(57)【要約】【課題】酸化インジウム粉及び酸化スズ粉を湿式粉砕して、混合粉末にするための粉砕時間を短縮可能とする酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の製造方法を提供する。【解決手段】インジウムを陽極に用いた電解法により得られた水酸化インジウム粉を仮焼することにより、酸化インジウム粉を生成する仮焼工程と、酸化インジウム粉に酸化スズ粉を混合して混合スラリーを生成し、混合スラリーを粉砕する混合粉砕工程とを有し、混合粉砕工程では、遠心効果Ｚが３５以上６５以下で混合スラリーを粉砕する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸化インジウム粉に酸化スズ粉を混合して湿式粉砕する酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の製造方法であって、
インジウムを陽極に用いた電解法により得られた水酸化インジウム粉を仮焼することにより、酸化インジウム粉を生成する仮焼工程と、
上記酸化インジウム粉に酸化スズ粉を混合して混合スラリーを生成し、該混合スラリーを粉砕する混合粉砕工程とを有し、
上記混合粉砕工程では、下記式により遠心効果Ｚが３５以上６５以下で上記混合スラリーを粉砕することを特徴とする酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の製造方法。
Ｚ＝ｒ×ω２／ｇ＝ｒ×（２πＮ／６０）２／ｇ＝ｒ×Ｎ２／８９４
Ｚ：遠心効果（Ｇ）
ｒ：回転半径＝ボウル内半径（ｍ）
ω：角速度（ｒａｄ／ｓｅｃ）
Ｎ：回転数（１／ｍｉｎ）
ｇ：重力加速度（９．８ｍ／ｓｅｃ２）
【請求項２】
上記混合粉砕工程では、粒度分布の累積粒度５０％径（Ｄ５０）が０．４μｍを超えて０．５μｍ以下であり、粒度分布の累積粒度９０％径（Ｄ９０）が１．０μｍ以下であり、且つＢＥＴ比表面積が１２．３ｍ２／ｇ以上となる当該酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末が生成されるように、上記混合スラリーを粉砕することを特徴とする請求項１に記載の酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の製造方法。
【請求項３】
上記混合粉砕工程では、上記酸化インジウム粉は、粒度分布の累積粒度５０％径（Ｄ５０）が１．０μｍ以上１．５μｍ以下であり、粒度分布の累積粒度９０％径（Ｄ９０）が１．７μｍ以上２．２μｍ以下であり、窒素吸着法による細孔分布測定において平均８０ｎｍの径を持つ細孔の平均微分細孔容積が０．０４ｃｍ３／ｇ〜０．０５ｃｍ３／ｇであり、且つＢＥＴ比表面積が１０ｍ２／ｇ以上１４ｍ２／ｇ以下であり、
上記酸化スズ粉は、粒度分布の累積粒度５０％径（Ｄ５０）が０．５μｍ以下であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の製造方法。
【請求項４】
酸化インジウム粉と酸化スズ粉とを混合して湿式粉砕する酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の粉砕システムであって、
酸化インジウム粉と酸化スズ粉とを混合して混合スラリーを生成する混合部と、
上記混合スラリーを粉砕する粉砕部と、
上記混合スラリーを、上記混合部及び上記粉砕部間を循環させる循環ポンプ部と、
少なくとも、上記混合部、上記粉砕部、及び上記循環ポンプ部の動作を制御する制御部とを有し、
上記粉砕部では、下記式により遠心効果Ｚが３５以上６５以下で上記混合スラリーを粉砕することを特徴とする酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の粉砕システム。
Ｚ＝ｒ×ω２／ｇ＝ｒ×（２πＮ／６０）２／ｇ＝ｒ×Ｎ２／８９４
Ｚ：遠心効果（Ｇ）
ｒ：回転半径＝ボウル内半径（ｍ）
ω：角速度（ｒａｄ／ｓｅｃ）
Ｎ：回転数（１／ｍｉｎ）
ｇ：重力加速度（９．８ｍ／ｓｅｃ２）
【請求項５】
上記制御部では、上記粉砕部のビーズ回転数が１０００ｒｐｍ以下に制御し、且つ上記循環ポンプ部のポンプ送り量が１５００ｍＬ／ｍｉｎ以上に循環させるように制御することを特徴とする請求項４に記載の酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の粉砕システム。
【請求項６】
請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の製造方法により得られたことを特徴とするスパッタリングターゲットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の製造方法、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の粉砕システム、並びにスパッタリングターゲットの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、太陽電池用途とタッチパネル用途として透明導電膜の利用が増えており、それに伴ってスパッタリングターゲット等、透明導電膜形成用材料の需要が増加している。これらの透明導電膜形成用材料には、酸化インジウム系焼結材料が主に使用されており、その主原料として酸化インジウム粉が使用されている。スパッタリングターゲットに使用される酸化インジウム粉は、高密度ターゲットを得るために出来るだけ粒度分布の幅が狭いことが望ましい。
【０００３】
酸化インジウム粉の製造方法としては、主に、硝酸インジウム水溶液や塩化インジウム水溶液等の酸性水溶液をアンモニア水等のアルカリ性水溶液で中和して生じる水酸化インジウムの沈澱を乾燥し仮焼する、いわゆる中和法によって製造される。
【０００４】
中和法では、得られる酸化インジウム粉の凝集を抑制するために、７０℃〜９５℃という高温の硝酸インジウム水溶液にアルカリを添加することで、針状の水酸化インジウムを得る方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この方法では、得られた針状の水酸化インジウムを９０℃〜２６０℃で乾燥した後、５００℃〜９００℃で仮焼することにより、凝集の少ない酸化インジウム粉を得ている。しかしながら、中和法では、酸化インジウム粉の製造後に大量の窒素排水が発生するため排水処理コストが大きくなるという問題がある。
【０００５】
このような問題を改善する方法としては、金属インジウムを電解処理することで水酸化インジウム粉の沈澱を生じさせ、これを仮焼して酸化インジウム粉を製造する方法、いわゆる電解法が提案されている（例えば、特許文献２参照）。電解法では、中和法に比べて、酸化インジウム粉の製造後の窒素排水量を格段に少なくすることができる他、得られる酸化インジウム粉の粒径を均一化できる。
【０００６】
高密度ターゲットを得るために、焼結体の原料粉末となる酸化インジウム粉を微細化し、分散性を上げるために、湿式ビーズミルにより粉砕する方法が知られている（例えば、特許文献３、４参照）。
【０００７】
しかしながら、電解法で得られた酸化インジウム粉を湿式粉砕する際、電解法で生成した水酸化インジウム粉に起因した凝集により、中和法で得られた酸化インジウム粉と比較して、その粉砕が難しくなる。このため、湿式粉砕時の粘度上昇により、作業時間が長くなってしまう。
【０００８】
このような問題に関して、水酸化インジウム粉の段階で、解砕又は粉砕を行って微細化する改善案が提示されている（例えば、特許文献５参照）。しかしながら、この方法では、電解法で得られた酸化インジウム粉を湿式粉砕するために、実績値を超える作業時間を短縮することが困難である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平４−３２５４１５号公報
【特許文献２】特開平６−１７１９３７号公報
【特許文献３】特開平１０−１４７８６１号公報
【特許文献４】特開２０１３−２５６４２５号公報
【特許文献５】特開２０１４−０７４２２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉を湿式粉砕して混合粉末にするための粉砕時間を短縮することができる酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の製造方法を提供することを目的とする。
【００１１】
また、本発明は、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉を湿式粉砕して混合粉末にするための粉砕時間を短縮することができる酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の粉砕システムを提供することを目的とする。
【００１２】
さらに、本発明は、上述の製造方法により得られた水酸化インジウム粉及び水酸化スズ粉の混合粉末を用いることによって、高密度のスパッタリングターゲットを製造することが可能なスパッタリングターゲットの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
すなわち、上述した目的を達成する本発明の一態様に係る酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の製造方法は、酸化インジウム粉に酸化スズ粉を混合して湿式粉砕する酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の製造方法であって、インジウムを陽極に用いた電解法により得られた水酸化インジウム粉を仮焼することにより、酸化インジウム粉を生成する仮焼工程と、酸化インジウム粉に酸化スズ粉を混合して混合スラリーを生成し、混合スラリーを粉砕する混合粉砕工程とを有し、混合粉砕工程では、下記式により遠心効果Ｚが３５以上６５以下で混合スラリーを粉砕することを特徴とする。
Ｚ＝ｒ×ω２／ｇ＝ｒ×（２πＮ／６０）２／ｇ＝ｒ×Ｎ２／８９４
Ｚ：遠心効果（Ｇ）
ω：角速度（ｒａｄ／ｓｅｃ）
ｒ：回転半径＝ボウル内半径（ｍ）
Ｎ：回転数（１／ｍｉｎ）
ｇ：重力加速度（９．８ｍ／ｓｅｃ２）
【００１４】
このとき、本発明の一態様では、混合粉砕工程は、粒度分布の累積粒度５０％径（Ｄ５０）が０．４μｍを超えて０．５μｍ以下であり、粒度分布の累積粒度９０％径（Ｄ９０）が１．０μｍ以下であり、且つＢＥＴ比表面積が１２．３ｍ２／ｇ以上となる当該酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末が生成されるように、混合スラリーを粉砕することとしてもよい。
【００１５】
このとき、本発明の一態様では、混合粉砕工程は、酸化インジウム粉が、粒度分布の累積粒度５０％径（Ｄ５０）が１．０μｍ以上１．５μｍ以下であり、粒度分布の累積粒度９０％径（Ｄ９０）が１．７μｍ以上２．２μｍ以下であり、窒素吸着法による細孔分布測定において平均８０ｎｍの径を持つ細孔の平均微分細孔容積が０．０４〜０．０５ｃｍ３／ｇであり、且つＢＥＴ比表面積が１０ｍ２／ｇ以上１４ｍ２／ｇ以下であり、酸化スズ粉は、粒度分布の累積粒度５０％径（Ｄ５０）が０．５μｍ以下であってもよい。
【００１６】
本発明の他の態様に係る酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の粉砕システムは、酸化インジウム粉と酸化スズ粉とを混合して湿式粉砕する酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の粉砕システムであって、酸化インジウム粉と酸化スズ粉とを混合して混合スラリーを生成する混合部と、混合スラリーを粉砕する粉砕部と、混合スラリーを、混合部及び粉砕部間を循環させる循環ポンプ部と、少なくとも、混合部、粉砕部、及び循環ポンプ部の動作を制御する制御部とを有し、粉砕部では、下記式により遠心効果Ｚが３５以上６５以下で混合スラリーを粉砕することを特徴とする。
Ｚ＝ｒ×ω２／ｇ＝ｒ×（２πＮ／６０）２／ｇ＝ｒ×Ｎ２／８９４
Ｚ：遠心効果（Ｇ）
ｒ：回転半径＝ボウル内半径（ｍ）
ω：角速度（ｒａｄ／ｓｅｃ）
Ｎ：回転数（１／ｍｉｎ）
ｇ：重力加速度（９．８ｍ／ｓｅｃ２）
【００１７】
このとき、本発明の一態様では、制御部は、粉砕部のビーズ回転数が１０００ｒｐｍ以下に制御し、且つ循環ポンプ部のポンプ送り量が１５００ｍＬ／ｍｉｎ以上に循環させるように制御することとしてもよい。
【００１８】
さらに、本発明の他の態様に係るスパッタリングターゲットの製造方法は、上述した酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の製造方法により得られたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係る酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の製造方法では、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉を湿式粉砕して、混合粉末にするための粉砕時間を短縮することが可能となる。
【００２０】
また、本発明に係る酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の粉砕システムでは、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉を湿式粉砕して、混合粉末にするための粉砕時間を短縮することが可能となる。
【００２１】
そして、本発明に係るスパッタリングターゲットの製造方法では、割れや欠け等のない焼結体により、高密度のスパッタリングターゲットを作製することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本実施の形態に係る酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の粉砕システムに関するブロック図である。
【図２】実施例１における酸化インジウム原料粉末の断面ＳＥＭ解析結果を示す図である。
【図３】比較例１及び従来例１における酸化インジウム原料粉末の細孔分布測定結果を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
本発明を適用した具体的な実施の形態（以下、「本実施の形態」という。）について、以下の順序で図面を参照して詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の変更を加えることが可能である。
【００２４】
１．酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の製造方法
１−１．水酸化インジウム粉の生成工程
１−２．水酸化インジウム粉の回収工程
１−３．水酸化インジウム粉の乾燥工程
１−４．水酸化インジウム粉の仮焼工程
１−５．酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉砕工程
２．酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の粉砕システム
２−１．混合部
２−２．粉砕部
２−３．循環ポンプ部
２−４．制御部
３．スパッタリングターゲットの製造方法
【００２５】
［１．酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の製造方法］
本実施の形態に係る酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の製造方法（以下、「混合粉末の製造方法」ともいう。）は、水酸化インジウム粉の生成工程（以下、「生成工程」ともいう。）と、水酸化インジウム粉の回収工程（以下、「回収工程」ともいう。）と、水酸化インジウム粉の乾燥工程（以下、「乾燥工程」ともいう。）と、水酸化インジウム粉の仮焼工程（以下、「仮焼工程」ともいう。）と、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉砕工程（以下、「混合粉砕工程」ともいう。）とを有する。
【００２６】
＜１−１．水酸化インジウム粉の生成工程＞
生成工程では、電解槽において、陽極と、陰極と、硝酸アンモニウム水溶液を電解液として電解法により水酸化インジウム粉を生成する。
【００２７】
陽極には、金属インジウム等を用いる。使用する金属インジウムは、特に限定されないが、水酸化インジウム粉を焼成して得られる酸化インジウム粉の不純物の混入を抑制するため、高純度のものが望ましい。例えば、金属インジウムとしては、純度９９．９９９９％（通称６Ｎ品）が好適品として挙げることができる。
【００２８】
陰極には、導電性の金属やカーボン電極等が用いることができ、例えば不溶性のチタンやステンレスや白金を用いることができ、チタンを白金でコーティングしたもの（以下、「Ｔｉ／Ｐｔ電極」ともいう。）であってもよく、陽極と同じ材料を利用してもよい。
【００２９】
電解液には、硝酸アンモニウム水溶液を用いる。硝酸アンモニウム水溶液を用いた場合には、水酸化インジウム粉を沈殿させた後の乾燥、仮焼後に硝酸イオン及びアンモニウムイオンが窒素化合物として除去されて不純物成分の混入を防止することができる。一方、電解液に塩化アンモニウムや硫酸アンモニウムを用いた場合には、塩化物イオンや硫酸イオン等の不純物成分が混入してしまう。したがって、電解液として、硝酸アンモニウム水溶液を用いることが好ましい。
【００３０】
生成工程では、生成された水酸化インジウム粉の溶解度が１０−６ｍｏｌ／Ｌ〜１０−３ｍｏｌ／Ｌとなるように、電解液を調整することが好ましい。生成工程では、生成された水酸化インジウム粉の溶解度を１０−６ｍｏｌ／Ｌ〜１０−３ｍｏｌ／Ｌの範囲内とすることで、適度に水酸化インジウム粉の一次粒子の成長が促進される。これにより、生成工程では、一次粒子の凝集が抑制されるため、粒度分布の幅が広くならず、粒度分布の幅が狭く、粒径が均一な水酸化インジウム粉を得ることができる。
【００３１】
硝酸アンモニウム水溶液の水酸化インジウム粉の溶解度が１０−６ｍｏｌ／Ｌよりも低い場合には、陽極から解け出したインジウムイオンが核化しやすくなるため、一次粒子径が微細化する。このため、一次粒子径は比較的均一になるものの、粒子同士の凝集が生じやすくなる。凝集体である二次粒子はその粒子径をコントロールすることは難しく、結果として粒度分布の幅が広くなってしまう。
【００３２】
一方、硝酸アンモニウム水溶液の水酸化インジウム粉の溶解度が１０−３ｍｏｌ／Ｌよりも高い場合は、粒子成長が促進されるため、一次粒子径が大きくなる。このため、粒子を成長させるほど、成長する粒子としない粒子の間で粒子径の違いが大きくなる。粒子径の違いは、凝集の度合いに影響を与えるため、結果として粒度分布の幅が広くなってしまう。したがって、水酸化インジウム粉の溶解度が１０−６ｍｏｌ／Ｌ〜１０−３ｍｏｌ／Ｌの範囲では、適度に一次粒子の成長が促進されるため、凝集が抑制され、粒度分布の幅が広くならず、粒度分布の幅が狭く、粒径が均一な水酸化インジウム粉を得ることができる。
【００３３】
電解液の濃度は、０．１ｍｏｌ／Ｌ〜２．０ｍｏｌ／Ｌに調整することが好ましい。電解液の濃度が０．１ｍｏｌ／Ｌ未満である場合には、電解時の電圧上昇が大きくなり、通電部が発熱したり、電力コストが高くなったりする等の問題が生じるため好ましくない。一方、電解液の濃度が２．０ｍｏｌ／Ｌを超える場合には、電解によって水酸化インジウム粒子が粗大化し、粒径のばらつきが大きくなるため好ましくない。
【００３４】
生成工程では、水酸化インジウム粉を得る場合に、電解液のｐＨを２．５〜４．０に調整することが好ましい。電解液のｐＨが２．５未満である場合には、水酸化インジウム粉の沈澱が生じない。一方、電解液のｐＨが４．０を超える場合には、水酸化インジウム粉の析出が速すぎて電解液の濃度が不均一のまま沈澱が形成されるため、水酸化インジウム粉の粒度分布の幅が広くなり、水酸化インジウム粉の粒度分布の幅を小さく制御することができない。
【００３５】
電解液の液温は、２０℃〜６０℃に調整することが好ましい。電解液の液温が２０℃未満である場合には、水酸化インジウム粉の析出が遅すぎる。一方、電解液の液温が６０℃を超える場合には、水酸化インジウム粉が析出するのが速すぎて電解液の濃度が不均一のまま沈澱が形成されるため、水酸化インジウム粉の粒度分布の幅が広がる。
【００３６】
生成工程において、電解液は、水酸化インジウム粉の溶解度が１０−６ｍｏｌ／Ｌ〜１０−３ｍｏｌ／Ｌの範囲であればよく、硝酸アンモニウムの濃度、ｐＨ、液温等により溶解度を制御することができる。電解液は、例えば、硝酸アンモニウムの濃度を０．１ｍｏｌ／Ｌ〜２．０ｍｏｌ／Ｌ、ｐＨを２．５〜４．０、液温を２０℃〜６０℃の範囲に調製することにより、水酸化インジウム粉の溶解度を１０−６ｍｏｌ／Ｌ〜１０−３ｍｏｌ／Ｌの範囲に制御することができる。なお、ｐＨは、硝酸アンモニウムの添加量により調製することができる。
【００３７】
（電流密度）
電解時の電流密度は、３Ａ／ｄｍ２〜１５Ａ／ｄｍ２に調整することが好ましい。これにより、広範囲の電流密度とすることができる。電解時の電流密度が３Ａ／ｄｍ２未満である場合には、水酸化インジウム粉の生産効率が低下してしまう。一方、電解時の電流密度が１５Ａ／ｄｍ２を超える場合には、電解液の上昇や、陽極（例えば、金属インジウム）の表面に不動態化して電解し難くなる等の問題が生じてしまう。したがって、電流密度を３Ａ／ｄｍ２〜１５Ａ／ｄｍ２とすることが好ましい。
【００３８】
以上より、生成工程では、粒度分布の幅の狭い水酸化インジウム粉を含む電解スラリーを生成することができる。
【００３９】
ここで、電解法により生成される水酸化インジウム粉の形状は、サブミクロン又は数ミクロンの柱状となる。このように、粒子が柱状である場合には、他の柱状粒子との接触面積が球状粒子に比較して小さくなると考えられるため、柱状粒子同士の粒子間の結合が弱く、軟らかい凝集粒子（agglomerated particle）を形成しやすくなる。そのため、水酸化インジウム粉の形状が柱状であることによって、より凝集を抑制することができる。一方、一般的な特徴として、中和法により生成される水酸化インジウム粉の形状が球状である場合には、この粒子は等方向に他の粒子と接触し、密な凝集体（aggregate）を形成しやすいといった問題が生じることが知られている。したがって、後述する酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末工程では、このような柱状である水酸化インジウム粉を仮焼した酸化インジウム粉を原料として用いるので、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉を湿式粉砕して混合粉末にするための粉砕時間を短縮することができる。
【００４０】
＜１−２．水酸化インジウム粉の回収工程＞
回収工程では、生成工程で生成された水酸化インジウム粉を電解液から固液分離し、得られた固形物を純水で洗浄し再び固液分離して、水酸化インジウム粉を回収する。
【００４１】
回収工程では、固液分離方法として、例えばロータリーフィルタ、遠心分離、フィルタープレス、加圧濾過、減圧濾過等による濾過を挙げることができるが、回収効率の高いロータリーフィルタの使用が好ましい。ロータリーフィルタで使用するろ布は、水酸化インジウム粉の回収率を高めるため、できるだけ通気度が小さい方が望ましい。特に、回収工程では、通気度が０．３ｃｍ３／ｓｅｃ／ｃｍ２以下のものが好ましい。
【００４２】
＜１−３．水酸化インジウム粉の乾燥工程＞
乾燥工程では、回収工程で回収した水酸化インジウム粉に純水を加え、水酸化インジウム粉を含むスラリー濃度を３５％〜５０％となるように調整した後、分散剤を添加する。このように、乾燥工程では、得られた水酸化インジウム粉を含むスラリーを、スプレードライヤを用いた噴霧乾燥法によって乾燥する。なお、スラリー濃度は、水酸化インジウム粉の質量／（水酸化インジウム粉の質量＋加えた純水の質量）により算出される。
【００４３】
ここで、分散剤の種類としては特に限定されるものではなく、アニオン系化合物、カチオン系化合物、非イオン系化合物、高分子化合物のいずれを使用しても構わないが、不純物の混入を回避するためには、後述する仮焼工程における仮焼温度にて蒸発し得る分散剤が好ましい。具体的には、アクリル系共重合体アンモニウム塩といったアニオン系分散剤が特に好ましい。また、乾燥工程では、水酸化インジウム粉を含むスラリー粘度を３００ｍＰａ・ｓ以下とするためには分散剤の添加量は、スラリー中の水酸化インジウム粉の質量に対し、１質量％〜３質量％が好ましい。
【００４４】
乾燥条件は、水酸化インジウム粉の水分を除去できれば特に限定されないが、例えば乾燥温度は８０℃〜１５０℃の範囲が好ましい。乾燥温度が８０℃よりも低い場合には、乾燥が不十分となり、１５０℃よりも高い場合には、水酸化インジウムから酸化インジウムに変化してしまい、次工程である仮焼工程における酸化インジウム粉の粒度分布の幅を調整するために不都合となる。また、乾燥時間は、スラリー量や乾燥温度により異なるが、約４時間〜５時間である。
【００４５】
＜１−４．水酸化インジウム粉の仮焼工程＞
仮焼工程では、乾燥後の水酸化インジウム粉を仮焼して酸化インジウム粉を生成する。
【００４６】
仮焼工程では、仮焼条件として得られた水酸化インジウム粉に応じて適宜決定するが、例えば仮焼温度が６００℃〜８００℃、仮焼時間が１時間〜１０時間で行うことが好ましい。
【００４７】
仮焼工程では、水酸化インジウム粉の仮焼温度が６００℃よりも低いと、酸化インジウム粉のＢＥＴ比表面積値が１４ｍ２／ｇを超えてしまい、一次粒子が小さすぎるために、凝集性を有する粉末となる。これにより、得られた酸化インジウム粉では、高密度の焼結材料、例えば、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）焼結材料を得ることができない。
【００４８】
一方、仮焼工程では、水酸化インジウム粉の仮焼温度が８００℃より高いと、酸化インジウム粉のＢＥＴ比表面積値が１０ｍ２／ｇ未満になり、一次粒子径が大きくなり、粒子間に生じる空孔も大きくなるため、焼結性が低下する。これにより、得られた酸化インジウム粉では、高密度の焼結材料を得ることができない。
【００４９】
したがって、仮焼工程では、高密度の焼結材料を得るために、仮焼温度を６００℃〜８００℃の範囲とすることが好ましい。
【００５０】
なお、仮焼工程では、酸化インジウム粉をより所望の粒径とするため必要に応じて解砕又は粉砕を行ってもよい。また、この仮焼工程では、水酸化インジウム粉の電解の際に、電解液として硝酸アンモニウムを用いた場合には、硝酸アンモニウムの分解が生じ、酸化インジウム粉への混入を防止することができる。このため、混合粉末の製造方法では、中和法に比べて酸化インジウム粉の製造後の窒素排水量を抑制できる。
【００５１】
＜１−５．酸化スズ粉及び酸化インジウム粉の混合粉砕工程＞
混合粉砕工程では、仮焼工程で得られた酸化インジウム粉に、酸化スズ粉を混合して混合スラリーを生成し、その混合スラリーを粉砕する。
【００５２】
本実施の形態に係る混合粉末の製造方法では、酸化インジウム粉は、仮焼工程において得られたものを原料として用いる。
【００５３】
混合粉砕工程では、仮焼工程において得られた酸化インジウム粉は、粒度分布の累積粒度５０％径（Ｄ５０）が１．０μｍ以上１．５μｍ以下であり、粒度分布の累積粒度９０％径（Ｄ９０）が１．７μｍ以上２．２μｍ以下であり、窒素吸着法による細孔分布測定において平均８０ｎｍの径を持つ細孔の平均微分細孔容積が０．０４ｃｍ３／ｇ〜０．０５ｃｍ３／ｇであり、且つＢＥＴ比表面積値が１０ｍ２／ｇ〜１４ｍ２／ｇの範囲内であることが好ましい。
【００５４】
このような酸化インジウム粉は、ＢＥＴ比表面積が制御されていることから、分散性が良く、凝集が少ない。そのため、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉を湿式粉砕して、特に混合粉末にするための粉砕時間を短縮することができる。そして、混合粉末の製造方法で得られた混合粉末を原料とするスパッタリングターゲットの製造方法では、高密度の焼結材料を作製することができる。
【００５５】
また、本実施の形態に係る混合粉末の製造方法では、酸化スズ粉は、特に限定されないが、粒度分布の累積粒度５０％径（Ｄ５０）が０．５μｍ以下であることが好ましい。これにより、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉を湿式粉砕して、特に混合粉末にするための粉砕時間の短縮を可能とする。
【００５６】
混合粉砕工程では、具体的に、ビーズミル湿式粉砕機を用いて、混合スラリーを粉砕することができる。次に、試験例に基づいて、ビーズミル湿式粉砕機をより具体的に説明する。
【００５７】
ビーズミル湿式粉砕機とは、液体中の粒子をナノメートルサイズまで粉砕・分散する装置をいう。ビーズミル湿式粉砕機は、粉砕室を備えており、その粉砕室に多数のメディア（ビーズ）を充填しておき、粉砕室中央の回転軸を一定の回転速度で回転させることにより、これらのメディアに運動を与える。
【００５８】
ここで、遠心力場における液体中の粒子の運動速度Ｕは、粒子の径が小さい場合、下記のストークスの式が適用される。
【００５９】
【数１】
2016179910.tif 000003
ρｐ：粒子密度（ｇ/ｃｍ３）
ρｆ：液体密度（ｇ/ｃｍ３）
Ｄｐ：粒子径（ｃｍ）
μ：液粘度（ｇ/ｃｍ・ｓｅｃ）
【００６０】
本実施の形態に係る混合粉末の製造方法では、インジウムを陽極にした電解法により生成された水酸化インジウム粉を原料として用いた酸化インジウム粉を利用する。従来より、上述した電解法由来の酸化インジウム粉は、中和法により生成された水酸化インジウム粉を原料として用いた酸化インジウム粉よりも、一次粒子の粒子間に空孔が多く存在することが知られている。そのため、電解法由来の酸化インジウム粉を含む混合スラリーでは、中和法由来の酸化インジウム粉を含む混合スラリーよりも、高粘度となってしまう。
【００６１】
そこで、電解法由来の酸化インジウム粉及び酸化スズ粉を湿式粉砕することにより効率的に混合粉末とするための粉砕時間は、ビーズミル混合粉砕機の粉砕室内に多数のメディアを均一に存在させ、これらのメディアを均一に運動させるため、上記のストークス式中の遠心効果Ｚが寄与する。
【００６２】
すなわち、遠心効果Ｚは、下記式により示される。
Ｚ＝ｒ×ω２／ｇ＝ｒ×（２πＮ／６０）２／ｇ＝ｒ×Ｎ２／８９４
Ｚ：遠心効果（Ｇ）
ｒ：回転半径＝ボウル内半径（ｍ）
ω：角速度（ｒａｄ／ｓｅｃ）
Ｎ：回転数（１／ｍｉｎ）
ｇ：重力加速度（９．８ｍ／ｓｅｃ２）
【００６３】
本試験例で使用されている一般的なビーズミル湿式粉砕機では、このような粉砕機の粉砕室内である容器に設けられた撹拌軸に遠心ローターと撹拌ディスクとを取り付けたサンドミルにおいて、例えば、ミル容器容量を４．０Ｌとし、遠心ローターの外径ｄ’を９４．９ｍｍとし、撹拌ディスクの外径ｄ”を９４．９ｍｍとし、撹拌軸の回転数を１０００ｒｐｍで運転した場合に、遠心効果Ｚは、５３．１と算出される。
Ｚ＝４７．５×１０−３×１０００２／８９４＝５３．１
【００６４】
このように、本実施の形態に係る混合粉末の製造方法では、下記式により遠心効果Ｚが３５以上６５以下で混合スラリーを粉砕することを特徴とする。これにより、ビーズミル湿式粉砕機によって、粉砕室内に充填された粉砕メディアが、粉砕室内に設けられた回転軸を一定の回転速度で回転させることにより、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉を混合して生成された混合スラリーを粉砕する。このため、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉を湿式粉砕することにより混合粉末にするための粉砕時間を短縮することができる。
Ｚ＝ｒ×ω２／ｇ＝ｒ×（２πＮ／６０）２／ｇ＝ｒ×Ｎ２／８９４
Ｚ：遠心効果（Ｇ）
ｒ：回転半径＝ボウル内半径（ｍ）
ω：角速度（ｒａｄ／ｓｅｃ）
Ｎ：回転数（１／ｍｉｎ）
ｇ：重力加速度（９．８ｍ／ｓｅｃ２）
【００６５】
遠心効果Ｚが３５未満である場合には、遠心効果の設定が低いために、メディアの運動速度が低下し、粉砕効率が低下する。これにより、同等の粒径サイズを得るために粉砕時間が増加する。一方、遠心効果Ｚが６５を越える場合には、メディアが吐出出口付近に集中し、粉砕効率が低下する。これにより、同等の粒径サイズを得るために粉砕時間が増加する。したがって、本実施の形態に係る混合粉末の製造方法では、遠心効果Ｚが３５以上６５以下で混合スラリーを粉砕することを特徴とする。
【００６６】
混合粉砕工程では、粒度分布の累積粒度５０％径（Ｄ５０）が０．４μｍを超えて０．５μｍ以下であり、粒度分布の累積粒度９０％径（Ｄ９０）が１．０μｍ以下であり、且つＢＥＴ比表面積が１２．３ｍ２／ｇ以上となる当該酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末が生成されるように、混合スラリーを粉砕することが好ましい。
【００６７】
これにより、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉を湿式粉砕することにより混合粉末にするための粉砕時間を効率的に短縮することができる。
【００６８】
電解法により生成された酸化インジウム粉は、中和法により生成された酸化インジウム粉と比較して、平均微分細孔容積が高いために、ビーズミル粉砕時、スラリーの粘度上昇により、スラリーの流動性が悪化し、粉砕性が低下するという問題が生じ得る。
【００６９】
そこで、混合粉末の製造方法では、粉砕機器として一般的なビーズミル湿式粉砕機を用いて、粒子間の凝結も持つ粒子を粉砕する場合には、１Ｐａｓｓ目の粉砕条件としてビーズ回転数を１０００ｒｐｍ以下と低速にし、ポンプ送り量を１５００ｍＬ／ｍｉｎ以上の大量循環と制御するのが好ましい。なお、ビーズ回転数とは、粉砕室内に設けられた回転軸の回転数をいい、ポンプ送り量とは、ポンプを介して、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉を混合して生成された混合スラリーを粉砕室に送液する量をいう。
【００７０】
混合粉砕工程では、上記粉砕条件で、粒子間の空孔が破壊されると考えられる。酸化インジウム粉及び酸化スズ粉を湿式粉砕することにより混合粉末にするための粉砕時間をより効率的に短縮することができる。
【００７１】
次に、２Ｐａｓｓ目以降は粉砕条件としてビーズ回転数を１５００ｒｐｍ以上とし、ポンプ送り量を１４００ｍＬ／ｍｉｎ以下の少量循環とするのが好ましい。混合粉砕工程では、上記粉砕条件で、粒子間の凝結が破壊されると考えられる。これにより、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉を湿式粉砕することにより混合粉末にするための粉砕時間を特に短縮することができる。
【００７２】
以上で説明した通り、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の製造方法では、電解法により得られた水酸化インジウム粉を原料とする酸化インジウム粉を用い、ビーズミル混合粉砕機の粉砕室内に多数のメディアを均一に存在させ、これらのメディアが均一に運動するため、混合スラリーを粉砕することができる。このため、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉を湿式粉砕することにより混合粉末にするための粉砕時間を短縮することができる。
【００７３】
［２．酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の粉砕システム］
本実施の形態に係る酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の粉砕システム１（以下、「混合粉末の粉砕システム」ともいう。）について説明する。図１は、本実施の形態に係る粉砕システムのブロック図である。
【００７４】
本発明に係る混合粉末の粉砕システムは、上述した混合粉末の製造方法において、混合粉砕工程に適用される。図１に示すように、上記混合粉末の粉砕システム１は、混合部１０と粉砕部２０と循環ポンプ部３０と制御部４０とを有する。
【００７５】
＜２−１．混合部＞
混合部１０は、酸化インジウム粉と酸化スズ粉とを混合して混合スラリーを生成する。本実施の形態に係る混合粉末の粉砕システム１では、混合部１０は、図１に示すように、混合部１０の動作を駆動する駆動部１１を備え、駆動部１１を介して、酸化インジウム粉と酸化スズ粉とを混合して混合スラリーを生成する。混合部１０では、原料として酸化インジウム粉及び酸化スズ粉を用いる。混合部１０では、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉を混合容器に投入して、純水を供給して、混合容器内に設けられたミキサーにより撹拌して、混合スラリーを生成する。
【００７６】
＜２−２．粉砕部＞
粉砕部２０は、混合部１０で生成された混合スラリーを粉砕する。本実施の形態に係る混合粉末の粉砕システム１では、粉砕部２０は、図１に示すように、粉砕部２０の動作を駆動する駆動部２１を備え、駆動部２１を介して、混合部１０で生成された混合スラリーを粉砕する。
【００７７】
本実施の形態に係る混合粉末の粉砕システム１では、下記式により遠心効果Ｚが３５以上６５以下で混合スラリーを粉砕することを特徴とする。これにより、ビーズミル湿式粉砕機によって、粉砕室内に充填された粉砕メディアが、粉砕室内に設けられた回転軸を一定の回転速度で回転させることにより、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉を混合して生成された混合スラリーを粉砕する。このため、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉を湿式粉砕することにより混合粉末にするための粉砕時間を短縮することができる。
Ｚ＝ｒ×ω２／ｇ＝ｒ×（２πＮ／６０）２／ｇ＝ｒ×Ｎ２／８９４
Ｚ：遠心効果（Ｇ）
ｒ：回転半径＝ボウル内半径（ｍ）
ω：角速度（ｒａｄ／ｓｅｃ）
Ｎ：回転数（１／ｍｉｎ）
ｇ：重力加速度（９．８ｍ／ｓｅｃ２）
【００７８】
＜２−３．循環ポンプ部＞
本実施の形態に係る混合粉末の粉砕システム１では、循環ポンプ部３０は、図１に示すように、混合部１０により生成された混合スラリーを、混合部１０から粉砕部２０に送液し、混合部１０及び粉砕部２０間を循環させる。
【００７９】
＜２−４．制御部＞
制御部４０は、本実施の形態に係る混合粉末の粉砕システム１の各構成要素の動作を制御する。制御部４０は、図１に示すように、少なくとも、混合部１０、粉砕部２０、及び循環ポンプ３０の動作を制御する。制御部４０では、粉砕部２０のビーズ回転数を調整する。
【００８０】
具体的に、制御部４０では、粉砕部２０のビーズ回転数を１０００ｒｐｍ以下に制御することが好ましい。これにより、混合粉末の粉砕システム１では、粉砕室内にメディアがより均一に存在するので、混合スラリーをより細かく粉砕することができる。このため、混合粉末の粉砕システム１では、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉を湿式粉砕により混合粉末とするための粉砕時間を短縮することができる。
【００８１】
一方、粉砕部２０のビーズ回転数が１０００ｒｐｍを超える場合には、粉砕室内にあるメディアが吐出出口付近へと移動することにより、二次粒子が凝集してしまう。このため、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉を湿式粉砕により混合粉末にする粉砕時間が長くなる。したがって、制御部４０では、粉砕部２０のビーズ回転数を１０００ｒｐｍ以下に制御することが好ましい。
【００８２】
また、制御部４０では、循環ポンプ部３０のポンプ送り量を制御する。制御部４０では、具体的に、循環ポンプ部３０のポンプ送り量を１５００ｍＬ／ｍｉｎ以上に循環させるように制御することが好ましい。これにより、混合粉末の粉砕システム１では、混合スラリーをより速く混合部と粉砕部間を循環させることができる。このため、混合粉末の粉砕システム１では、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉を湿式粉砕により混合粉末にするための粉砕時間を短縮することができる。
【００８３】
一方、循環ポンプ部３０のポンプ送り量が１５００ｍＬ／ｍｉｎ未満である場合には、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉を湿式粉砕することにより混合粉末にするための粉砕時間が長くなる。したがって、制御部４０では、循環ポンプ部３０のポンプ送り量を１５００ｍＬ／ｍｉｎ以上に循環させるように制御することが好ましい。
【００８４】
図１に示すように、上述した本実施の形態に係る混合粉末の粉砕システム１では、混合部１０において、金属インジウムを陽極として得られた水酸化インジウム粉を仮焼して得られた酸化インジウム粉に、酸化スズ粉を混合室内に投入し、純水を供給する。混合粉末の粉砕システム１では、この混合溶液を混合室内に設けられたミキサーにより撹拌して、混合スラリーを生成する。
【００８５】
次に、混合粉末の粉砕システム１では、循環ポンプ部３０のポンプを介して、混合スラリーを混合部１０から粉砕部２０に送液させる。混合粉末の粉砕システム１では、粉砕部２０において、駆動部２１を介して粉砕室に設けられた回転軸を回転させて、粉砕室内に存在する多数のメディアにより、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合スラリーが粉砕される。
【００８６】
以上により、本実施の形態に係る混合粉末の粉砕システム１では、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉を湿式粉砕することにより混合粉末にするための粉砕時間を短縮することができる。
【００８７】
［３．スパッタリングターゲットの製造方法］
本実施の形態に係るスパッタリングターゲットの製造方法では、上述した通りの酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の製造方法により得られた酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末を用いてスパッタリングターゲットを作製する。
【００８８】
先ず、スパッタリングターゲットの製造方法では、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の製造方法により得られた酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末を、スパッタリングターゲットの他の原料と所定の割合で混合し、造粒粉を作製する。次に、スパッタリングターゲットの製造方法では、得られた造粒粉を用いて、例えば、コールドプレス法により成型体を作製する。次に、スパッタリングターゲットの製造方法では、得られた成型体を、大気圧下で、例えば、１３００℃〜１６００℃の温度範囲内で焼結を行う。次に、スパッタリングターゲットの製造方法では、必要に応じて、得られた焼結体の平面や側面を研磨する等の加工を行う。そして、スパッタリングターゲットの製造方法では、加工後の焼結体を、Ｃｕ製のバッキングプレートにボンディングすることにより、酸化インジウムスズスパッタリングターゲット（ＩＴＯスパッタリングターゲット）を得ることができる。
【００８９】
スパッタリングターゲットの製造方法では、原料となる酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末の比表面積が制御されており、分散性が良いものであるため、高密度の焼結体を得ることができ、スパッタリングターゲットの密度を高くすることできる。これにより、得られたスパッタリングターゲットは、加工中に割れや欠け等が生じず、スパッタの際に異常放電が発生することも抑制できる。
【００９０】
その結果、スパッタリングターゲットの製造方法では、相対密度が高い焼結体を得ることができ、最終的に、この焼結体により高密度のスパッタリングターゲットを作製することができる。
【実施例】
【００９１】
＜実施例１＞
（１）水酸化インジウム粉の生成工程
実施例１における生成工程では、先ず、電解液として用いる硝酸アンモニウム水溶液の濃度が１．０ｍｏｌ／Ｌ、ｐＨが２．５、液温が２０℃となるように調整し、水酸化インジウム粉の溶解度を１０−５ｍｏｌ／Ｌとなるように調整した。硝酸アンモニウム水溶液に対し１Ｎ硝酸を添加し、水素イオン濃度指数ｐＨを調整した。
【００９２】
次に、調整した電解液を用いて、水酸化インジウム粉の電解試作を行った。陽極には、純度９９．９９％の金属インジウム板を使用し、陰極には不溶性Ｔｉ／Ｐｔ電極を使用した。電解試作では、電流密度を１０Ａ／ｄｍ２とし、水酸化インジウム粉を３５ｋｇ作製した。
【００９３】
（２）水酸化インジウム粉の回収工程
次に、実施例１における回収工程では、生成工程で得られた水酸化インジウム粉を含む電解スラリーの固液分離を行った。回収工程では、水酸化インジウム粉を含む電解スラリーを純水で洗浄した。回収工程では、ロータリーフィルタ（寿工業株式会社製、ＲＦＵ−０２Ｂ）と、ろ布（寿工業株式会社製、ＫＥ−０２２）を使用して固液分離し、得られた固形分に純水を加えた。その際に、回収工程では、得られた水酸化インジウム粉を含む電解スラリーについて、スラリー濃度を３９％、粘度７００ｍＰａ・ｓとなるよう調整した。
【００９４】
（３）水酸化インジウム粉の乾燥工程
次に、実施例１における回収工程では、上記スラリーをスプレードライヤ（大川原化工機株式会社製、ＦＧＡシリーズ）を使用し、スラリー供給速度２００ｍＬ／ｍｉｎ、乾燥温度９０℃として、約９０．７ｋｇのスラリーを乾燥した。その結果、回収工程では、上記乾燥により水分を除去して得られた水酸化インジウム粉を得た。
【００９５】
（４）水酸化インジウム粉の仮焼工程
次に、実施例１における仮焼工程では、上記水酸化インジウム粉を仮焼炉により仮焼温度７７０℃、仮焼時間４時間で仮焼した。その仮焼後、仮焼工程では、酸化インジウム粉を得た。実施例１では、この酸化インジウム粉を粒度分布計（株式会社島津製作所製、レーザー回折式粒子径分布測定装置ＳＡＬＤ−２２０）を用いて測定した結果、粒度分布の累積粒度５０％径（Ｄ５０）は１．１２μｍ、粒度分布の累積粒度９０％径（Ｄ９０）は１．８５μｍであった。また、酸化インジウムの一次粒子径は、ＸＲＤ測定により、８０ｎｍであった。さらに、実施例１では、得られた酸化インジウム原料粉末の断面ＳＥＭ解析に関する結果を図２に示した。
【００９６】
（５）酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉砕工程
次に、実施例１における混合粉砕工程では、上記酸化インジウム粉に市販の酸化スズ粉（三井金属鉱業（株）製、純度９９．０％以上）を湿式混合し、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合スラリーを１０ｋｇ／バッチ×３０バッチ作製した。その後に、混合粉砕工程では、ビーズミル湿式粉砕機(アシザワ・ファインテック株式会社製、スターミルＬＭＥ４)を用いて、上記混合スラリーを粉砕した。なお、混合粉砕工程では、１Ｐａｓｓ目の粉砕条件について、ビーズ回転数を１０００ｒｐｍ、ポンプ送り量を１５００ｍＬ／ｍｉｎと制御して、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末を得た。ここで、粉砕室内における粉砕能力を表す遠心効果Ｚは、５３．１であった。なお、実施例１では、表１に示すように、１Ｐａｓｓ目の粉砕時間が２７０ｍｉｎであり、１Ｐａｓｓ後の粘度が３８００ｍＰａ・ｓであった。また、実施例１では、表１に示すように、混合粉末の粒度分布の累積粒度５０％径（Ｄ５０）が０．９４μｍであり、この粒度分布の累積粒度９０％径（Ｄ９０）が１．６７μｍであった。
【００９７】
＜実施例２＞
実施例２では、ビーズミル湿式粉砕条件について、表１に示すようにビーズ回転数を８１１ｒｐｍとした以外は実施例１と同様にして、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末を得た。なお、実施例２では、表１に示すように、遠心効果Ｚが３５であった結果、１Ｐａｓｓ目の粉砕時間が２７０ｍｉｎであった。また、実施例２では、１Ｐａｓｓ後粘度、上記混合粉末の粒度分布の累積粒度５０％径（Ｄ５０）、及び粒度分布の累積粒度９０％径（Ｄ９０）をまとめ、表１に示した。
【００９８】
＜実施例３＞
実施例３では、ビーズミル湿式粉砕条件について、表１に示すようにビーズ回転数を１１０６ｒｐｍとした以外は実施例１と同様にして、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末を得た。なお、実施例３では、表１に示すように、遠心効果Ｚが６５であった結果、１Ｐａｓｓ目の粉砕時間が２７０ｍｉｎであった。また、実施例３では、１Ｐａｓｓ後粘度、上記混合粉末の粒度分布の累積粒度５０％径（Ｄ５０）、及び粒度分布の累積粒度９０％径（Ｄ９０）をまとめ、表１に示した。
【００９９】
＜比較例１＞
比較例１では、実施例１と同様の条件で酸化インジウム粉と酸化スズ粉の混合スラリーを１０ｋｇ／バッチ×３０バッチ作製した。比較例１では、粉砕前の酸化インジウム粉の粒度分布の累積粒度５０％径（Ｄ５０）が１．１５μｍ、粒度分布の累積粒度９０％径（Ｄ９０）が１．８５μｍであった。なお、比較例１では、得られた酸化インジウム原料粉末を窒素吸着法による細孔分布測定の結果を、図３に示した。
【０１００】
次に、比較例１では、ビーズミル湿式粉砕条件について、表１に示すようにビーズ回転数を１７００ｒｐｍ、ポンプ送り量を１４００ｍＬ／ｍｉｎとした以外は実施例１と同様にして、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末を得た。ここで、遠心効果Ｚは、１５３．５であった。なお、比較例１では、表１に示すように、１Ｐａｓｓ目の粉砕時間が３００ｍｉｎであり、１Ｐａｓｓ後粘度が４２００ｍＰａ・ｓであった。また、比較例１では、表１に示すように、混合粉末の粒度分布の累積粒度５０％径（Ｄ５０）が０．９９μｍであり、この粒度分布の累積粒度９０％径（Ｄ９０）が１．７３μｍであった。
【０１０１】
＜比較例２＞
比較例２では、ビーズミル湿式粉砕条件について、表１に示すようにビーズ回転数を７５１ｒｐｍ、ポンプ送り量を１４００ｍＬ／ｍｉｎとした以外は実施例１と同様にして、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末を得た。なお、比較例２では、表１に示すように、遠心効果Ｚが３０であった結果、１Ｐａｓｓ目の粉砕時間が３００ｍｉｎであった。また、比較例２では、１Ｐａｓｓ後粘度、上記混合粉末の粒度分布の累積粒度５０％径（Ｄ５０）、及び粒度分布の累積粒度９０％径（Ｄ９０）をまとめ、表１に示した。
【０１０２】
＜従来例１＞
従来例１では、中和法により生成した水酸化インジウム粉を仮焼した酸化インジウム粉を得た。従来例１では、得られた酸化インジウム原料粉末を窒素吸着法による細孔分布測定の結果を、図３に示した。次に、この酸化インジウム粉及び酸化スズ粉のビーズミル湿式粉砕条件について、ビーズ回転数１７００ｒｐｍとポンプ送り量１４００ｍＬ／ｍｉｎを表１に示すように調整して、酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合粉末を得た。なお、従来例１では、表１に示すように、遠心効果Ｚが１５３．５であった結果、１Ｐａｓｓ目の粉砕時間が３００ｍｉｎであった。また、従来例１では、１Ｐａｓｓ後粘度、中和法由来の上記混合粉末の粒度分布の累積粒度５０％径（Ｄ５０）、及び粒度分布の累積粒度の９０％径（Ｄ９０）をまとめ、表１に示した。
【０１０３】
【表１】
2016179910.tif 000004
【０１０４】
実施例１乃至実施例３では、表１に示した結果から、中和法で得られた酸化インジウム粉を用いた従来例１と比較して、電解法由来の酸化インジウム粉及び酸化スズ粉の混合スラリーが高粘度に関わらず、ビーズミル湿式粉砕が可能であった。また、実施例１乃至実施例３では、比較例１及び比較例２と比較して、粉砕時間が短時間で終了した。
【０１０５】
一方、比較例１では、遠心効果Ｚを１５３．５と増加させて、ビーズミル湿式粉砕を行った。その結果、比較例１では、混合粉末について、実施例１乃至実施例３と同等な粒径サイズを得るために粉砕時間が増加した。比較例１では、粉砕時間が増加した理由として、メディアが吐出出口付近に集中し、メディアの運動速度が著しく阻害されることによって充分な遠心効果が得られず、粉砕効率が低下したと考えられる。
【０１０６】
また、比較例２では、遠心効果Ｚを３０と低下させて、ビーズミル湿式粉砕を行った。その結果、比較例２では、混合粉末について、実施例１乃至実施例３と同等な粒径サイズを得るために粉砕時間が増加した。比較例２では、粉砕時間が増加した理由として、遠心効果の設定が低いために、メディアの運動速度が低下し、粉砕効率が低下したと考えられる。
【０１０７】
また、実施例１では、図２に示すように、電解法で生成した酸化インジウム原料粉末の断面写真によると、細孔が多いことを確認した。
【０１０８】
さらに、比較例１及び従来例１では、電解法で生成した酸化インジウム原料粉末と、中和法で生成した酸化インジウム原料粉末と比較して、図３に示すように、窒素吸着法による細孔分布測定において平均８０ｎｍの径を持つ細孔の平均微分細孔容積が大きくなることを確認した。
【０１０９】
実施例１乃至実施例３、比較例１及び比較例２、並びに従来例１より、インジウムを含む陽極を用いた電解法により得られた水酸化インジウム粉を仮焼して得られる酸化インジウム粉を、酸化スズ粉に混合してスラリーとし、ビーズミル湿式粉砕における遠心効果Ｚが３５以上６５以下で混合スラリーを粉砕することで、ビーズミル湿式粉砕における粉砕時間が短縮できることを確認した。
【０１１０】
なお、上記のように本発明の各実施形態及び各実施例について詳細に説明したが、本発明の新規事項及び効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは、当業者には、容易に理解できるであろう。従って、このような変形例は、全て本発明の範囲に含まれるものとする。
【０１１１】
例えば、明細書又は図面において、少なくとも一度、より広義又は同義な異なる用語と共に記載された用語は、明細書又は図面のいかなる箇所においても、その異なる用語に置き換えることができる。
【符号の説明】
【０１１２】
１  粉砕システム、１０  混合部、１１  駆動部、２０  粉砕部、２１  駆動部、３０  循環ポンプ部、４０  制御部
【図３】
2016179910.tif 000005
【図１】
2016179910.tif 000006
【図２】
2016179910.tif 000007