(57)【要約】【課題】ワイピングクロスの高清浄化を可能とすると共に、ワイピングクロスの常時新生面化を達成することができる微粒子の除去具の提供を図る。【解決手段】ワイピングクロス１５を内部空間１２に閉塞するためのケーシング１１を備える。ケーシング１１の外部にはワイピング部１３を備える。ワイピングクロス１５は繰り出し部１６に巻回された状態で内部空間１２に収容され、ワイピング部１３にて外部に露出した状態で微粒子除去に使用され、使用済のワイピングクロス１５が巻き取り部１７に巻き取られる。ワイピングクロス１５が湿潤液にて湿潤した状態を保つように、ケーシング１１は内部空間１２の閉鎖性が高い構造のものとする。【選択図】図５
2016022301.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワイピングクロスを用いた微粒子の除去具において、
前記ワイピングクロスと、前記ワイピングクロスを内部空間に閉塞するためのケーシングとを備え、
前記ケーシングは、外部に設けられたワイピング部を備え、
前記ワイピングクロスは巻回された状態で前記内部空間に収容され、
前記ワイピング部は、前記巻回した状態から繰り出された前記ワイピングクロスを、前記ケーシングの外部に露出させるものであり、
露出した前記ワイピングクロスによって被清掃面の微粒子を除去するようにしたことを特徴とする微粒子の除去具。
【請求項２】
前記ワイピングクロスは、湿潤液によって湿潤済みの状態で前記内部空間に収容され、
前記ケーシングは、閉塞されていることにより前記湿潤済みワイピングクロスの乾燥を抑制するものであることを特徴とする微粒子の除去具。
【請求項３】
前記ワイピングクロスは、ポリエステル系マイクロファイバー製、一般のポリエステル系繊維を含む織布製、又は、一般のポリエステル系繊維を含む不織布製であることを特徴とする請求項１又は２に記載の微粒子の除去具。
【請求項４】
前記ケーシングは、前記ワイピング部を閉ざすためのカバーを備えたことを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の微粒子の除去具。
【請求項５】
前記ケーシングは、前記内部空間に設けられた繰り出し部と巻き取り部とを備え、
前記ワイピング部は前記ケーシングの先端から一部が露出した状態に配置され、
前記ワイピングクロスは、前記繰り出し部から繰り出され、前記ワイピング部にて折り返されて、前記巻き取り部に巻き取られることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の微粒子の除去具。
【請求項６】
前記繰り出し部と前記巻き取り部との少なくとも何れか一方を、少なくとも繰り出し方向への回転を不能に固定するストッパを備えたことを特徴とする請求項５記載の微粒子の除去具。
【請求項７】
前記繰り出し部と前記巻き取り部との少なくとも何れか一方を、等角度毎に回転させる定寸回転装置を備えたことを特徴とする請求項５又は６に記載の微粒子の除去具。
【請求項８】
前記湿潤液は、水とアルコールとプロピレングリコールとを含むことを特徴とする請求項２に記載の微粒子の除去具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワイピングクロスによって被清掃面の微粒子を除去するようにした微粒子の除去具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
今日、半導体、液晶材料、医薬品などの微粒子の付着を排除すべき製造工程は、クリーンルームにて行われ、その製造装置や移送装置には、特許文献１や２に示す種々のワイピングクロスを用いて、微粒子の除塵がなされている。このワイピングクロスは、製造装置内部に組み込まれて作業者の手を介することなく除塵を行うものもあるが、作業者の手作業によって、除塵の必要な被清掃面を拭き取ることが必要な場合もある。
【０００３】
このような手作業による微粒子の拭き取りに際しては、ワイピングクロスからなるシートを作業者がそのまま手で持って、ワイピング作業を行っていることが一般的である。
ところが、ワイピング後のワイピングクロス表面は、拭き取り対象物が着色物ではない場合、若しくは、拭き取り対象物である微粒子が例えば概ね50μｍ以下で肉眼では判別できない場合、ワイピングクロスが使用済面か未使用面かの判別は困難である。使用済面は、微粒子が付着して汚染された状態となっているため、誤って使用済面で被清掃面のワイピングを行うと、前者は微粒子の再付着をきたし、逆に被清掃面を汚染することになりかねない。また、作業者の手がワイピングクロスを汚染させることを防止するために、ワイピング作業時には手袋の着用が必要であったり、作業中に汚染された手袋による再汚染を防ぐためにワイピング作業の度に新たな手袋の着用が必要となったりする。
【０００４】
また、ワイピングクロスを乾式（Dry）で用いる場合には、ワイピングクロスが摩擦による静電気の発生由来のクーロン力若しくは電界により、電子デバイスへの静電気破壊（ESD：Electro static discharge ）を誘発する原因となる。
一方、湿式（Wet）の場合、比較的塵埃・異物の除去効果はDryに比べて高いものの、湿潤液にワイピングクロスを浸すなどして過剰に用いた場合には、被拭き取り面に対する湿潤液の付着残留により、ウォーターマーク(Water mark；液滴残留乾燥時の汚染物の堆積)による汚染を誘発する。
【０００５】
これに対して、特許文献３にあっては、ガラスや建築材料等に機能性溶液等の液剤を塗布したり、水や汚れ等を拭き取ったりガラスなどの平滑面にフィルムを貼る際等に用いられるワイパー兼用塗布具が提案されている。このワイパー兼用塗布具は、棒状の把持部と薄板状のへら部とを有し、前記へら部は把持部の軸線とほぼ同一方向に延びるとともに先端部に鋭角方向に向けた折り返し部が形成されており、前記へら部の外周にシート状体を着脱自在に装着するようにしたものである。液剤を塗布する場合には、シート状体に液剤を含浸させて装着することが示され、また、ワイパーとして用いる場合には、ワイピングクロス装着することが示されている。
【０００６】
ところが、このワイパー兼用塗布具を用いて微粒子のワイピング作業を行う場合、微粒子の再付着防止のために、ワイピングクロスを度々交換する必要がある。また、交換作業中に、作業者の手などを汚染するおそれがあり、汚染された手で新たなワイピングクロスを汚染してしまうおそれがあるため、交換作業の度に手袋を交換する手間が生じる。これでは、前述のように作業者の手で直接ワイピングクロスを持って作業を行う場合よりも多くの手間がかかってしまうことになる。また、この特許文献３では、ワイピングクロスを湿式（Wet）で用いることを想定していないが、ワイピングクロスが外部にむき出しの状態となるため、ワイピングクロスを湿潤させて湿式（Wet）として用いる場合、特に、湿潤したワイピングクロスをワイパー兼用塗布具に装着した状態で長時間放置しておいた場合には、その乾燥を避けることができない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許３４０２０１９号公報
【特許文献２】特許３６６５１８４号公報
【特許文献３】特表２００４−１０５９６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従来のワイピングクロスによる手作業の拭き取り作業では、生地由来汚染と拭き取り後の再汚染の問題がある。そこで、本発明の課題は、生地の高清浄化を可能とすると共に、生地の常時新生面化を達成することにある。また、ワイピングクロスは使用済部分と未使用部分の判別が難しく、使用済部分で拭き取り作業を行うことで再汚染が生じるため、未使用部分が残存していても廃却される現状にあることから、使用済部分と未使用部分との混用を防止することにより、資源の有効活用を図ることも本発明の課題の一つである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、ワイピングクロスを用いた微粒子の除去具において、前記ワイピングクロスと、前記ワイピングクロスを内部空間に閉塞するためのケーシングとを備え、前記ケーシングは、外部に設けられたワイピング部を備え、前記ワイピングクロスは巻回された状態で前記内部空間に収容され、前記ワイピング部は、前記巻回した状態から繰り出された前記ワイピングクロスを、前記ケーシングの外部に露出させるものであり、露出した前記ワイピングクロスによって被清掃面の微粒子を除去するようにした微粒子の除去具を提供する。
【００１０】
前記ワイピングクロスは、ドライの状態で使用することもできるが、湿潤液によって湿潤済みの状態で使用することが好ましい。湿潤済みの状態で使用する観点から、前記ケーシングは、閉塞されていることにより前記湿潤済みワイピングクロスの乾燥を抑制するものであることが望ましい。前記ワイピングクロスは、微粒子を付着して拭き取る事が出来るものであれば特に限定されないが、例えば、ポリエステル系マイクロファイバー製、一般のポリエステル系繊維を含む織布製、又は、一般のポリエステル系繊維を含む不織布製のものを用いることができる。前記湿潤液は、水とアルコールとプロピレングリコールとを含むものであることが望ましい。
【００１１】
前記ケーシングには、前記ワイピング部を閉ざすためのカバーを備えることが望ましい。特に、前記ケーシングは、前記内部空間に設けられた繰り出し部と巻き取り部とを備え、前記ワイピング部は前記ケーシングの先端から一部が露出した状態に配置され、
前記ワイピングクロスは、前記繰り出し部から繰り出され、前記ワイピング部にて折り返されて、前記巻き取り部に巻き取られるものとすることによって、ワイピング部に未使用のワイピングクロスを順次供給することができると共に、使用済のワイピングクロスを、未使用のワイピングクロスへの汚染を防止しつつ、ケーシング内にて巻き取ることができる。
【００１２】
前記繰り出し部と前記巻き取り部との少なくとも何れか一方を、少なくとも繰り出し方向への回転を不能に固定するストッパを備えたことにより、ワイピング部での弛みを防止し得る。また、前記繰り出し部と前記巻き取り部との少なくとも何れか一方を、等角度毎に回転させる定寸回転装置を備えたものとすることによって、ワイピング部へのワイピングクロスの供給量を適正に維持し得る。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は、ワイピングクロスの高清浄化を可能とすると共に、ワイピングクロスの常時新生面化を達成することができる微粒子の除去具を提供する事ができるものである。また、本発明の微粒子の除去具は、ワイピングクロスの使用済部分と未使用部分との判別を人が行わずとも、順次新たなワイピングクロスをワイピング部に供給することができる。これにより使用済部分と未使用部分との混用を防止することができ、資源の有効活用を図る点においても有利である。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施の形態に係る微粒子の除去具の斜視図。
【図２】同除去具にカバーを装着した状態を示すもので、（Ａ）は上方からの斜視図、（Ｂ）は下方からの斜視図。
【図３】蓋体を開いた状態の同除去具の斜視図。
【図４】同除去具の分解斜視図。
【図５】同除去具の内部構造を示す切欠斜視図。
【図６】同除去具の内部構造の説明図。
【図７】本発明の実施例に係る湿潤液の蒸発速度の試験結果を示すグラフ。
【図８】本発明の実施例に係る湿潤液の効果試験結果を示すグラフ。
【図９】本発明の実施例に係る乾式拭き取り効果の試験結果を示す写真。
【図１０】本発明の実施例に係る湿式拭き取り効果の試験結果を示す写真。
【図１１】本発明の実施例に係る指紋拭き取り性の試験結果を示す写真。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面に基づき本発明の実施の形態を説明する。
本発明に係る当該実施の形態では、従来技術の課題を解決する手段として、以下に示す特長を簡易拭き取り除去具に搭載した。
【００１６】
（１）ワイピングクロスの安定した送りを実現し、意図的に未使用面を供与できる構造とした。
（２）ワイピングクロスは、湿潤したものでなくても実施することができるが、ワイピングクロスに湿潤剤や特定の有機溶剤を配合した湿潤液を塗布あるいは浸漬することにより、塵埃・異物の拭き取り効果を高めた。
（３）簡易拭き取り除去具本体を任意に開閉可能な構造とし、ケーシング内の閉塞性を高めて、外部からの汚染と、ワイピングクロスからの湿潤液の蒸散を防止しつつ、ワイピングクロスの取り換えを容易に可能な構造を付与した。
【００１７】
（４）ワイピングクロスの安定した送り、特に定寸送りを容易に実施し、且つ拭き取り時の手動の押し圧力を安定化するために、ワイピングクロスの拭き取り面にクッションローラーを配置し一定の押し圧力での拭き取りが可能な構造とした。
（５）ワイピングクロスの編み方や原反材料、並びに製造方法は、各ワイピングクロスのメーカーが独自に開発を行っているが、本除去具はそれらの生地を用途に合わせて選定し搭載することができる。
（６）ワイピングクロスへの湿潤液付与は、静電気の発生抑制と塵埃・異物の除去効果を高めることができる。
【００１８】
以下、この実施の形態に係る微粒子の除去具について、ケーシングの具体的構造、湿潤化方法の開発の順に説明する。
【００１９】
（全体構造）
この実施の形態に係る微粒子の除去具は、図１〜図４などに示すように、ケーシング１１と、ケーシング１１の内部空間１２に閉塞された状態で収納されたワイピングクロス１５を備える。このケーシング１１は、種々の形状を有するものとして実施することができるが、この例では、薄型の略直方体形状をなし、その外部（この例では、前端）にワイピング部１３を備える。ケーシング１１は、本体２１と蓋体４１とがヒンジ２３で開閉可能に接続されている。この例ではヒンジ２３を、後端側に配置したが、側面側に配置するなど適宜変更することができ、また、ヒンジ２３を用いずに本体２１と蓋体４１とを分離して着脱可能なものとすることもできる。
【００２０】
ワイピングクロス１５は、図５に示すように、繰り出し部１６と巻き取り部１７とに巻回された状態で内部空間１２に収容される。なお、この図５及び図３では、繰り出し部１６と巻き取り部１７との両方にワイピングクロス１５を満杯に巻回した状態で描いているが、実際の使用にあっては、ワイピングクロス１５の使い始めは繰り出し部１６のみが満杯の状態であると共に巻き取り部１７は空の状態であり、ワイピングクロス１５の使い終わりでは逆に巻き取り部１７が満杯の状態となる。図５においては、ワイピングクロス１５の取り回しが分かるように、ワイピングクロス１５の端を太い線で必要部分のみを示した。
【００２１】
繰り出し部１６には未使用のワイピングクロス１５が巻回され、巻き取り部１７には使用済みのワイピングクロス１５が巻回される。繰り出し部１６から繰り出されたワイピングクロス１５は、ワイピング部１３にて折り返されて、巻き取り部１７に巻き取られる。より詳しくは、ワイピングクロス１５は、繰り出し部１６の上側から引き出されて、上側からワイピング部１３の前半分に巻き付けられることにより折り返され、ワイピング部１３の下側から巻き取り部１７の上側に達して、巻き取り部１７の下側へ巻き付けられる。その際、使用済みのワイピングクロス１５は繰り出し部１６の下方を通過することになるが、微粒子が付着するのはワイピングクロス１５の外側の面であるため、繰り出し部１６に巻回された未使用のワイピングクロス１５に微粒子が付着することはない。ただし、微粒子の付着防止の観点から、繰り出し部１６のワイピングクロス１５と、その下方を通過する使用済みのワイピングクロス１５との間に隔離板などを配置して実施することもできる。
これによりワイピングクロス１５は、ワイピング部１３の部分だけがケーシング１１の外部に露出するものであり、繰り出し部１６及び巻き取り部１７を回転させることによって、常に未使用のワイピングクロス１５がワイピング部１３に供給され、使用済みのワイピングクロス１５は巻き取り部１７に巻回される。その結果、ワイピングクロス１５が外部の塵埃などによって汚染されることが防止されることはもちろん、ワイピングクロス１５を湿潤した状態で用いる場合にあっても、その乾燥を必要最小限に抑えることができる。また、未使用のワイピングクロス１５と使用済みのワイピングクロス１５とは、繰り出し部１６と巻き取り部１７とにそれぞれ巻回されるため、作業者が意識せずとも、両者が混同されることがなく、再汚染を防止することができる。
【００２２】
（繰り出し部１６と巻き取り部１７）
次に、各部の構造について、詳細に説明する。
まず、図４に示すように、繰り出し部１６及び巻き取り部１７は、両端側にフランジを備えた回転軸３１と、回転軸３１の両端に接続固定される繰り出しギア３２及び巻き取りギア３３を備える。回転軸３１には、ワイピングクロス１５が巻回されるものであるが、ワイピングクロス１５は直接回転軸３１に巻き付けられる必要はなく、ロールなどの適宜巻回部材を介して、回転軸３１に巻き付けられるものであってもよい。
【００２３】
（ケーシング１１の本体２１）
次に、ケーシング１１の本体２１について説明する。図４に示すように、本体２１の内部空間１２には、繰り出し部１６及び巻き取り部１７を回動可能に支持するための繰り出し支持部２５及び巻き取り支持部２６が、内部空間１２の左右両側に設けられている。この繰り出し支持部２５及び巻き取り支持部２６は左右両側のそれぞれに１つずつ設けられれば足りるが、この例では、左右両側のそれぞれに支持部が２つ設けられている。この２つの支持部は、軸方向に内側と外側とに間隔を隔てて配置されているもので、両者の間に、前記の繰り出しギア３２と巻き取りギア３３とがそれぞれ配置される。繰り出し部１６と巻き取り部１７との位置関係は特に限定するものではないが、この例では、繰り出し部１６を前側（ワイピング部１３に近い側）に、巻き取り部１７を後側（ワイピング部１３に遠い側）に配置されている。
【００２４】
なお、繰り出し部１６を巻き取り部１７よりも前に配置しておくことで、繰り出し部１６から繰り出された未使用のワイピングクロス１５とワイピング部１３との距離を短くすることができる。但し、繰り出し部１６と巻き取り部１７との前後関係を反対にして用いることもできる。
【００２５】
この本体２１は、図５に示すように、蓋体４１が閉じられることによって、ケーシング１１に閉塞された内部空間１２を構成する。この本体２１内には、繰り出し部１６、巻き取り部１７、繰り出し支持部２５、巻き取り支持部２６などが配置される（図４参照）。そして、外部に少なくとも一部が配置されるワイピング部１３に対して、ワイピングクロス１５を繰り出し巻き取るために、ケーシング１１にはその前端に開口部１８が形成される（図５参照）。この例では、本体２１と蓋体４１との前端辺間の空間がケーシング１１となる。この本体２１と蓋体４１との前端辺縁の内側には、前端辺に沿って多数のガイド突起２７が配列して形成されている。これにより、ワイピングクロス１５を案内してワイピングクロス１５の撚れを防止することができると共に、ガイド突起２７を縦リブ状とすることでケーシング１１（特に、開口部１８の周辺部分）の強度を高めることができる。
【００２６】
本体２１の後方側の下面には、巻き取りギア３３の一部を外部に露出するための開口が形成されている（図２（Ｂ）参照）。これによって、巻き取りギア３３を作業者が外部から回転させて、巻き取り部１７にワイピングクロス１５を巻き取ることができる。なお、繰り出し部１６を巻き取り部１７に連動させることもできるが、連動させなくても、繰り出し部１６と巻き取り部１７とはワイピングクロス１５でつながっているため、巻き取り部１７を回転させるだけで、繰り出し部１６からワイピングクロス１５が繰り出される。
【００２７】
（ワイピング部１３）
ケーシング１１の前端には、ワイピング部１３が配置される。そのため、本体２１の前端には、一対の先端支持部２２が左右両側から前方に突出して設けられており、先端支持部２２の間にワイピング部１３が回動可能に支持される（図３、図４参照）。先端支持部２２は、円柱状のローラーが適しており、硬質のローラーであってもよいが、この例では、ワイピングクロス１５の安定した送りを容易に実施し、且つ拭き取り時の手動の押し圧力を安定化するために、弾性を有するクッションローラーが採用されている。なお、ワイピングクロス１５の送りが実現できることを条件に、ワイピング部１３を回動しないもので実施することもできる。また、ワイピングクロス１５の長手方向に沿って、ローラーなどの部材を複数配置し、これらの複数の部材にワイピングクロス１５を案内させることによって、ワイピングクロス１５による拭き取り面を大きくすることもできる。さらに、ワイピング部１３の形状は、多角柱状や、ブレード状などの他の形状であってもよい。
【００２８】
ワイピング部１３は、前側のみが開口部１８から突出しており、後側は開口部１８の内部（言い換えれば内部空間１２の内部）に配置されている。従って、ワイピングクロス１５は、ケーシング１１（本体２１及び蓋体４１の前端辺）とワイピング部１３との間の隙間から外部に出て、内部に戻って来ることになる。この隙間は、ワイピングクロス１５が通過できる厚みであればよく、ワイピングクロス１５の通過に必要な最小のクリアランスを維持した上で、ワイピングクロス１５の厚みとほぼ同じ程度の隙間とすることによって、ケーシング１１内の内部空間１２は、高度に閉鎖された状態となる。
なお、ワイピング部１３は前述の開口部１８から離れて完全に外部に配置することもできるが、ワイピング部１３にて折り返す使用済みと未使用のワイピングクロス１５が接触する可能性が高くなり、開口部１８における隙間が大きくなってしまう可能性があり、これを防ぐためには、構造が複雑になってしまうおそれもある。
【００２９】
（カバー１４）
図２に示すように、除去具を使用しない間などに、ワイピング部１３にて露出したワイピングクロス１５が汚染されることを防止すると共に、ワイピングクロス１５に付与された湿潤液が蒸散することを抑制するために、着脱可能なカバー１４を用いることも望ましい。
【００３０】
（本体２１と蓋体４１との固定）
本体２１は蓋体４１と組み合わされることによって、上記の開口部１８などの微細な隙間を除いて密閉状態に近い状態に閉じられる。この閉じた状態を維持するために、ロック部材２８が側壁２４に対して前後に移動可能に設けられている。側壁２４は、本体２１の後方側の左右の側部を構成するもので、本体２１に対して、溶着などの適宜接合手段で固定されている。側壁２４に対して前後動可能に配置されたロック部材２８が後退することによって、上方から被せられる蓋体４１に対して、係合する。これによって、本体２１と蓋体４１とが閉じた状態で固定される。ロック部材２８を前進させることによって、係合が解除され、蓋体４１を開くことができる。もちろん、この構造は単なる一例であり、種々の蓋体の固定手段を適宜選択して採用することができる。
【００３１】
（蓋体４１）
蓋体４１は、本体２１に上方から被せられるもので、ストッパ４２と定寸回転装置４３とが設けられている（図３、図４、図６参照）。
【００３２】
（ストッパ４２）
このストッパ４２と定寸回転装置４３とは本体２１側に設けてもよく、その位置は適宜変更して実施することができる。
ストッパ４２は、繰り出し部１６と巻き取り部１７との少なくとも何れか一方を、少なくとも繰り出し方向への回転を不能に固定するもので、この例では、繰り出し部１６の回転を不能にするものとして実施されている。ワイピングクロス１５は繰り出し部１６及び巻き取り部１７の回転によって順次繰り出されていくが、拭き取り作業中に不用意に繰り出してしまうと、うまく拭き取り作業を行うことができない。そのため、繰り出し部１６をロックして固定するものが、このストッパ４２である。具体的には、左右の繰り出しギア３２のそれぞれに対して、係止部４４を、繰り出しギア３２の歯の間に挿入することで、ロックを行う。この繰り出しギア３２は、コイルバネなどの付勢手段によって、挿入方向に常時付勢されており、常時ロック状態が維持されている。
【００３３】
ロックを解除して、ワイピングクロス１５の繰り出し作業を行うには、解除ボタン４５を押す。この解除ボタン４５は蓋体４１の上面の中央に配置され、解除ボタン４５の押し下げの力が伝達部材４６によって左右の係止部４４に伝達される。これにより、係止部４４が回動し、繰り出しギア３２の歯の間から抜け出して、ロックが解除される。なお、この例では、ストッパ４２によって繰り出し部１６は前後いずれにも回転しないようにロックされるが、繰り出し方向にのみ回転しないようにして実施することもできる。その場合には、次に述べる定寸回転装置４３によって、巻き取り部１７が弛み方向、即ち、巻き取り方向とは逆の方向への回転を防止することが望ましい。
【００３４】
（定寸回転装置４３）
定寸回転装置４３は、巻き取り部１７を等角度毎に回転させる。具体的には、巻き取りギア３３をラチェットギアとして実施し、定寸回転装置４３をラチェット爪として実施する。これによって、ラチェットギアの歯のピッチ毎の等角度毎に巻き取り部１７が回転する。この定寸回転装置４３は、逆転防止手段としても機能し、巻き取り部１７は巻き取り方向にのみ回転する。その際、定寸回転毎にラチェット爪と巻き取り部１７との係脱によるカチカチという音が発生し、この音を作業者が聞くことで、回転状況を感覚的に認識し得る。
【００３５】
このストッパ４２及び定寸回転装置４３は、蓋体４１に設けられていることによって、本体２１から蓋体４１を外すと、繰り出しギア３２及び巻き取りギア３３との係合も解除されるため、繰り出し部１６及び巻き取り部１７は自由回転状態となり、繰り出し部１６及び巻き取り部１７の交換作業などを円滑に行うことができる。
【００３６】
（使用方法）
繰り出し部１６に未使用のワイピングクロス１５を巻回した状態で、繰り出し支持部２５にセットすると共に、ワイピング部１３で折り返したワイピングクロス１５の自由端を、空の巻き取り部１７に固定する。蓋体４１を閉じて、ワイピング部１３に巻回されたワイピングクロス１５によって、被清掃面を拭くことによって、微粒子をワイピングクロス１５に付着させて除去する。微粒子が付着したワイピングクロス１５は、解除ボタン４５を押しながら、本体２１から露出している巻き取りギア３３を等角度毎に回転させることによって、巻き取り部１７に巻き取られると共に、繰り出し部１６から未使用のワイピングクロス１５が繰り出されてワイピング部１３に新たなワイピングクロス１５が供給される。これによって、未使用、使用済みを作業者が確認する必要がなく、常に新たなワイピングクロス１５によって微粒子の除去作業を行うことができる。また、作業者は、直接ワイピングクロス１５に触れることなく、これらの作業を行うことができるため、再汚染の可能性を小さくすることできる。
【００３７】
（ワイピングクロス１５）
ワイピングクロス１５は、ポリエステル系マイクロファイバー製、一般のポリエステル系繊維を含む織布製や、一般のポリエステル系繊維を含む不織布製などの、微粒子に対して、除塵性を有する素材によって構成されたウェブ状のものを用いる。このワイピングクロス１５は、乾燥した状態でも用いることができるが、次に述べるように、湿潤状態で用いることが望ましい。湿潤の方法は、繰り出し部１６に巻回された状態で予め湿潤させておくことが、適当である。ただし、繰り出し部１６に巻回された状態では乾燥状態で、ワイピング部１３の部分やこれに到達するまでの間にワイピングクロス１５を湿潤させて用いることを排除するものではない。
【００３８】
（ワイピングクロス１５の湿潤化方法の開発）
ワイピングクロス１５の湿潤化には以下の２つの目的がある。
（Ａ）ワイピングクロス１５の素材は通常ナイロン系、PET系( polyethylene terephthalate）などが適用されるが、導電化処理をしない限り摩擦時に静電気が発生する。特に静電気による塵埃・異物の再付着を誘発する恐れがあるため、湿潤化により静電気の発生を抑制させる。
（Ｂ）ワイピングクロス１５を湿潤化させると一般的に塵埃・異物の除去効率が向上する。
【００３９】
この目的を達成させるために、
（１）水
（２）エチルアルコール、イソプロピルアルコール(IPA)などの低分子有機溶剤
などを用いることが必要となる。
【００４０】
溶剤にはトリクロルエチレン、トリクロルエタン、MEK(メチルエチルケトン)、アセトン等の低分子で溶解力の強い溶剤があるが気化時の蒸発潜熱による微小な結露に加えて、大半が有機溶剤予防規則などの法的規制による使用制限があるため、実用化には問題がある。一方、水は湿潤液として優れているが、蒸気圧が低く拭き取り面への水滴や痕跡として残留する。
【００４１】
いずれの場合も短時間での気化は湿潤効果が失効するために拭き取り相手によっては不適合となることもある。
以上の問題の解決策として、拭き取り効果の向上が可能な範囲での適切な湿潤化の配合が必要となる。
【００４２】
本発明の実施に際しては、将来的にも法的規制を受けずに使用可能な範囲の中から湿潤液を調合して用いることが望ましい。
この調合液の配合を示す。
【００４３】
（１）水
（２）有機溶剤成分（塵埃・異物が油脂類や粘着性有機物質の場合の溶解力の付与）
（３）保湿剤成分（低蒸気圧で気化しにくく保湿性のあるもの）
【００４４】
（１）に適用する水はイオン交換水、蒸留水、水道水等、清浄度の必要性に応じて選択して用いることができる。
（２）にはエチルアルコールやイソプロピルアルコールを適用する。
（３）には無毒に近く保湿剤として適用されるプロピレングリコールを用いることが適当である。
配合比率は、（１）水が２０〜７０部、（２）有機溶剤成分が２０〜７０部、（３）保湿剤成分が０．５〜１０部の範囲で、任意に調合することができる。配合は被対象物の要求に合わせて調整する。例えば、被対象物が水分などの液滴の残留を好まない場合や油脂類の場合、（２）を５０〜７０部、（３）を０．５〜２部とする一方、（１）を５〜２０部に調整すると、高い除去効率が得られる。また、水分などの液滴を約３０秒以内で蒸発させたい場合は、概ね（１）を５０部、（２）を５０部、（３）を０．５部の配合とすると、除去効率も高く汎用性がある。
【実施例】
【００４５】
実施例を図７に示す。図７で用いた湿潤液の配合液は（プロピレングリコール：イソプロピルアルコール：純水）の比率を（0.5部：50部：50部）に調整したものである。ここではシャーレ（開口面積40.7cm2）内にマイクロファイバー系ワイピングクロス約６．６ｇを湿潤液１０ｇに浸漬し、フタなし（Open）とフタあり（Close）の場合の蒸発速度を蒸発損失量で求めたものである。実際には湿潤化したワイピングクロスは拭き取り装置内部に搭載するので、開口部の面積は小さくフタありの場合と同様の傾向を示すと考えることができる。
【００４６】
湿潤液の効果を図８に示す。屋外に１時間暴露（神戸市街地区、５月）したシリコンウェーハ上の塵埃をWETとDRYのワイピングクロス２種（マイクロファイバー系、一般のポリエステル系織布）で３回拭き取った後に、シリコンウェーハ上を塩酸（１＋１）で洗い落とし、洗液を８０℃で３０分加熱した溶液を試料としてICP-AESにより任意の元素（Al,Mg,Na,Si,Ca,Cu,Fe）について分析した。この結果を基に同一条件で得られた屋外暴露のみのシリコンウェーハ表面を拭き取らなかった試料を基準とし、各元素の分析値を拭き取り前後で比を求め、全元素についての平均値を平均除去率として拭き取り効果を求めた。乾式（DRY）よりも湿潤液を用いた湿式（WET）での除去率が高い結果が得られた。特にワイピングクロスの生地が一般のポリエステル系織布タイプでは平均除去率が４０％から７０％と湿潤液の効果が得られる。
このようにワイピングクロスの湿潤化には有効性がある。
【００４７】
別法で求めた実施事例を図９、図１０及び図１１に示す。図８と同様に屋外に３０分間暴露（埼玉県加須市街、５月）したシリコンウェーハ上の塵埃をWETとDRYのマイクロファイバー系ワイピングクロスを用いて３回拭き取った後のシリコンウェーハ表面を落下塵カウンター（シーズシー製DTSP10-01）を用いて１０μｍ以上の堆積塵埃を計測した。結果、乾式拭き取り（図９）では８４％、湿式拭き取り（図１０）では９７．５％の除去効果が得られ湿潤化の有効性が同様に確認された。図１１は参考としてシリコンウェーハ上の指紋の湿式拭き取りによる除去効果を示したもので９７．８％と高い除去効果が得られた。
【００４８】
表１及び表２に、市販品ワイピングクロスを含めた各汚染物の拭き取り評価結果を示す。
評価の結果、各汚染物に対し乾式よりも湿式拭き取りの除去効果が高いことが確認できる。
一方で、市販のワイピングクロスの物性にも除去性能が左右されるが上述の結果は支持される。
【００４９】
【表１】
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【００５０】
【表２】
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【符号の説明】
【００５１】
１１  ケーシング
１２  内部空間
１３  ワイピング部
１４  カバー
１５  ワイピングクロス
１６  繰り出し部
１７  巻き取り部
１８  開口部
２１  本体
２２  先端支持部
２３  ヒンジ
２４  側壁
２５  繰り出し支持部
２６  巻き取り支持部
２７  ガイド突起
２８  ロック部材
３１  回転軸
３２  繰り出しギア
３３  巻き取りギア
４１  蓋体
４２  ストッパ
４３  定寸回転装置
４４  係止部
４５  解除ボタン
４６  伝達部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2016022301.tif 000009
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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