(57)【要約】【課題】ダイヤフラム４を用いて差圧により弁体３１に作用する力をキャンセルするようにした電磁式制御弁において、ダイヤフラム４の耐圧性、耐久性を向上する。【解決手段】ダイヤフラム４を基布４Ａとゴム層４Ｂで構成する。基布４Ａをダイヤフラム４の成形金型に合わせてくせ付け（プレフォーム）する。針状部材４０を、くせ付けした基布４の中心に刺して貫通させ、基布４Ａに円環状の繊維の収束部分４Ａ１を形成するとともに、繊維の収束部分４Ａ１の内側に拡径開口部４Ａ２を形成する。基布４をゴム層４Ｂに埋設して成形し、中間部材４′を形成する。中間部材４′の拡径開口部４Ａ２の内側のゴム層を打ち抜き、ダイヤフラム４を製造する。ダイヤフラム４の開口４Ｂ１の部分を電磁式制御弁の弁部材（３）側の結合軸（３２１）に挿通する。結合軸（３２１）を弁体（３１）の連結孔（３１ｂ）内に嵌合する。結合軸（３２１）の下端部をかしめる。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
成形金型で成形されてゴム層に基布が埋設されたダイヤフラムを製造するダイヤフラムの製造方法であって、
前記基布の中心の織り目を拡げて該基布に取り付け対象の軸径に整合する径を有する拡径開口部を形成する工程と、
前記拡径開口部が形成をされた基布とゴム材とにより前記成形金型で成形して中間部材を形成する工程と、
前記中間部材の前記基布の拡径開口部内のゴム層を除去してダイヤフラムとする工程と、
を備えたことを特徴とするダイヤフラムの製造方法。
【請求項２】
少なくとも前記中間部材を形成する工程より前段の工程として、前記成形金型の形状に合わせて前記基布をくせ付けする工程を備えたことを特徴とする請求項１に記載のダイヤフラムの製造方法。
【請求項３】
前記基布に前記拡径開口部を形成する工程で、前記軸径に整合する径の棒状部とその一端側に連続する針状部とを有する針状部材を用い、該針状部材を、前記基布の中心に刺して前記針状部側から前記棒状部まで貫入させることで、前記拡径開口部を形成することを特徴とする請求項１または２に記載のダイヤフラムの製造方法。
【請求項４】
成形金型で成形されてゴム層に基布が埋設されて形成されたダイヤフラムであって、
前記基布の中心の織り目が拡げられて形成された、取り付け対象の軸径に整合する径を有する拡径開口部を備えるとともに、該拡径開口部内のゴム層が除去されていることを特徴とするダイヤフラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば圧力バランス方式の電磁式制御弁において差圧の力を弁部材に作用させるのに適した可撓性のダイヤフラムの製造方法及びダイヤフラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電磁式制御弁として、例えば国際公開第２０１３／１５７２９２号（特許文献１）に開示されたものがある。この電磁式制御弁は、弁ハウジング内に弁体を有する弁棒を配設し、電磁コイルへの通電により発生する電磁力で弁棒を軸方向に変位させ、上記弁体により弁ポートの開度調節を行うものである。また、高圧側の一次室に連通された均圧室と低圧の二次室に連通された低圧室との差圧を、ダイヤフラムを介して弁棒に作用させることで一次室と二次室との差圧が弁棒の弁体に作用する力を相殺（キャンセル）するようにしたものである。これにより、この圧力バランス方式の電磁式制御弁では、一次室側圧力と二次室側圧力との差圧の影響を受けず、定電流時においては、一定の弁開度を維持した安定した流量制御を行うことが可能になる。
【０００３】
また、特許文献１のものでは、弁体の下端のダイヤフラムは求心作用を有し、このダイヤフラムに弁体を接続する事により、本体等にガイド部を設ける事なく、弁体を本体の中心軸上に位置させている。さらに、このダイヤフラムの接続方法では、ダイヤフラムの中央部に穴を開けずに弁体の一端の針状突起にダイヤフラムを貫通させた後、フラムガイドを挿入し、弁体の下端をかしめて、弁体とダイヤフラムが接続されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２０１３／１５７２９２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１のものでは、ダイヤフラムを接続する弁体の一端の針状突起が細いため、ダイヤフラムを容易に貫通させることができるが、このダイヤフラムを接続する駆動軸の径が太い場合、上述した固定構造では、以下のような問題が生じる。すなわち、このダイヤフラムを接続する駆動軸の径が太い場合、ダイヤフラムのゴムの中に埋設された基布を針状突起で太い駆動軸径まで押し広げるのが困難であり、広げる際に基布の糸が傷付き切れた形となる。また、押し広げられたゴム膜が駆動軸の弁との当接部にバリ状に残ると弁体のかしめ固定時に弁体が傾くという問題がある。
【０００６】
また、一般に基布入りのゴム製ダイヤフラム等ではゴム部で気密性を持たせ、基布部で耐圧性を持たせている。ダイヤフラムの耐圧強度は基布の強度に依存するので、基布が切られた状態で高圧で使用すると、加圧された事によりゴムが伸び、基布も引っ張られ、切られた部位のゴム層から基布が抜けると、ダイヤフラムの耐圧性が著しく低下しダイヤフラムが破損してしまう。ダイヤフラムが破損すると制御弁は制御不能となる。また、弁体のかしめ時に弁体が傾くと、弁漏れの原因ともなる。
【０００７】
本発明は、上述の如き問題点を解消するためになされたものであり、駆動軸へ固定するダイヤフラムの製造方法を改良し、例えばダイヤフラムを用いて差圧により弁体に作用する力をキャンセルするようにした電磁式制御弁において、ダイヤフラムの耐圧性、耐久性を向上させることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１のダイヤフラムの製造方法は、成形金型で成形されてゴム層に基布が埋設されたダイヤフラムを製造するダイヤフラムの製造方法であって、前記基布の中心の織り目を拡げて該基布に取り付け対象の軸径に整合する径を有する拡径開口部を形成する工程と、前記拡径開口部が形成をされた基布とゴム材とにより前記成形金型で成形して中間部材を形成する工程と、前記中間部材の前記基布の拡径開口部内のゴム層を除去してダイヤフラムとする工程と、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
請求項２のダイヤフラムの製造方法は、請求項１に記載のダイヤフラムの製造方法であって、少なくとも前記中間部材を形成する工程より前段の工程として、前記成形金型の形状に合わせて前記基布をくせ付けする工程を備えたことを特徴とする。
【００１０】
請求項３のダイヤフラムの製造方法は、請求項１または２に記載のダイヤフラムの製造方法であって、前記基布に前記拡径開口部を形成する工程で、前記軸径に整合する径の棒状部とその一端側に連続する針状部とを有する針状部材を用い、該針状部材を、前記基布の中心に刺して前記針状部側から前記棒状部まで貫入させることで、前記拡径開口部を形成することを特徴とする。
【００１１】
請求項４のダイヤフラムは、成形金型で成形されてゴム層に基布が埋設されて形成されたダイヤフラムであって、前記基布の中心の織り目が拡げられて形成された、取り付け対象の軸径に整合する径を有する拡径開口部を備えるとともに、該拡径開口部内のゴム層が除去されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１のダイヤフラムの製造方法によれば、基布の中心の織り目が拡げられて形成された、取り付け対象の軸径に整合する径を有する拡径開口部を備えるとともに、該拡径開口部内のゴム層が除去されたダイヤフラムが得られるので、基布を切らずに拡径開口部を駆動軸等の取り付け対象に対して容易に取り付けることができる。したがって、ダイヤフラムの耐圧性、耐久性を向上させることができる。
【００１３】
請求項２のダイヤフラムの製造方法によれば、請求項１の効果に加えて、基布に対してくせ付けを行うので、基布の下金型への装着が容易になる。
【００１４】
請求項３のダイヤフラムの製造方法によれば、請求項１または２の効果に加えて、針状部材により、基布の拡径開口部を容易に形成することができる。
【００１５】
請求項４のダイヤフラムによれば、耐圧性、耐久性の高いダイヤフラムが得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明を適用した実施形態のダイヤフラムを用いた電磁式制御弁の弁閉状態の縦断面図である。
【図２】本発明を適用した実施形態におけるダイヤフラムの固定前の概略平面図及び断面図である。
【図３】本発明を適用した実施形態における基布のくせ付け専用の金型の縦断面図及びくせ付けを行っている状態を示す図である。
【図４】本発明を適用した実施形態における基布のくせ付け専用の金型の縦断面図及び拡径開口部を形成している状態を示す図である。
【図５】本発明を適用した実施形態における基布及びダイヤフラムの成形金型の縦断面図である。
【図６】本発明を適用した実施形態のダイヤフラムの製造方法の要部工程を説明する図である。
【図７】本発明を適用した実施形態の電磁式制御弁の要部の組立工程を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
次に、本発明の実施形態について説明する。図１は実施形態のダイヤフラムを用いた電磁式制御弁の弁閉状態の縦断面図である。この実施形態の電磁式制御弁は下本体１Ａと上本体１Ｂからなる弁ハウジング１を有している。下本体１Ａは上本体１Ｂの下部の嵌合孔１Ｂ１に嵌合され、嵌合孔１Ｂ１の開口端部をかしめることにより、下本体１Ａと上本体１Ｂとが一体に固着されている。
【００１８】
下本体１Ａには、矢印のように流体が流入する高圧側の第１のポート１１と、第１のポート１１に連通する弁室１２が形成されている。また、下本体１Ａには弁室１２の下部の弁座嵌合孔１Ａ１が形成され、この弁座嵌合孔１Ａ１内に弁座部材２が嵌合されている。そして、弁座嵌合孔１Ａ１の開口端部をかしめることにより、下本体１Ａと弁座部材２とが一体に固着されている。なお、弁座部材２と弁座嵌合孔１Ａ１との間はＯリング２ａにより封止されている。また、上本体１Ｂには均圧室１３が形成され、この均圧室１３の上部に後述の電磁駆動部５のケースとしてのプランジャケース５１及びカバー６が嵌合固着されている。
【００１９】
弁座部材２には、矢印のように流体が流出する低圧側の第２のポート２１と、第２のポート２１と弁室１２とを連通する弁ポート２２が形成されている。弁ポート２２は軸線Ｌを中心とする水平断面形状が円形であり、その弁室１２側の開口周囲にはリング状の弁座シート２３が配設されている。
【００２０】
弁室１２及び均圧室１３内には軸線Ｌに沿った方向に変位可能な弁部材３が延在されている。弁部材３は、弁室１２内に位置して弁座部材２の弁座シート２３に対して離接が可能な円筒状の弁体３１、弁体３１の上方に延設された連結部３２とで構成されている。連結部３２は、下端部に弁体３１を結合する結合軸３２１と、結合軸３２１より径が大きく均圧室１３内に位置するボス部３２２と、ボス部３２２の上方に延設された連結ロッド３２３とを有している。
【００２１】
弁体３１とボス部３２２との間にはゴム製のダイヤフラム４が配設されている。ダイヤフラム４はコンボリューション部４１と、その内側の内ビード部４２と、コンボリューション部４１の外側の外ビード部４３とを有している。また、弁体３１は、中心に円筒形状とすり鉢形状とを連ねた開口孔３１ａと、開口孔３１ａに連なる連結孔３１ｂとを有している。そして、連結部３２の結合軸３２１が、ダイヤフラム４の内ビード部４２の開口を貫通して弁体３１の連結孔３１ｂ内に嵌合され、弁体３１とボス部３２２とで内ビード部４２を圧縮し、結合軸３２１の下端部をかしめることにより、弁体３１とダイヤフラム４及び連結部３２が一体に固定されている。なお、これらの弁体３１、ダイヤフラム４及び結合軸３２１の組み付け方については後述する。
【００２２】
ダイヤフラム４の外ビード部４３は、下本体１Ａの上端と上本体１Ｂの均圧室１３の下部開口端部との間に圧縮するようにして挟持されている。なお、弁体３１の上端（弁部材３の下方寄り）は、圧力が加わることで発生するダイヤフラム４の復元力による自動求心作用により、通常は軸線Ｌ上に保持される。
【００２３】
連結部３２において、ボス部３２２には、弁体３１の開口孔３１ａ側から軸線Ｌ方向に伸びる第１の均圧路３２ａが形成されるとともに、第１の均圧路３２ａと交差して均圧室１３に開口する第２の均圧路３２ｂが形成されている。この第１の均圧路３２ａ、第２の均圧路３２ｂ及び弁体３１の開口孔３１ａは均圧路を構成しており、弁ポート２２と均圧室１３は、開口孔３１ａ、第１の均圧路３２ａ及び第２の均圧路３２ｂにより導通されている。
【００２４】
ダイヤフラム４は可撓性を有し、ダイヤフラム４の弁室１２側に作用する第１のポート１１の圧力（Ｐ１）と、均圧室１３側に作用する第２のポート２１の圧力（Ｐ２）との差圧により発生した力を弁部材３（弁体３１）に伝達する感圧部を構成している。また、ダイヤフラム４は均圧室１３と弁室１２とを気密に区画している。
【００２５】
弁ハウジング１の上部には、電磁駆動部５が設けられている。電磁駆動部５は、円筒状のプランジャケース５１と、プランジャケース５１の上端に固定された磁性体からなる吸引子５２と、プランジャケース５１内に設けられた磁性体からなるプランジャ５３と、プランジャケース５１の外周に配置されボビン５４ａに巻線が巻回された電磁コイル５４とを備えている。なお、プランジャケース５１と吸引子５２は溶接等により固定されている。吸引子５２には軸線Ｌと同軸な挿通孔５２ａが形成されるとともに、挿通孔５２ａとは他方の側には、挿通孔５２ａより径の大きな調整部用孔５２ｂが形成されている。
【００２６】
プランジャ５３には、軸線Ｌと同軸な円筒状のプランジャばね室５３ａと挿通孔５３ｂが形成されるとともに、挿通孔５３ｂの横にプランジャ均圧路５３ｃが形成されている。なお、吸引子５２とプランジャ５３は、プランジャ均圧路５３ｃ以外は、それぞれ軸線Ｌを軸にして回転対称な形状となっている。
【００２７】
プランジャケース５１の下部には、均圧室１３に対して電磁駆動部５側に位置するカバー６が配設されている。カバー６はプランジャケース５１の下端と上本体１Ｂとに挟持されて固定されている。カバー６の中心には、軸線Ｌと同軸な挿通孔６ａが形成されている。なお、カバー６は弁ハウジング１（本体）に対して動くことがなければ固定方法はどのような構成でもよい。このように、弁部材３に対してカバー６が軸線Ｌ方向に相対的に固定されているので、プランジャ５３等の可動部品は流体の動圧の影響を受けることがない。
【００２８】
弁部材３の連結ロッド３２３は、カバー６の挿通孔６ａ、プランジャ５３の挿通孔５３ｂに挿通されている。また、吸引子５２の挿通孔５２ａ内で、連結ロッド３２３の端部に非磁性体からなるボール受け７が嵌め込まれている。ボール受け７と連結ロッド３２３の端部とは溶接により固着されている。ボール受け７はプランジャ５３側の端部に鍔状部を有し、この鍔状部は、プランジャ５３の吸引子５２側の対向面５３ｄに接触した状態で、この対向面５３ｄと吸引子５２のプランジャ５３側の対向面５２ｄとの間に位置する。
【００２９】
プランジャ５３と連結ロッド３２３の段部３２３ａとの間にはプランジャばね５３１が圧縮した状態で配設されている。これにより、プランジャ５３は対向面５３ｄをボール受け７に対して常時当接された状態となり、このプランジャ５３が吸引子５２方向に吸引されると、このプランジャ５３と共に弁部材３が弁開方向に変位する。弁部材３は、この弁部材３の一部である連結ロッド３２３によりプランジャ５３と連結されている。プランジャ５３の挿通孔５３ｂと弁部材３の連結ロッド３２３とのクリアランスは、プランジャ５３とプランジャケース５１とのクリアランスより大きく設定されており、プランジャ５３が軸線Ｌと直交する方向に変位しても、弁部材３とプランジャ５３は接触しない。
【００３０】
吸引子５２の前記調整部用孔５２ｃ内には設定調整部８が配設されている。この設定調整部８は、調整ねじ８１、ばね受け８２、調整ばね８３、ボール８４を有している。調整ばね８３は調整ねじ８１とばね受け８２との間に圧縮状態で配設されており、ボール８４はばね受け８２に当接した状態で軸線Ｌ上の吸引子５２の挿通孔５２ａ内に配設されている。そして、調整ばね８３は、ばね受け８２を介してボール８４をボール受け７の上端に当接するように付勢している。また、調整ねじ８１は、その外周の雄ねじ部８１１を吸引子５２の上部内周面に形成された雌ねじ部５２ｅに螺合することにより、吸引子５２に取り付けられている。
【００３１】
ボール８４と吸引子５２の挿通孔５２ａとの間には僅かにクリアランスが設けられており、ボール８４は軸線Ｌに沿って挿通孔５２ａ内で変位可能となっている。また、ボール受け７はボール８４に対して球面接触される。これにより、ボール受け７（及び弁部材３）の上端は、常に軸線Ｌ上に位置決めされる。
【００３２】
電磁駆動部５の電磁コイル５４への通電により、磁気回路が形成されて吸引子５２とプランジャ５３との間に磁気による吸引力が発生する。この吸引力は電磁コイル５４へ通電する電流に応じたものとなる。
【００３３】
以上の構成により、実施形態の電磁式制御弁は次のように作用する。設定調整部８は、調整ばね８３によりばね受け８２、ボール８４及びボール受け７を介して弁部材３を弁座部材２の弁座シート２３側に付勢している。電磁コイル５４を励磁することにより、プランジャ５３が吸引子５２に吸引され、弁部材３は調整ばね８３の付勢力に抗して弁座シート２３から離れる方向に変位し、弁閉から弁開となるとともに弁体３１と弁座シート２３との軸線Ｌに沿った方向の位置関係により、弁ポート２２の開度が制御される。なお、プランジャ５３が最上端位置で弁開度が全開となるのは、ボール受け７の鍔状部が吸引子５２の対向面５２ｄに当接した位置である。このように、ボール受け７により、プランジャ５３が吸引子５２に吸着（密着）されるのを防止する。
【００３４】
また、電磁コイル５４の励磁を無くすことにより弁体３１が弁座シート２３に着座し、弁閉となる。なお、調整ねじ８１の追い込み量により、調整ばね８３が弁部材３に加える付勢力が調整され、弁開に必要な電磁力（吸引力）を調節できる。このように、電磁コイル５４が生じる電磁力と、調整ばね８３のばね力との平衡関係によって弁部材３が軸線Ｌに沿った方向に変位し、弁体３１で弁ポート２２の開度を変化させる。
【００３５】
また、弁体３１には前述のように弁室１２の圧力と第２のポート２１の圧力の差圧が作用して弁閉方向に力が加わる。一方、均圧室１３は第１の均圧路３２ａ、第２の均圧路３２ｂ及び開口孔３１ａ（均圧路）によって弁ポート２２及び第２のポート２１と連通されているので、均圧室１３に作用する第２のポート２１の圧力と弁室１２の圧力との差圧がダイヤフラム４に作用し、弁部材３には弁開方向の力が加わる。そして、弁体３１の有効受圧径Ｄ１（この実施例の場合、弁座シート２３の内径）と、ダイヤフラム４の有効受圧径Ｄ２とは等しいので、弁部材３に対しては、差圧による力は互いにキャンセル（相殺）され、弁体３１の開閉に差圧の影響を受けない。
【００３６】
このように、電磁駆動部５の印加電流に応じた電磁力と調整ばね８３のばね力とのつり合いをとるとともに、第１のポート１１と第２のポート２１との差圧により弁体３１に作用する力を、ダイヤフラム４（感圧部）に加わる弁室１２と均圧室１３との差圧により弁体３１に作用する力でキャンセル（相殺）することにより、差圧により弁体３１に作用する力の影響を無くし、少ない通電量で弁ポート２２の開度を比例的に変化させることができる。
【００３７】
なお、この実施形態では、弁ポート２２の下部には第２のポート２１を設けるだけの構造となっているので、弁ハウジング１の軸線Ｌ方向の長さを小さくすることができ、電磁式制御弁自体を小型化することができる。また、第２のポート２１を弁ポート２２に対して同軸で連通するようにしているので、第２のポート２１での圧力損失も低減し、流体がスムーズに流れる。
【００３８】
図２はダイヤフラム４の弁部材３（連結部３２）への固定前の概略平面図（図２（Ａ））及び断面図（図２（Ｂ））である。ダイヤフラム４は、ゴム層４Ｂ内に基布４Ａが埋設されたものである。また、この固定前のダイヤフラム４は、コンボリューション部４１の部分が円錐台の側面の形状をした側面部と、その内周に内ビード部４２を有する底面部と、側面部の外周に外ビード部４３を有するフランジ部とで構成されている。なお、基布４Ａは、トリコット編みで編み込まれている。ゴム層４Ｂの中心には、開口４Ｂ１が形成されている。この開口４Ｂ１の径は、取り付け対象である結合軸３２１の基部３２１ａの径に整合する径となっている。そして、この開口４Ｂ１の周囲でゴム層４Ｂの内部には基布４Ａの円環状の繊維の収束部分４Ａ１が埋設されている。この繊維の収束部分４Ａ１は後述の「拡径工程」により、基布４Ａの繊維が密に集まることで形成されたものであり、基布４Ａの他の部分よりも堅牢になっている。
【００３９】
図３は基布４のくせ付け（プレフォーム）を行うための専用の金型の断面図であり、下金型１０と上金型２０とで構成されている。下金型１０は、逆円錐台の形状の凹部１０ａを有し、上金型２０は凹部１０ａに整合する逆円錐台の形状の膨出部２０ａを有している。また、下金型１０と上金型２０は、中心に前記基部３２１ａの軸径より僅かに大きな径の挿通孔１０ｂ，２０ｂを有している。そして、基布４Ａを下金型１０と上金型２０とで挟み込んで、凹部１０ａと膨出部２０ａの形状に合わせて基布４Ａをくせ付けをする。このくせ付けを行った基布４Ａは、コンボリューション部４１に対応する円錐台の側面の形状をした側面部４Ａａと、側面部４Ａａの内周に形成された底面部４Ａｂと、側面部４Ａａの外周に形成されたフランジ部４Ａｃとで構成されている。
【００４０】
次に、結合軸３２１の基部３２１ａの軸径に整合する径の棒状部４０ａと、この棒状部４０ａの一端側に連続する針状部４０ｂとを有する針状部材４０を用いる。そして、図４に示すように、下金型１０と上金型２０とで基布４Ａを挟み込んだ状態のまま、針状部材４０を、上金型２０と下金型１０の挿通孔２０ｂ，１０ｂに挿通し、基布４Ａの中心（底面部４Ａｂの中心）に針状部４０ｂを刺し、針状部４０ｂ側から棒状部４０ａまで貫入させる。これにより、円環状の繊維の収束部分４Ａ１を形成し、この繊維の収束部分４Ａ１の内側に基部３２１ａの軸径に整合する径を有する拡径開口部４Ａ２を形成する。
【００４１】
図５はダイヤフラム４を成形するための成形金型の断面図であり、下金型１０′と上金型２０′とで構成されている。まず、下金型１０′内に生ゴムを充填し、くせ付けをした基布４Ａを配設し、図５のように下金型１０′に上金型２０′を合わせてキャビティ３０内で、基布４Ａとゴム層４Ｂとを成形する。この成形時には、加圧したゴムを加熱して硫化する。これにより、ダイヤフラム４の中間部材４′（図６（Ｄ）参照）を成形する。
【００４２】
図６は実施形態のダイヤフラムの製造方法の要部工程を説明する図である。なお、図６（Ａ）〜図６（Ｅ）では基布４Ａ及びダイヤフラム４の平面図と側断面図を上下に図示し、基布４Ａの存在する部分は縦線のハッチングで図示し、ゴム層４Ｂの存在する部分は横線のハッチングで図示してある。
【００４３】
まず、図６（Ａ）に示すように、素材の基布４Ａは円形であり、これを前記くせ付け専用の下金型１０と上金型２０でくせ付けを行い、図６（Ｂ）に示す形状の基布４Ａを形成する。すなわち、基布４Ａは、コンボリューション部４１に対応する側面部４Ａａと、その内周の底面部４Ａｂと、側面部４Ａａの外周のフランジ部４Ａｃとからなる。次に、図６（Ｃ）に示すように、前記の針状部材４０を用い、基布４Ａの中心に針状部４０ｂ側から棒状部４０ａまで貫入させて、前記繊維の収束部分４Ａ１を形成するとともに拡径開口部４Ａ２を形成する。
【００４４】
次に、前述のように繊維の収束部分４Ａ１を形成した基布４Ａとゴム材を下金型１０′と上金型２０′で加圧及び硫化し、図６（Ｄ）に示すダイヤフラム４の中間部材４′を成形する。この中間部材４′はゴム層４Ｂに基布４Ａを埋設したものであり、繊維の収束部分４Ａ１の内側の拡径開口部４Ａ２にもゴム層４Ｂは存在している。そして、図６（Ｅ）に示すように、拡径開口部４２２内のゴム層を打ち抜いて除去する。以上のようにして、前記図２に示すダイヤフラム４が製造される。
【００４５】
以上のダイヤフラム４は、図７（Ａ）に示すように、連結部３２の基部３２１ａにダイヤフラム４の開口４Ｂ１を挿通し、図７（Ｂ）に示すように、連結部３２の結合軸３２１を弁体３１の連結孔３１ｂ内に嵌合する。そして、図７（Ｃ）に示すように、結合軸３２１の下端部をかしめることにより、弁体３１とダイヤフラム４及び連結部３２を一体に固定する。
【００４６】
このように実施形態では、基布４Ａをくせ付けしているので、生ゴムが充填された下金型１０′への基布４Ａの装着が容易になる。なお、実施形態では、くせ付け専用の金型（下金型１０と上金型２０）によって基布４Ａをくせ付けするようにしているが、ダイヤフラム４を成形するための下金型１０′と上金型２０′でくせ付けを行ってもよい。なお、くせ付け専用の金型の場合は、金属で以外の他の素材の型でもよい。
【００４７】
また、実施形態では、くせ付け専用の金型に基布４Ａを挟み込み、くせ付けを行った状態のまま針状部材４０を刺すようにしているので、基布４Ａがこれらの型に対してずれにくい。これにより、ゴム層４Ｂに埋設された基布４Ａに刺すのに比べ、基布４Ａの中心（底面部４Ａｂの中心）に針状部材４０を刺し易く、拡径開口部４Ａ２が中心からずれにくい。したがって、太い駆動軸径まで押し広げ易い。
【００４８】
実施形態では基布４Ａの織り方はトリコット織りであり、伸び性が高く針状部材４０を基布４Ａに刺し易く、太い駆動軸径まで押し広げ易い。基布４Ａの織り方の種類は、伸び性が高い丸編みでもよい。
【００４９】
実施形態では、くせ付けを行った基布４Ａに対して針状部材４０で拡径開口部４Ａ２を形成するようにしているが、くせ付けを行う前の基布に対して針状部材で拡径開口部を形成し、その後、くせ付けを行ってもよい。なお、くせ付けを行うと金型への装着が容易になるが、必ずしもくせ付けを行う必要はない。
【００５０】
また、実施形態では、基布に対して針状部材で拡径開口部を形成するようにしているので、拡径開口部を容易に形成できるが、基布の中心の織り目を拡げることで、基布に対して、取り付け対象の軸径に整合する径を有する拡径開口部を形成する方法であれば、どのような方法でもよい。
【００５１】
なお、明細書及び請求項において「基布の中心」とは、基布４Ａの側面４Ａａに対応する円錐台の中心線の位置のことである。したがって、多少の位置ずれによって、フランジ部４Ａｃの外周の円の中心が上記円錐台の中心線からずれた場合も、本発明に含まれる。
【００５２】
以上、本発明の実施の形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこれらの実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。取り付け対象である駆動軸は電磁制御弁の弁部材３（弁棒）のものに限らず、軸線方向に移動される駆動軸にダイヤフラムを固定するものであれば、他の装置、他の構造物にも適用でき、ダイヤフラムの高い耐圧性、耐久性が得られる。
【符号の説明】
【００５３】
１      弁ハウジング
１Ａ    下本体
１Ｂ    上本体
１１    第１のポート
１２    弁室
１３    均圧室
２      弁座部材
２１    第２のポート
２２    弁ポート
３      弁部材
３１    弁体
３２    連結部
４      ダイヤフラム
４′    中間部材
４Ａ    基布
４Ａ１  繊維の収束部分
４Ａ２  拡径開口部
４Ｂ    ゴム層
４Ｂ１  開口
４１    コンボリューション部
４２    内ビード部
４３    外ビード部
５      電磁駆動部
Ｌ      軸線
１０′  下金型
２０′  上金型
３０    キャビティ
４０    針状部材
４０ａ  棒状部
４０ｂ  針状部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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