(57)【要約】【課題】光学的処理で超解像を得る共焦点スキャナにおいて、精密な位置調整の負担を軽減する。【解決手段】第１マイクロレンズディスクと、第１マイクロレンズディスクと共通の回転軸を有する第２マイクロレンズディスクと、対象物に照射する照明光を第１マイクロレンズディスクに導くとともに、第１マイクレンズディスクの各マイクロレンズを通過した対象物からの戻り光を、第２マイクロレンズディスクの対応するマイクロレンズに導くビームスプリッタとを備え、第２マイクロレンズディスクに配置されたマイクロレンズの開口数は、第１マイクロレンズディスクに配置されたマイクロレンズの開口数よりも大きい共焦点スキャナ。【選択図】図１
2016110056.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のマイクロレンズが配置された第１マイクロレンズディスクと、
前記第１マイクロレンズディスクの配置パターンに対応して複数のマイクロレンズが配置され、前記第１マイクロレンズディスクと共通の回転軸を有する第２マイクロレンズディスクと、
対象物に照射する照明光を前記第１マイクロレンズディスクに導くとともに、前記第１マイクレンズディスクの各マイクロレンズを通過した前記対象物からの戻り光を、前記第２マイクロレンズディスクの対応するマイクロレンズに導くビームスプリッタとを備え、
前記第２マイクロレンズディスクに配置されたマイクロレンズの開口数は、前記第１マイクロレンズディスクに配置されたマイクロレンズの開口数よりも大きいことを特徴とする共焦点スキャナ。
【請求項２】
前記第２マイクロレンズディスクに配置された各マイクロレンズの前記対象物と反対側の各焦点位置に、ピンホールが配置されていることを特徴とする請求項１に記載の共焦点スキャナ。
【請求項３】
前記第１マイクロレンズディスクに配置された各マイクロレンズの前記対象物側の各焦点位置に、ピンホールが配置されていることを特徴とする請求項１に記載の共焦点スキャナ。
【請求項４】
前記各ピンホールに対応した像反転用マイクロレンズが前記対象物側に配置されていることを特徴とする請求項３に記載の共焦点スキャナ。
【請求項５】
前記第１マイクロレンズディスクに配置された各マイクロレンズの前記対象物側の各焦点位置よりも遠い位置に、像反転用マイクロレンズが配置され、前記各像反転用マイクロレンズの前記照明光の各合焦位置にピンホールが配置されていることを特徴とする請求項１に記載の共焦点スキャナ。
【請求項６】
前記第２マイクロレンズに配置されたマイクロレンズは凹レンズであることを特徴とする請求項１または３に記載の共焦点スキャナ。
【請求項７】
前記第２マイクロレンズディスクに配置されたマイクロレンズの開口数は、前記第１マイクロレンズディスクに配置されたマイクロレンズの開口数の概２倍であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の共焦点スキャナ。
【請求項８】
前記第１マイクロレンズディスクに配置されたマイクロレンズの口径は、前記第２マイクロレンズディスクに配置されたマイクロレンズの口径よりも小さいことを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の共焦点スキャナ。
【請求項９】
前記ビームスプリッタにより前記第１マイクロレンズディスクに導かれる前記照明光は、前記第１マイクレンズディスクのマイクロレンズの光軸に対して斜めに進むことを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の共焦点スキャナ。
【請求項１０】
前記ビームスプリッタにより前記第１マイクロレンズディスクに導かれる前記照明光は、前記第１マイクレンズディスクのマイクロレンズの光軸と平行に進み、
前記第１マイクロレンズディスクと前記第２マイクロレンズディスクとの間に、前記ビームスプリッタにより生じる光路シフトを補正するための光学部材が配置されていることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の共焦点スキャナ。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載の共焦点スキャナと、
平行光の照明光を前記ビームスプリッタに出射する光源ユニットと、
前記第１マイクロレンズディスク側に配置された対物レンズと、
前記第２マイクロレンズディスク側に配置された撮像素子と、を備えたことを特徴とする共焦点顕微鏡。
【請求項１２】
前記第１マイクロレンズディスクと前記対物レンズとの間、および前記第２マイクロレンズディスクと前記撮像素子との間に変倍光学系を配置したことを特徴とする請求項１１に記載の共焦点顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学的処理で超解像を得る共焦点スキャナに係り、特に、光学部品の位置調整の煩雑さを軽減することができる共焦点スキャナおよびこのような共焦点スキャナを用いた共焦点顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
対象物にピンポイントで光を照射して照射点からの合焦光のみを選択的に検出し、その点をスキャンすることで画像を得る共焦点顕微鏡は、高解像度のイメージと３次元情報の再構築が可能な光学顕微鏡である。共焦点顕微鏡は、生命科学分野等で広く用いられており、関連する種々の技術が提案されている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、共焦点顕微鏡のスキャン部である共焦点スキャナに関して、複数のマイクロレンズが設けられたマイクロレンズディスクと、マイクロレンズと同一パターンでピンホールが形成されたピンホールディスクとを備え、照明光を当てながらこれらを回転させることでマルチビームスキャンを行なう共焦点スキャナが開示されている。
【０００４】
従来、共焦点顕微鏡を含む光学顕微鏡はＡｂｂｅの回折限界、すなわち、対象物に照射する光の波長の半分より小さい対象物は見えないという理論による解像度の限界を有していた。近年では、この解像限界を超える解像度で画像を得る超解像技術が開発・実用化されている。
【０００５】
例えば、特許文献２には、光源からの励起光および対象物からの戻り光の空間強度分布を変調するスキャンマスクを用いて解像度限界を超えた高周波成分を持つ画像を撮像し、高周波強調処理を施すことで超解像画像を得ることが記載されている。また、非特許文献１には、光源装置からの照明光をストロボ状に通過させるシャッタを用いて、多数の輝点が記録された画像を、輝点の位置を少しずつ異なるようにして数百枚撮影し、それぞれの画像について輝点が１／２のサイズとなるような画像処理を施した上で、各画像を合成することで超解像画像を得ることが記載されている。
【０００６】
特許文献２や非特許文献１に記載された超解像技術は、複雑なあるいは大量の画像処理を行なうため、演算負荷が大きく、処理時間も要するので、リアルタイムの観察には不適である。
【０００７】
これに対し、光学的処理により高速に超解像画像を得ることができる技術が特許文献３に記載されている。図１９は、特許文献３に記載された顕微鏡システムの光学系の構成を示す図である。
【０００８】
本図に示すように、顕微鏡システム４００は、光源４１０が出射するレーザ光を試料４３０に照射し、戻り光をカメラ４２０で撮影する構成となっている。光源４１０が出射するコリメートされた照明光は、マイクロレンズアレイ４１１により多数の照明光ビームレットに分割される。照明光ビームレットは、ガルバノミラー４１３で反射し、対物レンズ４１４により試料４３０上で集光する。
【０００９】
試料４３０は照明光に基づく戻り光を発する。特に蛍光試料観察の場合、試料４３０は蛍光色素等で特定の構造を染色したものであり、照明光により蛍光色素分子が励起され、照明光より長波長の蛍光を発する。
【００１０】
試料４３０からの戻り光は、ガルバノミラー４１３で反射され、さらにビームスプリッタ４１２で反射してレンズ４１５を通過する。レンズ４１５を通過した戻り光は、多数のピンホールが形成されたピンホールアレイ４１６に到達するが、試料４３０の焦点面からの光のみがピンホールアレイ４１６上で焦点を結び、ピンホールを通過する。
【００１１】
ピンホールを通過した戻り光は、マイクロレンズが多数配置されたマイクロレンズアレイ４１７、マイクロレンズアレイ４１８を通過した後、ガルバノミラー４１３で反射され、カメラ４２０で撮像される。戻り光は、照明光ビームレットが照射された試料４３０の一部分であるが、ガルバノミラー４１３を変向させることで、試料４３０全体を走査することができる。
【００１２】
ここで、ピンホールアレイ４１６は、各ピンホールが、対物レンズ４１４の合焦スポットと共役な位置となるように精密に配置する。また、ピンホールアレイ４１６の個々のピンホールは、マイクロレンズアレイ４１７の個々のマイクロレンズの焦点位置に精密に配置する。さらに、マイクロレンズアレイ４１７の各マイクロレンズとマイクロレンズアレイ４１８の各マイクロレンズとが同軸となるように精密に配置する。
【００１３】
そして、マイクロレンズアレイ４１８の各マイクロレンズの焦点距離は、マイクロレンズアレイ４１７の各マイクロレンズの焦点距離よりも短くしている。
【００１４】
この構成において、ピンホールアレイ４１６のピンホールを通過した合焦面の戻り光は、マイクロレンズアレイ４１７により平行光に変換されマイクロレンズアレイ４１８に入射する。マイクロレンズアレイ４１８の各マイクロレンズの焦点距離は、マイクロレンズアレイ４１７の各マイクロレンズの焦点距離よりも短いため、戻り光は、マイクロレンズアレイ４１７を通過する際に、開口数が大きくなる。例えば、マイクロレンズアレイ４１８の各マイクロレンズの焦点距離が、マイクロレンズアレイ４１７の各マイクロレンズの焦点距離の１／２であれば、２倍の開口数の光線に変換される。
【００１５】
この光線を、ガルバノミラー４１３を変向させながらカメラ４２０で撮像することで、試料４３０の超解像画像を得ることができる。このとき、煩雑な画像処理や多数回数の撮像を行なわなくてよいため、高速で簡易に超解像画像を得ることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１６】
【特許文献１】特開平１０−０６２６９１号公報
【特許文献２】特開２０１２−７８４０８号公報
【特許文献３】国際公開第２０１３／１２６７６２号明細書
【非特許文献】
【００１７】
【非特許文献１】Schulz, O. et al. Resolution doubling in fluorescence microscopy with confocal spinning-disk image scanning microscopy. Proceedings of the National Academy of Sciences of United States of America, Vol.110, pp.21000-21005 (2013)
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
上述のように、光学的処理で超解像を得る共焦点スキャナを用いることで、高速で簡易に超解像画像を得ることができる。しかしながら、光学的処理で超解像を得る共焦点スキャナは、照明光用のマイクロレンズアレイ、対物レンズ、戻り光用の２つのマイクロレンズアレイ、ピンホールアレイの各光学部品について精密な位置調整が必要である。特許文献３に記載された光学系では、これらの光学部品が独立して空間的に隔てて配置されており、精密な位置調整は容易でない。
【００１９】
光学部品の精密な位置調整はコストの上昇を招き、また環境変化や経時変化の影響を受けやすくメインテナンスが煩雑となるため、精密な位置調整の負担は少しでも減らすことが望ましい。
【００２０】
そこで、本発明は、光学的処理で超解像を得る共焦点スキャナにおいて、精密な位置調整の負担を軽減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
上記課題を解決するため、本発明の第１の態様である共焦点スキャナは、複数のマイクロレンズが配置された第１マイクロレンズディスクと、前記第１マイクロレンズディスクの配置パターンに対応して複数のマイクロレンズが配置され、前記第１マイクロレンズディスクと共通の回転軸を有する第２マイクロレンズディスクと、対象物に照射する照明光を前記第１マイクロレンズディスクに導くとともに、前記第１マイクレンズディスクの各マイクロレンズを通過した前記対象物からの戻り光を、前記第２マイクロレンズディスクの対応するマイクロレンズに導くビームスプリッタとを備え、前記第２マイクロレンズディスクに配置されたマイクロレンズの開口数は、前記第１マイクロレンズディスクに配置されたマイクロレンズの開口数よりも大きいことを特徴とする。
【００２２】
ここで、前記第２マイクロレンズディスクに配置された各マイクロレンズの前記対象物と反対側の各焦点位置に、ピンホールが配置されていることができる。
【００２３】
あるいは、第１マイクロレンズディスクに配置された各マイクロレンズの前記対象物側の各焦点位置に、ピンホールが配置されていてもよい。
【００２４】
このとき、前記各ピンホールに対応した像反転用マイクロレンズが前記対象物側に配置されていてもよい。
【００２５】
あるいは、前記第１マイクロレンズディスクに配置された各マイクロレンズの前記対象物側の各焦点位置よりも遠い位置に、像反転用マイクロレンズが配置され、前記各像反転用マイクロレンズの前記照明光の各合焦位置にピンホールが配置されていてもよい。
【００２６】
また、前記第２マイクロレンズに配置されたマイクロレンズは凹レンズであってもよい。
【００２７】
いずれの場合も、前記第２マイクロレンズディスクに配置されたマイクロレンズの開口数は、前記第１マイクロレンズディスクに配置されたマイクロレンズの開口数の概２倍とすることができる。
【００２８】
また、前記第１マイクロレンズディスクに配置されたマイクロレンズの口径は、前記第２マイクロレンズディスクに配置されたマイクロレンズの口径よりも小さいことが好ましい。
【００２９】
また、前記ビームスプリッタにより前記第１マイクロレンズディスクに導かれる前記照明光は、前記第１マイクレンズディスクのマイクロレンズの光軸に対して斜めに進むことができる。
【００３０】
あるいは、前記ビームスプリッタにより前記第１マイクロレンズディスクに導かれる前記照明光は、前記第１マイクレンズディスクのマイクロレンズの光軸と平行に進み、前記第１マイクロレンズディスクと前記第２マイクロレンズディスクとの間に、前記ビームスプリッタにより生じる光路シフトを補正するための光学部材が配置されていてもよい。
【００３１】
上記課題を解決するため、本発明の第２の態様である共焦点顕微鏡は、上述のいずれかの共焦点スキャナと、平行光の照明光を前記ビームスプリッタに出射する光源ユニットと、前記第１マイクロレンズディスク側に配置された対物レンズと、前記第２マイクロレンズディスク側に配置された撮像素子と、を備えたことを特徴とする。
【００３２】
前記第１マイクロレンズディスクと前記対物レンズとの間、および前記第２マイクロレンズディスクと前記撮像素子との間に変倍光学系を配置してもよい。
【発明の効果】
【００３３】
本発明によれば、光学的処理で超解像を得る共焦点スキャナにおいて、精密な位置調整の負担を軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】第１実施例の共焦点スキャナを用いた共焦点顕微鏡の構成を模式的に示す図である。
【図２】マイクロレンズディスクとマイクロレンズ付ピンホールディスクとビームスプリッタの位置関係の詳細を示す図である。
【図３】共焦点顕微鏡の走査の状態を模式的に示す図である。
【図４】カメラを用いた共焦点光学系を模式的に表わした図である。
【図５】受光量Ｉ（ｘ）の概形を示す図である。
【図６】平行光の照明光を出射する光源ユニットの構成例を示す図である。
【図７】第１実施例における第１変形例を示す図である。
【図８】第１実施例における第２変形例を示す図である。
【図９】第１実施例における第３変形例を示す図である。
【図１０】第２実施例の共焦点スキャナを用いた共焦点顕微鏡の構成を模式的に示す図である。
【図１１】ピンホールディスクとマイクロレンズディスクと第２マイクロレンズディスクとビームスプリッタの位置関係の詳細を示す図である。
【図１２】第２実施例における第２変形例を示す図である。
【図１３】第２実施例における第３変形例を示す図である。
【図１４】倒立画像について説明する図である。
【図１５】隣接する倒立点像画像を説明する図である。
【図１６】第２実施例に対応した改良型を示す図である。
【図１７】第２実施例に対応した改良型の別例を示す図である。
【図１８】第２実施例に対応した改良型の別例を示す図である。
【図１９】光学的処理で超解像を得る従来の顕微鏡システムの光学系の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
＜第１実施例＞
本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、第１実施例の共焦点スキャナ２０を用いた共焦点顕微鏡１０の構成を模式的に示す図である。
【００３６】
本図に示すように、共焦点スキャナ２０を用いた共焦点顕微鏡１０は、照明光として平行光を出射する光源ユニット１１０、対物レンズ１２０、撮影レンズ１３０、リレーレンズ１４０、カメラ１５０を備えており、試料３０の超解像共焦点画像の撮像を行なうものとする。
【００３７】
共焦点スキャナ２０は、多数のマイクロレンズ２１１が規則的に配置されたマイクロレンズディスク２１０と、一方の面に多数のマイクロレンズ２２１が配置され、他方の面に多数のピンホール２２３が形成されたマイクロレンズ付ピンホールディスク２２０と、モータ２３０と、ビームスプリッタ２４０を備えている。マイクロレンズディスク２１０とマイクロレンズ付ピンホールディスク２２０とは、中心軸が重なっており、この中心軸を中心にしてモータ２３０により一体化して回転する。
【００３８】
マイクロレンズディスク２１０とマイクロレンズ付ピンホールディスク２２０とを一体的に形成することで、両ディスクの機械的な調整が不要となり、環境変化や経時変化等に対する安定性を高めることができる。
【００３９】
マイクロレンズ付ピンホールディスク２２０のマイクロレンズ２２１は、マイクロレンズディスク２１０側に配置されており、反対側の面には遮光マスク２２２が施されている。マイクロレンズ付ピンホールディスク２２０の個々のマイクロレンズ２２１は、マイクロレンズディスク２１０の個々のマイクロレンズ２１１と同軸となるように配置される。
【００４０】
マイクロレンズ付ピンホールディスク２２０は、少なくともマイクロレンズ２２１が配設された部分は戻り光を透過する材料で形成し、その厚さはマイクロレンズ２２１の焦点距離とする。
【００４１】
ピンホール２２３は、遮光マスク２２２に形成された微小開口によって構成され、個々のピンホール２２３が、個々のマイクロレンズ２２１の焦点位置となるように配置される。ピンホール２２３の大きさはマイクロレンズ２２１で集光される光の回折限界と同等程度の大きさが好ましい。
【００４２】
本例では、マイクロレンズ２１１、マイクロレンズ２２１とも凸レンズとしているが、レンズ効果があれば他の光学素子でもよく、例えば、フレネルレンズや回折光学素子でもよい。また、単レンズであっても複合レンズであってもよい。
【００４３】
ビームスプリッタ２４０は、マイクロレンズディスク２１０とマイクロレンズ付ピンホールディスク２２０との間に配置されている。ビームスプリッタ２４０は、照明光の波長を反射し、この照明光によって試料３０から発せられる波長の長い蛍光を透過する特性を有するものとする。
【００４４】
図２は、マイクロレンズディスク２１０とマイクロレンズ付ピンホールディスク２２０とビームスプリッタ２４０の位置関係の詳細を示している。本図では、同軸上に配置された一組のマイクロレンズ２１１とマイクロレンズ２１１の中心軸を一点鎖線で示している。
【００４５】
ビームスプリッタ２４０はある程度の厚さを有しているため、斜めに入射する光は屈折により光路がシフトする。本実施例では、この光路シフトを補正するために、ビームスプリッタ２４０のマイクロレンズディスク２１０に対する角度を４５度よりわずかに小さくしている。このため、ビームスプリッタ２４０で反射された光は図のように一点鎖線とは若干の角度を有して斜めにマイクロレンズディスク２１０へと向かう。
【００４６】
マイクロレンズ２１１からの光も同じ角度の逆向きの光路でビームスプリッタ２４０へ向かい、ビームスプリッタ２４０で屈折した光がちょうどマイクロレンズ２２１に入射されるような角度と配置になっている。
【００４７】
ここで、マイクロレンズ２１１の外径は、マイクロレンズ２２１の外径よりも若干小さめになるように構成している。なお、光路シフトの補正方法として、ビームスプリッタ２４０の角度を４５度にして、マイクロレンズ２１１とマイクロレンズ２２１とを中心軸に対してわずかに傾けて配置してもよい。この場合、ビームスプリッタ２４０からマイクロレンズ２１１に入射する光は一点鎖線で示す光軸と平行となる。
【００４８】
本実施例では、マイクロレンズ２１１が集光する光の開口数（ＮＡ）に対してマイクロレンズ２２１が集光する光の開口数が２倍になるように構成されている。すなわちマイクロレンズ２１１で集光される光の角度をθとするとマイクロレンズ２２１で集光されてピンホール２２３から発散する角度が２θとなるように両マイクロレンズのパラメータが選択されている。なお、原理的に２倍が最も解像度が良くなるが、マイクロレンズ２２１が集光する光の開口数の方が大きければ、他の数値倍であってもよい。
【００４９】
ここで、光軸中心に対する角度をφ、媒質の屈折率をｎとすると、ＮＡ＝ｎ・ｓｉｎ（φ）である。また、図２は説明の便宜上マイクロレンズの径を大きく示しているが、実際のマイクロレンズの径は１ｍｍ以下と小さい。すなわち、θや２θの角度は極めて小さな値となる。角度が微小のときは、ｓｉｎ（φ）≒φとすることができるため、マイクロレンズ２１１が集光する光の開口数に対して、マイクロレンズ２２１が集光する光の開口数が概ね２倍となっていることが分かる。
【００５０】
図１の説明に戻って、共焦点スキャナ２０の下方向には撮影レンズ１３０および対物レンズ１２０が配置されており、対物レンズ１２０の焦点位置には試料３０が配置される。また、共焦点スキャナ２０の上方にはリレーレンズ１４０が配置されており、カメラ１５０の撮像素子１５１面上に、ピンホール面の像を投影する構成となっている。なお、カメラ１５０の前面に、所望の蛍光のみを通過させるフィルタを配置してもよい。
【００５１】
このような構成において、光源ユニット１１０から出射された照明光は、ビームスプリッタ２４０で反射され、マイクロレンズディスク２１０に導かれる。そして、マイクロレンズディスク２１０上の多数のマイクロレンズ２１１により多数の照明光ビームレットに分割される。各照明光ビームレットは一度焦点を結んだ後に、撮影レンズ１３０で平行光に変換され、対物レンズ１２０により試料３０上のそれぞれの位置で集光する。
【００５２】
試料３０は、照明光ビームレットに基づく戻り光を発する。特に蛍光試料観察の場合、試料３０は蛍光色素等で特定の構造を染色したものであり、照明光により蛍光色素分子が励起され、照明光より長波長の蛍光を発する。
【００５３】
対物レンズ１２０により捉えられたそれぞれの戻り光は、照明光と同じ光路を戻る。すなわち対物レンズ１２０によって平行光になり、撮影レンズ１３０により一度焦点を結んだ後にマイクロレンズディスク２１０に入射し、マイクロレンズ２１１の作用により再び平行光に変換される。すなわち、マイクロレンズディスク２１０を照明光用と戻り光用とで兼用している。これにより、位置調整が必要な光学部品を削減することができる。
【００５４】
各戻り光はビームスプリッタ２４０を通過し、マイクロレンズ付ピンホールディスク２２０のマイクロレンズ２２１に平行光の状態で入射される。このとき、図２に示したように、ビームスプリッタ２４０における屈折による光路のシフトが、ビームスプリッタ２４０の角度調整等により補正されるようになっている。
【００５５】
ビームスプリッタ２４０を通過した平行光は、マイクロレンズ２２１の作用によりピンホール２２３に集光される。前述のように、マイクロレンズ２２１の開口数はマイクロレンズ２１１の開口数よりも２倍に構成されているのでマイクロレンズ２１１の手前でビームレットが結んだ焦点よりもこのピンホール２２３上での焦点は約１／２の大きさとなり、このピンホール２２３を通過する。
【００５６】
このとき、対物レンズ１２０の試料側合焦点面からの戻り光のみがピンホール２２３を通過する。一方、合焦点面以外からの戻り光は、ピンホール２２３上で焦点を結ばないため遮光マスク２２２により遮られ、ピンホール２２３を通過できない。
【００５７】
ピンホール２２３を通過した光は、リレーレンズ１４０の作用により、カメラ１５０の撮像素子１５１に結像される。モータ２３０によりマイクロレンズディスク２１０とマイクロレンズ付ピンホールディスク２２０とを回転させ、試料３０全体を照明光で走査することで、試料３０の共焦点画像をカメラ１５０で撮像可能としている。図３は、この走査の状態を模式的に示している。また、試料３０をｚ軸方向にスキャンさせることで３次元イメージを得ることができる。
【００５８】
ここで、本実施例の共焦点スキャナ２０を用いた共焦点顕微鏡１０で超解像画像を得られる理由について説明する。図４は、２次元イメージセンサーであるカメラを用いた共焦点光学系を模式的に表わした図である。簡単のため、照明光側と戻り光側を左右に分けて図示しており、点光源から試料面までが照明光側、試料面から像面までが戻り光側である。また、簡単のため対物レンズの倍率を１倍としているが、この仮定は議論の一般性を損なうものではない。倍率を１倍と仮定することで、試料面と像面とを上下逆の等スケールの座標で扱うことができる。
【００５９】
光軸上の点光源から発した照明光は、対物レンズにより試料面に焦点を結ぶ。このとき、光の回折により、試料面における照明光の強度分布は、図中に示すように座標０を中心に一定の広がりを持つ。この光の広がりは、一般にエアリーディスクと呼ばれる。
【００６０】
次に、照明光を試料に照射することで発生する試料面上の座標０、ｄ／２、ｄの３点から発せられた戻り光を考える。この３点は照明光のエアリーディスク内にあるものとする。試料面上座標０、ｄ／２、ｄから発せられた戻り光の像面における強度分布は、図中に示すように、それぞれ像面上座標０、ｄ／２、ｄにピークを持ち、各ピークの高さは試料面座標０、ｄ／２、ｄにおける照明光強度に比例する。
【００６１】
戻り光は像面にあるカメラの撮像素子によって受光される。ここで、像面上座標ｄの位置（図中のピクセル２にあたる位置）における受光量を考える。試料面上座標０、ｄ／２、ｄから発せられた戻り光のそれぞれの強度分布を、像面上座標ｄの位置において比較すると、図４に示す通り、試料面上座標ｄ／２からの戻り光が最も大きくなる。つまり、像面上座標ｄの位置のピクセル２は、試料面上座標ｄからの戻り光ではなく、試料面上座標ｄ／２からの戻り光を最も明るく受光することになる。このことは、エアリーディスク内という微視的な領域において、試料面から像面へ２倍に拡大投影されていることを示している。
【００６２】
以上のことは、数式を用いて次のように説明される。戻り光が発生する試料面上の位置をｘとして、像面上の位置ｄでの受光量Ｉ（ｘ）は、
【数１】
2016110056.tif 000003
と表される。ここで、ＰＳＦｉｌｌ（ｘ）およびＰＳＦｉｍｇ（ｘ）は、それぞれ照明側および撮像側の点像分布関数である。一般に、点像分布関数ＰＳＦ（ｘ）は第１種ベッセル関数Ｊ１と光学系の開口数ＮＡと波長λとを用いて、
【数２】
2016110056.tif 000004
と表される。
【００６３】
［数１］より、Ｉ（ｘ）はピーク位置が距離ｄだけ異なる２つの点像分布関数の積となるので、図５に概形を示すように、Ｉ（ｘ）はｄ／２にピークを持つ。つまり、像面上座標ｄの位置のピクセルは、試料面上座標ｄ／２からの戻り光を最も明るく受光することが［数１］からも示される。
【００６４】
以上のように、カメラを用いた共焦点光学系においては、非走査共焦点像の個々の輝点を中心としたエアリーディスク内の領域では、試料面から像面へ２倍に拡大投影されているため、エアリーディスク領域内を１／２に縮小し、試料面上座標と像面上座標とを一致させる補正処理を行なうことで、光学系の解像限界を上回る高周波成分を得ることができる。なぜなら、エアリーディスク領域内を１／２に縮小する処理は、光学系の点像分布関数の幅を半分にすることに相当するためである。以上の結果として、光学系の解像限界（回折限界）の２倍の解像度を持つ超解像画像を得られる。
【００６５】
本実施例では、マイクロレンズディスク２１０およびマイクロレンズ付ピンホールディスク２２０により、対物レンズ１２０からの戻り光の開口数を２倍に変換することで、光学系の点像分布関数の幅を光学的処理により１／２としている。すなわち、エアリーディスク領域内が１／２に縮小された形でカメラ１５０に投影される。
【００６６】
また、本実施例では光学的に対物レンズ１２０からの戻り光がカメラ１５０に投影されるときの開口数を２倍に変換にするため、撮影された画像の面内（ＸＹ面内）のみならず、画像に対し垂直な光軸方向（Ｚ軸方向）も解像度が向上する。なぜなら、光軸方向の点像分布関数は［数３］で表され、光軸方向の点像分布関数の幅は開口数の２乗に反比例するためである。したがって、試料の立体構造を詳細に観察するのに好適である。
【数３】
2016110056.tif 000005
【００６７】
なお、平行光の照明光を出射する光源ユニット１１０は、例えば、図６（ａ）に示すように、レーザダイオード等のレーザ発光素子１１１の前方の適切な箇所にコリメートレンズ１１２を配置することで構成することができる。
【００６８】
あるいは、図６（ｂ）に示すように、レーザ発光素子１１１からシングルモードファイバ１１３の一端にレーザ光を導入し、シングルモードファイバ１１３の他端からの出射光をコリメートレンズ１１２でコリメートするように構成してもよい。この場合、レーザ発光素子１１１を共焦点スキャナ２０の遠方に配置することができる。
【００６９】
図６（ｃ）に示すように、ＬＥＤ１１４を光源として用いて、ロッドインテグレータ１１５に光を入射するようにしてもよい。ロッドインテグレータ１１５は内部の反射によって均一な照明を端部から発する。そして、この光を２枚の拡大投影レンズ１１６、１１７によって拡大投影する。このとき、投影面がマイクロレンズディスク２１０に一致するように構成する。光を拡大投影することにより、マイクロレンズディスク２１０近傍では、ほぼコリメート光と同等となるので、実質的に平行光とみなすことができる。本例では、安価なＬＥＤを使用して均一な照明を提供することができる。
【００７０】
図６（ｄ）に示すように、ロッドインテグレータ１１５に代えてマルチモードファイバ１１８を用いてもよい。マルチモードファイバ１１８はフレキシブルであるため、ＬＥＤ１１４を任意の場所に配置することができる。
【００７１】
次に、第１実施例の変形例について説明する。図７は、第１変形例である光路シフト補正の別例を示す図である。なお、第１変形例においてもマイクロレンズ２１１が集光する光の開口数に対してマイクロレンズ２２１が集光しピンホール２２３から発散する光の開口数が２倍になるように構成されている。すなわち、マイクロレンズ２１１が集光する光の軸に対する角度をθとすると、ピンホール２２３から発散する光の角度が２θとなるように両マイクロレンズのパラメータが選択されている。
【００７２】
第１変形例では、ビームスプリッタ２４０を軸に対して４５度の角度に配置して、照明光をマイクロレンズ２１１、２２１の光軸と平行にマイクロレンズディスク２１０に導く。
【００７３】
そして、ビームスプリッタ２４０の上方（マイクロレンズ付ピンホールディスク２２０側）にビームスプリッタ２４０と同じ材料で同じ厚みを有する光路補正ガラス板２４１を逆の方向に４５度に傾けて配置する。
【００７４】
試料３０からの戻り光は照明光と同じ光路を通り、ビームスプリッタ２４０を通過する。この際に光路がシフトするが、光路補正ガラス板２４１を通過することによってシフト分がキャンセルされ、マイクロレンズ２２１に入射する。ビームスプリッタ２４０の角度調整が不要であるため、簡易に実現することができる。
【００７５】
図８は、第１実施例における第２変形例について説明する図である。第２変形例では、ビームスプリッタ２４０を軸に対して４５度の角度に配置して、光路シフトを補正するために光路補正フィルタ２４２を用いる。光路補正フィルタ２４２は、ビームスプリッタ２４０よりも厚いため、マイクロレンズディスク２１０に対して４５度よりも小さい角度で配置する。
【００７６】
また、光路補正フィルタ２４２の１面にはレーザ光を遮断して蛍光のみを通過するフィルタ膜２４３が設けられている。これにより、例えばレーザ光の一部がマイクロレンズディスク２１０で反射してビームスプリッタ２４０を通過し、マイクロレンズ付ピンホールディスク２２０の表面や遮光マスク２２２等で蛍光を発する場合、フィルタ膜２４３がないとこれらの蛍光はノイズとなる。これに対し、フィルタ膜２４３が設けられた光路補正フィルタ２４２を用いることで、レーザ光の波長がマイクロレンズ付ピンホールディスク２２０側に進むことを遮断するため、これらのノイズ光を排除することができる。
【００７７】
第２変形例では、第１変形例よりもマイクロレンズディスク２１０とマイクロレンズ付ピンホールディスク２２０との距離を小さくできるので、両者を接続して一体化したディスクユニットの剛性を高くすることができる。
【００７８】
第１実施例の第３変形例について図９を参照して説明する。第３変形例では、撮影レンズ１３０の代わりに対物側変倍光学系１３１を用い、リレーレンズ１４０の代わりにカメラ側変倍光学系１４１を用いている。撮影レンズ１３０の代わりにズームレンズのような対物側変倍光学系１３１を用いることで瞳径の異なる対物レンズ１２０を用いる際にも瞳径を満たす最適な焦点距離になるように対物側変倍光学系１３１を調節することができる。
【００７９】
例えば、瞳径の小さい高倍の対物レンズ１２０においては、対物側変倍光学系１３１の焦点距離を短くすることで、マイクロレンズディスク２１０を出射した光が対物レンズ１２０の瞳径を満たすように調節し、瞳径の大きい低倍の対物レンズ１２０においては、対物側変倍光学系１３１の焦点距離を長くすることで、マイクロレンズディスク２１０を出射した光が対物レンズ１２０の瞳径を満たすように調節することができる。
【００８０】
また、本来顕微鏡は対物レンズ１２０と対物側変倍光学系１３１（撮影レンズ１３０）の焦点距離の比で倍率が定まる。したがって対物側変倍光学系１３１の焦点距離を変えると倍率も変わってしまう。これをカメラ側変倍光学系１４１で補正するようにしている。
【００８１】
例えば、低倍の対物レンズ１２０に対応するために対物側変倍光学系１３１の焦点距離を長くして、通常の撮影レンズ１３０の焦点距離の２倍の値に調節したとすると、マイクロレンズ付ピンホールディスク２２０面上では通常よりも２倍の大きさの像が得られる。例えば、１０倍の対物レンズを用いた場合には２０倍相当の像が得られる。これに対して、カメラ側変倍光学系１４１はマイクロレンズ付ピンホールディスク２２０面上の像をカメラ１５０の撮像素子１５１に対して１／２になるように投影することで、通常と同じ大きさの画像が得られる。
【００８２】
これらの構成を実現するためには撮影可能な範囲が従来よりも広くないと困難であるが、本構成ではマイクロレンズディスク２１０とマイクロレンズ付ピンホールディスク２２０との間において光が平行光であるため、これらの距離を広げることが容易であるため、簡易に実現することができる。また、対物レンズ１２０の瞳径に最適な光を導くことができるので、分解能が高いだけでなく光の利用効率もよくなる。すなわち低倍に合わせた光学系の場合、高倍の瞳径の小さな対物レンズ１２０においては、その光の一部分しか使われないということがなく高効率である。
＜第２実施例＞
【００８３】
次に、本発明の第２実施例について説明する。図１０は、第２実施例の共焦点スキャナ２１を用いた共焦点顕微鏡１１の構成を模式的に示す図である。第１実施例と同じ部位については同じ符号を付している。光源ユニット１１０、対物レンズ１２０、撮影レンズ１３０、リレーレンズ１４０、カメラ１５０については第１実施例と同様である。
【００８４】
共焦点スキャナ２１は、多数のマイクロレンズ２１１が規則的に配置されたマイクロレンズディスク２１０と、多数のマイクロレンズ２６１が規則的に配置された第２マイクロレンズディスク２６０と、遮光マスク２５１の微小開口によって多数のピンホール２５２が規則的に形成されたピンホールディスク２５０と、モータ２３０とビームスプリッタ２４０を備えている。ピンホールディスク２５０とマイクロレンズディスク２１０と第２マイクロレンズディスク２６０とは、中心軸が重なっており、この中心軸を中心にしてモータ２３０により一体化して回転する。
【００８５】
対物レンズ１２０に近い側からピンホールディスク２５０、マイクロレンズディスク２１０が配置され、ビームスプリッタ２４０を挟んで第２マイクロレンズディスク２６０が配置されている。ピンホールディスク２５０の個々のピンホール２５２と、マイクロレンズディスク２１０の個々のマイクロレンズ２１１と、第２マイクロレンズディスク２６０の個々のマイクロレンズ２６１は同軸となるように配置される。
【００８６】
すなわち、第２実施例では、ピンホール２５２が対物レンズ１２０側に配置され、戻り光のみならず照明光もピンホール２５２を通過する構成となっている。ピンホール２５２を通過した光による合焦点面からの戻り光が再度ピンホール２５２に戻ってくるため、光学系の調整が一層容易となる。
【００８７】
マイクロレンズディスク２１０とピンホールディスク２５０との距離はマイクロレンズ２１１の焦点距離とする。なお。ピンホールディスク２５０とマイクロレンズディスク２１０とを第１実施例のように一体化してもよい。
【００８８】
図１１は、第２実施例のピンホールディスク２５０とマイクロレンズディスク２１０と第２マイクロレンズディスク２６０とビームスプリッタ２４０の位置関係の詳細を示している。本図では、同軸上に配置された一組のピンホール２５２とマイクロレンズ２１１とマイクロレンズ２６１の中心軸を一点鎖線で示している。
【００８９】
ビームスプリッタ２４０はある程度の厚さを有しているため、斜めに入射する光は屈折により光路がシフトする。第２実施例でもこの光路シフトを補正するために、ビームスプリッタ２４０のマイクロレンズディスク２１０に対する角度を４５度よりわずかに小さくしている。このため、ビームスプリッタ２４０で反射された光は図のように一点鎖線とは若干の角度を有してマイクロレンズディスク２１０へと向かう。
【００９０】
マイクロレンズ２１１からの光も同じ角度の逆向きの光路でビームスプリッタ２４０へ向かい、ビームスプリッタ２４０で屈折した光がちょうどマイクロレンズ２２１に入射されるような角度と配置になっている。
【００９１】
第２実施例では、マイクロレンズ２１１が集光する光の開口数（ＮＡ）に対してマイクロレンズ２６１が集光する光の開口数が２倍になるように構成されている。すなわちマイクロレンズ２１１で集光される光の角度をθとすると、マイクロレンズ２６１が集光する角度が２θとなるように両マイクロレンズのパラメータが選択されている。なお、原理的に２倍が最も解像度が良くなるが、他の数値倍であってもよい。
【００９２】
第２実施例では、マイクロレンズ２６１の焦点の位置に、直接撮像素子１５１を配置してもよい。この場合、リレーレンズ１４０等の光学系が不要となるので、構成が簡易化される。
【００９３】
次に、第２実施例の変形例について説明する。第２実施例でも、図７に示した第１実施例の第１変形例と同様に、ビームスプリッタ２４０を軸に対して４５度の角度に配置して、照明光をマイクロレンズ２１１、２６１の光軸と平行にマイクロレンズディスク２１０に導き、ビームスプリッタ２４０の上方にビームスプリッタ２４０と同じ材料で同じ厚みを有する光路補正ガラス板を逆の方向に４５度に傾けて配置することで光路補正を行なうことができる。
【００９４】
また、第２実施例の第２変形例について図１２を参照して説明する。第２実施例の第２変形例では、ビームスプリッタ２４０を軸に対して４５度の角度に配置して、光路シフトを補正するために光路補正フィルタ２４２を用いる。光路補正フィルタ２４２は、ビームスプリッタ２４０よりも厚いため、マイクロレンズディスク２１０に対して４５度よりも小さい角度で配置する。このとき、光路補正フィルタ２４２の１面にはレーザ光を遮断して蛍光のみを通過するフィルタ膜を配置してもよい。なお、本図の例では、マイクロレンズ２６１が、マイクロレンズディスク２６０のビームスプリッタ２４０側の面に配置されているが、反対側の面に配置してもよい。
【００９５】
また、第２実施例の第３変形例について図１３を参照して説明する。第２実施例の第３変形例では、ビームスプリッタ２４０の角度をマイクロレンズディスク２１０に対して４５度よりも浅くすることで光路シフトの補正を行ない、さらにマイクロレンズディスク２１０とピンホールディスク２５０との間に光路補正ガラス板２４４を配置している。第２実施例では、第１実施例におけるマイクロレンズ２２１とピンホール２２３との距離、すなわちマイクロレンズ２２１（第１実施例）の焦点距離よりも、マイクロレンズ２１１とピンホールと２５２との距離、すなわちマイクロレンズ２２１（第２実施例）の焦点距離が一般に長くなるため、光路シフトの補正に伴う光軸の傾きを補正することが好ましい。このため、マイクロレンズディスク２１０とピンホールディスク２５０との間に光路補正ガラス板２４４を斜めに配置して光軸の傾きを補正するようにしている。
＜改良型＞
【００９６】
ところで、図１に示した共焦点顕微鏡１０や図１０に示した共焦点顕微鏡１１は、一体化して回転するディスクの回転軸方向に２つの凸レンズと１つのピンホールを配置している。このため、１つの凸レンズと１つのピンホールが配置される一般的なマイクロレンズアレイ付きニポウディスク方式よりも、試料３０の点像は１回多く凸レンズを通過して撮像素子１５１に到達することになる。
【００９７】
したがって、図１４（ａ）に示すような右上領域で蛍光を発する試料３０の点像を撮影した場合、一般的なマイクロレンズアレイ付きニポウディスク方式の共焦点顕微鏡では、図１４（ｂ）に示すような正立画像の点画像となるのに対し、第２実施例の共焦点顕微鏡１１では、図１４（ｃ）に示すような倒立画像の点画像となる。
【００９８】
ここで、図１５（ａ）に示すような円状の蛍光を発する試料３０を図１５（ｂ）に示すような４つの領域を点像（便宜的に矩形像で表している）として走査して画像形成した場合を想定する。これらの点像は別々の照明光ビームレットが照射され、同一フレームで撮像されるものとする。ただし、本図の例は説明を簡易にするために単純化している。
【００９９】
第２実施例の共焦点顕微鏡１１では、各点像は倒立画像で撮像されるため、図１５（ｃ）に示すように各領域の点画像が倒立した画像が得られ、隣接する点画像において微細な連続性が損なわれることになる。このため、分解能向上の観点からさらなる改良の余地がある。
【０１００】
そこで、一体化して回転するディスクにおいて、さらに１回凸レンズを通過させることで、倒立画像を正立画像に戻すことが考えられる。これにより、隣接する点画像の微細な連続性が保持されるため、さらなる分解能の向上を実現することができる。
【０１０１】
図１６は、図１０に示した第２実施例に対応した改良型のピンホールディスク２５０とマイクロレンズディスク２１０と第２マイクロレンズディスク２６０とビームスプリッタ２４０の位置関係の詳細を示している。
【０１０２】
改良型では、正立画像に戻すために、ピンホールディスク２５０のピンホール形成面と反対側の面に、各ピンホール２５２に対応してマイクロレンズ２５３を配置している。本図では、同軸上に配置された一組のマイクロレンズ２５３とピンホール２５２とマイクロレンズ２１１とマイクロレンズ２６１の中心軸を一点鎖線で示している。
【０１０３】
光源１１０（図１０）から出射された照明光は、ビームスプリッタ２４０で反射されてマイクロレンズ２１１を通過し、多数の照明光ビームレットに分割される。各照明光ビームレットは、ピンホール２５２で集光し、ピンホールディスク２５０の厚み方向で少し広がった状態でマイクロレンズ２５３に入射する。そして、マイクロレンズ２５３で再び集光された後、広がって撮影レンズ（図１０）に入射し、対物レンズ１２０（図１０）により試料３０上で集光する。
【０１０４】
改良型では、ピンホール２５２で集光される角度と、マイクロレンズ２５３で集光される角度（集光後、広がる角度）がいずれもθとなるように設計する。
【０１０５】
試料３０からの戻り光は、照明光と同じ光路を対物レンズ１２０（図１０）、撮影レンズ（図１０）、マイクロレンズ２５３、ピンホール２５２、マイクロレンズ２１１の順に通過し、平行光となって、ビームスプリッタ２４０を通過して、マイクロレンズ２６１に入射する。そして、角度２θで集光される。
【０１０６】
ピンホールディスク２５０のマイクロレンズ２５３側のマイクロレンズ２５３以外の領域は遮光加工を施してもよい。これにより、θよりも大きな角度で戻ってきた光が周辺のマイクロレンズ２５３に入射して画像が劣化ししてしまうことを防ぐことができる。
【０１０７】
第２実施例の第１変形例と同様に、ビームスプリッタ２４０を軸に対して４５度の角度に配置するとともに、光路補正ガラス板を逆の方向に４５度に傾けて配置することで光路補正を行なったり、第２変形例と同様に、光路シフトを補正するために光路補正フィルタ２４２を用いたり、第３変形例と同様に、ビームスプリッタ２４０の角度をマイクロレンズディスク２１０に対して４５度よりも浅くするとともに、光路補正ガラス板２４４を配置したりしてもよい。
【０１０８】
また、図１７に示すように、マイクロレンズ２５３を配置したピンホールディスク２５０について、ピンホール面を試料３０側に向けてもよい。この場合、マイクロレンズ２１１とマイクロレンズ２５３との距離をマイクロレンズ２１１の焦点距離よりも長くし、各照明光ビームレットが、マイクロレンズ２５３の手前で集光し、少し広がった状態でマイクロレンズ２５３に入射するようにする。そして、ピンホールディスク２５０内を進んでピンホール２５２で集光された後、広がって撮影レンズ（図１０）に入射し、対物レンズ１２０（図１０）により試料３０上で集光する。
【０１０９】
本例では、マイクロレンズ２５３に入射する角度とピンホール２５２から出謝する角度がいずれもθとなるように設計する。
【０１１０】
試料３０からの戻り光は、照明光と同じ光路を対物レンズ１２０（図１０）、撮影レンズ（図１０）、ピンホール２５２、マイクロレンズ２５３、マイクロレンズ２１１の順に通過し、平行光となって、ビームスプリッタ２４０を通過して、マイクロレンズ２６１に入射する。そして、角度２θで集光される。
【０１１１】
あるいは、図１８に示すように、ピンホールディスク２５０にマイクロレンズを配置せずに、第２マイクロレンズディスク２６０に代えてマイクロ凹レンズディスク２７０を用いるようにしてもよい。この場合は、さらに１回凸レンズを通過させることで倒立画像を正立画像に戻すのではなく、凸レンズの通過回数を減らすことで点像が倒立画像にならないようにしている。
【０１１２】
マイクロ凹レンズディスク２７０は、第２マイクロレンズディスク２６０に形成された凸レンズを凹レンズとしたものであり、各凹レンズは、平行光の戻り光を２θで発散するように設計する。図中の線２６１は、凹レンズの焦点面を示している。
【０１１３】
本例では、リレーレンズ１４０（図１０）は、カメラ１５０の撮像素子（図１０）面上に、焦点面２６１の像を投影することになる。本例の構成は、各点像が正立画像となるのに加え、構成が一層簡易になるという利点がある。
【符号の説明】
【０１１４】
１０…共焦点顕微鏡、１１…共焦点顕微鏡、２０…共焦点スキャナ、２１…共焦点スキャナ、３０…試料、１１０…光源ユニット、１１１…レーザ発光素子、１１２…コリメートレンズ、１１３…シングルモードファイバ、１１５…ロッドインテグレータ、１１６…拡大投影レンズ、１１７…拡大投影レンズ、１１８…マルチモードファイバ、１２０…対物レンズ、１３０…撮影レンズ、１３１…対物側変倍光学系、１４０…リレーレンズ、１４１…カメラ側変倍光学系、１５０…カメラ、１５１…撮像素子、２１０…マイクロレンズディスク、２１１…マイクロレンズ、２２０…マイクロレンズ付ピンホールディスク、２２１…マイクロレンズ、２２２…遮光マスク、２２３…ピンホール、２３０…モータ、２４０…ビームスプリッタ、２４１…光路補正ガラス板、２４２…光路補正フィルタ、２４３…フィルタ膜、２４４…光路補正ガラス板、２５０…ピンホールディスク、２５１…遮光マスク、２５２…ピンホール、２６０…マイクロレンズディスク、２６１…マイクロレンズ、２７０…マイクロ凹レンズディスク
【図１】
2016110056.tif 000006
【図２】
2016110056.tif 000007
【図３】
2016110056.tif 000008
【図４】
2016110056.tif 000009
【図５】
2016110056.tif 000010
【図６】
2016110056.tif 000011
【図７】
2016110056.tif 000012
【図８】
2016110056.tif 000013
【図９】
2016110056.tif 000014
【図１０】
2016110056.tif 000015
【図１１】
2016110056.tif 000016
【図１２】
2016110056.tif 000017
【図１３】
2016110056.tif 000018
【図１４】
2016110056.tif 000019
【図１５】
2016110056.tif 000020
【図１６】
2016110056.tif 000021
【図１７】
2016110056.tif 000022
【図１８】
2016110056.tif 000023
【図１９】
2016110056.tif 000024