(57)【要約】【課題】帯電膜を用いた静電容量型発電機は基板、ヒゲゼンマイなどの回動体、弾性体、基板を積み重ねて構成されているため、発電装置としては厚くなるという問題が生じていた。【解決手段】  本発明は、基板と基板に対向配置され、基板に対して相対回動する回動体を有する静電容量型発電機において回動体と接続されたヒゲゼンマイなどの弾性体を回動体と同一平面上の中心部に配置し、回動体、弾性体を一体で形成することによって、静電容量型発電機の薄型化、小型化を図る。【選択図】図１（ａ）
2016059194.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板に対向位置に配置され、前記基板に対して相対回動する回転部材と、
前記基板および前記回転部材のうち、一方の対向面に形成された電荷保持部材と、他方の対向面に形成された電極とを備え、
前記回転部材は、
前記回転部材の回転中心となる中心部と、
前記電荷保持部材又は前記電極を有する外周部と、
前記中心部と前記外周部の間に配置される弾性部とで構成され、
前記中心部と前記外周部と前記弾性部は、同一平面上に配置され、
前記回転部材は、前記中心部、前記弾性部及び前記外周部が一体成型されている
ことを特徴とする発電装置。
【請求項２】
前記外周部を支持する支持部を有する
ことを特徴とする請求項１に記載の発電装置。
【請求項３】
前記回転部材と前記基板を収納する筐体を有し、
前記筐体は、前記外周部と接触して支持する支持部を有する
ことを特徴とする請求項２に記載の発電装置。
【請求項４】
前記筐体が少なくとも第１筐体と第２筐体の２体に分けて構成され、
前記支持部は、前記第１筐体と前記第２筐体に設けられている
ことを特徴とする請求項３に記載の発電装置。
【請求項５】
前記支持部が、前記中心部を中心に均等角度で部分的に形成されている
ことを特徴とする請求項３又は４に記載の発電装置。
【請求項６】
前記外周部に前記筐体と接触して支持する支持部を有する
ことを特徴とする請求項２に記載の発電装置。
【請求項７】
前記外周部に発電装置の姿勢変化によって回転動力を得るオモリを有し、
前記オモリが前記支持部を兼ねる
ことを特徴とする請求項６に記載の発電装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電誘導を利用した発電装置、発電器、携帯型電気機器、携帯型時計等に関する。本発明の発電器のエネルギー源としては、人体の運動、機械等の振動、その他環境に広く存在する運動エネルギーを利用することができる。
【背景技術】
【０００２】
エレクトレット材料による静電誘導を利用した実用的発電装置が、特許文献１及び ２に開示されている。静電誘導とは、帯電した物体を導体に接近させると、帯電した物体とは逆の極性の電荷が引き寄せられる現象のことである。静電誘導現象を利用した発電装置とは、「電荷を保持する膜」（以下、帯電膜という）と「対向電極」を配置した構造において、この現象を利用して、両者を相対移動させて誘導された電荷を取り出す発電のことである。
【０００３】
エレクトレット材料による場合を例にとると、エレクトレットは、誘電体に電荷を打ち込んだものであり、半永久的に静電場を発生させるものである。このエレクトレットによる発電では、図６にみられるように、エレクトレットにより形成される静電場によって対向電極に誘導電荷が生じ、エレクトレットと対向電極の重なりの面積を変化（振動等）させれば、外部電気回路において交流電流を発生させることができる。このエレクトレットによる発電は、構造が比較的簡単で、電磁誘導によるものより、低周波領域において高い出力が得られ有利であって、近年いわゆる「環境発電（Energy Harvesting）」として注目されている。
【０００４】
また、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）を用いて時計部品の歯車やヒゲゼンマイなどをシリコン基板上に作製する技術が特許文献３及び４に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３‐５９１４９号公報（図２）
【特許文献２】特開２０１３−１３５５４４号公報（図９）
【特許文献３】特許第５４７８４９８号公報（図１）
【特許文献４】特許第４５１５９１３号公報（段落００１８）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１の発電装置は基板５０、回動体４０、ヒゲゼンマイなどの弾性体３０、基板１５を積み重ねて構成されているため、発電装置としては厚くなるという問題が生じる。
本発明は、上記のような問題を鑑みてなされたものであり、薄く、発電効率に優れた発電装置、形態型電子機器及び、携帯型時計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）基板と、
前記基板に対向位置に配置され、前記基板に対して相対回動する回転部材と、
前記基板および前記回転部材のうち、一方の対向面に形成された電荷保持部材と、他方の対向面に形成された電極とを備え、
前記回転部材は、
前記回転部材の回転中心となる中心部と、
前記電荷保持部材又は前記電極を有する外周部と、
前記中心部と前記外周部の間に配置される弾性部とで構成され、
前記中心部と前記外周部と前記弾性部は、同一平面上に配置され、
前記回転部材は、前記中心部、前記弾性部及び前記外周部が一体成型されている
ことを特徴とする。
【０００８】
（２）  （１）において前記外周部を支持する支持部を有することを特徴とする。
【０００９】
（３）  （２）において前記回転部材と前記基板を収納する筐体を有し、前記筐体は前記外周部と接触して支持する支持部を有することを特徴とする。
【００１０】
（４）  （３）において前記筐体が少なくとも第１筐体と第２筐体の２体に分けて構成され、前記支持部は前記第１筐体と前記第２筐体に設けられていることを特徴とする。
【００１１】
（５）  （３）、（４）において前記支持部が、前記中心部を中心に均等角度で部分的に形成されていることを特徴とする。
【００１２】
（６）  （２）において前記外周部に前記筐体と接触して支持する支持部を有することを特徴とする。
【００１３】
（７）  （６）において前記外周部に発電装置の姿勢変化によって回転動力を得るオモリを有し、前記オモリが前記支持部を兼ねることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
上記本発明の（１）の側面によれば、弾性部と回動部を同一平面上に形成するため、発電装置の厚さを薄くすることが出来る。
また、回転部材の中心部分は外周部より電荷保持部材と電極の相対移動する面積が小さいため、発電の寄与度が低いため、薄く、発電効率に優れた発電装置を提供することが出来る。
【００１５】
さらに、シリコンなどを材料としたＭＥＭＳ技術を用いることによって回転部材の中心部と弾性部、外周部を一体作製することによって回転部材の小型化実現することができる。上記本発明の（２）、（３）、（４）、（５）の側面によれば、回転部材の中心部で支持を行なっても外周部は弾性部によって上下、平面方向の支持が出来ず、電荷保持部材と電極の位置関係を一定に保つことが出来ない。
このため、外周部の上下に配置された２つの筐体に外周部を支持する支持部を設けることによって電荷保持部材と電極の位置関係を一定に保つことが出来る。
【００１６】
上記本発明の（２）、（６）の側面によれば、回動体の中心部で回動体の支持を行なっても外周部は弾性部によって上下、平面方向の支持が出来ず、電荷保持部材と電極の位置関係を一定に保つことが出来ない。
このため、外周部に筐体と接触して支持する支持部を設けることによって電荷保持部材と電極の位置関係を一定に保つことが出来る。
【００１７】
上記本発明の（７）の側面によれば、オモリによって回転部材を回動し、オモリに支持部を設けることによって、発電装置を小型化出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１（ａ）】本発明の実施形態における発電装置の断面図である。
【図１（ｂ）】本発明の実施形態における回動体の断面図である。
【図１（ｃ）】図１（ａ）のＢ’部分の拡大図である。
【図２（ａ）】本発明の実施形態における回転部材の斜面図である。
【図２（ｂ）】本発明の実施形態におけるカナの上面図である。
【図２（ｃ）】本発明の実施形態における軸の斜面図である。
【図２（ｄ）】本発明の実施形態における対向基板の上面図である。
【図３（ａ）】本発明の実施形態における筐体Ｃ、対向電極を示した上面図である。
【図３（ｂ）】本発明の実施形態における図３（ａ）のガイドＢ周辺を拡大した図である。
【図４（ａ）】本発明の実施形態の第１変形例における発電装置の断面図である。
【図４（ｂ）】図４（ａ）のｄ’部分の拡大図である。
【図５（ａ）】本発明の実施形態の第２変形例における発電装置の断面図である。
【図５（ｂ）】図５（ａ）のｃ’部分の拡大図である。
【図６】静電誘導現象を利用した発電の原理を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照して、本発明の一実施形態を説明する。各実施態様について、同一構成の部分には、同一の符号を付してその説明を省略する。
【００２０】
（実施形態）
図１（ａ）は本発明の実施形態における発電装置１００の断面図であり、図１（ｂ）は本発明の実施形態における回動体１２１の断面図、図１（ｃ）は図１（ａ）のＢ’部分の拡大図である。図２（ａ）は本発明の実施形態における回転部材の斜面図、図２（ｂ）は本発明の実施形態におけるカナ１１２の上面図、図２（ｃ）は本発明の実施形態における軸１１３の斜面図、図２（ｄ）は本発明の実施形態における対向基板１０９の上面図である。
【００２１】
本実施形態の発電は特許文献２のように対向基板１０９に２つの対向電極１１０（対向電極Ａ１１０１、対向電極Ｂ１１０２）を設け、回転部材１０２に配置された帯電膜１２０と対向する位置に対向電極１１０を配置した発電形態とし、回転部材１０２が動作することによって２つの対向電極１１０間に電力が発生する発電形態としている。
【００２２】
本発明の帯電膜１２０に用いられるエレクトレット材料には、帯電しやすい材料を用い、例えばマイナスに帯電する材料としてはシリコン酸化物（ＳｉＯ２）や、フッ素樹脂材料などを用いる。具体的には一例としてマイナスに帯電する材料として旭硝子製のフッ素樹脂材料であるＣＹＴＯＰ（登録商標）などがある。
【００２３】
さらに、その他にもエレクトレット材料としては、高分子材料としてポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリビニルクロライド（ＰＶＣ）、ポリスチレン（ＰＳ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリビニルデンジフルオライド（ＰＶＤＦ）、ポリビニルフルオライド（ＰＶＦ）などがあり、無機材料としては前述したシリコン酸化物（ＳｉＯ２）やシリコン窒化物（ＳｉＮ）なども使用することができる。その他、周知の帯電膜を使用することができる。
【００２４】
図１（ａ）に示すように発電装置１００は外部からの動力を伝達する動力伝達車１０４と動力伝達車１０４から伝達された動力によって回動する回動体１２１と回動体１２１の一方を支持する軸受けＡ１２２を有する筐体Ａ１０１と回動体１２１の他方を支持する軸受けＢ１２３を有する筐体Ｄ１０６と筐体Ａ１０１と筐体Ｄ１０６に挟まれた筐体Ｂ１０３と筐体Ｃ１０５と対向基板１０９と筐体Ａ１０１、筐体Ｂ１０３、筐体Ｃ１０５、対向基板１０９、筐体Ｄ１０６を固定するネジ１１１から構成されている。
【００２５】
図１（ｂ）に示すように回動体１２１は軸１１３と回転部材１０２とカナ１１２で構成
されており、図２（ｃ）に示す軸１１３の角軸部１１３１に図２（ａ）に示す回転部材１０２の角穴部１０２１、図２（ｂ）に示すカナ１１２の角穴部１１２１を配置し、カナ１１２の角穴部１１２１と角軸部１１３１を嵌合することによって回転部材１０２の角穴部１０２１を軸１１３に設けられた突起部１１３３とカナ１１２で挟み込むことによって角穴部１０２１の上下方向に対する固定を行い、横方向の固定は角軸部１１３１と角穴部１１２１が四角形状をすることによって規制される。
【００２６】
図２（ａ）に示すように回転部材１０２は、中心部である角穴部１０２１と弾性部であるヒゲゼンマイ１１６と外周部である回動部２００から構成されており、回動部２００は電荷を保持する帯電幕１２０と帯電膜を有しないように回動部２００に穴を設けた穴部１０２２、防御壁１１４から構成されており、帯電幕１２０と穴部１０２２は交互に配置される形で角穴部１０２１を中心に旋回する形で配置されている。
なお、本発明では穴部１０２２に穴を空けて帯電膜が塗布されていないようにしているが、穴を空けずに帯電膜を塗布しないようにしても良い。
また、防御壁１１４はヒゲゼンマイ１１６が軸１１３から伝達される回転動力によって一定量以上伸びてしまうと破壊するため、ヒゲゼンマイ１１６の外周に防御壁１１４を設けることによってヒゲゼンマイが伸びきらないように規制する効果を有する。
【００２７】
なお、回転部材１０２の作製に当たっては特許文献３、４に示すようにシリコンなどを材料としたＭＥＭＳ技術を用いることによって角穴部１０２１、ヒゲゼンマイ１１６、回動部２００を一体で作製することによって、回転部材１０２の小型化を図っても良いが、ＭＥＭＳ技術に用いる材料としてはシリコンなどの脆い材料が多い。
このため、回転部材１０２の角穴部１０２１と軸１１３の角軸部１１３１を嵌合固定すると角穴部１０２１が破壊するため、前述のように角穴部１１２１と角穴部１０２１は嵌合固定を行なわず、突起部１１３３とカナ１１２で挟み込むことによって角穴部１０２１と軸１１３の固定を行なっている。
【００２８】
また、図２（ｄ）に示すように対向基板１０９は軸１１３が貫通する穴部１０９１と帯電膜１２０によって静電誘導発電する対向電極１１０を有し、対向電極１１０は交互に対向電極Ａ１１０１と対向電極Ｂ１１０２が配置される形で穴部１０９１を中心に旋回する形で複数配置されており、各対向電極Ａ１１０１は配線Ａ３０１、各対向電極Ｂ１１０２は配線Ｂ３０２によって接続され、配線Ａ３０１、配線Ｂ３０２は整流回路３０３に接続されている。
なお、各対向電極Ａ１１０１、各対向電極Ｂ１１０２に発生する電位が同期して発電ように対向電極Ａ１１０１と対向電極Ｂ１１０２の配置間隔は回転部材１０２の帯電幕１２０、穴部１０２２と同一角度の間隔で設けると発電効率が最も良くなる。
【００２９】
回動部２００が回転すると、帯電膜１２０と対向電極１１０間との重なり面積が増減し、対向電極１１０に引き寄せられる正電荷が増減して、帯電膜１２０と対向電極１１０間に交流電力を発生する。
発電装置１００は、配線Ａ３０１、配線Ｂ３０２の間に発生した交流電力を整流回路３０３に入力して、整流回路３０３を通し直流変換して、外部に取り出し発電させるものである。
【００３０】
整流回路３０３は、ブリッジ式であり、４個のダイオードを備え、入力側には、配線Ａ３０１、配線Ｂ３０２が接続されている。出力側には平滑回路を介して図示しない電源回路が接続されており、前記直流変換された発電電力を図示しない蓄電池に蓄電し、電子機器に電力を供給する。
【００３１】
前述のように回転部材１０２の角穴部１０２１は軸１１３とカナ１１２によって位置が
規制されるが、回動部２００は角穴部１０２１とバネ性を有するヒゲゼンマイ１１６を介して接続しているため、断面、平面方向の位置固定が軸１１３とカナ１１２によって規制できない。
このため、図１（ｃ）のように回動部２００の断面方向の位置規制として筐体Ｂ１０３の一部にガイドＡ１１７、筐体Ｃ１０３の一部にガイドＢ１１９、平面方向の位置規制として筐体Ｂ１０３の一部にガイドＣ１１８を設ける。
【００３２】
ガイドＡ１１７、ガイドＢ１１９は回動部２００の断面方向の位置規制を行なうため、帯電膜１２０と対向電極１１０の距離はガイドＡ１１７、ガイドＢ１１９の断面方向の精度に依存する。
帯電膜１２０と対向電極１１０の距離は発電装置１００の発電能力を左右するため、ガイドＡ１１７、ガイドＢ１１９の断面方向の精度が発電装置１００の発電能力を左右する。
よって、筐体Ｂ１０３、筐体Ｃ１０５もＭＥＭＳ技術を用いて作製し、対向電極１１０からの距離精度を向上することによって発電装置１００の発電能力のばらつき精度を向上させる必要がある。
【００３３】
ガイドＣ１１８は回動部２００の平面方向の位置規制を行なうため、筐体Ｂ１０３に設けられた回動部２００の位置規制部である。
本発明の発電装置１００の発電を効率的に行なうには帯電膜１２０と対向電極Ａ１１０１、対向電極Ｂ１１０２の重なり面積を最大にする必要があり、回動部２００の帯電膜１２０と穴部１０２１の円中心と対向電極Ａ１１０１、対向電極Ｂ１１０２の円中心を極力一致させることが望ましい。
本実施例では、回動部２００の外周端をガイドＣ１１８によって平面方向の位置規制をすることによって帯電膜１２０と穴部１０２１の円中心を対向電極Ａ１１０１、対向電極Ｂ１１０２の円中心から外れないように規制することが出来る。  
【００３４】
ガイドＡ１１７、ガイドＢ１１９、ガイドＣ１１８は２体の筐体である筐体Ｂ１０３、筐体Ｃ１０５に作成されている。２体構成にすることで、ガイドＡ１１７、ガイドＢ１１９、ガイドＣ１１８の製作が容易になり、また、ガイドＡ１１７、ガイドＢ１１９、ガイドＣ１１８に回動部２００の外端を挟み込むことも容易になり、組込性が向上する。
なお、ガイドＡ１１７、ガイドＢ１１９、ガイドＣ１１８はいずれも回動部２００と接触を行なって支持を行なうため、回動部２００とガイドＡ１１７、ガイドＢ１１９、ガイドＣ１１８が接触する面は研磨や、潤滑剤の塗布などを行い、接触抵抗を減らすことが望ましい。
【００３５】
次にガイドＡ１１７、ガイドＢ１１９、ガイドＣ１１８の配置について説明を行なう。図３（ａ）は筐体Ｃ１０５、対向電極１１０を示した上面図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）のガイドＢ１１９周辺を拡大した図である。
ガイドＡ１１７、ガイドＢ１１９、ガイドＣ１１８は軸１１３を中心とした円形状にしても良いが、図３（ａ）のように丸穴部１０９を中心に均等角度で部分的にガイドＡ１１７、ガイドＢ１１９、ガイドＣ１１８を３点以上設けることによって回動部２００とガイドＣ１１８の摩擦負荷を低減しても良い。
【００３６】
なお、ガイドＡ１１７は図３（ａ）に記載されていないが、ガイドＡ１１７は回動体１２１を挟んでガイドＢ１１９とは反対側の筐体Ｂ１２１の位置に配置している。
【００３７】
また、ガイドＡ１１７、ガイドＢ１１９は図３（ｂ）に示すように回動部２００の最外周である側面７００よりも丸穴部１０９側まで突き出し、回動部２００がガイドＡ１１７、ガイドＢ１１９から外れないようにしている。
ガイドＣ１１８は側面７００よりも外側に位置し、回動部２００がガイドＣ１１８よりも外側に移動しないように規制を行なっており、ネジ１１９はガイドＣ１１８を通って筐体Ａ１０１、筐体Ｂ１０３、筐体Ｃ１０５、対向基板１０９、筐体Ｄ１０６の固定を行なっている。
【００３８】
次に発電装置１００の動作について説明を行なう。
発電装置１００は回転錘などの外部から伝達された動力を動力伝達車１０４からカナ１１２、軸１１３を介して回転部材１０２の穴部１０２２に伝達される。
穴部１０２２に伝達された動力はヒゲゼンマイ１１６を介して回動部２００に伝達される。
【００３９】
帯電膜１２０、穴部１０２１と対向電極Ａ１１０１、対向電極Ｂ１１０２の円中心距離と断面方向距離は前述のように回動部２００がガイドＡ１１７、ガイドＢ１１９、ガイドＣ１１８によって規制され、動力伝達されて回動部２００が回転すると、対向電極Ａ１１０１、対向電極Ｂ１１０２と帯電膜１２０、穴部１０２２の相対位置が変化し、対向電極Ａ１１０１、対向電極Ｂ１１０２に交流電力が発生する。
【００４０】
回転錘などの外部から伝達された動力が停止し、動力伝達車１０４が停止すると軸１１３、穴部１０２２も停止するが、ヒゲゼンマイ１１６がバネ性を有しているため、回動部２００の動力停止前の慣性力を用いて回動部２００は自由振動を開始するため、伝達された動力停止後、しばらくは対向電極Ａ１１０１、対向電極Ｂ１１０２に交流電力が発生する。
よって、ヒゲゼンマイ１１６を設けることによって発電時間が長くなり、発電量を増加することが可能となる。
【００４１】
（第１変形例） 
次に本実施形態の第１変形例について説明を行なう。
図４（ａ）は本発明の実施形態の第１変形例における発電装置の断面図で、図４（ｂ）は図４（ａ）のｄ’部分の拡大図である。
図１の実施形態ではガイドＡ１１７は筐体Ｂ１０３、ガイドＢ１１９は筐体Ｃ１０５に設けられていたが、図４（ａ）に示すようにガイドＡ１１７’、ガイドＢ１１９’を回転部材１０２に設け、筐体Ｂ１１３’、筐体Ｃ１０５’を単純な形状にしても良い。
【００４２】
なお、ガイドＡ１１７’、ガイドＢ１１９’は回動部２００の外周部に穴を空け、ピンやリング状の部材を嵌めて接着などによって固定を行ない回動部２００に設ける。
ピンやリング状の部材は接触する筐体Ｂ１０３’、対向基板１０９との接触抵抗を軽減するため、接触面を研磨や、潤滑剤の塗布などを行い、接触抵抗を減らし、接触面の形状も球体などの接触面の小さい形状が望ましい。
【００４３】
図１の実施形態では回転部材１０２、筐体Ｂ１０３、筐体Ｃ１０５は複雑な形状のため、ＭＥＭＳ技術によって作製して加工精度を高めているが、ＭＥＭＳ技術による加工はコスト的に高価であるため、本第１変形例に示すような単純な形状にすることによって筐体Ｂ１１３’、筐体Ｃ１０５’を高価なＭＥＭＳ技術ではなく、切削加工と研磨加工によって作製することによって製造コストを削減できる。
【００４４】
（第２変形例） 
次に本実施形態の第２変形例について説明を行なう。
図５（ａ）は本発明の実施形態の第２変形例における発電装置の断面図で、図５（ｂ）は図５（ａ）のｃ’部分の拡大図であり、軸１１３’、筐体Ａ１０１’、筐体Ｄ１０６’は図１の実施形態における軸１１３筐体Ａ１０１、筐体Ｄ１０６とは軸１１３’が筐体Ａ１
０１’、筐体Ｄ１０６’に固定され、回動はしない点が異なり、他の回転部材１０２などのとの関係は図１の実施形態と同様である。
【００４５】
このため、図５（ａ）に示す本実施形態の第２変形例は特許文献１のように固定筐体である筐体Ａ１０１’、筐体Ｄ１０６’、軸１１３’にヒゲゼンマイ１１６を介して接続された回動部２００の一部にオモリ３００を設け、発電装置１００が振動を受けるとオモリ３００の位置が変化するため、回動部２００が回転し、発電装置１００が受けている振動が停止した後もヒゲゼンマイ１１６によって、しばらくは回動部２００およびオモリ３００が振動することで発電時間を長くする構成であり、本実施形態の第２変形例においてはオモリの一部が帯電膜１２０と対向電極１１０の距離を制御するガイドＡ１１７’’の働きも兼ねる。
【００４６】
このため、ガイドＡ１１７’’ の一部にオモリ３００を配置してガイド部として使用し、この部分のガイドＡ１１７’’を省略しても良い。
なお、この場合、オモリ３００と回動部２００との接触面は摩擦負荷軽減のため、研磨や、潤滑剤の塗布などを行なったほうが望ましい。
【００４７】
以上のように回転部材１０２の中心にヒゲゼンマイ１１６を配置することによって発電装置１００の厚さをヒゲゼンマイ１１６の厚さ分薄くすることができ、ガイドＡ１１７、ガイドＢ１１９、ガイドＣ１１８によって帯電膜１２０と対向電極１１０の距離および円中心位置を制御できるため、ガイドＡ１１７、ガイドＢ１１９、ガイドＣ１１８を形成する筐体Ｂ１０３、筐体Ｃ１０５を加工精度の高いＭＥＭＳ技術を用いて作製すれば、帯電膜１２０と対向電極１１０の距離を近づけることが出来、発電装置１００の発電電力を向上させることも出来る。
また、ヒゲゼンマイ１１６が配置された回転部材１０２の中心部は帯電膜１２０の面積が小さいため、発電装置１００の発電電力の減少は少ない。
【符号の説明】
【００４８】
１００  発電装置
１０２  回転部材
１１０  対向基板
１２１  対向電極
１１３  軸
１１６  ヒゲゼンマイ
１１７  ガイドＡ
１１８  ガイドＣ
１１９  ガイドＢ
１２０  帯電膜
１２１  回動体
２００  回動部
【図１（ａ）】
2016059194.tif 000003
【図１（ｂ）】
2016059194.tif 000004
【図１（ｃ）】
2016059194.tif 000005
【図２（ａ）】
2016059194.tif 000006
【図２（ｂ）】
2016059194.tif 000007
【図２（ｃ）】
2016059194.tif 000008
【図２（ｄ）】
2016059194.tif 000009
【図３（ａ）】
2016059194.tif 000010
【図３（ｂ）】
2016059194.tif 000011
【図４（ａ）】
2016059194.tif 000012
【図４（ｂ）】
2016059194.tif 000013
【図５（ａ）】
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【図５（ｂ）】
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【図６】
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