(57)【要約】【課題】対象物を好適に固定すると共に、不必要な反射光による測定品質の劣化を防止する。【解決手段】情報取得装置は、電磁波を対象物（５００）に照射する照射手段（１１０）と、対象物によって反射された電磁波を検出し、対象物に関する情報を取得する取得手段（１４０）と、照射手段の照射方向で見て対象物の背面側に位置し、対象物の位置を固定する固定手段（４３０）とを備える。固定手段は、電磁波を吸収する部材で形成された吸収手段（４３２）を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電磁波を対象物に照射する照射手段と、
前記対象物によって反射された前記電磁波を検出し、前記対象物に関する情報を取得する取得手段と、
前記照射手段の照射方向で見て前記対象物の背面側に位置し、前記対象物の位置を固定する固定手段と
を備え、
前記固定手段は、前記電磁波を吸収する部材で形成された吸収手段を有する
ことを特徴とする情報取得装置。
【請求項２】
前記電磁波は、テラヘルツ波であることを特徴とする請求項１に記載の情報取得装置。
【請求項３】
前記取得手段は、前記対象物に関する情報として、前記対象物の画像を取得することを特徴とする請求項１又は２に記載の情報取得装置。
【請求項４】
前記照射手段を、第１方向及び該第１方向と交わる第２方向に駆動する駆動手段を備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の情報取得装置。
【請求項５】
前記固定手段は、板状の部材であり、前記対象物が配置される配置面側に前記対象物を押圧することで、前記対象物の位置を固定することを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の情報取得装置。
【請求項６】
前記固定手段は、一の辺を支点として回動することで、前記対象物を押圧することを特徴とする請求項５に記載の情報取得装置。
【請求項７】
前記固定手段は、前記配置面に対して平行な状態で移動し、前記対象物を押圧することを特徴とする請求項５に記載の情報取得装置。
【請求項８】
前記固定手段は、前記配置面に対する距離及び傾きを調整可能な状態で、前記対象物を押圧することを特徴とする請求項５に記載の情報取得装置。
【請求項９】
電磁波が照射される対象物を固定する固定具であって、
前記対象物を押圧して固定する固定面と、
前記電磁波を吸収する部材で形成されており、前記固定面の前記電磁波が照射される部分に設けられた吸収手段と
を備えることを特徴とする固定具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象物に電磁波を照射することで対象物に関する情報を取得する情報取得装置、及び電磁波が照射される対象物を固定する固定具の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、テラヘルツ波イメージングの研究開発が活発化しており、例えば非破壊検査等への応用に期待が寄せられている。具体的には、対象物にテラヘルツ波を照射すると共に、対象物で散乱されたテラヘルツ波を検出することで、目視できない対象物の内部構造等を可視化する技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
なお、テラヘルツ波以外の電磁波を利用したイメージング装置としては、可視光を利用したものが知られている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４５０８５７８号
【特許文献２】特開昭５９−０６８７２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
テラヘルツ波を利用してイメージングを行う場合には、テラヘルツ波を発信及び受信するヘッドによる走査が要求されることがある。このような場合、ヘッドを高速で移動させることにより振動が発生し、対象物とヘッドの位置関係がずれてしまうという技術的問題点が発生する。特許文献１では、対象物を溝部に固定するため、振動による対象物の移動は回避できる可能性があるが、溝部の形状によって対象物の形状が限定されてしまうため、上記問題点の解決方法としては不十分である。
【０００６】
一方、対象物で反射されたテラヘルツ波を検出する反射型の装置では、対象物以外の箇所で反射されるテラヘルツ波がノイズとなり、撮像品質が劣化するという技術的問題点が発生する。特許文献１では、上述した不必要な反射光を低減可能な構成が何ら備えられていないため、上記問題点は解決することができない。また、特許文献２では、可視光を利用している関係上、スキャナカバー部に鏡面を設け積極的に電磁波を反射させているため、同様に上記問題点は解決することができない。
【０００７】
本発明が解決しようとする課題には上記のようなものが一例として挙げられる。本発明は、対象物を好適に固定すると共に、不必要な反射光による測定品質の劣化を防止することが可能な情報取得装置及び固定具を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する情報取得装置は、電磁波を対象物に照射する照射手段と、前記対象物によって反射された前記電磁波を検出し、前記対象物に関する情報を取得する取得手段と、前記照射手段の照射方向で見て前記対象物の背面側に位置し、前記対象物の位置を固定する固定手段とを備え、前記固定手段は、前記電磁波を吸収する部材で形成された吸収手段を有する。
【０００９】
上記課題を解決する固定具は、電磁波が照射される対象物を固定する固定具であって、前記対象物を押圧して固定する固定面と、前記電磁波を吸収する部材で形成されており、前記固定面の前記電磁波が照射される部分に設けられた吸収手段とを備える。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施例に係る情報取得装置の全体構成を示す概略構成図である。
【図２】第１実施例に係る検査対象保持部の構成を示す斜視図である。
【図３】第２実施例に係る検査対象保持部の構成を示す斜視図である。
【図４】第３実施例に係る検査対象保持部の構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
＜１＞
本実施形態に係る情報取得装置は、電磁波を対象物に照射する照射手段と、前記対象物によって反射された前記電磁波を検出し、前記対象物に関する情報を取得する取得手段と、前記照射手段の照射方向で見て前記対象物の背面側に位置し、前記対象物の位置を固定する固定手段とを備え、前記固定手段は、前記電磁波を吸収する部材で形成された吸収手段を有する。
【００１２】
本実施形態の情報取得装置によれば、その動作時には、照射手段から対象物に向けて電磁波が照射される。対象物に照射された電磁波は、少なくとも部分的に対象物で反射される。そして、対象物で反射された電磁波は、取得手段により検出される。取得手段では更に、検出した電磁波から対象物に関する情報が取得される。
【００１３】
電磁波を用いて対象物に関する情報を正確に取得するためには、照射手段及び取得手段に対して対象物の位置が固定されていることが望まれる。このため本実施形態では、固定手段により対象物の位置が固定される。なお、固定手段による固定方法については特に限定されるものではない。固定手段は、照射手段の照射方向（即ち、照射された電磁波の進行方向）で見て対象物の背面側に位置するように設けられている。このため、対象物に向けて照射された電磁波の一部は、固定手段に照射され得る。
【００１４】
ここで仮に、固定手段における電磁波の反射率が高いと、取得手段には固定手段で反射された電磁波も多く入射する。このため、取得手段が検出する電磁波には、対象物で反射された電磁波（即ち、対象物に関する情報を取得するために用いる電磁波）だけでなく、固定手段で反射された電磁波（即ち、対象物に関する情報を取得する際にノイズとなる電磁波）も多く含まれ、結果として対象物に関する測定品質が悪化してしまう。
【００１５】
しかるに本実施形態では特に、固定手段が電磁波を吸収する部材で形成された吸収手段を有している。このため、固定手段に照射された電磁波は吸収手段で吸収され、固定手段で反射される電磁波は低減される。よって、取得手段で検出される電磁波に含まれるノイズ（即ち、固定手段で反射された電磁波）の割合を低下させることができる。従って、対象物に関する測定品質の悪化を抑制できる。
【００１６】
なお、吸収手段は、固定手段における電磁波が照射され易い位置に設けられることが好ましい。また、吸収手段は、電磁波に対してできる限り高い吸収率を有することが好ましいが、少なくとも固定手段を形成する部材よりも高い吸収率であれば、上述した効果は相応に得られる。
【００１７】
以上説明したように、本実施形態に係る情報取得装置によれば、対象物を固定して位置ずれを防止すると共に、不要な電磁波の反射を防止して測定品質の悪化を抑制できる。
【００１８】
＜２＞
本実施形態に係る情報取得装置の一態様では、前記電磁波は、テラヘルツ波である。
【００１９】
この態様によれば、照射手段は、例えば光伝導アンテナ（ＰＣＡ：Photo Conductive Antenna）や共鳴トンネルダイオード（ＲＴＤ：Resonant Tunneling Diode）等として構成され、対象物に向けてテラヘルツ波を照射する。また、取得手段も同様に、光伝導アンテナや共鳴トンネルダイオード等を含んで構成され、対象物で反射されたテラヘルツ波を検出する。なお、テラヘルツ波とは、１テラヘルツ（１ＴＨｚ＝１０１２Ｈｚ）前後の周波数領域（つまり、テラヘルツ領域）に属する電磁波である。
【００２０】
テラヘルツ波によれば、その特性を利用して、通常では目視できない対象物の内部構造等に関する情報を取得することが可能となる。テラヘルツ波を用いる場合も、固定手段での反射により測定品質の悪化が起こり得るが、固定手段がテラヘルツ波を吸収する吸収手段を有することで、測定品質の悪化を効果的に抑制できる。
【００２１】
＜３＞
本実施形態に係る情報取得装置の他の態様では、前記取得手段は、前記対象物に関する情報として、前記対象物の画像を取得する。
【００２２】
この態様によれば、測定結果として対象物の画像を取得することが可能であるが、仮にノイズとなる電磁波が多く検出されてしまうと、適切な画像を取得することが困難となる。しかしながら本実施形態では、固定手段が吸収手段を有することで、ノイズとなる電磁波が低減される。従って、ノイズの少ない適切な画像を取得することが可能である。
【００２３】
＜４＞
本実施形態に係る情報取得装置の他の態様では、前記照射手段を、第１方向及び該第１方向と交わる第２方向に駆動する駆動手段を備える。
【００２４】
この態様によれば、照射手段による電磁波の照射範囲、及び取得手段による電磁波の検出範囲が限定されてしまう場合であっても、より広い範囲での測定が可能となる。従って、照射範囲及び検出範囲が限定されてしまうような特性を有する電磁波を利用する場合、或いは対象物が大きく測定範囲が広い場合であっても、好適に測定が行える。
【００２５】
なお、駆動手段による照射手段の駆動は、装置に振動を発生させる原因となることがある。しかしながら本態様では、固定手段により対象物が固定されているため、振動による対象物の位置ずれ等を好適に防止することが可能である。
【００２６】
＜５＞
本実施形態に係る情報取得装置の他の態様では、前記固定手段は、板状の部材であり、前記対象物が配置される配置面側に前記対象物を押圧することで、前記対象物の位置を固定する。
【００２７】
この態様によれば、対象物が配置面に配置された状態で、板状の部材である固定手段による押圧により対象物の固定が実現される。このため、比較的簡単な構成で確実に対象物を固定することが可能である。
【００２８】
本態様における配置面は、照射手段及び取得手段と対象物との間に設けられる。配置面は、テラヘルツ波に対する透過率が高い材料を含んで構成されることが好ましい。
【００２９】
＜６＞
上述した押圧により対象物を固定する態様では、前記固定手段は、一の辺を支点として回動することで、前記対象物を押圧してもよい。
【００３０】
このように構成すれば、固定手段の回動動作により、簡単な構成で好適に対象物を固定することが可能である。
【００３１】
＜７＞
或いは、押圧により対象物を固定する態様では、前記固定手段は、前記配置面に対して平行な状態で移動し、前記対象物を押圧してもよい。
【００３２】
このように構成すれば、押圧の際に対象物に加わる力を均等にすることができる。これにより、対象物と配置面との密着度を均一にして隙間の発生を抑えることができ、隙間に起因して生ずる測定品質の低下を抑制できる。
【００３３】
＜８＞
更に、押圧により対象物を固定する態様では、前記固定手段は、前記配置面に対する距離及び傾きを調整可能な状態で、前記対象物を押圧してもよい。
【００３４】
このように構成すれば、例えば厚みのある対象物、或いは傾きを持った対象物であっても、均等な力で押圧することができる。即ち、固定手段について、配置面との距離及び傾きを調整することで、様々な形状の対象物に対して均等な押圧が実現可能となる。これにより、対象物と配置面との密着度を均一にして隙間の発生を抑えることができ、隙間に起因して生ずる測定品質の低下を抑制できる。
【００３５】
＜９＞
本実施形態に係る固定具は、電磁波が照射される対象物を固定する固定具であって、前記対象物を押圧して固定する固定面と、前記電磁波を吸収する部材で形成されており、前記固定面の前記電磁波が照射される部分に設けられた吸収手段とを備える。
【００３６】
本実施形態の固定具によれば、固定面により対象物を押圧して固定することにより、対象物の位置ずれを防止することができる。よって、対象物に対する電磁波の照射状態、或いは対象物における電磁波の反射状態が変化してしまうことを好適に防止できる。
【００３７】
また本実施形態の固定具によれば、固定面の電磁波が照射される部分に、電磁波を吸収する部材で形成された吸収手段が設けられている。このため、固定面において反射される電磁波を低減できる。よって、対象物で反射された電磁波を利用した測定等においてノイズの低減を実現できる。
【００３８】
本実施形態に係る情報取得装置及び固定具の作用及び他の利得については、以下に示す実施例において、より詳細に説明する。
【実施例】
【００３９】
以下では、図面を参照して本発明の実施例について詳細に説明する。
【００４０】
＜装置構成＞
先ず、図１を参照しながら、本実施例の情報取得装置の全体構成について説明する。ここに図１は、実施例に係る情報取得装置の全体構成を示す概略構成図である。
【００４１】
図１において、本実施例に係る情報取得装置は、テラヘルツ波を検査対象５００に照射すると共に、検査対象５００から反射したテラヘルツ波を検出する。このように、本実施例に係る情報取得装置は、所謂反射型のテラヘルツ波計測装置として構成されている。
【００４２】
テラヘルツ波は、１テラヘルツ（１ＴＨｚ＝１０１２Ｈｚ）前後の周波数領域（つまり、テラヘルツ領域）に属する電磁波である。テラヘルツ領域は、光の直進性と電磁波の透過性を兼ね備えた周波数領域である。テラヘルツ領域は、様々な物質が固有の吸収スペクトルを有する周波数領域である。従って、情報取得装置は、検査対象５００に照射されたテラヘルツ波の周波数スペクトルを解析することで、検査対象５００の特性を分析することができる。
【００４３】
図１に示すように、本実施例に係る情報取得装置は、撮像ヘッド部１００と、制御・信号処理部２００と、ヘッドスキャナ部３００と、検査対象保持部４００とを備えて構成されている。以下では、各部の具体的な構成を、その動作と共に説明する。
【００４４】
本実施例に係る情報取得装置の動作時には、「照射手段」の一具体例であるテラヘルツ波発信部１１０からテラヘルツ波ビームが出射される。具体的には、例えば共鳴トンネルダイオード等を備えて構成されるテラヘルツ波発生素子１１１において発生したテラヘルツ波が、シリコン半球レンズ１１２により効率よく取り出され、コリメートレンズ１１３を介して、テラヘルツ波ビームとして出射される。
【００４５】
テラヘルツ波発信部１１０から出射されたテラヘルツ波ビームは、ビームスプリッタ１２０を透過し、対物レンズ１３０及び試料台４２０を介して検査対象５００へ照射される。照射されたテラヘルツ波ビームは、検査対象５００において反射される。反射されたテラヘルツ波ビームは、再び試料台４２０及び対物レンズ１３０を介して、ビームスプリッタ１２０に入射される。テラヘルツ波ビームは、ビームスプリッタ１２０において反射され、「取得手段」の一具体例であるテラヘルツ波受信部１４０に導かれる。
【００４６】
テラヘルツ波受信部１４０では、対象物に関する情報を有するものとしてテラヘルツ波が検出される。具体的には、集光レンズ１４１によって集光されたテラヘルツ波ビームが、シリコン半球レンズ１４２において効率よくテラヘルツ波検出素子１４３に集められ、テラヘルツ波の強度に応じた信号が検出される。
【００４７】
以上説明した各構成は、撮像ヘッド部１００内に収められている。撮像ヘッド部１００はヘッドスキャナ部３００上で自動走査される。
【００４８】
ヘッドスキャナ部３００は、キャリッジ３１０とスキャン機構３２０とを備えて構成されている。キャリッジ３１０には、撮像ヘッド部１００が設置される。そして、例えばボールねじとステッピングモータ等で構成されたスキャン機構３２０を駆動することにより、キャリッジ３１０が２次元的に移動する。これにより、キャリッジ３１０に固定された撮像ヘッド部１１０による走査が実現される。
【００４９】
他方で、撮像ヘッド部１００及びヘッドスキャナ部３００に対する各種制御、及び撮像ヘッド部１００で検出された信号を処理する制御・信号処理部２００は、信号増幅部２１０と、バイアス生成部２２０と、ロックイン検出部２３０と、スキャナ駆動部２４０と、画像処理部２５０とを備えて構成されている。
【００５０】
信号増幅部２１０は、テラヘルツ波受信部１４０で検出された信号を増幅し、テラヘルツ波受信データ信号としてロックイン検出部２３０に出力する。
【００５１】
バイアス生成部２２０は、バイアス電圧を生成してテラヘルツ波発生素子１１１及びテラヘルツ波検出素子１４３をバイアスし、バイアス電圧に応じて発信又は受信するテラヘルツ波を変化させる。なお、テラヘルツ波発生素子１１１及びテラヘルツ波検出素子１４３が光伝導アンテナの場合は、さらに光を作用させる必要があり、超短パルスレーザー光を照射することによって非常に広帯域のテラヘルツ波の送受信を行うことができる。
【００５２】
テラヘルツ波発生素子１１１及びテラヘルツ波検出素子１４３で発信又は受信されるテラヘルツ波は、一般的に微弱であるため、その検出にはロックイン検出が用いられる。ロックイン検出の際、テラヘルツ波発信部１１０では、テラヘルツ波発生素子１１１のバイアス電圧として変調された参照信号が用いられる。ロックイン検出部２３０は、バイアス生成部２２０により変調されたテラヘルツ波による検出信号と、バイアス生成部２２０から出力された参照信号とを用いて同期検波をする。そして、テラヘルツ波の検出信号の参照信号とで異なる周波数のノイズ成分が除去される。一方、テラヘルツ波検出素子１４３のバイアス電圧として、テラヘルツ波発生素子１１１の特性において検出感度が高くなるような直流電圧が印加される。
【００５３】
スキャナ駆動部２４０は、ヘッドスキャナ部３００のスキャン機構３２０の駆動信号を生成すると同時に、駆動の結果として撮像ヘッドから照射されるテラヘルツ波ビームが検査対象５００のどこに位置するかをモニタするための撮像位置信号を生成する。
【００５４】
画像処理部２５０は、スキャナ駆動部２４０でモニタされる撮像位置信号及び信号増幅部２１０で生成されたテラヘルツ波受信データ信号に基づいてマッピングされたテラヘルツ波イメージ画像を生成する。
【００５５】
検査対象保持部４００は、試料台４２０、スキャナカバー部４３０、並びに試料台４２０及びスキャナカバー部４３０を固定するための筺体４１０を備えて構成されている。
【００５６】
試料台４２０は、テラヘルツ波を効率良く透過する材料（例えば、超高分子量ポリエチレン）等を含んで構成されている。このため、試料台４２０の上に置かれた検査対象５００を、試料台４２０の下側にある撮像ヘッド部１００から発信されるテラヘルツ波を用いて撮像することができる。試料台４２０は、「配置面」の一具体例として機能する。
【００５７】
スキャナカバー部４３０は、検査対象５００を試料台４２０に押し当て位置を固定すると共に、撮像ヘッド部１００から発信されたテラヘルツ波ビームが検査対象５００以外で反射されることを防ぐための内蓋４３２と、内蓋４３２を取り付けるための外蓋４３１で構成されている。内蓋４３２は更に、装置外部へのテラヘルツ波漏えい及び装置内部への不要なテラヘルツ波の混入を防ぐ役割も果たす。スキャナカバー部４３０は、「固定手段」及び「固定具」の一具体例であり、内蓋４３２は、「吸収手段」の一具体例である。
【００５８】
内蓋４３２は、テラヘルツ波を効率よく吸収し、且つ柔軟性のある材料（例えばポリウレタン、クロロプレンゴム、ニトリルゴム、ウールカーペット等）を含んで構成されており、外蓋４３１は強硬な材料（例えば、ＡＢＳ樹脂、アルミニウム等）を含んで構成されている。
【００５９】
本実施例では特に、スキャナカバー部４３０にテラヘルツ波吸収材料を用いた内蓋４３２が取り付けられているため、試料台４２０に置かれた検査対象５００の位置を押圧して固定すると共に、撮像ヘッド部１００から照射されたテラヘルツ波がスキャナカバー部４３０で反射されることを防止できる。よって、例えば撮像ヘッド部１００の操作時に発生する振動に起因して検査対象５００の位置ずれが発生し、正確な測定が行えなくなってしまうことを防止できる。また、スキャナカバー部４３０で反射されたテラヘルツ波がノイズとなって、測定品質を低下させてしまうことを防止できる。
【００６０】
＜スキャナカバー部の構成例＞
以下では、スキャナカバー部４３０の具体的な構成例について、図２から図４を参照して説明する。ここに図２は、第１実施例に係る検査対象保持部の構成を示す斜視図である。また図３は、第２実施例に係る検査対象保持部の構成を示す斜視図であり、図４は、第３実施例に係る検査対象保持部の構成を示す斜視図である。
【００６１】
図２において、第１実施例に係る検査対象保持部４００ａでは、スキャナカバー部４３０の一辺が、蝶番のような開閉機構４４０ａにより筐体４１０に接続されている。これにより、スキャナカバー部４３０は、開閉機構４４０ａを支点として回動可能とされる。このようにスキャナカバー部４３０を構成すれば、極めて容易な動作で検査対象５００を押圧し固定することが可能である。
【００６２】
図３において、第２実施例に係る検査対象保持部４００ｂでは、スキャナカバー部４３０の対向する二辺が、伸縮可能な開閉機構４４０ｂにより筐体４１０に接続されている。これにより、スキャナカバー部４３０は、試料台４２０及び検査対象５００に対して平行に移動することが可能となる。このようにスキャナカバー部４３０を構成すれば、押圧の際に検査対象５００に加わる力を均等にすることができる。よって、検査対象５００と試料台４２０との密着度を均一にして隙間の発生を抑えることができ、隙間に起因して生ずる測定品質の低下を抑制することが可能である。
【００６３】
図４において、第３実施例に係る検査対象保持部４００ｃでは、スキャナカバー部４３０の４角が、ネジである開閉機構４４０ｃを用いて筐体４１０に固定される。これにより、スキャナカバー部４３０の試料台４２０との距離及び傾きを調整することが可能となる。このようにスキャナカバー部４３０を構成すれば、例えば厚みのある検査対象５００、或いは傾きを持った検査対象５００であっても、均等な力で押圧することができる。よって、第２実施例と同様に、検査対象５００と試料台４２０との密着度を均一にして隙間の発生を抑えることができ、隙間に起因して生ずる測定品質の低下を抑制することが可能である。
【００６４】
なお、上述した各実施例はあくまで一例であり、スキャナカバー部４３０は、検査対象５００を押圧して固定する部材として様々な構成をとることができる。
【００６５】
以上説明したように、本実施例に係る情報取得装置によれば、テラヘルツ波を吸収可能な内蓋４３２を有するスキャナカバー部４３０を備えているため、対象物を好適に固定すると共に、不必要な反射光による測定品質の劣化を防止することが可能である。
【００６６】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う情報取得装置及び固定具もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００６７】
１００  撮像ヘッド部
１１０  テラヘルツ波発信部
１１１  テラヘルツ波発生素子
１１２  シリコン半球レンズ
１１３  コリメートレンズ
１２０  ビームスプリッタ
１３０  対物レンズ
１４０  テラヘルツ波受信部
１４１  集光レンズ
１４２  シリコン半球レンズ
１４３  テラヘルツ波検出素子
２００  制御・信号処理部
２１０  信号増幅部
２２０  バイアス生成部
２３０  ロックイン検出部
２４０  スキャナ駆動部
２５０  画像処理部
３００  ヘッドスキャナ部
３１０  キャリッジ
３２０  スキャン機構
４００  検査対象保持部
４１０  筐体
４２０  試料台
４３０  スキャナカバー部
４３１  外蓋
４３２  内蓋
４４０  開閉機構
５００  検査対象
【図１】
2016090550.tif 000003
【図２】
2016090550.tif 000004
【図３】
2016090550.tif 000005
【図４】
2016090550.tif 000006