(57)【要約】【課題】シラノール化合物の除去性能に優れるケミカルフィルタを安定して製造することができるシラノール化合物除去用ケミカルフィルタの製造方法を提供する。【解決手段】本発明のシラノール化合物除去用ケミカルフィルタの製造方法は、吸着剤、水、及び接着剤を含有する吸着剤組成物を作製する工程と、前記吸着剤組成物を用いて前記吸着剤を造粒する工程又は前記吸着剤組成物を用いて前記吸着剤をフィルタ基材に付着させる工程とを含み、前記吸着剤が、純水と混合させて得られる水混合物（含有割合：５ｗｔ％）のｐＨが７以下であるゼオライトを含有し、前記ゼオライト以外の前記吸着剤組成物を作製する際に用いる成分の、ナトリウムイオン、マグネシウムイオン、カリウムイオン、カルシウムイオン、及びアンモニウムイオンのトータル陽イオン量が、前記ゼオライト１ｇあたり１５μｍｏｌ以下であることを特徴とする。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着剤、水、及び接着剤を含有する吸着剤組成物を作製する工程と、前記吸着剤組成物を用いて前記吸着剤を造粒する工程とを含み、前記吸着剤が、純水と混合させて得られる水混合物（含有割合：５ｗｔ％）のｐＨが７以下であるゼオライトを含有し、前記ゼオライト以外の前記吸着剤組成物を作製する際に用いる成分の、ナトリウムイオン、マグネシウムイオン、カリウムイオン、カルシウムイオン、及びアンモニウムイオンのトータル陽イオン量が、前記ゼオライト１ｇあたり１５μｍｏｌ以下であることを特徴とするシラノール化合物除去用ケミカルフィルタの製造方法。
【請求項２】
吸着剤、水、及び接着剤を含有する吸着剤組成物を作製する工程と、前記吸着剤組成物を用いて前記吸着剤をフィルタ基材に付着させる工程とを含み、前記吸着剤が、純水と混合させて得られる水混合物（含有割合：５ｗｔ％）のｐＨが７以下であるゼオライトを含有し、前記ゼオライト以外の前記吸着剤組成物を作製する際に用いる成分の、ナトリウムイオン、マグネシウムイオン、カリウムイオン、カルシウムイオン、及びアンモニウムイオンのトータル陽イオン量が、前記ゼオライト１ｇあたり１５μｍｏｌ以下であることを特徴とするシラノール化合物除去用ケミカルフィルタの製造方法。
【請求項３】
前記接着剤が無機系接着剤である請求項１又は２に記載のシラノール化合物除去用ケミカルフィルタの製造方法。
【請求項４】
純水と混合させて得られる水混合物（含有割合：５ｗｔ％）のｐＨが７以下であるゼオライトを含有する吸着剤、水、及び接着剤を含有し、前記ゼオライト以外の吸着剤組成物を作製する際に用いる成分の、ナトリウムイオン、マグネシウムイオン、カリウムイオン、カルシウムイオン、及びアンモニウムイオンのトータル陽イオン量が、前記ゼオライト１ｇあたり１５μｍｏｌ以下であることを特徴とする吸着剤組成物。
【請求項５】
前記接着剤が無機系接着剤である請求項４に記載の吸着剤組成物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シラノール化合物を流体中（特に、空気中）から除去するためのケミカルフィルタの製造方法に関する。また、本発明は、該ケミカルフィルタの製造に用いる吸着剤組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造プロセスの露光工程において、ヘキサメチルジシラザン（ＨＭＤＳ）のようなジシラザン化合物が、フォトレジスト密着剤として使用されることが知られている。ＨＭＤＳは、例えばガスとしてウエハ表面に吹き付けられることにより、ウエハ表面の水酸基をトリメチルシラノール基に置換させることで、ウエハ表面を疎水化させて、ウエハ表面のレジスト剤との密着性を向上させている。しかし、ＨＭＤＳは加水分解して低分子量物のトリメチルシラノール（ＴＭＳ）となり、露光装置内にガス状で浮遊することがある。浮遊したＴＭＳは、露光機装置等で使用されるエキシマレーザー等の短波長の光のエネルギーを受けて分解され、その分解されたものがレンズ等の表面に結合してレンズ曇りの原因となり、露光障害等を引き起こすおそれがある。
【０００３】
露光工程が行われる露光装置のチャンバ内部には、通常、活性炭等の吸着剤を有するケミカルフィルタを通過した空気が供給される。ＴＭＳ等のガス状不純物は、ケミカルフィルタによって除去されることにより、チャンバ内部は一定の清浄度に保持され、露光障害等が防止されるのが一般的である（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
このようなケミカルフィルタでは、吸着剤は、フィルタ基材に付着（固着）した状態で含まれているか、又は、吸着剤を造粒して得られたペレットの状態で含まれていることがが多い。
【０００５】
ケミカルフィルタの製造において、吸着剤をフィルタ基材に付着する方法としては、フィルタ基材を、吸着剤及び接着剤を含有する懸濁液に浸漬した後乾燥させることによって付着させる方法が一般的である（例えば、特許文献２、３参照）。また、ペレットを製造する方法としては、吸着剤と接着剤の混合物を造粒する方法が一般的である（例えば、特許文献４参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−１８１９６８号公報
【特許文献２】特開平１１−１９４３６号公報
【特許文献３】特開２００２−３３６６３２号公報
【特許文献４】国際公開第２００５／１１３４３５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ＴＭＳは、低分子量で揮発性の物質であり、一般的なケミカルフィルタの吸着剤である活性炭等では吸着し難くまた吸着してもすぐに脱離（脱着）してしまうため、効率的に除去することは難しい。したがって、従来、ＴＭＳを必要量除去するために、ケミカルフィルタを厚くしたり若しくは大容量化したり等、活性炭を多量に使用する必要があった。
【０００８】
そこで、本発明者らは、鋭意検討した結果、ケミカルフィルタの吸着剤として、純水との水混合物のｐＨが７以下である無機シリカ系多孔質材料を用いると、流体中のＴＭＳ等のシラノール化合物を極めて効率よく除去できることを見出している。この吸着剤を用いたケミカルフィルタによれば、シラノール化合物を強固に吸着し、また一旦吸着したシラノール化合物が再度脱離しないため、活性炭と比較して除去効果が長時間持続する、即ち、除去性能は短時間で低下することはなく、活性炭のようにシラノール化合物を放出してマイナス効果（フィルタ上流よりも下流側の方が高濃度となる現象）になることがない。
【０００９】
しかしながら、このようなケミカルフィルタの中でも、上記無機シリカ系多孔質材料としてゼオライトを用いたものは、吸着剤として活性炭を用いたケミカルフィルタに比べてシラノール化合物の除去性能が優れはするが、除去性能が変動することがあり、安定してシラノール化合物の除去性能に優れるケミカルフィルタを製造できないことがあった。
【００１０】
従って、本発明の目的は、シラノール化合物の除去性能に優れるケミカルフィルタを安定して製造することができるシラノール化合物除去用ケミカルフィルタの製造方法を提供することにある。
本発明の他の目的は、シラノール化合物の除去性能に優れるケミカルフィルタを安定して製造することができる吸着剤組成物を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者らは、上記目的を達成するため鋭意検討した結果、純水との水混合物のｐＨが７以下であるゼオライトを吸着剤として用いる際は、吸着剤を付着させる工程、あるいは吸着剤を造粒してペレットを作製する工程において、特定の吸着剤組成物を用いることにより、シラノール化合物の除去性能に優れるケミカルフィルタを安定して製造することができることを見出し、本発明を完成した。
【００１２】
すなわち、本発明は、吸着剤、水、及び接着剤を含有する吸着剤組成物を作製する工程と、前記吸着剤組成物を用いて前記吸着剤を造粒する工程とを含み、前記吸着剤が、純水と混合させて得られる水混合物（含有割合：５ｗｔ％）のｐＨが７以下であるゼオライトを含有し、前記ゼオライト以外の前記吸着剤組成物を作製する際に用いる成分の、ナトリウムイオン、マグネシウムイオン、カリウムイオン、カルシウムイオン、及びアンモニウムイオンのトータル陽イオン量が、前記ゼオライト１ｇあたり１５μｍｏｌ以下であることを特徴とする、第一のシラノール化合物除去用ケミカルフィルタの製造方法を提供する。
【００１３】
また、本発明は、吸着剤、水、及び接着剤を含有する吸着剤組成物を作製する工程と、前記吸着剤組成物を用いて前記吸着剤をフィルタ基材に付着させる工程とを含み、前記吸着剤が、純水と混合させて得られる水混合物（含有割合：５ｗｔ％）のｐＨが７以下であるゼオライトを含有し、前記ゼオライト以外の前記吸着剤組成物を作製する際に用いる成分の、ナトリウムイオン、マグネシウムイオン、カリウムイオン、カルシウムイオン、及びアンモニウムイオンのトータル陽イオン量が、前記ゼオライト１ｇあたり１５μｍｏｌ以下であることを特徴とする、第二のシラノール化合物除去用ケミカルフィルタの製造方法を提供する。
【００１４】
前記接着剤は、無機系接着剤であってもよい。
【００１５】
さらに、本発明は、純水と混合させて得られる水混合物（含有割合：５ｗｔ％）のｐＨが７以下であるゼオライトを含有する吸着剤、水、及び接着剤を含有し、前記ゼオライト以外の吸着剤組成物を作製する際に用いる成分の、ナトリウムイオン、マグネシウムイオン、カリウムイオン、カルシウムイオン、及びアンモニウムイオンのトータル陽イオン量が、前記ゼオライト１ｇあたり１５μｍｏｌ以下であることを特徴とする吸着剤組成物を提供する。
【００１６】
前記接着剤は、無機系接着剤であってもよい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明のケミカルフィルタの製造方法によれば、シラノール化合物の除去性能に優れるケミカルフィルタを安定して製造することができる。このため、製造されたケミカルフィルタは、安定してシラノール化合物の除去性能に優れる。また、ケミカルフィルタの製造において本発明の吸着剤組成物を用いることにより、シラノール化合物の除去性能に優れるケミカルフィルタを安定して製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】実施例で用いた通気試験装置の概略図である。
【図２】実施例で用いた通気試験装置の部分概略断面図である。
【図３】実施例１の通気試験結果を示すグラフ（トータル陽イオン量と除去効率の関係）である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明の第一のシラノール化合物除去用ケミカルフィルタの製造方法は、吸着剤、水、及び接着剤を含有する吸着剤組成物を作製する工程と、前記吸着剤組成物を用いて前記吸着剤を造粒する工程とを含み、前記吸着剤が、純水と混合させて得られる水混合物（含有割合：５ｗｔ％）のｐＨが７以下であるゼオライトを含有し、前記ゼオライト以外の前記吸着剤組成物を作製する際に用いる成分の、ナトリウムイオン、マグネシウムイオン、カリウムイオン、カルシウムイオン、及びアンモニウムイオンのトータル陽イオン量が、前記ゼオライト１ｇあたり１５μｍｏｌ以下であることを特徴とするシラノール化合物除去用ケミカルフィルタの製造方法である。
【００２０】
本発明の第二のシラノール化合物除去用ケミカルフィルタの製造方法は、吸着剤、水、及び接着剤を含有する吸着剤組成物を作製する工程と、前記吸着剤組成物を用いて前記吸着剤をフィルタ基材に付着させる工程とを含み、前記吸着剤が、純水と混合させて得られる水混合物（含有割合：５ｗｔ％）のｐＨが７以下であるゼオライトを含有し、前記ゼオライト以外の前記吸着剤組成物を作製する際に用いる成分の、ナトリウムイオン、マグネシウムイオン、カリウムイオン、カルシウムイオン、及びアンモニウムイオンのトータル陽イオン量が、前記ゼオライト１ｇあたり１５μｍｏｌ以下であることを特徴とするシラノール化合物除去用ケミカルフィルタの製造方法である。
【００２１】
本明細書では、「本発明の第一のシラノール化合物除去用ケミカルフィルタの製造方法」を、「本発明の第一の製造方法」と称する場合がある。また、「本発明の第二のシラノール化合物除去用ケミカルフィルタの製造方法」を、「本発明の第二の製造方法」と称する場合がある。また、「本発明の第一のシラノール化合物除去用ケミカルフィルタの製造方法」、及び「本発明の第二のシラノール化合物除去用ケミカルフィルタの製造方法」を総称して、「本発明の製造方法」と称する場合がある。
【００２２】
また、本明細書では、「純水と混合させて得られる水混合物（含有割合：５ｗｔ％）のｐＨが７以下であるゼオライト」を含有する吸着剤を、「本発明の吸着剤」と称する場合がある。また、「水混合物のｐＨ」は、特に断りのない限り、「水混合物（含有割合：５ｗｔ％）のｐＨ」を言うものとする。
【００２３】
［本発明の製造方法］
本発明の第一の製造方法は、吸着剤、水、及び接着剤を含有する吸着剤組成物を作製する工程（「工程Ａ」と称する場合がある）と、上記吸着剤組成物を用いて上記吸着剤を造粒する工程（「工程Ｂ」と称する場合がある）とを含む。本発明の第一の製造方法は、工程Ａ及び工程Ｂ以外の工程を含んでいてもよい。
【００２４】
本発明の第二の製造方法は、上記工程Ａと、上記吸着剤組成物を用いて上記吸着剤をフィルタ基材に付着させる工程（「工程Ｃ」と称する場合がある）とを含む。本発明の第二の製造方法は、工程Ａ及び工程Ｃ以外の工程を含んでいてもよい。
【００２５】
（工程Ａ）
工程Ａは、吸着剤、水、及び接着剤を含有する吸着剤組成物を作製する工程である。工程Ａにおいて用いられる上記吸着剤は、純水と混合させて得られる水混合物（含有割合：５ｗｔ％）のｐＨが７以下のゼオライトを少なくとも含有する。なお、本明細書において、工程Ａにおいて作製される吸着剤組成物を、「本発明の吸着剤組成物」と称する場合がある。即ち、本発明の吸着剤組成物は、純水と混合させて得られる水混合物（含有割合：５ｗｔ％）のｐＨが７以下であるゼオライトを含有する吸着剤、水、及び接着剤を含有し、前記ゼオライト（即ち、水混合物のｐＨが７以下であるゼオライト）以外の吸着剤組成物を作製する際に用いる成分の、ナトリウムイオン、マグネシウムイオン、カリウムイオン、カルシウムイオン、及びアンモニウムイオンのトータル陽イオン量が、前記ゼオライト１ｇあたり１５μｍｏｌ以下である吸着剤組成物である。なお、本明細書において、「吸着剤組成物を作製する際に用いる成分」を、「吸着剤組成物成分」と称する場合がある。また、「ナトリウムイオン、マグネシウムイオン、カリウムイオン、カルシウムイオン、及びアンモニウムイオン」を総称して、「特定陽イオン」と称する場合がある。
【００２６】
工程Ａにおいて用いられるゼオライトは、純水と混合させて得られる水混合物（含有割合：５ｗｔ％）のｐＨが７以下（例えば、３〜７）であり、好ましくは７未満（例えば、３以上７未満）、より好ましくは３〜６．８、さらに好ましくは３．５〜６．７、特に好ましくは４〜６．５である。上記ｐＨが７以下であることにより、本発明の製造方法により製造されたケミカルフィルタは、シラノール化合物を高効率で除去することができる。これは、ゼオライトの水混合物のｐＨが７以下であることにより、ゼオライト中にシラノール基が十分に存在し、このシラノール基が流体中のシラノール化合物の除去に密接に関連していることによるものと推測される。
【００２７】
本明細書において、純水と混合させて得られる水混合物（含有割合：５ｗｔ％）のｐＨとは、水混合物全体に対して、当該水混合物中に混合させる物質（対象物質）の含有割合が５ｗｔ％である条件で測定したときのｐＨをいう。例えば、ゼオライトの、純水と混合させて得られる水混合物（含有割合：５ｗｔ％）のｐＨは、ゼオライトの含有割合が５ｗｔ％である条件で測定したときのｐＨである。上記水混合物のｐＨは、例えば、ｐＨ測定器を用いて測定することができる。なお、ゼオライトに添着剤等を添着したものを本発明の吸着剤として用いる場合、上記「純水と混合させて得られる水混合物（含有割合：５ｗｔ％）のｐＨ」は、添着剤等を添着する前の状態（即ち、添着剤等を添着していない状態）のゼオライトの、純水と混合させて得られる水混合物（含有割合：５ｗｔ％）のｐＨを言うものとする。
【００２８】
本明細書において、水混合物（含有割合：５ｗｔ％）は、例えば、以下の「水混合物（含有割合：５ｗｔ％）の作製方法」によって作製することができる。
【００２９】
水混合物（含有割合：５ｗｔ％）の作製方法
上記水混合物（含有割合：５ｗｔ％）は、例えば、含有割合が５ｗｔ％となるように、水混合物のｐＨの測定の対象とするサンプル（「対象サンプル」と称する場合がある）を純水に混合し、十分に撹拌したのち静置して作製することができる。上記水混合物の作製には純水を使用するが、有機溶媒と純水との混合溶媒を使用してもよい。ただし、有機溶媒を使用する場合、有機溶媒の種類や濃度によっては酸解離定数が大きく変動するため、一般的に、アルコール等の水溶性の有機溶媒であって、ｐＨに大きな影響を与えない範囲の濃度とする。なお、上記「ｗｔ％」は、「重量％」と同一の意味である。含有割合が５ｗｔ％である水混合物を作製するには、具体的には、例えば、対象サンプルを、秤等を用いて５ｇ計り取り、さらに純水を加え、全体を１００ｇとし、液を十分に撹拌することで作製することができる。例えば、ゼオライトの水混合物（含有割合：５ｗｔ％）は、ゼオライトを上記対象サンプルとして作製することができる。
【００３０】
上記ゼオライトは、主にケイ素元素（Ｓｉ）、アルミニウム元素（Ａｌ）、及び酸素元素（Ｏ）から構成される骨格を有する多孔質材料であるが、当該骨格中の一部又は全部のアルミニウム元素（Ａｌ）を、鉄元素（Ｆｅ）、ホウ素元素（Ｂ）、ガリウム元素（Ｇａ）等の３価の金属元素；亜鉛元素（Ｚｎ）等の２価の金属元素に置き換えたものであってもよい。
【００３１】
上記ゼオライトは、天然ゼオライトであってもよいし、合成ゼオライトであってもよい。なお、上記合成ゼオライトには、人工ゼオライトが含まれるものとする。中でも、合成ゼオライトが好ましい。
【００３２】
上記ゼオライトの細孔構造は、特に限定されない。ゼオライトの員環数は、特に限定されないが、例えば４〜２０、好ましくは８〜２０、より好ましくは８〜１２である。なお、ゼオライトの員環数は、一般的に細孔環構造中のＯ原子数で表す。また、ゼオライトの細孔接続（channel system）は、特に限定されないが、１〜３次元が好ましく、より好ましくは３次元である。特に、員環数が１２であり、細孔接続が３次元である細孔構造を有するゼオライト（特に、合成ゼオライト）が好ましい。
【００３３】
上記合成ゼオライトとしては、特に限定されないが、例えば、Ａ型、フェリエライト、ＭＣＭ−２２、ＺＳＭ−５、ＺＳＭ−１１、ＳＡＰＯ−１１、モルデナイト、ベータ型、Ｘ型、Ｙ型、Ｌ型、チャバザイト、オフレタイト等の骨格構造を有する合成ゼオライト等が挙げられる。なお、上記合成ゼオライトは、１種の骨格構造のゼオライトを使用してもよいし、２種以上のゼオライトを組み合わせて使用してもよい。
【００３４】
上記人工ゼオライトとしては、例えば、一般に、石炭火力発電所から排出される石炭灰や製紙工場から排出される製紙スラッジ焼却灰等、ケイ素やアルミニウムを含む廃棄物から製造されたゼオライト等が挙げられる。上記人工ゼオライトは、１種のみを使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００３５】
上記天然ゼオライトとしては、特に限定されないが、例えば、クリノプチロライト（斜プチロル沸石）、モルデナイト（モルデン沸石）、菱沸石、ナトロライト、ゴンナルダイト、エディングトナイト、アナルシム、リューサイト、ユガワラライト、ギスモンダイン、ポーリンジャイト、フィリップサイト、チャバザイト、エリオナイト、ホージャサイト、フェリエライト、ミューティナアイト、チェルニヒアイト、ヒューランダイト、スティルバイト、コウレサイト、アルミノケイ酸塩、ベリロケイ酸塩（ロギアナイト、シャンハライト等）、ジンコケイ酸塩（ガウルタイト）等が挙げられる。上記天然ゼオライトは、１種のみを使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００３６】
上記ゼオライトは、特に限定されないが、骨格構造中に陽イオンを含んでいてもよい。上記陽イオンとしては、特に限定されないが、例えば、水素イオン（Ｈ+）；アンモニウムイオン（ＮＨ4+）；アルキル置換のアンモニウムイオン（例えば、メチルアンモニウムイオン（（ＣＨ3）Ｈ3Ｎ+）、ジメチルアンモニウムイオン（（ＣＨ3）2Ｈ2Ｎ+）、トリメチルアンモニウムイオン（（ＣＨ3）3ＨＮ+）、テトラメチルアンモニウムイオン（（ＣＨ3）4Ｎ+）等）；アリール又はアラルキル置換のアンモニウムイオン；リチウムイオン（Ｌｉ+）、ナトリウムイオン（Ｎａ+）、カリウムイオン（Ｋ+）等のアルカリ金属イオン；マグネシウムイオン（Ｍｇ2+）、カルシウムイオン（Ｃａ2+）、バリウムイオン（Ｂａ2+）等のアルカリ土類金属イオン；亜鉛イオン（Ｚｎ2+）、スズイオン（Ｓｎ2+、Ｓｎ4+）、鉄イオン（Ｆｅ2+、Ｆｅ3+）、白金イオン（Ｐｔ2+）、パラジウムイオン（Ｐｄ2+）、チタンイオン（Ｔｉ3+）、銀イオン（Ａｇ+）、銅イオン（Ｃｕ+、Ｃｕ2+）、マンガンイオン（Ｍｎ2+、Ｍｎ4+）、コバルトイオン（Ｃｏ2+）等の遷移金属イオン；ガリウムイオン（Ｇａ+）等が挙げられる。上記陽イオンは１種のみ含まれていてもよいし、２種以上含まれていてもよい。上記ゼオライト中の上記陽イオンの含有量は特に限定されない。特にプロトン型ゼオライトと呼ばれる、骨格構造中に含まれている陽イオンとして水素イオン（Ｈ+）の含有率が多いゼオライトが好ましい。
【００３７】
上記ゼオライトとして、天然ゼオライト又は合成ゼオライトを酸処理して得られる酸処理物、天然ゼオライト又は合成ゼオライトを水熱処理して得られる水熱処理物、アンモニウム型ゼオライトを焼成処理して得られるアンモニウム処理物、プロトン型ゼオライトを用いてもよい。
【００３８】
上記酸処理物及び上記水熱処理物は、酸処理における酸又は水熱処理における加熱水蒸気によってゼオライト中の陽イオンとアルミニウム元素が脱離することによってゼオライト中のシラノール基が増加するためと推測されるが、水混合物のｐＨが７以下となり、シラノール化合物の除去効率が高くなる。
【００３９】
上記プロトン型ゼオライトとしては、例えば、天然ゼオライトや合成ゼオライト中の水素イオン以外の全陽イオン（例えば、金属イオン、アンモニウムイオン等）のうちの少なくとも一部の陽イオンを水素イオンに置き換えたもの、水素イオンを多く含むように作製された合成ゼオライト等が挙げられる。また、上記プロトン型ゼオライトは、例えば、天然ゼオライト又は合成ゼオライト中のナトリウムイオン等の陽イオンをアンモニウムイオンにイオン交換した後、焼成する方法等を用いて作製することもできる。なお、一般的には、ゼオライト中の陽イオンを水素イオンに置き換えられたものをプロトン型ゼオライトと称されており、上記プロトン型ゼオライトは、ゼオライト中の少なくとも一部の陽イオンが水素イオンに置き換えられていればよく、ゼオライト中の全ての陽イオンが水素イオンに置き換えられているものには限定されない。
【００４０】
上記ゼオライトは、特に限定されないが、比表面積（ＢＥＴ比表面積）が１０ｍ2／ｇ以上（例えば、１０〜８００ｍ2／ｇ）であってもよく、好ましくは５０ｍ2／ｇ以上（例えば、５０〜７５０ｍ2／ｇ）、より好ましくは１００ｍ2／ｇ以上（例えば、１００〜７００ｍ2／ｇ）である。
【００４１】
上記ゼオライトは、特に限定されないが、例えば、ゼオライトの総重量（１００重量％）に対するＳｉＯ2の含有量が５重量％以上（例えば、５〜１００重量％）であってもよく、好ましくは１０重量％以上、より好ましくは２０重量％以上、さらに好ましくは５０重量％以上である。
【００４２】
上記合成ゼオライトにおけるＳｉＯ2とＡｌ2Ｏ3の比（モル比）［ＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3］は、特に限定されないが、シラノール化合物の除去効率の観点から、４〜２０００であってもよく、好ましくは１０〜１５００、より好ましくは１５〜１０００、さらに好ましくは１００〜５００である。上記［ＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3］は、ゼオライトの親水性或いは疎水性を示す指標と考えられる。［ＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3］が高い（即ち、シリカ比が高くアルミナ比が低い）と、疎水性が高くなる傾向がある。一方、［ＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3］が低い（即ち、シリカ比が低くアルミナ比が高い）と、親水性が高くなる傾向がある。親水性が高すぎる（即ち、疎水性が低すぎる）と、骨格表面が水分子で覆われ、疎水性のシラノール化合物が吸着サイト（吸着する場所）へ近づきにくくなる。親水性が低すぎる（即ち、疎水性が高すぎる）と、ゼオライト中の酸点が少なくなり、シラノール化合物の除去効率が低下する傾向がある。このため、例えば、［ＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3］を上記範囲内とすることにより、ゼオライトの親水性或いは疎水性を適宜調節でき、シラノール化合物の除去効率がより優れるようにすることができる。
【００４３】
なお、上記ゼオライトの平均粒子径（平均粒径）、平均細孔径（直径）、全細孔容積等は特に限定されない。また、上記ゼオライトは、１種のみを用いてもよいし、２種以上を用いてもよい。
【００４４】
本発明の吸着剤は、ゼオライト以外の無機シリカ系多孔質材料（「その他の無機シリカ系多孔質材料」と称する場合がある）を含んでいてもよい。中でも、水混合物のｐＨが７以下であるその他の無機シリカ系多孔質材料は、水混合物のｐＨが７以下であるゼオライトと同程度にシラノール化合物の除去効率に優れる傾向があるため、好ましく用いることができる。
【００４５】
上記その他の無機シリカ系多孔質材料としては、例えば、シリカゲル、シリカアルミナ、ケイ酸アルミニウム、多孔質ガラス、珪藻土、含水ケイ酸マグネシウム質粘土鉱物（例えば、タルク）、アロフェン、イモゴライト、酸性白土、活性白土、活性ベントナイト、メソポーラスシリカ、アルミノケイ酸塩、ヒュームドシリカ等が挙げられる。上記無機シリカ系多孔質材料は、１種のみを使用してもよいし、２種以上を使用してもよい。
【００４６】
上記酸性白土としては、特に限定されず、各地で産出される酸性白土を用いることができる。例えば、新潟県産の酸性白土、山形県産の酸性白土等が挙げられる。上記酸性白土は、１種のみを用いてもよいし、２種以上を用いてもよい。
【００４７】
上記活性白土は、上記酸性白土を酸処理することによって得られ、例えば、上記酸性白土を硫酸等の鉱酸でモンモリロナイトの基本構造の全部を破壊しない程度に酸処理することにより、ＭｇやＦｅの酸化物等の金属酸化物が溶出し、比表面積や細孔容積を増大させたもの等が挙げられる。上記活性白土は、１種のみを用いてもよいし、２種以上を用いてもよい。
【００４８】
上記珪藻土としては、特に限定されず、各地で産出される珪藻土を用いることができる。例えば、北海道稚内産の珪藻土（珪藻頁岩）、秋田県綴子産の珪藻土、岡山県蒜山産の珪藻土、大分県九重産の珪藻土、石川県能登産の珪藻土（珪藻泥岩）等のいずれの珪藻土であってもよい。上記珪藻土は、１種のみを用いてもよいし、２種以上を用いてもよい。
【００４９】
上記その他の無機シリカ系多孔質材料は、特に限定されないが、純水に混合させて得られる水混合物（含有割合：５ｗｔ％）のｐＨが７以下（例えば、３〜７）であることが好ましく、より好ましくは７未満（例えば、３以上７未満）、さらに好ましくは３〜６．５、さらに好ましくは３．５〜６．３、特に好ましくは４〜６である。なお、その他の無機シリカ系多孔質材料の水混合物（含有割合：５ｗｔ％）は、上記「水混合物（含有割合：５ｗｔ％）の作製方法」により、その他の無機シリカ系多孔質材料を対象サンプルとして作製することができる。
【００５０】
上記その他の無機シリカ系多孔質材料において、ＳｉＯ2の含有量は、特に限定されないが、無機シリカ系多孔質材料の総重量（１００重量％）に対して、５０重量％以上（例えば、５０〜１００重量％）であってもよく、好ましくは６０重量％以上、より好ましくは７０重量％以上である。
【００５１】
上記無機シリカ系多孔質材料（ゼオライトを含む）は、特に限定されないが、添着剤等が添着されていないことが好ましい。即ち、上記無機シリカ系多孔質材料には、添着剤等が添着された無機シリカ系多孔質材料が除かれることが好ましい。上記添着剤としては、酸性物質の添着剤や塩基性物質の添着剤等が挙げられる。酸性物質の添着剤を添着すると、上記無機シリカ系多孔質材料の骨格が変化するおそれがある。
【００５２】
本発明の吸着剤は、特に限定されないが、必要に応じて、上記水混合物のｐＨが７以下である無機シリカ系多孔質材料以外の吸着剤（その他の吸着剤）を含んでいてもよい。即ち、本発明の吸着剤として、上記水混合物のｐＨが７以下である無機シリカ系多孔質材料とともに、その他の吸着剤を用いてもよい。上記その他の吸着剤としては、例えば、上記水混合物のｐＨが７以下である無機シリカ系多孔質材料以外の多孔質材料、その他のシリカ、粘土鉱物、活性炭、アルミナ、ガラス等が挙げられる。吸着剤として上記その他の吸着剤を併用することで、シラノール化合物を高効率で除去できるという効果に加えて、その他の吸着剤の効果を有するケミカルフィルタとすることもできる。
【００５３】
本発明の吸着剤中（全吸着剤中）の、水混合物のｐＨが７以下であるゼオライトの含有量は、特に限定されないが、シラノール化合物の除去効率の観点から、吸着剤の総重量（１００重量％）に対して、１０重量％以上（例えば、１０〜１００重量％）が好ましく、より好ましくは５０重量％以上、さらに好ましくは７０重量％以上である。
【００５４】
本発明の吸着剤中（全吸着剤中）の、水混合物のｐＨが７以下である無機シリカ系多孔質材料の含有量は、特に限定されないが、シラノール化合物の除去効率の観点から、吸着剤の総重量（１００重量％）に対して、１０重量％以上（例えば、１０〜１００重量％）が好ましく、より好ましくは３０重量％以上、さらに好ましくは５０重量％以上、特に好ましくは７０重量％以上である。
【００５５】
工程Ａにおいて、水混合物のｐＨが７以下のゼオライトを除く吸着剤組成物成分の、特定陽イオン（即ち、ナトリウムイオン、マグネシウムイオン、カリウムイオン、カルシウムイオン、及びアンモニウムイオン）のトータル陽イオン量は、上記ゼオライト（即ち、水混合物のｐＨが７以下であるゼオライト）１ｇあたり、１５μｍｏｌ以下であり、好ましくは１０μｍｏｌ以下、より好ましくは７μｍｏｌ以下、さらに好ましくは４μｍｏｌ以下である。これにより、吸着剤組成物において、ｐＨが７以下であるゼオライト中の水素イオンが特定陽イオンにイオン交換されにくく、ゼオライトの水混合物のｐＨを低く維持することができる。特に、接着剤と水の、特定陽イオンのトータル陽イオン量が上記範囲であることが好ましい。なお、上記トータル陽イオン量は低いほど好ましく、下限は特に限定されない。上記トータル陽イオン量は、例えば、イオンクロマトグラフ法により測定することができる。
【００５６】
また、水混合物のｐＨが７以下のゼオライトを除く吸着剤組成物成分の、アルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオン、及びアンモニウムイオンのトータル陽イオン量が１５μｍｏｌ以下であることが好ましく、より好ましくは１０μｍｏｌ以下、さらに好ましくは８μｍｏｌ以下、特に好ましくは４μｍｏｌ以下であることが好ましい。また、水混合物のｐＨが７以下のゼオライトを除く吸着剤組成物成分の、ナトリウムイオン、マグネシウムイオン、カリウムイオン、カルシウムイオン、アンモニウムイオンのトータル陽イオン量が上記範囲であることが好ましい。さらに、ゼオライト中の水素イオンがイオン交換され得る陽イオンのトータル陽イオン量が上記範囲であることがさらに好ましく、水素イオン以外の陽イオンのトータル陽イオン量が上記範囲であることが特に好ましい。
【００５７】
工程Ａでは、吸着剤、水、及び接着剤を用いて吸着剤組成物を作製する。なお、接着剤として水を含有する接着剤（例えば、後述のコロイド状の無機酸化物粒子等）を用いる場合は、別途水を用いてもよいし、用いなくてもよい。
【００５８】
工程Ａで用いる水としては、本発明の効果を損なわない範囲であれば特に限定されず、公知乃至慣用の水（例えば、水道水、イオン交換水、純水、蒸留水、天然水）等を用いることができる。中でも、水混合物のｐＨが７以下であるゼオライトを除く吸着剤組成物成分の特定陽イオンのトータル陽イオン量を低く維持する観点から、特定陽イオンのトータル陽イオン量が３．０μｍｏｌ／ｍｌ以下（好ましくは１．５μｍｏｌ／ｍｌ以下、より好ましくは０．５μｍｏｌ／ｍｌ以下、さらに好ましくは０．１μｍｏｌ／ｍｌ以下）である水が好ましい。工程Ａで用いる水としては、特に純水が好ましい。
【００５９】
工程Ａで用いる接着剤（「バインダ」と称する場合もある）としては、特に限定されず、公知乃至慣用のフィルタ用（例えば、エアフィルタ用、ケミカルフィルタ用等）の接着剤を用いることができる。上記接着剤は、工程Ｂにおいて吸着剤のフィルタ基材への付着を促進させる役割や、工程Ｃにおいて吸着剤を造粒する役割を有する。上記接着剤としては、有機系接着剤であってもよいし、無機系接着剤であってもよい。上記接着剤は、特に限定されないが、無機系接着剤であることが好ましい。上記接着剤は、１種のみを使用してもよいし、２種以上を使用してもよい。
【００６０】
上記接着剤は、酸性であってもよいし、塩基性であってもよいが、酸性であることが好ましい。上記接着剤が酸性であると、シラノール化合物の除去効率がより上昇することがある。酸性の接着剤は、純水に混合させて得られる水混合物（含有割合：５ｗｔ％）のｐＨが７以下（例えば、３〜７）であり、好ましくは７未満（例えば、３以上７未満）、より好ましくは３〜６．８、さらに好ましくは３．５〜６．７、特に好ましくは４〜６．５である。なお、接着剤の水混合物（含有割合：５ｗｔ％）は、上記「水混合物（含有割合：５ｗｔ％）の作製方法」により、接着剤を対象サンプルとして作製することができる。なお、上記接着剤がコロイダルシリカ等溶媒を含む接着剤である場合、上記含有割合は、上記水混合物に対する、上記接着剤中の固形分の含有割合である。
【００６１】
上記有機系接着剤としては、例えば、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、メタクリル酸メチル等のアクリル系樹脂、ＡＢＳ樹脂、ＰＥＴ等のポリエステル系樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、酢酸ビニル系樹脂、ポリビニルアルコール、カルボキシメチルセルロース等のセルロース、アラビヤゴム等が挙げられる。上記有機系接着剤は、１種のみを使用してもよいし、２種以上を使用してもよい。
【００６２】
上記無機系接着剤としては、ゼオライトの表面を完全に覆わない粒子状のものが好ましく、例えば、ケイ酸ソーダ、シリカゾル、アルミナゾル、コロイダルシリカ、コロイダルアルミナ、コロイド状酸化スズ、コロイド状酸化チタン等の無機酸化物粒子等が挙げられ、中でも、コロイダルシリカ、コロイダルアルミナ、コロイド状酸化スズ、コロイド状酸化チタン等のコロイド状の無機酸化物粒子等が好ましく挙げられる。中でも、コロイダルシリカが好ましい。上記無機系接着剤は、１種のみを使用してもよいし、２種以上を使用してもよい。
【００６３】
上記無機系接着剤の平均粒子径（一次粒子径）、比表面積（ＢＥＴ比表面積）、平均細孔径（直径）、全細孔容積等は、特に限定されない。
【００６４】
上記接着剤は、水混合物のｐＨが７以下であるゼオライトを除く吸着剤組成物成分の特定陽イオンのトータル陽イオン量を低く維持する観点から、特定陽イオンのトータル陽イオン量が１５μｍｏｌ以下（好ましくは１０μｍｏｌ以下、より好ましくは８μｍｏｌ以下、さらに好ましくは４μｍｏｌ以下）であることが好ましい。特に、上記コロイド状の無機酸化物粒子はそれ自体が水を含む場合があるため、接着剤中の特定陽イオンのトータル陽イオン量を上記範囲とすることが好ましい。
【００６５】
工程Ａで作製された吸着剤組成物は、本発明の吸着剤、水、及び接着剤以外の成分（添加剤）を含有していてもよい。上記添加剤としては、例えば、セルロース等の繊維、樹脂、造孔材等のセラミックス原料、沈降防止剤、凝集剤、分散剤、強化材、有機溶媒、充填剤、発泡剤、界面活性剤、細孔形成剤等が挙げられる。上記添加剤は、１種のみ含有されていてもよいし、２種以上含有されていてもよい。
【００６６】
工程Ａでは、本発明の吸着剤、水、及び接着剤を少なくとも含有する吸着剤組成物が作製される。上記吸着剤組成物は、本発明の吸着剤、水、接着剤、及び必要に応じて上記添加剤を、公知乃至慣用の混合方法で混合して得られる。工程Ａにおいて、接着剤と水を先に混合する必要は無く、混合する順序は特に限定されない。
【００６７】
本発明の第一の製造方法に用いる本発明の吸着剤組成物において、上記吸着剤組成物中の本発明の吸着剤の含有量は、特に限定されないが、本発明の吸着剤組成物の固形分の総重量（１００重量％）に対して、１〜８０重量％が好ましく、より好ましくは４０〜８０重量％である。上記含有量が１重量％以上（特に、４０重量％以上）であると、ペレット中の本発明の吸着剤の含有量が十分となり、製造されたケミカルフィルタのシラノール化合物の除去性能が向上する傾向がある。上記含有量が８０重量％以下であると、ペレット化に適度な量の接着剤を使用することができる。また、本発明の吸着剤組成物の総重量（１００重量％）に対して７０重量％以下であると、ペレット化に適度な量の接着剤及び水を使用することができる。
【００６８】
本発明の第一の製造方法に用いる本発明の吸着剤組成物において、上記吸着剤組成物中の接着剤の含有量は、特に限定されないが、本発明の吸着剤組成物の固形分の総重量（１００重量％）に対して、１０〜６０重量％が好ましく、より好ましくは２０〜６０重量％である。上記含有量が上記範囲内であると、ゼオライトを含有する本発明の吸着剤のペレット化が容易となる傾向がある。なお、接着剤が水を含有する場合、上記含有量は、水を除く固形分の含有量である。
【００６９】
本発明の第一の製造方法に用いる本発明の吸着剤組成物において、上記吸着剤組成物中の水の含有量は、特に限定されないが、本発明の吸着剤組成物の固形分の総重量（１００重量部）に対して、３０〜５００重量部が好ましく、より好ましくは５０〜３００重量部である。上記含有量が上記範囲内であると、ゼオライトを含有する本発明の吸着剤のペレット化が容易となる傾向がある。なお、接着剤が水を含有する場合、上記含有量は、接着剤中の水と別途使用した水の合計の含有量である。
【００７０】
本発明の第二の製造方法に用いる本発明の吸着剤組成物において、上記吸着剤組成物中の本発明の吸着剤の含有量は、特に限定されないが、本発明の吸着剤組成物の固形分の総重量（１００重量％）に対して、５０〜９０重量％が好ましく、より好ましくは６０〜８５重量％である。上記含有量が５０重量％以上であると、フィルタ基材への本発明の吸着剤の付着量が十分となり、製造されたケミカルフィルタのシラノール化合物の除去性能が向上する傾向がある。上記含有量が９０重量％以下であると、フィルタ基材への付着に適度な量の接着剤を使用することができる。また、本発明の吸着剤組成物の総重量（１００重量％）に対して９０重量％以下であると、フィルタ基材への付着に適度な量の接着剤及び水を使用することができる。
【００７１】
本発明の第二の製造方法に用いる本発明の吸着剤組成物において、上記吸着剤組成物中の接着剤の含有量は、特に限定されないが、本発明の吸着剤組成物の固形分の総重量（１００重量％）に対して、１０〜５０重量％が好ましく、より好ましくは１５〜４０重量％である。上記含有量が１５重量％以上であると、本発明の吸着剤がフィルタ基材に付着しやすくなる傾向がある。上記含有量が５０重量％以下であると、ケミカルフィルタにおける接着剤の量を適度とすることができ、製造されたケミカルフィルタのシラノール化合物の除去性能を高く維持しやすい傾向がある。なお、接着剤が水を含有する場合、上記含有量は、水を除く固形分の含有量である。
【００７２】
本発明の第二の製造方法に用いる本発明の吸着剤組成物において、上記吸着剤組成物中の水の含有量は、特に限定されないが、本発明の吸着剤組成物の固形分の総重量（１００重量部）に対して、３０〜５００重量部が好ましく、より好ましくは５０〜３００重量部である。上記含有量が上記範囲内であると、ゼオライトを含有する本発明の吸着剤のフィルタ基材への付着が容易となる傾向がある。なお、接着剤が水を含有する場合、上記含有量は、接着剤中の水と別途使用した水の合計の含有量である。
【００７３】
本発明の吸着剤組成物は、工程Ｂ又は工程Ｃで使用する前に、各成分の含有量を適宜変更してもよく、また、本発明の吸着剤組成物を適宜希釈又は濃縮してもよい。
【００７４】
なお、工程Ａにおいて、本発明の吸着剤組成物を製造する際に用いる装置、器具等は、使用する前の状態においては、特定陽イオンの残留が無いことが好ましい。このため、上記装置や器具は、工程Ａに使用する前に特定陽イオンの残留を少なくする観点から、洗浄後は純水ですすぐことが好ましい。
【００７５】
［本発明の第一の製造方法］
（工程Ｂ）
本発明の第一の製造方法は、工程Ｂを含む。工程Ｂは、工程Ａで作製された吸着剤組成物（本発明の吸着剤組成物）を用いて本発明の吸着剤を造粒する工程である。これにより、造粒して作製されたペレットは、安定してシラノール化合物の除去性能に優れる。
【００７６】
上記造粒は、吸着剤の造粒に用いる公知乃至慣用の造粒方法により行うことができる。上記造粒としては、特に限定されないが、例えば、転動造粒、流動層造粒、攪拌造粒、圧縮造粒、押出造粒、破砕造粒、噴霧造粒等が挙げられる。中でも、転動造粒、噴霧造粒が好ましい。
【００７７】
なお、工程Ｂは、造粒中に本発明の吸着剤がガス成分を吸着することを抑制する観点から、ガス成分の浮遊量が少ない環境において行うことが好ましい。上記工程Ｂを行う環境において、ガス成分の浮遊量は、少ないほど好ましい。
【００７８】
本発明の第一の製造方法は、工程Ａ及び工程Ｂ以外の工程を含んでいてもよい。上記工程Ａ及び工程Ｂ以外の工程としては、例えば、ペレットを充填する工程（ペレット充填工程）、ペレットをフィルタ基材に付着させる工程（ペレット付着工程）、フィルタ基材を加工する工程（フィルタ基材加工工程）等が挙げられる。なお、上記フィルタ基材加工工程と、上記ペレット充填工程又は上記ペレット付着工程との順序は、特に限定されないが、作業性の観点から、フィルタ基材加工工程を行い、その後にペレット充填工程又はペレット付着工程を行うことが好ましい。
【００７９】
上記フィルタ基材加工工程としては、例えば、フィルタ基材（例えば、後述の工程Ｃで用いられるフィルタ基材等）にコルゲート加工を施す工程、ハニカム構造を形成する工程、フィルタ基材に細孔を設ける工程等が挙げられる。上記フィルタ基材加工工程は、１工程のみを行ってもよいし、同一又は異なる２以上の工程を行ってもよい。上記フィルタ基材加工工程を２工程以上行う場合も、その順序は特に限定されない。
【００８０】
上記ペレット付着工程では、工程Ｂで得られたペレットを、接着剤（感圧性接着剤、感熱性接着剤等。本発明の吸着剤組成物中に含有される接着剤とは異なる接着剤）等で付着させる。上記ペレット充填工程では、工程Ｂで得られたペレットを、フィルタ基材内部に充填する。
【００８１】
［本発明の第二の製造方法］
（工程Ｃ）
本発明の第二の製造方法は、工程Ｃを含む。工程Ｃは、工程Ａで作製された吸着剤組成物（本発明の吸着剤組成物）を用いて本発明の吸着剤をフィルタ基材に付着させる工程である。これにより、作製されたケミカルフィルタは、安定してシラノール化合物の除去性能に優れる。
【００８２】
上記フィルタ基材としては、特に限定されず、ケミカルフィルタのフィルタ基材として一般に用いられるものを使用できる。上記フィルタ基材としては、例えば、有機繊維や無機繊維等の繊維から構成される繊維状基材（織布あるいは不織布）、紙、ポリウレタンフォーム等から構成される発泡体、耐火性金属酸化物や耐火性無機物（例えば、アルミニウム等の金属、セラミックス等）を使用したフィルタ基材等が挙げられる。上記繊維状基材の織布の形状は特に限定されず、例えば、メッシュ状に繊維を織ったもの等が挙げられる。中でも、上記フィルタ基材として、繊維状基材が好ましい。
【００８３】
上記繊維状基材における繊維としては、例えば、シリカアルミナ繊維、シリカ繊維、アルミナ繊維、ムライト繊維、ガラス繊維、ロックウール繊維、炭素繊維等の無機繊維；ポリエチレン繊維、ポリプロピレン繊維、ナイロン繊維、ポリエステル繊維（例えば、ポリエチレンテレフタレート繊維等）、ポリテトラフルオロエチレン繊維、ポリビニルアルコール繊維、アラミド繊維、パルプ繊維、レーヨン繊維等の有機繊維等が挙げられる。上記の中でも、ケミカルフィルタの強度を高める観点、及び繊維からのアウトガス等による汚染が少ない観点から、無機繊維が好ましく、より好ましくはガラス繊維である。即ち、上記フィルタ基材としては、ガラス繊維を用いた繊維状基材（ガラスクロス（ガラス布））が好ましい。上記繊維は、１種のみを使用してもよいし、２種以上を組み合わせて使用してもよい。また、上記無機繊維及び上記有機繊維の形状は特に限定されない。
【００８４】
工程Ｃにおける本発明の吸着剤のフィルタ基材への付着は、例えば、上記フィルタ基材を、本発明の吸着剤組成物に浸漬した後、吸着剤組成物から取り出し、乾燥することにより行うことができる。このような付着においては、本発明の吸着剤組成物は、懸濁液であることが好ましい。上記懸濁液には、本発明の効果を損なわない範囲内で、沈降防止剤を含んでいてもよい。
【００８５】
本発明の吸着剤の付着は、他に、本発明の吸着剤組成物を、スプレー等を用いて上記フィルタ基材（特に、不織布）に塗布して付着させることにより行うこともできる。
【００８６】
本発明の吸着剤は、他に、本発明の吸着剤がナノファイバー中に含有される状態で付着していてもよい。上記ナノファイバーとしては、公知乃至慣用のナノファイバーを用いることができる。また、上記ナノファイバーは、公知乃至慣用のナノファイバーの製造方法により作製することもできる。上記ナノファイバーの製造方法としては、例えば、エレクトロスピニング（ＥＳ）法（電解紡糸、静電紡糸）、メルトブロー法、複合溶融紡糸法等が挙げられる。上記ＥＳ法は、樹脂（ポリマー）及び溶剤を含有する本発明の吸着剤組成物（懸濁液）に高電圧を与え、アース表面（例えば、表面が０電位のフィルタ基材（例えば、不織布等））にスプレーして行う。上記ＥＳ法では、懸濁液を高電圧でスプレーした際に、本発明の吸着剤を含有したナノファイバーが形成される。
【００８７】
本発明の吸着剤の付着は、他に、抄紙法により行うこともできる。上記抄紙法では、例えば、フィルタ基材としての繊維状基材を構成する繊維を含有する本発明の吸着剤組成物（懸濁液）に凝集剤を加えることにより生成される物質（フロック）を湿式抄紙法でシート化した後、熱処理して、本発明の吸着剤を付着させることができる。
【００８８】
本発明の吸着剤の付着は、他に、公知乃至慣用のセラミックス材料の加工方法により行うこともできる。例えば、本発明の吸着剤を、セラミックス原料とともに成形及び焼成して付着させることができる。具体的には、造孔材、及び必要に応じて他のセラミックス原料を含有する本発明の吸着剤組成物の混練を行って坏土を作製した後、この坏土をスクリュー式押出機等の押出機により押出加工し、成形体を作製する。得られた成形体を乾燥及び焼成して、本発明の吸着剤が付着した多孔質のセラミック型のケミカルフィルタが得られる。
【００８９】
本発明の第二の製造方法は、工程Ａ及び工程Ｃ以外の工程を含んでいてもよい。上記工程Ａ及び工程Ｃ以外の工程としては、例えば、フィルタ基材加工工程等が挙げられる。なお、上記フィルタ基材加工工程と工程Ｃの順序は、特に限定されないが、作業性の観点から、フィルタ基材加工工程を行い、その後に工程Ｃを行うことが好ましい。上記フィルタ加工工程としては、本発明の第一の製造方法において例示及び説明されたフィルタ加工工程と同様のものが挙げられる。
【００９０】
（本発明のケミカルフィルタ）
本明細書では、本発明の製造方法によって得られるケミカルフィルタを、「本発明のケミカルフィルタ」と称する場合がある。本発明のケミカルフィルタが有する構造は、特に限定されず、ハニカム構造、プリーツ構造、ペレット充填構造、三次元網目構造等が挙げられる。これらの中でも、ハニカム構造、プリーツ構造、三次元網目構造が好ましい。本発明のケミカルフィルタが本発明の第一の製造方法により製造されたケミカルフィルタである場合、圧力損失を抑制する観点から、ハニカム構造を有することが特に好ましい。一方、本発明のケミカルフィルタが本発明の第二の製造方法により製造されたケミカルフィルタである場合、プリーツ構造、ペレット充填構造、又は三次元網目構造であることが特に好ましい。本発明のケミカルフィルタは、１種の構造のみを有していてもよいし、２種以上の構造を組み合わせて有していてもよい。
【００９１】
上記ハニカム構造には、いわゆる蜂の巣状の構造の他、例えば、断面が格子状、円形状、波形状、多角形状、不定形状、全部あるいは一部に曲面を有する形状等であって、流体（特に、空気）が構造体の要素となるセルを通過し得る構造が全て含まれる。
【００９２】
上記ハニカム構造としては、例えば、コルゲート加工によって成形されたコルゲート状のシートと平坦状のシートが交互に積層して得られる構造（コルゲート状ハニカム構造）、プリーツ形状のシートと平坦状のシートからなる構造であって、通気方向に対して、プリーツ形状のシートと直角に平坦状のシートを順に積層した構造等が挙げられる。
【００９３】
ハニカム構造を有する本発明のケミカルフィルタとしては、例えば、繊維状基材を用いたフィルタ基材がコルゲート状ハニカム構造を有するケミカルフィルタ、繊維状基材を用いたフィルタ基材が蜂の巣状の構造を有するケミカルフィルタ、アルミニウム等の金属製のフィルタ基材が蜂の巣状の構造を有するケミカルフィルタ等が挙げられる。
【００９４】
上記プリーツ構造には、例えば、限られたスペースの中でろ過面積を効率的に拡大することを目的として、波形あるいはＶ字型が連続するように加工されたジャバラ形状を有する構造が含まれる。
【００９５】
上記ペレット充填構造は、例えば、工程Ｂで得られたペレットを、流体（特に、気体）が内部を通過できる構造のケーシング内に充填した構造が挙げられる。
【００９６】
上記三次元網目構造は、例えば、上記ポリウレタンフォーム等から構成される発泡体や、ガラス繊維（グラスウール等）やロックウール繊維、あるいは上記繊維状基材の繊維を立体的に加工して作製した網目構造体のフィルタ基材を有する構造、あるいは針状繊維化されたポリテトラフルオロエチレン等が好ましく例示される。
【００９７】
本発明のケミカルフィルタは、上記の中でも、表面に本発明の吸着剤が無機系接着剤により付着された波形シートが、薄板シートを介して複数個積層されたハニカム構造を有するケミカルフィルタが特に好ましい。
【００９８】
特に限定されないが、本発明のケミカルフィルタにおいて、酸性物質の添着剤が添着されている吸着剤を備えていないことが好ましい。即ち、本発明のケミカルフィルタには、酸性物質の添着剤が添着されている吸着剤を備えたものが除かれることが好ましい。
【実施例】
【００９９】
以下に、実施例を挙げて、本発明をより具体的に説明する。ただし、本発明は、それらに何ら制限されるものではない。なお、「ｐｐｂ」は、特に断りのない限り、重量基準である。
【０１００】
実施例１
（ペレットの作製）
合成ゼオライト（水混合物のｐＨ：５．４、［ＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3］：４００、Ｙ型）を１０ｇ、コロイダルシリカ（固形分３４ｗｔ％）２０ｇを混合し、純水４ｇを加えて粘土状の吸着剤組成物を作製した。この吸着剤組成物を網目に通して糸状にし、オーブンで十分に乾燥した後乳鉢で粉砕し、ふるいで粒径２００〜５００μｍのものを採取して、ペレット化された吸着剤（ペレット）を得た。なお、上記コロイダルシリカとして、特定陽イオンのトータル陽イオン量が異なる５つのコロイダルシリカをそれぞれ用いて、５種類のペレット（サンプルＡ〜Ｅ）を作製した。サンプルＡ〜Ｅの、合成ゼオライト以外の吸着剤組成物成分（即ち、コロイダルシリカと水）の、特定陽イオンのトータル陽イオン量を表１に示す。
【０１０１】
（通気試験）
上記で得られたサンプルＡ〜Ｅを試験サンプルとして用い、図１に示すような通気試験装置を用いて、吸着剤のガス除去効率を測定した。詳細には、２本のアクリル製の円筒状の試験カラム（内径５０ｍｍ、長さ３０ｃｍ）１を直列につないだものを５系列並列に配置し、カラムの上流側にガス供給用のチューブ２を取り付け、カラムの下流側に、流量計３、流量調整バルブ４、ポンプ５をこの順に取り付けた。直列につないだ２本のカラムの間に不織布６を挟み、不織布６上に試験サンプル（吸着剤）７を５ｍｍ厚で敷き、試験サンプルのろ過風速が５ｃｍ／ｓとなるように流量を調整したエアを流した。カラムに流すエアは、恒温恒湿槽を用いて温度２３℃、湿度５０％に調整した空気に、ＴＭＳ約２５０ｐｐｂを混ぜて使用した。上記通気試験装置の概略断面図（１系列分）を図２に示す。
通気試験開始後３日目に、カラムの上流側、下流側のエアを吸着管により捕集し、エアを捕集した吸着管をＡＴＤ（加熱脱着装置）−ＧＣ／ＭＳによるガス分析に付し、ＴＭＳのガス濃度を測定した。測定したカラムの上流側、下流側のＴＭＳのガス濃度からＴＭＳの除去効率を下記式で算出し、試験サンプルの、合成ゼオライト以外の吸着剤組成物成分の特定陽イオンのトータル陽イオン量と除去効率の関係のグラフを作成した。
除去効率（％）＝｛（上流側のガス濃度−下流側のガス濃度）／上流側のガス濃度｝×１００
結果を表１及び図３に示す。図３中、横軸は、合成ゼオライト１ｇあたりの、合成ゼオライト以外の吸着剤組成物成分の特定陽イオンのトータル陽イオン量（μｍｏｌ）、縦軸は除去効率（％）である。
【０１０２】
【表１】
2016203063.tif 000002
【０１０３】
表１及び図３に示されるように、合成ゼオライト以外の吸着剤組成物成分の、特定陽イオンのトータル陽イオン量が低いほど、特に、ゼオライト１ｇあたり１５μｍｏｌ以下であると、ＴＭＳの除去効率が高い傾向がある。このため、本発明の製造方法によれば、シラノール化合物の除去性能に優れるシラノール化合物除去用のケミカルフィルタを安定して製造することができる。
【０１０４】
（特定陽イオンのトータル陽イオン量の測定）
サンプルＡ〜Ｅそれぞれについて、使用したコロイダルシリカと水の混合液を作製し、十分に攪拌した後、上澄み液を採取して純水で希釈を行い、イオンクロマトグラフ分析装置（ダイオネクス社製、商品名「ＩＣＳ−１５００」）、分離カラムとして「ＩｏｎＰａｃ  ＣＳ１２Ａ」を用いて測定した。そして、測定された陽イオン濃度から、コロイダルシリカと水の混合液中の、ナトリウムイオン、マグネシウムイオン、カリウムイオン、カルシウムイオン、及びアンモニウムイオンのトータル陽イオン量を算出し、ゼオライト１ｇあたりのトータル陽イオン量を算出した。結果を表１の「トータル陽イオン量（μｍｏｌ）」の欄に示した。
【符号の説明】
【０１０５】
１    カラム
２    チューブ
３    流量計
４    流量調整バルブ
５    ポンプ
６    不織布
７    試験サンプル
【図１】
2016203063.tif 000003
【図２】
2016203063.tif 000004
【図３】
2016203063.tif 000005