(57)【要約】【課題】粒子の検出精度を向上させることができる粒子検出センサなどを提供する。【解決手段】粒子検出センサ２００は、粒子を含む気体が内部に流入するための流入口２１１を有する筐体２１０と、筐体２１０に覆われた検知領域ＤＡにおいて互いの光軸が交差するように配置された投光系２２１及び受光系２２２を有し、検知領域ＤＡを通過する粒子を、投光系２２１が出力する光を用いて検出する光学系２２０と、投光系２２１から出力されて検知領域ＤＡを通った光をトラップする第１光トラップ２４０と、流入口２１１と第１光トラップ２４０との間に設けられた壁であって、気体が第１光トラップ２４０に進入しないように気体を誘導する第１気体誘導壁２３０とを備える。【選択図】図１０Ａ
2016090350.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粒子を含む気体が内部に流入するための流入口を有する筐体と、
前記筐体に覆われた検知領域において互いの光軸が交差するように配置された投光系及び受光系を有し、前記検知領域を通過する粒子を、前記投光系が出力する光を用いて検出する光学系と、
前記投光系から出力されて前記検知領域を通った光をトラップする第１光トラップと、
前記流入口と前記第１光トラップとの間に設けられた壁であって、前記気体が前記第１光トラップに進入しないように前記気体を誘導する第１気体誘導壁とを備える
粒子検出センサ。
【請求項２】
前記流入口は、前記筐体の側面に設けられた所定形状の開口であり、
所定の方向において、前記第１気体誘導壁の幅は、前記開口の幅より長く、かつ、前記第１光トラップの幅より長い
請求項１に記載の粒子検出センサ。
【請求項３】
前記筐体は、互いに対向する２つの内面を有し、
前記第１気体誘導壁は、前記２つの内面を接続している
請求項１又は２に記載の粒子検出センサ。
【請求項４】
前記筐体は、互いに対向する２つの内面を有し、
前記第１気体誘導壁は、
前記２つの内面の一方から立設した第１壁と、
前記２つの内面の他方から立設した第２壁とを有し、
前記第１壁と前記第２壁とは、互いに重なっている
請求項１〜３のいずれか１項に記載の粒子検出センサ。
【請求項５】
前記第１気体誘導壁は、所定の方向における一方の端部が前記筐体の内面に接続され、他方の端部が前記筐体の内面に接続されていない
請求項１〜４のいずれか１項に記載の粒子検出センサ。
【請求項６】
前記第１気体誘導壁は、前記筐体の内面に沿って設けられている
請求項１〜５のいずれか１項に記載の粒子検出センサ。
【請求項７】
前記第１気体誘導壁は、遮光性を有する
請求項１〜６のいずれか１項に記載の粒子検出センサ。
【請求項８】
前記粒子検出センサは、さらに、前記第１気体誘導壁によって誘導された気体を前記検知領域に向けて誘導する第２気体誘導壁を備える
請求項１〜７のいずれか１項に記載の粒子検出センサ。
【請求項９】
前記筐体は、互いに対向する２つの内面を有し、
前記第２気体誘導壁は、前記２つの内面を接続している
請求項８に記載の粒子検出センサ。
【請求項１０】
前記筐体は、互いに対向する２つの内面を有し、
前記第２気体誘導壁は、
前記２つの内面の一方から立設した第１壁と、
前記２つの内面の他方から立設した第２壁とを有し、
前記第１壁と前記第２壁とは、互いに重なっている
請求項８又は９に記載の粒子検出センサ。
【請求項１１】
前記第２気体誘導壁は、所定の方向における一方の端部が前記筐体の内面に接続され、他方の端部が前記筐体の内面に接続されていない
請求項９又は１０に記載の粒子検出センサ。
【請求項１２】
前記第２気体誘導壁は、前記他方の端部が前記検知領域に向かうように配置されている
請求項１１に記載の粒子検出センサ。
【請求項１３】
前記第２気体誘導壁は、前記第１気体誘導壁によって誘導された気体が前記第１光トラップに進入しないように誘導する
請求項９〜１２のいずれか１項に記載の粒子検出センサ。
【請求項１４】
前記第１光トラップは、前記検知領域を介して前記投光系と対向する位置に設けられ、
前記粒子検出センサは、さらに、前記検知領域を介して前記受光系と対向する位置に設けられて、前記第１光トラップにトラップされない光をトラップする第２光トラップを備え、
前記第２気体誘導壁は、前記第１気体誘導壁によって誘導された気体が前記第２光トラップに進入しないように誘導する
請求項９〜１２のいずれか１項に記載の粒子検出センサ。
【請求項１５】
前記投光系は、前記検知領域に集光するように光を出力し、
前記受光系は、前記検知領域における粒子による前記投光系からの光の散乱光を受光する
請求項１〜１４のいずれか１項に記載の粒子検出センサ。
【請求項１６】
請求項１〜１５のいずれか１項に記載の粒子検出センサを備えるダストセンサ。
【請求項１７】
請求項１〜１５のいずれか１項に記載の粒子検出センサを備える煙感知器。
【請求項１８】
請求項１〜１５のいずれか１項に記載の粒子検出センサを備える空気清浄機。
【請求項１９】
請求項１〜１５のいずれか１項に記載の粒子検出センサを備える換気扇。
【請求項２０】
請求項１〜１５のいずれか１項に記載の粒子検出センサを備えるエアコン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粒子検出センサ、並びに、粒子検出センサを備えるダストセンサ、煙感知器、空気清浄機、換気扇及びエアコンなどの機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、大気中に浮遊する粒子（エアロゾル）によって散乱された光（散乱光）を検知することで、粒子を検出する光散乱式粒子検出センサが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載の光散乱式粒子検出センサは、筐体（光学室）内に投光素子と受光素子とを備える光電式粒子検出センサである。当該センサは、測定対象の気体を筐体内に取り込んで、取り込んだ気体に投光素子からの光を照射し、その散乱光によって気体に含まれる粒子の有無を検出する。例えば、大気中に浮遊するホコリ、花粉、煙、ＰＭ２．５（微小粒子状物質）などの粒子を検出することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３７３１３３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、光電式粒子検出センサでは、検知領域に効率良く気体を導くことで、気体に含まれる粒子の検出精度を向上させることが要望されている。
【０００６】
そこで、本発明は、粒子の検出精度を向上させることができる粒子検出センサなどを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の一態様に係る粒子検出センサは、粒子を含む気体が内部に流入するための流入口を有する筐体と、前記筐体に覆われた検知領域において互いの光軸が交差するように配置された投光系及び受光系を有し、前記検知領域を通過する粒子を、前記投光系が出力する光を用いて検出する光学系と、前記投光系から出力されて前記検知領域を通った光をトラップする第１光トラップと、前記流入口と前記第１光トラップとの間に設けられた壁であって、前記気体が前記第１光トラップに進入しないように前記気体を誘導する第１気体誘導壁とを備える。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、粒子の検出精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサの概観斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサの分解斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサの六面図である。
【図４】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサの筐体内部を示す断面図である。
【図５】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサの背面カバーの内部構造を示す概観斜視図である。
【図６】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサの前面カバーの内部構造を示す概観斜視図である。
【図７】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサのホコリ抑制壁の構造を示す断面図である。
【図８】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサのホコリ抑制壁及び第１光トラップの構造を示す断面図である。
【図９】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサの第２光トラップの構造を示す断面図である。
【図１０Ａ】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサの別の一例を示す断面図である。
【図１０Ｂ】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサの別の一例を示す断面図である。
【図１１】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサの第１気体誘導壁の長さを説明するための断面図である。
【図１２Ａ】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサの第１気体誘導壁の高さを説明するための断面図である。
【図１２Ｂ】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサの第１気体誘導壁が２つの壁を有する例を示す断面図である。
【図１３Ａ】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサの別の一例であって、気体を一方向のみに誘導する例を示す断面図である。
【図１３Ｂ】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサの別の一例であって、気体を一方向のみに誘導する例を示す断面図である。
【図１４Ａ】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサの別の一例であって、第１気体誘導壁が筐体の内面に沿う例を示す断面図である。
【図１４Ｂ】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサの別の一例であって、第１気体誘導壁が筐体の内面に沿う例を示す断面図である。
【図１５Ａ】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサの別の一例であって、第１気体誘導壁が遮光性を有する例を示す断面図である。
【図１５Ｂ】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサの別の一例であって、第１気体誘導壁が遮光性を有する例を示す断面図である。
【図１６Ａ】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサの別の一例であって、第２気体誘導壁を備える例を示す断面図である。
【図１６Ｂ】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサの別の一例であって、第２気体誘導壁を備える例を示す断面図である。
【図１７Ａ】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサの第２気体誘導壁の高さを説明するための断面図である。
【図１７Ｂ】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサの第２気体誘導壁が２つの壁を有する例を示す断面図である。
【図１８Ａ】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサの別の一例であって、第２気体誘導壁が筐体の内面に沿う例を示す断面図である。
【図１８Ｂ】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサの別の一例であって、第２気体誘導壁と第２光トラップとを備える例を示す断面図である。
【図１９】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサを備える煙感知器の外観図である。
【図２０】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサを備える空気清浄機の外観図である。
【図２１】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサを備える換気扇の外観図である。
【図２２】本発明の実施の形態に係る粒子検出センサを備えるエアコンの外観図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下では、本発明の実施の形態に係る粒子検出センサなどについて、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、いずれも本発明の好ましい一具体例を示すものである。したがって、以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置及び接続形態などは、一例であり、本発明を限定する趣旨ではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。
【００１１】
また、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。また、各図において、同じ構成部材については同じ符号を付している。
【００１２】
（実施の形態）
［粒子検出センサ］
まず、本実施の形態に係る粒子検出センサの概要について、図１〜図６を用いて説明する。
【００１３】
図１〜図３はそれぞれ、本実施の形態に係る粒子検出センサ１を示す概観斜視図、分解斜視図、六面図である。具体的には、図３の（ａ）は粒子検出センサ１の正面図、（ｂ）は背面図、（ｃ）は下面図、（ｄ）は上面図、（ｅ）は左側面図、（ｆ）は右側面図である。
【００１４】
図４は、本実施の形態に係る粒子検出センサ１の筐体１０の内部を示す断面図であり、具体的には、図３の（ｃ）のＡ−Ａ線における断面を示している。図５及び図６はそれぞれ、本実施の形態に係る背面カバー１１０及び前面カバー１００の内部構造を示す概観斜視図である。
【００１５】
粒子検出センサ１は、流入口１０１が下方、流出口１０２が上方になるように配置される。具体的には、粒子検出センサ１は、図１に示すＹ軸方向が鉛直上向きになるように配置される。なお、粒子検出センサ１は、扁平な略直方体状であり、互いに直交する２つの辺に沿った方向をそれぞれＸ軸方向及びＹ軸方向とする。また、粒子検出センサ１の厚さ方向をＺ軸方向とする。本実施の形態では、粒子検出センサ１は、例えば、Ｘ：５２ｍｍ×Ｙ：４５ｍｍ×Ｚ：２２ｍｍに収まる範囲の大きさである。
【００１６】
粒子検出センサ１は、図１及び図４に示すように、筐体１０と、筐体１０の内部に配置された光学系２０とを備える光電式粒子検出センサである。本実施の形態では、粒子検出センサ１は、光散乱式粒子検出センサである。具体的には、粒子検出センサ１は、光学系２０が筐体１０内の検知領域ＤＡに光を照射し、検知領域ＤＡを通過する粒子２（エアロゾル）による光の散乱光を受光することで、粒子２の有無を検出する。また、粒子検出センサ１は、粒子２の有無に限らず、粒子２の個数及び大きさなどを検出してもよい。なお、粒子検出センサ１が検出の対象とする粒子２は、例えば、２μｍ以下の微小なホコリ、花粉、煙、ＰＭ２．５などの微粒子である。
【００１７】
筐体１０は、光学系２０及び検知領域ＤＡを覆う筐体（ケース）である。筐体１０は、光学系２０及び検知領域ＤＡに外光が照射されないように、光学系２０及び検知領域ＤＡを覆っている。
【００１８】
筐体１０は、内部に粒子２が流入するための流入口１０１と、内部に流入した粒子２が外部に流出するための流出口１０２とを有する。本実施の形態では、図４の太点線の矢印で示すように、粒子２を含む気体が流入口１０１から流入し、筐体１０の内部（例えば、検知領域ＤＡ）を通って流出口１０２から流出する。筐体１０の詳細な構成については、後で説明する。
【００１９】
光学系２０は、流入口１０１を介して筐体１０内に流入し、かつ、筐体１０に覆われた検知領域ＤＡを通過する粒子２を光学的に検出する。本実施の形態では、光学系２０は、筐体１０に覆われた検知領域ＤＡに互いの光軸（光軸Ｐ及び光軸Ｑ）が交差するように配置された投光系１２０及び受光系１３０を有し、検知領域ＤＡを通過する粒子２を、投光系１２０が出力する光を用いて検出する。投光系１２０は、投光素子１２１と、投光レンズ１２２とを備える。受光系１３０は、受光素子１３１と、受光レンズ１３２とを備える。光学系２０の詳細な構成については、後で説明する。
【００２０】
なお、検知領域（光散乱部）ＤＡは、測定対象の気体に含まれる粒子２を検知するための領域であるエアロゾル検知領域（エアロゾル測定部）である。本実施の形態では、検知領域ＤＡは、投光系１２０の光軸Ｐと受光系１３０の光軸Ｑとが交差する交点を含む領域である。検知領域ＤＡは、例えば、φ２ｍｍである。測定対象の気体は、筐体１０の流入口１０１から流入し、検知領域ＤＡに誘導された後、流出口１０２から流出する。
【００２１】
粒子検出センサ１は、図１、図２及び図４に示すように、さらに、ホコリ抑制壁３０と、第１光トラップ４０と、第２光トラップ５０と、加熱装置６０と、回路基板７０と、コネクタ８０と、第１シールドカバー９０と、第２シールドカバー９１とを備える。
【００２２】
ホコリ抑制壁３０は、流入口１０１と検知領域ＤＡとの間に設けられた壁であって、粒子２より大きいホコリが検知領域ＤＡに進入するのを抑制する。ここで、検知領域ＤＡへの進入を抑制すべき対象となるホコリ（塵埃）は、例えば、２μｍ以上の粒子である。
【００２３】
また、ホコリ抑制壁３０は、流入口１０１と第１光トラップ４０との間に設けられた壁であって、気体が第１光トラップ４０に進入しないように気体を誘導する第１気体誘導壁である。ホコリ抑制壁３０の詳細な構成については、後で説明する。
【００２４】
第１光トラップ４０は、投光系１２０から出力されて検知領域ＤＡを通った光をトラップする。具体的には、第１光トラップ４０は、内部に一旦入射した光が外部に出射しないように吸収する。本実施の形態では、第１光トラップ４０は、ラビリンス構造として楔形の閉空間を有する。
【００２５】
本実施の形態では、第１光トラップ４０は、検知領域ＤＡを介して投光系１２０と対向する位置に設けられている。具体的には、第１光トラップ４０は、複数の第１開口部４２及び４４を有し、投光系１２０から出力されて検知領域ＤＡを通った光を、複数の第１開口部４２及び４４の各々を通過するように分割してからトラップする。第１光トラップ４０の詳細な構成については、後で説明する。
【００２６】
第２光トラップ５０は、第１光トラップ４０にトラップされない光をトラップする。例えば、第２光トラップ５０は、投光系１２０から出力されて検知領域ＤＡを通らない光（漏れ光）、及び、第１光トラップ４０に一旦入射したものの再び第１光トラップ４０から出射された光などをトラップする。
【００２７】
本実施の形態では、第２光トラップ５０は、検知領域ＤＡを介して受光系１３０と対向する位置に設けられている。第２光トラップ５０は、例えば、複数の楔形突出部１１５が設けられたラビリンス構造である。第２光トラップ５０の詳細な構成については、後で説明する。
【００２８】
加熱装置６０は、流入口１０１から流入した粒子２を含む気体を、検知領域ＤＡを通るように流すことで、筐体１０内に気流を生成する気流生成部の一例である。本実施の形態では、加熱装置６０は、筐体１０の下部に配置されて、大気を加熱するヒータである。具体的には、加熱装置６０は、粒子２を含む気体を加熱することで、図４に示すように、筐体１０内に上昇気流（Ｙ軸正方向への気体の流れ）を生成し、検知領域ＤＡに粒子２を含む気体を誘導する。加熱装置６０は、例えば、低コストのヒータ抵抗である。なお、図４では、太点線の矢印で気流の一例を示している。
【００２９】
回路基板７０は、粒子検出センサ１の制御回路が形成されたプリント配線基板である。制御回路は、例えば、投光系１２０による光の出力、受光系１３０によって受光した光信号に基づく電気信号の処理、加熱装置６０による気体の加熱などの処理を制御する。例えば、制御回路は、粒子２の有無、大きさ及び個数などを検出し、コネクタ８０を介して外部に検出結果を出力する。
【００３０】
回路基板７０は、例えば、矩形の平板であり、一方の主面（表面）に筐体１０が固定されている。他方の主面（裏面）には、制御回路を構成する１つ又は複数の回路素子（回路部品）が実装されている。なお、投光素子１２１、受光素子１３１及び加熱装置６０（ヒータ抵抗）の各々の電極端子は、筐体１０の背面カバー１１０及び回路基板７０を貫通し、回路基板７０の裏面にはんだ付けされている。これにより、投光素子１２１、受光素子１３１及び加熱装置６０（ヒータ抵抗）の各々は、制御回路に電気的に接続されて、制御回路によって動作が制御される。
【００３１】
複数の回路素子は、例えば、抵抗、コンデンサ、コイル、ダイオード又はトランジスタなどを含む。複数の回路素子の１つである電解コンデンサ７１は、図４及び図５に示すように、回路基板７０の表面に設けられ、筐体１０内に配置されている。
【００３２】
このように、筐体１０内の空間を有効に利用することで、回路基板７０の裏面側に配置する回路素子を少なくすることができる。これにより、回路基板７０の裏面側の回路素子用の空間を小さくすることができ、第１シールドカバー９０を小さくすることができる。したがって、粒子検出センサ１を小型化することができる。
【００３３】
コネクタ８０は、粒子検出センサ１の制御回路（回路基板７０）と、外部の制御回路又は電源回路とを接続するためのコネクタである。コネクタ８０は、回路基板７０の裏面に実装されている。例えば、粒子検出センサ１は、コネクタ８０を介して外部から電力が供給されて動作する。
【００３４】
第１シールドカバー９０は、外部ノイズから制御回路を保護するために設けられた金属製のカバーである。第１シールドカバー９０は、回路基板７０の裏面側に取り付けられている。
【００３５】
第２シールドカバー９１は、外部ノイズから受光系１３０の受光素子１３１を保護するために設けられた金属製のカバーである。第２シールドカバー９１は、図３の（ａ）、（ｄ）及び（ｅ）に示すように、筐体１０の前面、上面及び左側面の一部であって、内部に受光素子１３１が配置された部分を覆っている。
【００３６】
なお、第１シールドカバー９０及び第２シールドカバー９１は、例えば、半田付けなどで容易に接続ができるブリキなどから構成される。
【００３７】
以下では、粒子検出センサ１が備える各構成要素について、詳細に説明する。
【００３８】
［筐体］
筐体１０は、粒子検出センサ１の本体部であり、内部には、検知領域ＤＡ、光学系２０、ホコリ抑制壁３０、第１光トラップ４０、第２光トラップ５０及び加熱装置６０が設けられている。本実施の形態では、筐体１０は、前面カバー１００と、背面カバー１１０との２つの部材によって構成される。
【００３９】
筐体１０は、遮光性を有する。例えば、筐体１０は、迷光を吸収させるように、少なくとも内面が黒色である。具体的には、筐体１０の内面は、光の吸収率が高く、かつ、光を鏡面反射する。なお、筐体１０の内面における反射は、鏡面反射でなくてもよく、光の一部が散乱反射されてもよい。
【００４０】
ここで、迷光は、粒子２による散乱光以外の光であり、具体的には、投光系１２０が出力する光のうち検知領域ＤＡにおいて粒子２に散乱されることなく、筐体１０内を進行する光である。また、迷光は、粒子２によって散乱されなかった光だけでなく、投光系１２０のレンズ表面での反射光、及び、検知領域ＤＡを通過しない光（例えば、投光系１２０から略直下に出射された光）なども含む。また、迷光は、筐体１０の外部から流入口１０１又は流出口１０２を介して筐体１０の内部に進入した外光も含む。
【００４１】
筐体１０は、例えば、ＡＢＳ樹脂などの樹脂材料を用いた射出成形により形成される。具体的には、前面カバー１００及び背面カバー１１０の各々が、樹脂材料を用いた射出成形により形成された後、互いに組み合わされることで筐体１０を構成する。このとき、例えば、黒色の顔料又は染料を添加した樹脂材料を用いることで、筐体１０の内面を黒色面にすることができる。あるいは、射出成形後に内面に黒色塗料を塗布することで、筐体１０の内面を黒色面にすることができる。また、筐体１０の内面にシボ加工などの表面処理を行うことによって、迷光を吸収させてもよい。
【００４２】
筐体１０は、図１〜図３に示すように、扁平な多面体であり、前面部１０ａと、背面部１０ｂと、下面部１０ｃと、上面部１０ｄと、左側面部１０ｅと、右側面部１０ｆとを有する。具体的には、図３の（ａ）に示すように、筐体１０は、矩形の４つの角のうち右上及び左上の角が斜めになった略七角形を底面とする角柱形状である。
【００４３】
前面部１０ａ、背面部１０ｂ、下面部１０ｃ、上面部１０ｄ、左側面部１０ｅ及び右側面部１０ｆはそれぞれ、筐体１０の前面（正面）、背面、下面、上面、左側面及び右側面を形成する。前面部１０ａは、前面カバー１００の底部であり、背面部１０ｂは、背面カバー１１０の底部である。下面部１０ｃ、上面部１０ｄ、左側面部１０ｅ及び右側面部１０ｆは、前面カバー１００の側周部と背面カバー１１０の側周部とが組み合わされて形成される。
【００４４】
前面部１０ａ及び背面部１０ｂは、互いに略同じ形状であり、具体的には、図３の（ａ）に示すように、略七角形の平板部である。下面部１０ｃは、前面部１０ａ及び背面部１０ｂに垂直に設けられた略矩形の平板部である。上面部１０ｄ、左側面部１０ｅ及び右側面部１０ｆは、前面部１０ａ及び背面部１０ｂに垂直に設けられ、図３の（ａ）に示すように、平面視において内側に向かって屈曲した板状部である。
【００４５】
なお、筐体１０の形状は一例であって、これに限らない。例えば、筐体１０は、底面（前面部１０ａ及び背面部１０ｂ）が矩形の直方体でもよく、あるいは、底面が円形の円柱でもよい。
【００４６】
筐体１０の側面には、図１に示すように、流入口１０１と、流出口１０２とが設けられている。具体的には、筐体１０の前面部１０ａに、流入口１０１と、流出口１０２とが設けられている。
【００４７】
流入口１０１は、筐体１０の側面に設けられた所定形状の開口であり、当該開口を介して、粒子２を含む気体が筐体１０の内部に流入する。流入口１０１は、例えば、５．５ｍｍ×１２ｍｍの略矩形の開口であるが、流入口１０１の形状はこれに限らない。例えば、流入口１０１は、円形又は楕円形などの開口でもよい。
【００４８】
本実施の形態では、流入口１０１は、図４に示すように、検知領域ＤＡの直下方向には設けられておらず、前面カバー１００の下部の隅に設けられている。これにより、流入口１０１から進入する外光が検知領域ＤＡに照射されにくくなり、また、迷光として受光素子１３１に入射されるのを抑制することができる。
【００４９】
流出口１０２は、筐体１０の側面に設けられた所定形状の開口であり、当該開口を介して、粒子２を含む気体が筐体１０の外部に流出する。流出口１０２は、例えば、５ｍｍ×１２ｍｍの略矩形の開口であるが、流出口１０２の形状はこれに限らない。例えば、流出口１０２は、円形又は楕円形などの開口でもよい。流出口１０２の大きさは、例えば、流入口１０１と略同じである。
【００５０】
本実施の形態では、流出口１０２は、図４に示すように、検知領域ＤＡの直上方向であって、前面カバー１００の上部の中央に設けられている。これにより、加熱装置６０によって生成された気流をスムーズに流出口１０２から外部に放出することができる。
【００５１】
なお、流入口１０１及び流出口１０２は、筐体１０の前面部１０ａに設けたが、これに限らない。例えば、流入口１０１は、筐体１０の背面部１０ｂ、下面部１０ｃ、左側面部１０ｅ又は右側面部１０ｆに設けてもよい。また、流出口１０２は、筐体１０の背面部１０ｂ、上面部１０ｄ、左側面部１０ｅ又は右側面部１０ｆに設けてもよい。
【００５２】
筐体１０には、ホコリ抑制壁３０、第１光トラップ４０及び第２光トラップ５０の各々を構成するための内部構造（例えば、所定形状のリブなど）が設けられている。具体的には、図６に示すように、前面カバー１００は、内面１００ａから立設した第１壁１０３を有する。また、図５に示すように、背面カバー１１０は、内面１１０ａから立設した第２壁１１１を有する。第１壁１０３と第２壁１１１とは、ホコリ抑制壁３０を形成する。ホコリ抑制壁３０の詳細な構成については、後で説明する。
【００５３】
背面カバー１１０は、さらに、内面１１０ａから立設した第１光反射壁１１２、第２光反射壁１１３、第３光反射壁１１４及び複数の楔形突出部１１５を有する。第１光反射壁１１２は、第２壁１１１とともに第１光トラップ４０を形成する。第２光反射壁１１３、第３光反射壁１１４及び複数の楔形突出部１１５は、第２光トラップ５０を形成する。それぞれの詳細については後で説明する。
【００５４】
また、前面カバー１００は、投光系保持部１０４と、受光系保持部１０５とを有する。同様に、背面カバー１１０は、投光系保持部１１６と、受光系保持部１１７とを有する。投光系保持部１０４及び投光系保持部１１６は、前面カバー１００と背面カバー１１０とが組み合わされた場合に、投光系１２０を保持する。受光系保持部１０５及び受光系保持部１１７は、前面カバー１００と背面カバー１１０とが組み合わされた場合に、受光系１３０を保持する。これにより、投光系１２０及び受光系１３０は、予め定められた場所に検知領域ＤＡを形成することができる。
【００５５】
前面カバー１００は、図６に示すように、係止部１０６及び係止部１０７を有する。また、背面カバー１１０は、図４及び図５に示すように、被係止部１１８及び被係止部１１９を有する。前面カバー１００と背面カバー１１０とを組み合わせることで、係止部１０６が被係止部１１８に係止し、係止部１０７が被係止部１１９に係止する。これにより、前面カバー１００と背面カバー１１０とは固定される。なお、係止部１０６及び係止部１０７並びに被係止部１１８及び被係止部１１９の設ける位置、個数及び形状などは、いかなるものでもよい。
【００５６】
筐体１０の前面部１０ａには、さらに、掃除窓１０８が設けられている。具体的には、掃除窓１０８は、前面カバー１００の中央部に設けられた台形状の貫通孔である。掃除窓１０８は、投光レンズ１２２、受光レンズ１３２及び筐体１０の内部に付着した汚れ又はホコリを取り除くために設けられている。例えば、掃除窓１０８から綿棒などを筐体１０の内部に挿入することで、内部の掃除を行うことができる。掃除窓１０８は、粒子検出センサ１を動作させる際には、掃除窓１０８を介して外光が検知領域ＤＡに照射されないように、図示しないカバー部材によって蓋される。
【００５７】
本実施の形態では、第１壁１０３、投光系保持部１０４、受光系保持部１０５、係止部１０６及び係止部１０７は、前面カバー１００と一体に形成されている。また、第２壁１１１、第１光反射壁１１２、第２光反射壁１１３、第３光反射壁１１４、複数の楔形突出部１１５、投光系保持部１１６、受光系保持部１１７、被係止部１１８及び被係止部１１９は、背面カバー１１０と一体に形成されている。
【００５８】
［光学系］
光学系２０は、図５に示すように、筐体１０の背面カバー１１０に配置されて、前面カバー１００によって挟まれることで、筐体１０の内部に収納されている。投光系１２０と受光系１３０とは、図４に示すように、各々の光軸（光軸Ｐ及び光軸Ｑ）が交差するように配置されている。
【００５９】
投光系１２０は、検知領域ＤＡに集光するように光を出力する。投光系１２０は、投光素子１２１と、投光レンズ１２２とを備える。
【００６０】
投光素子１２１は、所定の波長の光を発する光源（発光部）であり、例えば、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）又は半導体レーザなどの固体発光素子である。投光素子１２１の光軸は、投光系１２０の光軸Ｐに一致し、例えば、検知領域ＤＡを通過する。
【００６１】
投光素子１２１としては、紫外光、青色光、緑色光、赤色光又は赤外光を発する発光素子を用いることができる。この場合、投光素子１２１は、２波長以上の混合波を発するように構成されてもよい。本実施の形態では、粒子２による光の散乱強度に鑑みて、投光素子１２１として、例えば、６００ｎｍ〜８００ｎｍの波長の光を出力する砲弾型のＬＥＤを用いる。
【００６２】
なお、投光素子１２１の発光波長が短い程、粒径の小さな粒子を検出しやすくなる。また、投光素子１２１の発光制御方式は特に限定されるものではなく、投光素子１２１から出射する光は、ＤＣ駆動による連続光又はパルス光などでもよい。また、投光素子１２１の出力の大きさ（光の強度）は、時間的に変化させてもよい。
【００６３】
投光レンズ１２２は、投光素子１２１の前方に配置されており、投光素子１２１から出射する光（投光ビーム）を検知領域ＤＡに向けて進行させるように構成されている。つまり、投光素子１２１から出射する光は、投光レンズ１２２を介して検知領域ＤＡを通過する。検知領域ＤＡを通過する粒子２が投光素子１２１からの光を散乱させる。
【００６４】
投光レンズ１２２は、例えば、投光素子１２１から出射する光を検知領域ＤＡに集束（集光）させる集光レンズであり、例えば、ポリカーボネート（ＰＣ）などの透明樹脂レンズ又はガラスレンズである。例えば、投光レンズ１２２の焦点は、検知領域ＤＡに存在する。
【００６５】
なお、本実施の形態では、粒子検出センサ１の小型化を実現するため、投光系１２０と検知領域ＤＡとの距離が短くなる。したがって、投光レンズ１２２としては、焦点距離の短いレンズを利用する。焦点距離が短いレンズによって強く収束された光は、大きな広がり角をもって広がる。このため、本実施の形態では、広がった光を受光系１３０に入射させることなく吸収するために、光トラップ（具体的には、光を多重反射させるための閉空間）を適切に設計することが求められる。詳細については、後で説明する。
【００６６】
受光系１３０は、検知領域ＤＡにおける粒子２による投光系１２０からの光の散乱光を受光する。なお、図４では、太実線の矢印で光の経路の一例を示している。受光系１３０は、受光素子１３１と、受光レンズ１３２とを備える。
【００６７】
受光素子１３１は、検知領域ＤＡにおける粒子２による投光素子１２１からの光の散乱光の少なくとも一部を受光する。受光素子１３１は、具体的には、受光した光を電気信号に変換する光電変換素子であり、例えば、フォトダイオード、フォトＩＣダイオード、フォトトランジスタ又は光電子増倍管などである。受光素子１３１の光軸は、受光系１３０の光軸Ｑに一致し、例えば、検知領域ＤＡを通過する。
【００６８】
受光レンズ１３２は、受光素子１３１と検知領域ＤＡと間に配置されており、検知領域ＤＡ側から入射する光を受光素子１３１に集光するように構成されている。具体的には、受光レンズ１３２は、検知領域ＤＡにおいて粒子２による散乱光を、受光素子１３１に集束させる集光レンズであり、例えば、ＰＣなどの透明樹脂レンズ又はガラスレンズである。例えば、受光レンズ１３２の焦点は、検知領域ＤＡ及び受光素子１３１の表面に存在する。
【００６９】
［ホコリ抑制壁］
図７は、本実施の形態に係るホコリ抑制壁３０の構造を示す断面図であり、具体的には、図３の（ａ）に示すＢ−Ｂ線における断面を示している。図８は、本実施の形態に係るホコリ抑制壁３０及び第１光トラップ４０の構造を示す断面図であり、具体的には、図７に示すＣ−Ｃ線における断面を示している。
【００７０】
ホコリ抑制壁３０は、図４に示すように、筐体１０の内部において、加熱装置６０より流入口１０１に近い位置に設けられている。具体的には、ホコリ抑制壁３０の少なくとも一部は、流入口１０１の縁に沿って設けられている。本実施の形態では、流入口１０１は略矩形の開口であり、ホコリ抑制壁３０の少なくとも一部は、当該開口に沿って設けられている。
【００７１】
また、ホコリ抑制壁３０の少なくとも一部は、加熱装置６０が生成する気流に交差する方向と平行に設けられている。加熱装置６０は気体を加熱することで上昇気流を生成するので、ホコリ抑制壁３０の少なくとも一部は、上昇気流に直交する方向（すなわち、水平方向）に平行に設けられている。
【００７２】
また、ホコリ抑制壁３０は、流入口１０１の幅より長い。ここで、流入口１０１の幅は、気体が流れる方向に交差する方向における幅である。具体的には、流入口１０１の幅は、加熱装置６０によって生成される上昇気流に交差する方向における幅であり、例えば、水平方向（Ｘ軸方向）における幅である。これにより、流入口１０１から進入する外光が検知領域ＤＡを照射するのを抑制することができる。なお、ホコリ抑制壁３０は、遮光性を有する。
【００７３】
また、ホコリ抑制壁３０は、第１光トラップ４０の幅より長い。これにより、ホコリ抑制壁３０は、気体が第１光トラップ４０に進入するのを抑制することができる。第１光トラップ４０の幅は、ホコリ抑制壁３０の主面に平行な方向において、第１光トラップ４０の開口から奥までの距離である。例えば、第１光トラップ４０の幅は、左側面部１０ｅと第１光反射壁１１２の先端との距離である。
【００７４】
本実施の形態では、ホコリ抑制壁３０は、内面１００ａから立設した第１壁１０３と、内面１１０ａから立設した第２壁１１１とを有する。第１壁１０３と第２壁１１１とは、図７に示すように、互いに重なっている。好ましくは、第１壁１０３と第２壁１１１は互いに接している。具体的には、第１壁１０３及び第２壁１１１は、正面視した場合（Ｙ軸方向に見た場合）に、重なっている。好ましくは、第１壁１０３と第２壁１１１はＸ−Ｚ面で互いに接している。なお、内面１００ａ及び内面１１０ａは、筐体１０が有する内面であって、互いに対向する２つの内面である。具体的には、内面１００ａは、前面部１０ａの内側の面であり、内面１１０ａは、背面部１０ｂの内側の面である。
【００７５】
このように、ホコリ抑制壁３０が、互いに重なりあった第１壁１０３と第２壁１１１とによって構成されている。これにより、ホコリ抑制壁３０を正面視した場合に隙間がないように設けられるので、ホコリの進入をより効率良く抑制することができる。
【００７６】
第１壁１０３は、図８に示すように、流入口１０１の縁に沿って設けられている。本実施の形態では、流入口１０１は略矩形の開口であるので、第１壁１０３は、Ｌ字形状を有する。具体的には、第１壁１０３は、平板状の長辺部１０３ａと、平板状の短辺部１０３ｂとを有する。
【００７７】
長辺部１０３ａは、下面部１０ｃに平行に設けられている。また、長辺部１０３ａは、左側面部１０ｅから垂直に立設している。短辺部１０３ｂは、左側面部１０ｅに平行に設けられている。また、短辺部１０３ｂは、下面部１０ｃから垂直に立設している。長辺部１０３ａ及び短辺部１０３ｂの高さ（Ｚ軸方向の長さ）は、図７に示すように、前面カバー１００の側周部（下面部１０ｃの一部）より短い。
【００７８】
第２壁１１１は、図８に示すように、流入口１０１の近傍に設けられている。具体的には、第２壁１１１は、第１壁１０３の長辺部１０３ａに沿って設けられており、直線形状を有する。本実施の形態では、第２壁１１１は、背面部１０ｂ（内面１１０ａ）及び左側面部１０ｅの各々から垂直に立設した平板状の壁である。言い換えると、第２壁１１１は、Ｘ軸方向において、一方の端部は左側面部１０ｅに接続され、他方の端部は、筐体１０のいずれの内面にも接続されていない。
【００７９】
このとき、第２壁１１１は、図４に示すように、流入口１０１の幅より長い。具体的には、第２壁１１１は、図８に示すように、長辺部１０３ａの幅より長い。
【００８０】
ホコリ抑制壁３０は、筐体１０の互いに対向する２つの内面を接続している。図７に示すように、第１壁１０３と第２壁１１１とが互いに重なることで、内面１００ａと内面１１０ａとを接続している。具体的には、第１壁１０３及び第２壁１１１は、正面視した場合（Ｙ軸方向に見た場合）に、内面１００ａとの間、及び、内面１１０ａとの間の各々に隙間が形成されないように設けられている。
【００８１】
本実施の形態では、前面カバー１００と背面カバー１１０とを組み合わせた際に、第２壁１１１の立設方向（Ｚ軸方向）における先端が前面カバー１００の内面１００ａに当接し、隙間が形成されないように設計されている。しかしながら、隙間を完全になくすことは難しい。
【００８２】
これに対して、前面カバー１００の内面１００ａから立設した第１壁１０３と背面カバー１１０の内面１１０ａから立設した第２壁１１１とが重なることで、第１壁１０３及び第２壁１１１を正面視したときに隙間をなくすことができる。これにより、ホコリ抑制壁３０は、ホコリ及び外光が検知領域ＤＡに進入するのを抑制することができる。
【００８３】
［第１光トラップ］
第１光トラップ４０は、図４に示すように、複数の第１閉空間４１及び４３と、複数の第１開口部４２及び４４と、第１光反射壁１１２と、ホコリ抑制壁３０とを有する。第１光トラップ４０は、第１光反射壁１１２によって、投光系１２０から出力されて検知領域ＤＡを通った光を分割する。
【００８４】
ここで、複数の第１開口部４２及び４４は、検知領域ＤＡに向かって開口しており、投光系１２０から出力された光が直接通過する。具体的には、投光系１２０から出力されて検知領域ＤＡを通過した後に広がった光の略全ては、筐体１０の内面及び内部構造などに反射されることなく、第１開口部４２及び４４を通過する。第１開口部４２には、光軸Ｐが通過している。
【００８５】
第１閉空間４１は、筐体１０の内部に設けられた、迷光を吸収するための閉じられた空間であり、迷光が入射するための第１開口部４２が設けられている。第１開口部４２を介して、第１閉空間４１と検知領域ＤＡとは連通している。つまり、検知領域ＤＡを通過した光の一部は、第１開口部４２を介して第１閉空間４１へ進入する。進入した光は、第１閉空間４１内で多重反射することで、壁面に吸収されて減衰する。
【００８６】
本実施の形態では、第１閉空間４１は、図８に示すように、第１光反射壁１１２と、左側面部１０ｅと、受光系保持部１０５及び１１７と、前面部１０ａ（内面１００ａ）と、背面部１０ｂ（内面１１０ａ）とによって囲まれた空間である。第１閉空間４１の奥部は、楔形状を有する。
【００８７】
なお、楔形とは、具体的にはＶ字型であり、所定の方向に見たときの形状が三角形になる形状である。楔形の閉空間（及び後述する楔形突出部）は、例えば、三角錐状又は三角柱状の空間（及び突出部）である。
【００８８】
本実施の形態では、第１閉空間４１の奥部は、前面部１０ａ及び背面部１０ｂが底面及び上面を形成し、左側面部１０ｅと受光系保持部１０５及び１１７とが２つの側面を形成する三角柱状の空間である。つまり、左側面部１０ｅと受光系保持部１０５及び１１７との接続部分が、第１閉空間４１の最奥であり、楔形の先端に相当する。
【００８９】
なお、残りの側面は、楔形の底辺に相当する面であり、楔形の先端よりも第１開口部４２に近い位置に位置している。第１開口部４２を通過した光は、当該残りの側面を通って楔形の先端方向へ進行する。
【００９０】
第１閉空間４３は、筐体１０の内部に設けられた、迷光を吸収するための閉じられた空間であり、迷光が入射するための第１開口部４４が設けられている。第１開口部４４を介して、第１閉空間４３と検知領域ＤＡとは連通している。つまり、検知領域ＤＡを通過した光の一部は、第１開口部４４を介して第１閉空間４３へ進入する。入射した光は、第１閉空間４３内で多重反射することで、壁面に吸収されて減衰する。
【００９１】
本実施の形態では、第１閉空間４３は、図８に示すように、第１光反射壁１１２と、左側面部１０ｅと、ホコリ抑制壁３０（第２壁１１１）と、前面部１０ａ（内面１００ａ）と、背面部１０ｂ（内面１１０ａ）とによって囲まれた空間である。第１閉空間４３の奥部は、楔形状を有する。
【００９２】
具体的には、第１閉空間４３の奥部は、前面部１０ａ及び背面部１０ｂが底面及び上面を形成し、左側面部１０ｅ及び第２反射部１１２ｂが２つの側面を形成する三角柱状の空間である。つまり、左側面部１０ｅと第１光反射壁１１２との接続部分が、第１閉空間４３の最奥であり、楔形の先端に相当する。
【００９３】
なお、残りの側面は、楔形の底辺に相当する面であり、楔形の先端よりも第１開口部４４に近い位置に位置している。第１開口部４２を通過した光は、当該残りの側面を通って楔形の先端方向へ進行する。
【００９４】
第１光反射壁１１２は、第１開口部４２を通過した光を反射することで、当該光を第１閉空間４１の奥部に進行させる。さらに、第１光反射壁１１２は、第１開口部４４を通過した光を反射することで、当該光を第１閉空間４３に進行させる。
【００９５】
第１光反射壁１１２は、屈曲した壁である。具体的には、図８に示すように、第１光反射壁１１２は、平板状の第１反射部１１２ａと、平板状の第２反射部１１２ｂとを有する。
【００９６】
第１反射部１１２ａは、投光系１２０の光軸Ｐに交差するように設けられている。具体的には、第１反射部１１２ａは、投光系１２０から出力された光のうち、光軸Ｐ上を進行する光を反射し、その反射光が第２反射部１１２ｂでさらに反射されるように配置されている。本実施の形態では、第１反射部１１２ａは、下面部１０ｃと平行に配置されている。
【００９７】
第２反射部１１２ｂは、第１反射部１１２ａに対して傾斜して設けられている。具体的には、第２反射部１１２ｂは、光軸Ｐ上を進行する光の、第１反射部１１２ａによる反射光を、第１閉空間４１の楔形の先端方向に向けて反射するように配置されている。
【００９８】
本実施の形態では、第２反射部１１２ｂは、第１反射部１１２ａ及び左側面部１０ｅのそれぞれに対して所定の角度をなすように配置されている。第２反射部１１２ｂと左側面部１０ｅとは、鋭角をなし、当該鋭角が第１閉空間４３の楔形の先端に相当する。
【００９９】
以上の構成により、投光系１２０から出力されて検知領域ＤＡを通過した光（出射光）の一部は、第１開口部４２を通過し、第１光反射壁１１２（並びに、左側面部１０ｅ、受光系保持部１０５及び１１７）によって反射されて第１閉空間４１に進行する。また、出射光の別の一部は、第１開口部４４を通過し、ホコリ抑制壁３０（並びに、第１光反射壁１１２及び左側面部１０ｅ）によって反射されて第１閉空間４３に進行する。第１閉空間４１及び４３に進行した光は、反射の度に壁面に吸収されて減衰する。
【０１００】
［第２光トラップ］
図９は、本実施の形態に係る第２光トラップ５０の構成を示す断面図であり、具体的には、図４に示す断面の拡大図である。
【０１０１】
第２光トラップ５０は、図９に示すように、第２閉空間５１と、第２開口部５２と、第２光反射壁１１３と、第３光反射壁１１４と、複数の楔形突出部１１５とを有するラビリンス構造である。
【０１０２】
第２閉空間５１は、筐体１０の内部に設けられた、迷光を吸収するための閉じられた空間であり、検知領域ＤＡに向かって開口した第２開口部５２が設けられている。第２開口部５２は、受光系１３０の光軸Ｑと交差している。
【０１０３】
具体的には、第２閉空間５１は、図９に示すように、第２光反射壁１１３と、第３光反射壁１１４と、下面部１０ｃと、右側面部１０ｆと、前面部１０ａ（内面１００ａ）と、背面部１０ｂ（内面１１０ａ）とによって囲まれた空間である。
【０１０４】
第２開口部５２を介して、第２閉空間５１と検知領域ＤＡとは連通している。つまり、第２閉空間５１から第２開口部５２を介して光が出射された場合、検知領域ＤＡを通って受光系１３０に到達する可能性がある。このため、第２光トラップ５０は、第２開口部５２を介して第２閉空間５１に進入した光が、再び第２開口部５２を介して出射されないように形成されている。
【０１０５】
第２光反射壁１１３は、複数の楔形突出部１１５の突出方向に交差し、かつ、受光系１３０の光軸Ｑと略平行に配置されている。第２光反射壁１１３は、例えば平板状の壁であり、背面部１０ｂ（内面１１０ａ）及び右側面部１０ｆの各々から立設している。第２光反射壁１１３は、投光系１２０から出力されて筐体１０の内面で反射された光を、複数の楔形突出部１１５に向けて反射する。例えば、第２光反射壁１１３は、第２開口部５２を略水平方向に通過する光を、複数の楔形突出部１１５に向けて反射する。
【０１０６】
第３光反射壁１１４は、投光系１２０から出射されて第１光トラップ４０にトラップされなかった光（迷光）を反射する。第３光反射壁１１４は、所定の方向（Ｙ軸方向）における一方の端部が下面部１０ｃに接続され、他方の端部が筐体１０のいずれの内面にも接続されていない。当該他方の端部が検知領域ＤＡに向かうように、第３光反射壁１１４は設けられている。本実施の形態では、第３光反射壁１１４は、屈曲した壁である。具体的には、図９に示すように、第３光反射壁１１４は、平板状の第１反射部１１４ａと、平板状の第２反射部１１４ｂとを有する。
【０１０７】
第１反射部１１４ａは、その壁面の延長線上に検知領域ＤＡが位置するように配置されている。第１反射部１１４ａは、例えば、第２開口部５２を通過した迷光を第２閉空間５１側の面で反射して、第１反射部１１４ａと楔形突出部１１５ａとの間の空間で吸収する。また、第１反射部１１４ａは、例えば、加熱装置６０側の面で、下面部１０ｃで反射された光を第１光トラップ４０に向けて反射する。
【０１０８】
第２反射部１１４ｂは、背面部１０ｂ（内面１１０ａ）及び下面部１０ｃの各々に垂直に立設している。第２反射部１１４ｂは、例えば、下面部１０ｃで反射された光を第１光トラップ４０に向けて反射する。
【０１０９】
また、第３光反射壁１１４は、ホコリ抑制壁３０（第１気体誘導壁）によって誘導された気体を検知領域ＤＡに向けて誘導する第２気体誘導壁である。また、第３光反射壁１１４は、流入口１０１と第２光トラップ５０との間に設けられた壁であり、ホコリ抑制壁３０によって誘導された気体が第２光トラップ５０に進入しないように誘導する。このとき、第１反射部１１４ａが検知領域ＤＡを指すように配置されているので、気体を検知領域ＤＡに向けて効率良く誘導することができる。
【０１１０】
なお、第３光反射壁１１４は、ホコリ抑制壁３０と同様に、内面１００ａから立設した第１壁と内面１１０ａから立設した第２壁とを有していてもよく、さらに、第１壁と第２壁とが互いに重なっていてもよい。この場合、第１壁と第２壁とは互いに接しているとよい。これにより、第３光反射壁１１４を正面視した場合に隙間がないように設けられるので、ホコリ抑制壁３０によって誘導された気体の進入をより効率良く抑制することができる。
【０１１１】
複数の楔形突出部１１５は、第２閉空間５１に設けられ、筐体１０の側面から内方に向かって突出した楔形の壁である。複数の楔形突出部１１５は、第２閉空間５１内において、背面カバー１１０の内面１１０ａから立設している。
【０１１２】
本実施の形態では、図９に示すように、下面部１０ｃから所定の方向に突出するように、６つの楔形突出部１１５ａ〜１１５ｆが設けられている。６つの楔形突出部１１５ａ〜１１５ｆの各々の突出方向は、受光系１３０の光軸Ｑに交差している。なお、図９では、楔形突出部の突出方向を一点鎖線で示している。突出方向は、例えば、楔形（三角形）の先端から底辺（下面部１０ｃ）への中線の方向である。
【０１１３】
６つの楔形突出部１１５ａ〜１１５ｆは、検知領域ＤＡから遠い程、検知領域ＤＡから遠ざかる方向に突出している。例えば、図９に示すように、６つの楔形突出部１１５ａ〜１１５ｆは、この順で検知領域ＤＡ（又は、第２開口部５２）からの距離が大きくなるように配置されている。このとき、楔形突出部１１５ａ及び１１５ｂの突出方向は、下面部１０ｃに略垂直な方向であるのに対して、楔形突出部１１５ｃ〜１１５ｆは、各々の突出方向と下面部１０ｃとのなす角度θ１〜θ６が、順に小さくなっている。角度θ１〜θ６は、θ１≧θ２≧θ３≧θ４≧θ５≧θ６の関係を満たしている。
【０１１４】
また、６つの楔形突出部１１５ａ〜１１５ｆは、検知領域ＤＡから遠い程、楔形の先端と底辺との距離ｈ１〜ｈ６が短くなる。本実施の形態では、６つの楔形突出部１１５ａ〜１１５ｆの各々の底辺は、下面部１０ｃに相当する。したがって、距離ｈ１〜ｈ６はそれぞれ、楔形突出部１１５ａ〜１１５ｆの各々の先端と下面部１０ｃとの距離である。図９に示すように、距離ｈ１〜ｈ６は、ｈ１≧ｈ２≧ｈ３≧ｈ４≧ｈ５≧ｈ６の関係を満たしている。
【０１１５】
［本発明の主な特徴構成］
上述した粒子検出センサ１は、本発明に係る粒子検出センサの具体的な実施例に相当するが、本発明に係る粒子検出センサは、上述した構成には限られない。以下では、本発明に係る粒子検出センサの主な特徴構成について、図面を用いて説明する。
【０１１６】
図１０Ａ及び図１０Ｂは、本実施の形態に係る粒子検出センサの別の一例を示す断面図であり、具体的には、図４に相当する断面（鉛直方向に平行な断面）を示している。
【０１１７】
図１０Ａに示す粒子検出センサ２００は、筐体２１０と、光学系２２０と、第１気体誘導壁２３０と、第１光トラップ２４０とを備える。なお、粒子検出センサ２００が備える各構成要素は、図１〜図９を用いて説明した粒子検出センサ１が備える各構成要素と基本的には同じであり、以下では、特筆すべき点及び異なる点を中心に説明する。また、以下で説明する他の粒子検出センサの構成要素についても同様である。
【０１１８】
筐体２１０は、扁平な略直方体である。筐体２１０には、流入口２１１と流出口２１２とが設けられている。流入口２１１は、筐体２１０の下面部に設けられ、流出口２１２は、筐体２１０の上面部に設けられている。具体的には、流入口２１１は、検知領域ＤＡの直下方向に設けられている。流出口２１２は、検知領域ＤＡの直上方向ではなく、左側面部寄りの位置（具体的には、受光系２２２の直上方向）に設けられている。
【０１１９】
光学系２２０は、投光系２２１と受光系２２２とを備え、投光系２２１の光軸Ｐと受光系２２２の光軸Ｑとが交差する領域に検知領域ＤＡが形成される。
【０１２０】
第１気体誘導壁２３０は、流入口２１１と第１光トラップ２４０との間に設けられた壁である。第１気体誘導壁２３０は、例えば、湾曲した板状の壁である。
【０１２１】
第１気体誘導壁２３０は、図１０Ａに示すように、所定の方向における両端が筐体２１０の内面に接続されていない。所定の方向とは、ＸＹ平面における第１気体誘導壁２３１に沿った長手方向であり、例えば、湾曲方向（図中、左右方向）である。第１気体誘導壁２３０の湾曲方向における両端と、筐体２１０の内面との間には、気体が通過するための隙間が形成されている。
【０１２２】
第１光トラップ２４０は、投光系２２１から出力されて検知領域ＤＡを通った光をトラップする。図１０Ａに示す例では、第１光トラップ２４０は、検知領域ＤＡの略直下の位置に設けられている。第１光トラップ２４０は、例えば、ラビリンス構造を有する。
【０１２３】
図１０Ａに示すように、流入口２１１を介して流入した気体は、第１光トラップ２４０に進入しないように第１気体誘導壁２３０によって誘導される。具体的には、気体は、第１気体誘導壁２３０を左右から回り込むようにして、検知領域ＤＡに誘導される。
【０１２４】
気体が第１光トラップ２４０に進入した場合、第１光トラップ内の構造（例えば、ラビリンス構造）によって、気体の流れが乱されて、乱流が発生する。筐体２１０内で乱流が発生することで、気体に含まれる粒子も乱流に乗って筐体２１０の内部を動くことになる。
【０１２５】
このため、同一の粒子が複数回、検知領域ＤＡを通過する場合が発生する。同一の粒子が複数回、検知領域ＤＡを通過すると、その度に散乱光を発生させてしまい、１つの粒子を複数個の粒子であると誤検出してしまう恐れがある。
【０１２６】
これに対して、上述したように、図１０Ａに示す粒子検出センサ２００は、粒子を含む気体が内部に流入するための流入口２１１を有する筐体２１０と、筐体２１０に覆われた検知領域ＤＡにおいて互いの光軸が交差するように配置された投光系２２１及び受光系２２２を有し、検知領域ＤＡを通過する粒子を、投光系２２１が出力する光を用いて検出する光学系２２０と、投光系２２１から出力されて検知領域ＤＡを通った光をトラップする第１光トラップ２４０と、流入口２１１と第１光トラップ２４０との間に設けられた壁であって、気体が第１光トラップ２４０に進入しないように気体を誘導する第１気体誘導壁２３０とを備える。
【０１２７】
これにより、第１気体誘導壁２３０によって、流入口２１１から流入した気体が第１光トラップ２４０に進入しにくくなる。したがって、筐体２１０の内部で乱流が発生しにくくなり、粒子の誤検出を抑制することができる。よって、粒子の検出精度を向上させることができる。
【０１２８】
なお、本実施の形態に係る粒子検出センサは、図１０Ａに示す粒子検出センサ２００に限らず、図１０Ｂに示す粒子検出センサ２０１として実現することもできる。
【０１２９】
図１０Ｂに示す粒子検出センサ２０１は、筐体２１０と、光学系２２０と、第１気体誘導壁２３１と、第１光トラップ２４１とを備える。粒子検出センサ２０１は、図１０Ａに示す粒子検出センサ２００と比較して、流入口が設けられる位置が異なっている。具体的には、流入口２１１ａは、検知領域ＤＡの直下方向ではなく、左側面部寄りの位置（具体的には、受光系２２２の直下方向）に設けられている。
【０１３０】
第１気体誘導壁２３１は、流入口２１１ａと第１光トラップ２４１との間に設けられた壁である。第１気体誘導壁２３１は、例えば、湾曲した板状の壁である。
【０１３１】
第１気体誘導壁２３１は、図１０Ｂに示すように、所定の方向における両端が筐体２１０の内面に接続されていない。具体的には、第１気体誘導壁２３１の両端と、筐体２１０の内面との間には、気体が通過するための隙間が形成されている。なお、このとき、所定の方向とは、具体的には、ＸＹ平面における第１気体誘導壁２３１に沿った長手方向であり、例えば、湾曲方向である。
【０１３２】
第１光トラップ２４１は、投光系２２１から出力されて検知領域ＤＡを通った光をトラップする。図１０Ｂに示す例では、第１光トラップ２４１は、検知領域ＤＡを介して投光系２２１と対向する位置に設けられている。第１光トラップ２４０は、例えば、ラビリンス構造を有する。
【０１３３】
続いて、図１０Ａに示す第１気体誘導壁２３０の詳細について、図１１及び図１２Ａを用いて説明する。図１１及び図１２Ａはそれぞれ、本実施の形態に係る第１気体誘導壁２３０の長さ及び高さを説明するための断面図である。図１１は、図１０Ａと同じ断面を示し、図１２Ａは、図１１に示すＤ−Ｄ線における断面を示している。
【０１３４】
本実施の形態では、所定の方向において、第１気体誘導壁２３０の幅は、流入口２１１の幅より長く、かつ、第１光トラップ２４０の幅より長い。このとき、所定の方向とは、流入口２１１と第１光トラップ２４０とが並ぶ方向（図１１におけるＹ軸方向）に直交する方向（Ｘ軸方向）である。つまり、第１気体誘導壁２３０の幅は、図１１に示すＬ４である。同様に、流入口２１１、流出口２１２及び第１光トラップ２４０の幅はそれぞれ、Ｌ１、Ｌ２及びＬ３である。
【０１３５】
第１気体誘導壁２３０の幅Ｌ４は、流入口２１１の幅Ｌ１より大きく、かつ、第１光トラップ２４０の幅Ｌ３より大きい。本実施の形態では、Ｌ１（≒Ｌ２）＜Ｌ３＜Ｌ４の関係を満たす。
【０１３６】
このとき、仮にＬ４がＬ１より短い場合、流入口２１１から流入した気体は、第１気体誘導壁２３０に当たることなく、筐体２１０内を進行する場合が多くなるので、第１光トラップ２４０に進入しやすくなる。また、Ｌ４がＬ３より短い場合、第１気体誘導壁２３０に沿って気体は、第１気体誘導壁２３０の端部から第１光トラップ２４０に進入する場合がある。
【０１３７】
これに対して、本実施の形態では、図１１に示すように、Ｌ１（≒Ｌ２）＜Ｌ３＜Ｌ４の関係を満たすので、気体が第１光トラップ２４０に進入しにくくすることができる。したがって、筐体２１０内での乱流を抑制し、粒子の検出精度を高めることができる。
【０１３８】
また、図１２Ａに示すように、本実施の形態では、筐体２１０は、互いに対向する２つの内面を有し、第１気体誘導壁２３０は、２つの内面を接続している。
【０１３９】
具体的には、Ｚ軸方向において、第１気体誘導壁２３０と筐体２１０との間に隙間が設けられていない。このため、流入口２１１から流入する気体は、Ｚ軸方向には進むことができず、図１０Ａに示すように、Ｘ−Ｙ平面内を進行する。
【０１４０】
これにより、気体が第１光トラップ２４０に進入するのをより一層抑制することができる。
【０１４１】
また、例えば、図１２Ｂに示す粒子検出センサ２０２のように、第１気体誘導壁２３２は、互いに重なりあった２つの第１壁２３３及び第２壁２３４を有してもよい。
【０１４２】
図１２Ｂは、本実施の形態に係る第１気体誘導壁２３２が第１壁２３３及び第２壁２３４を有する例を示す断面図である。なお、図１２Ｂは、図１１に示すＤ−Ｄ線における断面に相当する。
【０１４３】
第１壁２３３は、筐体２１０の互いに対向する２つの内面の一方から立設している。第２壁２３４は、筐体２１０の互いに対向する２つの内面の他方から立設している。第１壁２３３及び第２壁２３４は、正面視した場合（具体的には、図１２Ｂにおいて、Ｙ軸方向に見た場合）に重なっている。このとき、第１壁２３３及び第２壁２３４は、互いに接していてもよい。例えば、図１２Ｂに示すように、Ｘ−Ｚ面で接している。
【０１４４】
これにより、第１気体誘導壁２３２は、正面視した場合に隙間がないように設けられるので、気体が第１光トラップ２４０に進入するのを抑制することができる。
【０１４５】
図１３Ａ及び図１３Ｂは、本実施の形態に係る粒子検出センサの別の一例であって、気体を一方向のみに誘導する例を示す断面図であり、具体的には、図４に示す断面を示している。
【０１４６】
図１３Ａに示す粒子検出センサ２００ａは、図１０Ａに示す粒子検出センサ２００と比較して、第１気体誘導壁２３０の代わりに、第１気体誘導壁２３０ａを備える。
【０１４７】
第１気体誘導壁２３０ａは、所定の方向における一方の端部が筐体２１０の内面に接続され、他方の端部が筐体２１０の内面に接続されていない。具体的には、第１気体誘導壁２３０ａの一方の端部（左側の端部）と筐体２１０の内面との間には隙間が設けられておらず、他方の端部（右側の端部）と筐体２１０の内面との間には隙間が設けられている。
【０１４８】
流入口２１１から流入する気体は、当該隙間を通って検知領域ＤＡに誘導される。具体的には、気体は、図１３Ａに示すように、第１気体誘導壁２３０ａと筐体２１０の内面との間を、Ｘ軸負方向（左方向）には進行できずに、Ｘ軸正方向（右方向）のみに進行する。
【０１４９】
また、同様に、図１３Ｂに示す粒子検出センサ２０１ａにおいても、第１気体誘導壁２３１ａは、所定方向における一方の端部（左上側の端部）と筐体２１０の内面とは接続されており、他方の端部（右下側の端部）と筐体２１０の内面とは接続されていない。流入口２１１ａから流入する気体は、図１３Ｂに示すように、第１気体誘導壁２３１ａと筐体２１０との間を、Ｙ軸正方向（上方向）には進行することができずに、Ｘ軸正方向（右方向）のみに進行する。
【０１５０】
以上のように、本実施の形態に係る粒子検出センサ２００ａ又は２０１ａでは、第１気体誘導壁２３０ａ又は２３１ａは、所定の方向における一方の端部が筐体２１０の内面に接続され、他方の端部が筐体２１０の内面に接続されていなくてもよい。
【０１５１】
これにより、筐体２１０内での気体の流れを一方向のみに限定することができる。つまり、気体は整流されるので、筐体２１０内で乱流が発生しにくくなり、粒子の検出精度を向上させることができる。
【０１５２】
図１４Ａ及び図１４Ｂは、本実施の形態に係る粒子検出センサの別の一例であって、第１気体誘導壁が筐体の内面に沿う例を示す断面図であり、具体的には、図４に示す断面を示している。
【０１５３】
図１４Ａに示す粒子検出センサ２００ｂは、図１０Ａに示す粒子検出センサ２００と比較して、第１気体誘導壁２３０の代わりに、第１気体誘導壁２３０ｂを備える。
【０１５４】
第１気体誘導壁２３０ｂは、筐体２１０の内面に沿って設けられている。図１４Ａに示す例では、筐体２１０は、扁平な略直方体であり、内面は平面である。したがって、第１気体誘導壁２３０ｂは、１枚以上の平板から構成されて、筐体２１０の内面に平行に配置される。図１４Ａに示す例では、第１気体誘導壁２３０ｂは、筐体２１０の下面部、左側面部及び右側面部に沿って、３枚の平板が略直角に接続されて形成される。
【０１５５】
また、図１４Ｂに示す粒子検出センサ２０１ｂにおいても、第１気体誘導壁２３１ｂは、筐体２１０の内面に沿って設けられている。第１気体誘導壁２３１ｂは、２枚の平板が略直角に接続されて形成される。
【０１５６】
以上のように、本実施の形態に係る粒子検出センサ２００ｂ又は２０１ｂでは、第１気体誘導壁２３０ｂ又は２３１ｂは、筐体２１０の内面に沿って設けられていてもよい。
【０１５７】
これにより、筐体２１０の内面と第１気体誘導壁２３０ｂ又は２３１ｂとの間を、スムーズに気体を流すことができる。例えば、筐体２１０の内面と第１気体誘導壁２３０ｂ又は２３１ｂとが平行に配置されているので、乱流が発生しにくくなる。よって、粒子の検出精度を向上させることができる。
【０１５８】
図１５Ａ及び図１５Ｂは、本実施の形態に係る粒子検出センサの別の一例であって、第１気体誘導壁が遮光性を有する例を示す断面図であり、具体的には、図４に示す断面を示している。
【０１５９】
本実施の形態に係る粒子検出センサ２００ｂ又は２０１ｂでは、第１気体誘導壁２３０ｂ及び２３１ｂは、遮光性を有する。つまり、図１５Ａ及び図１５Ｂに示すように、流入口２１１から筐体２１０に入射する外光は、第１気体誘導壁２３０ｂ及び２３１ｂによって反射（又は吸収）されて、筐体２１０の内部に進行しにくくなる。
【０１６０】
これにより、外光が検知領域ＤＡ及び受光系２２２に照射されにくくなり、粒子の誤検出を抑制することができる。したがって、粒子の検出精度を向上させることができる。
【０１６１】
図１６Ａ及び図１６Ｂは、本実施の形態に係る粒子検出センサの別の一例であって、第２気体誘導壁を備える例を示す断面図であり、具体的には、図４に示す断面を示している。
【０１６２】
図１６Ａに示す粒子検出センサ２００ｃは、図１０Ａに示す粒子検出センサ２００と比較して、新たに、第２気体誘導壁２５０ａ及び２５０ｂを備える。
【０１６３】
第２気体誘導壁２５０ａ及び２５０ｂは、第１気体誘導壁２３０によって誘導された気体を検知領域ＤＡに向けて誘導する。第２気体誘導壁２５０ａ及び２５０ｂは、第１気体誘導壁２３０の端部における気体の流れる方向に交差するように設けられている。また、第２気体誘導壁２５０ａ及び２５０ｂは、端部が検知領域ＤＡに向かうように配置されている。
【０１６４】
例えば、図１６Ａに示すように、第１気体誘導壁２３０の端部では、気流は、Ｙ軸正方向（上方）に流れる。したがって、第２気体誘導壁２５０ａ及び２５０ｂは、Ｙ軸正方向に交差し、かつ、端部が検知領域ＤＡに向かうように設けられる。具体的には、第２気体誘導壁２５０ａは、Ｙ軸正方向に流れる気体がＸ軸正方向に滑らかに流れるように、湾曲して設けられる。第２気体誘導壁２５０ｂは、Ｙ軸正方向に流れる気体がＸ軸負方向に滑らかに流れるように、湾曲して設けられる。例えば、第２気体誘導壁２５０ａ及び２５０ｂは、円弧に沿って湾曲した板状の壁である。
【０１６５】
また、図１６Ｂに示す粒子検出センサ２０１ｃにおいても、第２気体誘導壁２５１ａ及び２５１ｂは、第１気体誘導壁２３１によって誘導された気体を検知領域ＤＡに向けて誘導する。
【０１６６】
例えば、図１６Ｂに示すように、第１気体誘導壁２３１の一方（Ｙ軸正方向側）の端部では、気流は、Ｙ軸正方向（上方）に流れる。したがって、第２気体誘導壁２５１ａは、Ｙ軸正方向に交差し、かつ、端部が検知領域ＤＡに向かうように設けられる。また、第１気体誘導壁２３１の他方（Ｘ軸正方向側）の端部では、気流は、Ｘ軸正方向（右方向）に流れる。したがって、第２気体誘導壁２５１ｂは、Ｘ軸正方向に交差し、かつ、端部が検知領域ＤＡに向かうように設けられる。
【０１６７】
具体的には、第２気体誘導壁２５１ａは、Ｙ軸正方向に流れる気体がＸ軸正方向に滑らかに流れるように、湾曲して設けられる。第２気体誘導壁２５１ｂは、Ｘ軸正方向に流れる気体がＹ軸正方向に滑らかに流れるように、湾曲して設けられる。例えば、第２気体誘導壁２５１ａ及び２５１ｂは、円弧に沿って湾曲した板状の壁である。
【０１６８】
以上のように、本実施の形態に係る粒子検出センサ２００ｃは、さらに、第１気体誘導壁２３０又は２３１によって誘導された気体を検知領域ＤＡに向けて誘導する第２気体誘導壁２５０ａ及び２５０ｂを備える。粒子検出センサ２０１ｃについても同様である。
【０１６９】
これにより、筐体２１０内の気体をよりスムーズに検知領域ＤＡに誘導することができ、筐体２１０内での乱流の発生を抑制することができる。したがって、粒子の検出精度を向上させることができる。
【０１７０】
また、第２気体誘導壁２５０ａ及び２５０ｂは、他方の端部が検知領域ＤＡに向かうように配置されている。
【０１７１】
これにより、筐体２１０内の気体をより一層スムーズに検知領域ＤＡに誘導することができる。したがって、粒子の検出精度を向上させることができる。
【０１７２】
また、第２気体誘導壁２５０ａ及び２５０ｂは、所定の方向における一方の端部が筐体２１０の内面に接続され、他方の端部が筐体２１０の内面に接続されていない。
【０１７３】
具体的には、図１６Ａに示すように、第２気体誘導壁２５０ａは、一方（Ｙ軸負方向側）の端部が筐体２１０の左側面部に接続されている。第２気体誘導壁２５０ｂは、一方（Ｙ軸負方向側）の端部が筐体２１０の右側面部に接続されている。同様に、図１６Ｂに示すように、第２気体誘導壁２５１ａは、一方（Ｙ軸負方向側）の端部が筐体２１０の左側面部に接続されている。第２気体誘導壁２５１ｂは、一方の端部（Ｘ軸負方向側）の端部が筐体２１０の下面部に接続されている。
【０１７４】
これにより、筐体２１０内での気体の流れを一方向のみに限定することができる。つまり、気体は整流されるので、筐体２１０内で乱流が発生しにくくなり、粒子の検出精度を向上させることができる。
【０１７５】
ここで、図１７Ａは、本実施の形態に係る第２気体誘導壁２５１ｂの高さを説明するための断面図であり、図１６Ｂに示すＥ−Ｅ線における断面を示している。
【０１７６】
また、筐体２１０は、互いに対向する２つの内面を有し、第２気体誘導壁２５１ｂは、２つの内面を接続している。
【０１７７】
具体的には、図１７Ａに示すように、Ｚ軸方向において、第２気体誘導壁２５１ｂと筐体２１０との間に隙間が設けられていない。このため、流入口２１１ａから流入する気体は、Ｚ軸方向には進むことができず、図１６Ｂに示すように、ＸＹ平面内を進行する。
【０１７８】
これにより、気体をよりスムーズに検知領域ＤＡに誘導することができる。なお、ここでは、第２気体誘導壁２５１ｂについて示したが、第２気体誘導壁２５１ａ、並びに、図１６Ａに示す第２気体誘導壁２５０ａ及び２５０ｂについても同様である。
【０１７９】
また、例えば、図１７Ｂに示す粒子検出センサ２０２ｃのように、第２気体誘導壁２５２は、互いに重なりあった２つの第１壁２５３及び第２壁２５４を有してもよい。
【０１８０】
図１７Ｂは、本実施の形態に係る第２気体誘導壁２５２が第１壁２５３及び第２壁２５４を有する例を示す断面図である。なお、図１７Ｂは、図１１に示すＥ−Ｅ線における断面に相当する。
【０１８１】
第１壁２５３は、筐体２１０の互いに対向する２つの内面の一方から立設している。第２壁２５４は、筐体２１０の互いに対向する２つの内面の他方から立設している。第１壁２５３及び第２壁２５４は、正面視した場合に重なっている。このとき、第１壁２５３及び第２壁２５４は、互いに接していてもよい。
【０１８２】
これにより、第２気体誘導壁２５２は、正面視した場合に隙間がないように設けられるので、第１気体誘導壁２３１によって誘導された気体をより効率良く検知領域ＤＡに向けて誘導することができる。
【０１８３】
図１８Ａ及び図１８Ｂは、本実施の形態に係る粒子検出センサの別の一例であって、第２気体誘導壁が筐体の内面に沿う例を示す断面図である。また、図１８Ｂは、さらに、第２光トラップを備える例についても示している。図１８Ａ及び図１８Ｂは、具体的には、図４に示す断面を示している。
【０１８４】
図１８Ａに示す粒子検出センサ２００ｄは、図１４Ａに示す粒子検出センサ２００ｂと比較して、さらに、第２気体誘導壁２５０ｃ、２５０ｄ及び２５０ｅを備える。
【０１８５】
第２気体誘導壁２５０ｃ及び２５０ｄは、第１気体誘導壁２３０ｂによって誘導された気体を検知領域ＤＡに誘導するための壁であり、例えば、平板状の壁である。具体的には、第２気体誘導壁２５０ｃは、一方の端部が筐体２１０の左側面部に接続され、他方の端部が筐体２１０のいずれの内面にも接続されず、検知領域ＤＡに向かっている。また、第２気体誘導壁２５０ｄは、一方の端部が筐体２１０の右側面部に接続され、他方の端部が筐体２１０のいずれの内面にも接続されず、検知領域ＤＡに向かっている。
【０１８６】
これにより、図１８Ａに示すように、第１気体誘導壁２３０ｂによって誘導された気体を、よりスムーズに検知領域ＤＡに誘導することができる。
【０１８７】
第２気体誘導壁２５０ｅは、第２気体誘導壁２５０ｅは、第１気体誘導壁２３０ｂによって誘導された気体が第１光トラップ２４０に進入しないように誘導する。具体的には、第２気体誘導壁２５０ｅは、検知領域ＤＡと第１光トラップ２４０との間に設けられている。第２気体誘導壁２５０ｅは、例えば、平板状の壁である。
【０１８８】
ここで、図１８Ａに示すように、流入口２１１から流入した気体は、第１気体誘導壁２３０ｂによって左右に分かれて流れる。気体は、第１気体誘導壁２３０ｂ並びに第２気体誘導壁２５０ｃ及び２５０ｄによって誘導されて、検知領域ＤＡの近傍で合流する。このとき、気体が合流することで、乱流が発生する恐れがある。第２気体誘導壁２５０ｅは、例えば、発生した乱流によって気体が第１光トラップ２４０に進入するのを抑制する。
【０１８９】
これにより、粒子の検出精度を向上させることができる。
【０１９０】
また、図１８Ｂに示す粒子検出センサ２０１ｄは、図１４Ｂに示す粒子検出センサ２０１ｂと比較して、さらに、第２光トラップ２４２と、第２気体誘導壁２５１ｃ及び２５１ｄとを備える。
【０１９１】
第２光トラップ２４２は、検知領域ＤＡを介して受光系１３０と対向する位置に設けられて、第１光トラップ２４０にトラップされない光をトラップする。
【０１９２】
第２気体誘導壁２５１ｃ及び２５１ｄは、第１気体誘導壁２３１ｂによって誘導された気体を検知領域ＤＡに誘導するための壁であり、例えば、平板状の壁である。具体的には、第２気体誘導壁２５１ｃは、一方の端部が筐体２１０の左側面部に接続され、他方の端部が筐体２１０のいずれの内面にも接続されず、検知領域ＤＡに向かっている。また、第２気体誘導壁２５１ｄは、一方の端部が筐体２１０の下面部に接続され、他方の端部が筐体２１０のいずれの内面にも接続されず、検知領域ＤＡに向かっている。
【０１９３】
ここで、第２気体誘導壁２５１ｄは、第１気体誘導壁２３１ｂによって誘導された気体が第２光トラップ２４２に進入しないように誘導する。具体的には、第２気体誘導壁２５１ｄは、第１気体誘導壁２３１ｂの端部と第２光トラップ２４２との間に設けられている。
【０１９４】
図１８Ｂに示すように、第１気体誘導壁２３１ｂに沿ってＸ軸正方向に流れる気体は、第２気体誘導壁２５１ｄにぶつかって、その流れをＹ軸正方向に変更する。言い換えると、第２気体誘導壁２５１ｄは、気体が第２光トラップ２４２に進入しないように、気体を検知領域ＤＡに誘導する。
【０１９５】
これにより、筐体２１０内で乱流が発生するのを抑制することができる。また、第２光トラップ２４２が設けられているので、筐体２１０内の迷光をより低減し、迷光が受光系２２２に進入するのを抑制することができる。したがって、粒子の検出精度をより一層向上させることができる。
【０１９６】
また、例えば、光学系２２０は、検知領域ＤＡに集光するように光を出力する投光系２２１と、検知領域ＤＡにおける粒子による投光系２２１からの光の散乱光を受光する受光系２２２とを備える。
【０１９７】
これにより、光散乱式の粒子検出センサとして、粒子の有無、大きさ及び個数などを容易に検出することができる。
【０１９８】
（その他）
以上、本発明に係る粒子検出センサについて、上記実施の形態及びその変形例に基づいて説明したが、本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではない。
【０１９９】
例えば、上記の実施の形態では、ホコリ抑制壁３０が第１壁１０３と第２壁１１１とから構成される例について示したが、これに限らない。ホコリ抑制壁３０は、例えば、第１壁１０３のみ又は第２壁１１１のみから構成されてもよい。
【０２００】
また、例えば、上記の実施の形態では、ホコリ抑制壁３０が流入口１０１の縁に沿って下面部１０ｃに平行に設けられたが、これに限らない。ホコリ抑制壁３０は、下面部１０ｃに対して傾斜して設けられてもよい。例えば、ホコリ抑制壁３０は、流入口１０１と検知領域ＤＡとを結ぶ線に直交するように設けられてもよい。また、ホコリ抑制壁３０は、平板ではなく、湾曲した板でもよい。
【０２０１】
また、例えば、ホコリ抑制壁３０は、加熱装置６０と検知領域ＤＡとの間に設けられてもよい。
【０２０２】
また、例えば、上記の実施の形態では、２つの第１開口部４２及び４４によって検知領域ＤＡを通過した光を分割する例について説明したが、これに限らない。第１開口部は３つ以上でもよい。例えば、第１光トラップ４０として、複数の平行平板状の光トラップ構造を用いてもよい。つまり、複数の平行平板のそれぞれの間が、複数の第１開口部に相当する。平行平板の先端はテーパを有してもよい。
【０２０３】
また、例えば、上記の実施の形態では、筐体１０が前面カバー１００と背面カバー１１０とに分割可能な例について示したが、これに限らない。筐体１０は、樹脂材料と金型とを用いた射出成形などにより、一体に形成されてもよい。
【０２０４】
また、例えば、上記の実施の形態では、第１光反射壁１１２、第２光反射壁１１３、第３光反射壁１１４及び複数の楔形突出部１１５を背面カバー１１０と一体に形成したが、これに限らない。第１光反射壁１１２、第２光反射壁１１３、第３光反射壁１１４及び複数の楔形突出部１１５の少なくとも１つは、前面カバー１００と一体に形成してもよく、あるいは、前面カバー１００及び背面カバー１１０のいずれとも別体で形成してもよい。また、第１光反射壁１１２、第２光反射壁１１３、第３光反射壁１１４及び複数の楔形突出部１１５の少なくとも１つは、ホコリ抑制壁３０と同様に、前面カバー１００と背面カバー１１０との各々に形成された壁が組み合わされて形成されてもよい。
【０２０５】
また、例えば、上記の実施の形態では、第２壁１１１は平板状の壁である例について示したが、これに限らない。例えば、第２壁１１１は、左側面部１０ｅから筐体１０の内方に突出した楔形の壁（楔形突出部）でもよい。言い換えると、第２壁１１１の端部であって、筐体１０のいずれの側面にも接続されていない端部は、テーパを有してもよい。なお、第１光反射壁１１２、第２光反射壁１１３及び第３光反射壁１１４についても同様である。
【０２０６】
また、例えば、前面カバー１００及び背面カバー１１０に設けられた各構成要素の配置は、上述した例に限らない。例えば、上記の実施の形態では、投光系１２０と受光系１３０とが水平方向に並んで配置されているが、上下方向に並んで配置されてもよい。
【０２０７】
また、例えば、上記の実施の形態では、投光素子１２１からの光を集光する部材及び受光素子１３１へ光を集光する部材として、投光レンズ１２２及び受光レンズ１３２を示したが、集光ミラーなどの反射部材を利用してもよい。
【０２０８】
また、例えば、上記の実施の形態では、粒子検出センサ１が光散乱式の粒子検出センサである例について説明したが、これに限らない。粒子検出センサ１は、光電式の粒子検出センサであればよく、例えば、投光系１２０と受光系１３０とが互いに対向するように配置された場合、粒子２が検知領域ＤＡを通過した際に、投光系１２０からの光を遮ることで、受光系１３０に入射する光量が減少する。したがって、粒子検出センサは、光量の変化量（減少量）を検出することで、粒子を検出することができる。
【０２０９】
また、例えば、上記の実施の形態では、粒子を含む媒体（流体）が気体（大気）である例について示したが、水などの液体でもよい。
【０２１０】
なお、上記の実施の形態に係る粒子検出センサ１は、様々な機器に利用することができる。例えば、本発明の一態様は、粒子検出センサ１を備えるダストセンサとして実現することもできる。ダストセンサは、例えば掃除機などに利用することができる。
【０２１１】
また、例えば、本発明の一態様は、図１９に示すような煙感知器としても実現することができる。図１９は、本変形例に係る煙感知器の外観図である。図１９に示す煙感知器は、例えば、粒子検出センサ１を備える。
【０２１２】
また、例えば、本発明の一態様は、図２０に示すような空気清浄機としても実現することができる。図２０は、本変形例に係る空気清浄機の外観図である。図２０に示す空気清浄機は、例えば、粒子検出センサ１を備える。
【０２１３】
また、例えば、本発明の一態様は、図２１に示すような換気扇としても実現することができる。図２１は、本変形例に係る換気扇の外観図である。図２１に示す換気扇は、例えば、粒子検出センサ１を備える。
【０２１４】
また、例えば、本発明の一態様は、図２２に示すようなエアコンとしても実現することができる。図２２は、本変形例に係るエアコンの外観図である。図２２に示すエアコンは、例えば、粒子検出センサ１を備える。
【０２１５】
上述したような掃除機、煙感知器、空気清浄機、換気扇又はエアコンは、内蔵する粒子検出センサ１によって粒子２を検出した場合、単に粒子２を検知したことを提示（例えば、表示部に表示、又は、アラーム音などの出力）してもよい。あるいは、ファンの起動、ファンの回転速度の変更などのファンの制御を行ってもよい。
【０２１６】
その他、各実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明に含まれる。
【符号の説明】
【０２１７】
１、２００、２００ａ、２００ｂ、２００ｃ、２００ｄ、２０１、２０１ａ、２０１ｂ、２０１ｃ、２０１ｄ、２０２、２０２ｃ  粒子検出センサ
２  粒子
１０、２１０  筐体
２０、２２０  光学系
３０  ホコリ抑制壁（第１気体誘導壁）
４０、２４０、２４１  第１光トラップ
５０、２４２  第２光トラップ
１００ａ、１１０ａ  内面
１０１、２１１、２１１ａ  流入口
１０２、２１２  流出口
１０３、２３３、２５３  第１壁
１１１、２３４、２５４  第２壁
１１４  第３光反射壁（第２気体誘導壁）
１２０、２２１  投光系
１３０、２２２  受光系
２３０、２３０ａ、２３０ｂ、２３１、２３１ａ、２３１ｂ、２３２  第１気体誘導壁
２５０ａ、２５０ｂ、２５０ｃ、２５０ｄ、２５０ｅ、２５１ａ、２５１ｂ、２５１ｃ、２５１ｄ、２５２  第２気体誘導壁
ＤＡ  検知領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１５Ａ】
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【図１５Ｂ】
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【図１６Ａ】
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【図１６Ｂ】
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【図１７Ａ】
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【図１７Ｂ】
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【図１８Ａ】
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【図１８Ｂ】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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