(57)【要約】【課題】圧縮と引っ張りの異なる歪を引っ張り方向に感度特性を有する歪センサで検出すること、およびセンサ出力を安定に検出するための施工方法、および歪データを人の感覚で収集する方法の改善である。【解決手段】引っ張り方向に感度を有する歪センサを２個用いて、圧縮と引っ張りの歪を２個の引っ張りセンサに相補型で分担させる。そのために歪を２つの剛体に伝えて、歪の方向に応じてどちらか一方に引っ張り歪を伝える構造とした。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
両端の位置を一軸上で伸縮させて歪ませる第１歪センサと第２歪センサを当該軸上で直列に配置させ、隣接する２端を第１の剛体に固定させ、当該隣接２端を中心に互いに離れた２端を第２の剛体に固定させ、第１の剛体と第２の剛体の相対的位置ずれを第１と第２の歪センサに伝えることを特徴とする相補歪センサ。
【請求項２】
前記剛体が弾力性のある材料の弾力接着層で接着されていることを特徴とする請求項１記載の相補歪センサ。
【請求項３】
前記弾力接着層がゴムまたはやプラスチクスであることを特徴とする請求項１、２記載の相補歪センサ。
【請求項４】
前記相補歪センサを２組備え、それをブリッジ結合させたことを特徴とする請求項１ないし３記載の相補歪センサ。
【請求項５】
前記相補歪センサを溶接を含む方法で被測定物に固定することを特徴とする請求項１ないし４記載の相補歪センサの施工方法。
【請求項６】
センサの出力データを人が分かる音に変換することを特徴とするデータ収集方法。
【請求項７】
前記センサが前記相補歪センサあることを特徴とする請求項６記載のデータ収集方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、材料の変形を測定する４端子歪センサとその出力信号を伝達する装置に関する。
【０００２】
材料の変形を測定する歪センサ、あるいは、歪ゲージがある。
【０００３】
歪を測定する目的はいろいろある。橋梁やトンネルの崩壊の前兆を知るために歪を測定して管理をする。人が目視や打音でそれを管理するが、危険な場所の測定は困難であるとき、安全管理がしばしば見逃されることが起きる。
【０００４】
鉄道では線路の歪を人が測定して脱線を防止するための管理を行う。数ｋｍの鉄で線路はできているので、冬と夏では大きな歪になり変形が起きる。
【０００５】
地震や風による高層ビルディングの揺れが歪を作り変形を起こさせるので、変形や歪の履歴を記録したいという事情がある。
【０００６】
材料の歪を利用して応力の大きさや時間変化を測定する市場分野がある。重量を測定する、軸のねじれを測定する、振動や鼓動を測定するなどの装置市場でも歪センサが用いられる。
【背景技術】
【０００７】
歪を測定する原理の多くは、歪を電気抵抗の変化として測定する原理である。金属の細線にそれを伸ばす変形を与えると細線が細くなり電気抵抗が上昇する。細線を九十九折にして実効長を長くして感度を上げる構造がよく採用されている。（非特許文献１を参照）
【０００８】
半導体としてのシリコンに応力を与えて歪ませると電気移動度が変化して抵抗値が変わる。その変化を利用して歪の大きさを測定する半導体歪センサがある。その検出感度を向上させるための構造には種類がある。
【０００９】
一般に市販されている歪センサは箔状であり、それを被測定物に貼り付けて用いる。歪量は当該センサの貼り付け領域の歪量になり、歪量はセンサの大きさで制限される。
【００１０】
この制限を超えて大きな領域の歪量を測定する方法として、自身は変形しない剛体材料で離れた２点間の歪を伝達し、当該剛体の隣接端に貼り付けた歪センサに離れた２点の変異を集中して伝える方法がある（特許文献１を参照）。
【００１１】
この方法では、しかし、当該センサを引っ張る方向の歪の測定には有効であるが、圧縮する方向の歪の測定ではセンサが膨らみたわんでしまい正しく測定できない不具合がある。
【００１２】
歪センサの信号は人が近付いて測定できる場合と、それが困難である場合がある。また定期的に頻繁に測定する場合と、基準を超える異常があるときにだけ、それを知りたい場合がある。
【００１３】
人が関与してセンサのそばに行き測定するとき、センサの数や測定頻度、場所などに依存して人のコストが発生する。このために、センサの信号を人がかかわらずに測定したいという背景がある。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【００１４】
【非特許文献１】http://www.ni.com/white-paper/7130/ja/   National Instrument社「歪みゲージ測定の理論と実測」
【特許文献】
【００１５】
【特許文献１】登録番号  5192095 「ひずみ感知センサ」
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
歪センサを利用するときの課題が２つある。
【００１７】
歪には引っ張りと圧縮の２方向がある。被測定物に貼り付けるタイプのセンサは接着剤を通して歪を伝える。接着剤は温度変化による伸縮と環境から受ける材料の変質劣化のために、その接着機能が劣化して歪を伝えなくなったり剥離したりする。センサの両端が固定されているときも、センサがたわみ、歪を正しく伝えない。
【００１８】
これが第１の課題である。
【００１９】
二つ目の課題は人のコストに係る。
【００２０】
センサの設置個所も少なく、測定回数や頻度も限られていれば、測定に伴う人のコストが問題ではなかった。
【００２１】
しかし、高性能の歪センサが大量に安く製造できるようになると、それを設置したい場所が増える。製造物や建造物（ビルディングや橋、乗り物、レールなど）の事故が起きると安全管理を十分に行うために、膨大な数のセンサを設置する動きになる。
【００２２】
安全管理のためには人が近づけない場所にも設置したいという要請が発生する。しかし、落下の危険の高い場所や狭い場所、爆発や放射線汚染などの危険のある場所に人を近づけたくない。
【００２３】
また、センサの数が増えて、測定の頻度が増えると測定のための人のコストが膨大になる。測定データ数も膨大になるので、整理して管理するコストも膨大になる。
【００２４】
センサの値によって、安全や異常を管理する場合、人の感覚で歪量を感じられると管理が迅速になる。
【００２５】
第２の課題は膨大な数の歪センサの信号を収集する人のコストを低減することと、歪センサの信号の異常を人の感覚で判断できるようにすることが課題である。
【課題を解決するための手段】
【００２６】
本発明は、測定しようとする材料の歪を圧縮と引っ張りの両方向に感度のあるセンサを備えていて、測定した値を遠隔操作でセンサ別に集計する装置である。本発明は前記第１と第２の課題を解決する。
【００２７】
センサが被測定物から剥離していても、両端が固定されていれば引っ張り歪には感応する。しかし圧縮歪にセンサシートがたわむと感応しない。
【００２８】
図１にこの第１の課題解決のための歪センサの基本構造を示す。
【００２９】
歪センサ１００は歪を伝える剛体である剛体伝達材１０１、１０２を備える。剛体とは、それ自身は応力や温度変化によって相対的に変形量が小さい、または変形しない材料を意味する。例えば、金属に対して石英は剛体であると言える。
【００３０】
二つの剛体伝達材１０１と１０２には第１歪センサ１０３，第２歪センサ１０４が接合材１０５，１０６，１０７を介して接着されてある。
【００３１】
剛体伝達材１０１と１０２は結合機構１０８，１０９を介して歪を測定しようとしている物（以後、被測定物１１０という）に結合される。
【００３２】
当該結合機構は実際には、溶接による結合であったり、ネジによる結合であったり、強固で繰り返し応力に耐える機構を用いる。
【００３３】
被測定物が横方向にΔＬだけ膨張して歪むと、結合している剛体伝達材１０１と１０２の結合機構１０８，１０９の距離ＬがＬ＋ΔＬとなる。
【００３４】
逆にΔＬだけ収縮すると距離ＬがＬ−ΔＬとなる。
【００３５】
＋ΔＬの歪は剛体伝達材１０１と１０２を介して第１、第２歪センサ１０３、１０４に伝わる。第１歪センサ１０３は引っ張られ、第２歪センサ１０４は圧縮されてたわむ。
【００３６】
−ΔＬの歪のとき、第１歪センサ１０３は圧縮されてたわみ、第２歪センサ１０４は引っ張られる。
【００３７】
当該歪センサが引っ張られたときに感応するが圧縮されてたわむとき感応しない、または減衰した感応特性のとき、２つの歪センサを相補的に組み合わせた本発明の歪センサ１００においては、引っ張りと圧縮のどちらの方向の歪であっても、２つの歪センサのどちらかが感応して相補的に感応する。
【００３８】
また、二つの歪センサの個別のセンサの大きさＤ１，Ｄ２に比べて結合機構材の距離Ｌが大きいとき、被測定物１１０の距離Ｌの歪は集中して第１、第２歪センサ１０３、１０４に加わる。歪センサを直接に被測定物に接着するのに比べて、歪を増幅して歪センサに伝える効果が本発明の歪センサ１００にある。
【００３９】
前記接合材１０５，１０６，１０７は厚みを誇張して示してある。当該接合材は歪センサの電極と電気的な接続を兼ねるために導電性の接着材であってもよい。
【００４０】
剛体伝達材１０１と１０２は図１に示すように空間で離れていてもよいが、被測定物の剛性と比べて十分小さな剛性の材料の弾力接着層で接着されていても良い。例えば、弾力性のあるゴムやプラスチクスで接着されていても良い。
【００４１】
＋ΔＬと−ΔＬに応じて歪センサの、例えば、抵抗値Ｒがそれに応じて＋ΔＲと−ΔＲだけ変化すると、当該抵抗変化ΔＲを電気的に測定すれば相当する歪＋ΔＬ、−ΔＬを求められる。
【００４２】
変化ΔＲは歪のほかに温度によっても一般には生じる。これを補償するために４つの素子から構成されるブリッジ回路がよく用いられる。
【００４３】
ブリッジ回路を構成するためには、図１に示した第１、第２歪センサ１０３，１０４がもう一組、独立して共通の結合機構１０８，１０９と剛体伝達材１０１，１０２に搭載されてあればよい。
【００４４】
接合材が当該歪センサの電極端子に電気接続していれば、当該接合材が４素子ブリッジ回路の端子として作用する。
【００４５】
図２に当該４素子ブリッジ回路を構成する相補歪センサ２００の構造の平面模式図を示す。
【００４６】
剛体伝達材１０１と１０２に結合機構１０８、１０９がついてある。領域Ｌの歪ΔＬは剛体伝達材１０１，１０２を介して集中的に歪センサＳ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４に伝わる。
【００４７】
当該センサの電極は互いに独立した接合材２０１、２０２，２０３，２０４，２０５，２０６で上記剛体伝達材１０１，１０２に強固に接合されてある。
【００４８】
歪が＋ΔＬだけＬを大きくさせると、歪センサＳ１，Ｓ３は引っ張られ、特性に従い、その抵抗値ＲがΔＲだけ増える。歪センサＳ２，Ｓ４はたわむので、圧縮歪に対して感度が小さく、対応する抵抗変化は小さい。
【００４９】
反対に歪が−ΔＬだけＬを小さくさせると、歪センサＳ２，Ｓ４は引っ張られ、その抵抗値ＲがΔＲだけ増える。歪センサＳ１，Ｓ３はたわむので、圧縮歪に対応する抵抗変化は小さい。
【００５０】
歪センサＳ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４はブリッジ回路を形成しているので、端子Ｐ１，Ｐ２に加えられた電圧がＶとすると、抵抗の変化±ΔＲに依存した電圧差±ΔＶが当該ブリッジの平衡出力端子Ｂ１，Ｂ２に現れる。
【００５１】
温度による抵抗変化は４素子ブリッジ回路の特性でキャンセルされて原理的に現れない。
【００５２】
以上のように本発明のブリッジ相補歪センサ２００では引っ張り歪に対して感度を持つ歪センサを４個用いて、引っ張り歪でも圧縮歪でも両方に対して感度を有する温度補償のブリッジ相補歪センサを実現した。
【００５３】
上記相補歪センサが正しく動作するには、歪を検出するための結合機構１０８，１０９が被測定物に固く固定されている必要がある。その必要な固さは剛体伝達材を接着する弾力接着層に依存する。
【００５４】
被測定物が厳しい自然環境（温度差や紫外線、薬品など）に晒されるときは、もし被測定物が金属なら前記結合機構は金属を溶かす方法で結合することが確実である。
【００５５】
次に、前記ブリッジ相補歪センサを用いて第２の課題を解決する発明を示す。
【００５６】
前記ブリッジ相補歪センサ２００の電源端子Ｐ１，Ｐ２に直流電圧Ｅを加えると平衡出力端子Ｂ１、Ｂ２には歪に応じた直流信号電圧±ΔＶが現れる。
【００５７】
前記ブリッジ相補歪センサ２００をｎ個設置してあり、それぞれの±ΔＶを離れた場所で読み取りたいとき、ｎ個のセンサにＩＤ番号を与えておき、このＩＤ番号とともに±ΔＶ値を返答させる方法で、ｎ個のＩＤと±ΔＶの組み合わせデータを収集すると、第２の課題の解決になる。
【００５８】
これは無線通信、または音波通信、または光通信で行うことができる。
【００５９】
いずれの通信方式を用いても、歪量を人の感覚で感じられるようにすると、異常な歪を早く発見しやすい。
【００６０】
人は音で異常を感じることに敏感である。もし、±ΔＶを人の可聴範囲の周波数の音とともにデータを収集して記録できると管理がしやすい。
【００６１】
耳の良い人で１０ｋＨｚの周波数が可聴範囲の上限であるので、この範囲の音に歪を変換するのが適当である。
【００６２】
音にすることで、表示画面を見なくても異常などの検知を速やかに行える。
【００６３】
歪センサの場合だけでなく、家畜などの動物の体温などを監視する場合にもデータ収集管理を人が感覚的に行えるので、音を聞きながらの作業を楽にさせる。
【００６４】
信号データを人の感覚でわかる音とともに通信で収集するというのが第２の課題の解決である。
【００６５】
本発明は、請求項1に記載のように、両端の位置を一軸上で伸縮させて歪ませる第１歪センサと第２歪センサを当該軸上で直列に配置させ、隣接する２端を第１の剛体に固定させ、当該隣接２端を中心に互いに離れた２端を第２の剛体に固定させ、第１の剛体と第２の剛体の相対的位置ずれを第１と第２の歪センサに伝えることを特徴とする相補歪センサである。
【００６６】
図１はその上記歪センサの基本構造の一例である。
【００６７】
第１、第２の剛体は板状であり第２の剛体の一端は第１の剛体の中で相対移動できる。第１、第２の剛体の両端を結合機構１０８，１０９で歪測定する試験物（被測定物）に固定すれば第１、第２の剛体は歪を伝える役目をする剛体伝達材１０１，１０２である。
【００６８】
本発明の特徴は、歪が圧縮であっても引っ張りであっても相補的に感度があることである。即ち、図１の例では歪が圧縮でありとき第１歪センサに引っ張り歪が作用し、歪が引っ張りであるとき第２センサに引っ張り歪が作用する。
【００６９】
第１、第２のセンサが歪の方向が反対のときにどちらかのセンサが作用して感度を補うので、全体は相補歪センサである。
【００７０】
二つの前記剛体は相対的に移動して歪を伝えるので、形が固定されてない。しかし、形が固定されないと一つの部品として扱いにくい。従って、２つの剛体部品は相対移動できるが、全体がバラバラに分離されない形を保つために被測定物やセンサ自身の剛性に比べて相対的に小さい材料の弾力接着層で接着されていてよい。
【００７１】
センサ自身も前記弾力接着層で挟まれていてもよい。
【００７２】
請求項２に係る発明は前記剛体が弾力性のある材料の弾力接着層で接着されていることを特徴とする請求項１記載の相補歪センサである。
【００７３】
請求項３に係る発明は前記弾力接着層がゴムまたはやプラスチクスであることを特徴とする請求項１、２記載の相補歪センサである。
【００７４】
図２に４個のセンサをブリッジ接続してブリッジ回路を構成する歪センサの構造を示した。
【００７５】
請求項４に係る発明は前記相補歪センサを２組備え、それをブリッジ結合させたことを特徴とする請求項１ないし３記載の相補歪センサである。
【００７６】
請求項５に係る発明は前記相補歪センサを溶接を含む方法で被測定物に固定することを特徴とする請求項１ないし４記載の相補歪センサの施工方法である。
【００７７】
請求項６に係る発明はセンサの出力データを人が分かる音に変換することを特徴とするデータ収集方法である。
【００７８】
請求項７に係る発明は前記センサが前記相補歪センサあることを特徴とする請求項６記載のデータ収集方法である。
【発明の効果】
【００７９】
歪センサは一般にフィルムの上に箔状の金属細線を九十九折にして形成されている。このような構造のフィルムが被測定物に密着して接着されていないと正しい測定ができない。
【００８０】
しかし、当該センサが繰り返し圧縮と引っ張りの歪を受けて、なおそれが強い紫外線や温度の激しい変化に晒されると、その接着はやがて劣化して剥がれる。剥がれると当該フィルムに歪は伝わらない。またはたわむことにより圧縮歪に対して感度が失われる。
【００８１】
請求項１に係る発明によれば、歪が圧縮のときも引っ張りのときも、第１または第２の歪センサのどちらかが応答する。
【００８２】
引っ張り歪に対して第１センサが応答しているとき第２センサが応答してない。圧縮歪に対して第１センサは応答しないが、第２センサが応答する。
【００８３】
即ち、第１と第２のセンサが一組で相補型のセンサを構成する。
【００８４】
請求項２ないし３に係る発明によれば、相補型の機能を発現するために固定されてない２つの剛体伝達材が固定されて一つの部品が構成されてある。そのとき、２つの剛体伝達材が固定されていても歪が相補的に第１と第２のセンサに伝わるようにしたい。
【００８５】
そのために両者を緩く固定して僅かに相対移動できる程度に固定した。
【００８６】
請求項４に係る発明によれば、対称的に配置した２組の相補歪センサが４センサ素子ブリッジ回路を形成する。それぞれの素子が温度特性をもっていても、ブリッジ平衡出力はそれらをキャンセルするので、温度特性依存の誤出力を抑制する。
【００８７】
請求項５に係る発明によれば、上記相補センサを溶接の方法で被測定物に固定する。溶接は金属同士を結合する。接着材と違い、繰り返される応力や厳しい環境暴露に耐えるので、センサを安定に長期間にわたり固定できる。
【００８８】
請求項６、７に係る発明によれば、センサ出力を音に変換して人がそれを感覚できる。数多くのセンサ出力の中に関心のあるものがあるかどうかを判定するには、音による判別が人は得意である。人は音に敏感であるので、多くの音の中に特定の音が混合していると、瞬時にそれを判定できる。音を単調な周波数にしても周波数の組み合わせにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００８９】
【図１】図1は、相補歪センサの基本構造の模式図。
【図２】図２は、４素子ブリッジ相補歪センサの平面模式図。
【図３】図３は、相補歪センサの実施例の模式図。
【図４】図４は、相補歪センサのデータ収集システム実施例のブロック図。
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００９０】
図3に相補歪センサの実施例の模式図を示す。
【００９１】
二つの歪センサＳ１，Ｓ２が二つの石英板３０１、３０２に銀ペ-スト３０３で導通と接着かねて固定ネジで固定されてある。
【００９２】
２つのセンサＳ１、Ｓ２の共通接続の電極は中点電極３０４である。両端の電源電極３０５、３０６は電源につながる。
【００９３】
石英板３０１と３０２がバラバラにならない一つの部品になるようにゴム状接着層３０７で接着されてある。ゴム状接着層は市販のシリコーンという商品を用いた。これは防水作用もあるのでセンサを水から守る役目も兼ねる。
【００９４】
接着剤３０８をネジ穴に流しこみステンレス鋼結合機構３０９に石英板３０１，３０２をネジで固定した。接着剤３０８は銀ペーストを用いた。
【００９５】
ステンレス鋼結合機構３０９は溶接３１０で鉄製の被測定物３１１に固定してある。
【００９６】
以上が相補歪センサと取り付けの実施例である。
【００９７】
歪測定は電極２，電極３（３０５，３０６）に電圧Ｖを与えると中点電極３０４に歪の圧縮と引っ張りの方向と大きさに応じてＶ／２±ΔＶの電圧が現れるので、中点の電圧Ｖ／２の差としての±ΔＶ検出して歪を検出できる。
【００９８】
電圧変化が小さいので、マイクロボルトの直流電圧でも増幅できるチョッパーアンプを用いて読み取る。
【００９９】
二つのセンサを用いるこの実施例では電源の変動と中点の安定が問題となる。
【実施例２】
【０１００】
実施例の１では電源の変動とセンサＳ１，Ｓ２の温度特性のドリフトが歪量の検出誤差として問題となる。
【０１０１】
この問題の解決には図２に示したブリッジ回路の形成が有効であるのが知られている。
【０１０２】
図３に示した相補歪センサを一組追加して並列設置してブリッジ回路を形成させたブリッジ相補歪センサを作製した。中点電極が追加されて、２つの中間電極が信号の平衡出力になる。この平衡出力はチョッパーアンプの平衡入力端子に入力する。
【０１０３】
この平衡出力は中点電位の相互変動のみを表すので温度ドリフトは自動キャンセルされる。
【０１０４】
チョッパーアップはこれを設定した増幅率で増幅して出力するので、これを歪出力Ｖｄとすると、温度ドリフトのない直流信号が取り出せる。
【実施例３】
【０１０５】
実施例の３は歪センサの歪出力Ｖｄのデータを当該センサの識別番号ＩＤとともに収集するシステムの実施例である。
【０１０６】
図４にブリッジ相補歪センサのデータ収集システム実施例のブロック図を示す。
【０１０７】
センサユニット４００はブリッジ相補歪センサ４０２を備え、これの平衡出力をチョッパーアンプ４０３に伝える。チョッパーアンプ４０３はこれを設定した増幅率で増幅して歪信号Ｖｄを出力する。
【０１０８】
Ｖｄには歪ではない振動ノイズが重畳しているので、これを低域通過フィルタ４０４で除去して歪による信号の直流成分のＶｄを出力させる。
【０１０９】
センサユニット４００はＶｄを送信するための送信器４０７を備えてある。送信器４０７は内臓電源４０５を備え、リレースイッチ４０６を介して電源をブリッジ相補歪センサ４０２とチョッパーアンプ４０３に電源供給する。リレースイッチ４０６は送信機がｏｎの指令を出したときだけｏｎになる。
【０１１０】
送信器４０７は固有の識別番号ＩＤと歪信号Ｖｄを送信する。送信周波数は許可された周波数を用いる。
【０１１１】
内臓電源４０５は９Ｖの電池であるが、太陽電池であっても、振動を蓄える電池であっても良い。
【０１１２】
遠隔測定ユニット４０１は受信器４１０とデータ表示部４１４を備える。
【０１１３】
受信器４１０は送信器４０７からＩＤとＶｄのデータを受け取り、データ表示部４１４がこれを表示する。
【０１１４】
受信器４１０からのデータＶｄは音にするユニット４１３にも送られる。送られたデータＶｄは電圧周波数変換ＩＣ４１１により人の可聴範囲１０ｋＨｚ以下の周波数に変換して、スピーカ４１２より音にして出力される。
【０１１５】
表示部４１４を見ずとも、データＶｄを人が音により感じることができる。
【０１１６】
この機能により多くのＩＤのデータが送られてきても、音により関心を持つべき信号がでているかどうかを、まとめて知ることができる。
【符号の説明】
【０１１７】
１００  相補歪センサ
１０１  剛体伝達材
１０２  剛体伝達材
１０３  第１歪センサ
１０４  第２歪センサ  
１０５，１０６，１０７  接合材
１０８，１０９結合機構    
１１０  被測定物
２００  ブリッジ相補歪センサ
２０１，２０２，２０３  接合材
２０４，２０５，２０６  接合材
３００  相補歪センサユニット
３０１，３０２  石英板
３０３  銀ペースト  
３０４  中点電極
３０５，３０６  電源電極
３０７  ゴム状接着層
３０８  接着剤  
３０９  ステンレス鋼結合機構
３１０  溶接
３１１  鉄製被測定物
４００  センサユニット
４０１  遠隔測定ユニット
４０２  ブリッジ相補歪センサ
４０３  チョッパーアンプ
４０４  低域通過フィルタ
４０５  内臓電源
４０６  リレースイッチ
４０７  送信器
４０８、４０９  アンテナ
４１０  受信器
４１１  電圧周波数変換ＩＣ
４１２  スピ−カ
４１３  音にするユニット
４１４  データ表示部
Ｌ±ΔＬ結合機構の距離
Ｄ１，Ｄ２センサの大きさ
Ｐ１、Ｐ２  電源端子
Ｂ１，Ｂ２  平衡出力端子
Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ３  歪センサ
Ｖｄ  歪信号
ＩＤ  識別番号  
【図１】
2016038254.tif 000003
【図２】
2016038254.tif 000004
【図３】
2016038254.tif 000005
【図４】
2016038254.tif 000006