(57)【要約】【課題】庫内に塵埃が浸入するのを低減して庫内のクリーン度を維持することが可能なストッカを提供する。【解決手段】上面に容器６０の入出庫口１２を有するストッカ１００であって、庫内の上方から下方へ向けた第１方向Ｄ１に送風する第１送風部５４と、入出庫口１２を遮るように第２方向Ｄ２に送風する第２送風部５５と、を備える。【選択図】図１
2016054240.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に物品の入出庫口を有するストッカであって、
庫内の上方から下方へ向けた第１方向に送風する第１送風部と、
前記入出庫口を遮るように第２方向に送風する第２送風部と、を備えるストッカ。
【請求項２】
前記第２方向は、前記入出庫口の上方において前記入出庫口の開口に沿った方向に設定される請求項１記載のストッカ。
【請求項３】
前記第１送風部及び前記第２送風部は、共通の送風機と、前記送風機からの送風を前記第１方向への送風と前記第２方向への送風とに分ける風向部材と、を備える請求項１または請求項２記載のストッカ。
【請求項４】
前記風向部材は、前記送風機から前記第１方向に送風された一部を前記第２方向に送風するように設置され、または、前記送風機から前記第１方向に送風された一部を通過させかつ残りを前記第２方向に送風する開口部を備えるものが用いられる請求項３記載のストッカ。
【請求項５】
前記第１送風部及び前記第２送風部における単位時間当たりの送風量を調整する制御装置を備え、
前記制御装置は、前記入出庫口の上方に移動体が存在した時間を含む所定時間、または、前記入出庫口から搬入される前記物品の底面が前記第２方向に達するタイミング、の少なくとも一方において、前記第２方向への前記送風量を通常時より大きくする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載のストッカ。
【請求項６】
庫内が陽圧となるように前記第１方向の前記送風量が設定される請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載のストッカ。
【請求項７】
前記物品は、内部に収容空間を有する容器であり、
前記容器を保持する複数の棚を庫内に有し、
少なくとも一部の前記棚には、前記容器内にパージガスを供給するガス供給部が設けられる請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載のストッカ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の物品を収容可能なストッカに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工場などでは、半導体ウエハ等の基板を収容する容器を、天井に敷設されたレールに沿って走行する搬送車で搬送する搬送システムが用いられる。この搬送システムは、容器を把持した状態で搬送車が走行し、ストッカと呼ばれる保管庫に対して天井側から容器の搬入または搬出を行っている。この搬送システムに対応するため、ストッカの上面に容器の入出庫口が形成される構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。ストッカに搬入された容器は、庫内の棚部に載置されて保管される。
【０００３】
近年、半導体素子や液晶基板に形成されるパターンが微細化しており、僅かな塵埃であっても製品の品質に大きな影響を与えてしまう。そのため、基板の周囲を清浄な環境に維持することが求められている。そこで、容器をストッカに保管する際に、容器の内部を窒素ガスやＣＤＡ（クリーンドライエア）などのパージガスでパージすることが行われている。この場合、ストッカ側には、容器を載置する棚部の上にパージガスを供給するためのノズルが設けられる。また、容器の底部にはこのノズルに接続される接続口が設けられ、容器を棚部に載置した場合にノズルと接続口とが接続される構成となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−６２１５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記のようにストッカの上面に入出庫口が設けられる構成では、天井や搬送車から落下した塵埃や、クリーンルーム内で巻き上げられた塵埃が入出庫口からストッカの庫内に入ってしまい、庫内のクリーン度を低下させるといった課題がある。また、庫内に進入した塵埃が棚部上のノズル内に溜まる可能性があり、この状態で容器を棚部に載置させ、ノズルから容器内にパージガスを供給すると、パージガスと共に塵埃が容器の内部に入ってしまうおそれがある。
【０００６】
以上のような事情に鑑み、本発明は、ストッカの庫内に塵埃が浸入するのを低減して庫内のクリーン度を維持することが可能なストッカを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るストッカは、上面に物品の入出庫口を有するストッカであって、庫内の上方から下方へ向けた第１方向に送風する第１送風部と、入出庫口を遮るように第２方向に送風する第２送風部と、を備える。
【０００８】
また、第２方向は、入出庫口の上方において入出庫口の開口に沿った方向に設定されてもよい。また、第１送風部及び第２送風部は、共通の送風機と、送風機からの送風を第１方向への送風と第２方向への送風とに分ける風向部材と、を備えてもよい。また、風向部材は、送風機から第１方向に送風された一部を第２方向に送風するように設置され、または、送風機から第１方向に送風された一部を通過させかつ残りを第２方向に送風する開口部を備えるものが用いられてもよい。また、第１送風部及び第２送風部における単位時間当たりの送風量を調整する制御装置を備え、制御装置は、入出庫口の上方に移動体が存在した時間を含む所定時間、または、入出庫口から搬入される物品の底面が第２方向に達するタイミング、の少なくとも一方において、第２方向への送風量を通常時より大きくしてもよい。また、庫内が陽圧となるように第１方向の送風量が設定されてもよい。また、物品は、内部に収容空間を有する容器であり、容器を保持する複数の棚を庫内に有し、少なくとも一部の棚には、容器内にパージガスを供給するガス供給部が設けられてもよい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、第２方向の送風により、入出庫口に向かう塵埃は第２方向に飛ばされ、庫内に塵埃が侵入するのを抑制できる。これにより、庫内のクリーン度を維持することができる。また、パージガスを供給するノズル上に溜まる塵埃が減少するので、パージガスの供給によって容器内に多くの塵埃が浸入するのを回避できる。また、入出庫口から庫内に塵埃が侵入した場合であっても、第１方向の送風により塵埃を落とすため、塵埃が物品や棚部に付着するのを抑制できる。
【００１０】
また、第２方向が、入出庫口の上方において入出庫口の開口に沿った方向に設定されるものでは、入出庫口に向けて落下する塵埃を開口に沿った方向に飛ばすことで、入出庫口に塵埃が侵入するのを効率よく防ぐことができる。また、第１送風部及び第２送風部が、共通の送風機と、送風機からの送風を第１方向への送風と第２方向への送風とに分ける風向部材と、を備えるものでは、簡単な構成で第１方向への送風と第２方向への送風とを形成することができる。また、風向部材が、送風機から第１方向に送風された一部を第２方向に送風するように設置され、または、送風機から第１方向に送風された一部を通過させかつ残りを第２方向に送風する開口部を備えるものが用いられるものでは、第１方向への送風と第２方向への送風とを容易かつ確実に形成することができる。
【００１１】
また、第１送風部及び第２送風部における単位時間当たりの送風量を調整する制御装置を備え、制御装置が、入出庫口の上方に移動体が存在した時間を含む所定時間、または、入出庫口から搬入される物品の底面が第２方向に達するタイミング、の少なくとも一方において、第２方向への送風量を通常時より大きくするものでは、塵埃が入出庫口に差し掛かったタイミングで、第２方向への送風量を大きくするので、入出庫口に塵埃が侵入するのをより確実に抑制できる。また、庫内が陽圧となるように第１方向の送風量が設定されるものでは、外部から庫内に塵埃が入りにくくするとともに、庫内の塵埃を外部に排出できる。また、物品が、内部に収容空間を有する容器であり、容器を保持する複数の棚を庫内に有し、少なくとも一部の棚に、容器内にパージガスを供給するガス供給部が設けられるものでは、庫内への塵埃の浸入が抑制されるので、ガス供給部に塵埃が溜まるのを抑制でき、パージガスの供給時に容器内に多くの塵埃が侵入するのを回避できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】第１実施形態に係るストッカの一例を示す図である。
【図２】図１に示すストッカの斜視図である。
【図３】ストッカ内の棚部に容器が載置された状態を示す図である。
【図４】制御装置による制御の一例を示すフローチャートである。
【図５】ストッカの動作の一例を示す斜視図である。
【図６】ストッカの動作の他の例を示す図である。
【図７】第２実施形態に係るストッカの一例を示す図である。
【図８】第３実施形態に係るストッカの一例を示す図である。
【図９】第４実施形態に係るストッカの一例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きくまたは強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。以下の各図において、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系においては、水平面に平行な平面をＸＹ平面とする。このＸＹ平面において搬送車１０２の走行方向をＹ方向と表記し、Ｙ方向に直交する方向をＸ方向と表記する。なお、搬送車１０２の走行方向は、以下の図に示された状態から他の方向に変化可能である。また、ＸＹ平面に垂直な方向はＺ方向と表記する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の方向が＋方向であり、矢印の方向とは反対の方向が−方向であるものとして説明する。
【００１４】
＜第１実施形態＞  
図１は、第１実施形態に係るストッカ１００の一例を示す図である。図２は、ストッカ１００を示す斜視図である。図１及び図２に示すように、ストッカ１００は、例えば、クリーンルーム内において、搬送システムＳＹＳにより容器（物品）６０の受け渡しが可能な位置に床部ＦＬ上に設置される。なお、クリーンルームには、ストッカ１００以外に半導体ウエハやガラス基板等を処理する基板処理装置などが配置されてもよい。また、クリーンルームの天井部ＣＬは、クリーンエアーによるダウンフローを形成する不図示のＦＦＵ（ファンフィルターユニット）やフィルタ等を備えている。また、床部ＦＬのうち、少なくともストッカ１００が配置される部分は、例えばパンチングメタルなどが設置され、ストッカ１００の庫内のガスを床下に排出する構成が採用されている。
【００１５】
搬送システムＳＹＳは、クリーンルーム等の天井部ＣＬにＹ方向に沿って敷設されるレール１０１と、レール１０１に沿って走行する搬送車１０２と、を備えている。搬送車１０２がレール１０１に沿って移動することにより、容器（物品）６０を搬送する。搬送車１０２は、グリッパ１０２ａと、このグリッパ１０２ａを昇降させるホイスト等の昇降装置（不図示）と、を備えている。グリッパ１０２ａは、容器６０のフランジ部６２（図３参照）の保持及び保持解除が可能である。グリッパ１０２ａにより容器６０を保持した状態で昇降装置を駆動することにより、容器６０を昇降させることができる。搬送車１０２は、グリッパ１０２ａ及び昇降装置を用いることにより、ストッカ１００との間で容器６０の受け渡しを行う。
【００１６】
ストッカ１００は、複数の容器６０を保管する。ストッカ１００は、本体部１０と、棚部２０と、移載装置３０と、ガス供給部４０と、送風部５０とを有している。ストッカ１００は、上記各部を統括的に制御するストッカの制御装置ＣＯＮＴ１を備えている。また、搬送システムＳＹＳは、搬送車の制御装置ＣＯＮＴ２により制御される。これら制御装置ＣＯＮＴ１、ＣＯＮＴ２は、有線または無線によりバスＢに接続されている。バスＢには上位の制御装置ＣＯＮＴ３が接続されており、この制御装置ＣＯＮＴ３によって他のストッカや搬送車を含めたシステム全体を統括的に制御している。なお、ストッカの制御装置ＣＯＮＴ１は、図１の点線で示すように搬送システムＳＹＳとの間で、昇降ステップ動作の確認や、インターロックに関する信号の送受信も行っている。また、ストッカの制御装置ＣＯＮＴ１と搬送車の制御装置ＣＯＮＴ２とが１つの制御装置によって構成されてもよい。また、上位の制御装置ＣＯＮＴ３に接続されるか否かは任意であり、制御装置ＣＯＮＴ１によってストッカ１００をスタンドアローンで制御してもよい。また、制御装置ＣＯＮＴ１、ＣＯＮＴ２の機能の一部または全部を、上位の制御装置ＣＯＮＴ３が行ってもよい。本体部１０は、床部ＦＬに設置されており、庫内の空間を囲むように４つの壁部１１を有している。本体部１０は、上面に入出庫口１２を備えている。入出庫口１２は、容器６０を上下方向（Ｚ方向）出し入れ可能な大きさに開口して形成される。入出庫口１２は、上方に開口したままであり、ストッカ１００の庫内と庫外とを常時連通している。
【００１７】
棚部２０は、容器６０を載置する。棚部２０は、壁部１１に支持され、庫内の上下方向（Ｚ方向）に複数段設けられる。本実施形態では、このような複数段の棚部２０が、Ｘ方向に２列、Ｙ方向に１列に配置されるが、この構成に限定するものではない。複数の棚部２０のうち、例えば入出庫口１２の直下に配置される棚部２０は、搬送車１０２との間で容器６０の受け渡しを行うためのポートとして用いられる。各棚部２０には、それぞれ切り欠き部２０ａが形成される。切り欠き部２０ａは、後述の容器載置部３３と干渉しない形状に形成され、ストッカ１００の庫内で容器６０を移載する際に用いられる。各棚部２０は、例えば、上面に３本のピンを備え、このピンが容器６０の底面に備える溝部に入り込むことにより、容器６０を位置決めしてもよい。
【００１８】
移載装置３０は、複数の棚部２０の間で容器６０を移載する。移載装置３０は、柱部３１と、水平ガイド３２と、容器載置部３３と、を有している。柱部３１は、庫内のＸ方向の中央部に配置され、床部ＦＬから上方に延びて設置される。柱部３１の上端は、最も高い位置にある棚部２０よりも上方に配置される。柱部３１は、水平ガイド３２を上下方向（Ｚ方向）に案内する不図示のガイド部を備えている。
【００１９】
水平ガイド３２は、柱部３１に沿って昇降可能に支持されており、Ｘ方向に延びて設置される。水平ガイド３２は、例えば電動モータ等の不図示の駆動装置によって昇降する。水平ガイド３２は、容器載置部３３をＸ方向に案内する。容器載置部３３は、容器６０を載置するとともに、水平ガイド３２に沿ってＸ方向に移動可能に支持されている。容器載置部３３は、例えば電動モータ等の不図示の駆動装置によってＸ方向に移動する。容器載置部３３は、例えば、上面に３本のピンを備え、このピンが容器６０の底面に備える溝部に入り込むことにより、容器６０を位置決めしてもよい。
【００２０】
移載装置３０は、棚部２０の切り欠き部２０ａを通して容器載置部３３を上昇させることで任意の棚部２０から容器６０を受け取ることができ、また、棚部２０の切り欠き部２０ａに合わせて降下させることで任意の棚部２０に容器６０を渡すことができる。
【００２１】
ガス供給部４０は、各棚部２０に設けられる。図３は、ストッカ１００内の一部を示す図であり、容器６０及びガス供給部４０の構成を示している。図３に示すように、ガス供給部４０は、供給ノズル４１と、排出ノズル４２と、ガス供給系４３と、ガス排出系４４とを有している。ガス供給部４０は、棚部２０に載置された容器６０の収容空間６０Ｋにパージガスを供給すると共に、この収容空間６０Ｋを排気する。
【００２２】
供給ノズル４１及び排出ノズル４２は、棚部２０から上方に突出した状態で配置される。供給ノズル４１及び排出ノズル４２は、それぞれＸ方向に２つずつＹ方向において離れた位置に配置されるが、この構成に限定されず、例えばＸ方向に１つずつであってもよい。供給ノズル４１及び排出ノズル４２は、容器６０が棚部２０に載置されるときに、後述する容器６０の供給口６３及び排出口６４に接続されるように配置される。ガス供給系４３は、供給ノズル４１を介して容器６０の収容空間６０Ｋにパージガスを供給する。パージガスとしては、例えば窒素ガスやＣＤＡなどが用いられるが、他のガスが用いられてもよい。ガス排出系４４は、排出ノズル４２に接続され、収容空間６０Ｋ内のガスを排出する。なお、ガス排出系４４や排出ノズル４２は省略されてもよい。ガス供給部４０は、全ての棚部２０に備えることに代えて、例えば入出庫口１２直下の棚部２０など、一部の棚部２０に備えてもよい。
【００２３】
容器６０は、収容空間６０Ｋを内部に有する。収容空間６０Ｋには、例えば、シリコンウェハ等（以下、基板Ｓという。）が収容される。容器６０は、内部に基板Ｓを収容するための複数の収容棚６５を備えている。容器６０の正面６０ａは、基板Ｓを出し入れするための、開閉可能な蓋部６１を備えている。容器６０の天頂部６０ｂには、グリッパ１０２ａによって把持可能なフランジ部６２が形成されている。容器６０の底面６０ｃには、供給口６３及び排出口６４が設けられる。供給口６３は、供給ノズル４１に接続可能である。排出口６４は、排出ノズル４２に接続可能である。供給口６３及び排出口６４は、それぞれ供給ノズル４１及び排出ノズル４２に対応する位置に設けられる。供給口６３及び排出口６４には、一般に不図示のパーティクルフィルタ及び逆止弁等が配置される。
【００２４】
図１に示すように、送風部５０は、本体部１０の上部に配置される。送風部５０は、送風機５１と、フィルタ５２と、風向部材５３とを有している。送風機５１は、例えば電動モータ等の不図示の駆動源によって回転するファンを有する。このファンは、本体部１０の下方（−Ｚ方向）に向けられる。ファンが回転することにより、下方（−Ｚ方向）である第１方向Ｄ１へ向けた送風が発生する。ファンの単位時間当たりの回転数は、例えば制御装置ＣＯＮＴ１によって制御される。フィルタ５２は、送風機５１等から発生する塵埃を除去する。
【００２５】
風向部材５３は、送風機５１からの送風を、第１方向Ｄ１への送風と、入出庫口１２の開口に沿った第２方向Ｄ２（−Ｘ方向）への送風と、に分ける。風向部材５３は、フィルタ５２の下方に配置され、例えば平板状の部材が用いられる。風向部材５３の送風機５１側は、風受け面５３ａを備える。風受け面５３ａは、送風機５１から第１方向Ｄ１に送風された一部を第２方向Ｄ２に向けて送風するように、水平方向に対して傾いて配置される。この風受け面５３ａによる送風は、入出庫口１２を遮るように、入出庫口１２の上方において第２方向Ｄ２に形成される。また、風向部材５３は、＋Ｘ側の壁部１１との間にスペースを空けて配置される。このスペースを介して送風機５１から第１方向Ｄ１に送風されて庫内に導入される。なお、風向部材５３は、平板状に限定されず、風受け面５３ａを備えるものであれば、他の形状であってもよい。
【００２６】
上記の送風機５１及び風向部材５３により、送風部５０は、庫内の第１方向Ｄ１に送風する第１送風部５４と、入出庫口１２を遮るように第２方向Ｄ２に送風する第２送風部５５とを備える。この場合、送風機５１は、第１送風部５４と第２送風部５５とで共通の送風機として用いられる。また、風向部材５３の位置を調整することにより第１方向Ｄ１の送風量と第２方向Ｄ２の送風量との比率を調整可能である。そのため、風向部材５３の位置を調整可能な構成が適用されてもよい。第１方向Ｄ１の送風量と第２方向Ｄ２の送風量との比率は任意に設定可能であり、少なくとも第２方向Ｄ２の送風は、入出庫口１２からの塵埃の侵入が十分に抑制できる送風量に設定される。
【００２７】
上記のように構成されたストッカ１００において、搬送システムＳＹＳにより容器６０を搬入する動作について説明する。搬送車の制御装置ＣＯＮＴ２は、グリッパ１０２ａで容器６０のフランジ部６２を把持した状態で走行させ、搬送先となるストッカ１００の入出庫口１２の上方で搬送車１０２を停止させる。続いて、制御装置ＣＯＮＴ２は、不図示の昇降装置を駆動してグリッパ１０２ａを下降させ、入出庫口１２から容器６０をストッカ１００の内部に搬入する。このとき、容器６０は、ポートとなる棚部２０上に載置される。容器６０が棚部２０に載置された後、制御装置ＣＯＮＴ２は、グリッパ１０２ａの保持を解除し、グリッパ１０２ａを上昇させる。その後、制御装置ＣＯＮＴ２は、入出庫口１２の上方から搬送車１０２を移動させる。
【００２８】
容器６０の搬入後、ストッカの制御装置ＣＯＮＴ１は、ポートの棚部２０に載置された容器６０を、移載装置３０により他の棚部２０に移載させる。制御装置ＣＯＮＴ１は、棚部２０の切り欠き部２０ａの下方に容器載置部３３を配置させ、水平ガイド３２を上昇させることにより容器６０をすくい上げて保持する。容器６０を保持した後、制御装置ＣＯＮＴ１は、容器載置部３３を水平ガイド３２に沿ってＸ方向に移動させ、また、水平ガイド３２を柱部３１に沿って昇降させることにより、容器６０を所望の棚部２０の上方に配置させる。続いて、水平ガイド３２を降下させることにより、容器載置部３３が切り欠き部２０ａを通過し、容器６０が棚部２０に載置される。容器６０が棚部２０に載置された際、供給ノズル４１及び排出ノズル４２が、容器６０の供給口６３及び排出口６４にそれぞれ接続される。
【００２９】
制御装置ＣＯＮＴ１は、ガス供給系４３を駆動して供給ノズル４１からパージガスを収容空間６０Ｋに供給し、排出ノズル４２からガス排出系４４に向けて収容空間６０Ｋ内のガスを排気する。これにより、収容空間６０Ｋがパージされ、清浄な環境が保持される。なお、容器６０を棚部２０に載置する前に予め供給ノズル４１からパージガスを噴射させ、供給ノズル４１に溜まった塵埃を除去してもよい。
【００３０】
次に、ストッカ１００の送風部５０の動作について説明する。図４は、制御装置ＣＯＮＴ１による第２方向Ｄ２への送風量の制御を示すフローチャートである。まず、制御装置ＣＯＮＴ１は、送風機５１を駆動し、第１方向Ｄ１への送風と、第２方向Ｄ２への送風とを開始する（ステップＳ０１）。このステップＳ０１は、容器６０の搬送と無関係に連続的に行われてもよく、また、所定間隔を空けた断続的に行われてもよい。第２方向Ｄ２の送風により入出庫口１２を遮るため、入出庫口１２から庫内への塵埃の侵入が抑制される。第２方向Ｄ２への送風量は、塵埃を飛ばすことが可能であり、かつ、省エネルギの観点からできるだけ小さな値に設定される。
【００３１】
第１方向Ｄ１の送風は、風向部材５３と壁部１１との間のスペースを介して庫内に導入され、複数の棚部２０やこれらの棚部２０に載置される容器６０などを伝わって庫内の各部に行きわたる。このため、第１送風部５４からの送風により、庫内全体にダウンフローが形成され、床部ＦＬから庫外に排出される。また、制御装置ＣＯＮＴ１は、庫内が陽圧となるように、第１送風部５４における単位時間当たりの送風量を設定してもよい。庫内が陽圧となることにより、庫内の塵埃が効率よく床部ＦＬから庫外に排出される。
【００３２】
なお、制御蔵置ＣＯＮＴ１は、容器６０を棚部２０に載置する前に、第１方向Ｄ１の送風量を大きくして、供給ノズル４１に溜まった塵埃を除去させてもよい。これにより、パージガスの供給に伴って容器６０の収容空間６０Ｋに塵埃が浸入するのを抑制できる。なお、供給ノズル４１から吹き飛ばされた塵埃は、ダウンフローによって床部ＦＬから庫外に排出されるため、他の供給ノズル４１に再び溜まるのを防ぐことができる。
【００３３】
次に、制御装置ＣＯＮＴ１は、搬送車１０２が入出庫口１２の上方に存在するか否かを判断する（ステップＳ０２）。制御装置ＣＯＮＴ１は、搬送車１０２の走行位置及び走行方向、走行速度等の情報を取得しており、搬送車１０２が入出庫口１２の上方に存在するか否かを判断できる。なお、ここでいう「存在」は、搬送車１０２がストッカ１００に対して容器６０を搬入または搬出するために停止している場合の他に、搬送車１０２がストッカ１００の上方を通過する場合の双方を含む。
【００３４】
制御装置ＣＯＮＴ１は、搬送車１０２が入出庫口１２の上方に存在すると判断した場合（ステップＳ０２のＹＥＳ）、容器６０をストッカ１００に搬入するか否かを判断する（ステップＳ０３）。制御装置ＣＯＮＴ１は、搬送車１０２の情報を取得しており、ストッカ１００に近づいている搬送車１０２が容器６０の搬入を行うか否かの情報は予め取得している。なお、制御装置ＣＯＮＴ１は、搬送車１０２が入出庫口１２の上方に存在しないと判断した場合（ステップＳ０２のＮＯ）、ステップＳ１の状態が継続され、ステップＳ０２を繰り返して実行する。
【００３５】
制御装置ＣＯＮＴ１は、容器６０をストッカ１００に搬入しない場合（ステップＳ０３のＮＯ）、所定時間、第２方向Ｄ２への送風量を、先に設定した通常時より大きくする（ステップＳ０４）。これにより、搬送車１０２等から落下する塵埃や、搬送車１０２の走行により巻き上げられて落下する塵埃が、入出庫口１２から庫内に進入するのを効果的に抑制する。第２方向Ｄ２への送風量を、通常時に対してどの程度大きくするかは任意に設定できる。例えば、通常時の１．５倍や２倍などに設定できる。制御装置ＣＯＮＴ１は、所定時間経過後に、第２方向Ｄ２への送風量を通常時の送風量に戻す（ステップＳ０６）。
【００３６】
このステップＳ０２、Ｓ０３、Ｓ０４について、搬送車１０２が入出庫口１２の上方を通過する場合の送風部５０の動作を、図５（ａ）〜（ｄ）を用いて説明する。図５（ａ）に示すように、搬送車１０２がストッカ１００に近づいている場合、制御装置ＣＯＮＴ１は、予め容器６０の搬入を行わないとの情報を得ており、搬送車１０２が入出庫口１２の上方を通過するとの情報を取得している（ステップＳ０２のＹＥＳ、及びステップＳ０３のＮＯ）。
【００３７】
制御装置ＣＯＮＴ１は、図５（ｂ）に示すように、所定時間、第２方向Ｄ２への送風量を大きくする（ステップＳ０４）。なお、「所定時間」は、図５（ｂ）に示すように、搬送車１０２が入出庫口１２を通過する前から、図５（ｃ）に示すように、搬送車１０２が入出庫口１２を通過した後のしばらくの間の時間である。ただし、この所定時間は、塵埃が上方から落ちてくることを想定した時間であり、任意に設定可能である。また、所定時間は予め塵埃の落下を検証して設定された時間でもよい。所定時間の経過後、図５（ｄ）に示すように、第２方向Ｄ２への送風量を通常時の送風量に戻す（ステップＳ０６）。
【００３８】
図４に戻り、制御装置ＣＯＮＴ１は、容器６０をストッカ１００に搬入する場合（ステップＳ０３のＹＥＳ）、容器６０の底面６０ｃが第２送風部５５の第２方向Ｄ２上に達するタイミングで、第２方向Ｄ２への送風量を大きくする（ステップＳ０５）。これにより、容器６０の底面６０ｃに付着する塵埃を第２方向Ｄ２に吹き飛ばし、塵埃が庫内に進入するのを抑制できる。第２方向Ｄ２への送風量を、通常時に対してどの程度大きくするかは任意に設定できる。例えば、通常時の１．５倍や２倍などに設定できる。容器６０の通過後、制御装置ＣＯＮＴ１は、第２方向Ｄ２への送風量を通常時の送風量に戻す（ステップＳ０６）。
【００３９】
このステップＳ０２、Ｓ０３、Ｓ５について、容器６０が入出庫口１２から搬入される場合の送風部５０の動作を、図６（ａ）〜（ｃ）を用いて説明する。図６（ａ）に示すように、グリッパ１０２ａが降下している場合、制御装置ＣＯＮＴ１は、搬送車１０２の昇降装置の情報を取得して容器６０がどの高さにあるかを把握している。続いて、図６（ｂ）に示すように、制御装置ＣＯＮＴ１は、グリッパ１０２ａの降下量から、容器６０の底面６０ｃが第２方向Ｄ２に達するタイミングで第２方向Ｄ２への送風量を大きくする（ステップＳ０５）。続いて、図６（ｃ）に示すように、制御装置ＣＯＮＴ１は、底面６０ｃが第２方向Ｄ２を−Ｚ方向に通過した後、第２方向Ｄ２への送風量を通常時の送風量に戻す（ステップＳ０６）。
【００４０】
なお、ステップＳ０５において、容器６０の底面６０ｃが第２方向Ｄ２上に達するタイミングだけでなく、その前後においても送風量を大きくしてもよい。これにより、容器６０の側面や天頂部６０ｂ、蓋部６１、グリッパ１０２ａ等に付着する塵埃を除去することが可能である。また、ステップＳ０５は、搬送車１０２が入出庫口１０２の上方に停止している間において、連続して送風量を大きくしてもよい。
【００４１】
次に、ステップＳ０６で送風量を戻した後、制御装置ＣＯＮＴ１は、ストッカ１００の動作を終了するか否かを判断する（ステップＳ０７）。制御装置ＣＯＮＴ１は、ストッカ１００の動作を終了しない場合（ステップＳ０７のＮＯ）、ステップＳ０１以降の動作を繰り返して実行する。また、制御装置ＣＯＮＴ１は、ストッカ１００の動作を終了する場合（ステップＳ０７のＹＥＳ）、ストッカ１００の動作を終了させる。なお、ステップＳ０２〜Ｓ０６の全部または一部は、省略されてもよい。
【００４２】
このように、第１実施形態によれば、第２送風部５５により入出庫口１２を遮るように送風が形成されるため、入出庫口１２から庫内に塵埃が侵入するのを抑制できる。これにより、ストッカ１００内のクリーン度が低下するのを抑制できる。また、入出庫口１２から庫内に塵埃が侵入した場合であっても、第１送風部５４によって形成される風により塵埃を落とすことができるため、塵埃が容器６０や棚部２０に付着するのを抑制できる。
【００４３】
＜第２実施形態＞  
第２実施形態に係るストッカ２００について、図７を参照して説明する。なお、本実施形態は、送風部２５０の構成が第１実施形態とは異なっており、他の構成については第１実施形態と同様である。以下、第１実施形態との相違点を中心に説明し、第１実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略または簡略化する。図７は、第２実施形態に係るストッカ２００の一例を示す図である。
【００４４】
図７に示すように、ストッカ２００に設けられる送風部２５０は、送風機５１と、フィルタ５２と、風向部材２５３とを有している。風向部材２５３は、送風機５１側に設けられる風受け面２５３ａと、風向部材２５３の表裏を貫通する複数の開口部２５３ｂとが形成される。開口部２５３ｂは、風受け面２５３ａの全体に亘って形成されている。この開口部２５３ｂにより、送風機５１から送風された一部は、開口部２５３ｂを貫通して庫内において第１方向Ｄ１の送風となる。また、送風機５１から送風された残りは、風受け面２５３ａに沿って第２方向Ｄ２に向けられ、入出庫口１２を遮るように送風される。
【００４５】
上記した送風機５１及び風向部材２５３により、送風部５０は、開口部２５３ｂを貫通して庫内の第１方向Ｄ１に送風する第１送風部２５４と、風受け面２５３ａに沿って入出庫口１２を遮るように第２方向Ｄ２に送風する第２送風部２５５とを備えている。なお、送風機５１は、第１送風部２５４と第２送風部２５５とで共通の送風機として用いられる。
【００４６】
このように、第２実施形態によれば、第１実施形態と同様の効果を有する。さらに、開口部２５３ｂを持つ風向部材２５３が用いられるので、第１方向Ｄ１への送風と、第２方向Ｄ２への送風とを、容易かつ確実に形成することができる。
【００４７】
＜第３実施形態＞  
第３実施形態に係るストッカ３００について、図８を参照して説明する。なお、本実施形態は、送風部３５０の構成が第１実施形態とは異なっており、他の構成については第１実施形態と同様である。以下、第１実施形態との相違点を中心に説明し、第１実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略または簡略化する。図８は、第２実施形態に係るストッカ３００の一例を示す図である。
【００４８】
図８に示すように、ストッカ３００に設けられる送風部３５０は、第１送風部３５１及び第２送風部３５２を有している。第１送風部３５１及び第２送風部３５２は、それぞれ個別に送風機３５３、３５５及びフィルタ３５４、３５６を有している。第１送風部３５１の送風機３５３は、第１実施形態と同様、電動モータ等の不図示の駆動源によって回転するファンを有する。このファンは、第１方向Ｄ１（−Ｚ方向）に向けられて配置される。このファンが回転することにより、庫内において第１方向Ｄ１へ向けた送風が形成される。また、フィルタ３５４は、送風機３５３等から発生する塵埃を除去する。
【００４９】
第２送風部３５２の送風機３５５は、電動モータ等の不図示の駆動源によって回転するファンを有する。このファンは、第２方向Ｄ２（−Ｘ方向）に向けられて配置される。このファンが回転することにより、第２方向Ｄ２へ向けた送風が形成される。また、フィルタ３５６は、送風機３５５等から発生する塵埃を除去する。なお、第１送風部３５１と第２送風部３５２の送風機３５５とは同一の部材により構成されてもよく、また、異なる部材によって構成されてもよい。
【００５０】
このように、第３実施形態によれば、第１実施形態と同様の効果を有する。また、送風機３５３、３５５の各動作、例えばファンの単位時間当たりの回転数などは、制御装置ＣＯＮＴ１によって個別に制御可能である。従って、搬送車１０２が入出庫口１２の上方を通過する場合や、容器６０の搬入が行われている場合など、第２方向Ｄ２への送風量を変化させるときでも、第１方向Ｄ１への送風量を変化させないようにすることができる。
【００５１】
＜第４実施形態＞  
第４実施形態に係るストッカ４００について、図９を参照して説明する。なお、本実施形態は、本体部４１０の構成や送風部５０の個数等が第１実施形態とは異なっており、他の構成については第１実施形態と同様である。以下、第１実施形態との相違点を中心に説明し、第１実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略または簡略化する。図９は、第４実施形態に係るストッカ４００の一例を示す図である。  
【００５２】
図９に示すように、ストッカ４００の本体部４１０は、第１実施形態の本体部１０に比べてＹ方向の寸法が長く形成されており、＋Ｘ側及び−Ｘ側の壁部４１１がそれぞれＹ方向に長くなっている。このため、第１実施形態のストッカ１００に比べて、庫内の空間がＹ方向に広くなっている。このストッカ４００には、棚部２０がＹ方向に複数列配置されている。また、本体部４１０の上面には、＋Ｙ側端部及び−Ｙ側端部の２か所に入出庫口４１２ａ、４１２ｂが形成されている。ストッカ４００では、各入出庫口４１２ａ、４１２ｂから容器６０を搬入することが可能となっている。なお、図９では不図示の移載装置は、容器６０をＹ方向にも搬送可能に設けられる。
【００５３】
送風部５０は、本体部４１０の上部において、入出庫口４１２ａ、４１２ｂのそれぞれに対応して設けられている。送風部５０の１つは、入出庫口４１２ａの＋Ｘ側に配置される。送風部５０のもう１つは、入出庫口４１２ｂの＋Ｘ側に配置される。各送風部５０は、第１実施形態と同様に、第１方向Ｄ１に送風する第１送風部５４と、入出庫口１２を遮るように第２方向Ｄ２に送風する第２送風部５５とを備えており、送風機５１、フィルタ５２、及び風向部材５３を有している。各送風部５０の動作は、制御装置ＣＯＮＴ１によって個別に制御されてもよく、また、同時に制御されてもよい。
【００５４】
各送風部５０は、同一の部材によって構成されてもよく、また、異なる部材によって構成されてもよい。また、各送風部５０は、それぞれの第２方向Ｄ２が平行となるように設定されるが、第２方向Ｄ２が互いに異なる方向に設定されてもよい。この場合、第２方向Ｄ２が互いに反対を向くように設定されてもよい。また、２つの送風部５０のいずれか一方は、省略されてもよい。
【００５５】
このように、第４実施形態によれば、第１実施形態と同様の効果を有する。また、複数の入出庫口４１２ａ、４１２ｂを備えるので、容器６０の搬入または搬出箇所が多くなって利便性は向上する。これに伴い、塵埃が庫内に浸入する箇所が多くなるが、入出庫口４１２ａ、４１２ｂのそれぞれに送風部５０を備えるので、庫内への塵埃の浸入を抑制できる。
【００５６】
以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。例えば、上記した実施形態では、第２方向Ｄ２として、入出庫口の上方において入出庫口の開口に沿った方向に設定される構成を例に挙げて説明したが、これに限定するものではなく、入出庫口を遮るように形成されるものであれば、他の方向でもよい。例えば、水平方向に対して上側又は下側に傾いた方向でもよい。
【００５７】
また、上記した実施形態では、移載装置３０として、柱部３１と水平ガイド３２と容器載置部３３とを含む構成を記載しているが、これに限定されない。例えば、多関節アームを備える移載装置が用いられてもよい。また、移載装置３０を備えるか否かは任意であり、移載装置３０がないストッカ１００等でもよい。
【符号の説明】
【００５８】
ＳＹＳ…搬送システム  ＦＬ…床部  ＣＬ…天井部  ＣＯＮＴ１〜ＣＯＮＴ３…制御装置  Ｓ…基板  Ｄ１…第１方向  Ｄ２…第２方向  １０、４１０…本体部  １２、４１２ａ、４１２ｂ…入出庫口  ２０…棚部  ３０…移載装置  ４０…ガス供給部  ５０、２５０、３５０…送風部  ５１、３５３、３５５…送風機  ５３、２５３…風向部材  ５４、２５４、３５１…第１送風部  ５５、２５５、３５２…第２送風部  ６０…容器  ６０Ｋ…収容空間  ６０ｃ…底面  ６３…供給口  ６４…排出口  １００、２００、３００、４００…ストッカ  ２５３ｂ…開口部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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