(57)【要約】      （修正有）【課題】回折格子の出射角にズレが生じても、光ファイバとの光接続の角度の調整を容易に行うことができる光ファイバ接続構造及び光ファイバ接続構造の製造方法を提供する。【解決手段】先端に回折格子１０８を備える光導波路１０６が設けられた基板１０４を有し、基板１０４の、回折格子１０８が形成された部分を片持ち状の片持ち部１１２とする。回折格子１０８と光接続部材１２２の光ファイバ１２４とが光接続される。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板に設けられ先端に回折格子を備える光導波路と、
前記回折格子が形成された部分を片持ち状とする片持ち部と、
前記回折格子と光接続される光ファイバを備える光接続部材と、
を有する光ファイバ接続構造。
【請求項２】
前記片持ち部を撓ませるための撓み部材を有する請求項１に記載の光ファイバ接続構造。
【請求項３】
前記撓み部材が、前記基板に設けられた圧電素子である請求項２に記載の光ファイバ接続構造。
【請求項４】
前記撓み部材が前記光接続部材である請求項２に記載の光ファイバ接続構造。
【請求項５】
前記片持ち部を撓んだ状態で固定する固定部材を有する請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の光ファイバ接続構造。
【請求項６】
前記基板に設けられ前記光接続部材を位置決めする位置決め部材を有する請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の光ファイバ接続構造。
【請求項７】
光導波路が設けられた基板において前記光導波路の先端の回折格子を含む部分に形成された片持ち部を撓ませた後、前記回折格子に光接続部材の光ファイバを光接続する光ファイバ接続構造の製造方法。
【請求項８】
前記片持ち部を撓ませて、前記回折格子からの光の実際の出射角を設計上の出射角に合わせる請求項７に記載の光ファイバ接続構造の製造方法。
【請求項９】
前記片持ち部を撓んだ状態で前記基板に固定する請求項７又は請求項８に記載の光ファイバ接続構造の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願の開示する技術は光ファイバ接続構造及び光ファイバ接続構造の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
保持基体の保持部に圧電素子を積荷し、電極への電圧印加で、光回路基板に形成された光導波路と半導体レーザとの相対位置を面内方向に変化させる技術がある。
【０００３】
また、電極への電圧印加により、第２の光導波路部材の屈折率が第１の光導波路部材の屈折率とほぼ等しくなり、第１、第２の光導波路部材を見かけ上ほぼ一体化する技術がある。ほぼ一体化された光導波路部材内を半導体レーザから発射されて進行する光は回折格子の作用にてその進行方向が切り替えられて所定の空間領域内へ向けて放射される。
【０００４】
さらに、配列基板の上面部に複数本の光ファイバが配列して固定され、光ファイバの光軸に直交する垂直軸に対して所定の傾斜角度で傾斜した端面の表面に、反射フィルタが備えられた光分岐素子がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭６１−１７１０８号公報
【特許文献２】特開平成７−２８１０１号公報
【特許文献３】特開２００５−３７６６６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
光導波路を備えた基板では、光導波路の先端の回折格子における光の出射角及び入射角（以下、これらをまとめて、単に「出射角」という）に、設計上の角度からのズレが生じることがある。回折格子と光ファイバとを光接続する場合に、このズレに対応して光ファイバの加工等を行うと、加工作業は煩雑である。
【０００７】
本願の開示技術は、１つの側面として、回折格子の出射角にズレが生じても、光ファイバとの光接続の角度の調整を容易に行うことが目的である。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本願の開示する技術では、先端に回折格子を備える光導波路が設けられた基板を有し、基板の、回折格子が形成された部分を片持ち状とする。
【発明の効果】
【０００９】
本願の開示する技術では、回折格子の出射角にズレが生じても、光ファイバとの光接続の角度の調整を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は第一実施形態の光ファイバ接続構造の基板及び光接続部材を示す斜視図である。
【図２】図２は第一実施形態の光ファイバ接続構造の基板及び光接続部材を示す側面図である。
【図３】図３は第一実施形態の光ファイバ接続構造の基板及び光接続部材を示す正面図である。
【図４】図４は第一実施形態の光ファイバ接続構造を示す斜視図である。
【図５】図５は第一実施形態の光ファイバ接続構造における片持ち部と光コネクタの大きさを示す平面図である。
【図６】図６は、回折格子からの光の出射角を示す説明図である。
【図７Ａ】図７Ａは第一実施形態の光ファイバ接続構造の製造方法を示す断面図である。
【図７Ｂ】図７Ｂは第一実施形態の光ファイバ接続構造の製造方法を示す断面図である。
【図７Ｃ】図７Ｃは第一実施形態の光ファイバ接続構造の製造方法を示す断面図である。
【図７Ｄ】図７Ｄは第一実施形態の光ファイバ接続構造の製造方法を示す断面図である。
【図７Ｅ】図７Ｅは第一実施形態の光ファイバ接続構造の製造方法を示す断面図である。
【図７Ｆ】図７Ｆは第一実施形態の光ファイバ接続構造の製造方法を示す断面図である。
【図７Ｇ】図７Ｇは第一実施形態の光ファイバ接続構造の製造方法を示す断面図である。
【図７Ｈ】図７Ｈは第一実施形態の光ファイバ接続構造の製造方法を示す断面図である。
【図８】図８は第一実施形態の変形例の光ファイバ接続構造の基板及び光接続部材を示す斜視図である。
【図９】図９は第二実施形態の光ファイバ接続構造の基板及び光接続部材を示す斜視図である。
【図１０】図１０は第二実施形態の光ファイバ接続構造の基板及び光接続部材を示す断面図である。
【図１１】図１１は第二実施形態の光ファイバ接続構造の基板及び光接続部材を示す断面図である。
【図１２】図１２は第二実施形態の光ファイバ接続構造の基板及び光接続部材を示す断面図である。
【図１３Ａ】図１３Ａは第二実施形態の光ファイバ接続構造の製造方法を示す断面図である。
【図１３Ｂ】図１３Ｂは第二実施形態の光ファイバ接続構造の製造方法を示す断面図である。
【図１３Ｃ】図１３Ｃは第二実施形態の光ファイバ接続構造の製造方法を示す断面図である。
【図１３Ｄ】図１３Ｄは第二実施形態の光ファイバ接続構造の製造方法を示す断面図である。
【図１３Ｅ】図１３Ｅは第二実施形態の光ファイバ接続構造の製造方法を示す断面図である。
【図１３Ｆ】図１３Ｆは第二実施形態の光ファイバ接続構造の製造方法を示す断面図である。
【図１３Ｇ】図１３Ｇは第二実施形態の光ファイバ接続構造の製造方法を示す断面図である。
【図１３Ｈ】図１３Ｈは第二実施形態の光ファイバ接続構造の製造方法を示す断面図である。
【図１４】図１４は第二実施形態の変形例の光ファイバ接続構造の基板及び光接続部材を示す斜視図である。
【図１５】図１５は第三実施形態の光ファイバ接続構造の基板及び光接続部材を示す斜視図である。
【図１６】図１６は第三実施形態の光ファイバ接続構造の基板及び光接続部材を示す側面図である。
【図１７】図１７は第三実施形態の光ファイバ接続構造の基板及び光接続部材を示す正面図である。
【図１８Ａ】図１８Ａは第三実施形態の光ファイバ接続構造の製造方法を示す断面図である。
【図１８Ｂ】図１８Ｂは第三実施形態の光ファイバ接続構造の製造方法を示す断面図である。
【図１８Ｃ】図１８Ｃは第三実施形態の光ファイバ接続構造の製造方法を示す断面図である。
【図１８Ｄ】図１８Ｄは第三実施形態の光ファイバ接続構造の製造方法を示す断面図である。
【図１８Ｅ】図１８Ｅは第三実施形態の光ファイバ接続構造の製造方法を示す断面図である。
【図１９】図１９は第三実施形態の第一変形例の光ファイバ接続構造を示す断面図である。
【図２０】図２０は第三実施形態の第二変形例の光ファイバ接続構造の基板及び光接続部材を示す斜視図である。
【図２１】図２１は第三実施形態の第三変形例の光ファイバ接続構造の基板及び光接続部材を示す斜視図である。
【図２２】図２２は第四実施形態の光ファイバ接続構造を示す斜視図である。
【図２３】図２３は第四実施形態の光ファイバ接続構造を示す側面図である。
【図２４】図２４は第四実施形態の光ファイバ接続構造を示す正面図である。
【図２５】図２５は第四実施形態の第一変形例の光ファイバ接続構造を示す断面図である。
【図２６】図２６は第四実施形態の第二変形例の光ファイバ接続構造を示す断面図である。
【図２７】図２７は片持ち部を有する変形例の基板を用いた光ファイバ接続構造を示す断面図である。
【図２８】光ファイバ接続構造で光接続されるサーバをラック搭載状態で示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
第一実施形態について、図面に基づいて詳細に説明する。
【００１２】
図１〜図３に示すように、第一実施形態の光ファイバ接続構造１０２は、基板１０４を有する。図面において、互いに直交する３方向をそれぞれ、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向とする。以下では便宜的に、Ｘ方向及びその反対方向を幅方向、Ｙ方向及びその反対方向を奥行方向、Ｚ方向及びその反対方向を高さ方向ということがある。ただし、これら幅方向、奥行方向及び高さ方向は、実際の基板１０４の使用時の向きとは無関係である。
【００１３】
基板１０４には、光電変換素子や集積回路等の電子部品が搭載される。そして、基板１０４は、図２８に示すように、サーバ９２の筐体９４内に収容される。サーバ９２の基板１０４は、光ファイバ接続構造１０２により光接続されており、サーバ９２（基板１０４）の間での情報の伝達が光により行われる。図２８に示す例では、サーバ９２はラック９６に搭載されているが、サーバ９２はラック９６に搭載されていなくてもよい。
【００１４】
基板１０４には、先端に回折格子１０８を備える複数の光導波路１０６が形成される。図１に示す例では、４本ずつ４組、合計で１６本の光導波路１０６が幅方向（矢印Ｘ方向）に並べて形成される。そして、それぞれの光導波路１０６の組１０６Ｇでは、光導波路１０６が奥行方向の異なる位置で屈曲されており、回折格子１０８が奥行き方向に並んでいる。これにより、１６個の回折格子１０８は全体として、幅方向に４列、奥行方向に４列並んでいる。
【００１５】
光導波路１０６内を通った光は、回折格子１０８により、基板１０４の面外へ出射される。図６に示すように、基板１０４の法線ＡＮに対する設計上の出射角をθ１とする。すなわち、回折格子１０８からは、所定の出射角θ１で光が出射される。これとは逆に、基板１０４の面外から所定の入射角θ１で回折格子１０８に入射した光は、光導波路１０６内を通る。
【００１６】
基板１０４には溝１１０が形成される。溝１１０は、図２に示すように、光導波路１０６の先端側、すなわち、回折格子１０８が形成された部分の下側で基板１０４に形成される。溝１１０により、基板１０４には、光導波路１０６の先端側（回折格子１０８が形成された部分）を片持ち状とする片持ち部１１２が形成される。
【００１７】
第一実施形態では、複数の回折格子１０８が形成された領域に対し、片持ち部１１２は共通で１つ形成される。
【００１８】
基板１０４において、片持ち部１１２が形成されていない部分は基端部１１４である。片持ち部１１２の先端部は自由端１１２Ａであり、基端部は固定端１１２Ｂである。片持ち部１１２に対し上下方向に力が作用すると、片持ち部１１２は全体として上下方向に湾曲し、自由端１１２Ａ側が上下に変位する。
【００１９】
第一実施形態では、基板１０４に圧電素子１１６が設けられる。図２〜図４に示すように、圧電素子１１６の上下には電極１１８が備えられる。この電極１１８を通じて圧電素子１１６に電圧を印加し、圧電素子１１６を伸縮させることで、片持ち部１１２に上下方向（撓み方向）の力を作用させることができる。特に、圧電素子１１６への印加電圧の向き及び電圧値を調整することで、片持ち部１１２の撓み方向及び撓み量を調整できる。圧電素子１１６は、撓み部材の一例である。
【００２０】
図４に示すように、片持ち部１１２は、所定の撓み量で撓んだ状態で、接着剤１２０により固定される。すなわち、片持ち部１１２は接着剤１２０で固定されることで、所定量だけ撓んだ形状に維持される。接着剤１２０は、固定部材の一例である。図４では、接着剤１２０は、溝１１０の内部にのみ存在しているが、たとえば、片持ち部１１２（光導波路１０６及び回折格子１０８を含む）と、後述する光接続部材１２２との間に存在していてもよい。
【００２１】
光ファイバ接続構造１０２は、光接続部材１２２を有する。光接続部材１２２は、回折格子１０８と同数（第一実施形態では１６本）の光ファイバ１２４を有する。複数の光ファイバ１２４の先端近傍部分は、光コネクタ１２６に収納されており、これにより、複数の光ファイバ１２４が光コネクタ１２６によって一体的に保持される。
【００２２】
光コネクタ１２６は、接着剤（図示省略）等の接続部材により、基板１０４に接続される。接続部材としては、接着剤の他に、ネジ、フック、ピン等を挙げることができ、特に限定されない。上記したように、片持ち部１１２と光接続部材１２２との間に接着剤１２０を介在させて、この接着剤１２０を接続部材として機能させてもよい。
【００２３】
光コネクタ１２６が基板１０４に接続された状態では、それぞれ対応する回折格子１０８と光ファイバ１２４とが対向する。回折格子１０８からの出射光は光ファイバ１２４に入射し、光ファイバ１２４からの出射光は回折格子１０８に入射する。
【００２４】
図５にも示すように、第一実施形態では、基板１０４に、基板１０４に対する光コネクタ１２６の対向面１２８よりも広い範囲で、対向面１２８側から凹ませた凹部１３０が形成される。凹部１３０は溝１１０と連続している。
【００２５】
次に、第一実施形態の光ファイバ接続構造１０２の製造方法及び作用を説明する。
【００２６】
光ファイバ接続構造１０２の製造方法では、図７Ａに示すように、基板１０４（大きさは、たとえば幅１０ｍｍ×奥行１０ｍｍ）に光導波路１０６が設けられる。なお、基板１０４を台板１３２等の支持部材上に載せ置くことで、後の作業を容易に行うことが可能である。
【００２７】
光導波路１０６の先端には回折格子１０８（たとえば２５０μｍピッチで４列×４個）が備えられる。回折格子１０８からの光の設計上の出射角θ１（図６参照）は、たとえば１０度である。
【００２８】
次に、図７Ｂに示すように、光導波路１０６の上面側に、上下に電極１１８を備える圧電素子１１６（大きさは、たとえば幅５ｍｍ×奥行５００μｍ×厚さ２μｍ）を形成する。圧電素子１１６の材料の例としては、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）を挙げることができる。第一実施形態では、片持ち部１１２は１つであるので、圧電素子１１６も１つ形成する。圧電素子１１６の形成方法は特に限定されないが、たとえば、基板１０４に、下部の電極１１８を形成し、この下部の電極１１８上に圧電素子１１６、たとえば上記したＰＺＴの膜を形成する。さらに、圧電素子１１６上に、上部の電極１１８を形成する。圧電素子１１６は、たとえば、エッチングやスクリーン印刷、インクジェットプリンティング等の方法により形成できる。
【００２９】
次に、図７Ｃに示すように、基板１０４に溝１１０を形成し、基板１０４において回折格子１０８が形成された部分に、片持ち部１１２（たとえば幅５ｍｍ×奥行１．５ｍｍ×厚さ１０μｍ）を形成する。基板１０４に溝１１０を形成する方法の例としては、ウエットエッチングやドライエッチング（たとえば反応性イオンエッチング）を挙げることができる。たとえば、溝１１０及び凹部１３０が形成されていない状態の基板１０４に対し、ドライエッチングにより、まず、凹部１３０を形成できる。そして、基板１０４において凹部１３０に囲まれた部分（凹部１３０は形成されていない）の厚み方向の中央部分をウエットエッチングにより除去することで、片持ち部１１２を形成できる。
【００３０】
光接続部材１２２としては、図１〜図４に示すように、回折格子１０８の数および位置に対応した光ファイバ１２４（たとえば２５０μｍピッチで４列×４本）を実装した光コネクタ１２６を用意する。光コネクタ１２６の基板１０４との対向面１２８（たとえば幅６ｍｍ×奥行３ｍｍ）を斜めに加工し、基板１０４の法線に対する光ファイバ１２４の傾斜角θ３（図２参照）を、回折格子１０８からの光の設計上の出射角θ１（図６参照）に合わせておく。
【００３１】
次に、図７Ｄに示すように、回折格子１０８からの出射光の実際の出射角θ２を測定する。一例として、１本の光ファイバ１２４の調心機能を備えた光学ステージ上に基板１０４を固定する。そして、基板１０４上の光導波路１０６に対して回折格子１０８とは別の端面から光を入射させ、回折格子１０８からの出射光を最も効率よく結合できるように、光学ステージの調心機能を用いて出射角θ２を探索する。基板１０４上に発光素子が実装されている場合は、基板１０４に対して発光素子を駆動させるのに必要な電圧を印加し、回折格子１０８からの出射光を最も効率よく結合する光ファイバ１２４の出射角θ２を、光学ステージの調心機能で探索する。
【００３２】
なお、光ファイバ接続構造１０２の製造方法を複数回行う場合であって、２回目以降は実際の射出角θ２が分かっている場合は、２回目以降の射出角θ２の測定を省略してもよい。
【００３３】
次に、図７Ｅに示すように、圧電素子１１６へ電圧を印加し、圧電素子１１６を伸縮させる。これにより、図７Ｆに示すように、片持ち部１１２を撓ませて傾斜させる。これにより、回折格子１０８からの実際の出射角θ２を、設計上の出射角θ１（光コネクタ１２６への入射角）に近づける（理想的には一致させる）。たとえば、回折格子１０８からの光の実際の出射角θ２が８度である場合、光ファイバ１２４への設計上の入射角θ１を１０度だとすると、２度の差がある。片持ち部１１２の撓みによる先端部分（回折格子１０８が設けられている部分）の角度変化と圧電素子１１６への印加電圧との関係はあらかじめ分かっているので、上記した２度の角度変化を生じさせる所定の電圧を圧電素子１１６に印加する。一例として、片持ち部１１２の長さ１．５ｍｍに対し２度の角度変化は、自由端１１２Ａの変位量としては約５０μｍに相当する場合、圧電素子１１６へ約１５Ｖの電圧印加を行えばよい。
【００３４】
なお、回折格子１０８からの実際の出射角θ２が、設計上の出射角θ１と一致している場合、あるいは、不一致であっても許容限度の範囲内であれば、片持ち部１１２を撓み変形させない。
【００３５】
このように、所定電圧を圧電素子１１６に印加して伸縮させ、片持ち部１１２の先端を所定角度に傾斜させた状態で、図７Ｇに示すように、基板１０４上（溝１１０の内部）に接着剤１２０を塗布し、片持ち部１１２を固定する。
【００３６】
そして、片持ち部１１２を固定した後に、図７Ｈに示すように、圧電素子１１６への電圧印加を停止する。片持ち部１１２は固定されているので、圧電素子１１６への電圧印加を停止しても、片持ち部１１２は撓み変形した状態に維持される。そして、圧電素子１１６への電圧印加を停止することで、過分の電力消費を抑制できる。
【００３７】
その後、光接続部材１２２の光コネクタ１２６を基板１０４に対し位置合わせして実装し、接着剤等を用いて固定することで、図４に示すように、回折格子１０８と光ファイバ１２４とを光接続する。
【００３８】
第一実施形態では、片持ち部１１２が所定の撓み量で撓み変形され、これにより、回折格子１０８からの光の出射角が調整される。回折格子１０８の実際の出射角θ２が、設計上の出射角θ１（光ファイバ１２４との接続状態において求められる角度）からずれている場合は、このように片持ち部１１２を変形させることで、出射角θ２を所望の角度にでき、角度の調整が容易である。そして、回折格子１０８からの出射光を効率的に、光ファイバ１２４に入射させることができる。同様に、光ファイバ１２４からの出射光を効率的に、回折格子１０８に入射させることができる。
【００３９】
第一実施形態では、圧電素子１１６を備える。圧電素子１１６に電圧を印加することで、容易に片持ち部１１２を撓み変形させることができる。圧電素子１１６への印加電圧の値を調整し、片持ち部１１２の撓み量、すなわち回折格子１０８の傾斜角度を調整することが可能である。さらに、圧電素子１１６への印加電圧の向き調整し、片持ち部１１２の撓み方向、すなわち回折格子１０８の傾斜方向（下向き又は上向き）を調整することも可能である。
【００４０】
第一実施形態では、固定部材の一例である接着剤１２０により、片持ち部１１２が所定の撓み量で固定される。圧電素子１１６への電圧印加を停止しても、片持ち部１１２を所定の撓み量に維持できるので、余分な電力を消費しない。
【００４１】
固定部材としては、接着剤１２０に限定されず、クリップやネジ等を用いることも可能である。固定部材として接着剤１２０を用いれば、片持ち部１１２の固定が容易であり、また、クリップやネジ等の出っ張りが生じない。
【００４２】
第一実施形態の光ファイバ接続構造１０２として、上記では、回折格子１０８が幅方向及び奥行方向に複数配置された例を挙げたが、回折格子１０８の配置はこれに限定されない。
【００４３】
図８には、第一実施形態の変形例の光ファイバ接続構造１４２が示される。この光ファイバ接続構造１４２のように、回折格子１０８が奥行き方向に１列のみ（幅方向には複数個、図示の例では８つ）形成されてもよい。この場合、光接続部材１２２としても、光ファイバ１２４が１列（回折格子１０８と同数且つ同間隔）で光コネクタ１２６に収納された構造とする。
【００４４】
第一実施形態の変形例では、複数の回折格子１０８が、片持ち部１１２の固定端１１２Ｂから等距離にあるので、片持ち部１１２を撓み変形させたとき、複数の回折格子１０８の上下方向の変位量が一定である。
【００４５】
第一実施形態及びその変形例では、複数の光導波路１０６を備えており、光導波路１０６の回折格子１０８に共通して片持ち部１１２が形成される。片持ち部１１２は１つであるので、簡易な構造であり、製造が容易である。
【００４６】
次に、第二実施形態について説明する。なお、第二実施形態において、上記第一実施形態（変形例を含む）と同様の要素、部材等については同一符号を付して、詳細な説明を省略する。
【００４７】
図９〜図１２に示すように、第二実施形態の光ファイバ接続構造２０２では、基板１０４に、複数の光導波路１０６及び回折格子１０８が備えられる。そして、回折格子１０８のそれぞれに対し、溝１１０が形成される。換言すれば、回折格子１０８のそれぞれに対応して、片持ち部１１２が形成される。さらに、片持ち部１１２のそれぞれに対応して、圧電素子１１６が形成される。
【００４８】
したがって、第二実施形態の光ファイバ接続構造２０２では、回折格子１０８のそれぞれに対し、対応する片持ち部１１２を撓み変形させることで、複数の回折格子１０８を個々に独立して所望の傾斜角度にすることが可能である。たとえば、図１２に示す例のように、片持ち部１１２Ｐを下側へ撓み変形させ、片持ち部１１２Ｑを上側に撓み変形させることも可能である。
【００４９】
第二実施形態の光ファイバ接続構造２０２の製造方法においても、第一実施形態の光ファイバ接続構造１０２の製造方法と同様に製造できる。
【００５０】
すなわち、図１３Ａに示すように、基板１０４（大きさは、たとえば幅１０ｍｍ×奥行１０ｍｍ）に光導波路１０６が設けられる。光導波路１０６に先端には回折格子１０８（たとえば２５０μｍピッチで２列に４個）が備えられる。
【００５１】
そして、図１３Ｂに示すように、光導波路１０６の上面側に、上下に電極１１８を備える圧電素子１１６（大きさは、たとえば幅１００μｍ×奥行５００μｍ×厚さ１μｍ）を形成する。第二実施形態では、複数の片持ち部１１２を形成するため、この段階で片持ち部１１２のそれぞれに対応するように、複数の下部の電極１１８を形成した後に圧電素子１１６を形成する。圧電素子１１６を形成した後に上部の電極１１８を形成する。
【００５２】
次に、図１３Ｃに示すように、基板１０４に溝１１０を形成し、基板１０４において回折格子１０８が形成された部分に、片持ち部１１２（たとえば幅１００μｍ×奥行１ｍｍ×厚さ１０μｍ）を形成する。第二実施形態では、片持ち部１１２を複数形成すべく、複数の溝１１０を形成する。なお、基板１０４に溝１１０を形成する方法の例としては、第一実施形態と同様に、ウエットエッチングやドライエッチング（たとえば反応性イオンエッチング）を挙げることができる。たとえば、溝１１０及び凹部１３０が形成されていない状態の基板１０４に対し、ドライエッチングにより、まず、凹部１３０を形成できる。さらに、基板１０４に対しウエットエッチングを行うことで、片持ち部１１２を形成できる。
【００５３】
これに対し、光接続部材１２２としては、回折格子１０８の数および位置に対応した光ファイバ１２４（たとえば２５０μｍピッチで４列×４本）を実装した光コネクタ１２６を用意する。光コネクタ１２６の対向面１２８（たとえば幅６ｍｍ×奥行３ｍｍ）を斜めに加工し、基板１０４の法線に対する光ファイバ１２４の傾斜角θ３（図１０参照）を、回折格子１０８からの光の設計上の出射角θ１に合わせておく。
【００５４】
次に、図１３Ｄに示すように、それぞれの回折格子１０８からの出射光の実際の出射角θ２を測定する。一例として、１本以上の光ファイバ１２４の調心機能を備えた光学ステージ上に基板１０４を固定する。そして、基板１０４上の各光導波路１０６に対して回折格子１０８とは別の端面から光を入射させる。各回折格子１０８からの出射光の強度が高くなる出射角θ２を、全回折格子１０８につき、光ファイバ１２４で調心しながら探索する。回折格子１０８が各列で同様の構造である場合は、各列につき１つの回折格子１０８において、出射角θ２を測定してもよい。基板１０４上に発光素子が実装されている場合は、基板１０４に対して発光素子を駆動させるのに必要な電圧を印加し、各回折格子１０８からの出射光を最も効率よく結合する光ファイバ１２４の出射角θ２を、光ファイバ１２４で調心しながら探索する。
【００５５】
なお、光ファイバ接続構造２０２の製造方法を複数回行う場合であって、２回目以降は実際の出射角θ２が分かっている場合は、出射角θ２の測定は、２回目以降は省略してもよい。
【００５６】
次に、図１３Ｅに示すように、圧電素子１１６へ電圧を印加し、圧電素子１１６を伸縮させる。そして、それぞれの回折格子１０８における設計上の出射角θ１（図６参照）とのズレに応じて、片持ち部１１２を撓ませることで、基板１０４の法線ＡＮに対する実際の出射角θ２を設計上の出射角θ１に近づける（理想的には一致させる）。
【００５７】
特に、第二実施形態では、複数の圧電素子１１６に、異なる向き及び異なる大きさの電圧を印加することで、片持ち部１１２のそれぞれを独立して、異なる向き及び撓み量で撓ませることができる。たとえば、図１３Ｆ及び図１２に示す例では、圧電素子１１６Ｐと圧電素子１１６Ｑとで異なる方向の電圧を印加することで、対応する片持ち部１１２Ｐと片持ち部１１２Ｑを異なる方向に撓ませている。
【００５８】
また、片持ち部１１２を同方向に撓ませる場合でも、片持ち部１１２のそれぞれを独立して、撓み量を調整することができる。たとえば、実際の出射角θ２が８度である回折格子１０８Ｐと、際の出射角θ２が９度である回折格子１０８Ｑが存在する場合を想定する。この場合、一例として、片持ち部１１２の長さ１ｍｍに対し２度の角度変化は、自由端１１２Ａの変位量としては約３５μｍに相当し、圧電素子１１６へ約２０Ｖの電圧印加を行えばよい。これに対し、片持ち部１１２の１度の角度変化は、自由端１１２Ａの変位量としては約１８μｍに相当し、圧電素子１１６へ約１０Ｖの電圧印加を行えばよい。したがって、この場合は、片持ち部１１２Ｑに対応する圧電素子１１６には約２０Ｖ、片持ち部１１２Ｐに対応する圧電素子１１６には約１０Ｖの電圧を印加する。
【００５９】
このように、圧電素子１１６のそれぞれに異なる向き及び強さの電圧を印加して伸縮させ、片持ち部１１２を傾斜させた状態で、図１３Ｇに示すように、基板１０４上（溝１１０の内部）に接着剤１２０を塗布し、片持ち部１１２を固定する。
【００６０】
そして、それぞれの片持ち部１１２の固定後に、図１３Ｈに示すように、圧電素子１１６への電圧印加を停止する。
【００６１】
その後、光接続部材１２２の光コネクタ１２６を基板１０４に対し位置合わせして実装し、接着剤等を用いて固定することで、図１２に示すように、回折格子１０８と光ファイバ１２４とを光接続する。
【００６２】
第二実施形態では、複数の回折格子１０８のそれぞれに対応した片持ち部１１２を有するので、複数の回折格子１０８から射出される光の実際の出射角θ２を、回折格子１０８ごとに個別に調整することができる。
【００６３】
図１４には、第二実施形態の変形例の光ファイバ接続構造２１２が示されている。第二実施形態の変形例では、基板１０４に位置決め部材２１４が設けられる。図１４に示す例では、位置決め部材２１４は、基板１０４の法線ＡＮに沿った方向に見て略Ｕ字状であり、幅方向両側の幅位置決め片２１４Ｗと、奥側の奥位置決め片２１４Ｄとを備えた形状である。
【００６４】
なお、位置決め部材２１４は、たとえば基板１０４とは別体で形成しておき、基板１０４にフリップチップボンダ等により固定できる。位置決め部材２１４を基板１０４に固定するタイミングは、たとえば、基板１０４に溝１１０（片持ち部１１２）を形成した後で、且つ光接続部材１２２を基板１０４に接続する前であればよい。
【００６５】
第二実施形態の変形例では、位置決め部材２１４を有するので、光接続部材１２２（光コネクタ１２６）と基板１０４との位置合わせが容易である。
【００６６】
次に、第三実施形態について説明する。なお、第三実施形態において、上記各実施形態（変形例を含む）と同様の要素、部材等については同一符号を付して、詳細な説明を省略する。
【００６７】
図１５に示すように、第三実施形態の光ファイバ接続構造３０２では、複数の回折格子１０８に共通で１つの片持ち部１１２が備えられる。そして、基板１０４に位置決め部材２１４が設けられる。位置決め部材２１４は、図１５に示す例では、第二実施形態の変形例と同様に、基板１０４の法線ＡＮに沿った方向に見て略Ｕ字状である。そして、幅方向両側の幅位置決め片２１４Ｗ（図１７参照）と、奥側の奥位置決め片２１４Ｄ（図１６参照）とを有する。位置決め部材２１４は、たとえば基板１０４に、フリップチップボンダ等により固定できる。
【００６８】
第三実施形態では、基板１０４に圧電素子１１６（撓み部材）は設けられない。そして、片持ち部１１２を撓み変形は、光接続部材１２２の押圧により行われる。換言すれば、第三実施形態では、光接続部材１２２が撓み部材である。
【００６９】
第三実施形態の光ファイバ接続構造１０２の製造方法では、図１８Ａに示すように、基板１０４（大きさは、たとえば幅１０ｍｍ×奥行１０ｍｍ）に光導波路１０６が設けられる。光導波路１０６に先端には回折格子１０８（たとえば２５０μｍピッチで４列に４個）が備えられる。
【００７０】
次に、図１８Ｂに示すように、基板１０４に溝１１０を形成し、基板１０４において回折格子１０８が形成された部分に、片持ち部１１２（大きさは、たとえば幅５ｍｍ×奥行１．５ｍｍ×厚さ１０μｍ）を形成する。基板１０４に溝１１０を形成する方法の例としては、第一実施形態と同様に、ウエットエッチングやドライエッチング（たとえば反応性イオンエッチング）を挙げることができる。なお、溝１１０の形成により、同時に凹部１３０も形成される。
【００７１】
光接続部材１２２としては、回折格子１０８の数および位置に対応した光ファイバ１２４（たとえば２５０μｍピッチで４列×４本）を実装した光コネクタ１２６を用意する。光コネクタ１２６の対向面１２８（大きさは、たとえば幅６ｍｍ×奥行３ｍｍ）を斜めに加工し、基板１０４の法線に対する光ファイバ１２４の傾斜角θ３（図１６参照）を、回折格子１０８からの光の設計上の出射角θ１（図５参照）に合わせておく。
【００７２】
次に、図１８Ｃに示すように、基板１０４に、フリップチップボンダ等により位置決め部材２１４を形成する。
【００７３】
次に、図１８Ｄに示すように、光接続部材１２２の光コネクタ１２６の対向面１２８で片持ち部１１２を押圧し、片持ち部１１２を所定量だけ撓み変形させる。具体的には、たとえば、保持装置によって光コネクタ１２６を保持し、基板１０４に対する位置を調整しつつ、対向面１２８を基板１０４の上面１０４Ａから所定角度傾斜させた状態で、片持ち部１１２に接触させる。このとき、光コネクタ１２６を位置決め部材２１４に接触させることで、光コネクタ１２６の位置の正確性を高めることができる。
【００７４】
そして、この段階で、回折格子１０８からの出射光の実際の出射角θ２（図５参照）を測定する。このとき、たとえば光コネクタ１２６の対向面１２８と基板１０４の上面１０４Ａとの成す角度が１２度、実際の出射角θ２が８度であり、この４度の角度差を解消するために、片持ち部１１２の自由端１１２Ａ側を約１０５μｍ押し込めばよい。また、実際の出射角θ２が１０度であれば、２度の角度差を解消するために、片持ち部１１２の自由端１１２Ａ側の押し込み長さは約５２μｍでよい。
【００７５】
基板１０４には凹部１３０が形成されており、この凹部１３０は、光コネクタ１２６の対向面１２８よりも、基板１０４の法線方向に見て広い。特に、基板１０４の平面視で、凹部１３０のうち、位置決め部材２１４の内側に位置する部分が対向面１２８より広い。したがって、光コネクタ１２６が、片持ち部１１２の押圧時に不用意に基板１０４に接触せず、確実に片持ち部１１２を撓ませることができる。
【００７６】
次に、光コネクタ１２６の傾斜角度を維持しつつ、片持ち部１１２を光コネクタ１２６で所定量（上記の角度差が４度の場合は約１０５μｍ）押し込んだ状態で、光ファイバ１２４と回折格子１０８との光接続を確認する。
【００７７】
次に、図１８Ｅに示すように、接着剤１２０により、片持ち部１１２を固定すると共に、光コネクタ１２６を基板１０４に接着固定する。ただし、このように光コネクタ１２６を基板１０４に接触固定すると、片持ち部１１２は所定の撓み量で撓んだ状態に維持されるので、片持ち部１１２を固定するための接着剤１２０を省略してもよい。
【００７８】
第三実施形態では、光接続部材１２２が撓み部材の一例であり、この光接続部材１２２で片持ち部１１２を押圧して撓ませることができる。
【００７９】
特に、回折格子１０８に光接続される光ファイバ１２４を備えた光接続部材１２２を用いて片持ち部１１２を撓み変形させている。したがって、片持ち部１１２を撓み変形させるためのあらたな部材が不要である。
【００８０】
第三実施形態では、光コネクタ１２６を用いて片持ち部１１２を押圧し撓み変形させるので、片持ち部１１２を確実に変形させることが可能である。また、光ファイバ１２４を片持ち部１１２に接触（押圧）しないので、光ファイバ１２４の先端の形状に影響を与えない。
【００８１】
第三実施形態の光ファイバ接続構造３０２として、上記では、光コネクタ１２６の対向面１２８が基板１０４の上面１０４Ａに対し略平行で光接続される例を挙げた。これに対し、図１９に示す第三実施形態の第一変形例の光ファイバ接続構造３１２のように、光コネクタ１２６の対向面１２８が基板１０４の上面１０４Ａと平行でない構造でもよい。この構造においても、片持ち部１１２の一部、たとえば自由端１１２Ａ側を光コネクタ１２６で押圧することで、片持ち部１１２を撓ませることができる。
【００８２】
また、第三実施形態の光ファイバ接続構造３０２として、上記では、回折格子１０８が幅方向及び奥行方向に複数配置された例を挙げたが、回折格子１０８の配置はこれに限定されない。図２０に示す第三実施形態の第二変形例の光ファイバ接続構造３２２のように、回折格子１０８が奥行方向に１列のみ（幅方向には８つ）形成される例でもよい。この場合、光接続部材１２２としても、光ファイバ１２４が１列（回折格子１０８と同数且つ同間隔）で光コネクタ１２６に収納された構造とする。
【００８３】
さらに、図２１に示す第三実施形態の第三変形例の光ファイバ接続構造３３２のように、回折格子１０８ごとに、片持ち部１１２が幅方向で複数に分割された構造でもよい。
【００８４】
次に、第四実施形態について説明する。第四実施形態において、上記各実施形態（変形例を含む）と同様の要素、部材等については同一符号を付して、詳細な説明を省略する。
【００８５】
図２２〜図２４に示すように、第四実施形態の光ファイバ接続構造４０２では、光ファイバ１２４の先端側部分が、光コネクタ１２６の対向面１２８から突出しており、突出部１２４Ｔが設けられている。
【００８６】
したがって、第四実施形態では、図２２〜図２４に示すように、光コネクタ１２６を基板１０４に接着固定した状態で、光ファイバ１２４の先端（突出部１２４Ｔ）を、対向面１２８よりも回折格子１０８に近い位置に配置できる。
【００８７】
第四実施形態において、片持ち部１１２を撓ませるときには、光コネクタ１２６で片持ち部１１２を押圧しても良いが、光ファイバ１２４で押圧することも可能である。光ファイバ１２４で片持ち部１１２を押圧し撓み変形させる場合、光ファイバ１２４の先端（突出部１２４Ｔ）が回折格子１０８に接触し、光ファイバ１２４と回折格子１０８の間の隙間が狭くなる。したがって、間隙が広い構造と比較して、効率的に光の授受を行うことが可能である。
【００８８】
第四実施形態の光ファイバ接続構造１０２の製造方法は、第三実施形態の光ファイバ接続構造の製造方法と同様の製造方法を採ることができる。なお、第四実施形態では、それぞれの光ファイバ１２４の先端が成す平面の角度が、基板１０４に対し傾斜していると、光ファイバ１２４の先端が全体としてこの傾斜角を維持しながら片持ち部１１２を押すので、片持ち部１１２を効果的に撓ませることができる。
【００８９】
第四実施形態において、図２３では、光コネクタ１２６の対向面１２８が基板１０４の上面１０４Ａと平行な状態で光接続される例を挙げている。そして、対向面１２８から光ファイバ１２４のそれぞれが突出する突出長は一定である。
【００９０】
図２５には、第四実施形態の第一変形例の光ファイバ接続構造４１２が示される。図２６には、第四実施形態の第二変形例の光ファイバ接続構造４２２が示される。
【００９１】
図２５および図２６に示す例ではいずれも、光コネクタ１２６の対向面１２８が基板１０４の上面１０４Ａに対し傾斜した状態で光接続される。この場合、片持ち部１１２の固定端１１２Ｂ側では、自由端１１２Ａ側よりも、回折格子１０８から対向面１２８までの距離が長い。したがって、固定端１１２Ｂ側の回折格子１０８に対応する光ファイバ１２４では、対向面１２８からの突出長を長くすることで、光ファイバ１２４の突出部１２４Ｔが回折格子１０８に対しより接近した状態を実現している。なお、図２５では、光ファイバ１２４の先端で片持ち部１１２を押圧している例であり、図２６では、光コネクタ１２６で片持ち部１１２を押圧している例である。
【００９２】
光コネクタ１２６又は光ファイバ１２４で片持ち部１１２を押圧して撓ませた場合には、片持ち部１１２の撓み変形後に、光コネクタ１２６及び光ファイバ１２４と片持ち部１１２の間にも接着剤を介在させることが可能である。光コネクタ１２６及び光ファイバ１２４と片持ち部１１２の間にも接着剤を介在させることにより、光接続部材１２２を基板１０４に強固に接着固定できる。
【００９３】
特に、光ファイバ１２４により、片持ち部１１２を押圧して撓ませる場合であっても、たとえば図２５に示したように、光ファイバ１２４の突出部１２４Ｔの端面が、回折格子１０８に対し斜めになっていることがある。この場合、光ファイバ１２４の端面の一部（固定端１１２Ｂ側の部分）は、回折格子１０８には接触せず、隙間が生じる。この隙間にも接着剤を介在させることが可能である。接着剤としては、光を透過させる接着剤を使用すれば、回折格子１０８と光ファイバ１２４と間の光の授受に影響を与えない。
【００９４】
上記では、撓み部材の例として、圧電素子１１６および光接続部材１２２を挙げた。片持ち部１１２に撓み変形を生じさせるための撓み部材は、圧電素子１１６や光接続部材１２２に限定されない。たとえば、片持ち部１１２を押圧するための治具を用意し、この治具を撓み部材として用いてもよい。
【００９５】
各実施形態において、基板１０４に片持ち部１２２を形成する方向及び構造は、上記に限定されない。たとえば、図２７に示す例では、基板１０４が、第一層１０４Ｐ上に第二層１０４Ｑが接着され、第二層１０４Ｑ上に第三層１０４Ｒが接着された三層構造である。そして、第二層１０４Ｑ上の第三層１０４Ｒは、第二層１０４Ｑよりも奥行が長く、奥側に突出している。第三層１０４Ｒにおけるこの突出部分が、片持ち部１１２である。このように、基板１０４を複数層構造とし、各層の大きさを変えることで、片持ち部１２２を形成してもよく、この構造では、積極的に溝１１０を形成しなくても片持ち部１２２を形成できる。
【００９６】
図２７では、第一実施形態の光ファイバ接続構造１０２において、基板１０４が複数層構造である例を示したが、第二実施形態〜第四実施形態およびこれら実施形態の各変形例において、複数層構造の基板１０４により片持ち部１２２が形成されてもよい。
【００９７】
各実施形態の光ファイバ接続構造では、回折格子１０８の実際の出射角に設計上の出射角からのずれが生じていても、このすれを少なくして、回折格子１０８と光ファイバ１２４とを光接続できる。したがって、たとえば、大量の情報を高速で伝送するサーバやスーパーコンピュータにおいて、情報の伝送を確実に行うことができる。さらには、確実な、すなわちエラーの少ない情報の伝達により、低コスト化（低消費電力化）を図ることも可能である。
【００９８】
以上、本願の開示する技術の実施形態について説明したが、本願の開示する技術は、上記に限定されるものでなく、上記以外にも、その主旨を逸脱しない範囲内において種々変形して実施可能であることは勿論である。
【００９９】
本明細書は、以上の実施形態に関し、さらに以下の付記を開示する。
（付記１）
基板と、
前記基板に設けられ先端に回折格子を備える光導波路と、
前記回折格子が形成された部分を片持ち状とする片持ち部と、
前記回折格子と光接続される光ファイバを備える光接続部材と、
を有する光ファイバ接続構造。
（付記２）
前記片持ち部を撓ませるための撓み部材を有する付記１に記載の光ファイバ接続構造。
（付記３）
前記撓み部材が、前記基板に設けられた圧電素子である付記２に記載の光ファイバ接続構造。
（付記４）
前記撓み部材が前記光接続部材である付記２に記載の光ファイバ接続構造。
（付記５）
前記光接続部材が、前記光ファイバが収納され前記基板と対向する光コネクタを有する付記４に記載の光ファイバ接続構造。
（付記６）
前記撓み部材が前記光コネクタである付記５に記載の光ファイバ接続構造。
（付記７）
前記撓み部材が前記光ファイバである付記５に記載の光ファイバ接続構造。
（付記８）
前記基板に、前記光コネクタの前記基板との対向部分よりも広い範囲で前記対向部分側から凹ませた凹部が形成されている付記５〜付記７のいずれか１つに記載の光ファイバ接続構造。
（付記９）
前記片持ち部を撓んだ状態で固定する固定部材を有する付記１〜付記８のいずれか１つに記載の光ファイバ接続構造。
（付記１０）
前記固定部材が接着剤である付記９に記載の光ファイバ接続構造。
（付記１１）
前記基板に設けられ前記光接続部材を位置決めする位置決め部材を有する付記１〜付記１０のいずれか１つに記載の光ファイバ接続構造。
（付記１２）
前記光導波路を複数備え、
前記片持ち部が複数の前記光導波路の回折格子で共通して形成される付記１つに記載の光ファイバ接続構造。
（付記１３）
前記光導波路を複数備え、
前記片持ち部が複数の前記光導波路の回折格子ごとに形成される付記１に記載の光ファイバ接続構造。
（付記１４）
光導波路が設けられた基板において前記光導波路の先端の回折格子を含む部分に形成された片持ち部を撓ませた後、前記回折格子に光接続部材の光ファイバを光接続する光ファイバ接続構造の製造方法。
（付記１５）
前記片持ち部を撓ませて、前記回折格子からの光の実際の出射角を設計上の出射角に合わせる付記１４に記載の光ファイバ接続構造の製造方法。
（付記１６）
前記片持ち部を撓んだ状態で前記基板に固定する付記１４又は付記１５に記載の光ファイバ接続構造の製造方法
（付記１７）
前記片持ち部を撓ませた状態で固定した後、前記回折格子に光ファイバを光接続する付記１６に記載の光ファイバ接続構造の製造方法。
（付記１８）
前記基板が前記片持ち部を撓ませる圧電素子を備え、前記圧電素子への電圧印加により前記片持ち部を撓ませる付記１４〜付記１７のいずれか１つに記載の光ファイバ接続構造の製造方法。
（付記１９）
前記片持ち部を撓ませた状態で固定した後、前記圧電素子への電圧印加を停止する付記１８に記載の光ファイバ接続構造の製造方法。
（付記２０）
前記光接続部材を前記片持ち部に押圧して前記片持ち部を撓ませる付記１４〜付記１７のいずれか１つに記載の光ファイバ接続構造の製造方法。
（付記２１）
前記光ファイバが収納され前記基板と対向する光コネクタを前記片持ち部に押圧して前記片持ち部を撓ませる付記２０に記載の光ファイバ接続構造の製造方法。
（付記２２）
前記光ファイバを前記片持ち部に押圧して前記片持ち部を撓ませる付記２０に記載の光ファイバ接続構造の製造方法。
（付記２３）
前記基板に設けられた位置決め部材によって前記光接続部材を位置決めし前記光ファイバを前記回折格子に光接続する付記１４〜付記２２のいずれか１つに記載の光ファイバ接続構造の製造方法。
【符号の説明】
【０１００】
１０２      光ファイバ接続構造
１０４      基板
１０６      光導波路
１０８      回折格子
１１０      溝
１１２Ａ    先端部
１１２      片持ち部
１１４      基端部
１１６      圧電素子
１１８      電極
１２０      接着剤（固定部材の一例）
１２２      光接続部材
１２４      光ファイバ
１２６      光コネクタ
１２８      対向面
１３０      凹部
１４２      光ファイバ接続構造
２０２      光ファイバ接続構造
２１２      光ファイバ接続構造
２１４      位置決め部材
３０２      光ファイバ接続構造
３１２      光ファイバ接続構造
３２２      光ファイバ接続構造
３３２      光ファイバ接続構造
４０２      光ファイバ接続構造
４１２      光ファイバ接続構造
４２２      光ファイバ接続構造
【図１】
2016200775.tif 000003
【図２】
2016200775.tif 000004
【図３】
2016200775.tif 000005
【図４】
2016200775.tif 000006
【図５】
2016200775.tif 000007
【図６】
2016200775.tif 000008
【図７Ａ】
2016200775.tif 000009
【図７Ｂ】
2016200775.tif 000010
【図７Ｃ】
2016200775.tif 000011
【図７Ｄ】
2016200775.tif 000012
【図７Ｅ】
2016200775.tif 000013
【図７Ｆ】
2016200775.tif 000014
【図７Ｇ】
2016200775.tif 000015
【図７Ｈ】
2016200775.tif 000016
【図８】
2016200775.tif 000017
【図９】
2016200775.tif 000018
【図１０】
2016200775.tif 000019
【図１１】
2016200775.tif 000020
【図１２】
2016200775.tif 000021
【図１３Ａ】
2016200775.tif 000022
【図１３Ｂ】
2016200775.tif 000023
【図１３Ｃ】
2016200775.tif 000024
【図１３Ｄ】
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【図１３Ｅ】
2016200775.tif 000026
【図１３Ｆ】
2016200775.tif 000027
【図１３Ｇ】
2016200775.tif 000028
【図１３Ｈ】
2016200775.tif 000029
【図１４】
2016200775.tif 000030
【図１５】
2016200775.tif 000031
【図１６】
2016200775.tif 000032
【図１７】
2016200775.tif 000033
【図１８Ａ】
2016200775.tif 000034
【図１８Ｂ】
2016200775.tif 000035
【図１８Ｃ】
2016200775.tif 000036
【図１８Ｄ】
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【図１８Ｅ】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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