(57)【要約】【課題】粘着テープを自動的に剥離させることが可能な除塵装置を提供する。【解決手段】除塵装置１０は、ワークＷの表面に付着している塵埃を吸着する粘着ロール体５２，５３と、その塵埃を転写する粘着テープロール６３０を保持するテープ保持部６３１Ａ，６３１Ｂと、粘着テープロール６３０の表層に存在する粘着テープ６３０ａの段差状のエッジ６３０ｄを検出するエッジ検出機構１００と、検出されたエッジ６３０ｄの位置に基づいて、表層の粘着テープ６３０ａをエッジ６３０ｄ側から捲る捲り機構１１０と、捲り機構１１０で捲られた表層の粘着テープ６３０ａを把持して粘着テープロール６３０から剥がす剥がし機構１２０と、エッジ検出機構の検出結果に基づいて、捲り機構１１０および剥がし機構１２０の作動を制御する制御部１３０と、を具備している。【選択図】図１
2016203089.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを搬送しながら前記ワークの表面に付着した塵埃を除去する除塵装置であって、
前記ワークの表面に付着している塵埃を吸着する粘着ロール体と、
前記粘着ロール体に付着した前記塵埃を転写する粘着テープロールを保持するテープ保持部と、
前記テープ保持部に保持された前記粘着テープロールの表層に存在する粘着テープの段差状のエッジを検出するエッジ検出機構と、
前記エッジ検出機構で検出された前記粘着テープのエッジの位置に基づいて、表層の粘着テープを前記エッジ側から捲る捲り機構と、
前記捲り機構で捲られた表層の前記粘着テープを把持して、当該粘着テープを粘着テープロールから剥がす剥がし機構と、
前記エッジ検出機構の検出結果に基づいて、前記捲り機構および前記剥がし機構の作動を制御する制御部と、
を具備することを特徴とする除塵装置。
【請求項２】
請求項１記載の除塵装置であって、
前記エッジ検出機構は、接触子が前記粘着テープに接触することで段差状の前記エッジを検出する接触式センサであるか、または非接触式センサである、
ことを特徴とする除塵装置。
【請求項３】
請求項２記載の除塵装置であって、
前記エッジ検出機構は、前記非接触式センサであると共に、
当該非接触式センサは、検出ガイド機構に取り付けられていて、
この検出ガイド機構は、周方向に沿って離間している一対のガイドローラを備えていて、当該ガイドローラは前記粘着テープの表面を転動する、
ことを特徴とする除塵装置。
【請求項４】
請求項２または３記載の除塵装置であって、
前記エッジ検出機構は、表層の前記粘着テープのうち幅方向の端部側を検出する、
ことを特徴とする除塵装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載の除塵装置であって、
前記捲り機構は、複数の爪部材を有していて、
複数の前記爪部材は、互いに間隔を有する状態で、表層の前記粘着テープの幅方向に沿って配置されている、
ことを特徴とする除塵装置。
【請求項６】
請求項１から４のいずれか１項に記載の除塵装置であって、
前記捲り機構は、吸着パッドを備えていて、その吸着パッドが、表層の前記粘着テープに負圧を及ぼして当該粘着テープを吸着する、
ことを特徴とする除塵装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか１項に記載の除塵装置であって、
前記剥がし機構は、前記捲り機構で捲られた前記粘着テープを挟持するチャッキング手段を備えていて、
このチャッキング手段の移動によって、前記粘着テープロールから表層の前記粘着テープを剥がす、
ことを特徴とする除塵装置。
【請求項８】
請求項１から６のいずれか１項に記載の除塵装置であって、
前記剥がし機構は、前記粘着テープロールから剥がされた前記粘着テープを巻回させるための巻き取り手段を備えていて、前記巻き取り手段に巻回される前記粘着テープは、圧着ローラによって圧着されつつ巻回される、
ことを特徴とする除塵装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに付着した塵埃を除去するための除塵装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、プリント配線基板等のワークに付着した塵埃を取り除くために、除塵装置が用いられている。この除塵装置は、ワークに接触する粘着ロールと、粘着ロールに接触する粘着テープロールとを具備している。粘着テープロールには、ロール状に巻回されている粘着テープが取り付けられていて、粘着ロールに付着している塵埃は、粘着テープに転写される。そして、粘着テープが汚れてくると、粘着テープロールから汚れた粘着テープを引き出して切断し、新たな粘着テープが、粘着ロールに接触するようにしている。なお、このような粘着ロールに関する先行技術としては、特許文献１に開示のものがある。
【０００３】
また、特許文献２には、粘着テープを容易に切断することが可能とした構成が開示されている。特許文献２には、粘着テープに連続切断線が設けられていて、その連続切断線に基づいて、粘着テープを剥離させる技術内容について開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−０８６９３９号公報（図２、図３等参照）
【特許文献２】特開２００８−１１９５５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１に開示の構成では、新たな粘着テープが表面に露出し、粘着ロールと接触するようにするために、現状では作業者が、汚れた粘着テープを、それより下層の新たな粘着テープから剥離させ、その汚れた粘着テープを刃物等で切断している。これに対して、特許文献２に開示の構成では、粘着テープが予め切断されているので、作業者による粘着テープの剥離作業が容易となっている。
【０００６】
しかしながら、特許文献２に開示の構成においても、作業者が粘着テープを剥離させているので、その作業者等を由来とする異物の発生は避けられない。また、粘着テープを剥離させる場合には、比較的長い間にわたって、除塵装置を停止させる必要があり、生産ラインでの生産効率が低下してしまう、という問題もある。
【０００７】
本発明は、かかる問題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、粘着テープを自動的に剥離させることが可能な除塵装置を提供しよう、とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の除塵装置の一側面は、ワークを搬送しながらワークの表面に付着した塵埃を除去する除塵装置であって、ワークの表面に付着している塵埃を吸着する粘着ロール体と、粘着ロール体に付着した塵埃を転写する粘着テープロールを保持するテープ保持部と、テープ保持部に保持された粘着テープロールの表層に存在する粘着テープの段差状のエッジを検出するエッジ検出機構と、エッジ検出機構で検出された粘着テープのエッジの位置に基づいて、表層の粘着テープをエッジ側から捲る捲り機構と、捲り機構で捲られた表層の粘着テープを把持して、当該粘着テープを粘着テープロールから剥がす剥がし機構と、エッジ検出機構の検出結果に基づいて、捲り機構および剥がし機構の作動を制御する制御部と、を具備することを特徴としている。
【０００９】
また、本発明の除塵装置の他の側面は、上述の発明に加えて更に、エッジ検出機構は、接触子が粘着テープに接触することで段差状のエッジを検出する接触式センサであるか、または非接触式センサである、ことが好ましい。
【００１０】
さらに、本発明の除塵装置の他の側面は、上述の発明に加えて更に、エッジ検出機構は、非接触式センサであると共に、当該非接触式センサは、検出ガイド機構に取り付けられていて、この検出ガイド機構は、周方向に沿って離間している一対のガイドローラを備えていて、当該ガイドローラは粘着テープの表面を転動する、ことが好ましい。
【００１１】
また、本発明の除塵装置の他の側面は、上述の発明に加えて更に、エッジ検出機構は、表層の粘着テープのうち幅方向の端部側を検出する、ことが好ましい。
【００１２】
さらに、本発明の除塵装置の他の側面は、上述の発明に加えて更に、捲り機構は、複数の爪部材を有していて、複数の爪部材は、互いに間隔を有する状態で、表層の粘着テープの幅方向に沿って配置されている、ことが好ましい。
【００１３】
また、本発明の除塵装置の他の側面は、上述の発明に加えて更に、捲り機構は、吸着パッドを備えていて、その吸着パッドが、表層の粘着テープに負圧を及ぼして当該粘着テープを吸着する、ことが好ましい。
【００１４】
さらに、本発明の除塵装置の他の側面は、上述の発明に加えて更に、剥がし機構は、捲り機構で捲られた粘着テープを挟持するチャッキング手段を備えていて、このチャッキング手段の移動によって、粘着テープロールから表層の粘着テープを剥がす、ことが好ましい。
【００１５】
また、本発明の除塵装置の他の側面は、上述の発明に加えて更に、剥がし機構は、粘着テープロールから剥がされた粘着テープを巻回させるための巻き取り手段を備えていて、巻き取り手段に巻回される粘着テープは、圧着ローラによって圧着されつつ巻回される、ことが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によると、除塵装置において、粘着テープを自動的に剥離させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施の形態に係る除塵装置の構成を透過的に示す側面図である。
【図２】図１の除塵装置における粘着ロールユニットと、テープユニットと、搬送機構とを簡潔的に示す側面図である。
【図３】図２とは別の構成例に係り、上粘着ロール体と下粘着ロール体がそれぞれ１つずつ設けられている状態を簡潔的に示す図である。
【図４】図１の除塵装置のうち、アクチュエータから下粘着ロール体までの構成を簡潔的に示す正面図である。
【図５】本実施の一実施の形態に係る除塵装置の全体的な構成の概略を示す図である。
【図６】粘着テープロールの構成を示す図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は正面図である。
【図７】本実施の一実施の形態に係る除塵装置が備えるエッジ検出機構の模式的な構成の一例を示す図である。
【図８】図７に示すエッジ検出機構とは別の構成例を示す図である。
【図９】図８に示す構成の更なる応用例であり、非接触式センサが検出ガイド機構に取り付けられている構成を示す図である。
【図１０】本実施の一実施の形態に係る除塵装置が備える捲り機構の模式的な構成の一例を示す図である。
【図１１】図１０に示す捲り機構とは別の構成例を示す図である
【図１２】本実施の一実施の形態に係る除塵装置が備える剥がし機構の模式的な構成の一例を示す図である。
【図１３】図１２に示す剥がし機構を用いて粘着テープを剥がした状態を示す図である。
【図１４】図１２の変形例に係り、剥がされた粘着テープを廃棄するためのダストボックスを備える構成を示す図である。
【図１５】図１４の変形例に係り、ダストボックスに対して搬送機構を利用して、剥がされた粘着テープが廃棄される構成を示す図である。
【図１６】図１２に示す剥がし機構とは別の構成例を示す図である。
【図１７】巻き取り手段としてのリーフタイプのエアーシャフトを示す図であり、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は背面図を示している。
【図１８】図１２および図１６に示す剥がし機構とは別の構成例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の一実施の形態に係る除塵装置１０について、図面を参照しながら説明する。
【００１９】
＜除塵装置の概略構成＞
本実施の形態に係る除塵装置１０は、電子部品が実装されるプリント基板や液晶パネル等の各種の基板あるいは基板の原材料となるシート状部材等のワークＷの表面に付着した塵埃を除去するための装置である。具体的には、除塵装置１０は、ワークＷを図１の左方から右方に向かって搬送しながら、ワークＷの表面に付着した塵埃を除去するための装置である。
【００２０】
図１は、本発明の一実施の形態に係る除塵装置１０の構成を透過的に示す側面図である。図２は、図１の除塵装置１０における粘着ロールユニット５０と、テープユニット６０と、搬送機構３０とを簡潔的に示す側面図である。図３は、図２とは別の構成例に係り、上粘着ロール体５２と下粘着ロール体５３がそれぞれ１つずつ設けられている状態を簡潔的に示す図である。図４は、図１の除塵装置１０のうち、アクチュエータ７０Ａから下粘着ロール体５３までの構成を簡潔的に示す正面図である。また、図５は、除塵装置１０の全体的な構成の概略を示す図である。
【００２１】
この除塵装置１０は、フレーム部２０と、搬送機構３０と、クリーンユニット４０と、エッジ検出機構１００と、捲り機構１１０と、剥がし機構１２０と、制御部１３０と、を主要な構成要素としている。
【００２２】
図１に示すように、フレーム部２０は、金属製の支柱といった構造部材が組み合わされることで構成されており、クリーンユニット４０を構成する粘着ロールユニット５０、テープユニット６０、アクチュエータ７０Ａ，７０Ｂ等といった各種機構を支持可能としている。
【００２３】
また、搬送機構３０は、ワークＷを搬送する駆動力を与える部分である。搬送機構３０としては、図５に図示されるモータ３１と、そのモータ３１からの駆動力を下粘着ロール体５３等の各部へ伝達させる不図示の伝達機構と、外部から搬送されるワークＷを搬送する搬送ローラ３２と、を有している。なお、モータ３１は、制御部１３０の指令により、回転駆動させられる部分である。なお、本実施の形態では、伝達機構として、マグネット式のカップリング部、マグネット式のギヤおよびギヤ輪列を有している。しかしながら、伝達機構は、これらには限られず、マグネット式のカップリング部やマグネット式のギヤに代えて、歯車式のギヤやベルトを用いるようにしても良い。
【００２４】
また、クリーンユニット４０は、ワークＷから塵埃を除去するための部分であり、粘着ロールユニット５０と、テープユニット６０Ａ，６０Ｂとを主要な構成要素としている。これらのうち、粘着ロールユニット５０は、ワークＷの上面または下面に直接接触し、除塵を行う部分（ワークＷから塵埃を吸着して除去する部分）である。図１および図４に示すように、この粘着ロールユニット５０は、ロール支持部５１と、上粘着ロール体５２と、下粘着ロール体５３と、上下ガイド機構９０と、を備えている。
【００２５】
ロール支持部５１は、上粘着ロール体５２、下粘着ロール体５３等を支える部分であり、長手フレーム部５１ａと、短手フレーム部５１ｂと、軸支部５１ｃとを備えている。長手フレーム部５１ａは、除塵装置１０のうち幅方向（図４に示すＹ方向；図１に示すＸＺ方向に直交する方向）に沿って延伸している。この長手フレーム部５１ａは、本実施の形態では、Ｘ方向に沿って一対設けられている。また、長手フレーム部５１ａは、上粘着ロール体５２等の回転軸の長さ寸法と同等の長さ寸法を有している。
【００２６】
なお、本実施の形態では、粘着ロールユニット５０は、２つの上粘着ロール体５２と、２つの下粘着ロール体５３とを有していて、それぞれの上粘着ロール体５２および下粘着ロール体５３は、上下方向で対向するように配置されている。上粘着ロール体５２と、下粘着ロール体５３とは、粘着ロール体に対応する。
【００２７】
なお、図３に示すように、１つの上粘着ロール体５２と、１つの下粘着ロール体５３が設けられる構成を採用しても良い。
【００２８】
短手フレーム部５１ｂは、図１に示すＸ方向に沿って延伸しており、一対の長手フレーム部５１ａを連結するように設けられている。軸支部５１ｃは、長手フレーム部５１ａから上方に向かって突出している。この軸支部５１ｃは、下粘着ロール体５３を回転自在に軸支するための部分であり、孔部分５１ｃ１を有していて、この孔部分５１ｃ１にベアリング５５が嵌め込まれる。このベアリング５５を介して、軸支部５１ｃは、下粘着ロール体５３の回転軸５３１を回転自在に軸支する。
【００２９】
また、上粘着ロール体５２は、後述する上下ガイド機構９０の存在により、上下方向に移動可能に設けられている。この上粘着ロール体５２は、ワークＷの上面に、後述する上テープロール体６３Ａから所定の押圧力を付与された状態で接触する。それにより、ワークＷの上面側から塵埃を除去する。同様に、下粘着ロール体５３は、ワークＷの下面に接触して、塵埃を除去する。しかしながら、上述したように、下粘着ロール体５３は、軸支部５１ｃによって回転支持されているため、上下方向に向かう移動を不能としている。
【００３０】
上粘着ロール体５２および下粘着ロール体５３は、回転軸５２１，５３１と、粘着ラバー層５２２，５３２とを有している。粘着ラバー層５２２，５３２は、回転軸５２１，５３１の外側に、所定の長さ範囲に亘って設けられている。この粘着ラバー層５２２，５３２は、塵埃を付着可能な粘着ラバーを材質として形成されている。なお、かかる粘着ラバー層５２２，５３２は、その表面側に吸着層（図示省略）が設けられていて、この吸着層はシリコンゴム等のような、塵埃の吸着性に優れる材質から構成されている。また、吸着層の下層側には、例えばニトリルゴムやカーボンゴム等のような導電層を設けるように構成しても良い。
【００３１】
また、上粘着ロール体５２と下粘着ロール体５３とは上下方向（Ｚ方向）で対向するように配置されており、上粘着ロール体５２と下粘着ロール体５３との間をワークＷが通過するように構成されている。図１に示すように、本実施の形態では、２本の上粘着ロール体５２が所定の間隔をあけた状態で前後方向に隣接するように配置されている。同様に、２本の下粘着ロール体５３が前後方向に所定の間隔をあけた状態で隣接するように配置されている。
【００３２】
また、テープユニット６０は、上テープユニット６０Ａと、下テープユニット６０Ｂとを備えている。上テープユニット６０Ａは、上テープロール体６３Ａの回転を支持しつつ、当該上テープロール体６３Ａの上下方向へのスライドをガイドする部分である。この上テープユニット６０Ａは、ガイド側板６１Ａと、支持スライダ６２Ａと、上テープロール体６３Ａとを備えている。ガイド側板６１Ａは、上テープロール体６３Ａの両端側に配置されていて、上テープロール体６３Ａの上下方向に沿うスライドをガイドする部分である。また、ガイド側板６１Ａは、フレーム部２０に取り付けられている。このガイド側板６１Ａには、ガイド溝６１Ａ１が形成されている。ガイド溝６１Ａ１は、ガイド側板６１Ａの下端側を突っ切るように形成されている。
【００３３】
上述のガイド溝６１Ａ１には、支持スライダ６２Ａが嵌め込まれている。支持スライダ６２Ａは、軸支部６２Ａ１と、摺動ガイド部６２Ａ２と、上方突出部６２Ａ３とを有している。軸支部６２Ａ１は、上テープロール体６３Ａの回転軸６３２Ａを回転自在に軸支している。また、摺動ガイド部６２Ａ２は、ガイド溝６１Ａ１に沿った幅方向の移動をガイドする部分である。そのため、摺動ガイド部６２Ａ２は、ガイド溝６１Ａ１に嵌まり込むフランジを具備している。また、摺動ガイド部６２Ａ２の一端部（上端部）には、上方突出部６２Ａ３が連結されている。上方突出部６２Ａ３は、軸支部６２Ａ１から上方に向かって突出する棒状の部分であり、後述するテープ用アクチュエータ７０Ａが作動する場合には、そのロッド部７０ａが押し当てられるように配置されている。
【００３４】
なお、支持スライダ６２Ａは、不図示の復帰バネに接続されていて、この復帰バネから上方に向かう付勢力を受けている。この付勢力は、上テープロール体６３Ａが支持スライダ６２Ａに取り付けられた状態でも、それらを共に上方に移動させるだけの付勢力となっている。
【００３５】
図４に示すように、上テープロール体６３Ａは、回転保持部６３１Ａ（テープ保持部に対応）を有している。回転保持部６３１Ａは、粘着テープロール６３０の両端側を保持しつつ、粘着テープロール６３０を回転させる部分である。また、回転保持部６３１Ａには、回転軸６３２Ａが設けられていて、この回転軸６３２Ａは支持スライダ６２Ａに回転自在に軸支される。また、回転保持部６３１Ａの端部には、略円盤形状のロール保持部６３３Ａが設けられている。ロール保持部６３３Ａは、粘着テープロール６３０が取り付けられる部分である。
【００３６】
図６は、粘着テープロール６３０の構成を示す図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は正面図である。図６（ａ）に示すように、粘着テープロール６３０は、シート状の粘着テープ６３０ａをロール状に巻回して形成されたものである。この粘着テープ６３０ａの表面には、粘着面６３０ｂが設けられていて、この粘着面６３０ｂが粘着ラバー層５２２で吸着されている塵埃を保持可能となっている。そのため、粘着面６３０ｂの塵埃に対する粘着力は、粘着ラバー層５２２，５３２の塵埃に対する粘着力よりも大きくなっている。なお、粘着テープ６３０ａは、例えば紙、プラスチック等の基材に対して、例えばゴム系、アクリル系等の粘着剤を塗布し、粘着剤層を形成することによって構成されている。
【００３７】
また、粘着テープロール６３０には、切断線６３０ｃが設けられている。切断線６３０ｃは、粘着テープ６３０ａを切断している。それにより、切断線６３０ｃを境界として、引き出された粘着テープ６３０ａを、ロール状に巻回されている粘着テープロール６３０から容易に引き離すことができる。そして、この切断線６３０ｃは、粘着テープロール６３０の粘着面６３０ｂにおいては、段差状のエッジ６３０ｄ（後述する図７他参照）となって存在している。
【００３８】
ここで、粘着テープロール６３０の中心線をＬとすると（図６（ｂ）参照）、粘着テープロール６３０においては、切断線６３０ｃは、中心線Ｌに対して傾斜している。そのため、粘着テープロール６３０の粘着テープ６３０ａの角部には、鋭角的な鋭角部６３０ｅが形成される。なお、図６（ａ）、（ｂ）では、鋭角部６３０ｅは、粘着テープ６３０ａの右側の端部に設けられている。
【００３９】
なお、粘着テープロール６３０としては、図６に示すような切断線６３０ｃを有する構成には限られない。たとえば、切断線６３０ｃが全く存在せずに、カッター等で引き出された粘着テープ６３０ａを切断するタイプの粘着テープロール６３０であっても良い。
【００４０】
また、下テープユニット６０Ｂは、上述の上テープユニット６０Ａと同様の構成を有しており、ガイド側板６１Ｂと、支持スライダ６２Ｂと、下テープロール体６３Ｂとを備えている。また、下テープロール体６３Ｂは、粘着テープロール６３０、回転保持部６３１Ｂ（テープ保持部に対応）を有している。ただし、下テープユニット６０Ｂは、下テープロール体６３Ｂの自重により下方に移動可能であるため、復帰バネは設けられていない。それ以外は、同様の構成であるため、構成の説明の詳細については省略する。
【００４１】
上テープユニット６０Ａよりも上方のフレーム部２０には、テープ用アクチュエータ７０Ａが取り付けられている。テープ用アクチュエータ７０Ａは、例えば空気圧によってロッド部７０ａを上下方向に作動させるものであり、制御部１３０によって、その作動が制御されている。このテープ用アクチュエータ７０Ａは、復帰バネの弾性力に抗しながら、支持スライダ６２Ａおよび上テープロール体６３Ａを下方に押し下げて、粘着テープロール６３０を所定の押圧力で粘着ラバー層５２２に接触させることを可能としている。また、下テープユニット６０Ｂよりも下方のフレーム部２０には、上述のテープ用アクチュエータ７０Ａと同様のテープ用アクチュエータ７０Ｂが取り付けられている。なお、そのテープ用アクチュエータ７０Ｂは、下テープロール体６３Ｂおよび支持スライダ６２Ｂを下方側から持ち上げるように作動するが、それ以外の機能は、テープ用アクチュエータ７０Ａと同様であるため、詳細についての説明は省略する。
【００４２】
また、図１、図４等に示すように、ロール支持部５１の短手フレーム部５１ｂには、上下ガイド機構９０が取り付けられている。この上下ガイド機構９０は、上粘着ロール体５２が上下方向に移動するのをガイドする機構である。上下ガイド機構９０は、リニアシャフト９１と、ブロック体９２と、リニアブッシュ９３と、を具備している。これらのうち、リニアシャフト９１は、短手フレーム部５１ｂから上方に向かって突出している。なお、本実施の形態では、リニアシャフト９１は、上粘着ロール体５２の個数に対応して、２つ設けられている。また、上粘着ロール体５２と下粘着ロール体５３とが、上下方向で対向する位置となるように、リニアシャフト９１の取付位置が定められている。
【００４３】
また、ブロック体９２は、軸受部９２ａと、ステージ部９２ｂとを有している。軸受部９２ａは、Ｙ方向に沿うように軸受孔９２ｃを有していて、この軸受孔９２ｃにはベアリング９４が嵌め込まれる。そして、このベアリング９４を介して、上粘着ロール体５２の回転軸５２１を回転自在に支持可能となっている。また、ステージ部９２ｂは、軸受部９２ａからＹ方向の端部側に向かって延伸している。このステージ部９２ｂの端部側には、上下方向に沿うように取付孔９２ｄが設けられている。
【００４４】
この取付孔９２ｄには、リニアブッシュ９３が取り付けられている。リニアブッシュ９３は、例えば、円筒状を為す金属製の部材であり、その円筒状の内筒側にボールが配置されている、いわゆるリニアボールベアリングである。このリニアブッシュ９３の内筒側には、リニアシャフト９１が挿通されている。そのため、ブロック体９２および上粘着ロール体５２は、このリニアシャフト９１に沿って滑らかに上下動することが可能となっている。また、リニアシャフト９１の付け根と取付孔９２ｄの周縁（ステージ部９２ｂ）との間には、反発バネ９５が配置されている。反発バネ９５は、ブロック体９２が上方に向かう向きの付勢力を与える。この付勢力により、上粘着ロール体５２の粘着ラバー層５２２は、下粘着ロール体５３の粘着ラバー層５３２に対して接触する向きに移動する。
【００４５】
＜エッジ検出機構について＞
続いて、エッジ検出機構１００について説明する。エッジ検出機構１００は、最も表層側の粘着テープ６３０ａの段差状のエッジ６３０ｄを検出するためのものである。すなわち、自動的に表層側の粘着テープ６３０ａを剥がすためには、その粘着テープ６３０ａの段差状のエッジ６３０ｄを検出する必要がある。エッジ検出機構１００は、そのようなエッジ６３０ｄを検出するためのものである。
【００４６】
なお、粘着テープ６３０ａのエッジ６３０ｄを検出する場合、粘着テープ６３０ａのうちワークＷに接触する部分においては、エッジ検出機構１００の検出を行わない方が好ましい。その代り、粘着テープ６３０ａのうちワークＷに接触しない部分である、粘着テープ６３０ａの幅方向の端部側において、エッジ６３０ｄの検出を行うことが好ましい。特に、エッジ検出機構１００は、粘着テープロール６３０が回転した状態で、鋭角部６３０ｅ（図６参照）付近のエッジ６３０ｄを検出できることが好ましい。
【００４７】
かかるエッジ６３０ｄを検出するための構成を、図７に示す。図７は、エッジ検出機構１００の模式的な構成の一例を示す図である。この図７に示すように、エッジ検出機構１００は、接触式センサ１０１を用いている。接触式センサ１０１は、接触子１０１ａを有していて、その接触子１０１ａの位置の変動に関する情報を、制御部１３０側に送信する。すなわち、接触子１０１ａがエッジ６３０ｄに到達すると、接触子１０１ａの位置は、エッジ６３０ｄ以外の部分に接触している場合と比較して、大きく変化する。そのため、位置変動に関する情報を制御部１３０に送信することにより、エッジ６３０ｄの位置を判別することが可能となっている。
【００４８】
なお、接触子１０１ａとしては、その先端側に球状部分を有する構成であることが好ましい。この場合には、接触子１０１ａの先端が粘着テープ６３０ａの表面を擦らずに済み、滑らかにエッジ６３０ｄの位置を検出することができる。
【００４９】
図８は、エッジ検出機構１００の別の構成例を示す図である。この図８に示す構成例では、エッジ検出機構１００として、非接触式センサ１０２を用いている。非接触式センサ１０２は、たとえば、光学式のセンサであり、投光部１０２ａから出射された光が粘着テープ６３０ａで反射され、受光部１０２ｂで受光される構成となっている。
【００５０】
ここで、出射光が粘着テープ６３０ａに当たっている状態では、その出射光は粘着テープ６３０ａで反射されて、受光部１０２ｂに受光される。しかしながら、エッジ６３０ｄに出射光が当たると、反射角度が変化するか、または明るさが変化して受光部１０２ｂでは正しく受光されなくなる。このような受光部１０２ｂでの受光状態の変動によって、エッジ６３０ｄの位置を検出することを可能としている。また、非接触式センサ１０２を用いる場合、汚れている粘着テープ６３０ａに接触する部分が存在しないので、非接触式センサ１０２自体も汚れずに済む。
【００５１】
なお、非接触式センサ１０２としては、粘着テープ６３０ａから反射される反射光の反射角度に基づいて、距離を計算する方式であることが好ましい。
【００５２】
図９は、図８に示す構成の更なる応用例であり、非接触式センサ１０２が検出ガイド機構１０３に取り付けられている構成を示す図である。この検出ガイド機構１０３は、基体フレーム部１０３ａに対して摺動自在なアーム状の追従フレーム１０３ｂを有している。この追従フレーム１０３ｂには、粘着テープロール６３０に向かうように支持脚１０３ｃが設けられている。図９に示す構成では、支持脚１０３ｃは、粘着テープロール６３０の周方向に沿って一対設けられていて、その一対の支持脚１０３ｃには、それぞれガイドローラ１０３ｄが回転自在に取り付けられている。
【００５３】
このような検出ガイド機構１０３を用いることで、非接触式センサ１０２と粘着テープ６３０ａの表面との距離を一定に保つことが可能となっている。
【００５４】
＜捲り機構について＞
続いて、捲り機構１１０について説明する。図１０は、捲り機構１１０の模式的な構成の一例を示す図である。図１０に示すように、捲り機構１１０は、先端側が尖形状の爪部材１１１を有している。また、捲り機構１１０は、爪部材１１１を移動させることが可能な図示を省略する爪部材移動機構が設けられている。そして、爪部材移動機構を作動させて、爪部材１１１の先端部を、エッジ６３０ｄよりも回転の上流側の粘着テープ６３０ａに接触させる。その状態で、先端部が下流側のエッジ６３０ｄに向かうと、表面に位置している粘着テープ６３０ａの裏面側に潜り込み、それによって表面に位置している粘着テープ６３０ａが先端部によって浮き上がる。それにより、表面に位置している汚れた粘着テープ６３０ａを剥がすことができる。
【００５５】
上述した爪部材１１１としては、その材質をステンレスやセラミックス等の硬度の高い材質で形成することが好ましい。また、爪部材１１１については、必要に応じて、焼き入れやコーティング等のような所定の処理を行い、強度の向上や、すべり性の向上を図るようにしても良い。
【００５６】
なお、爪部材１１１は、粘着テープロール６３０の幅方向において、所定間隔毎に複数個配置されるのが好ましい。その場合には、表面側の粘着テープ６３０ａを、全体的に捲ることができ、後の剥がし機構１２０において、表面側の粘着テープ６３０ａを全体的に剥がすことができる。また、かかる複数の爪部材１１１のうちの１つは、上述した鋭角部６３０ｅ付近を捲ることが好ましい。かかる鋭角部６３０ｅ付近は、他の部分と比較して、粘着テープ６３０ａを容易に捲ることができるからである。
【００５７】
図１１は、捲り機構１１０の別の構成例を示す図である。この図１１に示す構成例では、捲り機構１１０として、吸盤状の吸着パッド１１２を用いている。吸着パッド１１２は、図示を省略する吸引ポンプに接続されていて、吸着パッド１１２の内部に負圧を与える構成となっている。かかる吸着パッド１１２が粘着テープ６３０ａのエッジ６３０ｄの近傍に接触する。このとき、粘着テープ６３０ａの粘着面６３０ｂの粘着力よりも、吸着パッド１１２の負圧による吸引力の方が強くなっている。それにより、粘着テープ６３０ａのエッジ６３０ｄの近傍を捲ることが可能となっている。
【００５８】
なお、上述したような複数の爪部材１１１や吸着パッド１１２を用いる方式に代えて、粘着テープロール６３０の粘着面６３０ｂよりも、より強力な粘着性を有するゴムローラを用いるようにしても良い。この場合には、粘着面６３０ｂの粘着力よりも、ゴムローラの粘着力の方が強いので、ゴムローラを表層の粘着テープ６３０ａに線状または面状に接触させることにより、表層の粘着テープ６３０ａを容易に剥離させることができる。
【００５９】
＜剥がし機構について＞
続いて、剥がし機構１２０について説明する。図１２は、剥がし機構１２０の模式的な構成の一例を示す図である。図１２に示すように、剥がし機構１２０は、粘着テープ６３０ａを挟持することが可能なチャッキング手段１２１を有している。このチャッキング手段１２１で、粘着テープ６３０ａを挟持した状態で、剥がし機構１２０を移動させるための不図示の移動手段が作動して、図１２に示す状態から図１３に示すようにチャッキング手段１２１が右側に移動することにより、汚れた粘着テープ６３０ａを、切断線６３０ｃまで剥がすことができる。それにより、汚れていない粘着テープ６３０ａを露出させることができる。
【００６０】
上述のチャッキング手段１２１は、支点１２１ｃを挟んで、一対のクランプアーム１２１ａ，１２１ｂが設けられている。一対のクランプアーム１２１ａ，１２１ｂが互いに近付いたり離れたりするためには、クランプアーム１２１ａ，１２１ｂのそれぞれの端部側にギヤが取り付けられ、互いに逆向きに回転するように構成することができる。
【００６１】
なお、剥がし機構１２０は、図１４に示すように、剥がされた粘着テープ６３０ａを廃棄するためのダストボックス１２２を備えていても良い。また、図１５に示すように、ダストボックス１２２には、搬送機構３０を利用して、剥がされた粘着テープ６３０ａが廃棄される構成を採用しても良い。
【００６２】
図１６は、剥がし機構１２０の別の構成例を示す図である。この図１６に示す構成例では、剥がし機構１２０は、剥がされた粘着テープ６３０ａを巻き取るための巻き取り手段１２３に巻き取られる構成が開示されている。巻き取り手段１２３は、たとえば使用済みの粘着テープロール６３０の芯部分６３０ｆを利用することができ、この芯部分６３０ｆが回転保持部６３１Ａ，６３１Ｂと同様の回転保持部に取り付けられる。
【００６３】
また、剥がされた粘着テープ６３０ａは、芯部分６３０ｆに巻き付ける向きとは逆向きにカールしている。そのため、図１６に示す構成では、剥がされた粘着テープ６３０ａを、芯部分６３０ｆまたは既に巻回されている粘着テープ６３０ａに圧着させるための圧着ローラ１２４を有している。かかる圧着ローラ１２４での圧着により、粘着テープ６３０ａが押さえ付けられることにより、剥がされた粘着テープ６３０ａの粘着力を増加させることができ、それまでの粘着テープロール６３０とは逆の向きにカールしていた粘着テープ６３０ａが、巻き取り手段１２３から剥がれるのを防ぐことができる。また、かかる圧着ローラ１２４での押さえ付けにより、新たに巻き付けられる粘着テープ６３０ａと、芯部分６３０ｆまたはそれまで巻き付けられた粘着テープ６３０ａとの間に、空気が入り込むのを防いでいる。
【００６４】
このようにして、捲り機構１１０によって捲られた粘着テープ６３０ａの先端が、芯部分６３０ｆに取り付けられ、その芯部分６３０ｆが粘着テープロール６３０とは反対向きに、粘着テープ６３０ａにテンションを付与した状態で回転することにより、汚れた粘着テープ６３０ａを巻き取りつつ回収することができる。
【００６５】
なお、巻き取り手段１２３としては、図１７に示すような、エアーシャフト１２３Ａを用いることができる。図１７は、リーフタイプのエアーシャフト１２３Ａを示す図であり、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は背面図を示している。このエアーシャフト１２３Ａは、外表体１２３Ａ１を備えていて、その外表体１２３Ａ１の内径側にはリーフ１２３Ａ２が設けられている。外表体１２３Ａ１およびリーフ１２３Ａ２は、エアーシャフト１２３Ａの周方向に複数本設けられている。そして、外表体１２３Ａ１は、複数個配置されることで、その外周側に汚れた粘着テープ６３０ａを巻き付けることを可能としている。
【００６６】
このリーフ１２３Ａ２の他端側（図１７（Ａ）の左側）はピン１２３Ａ３等で接続されている。また、リーフ１２３Ａ２の一端側（図１７（Ａ）の右側）は、リンク部材１２３Ａ４にピン１２３Ａ５等で接続されていて、そのリンク部材１２３Ａ４は、軸方向にスライド可能なスライド部材１２３Ａ６にピン１２３Ａ７等を介して連結されている。スライド部材１２３Ａ６は、アクチュエータ等の駆動手段の駆動によりスライドさせられるが、その駆動手段の駆動は、制御部１３０により制御されている。
【００６７】
このようなエアーシャフト１２３Ａでは、アクチュエータ等の駆動手段の力により、スライド部材１２３Ａ６が他端側（図１７（Ａ）で左側）に向かってスライドすることで、リーフ１２３Ａ２は、ピン１２３Ａ３を支点として径方向の外側に向かうように回動し、外表体１２３Ａ１がエアーシャフト１２３Ａに押されて外径側へと移動する（拡径する）。その状態で汚れた粘着テープ６３０ａを巻き付ける。
【００６８】
そして、汚れた粘着テープ６３０ａの巻き取り長さが長くなり、ロール状の粘着テープ６３０ａを廃棄する場合、スライド部材１２３Ａ６が一端側（図１７（Ａ）の右側）に向かってスライドすることで、外表体１２３Ａ１が内径側に移動する（収縮する）。そのため、汚れたロール状の粘着テープ６３０ａを、エアーシャフト１２３Ａから容易に抜き取ることが可能となる。
【００６９】
図１８は、剥がし機構１２０の別の構成例を示す図である。この図１８に示す構成例では、剥がし機構１２０は、図１２に示すようなチャッキング手段１２１に代えて、裁断手段１２６を備えている。裁断手段１２６は、一対のローラカッター１２６ａ，１２６ｂを備えていて、このローラカッター１２６ａ，１２６ｂの間に、粘着テープ６３０ａが送り込まれる。送り込まれた粘着テープ６３０ａは、ローラカッター１２６ａ，１２６ｂによって裁断され、その裁断された裁断物は、ダストボックス１２２に廃棄される。
【００７０】
なお、ローラカッター１２６ａ，１２６ｂとしては、たとえば、シュレッダー等で用いられているような、外周側に多数の刃が設けられている構成を用いることができる。
【００７１】
＜制御部について＞
次に、制御部１３０について説明する。図５に示すように、制御部１３０は、エッジ検出機構１００での検出結果に基づいて、モータ３１、捲り機構１１０、剥がし機構１２０といった各駆動部位の作動を制御する部分である。また、制御部１３０は、テープ用アクチュエータ７０Ａ，７０Ｂの作動も制御する部分となっている。かかる制御部１３０は、たとえばマイクロコンピュータ等を用いることができる。また、モータ３１を駆動させるためのモータドライバ、テープ用アクチュエータ７０Ａ，７０Ｂを作動させるためのアクチュエータ用ドライバ等も、制御部１３０の概念に含めることができる。
【００７２】
＜効果＞
以上のような構成を有する除塵装置１０によれば、粘着テープロール６３０の表層に存在する粘着テープ６３０ａの段差状のエッジ６３０ｄを、エッジ検出機構１００で検出する。また、エッジ検出機構１００で検出された粘着テープ６３０ａのエッジ６３０ｄの位置に基づいて、捲り機構１１０は、表層の粘着テープ６３０ａをエッジ６３０ｄ側から捲る動作を行う。また、剥がし機構１２０は、捲り機構１１０で捲られた表層の粘着テープ６３０ａを把持して、表層の粘着テープ６３０ａを粘着テープロール６３０から剥がす動作を行う。また、制御部１３０は、エッジ検出機構１００の検出結果に基づいて、捲り機構１１０および剥がし機構１２０の作動を制御している。
【００７３】
このように、ワークＷから塵埃が転写されて汚れた表層の粘着テープ６３０ａを、エッジ検出機構１００での検出結果に基づき、制御部１３０で、捲り機構１１０、剥がし機構１２０の作動を制御することで、人手を要さずに自動的に剥がすことができる。
【００７４】
したがって、作業者が表層の粘着テープ６３０ａを剥離させる場合に生じていた、作業者等を由来とする異物の発生を抑えることができる。また、自動的に表層の粘着テープ６３０ａの剥離を行えるので、その表層の粘着テープ６３０ａを剥離させる作業は比較的短時間で済む。したがって、除塵装置１０を、比較的長い間にわたって停止させずに済む。それにより、除塵装置１０が設置される生産ラインでの生産効率を向上させることができる。
【００７５】
特に、表層の粘着テープ６３０ａを剥がす速度を向上させると、通常の生産ラインでの粘着テープロール６３０の回転速度を変更することなく、表層の粘着テープ６３０ａを自動的に剥離させることができる。この場合には、除塵装置１０が設置される生産ラインでの生産効率を、一層向上させることができる。
【００７６】
また、本実施の形態では、エッジ検出機構１００は、接触子１０１ａが粘着テープ６３０ａに接触することで段差状のエッジ６３０ｄを検出する接触式センサ１０１であるか、または非接触式センサ１０２とすることが可能である。接触式センサ１０１と非接触式センサ１０２のいずれであっても、段差状のエッジ６３０ｄを良好に検出することができる。
【００７７】
さらに、本実施の形態では、エッジ検出機構１００は、非接触式センサ１０２であり、その非接触式センサ１０２は、検出ガイド機構１０３に取り付けられている。そして、検出ガイド機構１０３は、周方向に沿って離間している一対のガイドローラ１０３ｄを備えていて、そのガイドローラ１０３ｄは粘着テープ６３０ａの表面を転動する。
【００７８】
このような検出ガイド機構１０３を用いることで、非接触式センサ１０２と粘着テープ６３０ａの表面との距離を一定に保つことが可能となっている。特に、粘着テープロール６３０は、使用するにつれて、粘着テープ６３０ａを剥がしていくので、その粘着テープロール６３０の直径は小さくなっていく。そのため、非接触式センサ１０２が粘着テープロール６３０に対して追従しない場合には、粘着テープロール６３０の直径の変化に対応し難くなっている。しかしながら、上述のような検出ガイド機構１０３を用いることにより、粘着テープロール６３０の直径が変動した場合でも、粘着テープロール６３０と非接触式センサ１０２の距離を一定に保つことができ、非接触式センサ１０２を粘着テープロール６３０に追従させることができる。
【００７９】
特に、図９に示すように、粘着テープロール６３０の周方向に沿って、一対のガイドローラ１０３ｄが設けられている。この場合、次のようなメリットがある。仮に、ガイドローラ１０３ｄが１つしか存在しない場合、追従時の振動等により、非接触式センサ１０２の検出精度に悪影響が生じ易くなる。また、粘着テープロール６３０の直径が変化した場合には、粘着テープロール６３０の表面から非接触式センサ１０２までの距離が大きく変動する。
【００８０】
また、ガイドローラ１０３ｄが１つしか存在しなく、粘着テープロール６３０の径方向に沿うようにガイドローラ１０３ｄと非接触式センサ１０２とが配置されている場合には、段差状のエッジ６３０ｄをガイドローラ１０３ｄが乗り越えても、ガイドローラ１０３ｄと非接触式センサ１０２とが一体的に動く。そのため、非接触式センサ１０２から粘着テープ６３０ａの表面までの距離の変動が少なくなり、エッジ６３０ｄの検出精度が低下してしまう。
【００８１】
しかしながら、図９に示すように、粘着テープロール６３０の周方向に沿って、一対のガイドローラ１０３ｄが設けられている場合には、ガイドローラ１０３ｄが１つのみ設けられている場合のような、追従時の振動等の悪影響を大幅に軽減することができる。また、粘着テープロール６３０の直径が変化した場合でも、粘着テープロール６３０の表面から非接触式センサ１０２までの距離が変動するのを抑えることができる。
【００８２】
加えて、粘着テープロール６３０の周方向に沿って、一対のガイドローラ１０３ｄが設けられる構成では、段差状のエッジ６３０ｄをガイドローラ１０３ｄが乗り越えた際に、非接触式センサ１０２から粘着テープ６３０ａの表面までの距離の変動が明確に生じる。そのため、非接触式センサ１０２によるエッジ６３０ｄの検出精度を向上させることができる。
【００８３】
また、本実施の形態では、エッジ検出機構１００は、表層の粘着テープ６３０ａのうち幅方向の端部側を検出することが好ましい。このように、エッジ検出機構１００が表層の粘着テープ６３０ａの端部を検出する場合には、粘着テープ６３０ａのうちワークＷの塵埃の除去を行う部位の邪魔にならない。また、接触式センサ１０１を用いる場合には、接触子１０１ａが粘着テープ６３０ａに接触することになるが、粘着テープ６３０ａの端部を接触子１０１ａが接触すると、ワークＷからの塵埃の除去性能に影響を与えるのを防ぐことができる。
【００８４】
さらに、本実施の形態では、捲り機構１１０は、複数の爪部材１１１を有していて、その複数の爪部材１１１は、互いに間隔を有する状態で、表層の粘着テープ６３０ａの幅方向に沿って配置されている。このため、表層の粘着テープ６３０ａを、全体的に剥がすことができる。そのため、表層の粘着テープ６３０ａを剥がす時間を短縮することができる。また、爪部材１１１が複数個所に設けられているので、粘着力に抗する部分が分散され、それによって表層の粘着テープ６３０ａを剥がす際の作業性も向上させることができる。なお、爪部材１１１を用いて表層の粘着テープ６３０ａを剥がす場合、粘着テープ６３０ａの裏面側に爪部材１１１を差し込むように動作させることで、表層の粘着テープ６３０ａのみを剥がすことができ、２層目より下層側の粘着テープ６３０ａが剥がれるのを防止することができる。
【００８５】
また、本実施の形態では、捲り機構１１０は、吸着パッド１１２を備えていて、その吸着パッド１１２が、表層の粘着テープ６３０ａに負圧を及ぼして表層の粘着テープ６３０ａを吸着することもできる。この場合には、負圧により表層の粘着テープ６３０ａを剥がすことができるので、その剥がし作業を容易に行える。また、爪部材１１１を用いる場合には、粘着面６３０ｂから剥離した粘着物を除去するメンテナンスを行う場合があり、爪部材１１１が破損する虞もあるが、吸着パッド１１２では、そのような問題も防ぐことができる。
【００８６】
さらに、本実施の形態では、剥がし機構１２０は、捲り機構１１０で捲られた粘着テープ６３０ａを挟持するチャッキング手段１２１を備えていて、このチャッキング手段１２１の移動によって、粘着テープロール６３０から表層の粘着テープ６３０ａを剥がしている。このため、表層の粘着テープ６３０ａを、切断線６３０ｃの部位まで容易に引き出すことができ、それによって表層の粘着テープ６３０ａを容易に剥がすことができる。
【００８７】
また、本実施の形態では、剥がし機構１２０は、粘着テープロール６３０から剥がされた粘着テープ６３０ａを巻回させるための巻き取り手段１２３を備えていて、その巻き取り手段１２３に巻回される粘着テープ６３０ａは、圧着ローラ１２４によって圧着されつつ巻回される構成とすることができる。この場合には、巻き取り手段１２３を用いて、使用済みの粘着テープ６３０ａを巻回させることができる。また、その巻回に際しては、圧着ローラ１２４によって、新たに巻き付けられる粘着テープ６３０ａと、芯部分６３０ｆまたはそれまで巻き付けられた粘着テープ６３０ａとの間に、空気が入り込むのを防ぐことができる。それにより、粘着テープ６３０ａが乱れた状態で巻回されるのを防止することができる。
【００８８】
＜変形例＞
以上、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明は上述の形態に限定されることなく、種々変形した形態にて実施可能である。
【００８９】
上述の実施の形態では、爪部材１１１や吸着パッド１１２といった捲り機構１１０を用いて、表層の粘着テープ６３０ａを剥がしている。しかしながら、捲り機構１１０としては、これらには限られない。たとえば、捲り機構１１０は、剥がしたい表層の粘着テープ６３０ａに対して、熱を付与して粘着面６３０ｂの粘着力を低下させても良く、また捲り機構１１０は、粘着面６３０ｂの粘着力を低下させるような薬液を、表層の粘着テープ６３０ａに付与しても良い。
【００９０】
また、上述の実施の形態では、図６に示すような粘着テープロール６３０を用いている。しかしながら、粘着テープロール６３０としては、図６に示す構成とは異なる構成のものを用いても良い。たとえば、粘着テープ６３０ａの幅方向の端部側に、粘着力の弱い低粘着部分、または粘着面６３０ｂが存在しない非粘着部分が存在する構成を用いても良い。特に、上述した鋭角部６３０ｅ付近に、そのような低粘着部分や、非粘着部分を設けることが好ましい。このように構成することで、捲り機構１１０での粘着テープ６３０ａを捲る作業が非常に容易となる。
【００９１】
また、上述の実施の形態では、粘着ロールユニット５０として、下粘着ロール体５３と下粘着ロール体５３とを備える構成について述べている。しかしながら、粘着ロールユニット５０としては、上粘着ロール体５２と下粘着ロール体５３のうちのいずれか一方のみを備える構成を採用しても良い。同様に、上述の実施の形態では、テープユニット６０についても、上テープロール体６３Ａと下テープロール体６３Ｂとを備える構成について述べているが、上テープロール体６３Ａと下テープロール体６３Ｂのうちのいずれか一方のみを備える構成を採用しても良い。
【符号の説明】
【００９２】
１０…除塵装置、２０…フレーム部、３０…搬送機構、３１…モータ、３２…搬送ローラ、４０…クリーンロールユニット、５０…粘着ロールユニット、５１…ロール支持部、５１ａ…長手フレーム部、５１ｂ…短手フレーム部、５１ｃ…軸支部、５２…上粘着ロール体（粘着ロール体に対応）、５３…下粘着ロール体（粘着ロール体に対応）、５５…ベアリング、６０…テープユニット、６０Ａ…上テープユニット、６０Ｂ…下テープユニット、６１Ａ，６１Ｂ…ガイド側板、６２Ａ，６２Ｂ…支持スライダ、６３Ａ…上テープロール体、６３Ｂ…下テープロール体、７０Ａ，７０Ｂ…テープ用アクチュエータ、７０ａ…ロッド部、９０…上下ガイド機構、９１…リニアシャフト、９２…ブロック体、９２ａ…軸受部、９２ｂ…ステージ部、９２ｃ…軸受孔、９２ｄ…取付孔、９３…リニアブッシュ、９４…ベアリング、９５…反発バネ、１００…エッジ検出機構、１０１…接触式センサ、１０１ａ…接触子、１０２…非接触式センサ、１０２ａ…投光部、１０２ｂ…受光部、１０３…検出ガイド機構、１０３ａ…基体フレーム部、１０３ｂ…追従フレーム、１０３ｃ…支持脚、１０３ｄ…ガイドローラ、１１０…捲り機構、１１１…爪部材、１１２…吸着パッド、１２０…剥がし機構、１２１…チャッキング手段、１２１ａ，１２１ｂ…クランプアーム、１２１ｃ…支点、１２２…ダストボックス、１２３…巻き取り手段１２３、１２３Ａ…エアーシャフト、１２３Ａ１…外表体、１２３Ａ２…リーフ、１２３Ａ３，１２３Ａ５，１２３Ａ７…ピン、１２３Ａ４…リンク部材、１２３Ａ６…スライド部材、１２４…圧着ローラ、１２６…裁断手段、１２６ａ…ローラカッター、１３０…制御部、５１１ｃ…孔部分、５２１…回転軸、５２２…粘着ラバー層、５３１…回転軸、５３２…粘着ラバー層、６１１Ａ…ガイド溝、６２１Ａ…軸支部、６２２Ａ…摺動ガイド部、６２３Ａ…上方突出部、６３０…粘着テープロール、６３０ａ…粘着テープ、６３０ｂ…粘着面、６３０ｃ…切断線、６３０ｄ…エッジ、６３０ｅ…鋭角部、６３０ｆ…芯部分、６３１Ａ，６３１Ｂ…回転保持部（テープ保持部に対応）、６３２Ａ…回転軸、６３３Ａ…ロール保持部、Ｗ…ワーク
【図１】
2016203089.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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