(57)【要約】【課題】測定時間を短縮化するとともに測定精度を確保することが可能な液滴の形成方法と液滴測定方法、及び液滴測定システムを提供すること。【解決手段】ラインヘッド９の少なくとも一部のノズルから複数の液滴を接触角の分布を持つ基板１１０上に吐出させる吐出・塗布工程Ｓ２０と、液滴を撮像する撮像工程Ｓ４０と、液滴の少なくとも一部の液滴についての、撮像工程で得られた輝度情報に基づいて、液滴の表面の三次元座標系上の位置における傾きと当該位置に対応する輝度情報との対応関係を表す対応テーブルを作製する対応テーブル作製工程Ｓ６０と、撮像工程Ｓ４０で得られた輝度情報と対応テーブルとを用いて、液滴の体積あるいは表面形状を求める液滴評価工程Ｓ７０と、を備えた液滴測定方法である。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
端部での接触角が中央部での接触角より大きい基板に、複数の各ノズルから液滴を塗布する塗布工程と、
前記塗布された各液滴を、乾燥させる乾燥工程と、
前記乾燥工程後の各液滴の体積を計測する計測工程と、
前記計測工程での結果に対して、目的の液滴の体積となるように、塗布条件を変更する調整
工程と、
を含むことを特徴とするノズルの吐出量調整方法。
【請求項２】
塗布される前記液滴に対して撥液性を有する材料を、前記基板に塗布し乾燥させて前記基板の表面に膜を形成する皮膜形成工程と、
前記膜の前記基板の端部での接触角を、前記基板の中央部での膜の接触角より大きくさせる皮膜処理工程と、
前記基板に、複数の各ノズルから液滴を塗布する塗布工程と、
前記塗布された各液滴を、乾燥させる乾燥工程と、
前記乾燥工程後の各液滴の体積を計測する計測工程と、
前記計測工程での結果に対して、目的の液滴の体積となるように、塗布条件を変更する調整
工程と、
を含むことを特徴とするノズルの吐出量調整方法。
【請求項３】
前記撥液性を有する材料として、フッ素を含有する高分子材料を用いることを特徴する請求項２記載のノズルの吐出量調整方法。
【請求項４】
前記計測工程は、
前記液滴の画像を撮影する撮像工程と、
前記撮像工程で得られた輝度情報に基づいて、前記液滴の表面の三次元座標系上の位置おける傾きと前記位置に対応する前記輝度情報との対応関係を表す対応テーブルを作製する対応テーブルを作製するテーブル作製工程と、
前記撮像工程で得られた輝度情報と前記対応テーブルを用いて、前記液滴の中心部を通る表面形状を求め、数式モデルを用いて前記液滴の周囲の表面形状を補完する補正工程と、
補完後の前記液滴形状から前記液滴の体積を求める液滴計測工程を、
含む請求項１記載のノズルの吐出量調整方法。
【請求項５】
端部での接触角が中央部での接触角より大きい基板に、複数の各ノズルから液滴を塗布する塗布部と、
前記塗布された各液滴を、乾燥させる乾燥部と、
前記乾燥の後の各液滴の体積を計測する計測部と、
前記計測部での結果に対して、目的の液滴の体積となるように、塗布条件を変更する調整
部と、
を含むことを特徴とするノズルの吐出量調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヘッドのノズルの評価方法およびその装置に関する。特に、インクジェットヘッドのノズルの吐出量検査方法およびその装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイのカラーフィルターや、有機ＥＬディスプレイ等のデバイスを製造する方法として、例えば、機能性材料を含む液状体をインクジェット法により複数のノズルから液滴として吐出し、被吐出体に機能性材料の膜を形成する方法が知られている。
【０００３】
この場合、液滴の吐出量を制御する制御装置の設定と液滴の実際の吐出量との対応関係を取得し、吐出量を一定の値に制御することが重要な工程となる。
【０００４】
なぜなら、吐出量が不均一であると、機能性材料の膜厚に差が生じることでデバイスの不良へと繋がるからである。例えば、カラーフィルターや有機ＥＬディスプレイであれば、膜厚の差が色むらや輝度むらとして観察される。
【０００５】
液滴の吐出量を調べるためには、例えば、撥液処理を行った基板に、液滴を吐出／塗布し、溶媒を乾燥させた後、例えば、白色干渉や共焦点などの高さ測定器を用いて、液滴の体積を測定する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
また、レーザ式距離測定器を用いて液滴の高さを測定し、液滴の体積を算出する方法が知られている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１０−２４０５０３号公報
【特許文献２】特許第４０９３１６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、白色干渉や共焦点の高さ測定器等を用いた従来の液滴測定方法では、測定原理上、測定に時間がかかるという課題があった。特に、大画面ディスプレイの製造装置では、インクジェット印刷に使用するノズル数が１０万を超える為、１滴あたりの測定時間が１秒であったとしても、全ての液滴を測定するためには、少なくとも２８時間程度を要する。
【０００９】
この為、設備の稼働率に大きな影響を与えることになり、量産を考えるうえで大きな課題となっていた。
【００１０】
また、測定時間を短縮するために、液滴体積ではなく、画像認識装置によって面積を測定する液滴測定方法もある。しかし、液滴の乾燥状態による高さ方向のばらつきを測定出来ない為、測定精度が確保できないという課題があった。
【００１１】
即ち、従来の液滴測定方法では、基板が大型化しノズル数が増大することで測定時間の短縮化と測定精度の確保はトレードオフの関係にあった。
【００１２】
本発明は、上記従来の液滴測定方法における課題に鑑みて、測定時間を短縮化するとともに測定精度を確保することが可能な液滴の形成方法と測定方法、及び液滴測定システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するために、端部での接触角が中央部での接触角より大きい基板に、複数の各ノズルから液滴を塗布する塗布工程と、塗布された各液滴を、乾燥させる乾燥工程と、乾燥工程後の各液滴の体積を計測する計測工程と、計測工程での結果に対して、目的の液滴の体積となるように、塗布条件を変更する調整工程と、を含むノズルの吐出量調整方法を用いる。
【００１４】
また、塗布される前記液滴に対して撥液性を有する材料を、基板に塗布し乾燥させて基板の表面に膜を形成する皮膜形成工程と、膜の基板の端部での接触角を、基板の中央部での膜の接触角より大きくさせる皮膜処理工程と、基板に、複数の各ノズルから液滴を塗布する塗布工程と、塗布された各液滴を、乾燥させる乾燥工程と、乾燥工程後の各液滴の体積を計測する計測工程と、計測工程での結果に対して、目的の液滴の体積となるように、塗布条件を変更する調整工程と、を含むノズルの吐出量調整方法を用いる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、測定時間を短縮化するとともに測定精度を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施の形態における液滴測定システムに含まれる液滴吐出装置の概略斜視図
【図２】本実施の形態の液滴測定方法を説明する概略のフロー図
【図３】従来例の液滴測定方法で用いる基板の構成を示す断面図
【図４】従来例の液滴測定方法で用いる基板に形成された液滴の高さ推移と断面の形状を説明する図
【図５】従来例の液滴測定方法で用いる基板に形成された液滴の高さ推移と断面の形状を説明する図
【図６】本実施の形態の蒸発速度と液滴の断面の形状の関係を説明する図
【図７】（ａ）〜（ｂ）本実施の形態の液滴の形成及び測定方法で用いる基板の構成を示す断面図、（ｃ）液滴のピッチとムラの個数との関係を示すグラフ
【図８】本実施の形態の液滴測定方法における、カメラの対物レンズの開口数から計算される対物レンズに入射する最大角度と乾燥後の液滴の接触との関係を表した模式図
【図９】（ａ）〜（ｃ）：本実施の形態の式３に示した乾燥後の液滴の接触角αの下限の根拠について説明する図
【図１０】（ａ）〜（ｃ）：本実施の形態の式３に示した乾燥後の液滴の接触角αの上限の根拠について説明する図
【図１１】従来の例の液滴測定方法の撮像工程及び形状測定工程において用いる体積測定用液滴サンプルの液滴塗布パターン（ダミー液滴が１周配置されたタイプ）を表す概略正面模式図
【図１２】従来の例の液滴測定方法の撮像工程及び形状測定工程において用いる体積測定用液滴サンプルの液滴塗布パターン（ダミー液滴が２周配置されたタイプ）を表す概略正面模式図
【図１３】従来の例の液滴測定方法における、液滴間を十分に離した場合の体積測定用パターンを表す概略正面模式図
【図１４】（ａ）〜（ｂ）本実施の形態におけるインクジェットヘッドとガラスと塗布エリアの関係を説明する図
【図１５】本実施の形態における液滴測定方法の撮像工程及び形状測定工程において用いる体積測定用液滴サンプルの液滴塗布パターンと、ガラス端と塗布端との関係を説明する概略正面模式図
【図１６】本実施の形態における液滴の配置と基板の構成との関係を説明する断面図
【図１７】図１１、図１２のダミー液滴のあるＡ−Ｂ断面の液滴の頂点高さと直径の関係を表したグラフ
【図１８】（ａ）：乾燥が遅い液滴の形状変化を示す模式図、（ｂ）：乾燥が速い液滴の形状変化を示す模式図、（ｃ）：乾燥がさらに速い液滴の形状変化を示す模式図
【図１９】本実施の形態における、撮像機構の全体構成を示す模式図
【図２０】（ａ）〜（ｅ）本実施の形態における、液滴測定方法の対応テーブルの作製方法を説明する図
【図２１】（ａ）〜（ｃ）本実施の形態における、画像輝度情報から液滴形状を復元する方法を説明する図
【図２２】本実施の形態における、画像輝度情報から復元した液滴形状の体積を算出する方法を説明する図
【図２３】本発明の実施の形態の第２の液滴測定方法を示す概略のフロー図
【図２４】本発明の実施の形態の第３の液滴測定方法を示す概略のフロー図
【図２５】本発明の実施の形態の第４の液滴測定方法を示す概略のフロー図
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明のインクジェットヘッドのノズル評価方法、装置の一実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、本発明はこれらの実施の形態により限定されない。
【００１８】
（装置構成）
実施の形態のインクジェットヘッドのノズル評価装置は、液滴吐出装置５０と、減圧チャンバー（図示省略）と、液滴形状測定装置（図示省略）から構成されている。
【００１９】
図１は、本発明の実施の形態におけるインクジェットヘッドのノズル評価装置に含まれる液滴吐出装置５０の概略斜視図である。
【００２０】
尚、減圧チャンバーは、基板に塗布された液滴を乾燥させる際に用いるが、これについては後述する。また、液滴形状測定装置は、評価対象となる全てのノズルから吐出される全ての液滴の中から所定の位置の液滴を抽出してその抽出した液滴の形状を測定する装置であるが、これについては後述する。
【００２１】
図１に示すように、印刷対象物１はヘッドユニット２の鉛直下方向の位置のテーブル３上に設置されている。テーブル３は駆動系を有するステージ１１に取付けられ、Ｘ方向へ搬送される。ステージ１１上には、一対の脚部４、脚部４とその上方に取り付けられた支持部５により構成された、鳥居状のガントリー６が固定されている。
【００２２】
さらに、ガントリー６の前面には、昇降方向（図１中のＺ軸方向を参照）の昇降軸を有する支持台７が連結され、鉛直方向（図１中のＺ軸方向を参照）に移動可能となっている。この支持台７にヘッドユニット２が配設されており、ヘッドユニット２は分配タンク８やラインヘッド９を具備している。昇降方向Ｚへの移動によって、印刷対象物１とラインヘッド９間のギャップを調整している。
【００２３】
ラインヘッド９は、インクを吐出させる複数のノズル（図示省略）と各ノズルに対応した圧電アクチュエータ（図示省略）を含む液滴吐出モジュールヘッド１０を複数備えている。
【００２４】
また、液滴吐出装置５０は、図１に示すように、印刷対象物１に塗布された全ての液滴を撮像することが出来るカメラ６０１等を有する撮像機構２０をテーブル３の上方に備えている。尚、撮像機構２０については、図１９を参照しながら更に後述する。
【００２５】
また、液滴吐出装置５０は、図１に示すように、制御部１２を備えており、その制御部１２により、各々の液滴吐出モジュールヘッド１０に電力とヘッド毎の制御信号とを供給すると共に、上記Ｘ、Ｚの駆動軸にも制御信号を供給し、且つ、液滴を測定する際に使用する撮像機構２０にも制御信号を供給する。また、制御部１２は、後述する対応テーブル作製部１２０、及び体積算出部１３０を備える。
【００２６】
尚、本実施の形態の撮像機構２０は、本発明の撮像部の一例にあたり、体積算出部１３０は、本発明の液滴評価部の一例にあたる。
【００２７】
このように、ラインヘッド９は印刷対象物１の全幅にわたって配列された液滴吐出モジュールヘッド１０を備えている。このため、その印刷動作時には、上記印刷対象物１をＸ方向に搬送しながら、制御部１２からの制御信号により所定のタイミングでラインヘッド９から液滴を吐出することで、印刷対象物１の全幅にわたって所望の画像を形成することが可能である。
【００２８】
（工程の説明）
次に、本実施の形態の液滴測定システムを用いて行う液滴測定方法の一実施の形態について、図２を参照しながら説明する。
【００２９】
図２は、本実施の形態の液滴測定方法を説明する概略の全体フロー図である。
【００３０】
実施の形態の液滴測定方法は、図２に示すように、基板作製工程Ｓ１０と、吐出・塗布工程Ｓ２０と、乾燥工程Ｓ３０と、撮像工程Ｓ４０と、形状測定工程Ｓ５０と、対応テーブル作製工程Ｓ６０と、液滴評価工程Ｓ７０とを備えている。
【００３１】
基板作製工程Ｓ１０は、表面が撥液性を有する高分子膜を備えた基板に、ＵＶ光を照射して、液滴と撥液性を有する膜が、所定の接触角となるように撥液膜を形成する工程である。
【００３２】
吐出・塗布工程Ｓ２０は、インクを、インクジェット方式を用いて、評価対象のノズルから上記高分子膜に向けて液滴を吐出し、上記高分子膜にインクを塗布する工程である。
【００３３】
乾燥工程Ｓ３０は、インクが塗布された基板を減圧チャンバー（図示省略）内に入れて、減圧しながら高分子膜に塗布されたインクを乾燥させる工程である。
【００３４】
撮像工程Ｓ４０は、乾燥されたインクの液滴をカメラにより撮像する工程である。
【００３５】
減圧チャンバーは、液滴吐出装置５０上に搭載されていても良いし、若しくは、液滴吐出装置５０上に搭載せず、装置外に単体で設置されていても良い。
【００３６】
形状測定工程Ｓ５０は、撮像工程Ｓ４０で用いた基板上の液滴の内から複数の液滴を抽出し、その抽出された複数の液滴についてそれぞれの形状（各液滴の表面における三次元座標系上の複数の位置の座標データ）を測定する工程である。
【００３７】
対応テーブル作製工程Ｓ６０は、形状測定工程Ｓ５０で測定された、各液滴の表面の三次元座標系上の位置における傾き情報と、その三次元座標系上の位置に対応する二次元座標系上の位置における、撮像工程Ｓ４０で得られた輝度情報から、任意の２次元座標上の位置における輝度情報を入力値とし、前記任意の２次元座標上における３次元座標上の傾きを出力値とする対応テーブルを作製する工程である。
【００３８】
液滴評価工程Ｓ７０は、撮像工程Ｓ４０で得られた上記評価対象のノズルから吐出された全ての液滴についての輝度情報と、対応テーブル作製工程Ｓ６０で作製された対応テーブルとを用いて、上記評価対象のノズルから吐出された全ての液滴のそれぞれの体積あるいは表面形状を求める工程である。なお、その結果に基づいて、各ノズルの圧電アクチュエータに印加すべき電圧を調整する工程を含んでも良い。
【００３９】
なお、本実施の形態の基板作製工程Ｓ１０は本発明の基板作製工程の一例にあたり、吐出・塗布工程Ｓ２０は本発明の吐出工程の一例にあたり、乾燥工程Ｓ３０は、本発明の減圧乾燥工程の一例にあたる。
【００４０】
また、撮像工程Ｓ４０と、形状測定工程Ｓ５０と、対応テーブル作製工程Ｓ６０と、液滴評価工程Ｓ７０は、上記方法に限られない。別の方法で、液滴を計測、評価してもよい。
【００４１】
次に、上述した各工程について更に説明する。
【００４２】
（Ｓ１０：基板作製工程）
ここでは、まず図３〜図５を参照しながら、基板作製工程Ｓ１０における従来例の基板１００の構成（図３参照）とその課題を述べる。そして、本実施形態の基板１１０の作製方法とこの基板に形成された乾燥後の液滴の基板１１０に対する接触角αの設定条件を述べる。
【００４３】
図３は、従来例として用いられる基板１００の構成を示す断面図である。基板１００は支持基板１０１と、その表面に高分子膜１０２を含んでいる。
【００４４】
支持基板１０１は、例えば、ガラスを用いることができる。高分子膜１０２は、例えば有機ＥＬディスプレイの発光層を形成する際に使われるレジスト材料を有機溶媒に溶解させ支持基板１０１へスピンコートやダイコートなどにより塗布、乾燥させたものである。
【００４５】
高分子膜１０２となる材料は、ポリイミドやアクリル樹脂からなる感光性材料である。そしてこの中にフッ素を含んでいてもよい。フッ素を含む樹脂材料は、一般的に透明性が高く、その高分子繰返し単位のうちの少なくとも一部の繰返し単位に、フッ素原子を有するものであればよく、特に限定されない。フッ素化合物を含む樹脂の例には、フッ素化ポリオレフィン系樹脂、フッ素化ポリイミド樹脂、フッ素化ポリアクリル樹脂などが含まれる。その膜厚は、通常、０．８〜１．２μｍである。以下、高分子膜として例としてポリイミドやアクリル樹脂からなる感光性材料を用いた場合について説明を続ける。
【００４６】
高分子膜１０２は、ポリイミドやアクリル樹脂からなる感光性材料を有機溶媒に溶かし、液体にしたものを、スピンコート法等を用いて支持基板１０１に塗布／乾燥させたものである。
【００４７】
高分子膜１０２の材料にフッ素含有の高分子材料を用いることで、高分子膜１０２は撥液の機能を有することになる。
【００４８】
ここで、表面にフッ素膜が形成された状態では撥液性が高すぎる場合がある。そのため、インクを塗布／乾燥後に所望の接触角が得られない。結果、基板１００の高分子膜１０２に対して、ＵＶ光を照射してフッ素の結合を部分的に切ることで、基板１００の撥液性を制御することが出来る。基板全体の撥液性のばらつきは、面内の最大−最小で５°から１０°に収めるように作製される。このように作製した基板１００に液滴を塗布乾燥させると、面内で液滴の形状が変化することがわかった。この様子を図４と図５に示す。
【００４９】
図４は、基板に形成された液滴の塗布端からの距離とその距離における液滴の高さの推移を示すグラフであり、そのある塗布端からの距離における断面の形状を説明する図である。図４のグラフにおいて０ｍｍの部分は塗布端を示しており、また１００ｍｍは塗布端から１００ｍｍ離れていることを表している。塗布端の部分から塗布されている内側に入るに従い、液滴の高さがじょじょに増加し、あるところではほぼ一定の値となることが分かる。この液滴の高さが低いところの形状であるが、端の液滴は直径が広く、液滴の高さが低いのに対して、塗布されている内側にいくに従い液滴の直径が狭く、液滴の高さが高くなることが分かる。
【００５０】
また、図５は同じ材料を用いて乾燥の速度を上げた場合の、基板に形成された液滴の基板の塗布端からの距離とその距離における液滴の高さの推移を示すグラフであり、そのある塗布端からの距離における断面の形状を説明する図である。この場合も同じように塗布端の部分から塗布されている内側に入るに従い液滴の高さがじょじょに増加し、あるところではほぼ一定の値となる。この場合の液滴は周辺部が高く中心が低い凹状の形状から、じょじょに中心部の高さが高くなり、全体として上に凸状の形状に変化している。
【００５１】
そこで我々は有機ＥＬディスプレイに用いられる各種溶媒及び乾燥速度を変えることで、蒸発速度と形状との関係を実験と解析により検討した結果、図６のように蒸発速度により形状が変化することを確認した。この図６は、蒸発速度と液滴の中心を基準として平坦な部分の割合がどのように変化するのかを示すグラフであり、ある蒸発速度における液滴の断面形状を表している。これによれば蒸発速度が速い場合は、乾燥が進行するに従い液滴の中の溶質が液滴端で析出し始め、溶質が飽和濃度に達すると液滴が横方向に収縮しない状態いわゆるピニングされて、上に凹の形状となる。蒸発速度が遅い場合は、液滴内での溶質の拡散が蒸発速度が速い場合より強くなるので、液滴端でピニングがされにくく、上に凸形状になると考えられる。
【００５２】
つまり液滴の形状をそろえるためには、乾燥による影響を顕著に受ける塗布端と乾燥による影響を受けにくい中央付近の液滴とでピニングされる状態を個別に制御することが必要である。
【００５３】
＜実施の形態１の基板１１０＞
本願発明者らは、基板１１０の端部表面の接触角を、塗布内側部分の接触角に比べて高い状態にしてやれば、ピニングされるタイミングを遅らせることができ、液滴の形状を揃える事ができることを見出した。
【００５４】
この塗布端において、接触角を変えた基板１１０の形成方法を、図７（ａ）と図７（ｂ）で詳しく述べる。
【００５５】
図７（ａ）は、支持基板１０１上に高分子膜１０２を形成する断面図を示し、図７（ｂ）は形成した高分子膜１０２の接触角に分布を持たせたことを示す断面図である。
【００５６】
図７（ａ）に、用いられる支持基板１０１、高分子膜１０２に用いられる材料は、上記の基板１００と同じもので良い。さらにデバイスを形成する際に用いる同じ材料を用いれば生産性の観点から好ましい。例えば、カラーフィルターや有機ＥＬディスプレイなどに機能性膜を形成する際には高分子膜１０２をパターニングする必要があるので、感光性材料を用いた方法について記述する。例えば、ネガ型の感光性材料を用いた場合は、高分子膜１０２の材料を支持基板１０１に塗布し乾燥、プリベークする。そしてパターニングをしないので基板全面への露光を行った後、現像、水洗、乾燥させベークを行い高分子膜１０２が形成される。
【００５７】
さらに、この支持基板１０１にＵＶ光照射し、支持基板１０１の全体の接触角を下げる。このとき、塗布端に当たる第１高分子膜１０２ａの部分を、遮光やハーフトーンのマスクを用いてＵＶ光の照射を行う（図示せず）。このことで、第１高分子膜１０２ａの部分の接触角は、それ以外の第２高分子膜１０２ｂの部分の接触角より、高くなる。結果、図７（ｂ）に示す構造となる。
【００５８】
ここで、第１高分子膜１０２ａの部分の接触角を、接触角θａとする。第２高分子膜１０２ｂの部分の接触角を、接触角θｂとする。以下の式１となるとよい。
θａーθｂ＞１０度・・・・・（式１）
この関係の場合、液滴の形状を制御することができるので好ましい。角度差が、１０度以下の場合、塗布端と塗布内側の液滴とのピニングされるタイミングに差があまりなく、結果として端の形状と内側の形状がそろわない。また、接触角のばらつきは、大板になれば５度から１０度ほどあるために、１０度では基板作製時のばらつきの範囲であり、安定した液滴の制御ができない原因でもある。
【００５９】
本実施の形態では、ＵＶ光の照射条件により接触角の差をつけることをおこなったが、支持基板１０１に感光性材料を塗布し乾燥させた後、第１高分子膜１０２ａに当たる部分に微細な凸凹のパターニングを行っても良い。これは露光・現像によるものであっても良いし、凹凸物を機械的に第２高分子膜１０２ｂに押し当てることで、第１高分子膜１０２ａを形成してもよい。
【００６０】
ここで、第１高分子膜１０２ａの範囲を説明する。第１高分子膜１０２ａは、液滴３３の乾燥ムラを防止するために設けた。液滴３３の乾燥ムラは、液滴の密度に依存する。つまり、密度が小さいと、乾燥ムラが起こる端部の範囲は、広い。密度が高いと、その範囲は狭い。つまり、隣接する液滴の存在に影響される。
【００６１】
図７（ｃ）に、液滴のピッチＰと、端部からのムラが生じる個数を示す。ピッチＰが大きいと、ムラの個数は少ない。一方、ピッチＰが小さいと、ムラの個数は多い。
最大、３００個のところまで、ムラが起こる。特に、ディスプレイの場合、液滴を、狭いピッチＰで塗布必要なため、３００個まで第１高分子膜１０２ａが必要である。ピッチＰであるので、以下の式２の距離Ｄまで、第１高分子膜１０２ａを形成するのが好ましい。
Ｄ＝３００×Ｐ・・・・（式２）
＜液滴撮像カメラ＞
図８に、液滴を撮像するカメラ６０１（図１）と、液滴２０２と、基板１１０との関係を示す。
上記の基板１１０を用いて作製された液滴２０２を撮像するカメラ６０１（図１参照）の対物レンズ２０１の開口数から計算される対物レンズ２０１に入射する最大角度θと乾燥後の液滴２０２の接触角αとの関係には好ましい設定値がある。
【００６２】
乾燥後の液滴２０２は、高分子膜１０２、１０２ａの上に配置された液滴２０２を乾燥したものである（１０２，１０２ａは図示せず）。乾燥後の液滴２０２の接触角αは、撮像工程で使用するカメラ６０１の対物レンズ２０１の開口数（ＮＡ）によって決まる対物レンズの最大角度θと、下記の関係式（式３参照）を満たすことが好ましい。
【００６３】
以下、この関係式について説明する。
【００６４】
図８の対物レンズ２０１は、カメラ６０１（図１参照）の対物レンズであり、液滴２０２は乾燥後の液滴であり、基板１１０はサンプル作製用の基板である。また、角度θはレンズＮＡから計算される対物レンズ２０１に入射する光の最大角度であり、次式（式１）で表される。
【００６５】
θ＝ｓｉｎ−１（ＮＡ／ｎ）  ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（式１）
ここで、ＮＡは液滴の輝度情報の測定に使用するカメラ６０１の対物レンズ２０１の開口数であり、ｎは液滴２０２と対物レンズ２０１の間の媒質の屈折率である。
【００６６】
乾燥後の液滴２０２と基板１１０との接触角をαと定義すると、接触角αと角度θが等しくなる事が好ましい。
【００６７】
なぜなら、この接触角αと、対物レンズ２０１の角度θとの関係は、角度θに対し大きすぎても小さすぎても、輝度情報から傾きを得て、液滴２０２の体積或いは液滴２０２の表面形状を求める際に誤差が生じる。
【００６８】
しかしながら、現実には、液滴２０２の接触角αを厳密に制御する事が困難である為、接触角αを次式（式３）の範囲内に収める事で所望の測定精度を得ることが出来る事が分かった。
【００６９】
１／５×θ≦α≦３×θ  ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（式３）
但し、θ＝ｓｉｎ−１（ＮＡ／ｎ）、ＮＡはレンズの開口数、ｎは液滴と対物レンズの間の媒質の屈折率である。
【００７０】
以下、上記（式３）に示した接触角αの下限、及び上限の根拠について、図９、図１０を使いながら説明する。
【００７１】
まず、接触角αの下限について図９（ａ）から図９（ｃ）を用いて説明する。図９（ａ）から図９（ｃ）は、液滴最大角度がα＝θの場合と、α＝１／５×θの場合の、液滴２０２の高さ、傾き、輝度を記述したグラフであり、図９（ａ）は液滴２０２の高さ、図９（ｂ）は液滴２０２の傾き、図９（ｃ）は画像輝度を表している。
【００７２】
図９（ｂ）の液滴２０２の傾きグラフにおいて、α＝θの液滴傾きグラフ８０１は、接触角αが、レンズの角度θと等しい為、液滴２０２の最大傾きまで測定可能となり、図９（ｃ）の画像輝度グラフ８０２の輝度幅ｉは、基板平面の輝度階調ｋのうち例えば９０％程度を使用した値となる。
【００７３】
それに対し、α＝１／５×θのグラフでは、図９（ｂ）液滴傾きグラフ８１１において、接触角αが±１／５×θとなっている為、図９（ｃ）の液滴輝度グラフ８１２の輝度幅ｊはｋの例えば１０％程度の輝度差となる。ここで、画像認識を使用して液滴を識別するためには、一般的に画像輝度の平均値に対して１０％程度の輝度差が必要となる為、画像認識によって液滴を識別する事が困難になる。
【００７４】
即ち、液滴のＸ軸上の半径位置での接触角αを１／５×θとなる様に設定することは、カメラ６０１が、基板１００上の液滴を認識できる最小の接触角αを設定することを意味する。
【００７５】
次に、接触角αの上限について図１０を用いて説明する。図１０は、液滴最大角度がα＝θの場合と、α＝３×θの場合の、液滴高さ、傾き、輝度を記述したグラフであり、図１０（ａ）は液滴高さ、図１０（ｂ）は液滴傾き、図１０（ｃ）は画像輝度を表している。
【００７６】
図１０（ｂ）の液滴傾きグラフにおいて、α＝θの液滴傾きグラフ９０１は、液滴最大角度が、レンズの測定可能角度θと等しい為、液滴の最大傾きまで測定可能であるので、図１０（ｃ）の画像輝度グラフ９０２は液滴外周部まで形状を反映した情報となっている。
【００７７】
それに対し、α＝３×θのグラフでは、図１０（ｂ）液滴傾きグラフ９１１において、最大角度が±３θとなっているが、レンズの測定可能角度θまでしか測定できない為、図１０（ｃ）液滴輝度グラフ９１２の様に傾きがθを超えた部分の輝度情報は、液滴形状を反映した輝度情報ではなく、例えば一定の値を取ることになる。
【００７８】
この時、液滴の直径をＤ、液滴の角度がθ以内の範囲の直径をｄとおくと、接触角α＝３×θのときに、ｄ＝１／２×Ｄとなることが好ましい。
【００７９】
つまり、接触角αの上限３×θは、カメラ６０１が、基板１００上の液滴の半径の少なくとも半分の範囲（Ｘ−Ｙ平面上の面積では１／４の範囲）の液滴の部分を認識できれば、その少なくとも半分の範囲の液滴の部分の形状を求めることが出来る。求められた液滴形状を後述する液滴の数式モデルでフィッティングする事により、接触角α＞θの部分の形状を補間する事で、液滴の面積を測定する従来方法に比べて、高い測定精度を維持することが出来るからである。
【００８０】
以上説明した通り、接触角αは、上記（式３）の関係を満たすことが好ましく、接触角αを最大角度θに一致させる様に接触角αを調整すれば、より好ましい。
【００８１】
そのため、本実施の形態では、この対物レンズ２０１の開口数（ＮＡ）から計算される対物レンズ２０１に入射する光の最大角度θに、液滴２０２と基板１００との乾燥後の接触角αを一致させるように接触角αを調整する為、接触角αは次式（式４）で与えられる。
【００８２】
α＝θ＝ｓｉｎ−１（ＮＡ／ｎ）  ・・・・・・・・・・・・・・・・・（式４）
上記の（式４）によれば、例えばＮＡ＝０．１のレンズを使用する場合は、対物レンズと液滴の間の媒質を空気（０℃、１気圧）とすると屈折率ｎは、１．０００２９２であるので、接触角は０．１ｒａｄとなる。
【００８３】
（Ｓ２０：吐出・塗布工程）
ここではまず、従来例である図１１〜図１３を参照しながら、吐出・塗布工程Ｓ２０（図２参照）における、評価対象となる全てのノズルから吐出された体積測定用の液滴３０１の構成とその課題を説明する。
そして本実施形態における、評価対象となる全てのノズルから吐出された体積測定用の液滴３０１の構成と作製方法を述べる。
【００８４】
図１１と図１２は、従来例における体積測定用液滴サンプルのサンプル作製用の基板３０３上での液滴塗布パターンを表す概略模式図である。図１１で、体積測定用の液滴３０１がある。その周りに、ダミー液滴３０２がある。ダミー液滴３０２は、乾燥時に体積測定用の液滴３０１の溶媒雰囲気を一定に保ち、体積測定用の液滴３０１の乾燥後の接触角αを一定の範囲に保つ役割がある。
【００８５】
ここで、ダミー液滴３０２は複数個の体積測定用の液滴３０１を取り囲むように配置したり、個々の体積測定用の液滴３０１を取り囲むように配置される。ダミー液滴３０２の個数は使用するインクの溶媒によって変わるが、例えばインクの溶媒がアニソールの場合は、１〜１０周程度のダミー液滴で体積測定用の液滴３０１の外周を取り囲む。図１１では１周の、図１２では２周のダミー液滴を配置している。
【００８６】
図１３は、液滴間を十分に離した場合の体積測定用パターンを表す概略正面模式図である。図１３で、体積測定用液滴サンプル４０１と、体積測定用液滴サンプル４０１から揮発した溶媒雰囲気４０２がある。サンプル作製用の基板４０３上にそれぞれある。尚、サンプル作製用の基板４０３は、図３で説明した基板１００と基本的に同じ構成である。
【００８７】
図１１と図１２の液滴塗布パターンは、基板端の部分でダミー液滴を配置できる場合である。しかしながら、ダミー液滴３０２が配置できない場合がある。
【００８８】
図１４（ａ）、図１４（ｂ）で、有機ＥＬディスプレイを例にあげる。  図１４（ａ）は、印刷対象物１を横置き、図１４（ｂ）は縦置きにした場合の平面図である。塗布する際に用いるインクジェットヘッド、ここでは、ラインヘッド９は、印刷対象物１である基板の向きを、縦置きか横置きに変えても両方に対応できるように、大きくしておく必要がある（図１４）。この際に、印刷対象物１の端までディスプレイ部分１０００もきている。
【００８９】
図１５には、ガラス端の部分とディスプレイ部分１０００の端を示しているが、ディスプレイの部分は生産性の観点から印刷対象物１の端まできており、ガラスの端の部分はダミーの液滴を配置するスペースがないため、配置することができない。
【００９０】
特に、この方法では、印刷対象物１のすべての範囲を、１方向への移動で、液滴を塗布するラインヘッド９の各ノズルの吐出量を評価することを目的としている。
【００９１】
また、図１３のように、液滴の間隔を十分あける方法も、１ｍ長を超す有機ＥＬディスプレイを製造する場合などでは塗布方向に液滴の間隔を十分広げることが必要となり、そのため塗布するエリアが必然的に広がる。またお互いの液滴の蒸気濃度が干渉しないように減圧乾燥や熱風乾燥でなく、大気乾燥でゆっくりと乾燥させてやる必要があるので、材料利用効率や稼働率の観点から生産性を下げることとなり、使うことはできない。また液滴間の間隔を十分あける事で、次の撮像工程でのスキャン時間も増える事となり、これも稼働率を下げることなり生産性の観点から使用することが難しい方法である。
【００９２】
図１５に本実施例の液滴塗布パターンを示す。体積測定用の液滴３０１がある。体積測定用の液滴３０１の乾燥時の雰囲気を一定に保つ為のダミー液滴３０２がその端部にある。３０３’は、サンプル作製用の基板３０５である。尚、サンプル作製用の基板３０５は、図７で説明した基板１１０と基本的に同じ構成である。ノズル方向に対してガラス端の部分の液滴塗布パターンはダミー液滴が無く空いているパターンである。
【００９３】
図１５のＡ−Ｂ断面図の関係を図１６に示す。塗布端の第１高分子膜１０２ａの接触角は、塗布内部の第２高分子膜１０２ｂ比べて高く、液滴のピッチは同じで塗布されている。接触角が高い第１高分子膜１０２ａの部分では、液滴が乾燥時にピニングされるタイミングが、接触角が低い第２高分子膜１０２ｂと同じになるように、接触角の差をつくり調整する。
【００９４】
以上のようにして、吐出・塗布工程Ｓ２０（図２参照）で作製された、評価対象となる全てのノズルから吐出された、全ノズルと同数の全ての体積測定用の液滴３０１が、撮像工程Ｓ４０で撮像対象とされるとともに、形状測定工程Ｓ５０ではその一部の体積測定用の液滴３０１が測定対象とされる。
【００９５】
（乾燥工程：Ｓ３０）
次に、図１７、図１８を参照しながら、乾燥工程Ｓ３０（図２参照）について説明する。
【００９６】
乾燥工程Ｓ３０では、使用するインクの溶媒の物性によるが、例えば溶媒がアニソールの場合には、インクの乾燥は、２３℃以上６０℃以下の温度範囲で、且つ減圧雰囲気で行う。
【００９７】
上記の温度範囲で、且つ減圧雰囲気で乾燥を行うことで、例えば溶媒がアニソールの場合の様に沸点が１００℃以上のインクであっても実用的な時間範囲で乾燥を行うことができる。
【００９８】
図１７に、図１１と図１２のダミー液滴を配置したＡ−Ｂ断面の液滴の頂点高さと直径の関係を表したグラフを示す。
【００９９】
図１７の一端側領域５０１と他端側領域５０２は、基板３０３（図１１、図１２参照）上に塗布された複数の体積測定用の液滴３０１（図１１参照）の外周部に塗布された主としてダミー液滴３０２（図１１参照）の頂点高さと直径の関係を表した領域であり、中央領域５０３は基板３０３上に塗布された複数の体積測定用の液滴３０１の中央部の頂点高さと直径の関係を表した領域である。
【０１００】
図１７から分かるように、外周部の一端側領域５０１と他端側領域５０２におけるダミー液滴３０２では、液滴頂点高さと直径が大きく変化しているのに対して、中央領域５０３における体積測定用の液滴３０１では、液滴頂点高さと直径が、外周部のダミー液滴３０２に比べて安定していることが分かる。
【０１０１】
これは、中央領域５０３の液滴は図１１に示すように周囲を液滴に囲まれているため、乾燥中の雰囲気が安定し、時間をかけて乾燥するのに対して、外周部の一端側領域５０１と他端側領域５０２におけるダミー液滴３０２は、周囲に液滴が無いため、乾燥時の溶媒雰囲気が変化しやすく急速に乾燥が進んだためと考えられる。つまり基板１１０や基板３０３を用いてダミー液滴を配置しない場合は、この効果が得られず形状が安定しないことを表している。
【０１０２】
次に、乾燥速度と液滴の形状について説明する。
【０１０３】
図１８（ａ）、図１８（ｂ）、図１８（ｃ）に、乾燥が遅い場合から速い場合へと変えた液滴形状の変化の模式図を示す。
【０１０４】
図１８（ａ）は、乾燥が遅い液滴８０４の形状変化を示す模式図であり、図１８（ｂ）は、乾燥が早い液滴８０５の形状変化を示す模式図であり、  図１８（ｃ）はさらに乾燥が早く進む場合の液滴８０６の形状変化を示す模式図である。
【０１０５】
乾燥が速い液滴８０５は、液滴が直径方向に縮むより早く高さ方向に縮む為、直径が大きく高さが低い液滴が形成されることとなり、乾燥後の液滴は、基板との接触角が低く（小さく）なる。
さらに乾燥が速い場合の液滴８０６は、乾燥時に液滴内部での溶質の流れが液滴外周へ向かいその外周部で析出してしまうことで、液滴の周辺部の高さが中央に比べて高い形状となっている。
これに対して、乾燥が遅い液滴８０４は乾燥速度が遅い為、液滴が高さ方向に縮むより早く高さ直径に縮む為、直径が小さく高さが高い液滴が形成されることとなり、基板との乾燥後の接触角が高く（大きく）なる。つまり液滴の乾燥状態により、液滴がピニングされるタイミングが血違い、乾燥後の形状が決まる事が分かる。
【０１０６】
本実施の形態では、ダミー液滴３０２を体積測定用の液滴３０１の周囲に形成することができない場合、基板の接触角を変えることで、液滴のピニングされる状態を制御し、基板との乾燥後の接触角が制御された液滴を作製することを可能としている。
【０１０７】
（Ｓ４０：撮像工程）
次に、図１９を参照しながら、撮像工程Ｓ４０（図２）において用いる撮像機構２０について説明する。
【０１０８】
実施の形態の液滴吐出装置５０は、図１で説明した通り、撮像機構２０を具備する。
【０１０９】
図１９は、実施の形態における、撮像機構２０の全体構成を模式的に示した図である。
【０１１０】
撮像機構２０は、光源６００と、カメラ６０１とレンズ６０２と、カメラ６０１およびレンズ６０２を保持する治具６０３と、それらを走査軸６０４に沿って駆動させる駆動機構６０５と、ピント調整のためのＺ方向駆動機構６０６を有する。
【０１１１】
カメラ６０１およびレンズ６０２は、走査軸６０４方向に沿って移動しながら、基板１１０に塗布された体積測定用の液滴３０１の画像を撮像する。体積測定用の液滴３０１の画像データは、制御部１２に設けられた対応テーブル作製部１２０（図１）、及び体積算出部１３０（図１）に送られる。
【０１１２】
なお、治具６０３に併設された高さセンサ６０７と、Ｚ方向駆動機構６０６を用いて、随時オートフォーカスで調整する構成としても良い。
【０１１３】
この構成によれば、基板１１０のガラス面のうねりの影響を除去することが出来る。
【０１１４】
なお、動作簡略化のために、撮像開始時にＺ方向駆動機構６０６を用いてフォーカスを調整し、その後、昇降方向Ｚ方向は固定で撮像を行っても良い。
【０１１５】
カメラ６０１は、エリアセンサを搭載したものでもラインセンサを搭載したものでも良いが、本実施の形態ではラインセンサを搭載したカメラを用いる。画素数および画素サイズは撮像対象物に合わせて選定すれば良いが、本実施の形態では、幅方向の画素数４０９６、画素サイズ２μｍとした。
【０１１６】
ラインセンサのスキャン分解能は、設備の要求タクトから逆算して求まるカメラの走行速度から求める。走行軸の速度は、本実施の形態では、１００ｍｍ／ｓとした。
【０１１７】
レンズ６０２の倍率およびＮＡは、撮像対象液滴の形状に合わせて選定する。本実施の形態では倍率５倍、ＮＡが約０．１のレンズを用いた。
【０１１８】
なお、レンズはテレセントリックレンズを用い、フォーカスの影響を相対的に小さくするのが望ましい。
【０１１９】
なお、光軸傾きの影響を避けるため、照明は同軸落射のレンズを用いるのが良い。
【０１２０】
（Ｓ５０：形状測定工程）
次に、液滴評価工程Ｓ７０で必要となる対応テーブルを作製する、形状測定工程Ｓ５０と対応テーブル作製工程Ｓ６０について、図２０（ａ）を参照しながら説明する。
まず、形状測定工程Ｓ５０は、撮像工程Ｓ４０で撮像対象（評価対象）となった全ての液滴の中から所定の位置の液滴を抽出してその抽出した液滴の形状を測定する工程である（図２参照）。即ち、実施の形態では、液滴の表面の三次元座標系（Ｘ−Ｙ−Ｚ座標系）上の位置座標データ（ｘ，ｙ，ｚ）を、公知の液滴形状測定装置（図示省略）により測定する。
【０１２１】
具体的には、基板に塗布された複数の液滴のうち、一つまたは複数の液滴を抽出し、公知の液滴形状測定装置を用いて液滴のプロファイルを測定する。
【０１２２】
ここでは、抽出された液滴の各液滴について、基板の表面をＸ−Ｙ二次元平面とし、平面視で液滴の頂点をＸ−Ｙ二次元平面の原点として、その原点を通るＺ軸の方向が液滴の高さを表すことになる。
【０１２３】
図２０（ａ）は、液滴について、原点を通るＸ−Ｚ平面で切断したときの当該液滴の表面の「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」と、「Ｚ軸方向の高さ」の関係を示す曲線であり、この曲線が、液滴の一つのプロファイルである。ここでは、説明を簡単にするために、図２０（ａ）に示す、液滴の一つのプロファイルに基づいて説明するが、実際には、原点とＺ軸を通る多数の平面により、一つの液滴を何度も切断することで得られる当該液滴の多数のプロファイルから、当該液滴の形状を求めることになる。尚、この曲線は、多項関数や三角関数により近似関数として表しても良い。
【０１２４】
尚、形状測定工程Ｓ５０において抽出する液滴の数は、多ければ多いほど液滴の体積測定精度は向上するが、その分、測定時間が長くなるため、例えば液滴サンプル３０１（図１５）の５〜１０００００液滴ごとに１液滴を抽出するのが望ましい。抽出の方法は、印刷対象物に吐出された液滴のパターンから任意の液滴を元に抽出するか、液滴吐出モジュールヘッド１０の特定のノズルを元に抽出するのが良い。
【０１２５】
なお、画像情報から得られる直径等の液滴形状を参照しながら抽出する液滴を決定しても良い。この構成によれば、液滴形状に合わせて対応テーブルを使い分けることができるため、前記対応テーブル作製に用いた液滴と、評価対象の液滴の形状が異なることによる誤差の影響を抑制することができる。
【０１２６】
また、上述した公知の液滴形状測定装置は、たとえ測定に時間がかかっても正確に形状を測定できるものが望ましく、例えば光干渉原理や共焦点原理の測定機を用いるのが良い。本実施の形態では、光干渉を利用した測定機を用いた。
【０１２７】
また、液滴形状測定装置は、液滴吐出装置５０上に搭載されていても良いし、若しくは、液滴吐出装置５０上に搭載せず、装置外に単体で設置されていても良い。
【０１２８】
次に、再び図２０に戻り、対応テーブル作製工程Ｓ６０について説明する。
【０１２９】
（対応テーブル作製工程Ｓ６０）
対応テーブル作製工程Ｓ６０は、形状測定工程Ｓ５０で測定された各プロファイルに基づいた位置座標データ（ｘ，ｙ，ｚ）から、液滴の表面の三次元座標系上の位置における傾きを求め、その求めた傾きと、その位置に対応する二次元座標系上の位置における輝度比（この輝度比は、撮像工程Ｓ４０で得られた液滴の輝度データから求める）との対応関係を表す対応テーブルを作製する工程である（図２参照）。本実施の形態では、対応テーブルは、対応テーブル作製部１２０（図１参照）において作製する。
【０１３０】
具体的には、形状測定工程Ｓ５０で測定した、液滴の表面の「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」と、その位置における「Ｚ軸方向の高さ」の関係を示す曲線（図２０（ａ）参照）を微分することで、図２０（ｂ）が得られる。図２０（ｂ）に示すとおり、「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」と、その位置における「傾き」の関係が求まる。
【０１３１】
次に、撮像工程Ｓ４０で得られた、評価対象の全てのノズルから吐出された全ての液滴における各液滴の画像を構成する複数の画素（カメラ６０１のＣＣＤ素子の各画素に対応）の各画素の輝度情報（例えば、階調レベル０〜階調レベル２５５）から、「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」とその位置における「輝度」との対応関係を作製（図２０（ｃ）参照）する。更に、「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」とその位置における「輝度比」との対応関係を作製する（図２０（ｄ）参照）。
【０１３２】
尚、図２０（ｃ）、図２０（ｄ）の対応関係を作製する際、評価対象の全てのノズルから吐出された全ての液滴の画像の内、形状測定工程Ｓ５０において抽出された液滴と同じ液滴の画像が抽出される。
【０１３３】
ここで、「輝度比」とは、各画素の輝度を、液滴ごとに切り取った「液滴毎画像」の基準位置での輝度（基準輝度）で除した値である。
【０１３４】
なお、基準輝度は液滴内輝度の最大値とするのがよく、ばらつき低減のために、平滑化処理を行ってから最大値を算出するのが望ましい。
【０１３５】
なお、ばらつき低減のため、面積の広い基板の表面の輝度を平均化した輝度を基準輝度としても良い。
【０１３６】
本構成のように、輝度ではなく輝度比を用いることで、照明の変動や印刷対象物の反射率の違いなどによる輝度情報変化の影響を低減することができる。
【０１３７】
次に、図２０（ｂ）に示した、「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」と、その位置における「傾き」の関係と、図２０（ｄ）に示した、「液滴中心（原点）からの距離」とその位置における「輝度比」との関係から、「輝度比―傾き」対応テーブルを作製する（図２０（ｅ）参照）。
【０１３８】
なお、抽出された全ての液滴の各液滴についても同様に「液滴中心（原点）からの距離」とその位置における「輝度比」との対応関係を作製して、それら作製された全ての対応関係を平均化して「輝度比―傾き」対応テーブルを作製しても良い。
【０１３９】
なお、図２０（ｅ）に示す曲線は、多項関数や三角関数により近似関数として表しても良い。
【０１４０】
なお、これらの形態では、図２０（ａ）〜図２０（ｅ）を用いて、液滴の一つのプロファイルに基づいて説明したが、原点とＺ軸を通る多数の平面により、一つの液滴を何度も切断することで得られる当該液滴の多数のプロファイルを用いて「輝度比―傾き」対応テーブルを作製しても良い。
【０１４１】
また、本実施の形態の「輝度比―傾き」対応テーブルが、本発明の対応テーブルの一例にあたる。
【０１４２】
尚、上述した対応テーブル（図２０（ｅ）参照）は、光の反射モデルから、理論的に作製しても良い
しかし、液滴の物性や形状が不安定であるために光の反射率が不明瞭になる場合は、図２０（ａ）〜図２０（ｅ）を用いて説明した方法を用いて対応テーブル作製を行うのが良い。
【０１４３】
（Ｓ７０：体積演算）
次に、撮像工程Ｓ４０で得られた液滴の画像データを用いて各液滴の体積を算出する液滴評価工程Ｓ７０について、図２１と図２２を用いて説明する。図２１は、本発明の実施の形態における画像輝度情報から液滴形状を復元する方式を説明する図であり、図２２は、本発明の実施の形態における輝度情報から復元した形状から体積を導出する方法を説明する図である。
【０１４４】
まず、図２１を用いて輝度情報から液滴形状を復元する方法について説明する。
図２１（ａ）は、撮像工程Ｓ４０によって撮像した画像を上から見下ろした図である。
図２１（ｂ）は、図２１（ａ）のＸ１断面の輝度から求めた傾きである。
図２１（ｃ）は、図２１（ｂ）の傾きから求めた高さ（液滴の形状）である。
【０１４５】
液滴評価工程Ｓ７０では、図２１のように撮像工程Ｓ４０で得られた液滴の画像データを、対応テーブル作製工程Ｓ６０で得られた対応テーブルを使って画素毎の輝度情報を傾きデータに変換する。図２１（ｂ）では、図２１（ａ）のＸ１断面を例に輝度情報から変換した傾きを表している。次に、図２１（ｂ）の傾きを液滴の中心から順番に積分していくことで、図２１（ｃ）の様に液滴の高さ（形状）が復元できる。
【０１４６】
なお、この際の液滴の中心は、パターンマッチングやエッジ検出等の既存の画像認識方法で液滴中心を求めても良いし、液滴の輝度情報を使用して輝度重心を求めても良い。
【０１４７】
次に、図２２を用いて液滴の体積を求める方法について説明する。図２２のＡは、図２１（ａ）の画像データの液滴上の任意の点での画素である。図２１で説明した様に、撮像画像の各画素の輝度は、画素毎に輝度から傾きを求め、高さが求まるので液滴の体積は、液滴直径内の全画素の高さの総和となる。その際、図２１で求めた形状からは液滴の高さの絶対値がわからない為、既存の画像認識手法によって液滴の直径を求め、その直径付近の画素の高さを基準として、液滴直径内の画素の高さの総和を求めて体積とする。
【０１４８】
なお、ここでは液滴の全画素の情報を使用して体積を復元する方法について説明したが、例えば図２１（ｃ）の様に液滴中心をとおる液滴高さ断面を数式で近似して液滴中心周りに回転させて数式的に体積を求める方法をとっても良い。
【０１４９】
なお、液滴評価工程Ｓ７０で求めた液滴の体積を、液滴の吐出体積調整に使用するには、予め定められたノズルの液滴の体積との変異量を求め、所定の範囲内に収まる様に、各ノズルに対応した圧電アクチュエータへの印加電圧を調整するのが良い。
【０１５０】
上述した様に、液滴の表面の三次元座標系上の位置における傾きと当該位置に対応する輝度情報との対応関係を表す対応テーブルから、ヘッドの少なくとも一部のノズルから吐出させた任意の液滴の任意箇所の輝度情報から任意の液滴の任意箇所の傾きを導出することが出来る。
【０１５１】
また、上述した構成によれば、印刷対象物に塗布された液滴の形状が大きく異ならない場合において、高速に液滴吐出量を同定することができる。
【０１５２】
またこれらの構成によれば、吐出量（液滴の体積）測定以外にも、液滴の表面形状等の測定にも用いることができる。
【０１５３】
＜なお書き＞
なお、図１に示す印刷装置では、液滴評価工程Ｓ７０で求めた液滴の体積を用いて、予め定められたノズルの液滴の体積との変異量を求めてから、所定の範囲内に収まる様に、各ノズルに対応した圧電アクチュエータへの印加電圧を調整している。
【０１５４】
なお、本構成による吐出量測定方法では、光の反射量が測定精度を決める重要な要素であるため、例えば測定対象物を設置するステージ面の反射率にムラがあった場合に測定精度の悪化を招く。
【０１５５】
そこで、測定対象物を設置するステージ面の反射率のムラを排除するために、測定対象物の撮像とは別途、測定物を置かない状態でステージ面を撮像し、測定物を置いた状態で撮像した画像輝度から、測定物を置かない状態で撮像した画像輝度を引いた画像を作製してから、上記方法により体積を測定するのが望ましい。
【０１５６】
なお、本構成による吐出量測定方法では、測定対象物とレンズの位置関係が異なる場合、対象液滴は同一であっても、レンズ歪みの影響によって、測定される体積が異なる可能性がある。また、カメラの取り付け角度の微小な違いによって、測定対象物とレンズの位置関係と、測定される体積の関係も異なる。
【０１５７】
そのため、事前にマスターサンプル等を用い、測定対象物とレンズの位置関係と、測定される体積の関係を導出しておき、実際に撮像して体積測定を行った後に上記違いをキャンセルする手法を用いるのが望ましい。
【０１５８】
＜ノズル数Ｎ＞
次に、上記実施の形態で説明した液滴測定方法が従来の方法に比べて顕著な効果を発揮するノズル数Ｎの範囲を、次式（式５）に示す。
【０１５９】
６０≦Ｎ≦１，２００，０００  ・・・・・・・・・・・・・・・・・（式５）
以下に、（式５）の下限と上限の根拠を説明する。
【０１６０】
下限については、次の通りである。
【０１６１】
光干渉等による従来の液滴測定方式と、本実施の形態の液滴測定方法のそれぞれの測定時間を比較した際に、本実施の形態の液滴測定方法では、従来方式と同等の測定装置を用いて、評価対象となる全てのノズルから吐出される体積測定用液滴サンプル中から所定数の液滴を抽出して、形状を測定して「輝度比−傾き」対応テーブルを作る必要がある為、測定に準備が必要となる。
【０１６２】
その為、例えば１液滴を測定するだけであれば、従来の方法の方が早いが、本実施の形態の液滴測定方法は、１液滴当たりの測定時間が従来に比べて早い為、ある滴数以上で従来法より総合的な測定時間が短くなる。
【０１６３】
そこで、従来の方法による測定時間Ｆは、次式（式６）で表すことが出来る。
【０１６４】
Ｆ＝Ａ＋Ｂ×Ｎ  ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（式６）
ここで、Ａは従来の方法の準備時間、Ｂは従来の方法の１液滴当たりの測定時間、Ｎは測定対象（評価対象）の液滴個数、即ちノズル数を示すものとする。
【０１６５】
次に、本実施の形態の方法による測定時間Ｇは、次式（式７）で表すことが出来る。
【０１６６】
Ｇ＝Ａ’＋Ｄ×Ｎ＋Ｂ×（Ｎ／Ｅ＋１）  ・・・・・・・・・・・（式７）
ここで、Ａ’は本実施の形態の方法の準備時間、Ｄは本実施の形態の方法の１液滴当たりの測定時間、Ｅは従来の方法を用いて液滴の形状を測定する際の抽出される液滴間隔を示すものとする。
【０１６７】
上記変数の具体的な値としては、Ａ＝３０ｓｅｃ、Ｂ＝１ｓｅｃ、Ａ’＝６０ｓｅｃ、Ｄ＝０．００１ｓｅｃ、Ｅ＝１００滴として、これらの値を、上記（式６）、（式７）にそれぞれ代入すると、Ｎ＝６０個あたりで、従来の方法による測定時間Ｆと、本実施の形態による測定時間Ｇが、ともに概ね９０ｓｅｃとなり、それ以上大きな液滴数（ノズル数）になれば、本実施の形態による測定時間Ｇの方が、従来の方法による測定時間Ｆより短くなるため、下限は６０個と設定できる。
【０１６８】
一方、上限については次の通りである。
【０１６９】
仮に、測定対象を６０個より大幅に増やすと、測定時間が長くなり事実上、測定が困難となる。
【０１７０】
そこで、本実施の形態の方法を用いたとしても、１色当たりの測定時間が４時間程度になるノズル数では、例えば、ＲＧＢの３色で測定時間が１２時間となる。液滴の体積調整は、電圧変更と、体積測定の工程を２〜３回行って調整するものとすると、トータルの測定時間は、２４時間〜３６時間となり、実用上は、稼働率等を確保するためには実現困難な値の下限となる。
【０１７１】
よって、上記１色当たりの測定時間Ｇが４時間程度になるノズル数を求めると概ね１，２００，０００個となるため、これを上限とした。
【０１７２】
以上のことから、ノズル数が６０個以上で１０万個以下の範囲では、本実施の形態の液滴測定方法によれば、従来の方法より、短い測定時間で、且つ、測定精度を確保できる。
【０１７３】
（第２の液滴測定方法）
尚、上記実施の形態では、本発明の液滴測定方法として、評価対象となる液滴を吐出して、その一部の液滴を、対応テーブルの作製に用いる場合について説明した（図２参照）。
【０１７４】
しかし、これに限らず例えば、本発明の他の液滴測定方法の一例として、図２３に示す工程により構成されていても良い。図２３は、第２の液滴測定方法を示す概略のフロー図である。
【０１７５】
図２３において、第１工程ＳＳ１００は、図２で示した液滴測定方法を示すフロー図であり、各工程において、図２と同じ工程には同じ符号を付した。また、図２３において、別の基板作製工程Ｓ１１０、別の吐出・塗布工程Ｓ１２０、別の乾燥工程Ｓ１３０、別の撮像工程Ｓ１４０は、図２で説明した、基板作製工程Ｓ１０、吐出・塗布工程Ｓ２０、乾燥工程Ｓ３０、撮像工程Ｓ４０と基本的に同じである。また、図２３の別の液滴評価工程Ｓ１７０は、対応テーブル作製工程Ｓ６０で作製された対応テーブルを用いて液滴を評価する点を除いて、図２で説明した液滴評価工程Ｓ７０と基本的に同じである。
【０１７６】
図２３に示す第２の液滴測定方法は、例えば、図１のラインヘッド９について、第１工程ＳＳ１００（Ｓ１０〜Ｓ７０を含む）を最初に実施する。その後、同じラインヘッド９について、例えば、１週間毎に簡易測定を実施する場合は、１週間前に行った最初の測定で作製された対応テーブル（Ｓ６０参照）を用いて、基板作製工程Ｓ１１０〜液滴評価工程Ｓ１７０に従って測定を行い、更に、例えば、１ヶ月毎に実施する定期測定では、再び、第１工程ＳＳ１００（Ｓ１０〜Ｓ７０を含む）に従って測定を行う構成である。
【０１７７】
この構成によれば、測定の度に対応テーブルを作製する必要がないので、より効率良く、短時間で測定が行えて、且つ測定精度も確保出来るという効果を発揮する。
【０１７８】
また、上記実施の形態では、本発明の液滴測定方法として、評価対象となる液滴を吐出して、その一部の液滴を、対応テーブルの作製に用いる場合について説明した（図２参照）。
【０１７９】
しかし、これに限らず例えば、本発明の他の液滴測定方法の一例として、図２４に示す様に、対応テーブルを作製するだけのために液滴を吐出し、評価対象の液滴を吐出する工程を別の工程として設けた構成であっても良い。図２４は、第３の液滴測定方法を示す概略のフロー図である。図２４において、図２と同じ工程には同じ符号を付した。
【０１８０】
図２４の対応テーブル作製用吐出塗布工程Ｓ２２０は、評価対象のノズルの内、対応テーブル作製用として設定された一部のノズルから液滴を吐出する点を除いて、図２の吐出・塗布工程Ｓ２０と基本的に同じである。ここで、一部のノズルの設定の方法は、上記実施の形態の形状測定工程Ｓ５０における液滴の抽出について説明した抽出の仕方と同じである。
【０１８１】
また、図２４の形状測定工程Ｓ２５０は、対応テーブル作製用吐出塗布工程Ｓ２２０において予め設定された一部のノズルから吐出された全ての液滴について形状を測定する点を除いて、図２の形状測定工程Ｓ５０と基本的に同じである。
【０１８２】
また、図２４の対応テーブル作製工程Ｓ２６０は、対応テーブル作製用吐出塗布工程Ｓ２２０において予め設定された一部のノズルから吐出された液滴を全て用いて対応テーブルを作製する点を除いて、図２の対応テーブル作製工程Ｓ６０と基本的に同じである。
【０１８３】
また、液滴評価工程Ｓ３７０は、対応テーブル作製工程Ｓ２６０で作製された対応テーブルを用いて液滴を評価する点を除いて、図２で説明した液滴評価工程Ｓ７０と基本的に同じである。
【０１８４】
ここで、対応テーブル作製用吐出塗布工程Ｓ２２０で用いた液滴と、液滴評価工程Ｓ３７０で評価対象となった液滴とは異なる液滴であるが、それらの液滴を吐出したノズルを有するラインヘッド（図１のラインヘッド９参照）は同じものである。この構成により、上記実施の形態の液滴測定方法と同様の効果を発揮する。
【０１８５】
（第３の液滴測定方法）
また、図２４に示す第３の液滴測定方法は、対応テーブル作製用吐出塗布工程Ｓ２２０において、対応テーブルを作製するだけのために、評価対象の全てのノズルの内の一部のノズルから液滴を吐出する。それとは別に、吐出・塗布工程Ｓ２０において、評価対象の全てのノズルから液滴を吐出する点で、図２の液滴測定方法と相違する。
【０１８６】
しかし、図２５の対応テーブル作製用吐出塗布工程Ｓ２２０は、図２の吐出・塗布工程Ｓ２０と同様に、評価対象の全てのノズルから液滴を吐出させて、対応テーブル作製工程Ｓ２６０において、全てのノズルから吐出された液滴の一部の液滴を抽出して、対応テーブル作製に用いる構成であっても良い。
【０１８７】
また、上記実施の形態（図２４参照）では、本発明の他の液滴測定方法の一例として、対応テーブルを作製するだけのために液滴を吐出し、評価対象の液滴を吐出する工程を別の工程として設けた構成について説明した。
【０１８８】
しかし、これに限らず例えば、本発明の他の液滴測定方法の一例として、図２５に示す工程により構成されていても良い。図２５は、第４の液滴測定方法を示す概略のフロー図である。
【０１８９】
図２５において、第２工程Ｓ２００は、図２４で示した第３の液滴測定方法を示すフロー図であり、各工程において、図２４と同じ工程には同じ符号を付した。また、図２５において、別の基板作製工程Ｓ４１０、別の吐出・塗布工程Ｓ４２０、別の乾燥工程Ｓ４３０、別の撮像工程Ｓ４４０は、図２４で説明した、基板作製工程Ｓ１０、吐出・塗布工程Ｓ２０、乾燥工程Ｓ３０、撮像工程Ｓ４０と基本的に同じである。
【０１９０】
また、図２５の別の液滴評価工程Ｓ４７０は、対応テーブル作製工程Ｓ２６０で作製された対応テーブルを用いて液滴を評価する点を除いて、図２５で説明した液滴評価工程Ｓ３７０と基本的に同じである。
【０１９１】
（第４の液滴測定方法）
図２５に示す第４の液滴測定方法は、例えば、図１のラインヘッド９について、第２工程Ｓ２００を最初に実施して、その後、同じラインヘッド９について、例えば、１週間毎に簡易測定を実施する場合は、１週間前に行った最初の測定で作製された対応テーブル（Ｓ２６０参照）を用いて、基板作製工程Ｓ４１０〜液滴評価工程Ｓ４７０に従って測定を行う。更に、例えば、１ヶ月毎に実施する定期測定では、再び、第２工程ＳＳ２００に従って測定を行う構成である。
【０１９２】
この構成によれば、測定の度に対応テーブルを作製する必要がないので、より効率良く、短時間で測定が行えて、且つ測定精度も確保出来るという効果を発揮する。
【０１９３】
また上記実施の形態では、同一の基板に液滴を形成する場合、また別基板に液滴を形成する場合を説明した。この基板であるが、最初に基板１１０を作製しておき、割段後にそれぞれの液滴形成に用いても良い。こうすれば基板のロット間のでばらつきを低減することができる。
【０１９４】
また、上記実施の形態では、減圧チャンバー（図示省略）内において、減圧雰囲気中で基板上の液滴を乾燥させる乾燥工程を備えた構成について説明した。しかし、これに限らず例えば、減圧チャンバーを備えず、大気圧中において、基板上の液滴を乾燥させる乾燥工程を備えた構成であっても良い。
【０１９５】
また、上記実施の形態では、評価対象のノズルは、ラインヘッド９の全てのノズルを対象とした場合について説明したが、これに限らず例えば、ラインヘッド９の一部のノズルを評価対象としても良い。
【０１９６】
また、上記実施の形態では、液滴評価工程では、吐出・塗布工程で吐出された液滴（但し、ダミー液滴は除く）は全て評価する場合について説明したが、これに限らず例えば、吐出・塗布工程で吐出された液滴（但し、ダミー液滴は除く）の一部の液滴についてのみ評価する構成であっても良い。
【０１９７】
また、上記実施の形態では、乾燥後の液滴と基板の接触角αを、対物レンズの最大角度θに一致させる様に接触角αを調整した場合（α＝θ）について説明したが、これに限らず例えば、接触角αは、対物レンズの最大角度θに一致していなくても良い。
【０１９８】
また、本実施の形態では、対応テーブル作製工程において、乾燥後の液滴と基板の接触角αを、対物レンズの最大角度θに一致させる様に接触角αを調整した場合（α＝θ）について説明した。しかし、これに限らず例えば、接触角αが（式３）に示した下限に調整された場合（即ち、α＝１／５×θ）であっても、上述したα＝θの場合と同様、公知の液滴形状測定装置を用いて液滴のプロファイルを測定（図９（ａ）のグラフ８１０参照）する。
【０１９９】
その測定されたプロファイルから、対応テーブル作製工程Ｓ６０により、「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」とその位置における「傾き」との関係が求められると共に（図９（ｂ）の液滴傾きグラフ８１１参照）、カメラ６０１を用いて撮像された液滴の輝度情報から「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」とその位置における「輝度」との対応関係を作製（図９（ｃ）の液滴輝度グラフ８１２参照）する。
【０２００】
更に、「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」とその位置における「輝度比」との対応関係（図示省略）を作製することが出来る。そして、図９（ｂ）に示した、「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」とその位置における「傾き」との関係（図９（ｂ）の液滴傾きグラフ８１１参照）と、「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」とその位置における「輝度比」との関係から、上記と同様に、「輝度比―傾き」対応テーブルを作製することが出来る。
【０２０１】
また、本実施の形態では、対応テーブル作製工程において、液滴と基板の接触角αを、対物レンズの最大角度θに一致させる様に接触角αを調整した場合（α＝θ）について説明した。しかし、これに限らず例えば、接触角αが（式３）に示した上限に調整された場合（即ち、α＝３×θ）であっても、上述したα＝θの場合と同様、公知の液滴形状測定装置を用いて液滴のプロファイルを測定（図１０（ａ）のグラフ９１０参照）する。
【０２０２】
その測定されたプロファイルから、対応テーブル作製工程Ｓ６０により、「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」とその位置における「傾き」との関係が求められる。それと共に（図１０（ｂ）の液滴傾きグラフ９１１参照）、カメラ６０１を用いて撮像された液滴の輝度情報から「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」とその位置における「輝度」との対応関係を作製し（図１０（ｃ）の液滴輝度グラフ９１２参照）、更に、「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」とその位置における「輝度比」との対応関係（図示省略）を作製することが出来る。
【０２０３】
そして、図１０（ｂ）に示した、「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」とその位置における「傾き」との関係（図１０（ｂ）の液滴傾きグラフ９１１参照）と、「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」とその位置における「輝度比」との関係から、上記と同様に、「輝度比―傾き」対応テーブルを作製することが出来る。
【０２０４】
なお、図１０（ｃ）に示す「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」とその位置における「輝度」との対応関係を示す液滴輝度グラフ９１２は、上述した通り、傾きがθを超えた部分の輝度情報は、液滴形状を反映した輝度情報ではなく、例えば一定の値を取ることになる。従って、「液滴中心（原点）からのＸ軸方向の距離」とその位置における「輝度比」との対応関係についても、傾きがθを超えた部分の輝度比は、液滴形状を反映した輝度比ではなく、上記と同様に一定の値を取ることになるので、「輝度比―傾き」対応テーブルは、液滴中心から液滴の半径の１／２の範囲内において作製される。
【産業上の利用可能性】
【０２０５】
本発明の液滴の形成方法と測定方法、及び液滴測定システムよれば、塗布した液滴の体積或いは形状を高速に測定するとともに、測定精度を確保することが可能となり、例えば、印刷対象物の色むら等を管理するための測定およびインクジェット装置の校正を高速に行うことができる。
【０２０６】
また、そのため、例えば有機ＥＬディスプレイパネルの製造における有機発光材料を塗布形成するための液滴吐出式印刷装置の利用に有用である。
【符号の説明】
【０２０７】
１  印刷対象物
２  ヘッドユニット
３  テーブル
４  脚部
５  支持部
６  ガントリー
７  支持台
８  分配タンク
９  ラインヘッド
Ｄ  距離
Ｎ  ノズル数
Ｐ  ピッチ
Ｚ  昇降方向
ｎ  屈折率
１０  液滴吐出モジュールヘッド
１１  ステージ
１２  制御部
２０  撮像機構
３３  液滴
５０  液滴吐出装置
ＮＡ  レンズ
１００  基板
１０１  支持基板
１０２  高分子膜
１０２ａ  第１高分子膜
１０２ｂ  第２高分子膜
１１０  基板
１２０  対応テーブル作製部
１３０  体積算出部
２０１  対物レンズ
２０２  液滴
３０１  液滴
３０２  ダミー液滴
３０３  基板
３０５  基板
４０１  体積測定用液滴サンプル
４０２  溶媒雰囲気
４０３  基板
５０１  一端側領域
５０２  他端側領域
５０３  中央領域
６００  光源
６０１  カメラ
６０２  レンズ
６０３  治具
６０４  走査軸
６０５  駆動機構
６０６  方向駆動機構
６０７  センサ
８０１  グラフ
８０２  画像輝度グラフ
８０３  液滴
８０４  液滴
８０５  液滴
８０６  液滴
８１０  グラフ
８１１  グラフ
８１２  液滴輝度グラフ
９０１  グラフ
９０２  画像輝度グラフ
９１０  グラフ
９１１  グラフ
９１２  液滴輝度グラフ
Ｓ１０  基板作製工程
Ｓ２０  塗布工程
Ｓ３０  乾燥工程
Ｓ４０  撮像工程
Ｓ５０  形状測定工程
Ｓ６０  対応テーブル作製工程
Ｓ７０  液滴評価工程
１０００  ディスプレイ部分
Ｓ１１０  基板作製工程
Ｓ１２０  塗布工程
Ｓ１３０  乾燥工程
Ｓ１４０  撮像工程
Ｓ１７０  液滴評価工程
Ｓ２００  第２工程
Ｓ２２０  対応テーブル作製用吐出塗布工程
Ｓ２５０  形状測定工程
Ｓ２６０  対応テーブル作製工程
Ｓ３７０  液滴評価工程
Ｓ４１０  基板作製工程
Ｓ４２０  塗布工程
Ｓ４３０  乾燥工程
Ｓ４４０  撮像工程
Ｓ４７０  液滴評価工程
ＳＳ１００  第１工程
ＳＳ２００  第２工程
【図１】
2016022416.tif 000003
【図２】
2016022416.tif 000004
【図３】
2016022416.tif 000005
【図４】
2016022416.tif 000006
【図５】
2016022416.tif 000007
【図６】
2016022416.tif 000008
【図７】
2016022416.tif 000009
【図８】
2016022416.tif 000010
【図９】
2016022416.tif 000011
【図１０】
2016022416.tif 000012
【図１１】
2016022416.tif 000013
【図１２】
2016022416.tif 000014
【図１３】
2016022416.tif 000015
【図１４】
2016022416.tif 000016
【図１５】
2016022416.tif 000017
【図１６】
2016022416.tif 000018
【図１７】
2016022416.tif 000019
【図１８】
2016022416.tif 000020
【図１９】
2016022416.tif 000021
【図２０】
2016022416.tif 000022
【図２１】
2016022416.tif 000023
【図２２】
2016022416.tif 000024
【図２３】
2016022416.tif 000025
【図２４】
2016022416.tif 000026
【図２５】
2016022416.tif 000027