(57)【要約】      （修正有）【課題】容易かつ高精度で光学部品を装着でき、ミラーの変形を防止する光導波路シートを提供する。【解決手段】光導波路シート１０１において、光学部品が実装される面のクラッド２０１を除去することで認識される光路８０１の位置を基準として、当該光学部品を実装する位置を決定し、決定された位置に当該光学部品を実装し、その後、光導波路シートの光学部品が実装された面とは反対の面に、実装された光学部品の位置に合わせてミラーを形成することによって光ユニットを製造する。【選択図】図１０
2016004168.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光路と、当該光路を被覆する被覆部材と、からなり、
前記光路のうちの光学部品との間で入出力される光の伝搬に用いられない部分において、当該光路の位置が認識できる程度に、前記光学部品が実装される側の面の前記被覆部材が除去されたこと特徴とする光導波路シート。
【請求項２】
光学部品が実装される側の面とは反対の面に、当該光学部品が実装された後に形成された、当該光学部品からの光を光路へ送るまたは当該光路からの光を当該光学部品へ送るミラーを備えることを特徴とする請求項１に記載の光導波路シート。
【請求項３】
光路と、当該光路を被覆する被覆部材と、からなり、前記光路のうちの光学部品との間で入出力される光の伝搬に用いられない部分において、当該光路の位置が認識できる程度に、前記光学部品が実装される側の面の前記被覆部材が除去された光導波路シートと、
前記光導波路シートに実装された前記光学部品と、
を備えることを特徴とする光ユニット。
【請求項４】
前記光導波路シートの前記光学部品が実装される側の面とは反対の面に、当該光学部品が実装された後に、当該光学部品からの光を前記光路へ送るまたは当該光路からの光を当該光学部品へ送るミラーが形成されたことを特徴とする請求項３に記載の光ユニット。
【請求項５】
光導波路シートの光学部品が実装される側の面における、当該光学部品との間で入出力される光の伝搬に用いられない光路における所定の位置（以下、「光路の位置」という）を基準として、当該光学部品を実装する位置を決定し、
決定された位置に当該光学部品を実装し、
その後、前記光導波路シートの前記光学部品が実装された側の面とは反対の面に、実装された前記光学部品の位置に合わせて、当該光学部品からの光を光路へ送るまたは当該光路からの光を当該光学部品へ送るミラーを形成することを特徴とする光ユニットの製造方法。
【請求項６】
前記光路の位置は、前記光学部品が実装される面における当該光路を被覆する被覆部材を除去して認識できるようにしたものであることを特徴とする請求項５に記載の光ユニットの製造方法。
【請求項７】
前記光路の位置から光路方向に所定距離だけ離れた位置を、前記光学部品を実装する位置に決定することを特徴とする請求項５または６に記載の光ユニットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光導波路シート、光ユニットおよび光ユニットの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光導波路シートが備える光路にあらかじめ形成されたミラーの位置を基準として、レンズや光素子などの光学部品を光導波路シートに取り付けることによって、光ユニットを形成する技術がある。
【０００３】
関連する先行技術としては、たとえば、光導波路基板における光軸変換ミラーのコア部の輪郭の重心位置を求めた後、当該重心位置に基づいて位置を決定した位置合わせ用凹部を形成し、当該位置合わせ用凹部に基づいて光軸変換ミラーに対する受発光素子の位置決めをおこなうようにした技術がある（たとえば、下記特許文献１を参照）。
【０００４】
また、関連する先行技術としては、たとえば、光信号伝達用コアパターンと併設されたガイド用コアパターンにおいて、光ファイバコネクタなどの凸部と嵌合することにより当該光ファイバコネクタの位置決めをおこなう位置合わせ用ガイド孔を、光導波路の一方の面側に露出させて設けた技術がある（たとえば、下記特許文献２を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−８５６４７号公報
【特許文献２】特開２０１３−１９５４６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した従来の光ユニットの製造方法は、あらかじめ形成されたミラーの位置に、レンズなどの光学部品の位置を精度よく合わせることが難しく、光導波路シートに対する光モジュールの実装精度が低下するという問題点がある。
【０００７】
また、上述した従来の光ユニットの製造方法は、あらかじめミラーが形成された光導波路シートに光学部品を取り付ける過程で、取り付けのための荷重や熱がミラーにかかるなどして、形成されているミラーが変形してしまう。それにより、当該ミラーと光導波路シートに実装された光学部品との光結合の損失の原因となるという問題点がある。
【０００８】
また、上述した特許文献１に記載された従来の技術は、光軸変換ミラーに対する受発光素子の位置決めの基準にミラーを使用しており、上記のようなミラーの変形に起因する光結合の損失の問題がある。上述した特許文献２に記載された従来の技術は、位置決め対象となる光ファイバコネクタなどの凸部を嵌合させる位置合わせ用ガイド孔であり光路中に設けられる光学部品どうしの位置を調整する技術とは異なる。
【０００９】
１つの側面では、本発明は、容易かつ高精度で組立てができ、ミラーの変形を防止することができる光導波路シート、光ユニットおよび光ユニットの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した課題を解決し、目的を達成するため、本発明の一側面によれば、光路と、光路を被覆する被覆部材と、からなり、光路のうちの光学部品との間で入出力される光の伝搬に用いられない部分に対応する所定の位置において、光路の位置が認識できる程度に、光学部品が実装される側の面の被覆部材が除去されたことを特徴とする光導波路シートが提案される。
【００１１】
また、本発明の一側面によれば、光学部品が実装される側の面とは反対の面に、光学部品が実装された後に形成された、光学部品からの光を光路へ送るまたは光路からの光を光学部品へ送るミラーを備えることを特徴とする光導波路シートが提案される。
【００１２】
また、本発明の一側面によれば、光路と、光路を被覆する被覆部材と、からなり、光路のうちの光学部品との間で入出力される光の伝搬に用いられない部分において、光路の位置が認識できる程度に、光学部品が実装される側の面の被覆部材が除去された光導波路シートと、光導波路シートに実装された光学部品と、を備えることを特徴とする光ユニットが提案される。
【００１３】
また、本発明の一側面によれば、光導波路シートと、光導波路シートに実装された光学部品と、を備え、光導波路シートの光学部品が実装される側の面とは反対の面に、光学部品が実装された後に、光学部品からの光を光路へ送るまたは光路からの光を光学部品へ送るミラーが形成されたことを特徴とする光ユニットが提案される。
【００１４】
また、本発明の一側面によれば、光導波路シートの光学部品が実装される側の面における光路の位置を基準として、光学部品を実装する位置を決定し、決定された位置に光学部品を実装し、その後、光導波路シートの光学部品が実装された側の面とは反対の面に、実装された光学部品の位置に合わせて、光学部品からの光を光路へ送るまたは光路からの光を光学部品へ送るミラーを形成することを特徴とする光ユニットの製造方法が提案される。
【００１５】
また、本発明の一側面によれば、光導波路シートの第１面の所定の位置に光学部品を実装し、光学部品を実装した後、第１面とは反対の面に、実装された光学部品の位置に合わせて、光学部品からの光を光路へ送るまたは光路からの光を光学部品へ送るミラーを形成することを特徴とする光ユニットの製造方法が提案される。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の一側面によれば、光学部品の実装面側から光路の位置を確認し、実装後にミラー形成することで、容易かつ高精度で組立てができ、ミラーの変形を防止することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は、本発明の一実施例である光ユニットの外観を示す説明図である。
【図２】図２は、光ユニットの一部を切断した断面を示す説明図である。
【図３】図３は、部品搭載機を示す説明図である。
【図４】図４は、本発明の一実施例である光ユニットの製造方法による光ユニットの製造手順の一例を示すフローチャートである。
【図５】図５は、本発明の一実施例である光ユニットの製造方法を示す説明図（その１）である。
【図６Ａ】図６Ａは、本発明の一実施例である光ユニットの製造方法を示す説明図（その２）である。
【図６Ｂ】図６Ｂは、本発明の一実施例である光ユニットの製造方法を示す説明図（その３）である。
【図７Ａ】図７Ａは、本発明の一実施例である光ユニットの製造方法を示す説明図（その４）である。
【図７Ｂ】図７Ｂは、本発明の一実施例である光ユニットの製造方法を示す説明図（その５）である。
【図８】図８は、本発明の一実施例である光ユニットの製造方法を示す説明図（その６）である。
【図９】図９は、本発明の一実施例である光ユニットの製造方法を示す説明図（その７）である。
【図１０】図１０は、本発明の一実施例である光ユニットの製造方法を示す説明図（その８）である。
【図１１Ａ】図１１Ａは、本発明の一実施例である光ユニットの製造方法を示す説明図（その９）である。
【図１１Ｂ】図１１Ｂは、本発明の一実施例である光ユニットの製造方法を示す説明図（その１０）である。
【図１２Ａ】図１２Ａは、本発明の一実施例である光ユニットの製造方法を示す説明図（その１１）である。
【図１２Ｂ】図１２Ｂは、本発明の一実施例である光ユニットの製造方法を示す説明図（その１２）である。
【図１３】図１３は、本発明の一実施例である光ユニットの製造方法を示す説明図（その１３）である。
【図１４】図１４は、本発明の一実施例である光ユニットの製造方法を示す説明図（その１４）である。
【図１５】図１５は、本発明の一実施例である光ユニットの製造方法を示す説明図（その１５）である。
【図１６】図１６は、本発明の一実施例である光ユニットの製造方法を示す説明図（その１６）である。
【図１７】図１７は、従来の光ユニットの製造方法を示す説明図である。
【図１８】図１８は、光路確認部の形成方法の一例を示す説明図（その１）である。
【図１９】図１９は、光路確認部の形成方法の一例を示す説明図（その２）である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下に添付図面を参照して、本発明にかかる光導波路シート、光ユニットおよび光ユニットの製造方法の実施の形態を詳細に説明する。
【００１９】
＜光ユニットの内容＞
まず、本発明の一実施例である光ユニットの外観について説明する。図１は、本発明の一実施例である光ユニットの外観を示す説明図である。図１において、本発明にかかる光ユニット１００は、光導波路シート１０１と、光モジュール１０２と、を備えている。光導波路シート１０１は、長尺状のシート形状をなす。光モジュール１０２は、光導波路シート１０１の第１面であって、光導波路シート１０１の長さ方向における一方の端部近傍に設けられる。
【００２０】
光導波路シート１０１は、複数本（たとえば、この実施の形態においては１２本）の光路（後述する図８における符号８０１を参照）を備えている。複数本の光路（光配線）は、それぞれ、光導波路シート１０１の長さ方向と平行に配置されている。光導波路シート１０１は、その長さ方向において、光モジュール１０２が設けられている側とは反対側の端部が、光コネクタ１０３の挿入孔に挿入される。これにより、光導波路シート１０１が備える光路は、光コネクタ１０３と接続される。
【００２１】
光コネクタ１０３は、当該光コネクタ１０３において光導波路シート１０１が挿入される側と反対側に、複数個（たとえば、この実施の形態においては１２個）のレンズからなるレンズ群（図示を省略する）を備えている。レンズ群における各レンズは、光導波路シート１０１における各光路と、それぞれ対応する位置に設けられている。レンズ群における各レンズは、光導波路シート１０１における各光路から出射された光を光コネクタ１０３の外側へ送り、または、光コネクタ１０３の外側から各レンズに入射した光を各光路へ送る。
【００２２】
図２は、光ユニット１００の一部を切断した断面を示す説明図である。図２においては、光ユニット１００における光学部品である光モジュール１０２、および、当該光モジュール１０２の周辺の光導波路シート１０１を切断した状態を示している。図２において、光導波路シート１０１は、クラッド２０１と、当該クラッド２０１に被覆されるコア２０２と、を備えている。クラッド２０１は被覆部材を実現し、たとえば、ポリノルボルネン樹脂またはフッ素化ポリイミド樹脂／ポリイミド樹脂などの材料を用いて形成することができる。
【００２３】
コア２０２は、上述した複数本（たとえば、この実施の形態においては１２本）の光路を形成している。光路にはミラー２１４が設けられている。ミラー２１４は、光を屈折させて、光モジュール１０２からの光を光コネクタ１０３側へ送る、または、光コネクタ１０３側からの光を当該光モジュール１０２へ送る。コア２０２は、たとえば、ポリイミドを用いて形成することができる。
【００２４】
光路は、光導波路シート１０１において、複数本（たとえば、本実施の形態では１２本）、所定の間隔をあけて並べて配置されている。光路の間隔は、約１２５μｍである。以後、光路が並べられている方向を「光導波路シート１０１の幅方向」あるいは単に「幅方向」として説明する。光導波路シート１０１の幅方向は、当該光導波路シート１０１の長さ方向に直交する。
【００２５】
光導波路シート１０１の一面側には、シート形状をなすレンズシート２０３が取り付けられる。レンズシート２０３は、常温で粘着性を有するシート樹脂２０４によって、光導波路シート１０１に固定されている。レンズシート２０３は、光導波路シート１０１の幅方向に沿って直線状に配列された複数個（たとえば、この実施の形態においては８個）のレンズ２０５を備えている。複数個のレンズ２０５は、それぞれ、光路の位置に対応付けて設けられている。また、複数個のレンズ２０５は、それぞれ、光導波路シート１０１とは反対側の方向に突出している。
【００２６】
レンズシート２０３における光導波路シート１０１とは反対側には、光モジュール１０２が実装されている。光モジュール１０２は、フレキシブル基板２０６と、光部品電極２０７と、光デバイス部品（ＶＣＳＥＬ：Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ｃａｖｉｔｙ  Ｓｕｒｆａｃｅ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  ＬＡＳＥＲ）２０８と、によって構成される。フレキシブル基板２０６は、たとえば、ＰＩ（ポリイミド）膜２０９と、ＰＩ膜２０９に設けられた電気配線２１０と、によって構成されている。
【００２７】
光モジュール１０２は、フレキシブル基板２０６とレンズシート２０３とを、シート樹脂２０４とは別のシート樹脂２１１によって接着することにより、光導波路シート１０１に固定されている。別のシート樹脂２１１は、シート樹脂２０４と同様に、常温で粘着性を有する。
【００２８】
光部品電極２０７は、たとえば、Ａｕ（金）を用いて製造される突起電極（Ａｕバンプ）によって実現することができる。光部品電極２０７は、フレキシブル基板２０６の電気配線２１０と光デバイス部品２０８との間に設けられ、フレキシブル基板２０６の電気配線２１０と光デバイス部品２０８とを電気的に接続する。光部品電極２０７は、たとえば、アンダーフィル材２１２によりフレキシブル基板２０６に固定される。アンダーフィル材２１２は、また、フレキシブル基板２０６の電気配線２１０と光デバイス部品２０８とを固定する。
【００２９】
光デバイス部品２０８は、垂直共振器面発光レーザなどと称され、発光用の光デバイス（後述する図１０における符号１００２を参照）と受光用の光デバイス（後述する図１０における符号１００３を参照）とを備えている。発光用の光デバイスは、光デバイス部品の基板面に対して垂直方向に共振させたレーザ光を、基板面と垂直方向に出射させる。
【００３０】
発光用の光デバイスは、光導波路シート１０１の幅方向に沿って複数個（たとえば、この実施の形態においては４個）設けられている。発光用の光デバイスは、光導波路シート１０１の厚み方向、すなわち図２における紙面上下方向において、レンズシート２０３における各レンズ２０５と対向して配置されており、当該各レンズ２０５に対してレーザ光を出射する。
【００３１】
受光用の光デバイスは、光路から当該光路に対応するレンズ２０５を介して出射された光を受光する。受光用の光デバイスは、光導波路シート１０１の幅方向に沿って複数個（たとえば、この実施の形態においては４個）設けられている。受光用の光デバイスは、光導波路シート１０１の厚み方向、すなわち図２における紙面上下方向において、レンズシート２０３における各レンズ２０５と対向して配置されている。
【００３２】
光デバイス部品２０８は、発光用の光デバイスにおける発光を制御したり、受光用の光デバイスが受光した光に基づく信号をフレキシブル基板２０６を介して光デバイス部品２０８から出力したりする制御ＩＣ（後述する図１４における符号１４０１を参照）を備えている。光デバイス部品２０８は、消費電力が小さく、低電流でも高速変調が可能、温度変化に対する特性変化の幅が少ないという特徴を有する。
【００３３】
光導波路シート１０１において、光モジュール１０２を実装する面すなわち第一面であって、当該光モジュール１０２を実装する位置の周辺の所定の位置には、光路確認部２１３が設けられている。光路確認部２１３は、光導波路シート１０１の光モジュール１０２が実装される側の面に設けられる。
【００３４】
光路確認部２１３は、光導波路シート１０１における光路の位置が認識できる程度にクラッド２０１が除去されることによって形成されている。具体的には、光路確認部２１３は、たとえば、クラッド２０１が除去されて光路が露出されることによって形成することができる。
【００３５】
光路確認部２１３は、光路の位置が認識できる程度までクラッド２０１が除去されることによって形成されていればよく、光路が完全に露出されるまでクラッド２０１が除去されることによって形成されるものに限らない。光路確認部２１３は、光路を露出させることなく、クラッド２０１の厚み方向における寸法（すなわちクラッド２０１の厚さ）が、光路の位置を認識できる程度の薄さになるように、当該クラッド２０１が除去されることによって形成されていてもよい。
【００３６】
また、光路確認部２１３は、光路に直交する方向に沿ってクラッド２０１が除去されることによって形成されている。これによって、光路確認部２１３により認識される各光路の位置は、光導波路シート１０１の幅方向に沿って直線状に延在する。なお、光路確認部２１３の方向は、光路に直交する方向に限らず、たとえば、光路に対して斜めに交差する方向であってもよい。
【００３７】
光導波路シート１０１におけるレンズシート２０３と反対側には、ミラー２１４が設けられている。ミラー２１４は、光導波路シート１０１の一部を切り欠くことによって形成された、光路方向に対して傾斜する切欠面によって実現される。ミラー２１４は、ミラー面が、光導波路シート１０１における光コネクタ１０３側の端部およびレンズ２０５に対向するように、光路方向に対して傾斜している。ミラー２１４は、たとえば、光導波路シート１０１の外側、すなわち、レンズシート２０３と反対側ほど広く、レンズシート２０３側ほど狭く開口するように、光導波路シート１０１を切り欠くことによって形成することができる。
【００３８】
ミラー２１４が形成されることにより、ミラー２１４よりも終端部側の部分（図２において光路のうちミラー２１４よりも左側部分）は、光路のうちの光モジュール１０２との間で入出力される光の伝搬に用いられない部分となる。図２に示したように、光路確認部２１３は、この部分に対応する所定の位置において、光路の位置が認識できる程度に、光モジュール１０２が実装される側の面のクラッド２０１が除去されることによって形成される。この部分の光路は、光の伝搬に用いられないので、クラッド２０１が除去されていても、光の伝搬に影響を与えない。
【００３９】
なお、光モジュール１０２を構成する各部および光導波路シート１０１の、厚み方向、すなわち、図２における紙面上下方向における寸法は、たとえば以下のように設定することができる。すなわち、光導波路シート１０１のクラッド２０１の厚さは約２５μｍであり、コア２０２の厚さは約５０μｍである。また、レンズシート２０３の厚さは約５０μｍであり、レンズ２０５部分の厚さは約３０μｍであり、シート樹脂２０４、２１１の厚さは約２５μｍである。また、フレキシブル基板２０６の厚さは約２５μｍであり、光部品電極（Ａｕバンプ）２０７の厚さは１５μｍであり、光デバイス部品２０８の厚さは１５０μｍである。
【００４０】
＜部品搭載機の内容＞
つぎに、本発明の一実施例である光ユニット１００の製造方法による光ユニット１００の製造に用いる部品搭載機について説明する。図３は、部品搭載機の一例を示す説明図である。
【００４１】
図３において、部品搭載機３００は、第１の部品を保持するＸＹステージ３０１を備えている。ＸＹステージ３０１は、Ｙ方向（図３における矢印Ｙ方向）に延出するレール３０２に沿ってＹ方向（前後方向）に移動可能に設けられている。レール３０２は、基台３０３に設けられている。基台３０３には、部品供給ステージ３０４が設けられている。部品供給ステージ３０４には、第１の部品に取り付けられる前の状態の第２の部品を載置することができる。
【００４２】
また、部品搭載機３００は、第１の部品に取り付けられる第２の部品を保持する搭載ヘッド３０５を備えている。搭載ヘッド３０５は、Ｚ方向（図３における紙面上下方向）に移動可能に設けられている。これにより、搭載ヘッド３０５が保持する第２の部品を、Ｚ方向に移動させ、第１の部品に対して接離する方向に移動させることができる。また、搭載ヘッド３０５は、Ｘ方向（図３における左右方向）に延出するレール３０６に沿ってＸ方向（左右方向）に移動可能に設けられている。これにより、搭載ヘッド３０５が保持する第２の部品を、Ｘ方向に移動させることができる。
【００４３】
ＸＹステージ３０１と搭載ヘッド３０５との間には、認識カメラ３０７が設けられている。認識カメラ３０７が撮影した画像に基づいて、ＸＹステージ３０１が保持する第１の部品の位置を認識することができる。認識カメラ３０７は、ＸＹステージ３０１に向けて光を照射する光源（図示を省略する）を備えている。
【００４４】
認識カメラ３０７は、Ｘ方向に延出するレール３０８に沿ってＸ方向（左右方向）に移動可能に設けられている。これにより、認識カメラ３０７をＸＹステージ３０１と搭載ヘッド３０５との間から退避させ、第２の部品と第１の部品とを正対させることができる。
【００４５】
部品搭載機３００は、認識カメラ３０７による撮像動作を制御したり、認識カメラ３０７の移動を制御したりする制御部（図示を省略する）を備えている。制御部は、部品搭載機３００が備える光源の点灯／消灯を制御する。また、制御部は、認識カメラ３０７が撮影した画像に基づいて、ＸＹステージ３０１や部品供給ステージ３０４の移動を制御する。
【００４６】
＜製造方法の手順＞
つぎに、本発明の一実施例である光ユニット１００の製造方法について説明する。図４は、本発明の一実施例である光ユニットの製造方法による光ユニットの製造手順の一例を示すフローチャートである。図５、図６Ａ、図６Ｂ、図７Ａ、図７Ｂ、図８、図９、図１０、図１１Ａ、図１１Ｂ、図１２Ａ、図１２Ｂ、図１３、図１４、図１５、図１６は、本発明の一実施例である光ユニットの製造方法を示す説明図である。光ユニットの製造方法は、たとえば、第１工程１〜第６工程の６つの工程から構成される。
【００４７】
（第１工程）
図４のフローチャートにおいて、光ユニットの製造に際しては、まず、光導波路シート１０１に、実装認識用のガイドとしての光路確認部２１３を形成する（ステップＳ４０１）。光路確認部２１３の形成に際しては、たとえば、図５に示すように、レーザー光源５０１から出射されるレーザー光により、光導波路シート１０１の一面側からレーザー加工をおこなう。
【００４８】
レーザー加工により、光導波路シート１０１の幅方向に沿って直線状にクラッド２０１を除去することによって、光路確認部２１３を形成することができる。レーザー加工については、公知の技術を用いて容易に実現可能であるため、説明を省略する。図６Ａにおいては、光路確認部２１３が形成された光導波路シート１０１を正面から見た状態、図６Ｂにおいては、光路確認部２１３が形成された光導波路シート１０１を、図６Ａにおける矢印６００方向から見た状態を示している。
【００４９】
（第２工程）
つぎに、上記の部品搭載機３００におけるＸＹステージ３０１に、第１の部品として、光路確認部２１３が形成された光導波路シート１０１を載置する。部品搭載機３００における部品供給ステージ３０４に、第２の部品として、シート樹脂２０４を載置する。この状態で、認識カメラ３０７が撮影した画像に基づいて光路確認部２１３の位置を認識する。そして、認識した光路確認部２１３の位置に基づいてＸＹステージ３０１をＹ方向に移動させたり、搭載ヘッド３０５をＸ方向に移動させたりして、光導波路シート１０１とシート樹脂２０４との位置関係を決定する。
【００５０】
光導波路シート１０１とシート樹脂２０４との位置関係は、たとえば、シート樹脂２０４の端部が光路確認部２１３から光コネクタ１０３側に所定のオフセット距離（図１０における符号αを参照）分離間した位置関係となるように調整する。所定のオフセット距離は、たとえば、光ユニット１００の設計時にあらかじめ定められる。
【００５１】
そして、認識カメラ３０７をＸＹステージ３０１と搭載ヘッド３０５との間から退避させ、光導波路シート１０１とシート樹脂２０４とが接近するように搭載ヘッド３０５をＺ方向に沿って移動させる。これにより、光路確認部２１３が形成された光導波路シート１０１に、シート樹脂２０４を実装する（ステップＳ４０２）。図７Ａにおいては、シート樹脂２０４が実装された光導波路シート１０１を正面から見た状態、図７Ｂにおいては、シート樹脂２０４が実装された光導波路シート１０１を、図７Ａにおける矢印７００方向から見た状態を示している。
【００５２】
（第３工程）
部品搭載機３００における部品供給ステージ３０４に、第２の部品として、レンズシート２０３を載置する。部品搭載機３００におけるＸＹステージ３０１に、第１の部品として、シート樹脂２０４が実装された光導波路シート１０１を載置する。この状態で、認識カメラ３０７が撮影した画像に基づいて、ＸＹステージ３０１をＹ方向に移動させたり、搭載ヘッド３０５をＸ方向に移動させたりして、レンズシート２０３と、光導波路シート１０１およびレンズシート２０３との位置関係を決定する（ステップＳ４０３）。
【００５３】
光導波路シート１０１とレンズシート２０３との位置関係は、光路確認部２１３を用いて決定することができる。具体的に、光導波路シート１０１とレンズシート２０３との位置関係の決定に際しては、まず、図８に示すように、部品搭載機３００の認識カメラ３０７により、光路確認部２１３に光を当て、その反射した光に基づいて、光路８０１の外形を認識する。
【００５４】
光路確認部２１３（光導波路シート１０１）に当てる光は、光導波路シート１０１の真上から照射する。光路８０１の外形は、たとえば、認識カメラ３０７が撮像した画像における、反射した光による明暗に基づいて認識することができる。
【００５５】
つぎに、認識した光路８０１の外形に基づいて、図９に示すように、光路確認部２１３を形成する各光路８０１のうち、両端の光路８０１の中心点９０１を求める。そして、求めた中心点９０１に基づいて、光導波路シート１０１の幅方向に沿って配列された複数の光路８０１の中心となる位置（仮想軸点）９０２を決定する。仮想軸点９０２は、両端の光路８０１の中心点９０１どうしの中間位置に決定される。各光路８０１の中心点９０１どうしを結んだ仮想軸９０３は、光導波路シート１０１の幅方向と平行とされる。
【００５６】
つぎに、図１０に示すように、光導波路シート１０１とレンズシート２０３との位置関係を調整する。具体的には、光導波路シート１０１の幅方向において仮想軸点９０２とレンズシート２０３の中心点との位置を一致させた状態で、レンズ２０５の中心を結んだ仮想線１００１を仮想軸９０３から所定のオフセット距離α分離間させるように、光導波路シート１０１とレンズシート２０３との位置関係を調整する。
【００５７】
図１０においては、位置関係を調整した状態の光導波路シート１０１およびレンズシート２０３を示している。図１０に示すように、光路確認部２１３により認識される、実際の光路８０１の位置に基づいてレンズシート２０３の位置を調整することにより、各光路８０１と各レンズ２０５との位置を高精度に合わせることができる。光導波路シート１０１におけるレンズシート２０３の実装面側の光路８０１を露出させ、当該光路８０１の位置を基準としてレンズシート２０３を実装することで、レンズシート２０３を容易かつ高精度に実装することができる。
【００５８】
図１０において、符号１００２は発光用の光デバイスを示し、符号１００３は受光用の光デバイスを示している。この実施の形態においては、レンズ２０５、発光用の光デバイス１００２、受光用の光デバイス１００３によって、光導波路シート１０１に実装される光学部品が実現される。
【００５９】
その後、認識カメラ３０７をＸＹステージ３０１と搭載ヘッド３０５との間から退避させ、シート樹脂２０４とレンズシート２０３とが接近するように搭載ヘッド３０５をＺ方向に沿って移動させる。これにより、シート樹脂２０４にレンズシート２０３を載置し（ステップＳ４０４）、光導波路シート１０１とレンズシート２０３とを接着することができる。図１１Ａにおいては、レンズシート２０３が実装された光導波路シート１０１を正面から見た状態、図１１Ｂにおいては、レンズシート２０３が実装された光導波路シート１０１を、図１１Ａにおける矢印１１００方向から見た状態を示している。
【００６０】
（第４工程）
部品搭載機３００におけるＸＹステージ３０１に、第１の部品として、レンズシート２０３が接着された光導波路シート１０１を載置する。部品搭載機３００における部品供給ステージ３０４に、第２の部品として、別のシート樹脂２１１を載置する。そして、認識カメラ３０７が撮影した画像に基づいて、ＸＹステージ３０１をＹ方向に移動させたり、搭載ヘッド３０５をＸ方向に移動させたりして、レンズシート２０３が接着された光導波路シート１０１と別のシート樹脂２１１との位置関係を決定する。別のシート樹脂２１１は、レンズシート２０３における各レンズ２０５を避け、各レンズ２０５と重複する位置を空けた状態で、レンズシート２０３に載置する。
【００６１】
その後、認識カメラ３０７をＸＹステージ３０１と搭載ヘッド３０５との間から退避させ、レンズシート２０３と別のシート樹脂２１１が接近するように搭載ヘッド３０５をＺ方向に沿って移動させる。これにより、レンズシート２０３に別のシート樹脂２１１を実装する（ステップＳ４０５）。図１２Ａにおいては、別のシート樹脂２１１が実装された光導波路シート１０１を正面から見た状態、図１２Ｂにおいては、別のシート樹脂２１１が実装された光導波路シート１０１を、図１２Ａにおける矢印１２００方向から見た状態を示している。
【００６２】
（第５工程）
部品搭載機３００における部品供給ステージ３０４に、第２の部品として、光モジュール１０２を載置する。部品搭載機３００におけるＸＹステージ３０１に、第１の部品として、別のシート樹脂２１１が載置された光導波路シート１０１を載置する。この状態で、認識カメラ３０７が撮影した画像に基づいて、ＸＹステージ３０１をＹ方向に移動させたり、搭載ヘッド３０５をＸ方向に移動させたりして、光モジュール１０２と、レンズシート２０３や別のシート樹脂２１１が実装された光導波路シート１０１との位置関係を決定する（ステップＳ４０６）。
【００６３】
光モジュール１０２と光導波路シート１０１との位置関係の決定は、上記のレンズシート２０３の載置と同様におこなう。具体的には、部品搭載機３００の認識カメラ３０７により、光導波路シート１０１の光路確認部２１３に、真上から光を当てる。そして、光路確認部２１３から反射された光によりコアの外形を認識し、各コアの中心点９０１を求める。その後、求めた中心点９０１に基づいて仮想軸点９０２を決定する。
【００６４】
つぎに、図１３に示すように、光導波路シート１０１の幅方向において仮想軸点９０２と光モジュール１０２の中心点との位置を一致させた状態で、発光用の光デバイス１００２の中心を結んだ仮想線および受光用の光デバイス１００３の中心を結んだ仮想線１３０１を仮想軸９０３から所定のオフセット距離α分離間させる。これにより、光導波路シート１０１と光モジュール１０２との位置関係を調整する。
【００６５】
図１３においては、位置関係を調整した状態の光導波路シート１０１および光モジュール１０２を示している。図１３に示すように光路確認部２１３により認識される、実際の光路８０１の位置に基づいて、光導波路シート１０１に対する光モジュール１０２の位置を調整することにより、各光路８０１と発光用の光デバイス１００２および受光用の光デバイス１００３との位置を高精度に合わせることができる。
【００６６】
その後、認識カメラ３０７をＸＹステージ３０１と搭載ヘッド３０５との間から退避させ、別のシート樹脂２１１と光モジュール１０２とが接近するように搭載ヘッド３０５をＸ方向に沿って移動させる。そして、別のシート樹脂２１１に光モジュール１０２におけるフレキシブル基板２０６を接着することによって、光導波路シート１０１と光モジュール１０２とを固定する（ステップＳ４０７）。
【００６７】
図１４においては、光モジュール１０２が実装された光導波路シート１０１を正面から見た状態を示している。上記の図２は、光モジュール１０２が実装された光導波路シート１０１を、図１４における矢印１４００方向から見た状態を示している。光導波路シート１０１における光モジュール１０２の実装面側の光路８０１を露出させ、当該光路８０１の位置を基準として光モジュール１０２を実装することで、光モジュール１０２を容易かつ高精度に実装することができる。
【００６８】
（第６工程）
光モジュール１０２が取り付けられた光導波路シート１０１に対して、当該光導波路シート１０１における光モジュール１０２とは反対側（裏面側）からレーザー加工をおこない、ミラー２１４を形成する（ステップＳ４０８）。ミラー２１４の形成に際しては、光導波路シート１０１の裏面側から透過して見える（図１５における符号１５０１を参照）レンズ２０５の外形を特定し、特定したレンズ２０５の外形に基づいてレンズ２０５の中心を求める。
【００６９】
そして、光導波路シート１０１の長さ方向において、レンズ２０５の中心がミラー２１４の中心と一致するようにレーザー加工をおこなう。ミラー２１４は、レーザー加工によって光導波路シート１０１の一部を切り欠くことによって形成される端面１５０２によって実現される。これにより、光ユニット１００が完成する。ミラー２１４においては、レンズ２０５の中心から光路確認部２１３側におけるミラー２１４の端部までの長さ（図１５における符号１５０３を参照）と、レンズ２０５の中心から光コネクタ１０３側におけるミラーの端部までの長さ（図１５における符号１５０４を参照）とが等しい。
【００７０】
ミラー２１４の形成は、レーザー加工によっておこなわれるものに限らない。ミラー２１４の形成は、レーザー加工に代えて、たとえば、ダイシング加工によっておこなってもよい。ミラー２１４は、加工に際して水を使用するダイシング加工と比較して、水を使用しないレーザー加工によって形成することが好ましい。
【００７１】
図１６は、コア、レンズおよび光デバイスの位置関係を示す説明図である。図１６においては、光路８０１、レンズ２０５、発光用の光デバイス１００２および受光用の光デバイス１００３の位置関係を示している。図１６においては、光ユニット１００における光モジュール１０２側の一部を、図１４における紙面上方から見た状態を示している。上述した第１工程から第６工程までの各工程を順次おこなうことによって光ユニット１００を製造することにより、図１６に示すように、レンズ２０５、発光用の光デバイス１００２および受光用の光デバイス１００３の位置を、各光路８０１に正確に重複させることができる。
【００７２】
これに対して、従来の光ユニットの製造方法では、あらかじめミラーが形成された光導波路シートに光学部品を実装すると、図１７に示すように、矢印方向への光学部品の荷重によって、あるいは熱によって、符号１７０１に示したように、光導波路シートの出荷時には適正な基準値の範囲内で形成されていたミラーが変形し、基準値の範囲を逸脱してしまう場合がある。図１７は、従来の光ユニットの製造方法を示す説明図である。第６工程によって、光学部品を実装した後に、ミラーを形成することで、このようなミラーの変形を確実に抑制することができる。
【００７３】
上述した実施の形態においては、レーザー加工によって光路確認部２１３を形成する一例について説明したが、光路確認部２１３は、レーザー加工によって形成されるものに限らない。図１８および図１９は、光路確認部の形成方法の一例を示す説明図である。光路確認部２１３は、レーザー加工に代えて、たとえば、図１８に示すように、ブレード１８１０を用いたダイシング（ブレード）加工をおこなうことによって形成してもよく、図１９に示すように、切削研磨用の部材１９１０を用いて切削研磨加工をおこなうことによって形成してもよい。ダイシング（ブレード）加工、切削研磨加工については、レーザー加工と同様に公知の技術を用いて容易に実現可能であるため、説明を省略する。
【００７４】
以上説明したように、この発明にかかる実施の形態の光導波路シート１０１は、光学部品が実装される側の面の所定の位置、たとえば、光路のうちの光モジュール１０２との間で入出力される光の伝搬に用いられない部分（たとえば、図２においてコア２０２のうちのミラー２１４よりも左側部分）において、光路８０１の位置が認識できる程度にクラッド２０１を除去した光路確認部２１３を備えている。これにより、光路確認部２１３に光を照射して光路８０１を光らせることで、光導波路シート１０１の実装面側から、光路８０１の位置を直接認識することができる。
【００７５】
そして、実際に認識される光路８０１の位置に基づいて、光導波路シート１０１に対するレンズ２０５や各光デバイス１００２、１００３などの光学部品の位置決めをおこなうことができる。これにより、ミラー２１４を用いることなく、光学部品を容易かつ高精度に実装することができる。また、光導波路シート１０１に対する光学部品の実装精度を向上させることで、ミラー２１４とレンズ２０５や各光デバイス１００２、１００３との光結合を低損失で実現することができる。
【００７６】
また、この発明にかかる実施の形態の光導波路シート１０１によれば、クラッド２０１を除去し、光路８０１を露出させることで、光路８０１の位置を確実に認識することができる。これにより、光学部品を容易かつ高精度に実装することができる。
【００７７】
また、この発明にかかる実施の形態の光導波路シート１０１によれば、光路８０１に直交する方向に沿ってクラッド２０１を除去することで、光学部品の位置決めを容易におこなうことができる。これによっても、光学部品を容易かつ高精度に実装することができる。
【００７８】
また、この発明にかかる実施の形態の光ユニット１００は、光導波路シート１０１において、光学部品が実装された面とは反対の面に、当該光学部品が実装された後に形成されたミラー２１４を備える。これにより、ミラー２１４の変形が抑制されるので、当該ミラー２１４とレンズ２０５や各光デバイス１００２、１００３との光結合を低損失で実現することができる。
【００７９】
また、この発明にかかる実施の形態の光ユニット１００の製造方法によれば、光導波路シート１０１の光学部品が実装される面側から位置を決定して光学部品を実装し、その後、光導波路シート１０１の光学部品が実装された面とは反対の面にミラーを形成する。これにより、容易かつ高精度に光ユニット１００を組立てることができ、かつ、ミラーの変形を防止して光結合を低損失で実現することができる。
【００８０】
また、この発明にかかる実施の形態の光ユニット１００の製造方法によれば、クラッド２０１を除去し、光路８０１を露出させた光導波路シート１０１を用いることで、光路８０１の位置を確実に認識することができる。これにより、光学部品を容易かつ高精度に実装することができる。
【００８１】
また、この発明にかかる実施の形態の光ユニット１００の製造方法によれば、光路８０１に直交する方向に沿ってクラッド２０１を除去した光導波路シート１０１を用いることで、光学部品の位置決めを容易におこなうことができる。これによっても、光学部品を容易かつ高精度に実装することができる。
【００８２】
また、この発明にかかる実施の形態の光ユニット１００の製造方法によれば、光路確認部２１３の位置から当該光路方向に所定距離αだけ離れた位置を、光学部品を実装する位置に決定する。これにより、光学部品の実装位置を容易かつ高精度に位置決めすることができ、光結合の損失の少ない光ユニット１００を提供することができる。
【００８３】
また、この発明にかかる実施の形態の光ユニット１００の製造方法によれば、光導波路シート１０１において、光学部品の実装面の所定の位置に当該光学部品を実装した後、実装面とは反対の面に、実装された当該光学部品の位置に合わせてミラー２１４を形成する。これにより、ミラー２１４の変形を防止することができ、光結合の損失を抑えることができる。
【００８４】
上述した実施の形態に関し、さらに以下の付記を開示する。
【００８５】
（付記１）光路と、当該光路を被覆する被覆部材と、からなり、
前記光路のうちの光学部品との間で入出力される光の伝搬に用いられない部分において、当該光路の位置が認識できる程度に、前記光学部品が実装される側の面の前記被覆部材が除去されたこと特徴とする光導波路シート。
【００８６】
（付記２）前記被覆部材が除去され、前記光路が露出されたこと特徴とする付記１に記載の光導波路シート。
【００８７】
（付記３）前記光路に直交する方向に沿って前記被覆部材が除去されたことを特徴とする付記１または２に記載の光導波路シート。
【００８８】
（付記４）光学部品が実装される側の面とは反対の面に、当該光学部品が実装された後に形成された、当該光学部品からの光を光路へ送るまたは当該光路からの光を当該光学部品へ送るミラーを備えることを特徴とする付記１〜３のいずれか一つに記載の光導波路シート。
【００８９】
（付記５）光路と、当該光路を被覆する被覆部材と、からなり、前記光路のうちの光学部品との間で入出力される光の伝搬に用いられない部分において、当該光路の位置が認識できる程度に、前記光学部品が実装される側の面の前記被覆部材が除去された光導波路シートと、
前記光導波路シートに実装された前記光学部品と、
を備えることを特徴とする光ユニット。
【００９０】
（付記６）前記光導波路シートの前記光学部品が実装される側の面とは反対の面に、当該光学部品が実装された後に、当該光学部品からの光を前記光路へ送るまたは当該光路からの光を当該光学部品へ送るミラーが形成されたことを特徴とする付記５に記載の光ユニット。
【００９１】
（付記７）前記光導波路シートは、前記被覆部材が除去され、前記光路が露出されたこと特徴とする付記５または６に記載の光ユニット。
【００９２】
（付記８）前記光導波路シートは、前記光路に直交する方向に沿って前記被覆部材が除去されたことを特徴とする付記５〜７のいずれか一つに記載の光ユニット。
【００９３】
（付記９）前記光導波路シートの前記光学部品が実装される側の面とは反対の面に、当該光学部品が実装された後に、当該光学部品からの光を前記光路へ送るまたは当該光路からの光を当該光学部品へ送るミラーが形成されたことを特徴とする付記５〜８のいずれか一つに記載の光ユニット。
【００９４】
（付記１０）光導波路シートの光学部品が実装される側の面における、当該光学部品との間で入出力される光の伝搬に用いられない光路における所定の位置（以下、「光路の位置」という）を基準として、当該光学部品を実装する位置を決定し、
決定された位置に当該光学部品を実装し、
その後、前記光導波路シートの前記光学部品が実装された側の面とは反対の面に、実装された前記光学部品の位置に合わせて、当該光学部品からの光を光路へ送るまたは当該光路からの光を当該光学部品へ送るミラーを形成することを特徴とする光ユニットの製造方法。
【００９５】
（付記１１）前記光路の位置は、前記光学部品が実装される面における当該光路を被覆する被覆部材を除去して認識できるようにしたものであることを特徴とする付記１０に記載の光ユニットの製造方法。
【００９６】
（付記１２）前記光路の位置は、前記被覆部材を除去して当該光路を露出させて認識できるようにしたものであることを特徴とする付記１１に記載の光ユニットの製造方法。
【００９７】
（付記１３）前記光路に直交する方向に沿って前記被覆部材を除去したことを特徴とする付記１１または１２に記載の光ユニットの製造方法。
【００９８】
（付記１４）前記光路の位置から光路方向に所定距離だけ離れた位置を、前記光学部品を実装する位置に決定することを特徴とする付記１０〜１３のいずれか一つに記載の光ユニットの製造方法。
【符号の説明】
【００９９】
１００  光ユニット
１０１  光導波路シート
１０２  光モジュール
２０１  クラッド
２０２  コア
２０３  レンズシート
２０５  レンズ
２１３  光路確認部
２１４  ミラー
１００２、１００３  光デバイス
【図１】
2016004168.tif 000003
【図２】
2016004168.tif 000004
【図３】
2016004168.tif 000005
【図４】
2016004168.tif 000006
【図５】
2016004168.tif 000007
【図６Ａ】
2016004168.tif 000008
【図６Ｂ】
2016004168.tif 000009
【図７Ａ】
2016004168.tif 000010
【図７Ｂ】
2016004168.tif 000011
【図８】
2016004168.tif 000012
【図９】
2016004168.tif 000013
【図１０】
2016004168.tif 000014
【図１１Ａ】
2016004168.tif 000015
【図１１Ｂ】
2016004168.tif 000016
【図１２Ａ】
2016004168.tif 000017
【図１２Ｂ】
2016004168.tif 000018
【図１３】
2016004168.tif 000019
【図１４】
2016004168.tif 000020
【図１５】
2016004168.tif 000021
【図１６】
2016004168.tif 000022
【図１７】
2016004168.tif 000023
【図１８】
2016004168.tif 000024
【図１９】
2016004168.tif 000025