(57)【要約】【課題】スクリーン印刷において、ペーストポットからのペーストの垂れを防止できるスクリーン印刷装置、ペーストポット及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。【解決手段】ペーストＰｓｔを収容した容器４１及び容器４１内に設けられた中蓋４２から成り、容器４１の底部４１ａに底部４１ａを厚さ方向に貫通する切込み４３が設けられたペーストポット２１を容器４１の底部４１ａが中蓋４２よりも下方に位置する姿勢で保持した状態で中蓋４２を容器４１に対して押し下げる。この間、容器４１内のペーストＰｓｔに生じた圧力によって容器４１の底部４１ａの切込み４３が設けられた部分が下方に押し開かれて開口４４が形成され、その開口４４からペーストＰｓｔが流出する。中蓋４２の押下げを停止すると開口４４が閉じられ、ペーストＰｓｔの流出が停止する。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と接触するマスクプレートと、前記マスクプレート上にペーストを供給するペースト供給部と、前記ペーストが供給された前記マスクプレート上で摺動して前記マスクプレートと接触した基板に前記ペーストを印刷するスキージとを備えたスクリーン印刷装置であって、
前記ペースト供給部は、
前記ペーストを収容した筒状の容器及び前記容器内に設けられた中蓋から成り、前記容器の底部に前記底部を厚さ方向に貫通する切込みが設けられたペーストポットと、
前記容器の底部が前記中蓋よりも下方に位置する姿勢で前記ペーストポットを保持するポット保持部と、
前記ポット保持部に保持された前記ペーストポットの前記中蓋を前記容器に対して押し下げる押下げ手段とを有し、
前記押下げ手段により前記中蓋が前記容器に対して押し下げられている間、前記容器内の前記ペーストに生じた圧力によって前記底部の前記切込みが設けられた部分が下方に押し開かれて開口が形成され、その開口から前記容器内の前記ペーストが前記ペーストポットの下方に流出することを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項２】
前記切込みが直線状に設けられたことを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項３】
前記切込みが十字形に設けられたことを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項４】
前記切込みが曲線状に設けられたことを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項５】
前記切込みが前記容器の前記底部の複数箇所に設けられたことを特徴とする請求項１~４のいずれかに記載のスクリーン印刷装置。
【請求項６】
ペーストを収容した筒状の容器及び前記容器内に設けられた中蓋から成り、前記容器の底部が前記中蓋よりも下方に位置する姿勢で保持された状態で前記中蓋が前記容器に対して押し下げられることでスクリーン印刷装置のマスクプレート上にペーストを供給するペーストポットであって、
前記容器の前記底部に前記底部を厚さ方向に貫通する切込みが設けられており、前記中蓋が前記容器に対して押し下げられている間、前記容器内の前記ペーストに生じた圧力によって前記底部の前記切込みが設けられた部分が下方に押し開かれて開口が形成され、その開口から前記容器内の前記ペーストが前記ペーストポットの下方に流出することを特徴とするペーストポット。
【請求項７】
マスクプレートに基板を接触させるマスク接触工程と、
前記ペーストを収容した容器及び前記容器内に設けられた中蓋から成り、前記容器の底部に前記底部を厚さ方向に貫通する切込みが設けられたペーストポットを前記容器の底部が前記中蓋よりも下方に位置する姿勢で保持した状態で前記中蓋を前記容器に対して押し下げている間、前記容器内の前記ペーストに生じた圧力によって前記底部の前記切込みが設けられた部分を下方に押し開いて開口を形成し、その開口から前記ペーストを前記ペーストポットの下方に流出させることによりマスクプレート上に前記ペーストを供給するペースト供給工程と、
前記ペーストが供給された前記マスクプレート上でスキージを摺動させて前記マスクプレートと接触した前記基板に前記ペーストを印刷する印刷工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスクプレート上でスキージを摺動させて基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置及びこのスクリーン印刷装置に用いられるペーストポット並びにスクリーン印刷方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、スクリーン印刷装置が備えるマスクプレートにペーストを供給する手段として、筒状の容器内にペーストを収容した市販のペーストポットから直接ペーストを押し出すようにしたペースト供給装置が知られている（例えば特許文献１）。このペースト供給装置では、容器の底部に設けた貫通孔が下方を向く姿勢でペーストポットを保持し、シリンダ等によってペーストを押圧して貫通孔から押し出すようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−３６５７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のようにペーストポットからペーストを押し出して供給する構成では、ペーストの流出を止めようとしてペーストの押圧を停止したとしても貫通孔からのペーストの垂れが生じ、これがマスク上に落下すると印刷ムラが発生するおそれがあるという問題点があった。
【０００５】
そこで本発明は、スクリーン印刷において、ペーストポットからのペーストの垂れを防止できるスクリーン印刷装置、ペーストポット及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のスクリーン印刷装置は、基板と接触するマスクプレートと、前記マスクプレート上にペーストを供給するペースト供給部と、前記ペーストが供給された前記マスクプレート上で摺動して前記マスクプレートと接触した基板に前記ペーストを印刷するスキージとを備えたスクリーン印刷装置であって、前記ペースト供給部は、前記ペーストを収容した筒状の容器及び前記容器内に設けられた中蓋から成り、前記容器の底部に前記底部を厚さ方向に貫通する切込みが設けられたペーストポットと、前記容器の底部が前記中蓋よりも下方に位置する姿勢で前記ペーストポットを保持するポット保持部と、前記ポット保持部に保持された前記ペーストポットの前記中蓋を前記容器に対して押し下げる押下げ手段とを有し、前記押下げ手段により前記中蓋が前記容器に対して押し下げられている間、前記容器内の前記ペーストに生じた圧力によって前記底部の前記切込みが設けられた部分が下方に押し開かれて開口が形成され、その開口から前記容器内の前記ペーストが前記ペーストポットの下方に流出する。
【０００７】
本発明のペーストポットは、ペーストを収容した筒状の容器及び前記容器内に設けられた中蓋から成り、前記容器の底部が前記中蓋よりも下方に位置する姿勢で保持された状態で前記中蓋が前記容器に対して押し下げられることでスクリーン印刷装置のマスクプレート上にペーストを供給するペーストポットであって、前記容器の前記底部に前記底部を厚さ方向に貫通する切込みが設けられており、前記中蓋が前記容器に対して押し下げられている間、前記容器内の前記ペーストに生じた圧力によって前記底部の前記切込みが設けられた部分が下方に押し開かれて開口が形成され、その開口から前記容器内の前記ペーストが前記ペーストポットの下方に流出する。
【０００８】
本発明のスクリーン印刷方法は、マスクプレートに基板を接触させるマスク接触工程と、前記ペーストを収容した容器及び前記容器内に設けられた中蓋から成り、前記容器の底部に前記底部を厚さ方向に貫通する切込みが設けられたペーストポットを前記容器の底部が前記中蓋よりも下方に位置する姿勢で保持した状態で前記中蓋を前記容器に対して押し下げている間、前記容器内の前記ペーストに生じた圧力によって前記底部の前記切込みが設けられた部分を下方に押し開いて開口を形成し、その開口から前記ペーストを前記ペーストポットの下方に流出させることによりマスクプレート上に前記ペーストを供給するペースト供給工程と、前記ペーストが供給された前記マスクプレート上でスキージを摺動させて前記マスクプレートと接触した前記基板に前記ペーストを印刷する印刷工程とを含む。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、スクリーン印刷において、ペーストポットからのペーストの垂れを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の平面図
【図２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の側面図
【図３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるペースト供給部の斜視図
【図４】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるペースト供給部の部分斜視図
【図５】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるペースト供給部において使用するペーストポットの斜視図
【図６】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるペースト供給部において使用するペーストポットの容器の部分斜視図
【図７】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるペースト供給部の部分断面側面図
【図８】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるペースト供給部の動作説明図
【図９】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の動作系統を示すブロック図
【図１０】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の動作説明図
【図１１】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるペースト供給部の動作説明図
【図１２】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるペースト供給部の動作説明図
【図１３】（ａ）〜（ｊ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるペーストポットの容器の底部に設けられる切込みのパターンを示す図
【図１４】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるペーストポットの容器の底部に設けられる切込みのパターンを示す図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１及び図２は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置１を示している。スクリーン印刷装置１は外部から投入された基板２を受け取ってその基板２の各電極２ｄにペーストＰｓｔをスクリーン印刷し、図示しない部品実装装置等の他の装置に受け渡す動作を繰り返し実行する。本実施の形態では、作業者ＯＰから見たスクリーン印刷装置１の左右方向をＸ軸方向とする。また、作業者ＯＰから見たスクリーン印刷装置１の前後方向をＹ軸方向とし、作業者ＯＰから見た手前側をスクリーン印刷装置１の前方、奥側を後方とする。上下方向はＺ軸方向とする。
【００１２】
図１及び図２において、スクリーン印刷装置１は基台１１の左側に基板２を搬入する基板搬入コンベア１２を備えており、基台１１の中央部には基板保持部１３を備えている。基板保持部１３は、基板搬入コンベア１２が搬入した基板２を受け取って位置決めする中間コンベア１３ａと、中間コンベア１３ａが位置決めした基板２をクランプして保持する一対のクランパ１３ｂを備えている。基板保持部１３は基板保持部移動機構１３Ｍに駆動されて水平面内方向及び上下方向に移動する。基板保持部１３の上方にはマスクプレート１４が設置されている。マスクプレート１４には、基板２の電極２ｄに対応したパターン開口１４ｈが設けられている。
【００１３】
マスクプレート１４の上方にはＸ軸方向に延びたビーム部材１５が設けられている。ビーム部材１５はスキージ移動機構１５Ｍに駆動されてＹ軸方向に移動する。ビーム部材１５には２つのスキージ１６がＹ軸方向に対向して設けられている。２つのスキージ１６はビーム部材１５に設けられた２つのスキージ昇降シリンダ１７に駆動されて個別に昇降する。ビーム部材１５にはマスクプレート１４上にペーストＰｓｔを供給するペースト供給部１８が設けられている。基台１１の右側には中間コンベア１３ａから受け取った基板２を外部に搬出する基板搬出コンベア１９が設けられている。
【００１４】
図３において、ペースト供給部１８は、ペーストポット２１、ヘッド部２２及びヘッド部移動機構２３を備えている。ペーストポット２１の内部にはペーストＰｓｔが収容されている。ヘッド部２２は、ペーストポット２１を保持してペーストポット２１からペーストＰｓｔを押し出す。ヘッド部移動機構２３は、ヘッド部２２をビーム部材１５の前方においてＸ軸方向に移動させる。
【００１５】
図３において、ヘッド部２２は、ベースプレート３１にポット保持部３２及び押下げシリンダ３３を備えた構成を有する（図４も参照）。ビーム部材１５の前面にはベースガイド３１ａがＸ軸方向に延びて設けられており、ベースプレート３１はベースガイド３１ａに沿ってＸ軸方向に移動自在に設けられている。ヘッド部移動機構２３は、ビーム部材１５上に設けられたモータ２３ａと、モータ２３ａによって駆動されるタイミングベルト２３ｂを備えている。タイミングベルト２３ｂにはベースプレート３１が結合されている。このためモータ２３ａがタイミングベルト２３ｂを駆動すると、その駆動方向に対応した方向（左右方向）にベースプレート３１、すなわちヘッド部２２が移動する。
【００１６】
図５（ａ），（ｂ），（ｃ）において、ペーストポット２１は、ペーストＰｓｔを収容した筒状の容器４１と、容器４１内に設けられた中蓋４２を備える。容器４１の側面には鍔部４１Ｔが設けられている。中蓋４２の外縁には上方に折り返された形状のフランジ部４２ａが形成されている。フランジ部４２ａの外周面は容器４１の内壁に密着しており、中蓋４２はフランジ部４２ａを容器４１の内壁に摺動させながら容器４１内で移動し得る。
【００１７】
容図５（ａ），（ｂ），（ｃ）において、容器４１の底部４１ａには底部４１ａを厚さ方向に貫通する十字形の切込み４３が設けられている（図６（ａ），（ｂ）も参照）。切込み４３はここでは十字形であるが、後述するように、切込み４３の形状は十字形に限定されない。使用前のペーストポット２１の容器４１の開放側の端部にはキャップＣＰが取り付けられており、容器４１の底部４１ａには切込み４３を塞ぐシールＳＨが貼り付けられている（図５（ａ））。
【００１８】
図３及び図４において、ベースプレート３１の前面にはロッドレスシリンダ等から成るポット保持部移動機構３２Ｍが設けられている。このポット保持部移動機構３２Ｍは、ポット保持部３２をベースプレート３１の前面側においてＸ軸方向に移動させる。ポット保持部３２はＸ軸方向に並んだ２つのポット保持筒３２Ｔを備えている。各ポット保持筒３２Ｔは上下方向に貫通する挿入孔３２Ｈを有している。挿入孔３２Ｈの内径はペーストポット２１の容器４１の外径よりもやや大きく、鍔部４１Ｔよりもやや小さい寸法となっている。
【００１９】
ペーストポット２１は、容器４１からキャップＣＰが取り外された後（図５（ａ）→図５（ｂ））、容器４１の底部４１ａからシールＳＨが剥ぎ取られる（図５（ｃ））。そして、容器４１の底部４１ａが中蓋４２よりも下方に位置する姿勢（すなわち底部４１ａが下方を向いた姿勢。図５（ｃ））で、鍔部４１Ｔがポット保持部３２の上面に当接するようにポット保持筒３２Ｔの挿入孔３２Ｈ内に挿入される（図７（ａ）→図７（ｂ））。
【００２０】
挿入孔３２Ｈ内に挿入されてポット保持部３２に保持されたペーストポット２１の容器４１は、その側面のほぼ全域が挿入孔３２Ｈ内に位置し、ポット保持筒３２Ｔによって、半径方向（水平面内方向）への膨張が規制された状態となる（図７（ｂ））。このため後述するように、容器４１に対して中蓋４２を下方に押圧して容器４１内を加圧した場合であっても容器４１は膨れず、加圧を止めても容器４１内に圧力が残存しない。
【００２１】
図４において、押下げシリンダ３３はピストンロッド３３ａを下方に向けた姿勢でベースプレート３１の前面に設けられている。ピストンロッド３３ａの下端には円盤状の押圧部材３３ｂが水平姿勢で取り付けられている。押下げシリンダ３３はポット保持部３２に保持されたペーストポット２１の中蓋４２を容器４１に対して押し下げる押下げ手段である。
【００２２】
押下げシリンダ３３の直下にペーストポット２１が位置した状態で押下げシリンダ３３が押圧部材３３ｂを下降させると（図８（ａ）中に示す矢印Ａ１）、押圧部材３３ｂはペーストポット２１の中蓋４２を容器４１に対して押し下げる。これより容器４１内のペーストＰｓｔは加圧され、容器４１の一部（底部４１ａの切込み４３が設けられた部分）が下方に押し開かれて開口４４し（図６（ａ）→図６（ｂ））、その開口４４から容器４１内のペーストＰｓｔがペーストポット２１の下方に流出する（図８（ａ））。ペーストＰｓｔが加圧されている間、ペーストＰｓｔは流出し続ける。押圧部材３３ｂの下降を停止させてペーストＰｓｔの加圧を止めると、底部４１ａの下方に押し開かれた部分は元の状態に戻り（図６（ｂ）→図６（ａ））、開口４４は閉じられて、ペーストＰｓｔの流出は停止する（図８（ｂ））。
【００２３】
なお、上記のように、押圧部材３３ｂの下降を停止させてペーストＰｓｔの加圧を止めた場合にペーストポット２１からペーストＰｓｔの流出が停止するようにするためには、加圧を止めた容器４１内に圧力が残存しないようにする必要がある。本実施の形態では前述のように、容器４１の膨張をポット保持筒３２Ｔによって規制することでこれを実現しているが、容器４１の側面自体を剛な材料から構成することで同様の効果が得られる。
【００２４】
スクリーン印刷装置１において、基板搬入コンベア１２による基板２の搬入動作、基板保持部１３による基板２の保持動作、基板保持部移動機構１３Ｍによる基板保持部１３の移動動作はスクリーン印刷装置１が備える制御装置２０が制御する（図９）。また、スキージ移動機構１５Ｍによるビーム部材１５の（すなわちスキージ１６の）移動動作、スキージ昇降シリンダ１７によるスキージ１６の昇降動作、ペースト供給部１８によるマスクプレート１４上へのペーストＰｓｔの供給動作及び基板搬出コンベア１９による基板２の搬出動作も制御装置２０が制御する（図９）。
【００２５】
このような構成のスクリーン印刷装置１により基板２にスクリーン印刷を施す場合には、先ず、基板搬入コンベア１２が作動して外部から投入された基板２を搬入する。そして、その搬入した基板２を基板保持部１３の中間コンベア１３ａが受け取って、クランパ１３ｂが保持する。クランパ１３ｂが基板２を保持したら、基板保持部移動機構１３Ｍに駆動された基板保持部１３が移動して、基板２をマスクプレート１４の下面に接触させる（図１０（ａ）。マスク接触工程）。そして、必要に応じ、前述の要領にてペースト供給部１８からマスクプレート１４上にペーストＰｓｔを供給する。具体的には、ペースト供給部１８は、ペーストポット２１を容器４１の底部４１ａが中蓋４２よりも下方に位置する姿勢で保持した状態で中蓋４２を容器４１に対して押し下げている間（図１１（ａ）中に示す矢印Ａ１）、容器４１内のペーストＰｓｔに生じた圧力によって容器４１の底部４１ａの切込み４３が設けられた部分を下方に押し開いて開口４４を形成し、その開口４４からペーストＰｓｔをペーストポット２１の下方に流出させることにより、マスクプレート１４上にペーストＰｓｔを供給する（図１１（ａ）。ペースト供給工程）。
【００２６】
ペースト供給工程では、マスクプレート１４と接触した一方のクランパ１３ｂ上にペーストＰｓｔを供給する。このときペーストポット２１からペーストＰｓｔを流出させながら、ヘッド部移動機構２３によってヘッド部２２をＸ軸方向に往復移動させる。これによりペーストＰｓｔはスキージ１６の延びる方向に広がった広範囲な領域に供給される。
【００２７】
マスク接触工程の後、ペーストＰｓｔが供給されたマスクプレート１４上でスキージ１６を摺動させて、マスクプレート１４と接触した基板２にペーストＰｓｔを印刷する（印刷工程）。具体的には、スキージ昇降シリンダ１７により一方のスキージ１６を下降させてそのスキージ１６の下端をマスクプレート１４に接触させた後、スキージ移動機構１５Ｍによりビーム部材１５をＹ軸方向に移動させる（図１０（ｂ）中に示す矢印Ｂ）。これによりスキージ１６がマスクプレート１４上で摺動し、ペーストＰｓｔがパターン開口１４ｈ内に充填されて、基板２にペーストＰｓｔが印刷される。
【００２８】
基板２にペーストＰｓｔを印刷したら、基板保持部移動機構１３Ｍが基板保持部１３を下降させ、基板２をマスクプレート１４から離間（版離れ）させる。版離れが終わったら、基板搬出コンベア１９が基板２を外部に搬出する。
【００２９】
前述のペースト供給工程において、中蓋４２が容器４１の底部４１ａに当接してペーストＰｓｔを押し出すことができなくなったら（図１１（ｂ））、押下げシリンダ３３が作動して押圧部材３３ｂを上昇させる（図１２（ａ）。図中に示す矢印Ａ２）。そして、ポット保持部移動機構３２Ｍがポット保持部３２をＸ軸方向に移動させ、それまで押下げシリンダ３３の直下にあったペーストポット２１を隣の待機位置に移動させる（図１２（ｂ））。待機位置に移動した使用済みのペーストポット２１をポット保持筒３２Ｔから取り外し、そのポット保持筒３２Ｔに新しいペーストポット２１を取り付けることによって、ペースト供給部１８によるペーストＰｓｔの供給を継続することができる。２つのポット保持筒３２Ｔに予め２つのペーストポット２１を取り付けておけば、使用済みのペーストポット２１を待機位置に移動させたときにもう一つの（未使用の）ペーストポット２１が押下げシリンダ３３の直下に位置するので、ペーストポット２１の交換作業中もペーストＰｓｔの供給作業が停滞しない。使用済みのペーストポット２１は容器４１内に中蓋４２が入った状態のまま廃棄することができる。
【００３０】
以上説明したように、スクリーン印刷装置１が備えるペースト供給部１８は、ペーストポット２１の容器４１の底部４１ａに底部４１ａを厚さ方向に貫通する切込み４３を有しており、中蓋４２が容器４１に対して押し下げられると、容器４１内のペーストＰｓｔに生じた圧力によって容器４１の底部４１ａの切込み４３が設けられた部分が下方に押し開かれて開口４４が形成され、その開口４４からペーストＰｓｔが流出する。この開口４４は中蓋４２の押下げを停止すると閉じられてペーストＰｓｔの流出が停止するので、ペーストＰｓｔは押下げシリンダ３３により中蓋４２が容器４１に対して押し下げられている間のみ、ペーストポットの下方に流出することになる。すなわち本実施の形態におけるスクリーン印刷装置１では、ペーストＰｓｔの供給及び停止を押下げシリンダ３３によってコントロールすることができ、スクリーン印刷において、ペーストポット２１からのペーストＰｓｔの垂れを防止することができる。
【００３１】
なお、上述の実施の形態では、容器４１の底部４１ａに設けられる切込み４３は２つの直線が直交した十字形であったが、切込み４３の形状は十字形に限られない。すなわち切込み４３は、例えば図１３（ａ）〜（ｈ）に示すように、一つ又は複数の直線によって形成してもよいし、例えば図１３（ｉ），（ｊ）に示すように、一つ又は複数の曲線によって形成してもよい。更に、切込み４３を設ける箇所は、前述の実施の形態に示したように容器４１の底部４１ａに対して１箇所に限られるものではなく、図１４（ａ）〜（ｄ）に示すように、容器４１の底部４１ａに切込み４３を複数箇所設けるようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
スクリーン印刷において、ペーストポットからのペーストの垂れを防止できるスクリーン印刷装置、ペーストポット及びスクリーン印刷方法を提供する。
【符号の説明】
【００３３】
１  スクリーン印刷装置
２  基板
１４  マスクプレート
１６  スキージ
１８  ペースト供給部
２１  ペーストポット
３２  ポット保持部
３３  押下げシリンダ（押下げ手段）
４１  容器
４１ａ  底部
４２  中蓋
４３  切込み
４４  開口
Ｐｓｔ  ペースト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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