(57)【要約】      （修正有）【課題】積層されたウェーハが傾くことのない保管容器を提供する。【解決手段】受け台の側壁部の内側に収納室160を設けウェーハが積層されて収納される本体100と、本体に覆い被せられてウェーハを保護する蓋体200と、カバー体240の内側面に配設された結着部及び受け台上面に突出されたフック部を有する。該フック部が結着部に嵌め込まれると本体及び蓋体が結束され、蓋体を開く際は前記フック部に設けられた把持部を把持して係止を解放する。結着部には、該把持部が収容される収容空間を設けて蓋体の上部に把持部が突出されることを防ぐ組立部と、前記受け台の底面の中央に下向きに突出された積層壁体と、蓋体の上面に設けられて他の保管容器の本体の底面に形成された該積層壁体が嵌め込まれるようにする積層部と、本体の底面に設けられ、内側空間に感知センサーが収容されると、移動を止め、ウェーハを収納する感知センサー収容部と、を備える。【選択図】図３
2016197721.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハを保管する保管容器であって、
受け台の上面に側壁部が配設され、該側壁部の内側に収納室が設けられてウェーハが積層されて収納される本体と、
天板の外周に下向きにカバー体が配設されて前記本体に覆い被せられてウェーハを保護する蓋体と、
前記蓋体のカバー体の内側面に配設された結着部及び前記本体の受け台の上面に突出されたフック部を有し、該フック部が結着部に嵌め込まれて本体及び蓋体が結束されるが、蓋体を開く際に前記フック部に設けられた把持部を把持して係止を解放し、結着部には該把持部が収容される収容空間を設けて蓋体の上部に把持部が突出されることを防ぐ組立部と、
前記本体の受け台の底面の中央に下向きに突出された積層リブと、前記蓋体の上面に突出されて他のウェーハの保管容器の本体に配設された積層リブの内側に嵌め込まれる固定突起と、を有する積層部と、
前記本体の底面に設けられ、内側空間に感知センサーが嵌め込まれる感知センサー収容部と、
を備えるウェーハの保管容器。
【請求項２】
前記感知センサー収容部は、第１、第２及び第３の収容部を有するが、前記第１の収容部は矩形状に形成され、第２及び第３の収容部は円形状に形成され、これらが互い違いに配置される請求項１に記載のウェーハの保管容器。
【請求項３】
前記感知センサー収容部の第１の収容部は、一対の側板の間に仕切り板に設けられて、該仕切り板を中心として内側、外側、又は両側の空間に選択的に感知センサーが嵌め込まれる請求項２に記載のウェーハの保管容器。
【請求項４】
前記本体の側壁部は等間隔に分割され、各側壁部は単一又は２重の壁体により構成され、蓋体に配設された結着部は、内側壁及び外側壁に配設されたものであり、前記蓋体が本体に覆い被せられた際に、前記蓋体のカバー体及びカバー体の内側に設けられた結着部が前記側壁部の外側に位置して収納室の全体が２重以上の壁体により包み込まれる請求項１に記載のウェーハの保管容器。
【請求項５】
前記組立部の結着部は、内側壁及び外側壁の間に水平に遮蔽板が配設されて上部側に収容空間が設けられ、該遮蔽板にフック部が嵌め込まれる結着穴が形成されるとともに、遮蔽板が内側壁及び外側壁の中間の高さに配設されて上部側の収容空間にフック部に配設された把持部が収容される請求項１に記載のウェーハの保管容器。
【請求項６】
前記フック部は、本体の底面に立てられる弾性片と、該弾性片の中央部位の内側に配設された係止突起と、前記係止突起の上部に伸びた把持部と、を有する請求項１に記載のウェーハの保管容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハの保管容器に関する。
【０００２】
更に詳しくは、本発明は、本体に配設されて蓋体を結束するフック部に係止が解放され易いように把持部が設けられ、蓋体には該把持部が収容される空間が設けられて把持部が蓋体の上部に突出されることがなく、且つ、他のウェーハ容器が積層され易いウェーハの保管容器に関する。
【０００３】
また、本発明は、本体の感知センサー収容部を備えて底面における正確な個所にウェーハが収納されることにより、保管及び持ち運びの間に積層されたウェーハが傾くことのないウェーハの保管容器に関する。
【背景技術】
【０００４】
一般に、ウェーハは、半導体素子を製作する高精細製品であり、持ち運び及び保管の際には必ず別途に製作された保管容器に収納されて塵埃や各種の有機物が粘着されることを防ぎ、且つ、外部の衝撃からウェーハを保護する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】大韓民国公開特許第２００２−８１９２９
【０００６】
例えば、大韓民国公開特許第２００２−８１９２９号に記載のウェーハの保管容器がある。
この発明は、シリンダ型側壁を有する下容器と、下容器のシリンダ型側壁の上端部を収容する円形溝及び下容器を覆うように下方に伸びる容器壁体を有する下容器と、を備える。
【０００７】
この種のウェーハの保管容器によれば、まず、下容器のシリンダの内周にクッション材を敷き、その上に多数のウェーハを積層する。このとき、ウェーハとウェーハとの間には間紙を差し込んでウェーハ同士の直接的な接触を防ぐ。また、ウェーハの積層が終わると、最上層のウェーハの上に再びクッション材を覆った後、上容器を下容器に被せて密閉する。そして、最終的にテープを用いて下容器と上容器を固定する。
【０００８】
しかしながら、このような従来のウェーハの保管容器は、下容器及び上容器を一々にテープを用いて固定せねばならないという煩雑さがある。また、上述したウェーハの保管容器は、その構造からみて、多層に積層し難いが故に、ウェーハを持ち運んだり保管したりするとき、かなりの時間及び空間が必要になるという問題がある。
【０００９】
ウェーハ容器の他の実施形態として、特開２００４−４３００１号に記載の半導体ウェーハの帯電防止容器がある。
【００１０】
ところが、このような従来の容器は、係止手段、すなわち、本体の底面板に立てられた係止片が蓋体の上面板を貫通して係止爪が上部に突出された状態で蓋体を固定するようになっているため、他の容器が本体に積層されるためには必ず本体の上面にリップが配設されなければならず、且つ、リップが係止爪よりも高く設けられるように設計されなければならないという不便さがある。
【００１１】
また、蓋体を開くためには係止爪を指で押して係止を解放しなければならないが、該係止爪の内側が傾斜面となっているため指で押したり把持したりするのに不便さがあり、蓋体が開き難いという問題もある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は上述した従来の問題を解消するために案出されたものであり、その目的は、本体に配設されて蓋体を結束するフック部の上部に係止が解放され易いように把持部が設けられ、蓋体に設けられた結着部にはフック部が係止されて本体及び蓋体が結束されるとともに、把持部が収容されて外部に突出されることを防ぐことにより、他のウェーハの保管容器を積層して保管／持ち運びが行えるようにしたウェーハの保管容器を提供することにある。
【００１３】
本発明の他の目的は、本体の底面に感知センサー収容部を設けてウェーハの収納に際して正確な個所への収納が行われ易く、且つ、収納中に破損及び傷つきが生じないウェーハの保管容器を提供することにある。
【００１４】
本発明の更に他の目的は、本体及び該本体に覆い被せられる蓋体の結束／解放が行われ易く、積層収納に際してウェーハが損傷されることが防がれるウェーハの保管容器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上述した目的を達成するために案出された本発明は、ウェーハを保管する保管容器であって、受け台の上面に側壁部が配設され、該側壁部の内側に収納室が設けられてウェーハが積層されて収納される本体と、天板の外周に下向きにカバー体が配設されて前記本体に覆い被せられてウェーハを保護する蓋体と、前記蓋体のカバー体の内側面に配設された結着部及び前記本体の受け台の上面に突出されたフック部を有し、該フック部が結着部に嵌め込まれて本体及び蓋体が結束されるが、蓋体を開く際に前記フック部に設けられた把持部を把持して係止を解放し、結着部には該把持部が収容される収容空間を設けて蓋体の上部に把持部が突出されることを防ぐ組立部と、前記本体の受け台の底面の中央に下向きに突出された積層リブと、前記蓋体の上面に突出されて他のウェーハの保管容器の本体に配設された積層リブの内側に嵌め込まれる固定突起と、を有する積層部と、前記本体の底面に設けられ、内側空間に感知センサーが嵌め込まれる感知センサー収容部と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、まず、本体及び蓋体を結束してウェーハの保管及び持ち運びを可能にする組立部を備えるが、該組立部を構成するフック部の上部側に指で把持して係止状態を解放する把持部が配設されて蓋体が開かれ易く、且つ、蓋体に把持部が収容される収容空間が設けられて蓋体の上部に把持部が突出されることがないように設計されて他のウェーハの保管容器が積層され易いというメリットがある。
【００１７】
第二に、本発明は、本体の底面に感知センサー収容部が設けられてウェーハが収納される収納位置に正確に止まることにより 、ウェーハの積層収納が行われ易く、且つ、積層中におけるウェーハの損傷が防がれるという効果がある。
【００１８】
第三に、本発明の保管容器は、ウェーハが収納される収納室が少なくとも一重以上の壁体により包み込まれるように構成されて外部の衝撃からウェーハが保護されるという効果がある。
【００１９】
第四に、本発明の保管容器は製作し易く、積層収納が行われ易い他、ウェーハの保管及び持ち運びが行われ易いという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明による保管容器の斜視図である。
【図２】本発明による保管容器の平面図である。
【図３】本発明による保管容器のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】本発明による保管容器のＢ−Ｂ線断面図である。
【図５】本発明による保管容器の蓋体の断面図である。
【図６】本発明による保管容器の本体の断面図である。
【図７】本発明による保管容器の底面斜視図である。
【図８】本発明による保管容器が積層されたことを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の好適な実施形態によるウェーハの保管容器について詳細に説明する。
【００２２】
まず、本発明に添付されている図１は、本発明による保管容器の斜視図であり、図２は、本発明による保管容器の平面図であり、図３は、本発明による保管容器のＡ−Ａ線断面図である。
【００２３】
また、添付の図４は、本発明による保管容器のＢ−Ｂ線断面図であり、図５は、本発明による保管容器の蓋体の断面図である。
【００２４】
図６は、本発明による保管容器の本体の断面図である。
【００２５】
図７は、本発明による保管容器の底面斜視図である。
【００２６】
図８は、本発明による保管容器が積層されたことを示す断面図である。
【００２７】
同図を参照すると、本発明の保管容器１０は、ウェーハが積層されて保管される本体１００と、該本体１００に覆い被せられる蓋体２００と、を備え、更に、組立部３００及び積層部４００、並びに感知センサー収容部５００を備える。
【００２８】
本体１００
【００２９】
本発明による保管容器１０の本体１００は、受け台１２０と、該受け台１２０の上面に立てられる側壁部１４０と、該側壁部及び受け台の内側に設けられる収納室１６０と、を備える。
【００３０】
前記受け台１２０は、容器本体の全体の形状を決定するものであり、同図に示すように、略８角形に形成され、４つの辺、すなわち、周縁に交互に組立部３００を構成するフック部３４０が立てられ、該フック部３４０が蓋体２００に設けられた結着部３２０に嵌め込まれて本体１００及び蓋体２００が結束され、前記フック部３４０の内側に前記側壁部１４０が立てられる。
【００３１】
一方、前記受け台１２０は、他の形状、例えば、円形、４角形、５角形及び６角形など種々の形状に形成され、これにより、側壁部１４０の形状も種々に変更される。
【００３２】
前記側壁部１４０は、受け台１２０の上面に突出され、少なくとも２つ以上に分割されて等間隔に配置され、各側壁部の内側面は、円形のウェーハＷが収納されるように所定の曲率半径で湾曲している。
【００３３】
前記側壁部１４０は、単一の壁体又は内部の空間が「∩」字状を呈する２重壁体により構成されて、ウェーハが収納される収納室１６０が少なくとも２重以上の壁体により包み込まれてウェーハの保管及び持ち運びの間に外部の衝撃からウェーハを保護し、収納室１６０の内部温度が急変することを防ぐ。
【００３４】
前記受け台１２０の底面の中央部には積層リブ１２２が形成されている。該積層リブ１２２は、周りに形成された補助リブ１２６に比べて正面からみたときに下向きに更に突出されており、蓋体２００に形成された積層部４００に嵌め込まれる。これについては、積層部の欄において説明する。
【００３５】
一方、前記積層リブ１２２及び補強リブ１２４は、受け台１２０の底面の周縁および中央部に設けられた感知センサー収容部５００が、他の保管容器に積層されたときに係止されることを防ぎ、且つ、この感知センサー収容部５００を保護するとともに、積層し易くする。
【００３６】
蓋体２００
【００３７】
本発明による蓋体２００は、天板２２０と、該天板２２０の外周から下向きに突設されたカバー体２４０と、を備える。
【００３８】
前記天板２２０は、前記本体１００の受け台１２０と同じ形状に形成されて前記カバー体２４０が本体の側壁を包み込むように組み立てられるが、場合によって、異なる形状及び大きさに製作される。
【００３９】
前記カバー体２４０は、内側に後述する組立部３００のフック部３４０が嵌め込まれて固定される結着部３２０が設けられている。
【００４０】
組立部３００
【００４１】
本発明による前記組立部３００は、結着部３２０と、フック部３４０と、を備える。
【００４２】
前記結着部３２０は、蓋体２００のカバー体２４０の内側に設けられ、前記フック部３４０は、本体１００の受け台１２０の上面に立てられる。
【００４３】
前記フック部３４０は、受け台１２０の上面に立てられる弾性片３４２と、該弾性片３４２の中央部から内側に突出された係合突起３４４と、該係合突起の上部に伸びた把持部３４６と、を備える。
【００４４】
本発明の特徴であるといえる前記把持部３４６は、作業者がフック部を本体の外側に引っ張って係止を解放するときに便利に用いるためのものであり、且つ、係合突起３４４の直ぐ上に配設されることにより、あまり力をかけずに軽く係止を解放することができるというメリットがある。
【００４５】
前記結着部３２０は、同図に示すように、蓋体２００に形成されるものであり、内側壁３２２及び外側壁３２２ａを備える。
【００４６】
本発明において前記結着部３２０を二重壁体により構成する理由は、持ち運び中に外部の衝撃からウェーハを保護し、冬場や夏場に収納室１６０の内部温度が急変することを防ぐためであり、これと同時に、フック部３４０の前記把持部３４６が収容される空間を設けるためである。
【００４７】
換言すると、蓋体２００が本体１００に覆い被せられたとき、前記内側壁３２２及び外側壁３２２ａにより構成される結着部３２０が収納室を包み込むことにより、本体１００の側壁１４０の内側に設けられた収納室１６０が３重又は４重（２重壁体により構成された側壁）に形成されてウェーハを保護する。
【００４８】
もちろん、本体１００の側壁部１４０が単一の壁体により構成され、前記結着部ではないカバー体２４０により包み込まれる場合には、このカバー体２４０及び側壁部１４０が収納室を包み込む、すなわち、収納室１６０が２重に形成されるが、このような構成だけでもウェーハを保護できるということはいうまでもない。
【００４９】
前記結着部３２０の内側壁３２２ａ及び外側壁３２２の間には水平に遮蔽板３２６が設けられ、この遮蔽板３２６の中央に結着穴３２８が形成されて前記フック部３４０が嵌め込まれて固定される。
【００５０】
ここで、前記遮蔽板３２６はフック部の把持部が収容されるように中間部位に配設される。すなわち、遮蔽板３２６の上部側に収容空間３２４が形成され、該収容空間３２４に係合突起３４４及び把持部３４６が配設されることにより、把持部３４６が蓋体２００の上面に突出されることが防がれ、且つ、他の保管容器が積層されたときに把持部が引っ掛かることが防がれる。もちろん、収容空間３２４は、指が入れられる程度の幅を有するということはいうまでもない。
【００５１】
このような構成を有する組立部３００は、フック部３４０の係合に際して、係合突起３４４に形成された傾斜面が前記結着穴３２８の内縁に沿って移動しながら嵌め込まれるものであり、傾斜面を移動するときには弾性片３２２が撓みながら結着穴に嵌め込まれ、結着穴に嵌め込まれた状態では弾性片が復元されて係止が行われ、取り外しに際しては作業者が把持部を把持して係止方向とは反対の方向に引っ張って取り外す。
【００５２】
積層部４００
【００５３】
前記積層部４００は、前記蓋体２００の上面に他の保管容器が積層された状態でも持ち運び及び保管に際しての揺れを防ぐためのものであり、本体１００の底面に形成される積層リブ１２２と、前記蓋体２００の上面に形成された固定突起４２０と、突出縁と、これらの間に形成された畝間部４２５と、を備える。
【００５４】
換言すると、前記蓋体２００は、上面の中央には円形の突出部４１０が配設され、該円形の突出部の側面に十字状に固定突起４２０が配設され、更に固定突起よりも低い畝間部４２５が設けられ、そして、前記円形突出部４１０と同じ高さに突出縁４４０が設けられる。
【００５５】
前記本体１００は、底面の中央に４角形の積層リブ１２２が配設され、該積層リブ１２２に連なって補強リブ１２４及び補助リブ１２６が配設される。
【００５６】
このような構成を有する本発明は、積層に際して、前記円形突出部及び固定突起は積層リブ１２２の内側空間１２２ａに嵌め込まれ、補強リブ１２４は畝間部４２５に、且つ、突出縁４４０は補助リブ１２６に密着されることにより積層される。
【００５７】
このような積層に際して、本発明は、まず、積層リブ１２２が４角形に形成され、各角部の内側に固定突起４２０が配設されることにより、水平に揺動することが防がれる。
【００５８】
また、本発明は、補強リブに連なって補助リブが突出されることにより、補強リブが畝間部４２５の底面に密着されるわけではなく、一部のみが嵌め込まれ、これにより、上下に積層される本発明のウェーハの保管容器の間に指を差し込んで上部側のウェーハ容器を手軽に持ち上げる隙間Ｐが設けられるというところに特徴がある。
【００５９】
また、前記隙間Ｐは、後述する感知センサー収容部５００に嵌め込まれる感知センサーが下部側のウェーハの保管容器の蓋体に当接して損傷される現象も防ぐ。
【００６０】
感知センサー収容部５００
【００６１】
本発明による感知センサー収容部５００は、ウェーハの収納に際して所定の位置に保管容器を置載するためのものである。すなわち、ウェーハは、高価な高精細製品であり、保管容器に収納するときにも細心の注意を払わなければならないということはいうまでもない。このため、本発明は、感知センサー収容部５００を備えてウェーハの生産装置若しくはウェーハの搬送ロボットと連携された感知センサーをここに嵌め込み、嵌め込まれた感知センサーの信号に基づいて保管容器の移動が止まってウェーハが収納され、或いは、作業者が収納位置に載置すると、その位置が定位置であるか否かを検出する。
【００６２】
また、感知センサー収容部に設けられる感知センサーとしては、基本的に、ウェーハの保管容器の位置を感知するセンサーが設けられるが、これに加えて、本体の重さを感知するセンサー、もしくは、湿度又は半導体装備の周りを感知するセンサーが設けられてもよい。
【００６３】
本発明による前記感知センサー収容部５００は、本体の底面に設けられ、同図に示すように、円形又は四角形に形成される。
【００６４】
本体１００の底面の周縁に設けられた第１の収容部５２０は、同図に示すように、一対の側板５２２の間に仕切り板５２４に設けられたものであり、仕切り板５２４を中心として内側、外側、又は両側の空間に感知センサーが嵌め込まれる。
【００６５】
また、第２及び第３の収容部５４０、５６０は、円形管体状を呈し、センサーの構成及び種類位置に感知センサーが嵌め込まれる。
【００６６】
一方、本発明の感知センサー収容部は、第１、第２及び第３の収容部が互い違いに配置されて選択的に又は同時に感知センサーが収容される。
【００６７】
他の方式によれば、本発明は、感知センサー収容部のうちの一部には感知センサーが配設されず、ここに半導体の生産と連携された機械機構装置又はウェーハの収納時に揺動を防ぐブラケットが嵌め込まれる。
【００６８】
以下、このような構成を有する本発明の使用状態について説明する。
【００６９】
本発明の保管容器１０は、本体１００の収納室１６０、すなわち、側壁部１４０の内側に設けられた収納室１６０にウェーハを積層して収納するものであり、本体１００の底面の感知センサー収容部５００に嵌め込まれた感知センサーにより定められた位置に揺動なしにウェーハが収納／積層される。
【００７０】
積層後に、作業者は、蓋体２００を覆ってウェーハの損傷を防ぐが、このとき、蓋体に設けられた結着部３２０及び本体に立てられた側壁部１２０がウェーハの収納された収納室の全体を包み込んでウェーハを保護する。
【００７１】
もちろん、前記本体１００及び蓋体２００は、組立部、すなわち、フック部３４０が結着部３２０に嵌め込まれることにより組み立てられる。
【００７２】
蓋体の取り外しに際しては、フック部の上部に配設される把持部を用いて手軽に係止を解放する。
【００７３】
また、本発明は、積層に際して、積層部により感知センサー収容部に設けられる感知センサーは保護し、積層リブにより揺動が防がれ、更に、隙間を用いて上部側のウェーハの保管容器も手軽に持ち上げる。
【符号の説明】
【００７４】
１０：保管容器
１００：本体
１２０：受け台
２００：蓋体
２４０：カバー体
３００：組立部
３２０：結着部
３４０：フック部
４００：積層部
５００：感知センサー収容部
【図１】
2016197721.tif 000003
【図２】
2016197721.tif 000004
【図３】
2016197721.tif 000005
【図４】
2016197721.tif 000006
【図５】
2016197721.tif 000007
【図６】
2016197721.tif 000008
【図７】
2016197721.tif 000009
【図８】
2016197721.tif 000010