(57)【要約】【課題】両端に検査ポイントのない電子部品の検査用データについての自動的な作成率を高める。【解決手段】検査対象部品を選択する部品選択処理８１、検査対象部品を含む回路網の正常回路ネットリストを作成する処理８２、この回路網の検査対象部品を任意の１つの故障状態で故障させたときの故障回路ネットリストを作成する処理８３、正常なこの回路網を１種類以上の検査機能で検査したときの正常時検査結果を検査機能毎にシミュレーションして求める処理８４、故障しているこの回路網を１種類以上の検査機能で検査したときの故障時検査結果を検査機能毎にシミュレーションして求める処理８５、および検査機能毎の正常時検査結果と故障時検査結果とを比較して相違しているときに、この相違する検査機能でこの回路網を検査するとの検査内容を個別検査用データとする処理８６を、すべての検査対象部品について実行する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象基板に形成された回路網を構成する互いに電気的に接続された複数の回路要素のうちの少なくとも１つの回路要素を当該検査対象基板の表面に配設されて当該回路網に接続された検査ポイントにプローブを接触させて検査するときの前記回路網のための個別検査用データを作成する処理部を備えている検査用データ作成装置であって、
前記処理部は、
前記複数の回路要素をすべて正常状態であるとしたときの正常回路ネットリストに基づいて、正常状態の前記回路網に対して予め規定された検査内容で検査するシミュレーションを実行して正常時検査結果を求める正常時シミュレーション処理、
前記複数の回路要素のうちの少なくとも１つの回路要素を検査対象として故障状態とし、かつ残りの回路要素をすべて正常状態としたときの故障回路ネットリストに基づいて、当該故障状態の前記回路網に対して前記検査内容で検査するシミュレーションを実行して故障時検査結果を求める故障時シミュレーション処理、
および前記正常時検査結果と前記故障時検査結果とが相違しているときの前記検査内容を、前記検査対象を検査するときの前記個別検査用データとする個別検査用データ作成処理を実行する検査用データ作成装置。
【請求項２】
前記処理部は、前記正常回路ネットリストに基づいて、前記検査対象とする前記少なくとも１つの回路要素を予め規定された手順に従って変更しつつ前記故障回路ネットリストを複数作成する故障ネットリスト作成処理を実行し、当該故障ネットリスト作成処理において作成した前記故障回路ネットリストに基づいて前記故障時シミュレーション処理を実行する請求項１記載の検査用データ作成装置。
【請求項３】
前記処理部は、前記回路網に対する電圧の印加を伴う前記検査内容で検査する前記シミュレーションを前記正常時シミュレーション処理および前記故障時シミュレーション処理において実行すると共に前記個別検査用データ作成処理を実行して前記個別検査用データを作成し、当該正常時シミュレーション処理での前記正常時検査結果と当該故障時シミュレーション処理での前記故障時検査結果とが相違せずに当該個別検査用データが未作成となった前記検査対象が存在するときには、前記印加する電圧の電圧値を上昇させて前記正常時シミュレーション処理、前記故障時シミュレーション処理および前記個別検査用データ作成処理を実行する請求項１または２記載の検査用データ作成装置。
【請求項４】
前記処理部は、前記個別検査用データ作成処理において作成した前記個別検査用データについて、前記回路網における当該個別検査用データで検査される前記検査対象を除く前記回路要素のパラメータ値を当該回路要素の許容範囲内で変化させた状態において当該個別検査用データで示される前記検査内容で前記正常時シミュレーション処理および前記故障時シミュレーション処理を実行して、前記正常時検査結果と前記故障時検査結果との相違状態が維持されるかを検証する検証処理を実行する請求項１から３のいずれかに記載の検査用データ作成装置。
【請求項５】
１種類以上の検査機能を有する基板検査装置において検査対象基板の表面に配設された検査ポイントにプローブを接触させて当該検査対象基板に実装された複数の電子部品を個別に検査するための個別検査用データを作成する検査用データ作成装置であって、
前記検査対象基板についての設計データに基づいて作成されて、前記複数の電子部品のうちから検査対象とする検査対象部品を含み、かつ２つ以上の前記検査ポイントに接続された少なくとも２つ以上の前記電子部品で構成される回路網であって当該電子部品がすべて正常である正常回路網についての正常回路ネットリスト、および前記検査対象部品のみを任意の１つの故障状態で故障させた前記回路網である故障回路網についての故障回路ネットリストが記憶された記憶部と、処理部とを備え、
前記処理部は、前記正常回路網に接続される前記検査ポイントに前記プローブを接触させて前記１種類以上の検査機能で検査したときの正常時検査結果を前記正常回路ネットリストを使用して当該１種類以上の検査機能毎にシミュレーションして求める正常時シミュレーション処理、
前記故障回路網に接続される前記検査ポイントに前記プローブを接触させて前記１種類以上の検査機能で当該故障回路網を検査したときの故障時検査結果を前記故障回路ネットリストを使用して当該１種類以上の検査機能毎にシミュレーションして求める故障時シミュレーション処理、
および前記１種類以上の検査機能毎の前記正常時検査結果と当該正常時検査結果と同じ前記検査機能で検査したときの前記故障時検査結果とを比較して、当該正常時検査結果と当該故障時検査結果とが相違する当該検査機能が１種類以上存在しているときに、そのうちの１つの当該検査機能で前記検査対象部品を含む前記回路網を検査するとの検査内容を、前記検査対象部品が前記任意の１つの故障状態で故障しているか否かを検査するための前記個別検査用データとする個別検査用データ作成処理を、すべての前記検査対象部品について実行する検査用データ作成装置。
【請求項６】
前記処理部は、
前記設計データに基づいて、前記複数の電子部品のうちから前記検査対象部品を選択する部品選択処理、
前記設計データに基づいて、前記検査対象部品を含み、かつ２つ以上の前記検査ポイントに接続された少なくとも２つ以上の前記電子部品で構成される回路網を特定すると共に、当該回路網に含まれる当該電子部品がすべて正常であるときの当該回路網を前記正常回路網として当該正常回路網のネットリストを前記正常回路ネットリストとして作成する正常ネットリスト作成処理、
および前記正常回路ネットリストに基づいて、前記検査対象部品を任意の１つの故障状態で故障させたときの前記回路網を前記故障回路網として当該故障回路網のネットリストを前記故障回路ネットリストとして作成する故障ネットリスト作成処理を実行する請求項５記載の検査用データ作成装置。
【請求項７】
前記検査機能は前記回路網に対する電圧の印加を伴うものであり、
前記処理部は、前記個別検査用データ作成処理において前記正常時検査結果と前記故障時検査結果とが相違する前記検査機能が１種類も存在せずに前記個別検査用データが未作成となった前記検査対象部品については、前記印加する電圧の電圧値を上昇させて前記正常時シミュレーション処理、前記故障時シミュレーション処理および前記個別検査用データ作成処理を実行する請求項５または６記載の検査用データ作成装置。
【請求項８】
前記処理部は、前記個別検査用データ作成処理において作成した前記個別検査用データについて、前記回路網における当該個別検査用データで検査される前記検査対象部品を除く前記電子部品のパラメータ値を当該電子部品の許容範囲内で変化させた状態において当該個別検査用データで示される前記検査内容で前記正常時シミュレーション処理および前記故障時シミュレーション処理を実行して、前記正常時検査結果と前記故障時検査結果との相違状態が維持されるかを検証する検証処理を実行する請求項５から７のいずれかに記載の検査用データ作成装置。
【請求項９】
検査対象基板に形成された回路網を構成する互いに電気的に接続された複数の回路要素のうちの少なくとも１つの回路要素を当該検査対象基板の表面に配設されて当該回路網に接続された検査ポイントにプローブを接触させて検査するときの前記回路網のための個別検査用データを作成する検査用データ作成方法であって、
前記複数の回路要素をすべて正常状態であるとしたときの正常回路ネットリストに基づいて、正常状態の前記回路網に対して予め規定された検査内容で検査するシミュレーションを実行して正常時検査結果を求める正常時シミュレーション処理、
前記複数の回路要素のうちの少なくとも１つの回路要素を検査対象として故障状態とし、かつ残りの回路要素をすべて正常状態としたときの故障回路ネットリストに基づいて、当該故障状態の前記回路網に対して前記検査内容で検査するシミュレーションを実行して故障時検査結果を求める故障時シミュレーション処理、
および前記正常時検査結果と前記故障時検査結果とが相違しているときの前記検査内容を、前記検査対象を検査するときの前記個別検査用データとする個別検査用データ作成処理を実行する検査用データ作成方法。
【請求項１０】
１種類以上の検査機能を有する基板検査装置において検査対象基板の表面に配設された検査ポイントにプローブを接触させて当該検査対象基板に実装された複数の電子部品を個別に検査するための個別検査用データを作成する検査用データ作成方法であって、
記憶部には、前記検査対象基板についての設計データに基づいて作成されて、前記複数の電子部品のうちから検査対象とする検査対象部品を含み、かつ２つ以上の前記検査ポイントに接続された少なくとも２つ以上の前記電子部品で構成される回路網であって当該電子部品がすべて正常である正常回路網についての正常回路ネットリスト、および前記検査対象部品のみを任意の１つの故障状態で故障させた前記回路網である故障回路網についての故障回路ネットリストが記憶され、
前記正常回路網に接続される前記検査ポイントに前記プローブを接触させて前記１種類以上の検査機能で検査したときの正常時検査結果を前記記憶部から読み出した前記正常回路ネットリストを使用して当該１種類以上の検査機能毎にシミュレーションして求める正常時シミュレーション処理、
前記故障回路網に接続される前記検査ポイントに前記プローブを接触させて前記１種類以上の検査機能で当該故障回路網を検査したときの故障時検査結果を前記記憶部から読み出した前記故障回路ネットリストを使用して当該１種類以上の検査機能毎にシミュレーションして求める故障時シミュレーション処理、
および前記１種類以上の検査機能毎の前記正常時検査結果と当該正常時検査結果と同じ前記検査機能で検査したときの前記故障時検査結果とを比較して、当該正常時検査結果と当該故障時検査結果とが相違する当該検査機能が１種類以上存在しているときに、そのうちの１つの当該検査機能で前記検査対象部品を含む前記回路網を検査するとの検査内容を、前記検査対象部品が前記任意の１つの故障状態で故障しているか否かを検査するための前記個別検査用データとする個別検査用データ作成処理を、すべての前記検査対象部品について実行する検査用データ作成方法。
【請求項１１】
検査対象基板に形成された回路網を構成する互いに電気的に接続された複数の回路要素のうちの少なくとも１つの回路要素を当該検査対象基板の表面に配設されて当該回路網に接続された検査ポイントにプローブを接触させて検査するときの前記回路網のための個別検査用データをコンピュータに作成させるプログラムであって、
コンピュータに、前記複数の回路要素をすべて正常状態であるとしたときの正常回路ネットリストに基づいて、正常状態の前記回路網に対して予め規定された検査内容で検査するシミュレーションを実行して正常時検査結果を求める正常時シミュレーション処理、
前記複数の回路要素のうちの少なくとも１つの回路要素を検査対象として故障状態とし、かつ残りの回路要素をすべて正常状態としたときの故障回路ネットリストに基づいて、当該故障状態の前記回路網に対して前記検査内容で検査するシミュレーションを実行して故障時検査結果を求める故障時シミュレーション処理、
および前記正常時検査結果と前記故障時検査結果とが相違しているときの前記検査内容を、前記検査対象を検査するときの前記個別検査用データとする個別検査用データ作成処理を実行させるプログラム。
【請求項１２】
１種類以上の検査機能を有する基板検査装置において検査対象基板の表面に配設された検査ポイントにプローブを接触させて当該検査対象基板に実装された複数の電子部品を個別に検査するための個別検査用データをコンピュータに作成させるためのプログラムであって、
記憶部には、前記検査対象基板についての設計データに基づいて作成されて、前記複数の電子部品のうちから検査対象とする検査対象部品を含み、かつ２つ以上の前記検査ポイントに接続された少なくとも２つ以上の前記電子部品で構成される回路網であって当該電子部品がすべて正常である正常回路網についての正常回路ネットリスト、および前記検査対象部品のみを任意の１つの故障状態で故障させた前記回路網である故障回路網についての故障回路ネットリストが記憶され、
コンピュータに、前記正常回路網に接続される前記検査ポイントに前記プローブを接触させて前記１種類以上の検査機能で検査したときの正常時検査結果を前記記憶部から読み出した前記正常回路ネットリストを使用して当該１種類以上の検査機能毎にシミュレーションして求める正常時シミュレーション処理、
前記故障回路網に接続される前記検査ポイントに前記プローブを接触させて前記１種類以上の検査機能で当該故障回路網を検査したときの故障時検査結果を前記記憶部から読み出した前記故障回路ネットリストを使用して当該１種類以上の検査機能毎にシミュレーションして求める故障時シミュレーション処理、
および前記１種類以上の検査機能毎の前記正常時検査結果と当該正常時検査結果と同じ前記検査機能で検査したときの前記故障時検査結果とを比較して、当該正常時検査結果と当該故障時検査結果とが相違する当該検査機能が１種類以上存在しているときに、そのうちの１つの当該検査機能で前記検査対象部品を含む前記回路網を検査するとの検査内容を、前記検査対象部品が前記任意の１つの故障状態で故障しているか否かを検査するための前記個別検査用データとする個別検査用データ作成処理を、すべての前記検査対象部品について実行させるプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象基板に形成された回路網を構成する複数の電子部品等の回路要素を検査するための個別検査用データを作成する検査用データ作成装置、検査用データ作成方法およびプログラムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の検査用データ作成装置として、本願出願人は、下記の特許文献１に開示された検査用データ作成装置を既に提案している。この検査用データ作成装置は、電子部品が搭載された回路基板の導体パターン上に設けられている検査ポイントにおいて測定した電子部品についての電気的パラメータの測定値とこの電気的パラメータの基準値とに基づいて回路基板の検査を行う基板検査装置のための検査用データ（この測定の対象とする検査ポイントを指定する情報およびこの基準値を示す情報を含む検査用データ）を作成する検査用データ作成装置であり、導体パターンに関する情報および電子部品に関する情報を含んで回路基板の回路構成を示す回路設計データを記憶する記憶部と、回路設計データに基づいて回路基板の動作をシミュレートするシミュレーション処理を実行する処理部とを備え、処理部は、回路設計データに基づいてシミュレーション処理を実行して、検査用データを作成する。この場合、検査ポイントは、すべての電子部品の両端部に設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−２１３７８７号公報（第４−８頁、第１−２図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記の検査用データ作成装置には、以下のような改善すべき課題が存在している。すなわち、この検査用データ作成装置では、上記したように、測定の対象とする電子部品の両端に検査ポイントが設けられている必要がある。しかしながら、例えば、回路基板に内蔵されている電子部品が存在する場合や、端子に接続されている導体パターンが回路基板の表面に形成されていない電子部品が存在する場合には、これらの電子部品については両端に検査ポイントを設けることができないことから、これらの電子部品についての検査用データを作成することができない（その結果、検査カバー率が低下する）という改善すべき課題が存在している。
【０００５】
本発明は、かかる課題を改善するためになされたものであり、両端に検査ポイントが設定されていない電子部品などの回路要素を含む回路網についての個別検査用データの自動的な作成率を高め得る検査用データ作成装置、検査用データ作成方法およびプログラムを提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の検査用データ作成装置は、検査対象基板に形成された回路網を構成する互いに電気的に接続された複数の回路要素のうちの少なくとも１つの回路要素を当該検査対象基板の表面に配設されて当該回路網に接続された検査ポイントにプローブを接触させて検査するときの前記回路網のための個別検査用データを作成する処理部を備えている検査用データ作成装置であって、前記処理部は、前記複数の回路要素をすべて正常状態であるとしたときの正常回路ネットリストに基づいて、正常状態の前記回路網に対して予め規定された検査内容で検査するシミュレーションを実行して正常時検査結果を求める正常時シミュレーション処理、前記複数の回路要素のうちの少なくとも１つの回路要素を検査対象として故障状態とし、かつ残りの回路要素をすべて正常状態としたときの故障回路ネットリストに基づいて、当該故障状態の前記回路網に対して前記検査内容で検査するシミュレーションを実行して故障時検査結果を求める故障時シミュレーション処理、および前記正常時検査結果と前記故障時検査結果とが相違しているときの前記検査内容を、前記検査対象を検査するときの前記個別検査用データとする個別検査用データ作成処理を実行する。
【０００７】
請求項２記載の検査用データ作成装置は、請求項１記載の検査用データ作成装置において、前記処理部は、前記正常回路ネットリストに基づいて、前記検査対象とする前記少なくとも１つの回路要素を予め規定された手順に従って変更しつつ前記故障回路ネットリストを複数作成する故障ネットリスト作成処理を実行し、当該故障ネットリスト作成処理において作成した前記故障回路ネットリストに基づいて前記故障時シミュレーション処理を実行する。
【０００８】
請求項３記載の検査用データ作成装置は、請求項１または２記載の検査用データ作成装置において、前記処理部は、前記回路網に対する電圧の印加を伴う前記検査内容で検査する前記シミュレーションを前記正常時シミュレーション処理および前記故障時シミュレーション処理において実行すると共に前記個別検査用データ作成処理を実行して前記個別検査用データを作成し、当該正常時シミュレーション処理での前記正常時検査結果と当該故障時シミュレーション処理での前記故障時検査結果とが相違せずに当該個別検査用データが未作成となった前記検査対象が存在するときには、前記印加する電圧の電圧値を上昇させて前記正常時シミュレーション処理、前記故障時シミュレーション処理および前記個別検査用データ作成処理を実行する。
【０００９】
請求項４記載の検査用データ作成装置は、請求項１から３のいずれかに記載の検査用データ作成装置において、前記処理部は、前記個別検査用データ作成処理において作成した前記個別検査用データについて、前記回路網における当該個別検査用データで検査される前記検査対象を除く前記回路要素のパラメータ値を当該回路要素の許容範囲内で変化させた状態において当該個別検査用データで示される前記検査内容で前記正常時シミュレーション処理および前記故障時シミュレーション処理を実行して、前記正常時検査結果と前記故障時検査結果との相違状態が維持されるかを検証する検証処理を実行する。
【００１０】
請求項５記載の検査用データ作成装置は、１種類以上の検査機能を有する基板検査装置において検査対象基板の表面に配設された検査ポイントにプローブを接触させて当該検査対象基板に実装された複数の電子部品を個別に検査するための個別検査用データを作成する検査用データ作成装置であって、前記検査対象基板についての設計データに基づいて作成されて、前記複数の電子部品のうちから検査対象とする検査対象部品を含み、かつ２つ以上の前記検査ポイントに接続された少なくとも２つ以上の前記電子部品で構成される回路網であって当該電子部品がすべて正常である正常回路網についての正常回路ネットリスト、および前記検査対象部品のみを任意の１つの故障状態で故障させた前記回路網である故障回路網についての故障回路ネットリストが記憶された記憶部と、処理部とを備え、前記処理部は、前記正常回路網に接続される前記検査ポイントに前記プローブを接触させて前記１種類以上の検査機能で検査したときの正常時検査結果を前記正常回路ネットリストを使用して当該１種類以上の検査機能毎にシミュレーションして求める正常時シミュレーション処理、前記故障回路網に接続される前記検査ポイントに前記プローブを接触させて前記１種類以上の検査機能で当該故障回路網を検査したときの故障時検査結果を前記故障回路ネットリストを使用して当該１種類以上の検査機能毎にシミュレーションして求める故障時シミュレーション処理、および前記１種類以上の検査機能毎の前記正常時検査結果と当該正常時検査結果と同じ前記検査機能で検査したときの前記故障時検査結果とを比較して、当該正常時検査結果と当該故障時検査結果とが相違する当該検査機能が１種類以上存在しているときに、そのうちの１つの当該検査機能で前記検査対象部品を含む前記回路網を検査するとの検査内容を、前記検査対象部品が前記任意の１つの故障状態で故障しているか否かを検査するための前記個別検査用データとする個別検査用データ作成処理を、すべての前記検査対象部品について実行する。
【００１１】
請求項６記載の検査用データ作成装置は、請求項５記載の検査用データ作成装置において、前記処理部は、前記設計データに基づいて、前記複数の電子部品のうちから前記検査対象部品を選択する部品選択処理、前記設計データに基づいて、前記検査対象部品を含み、かつ２つ以上の前記検査ポイントに接続された少なくとも２つ以上の前記電子部品で構成される回路網を特定すると共に、当該回路網に含まれる当該電子部品がすべて正常であるときの当該回路網を前記正常回路網として当該正常回路網のネットリストを前記正常回路ネットリストとして作成する正常ネットリスト作成処理、および前記正常回路ネットリストに基づいて、前記検査対象部品を任意の１つの故障状態で故障させたときの前記回路網を前記故障回路網として当該故障回路網のネットリストを前記故障回路ネットリストとして作成する故障ネットリスト作成処理を実行する。
【００１２】
請求項７記載の検査用データ作成装置は、請求項５または６記載の検査用データ作成装置において、前記検査機能は前記回路網に対する電圧の印加を伴うものであり、前記処理部は、前記個別検査用データ作成処理において前記正常時検査結果と前記故障時検査結果とが相違する前記検査機能が１種類も存在せずに前記個別検査用データが未作成となった前記検査対象部品については、前記印加する電圧の電圧値を上昇させて前記正常時シミュレーション処理、前記故障時シミュレーション処理および前記個別検査用データ作成処理を実行する。
【００１３】
請求項８記載の検査用データ作成装置は、請求項５から７のいずれかに記載の検査用データ作成装置において、前記処理部は、前記個別検査用データ作成処理において作成した前記個別検査用データについて、前記回路網における当該個別検査用データで検査される前記検査対象部品を除く前記電子部品のパラメータ値を当該電子部品の許容範囲内で変化させた状態において当該個別検査用データで示される前記検査内容で前記正常時シミュレーション処理および前記故障時シミュレーション処理を実行して、前記正常時検査結果と前記故障時検査結果との相違状態が維持されるかを検証する検証処理を実行する。
【００１４】
請求項９記載の検査用データ作成方法は、検査対象基板に形成された回路網を構成する互いに電気的に接続された複数の回路要素のうちの少なくとも１つの回路要素を当該検査対象基板の表面に配設されて当該回路網に接続された検査ポイントにプローブを接触させて検査するときの前記回路網のための個別検査用データを作成する検査用データ作成方法であって、前記複数の回路要素をすべて正常状態であるとしたときの正常回路ネットリストに基づいて、正常状態の前記回路網に対して予め規定された検査内容で検査するシミュレーションを実行して正常時検査結果を求める正常時シミュレーション処理、前記複数の回路要素のうちの少なくとも１つの回路要素を検査対象として故障状態とし、かつ残りの回路要素をすべて正常状態としたときの故障回路ネットリストに基づいて、当該故障状態の前記回路網に対して前記検査内容で検査するシミュレーションを実行して故障時検査結果を求める故障時シミュレーション処理、および前記正常時検査結果と前記故障時検査結果とが相違しているときの前記検査内容を、前記検査対象を検査するときの前記個別検査用データとする個別検査用データ作成処理を実行する。
【００１５】
請求項１０記載の検査用データ作成方法は、１種類以上の検査機能を有する基板検査装置において検査対象基板の表面に配設された検査ポイントにプローブを接触させて当該検査対象基板に実装された複数の電子部品を個別に検査するための個別検査用データを作成する検査用データ作成方法であって、記憶部には、前記検査対象基板についての設計データに基づいて作成されて、前記複数の電子部品のうちから検査対象とする検査対象部品を含み、かつ２つ以上の前記検査ポイントに接続された少なくとも２つ以上の前記電子部品で構成される回路網であって当該電子部品がすべて正常である正常回路網についての正常回路ネットリスト、および前記検査対象部品のみを任意の１つの故障状態で故障させた前記回路網である故障回路網についての故障回路ネットリストが記憶され、前記正常回路網に接続される前記検査ポイントに前記プローブを接触させて前記１種類以上の検査機能で検査したときの正常時検査結果を前記記憶部から読み出した前記正常回路ネットリストを使用して当該１種類以上の検査機能毎にシミュレーションして求める正常時シミュレーション処理、前記故障回路網に接続される前記検査ポイントに前記プローブを接触させて前記１種類以上の検査機能で当該故障回路網を検査したときの故障時検査結果を前記記憶部から読み出した前記故障回路ネットリストを使用して当該１種類以上の検査機能毎にシミュレーションして求める故障時シミュレーション処理、および前記１種類以上の検査機能毎の前記正常時検査結果と当該正常時検査結果と同じ前記検査機能で検査したときの前記故障時検査結果とを比較して、当該正常時検査結果と当該故障時検査結果とが相違する当該検査機能が１種類以上存在しているときに、そのうちの１つの当該検査機能で前記検査対象部品を含む前記回路網を検査するとの検査内容を、前記検査対象部品が前記任意の１つの故障状態で故障しているか否かを検査するための前記個別検査用データとする個別検査用データ作成処理を、すべての前記検査対象部品について実行する。
【００１６】
請求項１１記載のプログラムは、検査対象基板に形成された回路網を構成する互いに電気的に接続された複数の回路要素のうちの少なくとも１つの回路要素を当該検査対象基板の表面に配設されて当該回路網に接続された検査ポイントにプローブを接触させて検査するときの前記回路網のための個別検査用データをコンピュータに作成させるプログラムであって、コンピュータに、前記複数の回路要素をすべて正常状態であるとしたときの正常回路ネットリストに基づいて、正常状態の前記回路網に対して予め規定された検査内容で検査するシミュレーションを実行して正常時検査結果を求める正常時シミュレーション処理、前記複数の回路要素のうちの少なくとも１つの回路要素を検査対象として故障状態とし、かつ残りの回路要素をすべて正常状態としたときの故障回路ネットリストに基づいて、当該故障状態の前記回路網に対して前記検査内容で検査するシミュレーションを実行して故障時検査結果を求める故障時シミュレーション処理、および前記正常時検査結果と前記故障時検査結果とが相違しているときの前記検査内容を、前記検査対象を検査するときの前記個別検査用データとする個別検査用データ作成処理を実行させる。
【００１７】
請求項１２記載のプログラムは、１種類以上の検査機能を有する基板検査装置において検査対象基板の表面に配設された検査ポイントにプローブを接触させて当該検査対象基板に実装された複数の電子部品を個別に検査するための個別検査用データをコンピュータに作成させるためのプログラムであって、記憶部には、前記検査対象基板についての設計データに基づいて作成されて、前記複数の電子部品のうちから検査対象とする検査対象部品を含み、かつ２つ以上の前記検査ポイントに接続された少なくとも２つ以上の前記電子部品で構成される回路網であって当該電子部品がすべて正常である正常回路網についての正常回路ネットリスト、および前記検査対象部品のみを任意の１つの故障状態で故障させた前記回路網である故障回路網についての故障回路ネットリストが記憶され、コンピュータに、前記正常回路網に接続される前記検査ポイントに前記プローブを接触させて前記１種類以上の検査機能で検査したときの正常時検査結果を前記記憶部から読み出した前記正常回路ネットリストを使用して当該１種類以上の検査機能毎にシミュレーションして求める正常時シミュレーション処理、前記故障回路網に接続される前記検査ポイントに前記プローブを接触させて前記１種類以上の検査機能で当該故障回路網を検査したときの故障時検査結果を前記記憶部から読み出した前記故障回路ネットリストを使用して当該１種類以上の検査機能毎にシミュレーションして求める故障時シミュレーション処理、および前記１種類以上の検査機能毎の前記正常時検査結果と当該正常時検査結果と同じ前記検査機能で検査したときの前記故障時検査結果とを比較して、当該正常時検査結果と当該故障時検査結果とが相違する当該検査機能が１種類以上存在しているときに、そのうちの１つの当該検査機能で前記検査対象部品を含む前記回路網を検査するとの検査内容を、前記検査対象部品が前記任意の１つの故障状態で故障しているか否かを検査するための前記個別検査用データとする個別検査用データ作成処理を、すべての前記検査対象部品について実行させる。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１記載の検査用データ作成装置、請求項９記載の検査用データ作成方法および請求項１１記載のプログラムでは、取得した正常回路ネットリストおよび故障回路ネットリストに基づいて、正常時シミュレーション処理、故障時シミュレーション処理および個別検査用データ作成処理を実行して、予め規定された検査内容（例えば、基板検査装置が有する検査機能）の正常時検査結果とこの正常時検査結果と同じ検査内容で検査したときの故障時検査結果（検査対象を故障させた故障状態の回路網を使用したシミュレーションでの検査結果）とが相違するときに、この検査内容を、この検査対象が故障しているか否かを検査するための個別検査用データとする。
【００１９】
したがって、この検査用データ作成装置、検査用データ作成方法およびプログラムによれば、検査対象基板に内蔵されているなどの理由により、その両端に検査ポイントが設定されていない回路要素の個別検査用データについても、自動的な作成率を十分に高めることができる。このため、この個別検査用データに基づく検査対象基板についての検査カバー率を十分に向上させることができる。
【００２０】
請求項２記載の検査用データ作成装置によれば、正常回路ネットリストに基づいて故障回路ネットリストを作成する故障ネットリスト作成処理を実行するため、正常回路ネットリストを取得するだけで、個別検査用データの自動的な作成率を十分に高めることができ、これにより、この個別検査用データに基づく検査対象基板についての検査カバー率を十分に向上させることができる。
【００２１】
請求項３，７記載の検査用データ作成装置では、個別検査用データが未作成となった検査対象が存在するときには、この検査対象（検査対象部品）について、印加する電圧の電圧値を上昇させて正常時シミュレーション処理、故障時シミュレーション処理および個別検査用データ作成処理を実行して個別検査用データを作成する。つまり、個別検査用データを作成する際に、印加する電圧の電圧値を順次上昇させつつ、個別検査用データを作成する処理を、より低い電圧値において個別検査用データを作成済みの回路要素については、その後のより高い電圧値の電圧の印加時には検査対象から除外しつつ実行する。
【００２２】
したがって、この検査用データ作成装置によれば、すべての電圧値で電圧を印加するシミュレーションをすべての検査対象（検査対象部品）に対して実行する場合のシミュレーションの計算量よりも、シミュレーションの計算量を十分に低減させつつ、より安全な検査（低い電圧値の電圧の印加での検査で済む場合には、高い電圧値での検査を省略できるという点で、より安全な検査）を基板検査装置に対して実行させ得る個別検査用データを作成することができる。
【００２３】
請求項４，８記載の検査用データ作成装置によれば、検証処理の結果、正常時検査結果と故障時検査結果との相違状態が維持される個別検査用データについては残し、相違状態が維持されない個別検査用データについては削除することができるため、個別検査用データを基板検査装置で使用して実際の検査対象基板に形成された回路網を構成する回路要素の検査を実行した場合での不具合（シミュレーションでは検出できていた回路要素（検査対象部品）の故障が検査できないとの不具合）の発生を大幅に低減できる。つまり、個別検査用データの信頼性を大幅に向上させることができる。
【００２４】
請求項５記載の検査用データ作成装置、請求項１０記載の検査用データ作成方法および請求項１２記載のプログラムでは、取得した正常回路ネットリストおよび故障回路ネットリストに基づいて、正常時シミュレーション処理、故障時シミュレーション処理および個別検査用データ作成処理を実行して、基板検査装置が有する検査機能毎の正常時検査結果とこの正常時検査結果と同じ検査機能で検査したときの故障時検査結果（任意の１つの故障状態で検査対象部品を故障させたときの故障回路網を使用したシミュレーションでの検査結果）とが相違する検査機能が１種類以上存在しているときに、そのうちの１つの検査機能で検査対象部品を含む回路網を検査するとの検査内容を、検査対象部品が上記の任意の１つの故障状態で故障しているか否かを検査するための検査用データとする。
【００２５】
したがって、この検査用データ作成装置、検査用データ作成方法およびプログラムによれば、検査対象基板に内蔵されているなどの理由により、その両端に検査ポイントが設定されていない電子部品の個別検査用データについても、自動的な作成率を十分に高めることができる。このため、この個別検査用データに基づく検査対象基板についての検査カバー率を十分に向上させることができる。
【００２６】
また、請求項６記載の検査用データ作成装置によれば、設計データに基づいて検査対象部品の選択から正常回路ネットリストおよび故障ネットリストの作成までを実行するため、設計データを取得するだけで、個別検査用データの自動的な作成率を十分に高めることができ、これにより、この個別検査用データに基づく検査対象基板についての検査カバー率を十分に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】検査用データ作成装置１の構成図である。
【図２】回路基板７１の接続図である。
【図３】検査対象部品ｏｂについての検査機能ｆｃ毎のシミュレーション結果を示す結果図である。
【図４】検査用データ作成装置１の動作（検査用データ作成方法）を説明するための検査用データ作成処理８０についてのフローチャートである。
【図５】検査用データ作成方法の基本概念を説明するための説明図である。
【図６】検査用データ作成装置１の動作（他の検査用データ作成方法）を説明するための検査用データ作成処理９０についてのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、検査用データ作成装置、検査用データ作成方法およびプログラムの実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００２９】
最初に、検査用データ作成方法の基本概念について、図面を参照して説明する。
【００３０】
この検査用データ作成方法は、検査対象基板に形成された回路網（例えば図２に示すような回路網）を構成する互いに電気的に接続された複数の回路要素（例えば図２に示されている抵抗、コンデンサおよびダイオードのように、導体パターンを介して互いに電気的に接続された回路要素）のうちの少なくとも１つの回路要素を、この検査対象基板の表面に配設されてこの回路網に接続された検査ポイント（例えば図２に示されている検査ポイントＴＰ１〜ＴＰ４）に基板検査装置のプローブを接触させてこの基板検査装置で検査するときのこの回路網のための個別検査用データ（この基板検査装置で使用されるデータ）をシミュレーションだけで作成する。
【００３１】
ここで、この基板検査装置は、回路網を検査するための１または２以上の検査機能を有して、各検査機能に対応して、プローブのうちの任意のプローブを出力プローブとして機能させることで検査のための電気信号（電圧や電流）をこの出力プローブを介して検査ポイントに出力する機能、およびプローブのうちの他の任意のプローブを入力プローブとして機能させることで上記の電気信号の回路網への出力に起因して検査ポイントに発生する電気信号をこの入力プローブを介して入力する機能を備えている。また、シミュレーションにおいて、各検査機能のうちのどの検査機能を使用し、この検査機能に対応して各プローブのうちのどれを出力プローブおよび入力プローブとして機能させ、かつこのように機能させる出力プローブおよび入力プローブをどの検査ポイントに接触させるのかといった検査に関する内容を検査内容（検査条件）というものとする。
【００３２】
この検査用データ作成方法の基本的な考え方は、１つの検査内容でのシミュレーション（検査シミュレーション）を、回路網を構成するすべての回路要素が正常（回路要素のパラメータ値がカタログなどの仕様書に記載の公称値である状態）であるこの回路網（正常回路網ともいう）と、この回路網を構成する回路要素のうちの特定の回路要素のみが故障している状態のこの回路網（故障回路網ともいう）の双方に対して、正常回路網については正常回路ネットリストを使用し、また故障回路網については故障回路ネットリストを使用して実行し、正常回路網に対するシミュレーションで得られるシミュレーション結果（正常時検査結果）と、故障回路網に対するシミュレーションで得られるシミュレーション結果（故障時検査結果）とが相違しているときには、この特定の回路要素が正常であるか故障しているかをシミュレーションで検査する際の個別検査用データとしてこの１つの検査内容を使用することができる、という論理に基づいている。
【００３３】
この検査用データ作成方法について、例を挙げて具体的に説明する。この一例として、ある回路網に含まれている複数の回路要素のうちの互いに異なる３つの回路要素Ａ，Ｂ，Ｃのそれぞれについて正常であるか故障しているかをシミュレーションで検査する際に使用する個別検査用データ（つまり、回路要素Ａの検査の際に使用する個別検査用データ、回路要素Ｂの検査の際に使用する個別検査用データ、および回路要素Ｃの検査の際に使用する個別検査用データ）を、互いに相違する３つの検査内容１，２，３のうちのいずれかから決定する例を挙げて説明する。なお、この回路網に含まれている複数の回路要素のすべてが正常な正常回路網Ｎ０の正常回路ネットリストＮＥｎｏについては既知であるものとする。
【００３４】
まず、正常回路ネットリストＮＥｎｏに基づいて、回路要素Ａのみが故障している故障回路網Ｎａの故障回路ネットリストＮＥａｂＡ、回路要素Ｂのみが故障している故障回路網Ｎｂの故障回路ネットリストＮＥａｂＢ、および回路要素Ｃのみが故障している故障回路網Ｎｃの故障回路ネットリストＮＥａｂＣを作成する。
【００３５】
次いで、検査内容１でのシミュレーションを、正常回路網Ｎ０に対して正常回路ネットリストＮＥｎｏを使用して実行して、そのシミュレーション結果（正常回路網Ｎ０についての検査内容１での結果（正常時検査結果ＲＥｎｏ１））を取得する。同様にして検査内容１でのシミュレーションを、故障回路網Ｎａに対して故障回路ネットリストＮＥａｂＡを使用して実行して、そのシミュレーション結果（故障回路網Ｎａについての検査内容１での結果（故障時検査結果ＲＥａｂＡ１））を取得し、故障回路網Ｎｂに対して故障回路ネットリストＮＥａｂＢを使用して実行して、そのシミュレーション結果（故障回路網Ｎｂについての検査内容１での結果（故障時検査結果ＲＥａｂＢ１））を取得し、故障回路網Ｎｃに対して故障回路ネットリストＮＥａｂＣを使用して実行して、そのシミュレーション結果（故障回路網Ｎｃについての検査内容１での結果（故障時検査結果ＲＥａｂＣ１））を取得する。
【００３６】
続いて、検査内容２でのシミュレーションについても、上記した検査内容１でのシミュレーションのときと同様に実行して、正常回路網Ｎ０についての検査内容２での結果（正常時検査結果ＲＥｎｏ２）、故障回路網Ｎａについての検査内容２での結果（故障時検査結果ＲＥａｂＡ２）、故障回路網Ｎｂについての検査内容２での結果（故障時検査結果ＲＥａｂＢ２）、および故障回路網Ｎｃについての検査内容２での結果（故障時検査結果ＲＥａｂＣ２）を取得する。また、検査内容３でのシミュレーションについても、上記した検査内容１，２でのシミュレーションのときと同様に実行して、正常回路網Ｎ０についての検査内容３での結果（正常時検査結果ＲＥｎｏ３）、故障回路網Ｎａについての検査内容３での結果（故障時検査結果ＲＥａｂＡ３）、故障回路網Ｎｂについての検査内容３での結果（故障時検査結果ＲＥａｂＢ３）、および故障回路網Ｎｃについての検査内容３での結果（故障時検査結果ＲＥａｂＣ３）を取得する。
【００３７】
これにより、図５に示すような各検査内容１，２，３でのシミュレーション結果、つまり、正常回路網Ｎ０についての各正常時検査結果ＲＥｎｏ１，ＲＥｎｏ２，ＲＥｎｏ３（以下、特に区別しないときには「正常時検査結果ＲＥｎｏ」ともいう）、故障回路網Ｎａについての各故障時検査結果ＲＥａｂＡ１，故障時検査結果ＲＥａｂＡ２，故障時検査結果ＲＥａｂＡ３（以下、特に区別しないときには「故障時検査結果ＲＥａｂＡ」ともいう）、故障回路網Ｎｂについての各故障時検査結果ＲＥａｂＢ１，故障時検査結果ＲＥａｂＢ２，故障時検査結果ＲＥａｂＢ３（以下、特に区別しないときには「故障時検査結果ＲＥａｂＢ」ともいう）、および故障回路網Ｎｃについての各故障時検査結果ＲＥａｂＣ１，故障時検査結果ＲＥａｂＣ２，故障時検査結果ＲＥａｂＣ３（以下、特に区別しないときには「故障時検査結果ＲＥａｂＣ」ともいう）が得られる。
【００３８】
次いで、検査内容１，２，３毎に、正常時検査結果ＲＥｎｏと各故障時検査結果ＲＥａｂＡ，ＲＥａｂＢ，ＲＥａｂＣ（以下、特に区別しないときには「故障時検査結果ＲＥａｂ」ともいう）とを比較して、正常時検査結果ＲＥｎｏと相違している故障時検査結果ＲＥａｂが１つだけ存在しているか否かを判別する。
【００３９】
この判別の結果、図５に示すように、検査内容１でのシミュレーション結果では、□マークを付した故障時検査結果ＲＥａｂＢ１のみが正常時検査結果ＲＥｎｏ１と相違し、検査内容２でのシミュレーション結果では、□マークを付した故障時検査結果ＲＥａｂＣ２のみが正常時検査結果ＲＥｎｏ２と相違し、検査内容３でのシミュレーション結果では、□マークを付した故障時検査結果ＲＥａｂＡ３のみが正常時検査結果ＲＥｎｏ３と相違している状態となったとする。
【００４０】
この場合には、検査内容１でのシミュレーションにより、回路要素Ｂのみが故障している状態を検出することができることから、この回路要素Ｂが正常であるか故障しているかをシミュレーションで検査する際の個別検査用データとしてこの検査内容１を使用することとする。同様にして、検査内容２でのシミュレーションにより、回路要素Ｃのみが故障している状態を検出することができることから、この回路要素Ｃが正常であるか故障しているかをシミュレーションで検査する際の個別検査用データとしてこの検査内容２を使用することとし、検査内容３でのシミュレーションにより、回路要素Ａのみが故障している状態を検出することができることから、この回路要素Ａが正常であるか故障しているかをシミュレーションで検査する際の個別検査用データとしてこの検査内容３を使用することとする。
【００４１】
次に、上記のような基本概念の検査用データ作成方法を実行する検査用データ作成装置の構成について、図面を参照して説明する。
【００４２】
図１に示す検査用データ作成装置としての検査用データ作成装置１は、一例として、入力部２、処理部３、記憶部４および出力部５を備え、入力部２から入力される設計データ（検査対象基板となる回路基板についての設計データ）Ｄｄｅ、およびこの回路基板に対する検査を実行する基板検査装置の仕様データＤｓｐに基づいて、この回路基板を検査する際にこの基板検査装置で使用される検査用データＤｔｅを自動的に作成可能に構成されている。
【００４３】
本例の設計データＤｄｅには、検査用データ作成装置の検査対象となる回路基板（検査対象基板）に実装されるすべての電子部品の仕様を示す情報、導体パターンの形状を示す情報、導体パターンにおけるすべての電子部品の実装位置を示す情報、および回路基板の表面に位置する導体パターンに設けられた検査ポイントの位置を示す情報などが含まれている。仕様データＤｓｐには、検査対象基板に対する検査を実行する基板検査装置が有する検査機能ｆｃ（例えば、一対の検査ポイント間のインピーダンスまたは抵抗値（本例では一例としてインピーダンス）を測定して検査するインピーダンス検査機能、一対の検査ポイント間に電圧を印加すると共にこの電圧の印加時に他の一対の検査ポイント間に生じる電圧を測定して検査する電圧検査機能、および一対の検査ポイント間に電圧を印加すると共にこの電圧の印加時にこの一対の検査ポイント間に流れる電流を測定して検査する電流検査機能など）を示す情報が含まれている。
【００４４】
入力部２は、一例として、外部インターフェース回路を備えて構成されて、外部装置から送信された設計データＤｄｅおよび仕様データＤｓｐを受信して、処理部３に出力する。
【００４５】
処理部３は、一例として、コンピュータで構成されて、記憶部４に記憶されている動作プログラムを読み出して実行することにより、入力部２から出力される設計データＤｄｅおよび仕様データＤｓｐを入力して記憶部４に記憶させる記憶処理、記憶部４に記憶されている設計データＤｄｅおよび仕様データＤｓｐに基づいて検査用データＤｔｅを作成する後述の検査用データ作成処理８０、並びに作成した検査用データＤｔｅを出力部５に出力する出力処理を実行する。
【００４６】
記憶部４は、一例として、ＨＤＤ（Hard Disk Drive ）や、ＲＡＭなどの半導体メモリなどで構成されている。また、記憶部４には、処理部３の動作プログラム（処理部３に検査用データ作成処理８０を実行させるためのプログラムを含む）が予め記憶されると共に、設計データＤｄｅ、仕様データＤｓｐおよび検査用データＤｔｅなどが記憶される。出力部５は、一例として、外部インターフェース回路を備えて構成されて、処理部３から出力される検査用データＤｔｅを入力すると共に、外部インターフェース回路に接続されている外部装置にこの検査用データＤｔｅを出力する。
【００４７】
次いで、検査用データ作成装置１による検査用データＤｔｅの作成動作について、検査用データ作成方法と併せて説明する。
【００４８】
まず、処理部３は、外部装置から出力された設計データＤｄｅおよび仕様データＤｓｐを入力部２を経由して入力すると共に、記憶部４に記憶させる。本例では一例として、図２に示すような電気回路が形成された回路基板７１についての設計データＤｄｅが入力されるものとする。この電気回路は、回路網の一例であって、同図に示すように、回路要素としての５個の抵抗７２，７５，７６，７７，７８、１個のコンデンサ７３および１個のダイオード７４の各電子部品を検査対象部品ｏｂとして含み、これら各電子部品が回路要素としての導体パターンによって互いに電気的に接続されているものとする。また、この電気回路では、破線で囲まれた電子部品（一例としてダイオード７４および抵抗７５）が回路基板７１に内蔵されているが、内蔵されている電子部品の両端には検査ポイントを直接接続することができない。このため、この回路基板７１では、同図に示すように、内蔵されている電子部品以外の電子部品の端部に４個の検査ポイントＴＰ１〜ＴＰ４（以下、特に区別しないときには検査ポイントＴＰともいう）が接続されている。また、この回路基板７１を検査する基板検査装置はインピーダンス検査機能ｆｃ１および電流検査機能ｆｃ２の２つの検査機能ｆｃを備えていることを示す基板検査装置についての仕様データＤｓｐが入力されるものとする。
【００４９】
次いで、処理部３は、図４に示す検査用データ作成処理８０を実行して、検査用データＤｔｅを作成する。
【００５０】
この検査用データ作成処理８０では、処理部３は、まず、部品選択処理を実行する（ステップ８１）。この部品選択処理では、処理部３は、記憶部４に記憶されている設計データＤｄｅに基づいて、回路基板７１に実装される電子部品のうちの検査対象とする検査対象部品ｏｂを選択する。本例の検査用データ作成処理８０では、一例として、基板検査装置において回路基板７１に実装される電子部品を１つずつ個別に検査可能な検査用データＤｔｅを作成する。このため、この部品選択処理では、処理部３は、検査対象とする検査対象部品ｏｂを１つ選択する。本例では処理部３は、まず、抵抗７２を選択する。
【００５１】
次いで、処理部３は、正常ネットリスト作成処理を実行する（ステップ８２）。この正常ネットリスト作成処理では、処理部３は、ステップ８１において選択した電子部品（検査対象部品ｏｂ）を含み、かつ２以上の検査ポイントＴＰに接続された回路網を特定する。また、この特定した回路網（以下、特定回路網ともいう）に含まれる電子部品がすべて正常であるときの回路網を正常回路網として、この正常回路網のネットリストを正常回路ネットリストＮＥｎｏとして作成すると共に、検査対象部品ｏｂに対応させて記憶部４に記憶させる。この場合、正常回路ネットリストＮＥｎｏには、検査対象部品ｏｂを検査する際に使用する検査ポイントＴＰの情報（例えば、番号名）が含まれている。
【００５２】
抵抗７２を検査対象部品ｏｂとして選択したときには、処理部３は、一例として、２つの検査ポイントＴＰ１，ＴＰ２に接続された回路網（抵抗７２とコンデンサ７３の直列回路）を特定する。また、処理部３は、この特定回路網に含まれる電子部品がすべて正常であるとき（断線も短絡もしておらず、かつ定数も正常の範囲内のとき）の回路網を正常回路網として、この正常回路網のネットリストを正常回路ネットリストＮＥｎｏとして作成する。この正常回路ネットリストＮＥｎｏは、例えば、リスト番号１００［検査ポイントＴＰ１，抵抗７２−１］、リスト番号１０１［抵抗７２−２，コンデンサ７３−１］、リスト番号１０２［コンデンサ７３−２，検査ポイントＴＰ２］のように作成される。「−１」および「−２」の記号は、この記号と共に記載された電子部品の「一端」および「他端」を示すものである。また、リスト番号については図２参照。
【００５３】
なお、抵抗７２を含む回路網としては、上記した回路網以外に、抵抗７２、コンデンサ７３および抵抗７８の直列回路で構成されて検査ポイントＴＰ１，ＴＰ４に接続された回路網や、抵抗７２、ダイオード７４および抵抗７５〜７７で構成されて２つの検査ポイントＴＰ１，ＴＰ３に接続された回路網など、種々の回路網を特定することが可能であるが、抵抗７２に対する検査の精度をより高めるためには、抵抗７２以外の電子部品の数がより少ない回路網が好ましい。
【００５４】
続いて、処理部３は、故障ネットリスト作成処理を実行する（ステップ８３）。この故障ネットリスト作成処理では、処理部３は、ステップ８２において作成した正常回路ネットリストＮＥｎｏに基づいて、検査対象部品ｏｂを１または２以上の故障状態のうちの任意の１つの故障状態で故障させたときの回路網を故障回路網として、この故障回路網のネットリストを故障回路ネットリストＮＥａｂとして作成すると共に、検査対象部品ｏｂに対応させて記憶部４に記憶させる。この場合、故障回路ネットリストＮＥａｂにも、検査対象部品ｏｂを検査する際に使用する検査ポイントＴＰの情報が含まれている。なお、本例では、発明の理解を容易にするため、電子部品についての上記の故障状態としては、断線および短絡のいずれかの故障であり、定数間違いの故障はないものとする。
【００５５】
このため、処理部３は、故障回路ネットリストＮＥａｂとして、検査対象部品ｏｂである抵抗７２が断線故障しているときの故障回路ネットリストＮＥａｂｏ（リスト番号２００ａ［検査ポイントＴＰ１］、リスト番号２０１ａ［コンデンサ７３−２，検査ポイントＴＰ２］）と、検査対象部品ｏｂである抵抗７２が短絡故障しているときの故障回路ネットリストＮＥａｂｓ（リスト番号２００ｂ［検査ポイントＴＰ１，コンデンサ７３−１］、リスト番号２０１ｂ［コンデンサ７３−２，検査ポイントＴＰ２］）とを作成する。以下、故障回路ネットリストＮＥａｂｏおよび故障回路ネットリストＮＥａｂｓをまとめて、故障回路ネットリストＮＥａｂという。
【００５６】
次いで、処理部３は、正常時シミュレーション処理を実行する（ステップ８４）。この正常時シミュレーション処理では、処理部３は、ステップ８２において作成した正常回路網に対して、基板検査装置においてこの正常回路網に接続されている検査ポイントＴＰにプローブを接触させて１または２以上の検査機能ｆｃで検査したときの正常時検査結果ＲＥｎｏを、正常回路ネットリストＮＥｎｏを使用して検査機能ｆｃ毎にシミュレーションして求めて記憶部４に記憶させる。この場合、シミュレーションして求めた正常時検査結果に対して、例えば、予め規定された値を加算して上限値を求めると共に、この予め規定された値を減算して下限値を求め、この求めた上限値および下限値を正常時検査結果ＲＥｎｏとして記憶部４に記憶させる。
【００５７】
本例では、処理部３は、記憶部４に記憶されている仕様データＤｓｐに基づいて、基板検査装置の検査機能ｆｃがインピーダンス検査機能ｆｃ１および電流検査機能ｆｃ２の２つの検査機能ｆｃであることを検出して、ステップ８２において特定した正常回路網（抵抗７２とコンデンサ７３の直列回路）に対して、検査ポイントＴＰ１，ＴＰ２にプローブを接触させてインピーダンス検査機能ｆｃ１で検査したときの正常時検査結果ＲＥｎｏ１と、電流検査機能ｆｃ２で検査したときの正常時検査結果ＲＥｎｏ２とをシミュレーションして求める。また、処理部３は、シミュレーションで求めた各正常時検査結果ＲＥｎｏ１，ＲＥｎｏ２を記憶部４に記憶させる（図３参照）。以下、正常時検査結果ＲＥｎｏ１および正常時検査結果ＲＥｎｏ２をまとめて、正常時検査結果ＲＥｎｏという。
【００５８】
続いて、処理部３は、故障時シミュレーション処理を実行する（ステップ８５）。この故障時シミュレーション処理では、処理部３は、ステップ８３において作成したすべての故障回路網に対して、基板検査装置においてこの故障回路網に接続されている検査ポイントＴＰにプローブを接触させて１または２以上の検査機能ｆｃで検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂを、故障回路ネットリストＮＥａｂを使用して検査機能ｆｃ毎にシミュレーションして求めて記憶する。
【００５９】
本例では、基板検査装置の検査機能ｆｃがインピーダンス検査機能ｆｃ１および電流検査機能ｆｃ２の２つの検査機能ｆｃであり、またステップ８３において作成した故障回路網として、故障回路ネットリストＮＥａｂｏ，ＮＥａｂｓで示される２つの故障回路網がある。このため、処理部３は、この各故障回路網に対して、検査ポイントＴＰ１，ＴＰ２にプローブを接触させてインピーダンス検査機能ｆｃ１で検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂｏ１，ＲＥａｂｓ１と、電流検査機能ｆｃ２で検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂｏ２，ＲＥａｂｓ２とをシミュレーションして求める。また、処理部３は、シミュレーションで求めた各故障時検査結果ＲＥａｂｏ１，ＲＥａｂｓ１，ＲＥａｂｏ２，ＲＥａｂｓ２を故障ネットリストＮＥａｂとして記憶部４に記憶させる（図３参照）。
【００６０】
次いで、処理部３は、個別検査データ作成処理を実行する（ステップ８６）。この個別検査データ作成処理では、処理部３は、ステップ８４でのシミュレーションで求めた各正常時検査結果ＲＥｎｏ１，ＲＥｎｏ２と、ステップ８５でのシミュレーションで求めた各故障時検査結果ＲＥａｂｏ１，ＲＥａｂｓ１，ＲＥａｂｏ２，ＲＥａｂｓ２とを、検査機能ｆｃ毎（本例では、インピーダンス検査機能ｆｃ１および電流検査機能ｆｃ２毎）に比較して、常時検査結果ＲＥｎｏと故障時検査結果ＲＥａｂとが相違している検査機能ｆｃが存在しているか否かを検出（判別）する。
【００６１】
本例では、処理部３は、インピーダンス検査機能ｆｃ１で正常回路網を検査したときの正常時検査結果ＲＥｎｏ１と、２つの故障回路網を検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂｏ１，ＲＥａｂｓ１とを比較して、故障時検査結果ＲＥａｂｏ１，ＲＥａｂｓ１のなかに正常時検査結果ＲＥｎｏ１と相違しているものが存在しているか否かを検出する。また、処理部３は、電流検査機能ｆｃ２で正常回路網を検査したときの正常時検査結果ＲＥｎｏ２と、２つの故障回路網を検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂｏ２，ＲＥａｂｓ２とを比較して、故障時検査結果ＲＥａｂｏ２，ＲＥａｂｓ２のなかに正常時検査結果ＲＥｎｏ２と相違しているものが存在しているか否かを検出する。
【００６２】
この比較の結果、処理部３は、故障回路ネットリストＮＥａｂｏ（検査対象部品ｏｂである抵抗７２が断線故障しているときの故障回路ネットリストＮＥａｂ）で示される故障回路網についての、インピーダンス検査機能ｆｃ１で検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂｏ１および電流検査機能ｆｃ２で検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂｏ２のうちの少なくとも一方が、正常回路ネットリストＮＥｎｏで示される正常回路網についての正常時検査結果ＲＥｎｏ１，ＲＥｎｏ２のうちの対応する正常時検査結果ＲＥｎｏと相違しているときには、検査結果の相違しているインピーダンス検査機能ｆｃ１および電流検査機能ｆｃ２のうちの一方の検査機能ｆｃと、この検査機能ｆｃでの正常時検査結果ＲＥｎｏとを用いて、ステップ８２において特定した特定回路網を検査するという検査内容を、検査対象部品ｏｂである抵抗７２が断線故障しているか否かを検査するための個別検査用データＤｔｅｏとして、検査対象部品ｏｂ（この例では抵抗７２）に対応させて記憶部４に記憶させる。
【００６３】
具体的には、検査対象部品ｏｂである抵抗７２が断線故障しているときには、インピーダンス検査機能ｆｃ１および電流検査機能ｆｃ２の双方の検査結果が、正常時検査結果ＲＥｎｏ１，ＲＥｎｏ２のうちの対応する正常時検査結果ＲＥｎｏと相違する。したがって、インピーダンス検査機能ｆｃ１および電流検査機能ｆｃ２のうちの一方の検査機能ｆｃで、特定回路網を検査するという検査内容を、抵抗７２が断線故障しているか否かを検査するための個別検査用データＤｔｅｏとする。
【００６４】
なお、インピーダンス検査機能ｆｃ１および電流検査機能ｆｃ２の双方の検査結果が相違しているときには、いずれの検査機能ｆｃを個別検査用データＤｔｅｏに含めてもよいが、対応する正常時検査結果ＲＥｎｏとの相違量がより大きな一方の検査機能ｆｃで特定回路網を検査するという検査内容を、検査対象部品ｏｂである抵抗７２が断線故障しているか否かを検査するための個別検査用データＤｔｅｏとするのが好ましい。
【００６５】
また、処理部３は、故障回路ネットリストＮＥａｂｓ（検査対象部品ｏｂである抵抗７２が短絡故障しているときの故障回路ネットリストＮＥａｂ）で示される故障回路網についての、インピーダンス検査機能ｆｃ１で検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂｓ１および電流検査機能ｆｃ２で検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂｓ２のうちの少なくとも一方が、正常回路ネットリストＮＥｎｏで示される正常回路網についての正常時検査結果ＲＥｎｏ１，ＲＥｎｏ２のうちの対応する正常時検査結果ＲＥｎｏと相違しているときには、検査結果の相違しているインピーダンス検査機能ｆｃ１および電流検査機能ｆｃ２のうちの一方の検査機能ｆｃと、この検査機能ｆｃでの正常時検査結果ＲＥｎｏとを用いて、ステップ８２において特定した特定回路網を検査するという検査内容を、検査対象部品ｏｂである抵抗７２が短絡故障しているか否かを検査するための個別検査用データＤｔｅｓとして、検査対象部品ｏｂ（この例では抵抗７２）に対応させて記憶部４に記憶させる。
【００６６】
具体的には、検査対象部品ｏｂである抵抗７２が短絡故障しているときには、インピーダンス検査機能ｆｃ１および電流検査機能ｆｃ２の双方の検査結果が、正常時検査結果ＲＥｎｏ１，ＲＥｎｏ２のうちの対応する正常時検査結果ＲＥｎｏと相違する。したがって、インピーダンス検査機能ｆｃ１および電流検査機能ｆｃ２のうちの一方の検査機能ｆｃで特定回路網を検査するという検査内容を、抵抗７２が短絡故障しているか否かを検査するための個別検査用データＤｔｅｓとする。
【００６７】
なお、インピーダンス検査機能ｆｃ１および電流検査機能ｆｃ２の双方の検査結果が相違しているときには、いずれの検査機能ｆｃを個別検査用データＤｔｅｓに含めてもよいが、対応する正常時検査結果ＲＥｎｏとの相違量がより大きな一方の検査機能ｆｃで特定回路網を検査するという検査内容を、検査対象部品ｏｂである抵抗７２が短絡故障しているか否かを検査するための個別検査用データＤｔｅｓとするのが好ましい。
【００６８】
これにより、抵抗７２を検査対象部品ｏｂとして検査する際に使用する検査ポイントＴＰの情報と、抵抗７２が断線故障しているか否かを検査するための個別検査用データＤｔｅｏと、抵抗７２が短絡故障しているか否かを検査するための個別検査用データＤｔｅｓとが、全体として抵抗７２についての個別検査用データとして、抵抗７２に関連付けされた状態で記憶部４に記憶される。
【００６９】
続いて、処理部３は、記憶部４に記憶されている設計データＤｄｅに基づいて、回路基板７１に実装される電子部品のうちの検査対象とするすべての検査対象部品ｏｂについての個別検査用データの作成が完了したか否か（つまり、個別検査用データ未作成の検査対象部品ｏｂが有るか否か）を判別し（ステップ８７）、すべての検査対象部品ｏｂについての個別検査用データの作成が完了していないときには、上記したステップ８１に戻って、ステップ８１〜ステップ８７を繰り返すことで、すべての検査対象部品ｏｂについての個別検査用データを順次作成する。
【００７０】
図２に示す電気回路が形成された回路基板７１について、処理部３は、例えば、コンデンサ７３を検査対象部品ｏｂとしたときには、２つの検査ポイントＴＰ１，ＴＰ２に接続された回路網（抵抗７２とコンデンサ７３の直列回路）を特定回路網として特定する。また、抵抗７８を検査対象部品ｏｂとしたときには、２つの検査ポイントＴＰ２，ＴＰ４に接続された回路網（抵抗７８のみの回路）を特定回路網として特定する。また、ダイオード７４を検査対象部品ｏｂとしたときには、２つの検査ポイントＴＰ１，ＴＰ３に接続された回路網（抵抗７２、ダイオード７４および合成抵抗（抵抗７５，７６の直列回路と抵抗７７との並列合成抵抗）の直列回路）を特定回路網として特定する。
【００７１】
また、これらコンデンサ７３、抵抗７８およびダイオード７４については、断線故障および短絡故障のいずれのときでも、インピーダンス検査機能ｆｃ１で検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂｏ１，ＲＥａｂｓ１は、対応する正常時検査結果ＲＥｎｏ１と相違し、また、電流検査機能ｆｃ２で検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂｏ２，ＲＥａｂｓ２は、対応する正常時検査結果ＲＥｎｏ２と相違する。このため、処理部３は、上記した抵抗７２のときと同様にして、それぞれの検査対象部品ｏｂについての個別検査用データＤを作成する。
【００７２】
一方、上記した合成抵抗を構成する抵抗７５，７６，７７のうちの１つの抵抗については、他の抵抗の抵抗値との関係に応じて、上記したコンデンサ７３、抵抗７８およびダイオード７４と同様にして、断線故障および短絡故障のいずれのときでも、インピーダンス検査機能ｆｃ１で検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂｏ１，ＲＥａｂｓ１が、対応する正常時検査結果ＲＥｎｏ１と相違し、かつ、電流検査機能ｆｃ２で検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂｏ２，ＲＥａｂｓ２が、対応する正常時検査結果ＲＥｎｏ２と相違する状態になることもある。また、他の抵抗の抵抗値との関係に応じて、インピーダンス検査機能ｆｃ１で検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂｏ１，ＲＥａｂｓ１のうちの少なくとも一方が、対応する正常時検査結果ＲＥｎｏ１と相違しない状態（同じになる状態）になったり、また、電流検査機能ｆｃ２で検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂｏ２，ＲＥａｂｓ２のうちの少なくとも一方が、対応する正常時検査結果ＲＥｎｏ２と相違しない状態（同じになる状態）になったりする場合がある。
【００７３】
この場合、例えば、抵抗７５，７６，７７のうちの１つの抵抗について、断線故障および短絡故障のいずれのときであっても、インピーダンス検査機能ｆｃ１で検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂｏ１，ＲＥａｂｓ１が、対応する正常時検査結果ＲＥｎｏ１と相違し、また、電流検査機能ｆｃ２で検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂｏ２，ＲＥａｂｓ２が、対応する正常時検査結果ＲＥｎｏ２と相違する状態のときには、それぞれを検査対象部品ｏｂとしたときの個別検査用データを、上記したコンデンサ７３、抵抗７８およびダイオード７４と同様にして作成する。
【００７４】
一方、例えば、抵抗７７を検査対象部品ｏｂとし、かつ上記したダイオード７４のときと同じ回路網を特定回路網としたときには、抵抗７７の抵抗値が、他の抵抗７５，７６の直列合成抵抗値よりも極めて大きい場合には、インピーダンス検査機能ｆｃ１で検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂｏ１，ＲＥａｂｓ１のうちの短絡故障時の故障時検査結果ＲＥａｂｓ１は、正常時検査結果ＲＥｎｏ１と相違するが、断線故障時の故障時検査結果ＲＥａｂｏ１は、正常時検査結果ＲＥｎｏ１と相違しない状況が生じる。なお、この場合には、電流検査機能ｆｃ２で検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂｏ２，ＲＥａｂｓ２についても、そのうちの短絡故障時の故障時検査結果ＲＥａｂｓ２は、正常時検査結果ＲＥｎｏ２と相違するが、断線故障時の故障時検査結果ＲＥａｂｏ２は、正常時検査結果ＲＥｎｏ２と相違しない状況が生じる。
【００７５】
このため、処理部３は、抵抗７７を検査対象部品ｏｂとするこの特定回路網についての個別検査用データとして、抵抗７７を検査対象部品ｏｂとして検査する際に使用する検査ポイントＴＰ１，ＴＰ３の情報と、抵抗７７が短絡故障しているか否かを検査するための個別検査用データＤｔｅｓ（インピーダンス検査機能ｆｃ１および電流検査機能ｆｃ２のうちの一方の検査機能ｆｃで正常回路網を検査するという検査内容の個別検査用データ）とを、抵抗７７に関連付けされた状態で記憶部４に記憶させる。なお、抵抗７７については、断線故障時には、インピーダンス検査機能ｆｃ１および電流検査機能ｆｃ２のいずれの故障時検査結果ＲＥａｂｏ１，ＲＥａｂｏ２も、対応する正常時検査結果ＲＥｎｏ１，ＲＥｎｏ２と相違しない状況にある。このため、処理部３は、抵抗７７に関しては、断線故障については検査できない部品として特定して、その旨を示す情報についても、抵抗７７についての個別検査用データの一部として、抵抗７７に関連付けされた状態で記憶部４に記憶させる。
【００７６】
また、例えば、抵抗７５を検査対象部品ｏｂとし、かつ上記したダイオード７４のときと同じ回路網を正常回路網としたときには、抵抗７５の抵抗値が小さく、かつこの抵抗７５と直列接続された抵抗７６の抵抗値が極めて大きい場合であって、抵抗７７の抵抗値が抵抗７６の抵抗値よりも極めて小さい場合（例えば、抵抗７５が１０Ωで、抵抗７６が１０ＭΩで、かつ抵抗７７が１００Ωのような場合）には、インピーダンス検査機能ｆｃ１で検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂｏ１，ＲＥａｂｓ１の双方が、正常時検査結果ＲＥｎｏ１と相違しない状況になる。また、この場合には、電流検査機能ｆｃ２で検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂｏ２，ＲＥａｂｓ２についても、その双方が、正常時検査結果ＲＥｎｏ２と相違しない状況になる。
【００７７】
このため、処理部３は、抵抗７５を検査対象部品ｏｂとするこの特定回路網についての個別検査用データとして、抵抗７５を検査対象部品ｏｂとして検査する際に使用する検査ポイントＴＰ１，ＴＰ３の情報と、インピーダンス検査機能ｆｃ１および電流検査機能ｆｃ２のいずれの検査機能ｆｃを使用したとしても断線故障および短絡故障のいずれについても検査できない旨（検査不能な部品である旨）を示す情報とを、抵抗７５に関連付けして記憶部４に記憶させる。
【００７８】
処理部３は、ステップ８１〜ステップ８７を繰り返し実行して、ステップ８７においてすべての検査対象部品ｏｂについての個別検査用データの作成が完了した（つまり、個別検査用データ未作成の検査対象部品ｏｂが無い）と判別したときには、検査用データ作成処理８０を完了する。最後に、処理部３は、出力処理を実行して、検査用データ作成処理８０で作成して記憶部４に記憶させている各検査対象部品ｏｂについての個別検査用データ全体を読み出して、検査用データＤｔｅとして出力部５に出力する。
【００７９】
回路基板７１の検査時には、基板検査装置において、上記の検査用データＤｔｅを用いて回路基板７１に実装されている電子部品を検査し、回路基板７１の良否を判別する。
【００８０】
このように、この検査用データ作成装置１および検査用データ作成方法では、部品選択処理、正常ネットリスト作成処理、故障ネットリスト作成処理、正常時シミュレーション処理、故障時シミュレーション処理および個別検査用データ作成処理を実行して、基板検査装置が有する検査機能ｆｃ毎の正常時検査結果ＲＥｎｏとこの正常時検査結果ＲＥｎｏと同じ検査機能ｆｃで検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂ（１または２以上の故障状態のうちの任意の１つの故障状態で検査対象部品ｏｂを故障させたときの故障回路網を使用したシミュレーションでの検査結果）とが相違する検査機能ｆｃが１種類または２種類以上存在しているときに、そのうちの１つの検査機能ｆｃで正常ネットリスト作成処理において特定した特定回路網を検査するとの検査内容を、検査対象部品ｏｂが上記の任意の１つの故障状態で故障しているか否かを検査するための検査用データＤｔｅとする。
【００８１】
したがって、この検査用データ作成装置１および検査用データ作成方法によれば、回路基板７１に内蔵されているなどの理由により、その両端に検査ポイントＴＰが設定（接続）されていない電子部品（上記の例では、ダイオード７４および抵抗７５）の個別検査用データについても、自動的な作成率を十分に高めることができる。このため、各電子部品についての個別検査用データで構成される検査用データＤｔｅに基づく回路基板７１についての検査カバー率を十分に向上させることができる。
【００８２】
また、この検査用データ作成装置１および検査用データ作成方法によれば、正常時検査結果ＲＥｎｏと故障時検査結果ＲＥａｂとが相違する検査機能ｆｃが存在していないときには、検査対象部品ｏｂを検査不能な部品として特定すると共にその旨を個別検査用データとすることにより、検査用データＤｔｅを使用した回路基板７１に対する検査の際に、検査不能な部品を個別検査用データに基づいて特定して予め検査対象部品ｏｂから省いた状態（マスクした状態）で検査を実行することができるため、検査時間を短縮することができる。
【００８３】
なお、上記の例では、基板検査装置の検査機能ｆｃがインピーダンス検査機能ｆｃ１および電流検査機能ｆｃ２の２つの場合について説明しているが、検査機能ｆｃは１つであってもよいし、３つ以上であってもよい。また、上記の例では、基板検査装置の検査機能ｆｃがインピーダンス検査機能ｆｃ１および電流検査機能ｆｃ２であることから、特定回路網に接続される検査ポイントＴＰの数を２つにしているが、例えば、基板検査装置が、一対の検査ポイントＴＰ間に電圧を印加した状態で、他の一対の検査ポイントＴＰ間から出力される電圧を検出する電圧検出機能を検査機能ｆｃとして備えているときには、特定回路網に接続される検査ポイントＴＰの数を４つ（電圧印加側の一対の検査ポイントＴＰの１つと、電圧検出側の一対の検査ポイントＴＰの１つとが共通の場合には、３つ）とする構成を採用することもできる。
【００８４】
また、不図示の外部装置が、上記した検査用データ作成処理８０のうちの部品選択処理（ステップ８１）、正常ネットリスト作成処理（ステップ８２）および故障ネットリスト作成処理（ステップ８３）を実行して、検査対象部品ｏｂ毎の正常回路ネットリストＮＥｎｏおよび故障回路ネットリストＮＥａｂを作成し、検査用データ作成装置１が、この外部装置で作成された正常回路ネットリストＮＥｎｏおよび故障回路ネットリストＮＥａｂを取り込んで記憶部４に記憶すると共に、この正常回路ネットリストＮＥｎｏおよび故障回路ネットリストＮＥａｂを使用して、上記の正常時シミュレーション処理（ステップ８４）、故障時シミュレーション処理（ステップ８５）および個別検査データ作成処理（ステップ８６）を実行することで、特定回路網に含まれている検査対象部品ｏｂを検査するための個別検査用データＤｔｅｏを作成する構成を採用することもできる。
【００８５】
また、上記の例では、回路基板７１に実装された電子部品（回路基板７１の表面に装着されている電子部品、および回路基板７１に内蔵されている電子部品）のような回路要素を検査対象部品ｏｂとしているが、例えば、回路基板７１の表面に抵抗体材料のペーストをスクリーン印刷すると共に加熱硬化などの処理を施して形成された抵抗体などのような形成部品についても電子部品の１つとして、検査対象部品ｏｂに含めることもできる。
【００８６】
また、電子部品同士を電気的に接続する導体パターンについても、上記した電子部品と同様にして回路網を構成する回路要素として取り扱って、検査対象部品ｏｂに含めることもできる。すなわち、正常回路ネットリストＮＥｎｏおよび故障回路ネットリストＮＥａｂを外部装置から取得する場合において、検査対象基板（回路基板）に形成された回路網を構成する互いに電気的に接続された複数の回路要素（電子部品および導体パターン）のうちの少なくとも１つの回路要素を、検査対象基板の表面に配設されてこの回路網に接続された検査ポイントにプローブを接触させて検査するときのこの回路網のための個別検査用データを作成する際に、この複数の回路要素をすべて正常状態であるとしたときの正常回路ネットリストに基づいて、正常状態の回路網に対して予め規定された検査内容（例えば、基板検査装置の検査機能ｆｃ）で検査するシミュレーションを実行して正常時検査結果を求める正常時シミュレーション処理、この複数の回路要素のうちの少なくとも１つの回路要素を検査対象として故障状態とし、かつ残りの回路要素をすべて正常状態としたときの故障回路ネットリストに基づいて、故障状態の回路網に対してこの検査内容で検査するシミュレーションを実行して故障時検査結果を求める故障時シミュレーション処理、および正常時検査結果と故障時検査結果とが相違しているときのこの検査内容を、検査対象を検査するときの個別検査用データとする個別検査用データ作成処理を実行する構成を採用することもできる。これにより、電子部品だけでなく、導体パターン（導体パターンと電子部品との接合部位も含まれる）についても、その接合状態（断線の有無）について検査することができる。
【００８７】
また、正常回路ネットリストＮＥｎｏだけを外部装置から取得し、故障回路ネットリストＮＥａｂについては、検査用データ作成処理８０において実行する構成を採用することもできる。この場合には、正常回路ネットリストＮＥｎｏに含まれる回路要素について、検査対象とする少なくとも１つの回路要素を予め規定された手順に従って変更しつつ、故障状態として故障回路ネットリストを複数作成する故障ネットリスト作成処理を実行し、故障時シミュレーション処理においては、このようにして作成した故障回路ネットリストに基づいてシミュレーションを実行する。
【００８８】
また、上記の例では、図２に示す回路基板７１に形成された電気回路のように、いずれの回路要素（電子部品および導体パターン）も他の回路要素と電気的に接続されている回路網に対して、検査対象部品ｏｂ毎に、この検査対象部品ｏｂを含む特定回路網（全体の回路網のなかの一部の回路網）を１つ特定して、その正常回路ネットリストＮＥｎｏを作成する処理を実行することで、無駄な正常回路ネットリストＮＥｎｏを作成しないようにしているが、この回路網に接続される複数の検査ポイントのうちのいずれかと他のいずれかとの間に接続される上記の一部の回路網をすべて特定して、特定したこの一部の回路網毎に正常回路ネットリストＮＥｎｏを作成し、この作成した正常回路ネットリストＮＥｎｏに基づいてこのネットリストに含まれる少なくとも１つの回路要素を故障させて故障回路ネットリストＮＥａｂを作成し、かつこのようにして作成した正常回路ネットリストＮＥｎｏおよび故障回路ネットリストＮＥａｂを使用して、上記の正常時シミュレーション処理（ステップ８４）、故障時シミュレーション処理（ステップ８５）および個別検査データ作成処理（ステップ８６）を実行することで、この全体の回路網に含まれている検査対象部品ｏｂを検査するための個別検査用データＤｔｅｏを作成する構成を採用することもできる。
【００８９】
この構成について、図２に示す回路網に対して、例えば、２つの検査ポイントを使用して検査するための個別検査用データＤｔｅｏを作成する例を挙げて、正常回路ネットリストＮＥｎｏおよび故障回路ネットリストＮＥａｂを作成するまでを具体的に説明する。この場合、検査ポイントＴＰ１〜ＴＰ４のうちから２つの検査ポイントＴＰを選ぶ組み合わせは、（ＴＰ１，ＴＰ２）、（ＴＰ１，ＴＰ３）、（ＴＰ１，ＴＰ４）、（ＴＰ２，ＴＰ３）、（ＴＰ２，ＴＰ４）、（ＴＰ３，ＴＰ４）の６組存在する。
【００９０】
これにより、例えば、電子部品だけを回路要素とした場合（導体パターンを回路要素としない場合）には、（ＴＰ１，ＴＰ２）の組についての正常回路ネットリストＮＥｎｏ（リスト番号１００［検査ポイントＴＰ１，抵抗７２−１］、リスト番号１０１［抵抗７２−２，コンデンサ７３−１］、リスト番号１０２［コンデンサ７３−２，検査ポイントＴＰ２］）と、（ＴＰ１，ＴＰ３）の組についての２つの正常回路ネットリストＮＥｎｏ（リスト番号１００［検査ポイントＴＰ１，抵抗７２−１］、リスト番号１０３［抵抗７２−２，ダイオード７４−１］、リスト番号１０４［ダイオード７４−２，抵抗７７−１］、リスト番号１０５［抵抗７７−２，検査ポイントＴＰ３］）、および正常回路ネットリストＮＥｎｏ（リスト番号１００［検査ポイントＴＰ１，抵抗７２−１］、リスト番号１０３［抵抗７２−２，ダイオード７４−１］、リスト番号１０６［ダイオード７４−２，抵抗７５−１］、リスト番号１０７［抵抗７５−２，抵抗７６−１］、リスト番号１０８［抵抗７６−２，抵抗７７−２］、リスト番号１０５［抵抗７７−２，検査ポイントＴＰ３］）とを作成する。
【００９１】
また、（ＴＰ１，ＴＰ４）の組についての正常回路ネットリストＮＥｎｏ（リスト番号１００［検査ポイントＴＰ１，抵抗７２−１］、リスト番号１０１［抵抗７２−２，コンデンサ７３−１］、リスト番号１０９［コンデンサ７３−２，抵抗７８−１］、リスト番号１１０［抵抗７８−２，検査ポイントＴＰ４］）と、（ＴＰ２，ＴＰ３）の組についての２つの正常回路ネットリストＮＥｎｏ（リスト番号１０２［検査ポイントＴＰ２，コンデンサ７３−２］、リスト番号１０１［コンデンサ７３−１，抵抗７２−２］、リスト番号１０３［抵抗７２−２，ダイオード７４−１］、リスト番号１０４［ダイオード７４−２，抵抗７７−１］、リスト番号１０５［抵抗７７−２，検査ポイントＴＰ３］）、および正常回路ネットリストＮＥｎｏ（リスト番号１０２［検査ポイントＴＰ２，コンデンサ７３−２］、リスト番号１０１［コンデンサ７３−１，抵抗７２−２］、リスト番号１０３［抵抗７２−２，ダイオード７４−１］、リスト番号１０６［ダイオード７４−２，抵抗７５−１］、リスト番号１０７［抵抗７５−２，抵抗７６−１］、リスト番号１０８［抵抗７６−２，抵抗７７−２］、リスト番号１０５［抵抗７７−２，検査ポイントＴＰ３］）とを作成する。
【００９２】
また、（ＴＰ２，ＴＰ４）の組についての正常回路ネットリストＮＥｎｏ（リスト番号１０２［検査ポイントＴＰ２，コンデンサ７３−２］、リスト番号１０９［コンデンサ７３−２，抵抗７８−１］、リスト番号１１０［抵抗７８−２，検査ポイントＴＰ４］）と、（ＴＰ３，ＴＰ４）の組についての２つの正常回路ネットリストＮＥｎｏ（リスト番号１０５［抵抗７７−２，検査ポイントＴＰ３］、リスト番号１０４［ダイオード７４−２，抵抗７７−１］、リスト番号１０３［抵抗７２−２，ダイオード７４−１］、リスト番号１０１［抵抗７２−２，コンデンサ７３−１］、リスト番号１０９［コンデンサ７３−２，抵抗７８−１］、リスト番号１１０［抵抗７８−２，検査ポイントＴＰ４］）、および正常回路ネットリストＮＥｎｏ（リスト番号１０５［抵抗７７−２，検査ポイントＴＰ３］、リスト番号１０８［抵抗７６−２，抵抗７７−２］、リスト番号１０７［抵抗７５−２，抵抗７６−１］、リスト番号１０６［ダイオード７４−２，抵抗７５−１］、リスト番号１０３［抵抗７２−２，ダイオード７４−１］、リスト番号１０１［抵抗７２−２，コンデンサ７３−１］、リスト番号１０９［コンデンサ７３−２，抵抗７８−１］、リスト番号１１０［抵抗７８−２，検査ポイントＴＰ４］）とを作成する。
【００９３】
また、このようにして作成された各正常回路ネットリストＮＥｎｏに基づいてこのネットリストに含まれる少なくとも１つの回路要素を故障させて故障回路ネットリストＮＥａｂを作成する。具体的に、（ＴＰ１，ＴＰ２）の組についての正常回路ネットリストＮＥｎｏ（リスト番号１００［検査ポイントＴＰ１，抵抗７２−１］、リスト番号１０１［抵抗７２−２，コンデンサ７３−１］、リスト番号１０２［コンデンサ７３−２，検査ポイントＴＰ２］）を例に挙げると、このネットリストに含まれる電子部品は抵抗７２およびコンデンサ７３であるから、抵抗７２およびコンデンサ７３のうちの少なくとも１つを故障させたときの故障回路ネットリストＮＥａｂを作成する。これにより、作成した正常回路ネットリストＮＥｎｏおよび故障回路ネットリストＮＥａｂに基づいて個別検査用データＤｔｅｏが作成される。
【００９４】
また、基板検査装置が有する上記のインピーダンス検査機能ｆｃ１、電流検査機能ｆｃ２および電圧検査機能では、一対の検査ポイント間への電圧の印加が実行されるが、基板検査装置によっては、この印加する電圧の電圧値を多段階（ｎ段階。ｎは２以上の整数）に設定し得るものもある。この種の基板検査装置用の個別検査用データを作成するために、上述した検査用データ作成装置や検査用データ作成方法を適用した場合、シミュレーションにおいて、各正常回路ネットリストＮＥｎｏ、およびこの各正常回路ネットリストＮＥｎｏに基づいて作成された各故障回路ネットリストＮＥａｂのそれぞれに対して、印加する電圧の電圧値をすべての段階での電圧値に設定しつつ、基板検査装置が有するすべての検査機能（上記の例では、インピーダンス検査機能ｆｃ１、電流検査機能ｆｃ２および電圧検査機能など）を使用して、個別検査用データを作成することになる。
【００９５】
しかしながら、各検査機能において印加する電圧の電圧値をすべての段階（ｎ段階）での電圧値に設定する構成では、ある１つの段階の電圧値の電圧を印加する正常時シミュレーション処理および故障時シミュレーション処理において得られた正常時検査結果と故障時検査結果とに基づいて個別検査用データを作成できた回路要素（電子部品および導体パターンなど）に対して、さらに他の段階の電圧値の電圧を印加する正常時シミュレーション処理および故障時シミュレーション処理、並びに個別検査用データ作成処理を実行することになる結果、シミュレーション全体での計算量が極めて多くなり、検査用データ作成処理に要する時間が極めて長くなるという課題が存在している。
【００９６】
そこで、各正常回路ネットリストＮＥｎｏおよび各故障回路ネットリストＮＥａｂのそれぞれに対してｎ段階の電圧値のうちの１つの電圧値で電圧を印加するシミュレーション（すべての検査機能を使用したシミュレーション）を実行した結果、正常回路網に対するシミュレーションで得られるシミュレーション結果（正常時検査結果）と故障回路網に対するシミュレーションで得られるシミュレーション結果（故障時検査結果）とが相違するシミュレーションが１種類でも存在している回路要素（少なくとも１つの検査機能を使用したシミュレーションにおいて正常時検査結果と故障時検査結果とが相違する回路要素）については、ｎ段階の電圧値のうちの残りの電圧値で電圧を印加するシミュレーションを省略することで、シミュレーション全体での計算量を低減して、個別検査用データを作成するまでに要する時間をより短くするのが好ましい。
【００９７】
この場合、基板検査装置の中には、印加する電圧の電圧値をその下限値から上限値までの間で例えば０．１Ｖのような一定の電圧ステップで多段階に設定し得るものも存在するが、図２に示す回路基板７１のように、ダイオード７４のような半導体素子（印加される電圧の電圧値がその順方向電圧値Ｖｆを超える電圧値か、または順方向電圧値Ｖｆ未満の電圧値かにより、２つの状態のうちのいずれか一方の状態に移行する素子（ダイオードでは、オン状態およびオフ状態の２つの状態のうちのいずれか一方の状態に移行する））を回路要素として含む回路基板を検査対象とする基板検査装置では、多段階の一例として、順方向電圧値Ｖｆ未満の電圧値Ｖ１と、順方向電圧値Ｖｆを超える電圧値Ｖ２（＞Ｖｆ＞Ｖ１＞０）の２段階に電圧値を設定するものが一般的である。
【００９８】
以下では、印加する電圧の電圧値をこのように２つの電圧値Ｖ１，Ｖ２に規定し得る機能を備えた基板検査装置で図２に示す回路基板７１を検査するための個別検査用データを作成する例について、図６に示す検査用データ作成処理９０を参照して説明する。なお、図４に示す検査用データ作成処理８０と同じ処理については同一の符号を付して重複する説明を省略する。また、この検査用データ作成処理９０を実行する検査用データ作成装置１では、図示はしないが、記憶部４には、多段階の電圧値の一例である上記の２つの電圧値Ｖ１，Ｖ２が予め記憶されているものとする。
【００９９】
図６に示す検査用データ作成処理９０では、処理部３は、まず、印加する電圧の電圧値として、記憶部４に記憶されている２つの電圧値Ｖ１，Ｖ２のうちの低い方の電圧値Ｖ１を規定する（ステップ９１）。次いで、処理部３は、ステップ８１〜ステップ８６を実行して、ステップ８１において選択した電子部品についての個別検査用データＤｔｅｏを作成する。具体的には、処理部３は、ステップ８４において、ステップ８１で選択した電子部品を含む正常回路網に接続されている検査用ポイントＴＰに、電圧値Ｖ１の電圧を印加する検査機能ｆｃでこの正常回路網を検査したときの正常時検査結果ＲＥｎｏをシミュレーションして求める。また、処理部３は、ステップ８５において、ステップ８１で選択した電子部品を含む故障回路網に接続されている検査用ポイントＴＰに、電圧値Ｖ１の電圧を印加する検査機能ｆｃでこの故障回路網を検査したときの故障時検査結果ＲＥａｂをシミュレーションして求める。また、処理部３は、ステップ８６において、正常時検査結果ＲＥｎｏと故障時検査結果ＲＥａｂとを比較して相違しているときには、ステップ８１において選択した電子部品を含む特定回路網を各検査結果ＲＥｎｏ，ＲＥａｂを求めたときの検査内容で検査するという検査内容を、個別検査用データＤｔｅｏとして作成する。
【０１００】
処理部３は、ステップ９２において未選択の部品が有るか否か（つまり、ステップ８１での部品選択処理においてすべての電子部品が選択されたか否か）を判別しつつ、未選択の部品がなくなるまでステップ８１〜ステップ８６を実行する。処理部３は、このステップ９２において未選択の部品がない（つまり、ステップ８１での部品選択処理においてすべての電子部品が選択された）と判別したときには、検査対象とするすべての電子部品についての個別検査用データＤｔｅｏの作成が完了したか否か（つまり、個別検査用データＤｔｅｏが未作成の検査対象部品ｏｂが有るか否か）を判別する（ステップ９３）。
【０１０１】
処理部３は、ステップ９３において検査対象とするすべての電子部品についての個別検査用データＤｔｅｏの作成が完了した（つまり、個別検査用データＤｔｅｏが未作成の検査対象部品ｏｂがない）と判別したときには、この検査用データ作成処理９０を完了させる。一方、処理部３は、ステップ９３において検査対象とするすべての電子部品についての個別検査用データＤｔｅｏの作成が完了していない（つまり、個別検査用データＤｔｅｏが未作成の検査対象部品ｏｂが存在している）と判別したときには、ステップ９４に移行する。
【０１０２】
この場合、例えば、図２に示す回路基板７１の（ＴＰ１，ＴＰ２）の組についての正常回路ネットリストＮＥｎｏ（リスト番号１００［検査ポイントＴＰ１，抵抗７２−１］、リスト番号１０１［抵抗７２−２，コンデンサ７３−１］、リスト番号１０２［コンデンサ７３−２，検査ポイントＴＰ２］）や、（ＴＰ１，ＴＰ４）の組についての正常回路ネットリストＮＥｎｏ（リスト番号１００［検査ポイントＴＰ１，抵抗７２−１］、リスト番号１０１［抵抗７２−２，コンデンサ７３−１］、リスト番号１０９［コンデンサ７３−２，抵抗７８−１］、リスト番号１１０［抵抗７８−２，検査ポイントＴＰ４］）のように、ダイオードなどの半導体素子を含まないネットリストに含まれている電子部品を検査対象部品ｏｂとしてその個別検査用データを作成するときには、低い電圧値Ｖ１の電圧を印加する検査機能ｆｃでのシミュレーションが可能なため、ネットリストに含まれているすべての電子部品についての個別検査用データＤｔｅｏが作成される。
【０１０３】
一方、（ＴＰ１，ＴＰ３）の組についての正常回路ネットリストＮＥｎｏ（例えば、リスト番号１００［検査ポイントＴＰ１，抵抗７２−１］、リスト番号１０３［抵抗７２−２，ダイオード７４−１］、リスト番号１０４［ダイオード７４−２，抵抗７７−１］、リスト番号１０５［抵抗７７−２，検査ポイントＴＰ３］など）や、（ＴＰ３，ＴＰ４）の組についての正常回路ネットリストＮＥｎｏ（例えば、リスト番号１０５［抵抗７７−２，検査ポイントＴＰ３］、リスト番号１０４［ダイオード７４−２，抵抗７７−１］、リスト番号１０３［抵抗７２−２，ダイオード７４−１］、リスト番号１０１［抵抗７２−２，コンデンサ７３−１］、リスト番号１０９［コンデンサ７３−２，抵抗７８−１］、リスト番号１１０［抵抗７８−２，検査ポイントＴＰ４］など）のように、ダイオード７４を含むネットリストに含まれている電子部品を検査対象部品ｏｂとするときには、印加する電圧の電圧値Ｖ１がダイオード７４の順方向電圧値Ｖｆ未満のため、シミュレーションにおいて電流が流れない。
【０１０４】
このため、これらの正常回路ネットリストＮＥｎｏに含まれている電子部品のうちの抵抗７２、コンデンサ７３および抵抗７８については、他の（ＴＰ，ＴＰ）の組についての正常回路ネットリストＮＥｎｏに基づいて個別検査用データＤｔｅｏが作成されるが、これ以外の電子部品（抵抗７５，７６，７７）については、個別検査用データＤｔｅｏが作成されない。なお、ダイオード７４については、このダイオード７４を故障させるシミュレーションが可能なため、個別検査用データＤｔｅｏが作成される。
【０１０５】
したがって、処理部３は、この例では、ステップ９３において個別検査用データＤｔｅｏが未作成の検査対象部品ｏｂが有ると判別して、次に、印加する電圧の電圧値として、記憶部４に記憶されている２つの電圧値Ｖ１，Ｖ２のうちの高い方の電圧値Ｖ２を規定して、つまり、印加する電圧の電圧値を上昇させて（ステップ９４）、個別検査用データＤｔｅｏが未作成の電子部品についての個別検査用データＤｔｅｏの作成を実行する。この場合、処理部３は、上記した最初のステップ８１〜ステップ８７での処理内容とほぼ同等の処理内容で２回目のステップ８１〜ステップ８７を実行することで、この個別検査用データＤｔｅｏを作成する。以下では、最初のステップ８１〜ステップ８７での処理内容と異なるステップについて主として説明し、処理内容の同じステップについての説明を省略する。
【０１０６】
この２回目のステップ８１〜ステップ８７での目的は、個別検査用データＤｔｅｏが未作成の電子部品についての個別検査用データＤｔｅｏを作成することである。このため、処理部３は、２回目のステップ８１では、個別検査用データＤｔｅｏの未作成の電子部品だけ（本例では、抵抗７５，７６，７７だけ）を検査対象部品ｏｂとして順次選択して、ステップ８２からステップ８６を、ステップ８７においてすべての検査対象部品ｏｂについての個別検査用データＤｔｅｏが作成されるまで繰り返し実行する。
【０１０７】
この２回目の各シミュレーション処理８４，８５では、印加する電圧の電圧値Ｖ２がダイオード７４の順方向電圧値Ｖｆを超える（つまり、電圧値Ｖ２の電圧の印加によりダイオード７４がオン状態に移行する）。このため、ダイオード７４を含むネットリストに含まれている電子部品を検査対象部品ｏｂとするときであっても、シミュレーションにおいてこの検査対象部品ｏｂに電流を流すことが可能となる。したがって、この２回目のステップ８１〜ステップ８７の実行により、検査対象部品ｏｂとして選択された電子部品についての個別検査用データＤｔｅｏがすべて作成される。最後に、処理部３は、ステップ８７において個別検査用データＤｔｅｏが未作成の検査対象部品ｏｂがないと判別して、図６に示す検査用データ作成処理９０を完了させる。
【０１０８】
このように、この検査用データ作成処理９０を実行する検査用データ作成装置１、およびこの検査用データ作成処理９０（検査用データ作成方法）では、シミュレーションにおいて検査対象部品ｏｂを含むネットリスト（正常回路ネットリストＮＥｎｏおよび故障回路ネットリストＮＥａｂ）に印加する電圧の電圧値を多段階（上記の例では一例として電圧値Ｖ１，Ｖ２の２段階）に設定し得る基板検査装置用の個別検査用データＤｔｅｏを作成する際に、印加する電圧の電圧値を低い側から順次上昇させつつ（印加する電圧の電圧値を、電圧値Ｖ１、次いで電圧値Ｖ２と順次上げつつ）、電圧の印加によって電流が流れるネットリストに含まれる検査対象部品ｏｂについては個別検査用データＤｔｅｏを作成する処理を、より低い電圧値（この例では電圧値Ｖ１）において個別検査用データＤｔｅｏを作成済みの電子部品については、その後のより高い電圧値（この例では電圧値Ｖ２）の電圧の印加時には検査対象部品ｏｂから除外しつつ実行する。
【０１０９】
したがって、この検査用データ作成処理９０を実行する検査用データ作成装置１、およびこの検査用データ作成処理９０（検査用データ作成方法）によれば、すべての段階（この例では２段階）での電圧値で電圧を印加するシミュレーションをすべての検査対象部品ｏｂに対して実行する場合のシミュレーションの計算量よりも、シミュレーションの計算量を十分に低減させつつ、より安全な検査（電圧の印加によっていずれのネットリストにも電流が流れる高い電圧値Ｖ２だけでの検査ではなく、より低い電圧値Ｖ１の電圧の印加での検査も含む検査であるという点で、言い換えれば、低い電圧値の電圧の印加での検査で済む検査対象部品ｏｂについては、高い電圧値での検査を省略できるという点で、より安全な検査）を基板検査装置に対して実行させ得る個別検査用データＤｔｅｏを作成することができる。
【０１１０】
なお、印加する電圧の電圧値を電圧値Ｖ１，Ｖ２の２段階に設定し得る基板検査装置に対する個別検査用データＤｔｅｏを作成する例を挙げて説明したが、印加する電圧の電圧値をより多くの段階（３段階、４段階、・・・）に設定し得る基板検査装置に対する個別検査用データＤｔｅｏを作成する場合についても、上記した検査用データ作成処理９０を適宜変更することで適用できる。
【０１１１】
ところで、基板検査装置で検査される実際の検査対象基板では、回路網を構成する互いに電気的に接続された複数の回路要素のパラメータ値（例えば、回路要素が抵抗のときには抵抗値、コンデンサのときには静電容量値、ダイオードのときには順方向電圧値など）は、カタログなどに記載されている公称値（上記のシミュレーションで使用した値）と常に一致する訳では無く、許容範囲（許容差）内でばらついている。したがって、上記のようにして作成された個別検査用データＤｔｅｏを基板検査装置で使用して、実際の検査対象基板に形成された回路網を構成する互いに電気的に接続された複数の回路要素の検査を実行した場合、シミュレーションでの結果と異なる結果（つまり、シミュレーションでは検出できていた回路要素（検査対象部品）の故障が検査できないとの結果）になることがある。
【０１１２】
そこで、処理部３が、上記のようにして作成した個別検査用データＤｔｅｏに対して検証処理を実行して、この個別検査用データＤｔｅｏに対する信頼性を高める構成を採用することもできる。この検証処理では、処理部３は、個別検査用データ作成処理において作成した各回路要素のための個別検査用データＤｔｅｏについて、回路網におけるこの個別検査用データＤｔｅｏで検査される検査対象としての回路要素（検査対象部品）を除く回路要素のパラメータ値を、この回路要素の許容範囲（許容差）内で変化させた状態においてこの個別検査用データＤｔｅｏで示される検査内容で正常時シミュレーション処理および故障時シミュレーション処理を実行して、正常時検査結果と故障時検査結果との相違状態が維持されるか否かを検証する。
【０１１３】
そして、この検証処理の結果、正常時検査結果と故障時検査結果との相違状態が維持される個別検査用データＤｔｅｏについては残し、相違状態が維持されない個別検査用データＤｔｅｏについては削除して、この個別検査用データＤｔｅｏで検査されることになっていた回路要素については個別検査用データＤｔｅｏは無いものとする。これにより、このようにして検証処理を実行して得られる個別検査用データＤｔｅｏを基板検査装置で使用して、実際の検査対象基板に形成された回路網を構成する回路要素の検査を実行した場合での不具合（シミュレーションでは検出できていた回路要素（検査対象部品）の故障が検査できないとの不具合）の発生を大幅に低減できるため、個別検査用データＤｔｅｏの信頼性を大幅に向上させることができる。
【符号の説明】
【０１１４】
１  検査用データ作成装置
８０  検査用データ作成処理
８１  部品選択処理
８２  正常ネットリスト作成処理
８３  故障ネットリスト作成処理
８４  正常時シミュレーション処理
８５  故障時シミュレーション処理
８６  個別検査データ作成処理
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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