(57)【要約】【課題】蛍光部材に生ずる熱を効率よく排熱することができると共に、蛍光部材と反射鏡などの光学部品との適正な位置関係を維持することのできる光源装置を提供すること。【解決手段】この光源装置は、レーザ光源からの励起光が照射されて蛍光を発す板状の蛍光部材と、反射面が蛍光部材における励起光受光面と対向して配置された反射鏡と、蛍光部材を保持する金属材料よりなる保持構造体とを具えてなり、保持構造体は、筒状の基体部分と、各々内端部が互いに基体部分の中心軸上で接合されると共に、外端部が基体部分と伝熱的に接続された、基体部分の中心軸に沿って延びる複数の導熱板により構成された導熱部分とにより構成されており、蛍光部材は、複数の導熱板の接合部の一側面において保持されており、複数の導熱板の各々の一側面は、内端側から外端側に向かうに従って蛍光板の励起光受光面に対する裏面側方向に変位していることを特徴とする。【選択図】図２
2016066445.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光源と、当該レーザ光源からの励起光が照射されることにより蛍光が発せられる板状の蛍光部材と、反射面が当該蛍光部材における励起光受光面と対向して配置された反射鏡と、当該蛍光部材を保持する金属材料よりなる保持構造体とを具えてなり、
前記保持構造体は、筒状の基体部分と、当該基体部分の内部に設けられた導熱部分とにより構成されており、当該導熱部分は、各々内端部が互いに当該基体部分の中心軸上で接合されると共に、外端部が当該基体部分と伝熱的に接続された、当該基体部分の中心軸に沿って延びる複数の導熱板により構成されており、
前記蛍光部材は、前記複数の導熱板の接合部の一側面において保持されており、
前記複数の導熱板の各々の一側面は、内端側から外端側に向かうに従って蛍光部材の励起光受光面に対する裏面側方向に変位していることを特徴とする光源装置。
【請求項２】
前記複数の導熱板の各々における、前記一側面と反対側に位置される他側面が、内端側から外端側に向かうに従って蛍光部材の励起光受光面に対する裏面側方向に変位していることを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蛍光体をレーザ光で励起して当該蛍光体からの蛍光を出射する光源装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、半導体レーザから射出されたレーザ光によって蛍光体を励起し、蛍光体から発せられる蛍光を、例えば反射鏡やレンズなどによって集光して照射する光源装置が知られている（例えば特許文献１、特許文献２参照。）。
【０００３】
而して、蛍光体物質は、励起光を受けたときにその光エネルギーの一部を熱エネルギーに変換するものであるため、このような光源装置においては、レーザ光が蛍光体に照射されることによって蛍光体が発熱する。蛍光体が高い温度に発熱すると、温度消光によって蛍光体から発せられる蛍光の光量が低下して発光効率が低下する、という問題があるため、蛍光体に生じた熱を効率よく放熱することが必要である。
【０００４】
例えば特許文献２には、蛍光体保持物質の内部に蛍光体が分散された発光部が、反射鏡の中心部を貫いて延びる高熱伝導部材からなる筒状部の先端に固定され、発光部で発生する熱が効率的に反射空間の外部に放熱される構造とされることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４０５４５９４号公報
【特許文献２】特開２０１２−９３５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
而して、このような光源装置においては、蛍光体に入射されたレーザ光の光エネルギーのうち、蛍光に変換されなかった分と、蛍光体の表面によって反射されなかった分は、熱エネルギーに変換されて蛍光体および蛍光体を保持する蛍光体保持部材の温度を上昇させる。また、発生した蛍光の一部並びに蛍光体によって反射されたレーザ光の一部は、蛍光体保持部材に吸収され発熱し、やはり温度上昇の原因となる。
蛍光体保持部材の温度が上昇すると、熱膨張による変形が生じ、蛍光体と蛍光を捕捉する反射鏡との位置関係が変化してしまう。その結果、光源装置から射出される光の出力や分布が変化してしまう、という問題があった。
【０００７】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、蛍光部材に生ずる熱を効率よく排熱することができると共に、蛍光部材と反射鏡などの光学部品との適正な位置関係を維持することのできる光源装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の光源装置は、レーザ光源と、当該レーザ光源からの励起光が照射されることにより蛍光が発せられる板状の蛍光部材と、反射面が当該蛍光部材における励起光受光面と対向して配置された反射鏡と、当該蛍光部材を保持する金属材料よりなる保持構造体とを具えてなり、
前記保持構造体は、筒状の基体部分と、当該基体部分の内部に設けられた導熱部分とにより構成されており、当該導熱部分は、各々内端部が互いに当該基体部分の中心軸上で接合されると共に、外端部が当該基体部分と伝熱的に接続された、当該基体部分の中心軸に沿って延びる複数の導熱板により構成されており、
前記蛍光部材は、前記複数の導熱板の接合部の一側面において保持されており、
前記複数の導熱板の各々の一側面は、内端側から外端側に向かうに従って蛍光板の励起光受光面に対する裏面側方向に変位していることを特徴とする。
【０００９】
本発明の光源装置においては、前記複数の導熱板の各々における、前記一側面と反対側に位置される他側面が、内端側から外端側に向かうに従って蛍光板の励起光受光面に対する裏面側方向に変位する構成とされていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の光源装置によれば、励起光が蛍光部材に照射されることによって蛍光部材に生ずる熱が、保持構造体における導熱部分を介して基体部分に伝熱されて保持構造体の全体から外部に放熱されるので、蛍光部材の温度上昇に伴う温度消光によって蛍光部材から発せられる蛍光の光量が低下することを回避することができる。しかも、使用中に発生する熱に起因した、蛍光板と光学部品との位置関係の変化の程度を、小さく抑制することができるので、光源装置から射出される光の出力や分布の変動を小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の光源装置の一例における構成の概略を示す正面図である。
【図２】図１におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図２における二点鎖線で囲まれた領域を示す部分拡大図である。
【図４】導熱板の形状を示す部分拡大図である。
【図５】本発明の光源装置の他の例における構成の概略を示す、光軸に沿った断面図である。
【図６】図５に示す光源装置における導熱板の形状を示す部分拡大図である。
【図７】実験例において作製した比較用の光源装置の構成の概略を示す、光軸に沿った断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図１は、本発明の光源装置の一例における構成の概略を示す正面図である。図２は、図１におけるＡ−Ａ線断面図である。図３は、図２における二点鎖線で囲まれた領域を示す部分拡大図である。図４は、導熱板の形状を示す部分拡大図である。以下、本明細書においては、反射鏡の光軸を「Ｚ軸」とする三次元直交座標系を想定したとき、蛍光部材の励起光受光面の配置位置を基準として、光源装置の光照射方向を「Ｚ軸正方向」と定義する。
この光源装置は、励起光が照射されることにより蛍光を発する蛍光部材を具えており、蛍光部材は、筒状の保持構造体１０によって保持されている。ここに、蛍光部材は、例えばＹＡＧ（イットリウム・アルミニウム・ガーネット）の多結晶体よりなる蛍光板２５により構成されており、ピーク波長約５５０ｎｍの蛍光を発する。
【００１３】
保持構造体１０は、例えばアルミニウムまたはアルミニウム合金などの熱伝導性材料よりなり、円筒状の基体部分（リム）１１と、この基体部分１１の内周面から保持構造体１０の中心軸Ｃに向かって延びる、蛍光板２５の排熱用伝熱路を構成する導熱部分（スポーク）１６とを有する。
この例における導熱部分１６は、各々保持構造体１０の中心軸Ｃに沿って延びる例えば４枚の平板状の導熱板１７が横断面十字状をなすよう設けられて構成されている。各導熱板１７は、径方向における内端部が互いに接合されており、中心軸Ｃ上において例えば角柱状の接合部１８を構成している。また、径方向における外端部は、基体部分１１の内周面に一体に接合されて伝熱的に接続されている。
【００１４】
導熱板１７の厚みおよび軸方向の長さ寸法は、導熱板１７それ自体による光損失の程度を小さく抑制しながら、一定以上の排熱量（伝熱量）例えば２０Ｗ以上の排熱量が得られるよう、設定することができる。例えば、導熱板１７の厚みは、２ｍｍ以上５ｍｍ以下の大きさとされていることが好ましく、また、導熱板１７の軸方向の長さ寸法は、３０〜８０ｍｍの範囲内の大きさとされていることが好ましい。
なお、本実施例では、４枚の平板状の導熱板１７が横断面十字状に構成された場合を示したが、導熱板１７の枚数および配置パターンは特に限定されるものでない。例えば、３枚の平板状の導熱板１７が横断面１２０度ごとに区切られた構成とされていてもよい。
【００１５】
図３に示すように、各導熱板１７の接合部１８の一側面には、例えば銅（Ｃｕ）とモリブデン（Ｍｏ）との焼結体により構成された蛍光部材支持基板２６が設けられ、この蛍光部材支持基板２６の一面上に蛍光板２５が設けられている。ここに、蛍光板２５と蛍光部材支持基板２６は、例えばＳｎ−Ａｇ−Ｃｕ合金などのハンダ（不図示）によって接合されている。
【００１６】
保持構造体１０を構成する基体部分１１の一端面には、光取出し窓を構成する円板状の窓部材３０が基体部分１１の一端側開口部を塞ぐよう、基体部分１１と窓部材保持枠部材３５とによって挟持されて保持されている。
窓部材３０は、無反射コートが施された、例えばテンパックス（登録商標）などのホウケイ酸ガラスなどにより構成されている。
【００１７】
保持構造体１０を構成する基体部分１１の他端側開口部には、凹所よりなる反射鏡配置部１１ａが形成されており、この反射鏡配置部１１ａには、例えば放物面鏡よりなる反射鏡４０がその反射面が蛍光板２５の励起光受光面２５ａと対向する状態で配置されている。
反射鏡４０は、その光軸ＯM が保持構造体１０の中心軸Ｃと一致し、焦点位置が蛍光板２５の励起光入射面２５ａ上に位置される姿勢で、開口端面が、反射鏡位置規定面ＮS として設定される反射鏡配置部１１ａの平坦面に対接されている。そして、基体部分１１の内周面と反射鏡４０の開口縁部の外周面との間に形成された間隙に注入された接着剤によって、反射鏡４０の外周面が全周にわたって基体部分１１に対して接合されている。
【００１８】
反射鏡４０は、例えばホウケイ酸ガラスなどよりなる基材の内面に、反射膜が形成されて構成されている。この反射鏡４０は、後述する複数の励起光源の各々からの励起光を透過する励起光透過部４３を有する。
反射膜は、励起光および蛍光を反射する機能を有し、例えば、酸化チタン（ＴｉＯ2 ）層および酸化シリコン（ＳｉＯ2 ）層が交互に積層されてなる誘電体多層膜により構成されている。
【００１９】
また、基体部分１１の他端側開口部には、反射鏡配置部１１ａに段部を介して連続する凹所よりなる反射鏡支持部材配置部１１ｂが形成されており、この反射鏡支持部材配置部１１ｂには、反射鏡４０の背面を支持する円環板状の反射鏡支持部材４５が収容されて配置されている。
【００２０】
この光源装置は、複数例えば６個の励起光源を具えている。各々の励起光源は、ＬＤ素子を備えたレーザ光源５０により構成されている。ここに、各々のレーザ光源５０におけるＬＤ素子は、例えば、互いに同一の発振波長のレーザ光を出射する半導体レーザよりなり、具体的には例えば、発振波長が４５５ｎｍである青色のレーザ光を放射するものが用いられる。
【００２１】
各々のレーザ光源５０からのレーザ光（励起光）は、例えば、複数のレーザ光源５０の各々に共通の集光レンズ４８によって集光されながら、反射鏡４０における対応する励起光透過部４３を介して蛍光板２５に照射される。複数のレーザ光源５０の各々からの励起光を集光レンズ４８によって集光して蛍光板２５に照射する構成とされていることにより、蛍光板２５を効率よく励起させて発光させることができる。
集光レンズ４８は、例えば球面レンズにより構成されており、反射鏡４０の背面側において、その光軸ＯL が反射鏡４０の光軸ＯM と一致し、焦点位置が反射鏡４０の焦点位置と一致する姿勢で、配置されている。
【００２２】
而して、上記の光源装置においては、図４にも示すように、複数の導熱板１７の各々の一側面（反射鏡４０の反射面に対向する中心軸Ｃに垂直な平坦面）１７ａは、径方向における内端側から外端側に向かうに従って蛍光板２５の励起光受光面２５ａに対する裏面側方向に変位している。
具体的には、各導熱板１７の一側面１７ａが蛍光板２５の励起光受光面２５ａが位置される平面ＮP に対して離間する方向（Ｚ軸正方向）に傾斜している。この例においては、各導熱板１７の他側面１７ｂは、蛍光板２５の励起光受光面２５ａが位置される平面ＮP と平行である。
導熱板１７の一側面１７ａの、励起光受光面２５ａが位置される平面ＮP に対する傾斜角θ1 は、例えば２〜６°であることが好ましい。このような構成とされていることにより、後述する実験例の結果に示されるように、蛍光板２５と、反射鏡４０や集光レンズ４８などの光学部品との位置関係の変化の程度を小さく抑制することができる。
【００２３】
上記の光源装置においては、複数のレーザ光源５０の各々からの励起光としてのレーザ光は、集光レンズ４８によって集光されながら反射鏡４０の励起光透過部４３を介して蛍光板２５に照射される。レーザ光が蛍光板２５に照射されることにより蛍光板２５から発せられる蛍光は、反射鏡４０により反射されて平行光とされ、蛍光板２５の励起光受光面２５ａによって反射されたレーザ光の反射鏡４０による反射光（青色光）と混合されて白色光として窓部材３０を介して照射される。
一方、例えばレーザ光が照射されることにより蛍光板２５に生じた熱は、保持構造体１０における各々の導熱板１７を介して基体部分１１に伝熱され、保持構造体１０の外周面が主として放熱面として機能して、基体部分１１の全体から外部に放熱される。
【００２４】
而して、上記の光源装置によれば、基本的には、蛍光板２５に生ずる熱が、保持構造体１０における複数の導熱板１７の各々を介して基体部分１１に伝熱されて基体部分１１の全体から外部に放熱されるので、蛍光板２５の温度上昇に伴う温度消光によって蛍光板２５から発せられる蛍光の光量が低下することを回避することができる。
しかも、各導熱板１７の一側面１７ａが、径方向における内端側から外端側に向かうに従って、蛍光板２５の励起光受光面２５ａが位置される平面ＮP に対して離間する方向に傾斜していることによって、蛍光板２５と、反射鏡４０や集光レンズ４８などの光学部品との位置関係の変化の程度を小さく抑制することができる。
【００２５】
すなわち、上述したように、蛍光板２５に入射されるレーザ光のエネルギーのうち、蛍光物質の励起に寄与しなかった分と蛍光板２５によって反射されなかった分は熱エネルギーに変換されて蛍光部材支持基板２６を介して保持構造体１０を加熱する。また、反射鏡４０により反射された蛍光並びに一部のレーザ光が、導熱板１７に入射、吸収されることによっても、やはり保持構造体１０の温度を上昇させる。そして、図７に示すように、各導熱板１７の軸方向における寸法が均一な大きさである光源装置においては、後述する実験例の結果に示されるように、保持構造体１０の温度上昇に起因して、蛍光板２５の励起光受光面２５ａの位置が、反射鏡位置規定面ＮS から遠ざかる方向（Ｚ軸正方向）に変化する。この理由は、保持構造体１０の基体部分１１の熱膨張によって保持構造体１０自体が熱変形を生じるからであると考えられる。
然るに、導熱板１７の一側面１７ａが蛍光板２５の励起光受光面２５ａが位置される平面ＮP に対してＺ軸正方向に傾斜していることにより、上記構成の光源装置によれば、各導熱板１７の熱膨張による励起光受光面２５ａの軸方向位置の変位は、反射鏡位置規定面ＮS に接近する方向（Ｚ軸負方向）に生ずる。従って、保持構造体１０の熱膨張による励起光受光面２５ａの位置の変位の方向と、導熱板１７の熱膨張による励起光受光面２５ａの位置の変位の方向とが互いに逆方向であることにより、蛍光板２５と反射鏡４０等の光学部品との位置関係の変化の程度を小さく抑制することができる。なお、保持構造体１０の構造は中心軸対称であるので、保持構造体１０の中心軸に垂直な方向、すなわち保持構造体１０の径方向の変位については考えなくてよい。
従って、上記構成の光源装置によれば、所期の光出力の光を所期の分布で照射することができる。
【００２６】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の変更を加えることができる。
図５は、本発明の光源装置の他の例における構成の概略を示す、光軸に沿った断面図である。図６は、図５に示す光源装置における導熱板の形状を示す部分拡大図である。
この光源装置は、保持構造体１０における導熱板１７の構成が異なる他は、図１乃至図４に示す構成の光源装置と同一の構成を有し、便宜上、同一の構成部材については同一の符合が付してあり、説明を省略する。
【００２７】
この光源装置の保持構造体１０においては、複数の導熱板１７の各々における、一側面１７ａおよび当該一側面１７ａと反対側に位置される他側面１７ｂが、内端側から外端側に向かうに従って蛍光板２５の励起光受光面２５ａに対する裏面側方向に変位している。
具体的には、各導熱板１７の一側面１７ａが蛍光板２５の励起光受光面２５ａが位置される平面ＮP に対して離間する方向（Ｚ軸正方向）に傾斜している。また、各導熱板１７の他側面１７ｂは、反射鏡位置規定面ＮS と平行な接合部１８の他側面が位置される平面ＮR に対して離間する方向（Ｚ軸正方向）に傾斜している。
【００２８】
導熱板１７の一側面１７ａの、励起光受光面２５ａが位置される平面ＮP に対する傾斜角θ1 および導熱板１７の他側面１７ｂの、接合部１８の他側面が位置される平面ＮR に対する傾斜角θ2 は、例えば１．５〜５．５°であることが好ましい。ここに、θ1 およびθ2 の大きさは、互いに同一であっても、異なっていてもよい。
導熱板１７の一側面１７ａだけでなく他側面１７ｂも、励起光受光面２５ａに対する裏面側方向（Ｚ軸正方向）に傾斜していることにより、図１乃至図４に示す光源装置に係る導熱板１７よりも、接合部１８から基体部分１１に至る熱抵抗が小さくなるので、冷却条件が同一であれば、蛍光板２５に生じた熱を一層高い効率で排熱することができる。また、導熱板１７の熱膨張による励起光受光面２５ａの配置位置のＺ軸負方向への変位作用が強くなるため、蛍光板２５と、反射鏡４０や集光レンズ４８などの光学部品との位置関係の変化の程度を一層小さく抑制することができる。
【００２９】
このように、上記の光源装置によれば、図１乃至図４に示す構成の光源装置と同一の効果を一層確実に得ることができる。
【００３０】
また、本発明の光源装置においては、保持構造体１０の外周面が、主として、蛍光板２５に生じた熱を放熱する放熱面として機能する構成とされているため、保持構造体１０は、その外周面に放熱面積を拡大する放熱用凹凸構造を有する構成とされていてもよい。
放熱用凹凸構造の具体的構成は、特に限定されるものではないが、保持構造体１０の外周面に一体に設けられた放熱用フィンにより構成することができる。
【００３１】
以下、本発明の効果を確認するために行った実験例について説明する。
＜実験例１＞
図１乃至図４に示す構成に従って、本発明に係る光源装置を作製した。この光源装置の仕様を以下に示す。
〔保持構造体（１０）〕
基体部分（１１）：材質；アルミニウム合金、外径；φ２６０ｍｍ、内径φ２１０ｍｍ、軸方向寸法（長さ）；７７ｍｍ
導熱部分（１６）：横断面十字状に構成された４枚の導熱板（１７）により構成、導熱板（１７）の材質；アルミニウム合金、導熱板（１７）の厚み：４ｍｍ、導熱板（１７）の接合部（１８）を構成する内端側部分の軸方向寸法：３０ｍｍ、導熱板（１７）の一側面（１７ａ）の励起光受光面（２５ａ）に対する傾斜角（θ1 ）：４°
〔蛍光板（２５）〕
材質；ＹＡＧ（イットリウム・アルミニウム・ガーネット）の多結晶体、形状；５ｍｍ角、厚さ０．１７ｍｍ、中心軸（Ｃ）上における励起光受光面（２５ａ）と反射鏡規定面（ＮS ）との離間距離；２２ｍｍ
〔蛍光部材支持基板（２６）〕
材質；Ｃｕ−Ｍｏ合金、形状；１５ｍｍ角、厚さ０．５ｍｍ
〔レーザ光源（５０）〕
レーザ光源の数：６個
ＬＤ素子：発振波長４５５ｎｍ
【００３２】
この光源装置について、レーザ光源（５０）を蛍光板（２５）の励起光受光面（２５ａ）に入射されるレーザ光の入力が１００Ｗとなる点灯条件で点灯させたときの、蛍光板（２５）の励起光受光面（２５ａ）のＺ軸方向の変位量を測定した。結果を表１に示す。ここに、Ｚ軸方向の変位量とは、保持構造体（１０）の中心軸（Ｃ）上における、反射鏡位置規定面（ＮS ）と蛍光板（２５）の励起光受光面（２５ａ）が位置される面（ＮP ）とのＺ軸方向の距離が、室温状態（レーザ光源を点灯させる前の状態）からどの程度変化したかを示すものであり、その値が正であれば、蛍光板（２５）の励起光受光面（２５ａ）の位置が反射鏡位置規定面（ＮS ）から離れる方向に変位したことを表す。
【００３３】
＜実験例２＞
図５および図６に示す構成に従って、本発明に係る光源装置を作製した。この光源装置は、導熱板（１７）が、以下に示す構成のものであることの他は、実験例１において作製した光源装置と同一の構成を有する。
導熱板（１７）の軸方向寸法：３０ｍｍ（径方向に均一な大きさ）、導熱板（１７）の一側面（１７ａ）の励起光受光面（２５ａ）に対する傾斜角（θ1 ）：３°、導熱板（１７）の他側面（１７ｂ）の、接合部（１８）の他側面が位置される平面（ＮR ）に対する傾斜角（θ2 ）：３°
【００３４】
この光源装置について、実験例１と同様の方法により、蛍光板（２５ａ）の励起光受光面（２５ａ）のＺ軸方向の変位量を測定した。結果を表１に示す。
【００３５】
＜参考例１＞
図７に示す構成に従って、本発明に係る光源装置を作製した。この光源装置は、導熱板（１７）が、以下に示す構成のものであることの他は、実験例１において作製した光源装置と同一の構成を有する。
導熱板（１７）の軸方向寸法：３０ｍｍ（径方向に均一な大きさ）、導熱板（１７）の一側面（１７ａ）の励起光受光面（２５ａ）に対する傾斜角（θ1 ）：０°
【００３６】
この光源装置について、実験例１と同様の方法により、蛍光板（２５）の励起光受光面（２５ａ）のＺ軸方向の変位量を測定した。結果を表１に示す。
【００３７】
【表１】
2016066445.tif 000003
【００３８】
以上の結果より、導熱板の少なくとも一側面を傾斜させることにより、蛍光板の励起光受光面のＺ軸方向の変位量を小さく抑制することができることが確認された。また、導熱板の一側面および他側面を傾斜させることにより、Ｚ軸方向の変位量を一層小さく抑制することができることが確認された。
【符号の説明】
【００３９】
１０    保持構造体
１１    基体部分
１１ａ  反射鏡配置部
１１ｂ  反射鏡支持部材配置部
１６    導熱部分
１７    導熱板
１７ａ  一側面
１７ｂ  他側面
１８    接合部
２５    蛍光板
２５ａ  励起光受光面
２６    蛍光部材支持基板
３０    窓部材
３５    窓部材保持枠部材
４０    反射鏡
４３    励起光透過部
４５    反射鏡支持部材
４８    集光レンズ
５０    レーザ光源
Ｃ      保持構造体の中心軸
ＯM     反射鏡の光軸
ＯL     集光レンズの光軸
【図１】
2016066445.tif 000004
【図２】
2016066445.tif 000005
【図３】
2016066445.tif 000006
【図４】
2016066445.tif 000007
【図５】
2016066445.tif 000008
【図６】
2016066445.tif 000009
【図７】
2016066445.tif 000010