(57)【要約】【課題】電磁流量計の検出器の校正を電磁流量計に水を流さずに低コストで実現する。【解決手段】電磁流量計の校正方法は、測定管の断面積と電極間の距離を計測する計測ステップ（Ｓ１）と、測定管の中心の磁束密度と電極近傍の磁束密度を計測する計測ステップ（Ｓ２）と、磁束密度と測定管を流れる流体の流速の、起電力発生への寄与度を示す重み関数とを乗算し、磁束密度を計測した位置と算出した乗算値との関係を示す放物分布関数を決定する放物分布関数算出ステップ（Ｓ３，Ｓ４）と、放物分布関数の式を一方の電極の位置から他方の電極の位置まで積分することで、電極間を結ぶ直線上を流れる流体が作り出す起電力に比例する起電力パラメータを算出するパラメータ算出ステップ（Ｓ５）と、起電力パラメータと測定管の断面積に基づいて補正係数を算出する補正係数算出ステップ（Ｓ６）とを含む。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
校正対象の電磁流量計の測定管の断面積とこの測定管に設けられた２つの電極間の距離とを計測する第１の計測ステップと、
前記電磁流量計の励磁コイルから前記測定管に磁界が印加されている状態で、前記２つの電極間を結ぶ直線上において、前記測定管の中心の磁束密度と前記２つの電極近傍の磁束密度とを計測する第２の計測ステップと、
この第２の計測ステップで計測した磁束密度の値と前記測定管を流れる流体の流速の、起電力発生への寄与度を示す所定の重み関数とを乗算した値を、前記磁束密度を計測した位置毎に算出し、前記磁束密度を計測した位置と前記算出した乗算値との関係を示す放物分布関数の式を決定する放物分布関数算出ステップと、
この放物分布関数算出ステップで決定した放物分布関数の式を一方の電極の位置から他方の電極の位置まで積分することで、前記２つの電極間を結ぶ直線上を流れる流体が作り出す起電力に比例する起電力パラメータを算出するパラメータ算出ステップと、
このパラメータ算出ステップで算出した起電力パラメータと前記第１の計測ステップで計測した断面積とに基づいて、前記測定管を流れる流体の流量または流速を補正するための補正係数を算出する補正係数算出ステップとを含むことを特徴とする電磁流量計の校正方法。
【請求項２】
請求項１記載の電磁流量計の校正方法において、
前記補正係数算出ステップは、
基準となる電磁流量計の補正係数とこの電磁流量計の測定管の断面積と起電力パラメータとを記憶手段から取得するステップと、
この取得した値と、前記パラメータ算出ステップで算出した起電力パラメータと前記第１の計測ステップで計測した断面積とに基づいて、校正対象の電磁流量計の測定管を流れる流体の流量または流速を補正するための補正係数を算出するステップとを含むことを特徴とする電磁流量計の校正方法。
【請求項３】
校正対象の電磁流量計の測定管の断面積とこの測定管に設けられた２つの電極間の距離とを計測する光学センサと、
前記電磁流量計の励磁コイルから前記測定管に磁界が印加されている状態で、前記２つの電極間を結ぶ直線上において、前記測定管の中心の磁束密度と前記２つの電極近傍の磁束密度とを計測するガウスメータと、
このガウスメータで計測した磁束密度の値と前記測定管を流れる流体の流速の、起電力発生への寄与度を示す所定の重み関数とを乗算した値を、前記磁束密度を計測した位置毎に算出し、前記磁束密度を計測した位置と前記算出した乗算値との関係を示す放物分布関数の式を決定する放物分布関数算出手段と、
この放物分布関数算出手段が決定した放物分布関数の式を一方の電極の位置から他方の電極の位置まで積分することで、前記２つの電極間を結ぶ直線上を流れる流体が作り出す起電力に比例する起電力パラメータを算出するパラメータ算出手段と、
このパラメータ算出手段が算出した起電力パラメータと前記光学センサが計測した断面積とに基づいて、前記測定管を流れる流体の流量または流速を補正するための補正係数を算出する補正係数算出手段とを備えることを特徴とする電磁流量計の校正システム。
【請求項４】
請求項３記載の電磁流量計の校正システムにおいて、
さらに、基準となる電磁流量計の補正係数とこの電磁流量計の測定管の断面積と起電力パラメータとを予め記憶する記憶手段を備え、
前記補正係数算出手段は、前記記憶手段に記憶されている値と、前記パラメータ算出手段が算出した起電力パラメータと前記光学センサが計測した断面積とに基づいて、校正対象の電磁流量計の測定管を流れる流体の流量または流速を補正するための補正係数を算出することを特徴とする電磁流量計の校正システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁流量計の検出器を校正する校正方法および校正システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電磁流量計の性能のバラつきの原因として、機械的なバラつきがあり、具体的には（Ａ）測定管の口径のバラつき、（Ｂ）電極の位置や形状のバラつき、（Ｃ）磁場分布のバラつきなどがある。
【０００３】
電磁流量計の電子回路のバラつきについては電磁流量計の変換器に正確な信号電圧を与えることで校正できるが、電磁流量計の検出器の機械的なバラつきについては流量に与える影響が分からないため、電磁流量計に実際に水を流して調整する実流量校正が行われている（特許文献１、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】実公平４−５０５００号公報
【特許文献２】実公平５−３６１７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の実流量校正では、大掛かりな校正設備とコストがかかってしまうという問題点があった。
また、特許文献１、特許文献２には、電磁流量計に水を流さずに校正するドライキャリブレーションの技術が開示されている。しかしながら、特許文献１に開示された技術は、ドライキャリブレーション用電圧を信号処理回路に与えることで信号処理回路のゲインを調整するものであり、電磁流量計の電子回路のバラつきを校正することはできても、機械的なバラつきを校正することはできない。
【０００６】
一方、特許文献２に開示された技術では、電磁流量計の測定管を管軸方向に振動させることにより校正を行うようにしている。電磁流量計の測定管を流れる流体の流速をＶ、測定管の内径をＤ、測定管に垂直に印加される磁界の磁束密度をＢとすると、電磁流量計の検出器から得られる起電力ＥAを、信号処理回路で増幅した後の起電力ＥA’は次式のようになる。
ＥA’∝ｋＢＤＶ                                                 ・・・（１）
【０００７】
ここで、ｋは磁場分布や測定管に関係する係数である。一方、測定管を管軸方向に振動させたときの加振周波数に対応する角速度をωB、振動の片振幅をＸｏとすると、測定管を振動させたことに伴う起電力ＥBを、信号処理回路で増幅した後の起電力ＥB’は次式のようになる。
ＥB’∝ｋＢＤωBＸｏ                                            ・・・（２）
【０００８】
特許文献２に開示された技術では、ＥA’／ＥB’の比率Ｒを演算して、比率Ｒを既知の定数ωBＸｏ倍することで、流速Ｖを得るようにしている。
Ｖ＝ＲωBＸｏ                                                   ・・・（３）
【０００９】
特許文献２に開示された技術では、測定管が管軸方向に振動する範囲内で磁束密度分布が一様であることが求められる。磁束密度分布に偏りがあると、式（３）の演算に誤差が生じる結果となる。測定管が管軸方向に振動する範囲内で磁束密度分布を一様にしようとすると、通常の電磁流量計よりも広範な範囲にわたって磁束密度分布を一様にする必要があり、また測定管を振動させる加振装置が必要となるので、電磁流量計の製品コストが上昇する。
【００１０】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、電磁流量計の検出器の校正を電磁流量計に水を流さずに低コストで実現することができる電磁流量計の校正方法および校正システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の電磁流量計の校正方法は、校正対象の電磁流量計の測定管の断面積とこの測定管に設けられた２つの電極間の距離とを計測する第１の計測ステップと、前記電磁流量計の励磁コイルから前記測定管に磁界が印加されている状態で、前記２つの電極間を結ぶ直線上において、前記測定管の中心の磁束密度と前記２つの電極近傍の磁束密度とを計測する第２の計測ステップと、この第２の計測ステップで計測した磁束密度の値と前記測定管を流れる流体の流速の、起電力発生への寄与度を示す所定の重み関数とを乗算した値を、前記磁束密度を計測した位置毎に算出し、前記磁束密度を計測した位置と前記算出した乗算値との関係を示す放物分布関数の式を決定する放物分布関数算出ステップと、この放物分布関数算出ステップで決定した放物分布関数の式を一方の電極の位置から他方の電極の位置まで積分することで、前記２つの電極間を結ぶ直線上を流れる流体が作り出す起電力に比例する起電力パラメータを算出するパラメータ算出ステップと、このパラメータ算出ステップで算出した起電力パラメータと前記第１の計測ステップで計測した断面積とに基づいて、前記測定管を流れる流体の流量または流速を補正するための補正係数を算出する補正係数算出ステップとを含むことを特徴とするものである。
【００１２】
また、本発明の電磁流量計の校正方法の１構成例において、前記補正係数算出ステップは、基準となる電磁流量計の補正係数とこの電磁流量計の測定管の断面積と起電力パラメータとを記憶手段から取得するステップと、この取得した値と、前記パラメータ算出ステップで算出した起電力パラメータと前記第１の計測ステップで計測した断面積とに基づいて、校正対象の電磁流量計の測定管を流れる流体の流量または流速を補正するための補正係数を算出するステップとを含むことを特徴とするものである。
【００１３】
また、本発明の電磁流量計の校正システムは、校正対象の電磁流量計の測定管の断面積とこの測定管に設けられた２つの電極間の距離とを計測する光学センサと、前記電磁流量計の励磁コイルから前記測定管に磁界が印加されている状態で、前記２つの電極間を結ぶ直線上において、前記測定管の中心の磁束密度と前記２つの電極近傍の磁束密度とを計測するガウスメータと、このガウスメータで計測した磁束密度の値と前記測定管を流れる流体の流速の、起電力発生への寄与度を示す所定の重み関数とを乗算した値を、前記磁束密度を計測した位置毎に算出し、前記磁束密度を計測した位置と前記算出した乗算値との関係を示す放物分布関数の式を決定する放物分布関数算出手段と、この放物分布関数算出手段が決定した放物分布関数の式を一方の電極の位置から他方の電極の位置まで積分することで、前記２つの電極間を結ぶ直線上を流れる流体が作り出す起電力に比例する起電力パラメータを算出するパラメータ算出手段と、このパラメータ算出手段が算出した起電力パラメータと前記光学センサが計測した断面積とに基づいて、前記測定管を流れる流体の流量または流速を補正するための補正係数を算出する補正係数算出手段とを備えることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、電磁流量計に水を流さずに補正係数を求めることができるので、検出器の校正に要するコストと工数を低減することができる。本発明では、校正対象の電磁流量計を校正装置上にセットすれば、装置上で電磁流量計を搬送して計測を行うことで、校正作業を自動化することができる。また、本発明では、電磁流量計の流量誤差が測定管に起因するのか、電極の位置に起因するのか、磁束密度分布に起因するのかを特定できるので、電磁流量計のユーザからクレームが発生したときの調査や対策が容易になる。また、本発明では、測定管を振動させる方法のように通常の電磁流量計よりも広範な範囲にわたって磁束密度分布を一様にする必要がなく、また測定管を振動させる加振装置も必要がないので、特殊な仕様の電磁流量計を使用する必要がなく、通常の電磁流量計に対して校正を実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施の形態に係る電磁流量計の校正システムの構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る電磁流量計の校正システムの補正係数算出部の構成の１例を示すブロック図である。
【図３】本発明の実施の形態に係る電磁流量計の校正システムの動作を説明するフローチャートである。
【図４】ガウスメータによる磁束密度の測定方法を説明する断面図である。
【図５】測定管を流れる流体の流速の、起電力発生への寄与度を示す図である。
【図６】磁束密度の分布と重み関数とを乗算した値の変化の１例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は本発明の実施の形態に係る電磁流量計の校正システムの構成を示すブロック図である。本実施の形態の校正システムは、校正対象の電磁流量計の測定管の断面積とこの測定管に設けられた２つの電極間の距離とを計測する光学センサ２と、２つの電極間を結ぶ直線上において、測定管の中心の磁束密度と２つの電極近傍の磁束密度とを計測するガウスメータ３と、測定管を流れる流体の流量または流速を補正するための補正係数を算出する補正係数算出部４とを備えている。
【００１７】
電磁流量計の検出器１は、磁界を発生する励磁コイル１０ａ，１０ｂと、励磁コイル１０ａ，１０ｂから発生する磁界中に配置される測定管１１と、測定管１１に設けられる１対の電極１２ａ，１２ｂとから構成される。
光学センサ２は、センサヘッド２０ａ，２０ｂと、センサコントローラ２１とから構成される。
【００１８】
図２は補正係数算出部４の構成の１例を示すブロック図である。補正係数算出部４は、放物分布関数算出手段４０と、パラメータ算出手段４１と、補正係数算出手段４２と、記憶手段４３と、補正係数設定手段４４とから構成される。
【００１９】
以下、本実施の形態の校正システムの動作を図３のフローチャートを用いて説明する。電磁流量計の校正時に、光学センサ２のセンサコントローラ２１は、校正対象の電磁流量計の測定管１１の一方の開口に向けてセンサヘッド２０ａからレーザ平行光を照射させ、測定管１１を通過して他方の開口から出射したレーザ平行光をセンサヘッド２０ｂで受光させることにより、測定管１１の内壁側のエッジの位置を検出し、測定管１１の断面積Ｓと、測定管１１の内壁に露出した電極１２ａ，１２ｂ間の距離ｄとを演算する（図３ステップＳ１）。断面積Ｓについては、測定管１１の内壁側のエッジの位置に基づいて測定管１１の内径Ｄを求め、内径Ｄから断面積Ｓを演算してもよいし、測定管１１を通過した光の面積を積算することにより断面積Ｓを演算してもよい。なお、電極１２ａ，１２ｂの位置が既知なので、測定管１１の内壁の既知の位置についてエッジの位置を検出すれば、電極１２ａ，１２ｂ間の距離ｄを求めることができる。以上のような光学センサとしては、例えばアズビル株式会社製のエッジセンサがある。
【００２０】
次に、校正対象の電磁流量計の励磁コイル１０ａ，１０ｂには、検出器１と対になる変換器（不図示）から励磁電流が供給される。これにより、測定管１１に対して垂直に磁界が印加される。
光学センサ２による計測の終了後、図４に示すように電極１２ａ，１２ｂ間を結ぶ直線Ｌ上の位置のうち、測定管１１の中心位置ｘ2と電極１２ｂ近傍の位置ｘ1と電極１２ａ近傍の位置ｘ3にはガウスメータ３のプローブが配置される。ガウスメータ３は、プローブによって磁場を検知し、測定管１１の中心位置ｘ2の磁束密度Ｂ（ｘ2）と、電極１２ｂ近傍の位置ｘ1の磁束密度Ｂ（ｘ1）と、電極１２ａ近傍の位置ｘ3の磁束密度Ｂ（ｘ3）とを計測する（図３ステップＳ２）。なお、測定管１１をステージ上に載置し、ステージ上に取り付けられたプローブを測定管１１の内部に入れるようにして磁束密度Ｂ（ｘ1），Ｂ（ｘ2），Ｂ（ｘ3）を計測するので、ステージと測定管１１との位置関係、およびステージとプローブとの位置関係から、直線Ｌ上の座標（ｘ1，ｘ2，ｘ3）を正確に決定することができる。
【００２１】
電磁流量計の電極１２ａ，１２ｂ間に生じる起電力Ｅは、次式のように測定管１１の内径Ｄと磁束密度Ｂと測定管１１を流れる流体の流速Ｖとから決まるので、測定管１１の断面積Ｓと電極１２ａ，１２ｂ間の距離ｄと磁束密度Ｂとを測ることができれば、流量（流速）の補正係数ＤＦを決定することが可能である（式（４）のｋは係数）。
Ｅ＝ｋＢＤＶ                                                    ・・・（４）
なお、流量Ｑは次式により求まる。
Ｑ＝（πＤ2／４）×Ｖ                                           ・・・（５）
【００２２】
測定管１１の断面積Ｓと電極１２ａ，１２ｂ間の距離ｄとは、上記のように光学センサ２によって正確に測ることができるが、磁束密度Ｂについては一様でないため、測定管１１内の磁束密度Ｂの分布を測定する必要がある。しかし、流体の流速は場所によって起電力発生への寄与度（重み）が違っており、流体による起電力Ｅは、電極１２ａ，１２ｂ間を結ぶ直線Ｌ上を流れる流体の速度でほぼ決まる。そこで、起電力発生に大きく寄与する測定管１１の中心位置と電極１２ｂ近傍の位置と電極１２ａ近傍の位置の３点の磁束密度Ｂ（ｘ1），Ｂ（ｘ2），Ｂ（ｘ3）を計測し、これら磁束密度Ｂ（ｘ1），Ｂ（ｘ2），Ｂ（ｘ3）と重み関数とから起電力Ｅに比例するパラメータを求めて、基準となる検出器との比較で流量（流速）の補正係数ＤＦを求める。
【００２３】
図５（Ａ）、図５（Ｂ）は測定管１１を流れる流体の流速の、起電力発生への寄与度（重み）を示す図であり、図５（Ａ）は測定管１１の断面（ｘｙ平面）で見たときの重みを示し、図５（Ｂ）は測定管１１の管軸方向（ｚ方向）で見たときの重みを示している。
重み関数Ｕは、式で表すと直交座標（ｘ，ｙ）では式（６）のようになる。
Ｕ＝（１＋（ｘ2−ｙ2））／（１＋２（ｘ2−ｙ2）＋（ｘ2＋ｙ2）2）   ・・（６）
【００２４】
また、重み関数Ｕは、測定管１１の断面上の点を原点（電極１２ａまたは１２ｂの位置）からの距離ｒと始線（ｘ軸）からの偏角θとで表す極座標（ｒ，θ）では式（７）のようになる。
Ｕ＝（１＋ｒ2ｃｏｓ（２θ））／（１＋２ｒ2ｃｏｓ（２θ）＋ｒ4）   ・・（７）
【００２５】
なお、式（６）、式（７）は、測定管１１の断面において、測定管１１の中心から電極１２ａ側の半円の領域については電極１２ａの位置を原点とし、測定管１１の中心から電極１２ｂ側の半円の領域については電極１２ｂの位置を原点としている。
【００２６】
例えば式（７）から明らかなように、重み関数Ｕの式の分母にｒ4が含まれているので、電極１２ａ，１２ｂの近傍の流速は測定管１１の中心付近の流速に比べて起電力発生への寄与が非常に大きくなる。以上のような重み関数については、文献「遠藤昭，“電磁流量計の基礎理論：G.Schmartz著，Induktive Stromungsmessung Abschn.1,2の邦訳”，動力炉・核燃料開発事業団，１９８５年」に開示されている。
【００２７】
補正係数算出部４の放物分布関数算出手段４０は、電極１２ａ，１２ｂ間を結ぶ直線Ｌ上の３点（ｘ1，ｘ2，ｘ3）でガウスメータ３が計測した磁束密度Ｂ（ｘ1），Ｂ（ｘ2），Ｂ（ｘ3）の値に、式（６）または式（７）から得られる直線Ｌ上の座標（ｘ1，ｘ2，ｘ3）の重み関数Ｕ（ｘ1），Ｕ（ｘ2），Ｕ（ｘ3）を乗算した値Ｂ（ｘ1）Ｕ（ｘ1），Ｂ（ｘ2）Ｕ（ｘ2），Ｂ（ｘ3）Ｕ（ｘ3））を算出する（図３ステップＳ３）。乗算値Ｂ（ｘ1）Ｕ（ｘ1），Ｂ（ｘ2）Ｕ（ｘ2），Ｂ（ｘ3）Ｕ（ｘ3）は、図６に示すように直線Ｌ上の座標ｘに応じて放物線状に変化する。図６における原点Ｏ（ｘ＝０）は、測定管１１の中心位置に相当する。
【００２８】
そして、放物分布関数算出手段４０は、（ｘ1，Ｂ（ｘ1）Ｕ（ｘ1））、（ｘ2，Ｂ（ｘ2）Ｕ（ｘ2））、（ｘ3，Ｂ（ｘ3）Ｕ（ｘ3））の３点を通る次式のような放物分布関数（２次関数）の係数ａ，ｂ，ｃを決定する（図３ステップＳ４）。
ＢＵ＝ａｘ2＋ｂｘ＋ｃ                                           ・・・（８）
【００２９】
補正係数算出部４のパラメータ算出手段４１は、放物分布関数算出手段４０が決定した式（８）を電極１２ｂの位置（ｘ＝−ｄ／２）から電極１２ａの位置（ｘ＝ｄ／２）まで積分することで、電極１２ａ，１２ｂ間を結ぶ直線Ｌ上を流れる流体が作り出す起電力Ｅに比例する起電力パラメータＭを算出する（図３ステップＳ５）。ＢＵの不定積分はＦ（ｘ）＝２／３ａｘ3＋１／２ｂｘ2＋ｃｘ＋Ｄ（Ｄは定数で定積分で消える）なので、Ｍ＝Ｆ（ｄ／２）−Ｆ（−ｄ／２）となる。なお、ステップＳ１で求めた電極１２ａ，１２ｂ間の距離ｄは、電極１２ａ，１２ｂの位置（ｘ＝−ｄ／２，ｄ／２）の決定に使用されることは言うまでもない。
【００３０】
補正係数算出部４の補正係数算出手段４２は、校正対象の電磁流量計と同型の基準となる電磁流量計の補正係数ＤＦ０とこの電磁流量計の測定管の断面積Ｓ０と起電力パラメータＭ０とを記憶手段４３から取得し、これらの値とパラメータ算出手段４１が算出した起電力パラメータＭとから次式により補正係数ＤＦを算出する（図３ステップＳ６）。
ＤＦ＝ＤＦ０×Ｍ／Ｍ０×Ｓ／Ｓ０                                ・・・（９）
【００３１】
基準となる電磁流量計の測定管の断面積Ｓ０と起電力パラメータＭ０については上記と同様にして予め求めておけばよく、また基準となる電磁流量計の補正係数ＤＦ０については電磁流量計に実際に水を流す実流量校正により予め求めておけばよい。
【００３２】
補正係数算出部４の補正係数設定手段４４は、補正係数算出手段４２が算出した補正係数ＤＦを校正対象の電磁流量計の変換器（不図示）に設定する（図３ステップＳ７）。
こうして、校正対象の電磁流量計の検出器１の補正係数ＤＦを求めることができる。上記のとおり、補正係数ＤＦは、検出器１から出力される起電力Ｅを流量値や流速値に変換する変換器に設定される。変換器は、起電力Ｅから算出した流量値または流速値に補正係数ＤＦを乗算することで、流量値または流速値を補正する。
【００３３】
以上のように、本実施の形態では、電磁流量計に水を流さずに補正係数ＤＦを求めることができるので、検出器１の校正に要するコストと工数を低減することができる。本実施の形態では、校正対象の電磁流量計を校正装置上にセットすれば、装置上で電磁流量計を搬送してステップＳ１，Ｓ２の計測を行うことで、校正作業を自動化することができる。また、本実施の形態では、電磁流量計の流量誤差が測定管に起因するのか、電極の位置に起因するのか、磁束密度分布に起因するのかを特定できるので、電磁流量計のユーザからクレームが発生したときの調査や対策が容易になる。
【００３４】
本実施の形態では、特許文献２のように通常の電磁流量計よりも広範な範囲にわたって磁束密度分布を一様にする必要がなく、また測定管を振動させる加振装置も必要がないので、特殊な仕様の電磁流量計を使用する必要がなく、通常の電磁流量計に対して校正を実施することができる。
【００３５】
本実施の形態で説明した補正係数算出部４は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、記憶装置及びインタフェースを備えたコンピュータと、これらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。ＣＰＵは、記憶装置に格納されたプログラムに従って本実施の形態で説明した処理を実行する。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本発明は、電磁流量計の検出器を校正する技術に適用することができる。
【符号の説明】
【００３７】
１…検出器、２…光学センサ、３…ガウスメータ、４…補正係数算出部、１０ａ，１０ｂ…励磁コイル、１１…測定管、１２ａ，１２ｂ…電極、２０ａ，２０ｂ…センサヘッド、２１…センサコントローラ、４０…放物分布関数算出手段、４１…パラメータ算出手段、４２…補正係数算出手段、４３…記憶手段、４４…補正係数設定手段。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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