(57)【要約】【課題】耐久性に優れた小型な圧電振動片および圧電振動子を提供する。【解決手段】圧電振動片１０は、矩形状の圧電板１１と、圧電板１１の主面に形成された振動部１２と、圧電板１１を実装する一対のマウント部２１，２２と、を備えている。一対のマウント部２１，２２は、圧電板１１における長手方向の両端部に形成されている。圧電振動子は、圧電振動片１０と、圧電振動片１０のマウント部２１，２２が実装されるパッケージと、を備えている。【選択図】図１
2016105581.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形状の圧電板と、
前記圧電板の主面に形成された振動部と、
前記圧電板を実装する一対のマウント部と、を備え、
前記一対のマウント部は、前記圧電板における長手方向の両端部に形成されている、
ことを特徴とする圧電振動片。
【請求項２】
前記一対のマウント部は、前記圧電板における短手方向の一端部の角部近傍に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片。
【請求項３】
前記振動部は、少なくとも前記マウント部の周囲において、前記マウント部よりも薄く形成されている、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の圧電振動片。
【請求項４】
前記圧電板は、ＡＴカット水晶基板により形成され、
前記圧電板の長手方向は、前記ＡＴカット水晶基板のＺ´軸方向に沿う、
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の圧電振動片。
【請求項５】
前記圧電板の長手方向に沿う外形寸法は、前記圧電板の短手方向に沿う外形寸法の１．４倍以下である、
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の圧電振動片。
【請求項６】
前記マウント部は、前記圧電板の面方向に沿って前記圧電板から突出している、
ことを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の圧電振動片。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか１項に記載の圧電振動片と、
前記圧電振動片の前記マウント部が実装されるパッケージと、を備える、
ことを特徴とする圧電振動子。
【請求項８】
前記圧電振動片の前記マウント部と前記パッケージとの間に配置され、前記マウント部を前記パッケージに実装するための実装部材を有し、
前記実装部材は、前記マウント部の主面と前記マウント部の側面とに接触している、
ことを特徴とする請求項７に記載の圧電振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動片および圧電振動子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話や携帯情報端末機器、電波時計等には、時刻源や制御信号のタイミング源、リファレンス信号源等として、例えば水晶を利用した圧電振動子が用いられている。従来、圧電振動子には、圧電振動片が実装用の導電性接着剤によってパッケージに固定された状態で格納される。
例えば特許文献１には、矩形状の圧電振動片がパッケージに片持ち支持された圧電振動子が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−１１６３８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１に記載の圧電振動子は、圧電振動片がその長手方向端部のマウント部においてパッケージに実装されている。このため、圧電振動子に対して衝撃等の外力が作用すると、圧電振動片に大きなモーメントがかかり、マウント部においてパッケージから圧電振動片が剥がれる可能性がある。特に圧電振動片の小型化が進むと、マウント部の面積が縮小するため、マウント部における剥がれがより発生しやすくなる。したがって、従来の圧電振動子および圧電振動片においては、小型化に伴い耐久性が低下するという課題がある。
【０００５】
そこで本発明は、耐久性に優れた小型な圧電振動片および圧電振動子を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の圧電振動片は、矩形状の圧電板と、前記圧電板の主面に形成された振動部と、前記圧電板を実装する一対のマウント部と、を備え、前記一対のマウント部は、前記圧電板における長手方向の両端部に形成されている、ことを特徴とする。なお、前記圧電板における短手方向の一端部の角部近傍に形成されているとさらに好適である。
本発明によれば、圧電振動片を実装する際に、矩形状の圧電板を、圧電板の短手方向の一端部に形成された一対のマウント部により支持するため、従来構造のように長手方向の一端部において支持する場合と比べて、マウント部を中心とするモーメントが小さくなる。これにより、マウント部にかかる応力が低減するため、圧電振動片の小型化によりマウント部が縮小し、実装時の固定力が減少する場合であっても、マウント部における破損を抑制できる。したがって、耐久性に優れた小型な圧電振動片が得られる。
【０００７】
上記の圧電振動片において、前記振動部は、少なくとも前記マウント部の周囲において、前記マウント部よりも薄く形成されている、ことを特徴とする。
本発明によれば、圧電振動片は、パッケージに実装された状態においてマウント部を中心とするモーメントが発生しても、マウント部に作用する応力を、薄く形成された振動部において緩和できる。したがって、より耐久性に優れた圧電振動片が得られる。
【０００８】
上記の圧電振動片において、前記圧電板は、ＡＴカット水晶基板により形成され、前記圧電板の長手方向は、前記ＡＴカット水晶基板のＺ´軸方向に沿う、ことを特徴とする。
ＡＴカット水晶基板の主振動モードである厚みすべり振動は、Ｘ軸方向に大きく変位する振動である。本発明によれば、圧電振動片をＸ軸方向に直交するＺ´軸方向に沿った２点で片持ち支持することで、マウント部は振動部のＸ軸方向の変位を妨げない。マウント部が振動部の変位を妨げる場合は、振動部やマウント部において不要振動が生じやすく、その結果、所望の振動特性を得ることが困難になるが、上記構成によれば、マウント部の配置方向と振動部の変位方向とが直交関係にあるので、これらの方向が同一方向である場合と比較すると、不要振動の発生を顕著に低減することが可能になる。したがって、振動特性の優れた圧電振動片が得られる。
【０００９】
上記の圧電振動片において、前記圧電板の長手方向に沿う外形寸法は、前記圧電板の短手方向に沿う外形寸法の１．４倍以下である、ことを特徴とする。
本発明によれば、圧電振動片は、長手方向の外形寸法が、短手方向の外形寸法の１．４倍以下であるため、例えば平面視で正方形状に近い小型なパッケージへの実装に対応することができる。
【００１０】
上記の圧電振動片において、前記マウント部は、前記圧電板の面方向に沿って前記圧電板から突出している、ことを特徴とする。
本発明によれば、マウント部が圧電板から突出しているため、圧電振動片を実装する際に、例えば導電ペースト等の実装部材が濡れ広がった時に振動部に付着することを抑制できる。これにより圧電振動片の振動特性のばらつきを抑制できる。したがって、振動特性の優れた圧電振動片が得られる。
【００１１】
本発明の圧電振動子は、上記の圧電振動片と、前記圧電振動片の前記マウント部が実装されるパッケージと、を備える、ことを特徴とする。
本発明によれば、上述した圧電振動片を備えているので、耐久性に優れた小型な圧電振動子が得られる。
【００１２】
上記の圧電振動子において、前記圧電振動片の前記マウント部と前記パッケージとの間に配置され、前記マウント部を前記パッケージに実装するための実装部材を有し、前記実装部材は、前記マウント部の主面と前記マウント部の側面とに接触している、ことを特徴とする。
本発明によれば、圧電振動片は、実装部材により少なくとも２方向から固定されるので、互いに固着された圧電振動片と実装部材とが剥がれにくくなる。したがって、より耐久性に優れた圧電振動子が得られる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の圧電振動片によれば、圧電振動片を実装する際に、矩形状の圧電板を、圧電板の短手方向の一端部に形成された一対のマウント部により支持するため、従来構造のように長手方向の一端部において支持する場合と比べて、マウント部を中心とするモーメントが小さくなる。これにより、マウント部にかかる応力が低減するため、圧電振動片の小型化によりマウント部が縮小し、実装時の固定力が減少する場合であっても、マウント部における破損を抑制できる。したがって、耐久性に優れた小型な圧電振動片が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】第１実施形態に係る圧電振動片の平面図である。
【図２】第１実施形態に係る圧電振動子の分解斜視図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面図である。
【図４】第２実施形態に係る圧電振動子の断面図である。
【図５】第２実施形態に係る圧電振動片の底面図である。
【図６】第２実施形態に係る他の圧電振動片の断面図である。
【図７】第２実施形態に係る他の圧電振動片の断面図である。
【図８】第２実施形態の変形例に係る圧電振動子の断面図である。
【図９】第３実施形態に係る圧電振動片の平面図である。
【図１０】圧電振動片の他の構成を示す平面図である。
【図１１】圧電振動片の他の構成を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図の構成を説明する際には、ＸＹ´Ｚ´座標系を用いる。このＸＹ´Ｚ´座標系における各軸は、後述する水晶の結晶軸と以下の関係を有している。すなわち、Ｘ軸が電気軸であり、Ｚ´軸が光学軸であるＺ軸に対してＸ軸周りに３５度１５分だけ傾いた軸であり、Ｙ´軸がＸ軸およびＺ´軸に直交する軸である。また、Ｘ軸方向、Ｙ´軸方向およびＺ´軸方向は、図中矢印方向を＋方向とし、矢印とは反対の方向を−方向として説明する。
【００１６】
［第１実施形態］
最初に、第１実施形態の圧電振動片および圧電振動子について説明する。
図１は、第１実施形態に係る圧電振動片の平面図である。
図１に示すように、圧電振動片１０は、圧電板１１と、マウント電極３１，３２と、励振電極３４と、を備える。
圧電板１１は、ＡＴカット水晶基板により平面視矩形状に形成されている。ここで、ＡＴカットは、人工水晶の結晶軸である電気軸（Ｘ軸）、機械軸（Ｙ軸）および光学軸（Ｚ軸）の３つの結晶軸のうち、Ｚ軸に対してＸ軸周りに３５度１５分だけ傾いた方向（Ｚ´軸方向）に切り出す加工手法である。ＡＴカットによって切り出された圧電板１１を有する圧電振動片１０は、周波数温度特性が安定しており、構造や形状が単純で加工が容易であり、ＣＩ値が低いという利点がある。圧電板１１は、長手方向がＺ´軸方向に沿うように形成され、長手方向（Ｚ´軸方向）における外形寸法が短手方向（Ｘ軸方向）における外形寸法の１．４倍以下となっている。また、圧電板１１は、Ｙ´軸方向が厚さ方向であり、Ｙ´軸方向の両面に主面１１Ａ，１１Ｂを有している。
【００１７】
圧電板１１には、振動部１２と、圧電板１１を実装する一対のマウント部２１，２２と、が形成されている。
振動部１２は、平面視長方形状であって、長手方向がＺ´軸方向に沿うように形成されている。振動部１２には、圧電板１１の一方主面１１Ａ上に形成された一方の励振電極３４Ａと、他方主面１１Ｂ上に形成された他方の励振電極３４Ｂと、が形成されている。一方の励振電極３４Ａは、振動部１２の平面視略中央において、矩形状に形成されている。他方の励振電極３４Ｂは、平面視において一方主面１１Ａ上に形成された一方の励振電極３４Ａと重なるように形成されている。かかる構成によれば、励振電極３４Ａ，３４Ｂに電圧を印加することにより、圧電板１１をＸ方向に厚みすべり振動させることが可能になる。
【００１８】
一対のマウント部２１，２２は、圧電板１１の短手方向（Ｘ軸方向）の一端部であって、長手方向（Ｚ´軸方向）の両端部に形成されている。
第１マウント部２１は、圧電板１１の平面視略中央から見て（−Ｘ，＋Ｚ´）方向に位置する角部に形成されている。第１マウント部２１は、圧電板１１の一方主面１１Ａ上に形成された一方の第１マウント電極３１Ａと、他方主面１１Ｂ上に形成された他方の第１マウント電極３１Ｂと、を有する。一方の第１マウント電極３１Ａは、平面視矩形状に形成され、一方の励振電極３４Ａに対して引き回し配線３６Ａを介して接続されている。他方の第１マウント電極３１Ｂは、平面視において一方の第１マウント電極３１Ａと重なるように形成されている。
一方の第１マウント電極３１Ａと、他方の第１マウント電極３１Ｂとは、第１マウント部２１の−Ｘ方向に面する側面、および＋Ｚ´方向に面する側面に形成された第１側面電極３７を介して相互に接続されている。
【００１９】
第２マウント部２２は、圧電板１１の平面視略中央から見て（−Ｘ，−Ｚ´）方向に位置する角部に形成されている。第２マウント部２２は、圧電板１１の一方主面１１Ａ上に形成された一方の第２マウント電極３２Ａと、他方主面１１Ｂ上に形成された他方の第２マウント電極３２Ｂと、を有する。一方の第２マウント電極３２Ａは、平面視矩形状に形成されている。他方の第２マウント電極３２Ｂは、平面視において一方の第２マウント電極３２Ａと重なるように形成されている。他方の第２マウント電極３２Ｂは、他方の励振電極３４Ｂに対して、引き回し配線３６Ｂを介して接続されている。
一方の第２マウント電極３２Ａと、他方の第２マウント電極３２Ｂとは、第２マウント部２２の−Ｘ方向に面する側面、および−Ｚ´方向に面する側面に形成された第２側面電極３８を介して相互に接続されている。
【００２０】
次いで、圧電振動片１０を備える圧電振動子１について説明する。
図２は、第１実施形態に係る圧電振動子の分解斜視図である。図３は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面図である。なお、図３では、わかりやすくするために第２マウント電極３２の膜厚を誇張して図示している（以下の断面図についても同様）。
図２に示すように、本実施形態の圧電振動子１は、パッケージ５のキャビティＣの内部に圧電振動片１０を収容したものである。パッケージ５は、ベース基板２とリッド基板３とを重ね合わせて形成されている。
【００２１】
ベース基板２は、矩形板状に形成された底壁部２ａと、底壁部２ａの周縁部から立設された側壁部２ｂと、を備えている。底壁部２ａおよび側壁部２ｂは、セラミック材料等により形成されている。
キャビティＣの内部における底壁部２ａの表面には、一対の内部電極７が形成されている。一対の内部電極７は、所定方向に離間して形成されている。また、キャビティＣの外部における底壁部２ａの表面には、一対の外部電極（不図示）が形成されている。そして、底壁部２ａを厚さ方向に貫通する貫通電極（不図示）により、内部電極７と外部電極とが接続されている。なお、内部電極７と外部電極との接続形態はこれに限定されるものではなく、例えば、セラミックシートの面方向に延出する配線を介して、内部電極７と外部電極とを接続する形態であってもよい。
また、リッド基板３は、セラミック材料等により、矩形板状に形成されている。リッド基板３の周縁部は、ベース基板２の側壁部２ｂの端面に接着されている。そして、ベース基板２の底壁部２ａおよび側壁部２ｂとリッド基板３とで囲まれた領域に、キャビティＣが形成されている。
【００２２】
図３に示すように、キャビティＣの内部には、圧電振動片１０が収容されている。圧電振動片１０は、導電ペースト等の実装部材９を介して、ベース基板２の底壁部２ａに実装される。より具体的には、ベース基板２の底壁部２ａに形成された一対の内部電極７に対して、圧電振動片１０の一対のマウント部２１，２２が有する第１マウント電極３１および第２マウント電極３２が実装部材９を介して実装される。これにより、圧電振動片１０は、パッケージ５に機械的に保持されると共に、第１マウント電極３１および第２マウント電極３２と内部電極７とがそれぞれ導通された状態となっている。
【００２３】
このように、本実施形態の圧電振動片１０は、平面視で矩形状に形成された圧電板１１と、圧電板１１の主面中央領域に形成された振動部１２と、圧電板１１を実装する一対のマウント部２１、２２とを備えており、一対のマウント部２１，２２は、圧電板１１における短手方向の一端部であって、圧電板１１における長手方向の両端部に形成されている。
この構成によれば、圧電振動片１０を実装する際に、矩形状の圧電板１１を、圧電板１１の短手方向の一端部に形成された一対のマウント部２１，２２により支持するため、従来構造のように長手方向の一端部において支持する場合と比べて、マウント部２１，２２を中心とするモーメントが小さくなる。これにより、マウント部２１，２２にかかる応力が低減するため、圧電振動片１０の小型化によりマウント部２１，２２が縮小し、実装時の固定力が減少する場合であっても、マウント部２１，２２における破損を抑制できる。したがって、耐久性に優れた小型な圧電振動片１０が得られる。
【００２４】
また、マウント部を振動板における短手方向の中央近傍に設ける構造と比べ、マウント部２１，２２と励振電極３４との距離が長くなる。このため、振動部１２で生じた振動がマウント部２１，２２に伝播する際の伝搬距離を長くすることができるので、振動部１２で生じた振動を十分に減衰させることができ、マウント部２１，２２から振動エネルギーが外部に漏れる所謂振動漏れの課題を低減することができる。
【００２５】
また、圧電板１１は、ＡＴカット水晶基板により形成され、圧電板１１の長手方向が、Ｚ´軸方向に沿う。ここで、ＡＴカット水晶基板の主振動モードである厚みすべり振動は、Ｘ軸方向に大きく変位する振動である。このため、圧電振動片１０をＸ軸方向に直交するＺ´軸方向に沿った２点で片持ち支持することで、マウント部２１，２２は振動部１２のＸ軸方向の変位を妨げない。マウント部が振動部の変位を妨げる場合は、振動部やマウント部において不要振動が生じやすく、その結果、所望の振動特性を得ることが困難になるが、本実施形成の構成によれば、マウント部２１，２２の配置方向と振動部１２の変位方向とが直交関係にあるので、これらの方向が同一方向である場合と比較すると、不要振動の発生を顕著に低減することが可能になる。
【００２６】
また、圧電板１１の長手方向における外形寸法は、圧電板１１の短手方向における外形寸法の１．４倍以下であるため、圧電振動片１０は、例えば平面視で正方形状に近い小型なパッケージへの実装に対応することができる。
【００２７】
また、本実施形態の圧電振動子１は、圧電振動片１０と、圧電振動片１０のマウント部２１，２２が実装されるパッケージ５と、を備えているため、耐久性に優れた小型な圧電振動子１が得られる。
【００２８】
［第２実施形態］
次に、第２実施形態の圧電振動子および圧電振動片について説明する。
図４は、第２実施形態に係る圧電振動子の断面図であり、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に相当する部分における断面図である。図５は、第２実施形態に係る圧電振動片の底面図である。
図４および図５に示す第２実施形態の圧電振動片１１０は、振動部１１２がマウント部１２１，１２２よりも薄く形成されている点で、第１実施形態の圧電振動片１０と異なっている。なお、第１実施形態と同様の構成については、同一符号を付して詳細な説明を省略する（以下の実施形態についても同様）。
【００２９】
図４に示すように、圧電振動子１０１は、実装部材９を介してパッケージ５に実装された圧電振動片１１０を有する。なお、実装部材９としては、導電性接着剤、ペースト剤などを適用できる。
図４および図５に示すように、圧電振動片１１０が備える圧電板１１１は、＋Ｙ´方向に振動部１１２における他方主面１１１Ｂよりも一段高く形成された第１マウント部１２１および第２マウント部１２２を有する。
【００３０】
第１マウント部１２１は、圧電板１１１の側面および段差部１１５により平面視矩形状に規定されている。段差部１１５は、第１マウント電極３１Ｂの周囲における、第１マウント電極３１Ｂから見て＋Ｘ側および−Ｚ´側に連続して形成されている。第１マウント部１２１の主面１２１ａは、圧電板１１１の他方主面１１１Ｂと平行に形成されている。
【００３１】
第２マウント部１２２は、圧電板１１１の側面および段差部１１６により平面視矩形状に規定されている。段差部１１６は、第２マウント電極３２Ｂの周囲における、第２マウント電極３２Ｂから見て＋Ｘ側および＋Ｚ´側に連続して形成されている。第２マウント部１２２の主面１２２ａは、圧電板１１１の他方主面１１１Ｂと平行に形成されている。
振動部１１２は、マウント部１２１，１２２の周囲において、マウント部１２１，１２２よりも薄くなっている。
【００３２】
図４に示すように、圧電振動片１１０は、圧電板１１１の他方主面１１１Ｂをベース基板２の底壁部２ａに対向させた状態で実装されている。このとき、第１マウント部１２１の主面１２１ａ、および第２マウント部１２２の主面１２２ａが、実装部材９を介してパッケージ５の内部電極７に対して実装されている。
【００３３】
このように、本実施形態の圧電振動片１１０は、振動部１１２が、マウント部１２１，１２２の周囲において、マウント部１２１，１２２よりも薄く形成されている。このため、圧電振動片１１０は、パッケージ５に実装された状態において、マウント部１２１，１２２を中心とするモーメントが発生しても、マウント部１２１，１２２に作用する応力を、薄く形成された振動部１１２において緩和できる。したがって、より耐久性に優れた圧電振動片１１０が得られる。
【００３４】
また、圧電振動片１１０をパッケージ５に実装する際に、他方主面１１１Ｂよりも一段高いマウント部１２１，１２２の主面１２１ａ，１２２ａに実装部材９を接触させることで、実装部材９が主面１２１ａ，１２２ａから濡れ広がり、振動部１１２に付着することを防止できる。これにより、圧電振動片１１０の振動特性のばらつきを抑制できる。
【００３５】
なお、本実施形態では、圧電振動片１１０は、圧電板１１１の他方主面１１１Ｂ側におけるマウント部１２１，１２２の主面１２１ａ，１２２ａに実装部材９を接触させてパッケージ５に実装されているが、これに限定されない。圧電振動片１１０は、圧電板１１１の一方主面１１１Ａ側におけるマウント部１２１，１２２の主面に実装部材９を接触させてもよい。この場合、上述したマウント部１２１，１２２に作用する応力を振動部１１２において緩和する効果を得ることができる。
【００３６】
また、本実施形態では、マウント部１２１，１２２が圧電板１１１の厚さ方向（Ｙ´軸方向）の一方のみに突出しているが、これに限定されるものではない。
図６および図７は、第２実施形態に係る他の圧電振動片の断面図であり、図５のＶＩ−ＶＩ線に相当する部分における断面図である。
【００３７】
図６に示すように、マウント部１２１，１２２は、それぞれ振動部１２における一方主面１１１Ａおよび他方主面１１１Ｂよりも一段高くなっていてもよい。このように構成することで、圧電振動片１１０をパッケージ５に実装する際に、圧電板１１１の両主面１１１Ａ，１１１Ｂのいずれをベース基板２の底壁部２ａに対向させても、マウント部１２１，１２２の一段高く形成された主面１２１ａ，１２２ａに実装部材９を接触させることができる。したがって、圧電振動子１０１の製造効率が向上し、低コストに製造できる。
【００３８】
また、図７に示すように、圧電振動片１１０は、振動部１１２が圧電板１１１の両主面１１１Ａ，１１１Ｂから突出した厚肉部１１２ａを有する、いわゆるメサ形状の圧電振動片であってもよい。この場合、厚肉部１１２ａおよびマウント部１２１，１２２は、それぞれが独立して圧電板１１１の両主面１１１Ａ，１１１Ｂから突出するように形成されている。これにより圧電振動片１１０は、上記の作用効果に加えて、振動エネルギーを厚肉部１１２ａ内に閉じ込め、マウント部１２１，１２２へ振動が伝搬することを抑制できる。なお、図７では、厚肉部１１２ａとして１段のメサ形状が開示されているが、本発明はこれに限られるものではない。厚肉部１１２ａとして、複数段のメサ部を有する形状であってもよい。さらに、両主面１１１Ａ、１１１Ｂの少なくとも一方の主面に厚肉部１１２ａが形成される構成であってよい。
【００３９】
なお、図７に示す圧電振動片１１０においては、厚肉部１１２ａおよびマウント部１２１，１２２の高さは特に限定されないが、厚肉部１１２ａおよびマウント部１２１，１２２を同じ高さとすることが好ましい。この構成によれば、厚肉部１１２ａとマウント部１２１，１２２とを、圧電板１１１の形成時に同時に形成できるため、製造工程を簡略化できる。
また、図７に示す圧電振動片１１０では、厚肉部１１２ａの主面が圧電板１１１の両主面１１１Ａ，１１１Ｂから一段高くなるように形成されているが、厚肉部の主面は、圧電板１１１の両主面１１１Ａ，１１１Ｂから多段に高くなるように形成されてもよい。
【００４０】
［第２実施形態の変形例］
次に、第２実施形態の変形例の圧電振動子２０１について説明する。
図８は、第２実施形態の変形例に係る圧電振動子の断面図であり、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に相当する部分における断面図である。
図４に示す第２実施形態の圧電振動子１０１は、実装部材９を圧電振動片１１０のマウント部１２１，１２２の主面１２１ａ，１２２ａのみに接触させている。これに対して、図８に示す変形例の圧電振動子２０１は、実装部材９を圧電振動片１１０のマウント部１２１，１２２の主面１２１ａ，１２２ａと側面１２１ｂ，１２２ｂ（図５参照）とに接触させている点で、第２実施形態と異なっている。なお、第２実施形態と同様の構成については、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
【００４１】
図８に示すように、圧電振動子２０１は、圧電振動片１１０が実装部材９を介してパッケージ５に実装されている。圧電振動子２０１では、実装部材９が圧電振動片１１０のマウント部１２１，１２２における主面１２１ａ，１２２ａから、マウント部１２１，１２２における側面１２１ｂ，１２２ｂに亘って接触している。
【００４２】
このように、本変形例の圧電振動子２０１は、マウント部１２１，１２２の主面１２１ａ，１２２ａとマウント部１２１，１２２の側面１２１ｂ，１２２ｂとに接触する実装部材９を有する。この構成によれば、圧電振動片２１０は、実装部材９により少なくとも２方向から固定されるので、互いに固着された圧電振動片１１０と実装部材９とが剥がれにくくなる。したがって、より耐久性に優れた圧電振動子２０１が得られる。
【００４３】
［第３実施形態］
次に、第３実施形態の圧電振動片について説明する。
図９は、第３実施形態に係る圧電振動片の平面図である。
図９に示す圧電振動片３１０は、マウント部３２１，３２２が圧電板３１１から圧電板３１１の面方向（ＸＺ´平面方向）に沿って突出している点で、第１実施形態の圧電振動片１０と異なっている。
【００４４】
図９に示すように、圧電板３１１は、平面視長方形状の振動部３１２と、圧電板３１１から突出した一対のマウント部３２１，３２２と、を有する。
一対のマウント部３２１，３２２は、圧電板３１１の短手方向（Ｘ軸方向）の一端部であって、長手方向（Ｚ´軸方向）の両端部に形成されている。即ち、長手方向に離間した角部から圧電板３１１の平面方向外側に向けて突出するように形成されている。
なお、本実施形態では、マウント部３２１、３２２の形状は上面視において矩形状となっているが、マウント部３２１、３２２の形状はこれに限られるものではない。上述した圧電板３１１の角部から（−Ｘ、＋Ｚ´）方向、及び（−Ｘ、−Ｚ´）方向に延びる平行四辺形形状であってもよい。そして、平行四辺形形状の先端において、ベース基板２上に実装されていてもよい。この場合は、圧電振動片３１０の実装位置と、振動部３１２との距離をさらに遠ざけることができるので、実装位置において振動がベース基板２に漏れる可能性を低減できる。
【００４５】
第１マウント部３２１は、振動部３１２の（−Ｘ，＋Ｚ´）方向に位置する角部において、振動部３１２の−Ｘ方向に面する側面と接するように配置されている。また、第１マウント部３２１は、振動部３１２の＋Ｚ´方向に面する側面から＋Ｚ´側に突出するように配置されている。
第１マウント部３２１は、主面上に形成された第１マウント電極３３１と、側面上に形成された第１側面電極３３７と、を有する。第１マウント電極３３１および第１側面電極３３７は、第１マウント部３２１の全面を覆うように形成されている。第１マウント電極３３１は、圧電板３１１の一方主面３１１Ａ上において、引き回し配線３３６Ａを介して振動部３１２に形成された一方の励振電極３４Ａに接続されている。
【００４６】
第２マウント部３２２は、振動部３１２の（−Ｘ，−Ｚ´）方向に位置する角部において、振動部３１２の−Ｘ方向に面する側面と接するように配置されている。また、第２マウント部３２２は、振動部３１２の−Ｚ´方向に面する側面から−Ｚ´側に突出するように配置されている。
第２マウント部３２２は、主面上に形成された第２マウント電極３３２と、側面上に形成された第２側面電極３３８と、を有する。第２マウント電極３３２は、第２マウント部３２２の全面を覆うように形成されている。第２マウント電極３３２は、圧電板３１１の他方主面３１１Ｂ上において、引き回し配線３３６Ｂを介して振動部３１２に形成された他方の励振電極３４Ｂに接続されている。
【００４７】
このように、本実施形態の圧電振動片３１０は、マウント部３２１，３２２が圧電板３１１の面方向（ＸＺ´平面方向）に沿って圧電板３１１から突出している。この構成によれば、マウント部３２１，３２２が圧電板３１１から突出しているため、圧電振動片３１０を実装する際に、濡れ広がった実装部材９が圧電板３１１、特に振動部３１２に付着することを抑制できる。これにより圧電振動片３１０の振動特性のばらつきを抑制できる。
【００４８】
なお、マウント部３２１，３２２は、図５に示す圧電振動片１１０のマウント部１２１，１２２と同様に、圧電板３１１の他方主面３１１Ｂから＋Ｙ´方向に一段高く形成されてもよい。この構成によれば、圧電振動片３１０を実装する際に、実装部材が振動部３１２へ濡れ広がることをより確実に抑制できる。また、図７を参照して説明したように、圧電振動片３１０は、振動部３１２の両主面３１１Ａ，３１１Ｂに厚肉部を設け、所謂メサ形状としてもよい。その場合は、マウント部３２１、３２２の厚さと、厚肉部の厚さ（表裏の厚肉部の頂面間の距離）とを同じ厚さにしてもよい。さらには、この場合に、マウント部３２１、３２２の主面と、内側側面、外側側面の少なくとも一方とにわたって実装部材９が接触するようにしてもよい。これにより、圧電振動片３１０の実装強度が向上し、耐久性に優れた圧電振動子３０１を得ることが可能になる。
【００４９】
なお、本発明は、図面を参照して説明した上述の実施形態に限定されるものではなく、その技術的範囲において様々な変形例が考えられる。
例えば、上記実施形態においては、振動部が平板状の圧電振動片や、いわゆるメサ型の圧電振動片を用いているが、これに限定されず、例えばいわゆるベベル型やコンベックス型の圧電振動片を用いてもよい。
また、圧電板上に形成される電極パターンは上述したパターンに限られるものではない。例えば、図１０に示すように、マウント電極４３１，４３２がＺ´軸方向に延びた形状としてもよい（Ｘ軸方向の寸法よりもＺ´軸方向の寸法が長くなる形状）。かかる構成の場合、振動部１２の変位方向と直交する方向にマウント電極４３１，４３２を延ばしているので、振動特性を低下させることなく、マウント部４２１，４２２の実装面積を大きくすることが可能になる。また、図１１に示すように、励振電極３４とマウント電極３１，３２とを接続する際に、まず、励振電極３４からＸ軸方向に電極を延ばし、その後、Ｚ´軸方向に沿ってマウント電極３１，３２まで電極を接続するパターンであってもよい。この場合は、図１に図示するパターンと比較すると、励振電極３４からマウント電極３１，３２までの電極上の距離を長くすることができるので、電極伝いに伝播する振動エネルギーを充分に減衰させることができる。よって、振動漏れの課題を低減できる。
さらには、上記実施形態では、水晶の結晶軸のＺ´軸方向を圧電板の長手方向としていたが、水晶の結晶軸のＸ軸方向を長手方向とする構成であってもよい。この場合は、−Ｘ軸側において、＋Ｚ´軸側、−Ｚ´軸側の両端部に、圧電板の面方向に突出する矩形状又は平行四辺形状のマウント部が形成されていればよい。
また、マウント部４２１、４２２は、圧電板における短手方向の一端部の角部近傍に形成されるのみならず、短手方向における一方の端部側と、他方の端部側に形成されていてもよい。即ち、対角上に位置するようにマウント部４２１、４２２が形成されていてもよい。
【００５０】
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施の形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１，１０１，２０１…圧電振動子  ５…パッケージ  ９…実装部材  １０，１１０，３１０…圧電振動片  １１，１１１，３１１…圧電板  １２，１１２，３１２…振動部  ２１，２２，１２１，１２２，３２１，３２２，４２１，４２２…マウント部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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