(57)【要約】【課題】粒子状物質の剥離を抑制し、検出精度を向上することができる粒子状物質検出素子及び粒子状物質検出センサを提供すること。【解決手段】粒子状物質検出素子１は、内燃機関から排出される排ガスに含まれる粒子状物質を検出するための一対の検出電極１２と、電気絶縁性を備えた材料からなる複数の絶縁部材１３とを積層した積層部１１を有している。粒子状物質検出素子１は、一対の検出電極１２と絶縁部材１３との積層方向と直交する方向において、一対の検出電極１２の少なくとも一部を絶縁部材１３から露出させ、粒子状物質の一部を堆積させる被堆積部１０を有している。被堆積部１０において、少なくとも、一対の検出電極１２の間に配置された絶縁部材１３の表面粗度は、１０点平均粗さが０．８μｍ〜８．０μｍである。【選択図】図１
2016090439.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内燃機関から排出される排ガスに含まれる粒子状物質を検出するための一対の検出電極（１２）と、電気絶縁性を備えた材料からなる複数の絶縁部材（１３）とを積層した積層部（１１）を有する粒子状物質検出素子（１）において、
上記一対の検出電極（１２）と上記絶縁部材（１３）との積層方向と直交する方向において、上記一対の検出電極（１２）の少なくとも一部を上記絶縁部材（１３）から露出させ、上記粒子状物質の一部を堆積させる被堆積部（１０）を有しており、
該被堆積部（１０）において、少なくとも、上記一対の検出電極（１２）の間に配置された上記絶縁部材（１３）の表面粗度は、１０点平均粗さが０．８μｍ〜８．０μｍであることを特徴とする粒子状物質検出素子（１）。
【請求項２】
上記一対の検出電極（１２）の間に配置された上記絶縁部材（１３）の表面粗度は、１０点平均粗さが２．０μｍ〜４．５μｍであることを特徴とする請求項１に記載の粒子状物質検出素子（１）。
【請求項３】
上記被堆積部（１０）における上記検出電極（１２）の上記絶縁部材（１３）から露出した露出部（１２３）の表面粗度は、１０点平均粗さが０．８μｍ未満であることを特徴とする請求項１又は２に記載の粒子状物質検出素子（１）。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の粒子状物質検出素子（１）と、該粒子状物質検出素子（１）の周囲を囲むように配設された円筒状のカバー部材（２）とを有しており、
上記粒子状物質検出素子（１）の上記被堆積部（１０）は、上記カバー部材（２）の軸方向において、該カバー部材（２）の先端側を向くように配置されていることを特徴とする粒子状物質検出センサ（１００）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粒子状物質検出素子及び粒子状物質検出センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
内燃機関の排気管には、排ガスに含まれる粒子状物質（Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ  Ｍａｔｔｅｒ：ＰＭ）を捕集する排ガス浄化装置が設けられている。この排ガス浄化装置は、排ガスに含まれる粒子状物質の量を検出する粒子状物質検出センサを有する粒子状物質検出装置を備えており、この粒子状物質検出装置によって得られた情報を基に、排ガス浄化装置の故障検知が行われている。
【０００３】
排ガス浄化装置に用いられる粒子状物質検出センサとしては、例えば、特許文献１に示されたものがある。特許文献１の粒子状物質検出センサは、電極層と絶縁層とを交互に積層し、電極層の端面を露出させた被堆積部を有している。被堆積部に露出した電極層の端面によって、互いに平行に配設された複数の検出電極を形成している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−７８１３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の粒子状物質検出センサには以下の課題がある。
特許文献１の粒子状物質検出センサは、電極層と絶縁層とを交互に積層した後、被堆積部の表面を平滑に研磨することによって、被堆積部上に電極層の端面を露出させる。このように平滑に研磨された被堆積部においては、堆積した粒子状物質の保持力が弱く、粒子状物質の堆積量の増加に伴う重量の増加や、排ガスの流速変化の影響を受け、被堆積部に堆積した粒子状物質が剥離しやすい。被堆積部に堆積した粒子状物質が剥離すると、粒子状物質検出センサの出力が低下し検出精度が低下する。
【０００６】
本発明は、かかる背景に鑑みてなされたものであり、粒子状物質の剥離を抑制し、検出精度を向上することができる粒子状物質検出素子及び粒子状物質検出センサを提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様は、内燃機関から排出される排ガスに含まれる粒子状物質を検出するための一対の検出電極と、電気絶縁性を備えた材料からなる複数の絶縁部材とを積層した積層部を有する粒子状物質検出素子において、
上記一対の検出電極と上記絶縁部材との積層方向と直交する方向において、上記一対の検出電極の少なくとも一部を上記絶縁部材から露出させ、上記粒子状物質の一部を堆積させる被堆積部を有しており、
該被堆積部において、少なくとも、上記一対の検出電極の間に配置された上記絶縁部材の表面粗度は、１０点平均粗さが０．８μｍ〜８．０μｍであることを特徴とする粒子状物質検出素子にある。
【０００８】
また、本発明の他の態様は、上記粒子状物質検出素子と、該粒子状物質検出素子の周囲を囲むように配設された円筒状のカバー部材とを有しており、
上記粒子状物質検出素子の上記被堆積部は、上記カバー部材の軸方向において、該カバー部材の先端側を向くように配置されていることを特徴とする粒子状物質検出センサにある。
【発明の効果】
【０００９】
上記粒子状物質検出素子においては、上記絶縁部材の表面粗度を１０点平均粗さにおいて０．８μｍ〜８．０μｍとし、上記絶縁部材の表面に微小な凹凸を形成している。この微小な凹凸に上記粒子状物質が入り込むことにより、上記絶縁部材の表面における上記粒子状物質の保持力が増大する。したがって、上記被堆積部において、上記一対の検出電極間に堆積して導通パスを形成する上記粒子状物質の剥離を抑制することができる。これにより、上記粒子状物質検出素子の出力低下を抑制し、検出精度を向上することができる。
【００１０】
また、上記粒子状物質検出センサにおいては、上述のごとく上記粒子状物質の剥離を抑制することができる上記粒子状物質検出素子を用いている。そのため、排ガスの流通の影響を受けやすい上記粒子状物質検出素子の先端に上記被堆積部を形成した場合にも、上記粒子状物質検出センサの出力低下を抑制し、検出精度を向上することができる。
また、上記粒子状物質検出素子の上記被堆積部は、上記カバー部材の先端側を向くように配置されている。そのため、上記粒子状物質検出センサの中心軸を中心とする周方向において、上記粒子状物質検出センサの組み付け角度が変化しても、排ガスの流通方向に対する上記被堆積部の向きは変化しない。これにより、上記周方向における上記粒子状物質検出素子の組み付け角度を管理する必要がなく、上記粒子状物質検出センサを容易に組み付けることができる。
【００１１】
以上のごとく、本発明によれば、粒子状物質の剥離を抑制し、検出精度を向上することができる粒子状物質検出素子及び粒子状物質検出センサを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施例１における、粒子状物質検出素子を示す説明図。
【図２】図１における、II−II矢視断面の部分拡大図。
【図３】実施例１における、粒子状物質検出素子の構造を示す説明図。
【図４】実施例１における、粒子状物質検出センサを示す説明図。
【図５】確認試験における、粒子状物質検出素子の出力低下を示すグラフ。
【図６】実施例２における、粒子状物質検出素子の一例を示す部分拡大断面図（図１のII−II矢視断面相当）。
【図７】実施例２における、粒子状物質検出素子の他の例を示す部分拡大断面図（図１のII−II矢視断面相当）。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
上記粒子状物質検出素子は、上記被堆積部において、少なくとも、上記一対の検出電極の間に配置された上記絶縁部材の表面粗度を、１０点平均粗さにおいて０．８μｍ〜８．０μｍとしている。上記絶縁部材の表面粗度が０．８μｍ未満の場合、粒子状物質の粒径に対して、上記絶縁部材の表面に形成される凹凸の大きさが小さくなり、上記絶縁部材における粒子状物質の保持力が低下する。また、上記絶縁部材の表面粗度が８．０μｍを超える場合、上記一対の検出電極間における上記絶縁部材の表面積が大きくなる。そのため、上記一対の検出電極間に形成される導通パスの経路が長くなり、検出感度が低下する。
【００１４】
また、上記一対の検出電極の間に配置された上記絶縁部材の表面粗度は、１０点平均粗さが２．０μｍ〜４．５μｍであることがより好ましい。この場合には、粒子状物質検出素子の生産性を確保しながら、検出感度及び検出精度のバランスがよい粒子状物質検出素子を得ることができる。上記一対の検出電極の間に配置された上記絶縁部材の表面粗度が、１０点平均粗さにおいて２．０μｍ以上とすることで、上記被堆積部の研磨にかかる工程数を低減することができる。また、上記一対の検出電極の間に配置された上記絶縁部材の表面粗度が、１０点平均粗さにおいて４．５μｍ以下とすることにより、上記一対の検出電極の間に配置された上記絶縁部材における表面積の増大を抑制しつつ、粒子状物質の保持力を得ることができる。これにより、検出感度及び検出精度が優れた粒子状物質検出素子を得ることができる。
【００１５】
また、上記被堆積部における上記検出電極の上記絶縁部材から露出した露出部の表面粗度は、１０点平均粗さが０．８μｍ未満であることが好ましい。この場合には、上記検出電極の表面積を小さくし、該検出電極に付着した粒子状物質を、速やかに上記一対の検出電極の間に配置された上記絶縁部材の表面へと移動させることができる。これにより、上記粒子状物質検出素子における検出感度を向上することができる。
【実施例】
【００１６】
（実施例１）
上記粒子状物質検出素子及び上記粒子状物質検出センサにかかる実施例について、図１〜図４を参照して説明する。尚、図２は、被堆積部の表面粗度を誇張して描いたものであり、実際の表面性状とは異なる（後述する図６及び図７についても同様である）。
図１に示すごとく、粒子状物質検出素子１は、内燃機関から排出される排ガスに含まれる粒子状物質を検出するための一対の検出電極１２と、電気絶縁性を備えた材料からなる複数の絶縁部材１３とを積層した積層部１１を有している。
粒子状物質検出素子１は、一対の検出電極１２と絶縁部材１３との積層方向と直交する方向において、一対の検出電極１２の少なくとも一部を絶縁部材１３から露出させ、粒子状物質の一部を堆積させる被堆積部１０を有している。被堆積部１０において、少なくとも、一対の検出電極１２の間に配置された絶縁部材１３の表面粗度は、１０点平均粗さが２．０μｍである。
【００１７】
以下さらに詳細に説明する。
図４に示すごとく、本例の粒子状物質検出素子１は、粒子状物質検出センサ１００の構成部品の一つである。粒子状物質検出センサ１００は、自動車に搭載された内燃機関から、排気管を通じて排出される排ガスに含まれる粒子状物質を検出するためのものである。粒子状物質検出センサ１００によって得られた情報を基に、排ガス浄化装置の故障検知を行う。
粒子状物質検出センサ１００は、排気管の内側に突出するように配設されており、粒子状物質検出センサ１００の軸方向Ｄにおける排気管の内側に配置される端部側を先端側とし、その反対側を基端側とする。尚、本例においては、軸方向Ｄが上下方向と同一方向となり、先端側が下方、基端側が上方に位置する。
【００１８】
粒子状物質検出センサ１００は、上述の粒子状物質検出素子１と、粒子状物質検出素子１の周囲を覆うカバー部材２と、これらを保持するハウジング部材３とを有している。
ハウジング部材３は略円筒状をなしており、内側に粒子状物質検出素子１を挿通保持すると共に、先端面にカバー部材２を保持している。また、ハウジング部材３の外周側面には、雄ネジ部３１が形成されている。この雄ネジ部３１を排気管に貫通形成されたネジ穴に螺合することにより、粒子状物質検出センサ１００の先端側を排気管内に露出させた状態で、粒子状物質検出センサ１００を排気管に固定することができる。また、粒子状物質検出センサ１００は、排気管における排ガス浄化装置の下流側に設けてある。
【００１９】
カバー部材２は、粒子状物質検出素子１を囲む円筒状のカバー壁部２１と、カバー壁部２１の先端に形成されたカバー底部２２と、カバー壁部２１の基端から外周側に向かって立設した鍔部２３とを有している。カバー部材２は、ハウジング部材３の先端面に、鍔部２３をかしめることによって、ハウジング部材３に固定されている。
【００２０】
カバー壁部２１には、複数の排ガス導入孔２１１が貫通形成されている。排ガス導入孔２１１は円形をなしており、軸方向Ｄから見たとき、カバー壁部２１の円周方向に等間隔となるように形成されている。また、排ガス導入孔２１１は、粒子状物質検出素子１の被堆積部１０よりも先端側の位置に形成されている。尚、排ガス導入孔２１１の数及び位置は適宜設定することができる。
カバー底部２２の中心には、軸方向Ｄに貫通形成された排ガス排出孔２２１が形成されている。これにより、排ガス導入孔２１１からカバー部材２内に排ガスを導入し、排ガス排出孔２２１からカバー部材２内の排ガスを排出するように、排ガスの流れを形成することができる。
【００２１】
図１〜図３に示すごとく、粒子状物質検出素子１は、排ガス中の粒子状物質を堆積させる被堆積部１０と、被堆積部１０上に互いに離れて配置された複数の検出電極１２とを備えている。粒子状物質検出素子１は、アルミナ、ジルコニア、マグネシア、ベリリアなどのセラミック材料を板状に成形した絶縁部材１３を９枚積層することにより、棒状に形成されている。９枚の絶縁部材１３のうち８枚には、主面の先端側に導電性材料からなる検出電極１２が形成されている。検出電極１２は、正極１２１と負極１２２とからなり、絶縁部材１３を積層した際に、正極１２１と負極１２２とが交互に配置される。また、検出電極１２において、積層方向の両端にそれぞれ配置される正極１２１及び負極１２２には、検出電極１２から基端側に延びる引き出し電極部１２４が形成されている。
【００２２】
９枚の絶縁部材１３を積層した状態において、検出電極１２と絶縁部材１３との積層方向と直交する方向である先端側に被堆積部１０が形成される。被堆積部１０には、絶縁部材１３と検出電極１２とが交互に積層された積層部１１が形成されている。被堆積部１０は、検出電極１２が形成された絶縁部材１３を積層した後、その先端部を研磨することで、検出電極１２の端面を露出させている。尚、被堆積部１０において露出した検出電極１２における露出部１２３（端面）の表面粗度は、１０点平均粗さにおいて、０．８μｍ以下とした。また、被堆積部１０において、検出電極１２の間に配置された絶縁部材１３の表面粗度は、１０点平均粗さにおいて、２．０μｍとした。本例において、１０点平均粗さの基準長さは、２００μｍとした。また、基準長さは、ＪＩＳ  Ｂ  ０６３３に準ずるものであってもよい。また、被堆積部１０における表面粗度は、検出電極１２、絶縁部材１３及び研磨材の硬度等を考慮し、適宜調整することで、検出電極１２と絶縁部材１３とを異なる表面粗度とすることができる。
【００２３】
粒子状物質検出素子１においては、被堆積部１０に堆積した粒子状物質によって、被堆積部１０に露出した検出電極１２同士が導通することにより、検出電極１２間の電気抵抗値が低減する。検出電極１２の間には電圧が印加されており、検出電極１２間の電気抵抗値の変化に伴い、検出電極１２間を流れる電気信号としての電流量が変化する。これにより、粒子状物質検出素子１から出力される電流値が変化する。つまり、粒子状物質検出素子１から出力される電流値は、被堆積部１０における粒子状物質の堆積量に応じて変化するものであり、粒子状物質の堆積量に関する情報を有するものである。この電流値を用いることで被堆積部１０における粒子状物質の堆積量を検出することができる。本例において、粒子量検出手段において検出された電流は、シャント抵抗を備えたコントロールユニットへと出力され、コントロールユニットは、電流値とシャント抵抗の積で算出される電圧を出力する。この電圧が粒子状物質検出センサ１００の出力となる。
【００２４】
次に、本例の作用効果について説明する。
粒子状物質検出素子１においては、絶縁部材１３の表面粗度を１０点平均粗さにおいて２．０μｍとし、絶縁部材１３の表面に微小な凹凸を形成している。この微小な凹凸に粒子状物質が入り込むことにより、絶縁部材１３の表面における粒子状物質の保持力が増大する。したがって、被堆積部１０において、一対の検出電極１２間に堆積して導通パスを形成する粒子状物質の剥離を抑制することができる。これにより、粒子状物質検出素子１の出力低下を抑制し、検出精度を向上することができる。
【００２５】
また、一対の検出電極１２の間に配置された絶縁部材１３の表面粗度は、１０点平均粗さが２．０μｍ〜４．５μｍである。そのため、粒子状物質検出素子１の生産性を確保しながら、検出感度及び検出精度のバランスがよい粒子状物質検出素子１を得ることができる。
【００２６】
また、被堆積部１０における検出電極１２の絶縁部材１３から露出した露出部１２３の表面粗度は、１０点平均粗さが０．８μｍ未満である。そのため、検出電極１２の表面積を小さくし、該検出電極１２に付着した粒子状物質を、速やかに一対の検出電極１２の間に配置された絶縁部材１３の表面へと移動させることができる。これにより、粒子状物質検出素子１における検出感度を向上することができる。
【００２７】
また、粒子状物質検出センサ１００においては、上述のごとく粒子状物質の剥離を抑制することができる粒子状物質検出素子１を用いている。そのため、排ガスの流通の影響を受けやすい粒子状物質検出素子１の先端部に被堆積部１０を形成した場合にも、粒子状物質検出センサ１００の出力低下を抑制し、検出精度を向上することができる。
また、粒子状物質検出素子１の被堆積部１０は、カバー部材２の先端側を向くように配置されている。そのため、粒子状物質検出センサ１００の中心軸を中心とする周方向において、粒子状物質検出センサ１００の組み付け角度が変化しても、排ガスの流通方向に対する被堆積部１０の向きは変化しない。これにより、周方向における粒子状物質検出素子１の組み付け角度を管理する必要がなく、粒子状物質検出センサ１００を容易に組み付けることができる。
【００２８】
以上のごとく、本発明によれば、粒子状物質の剥離を抑制し、検出精度を向上することができる粒子状物質検出素子１及び粒子状物質検出センサ１００を提供することができる。
【００２９】
（確認試験）
本試験においては、粒子状物質検出素子１の被堆積部１０における絶縁部材１３の表面粗度を変化させた際の検出精度及び検出感度への影響を確認した。
本試験には、上述の実施例１に示した粒子状物質検出素子１と、被堆積部１０における絶縁部材１３の表面粗度を変更した粒子状物質検出素子１とを用いて、検出精度及び検出感度の比較を行った。被堆積部１０の検出電極１２間における絶縁部材１３の表面粗度は、粒子状物質検出素子１０１が０．７μｍ、粒子状物質検出素子１０２が０．８μｍ、粒子状物質検出素子１０３が４．５μｍ、粒子状物質検出素子１０４が４．８μｍ、粒子状物質検出素子１０５が８．０μｍ、粒子状物質検出素子１０６が８．２μｍ、である。
また、その他の構成は実施例１と同様である。尚、本例又は本例に関する図面において用いた符号のうち、実施例１において用いた符号と同一のものは、特に示さない限り、実施例１と同様の構成要素等を表す。
【００３０】
粒子状物質検出素子１が配設された排気管には、粒子状物質濃度が１ｍｇ／ｍ3の排ガスを、３４２０Ｌ／ｍｉｎの排出量となるように流通させた。また、粒子状物質検出素子１の近傍における排ガス温度は２２０℃である。
【００３１】
上述の条件下において、粒子状物質検出素子１における検出精度及び検出感度の確認を行った。検出精度は、粒子状物質検出素子１の出力（電圧）を観察し、粒子状物質の剥離に伴う出力値の低下の有無によって判断した。図５は、縦軸を粒子状物質検出素子１における出力電圧（Ｖ）とし、横軸を捕集時間（ｓ）としたグラフである。粒子状物質検出素子１の出力電圧は、一対の検出電極１２間に導通パスが形成されるまでの間は出力されない。一対の検出電極１２間に導通パスが形成された後は、粒子状物質の堆積量の増大に伴って出力電圧が上昇する。粒子状物質検出素子１において、捕集した粒子状物質が剥離することなく、堆積した場合、実線Ｌ１に示すごとく、時間の経過と共に出力電圧が上昇する。一方、粒子状物質検出素子１において、捕集した粒子状物質の剥離が発生した場合、破線Ｂ１に示すごとく、出力電圧の急落が発生する。
【００３２】
また、検出感度は、粒子状物質検出素子１における不感質量によって判断した。不感質量とは、粒子状物質検出素子１において導通パスが形成され、粒子状物質検出素子１の電気特性が変化するまでの間に、排気管内を流通した排気ガスに含まれる粒子状物質の量を示すものである。
【００３３】
【表１】
2016090439.tif 000003
【００３４】
表１は、確認試験の結果を示すものである。表１における、出力低下の欄には、粒子状物質検出素子１における出力低下の有無を示してある。また、判定１の欄は、粒子状物質検出素子１における出力低下の判定を示すものであり、出力低下があった場合「×」（不可）、出力低下がなかった場合「○」（良）とした。
また、不感質量の欄には、不感質量の計測値を示した。また、判定２の欄は、不感質量に対する判定を示すものであり、不感質量が４０ｍｇを超える場合「×」（不可）、不感質量が４０ｍｇ以下の場合「○」（良）とした。
また、総合判定の欄は、出力低下及び不感質量の少なくとも一方が「×」となる場合「×」（不可）とし、出力低下及び不感質量の両方が「○」の場合「○」（良）とした。
【００３５】
表１に示すごとく、被堆積部１０において、検出電極１２間の絶縁部材１３の表面粗度を１０点平均粗さにおいて０．７μｍとしたとき、粒子状物質検出素子１の出力低下が確認された。また、検出電極１２間の絶縁部材１３の表面粗度を１０点平均粗さにおいて０．８μｍ〜８．２μｍとしたとき、粒子状物質検出素子１の出力低下は確認されなかった。
また、被堆積部１０において、検出電極１２間の絶縁部材１３の表面粗度を１０点平均粗さにおいて０．７μｍ〜８．０μｍとしたとき、不感質量が４０ｍｇ以下となった。また、検出電極１２間の絶縁部材１３の表面粗度を１０点平均粗さにおいて８．２μｍとしたとき、不感質量が４０ｍｇを超えた。また、検出電極１２間の絶縁部材１３の表面粗度を１０点平均粗さにおいて４．５μｍ以下としたとき、不感質量が３０ｍｇ未満となることが確認された。
【００３６】
したがって、被堆積部１０における検出電極１２間の絶縁部材１３の表面粗度を１０点平均粗さにおいて０．８μｍ〜８．０μｍとしたとき、検出精度及び検出感度が優れた粒子状物質検出素子１を得ることができる。さらに、検出電極１２間の絶縁部材１３の表面粗度を１０点平均粗さにおいて４．５μｍ以下とすることで、より検出感度が優れた粒子状物質検出素子１を得ることができる。また、粒子状物質検出素子１における生産性の点から見ると、２．０μｍ以上とすることで研磨作業の効率を向上し、ひいては粒子状物質検出素子１における生産性を向上することができる。
【００３７】
（実施例２）
本例は、実施例１における粒子状物質検出素子１の構造を一部変更したものである。
図６に示す粒子状物質検出素子１は、被堆積部１０における検出電極１２の表面における面粗度を絶縁部材１３の表面における面粗度と同一としたものである。
図７に示す粒子状物質検出素子１は、被堆積部１０における検出電極１２の間に配置された絶縁部材１３以外の絶縁部材１３の表面における面粗度を平滑にしたものである。
また、その他の構成は実施例１と同様である。尚、本例又は本例に関する図面において用いた符号のうち、実施例１において用いた符号と同一のものは、特に示さない限り、実施例１と同様の構成要素等を表す。
【００３８】
図６に示した粒子状物質検出素子１は、被堆積部１０の前面を同一の面粗度としているため、研磨時の作業性が向上し、生産性を向上することができる。
また、図７に示した粒子状物質検出素子１は、被堆積部１０における研磨を行う面積が小さいため、研磨時の作業時間を短縮し、生産性を向上することができる。
また、本例においても実施例１と同様の作用効果を得ることができる。
【符号の説明】
【００３９】
１  粒子状物質検出素子
１０  被堆積部
１１  積層部
１２  検出電極
１３  絶縁部材
【図１】
2016090439.tif 000004
【図２】
2016090439.tif 000005
【図３】
2016090439.tif 000006
【図４】
2016090439.tif 000007
【図５】
2016090439.tif 000008
【図６】
2016090439.tif 000009
【図７】
2016090439.tif 000010