(57)【要約】【課題】排気気体がポンプ内部へ逆流することを極力防止すると共に、ポンプ内部が過圧縮になることを極力防止し、ポンプ内部の温度上昇を抑制して信頼性を向上できると共に、運転効率を向上できる二軸回転ポンプを提供すること。【解決手段】気体をシリンダ５０内へ吸気して圧縮された気体をシリンダ５０から排気する二軸回転ポンプにおいて、シリンダ５０の両端部を構成する端壁部５２の少なくとも一方に、圧縮された気体の一部を逃がすことができる逃がし孔７０が、回転軸２０、２０の軸方向に開口して複数設けられ、逃がし孔７０のそれぞれには、逆止弁７１が設けられ、逆止弁７１の端壁部５２に対する複数の取付構造が回転軸２０、２０の軸方向へ複数の階層状の構造に設けられて部分的に重なり合うように、複数の逃がし孔７０が開口する端壁部５２が、複数階層構造に設けられている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
二つのロータ同士が微小なクリアランスを保って非接触で回転されると共に、前記二つのロータがシリンダの内面にも微小なクリアランスを保って非接触で回転されるように、前記ロータを備える二つの回転軸が軸受によって支持されて設けられ、気体を前記シリンダ内へ吸気して圧縮された気体を前記シリンダから排気する二軸回転ポンプにおいて、
前記シリンダを構成する壁部に、圧縮された気体の一部を逃がすことができる逃がし孔が開口して複数設けられ、
前記逃がし孔のそれぞれには、前記シリンダ内の圧力が、所定の圧力よりも高圧の場合には開き、所定の圧力よりも低圧の場合には閉じる逆止弁が設けられ、
該逆止弁の前記壁部に対する複数の取付構造が該壁部の厚さ方向に複数の階層状の構造に設けられて部分的に重なり合うように、複数の前記逃がし孔が開口する前記壁部が、複数階層構造に設けられていることを特徴とする二軸回転ポンプ。
【請求項２】
前記シリンダの両端部を構成する端壁部の少なくとも一方に、圧縮された気体の一部を逃がすことができる逃がし孔が、前記回転軸の軸方向に開口して複数設けられ、
前記逆止弁の前記端壁部に対する複数の取付構造が前記回転軸の軸方向に複数の階層状の構造に設けられて部分的に重なり合うように、複数の前記逃がし孔が開口する前記端壁部が、複数階層構造に設けられていることを特徴とする請求項１記載の二軸回転ポンプ。
【請求項３】
前記逆止弁がリード弁であって、前記複数階層構造の前記端壁部が、前記シリンダの端部を構成すると共に第一層のリード弁が装着される基層の壁盤と、該基層の壁盤の外側に二階層構造に重ねられて固定される台盤状であって前記逃がし孔を前記回転軸の軸方向へ延長するように貫通した延長逃がし孔を備えると共に第二層のリード弁が装着されるリード弁装着用台盤とによって構成されていることを特徴とする請求項２記載の二軸回転ポンプ。
【請求項４】
前記第一層のリード弁に階層状に重なって前記基層の壁盤に固定される前記リード弁装着用台盤において、該リード弁装着用台盤の前記第一層のリード弁に対面する内溝面に、該第一層のリード弁の屈曲を制限する斜面状のリード弁規制面が形成されていることを特徴とする請求項３記載の二軸回転ポンプ。
【請求項５】
前記シリンダと前記二つのロータとによる単位ポンプ構成が、前記二つの回転軸の軸方向において複数段に設けられ、
複数の前記単位ポンプ構成のうちの少なくとも一つが、前記二つの回転軸において前記ロータの両側に軸受を配することで両端が支持されることで構成され、
複数の前記単位ポンプ構成のうち前記回転軸の軸方向の両端面に位置する少なくとも一方が、前記二つの回転軸において前記ロータの片側であって隣接する前記単位ポンプ構成との間に配された軸受によって片持ち状態に支持されることで構成され、
複数の前記単位ポンプ構成のうちの少なくとも一つについて、圧縮された気体の一部を逃がすことができる前記逃がし孔が設けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の二軸回転ポンプ。
【請求項６】
前記回転軸それぞれの両端に、前記シリンダと前記二つのロータによって構成される単位ポンプ構成が設けられ、該単位ポンプ構成のどちらも、前記二つのロータが、該二つのロータにおける前記回転軸の軸方向の片側であって両方の単位ポンプ構成の間に配された軸受によって前記回転軸を介して片持ち状態に支持され、
前記回転軸の両端の前記単位ポンプ構成の少なくとも一方のシリンダであって、該シリンダの軸方向の両端を構成する端壁部のうち前記回転軸が挿通されない片持ち端面側の端壁部に、圧縮された気体の一部を逃がすことができる前記逃がし孔が前記回転軸の軸方向に開口して設けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の二軸回転ポンプ。
【請求項７】
前記ロータが鉤形の爪部を備えるクローポンプのロータであり、前記シリンダの軸方向の両端を構成する端壁部の少なくとも一方に該シリンダの圧縮された気体を排気する排気口が設けられていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の二軸回転ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、二つのロータ同士が微小なクリアランスを保って非接触で回転されると共に、前記二つのロータがシリンダの内面にも微小なクリアランスを保って非接触で回転されるように、前記ロータを備える二つの回転軸が軸受によって支持されて設けられ、気体を前記シリンダ内へ吸気して圧縮された気体を前記シリンダから排気する二軸回転ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
二軸回転ポンプとしては、クローロータを搭載する非接触型の真空ポンプであるクローポンプがある。例えば、本出願人が先に提案したクローポンプの排気構造及び排気方法によれば、ポンプ室を形成するシリンダと、シリンダの端面を塞ぐ一方のサイドプレート及び他方のサイドプレートと、シリンダ内で平行に位置するように配されて反対方向に回転される二つの回転軸と、その二つの回転軸のそれぞれに一体的に固定されて設けられ、相互に非接触状態で噛合って吸入した気体を圧縮できるように鉤形の爪部が形成された二つのロータと、回転駆動装置と、シリンダ内の気体が圧縮されないポンプ室の部分に連通する吸気口と、一方のサイドプレート及び他方のサイドプレートの両方にシリンダ内の気体が圧縮されるポンプ室の部分に開口する排気口を具備する（特許文献１参照）。これによれば、排気効率を高めることで、クローポンプのポンプ性能を向上させることができる。
【０００３】
なお、このようなクローポンプなどの二軸回転ポンプについて多段ポンプとする場合、従来は軸方向に複数のロータを備える回転軸を、その複数のロータを二つの軸受で挟むように両端支持する構造になっている（特許文献２参照）。これによれば、複数（多段）のロータによって、多段のシリンダを介して気体の圧縮比を高めることができるが、各段のシリンダにおいては気体を圧縮することで発熱するため、各段のロータについて熱膨張が生じる。そして、多段のロータが一つの回転軸に配されているため、複数のロータの熱膨張が合算されるようにロータとシリンダの端壁部とのクリアランスであるサイドクリアランスに影響を及ぼすことになる。すなわち、複数のロータの熱膨張が合算されるように影響するため、サイドクリアランスをより小さくして、気体漏れの発生をより小さくすることが難しくなり、ポンプ性能を向上させることができないという課題がある。
【０００４】
そして、クローポンプにおいては、圧縮工程があり、吸入気体（空気）を圧縮することで排気効率が向上する。このような回転ポンプの到達運転時は、吸入空気量が無いため、原理的にはポンプの空気輸送及び圧縮が無く、ポンプとしての仕事はゼロである。しかし、実際は到達運転時でも僅かな隙間からの漏れにより吸入空気は存在し、且つロータとシリンダで形成される排気開放直前の空間（密閉空間）が排気口を通じて外部（ポンプ内部から排出された大気圧以上の空気がある空間）と連通した際に、排気開放直前の空間は負圧であるため大気圧以上の排気空気がポンプ内部へ逆流する。逆流した空気は再圧縮され再度外部へ排出される。ここで無駄な工程が発生し、動力負荷及びポンプ内部温度が上昇する。なお、到達運転とは、到達圧力での運転のことで、その到達圧力とは、そのポンプの真空をつくる最大の能力である真空ポンプの吸入口を締め切ったとき（排気流量が０となったとき）に到達できる圧力のことである。
【０００５】
すなわち、この到達運転時などのポンプ内部へ逆流する排気空気によれば、動力負荷が上昇して運転効率が悪化する。また、その逆流する排気空気によれば、ポンプ内部温度が上昇することで、熱膨張によるロータ接触、オイルシールやベアリングなど重要部品の劣化が生じやすくなり、ポンプ装置の信頼性が低下する。これに対しては、逆流空気量を抑制するように、単純に排気開放直前の容積を減少させると、排気流量の多い場合の大気開放側（吸入される空気の圧力が大気圧に近い状態での運転がされる場合）が過圧縮状態となる。また、ポンプ内部容積の減少による流量の減少が発生するという問題が生じる。なお、排気開放直前の容積が存在する限り、逆流空気は必ず発生することになり、以上の問題を合理的に緩和することが課題になる。この課題に対して、従来は、運転条件に所要の制約をかけることによって対応しており、運転効率をより向上させることができなかった。
【０００６】
なお、先に本出願人は、ベーンを持つロータリー式の真空ポンプ（ベーンポンプ）について、次の構成を提案してある。真空ポンプには、気体の排気孔が設けられていて、その排気孔には第１逆止弁が備えられている。加えて、この真空ポンプの内の外気圧以上に圧縮された気体を外気中に逃がして、真空ポンプの動力ロスを少なく抑えるための圧力逃がし孔が設けられていて、その圧力逃がし孔には、第２逆止弁が備えられている。この排気孔と圧力逃がし孔とは、真空ポンプの気体の排気口を構成している（特許文献３参照）。
これによれば、シリンダを形成する壁部のうちの周壁部に逃がし孔が設けられており、圧縮されるポンプ内部が過圧縮になって温度が上昇することを抑制することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１１−３８４７６号公報（第１頁）
【特許文献２】特開２００２−３３２９６３号公報（図１）
【特許文献３】特開２００１−２８９１６７号公報（［００２０］）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
二軸回転ポンプに関して解決しようとする問題点は、排気気体がポンプ内部へ逆流することを極力防止し、運転効率を向上させてポンプ内部の温度上昇を抑制すると共に、ポンプ内部が過圧縮になることを抑制するための合理的な構成が、二軸回転ポンプについては提案されていない点にある。
そこで本発明の目的は、排気気体がポンプ内部へ逆流することを極力防止すると共に、ポンプ内部が過圧縮になることを極力防止し、ポンプ内部の温度上昇を抑制して信頼性を向上できると共に、運転効率を向上できる二軸回転ポンプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上記目的を達成するために次の構成を備える。
本発明に係る二軸回転ポンプの一形態によれば、二つのロータ同士が微小なクリアランスを保って非接触で回転されると共に、前記二つのロータがシリンダの内面にも微小なクリアランスを保って非接触で回転されるように、前記ロータを備える二つの回転軸が軸受によって支持されて設けられ、気体を前記シリンダ内へ吸気して圧縮された気体を前記シリンダから排気する二軸回転ポンプにおいて、前記シリンダを構成する壁部に、圧縮された気体の一部を逃がすことができる逃がし孔が開口して複数設けられ、前記逃がし孔のそれぞれには、前記シリンダ内の圧力が、所定の圧力よりも高圧の場合には開き、所定の圧力よりも低圧の場合には閉じる逆止弁が設けられ、該逆止弁の前記壁部に対する複数の取付構造が該壁部の厚さ方向に複数の階層状の構造に設けられて部分的に重なり合うように、複数の前記逃がし孔が開口する前記壁部が、複数階層構造に設けられている。
【００１０】
また、本発明に係る二軸回転ポンプの一形態によれば、前記シリンダの両端部を構成する端壁部の少なくとも一方に、圧縮された気体の一部を逃がすことができる逃がし孔が、前記回転軸の軸方向に開口して複数設けられ、前記逆止弁の前記端壁部に対する複数の取付構造が前記回転軸の軸方向に複数の階層状の構造に設けられて部分的に重なり合うように、複数の前記逃がし孔が開口する前記端壁部が、複数階層構造に設けられていることを特徴とすることができる。
【００１１】
また、本発明に係る二軸回転ポンプの一形態によれば、前記逆止弁がリード弁であって、前記複数階層構造の前記端壁部が、前記シリンダの端部を構成すると共に第一層のリード弁が装着される基層の壁盤と、該基層の壁盤の外側に二階層構造に重ねられて固定される台盤状であって前記逃がし孔を前記回転軸の軸方向へ延長するように貫通した延長逃がし孔を備えると共に第二層のリード弁が装着されるリード弁装着用台盤とによって構成されていることを特徴とすることができる。
【００１２】
また、本発明に係る二軸回転ポンプの一形態によれば、前記第一層のリード弁に階層状に重なって前記基層の壁盤に固定される前記リード弁装着用台盤において、該リード弁装着用台盤の前記第一層のリード弁に対面する内溝面に、該第一層のリード弁の屈曲を制限する斜面状のリード弁規制面が形成されていることを特徴とすることができる。
【００１３】
また、本発明に係る二軸回転ポンプの一形態によれば、前記シリンダと前記二つのロータとによる単位ポンプ構成が、前記二つの回転軸の軸方向において複数段に設けられ、複数の前記単位ポンプ構成のうちの少なくとも一つが、前記二つの回転軸において前記ロータの両側に軸受を配することで両端が支持されることで構成され、複数の前記単位ポンプ構成のうち前記回転軸の軸方向の両端面に位置する少なくとも一方が、前記二つの回転軸において前記ロータの片側であって隣接する前記単位ポンプ構成との間に配された軸受によって片持ち状態に支持されることで構成され、複数の前記単位ポンプ構成のうちの少なくとも一つについて、圧縮された気体の一部を逃がすことができる前記逃がし孔が設けられていることを特徴とすることができる。
【００１４】
また、本発明に係る二軸回転ポンプの一形態によれば、前記回転軸それぞれの両端に、前記シリンダと前記二つのロータによって構成される単位ポンプ構成が設けられ、該単位ポンプ構成のどちらも、前記二つのロータが、該二つのロータにおける前記回転軸の軸方向の片側であって両方の単位ポンプ構成の間に配された軸受によって前記回転軸を介して片持ち状態に支持され、前記回転軸の両端の前記単位ポンプ構成の少なくとも一方のシリンダであって、該シリンダの軸方向の両端を構成する端壁部のうち前記回転軸が挿通されない片持ち端面側の端壁部に、圧縮された気体の一部を逃がすことができる前記逃がし孔が前記回転軸の軸方向に開口して設けられていることを特徴とすることができる。
【００１５】
また、本発明に係る二軸回転ポンプの一形態によれば、前記ロータが鉤形の爪部を備えるクローポンプのロータであり、前記シリンダの軸方向の両端を構成する端壁部の少なくとも一方に該シリンダの圧縮された気体を排気する排気口が設けられていることを特徴とすることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係る二軸回転ポンプの一形態によれば、排気気体がポンプ内部へ逆流することを極力防止すると共に、ポンプ内部が過圧縮になることを極力防止し、ポンプ内部の温度上昇を抑制して信頼性を向上できると共に、運転効率を向上できるという特別有利な効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明が適用できる回転ポンプの上位概念の形態例を示す断面図である。
【図２】本発明に係る二軸回転ポンプの端壁部に二階層の逃がし孔及び逆止弁構造が設けられた形態例を示す正面図である。
【図３】図２の二階層の逃がし孔及び逆止弁構造を示すＡ−Ａ線要部断面図である。
【図４】図２の二階層の逃がし孔及び逆止弁構造を示すＢ−Ｂ線要部断面図である。
【図５】本発明に係るリード弁装着用台盤を示す外面図である。
【図６】図５に示したリード弁装着用台盤の内面図である。
【図７】図５に示したリード弁装着用台盤のＡ１−Ａ１線断面図である。
【図８】図２の端壁部のリード弁及びリード弁装着用台盤の全てを外した状態であって逃がし孔の配置を示す基層の壁盤の正面図である。
【図９】図８の基層の壁盤に第１層のリード弁を装着した状態を示す正面図である。
【図１０】図９の状態からリード弁装着用台盤を装着した状態を示す正面図である。
【図１１】本発明に係る二軸回転ポンプの端壁部における他の二階層の逃がし孔及び逆止弁構造の形態例を示す要部断面図である。
【図１２】本発明が適用できる二軸回転ポンプの形態例を示す斜視図である。
【図１３】図１２の形態例の中央横断面図である。
【図１４】図１２の形態例の中央縦断面図である。
【図１５】図１４の形態例のＸ−Ｘ線断面図である。
【図１６】図１２のマフラーケースを外した端壁部を示す側面図である。
【図１７】図１６の端壁部の逃止弁を外した状態を示す側面図である。
【図１８】図１２の形態例のエスケープボックスを外した状態を底面側から見た斜視図である。
【図１９】図１２の形態例の接続ケースのカバー部を外した状態を上面側から見た斜視図である。
【図２０】図１２の形態例の二つのロータと複数の逃がし孔との配置関係を説明する断面図である。
【図２１】図１２及び図２２の形態例の二つのロータによる気体の圧縮状態の変化と複数の逃がし孔による開口との比率の変化を説明する断面図である。
【図２２】本発明が適用できる二軸回転ポンプの他の形態例を模式的に示す断面図である。
【図２３】図２２の形態例のシリンダの端壁部を示す側面図である。
【図２４】図２３の端壁部の逃止弁を外した状態を示す側面図である。
【図２５】図２２の形態例の二つのロータと複数の逃がし孔との配置関係を説明する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明が適用できる回転ポンプの形態例、及び本発明に係る形態例の詳細を、添付図面に基づいて説明する。
図１は、本発明が適用できる回転ポンプの上位概念としての形態例を示すように符号を付した断面図であり、先ず、この図１に基づいて本発明が適用できる回転ポンプの上位概念としての形態例を説明する。
【００１９】
なお、本形態例は、回転ポンプのうち、容積型ポンプであって、二軸回転ポンプに属するものとなっている。二軸回転ポンプとしては、例えば、ロータ非接触型のポンプであるクローポンプ、スクリューポンプやルーツポンプなどが挙げられる。また、一軸の回転ポンプとしては、ベーンポンプなどがある。このような回転ポンプは、例えば、電動モータによって駆動され、真空ポンプやブロアなどの空気圧装置として使用される。
【００２０】
本形態例は、二つのロータ３０、３０同士が微小なクリアランスを保って非接触で回転されると共に、二つのロータ３０、３０がシリンダ５０の内面にも微小なクリアランスを保って非接触で回転されるように、そのロータ３０、３０を備える二つの回転軸２０、２０が軸受４０、４０によって支持されて設けられ、気体をシリンダ５０内へ吸気して圧縮された気体をシリンダ５０から排気する二軸回転ポンプになっている。
【００２１】
この二軸回転ポンプは、クローポンプであり、ロータ３０、３０は、鉤形の爪部を備えている（図１５参照）。本形態例のロータ３０では、二つ（複数）の鉤形の爪部を備えているが、クローポンプのロータの形態はこれに限定されることなく、一つの爪部の場合や、三つ以上の爪部を備える場合もある。なお、クローポンプでは、気体を高圧に圧縮する仕様とすることが可能であり、そのような高圧縮の仕様で運転を継続するとポンプ内部の温度が上昇することになる。
また、本形態例のクローポンプは、シリンダ５０と二つのロータ３０、３０とによる単位ポンプ構成１０が、二つの回転軸２０、２０の軸方向について複数段（二段）に設けられている多段の二軸回転ポンプになっている。
【００２２】
複数の単位ポンプ構成１０のうち少なくとも一つについて、シリンダ５０の両端部を構成する端壁部５２、５２の少なくとも一方に、圧縮された気体の一部を逃がすことができるように、逃がし孔７０（図１４、１７など参照）が、回転軸２０、２０の軸方向に開口して設けられている。
本形態例では、その逃がし孔７０（図１４、１７など参照）が、端壁部５２に複数設けられている。また、その逃がし孔７０が設けられた端壁部（後段シリンダの他方の端壁部５２Ｄ（図１４、１７など参照））に、シリンダ５０の圧縮された気体を排気する排気口（後段の排気口５５Ｂ（図１４、１７など参照））が設けられている。
なお、逃がし孔７０に係る形状、大きさ、数量、配置などの形態は、本形態例に限定されるものではない。例えば、逃がし孔７０の形状は、丸孔だけでなく、長孔や楕円孔などの形状でも良い。
【００２３】
この逃がし孔７０によれば、クローロータを搭載する非接触型真空ポンプなどの回転ポンプにおいて、大気開放側の過圧縮を抑制できる。このように過圧縮が抑制できるため、排気開放直前の容積を減少させるように排気口（後段の排気口５５Ｂ）を小さくして圧縮比を上げることが可能となる。また、排気開放直前の容積を減少させることで、ポンプ内部へ逆流する排気の気体量を抑制できる。この逆流する気体量を抑制できることで、真空ポンプの到達運転時における動力負荷低減による省エネができ、到達運転時のポンプ内部温度の上昇を抑制することができることで熱膨張抑制及び重要部品の長寿命化が可能となる。
【００２４】
そして、端壁部５２に設けられた逃がし孔７０は、回転軸２０、２０の軸方向へ開口して形成されているため、その深さは端壁部５２の厚みに相当する短いものであり、逃がし孔７０としての応答性に優れた形態となっている。すなわち、過圧縮の気体を、タイムラグが短い状態で逐次に排気できる。しかも、この逃がし孔７０は、端壁部５２の面において最適位置に容易に配置でき、その機能を最適に発揮させるように設けることができる。
また、逃がし孔７０が、端壁部５２に複数設けられることで、気体圧縮の工程中において過圧縮の気体をバランスよく適時に排気でき、その機能性をより向上できる。
【００２５】
１１はオイルバスカバーであり、駆動側の回転軸２０Ａ（図１３参照）に一体的に固定された駆動歯車２１と従動側の回転軸２０Ｂ（図１３参照）に一体的に固定された従動歯車２２とが内蔵されるオイルバス部を構成している。なお、１１ａはオイルゲージであり、オイルバス部内の潤滑油の油量を確認できるように配置されている。
【００２６】
２３は従動プーリであり、駆動側の回転軸２０Ａの一端部に一体的に固定されている。この従動プーリ２３に駆動ベルトが掛け回されて、例えば電動モータからの動力が伝達されることで、本形態例の二軸回転ポンプが駆動されるように設けられている。なお、駆動力の伝達手段はこれに限定されるものではなく、例えば、駆動側の回転軸２０Ａと電動モータの駆動軸を直列的に配置して、カップリングによって連結する形態としてもよい。
【００２７】
また、本形態例は、オイルカバー１１、前段のポンプ本体１２、前段のサイドプレート１３、後段のポンプ本体１５、後段のサイドプレート１６、及びマフラーケース１７が回転軸２０の軸方向に連結されて外郭が構成されるように設けられている。本形態例のオイルカバー１１によって形成されているオイルバス部は、動力が伝達される側に設けられており、駆動歯車２１と従動歯車２２は、それぞれが片持ちに軸受４０によって支持された回転軸２０の後端側に一体的に固定された構成となっている。
また、前段のポンプ本体１２及び後段のポンプ本体１５に備えられている各シリンダ５０は、両端の端壁部５２、５２と周壁部５３とによって形成されている。
【００２８】
６０はサイレンサ部であり、シリンダ５０の圧縮された気体を排気する排気口（後段の排気口５５Ｂ（図１４、１７など参照））からの排気と逃がし孔７０（図１４、１７など参照）からの排気とを合流させて消音させる空間としてマフラーケース１７によって形成されている。これによれば、排気音を効果的に合流消音させることができる。
すなわち、このサイレンサ部の構造は、常に開放している排気口（例えば後段の排気口５５Ｂ）からの通常排気と、逆止弁７１が開状態で逃がし孔７０から排気される過圧縮防止排気との２系統の排気を合流させて消音する１つのマフラーになっており、合理的で且つ安価な構成となっている。
【００２９】
そして、本発明に係る二軸回転ポンプでは、図２〜１１に示すように、シリンダ５０を構成する壁部に、圧縮された気体の一部を逃がすことができる逃がし孔７０が開口して複数設けられ、その逃がし孔７０のそれぞれには、シリンダ５０内の圧力が、所定の圧力よりも高圧の場合には開き、所定の圧力よりも低圧の場合には閉じる逆止弁（本形態例ではリード弁７１）が設けられ、その逆止弁７１の前記壁部に対する複数の取付構造が該壁部の厚さ方向に複数の階層状の構造に設けられて部分的に重なり合うように、複数の逃がし孔７０が開口する前記壁部が、複数階層構造に設けられている。
【００３０】
これによれば、複数の逆止弁７１の取付面を段差が付けられた複数段の構造（複数階層構造）とすることで、限られたスペース内で、逃がし孔７０の配置数を最大限に増やすことができ、過圧縮抑制効果を増大させることができる。すなわち、複数階層構造とすることで、逃がし孔７０による過圧縮抑制機構によって大気開放側過圧縮を抑制し、且つ高真空側で逃がし孔７０から逆流する排気エアのポンプ内部への進入について逃がし孔７０を塞ぐ逆止弁７１による逆流抑制機構によって抑制する、という機構の効果をより増大させることができる。また、過圧縮を抑制できることから、排気開放直前の容積を減少させるように排気口５５の開口を小さくすることが可能となって、その排気口５５からの逆流を抑制することができる。これによって、ポンプ内部の温度上昇を抑制して信頼性を向上できると共に、負荷動力を低減してポンプの運転効率をより向上できる。
【００３１】
また、図２〜１１に示した形態例においては、シリンダ５０の両端部を構成する端壁部５２、５２の少なくとも一方（本形態例では排気口５５が設けられた側の端壁部５２）に、圧縮された気体の一部を逃がすことができる逃がし孔７０が、回転軸２０、２０（図１参照）の軸方向に開口して複数設けられ、逆止弁（本形態例ではリード弁７１（７１Ａ、７１Ｂ）の端壁部５２に対する複数の取付構造が回転軸２０、２０の軸方向に複数の階層状の構造に設けられて部分的に重なり合うように、複数の逃がし孔７０が開口する端壁部５２が、複数階層構造に設けられている。
【００３２】
これによれば、二軸回転ポンプの端壁部５２において、多数の逆止弁７１にかかる取付面が複数段配置構造（本形態例では二段配置構造）になっており、限られたスペース内で逃がし孔７０の配置数を合理的に増やし、過圧縮抑制効果を増大させることができる。これにより、負荷動力及び温度上昇を大きく低減できる。また、二軸回転ポンプの端壁部５２に、逆止弁７１の取付構造が設けられることで、他の部分よりも分解し易い部分であって装着し易い部分であり、保守点検を行い易い利点もある。
【００３３】
さらにまた、図２〜１０に示した形態例では、逆止弁がリード弁７１であって、複数階層構造の端壁部５２が、シリンダ５０の端部を構成すると共に第一層のリード弁７１Ａ（図３、４参照）が装着される基層の壁盤５２ｘと、その基層の壁盤５２ｘの外側に二階層構造に重ねられて固定される台盤状であって逃がし孔７０を回転軸２０、２０（図１参照）の軸方向へ延長するように貫通した延長逃がし孔８１を備えると共に第二層のリード弁７１Ｂ（図３、４参照）が装着されるリード弁装着用台盤８０とによって構成されている。すなわち、基層の壁盤５２ｘの外面が、第一層のリード弁７１Ａが装着される第一層の取付面５２ｚとなり、リード弁装着用台盤８０の外面が、第二層のリード弁７１Ｂが装着される第二層の取付面８０ｚとなっている。
本形態例では、２７個の逃がし孔７０（図８参照）が、シリンダ５０の過圧縮が生じる部位に対応して端壁部５２の所要位置に設けられ、そのうち１６個の逃がし孔７０については第一層のリード弁７１Ａ（図９参照）によって開閉され、１１個の逃がし孔７０（図１０参照）については第二層のリード弁７１Ｂによって開閉される（図２参照）。
【００３４】
これによれば、リード弁装着用台盤８０（図５〜７参照）という一つの部材によって、逃がし孔７０を延長でき、第二層のリード弁７１Ｂに係る第二層の取付面８０ｚを設けることができる。すなわち、容易に装着して構成できる構造となっており、製造し易く、保守点検もより行い易い形態になっている。なお、図６においてグレーに塗ることで識別した面は、設置面８０ｘであり、基層の壁盤５２ｘの外面（第一層の取付面５２ｚ）に接触して安定的に固定されるように設計されている。この設置面８０ｘについて、気密性を高める必要がある場合は、シール材を適宜に用いることができるのは勿論である。また、図６のグレーに塗られていない面は、第一層のリード弁７１Ａが干渉しないでリード弁装着用台盤８０を重ねることができるように、溝状に一段掘り込まれることで形成される内溝面８２になっている。
【００３５】
また、リード弁装着用台盤８０は、台盤固定ボルト８３が、リード弁装着用台盤８０に貫通された通し孔８３ａに挿通され、基層の壁盤５２ｘに設けられた雌螺子部８３ｂに螺合されることで、基層の壁盤５２ｘに固定され、これによって、複数階層構造（本形態例では二階層構造）の端壁部５２が構成されている。なお、リード弁装着用台盤８０を二層以上に重ねることも可能で、端壁部５２を三階層以上に構成することも可能である。
さらに、７５はリード弁規制部材であり、リード弁７１が曲がって逃がし孔７０を開く際に、必要以上に反り返って曲がることを防止するように規制すると共に、リード弁７１を保護するように設けられている。本形態例のリード弁規制部材７５は、図３、４及び１１に示すように、短冊状の板材を、リード弁７１に対する斜面状の規制部と、壁部への取付け部との部分に分けるように折り曲げられて形成されている。
【００３６】
また、図１１の形態例では、第一層のリード弁７１Ａに階層状に重なって基層の壁盤５２ｘに固定されるリード弁装着用台盤８０において、リード弁装着用台盤８０の第一層のリード弁７１Ａに対面する内溝面８２に、その第一層のリード弁７１Ａの屈曲を制限する斜面状のリード弁規制面８２ａが形成されている。
これによれば、リード弁規制面８２ａをリード弁装着用台盤８０に作り込むことができ、その部分についてはリード弁規制部材７５が不要となる。このため、部品点数を減らすことができ、製造の簡易化を図って生産コストを低減でき、保守管理も容易にできる。
【００３７】
次に、図１２〜２０に基づいて、本発明が適用できる形態例であって、多段（本形態例では二段）の単位ポンプ構成を備える二軸回転ポンプであって、クローポンプである形態例について、より具体的に説明する。
本形態例では、複数（二段）の単位ポンプ構成１０Ａ、１０Ｂのうちの少なくとも一つ（単位ポンプ構成１０Ａ）が、図１３に示すように、二つの回転軸２０Ａ、２０Ｂについてロータ３０Ａ、３０Ｂの両側に軸受４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃ、４０Ｄを配することで両端が支持されることで構成されている。なお、本形態例によれば、単位ポンプ構成１０Ａが気体の流れの前段に配され、単位ポンプ構成１０Ｂが気体の流れの後段に配された構成になっている。
【００３８】
また、本形態例では、図１３に示すように、複数の単位ポンプ構成１０Ａ、１０Ｂのうち回転軸２０Ａ、２０Ｂの軸方向の両端面に位置する少なくとも一方（単位ポンプ構成１０Ｂ）が、二つの回転軸２０Ａ、２０Ｂについてロータ３０Ｃ、３０Ｄの片側であって隣接する単位ポンプ構成１０Ａとの間に配された軸受４０Ｃ、４０Ｄによって片持ち状態に支持されることで構成されている。なお、この軸受４０Ｃ、４０Ｄとしては、アンギュラ複列玉軸受を用いることができる。
【００３９】
これによれば、軸受４０Ｃ、４０Ｄを基準にして、一方にロータ３０Ａ、３０Ｂが配置され、他方にロータ３０Ｃ、３０Ｄが配置された形態となっている。このため、熱膨張が軸受４０Ｃ、４０Ｄを基準にして回転軸の軸方向の両サイドに分かれて生じる形態となっている。従って、ロータ３０とシリンダの端壁部５２とのクリアランスであるサイドクリアランスに関する熱膨張の影響は、一方のロータ３０Ａ、３０Ｂ側と他方のロータ３０Ｃ、３０Ｄ側へ分散されることになる。このため、従来の軸方向に複数のロータを備える回転軸を、その複数のロータを二つの軸受で挟むように両端支持する構造とした多段ポンプの場合に比較して、サイドクリアランスに関する熱膨張の影響は小さくて済むことになる。従って、サイドクリアランスをより小さくして、気体漏れの発生をより小さくすることが可能となり、ポンプ性能を向上させることができる。
【００４０】
さらに、本形態例では、気体を最も高圧に圧縮する最終段の前記単位ポンプ構成１０Ｂにおける回転軸２０Ａ、２０Ｂの片持ち端面側に設けられた最終段のロータ３０Ｃ、３０Ｄが、その最終段の単位ポンプ構成１０Ｂと前段の単位ポンプ構成１０Ａの間に配された軸受４０Ｃ、４０Ｄによって回転軸２０Ａ、２０Ｂを介して片持ち状態に支持されている。
【００４１】
すなわち、回転軸２０Ａ、２０Ｂに設けられ片持ち状態に支持されたロータ３０Ｃ、３０Ｄを備える単位ポンプ構成１０Ｂが、気体を最も高圧に圧縮する最終段の単位ポンプ構成になっている。
このように単位ポンプ構成１０Ｂが最終段になっている場合、一段目の単位ポンプ構成１０Ａのロータ３０Ａ、３０Ｂは、容積の大きい気体が前段のシリンダ５０Ａに導入されるため、幅が広くてより質量の大きなものになっており、両端で支持されている。そして、最終段（本形態例では２段目）の単位ポンプ構成１０Ｂのロータ３０Ｃ、３０Ｄは、気体が圧縮されて後段のシリンダ５０Ｂに導入される関係から、幅が狭くてより質量の小さなものになっており、片持ち状態に支持されている。
両端支持では、荷重が分散し、質量の大きなものにも容易に対応できるため、一段目のロータ３０Ａ、３０Ｂについては、その両端支持が適している。これに比較して、片持ち支持では、質量の大きなものには対応しにくいため、より質量の小さな最終段のロータ３０Ｃ、３０Ｄについては、片持ち支持が適している。従って、本形態例のように、多段のポンプ構造を合理的に構成することができる。
【００４２】
さらに、本形態例では、その最終段の単位ポンプ構成１０Ｂであって、後段のシリンダ５０Ｂの両端部を構成する端壁部５２Ｃ、５２Ｄのうち回転軸２０Ａ、２０Ｂが挿通されない片持ち端面側の端壁部５２Ｄに、圧縮された気体の一部を逃がすことができる逃がし孔７０（図１４、１７など参照）が、回転軸２０Ａ、２０Ｂの軸方向に開口して設けられている。
この逃がし孔７０によれば、排気開放直前の容積の減少のために排気口を小さくしても大気開放側過圧縮を抑制できる。従って、この逃がし孔７０は、大気開放側過圧縮を抑制することのできる過圧縮抑制機構の構成要素の一例となっている。
【００４３】
また、端壁部５２Ｄについては回転軸２０Ａ、２０Ｂが挿通されないため、端壁部５２Ｄの面においては逃がし孔７０の配置に関する制約がほとんど無く、その逃がし孔７０を所要の位置に適切且つ容易に設けることができる。これによっても、ポンプ性能を向上できる。
つまり、回転軸２０Ａ、２０Ｂ（シャフト）がサイドプレートを貫通している従来のような両端支持構造の場合、逃がし孔７０を配置できてもシャフトが邪魔をして逆止弁７１を最適位置に配置することが困難である。これに対してサイドプレートにシャフトを貫通させない片持ち支持構造とした場合、そのような制約がなく好適に逆止弁７１を配置・構成できる。なお、ポンプ構成を多段化した場合は、多段のポンプのうち最終段をサイドプレートにシャフトを貫通させない片持ち支持構造とすればよい。
【００４４】
この逃がし孔７０には、シリンダ５０Ａ、５０Ｂ内の圧力が、所定の圧力よりも高圧の場合には開き、所定の圧力よりも低圧の場合には閉じる逆止弁７１（図１４、１６など参照）が設けられている。この逆止弁７１は、逃がし孔７０から高真空となっているシリンダ内へ逆流する排気気体を抑制する逆流抑制機構として機能する。排気気体の高真空となっているシリンダ内への逆流を極力防止できるため、ポンプ効率を向上させることができる。
【００４５】
本形態例の逆止弁は、リード弁７１によって構成されている。このリード弁７１は、先端が半円形の短冊板状に形成され、後端側で片持ち状態に保持・固定され、先端側が自由端になっており、逃がし孔７０を開閉できるようになっている。また、リード弁７１は、ボルト穴７２ａに螺合する逆止弁固定ボルト７２によって固定されている。このリード弁７１は、逃がし孔７０の排気側に固定された逆止弁であり、その排気側の圧力と、圧縮空間内の圧力との差圧が、リード弁のバネ力（弾性）を上回った場合に開となる。このリード弁７１による逆止弁は、簡単な構造であり、コンパクト且つ安価に構成でき、容易に装着できると共に、メンテナンスも容易に行うことができる。また、逆止弁としては、本形態例のようなリード弁７１に限らず、例えば、ゴムやシリコン等の弾性体を用いるもの、スプリング（バネ）を用いてその弾性で開閉するものを用いることができる。
【００４６】
以上の構成は、単段の単位ポンプ構成を備える一軸の回転ポンプにも応用できる。すなわち、回転軸２０の片持ち端面側に設けられシリンダ５０内で回転するロータ３０が、そのロータ３０の片側に配された軸受４０によって回転軸２０を介して片持ち状態に支持され、気体をシリンダ５０内へ吸気して圧縮された気体をシリンダ５０から排気する回転ポンプにも好適に適用できる。
【００４７】
この場合にも、シリンダ５０の軸方向に両端を構成する端壁部５２、５２のうち回転軸が挿通されない片持ち端面側の端壁部５２Ｄに、圧縮された気体の一部を逃がすことができる逃がし孔７０を、回転軸２０の軸方向に開口して設けることができる。
端壁部５２Ｄについては回転軸２０が挿通されないため、この端壁部５２Ｄの面においては逃がし孔７０の配置に関する制約がほとんど無く、その逃がし孔７０を所要の位置に適切且つ容易に設けることができる。これによっても、ポンプ性能を向上できる。
【００４８】
また、以上の構成は、多段の単位ポンプ構成を備える一軸の回転ポンプにも応用できる。すなわち、シリンダ５０とロータ３０とによる単位ポンプ構成１０が、回転軸２０の軸方向について複数段に設けられている場合にも、気体を最も高圧に圧縮する最終段のシリンダ５０Ｂを構成する片持ち端面側の端壁部５２Ｄに、逃がし孔７０が設けることができる。これによっても、前述した内容と同様の効果を奏する。
【００４９】
さらに、本形態例では、前段のシリンダ５０Ａのシリンダの筒部を構成するシリンダの周壁部５３Ａ（図１５、１８参照）に、圧縮された気体の一部を逃がすことができる逃がし孔７０が設けられている。この逃がし孔７０からの逃がし気体は、シリンダの周壁部５３Ａの外側に設けられたエスケープボックス６１へ排出され、さらに、エスケープボックスの出口６１ａ（図１４参照）とマフラーケース１７のエスケープパイプ接続口１７ｃとの間を接続するエスケープパイプ６２を介して、サイレンサ部６０へ排出される。そして、その排気は、サイレンサ部６０で後述する排気口５５Ｂからの排気などと合流されて消音され、マフラーケースの排気口１７ａ（図１２参照）から外部へ放出される。
【００５０】
このシリンダの周壁部５３Ａに設けた逃がし孔７０によっても、前述したように、ポンプ内部の圧縮空間５１Ａが過圧縮になることを抑制でき、ポンプ性能を向上できる。
但し、シリンダの周壁部５３Ａに逃がし孔７０を設けた場合、その深さが前述したような端壁部５２に設けた場合より長くなるため、逃がし孔７０としての応答性については若干劣るものと考えられる。また、シリンダの周壁部５３Ａに逃がし孔７０を設ける場合は、その穿設位置に制約がかかり易く、前述したような端壁部５２に設ける場合と比較すると若干の難点がある。例えば、ロータ幅が小さい場合は確保できる逃がし孔７０の数が少なく、十分に適用できない場合もある。
【００５１】
また、本形態例では、前段の単位ポンプ構成１０Ａの排気口５５Ａから後段の単位ポンプ構成１０Ｂの吸気口（後段の吸気口３５Ｂ）に接続される接続通気路６５（図１４参照）を構成する通気路壁部６６ａに、圧縮された気体の一部を逃がすことができる逃がし孔７０が設けられている。なお、接続通気路６５は、接続ケースの入口６６ｃ及び接続ケースの出口６６ｄを備える接続ケースのベース部６６ｂと、通気路壁部６６ａを構成する蓋板状部とで形成されている接続ケースの本体部６６によって設けられている。
【００５２】
この逃がし孔７０からの逃がし気体は、通気路壁部６６ａの外側に固定された接続ケースのカバー部６７内へ排出され、さらに、接続ケースのエスケープ出口６７ａ（図１４参照）とマフラーケース１７のエスケープホース接続口１７ｂ（図１２参照）との間を接続するエスケープホース６８（図１２参照）を介して、サイレンサ部６０へ排出される。そして、その排気は、サイレンサ部６０で排気口５５Ｂからの排気などと合流されて消音され、マフラーケースの排気口１７ａから外部へ放出される。
【００５３】
また、３６は吸気ケースであって、３６ａは吸気ケースの吸気口であり、前段の単位ポンプ構成１０Ａに開口する前段の吸気口３５Ａに連通している。４３はオイルシールであり、４５は軸シールになっている。
【００５４】
次に、図２０及び図２１に基づいて、複数の逃がし孔７０を設ける場合の形態例について詳細に説明する。なお、図２０はクローポンプの構成を示すと共に排気状態の形態を示し、図２１（ａ）は図２０のクローポンプにおける気体の圧縮工程の初期状態を示し、図２１（ｂ）は気体の圧縮工程の中途で排気口５５Ｂがロータ３０Ｃの側面によって余裕を持って塞がれた状態を示し、図２１（ｃ）は気体の圧縮工程が終わる直前の状態を示している。また、図２１に記載した矢印は、ロータの回転方向を示している。
本形態例では、シリンダ（後段のシリンダ５０Ｂ）を構成するシリンダの壁部（後段シリンダの一方の端壁部５２Ｃ、後段シリンダの他方の端壁部５２Ｄ、後段の周壁部５３Ｂ）であって気体の圧縮工程で圧縮空間を構成する壁部の部位（後段シリンダの他方の端壁部５２Ｄの一部）に、圧縮された気体の一部を逃がすことができる複数の逃がし孔７０が設けられている。なお、本形態例の逃がし孔７０は、回転軸２０Ａ、２０Ｂの軸方向に開口されて設けられている。
【００５５】
そして、シリンダ（後段のシリンダ５０Ｂ）の内部での圧縮工程を通じて、その圧縮工程の圧縮比の増大に応じて減少する圧縮空間の容積に対し、複数の逃がし孔７０の開いているシリンダに面する総面積の割合が徐々に増大するように、その複数の逃がし孔７０が配置されている。すなわち、気体の圧縮比と逃がし孔の開口している総面積との積が、圧縮工程の圧縮開始から圧縮終わりまでの間で徐々に大きくなり、圧縮終わりの際には最大になるように、複数の逃がし孔７０が配置されている。なお、気体の最大の圧縮比は、圧縮を開始する瞬間の容積と、排気が開始する瞬間の容積との比となる。
【００５６】
このように複数の逃がし孔７０を配置するには、排気口５５Ｂから遠い範囲の逃がし孔７０による開口された面積よりも、排気口５５Ｂにより近い範囲の逃がし孔７０による開口された面積が大きくなるように設定すればよい。従って、複数の同じ大きさ（同径）の逃がし孔７０を配置する場合には、前記端壁部５２Ｄの排気口５５Ｂに近い部位ほど、その逃がし孔７０の数が多く設けられているとよい。すなわち、排気口５５Ｂに近いところほど、逃がし孔７０の存在する密度が高くなるように設けられているとよい。さらに、前記端壁部５２Ｄの排気口５５Ｂに近い部位ほど、逃がし孔７０のサイズを大きくすることで、上記の条件を満たすことも可能である。
【００５７】
なお、本形態例では、後段のシリンダ５０Ｂにかかる複数の逃がし孔７０の全数が、後段シリンダの他方の端壁部５２Ｄに設けられている。しかしながら、上述したような条件を満たせば、これに限定されることはなく、複数の逃がし孔７０の一部が、シリンダ（前段のシリンダ５０Ａ、後段のシリンダ５０Ｂ）の両端部を構成する端壁部（前段シリンダの一方の端壁部５２Ａ、前段シリンダの他方の端壁部５２Ｂ、後段シリンダの一方の端壁部５２Ｃ、後段シリンダの他方の端壁部５２Ｄ）の少なくとも一方に設けられている形態であってもよい。さらに、シリンダ５０の内部での圧縮工程を通じて、その圧縮工程の圧縮比の増大に応じて減少する圧縮空間の容積に対し、複数の逃がし孔７０の開いている総面積の割合が徐々に増大するという条件を満たせば、複数の逃がし孔７０をシリンダの周壁部５３に設けてもよい。
【００５８】
また、逃がし孔７０に取り付けられた逆止弁７１は、排気口５５Ｂの開口前にポンプ内部の圧力が正圧になった状態で開くように設けられている。なお、ここで「正圧」とは、逃がし孔７０の排気側の圧力よりも、圧縮空間内の圧力が上回った状態の圧力のことを意味しており、大気圧より高い圧力に限定されない。そして、排気側の圧力と、圧縮空間内の圧力との差圧が、逆止弁（リード弁７１）のバネ力（弾性）を上回った場合にそのリード弁７１が開となる。真空ポンプにおいて、吸気された負圧空気は、クロー形状ロータにより圧縮され、正圧（逆止弁７１が動作する圧力）で逆止弁７１が開き、逃がし孔７０からの排気が行われる。そのため、逃がし孔７０は、ロータ形状により形成される回転軌道の圧縮工程内でポンプ内部が正圧になる位置に、配置する必要がある。なお、排気口に近い位置ほど圧縮工程が進んで内部が高圧状態にあるため、逆止弁７１は動作し易く、且つ、圧縮工程時間が長い位置ほど逆止弁７１の動作時間が長く、大気開放側での過圧縮抑制効果が大きい。また、本形態例では、逆止弁７１がリード弁によって構成されており、その硬度・板厚を変えることで、動作圧力を変更・調整できる。
【００５９】
以上のように大気開放側の過圧縮を抑制するための逃がし孔７０の配置条件を最適に設定することで、大気開放側の過圧縮抑制にかかる効果を最大限に発揮可能とすることができる。
さらに、この逃がし孔７０については、孔数、孔径、及び孔の面取りなどの形状を、適宜選択的に最適化すればよい。
【００６０】
本形態例によれば、クローロータを搭載する非接触型真空ポンプなどの回転ポンプにおいて、逃がし孔７０による過圧縮抑制機構を設けており、この逃がし孔７０の効果について、その作用の連鎖に注目して、以下に詳細に説明する。
この過圧縮抑制機構（逃がし孔７０）によれば、排気流量の多い大気開放側（吸入される空気の圧力が大気圧に近い状態での運転がされる場合）の過圧縮を抑制でき、高真空となっているシリンダ内へ逃がし孔７０から逆流する排気気体の進入は、逃がし孔７０を塞ぐ逆止弁７１による逆流抑制機構で抑制することができる。
【００６１】
これによれば、上記のように過圧縮が抑制できるため、排気開放直前の容積を減少させるように排気口を小さくして圧縮比を上げることが可能となる。排気開放直前の容積を減少させることで、ポンプ内部へ逆流する排気の気体量を抑制できる。この逆流する気体量を抑制できることで、真空ポンプの到達運転時における動力負荷及びポンプ内部の温度の上昇を抑制することができる。
【００６２】
すなわち、本形態例によれば、排気開放直前の容積減少により、逆流気体量を抑制し、動力負荷及び温度上昇を抑制することを可能とし、さらに過圧縮抑制機構（逃がし孔７０）で大気開放側の過圧縮を抑制し、且つ高真空となっているシリンダ内側は逆流抑制機構（逆止弁７１）で逃がし孔７０からの逆流気体を抑制することで、流量を減少すること無く、且つ単段ポンプで圧力フルレンジの使用が可能な高真空圧側の高効率ポンプ構造を実現でき、且つ、その効果を最大限に発揮可能な構造になっている。
【００６３】
なお、排気開放直前の容積を減少させるには、排気口を小さくし、且つできる限りポンプ内部空気が圧縮された状態の位置に排気口を設けるとよい。つまり、圧縮比を上げるように排気口を設ける。逆流する排気の気体量の抑制には、他に、多段構造によって前段ポンプの排気を後段ポンプで引くこと、排気口に逆止弁を付ける方法がある。
【００６４】
さらに、以上の作用効果について逆の見地から説明すれば、排気開放直前の容積を減少させるために圧縮比を上げたことで、結果的に排気流量が多い大気開放側が過圧縮となることを抑制する過圧縮抑制機構としての逃がし孔７０が設けられていることになる。また、高真空となっているシリンダ内へ逃がし孔７０から逆流する排気気体を抑制する逆流抑制機構としての逆止弁７１が設けられていることになる。
【００６５】
次に、本発明が適用できる形態例であって、二軸回転ポンプの他の形態例を、添付図面（図２２〜２５、２１）に基づいて説明する。なお、図面に記載した符号については、同一名称の構成が複数ある場合について、その配されている位置を識別するために数字にＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄを付して記載しているが、以下の文中では、総括的に同一名称の構成を説明する場合は、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを付加しない数字のみの符号を記載している。例えば、回転軸を総括的に説明する場合は、「回転軸１２０」とし、二つの回転軸の配置について意識を喚起するような場合には、「二つの回転軸１２０Ａ、１２０Ｂ」というように記載してある。
本形態例は、回転ポンプのうち、容積型ポンプであって、二軸回転ポンプに属するものとなっている。二軸回転ポンプとしては、例えば、ロータ非接触型のポンプであるクローポンプ、スクリューポンプやルーツポンプなどが挙げられる。このような回転ポンプは、例えば、電動モータによって駆動され、真空ポンプやブロアなどの空気圧装置として使用される。
【００６６】
本形態例は、二つのロータ１３０（１３０Ａと１３０Ｂ、１３０Ｃと１３０Ｄの各セット）同士が微小なクリアランスを保って非接触で回転されると共に、二つのロータ１３０、１３０がシリンダ１５０（１５０Ａ、１５０Ｂ）の内面にも微小なクリアランスを保って非接触で回転されるように、そのロータ１３０、１３０を備える二つの回転軸１２０（１２０Ａ、１２０Ｂ）が軸受１４０（１４０Ａと１４０Ｂ、１４０Ｃと１４０Ｄの各セット）によって支持されて設けられ、気体をシリンダ１５０内へ吸気して圧縮された気体をシリンダ１５０から排気する二軸回転ポンプになっている。吸気口１３５Ａ、１３５Ｂで吸気されて、排気口１５５Ａ、１５５Ｂから排気される。
【００６７】
この形態例の二軸回転ポンプは、クローポンプであり、ロータ１３０、１３０は、複数の鉤形の爪部を備えている（図２５参照）。なお、クローポンプでは、気体を高圧に圧縮できるため、ポンプ内部の温度が上昇しやすい。
また、本形態例のクローポンプは、シリンダ１５０と二つのロータ１３０、１３０とによる単位ポンプ構成１１０（１１０Ａ、１１０Ｂ）が、二つの回転軸１２０Ａ、１２０Ｂの軸方向において複数段（本形態例では二段）に設けられている多段の二軸回転ポンプになっている。
【００６８】
そして、本形態例では、回転軸１２０それぞれの両端に、シリンダ１５０と二つのロータ１３０、１３０によって構成される単位ポンプ構成１１０（１１０Ａ、１１０Ｂ）が設けられ、その単位ポンプ構成１１０Ａ、１１０Ｂのどちらも、二つのロータ１３０、１３０が、その二つのロータ１３０、１３０における回転軸１２０（１２０Ａ、１２０Ｂ）の軸方向の片側であって両方の単位ポンプ構成１１０Ａ、１１０Ｂの間に配された軸受１４０（１４０Ａと１４０Ｂ、１４０Ｃと１４０Ｄの各セット）によって回転軸１２０を介して片持ち状態に支持されている。なお、この軸受１４０としては、例えばアンギュラ複列玉軸受を用いることができる。
なお、二つの軸受１４０Ａ、１４０Ｂと、二つの軸受１４０Ｃ、１４０Ｄとの間に歯車１２１、１２２を配することで、その歯車１２１、１２２については両端が支持される構成になっている。なお、二つの歯車１２１、１２２が噛合していることで、二つの回転軸１２０Ａ、１２０Ｂが反対方向に同一速度で回転するように構成されている。
【００６９】
これによれば、軸受１４０（１４０Ａ、１４０Ｂ、１４０Ｃ、１４０Ｄ）を基準にして、回転軸１２０を介して、一方にロータ１３０Ａ、１３０Ｂが配置され、他方にロータ１３０Ｃ、１３０Ｄが配置された形態となっている。このため、熱膨張が軸受１４０を基準にして回転軸の軸方向の両サイドに分かれて生じる形態となっている。従って、ロータ１３０とシリンダの軸方向の端壁部１５２とのクリアランスであるサイドクリアランスに関する熱膨張の影響は、一方のロータ１３０Ａ、１３０Ｂ側と他方のロータ１３０Ｃ、１３０Ｄ側へ分散されることになる。このため、従来の軸方向に複数のロータを備える回転軸を、その複数のロータを二つの軸受で挟むように両端支持する構造とした多段ポンプの場合に比較して、サイドクリアランスに関する熱膨張の影響は小さくて済むことになる。従って、サイドクリアランスをより小さくして、気体漏れの発生をより小さくすることが可能となり、ポンプ性能を向上させることができる。
【００７０】
また、本形態例では、回転軸１２０の両端の単位ポンプ構成１１０Ａ、１１０Ｂの両方のシリンダ１５０（１５０Ａ、１５０Ｂ）であって、そのシリンダ１５０の両端部を構成する端壁部１５２（１５２Ａ、１５２Ｂ、１５２Ｃ、１５２Ｄ）のうち回転軸１２０が挿通されない片持ち端面側の端壁部１５２（１５２Ａ、１５２Ｄ）に、圧縮された気体の一部を逃がすことができる逃がし孔１７０が回転軸１２０の軸方向に開口して設けられている。
【００７１】
さらに、本形態例では、その逃がし孔１７０が、片持ち端面側の端壁部１５２（１５２Ａ、１５２Ｄ）に複数設けられている。また、その逃がし孔１７０が設けられた片持ち端面側の端壁部１５２に、シリンダ１５０（１５０Ａ、１５０Ｂ）の圧縮された気体を排気する排気口１５５（１５５Ａ、１５５Ｂ）が設けられている。
なお、逃がし孔１７０に係る形状、大きさ、数量、配置などの形態は、本形態例に限定されるものではない。例えば、多数の逃がし孔１７０のうち少なくとも一部（複数）が、シリンダ１５０（１５０Ａ、１５０Ｂ）の内面に帯状に連続するように溝状に加工・形成された帯溝状凹部の内底面に開口されることで、その複数の逃がし孔１７０が、そのシリンダ１５０の内面の側では、その帯溝状凹部に連通して一体化され、一つの大きな孔として機能できるようにしてもよい。この場合でも、シリンダ１５０の外面（排気側の面）には、後述する逆止弁（リード弁１７１）を、各逃がし孔１７０に対応させて個々に設けてもよい。
【００７２】
この逃がし孔１７０によれば、クローロータを搭載する非接触型真空ポンプなどの回転ポンプにおいて、大気開放側の過圧縮を抑制できる。過圧縮が抑制できるため、排気開放直前の容積を減少させるように排気口（１５５Ａ、１５５Ｂ）を小さくして圧縮比を上げることが可能となる。排気開放直前の容積を減少させることで、ポンプ内部へ逆流する排気のエア量を抑制できる。この逆流するエア量を抑制できることで、真空ポンプの到達運転時における動力負荷低減による省エネができ、到達運転時のポンプ内部温度の上昇を抑制することができることで熱膨張抑制及び重要部品の長寿命化が可能となる。
【００７３】
そして、端壁部１５２に設けられた逃がし孔１７０は、回転軸１２０の軸方向へ開口して形成されているため、その深さは端壁部１５２の厚みに相当する短いものであり、逃がし孔１７０としての応答性に優れた形態となっている。すなわち、過圧縮の気体を、タイムラグが短い状態で逐次に排気できる。しかも、この逃がし孔１７０は、端壁部１５２の面において最適位置に容易に配置でき、その機能を最適に発揮させるように設けることができる。
また、逃がし孔１７０が、端壁部１５２に複数設けられることで、気体圧縮の工程中において過圧縮の気体をバランスよく適時に排気でき、その機能性をより向上できる。
【００７４】
また、本形態例では、装置両端に配されたそれぞれの端壁部１５２Ａ、１５２Ｄついては、回転軸１２０Ａ、１２０Ｂが挿通されないため、その端壁部１５２Ａ、１５２Ｄの面においては、逃がし孔１７０の配置に関する制約がほとんど無く、その逃がし孔１７０を適切且つ容易に設けることができ、ポンプ性能を向上できる。
すなわち、二つの回転軸１２０Ａ、１２０Ｂ（シャフト）がサイドプレートを貫通している従来のような両端支持構造の場合、逃がし孔１７０を配置できてもシャフトが邪魔をして逆止弁１７１を最適位置に配置することが困難である。これに対して、サイドプレート１１１、１１３（端壁部１５２Ａ、１５２Ｄ）にシャフトを貫通させない片持ち構造とした場合、そのような制約がなく好適に逆止弁１７１を配置・構成できる。
なお、図１に仮想線（二点鎖線）で示したように、一方の回転軸１２０Ａについて動力の入力のために延長された入力軸部１８０を備える場合、その入力軸部１８０はサイドプレート１１１を貫通するが、他方の回転軸１２０Ｂについてはサイドプレート１１１を貫通しない。この場合でも、逃がし孔１７０の配置に関する制約が少なくなるメリットがある。
【００７５】
この逃がし孔１７０には、シリンダ１５０Ａ、１５０Ｂ内の圧力が、所定の圧力よりも高圧の場合には開き、所定の圧力よりも低圧の場合には閉じる逆止弁１７１が設けられている。この逆止弁１７１は、逃がし孔１７０から高真空となっているシリンダ内へ逆流する排気気体を抑制する逆流抑制機構として機能する。排気気体の高真空となっているシリンダ内への逆流を極力防止できるため、ポンプ効率を向上させることができる。
【００７６】
本形態例の逆止弁は、リード弁１７１によって構成されている。このリード弁１７１は、先端が半円形の短冊板状に形成され、後端側で片持ち状態に保持・固定され、先端側が自由端になっており、逃がし孔１７０を開閉できるようになっている。また、リード弁１７１は、ボルト穴１７２ａに螺合する逆止弁固定ボルト１７２によって固定されている。このリード弁１７１は、逃がし孔１７０の排気側に固定された逆止弁であり、その排気側の圧力と、圧縮空間内の圧力との差圧が、リード弁のバネ力（弾性）を上回った場合に開となる。このリード弁１７１による逆止弁は、簡単な構造であり、コンパクト且つ安価に構成でき、容易に装着できると共に、メンテナンスも容易に行うことができる。また、逆止弁としては、本形態例のようなリード弁１７１に限らず、例えば、ゴムやシリコン等の弾性体を用いるもの、スプリング（バネ）を用いてその弾性で開閉するものを用いることができる。
【００７７】
また、１１１は一方のサイドプレートであり、１１２はポンプ本体、１１３は他方のサイドプレートである。これらの構成が回転軸１２０の軸方向に連結されて装置の外郭が設けられている。
また、１１５はオイルバス部であり、回転軸１２０Ａに一体的に固定された歯車１２１と回転軸１２０Ｂに一体的に固定された従動歯車１２２とが内蔵されるオイル室を構成している。このオイルバス部１１５は、一方の軸受（１４０Ａ、１４０Ｂ）のセットと、他方の軸受（１４０Ｃ、１４０Ｄ）のセットの間に設けられており、適切に潤滑がなされるように構成されている。なお、１４３はオイルシールである。
【００７８】
図２２の形態例においては、動力装置について図示していないが、例えば電動モータからの動力が伝達されることで、本形態例の二軸回転ポンプが駆動されるように設けることができる。なお、駆動力の伝達手段としては、例えば歯車機構を用いることができる。また、駆動力の伝達手段としては、１２０Ａを駆動側の回転軸として、１２０Ｂを従動側の回転軸とした場合、回転軸２１０Ａに電動モータの駆動軸を直列的に配置して、カップリングによって連結する形態としてもよいなど、既知の技術を適宜選択的に用いることができる。
【００７９】
また、本形態例について、片側の単位ポンプ構成（例えば、単位ポンプ構成１１０Ｂ）を、気体を最も高圧に圧縮する後段の単位ポンプ構成にすることができる。このように単位ポンプ構成１１０Ｂを後段にする場合、前段の単位ポンプ構成１１０Ａの排気口１５５Ａと後段の単位ポンプ構成１１０Ｂの吸気口１３５Ｂを接続するように、接続通気路を設ければよい。また、その場合、前段の単位ポンプ構成１１０Ａのロータ１３０Ａ、１３０Ｂは、容積の大きい気体が前段のシリンダ１５０Ａに導入されるため、幅が広くてより質量の大きなものにすることができる。そして、後段の単位ポンプ構成１１０Ｂのロータ１３０Ｃ、１３０Ｄは、気体が圧縮されて後段のシリンダ１５０Ｂに導入される関係から、幅が狭くてより質量の小さなものにすることができる。
【００８０】
以上に説明した本発明に係る両側片持ち構造の二軸回転ポンプによれば、ロータ１３０へのアクセスが容易で、クリアランス調整が必要なロータの組立て性、メンテナンス性に優れている。さらに、両側のシリンダ１５０及びロータ幅を変更するだけで、流量が異なるシリーズを容易に製作可能で、シリーズ展開の拡張性が高いという利点がある。また、装置の両端側でリード弁１７１を装着でき、両方の単位ポンプ構成１１０について、前述したように高いポンプ性能を実現しつつ、簡単且つ安価に製造できる。さらに、両側で基本的な構成が同じため、対称性があり、装置全体としてのバランスを取り易く、小型化に適し、より信頼性や経済性の高い構造をより適切に実現することができる。なお、両サイドのポンプ構成について、少なくとも一方を多段化して気体の圧縮比を高めるなど、本発明の本質を違えることなく種々の応用形態を構成することも可能である。
【００８１】
次に、図２５及び図２１に基づいて、複数の逃がし孔１７０を設ける場合の形態例について詳細に説明する。なお、図２５はクローポンプの構成を示すと共に排気状態の形態を示し、図２１（ａ）は気体の圧縮工程の初期状態を示し、図２１（ｂ）は気体の圧縮工程の中途で排気口１５５がロータ１３０の側面によって余裕を持って塞がれた状態を示し、図２１（ｃ）は気体の圧縮工程が終わる直前の状態を示している。また、図２１に記載した矢印は、ロータの回転方向を示している。
本形態例では、シリンダ１５０を構成するシリンダの壁部１５２、１５３であって気体の圧縮工程で圧縮空間１５１を構成する壁部の部位に、圧縮された気体の一部を逃がすことができる複数の逃がし孔１７０が設けられている。なお、本形態例の逃がし孔１７０は、端壁部１５２において回転軸１２０の軸方向に開口されて設けられている。
【００８２】
そして、図２１に示すように、シリンダ１５０の内部での圧縮工程を通じて、その圧縮工程の圧縮比の増大に応じて減少する圧縮空間１５１の容積に対し、複数の逃がし孔１７０の開いている総面積の割合が徐々に増大するように、その複数の逃がし孔１７０が配置されている。すなわち、気体の圧縮比と逃がし孔の開口しているシリンダに面する総面積との積が、圧縮工程の圧縮開始から圧縮終わりまでの間で徐々に大きくなり、圧縮終わりの際には最大になるように、複数の逃がし孔１７０が配置されている。
【００８３】
このように複数の逃がし孔１７０を配置するには、排気口１５５から遠い範囲の逃がし孔１７０による開口された面積よりも、排気口１５５により近い範囲の逃がし孔１７０による開口された面積が大きくなるように設定すればよい。従って、複数の同じ大きさ（同径）の逃がし孔１７０を配置する場合には、前記端壁部１５２の排気口１５５に近い部位ほど、その逃がし孔１７０の数が多く設けられているとよい。すなわち、排気口１５５に近いところほど、逃がし孔１７０の密度が高くなるように設けられているとよい。さらに、前記端壁部１５２の排気口１５５に近い部位ほど、逃がし孔１７０のサイズを大きくすることで、上記の条件を満たすことも可能である。
【００８４】
なお、本形態例では、シリンダ１５０にかかる複数の逃がし孔１７０の全数が、シリンダの自由端側の端壁部１５２に設けられている。しかしながら、上述したような条件を満たせば、これに限定されることはなく、複数の逃がし孔１７０の一部が、シリンダ１５０の両端部を構成する端壁部１５２の少なくとも一方に設けられている形態であってもよい。
さらに、シリンダ１５０の内部での圧縮工程を通じて、その圧縮工程の圧縮比の増大に応じて減少する圧縮空間１５１の容積に対し、複数の逃がし孔１７０の開いている総面積の割合が徐々に増大するという条件を満たせば、複数の逃がし孔１７０をシリンダの周壁部１５３に設けてもよい。
【００８５】
また、逃がし孔１７０に取り付けられた逆止弁１７１は、排気口１５５の開口前にポンプ内部の圧力が正圧になった状態で開くように設けられている。なお、ここで「正圧」とは、逃がし孔１７０の排気側の圧力よりも、圧縮空間内の圧力が上回った状態の圧力のことを意味しており、大気圧より高い圧力に限定されない。そして、排気側の圧力と、圧縮空間内の圧力との差圧が、逆止弁（リード弁１７１）のバネ力（弾性）を上回った場合にそのリード弁１７１が開となる。真空ポンプにおいて、吸気された負圧空気は、クロー形状ロータにより圧縮され、正圧（逆止弁１７１が動作する圧力）で逆止弁１７１が開き、逃がし孔１７０からの排気が行われる。そのため、逃がし孔１７０は、ロータ形状により形成される回転軌道の圧縮工程内でポンプ内部が正圧になる位置に、配置する必要がある。なお、排気口に近い位置ほど圧縮工程が進んで内部が高圧状態にあるため、逆止弁１７１は動作し易く、且つ、圧縮工程時間が長い位置ほど逆止弁１７１の動作時間が長く、大気開放側での過圧縮抑制効果が大きい。また、本形態例では、逆止弁１７１がリード弁によって構成されており、その硬度・板厚を変えることで、動作圧力を変更・調整できる。
【００８６】
以上のように大気開放側の過圧縮を抑制するための逃がし孔１７０の配置条件を最適に設定することで、大気開放側の過圧縮抑制にかかる効果を最大限に発揮可能とすることができる。
さらに、この逃がし孔１７０については、孔数、孔径、及び孔の面取りなどの形状を、適宜選択的に最適化すればよい。
【００８７】
本形態例によれば、クローロータを搭載する非接触型真空ポンプなどの回転ポンプにおいて、逃がし孔１７０による過圧縮抑制機構を設けており、この逃がし孔１７０の効果について、その作用の連鎖に注目して、以下に詳細に説明する。
この過圧縮抑制機構（逃がし孔１７０）によれば、排気流量の多い大気開放側（吸入される空気の圧力が大気圧に近い状態での運転がされる場合）の過圧縮を抑制でき、高真空となっているシリンダ内へ逃がし孔１７０から逆流する排気気体の進入は、逃がし孔１７０を塞ぐ逆止弁１７１による逆流抑制機構で抑制することができる。
【００８８】
これによれば、上記のように過圧縮が抑制できるため、排気開放直前の容積を減少させるように排気口を小さくして圧縮比を上げることが可能となる。排気開放直前の容積を減少させることで、ポンプ内部へ逆流する排気の気体量を抑制できる。この逆流する気体量を抑制できることで、真空ポンプの到達運転時における動力負荷及びポンプ内部の温度の上昇を抑制することができる。
【００８９】
すなわち、本形態例によれば、排気開放直前の容積減少により、逆流気体量を抑制し、動力負荷及び温度上昇を抑制することを可能とし、さらに過圧縮抑制機構（逃がし孔１７０）で大気開放側の過圧縮を抑制し、且つ高真空となっているシリンダ内側は逆流抑制機構（逆止弁１７１）で逃がし孔１７０からの逆流気体を抑制することで、流量を減少すること無く、且つ単段ポンプで圧力フルレンジの使用が可能な高真空圧側の高効率ポンプ構造を実現でき、且つ、その効果を最大限に発揮可能な構造になっている。
【００９０】
なお、排気開放直前の容積を減少させるには、排気口を小さくし、且つできる限りポンプ内部空気が圧縮された状態の位置に排気口を設けるとよい。つまり、圧縮比を上げるように排気口を設ける。逆流する排気の気体量の抑制には、他に、多段構造によって前段ポンプの排気を後段ポンプで引くこと、排気口に逆止弁を付ける方法がある。
【００９１】
さらに、以上の作用効果について逆の見地から説明すれば、排気開放直前の容積を減少させるために圧縮比を上げたことで、結果的に排気流量が多い大気開放側が過圧縮となることを抑制する過圧縮抑制機構としての逃がし孔１７０が設けられていることになる。また、高真空となっているシリンダ内側へ逃がし孔１７０から逆流する排気気体を抑制する逆流抑制機構としての逆止弁１７１が設けられていることになる。
【００９２】
以上、本発明につき好適な形態例を挙げて種々説明してきたが、本発明はこの形態例に限定されるものではなく、発明の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得るのは勿論のことである。
【符号の説明】
【００９３】
１０  単位ポンプ構成
１０Ａ  前段の単位ポンプ構成
１０Ｂ  後段の単位ポンプ構成
１１  オイルバスカバー
１１ａ  オイルゲージ
１２  前段のポンプ本体
１３  前段のサイドプレート
１５  後段のポンプ本体
１６  後段のサイドプレート
１７  マフラーケース
１７ａ  マフラーケースの排気口
１７ｂ  エスケープホース接続口
１７ｃ  エスケープパイプ接続口
２０  回転軸
２０Ａ  駆動回転軸
２０Ｂ  従動回転軸
２１  駆動歯車
２２  従動歯車
２３  従動プーリ
３０  ロータ
３０Ａ  前段の駆動回転軸側のロータ
３０Ｂ  前段の従動回転軸側のロータ
３０Ｃ  後段の駆動回転軸側のロータ
３０Ｄ  後段の従動回転軸側のロータ
３５Ａ  前段の吸気口
３５Ｂ  後段の吸気口
３６  吸気ケース
３６ａ  吸気ケースの吸気口
４０  軸受
４０Ａ  一方の駆動回転軸側の軸受
４０Ｂ  一方の従動回転軸側の軸受
４０Ｃ  他方の駆動回転軸側の軸受
４０Ｄ  他方の従動回転軸側の軸受
４３  オイルシール
４５  軸シール
５０  シリンダ
５０Ａ  前段のシリンダ
５０Ｂ  後段のシリンダ
５１Ａ  前段の圧縮空間
５１Ｂ  後段の圧縮空間
５２  端壁部
５２ｘ  基層の壁盤
５２ｚ  第一層の取付面
５２Ａ  前段シリンダの一方の端壁部
５２Ｂ  前段シリンダの他方の端壁部
５２Ｃ  後段シリンダの一方の端壁部
５２Ｄ  後段シリンダの他方の端壁部
５３  周壁部
５３Ａ  前段の周壁部
５３Ｂ  後段の周壁部
５５  排気口
５５Ａ  前段の排気口
５５Ｂ  後段の排気口
６０  サイレンサ部
６１  エスケープボックス
６１ａ  エスケープボックスの出口
６２  エスケープパイプ
６５  接続通気路
６６  接続ケースの本体部
６６ａ  通気路壁部
６６ｂ  接続ケースのベース部
６６ｃ  接続ケースの入口
６６ｄ  接続ケースの出口
６７  接続ケースのカバー部
６７ａ  接続ケースのエスケープ出口
６８  エスケープホース
７０  逃がし孔
７１  逆止弁（リード弁）
７１Ａ  第一層のリード弁
７１Ｂ  第二層のリード弁
７２  逆止弁固定ボルト
７２ａ  ボルト穴
７５  リード規制部材
８０  リード弁装着用台盤
８０ｘ  設置面
８０ｚ  第二層の取付面
８１  延長逃がし孔
８２  内溝面
８２ａ  リード弁規制面
８３  台盤固定ボルト
８３ａ  通し孔
８３ｂ  雌螺子部
１１０  単位ポンプ構成
１１０Ａ  単位ポンプ構成
１１０Ｂ  単位ポンプ構成
１１１  一方のサイドプレート
１１２  ポンプ本体
１１３  他方のサイドプレート
１１５  オイルバス部
１２０  回転軸
１２０Ａ  回転軸
１２０Ｂ  回転軸
１２１  歯車
１２２  歯車
１３０  ロータ
１３０Ａ  ロータ
１３０Ｂ  ロータ
１３０Ｃ  ロータ
１３０Ｄ  ロータ
１３５Ａ  吸気口
１３５Ｂ  吸気口
１４０  軸受
１４０Ａ  一方側の軸受
１４０Ｂ  一方側の軸受
１４０Ｃ  他方側の軸受
１４０Ｄ  他方側の軸受
１４３  オイルシール
１５０  シリンダ
１５０Ａ  シリンダ
１５０Ｂ  シリンダ
１５１  圧縮空間
１５２  端壁部
１５２Ａ  端壁部
１５２Ｂ  端壁部
１５２Ｃ  端壁部
１５２Ｄ  端壁部
１５３  周壁部
１５５  排気口
１５５Ａ  排気口
１５５Ｂ  排気口
１７０  逃がし孔
１７１  逆止弁（リード弁）
１７２  逆止弁固定ボルト
１７２ａ  ボルト穴
【図１】
2016075242.tif 000003
【図２】
2016075242.tif 000004
【図３】
2016075242.tif 000005
【図４】
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【図５】
2016075242.tif 000007
【図６】
2016075242.tif 000008
【図７】
2016075242.tif 000009
【図８】
2016075242.tif 000010
【図９】
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【図１０】
2016075242.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
2016075242.tif 000014
【図１３】
2016075242.tif 000015
【図１４】
2016075242.tif 000016
【図１５】
2016075242.tif 000017
【図１６】
2016075242.tif 000018
【図１７】
2016075242.tif 000019
【図１８】
2016075242.tif 000020
【図１９】
2016075242.tif 000021
【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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