(57)【要約】【課題】  観察領域を移動させながら観察するときに、観察領域の移動に追随して迅速に解析結果を表示することが可能となる質量顕微鏡装置を提供する。【解決手段】  質量顕微鏡装置１００は、観察領域３２に含まれる試料３１からイオン３３を発生させるイオン化部１と、イオン化部１によって発生させたイオン３３の質量分析を行う質量分析部２と、観察領域３２を移動させる移動手段４と、移動手段４とイオン化部１または質量分析部２とを連動可能に制御する制御部６と、を有する。制御部６は、移動手段４により観察領域３２を移動させて順次計測する観察領域３２の移動時と、観察領域３２を静止させて計測する観察領域３２の静止時とで、異なる計測条件に切り替えるように、イオン化部１または質量分析部２または移動手段４を制御する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
観察領域内の試料からイオンを発生させるイオン化手段と、前記イオン化手段によって発生させた前記イオンを質量分析する質量分析部と、を有する計測手段と、
前記観察領域を移動させる移動手段と、を有し、
前記質量顕微鏡装置は、前記移動手段により前記観察領域を移動させて前記計測手段による計測を順次行う移動計測モードと、前記観察領域を静止させて前記計測手段による計測を行う静止計測モードと、を有する質量顕微鏡装置であって、
前記移動計測モードと前記静止計測モードとで、前記計測手段の計測条件を切り替える切り替え手段を有することを特徴とする質量顕微鏡装置。
【請求項２】
前記切り替え手段が、前記移動手段による前記観察領域の移動速度に応じて前記計測手段の前記計測条件を切り替えることを特徴とする請求項１に記載の質量顕微鏡装置。
【請求項３】
前記質量分析部によって取得した質量スペクトルデータを解析する解析手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の質量顕微鏡装置。
【請求項４】
前記切り替え手段は、前記移動計測モードにおける計測結果に応じて前記静止計測モードにおける計測条件を設定することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の質量顕微鏡装置。
【請求項５】
前記切り替え手段は、前記移動計測モードにおけるデータ取得点数が、前記静止計測モードにおけるデータ取得点数よりも小さくなるように前記計測条件を切り替えることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の質量顕微鏡装置。
【請求項６】
前記切り替え手段がさらに、前記移動計測モードと前記静止計測モードとで、前記解析手段の解析条件を切り替えることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の質量顕微鏡装置。
【請求項７】
前記計測条件が、前記観察領域内における計測点の個数、前記計測の際に検出を行う前記質量電荷比の個数または最大値または数値範囲、同一の前記観察領域における前記質量スペクトルデータの積算回数、から選択される少なくとも一つであることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載の質量顕微鏡装置。
【請求項８】
観察領域内の試料からイオンを発生させるイオン化手段と、前記イオン化手段によって発生させた前記イオンを質量分析する質量分析部と、を有する計測手段と、
前記観察領域を移動させる移動手段と、
前記質量分析部によって取得した質量スペクトルデータを解析する解析手段と、を有し、
前記移動手段により前記観察領域を移動させて前記計測手段による計測を行う移動計測モードと、前記観察領域を静止させて前記計測手段による計測を行う静止計測モードと、を有する質量顕微鏡装置であって、
前記移動計測モードと前記静止計測モードとで、前記解析手段の解析条件を切り替える切り替え手段を有することを特徴とする質量顕微鏡装置。
【請求項９】
前記切り替え手段は、少なくとも前記静止計測モードにおいて、前記解析手段が前記質量スペクトルデータに対して多変量解析を行うように切り替えることを特徴とする請求項６または請求項８に記載の質量顕微鏡装置。
【請求項１０】
前記解析条件は同種或いは異種の多変量解析手法から選択され、前記移動計測モードにおける解析結果を、前記静止計測モードにおける解析に利用することを特徴とする請求項６または請求項８に記載の質量顕微鏡装置。
【請求項１１】
前記移動計測モードにおいては、狭領域を順次移動しながら計測を行い、それらの領域の観察結果を前記試料上における前記観察領域の位置関係を保持するように並べた広領域の画像としてプレビュー表示し、そのプレビュー表示した領域の中から、前記静止計測モードにおいて観察する領域を選択することを特徴とする請求項１乃至請求項１０のいずれか一項に記載の質量顕微鏡装置。
【請求項１２】
前記質量分析部が投影型の質量分析部であることを特徴とする請求項１乃至請求項１１のいずれか一項に記載の質量顕微鏡装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象物の質量スペクトル画像を取得する質量顕微鏡装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、試料表面に存在する物質の分布を質量分析によって可視化する、質量顕微鏡装置が開発されている。質量顕微鏡装置は、例えば生体組織を構成する多数の物質の分布情報を網羅的に可視化する手段としての応用が期待されている。
【０００３】
質量分析ではまず、試料に含まれる物質のイオン化を行う。そして発生させたイオンを質量電荷比（ｍ／ｚ）によって分離して検出することで質量スペクトルを取得し、試料に含まれる物質に関する情報を得る。質量分析を応用した質量顕微鏡装置では、試料表面上で質量分析を二次元的に行うことで、物質の分布情報を得ることができる（特許文献１）。
【０００４】
一般に質量顕微鏡装置では、一度に測定できる観察領域が比較的狭い範囲の領域（例えば、数百μｍ四方等）に限られる。生体組織の観察などでは、比較的広い範囲の領域（例えば、数ｍｍ四方等）を観察することが求められる。その場合、観察領域を順次移動して観察を行う必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−１５７３５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
質量顕微鏡装置では、精密なスペクトル分布を取得するためには、多数の質量電荷比（ｍ／ｚ）についての質量スペクトルデータを多数の計測点について取得する必要があり、計測に時間を要する。
【０００７】
その上、計測点の数や計測するｍ／ｚの数が多いと、得られる質量スペクトルデータのデータサイズが膨大になり、解析時間も増大する。特に、得られた質量スペクトルデータに対して多変量解析等の解析を行う場合に、解析時間の増大が顕著となる。
【０００８】
つまり、詳細に観察するために精密な画像を取得しようとすればするほど、計測から解析結果の表示までに長い時間が必要となる。このような場合、観察領域を移動させながら画像を取得して観察しようとすると、観察領域の移動に追随して迅速に解析結果を表示することが困難であるという課題があった。
【０００９】
そこで本発明は上記課題に鑑み、観察領域を移動させながら観察するときに、観察領域の移動に追随して迅速に解析結果を表示することが可能となる質量顕微鏡装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の質量顕微鏡装置は、観察領域内の試料からイオンを発生させるイオン化手段と、前記イオン化手段によって発生させた前記イオンを質量分析する質量分析部と、を有する計測手段と、前記観察領域を移動させる移動手段と、を有し、前記質量顕微鏡装置は、前記移動手段により前記観察領域を移動させて前記計測手段による計測を順次行う移動計測モードと、前記観察領域を静止させて前記計測手段による計測を行う静止計測モードと、を有する質量顕微鏡装置であって、前記移動計測モードと前記静止計測モードとで、前記計測手段の計測条件を切り替える切り替え手段を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の質量顕微鏡装置によれば、観察領域を移動しながら観察するときに、観察領域の移動に追随して迅速に解析結果を表示することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係る質量顕微鏡装置の構成を示す模式図である。
【図２】本発明に係る質量顕微鏡装置の構成を示す模式図である。
【図３】本発明に係る質量顕微鏡装置の、観察領域の移動時と静止時における計測条件の切り替えの関係を示す模式図である。
【図４】第１の実施形態に係る質量顕微鏡装置の、観察領域の移動時と静止時における計測条件（計測点数）の切り替えの関係を示す模式図である。
【図５】第２の実施形態に係る質量顕微鏡装置の、観察領域の（ａ）移動時と（ｂ）静止時における計測条件（ｍ／ｚの個数）の切り替えの関係を示す模式図である。
【図６】第３の実施形態に係る質量顕微鏡装置の、観察領域の（ａ）移動時と（ｂ）静止時における計測条件（ｍ／ｚの数値範囲）の切り替えの関係を示す模式図である。
【図７】第５の実施形態に係る質量顕微鏡装置の、観察領域の移動及びプレビュー表示時と静止時における計測条件の切り替えの関係を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に、本発明に係る質量顕微鏡装置のいくつかの実施形態について説明するが、本発明はこれら実施形態の構成のみに限定されるものではない。
【００１４】
まず、本発明を適用した質量顕微鏡装置１００（以下、「装置１００」と称する）の構成例を、図１を用いて説明する。装置１００は、イオン化手段１と、質量分析部２と、試料台３と、移動手段４と、観察領域指示デバイス５と、制御部６と、移動手段制御部７と、解析部８と、表示部９と、を備える。
【００１５】
本実施形態に係る装置１００は、イオン化の手法によって走査型または投影型の２つの方式に分類できる。
【００１６】
走査型の質量顕微鏡装置は、まず、試料３１の表面上の観察領域３２内を複数の微小領域に区分し、微小領域ごとに試料３１の構成成分をイオン化して質量分析を行う。そして、イオン化を行う微小領域を観察領域３２内で走査し、多数の微小領域（計測点）について逐次質量分析を行う。これにより、観察領域３２内の質量スペクトルの二次元分布情報を得ることができる。なお、「質量スペクトル」とは、イオン３３の質量分析の結果得られる情報であり、複数の質量電荷比（以下、「ｍ／ｚ」と称する）のそれぞれに対するイオン検出強度が統合された情報である。
【００１７】
投影型の質量顕微鏡装置では、少なくとも観察領域３２を包含するような領域内の試料３１の構成成分を一括してイオン化する。そして、放出されたイオン３３を、位置情報を保ったままイオン検出器（質量分析部２に含まれている）に投影する。投影型の質量顕微鏡装置では、観察領域３２内の構成成分の質量スペクトルの二次元分布情報を一度に取得できるので、計測に要する時間を大幅に短縮することが可能である。
【００１８】
投影型の質量顕微鏡装置２００を、図２に示す。ここでは、質量分析部２として飛行時間（ＴＯＦ；ｔｉｍｅ  ｏｆ  ｆｌｉｇｈｔ）型の質量分析器を用いた場合について説明するが、これに限定されるものではない。
【００１９】
本実施形態に係る投影型の質量分析部２は、引出電極２１、イオン光学系２２、飛行管２３、イオン検出器２４によって構成される。試料３１から発生したイオン３３は、質量分析部２において、試料３１の表面においてイオン３３が発生したそれぞれの位置関係を保持したまま飛行管２３内を飛行する。そして、飛行管２３内を飛行したイオン３３は、イオン検出器２４に投影されて検出される。
【００２０】
引出電極２１は、対向する試料台３に対して１ｍｍ〜１０ｍｍ程度の間隔を持って配置される。導電性の試料台３と引出電極２１との間には、試料３１から発生したイオン３３を引き出すために、１００Ｖ〜１０ｋＶの引出電圧Ｖｄを印加する。なお、引出電圧Ｖｄの極性は、検出したいイオン３３の極性によって変更する。発生したイオン３３はこの引出電圧Ｖｄによって加速され、飛行管２３に入射する。このとき、加速されたイオン３３の飛行速度はｍ／ｚの違いで異なることになる。
【００２１】
引出電極２１の後段には、イオン光学系２２が配置される。本実施形態に係るイオン光学系２２は投影光学系であって、複数の電極から構成される。この複数の電極への印加電圧を変化させることで、投影倍率を任意に変化させることができる。
【００２２】
飛行管２３は筒状の金属管であり、飛行管２３内部は電場勾配が無いので、イオン３３は飛行管２３内部を一定の速度で飛行する。飛行時間はｍ／ｚの平方根に比例することから、飛行時間を測定することで、イオン３３のｍ／ｚを分析することができる。
【００２３】
イオン検出器２４は、飛行管２３を飛行してイオン検出器２４に到達したイオン３３を検出する部分である。イオン検出器２４は、検出したイオン３３の検出時刻と共に、検出したイオン３３のイオン検出器２４上での位置情報を出力する。イオン検出器２４としては、イオンを検出した時刻と位置情報とを検出できる二次元型のイオン検出器であれば、いかなる構成のものを用いてもよい。イオン検出器２４が検出素子をアレイ配置したピクセル型の検出器である場合、検出素子の密度は固定されているので、投影倍率を上げることによって空間分解能を上げることができる。
【００２４】
イオン検出器２４として、荷電粒子の到達時間及び位置を検出する機能を有する信号検出器をマイクロ・チャネル・プレート（ＭＣＰ）と組み合わせた構成とすることができる。ＭＣＰはイオンが入射することによって発生した電子を増倍し裏面から放出する。ＭＣＰで増幅された電子は、信号検出器で検出される。信号検出器としては、ピクセル型の半導体検出器や、ディレイライン検出器（ＤＬＤ）を用いることができる。ＤＬＤは電子線を検出するワイヤを配し、ワイヤ両端への信号到達時間の僅かな差をもとに、検出器上での信号検出位置を計算することができる。ＭＣＰと検出器の間に蛍光板を組み込むことで、光検出型の信号検出器を用いることもできる。
【００２５】
また、イオン検出器２４としては、超高速度カメラ等のフレーム型のカメラを用いてもよい。高速に時間分割された撮像フレーム毎に、信号検出器への到達時刻の異なるイオンが各々撮像されるので、質量分離されたイオン分布画像を一括して取得することができる。これらの画像の集合が質量スペクトル画像を構成する。
【００２６】
なお、飛行管２３とイオン検出器２４との間に配置されたデフレクター等によって特定のｍ／ｚのイオン３３のみをイオン検出器２４に到達させるようにしてもよい。この場合、イオン検出器２４として時間刻印機能が無いＣＣＤカメラ等を用いることもできる。デフレクターの作動タイミングを逐次変化させることによって、通過させるｍ／ｚを変化させる。
【００２７】
ピクセル型の信号検出器では、計測点数はピクセル数で決まる固定値である。ＤＬＤでは、計測位置情報は、予め格子状に配置された計測点に割り振られる。なお、投影型における計測点とは、観察領域をメッシュ状に分割したときの、各メッシュの中心位置で代表されるような仮想的な計測点である。各計測点は、信号検出器上のピクセル位置に対応する。
【００２８】
観察領域３２よりも広域の領域について計測する場合は観察領域３２を試料３１表面上で順次移動させて、それぞれの観察領域３２について質量スペクトルの二次元分布情報である質量スペクトル画像を取得する。このとき、ユーザーは観察領域指示デバイス５（以下、「デバイス５」と称する）を操作することで移動機構制御部７を駆動し、観察領域３２を試料３１表面上で移動させる。
【００２９】
イオン化手段１は、試料台３上に載置した試料３１の表面上の観察領域３２内の構成成分をイオン化し、イオン３３を発生させる手段である。本実施形態に係る装置１００には、様々な種類のイオン化手段１を用いることができる。イオン化手段１としては、例えばレーザー光を試料３１に照射することによってイオン化する光イオン化方式やＭＡＬＤＩ方式、一次イオンビームを試料３１に照射することによってイオン化するＳＩＭＳ方式等が挙げられる。なお、ＳＩＭＳ方式の一次イオンビームとしては、Ｂｉ＋やＧａ＋などの液体金属系のイオンビーム、Ｂｉ３＋やＡｕ３＋などの金属系のクラスターイオンビーム、Ａｒ、Ｘｅや水、酸、アルコールなどを原料とするガス系のクラスターイオンビーム等を用いることができる。
【００３０】
また、イオン化手段１としては、大気圧イオン化の方式であるＤＥＳＩ（Ｄｅｓｏｒｐｔｉｏｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｓｐｒａｙ  ｉｏｎｉｚａｔｉｏｎ）やＳＰＥＳＩ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｐｒｏｂｅ  Ｅｌｅｃｔｒｏ−ｓｐｒａｙ  Ｉｏｎｉｚａｔｉｏｎ）と言ったイオン化方式を用いることもできる。ＳＰＥＳＩは、液体を導入するキャピラリ―をプローブとして用い、固体試料表面上を走査しながらエレクトロスプレーを発生させて試料をイオン化し、発生したイオンを質量分析する手法である（Ｙ．  Ｏｔｓｕｋａ  ｅｔ  ａｌ．，  Ｒａｐｉｄ  Ｃｏｍｍｕｎ．  Ｍａｓｓ  Ｓｐｅｃｔｒｏｍ．，  ２６，  ２７２５−２７３２  （２０１２）．）。
【００３１】
質量分析部２は、イオン化手段１によって発生させたイオン３３の質量分析を行う部分である。質量分析部２は、質量分析部２に導入したイオン３３をｍ／ｚによって分離し、それぞれ検出することによって、イオン３３のｍ／ｚを取得することができる。一般に、イオン化手段１によって試料３１をイオン化すると複数種類のイオン３３が発生するため、これを質量分析することによってイオン化する前の試料３１に含まれていた成分を推定することができる。
【００３２】
本実施形態に係る装置１００には、様々な種類の質量分析部２を用いることができる。質量分析部２としては、例えば四重極型、セクター型、飛行時間型等の質量分析方式を用いることが出来る。
【００３３】
質量分析部２として四重極型またはセクター型の質量分析器を用いる場合は、質量分析部２内の電場または磁場を変化させることによって、イオン３３の飛行軌道を変化させる。電場または磁場をスキャンしながら、所定位置に設置されたイオン検出部（質量分析部２に含まれる、不図示）に到達したイオン３３を検出する。これにより、ｍ／ｚごとのイオン検出強度である質量スペクトルを取得する。
【００３４】
一方、質量分析部２として飛行時間型の質量分析器を用いる場合は、まず、イオン３３に電場や磁場などを印加することによって、イオン３３を加速する。そして加速されたイオン３３は、質量分析部２内の飛行管中を一定距離飛行した後でイオン検出部（不図示）によって検出される。イオン３３は飛行管に導入される前に電場によって加速されるが、このときイオン３３の速度はｍ／ｚの値によって異なる。飛行時間型の質量分析器ではこのように、ｍ／ｚの値の違いでイオン３３の飛行速度が異なることを利用して、飛行管中の飛行時間を測定することでイオン３３の質量分析を行う。
【００３５】
試料３１は、試料台３に載置される。試料台３は更に移動手段４上に載置され、移動手段４に対して固定される。移動手段４は、試料台３上に載置された試料３１の表面に平行な方向に試料３１を移動させる移動機能を有し、観察領域３２の移動に用いる。移動手段４としては、ネジ送り式やラック＆ピニオン式のものを用いても良いが、精密移動制御を行う上ではステッピングモータ、超音波モータ、ピエゾ素子等のアクチュエータを備えたものが好ましく用いられる。
【００３６】
制御部６は、移動手段制御部７と、イオン化手段１又は質量分析部２又は解析部８と、を連動可能に制御する部分である。
【００３７】
制御部６は、観察領域３２の位置を指定する情報を移動手段制御部７に出力する。移動手段制御部７は移動手段４を制御して試料３１を移動させることで、観察領域３２を任意の位置に移動させる。
【００３８】
制御部６は、このようにして位置を決定した観察領域３２においてイオン化手段１を作動させる。試料３１から放出されたイオン３３は質量分析部２に導入され、イオン３３の検出及び質量分析が行われる。質量分析部２から出力された質量スペクトル信号は、制御部６の入力ポートに入力される。制御部６は、質量電荷比（ｍ／ｚ）情報及びイオン検出強度からなる質量スペクトルと、質量スペクトルの試料３１表面上での位置情報とを統合した質量スペクトル画像データを生成し、解析部８に出力する。
【００３９】
解析部８は、質量スペクトル画像データの解析を行う部分である。質量スペクトル画像データは、ＸＹ平面上の各点に質量スペクトルが格納された多次元データであり、そのまま表示部９において表示することは困難である。そのため、解析部８は質量スペクトル画像データを解析し、表示部９で表示可能な二次元又は三次元の画像データに変換する。
【００４０】
解析部８における解析方法としては、任意の方法を用いることができる。例えばそれぞれの質量スペクトルから特定のｍ／ｚのイオン強度を抜き出し、その分布を二次元画像データとして出力してもよい。あるいは、各質量スペクトルを既知のデータベースと照合することによって、試料３１に含まれていた分子を同定し、その分布を二次元画像データとして出力してもよい。あるいは、多次元データである質量スペクトル画像データに対して多変量解析を行うことにより、試料３１に含まれていた分子や試料３１中の組織、成分を推定し、二次元画像データとして出力することもできる。
【００４１】
ここで、多変量解析とは、複数の変数に関するデータをもとにして、これらの変数間の相互関連を分析する統計的技法である。多変量解析を用いることで、それぞれの質量スペクトルのスペクトル形状の違いなどに基づいて、それぞれの質量スペクトルを統計的に分類することができる。多変量解析によって各質量スペクトルがどの成分や組織に帰属されるかの判断基準を取得し、その判断基準を各質量スペクトルに作用させることによって各質量スペクトルを成分に帰属することで、各成分の分布を示す画像データに変換することができる。なお、多変量解析の具体的な手法としては、主成分分析、独立成分分析、重回帰分析、因子分析、クラスター分析、判別分析など種々の解析法を選択することができる。
【００４２】
なお、制御部６および解析部８は、ＰＣ内に統合して構成しても良い。または、計測または解析の高速化を図るために、制御部６または解析部８で行われる処理の一部または全てを、ＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ  Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｇａｔｅ  Ａｒｒａｙ）またはＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ  Ｓｐｅｃｉｆｉｃ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）等により行われるように構成しても良い。
【００４３】
デバイス５としては、制御部６に接続されたマウス、キーボード、あるいはタッチパネル等の入力デバイスを兼用することができるが、ジョイスティックやトラックボール等を備えた専用デバイスを用いても良い。
【００４４】
観察領域３２の移動は、ユーザーがデバイス５を用いて入力した信号に基づき、制御部６または移動機構制御部７によって行う。デバイス５によって入力された、観察領域３２の移動の方向および移動の速度に応じて、観察領域３２の現在位置から観察領域３２を順次移動させる。このとき、移動の方向および移動の速度は、例えば、デバイス５がジョイスティックであればジョイスティックの傾き方向と傾き角度で入力することができる。あるいは、デバイス５がマウスであればドラッグの方向およびマウスの移動速度によって指示することができる。
【００４５】
もしくは、ユーザーがデバイス５を用いてあらかじめ観察領域３２の移動のルートを入力しておき、そのルートに沿うようにして観察領域３２を移動させてもよい。なお、このとき、観察領域３２の移動のルートは直線に限定されず、任意のルートとすることができる。また、観察領域３２の移動のルートを表示部３に表示してユーザーが確認できるようにしてもよい。
【００４６】
イオン化手段１がレーザー光や一次イオンビームなどのイオン化ビームを照射する方式であれば、観察領域３２の移動は、移動手段４の移動、イオン化ビームの偏向、或いはこれらの組合せによって実現することが出来る。なお、試料３１上で観察可能な最大領域は、イオン化ビームの偏向範囲と、移動手段４の可働範囲と、によって規定される。
【００４７】
なお、イオン化ビームの偏向を行う手段は、イオン化ビームの種類によって適宜選択される。イオン化ビームとしてレーザー光を用いる場合は反射ミラーの偏向によって行い、イオン化ビームとして一次イオンビームを用いる場合は電磁場による偏向によって行う。あるいは、イオン化ビーム源の向きを試料３１に対して機械的に変化させることによりイオン化ビームを偏向しても良い。
【００４８】
本実施形態に係る装置１００は、観察領域３２を移動させて計測を順次行う移動計測モードと、観察領域３２を固定（静止）して計測を行う静止計測モードと、を有する。計測モードの変更は、デバイス５による指示に基づいて、制御部６が行う。このとき、制御部６は、移動手段４とイオン化手段１または質量分析部２とが連動可能に制御する。すなわち、本実施形態に係る制御部６は、観察領域３２の移動時と固定時（静止時）とで、計測条件を切り替えるように制御する。すなわち、本実施形態においては、制御部６は移動計測モードと静止計測モードとで、計測条件を切り替える切り替え手段でもある。より具体的には、制御部６は、移動手段４による観察領域３２の移動に連動して、イオン３３を質量分析するための各種計測条件や解析部８で行われる質量スペクトル画像データの解析条件を切り替える。
【００４９】
なお、本実施形態において「計測」とは、観察領域３２内の試料３１をイオン化手段１によってイオン化し、発生したイオン３３を質量分析部２によって質量分析し、観察領域３２内の複数の計測点についての質量スペクトルを取得することを指す。すなわち、本実施形態において、計測を行う「計測手段」は、イオン化手段１と、質量分析部２と、を有する。また、計測条件については以下で詳細に述べるが、計測点の個数、検出するｍ／ｚの個数や数値範囲、同一計測点（または同一観察領域）における積算回数などを指す。
【００５０】
観察領域３２を停止させて観察する際（静止計測モード）には精密な解析画像を表示することが求められるため、計測および解析に時間がかかることは許容されることが多い。しかし一方で、所望の観察領域を探すときなど、観察領域３２を移動させながら観察する際（移動計測モード）には、観察領域３２を停止させて観察する際よりも粗雑な解析画像であっても、迅速に解析画像を表示することが求められる。そこで本実施形態に係る装置１００は、移動時の計測条件や解析条件を、固定時（静止時）の計測条件や解析条件よりも粗い条件に切り替えるように制御する。ここで「粗い条件」とは、計測条件であればデータ取得点数が小さい条件、すなわち計測に要する時間が少ない条件を指し、解析条件であれば解析に要する時間が少ない条件を指す。
【００５１】
図３は、観察領域３２の移動時と静止時における、計測条件の切り替えの関係を表す模式図である。すなわち、観察領域３２の移動時の領域Ａでは計測条件ａで計測を行い、観察領域３２の静止時の領域Ｂでは計測条件ｂに切り替える（図３（ａ））。また、本実施形態に係る装置１００は、観察領域３２の移動状態（移動速度）を判断し、計測条件が自動的に切り替えられるように構成してもよい。
【００５２】
あるいは、本実施形態に係る装置１００は、観察領域３２の移動速度に応じて、多段階または無段階で自動的に計測条件を切り替えるように構成しても良い。図３（ｂ）には、３段階で切り替える例を示している。観察領域３２の移動速度が速い（高速移動時）領域Ａでは計測条件ａで計測を行い、観察領域３２の移動速度が低い（低速移動時）領域Ｃでは計測条件ｃで計測を行う。また、静止時（領域固定時）の領域Ｂでは計測条件ｂで計測を行う。このように、観察領域３２の移動速度に応じて計測条件を変えることによって、できるだけ詳細な計測および画像表示を、観察領域３２の移動に追従しながら行うことが可能となる。
【００５３】
なお、移動計測モードおよび静止計測モードにおける各計測条件は、予め設定しておいてもよい。あるいは、制御部６が、観察領域３２の移動速度から適切な計測時間を逆算して、それをもとに移動計測モードにおける計測条件を自動的に決定するようにしてもよい。もしくは、移動計測モードの計測結果または解析結果に基づいて、静止計測モードにおける計測条件を制御部６が決定するようにしてもよい。
【００５４】
移動計測モードを使用する場合としては、例えば試料の広範囲の領域中で観察領域３２を移動させながら観察し、詳細に観察を行いたい観察領域３２を探す場合が考えられる。計測や解析に要する時間が少なくて済む計測条件または解析条件を用いることで、迅速に解析結果の表示が可能となる。そのため、観察領域３２の移動の際の移動ステップを細かく設定しても、観察領域３２をスムーズに移動させることができる。なおこのときの計測条件または解析条件は、空間分解能または物質同定能が低下しても、異種の物質の存在を区別することが可能な範囲で設定されることが好ましい。
【００５５】
静止計測モードを使用する場合としては、詳細に観察を行いたい観察領域３２を決定し、観察領域３２を移動した後に、移動を停止して詳細に計測を行う場面が想定される。このとき、計測または解析条件は、移動計測モードの条件よりも、より高い空間分解能または詳細なスペクトル情報が得られる条件に設定される。
【００５６】
以下、本発明に係る実施形態として、制御部６が切り替える計測条件または解析条件の例を挙げる。なお、制御部６が切り替える計測条件または解析条件は、以下の実施形態で一例として挙げる条件を複数組み合わせた条件であってもよい。
【００５７】
（第１の実施形態）
第１の実施形態として、制御部６が切り替える計測条件が、計測点数である場合について、図１および図４を用いて説明する。なお、図３において、それぞれの領域の中の格子の交点は計測点を模式的に示している。
【００５８】
まず、装置１００が走査型の質量顕微鏡装置である場合について説明する。走査型の質量顕微鏡装置では、観察領域３２の範囲と計測点の数が設定され、制御部６によってこれらのパラメータから計測点間の距離が決定され、観察領域３２内の計測点の位置が決定される。その後、試料３１上の計測点を走査しながら、イオン化手段１による計測点近傍の局所領域における試料３１のイオン化と、発生したイオン３３の質量分析と、が繰り返される。計測点の数を小さくすると空間分解能は低下するものの、データ取得点数は小さくなるため、計測時間および解析時間は小さくできるという利点がある。
【００５９】
そこで本実施形態では計測手段による計測点数を、移動計測モードと静止計測モードとで、切り替え手段である制御部６が以下のように切り替え制御する。
【００６０】
［１］移動計測モード：計測点の数を、静止計測モードにおける計測点数よりも小さい値に設定する（図４、領域Ａ）。なお、観察領域３２内の計測点の計測が完了したら、移動手段４等によって観察領域３２を次の位置に移動する。
［２］静止計測モード：計測点の数を、移動計測モードにおける計測点数よりも大きい値に設定する（図４、領域Ｂ）。
【００６１】
ＴＯＦ−ＳＩＭＳ型の質量顕微鏡装置において、計測点の数をＸ方向、Ｙ方向にそれぞれ５１２点（すなわち、２６２，１４４点）であるものと仮定する。このとき、１つの計測点において質量スペクトルを取得するのに要する時間（すなわち、質量分析部２で計測する最大飛行時間）を１００μｓとすると、全計測点の測定には少なくとも約２６秒必要である。一方、計測点の数をＸ方向、Ｙ方向にそれぞれ６４点（すなわち、４，０９６点）と、粗く（計測点数を小さく）設定した場合、全計測点の測定に要する時間を約０．４秒にまで短縮することができる。
【００６２】
また、計測点の数を小さくすることにより、観察領域ごとに得られる質量スペクトルの点数を少なくすることができる。すなわち、質量スペクトル画像データのデータサイズを小さくすることができる。その結果、解析部８によって質量スペクトル画像データの解析を行うために要する時間も短縮することができる。
【００６３】
これらの結果、観察領域の移動に追随して迅速に観察結果を表示することが可能となる。
【００６４】
イオン検出信号の信号強度が弱い場合は、同じ計測点についての計測を複数回行い、複数回の計測で得られた信号の積算を行うことが有効である。これにより、Ｓ／Ｎを向上させて、物質の同定精度および空間分解能を向上させることができる。一方、試料に豊富に含まれる原子や分子を検出する場合など、少ない積算回数でも十分に強い信号強度が得られる場合がある。これらの信号は、高速にプレビュー計測（観察領域の移動途中の計測結果を表示しながら、観察領域を移動する計測）を行う場合に有効に利用できる。
【００６５】
そこで、移動計測モードと静止計測モードとで、更に積算回数も変化させるようにしても良い。移動計測モードでは観察領域の移動に対する追随性が求められるため、積算回数を少なく設定することで、計測から画像の表示までに要する時間を短縮する。一方で静止計測モードではむしろ観察領域の移動時よりも精密な計測が要求されるため、積算回数を多く設定することが好ましい。
【００６６】
また、本実施形態は装置１００が投影型の質量顕微鏡装置である場合についても適用することができる。投影型の質量顕微鏡装置は、イオン化ビームをデフォーカスして試料３１に照射することで観察領域３２内の試料３１を一括してイオン化する。その後、放出されたそれぞれのイオン３３は、位置情報を保ったままイオン検出器に到達する。したがって、イオン３３が放出された観察領域３２内の試料３１上における位置は、イオン検出器上の検出位置と一対一で対応している。すなわち、投影型の質量顕微鏡装置においては、計測点の数は、イオン検出器の検出領域と検出の空間分解能によって決まるイオン検出器の検出点の数によって規定される。
【００６７】
本実施形態を投影型の質量顕微鏡装置に適用する場合、制御部６はイオン検出器によって検出する検出点の数を切り替える。制御部６によってイオン検出器が検出を行う検出点を減少させ、間引いて検出することで、得られる質量スペクトル画像データのデータサイズを小さくすることができる。あるいは、イオン検出器が検出する検出点の数は変えずに、得られた質量スペクトル画像データを制御部６または解析部８によって圧縮することで、質量スペクトル画像データのデータサイズを小さくしてもよい。その場合は、質量スペクトル画像データに含まれる質量スペクトルを任意の方法で間引くことにより圧縮を行うことができる。あるいは周囲の画素の質量スペクトルとの平均をとることによって圧縮を行ってもよい。
【００６８】
以上、本実施形態によれば、観察領域を移動させたときでも、制御部６が計測手段における計測条件として計測点の数を切り替えるように制御する。これにより、観察領域の移動に追随して迅速に計測結果を画像表示することができる。従って、詳細観察するための所望の観察領域を探索することが容易になる。
【００６９】
（第２の実施形態）
第２の実施形態として、制御部６が切り替える計測条件が、質量分析部２が検出を行うｍ／ｚの個数である場合について、図１および図２および図５を用いて説明する。
【００７０】
質量分析部２として例えば四重極型、セクター型など、質量電荷比をある範囲についてスキャンして計測を行う方式の質量分析部を用いた場合、各計測点における計測時間は質量電荷比のスキャン時間で規定される。そのため、計測可能な範囲内のすべての質量電荷比を検出して計測するのではなく、一部の質量電荷比を選択して、その質量電荷比のみについて検出して計測を行うことで、計測時間を短縮することができる。また、質量スペクトルのデータサイズが小さくなり、それに伴って質量スペクトル画像データのデータサイズも小さくなる。その結果、解析部８による質量スペクトル画像データの解析に要する時間も短縮することができる。
【００７１】
一方、質量分析部２として飛行時間型の質量分析部を用いた場合は、計測時間は、計測する飛行時間の最大値（すなわち、検出する質量電荷比の最大値）で規定される。そのため、一部の質量電荷比を選択して、その質量電荷比のみについて検出して計測を行っても、計測時間を短縮できない場合もある。しかしながら、その場合についても質量スペクトル画像データのデータサイズは小さくなるので、解析部８による質量スペクトル画像データの解析に要する時間は短縮することができる。
【００７２】
そこで本実施形態では、質量分析部２が検出するｍ／ｚの個数を、移動計測モードと静止計測モードとで、切り替え手段である制御部６が以下のように切り替え制御する。図５は、ある計測点における質量スペクトルを表わす模式図である。ここで、Ｍ（ｎ）は設定されたｍ／ｚのうち、ｍ／ｚの値が小さい順にｎ番目のｍ／ｚを示す。
【００７３】
［１］移動計測モード：質量分析部２が検出するｍ／ｚの個数を、静止計測モードにおける個数よりも小さい値に設定する（図５（ａ））。なお、観察領域３２内での計測が完了したら、移動手段４等によって観察領域３２を次の位置に移動する。
［２］静止計測モード：質量分析部２が検出するｍ／ｚの個数を、移動計測モードにおける個数よりも大きい値に設定する（図５（ｂ））。
【００７４】
質量分析部２が検出するｍ／ｚの個数を小さくすることで、計測から解析結果の表示までの時間を短縮できる。質量分析部２が検出するｍ／ｚの個数を小さくすると物質の同定能は低下するものの、質量電荷比を適切に選択すれば、物質の存在する領域の形状や異種の物質を区別することは可能である。一方、質量分析部２が検出するｍ／ｚの個数を大きくすると、計測および解析に時間が多くかかるものの、より詳細なスペクトルが得られるため、より詳細な観察が可能となる。
【００７５】
なお、質量分析部２で検出するｍ／ｚの選び方は特に限定されない。すなわち、検出可能なｍ／ｚの範囲の中で、等間隔に選択してもよいし、不等間隔に選択してもよい。また、質量分析部２で検出するｍ／ｚを選択する際には、既知の物質のスペクトル情報に基づいて選択してもよい。例えば、既知の物質のスペクトルにおいて検出強度の強いｍ／ｚを選び出して設定する。
【００７６】
なお、本実施形態は投影型の質量顕微鏡装置２００にも適用することができる。質量分析部２として飛行時間型の質量分析部を用いた場合に、選択したｍ／ｚのみを検出する方法の一例を挙げる。図２におけるイオン検出器２４としてピクセル型のイオン検出器を用いた場合、イオン検出器２４は全てのｍ／ｚについてイオン３３の検出を行う。その上で制御部６または解析部８が、イオン検出器２４から出力された全てのデータのうち、必要なｍ／ｚについてのデータのみを選択する。図２におけるイオン検出器２４としてフレーム型のイオン検出器を用いた場合、イオン検出器２４のシャッターの設定方式によって、次の二種類の方法が挙げられる。イオン検出器２４のシャッターのタイミングが自由に設定できるタイプでは、予め選択した任意のｍ／ｚに対応するタイミングでシャッターを作動させるように設定する。イオン検出器２４のシャッターの作動タイミングが等時間間隔で連続して設定されるタイプでは、制御部６が必要なｍ／ｚに対応するフレームのデータを選択して解析部８に転送する。
【００７７】
本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、移動計測モードと静止計測モードとで、積算回数を変化させてもよい。このとき、質量分析部２が検出するｍ／ｚの個数は固定してもよいし、変化させてもよい。
【００７８】
以上、本実施形態によれば、観察領域を移動させたときに、制御部６が質量分析部２における計測条件として検出するｍ／ｚの個数を切り替えるように制御する。これにより、観察領域の移動に追随して迅速に計測結果を画像表示することができる。従って、詳細観察するための所望の観察領域を探索することが容易になる。
【００７９】
（第３の実施形態）
第３の実施形態として、第２の実施形態の変形例について説明する。
【００８０】
試料３１が生体試料である場合、試料３１には水素やナトリウム等の軽い元素が豊富に含まれていることが多い。そのため、これらの軽い元素の分布をマッピングすることで、試料３１の表面の大まかな形態情報が得られる場合がある。
【００８１】
これらの元素は試料３１中での存在量が多いため、これらの元素の計測を行うことには、積算回数が少なくても十分な信号強度が得られるというメリットがある。また、検出するｍ／ｚの数値範囲を小さくし、ｍ／ｚの小さいイオンのみを検出することで、検出するｍ／ｚの個数を少なくすることができる。これにより、データ取得点数を小さくすることができ、計測に要する時間および解析に要する時間を小さくすることができる。また、質量分析部２として飛行時間型の質量分析部を用いた場合は特に、検出するｍ／ｚの最大値を小さくすることで検出する飛行時間を小さくすることができ、計測に要する時間を低減することができる。
【００８２】
そこで、本実施形態では、移動観察モードと静止観察モードとで、切り替え手段である制御部６が以下のように切り替え制御する。
【００８３】
［１］移動計測モード：検出するｍ／ｚの数値範囲を、静止計測モードにおける数値範囲よりも狭い範囲に設定する（図６（ａ））。なおこのとき、ｍ／ｚの数値範囲を、信号強度の強いｍ／ｚを含むように範囲１で表される計測条件Ａに設定してもよい。あるいは、検出するｍ／ｚを、信号強度の強い少なくとも１つ以上の特定のｍ／ｚのみを選択して設定してもよい。なお、観察領域３２内での計測が完了したら、移動手段４等によって観察領域３２を次の位置に移動する。
［２］静止計測モード：検出するｍ／ｚの数値範囲を、移動計測モードにおける数値範囲よりも広い範囲２で表される計測条件Ｂに設定する（図６（ｂ））。ｍ／ｚの選択範囲を広く取ることで、詳細な質量スペクトル画像を得ることができる。
【００８４】
なお、本実施形態でも第１の実施形態と同様に、移動計測モードと静止計測モードとで、積算回数を変化させてもよい。
【００８５】
以上、本実施形態によれば、観察領域を移動させたときでも、制御部６が質量分析部２における計測条件として検出するｍ／ｚの数値範囲を切り替えるように制御する。これにより、観察領域の移動に追随して迅速に計測結果を画像表示することができる。従って、詳細観察するための所望の観察領域を探索することが容易になる。
【００８６】
（第４の実施形態）
第４の実施形態として、移動計測モードと静止計測モードとで、制御部６が、解析部８で行う質量スペクトルデータの解析方法（解析条件）を切り替える場合について説明する。
【００８７】
質量スペクトルデータを解析する場合、親イオンまたはフラグメントイオンのｍ／ｚが既知の物質であれば、データベースとの照合を行うことによって、分子種を特定することができる。また、ｍ／ｚが未知の物質であっても、質量スペクトルのスペクトル形状の違い等に基づいてそれぞれのスペクトルを分類することで物質を識別することは可能である。
【００８８】
質量スペクトルデータの解析に多変量解析を用いることで、スペクトル形状の類似性等に基づいて質量スペクトルを物質や複数の物質を含む成分等に分類することができる。また、得られた質量スペクトルが複数の信号源（物質）に由来する複雑な多重スペクトルであっても、それぞれの物質由来のスペクトルを分離して抽出することも可能である。
【００８９】
ここで、「多変量解析」とは、複数の変数に関するデータをもとにして、これらの変数間の相互関連を分析する統計的な技法である。すなわち本実施形態では、異なるｍ／ｚにおける信号強度の相互関連を分析することでそれぞれの質量スペクトルを分類し、成分に帰属することができる。なお、本明細書において「基底ベクトル」とは、各スペクトルがどの成分に帰属されるかの判断基準である。基底ベクトルを各質量スペクトルに対して作用することで、各成分に対応する基底ベクトルに対するスコアを得ることができる。
【００９０】
なお、本実施形形態における多変量解析の種類は限定されず、主成分分析や独立成分分析、重回帰分析、因子分析、クラスター分析、判別分析、自己組織化マップなど種々の解析法を適用することができる。
【００９１】
解析を行う質量スペクトルデータの次元、すなわち質量スペクトルデータ中のｍ／ｚの個数が増大すると、質量スペクトル画像データのデータサイズも大きくなる。多変量解析の種類によってはデータサイズが大きくなると計算量が大幅に増大し、解析に要する時間が大幅に増大してしまう手法もある。例えば主成分分析等では、信号の次元と同数の基底ベクトルを求める必要があるため、解析するデータの次元によって解析時間が著しく増大する。
【００９２】
そこで本実施形態では解析部８による解析方法（解析条件）を、移動計測モードと静止計測モードとで、切り替え手段である制御部６が以下のように切り替え制御する。
【００９３】
［１］移動計測モード：特定のｍ／ｚにおける信号強度を比較する等の、簡素な解析によって構成成分を粗く分離する。
［２］静止計測モード：移動計測モードよりも詳細な解析を行うことのできる解析方法に切り替える。例えば、多変量解析を行うことによって詳細にスペクトル解析を行う。また、計測条件として検出するｍ／ｚの個数や数値範囲、計測点数などを移動計測モードよりも大きくなるように切り替えてもよい。
【００９４】
なお、移動計測モードと静止計測モードとで切り替える解析手法は、様々な解析手法の中から任意に選択することが可能である。移動計測モードと静止計測モードとで同種または異種の解析手法から選択してもよい。例えば、移動計測モードと静止計測モードとで、多変量解析の手法を切り変える構成としても良い。一例として、移動計測モードにおいては解析方法として主成分分析を行い、静止計測モードにおいては独立成分分析を行う構成が挙げられる。ここで独立成分分析は、主成分分析よりも単位データ量あたりの計算量が多いものの、試料に含まれる構成成分の分離能がより高い解析方法である。また、移動計測モードまたは静止計測モードのそれぞれにおいて、複数の多変量解析手法を組み合わせて解析を行っても良い。特に、静止計測モードにおいて、主成分分析と独立成分分析を組合せた解析を行うことで、試料に含まれる構成成分の分離能および同定能をより高めることができる。
【００９５】
また、移動計測モードにおいて取得したデータ、またはそのデータの解析結果を、静止計測モードにおける解析に利用しても良い。これにより、特に解析方法として多変量解析を行う場合において、静止計測モードにおける解析に要する時間を短縮することができる。すなわち、新たな観察領域で取得した質量スペクトル画像データに対して、それ以前に取得された質量スペクトル画像データの解析で得られた基底ベクトルを作用させることによってスコア値を求めれば、解析に要する時間を短縮することができる。なおこのとき用いる基底ベクトルは、一つの観察領域から取得された質量スペクトル画像データから算出される基底ベクトルであってもよい。あるいは、複数の観察領域から取得された複数の質量スペクトル画像データを統合したデータから算出される基底ベクトルであってもよい。なおこのとき、基底ベクトルの算出は質量スペクトル画像データの取得と平行して行うと効率的である。
【００９６】
また、移動計測モードにおいて粗く選択した異なるｍ／ｚで取得した質量スペクトル画像データを順次集積して、多数のｍ／ｚについての質量スペクトル画像データとして再構成したデータから基底ベクトルを算出するようにしてもよい。このようにして算出した基底ベクトルを用いて新たな観察領域で取得した質量スペクトル画像データを解析することで、解析にかかる時間の増大を抑制しつつ、試料に含まれる成分の分離能を高めることができる。
【００９７】
（第５の実施形態）
第５の実施形態として、狭領域を移動させながら観察して広域のプレビュー表示を行う実施形態について、図７を用いて説明する。
【００９８】
病理診断などのために生体試料の観察を行う場合、ｍｍオーダーの広い領域を観察する必要がある。その際、ｍｍオーダーの広い領域を全て詳細に観察することが理想的であるが、全領域を詳細に観察するには膨大な時間を要する。そこで観察に要する時間を短縮するために、ｍｍオーダーの広い領域を一度粗く観察（プレビュー）した上で、その中から特に詳細に観察を行う必要がある領域を観察者が選び出す方法がある。
【００９９】
プレビュー観察時であっても、観察領域３２内の試料３１の形状や組成についてある程度詳細に観察することが好ましい。そのため、一つ一つの観察領域３２のサイズは約１００μｍ〜５００μｍ四方程度に制限される。そのため、数ｍｍ四方に渡る広領域をプレビューするためには、多数の観察領域（狭領域）から取得される画像を結合して構成する必要がある。
【０１００】
そこで本実施形態では、観察者にとってストレスのないプレビュー表示を行うために以下のように質量顕微鏡装置１００を動作させる。
【０１０１】
［１］プレビュー計測時：隣接または離散した位置に観察領域３２を順次移動しながら移動計測モードで計測する。このようにして得られた多数の解析結果（画像）を、各観察領域３２の試料３１上のそれぞれの位置に対応するように配置した広領域の結合画像を形成する。なお、観察領域３２の移動は、移動手段４等によって行う。
【０１０２】
移動計測モードにおいては上述の実施形態のように計測条件または解析条件を制御部６が切り替える構成とすることが好ましい。なお、いずれの条件を変えるかは、計測手段の種類（走査型／投影型、質量分析方法、二次元検出手段等）によって適切な条件を選択することが好ましい。
【０１０３】
観察領域３２をどのように移動していくかは予め設定しても良いが、観察者がデバイス５を操作すること描いた軌跡に沿うようにして、制御部６が狭領域を次々に設定するようにしても良い。また、観察結果の表示は、狭領域の観察毎に順次並べて画像表示しても良いが、広領域の観察が完了してから結合画像を一度に表示するようにしても良い。
【０１０４】
また、狭領域を計測する毎に解析を行って結果を画像表示しても良く、複数の狭領域の計測を行ってから、広域のデータをまとめて解析して結果を画像表示しても良い。なおこのとき、多変量解析等を用いて、成分の分布を大雑把に区別して色分け表示等をしても良い。
【０１０５】
［２］本計測時（詳細計測時）：観察者がプレビュー画像をもとに狭領域を選択し、その狭領域においてプレビュー計測時よりも詳細な計測条件または解析条件で詳細観察（本計測）を行う。このとき観察者は、広領域のプレビュー画像を形成する複数の狭領域の中から一つの狭領域を本計測の観察領域として選択することができる。あるいは、プレビュー画像上の任意の領域を指定することで、本計測を行う観察領域を新たに設定するようにしてもよい。なお、本計測時には制御部６が、データ取得点数が多い計測条件、またはより詳細な解析条件に切り替え制御する。
【０１０６】
以上、本実施形態によれば、所望の観察領域を探すときなどに、迅速に広域をプレビュー表示することが可能な質量顕微鏡装置を実現することができる。
【符号の説明】
【０１０７】
１  イオン化手段
２  質量分析部
４  移動手段
６  制御部（切り替え手段）
【図１】
2016075574.tif 000003
【図２】
2016075574.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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