(57)【要約】【課題】小型で瞳結像性能を良好にすることを可能にした焦点検出光学系、焦点検出装置およびそれを用いた光学機器を提供する。【解決手段】撮像光学系を通過した光束を分割し、前記分割された光束により形成される複数の像の相対的な位置関係に応じて、前記撮像光学系の合焦状態を検出する焦点検出装置に用いられる焦点検出光学系であって、前記撮像光学系の予定結像面を通過した光束が入射するコンデンサーレンズと、少なくとも一対の開口絞りを有するマスクと、前記マスクの開口を通過した光束を受光手段の受光面に結像させる少なくとも一対の２次結像光学系と、を有し、前記コンデンサーレンズは、正の屈折力を有する第１レンズと、負の屈折力を有する第２レンズとを備え、前記第１レンズの焦点距離をｆ１、前記コンデンサーレンズの焦点距離をｆとするとき、０．７０＜ｆ１／ｆ＜０．８５なる条件式を満足する。【選択図】図１
2016035524.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像光学系を通過した光束を分割し、前記分割された光束により形成される複数の像の相対的な位置関係に応じて、前記撮像光学系の合焦状態を検出する焦点検出装置に用いられる焦点検出光学系であって、
前記撮像光学系の予定結像面を通過した光束が入射するコンデンサーレンズと、
少なくとも一対の開口絞りを有するマスクと、
前記マスクの開口を通過した光束を受光手段の受光面に結像させる少なくとも一対の２次結像光学系と、
を有し、
前記コンデンサーレンズは、正の屈折力を有する第１レンズと、負の屈折力を有する第２レンズとを備え、
前記第１レンズの焦点距離をｆ１、前記コンデンサーレンズの焦点距離をｆとするとき、
０．７０＜ｆ１／ｆ＜０．８５
なる条件式を満足することを特徴とする焦点検出光学系。
【請求項２】
前記第２レンズの焦点距離をｆ２とするとき、
−０．７８＜ｆ１／ｆ２＜０．００
なる条件式を満足することを特徴とする請求項１に記載の焦点検出光学系。
【請求項３】
前記撮像光学系の射出瞳が、前記マスクの面上に結像されることを特徴とする請求項１または２に記載の焦点検出光学系。
【請求項４】
前記コンデンサーレンズは、前記撮像光学系の予定結像面側から順に、前記第１レンズ、前記第２レンズを備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の焦点検出光学系。
【請求項５】
前記２次結像光学系は２次結像レンズであり、前記２次結像レンズの入射側の面はプリズム面で構成されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の焦点検出光学系。
【請求項６】
前記プリズム面は、前記撮像光学系の光軸から離れるにつれて、前記マスクに近づくように形成されていることを特徴とする請求項５に記載の焦点検出光学系。 
【請求項７】
前記撮像光学系の予定結像面から前記第１レンズの予定結像面側の面までの距離をＬ１１、前記予定結像面から前記マスクまでの距離をＬＰとするとき、
０．１６＜Ｌ１１／ＬＰ＜０．３
なる条件式を満足することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の焦点検出光学系。
【請求項８】
前記第１レンズの予定結像面側の面から前記マスクまでの距離をＬＣとするとき、
０．９＜ＬＣ／ｆ＜１．２
なる条件式を満足することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の焦点検出光学系。
【請求項９】
前記第１レンズと前記第２レンズの間隔をＬ１２とするとき、
０．４＜Ｌ１２／ｆ＜０．８
なる条件式を満足することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の焦点検出光学系。
【請求項１０】
前記第１レンズと前記第２レンズの間に、光路を折り曲げるためのミラーを有することを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の焦点検出光学系。
【請求項１１】
請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の焦点検出光学系と、
前記少なくとも一対の２次結像光学系が形成する被写界像を光電変換するための複数の画素を備える光電変換素子を有することを特徴とする焦点検出装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の焦点検出装置を有し、前記焦点検出装置から出力される信号に基づいて焦点調節動作を行うことを特徴とする光学機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、焦点検出光学系、焦点検出装置およびそれを用いた光学機器に関する。そして、特に対物光学系の焦点調節状態を所謂像ずれ方式（位相差検出方式）を用いて検出するようにした、例えば一眼レフレックスカメラ、一眼レフレックス電子カメラ、デジタルカメラ、そしてビデオカメラ等の光学機器に好適なものである。
【背景技術】
【０００２】
最近、多くの写真用カメラあるいはビデオカメラは、対物光学系としての対物レンズ(撮影レンズ)の焦点を自動的に調節する自動焦点調節機能を内蔵している。特に、厳しいピント精度が要求される一眼レフカメラには、位相差検出方式を用いた焦点検出装置が一般に用いられている。位相差検出方式は、撮影光学系の瞳の異なる領域からの一対の光量分布を光電変換素子の画素列（ラインセンサ列)で受け、両光量分布の相対的位置関係から対物レンズの焦点調節状態を検出する方式である。
【０００３】
この焦点検出方式は、撮影レンズの焦点距離に係らずデフォーカス検出が可能であることや、焦点検出の視野の大きさが撮影レンズの焦点距離に係らず固定されていることから、撮影レンズ交換式のカメラシステムに好適である。
【０００４】
また、位相差検出方式の焦点検出装置であって、測距点の多点化あるいは広視野化を図ったものが提案されている。特許文献１では、対物レンズからの光束を収光性の凹状表面型の反射鏡により反射させて焦点検出装置に入射させている。これにより、コンデンサーレンズの役割をする凹状の反射鏡が予定結像面位置よりも前にあるため、測距点の多点化あるいは広視野化を図りつつ、焦点検出装置の小型化が可能となっている。
【０００５】
また特許文献２では、コンデンサーレンズが少なくとも１つ以上の正レンズで構成されている。これにより、焦点検出領域の広視野化で劣化する瞳系の球面収差を良好に除去することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第３６３６５２４号公報
【特許文献２】特開平４−６５０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に開示された従来技術は、撮影時にはパワーを持った凹状の反射鏡を光路外に退避させる必要があるため、焦点検出時に凹状の反射鏡の高い位置精度が求められ、大型で複雑な系となってしまう。また、特許文献２ではコンデンサーレンズが少なくとも１つ以上の正レンズで構成されているために、対物レンズの射出瞳を少なくとも一対の開口絞りを有するセパレータマスク面に結像させる瞳結像性能を良好にすることが難しい。
【０００８】
本発明の目的は、小型で瞳結像性能を良好にすることを可能にした焦点検出光学系、焦点検出装置およびそれを用いた光学機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明に係る焦点検出光学系は、撮像光学系を通過した光束を分割し、前記分割された光束により形成される複数の像の相対的な位置関係に応じて、前記撮像光学系の合焦状態を検出する焦点検出装置に用いられる焦点検出光学系であって、前記撮像光学系の予定結像面を通過した光束が入射するコンデンサーレンズと、少なくとも一対の開口絞りを有するマスクと、前記マスクの開口を通過した光束を受光手段の受光面に結像させる少なくとも一対の２次結像光学系と、を有し、前記コンデンサーレンズは、正の屈折力を有する第１レンズと、負の屈折力を有する第２レンズとを備え、前記第１レンズの焦点距離をｆ１、前記コンデンサーレンズの焦点距離をｆとするとき、
０．７０＜ｆ１／ｆ＜０．８５
なる条件式を満足することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明に係る焦点検出装置は、上記焦点検出光学系と、上記少なくとも一対の２次結像光学系が形成する被写界像を光電変換するための複数の画素を備える光電変換素子を有することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明に係る光学機器は、上記焦点検出装置を有し、前記焦点検出装置から出力される信号に基づいて焦点調節動作を行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、小型で瞳結像性能を良好にすることを可能にした焦点検出光学系、焦点検出装置およびそれを用いた光学機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態に係る焦点検出装置を搭載した光学機器としてのオートフォーカスカメラシステムの概略構成図である。
【図２】本発明の数値実施例１の形態に係る焦点検出光学系の光学断面図である。
【図３】本発明の数値実施例２の形態に係る焦点検出光学系の光学断面図である。
【図４】本発明の数値実施例３の形態に係る焦点検出光学系の光学断面図である。
【図５】本発明の数値実施例４の形態に係る焦点検出光学系の光学断面図である。
【図６】本発明の数値実施例５の形態に係る焦点検出光学系の光学断面図である。
【図７】本発明の数値実施例６の形態に係る焦点検出光学系の光学断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を用いて本発明の実施形態を説明する。
【００１５】
（光学機器）
図１は、本実施形態に係る焦点検出光学系を搭載した光学機器（撮影装置）としてのオートフォーカスカメラシステム（一眼レフレックスカメラと該カメラに装着される対物光学系（撮影光学系）としての撮影レンズとによって成る）の概略構成を示す。図１において、着脱可能な撮影光学系（撮像光学系）１の内部には撮影レンズ２、撮影光学系の少なくとも一部を移動させ、焦点調整するための焦点調整手段３、撮影光学系１を制御するための制御手段４を含んでいる。
【００１６】
カメラ本体７は、主ミラー８、撮影媒体として撮影媒体としてフィルムまたは撮像素子１２、サブミラー１３、位相差焦点検出装置１５、カメラ演算手段１６を含んでいる。撮影レンズ２およびカメラ本体７は接点１７を有し、互いに装着された状態では接点１７を介して情報の通信や電源の供給が行われる。
【００１７】
予定結像面１４はサブミラー１３によって折り曲げられた撮影レンズ２の焦点位置であり、フィルムまたは撮像素子１２と光学的に等価の位置である。Ｌａは撮影レンズ２の光軸である。光軸Ｌａに沿って入射する光束は、半透過部を備える主ミラー８に達し、反射光と透過光の二つの光束に分割される。反射光側には光軸Ｌａにそって焦点板９、ペンタプリズム１０、接眼レンズ１１が配置され、これらの部材は焦点板９上に形成されたファインダー像の視認のためのファインダー系を構成する。主ミラー８の透過光側には光軸Ｌａに沿って、可動のサブミラー１３、位相差焦点検出装置１５が配置される。
【００１８】
（焦点検出光学系および焦点検出装置）
本実施形態に係る焦点検出装置（焦点検出系）は、いわゆる位相差ＡＦを行うもので、被写界像に関する複数の光量分布を受光手段としての光検出素子の複数の画素列上にそれぞれ形成し、複数の光量分布の相対的な位置関係から結像状態を求める。即ち、受光手段である複数の画素より成る画素列を備えた複数の光電変換素子の受光面で、相関方向における焦点検出を行う２つの像の間隔（物体像に関する光量分布の間隔）を測ることで焦点検出を行う。そして、焦点検出装置で求めた合焦信号に基づいて撮影レンズ（対物レンズ）を合焦状態へ駆動させる（焦点調節動作を行う）。
【００１９】
具体的には、自動焦点検出の際に、位相差焦点検出装置１５からの出力に基づき、撮影光学系１の内部に配置される焦点調整手段３により、撮影光学系１を構成するレンズのすべて、もしくは一部が駆動され焦点状態が調節される。
【００２０】
そして、本実施形態に係る焦点検出装置は、図１におけるサブミラー１３で反射された光路に設けられ、焦点検出装置は、焦点検出光学系としての以下に述べる２次結像光学系と、複数の光検出素子としてのラインセンサ２５とを備える。
【００２１】
本実施形態における焦点検出装置としての位相差焦点検出装置１５は、光路に沿って順に第１コンデンサーレンズ群１８、光路を折り曲げるミラー１９、第２コンデンサーレンズ群２０、ＩＲカットフィルター２１を備える。なお、本実施形態では、第１コンデンサーレンズ群１８、第２コンデンサーレンズ群２０は夫々1枚のレンズで構成され、「レンズ群」は「1枚以上のレンズ」を意味するものとする。
【００２２】
また、光路に沿って、本実施形態における焦点検出装置としての位相差焦点検出装置１５は、少なくとも一対の開口絞りを有するマスクとしてのセパレータマスク２２を備える。更に、セパレータマスク２２の開口に対応した少なくとも一対の正の屈折力を有する２次結像光学系としての２次結像レンズ２３、少なくとも一対のラインセンサ２４、焦点検出回路２５等を備える。
【００２３】
そして、被写体像に関して、セパレータマスク２２および、２次結像レンズ２３により、水平方向、または垂直方向に一対以上の光量分布がラインセンサ２４上に形成され、ラインセンサ２４からの信号を用いて、撮影光学系２の焦点位置を検出する。
【００２４】
図２は、本実施形態の焦点検出装置１５の焦点検出光学系を展開したときの断面図である。第１のコンデンサーレンズ群１８および第２のコンデンサーレンズ群２０は、合成されたコンデンサーレンズ群として、本来的に対物光学系としての撮影光学系１の射出瞳５（図１）の像をマスク面上（セパレータマスク２２）に結像（瞳結像）する。これにより、撮影光学系２の射出瞳５のうち、異なる領域６aと６ｂ（図１）を通過した光束が、セパレータマスク２２の対応する開口を介して、位相差ＡＦ検出に用いられる。
【００２５】
そして、第１のコンデンサーレンズ群１８は正の屈折力を有し（上述したように１枚の正レンズである第1レンズで構成）、第２のコンデンサーレンズ群２０は負の屈折力を有する（上述したように１枚の負レンズである第２レンズで構成）。
【００２６】
また、２次結像レンズ２３は、光路に沿った入射面側である第１面（２次結像レンズの入射側の面）がプリズム面、第２面が凸面で構成されている。そして、２次結像レンズ２３の第1面であるプリズム面は、周辺側がセパレータマスク２２に近づく方向に傾くよう角度が設定されており、このプリズム面の効果により、２次結像光学系の倍率色収差を改善している。
【００２７】
ここで、本実施形態では、第１コンデンサーレンズ群１８の焦点距離をｆ１、合成された全体としてのコンデンサーレンズ群の焦点距離をｆとするとき、以下の条件式（１）を満足する。
０．７０＜ｆ１／ｆ＜０．８５・・・（１）
条件式（１）は、焦点検出装置１５の小型化を実現しながら、焦点検出装置１５の瞳結像の性能を良好に補正するための条件式である。条件式（１）の上限を超えてしまうと、第１コンデンサーレンズ群１８の屈折力が強くなりすぎてしまい、焦点検出装置１５の瞳結像性能を良好に保つことが出来なくなる。また、条件式（１）の下限を超えてしまうと、コンデンサーレンズ群全体の正の屈折力が弱くなってしまい、焦点検出装置１５が大型化してしまう。
【００２８】
上述した焦点検出装置１５の入射瞳を適切な位置に設定し、かつ焦点検出装置１５の光学系を小型化しようとした場合、コンデンサーレンズ群全体の焦点距離を適切に設定し、かつコンデンサーレンズ群の像側主点位置を物体側に移動させる必要がある。従って、各実施例において、第１コンデンサーレンズ群１８の焦点距離ｆ１と合成された焦点距離ｆとの比を適切に設定している。
【００２９】
なお、各実施例において、好ましくは、条件式（１）の数値範囲を次のように設定するのが良い。
０．７３＜ｆ１／ｆ＜０．８４・・・（１ａ）
また、さらに好ましくは、条件式（１）の数値範囲を次のように設定するのが良い。
０．７５＜ｆ１／ｆ＜０．８３・・・（１ｂ）
さらに、各実施例において、次の条件式のうち１つ以上を満足することがより好ましい。
−０．７８＜ｆ１／ｆ２＜０．００・・・（２）
０．１６＜Ｌ１１／ＬＰ＜０．３０・・・（３）
０．９０＜ＬＣ／ｆ＜１．２０・・・（４）
０．４０＜Ｌ１２／ｆ＜０．８０・・・（５）
ここで、図２に示すように、Ｌ１１は予定結像面１４から第１コンデンサーレンズ群１８の第１面までの距離、ＬＰは予定結像面からセパレータマスク２２までの距離、ＬＣは第１コンデンサーレンズ群１８の第１面からセパレータマスク２２までの距離である。また、Ｌ１２は第１レンズ（第１コンデンサーレンズ群１８）と、第２レンズ（第２コンデンサーレンズ群２０）との間隔である。具体的には、第１レンズ（第１コンデンサーレンズ群１８）の第２面と、第２レンズ（第２コンデンサーレンズ群２０）の第１面との光軸上の間隔である。さらに、ｆ２は、第２コンデンサーレンズ群２０の焦点距離である。
【００３０】
条件式（２）は、焦点検出装置１５の入射瞳位置（セパレータマスク２２を対物レンズ側に逆投影した位置）を適切に設定する（撮影光学系の射出瞳５の位置に近づける）ための条件式である。条件式（２）の下限を超えてしまうと、コンデンサーレンズ群全体の正の屈折力が弱くなりすぎてしまい、装置を小型に維持した状態で適切な位置に焦点検出装置１５の入射瞳を設定できなくなってしまう。逆に、条件式（２）の上限を超えてしまうと、即ち第１コンデンサーレンズ群１８、第２コンデンサーレンズ群が共に正の場合、合成されたコンデンサーレンズ群の正のパワーが強くなってしまい十分な入射瞳結像性能を保つことが出来ない。
【００３１】
条件式（３）は焦点検出装置１５を小型化しつつ、焦点検出装置１５がカメラ本体７内で適切に配置できるための条件式である。条件式（３）の上限を超えてしまうと、第１コンデンサーレンズ群１８、第２コンデンサーレンズ群２０、セパレータマスク２２、２次結像レンズ２３、ラインセンサ２４を一体的に後方に変位させることとなり、焦点検出装置１５自体が大型化してしまう。逆に、条件式（３）の下限を超えてしまうと、焦点検出装置１５の第１コンデンサーレンズ群１８が予定結像面１４上に近づきすぎてしまい、図１における撮影時の光束にケラレが生じたり、撮影時のゴーストが生じたりしてしまう。
【００３２】
一方、条件式（４）は焦点検出装置１５を小型しつつ、入射瞳結像性能を良好に保つための条件式である。条件式（４）の上限を超えてしまうと焦点検出装置１５が大型化してしまう。逆に、条件式（４）の下限を超えてしまうと適切な位置に適切な倍率で入射瞳を結像するためにはコンデンサーレンズ群の正のパワーを強くしなければならず、入射瞳の結像性能を良好に保つことができなくなる。
【００３３】
条件式（５）は、光路中、第１レンズと第２レンズの間に光路を折り曲げるミラー１９を配置し、かつ焦点検出装置１５の小型化、瞳結像性能を良好に保つための条件式である。条件式（５）の下限を超えてしまうと、ミラー１９を配置できなくなり、また、コンデンサーレンズ群の像側主点位置を予定結像面側にすることができなくなるので、焦点検出装置１５を小型化できなくなる。逆に、条件式（５）の上限を超えてしまうと、焦点検出装置１５が大型化してしまう。
【００３４】
なお、各実施例において、好ましくは、条件式（２）乃至（５）の数値範囲を次のように設定するのが良い。
−０．７５＜ｆ１／ｆ２＜−０．０１・・・（２ａ）
０．１６＜Ｌ１１／ＬＰ＜０．２９・・・（３ａ）
０．９３＜ＬＣ／ｆ＜１．１５・・・（４ａ）
０．４３＜Ｌ１２／ｆ＜０．７８・・・（５ａ）
また、さらに好ましくは、条件式（２）乃至（５）の数値範囲を次のように設定するのが良い。
−０．７３＜ｆ１／ｆ２＜−０．０２・・・（２ｂ）
０．１６＜Ｌ１１／ＬＰ＜０．２８・・・（３ｂ）
０．９６＜ＬＣ／ｆ＜１．１０・・・（４ｂ）
０．４５＜Ｌ１２／ｆ＜０．７４・・・（５ｂ）
（焦点検出光学系の各数値実施例）
次に、図２乃至７（図2、図3、図4、図5、図6、図７）は、数値実施例1乃至６の形態に係る焦点検出光学系の光学断面図を示す。各数値実施例において、面番号は予定結像面からの順番を示す。ｒｉは予定結像面側から第ｉ番目の光学素子面の曲率半径、ｄｉは結像面側から第ｉ番目の面と第ｉ＋１面との間隔である。ｎｄｉとνｄｉは各々結像面側より順に第ｉ番目の光学素子の材料の屈折率とアッベ数である。ｒ１は予定結像面に相当する。
【００３５】
また、数値実施例１乃至６において、ｒ２〜ｒ３は第１コンデンサーレンズ群１８、ｒ４〜ｒ５は第２コンデンサーレンズ群２０を構成する各レンズ面の曲率半径である。最終の面は検出ラインセンサ２４である。
【００３６】
なお、各数値実施例において、＊印は非球面を表している。非球面形状は、光軸方向にＸ軸、光軸と垂直方向にＹ軸、光の進行方向を正としＲを近軸曲率半径、Ｋ、Ａ４、Ａ６、Ａ８、Ａ１０としたとき、以下のように定義されるものである。
【００３７】
【数１】
2016035524.tif 000003
【００３８】
なお、「ｅ−０Ｘ」の表示は「１０−Ｘ」を意味している。
【００３９】
（数値実施例１）
面データ
面番号       r        d      nd         νd 
1  (予定結像面)      8.00                             
2*         12.259    3.20   1.52500    56.0           
3*        -18.961    12.8                             
4         -12.507    2.00   1.58000    30.0           
5         248.480    1.00                            
6           ∞       0.30   1.52000    59.0           
7           ∞       5.35                            
8           ∞       0.05                             
9           ∞       0.2                                                  
10          ∞       1.2    1.52500    56.0           
11         -1.700    3.60                                                 
12 (像面) 
非球面データ
第2面
K = 0.00000e+000  A 4=-1.29416e-005  
第3面
K = 0.00000e+000  A 4= 1.10997e-004 
【００４０】
（数値実施例２）
単位 mm 
面データ
面番号       r        d      nd         νd 
1  (予定結像面)     8.00                             
2*         8.158    3.20   1.53000    56.0           
3*        81.885    14.8                             
4         -2.779    2.00   1.53000    56.0           
5         -3.700    0.3                             
6          ∞       0.30   1.52000    59.0           
7          ∞       0.05                            
8          ∞       0.05                             
9          ∞       0.2                                                   
10         ∞       1.2    1.52500    56.0           
11        -1.780    3.55                                                  
12 (像面) 
非球面データ
第2面
K = 0.00000e+000  A 4= 1.53201e-004  A 6=-2.00883e-006  
第3面
K = 0.00000e+000  A 4= 2.57903e-004 
【００４１】
（数値実施例３）
単位 mm 
面データ
面番号       r        d      nd         νd 
1  (予定結像面)     8.00                             
2*         8.153    3.20   1.53000    56.2           
3*        73.344    14.8                            
4         -2.922    2.00   1.58000    30.0           
5         -3.897    0.30                            
6          ∞       0.30   1.52000    59.0           
7          ∞       0.05                            
8          ∞       0.05                             
9          ∞       0.2                                                    
10         ∞       1.2    1.52500    56.0           
11         -1.780   3.55                                                    
12 (像面) 
非球面データ
第2面
K = 0.00000e+000  A 4= 1.39027e-004  A 6=-2.26356e-006  
第3面
K = 0.00000e+000  A 4= 2.47663e-004 
【００４２】
（数値実施例４）
単位 mm 
面データ
面番号       r        d      nd         νd 
1  (予定結像面)     4.00                             
2*         7.931    3.20   1.53000    56.2           
3*        63.815    14.8                             
4         -3.229    2.00   1.58000    30.0           
5         -4.002    0.3                             
6          ∞       0.30   1.52000    59.0           
7          ∞       0.05                            
8          ∞       0.05                             
9          ∞       0.2                                                    
10         ∞       1.2    1.52500    56.0   
11         -1.780   3.55                                                   
12 (像面) 
非球面データ
第2面
K = 0.00000e+000  A 4= 1.12421e-004  A 6=-4.71969e-006  
第3面
K = 0.00000e+000  A 4= 2.01114e-004 
【００４３】
（数値実施例５）
単位 mm 
面データ
面番号       r        d      nd         νd 
1  (予定結像面)     8.00                             
2*         7.911    3.20   1.53000    56.2           
3*        66.573    12.8                             
4         -3.039    2.00   1.58000    30.0           
5         -4.037    1.3                             
6          ∞       0.30   1.52000    59.0           
7          ∞       1.05                            
8          ∞       0.05                             
9          ∞       0.2                                                  
10         ∞       1.2    1.52500    56.0   
11        -1.780    3.55                                                 
12 (像面) 
非球面データ
第2面
K = 0.00000e+000  A 4= 1.73616e-004  A 6=-1.76433e-006  
第3面
K = 0.00000e+000  A 4= 2.80355e-004  
【００４４】
（数値実施例６）
単位 mm 
面データ
面番号       r        d      nd         νd 
1  (予定結像面)     8.00                             
2*         8.224    3.20   1.53000    56.2           
3*        90.944    14.8                             
4*        -3.075    2.00   1.58000    30.0           
5         -4.189    0.30                             
6          ∞       0.30   1.52000    59.0           
7          ∞       0.05                            
8          ∞       0.05                             
9          ∞       0.2                                                
10         ∞       1.2    1.52500    56.0       
11         -1.780   3.55                                                
12(像面)   
非球面データ
第2面
K = 0.00000e+000  A 4= 1.46804e-004  A 6=-1.86564e-006  
第3面
K = 0.00000e+000  A 4= 2.94547e-004  
第4面
K = 0.00000e+000  A 4= 8.47142e-004 
ここで、数値実施例1乃至６（実施例1乃至６）における前述の条件式1乃至５（式1乃至５）の数値を、以下の表１に示す。
【００４５】
【表１】
2016035524.tif 000004
【００４６】
（変形例）
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
【００４７】
（変形例１）
上述した実施形態では、第１のコンデンサーレンズ群１８は１枚の正レンズである第1レンズ、第２のコンデンサーレンズ群２０は１枚の負レンズである第２レンズで構成したが、本発明はこれに限られない。即ち、第１のコンデンサーレンズ群１８が全体として正の屈折力を備える複数枚のレンズ、第２のコンデンサーレンズ群２０が全体として負の屈折力を備える複数枚のレンズで構成しても良い。そして、レンズとしては、貼り合わせレンズや回折光学素子を用いたものであっても良い。
【符号の説明】
【００４８】
１・・撮影光学系、１４・・予定結像面、１８・・第１コンデンサーレンズ群（第１レンズ）、２０・・第２コンデンサーレンズ群（第２レンズ）、２２・・セパレータマスク、２３・・２次結像レンズ
【図１】
2016035524.tif 000005
【図２】
2016035524.tif 000006
【図３】
2016035524.tif 000007
【図４】
2016035524.tif 000008
【図５】
2016035524.tif 000009
【図６】
2016035524.tif 000010
【図７】
2016035524.tif 000011