(57)【要約】      （修正有）【課題】シーリング部材の変形を防いでシーリング部材の部位に隙間の発生を防止することによって、基板処理工程の信頼性を向上させうるシーリング部材を提供する。【解決手段】ボディー部１１０と、ボディー部の内部で冷媒が移動する流路を含む冷却部１１１と、を含むシーリング部材１００であって、ボディー部の少なくとも一側から冷却部に連通された第１管１２０及び第２管１３０を含み、第１管を通じて冷却部に冷媒が供給され、第２管を通じて冷却部の冷媒が排出されるシーリング部材。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボディー部と、
前記ボディー部の内部で冷媒が移動する流路を含む冷却部と、
を含むことを特徴とするシーリング部材。
【請求項２】
前記ボディー部の少なくとも一側から前記冷却部に連通された第１管及び第２管を含むことを特徴とする請求項１に記載のシーリング部材。
【請求項３】
前記第１管を通じて前記冷却部に前記冷媒が供給され、
前記第２管を通じて前記冷却部の前記冷媒が排出されることを特徴とする請求項２に記載のシーリング部材。
【請求項４】
前記シーリング部材の前記ボディー部の断面形状は、円形または四角形であることを特徴とする請求項１に記載のシーリング部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シーリング部材に係り、より詳細には、シーリング部材の内部に冷媒を循環させて、使われる温度を向上させたシーリング部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板処理装置は、平板ディスプレイの製造時に使われ、蒸着（Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）装置とアニーリング（Ａｎｎｅａｌｉｎｇ）装置とに大別される。
【０００３】
蒸着装置は、平板ディスプレイの核心構成を成す透明導電層、絶縁層、金属層またはシリコン層を形成する装置であって、ＬＰＣＶＤ（Ｌｏｗ  Ｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）またはＰＥＣＶＤ（Ｐｌａｓｍａ−Ｅｎｈａｎｃｅｄ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）のような化学気相蒸着装置とスパッタリング（Ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ）のような物理気相蒸着装置とがある。
【０００４】
そして、アニーリング装置は、基板に膜を蒸着した後、蒸着された膜の特性を向上させる装置であって、蒸着された膜を結晶化または相変化させるために熱処理する装置である。
【０００５】
図１は、従来の基板処理装置を示す。図１の（ａ）は、従来の基板処理装置の概略側断面図であり、図１の（ｂ）は、図１の（ａ）に示されたシーリング部材１０の斜視図である。
【０００６】
一例として、従来の基板処理装置は、本体１を含み、本体１の内部には、基板が投入されて処理される空間であるチャンバ３が形成される。本体１の前面には、チャンバ３と連通され、基板が出入りする出入口５が形成され、出入口５を開閉するためのドア７が設けられる。基板処理装置では、チャンバ３内部の雰囲気を形成し、保持するために、出入口５とチャンバ３との間をシーリングするシーリング部材１０を設置することが必須である。これにより、出入口５外側の本体１の前面部位には、ドア７によって圧着されてチャンバ３をシーリングするシーリング部材１０が設けられることもある。図１の（ｂ）を参照すれば、シーリング部材１０は、断面形状がほぼ円形で形成されうる。
【０００７】
前記従来の基板処理装置に適用されるシーリング部材１０は、Ｖｉｔｏｎ（登録商標）（ＦＰＭ）などであって、ほとんどゴム質で構成されている。したがって、比較的低温である１５〜２００℃の環境で使われることが一般的であり、高温の環境では、ゴム質ではないＫＡＬＲＥＺ（登録商標）（ＦＦＰＭ）、ＰＥＲＦＬＵＯＲＯ（ＦＦＰＭ）など、特殊素材で構成されたシーリング部材１０を使わなければならないが、これは、高価であり、特殊素材で構成されたシーリング部材１０も、３００℃程度で使用環境が限定されている問題点があった。これより高温の環境では、シーリング部材１０が反るか、腐るか、引き裂かれるなどの理由によって、変形されて隙間が発生するという問題点があった。そうすると、異物がチャンバ３に流入され、チャンバ３の熱が外部に漏れるので、基板処理工程の信頼性が低下するという短所があった。
【０００８】
シーリング部材と関連した先行技術は、特許文献１などに開示されている。
【０００９】
基板処理装置と関連した先行技術は、特許文献２などに開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】大韓民国公開特許公報第１０−２０１２−００４４２２７号
【特許文献２】大韓民国公開特許公報第１０−２０１０−０００８７２２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、前記のような従来技術の諸問題点を解決するために案出されたものであって、シーリング部材の内部に冷媒を循環させて、使用温度を向上させたシーリング部材を提供することを目的とする。
【００１２】
また、本発明は、シーリング部材の変形を防いでシーリング部材の部位に隙間の発生を防止することによって、基板処理工程の信頼性を向上させうるシーリング部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記の目的を果たすために、本発明の一実施形態によるシーリング部材は、ボディー部と、前記ボディー部の内部で冷媒が移動する流路を含む冷却部と、を含むことを特徴とする。
【００１４】
前記ボディー部の少なくとも一側から前記冷却部に連通された第１管及び第２管を含みうる。
【００１５】
前記第１管を通じて前記冷却部に前記冷媒が供給され、前記第２管を通じて前記冷却部の前記冷媒が排出されうる。
【００１６】
前記シーリング部材の前記ボディー部の断面形状は、円形または四角形であり得る。
【発明の効果】
【００１７】
前記のように構成された本発明によれば、シーリング部材の内部に冷媒を循環させて、使用温度を向上させることができる。
【００１８】
また、本発明は、シーリング部材の変形を防いでシーリング部材の部位に隙間の発生を防止することによって、基板処理工程の信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１の（ａ）は、従来の基板処理装置の概略側断面図であり、図１の（ｂ）は、図１の（ａ）に示されたシーリング部材の斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態によるシーリング部材の斜視図及び拡大平断面図である。
【図３】本発明の他の実施形態によるシーリング部材の斜視図及び拡大平断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
後述する本発明についての詳細な説明は、本発明が実施される特定の実施形態を例示として図示する添付図面を参照する。これら実施形態は、当業者が本発明を十分に実施可能なように詳しく説明される。本発明の多様な実施形態は、互いに異なるが、相互排他的である必要はないということを理解しなければならない。例えば、これに記載されている特定の形状、構造、及び特性は、一実施形態に関連して、本発明の精神及び範囲を外れず、他の実施形態として具現可能である。また、それぞれの開示された実施形態内の個別構成要素の位置または配置は、本発明の精神及び範囲を外れず、変更されうるということを理解しなければならない。したがって、後述する詳細な説明は、限定的な意味として取ろうとするものではなく、本発明の範囲は、適切に説明されるならば、その請求項が主張するものと均等なあらゆる範囲と共に、添付の請求項によってのみ限定される。図面で類似した参照符号は、多様な側面にわたって同一または類似した機能を指称し、長さ及び面積、厚さなどとその形態は、便宜のために誇張されて表現されることもある。
【００２１】
本実施形態を説明するに当って、基板の処理とは、基板を加熱及び冷却する工程、基板に所定の膜を蒸着するためのあらゆる工程、基板に蒸着された所定の膜をアニーリング、結晶化または相変化するためのあらゆる熱処理工程などを含む概念として理解しなければならない。
【００２２】
そして、本発明のシーリング部材は、必ずしも基板処理装置に使われるものと限定されず、シーリングを必要とする装置には、いずれも適用できるということを明らかにする。
【００２３】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態による基板プロセッシング装置を詳しく説明する。
【００２４】
図２は、本発明の一実施形態によるシーリング部材１００の斜視図［図２の（ａ）］及び拡大平断面図［図２の（ｂ）］である。
【００２５】
図２を参照すれば、第１実施形態によるシーリング部材１００は、ボディー部１１０及び冷却部１１１を含みうる。
【００２６】
ボディー部１１０は、シーリング部材１００の胴体を構成する。ボディー部１１０は、シーリング部材１００の外皮であって、基板処理装置などの出入口と、出入口を開閉するドアの間に介在されて実質的にシーリングを行うことができる。ボディー部１１０は、従来のシーリング部材１０の材質であるゴムであって、１５〜２００℃の環境で使えるＶｉｔｏｎ（登録商標）（ＦＰＭ）などを含み、特殊素材として、２６０℃以下の環境で使われるＴＥＦＬＯＮ（登録商標）などを含むこともある。
【００２７】
冷却部１１１は、ボディー部１１０の内部で冷媒が移動する流路を提供することができる。冷却部１１１には、液体またはガス状の冷媒が流れて、冷媒の冷気がボディー部１１０に伝われうる。したがって、高温の環境でも、シーリング部材１００のボディー部１１０の変形可能性が非常に減る。
【００２８】
図２の（ｂ）は、冷却部１１１がボディー部１１０の内部に中空形態で形成されたものとして示されているが、冷却部１１１は、ボディー部１１０の内部に管を挿入した形態で形成することもできる。但し、本明細書では、中空形態の冷却部１１１を想定して説明する。ボディー部１１０と冷却部１１１の断面形状は、円形であり得る。
【００２９】
冷却部１１１は、ボディー部１１０全体に対しても形成可能であるが、外部の冷媒供給手段（図示せず）及び冷媒排出手段（図示せず）との流れを円滑にするために、一部に遮蔽膜１１５を形成しうる。遮蔽膜１１５を挟んで、一側では、冷媒が引き込まれて、遮蔽膜１１５の対向する方向（Ｐ１）に冷媒が流れ、他側では、遮蔽膜１１５の対向する方向（Ｐ２）から冷媒が流れて外部に排出されうる。
【００３０】
遮蔽膜１１５は、ボディー部１１０と同じ材質を有し、ボディー部１１０と一体に形成されることが望ましい。すなわち、別途に遮蔽膜１１５をボディー部１１０に挿入せず、ボディー部１１０が遮蔽膜１１５を含むように中空形態で冷却部１１１を即座に形成することが望ましい。遮蔽膜１１５を形成せず、ボディー部１１０全体に対して冷却部１１１を形成することができるということはいうまでもない。
【００３１】
冷却部１１１に冷媒が供給され、排出されるために、ボディー部１１０の少なくとも一側から冷却部１１１に連通された第１管１２０及び第２管１３０を含みうる。
【００３２】
第１管１２０の一端部は、サイドホール１１３を通じて冷却部１１１と連通され、他端部は、外部の冷媒供給手段（図示せず）と連結されて冷媒を供給されうる。
【００３３】
第２管１３０の一端部は、サイドホール１１３を通じて冷却部１１１と連通され、他端部は、外部の冷媒排出手段（図示せず）と連結されて冷却部１１１を循環する冷媒を外部に排出することができる。
【００３４】
図２に示したように、第１管１２０と第２管１３０は、冷却部１１１の同じ側に形成されて、第１管１２０から供給された冷媒がボディー部１１０全体を循環した後に第２管１３０に排出されるように構成され、冷却部１１１の相互反対側に形成されて、第１管１２０から供給された冷媒が冷却部１１１の左右二筋に分けられて、ボディー部１１０を循環した後に第２管１３０に排出されるように構成することもできる。
【００３５】
図２に示されたシーリング部材１００を製造する方法は、下記の通りである。まず、内部が中空であるか、内部に管を含んでいるゴムなどの材質を準備する。引き続き、接合剤を用いて両側を円形状に接合して連結した後で、第１管１２０と第２管１３０とを側面で挿入する。そして、第１及び第２管１２０、１３０とボディー部１１０との間を封入してシーリング部材１００の製造を完了することができる。
【００３６】
図３は、本発明の他の実施形態によるシーリング部材１００’の斜視図［図３の（ａ）］及び拡大平断面図［図３の（ｂ）］である。図３は、図２のような構成についての説明は省略し、差異点についてのみ説明する。
【００３７】
図３は、シーリング部材１００’は、ボディー部１１０’と冷却部１１１’の断面形状が四角形である。シーリング部材１００’を製造する方法は、下記の通りである。まず、プラスチック材で冷却部１１１’を含むボディー部１１０’を形成する。引き続き、熱による接合を用いて全体形状を四角形で構成し、第１管１２０’と第２管１３０’とを側面で挿入する。そして、第１及び第２管１２０’、１３０’とボディー部１１０’との間を封入してシーリング部材１００’の製造を完了することができる。
【００３８】
図２のシーリング部材１００は、ゴム質で構成する場合、断面形状を整った四角形で形成しやすくないが、一方、図３のシーリング部材１００’は、プラスチック材で構成して断面形状を四角形で形成することによって、扁平なシーリング部材１００’を使えるという利点がある。
【００３９】
前記のように、本発明のシーリング部材１００は、ボディー部１１０の内部に冷媒が移動することができる冷却部１１１を形成することによって、ボディー部１１０に冷媒の冷気を伝達することができて、ボディー部１１０の材質が適用可能な固有の温度よりも高い温度でも使える効果がある。そして、シーリング部材１００の温度を適正に管理することができて、耐久性を向上させ、シーリング部材１００の変形を防いでシーリング部材１００の部位に隙間の発生を防止することによって、基板処理工程の信頼性を向上させうる効果がある。
【００４０】
本発明は、前述したように、望ましい実施形態を挙げて図示して説明したが、前記実施形態に限定されず、本発明の精神を外れない範囲内で当業者によって多様な変形と変更とが可能である。そのような変形例及び変更例は、本発明と特許請求の範囲内に属するものと認めなければならない。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明は、シーリング部材関連の分野に適用可能である。
【符号の説明】
【００４２】
１０、１００：シーリング部材、
１１０：ボディー部、
１１３：サイドホール、
１１５：遮蔽膜、
１２０：第１管、
１３０：第２管。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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