(57)【要約】【課題】洗浄品を損傷せず、短時間で全体を均一に洗浄可能な洗浄乾燥装置を提供する。【解決手段】開閉可能な槽蓋３を備えた外装ケース２内に、外装ケース２の底面に対して傾斜させて、有底円筒形の洗浄脱水槽２１を設置する。洗浄脱水槽２１の開口部は、槽蓋３に臨ませて配置する。また、洗浄脱水槽２１内には、外装ケース２の底面に対して傾斜させた状態で、籠状に形成された回転ドラム２２を回転可能に収納する。洗浄脱水槽２１の内面に、洗浄液噴射口４６ａを回転ドラム２２側に向けて、洗浄液噴射ノズル４６を取り付ける。【選択図】図１
2016112529.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開閉可能な槽蓋を備えた外装ケースと、前記外装ケース内に設置された洗浄脱水槽と、前記洗浄脱水槽内に回転可能に収納された回転ドラムと、前記回転ドラム内に収納された洗浄品に洗浄液を噴射する洗浄液噴射ノズルとを備えた洗浄脱水装置において、
前記回転ドラムを籠状に形成し、当該回転ドラムの回転中心軸を前記外装ケースの底面に対して傾斜させて前記洗浄脱水槽内に収納すると共に、前記洗浄脱水槽の内面に、洗浄液噴射口を前記回転ドラム側に向けて、前記洗浄液噴射ノズルを取り付けたことを特徴とする洗浄脱水装置。
【請求項２】
前記外装ケース内に、洗浄液タンクと、当該洗浄液タンク内に貯えられた洗浄液を前記洗浄液噴射ノズルに供給する洗浄液ポンプと、前記洗浄液タンクから前記洗浄液噴射ノズルに至る洗浄液供給管路に設置されたマイクロバブル溶解器と、前記マイクロバブル溶解器に圧縮空気を供給するエアコンプレッサとを備え、前記洗浄液噴射ノズルから前記洗浄品に向けてマイクロバブルを溶解した洗浄液を噴射し、洗浄品洗浄後の洗浄液を前記洗浄脱水槽を通じて前記洗浄液タンクに戻すことを特徴とする請求項１に記載の洗浄脱水装置。
【請求項３】
前記回転ドラム及び回転ドラム駆動モータの支持部材と前記外装ケースとの間に、防振機構を設置したことを特徴とする請求項１及び請求項２のいずれか１項に記載の洗浄脱水装置。
【請求項４】
前記外装ケースの下面にストッパ付きの自在キャスタを備えたことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の洗浄脱水装置。
【請求項５】
前記槽蓋は、前記外装ケースの上部にヒンジを介して取り付けられ、閉止時には前記回転ドラムの上部開口と対向に配置され、開放時には前記ヒンジを回転中心として前記外装ケースの上方に跳ね上げられることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の洗浄脱水装置。
【請求項６】
前記洗浄液タンクの出口に洗浄液フィルタを備えたことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の洗浄脱水装置。
【請求項７】
前記洗浄液タンク内に貯えられる洗浄液として、界面活性剤及び防腐剤を添加した純水を用いたことを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の洗浄脱水装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工場内に設置され、部品、半製品、製品及びこれらを収納する容器等（本明細書では、これらを総称して「洗浄品」という。）の洗浄と脱水に好適な洗浄脱水装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、機械部品・電気部品の収納トレイや半導体ウェハの収納カセットの洗浄乾燥装置として、洗浄槽内に回転ドラムを設置し、該回転ドラム内に複数の部品収納容器等を収納した１つ又は複数個の着脱可能なバスケットを設置し、又は該回転ドラム内に直に部品収納容器等を収納し、回転ドラムを回転させながら洗浄した後、回転ドラムを高速回転させることにより水切り脱水乾燥させ、その後、温風乾燥することを特徴とするものが提案されている（例えば、特許文献１の要約書参照）。
【０００３】
回転ドラムは、洗浄槽の側面に回転自在に保持された回転軸に連結されており、回転軸を中心として垂直面内で回転駆動される。洗浄品に洗浄液を噴射する洗浄液噴射ノズルは、回転ドラムのほぼ回転中心に配置される。洗浄液としては、一次洗浄用の純水、水成系洗剤又はアルカリイオン水と、二次洗浄用の超純水が用いられる。
【０００４】
特許文献１に記載の洗浄乾燥装置は、同一槽内で洗浄と水切り脱水乾燥とを行うため、装置全体をコンパクトに纏めることができて床に占める専有面積を小さなものにできる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−６６２１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の洗浄乾燥装置は、回転ドラムを垂直面内で回転駆動するので、回転ドラムの起動時及び停止時に洗浄品が重力の作用によって動揺しやすく、洗浄品が回転ドラム又はバスケットに衝突して損傷するという問題を生じやすい。なお、洗浄品を回転ドラムに固定すれば、洗浄品の損傷は防止できるが、洗浄品の固定に多くの労力が必要となるため、洗浄品の洗浄効率が悪くなる。また、特許文献１に記載の洗浄乾燥装置は、回転ドラムを垂直面内で回転駆動することから、回転ドラムに対する洗浄品の出し入れを洗浄槽の前面側から行わなくてはならず、洗浄品の収納位置によっては身をかがめながら洗浄品の出し入れを行わなくてはならないので、洗浄品の出し入れに要する作業者の肉体的負担が大きい。
【０００７】
また、特許文献１に記載の洗浄乾燥装置は、洗浄液噴射ノズルを回転ドラムのほぼ回転中心に配置するので、洗浄液噴射ノズルと向き合う洗浄品の一面にしか洗浄液を噴射することができず、洗浄品の全面を均一に洗浄することが難しい。なお、洗浄槽の底部に洗浄液を貯留し、回転ドラムの回転に伴って洗浄品を貯留された洗浄液内に浸漬するようにすれば、洗浄品の全面に沿って洗浄液を流動させることができるが、洗浄槽の底部への洗浄液の貯留に長時間を要するため、洗浄品の洗浄効率が悪くなる。
【０００８】
さらに、特許文献１に記載の洗浄乾燥装置は、洗浄液として、純水、水成系洗剤、アルカリイオン水又は超純水を用いるので、洗浄品の洗浄効果が弱く、洗浄品の洗浄に長時間を要する。
【０００９】
本発明は、このような従来技術の実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、洗浄品を損傷せず、短時間で全体を均一に洗浄可能な洗浄乾燥装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上述の技術的課題を解決するため、開閉可能な槽蓋を備えた外装ケースと、前記外装ケース内に設置された洗浄脱水槽と、前記洗浄脱水槽内に回転可能に収納された回転ドラムと、前記回転ドラム内に収納された洗浄品に洗浄液を噴射する洗浄液噴射ノズルとを備えた洗浄脱水装置において、前記回転ドラムを籠状に形成し、当該回転ドラムの回転中心軸を前記外装ケースの底面に対して傾斜させて前記洗浄脱水槽内に収納すると共に、前記洗浄脱水槽の内面に、洗浄液噴射口を前記回転ドラム側に向けて、前記洗浄液噴射ノズルを取り付けたことを特徴とする。
【００１１】
本構成によると、回転中心軸を外装ケースの底面に対して傾斜させて回転ドラムを洗浄脱水槽内に収納するので、回転ドラムの起動時及び停止時の低回転域において、洗浄品が重力の作用によって落下せず、回転ドラムの周面に沿って滑り落ちるので、回転ドラムとの衝突に起因する洗浄品の損傷を防止できる。従って、洗浄品を回転ドラムに固定する必要がないので、作業性も向上することができる。また、回転ドラムの回転中心軸を外装ケースの底面に対して傾斜させると、外装ケースの斜め上方からの回転ドラム内への洗浄品の収納が可能になり、身をかがめることなく作業を行うことが可能になるので、作業者の肉体的負担を軽減できる。さらに、本構成によると、回転ドラムを籠状に形成すると共に、洗浄液噴射口を回転ドラム側に向けて洗浄液噴射ノズルを洗浄脱水槽の内面に取り付けたので、回転ドラムを回転駆動することにより洗浄品の全面に洗浄液を噴射できて、洗浄品全体を高能率に洗浄できる。
【００１２】
また本発明は、前記構成の洗浄脱水装置において、前記外装ケース内に、洗浄液タンクと、当該洗浄液タンク内に貯えられた洗浄液を前記洗浄液噴射ノズルに供給する洗浄液ポンプと、前記洗浄液タンクから前記洗浄液噴射ノズルに至る洗浄液供給管路に設置されたマイクロバブル溶解器と、前記マイクロバブル溶解器に圧縮空気を供給するエアコンプレッサとを備え、前記洗浄液噴射ノズルから前記洗浄品に向けてマイクロバブルを溶解した洗浄液を噴射し、洗浄品洗浄後の洗浄液を前記洗浄脱水槽を通じて前記洗浄液タンクに戻すことを特徴とする。
【００１３】
本構成によると、洗浄液としてマイクロバブルを溶解した洗浄液を噴射するので、マイクロバブルを溶解しない洗浄液を噴射する場合に比べて、洗浄品の洗浄効率を格段に高めることができる。また、洗浄品を洗浄した後の洗浄液を洗浄液ポンプに戻すので、洗浄液の無駄を防止できて、洗浄品の洗浄コストを安価なものにできる。
【００１４】
また本発明は、前記構成の洗浄脱水装置において、前記回転ドラム及び回転ドラム駆動モータの支持部材と前記外装ケースとの間に、防振機構を設置したことを特徴とする。
【００１５】
本構成によると、回転ドラム及び回転ドラム駆動モータの回転に伴う支持部材の振動を防振機構によって抑制できるので、回転ドラムを円滑に回転できて、洗浄品の全面を均一に洗浄できる。また、支持部材の振動に起因する外装ケースの共振を防止できるので、洗浄脱水装置の寿命を延長できると共に、作業者の不安感や疲労感を軽減できる。
【００１６】
また本発明は、前記構成の洗浄脱水装置において、前記外装ケースの下面にストッパ付きの自在キャスタを備えたことを特徴とする。
【００１７】
本構成によると、洗浄脱水装置を所望の場所まで容易に搬送して設置できるので、広い用途に適用できて、洗浄脱水装置の稼働効率を高めることができる。
【００１８】
また本発明は、前記構成の洗浄脱水装置において、前記槽蓋は、前記外装ケースの上部にヒンジを介して取り付けられ、閉止時には前記回転ドラムの上部開口と対向に配置され、開放時には前記ヒンジを回転中心として前記外装ケースの上方に跳ね上げられることを特徴とする。
【００１９】
本構成によると、開放時に槽蓋を上方に跳ね上げるので、洗浄品の出し入れに際して槽蓋が邪魔にならず、作業性を高めることができる。
【００２０】
また本発明は、前記構成の洗浄脱水装置において、前記洗浄液タンクの出口に洗浄液フィルタを備えたことを特徴とする。
【００２１】
本構成によると、洗浄液タンクに貯えられた洗浄液を濾過できるので、洗浄液タンクに貯えられた洗浄液を繰り返し使用することができ、洗浄品の洗浄作業を低コストに行うことができる。
【００２２】
また本発明は、前記構成の洗浄脱水装置において、前記洗浄液タンク内に貯えられる洗浄液として、界面活性剤及び防腐剤を添加した純水を用いたことを特徴とする。
【００２３】
純水に界面活性剤を添加すると、単なる純水を洗浄液として用いる場合に比べて、洗浄品の洗浄効果を高めることができる。また、純水に防腐剤を添加すると、腐敗しやすい純水の腐敗を抑制できて、洗浄液の寿命を延長できる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によると、洗浄品の全面に洗浄液を噴射できるので、洗浄品を高能率に洗浄できる。また、回転ドラムを外装ケースに対して傾斜させるので、特別な労力を必要とすることなく、洗浄品の損傷を防止できる。さらに、回転ドラム内への洗浄品の出し入れを容易に行うことができるので、作業者の肉体的負担を軽減できる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】実施形態に係る洗浄脱水装置の内部機構を示す正面図である。
【図２】実施形態に係る洗浄脱水装置の内部機構を示す左側面図である。
【図３】実施形態に係る洗浄脱水装置の内部機構を示す右側面図である。
【図４】実施形態に係る洗浄脱水装置の内部機構を示す平面図である。
【図５】実施形態に係る洗浄脱水装置の洗浄液循環経路を示す回路図である。
【図６】実施形態に係る洗浄脱水装置に備えられる操作パネルの拡大図である。
【図７】実施形態に係る洗浄脱水装置の動作手順を示すフローチャートである。
【図８】実施形態に係る洗浄脱水装置を用いて洗浄される板材収納枠の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
まず、実施形態に係る洗浄脱水装置の説明に先立ち、図８を用いて洗浄品である板材収納枠の構成を説明する。
【００２７】
図８に示す板材収納枠１００は、半導体ウェハ、回路基板又は情報記録ディスク等の板材の保管及び運搬に用いられるものであって、便宜的に「マガジンラック」とも称されている。本例の板材収納枠１００は、一定間隔を隔てて上下に配設された天板１０１及び底板１０２と、両端部がそれぞれ天板１０１及び底板１０２の一辺に固定され、天板１０１と底板１０２の間に直立した状態で取り付けられた固定側板１０３と、天板１０１と底板１０２の間において固定側板１０３と向い合せに配置され、固定側板１０３に接近する方向及び固定側板１０３から離隔する方向に平行移動できて、所望の位置で固定される可動側板１０４と、可動側板１０４を天板１０１及び底板１０２に対して固定する固定機構１０５と、天板１０１及び底板１０２の固定側板１０３が配設されていない側の角部に立設された支柱１０６を備えている。
【００２８】
板材収納枠１００を構成する上述の各部材は、プラスチック成形品である。このうち、天板１０１及び底板１０２は、固定側板１０３、可動側板１０４、固定機構１０５及び支柱１０６の取り付けを容易にする、天板１０１及び底板１０２ひいては板材収納枠１００の剛性を高める、複数の板材収納枠１００を上下に積み上げられるようにする、等の機能を発揮するため、壁面や溝を有する複雑な形状をしている。
【００２９】
一方、固定側板１０３及び可動側板１０４の各内面には、板材の外周部を挿入して保持するための一定幅かつ一定深さの平行溝１０７が上下に一定ピッチで形成されており、各段の平行溝１０７の底板１０２からの高さ位置は、固定側板１０３及び可動側板１０４の双方について、同一に調整されている。したがって各段の平行溝１０７内に挿入される板材は、天板１０１及び底板１０２と平行に整列されて、水平に保持される。また、この板材収納枠１００は、固定側板１０３に対する可動側板１０４の設定位置を変更することにより、外形寸法が異なる各種の板材を収納することができる。
【００３０】
このように、板材収納枠１００は、複雑形状のプラスチック成形品を組み合わせて構成されるので、これを洗浄する洗浄脱水装置には、板材収納枠１００を構成する各面が均一に洗浄されること、及び、洗浄後十分に脱水できて、平行溝１０７内や天板１０１及び底板１０２に形成される溝内に洗浄液が残らないことが求められる。
【００３１】
次に、実施形態に係る洗浄脱水装置を、図１〜図７を用いて説明する。
【００３２】
実施形態に係る洗浄脱水装置１は、図１〜図４に示すように、鋼板をもって箱形に形成された外装ケース２と、外装ケース２の前面側に開閉可能に取り付けられた槽蓋３とを有している。外装ケース２は、横幅が８００ｍｍ、高さが１５００ｍｍ、奥行きが１６００ｍｍ程度のコンパクトなもので、底面にはストッパ付きのキャスタ４が取り付けられており、必要に応じて所望の場所に移動して設置できるようになっている。外装ケース１の前面は、下方の垂直部５と上方の傾斜部６とから構成されており、傾斜部６には板材収納枠１００等の洗浄品Ａを出し入れするための開口７が開設されている。
【００３３】
外装ケース２の垂直部５には、操作パネル８が設置されると共に、開口７を開閉する保守点検用の開閉蓋９が設置される。開閉蓋９は、上辺がヒンジ１０を介して外装ケース２の垂直部５に取り付けられており、下部を跳ね上げることにより保守点検用窓１１を開放するようになっている。また、外装ケース２の背面側の上部には、図示しない制御盤を収納する制御盤室１２が形成されており、制御盤室１２の開口部には開閉扉１３が備えられている。操作パネル８については、後に詳細に説明する。
【００３４】
槽蓋３は、上辺がヒンジ１４を介して外装ケース２の傾斜部６に取り付けられており、下部に備えられた把持部１５を持って上方に跳ね上げることにより、開口７を開放するようになっている。ヒンジ１４を介して槽蓋３の一端にはウエイト１６が取り付けられており、跳ね上げられた槽蓋３が一定の位置に安定に保持されるようになっている。これにより、洗浄品Ａの出し入れの際に槽蓋３が邪魔にならず、作業を容易なものにしている。なお、把持部１５の近傍には、槽蓋３を外装ケース２に固定するためのラッチ１７が備えられる。また、槽蓋３は、洗浄品Ａの収納状態や洗浄状態を確認するため、全体を透明に形成したり、所要の部分に透視窓を設けることもできる。
【００３５】
外装ケース２内には、洗浄脱水槽２１と、洗浄脱水槽２１内に回転可能に収納された回転ドラム２２と、回転ドラム駆動用モータ２３と、回転ドラム２２内に収納された洗浄品Ａに洗浄液を噴射する洗浄液装置２４が収納される。
【００３６】
洗浄脱水槽２１は、図２に示すように、上部が開口された有底の円筒形に形成されており、上部の開口部を外装ケース２の傾斜部６に設けられた開口７に臨ませ、外装ケース２の底面に対して傾斜した状態で、外装ケース２に固定される。外装ケース２の底面に対する洗浄脱水槽２１の傾斜角度は、外装ケース２の小型化と脱水効果のバランスとを考慮して４５°程度とすることが望ましいが、この角度に限定されるものではない。洗浄脱水槽２１の下部には、図１に示すように、後に説明する洗浄液タンクに連通する洗浄液戻し管２１ａが設けられる。
【００３７】
回転ドラム２２は、図１に示すように、所定の間隔を隔てて輪状に配列された複数の縦部材２２ａと、これら複数の縦部材２２ａを連結して一体化する複数の横部材２２ｂとをもって籠状に形成されている。
【００３８】
回転ドラム２２の底面中心部には回転軸２５が連結されており、当該回転軸２５は軸受２６に回転可能に支持されている。軸受２６及び回転ドラム駆動用モータ２３は、外装ケース２内に設置された支持部材２７に固定される。支持部材２７は、図１に示すように、外装ケース２に水平に設置される横支持部材２７ａと、洗浄脱水槽２１の底面と正対するように横支持部材２７ａから斜めに起立された傾斜支持部材２７ｂと、傾斜支持部材２７ｂの補強部材２７ｃから構成されており、軸受２６及び回転ドラム駆動用モータ２３は、傾斜支持部材２７ｂに所定の間隔を隔てて固定される。回転ドラム駆動用モータ２３の主軸には原動プーリ２８が取り付けられ、回転軸２５には従動プーリ２９が取り付けられていて、これらのプーリ２８、２９にはベルト３０が巻き掛けられている。従って、回転ドラム駆動用モータ２３を起動すると、その駆動力が原動プーリ２８、ベルト３０及び従動プーリ２９を経て回転軸２５に伝達され、回転ドラム２２が回転駆動される。なお、回転ドラム２２は、洗浄品Ａの洗浄時には５００ｒｐｍ程度の低速で回転駆動され、洗浄後の脱水時には、２５００ｒｐｍ程度の高速で回転駆動される。なお、洗浄時及び脱水時における回転ドラム２２の回転数は、前記の例に限定されるものではなく、適宜の値に設定可能である。
【００３９】
横支持部材２７ａは、図１に示すように、防振部材３１を介して外装ケース２に取り付けられる。図１の例では、防振部材３１としてワイヤロープ防振器が例示されているが、本発明の要旨はこれに限定されるものではなく、防振ゴムなどの他の公知に属する所要の部材を用いることができる。このように実施形態に係る洗浄脱水装置１は、支持部材２７と外装ケース２との間に防振部材３１を備えたので、回転ドラム２２を円滑に回転できて洗浄品Ａを均一に洗浄できる。また、外装ケース２の共振を抑制できるので、洗浄脱水装置１の寿命を延長できると共に、作業者の不安感や疲労感を軽減できる。
【００４０】
洗浄液装置２４は、図５に示すように、洗浄液タンク４１と、洗浄液タンク４１の汲み上げ口側に設置されたフィルタケース４２と、洗浄液タンク４１に貯えられた洗浄液を汲み上げる洗浄液ポンプ４３と、洗浄液タンク４１から汲み上げられた洗浄液にマイクロバブルを溶解するマイクロバブル溶解器４４と、マイクロバブル溶解器４４にエアを供給するエアコンプレッサ４５と、マイクロバブル溶解器４４によりマイクロバブルが溶解された洗浄液を回転ドラム２２内の洗浄物Ａに向けて噴射する洗浄液噴射ノズル４６とから構成される。
【００４１】
洗浄液タンク４１は、図１に示すように、外装ケース２の底部に設置される。洗浄液としては、界面活性剤及び防腐剤を添加した純水が好適に用いられる。純水に界面活性剤を添加すると、単なる純水を洗浄液として用いる場合に比べて、洗浄品の洗浄効果を高めることができる。また、純水に防腐剤を添加すると、腐敗しやすい純水の腐敗を抑制できて、洗浄液の寿命を延長できる。但し、本発明の要旨はこれに限定されるものではなく、無添加の純水や超純水、それに他の薬剤を添加した純水や超純水を用いることもできる。洗浄液タンク４１には、図４に示すように、液面計４７が付設されており、当該液面計４７の検出データは、図示しない制御盤を通じて後に説明する操作パネルの表示装置に表示される。
【００４２】
また、フィルタケース４２は、図２に示すように、保守点検用窓１１の内側に設置されており、作業者は開閉蓋９を跳ね上げることにより、保守点検用窓１１を通してフィルタケース４２内に収納された洗浄液フィルタの交換を行うことができる。洗浄液タンク４１の出口に洗浄液フィルタを備えると、洗浄液ポンプ４３を駆動する毎に、洗浄液タンクに貯えられた洗浄液を濾過できるので、洗浄液タンクに貯えられた洗浄液を繰り返し使用できて、洗浄品の洗浄作業を低コストに行うことができる。
【００４３】
洗浄液ポンプ４３、エアコンプレッサ４４及びマイクロバブル溶解器４５は、図１〜図３に示すように、それぞれ外装ケース２の所要の位置に配置される。さらに、洗浄液噴射ノズル４６は、図１及び図５に示すように、洗浄液噴射口４６ａを回転ドラム２２側に向けて、洗浄脱水槽２１の内面に取り付けられる。
【００４４】
操作パネル８は、制御盤室１２に収納された図示しない制御盤に洗浄脱水装置１の駆動条件を指令したり、制御盤が検出した洗浄脱水装置１の駆動状態を表示するもので、図２に示すように、洗浄脱水装置１をオンオフするパワースイッチ５１、洗浄脱水装置１の駆動状態を文字や画像で表示する表示装置５２、洗浄液噴射ノズル４６からの洗浄液の噴射強度を調整する噴射強度調整つまみ５３及び洗浄脱水装置１の駆動状態を光で表示する複数個の表示ランプ５４を備えている。表示ランプ５４は、図６に拡大して示すように、ＳＴＡＲＴ、ＷＯＲＫＦＬＯＷ、ＡＣＴＩＯＮ、ＷＡＴＥＲの各グループに分けて配置されており、洗浄脱水装置１の駆動状態を容易かつ確実に監視できるようになっている。
【００４５】
ＳＴＡＲＴグループには、ラッチ１７により外装ケース２に槽蓋３がロックされていることを表示するＬＯＣＫ  ＯＫランプ６１、マイクロバブル溶解器４４に気泡が発生していることを表示するＢＵＢＢＬＥ  ＯＫランプ６２、洗浄液タンク４１内に所定量の洗浄水が貯えられていることを表示するＷＡＴＥＲ  ＯＫランプ６３が備えられる。ＷＯＲＫＦＬＯＷグループには、洗浄中であることを示すＷＡＳＨランプ７１、脱水中であることを示すＤＲＹランプ７２、洗浄及び脱水が終了したことを表示するＦＩＮランプ７３が備えられる。ＡＣＴＩＯＮグループには、回転ドラム駆動用モータ２３が動作中であることを表示するＭＯＴＯＲランプ８１、マイクロバブル溶解器４４が動作中であることを表示するＢＵＢＢＬＥ／Ｓランプ８２、洗浄液ポンプ４３が動作中であることを表示するＰＵＭＰランプ８３、コンプレッサ４５が駆動中であることを表示するＡＩＲランプ８４が備えられる。ＷＡＴＥＲグループには、噴射強度が最強であることを表示するＭＡＸランプ９１、噴射強度が高レベルであることを表示するＨＩＧＨランプ９２、噴射強度が低レベルであることを表示するＬＯＷランプ９３、噴射強度が最小であることを表示するＭＩＮランプ９４を備えている。
【００４６】
次に、上述のように構成された洗浄脱水装置１の動作フローを、図７を参照しながら説明する。
【００４７】
回転ドラム２２内に洗浄品Ａを収納した後、槽蓋３を閉めて操作パネル８のパワースイッチ５１をオン操作する（Ｓ１）と、図示しない制御盤が記憶装置から処理フローを読み出し（Ｓ２）、図示しないラッチ１７がロックされているか、マイクロバブル溶解器４４が正常に動作しているか、洗浄液ポンプ４３が正常に動作しているかをチェックする。ラッチ１７がロックされている場合、マイクロバブル溶解器４４が正常に動作している場合、洗浄液ポンプ４３が正常に動作している場合は、それぞれ操作パネル８のＬＯＣＫ  ＯＫランプ６１、ＢＵＢＢＬＥ  ＯＫランプ６２及びＷＡＴＥＲ  ＯＫランプ６３が点灯する。これにより、作業者は洗浄脱水装置１が作業開始可能であることを知ることができる。上述の各ランプ６１、６２、６３が点灯したことを確認した後、作業者は噴射強度調整つまみ５３を操作して、洗浄品Ａに噴射する洗浄液の噴射強度を調整する。作業者は、ＭＡＸランプ９１、ＨＩＧＨランプ９２、ＬＯＷランプ９３及びＭＩＮランプ９４を目視することにより、洗浄液の噴射強度が目標通り調整されたか否かを確認できる。
【００４８】
しかる後に、制御盤が記憶装置から読み出した処理フローに従って洗浄品Ａの洗浄が実行される。即ち、回転ドラム２２が洗浄品Ａの洗浄に適した低回転で回転駆動されると共に、洗浄液ポンプ４３、マイクロバブル溶解器４４及びエアコンプレッサ４５が起動される（Ｓ３）。これらの各機器が起動されたことは、作業者がＭＯＴＯＲランプ８１、ＢＵＢＢＬＥ／Ｓランプ８２、ＰＵＭＰランプ８３、ＡＩＲランプ８４を目視することにより確認できる。また、洗浄処理中であることは、作業者がＷＡＳＨランプ７１を目視することにより確認できる。
【００４９】
これにより、マイクロバブル溶解器４４において洗浄液にマイクロバブルが溶解され、マイクロバブルが溶解された洗浄液が洗浄液噴射ノズル４６から洗浄品Ａに噴射される。実施形態に係る洗浄脱水装置は、回転する回転ドラム２２の外側から洗浄液を噴射するので洗浄品Ａの全面に洗浄液を噴射できること、及び、洗浄効果が高いマイクロバブルが溶解された洗浄液を洗浄品Ａに噴射することから、図８に示した複雑構造の板材収納枠１００についても、その全体を高能率に洗浄することができる。予め記憶装置に記憶された洗浄時間が経過すると（Ｓ４）、自動的に脱水工程に移行する。脱水工程に移行したことは、作業者がＤＲＹランプ７２を目視することにより確認できる。
【００５０】
脱水工程に移行すると、回転ドラム２２が洗浄品Ａの脱水に適した高回転で回転駆動されると共に、洗浄液ポンプ４３、マイクロバブル溶解器４４及びエアコンプレッサ４５が停止される（Ｓ５）。洗浄液ポンプ４３、マイクロバブル溶解器４４及びエアコンプレッサ４５が停止したことは、作業者がＢＵＢＢＬＥ／Ｓランプ８２、ＰＵＭＰランプ８３、ＡＩＲランプ８４を目視することにより確認できる。予め記憶装置に記憶された脱水時間が経過すると（Ｓ６）、回転ドラム２２を停止し、電源を遮断する（Ｓ７）。洗浄及び脱水が終了したことは、作業者がＦＩＮランプ７３を目視することにより確認できる。実施形態に係る洗浄脱水装置は、回転ドラム２２を外装ケース２の底面に対して傾斜したので、図８に示した複雑構造の板材収納枠１００についても、溝内に洗浄液が残ることがないので、高能率に脱水することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明は、プリント基板、液晶基板、ディスク状記録媒体及び半導体ウェハ等の板材を複数枚収納する板材収納枠の洗浄及び脱水に利用できる。
【符号の説明】
【００５２】
１    洗浄脱水装置
２    外装ケース
３    槽蓋
８    操作パネル
９    開閉蓋
１２    制御盤室
２１    洗浄脱水槽
２２    回転ドラム
２３    回転ドラム駆動用モータ
２４    洗浄液装置
２７    支持部材
４１    洗浄液タンク
４２    フィルタケース
４３    洗浄液ポンプ
４４    マイクロバブル溶解器
４５    エアコンプレッサ
４６    洗浄液噴射ノズル
５１    パワースイッチ
５２    表示装置
５３    噴射強度調整つまみ
５４    表示ランプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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