(57)【要約】【課題】複数の波長による光を用いて対象物を精度良く、短時間で測定することができる画像測定装置及び画像測定方法を提供すること【解決手段】画像測定装置は、青色領域の光、緑色領域の光及び赤色領域の光をそれぞれ出射する可視光光源と、赤外線領域の光を出射する赤外線光源と、対象物での反射光及び透過光の少なくとも一方を受けて電気信号に変換する撮像部と、対象物と撮像部との相対的な位置を変更することなく対象物における可視光領域及び赤外線領域のそれぞれの光を撮像部へ導く光学系と、青色領域の光量、緑色領域の光量、赤色領域の光量及び赤外線領域の光量のそれぞれを独立して制御する光量制御部と、撮像部で変換して得た電気信号を処理して対象物の情報を検出する演算部と、を備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
可視光領域における青色領域、緑色領域及び赤色領域の光を出射する可視光光源と、
赤外線領域の光を出射する赤外線光源と、
対象物での反射光及び透過光の少なくともいずれかを受けて電気信号に変換する撮像部と、
前記対象物と前記撮像部との相対的な位置関係を変更することなく前記対象物における可視光領域及び赤外線領域のそれぞれの光を前記撮像部へ導く光学系と、
前記青色領域の光量、前記緑色領域の光量、前記赤色領域の光量及び前記赤外線領域の光量のそれぞれを独立して制御する光量制御部と、
前記撮像部から出力された前記電気信号を処理して前記対象物の情報を検出する演算部と、
を備えたことを特徴とする画像測定装置。
【請求項２】
前記赤外線光源は、前記対象物に対して前記光学系とは反対側に配置されたことを特徴とする請求項１記載の画像測定装置。
【請求項３】
前記赤外線光源は、前記対象物に対して前記光学系と同じ側に配置されたことを特徴とする請求項１記載の画像測定装置。
【請求項４】
青色領域の光量、緑色領域の光量、赤色領域の光量及び赤外線領域の光量を独立して制御して可視光領域の光及び赤外線領域の光をそれぞれ生成する工程と、
前記可視光領域の光及び前記赤外線領域の光を対象物に向けて照射する工程と、
前記対象物と撮像部との相対的な位置関係を変更することなく前記対象物における可視光領域及び赤外線領域のそれぞれの光を同時に撮像部で受けて電気信号に変換する工程と、
前記撮像部から出力された前記電気信号を処理して前記対象物の情報を検出する工程と、
を備えたことを特徴とする画像測定方法。
【請求項５】
前記可視光領域の光及び前記赤外線領域の光をそれぞれ生成する工程では、前記対象物の検出位置が表面か、内面かに応じて前記青色領域の光量、前記緑色領域の光量、前記赤色領域の光量、及び赤外線領域の光量のうち少なくとも１つを制御することを特徴とする請求項４記載の画像測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定する対象物に光を照射してその対象物の画像を取得し、寸法、高さ、形状等を測定する画像測定装置機及び画像測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
画像測定装置は、測定する対象物に向けて光を照射する光源と、対象物を撮像する撮像部と、撮像部で取得した画像を解析して対象物の寸法等を求める演算部と、を備える。このような画像測定装置のうち、特許文献１に記載の光学式測定装置では、対象物の可視観察を行う可視観察部と、対象物の特殊観察を行う特殊観察部と、を備えた構成が開示される。可視観察部は白色光を用いて測定対象物からの戻り光を取り込み、特殊観察部は近赤外光や励起光を用いて測定対象物からの戻り光を取り込んでいる。これにより、可視光のみならず、近赤外観察や蛍光観察といった特殊観察を行うことができるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１２８２９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、異なる波長の光を用いて対象物の測定を行う構成では、複数の光源のそれぞれに対応して対物レンズ等の光学系を設ける必要があり、測定装置の大型化を招く。また、対象物の同じ位置を異なる波長の光で観察しようとした場合、それぞれの光学系と対象物との位置合わせを行う必要がある。このような位置合わせの時間によって測定スループットの低下を招く。さらに、それぞれの光学系を介して取得した画像に位置ずれが発生する可能性があり、測定精度を低下させる原因となる。
【０００５】
本発明の目的は、複数の波長による光を用いて対象物を精度良く、短時間で測定することができる画像測定装置及び画像測定方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明の画像測定装置は、可視光領域における青色領域、緑色領域及び赤色領域の光を出射する可視光光源と、赤外線領域の光を出射する赤外線光源と、対象物での反射光及び透過光の少なくともいずれかを受けて電気信号に変換する撮像部と、前記対象物と前記撮像部との相対的な位置関係を変更することなく対象物における可視光領域及び赤外線領域のそれぞれの光を前記撮像部へ導く光学系と、青色領域の光量、緑色領域の光量、赤色領域の光量及び赤外線領域の光量のそれぞれを独立して制御する光量制御部と、撮像部から出力された電気信号を処理して対象物の情報を検出する演算部と、を備える。
【０００７】
このような構成によれば、可視光領域の光及び赤外線領域の光を用いて対象物の情報を検出するにあたり、対象物と撮像部との相対的な位置関係を変更することなく可視光領域及び赤外線領域のそれぞれの光を撮像部へ導くため、対象物の可視光画像及び赤外線画像を一括して取得することができる。また、青色領域の光量、緑色領域の光量、赤色領域の光量及び赤外線領域の光量をそれぞれ独立して制御できるため、青、緑、赤及び赤外のバランス調整によって目的とする像を強調して取り込むことができるようになる。
【０００８】
本発明の画像測定装置において、赤外線光源部は、対象物に対して光学系とは反対側に配置されていてもよい。このような構成により、赤外線領域の光について対象物の透過像を取り込むことができる。また、赤外線光源部は、対象物に対して光学系と同じ側に配置されていてもよい。このような構成により、赤外線領域の光について対象物の反射像を取り込むことができる。
【０００９】
また、本発明の画像測定方法は、青色領域の光量、緑色領域の光量、赤色領域の光量及び赤外線領域の光量を独立して制御して可視光領域の光及び赤外線領域の光をそれぞれ生成する工程と、可視光領域の光及び赤外線領域の光を対象物に向けて照射する工程と、対象物と撮像部との相対的な位置関係を変更することなく対象物における可視光領域及び赤外線領域のそれぞれの光を撮像部で受けて電気信号に変換する工程と、撮像部から出力された電気信号を処理して対象物の情報を検出する工程と、を備える。
【００１０】
このような構成によれば、青色領域の光量、緑色領域の光量、赤色領域の光量及び赤外線領域の光量を独立して制御しているため、青、緑、赤及び赤外のバランス調整によって目的とする像を強調して取り込むことができるようになる。一般的に、各材料には、それぞれ固有の透過波長領域が存在する。例えば、赤外線は、シリコンウェーハのような単結晶シリコンを透過することが知られている。この赤外線の透過特性を利用した測定装置も商品化されている。これにより、シリコン同士の接合面など、表面からは観察できない内部の状態を測定することができる。
【００１１】
本発明の画像測定方法において、可視光領域の光及び赤外線領域の光をそれぞれ生成する工程では、対象物の反射像を測定したい場合は、青色領域の光量、緑色領域の光量及び赤色領域の光量のうち少なくとも１つを制御する。
【００１２】
このような構成によれば、対象物の反射像か透過像か測定したい像に応じて画像を取得することができ、表面の反射像のみならず赤外線が透過する材料内側の透過像も測定することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１実施形態に係る画像測定装置を例示する斜視図である。
【図２】第１実施形態に係る画像測定装置の構成を例示するブロック図である。
【図３】第１実施形態に係る画像測定装置の撮像部を例示する模式図である。
【図４】（ａ）及び（ｂ）は、可視画像及び赤外画像の例を示す模式図である。
【図５】（ａ）〜（ｄ）は、光量の調整によって得られる画像の例を表す模式図である。
【図６】第２実施形態に係る画像測定方法の流れを例示するフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
〔第１実施形態〕
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明では、同一の部材には同一の符号を付し、一度説明した部材については適宜その説明を省略する。
図１は、本実施形態に係る画像測定装置を例示する斜視図である。
図１に表したように、本実施形態に係る画像測定装置１は、装置本体１０と、コンピュータシステム２０と、を備える。装置本体１０は、架台１１、ステージ１２、Ｘ軸ガイド１４及び撮像ユニット１５を含む。架台１１は、例えば除振台３の上に配置され、外部の震動が架台１１の上のステージ１２や撮像ユニット１５へ伝わることを抑制している。
【００１５】
ステージ１２は、架台１１の上に配置される。ステージ１２は、測定の対象物であるワークＷを載置する台である。ステージ１２は、図示しないＹ軸駆動機構により架台１１に対してＹ軸方向（Ｙ軸に沿った方向）に移動可能に設けられる。
【００１６】
架台１１の両側部には支持部１３ａ及び１３ｂが設けられる。支持部１３ａ及び１３ｂのそれぞれは架台１１の側部から上方に延びるよう設けられる。Ｘ軸ガイド１４はこの支持部１３ａ及び１３ｂの上に、これらを跨ぐように設けられる。Ｘ軸ガイド１４には撮像ユニット１５が取り付けられる。撮像ユニット１５は、図示しないＸ軸駆動機構によりＸ軸ガイド１４に沿いＸ軸方向（Ｘ軸に沿った方向）に移動可能に設けられる。
【００１７】
撮像ユニット１５は、図示しないＺ軸駆動機構によってＺ軸方向（Ｚ軸に沿った方向）に移動可能に設けられる。このような構成により、ステージ１２上のワークＷと、撮像ユニット１５とのＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸のそれぞれに沿った相対的な位置関係が設定可能になる。すなわち、この位置関係を調整することで、撮像ユニット１５による撮像領域をワークＷの測定領域に合わせることができる。
【００１８】
コンピュータシステム２０は、コンピュータ本体２０１、キーボード２０２、ジョイスティック２０３、マウス２０４及びディスプレイ２０５を備える。コンピュータ本体２０１は、装置本体１０の動作等を制御する。コンピュータ本体２０１は、制御ボード等の回路（ハードウェア）及びＣＰＵで実行されるプログラム（ソフトウェア）によって装置本体１０の動作を制御する。また、コンピュータ本体２０１は、装置本体１０から出力される信号に基づきワークＷの情報を演算し、演算結果をディスプレイ２０５に表示する。
【００１９】
ジョイスティック２０３は、ワークＷの撮像領域を設定する際に用いられる。すなわち、ユーザがジョイスティック２０３を操作することで、ワークＷと撮像ユニット１５との相対的な位置関係が変化して、ディスプレイ２０５に表示される撮像領域の位置を調整することができる。
【００２０】
図２は、本実施形態に係る画像測定装置の構成を例示するブロック図である。
図２に表したように、画像測定装置１の撮像ユニット１５には、可視光光源５０と、撮像部７０と、光学系８０とが含まれる。また、画像測定装置１のステージ１２の下方には、赤外線光源６０が設けられる。
【００２１】
可視光光源５０は、可視光領域における青色領域、緑色領域及び赤色領域の光を出射する。ここで、青色領域の光は、波長４５０ｎｍ以上４９５ｎｍ以下程度の光である。緑色領域の光は、波長４９５ｎｍ以上５７０ｎｍ以下程度の光である。赤色領域の光は、波長６２０ｎｍ以上７５０ｎｍ以下程度の光である。
【００２２】
可視光光源５０は、ステージ１２の上側（ワークＷが配置される側）に設けられる。可視光光源５０は、ワークＷの上から可視光を照射する位置に配置される。なお、可視光光源５０は、ワークＷに対して斜め上方から可視光を照射する位置に配置されていてもよい。可視光光源５０には、例えばＬＥＤ（Light Emitting Diode）が用いられる。
【００２３】
赤外線光源６０は、赤外線領域の光を出射する。赤外線領域の光は、赤色領域の光の波長よりも長く、波長２５００ｎｍ以下程度の光である。赤外線光源６０は、ステージ１２の下側（ワークＷが配置される側とは反対側）に設けられる。なお、赤外線光源６０は、ステージ１２の上側に設けられていてもよい。赤外線光源６０には、例えば赤外ＬＥＤが用いられる。
【００２４】
撮像部７０は、例えばＣＣＤ（Charge Coupled Device）センサやＣＭＯＳ（Complementary Metal-Oxide Semiconductor）センサなどの撮像素子を有する。撮像部７０は、ワークＷでの反射光及び透過光の少なくともいずれかを受けて電気信号に変換する部分である。本実施形態では、撮像部７０は、可視光領域及び赤外線領域の両方の光を一括して取り込むことができる。
【００２５】
光学系８０は、ワークＷと撮像部７０との相対的な位置関係を変更することなく可視光領域及び赤外線領域のそれぞれの光を撮像部７０へ導く。例えば、光学系８０の光軸は、可視光領域及び赤外線領域のそれぞれの光について共通になっている。光学系８０は、可視光領域及び赤外線領域のそれぞれの光について光路を途中から分岐する構成を備えていてもよい。
【００２６】
本実施形態では、可視光領域及び赤外線領域のそれぞれの光に対応して別個に光学系を設ける必要がないため、装置をコンパクトにすることができる。また、ワークＷの可視光領域の光による画像（可視画像Ｍ１）と、赤外線領域の光による画像（赤外画像Ｍ２）とを得たい場合に、これらの画像を一つの光学系８０及び撮像部７０で同時に取得することができる。これにより、可視画像Ｍ１及び赤外画像Ｍ２のそれぞれを取得する際の撮像ユニット１５の変更や切り替えが不要になり、ワークＷの同じ位置における可視画像Ｍ１及び赤外画像Ｍ２を得ることができる。
【００２７】
画像測定装置１のコンピュータ本体２０１には、光量制御部２１０と、演算部２２０とが設けられる。光量制御部２１０は、可視光光源５０における青色領域の光量、緑色領域の光量、赤色領域の光量及び赤外線光源６０における赤外線領域の光量のそれぞれを独立して制御する部分である。光量制御部２１０は、可視光光源５０及び赤外線光源６０に与える電流量などを制御する。これにより、各波長の光量が別個に調整される。
【００２８】
演算部２２０は、撮像部７０から出力された電気信号を処理してワークＷの情報を検出する部分である。演算部２２０は、撮像部７０で撮像して得た可視画像Ｍ１及び赤外画像Ｍ２の情報を用いて所定の演算を行い、ワークＷの表面状態、外形、孔径、高さなどを求める。
【００２９】
演算部２２０で検出した結果は、ディスプレイ２０５に表示される。また、ディスプレイ２０５には、撮像部７０で撮像して得たワークＷの可視画像Ｍ１と、ワークＷの赤外画像Ｍ２とが表示される。可視画像Ｍ１及び赤外画像Ｍ２は、ディスプレイ２０５に並列表示されても、切り替えによって別個に表示されてもよい。
【００３０】
図３は、本実施形態に係る画像測定装置の撮像部を例示する模式図である。
図３に表したように、撮像部７０Ａは、第１撮像素子１５１と、第２撮像素子１５２と、プリズム１５３とを備える。第１撮像素子１５１は、可視光を受けて電気信号に変換する例えばＣＣＤである。第２撮像素子１５２は、赤外線を受けて電気信号に変換する例えばＣＣＤである。
【００３１】
第１撮像素子１５１、第２撮像素子１５２及びプリズム１５３は、一つの筐体１５０内に組み込まれている。この撮像部７０Ａでは、プリズム１５３に到達した光のうち可視光領域の光はそのまま透過して第１撮像素子１５１に達する。一方、赤外線領域の光はプリズム１５３の第１面１５３ａ及び第２面１５３ｂで反射して第２撮像素子１５２に達する。この撮像部７０Ａによって、第１撮像素子１５１から可視光に基づく電気信号Ｓｉｇ１を得て、第２撮像素子１５２から赤外線に基づく電気信号Ｓｉｇ２を得ることができる。
【００３２】
このような構成を備えた画像測定装置１では、ワークＷの情報を検出するにあたり、ワークＷと撮像部７０との相対的な位置関係を変更することなく、可視画像Ｍ１及び赤外画像Ｍ２を一括して取得することができる。
【００３３】
さらに、画像測定装置１では、光量制御部２１０によって青色領域の光量、緑色領域の光量、赤色領域の光量及び赤外線領域の光量をそれぞれ独立して制御することができる。したがって、青、緑、赤及び赤外の各光量のバランス調整によって目的とする像を強調して取り込むことができるようになる。
【００３４】
図４（ａ）及び（ｂ）は、可視画像及び赤外画像の例を示す模式図である。
図４（ａ）にはワークＷの可視画像Ｍ１の例が表され、図４（ｂ）にはワークＷの赤外画像Ｍ２が表される。図４（ａ）に表される可視画像Ｍ１は、ワークＷからの可視光の反射光に基づく画像である。図４（ｂ）に表される赤外画像Ｍ２は、ワークＷを透過した赤外線領域の光に基づく画像である。なお、両画像とも、ワークＷの同じ位置の像を取り込んだものである。
【００３５】
本実施形態に係る画像測定装置１では、図４（ａ）に表した可視画像Ｍ１と、図４（ｂ）に表した赤外画像Ｍ２とを同時に取得することができる。このワークＷの可視画像Ｍ１では、複数のパターンＰ１、Ｐ２及びＰ３の画像が現れている。すなわち、可視光に反射したパターンＰ１、Ｐ２及びＰ３の画像が得られている。一方、この可視画像Ｍ１では、ワークＷの内部に設けられたパターンの画像は得られていない。
【００３６】
図４（ｂ）に表した赤外画像Ｍ２では、ワークＷの内部に設けられたパターンＰ１０の画像が現れている。すなわち、赤外線の透過光に基づきワークＷの内部のパターンＰ１０の画像が得られている。一方、この赤外画像Ｍ２では、ワークＷの表面に設けられたパターンＰ１、Ｐ２及びＰ３の画像は得られていない。
【００３７】
本実施形態に係る画像測定装置１では、ワークＷの検出したい部分に応じて可視画像Ｍ１及び赤外画像Ｍ２を適宜選択的に用いることで、ワークＷの表面のみならず内部の状態についても測定することができる。
【００３８】
図５（ａ）〜（ｄ）は、光量の調整によって得られる画像の例を表す模式図である。
図５（ａ）には、赤色領域の光量を多くした場合の可視画像Ｍ１Ｒ及び信号ＳｉｇＲが表される。すなわち、光量制御部２１０によって可視光光源５０の赤色領域の光量を他の色に比べて多くするよう調整し、可視画像Ｍ１Ｒを取得する。赤色領域の光量が多いため、可視画像Ｍ１Ｒでは、赤色を多く反射するパターンＰ１の画像が強調される。この可視画像Ｍ１Ｒの検出ラインＬに沿った信号強度が信号ＳｉｇＲである。可視画像Ｍ１Ｒから得られた信号ＳｉｇＲによって、パターンＰ１の例えば幅ｗ１が的確に測定される。
【００３９】
図５（ｂ）には、緑色領域の光量を多くした場合の可視画像Ｍ１Ｇ及び信号ＳｉｇＧが表される。すなわち、光量制御部２１０によって可視光光源５０の緑色領域の光量を他の色に比べて多くするよう調整し、可視画像Ｍ１Ｇを取得する。緑色領域の光量が多いため、可視画像Ｍ１Ｇでは、緑色を多く反射するパターンＰ２の画像が強調される。この可視画像Ｍ１Ｇの検出ラインＬに沿った信号強度が信号ＳｉｇＧである。可視画像Ｍ１Ｇから得られた信号ＳｉｇＧによって、パターンＰ２の例えば幅ｗ２が的確に測定される。
【００４０】
図５（ｃ）には、青色領域の光量を多くした場合の可視画像Ｍ１Ｂ及び信号ＳｉｇＢが表される。すなわち、光量制御部２１０によって可視光光源５０の青色領域の光量を他の色に比べて多くするよう調整し、可視画像Ｍ１Ｂを取得する。青色領域の光量が多いため、可視画像Ｍ１Ｂでは、青色を多く反射するパターンＰ３の画像が強調される。この可視画像Ｍ１Ｂの検出ラインＬに沿った信号強度が信号ＳｉｇＢである。可視画像Ｍ１Ｂから得られた信号ＳｉｇＢによって、パターンＰ３の例えば幅ｗ３が的確に測定される。
【００４１】
図５（ｄ）には、赤外線領域の光量を多くした場合の赤外画像Ｍ２及び信号ＳｉｇＩＲが表される。すなわち、光量制御部２１０によって赤外線光源６０の赤外線領域の光量を他の色に比べて多くするよう調整し、赤外画像Ｍ２を取得する。赤外線領域の光量が多いため、赤外画像Ｍ２では、ワークＷの内部のパターンＰ１０の画像が強調される。この赤外画像Ｍ２の検出ラインＬに沿った信号強度が信号ＳｉｇＩＲである。赤外画像Ｍ２から得られた信号ＳｉｇＩＲによって、パターンＰ１０の例えば幅ｗ４が的確に測定される。
【００４２】
このように、本実施形態に係る画像測定装置１では、青、緑、赤及び赤外のバランス調整によってワークＷにおける測定したい部分の画像を強調して取得することができ、不要な画像に邪魔されることなく目的の箇所を的確に測定することが可能になる。 
【００４３】
また、画像測定装置１では、ワークＷの表面の反射像、透過像のいずれかを測定したい場合に応じて、赤、緑、青および赤外の各光量のバランスを調整してもよい。たとえば、ワークWの透過像を測定したい場合は、赤外の光量を多くする。たとえば、ワークWの反射像を測定したい場合は、赤色、緑色、青色の各領域の光量を多くする。このようなバランス調整によって、反射像と透過像を的確に取得することができるようになる。 
【００４４】
また、画像測定装置１では、可視画像Ｍ１Ｒ、Ｍ１Ｇ及びＭ１Ｂのうち少なくとも１つと、赤外画像Ｍ２とを用いて所定の演算を行い、目的の画像を強調するようにしてもよい。また、画像測定装置１では、可視画像Ｍ１Ｒ、Ｍ１Ｇ及びＭ１Ｂのうち少なくとも２つを用いて所定の演算を行い、目的の画像を強調するようにしてもよい。
【００４５】
例えば、複数の配線層を有する半導体素子をワークＷとした場合、配線層の材料に応じて強調される可視画像Ｍ１Ｒ、Ｍ１Ｇ及びＭ１Ｂを取得する。そして、可視画像Ｍ１Ｒ、Ｍ１Ｇ及びＭ１Ｂのうち選択したものを重ねて表示することで、選択された配線層の重なり具合を検出することができる。
また、配線層の深さに応じて強調される可視画像Ｍ１Ｒ、Ｍ１Ｇ、Ｍ１Ｂ及び赤外画像Ｍ２を取得し、選択されたものを重ねて表示するようにしてもよい。
【００４６】
〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態に係る画像測定方法について説明する。なお、本実施形態では画像測定装置１を用いた画像測定方法について説明する。
図６は、本実施形態に係る画像測定方法の流れを例示するフローチャートである。
先ず、ステージ１２にワークＷを載置する（ステップＳ１０１）。次に、可視光光源５０及び赤外線光源６０の光量を調整する。すなわち、光量制御部２１０によって、青色領域の光量、緑色領域の光量、赤色領域の光量及び赤外線領域の光量のそれぞれを調整し、所望のバランスに設定する。そして、バランス調整した光をワークＷに照射する（ステップＳ１０３）。
【００４７】
次に、撮像部７０によってワークＷからの反射光及び透過光の少なくともいずれかを取り込むとともに、可視画像Ｍ１及び赤外画像Ｍ２をディスプレイ２０５に表示する（ステップＳ１０４）。次に、撮像部７０から出力された電気信号に基づき演算を行う（ステップＳ１０５）。そして、演算結果をディスプレイ２０５に表示する（ステップＳ１０６）。
【００４８】
このような画像測定方法により、青、緑、赤及び赤外のバランス調整によって、ワークＷにおける測定したい箇所の画像を強調して取得することができ、不要な画像に影響を受けずに的確な測定を行うことが可能になる。
【００４９】
なお、このような画像測定方法の少なくとも一部は、コンピュータシステム２０によるプログラム処理によって実現されてもよい。このプログラムはコンピュータ読取可能な記録媒体に記録されたり、ネットワークを介して配信され得る。
【００５０】
以上説明したように、実施形態によれば、複数の波長による光を用いてワークＷを精度良く、短時間で測定することができる画像測定装置１及び画像測定方法を提供することが可能になる。
【００５１】
なお、上記に本実施形態を説明したが、本発明はこれらの例に限定されるものではない。例えば、画像測定装置１においてコンピュータシステム２０に相当する構成が、装置本体１０に組み込まれていてもよい。また、前述の各実施形態に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除、設計変更を行ったものや、各実施形態の特徴を適宜組み合わせたものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含有される。
【符号の説明】
【００５２】
１…画像測定装置
１０…装置本体
１１…架台
１２…ステージ
１３ａ…支持部
１４…Ｘ軸ガイド
１５…撮像ユニット
２０…コンピュータシステム
５０…可視光光源
６０…赤外線光源
７０…撮像部
８０…光学系
２０１…コンピュータ本体
２０２…キーボード
２０３…ジョイスティック
２０４…マウス
２０５…ディスプレイ
２１０…光量制御部
２２０…演算部
Ｗ…ワーク
【図１】
2016003992.tif 000003
【図２】
2016003992.tif 000004
【図３】
2016003992.tif 000005
【図４】
2016003992.tif 000006
【図５】
2016003992.tif 000007
【図６】
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