(57)【要約】【課題】各種の走査釦を有する操作パネルを備えることなく、しかも各種の機能的な操作を達成できるようにしたコンパクトな走査型電子顕微鏡を提供する。【解決手段】観察画像を表示する表示装置２６の前面側に抵抗膜式タッチパネル４６を備え、液晶表示装置４５が行なう機能表示を抵抗膜式タッチパネル４６によって選択することにより、対応する機能が実現されるようにする。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子線を試料に対して相対的に走査しながら照射し、前記試料からの２次電子を検出器によって検出し、走査位置に対する前記２次電子の検出出力から観察画像を形成するようにした走査型電子顕微鏡において、
前記観察画像を形成して表示する表示装置の表面に透明な入力パネルを備え、該入力パネルによって入力操作が行なわれるようにした走査型電子顕微鏡。
【請求項２】
前記表示装置が液晶表示装置である請求項１に記載の走査型電子顕微鏡。
【請求項３】
前記入力パネルが透明なタッチパネルから構成され、前記表示装置が表示する機能表示の部位をタッチすると、前記機能表示の機能が行なわれる請求項１または請求項２に記載の走査型電子顕微鏡。
【請求項４】
前記入力パネルが抵抗膜式タッチパネルである請求項３に記載の走査型電子顕微鏡。
【請求項５】
前記機能表示が半透明の表示であって、前記表示装置の表示画面上の観察画像の上に重畳して表示される請求項３または請求項４に記載の走査型電子顕微鏡。
【請求項６】
前記タッチパネルによって機能の選択を行なうと、該機能に不要な機能表示が消去されるとともに、選択された前記機能に必要な表示が行なわれる請求項３〜請求項５の何れかに記載の走査型電子顕微鏡。
【請求項７】
前記観察画像の任意の位置を前記タッチパネルによって指示すると、前記指示された位置が中心となるように前記観察画像が表示される請求項３〜請求項５の何れかに記載の走査型電子顕微鏡。
【請求項８】
前記表示装置が表示する機能表示の倍率の機能を前記タッチパネルによって選択すると、選択された倍率で前記観察画像が表示される請求項３〜請求項５の何れかに記載の走査型電子顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は走査型電子顕微鏡に係り、とくに電子線を試料に対して相対的に走査しながら照射し、前記試料からの２次電子を検出器によって検出し、走査位置に対する２次電子の検出出力から画像を形成するようにした走査型電子顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体を製造する場合には、シリコンウエハ上に化学処理を施して配線パターンを形成し、シリコンウエハ上に形成された各素子を上記配線パターンを介して接続する。従って、配線パターンが正しく形成されかつ正しく接続されないと、半導体が正しい動作を行なわない状態が発生し、不良品の発生に繋がる。そこで半導体の製造プロセスにおいて、半導体ウエハ上に形成される描画パターンが正しく形成されているかどうかをチェックするために、例えば特開２００６−１３８８６４号公報に開示されているように、走査型電子顕微鏡を用いて検査あるいは評価を行なうようにしている。
【０００３】
このような走査型電子顕微鏡は、試料の観察画像を、この電子顕微鏡に備えられ、あるいはこの電子顕微鏡に接続された表示装置によって表示されるようになっている。表示装置としては、例えば液晶表示装置や陰極線管等の各種の表示が用いられる。一方でこのような走査型電子顕微鏡によって観察画像を得るためには、画像の倍率、観察位置、その他の各種の表示のための機能の選択を行なうことになる。このような目的のために、操作盤上に操作釦や操作つまみ等の各種の操作手段が設けられている。例えば画像の大きさや倍率を変更する場合には、操作パネル上の画像の倍率変更のつまみを操作することになる。従って操作パネルによって電子顕微鏡の大きさが大きくなるとともに、電子顕微鏡の外観を損なう欠点があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−１３８８６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本願発明の課題は、各種の操作つまみ等の操作手段を有する操作パネルを無くした走査型電子顕微鏡を提供することである。
【０００６】
本願発明の別の課題は、操作パネルを無くすことによって全体の大きさ、とくに筐体の大きさのコンパクト化を図るようにした走査型電子顕微鏡を提供することである。
【０００７】
本願発明のさらに別の課題は、対応する操作つまみを用いることなくしかも各種の機能を達成できるようにした走査型電子顕微鏡を提供することである。
【０００８】
本願発明のさらに別の課題は、観察画像を損なうことなくしかも観察画像の上に機能表示を重畳して行ない、機能表示の部分に接触するとその機能が達成されるようにした走査型電子顕微鏡を提供することである。
【０００９】
本願発明のさらに別の課題は、表示装置の画面上に設けられた機能選択のための表示をタッチするだけで、対応する機能を行なうことができるようにした走査型電子顕微鏡を提供することである。
【００１０】
本願発明の上記の課題および別の課題は、以下に述べる本願発明の技術的思想、およびその実施の形態によって明らかにされる。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本願の主要な発明は、電子線を試料に対して相対的に走査しながら照射し、前記試料からの２次電子を検出器によって検出し、走査位置に対する前記２次電子の検出出力から観察画像を形成するようにした走査型電子顕微鏡において、
前記観察画像を形成して表示する表示装置の表面に透明な入力パネルを備え、該入力パネルによって入力操作が行なわれるようにした走査型電子顕微鏡に関するものである。
【００１２】
ここで、前記表示装置が液晶表示装置であってよい。また前記入力パネルが透明なタッチパネルから構成され、前記表示装置が表示する機能表示の部位をタッチすると、前記機能表示の機能が行なわれてよい。また前記入力パネルが抵抗膜式タッチパネルであってよい。また前記機能表示が半透明の表示であって、前記表示装置の表示画面上の観察画像の上に重畳して表示されてよい。
【００１３】
また、前記タッチパネルによって機能の選択を行なうと、該機能に不要な機能表示が消去されるとともに、選択された前記機能に必要な表示が行なわれてよい。また前記観察画像の任意の位置を前記タッチパネルによって指示すると、前記指示された位置が中心となるように前記観察画像が表示されてよい。また前記表示装置が表示する機能表示の倍率の機能を前記タッチパネルによって選択すると、選択された倍率で前記観察画像が表示されてよい。
【００１４】
なお本願の各請求項に係る発明は、独立行政法人産業技術総合研究所の主導のもとになされた戦略的基盤技術高度化支援事業の中で創出されたものである。
【発明の効果】
【００１５】
本願の主要な発明は、電子線を試料に対して相対的に走査しながら照射し、前記試料からの２次電子を検出器によって検出し、走査位置に対する前記２次電子の検出出力から観察画像を形成するようにした走査型電子顕微鏡において、前記観察画像を形成して表示する表示装置の表面に透明な入力パネルを備え、該入力パネルによって入力操作が行なわれるようにしたものである。
【００１６】
従ってこのような走査型電子顕微鏡によると、観察画像を表示する表示装置の表面の透明な入力タッチパネルによって、入力操作が行なわれ、この入力操作に応じた機能が行なわれることになる。従って、表示装置が入力操作のための入力手段を兼用することになり、操作パネルを必要としない走査型電子顕微鏡を提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施の形態に係る走査型電子顕微鏡のブロック図である。
【図２】同電子顕微鏡の外観斜視図（Ａ）、および各ユニットの筐体内における配置を示す縦断面図（Ｂ）である。
【図３】観察画像を表示する表示装置の分解斜視図である。
【図４】タッチパネルと液晶表示装置とを離して描いた表示装置の平面図である。
【図５】抵抗膜式タッチパネルの要部分解斜視図である。
【図６】抵抗膜式タッチパネルの入力動作を示す拡大断面図である。
【図７】表示装置の制御回路のブロック図である。
【図８】表示装置による表示画面を示す平面図である。
【図９】表示装置による別の表示画面を示す平面図である。
【図１０】機能表示の動作を示すフローチャートである。
【図１１】表示装置の制御を示すフローチャートである。
【図１２】観察画面の倍率の変更の動作を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下本願発明を図示の実施の形態によって説明する。図１は本実施の形態に係る走査型電子顕微鏡のシステム構成を示すものであって、この走査型電子顕微鏡は電子光学系１０を備えている。電子光学系１０は、電子を発生させる電子線源を有するとともに、高真空ポンプ１１を備え、この高真空ポンプ１１によって内部を真空状態に維持するようにしている。そして電子光学系１０の下側には真空チャンバ１４が配され、この真空チャンバ１４の内部であって底面側にステージ１５が配されている。
【００１９】
真空チャンバ１４の側部には搬送系１７が設けられ、真空チャンバ１４の真空を破ることなく搬送系１７から試料１６が供給され、ステージ１５上に載置されるようになっている。真空チャンバ１４は、その下部に配されたダイヤフラムポンプ１８とターボ分子ポンプ１９とによって真空吸引されて所定の真空度に維持されるようになっている。そして真空チャンバ１４が載置台２０上に載置されるとともに、とくにダイヤフラムポンプ１８とターボ分子ポンプ１９とによる振動の影響を受けないように、除振システム２１を介して支持されている。
【００２０】
真空チャンバ１４の側部には２次電子検出器２３が取付けられている。２次電子検出器２３は、試料１６に電子光学系１０によって電子線を照射したときに発生する２次電子の強度を検出するためのものであって、その検出出力が制御系の中の信号処理系２４に供給され、この後信号処理系２４で処理された信号が画像処理系２５に転送される。画像処理系２５は、信号処理系２４を介して取り出した２次電子の強度であって、各走査位置における試料１６の表面の２次電子の強度から観察画像を形成し、この観察画像を表示装置２６に出力する。
【００２１】
制御系は、さらに高圧電源２９、レンズ制御系３０、ステージ制御系３１、真空制御系３２を備えている。高圧電源２９は、電子光学系１０の部分に高圧電源を印加するためのものである。レンズ制御系３０は、電子光学系１０内の各レンズの制御を行なう。ステージ制御系３１は、真空チャンバ１４内のステージ１５の制御を行ない、試料１６を電子光学系１０の電子線に対して所定の方向に走査させる。
【００２２】
このような構成に係る走査型電子顕微鏡の各ユニットは、図２Ａに示す外筐３５内に収納される。なお外筐３５はその下部に４つの支持脚３６を備えるとともに、外筐３５の前面側に凹部３７が形成されている。この凹部３７には操作子３８が設けられている。そして凹部３７の上部に上記表示装置２６が取付けられている。
【００２３】
外筐３５内における各ブロックの配置は、図２Ｂに示すようになっており、最上部には高圧電源２９が収納され、その下にレンズ制御系３０と信号処理系２４とが収納されている。そしてその下側には中間搬送系１７が配置されており、その下側に電子光学系１０が取付けられている。上記電子光学系１０の側部には高真空ポンプ１１が接続されている。そして電子光学系１０の下側に真空チャンバ１４が設けられている。真空チャンバ１４は、載置台２０上に載置されるとともに、載置台２０の下側に防振システム２１、ターボ分子ポンプ１９、ダイヤフラムポンプ１８が収納される構造になっている。
【００２４】
次に表示装置２６の構成について説明する。表示装置２６は図３および図４に示すように、背面側の液晶表示装置４５と、この液晶表示装置４５の前面であって表示面の上に重ねるように取付けられている抵抗膜式タッチパネル４６とから構成されている。抵抗膜式タッチパネル４６は透明であるために、このタッチパネル４６を介して液晶表示装置４５の表示画面が前方から見えるようになっている。
【００２５】
次に上記抵抗膜式タッチパネル４６の構成を説明すると、図５に示すように、ここでは透明抵抗膜５１、５２を備えている。透明抵抗膜５１には、その左辺と右辺とにそれぞれ電極６１、６２がＹ軸方向、すなわち縦方向に延びるように形成されている。これに対して透明抵抗膜５２には、その上側の端部と下側の端部とに、Ｘ軸方向すなわち横方向に沿って帯状に電極６３、６４が延びて形成されている。また透明抵抗膜５１の電極６１、６２には、それぞれトランジスタ５５、５６が接続されている。トランジスタ５６のエミッタにはＸ軸方向の座標を検出する出力端子５９が接続され、トランジスタ５８のエミッタには、Ｙ軸方向の座標を検出する出力端子６０が接続されている。
【００２６】
上記抵抗膜式タッチパネル４６を構成する一対の透明抵抗膜５１、５２の間には、図６に示すように、球状を成すスペーサ４７が配設されている。スペーサ４７は絶縁体の粒であって、直径が０．０５ｍｍ程度の大きさで、透明電極膜５１、５２の隙間に配置されている。指で一方の抵抗膜５２を押すと、スペーサ４７間の部分で両側の抵抗透明膜５１、５２が互いに接触して通電される。しかもこのような透明抵抗膜５１、５２から成るタッチパネル４６は、透明であることから、液晶表示装置４５の表示画面をこのタッチパネル４６を介して前方から見ることができる。
【００２７】
今タッチパネル４６の押下位置ＰのＸ座標を検出する場合に、図５のトランジスタ５５、５６をＯＮにし、トランジスタ５７、５８をＯＦＦにする。これにより、抵抗膜５１の左側の電極６１に電圧Ｖｏが印加され、同透明膜５１の右側の電極６２は接地される。そしてＰ点が押下されると、第１の抵抗膜５１と第２の抵抗膜５２とがＰ点で接触する。このときにＰ点に生ずる電極をＶｘｐとすると、
Ｖｘｐ／Ｖｏ＝Ｘｐ／Ｌｘ
となる。ここでＬｘは、抵抗膜５１の両側の電極６１、６２間の距離であり、Ｘｐは透明膜５１の左側の電極６１とＰ点との間のＸ軸方向の距離である。上記の式から、
Ｘｐ＝（Ｖｘｐ／Ｖ０）・Ｌｘとなる。
【００２８】
一方Ｙ座標を検出する場合には、図５のトランジスタ５５、５６をＯＦＦし、トランジスタ５７、５８をＯＮにする。これによって、抵抗膜５２の上側の電極６３に電圧Ｖ０が印加され、同抵抗膜５２の電極６４が接地される。そして透明膜５２の両側の電極６３、６４間の距離をＬｙとし、Ｐ点と一方の電極６３との間のＹ軸方向の距離をＹｐとすると、次の式が成立する。
Ｖｙｐ／Ｖｏ＝Ｙｐ／Ｌｙ
Ｙｐ＝（Ｖｙｐ／Ｖｏ）・Ｌｙ
となる。これによってＹ軸方向のＰ点の座標が求められる。
【００２９】
次に表示装置２６およびタッチパネル４６の制御ブロックについて説明する。図７はこのような制御ブロックを示すものであって、タッチパネル４６の制御部は、位置検出部６５と信号処理部６６とから構成される。そして信号処理部６６のＡ／Ｄ変換部６７には、透明膜５１、５２の電極６２、６４の電圧が、トランジスタ５５〜５８のＯＮ・ＯＦＦに応じて選択的に供給される。Ａ／Ｄ変換部６７は、供給された電圧をＡ／Ｄ変換部６７によってデジタル信号に変換し、変換後のデジタル値を座標検出回路６８に供給する。座標検出回路６８は、抵抗膜式タッチパネル４６の動作全体を制御する。例えばトランジスタ５５、５６とトランジスタ５７、５８とを、所定の周期で交互にＯＮ・ＯＦＦし、抵抗膜５１の右側の電極６２と抵抗膜５２の下側の電極６４の電圧のデジタル値を取得する。座標検出回路６８は、取得したデジタル値からタッチパネル４６の押下点の座標ＸＰ，ＹＰを算出し、算出した座標（ＸＰ，ＹＰ）を画像処理系２５に供給する。
【００３０】
表示装置２６は、液晶表示装置等のパネル状の表示装置から構成される。表示装置２６は、画像処理系２５から供給される画像信号に従って、様々な画像、例えば観察者に伝達すべき情報としての観察画像を表示画面に表示する。
【００３１】
画像処理系２５は、図７に示すように、座標入力部７１、ＲＯＭ７２、制御・処理部７３、ＲＡＭ７４、表示制御部７５、補助記憶装置７６等を備える。さらにインターフェイス７７を介して、この走査型電子顕微鏡のステージ制御部３１、レンズ制御系３０、および検出器２３と接続され、これらの装置との間で信号の授受を行なう。
【００３２】
画像処理系２５の制御・処理部７３は、マイクロプロセッサ等から構成され、補助記憶装置７６に記憶されているプログラムをＲＡＭ（主メモリ）７４に読込んで実行し、プログラムにより命令される種々な画像処理およびデータ処理を実行する。ＲＡＭ７４は、制御・処理部７３の主メモリおよびワークメモリとして機能する。表示制御部７５は、制御・処理部７３の指示に従って、表示すべき画像データを表示装置２６に供給する。補助記憶装置７６は、制御・処理部７３が実行すべきプログラムを記憶する。
【００３３】
次に以上のような構成に係る走査型電子顕微鏡の概略の動作を、図１および図２によって説明する。電子光学系１０の電子線源によって出射された電子線は、この電子光学系１０の各ユニットを通過し、対物レンズによって集束されて、ステージ１５上に載置された試料１６に照射される。ここでステージ１５がステージ制御系３１によって所定の方向に試料１６を移動させるために、対物レンズを通して照射される電子線は、ステージ１５上の試料１６に対して相対的に所定の方向に走査されることになる。そしてこのときの各走査位置における試料１６から出射される２次電子が２次電子検出器２３によって検出され、その検出出力が信号処理系２４で処理される。処理された信号が画像処理系２５に供給され、この画像処理系２５によって、各走査位置に応じた２次電子の強度から画像が形成される。画像処理系２５で形成された画像は表示装置２６によって表示される。
【００３４】
ここで表示装置２６は、抵抗膜式タッチパネル４６をその前面に備えており、表示装置２６による画像の表示を遮ることなく、しかも各種の入力の動作を可能にしている。タッチパネル４６によって所定の入力操作が行なわれると、これに関連ずけられて対応したプログラムが起動されるようになり、画像処理系２５の制御・処理部７３で各種の処理を実行する。画像処理系２５は、操作の段階で、ユーザ（観察者）からの入力あるいは指示が必要な場合には、入力用の画面をこの表示装置２６の液晶表示画面４５によって表示する。従って、このような表示に応答して、タッチパネル４６で所定の入力動作を行なうと、これに応じた機能が達成され、表示装置２６はこの機能に応じた出力を行なう。
【００３５】
次に表示装置２６の具体的な表示画面について図８により説明する。表示画面は、その大半の領域に観察画面８０が表示されるとともに、右側の部分には、補助機能選択ボタン８９と、ステージ位置表示９０とがなされる。さらに上記観察画面８０上には、画質調整スライドバー８１、画像情報表示バー８２、画像シフト用スライドバー８３、視野回転用スライドバー８４、倍率選択表示８５、走査速度選択表示８６等の各種の機能表示がなされる。また別の画面を構成する図９に示す観察画面８０においては、この観察画面８０上に、電子光学軸調節用スライドバー８７、画像調節用スライドバー９１、軸調整補助機能８８等の機能表示がなされる。機能表示８１、８２、８３、８４、倍率選択表示８５、走査速度選択表示８６、電子光学軸調節用スライドバー８７、画像調節用スライドバー９１の各スライドバーは、何れも薄い半透明の表示になっており、このような機能表示の下面に、観察画像８０が表示されている。すなわちこれらの観察画面８０上の機能表示は、上記観察画面８０の上面に半透明な画像として重畳して表示されるようになっている。従って、観察画像８０の表示エリアが機能表示によって損なわれず、操作者がストレスを感ずることのないスムーズな操作を実現することが可能になる。
【００３６】
また図１０に示すように、所定の機能を表示する際に、この機能に必要でない機能表示が、自動的に削除されるようになっている。観察画面８０上の所定の機能表示を選択した場合には、その入力に応じて、不要な機能の表示があるかどうかの判断を行なうとともに、不要な機能の表示を削除する。そしてさらにその時点で表示されていない機能表示であって、必要な機能表示がある場合には、その必要な機能表示が行なわれる。
【００３７】
またこの表示装置においては、観察画面８０の機能表示がなされていない部位に入力を行なうと、その指示位置を中心として観察画面が位置調整を行なうようにしている。すなわち観察画面への入力があった場合には、図７に示すように、ステージ制御系３１を制御し、これによってタッチパネル４６のタッチ位置を中心とする画像表示を行なうようにする。また観察画面８０の外側にあるステージ位置表示９０の中の所定の位置を押下すると、その押下した指示位置を中心として、観察画面８０が表示される。この動作もまたステージ制御系３１によって行なわれる。この制御動作は、図１１Ｂの動作である。
【００３８】
また図８および図９に示す画面において、倍率選択表示８５の機能表示を利用して倍率の選択を行なうことが可能になっている。すなわち図１２に示すように、倍率選択の操作入力があった場合には、選択倍率の読込みを行なうとともに、画像処理系２５（図７参照）はインターフェイス７７を介してレンズ制御系３０を制御することによって、指定された倍率の観察画面を表示装置２６上に表示することになる。
【００３９】
このような走査型電子顕微鏡における、表示装置２６の抵抗膜式タッチパネル４６と液晶表示装置４５との組合わせによって、抵抗膜式タッチパネル４６が入力操作部になるために、各種の操作釦や操作つまみを配置した操作パネルを必要としなくなる。そして操作パネルが必要でなくなることから、走査型電子顕微鏡の大きさを著しくコンパクトに構成することが可能になる。また各種の入力操作が、液晶表示装置４５の前の配されたタッチパネル４６によって指あるいはペンで入力操作することによって、この電子顕微鏡に対して各種の機能の要求を行なうことができ、このような要求に基づいた画像が入力を行なった表示装置２６の液晶表示装置４５によって観察される。そしてこのような観察画面が、抵抗膜式タッチパネル４６を通して観察することが可能になる。従って、極めて操作性に優れた走査型電子顕微鏡が提供される。
【００４０】
以上本願発明を図示の実施の形態によって説明したが、本願発明は上記実施の形態によって限定されることなく、本願発明の技術的思想の範囲内において各種の変更が可能である。例えば上記実施の形態は、半導体ウエハ上に形成されるパターンの幅等を測定するための測長用の顕微鏡として用いるものであるが、本願発明に係る走査型電子顕微鏡は、その他各種の用途に広く利用することが可能な走査型電子顕微鏡に利用することができる。また表示装置２６によって表示される機能表示については、上記実施の形態に例示したものに限定されることなく、この走査型電子顕微鏡によって実現される各種の機能に関する表示を行なうようにしてよい。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本願発明は、測長用顕微鏡、また各種の試料の拡大画像を得るための走査型電子顕微鏡として広く利用することが可能である。
【符号の説明】
【００４２】
１０  電子光学系
１１  高真空ポンプ
１４  真空チャンバ
１５  ステージ
１６  試料
１７  搬送系
１８  ダイヤフラムポンプ
１９  ターボ分子ポンプ
２０  載置台
２１  除振システム
２３  ２次電子検出器
２４  信号処理系
２５  画像処理系
２６  表示装置
２９  高圧電源
３０  レンズ制御系
３１  ステージ制御系
３２  真空制御系
３５  外筐
３６  支持脚
３７  凹部
３８  操作子
４５  液晶表示装置
４６  抵抗膜式タッチパネル
４７  スペーサ
５１  透明抵抗膜
５２  透明抵抗膜
５５  トランジスタ
５６  トランジスタ
５７  トランジスタ
５８  トランジスタ
５９  出力端子
６０  出力端子
６１  電極
６２  電極
６３  電極
６４  電極
６５  位置検出部
６６  信号処理部
６７  Ａ／Ｄ変換部
６８  座標検出回路
７１  座標入力部
７２  ＲＯＭ
７３  制御・処理部
７４  ＲＡＭ
７５  表示制御部
７６  補助記憶装置
７７  インターフェイス
８０  観察画面
８１  画質調整スライドバー
８２  画像情報表示バー
８３  画像シフト用スライドバー
８４  視野回転用スライドバー
８５  倍率選択表示
８６  走査速度選択表示
８７  電子光学軸調節用スライドバー
８８  軸調整補助機能
８９  補助機能選択釦表示
９０  ステージ位置表示
９１  画像調整用スライドバー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2016110696.tif 000009
【図８】
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【図９】
2016110696.tif 000011
【図１０】
2016110696.tif 000012
【図１１】
2016110696.tif 000013
【図１２】
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