(57)【要約】【課題】切断性能の向上および劣化の低減を図ったソーワイヤ１１を提供する。【解決手段】ソーワイヤ１１は、結晶系無機材料インゴットまたはそのブロックを遊離砥粒方式で切断するために用いられるソーワイヤ１１であって、第１径方向に屈曲する第１台形波１２および前記第１径方向と異なる第２径方向に屈曲する第２台形波１３が長手方向に繰り返す形状を有している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
結晶系無機材料インゴットまたはそのブロックを遊離砥粒方式で切断するために用いられるソーワイヤであって、
第１径方向に屈曲する第１台形波および前記第１径方向と異なる第２径方向に屈曲する第２台形波が長手方向に繰り返す形状を有している、ソーワイヤ。
【請求項２】
前記第１台形波の長さは前記第２台形波の長さと等しい、請求項１に記載のソーワイヤ。
【請求項３】
前記ソーワイヤの線径をｄとしたときに、前記第１台形波および前記第２台形波の長さは１０ｄ以上８０ｄ以下である、請求項１または２に記載のソーワイヤ。
【請求項４】
前記ソーワイヤの線径をｄとしたときに、前記第１台形波および前記第２台形波の高さは１．０１ｄ以上１．６０ｄ以下である、請求項１〜３のいずれか一項に記載のソーワイヤ。
【請求項５】
前記ソーワイヤの線径は０．０５ｍｍ以上０．３２ｍｍ以下である、請求項１〜４のいずれか一項に記載のソーワイヤ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、結晶系無機材料インゴットまたはそのブロックを遊離砥粒方式で切断するために用いられるソーワイヤに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、遊離砥粒方式のワイヤーソーのためのモノフィラメント金属ソーワイヤとして、特許文献１のモノフィラメント金属ソーワイヤが知られている。このソーワイヤの波形は、正弦波のような曲線形状を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４６１０６１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１のソーワイヤ―の波形は、正弦波のような曲線形状を有している。このような曲線形状のソーワイヤでインゴットやブロックなどのワークを切断する際には、ソーワイヤの頂点がワークに接触する。この接触面積が小さいため、ソーワイヤの頂点が部分的に摩耗してしまい、ソーワイヤが劣化し易い。
【０００５】
これに対して、ソーワイヤの接触面積を大きくすると、ソーワイヤの波形の傾きが小さくなる。この波形の傾きが小さいほど、遊離砥粒方式において砥粒の持ち込み量が減少するため、切断効率および切断面の精度が低下してしまう。
【０００６】
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、切断性能の向上および劣化の低減を図ったソーワイヤを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のある態様に係るソーワイヤは、結晶系無機材料インゴットまたはそのブロックを遊離砥粒方式で切断するために用いられるソーワイヤであって、第１径方向に屈曲する第１台形波および前記第１径方向と異なる第２径方向に屈曲する第２台形波が長手方向に繰り返す形状を有している。
【０００８】
ソーワイヤでは、前記第１台形波の長さは前記第２台形波の長さと等しくてもよい。また、ソーワイヤでは、前記ソーワイヤの線径をｄとしたときに、前記第１台形波および前記第２台形波の長さは１０ｄ以上８０ｄ以下であってもよい。さらに、前記ソーワイヤの線径をｄとしたときに、前記第１台形波および前記第２台形波の高さＤは１．０１ｄ以上１．６０ｄ以下であってもよい。ソーワイヤでは、前記ソーワイヤの線径は０．０５ｍｍ以上０．３２ｍｍ以下であってもよい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は、以上に説明した構成を有し、切断性能の向上および劣化の低減を図ったソーワイヤを提供することができるという効果を奏する。
【００１０】
本発明の上記目的、他の目的、特徴および利点は、添付図面参照の下、以下の好適な実施態様の詳細な説明から明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施の形態に係るソーワイヤの模式的な斜視図である。
【図２】図１のソーワイヤの平面図であり、（ａ）は、ソーワイヤの長手方向をｚ方向とした場合のｘｚ平面の図、（ｂ）はｙｚ平面の図である。
【図３】第１台形波および第２台形波の形状を有するソーワイヤと、正弦波の形状を有するワイヤとを比較した図である。
【図４】ソーワイヤの波付け装置を概略的に示した図である。
【図５】図５（ａ）は、位相がずれている場合の波付け装置の波付け位置におけるソーワイヤの状態を示した図であり、図５（ｂ）は、位相が一致している場合の波付け装置の波付け位置におけるソーワイヤの状態を示した図である。
【図６】ソーワイヤの評価結果を示す表である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら具体的に説明する。なお、以下では全ての図面を通じて同一または相当する要素には同一の参照符号を付して、その重複する説明を省略する。
【００１３】
まず、本実施の形態に係るソーワイヤ（以下、ソーワイヤと適宜略す。）１１の構成の一例について、図１を参照して説明する。図１は、ソーワイヤ１１の模式的な斜視図である。ソーワイヤ１１は、結晶系無機材料インゴットまたはそのブロックなどのワークを遊離砥粒方式で切断するために用いられるワイヤである。
【００１４】
ソーワイヤ１１の材質は特に限定されず、ウエーハスライスの分野で公知の線材を好適に用いることができる。具体的には、例えば、硬鋼線、ステンレス線、タングステン線、モリブデン線等の金属ワイヤが挙げられる。これらのうち、その強度およびコストの点から見れば、高炭素鋼線材等の硬鋼線を好ましく用いることができる。
【００１５】
ソーワイヤ１１の線径（ワイヤ径）は、特に限定されないが、本実施の形態では、結晶系無機材料インゴットまたはそのブロックなどのワークを遊離砥粒方式で切断するために用いられる。それゆえ、線径ｄは０．０５ｍｍ以上０．３２ｍｍ以下の範囲内であることが好ましい。
【００１６】
次に、ソーワイヤ１１の形状について、図１〜図３を参照して説明する。図２は、ソーワイヤ１１の平面図であって、（ａ）はソーワイヤ１１のｘｚ平面における図である。（ｂ）はソーワイヤ１１のｙｚ平面における図である。図３は、第１台形波１２および第２台形波１３の形状を有するソーワイヤ１１と、正弦波Ｓの形状を有するワイヤとを比較した図である。なお、図１、図２（ａ）および図２（ｂ）において、第１径方向をｘ方向と表し、第２径方向をｙ方向と表し、ソーワイヤ１１の長手方向をｚ方向と表している。ｘ方向、ｙ方向およびｚ方向は互いに直交する方向である。ただし、この直交は完全に直角に交わるだけでなく、製造上の誤差や公差を許容した範囲も含む。
【００１７】
ソーワイヤ１１は、図１に示すように、第１台形波１２および第２台形波１３がｚ方向（長手方向）に繰り返す三次元的な形状を有している。つまり、図２（ａ）に示すように、ソーワイヤ１１には、ｘ方向（第１径方向）に屈曲する第１台形波１２が長手方向に周期的に連続して形成されている。また、図２（ｂ）に示すように、ソーワイヤ１１には、ｙ方向（第２径方向）に屈曲する第２台形波１３が長手方向に周期的に連続して形成されている。なお、第１台形波１２および第２台形波１３は、この実施の形態では連続して繰り返し設けられているが、間隔を開けて繰り返し設けられていてもよい。
【００１８】
図２（ａ）に示す第１台形波１２は山部１２ａおよび谷部１２ｂを有し、山部１２ａおよび谷部１２ｂは交互に配置されている。この山部１２ａはｘｚ平面においてソーワイヤ１１の中心線Ｏからｘ方向の一方に突き出した部分であって、谷部１２ｂはｘｚ平面において中心線Ｏからｘ方向の他方に突き出した部分である。山部１２ａと谷部１２ｂとは、第１台形波１２と中心線Ｏとの交点に関して点対称である。
【００１９】
山部１２ａは傾斜部１２ａ１および直線部１２ａ２を有し、谷部１２ｂは傾斜部１２ｂ１および直線部１２ｂ２を有している。傾斜部１２ａ１は隣接する直線部１２ａ２に対して傾き、傾斜部１２ｂ１は隣接する直線部１２ｂ２に対して傾いている。この傾斜部１２ａ１と傾斜部１２ｂ１とは互いに等しい傾きθ１２を有している。直線部１２ａ２および直線部１２ｂ２は、ｘｚ平面において隣接し互いに平行に配されている。直線部１２ａ２と直線部１２ｂ２とは互いに等しい長さＬ１２を有している。
【００２０】
図２（ｂ）に示す第２台形波１３は山部１３ａおよび谷部１３ｂを有し、山部１３ａおよび谷部１３ｂは交互に配置されている。この山部１３ａはｙｚ平面においてソーワイヤ１１の中心線Ｏからｙ方向の一方に突き出した部分であって、谷部１３ｂはｙｚ平面において中心線Ｏからｙ方向の他方に突き出した部分である。山部１３ａと谷部１３ｂとは、第２台形波１３と中心線Ｏとの交点に関して点対称である。
【００２１】
山部１３ａは傾斜部１３ａ１および直線部１３ａ２を有し、谷部１３ｂは傾斜部１３ｂ１および直線部１３ｂ２を有している。傾斜部１３ａ１は隣接する直線部１３ａ２に対して傾き、傾斜部１３ｂ１は隣接する直線部１３ｂ２に対して傾いている。この傾斜部１３ａ１と傾斜部１３ｂ１とは互いに等しい傾きθ１３を有している。直線部１３ａ２および直線部１３ｂ２は、ｘｚ平面において隣接し互いに平行に配されている。直線部１３ａ２と直線部１３ｂ２とは互いに等しい長さＬ１３を有している。
【００２２】
図２（ａ）および図２（ｂ）に示すように、ソーワイヤ１１の中心線Ｏは、ｘｚ平面において隣接する直線部１２ａ２と直線部１２ｂ２との中間、および、ｙｚ平面において隣接する直線部１３ａ２と直線部１３ｂ２との中間を通る線である。この中心線Ｏは、直線部１２ａ２、１２ｂ２、１３ａ２、１３ｂ２に平行またはほぼ平行に設けられている。
【００２３】
第１台形波１２と第２台形波１３との形状は同じである。つまり、第１台形波１２の長さ（波長）Ｐ１２は、第２台形波１３の長さ（波長）Ｐ１３と等しい。この長さＰ１２は、１つの山部１２ａおよび１つの谷部１２ｂの各ｚ方向の長さの和であり、長さＰ１３は、１つの山部１３ａおよび１つの谷部１３ｂの各ｚ方向の長さの和である。また、第１台形波１２の高さ（振幅）Ｄ１２は、第２台形波１３の高さ（振幅）Ｄ１３と等しい。この高さＤ１２は山部１２ａの直線部１２ａ２と谷部１２ｂの直線部１２ｂ２との間の長さであり、高さＤ１３は山部１３ａの直線部１３ａ２と谷部１３ｂの直線部１３ｂ２との間の長さである。なお、高さＤ１２と高さＤ１３とを区別する必要がない場合、単に、高さＤと称することもある。
【００２４】
さらに、第１台形波１２の直線部１２ａ２、１２ｂ２の各長さＬ１２は、第２台形波１３の直線部１３ａ２、１３ｂ２の各長さＬ１３と等しい。また、第１台形波１２の直線部１２ａ２、１２ｂ２に対する傾斜部１２ａ１、１２ｂ１の傾きθ１２は、第２台形波１３の直線部１３ａ２、１３ｂ２に対する傾斜部１３ａ１、１３ｂ１の傾きθ１３と等しい。なお、この同じや等しいとは、完全なる一致だけでなく、製造上の誤差や公差を許容した範囲も含む。
【００２５】
第１台形波１２と第２台形波１３とは位相がδだけずれている。この位相差δは、０より大きく各台形波１２、１３の長さの半分Ｐ１２／２、Ｐ１３／２より小さい。このため図１に示すように、第１台形波１２の山部１２ａが第２台形波１３の山部１３ａまたは谷部１３ｂと完全に重なり合わない。また、第１台形波１２の谷部１２ｂが第２台形波１３の山部１３ａまたは谷部１３ｂと完全に重なり合わない。ただし、製造態様のバラツキに起因して、周期的に連続する長手方向において第１台形波１２の山部１２ａまたは谷部１２ｂと第２台形波１３の山部１３ａまたは谷部１３ｂとが稀に重なり合う範囲が存在し得る。
【００２６】
第１台形波１２および第２台形波１３の各長さＰ１２、Ｐ１３は、線径ｄを基準として好適な範囲内に設定することが好ましい。たとえば、各長さＰ１２、Ｐ１３は、１０ｄ以上８０ｄ以下の範囲内であることが好ましい。各台形波１２、１３の長さＰ１２、Ｐ１３が１０ｄより小さくなると、第１台形波１２および第２台形波１３をその位相をずらしながら互いに直交方向に向くように波付けすることが難しくなる。一方、長さＰ１２、Ｐ１３が８０ｄを超えて長くなると、ソーワイヤ１１の長手方向に設けられる各台形波１２、１３の個数が少なくなり、砥粒の持込み量が減少すると共に、第１台形波１２および第２台形波１３を互いに直交方向になるように維持することが難しくなる。
【００２７】
図３に示すように、第１台形波１２および第２台形波１３の各傾斜部１２ａ１、１２ｂ１、１３ａ１、１３ｂ１の傾きθ１２、θ１３は、鋭角であって、好ましくは正弦波Ｓの立ち上がり傾きθｓと等しいまたはほぼ等しく設定されている。この正弦波Ｓの長さＰｓは第１台形波１２および第２台形波１３の各長さＰ１２、Ｐ１３と等しい。このような正弦波Ｓの高さＤｓより、第１台形波１２および第２台形波１３の各高さＤ（Ｄ１２、Ｄ１３）が小さくなる。この第１台形波１２および第２台形波１３の各高さＤは、１．０１ｄ以上１．６０ｄ以下の範囲になるように設定される。各台形波１２、１３の高さＤが高くなると、ソーワイヤ１１に負荷されるテンションによりソーワイヤ１１が伸ばされ、その傾斜角度が小さくなり、砥粒の持ち込み性能が相対的に小さくなる。なお、高さＤ（Ｄ１２、高さＤ１３）は、ソーワイヤ１１の山部の直線部の外周面と谷部の直線部の外周面との間の長さを測定したものである。
【００２８】
次に、ソーワイヤ１１の製造方法について、図４および図５を参照して具体的に説明する。図４は、ソーワイヤ１１の波付け装置２０を概略的に示した図である。図５（ａ）および図５（ｂ）は、波付け装置２０の波付け位置におけるソーワイヤ１１の状態を示した図である。
【００２９】
ソーワイヤ１１の波付け装置２０は、たとえば、３つの第１〜第３歯車２１、２２、２３を有している。第１〜第３歯車２１、２２、２３の各回転軸は平行に設けられている。第１歯車２１の歯２４１、第２歯車２２の歯２４２および第３歯車２３の歯２４３の各大きさは同じに形成されている。第１歯車２１および第２歯車２２は、歯２４１と歯２４２がかみ合うように設けられている。また、第３歯車２３は第１歯車２１および第２歯車２２から離れて設けられている。この第３歯車２３と第１歯車２１および第２歯車２２との距離は、第１台形波１２の位相と第２台形波１３の位相とが一致しないように設定されている。
【００３０】
この波付け装置２０によるソーワイヤ１１の製造方法では、ワイヤ１０は、第１歯車２１に沿って進み、第１歯車２１と第２歯車２２とのかみ合い位置に進入する。このかみ合い位置において、第１歯車２１の歯２４１が第２歯車２２の窪み２５に嵌る際に、ワイヤ１０に第１台形波１２の形状が付けられる。そして、ワイヤ１０は、第２歯車２２に沿って進み、第２歯車２２から第３歯車２３に達する。ワイヤ１０は、第３歯車２３に沿って進み、第３歯車２３から第１歯車２１と第２歯車２２とのかみ合い位置に戻る。この際、ワイヤ１０には第１台形波１２の形状が付けられている。このため、図５（ａ）に示すように、ワイヤ１０の第１台形波１２の面が第２歯車２２の歯２４２の平面に沿うように、ワイヤ１０は向きを変える。
【００３１】
ここで、第１台形波１２の長さＰ１２と第２歯車２２のピッチとは一致する。このため、図５（ｂ）に示すように、第１台形波１２の位相と第２歯車２２の位相とが合うと、第１台形波１２の山部１２ａが第２歯車２２の歯２４２に当たり、第１台形波１２の谷部１２ｂが第２歯車２２の窪み２５および第１歯車２１の歯２４１に位置する。よって、第１歯車２１の歯２４１が第２歯車２２の窪み２５に嵌ると、第１台形波１２の谷部１２ｂが歯２４１により窪み２５に押し込まれて、ワイヤ１０が回転する。これにより、ワイヤ１０に第２台形波１３の形状を付けることができない。
【００３２】
これに対して、第３歯車２３は、第１台形波１２の位相と第２台形波１３の位相とが一致しないように設けられている。すなわち、第１歯車２１および第２歯車２２の噛み合い位置から、第２歯車２２に沿って第３歯車２３へ向かい、再び第１歯車２１および第２歯車２２の噛み合い位置に至る経路長が、第１台形波１２の半波長の整数倍とならないように、第３歯車２３の位置が調整されている。よって、図５（ａ）に示すように、第１台形波１２の位相と第２歯車２２の位相とがずれて、第１台形波１２の山部１２ａおよび谷部１２ｂの各一部が第２歯車２２の歯２４２上にある。よって、第１歯車２１の歯２４１が第２歯車２２の窪み２５に嵌ると、第１台形波１２の山部１２ａおよび谷部１２ｂがそれぞれ第２歯車２２の歯２４２に当たり、ワイヤ１０が回転しない。これにより、第１台形波１２の面に対して直交する方向に第２台形波１３の形状がワイヤ１０に付けられる。
【００３３】
このようにして、第１台形波１２および第２台形波１３の形状がワイヤ１０に付けられて、ソーワイヤ１１が得られる。このソーワイヤ１１は、巻き取りリール（図示せず）などに巻き取られる。
【００３４】
なお、ソーワイヤ１１の波付け装置２０は、図４の波付け装置２０に限定されない。たとえば、第１歯車２１および第２歯車２２をモータなどで動作させる場合、第３歯車２３を設けずに、第１歯車２１および第２歯車２２と同様の第５歯車（図示せず）および第６歯車（図示せず）を設ける。第１台形波１２の位相と一致しない位相で、第５歯車および第６歯車を動作させる。これにより、第１台形波１２および第２台形波１３が付けられたソーワイヤ１１が形成される。
【００３５】
このようなソーワイヤ１１を、マルチワイヤソーマシンにおける遊離砥粒方式の切断工具として好適に用いることができる。切断される結晶系無機材料インゴットについて、具体的な種類は特に限定されないが、シリコン（Ｓｉ）インゴット、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）、コランダム／サファイヤ（Ａｌ２Ｏ３）インゴット、リン化ガリウム（ＧａＰ）インゴット、ガリウムヒ素（ＧａＡＳ）インゴット、リン化インジウム（ＩｎＰ）インゴット、窒化ガリウム（ＧａＮ）インゴット等が挙げられる。これらの中でもシリコンインゴットは、太陽電池用ウエーハまたは半導体用ウエーハの製造に用いられる。
【００３６】
ソーワイヤ１１による遊離砥粒方式の切断作業では、ソーワイヤ１１に、たとえば、１８〜２７Ｎの範囲内のテンションを負荷する。そして、砥粒のスラリーを吹きつけながらシリコンブロックなどのワークにソーワイヤ１１を押し当てて走行させる。ソーワイヤ１１の微小で安定した第１台形波１２および第２台形波１３は、砥粒をワーク内に運び込むので、この砥粒がソーワイヤ１１の走行に伴ってシリコンを切削する。
【００３７】
上記実施の形態によれば、ソーワイヤ１１は、第１台形波１２および第２台形波１３が長手方向に繰り返す形状を有している。この第１台形波１２および第２台形波１３の各高さＤ１２、Ｄ１３は、各台形波１２、１３と立ち上がり傾きおよび長さが等しい正弦波Ｓの高さＤｓより小さい。よって、ワークを切断する際のソーワイヤ１１による切断幅を、正弦波Ｓの形状を有するソーワイヤ１１による切断幅より狭くすることができる。この結果、カーフロスが低減し、ソーワイヤ１１の切断性能の向上が図られる。
【００３８】
また、第１台形波１２および第２台形波１３の各高さＤ１２、Ｄ１３を高くせずに、傾きθ１２、θ１３を、正弦波Ｓの立ち上がり傾きθｓと等しいまたはほぼ等しく設定することができる。これにより、遊離砥粒方式におけるソーワイヤ１１の砥粒の持ち込み量を、正弦波Ｓの形状を有するソーワイヤ１１と同程度に確保することができる。このため、切断効率および切断面の精度が高く維持され、ソーワイヤ１１は優れた切断性能を発揮する。
【００３９】
さらに、ワークを切断する際、ソーワイヤ１１は直線部１２ａ２、１２ｂ２、１３ａ２、１３ｂ２でワークに当たる。このソーワイヤ１１の接触部の面積は、頂点で当たる正弦波Ｓの接触部の面積より大きい。よって、ソーワイヤ１１の摩耗量を正弦波Ｓの形状を有するソーワイヤ１１より減らすことができる。したがって、ソーワイヤ１１の劣化を低減することが可能である。しかも、ソーワイヤ１１の線径ｄが摩耗により細くなり難いことから、ワークへの砥粒の持ち込み量の低減も抑制することができる。よって、切断性能を高く維持することができる。
【００４０】
また、第１台形波１２の長さＰ１２は第２台形波１３の長さＰ１３と等しく形成されている。これにより、切削時における第１台形波１２および第２台形波１３はワークと均等に接触して、ワークを切断するため、ワークの切断面の平坦度が向上する。
【００４１】
さらに、第１台形波１２および第２台形波１３の各長さＰ１２、Ｐ１３は１０ｄ以上８０ｄ以下の範囲に設定されている。このように、各長さＰ１２、Ｐ１３を設定することにより、互いに直交する各台形波１２、１３を設けることができ、かつ、砥粒の持込み量の減少を防ぐことができる。
【００４２】
また、第１台形波１２および第２台形波１３の各高さＤ（Ｄ１２、Ｄ１３）は１．０１ｄ以上１．６０ｄ以下の範囲に設定されている。このように、各台形波１２、１３の高さＤを設定することにより、砥粒の持ち込み性能が相対的に高く維持することができる。
【００４３】
さらに、ソーワイヤ１１の線径ｄは、０．０５ｍｍ以上０．３２ｍｍ以下の範囲に設定されている。このように線径ｄを設定することにより、ソーワイヤ１１を遊離砥粒方式でワークを切断するために用いられる。
【００４４】
次に、実施例および参考例を用いてソーワイヤ１１の破断力を評価した結果を説明する。図６は、ソーワイヤ１１の破断力の評価結果を示す。この表において、ｄはソーワイヤの線径を示し、Ｄはソーワイヤの高さ（振幅）を示し、σはＤ-ｄの標準偏差値を示し、ｎは約１００ｍｍ間隔で測定した測定数を示している。実施例は、直交する２方向に台形波を有するソーワイヤ１１であって、その各台形波の波長＝５ｍｍ、Ｄ／ｄ＝１．４４、Ｄ−ｄ＝０．０５１ｍｍ、σ＝０．０１０ｍｍ、ｎ＝１０である。また、参考例は、曲線波形を有するワイヤに螺旋状の波付けを施したソーワイヤであって、その曲線波形の長さ＝２．５ｍｍ、Ｄ／ｄ＝１．５４、Ｄ−ｄ＝０．０６２ｍｍ、σ＝０．０１１ｍｍ、ｎ＝１０である。
【００４５】
図６の評価結果に示すように、実施例の破断力は参考例より大きい。なお、この破断力の評価は引張試験により実施した。引張試験では、スパン５００ｍｍのソーワイヤを引張速度５０ｍｍ／Ｍｉｎで引張り、ソーワイヤが破断した際の力（破断力）を測定した。
【００４６】
なお、上記実施の形態では、第１台形波１２が屈曲する第１径方向（ｘ方向）と第２台形波１３が屈曲する第２径方向（ｙ方向）とは直交している。このように直交することにより切断性能の方向によるむらが少なくなる。ただし、非常に高い切断精度が要求されない場合、第１径方向と第２径方向とは互いに異なる方向であれば、第１径方向および第２径方向は直交方向に限定されない。
【００４７】
また、上記実施の形態では、第１台形波１２の長さＰ１２と第２台形波１３の長さＰ１３とは等しく設定されている。このように、長さＰ１２、Ｐ１３が等しいことにより切断時の砥粒の持ち込み量及び磨耗が均等になるため、ソーワイヤ１１の切断精度および磨耗による強度低下のムラが抑制される。ただし、これらが非常に高く要求されない場合、第１台形波１２の長さＰ１２と第２台形波１３の長さＰ１３とは等しくなくてもよい。
【００４８】
さらに、上記実施の形態において、第１台形波１２の直線部１２ａ２および第２台形波１３の直線部１３ａ２の「直線部」は厳密な直線でなくてもよく、多少湾曲していてもよい。少なくとも、立ち上がり傾きおよび長さ（波長）が等しい正弦波Ｓより、波高が低く抑えられていればよい。また、第１台形波１２の傾斜部１２ａ１および第２台形波１３の傾斜部１３ａ１の「傾斜部」も直線でなく曲線状であってもよい。
【００４９】
なお、上記全実施の形態は、互いに相手を排除しない限り、互いに組み合わせてもよい。また、上記説明から、当業者にとっては、本発明の多くの改良や他の実施の形態が明らかである。従って、上記説明は、例示としてのみ解釈されるべきであり、本発明を実行する最良の態様を当業者に教示する目的で提供されたものである。本発明の精神を逸脱することなく、その構造および／または機能の詳細を実質的に変更できる。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明のソーワイヤは、切断性能の向上および劣化の低減を図ったソーワイヤとして有用である。
【符号の説明】
【００５１】
１１：ソーワイヤ
１２：第１台形波
１３：第２台形波
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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