(57)【要約】【課題】多点保持による基板の撓みを抑制し、基板の収納、搬送、輸送等を安全に行える基板収納容器を提供することを目的とする。【解決手段】容器本体と蓋体からなる基板収納容器において、容器本体の奥壁の内面に配置された基板後端支持部材（６０）、あるいは上記基板の左右端を支持するために対向する２つの側壁の内面のそれぞれに配置された基板左右端支持部材（５０）、あるいは蓋体を上記容器本体から取り外した際に上記基板の前端が撓まないよう基板左右端支持部材と容器本体の開口の間の側壁内面に配置された少なくとも１対の基板前側支持部材（７０）を有する。【選択図】図２
2016062943.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上壁と、下壁と、奥壁と対向する２つの側壁からなる開口を有する容器本体と、前記開口に取り付け可能な蓋体とからなる、基板処理工程内で基板を収納し搬送する基板収納容器であって、
前記蓋体の容器本体内面側に位置する前記基板外周の前端を支持するリテーナーと、前記基板収納容器内面に取り付けられ前記基板の外周と底面を支持する複数の基板支持部材とを備え、
前記基板支持部材は前記基板の後端を支持するために前記奥壁の内面に配置された基板後端支持部材あるいは前記基板の左右端を支持するために対向する２つの前記側壁のそれぞれに配置された基板左右端支持部材あるいは、前記蓋体を前記容器本体から取り外した際に前記基板の前端が撓まないよう前記基板左右端支持部材と前記容器本体の開口の間の前記側壁に配置された少なくとも１対の基板前側支持部材であることを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記基板支持部材である前記基板後端支持部材と前記基板左右端支持部材と前記基板前側支持部材はすべて同形状であって、
前記基板支持部材が前記容器本体の上面から下面の間に延びる基部と前記基部の側部に設けられた前記基板を載置する棚板からなり、前記側部は前記基板の位置を規制する基板位置規制部を設けたことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記基板位置規制部が前記基板の外周と同形状である凹形状規制部と、前記凹形状規制部の両端に位置し、平面形状をなす平面規制部を有することを特徴とする請求項２に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記凹形状規制部が前記基板後端支持部材において基板後端を規制し、前記平面規制部が基板左右端支持部材において基板左右端位置を規制することを特徴とする請求項３に記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記凹形状規制部が前記基板後端支持部材において基板後端位置を規制し、前記平面規制部が基板左右端支持部材において基板左右端位置を規制することを特徴とする請求項３に記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記基板支持部材が、前記基板後端支持部材と前記基板左右端支持部材の間に配置される基板奥側支持部材を更に有することを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の基板収納容器。
【請求項７】
前記基板奥側支持部材の基部に形成される本体取付面の形状が、前記基板後端支持部材と前記基板左右端支持部材と前記基板前側支持部材とは異なる形状をなす請求項６に記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体ウェーハ等からなる基板を収納、搬送、輸送等する際に用いられる基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハからなる基板を収納して、工場内の工程において搬送するための基板収納容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている。
【０００３】
容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。
【０００４】
蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナーが設けられている。フロントリテーナーは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の外周を支持可能である。また、フロントリテーナーと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の外周を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナーと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する（特許文献１参照）。
【０００５】
ここで、基板収納容器には、たとえば、シリコンからなる直径３００ｍｍの半導体ウェーハの裏面をバックグラインドすることにより、基板の厚さが３００μｍ程度あるいはこれ以下となるまで薄く加工した基板を収納する場合がある。前述した薄いウェーハや、外径が３００ｍｍ以上の大口径の半導体ウェーハなどの基板は、基板収納容器内において、その周辺部が一対の支持部材によって支持されていることから、中央部が撓み易くなり、自重により撓んでしまう。基板の載置または取り出しを行う際に、この撓みにより基板が基板収納容器や基板取り出し機構と接触することにより、擦れによる汚染や破損事故が考えられる。
【０００６】
このため、たとえば特許文献２に開示されているように、容器本体の各支持部に比較的剛性の大きい円盤状の規制板を支持させるとともに、この規制板の上面に基板を当接させることによって、厚さの薄い基板の撓みを回避させるものもある（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許第４１６９７３６号明細書
【特許文献２】特開２０１２−１０４５７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、特許文献２に示す基板収納容器の基板支持方法では、基板裏面部の大部分が規制板と接触している為、この接触によりパーティクル等が発生する。発生したパーティクル等が下の基板表面や他の基板に付着し、パターン欠陥等を発生させ、歩留まり低下を引き起こす。
【０００９】
また、特許文献２に示す従来技術の基板収納容器の規制板を用い、規制板を支持板に載置させ、規制板により基板の裏面を支持していたが、規制板が容器内部を広く覆っているため、容器内から基板を取り出す際、もしくは容器内へ基板を載置させる際に、規制板と基板取り出し機構である基板ハンドリング用のアームとが接触する問題がある。
【００１０】
本発明は、基板裏面との接触する面積を抑え、基板の撓みを抑制しつつ、基板の収納、搬送、輸送等を行える基板収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は上壁と、下壁と、奥壁と対向する２つの側壁からなる開口を有する容器本体と、開口に取り付け可能な蓋体とからなる基板処理工程内で基板を収納し搬送する基板収納容器であって、蓋体の容器本体内面側に位置する基板外周の前端を支持するリテーナーと、収納容器内面に取り付けられ基板の外周と底面を支持する複数の基板支持部材とを備え、基板支持部材は基板の後端を支持するために奥壁の内面に配置された基板後端支持部材あるいは基板の左右端を支持するために対向する２つの側壁のそれぞれに配置された基板左右端支持部材あるいは、蓋を容器本体から取り外した際に基板の前端が撓まないよう基板左右端支持部材と容器本体の開口の間の側壁に配置された少なくとも１対の基板前側支持部材であることを特徴とする。
【００１２】
また、基板支持部材である基板後端支持部材と基板左右端支持部材と基板前側支持部材はすべて同形状であって、基板支持部材が容器本体の上面から下面の間に延びる基部と基部の側部に設けられた基板を載置する棚板からなり、側部は基板の位置を規制する基板位置規制部を設けることが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、本発明は基板裏面との接触する面積を抑え、多点保持による基板の撓みを抑制する基板支持部材を用いることで、基板の収納、搬送、輸送等を行える基板収納容器を提供することができる。そのため、基板取り出しに用いるアームの大きさや長さを限定することなく、また基板と棚板との設置面積を抑制し、パーティクルの発生を抑えることが出来るので歩留まり等を向上させることができる。また、同一の形状の互換性のある基板支持部材を用いることで製品単価を抑え、歩留まりを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の基板収納容器の実施形態１に係る基板収納容器１の斜視図である。
【図２】本発明の基板収納容器の実施形態１に係る基板収納容器１の容器本体２において、上壁２３を省略した上方平面図である。
【図３】本発明の基板収納容器の実施形態１に係る基板収納容器１の基板左右端支持部材５０の斜視図である。
【図４】本発明の基板収納容器の実施形態１に係る基板収納容器１の基板左右端支持部材５０の正面図である。
【図５】本発明の基板収納容器の実施形態１に係る基板収納容器１の基板左右端支持部材５０の上方平面図である。
【図６】本発明の基板収納容器の実施形態２に係る基板収納容器１の容器本体２において、上壁２３を省略した上方平面図である。
【図７】本発明の基板収納容器の実施形態２に係る基板収納容器１の基板奥側支持部材７１０の斜視図である。
【図８】本発明の基板収納容器の実施形態２に係る基板収納容器１の基板奥側支持部材７１０の上方平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態による基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。図１は本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。図２は本発明の基板収納容器の実施形態１に係る基板収納容器１の容器本体２において、上壁２３を省略した上方平面図である。図３は本発明の基板収納容器の実施形態１に係る基板収納容器１の基板左右端支持部材５０の斜視図である。図４は本発明の基板収納容器の実施形態１に係る基板収納容器１の基板左右端支持部材５０の溝間５２１を正面に配置した正面図である。図５は本発明の基板収納容器の実施形態１に係る基板収納容器１の基板左右端支持部材５０の上方平面図である。
【００１６】
ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向と定義し、その反対の方向を後方向と定義し、これらをあわせて前後方向と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向と定義し、その反対の方向を下方向と定義し、これらをあわせて上下方向と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向と定義し、その反対の方向を右方向と定義し、これらをあわせて左右方向と定義する。
【００１７】
基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図５参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径が３００ｍｍ程度の略円盤状のシリコンウェーハである。基板Ｗの厚みは特に限定されるものではないが、例えば５０μｍ以上２ｍｍ以下の厚みのものを用いることができる。本実施形態においては１００μｍの基板を用いた。
【００１８】
図１、図２に示すように、基板収納容器１は、上述のようなシリコンウェーハからなる基板Ｗを収納して、工場内の工程において搬送する工程内容器として用いられたり、陸運手段・空運手段・海運手段等の輸送手段により基板を輸送するための出荷容器として用いられるものであり、容器本体２と、蓋体３と、基板支持部材である側方基板支持部としての基板左右端支持部材５０と後方側基板支持部としての基板後端支持部材６０と撓み防止支持部としての基板前側支持部材７０と、蓋体側基板支持部であるリテーナー５とを有している。
【００１９】
また、図２における蓋体３については、説明の便宜上省略し、蓋体側基板支持部であるリテーナー５のみ記載する。
【００２０】
容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、２つの基板左右端支持部材５０、１つの基板後端支持部材６０、２つの基板前側支持部材７０が配置されている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。
【００２１】
基板左右端支持部材５０と、基板前側支持部材７０は、基板収納空間２７内において対をなすように第１側壁２５、第２側壁２６に設けられている。基板後端支持部材６０は、基板収納空間２７内において奥壁２２に設けられている。基板左右端支持部材５０と、基板後端支持部材６０と、基板前側支持部材７０は、複数の基板Ｗの外周の底面に当接することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの外周の底面を支持可能である。
【００２２】
蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口外周部３１（図１等）に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。リテーナー５は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。リテーナー５は、基板収納空間２７の内部において基板後端支持部材６０と対をなすように配置されている。
【００２３】
リテーナー５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの外周に当接することにより複数の基板Ｗの外周の前部を支持可能である。リテーナー５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板左右端支持部材５０と、側方基板支持部としての基板後端支持部材６０と、基板前側支持部材７０と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。
【００２４】
基板収納容器１は、プラスチック材等の樹脂で構成されており、特に説明が無い場合には、その材料の樹脂としては、たとえば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が上げられる。これらの成形材料の樹脂には、導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電性物質が選択的に添加される。また、剛性を上げるためにガラス繊維や炭素繊維等を添加することも可能である。
【００２５】
以下、各部について、詳細に説明する。
図１等に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、上述した材料により構成されており、一体成形されて構成されている。
【００２６】
第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口外周部３１を構成する。
【００２７】
開口外周部３１は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口外周部３１に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で１３枚の基板Ｗを収納可能である。
【００２８】
図１に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口外周部３１の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部４０Ａ、４０Ｂ、４１Ａ、４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部４０Ａ、４０Ｂ、４１Ａ、４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。
【００２９】
図１に示すように、上壁２３の外面においては、リブ２８が、上壁２３と一体成形されて設けられている。このリブ２８は、容器本体の剛性を高めるために設けられている。
【００３０】
また、上壁２３の中央部には、トップフランジ２９が固定される。トップフランジ２９は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。
【００３１】
図１に示すように、蓋体３は、容器本体２の開口外周部３１の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口外周部３１に対して着脱可能であり、開口外周部３１に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口外周部３１のすぐ後方向の位置に形成された段差の部分の面（シール面３０）に対向する面には、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等により構成されている。シール部材４は、蓋体３の外周を一周するように配置されている。
【００３２】
蓋体３が開口外周部３１に装着されたときに、シール部材４は、シール面３０と蓋体３の内面とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口外周部３１から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。
【００３３】
蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体３の上辺から上方向へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂと、蓋体３の下辺から下方向へ突出可能な２つの下側ラッチ部（図示せず）と、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部は、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。
【００３４】
蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂ、下側ラッチ部（図示せず）を蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂが蓋体３の上辺から上方向へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部４０Ａ、４０Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部（図示せず）が蓋体３の下辺から下方向へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部４１Ａ、４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口外周部３１に固定される。
【００３５】
図１及び図２に示すように基板左右端支持部材５０は、第１側壁２５及び第２側壁２６に、それぞれ対をなすようにして基板収納空間２７内に配置されている。
【００３６】
図３から図５に示すように基板左右端支持部材５０は基部５１と、棚板５２と、を有している。棚板５２は基部５１の片面の側部に対して垂直方向に延び、等間隔に配置されている。
【００３７】
基板左右端支持部材５０は、プラスチック材等の樹脂で構成されており、たとえばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が上げられる。これらの成形材料の樹脂に導電性を付与する場合には、これらの成形材料の樹脂には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電性物質が選択的に添加される。また、剛性を上げるためにガラス繊維や炭素繊維等を添加することも可能である。
【００３８】
棚板５２間に形成された溝間５２１は計１２筋形成されている。溝間５２１の幅は２０ｍｍ程度である。溝間５２１には、基板をそれぞれ１枚ずつ挿入可能である。
【００３９】
基部５１には、棚板５２が形成された面とは反対面に、容器本体２の壁部２０と接する本体取付面５４が形成されている。さらに、基部５１には、棚板５２が形成された面に、基板Ｗの外周と接し、基板Ｗの位置を規制する凹形状規制部５３１及び平面規制部５３２とが形成されている。平面規制部５３２は凹形状規制部５３１の両端に位置する。
【００４０】
凹形状規制部５３１の形状は基板Ｗの外周と一致する形状である。これによって凹形状規制部５３１の面全体で基板Ｗの外周を保持できる。また、平面規制部５３２の形状は平坦な面を有している。
【００４１】
また、基部５１の凹形状規制部５３１は容器本体２へのネジ留めの為のネジ穴５５を有する。本実施形態では一つの基板左右端支持部材に対して、上下方向に３箇所のネジ穴５５を有している。
【００４２】
基板後端支持部材６０と、基板前側支持部材７０は、基板左右端支持部材５０と同一の形状を有しており、説明を省略する。
【００４３】
図１及び図２に示すように基板左右端支持部材５０は第１側壁２５及び第２側壁２６にそれぞれ対をなすようにして基板収納空間２７内に配置されている。具体的には第１側壁２５及び第２側壁２６の容器本体中心を通り、容器開口と平行となる面と交差する位置に平面規制部５３２が位置するよう基板左右端支持部材５０がネジ留めされ配置される。
【００４４】
この配置により基板左右端支持部材５０の平面規制部５３２において基部Ｗの左右端の外周が当接することにより基板Ｗの左右方向の端部位置が規制される。
【００４５】
基板後端支持部材６０は、奥壁２２もしくは奥面２２に設置された基板収納容器１の内部に収納された基板Ｗを確認するための確認窓の基板収納空間２７の内面に形成されている。基板後端支持部材６０の棚板と、基板左右端支持部材５０の棚板５２とは平行で且つ、同じ高さになるように配置されている。具体的には奥壁２２もしくは確認窓の左右方向の中心に基板後端支持部材６０がネジ留めされ配置される。
【００４６】
この配置によりリテーナー５が基板Ｗを容器後方向へ押し、基板後端支持部材６０の５３１において基板Ｗの外周が当接することにより、基板Ｗの後端部の位置が規制される。
【００４７】
これにより基板Ｗは、図２に示すようにリテーナー５と、基板左右端支持部材５０と、基板後端支持部材６０とで基板Ｗを支持することにより、基板左右端支持部材５０の平面規制部５３２に当接するとともに、基板後端支持部材６０の凹形状規制部５３１に当接し、基板Ｗの位置決めが行われるようになり、基板Ｗが棚板５２上を動くことを規制する。
【００４８】
基板前側支持部材７０は、第１側壁２５及び第２側壁２６に、それぞれ対をなすようにして基板収納空間２７内に基板左右端支持部材５０と並行で、且つ、同じ高さとなるようにネジ留めされ配置されている。具体的には基板左右端支持部材５０と容器本体開口部２１との間に基板前側支持部材７０が配置される。
【００４９】
また、図１に示すように基板後端支持部材６０及び基板前側支持部材７０は、位置調整部材としてアダプタ８０を、奥壁２２あるいは確認窓、第１側壁２５、第２側壁２６と、本体取付面５４との間に配置している。アダプタ８０の厚さは、本実施形態においては１２ｍｍ程度である。
【００５０】
基板左右端支持部材５０と、基板後端支持部材６０と、基板前側支持部材７０は、締結ネジ１００が基部５１のネジ穴５５を通り、締結ネジ１００及び締結ナット１１０によって、容器本体２と固定されている。容器本体２は、対応する箇所に貫通穴（図示せず）が開けられている。
【００５１】
上記構成の第１実施形態による基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることが出来る。
上壁と、下壁と、奥壁と対向する２つの側壁からなる開口を有する容器本体と、開口に取り付け可能な蓋体とからなる基板処理工程内で基板を収納し搬送する基板収納容器であって、蓋体の容器本体内面側に位置し、基板外周の前端を支持するリテーナーと、収納容器内面に取り付けられ基板の外周と底面を支持する複数の基板支持部材とを備え、基板支持部材は基板の後端を支持するために奥壁の内面に配置された基板後端支持部材、あるいは基板の左右端を支持するために対向する２つの側壁の内面にそれぞれに配置された基板左右端支持部材あるいは蓋体を容器本体から取り外した際に上記基板の前端が撓まないよう基板左右端支持部材と容器本体の開口の間の側壁の内面に配置された少なくとも１対の基板前側支持部材を有する。
【００５２】
この構成により、基板裏面を多点保持する事でリテーナーの有無に関わらず、基板の撓みを抑制する事もでき、基板と基板支持部材との接触面積を低減する事ができる。この結果、基板を破損させる事無く、基板の収納、搬送、輸送等を行える基板収納容器を提供することができる。そして、基板との接触面積を低減する事で基板取り出しに用いるアームの大きさや長さを限定することなく、また基板と棚板との設置面積を抑制し、パーティクルの発生を抑えることが出来るので歩留まり等を向上させることができる。
【００５３】
また、基板支持部材である基板後端支持部材と基板左右端支持部材と基板前側支持部材はすべて同形状であって基板支持部材が上記容器本体の上壁から下壁の間に延びる基部と基部の側部に設けられた基板を載置する棚板からなり、側部は基板の位置を規制する基板位置規制部を設けた。
【００５４】
この構成により、同一の形状の互換性のある基板支持部材を用いることで製品単価を抑え、組み立て時の部品種類を低減させ、歩留まりを向上させることができる。
【００５５】
また、基板位置規制部が基板の外周と同形状である凹形状規制部と、凹形状規制部の両端に位置し、平面形状をなす平面規制部を設けることで、凹形状規制部が基板後端支持部材において基板の外周の後端を規制し、平面規制部が基板左右端支持部材において基板外周の左右端の位置を規制することができる。
【００５６】
この構成により、基板位置を規制し、所定の位置で基板を配置・支持させることができ、安全に基板を収納し、搬送、輸送することができる。
【００５７】
［第２実施形態］
次に本発明の第２実施形態による基板収納容器１について図６から図８を参照しながら説明する。図６は本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２において、上壁２３を省略した上方平面図である。図７は本発明の基板収納容器の実施形態２に係る基板収納容器１の基板奥側支持部材７１０の斜視図である。図８は本発明の基板収納容器の実施形態２に係る基板収納容器１の基板奥側支持部材７１０の上方平面図である。
また、図６における蓋体３については、説明の便宜上省略する。
【００５８】
第２実施形態による基板収納容器は、容器後部の基板撓みを抑制するため、基板奥側支持部材７１０が設けられている点において、第１実施形態による基板収納容器１の構成とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態による基板収納容器１の構成と同様であるため、第１実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。
【００５９】
図６から図８に示すように、基板奥側支持部材７１０は基板左右端支持部材５０などの基板支持部材と同一の構成を有するが、基部５１における本体取付面５４１の形状が基板左右端支持部材５０、基板後端支持部材６０、基板前側支持部材７０の基板支持部材の本体取付面５４と異なる。
【００６０】
第１実施形態の本体取付面５４は、ほぼ平面の形状をなすが、本実施形態の基板奥側支持部材７１０の本体取付面５４１は円弧状をなしている。この円弧形状は、第１側壁２５の湾曲部２５１及び第２側壁２６の湾曲部２６１に適合する形状になっており、本体取付面５４１は、湾曲部２６１に基板左右端支持部材５０と並行で且つ、同じ高さに位置するようにネジ留めされ配置され、基板Ｗが棚板５２上を動くことを規制することができ、リテーナー５と、基板左右端支持部材５０と、基板後端支持部材６０と、基板前側支持部材７０にて基板Ｗを支持する。
【００６１】
基板奥側支持部材７１０は、締結ネジ１００が基部５１のネジ穴５５を通り、締結ネジ１００と、締結ナット１１０によって、容器本体２と固定されている。容器本体２は、対応する箇所に貫通穴（図示せず）が開けられている。
【００６２】
この構成により、第１実施形態の効果に加え以下のような効果を発揮する。
容器本体に収納される基板Ｗが極端に撓み易い場合、基板Ｗの撓みを更に抑制したい状況でも基板奥側支持部材が第１側壁２５の湾曲部２５１及び第２側壁２６の湾曲部２６１に配置され、基板左右端支持部材５０と基板後端支持部材６０間の基板Ｗの底面を支持することで基板Ｗの底面が支持されない範囲を狭め、撓みを低減させることができる。
【００６３】
本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。
基板左右端支持部材、後端基板支持部材、基板前側支持部材、基板奥側支持部材の形状は、本実施形態の形状に限定されない。特に大きさ、配置は適宜変更可能である。また溝５２１は１２筋形成されていたが、この数に限定されず、収納する基板の枚数に依存することは言うまでもない。
【００６４】
また、基板左右端支持部材５０の平面規制部５３２と、基部Ｗの左右端の外周との間にクリアランスを設けてもよい。クリアランスを設けることにより基板Ｗの取り出しが容易となる。
【００６５】
容器本体及び蓋体の形状、容器本体に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状、容器本体２に収納可能な基板Ｗの寸法に限定されない。
【符号の説明】
【００６６】
１  基板収納容器
２  容器本体
３  蓋体
４  シール部材
５  リテーナー
２０  壁部
２１  容器本体開口部
２２  奥壁
２３  上壁
２４  下壁
２５  第１側壁
２６  第２側壁
２７  基板収納空間
２８  リブ
２９  トップフランジ
３０  シール面
３１  開口外周部
３２Ａ、３２Ｂ  上側ラッチ部
３３  操作部
４０Ａ、４０Ｂ、４１Ａ、４１Ｂ  ラッチ係合凹部
４５  吸気孔
４６  排気口
５０  基板左右端支持部材 
５１  基部
５２  棚板
５３  基板位置規制部
５４  本体取付面
５５  ネジ穴
６０  基板後端支持部材
７０  基板前側支持部材
８０  アダプタ
１００  取り付けネジ
１１０  締結ナット
２５１  第１側壁湾曲部
２６１  第２側壁湾曲部
５２１  溝
５４１  本体取付面
７１０  基板奥側支持部材
Ｗ  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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