(57)【要約】【課題】水酸化インジウムを含む電解スラリーの凝集を抑制することによって、粒度分布幅が狭い水酸化インジウム粉を生成する。【解決手段】インジウムを電解して水酸化インジウム粉を生成する電解装置１００であって、電解液１０２が貯留され、複数の電極１０３、１０４が設けられる電解槽１０１と、電解槽と接続され、当該電解槽に貯留される電解液を調整する調整槽１１０と、調整槽内の電解液を撹拌する撹拌機構１１３と、を備え、調整槽は、槽側壁１１１が円筒形状を有し、かつ槽底１１２が下方に向かって漸次縮小する漏斗状の構成となっていることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インジウムを電解して水酸化インジウム粉を生成する電解装置であって、
電解液が貯留され、複数の電極が設けられる電解槽と、
前記電解槽と接続され、該電解槽に貯留される前記電解液を調整する調整槽と、
前記調整槽内の前記電解液を撹拌する撹拌機構と、を備え、
前記調整槽は、槽側壁が円筒形状を有し、かつ槽底が下方に向かって漸次縮小する漏斗状の構成となっていることを特徴とする電解装置。
【請求項２】
前記撹拌機構は、
前記電解液を撹拌可能なインペラが取り付けられる撹拌軸と、
前記撹拌軸を介して前記インペラの傾き及び鉛直方向における高さ位置を調整可能な可変機構と、を備え、
前記可変機構は、前記インペラを前記調整槽の中央側に配置させ、かつ前記撹拌軸を鉛直方向に対して０〜１０°の範囲で傾けながら、該インペラの前記高さ位置を調整することを特徴とする請求項１に記載の電解装置。
【請求項３】
前記調整槽は、
前記槽側壁の下部側に設けられ、前記調整槽から前記水酸化インジウムを含む電解スラリーを前記電解槽に送液するためのスラリー取口と、
前記調整槽の上部側に設けられ、前記電解槽から前記調整槽に前記電解スラリーを戻すためのスラリー戻口と、を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の電解装置。
【請求項４】
前記調整槽は、前記電解スラリーを含む前記電解液を前記調整槽と前記電解槽との間で循環させる循環手段を介して、前記スラリー取口及び前記スラリー戻口を経由して前記電解槽と接続されていることを特徴とする請求項３に記載の電解装置。
【請求項５】
前記調整槽の槽底の傾斜が３°以上、４５°以下であることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の電解装置。
【請求項６】
前記調整槽の前記槽底の中央部には、前記水酸化インジウムを含む前記電解スラリーを抜き取るためのスラリー抜取口が設けられることを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の電解装置。
【請求項７】
インジウムをアノードとして、電解により水酸化インジウム粉を製造する水酸化インジウム粉の製造方法であって、
請求項１乃至６の何れか１項に記載の電解装置を用いて前記電解を行うことを特徴とする水酸化インジウム粉の製造方法。
【請求項８】
前記電解装置を用いて電解中は、調整槽に備わる撹拌機構により、水酸化インジウムを含む電解スラリーを乱流状態で撹拌しながら、前記調整槽の槽壁下部に設置されたスラリー取口から電解槽に撹拌後の該電解スラリーを送液すると共に、該電解槽から前記調整槽の上部側に設置されたスラリー戻口に該電解スラリーを戻すことによって、該電解スラリーを前記調整槽と前記電解槽との間で循環させることを特徴とする請求項７に記載の水酸化インジウム粉の製造方法。
【請求項９】
前記電解の終了後に前記調整槽の前記撹拌機構を停止させてから、前記循環槽と前記電解槽との間の前記電解スラリーの循環を停止して、前記調整槽の槽底の中央部に設置されたスラリー抜取口から前記水酸化インジウムを含む前記電解スラリーを抜き取って回収することを特徴とする請求項８に記載の水酸化インジウム粉の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インジウムを電解して水酸化インジウム粉を生成する電解装置、及び当該電解装置を用いた水酸化インジウム粉の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、太陽電池用途とタッチパネル用途として透明導電膜の利用が増えており、それに伴ってスパッタリングターゲット等、透明導電膜形成用材料の需要が増加している。かかる透明導電膜形成用材料には、酸化インジウム系焼結材料が主に使用されており、その主原料として酸化インジウム粉が使用されている。スパッタリングターゲットに使用される酸化インジウム粉は、高密度ターゲットを得るために出来るだけ粒度分布の幅が狭いことが望ましい。
【０００３】
特許文献１には、金属インジウムを電解処理することで水酸化インジウムの沈澱を生じさせ、これを仮焼して酸化インジウム粉を製造する方法である所謂電解法によって、粒度分布の幅が狭い水酸化インジウム粉と、それを用いた酸化インジウム粉の製造方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−７４２２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、電解で発生する水酸化インジウムを含む電解スラリーが電解槽と電解液を調整する調整槽との循環時に各槽の四隅等の端部に溜まり、停滞することで、凝集しやすいという問題があった。また、凝集した水酸化インジウムを含む電解スラリーが循環ポンプに入るとポンプのインペラの破損や電解槽出口の噴出しノズルが詰まって、循環不足が発生することが問題となっていた。このように電解槽と調整槽との間の循環能力が低下すると、電解液へのイオン供給が不足して、水酸化インジウム粉の粒径が不均一となる現象が発生していた。
【０００６】
粒径が不均一な水酸化インジウム粉を仮焼して得られる酸化インジウム粉は、一次粒子径が比較的均一であるものの、それらの粒子が強く凝集した凝集粉となり易くなる。このような凝集によって、酸化インジウム粉の粒度分布の幅が広くなるため、ターゲットの高密度化が阻害されることが問題となる。すなわち、粒度分布幅の狭い酸化インジウム粉を生成するためには、その仮焼前の水酸化インジウム粉を生成する過程において、水酸化インジウム粉を含む電解スラリーの凝集を抑制して、当該電解スラリーの凝集物が槽内に溜まるのを防止する必要がある。
【０００７】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、水酸化インジウム粉を含む電解スラリーの凝集を抑制することによって、粒度分布幅が狭い水酸化インジウム粉を生成することの可能な、新規かつ改良された電解装置、及び水酸化インジウム粉の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様は、インジウムを電解して水酸化インジウム粉を生成する電解装置であって、電解液が貯留され、複数の電極が設けられる電解槽と、前記電解槽と接続され、該電解槽に貯留される前記電解液を調整する調整槽と、前記調整槽内の前記電解液を撹拌する撹拌機構と、を備え、前記調整槽は、槽側壁が円筒形状を有し、かつ槽底が下方に向かって漸次縮小する漏斗状の構成となっていることを特徴とする。
【０００９】
本発明の一態様によれば、槽底が下方に向かって漸次縮小する漏斗状の構成となっている調整槽内の電解液を撹拌することによって、調整槽の槽底の端部に電解スラリーが停滞して凝集することを抑制できる。
【００１０】
このとき、本発明の一態様では、前記撹拌機構は、前記電解液を撹拌可能なインペラが取り付けられる撹拌軸と、前記撹拌軸を介して前記インペラの傾き及び鉛直方向における高さ位置を調整可能な可変機構と、を備え、前記可変機構は、前記インペラを前記調整槽の中央側に配置させ、かつ前記撹拌軸を鉛直方向に対して０〜１０°の範囲で傾けながら、該インペラの前記高さ位置を調整することとしてもよい。
【００１１】
このようにすれば、調整槽内で電解液を十分に撹拌できるので、電解スラリーの調整槽内での凝集を確実に抑制できる。
【００１２】
また、本発明の一態様では、前記調整槽は、前記槽側壁の下部側に設けられ、前記調整槽から前記水酸化インジウムを含む電解スラリーを前記電解槽に送液するためのスラリー取口と、前記調整槽の上部側に設けられ、前記電解槽から前記調整槽に前記電解スラリーを戻すためのスラリー戻口と、を備えることとしてもよい。
【００１３】
このようにすれば、電解液が調整槽と電解槽との間を循環するようになるので、水酸化インジウムを含む電解スラリーの濃度上昇による調整槽の槽底の縁部等での電解スラリーの停滞が抑制される。
【００１４】
また、本発明の一態様では、前記調整槽は、前記電解スラリーを含む前記電解液を前記調整槽と前記電解槽との間で循環させる循環手段を介して、前記スラリー取口及び前記スラリー戻口を経由して前記電解槽と接続されていることとしてもよい。
【００１５】
このようにすれば、調整槽内の電解液を乱流状態にして撹拌するので、電解スラリーの調整槽内での凝集を確実に抑制できる。
【００１６】
また、本発明の一態様では、前記調整槽の槽底の傾斜が３°以上、４５°以下であることとしてもよい。
【００１７】
このようにすれば、調整槽の容量を必要以上に大きくすることなく、電解スラリーの槽底での滞留を抑制できる。
【００１８】
また、本発明の一態様では、前記調整槽の前記槽底の中央部には、前記水酸化インジウムを含む前記電解スラリーを抜き取るためのスラリー抜取口が設けられることとしてもよい。
【００１９】
このようにすれば、電解終了時に水酸化インジウムを含む電解スラリーが漏斗状に低くなっている槽底の中央部に移動し易くなるので、当該中央部に設けられるスラリー抜取口から効率的に当該電解スラリーを回収できるようになる。
【００２０】
また、本発明の他の態様は、インジウムをアノードとして、電解により水酸化インジウム粉を製造する水酸化インジウム粉の製造方法であって、前述の何れかに記載の電解装置を用いて前記電解を行うことを特徴とする。
【００２１】
本発明の他の態様によれば、水酸化インジウムを含む電解スラリーの調整槽内での凝集を抑制することによって、凝集した電解スラリーによる電解槽と調整槽との間の循環能力の低下を未然に防げるので、粒度分布幅が狭い水酸化インジウム粉を生成できる。
【００２２】
このとき、本発明の他の態様では、前記電解装置を用いて電解中は、調整槽に備わる撹拌機構により、水酸化インジウムを含む電解スラリーを乱流状態で撹拌しながら、前記調整槽の槽壁下部に設置されたスラリー取口から電解槽に撹拌後の該電解スラリーを送液すると共に、該電解槽から前記調整槽の上部側に設置されたスラリー戻口に該電解スラリーを戻すことによって、該電解スラリーを前記調整槽と前記電解槽との間で循環させることとしてもよい。
【００２３】
このようにすれば、調整槽内の電解液を乱流状態にして撹拌できるので、電解スラリーの凝集が確実に抑制される。
【００２４】
また、本発明の他の態様では、前記電解の終了後に前記調整槽の前記撹拌機構を停止させてから、前記循環槽と前記電解槽との間の前記電解スラリーの循環を停止して、前記調整槽の槽底の中央部に設置されたスラリー抜取口から前記水酸化インジウムを含む前記電解スラリーを抜き取って回収することとしてもよい。
【００２５】
このようにすれば、電解中における調整槽内での電解スラリーの凝集を抑制した上で、電解終了時に水酸化インジウムを含む電解スラリーをスラリー抜取口から効率的に回収できるようになる。
【発明の効果】
【００２６】
以上説明したように本発明によれば、調整槽を槽底が下方に向かって漸次縮小する漏斗状の構成として、当該調整槽内の電解液を撹拌するようにしているので、調整槽の槽底の端部に電解スラリーが停滞して凝集することを抑制できる。このため、凝集した電解スラリーによる電解槽と調整槽との間の循環能力の低下を未然に防げるので、均一性に優れ、粒度分布幅の狭い水酸化インジウム粉を生成できる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の一実施形態に係る電解装置の概略構成図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る水酸化インジウム粉の製造方法の概略を示すフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、以下に説明する本実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではなく、本実施形態で説明される構成の全てが本発明の解決手段として必須であるとは限らない。
【００２９】
まず、本発明の一実施形態に係る電解装置の構成等について、図面を使用しながら説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る電解装置の概略構成図である。
【００３０】
本発明の一実施形態に係る電解装置１００は、電解法によって水酸化インジウム粉を生成する。電解装置１００は、電解液１０２が貯留され、複数の電極１０３、１０４が設けられる電解槽１０１と、当該電解槽１０１に貯留される電解液１０２の温度やｐＨ等を調整する調整槽１１０とを備える。
【００３１】
電解槽１０１と調整槽１１０は、循環手段となる循環ポンプ１２０を介して接続され、電解中に調整槽１１０から電解槽１０１に調整後の電解液１０２を送液する。電解中に調整槽１１０から連続的に電解槽１０１に電解液１０２を送液すると、電解槽１０１でオーバーフローした電解液１０２に含まれる水酸化インジウム粉を含む電解スラリーが調整槽１１０に送液され、当該電解スラリーが電解槽１０１と調整槽１１０との間を循環するようになる。
【００３２】
また、電解槽１０１でオーバーフローした電解液１０１には、電解法により電解槽１０１で生成された水酸化インジウム粉を含む電解スラリーが含まれるので、当該電解スラリーが含まれた電解液１０２が電解槽１０１と調整槽１１０との間で循環される。また、電解が終了したら、電解槽１０１の槽底側から当該電解スラリーを含む電解液１０２を抜き取って、供給流路１０８及び供給ポンプ１０９を介して、当該電解液１０２を調整槽１１０に送液する。なお、図１に示した電解装置１００は、電解槽１０１と調整槽１１０とを離隔した構成となっているが、電解槽１０１からオーバーフローした電解液１０２をそのまま調整槽１１０に送液できるように、電解槽１０１と調整槽１１０とを隣接させた構成としてもよい。
【００３３】
次に、電解槽１０１について説明する。電解槽１０１には、複数の電極として、陽極１０３と陰極１０４が電解液１０２に浸漬して交互に設けられている。本実施形態では、図１に示すように、例えば、電極中心間距離が２．０ｃｍとなるように陽極（アノード）１０３を４枚、陰極（カソード）１０４を５枚、それぞれ交互に配置し、陽極１０３と陰極１０４を導線１０５（例えば、２芯ＶＶケーブル「ＪＩＳ  Ｃ  ３３４２」、許容電流２００Ａ、公称断面積１００ｍｍ２）を用いて繋いで、整流器１０６と結線することができる。また、陰極１０４は、互いに導線１０７で電気的に接続されている。
【００３４】
電解槽１０１の形状は、特に限定されず、一般的な直方体、立方体等の方形体等を適用することができ、槽内に配置する電極等の数や大きさ等を考慮して適宜決定される。また、電解槽１０１の四隅の形状は、水酸化インジウム粉の流動性を確保して、局所的な堆積が起こらないように、例えば角を丸くすることが好ましい。電解槽１０１の材質は、電解液１０２に溶解せず、かつ電解温度以上の耐熱性を有すればよく、ＰＶＣやＰＰ、ステンレス、チタン等を用いることができる。
【００３５】
陽極１０３には、金属インジウムを用いる。使用する金属インジウムは、特に限定されないが、水酸化インジウム粉及びこれを焼成して得られる酸化インジウム粉への不純物の混入を抑制するため高純度のものが望ましい。金属インジウムとしては、純度９９．９９９９％（通称６Ｎ品）が好適品として挙げることができる。
【００３６】
陽極１０３の厚みは、好ましくは極間距離が電解工程時間中で著しく変わらない程度の厚みにすることがよい。また、取扱い時の重量からみても、徒に厚くすることは好ましくない。
【００３７】
陰極１０４には、導電性の金属やカーボン電極等が用いられ、例えば不溶性のチタンや白金を用いることができ、チタンを白金でコーティングしたものであってもよく、陽極１０３と同じ材料を利用してもよい。
【００３８】
陽極１０３と陰極１０４の間の電極間距離は、特に指定されないが、１０〜５０ｍｍが望ましい。５０ｍｍより広くなると、液抵抗による電圧降下が発生し、液温上昇を生じさせるため好ましくない。また１０ｍｍより狭くなると、電極間での接触・ショートが発生しやすくなるため好ましくない。
【００３９】
電解槽１０１の構造において、陽極１０３と陰極１０４は、一般的な配置を採用してよく、例えば、互いに平行に配置することが好ましい。また、陽極１０３と陰極１０４の大きさは、生産規模に応じて決められるが、工業的な面を考慮して決められ、目標の製造量に見合うように決定してもよい。
【００４０】
次に、調整槽２０について説明する。調整槽２０は、その槽内に電解液１０２を貯留し、当該電解液１０２の液温や濃度、ｐＨ値等を所定の範囲となるように調整する機能を有する。本実施形態では、調整槽１１０は、図１に示すように、調整槽内の電解液１０２を撹拌する撹拌機構１１３と、電解液１０２の液温を制御及び維持するためのヒーター１２２及び冷却器１２３とを備える。また、調整槽１１０は、図１には、示されていないものの、電解液１０２のｐＨを測定するｐＨ電極、当該ｐＨを制御及び維持する薬液タンク、及び薬液添加用の定量ポンプ等を備える。
【００４１】
本実施形態では、調整槽１１０は、槽側壁１１１が円筒形状を有し、かつ槽底１１２が下方に向かって漸次縮小する漏斗状の構成となっている。また、調整槽の槽底１１２の傾斜は、３°以上、４５°以下である。傾斜が３°未満では、水酸化インジウムを含む電解スラリーが滞留して、凝集しやすくなる。一方、傾斜が４５°を超える場合では、調整槽１１０のサイズが鉛直方向に大きくなるので、装置の省スペース化を図る上で好ましくない。また、槽底１１２の傾斜が大きいと、水酸化インジウム粉を含む電解スラリーが槽底１１２の中央部に必要以上に移動し易くなるので、調整槽１１０の槽底１１２の中央部で当該電解スラリーが滞留して、凝集しやすくなる。すなわち、調整槽１１０の容量を必要以上に大きくすることなく、電解スラリーの槽底での滞留を抑制するためには、調整槽の槽底１１２の傾斜が３°以上、４５°以下であることが好ましい。
【００４２】
調整槽１１０の槽底１１２の中央部には、水酸化インジウム粉を含む電解スラリーを抜き取るためのスラリー抜取口１２１が設けられている。このようにスラリー抜取口１２１を設置することによって、電解終了時に水酸化インジウムを含む電解スラリーが漏斗状に低くなっている槽底１１２の中央部に移動し易くなるので、当該中央部に設けられるスラリー抜取口１２１から容易に、かつ効率的に当該電解スラリーを回収できるようになる。
【００４３】
撹拌機構１１３は、調整槽内の電解液１０２を撹拌可能な複数のインペラ１１４が取り付けられる撹拌軸１１５と、撹拌軸１１５を介して当該インペラ１１４の傾き及び鉛直方向における高さ位置を調整可能な可変機構１１６と、を備える。インペラ１１４は、図１に示すように、撹拌軸１１５の先端側に設けられる先端側インペラ１１４ａが調整槽１１０の下部中央に配置されるように設けられる。撹拌機構１１３のインペラ１１４は、電解液１０２に含まれる電解スラリーの調整槽内での凝集を抑制するために、２００〜２５０回転／分、好ましくは２００回転／分の回転速度で電解液１０２を撹拌している。
【００４４】
可変機構１１６は、インペラ１１４を調整槽１１０の中央側に配置させ、かつ撹拌軸１１５を鉛直方向に対して０〜１０°の範囲で傾けながら、当該インペラ１１４の上下方向の高さ位置を調整する機能を有する。撹拌軸１１５の傾斜角が１０°を超えると、槽内の水流が水平方向に広がることによって、調整槽内での撹拌が十分行われないので、好ましくない。
【００４５】
また、槽内の電解液１０２の撹拌を効率的に行うために、調整槽１１０の水深が深くなるに従って、撹拌軸１１５の傾斜角が漸次大きく設定されることが好ましい。このように、本実施形態では、調整槽１１０に撹拌機構１１３を設けることによって、調整槽内で電解液１０２を十分に撹拌できるので、電解液１０２に含まれる電解スラリーの調整槽内での凝集を確実に抑制できる。
【００４６】
さらに、本実施形態では、調整槽１１０は、槽側壁１１１の下部側に設けられ、調整槽１１０から水酸化インジウムを含む電解スラリーを電解槽１０１に送液するためのスラリー取口１１７と、調整槽１１０の上部側に設けられ、電解槽１０１から調整槽１１０に当該電解スラリーを戻すためのスラリー戻口１１８と、を備えることを特徴とする。また、前述したように、調整槽１１０は、電解スラリーを調整槽１１０と電解槽１０１との間で循環させる循環手段となる循環ポンプ１２０を介して、スラリー取口１１７及びスラリー戻口１１８を経由して電解槽１０１と接続されている。
【００４７】
スラリー取口１１７が調整槽１１０の槽壁下部に設けられることによって、電解液中の水酸化インジウム粉を含む電解スラリーを十分撹拌してから、電解槽１０１に送液できる。また、水酸化インジウム粉を生成している電解中は、水酸化インジウム粉を含む電解スラリーが電解槽１０１から調整槽１１０の上部に設置されたスラリー戻口１１８に循環され、調整槽１１０の撹拌機構１１３により、水酸化インジウム粉を含む電解スラリーを乱流状態で撹拌する。そして、調整槽１１０の槽壁下部に設置されたスラリー取口１１７から供給流路１１９に設けられる循環ポンプ１２０を介して、当該電解スラリーを含む電解液を電解槽１０１に送液する。
【００４８】
このように、本実施形態では、調整槽１１０で電解液１０２の撹拌を十分に行ってから、電解槽１０１との間で電解液１０２を循環させる。このため、水酸化インジウム粉を含む電解スラリーの濃度上昇によって、調整槽１１０の端部やコーナー等に水酸化インジウム粉を含む電解スラリーが溜って濃度変化及びスラリーの塊が発生することを抑制し、水酸化インジウム粉を含む電解スラリーの均一性を得ることができる。
【００４９】
また、電解槽１０１に対する調整槽１１０の容積比が０．１以上であることが好ましい。これ以下であればｐＨや液温の均一制御が困難であるため好ましくない。特に、電解槽１０１に供給する電解液の液温や濃度、ｐＨ値等を好適な範囲に維持するためには、電解槽１０１に対する調整槽１１０の容積比が１以上とすることが好ましい。
【００５０】
ただし、電解装置１００の設置スペースの関係上等の理由により、調整槽１１０は、電解槽１０１より小さい構成となることが多い。このため、電解槽１０１からオーバーフローされて調整槽１１０に供給された電解液１０２には、水酸化インジウム粉を含む電解スラリーが含まれるため、当該電解スラリーが調整槽１１０の槽底端部等に凝集し易くなる。
【００５１】
従来のように、槽底１１２が略水平だと、凝集した電解スラリーが塊状となってしまい、かかる塊状となった電解スラリーが循環ポンプ１２０のインペラを破損したり、スラリー取口１１７に詰まったりして、循環不足が発生することが問題となっていた。このように、電解槽１０１と調整槽１１０との間の循環能力が低下すると、電解液１０２へのイオン供給が不足して、水酸化インジウム粉の粒径が不均一となる現象が発生していた。
【００５２】
このため、本実施形態では、電解装置１００に備わる調整槽１１０の槽底１１２を下方に向かって漸次縮小する漏斗状の構成として、かつ、当該調整槽内の電解液を撹拌する撹拌機構１１３を備えるようにしている。このため、電解装置１００で特に電解スラリーの凝集が発生し易い部位である調整槽１１０の槽底１１２の端部等に電解スラリーが停滞して凝集することを抑制できる。すなわち、水酸化インジウム粉を含む電解スラリーを調整槽内で滞留させずに、電解槽１０１に送液が可能になるため、循環時における水酸化インジウム粉を含む電解スラリーの凝集が抑制される。
【００５３】
また、本実施形態では、電解装置１００は、電解スラリーを含む電解液が調整槽１１０と電解槽１０１との間を循環するように構成されているので、水酸化インジウムを含む電解スラリーの濃度上昇による調整槽１１０の槽底１１２の縁部等での電解スラリーの凝集や停滞を確実に抑制できる。このように、電解スラリーの凝集を抑制した状態で電解液１０２を循環させるので、電解槽１０１と調整槽１１０との間の循環能力の低下に伴って、電解液１０２へのイオン供給が不足して、水酸化インジウム粉の粒径が不均一となることを防止して、粒度分布幅が狭い水酸化インジウム粉を生成できる。
【００５４】
次に、本発明の一実施形態に係る水酸化インジウム粉の製造方法の概略について、図面を使用しながら説明する。図２は、本発明の一実施形態に係る水酸化インジウム粉の製造方法の概略を示すフロー図である。
【００５５】
本発明の一実施形態に係る水酸化インジウム粉の製造方法は、電気分解工程Ｓ１１、電解液分離工程Ｓ１２、洗浄工程Ｓ１３、洗浄液脱水工程Ｓ１４、及び乾燥工程Ｓ１５を含む。そして、これらの工程Ｓ１１乃至Ｓ１５が図２に示すフローで行われることによって、水酸化インジウム粉が生成される。
【００５６】
（電気分解工程）
電気分解工程Ｓ１１では、硝酸アンモニウム水溶液を電解液に用いた電解法により、インジウムを含むアノードと、カソードとを電解液に浸漬させ、電解反応により水酸化インジウム粉を含む電解スラリーを生成する。
【００５７】
電気分解工程Ｓ１１では、金属インジウムをアノード（陽極）とし、対極のカソード（陰極）に導電性の金属やカーボン電極を使用し、陽極及び陰極を電解液に浸漬して両極間に電位差を発生させて電流を生じさせることによって陽極金属が溶解し、水酸化インジウムが晶析して、水酸化インジウム粉を含む電解液からなる電解スラリーを得る。
【００５８】
電解液としては、水溶性の硝酸塩、硫酸塩、塩化物塩等の一般的な電解質塩の水溶液を用いることができる。その中でも、硝酸アンモニウムが好ましい。硝酸アンモニウムは、水酸化インジウム粉を沈殿した後の乾燥、仮焼後に硝酸イオン及びアンモニウムイオンが窒素化合物として除去されて不純物として残らず、生成される水酸化インジウム粉の純度を高め、かつコストを削減することができる。
【００５９】
電解液は、生成された水酸化インジウム粉の溶解度が１０−６〜１０−３ｍｏｌ／Ｌの範囲であることが好ましい。電解液では、水酸化インジウム粉の溶解度を１０−６〜１０−３ｍｏｌ／Ｌの範囲にすることで適度に一次粒子の成長が促進されるため、凝集が抑制され、粒度分布の幅が広くならず、粒度分布が狭く、粒径が均一な水酸化インジウム粉を得ることができる。
【００６０】
電解液は、硝酸アンモニウムの濃度を０．１〜２．０ｍｏｌ／Ｌ、ｐＨを２．５〜４．０、液温を２０〜６０℃の範囲に調製することが好ましい。
【００６１】
硝酸アンモニウムの濃度が０．１ｍｏｌ／Ｌより薄いと電解時の電圧上昇が大きくなり、通電部が発熱したり、電力コストが高くなる等の問題が生じるため好ましくない。一方、硝酸アンモニウムの濃度が２．０ｍｏｌ／Ｌより濃くなると、電解によって水酸化インジイウム粒子が粗大化し、粒径のばらつきが大きくなるため好ましくない。このため、硝酸アンモニウムの濃度は、０．１〜２．０ｍｏｌ／Ｌの範囲が好ましい。
【００６２】
電解液のｐＨが２．５より小さい場合には、水酸化物の沈殿が生じず、また、電解液のｐＨが４．０よりも大きい場合には、水酸化物の析出速度が速過ぎて濃度不均一のまま沈殿が形成されるため粒度分布幅が広がってしまい好ましくない。このため、電解液のｐＨは、２．５〜４．０の範囲が好ましい。
【００６３】
電解液の液温が２０℃よりも低い場合には、析出速度が遅過ぎ、また、電解液の液温が６０℃よりも高い場合には析出速度が速過ぎて濃度不均一のまま沈殿が形成されるため粒度分布幅が広がり好ましくない。このため、電解液の液温は、２０〜６０℃の範囲が好ましい。
【００６４】
電解時の電流密度としては、４〜２０Ａ／ｄｍ２が好ましく、広範囲の電流密度とすることができる。電流密度が４Ａ／ｄｍ２より低い場合には、水酸化インジウム粉の生産効率が低下してしまう。一方、電流密度が２０Ａ／ｄｍ２を超える場合、電解液の上昇、陽極（金属インジウム）の表面に不動態化して電解し難くなる等の問題が生じるので好ましくない。
【００６５】
電解槽当たりの電解液流量は、０．００７Ｌ／ｍｉｎ／Ａ(槽電流）以上、０．０３Ｌ／ｍｉｎ／Ａ（槽電流）以下であることが好ましい。０．００７Ｌ／ｍｉｎ／Ａ(槽電流）未満では、核発生よりも核成長が優先し、水酸化インジウム粉の粒子径が大きくなる。０．０３Ｌ／ｍｉｎ／Ａ（槽電流）を超える場合、電解液の揮発、ミストの飛散等により、電解装置周辺の環境の悪化や安全面での問題がある。なお、電解槽当たりの電解液流量が０．００７Ｌ／ｍｉｎ／Ａ(槽電流）以上では、電解液中に生成した水酸化インジウム粉は、槽底に沈殿せず、懸濁した状態で電解を行えるので好ましい。
【００６６】
また、本実施形態では、前述した本発明の一実施形態に係る電解装置を用いて電解を行うことによって、調整槽内の電解液を乱流状態にして撹拌するので、水酸化インジウム粉を含む電解スラリーの調整槽内での凝集を抑制できる。このため、凝集した電解スラリーによる電解槽と調整槽との間の循環能力の低下を未然に防げるので、粒度分布幅が狭い水酸化インジウム粉を生成できる。
【００６７】
さらに、本実施形態では、電解の終了後に調整槽の撹拌機構を停止させた後に、循環槽と電解槽との間の電解スラリーの循環を停止して、電解槽内の電解スラリーを含む電解液を調整槽に送液してから、調整槽の槽底の中央部に設置されたスラリー抜取口から水酸化インジウム粉を含む電解スラリーを抜き取って回収する。このため、電解中における調整槽内での電解スラリーの凝集を抑制した上で、電解終了時に水酸化インジウム粉を含む電解スラリーをスラリー抜取口から効率的に回収できる。なお、電解槽より調整槽の方が小さい構成の場合では（例えば、電解槽２００Ｌ、調整槽４０Ｌ）、電解槽から調整槽への送液が複数回に分けて行われ、その都度、スラリー抜取口から電解スラリーを抜き取って回収する。
【００６８】
（電解液分離工程）
電気分解工程Ｓ１１が終了すると、次に、電解液分離工程Ｓ１２に移行する。電解液分離工程Ｓ１２では、電気分解工程Ｓ１１により得られた電解スラリーから、電解液と水酸化インジウム粉を含むケーキとを固液分離する。
【００６９】
本実施形態では、電解液分離工程Ｓ１２で電解スラリーから電解液を分離するために、微細な粉末であっても目詰まりを起こし難く、水酸化インジウム粉の回収効率が高いクロスフロー方式のロータリーフィルタを使用する。ロータリーフィルタで使用するろ布は、水酸化インジウム粉の回収率を高めるため、できるだけ通気度が小さい方が望ましい。通気度が０．３ｃｍ３／ｓｅｃ／ｃｍ２以下のものが好ましい。
【００７０】
（洗浄工程）
洗浄工程Ｓ１３では、電解液分離工程Ｓ１２で得られた水酸化インジウム粉を含むケーキには、電解液が含まれるため、当該ケーキに洗浄液を供給して、水酸化インジウム粉をリパルプ洗浄し、洗浄スラリーを得る。洗浄工程Ｓ１３で行うリパルプ洗浄に使用する洗浄液は、不純物が少ない方が望ましいため、洗浄液として純水を用いる。本実施形態では、洗浄液に用いる純水は、特に、ＪＩＳ  Ｋ０５５７に規定されたＡ２グレード以上の純水を用いることが望ましい。これ以下のグレードである場合には、シリカ等の不純物が混入して、生成された水酸化インジウム粉を使用したスパッタリングターゲットを作製する際に問題となるため、好ましくない。
【００７１】
リパルプ洗浄は、水酸化インジウム粉１ｋｇに対して５〜２０Ｌの純水を用いて洗浄することが望ましい。使用する純水の量が５Ｌより少ない場合には、水酸化インジウム粉内に電解液成分である例えば硝酸アンモニウムが多く残留してしまい、水酸化インジウム粉の乾燥時、水酸化インジウム粉を仮焼し、酸化インジウム粉を得る際に火災が発生する危険性が高くなる。一方、２０Ｌの純水を使用すれば洗浄できるため、２０Ｌよりも多く使用すると洗浄後の排水処理量が増加し、コストアップとなってしまう。このため、本実施形態では、リパルプ洗浄では、水酸化インジウム粉１ｋｇに対して５〜２０Ｌの純水を用いて洗浄するようにしている。
【００７２】
洗浄工程Ｓ１３では、電解スラリーを固液分離して得られたケーキに洗浄液を加えて必要に応じて攪拌を行う。洗浄工程Ｓ１３では、リパルプ洗浄を１回以上行うことによって、電解スラリーを固液分離して得られたケーキ中の電解液を除去でき、水酸化インジウム粉を洗浄することができる。
【００７３】
（洗浄液脱水工程）
洗浄液脱水工程Ｓ１４では、洗浄工程Ｓ１３で得られた洗浄スラリーから洗浄液を脱水し、水酸化インジウム粉を含む粉体混合物を得る。本実施形態では、洗浄液脱水工程Ｓ１４における脱水には、微細な粉末であっても目詰まりを起こし難く回収効率の高いクロスフロー方式のロータリーフィルタを使用する。
【００７４】
（乾燥工程）
乾燥工程Ｓ１５では、洗浄液脱水工程Ｓ１４で得られた水酸化インジウム粉を乾燥する。乾燥工程Ｓ１５では、水酸化インジウム粉の乾燥方法は、特に限定されるものではなく、例えば、スプレードライヤ、空気対流型乾燥炉、赤外線乾燥炉等の乾燥機を用いて乾燥することができる。
【００７５】
乾燥条件は、水酸化インジウム粉の水分を除去できれば特に限定されないが、乾燥温度は、例えば、８０℃〜１５０℃の範囲が好ましい。乾燥温度が８０℃よりも低い場合には、乾燥が不十分となり、１５０℃よりも高い場合には、水酸化インジウムから酸化インジウムに変化してしまう。また、乾燥時間は、温度により異なるが、約１０時間〜２４時間程度である。
【００７６】
なお、前述した本発明の一実施形態に係る水酸化インジウム粉の製造方法では、水酸化インジウム粉の製造方法を例に挙げて説明したが、水酸化スズ粉の製造方法についても、同様に本発明の一実施形態に係る水酸化インジウム粉の製造方法で使用する電解装置を適用することができる。水酸化スズ粉を製造する場合には、電解時のｐＨを８付近とする点において、水酸化インジウム粉の製造方法と異なるが、その他の要件については同様である。水酸化スズ粉の製造方法においても、電解液や洗浄液を再利用することで、従来のように排水処理しないため、電解液の損失を抑制できるとともに環境への負荷を抑制することができる。
【００７７】
（酸化インジウム粉の製造工程）
本実施形態では、前述した水酸化インジウム粉の製造方法によって生成された水酸化インジウム粉を用いて、酸化インジウム粉を生成する。酸化インジウム粉の製造工程では、乾燥工程による乾燥後の水酸化インジウム粉を仮焼して酸化インジウム粉を生成する。仮焼条件は、適宜決定するが、例えば仮焼温度６００〜８００℃、仮焼時間１〜１０時間で行うことが好ましい。
【００７８】
仮焼温度６００℃よりも低いと、酸化インジウム粉のＢＥＴ値が１５ｍ２／ｇを超えてしまい、一次粒子が小さすぎるために、凝集性を有する粉末となる。これにより、得られた酸化インジウム粉では、高密度の焼結材料、例えば、酸化インジウム錫（ＩＴＯ）焼結材料を得ることができない。仮焼温度８００℃より高いと、酸化インジウム粉のＢＥＴ値が１０ｍ２／ｇ未満になり、一次粒子径が大きくなり、粒子間に生じる空孔も大きくなるため、焼結性が低下する。このため、得られた酸化インジウム粉では、高密度の焼結材料を得ることができない。従って、高密度の焼結材料を得るためには、仮焼温度を６００℃〜８００℃の範囲とすることが好ましい。
【００７９】
得られた酸化インジウム粉は、比表面積のＢＥＴ値が１０〜１５ｍ２／ｇの範囲内に制御されており、粒度分布の累積粒度１０％径（Ｄ１０）が０．２μｍ以上、累積粒度９０％径（Ｄ９０）が２．７μｍ以下である。このような酸化インジウム粉は、比表面積が制御されており、分散性が良く、凝集が少ないため、高密度の焼結材料を生成することができる。
【００８０】
なお、酸化インジウム粉の製造工程では、水酸化インジウム粉をより所望の粒径とするため必要に応じて解砕又は粉砕を行ってもよい。また、この酸化インジウム粉の製造工程では、水酸化インジウム粉の電解の際に電解液に硝酸アンモニウムを用いた場合、硝酸アンモニウムの分解が生じ、酸化インジウム粉への混入を防止することができる。
【００８１】
（スパッタリングターゲットの製造方法）
スパッタリングターゲットの製造方法は、先ず、上述した酸化インジウム粉の製造方法により得られた酸化インジウム粉を酸化スズ粉等のターゲットの他の原料と所定の割合で混合し造粒粉を作製する。次に、造粒粉を用いて、例えば、コードプレス法により成型体を作製する。
【００８２】
その後、成型体を大気圧下で例えば１３００〜１６００℃の温度範囲内で焼結を行う。次に、必要に応じて、焼結体の平面や側面を研磨する等の加工を行う。そして、焼結体をＣｕ製のバッキングプレートにボンディングすることにより、酸化インジウム錫スパッタリングターゲット（ＩＴＯスパッタリングターゲット）を得ることができる。
【００８３】
本実施形態によるスパッタリングターゲットの製造方法では、原料となる酸化インジウム粉の比表面積が制御されており、分散性が良いものであるため、高密度の焼結体を得ることができ、スパッタリングターゲットの密度を高くすることできる。これにより、スパッタリングターゲットは、加工中に割れ欠けが生じず、スパッタの際に異常放電が発生することも抑制できる。
【００８４】
酸化スズ粉については、本発明の一実施形態に係る電解装置及び当該電解装置を用いた水酸化スズ粉の製造方法により製造した水酸化スズ粉を用いて酸化スズ粉を生成して、上記ターゲットの原料として使用することが好ましい。原料となる酸化スズ粉の比表面積が制御されており、分散性が良いものであるため、更に高密度の焼結体を得ることができる。
【実施例】
【００８５】
次に、本発明の一実施形態に係る水酸化インジウム粉の製造方法の実施例及び比較例を用いて、本発明の一実施形態に係る水酸化インジウム粉の製造方法について、更に詳細に説明する。なお、本発明は、これらの実施例及び比較例に限定されるものではない。
【００８６】
＜実施例１＞
（１）電気分解工程
電気分解工程では、前述した本発明の一実施形態に係る電解装置を用いて水酸化インジウム粉を生成した。電解装置は、縦１００ｃｍ、横４０ｃｍ、深さ５０ｃｍの２００Ｌ電解槽と、直径３２ｃｍ、深さ５０ｃｍの４０Ｌ調整槽とを備え、電解槽と調整槽は隣接している。電解槽と調整槽は、循環ポンプにより接続されている。
【００８７】
また、電解槽には、陰極と陽極を配置した。陰極（カソード）には、巾２６ｃｍ、高さ４０ｃｍ、厚み４ｍｍのチタン金属板を５枚準備した。陽極（アノード）には、純度９９．９９９９％のインジウム金属を巾２６ｃｍ、高さ４０ｃｍ、厚み８ｍｍの板状に成型したものを４枚準備した。これらの５枚の陰極と４枚の陽極を電解槽内のパンチプレート上に垂直にして両極が互いに平行となるよう交互に配置した。陰極と陽極と間の距離を２．０ｃｍに調節し配置した。４枚の陰極は、導線で電気的に接続されている。
【００８８】
調整槽は、電解液を攪拌する攪拌棒、ｐＨを測定するｐＨ電極、電解液の液温を制御及び維持するための温調ヒーター及び冷却器、電解液のｐＨを制御及び維持するための薬液タンクと薬液添加用の定量ポンプを備える。
【００８９】
調整槽は、円筒形状を有し、調整槽の槽底が、漏斗状に下方に向かって漸次縮小している。調整槽の槽底の傾斜は、２０°を有している。
【００９０】
調整槽の撹拌は、撹拌器の下部プロペラ部分を槽中央にし、また、プロペラの位置は、調整槽の槽底より、高さ１５ｃｍとし、撹拌軸は、垂線に対して５°傾けた。
【００９１】
調整槽の槽底中央部には、水酸化インジウム電解スラリーの抜き取りのためのスラリー抜取口を有する。
【００９２】
また、調整槽には、調整槽から電解槽に水酸化インジウム粉を含む電解スラリーを送液するためのスラリー取口を有し、スラリー取口は、調整槽の槽壁下部に備えている。
【００９３】
さらに、調整槽には、電解槽から調整槽に水酸化インジウム粉を含む電解スラリーが戻ってくるための戻口を有し、スラリー戻口は、調整槽上部に備えている。
【００９４】
電極電流密度は、１５Ａ／ｄｍ２に調節し、６時間電解を継続した。水酸化インジウム粉を含む電解スラリーを得た。
【００９５】
（２）電解液分離工程
電解終了後、調整槽の槽底中央部に設置したスラリー抜取口から、水酸化インジウム粉を含む電解スラリーの抜き取り、回収した。
【００９６】
次に、当該電解スラリー（水酸化インジウムスラリー）の固液分離を行った。固液分離には、ロータリーフィルタ（寿工業(株)製ＲＦＵ−０２Ｂ）と、ろ布（ＫＥ−０２２、通気度０．１ｃｍ３／ｓｅｃ／ｃｍ２）を使用して行った。固液分離した結果、水酸化インジウムケーキと、分離された電解液とが得られた。
【００９７】
（３）洗浄工程
次に、水酸化インジウム粉をリパルプ洗浄する。洗浄工程では、水酸化インジウムケーキに対して、純水を加えてステンレスバケツ容器で撹拌して再分散した。これを上記固液分離工程と同じ方法で固液分離操作を行い再び、水酸化インジウムケーキを得た。
【００９８】
（４）洗浄液脱水工程
次に、濃縮液生成工程を行った。濃縮液生成工程では、日鉄環境エンジニアリング社製の減圧蒸留装置（エコプリマ）を使用して、濃縮加熱用ヒーター釡（容量１ｍ３）に洗浄工程で得られた洗浄液１００リットルを仕込み、電気ヒーター１００ｋＷ／ｈｒで４時間減圧蒸留を実施した。
【００９９】
この濃縮液を固液分離工程で分離された電解液と混合し、金属水酸化物生成工程で使用した電解液と同じになるよう純水を添加して調整した後、再び調整槽に入れて循環ポンプを介して電解槽に入れて、新たな電解を行った。ここまでの工程において、電解液は、廃液として廃棄されることはなかった。
【０１００】
この操作を３回繰り返して、得られた水酸化インジウム粉を含む電解スラリーをサンプリングして、粒度分布をレーザー回折・散乱法により測定した。
【０１０１】
（５）乾燥工程及び酸化インジウムの製造工程
そして、この方法で得られた水酸化インジウム粉をスプレードライヤで噴霧乾燥し、大気中７００℃で焼成した。
【０１０２】
＜実施例２〜５及び比較例１〜５＞
実施例２は、他は、実施例１と同様にして水酸化インジウム粉を作製し、その水酸化インジウム粉から酸化インジウム粉を作製した。
【０１０３】
実施例２〜５及び比較例１〜５は、槽底の傾斜角、撹拌傾斜角、スラリー取出し口の位置を表１に示すように調整したこと以外は、実施例１と同様にして、水酸化インジウム粉を作製し、その水酸化インジウム粉から酸化インジウム粉を作製した。
【０１０４】
以下の表１には、実施例１〜５及び比較例１〜５で作製された水酸化インジウム粉の最小径と最大径を記載することによって、それぞれの粒度分布を示した。
【０１０５】
【表１】
2016113684.tif 000003
【０１０６】
表１に示すように、比較例１〜５では、水酸化インジウム粉の粒径が０．２〜８．０μｍの粒度分布幅に拡がったのに対して、実施例１〜５では、何れも水酸化インジウム粉の粒径が０．３〜１．１μｍの粒度分布幅に収まり、かつ、水酸化インジウム粉の最小径が０．３μｍ、最大径が１．１μｍと同一の数値となった。
【０１０７】
一方、比較例１では、調整槽の槽底の傾斜を０°とした以外は、実施例１と同様にして水酸化インジウム粉を作製した。その結果、比較例１では、水酸化インジウム粉の粒径が０．２〜４．０μｍの粒度分布幅に拡がった。このことから、調整槽の槽底の傾斜が０°だと、調整槽の槽底の端部等に電解スラリーが凝集することによって、電解槽と調整槽との間の循環能力が低下したため、電解液へのイオン供給が不足して、水酸化インジウム粉の粒径が不均一となって、粒度分布幅が拡がったものと考えられる。
【０１０８】
一方、比較例２では、調整槽の槽底の傾斜を６０°とした以外は、実施例１と同様にして水酸化インジウム粉を作製した。その結果、比較例２では、水酸化インジウム粉の粒径が０．２〜５．５μｍの粒度分布幅に拡がった。このことから、槽底の傾斜角が６０°と４５°を超えると、水酸化インジウムを含む電解スラリーが調整槽の槽底中央部に滞留して凝集しやすくなるため、水酸化インジウム粉の粒径が不均一となって、粒度分布幅が拡がったものと考えられる。
【０１０９】
一方、比較例３では、撹拌傾斜角を１５°とした以外は、実施例１と同様にして水酸化インジウム粉を作製した。その結果、比較例３では、水酸化インジウム粉の粒径が０．２〜６．０μｍの粒度分布幅に拡がった。このことから、撹拌機構の撹拌傾斜角を１５°と１０°を超えると、槽内の水流が水平方向に広がってしまい、調整槽内での撹拌が十分行われないため、水酸化インジウム粉の粒径が不均一となって、粒度分布幅が拡がったものと考えられる。
【０１１０】
一方、比較例４では、スラリー取口位置を槽壁中部とした以外は、実施例１と同様にして水酸化インジウム粉を作製した。その結果、比較例４では、水酸化インジウム粉の粒径が０．２〜３．０μｍの粒度分布幅に拡がった。このことから、スラリー取口位置を槽壁中部にしたことによって、調整槽内での撹拌が十分行われないため、水酸化インジウム粉の粒径が不均一となって、粒度分布幅が拡がったものと考えられる。
【０１１１】
一方、比較例５では、スラリー取口位置を槽壁上部とした以外は、実施例１と同様にして水酸化インジウム粉を作製した。その結果、比較例５では、水酸化インジウム粉の粒径が０．２〜８．０μｍの粒度分布幅に更に拡がった。このことから、スラリー取口位置を槽壁上部にしたことによって、調整槽内での撹拌が十分行われないため、水酸化インジウム粉の粒径が不均一となって、粒度分布幅が拡がったものと考えられる。
【０１１２】
以上の結果から、本発明の一実施形態に係る水酸化インジウム粉の製造方法では、電解装置の調整槽の槽底の傾斜を３°以上４５°以下として、撹拌機構の撹拌傾斜角を０〜１０°の範囲として、かつスラリー取口を槽壁下部に設けることによって、粒径が均一性に優れ、粒度分布幅の狭い水酸化インジウム粉が得られることが分かった。
【０１１３】
なお、上記のように本発明の各実施形態及び各実施例について詳細に説明したが、本発明の新規事項及び効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは、当業者には、容易に理解できるであろう。従って、このような変形例は、全て本発明の範囲に含まれるものとする。
【０１１４】
例えば、明細書又は図面において、少なくとも一度、より広義又は同義な異なる用語と共に記載された用語は、明細書又は図面のいかなる箇所においても、その異なる用語に置き換えることができる。また、電解装置の構成、動作も本発明の各実施形態及び各実施例で説明したものに限定されず、種々の変形実施が可能である。
【符号の説明】
【０１１５】
１００  電解装置、１０１  電解槽、１０２  電解液、１０３  陽極（アノード、電極）、１０４  陰極（カソード、電極）、１０５、１０７  導線、１０６  整流器、１０８  供給流路、１０９  供給ポンプ、１１０  調整槽、１１１  槽側壁、１１２  槽底、１１３  撹拌機構、１１４、１１４ａ  インペラ、１１５  撹拌軸、１１６  可変機構、１１７  スラリー取口、１１８  スラリー戻口、１１９  供給流路、１２０  循環ポンプ（循環手段）、１２１  スラリー抜取口、１２２  ヒーター、１２３  冷却管、Ｓ１１  電気分解工程、Ｓ１２  電解液分離工程、Ｓ１３  洗浄工程、Ｓ１４  洗浄液脱水工程、Ｓ１５  乾燥工程
【図１】
2016113684.tif 000004
【図２】
2016113684.tif 000005