(57)【要約】【課題】本発明は、被加工物をより強い磁力でバッキングプレートに保持可能なマグネットチャック装置を提供することを目的とする。【解決手段】マグネットチャック装置（１）は、基台（２）に取り付けられたシュー支持部（８）と、シュー支持部（８）に取り付けられ、バッキングプレート（７）に被加工物（Ｗ）が保持されたときに、保持された被加工物（Ｗ）を回転自在に支持するシュー（９）と、シュー支持部（８）に取り付けられ、バッキングプレート（７）に被加工物（Ｗ）が保持されたときに、保持された被加工物（Ｗ）と対向するフラックスガイド（１０）と、を有する。また、シュー（９）は、非磁性体からなる。さらに、基台（２）、主軸（５）、バッキングプレート（７）、シュー支持部（８）及びフラックスガイド（１０）は、磁性体からなる。【選択図】図１
2016112650.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、
前記基台に回転自在に支持された主軸と、
前記主軸の周囲を取り囲むように形成され、磁力を発生するマグネットコイルと、
前記主軸に取り付けられ、前記主軸の回転に伴って回転し、前記マグネットコイルで発生された磁力で被加工物を保持するバッキングプレートと、
前記基台に取り付けられたシュー支持部と、
前記シュー支持部に取り付けられ、前記バッキングプレートに前記被加工物が保持されたときに、保持された前記被加工物を回転自在に支持するシューと、
前記シュー支持部に取り付けられ、前記バッキングプレートに前記被加工物が保持されたときに、保持された前記被加工物と対向するフラックスガイドと、を有し、
前記シューは、非磁性体からなり、
前記基台、前記主軸、前記バッキングプレート、前記シュー支持部、及び前記フラックスガイドは、磁性体からなることを特徴とするマグネットチャック装置。
【請求項２】
前記シュー支持部は、
前記基台に取り付けられたシューブラケットと、
前記シューブラケットに取り付けられたシューアームと、を有し、
前記シュー及び前記フラックスガイドは、前記シューアームに取り付けられ、
前記シューブラケット及び前記シューアームは、磁性体からなることを特徴とする請求項１に記載のマグネットチャック装置。
【請求項３】
前記シュー支持部は、
前記基台に取り付けられたシューブラケットと、
前記シューブラケットに取り付けられたシューアームと、を有し、
前記シューは、前記シューアームに取り付けられ、
前記フラックスガイドは、前記シューアームが取り付けられている位置よりも、前記シューブラケットの前記基台側に取り付けられ、
前記シューブラケットは、磁性体からなることを特徴とする請求項１に記載のマグネットチャック装置。
【請求項４】
前記シューアームは、非磁性体からなることを特徴とする請求項３に記載のマグネットチャック装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マグネットチャック装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、マグネットチャック装置としては、例えば、特許文献１に記載の技術がある。
特許文献１に記載の技術では、マグネットコイルが発生した磁束が、主軸、バッキングプレート、被加工物、シュー、シューアーム、基台、フラックスガイド、及び基台の順に通過する閉磁路を形成する。これにより、バッキングプレートと被加工物との接触面の磁束密度を増大でき、被加工物をバッキングプレートにより強い磁力で保持できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−８０９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、シューとして、耐摩耗性に優れた超硬合金を用いた場合、超硬合金は非磁性体であるので、シューの部分で磁気抵抗が増大し、マグネットコイルの磁束が、バッキングプレート、被加工物、シュー、及びシューアームを通過せず、主軸から基台へと漏れてしまう可能性がある。それゆえ、バッキングプレートと被加工物との接触面の磁束密度が低下し、被加工物をバッキングプレートに保持する磁力が低下する可能性がある。
本発明は、上記のような点に着目し、被加工物をより強い磁力でバッキングプレートに保持可能なマグネットチャック装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、本発明の一態様では、マグネットチャック装置は、基台に取り付けられたシュー支持部と、シュー支持部に取り付けられ、バッキングプレートに被加工物が保持されたときに、保持された被加工物を回転自在に支持するシューと、シュー支持部に取り付けられ、バッキングプレートに被加工物が保持されたときに、保持された被加工物と対向するフラックスガイドと、を有する。そして、シューは、非磁性体からなり、基台、主軸、バッキングプレート、シュー支持部、及びフラックスガイドは、磁性体からなる。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の一態様によれば、マグネットチャック装置は、マグネットコイルが発生した磁束が、主軸、バッキングプレート、被加工物、フラックスガイド、シュー支持部、及び基台の順に通過する閉磁路を形成する。それゆえ、マグネットコイルの磁束が主軸から基台へと漏れることを抑制でき、バッキングプレートと被加工物との接触面の磁束密度を増大できる。そのため、被加工物をより強い磁力でバッキングプレートに保持できる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】第１実施形態に係るマグネットチャック装置１の構成を表す断面図である。
【図２】図１の右方向から見たマグネットチャック装置１の構成を表す図である。
【図３】第２実施形態に係るマグネットチャック装置１の構成を表す断面図である。
【図４】図３のＢ−Ｂ’断面を示す断面図である。
【図５】変形例に係るマグネットチャック装置１の効果を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
次に、本発明の一実施形態について、図面を参照しつつ説明する。以下の実施形態では、マグネットチャック装置１を床面に水平に設置した状態を基準として説明する。
（第１実施形態）
（構成）
図１に示すように、マグネットチャック装置１は、基台２と、基台２を水平方向に貫通する貫通孔３と、貫通孔３内に配置された主軸５とを有する。なお、図１は、図２のＡ−Ａ’断面で破断したマグネットチャック装置１を示す断面図である。
主軸５は、一対の転がり軸受４を介して、基台２に軸回りに回転自在に支持される。また、主軸５は、後部回転軸５ａと、後部回転軸５ａの先端に装着され、後部回転軸５ａの直径よりも一回り太く、貫通孔３よりも一回り細い直径を有する前部回転軸５ｂとを有する。前部回転軸５ｂの先端側は、基台２から横方向に突出している。
【０００９】
また、マグネットチャック装置１は、貫通孔３内に配置されたマグネットコイル６を有する。マグネットコイル６は、後部回転軸５ａの周囲を取り囲むように形成され、電力供給装置（不図示）から電流が流されると、磁力を発生する。また、マグネットチャック装置１は、前部回転軸５ｂの先端部に取り付けられ、前部回転軸５ｂの回転に伴って回転するバッキングプレート７を有する。主軸５、及びバッキングプレート７は、磁性体で形成される。これにより、バッキングプレート７は、マグネットコイル６が磁力を発生することで、発生した磁力による磁束が後部回転軸５ａ、前部回転軸５ｂ、バッキングプレート７を順に通過し、バッキングプレート７の表面に被加工物Ｗの端面を磁力で保持する。
【００１０】
第１実施形態では、被加工物Ｗとして、円筒状の部材を用いる。被加工物Ｗの外周面の軸方向中央部には、被加工物Ｗの半径方向、つまり加工時の回転軸と交差する方向に延びている円環状のフランジ部Ｗａが形成されている。被加工物Ｗは磁性体で形成される。
なお、バッキングプレート７の表面、つまり被加工物Ｗが磁力で保持される面は、バッキングプレート７を通過した磁束が被加工物Ｗと接触する部分（接触面）に集中しやすいように被加工物Ｗの端面とほぼ同一形状に形成される。例えば、円環状に形成される。
【００１１】
また、マグネットチャック装置１は、基台２に取り付けられたシュー支持部８を有する。シュー支持部８は、基台２に取り付けられ、主軸５の軸方向に突出しているシューブラケット８ａを有する。シューブラケット８ａは、図２に示すように、バッキングプレート７の表面側から見て（以下「正面視」とも呼ぶ）左右逆向きのＬ字状に形成されている。
また、シュー支持部８は、正面視で、シューブラケット８ａの右端側の部材の先端から左方向に延伸している右端側シューアーム８ｂを有する。これにより、右端側シューアーム８ｂの先端は、正面視で、被加工物Ｗの外周面の右端と対向する。右端側シューアーム８ｂのシューブラケット８ａ側は、シューブラケット８ａの突出方向に傾斜している。右端側シューアーム８ｂの先端側は、シューブラケット８ａの突出方向と直交する方向と平行になっている。これにより、バッキングプレート７に被加工物Ｗが保持されたときに、被加工物Ｗのフランジ部Ｗａは、右端側シューアーム８ｂと基台２との間に配置される。
【００１２】
また、シュー支持部８は、正面視で、シューブラケット８ａの下端側の部材の先端から上方向に延伸している下端側シューアーム８ｃを有する。これにより、下端側シューアーム８ｃの先端は、正面視で、被加工物Ｗの外周面の下端と対向する。下端側シューアーム８ｃのシューブラケット８ａ側は、シューブラケット８ａの突出方向に傾斜している。下端側シューアーム８ｃの先端側は、シューブラケット８ａの突出方向と直交する方向と平行になっている。これにより、バッキングプレート７に被加工物Ｗが保持されたときに、被加工物Ｗのフランジ部Ｗａは、下端側シューアーム８ｃと基台２との間に配置される。
【００１３】
さらに、マグネットチャック装置１は、シュー支持部８の先端に取り付けられ、バッキングプレート７に被加工物Ｗが保持されたときに、保持された被加工物Ｗを回転自在に支持するシュー９を有する。具体的には、シュー９は、右端側シューアーム８ｂの先端に取り付けられた右端側シュー９ａを有する。右端側シュー９ａの先端は、正面視で、支持する被加工物Ｗの外周面の右端の形状にあわせて、中央部が凹んだ曲面となっている。また、シュー９は、下端側シューアーム８ｃの先端に取り付けられた下端側シュー９ｂを有する。下端側シュー９ｂの先端は、正面視で、支持する被加工物Ｗの外周面の下端の形状にあわせて、中央部が凹んだ曲面となっている。これにより、右端側シュー９ａ及び下端側シュー９ｂのそれぞれは、バッキングプレート７に被加工物Ｗが保持されたときに、保持された被加工物Ｗの右端及び下端のそれぞれに当接し被加工物Ｗを回転可能に支持する。
【００１４】
さらに、マグネットチャック装置１は、シュー支持部８の先端側の外周面に取り付けられたフラックスガイド１０を有する。フラックスガイド１０は、バッキングプレート７に被加工物Ｗが保持されたときに、保持された被加工物Ｗの外周面とその先端が対向する。
具体的には、フラックスガイド１０は、右端側シューアーム８ｂの先端側の外周面のうち、シューブラケット８ａの突出方向側の面に取り付けられた右端側フラックスガイド１０ａを有する。右端側フラックスガイド１０ａは、正面視で、右端側シューアーム８ｂの先端から左方向に延伸して、先端が被加工物Ｗの外周面の右端と対向する。右端側フラックスガイド１０ａの先端は、正面視で、対向する被加工物Ｗの外周面の右端の形状にあわせて、中央部が凹んだ曲面となっており、また、右端側シューアーム８ｂよりも幅広に形成されている。右端側フラックスガイド１０ａの先端と被加工物Ｗの外周面の右端との間には、基台２の貫通孔３の内周面と主軸５の前部回転軸５ｂの外周面との間の隙間よりも小さい隙間、つまり磁気抵抗が小さくなる隙間（例えば、１００μｍ）が形成されている。
【００１５】
また、フラックスガイド１０は、下端側シューアーム８ｃの先端側の外周面のうち、シューブラケット８ａの突出方向側の面に取り付けられた下端側フラックスガイド１０ｂを有する。下端側フラックスガイド１０ｂは、正面視で、下端側シューアーム８ｃの先端から上方向に延伸して、先端側が被加工物Ｗの外周面の下端と対向する。下端側フラックスガイド１０ｂの先端は、正面視で、対向する被加工物Ｗの外周面の下端の形状にあわせて、中央部が凹んだ曲面となっており、また、下端側シューアーム８ｃよりも幅広に形成されている。下端側フラックスガイド１０ｂの先端と被加工物Ｗの外周面の下端との間には、基台２の貫通孔３の内周面と主軸５の前部回転軸５ｂの外周面との間の隙間よりも小さい隙間、つまり、磁気抵抗が小さくなる隙間（例えば、１００μｍ）が形成されている。
【００１６】
なお、第１実施形態では、右端側シューアーム８ｂ及び下端側シューアーム８ｃのそれぞれにフラックスガイド１０（右端側フラックスガイド１０ａ、下端側フラックスガイド１０ｂ）を設ける例を示したが、他の構成を採用することもできる。例えば、右端側シューアーム８ｂ及び下端側シューアーム８ｃの一方にのみフラックスガイド１０（右端側フラックスガイド１０ａ、下端側フラックスガイド１０ｂ）を設ける構成としてもよい。
【００１７】
また、第１実施形態では、右端側シューアーム８ｂ及び下端側シューアーム８ｃの先端側の外周面のうち、シューブラケット８ａの突出方向側の面にのみ、右端側フラックスガイド１０ａ及び下端側フラックスガイド１０ｂを設ける例を示したが、他の構成を採用することもできる。例えば、シューブラケット８ａの突出方向側の面の裏面にも、右端側フラックスガイド１０ａ及び下端側フラックスガイド１０ｂを同様に設ける構成としてもよい。
【００１８】
右端側シュー９ａ及び下端側シュー９ｂは、回転する被加工物Ｗを支持するために、耐摩耗性に優れた超硬合金で形成される。超硬合金は、非磁性体の物質である。また、主軸５、及びバッキングプレート７に加え、基台２、シュー支持部８（シューブラケット８ａ、右端側シューアーム８ｂ、下端側シューアーム８ｃ）、及びフラックスガイド１０（右端側フラックスガイド１０ａ、下端側フラックスガイド１０ｂ）は磁性体で形成される。
【００１９】
これにより、マグネットチャック装置１は、マグネットコイル６が発生した磁束が、主軸５（後部回転軸５ａ、前部回転軸５ｂ）、バッキングプレート７、被加工物Ｗ、フラックスガイド１０（右端側フラックスガイド１０ａ、下端側フラックスガイド１０ｂ）、シュー支持部８（右端側シューアーム８ｂ、下端側シューアーム８ｃ、シューブラケット８ａ）及び基台２の順に通過する閉磁路を形成する。それゆえ、マグネットコイル６が発生した磁束が主軸５の前部回転軸５ｂの外周面から基台２の貫通孔３の内周面へと漏れることを抑制でき、バッキングプレート７と被加工物Ｗとの接触面の磁束密度を増大できる。そのため、被加工物Ｗをバッキングプレート７により強い磁力で保持することができる。
【００２０】
ここで、バッキングプレート７に被加工物Ｗを保持する力の増加を確認するため、バッキングプレート７に保持されている被加工物Ｗを引っ張る実験を行った。実験の結果、フラックスガイド１０が無い場合、１４．２[kgf]で被加工物Ｗがバッキングプレート７から離間した。これに対し、フラックスガイド１０を有する場合、２０．９[kgf]で被加工物Ｗがバッキングプレート７から離間した。これにより、フラックスガイド１０によって、バッキングプレート７に被加工物Ｗを保持する力が１．５倍になることを確認できた。
また、被加工物Ｗの研削時、バッキングプレート７に保持（チャック）された被加工物Ｗは、右端側シュー９ａ及び下端側シュー９ｂにより支持された状態で、主軸５の回転によって回転する。そして、回転する研削用砥石（不図示）が被加工物Ｗを切削加工する。
【００２１】
（第１実施形態の効果）
第１実施形態に係るマグネットチャック装置１は、以下の効果を奏する。
（１）第１実施形態に係るマグネットチャック装置１は、基台２に取り付けられたシュー支持部８と、シュー支持部８に取り付けられ、バッキングプレート７に被加工物Ｗが保持されたときに、保持された被加工物Ｗを回転自在に支持するシュー９と、シュー支持部８に取り付けられ、バッキングプレート７に被加工物Ｗが保持されたときに、保持された被加工物Ｗと対向するフラックスガイド１０と、を有する。また、シュー９は、非磁性体からなる。さらに、基台２、主軸５、バッキングプレート７、シュー支持部８及びフラックスガイド１０は、磁性体からなる。
【００２２】
このような構成によれば、マグネットチャック装置１は、マグネットコイル６が発生した磁束が、主軸５、バッキングプレート７、被加工物Ｗ、フラックスガイド１０、シュー支持部８及び基台２の順に通過する閉磁路を形成する。それゆえ、マグネットコイル６の磁束が主軸５から基台２へと漏れることを抑制することができ、バッキングプレート７と被加工物Ｗとの接触面の磁束密度を増大することができる。そのため、被加工物Ｗをより強い磁力でバッキングプレート７に保持することができる。
【００２３】
（２）第１実施形態に係るマグネットチャック装置１によれば、シュー支持部８は、基台２に取り付けられたシューブラケット８ａと、シューブラケット８ａに取り付けられた右端側シューアーム８ｂ及び下端側シューアーム８ｃと、を有する。そして、右端側シュー９ａ、下端側シュー９ｂ、右端側フラックスガイド１０ａ、及び下端側フラックスガイド１０ｂは、右端側シューアーム８ｂ及び下端側シューアーム８ｃに取り付けられている。
このような構成によれば、右端側フラックスガイド１０ａ、及び下端側フラックスガイド１０ｂが小さくて済む。それゆえ、右端側フラックスガイド１０ａ、及び下端側フラックスガイド１０ｂの製造コストを低減することができる。
【００２４】
（第２実施形態）
次に、本発明に係る第２実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、第１実施形態と同様な構成等については同一の符号を使用して、その詳細は省略する。
第２実施形態では、右端側フラックスガイド１０ａが取り付けられている位置と、下端側フラックスガイド１０ｂが取り付けられている位置とが、第１実施形態と異なる。
【００２５】
図３、図４に示すように、右端側フラックスガイド１０ａは、右端側シューアーム８ｂが取り付けられている位置、並びに被加工物Ｗのフランジ部Ｗａが配置される位置よりも、シューブラケット８ａの基台２側に取り付けられている。また、下端側フラックスガイド１０ｂは、下端側シューアーム８ｃが取り付けられている位置、並びに被加工物Ｗのフランジ部Ｗａが配置される位置よりも、シューブラケット８ａの基台２側に取り付けられている。これにより、バッキングプレート７に被加工物Ｗが保持されたときに、被加工物Ｗのフランジ部Ｗａは、右端側フラックスガイド１０ａと右端側シューアーム８ｂとの間、下端側フラックスガイド１０ｂと下端側シューアーム８ｃとの間に配置される。
【００２６】
また、右端側フラックスガイド１０ａは、正面視で、シューブラケット８ａの右端側の部材から左方向に延伸して、先端が被加工物Ｗの外周面の右端と対向する。右端側フラックスガイド１０ａの先端は、正面視で、対向する被加工物Ｗの外周面の右端の形状にあわせて、中央部が凹んだ曲面となっている。右端側フラックスガイド１０ａの先端と被加工物Ｗの外周面の右端との間には、基台２の貫通孔３の内周面と主軸５の前部回転軸５ｂの外周面との間の隙間よりも小さい隙間（例えば、１００μｍ）が形成されている。
【００２７】
また、下端側フラックスガイド１０ｂは、正面視で、シューブラケット８ａの下端側の部材から上方向に延伸して、先端が被加工物Ｗの外周面の下端と対向する。下端側フラックスガイド１０ｂの先端は、正面視で、対向する被加工物Ｗの外周面の下端の形状にあわせて、中央部が凹んだ曲面となっている。下端側フラックスガイド１０ｂの先端と被加工物Ｗの外周面の下端との間には、基台２の貫通孔３の内周面と主軸５の前部回転軸５ｂの外周面との間の隙間よりも小さい隙間（例えば、１００μｍ）が形成されている。
【００２８】
これにより、第２実施形態に係るマグネットチャック装置１は、マグネットコイル６が発生した磁束が、主軸５（後部回転軸５ａ、前部回転軸５ｂ）、バッキングプレート７、被加工物Ｗ、フラックスガイド１０（右端側フラックスガイド１０ａ、下端側フラックスガイド１０ｂ）、シューブラケット８ａ、及び基台２の順に通過する閉磁路を形成する。それゆえ、第１実施形態に比べ、右端側シューアーム８ｂ及び下端側シューアーム８ｃのぶんだけ、閉磁路を短縮できる。それゆえ、第２実施形態では、閉磁路の磁気抵抗をより低減でき、被加工物Ｗをバッキングプレート７により強い磁力で保持することができる。
なお、その他の構成は第１実施形態と同様である。
【００２９】
（第２実施形態の効果）
第２実施形態に係るマグネットチャック装置１は、以下の効果を奏する。
（１）第２実施形態に係るマグネットチャック装置１によれば、シュー支持部８は、基台２に取り付けられたシューブラケット８ａと、シューブラケット８ａに取り付けられた右端側シューアーム８ｂ及び下端側シューアーム８ｃと、を有する。そして、右端側フラックスガイド１０ａは、右端側シューアーム８ｂが取り付けられている位置よりも、シューブラケット８ａの基台２側に取り付けられる。また、下端側フラックスガイド１０ｂは、下端側シューアーム８ｃが取り付けられている位置よりも、シューブラケット８ａの基台２側に取り付けられる。
このような構成によれば、閉磁路を短縮できる。それゆえ、閉磁路の磁気抵抗を低減でき、被加工物Ｗをバッキングプレート７により強い磁力で保持することができる。
【００３０】
（変形例）
なお、第２実施形態では、右端側シューアーム８ｂ及び下端側シューアーム８ｃを磁性体で形成する例を示したが、他の構成を採用することもできる。例えば、右端側シューアーム８ｂ及び下端側シューアーム８ｃを非磁性体で形成する構成としてもよい。右端側シューアーム８ｂ及び下端側シューアーム８ｃを磁性体で形成した場合、被加工物Ｗのフランジ部Ｗａと右端側シューアーム８ｂ及び下端側シューアーム８ｃとの距離によっては、被加工物Ｗのフランジ部Ｗａから漏れた磁束で右端側シューアーム８ｂ及び下端側シューアーム８ｃが磁気を帯びる。それゆえ、図５に示すように、被加工物Ｗを右端側シューアーム８ｂ及び下端側シューアーム８ｃ側に引きつける力Ｆｅが発生する可能性がある。この引きつける力Ｆｅは、被加工物Ｗをバッキングプレート７から離間させる方向の力であるため、被加工物Ｗをバッキングプレート７に保持する力が低減される可能性がある。
【００３１】
これに対し、本変形例では、右端側シューアーム８ｂ及び下端側シューアーム８ｃを非磁性体で形成する構成となっている。それゆえ、被加工物Ｗのフランジ部Ｗａと右端側シューアーム８ｂ及び下端側シューアーム８ｃとが図５に示すような位置関係になったとしても、被加工物Ｗのフランジ部Ｗａから漏れた磁束で右端側シューアーム８ｂ及び下端側シューアーム８ｃが磁気を帯びることを抑制できる。そのため、被加工物Ｗを右端側シューアーム８ｂ及び下端側シューアーム８ｃ側に引きつける力を低減することができる。これにより、被加工物Ｗをより強い磁力でバッキングプレート７に保持することができる。
【００３２】
（変形例の効果）
変形例に係るマグネットチャック装置１は、以下の効果を奏する。
（１）変形例に係るマグネットチャック装置１では、右端側シューアーム８ｂ及び下端側シューアーム８ｃは、非磁性体からなる。
このような構成によれば、被加工物Ｗのフランジ部Ｗａが、右端側フラックスガイド１０ａと右端側シューアーム８ｂとの間、下端側フラックスガイド１０ｂと下端側シューアーム８ｃとの間に位置したとしても、被加工物Ｗのフランジ部Ｗａから漏れた磁束で右端側シューアーム８ｂ及び下端側シューアーム８ｃが磁気を帯びることを抑制することができる。それゆえ、被加工物Ｗを右端側シューアーム８ｂ及び下端側シューアーム８ｃ側に引きつける力を低減することができる。これにより、被加工物Ｗをより強い磁力でバッキングプレート７に保持することができる。
【符号の説明】
【００３３】
２      基台
５      主軸
６      マグネットコイル
７      バッキングプレート
８      シュー支持部
８ａ    シューブラケット
８ｂ    右端側シューアーム８ｂ
８ｃ    下端側シューアーム８ｃ
９      シュー
１０    フラックスガイド
Ｗ      被加工物
Ｗａ    フランジ部
【図１】
2016112650.tif 000003
【図２】
2016112650.tif 000004
【図３】
2016112650.tif 000005
【図４】
2016112650.tif 000006
【図５】
2016112650.tif 000007