(57)【要約】【課題】摩擦型ひずみゲージを保持するひずみゲージホルダを、様々な形状、材料で形成される測定対象物に容易に且つ脱着可能に固定する。【解決手段】測定対象物（Ｗ）のひずみの測定に用いられるひずみ測定モジュール（１０）が提供される。該ひずみ測定モジュール（１０）は、摩擦型ひずみゲージ（１１）と、摩擦型ひずみゲージ（１１）を測定対象物に押し付けて保持するひずみゲージホルダ（１２）とを具備する。ひずみゲージホルダ（１２）は、測定対象物（Ｗ）とひずみゲージホルダ（１２）との間に大気圧より圧力が低い減圧空間が形成されることにより測定対象物（Ｗ）に固定されるように構成されている。【選択図】図１
2016090283.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象物のひずみの測定に用いられるひずみ測定モジュールであって、
摩擦型ひずみゲージと、
前記摩擦型ひずみゲージを前記測定対象物に押し付けて保持するひずみゲージホルダ
とを具備し、
前記ひずみゲージホルダは、前記測定対象物と前記ひずみゲージホルダとの間に大気圧より圧力が低い減圧空間が形成されることにより前記測定対象物に固定されるように構成された
ひずみ測定モジュール。
【請求項２】
請求項１に記載のひずみ測定モジュールであって、
前記ひずみゲージホルダは、
空洞が内部に形成され、且つ、前記空洞に連通する開口を有するホルダ本体と、
弾性変形可能な材料で形成されると共に前記ホルダ本体の前記開口に沿って取り付けられ、前記測定対象物のひずみの測定の際に前記測定対象物に押し当てられるシール部材
とを備え、
前記シール部材と前記ホルダ本体と前記測定対象物とで囲まれた空間が前記減圧空間として用いられる
ひずみ測定モジュール。
【請求項３】
請求項２に記載のひずみ測定モジュールであって、
前記ひずみゲージホルダは、
前記摩擦型ひずみゲージを前記測定対象物に向けて押し付けながら保持するひずみゲージ押し付け機構を具備し、
前記摩擦型ひずみゲージと前記ひずみゲージ押し付け機構が前記空洞の内部に配置された
ひずみ測定モジュール。
【請求項４】
請求項３に記載のひずみ測定モジュールであって、
前記ひずみゲージ押し付け機構は、前記ホルダ本体を貫通するように形成された、前記摩擦型ひずみゲージを前記測定対象物に向けて押し付ける力を調節するための操作部材を備える
ひずみ測定モジュール
【請求項５】
請求項１に記載のひずみ測定モジュールであって、
前記ひずみゲージホルダは、
ホルダ本体と、
前記ホルダ本体に結合され、前記摩擦型ひずみゲージを前記測定対象物に向けて押し付けながら保持するひずみゲージ押し付け機構
とを備えており、
前記ひずみゲージ押し付け機構は、前記ホルダ本体を貫通するように形成された、前記摩擦型ひずみゲージを前記測定対象物に向けて押し付ける力を調節するための操作部材を備えており、
前記ホルダ本体それ自身が、前記減圧空間として用いられる空洞を有する
ひずみ測定モジュール。
【請求項６】
請求項５に記載のひずみ測定モジュールであって、
前記ホルダ本体は、筒状の筒部を含み、
前記ひずみゲージ押し付け機構が前記筒部の内側に設けられ、
前記筒部それ自身が前記減圧空間として用いられる前記空洞を有する
ひずみ測定モジュール。
【請求項７】
請求項５に記載のひずみ測定モジュールであって、
前記ホルダ本体は、複数の筒部を備え、
前記複数の筒部のそれぞれが、前記減圧空間として用いられる前記空洞を有する
ひずみ測定モジュール。
【請求項８】
請求項５に記載のひずみ測定モジュールであって、
弾性変形可能な材料で形成されると共に前記ホルダ本体の前記開口に沿って取り付けられ、前記測定対象物のひずみの測定の際に前記測定対象物に押し当てられるシール部材
とを備え、
前記シール部材と前記ホルダ本体と前記測定対象物とで囲まれた空間が前記減圧空間として用いられる
ひずみ測定モジュール。
【請求項９】
請求項４乃至８のいずれかに記載のひずみ測定モジュールであって、
前記ひずみゲージ押し付け機構が、
位置が調節可能であり、前記操作部材として機能する台座と、
前記摩擦型ひずみゲージを保持するステージと、
前記台座と前記ステージとの間に接続されたばね
とを備える
ひずみ測定モジュール。
【請求項１０】
請求項１に記載のひずみ測定モジュールであって、
前記ひずみゲージホルダは、
シリンダと、
ピストンと、
前記シリンダに接合され、前記測定対象物のひずみの測定の際に前記測定対象物に押し当てられるシール部材と、
前記摩擦型ひずみゲージを保持するステージ
とを具備し、
前記シリンダは、
円筒形の本体部と、
前記本体部の端に接合されたヘッドカバー部
とを含み、
前記ピストンは、前記シリンダの前記本体部に挿入され、
前記シール部材は、前記測定対象物に押し当てられたときに前記シール部材と前記測定対象物の間に第１空間が形成されるように構成され、
前記ステージは、前記第１空間に位置するように設けられており、
前記第１空間と、前記シリンダの前記本体部の内部の前記ピストンと前記ヘッドカバー部の間の第２空間とを連通する通路が形成され、
前記第１空間と前記第２空間とが前記減圧空間として用いられる
ひずみ測定モジュール。
【請求項１１】
請求項１に記載のひずみ測定モジュールであって、
前記ひずみゲージホルダは、
筒状の筒部を備えるホルダ本体と、
前記筒部の内側に設けられた、前記摩擦型ひずみゲージを前記測定対象物に向けて押し付けながら保持するひずみゲージ押し付け機構と、
前記ホルダ本体に接合された吸盤
とを備えており、
前記ひずみゲージ押し付け機構は、前記ホルダ本体を貫通するように形成された、前記摩擦型ひずみゲージを前記測定対象物に向けて押し付ける力を調節するための操作部材を備えており、
前記吸盤と前記測定対象物との間に大気圧より圧力が低い減圧空間が形成されることにより前記ひずみゲージホルダが前記測定対象物に固定される
ひずみ測定モジュール。
【請求項１２】
請求項１乃至１１のいずれかに記載のひずみ測定モジュールと、
前記ひずみ測定モジュールの前記摩擦型ひずみゲージの電気的特性に基づいて前記測定対象物のひずみを算出する演算装置
とを備える
ひずみ測定システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ひずみ測定モジュール及びひずみ測定装置に関し、特に、摩擦型ひずみゲージを用いて部材のひずみを測定するひずみ測定モジュール及びひずみ測定システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
部材のひずみを測定する最も一般的な方法の一つは、ひずみゲージを用いることである。ひずみゲージは、金属材料や半導体材料で形成された物体が変形すると電気的特性（例えば、電気的抵抗）が変化することを利用して物体のひずみを測定する。
【０００３】
最も一般的なひずみゲージの使用法は、測定対象物の測定箇所を研磨し、該測定箇所にひずみゲージを接着するというものである。測定対象物にひずみが発生すると（即ち、測定対象物が変形すると）、それに接着されたひずみゲージも変形するので、ひずみゲージの電気的特性を測定することで測定対象物のひずみを検出することができる。
【０００４】
しかしながら、このようなひずみゲージの使用法では、一度測定対象物に接着したひずみゲージは再利用できない。加えて、測定対象物が市場に流通する製品である場合には、ひずみゲージを除去し、更に、測定箇所を修復する作業が必要になる場合がある。
【０００５】
このような問題に対処するための一つの手法として、摩擦型ひずみゲージが知られている。摩擦型ひずみゲージは、接着材を用いずに測定対象物に押し付けて使用される。測定対象物にひずみが生じると、測定対象物と摩擦型ひずみゲージの間に摩擦力が作用して摩擦型ひずみゲージが変形するので、該摩擦型ひずみゲージの電気的特性を測定することで測定対象物のひずみを検出することができる。摩擦型ひずみゲージは、接着が不要であるために、測定対象物への取り付けの時間を削減できる、再利用が可能である、測定箇所の変更が容易である等の利点を有している。
【０００６】
摩擦型ひずみゲージの使用における一つの問題は、摩擦型ひずみゲージを測定対象物に押し当てて保持するひずみゲージホルダを固定する手法の選択である。ひずみゲージホルダは、様々な形状、材料で形成され得る測定対象物に対して容易に且つ脱着可能に固定されることが望まれるが、このような要求に応える技術は知られていない。例えば、測定対象物が鋼材のような磁性材料であれば、摩擦型ひずみゲージを保持するひずみゲージホルダにマグネットを用いることで、ひずみゲージホルダを容易に測定対象物に固定することができる。しかしながら、このような手法は、測定対象物が、複合材やアルミニウムのような非磁性材料で形成されている場合には適用できない。
【０００７】
なお、本発明に関連し得る技術として、特開２０１３−２３４８９９号公報（特許文献１）は、筒状の測定対象物にひずみゲージ（箔ひずみゲージ及び摩擦型ひずみゲージ）を押し付けて保持するためのゲージホルダを開示している。
【０００８】
また、特開２０００−３４６７２５号公報（特許文献２）は、接着型ひずみゲージを構造物に接着する際に接着型ひずみゲージを構造物に押さえ付けるための押さえ治具を開示している。この公報は、当該押さえ治具に真空吸着機構を用いることを開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１３−２３４８９９号公報
【特許文献２】特開２０００−３４６７２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
したがって、本発明の課題は、摩擦型ひずみゲージを保持するひずみゲージホルダを、様々な形状、材料で形成される測定対象物に容易に且つ脱着可能に固定するための技術を提供することにある。
【００１１】
本発明の他の課題、効果、特徴は、本明細書の以下の開示から理解されよう。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
以下では、発明を実施するための形態で使用される番号・符号を用いて、課題を解決するための手段を説明する。これらの番号・符号は、特許請求の範囲の記載と発明を実施するための形態との対応関係の一例を示すために、参考として、括弧付きで付加されたものである。
【００１３】
本発明の一の観点では、測定対象物（Ｗ）のひずみの測定に用いられるひずみ測定モジュール（１０、１０Ａ〜１０Ｃ）が提供される。該ひずみ測定モジュール（１０、１０Ａ〜１０Ｃ）は、摩擦型ひずみゲージ（１１）と、摩擦型ひずみゲージ（１１）を測定対象物に押し付けて保持するひずみゲージホルダ（１２、１２Ａ〜１２Ｃ）とを具備する。ひずみゲージホルダ（１２、１２Ａ〜１２Ｃ）は、測定対象物（Ｗ）とひずみゲージホルダ（１２、１２Ａ〜１２Ｃ）との間に大気圧より圧力が低い減圧空間が形成されることにより測定対象物（Ｗ）に固定されるように構成されている。
【００１４】
一実施形態では、ひずみゲージホルダ（１２、１２Ａ）は、空洞（１６）が内部に形成され、且つ、空洞（１６）に連通する開口（２１ａ）を有するホルダ本体（１３）と、弾性変形可能な材料で形成されると共にホルダ本体（１３）の開口（２１ａ）に沿って取り付けられ、測定対象物（Ｗ）のひずみの測定の際に測定対象物（Ｗ）に押し当てられるシール部材（１４）とを備えている。シール部材（１４）とホルダ本体（１３）と測定対象物（Ｗ）とで囲まれた空間が減圧空間として用いられる。
【００１５】
このような構成は、ひずみゲージホルダ（１２）が摩擦型ひずみゲージ（１１）を測定対象物（Ｗ）に向けて押し付けながら保持するひずみゲージ押し付け機構（１５）を具備し、摩擦型ひずみゲージ（１１）とひずみゲージ押し付け機構（１５）が空洞（１６）の内部に配置される場合に有効である。
【００１６】
他の実施形態では、ひずみゲージホルダ（１２Ａ）が、筒状の筒部（２１）を備えるホルダ本体と、筒部の内側（２１）に設けられた、摩擦型ひずみゲージ（１１）を測定対象物（Ｗ）に向けて押し付けながら保持するひずみゲージ押し付け機構（１５Ａ）とを備えており、ひずみゲージ押し付け機構（１５Ａ）は、ホルダ本体を貫通するように形成された、摩擦型ひずみゲージ（１１）を測定対象物（Ｗ）に向けて押し付ける力を調節するための操作部材（３１Ａ）を備えている。この場合、筒部（２１）それ自身が、減圧空間として用いられる空洞を有する（例えば、２重壁を有している）ことが好ましい。
【００１７】
この場合の構成の一例としては、例えば、ひずみゲージ押し付け機構（１５）が、位置が調節可能であり、該操作部材として機能する台座（３１Ａ）と、摩擦型ひずみゲージ（１１）を保持するステージ（３３）と、台座（３１Ａ）とステージ（３３）との間に接続されたばね（３４）とを備える構造が挙げられる。
【００１８】
更に他の実施形態では、ひずみゲージホルダ（１２Ｃ）が、シリンダ（４１）と、ピストン（４４）と、シリンダ（４１）に接合され、測定対象物（Ｗ）のひずみの測定の際に測定対象物（Ｗ）に押し当てられるシール部材（４２）と、摩擦型ひずみゲージ（１１）を保持するステージとを具備する。シリンダ（４１）は、円筒形の本体部（４１ａ）と、本体部（４１ａ）の端に接合されたヘッドカバー部（４１ｂ）とを含む。ピストン（４４）は、シリンダ（４１）の本体部（４１ａ）に挿入されている。シール部材（４２）は、測定対象物（Ｗ）に押し当てられたときにシール部材（４２）と測定対象物（Ｗ）の間に第１空間（４２ｃ）が形成されるように構成されている。ステージ（４３）は、第１空間（４２ｃ）に位置するように設けられており、第１空間（４２ｃ）と、シリンダ（４１）の本体部（４１ａ）の内部のピストン（４４）とヘッドカバー部（４２ａ）の間の第２空間（４７）とを連通する通路（４８）が形成されている。第１空間（４２ｃ）と第２空間（４７）とが減圧空間として用いられる。
【００１９】
更に他の実施形態では、ひずみゲージホルダ（１２Ｂ）が、筒状の筒部（２１）を備えるホルダ本体（１３Ｂ）と、筒部（２１）の内側に設けられた、摩擦型ひずみゲージ（１１）を測定対象物（Ｗ）に向けて押し付けながら保持するひずみゲージ押し付け機構（１５Ａ）と、ホルダ本体（１３Ｂ）に接合された吸盤（１９）とを備えている。ひずみゲージ押し付け機構（１５）は、ホルダ本体（１３Ｂ）を貫通するように形成された、摩擦型ひずみゲージ（１１）を測定対象物（Ｗ）に向けて押し付ける力を調節するための操作部材（３１Ａ）を備えている。吸盤（１９）と測定対象物（Ｗ）との間に大気圧より圧力が低い減圧空間（１９ａ）が形成されることによりひずみゲージホルダ（１２Ｂ）が測定対象物（Ｗ）に固定される。
【００２０】
本発明の他の観点では、ひずみ測定システムが、上記のひずみ測定モジュール（１０、１０Ａ〜１０Ｃ）と、ひずみ測定モジュール（１０、１０Ａ〜１０Ｃ）の摩擦型ひずみゲージ（１１）の電気的特性に基づいて測定対象物（Ｗ）のひずみを算出する演算装置とを備えている。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、摩擦型ひずみゲージを保持するひずみゲージホルダを、様々な形状、材料で形成される測定対象物に容易に且つ脱着可能に固定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第１の実施形態のひずみ測定モジュールの構成を示す断面図である。
【図２】図１のひずみ測定モジュールが測定対象物に固定された状態を示す断面図である。
【図３】本実施形態のひずみ測定モジュールを用いてひずみ測定を行うひずみ測定システムの一例を示すブロック図である。
【図４】第１の実施形態のひずみ測定モジュールの構成の変形例を示す断面図である。
【図５Ａ】第２の実施形態のひずみ測定モジュールの構成の一例を示す断面図である。
【図５Ｂ】第２の実施形態のひずみ測定モジュールの構成の変形例を示す断面図である。
【図５Ｃ】第２の実施形態のひずみ測定モジュールの構成の変形例を示す斜視図である。
【図６】第３の実施形態のひずみ測定モジュールの構成を示す断面図である。
【図７】第４の実施形態のひずみ測定モジュールの構成を示す断面図である。
【図８】第４の実施形態のひずみ測定モジュールの測定対象物への固定方法を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下では、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。以下の説明において、同一又は対応する構成要素は、同一又は類似の参照符号によって参照されることに留意されたい。
【００２４】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態のひずみ測定モジュール１０の構成を示す断面図であり、図２は、ひずみ測定モジュール１０が、ひずみを測定すべき測定対象物Ｗに固定された状態を示す断面図である。
【００２５】
図１に図示されているように、ひずみ測定モジュール１０は、摩擦型ひずみゲージ１１と、摩擦型ひずみゲージ１１を保持するひずみゲージホルダ１２とを備えている。ひずみゲージホルダ１２は、ホルダ本体１３と、シール部材１４と、ひずみゲージ押し付け機構１５とを備えている。
【００２６】
ホルダ本体１３は、筒部２１と、基部２２とを備えている。筒部２１は、中空の筒状の形状を有している。基部２２は、筒部２１の一端に接合され、該一端を塞ぐように形成されている。筒部２１の断面形状は、円筒形でも角筒形でもよい。
【００２７】
筒部２１の他端には、開口２１ａが形成されており、開口２１ａに沿ってシール部材１４が接合されている。図２に図示されているように、シール部材１４は、ひずみ測定モジュール１０が測定対象物Ｗに装着される際に測定対象物Ｗに押し当てられる部材であり、弾性材料で形成される。筒部２１の断面形状が円筒形であれば、シール部材１４としては、例えば、Ｏリングを用いてもよい。
【００２８】
ホルダ本体１３の筒部２１の内側には、開口２１ａに連通する空洞１６が形成されている。後述されるように、この空洞１６は、ひずみ測定モジュール１０が測定対象物Ｗに装着される際に減圧され、ひずみ測定モジュール１０は、該空洞１６の圧力と大気圧との圧力差を用いて測定対象物Ｗに固定される。
【００２９】
ホルダ本体１３には、空洞１６に連通する減圧ポート１７が設けられている。図２に図示されているように、減圧ポート１７に排気装置（例えば、真空ポンプ）を接続し、該排気装置を稼働させることによって空洞１６を減圧することができる。本実施形態では、図１、図２の構成では、減圧ポート１７はホルダ本体１３の基部２２に設けられており、空洞１６は、基部２２に設けられた通路２２ａを介して減圧ポート１７に連通している。
【００３０】
ひずみゲージ押し付け機構１５は、摩擦型ひずみゲージ１１を測定対象物Ｗに向けて押し付けるように構成されている。本実施形態では、ひずみゲージ押し付け機構１５は、台座３１と、ロッド３２と、ステージ３３と、ばね３４とを備えている。台座３１は、ホルダ本体１３の基部２２に接合されている。ロッド３２は、その一端が台座３１に設けられた穴に伸縮自在に挿入されている。言い換えれば、ロッド３２は、ロッド３２の台座３１の外に位置する部分の長さが変化可能であるように、台座３１に挿入されている。
【００３１】
ステージ３３は、摩擦型ひずみゲージ１１を保持する機能を有しており、ロッド３２の他端に接合されている。ロッド３２が台座３１に設けられた穴に伸縮自在に挿入されているので、ステージ３３の位置は、ロッド３２の長手方向（即ち、測定対象物Ｗに向かう方向又はその逆の方向）に移動可能である。
【００３２】
ばね３４は、一端が台座３１に接合され、他端がステージ３３に接合されている。ばね３４は、ステージ３３を測定対象物Ｗに向けて付勢し、これにより、ステージ３３に保持されている摩擦型ひずみゲージ１１を測定対象物Ｗに向けて押し付ける。
【００３３】
続いて、本実施形態のひずみ測定モジュール１０の測定対象物Ｗへの固定の手順を説明する。本実施形態のひずみ測定モジュール１０を測定対象物Ｗに固定する場合、図２に図示されているように、シール部材１４が測定対象物Ｗに押し当てられる。これにより、ホルダ本体１３とシール部材１４と測定対象物Ｗで囲まれた減圧空間が形成される。該減圧空間は、ホルダ本体１３の内部に設けられた空洞１６を含んでいる。
【００３４】
シール部材１４が測定対象物Ｗに押し当てられた状態で減圧ポート１７から減圧空間が真空引きされ、これにより、減圧空間の圧力が減圧される。減圧空間の圧力が減圧されると、減圧空間の圧力と大気圧との差により、ひずみゲージホルダ１２を測定対象物Ｗに押し付ける力が発生する。これにより、ひずみ測定モジュール１０が測定対象物Ｗに固定される。
【００３５】
ここで、本実施形態のひずみ測定モジュール１０のひずみゲージホルダ１２では、ひずみゲージ押し付け機構１５の全体（台座３１、ロッド３２、ステージ３３、ばね３４）が、ひずみゲージホルダ１２を固定するための減圧空間として用いられる空洞１６の内部に位置していることに留意されたい。このような構成は、減圧空間として、十分な大きさの空間を確保しやすいという利点がある。
【００３６】
図３は、本実施形態のひずみ測定モジュール１０を用いて測定対象物Ｗのひずみを測定するひずみ測定システムの全体構成の一例を示すブロック図である。該ひずみ測定システムは、真空ポンプ７１と、ストレインアンプ７２と、演算装置７３とを備えている。真空ポンプ７１は、ひずみ測定モジュール１０の減圧ポート１７に接続される。この真空ポンプ７１により、ホルダ本体１３とシール部材１４と測定対象物Ｗで囲まれた減圧空間が減圧され、ひずみ測定モジュール１０が測定対象物Ｗに固定される。ストレインアンプ７２は、信号ケーブル７４を介してひずみ測定モジュール１０の摩擦型ひずみゲージ１１に電気的に接続される。ストレインアンプ７２は、摩擦型ひずみゲージ１１の電気的特性（より具体的には、電気抵抗）に対応する出力信号を生成する。ストレインアンプ７２としては、例えば、ブリッジ回路を用いることができる。演算装置７３は、ストレインアンプ７２から出力された出力信号に基づいて測定対象物Ｗのひずみを算出する。
【００３７】
図３のひずみ測定システムによる測定対象物Ｗのひずみの測定は、例えば、下記のような手順で行われる。シール部材１４が測定対象物Ｗに押し付けられた状態で真空ポンプ７１によってホルダ本体１３とシール部材１４と測定対象物Ｗで囲まれた減圧空間が減圧され、ひずみゲージホルダ１２が測定対象物Ｗに固定される。このとき、摩擦型ひずみゲージ１１は測定対象物Ｗに向けて押し付けられる。この状態で、摩擦型ひずみゲージ１１の電気的特性に対応する出力信号がストレインアンプ７２によって生成され、生成された出力信号に基づいて演算装置７３により、測定対象物Ｗのひずみが算出される。
【００３８】
以上に説明されているように、本実施形態のひずみ測定モジュール１０では、ひずみゲージホルダ１２が、ホルダ本体１３とシール部材１４と測定対象物Ｗで囲まれた減圧空間の圧力と大気圧の差を利用して測定対象物Ｗに固定されるように構成されているので、測定対象物Ｗの材料に無関係にひずみゲージホルダ１２を測定対象物Ｗに固定することができる。更に、該減圧空間を大気圧又は大気圧に近い圧力に戻すことで、簡便に、ひずみゲージホルダ１２を測定対象物Ｗから外すことができる。更に、測定対象物Ｗと接触するシール部材１４が弾性材料で形成され、変形可能なので、測定対象物Ｗの表面形状をある程度吸収することができる。このように、本実施形態のひずみ測定モジュール１０は、様々な形状、材料で形成される測定対象物Ｗに対し、摩擦型ひずみゲージ１１を保持するひずみゲージホルダ１２を容易に且つ脱着可能に固定することができる。
【００３９】
加えて、本実施形態のひずみ測定モジュール１０は、ひずみゲージホルダ１２が測定対象物Ｗに向けて沈みこむことを利用して、摩擦型ひずみゲージ１１を測定対象物Ｗに向けて押し付ける力を得るように構成されている。詳細には、ホルダ本体１３を測定対象物Ｗに押し付ける力が発生すると、弾性材料で形成されたシール部材１４が圧縮され、ホルダ本体１３が測定対象物Ｗに向けて沈みこむ。ホルダ本体１３が測定対象物Ｗに向けて沈みこむと、台座３１を介してばね３４を縮ませる力がばね３４に作用する。ばね３４が縮むことにより、ステージ３３が測定対象物Ｗに向けて付勢され、更に、ステージ３３に保持されている摩擦型ひずみゲージ１１が測定対象物Ｗに向けて押し付けられる。減圧空間の圧力、シール部材１４の弾性、ばね３４のばね定数を適切に調節することにより、摩擦型ひずみゲージ１１が測定対象物Ｗに向けて押し付けられる圧力を所望の圧力に調節することができる。ホルダ本体１３が測定対象物Ｗに向けて沈みこむことを利用して摩擦型ひずみゲージ１１を測定対象物Ｗに向けて押し付ける力を得る本実施形態のひずみ測定モジュール１０は、簡便な構造で摩擦型ひずみゲージ１１を測定対象物Ｗに向けて押し付けることを可能にする。
【００４０】
図４は、本実施形態のひずみ測定モジュール１０の変形例を示す断面図である。図４の構成では、ひずみ測定モジュール１０のひずみゲージ押し付け機構１５Ａの構成が変更される。図４の構成では、ひずみゲージ押し付け機構１５Ａが、ホルダ本体１３を貫通する部材である操作部材を有しており、該操作部材を機械的に操作することで、摩擦型ひずみゲージ１１を測定対象物Ｗに向けて押し付ける力を調節できるように構成されている。
【００４１】
詳細には、ひずみゲージ押し付け機構１５Ａは、上記操作部材として機能する台座３１Ａを備えている。台座３１Ａは、その位置を外部から機械的に調節可能であるように構成されている。詳細には、台座３１Ａは、ホルダ本体１３の基部２２を貫通するように基部２２に挿入されている。また、台座３１Ａは、測定対象物Ｗに向かう方向又はその逆の方向に移動可能に、且つ、所望の位置に固定可能であるように構成される。このような構造は、例えば、ねじや、ラックとピニオンの組み合わせ等の機械的構造を利用することで実現できる。
【００４２】
台座３１Ａは、図１、図２に図示されているひずみゲージ押し付け機構１５と同様に、ロッド３２の一端が挿入される穴を有している。ロッド３２は、その一端が台座３１Ａに設けられた穴に伸縮自在に挿入されている。ロッド３２の他端にはステージ３３が接合されており、更に、台座３１Ａとステージ３３との間にばね３４が設けられている。このような構造によれば、台座３１Ａの位置を調節することでばね３４の縮み量を調節できるので、摩擦型ひずみゲージ１１を測定対象物Ｗに押し付ける力を調節することができる。
【００４３】
なお、図４に図示されているひずみゲージ押し付け機構１５Ａにおいて、ロッド３２が台座３１Ａに固定され、ばね３４が除去されてもよい。この場合、ロッド３２の台座３１Ａの外に位置する部分の長さが固定されることになる。しかしながら、このような構成でも、台座３１Ａの位置を調節することで摩擦型ひずみゲージ１１を測定対象物Ｗに押し付ける力を調節することができる。
【００４４】
（第２の実施形態）
図４に図示されているような、台座３１Ａの位置を外部から機械的に調節可能であるような構成は、構造上、空洞１６の気密を保つのが困難であるという問題が発生する。第１の実施形態のように、ホルダ本体１３とシール部材１４と測定対象物Ｗで囲まれた減圧空間の圧力と大気圧の差を利用する構成では、空洞１６の気密が十分に保たれないと、ひずみゲージホルダ１２を固定するために十分な固定力を得ることができない。よって、外部から台座３１Ａの位置を調節可能にするためには、気密を保ちながら台座３１Ａを可動に保持する機構を採用する必要があるが、このような機構は、構造が複雑になってしまう。第２の実施形態では、このような問題に対処するための構造が提示される。
【００４５】
図５Ａは、第２の実施形態のひずみ測定モジュール１０Ａの構成を示す断面図である。第２の実施形態では、空洞１６を減圧空間として用いない構成が採用される。詳細には、第２の実施形態では、ひずみゲージホルダ１２Ａのホルダ本体１３Ａの筒部２１自身が空洞２１ｂを有しており、この空洞２１ｂが、ひずみゲージホルダ１２の固定のための減圧空間として用いられる。以下、第２の実施形態のひずみ測定モジュール１０Ａの構成を詳細に説明する。
【００４６】
第２の実施形態のひずみ測定モジュール１０Ａの構造は、図４に図示されている構造と類似している。第２の実施形態のひずみ測定モジュール１０Ａにおいても、台座３１Ａの位置を外部から機械的に調節可能であるひずみゲージ押し付け機構１５Ａが用いられる。詳細には、台座３１Ａは、ホルダ本体１３Ａの基部２２を貫通するように基部２２に挿入されており、台座３１Ａは、測定対象物Ｗに向かう方向又はその逆の方向に移動可能に、且つ、所望の位置に固定可能であるように構成される。台座３１Ａは、更に、ロッド３２の一端が挿入される穴を有しており、ロッド３２は、その一端が台座３１Ａに設けられた穴に伸縮自在に挿入されている。ロッド３２の他端にはステージ３３が接合されている。ばね３４は、一端が台座３１Ａに接合され、他端がステージ３３に接合されている。ばね３４は、ステージ３３を測定対象物Ｗに向けて付勢し、これにより、ステージ３３に保持されている摩擦型ひずみゲージ１１を測定対象物Ｗに向けて押し付ける。このような構造によれば、台座３１Ａの位置を調節することでばね３４の縮み量を調節できるので、摩擦型ひずみゲージ１１を測定対象物Ｗに押し付ける力を調節することができる。
【００４７】
ただし、第２の実施形態のひずみ測定モジュール１０Ａは、ひずみゲージホルダ１２Ａのホルダ本体１３Ａそれ自身が空洞を有しているように構成されている点で、図４に図示されている構造と相違している。図５Ａの構成では、筒部２１が２重壁を有する構造を有している。より具体的には、筒部２１は、外壁２１ｃと内壁２１ｄとを有しており、外壁２１ｃと内壁２１ｄの間に、空洞２１ｂが形成されている。空洞２１ｂは、筒状であり、図５Ａでは符号２１ｂで示されている空間が２つ図示されているが、図５Ａでは、右の符号２１ｂで示されている空間が左の符号２１ｂで示されている空間と連通している構成が意図されていることに留意されたい。空洞２１ｂは、ホルダ本体１３Ａの基部２２に形成された通路２２ａを介して減圧ポート１７に連通している。なお、後述のように、ホルダ本体１３Ａに複数の空洞２１ｂが形成される構成も可能である。
【００４８】
筒部２１の測定対象物Ｗに近い端には、シール部材１８が接合されている。シール部材１８は、筒部２１の外壁２１ｃと内壁２１ｄの間の開口（空洞２１ｂに連通する開口）に沿って設けられている。シール部材１８は、ひずみ測定モジュール１０Ａが測定対象物Ｗに装着される際に測定対象物Ｗに押し当てられる部材であり、弾性材料で形成される。本実施形態では、シール部材１８は、測定対象物Ｗに押し当てられたときに、シール部材１８と測定対象物Ｗとの間に空間１８ａが形成されるような構造を有している。シール部材１８には、更に、通路１８ｂが形成されており、空間１８ａは、通路１８ｂを介して筒部２１の空洞２１ｂに連通している。
【００４９】
本実施形態のひずみ測定モジュール１０Ａの測定対象物Ｗへの固定の手順は、第１の実施形態のひずみ測定モジュール１０の固定の手順と同様である。まず、ひずみ測定モジュール１０Ａが測定対象物Ｗに固定される。詳細には、まず、シール部材１８が測定対象物Ｗに押し当てられる。これにより、シール部材１８と測定対象物Ｗとの間に空間１８ａが形成される。
【００５０】
本実施形態では、シール部材１８と測定対象物Ｗとの間に形成される空間１８ａとホルダ本体１３の筒部２１の内部に形成される空洞２１ｂとが、ひずみゲージホルダ１２Ａを固定するために用いられる減圧空間として利用される。詳細には、シール部材１８が測定対象物Ｗに押し当てられた状態で減圧ポート１７から減圧空間（即ち、空間１８ａと空洞２１ｂ）が真空引きされ、これにより、減圧空間の圧力が減圧される。減圧空間の圧力が減圧されると、減圧空間の圧力と大気圧との差により、ひずみゲージホルダ１２Ａを測定対象物Ｗに押し付ける力が発生する。これにより、ひずみ測定モジュール１０Ａが測定対象物Ｗに固定される。
【００５１】
また、本実施形態のひずみ測定モジュール１０Ａを用いたひずみ測定の手順も、第１の実施形態のひずみ測定モジュール１０を用いたひずみ測定の手順と同様である。本実施形態におけるひずみ測定においても、図３と同様の構成のひずみ測定システムが使用され得る。真空ポンプ７１によって減圧空間（本実施形態では、空間１８ａと空洞２１ｂ）が減圧され、ひずみゲージホルダ１２Ａが測定対象物Ｗに固定される。更に、必要に応じて台座３１Ａの位置が調節され、摩擦型ひずみゲージ１１が、所望の圧力で測定対象物Ｗに向けて押し付けられる。この状態で、摩擦型ひずみゲージ１１の電気的特性に対応する出力信号がストレインアンプ７２によって生成され、生成された出力信号に基づいて演算装置７３により、測定対象物Ｗのひずみが算出される。
【００５２】
本実施形態のひずみ測定モジュール１０Ａにおいても、ひずみゲージホルダ１２Ａが、減圧空間（本実施形態では、シール部材１８と測定対象物Ｗとの間に形成される空間１８ａとホルダ本体１３の筒部２１の内部に形成される空洞２１ｂ）の圧力と大気圧の差を利用して測定対象物Ｗに固定されるように構成されているので、測定対象物Ｗの材料に無関係にひずみゲージホルダ１２Ａを測定対象物Ｗに固定することができる。更に、該減圧空間を大気圧又は大気圧に近い圧力に戻すことで、簡便に、ひずみゲージホルダ１２Ａを測定対象物Ｗから外すことができる。更に、測定対象物Ｗと接触するシール部材１８が弾性材料で形成され、変形可能なので、測定対象物Ｗの表面形状をある程度吸収することができる。このように、第２の実施形態のひずみ測定モジュール１０Ａも、様々な形状、材料で形成される測定対象物Ｗに対し、摩擦型ひずみゲージ１１を保持するひずみゲージホルダ１２Ａを容易に且つ脱着可能に固定することができる。
【００５３】
加えて、第２の実施形態では、台座３１Ａの位置を調節することでばね３４の縮み量を調節できるので、摩擦型ひずみゲージ１１を測定対象物Ｗに押し付ける力を所望の力に調節することができる。その一方で、本実施形態では、台座３１Ａが面している空洞１６が減圧空間として用いられないので、台座３１Ａの位置を調節するための構造として、空洞１６の気密を保つような構造を採用する必要がない。これは、台座３１Ａの位置を調節するための構造の簡素化を可能にする点で好ましい。
【００５４】
なお、第２の実施形態において、ホルダ本体１３Ａに互いに分離された複数の空洞２１ｂが形成されてもよい。図５Ｂは、ホルダ本体１３Ａに互いに分離された複数の空洞２１ｂが形成される構造の例を示す断面図であり、図５Ｃは、斜視図である。なお、図示を理解しやすくするために、図５Ｃには、減圧ポート１７は図示されていない。図５Ｂ、図５Ｃに図示されている構成では、複数の筒部２１が基部２２に接合されており、その筒部２１のそれぞれに空洞２１ｂが設けられている。空洞２１ｂのそれぞれが基部２２に形成された通路２２ａを介して減圧ポート１７に連通している。測定対象物Ｗの構造によっては、ホルダ本体１３Ａに複数の空洞２１ｂが設けられる構造のほうが、ホルダ本体１３Ａの構成の自由度が高くなり、ひずみゲージホルダ１２Ａを測定対象物Ｗに固定するために好ましい場合がある。例えば、図５Ｂ、図５Ｃの構造では、それぞれ空洞２１ｂを有する２つの筒部２１と摩擦型ひずみゲージ１１を保持するステージ３３とが、一方向に並んで配置され、これにより、細長い測定対象物Ｗについてのひずみ測定が可能になっている。このように、ステージホルダ本体１３Ａに設けられる複数の空洞２１ｂの配置を測定対象物Ｗの構造に応じて最適化することにより、よりひずみゲージホルダ１２Ａを確実に測定対象物Ｗに固定することができる。
【００５５】
（第３の実施形態）
図６は、第３の実施形態のひずみ測定モジュール１０Ｂの構成を示す断面図である。第３の実施形態でも、第２の実施形態と同様に、台座３１Ａの位置を外部から機械的に調節可能であるひずみゲージ押し付け機構１５Ａが用いられる。ただし、第３の実施形態では、ホルダ本体１３Ａの筒部２１に空洞２１ｂが設けられる構成を採用する代わりに、ホルダ本体１３Ｂの筒部２１の測定対象物Ｗに近い端に吸盤１９が取り付けられる。吸盤１９は、弾性材料で形成される。本実施形態では、ひずみゲージホルダ１２Ｂが、吸盤１９を用いて測定対象物Ｗに固定される。図６では、２つの吸盤１９が図示されているが、実際には、筒部２１には、所望の数の吸盤１９が、適宜の間隔で接合されることに留意されたい。なお、第３の実施形態では、減圧ポート１７は不要であり、また、ホルダ本体１３Ｂの基部２２に通路２２ａを設ける必要もない。
【００５６】
本実施形態のひずみゲージホルダ１２Ｂを測定対象物Ｗに固定する場合、吸盤１９の吸着面が測定対象物Ｗに押し付けられる。その後、押し付け力が除去されると、吸盤１９の弾性により、吸盤１９が元の形状に戻ろうとするため、吸盤１９と測定対象物Ｗの間に減圧空間１９ａが形成される。減圧空間１９ａの圧力と大気圧との差により、ひずみゲージホルダ１２Ｂを測定対象物Ｗに押し付ける力が発生し、これにより、ひずみ測定モジュール１０Ｂが測定対象物Ｗに固定される。
【００５７】
本実施形態のひずみ測定モジュール１０Ｂにおいても、ひずみゲージホルダ１２Ｂが、吸盤１９と測定対象物Ｗの間に形成される減圧空間１９ａの圧力と大気圧の差を利用して測定対象物Ｗに固定されるように構成されているので、測定対象物Ｗの材料に無関係にひずみゲージホルダ１２Ｂを測定対象物Ｗに固定することができる。更に、吸盤１９を測定対象物Ｗから離脱させることで、簡便に、ひずみゲージホルダ１２Ｂを測定対象物Ｗから外すことができる。更に、測定対象物Ｗと接触する吸盤１９が弾性材料で形成され、変形可能なので、測定対象物Ｗの表面形状をある程度吸収することができる。このように、第３の実施形態のひずみ測定モジュール１０Ｂも、様々な形状、材料で形成される測定対象物Ｗに対し、摩擦型ひずみゲージ１１を保持するひずみゲージホルダ１２Ｂを容易に且つ脱着可能に固定することができる。
【００５８】
加えて、吸盤１９が用いられる本実施形態の構成では、第１及び第２の実施形態のように、排気装置（例えば、真空ポンプ７１）は不要であり、また、ひずみゲージホルダ１２Ｂを測定対象物Ｗに固定する時間を大きく短縮できるという利点がある。
【００５９】
（第４の実施形態）
図７は、本発明の第４の実施形態のひずみ測定モジュール１０Ｃの構成を示す断面図である。第４の実施形態では、シリンダとピストンとを用いて減圧空間を形成する機構がひずみゲージホルダ１２Ｃに設けられる。以下、第４の実施形態のひずみ測定モジュール１０Ｃの構成について詳細に説明する。
【００６０】
第４の実施形態では、ひずみゲージホルダ１２Ｃが、シリンダ４１と、シール部材４２と、ステージ４３と、ピストン４４と、ピストンロッド４５と、ストッパ４６とを備えている。
【００６１】
シリンダ４１は、円筒形の本体部４１ａと、ヘッドカバー部４１ｂと、ロッドカバー部４１ｃとを備えている。ヘッドカバー部４１ｂは、本体部４１ａの測定対象物Ｗの端に接合されており、ロッドカバー部４１ｃは、本体部４１ａの測定対象物Ｗと反対側の端に接合されている。
【００６２】
シール部材４２は、シリンダ４１のヘッドカバー部４１ｂの測定対象物Ｗと対向する面に接合されている。シール部材４２は、ひずみ測定モジュール１０Ｃが測定対象物Ｗに装着される際に測定対象物Ｗに押し当てられる部材であり、弾性材料で形成される。詳細には、シール部材４２は、板状の（例えば、略円盤状の）基部４２ａと、基部４２ａの周縁部からシリンダ４１と反対側に向けて（即ち、測定対象物Ｗに向けて）突出する接触部４２ｂとを備えている。シール部材４２の接触部４２ｂは、ひずみ測定モジュール１０Ｃが測定対象物Ｗに固定される際に測定対象物Ｗに接触する部分である。接触部４２ｂが測定対象物Ｗに押し当てられると、シール部材４２と測定対象物Ｗとの間に空間４２ｃが形成される。この空間は、後述されるように、ピストン４４を測定対象物Ｗから離れる方向に引くことによって減圧される。
【００６３】
シリンダ４１のヘッドカバー部４１ｂと、シール部材４２の基部４２ａとを貫通するように通路４８が形成されている。通路４８は、シール部材４２と測定対象物Ｗとの間に形成される空間４２ｃとシリンダ４１の本体部４１ａの内部の空間とを連通させるためのものである。図７では、２本の通路４８が図示されているが、通路４８の数は、２に限定されない。
【００６４】
ステージ４３は、シール部材４２の基部４２ａの測定対象物Ｗに対向する面に接合されており、摩擦型ひずみゲージ１１を保持する保持部として機能する。摩擦型ひずみゲージ１１は、ステージ４３の測定対象物Ｗに対向する面に保持される。ここで、摩擦型ひずみゲージ１１とステージ４３とが、シール部材４２と測定対象物Ｗとの間に形成される空間４２ｃの内部に位置していることに留意されたい。このような構造は、ひずみ測定モジュール１０Ｃの小型化に有効である。
【００６５】
ピストン４４は、シリンダ４１の本体部４１ａの内部に、本体部４１ａの内面と摺動可能に設けられている。シリンダ４１の本体部４１ａの内部の空間のうち、ピストン４４とシリンダ４１のヘッドカバー部４１ｂの間の空間４７が、通路４８を介して、シール部材４２と測定対象物Ｗとの間に形成される空間４２ｃと連通している。ピストン４４は、ピストン４４と本体部４１ａの内面との間で気密を保つような構造に形成されている。
【００６６】
ピストンロッド４５は、シリンダ４１のロッドカバー部４１ｃに設けられた貫通孔に挿入されており、ピストンロッド４５は、その一端がピストン４４に接合されており、手動でピストン４４を動かすために用いられる。ピストンロッド４５の他端にはグリップ４９が接合されており、作業者は、グリップ４９を持ってピストンロッド４５を操作することができる。
【００６７】
ストッパ４６は、ピストンロッド４５を機械的に所望の位置に固定する機能を有している。ピストンロッド４５を所望の位置に固定することで、ピストンロッド４５に接合されたピストン４４をシリンダ４１の内部の所望の位置に固定することができる。
【００６８】
本実施形態のひずみ測定モジュール１０Ｃを測定対象物Ｗに固定する場合、まず、シール部材４２の接触部４２ｂが測定対象物Ｗに押し当てられる。これにより、シール部材４２と測定対象物Ｗの間に空間４２ｃが形成される。シール部材４２の接触部４２ｂが測定対象物Ｗに押し当てられる際、ピストン４４がシリンダ４１のヘッドカバー部４１ｂに近い第１位置に位置するように、ピストンロッド４５が操作される。
【００６９】
続いて、図８に示されているように、ピストンロッド４５が操作され、ピストン４４が、第１位置よりもヘッドカバー部４１ｂから離れた第２位置に移動される。これにより、ピストン４４とヘッドカバー部４１ｂの間の空間４７、及び、該空間４７に通路４８を通じて連通している空間４２ｃが減圧される。空間４７と空間４２ｃの圧力が減圧されると、空間４７と空間４２ｃの圧力と大気圧との差により、シリンダ４１とシール部材４２を測定対象物Ｗに押し付ける力が発生する。これにより、ひずみゲージホルダ１２Ｃが測定対象物Ｗに固定される。
【００７０】
本実施形態のひずみ測定モジュール１０Ｃは、減圧空間（本実施形態では、シール部材４２と測定対象物Ｗで囲まれた空間４２ｃと、ピストン４４とヘッドカバー部４１ｂの間の空間４７）の圧力と大気圧の差を利用してひずみゲージホルダ１２Ｃが測定対象物Ｗに固定されるように構成されているので、測定対象物Ｗの材料に無関係にひずみゲージホルダ１２Ｃを測定対象物Ｗに固定することができる。更に、該減圧空間４２ｃを大気圧又は大気圧に近い圧力に戻すことで、簡便に、ひずみゲージホルダ１２Ｃを測定対象物Ｗから外すことができる。更に、測定対象物Ｗと接触するシール部材４２が弾性材料で形成され、変形可能なので、測定対象物Ｗの表面形状をある程度吸収することができる。このように、本実施形態のひずみ測定モジュール１０Ｃは、様々な形状、材料で形成される測定対象物Ｗに対し、摩擦型ひずみゲージ１１を容易に且つ脱着可能に固定することができる。
【００７１】
加えて、本実施形態のひずみ測定モジュール１０Ｃは、ひずみゲージホルダ１２Ｃが測定対象物Ｗに向けて沈みこむことを利用して、摩擦型ひずみゲージ１１を測定対象物Ｗに向けて押し付ける力を得るように構成されている。詳細には、シリンダ４１を測定対象物Ｗに押し付ける力が発生すると、弾性材料で形成されたシール部材４２が圧縮される。シール部材４２が圧縮されることにより、ステージ４３及びステージ４３に保持されている摩擦型ひずみゲージ１１が測定対象物Ｗに向けて押し付けられる。空間４７と減圧空間４２ｃの圧力と、シール部材４２の弾性とを適切に調節することにより、摩擦型ひずみゲージ１１が測定対象物Ｗに向けて押し付けられる圧力を所望の圧力に調節することができる。ひずみゲージホルダ１２Ｃが測定対象物Ｗに向けて沈みこむことを利用して摩擦型ひずみゲージ１１を測定対象物Ｗに向けて押し付ける力を得る本実施形態のひずみ測定モジュール１０Ｃは、小型、且つ、簡便な構造で摩擦型ひずみゲージ１１を測定対象物Ｗに向けて押し付けることを可能にする。
【００７２】
以上には、本発明の実施形態が様々に記載されているが、本発明は上記の実施形態に限定して解釈してはならない。本発明が、様々な変更と共に実施可能であることは、当業者には自明的であろう。
【符号の説明】
【００７３】
１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ：測定モジュール
１１    ：摩擦型ひずみゲージ
１２、１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ：ひずみゲージホルダ
１３、１３Ａ、１３Ｂ    ：ホルダ本体
１４    ：シール部材
１５    ：ひずみゲージ押し付け機構
１５Ａ  ：ひずみゲージ押し付け機構
１６    ：空洞
１７    ：減圧ポート
１８    ：シール部材
１８ａ  ：空間
１８ｂ  ：通路
１９    ：吸盤
１９ａ  ：減圧空間
２１    ：筒部
２１ａ  ：開口
２１ｂ  ：空洞
２１ｃ  ：外壁
２１ｄ  ：内壁
２２    ：基部
２２ａ  ：通路
３１、３１Ａ：台座
３２    ：ロッド
３３    ：ステージ
３４    ：ばね
４１    ：シリンダ
４１ａ  ：本体部
４１ｂ  ：ヘッドカバー部
４１ｃ  ：ロッドカバー部
４２    ：シール部材
４２ａ  ：基部
４２ｂ  ：接触部
４２ｃ  ：空間
４３    ：ステージ
４４    ：ピストン
４５    ：ピストンロッド
４６    ：ストッパ
４７    ：空間
４８    ：通路
４９    ：グリップ
７１    ：真空ポンプ
７２    ：ストレインアンプ
７３    ：演算装置
７４    ：信号ケーブル
Ｗ      ：測定対象物
【図１】
2016090283.tif 000003
【図２】
2016090283.tif 000004
【図３】
2016090283.tif 000005
【図４】
2016090283.tif 000006
【図５Ａ】
2016090283.tif 000007
【図５Ｂ】
2016090283.tif 000008
【図５Ｃ】
2016090283.tif 000009
【図６】
2016090283.tif 000010
【図７】
2016090283.tif 000011
【図８】
2016090283.tif 000012