(57)【要約】【課題】生産性（特に耐失透性）に優れると共に、フッ酸系薬液に対するエッチングレートが速く、しかも高歪点の無アルカリガラスを創案することにより、ガラス板の製造コストを低廉化しつつ、薄型のディスプレイパネルの製造工程において、スループットを向上させ、更にｐ−Ｓｉ・ＴＦＴの製造工程におけるガラス板の熱収縮を低減する。【解決手段】本発明の無アルカリガラスは、ガラス組成として、モル％で、ＳｉＯ２＋Ａｌ２Ｏ３  ８０〜９０％、ＳｉＯ２  ６８〜７８％、Ａｌ２Ｏ３  ９〜１５％、Ｂ２Ｏ３  ０〜１．５％、ＣａＯ  １〜１５％を含有し、実質的にアルカリ金属酸化物を含有せず、歪点が７４０℃より高いことを特徴とする。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス組成として、モル％で、ＳｉＯ２＋Ａｌ２Ｏ３  ８０〜９０％、ＳｉＯ２  ６８〜７８％、Ａｌ２Ｏ３  ９〜１５％、Ｂ２Ｏ３  ０〜１．５％、ＣａＯ  １〜１５％を含有し、実質的にアルカリ金属酸化物を含有せず、歪点が７４０℃より高いことを特徴とする無アルカリガラス。
【請求項２】
［ＳｉＯ２＋Ａｌ２Ｏ３−Ｂ２Ｏ３］の含有量が８０％以上であることを特徴とする請求項１に記載の無アルカリガラス。
【請求項３】
Ｂ２Ｏ３の含有量が０．３モル％以下であることを特徴とする請求項１に記載の無アルカリガラス。
【請求項４】
ガラス組成として、更に、ＳｎＯ２を０．００１〜１モル％含み、且つ１６００℃より高い温度で清澄されてなることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の無アルカリガラス。
【請求項５】
ヤング率が７６ＧＰａより大きいことを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の無アルカリガラス。
【請求項６】
ヤング率／密度が２８．５ＧＰａ／ｇ・ｃｍ−３より大きいことを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の無アルカリガラス。
【請求項７】
液相温度が１３３０℃より低いことを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の無アルカリガラス。
【請求項８】
１０２．５ポアズにおける温度が１８００℃以下であることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の無アルカリガラス。
【請求項９】
液相温度における粘度が１０４．８ポアズ以上であることを特徴とする請求項１〜８の何れかに記載の無アルカリガラス。
【請求項１０】
ガラス内部に成形合流面を有することを特徴とする請求項１〜９の何れかに記載の無アルカリガラス。
【請求項１１】
有機ＥＬデバイスに用いることを特徴とする請求項１〜１０の何れかに記載の無アルカリガラス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、無アルカリガラスに関し、特に有機ＥＬディスプレイに好適な無アルカリガラスに関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬディスプレイ等の電子デバイスは、薄型で動画表示に優れると共に、消費電力も低いため、携帯電話のディスプレイ等の用途に使用されている。
【０００３】
有機ＥＬディスプレイの基板として、ガラス板が広く使用されている。この用途のガラス板には無アルカリガラスが使用されている。これにより、熱処理工程で成膜された半導体物質中にアルカリイオンが拡散する事態を防止することができる。
【０００４】
この用途の無アルカリガラスには、以下の特性が要求される。
（１）ガラス板を低廉化するために、生産性に優れること、特に耐失透性や溶融性に優れること。
（２）ｐ−Ｓｉ・ＴＦＴの製造工程において、ガラス板の熱収縮を低減するために、歪点が高いこと。
【０００５】
近年では、上記要求に加えて、（３）ディスプレイの軽量化、薄型化、更にはフレキシブル化等の要求が高まっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第３８０４１１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ディスプレイの薄型化には、一般的にケミカルエッチングが用いられている。この方法は、２枚のガラス板を貼り合わせたディスプレイパネルをフッ酸系薬液に浸漬させることにより、ガラス板を薄くする方法である。
【０００８】
しかし、従来の無アルカリガラスは、フッ酸系薬液に対する耐性が高いため、エッチング速度が非常に低いという課題があった。エッチング速度を高めるために、薬液中のフッ酸濃度を高めると、フッ酸系溶液中に不溶な微粒子が多くなり、結果として、この微粒子がガラス表面に付着し易くなり、ガラス板の表面においてエッチングの均一性が損なわれる。
【０００９】
そこで、ガラス組成中のＢ２Ｏ３の含有量を低減すると、エッチング速度を高めることが可能になるが、この場合、耐失透性が低下し易くなる。一方、Ａｌ２Ｏ３の含有量を低減すると、耐失透性を高めることが可能になるが、この場合、歪点が低下して、ｐ−Ｓｉ・ＴＦＴの製造工程において、ガラス板の熱収縮が大きくなる。よって、無アルカリガラスについて、フッ酸系薬液に対するエッチング速度を高めようとすると、高歪点と高耐失透性を両立させることが困難になる。
【００１０】
そこで、本発明は、生産性（特に耐失透性）に優れると共に、フッ酸系薬液に対するエッチング速度が速く、しかも高歪点の無アルカリガラスを創案することにより、ガラス板の製造コストを低廉化しつつ、薄型のディスプレイパネルの製造工程において、スループットを向上させ、更にｐ−Ｓｉ・ＴＦＴの製造工程におけるガラス板の熱収縮を低減することを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者は、種々の実験を繰り返した結果、無アルカリガラスのガラス組成範囲を厳密に規制すると共に、ガラス特性を所定範囲に規制することにより、上記技術的課題を解決できることを見出し、本発明として、提案するものである。すなわち、本発明の無アルカリガラスは、ガラス組成として、モル％で、ＳｉＯ２＋Ａｌ２Ｏ３  ８０〜９０％、ＳｉＯ２  ６８〜７８％、Ａｌ２Ｏ３  ９〜１５％、Ｂ２Ｏ３  ０〜１．５％、ＣａＯ  １〜１５％を含有し、実質的にアルカリ金属酸化物を含有せず、歪点が７４０℃より高いことを特徴とする。ここで、「ＳｉＯ２＋Ａｌ２Ｏ３」は、ＳｉＯ２とＡｌ２Ｏ３の合量を指す。「実質的にアルカリ金属酸化物を含有せず」とは、ガラス組成中のアルカリ金属酸化物（Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ及びＫ２Ｏ）の含有量が０．５モル％以下の場合を指す。「歪点」は、ＡＳＴＭ  Ｃ３３６の方法に基づいて測定した値を指す。
【００１２】
第二に、本発明の無アルカリガラスは、［ＳｉＯ２＋Ａｌ２Ｏ３−Ｂ２Ｏ３］の含有量が８０％以上であることが好ましい。ここで、「ＳｉＯ２＋Ａｌ２Ｏ３−Ｂ２Ｏ３」は、ＳｉＯ２とＡｌ２Ｏ３の合量からＢ２Ｏ３の含有量を減じたものである。
【００１３】
第三に、本発明の無アルカリガラスは、Ｂ２Ｏ３の含有量が０．３モル％以下であることが好ましい。
【００１４】
第四に、本発明の無アルカリガラスは、ガラス組成として、更に、ＳｎＯ２を０．００１〜１モル％含み、且つ１６００℃より高い温度で清澄されてなることが好ましい。
【００１５】
第五に、本発明の無アルカリガラスは、ヤング率が７６ＧＰａより大きいことが好ましい。ここで、「ヤング率」は、曲げ共振法により測定可能である。
【００１６】
第六に、本発明の無アルカリガラスは、ヤング率／密度、つまり比ヤング率が２８．５ＧＰａ／ｇ・ｃｍ−３より大きいことが好ましい。ここで、「密度」は、アルキメデス法により測定可能である。
【００１７】
第七に、本発明の無アルカリガラスは、液相温度が１３３０℃より低いことが好ましい。ここで、「液相温度」は、標準篩３０メッシュ（５００μｍ）を通過し、５０メッシュ（３００μｍ）に残るガラス粉末を白金ボートに入れた後、温度勾配炉中に２４時間保持して、結晶の析出する温度を測定することにより算出可能である。
【００１８】
第八に、本発明の無アルカリガラスは、１０２．５ポアズにおける温度が１８００℃以下であることが好ましい。ここで、「１０２．５ポアズにおける温度」は、白金球引き上げ法で測定可能である。
【００１９】
第九に、本発明の無アルカリガラスは、液相温度における粘度が１０４．８ポアズ以上であることが好ましい。ここで、「液相温度における粘度」は、白金球引き上げ法で測定可能である。
【００２０】
第十に、本発明の無アルカリガラスは、オーバーフローダウンドロー法で成形されてなること、つまりガラス内部に成形合流面を有することが好ましい。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明の無アルカリガラスにおいて、上記のように各成分の含有量を限定した理由を以下に示す。なお、各成分の含有量の説明において、％表示はモル％を表す。
【００２２】
ＳｉＯ２とＡｌ２Ｏ３は、ガラス骨格を形成する成分であり、また歪点を高める成分である。ＳｉＯ２＋Ａｌ２Ｏ３の含有量は８０〜９０％であり、好ましくは８２〜９０％、８３〜８９％、８４〜８８％、特に８５〜８７％である。ＳｉＯ２＋Ａｌ２Ｏ３の含有量が少な過ぎると、歪点を高めることが困難になる。一方、ＳｉＯ２＋Ａｌ２Ｏ３の含有量が多過ぎると、高温粘度が高くなって、溶融性が低下し易くなり、また液相温度が高くなり易い。
【００２３】
ＳｉＯ２は、ガラス骨格を形成する成分であり、また歪点を高める成分である。ＳｉＯ２の含有量は６８〜７８％であり、好ましくは７０〜７７％、７１〜７６％、７２〜７６％、特に７３〜７５％である。ＳｉＯ２の含有量が少な過ぎると、歪点を高めることが困難になり、また密度が高くなり過ぎる。一方、ＳｉＯ２の含有量が多過ぎると、高温粘度が高くなって、溶融性が低下し易くなり、またクリストバライト等の失透結晶が析出して、液相温度が高くなり易い。
【００２４】
Ａｌ２Ｏ３は、ガラス骨格を形成する成分であり、また歪点を高める成分であり、更に分相を抑制する成分である。Ａｌ２Ｏ３の含有量は９〜１５％であり、好ましくは９．５〜１４．５％、１０〜１４％、１０．５〜１３．５％、特に１１〜１３％である。Ａｌ２Ｏ３の含有量が少な過ぎると、歪点が低下し易くなり、またガラスが分相し易くなる。一方、Ａｌ２Ｏ３の含有量が多過ぎると、ムライトやアノーサイト等の失透結晶が析出して、液相温度が高くなり易い。
【００２５】
Ｂ２Ｏ３の含有量が多過ぎると、歪点が大幅に低下することに加えて、エッチング速度を高めることが困難になる。よって、Ｂ２Ｏ３の含有量は１．５％以下であり、好ましくは１％以下、１％未満、０．７％以下、０．５％以下、０．３％以下、０．２％以下、特に０．１％未満である。
【００２６】
［ＳｉＯ２＋Ａｌ２Ｏ３−Ｂ２Ｏ３］の含有量は、歪点を高める観点から、好ましくは８０％以上、８１％以上、８２％以上、８３％以上、８４％以上、特に８５％以上である
【００２７】
ＣａＯは、歪点を低下させずに、高温粘性を下げて、溶融性を顕著に高める成分である。また、ＣａＯは、アルカリ土類金属酸化物の中では、導入原料が比較的安価であるため、原料コストを低廉化する成分である。ＣａＯの含有量は１〜１５％であり、好ましくは３〜１４％、４〜１３％、８〜１３％、特に９〜１２％である。ＣａＯの含有量が少な過ぎると、上記効果を享受し難くなる。一方、ＣａＯの含有量が多過ぎると、熱膨張係数が高くなり過ぎると共に、ガラス組成の成分バランスが損なわれて、ガラスが失透し易くなる。
【００２８】
上記成分以外にも、例えば、以下の成分をガラス組成中に添加してもよい。なお、上記成分以外の他成分の含有量は、本発明の効果を的確に享受する観点から、合量で１０％以下、５％以下、特に１％以下が好ましい。
【００２９】
ＭｇＯは、高温粘性を下げて、溶融性を高める成分である。ＭｇＯの含有量は０〜８％であり、好ましくは０〜７％、０．１〜６％、１〜５％、特に２〜４％である。ＭｇＯの含有量が多過ぎると、歪点が低下し易くなる。更にドロマイト等の導入原料からＦｅ２Ｏ３等の不純物がガラス中に混入し、ガラス板の透過率を低下させる虞がある。
【００３０】
Ｂ２Ｏ３＋ＭｇＯの含有量（Ｂ２Ｏ３とＭｇＯの合量）は、歪点を高める観点から、好ましくは６％以下、０．１〜５％、１〜４．５％、特に２〜４％である。なお、Ｂ２Ｏ３＋ＭｇＯの含有量が少な過ぎると、溶融性、耐クラック性、耐薬品性が低下し易くなる。
【００３１】
ＳｒＯは、分相を抑制し、また液相温度の上昇を抑制する成分である。更に歪点を低下させずに、高温粘性を下げて、溶融性を高める成分である。ＳｒＯの含有量は０〜８％であり、好ましくは０．１〜８％、２〜７％、３〜７％、特に４〜６％である。ＳｒＯの含有量が少な過ぎると、上記効果を享受し難くなる。一方、ＳｒＯの含有量が多過ぎると、ガラス組成の成分バランスが損なわれて、ストロンチウムシリケート系の失透結晶が析出し易くなる。
【００３２】
ＢａＯは、アルカリ土類金属酸化物の中では、耐失透性を顕著に高める成分である。ＢａＯの含有量は０〜８％、好ましくは０．１〜７％、１〜６％、２〜５．５％、特に３〜５％である。ＢａＯの含有量が少な過ぎると、液相温度が高くなって、耐失透性が低下し易くなる。一方、ＢａＯの含有量が多過ぎると、ガラス組成の成分バランスが損なわれて、ＢａＯを含む失透結晶が析出し易くなる。
【００３３】
ＲＯ（ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ及びＢａＯの合量）は、好ましくは１３〜２１％、１４〜２０％、１５〜１９％、特に１６〜１８％である。ＲＯの含有量が少な過ぎると、溶融性が低下し易くなる。一方、ＲＯの含有量が多過ぎると、ガラス組成の成分バランスが損なわれて、耐失透性が低下し易くなる。
【００３４】
ＺｎＯは、溶融性を高める成分であるが、ＺｎＯを多量に含有させると、ガラスが失透し易くなり、また歪点が低下し易くなる。ＺｎＯの含有量は０〜５％、０〜３％、０〜０．５％、特に０〜０．３％が好ましく、実質的に含有しないことが望ましい。ここで、「実質的にＺｎＯを含有しない」とは、ガラス組成中のＺｎＯの含有量が０．２％以下の場合を指す。
【００３５】
Ｐ２Ｏ５は、歪点を高める成分であるが、Ｐ２Ｏ５を多量に含有させると、ガラスが分相し易くなる。Ｐ２Ｏ５の含有量は０〜１．５％、０〜１．２％、０〜１％未満、特に０〜０．１％が好ましい。
【００３６】
ＴｉＯ２は、高温粘性を下げて、溶融性を高める成分であると共に、ソラリゼーションを抑制する成分であるが、ＴｉＯ２を多量に含有させると、ガラスが着色して、透過率が低下し易くなる。よって、ＴｉＯ２の含有量は０〜３％、０〜１％、０〜０．１％、特に０〜０．０２％が好ましい。
【００３７】
Ｙ２Ｏ３、Ｎｂ２Ｏ５、Ｌａ２Ｏ３には、歪点、ヤング率等を高める働きがある。しかし、これらの成分の含有量が多過ぎると、密度、原料コストが増加し易くなる。よって、Ｙ２Ｏ３、Ｎｂ２Ｏ５、Ｌａ２Ｏ３の含有量は、各々０〜３％、０〜１％、特に０〜０．１％が好ましい。
【００３８】
ＳｎＯ２は、高温域で良好な清澄作用を有する成分であると共に、歪点を高める成分であり、また高温粘性を低下させる成分である。ＳｎＯ２の含有量は０〜１％、０．００１〜１％、０．０５〜０．５％、特に０．１〜０．３％が好ましい。ＳｎＯ２の含有量が多過ぎると、ＳｎＯ２の失透結晶が析出し易くなる。なお、ＳｎＯ２の含有量が０．００１％より少ないと、上記効果を享受し難くなる。
【００３９】
ＳｎＯ２は、清澄剤として好適であるが、ガラス特性を著しく損なわない限り、ＳｎＯ２以外の清澄剤を使用してもよい。具体的には、Ａｓ２Ｏ３、Ｓｂ２Ｏ３、ＣｅＯ２、Ｆ２、Ｃｌ２、ＳＯ３、Ｃを合量で例えば１％まで添加してもよく、Ａｌ、Ｓｉ等の金属粉末を合量で例えば１％まで添加してもよい。
【００４０】
Ａｓ２Ｏ３、Ｓｂ２Ｏ３は、清澄性に優れるが、環境的観点から、極力導入しないことが好ましい。更に、Ａｓ２Ｏ３は、ガラス中に多量に含有させると、耐ソラリゼーション性が低下する傾向にあるため、その含有量は０．５％以下、特に０．１％以下が好ましく、実質的に含有させないことが望ましい。ここで、「実質的にＡｓ２Ｏ３を含有しない」とは、ガラス組成中のＡｓ２Ｏ３の含有量が０．０５％未満の場合を指す。また、Ｓｂ２Ｏ３の含有量は１％以下、特に０．５％以下が好ましく、実質的に含有させないことが望ましい。ここで、「実質的にＳｂ２Ｏ３を含有しない」とは、ガラス組成中のＳｂ２Ｏ３の含有量が０．０５％未満の場合を指す。
【００４１】
Ｃｌ２は、無アルカリガラスの溶融を促進する効果があり、Ｃｌ２を添加すれば、溶融温度を低温化し得ると共に、清澄剤の作用を促進し、結果として、溶融コストを低廉化しつつ、ガラス製造窯の長寿命化を図ることができる。しかし、Ｃｌ２の含有量が多過ぎると、歪点が低下し易くなる。よって、Ｃｌ２の含有量は０．５％以下、特に０．１％以下が好ましい。なお、Ｃｌ２の導入原料として、塩化ストロンチウム等のアルカリ土類金属酸化物の塩化物、或いは塩化アルミニウム等を使用することができる。
【００４２】
本発明の無アルカリガラスは、以下の特性を有することが好ましい。
【００４３】
本発明の無アルカリガラスにおいて、歪点は７４０℃超であり、好ましくは７５０℃以上、より好ましくは７５０℃超、更に好ましくは７６０℃以上、特に好ましくは７７０℃以上である。このようにすれば、ｐ−Ｓｉ・ＴＦＴの製造工程において、ガラス板の熱収縮を抑制することができる。
【００４４】
ヤング率は７６ＧＰａ超、７７ＧＰａ以上、７８ＧＰａ以上、７９ＧＰａ以上、特に８０ＧＰａ以上が好ましい。このようにすれば、ガラス板の撓みを抑制できるため、ディスプレイの製造工程等において、ガラス板の取扱いが容易になる。
【００４５】
ヤング率／密度は２８．５ＧＰａ／ｇ・ｃｍ−３超、２９．０ＧＰａ／ｇ・ｃｍ−３以上、２９．５ＧＰａ／ｇ・ｃｍ−３以上、３０．０ＧＰａ／ｇ・ｃｍ−３以上、特に３０．５ＧＰａ／ｇ・ｃｍ−３以上が好ましい。ヤング率／密度の値を大きくすると、ガラス板の撓み量を大幅に抑制することができる。
【００４６】
液相温度は１３３０℃未満、１１５０〜１３２０℃、特に１２００〜１３１０℃が好ましい。このようにすれば、成形時に失透結晶が発生して、生産性が低下する事態を防止し易くなる。更に、オーバーフローダウンドロー法でガラス板を成形し易くなるため、ガラス板の表面品位を高めることが可能になると共に、ガラス板の製造コストを低廉化することができる。なお、液相温度は、耐失透性の指標であり、液相温度が低い程、耐失透性に優れる。
【００４７】
１０２．５ポアズにおける温度は１８００℃以下、１７７５℃以下、特に１７５０℃以下が好ましい。１０２．５ポアズにおける温度が高くなると、溶解性、清澄性を確保し難くなり、ガラス板の製造コストが高騰する。
【００４８】
液相温度における粘度は１０４．８ポアズ以上、１０５．０ポアズ以上、１０５．２ポアズ以上、特に１０５．３ポアズ以上が好ましい。このようにすれば、成形時に失透が生じ難くなるため、オーバーフローダウンドロー法でガラス板を成形し易くなり、結果として、ガラス板の表面品位を高めることが可能になり、またガラス板の製造コストを低廉化することができる。なお、液相粘度は、成形性の指標であり、液相粘度が高い程、成形性に優れる。
【００４９】
本発明の無アルカリガラスにおいて、β−ＯＨ値を低下させると、歪点を高めることができる。β−ＯＨ値は、好ましくは０．５／ｍｍ以下、０．４５／ｍｍ以下、０．４／ｍｍ以下、０．３５／ｍｍ以下、０．３／ｍｍ以下、０．２５／ｍｍ以下、０．２／ｍｍ以下、特に０．１５／ｍｍ以下である。β−ＯＨ値が大き過ぎると、歪点が低下し易くなる。なお、β−ＯＨ値が小さ過ぎると、溶融性が低下し易くなる。よって、β−ＯＨ値は、好ましくは０．０１／ｍｍ以上、特に０．０５／ｍｍ以上である。
【００５０】
β−ＯＨ値を低下させる方法として、以下の方法が挙げられる。（１）低含水量の原料を選択する。（２）ガラス中にβ−ＯＨ値を低下させる成分（Ｃｌ、ＳＯ３等）を添加する。（３）炉内雰囲気中の水分量を低下させる。（４）溶融ガラス中でＮ２バブリングを行う。（５）小型溶融炉を採用する。（６）溶融ガラスの流量を多くする。（７）電気溶融法を採用する。
【００５１】
ここで、「β−ＯＨ値」は、ＦＴ−ＩＲを用いてガラスの透過率を測定し、下記の式を用いて求めた値を指す。
β−ＯＨ値  ＝  （１／Ｘ）ｌｏｇ（Ｔ１／Ｔ２）
Ｘ：ガラス肉厚（ｍｍ）
Ｔ１：参照波長３８４６ｃｍ−１における透過率（％）
Ｔ２：水酸基吸収波長３６００ｃｍ−１付近における最小透過率（％）
【００５２】
本発明の無アルカリガラスにおいて、厚み（板厚）は０．７ｍｍ以下、０．５ｍｍ以下、０．４ｍｍ以下、０．３ｍｍ以下、特に０．０５〜０．１ｍｍが好ましい。厚みが小さい程、ディスプレイの軽量化、薄型化、更にはフレキシブル化を図り易くなる。
【００５３】
本発明の無アルカリガラスは、１６００℃より高い温度（望ましくは１６３０℃より高い温度、より望ましくは１６５０℃より高い温度）で清澄されてなることが好ましい。本発明の無アルカリガラスは、Ｂ２Ｏ３の含有量が少ないため、高温粘性が高くなり易く、清澄時に泡の浮上速度を高め難い。そこで、上記のように清澄温度を規制すれば、このような問題を有効に回避することが可能になる。なお、上記の清澄温度域では、清澄剤として、ＳｎＯ２が有効に作用する。
【００５４】
本発明の無アルカリガラスは、オーバーフローダウンドロー法で成形されてなること、つまりガラス内部に成形合流面を有することが好ましい。オーバーフローダウンドロー法は、耐熱性の樋状構造物の両側から溶融ガラスを溢れさせて、溢れた溶融ガラスを樋状構造物の下端で合流させながら、下方に延伸成形してガラス板を製造する方法である。オーバーフローダウンドロー法では、ガラス板の表面になるべき面は樋状耐火物に接触せず、自由表面の状態で成形される。このため、未研磨で表面品位が良好なガラス板を安価に製造することができる。なお、オーバーフローダウンドロー法で用いる樋状構造物の構造や材質は、所望の寸法や表面精度を実現できるものであれば、特に限定されない。また、下方への延伸成形を行う際に、力を印加する方法も特に限定されない。例えば、充分に大きい幅を有する耐熱性ロールをガラスに接触させた状態で回転させて延伸する方法を採用してもよいし、複数の対になった耐熱性ロールをガラスの端面近傍のみに接触させて延伸する方法を採用してもよい。
【００５５】
オーバーフローダウンドロー法以外にも、例えば、ダウンドロー法（スロットダウン法等）、フロート法等でガラス板を成形することも可能である。
【００５６】
本発明の無アルカリガラスは、有機ＥＬデバイス、特に有機ＥＬディスプレイに用いることが好ましい。有機ＥＬディスプレイのパネルメーカーでは、ガラスメーカーで成形された大型のガラス板の上に複数個分のデバイスを作製した後、デバイス毎に分割切断して、コストダウンを図っている（所謂、多面取り）。特にＴＶ用途では、デバイス自体が大型化しており、これらのデバイスを多面取りするために、大型のガラス板が要求されている。本発明の無アルカリガラスは、液相温度が低く、また液相粘度が高いため、大型のガラス板を成形し易く、このような要求を満たすことができる。
【実施例】
【００５７】
以下、実施例に基づいて、本発明を説明する。但し、以下の実施例は、単なる例示である。本発明は、以下の実施例に何ら限定されない。
【００５８】
表１〜３は、本発明の実施例（試料Ｎｏ．１〜４６）と比較例（試料Ｎｏ．４７〜４９）を示している。
【００５９】
【表１】
2016113361.tif 000002
【００６０】
【表２】
2016113361.tif 000003
【００６１】
【表３】
2016113361.tif 000004
【００６２】
まず表中のガラス組成になるように、ガラス原料を調合したガラスバッチを白金坩堝に入れた後、１６５０超〜１７００℃で２４時間溶融、清澄、均質化を行った。ガラスバッチの溶解に際しては、白金スターラーを用いて攪拌し、均質化を行った。次いで、溶融ガラスをカーボン板上に流し出して、板状に成形した後、徐冷点付近の温度で３０分間徐冷した。得られた各試料について、熱膨張係数、密度、ヤング率、ヤング率／密度、歪点、徐冷点、軟化点、高温粘度１０４．０ポアズにおける温度、高温粘度１０３．０ポアズにおける温度、高温粘度１０２．５ポアズにおける温度、液相温度ＴＬ、液相温度における粘度（液相粘度ｌｏｇηＴＬ）及びエッチング深さを評価した。
【００６３】
密度は、周知のアルキメデス法で測定した値である。
【００６４】
熱膨張係数は、３０〜３８０℃の温度範囲における平均値であり、またディラトメーターで測定した値である。
【００６５】
ヤング率は、曲げ共振法により測定した値である。
【００６６】
ヤング率／密度は、曲げ共振法により測定したヤング率をアルキメデス法で測定した密度で除した値である。
【００６７】
歪点、徐冷点、軟化点は、ＡＳＴＭ  Ｃ３３６の方法に基づいて測定した値である。
【００６８】
高温粘度１０４．０ポアズ、１０３．０ポアズ及び１０２．５ポアズにおける温度は、白金球引き上げ法で測定した値である。
【００６９】
液相温度ＴＬは、標準篩３０メッシュ（５００μｍ）を通過し、５０メッシュ（３００μｍ）に残るガラス粉末を白金ボートに入れた後、温度勾配炉中に２４時間保持して、結晶の析出する温度を測定した値である。また、液相温度における粘度は、白金球引き上げ法で測定した値である。
【００７０】
β−ＯＨ値は、ＦＴ−ＩＲを用いてガラスの透過率を測定し、下記の式を用いて求めた
値である。
β−ＯＨ値  ＝  （１／Ｘ）ｌｏｇ（Ｔ１／Ｔ２）
Ｘ：ガラス肉厚（ｍｍ）
Ｔ１：参照波長３８４６ｃｍ−１における透過率（％）
Ｔ２：水酸基吸収波長３６００ｃｍ−１付近における最小透過率（％）
【００７１】
次のようにしてエッチング深さを評価した。各試料の両面を光学研磨した上で、試料表面の一部にマスキングを施し、６３ＢＨＦ（ＨＦ：６質量％、ＮＨ４Ｆ：３０質量％）溶液中で、室温で３０分間浸漬した後、得られた試料表面のマスキング部とエッチング部間での段差を測定し、段差が５μｍ以上であった場合を「○」、５μｍ未満であった場合を「×」として評価した。
【産業上の利用可能性】
【００７２】
本発明の無アルカリガラスは、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ用ガラス板以外にも、電荷結合素子（ＣＣＤ）、等倍近接型固体撮像素子（ＣＩＳ）等のイメージセンサー用カバーガラス、太陽電池用ガラス板及びカバーガラス、有機ＥＬ照明用ガラス板等に好適に使用可能である。