(57)【要約】【課題】真空ポンプの消費電力を抑制するとともに、設置コスト及び保守コストを低減可能な真空ポンプの消費電力を抑制する消費電力抑制装置を提供すること。【解決手段】真空ポンプの消費電力抑制装置１は、第１筒体１０及び第２筒体２０と、真空ポンプの排出側を吸引するために前記第１筒体と第２筒体との間に介在させる逆止弁３０と、前記真空ポンプの排出側を吸引するために作動させるエゼクター４０と、を備える。前記エゼクターは前記第１筒体及び前記第２筒体と連通接続する。【選択図】図２
2016211441.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバー等に接続する真空ポンプの消費電力抑制装置であって、
前記真空ポンプの排気側に連通接続する第１筒体と、
前記第１筒体と同径の第２筒体と、
前記第１筒体と前記第２筒体との間に介在させる逆止弁と、
前記第１筒体及び前記第２筒体と連通接続するエゼクターと、
で構成し、
前記エゼクターを作動させて前記第１筒体と連通接続した前記真空ポンプの排気側を吸引することにより、当該真空ポンプの消費電力を抑制する消費電力抑制装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、真空チャンバー等に接続する真空ポンプの排気側に接続することにより、前記真空ポンプの消費電力を抑制する効果を有する消費電力抑制装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
真空ポンプの排気側を減圧することで真空ポンプの負荷が軽減され消費電力が抑制されることは周知であり、真空ポンプの排気側にさらに真空ポンプを多段に配置する構成が開示・提案されている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−８３０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前述の特許文献１のように、真空ポンプの最後段の排気空間に補助ポンプを配置する構成は、補助ポンプの設置コスト及び保守コストが多大となるため、現実には普及が進んでいない。
【０００５】
そこで、補助ポンプを設置するのに比べて、設置コスト及び保守コストが低減可能であり、かつ、真空ポンプの消費電力を抑制できる真空ポンプの消費電力抑制装置を提供することを課題とする。
【０００６】
本願発明の真空ポンプの消費電力抑制装置は、上述の課題を解決するために、真空ポンプの排気側に連通接続する第１筒体と、前記第１筒体と同径の第２筒体と、前記第１筒体と前記第２筒体との間に介在させる逆止弁と、前記第１筒体及び前記第２筒体と連通接続するエゼクターと、で構成し、前記エゼクターを作動させて前記第１筒体と連通接続した真空ポンプの排気側を吸引することにより、真空ポンプの消費電力を抑制する消費電力抑制装置を提供する。
【発明の効果】
【０００７】
本願発明の真空ポンプの消費電力抑制装置は、設置コスト及び保守コストが真空ポンプよりも低コストであるエゼクターを使用する構成であるため、設置コスト及び保守コストが大きく低減され得る。また、真空ポンプの消費電力を９２０Ｗ／時から最大で４６０Ｗ／時まで抑制することができた。
【０００８】
さらに、取り付けが容易であること、真空ポンプに接続された真空チャンバー等の真空度が向上し得ること等のメリットも併せ持つ。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は消費電力抑制装置の全体構成を示す外観図である。
【図２】図２は逆止弁の内部構造等を示す内部構造イメージ図である。
【図３】図３は真空ポンプの排気側に消費電力抑制装置を取り付けた状態を示す使用状態図である。
【図４】図４は消費電力抑制装置の作動を示す作動状態説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
真空チャンバーに接続する真空ポンプの排気側に取り付けて使用する。
【実施例１】
【００１１】
真空ポンプの消費電力抑制装置の構成について、図１及び図２に従い説明する。
【００１２】
真空ポンプの消費電力抑制装置（１）は、真空ポンプの排気側に連通接続する第１筒体（１０）と、前記第１筒体と同径の第２筒体（２０）と、前記第１筒体と前記第２筒体との間に介在させる逆止弁（３０）と、３方に連通する流体吸排出部を備え、前記第１筒体及び前記第２筒体と連通接続するエゼクター（４０）と、で構成する（図１）。
【００１３】
前記第１筒体（１０）の側面には、当該筒体内部に連通し、前記エゼクター（４０）と接続するエゼクター吸気口（１１）を備える（図２）。
【００１４】
前記第２筒体（２０）の側面には、当該筒体内部に連通し、前記エゼクター（４０）と接続するエゼクター排気口（２１）を備える（図２）。
【００１５】
前記逆止弁（３０）の配置方向について、真空ポンプの排気側を吸引するために前記第２筒体（２０）側から前記第１筒体（１０）側への一方通行としている（図２）。
【００１６】
前記エゼクター（４０）の構成について、当該エゼクターの駆動流体（例えば、窒素ガス）を吸入する部分である駆動流体吸入部（４１）と、前記駆動流体を排出する部分である駆動流体排出部（４２）と、接続した箇所の流体を吸引する部分である流体吸引部（４３）とで構成する（図２）。
【００１７】
なお、前記駆動流体排出部（４２）は、前記エゼクター排気口（２１）と連通接続する（図２）。
【００１８】
なお、前記流体吸引部（４３）は、前記エゼクター吸気口（１１）と連通接続する（図２）。
【００１９】
次に、真空ポンプの消費電力抑制装置を真空ポンプの排気側に取り付けた際の作動について図３及び図４に従い説明する。
【００２０】
エゼクターの駆動流体である所定流量の窒素ガスを駆動流体吸入部（４１）から吸入し、駆動流体排出部（４２）、エゼクター排気部（２１）を経由して第２筒体（２０）へ排出する（図４）。
【００２１】
前記の作動により、流体吸引部（４３）から前記駆動流体排出部（４２）へ、さらにはエゼクター吸気口（１１）、第１筒体（１０）を経由して前記第１筒体と連通接続された真空ポンプ（Ｐ）の排気側が吸引される（図３及び図４）。
【００２２】
前述の様に、真空ポンプの排気側が吸引されるため、当該真空ポンプの吸気側に接続された真空チャンバー等（図示せず）から吸引する際の当該真空ポンプの消費電力が抑制される。また、当該真空チャンバー等（図示せず）の真空度も向上する。
【００２３】
なお、前記エゼクターの駆動流体である窒素ガスの流量を１０リットル／分にした場合、真空ポンプの消費電力が９２０Ｗ／時から８４０Ｗ／時に抑制された。
【００２４】
また、前記エゼクターの駆動流体である窒素ガスの流量を２０リットル／分にした場合、真空ポンプの消費電力が９２０Ｗ／時から６００Ｗ／時に抑制され、真空チャンバーの真空度は１．９０ｋＰａから０．８５ｋＰａに向上した。
【００２５】
また、前記エゼクターの駆動流体である窒素ガスの流量を３０リットル／分にした場合、真空ポンプの消費電力が９２０Ｗ／時から５２０Ｗ／時に抑制され、真空チャンバーの真空度は１．９０ｋＰａから０．３０ｋＰａに向上した。
【００２６】
また、前記エゼクターの駆動流体である窒素ガスの流量を３５リットル／分にした場合、真空ポンプの消費電力が９２０Ｗ／時から４６０Ｗ／時に抑制され、真空チャンバーの真空度は１．９０ｋＰａから０．２８ｋＰａに向上した。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
本願発明の真空ポンプの消費電力抑制装置は、設置コスト及び保守コストを低減するとともに、優れた効果を発揮する装置であるから産業上の利用可能性を有する。
【符号の説明】
【００２８】
１        真空ポンプの消費電力抑制装置
１０      第１筒体
１１      エゼクター吸気口
２０      第２筒体
２１      エゼクター排気口
３０      逆止弁
４０      エゼクター
４１      駆動流体吸入部
４２      駆動流体排出部
４３      流体吸引部
Ｐ        真空ポンプ
【図１】
2016211441.tif 000003
【図２】
2016211441.tif 000004
【図３】
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【図４】
2016211441.tif 000006