(57)【要約】【課題】本発明は、試験サンプルに対して複数の種類の試験モードを提供することができる光源デバイスを提供する。【解決手段】第１光源ユニットと、少なくとも一つの第２光源ユニットと、第１位置及び第２位置に移動するのに適する分光ユニットと、検査モジュールを含み、前記分光ユニットが第１位置に移動したとき、前記第１光源ユニットが第１光束を放射し、前記分光ユニットは少なくとも一部の前記第１光束を試験サンプルに進行させ、前記少なくとも一部の第１光束は前記試験サンプルで、前記検出モジュールに進行する第１サンプル光束として反射され、且つ前記分光ユニットが前記第２位置に移動したとき、前記第２光源ユニットは第２光束を放射し、前記第２光束は前記試験サンプルに放射され、前記第２光束は前記試験サンプルで前記検出モジュールに進行する第２サンプル光束として反射される。【選択図】図１
2016038374.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１光源ユニットと、
少なくとも一つの第２光源ユニットと、
第１位置及び第２位置に移動するのに適する分光ユニットと、
検査モジュールを含み、
前記分光ユニットが第１位置に移動したとき、前記第１光源ユニットが第１光束を放射し、前記分光ユニットは少なくとも一部の前記第１光束を試験サンプルに進行させ、前記少なくとも一部の第１光束は前記試験サンプルで、前記検出モジュールに進行する第１サンプル光束として反射され、且つ前記分光ユニットが前記第２位置に移動したとき、前記第２光源ユニットは第２光束を放射し、前記第２光束は前記試験サンプルに放射され、前記第２光束は前記試験サンプルで前記検出モジュールに進行する第２サンプル光束として反射される、
ことを特徴とする光源デバイス。
【請求項２】
前記分光ユニットが前記第２位置に移動したとき、前記第２光束は前記分光ユニットの傍らを介して前記試験サンプルに進行し、且つ前記第２サンプル光束は分光ユニットの傍らを介して試験モジュールに進行する、
ことを特徴とする請求項１に記載の光源デバイス。
【請求項３】
前記分光ユニットは、前記試験サンプルからの少なくとも一部の前記第１サンプル光束を前記検出モジュールに進行させる、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の光源デバイス。
【請求項４】
前記第１光源ユニットからの前記少なくとも一部の第１光束は、前記分光ユニットにより前記試験サンプルに反射させられ、且つ前記試験サンプルからの少なくとも一部の前記第１サンプル光束は、前記分光ユニットを透過して前記試験モジュールに進行する、
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の光源デバイス。
【請求項５】
前記第１光源ユニットは複数の異なる色の発光ユニットを含み、前記第１光束は、一部の前記発光ユニットが放射した光によって構成される、
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の光源デバイス。
【請求項６】
前記第１光源ユニットは更に拡散ユニットを含み、前記拡散ユニットは前記発光ユニットが放射する光の経路上に配置される、
ことを特徴とする請求項５に記載の光源デバイス。
【請求項７】
前記第１光源ユニットは第１軌道グループに固定され、前記第１軌道グループは前記第１光束が前記試験サンプルに入射する方向に調整するのに適し、前記第２光源ユニットは第２軌道グループに固定され、前記第２軌道グループは前記第２光束が前記試験サンプルに入射する入射角を調整するのに適する、
ことを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の光源デバイス。
【請求項８】
第３光源ユニットを更に含み、
前記分光ユニットが第１位置に移動したとき、前記第３光源ユニットは第３光束を放射し、前記第３光束は前記分光ユニットの傍らを介して前記試験サンプルに進行し、且つ前記第３光束は前記試験サンプルで前記検出モジュールに進行する第３サンプル光束として反射される、
ことを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の光源デバイス。
【請求項９】
前記分光ユニットが前記第１位置に移動したとき、前記第２光源ユニットは光束を放射せず、且つ前記分光ユニットが前記第２位置に移動したとき、前記第１光源ユニット及び第３光源ユニットは光束を放射しない、
ことを特徴とする請求項８に記載の光源デバイス。
【請求項１０】
前記第３光源ユニットは第３軌道グループに固定され、前記第３軌道グループは前記第３光束が前記試験サンプルに入射する入射角を調整するのに適する、
ことを特徴とする請求項８又は９に記載の光源デバイス。
【請求項１１】
前記第３光源ユニットは更に拡散ユニット及びレンズを含み、前記拡散ユニット及び前記レンズはそれぞれ前記第３光束の進行経路上に配置され、且つ前記第３光源ユニットは線光源である、
ことを特徴とする請求項８〜１０のいずれか一項に記載の光源デバイス。
【請求項１２】
前記第２光束及び前記第３光束は異なる入射角を以って前記試験サンプルに入射される、
ことを特徴とする請求項８〜１１のいずれか一項に記載の光源デバイス。
【請求項１３】
前記第１光源ユニットは面光源であり、前記第２光源は線光源である、
ことを特徴とする請求項１〜１２のいずれか一項に記載の光源デバイス。
【請求項１４】
前記第２光源ユニットは複数であり、これらの第２光源ユニットは紫外線光源、赤外線光源若しくはその組み合わせである、
ことを特徴とする請求項１〜１３のいずれか一項に記載の光源ユニット。
【請求項１５】
前記試験サンプルはプリント回路基板である、
ことを特徴とする請求項１〜１４のいずれか一項に記載の光源デバイス。
【請求項１６】
前記検出モジュールは、
試験レンズと、
受光部品とを含み、
前記試験サンプルによって反射された後の前記複数の第１光束及び前記少なくとも第２光束は前記試験レンズを透過した後に前記受光部品に到達する、
ことを特徴とする請求項１〜１５のいずれか一項に記載の光源デバイス。
【請求項１７】
前記第２光源ユニットは拡散ユニットを含み、前記拡散ユニットは前記第２光束の進行経路上に配置される、
ことを特徴とする請求項１〜１６のいずれか一項に記載の光源デバイス。
【請求項１８】
前記分光ユニットに連接される一方の端部を備える駆動ユニットを更に含み、
前記駆動ユニットは前記分光ユニットを前記第１位置及び第２位置に駆動させるのに適している、
ことを特徴とする請求項１〜１７のいずれか一項に記載の光源デバイス。
【請求項１９】
前記駆動ユニットの他方の端部に連接される作動ユニットと、
前記作動ユニット、前記第１光源ユニット、及び前記第２光源ユニットに電気的に接続され、前記作動ユニットを制御することにより、前記作動ユニットに、前記駆動ユニットによって前記分光ユニットの位置を移動させると共に、前記第１光源ユニットと前記第２光源ユニットのスイッチを制御する制御ユニットと、
を更に含むことを特徴とする請求項１８に記載の光源デバイス。
【請求項２０】
前記作動ユニットは前記駆動ユニットの前記他方の端部を押し又は引くことにより前記分光ユニットを移動させる、
ことを特徴とする請求項１９に記載の光源デバイス。
【請求項２１】
前記作動ユニットは前記駆動ユニットを押し又は引くとき、前記駆動ユニットは支点を回転中心として回転する、
ことを特徴とする請求項１９又は２０に記載の光源デバイス。
【請求項２２】
前記分光ユニットは分光軌道グループに連接され、前記分光軌道グループは前記分光ユニットを経路に沿って前記第１位置及び第２位置の間で移動させる、
ことを特徴とする請求項１〜２１のいずれか一項に記載の光源デバイス。
【請求項２３】
前記分光ユニットが前記第１位置に移動したとき、前記第２光源ユニットは光束を放射せず、且つ前記分光ユニットが第２位置に移動したとき、前記第１光源ユニットは光束を放射しない、
ことを特徴とする請求項１〜２２のいずれか一項に記載の光源デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光学装置に関し、特に光源デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
科学技術の発展に伴い、人々の電気製品における電気部品の精密度及び品質に対する要求も益々高くなっている。現在電気製品の電気部品において、例えばプリント回路基板の品質試験は重要な課題の一つである。異なる光源の搭載により、現在は各種のプリント回路基板の製造時も、製造プロセスの各段階で、各層の構造に対して良好な試験を行うため、例えばプリント回路基板内部の金属配線とソルダマスク層の完成度に対して良好な試験とスクリーニングが可能となる。
【０００３】
しかし、従来使用されている方法は往々にして各種のプリント回路基板、各種の電気部品、若しくはその他の精密部品に対して専用の光学試験治具を製作することにより試験を行なっている。あるプリント回路基板の製造に対して、甚だしきに至っては異なる光源の要求により、異なる光学試験治具が必要となり、これらの治具の製作も往々にして全体の製造上のコスト高を招くこととなり、繰り返し使用できない光学試験治具は往々にして無駄となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２７１０５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、試験サンプルに対して複数の種類の試験モードを提供することができる光源デバイスを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、これらの問題を解決するため本発明は以下の構成を備える。
【０００７】
本発明は、第１光源ユニットと、少なくとも一つの第２光源ユニットと、分光ユニットと、検査モジュールとを含む光源デバイスを提供する。分光ユニットは第１位置及び第２位置に移動するのに適する。前記分光ユニットが第１位置に移動したとき、前記第１光源ユニットが第１光束を放射し、前記分光ユニットは少なくとも一部の前記第１光束を試験サンプルに進行させる。前記少なくとも一部の第１光束は前記試験サンプルで前記検出モジュールに進行する第１サンプル光束として反射される。前記分光ユニットが前記第２位置に移動したとき、前記第２光源ユニットは第２光束を放射し、前記第２光束は前記試験サンプルに放射され、前記第２光束は前記試験サンプルで前記検査モジュールに進行する第２サンプル光束として反射される。
【０００８】
本発明の１つの実施例において、前記分光ユニットが前記第２位置に移動したとき、前記第２光束は前記分光ユニットの傍らを介して前記試験サンプルに進行し、且つ前記第２サンプル光束は分光ユニットの傍らを介して試験モジュールに進行する。
【０００９】
本発明の１つの実施例において、前記分光ユニットは、前記試験サンプルからの少なくとも一部の前記第１サンプル光束を前記検出モジュールに進行させる。
【００１０】
本発明の１つの実施例において、前記第１光源ユニットからの前記少なくとも一部の第１光束は、前記分光ユニットにより前記試験サンプルに反射させられ、且つ前記試験サンプルからの少なくとも一部の前記第１サンプル光束は、前記分光ユニットを透過して前記試験モジュールに進行する。
【００１１】
本発明の１つの実施例において、前記第１光源ユニットは複数の異なる色の発光ユニットを含み、前記第１光束は、一部の前記発光ユニットが放射した光によって構成される。
【００１２】
本発明の１つの実施例において、前記第１光源ユニットは更に拡散ユニットを含み、前記拡散ユニットは前記発光ユニットが放射する光の経路上に配置される。
【００１３】
本発明の１つの実施例において、前記第１光源ユニットは第１軌道グループに固定され、前記第１軌道グループは前記第１光束が前記試験サンプルに入射する方向に調整するのに適し、前記第２光源ユニットは第２軌道グループに固定され、前記第２軌道グループは前記第２光束が前記試験サンプルに入射する入射角を調整するのに適する。
【００１４】
本発明の１つの実施例において、前記光源デバイスは、第３光源ユニットを更に含む。前記分光ユニットが第１位置に移動したとき、前記第３光源ユニットは第３光束を放射し、前記第３光束は前記分光ユニットの傍らを介して前記試験サンプルに進行し、且つ前記第３光束は前記試験サンプルで前記検出モジュールに進行する第３サンプル光束として反射される。
【００１５】
本発明の１つの実施例において、前記分光ユニットが前記第１位置に移動したとき、前記第２光源ユニットは光束を放射せず、且つ前記分光ユニットが前記第２位置に移動したとき、前記第１光源ユニット及び第３光源ユニットは光束を放射しない。
【００１６】
本発明の１つの実施例において、前記第３光源ユニットは第３軌道グループに固定され、前記第３軌道グループは前記第３光束が前記試験サンプルに入射する入射角を調整するのに適する。
【００１７】
本発明の１つの実施例において、前記第３光源ユニットは更に拡散ユニット及びレンズを含み、前記拡散ユニット及び前記レンズはそれぞれ前記第３光束の進行経路上に配置され、且つ前記第３光源ユニットは線光源である。
【００１８】
本発明の１つの実施例において、前記第２光束及び前記第３光束は異なる入射角を以って前記試験サンプルに入射される。
【００１９】
本発明の１つの実施例において、前記第１光源ユニットは面光源であり、前記第２光源は線光源である。
【００２０】
本発明の１つの実施例において、前記第２光源ユニットは複数であり、これらの第２光源ユニットは紫外線光源、赤外線光源若しくはその組み合わせである。
【００２１】
本発明の１つの実施例において、前記試験サンプルはプリント回路基板である。
【００２２】
本発明の１つの実施例において、前記検出モジュールは、試験レンズと、受光部品とを含む。前記試験サンプルによって反射された後の前記複数の第１光束及び前記少なくとも第２光束は前記試験レンズを透過した後に前記受光部品に進行する。
【００２３】
本発明の１つの実施例において、前記第２光源ユニットは拡散ユニットを含み、前記拡散ユニットは前記第２光束の進行経路上に配置される。
【００２４】
本発明の１つの実施例において、前記光源デバイスは前記分光ユニットに連接される一方の端部を備える駆動ユニットを更に含み、前記駆動ユニットは前記分光ユニットを前記第１位置及び第２位置に駆動させるのに適している。
【００２５】
本発明の１つの実施例において、前記光源デバイスは作動ユニットと、制御ユニットとを更に含む。前記作動ユニットは前記駆動ユニットの他方の端部に連接される。前記制御ユニットは、前記作動ユニット、前記第１光源ユニット、及び前記第２光源ユニットに電気的に接続される。前記制御ユニットは、前記作動ユニットを制御することにより、前記作動ユニットに、前記駆動ユニットによって前記分光ユニットの位置を移動させると共に、前記第１光源ユニットと前記第２光源ユニットのスイッチを制御する。
【００２６】
本発明の１つの実施例において、前記作動ユニットは前記駆動ユニットの前記他方の端部を押し又は引くことにより前記分光ユニットを移動させる。
【００２７】
本発明の１つの実施例において、前記作動ユニットは前記駆動ユニットを押し又は引くとき、前記駆動ユニットは支点を回転中心として回転する。
【００２８】
本発明の１つの実施例において、前記分光ユニットは分光軌道グループに連接され、前記分光軌道グループは前記分光ユニットを経路に沿って前記第１位置及び第２位置の間で移動させる。
【００２９】
本発明の１つの実施例において、前記分光ユニットが前記第１位置に移動したとき、前記第２光源ユニットは光束を放射せず、且つ前記分光ユニットが第２位置に移動したとき、前記第１光源ユニットは光束を放射しない。
【発明の効果】
【００３０】
上述の記載に基づき、本発明の実施例で提供される光源デバイスは、複数の位置に移動する分光ユニットにより、試験サンプルに対して異なる試験モードの試験光束を提供することができる。この分光ユニットの設計により、光源デバイスが提供する光束は更に高い自由度を具備し、試験サンプルの各種欠陥に対して適当な光束を提供することにより試験を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の実施例における光学デバイスの構成図である。
【図２Ａ】本発明の実施例における光源デバイスの立体図である。
【図２Ｂ】本発明の実施例における光源デバイスの局部立体図である。
【図２Ｃ】本発明の実施例における光源デバイスの局部立体図である。
【図２Ｄ】本発明における光源デバイスの平面図である。
【図２Ｅ】本発明における光源デバイスの平面図である。
【図３Ａ】本発明の実施例における光源デバイスの構成図である。
【図３Ｂ】本発明の実施例における光源デバイスの構成図である。
【図４Ａ】本発明の実施例における面光源の構成図である。
【図４Ｂ】本発明の実施例における面光源の構成図である。
【図５Ａ】本発明の実施例における線光源の構成図である。
【図５Ｂ】本発明の実施例における線光源の構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
図１は本発明の実施例における光学デバイスの構成図である。図２Ａは本発明の実施例における光源デバイスの立体図である。図２Ｂ及び図２Ｃは本発明の実施例における光源デバイスの局部立体図である。２Ｄ及び２Ｅは本発明における光源デバイスの平面図である。図３Ａ及び図３Ｂは本発明の実施例における光源デバイスの構成図である。なお、上述の図は本発明の実施例が提供する光源デバイスを明確化することができるようにするため、一部の図は一部の構成を省略するように記載しており、これは主に本発明の実施例における光源デバイスの光学運動方式を説明するために用いるものであり、これらの構造及び配置方式に限られるものではない。図１、図３Ａ及び図３Ｂを参照すると、本発明の実施例において、光源デバイス１００は、第１光源ユニット１１０、第２光源ユニット１２０、分光ユニット１４０及び検出モジュール１５０を含む。分光ユニット１４０は第１位置及び第２位置に移動するのに適する。具体的には、図３Ａは本実施例における分光ユニット１４０が第１位置に移動したときの構成図であり、分光ユニット１４０が第１位置に移動したとき、第１光源ユニット１１０は第１光束Ｌ１を放射し、分光ユニット１４０は少なくとも一部の第１光束Ｌ１を試験サンプル５０に進行させる。試験サンプル５０は少なくとも一部の第１光束Ｌ１を検出モジュール１５０に進行する第１サンプル光束Ｓ１として反射する。図３Ｂは本実施例における分光ユニット１４０が第２位置に移動したときの構成図であり、分光ユニット１４０が第２位置に移動したとき、第２光源ユニット１２０は第２光束Ｌ２を放射し、第２光束Ｌ２は試験サンプル５０に放射され（即ち第２光束Ｌ２は分光ユニット１４０を通過しない）、試験サンプル５０は第２光束Ｌ２を第２サンプル光束Ｓ２として反射し、第２サンプル光束Ｓ２は検出モジュール１５０に進行する。（即ち第２サンプル光束Ｓ２は分光ユニット１４０を通過しない）。
【００３３】
具体的には、図１、図２Ａ、図２Ｂ、図３Ａを参照すると、これらのうちの図２Ｂは第２光源ユニット１２０を省略して示しており、本発明の実施例において、上述した分光ユニット１４０が第１位置に位置するとき、分光ユニット１４０は第１光源ユニット１１０が提供する第１光束Ｌ１の進行経路上に位置し、かつ第２光源ユニット１２０は光束を放射せず、このため第１光束Ｌ１の一部を試験サンプル５０に反射させ、検出モジュール１５０は試験サンプル５０からの第１のサンプル光束Ｓ１を検出することができる。本実施例において、分光ユニット１４０は例えば光束の一部を反射させ、且つ一部を透過させるビームスプリッターであり、例えば半透過型（Transflective）鏡である。
【００３４】
図１、図３Ｂを参照すると、本発明の実施例において、上述した分光ユニット１４０が第２位置に位置するとき、第１光源ユニット１１０は光束を放射せず、第２光源ユニットが放射する第２光束Ｌ２は分光ユニット１４０の傍らを介して試験サンプル５０に進行し、且つ第２サンプル光束Ｓ２は分光ユニット１４０の傍らを介して検出モジュール１５０に進行する。すなわち、本実施例において、分光ユニット１４０が第２位置に位置するとき、分光ユニット１４０は第２光源ユニット１２０が提供する第２光束Ｌ２の進行経路及び第２サンプル光束Ｓ２の進行経路外となる。このため、本発明の実施例において提供された光源デバイス１００は分光ユニット１４０の移動によって、異なる光束を試験サンプル５０上に提供し、異なる試験効果を提供することにより、異なる試験の要求に対して異なる試験モード及びそれが適用する試験光束を提供する。
【００３５】
具体的には、図１、図２Ａ、図２Ｂ、図３Ａ及び図３Ｂを参照すると、本発明の実施例において、光源デバイス１００は更に第３光源ユニット１３０を含み、第３光源ユニットは第３光束Ｌ３を放射する。分光ユニット１４０が第１位置に移動したとき、第３光束Ｌ３は分光ユニット１４０の傍らを介して試験サンプル５０に進行し、試験サンプル５０は第３光束Ｌ３を検出モジュール１５０に進行する第３サンプル光束Ｓ３として反射する。すなわち、図３Ａを参照すると、分光ユニット１４０は第１位置に移動したとき、一部の第１光源ユニット１１０から放射される第１光束Ｌ1及び第３光源ユニット１３０が放射する第３光束Ｌ３は、いずれも試験サンプル５０に進行することができ、第２光源ユニット１２０は光束を放射せず、検出モジュール１５０は第１光束Ｌ１及び第３光束Ｌ３によって試験サンプル５０を照射して得られた試験影像を取得することができる。図３Ｂを参照すると、分光ユニット１４０が第２位置に移動したとき、第１光源ユニット１１０及び第３光源ユニット１３０はいずれも光束を放射せず、第２光源ユニット１２０が放射する第２光束Ｌ２は試験サンプル５０に放射される。上述した分光ユニット１４０と、これらの光源ユニットの搭載により、本発明の実施例における光源デバイス１００は最適な試験光束を適切に提供することができる。
【００３６】
具体的には、図１、図３Ａ、及び図３Ｂを参照すると、本発明の実施例において、第１光源ユニット１１０は複数の異なる色の発光ユニット１１２を含み、第１光束Ｌ１は一部のこれらの発光ユニット１１２によって放射される光によって構成される。第２光源ユニット１２０は複数の第２光源ユニット１２０であり、これらの第２光源ユニット１２０は紫外線光源、赤外線光源、若しくはこれらの組み合わせである。第３光源ユニット１３０は複数の発光ユニット１３２を含む。
【００３７】
図４Ａ及び図４Ｂは本発明の実施例における面光源の構成図である。図３Ａ、図４Ａ及び図４Ｂを参照すると、詳細には、本発明の実施例において、第１光源ユニット１１０はこれらの発光ユニット１１２が構成する面光源であり、且つ第１光源ユニット１１０は更に拡散ユニット１１４を含み、拡散ユニット１１４はこれらの発光ユニット１１２が放射する光束の進行経路上に配置され、これらの発光ユニット１１２が放射する光束は少なくとも赤色、緑色、青色、及び白色の可視光線を含み、かつこれらの異なる色の光は拡散ユニット１１４によって第１光束Ｌ１に混合される。拡散ユニット１１４は例えば光学拡散板であり、光束を混合することができる他、第１光束Ｌ１を均一に試験サンプル５０に照射させることができ、且つ拡散を経た第１光束Ｌ１は複数の角度に進行するため、第１光束Ｌ１が照射する影像は、それが照射する表面上の構造により容易に影響されず、第１光束Ｌ１によって照射され覆われる試験サンプル５０の表面を更に平滑な影像を以って現すことができる。本実施例において、第１光源１１０は更にコンタクト１１５（図４Ｂ参照）を含むことによりその他の部材に電気的に接続され、その他の部品もコンタクト１１５に連接されることによって第１光源ユニット１１０を制御する。
【００３８】
図５Ａ及び図５Ｂは本発明の実施例における線光源の構成図である。図３Ａ、図５Ａ及び図５Ｂを参照すると、詳細には、本発明の実施例において、第３光源ユニット１３０はこれらの発光ユニット１３２が構成する線光源であり、且つ第３光源ユニット１３０は更にレンズ１３６及び拡散ユニット１３４を含み、これらはいずれも発光ユニット１３２が放射する光束の進行経路上に配置され、これらの発光部材１３２が放射する光は少なくとも赤色、緑色、青色の可視光線を含み、且つこれらの異なる色の光は先ずレンズ１３６を介して焦点が合わせられ、再び拡散ユニット１３４を介して第３光束Ｌ３を混合する。第３発光ユニット１３０は線光源であるため、第３光束Ｌ３は所定の入射角度を以って試験サンプル５０に入射することが可能であり、さらに、試験サンプル５０の表面に均一に照射させ覆われる第１光束Ｌ１と協力し、第３光束Ｌ３は、表面上の所定の瑕疵若しくは構造が影を呈するので、試験サンプル５０に対して良好な試験を行なうことができる。本実施例において、第３光源ユニット１３０は更にコンタクト１３５を含むことにより（図５Ｂ参照）、その他の部材と電気的に接続され、その他の部材はコンタクト１３５に連接されることにより第３光源ユニット１３０を制御する。
【００３９】
図３Ｂ、図５Ａ、及び図５Ｂを参照すると、詳細には、本発明の実施例において、これらの第２の光源ユニット１２０は線光源を構成し、それは第３光源ユニット１３０に類似するように配置されるため、後述のレンズ及び拡散ユニットの配置位置は上述の第３光源ユニット１３０の内容と直接対応する。本実施例において、第２光源ユニット１２０は更にレンズ及び拡散ユニットを含み、それらはいずれもこれらの第２光源ユニット１２０が放射する光束の進行経路上に配置され、これらの第２光源ユニット１２０が放射する光は先ずレンズを介して焦点が合わせられ再び拡散ユニットを介して第２光束Ｌ２を混合する。第２発光ユニット１２０は線光源であるため、第２光束Ｌ２は所定の入射角度を以って試験サンプル５０に入射され、所定波長を具備する第２光束Ｌ２は試験サンプル５０における所定の層に対して良好な試験を行なうことができる。
【００４０】
具体的には、図３Ｂ、図５Ａ及び図５Ｂを参照すると、本発明の実施例における第２の光束Ｌ２は例えば紫外線であり、それは試験サンプル５０に対する透過率は比較的低いため、試験サンプル５０の最外層に対して試験を行なうのに適している。更に具体的には、本発明の実施例における試験サンプル５０は例えばプリント回路基板であり、紫外線はプリント回路基板の最外層のソルダマスク層に対して試験を行なうのに適するが、これに限られるものではない。その他の実施例において、第２光源ユニット１２０は例えば赤外線光源であり、それが放射する赤外線は試験サンプル５０を透過するのに適するので、例えばプリント回路基板に対して試験を行なうとき、第２光源ユニット１２０が放射する赤外線は、ソルダマスク層を透過して中の金属導電層を試験するのに適している。他の実施例において、第２光源ユニット１２０は更に赤外線光源と紫外線光源を同時に具備することができ、それは必要とされる試験の目的に基づいて所望の光束の種類を調整することができる。本実施例において、第２光源ユニット１２０は更にコンタクトを含むことによりその他の部材と電気的に接続され、その他の部材はコンタクトと接続することにより第２光源ユニット１２０を制御する。
【００４１】
図３Ａ及び図３Ｂを参照すると、本発明の実施例において、試験サンプル５０は更にステージ６０に置くことができ、ステージ６０は方向ｄ１に沿って移動する。このため、上述の第２光束Ｌ２が試験サンプル５０を照射するとき、ステージ６０の移動によって、検出モジュール１５０が検査する第２サンプル光束に、全体の試験サンプル５０の上面の試験パターンを構成させる。一方、本実施例において、第２光束Ｌ２は例えば約２３度の入射角を以って試験サンプル５０に入射され、第３光束Ｌ３は例えば約５５度の入射角を以って試験サンプル５０に入射される。
【００４２】
図１、図２Ａ、図２Ｂ、及び図３Ａを参照すると、更に本発明の実施例において、第１光源ユニット１１０は第１軌道グループ（図示せず）に固定され、第１軌道グループは第１光束Ｌ１が試験サンプル５０に入射する方向に調整されるのに適している。第２光源ユニット１２０は第２軌道グループ１２８に固定され、第２軌道グループ１２８は、第２光束Ｌ２が試験サンプル５０に入射する入射角を調整するのに適しており、第３光源ユニット１３０は第３軌道グループ１３８に固定され、第３軌道グループ１３８は、第３光束Ｌ３が試験サンプル５０に入射する入射角を調整するのに適している。具体的には、第２光束Ｌ２及び第３光束Ｌ３はそれぞれ異なる入射角を以って試験サンプル５０に入射されるが、これに限られるものではない。本実施例において、これらの軌道グループは、異なる試験サンプル５０に基づいて調整することができるので、異なる試験サンプルに対して良好な試験光束を提供することができる。
【００４３】
詳細には、図２Ｂ及び図３Ａを参照すると、本発明の実施例において、分光ユニット１４０は試験サンプル５０からの少なくとも一部の第１サンプル光束Ｓ１を検出モジュール１５０に進行させる。すなわち、本実施例において、分光ユニット１４０が第１位置に位置するとき、一部の第１光束Ｌ１は試験サンプル５０に反射させることができ、同時に試験サンプル５０からの第１サンプル光束Ｓ１の一部を透過させる。分光ユニット１４０は第２位置に位置するとき、第２光束Ｌ２の進行経路から離れ、第２光束Ｌ２に試験サンプル５０を照射させ、同時に第２サンプル光束Ｓ２を試験モジュール１５０に進行させる。
【００４４】
本発明の実施例において、上述の分光ユニット１４０は例えば手動により第１位置及び第２位置の間を移動させることができるが、本発明はこれに限られない。図２Ｂ及び図２Ｃを参照すると、本発明の実施例において、光源デバイス１００は更に駆動ユニット１６０を含み、この駆動ユニット１６０は分光ユニット１４０に連接される一方の端部１６１を具備し、且つ駆動ユニット１６０は、分光ユニット１４０を第１位置及び第２位置に駆動させるのに適している。更に具体的には、本発明の実施例において、光源デバイス１００は更に作動ユニット１７０及び制御ユニット１８０（図３Ａ及び図３Ｂを併せて参照のこと）を含む。作動ユニット１７０は駆動ユニット１６０の他方の端部１６３に連接される。制御ユニット１８０は作動ユニット１７０、第１光源ユニット１１０及び第２光源ユニット１２０に電気的に接続される。制御ユニット１８０が作動ユニット１７０を制御することにより、作動ユニット１７０に、駆動ユニット１６０によって分光ユニット１４０の位置を移動させ、制御ユニット１８０は第１光源ユニット１１０と第２光源ユニットのスイッチも制御する。更に述べると、本実施例において、制御ユニット１８０は第３光源ユニット１３０に電気的に接続されており、制御ユニット１８０は第３光源ユニットのスイッチを制御できる。
【００４５】
詳細には、図２Ｂ及び図２Ｃを参照すると、本発明の実施例において、作動ユニット１７０は駆動ユニット１６０の端部１６３を押し又は引くことにより、分光ユニット１４０を移動させ、作動ユニット１７０が駆動ユニット１６０を押し又は引くとき、駆動ユニット１６０は支点１６２を回転中心として回転する。つまり、駆動ユニット１６０は例えば支点１６２により固定されるものであり、作動ユニット１７０の押し引きにより、駆動ユニット１６０に、例えば「てこの原理」によって分光ユニット１４０を移動させるものである。更に、本実施例において分光ユニット１４０は分光軌道グループ（図示せず）に連接され、分光軌道グループは、分光ユニット１４０を経路に沿って第１位置及び第２位置の間を移動させる。すなわち、作動ユニット１７０が駆動ユニット１６０を押し又は引くことにより、分光ユニット１４０を分光軌道グループに沿って移動させるともいえる。具体的には、本実施例において、作動ユニット１７０は例えば空気圧シリンダ若しくは空気圧機器であり、気体の充填若しくは排出によりその他の部材を押し動かす。
【００４６】
図１を参照すると、本発明の実施例において、上述の検出モジュール１５０は、試験レンズ及び受光部品（図示せず）を含む。試験サンプル５０に反射された後の一部の第１サンプル光束Ｓ１及び一部の第２サンプル光束Ｓ２は試験レンズを透過した後、受光部品に到達する。即ち、本実施例においては、検出モジュール１５０は例えば試験レンズを含んだ電荷結合素子（Charger-Coupled Device, CCD）であるが、これには限られない。
【００４７】
一方、図１乃至図２Ｅを参照すると、本発明の実施例において、第２発光ユニット１２０及び第３発光ユニット１３０は、それぞれ放熱ブロック１２１、１３１及び放熱ファン１２３、１３３を含み、第１発光ユニット１２０及び第３発光ユニット１３０に更に良好な発光機能を持たせるようにしても良い。
【００４８】
以上の様に、本発明の実施例が提供する光源デバイスは第１光源ユニット、第２光源ユニット、及び複数の位置に移動可能な分光ユニットにより、試験サンプルに対して異なる試験モードを提供することが可能であり、試験モードは例えば異なる波長、異なる入射角度を具備する試験光束である。これらの種類の分光ユニットの設計により、光源デバイスが提供する光束は更に高い自由度を具備することができ、例えば試験光束の波長と入射角度はサンプル及び要求により調整することができ、併せて試験サンプルの各種の欠陥に対して適切な光束を提供することにより検査を行なうことができる。また、複数の波長の光束及び異なる角度の入射方式を提供することができるので、本発明の実施例が提供する光源デバイスは各種の異なる試験サンプルに適用されるため、異なる試験サンプルに対して新たな検査治具を特別に製作する必要がない。
【００４９】
本発明は実施例の如く説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、如何なる技術における当業者が本発明の精神と範囲を逸脱しない限りにおいて、変更と追加が許されるものであり、本発明の保護範囲は本発明の均等の範囲にまで及ぶものとする。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明の実施例の光源デバイスは各種の異なる試験サンプルの試験に広く応用することができる。
【符号の説明】
【００５１】
ｄ１  方向
Ｌ１  第１光束
Ｌ２  第２光束
Ｌ３  第３光束
Ｓ１  第１サンプル光束
Ｓ２  第２サンプル光束
Ｓ３  第３サンプル光束
５０  試験サンプル
６０  ステージ
１００  光源デバイス
１１０  第１光源ユニット
１１２  発光ユニット
１１４  拡散ユニット
１１５  コンタクト
１２０  第２光源ユニット
１２１  放熱ブロック
１２３  放熱ファン
１２８  第２軌道グループ
１３０  第３光源ユニット
１３１  放熱ブロック
１３２  発光ユニット
１３３  放熱ファン
１３４  拡散ユニット
１３５  コンタクト
１３６  レンズ
１３８  第３軌道グループ
１４０  分光ユニット
１５０  検出モジュール
１６０  駆動ユニット
１６１、１６３  端部
１６２  支点
１７０  作動ユニット
１８０  制御ユニット
【図１】
2016038374.tif 000003
【図２Ａ】
2016038374.tif 000004
【図２Ｂ】
2016038374.tif 000005
【図２Ｃ】
2016038374.tif 000006
【図２Ｄ】
2016038374.tif 000007
【図２Ｅ】
2016038374.tif 000008
【図３Ａ】
2016038374.tif 000009
【図３Ｂ】
2016038374.tif 000010
【図４Ａ】
2016038374.tif 000011
【図４Ｂ】
2016038374.tif 000012
【図５Ａ】
2016038374.tif 000013
【図５Ｂ】
2016038374.tif 000014