(57)【要約】【課題】複数の試料の表面の状態変化と相関性を有するパラメータの種別を容易に特定することが可能な三次元形状測定装置、測定データ処理ユニット、測定データ処理方法、及びコンピュータプログラムを提供する。【解決手段】所定の指標に基づいた順位が付与された、少なくとも三以上の試料に関する測定データの入力を受け付け、入力を受け付けた測定データごとに試料の表面の状態に関する複数のパラメータについてそれぞれパラメータ値を算出する。算出されたパラメータ値に基づいて、複数のパラメータの中から試料の順位と相関性を有するパラメータを相関パラメータとして特定し、少なくとも特定された相関パラメータを表示部に表示する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料の三次元形状を測定して、三次元形状情報を含む測定データを取得する三次元形状測定ユニットと、
測定データを用いて試料の三次元形状に関する解析処理を実行し、解析結果を表示部に表示する測定データ処理ユニットと
を有する三次元形状測定装置であって、
所定の指標に基づいた順位が付与された、少なくとも三以上の試料に関する測定データの入力を受け付ける測定データ入力受付手段と、
入力を受け付けた測定データごとに試料の表面の状態に関する複数のパラメータについてそれぞれパラメータ値を算出するパラメータ値算出手段と、
算出されたパラメータ値に基づいて、複数のパラメータの中から試料の順位と相関性を有するパラメータを相関パラメータとして特定する相関パラメータ特定手段と、
少なくとも特定された相関パラメータを表示部に表示する相関パラメータ表示手段と
を備えることを特徴とする三次元形状測定装置。
【請求項２】
算出されたパラメータ値に基づいて、複数のパラメータそれぞれについて付与された試料の順位に対する相関係数を算出する相関係数算出手段を備え、
前記相関パラメータ特定手段は、算出された相関係数が所定の閾値以上のパラメータを相関パラメータとして特定することを特徴とする請求項１に記載の三次元形状測定装置。
【請求項３】
前記相関パラメータ特定手段は、算出された相関係数及び入力を受け付けた測定データのデータ数に基づいて、相関係数に有意差が存在するパラメータを相関パラメータとして特定することを特徴とする請求項１又は２に記載の三次元形状測定装置。
【請求項４】
入力を受け付けた測定データを二次元平面上で複数の領域に分割する領域分割手段を備え、
前記パラメータ値算出手段は、分割された複数の領域それぞれについて、複数のパラメータごとにパラメータ値を算出することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の三次元形状測定装置。
【請求項５】
解析結果を行列状に表示する場合、追加表示する相関パラメータの選択を受け付ける相関パラメータ選択受付手段を備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の三次元形状測定装置。
【請求項６】
前記相関パラメータ表示手段は、特定された相関パラメータごとに、試料の順位との相関関係を示すグラフを表示することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の三次元形状測定装置。
【請求項７】
試料の三次元形状を測定して取得した三次元形状情報を含む測定データを用いて、試料の三次元形状に関する解析処理を実行し、解析結果を表示部に表示する測定データ処理ユニットであって、
所定の指標に基づいた順位が付与された、少なくとも三以上の試料に関する測定データの入力を受け付ける測定データ入力受付手段と、
入力を受け付けた測定データごとに試料の表面の状態に関する複数のパラメータについてそれぞれパラメータ値を算出するパラメータ値算出手段と、
算出されたパラメータ値に基づいて、複数のパラメータの中から試料の順位と相関性を有するパラメータを相関パラメータとして特定する相関パラメータ特定手段と、
少なくとも特定された相関パラメータを表示部に表示する相関パラメータ表示手段と
を備えることを特徴とする測定データ処理ユニット。
【請求項８】
算出されたパラメータ値に基づいて、複数のパラメータそれぞれについて付与された試料の順位に対する相関係数を算出する相関係数算出手段を備え、
前記相関パラメータ特定手段は、算出された相関係数が所定の閾値以上のパラメータを相関パラメータとして特定することを特徴とする請求項７に記載の測定データ処理ユニット。
【請求項９】
前記相関パラメータ特定手段は、算出された相関係数及び入力を受け付けた測定データのデータ数に基づいて、相関係数に有意差が存在するパラメータを相関パラメータとして特定することを特徴とする請求項７又は８に記載の測定データ処理ユニット。
【請求項１０】
試料の三次元形状を測定して取得した三次元形状情報を含む測定データを用いて、試料の三次元形状に関する解析処理を実行し、解析結果を表示部に表示する測定データ処理ユニットで実行することが可能な測定データ処理方法であって、
前記測定データ処理ユニットは、
所定の指標に基づいた順位が付与された、少なくとも三以上の試料に関する測定データの入力を受け付ける第１の工程と、
入力を受け付けた測定データごとに試料の表面の状態に関する複数のパラメータについてそれぞれパラメータ値を算出する第２の工程と、
算出されたパラメータ値に基づいて、複数のパラメータの中から試料の順位と相関性を有するパラメータを相関パラメータとして特定する第３の工程と、
少なくとも特定された相関パラメータを表示部に表示する第４の工程と
を含むことを特徴とする測定データ処理方法。
【請求項１１】
前記測定データ処理ユニットは、
算出されたパラメータ値に基づいて、複数のパラメータそれぞれについて付与された試料の順位に対する相関係数を算出する第５の工程を含み、
前記第３の工程は、算出された相関係数が所定の閾値以上のパラメータを相関パラメータとして特定することを特徴とする請求項１０に記載の測定データ処理方法。
【請求項１２】
前記第３の工程は、算出された相関係数及び入力を受け付けた測定データのデータ数に基づいて、相関係数に有意差が存在するパラメータを相関パラメータとして特定することを特徴とする請求項１０又は１１に記載の測定データ処理方法。
【請求項１３】
試料の三次元形状を測定して取得した三次元形状情報を含む測定データを用いて、試料の三次元形状に関する解析処理を実行し、解析結果を表示部に表示する測定データ処理ユニットで実行することが可能なコンピュータプログラムであって、
前記測定データ処理ユニットを、
所定の指標に基づいた順位が付与された、少なくとも三以上の試料に関する測定データの入力を受け付ける測定データ入力受付手段、
入力を受け付けた測定データごとに試料の表面の状態に関する複数のパラメータについてそれぞれパラメータ値を算出するパラメータ値算出手段、
算出されたパラメータ値に基づいて、複数のパラメータの中から試料の順位と相関性を有するパラメータを相関パラメータとして特定する相関パラメータ特定手段、
少なくとも特定された相関パラメータを表示部に表示する相関パラメータ表示手段
として機能させることを特徴とするコンピュータプログラム。
【請求項１４】
前記測定データ処理ユニットを、
算出されたパラメータ値に基づいて、複数のパラメータそれぞれについて付与された試料の順位に対する相関係数を算出する相関係数算出手段として機能させ、
前記相関パラメータ特定手段を、算出された相関係数が所定の閾値以上のパラメータを相関パラメータとして特定する手段として機能させることを特徴とする請求項１３に記載のコンピュータプログラム。
【請求項１５】
前記相関パラメータ特定手段を、算出された相関係数及び入力を受け付けた測定データのデータ数に基づいて、相関係数に有意差が存在するパラメータを相関パラメータとして特定する手段として機能させることを特徴とする請求項１３又は１４に記載のコンピュータプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の試料の表面の状態変化と相関性を有するパラメータの種別を容易に特定することが可能な三次元形状測定装置、測定データ処理ユニット、測定データ処理方法、及びコンピュータプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、共焦点顕微鏡、デジタルマイクロスコープ等、光学顕微鏡を含む三次元形状測定装置は、試料の三次元形状を測定して得られた高さ情報を有する測定データを用いて、様々な解析処理を実行する。解析処理とは、例えば二次元の試料画像上に設定されたプロファイル線に沿ってプロファイルグラフを表示する、あるいはプロファイル線に沿った線粗さ解析する等を意味する。
【０００３】
複数の試料の表面の状態を解析する場合、特許文献１に示すような粗さ解析を実行する。粗さ解析を実行する場合、解析結果は、Ｒａ、Ｒｚ、Ｓａ、Ｓｔｄ等３０個以上の粗さパラメータで評価される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−２０１３９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
複数の試料の表面の違いを解析する場合、複数の試料の表面の状態変化と相関性を有するパラメータの種別を特定し、解析することが好ましい。例えば光沢度の強いサンプルＡ、光沢度が普通であるサンプルＢ、光沢度が弱いサンプルＣという定性的な違いがすでに分かっている３個のサンプルに対して、Ａ、Ｂ、Ｃの順序と相関性を有して変化するパラメータの種別を特定することは困難であるという問題点があった。
【０００６】
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、複数の試料の表面の状態変化と相関性を有するパラメータの種別を容易に特定することが可能な三次元形状測定装置、測定データ処理ユニット、測定データ処理方法、及びコンピュータプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために第１発明に係る三次元形状測定装置は、試料の三次元形状を測定して、三次元形状情報を含む測定データを取得する三次元形状測定ユニットと、測定データを用いて試料の三次元形状に関する解析処理を実行し、解析結果を表示部に表示する測定データ処理ユニットとを有する三次元形状測定装置であって、所定の指標に基づいた順位が付与された、少なくとも三以上の試料に関する測定データの入力を受け付ける測定データ入力受付手段と、入力を受け付けた測定データごとに試料の表面の状態に関する複数のパラメータについてそれぞれパラメータ値を算出するパラメータ値算出手段と、算出されたパラメータ値に基づいて、複数のパラメータの中から試料の順位と相関性を有するパラメータを相関パラメータとして特定する相関パラメータ特定手段と、少なくとも特定された相関パラメータを表示部に表示する相関パラメータ表示手段とを備えることを特徴とする。
【０００８】
また、第２発明に係る三次元形状測定装置は、第１発明において、算出されたパラメータ値に基づいて、複数のパラメータそれぞれについて付与された試料の順位に対する相関係数を算出する相関係数算出手段を備え、前記相関パラメータ特定手段は、算出された相関係数が所定の閾値以上のパラメータを相関パラメータとして特定することを特徴とする。
【０００９】
また、第３発明に係る三次元形状測定装置は、第１又は第２発明において、前記相関パラメータ特定手段は、算出された相関係数及び入力を受け付けた測定データのデータ数に基づいて、相関係数に有意差が存在するパラメータを相関パラメータとして特定することを特徴とする。
【００１０】
また、第４発明に係る三次元形状測定装置は、第１乃至第３発明のいずれか１つにおいて、入力を受け付けた測定データを二次元平面上で複数の領域に分割する領域分割手段を備え、前記パラメータ値算出手段は、分割された複数の領域それぞれについて、複数のパラメータごとにパラメータ値を算出することを特徴とする。
【００１１】
また、第５発明に係る三次元形状測定装置は、第１乃至第４発明のいずれか１つにおいて、解析結果を行列状に表示する場合、追加表示する相関パラメータの選択を受け付ける相関パラメータ選択受付手段を備えることを特徴とする。
【００１２】
また、第６発明に係る三次元形状測定装置は、第１乃至第５発明のいずれか１つにおいて、前記相関パラメータ表示手段は、特定された相関パラメータごとに、試料の順位との相関関係を示すグラフを表示することを特徴とする。
【００１３】
次に、上記目的を達成するために第７発明に係る測定データ処理ユニットは、試料の三次元形状を測定して取得した三次元形状情報を含む測定データを用いて、試料の三次元形状に関する解析処理を実行し、解析結果を表示部に表示する測定データ処理ユニットであって、所定の指標に基づいた順位が付与された、少なくとも三以上の試料に関する測定データの入力を受け付ける測定データ入力受付手段と、入力を受け付けた測定データごとに試料の表面の状態に関する複数のパラメータについてそれぞれパラメータ値を算出するパラメータ値算出手段と、算出されたパラメータ値に基づいて、複数のパラメータの中から試料の順位と相関性を有するパラメータを相関パラメータとして特定する相関パラメータ特定手段と、少なくとも特定された相関パラメータを表示部に表示する相関パラメータ表示手段とを備えることを特徴とする。
【００１４】
また、第８発明に係る測定データ処理ユニットは、第７発明において、算出されたパラメータ値に基づいて、複数のパラメータそれぞれについて付与された試料の順位に対する相関係数を算出する相関係数算出手段を備え、前記相関パラメータ特定手段は、算出された相関係数が所定の閾値以上のパラメータを相関パラメータとして特定することを特徴とする。
【００１５】
また、第９発明に係る測定データ処理ユニットは、第７又は第８発明において、前記相関パラメータ特定手段は、算出された相関係数及び入力を受け付けた測定データのデータ数に基づいて、相関係数に有意差が存在するパラメータを相関パラメータとして特定することを特徴とする。
【００１６】
次に、上記目的を達成するために第１０発明に係る測定データ処理方法は、試料の三次元形状を測定して取得した三次元形状情報を含む測定データを用いて、試料の三次元形状に関する解析処理を実行し、解析結果を表示部に表示する測定データ処理ユニットで実行することが可能な測定データ処理方法であって、前記測定データ処理ユニットは、所定の指標に基づいた順位が付与された、少なくとも三以上の試料に関する測定データの入力を受け付ける第１の工程と、入力を受け付けた測定データごとに試料の表面の状態に関する複数のパラメータについてそれぞれパラメータ値を算出する第２の工程と、算出されたパラメータ値に基づいて、複数のパラメータの中から試料の順位と相関性を有するパラメータを相関パラメータとして特定する第３の工程と、少なくとも特定された相関パラメータを表示部に表示する第４の工程とを含むことを特徴とする。
【００１７】
また、第１１発明に係る測定データ処理方法は、第１０発明において、前記測定データ処理ユニットは、算出されたパラメータ値に基づいて、複数のパラメータそれぞれについて付与された試料の順位に対する相関係数を算出する第５の工程を含み、前記第３の工程は、算出された相関係数が所定の閾値以上のパラメータを相関パラメータとして特定することを特徴とする。
【００１８】
また、第１２発明に係る測定データ処理方法は、第１０又は第１１発明において、前記第３の工程は、算出された相関係数及び入力を受け付けた測定データのデータ数に基づいて、相関係数に有意差が存在するパラメータを相関パラメータとして特定することを特徴とする。
【００１９】
次に、上記目的を達成するために第１３発明に係るコンピュータプログラムは、試料の三次元形状を測定して取得した三次元形状情報を含む測定データを用いて、試料の三次元形状に関する解析処理を実行し、解析結果を表示部に表示する測定データ処理ユニットで実行することが可能なコンピュータプログラムであって、前記測定データ処理ユニットを、所定の指標に基づいた順位が付与された、少なくとも三以上の試料に関する測定データの入力を受け付ける測定データ入力受付手段、入力を受け付けた測定データごとに試料の表面の状態に関する複数のパラメータについてそれぞれパラメータ値を算出するパラメータ値算出手段、算出されたパラメータ値に基づいて、複数のパラメータの中から試料の順位と相関性を有するパラメータを相関パラメータとして特定する相関パラメータ特定手段、少なくとも特定された相関パラメータを表示部に表示する相関パラメータ表示手段として機能させることを特徴とする。
【００２０】
また、第１４発明に係るコンピュータプログラムは、第１３発明において、前記測定データ処理ユニットを、算出されたパラメータ値に基づいて、複数のパラメータそれぞれについて付与された試料の順位に対する相関係数を算出する相関係数算出手段として機能させ、前記相関パラメータ特定手段を、算出された相関係数が所定の閾値以上のパラメータを相関パラメータとして特定する手段として機能させることを特徴とする。
【００２１】
また、第１５発明に係るコンピュータプログラムは、第１３又は第１４発明において、前記相関パラメータ特定手段を、算出された相関係数及び入力を受け付けた測定データのデータ数に基づいて、相関係数に有意差が存在するパラメータを相関パラメータとして特定する手段として機能させることを特徴とする。
【００２２】
第１発明、第７発明、第１０発明及び第１３発明では、試料の三次元形状を測定して取得した三次元形状情報を含む測定データを用いて、試料の三次元形状に関する解析処理を実行し、解析結果を表示部に表示する。測定データ処理ユニットは、所定の指標に基づいた順位が付与された、少なくとも三以上の試料に関する測定データの入力を受け付け、入力を受け付けた測定データごとに試料の表面の状態に関する複数のパラメータについてそれぞれパラメータ値を算出する。算出されたパラメータ値に基づいて、複数のパラメータの中から試料の順位と相関性を有するパラメータを相関パラメータとして特定し、少なくとも特定された相関パラメータを表示部に表示する。これにより、試料の表面の違いを解析する場合に、試料の表面の状態変化との間で一定以上の高い相関度を有するパラメータの種別を容易に特定することができ、定性的な評価と一致した解析結果を得ることができる相関パラメータを選択することが可能となる。
【００２３】
第２発明、第８発明、第１１発明及び第１４発明では、測定データ処理ユニットは、算出されたパラメータ値に基づいて、複数のパラメータそれぞれについて付与された試料の順位に対する相関係数を算出し、算出された相関係数が所定の閾値以上のパラメータを相関パラメータとして特定する。これにより、試料の表面の違いを解析する場合に、試料の表面の状態変化との間で一定以上の高い相関度を有するパラメータの種別を容易に特定することができ、定性的な評価と一致した解析結果を得ることができる相関パラメータを確実に特定することが可能となる。
【００２４】
第３発明、第９発明、第１２発明及び第１５発明では、算出された相関係数及び入力を受け付けた測定データのデータ数に基づいて、相関係数に有意差が存在するパラメータを相関パラメータとして特定するので、試料の表面の状態変化との間で一定以上の高い相関度を有するパラメータの種別を容易に特定することができ、定性的な評価と一致した解析結果を得ることができる相関パラメータを確実に特定することが可能となる。
【００２５】
第４発明では、入力を受け付けた測定データを二次元平面上で複数の領域に分割し、分割された複数の領域それぞれについて、複数のパラメータごとにパラメータ値を算出する。これにより、試料の表面の状態変化との間で一定以上の高い相関度を有するパラメータの種別を容易に特定することができると考えられる領域を指定することが可能となる。
【００２６】
第５発明では、解析結果を行列状に表示する場合、追加表示する相関パラメータの選択を受け付けるので、解析結果に合わせて見やすいように相関パラメータを表示することができる。
【００２７】
第６発明では、特定された相関パラメータごとに、試料の順位との相関関係を示すグラフを表示するので、相関パラメータとしてどの相関パラメータが適切であるか否かを容易に比較することができ、定性的な評価と一致した解析結果を得ることができる最適な相関パラメータを確実に特定することが可能となる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、試料の表面の違いを解析する場合に、試料の表面の状態変化との間で一定以上の高い相関度を有するパラメータの種別を容易に特定することができ、定性的な評価と一致した解析結果を得ることができる相関パラメータを選択することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の実施の形態に係る三次元形状測定装置の構成を模式的に示すブロック図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る三次元形状測定装置の測定データ処理ユニットの、ＣＰＵ等の制御部を用いた場合の構成を示すブロック図である。
【図３】本発明の実施の形態に係る三次元形状測定装置の測定データ処理ユニットの機能ブロック図である。
【図４】パラメータＲａのパラメータ値の算出方法を説明するための例示図である。
【図５】パラメータＲｚのパラメータ値の算出方法を説明するための例示図である。
【図６】線粗さのパラメータの例示図である。
【図７】角スペクトルを説明するための画像の例示図及び角スペクトルの例示図である。
【図８】面粗さのパラメータの例示図である。
【図９】本発明の実施の形態に係る三次元形状測定装置の測定データ処理ユニットの領域分割の例示図である。
【図１０】相関の強弱を示す散布図である。
【図１１】本発明の実施の形態に係る三次元形状測定装置の測定データ処理ユニットの測定データ入力受付画面の例示図である。
【図１２】本発明の実施の形態に係る三次元形状測定装置の測定データ処理ユニットの相関パラメータの表示状態の例示図である。
【図１３】本発明の実施の形態に係る三次元形状測定装置の測定データ処理ユニットの相関パラメータの散布図である。
【図１４】本発明の実施の形態に係る三次元形状測定装置の測定データ処理ユニットの測定データ入力受付画面の例示図である。
【図１５】本発明の実施の形態に係る三次元形状測定装置の測定データ処理ユニットの相関パラメータの散布図である。
【図１６】本発明の実施の形態に係る三次元形状測定装置の測定データ処理ユニットの解析結果を行列状に表示する場合の模式図である。
【図１７】本発明の実施の形態に係る三次元形状測定装置の測定データ処理ユニットの解析結果を行列状に表示する場合の例示図である。
【図１８】本発明の実施の形態に係る三次元形状測定装置の測定データ処理ユニットの相関パラメータの表示状態の例示図である。
【図１９】本発明の実施の形態に係る三次元形状測定装置の測定データ処理ユニットの解析結果に相関パラメータを行列状に追加表示する場合の模式図である。
【図２０】本発明の実施の形態に係る三次元形状測定装置の測定データ処理ユニットのＣＰＵの処理手順を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明の実施の形態に係る三次元形状測定装置について、図面に基づいて具体的に説明する。図１は、本発明の実施の形態に係る三次元形状測定装置の構成を模式的に示すブロック図である。
【００３１】
図１に示すように、本実施の形態に係る三次元形状測定装置１０は、測定データ処理ユニット１と三次元形状測定ユニット２とで構成されている。三次元形状測定ユニット２は、レーザ光源５２を有しており、レーザ光源５２から単一波長光が出射される。出射された単一波長光は、Ｘ−Ｙスキャン光学系５４を経由して第１ハーフミラー５６で反射され、対物レンズ２０を通じてステージ５８上の試料Ｍに照射される。
【００３２】
試料Ｍの反射光は、第１ハーフミラー５６で反射され、続いて第２ハーフミラー２２で反射された後に、第１結像レンズ２４へ誘導される。第１結像レンズ２４の焦点位置がピンホール２６に合致した光だけが、共焦点絞りとしてのピンホール２６を通過し、ピンホール２６を通過した反射光が受光素子２８に入力される。
【００３３】
三次元形状測定ユニット２は、白色光源３０も備えている。白色光源３０から出射された白色光は、第１ハーフミラー５６と対物レンズ２０との間に設けられた第３ハーフミラー３２で反射され、試料Ｍに照射される。
【００３４】
三次元形状測定ユニット２は、カラーＣＣＤカメラ３４を備えており、第１ハーフミラー５６を通過した光を第２結像レンズ３６で結像した像を撮像する。撮像された画像が、測定データ処理ユニット１における解析処理の対象となる。
【００３５】
点光源であるレーザ光源５２から出射された光は、Ｘ−Ｙスキャン光学系５４を介して観察視野内を走査位置単位に分割してＸ−Ｙ走査され、受光素子２８は走査位置ごとの反射光を検出する。また、対物レンズ２０は、矢印で示すようにＺ軸方向（光軸方向）に駆動され、走査位置ごとにＺ軸方向に焦点位置を変化させる。したがって、受光素子２８では、対物レンズ２０のＺ軸方向の位置ごとの反射光が検出される。また、白色光源３０の反射光は、カラーＣＣＤカメラ３４で検出され、走査位置ごとに、レーザ光源５２を用いて検出した焦点位置における試料Ｍの色情報を検出する。
【００３６】
受光素子２８及びカラーＣＣＤカメラ３４は、コンピュータで構成された測定データ処理ユニット１に接続されており、それぞれ検出された測定データを測定データ処理ユニット１へ送信する。測定データを受信した測定データ処理ユニット１は、受信した測定データに基づいて解析処理を実行する。解析結果は、測定データ処理ユニット１の表示装置（表示部）４３で表示される。
【００３７】
図２は、本発明の実施の形態に係る三次元形状測定装置１０の測定データ処理ユニット１の、ＣＰＵ等の制御部を用いた場合の構成を示すブロック図である。図２に示すように、本実施の形態に係る測定データ処理ユニット１は、少なくとも動作を制御する制御プログラムを実行するＣＰＵ（制御部）１１、メモリ１２、記憶装置１３、Ｉ／Ｏインタフェース１４、ビデオインタフェース１５、可搬型ディスクドライブ１６、通信インタフェース１７及び内部バス１８を備えている。
【００３８】
ＣＰＵ１１は、内部バス１８を介して三次元形状測定装置１０の測定データ処理ユニット１の上述したようなハードウェア各部と接続されており、上述したハードウェア各部の動作を制御するとともに、記憶装置１３に記憶されているコンピュータプログラム１００に従って、種々のソフトウェア的機能を実行する。メモリ１２は、ＳＲＡＭ、ＳＤＲＡＭ等の揮発性メモリで構成され、コンピュータプログラム１００の実行時にロードモジュールが展開され、コンピュータプログラム１００の実行時に発生する一時的なデータ等を記憶する。
【００３９】
記憶装置１３は、内蔵される固定型記憶装置（ハードディスク）、ＲＯＭ等で構成されている。記憶装置１３に記憶されたコンピュータプログラム１００は、プログラム及びデータ等の情報を記録したＤＶＤ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬型記録媒体９０から、可搬型ディスクドライブ１６によりダウンロードされ、実行時には記憶装置１３からメモリ１２へ展開して実行される。もちろん、通信インタフェース１７を介して接続されている外部コンピュータからダウンロードされたコンピュータプログラムであっても良い。
【００４０】
記憶装置１３は、ハードディスク等で構成されており、測定データ記憶部１３１及びパラメータ情報記憶部１３２を備えている。測定データ記憶部１３１には、三次元形状測定ユニット２において、試料の三次元形状を測定して取得した、三次元形状情報を含む測定データを、複数のグループに対応付けて記憶する。
【００４１】
パラメータ情報記憶部１３２は、対応付けられたグループごとに、試料の表面の状態に関する複数のパラメータについて、それぞれパラメータ値を算出して記憶する。パラメータ情報記憶部１３２に記憶されているパラメータ値を用いて、パラメータごとにパラメータ値の統計処理を実行して、相関係数に有意差が存在するパラメータ、あるいは相関係数が所定の閾値以上であるパラメータを、相関パラメータとして特定する基礎データとなる。
【００４２】
通信インタフェース１７は内部バス１８に接続されており、インターネット、ＬＡＮ、ＷＡＮ等の外部のネットワーク網に接続されることにより、三次元形状測定装置１０の三次元形状測定ユニット２、あるいは外部のコンピュータ等とデータ送受信を行うことが可能となっている。
【００４３】
Ｉ／Ｏインタフェース１４は、キーボード４１、マウス４２等の入力装置と接続されており、解析処理に必要なパラメータ情報等の入力を受け付ける。ビデオインタフェース１５は、ＬＣＤ等の表示装置４３と接続され、解析結果を一覧表示する。
【００４４】
図３は、本発明の実施の形態に係る三次元形状測定装置１０の測定データ処理ユニット１の機能ブロック図である。本実施の形態に係る測定データ処理ユニット１の測定データ入力受付手段３０１は、三次元形状測定ユニット２の受光素子２８及びカラーＣＣＤカメラ３４における少なくとも三以上の試料表面を撮像した画像データを、所定の指標に基づいた順位が付与された、複数の試料に関する測定データとして入力を受け付ける。入力を受け付けた複数の測定データは、記憶装置１３の測定データ記憶部１３１に記憶される。
【００４５】
なお順位を付与する所定の指標は、例えば光沢度、手触り、気密度、摩擦力、摩耗、焼き付き、潤滑性、接着性、密着性、剥離し易さ、外観、鮮映性（塗装面の輝き）、光学的性能、耐蝕性、絶縁性、疲労破壊強さ、電磁気特性、接触面の熱伝導、電気抵抗、接合面剛性、寸法測定精度、肌触り、印刷品位、騒音、振動等のいずれかである。
【００４６】
パラメータ値算出手段３０４は、入力を受け付けた測定データごとに試料の表面の状態に関する複数のパラメータについてそれぞれパラメータ値を算出する。パラメータ値算出手段３０４で算出された、パラメータごとのパラメータ値は、記憶装置１３のパラメータ情報記憶部１３２に記憶される。
【００４７】
パラメータ値の算出方法として、例えば代表的な粗さパラメータであり、算術平均高さを示す線粗さのパラメータＲａでは、基準長さにおける高さＲ（ｘ）の実態値の平均値として算出する。図４は、パラメータＲａのパラメータ値の算出方法を説明するための例示図である。
【００４８】
図４に示すように、基準長さｌｒ内の輪郭曲線につき、所定の基準高さで反転させた高さ（絶対値）の平均値としてパラメータＲａのパラメータ値を算出している。計算式は、基準長さｌｒ内にＮ個の高さを計測するプロット点が存在するとして、（式１）で表すことができる。
【００４９】
【数１】
2016003872.tif 000003
【００５０】
もちろん、線粗さのパラメータとしては、パラメータＲａに限定されるものではない。図５は、パラメータＲｚのパラメータ値の算出方法を説明するための例示図である。
【００５１】
図５に示すように、基準長さｌｒ内の輪郭曲線につき、基準高さからの高さが最も高い山の高さＲｐと、基準高さからの深さが最も深い谷の深さＲｖとの和として、パラメータＲｚのパラメータ値を算出している。計算式は、（式２）で表すことができる。
【００５２】
【数２】
2016003872.tif 000004
【００５３】
ほとんどのユーザは、線粗さのパラメータとして上述したＲａ、Ｒｚを使用しており、他のパラメータについては意味を理解することなく放置しているのが現状である。図６は、線粗さのパラメータの例示図である。図６に示すように、上述した基準高さからの高さが最も高い山の高さＲｐ、基準高さからの深さが最も深い谷の深さＲｖ、ＲｐとＲｖとの和Ｒｚ、算術平均高さＲａ以外にも、様々なパラメータが存在する。
【００５４】
また、パラメータとして線粗さのパラメータに限定する必要はなく、例えば面粗さを示すパラメータであっても良い。線粗さのパラメータＲａを拡張した算術平均高さのパラメータＳａが、その代表的な面粗さのパラメータである。
【００５５】
パラメータＳａのパラメータ値は、領域中の高さを計測するプロット点の高さ（表面の平均面からの高さ）の絶対値の平均値として算出する。計算式で表すと、（式３）のようになる。
【００５６】
【数３】
2016003872.tif 000005
【００５７】
また、角スペクトル関数が最大となる角度の値である角スペクトルのパラメータＳｔｄを用いても良い。図７は、角スペクトルを説明するための画像の例示図及び角スペクトルの例示図である。
【００５８】
図７（ａ）に示す画像では、一定角度の方向に形成された節目模様の中に、異なる角度の一条の模様が表示されている。図７（ｂ）は、図７（ａ）に示す画像から角スペクトルを求めた分布図である。図７（ｂ）に示すように、一定角度の方向に形成された節目模様は７０度弱の方向であることがわかり、一条の模様は１１０度強の方向であることがわかる。
【００５９】
角スペクトルを求める関数は、（式４）に定義されている。
【００６０】
【数４】
2016003872.tif 000006
【００６１】
もちろん、面粗さのパラメータについても、上述したパラメータに限定されるものではない。図８は、面粗さのパラメータの例示図である。図８に示すように、上述した算術平均高さのパラメータＳａ、角スペクトルのパラメータＳｔｄ以外にも、様々なパラメータが存在する。
【００６２】
図３に戻って、パラメータ値算出手段３０４では、入力を受け付けた測定データごとに試料の表面の状態に関する複数のパラメータについてそれぞれパラメータ値を算出しているが、最終的に算出された相関係数に有意差が存在するか否かを判定して、有意差が存在すると判定された場合に相関パラメータとして採用することが好ましい。この場合、相関係数に有意差が存在するか否かを統計処理、特に後述するＴ検定を実行することで判断するが、Ｔ検定には最低限４個のデータが必要となる。
【００６３】
そこで、領域分割手段３０２を設けておき、一のグループに対応する二次元平面（画像平面）上での単位領域を複数の領域に分割することが好ましい。これにより、パラメータ値算出手段３０４は、分割された複数の領域ごとに、複数のパラメータについてそれぞれパラメータ値を算出することができ、Ｔ検定を実行する上で必要なデータ数を確保することができる。
【００６４】
図９は、本発明の実施の形態に係る三次元形状測定装置１０の測定データ処理ユニット１の領域分割の例示図である。図９に示すように、まず測定データを取得する単位領域９５の指定を受け付ける。次に、マウス４２等の操作により、単位領域を４つの領域９１、９２、９３、９４に分割する。次に、分割された複数の領域９１、９２、９３、９４それぞれについてパラメータごとにパラメータ値を算出することにより、一の単位領域において、同一のパラメータについて少なくとも４つのパラメータ値を求めることができるので、後述するＴ検定を確実に実行することができる。
【００６５】
なお、領域指定受付手段３０３を設けておき、二次元平面上で分割された複数の領域の中から、パラメータ値を算出する対象となる領域の指定を受け付けても良い。ユーザが意識している試料の順位付けがしやすい領域を指定することができるので、より確実に相関パラメータとして特定することが可能となる。
【００６６】
図３に戻って、相関パラメータ特定手段３０５は、算出されて記憶されている複数のパラメータ値に基づいて、複数のパラメータの中から、試料の順位と相関性を有する相関パラメータを特定する。例えば、算出されたパラメータ値に基づいてパラメータごとに相関係数を算出して、順位と高い相関性を有するパラメータを相関パラメータとして特定する。
【００６７】
すなわち、相関パラメータ特定手段３０５は、算出されたパラメータ値に基づいて、複数のパラメータそれぞれについて付与された試料の順位に対する相関係数を算出する相関係数算出手段３０６を備えている。相関パラメータ値特定手段３０５は、相関係数算出手段３０６で算出された相関係数が所定の閾値以上であるパラメータを相関パラメータとして特定する。
【００６８】
具体的には、以下の手順で処理を実行する。まず、入力を受け付けて記憶されている、少なくとも三以上の試料に関する測定データに対して、Ｓフィルタ、Ｆオペレーション、Ｌフィルタを選択して適用する。
【００６９】
Ｓフィルタとは、小さいスケールの成分を取り除くフィルタ（ローパスフィルタ）であり、カットオフ値λｓに相当するフィルタである。具体的には、例えばレンズのＮＡに応じてフィルタの波長（カットオフ値の逆数）を決めても良いし、データの水平分解能よりも大きい、規格上の最小のカットオフ値（カットオフ波長）を選択しても良い。また、規格に定義されている全Ｓフィルタのうち最も有意差が大きいフィルタを採用しても良い。
【００７０】
Ｆオペレーションとは、基礎表面から形状を除去するためのフィルタであり、傾き補正に相当する形状除去のためのフィルタである。
【００７１】
Ｌフィルタとは、大きいスケールの成分を取り除くフィルタ（ハイパスフィルタ）であり、カットオフ値λｃに相当するフィルタである。具体的には、例えばレンズのＮＡに応じてフィルタの波長（カットオフ値の逆数）を決めても良いし、規格に定義されている全Ｌフィルタのうち最も有意差が大きいフィルタを採用しても良い。
【００７２】
フィルタ処理後、例えばＩＳＯ２５１７８の規格に応じて表面性状パラメータ（線粗さパラメータ又は面粗さパラメータ）のパラメータ値を算出する。例えば上述した角スペクトルのパラメータＳｔｄのパラメータ値を算出して、模様の筋目の方向を特定する。
【００７３】
次に、特定された筋目の方向に対して垂直な方向に１つ又は複数の線を引き、それぞれの線の高さデータに対してカットオフ値λｓ、λｃを適用して、図６に示す線粗さパラメータのパラメータ値を算出する。これをすべての測定データに対して実行し、すべてのパラメータそれぞれについてスピアマンの順位相関係数（付与された試料の順位に対する相関係数）ρを算出する。スピアマンの順位相関係数ρは、一方の順位データが増加し、それに伴い他方の順位データも増加する場合に大きな相関係数となる。
【００７４】
スピアマンの順位相関係数ρは、（式５）により求めることができる。（式５）において、Ｄは、入力を受け付けた順位と、パラメータごとに算出されたパラメータ値の順位との差を、Ｎは、測定データの数を、それぞれ意味している。
【００７５】
【数５】
2016003872.tif 000007
【００７６】
また、スピアマンの順位相関関数ρの代わりに、ケンドールの順位相関関数τを用いても良い。ケンドールの順位相関係数τも、一方の順位データが増加し、それに伴い他方の順位データも増加する場合に大きな相関係数となるからである。この場合、ケンドールの順位相関係数τは、（式６）により求めることができる。（式６）において、ｎは測定データの数を、Ｐは２つの項目、例えば入力を受け付けた順位と、パラメータごとに算出されたパラメータ値の順位とについて、大小関係が一致する組の数を、それぞれ意味している。
【００７７】
【数６】
2016003872.tif 000008
【００７８】
もちろん、単純に相関係数（例えばピアソンの相関係数）を算出しても良い。ピアソンの相関係数πは、正規分布に従うことを前提としており、（式７）により求めることができる。（式７）において、ｘｉは入力を受け付けた順位を、ｙｉはパラメータ値の順位を、ｘバーはｘの相加平均を、ｙバーはｙの相加平均を、それぞれ示している。
【００７９】
【数７】
2016003872.tif 000009
【００８０】
図１０は、相関の強弱を示す散布図である。図１０（ａ）は、相関が強い場合の散布図である。図１０（ａ）に示すように、順位ｘに対して、所定のパラメータのパラメータ値ｙが線形に変化している。
【００８１】
図１０（ｂ）は、相関が弱い場合の散布図である。図１０（ｂ）に示すように、順位ｘに対して、所定のパラメータのパラメータ値ｙは、わずかに増加傾向にあるように読み取れるものの、明確な傾向を示していない。
【００８２】
図１０（ｃ）は、相関がない場合の散布図である。図１０（ｃ）に示すように、順位ｘに対して、所定のパラメータのパラメータ値ｙは、増加傾向、減少傾向ともに存在しない。このように、相関係数を算出することにより、パラメータ値の順位に対する相関の強弱を判断することができる。
【００８３】
最後に、いずれかの方法で算出した各相関係数について有意差が存在するか否かを判定する。例えば、すべての相関係数に対して、それぞれＴ検定を実行して平均値に有意差が存在するか否かを判定する。
【００８４】
Ｔ検定とは、母集団がいずれも正規分布に従うことを前提として、平均が等しいか否かを判定する検定を意味する。Ｔ検定を実行するべく、４つの領域に分割しているので、それぞれの領域での測定データに基づいて算出された相関係数を一の画像に対する一グループとして、比較対象となる２つの画像に対する相関係数の分散が等しいと仮定できる場合はスチューデントのＴ検定を、相関係数の分散が等しいと仮定できない場合はウェルチのＴ検定を採用する。
【００８５】
具体的には相関係数をｒ（上述した３つの相関係数のいずれであっても良い）、データ数をｎとした場合に、（式８）にしたがって指標ｔ＿０を算出し、指標ｔ＿０に基づいてＴ検定を実行する。Ｔ検定により有意差が存在すると判定された場合に、相関パラメータとして採用する。
【００８６】
【数８】
2016003872.tif 000010
【００８７】
なお、Ｔ検定を利用しない場合には、２つの画像に対する相関係数の平均値の距離が、２つの画像に対する相関係数間の標準偏差の和の何倍に相当するかに応じて、分離可能であるか否かを判定する。２つの画像に対する相関係数の分布を正規分布に当てはめて、２つの正規分布の重複度合いに応じて判定することもできる。
【００８８】
図３に戻って、相関パラメータ表示手段３０７は、少なくとも特定された相関パラメータを表示手段（表示部）４３に表示する。相関パラメータは、例えば相関度が高い順に表示する。
【００８９】
図１１は、本発明の実施の形態に係る三次元形状測定装置１０の測定データ処理ユニット１の測定データ入力受付画面の例示図である。図１１に示すように、順位を付与する対象となる試料の測定データを表示する測定データ表示領域１１０１に、少なくとも３個の測定データを表示する。
【００９０】
そして、順位付与領域１１０２に、順位の高い順、例えば光沢度の強い順番に測定データをマウス４２のドラッグアンドドロップ操作等により移動する。移動するか、元に戻すかは、中央に配置されている操作ボタン群１１０３で行っても良い。図１１の例では、上から並べた順に１、２、３と自動的に順位が付与される。
【００９１】
このように、３個以上の試料の測定データについて、ユーザが上述した指標に基づいて定性的な順位を認識していることが前提となる。指標が「光沢度」であれば、強い、少々強い、光沢がない等の区別を認識していること、あるいは「手触り」であれば、非常にざらざら、少しざらざら、すべすべ等の区別を認識していることが必要となる。
【００９２】
測定データに対してパラメータごとに相関係数が算出された時点で、相関係数の大きい順にパラメータを列挙して表示する。図１２は、本発明の実施の形態に係る三次元形状測定装置１０の測定データ処理ユニット１の相関パラメータの表示状態の例示図である。
【００９３】
図１２に示すように、パラメータごとに相関係数を算出し、パラメータ表示領域１２０２にパラメータを、グラフ表示領域１２０３に相関係数の棒グラフを、相関係数表示領域１２０４に算出した相関係数を、それぞれ表示している。表示順序は、相関係数の降順としている。
【００９４】
そして、相関係数が０．８以上であるか否かを判断して、相関係数が０．８以上であるパラメータには、相関度表示領域１２０１に「○」印を表示している。「○」印が表示されているパラメータの中から、いずれかのパラメータについて、追加領域１２０５のチェックボックスを選択することにより、選択されたパラメータを相関パラメータとして特定して、例えば解析結果に追加表示することができる。
【００９５】
なお、相関係数は、棒グラフで表示することに限定されるものではなく、個々のパラメータごとに散布図を表示しても良い。図１３は、本発明の実施の形態に係る三次元形状測定装置１０の測定データ処理ユニット１の相関パラメータの散布図である。
【００９６】
図１３に示すように、パラメータごとに相関係数の散布図を表示している。散布図のｘ軸は順位を、ｙ軸はパラメータ値を、それぞれ示している。ｘ軸上の１つの値に対して４つのパラメータ値が存在するのは、測定データを取得する対象となる画像データを４分割しているからである。
【００９７】
図１３のようにパラメータごとの散布図を列挙して表示することにより、例えばパラメータＳｖ（最大谷深さ）１３０については、光沢度が高いほどパラメータ値が低くなる傾向が顕著であることが分かる。したがって、光沢度とパラメータＳｖとの相関度は高いと判断することができる。
【００９８】
なお、順位は、１、２、３のように番号を付与することに限定されない。例えばめっき厚を３μｍ、５μｍ、９μｍと変動させた試料を準備した場合、めっき厚の値そのもの、すなわち３、５、９を順位として付与しても良い。この場合、めっき厚とパラメータとの関係において、どのパラメータの相関度が高いのかを特定することができ、定量的評価を行うことが可能となる。
【００９９】
図１４は、本発明の実施の形態に係る三次元形状測定装置１０の測定データ処理ユニット１の測定データ入力受付画面の例示図である。図１４に示すように、順位を付与する対象となる試料の測定データを表示する測定データ表示領域１１０１に、少なくとも３個の測定データを表示する。
【０１００】
次に、順位付与領域１１０２に、測定データをマウス４２のドラッグアンドドロップ操作等により移動する。移動するか、元に戻すかは、中央に配置されている操作ボタン群１１０３で行っても良い。
【０１０１】
図１１と異なるのは、順位として順位入力領域１１０４に直接入力する点である。図１４の例では、めっき厚である、３、５、９をそのまま順位入力領域１１０４においてキーボード４１等で入力し、各試料の順位として入力している。
【０１０２】
次に、入力された順位に基づいて相関係数を算出して、散布図を表示する。図１５は、本発明の実施の形態に係る三次元形状測定装置１０の測定データ処理ユニット１の相関パラメータの散布図である。
【０１０３】
図１５は、パラメータＳｄｒ（界面の展開面積比）の散布図である。図１５に示すように、散布図のｘ軸は順位を、ｙ軸はパラメータ値を、それぞれ示しており、ｘ軸上の１つの値に対して４つのパラメータ値が存在することは図１３と同様であるのに対して、ｘ軸のプロット値がめっき厚になっている。したがって、めっき厚が厚くなるほどパラメータ値が小さくなる、負の相関度が高いことがわかる。
【０１０４】
なお、相関パラメータ表示手段３０７は、相関パラメータだけを表示することに限定されるものではなく、解析結果に加えて相関パラメータを追加表示するものであっても良い。例えば、図１２において、いずれかのパラメータについて追加領域１２０５のチェックボックスを選択することにより、選択されたパラメータを相関パラメータとして特定し、行列状に表示された解析結果に相関パラメータ及びパラメータ値を追加表示すれば良い。
【０１０５】
まず、解析結果を行列状に表示する場合、例えば３種類の設定情報、すなわち解析方法ごとの設定情報（以下、解析処理単位設定情報）、測定データごとの設定情報（以下、ファイル単位設定情報）、及び測定データそれぞれについて異なる解析方法を設定する設定情報（以下、セル単位設定情報）の３つを組み合わせて表示する。
【０１０６】
図１６は、本発明の実施の形態に係る三次元形状測定装置１０の測定データ処理ユニット１の解析結果を行列状に表示する場合の模式図である。図１６の例では、行単位で測定データ（ファイル）ごとの解析結果を表し、列単位で解析方法（解析処理）ごとの解析結果を表している。
【０１０７】
この場合、解析処理単位設定情報は、複数の解析処理単位設定情報をひとまとまりとした解析処理単位設定セット４０１として、各列がどの解析処理に対する解析結果であるのかを示している。例えばプロファイル計測処理の場合、画像表示の種別として、「レーザ＋カラー」、「レーザ」、「カラー」、「高さ」等が、解析処理単位設定情報となる。
【０１０８】
ファイル単位設定情報は、複数のファイル単位設定情報をひとまとまりとしたファイル単位設定セット４０２として、各行がどの設定情報に対して複数の解析方法で解析処理を実行した解析結果であるのかを示している。例えばプロファイル計測処理の場合、高さデータ、カラーデータ等の測定データが、ファイル単位設定情報となる。
【０１０９】
セル単位設定情報４０３は、各解析処理に対するファイル個別の設定情報を示している。これらを組み合わせることにより、解析結果を行列状に表示することができる。
【０１１０】
図１２の追加領域１２０５で選択を受け付けたパラメータは、相関パラメータとして行列状に表示された解析結果に追加表示される。図１７は、本発明の実施の形態に係る三次元形状測定装置１０の測定データ処理ユニット１の解析結果を行列状に表示する場合の例示図である。
【０１１１】
図１７の例では、解析処理単位設定情報として「レーザ＋カラー」が選択されており、「レーザ＋カラー情報」に関する解析結果が測定データごとに、高さ画像とともに表示されている。そして、図１８は、本発明の実施の形態に係る三次元形状測定装置１０の測定データ処理ユニット１の相関パラメータの表示状態の例示図である。
【０１１２】
図１８に示すように、パラメータごとに相関係数を算出し、図１２と同様にパラメータ表示領域１２０２にパラメータを、グラフ表示領域１２０３に相関係数の棒グラフを、相関係数表示領域１２０４に算出した相関係数を、それぞれ表示している。この状態で、相関パラメータＳｖについて、追加領域１２０５のチェックボックスを選択する。
【０１１３】
図１９は、本発明の実施の形態に係る三次元形状測定装置１０の測定データ処理ユニット１の解析結果に相関パラメータを行列状に追加表示する場合の模式図である。図１９に示すように、図１８において追加領域１２０５のチェックボックスで選択を受け付けたパラメータＳｖが相関パラメータとして、パラメータ値とともに追加表示領域１９１に表示される。
【０１１４】
図２０は、本発明の実施の形態に係る三次元形状測定装置１０の測定データ処理ユニット１のＣＰＵ１１の処理手順を示すフローチャートである。測定データ処理ユニット１のＣＰＵ１１は、三次元形状測定ユニット２の受光素子２８及びカラーＣＣＤカメラ３４における少なくとも三以上の試料表面を撮像した画像データを、所定の指標に基づいた順位が付与された、複数の試料に関する測定データとして入力を受け付ける（ステップＳ２００１）。入力を受け付けた複数の測定データは、記憶装置１３の測定データ記憶部１３１に記憶される（ステップＳ２００２）。
【０１１５】
ＣＰＵ１１は、一グループの測定データの数が４個以上であるか否かを判断する（ステップＳ２００３）。ＣＰＵ１１が、測定データの数が４個より少ないと判断した場合（ステップＳ２００３：ＮＯ）、ＣＰＵ１１は、測定データを取得した二次元平面上で複数の領域に分割する（ステップＳ２００４）。
【０１１６】
ＣＰＵ１１が、測定データの数が４個以上であると判断した場合（ステップＳ２００３：ＹＥＳ）、ＣＰＵ１１は、ステップＳ２００４をスキップし、パラメータごとにパラメータ値を算出して記憶する（ステップＳ２００５）。ＣＰＵ１１は、記憶されている複数のパラメータ値に基づいてパラメータごとにＴ検定を実行し（ステップＳ２００６）、複数のパラメータの中から、試料の順位と相関度が高いパラメータを相関パラメータとして特定する（ステップＳ２００７）。
【０１１７】
ＣＰＵ１１は、少なくとも特定された相関パラメータを表示手段（表示部）４３に表示する（ステップＳ２００８）。もちろん、相関パラメータだけを表示しても良いし、解析結果に加えて相関パラメータを追加表示するものであっても良い。
【０１１８】
以上のように本実施の形態によれば、試料の表面の違いを解析する場合に、試料の表面の状態変化との間で一定以上の高い相関度を有するパラメータの種別を容易に特定することができ、定性的な評価と一致した解析結果を得ることができる相関パラメータを選択することが可能となる。
【０１１９】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲内であれば多種の変更、改良等が可能である。
【符号の説明】
【０１２０】
１  測定データ処理ユニット
２  三次元形状測定ユニット
１０  三次元形状測定装置
１１  ＣＰＵ
１２  メモリ
１３  記憶装置
９０  可搬型記録媒体
１００  コンピュータプログラム
１３１  測定データ記憶部
１３２  パラメータ情報記憶部
【図１】
2016003872.tif 000011
【図２】
2016003872.tif 000012
【図３】
2016003872.tif 000013
【図６】
2016003872.tif 000014
【図８】
2016003872.tif 000015
【図１０】
2016003872.tif 000016
【図１５】
2016003872.tif 000017
【図１６】
2016003872.tif 000018
【図２０】
2016003872.tif 000019
【図４】
2016003872.tif 000020
【図５】
2016003872.tif 000021
【図７】
2016003872.tif 000022
【図９】
2016003872.tif 000023
【図１１】
2016003872.tif 000024
【図１２】
2016003872.tif 000025
【図１３】
2016003872.tif 000026
【図１４】
2016003872.tif 000027
【図１７】
2016003872.tif 000028
【図１８】
2016003872.tif 000029
【図１９】
2016003872.tif 000030