(57)【要約】【課題】測定対象を測定する際に用いる補正値を正確にしかも効率的に測定する。【解決手段】本体部２と、本体部２に配設されて測定対象の電気部品を保持する保持溝が形成された保持部３と、一対のプローブ部を保持溝の長さ方向に移動させて保持部３によって保持されている電気部品における対向する一対の被接触部に各プローブ部をそれぞれ接触させる移動機構４とを備え、移動機構４は、雄ねじ部が形成されると共に回動可能に本体部２に配設されたロッド３１、および雄ねじ部に螺合する雌ねじ部が形成されると共にプローブ部を保持可能に形成されてロッド３１の回転に伴って長さ方向に移動させられる移動体を有して構成され、ロッド３１に配設されたプレート３４の指針３４ａ、および本体部２に設けられた目盛１３を有してロッド３１の回動量を指示する指示部を備えている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体部と、当該本体部に配設されて測定対象の電気部品を保持する保持溝が形成された保持部と、一対のプローブ部の少なくとも一方を前記保持溝の長さ方向に移動させて前記保持部によって保持されている前記電気部品における対向する一対の被接触部に当該各プローブ部をそれぞれ接触させる移動機構とを備えた測定用治具であって、
前記移動機構は、雄ねじ部が形成されると共に回動可能に前記本体部に配設された回動体、および前記雄ねじ部に螺合する雌ねじ部が形成されると共に前記少なくとも一方のプローブ部を保持可能に形成されて前記回動体の回転に伴って前記長さ方向に移動させられる移動体を有して構成され、
前記回動体に配設された指針、および前記本体部に設けられた目盛を有して当該回動体の回動量を指示する指示部を備えている測定用治具。
【請求項２】
前記移動機構は、前記各プローブ部の双方を前記長さ方向に移動可能に構成されている請求項１記載の測定用治具。
【請求項３】
前記移動機構は、前記雄ねじ部としての正雄ねじおよび逆雄ねじが異なる２つの部位にそれぞれ形成された前記回動体としてのロッドと、
前記正雄ねじに螺合する前記雌ねじ部としての正雌ねじ部が形成されると共に前記各プローブ部の一方を保持可能に形成された前記移動体としての第１のスライド部と、
前記逆雄ねじに螺合する前記雌ねじ部としての逆雌ねじ部が形成されると共に前記各プローブ部の他方を保持可能に形成された前記移動体としての第２のスライド部とを備え、
前記ロッドの回転に伴って、前記各スライド部が前記長さ方向に沿って互いに近接する向きおよび互いに離間する向きに移動可能に構成されている請求項２記載の測定用治具。
【請求項４】
前記保持部は、前記本体部に着脱可能に構成され、
前記本体部および前記保持部は、互いに係合可能に形成され、
当該本体部および当該保持部のいずれか一方には、係合状態において当該保持部を当該本体部に対して位置決めする係合部および被係合部のいずれか一方が設けられ、当該本体部および当該保持部の他方には、当該係合部および当該被係合部の他方が設けられている請求項１から３のいずれかに記載の測定用治具。
【請求項５】
前記保持部は、前記保持溝としての第１の溝部が形成されて前記電気部品が載置される第１保持材と、当該第１保持材の上に配置された状態において前記第１の溝部に対向する位置に形成された前記保持溝としての第２の溝部が形成された第２保持材とを備え、前記第２保持材を前記第１保持材の上に配置した状態において前記各溝部によって形成される空間内に前記電気部品を収容可能に構成されている請求項１から４のいずれかに記載の測定用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象の電気部品を保持する保持部と、電気部品にプローブ部を接触させる移動機構とを備えた測定用治具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の測定用治具として、下記特許文献１において出願人が開示した測定治具が知られている。この測定治具は、基台および電極スライド機構を備えて構成されている。電極スライド機構は、被測定物を保持する保持台部と、プローブ部として機能する電極板を支持すると共に基台に固定された固定電極支持体と、電極板を支持すると共に固定電極支持体に対して接離する方向に移動可能に基台に配設された可動電極支持体と、可動電極支持体を固定電極支持体に向けて付勢する付勢バネとを備えている。この測定治具を用いて被測定物の測定を行う際には、可動電極支持体に取り付けられている操作用ノブを把持し、次いで、付勢バネの付勢力に抗して、可動電極支持体を固定電極支持体から離間する向きにスライドさせる。この際に、固定電極支持体に支持されている電極板の先端部と可動電極支持体に支持されている電極板の先端部との間隔が広がる。続いて、各電極板の先端部の間に位置するように被測定物を保持台部の上にセットする。次いで、操作用ノブを把持した状態を維持しつつ、付勢バネの付勢力に抗する力を緩めて可動電極支持体を固定電極支持体に近接する向きにスライドさせる。この際に、付勢バネの付勢力によって各電極板の先端部が被測定物の電極に押し付けられて接触する。次いで、測定を開始する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−２０８１９号公報（第５−１１頁、第１−５図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、出願人が開示している上記の測定治具には、改善すべき以下の課題が存在する。すなわち、この測定治具では、付勢バネによって可動電極支持体が固定電極支持体に向けて付勢されている。ここで、被測定物について被測定量を正確に測定するには、測定系の誤差（例えば、各電極板（各プローブ部）間のインピーダンスや静電容量等の被測定量）を補正する必要がある。この種の補正の１つとしてのオープン補正を行う際には、被測定量をセットしない状態で、各電極板を被測定物の長さ分だけ離間させて被測定量を測定し、その測定値をオープン補正用の補正値とする。しかしながら、上記の測定治具では、付勢バネによって可動電極支持体が固定電極支持体に向けて付勢されているため、各電極板を被測定物の長さ分だけ離間させるには、操作用ノブを把持して、付勢バネの付勢力に抗して可動電極支持体を固定電極支持体から離間させた状態に保持する必要がある。このような操作では、可動電極支持体の保持の仕方次第で各電極板の離間距離が変化してしまうため、正確な補正値の測定が困難となる。
【０００５】
一方、出願人は、上記した測定治具とは別の構成として、２つのプローブ部の一方（以下「第１プローブ部」ともいう）を、コイルバネを介して第１プローブ部の長さ方向に移動可能に支持し、２つのプローブ部の他方（以下「第２プローブ部」ともいう）を、第１プローブ部に対して接離するようにスライド可能とした測定治具を開発している。この測定治具では、コイルバネが自然長の状態で第１プローブ部と第２プローブ部とを被測定物の長さよりも長く離間させ、両プローブ部の間に被測定物をセットする。次いで、第２プローブ部を第１プローブ部に近接させて、コイルバネが自然長の状態で両プローブ部の各先端部が被測定物に接触した時点で第２プローブ部の移動を停止させる。続いて、コイルバネが縮長する向きに第１プローブ部を移動させて被測定物を取り除き、次いで、第１プローブ部を元の位置（コイルバネが自然長となる位置）に戻す。これにより、両プローブ部を被測定物の長さ分だけ離間させることができる。しかしながら、この測定治具では、オープン補正用の補正値を測定するために被測定物をセットする必要がある。この場合、微小な被測定物をセットするには、拡大鏡や顕微鏡を用いるため、作業が煩雑で、補正値の測定効率を向上させることが困難となっている。また、第２プローブ部を移動させる際に、両プローブ部の各先端部が被測定物に接触したか否かの判定を作業者の感覚に頼ることとなるため、補正値にばらつきが生じるおそれもある。
【０００６】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、測定対象を測定する際に用いる補正値を正確にしかも効率的に測定し得る測定用治具を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成すべく、請求項１記載の測定用治具は、本体部と、当該本体部に配設されて測定対象の電気部品を保持する保持溝が形成された保持部と、一対のプローブ部の少なくとも一方を前記保持溝の長さ方向に移動させて前記保持部によって保持されている前記電気部品における対向する一対の被接触部に当該各プローブ部をそれぞれ接触させる移動機構とを備えた測定用治具であって、前記移動機構は、雄ねじ部が形成されると共に回動可能に前記本体部に配設された回動体、および前記雄ねじ部に螺合する雌ねじ部が形成されると共に前記少なくとも一方のプローブ部を保持可能に形成されて前記回動体の回転に伴って前記長さ方向に移動させられる移動体を有して構成され、前記回動体に配設された指針、および前記本体部に設けられた目盛を有して当該回動体の回動量を指示する指示部を備えている。
【０００８】
また、請求項２記載の測定用治具は、請求項１記載の測定用治具において、前記移動機構は、前記各プローブ部の双方を前記長さ方向に移動可能に構成されている。
【０００９】
また、請求項３記載の測定用治具は、請求項２記載の測定用治具において、前記移動機構は、前記雄ねじ部としての正雄ねじおよび逆雄ねじが異なる２つの部位にそれぞれ形成された前記回動体としてのロッドと、前記正雄ねじに螺合する前記雌ねじ部としての正雌ねじ部が形成されると共に前記各プローブ部の一方を保持可能に形成された前記移動体としての第１のスライド部と、前記逆雄ねじに螺合する前記雌ねじ部としての逆雌ねじ部が形成されると共に前記各プローブ部の他方を保持可能に形成された前記移動体としての第２のスライド部とを備え、前記ロッドの回転に伴って、前記各スライド部が前記長さ方向に沿って互いに近接する向きおよび互いに離間する向きに移動可能に構成されている。
【００１０】
また、請求項４記載の測定用治具は、請求項１から３のいずれかに記載の測定用治具において、前記保持部は、前記本体部に着脱可能に構成され、前記本体部および前記保持部は、互いに係合可能に形成され、当該本体部および当該保持部のいずれか一方には、係合状態において当該保持部を当該本体部に対して位置決めする係合部および被係合部のいずれか一方が設けられ、当該本体部および当該保持部の他方には、当該係合部および当該被係合部の他方が設けられている。
【００１１】
また、請求項５記載の測定用治具は、請求項１から４のいずれかに記載の測定用治具において、前記保持部は、前記保持溝としての第１の溝部が形成されて前記電気部品が載置される第１保持材と、当該第１保持材の上に配置された状態において前記第１の溝部に対向する位置に形成された前記保持溝としての第２の溝部が形成された第２保持材とを備え、前記第２保持材を前記第１保持材の上に配置した状態において前記各溝部によって形成される空間内に前記電気部品を収容可能に構成されている。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１記載の測定用治具では、回動体と、電気部品を保持する保持溝の長さ方向に回動体の回転に伴って移動する移動体とを備えて移動機構が構成されている。このため、この測定用治具によれば、電気部品を保持部にセットすることなく、電気部品の長さに対応する回動量だけ回動体を回動させることで、プローブ部の各先端部同士を電気部品の長さ分だけ離間させ、かつその状態を確実に維持することができる。したがって、この測定用治具によれば、補正値を測定するために電気部品を保持部にセットする必要がない分、補正値の測定効率を十分に向上させることができる。また、この測定用治具では、回動体の回動量を指示する指示部を備えている。このため、この測定用治具によれば、回動体の回動量を正確に調節することができる結果、プローブ部の各先端部同士を電気部品の長さ分だけ正確に離間させることができる。したがって、この測定用治具によれば、補正値を正確に測定することが可能となっている。
【００１３】
また、請求項２記載の測定用治具によれば、各プローブ部の双方を長さ方向に移動可能に移動機構を構成したことにより、一方のプローブ部だけを移動させる構成と比較して、同じ回動量で各プローブ部同士の離間距離を大きく変化させることができる。つまり、少ない回動量で各プローブ部同士を大きく離間させたり近づけたりすることができる。したがって、この測定用治具によれば、測定効率をさらに向上させることができる。
【００１４】
また、請求項３記載の測定用治具によれば、正雄ねじおよび逆雄ねじが形成されたロッド３１と、正雌ねじが形成されてプローブ部の一方を保持する第１のスライド部と、逆雌ねじが形成されてプローブ部の他方を保持する第２のスライド部とを備えて移動機構を構成したことにより、簡易な構成でありながら、各プローブ部の双方を長さ方向に移動させることができるため、移動機構を小形化することができ、これによって測定用治具を小形化することができる。
【００１５】
また、請求項４記載の測定用治具によれば、保持部を本体部に着脱可能に構成し、保持部を本体部に位置決めするための係合部および被係合部のいずれか一方を本体部に設けると共に係合部および被係合部の他方を保持部に設けたことにより、測定対象の電気部品の種類に応じて、保持部を交換して本体部に装着することができるため、複数種類の電気部品についての被測定量、および被測定量の測定に用いる補正値を正確にしかも効率的に測定することができる。
【００１６】
また、請求項５記載の測定用治具によれば、第１の溝部が形成された第１保持材と、第１保持材の上に配置された状態において第１の溝部に対向する位置に形成された第２の溝部が形成された第２保持材とを備えて保持部を構成したことにより、第１の溝部に電気部品を載置して、第１保持材の上に第２保持材を配置することで各溝部によって形成される空間内に電気部品を収容することができるため、電気部品に対して各プローブ部を接触させたときに、各プローブ部の押圧力によって電気部品が保持部から飛び出して紛失する事態を確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】測定用治具１を本体部２の正面パネル２ａ側から見た斜視図である。
【図２】測定用治具１を本体部２の背面パネル２ｂ側から見た斜視図である。
【図３】測定用治具１の側面図である。
【図４】保持部３および移動機構４の構成を示す斜視図である。
【図５】第１保持材２１および第２保持材２２を取り外した状態の斜視図である。
【図６】第１保持材２１の斜視図である。
【図７】第２保持材２２の斜視図である。
【図８】スライド部５１の分解斜視図である。
【図９】スライド部５２の分解斜視図である。
【図１０】測定用治具１の使用方法を説明する第１の説明図である。
【図１１】測定用治具１の使用方法を説明する第２の説明図である。
【図１２】測定用治具１の使用方法を説明する第３の説明図である。
【図１３】測定用治具１の使用方法を説明する第４の説明図である。
【図１４】測定用治具１の使用方法を説明する第５の説明図である。
【図１５】測定用治具１の使用方法を説明する第６の説明図である。
【図１６】測定用治具１の使用方法を説明する第７の説明図である。
【図１７】測定用治具１の使用方法を説明する第８の説明図である。
【図１８】測定用治具１Ａの側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、測定用治具の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１９】
最初に、測定用治具の一例としての図１，２に示す測定用治具１の構成について、図面を参照して説明する。測定用治具１は、両図に示すように、本体部２、保持部３、移動機構４、およびプローブ部５ａ，５ｂ（図５参照：以下、区別しないときには「プローブ部５」ともいう）を備えて、例えば、図１５に示す測定対象のチップ部品１００（電気部品の一例）を保持すると共に、保持した状態のチップ部品１００に対してプローブ部５を接触可能に構成されている。
【００２０】
本体部２は、図１，２に示すように、例えば、直方体の箱状に形成されて、保持部３、移動機構４を内部に収容可能に構成されている。また、本体部２の正面パネル２ａには、プローブ部５と図外の測定装置との間で電気信号を入出力するための接続ケーブルのＢＮＣコネクタ（ＢＮＣプラグ）を接続させる複数（この例では、４つ）のＢＮＣコネクタ１４（ＢＮＣレセプタクル）が配設されている。
【００２１】
また、図１，２に示すように、本体部２には、背面パネル２ｂおよび天面パネル２ｃの一部を切り欠くことにより、保持部３にチップ部品１００を保持させる際に、チップ部品１００を出し入れするための開口部２ｇが形成されている。また、本体部２の底面パネル２ｄには、図４，５に示すように、台座１１が配設されている。台座１１は、保持部３を構成する第１保持材２１（図６参照）を取り付けるための部材であって、図５に示すように、第１保持材２１を台座１１に対して位置決めするための位置決めピン１１ａ（係合部）が設けられている。また、底面パネル２ｄには、図４に示すように、移動機構４のロッド３１（回動体に相当する）を回動（回転）可能に支持するための支持部１２が配設されている。
【００２２】
また、図２，３に示すように、本体部２の側面パネル２ｅには、移動機構４のロッド３１を本体部２の外側に突出させる切り欠き２ｈが形成されている。また、図３に示すように、側面パネル２ｅには、ロッド３１の回動量（回転量）を指示する目盛１３が設けられている（例えば、側面パネル２ｅに印刷されている）。この場合、目盛１３には、回動量を示す角度表示が付されている。
【００２３】
保持部３は、図４，５に示すように、第１保持材２１および第２保持材２２を備えて、チップ部品１００を保持可能に構成されると共に、本体部２に着脱可能に構成されている。
【００２４】
図６に示すように、第１保持材２１の上面には、チップ部品１００が載置される溝部２１ａ（保持溝を構成する第１の溝部に相当する）が形成されている。この場合、溝部２１ａは、図１６に示すように、断面が半円状に形成されている。また、第１保持材２１には、図６に示すように、本体部２の底面パネル２ｄに配設されている台座１１の位置決めピン１１ａ（図５参照）に係合する係合孔２１ｂ（被係合部）が設けられている。この場合、第１保持材２１は、位置決めピン１１ａを係合孔２１ｂに係合させる（挿入する）ようにして、台座１１の上に配置することで、台座１１に対して位置決めされた状態で台座１１に固定（保持）される。また、第１保持材２１は、台座１１の上方に引き離すことで、台座１１から取り外すことが可能となっている。また、図６に示すように、第１保持材２１の上面には、第２保持材２２を位置決めするための位置決めピン２１ｃが設けられている。
【００２５】
第２保持材２２は、第１保持材２１の上に重ねて配置可能に構成されて、第１保持材２１と共にチップ部品１００を保持する。また、図７に示すように、第２保持材２２には、第１保持材２１の位置決めピン２１ｃに係合する係合孔２２ｂが形成されている。なお、図７では、第２保持材２２を下面側から見た状態で図示している。この場合、第２保持材２２は、図１６に示すように、位置決めピン２１ｃを係合孔２２ｂに係合させる（挿入する）ようにして、第１保持材２１の上に配置することで、第１保持材２１に対して位置決めされる。また、第２保持材２２は、第１保持材２１の上方に引き離すことで、第１保持材２１から取り外すことが可能となっている。また、第２保持材２２の下面には、図１６に示すように、第２保持材２２を第１保持材２１の上に配置した状態（位置決めされた状態）おいて第１保持材２１の溝部２１ａに対向する位置に、溝部２２ａが形成されている（図７も参照）。この場合、溝部２２ａは、図１６に示すように、断面が半円状に形成されて、第２保持材２２を第１保持材２１の上に配置した状態おいて溝部２１ａと共に断面が円形（略円形）柱状の空間を構成し、この空間内にチップ部品１００を収容することが可能となっている。
【００２６】
また、この測定用治具１では、測定対象のチップ部品１００の大きさや形状に応じて、溝部２１ａ，２２ａの大きさや形状が異なる複数種類の第１保持材２１および複数種類の第２保持材２２が用意されており、チップ部品１００の種類に応じて第１保持材２１および第２保持材２２を交換することが可能となっている。
【００２７】
移動機構４は、保持部３の第１保持材２１が本体部２の台座１１に固定されているときの第１保持材２１の溝部２１ａの長さ方向Ａ（図４〜６，１１参照）にプローブ部５ａ，５ｂを移動させて、保持部３によって保持されているチップ部品１００の電極１０１ａ，１０１ｂ（対向する一対被接触部：図１７参照）にプローブ部５ａ，５ｂをそれぞれ接触可能に構成されている。具体的には、移動機構４は、図４に示すように、回動体としてのロッド３１、レール４１、移動体としてのスライド部５１（第１のスライド部）、および移動体としてのスライド部５２（第２のスライド部）を備えて構成されている。
【００２８】
ロッド３１は、図４に示すように、長さ方向Ａに沿って延在する状態で本体部２の底面パネル２ｄ近傍に配置されると共に、底面パネル２ｄに配設された支持部１２によって回動可能に支持されている。また、ロッド３１における２つの部位には、雄ねじ部が形成されている。具体的には、図８，９に示すように、ロッド３１の先端部３１ａ側（両図における左側）の部位には、雄ねじ部としての正雄ねじ３２ａ（順雄ねじ）が形成され、ロッド３１の基端部３１ｂ側（両図における右側）には、雄ねじ部としての逆雄ねじ３２ｂが形成されている。
【００２９】
また、ロッド３１の基端部３１ｂには、図４に示すように、ノブ３３が固定されている。また、ロッド３１の基端部３１ｂ（ノブ３３と本体部２の側面パネル２ｅとの間）には、図３に示すように、プレート３４が配設されている。この場合、プレート３４は、中心部に形成された図外の挿通孔にロッド３１が挿通されて配設されており、ロッド３１が回動する際に挿通孔の内周面とロッド３１の外周面との摩擦力によってロッド３１と共に回転する。また、プレート３４は、ノブ３３を掴んでロッド３１を固定した状態（非回転状態）で、上記した摩擦力に抗してロッド３１に対して回動（回転）させることが可能となっている。また、図３に示すように、プレート３４には、指針３４ａが形成されており、この指針３４ａおよび側面パネル２ｅに設けられている目盛１３によってロッド３１の回動量（回転量）を指示する指示部が構成される。
【００３０】
レール４１は、図４，５に示すように、ロッド３１と平行の状態（長さ方向Ａに沿って延在する状態）で本体部２の底面パネル２ｄに固定されている。
【００３１】
スライド部５１は、図８に示すように、構成部品５１ａ〜５１ｆを備えて構成されている。構成部品５１ａは、ロッド３１の正雄ねじ３２ａに螺合する正雌ねじ６１ａが形成されたねじ孔を有して、そのねじ孔にねじ込まれたロッド３１が右回り（時計回り）に回動したときには、同図に示す長さ方向Ａに沿ったＡ１の向きに移動させられ、ロッド３１が左回り（反時計回り）に回動したときには、同図に示す長さ方向Ａに沿ったＡ２の向きに移動させられる。構成部品５１ｂは、同図に示すように、レール４１上を長さ方向Ａに沿ってスライド可能に構成されている。また、構成部品５１ｂは、図外の連結ボルトによって構成部品５１ａに連結されて、構成部品５１ａの移動に伴って移動させられる。
【００３２】
構成部品５１ｃは、図８に示すように、構成部品５１ｂの上に配置されて、図外の連結ボルトによって構成部品５１ｂに連結される。構成部品５１ｄは、構成部品５１ｃの上に配置されて、連結ボルトによって構成部品５１ａに連結される。構成部品５１ｅは、同図に示すように、プローブ部５ａを保持する。構成部品５１ｆは、一端部がプローブ部５ａに接続されたケーブル６の他端部が接続される導体パターンを有している。また、構成部品５１ｅ，５１ｆは、連結ボルト５３によって連結された状態で構成部品５１ｃの上に配置されて連結ボルト５４によって構成部品５１ｃに連結される。
【００３３】
スライド部５２は、図９に示すように、構成部品５２ａ〜５２ｆを備えて構成されている。構成部品５２ａは、ロッド３１の逆雄ねじ３２ｂに螺合する逆雌ねじ６１ｂが形成されたねじ孔を有して、そのねじ孔にねじ込まれたロッド３１が右回りに回動したときには、同図に示す長さ方向Ａに沿ったＡ２の向きに移動させられ、ロッド３１が左回りに回動したときには、同図に示す長さ方向Ａに沿ったＡ１の向きに移動させられる。構成部品５２ｂは、同図に示すように、レール４１上を長さ方向Ａに沿ってスライド可能に構成され、図外の連結ボルトによって構成部品５２ａに連結されて、構成部品５２ａの移動に伴って移動させられる。
【００３４】
構成部品５２ｃは、図９に示すように、構成部品５２ｂの上に配置されて、図外の連結ボルトによって構成部品５２ｂに連結される。構成部品５２ｄは、構成部品５２ｃの上に配置されて、連結ボルトによって構成部品５２ａに連結される。構成部品５２ｅは、プローブ部５ｂを保持する。構成部品５２ｆは、一端部がプローブ部５ｂに接続されたケーブル６の他端部が接続される導体パターンを有している。また、構成部品５２ｅ，５２ｆは、連結ボルト５３によって連結された状態で構成部品５２ｃの上に配置されて連結ボルト５４によって構成部品５２ｃに連結される。
【００３５】
プローブ部５ａ，５ｂは、一例として、４端子法で被測定量を測定するためのプローブ部であって、筒状の第１プローブと第１プローブ内に配設されて第１プローブに対して付勢部材を介して長さ方向に微小移動可能な棒状の第２プローブとを備えてそれぞれ構成されている。
【００３６】
次に、測定用治具１を用いてチップ部品１００についての被測定量を測定する方法について図面を参照して説明する。
【００３７】
まず、測定用治具１における本体部２のＢＮＣコネクタ１４に、図外の接続ケーブルのＢＮＣコネクタ（ＢＮＣプラグ）を接続して、図外の測定装置と測定用治具１とを接続する。次いで、測定対象のチップ部品１００用の第１保持材２１を本体部２の台座１１の上に配置し、続いて、測定対象のチップ部品１００用の第２保持材２２を第１保持材２１の上に配置する。次いで、チップ部品１００についての被測定量の測定に先立ち、測定系の誤差を補正するための補正値の測定を行う。具体的には、図１０に示すように、移動機構４におけるロッド３１に固定されているノブ３３を右回り（時計回り）に回動（回転）させる。この際に、ロッド３１が回動し、ロッド３１に配設されているプレート３４がロッド３１と共に回動する。
【００３８】
また、ロッド３１の右回りの回動に伴い、スライド部５１の構成部品５１ａが図８に示すＡ１の向きに移動させられ、これによってスライド部５１の構成部品５１ｅに保持されているプローブ部５ａがＡ１の向きに移動させられる。また、ロッド３１の右回りの回動に伴い、スライド部５２の構成部品５２ａが図９に示すＡ２の向きに移動させられ、これによってスライド部５２の構成部品５２ｅに保持されているプローブ部５ｂがＡ２の向きに移動させられる。この結果、プローブ部５ａ，５ｂが互いに近接する。次いで、図１１に示すように、プローブ部５ａ，５ｂの各先端部同士が接触するまでロッド３１を回動させ、接触した時点で回動を停止する。この場合、プローブ部５ａ，５ｂの各先端部同士が接触したことを回動操作の際の感触から判断してもよいし、測定装置による被測定量（例えばインピーダンス）の測定結果から判断してもよい。
【００３９】
ここで、ショート補正を行ってショート補正用の補正値を測定するときには、プローブ部５ａ，５ｂの各先端部同士が接触（短絡）している状態において、測定装置を操作して、被測定量（インピーダンスや静電容量）を測定してその測定値をショート補正用の補正値とする。
【００４０】
続いて、オープン補正用の補正値を測定する。具体的には、プローブ部５ａ，５ｂの先端部同士を測定対象のチップ部品１００の長さ分だけ離間させた状態で被測定量を測定してその測定値をオープン補正用の補正値とする。この場合、プローブ部５ａ，５ｂの各先端部同士が接触している状態（図１１に示す状態）において、ロッド３１が回動しないようにノブ３３を掴み、その状態で、図１２に示すように、プレート３４を回動（同図の例では、左回りに回動）させて、図１３に示すように、本体部２の側面パネル２ｅに設けられている目盛１３における「０°」を示す位置にプレート３４の指針３４ａを合わせる。
【００４１】
次いで、図１３に示すように、測定対象のチップ部品１００の長さに対応する回動量として予め決められた回動量（例えば９０°）だけノブ３３を左回り（反時計回り）に回動させる。この際に、同図に示すように、ロッド３１と共にプレート３４が回動する。この場合、同図に示すように、目盛１３における「９０°」の位置にプレート３４の指針３４ａが位置するまでノブ３３を回動させることで、チップ部品１００の長さに対応する９０°分だけロッド３１を正確に回動させることができる。なお、同図では、指針３４ａの位置を明確に示すために、回動前および回動後の指針３４ａをいずれも実線で図示している。
【００４２】
一方、ロッド３１の左回りの回動に伴い、スライド部５１の構成部品５１ａが図８に示すＡ２の向きに移動させられ、これによってスライド部５１の構成部品５１ｅに保持されているプローブ部５ａがＡ２の向きに移動させられる（図１４参照）。また、ロッド３１の左回りの回動に伴い、スライド部５２の構成部品５２ａが図９に示すＡ１の向きに移動させられ、これによってスライド部５２の構成部品５２ｅに保持されているプローブ部５ｂがＡ１の向きに移動させられる（図１４参照）。この結果、図１４に示すように、プローブ部５ａ，５ｂの各先端部同士がチップ部品１００の長さ分だけ離間する。この場合、この測定用治具１では、ロッド３１を回動させてプローブ部５ａ，５ｂを移動させる構成のため、チップ部品１００の長さに対応する回動量だけロッド３１を回動させることで、プローブ部５ａ，５ｂの各先端部同士をチップ部品１００の長さだけ離間させ、かつその状態を確実に維持することが可能となっている。また、この測定用治具１では、チップ部品１００を保持部３にセットすることなく、チップ部品１００の長さに対応する回動量だけロッド３１を回動させるだけで、プローブ部５ａ，５ｂの各先端部同士をチップ部品１００の長さ分だけ離間させることが可能となっている。このため、この測定用治具１では、補正値を測定するためにチップ部品１００を保持部３にセットする必要がない分、補正値の測定効率を十分に向上させることが可能となっている。
【００４３】
続いて、測定装置を操作して、オープン補正を行ってオープン補正用の補正値を測定する。この場合、プローブ部５ａ，５ｂの各先端部同士がチップ部品１００の長さ分だけ離間している状態（図１４に示す状態）において、被測定量（インピーダンスや静電容量）を測定してその測定値をオープン補正用の補正値とする。この測定用治具１では、上記したように、プローブ部５ａ，５ｂの各先端部同士をチップ部品１００の長さだけ離間させ、かつその状態を確実に維持することが可能となっている。このため、この測定用治具１では、オープン補正用の補正値を正確に測定することが可能となっている。以上により、測定系の誤差を補正するための補正値の測定が終了する。
【００４４】
次いで、チップ部品１００についての被測定量を測定する。具体的には、プローブ部５ａ，５ｂの各先端部同士がチップ部品１００の長さ分だけ離間している状態（図１４に示す状態）において、ノブ３３を左回りに回動させて、プローブ部５ａ，５ｂの各先端部同士の離間距離をさらに広げる。続いて、図１５に示すように、第１保持材２１から第２保持材２２を取り外し、次いで、第１保持材２１の溝部２１ａにおけるプローブ部５ａ，５ｂの各先端部の間にチップ部品１００を載置する。続いて、図１６に示すように、第２保持材２２を第１保持材２１の上に重ねて配置する。この際に、第２保持材２２の係合孔２２ｂに第１保持材２１の位置決めピン２１ｃを係合（挿入）させることによって第１保持材２１に対して第２保持材２２を位置決めする。
【００４５】
この場合、第２保持材２２を第１保持材２１の上に載置した状態では、図１６に示すように、第１保持材２１の溝部２１ａと第２保持材２２の溝部２２ａとによって断面が円形（略円形）柱状の空間が形成され、この空間内にチップ部品１００が収容される。
【００４６】
次いで、ノブ３３を右回りに回動させて、プローブ部５ａ，５ｂの各先端部同士を近接させる（各先端部同士の離間距離を縮める）。この際に、目盛１３における「９０°」の位置にプレート３４の指針３４ａが位置するまでノブ３３を回動させることで、チップ部品１００の長さに対応する離間距離だけ各先端部同士が離間する位置にプローブ部５ａ，５ｂを移動させる。続いて、その状態からノブ３３をさらに右回りに僅かに回動させることで、図１７に示すように、プローブ部５ａ，５ｂの各先端部がチップ部品１００の電極１０１ａ，１０１ｂに確実に接触する。
【００４７】
次いで、測定装置を操作して、チップ部品１００についての被測定量を測定する。この場合、プローブ部５ａ，５ｂの各先端部がチップ部品１００の電極１０１ａ，１０１ｂに確実に接触しているため、被測定量が確実に測定される。続いて、測定した被測定量を上記した補正値で補正する。以上により、チップ部品１００についての被測定量の測定が終了する。
【００４８】
このように、この測定用治具１では、ロッド３１と、チップ部品１００を保持する溝部２１ａ（保持溝）の長さ方向Ａにロッド３１の回転に伴って移動するスライド部５１，５２とを備えて移動機構４が構成されている。このため、この測定用治具１によれば、チップ部品１００を保持部３にセットすることなく、チップ部品１００の長さに対応する回動量だけロッド３１を回動させることで、プローブ部５ａ，５ｂの各先端部同士をチップ部品１００の長さ分だけ離間させ、かつその状態を確実に維持することができる。したがって、この測定用治具１によれば、補正値を測定するためにチップ部品１００を保持部３にセットする必要がない分、補正値の測定効率を十分に向上させることができる。また、この測定用治具１では、ロッド３１の回動量を指示する指示部（指針３４ａおよび目盛１３）を備えている。このため、この測定用治具１によれば、ロッド３１の回動量を正確に調節することができる結果、プローブ部５ａ，５ｂの各先端部同士をチップ部品１００の長さ分だけ正確に離間させることができる。したがって、この測定用治具１によれば、補正値を正確に測定することが可能となっている。
【００４９】
また、この測定用治具１によれば、各プローブ部５の双方を長さ方向Ａに移動可能に移動機構４を構成したことにより、一方のプローブ部５だけを移動させる構成と比較して、同じ回動量で各プローブ部５同士の離間距離を大きく変化させることができる。つまり、少ない回動量で各プローブ部５同士を大きく離間させたり近づけたりすることができる。したがって、この測定用治具１によれば、測定効率をさらに向上させることができる。
【００５０】
また、この測定用治具１によれば、正雄ねじ３２ａおよび逆雄ねじ３２ｂが形成されたロッド３１と、正雌ねじ６１ａが形成されてプローブ部５ａを保持するスライド部５１と、逆雌ねじ６１ｂが形成されてプローブ部５ｂを保持するスライド部５２とを備えて移動機構４を構成したことにより、簡易な構成でありながら、各プローブ部５の双方を長さ方向Ａに移動させることができるため、移動機構４を小形化することができ、これによって測定用治具１を小形化することができる。
【００５１】
また、この測定用治具１によれば、保持部３を本体部２に着脱可能に構成し、保持部３を本体部２に位置決めするための位置決めピン１１ａを台座１１に設けると共に係合孔２１ｂを第１保持材２１に設けたことにより、測定対象のチップ部品１００の種類に応じて、保持部３（第１保持材２１および第２保持材２２）を交換して本体部２に装着することができるため、複数種類のチップ部品１００についての被測定量、および被測定量の測定に用いる補正値を正確にしかも効率的に測定することができる。
【００５２】
また、この測定用治具１によれば、溝部２１ａが形成された第１保持材２１と、第１保持材２１の上に配置された状態において溝部２１ａに対向する位置に形成された溝部２２ａが形成された第２保持材２２とを備えて保持部３を構成したことにより、溝部２１ａにチップ部品１００を載置して、第１保持材２１の上に第２保持材２２を配置することで溝部２１ａ，２２ａによって形成される空間内にチップ部品１００を収容することができるため、チップ部品１００に対してプローブ部５ａ，５ｂを接触させたときに、プローブ部５ａ，５ｂの押圧力によってチップ部品１００が保持部３から飛び出して紛失する事態を確実に防止することができる。
【００５３】
なお、測定用治具の構成は、上記の構成に限定されない。例えば、プローブ部５ａ，５ｂ双方を長さ方向Ａに移動可能に構成した例について上記したが、プローブ部５ａ，５ｂのいずれか一方を固定し、プローブ部５ａ，５ｂの他方だけを長さ方向Ａに移動可能とする構成を採用することもできる。
【００５４】
また、目盛１３に回動量を示す角度表示を付した例（図３参照）について上記したが、図１８に示すように、角度表示に代えて、チップ部品１００の種類毎の回動量を示す文字表示（チップ部品１００の種類を示す文字表示）を付した測定用治具１Ａを採用することもできる。
【００５５】
また、係合部としての位置決めピン１１ａを台座１１に設けると共に被係合部としての係合孔２１ｂを第１保持材２１に設けた例について上記したが、これとは逆に、位置決めピン１１ａ（係合部）を第１保持材２１に設けると共に係合孔２１ｂ（被係合部）を台座１１に設ける構成を採用することもできる。
【００５６】
また、第１プローブおよび第２プローブを備えた４端子法用のプローブ部５を用いる例について上記したが、単一のプローブで構成されたプローブ部（２端子法用のプローブ）を用いる構成を採用することもできる。
【００５７】
また、図５に示すように、台座１１の上方から第１保持材２１を配置することで、台座１１に設けた位置決めピン１１ａ（係合部）を第１保持材２１の係合孔２１ｂ（被係合部）に係合させて第１保持材２１を台座１１に位置決めするように構成した例について上記したが、台座１１の後方側から前方側に向けて（同図における手前側から奥側に向けて）第１保持材２１をスライドさせて、第１保持材２１が台座１１の前方側に位置した（位置決めされた）ときに互いに係合する係合部および被係合部を台座１１および第１保持材２１にそれぞれ（または、第１保持材２１および台座１１にそれぞれ）設ける構成を採用することもできる。一例として、係合部としてのスプリングボールプランジャを台座１１の上面（または、第１保持材２１の下面）に設け、被係合部としてのボールボタンを第１保持材２１の下面（または、台座１１の上面）に設ける構成を採用することができる。
【００５８】
また、第２保持材２２の先端部側（溝部２２ａが形成されている端部側）を光透過性材料で形成することで、保持部３に保持されているチップ部品１００を視認可能とする構成を採用することもできる。さらに、第２保持材２２の先端部側を光透過性材料でレンズ状に形成して拡大機能を付加することで、小形のチップ部品１００をさらに視認し易くすることもできる。
【符号の説明】
【００５９】
１，１Ａ  測定用治具
２  本体部
３  保持部
４  移動機構
５ａ，５ｂ  プローブ部
１１  台座
１１ａ  位置決めピン
１３  目盛
２１  第１保持材
２１ａ，２２ａ  溝部
２１ｃ  位置決めピン
２２  第２保持材
３１  ロッド
３１ａ  先端部
３１ｂ  基端部
３２ａ  正雄ねじ
３２ｂ  逆雄ねじ
３４  プレート
３４ａ  指針
５１  スライド部
５２  スライド部
６１ａ  正雌ねじ
６１ｂ  逆雌ねじ
１００  チップ部品
１０１ａ，１０１ｂ  電極
【図１】
2016191601.tif 000003
【図２】
2016191601.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2016191601.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2016191601.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
2016191601.tif 000016
【図１５】
2016191601.tif 000017
【図１６】
2016191601.tif 000018
【図１７】
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【図１８】
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