(57)【要約】【課題】装置全体として小型化および簡略化を図る。【解決手段】パネルのクリーニング装置１０は、テープ供給部１１と、一対の送りローラ１２ａ、１２ｂとを備える。制御部１０Ａは一対の送りローラ１２ａ、１２ｂを駆動制御して、一対の送りローラ１２ａ、１２ｂとテープクランプ１３との間のテープＴ１を弛める。制御部１０Ａはテープクランプ１３を閉としてテープＴ１によりパネルＰの縁部Ｐ１を清掃する。次に制御部１０Ａはテープクランプ１３を開として、テープＴ１をテープ回収部３０により回収する。【選択図】図１
2016203122.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パネルの縁部を清掃用のテープにより清掃するパネルのクリーニング装置において、
前記テープを供給するテープ供給部と、
このテープ供給部からの前記テープを送る一対の送りローラと、
前記一対の送りローラからのテープを挟持するテープクランプと、
前記テープクランプからのテープを前記パネルに押付けるテープ押圧部と、
テープ押圧部からのテープを回収するテープ回収部と、
前記テープ供給部、前記一対の送りローラ、前記テープクランプ、前記テープ押圧部および前記テープ回収部を駆動制御する制御部とを備え、
前記制御部は、
前記テープクランプを閉として前記テープをクランプした状態で、前記一対の送りローラを駆動制御して前記一対の送りローラと前記テープクランプとの間の前記テープをテープの送りピッチ分緩め、前記テープ押圧部を駆動制御して前記テープにより前記パネルの縁部を清掃し、清掃後に前記テープクランプを開として前記一対の送りローラと前記テープクランプとの間のテープの送りピッチ分緩めた前記テープを前記テープ回収部により回収する制御を行うことを特徴とするパネルのクリーニング装置。
【請求項２】
パネルの上面および下面の縁部を清掃用の一対のテープにより清掃するパネルのクリーニング装置において、
各テープを供給するテープ供給部と、
各テープ供給部からの各テープを送る一対の送りローラと、
各一対の送りローラからの各テープを挟持するテープクランプと、
各テープクランプからの各テープを前記パネルに押付けるテープ押圧部と、
各テープ押圧部からの各テープを回収するテープ回収部と、
各テープ供給部、各一対の送りローラ、各テープクランプ、各テープ押圧部および前記テープ回収部を駆動制御する制御部とを備え、
前記制御部は、
各テープクランプを閉として前記テープをクランプした状態で、各一対の送りローラを駆動制御して各一対の送りローラと各テープクランプとの間の各テープをテープの送りピッチ分緩め、各テープ押圧部を駆動制御して各テープにより前記パネルの上面および下面の縁部を清掃し、清掃後に各テープクランプを開として各一対の送りローラと各テープクランプとの間のテープの送りピッチ分緩めた各テープを前記テープ回収部により回収する制御を行うことを特徴とするパネルのクリーニング装置。
【請求項３】
前記テープ回収部は前記テープを吸引するエジェクタを有することを特徴とする請求項１または２記載のパネルのクリーニング装置。
【請求項４】
前記テープ押圧部と前記テープ回収部との間に、追加テープクランプを設けたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか記載のパネルのクリーニング装置。
【請求項５】
パネルの縁部を清掃用のテープにより清掃するパネルのクリーニング装置であって、前記テープを供給するテープ供給部と、このテープ供給部からの前記テープを送る一対の送りローラと、前記一対の送りローラからのテープを挟持するテープクランプと、前記テープクランプからのテープを前記パネルに押付けるテープ押圧部と、テープ押圧部からのテープを回収するテープ回収部と、前記テープ供給部、前記一対の送りローラ、前記テープクランプ、前記テープ押圧部および前記テープ回収部を駆動制御する制御部とを備えたクリーニング装置を用いたパネルのクリーニング方法において、
前記テープクランプを閉として前記テープをクランプする工程と、
前記一対の送りローラを駆動制御して前記一対の送りローラと前記テープクランプとの間の前記テープをテープの送りピッチ分緩める工程と、
前記テープ押圧部を駆動制御して前記テープにより前記パネルの縁部を清掃する工程と、
清掃後に前記テープクランプを開として前記一対の送りローラと前記テープクランプとの間のテープの送りピッチ分緩めた前記テープを前記テープ回収部により回収する工程とを備えたことを特徴とするパネルのクリーニング方法。
【請求項６】
前記テープクランプを閉とする際、同時に前記テープ押圧部と前記テープ回収部との間に設けられた追加テープクランプを閉として前記テープをクランプし、前記テープクランプを開とする際、同時に前記追加テープクランプを開として前記テープを解放することを特徴とする請求項５記載のパネルのクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パネルの縁部をクリーニングするパネルのクリーニング装置およびクリーニング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置に代表される表示装置を製造する際、パネルとしてのガラスや樹脂によって構成された基板（以下「ガラス基板」と称する。）の縁部に形成された端子にサブ基板やＩＣなどの電子部品が接続される。この接続の方法として異方性導電材によってガラス基板に電子部品を接合する方法が用いられる。この接合に先立って、ガラス基板の縁部の表面に付着した異物の除去や、ガラス基板表面に電子部品を接続するために貼付される異方性導電材の貼着性を向上させることを目的としたクリーニングが行われる。
【０００３】
このクリーニングを行う場合、まずテープ供給部から清掃用のテープが供給され、このテープを送りローラによって送った後、テープをテープ押圧部によってガラス基板の縁部に押し付ける。この状態でガラス基板をテープ押圧部に対して相対的にスライドさせ、テープによってガラス基板に付着した付着物を拭き取っている。テープはその後、テープ巻取部により巻取られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２８７６５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述のように、従来のパネルのクリーニング装置では、清掃用のテープをテープ供給部から供給するとともに、このテープを送りローラによってテープ押圧部まで送り、このテープ押圧部によってテープをガラス基板の縁部に押付けている。ガラス基板の縁部を拭き取ったテープは、その後テープ巻取部により巻取られる。
【０００６】
このため、従来のパネルのクリーニング装置では、テープ供給部、送りローラ、テープ巻取部のすべてにアクチュエータを組込む必要があり、またテープのずれやしわの防止のため、各部分あるいは全体としてテープにテンションをかけるためのテンション機構が必要となり、クリーニング装置が大型化するとともに複雑化している。
【０００７】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、装置全体の構造を簡略化および小型化することができるパネルのクリーニング装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、パネルの縁部を清掃用のテープにより清掃するパネルのクリーニング装置において、前記テープを供給するテープ供給部と、このテープ供給部からの前記テープを送る一対の送りローラと、前記一対の送りローラからのテープを挟持するテープクランプと、前記テープクランプからのテープを前記パネルに押付けるテープ押圧部と、テープ押圧部からのテープを回収するテープ回収部と、前記テープ供給部、前記一対の送りローラ、前記テープクランプ、前記テープ押圧部および前記テープ回収部を駆動制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記テープクランプを閉として前記テープをクランプした状態で、前記一対の送りローラを駆動制御して前記一対の送りローラと前記テープクランプとの間の前記テープをテープの送りピッチ分緩め、前記テープ押圧部を駆動制御して前記テープにより前記パネルの縁部を清掃し、清掃後に前記テープクランプを開として前記一対の送りローラと前記テープクランプとの間のテープの送りピッチ分緩めた前記テープを前記テープ回収部により回収する制御を行うことを特徴とするパネルのクリーニング装置である。
【０００９】
本発明は、パネルの上面および下面の縁部を清掃用の一対のテープにより清掃するパネルのクリーニング装置において、各テープを供給するテープ供給部と、各テープ供給部からの各テープを送る一対の送りローラと、各一対の送りローラからの各テープを挟持するテープクランプと、各テープクランプからの各テープを前記パネルに押付けるテープ押圧部と、各テープ押圧部からの各テープを回収するテープ回収部と、各テープ供給部、各一対の送りローラ、各テープクランプ、各テープ押圧部および前記テープ回収部を駆動制御する制御部とを備え、前記制御部は、各テープクランプを閉として前記テープをクランプした状態で、各一対の送りローラを駆動制御して各一対の送りローラと各テープクランプとの間の各テープをテープの送りピッチ分緩め、各テープ押圧部を駆動制御して各テープにより前記パネルの上面および下面の縁部を清掃し、清掃後に各テープクランプを開として各一対の送りローラと各テープクランプとの間のテープの送りピッチ分緩めた各テープを前記テープ回収部により回収する制御を行うことを特徴とするパネルのクリーニング装置である。
【００１０】
本発明は、前記テープ回収部は前記テープを吸引するエジェクタを有することを特徴とするパネルのクリーニング装置である。
【００１１】
本発明は、前記テープ押圧部と前記テープ回収部との間に、追加テープクランプを設けたことを特徴とするパネルのクリーニング装置である。
【００１２】
本発明は、パネルの縁部を清掃用のテープにより清掃するパネルのクリーニング装置であって、前記テープを供給するテープ供給部と、このテープ供給部からの前記テープを送る一対の送りローラと、前記一対の送りローラからのテープを挟持するテープクランプと、前記テープクランプからのテープを前記パネルに押付けるテープ押圧部と、テープ押圧部からのテープを回収するテープ回収部と、前記テープ供給部、前記一対の送りローラ、前記テープクランプ、前記テープ押圧部および前記テープ回収部を駆動制御する制御部とを備えたクリーニング装置を用いたパネルのクリーニング方法において、前記テープクランプを閉として前記テープをクランプする工程と、前記一対の送りローラを駆動制御して前記一対の送りローラと前記テープクランプとの間の前記テープをテープの送りピッチ分緩める工程と、前記テープ押圧部を駆動制御して前記テープにより前記パネルの縁部を清掃する工程と、清掃後に前記テープクランプを開として前記一対の送りローラと前記テープクランプとの間のテープの送りピッチ分緩めた前記テープを前記テープ回収部により回収する工程とを備えたことを特徴とするパネルのクリーニング方法である。
【００１３】
本発明は、前記テープクランプを閉とする際、同時に前記テープ押圧部と前記テープ回収部との間に設けられた追加テープクランプを閉として前記テープをクランプし、前記テープクランプを開とする際、同時に前記追加テープクランプを開として前記テープを解放することを特徴とするクリーニング方法である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、パネルのクリーニング装置を全体として小型化および簡略化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は第１の実施の形態によるパネルのクリーニング装置の側面図。
【図２】図２（ａ）（ｂ）は図１に示すパネルのクリーニング装置の拡大図。
【図３】図３（ａ）（ｂ）はパネルのクリーニング方法を示す図。
【図４】図４（ａ）−（ｄ）はパネルのクリーニング方法を示す図。
【図５】図５（ａ）（ｂ）はパネルのクリーニング方法を示す図。
【図６】図６は第２の実施の形態によるパネルのクリーニング装置の側面図。
【図７】図７は図３に示すパネルのクリーニング装置の拡大図。
【図８】図８（ａ）（ｂ）は薬液の滴下作用を示す図。
【図９】図９は第３の実施の形態によるパネルのクリーニング装置の側面図。
【図１０】図１０は薬液滴下部を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
＜本発明の第１の実施の形態＞
次に本発明の第１の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００１７】
図１を参照してパネルのクリーニング装置の構成について説明する。ここで、パネルのクリーニング装置は、パネルＰの縁部Ｐ１に形成された端子を清掃するものである。図１において、パネルのクリーニング装置１０は基台１と、基台１上に設けられた位置決め部２およびクリーニング部３とを備えている。このうち位置決め部２は、基台１上を移動する移動テーブル４と、移動テーブル４上に設けられた基板保持部５とを有し、基板保持部５はパネルＰを吸着して保持する。ここで、パネルＰとしては、液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置等を構成するガラス製や樹脂製の基板があげられる。
【００１８】
移動テーブル４は、基台１上においてＸ，Ｙ，Ｚの３方向への直線移動およびＺ軸廻りのθ方向の回転移動が可能となっており、基板保持部５にパネルＰを保持させた状態で移動テーブル４を駆動することにより、パネルＰの縁部Ｐ１をクリーニング部３に対して位置決めする。また移動テーブルはクリーニング動作において、パネルＰをクリーニング部３に対して相対移動させる。
【００１９】
次にクリーニング部３について述べる。クリーニング部３は、パネルＰの縁部Ｐ１に形成された端子を清掃するものである。
【００２０】
まずパネルＰの縁部Ｐ１上面を清掃する機構について述べる。
【００２１】
図１に示すようにクリーニング部３は、上面用の清掃用のテープＴ１を供給するテープ供給部１１と、テープ供給部１１から供給されたテープＴ１を送る一対の送りローラ１２ａ、１２ｂと、一対の送りローラ１２ａ、１２ｂからのテープＴ１を挟持するテープクランプ１３と、テープクランプ１３からのテープＴ１をパネルＰに押付けるテープ押圧部１６とを備え、テープ押圧部１６によってパネルＰ上面に押付けられたテープＴ１はテープ回収部３０により回収される。ここで、テープＴ１の幅寸法は、パネルＰの辺の長さに対して充分小さく設定されている。そこで、この実施の形態では、パネルＰの縁部Ｐ１に沿って形成された端子を清掃するために、テープＴ１がパネルＰの縁部Ｐ１の一方の端部側から他方の端部側に向け縁部Ｐ１に沿って移動するように、テープＴ１に対してパネルＰを水平方向に移動させるようにしている。
【００２２】
このうちテープ供給部１１は駆動機構をもっておらず、軸にブレーキ機構を有する供給リールからなり、テープＴ１が引き出されたときにテープＴ１にテンションがかかるようになっている。例えば、ブレーキ機構としては、パウダーブレーキや、渦電流により支軸に付加を加える構成のパーマトルク式の負荷発生装置を用いることができる。また、ブレーキ機構は、供給リールの軸に設けるものに限らず、供給リールの外周や側面に接して回転抵抗を付与する構成のものも適用することができる。
【００２３】
また、一対の送りローラ１２ａ、１２ｂとテープクランプ１３との間には、搬送ガイドローラ１４が設けられ、テープクランプ１３とテープ押圧部１６との間には搬送ガイドローラ１５が設けられている。
【００２４】
またテープ押圧部１６の下流側には、搬送ガイドローラ１７が設けられ、搬送ガイドローラ１７を通ったテープＴ１は、テープ回収部３０に回収される。
なお、この搬送ガイドローラ１４、１５、１７は必要に応じて適宜配置されれば良く、テープＴ１がスムースに送ることができるのであればなくてもよい。
【００２５】
さらにテープ回収部３０は、テープＴ１を吸引排出するエジェクタを備えてなる。
ここでテープ回収部３０を構成するエジェクタは、気流あるいは気体の圧力差でテープを一定方向、本実施の形態においては、テープの排出方向に移動させる力を発揮し、この力によってテープに常時テンションをかける。エジェクタとしては周知のエアーエジェクタや吹き付けノズルが適用できる。
【００２６】
次に図２（ａ）（ｂ）により、上面用のテープＴ１をパネルＰに押付けるテープ押圧部１６について説明する。
図２（ａ）はテープ押圧部１６が上昇位置に、図２（ｂ）はテープ押圧部１６が下降位置にある様子を示した拡大図である。
【００２７】
上面用テープＴ１を押付けるテープ押圧部１６は、クリーニング部３に対して位置決めされたパネルＰに対して上下方向にカム機構１９（図１参照）により移動自在となっており、このためテープ押圧部１６はパネルＰの上面に接触することができる。この接触時、図示しないバネ等の付勢手段により、テープ押圧部１６はパネルＰの上面に弾性的に接触させられる。
【００２８】
さらに図１に示すように、テープ押圧部１６の上方には、テープ押圧部１６側のテープＴ１に対して薬液４０ａを滴下する薬液供給部４０が設けられている。この薬液供給部４０から滴下される薬液は、図２（ｂ）に示すように、テープＴ１の清掃面（パネルＰを拭き取る面）側に直接供給され、パネルＰを確実に清掃するためのものであり、例えばエタノールやイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）を含む。
【００２９】
このように、薬液をテープＴ１の清掃面に直接薬液を供給することにより、例えば薬液をテープＴ１の清掃面と反対側の面に供給する場合に比較して、テープＴ１の材料として透液性のものに限らず不透液性のものも用いることができる。
【００３０】
また薬液供給部４０としては、図１０に示すように薬液タンク４１と薬液タンク４１に逆止弁４７を含む連結ライン４５を介して連結された圧力タンク４２とを有するものを用いることができる。
【００３１】
図１０に示すように、薬液供給部４０の作動にあたっては、排出ライン４６に設けられた排出弁４３を閉じた状態で、圧力タンク４２に負圧を与えることによって、薬液タンク４１内の薬液４０ａが連結ライン４５および逆止弁４７を通って圧力タンクの４２内に導かれる。また、圧力タンク４２に正圧を与え、排出弁４３を開くことによって、圧力タンク４２内の薬液４０ａを、排出ライン４６を介して排出弁４３からテープＴ１上へ滴下することができる。
【００３２】
なお、上記構成部材のうち、一対の送りローラ１２ａ、１２ｂ、テープクランプ１３、テープ押圧部１６、テープ回収部３０、カム機構１９、および薬液供給部４０はいずれも制御装置１０Ａにより駆動制御される。
【００３３】
次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について、図１、図２、図３、図４及び図５により説明する。
ここで図３、図４、図５は、本発明のクリーニング方法を示す概略模式図である。
【００３４】
図１に示すように、テープ供給部１１から引き出された清掃用のテープＴ１は、一対の送りローラ１２ａ、１２ｂに挟持され、搬送ガイドローラ１４、テープクランプ１３、搬送ガイドローラ１５を介してテープ押圧部１６にかけられ、その後搬送ガイドローラ１７を介してテープ回収部３０へと通されている。
【００３５】
図３（ａ）に示すように、この状態でテープクランプ１３は開いていて、テープ回収部３０はテープ送り方向の下流に向かってテープＴ１を送るように吸引排出している。したがって、上記経路においてテープＴ１は弛みなく通されている。なお、テープＴ１は停止している一対の送りローラ１２ａ、１２ｂに挟持されているので、この状態ではテープＴ１は搬送されない。この状態が初期状態となる。（図３（ａ）参照）
【００３６】
まず、図３（ｂ）に示すように、テープクランプ１３が閉となってテープＴ１はテープクランプ１３により挟持される。そして、一対の送りローラ１２ａ、１２ｂによりテープ供給部１１からテープＴ１が送り１ピッチ分送り出される。このときテープ供給部１１は、テープＴ１の引き出しにつれて回転するが、テープＴ１にはテープ供給部１１に内蔵されたブレーキ機構によりテンションがかかるので、余分に引き出されることが防止される。
【００３７】
ここで、引き出されたテープＴ１は、搬送ガイドローラ１４（図１参照）を通ってテープクランプ１３側へ送られる。ところが、テープクランプ１３が閉となっているので、テープＴ１は、図３（ｂ）に示すように、一対の送りローラ１２ａ、１２ｂとテープクランプ１３間に弛みＡを生じる。なお、図１ではこの弛みの状態を搬送ガイドローラ１４との間で、２点鎖線にて表現している。
【００３８】
この弛みＡの量は、テープＴ１の送りの１ピッチ分に相当する長さとなっている。すなわち、テープＴ１は一対の送りローラ１２ａ、１２ｂで１ピッチ分送られ、テープクランプ１３と一対の送りローラ１２ａ、１２ｂとの間で、送り１ピッチ分弛むことになる。つまり、この実施の形態においては、送り１ピッチ分は、テープ押圧部１６の上側において薬液４０ａが滴下されたテープＴ１の部分が、パネルＰのクリーニング時に、テープ押圧部１６の下側の面における、パネルＰの縁部（端子）に対向する位置に送られる量に相当する長さに設定される。なお、この送り量は、実験によって求めたり、設計値に基づいて算出したりすることができる。
【００３９】
上述のテープＴ１の引き出し動作と並行して、薬液供給部４０から薬液４０ａが滴下線Ｂ（図１参照）に沿って滴下される。薬液供給部４０から滴下された薬液４０ａは、テープ押圧部１６上にある使用前のテープＴ１の上（清掃面上）に滴下される（図３（ｂ）参照）。なお、テープＴ１に対する薬液４０ａの滴下は、テープＴ１の引き出し動作と必ずしも並行して行なう必要はなく、引き出し動作後に滴下してもよいし、滴下後にテープＴ１を引き出すようにしてもよい。
【００４０】
次に、テープクランプ１３を開くと、一対の送りローラ１２ａ、１２ｂとテープクランプ１３の間で送り１ピッチ分弛んでいたテープＴ１にテープ回収部３０の吸引排出力がかかり、テープＴ１がテープ回収部３０側に送られることでテープＴ１の弛みがなくなる。つまり、テープ押圧部１６において、テープＴ１の薬液４０ａが滴下された部分がテープＴ１の弛み分すなわち送り１ピッチ分送られることになる。このテープクランプ１３が開いた時、テープＴ１は一対の送りローラ１２ａ、１２ｂによって狭持されているので、テープ供給部１１からテープＴ１が引き出されることは阻止される。なお、テープクランプ１３は、テープＴ１がその弛み分送られるに要する時間が経過した時点で、閉じる。また、テープクランプ１３が閉じた後、一対の送りローラ１２ａ、１２ｂが作動し、テープ供給部１１からテープＴ１が送り１ピッチ分繰り出される。この状態で、パネルＰのクリーニングに待機する。
【００４１】
この後、移動テーブル４が図１のＹ方向左方へ移動してパネルＰのＸ方向に沿う辺における一方側の端部がテープ押圧部１６の直下に位置付けされる（図２（ａ）、図４（ａ）参照）。
【００４２】
そして、カム機構１９によりテープ押圧部１６が下降位置に移動してパネルＰに所定の押圧力で接触する（図４（ｂ）参照）。この時、テープＴ１の薬液４０ａが滴下された部分がパネルＰの縁部Ｐ１のクリーニングすべき上面に対向する位置に位置付けされた状態となる。
【００４３】
その後、移動テーブル４が図１のＸ方向、つまり、テープ押圧部１６をパネルＰのＸ方向に沿う辺の一方側の端部から他方側の端部にかけて移動させるように移動し、テープＴ１が、パネルＰの縁部Ｐ１上に沿ってテープ押圧部１６の下で摺動する。これにより、テープ押圧部１６により押圧される上面用の清掃用のテープＴ１によりパネルＰの上面が清掃（クリーニング）される。
【００４４】
なお、この実施の形態では、テープＴ１が摺動する方向をＸ方向としたが、テープＴ１がパネルＰの縁部に沿って摺動すれば良く、摺動方向はＸ方向に限られずＹ方向でもよいし、Ｘ方向とＹ方向を組み合わせてもよい。
【００４５】
このように清掃用のテープＴ１によりパネルＰの上面が清掃される間、上述のようにテープＴ１は、テープ押圧部１６の上流側にてテープクランプ１３で固定されており、また、テープ押圧部１６の下流側では回収部３０によるテンションが付与された状態となっている。そのため、パネルＰへの付勢接触によるクリーニング中においても、テープＴ１がテープ押圧部１６からずれたりすることはない。つまり、回収部３０によってテープＴ１に付与されるテンションは、クリーニング中にテープＴ１をテープ押圧部１６に保持させるに十分な大きさに設定されている。
【００４６】
このようなパネルＰに対するクリーニングが終了すると、カム機構１９によりテープ押圧部１６が上昇位置へと移動する。テープ押圧部１６が上昇すると、テープＴ１に薬液供給部４０から薬液４０ａを滴下する。この後、移動テーブル４が図１のＹ方向右方へ移動してパネルＰがテープ押圧部１６から離れる（図４（ｃ）参照）。
【００４７】
次にテープクランプ１３が開となる。これにより、テープ回収部３０によってテープＴ１が１ピッチ分送られる（図４（ｄ）の状態）。
【００４８】
この後、テープクランプ１３が再び閉となる（図５（ａ）参照）。
【００４９】
テープクランプ１３が閉じると、一対の送りローラ１２ａ、１２ｂが作動し、テープ供給部１１からテープＴ１が送り１ピッチ分繰り出される。（図５（ｂ）参照）
【００５０】
そして一対の送りローラ１２ａ、１２ｂはテープＴ１に弛みＡが生じたところで作動を停止し、新たなパネルＰの縁部が、移動テーブル４の移動によりテープ押圧部１６の直下に位置付けられ（図４（ａ）参照）、上述の作動（図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）および図５（ａ）（ｂ）の動作）を繰り返す。
【００５１】
以上のように本実施の形態によれば、一対の送りローラ１２ａ、１２ｂによりテープＴ１を送ってテープＴ１に弛みＡを形成するようにし、テープ押圧部１６上のテープＴ１の搬送が必要なときには、テープクランプ１３を開くだけでテープＴ１を弛みＡ分だけテープ回収部３０により送って回収することができる。このため供給リールからなるテープ供給部１１に駆動機構を用いることなく、送りローラ１２ａ、１２ｂを作動させるだけで、テープＴ１を供給することができる。一般に供給リールの駆動機構は大型の構造をもつため、テープ供給部１１に大型の駆動機構を用いない分だけ装置全体の小型化を図ることができる。
【００５２】
また、エジェクタによって、清掃用のテープの送りとテープにテンションを掛けることが同時に行えるので、別途テンション機構を設ける必要がなく、また供給および巻取りリールに付与するトルクを制御することでテンション力を制御するような複雑な制御をなくすことができる。さらには、駆動源を少なくできるので省エネになる。
【００５３】
このように、シンプルな構成と制御ができるので、メンテナンス性の向上、故障率の低減、装置コストの低減、クリーニング効率の向上（生産性）が図れる。
【００５４】
またエジェクタからなるテープ回収部３０を常時オンとした構成なので、テープ押圧部１６の上下動があっても常時掛るテンションでテープＴ１は弛むことがない。また、テープ回収部３０でテープＴ１が固定されないので、テープＴ１の移動が妨げられたり切れたりすることはない。
【００５５】
＜第２の実施の形態＞
以下、図６乃至図８により第２の実施の形態について説明する。図６乃至図８に示す第２の実施の形態において、図１および図２に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００５６】
本実施の形態では、図６に示すようにクリーニング部３は、上面用の清掃用のテープＴ１を供給するテープ供給部１１と、テープ供給部１１から供給されたテープＴ１を送る一対の送りローラ１２ａ、１２ｂと、一対の送りローラ１２ａ、１２ｂからのテープＴ１を挟持するテープクランプ１３と、テープクランプ１３からのテープＴ１をパネルＰに押付けるテープ押圧部１６とを有する上面用のクリーニング部３ａに加え、下面用の清掃用のテープＴ２を供給するテープ供給部２１と、テープ供給部２１から供給されたテープＴ２を送る一対の送りローラ２２ａ、２２ｂと、一対の送りローラ２２ａ、２２ｂからのテープＴ２を挟持するテープクランプ２３と、テープクランプ２３からのテープＴ２をパネルＰ下面に押付けるテープ押圧部２６とを有する下面用クリーニング部３ｂを備え、テープ押圧部１６によってパネルＰに押付けられたテープＴ１と、テープ押圧部２６によってパネルＰに押付けられたテープＴ２は、共通のテープ回収部３０により回収される。
【００５７】
こうすることで、パネルの上下両面を同時にクリーニングすることができるようになっている。上面のクリーニングの説明は第１の実施の形態と略同一であるので、下面のクリーニングおよび両面のクリーニングにかかわる説明を以下に行う。
【００５８】
なお、本実施の形態では第１の実施の形態で示す搬送ガイドローラ１４、１５は下面用の構成部材にないが、適宜設置されてもよい。
【００５９】
図３乃至図５に示すように、上記テープ供給部２１は駆動機構をもっておらず、ブレーキ機構を有する供給リールからなり、テープＴ２が引き出されたときにテープＴ２にテンションがかかるようになっている。このブレーキ機構は、テープ供給部１１と同様の機構を用いることができる。
【００６０】
またテープ押圧部２６を通ったテープＴ２は、テープ回収部３０に回収される。
【００６１】
上述のようにテープ回収部３０は、常時テープＴ１およびテープＴ２を吸引するエジェクタを備えてなる。
【００６２】
次に図６乃至図７により、上面用のテープＴ１をパネルＰに押付けるテープ押圧部１６と、下面用のテープＴ２をパネルＰに押付けるテープ押圧部２６について説明する。
【００６３】
このうち下面用テープＴ２を押付けるテープ押圧部２６は固定されているが、上面用テープＴ１を押付けるテープ押圧部１６は、テープ押圧部２６に対して水平方向および上下方向にカム機構１９により移動自在となっており、このためテープ押圧部１６はテープ押圧部２６と水平方向位置が略一致してテープＴ１をパネルＰに押付ける前進位置（図８（ｂ）参照）と、前進位置から上昇してテープＴ１のパネルＰへの押付けを開放すると共に、後述する薬液供給部４０からテープＴ２への薬液４０ａの滴下を妨げないよう、テープ押付部１６の先端をテープ押付部２６の先端から水平方向に後退する後退位置（図８（ａ）参照）をとることができる。なお、この実施の形態においては、テープ押圧部１６が、テープＴ１をパネルＰに押付ける高さ位置から上昇した位置にある後退位置（「上昇、後退位置」）と、テープＴ１をパネルＰに押付ける位置にある前進位置（「下降、前進位置」）との間で、図８（ａ）に矢印で示すように、斜め方向に直線移動する例で説明するが、後退位置と前進位置との間の移動は、後退位置から前進位置へ水平移動した後に下降し、前進位置から上昇した後に後退位置へ水平移動するなど、水平移動と垂直移動とを組み合わせて移動してもよい。
【００６４】
なお、テープ押圧部２６は必ずしも固定でなくてもよく、上下に移動できるようにしてもよい。
【００６５】
さらにテープ押圧部１６およびテープ押圧部２６の上方には、テープ押圧部１６側のテープＴ１およびテープ押圧部２６側のテープＴ２に対して薬液４０ａを滴下する薬液供給部４０が設けられている。この薬液供給部４０から滴下される薬液は、テープＴ１およびテープＴ２の清掃面（パネルＰを拭き取る面）側に直接供給され、パネルＰを確実に清掃するためのものであり、例えばエタノールやイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）を含む。
【００６６】
このように、薬液をテープＴ１およびテープＴ２の清掃面に直接薬液を供給することにより、例えば薬液をテープＴ１およびテープＴ２の清掃面と反対側の面に供給する場合に比較して、テープＴ１およびテープＴ２の材料として透液性のものに限らず不透液性のものも用いることができる。
【００６７】
また薬液供給部４０としては、図１０に示すように、第１の実施の形態と同様のものを用いることができる。
【００６８】
この実施の形態においては、共通の排出弁４３からテープＴ１およびテープＴ２上へ薬液４０ａを滴下する。
【００６９】
なお、上記構成部材のうち、一対の送りローラ１２ａ、１２ｂ、テープクランプ１３、テープ押圧部１６、一対の送りローラ２２ａ、２２ｂ、テープクランプ２３、テープ押圧部２６、テープ回収部３０、カム機構１９、および薬液供給部４０はいずれも制御装置１０Ａにより駆動制御される。
【００７０】
次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【００７１】
図６に示すように、第１の実施の形態と同様にテープ供給部１１から引き出された清掃用のテープＴ１は、一対の送りローラ１２ａ、１２ｂに挟持され、搬送ガイドローラ１４、テープクランプ１３、搬送ガイドローラ１５を介してテープ押圧部１６にかけられ、その後搬送ガイドローラ１７を介してテープ回収部３０へと通されている。
【００７２】
この状態でテープクランプ１３は開いている。また、テープ回収部３０は常時テープ送り方向の下流に向かってテープＴ１を送るように吸引排出している。したがって、上記経路においてテープＴ１はたるみなく通されている。なお、テープＴ１は停止している一対の送りローラ１２ａ、１２ｂに挟持されているので、この状態ではテープＴ１は搬送されない。
【００７３】
また、テープ供給部２１から引き出された清掃用のテープＴ２は、一対の送りローラ２２ａ、２２ｂに挟持され、テープクランプ２３を介してテープ押圧部２６にかけられ、その後搬送ガイドローラ１７を介してテープ回収部３０へと通されている。
この状態でテープクランプ２３は開いている。また、テープ回収部３０は常時テープ送り方向の下流に向かってテープＴ２を送るように吸引排出している。したがって、上記経路においてテープＴ２は、テープＴ１とともにたるみなく通されている。なお、テープＴ２は停止している一対の送りローラ２２ａ、２２ｂに挟持されているので、この状態ではテープＴ２は搬送されない。この状態が初期状態となる。
【００７４】
この状態から、まず、テープクランプ１３およびテープクランプ２３が閉じ、テープＴ１、Ｔ２は送りローラとテープクランプの間で固定される。次いで、テープ押圧部１６が下降、前進位置へ移動し、この状態で、薬液供給部４０からテープＴ１上に薬液４０ａが予め設定された量で滴下される（図８（ｂ）に示す状態）。薬液４０ａが滴下された後、テープ押圧部１６は上昇、後退位置へ移動される。
【００７５】
テープ押圧部１６が上昇、後退位置に位置付けられた後、薬液供給部４０から薬液４０ａを滴下する。この場合、テープ押圧部１６は後退位置にあるので、薬液供給部４０から滴下された薬液４０ａはテープ押圧部２６上にあるテープＴ２上（清掃面上）に滴下される（図８（ａ）の状態）。
【００７６】
また、テープ押圧部１６が上昇、後退位置をとるとき、テープ押圧部１６とテープ押圧部２６との間には隙間Ｇが形成されている。この隙間Ｇの寸法は、パネルＰの縁部の厚み寸法よりも大きな寸法である。
【００７７】
次に移動テーブル４が図６のＹ方向左方へ移動してパネルＰのＸ方向に沿う辺における一方側の端部がテープ押圧部１６とテープ押圧部２６間に入る。パネルＰの縁部がテープ押圧部１６とテープ押圧部２６の間に侵入した後、移動テーブル４は、パネルＰの下面がテープ押圧部２６の上面に接するまで、基板保持部５を下降させる。
【００７８】
その後、カム機構１９によりテープ押圧部１６を下降、前進位置へ移動させる。これにより、パネルＰの縁部Ｐ１がテープ押圧部１６とテープ押圧部２６との間で挟持される。
この状態で、テープ押圧部１６は、パネルＰに所定の押圧力で接触する。またテープＴ１の薬液４０ａが滴下された部分は、パネルＰの縁部Ｐ１のクリーニングすべき上面に対向する位置に位置付けされた状態となる。
【００７９】
そして、移動テーブル４が図６のＸ方向、つまり、テープ押圧部１６とテープ押圧部２６をパネルＰの一方側の端部から、他方側の端部にかけて移動させるように移動し、パネルＰの縁部Ｐ１がテープ押圧部１６とテープ押圧部２６との間で摺動する。この場合、テープ押圧部１６により押圧される上面用の清掃用のテープＴ１によりパネルＰの上面が清掃（クリーニング）され、テープ押圧部２６により押圧される下面用の清掃用のテープＴ２によりパネルＰ２の下面が清掃（クリーニング）される。この時、第１の実施の形態で説明したようにテープ押圧部１６が付勢されているので、テープＴ１およびテープＴ２はパネルＰに対して所定の押圧力で接触する。
【００８０】
なお、パネルＰの縁部がテープ押圧部１６とテープ押圧部２６との間で摺動可能であれば、摺動方向はＸ方向に限られずＹ方向でもよいし、Ｘ方向とＹ方向を組み合わせてもよい。
【００８１】
パネルＰのクリーニングが完了したら、下降、前進位置に位置しているテープ押圧部１６上にあるテープＴ１上に薬液供給部４０から薬液４０ａが滴下される。このとき、テープ押圧部１６は、図８（ｂ）に示す状態と同じ位置にあるので、薬液供給部４０からテープ押圧部１６にかけられたテープＴ１に薬液４０ａを滴下可能な状態にある。ここでテープＴ１に薬液４０ａが滴下された部分は、次のパネルＰのクリーニング時に使用される。
【００８２】
このテープＴ１への薬液４０ａの供給の後、テープ供給部１１から上面用の清掃用のテープＴ１が供給される。つまり、一対の送りローラ１２ａ、１２ｂによりテープ供給部１１からテープＴ１が送り１ピッチ分だけ引き出される。このときテープ供給部１１は、テープＴ１の引き出しにつれて回転するが、テープＴ１にはテープ供給部１１に内蔵されたブレーキ機構によりテンションがかかる。
【００８３】
このとき、テープクランプ１３は閉なので、図６に二点鎖線で示すように、一対の送りローラ１２ａ、１２ｂと搬送ガイドローラ１４間に弛みＡが生じる。
【００８４】
また、このテープＴ１の引き出しと並行して、テープ供給部２１から下面用の清掃用のテープＴ２が供給される。つまり、一対の送りローラ２２ａ、２２ｂによりテープ供給部２１からテープＴ２が引き出される。このときテープ供給部２１は、テープＴ２の引き出しにつれて回転するが、テープＴ２にはテープ供給部２１に内蔵されたブレーキ機構によりテンションがかかるので、テープ供給機構２１からテープＴ２が余分に引き出されることが防止される。
【００８５】
このとき、テープクランプ２３は閉なので、テープ供給部２１から引き出されテープＴ２には、図６に二点鎖線で示すように、一対の送りローラ２２ａ、２２ｂとテープクランプ２３間に弛みＡが生じる。
【００８６】
このテープＴ１およびテープＴ２に生じさせる弛みＡの量は、各テープの送りの１ピッチ分に相当する長さとなっている。すなわち、テープＴ１はテープクランプ１３と一対の送りローラ１２ａ、１２ｂとの間で、テープＴ２はテープクランプ２３と一対の送りローラ２２ａ、２２ｂとの間で、第１実施例同様に送り１ピッチ分弛むことになる。具体的には、テープＴ１の送り１ピッチの長さは、第１の実施の形態と同様に、テープ押圧部１６の上側において薬液４０ａが滴下されたテープＴ１の部分が、パネルＰのクリーニング時に、テープ押圧部１６の下側の面における、パネルＰの縁部（端子）に対向する位置に送られる量に設定される。また、テープＴ２の送り１ピッチの長さは、パネルＰのクリーニング時に、パネルＰに接していたテープＴ２の部分が送られて、テープ押圧部２６の上面にテープＴ２の新たな部分が位置付けられる送り量に相当する長さに設定される。
【００８７】
尚、上述した実施例では、移動テーブル４がＸ方向へ移動しパネルＰを清掃（クリーニング）して、前進位置に位置しているテープ押圧部１６上にあるテープＴ１上に薬液４０ａが滴下し、この薬液４０ａの滴下の後、一対の送りローラ１２ａ、１２ｂの駆動によりテープＴ１に弛みを生じさせると共に、一対の送りローラ２２ａ、２２ｂの駆動によりテープＴ２に弛みを生じさせたが、これらの工程は並行して行っても良い。
【００８８】
このようなパネルＰに対するクリーニングが終了すると、カム機構１９によりテープ押圧部１６が上昇、後退位置をとり、移動テーブル４によって基板保持部５が上昇され、図３のＹ方向右方へ移動され、パネルＰがテープ押圧部１６、２６から離れ、搬出される。
【００８９】
次に同時にテープクランプ１３、テープクランプ２３を開とする。このことにより一対の送りローラ１２ａ、１２ｂの下流側にあるテープＴ１が上述した弛みＡ（１ピッチ分）だけテープ回収部３０により送られる。
【００９０】
同様に一対の送りローラ２２ａ、２２ｂの下流側にあるテープＴ２が上述した弛みＡ（１ピッチ）だけテープ回収部３０により送られる。
【００９１】
上述した実施例では、パネルの搬出をしてから、テープクランプ１３、テープクランプ２３を開としたが、これらの工程を同時に行っても良い。
【００９２】
次にテープクランプ１３、テープクランプ２３が再び閉となり、上述した作用を繰り返す。
なお、テープ押圧部１６がカム機構１９により上昇、後退位置に移動する時、テープＴ１の搬送経路長が短くなる分だけ、テープクランプ１３より下流側のテープＴ１のテンションが一瞬弱められることになるが、エジェクタからなるテープ回収部３０によりテンションが維持されているので、すぐに弛みは解消される。
【００９３】
以上のように本実施の形態によれば、一対の送りローラ１２ａ、１２ｂによりテープＴ１を送ってテープＴ１に弛みＡを形成するとともに、一対の送りローラ２２ａ、２２ｂによりテープＴ２を送ってテープＴ２に弛みＡを形成するようにし、テープ押圧部１６上のテープＴ１および／またはテープ押圧部２６上のテープＴ２に搬送が必要なときには、テープクランプ１３、２３を開くだけでテープＴ１、Ｔ２を弛みＡ分だけテープ回収部３０により送ることができる。このためテープ供給部１１、２１の供給リールに回転駆動機構を用いることなく、送りローラ１２ａ、１２ｂおよび送りローラ２２ａ、２２ｂを作動させるだけで、テープＴ１、Ｔ２を供給することができる。一般に供給リールの回転駆動機構は大型の構造をもつため、テープ供給部１１、２１に大型の駆動機構を用いない分だけ装置全体の小型化を図ることができる。
【００９４】
また、単一のエジェクタによって、清掃用のテープＴ１、Ｔ２の送りとテープにテンションを掛けることとが供用できるので、テープＴ１、Ｔ２の巻き取り用の送り機構とテンション機構とを個別に設ける必要がなく、また供給および巻取りリールに付与するトルクを制御することでテンション力を制御するような複雑な制御をなくすことができる。さらには、駆動源を少なくできるので省エネになる。
【００９５】
また、単一の薬液供給部４０を用い、同一の滴下線Ｂに沿って薬液４０ａを上面用の清掃用のテープＴ１と下面用の清掃用のテープＴ２の双方に滴下することができるので、薬液供給部４０の構造を簡略化することができる。
【００９６】
このように、シンプルな構成と制御ができるので、メンテナンス性の向上、故障率の低減、装置コストの低減、クリーニング効率の向上（生産性）が図れる。
【００９７】
さらに、薬液供給部４０からテープＴ１の清掃面およびテープＴ２の清掃面に薬液を滴下することができるので、テープＴ１、Ｔ２の材料としては透液性の材料および不透液性の材料の双方を使用することができる。
【００９８】
＜第３の実施の形態＞
以下、図９により第３の実施の形態について説明する。  
図９に示す３の実施の形態は、テープ押圧部１６、２６とテープ回収部３０との間に追加テープクランプ３１を設けたものであり、他の構成は図３乃至図５に示す第２の実施の形態と同一である。
【００９９】
本実施の形態では、図９に示すように第２の実施の形態と、上面用クリーニング部３ａおよび下面用クリーニング部３ｂと、テープ回収部３０を備える点については共通するが、テープ押圧部１６、２６とテープ回収部３０との間に、追加テープクランプ３１が設けられている点で相違する。
なお、パネルのクリーニングの動作の説明は第２の実施の形態と共通するので、追加テープクランプ３１にかかわる説明を以下に行う。
【０１００】
上述のように、テープ押圧部１６、２６とテープ回収部３０との間に、追加テープクランプ３１が設けられていて、テープ押圧部１６を通ったテープＴ１およびテープ押圧部２６を通ったテープＴ２は、追加テープクランプ３１を介してテープ回収部３０に回収される。
【０１０１】
また、本実施の形態では、テープ回収部３０はエジェクタを備えてなるが、エジェクタを必要な時だけ作動させるように制御することが可能とされる。この追加テープクランプ３１も制御装置１０Ａにより駆動制御される。
【０１０２】
本実施の形態においては、テープ押圧部１６とテープ押圧部２６との間にパネルＰの縁部が位置付けられて、パネルＰの縁部がテープ押圧部１６とテープ押圧部２６との間で挟持された段階で、追加テープクランプ３１がテープＴ１、Ｔ２を挟持する。言い換えれば、テープ押圧部２６の上面に位置付けられたテープＴ２の清掃面に薬液４０ａが滴下され、テープＴ１における薬液４０ａが滴下された部分がテープ押圧部１６の下面に位置付けられた段階で、追加テープクランプ３１がテープＴ１、Ｔ２を挟持する。
【０１０３】
そして、この状態を維持したまま、パネルＰのクリーニングを行なう。
このようにすることで、パネルＰをクリーニングするときに、テープＴ１、Ｔ２とパネルＰとの間に想定される以上抵抗が作用することがあったとしても、テープＴ１、Ｔ２がテープ回収部３０側から引き戻されることが防止されるので、テープ押圧部１６、２６からずれたりすることを、確実に防止することが可能となる。
【０１０４】
また、本実施の形態においては、テープＴ１およびテープＴ２を共に搬送する必要の無いタイミングで、追加テープクランプ３１によってテープＴ１、Ｔ２を挟持させるとともに、テープ回収部３０のエジェクタの作動を停止させることが可能である。ここで、テープＴ１およびテープＴ２を共に搬送する必要の無いタイミングとしては、次のタイミングがあげられる。
【０１０５】
初期状態にセットしてから最初のパネルＰに対するクリーニングのために、テープＴ１、Ｔ２に対して薬液４０ａの供給する動作を開始するまでの間。
【０１０６】
上述した、パネルＰのクリーニングを行なっている間。言い換えれば、テープ押圧部２６の上面に位置付けられたテープＴ２の清掃面に薬液４０ａが滴下され、かつ、テープＴ１における薬液４０ａが滴下された部分がテープ押圧部１６の下面に位置付けられてから、パネルＰのクリーニングが完了し、テープ押圧部１６を、下降、前進位置から上昇、後退位置への移動を開始させるまでの間。
【０１０７】
このように、エジェクタを必要な時だけ作動させることにより、作動音の低減、高圧エアー等の作動エネルギ源の電力消費量を低減することが可能となる。
【０１０８】
以上のように本実施の形態によれば、テープＴ１やテープＴ２に弛みＡを形成し、テープ押圧部１６上のテープＴ１および／またはテープ押圧部２６上のテープＴ２に搬送が必要なときには、テープクランプ１３、２３および追加テープクランプ３１を開くだけでテープＴ１、Ｔ２を弛みＡ分だけテープ回収部３０により送ることができる。このため供給リールからなるテープ供給部１１、２１に駆動機構を用いることなく、送りローラ１２ａ、１２ｂおよび送りローラ２２ａ、２２ｂを作動させるだけで、テープＴ１、Ｔ２を供給することができる。一般に供給リールの駆動機構は大型の構造をもつため、テープ供給部１１、２１に大型の駆動機構を用いない分だけ装置全体の小型化を図ることができる。
【０１０９】
また、単一のエジェクタによって、清掃用のテープＴ１、Ｔ２の送りとテープに掛けるテンションを同時に行えるので、別途テンション機構を設ける必要がなく、また供給および巻取りリールに付与するトルクを制御することでテンション力を制御するような複雑な制御をなくすことができる。さらには、駆動源を少なくできるので省エネになる。
【０１１０】
エジェクタは必要な時だけ作動するので、作動音の低減、高圧エアー等の作動エネルギ源の消費量の低減となる。
【０１１１】
エジェクタが作動していない状態でも、追加テープクランプ３１でテープは保持されるので、テンション力が変動することがない。よって安定したクリーニングを行うことができる。
【０１１２】
このように、シンプルな構成と制御ができるので、メンテナンス性の向上、故障率の低減、装置コストの低減、クリーニング効率の向上（生産性）が図れる。
【０１１３】
なお、テープ回収部３０は常時作動していてもよい。こうすることで作動制御をなくすことができ、制御および機構を簡素化できる。また、本実施の形態では、テープ回収部３０を必要な時だけ作動させて、テープＴ１およびテープＴ２を吸引する実施の形態を説明したが、第１の実施の形態および第２の実施の形態においても、テープ回収部３０を必要な時だけ作動させてもよい。
【０１１４】
＜他の変形例＞
次に本発明の他の変形例について説明する。
上記いずれの実施の形態においても、清掃用のテープＴ１、Ｔ２を回収する巻取りリールを持たず、テープＴ１、Ｔ２は回収ボックスに回収され、再利用あるいは廃棄されるように出来るが、もちろんテープＴ１、Ｔ２を巻取りリールに巻き取ってもよい。
【０１１５】
またテープ回収部３０のエジェクタは、例えばエアーの吹き出しノズルからなっていてもよい。
【０１１６】
また回収部３０は、エジェクタに代えて、ニップローラからなっていてもよい。ただしこの場合は、常時テンションはかけにくいが第３の実施の形態のように追加テープクランプで特に有効に用いることができる。
【０１１７】
またテープ回収部３０として、エジェクタに代えて、段差ローラや弾性力によるテンションローラを用いてもよく、この場合一定のテンション力はかけにくいが、常時テンションをかけられる。さらにテンションローラは不安定なテンションを遮断できるので第３の実施の形態では有効に用いることができる。
【０１１８】
さらにまた単一のエジェクタからなるテープ回収部３０により両方のテープＴ１、Ｔ２の回収を行う例を示したが、それぞれのテープＴ１、Ｔ２毎にテープ回収部を設けてもよい。
【０１１９】
さらに上記実施の形態において、クリーニング時に基板保持部５が移動する例を示したが、クリーニング部３が移動してもよいし、両方移動してもよい。この場合、構成は非常に複雑化するが、クリーニング時間は半減し、生産性が上がる。
【０１２０】
さらに上記実施の形態において、カム機構１９によりテープ押圧部１６を移動させたが、テープ押圧部１６をパネルＰに所定の押圧力で接触させると共に、テープＴ１の薬液４０ａが滴下された部分がパネルＰの縁部Ｐ１のクリーニングすべき上面に対向する位置に位置付けされるよう、シリンダ等、他の既知の機構により移動させても良い。
【符号の説明】
【０１２１】
１  基台
２  位置決め部
３  クリーニング部
４  移動テーブル
５  基板保持部
１０  パネルのクリーニング装置
１０Ａ  制御部
１１  テープ供給部
１２ａ、１２ｂ  送りローラ
１３  テープクランプ
１６  テープ押圧部
１９  カム機構
２１  テープ供給部
２２ａ、２２ｂ  送りローラ
２３  テープクランプ
２６  テープ押圧部
３０  テープ回収部
３１  追加テープクランプ
４０  薬液供給部
【図１】
2016203122.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2016203122.tif 000009
【図８】
2016203122.tif 000010
【図９】
2016203122.tif 000011
【図１０】
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