下、「非端部薄肉部」ともいう）のコンプライアンスよりも大きい。
【００５４】
コンプライアンスとは、圧力変化に対する体積変化の比であり、剛性の逆比がコンプライアンスである。「コンプライアンスが大きい」とは、剛性が低い（柔らかい）ことを意味する。
【００５５】
中央側の非端部のチャネル（個別流路）と比べて端部のチャネル（個別流路）の方が、電気的な配線抵抗の違いや構造的な面から、液滴速度（吐出速度）が速くなりやすいことが知られているため、端部薄肉部のコンプライアンスを、非端部薄肉部のコンプライアンスよりも大きくすることにより、圧力変動による液滴速度（吐出速度）を均一化することができる。
【００５６】
このため、本実施形態の液体吐出ヘッドは、吐出特性を低下させることなく、かつ個別流路９６の容積や流体抵抗を変更することなく液滴速度を均一化するとともに、メンテナンス時に効率的な気泡排出が可能である。
【００５７】
〔第一の実施態様〕
図８は液体吐出ヘッドの第一の実施態様を説明する図であり、図８（Ａ）はノズル板９１の上面図、図８（Ｂ）は（Ａ）中のＢで示す部位の断面図、図８（Ｃ）は（Ａ）中のＣで示す部位の断面図である。
【００５８】
第一の実施態様のノズル板９１は、配列方向端部の薄肉部（端部薄肉部）９７ａの面積が、配列方向端部以外の薄肉部（非端部薄肉部）９７ｂの面積よりも大きい。
図８に示す例は、端部薄肉部９７ａと非端部薄肉部９７ｂの配列方向の幅は略同一であるが、端部薄肉部９７ａの長さＬａが非端部薄肉部９７ｂの長さＬｂよりも長く（Ｌａ＞Ｌｂ）、端部薄肉部９７ａの面積が非端部薄肉部９７ｂの面積よりも大きい。
【００５９】
これにより、端部薄肉部９７ａのコンプライアンスが非端部薄肉部９７ｂのコンプライアンスよりも大きくなるため、端部のチャネルの吐出効率が低くなり、液滴速度が非端部のチャネルよりも速くなるのを抑えることができる。
【００６０】
〔第二の実施態様〕
図９は液体吐出ヘッドの第二の実施態様を説明する図であり、図９（Ａ）はノズル板９１の上面図、図９（Ｂ）は（Ａ）中のＢで示す部位の断面図、図９（Ｃ）は（Ａ）中のＣで示す部位の断面図である。
【００６１】
第二の実施態様のノズル板９１は、配列方向端部の薄肉部（端部薄肉部）９７ａの厚みが、配列方向端部以外の薄肉部（非端部薄肉部）９７ｂの厚みよりも薄い。
図９に示す例は、端部薄肉部９７ａと非端部薄肉部９７ｂの配列方向の幅及び長さは略同一であるが、端部薄肉部９７ａの厚みＴａが非端部薄肉部９７ｂの厚みＴｂよりも相対的に薄い（Ｔａ＜Ｔｂ）。
【００６２】
これにより、端部薄肉部９７ａのコンプライアンスが非端部薄肉部９７ｂのコンプライアンスよりも大きくなるため、端部のチャネルの吐出効率が低くなり、液滴速度が非端部のチャネルよりも速くなるのを抑えることができる。
【００６３】
薄肉部の厚みを異ならせる方法としては、例えば、端部のチャネルの薄肉部９７ａと同じ厚みですべての薄肉部を形成し、非端部のチャネルの薄肉部９７ｂにはスパッタ等を実施して厚み増加させる方法が挙げられる。この方法によれば、薄肉部の面積を拡大することなくコンプライアンスを相対的に増加させることが出来るため、薄肉部におけるピンホール発生等のリスクも低減することができる。
【００６４】
〔第三の実施態様〕
図１１は液体吐出ヘッドの第三の実施態様を説明する図であり、図１１（Ａ）は振動板９４の上面図、図１１（Ｂ）は（Ａ）中のＤで示す部位の断面図、図１１（Ｃ）は（Ａ）中のＥで示す部位の断面図である。なお、Ｄで示す部位の個別流路は、ダミー流路である。（図１１（Ａ）のフィルタ９５及びダイアフラム部９９は一部のみ表示し、中央側の配列を省略している。）
【００６５】
第三の実施態様の振動板９４は、配列方向端部のダミー流路の薄肉部（端部薄肉部）９７ａの幅（配列方向と直交する方向における長さ）が、ダミー流路以外の薄肉部（非端部薄肉部）９７ｂの幅よりも大きい。
図１１に示す例は、端部薄肉部９７ａの幅Ｗａが非端部薄肉部９７ｂの幅Ｗｂよりも大きく（Ｗａ＞Ｗｂ）、個別流路単位での端部薄肉部９７ａの面積が非端部薄肉部９７ｂの面積よりも大きい。
【００６６】
これにより、端部薄肉部９７ａのコンプライアンスが非端部薄肉部９７ｂのコンプライアンスよりも大きくなるため、端部のチャネルの吐出効率が低くなり、液滴速度が非端部のチャネルよりも速くなるのを抑えることができる。
【００６７】
〔第四の実施態様〕
図１２は液体吐出ヘッドの第四の実施態様を説明する図であり、図１２（Ａ）は振動板９４の上面図、図１２（Ｂ）は（Ａ）中のＤで示す部位の断面図、図１２（Ｃ）は（Ａ）中のＥで示す部位の断面図である。なお、Ｄで示す部位の個別流路は、ダミー流路である。（図１２（Ａ）のフィルタ９５及びダイアフラム部９９は一部のみ表示し、中央側の配列を省略している。）
【００６８】
第四の実施態様の振動板９４は、配列方向端部のダミー流路の薄肉部（端部薄肉部）９７ａの厚みが、ダミー流路以外の薄肉部（非端部薄肉部）９７ｂの厚みよりも薄い。
図１２に示す例は、端部薄肉部９７ａと非端部薄肉部９７ｂの配列方向の幅及び長さは略同一であるが、端部薄肉部９７ａの厚みが非端部薄肉部９７ｂの厚みよりも相対的に薄い。
【００６９】
これにより、端部薄肉部９７ａのコンプライアンスが非端部薄肉部９７ｂのコンプライアンスよりも大きくなるため、端部のチャネルの吐出効率が低くなり、液滴速度が非端部のチャネルよりも速くなるのを抑えることができる。
【００７０】
薄肉部の厚みを異ならせる方法としては、例えば、端部のチャネルの薄肉部９７ａと同じ厚みですべての薄肉部を形成し、非端部のチャネルの薄肉部９７ｂにはスパッタ等を実施して厚み増加させる方法が挙げられる。この方法によれば、薄肉部の面積を拡大することなくコンプライアンスを相対的に増加させることが出来るため、薄肉部におけるピンホール発生等のリスクも低減することができる。
【符号の説明】
【００７１】
１    画像形成装置（装置本体）
２    給紙トレイ
３    排紙トレイ
４    カートリッジ装填部
５    表示部
６    前カバー
７    供給ポンプユニット
１０    インクカートリッジ
２０    フレーム
２１    側板
３１    ガイドロット
３２    ステー
３３    キャリッジ
３４    液体吐出ヘッド
３５    圧力ダンパ機構
３６    インク供給チューブ
４１    用紙積載部
４２    用紙
４３    給紙コロ
４４    分離パッド
４５    ガイド部材
４６    カウンタローラ
４７    搬送ガイド部材
４８    押さえ部材
４９    先端加圧コロ
５１    搬送ベルト
５２    搬送ローラ
５３    テンションローラ
５６    帯電ローラ
６１    分離爪
６２    排紙ローラ
６３    排紙コロ
７１    両面ユニット
７２    トレイ
８１    維持回復機構
８２    キャップ
８３    ワイパーブレード
８４    空吐出受け
８８    空吐出受け
８９    開口
９１    ノズル板
９２    ノズル
９３    流路板
９４    振動板
９５    フィルタ部
９５ａ  フィルタ穴
９６    個別流路
９６ａ  加圧液室
９６ｂ  流体抵抗部
９６ｃ  液導入部
９７    薄肉部
９８    共通液室
１０１    ベース
１０２    ＦＰＣ
１０３    圧電素子
１０５    共通液室部材（フレーム部材）
【先行技術文献】
【特許文献】
【００７２】
【特許文献１】特開２００２−２０５４０５号公報
【特許文献２】特開２０１０−１４３１１０号公報
【特許文献３】特開２０１１−５６９２４号公報
【特許文献４】特開２０１１−２５６６３号公報
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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