(57)【要約】【課題】ヘッドスタックアセンブリの製造時に、Ｅブロックに固定されたサスペンションへのスライダの取付けを可能とする。【解決手段】ヘッドスタックアセンブリの製造装置において、向かい合った一対のサスペンションの中心面と平行な方向に、サスペンションと光軸変換器とを相対移動させて一対のサスペンションの間に光軸変換器を侵入させる工程と、光軸変換器により撮影光軸が曲げられるカメラによって二つの基準マークを撮影する工程と、二つの基準マークの画像によりスライダの搭載位置を検出する工程と、実行可能な手段を配する。【選択図】図２
2016066395.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも二つの基準点を各々有して向かい合って配置される一対のサスペンションの対向面の各々にスライダを搭載するヘッドスタックアセンブリ製造装置であって、
前記スライダを保持して前記サスペンションのスライダ搭載面に前記スライダを載置可能なチャックと、
向かい合った前記一対のサスペンションの間に侵入可能な大きさを有する光軸変換器と、
前記光軸変換器により撮影光軸が曲げられて前記二つの基準点の少なくとも一つを撮影可能なカメラと、
向かい合った前記一対のサスペンションの中心面と平行な方向に、前記サスペンションと前記光軸変換器とを相対移動可能な相対移動機構と、を有することを特徴とするヘッドスタックアセンブリ製造装置。
【請求項２】
向かい合った前記一対のサスペンションの隙間を撮影して前記中心面を検出可能な横カメラを有し、
前記相対移動機構は前記中心面に垂直な方向に前記サスペンションと前記光軸変換器との相対移動が可能であることを特徴とする請求項１に記載のヘッドスタックアセンブリ製造装置。
【請求項３】
前記光軸変換器と前記カメラとは一体として前記相対移動機構により前記相対移動されることを特徴とする請求項１又は２に記載のヘッドスタックアセンブリ製造装置。
【請求項４】
前記光軸変換器は、前記カメラの撮影光軸の向きを９０°曲げることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載のヘッドスタックアセンブリ製造装置。
【請求項５】
前記チャックに保持された前記スライダを前記中心面に垂直な方向の下方より撮影する下カメラを有し、
前記チャックは前記したカメラの画像に基づいて、前記中心面に垂直な軸周りの回転による前記スライダの保持姿勢の修正を行うことを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載のヘッドスタックアセンブリ製造装置。
【請求項６】
前記相対位置移動機構は前記光軸変換器が前記基準点各々と対応する位置で前記相対移動を停止させ、前記カメラは前記停止に応じて前記基準点を撮影することを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載のヘッドスタックアセンブリ製造装置。
【請求項７】
前記相対位置移動機構は前記基準点各々を含む範囲において所定の速度で前記光軸変換器を相対移動させ、前記カメラは前記所定速度での前記相対移動の際に連続的に画像取得が可能であることを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載のヘッドスタックアセンブリ製造装置。
【請求項８】
前記サスペンションの各々は前記スライダが固定される側とは反対の端部において、所定の回転軸周りに回動可能なＥブロックに固定され、
前記中心面は前記所定の回転軸と直交する平面であることを特徴とする請求項１乃至７の何れか一項に記載のヘッドスタックアセンブリ製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヘッドスタックアセンブリの製造装置に関する。より詳細には、ハードディスク等の記録媒体に対して磁気記録の書き込み及び読み出しを行う磁気ヘッドと称呼される装置を複数備えるヘッドスタックアセンブリの製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
昨今の高記録密度化が進む所謂ハードディスク装置において、ハードディスクの記録密度の向上とハードディスク搭載枚数の増加に伴う薄層化とが進められる共に、該ハードディスクに対する記録の書き込み等を為す磁気ヘッドの小型化も進められている。また、特許文献１に例示されるように、単一のハードディスク装置内に複数枚のハードディスクを配することで記憶容量の増大化も図られた構成も一般化している。この場合、該複数のハードディスクの記録面各々に対して磁気ヘッドを配することを可能とする、複数の磁気ヘッドを一体化したヘッドスタックアセンブリ（以下ＨＳＡと称する）が用いられる。
【０００３】
磁気ヘッドそのものは、電気・磁気変換素子が作りこまれたスライダと称呼される部材からなる。配線等が接続された該スライダは、サスペンションと称呼される弾性を有する薄板状の部材の先端部により支持される（特許文献２参照）。該サスペンションは、更に金属製のロードビームと称呼される部材によって支持され、これらサスペンション、ロードビーム等はスライダを含めてヘッドジンバルアセンブリ（以降ＨＧＡと称する。）を構成する。ＨＧＡはスライダが固定される側とは逆の端部にて、ＨＧＡが略延在する方向とは垂直な軸周りに回動するＥブロックと称される剛体に接続されている。従来は、このＨＧＡ単体を製造し、その後これらをＥブロックに対して取付けることにより、磁気記録読み取り等のための前述したＨＳＡを一体部品として組み上げていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１６４９６８号公報
【特許文献２】特開平１１−０３１３６９号公報
【特許文献３】特開２００５−１５８１９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献２に示されるように、従来は完成したＨＧＡをＥブロックに組み付けてＨＳＡとした後に、一体化された個々の磁気ヘッドの特性検査を行っている。しかし特許文献３においても指摘されているように種々の工程をＨＧＡが経ることにより、その過程でスライダが電気的或いは物理的に破損する可能性が高くなる。また、ＨＳＡ完成後に欠陥が見つけられたＨＧＡについては、Ｅブロックから取り除いたのちに該ＨＧＡの位置に適正なＨＧＡを組み付けることを要するが、当然この操作も新たなＨＧＡ或いは組み付け済のＨＧＡに対して損傷等の可能性を生じさせる。
【０００６】
特許文献３では、以上の事象に鑑みてＥブロックに組み付けた後のサスペンションに対してスライダを取付ける工程を提案している。しかしながら、実際にサスペンションに対してスライダを取付ける工程においては、例えば１ｍｍ以下の間隔で対向するサスペンションの各々に対してスライダを取付けなければならない。ここで、サスペンションにスライダを取付ける際には、サスペンションに設けられた位置決め用のマーク等を参照し、各々の位置関係を正確に制御することが求められる（特許文献２参照）。しかし、実際にはサスペンション同士の間隔の狭さゆえに、好適な位置制御が容易ではない。
【０００７】
本発明は以上の状況に鑑みて為されたものであり、微小な間隔を空けて配置される複数のサスペンション各々に対して好適な位置決めを行いつつスライダの搭載を可能とするヘッドスタックアセンブリの製造装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係るヘッドスタックアセンブリ製造装置は、少なくとも二つの基準点を各々有して向かい合って配置される一対のサスペンションの対向面の各々にスライダを搭載するヘッドスタックアセンブリ製造装置であって、前記スライダを保持して前記サスペンションのスライダ搭載面に前記スライダを載置可能なチャックと、向かい合った前記一対のサスペンションの間に侵入可能な大きさを有する光軸変換器と、前記光軸変換器により撮影光軸が曲げられて前記二つの基準点の少なくとも一つを撮影可能なカメラと、向かい合った前記一対のサスペンションの中心面と平行な方向に、前記サスペンションと前記光軸変換器とを相対移動可能な相対移動機構と、を有することを特徴とする。
【０００９】
なお、上述するヘッドスタックアセンブリ製造装置において、向かい合った前記一対のサスペンションの隙間を撮影して前記中心面を検出可能な横カメラを有し、前記相対移動機構は前記中心面に垂直な方向に前記サスペンションと前記光軸変換器との相対移動が可能であることが好ましい。
また、前記光軸変換器と前記カメラとは一体として前記相対移動機構により前記相対移動されることが好ましい。
また、前記光軸変換器は、前記カメラの撮影光軸の向きを９０°曲げることが好ましい。
或いは、前記チャックに保持された前記スライダを前記中心面に垂直な方向の下方より撮影する下カメラを有し、前記チャックは前記したカメラの画像に基づいて、前記中心面に垂直な軸周りの回転による前記スライダの保持姿勢の修正を行うことがより好ましい。
また、前記相対位置移動機構は前記光軸変換器が前記基準点各々と対応する位置で前記相対移動を停止させ、前記カメラは前記停止に応じて前記基準点を撮影することが好ましい。或いは、前記相対位置移動機構は前記基準点各々を含む範囲において所定の速度で前記光軸変換器を相対移動させ、前記カメラは前記所定速度での前記相対移動の際に連続的に画像取得が可能であることが好ましい。更には、前記サスペンションの各々は前記スライダが固定される側とは反対の端部において、所定の回転軸周りに回動可能なＥブロックに固定され、前記中心面は前記所定の回転軸と直交する平面であることがより好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、微小な間隔を空けて配置される複数のサスペンション各々に対して好適な位置決めを行いつつスライダを搭載することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明のＨＳＡ製造装置が対象とするＨＧＡの位置関係の一例を模式的に示す側面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るＨＳＡ製造装置について、その主要構成を前述した一組のＨＧＡと共に模式的に示す図である。
【図３】ミラーの他の形態を例示する図である。
【図４】本発明の第一の実施形態に係るＨＳＡ製造方法の各工程を各々模式的に示す図である。
【図５】本発明の第二の実施形態に係るＨＳＡ製造方法の各工程を各々模式的に示す図である。
【図６】本発明の一実施形態に係るＨＳＡ製造装置の概略構成を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の説明に際し、実際のサスペンションとスライダとの位置関係について先に述べる。図１はＨＳＡにおいて対向して配置される一組のＨＧＡの先端部を拡大して側面から見た状態を模式的に示している。同図中において其々サスペンション１１の先端にスライダ１３が取付けられ、且つ該スライダ１３が向かい合って位置する一組のＨＧＡ１０が示されている。ハードディスク装置として機能する場合、これらスライダ１３の間に不図示のハードディスクが入り込み、その状態で記録の書き込み或いは読み出しが行われる。
【００１３】
ここで、例えばスライダは０．２ｍｍの厚さを有し、且つサスペンション１１の間隔は１．５ｍｍ程度に設定されたとする。この場合、位置決め等を行ってスライダ１３をサスペンション１１に取付ける操作は、スライダ１３表面間の１．１ｍｍの間で行う必要がある。図示する一対のＨＧＡ１０の上下には更に対となるＨＧＡが配置されていると考えられ、よって従来のカメラ等によってサスペンション１１上に配置される位置決め用のマーク等を撮影することはこれまで困難であった。
【００１４】
以上の位置関係を維持しつつサスペンション１１にスライダ１３の取付けを可能とする本発明の一実施形態について、以下に図面を参照して説明する。図２は、本発明の一実施形態に係るＨＳＡ製造装置について、その主要構成を前述した一組のＨＧＡ１０と共に模式的に示している。本実施形態に係るＨＳＡ製造装置は、光軸変換手段としてのミラー１５及び撮影装置としてのカメラ１７を有する。また、該ＨＳＡ製造装置は、基準マークを各々有して向かい合って配置される一対のサスペンションの対向面の各々にスライダを搭載する。
【００１５】
前述したように、薄板状のサスペンション１１は平面内に不図示のホール等の位置決め用のマークが形成されている。当該位置決め用のマークはサスペンションの位置（例えばＸＹ）と角度（θ）を規定するためにある。当該マークとしては、例えば所定距離離れた二つの円の場合や、所定長の長円の場合等が考えられる。なお、これらマークは、基準となる位置は角度を規定するために、実際には基準となる基準点をこれらマークより求め、これを位置出しに用いる。従って、サスペンションの姿勢及び位置が把握可能であればマークの態様等はここで述べた例に限定されず、これら基準点が少なくとも２ヶ所有されれば良い。
【００１６】
カメラにより、ＨＳＡ製造装置とこれらマークとの相対的な位置と角度を正確に把握することで、スライダ１３の取付け位置を決定する。本発明では、対向するＨＧＡ１０の間に厚さｔのミラー１５を挿入する。このミラー厚さｔは、例示する形態では１.1ｍｍより小さい値としている。該ミラー厚さｔは、スライダ１３をサスペンション１１に取付けた状態であっても、該スライダ１３に接触させずにその間に位置することが可能な厚さに設定すれば良い。サスペンション１１の延在方向に沿って撮影光１９の光軸が配置されるカメラ１７は、該ミラー１５を介してこれらマークの画像を得る。ここでミラー１５とカメラ１７との位置関係が予め把握されていれば、該マークの画像を解析することによりサスペンション１１とＨＳＡ製造装置との相対位置関係を得ることが出来る。
【００１７】
なお、本実施形態では、延在軸と垂直な断面が台形状のプリズムを光軸変換器たるミラー１５として用いている。より詳細には、断面直角二等辺三角形の一つの等辺を端部より所定幅削除した楔状としている当該形状の場合、該プリズムの支持、傾斜面の角度の設定等が容易である。しかし、本発明のミラー１５は当該形状に限定されず、図３（ａ）に図２のミラー１５と同様の様式にて示すように、単なる断面三角形状のプリズムとしても良い。また、図３（ｂ）に示すように、可視領域を広げるために、カメラ１７からの撮影光２３を反射する反射面を凸面鏡状としても良い。即ち、位置決め用マークの像を好適にカメラ１７より撮影可能とするように、該カメラ１７の撮影光軸を好適に曲げることが出来れば良い。また、該ミラー１５は、複数設けられる位置決め用の基準マークについて少なくとも一つを撮像可能な画角をカメラ１５に提供できる反射面の大きさ等を有し、一対の向かい合うサスペンション間に侵入可能な大きさを有すれば良い。
【００１８】
（第一の実施形態）
次に、前述したＨＳＡ製造装置を用いて実際にサスペンション１１に対してスライダ１３を取付ける第一の実施形態に係るＨＳＡ製造方法について、図４を参照して説明する。図４は、図２と同様の様式にて取付け工程の各段階における諸構成の位置関係等を模式的に示している。まずステップ１において、横カメラ４１（図６参照）によって撮影領域２５の領域を撮影し、サスペンション１１間の中心位置（後述する中心面に対応）を検出する。該横カメラ４１は、向かい合った一対のサスペンション１１の隙間を撮影してこれらの中心位置を検出可能としている。なお、サスペンション１１は、所定点より延在方向から所定角度曲げられた領域が存在し、当該曲げ領域にスライダ１３は取付けられる。しかしながら、同図中では理解の容易のため、これらサスペンション１１がその回転軸に垂直となるように固定される不図示のＥブロックから垂直であり、且つ各々が平行に延在するものとして記載している。従って、サスペンション１１間の中心位置は、Ｅブロックの回転軸に垂直、或いは所定角度を有して交差する第一の基準線２７として検出される。
【００１９】
これらサスペンション１１に対して、カメラ１７とミラー１５とは予めカメラ１１の撮影光軸上の所定位置において、且つこれらの間隔が所定の基準距離となるように配置されている。該撮影光軸は、第二の基準線２９として規定される。ステップ２ではカメラ１７及びミラー１５を移動させて第一の基準線２７と第二の基準線２９とを実質的に一致させる。これにより、ミラー１が撮影光軸に沿って移動しても、予め一方に取付けられたスライダ１３及びスライダ取付け予定の他方のサスペンション１１と接触することがなくなる。
【００２０】
ステップ３では、この状態にあるミラー１５及びカメラ１７を撮影光軸（第一の基準線２７と一致）に沿って移動させる。位置決め用のマークは所定距離離れた第一の基準マーク３１と第二の基準マーク３３の場合で説明する。ここで、ステップ１において第一の基準線２７を検出した際に、該撮影領域２５における基準線２７方向でのサスペンション１１の端部位置も検出されている。ステップ３ではこのサスペンション端部を基準として該端部より所定の位置まで、ミラー１５及びカメラ１７を移動させる。スライダ取付け位置検出用の第一の基準マーク３１は、サスペンション１１の端部より所定間隔を空けて設けられる。ミラー１５及びカメラ１７は当該第一の基準マーク３１を撮影可能な位置まで移動する。なお、ミラー１５の反射面の大きさは、撮影領域が該第一の基準マーク３１を検出可能な必要がある。以降のステップにてミラー１５は移動させるため、当該撮影領域が確保できれば本発明における位置検出を行うという機能が確保される。
【００２１】
ミラー１５及びカメラ１７の移動後、ステップ３にて第一の基準マーク３１を撮影、検出する。その後、第一の基準マーク３１から所定距離離間して設けられる第二の基準マーク３３を撮影するために、該所定距離だけミラー１５及びカメラ１７が移動される。なお、ミラー１５の反射面の大きさは、撮影領域が該第二の基準マーク３３を検出可能な必要がある。所定距離移動後、ステップ４にて第二の基準マーク３３が撮影され、当該位置の検出がなされる。ＨＳＡ製造装置に対するこれら第一の基準マーク３１及び第二の基準マーク３３の相対位置が以上の工程を経て得られる。これら基準マークの相対位置に基づいて、実際にスライダ１３が取付けられる基準位置の算出が行われる。
【００２２】
ステップ５では、スライダ把持機構であるチャック２１により把持された取付け予定のスライダ１３が、下カメラ１９により撮影される。これにより、ＨＳＡ製造装置に対する該スライダ１３の相対的な位置及び把持姿勢が検出される。ステップ４で得た取付け基準位置と、該スライダ１３の相対位置及び姿勢とにより、取付けのためのスライダ１３の移動量及び姿勢の修正方向及び修正量等のデータが算出される。これらデータに基づいてチャック２１は移動及びスライダ１３の姿勢制御を開始して保持姿勢の修正を行い、ステップ６におけるスライダ１３の取付け操作を行う。即ち、チャック２１は、スライダ１３を保持してサスペンション１１のスライダ搭載面に該スライダ１３を載置する。また、下カメラ１９は第一の基準線２７に垂直な撮影光軸を有し、該垂直な方向の下方よりチャック２１に保持されたスライダ１３を撮影する。
【００２３】
（第二の実施形態）
次に、図５を参照して第二の実施形態について説明する。第二の実施形態では、第一の実施形態とはステップ３及び４において異なる。よって、他のステップについてはここでの説明は省略し、これらステップについてのみ説明する。換言すれば、第一の実施形態では、カメラ１７による基準マークの撮影は、ミラー１５が基準マーク各々と対応する位置で相対移動を停止させて行われる。これに対し、第二の実施形態では、カメラ１７による複数の基準マークの撮影は、これら基準マーク各々を全て或いは少なくとも２つを含む範囲において所定の速度で該ミラー１５を相対移動させながら連続的に行われる。なお、第二の実施例におけるカメラ１７は画素が一次元配置されているラインカメラを使用することが好ましい。
【００２４】
本実施形態ではステップ３において、サスペンション１１の端部から予め設定された測定開始位置よりミラー１５を介したカメラ１７によるサスペンション１１の一面の撮影（スキャン）が開始される。この撮影はステップ４に示されるようにスライダ１３が取付けられる予定の位置を超えるまで継続される。こうして得られた連続的な画像に基づいて、前述した第一の基準マーク３１及び第二の基準マーク３３の検出が行われる。本形態では、画像の取得及び解析等に関してこれらを処理するＣＰＵ等、制御装置側の負荷が大きくなる反面、第一の実施形態で求められる複数位置での停止精度については不必要となる。
【００２５】
以上述べた実施形態の如く、一組の対向するＨＧＡ１０間に侵入可能な大きさのミラー１５を配置し、該ミラー１５を用いてカメラ１７の撮影光軸を曲げる構成を配することにより、従来は困難であったＥブロック取付け後のサスペンション１１上の基準マークを検知することが可能となる。従って、Ｅブロック取付け後にスライダ１３の取付け工程を行うことが可能となり、スライダ実装後のサスペンションを取り扱う工程を減少させることも可能となる。よって、サスペンションの取り扱い時に生じる可能性のあるスライダへのダメージの付加をなくし、ＨＳＡの製造効率の向上が望める。また、最終検査段階で不良とされたスライダ単体の取外し及び新たなスライダの実装も本装置により可能となり、ＨＳＡ状態での再生率の向上も望める。
【００２６】
なお、以上述べた実施形態では、サスペンション１１等を支持する不図示のＥブロックに対してミラー１５等が移動する態様として説明しているが、これら構成は例えばＥブロック側が動く等、相対的な移動であって良い。従って、ミラー１５を駆動する機構は、サスペンション１１とミラー１５とを第一の基準線２７と平行な方向に相対移動可能な相対移動機構として把握されることが好ましい。なお、第一の実施形態ではミラー１５及びカメラ１７が一体として移動する構成とした。しかし、本実施形態において、ラインカメラの被写界深度によってミラー１５による該カメラ１７の焦点距離の変化が吸収可能な場合であれば、ミラー１５のみがサスペンション１１に対して相対移動する構成としても良い。また、一対のサスペンション１１間に該ミラー１５を位置させる関係上、サスペンション１１とミラー１５とは第一の基準線２７に例示される水平面に垂直な方向についても相対移動する必要がある。よって、本実施形態等で述べた該相対移動機構は、第一の基準線２７に垂直な方向にサスペンション１１とミラー１５とを相対移動させることも可能としている。
【００２７】
更に、本実施形態ではサスペンション１１の自由端方向からミラー１５がこれら向かい合ったサスペンション１１間に挿入されている。しかし、ミラー１５の挿入方向は紙面に垂直な方向からであっても良い。ここで、向かい合ったサスペンション１１は、好適には面対称に配置される。この場合、ミラー１５はその対称面となる中心面に平行な方向より相対駆動されて挿入されれば良い。また、サスペンションは平面状であることから、面対称ではなくとも、向かい合って配置されるその中間位置となる平面が設定可能であり、この平面を中心面としてミラー１５の相対駆動方向を決定することも可能である。また、サスペンション１１の各々はスライダ１３が固定される側とは反対の端部において、所定の回転軸周りに回動可能な不図示のＥブロックに固定されるが、ここで述べた中心面は該所定の回転軸と直交する平面である。
【００２８】
また、該実施形態では、カメラ１７とミラー１５とが一体として相対移動する構成を例示している。しかし、カメラ１７とミラー１５との距離が確定容易であり、且つミラー１５の移動範囲内において曲げられたカメラ１７の光軸が位置決めマークを撮影可能な範囲に至ることが可能であれば、これらを個別に相対移動する構成としても良い。なお、この場合、位置決めマークの位置検出を容易とするために、撮影光軸と第一の基準線２７と平行であることが好ましい。更には、ミラー１５は、二つの基準マークを結ぶ直線と平行に相対移動されることが好ましい。
【００２９】
また、本実施形態ではカメラ１７の撮影光軸を曲げて二つの基準マークの少なくとも一つを撮影可能とする光軸変換器としてミラー１５を用いているが、同等の作用効果を呈するものであれば、内部に光路の向きを変えるプリズム状の光学部材等も使用可能である。更に本実施形態では、撮影光軸の曲げ角度が実質的に９０°となる場合を例示している。これは当該角度の場合に得られる画像の第一の基準線２７方向で像がゆがまないことによるが、曲げ角度はこれに限定されない。また、カメラ１７の撮影画角も、ミラー１５の反射面との協働によって少なくとも一つの基準マークを撮像可能な大きさを有すれば良い。
【００３０】
次に、これら構成を包含するＨＳＡ製造装置の具体的な構成について説明する。図６は、先の実施形態で述べた諸構成を包含するＨＳＡ製造装置を模式的に示した平面図である。なお、前述した実施形態で説明した構成と同じ構成については、同一の参照符号を用いることとしてここでの説明は省略する。本発明の一実施形態に係るＨＳＡ製造装置１００は、３台のカメラ、パレット供給部４７、パレット排出部４９、スライダ実装ヘッド５１、スライダ供給部５７、樹脂塗布部５９、パレットテーブル６１、ミラー部６３、及びパレット搬送部５３、５５を有する。
【００３１】
ミラー部６３は、前述したカメラ１７とミラー１５とを備え、水平方向での位置関係、及びカメラ１７の撮影光軸方向のミラー１５とのカメラ１７との距離とが規定された一体構造とされている。３台のカメラは、前述したカメラ１７、撮影領域２５を撮影する横カメラ４１、及びスライダ１３のチャック２１による把持姿勢を検知するための下カメラ１９からなる。パレット供給部４７には、Ｅブロック３５にサスペンション１１が固定されたスライダ取付け前ＨＳＡが複数個載置されたパレットが供給される。該パレットはパレット搬送部５５を経てパレットテーブル６１に載置される。その際、樹脂塗布部５９によってサスペンション１１上のスライダ１３の略固定位置に樹脂の塗布がなされる。
【００３２】
スライダ供給部５７は、スライダトレイ４５上に載置されている取付け予定のスライダ１３を供給する。スライダ実装ヘッド５１は、チャック２１を有する。該スライダ１３はスライダ供給部５７より取出された後、一旦仮置きステージ上に仮置きされ、チャック２１による把持がなされる。パレットテーブル６１上のスライダ取付け前ＨＳＡはパレットテーブル６１によって移動され、横カメラ４１による水平位置検出、及びミラー部６３による基準マーク３１、３３の検出が行われる。同時にチャック２１に把持されたスライダ１３の把持姿勢等が下カメラ１９によって検知される。その後、サスペンション１１に対するスライダ１３の取付けが、チャック２１によって実行される。全てのサスペンション１１にスライダ１３が取付けられた後、ＨＳＡはパレット搬送部５３を介してパレット排出部４９に搬送される。パレット排出部４９にパレットごと搬送された各ＨＳＡは、その後の検査工程等に運ばれる。
【００３３】
以上のＨＳＡ製造装置を用いることによって、微小な間隔を空けて配置される複数のサスペンション各々に対して好適な位置決めを行いつつスライダを搭載することが可能となる。なお、ここで例示したＨＳＡ製造装置におけるミラー部６３と該ミラー部６３を用いたサスペンション１１の相対位置検出に関する構成以外は、公知の種々の構成への置き換えが可能である。また、Ｅブロックと他の構成との相対移動についても、公知のスライダ駆動装置、モータ、等、駆動範囲と必要な停止精度が得られれば種々の駆動装置の使用が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
以上述べたように、本発明は所謂磁気ヘッドの製造装置として好適である。しかし、１ｍｍ程度の狭い間隔を保持して配置される板状の部材に対して、位置精度良く部材を搭載する工程であれば、本装置等を適用することも可能である。
【符号の説明】
【００３５】
１０：ＨＧＡ（ヘッドジンバルアセンブリ）、  １１：サスペンション、  １３：スライダ、  １５：ミラー、  １７：カメラ、  １９：下カメラ、  ２１：チャック、  ２３：撮影光、  ２５：撮影領域、  ２７：第一の基準線、  ２９：第二の基準線、  ３１：第一の基準マーク、  ３３：第二の基準マーク、  ３５：Ｅブロック、  ４１：横カメラ、  ４５：スライダトレイ、  ４７：パレット供給部、  ４９：パレット排出部、  ５１：スライダ実装ヘッド、  ５３、５５：パレット搬送部、  ５７：スライダ供給部、  ５９：樹脂塗布部、  ６１：パレットテーブル、  ６３：ミラー部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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