(57)【要約】【課題】アーム部の動きを阻害することなく、耐久性の高い新規な移載ロボットのエア通路構造を提供すること。【解決手段】位置固定された固定部１１に対して、一端が第１垂直軸線及び第１水平軸線回りに回動可能に連結された第１通気部材１３と、前記第１通気部材１３の他端に対して一端が前記第１水平軸線と平行な第２水平軸線回りに回動可能に連結され、前記吸着手段２１に対して他端が前記第１水平軸線と平行な第３水平軸線及び第２垂直軸線回りに回動可能に連結された第２通気部材１５と、を含んだリンク機構を備え、前記第１通気部材１３と前記第２通気部材１５と前記吸着手段２１とは、空気通路が密閉性をもって連通され、前記リンク機構により前記吸着手段２１の移動に追従して前記第２通気部材１５の他端が任意の方向に移動可能である移載ロボット２のエア通路構造とする。【選択図】図１
2016059998.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品を吸着保持可能な吸着手段を備えた移載ロボットのエア通路構造であって、
位置固定された固定部に対して、一端が第１垂直軸線及び第１水平軸線回りに回動可能に連結された第１通気部材と、
前記第１通気部材の他端に対して一端が前記第１水平軸線と平行な第２水平軸線回りに回動可能に連結され、前記吸着手段に対して他端が前記第１水平軸線と平行な第３水平軸線及び第２垂直軸線回りに回動可能に連結された第２通気部材と、
を含んだリンク機構を備え、
前記第１通気部材と前記第２通気部材と前記吸着手段とは、空気通路が密閉性をもって連通され、前記リンク機構により前記吸着手段の移動に追従して前記第２通気部材の他端が任意の方向に移動可能である移載ロボットのエア通路構造。
【請求項２】
前記固定部に取り付けられ、前記第１通気部材の空気通路と吸引源接続部位の空気通路とを密閉性をもって連通させる第１関節部と、
前記第１通気部材の空気通路と前記第２通気部材の空気通路とを密閉性をもって連通させる第２関節部と、
前記第２通気部材の空気通路と前記吸着手段の空気通路とを密閉性をもって連通させる第３関節部とを備え、
前記第１関節部は、回動可能に支持される第１垂直軸を備えるとともに、前記第１垂直軸の端部に固定された支持部において回動可能に支持される第１水平軸を備え、前記第１水平軸の端部に一端が固定された前記第１通気部材を水平方向及び垂直方向に回動させることが可能となるように構成されており、
前記第２関節部は、前記第１通気部材の他端又は前記第２通気部材の一端に取り付けられる第２水平軸を備えるとともに、前記第２水平軸は回動可能に支持され、前記第２水平軸の端部に固定された前記第２通気部材又は前記第１通気部材を垂直方向に回動させることが可能となるように構成されており、
前記吸着手段の空気通路接続部位に取り付けられる前記第３関節部は、回動可能に支持される第２垂直軸を備えるとともに、前記第２垂直軸の端部に固定された支持部において回動可能に支持される第３水平軸を備え、前記第３水平軸の端部に固定された前記第２通気部材を水平方向及び垂直方向に回動可能とすることにより、前記第２通気部材の他端を任意の方向に移動可能である請求項１に記載の移載ロボットのエア通路構造。
【請求項３】
前記第１通気部材と前記第２通気部材とを含んだリンク機構は、前記第２関節部が前記第１関節部と前記第３関節部とを結ぶ直線よりも常に上方に突出するように屈曲する請求項２に記載の移載ロボットのエア通路構造。
【請求項４】
前記吸着手段の吸引用の空気通路接続部位は、前記吸着手段本体から水平方向に所定の距離だけ離間して空気通路の開口部を有し、該開口部に前記第３関節部の空気通路が連通する請求項３に記載の移載ロボットのエア通路構造。
【請求項５】
前記移載ロボットはパラレルリンクロボットである請求項１乃至４の何れか１項に記載の移載ロボットのエア通路構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着手段を有する移載ロボットのエア通路構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、作業対象物の移動やハンドリングにロボットが使用されており、このようなロボットは移載ロボットなどと称されている。特許文献１には、このような移載ロボットの一つであるパラレルリンクロボットについて記載されている。パラレルリンクロボットは、ロボットを固定するベースと、エンドエフェクタが取り付けられる移動部材と、これらの間を連結する複数の駆動アーム及び受動アームとで構成される。ベースには複数のアクチュエータが並設され、それぞれのアクチュエータが対応する駆動アームを動かすことにより、移動部材を３次元空間内の任意の位置に移動させる。作業対象物を保持するエンドエフェクタの一つとして、吸引ブロワなどの真空発生装置により発生させた吸引力を利用する手段が知られている。特許文献１に記載されている移載ロボットは、アーム部より上方に配設された吸引ブロワを用いてアーム部の下端付近に取り付けられた吸着手段に吸引力を発生させるように構成されている。吸引ブロワと吸着手段との間はエアホースで接続されているが、当該エアホースをアーム部に沿うように配設している。作業対象物を移動させる際には当該アーム部を動かす必要があるが、アーム部の動きにエアホースが追従することを可能とするために、エアホースの中間部は可撓性を備えた構造となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−３９６５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような移載ロボットであるとエアホースがアーム部の動きを阻害する虞があった。また、長時間稼動して幾度も可撓性のエアホースが屈曲すると、エアホースが損傷する虞があった。
【０００５】
本発明は、上記した点に鑑みて創案されたものであって、本発明が解決しようとする課題はアーム部の動きを阻害することなく、耐久性の高い新規な移載ロボットのエア通路構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は次の手段をとる。先ず、第１の発明は、物品を吸着保持可能な吸着手段（２１）を備えた移載ロボット（２）のエア通路構造であって、位置固定された固定部（１１）に対して、一端が第１垂直軸線（Ｖ１）及び第１水平軸線（Ｈ１）回りに回動可能に連結された第１通気部材（１３）と、前記第１通気部材（１３）の他端に対して一端が前記第１水平軸線（Ｈ１）と平行な第２水平軸線（Ｈ２）回りに回動可能に連結され、前記吸着手段（２１）に対して他端が前記第１水平軸線（Ｈ１）と平行な第３水平軸線（Ｈ３）及び第２垂直軸線（Ｖ２）回りに回動可能に連結された第２通気部材（１５）と、を含んだリンク機構を備え、前記第１通気部材（１３）と前記第２通気部材（１５）と前記吸着手段（２１）とは、空気通路が密閉性をもって連通され、前記リンク機構により前記吸着手段（２１）の移動に追従して前記第２通気部材（１５）の他端が任意の方向に移動可能である移載ロボット（２）のエア通路構造である。
【０００７】
なお、本明細書で意味するところの「密閉性をもって連通する」とは、互いの部材の内部に位置する空気を吸引源（５）を用いて引き込むことが可能なように連結されていることを意味している。したがって、吸着手段（２１）以外から空気通路内に空気が進入することを許容しない状態で連通することを含むことは勿論のこと、吸着手段（２１）以外からも空気通路内に多少空気が侵入する状態で連通することを含むものである。但し、実質的に吸着手段（２１）を機能させることが不可能な程度まで吸着手段（２１）以外から空気通路内に空気が侵入するようなものは含まれない。
【０００８】
この第１の発明によれば、空気通路を構成する部材自身でリンク機構を構成する構造になっているため、空気通路をアーム部（２４）に沿って固定することなく吸着手段（２１）の移動に追従させて負圧を供給することが可能となる。したがって、アーム部（２４）の動きを阻害することが抑制される。また、可撓性のエアホースに変えて剛性のある部材を空気通路として使用することができるので、曲げや捩れによる損傷が抑制され耐久性を高めることが可能となり得る。
【０００９】
第２の発明は、第１の発明において、前記固定部（１１）に取り付けられ、前記第１通気部材（１３）の空気通路（Ａｒ６）と吸引源接続部位（１１２）の空気通路（Ａｒ１）とを密閉性をもって連通させる第１関節部（１２）と、前記第１通気部材（１３）の空気通路（Ａｒ６）と前記第２通気部材（１５）の空気通路（Ａｒ９）とを密閉性をもって連通させる第２関節部（１４）と、前記第２通気部材（１５）の空気通路（Ａｒ９）と前記吸着手段（２１）の空気通路（Ａｒ１４）とを密閉性をもって連通させる第３関節部（１６）とを備え、前記第１関節部（１２）は、回動可能に支持される第１垂直軸（１２２）を備えるとともに、前記第１垂直軸（１２２）の端部に固定された支持部において回動可能に支持される第１水平軸（１２４）を備え、前記第１水平軸（１２４）の端部に一端が固定された前記第１通気部材（１３）を水平方向及び垂直方向に回動させることが可能となるように構成されており、前記第２関節部（１４）は、前記第１通気部材（１３）の他端又は前記第２通気部材（１５）の一端に取り付けられる第２水平軸（１４１）を備えるとともに、前記第２水平軸（１４１）は回動可能に支持され、前記第２水平軸（１４１）の端部に固定された前記第２通気部材（１５）又は前記第１通気部材（１３）を垂直方向に回動させることが可能となるように構成されており、前記吸着手段（２１）の空気通路接続部位（２１２）に取り付けられる前記第３関節部（１６）は、回動可能に支持される第２垂直軸（１６３）を備えるとともに、前記第２垂直軸（１６３）の端部に固定された支持部において回動可能に支持される第３水平軸（１６１）を備え、前記第３水平軸（１６１）の端部に固定された前記第２通気部材（１５）を水平方向及び垂直方向に回動可能とすることにより、前記第２通気部材（１５）の他端を任意の方向に移動可能である移載ロボット（２）のエア通路構造である。
【００１０】
この第２の発明によれば、密閉性をもって空気通路を接続でき、かつ、水平方向と垂直方向に回動可能な関節部を提供することが可能となる。
【００１１】
第３の発明は、第２の発明において、前記第１通気部材（１３）と前記第２通気部材（１５）とを含んだリンク機構は、前記第２関節部（１４）が前記第１関節部（１２）と前記第３関節部（１６）とを結ぶ直線（Ｓ）よりも常に上方に突出するように屈曲するように構成された移載ロボット（２）のエア通路構造である。
【００１２】
この第３の発明によれば、関節部が上方に向かって折れ曲がるので、通気部材が作業スペースと干渉することが回避可能となり得る。
【００１３】
第４の発明は、第３の発明において、前記吸着手段（２１）の吸引用の空気通路接続部位（２１２）は、前記吸着手段本体（２１１）から水平方向に所定の距離だけ離間して空気通路（Ａｒ１４）の開口部（７７）を有し、該開口部（７７）に前記第３関節部（１６）の空気通路（Ａｒ１３）が連通するように構成された移載ロボット（２）のエア通路構造である。
【００１４】
この第４の発明によれば、第３関節部（１６）は吸着手段（２１）やアーム部（２４）に干渉しない距離だけ離間して取り付けられているので、アーム部（２４）の動きを阻害することが無い。従って、アーム部（２４）にぶつかって通気部材が損傷することが抑制され得る。
【００１５】
第５の発明は、第１乃至第４の発明において、前記移載ロボット（２）はパラレルリンクロボットである移載ロボット（２）のエア通路構造である。
【００１６】
この第５の発明によれば、通気部材の荷重は固定部（１１）とアーム部（２４）に分散され、アーム部（２４）にかかる荷重は各アーム部（２４）に分散されるので、従来のように一つのアーム部（２４）に荷重が集中することが抑制される。したがって、アーム部（２４）の動きが阻害されることを抑制することが可能となり得る。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、アーム部の動きを阻害することなく、耐久性の高い新規な移載ロボットのエア通路構造を提供するこが可能となり得る。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】実施例の移載ロボットに取り付けられたエア通路構造の左側面図である。
【図２】図１のII-II矢視図である。
【図３】図２のIII-III矢視図である。
【図４】第１関節部周りについて一部内部構造を示した左側面図である。
【図５】第１関節部周りについて一部内部構造を示した前側面図である。
【図６】第２関節部周りについて一部内部構造を示した前側面図である。
【図７】図１のＶＩＩ−ＶＩＩ矢視における第３関節部周りの断面図である。
【図８】第３関節部及び吸着手段周りについて一部内部構造を示した左側面図である。
【図９】変形例の移載ロボットに取り付けられたエア通路構造の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下に、本発明を実施するための形態について、適宜図面を用いながら説明する。なお、本明細書における前後方向、上下方向、左右方向などの方向は、説明の都合上、図１などに示したＸが前方向、Ｙが左方向、Ｚが上方向と規定する。
【実施例】
【００２０】
エア通路構造は、移載ロボット２に接続して使用される。図１に示すように、本実施例においては、移載ロボット２の中でもパラレルリンクロボットに接続するものとして説明する。
【００２１】
パラレルリンクロボットは所定箇所に固定されるベース部２６と、当該ベース部２６よりも下方に位置する移動部材２２を備えるものであり、当該ベース部２６と移動部材２２は屈曲可能なアーム部２４により接続されており、移動部材２２にはエンドエフェクタとして吸着手段２１が取り付けられている。本実施例のパラレルリンクロボットはベース部２６が支持フレーム９の上部に固定されており、平面視で放射方向に伸びるように設けられた３つのアーム部２４がベース部２６に対して相対移動可能に取り付けられている。
【００２２】
アーム部２４はそれぞれ一つの駆動アーム２４１と二つの受動アーム２４２を備えている。各々の駆動アーム２４１は、ベース部２６に対して回動可能であるとともに、図示しないアクチュエータがそれぞれ対となるように接続されている。当該アクチュエータをそれぞれ操作することで駆動アーム２４１の位置を個別に調整することが可能である。
【００２３】
受動アーム２４２は、両端に設けたボール継ぎ手を介して、駆動アーム２４１及び移動部材２２に相対移動可能に連結している。受動アーム２４２と移動部材２２は三本の駆動アーム２４１との相対的な関係にあわせて移動するものであり、三本の駆動アーム２４１を移動させることにより、図２に示すように移動部材２２及び吸着手段２１を水平方向及び垂直方向に平行移動させることが可能である。
【００２４】
本実施例の吸着手段２１は、吸着チャンバーや吸着パッドなどを備えた吸着手段本体２１１と、吸着手段本体２１１とエア通路構造を接続する空気通路接続部位２１２を備えている。吸着手段本体２１１は、その下端側で作業対象物Ｗが密着した状態を保持することが可能であり、その上端側が移動部材２２に取り付けられている。吸着手段２１はエア通路構造に接続されており、当該エア通路構造の一端側には吸引源５が接続されている。前記吸引源５によりもたらされる吸引力により、吸着手段２１に作業対象物Ｗを吸着させることが可能である。なお、図示しない開閉バルブにより、吸引源５への吸引経路がエア通路構造を経由しない大気側に切り換えられると、作業対象物Ｗは図１の二点鎖線で示すように吸着手段２１より離れることが可能となる。
【００２５】
次に吸着手段２１を備えた移載ロボット２に接続されるエア通路構造について説明する。本実施例のエア通路構造は、図１乃至３に示すように、位置固定された固定部１１に回動可能に連結された第１通気部材１３と、第１通気部材１３に対して回動可能に連結された第２通気部材１５と、を含んだリンク機構を備えている。つまり、第１通気部材１３と第２通気部材１５をリンク（節）として含んだリンク機構である。当該リンク機構により、前記吸着手段２１の移動に追従して前記第２通気部材１５の端部が任意の方向に移動することが可能となっている。第１通気部材１３には、貫通孔により形成された空気通路Ａｒ６を備えており、第２通気部材１５にも貫通孔により形成された空気通路Ａｒ９を備えている。移載ロボット２に備えられた吸着手段２１にも空気通路Ａｒ１４が備えられており、第１通気部材１３の空気通路Ａｒ６と第２通気部材１５の空気通路Ａｒ９と吸着手段２１の空気通路Ａｒ１４とは密閉性をもって連通されている。
【００２６】
本実施例のエア通路構造について、より詳細に説明する。吸着手段２１に負圧を供給するために使用されるエア通路構造は、支持フレーム９に対して相対移動不能な状態で取り付けることが可能な固定部１１に接続された第１関節部１２と、第１関節部１２によって水平方向と垂直方向に回動可能に接続された第１通気部材１３と、吸着手段２１に備えられた吸引用の空気通路接続部位２１２に接続された第３関節部１６と、第３関節部１６によって水平方向と垂直方向に回動可能に接続された第２通気部材１５と、第１通気部材１３と第２通気部材１５とを垂直方向に回動可能に接続する第２関節部１４と、でリンク機構が構成されている。なお、固定部１１は、第１関節部１２を支持フレーム９に固定するホルダを含む。固定部１１、第１関節部１２、第１通気部材１３、第２関節部１４、第２通気部材１５、第３関節部１６及び吸着手段２１は各々空気通路を備えており、各空気通路が密閉性をもって連通される。当該エア通路構造は、吸引源５と吸着手段２１との間に介在するように連結され、吸引源５がもたらす吸引力により吸着手段２１に負圧を発生させることを可能としている。
【００２７】
第１通気部材１３及び第２通気部材１５は、その長手方向に沿った空気通路を備えている。本実施例においては、断面が略四角形となる角筒状のステンレスにより通気部材が構成されている。なお、通気部材の形状や材質は実施例にとらわれる必要性は無い。例えば、通気部材の形状は角筒状ではなく、円筒状など、各種形態を採用することが可能である。通気部材の材質としては金属、硬質プラスチック、ＦＲＰ、又はカーボン樹脂など、剛性を有し通常使用時において変形しない材質を採用すればよい。
【００２８】
エア通路構造は、図１に示すように、前記第２関節部１４が前記第１関節部１２と前記第３関節部１６とを結ぶ直線Ｓよりも常に上方に突出するように屈曲する状態となることが好ましい。作業領域が吸着手段２１より下方にある場合は、第２関節部１４が下方に屈曲すると、作業領域に干渉する虞があるからである。作業領域に干渉しないのであれば第２関節部１４の屈曲方向は特に限定されない。本実施例の場合、吸着手段２１の移動可能範囲内で第１通気部材１３と第２通気部材１５のなす角度θが１８０度にならないように第１通気部材１３の長さと第２通気部材１５の長さが設定されている。なお、固定部１１はパラレルリンクロボットの可動部の移動軌跡範囲外にあるのが好ましい。
【００２９】
次に、第１関節部１２について説明する。図４及び図５に示すように、第１関節部１２は、固定部１１に固定された第１ハウジング１２１と、第１ハウジング１２１に回動可能に支持された第１垂直軸１２２と、第１垂直軸１２２の端部に固定された第２ハウジング１２３と、第２ハウジング１２３に回動可能に支持された第１水平軸１２４とで構成される。第１垂直軸１２２は第１垂直軸線Ｖ１を中心に回動可能となっている。また、第１水平軸１２４は第１水平軸線Ｈ１を中心に回動可能となっている。
【００３０】
第１ハウジング１２１は、内部が密閉性をもった小室になっており、空気通路Ａｒ２が形成されている。前記第１ハウジング１２１は、一端側が閉じられた中空の第１垂直軸１２２を貫通させた状態で回動可能に支持する支持部として機能する。第１垂直軸１２２の側壁には開いた孔ｈ１が設けられており、当該孔ｈ１を介して第１垂直軸１２２の空気通路Ａｒ３と第１ハウジング１２１の空気通路Ａｒ２が連通される。また第１ハウジング１２１は、固定部１１に付設されている吸引源接続部位１１２などに設けられた空気通路Ａｒ１により吸引源５と連通される。なお、本実施例においては吸引源接続部位１１２と吸引源５との間にはホース６２が接続されている。
【００３１】
第１垂直軸１２２は、第２ハウジング１２３に他端が固定されており、第２ハウジング１２３の空気通路Ａｒ４と第１垂直軸１２２の空気通路Ａｒ３は連通されている。
【００３２】
第２ハウジング１２３は、内部が密閉性をもった小室になっており、空気通路Ａｒ４を備えている。第２ハウジング１２３は、中空の第１水平軸１２４を貫通させた状態で、回動可能に支持している。第１垂直軸１２２の側壁に設けられた孔ｈ２を介して、第１垂直軸１２２の空気通路Ａｒ３と第２ハウジング１２３の空気通路Ａｒ４が連通されている。また、第１水平軸１２４の側壁に設けられた孔ｈ３を介して、第１水平軸１２４の空気通路Ａｒ５と第２ハウジング１２３の空気通路Ａｒ４が連通されている。
【００３３】
第１水平軸１２４の一端が第１通気部材１３の一端に固定されることにより、固定部１１と第１通気部材１３は第１関節部１２により連結される。これにより、第１通気部材１３は第１水平軸１２４により垂直方向に回動可能とされているとともに、第１垂直軸１２２により水平方向に回動可能とされている。なお、第１水平軸１２４の側壁に設けられた孔ｈ４を介して、第１水平軸１２４の空気通路Ａｒ５と第１通気部材の空気通路Ａｒ６が連通されている。
【００３４】
次に第２関節部１４について説明する。図６に示すように、第２関節部１４は、一端が第１通気部材１３の他端に固定された第２水平軸１４１と、第２水平軸１４１を回動可能に支持する第３ハウジング１４２とで構成されている。第２水平軸１４１は第２水平軸線Ｈ２を中心に回動可能である。
【００３５】
第２水平軸１４１はその長手方向が第１水平軸１２４の長手方向と平行となるように配置されている。また、その両端が閉じられている第２水平軸１４１は、中空になっているとともに、開かれた孔ｈ５が設けられ、第１通気部材１３の空気通路Ａｒ６と第２水平軸１４１の空気通路Ａｒ７とが連通される。
【００３６】
第３ハウジング１４２は、内部が密閉性をもった小室になっており空気通路Ａｒ８を備えている。第３ハウジング１４２は、中空の第２水平軸１４１を貫通させた状態で、回動可能に支持している。第２水平軸１４１の側壁に設けられた孔ｈ６を介して、第２水平軸１４１の空気通路Ａｒ７と第３ハウジング１４２の空気通路Ａｒ８が連通される。また、第３ハウジング１４２には第２通気部材１５の一端が固定され、第２通気部材１５の空気通路Ａｒ９と第３ハウジング１４２の空気通路Ａｒ８が連通される。これにより、第２通気部材１５は第１通気部材１３に対して相対的に垂直方向に回動することが可能な構成となっている。なお、第２関節部１４は、第３ハウジング１４２に第１通気部材１３の他端を固定し、第２水平軸１４１の一端に第２通気部材１５の一端を固定した構成としても良い。
【００３７】
次に第３関節部１６について説明する。図７及び図８に示すように、第３関節部１６は、一端が第２通気部材１５の他端に固定された第３水平軸１６１と、第３水平軸１６１を回動可能に支持する支持部となる第４ハウジング１６２と、第４ハウジング１６２に一端が固定された第２垂直軸１６３と、第２垂直軸１６３を回動可能に支持する第５ハウジング１６４とで構成されている。第３水平軸１６１は第３水平軸線Ｈ３を中心に回動可能である。また、第２垂直軸１６３は第２垂直軸線Ｖ２を中心に回動可能である。
【００３８】
第３水平軸１６１の長手方向は、第１水平軸１２４の長手方向と平行となるように位置している。また、その両端が閉じられている第３水平軸１６１は、中空になっているとともに、開かれた孔ｈ７が設けられ、第２通気部材１５の空気通路Ａｒ９と第３水平軸１６１の空気通路Ａｒ１０とが連通される。
【００３９】
第４ハウジング１６２は、内部が密閉性をもった小室になっており、空気通路Ａｒ１１を備えている。第４ハウジング１６２は、中空の第３水平軸１６１を貫通させた状態で、回動可能に支持している。第３水平軸１６１の側壁に設けられた孔ｈ８を介して、第３水平軸１６１の空気通路Ａｒ１０と第４ハウジング１６２の空気通路Ａｒ１１が連通される。
【００４０】
第２垂直軸１６３はその長手方向が第１垂直軸１２２の長手方向と平行となるように位置している。また、その一端が閉じられている第２垂直軸１６３は、中空になっているとともに、第４ハウジング１６２の空気通路Ａｒ１１と第２垂直軸１６３の空気通路Ａｒ１２とが連通されている。
【００４１】
第５ハウジング１６４は、内部が密閉性をもった小室になっており、空気通路Ａｒ１３を備えている。第５ハウジング１６４は、中空の第２垂直軸１６３を貫通させた状態で、回動可能に支持している。第２垂直軸１６３の側壁に設けられた孔ｈ９を介して、第２垂直軸１６３の空気通路Ａｒ１２と第５ハウジング１６４の空気通路Ａｒ１３が連通されている。また、吸着手段２１に備えられた空気通路接続部位２１２に対して固定され、吸着手段２１の空気通路Ａｒ１４と第５ハウジング１６４の空気通路Ａｒ１３が連通される。なお、空気通路接続部位２１２に設けられた開口部７７は吸着手段本体２１１から水平方向に所定の距離だけ離間している。すなわち、第３関節部１６は吸着手段２１やアーム部２４に干渉しない距離だけ離間して取り付けられているので、アーム部２４の動きを阻害することが無い。従って、アーム部２４にぶつかって通気部材が損傷することが抑制され得る。
【００４２】
第３関節部１６を介して吸着手段２１に連結された第２通気部材１５は、第３水平軸１６１により垂直方向に回動可能となるとともに、第２垂直軸１６３により水平方向に回動可能となる。
【００４３】
本実施例のエア通路構造は上記した構成である。したがって、エア通路構造は第１関節部１２を支点として、第３関節部１６を吸着手段２１の移動に追従させて任意の方向に移動させることが可能となる。
【００４４】
本実施例のエア通路構造は、支持フレーム９の上部に取り付けられるパラレルリンクロボットのベース部２６より下方の位置に吸引源５を固定している。しかも固定部１１に隣接して吸引源５を配置することが可能となっている。したがって、固定部１１に付設されている吸引源接続部位１１２と吸引源５との距離を短くすることが可能となり、その間をつなぐ通気管を短くすることが可能となる。また、吸引源５の配置位置を低くすることが可能であるため、吸引源５及びそれに付属する機械の設置やメンテナンスを容易にすることが可能となる。
【００４５】
「変形例」
上記実施例は、移載ロボット２をパラレルリンクロボットとして説明したが、上記ロボットに限られる必要性は無く、多関節ロボットなどにすることも可能である。例えば、図９に示すように、垂直多関節ロボットに適用することも可能である。変形例における垂直多関節ロボットは、支持ベース７２と吸着手段２１との間において上下方向に揺動可能な複数のアーム７４が直列状に順次連結されたロボットである。
【００４６】
以上、一つの実施例及び一つの変形例を用いて実施の形態を説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されること無く、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜変更可能である。
【００４７】
例えば、板状の部材に比較的小さな径の貫通孔を設けることで第１通気部材１３や第２通気部材１５を形成することなども可能である。
【００４８】
第１関節部１２、第２関節部１４及び第３関節部１６は、軸を部材として用いずに、第１通気部材１３や第２通気部材１５を回動可能とすることも可能である。
【００４９】
通気部材１３，１５に設けられている空気通路Ａｒ６，Ａｒ９は一つである必要性は無く、複数の空気通路Ａｒ６，Ａｒ９を備える構成とすることも可能である。また、通気部材１３，１５に弁などを取り付けることも可能である。
【００５０】
固定部１１は移載ロボット２を支える支持フレーム９に取り付ける必要性はなく、別途設けた支柱に取り付けることや、床面や壁面などに取り付けることも可能である。
【００５１】
また、移載ロボット２は、パラレルリンクロボットや垂直多関節ロボットに限られる必要性は無い。例えば、水平方向に揺動可能な複数のアームを備えたロボットである水平多関節ロボットに適用することも可能である。更には、多関節ロボットでは無い、その他のロボットに適用することも可能である。
【符号の説明】
【００５２】
２：移載ロボット  １１：固定部  １２：第１関節部  １３：第１通気部材  １４：第２関節部  １５：第２通気部材  １６：第３関節部  ２１：吸着手段  ７７：開口部  １１２：吸引源接続部位  １２２：第１垂直軸  １２４：第１水平軸  １４１：第２水平軸  １６１：第３水平軸  １６３：第２垂直軸  ２１１：吸着手段本体  ２１２：空気通路接続部位  Ａｒ１：空気通路  Ａｒ６：空気通路  Ａｒ９：空気通路  Ａｒ１３：空気通路  Ａｒ１４：空気通路  Ｈ１：第１水平軸線  Ｈ２：第２水平軸線  Ｈ３：第３水平軸線  Ｖ１：第１垂直軸線  Ｖ２：第２垂直軸線  Ｓ：直線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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