(57)【要約】【課題】  不純物の吸着除去から不純物の溶離、吸着材の乾燥、再利用までを閉鎖系で行うことができる吸着材の再生方法及び吸着塔を提供する。【解決手段】  吸着塔１は、本体２、本体２の内部に１又は複数段に配置された吸着材収容体３、処理すべきガスを導入する導入口７、吸着処理が行われた後のガスを排気する排気口８、溶離液１４を本体内に供給する供給口９、溶離液１４を排出する排出口１０、活性炭１５の加熱乾燥及び／又は溶離液の加熱を行う加熱装置５等を備えて構成されている。そして、活性炭１５に吸着された不純物（アルシンガス等）を溶離液１４中に溶離させ、その後、溶離液１４を含んだ活性炭１５を本体２内に配置された加熱装置５によって加熱乾燥することにより活性炭１５が再生される。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガス中に含まれる不純物を吸着塔の気密性を有する本体内に導入し、前記ガスの流路の途中に１又は複数段に配置された吸着材収容体内に収容された吸着材によって前記不純物の吸着処理を行う吸着塔において、
前記本体内に溶離液を供給することにより前記吸着材に吸着された前記不純物を前記溶離液中に溶離させると共に、前記不純物を溶離した後の吸着材を前記本体内に配置された加熱装置によって加熱乾燥することにより吸着材の再生を行うことを特徴とする吸着塔。
【請求項２】
ガス中に含まれる不純物を吸着材によって吸着除去する吸着塔において、
気密性を有する本体と、
吸着材が収容された吸着材収容体であって、前記本体の内部に１又は複数段に配置された吸着材収容体と、
処理すべきガスを前記本体内に導入する導入口と、
前記吸着材によって前記不純物の吸着処理が行われた後のガスを排気する排気口と、
前記吸着材に吸着された前記不純物を溶離させる溶離液を前記本体内に供給する供給口と、
前記溶離液を排出する排出口と、
前記吸着材収容体の下部に配置され、前記溶離液を排出した後の前記吸着材の加熱乾燥及び／又は前記本体内に導入された前記溶離液の加熱を行う加熱装置と、
を備えて構成されたことを特徴とする吸着塔。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の吸着塔において、
前記吸着材保持体は取り出し可能に形成されていることを特徴とする吸着塔。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の吸着塔において、
前記導入口は前記本体の下部側に配置され、前記排気口は前記本体の上部側に配置され、前記ガスの流路の途中に前記吸着材保持体が位置するようにされていることを特徴とする吸着塔。
【請求項５】
ガス中に含まれる不純物を吸着塔の気密性を有する本体内に導入し、前記ガスの流路の途中に１又は複数段に配置された吸着材収容体内に収容された吸着材によって前記不純物の吸着処理を行った後の吸着材の再生方法において、
前記本体内に溶離液を供給することにより前記吸着材に吸着された前記不純物を前記溶離液中に溶離させると共に、前記不純物を溶離した後の吸着材を前記本体内に配置された加熱装置によって加熱乾燥することを特徴とする吸着材の再生方法。
【請求項６】
請求項５に記載の吸着材の再生方法において、
前記本体内に供給された前記溶離液を前記加熱装置によって５０℃以下となるように加熱することを特徴とする吸着材の再生方法。
【請求項７】
請求項５又は６に記載の吸着材の再生方法において、
前記ガスは、電解液の清浄工程で発生する砒化水素を含む排ガスであることを特徴とする吸着材の再生方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着塔及び吸着材の再生方法に関し、さらに詳しくは、吸着材を容易かつ安全に再生することが可能な吸着塔及び吸着材の再生方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
非鉄金属の製錬、例えば銅の電解精製において、電解精製が進むにつれて電解液中に銅、砒素、アンチモン、ビスマス、ニッケルなどの金属が増加してくるため、電解液を適宜清浄して適宜除去する必要がある（特許文献１）。しかしながら、電解液の清浄工程において発生する排ガス中には極めて有害性の高いアルシンガス（砒化水素（ＡｓＨ３））等が含まれているためこれらを確実に除く必要がある。
【０００３】
例えば、アルシンガスの除去には、酸化剤を溶解したトラップ液に通液して酸化溶解する方法、アルカリに吸収する方法の他、吸着材に吸着する方法が知られている（特許文献２）。
【０００４】
液体に吸収させる方法では気体を液体に吸収させるため、接触面積と反応速度が重要となる。従って、比較的高濃度のアルシンガスの除去には効果が高い。しかしながら、検出限界を下回るような低濃度の場合にはその効果はあまり高いとはいえない。加えて、大量のガスを処理するには液体との接触面積を大きく取る必要があることから設備が大型化する傾向にある。
【０００５】
そのため、低濃度のアルシンガスの除去には一般に吸着材による吸着除去が用いられている。すなわち、吸着材を充填した吸着材充填層を有する吸着塔にアルシンガスを含む排ガスを導入し、吸着剤にアルシンガスを吸着させる方法である。そして、一定期間使用した後には吸着材に吸着した砒化水素成分をパージすることにより吸着材を再利用するという方法である。
【０００６】
このような吸着材による不純物の除去処理においては、種々の吸着材が利用されるが、安価で高吸着性能を有する吸着材としては、例えば活性炭がある（特許文献３）。また、他の吸着材としては高機能樹脂や化学処理により機能を強化した多孔性物質も提案されている（特許文献４）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平９−７８２８４号公報
【特許文献２】特許第２５４９４１５号公報
【特許文献３】特開２０１１−１６０７０号公報
【特許文献４】特開昭５６−８９８３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
吸着材による不純物の吸着除去を行う場合、吸着した不純物を定期的に取り除いてやる必要がある。特に、不純物がアルシンガスのような有害性の高い物質である場合、この過程において吸着塔に溶離液を通液して砒素成分を溶離するようにすれば系外に砒素成分が遺漏する危険性を抑えることができる。
【０００９】
しかしながら、不純物を溶離液によって溶離した後の吸着材はそのまま再度使用することも可能ではあるが、吸着材の表面に水分が残っている状態では吸着性能を十分に発揮することができない。
【００１０】
この場合、吸着塔から溶離に供した後の吸着材を取り出して交換するか、或いは、取り出した吸着材を加熱乾燥することが考えられるが、吸着材に吸着されていた不純物である砒素成分が溶離液によって完全に除去されているわけではないため、加熱乾燥工程で脱離した砒素成分による人体への影響や環境汚染、設備の損傷等の問題を引き起こすことが否定できない。そのため、吸着材を加熱乾燥する場合には特殊な乾燥設備が必要となる。
【００１１】
また、砒素成分を溶離液によって溶離した後の吸着材に、さらにアルコールやアセトン等の水溶性有機溶剤を通液することで吸着材に付着した水分を除去することはできるものの、砒素成分を含んだ有機溶剤の処理という新たな問題が生じることになるため現実的な方法ではない。
【００１２】
そこで、本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、吸着材の洗浄手段を設けると共に、洗浄された吸着材を再生するための加熱乾燥手段を設けることにより不純物の吸着除去から不純物の溶離、吸着材の乾燥、再利用までを閉鎖系で行うことができる吸着材の再生方法及び吸着塔を着想し、本発明を完成するに至った。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するために請求項１に記載の本発明は、ガス中に含まれる不純物を吸着塔の気密性を有する本体内に導入し、前記ガスの流路の途中に１又は複数段に配置された吸着材収容体内に収容された吸着材によって前記不純物の吸着処理を行う吸着塔において、前記本体内に溶離液を供給することにより前記吸着材に吸着された前記不純物を前記溶離液中に溶離させると共に、前記不純物を溶離した後の吸着材を前記本体内に配置された加熱装置によって加熱乾燥することにより吸着材の再生を行うことを特徴とする。
【００１４】
上記課題を解決するために請求項２に記載の本発明は、ガス中に含まれる不純物を吸着材によって吸着除去する吸着塔において、気密性を有する本体と、吸着材が収容された吸着材収容体であって、前記本体の内部に１又は複数段に配置された吸着材収容体と、処理すべきガスを前記本体内に導入する導入口と、前記吸着材によって前記不純物の吸着処理が行われた後のガスを排気する排気口と、前記吸着材に吸着された前記不純物を溶離させる溶離液を前記本体内に供給する供給口と、前記溶離液を排出する排出口と、前記吸着材収容体の下部に配置され、前記溶離液を排出した後の前記吸着材の加熱乾燥及び／又は前記本体内に導入された前記溶離液の加熱を行う加熱装置とを備えて構成されたことを特徴とする。
【００１５】
上記課題を解決するために請求項３に記載の本発明は、請求項１又は２に記載の吸着塔において、前記吸着材保持体は取り出し可能に形成されていることを特徴とする。
【００１６】
上記課題を解決するために請求項４に記載の本発明は、請求項１から３のいずれか１項に記載の吸着塔において、前記導入口は前記本体の下部側に配置され、前記排気口は前記本体の上部側に配置され、前記ガスの流路の途中に前記吸着材保持体が位置するようにされていることを特徴とする。
【００１７】
上記課題を解決するために請求項５に記載の本発明は、ガス中に含まれる不純物を吸着塔の気密性を有する本体内に導入し、前記ガスの流路の途中に１又は複数段に配置された吸着材収容体内に収容された吸着材によって前記不純物の吸着処理を行った後の吸着材の再生方法において、前記本体内に溶離液を供給することにより前記吸着材に吸着された前記不純物を前記溶離液中に溶離させると共に、前記不純物を溶離した後の吸着材を前記本体内に配置された加熱装置によって加熱乾燥することを特徴とする吸着材の再生方法を提供する。
【００１８】
上記課題を解決するために請求項６に記載の本発明は、請求項５に記載の吸着材の再生方法において、前記本体内に供給された前記溶離液を前記加熱装置によって５０℃以下となるように加熱することを特徴とする。
【００１９】
上記課題を解決するために請求項７に記載の本発明は、請求項５又は６に記載の吸着材の再生方法において、前記ガスは、電解液の清浄工程で発生する砒化水素を含む排ガスであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明に係る吸着塔及び吸着材の再生方法によれば、ガス中に含まれる不純物の除去、吸着材に吸着させた不純物の溶離、さらには不純物を溶離した後の吸着材を乾燥して再利用を図るまでの一連の工程を閉鎖系設備において行うことが可能となるという効果がある。その結果、不純物がアルシンガスのような有害性の高い場合であっても外部への遺漏の懸念が大幅に低下できるという効果がある。また、作業員の砒化水素暴露の恐れも大幅に低下するという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明に係る吸着塔の好ましい一実施形態を示す説明図である。
【図２】本発明に係る吸着材の再生方法の好ましい一実施形態を示すフローチャートである。
【図３】吸着材の吸着動作を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明に係る吸着材の再生方法及び吸着塔について、図面を参照しつつ以下詳細に説明する。初めに、本発明に係る吸着塔の好ましい一実施形態について説明し、その後に本発明に係る吸着材の再生方法の好ましい一実施形態について説明する。図１は本発明に係る吸着塔の一実施形態を示す説明図である。
【００２３】
図示された吸着塔１は、概略として、内部空間を有する本体２と、本体２の内部に上下２段に配置された吸着材収容体３，３と、処理すべきガスに含まれる不純物（例えば、アルシンガス：砒化水素）を吸着する吸着材としての活性炭１５，１５（図１では一部のみを示す）を２段の吸着材収容体３，３内にそれぞれ均等な厚み（＝高さ）に収容して形成された吸着材充填層４，４（ここでは２層）と、本体２内の下段側の吸着材収容体３の下方に設置された加熱装置５と、加熱装置５に蒸気を供給する蒸気発生装置６と、加熱装置５の下部の本体２の側壁に取り付けられ、処理すべきガスを本体２内に導入する導入口７と、吸着材収容体３，３に収容された活性炭１５，１５によって不純物の吸着処理が行われた後のガスを排気する排気口８と、活性炭１５に吸着された不純物を溶離させる溶離液１４を本体２内に供給する供給口９と、この供給口９からの溶離液１４を本体２の外へ排出する排出口１０と、溶離液１４を貯留するタンク１１と、このタンク１１内の溶離液１４を供給口９へ送入するポンプ１２と、蒸気発生装置６及びポンプ１２を制御する制御装置１３を備えて構成されている。
【００２４】
［本体］
本体２は、処理すべきガスが導入される容器であり、略円筒状で所定の内部空間を有して形成される。本体２は、導入されるガスによる腐食等に耐え得る材料、例えば、ステンレスなどの金属製材料によって形成することが好ましい。また、本体２の天井部は上方へ膨出した形状とされ、頂部には排気口８が設けられている。尚、図示を省略しているが導入口７及び排気口８には配管が接続されている。本体２は、気密性を有して形成されている。
【００２５】
［吸着材収容体］
吸着材収容体３，３は、吸着材である活性炭１５を収容する容器であり、金属製材料によってトレイ形状に形成され、本体２の内部に配置される。吸着材収容体３，３の底面はパンチング孔等の通気孔又は金網状に形成されており、これにより本体２内に導入された処理対象となるガスは吸着材収容体３，３に収容された活性炭１５，１５によって形成された吸着材充填層４，４を通過することにより不純物が活性炭１５，１５に吸着されると共に、溶離液１４及び乾燥用空気の吸着材収容体３，３内への通過を可能としている。そして、吸着材収容体３，３の各々は、本体２へ収容されるべき位置の側壁に設けられた図示しない開閉扉によって本体２内への出し入れが可能とされており、これによって吸着材収容体３，３内に収容された活性炭１５，１５を交換できるようになっている。尚、吸着材収容体３，３の本体２内への取り付け及び取り出しはこれに限らず、本体２の上部を蓋状に形成することにより、本体２の上部からの取り付け及び取り出しを可能とすることもできる。本実施形態では吸着材収容体３，３は本体２内に上下２段に配置されているが、３段以上配置してもよく、或いは１段だけ配置することもできる。
【００２６】
［吸着材充填層］
吸着材充填層４，４は、上下２段に配置された吸着材収容体３，３内に活性炭１５，１５をそれぞれ所定の厚みに収容して形成したものである。本実施形態では吸着材充填層４，４はそれぞれ均等な厚みとしているが、これに限定されるものではなく、例えば、導入されたガスが最初に通過する下側の吸着材充填層４の厚みを厚くし、上側の吸着材充填層４の厚みをそれよりも薄くするようにしたり、或いはその逆としてもよい。また、上下の吸着材充填層４，４の間の間隔、すなわち、空間体積についても本体２の形状や大きさ、処理すべきガスの導入量等によって適宜に決定される。また、活性炭１５，１５の交換の頻度も吸着材の能力や操業条件に応じて適宜に調整される。
【００２７】
ここで、本実施形態では吸着材は活性炭１５としたが、多孔質で砒化水素を吸着する機能を有する吸着材であれば適宜に採用可能であり、活性炭１５に限定されるものではない。活性炭の他には、例えば、機能性樹脂、化学処理多孔質等が使用可能であるが、安価かつ廃棄処理が容易であることから、活性炭１５が吸着材として適している。
【００２８】
［溶離液の供給口及び排出口］
本体２には、活性炭１５に吸着された不純物を溶離させる溶離液１４を本体２内に供給する供給口９と、供給口９からの溶離液１４を本体２の外へ排出する排出口１０が設けられているが、本実施形態では、供給口９は本体２の下部に設けられ、排出口１０は本体２の上部に設けられている。供給口９及び排出口１０はどちらが上に配置されていてもよいが、供給口９を下部にし、排出口１０を上部に配置した場合には溶離液１４によって吸着材充填層４，４を水没させることができるので活性炭１５，１５に吸着された不純物を確実に溶離することができる。勿論、供給口９と排出口１０を逆に配置する構成であってもよいが、この場合には排出口１０にはバルブ等によって溶離液１４の流出を防止するようにすることが必要である。また、供給口９と排出口１０をいずれも下部に設けてもよく、供給口９に排出口１０の機能を持たせるようにすることも可能である。
【００２９】
［加熱装置］
加熱装置５は、溶離液１４によって不純物が溶離された活性炭１５，１５を乾燥させることにより吸着材としての機能を再生すると共に、本体２内に供給された溶離液１４の加熱を行う。加熱装置５の構成および材料等は特に限定されないが、溶離された不純物によって侵され難い材料を用いる必要がある、加熱装置５として本実施形態に示すものは、蒸気発生装置６から供給される加熱蒸気が流入されるパイプをコイル状に蛇行配置させて構成された熱交換器とされている。ここで、蒸気発生装置６は、例えば、体的にはボイラであり、火力や電力を熱源にして蒸気１６を生成する。尚、蒸気発生装置６とは別の熱交換器で回収した他設備の廃熱を利用することもできる。この場合には、設備コストを低減できる利点がある。加熱装置５の加熱能力は吸着塔１の大きさや使用する活性炭１５，１５の種類によって最適化される。かかる構成により、溶離後に吸着材である活性炭１５，１５を乾燥させる過程において導入口７から本体２内に空気を導入することにより本体２内の加熱および通気を行うことで活性炭１５，１５を効率的に乾燥することができる。さらには、本体２内に溶離液１４を供給した状態で加熱すれば、溶離液１４は熱対流により本体２内を加熱循環することになり、不純物の溶離の促進と撹拌の二つの効果を得ることができる。さらに、外気温が低い場合にはアルシンガスの吸着除去時に活性炭１５，１５が結露して吸着能力が低下するおそれがあることから本体２内に導入される排ガスを加熱して結露の発生を防止するために加熱装置５を使用することもできる。
【００３０】
［溶離液］
溶離液１４は、活性炭１５，１５に吸着された不純物を溶離して,活性炭１５，１５の再生を図るための液体である。溶離液１４は、不純物の性質により最適なものが選択されるが、不純物がアルシンガス等の場合であれば水が用いられる。また、溶離液１４を加熱する場合にはその温度が高いほど溶離性能が向上する。本実施形態では、溶離液１４の温度は加熱コストや配管等の設備の負荷を考慮して５０℃以下に加熱することとしている。
【００３１】
［吸着塔の動作］
次に、本発明に係る吸着材の再生方法について上記した吸着塔１の動作と共に、図１〜図３を参照しつつ説明する。ここで、図２は本発明に係る吸着材の再生方法の好ましい一実施形態を示すフローチャート、図３は吸着材の吸着動作を説明する説明図である。銅電解設備において電解精製が進むにつれて電解液中に生じた砒素、アンチモン、ビスマス、ニッケルなどの金属が増加してくる。そのため、電解液を適宜清浄して除去する作業が行われているが、電解液の清浄の際に発生する排ガス中には極めて有害性の高いアルシンガス等が含まれている。そのため、この排ガスを吸着塔１に導入して有害物の除去を行う。
【００３２】
まず、作業者は所定量の活性炭１５を各吸着材収容体３，３内に投入し、それらを均一に分散配置する。そして、吸着材収容体３，３を吸着塔１の本体２内へ上下２段に配置して吸着材充填層４，４を形成する。次いで、図３（ａ）に示すように、電解液の清浄の際に発生した排ガス１７を導入口７から本体２内に導入する。尚、導入される排ガス１７はデミスターによって予めミストを除いておくことが好ましい。そして、排ガス１７は吸着材充填層４，４をそれぞれ通過して排気口８から排出される。この過程で排ガス１７中のアルシンガス等は吸着材充填層４，４を構成する活性炭１５，１５に吸着される。尚、結露によって活性炭１５，１５の吸着能力が低下するおそれがあるような場合には、上述のように、加熱装置５によって排ガス１７を加温することで活性炭１５，１５の結露を防止して吸着能力の低下を防ぐことができる。これによって吸着処理後の排ガス１８は排気口８から排出される。
【００３３】
［活性炭の洗浄処理］
排ガス１７の処理が終了し、活性炭１５，１５の性能が低下して洗浄開始のタイミングになると溶離液１４を用いた活性炭１５の再生ための洗浄が行われる（ステップＳ１）。まず、蒸気発生装置６を稼動させて水蒸気を生成する（ステップＳ２）。ついで、図３（ｂ）に示すように蒸気発生装置６で生成した蒸気１６を加熱装置５のコイル状のパイプへ供給する（ステップＳ３）。加熱装置５が十分に加熱された時点で、図３（ｃ）に示すように、ポンプ１２によって供給口９から本体２内に溶離液１４を供給する（ステップＳ４）。尚、加熱装置５による加熱開始前に溶離液１４を供給しておくことも可能である。本体２内に供給された溶離液１４は徐々に水位を高め、最終的には排出口１０の高さ位置に到達し、この水位を維持しつつ、溶離する。溶離液１４は事前に加温しておく、もしくは加熱装置５によって加熱する。このとき、加熱コストや配管等の設備の負荷を考慮して溶離液の水温は５０℃以下とするのが好ましい。溶離液１４の加熱により溶離液１４は本体２内を貫流する。
【００３４】
溶離液１４が本体２内を貫流する過程で、溶離液１４は吸着材である活性炭１５，１５と接触し、活性炭１５，１５に吸着していたアルシンガス等は溶離液１４中に洗い流され、排出口１０から溶離液１４と共に排出される。これらは図示しない排水処理設備へ送られ、そこで砒素成分が回収され、安定な形にして最終処分される。尚、溶離は上記したように順次通液することで行うのが一般的であるが、溶離液１４を本体２内に充満してバッチ式で行うことも可能である。
【００３５】
溶離液１４による活性炭１５，１５の洗浄が終了したら（ステップＳ５）作業者は蒸気発生装置６及びポンプ１２を停止させる（ステップＳ６）。以上により吸着材充填層４，４による洗浄処理が終了する。この洗浄処理によって活性炭１５，１５が溶離液１４で濡れるため、次の使用開始までに十分に乾燥させておく必要がある。そこで、以下の乾燥処理を実行する（図３（ｄ）参照）。乾燥処理を開始する際には（ステップＳ７）、排ガス１７に変えて乾燥空気を図示しない送風手段（例えば、エアーポンプ）を用いて導入口７から供給し、排気口８から排出し、乾燥処理を実行する（ステップＳ８）。本体２内に供給された乾燥用空気は加熱装置５を用いて加熱する。これにより、活性炭１５，１５の再生が短時間で促され、次の作業に直ちに備えることができる。尚、加熱装置５の他、別途用意した電熱ヒータ等で導入口７に供給する乾燥用空気を加熱することにより、本体２内に乾燥用空気を加熱するようにすることもできる。乾燥処理が終了したら（ステップＳ９）、導入口７への乾燥空気の供給を停止する（ステップＳ１０）。以上により活性炭１５，１５の乾燥処理が終了する。
【００３６】
上記、各処理における操業条件を示せば以下の通りである。
排ガスの供給量：空間速度4200ｈ−1
使用活性炭：椰子殻由来
活性炭：クラレ株式会社製「クラレコール」
洗浄時間：３〜４．５時間
洗浄温度：４５℃程度
乾燥温度：４５℃で１１日もしくは３０℃で２２日
空気流量：６０ｍ３／分
【００３７】
［実施形態の効果］
本実施形態に係る吸着塔及び吸着材の再生方法によれば、図２及び図３に示すように、加熱装置５及び吸着材充填層４，４によって排ガス中の不純物の除去から吸着材（活性炭１５，１５）に吸着させた不純物を溶離すると共に、さらには不純物を溶離した後の吸着材を乾燥して再利用を図るまでの一連の工程を閉鎖系設備において行うことが可能になる結果、例えば、不純物が砒化水素のような有害性の高い場合であっても外部への遺漏の懸念が大幅に低下できるという効果がある。また、作業員の砒化水素暴露の恐れも大幅に低下するという効果がある。
【００３８】
さらに、吸着塔１では加熱装置５及び吸着材充填層４，４において一連の処理が行わるため、特殊設備を設置する必要がなく、操業コストの面で非常に有利になるという効果がある。
【００３９】
以上のように、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能であることはいうまでもない。
【符号の説明】
【００４０】
１      吸着塔
２      本体
３      吸着材収容体
４      吸着材充填層
５      加熱装置
６      蒸気発生装置
７      導入口
８      排気口
９      供給口
１０    排出口
１１    タンク
１２    ポンプ
１３    制御装置
１４    溶離液
１５    活性炭
１６    蒸気
１７    排ガス
１８    吸着処理後の排ガス
【図１】
2016112547.tif 000003
【図２】
2016112547.tif 000004
【図３】
2016112547.tif 000005