(57)【要約】【課題】簡単な構成で確実に洗浄媒体の偏りを是正でき、洗浄効率の向上に寄与できる乾式クリーニング筐体を提供する。【解決手段】筐体４の吸気口８に接続された吸引装置を稼動すると、筐体４内が負圧化されインレット２４から空気が拘束で入り込み、旋回気流３０が発生する。筐体４の内壁には一対のリブ５０ａ、５０ｂが旋回方向下流側に向かって狭くなるように配置されている。開口部１８で洗浄対象物２０に衝突して洗浄に寄与した洗浄媒体５はリブ５０ａ、５０ｂでガイドされて幅方向中央部に集まり、インレット２４の手前で解放され、図１（ｃ）、（ｄ）に示すように、幅方向に均一に分散した状態で開口部１８に向かい、洗浄対象物２０に衝突する。【選択図】図１
2016203101.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄媒体が収容される内部空間と、
前記内部空間に連通し、洗浄対象物の被洗浄面に当接される開口部と、
前記開口部とは別に設けられ、外部の空気を前記内部空間へ導入するための通気部と、
前記内部空間に連通し、吸気手段に接続される吸気口と、
を備え、
前記内部空間は、前記開口部が前記被洗浄面で塞がれた状態で前記吸気手段により吸気したとき、前記通気部から流入しあるいは供給された空気が旋回気流となる形状を有し、
前記開口部は、前記旋回気流により飛翔する洗浄媒体が前記被洗浄面に繰り返し衝突するように配置され、
前記内部空間で飛翔する洗浄媒体を、前記旋回気流の旋回軸方向における中央部に集める偏り解消手段を有している乾式クリーニング筐体。
【請求項２】
請求項１に記載の乾式クリーニング筐体において、
前記偏り解消手段が、飛翔する洗浄媒体に方向性を付与しながら中央部に集め、前記開口部の旋回方向上流側で洗浄媒体を開放するガイド部材である乾式クリーニング筐体。
【請求項３】
請求項２に記載の乾式クリーニング筐体において、
前記ガイド部材が、前記旋回軸方向の間隔が旋回方向下流側に向かって徐々に狭くなるように配置された一対の凸状部材からなる乾式クリーニング筐体。
【請求項４】
請求項２に記載の乾式クリーニング筐体において、
前記ガイド部材が、前記旋回軸方向の間隔が旋回方向下流側に向かって徐々に狭くなるテーパ面を有する一対の凸状部材からなる乾式クリーニング筐体。
【請求項５】
請求項２に記載の乾式クリーニング筐体において、
前記ガイド部材が、前記旋回軸方向の間隔が旋回方向下流側に向かって徐々に狭くなるように配置された一対の溝からなる乾式クリーニング筐体。
【請求項６】
請求項２に記載の乾式クリーニング筐体において、
前記ガイド部材が、前記旋回軸方向の間隔が旋回方向下流側に向かって徐々に狭くなるテーパ面を有する凹部からなる乾式クリーニング筐体。
【請求項７】
請求項１に記載の乾式クリーニング筐体において、
前記偏り解消手段が、前記旋回軸方向の端部における気流量を中央部よりも大きくする構成を有している乾式クリーニング筐体。
【請求項８】
請求項７に記載の乾式クリーニング筐体において、
前記偏り解消手段が、前記通気部を構成する通気路であり、前記通気路は、前記旋回軸方向の端部が中央部よりも開口面積が大きい形状を有している乾式クリーニング筐体。
【請求項９】
請求項７に記載の乾式クリーニング筐体において、
前記偏り解消手段が、前記通気部を構成し前記旋回気流を発生する気流噴射部材と、前記気流噴射部材に接続された圧搾空気源とからなる乾式クリーニング筐体。
【請求項１０】
請求項９に記載の乾式クリーニング筐体において、
前記気流噴射部材が、内部に前記圧搾空気源に接続される流路を有する流路プレートと、前記流路プレートに前記旋回軸方向に間隔をおいて複数設けられ、前記流路に連通するノズルとを有している乾式クリーニング筐体。
【請求項１１】
請求項９又は１０に記載の乾式クリーニング筐体において、
前記旋回気流の方向を逆向きとする気流噴射部材が別途設けられている乾式クリーニング筐体。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか１つに記載の乾式クリーニング筐体と、前記吸気手段と、前記洗浄媒体と、を有する乾式クリーニング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、乾式クリーニング筐体及び乾式クリーニング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
内部空間を有する筐体に吸引手段を接続して筐体内を負圧化し、筐体の外周面の一部に設けられた通気路から外部空気を高速で流入させることにより筐体内で旋回気流を生じさせ、この旋回気流で薄片状の洗浄媒体を飛翔させて洗浄する乾式クリーニング装置が知られている（例えば特許文献１）。
筐体の外周面の一部に形成された、上記通気路よりも大きな断面積を有する開口部を洗浄対象物に当てて塞ぐことにより上記旋回気流が生じ、開口部で洗浄媒体が洗浄対象物の表面に高速で衝突し、これが繰り返されることにより洗浄対象物の汚れが除去されるものである。
この種の乾式クリーニング装置では、溶剤や水を使用しないため、作業者や環境への負荷を低減でき、コスト的にも有利である。
【０００３】
しかしながら、吸引力や壁面抵抗などの要因により筐体内で洗浄媒体が偏って飛翔し、旋回軸方向で洗浄ムラが生じる問題がある。洗浄ムラは洗浄効率の低下につながる。
洗浄媒体は旋回気流による遠心力の影響で筐体内の壁面近傍を移動するため、壁面抵抗の影響は避けられない。壁面抵抗等の要因により洗浄媒体の飛翔が必ず旋回軸方向のいずれか一方に偏る現象が見られる。
特許文献１に記載の構成では、洗浄対象物から開口部を開放したときに洗浄媒体を筐体内に吸着保持する多孔性の分離板を旋回軸方向の両側に配置し、洗浄を再開するときに洗浄媒体が旋回軸方向で偏らないようにしている。
特許文献２には、旋回気流を発生させる通気路の一部を任意に塞ぐマスクを配置し、マスクで塞いだ領域に洗浄媒体が集まる特性を利用して、マスクの開閉を制御することにより旋回軸方向の洗浄媒体の偏りを是正する構成が記載されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の構成では、旋回軸方向の両側に吸着保持されていた洗浄媒体が洗浄動作中、時間の経過とともに一方側に偏る傾向があった。
特許文献２に記載の構成では、可動部分の増加による筐体構造の複雑化を来たすとともに制御構成による高コスト化を避けられない。また、通気路の一部を塞ぐために旋回気流が弱まって洗浄能力が低下するという問題があった。
【０００５】
本発明は、このような現状に鑑みてなされたもので、簡単な構成で確実に洗浄媒体の偏りを是正でき、洗浄効率の向上に寄与できる乾式クリーニング筐体の提供を、その主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の乾式クリーニング筐体は、洗浄媒体が収容される内部空間と、前記内部空間に連通し、洗浄対象物の被洗浄面に当接される開口部と、前記開口部とは別に設けられ、外部の空気を前記内部空間へ導入するための通気部と、前記内部空間に連通し、吸気手段に接続される吸気口と、を備え、前記内部空間は、前記開口部が前記被洗浄面で塞がれた状態で前記吸気手段により吸気したとき、前記通気部から流入しあるいは供給された空気が旋回気流となる形状を有し、前記開口部は、前記旋回気流により飛翔する洗浄媒体が前記被洗浄面に繰り返し衝突するように配置され、前記内部空間で飛翔する洗浄媒体を、前記旋回気流の旋回軸方向における中央部に集める偏り解消手段を有している。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、簡単な構成で確実に洗浄媒体の偏りを是正でき、洗浄効率の向上に寄与できる乾式クリーニング筐体を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る乾式クリーニング筐体の模式的断面図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は右側面図、（ｃ）は平面図、（ｄ）は左側面図である。
【図２】偏り解消手段としての一対のリブの展開平面図である。
【図３】リブの有無による洗浄ムラの違いを示す実験のグラフである。
【図４】第２の実施形態における偏り解消手段としての一対のリブを示す図で、（ａ）は部分斜視図、（ｂ）は展開平面図である。
【図５】第３の実施形態における筐体の正面からの模式的断面図である。
【図６】第３の実施形態における偏り解消手段としての一対の溝の展開平面図である。
【図７】第３の実施形態における一対の溝の３箇所での断面図である。
【図８】第４の実施形態における偏り解消手段としての凹部を示す部分斜視図である。
【図９】第５の実施形態における偏り解消手段としてのインレットの断面図である。
【図１０】第６の実施形態における筐体の一部破断の斜視図である。
【図１１】第６の実施形態における気流噴射部材の斜視図である。
【図１２】第６の実施形態における気流噴射部材のノズルの構成と変形例を示す図である。
【図１３】第６の実施形態における筐体の旋回軸方向と直交する方向での断面図である。
【図１４】従来の洗浄ムラを説明するための図で、（ａ）はワックスが塗られた床材の洗浄後の様子を示す写真画像図、（ｂ）は幅方向の光沢度を示すグラフである。
【図１５】本発明の乾式クリーニング装置の基礎となる公知構成の概要断面図である。
【図１６】同乾式クリーニング装置の洗浄動作を示す図である。
【図１７】同乾式クリーニング装置の使用状態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態を図を参照して説明する。
本発明の実施形態を説明する前に、乾式クリーニング装置が登場するに至った経緯及び従来の問題点について説明する。
近年、プリント基板製造におけるフローはんだ槽によるはんだ付け工程において、はんだ付け処理する領域以外をマスクする治具が多く用いられている。
このようなマスク治具（ディップパレット、キャリアパレットと呼ばれる）は、繰り返し使用されるうちに、表面にフラックスが堆積して固着し、マスクの精度を下げるために、定期的に洗浄する必要があった。
【００１０】
一般的には、このような洗浄は溶剤に浸漬して行うため、大量の溶剤を消費しており、コストアップを避けられず、作業者や環境への負荷も極めて大きい。
この問題に対処すべく、溶剤や水を使わない乾式クリーニング装置が提案されるようになった。
乾式クリーニング装置では、洗浄媒体として薄肉の樹脂フィルム片などを用いることで、ディップパレットの表面に固着したフラックスを、溶剤を使うことなく除去することができることが実証されている。
乾式クリーニング筐体を、ディップパレット等の洗浄対象物に沿って矩形移動させる機能を備えた装置や治具に組み込むことにより、広い面積の洗浄対象物にも対応可能となっている。
適切な洗浄媒体を選定することにより、ディップパレットに限らず様々な洗浄対象物の表面の異物を、溶剤や水を使わずに除去することが可能となっている。
【００１１】
図１５乃至図１７に基づいて、洗浄動作原理上本発明の基礎となる公知の乾式クリーニング装置基本構成及び機能を説明する。
図１５に基づいて、ハンディタイプの乾式クリーニング装置２の構成の概要を説明する。図１５（ａ）はＡ−Ａ線での横断面図、（ｂ）はＢ−Ｂ線での縦断面図である。
乾式クリーニング装置２は、内部に洗浄媒体５の飛翔空間（内部空間）を有する乾式クリーニング筐体（以下、単に「筐体」ともいう）４と、筐体４内を負圧化する吸気手段６とを備えている。
【００１２】
筐体４は、筐体本体部としての円筒形状の上部筐体４Ａと、逆円錐形状の下部筐体４Ｂとから一体として構成されている。ここでの上部、下部は図面上の便宜的呼称であって、実機上の上下とは必ずしも関係はない。
下部筐体４Ｂは、その円錐形状の頂部に吸気口８を一体に備えており、吸引ダクトとして機能する。
吸気手段６は、吸気口８に一端を接続されたフレキシブルな吸引ホース１０と、該吸引ホース１０の他端に接続された吸引装置１２とを有している。
吸引装置１２としては、家庭用掃除機、真空モータや真空ポンプ、あるいは流体の圧送により間接的に低圧化ないし負圧化を生じさせる装置などを適宜用いることができる。
なお、部材の上面、底面等の上下の位置関係は図面上の基準にすぎない。
【００１３】
上部筐体４Ａの底面部は、下部筐体４Ｂの上端部を結合する嵌合凹部４Ａ−１となっており、上部筐体４Ａと下部筐体４Ｂは分離可能となっている。上部筐体４Ａの上面４Ａ−２は密閉されている。
上部筐体４Ａの底面部における下部筐体４Ｂとの境界部分には、多孔手段としての多孔性の分離板１４が設けられている。
分離板１４は、パンチングメタルのような穴が空いた板状の部材である。
分離板１４は、内部空間が吸引されたときの洗浄媒体５の下部筐体４Ｂ側（吸気口側）への移動を阻止するものである。
【００１４】
図１５（ａ）では分離板１４の表示を一部省略している。なお、洗浄媒体５は分かり易くするためにその大きさを誇張表示している。
多孔手段としては、洗浄媒体５を通さずに空気及び粉塵（洗浄対象物から除去された除去物）を通過させる大きさの細孔を多く備える多孔形状であればよい。
多孔手段は、一定の大きさ以下の物を内部空間から吸気口側へ選択的に通すフィルタ機能を有し、除去物だけでなく、割れたり潰れたりして小さくなった洗浄媒体も通過させる。
多孔手段としては、スリット板や網などを用いてもよく、材質も洗浄媒体との接触抵抗が小さい滑らかな面を備えていれば、樹脂や金属などを自由に選択してもよい。
多孔手段は旋回気流の旋回軸と直交する面として配置されている。これにより、多孔手段に沿う方向に気流が流れることにより、洗浄媒体５の滞留を防ぐ効果がある。
旋回気流の減衰を抑えるために、筐体内面は段差、凹凸がなく平滑であることが望ましい。
【００１５】
多孔手段は、旋回気流に沿った面に配置されることにより、表面に吸着した洗浄媒体を再飛翔させることができる。
筐体４の材質は特に限定されないが、異物の付着や洗浄媒体との摩擦による消耗を防ぐために、例えばアルミ二ウムやステンレスなどの金属製が好適であるが、樹脂製のものを用いることもできる。
上部筐体４Ａの内部中心には、上部筐体４Ａの円筒軸を共通の軸とするように、円筒状の流路制限部材１６が筐体の一部として設けられ、流路制限部材１６の下端は分離板１４に固定されている。
流路制限部材１６は旋回気流の流路断面積を絞って流速を向上させる目的で設けられている。
流路制限部材１６により上部筐体４Ａ内には滑らかな壁面を有するリング状の旋回気流移動空間（洗浄媒体の飛翔空間としての内部空間）が形成されている。
【００１６】
上部筐体４Ａの形状によっては、流路制限部材１６の中心軸と上部筐体４Ａの中心軸を必ずしも共通にする必要はなく、リング状の空間が確保できていれば偏芯していても良い。
上部筐体４Ａの側面の一部には、旋回気流で飛翔する洗浄媒体５を洗浄対象物に接触ないし衝突させるための開口部１８が形成されている。
上部筐体４Ａは直径に対して高さが極めて小さい円筒形状であり、その高さを形成する側面の一部に開口部１８が設けられている。
筐体４全体としては、図１５（ｂ）に示すように、開口部１８以外の外周部分が洗浄対象物２０から大きく逃げる（離れる）レイアウトとなり、洗浄対象物２０に対する局所的当接、換言すればピンポイントクリーニングの自由度が高められている。
【００１７】
開口部１８は、上部筐体４Ａの側面を円筒軸に平行な平断面により切断した形状であり、円筒軸と直交する方向から見て矩形形状をなしている。
上部筐体４Ａの側面には空気流入口２２が形成されており、空気流入口２２には、通気路としてのインレット２４が上部筐体４Ａの外方から接続されて上部筐体４Ａに一体に固定されている。
インレット２４は分離板１４に略平行に設定されており、その通気方向は、上部筐体４Ａの半径方向に対して傾き、その通気路中心の延長線が開口部１８に達するように位置している。
インレット２４は、上部筐体４Ａの高さ方向に延びる幅を有している。
インレット２４は上部筐体４Ａの高さよりも径又は幅が小さいものを１つ配置してもよく、単体のインレットを高さ方向に複数配置する構成としてもよい。
【００１８】
図１５に示すように、開口部１８が洗浄対象物２０の被洗浄面に当接して塞がれると、筐体４内が閉空間としてなり、インレット２４を介して内部空間２６に導入された空気が吸気口８側に吸引される。
このため、インレット２４から外気が高速で流入し、この高速気流は洗浄媒体５を開口部１８へ向けて加速させるとともに旋回気流３０を生成する。円環状の内部空間２６は旋回流路でもある。
閉空間が形成された時に生じる旋回気流は、吸気による負圧で分離板１４上に吸着保持された洗浄媒体を吹き払い、再飛翔させる効果を有する。
開口部１８は、洗浄対象物２０から離されて開放されたときに、空気流入口２２における内圧を、大気圧もしくはその近傍にするために十分な大きさの面積を備える。
また、空気流入口２２も、開口部１８の開放時に大気圧もしくはその近傍になりやすい位置に配置される。
【００１９】
このような構成を備えることにより、乾式クリーニング装置２を洗浄対象物に当てていない間は、空気流入口２２が大気圧に近づくことによって、外部との差圧が低下し、その結果流入する気流が劇的に低減する。
一方、開口部１８から流入する気流は多くなるため、洗浄媒体５が筐体４内から漏れ出ることを防ぐことができる。
また、開口部１８が開放されている状態では、閉塞されている場合に比べて流入する気流の総量が２〜３倍になるため、とくに薄片状の洗浄媒体では多孔手段上に吸着されるため、再飛翔せず筐体の外に漏れることがない。
これを開口部開放時における洗浄媒体吸着効果という。
【００２０】
洗浄媒体５は、薄片状の洗浄片の集合であるが、ここでは薄片状の洗浄片単体としての意味でも用いている。
薄片状の洗浄媒体とは、面積が１ｍｍ２以上２００ｍｍ２以下の薄片である。
また、洗浄媒体の材質はポリカーボネイト、ポリエチレンテレフタラート、アクリル、セルロース樹脂などの耐久性のある素材からなるフィルムであり、厚みは０．０２ｍｍ以上１．０ｍｍ以下である。
但し、洗浄対象物によっては洗浄媒体の厚みやサイズや材質を変えることが効果的な場合もあり、これらの洗浄媒体を使用する場合も本発明の範囲に含まれるため、前記洗浄媒体条件にはとらわれないものとする。
洗浄媒体の材質に関しては、樹脂だけにとどまらず、紙、布などの薄片や、あるいは、雲母などの鉱物、セラミックやガラス、金属箔であっても、薄く軽量で飛翔しやすい形状にすることで使用することができる。
【００２１】
上部筐体４Ａのリング状の内部空間２６は、洗浄媒体５が収容される空間であるとともに、旋回気流によって洗浄媒体５が飛翔し開口部１８に露出する洗浄対象物２０に衝突するための空間である。
流路制限部材１６の内部３４は、旋回気流が作用しない空間である。
【００２２】
以上のように構成される乾式クリーニング装置２による洗浄動作（以下、「クリーニング動作」ともいう）を、図１６を参照して説明する。
なお、図１６では、部材の厚み等を省略し、分かり易くするために静空間としての内部３４をハッチングで表示している。
図１６（ｂ）は、開口部１８を洗浄対象物２０から離して開口部１８を開放し吸気を行っている状態を、図１６（ａ）は、開口部１８を洗浄対象物２０に当てて閉塞した状態を示している。
クリーニング動作に先立って、洗浄媒体５を筐体４内に供給する。
洗浄媒体の供給方法としては、吸引装置１２が作動している状態で、開口部１８から所定量の洗浄媒体を吸い込んでもよく、開口部１８が塞がれた状態でインレット２４から投入してもよい。
【００２３】
筐体４内に供給された洗浄媒体５は、図１６（ｂ）下図に示すように、分離板１４に吸い付けられて筐体４内に保持される。
筐体４内は吸気により負圧状態となっているので、筐体外部の空気がインレット２４を通して筐体４内に流入するが、このときのインレット２４内の流れは流速・流量ともに小さいので、筐体４内に発生する旋回気流３０は洗浄媒体５を飛翔させる強さには至らない。
筐体４内に洗浄媒体５が供給・保持されたら、図１６（ａ）に示すように、開口部１８を洗浄対象物２０の表面のクリーニングすべき部位に当てて閉塞状態にする。
【００２４】
開口部１８が塞がれると、開口部１８からの吸気が止まるので、筐体４内の負圧は一気に増大し、インレット２４を通じて吸い込まれる空気量・流速ともに増大し、インレット２４内で整流され、インレット出口（空気流入口２２）から筐体４内に高速空気流となって吹き出す。
吹き出した空気流は、分離板１４上に保持されている洗浄媒体５を剥がして開口部１８に露出する洗浄対象物２０の表面に向けて飛翔させる。
上記空気流は、旋回気流３０となって、筐体４の内壁に沿って円環状に流れつつ、一部は分離板１４の穴を通って吸気手段６により吸気される。
【００２５】
筐体４内を円環状に流れた旋回気流３０がインレット２４の出口部に戻ると、インレット２４から入り込む空気流が旋回気流３０に合流しつつ加速する。
このようにして筐体４内に安定した旋回気流３０が形成される。
洗浄媒体５は、旋回気流により筐体４内で旋回（循環飛翔）し、洗浄対象物２０の表面に繰り返し衝突する。
この衝突による衝撃で、洗浄対象物２０の表面から汚れが微小粒状あるいは粉状となって分離する。
分離した汚れは、分離板１４の穴を通って吸気手段６により筐体４の外部へ排出される。
【００２６】
筐体４内に形成される旋回気流３０は、その旋回軸が分離板１４の表面に直交しており、分離板１４の表面に平行な気流となる。
このため、旋回気流３０は分離板表面に吸い着けられた洗浄媒体５に、横方向から吹き付けて洗浄媒体５と分離板１４の間に入り込み、分離板１４に吸い付けられている洗浄媒体５を分離板１４から引き剥がして再度飛翔させる効果が生じる。
また、開口部１８が塞がれて上部筐体４Ａ内の負圧が増大して、下部筐体４Ｂ内の負圧に近くなるため、洗浄媒体５を分離板１４の表面に吸い付ける力も低下して、洗浄媒体５の飛翔がより容易になる効果が生じる。
旋回気流３０は、一定の方向に気流が加速されるため高速の気流が生成しやすく、洗浄媒体５の高速飛翔運動も容易となる。
高速で旋回移動する洗浄媒体５は、分離板１４に吸い付けられにくく、洗浄媒体５に付着した汚れが、遠心力により洗浄媒体５から分離され易い。
【００２７】
図１７に上述した乾式クリーニング装置２によるクリーニングの実際的な例を示す。
洗浄対象物は前述したフローはんだ槽工程で用いられるディップパレットであり、符号１００で示す。
ディップパレット１００には、マスク開口部１０１、１０２、１０３が開口しており、これらマスク開口部の穴周辺にフラックスＦＬが堆積・固化している。この堆積・固化したフラックスＦＬが除去すべき汚れである。
下部筐体４Ｂの根元部（吸気口８の部位）を手ＨＤで握り、吸気状態で、筐体４の開口部１８を被クリーニング部位に押し当てる。
【００２８】
開口部１８が被クリーニング部位に押し当てられる以前は、筐体４内は吸気され、洗浄媒体５は分離板１４に吸い付けられているので（洗浄媒体吸着効果）、開口部１８は下方を向いているものの、筐体４内から洗浄媒体５が外部へ漏れることは無い。
勿論、開口部１８が被クリーニング部位に押し当てられた以後は、筐体内が気密状態となり、洗浄媒体の漏れ出しはない。
【００２９】
開口部１８を被クリーニング部位に押し当てると、インレット２４による流入気流が急増し、筐体４内に強い旋回気流３０を発生させ、分離板１４に吸い付けられた洗浄媒体５を飛翔させる。
洗浄媒体５は、ディップパレット１００の被クリーニング部位に付着固化したフラックスＦＬに衝突し、これによりフラックスＦＬが除去される。
作業者は、上述の如く下部筐体４Ｂの根元を手ＨＤに持ち、ディップパレット１００に対して移動させて、被クリーニング部位を順次移動させ、付着・固化したフラックスＦＬを全て除去することができる。
図１７の状態では、ディップパレット１００のマスク開口部１０１の周辺部がクリーニングされ、マスク開口部１０２、１０３の周辺部がクリーニング途上である。
被クリーニング部位に対して開口部を移動させる時に被クリーニング部位から開口部１８が離されても、前述の洗浄媒体吸着効果により、洗浄媒体５が筐体内から漏れ出さないため、洗浄媒体数が維持され、洗浄媒体量の減少によるクリーニング性能の低下は生じない。
【００３０】
洗浄媒体５は、繰り返し使用される間にクリーニング部位に対する衝突による衝撃により次第に破壊され、被クリーニング部位のディップパレット１００から除去したフラックス（汚れ）と共に、吸引装置１２に吸引回収される。
このため、乾式クリーニング装置を長時間使用していると、筐体内に保持された洗浄媒体の量が減少する。このような場合は、新しい洗浄媒体群を筐体４内に補給する。
【００３１】
しかしながら、洗浄が困難な一部の洗浄対象物に対しては、旋回気流の幅方向（旋回軸方向）において、洗浄ムラが目立って生じるという問題があった。
図１４に、床ワックスを除去する実験を行った際の洗浄ムラの例を示す。
図１４（ａ）に示すように、黒い線の間に旋回気流方式の洗浄デバイス（乾式クリーニング筐体）を当てて矢印方向に平行移動させた。図１４（ｂ）は、洗浄デバイスを移動させた後の移動方向と直交する幅方向の表面の光沢度を検知した結果である。
図１４（ｂ）から明らかなように、幅方向に洗浄ムラ（光沢度の差異）が生じている。床面の左側では洗浄媒体が多く衝突してワックスを削り光沢度が落ちているが、右端は洗浄媒体の衝突が十分ではなくワックスが残留したため、光沢度が高いままであった。
【００３２】
このような洗浄ムラは、集塵機の吸引力や洗浄媒体が飛翔する内部空間を形成する内壁の壁面抵抗などの影響により、筐体内で回転する洗浄媒体がどちらかの壁面に偏るために生じることが原因である。
特に、洗浄面積を大きくするために筐体の幅（開口部の幅）を広げるほど、こうした傾向は顕著に表れることが確認されている。
原因として、洗浄媒体が偏って密集することにより、洗浄媒体同士が衝突する確率が上がり、洗浄対象物に衝突する確率が減少するため洗浄能力が低下することが考えられる。
さらに、密集した洗浄媒体は気流を阻害して旋回流量が減少するため、流量の多い領域から押し出された洗浄媒体がさらに集まり、偏りのある状態が固定化すると考えられる。
このため、一度偏りが生じると旋回気流を止めて偏りを是正する必要があるが、是正作業が面倒であり、時間の経過とともに再び偏りが生じる。
【００３３】
一つの解決策として、吸引手段に接続された分離板を配置する位置を変えて吸引力のバランスを調整し、洗浄媒体を均一に飛翔させようという試みを行ったが、僅かな影響で偏りが生じるために、分離板の調整による対策は現実的ではないことが分かった。
旋回軸方向の両側に内向きにノズルを配置し、偏りが生じた時点で横方向の気流を加えて偏りを解消するという実験を試みたところ、偏りを解消できることが確認された。
しかし、旋回軸方向のどちらの壁面に偏るかは予測が難しいため、ノズルの開閉タイミングの制御が困難である。また、旋回気流とは別に気流を使用するために洗浄に寄与しないエネルギーを消費してしまうことから、実用的な解決策とはいいがたい。
【００３４】
洗浄ムラを解消するためには、洗浄媒体を偏って旋回させないことが必要となる。洗浄媒体の偏りは、必ず左右どちらかの壁面（側壁）であることが本発明者らの実験観察により確認されている。
そこで、本実施形態では、洗浄媒体の偏りを発生させないために、洗浄媒体が旋回しながら幅方向中央に集まるように運動させることにより、壁面への偏りを防ぐこととした。
すなわち、洗浄媒体の旋回エネルギーを利用して幅方向中央に集まるようにガイドし、その後に開放することにより幅方向における洗浄媒体の均一な分布を得ることとした。
【００３５】
図１及び図２に基づいて本発明の第１の実施形態を説明する。図１５乃至１７で示した公知構成と同一ないし同等の部分は同一の符号で示す。乾式クリーニング装置における乾式クリーニング筐体以外の部分は公知構成と同じである。
本実施形態では、インレット２４は通気路の概念の他に通気部の概念を含む。公知構成で説明した分離板１４や流路制限部材１６は適宜省略している。
図１に示すように、本実施形態における筐体４の内部空間２６の外周面を区画する内壁４ａには、内部空間２６で飛翔する洗浄媒体５を旋回気流３０の旋回軸方向（以下、単に「幅方向」ともいう）における中央部に集める偏り解消手段としてのガイド部材５０を有している。
【００３６】
ガイド部材５０は、飛翔する洗浄媒体をその飛翔エネルギー（旋回運動エネルギー）を利用して方向性を付与しながら中央部に集め、開口部１８の旋回方向上流側で洗浄媒体を解放する機能を有している。
ガイド部材５０は、旋回軸方向の間隔が旋回方向下流側に向かって徐々に狭くなるように幅方向において左右対称に配置された一対の凸状部材としてのリブ５０ａ、５０ｂからなる。図１（ａ）では分かりやすくするためにリブ５０ａ、５０ｂを黒塗りしている。
図２に示すように、リブ５０ａ、５０ｂは、筐体４の内壁４ａの所定に範囲に設けられており、旋回気流３０の移動方向に沿って先端が幅方向中央部に寄るように配置されている。
リブ５０ａ、５０ｂは円筒状の筐体４の内壁４ａに沿って斜めにずれるため、実際には図２に示すように、螺旋の一部をなす配置形状となる。リブ５０ａ、５０ｂは螺旋の向きが逆となっている。図１では螺旋形状を忠実に反映していない。
【００３７】
図１（ａ）に示すように、リブ５０ａ、５０ｂの旋回方向の始端Ｐ１は開口部１８の旋回方向下流側近傍に位置し、終端Ｐ２は開口部１８及びインレット２４の旋回方向上流側であって筐体４の中心Ｍの手前に位置している。
始端Ｐ１は、開口部１８で洗浄対象物２０に衝突した洗浄媒体が幅方向に偏る前にリブ５０ａ、５０ｂによる方向性（拘束性）を付与するために、開口部１８の旋回方向下流側近傍に位置している。また、図１（ｂ）に示すように、リブ５０ａ、５０ｂの始端Ｐ１は筐体４の側壁４ｂに接している。
【００３８】
開口部１８で洗浄対象物２０に衝突して洗浄対象物２０の汚れ除去に寄与した洗浄媒体はその直後からリブ５０ａ、５０ｂによって方向付けられ、ガイドされて幅方向中央部に集まる。
リブ５０ａ、５０ｂは開口部１８及びインレット２４の手前で途切れているので、幅方向中央部に集まった洗浄媒体群は、図１（ｃ）に示すように、リブ５０ａ、５０ｂによる拘束から解放されて幅方向に拡散し、インレット２４から流入する高速気流で開口部１８に向けて加速され、洗浄対象物２０に衝突する。
すなわち、洗浄媒体は、図１（ｄ）に示すように、幅方向に均一に拡散した状態で開口部１８に向かうので、幅方向の洗浄ムラを抑制することができる。
【００３９】
リブ５０ａ、５０ｂの始端Ｐ１側は、洗浄媒体が円滑に案内されるように、滑らかに面取りされている。これにより洗浄媒体がリブの角に当たって破損したり、始端Ｐ１の部分で滞留することが防止される。
図１（ｄ）に示すように、リブ５０ａ、５０ｂの高さｈは５ｍｍ程度であり、この程度でも十分な偏り解消効果がある。洗浄媒体は遠心力により筐体４の内壁近傍にほとんど存在して回転するため、リブ５０ａ、５０ｂの高さが小さくても十分に方向付けられ、幅方向中央部に集約される。
リブ５０ａ、５０ｂの高さが小さいので、旋回気流が阻害されるような影響はほとんど発生しない。
【００４０】
リブ５０ａ、５０ｂは断面形状が矩形の薄板状であっても十分効果があるが、本実施形態では図１（ｄ）に示すように、端面が直角三角形となる形状を有している。換言すれば、幅方向内側にテーパ面を備えた三角柱形状を有している。
この形状とすることにより、リブ５０ａ、５０ｂの強度を増すことができるとともに、案内面を大きくすることができる。
洗浄媒体５を筐体４内に投入し、吸気口８に接続した吸引装置１２を稼働させると、筐体内部に旋回気流が発生する。旋回気流によって飛翔する洗浄媒体は、遠心力によって筐体４の内壁４ａ及び側壁近傍に集まり旋回移動するが、上記のようにリブ５０ａ、５０ｂによって方向性を付与され、幅方向中央部に移動する。
【００４１】
図１（ｃ）に示すように、リブ５０ａ、５０ｂが途切れた領域では、リブ５０ａ、５０ｂから解放された洗浄媒体は再び筐体の幅方向に拡散し、開口部１８で洗浄対象物２０に衝突し、表面の異物を除去する。
このような洗浄媒体の動きにより、筐体４のどちらの側面側にも洗浄媒体の偏りが生じず、結果として幅方向の洗浄ムラを低減できる。
【００４２】
図３に、リブ５０ａ、５０ｂがある場合とない場合の筐体を用い、洗浄媒体としてメラミン粒子、加工対象物としてワックスを用いた場合の実験結果（ワックス削り深さの分布図）を示す。
グラフＡがリブ５０ａ、５０ｂが無い筐体の場合であり、グラフＢがリブ５０ａ、５０ｂを有する筐体の場合（本実施形態）である。
リブ５０ａ、５０ｂが無い場合には、図中左側で深い削れが生じ、幅方向で削れ深さが不均一となっている。
これに対し、リブ５０ａ、５０ｂを有する場合には、幅方向において均一に削れていることが確認できる。
【００４３】
このように、偏り解消手段としてのリブ５０ａ、５０ｂを備えることで、洗浄媒体の偏りを補正し、洗浄媒体の洗浄対象物への衝突を均一化することができることが確認された。図３により、リブ５０ａ、５０ｂを備えたことによる洗浄能力の低下も起きていないこが分かる。
【００４４】
図４に第２の実施形態を示す。上記実施形態と同一部分は同一符号で示し、既にした構成上及び機能上の説明は適宜省略して要部のみ説明する（他の実施形態において同じ）。
上記実施形態では、一定幅のリブ５０ａ、５０ｂを螺旋状に配置して幅方向の間隔が旋回方向下流側に向かって徐々に狭くなる構成とした。
これに対し、本実施形態では、偏り解消手段としてのガイド部材を、幅方向の間隔が旋回方向下流側に向かって徐々に狭くなるテーパ面５２ａ−１、５２ｂ−１を幅方向内側に有する一対のリブ５２ａ、５２ｂから構成している。
この場合、リブ５２ａ、５２ｂの幅方向外側の面は平行となる。本実施形態においても上記実施形態と同様の機能、効果を得ることができる。
【００４５】
図５乃至図７に第３の実施形態を示す。
上記各実施形態では、凸状部材によるガイド部材を例示したが、本実施形態では一定幅の２本の溝５４ａ、５４ｂによりガイド部材を構成している。
一対の溝５４ａ、５４ｂは、図６に示すように、幅方向の間隔が旋回方向下流側に向かって徐々に狭くなるように螺旋状に配置されている。
図７は、図５のＳ１、Ｓ２、Ｓ３の３箇所における断面を示しており、溝５４ａ、５４ｂの間隔が旋回方向下流側に向かって徐々に狭くなる状態を示している。
【００４６】
上記のように洗浄媒体は筐体内で旋回する際に、遠心力によって内壁４ａや側壁に押し付けられる。このとき、洗浄媒体の一部が溝５４ａ、５４ｂに沿って移動すると、他の洗浄媒体も影響を受けて方向付けられ、幅方向中央部に集められる。
洗浄媒体が筐体内部をスムーズに流れる必要があるため、溝の幅は洗浄媒体サイズもしくは洗浄媒体の厚みに対して、５倍以上の幅を備えていることが望ましい。溝はリブに比べて加工が容易で低コストで作ることができる利点がある。
【００４７】
図８に示すように、ガイド部材を、幅方向の間隔が旋回方向下流側に向かって徐々に狭くなるテーパ面５６ａ、５６ｂを有する単一の凹部５６からなる構成としてもよい（第４の実施形態）。
【００４８】
図９に第５の実施形態を示す。以下の実施形態では、偏り解消手段が、幅方向の端部における気流量を中央部よりも大きくすることにより洗浄媒体の偏りを抑制する構成を有していることを特徴とする。
本実施形態では、偏り解消手段が、通気部を構成する通気路としてのインレット２４自体である。インレット２４は、図９に示すように、幅方向の端部における空気流入口２４ｂが中央部の空気流入口２４ａよりも開口面積が大きい断面形状を有している。
図９に示したような断面形状のインレットを用いると、通常の長方形の断面のインレットに比べて、幅方向端部の流量が中央部より大きくなるために、壁面から洗浄媒体が散らされ、結果として洗浄媒体の偏り防止効果が得られる。
【００４９】
図１０乃至図１３に第６の実施形態を示す。
図１０は円筒状の筐体４を開口部１８側から見た図である。本実施形態では、パンチングメタル等の多孔性材料で形成された流路制限部材１６が分離板を兼ねる構成となっている。洗浄媒体の破片や洗浄対象物２０から除去された異物（汚れ）は流路制限部材１６内に吸引されて筐体外に排出される。
筐体４の底面側には旋回軸方向に折り曲げてフランジ部４ｂ、４ｃが形成されており、ここに開口部１８を有する底面カバーが固定される。
【００５０】
本実施形態ではインレットは設けられておらず、筐体４の外周面に配置された気流噴射部材６０、６１から噴射される気流によって旋回気流３０が形成される。
気流噴射部材６０、６１の径方向で対向する部位には、逆向きの旋回気流３０を形成する気流噴射部材６２、６３が配置されている。
気流噴射部材６０は、図１１に示すように、筐体４の外周面に沿った形状を有する流路プレート６４と、流路プレート６４の内部に形成された流路６５と、流路プレート６４の外面側に突出して形成されたエア供給口６６と、流路プレート６４の内面側において旋回軸方向に間隔をおいて配置された複数のノズル６７と、固定用の軸を通す貫通孔６８とを有している。
エア供給口６６と流路６５、流路６５と各ノズル６７はそれぞれ連通している。各ノズル６７は旋回気流を形成可能な角度に設定されている。
【００５１】
筐体４の外部に配置された圧搾空気源とエア供給口６６とがエアホースで接続される。  他の気流噴射部材６１〜６３も同じ構成を有している。
図１０に示すように、筐体４のノズル６７に対応する部分には穴４ｄが形成されており、穴４ｄを介して各ノズル６７から高圧空気が噴射される。
ノズル６７から噴射された空気流により旋回気流３０が形成され、上記実施形態と同様に洗浄媒体が開口部１８で洗浄対象物２０に衝突して汚れが除去される。
【００５２】
気流によって飛翔する洗浄媒体は、一般的に流量の多い空間領域から流量の少ない空間領域にはじき出される方向に力を受ける。洗浄ムラを解消するためには洗浄媒体を幅方向中央部に集めることが効果的であることが分かっているので、壁面付近の旋回気流の流量が、中央部付近の流量に比べて多くなるように、気流噴射部材６０により筐体内に気流を発生させる。
幅方向の端部における気流量を中央部よりも多くするため、図１２（ａ）に示すように、両端に位置するノズル６７の径を大きくしている。例えば、両端以外のノズル６７の径は１ｍｍであり、両端のノズル６７の径は１．５ｍｍである。
両端のノズル６７からは中央部に比べて多めの流量の気流が噴射される。
【００５３】
滑らかに流量に変化を付けるために、図１２（ｂ）に示すように、ノズル６７間のピッチを変更し、端部は密、逆に中央部は疎に配置する構成としてもよい。
ノズル６７のピッチが密な幅方向端部から噴射される気流の流量は中央部に比べて大きくなる。
図１２（ｃ）に示すように、中央部のノズル６７を間引いた構成としても同様の機能を得ることができる。
【００５４】
本実施形態では、図１２（ａ）に示したように両端のノズル６７の径のみが大き目に形成されている。これにより、気流噴射部材６０から筐体４内に流入する気流は、壁面（側壁）近傍で特に流量が大きくなり、壁面に偏った洗浄媒体を、流量が小さい幅方向中央部に移動させる効果が発生する。
このため、壁面に洗浄媒体が偏ることなく飛翔し、結果として幅方向においてはムラのない洗浄が可能になる。
また、本実施形態では、気流噴射部材を旋回方向に２段階に配置している。図１３に示すように、開口部１８に近い気流噴射部材ノズル６７は、遠い気流噴射部材６１よりも強い加速力を洗浄媒体に与えることができ、開口部から遠い気流噴射部材６１は洗浄媒体を拡散させて広い面積に洗浄効果を作用させることができる。
【００５５】
気流噴射部材６０のみで実線表示の旋回気流３０を発生させてもよく、気流噴射部材６１を同時に使用するか否かを洗浄対象物２０の状態に応じて使い分けてもよい。
【００５６】
さらに本実施形態では、旋回気流の方向を逆向きとする気流噴射部材６２、６３が別途設けられている。気流噴射部材６２、６３は気流噴射部材６０、６１と共通の圧搾空気源から高圧空気を供給され、弁で切り替えるようになっている。
破線で示すように、旋回気流３０を逆向きとすることにより、洗浄媒体の洗浄対象物に対する衝突角度、方向を切り替えることができる。
洗浄対象物２０に凹凸がある場合、洗浄媒体は凹凸面の一方側にしか当たらず、他方側は洗浄されにくい。
このような場合には、まず一方側のみを洗浄し、その後気流噴射部材を切り替えて旋回気流３０を逆向きにして他方を洗浄する。
【００５７】
筐体４の向きを変えることにより旋回気流３０を逆向きにすることもできるが、作業スペースのレイアウト上困難な場合もある。
本実施形態の構成によれば、筐体４の向きを変えることなく弁の切り替え操作のみで容易に旋回気流３０の向きを変えることができ、凹凸がある洗浄対象物２０の洗浄作業が容易となる。
【００５８】
以上、本発明の好ましい実施の形態について説明したが、本発明はかかる特定の実施形態に限定されるものではなく、上述の説明で特に限定しない限り、特許請求の範囲に記載された本発明の趣旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
本発明の実施の形態に記載された効果は、本発明から生じる最も好適な効果を例示したに過ぎず、本発明による効果は、本発明の実施の形態に記載されたものに限定されるものではない。
【符号の説明】
【００５９】
２  乾式クリーニング装置
４  乾式クリーニング筐体
５  洗浄媒体
６  吸気手段
８  吸気口
１８  開口部
２０  被洗浄面としての洗浄対象物
２４  通気部としてのインレット
２６  内部空間
５０ａ、５０ｂ  偏り解消手段、ガイド部材、凸状部材としてのリブ
５２ａ−１、５２ｂ−１  テーパ面
５４ａ、５４ｂ  偏り解消手段、ガイド部材としての溝
５６  凹部
５６ａ、５６ｂ  テーパ面
【先行技術文献】
【特許文献】
【００６０】
【特許文献１】特開２０１３−１２１０１７号公報
【特許文献２】特開２０１３−１２１５７５号公報
【図１】
2016203101.tif 000003
【図２】
2016203101.tif 000004
【図３】
2016203101.tif 000005
【図４】
2016203101.tif 000006
【図５】
2016203101.tif 000007
【図６】
2016203101.tif 000008
【図７】
2016203101.tif 000009
【図８】
2016203101.tif 000010
【図９】
2016203101.tif 000011
【図１０】
2016203101.tif 000012
【図１１】
2016203101.tif 000013
【図１２】
2016203101.tif 000014
【図１３】
2016203101.tif 000015
【図１４】
2016203101.tif 000016
【図１５】
2016203101.tif 000017
【図１６】
2016203101.tif 000018
【図１７】
2016203101.tif 000019