(57)【要約】【課題】リード端子に接触子を確実に接触させることができる検査用プローブを提供する。【解決手段】複数のリード端子を有する電子デバイスに対して電気的特性の検査を行う際に用いられる検査用プローブ２であって、リード端子の下面に接触される第１の接触子５及び第２の接触子６を有する端子接触部７を備え、第１の接触子５と第２の接触子６とは、それぞれの先端側で片持ち支持される弾性支持部８（５ａ，６ａ）を有し、且つ、互いに電気的に絶縁された状態で、端子接触部７の幅方向に交互に少なくとも３つ以上並んで配置されている。【選択図】図４
2016090306.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のリード端子を有する電子デバイスに対して電気的特性の検査を行う際に用いられる検査用プローブであって、
前記リード端子の下面に接触される第１の接触子及び第２の接触子を有する端子接触部を備え、
前記第１の接触子と前記第２の接触子とは、それぞれの先端側で片持ち支持される弾性支持部を有し、且つ、互いに電気的に絶縁された状態で、前記端子接触部の幅方向に交互に少なくとも３つ以上並んで配置されていることを特徴とする検査用プローブ。
【請求項２】
前記第１の接触子と前記第２の接触子との何れか一方の接触子の幅方向の両側に位置する他方の接触子の間の間隔が、前記リード端子の幅よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の検査用プローブ。
【請求項３】
前記第１の接触子及び前記第２の接触子は、前記リード端子の下面に接触される凸部を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の検査用プローブ。
【請求項４】
前記第１の接触子と前記第２の接触子とは、絶縁材を挟み込んだ状態で交互に並んで配置されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の検査用プローブ。
【請求項５】
複数のリード端子を有する電子デバイスに対して電気的特性の検査を行う検査装置であって、
請求項１〜４の何れか一項に記載の検査用プローブを備えることを特徴とする検査装置。
【請求項６】
前記第１の接触子と前記第２の接触子とのうち、電流を流すフォース側に一方の接触子が接続され、電圧を測定するセンス側に他方の接触子が接続されることを特徴とする請求項５に記載の検査装置。
【請求項７】
前記検査用プローブは、前記複数のリード端子と接触される位置にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項５又は６に記載の検査装置。
【請求項８】
前記リード端子が前記検査用プローブと接触する第１の位置と、前記リード端子が前記検査用プローブと離間する第２の位置との間で、前記検査用プローブに対して前記電子デバイスを移動操作する移動操作部を備え、
前記移動操作部は、前記第１の位置において、前記リード端子の下面に前記第１の接触子及び前記第２の接触子を接触させた状態で、前記弾性支持部を下方に撓ませることを特徴とする請求項５〜７の何れか一項に記載の検査装置。
【請求項９】
複数のリード端子を有する電子デバイスに対して電気的特性の検査を行う検査方法であって、
請求項１〜４の何れか一項に記載の検査用プローブを用い、
前記リード端子の下面に前記第１の接触子及び前記第２の接触子を接触させた状態で、前記弾性支持部を下方に撓ませることによって、前記リード端子の下面を前記第１の接触子及び前記第２の接触子で擦った後に、前記電子デバイスに対する検査を行うことを特徴とする検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査用プローブ、検査装置、及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数のリード端子を有する電子デバイスに対して電気的特性の検査を行う検査装置では、リード端子に検査用プローブを接触させることによって、検査対象となる電子デバイス（ワーク）との電気的な導通を図ることが行われる（例えば、特許文献１，２を参照。）。また、検査装置では、電圧降下による測定誤差を防ぐために、電流を流すフォース側の接触子と、電圧を測定するセンス側の接触子とをリード端子に接触させるケルビン測定が行われている。ケルビン測定では、センス側の接触抵抗などを無視できるため、高精度な検出が可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−１４４６６３号公報
【特許文献２】特開２００４−１７０３６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上述したケルビン測定を行う場合は、２つの接触子をリード端子に確実に接触させる必要がある。しかしながら、リード端子の形状によっては接触子を接触させる箇所が必然的に限られてしまう。このため、ワークの搬送にノズル吸着による回転テーブルなどを用いた場合、搬送中のワークの姿勢の影響を受けてしまい、リード端子に対する接触子の位置ずれや角度ずれ等によってコンタクトミスを引き起こすことがあった。
【０００５】
本発明は、このような従来の事情に鑑みて提案されたものであり、リード端子に接触子を確実に接触させることができる検査用プローブ、並びにそのような検査用プローブを用いることによって、信頼性の高い安定した検査を行うことができる検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明に係る検査用プローブは、複数のリード端子を有する電子デバイスに対して電気的特性の検査を行う際に用いられる検査用プローブであって、リード端子の下面に接触される第１の接触子及び第２の接触子を有する端子接触部を備え、第１の接触子と第２の接触子とは、それぞれの先端側で片持ち支持される弾性支持部を有し、且つ、互いに電気的に絶縁された状態で、前記端子接触部の幅方向に交互に少なくとも３つ以上並んで配置されていることを特徴とする。
【０００７】
また、本発明に係る検査装置は、複数のリード端子を有する電子デバイスに対して電気的特性の検査を行う検査装置であって、上記検査用プローブを備えることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明に係る検査方法は、複数のリード端子を有する電子デバイスに対して電気的特性の検査を行う検査方法であって、上記検査用プローブを用い、リード端子の下面に第１の接触子及び第２の接触子を接触させた状態で、弾性支持部を下方に撓ませることによって、リード端子の下面を第１の接触子及び第２の接触子で擦った後に、電子デバイスに対する検査を行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
以上のように、本発明によれば、第１の接触子と第２の接触子とが端子接触部の幅方向に交互に少なくとも３つ以上並んで配置されているため、少なくとも隣り合う第１の接触子と第２の接触子とをリード端子の下面に接触させることによって、リード端子に対して第１の接触子と第２の接触子とを確実に接触させることができる。
【００１０】
さらに、リード端子の下面を第１の接触子及び第２の接触子を接触させた状態で、弾性支持部を下方に撓ませることによって、リード端子の下面を第１の接触子及び第２の接触子で擦ることになる。この場合、リード端子の表面に形成された酸化膜を突き破ることによって、リード端子と端子接触部との電気的な接続信頼性を向上させることができる。
【００１１】
したがって、本発明によれば、リード端子に対する接触子の位置ずれや角度ずれ等による影響を受けることなく、コンタクトミスを防止しつつ、電子デバイスに対して信頼性の高い安定した検査を行うことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態に係る検査装置の構成を示す側面図である。
【図２】（ａ）ワークの構成を示す平面図、（ｂ）ワークの構成を示す側面図である。
【図３】図１に示す検査装置の構成を示す平面図である。
【図４】（ａ）検査用プローブの構成を示す平面図、（ｂ）検査用プローブの構成を示す側面図である。
【図５】図１に示す検査装置を用いてワークの検査を行っている状態を示す側面図である。
【図６】（ａ）リード端子に検査用プローブを接触させた状態を示す平面図、（ｂ）リード端子に検査用プローブを接触させた状態を示す側面図である。
【図７】（ａ）ワークが位置ずれした場合のリード端子に対する検査用プローブの位置を示す平面図、（ｂ）ワークが角度ずれした場合のリード端子に対する検査用プローブの位置を示す平面図である。
【図８】（ａ）従来のワークが位置ずれした場合のリード端子に対する検査用プローブの位置を示す平面図、（ｂ）従来のワークが角度ずれした場合のリード端子に対する検査用プローブの位置を示す平面図である。
【図９】検査用プローブの変形例を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
なお、以下の説明では、各構成要素を見易くするため、図面において構成要素によって寸法の縮尺を異ならせて示すことがある。
【００１４】
（検査用プローブ及び検査装置）
先ず、本発明の一実施形態として図１に示す検査装置１について説明する。
なお、以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部の位置関係について説明する。具体的には、各図中における検査装置１の長さ方向をＸ軸方向とし、各図中における検査装置１の幅方向をＹ軸方向とし、各図中における検査装置１の高さ方向をＺ軸方向とする。
【００１５】
検査装置１は、図１に示すように、複数のリード端子１００を有する電子デバイス（以下、ワークという。）１０１に対して電気的特性の検査を行うものである。
【００１６】
なお、検査対象となるワーク１０１については、検査装置１において検査可能なものであればよい。その中でも、検査装置１は、パッケージ本体１０２の側面から水平方向に引き出され、その途中で鉛直下向きに折り曲げられた後、その先端が水平方向の外側に折り曲げられた形状（いわゆるガルウィング形状）のリード端子１００を有する電子デバイスの検査に好適に用いられる。
【００１７】
本実施形態におけるワーク１０１は、図２に示すように、矩形平板状のパッケージ本体１０２と、このパッケージ本体１０２の一方の側面と、それとは反対側の側面とからそれぞれ引き出された４つのリード端子１００とを備えている。４つのリード端子１００は、上述したガルウィング形状を有し、パッケージ本体１０２の中央部を挟んで対称となる位置（角部の近傍）に各々配置されている。
【００１８】
検査装置１は、図１に示すように、ワーク１０１の各リード端子１００と接触される複数（本実施形態では４つ）の検査用プローブ２と、複数の検査用プローブ２が取り付けられる基台部３と、ワーク１０１を着脱自在に保持すると共に、保持されたワーク１０１を移動操作する移動操作部４とを概略備えている。
【００１９】
複数の検査用プローブ２は、ワーク１０１の各リード端子１００と接触される位置にそれぞれ設けられている。本実施形態では、図１及び図３に示すように、基台部３の上部に位置して、水平方向（Ｘ軸方向）の一方側において互いに平行に並ぶ２つの検査用プローブ２と、水平方向（Ｘ軸方向）の他方側において互いに平行に並ぶ２つの検査用プローブ２とが配置されている。
【００２０】
各検査用プローブ２は、図４（ａ），（ｂ）に示すように、リード端子１００の先端側の下面に接触される第１の接触子５及び第２の接触子６を有する端子接触部７を備えている。
【００２１】
第１の接触子５と第２の接触子６とは、互いに電気的に絶縁された状態で、端子接触部７の幅方向に交互に少なくとも３つ以上並んで配置されている。本実施形態では、１つの第１の接触子５と２つの第２の接触子６とが絶縁材９を挟み込んだ状態で交互に並んで配置されている。すなわち、端子接触部７は、第１の接触子５を挟んだ両側に絶縁材９を介して第２の接触子６が配置された積層構造を有している。
【００２２】
また、第１の接触子（一方の接触子）５の幅方向の両側に位置する第２の接触子（他方の接触子）６の間の間隔Ｓは、図２に示すリード端子１００の幅Ｗよりも小さくなっている（Ｓ＜Ｗ）。検査用プローブ２では、上述したケルビン測定を行うため、電流を流すフォース側に接続された第１の接触子５がフォース電極を形成し、電圧を測定するセンス側に接続された第２の接触子６がセンス電極を形成している。
【００２３】
第１の接触子５及び第２の接触子６は、それぞれの先端側で片持ち支持される弾性支持部８を有している。弾性支持部８は、第１の接触子５の先端側に設けられた第１のカンチレバー５ａと、第２の接触子６の先端側に設けられた第２のカンチレバー６ａとから構成されている。第１のカンチレバー５ａ及び第２のカンチレバー６ａは、端子接触部７の絶縁材９が配置された位置よりも先端側に向かって片持ち梁状に延長して設けられている。
【００２４】
第１の接触子５及び第２の接触子６は、第１のカンチレバー５ａ及び第２のカンチレバー６ａの先端に、リード端子１００の先端側の下面に接触される凸部５ｂ，６ｂを有している。凸部５ｂ，６ｂは、第１のカンチレバー５ａ及び第２のカンチレバー６ａの先端を鉛直上向きに折り曲げた形状を有している。
【００２５】
基台部３は、図１及び図３に示すように、設置面上に起立した状態で設置される本体フレーム１０と、検査用プローブ２を保持する２つのホルダ１１と、本体フレーム１０に対する各ホルダ１１の取付位置を調整する位置調整機構１２とを備えている。
【００２６】
本体フレーム１０の上部には、後述する移動操作部４により昇降操作されるワーク１０１に接触してワーク１０１と一体に昇降移動するワークリフター１３が設けられている。ワークリフター１３は、昇降自在に支持された昇降ステージ１４と、昇降ステージ１４を上方に向かって付勢するコイルスプリング１５とを有している。また、昇降ステージ１４の上面には、ワーク１０１のパッケージ本体１０２を受ける受け部１４ａが設けられている。
【００２７】
ホルダ１１は、ワークリフター１３を挟んだ水平方向（Ｘ軸方向）の両側に位置して、２つの検査用プローブ２をそれぞれ保持している。各ホルダ１１の上部には、２つの検査用プローブ２を収容する収容凹部１１ａが設けられている。２つの検査用プローブ２は、スペーサ１６を挟み込んだ状態で収容凹部１１ａの内側に収容されている。
【００２８】
ホルダ１１は、収容凹部１１ａの一側面を形成する押さえ板１７を有している。押さえ板１７は、ホルダ１１にネジ止めにより取り付けられている。検査用プローブ２及びスペーサ１６は、この押さえ板１７により押し付けられた状態で収容凹部１１ａの内側に保持されている。
【００２９】
なお、スペーサ１６及び押さえ板１７は、２つの検査用プローブ２の電気的な絶縁を図るため、共に絶縁性の樹脂材料からなる。また、検査用プローブ２は、スペーサ１６と押さえ板１７との間から露出する上面を絶縁樹脂等で覆う構成としてもよい。
【００３０】
位置調整機構１２は、本体フレーム１０に取り付けられた第１のガイド部材１８と、第１のガイド部材１８に取り付けられた第２のガイド部材１９と、第２のガイド部材１９に取り付けられた第３のガイド部材２０とを有している。また、本体フレーム１０のホルダ１１が配置される側の両側面には、ガイド溝１０ａが高さ方向（Ｚ軸方向）に沿って設けられている。
【００３１】
第１のガイド部材１８は、縦板部１８ａと横板部１８ｂとが直交する略Ｌ字状の部材からなる。第１のガイド部材１８は、横板部１８ｂを上方に向けた状態で、縦板部１８ａをガイド溝１０ａに嵌合させると共に、縦板部１８ａをガイド溝１０ａの底面にネジ止めすることによって取り付けられている。
【００３２】
第２のガイド部材１９は、縦板部１９ａと横板部１９ｂとが直交する略Ｌ字状の部材からなる。第２のガイド部材１９は、横板部１９ｂを下方に向けた状態で、縦板部１９ａをガイド溝１０ａの底面に対向させると共に、横板部１８ｂを第１のガイド部材１８の横板部１８ｂにネジ止めすることによって取り付けられている。
【００３３】
第３のガイド部材２０は、略Ｉ字状の部材からなる。第３のガイド部材２０は、第２のガイド部材１９の縦板部１９ａに設けられた凹部１９ｃに嵌合された状態で、凹部１９ｃの底面にネジ止めによって取り付けられている。
【００３４】
ホルダ１１には、下面から鉛直下向きに突出した脚部１１ｂが設けられている。ホルダ１１は、脚部１１ｂを第３のガイド部材２０にネジ止めすることによって取り付けられている。
【００３５】
位置調整機構１２は、本体フレーム１０に対するホルダ１１の高さ方向（Ｚ軸方向）の位置を調整する第１の調整部２１と、本体フレーム１０に対するホルダ１１の長さ方向（Ｘ軸方向）の位置を調整する第２の調整部２２と、本体フレーム１０に対するホルダ１１の幅方向（Ｙ軸方向）の位置を調整する第３の調整部２３とを有している。
【００３６】
このうち、第１の調整部２１は、第１の偏心ピン２４を有している。第１の偏心ピン２４は、軸部２４ａと、軸部２４ａに対して偏心された頭部２４ｂとを含む。そして、この第１の偏心ピン２４は、第２のガイド部材１９の縦板部１９ａを貫通する第１の孔部２５ａに軸部２４ａを挿通し、第３のガイド部材２０を貫通する第２の孔部２５ｂ内に頭部２４ｂを位置させた状態で、第１の孔部２５ａから突出した軸部２４ａに抜止めワッシャ２６を取り付けることによって、第１の孔部２５ａ及び第２の孔部２５ｂからの抜け止めがなされている。
【００３７】
第１の調整部２１では、第１の偏心ピン２４を回転させると、第２の孔部２５ｂ内における頭部２４ｂの偏心位置が変化する。これに伴って、第３のガイド部材２０が鉛直方向（Ｚ軸方向）に僅かに移動するため、本体フレーム１０に対するホルダ１１の高さ方向（Ｚ軸方向）の位置を微調整することができる。
【００３８】
一方、第２の調整部２２は、第２の偏心ピン２７を有している。第２の偏心ピン２７は、軸部２７ａと、軸部２７ａに対して偏心された頭部２７ｂとを含む。そして、この第２の偏心ピン２７は、第１のガイド部材１８の横板部１８ｂを貫通する第３の孔部２８ａに軸部２７ａを挿通し、第２のガイド部材１９の横板部１９ｂを貫通する第４の孔部２８ｂ内に頭部２７ｂを位置させた状態で、第３の孔部２８ａから突出した軸部２７ａに抜止めワッシャ２９を取り付けることによって、第３の孔部２８ａ及び第４の孔部２８ｂからの抜け止めがなされている。
【００３９】
第２の調整部２２では、第２の偏心ピン２７を回転させると、第４の孔部２８ｂ内における頭部２７ｂの偏心位置が変化する。これに伴って、第２のガイド部材１９が水平方向（Ｘ軸方向）に僅かに移動するため、本体フレーム１０に対するホルダ１１の幅方向（Ｙ軸方向）の位置を微調整することができる。
【００４０】
一方、第３の調整部２３は、第３の偏心ピン３０を有している。第３の偏心ピン３０は、軸部３０ａと、軸部３０ａに対して偏心された頭部３０ｂとを含む。そして、この第３の偏心ピン３０は、本体フレーム１０の側面を貫通する第５の孔部３１ａに軸部３０ａを挿通し、第１のガイド部材１８の縦板部１８ａを貫通する第６の孔部３１ｂ内に頭部３０ｂを位置させた状態で、第５の孔部３１ａから突出した軸部３０ａに抜止めワッシャ３２を取り付けることによって、第５の孔部３１ａ及び第６の孔部３１ｂからの抜け止めがなされている。
【００４１】
第３の調整部２３では、第３の偏心ピン３０を回転させると、第６の孔部３１ｂ内における頭部３０ｂの偏心位置が変化する。これに伴って、第１のガイド部材１８が幅方向（Ｙ軸方向）に僅かに移動するため、本体フレーム１０に対するホルダ１１の幅方向（Ｙ軸方向）の位置を微調整することができる。
【００４２】
移動操作部４は、吸着ノズル３３を備えている。移動操作部４では、この吸着ノズル３３がパッケージ本体１０２の上面を吸着することによって、ワーク１０１を着脱自在に保持することが可能となっている。また、移動操作部４では、吸着ノズル３３を鉛直方向及び水平方向に移動操作することが可能である。
【００４３】
これにより、移動操作部４では、リード端子１００が検査用プローブ２と接触する位置（第１の位置）と、リード端子１００が検査用プローブ２と離間する位置（第２の位置）との間で、ワーク１０１を移動操作（昇降操作）することが可能となっている。また、移動操作部４では、検査対象となる複数のワーク１０１が収容された位置（第３の位置）と第２の位置との間で、ワーク１０１を移動操作（昇降操作及び水平操作）することによって、ワーク１０１の検査を順次行うことができる。
【００４４】
（検査方法）
次に、上記検査装置１を用いたワーク１０１の検査方法について説明する。
上記検査装置１では、リード端子１００に検査用プローブ２を接触させることによって、検査対象となるワーク１０１との電気的な導通を図ることが行われる。また、上記検査装置１では、電圧降下による測定誤差を防ぐために、電流を流すフォース側の第１の接触子５と、電圧を測定するセンス側の第２の接触子６とをリード端子１００に接触させるケルビン測定が行われる。ケルビン測定では、センス側の接触抵抗などを無視できるため、高精度な検出が可能である。なお、本実施形態では、ワーク１０１の４つのリード端子１００に対して４つの検査用プローブ２を同時に接触させながら、ワーク１０１の検査が行われる。
【００４５】
上記検査装置１を用いてワーク１０１の検査を行う際は、図５に示すように、移動操作部４がワーク１０１を保持した状態で、第２の位置から第１の位置へと移動（下降）する。このとき、ワークリフター１３（昇降ステージ１４）の受け部１４ａにワーク１０１のパッケージ本体１０２が接触しながら、コイルスプリング１５の付勢に抗して昇降ステージ１４を押し下げる。同時に、リード端子２の下面に、第１の接触子５の先端側に設けられた第１のカンチレバー５ａの凸部５ｂと、第２の接触子６の先端側に設けられた第２のカンチレバー６ａの凸部６ｂとが接触した状態となる。この状態で、第１のカンチレバー５ａ及び第２のカンチレバー６ａ（弾性支持部８）を下方に撓ませる。
【００４６】
ここで、端子接触部７では、上述した第１の接触子５の幅方向の両側に位置する第２の接触子６の間の間隔Ｓがリード端子１００の幅Ｗよりも小さくなっている（Ｓ＜Ｗ）。これにより、図６（ａ）に示すように、少なくとも隣り合う第１の接触子５と第２の接触子６とをリード端子１００の下面に接触させることができる。
【００４７】
また、上記検査装置１では、リード端子１００と端子接触部７との互いの中心線を一致させることで、リード端子１００の下面に１つの第１の接触子５と２つの第２の接触子６とを接触させることができる。これにより、リード端子１００に対する検査用プローブ２の良好なコンタクト性能を得ることが可能である。
【００４８】
一方、図７（ａ）に示すように、リード端子１００の幅方向（Ｙ軸方向）に対する端子接触部７の位置ずれが生じた場合でも、上記検査用プローブ２を用いることによって、少なくとも隣り合う第１の接触子５と第２の接触子６とをリード端子１００の下面に接触させることができる。
【００４９】
これに対して、図８（ａ）に示す従来の検査用プローブ２００のように、１つの第１の接触子２０１と１つの第２の接触子２０２とが端子接触部２０３の幅方向に並ぶ構成では、リード端子１００の幅方向（Ｙ軸方向）に対する端子接触部２０３の位置ずれが生じた場合に、第１の接触子２０１と第２の接触子２０２との両方をリード端子１００の下面に接触させることができなくなる。
【００５０】
同様に、図７（ｂ）に示すように、リード端子１００のヨー軸回り（Ｚ軸回り）に対する端子接触部７の角度ずれが生じた場合でも、上記検査用プローブ２を用いることによって、少なくとも隣り合う第１の接触子５と第２の接触子６とをリード端子１００の下面に接触させることができる。
【００５１】
これに対して、図８（ｂ）に示す従来の検査用プローブ２００のように、１つの第１の接触子２０１と１つの第２の接触子２０２とが端子接触部２０３の幅方向に並ぶ構成では、リード端子１００の幅方向（Ｙ軸方向）に対する端子接触部２０３の角度ずれが生じた場合に、第１の接触子２０１と第２の接触子２０１との両方をリード端子１００の下面に接触させることができなくなる。
【００５２】
また、上記検査装置１では、図６（ｂ）に示すように、リード端子２の下面に、第１のカンチレバー５ａの凸部５ｂと第２のカンチレバー６ａの凸部６ｂとを接触させた状態で、第１のカンチレバー５ａ及び第２のカンチレバー６ａ（弾性支持部８）を下方に撓ませることで、リード端子１００の下面を凸部５ｂ，６ｂで擦ることができる。
【００５３】
この場合、リード端子１００の表面に形成された酸化膜を突き破ることによって、リード端子１００と第１の接触子５及び第２の接触子６（端子接触部７）との電気的な接続信頼性を向上させることができる。特に、リード端子１００に対する第１の接触子５及び第２の接触子６の接触部分に、上述した凸部５ｂ，６ｂを設けることによって、このような引っ掻き効果を十分に発揮させることが可能である。
【００５４】
上記検査装置１では、リード端子１００に第１の接触子５及び第２の接触子６（端子接触部７）を接触させた状態で、第１の接触子５にフォース側の電流を流し、第２の接触子６でセンス側の電圧を測定しながら、ワーク１０１に対してケルビン測定を用いた検査が行われる。
【００５５】
以上のように、本実施形態の検査用プローブ２では、第１の接触子５と第２の接触子６とが端子接触部７の幅方向（Ｙ軸方向）に交互に少なくとも３つ以上並んで配置されている。このため、上述したリード端子１００に対する端子接触部７の位置ずれや角度ずれ等が生じた場合でも、少なくとも隣り合う第１の接触子５と第２の接触子６とをリード端子１００の下面に接触させることができる。
【００５６】
したがって、そのような本実施形態の検査用プローブ２を用いた検査装置１では、コンタクトミスを引き起こすことなく、フォース側の第１の接触子５とセンス側の第２の接触子６とをリード端子１００に確実に接触させながら、ケルビン測定による検査を精度良く行うことが可能である。
【００５７】
特に、上述したガルウィング形状を有するリード端子１００では、第１の接触子５及び第２の接触子６（端子接触部７）を接触させる位置が先端側の狭い領域に限られるため、本実施形態の検査用プローブ２を用いることによって、幅狭なリード端子１００に対するコンタクト性能を高めることが可能である。
【００５８】
さらに、本実施形態の検査装置１では、リード端子２の下面に第１のカンチレバー５ａの凸部５ｂと第２のカンチレバー６ａの凸部６ｂとを接触させた状態で、第１のカンチレバー５ａ及び第２のカンチレバー６ａ（弾性支持部８）を下方に撓ませることで、リード端子１００の下面を凸部５ｂ，６ｂで擦りながら、リード端子１００と第１の接触子５及び第２の接触子６（端子接触部７）との電気的な接続信頼性を向上させることが可能である。
【００５９】
以上のように、本発明によれば、リード端子１００に対する端子接触部７の位置ずれや角度ずれ等による影響を受けることなく、コンタクトミスを防止しつつ、ワーク１０１に対して信頼性の高い安定した検査を行うことが可能である。
【００６０】
なお、本発明は、上記実施形態のものに必ずしも限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記検査用プローブ２では、１つの第１の接触子５と２つの第２の接触子６とが交互に並んで配置された構成となっているが、１つの第２の接触子６と２つの第１の接触子５とが交互に並んで配置された構成とすることも可能である。さらに、２つの第１の接触子５と２つの第２の接触子６とが交互に並んで配置された構成とすることも可能である。
【００６１】
また、本発明を適用した検査用プローブとしては、上記検査用プローブ２の構成に必ずしも限定されるものではなく、例えば図９（ａ）〜（ｃ）に示すような検査用プローブ２Ａ〜２Ｃの構成とすることも可能である。
【００６２】
このうち、図９（ａ）に示す検査用プローブ２Ａは、第１のカンチレバー５ａ及び第２のカンチレバー６ａ（弾性支持部８）の先端に、尖状の凸部５ｃ，６ｃを設けた構成である。この構成の場合、リード端子１００に対する引っ掻き効果を高めることが可能である。
【００６３】
一方、図９（ｂ）に示す検査用プローブ２Ｂは、第１のカンチレバー５ａ及び第２のカンチレバー６ａ（弾性支持部８）の先端を折り曲げる代わりに、第１のカンチレバー５ａ及び第２のカンチレバー６ａ（弾性支持部８）の先端に、別の凸部５ｄ，６ｄを取り付けた構成である。この構成の場合、凸部５ｄ，６ｄを第１のカンチレバー５ａ及び第２のカンチレバー６ａとは別部材とすることで、凸部５ｄ，６ｄを交換可能としたり、凸部５ｄ，６ｄに耐摩耗性の高いものを用いたりすることが可能である。
【００６４】
一方、図９（ｃ）に示す検査用プローブ２Ｃは、第１のカンチレバー５ａ及び第２のカンチレバー６ａ（弾性支持部８）の先端に取り付けられた凸部５ｄ，６ｄの先端に、更に突起５ｅ，６ｅを設けた構成である。この構成の場合、リード端子１００に対する引っ掻き効果を高めることが可能である。
【符号の説明】
【００６５】
１…検査装置  ２，２Ａ〜２Ｃ…検査用プローブ  ３…基台部  ４…移動操作部  ５…第１の接触子  ５ａ…第１のカンチレバー  ５ｂ…第１の凸部  ６…第２の接触子  ６ａ…第２のカンチレバー  ６ｂ…第２の凸部  ７…端子接触部  ８…弾性支持部  ９…絶縁材  １０…本体フレーム  １１…ホルダ  １２…位置調整機構  １３…ワークリフター  １４…昇降ステージ  １５…コイルスプリング  １６…スペーサ  １７…押さえ板  １８…第１のガイド部材  １９…第２のガイド部材  ２０…第３のガイド部材  ２１…第１の調整部  ２２…第２の調整部  ２３…第３の調整部  ３３…吸着ノズル  １００…リード端子  １０１…電子デバイス（ワーク）  １０２…パッケージ本体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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