(57)【要約】【課題】熱弾性損失を低減し、Ｑ値の低下を低減することのできる振動子、発振器、電子機器および移動体を提供する。【解決手段】振動子１は、基板２と、基板２上に配置されている第１電極３および第２電極４と、を有している。また、第２電極４は、基板２に固定された固定部４１と、固定部４１に支持部４３を介して支持された基部４２と、基部４２から十字に延びる振動部４４、４５、４６、４７と、を有している。また、基板２の平面視で、振動部４４〜４７の幅は、基端部よりも先端部の方が短くなっている。【選択図】図２
2016066875.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板上に配置されている第１電極と、
前記基板上に配置されている基部、および、基端側で前記基部に接続されていて前記第１電極と対向配置されている振動部を有している第２電極と、を有し、
前記基板の平面視で、前記振動部の幅は、基端部よりも先端部の方が小さいことを特徴とする振動子。
【請求項２】
前記振動部は、前記基端部から前記先端部に向かって前記幅が漸減している幅漸減部を有している請求項１に記載の振動子。
【請求項３】
前記幅漸減部は、前記幅が一定の漸減率で漸減している部分を有している請求項２に記載の振動子。
【請求項４】
前記幅漸減部は、前記振動部の幅を画定する輪郭線が直線状である部分を有している請求項３に記載の振動子。
【請求項５】
前記幅漸減部は、前記振動部の幅を画定する輪郭線が凹状の曲線状である部分を有している請求項２に記載の振動子。
【請求項６】
前記幅漸減部は、前記振動部の幅を画定する輪郭線が凸状の曲線状である部分を有している請求項２に記載の振動子。
【請求項７】
前記振動部は、前記幅漸減部よりも基端側に、前記幅が一定な幅一定部を有している請求項２ないし６のいずれか１項に記載の振動子。
【請求項８】
前記振動部の前記先端部の幅は、前記基端部の幅の１／５以上、４／５以下の範囲内にある請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動子。
【請求項９】
前記第２電極は、前記基部と前記基板との間に設けられている支持部を有する請求項１ないし８のいずれか１項に記載の振動子。
【請求項１０】
前記第２電極は、前記基部を前記基板から遊離した状態で支持している支持部を有する請求項１ないし８のいずれか１項に記載の振動子。
【請求項１１】
前記第２電極は、前記振動部を複数有している請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の振動子。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の振動子と、
回路と、を有していることを特徴とする発振器。
【請求項１３】
請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の振動子を有していることを特徴とする電子機器。
【請求項１４】
請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の振動子を有していることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動子、発振器、電子機器および移動体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、特許文献１に記載のＭＥＭＳ振動子は、基板と、基板上に形成された第１電極および第２電極と、を有している。また、第２電極は、基板上に形成された支持部と、支持部から延在し、第１電極と対向配置された梁部と、を有している。このような構成のＭＥＭＳ振動子は、第１、第２電極間に電圧を印加することで、第２電極の梁部を振動させることができる。しかしながら、特許文献１のＭＥＭＳ振動子では、梁部の平面視形状が、その延在方向に沿って幅が一定な略長方形となっているため、振動時の熱弾性損失が大きく、Ｑ値が低下するという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−８５０８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、熱弾性損失を低減し、Ｑ値の低下を低減することのできる振動子、発振器、電子機器および移動体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］
本適用例の振動子は、基板と、
前記基板上に配置されている第１電極と、
前記基板上に配置されている基部、および、基端側で前記基部に接続されていて前記第１電極と対向配置されている振動部を有している第２電極と、を有し、
前記基板の平面視で、前記振動部の幅は、基端部よりも先端部の方が小さいことを特徴とする。
これにより、振動部の先端部の振動時の撓みが低減され、熱弾性損失が低減する。そのため、Ｑ値の低下を低減することができ、優れた振動特性を有する振動子が得られる。
【０００７】
［適用例２］
本適用例の振動子では、前記振動部は、前記基端部から前記先端部に向かって前記幅が漸減している幅漸減部を有していることが好ましい。
これにより、簡単な構成で、振動部の先端部の幅を基端部よりも短くすることができる。
【０００８】
［適用例３］
本適用例の振動子では、前記幅漸減部は、前記幅が一定の漸減率で漸減している部分を有していることが好ましい。
これにより、幅漸減部の構成を簡単なものとすることができる。
【０００９】
［適用例４］
本適用例の振動子では、前記幅漸減部は、前記振動部の幅を画定する輪郭線が直線状である部分を有していることが好ましい。
これにより、幅漸減部の構成を簡単なものとすることができる。
【００１０】
［適用例５］
本適用例の振動子では、前記幅漸減部は、前記振動部の幅を画定する輪郭線が凹状の曲線状である部分を有していることが好ましい。
これにより、幅漸減部の構成を簡単なものとすることができる。
【００１１】
［適用例６］
本適用例の振動子では、前記幅漸減部は、前記振動部の幅を画定する輪郭線が凸状の曲線状である部分を有していることが好ましい。
これにより、幅漸減部の構成を簡単なものとすることができる。
【００１２】
［適用例７］
本適用例の振動子では、前記振動部は、前記幅漸減部よりも基端側に、前記幅が一定な幅一定部を有していることが好ましい。
これにより、振動部の基端側の剛性を高めることができ、振動部の破損等を低減することができる。
【００１３】
［適用例８］
本適用例の振動子では、前記振動部の前記先端部の幅は、前記基端部の幅の１／５以上、４／５以下の範囲内にあることが好ましい。
これにより、振動部の先端部の幅を十分に短くすることができ、より効果的に、先端部の撓みを低減することができる。
【００１４】
［適用例９］
本適用例の振動子では、前記第２電極は、前記基部と前記基板との間に設けられている支持部を有することが好ましい。
これにより、基部を安定して支持することができる。
【００１５】
［適用例１０］
本適用例の振動子では、前記第２電極は、前記基部を前記基板から遊離した状態で支持している支持部を有していることが好ましい。
これにより、振動漏れを低減することができる。
【００１６】
［適用例１１］
本適用例の振動子では、前記第２電極は、前記振動部を複数有していることが好ましい。
これにより、例えば、１つの振動部を他の振動部と逆相で振動させることによって、基部の振動が抑えられ、振動漏れを低減することができる。
【００１７】
［適用例１２］
本適用例の発振器は、上記適用例の振動子と、
回路と、を有していることを特徴とする。
これにより、高い信頼性を有する発振器が得られる。
【００１８】
［適用例１３］
本適用例の電子機器は、上記適用例の振動子を有していることを特徴とする。
これにより、高い信頼性を有する電子機器が得られる。
【００１９】
［適用例１４］
本適用例の移動体は、上記適用例の振動子を有していることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い移動体が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る振動子を示す断面図である。
【図２】図１に示す振動子の平面図である。
【図３】図１に示す振動子が有する振動部を示す平面図である。
【図４】図３に示す振動部の振動の様子を示す図である。
【図５】図３に示す振動部の変形例を示す平面図である。
【図６】図３に示す振動部の変形例を示す平面図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係る振動子を示す平面図である。
【図８】図７中のＡ−Ａ線断面図である。
【図９】本発明の発振器の構成の例を示す概略図である。
【図１０】本発明の振動子を備えるモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【図１１】本発明の振動子を備える携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【図１２】本発明の振動子を備えるデジタルスチールカメラの構成を示す斜視図である。
【図１３】本発明の振動子を備える移動体を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の振動子、発振器、電子機器および移動体を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００２２】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る振動子を示す断面図である。図２は、図１に示す振動子の平面図である。図３は、図１に示す振動子が有する振動部を示す平面図である。図４は、図３に示す振動部の振動の様子を示す図である。図５および図６は、それぞれ、図３に示す振動部の変形例を示す平面図である。なお、以下の説明では、図１中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
【００２３】
図１に示す振動子１は、基板２と、基板２上に設けられた第１電極３および第２電極４と、を有する。
【００２４】
基板２は、シリコン基板である半導体基板２１上に、シリコン酸化膜（ＳｉＯ２膜）で構成された第１絶縁膜２２と、シリコン窒化膜（ＳｉＮ膜）で構成された第２絶縁膜２３と、をこの順に積層することで構成される。ただし、半導体基板２１としては、シリコン基板に限定されず、例えば、ＳＯＩ基板を用いることができる。また、第１絶縁膜２２および第２絶縁膜２３の材料としては、製造時に半導体基板２１を保護し、第１電極３と第２電極４とを絶縁することができれば、特に限定されない。
【００２５】
第２電極４は、基板２上に設けられた固定部４１と、固定部４１と対向配置された基部４２と、基部４２を固定部４１に固定し、支持する支持部４３と、基端側で基部４２に接続された４つの振動部４４、４５、４６、４７と、を有している。なお、振動部の数は、４つに限定されず、１〜３つであってもよいし、５つ以上であってもよい。
【００２６】
支持部４３は、基部４２と固定部４１との間に設けられ、基部４２を固定部４１に固定すると共に、基部４２を下方から支持している。これにより、基部４２が安定して配置され、振動部４４〜４７を安定して振動させることができる。また、支持部４３は、略正方形の平面視形状をなし、基部４２の中央部に、基部４２と辺を揃えるようにして配置されている。ただし、支持部４３の平面視形状としては、正方形に限定されず、例えば、円形であってもよい。また、支持部４３は、基部４２の辺と揃えるようにして配置しなくてもよく、例えば、支持部４３の辺が基部４２の辺に対して約４５°回転した向きで配置されていてもよい。
【００２７】
基部４２は、略正方形の平面視形状を有している。そして、基部４２の外縁を形成する４つの辺４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄのうち、辺４２ａに振動部４４が接続され、辺４２ｂに振動部４５が接続され、辺４２ｃに振動部４６が接続され、辺４２ｄに振動部４７が接続されている。言い換えると、４つの振動部４４、４５、４６、４７は、基部４２から四方（十字状）に突出して設けられている。また、振動部４４、４５、４６、４７は、それぞれ、先端部が自由端となっており、上下（厚さ方向）に屈曲変形可能となっている。
【００２８】
基部４２および振動部４４、４５、４６、４７は、一体形成されており、以下では、これらの集合体を「構造体４０」とも言う。構造体４０の厚さとしては、特に限定されないが、例えば、０．１μｍ以上、５０．０μｍ以下程度とすることができる。これにより、構造体４０の機械的強度を十分なものにしつつ、構造体４０の過度な厚み増（振動子１の大型化）を低減することができる。
【００２９】
一方、第１電極３は、振動部４４に対向配置されている電極３１と、振動部４６に対向配置されている電極３２と、を有し、これら電極３１、３２は、配線によって１つにまとめられている。
【００３０】
このような第１電極３および第２電極４は、それぞれ、ポリシリコンを主材料（主成分）として含んでおり、ポリシリコンにリン、ボロン等の不純物をドープ（拡散または注入）することで構成されている。振動子１をこのような構成とすることで、振動子１を半導体プロセスで形成することができ、振動子１の製造が容易となる。ただし、第１電極３および第２電極４の構成材料としては、導電性を有していれば、本実施形態の構成に限定されない。
【００３１】
このような振動子１では、第１電極３および第２電極４間に所定周波数の交番電圧を印加することで振動部４４〜４７が振動する。具体的には、第１電極３および第２電極４間に前記交番電圧を印加すると、電極３１と振動部４４の間および電極３２と振動部４６の間にそれぞれ静電力が周期的に発生し、この周期的に発生する静電力の作用によって、振動部４４、４６が互いに同相で上下方向に振動する。一方、振動部４５、４７は、振動部４４、４６の振動の反動によって、互いに同相でかつ振動部４４、４６とは逆相で上下方向に振動する。すなわち、振動部４４、４６が上方へ撓み変形すれば、振動部４５、４７が下方へ撓み変形し、振動部４４、４６が下方へ撓み変形すれば、振動部４５、４７が上方へ撓み変形する。このように、振動部４４、４６と振動部４５、４７とを逆相で振動させることで、基部４２の上下方向の変位が相殺されて振動が抑制されるため、振動漏れ（基板に振動のエネルギーが伝わってしまうこと）が低減され、振動子１のＱ値を高めることができる。
【００３２】
次に、振動部４４、４５、４６、４７の形状について具体的に説明する。なお、振動部４４、４５、４６、４７は、互いに同様の構成であるため、以下では振動部４４について代表して説明し、他の振動部４５、４６、４７については、その説明を省略する。
【００３３】
図３に示すように、振動部４４は、基端部（基部４２との接続部）の幅Ｗ１よりも先端部の幅Ｗ２の方が短くなっている。このように、先端部の幅Ｗ２を基端部の幅Ｗ１よりも短くすることで、振動子１の熱弾性損失を低減することができ、その分、Ｑ値を向上させることができる。以下、この理由について具体的に説明する。
【００３４】
例えば、Ｗ２≧Ｗ１なる関係を満足している場合、振動部４４の先端部の幅が広くなってしまい、その分、変形し易くなる。そのため、振動部４４が上下に振動することで、先端部が図４（ａ）に示すように湾曲変形してしまう。このような湾曲変形が起きると、伸長する側の主面４４’と収縮する側の主面４４”との間で熱移動が起きて、熱弾性損失が生じる。
【００３５】
一方、本実施形態のようにＷ２＜Ｗ１なる関係を満足している場合、振動部４４の先端部の幅が短くなり、図４（ｂ）に示すように、振動部４４が上下に振動する際の振動部４４の先端部の湾曲変形が抑えられる。このように、振動部４４の先端部の湾曲変形が抑えられる分、前記熱移動が抑えられて、熱弾性損失が低減される。したがって、Ｑ値の低下を低減することができ、高いＱ値を有する振動子１となる。
【００３６】
このように、Ｗ２＜Ｗ１なる関係を満足していれば、上述のような効果を発揮することができるが、Ｗ２が短すぎると、振動部４４の厚さや材質によっては、先端部の剛性が低下し、他のモードの変形が生じる可能性がある。そこで、Ｗ２としては、１／５・Ｗ１以上、４／５・Ｗ１以下であることが好ましく、２／５・Ｗ１以上、３／５・Ｗ１以下であることがより好ましい。このような範囲を満足することにより、図４（ａ）に示すような湾曲変形や剛性の低下に伴う他のモードの変形を効果的に低減することができ、上述の効果をより効果的に発揮することができる。
【００３７】
また、振動部４４は、図３に示すように、その幅Ｗが基端部（基部４２との接続部）から先端部に向けて漸減する漸減部４４１を有しており、この漸減部４４１が長さ方向の全域にわたって配置されている。また、振動部４４の幅を画定する輪郭線４４ｃ、４４ｄは、それぞれ、直線状をなしており、傾斜角もほぼ等しくなっている。すなわち、本実施形態の振動部４４は、幅方向の中心線に対してほぼ対称な形状であり、略台形の平面視形状をなしている。このように、漸減部４４１を設けることで、基端部から先端部へ向けて徐々に幅Ｗを短くしていくことができるため、振動部４４の長さ方向での急峻な剛性変化が低減され、応力集中を抑えることができる。
【００３８】
特に、本実施形態のように漸減部４４１を振動部４４の長さ方向のほぼ全域にわたって配置することで上記の効果がより顕著となる。また、漸減部４４１を振動部４４の基端まで配置することで、隣り合う振動部（例えば、振動部４４、４５）の接続部の角度θをより広くすることができ、接続部に発生する応力を小さくすることができる。そのため、接続部での熱弾性損失を低減することができる。したがって、高いＱ値を有する振動子１となる。
【００３９】
さらには、輪郭線４４ｃ、４４ｄを直線状とすることで、漸減部４４１での幅の漸減率（変化率）がほぼ一定となり、前述したような振動部４４の長さ方向での急峻な剛性変化がより低減されると共に、輪郭線４４ｃ、４４ｄの途中に段差（角部）が形成されないため、応力集中を抑えることができる。そのため、熱弾性損失を低減することができ、高いＱ値を有する振動子１となる。
【００４０】
以上、本実施形態の振動部４４の形状について詳細に説明した。ただし、振動部４４の形状は、Ｗ２＜Ｗ１なる関係を満足していれば、本実施形態の形状（台形形状）に限定されず、例えば、次のような形状であってもよい。振動部４５、４６、４７についても同様である。
【００４１】
まず、振動部４４の変形例として、振動部４４の長さ方向の全域に漸減部４４１が配置されている形状について幾つか例示する。例えば、図５（ａ）に示す振動部４４は、本実施形態の形状に対して、輪郭線４４ｃ、４４ｄがそれぞれ凹状の曲線状となっている。このような形状とすることで、振動部４４の先端部での幅の漸減率（変化率）が本実施形態と比較して小さくなり、先端部における剛性変化を小さくすることができる。そのため、振動部４４の先端部を全体的に均一に撓ませることができ、熱弾性損失を低減することができる。また、図５（ｂ）に示す振動部４４は、先端部が実質的に幅を有しておらず、略三角形の平面視形状をなしている。このような形状とすることで、振動部４４の小型化を図ることができる。また、図５（ｃ）に示す振動部４４は、図５（ｂ）の形状に対して、輪郭線４４ｃ、４４ｄがそれぞれ凹状の曲線状となっている。このような形状とすることで、先端部での幅の漸減率（変化率）が図５（ｂ）の構成と比較して小さくなるため、先端部における剛性変化がより小さくなる。そのため、先端部を全体的に均一に撓ませることができ、熱弾性損失を低減することができる。
【００４２】
次に、振動部４４の変形例として、振動部４４の長さ方向の一部（先端側）に漸減部４４１が配置されている形状について幾つか例示する。例えば、図６（ａ）に示す振動部４４は、長さ方向に沿って幅がほぼ一定な幅一定部４４２と、幅一定部４４２の先端側に位置する漸減部４４１と、を有している。また、幅一定部４４２は、振動部４４の基端を含み、その先端が漸減部４４１の基端と接続されている。一方、漸減部４４１の先端は、振動部４４の先端を含んでいる。このように、振動部４４の基端側に幅一定部４４２を設けることで、振動部４４の基端部の剛性を十分に高めることができ、振動部４４の破損を低減することができる。また、図６（ｂ）に示す振動部４４は、図６（ａ）の形状に対して、輪郭線４４ｃ、４４ｄがそれぞれ凹状の曲線状となっている。また、図６（ｃ）に示す振動部４４は、輪郭線４４ｃ、４４ｄがそれぞれ凸状の曲線状となっている。このような形状とすることで、幅一定部４４２と漸減部４４１との境界を緩やかに（なだらか）に接続することができるため、当該境界部における応力集中を低減することができる。
【００４３】
以上、振動部４４の変形例について説明したが、上記の変形例によれば、比較的簡単な構成で、Ｗ１＜Ｗ２なる関係を満足する振動部４４が得られる。
【００４４】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の振動子の第２実施形態について説明する。
【００４５】
図７は、本発明の第２実施形態に係る振動子を示す平面図である。図８は、図７中のＡ−Ａ線断面図である。
【００４６】
以下、本発明の第２実施形態に係る振動子について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【００４７】
第２実施形態の振動子は、振動素子の構成が異なること以外は、前述した第１実施形態と同様である。なお、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００４８】
図７に示すように、本実施形態の振動子１が有する第２電極４は、固定部４１と、固定部４１と対向配置された基部４２と、基部４２と固定部４１とを接続する４本の支持部４３と、基部４２に接続された４つの振動部４４、４５、４６、４７と、を有している。
【００４９】
また、４本の支持部４３は、一方の端部が振動の節となる隣り合う振動部の間（すなわち、振動部４４、４５の間、振動部４５、４６の間、振動部４６、４７の間、振動部４７、４４の間）の部分で基部４２に接続されており、他方の端部が固定部４１に接続されている。このような構成とすることで、支持部４３によって、固定部４１から基部４２を遊離することができる。また、振動の節となる振動部が隣り合う部分に支持部４３を接続することで、振動漏れによるＱ値の低下を低減することができ、高いＱ値を有する振動子１が得られる。また、支持部４３を複数とすることで、耐衝撃性を向上させることができる。
【００５０】
このような第２実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【００５１】
［発振器］
次に、本発明の振動子を適用した発振器（本発明の発振器）について説明する。
図９は、本発明の発振器の構成の例を示す概略図である。
【００５２】
発振器２００は、振動子１と、バイアス回路２１０と、アンプ２２０、２３０と、を有している。バイアス回路２１０は、振動子１の第１、第２電極３、４に接続され、振動子１に所定の電位がバイアスされた交流電圧を印加する回路である。アンプ２２０は、バイアス回路２１０と並列に、振動子１の第１、第２電極３、４に接続される帰還増幅器である。帰還増幅することで、振動子１を発振器２００として構成している。アンプ２３０は、発振波形を出力するバッファー増幅器である。このような発振器２００は、高いＱ値を有する振動子１を備えているため、より高性能で高い信頼性を発揮することができる。
【００５３】
［電子機器］
次に、本発明の振動子を適用した電子機器（本発明の電子機器）について説明する。
【００５４】
図１０は、本発明の振動子を備えるモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【００５５】
この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０８を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、フィルター、共振器、基準クロック等として機能する振動子１が内蔵されている。そのため、パーソナルコンピューター１１００は、より高性能で、高い信頼性を発揮することができる。
【００５６】
図１１は、本発明の振動子を備える携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【００５７】
この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４及び送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０８が配置されている。このような携帯電話機１２００には、フィルター、共振器、角速度センサー等として機能する振動子１が内蔵されている。そのため、携帯電話機１２００は、より高性能で、高い信頼性を発揮することができる。
【００５８】
図１２は、本発明の振動子を備えるデジタルスチールカメラの構成を示す斜視図である。
この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。デジタルスチールカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）等の撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【００５９】
デジタルスチールカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１３１０が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行なう構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤ等を含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【００６０】
撮影者が表示部１３１０に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。また、このデジタルスチールカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１３３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１３４０が、それぞれ必要に応じて接続される。更に、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１３３０や、パーソナルコンピューター１３４０に出力される構成になっている。このようなデジタルスチールカメラ１３００には、フィルター、共振器、角速度センサー等として機能する振動子１が内蔵されている。そのため、デジタルスチールカメラ１３００は、より高性能で、高い信頼性を発揮することができる。
【００６１】
なお、本発明の振動子を備える電子機器は、図１０のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図１１の携帯電話機、図１２のデジタルスチールカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター等に適用することができる。
【００６２】
［移動体］
次に、本発明の振動子を適用した移動体（本発明の移動体）について説明する。
図１３は、本発明の振動子を備えた移動体を示す斜視図である。
【００６３】
自動車（移動体）１５００には、振動子１が搭載されている。振動子１は、例えば、キーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム、等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic control unit）に広く適用できる。このように、自動車１５００は、振動子１を有しているため、より高性能で、高い信頼性を発揮することができる。
【００６４】
以上、本発明の振動子、発振器、電子機器および移動体について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、各実施形態を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【００６５】
１……振動子
２……基板
２１……半導体基板
２２……第１絶縁膜
２３……第２絶縁膜
３……第１電極
３１……電極
３２……電極
３４……振動部
３５……振動部
４……第２電極
４０……構造体
４１……固定部
４２……基部
４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ……辺
４３……支持部
４４、４５、４６、４７……振動部
４４’、４４”……主面
４４１……漸減部
４４２……幅一定部
４４ｃ、４４ｄ……輪郭線
２００……発振器
２１０……バイアス回路
２２０、２３０……アンプ
１１００……パーソナルコンピューター
１１０２……キーボード
１１０４……本体部
１１０６……表示ユニット
１１０８……表示部
１２００……携帯電話機
１２０２……操作ボタン
１２０４……受話口
１２０６……送話口
１２０８……表示部
１３００……デジタルスチールカメラ
１３０２……ケース
１３０４……受光ユニット
１３０６……シャッターボタン
１３０８……メモリー
１３１０……表示部
１３１２……ビデオ信号出力端子
１３１４……入出力端子
１３３０……テレビモニター
１３４０……パーソナルコンピューター
１５００……自動車
Ｗ……幅
Ｗ１……幅
Ｗ２……幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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