(57)【要約】【課題】タッチパネルの駆動に影響のない信頼性の高い導電パターンを形成することが可能な導電フィルム又は感光性導電フィルムを提供する。【解決手段】支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた金属繊維を含有する導電層と、該導電層上に設けられた感光性樹脂層とを備える感光性導電フィルムであって、前記導電層における金属凝集物の個数が９ｃｍ２当たり７．０個以下である感光性導電フィルム。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた金属繊維を含有する導電層とを備える導電フィルムであって、前記導電層における金属凝集物の個数が９ｃｍ２当たり７．０個以下である導電フィルム。
【請求項２】
前記金属繊維が銀繊維である請求項１に記載の導電フィルム。
【請求項３】
金属繊維を含有する導電液を７００ｍｉｎ−１以上で撹拌し、
前記撹拌した導電液を、支持フィルム上に塗工して乾燥し、導電層を成膜する、導電フィルムの製造方法。
【請求項４】
金属繊維を含有し、ｐＨが５．０〜１０．０である導電液を、支持フィルム上に塗工して乾燥し、導電層を成膜する、導電フィルムの製造方法。
【請求項５】
金属繊維を含有する導電液を目開きが５０μｍ以下のフィルタでろ過し、
前記ろ過した導電液を、支持フィルム上に塗工して乾燥し、導電層を成膜
する、導電フィルムの製造方法。
【請求項６】
請求項１又は２に記載の導電フィルムをロールに巻回して作製した導電フィルムロール。
【請求項７】
支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた金属繊維を含有する導電層と、該導電層上に設けられた感光性樹脂層とを備える感光性導電フィルムであって、前記導電層における金属凝集物の個数が９ｃｍ２当たり７．０個以下である感光性導電フィルム。
【請求項８】
前記金属繊維が銀繊維である請求項７に記載の感光性導電フィルム。
【請求項９】
前記感光性樹脂層が、バインダーポリマー、エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物及び光重合開始剤を含有する請求項７又は８に記載の感光性導電フィルム。
【請求項１０】
金属繊維を含有する導電液を７００ｍｉｎ−１以上で撹拌し、
前記撹拌した導電液を、支持フィルム上に塗工して乾燥し、導電層を形成し、
感光性樹脂組成物を導電層上に塗工して乾燥し、感光性樹脂層を成膜する、感光性導電フィルムの製造方法。
【請求項１１】
金属繊維を含有し、ｐＨが５．０〜１０．０である導電液を、支持フィルム上に塗工して乾燥し、導電層を形成し、
感光性樹脂組成物を導電層上に塗工して乾燥し、感光性樹脂層を成膜する、感光性導電フィルムの製造方法。
【請求項１２】
金属繊維を含有する導電液を目開きが５０μｍ以下のフィルタでろ過し、
前記ろ過した導電液を、支持フィルム上に導電液を塗工して乾燥し、導電層を形成し、
感光性樹脂組成物を導電層上に塗工して乾燥し、感光性樹脂層を成膜する、感光性導電フィルムの製造方法。
【請求項１３】
請求項７〜９のいずれかに記載の感光性導電フィルムをロールに巻回して作製した感光性導電フィルムロール。
【請求項１４】
請求項７〜９のいずれかに記載の感光性導電フィルムを、基材上に前記感光性樹脂層が密着するようにラミネートする工程と、
前記基材上の前記感光性樹脂層に活性光線を照射する露光工程と、
を備える導電膜の形成方法。
【請求項１５】
請求項７〜９のいずれかに記載の感光性導電フィルムを、基材上に前記感光性樹脂層が密着するようにラミネートする工程と、
前記基材上の前記感光性樹脂層の所定部分に活性光線を照射する露光工程と、
前記感光性樹脂層及び導電層の未露光部を現像することにより導電パターンを形成する現像工程と、
を備える導電パターンの形成方法。
【請求項１６】
基材と、該基材上に請求項１４に記載の導電膜の形成方法により形成された導電膜とを備える導電膜基材。
【請求項１７】
基材と、該基材上に請求項１５に記載の導電パターンの形成方法により形成された導電パターンとを備える導電膜基材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電フィルム、感光性導電フィルム、導電膜の形成方法、導電パターンの形成方法及び導電膜基材に関する。
【背景技術】
【０００２】
パソコンやテレビ等の大型電子機器、カーナビゲーション、携帯電話、電子辞書等の小型電子機器、ＯＡ及びＦＡ機器等の表示機器では、液晶表示素子やタッチスクリーンが使用されている。これら液晶表示素子やタッチスクリーン、太陽電池等のデバイスでは、透明配線、画素電極又は端子の一部に透明導電膜が使用されている。
【０００３】
透明導電膜の材料としては、従来、可視光に対して高い透過率を示すことから、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ−Ｔｉｎ−Ｏｘｉｄｅ）、酸化インジュウム、酸化スズ等が用いられている。
【０００４】
透明導電膜のパターニング方法としては、透明導電膜を形成後、前記透明導電膜上にレジストパターンを形成し、エッチングにより導電膜の所定部分を除去して導電パターンを形成する方法が一般的である。
【０００５】
ＩＴＯ膜や酸化スズ膜は一般にスパッタ法により形成される。しかし、スパッタ条件の違いによって透明導電膜の性質が変わりやすく、エッチング速度のばらつきの原因となり、製品の歩留り低下を招きやすい。また、前記の導電パターンの形成方法は工程が長く、コスト面でも大きな負担となっている。
【０００６】
最近、前記の問題を解消するために、ＩＴＯ、酸化インジュウム、酸化スズ等に替わる材料を用いて透明導電パターンを形成する試みがなされている。例えば、下記特許文献１には、基材上に、銀繊維等の金属繊維を含有する導電層を形成した後、導電層上に感光性樹脂層を形成し、その上からパターンマスクを介して露光、現像する導電パターンの形成方法が開示されている。
【０００７】
しかしながら、下記特許文献１に記載の方法では、基材と導電パターンとの接着性を確保しつつ導電パターンの表面抵抗率の低抵抗率化を図ることが困難である。また、前記導電パターンを配線、画素電極又は端子として使用する場合には、感光性樹脂層を除去する工程が必要であり、導電パターン形成の工程が煩雑化するという問題があった。
【０００８】
前記問題を鑑みて、下記特許文献２に記載の方法では、支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた金属繊維を含有する導電層と、該導電層上に設けられた感光性樹脂層とを備えた感光性導電フィルムを基材上に感光性樹脂層が密着するようにラミネートし、これを露光、現像する簡便な工程で、基材との接着性が充分であり、かつ表面抵抗率が小さい導電パターンを充分な解像度で形成する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】米国特許公開第２００７／００７４３１６号公報
【特許文献２】国際公開第２０１０／０２１２２４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明者らは、特許文献２に記載の感光性導電フィルムを量産した際に、量産した感光性導電フィルムを用いて導電パターンを形成すると、隣接するパターン同士で導通が生じ、タッチパネルの駆動に影響が生じるという問題に直面した。
【００１１】
本発明の目的は、タッチパネルの駆動に影響のない信頼性の高い導電膜又は導電パターンを形成できる導電フィルム及び感光性導電フィルム等を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明者らは、感光性導電フィルムを量産する際に、支持フィルム上に導電液を塗布し導電膜を形成する工程において、金属繊維同士が絡まって凝集物を形成し、この形成された凝集物に起因して前記タッチパネルの駆動の問題が生じていることを明らかにし、本発明を完成した。
【００１３】
本発明によれば、以下の導電フィルム及び感光性導電フィルム等が提供される。
１．支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた金属繊維を含有する導電層とを備える導電フィルムであって、前記導電層における金属凝集物の個数が９ｃｍ２当たり７．０個以下である導電フィルム。
２．前記金属繊維が銀繊維である１に記載の導電フィルム。
３．金属繊維を含有する導電液を７００ｍｉｎ−１以上で撹拌し、
前記撹拌した導電液を、支持フィルム上に塗工して乾燥し、導電層を成膜する、導電フィルムの製造方法。
４．金属繊維を含有し、ｐＨが５．０〜１０．０である導電液を、支持フィルム上に塗工して乾燥し、導電層を成膜する、導電フィルムの製造方法。
５．金属繊維を含有する導電液を目開きが５０μｍ以下のフィルタでろ過し、
前記ろ過した導電液を、支持フィルム上に塗工して乾燥し、導電層を成膜
する、導電フィルムの製造方法。
６．１又は２に記載の導電フィルムをロールに巻回して作製した導電フィルムロール。
７．支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた金属繊維を含有する導電層と、該導電層上に設けられた感光性樹脂層とを備える感光性導電フィルムであって、前記導電層における金属凝集物の個数が９ｃｍ２当たり７．０個以下である感光性導電フィルム。
８．前記金属繊維が銀繊維である７に記載の感光性導電フィルム。
９．前記感光性樹脂層が、バインダーポリマー、エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物及び光重合開始剤を含有する７又は８に記載の感光性導電フィルム。
１０．金属繊維を含有する導電液を７００ｍｉｎ−１以上で撹拌し、
前記撹拌した導電液を、支持フィルム上に塗工して乾燥し、導電層を形成し、
感光性樹脂組成物を導電層上に塗工して乾燥し、感光性樹脂層を成膜する、感光性導電フィルムの製造方法。
１１．金属繊維を含有し、ｐＨが５．０〜１０．０である導電液を、支持フィルム上に塗工して乾燥し、導電層を形成し、
感光性樹脂組成物を導電層上に塗工して乾燥し、感光性樹脂層を成膜する、感光性導電フィルムの製造方法。
１２．金属繊維を含有する導電液を目開きが５０μｍ以下のフィルタでろ過し、
前記ろ過した導電液を、支持フィルム上に導電液を塗工して乾燥し、導電層を形成し、
感光性樹脂組成物を導電層上に塗工して乾燥し、感光性樹脂層を成膜する、感光性導電フィルムの製造方法。
１３．７〜９のいずれかに記載の感光性導電フィルムをロールに巻回して作製した感光性導電フィルムロール。
１４．７〜９のいずれかに記載の感光性導電フィルムを、基材上に前記感光性樹脂層が密着するようにラミネートする工程と、
前記基材上の前記感光性樹脂層に活性光線を照射する露光工程と、
を備える導電膜の形成方法。
１５．７〜９のいずれかに記載の感光性導電フィルムを、基材上に前記感光性樹脂層が密着するようにラミネートする工程と、
前記基材上の前記感光性樹脂層の所定部分に活性光線を照射する露光工程と、
前記感光性樹脂層及び導電層の未露光部を現像することにより導電パターンを形成する現像工程と、
を備える導電パターンの形成方法。
１６．基材と、該基材上に１４に記載の導電膜の形成方法により形成された導電膜とを備える導電膜基材。
１７．基材と、該基材上に１５に記載の導電パターンの形成方法により形成された導電パターンとを備える導電膜基材。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、タッチパネルの駆動に影響のない信頼性の高い導電膜又は導電パターンを形成できる導電フィルム及び感光性導電フィルム等が提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の感光性導電フィルムの一実施形態を示す模式断面図である。
【図２】本発明の導電パターンの形成方法の一実施形態を説明するための模式断面図である。
【図３】本発明の導電パターンの形成方法の別の実施形態を説明するための模式断面図である。
【図４】静電容量式のタッチパネルセンサの一例を示す模式上面図である。
【図５】光学顕微鏡で測定した直径が５０μｍ以上の金属凝集物の一例である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明の導電フィルムは、支持フィルムと、支持フィルム上に設けられた金属繊維を含有する導電層とを備え、導電層における金属凝集物の個数が９ｃｍ２当たり７．０個以下である。
【００１７】
本発明の感光性導電フィルムは、支持フィルムと、支持フィルム上に設けられた金属繊維を含有する導電層と、導電層上に設けられた感光性樹脂層とを備え、導電層における金属凝集物の個数が９ｃｍ２当たり７．０個以下である。
【００１８】
「金属凝集物」とは、金属繊維が凝集したもので、光学顕微鏡で測定した際の直径が５０μｍ以上のものと定義する。一例を図５に示す。図５は、光学顕微鏡で測定した直径が５０μｍ以上の金属凝集物の一例である。尚、金属凝集物が板状や針状等の形状である場合には、長辺（２点間の距離が最大になる長さ）をもって直径とする。尚、金属凝集物の個数は、「７．０個／９ｃｍ２以下」の代わりに、「６０００個／ｍ２以下」、「６００個／１０００ｃｍ２以下」、「６０個／１００ｃｍ２以下」、又は「６個／１０ｃｍ２以下」でもよい。
【００１９】
本発明の導電フィルム及び感光性導電フィルムにより、パターン形成時のライン間の短絡を抑制することができる。それにより、タッチパネルの駆動に影響のない信頼性の高い透明導電パターンを形成することができ、今後も加速的な需要増が見込まれるタッチパネルディスプレイへの展開が期待される。
【００２０】
以下、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。ただし、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。
尚、本明細書において、「（メタ）アクリル酸」とは、アクリル酸又はメタクリル酸を意味し、「（メタ）アクリレート」とは、アクリレート又はそれに対応するメタクリレートを意味する。
「Ａ又はＢ」とは、ＡとＢのどちらか一方を含んでいればよく、両方とも含んでいてもよい。また、本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
また、「〜」を用いて示された数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値をそれぞれ最小値及び最大値として含む範囲を示す。
さらに、本明細書において組成物中の各成分の含有量は、組成物中に各成分に該当する物質が複数存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数の物質の合計量を意味する。また、例示材料は特に断らない限り単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００２１】
図１は、本発明の感光性導電フィルムの好適な一実施形態を示す模式断面図である。図１に示す感光性導電フィルム１０は、支持フィルム１と、支持フィルム１上に設けられた金属繊維を含有する導電層２と、導電層２上に設けられた感光性樹脂層３とを備える。導電層２及び感光性樹脂層３を合わせて、感光層４とする。
【００２２】
支持フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリカーボネートフィルム等の耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムなどが挙げられる。これらのうち、透明性や耐熱性の観点からは、ポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。尚、これらの重合体フィルムは、後に感光性樹脂層から除去可能な範囲で表面処理が施されたものであってもよい。
【００２３】
表面処理としては、例えばコロナ処理、サンドマット加工等の物理的処理、又は離型層若しくは易接着層等を設ける化学的処理が挙げられる。
【００２４】
支持フィルムのヘーズ値は、感度及び解像度を良好にできる観点から、０．０１〜５．０％であることが好ましく、０．０１〜３．０％であることがより好ましく、０．０１〜２．０％であることがさらに好ましく、０．０１〜１．１％であることが特に好ましい。尚、ヘーズ値はＪＩＳ  Ｋ  ７１０５に準拠して測定することができ、例えば、ＮＤＨ−５０００（日本電色工業（株）製、商品名）等の市販の濁度計で測定が可能である。
【００２５】
導電層は金属繊維を含有する。金属繊維は、例えば、金属イオンをＮａＢＨ４等の還元剤で還元する方法、又は、ポリオール法により調製することができる。尚、「繊維」とは細い糸状の物質をいう。
金属繊維の金属としては、銀、金、白金、銅等が挙げられ、銀が好ましい。
【００２６】
金属繊維の平均繊維径は、１ｎｍ〜５０ｎｍであることが好ましく、２ｎｍ〜２０ｎｍであることがより好ましく、３ｎｍ〜１０ｎｍであることがさらに好ましい。また、金属繊維の平均繊維長は、１μｍ〜１００μｍであることが好ましく、２μｍ〜５０μｍであることがより好ましく、３μｍ〜４０μｍであることがさらに好ましく、５μｍ〜３５μｍであることが特に好ましい。平均繊維径及び平均繊維長は、光学顕微鏡又は走査型電子顕微鏡等の顕微鏡により測定することができる。
【００２７】
導電層は、その他の導電性繊維を含有してもよい。その他の導電性繊維としては、カーボンナノチューブ等の炭素繊維などが挙げられる。カーボンナノチューブは、Ｕｎｉｄｙｍ社のＨｉｐｃｏ単層カーボンナノチューブ等の市販品を使用することができる。
【００２８】
導電層における金属凝集物の個数は７．０個／９ｃｍ２以下であり、６．０個／９ｃｍ２以下が好ましく、５．０個／９ｃｍ２以下がより好ましく、４．０個／９ｃｍ２以下が特に好ましく、３．０個／９ｃｍ２以下が極めて好ましく、２．０個／９ｃｍ２以下が極めて特に好ましい。
【００２９】
また、導電層における金属凝集物の個数は６０００個／ｍ２以下でもよく、５０００個／ｍ２以下が好ましく、４５００個／ｍ２以下がより好ましく、４０００個／ｍ２以下が特に好ましく、３０００個／ｍ２以下が極めて好ましく、２０００個／ｍ２以下が極めて特に好ましい。
【００３０】
また、導電層における金属凝集物の個数は６００個／１０００ｃｍ２以下でもよく、５００個／１０００ｃｍ２以下が好ましく、４５０個／１０００ｃｍ２以下がより好ましく、４００個／１０００ｃｍ２以下が特に好ましく、３００個／１０００ｃｍ２以下が極めて好ましく、２００個／１０００ｃｍ２以下が極めて特に好ましい。
【００３１】
また、導電層における金属凝集物の個数は６０個／１００ｃｍ２以下でもよく、５０個／１００ｃｍ２以下が好ましく、４５個／１００ｃｍ２以下がより好ましく、４０個／１００ｃｍ２以下が特に好ましく、３０個／１００ｃｍ２以下が極めて好ましく、２０個／１００ｃｍ２以下が極めて特に好ましい。
【００３２】
また、導電層における金属凝集物の個数は６．０個／１０ｃｍ２以下でもよく、５．０個／１０ｃｍ２以下が好ましく、４．０個／１０ｃｍ２以下がさらに好ましく、３．０個／１０ｃｍ２以下が特に好ましく、２．０個／１０ｃｍ２以下が極めて好ましい。
【００３３】
なお、下限値は特に限定されないが、０個／９ｃｍ２（０個／ｍ２、０個／１０００ｃｍ２、０個／１００ｃｍ２、０個／１０ｃｍ２）でもよい。
【００３４】
導電層の厚みは、形成される導電膜、導電パターンの用途や求められる導電性によっても異なるが、１μｍ以下であることが好ましく、１ｎｍ〜０．５μｍであることがより好ましく、５ｎｍ〜０．１μｍであることがさらに好ましい。導電層の厚みが１μｍ以下であると、４５０〜６５０ｎｍの波長域での光透過率が高く、パターン形成性にも優れ、特に透明電極の作製に好適なものとなる。
【００３５】
導電層は、金属繊維同士が接触してなる網目構造を有することが好ましい。このような網目構造を有する導電層は、感光性樹脂層の支持フィルム側表面に形成されていてもよいが、支持フィルムを剥離したときに露出する表面においてその面方向に導電性が得られるのであれば、感光性樹脂層の支持フィルム側表層に含まれる形態で形成されていてもよく、島状でもよい（平面図で見ると存在しない部分があってもよい）。尚、網目構造を有する導電層の厚みは、走査型電子顕微鏡写真によって測定することができる。
【００３６】
金属繊維を含有する導電層は支持フィルム上に、上述した金属繊維を水又は有機溶剤等の分散媒を含む金属繊維分散液（導電液）を塗工した後、乾燥することにより形成することができる。導電液には、界面活性剤等の分散安定剤を加えてもよい。乾燥後、支持フィルム上に形成した導電層は、必要に応じてラミネートされてもよい。
塗工は、ロールコート法、コンマコート法、グラビアコート法、エアーナイフコート法、ダイコート法、バーコート法、スプレーコート法等の公知の方法で行うことができるが、膜厚分布が良好であることや密閉系で塗液への異物混入が少ないという観点からダイコート法が好ましい。
【００３７】
有機溶剤としては、ペンタエチレングリコールモノドデシルエーテル、エタノール、イソプロパノール等が挙げられる。導電層において、分散安定剤は蒸発せずに残ってもよい。
【００３８】
また、導電液に、塩酸、炭酸ナトリウム等の酸や塩基等を加えて、そのｐＨを調整してもよい。導電液のｐＨは、５．０〜１０．０に調整することが好ましく、６．０〜１０．０であることがより好ましく、６．０〜８．５であることがさらに好ましい。ｐＨを上記範囲にした場合、５０ｒｐｍ〜５００ｒｐｍ又は１００ｒｐｍ〜３００ｒｐｍで撹拌してもよい。
前記範囲にｐＨを調整することで、導電液中、及び導電膜にした場合の金属凝集物を低減させることができる。
【００３９】
導電液は、塗工前に撹拌することが好ましい。
攪拌に用いる攪拌羽としては、タービン羽、プロペラ羽、パドル羽等が知られているが、攪拌槽内の対流と、せん断力とのバランスの観点から、プロペラ攪拌羽が好ましい。
【００４０】
４０Ｌ程度の釜の大きさであれば、直径１０ｃｍ程度のプロペラ羽を使用することが好ましい。
【００４１】
攪拌の回転数は、調製する導電液の量によって異なるが、攪拌強度の観点から、７００ｒｐｍ（ｍｉｎ−１）以上が好ましく、７５０ｒｐｍ〜１４００ｒｐｍが好ましく、８００ｒｐｍ〜１４００ｒｐｍがより好ましく、９００ｒｐｍ〜１３００ｒｐｍがさらに好ましく、１０００ｒｐｍ〜１２００ｒｐｍが特に好ましい。これにより、金属繊維を水又は有機溶剤等に分散させたときに発生する金属凝集物の凝集を解くことが可能となり、金属凝集物の発生を低減することができる。
【００４２】
撹拌時間は、１０分以上が好ましく、２０分以上がより好ましく、３０分以上がさらに好ましい。上限は特に限定されないが、通常１８０分である。
【００４３】
攪拌条件の中でも、プロペラ攪拌羽を用いて、８００ｒｐｍ〜１２００ｒｐｍで３０分以上攪拌させることが極めて好ましい。
【００４４】
導電液は、塗工前にフィルタを用いてろ過することが好ましい。
フィルタの目開きの大きさとしては、フィルタの種類にもよるが、５０μｍ以下が好ましく、３０μｍ〜５０μｍがより好ましい。これにより、金属凝集物のみを捕集し、金属凝集物を低減できるため、タッチパネルの駆動性を維持できる。
フィルタに金属凝集物を捕集する観点から５０μｍ以下が好ましく、必要な金属繊維が捕集され表面抵抗値が上昇することを抑制する観点からは３０μｍ以上が好ましい。
【００４５】
フィルタとしては、ディスクフィルタ又はカートリッジフィルタが好ましく、金属凝集物の発生の抑制及び表面抵抗値の上昇の抑制の観点から、ディスクフィルタがより好ましい。フィルタの材質は、特に制限は無いが、ナイロン、ＳＵＳ（ステンレス鋼）、ポリプロピレン、ポリオレフィン等が挙げられる。
【００４６】
導電液を塗工後、乾燥させることが好ましい。乾燥温度は、溶媒が揮発するために時間がかかり工程上問題となることを防ぐ観点から、２０℃以上であることが好ましい。２５℃以上６５℃未満がより好ましく、３５℃以上６５℃未満がさらに好ましく、４０〜６０℃が特に好ましい。
前記範囲にあることで、均一な膜を形成でき、導電層を低抵抗化又は低ヘーズ化しやすくなる。特に、金属繊維が銀繊維である場合において、前記温度範囲にあることにより、顕著に低抵抗化又は低ヘーズ化が容易となる。
【００４７】
対流が生じてベナールセルを形成することでムラとなり低抵抗な導電層が形成し難くなることを防ぐ観点から、乾燥温度が６５℃以下であることが好ましい。乾燥温度が、８０℃を越えると、マランゴニ対流してしまい金属繊維が絡まるおそれがある。
【００４８】
感光性樹脂層としては、（ａ）バインダーポリマー、（ｂ）エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物及び（ｃ）光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物から形成されることが好ましい。これらは従来公知のものを特に制限なく使用できるが、国際公開２０１３／０８４８８６号に記載の感光性樹脂組成物が好ましい。
【００４９】
より具体的には、（ａ）成分はカルボキシル基を有することが好ましい。また、（ａ）成分の酸価は、パターン性に優れる観点から、７５〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましく、７５〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇであることがより好ましく、７５〜１４０ｍｇＫＯＨ／ｇであることがさらに好ましく、７８〜１４０ｍｇＫＯＨ／ｇであることが特に好ましい。
【００５０】
（ａ）成分は、（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、スチレン、（メタ）アクリル酸ベンジルエステル等のモノマーを重合したものが好ましい。
【００５１】
（ａ）成分の重量平均分子量は、１０，０００〜１５０，０００が好ましく、２０，０００〜１００，０００がより好ましく、５０，０００〜９０，０００がさらに好ましい。
【００５２】
（ｂ）成分は、ペンタエリスリトール由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物、ジペンタエリスリトール由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物及びトリメチロールプロパン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物から選択される少なくとも１種を含むことが好ましく、ジペンタエリスリトール由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物及びトリメチロールプロパン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物から選択される少なくとも１種を含むことがより好ましい。
【００５３】
（Ｃ）成分はオキシムエステル化合物又はホスフィンオキサイド化合物を含むことが好ましい。
【００５４】
感光性樹脂層は、支持フィルム上に形成した導電層上にメタノール、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド又はプロピレングリコールモノメチルエーテル等の溶剤に溶解した、固形分１０〜６０質量％程度の感光性樹脂組成物の溶液を塗布、乾燥することにより形成することが好ましい。乾燥後の感光性樹脂層中の残存有機溶剤量は、後の工程での有機溶剤の拡散を防止するため、２質量％以下であることが好ましい。
【００５５】
塗工は、ロールコート法、コンマコート法、グラビアコート法、エアーナイフコート法、ダイコート法、バーコート法、スプレーコート法等の公知の方法で行うことができる。塗工後、有機溶剤等を除去するための乾燥は、７０〜１５０℃で５〜３０分間程度、熱風対流式乾燥機等で行うことができる。
【００５６】
感光性樹脂層の厚みは、用途により異なるが、乾燥後の厚みで１〜５０μｍであることが好ましく、１〜３０μｍであることがより好ましく、１〜１５μｍであることがさらに好ましく、１〜１０μｍであることが特に好ましい。この厚みが１μｍ未満では塗工が困難となる傾向があり、５０μｍを超えると光透過の低下による感度が不充分となり転写する感光性樹脂層の光硬化性が低下する傾向がある。
【００５７】
本実施形態の感光性導電フィルムにおいて、前記導電層及び前記感光性樹脂層の積層体は、両層の合計膜厚を１〜１０μｍとしたときに４５０〜６５０ｎｍの波長域における最小光透過率が８０％以上であることが好ましく、８５％以上であることがより好ましい。前記最小光透過率が８０％以上であることにより、ディスプレイパネル等での視認性を向上することができる。
【００５８】
本発明の感光性導電フィルムにおいて、感光性樹脂層の支持フィルム側と反対側の面に接するように保護フィルムを積層することができる。
また、本発明の導電フィルムにおいて、導電層の支持フィルム側と反対側の面に接するように保護フィルムを積層することができる。
【００５９】
保護フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンフィルム等の耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムなどを用いることができる。また、保護フィルムとして上述の支持フィルムと同様の重合体フィルムを用いてもよい。
【００６０】
保護フィルムと感光層との間の接着力は、保護フィルムを剥離し感光性樹脂層側から基材にラミネートする場合は、保護フィルムを感光層から剥離しやすくするために、感光層と支持フィルムとの間の接着力よりも小さいことが好ましい。
一方、保護フィルムと感光層との間の接着力は、支持フィルムを剥離し導電膜側から基材にラミネートする場合は、支持フィルムを感光層から剥離しやすくするために、感光層と支持フィルムとの間の接着力よりも大きいことが好ましい。
また、本発明の導電フィルムにおいては、保護フィルムと導電層との間の接着力は、保護フィルムを導電層から剥離しやすくするために、導電層と支持フィルムとの間の接着力よりも小さいことが好ましい。
【００６１】
本発明の導電フィルムを、ロールに巻回すことで、導電フィルムロールを作成することができる。
また、本発明の感光性導電フィルムを、ロールに巻回すことで感光性導電フィルムロールを作成することができる。
導電フィルムロール及び感光性導電フィルムロールにすることで、保存性を向上させることができる。
【００６２】
ロールには公知の手段を用いることができる。
保護フィルムを積層した後、ロールに巻回すことが好ましい。
【００６３】
前記感光性導電フィルムを、基材上に前記感光性樹脂層が密着するようにラミネートし、基材上の前記感光性樹脂層に活性光線を照射することで、導電膜を形成することができる。
【００６４】
また、前記感光性導電フィルムを、基材上に前記感光性樹脂層が密着するようにラミネートし、基材上の前記感光性樹脂層の所定部分に活性光線を照射し、感光性樹脂層及び導電層の未露光部を現像することにより導電パターンを形成することができる。
【００６５】
基材の材質としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー等が挙げられる。
【００６６】
活性光線としては、ｉ線を含む紫外線、可視光線、放射線等が挙げられるが、ｉ線であることが好ましい。光源としては、超高圧水銀灯等を用いることができる。
【００６７】
所定部分に活性光線を照射する場合、フォトマスクを用いることが好ましい。フォトマスクのパターンとしては、ライン  アンド  スペース（Ｌ／Ｓ）パターン等が挙げられる。
【００６８】
未露光部の現像工程では、現像液として、アルカリ水溶液を用いることが好ましい。
アルカリ水溶液は、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム及びテトラメチルアンモニウムヒドロキシド等が挙げられる。
アルカリ水溶液の濃度は、０．１〜１０質量％が好ましい。
【００６９】
以下、本発明の導電パターンの形成方法の一実施形態を、図面を用いて説明する。
図２に示すように、支持フィルム１、導電層２及び感光性樹脂層３を有する感光性導電フィルム１０の感光性樹脂層３を、基材２０上にラミネートし（図２の（ａ））、次に、感光性樹脂層３にマスクパターン５を介して活性光線Ｌをパターン状に照射し（図２の（ｂ））、現像により前記感光性樹脂層及び導電層の未露光部を除去することにより導電パターン（２ａ＋３ｂ）を形成する（図２の（ｃ））。こうして得られる導電パターンは、導電膜２ａの厚みに加えて樹脂硬化層３ｂの厚みを有している。
これらの厚みは基材２０との段差Ｈｂとなり、この段差が大きいとディスプレイ等に要求される平滑性が得られにくくなる。また、段差が大きいと導電パターンが視認されやすくなる。そのため、用途によって図３に示す方法と使い分ければよい。
【００７０】
上述した基材との段差Ｈｂを小さくするためには、図３に記載のように、支持フィルム１を有する感光層４の所定部分に活性光線を照射する第一の露光工程（図３（ｂ））後に、支持フィルム１を剥離してから、酸素存在下で、第一の露光工程での露光部及び未露光部の一部又は全部に活性光線を照射する第二の露光工程（図３（ｃ））と、を備えることが好ましい。第二の露光工程は、酸素存在下で行われ、例えば、空気中で行うことが好ましい。また、酸素濃度を増やした条件でもよい。
【００７１】
図３の導電パターンの形成方法の現像工程では、第二の露光工程で露光した感光性樹脂層３の充分硬化していない表面部分が除去される。具体的には、ウェット現象により感光性樹脂層３の充分硬化していない表面部分、つまり導電膜２を含む表面層が除去され、導電膜２ａ及び樹脂硬化層３ａが形成される。これにより、基材上に導電パターンとともに導電膜を有していない樹脂硬化層が設けられた導電パターン基材４２が得られ、基材上に導電パターンのみを設けた場合に比べて導電パターンの段差Ｈａを小さくすることができる。
導電膜の形成方法や導電パターンの形成方法は公知の手法を選択できる。具体的には国際公開ＷＯ２０１３／０５１５１６号又は国際公開ＷＯ２０１０／０２１２２４号に記載の手法を参照できる。
【００７２】
前記の導電膜の形成方法及び導電パターンの形成方法により、導電膜基材を形成することができる。
本発明の導電膜基材は、液晶表示素子等のフラットパネルディスプレイ、タッチスクリーン、太陽電池等の装置などに用いることができる。
【００７３】
本発明の導電膜基材は、静電容量式タッチパネルの透明電極の形成、静電容量式タッチパネルセンサとして特に好ましく使用できる。
【００７４】
図４は、静電容量式のタッチパネルセンサの一例を示す模式上面図である。図４は、タッチ画面１０２内に、透明基材１０１と透明電極（Ｘ位置座標）１０３及び透明電極（Ｙ位置座標）１０４とを備える静電容量式タッチパネルセンサの一例を示す。透明電極１０３と透明電極１０４とは、同一平面上に存在してもよく、透明基材１０１上に積層されていてもよく、透明基材１０１を挟み込むように配置されていてもよい。
【００７５】
静電容量式タッチパネルは、前記の透明電極１０３及び１０４は、電気信号を制御するドライバ素子回路の制御回路に接続するための引き出し配線（図示せず）を有する。
【００７６】
前記タッチパネルセンサは、透明電極の少なくとも一方は、本発明の導電フィルム又は感光性導電フィルムを用いて形成される。この場合、他方の透明電極は、透明導電材料を用いた公知の方法で、透明基材上に予め形成してもよい。
【実施例】
【００７７】
以下に、本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００７８】
製造例１＜銀繊維分散液１の調製＞
（１）ポリオール法による銀繊維の調製
２０００ｍｌの３口フラスコに、エチレングリコール５００ｍｌを入れ、窒素雰囲気下、マグネチックスターラーで攪拌しながらオイルバスにより１６０℃まで加熱した。ここに、ＰｔＣｌ２２ｍｇを５０ｍｌのエチレングリコールに溶解した溶液を滴下した。４〜５分後、ＡｇＮＯ３５ｇをエチレングリコール３００ｍｌに溶解した溶液と、重量平均分子量が４万のポリビニルピロリドン（和光純薬（株）製）５ｇをエチレングリコール１５０ｍｌに溶解した溶液とを、それぞれの滴下漏斗から１分間で滴下し、その後１６０℃で６０分間攪拌した。
【００７９】
前記反応溶液が３０℃以下になるまで放置してから、アセトンで１０倍に希釈し、遠心分離機により２０００回転で２０分間遠心分離し、上澄み液をデカンテーションした。沈殿物にアセトンを加え攪拌後に前記と同様の条件で遠心分離し、アセトンをデカンテーションした。その後、蒸留水を用いて同様に２回遠心分離して、銀繊維を得た。得られた銀繊維を光学顕微鏡で観察したところ、任意に選択した５本の平均繊維径（直径）は５ｎｍで、平均繊維長は３０μｍであった。
【００８０】
（２）銀繊維分散液１の調製
純水に、（１）で得られた銀繊維を０．２質量％、及び、ドデシル−ペンタエチレングリコール（ペンタエチレングリコールモノドデシルエーテル）を０．１質量％の濃度となるように分散し、銀繊維分散液１を得た。
【００８１】
製造例２＜感光性樹脂組成物の溶液の調製＞
表１に示す材料を同表に示す配合量（単位：質量部）で配合し、感光性樹脂組成物の溶液を調製した。
【００８２】
【表１】
2016066590.tif 000003
表１中の各成分を下記に示す。
アクリル樹脂Ａ：メタクリル酸／メタクリル酸メチル／アクリル酸エチル＝１２／５８／３０、重量平均分子量６７，０００、酸価７８．３ｍｇＫＯＨ／ｇ
ＴＭＰＴＡ：トリメチロールプロパントリアクリレート（新中村化学工業（株）製、商品名）
ＴＰＯ：２，４，６−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイド（ＢＡＳＦ（株）製、商品名「ＬＵＣＩＲＩＮ  ＴＰＯ」）
ＳＨ−３０：オクタメチルシクロテトラシロキサン（東レ・ダウコーニング（株）製、商品名）
【００８３】
アクリル樹脂Ａの重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフ（ＧＰＣ）法標準ポリスチレン換算により、以下の条件で求めた。
ポリマー０．５ｍｇに対して溶剤［テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）／ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）＝１／１（容積比）］１ｍｌの溶液を用いて測定した。
測定装置：検出器  （株）日立製作所社製Ｌ４０００  ＵＶ
ポンプ  ：（株）日立製作所社製Ｌ６０００
（株）島津製作所社製Ｃ−Ｒ４Ａ  Ｃｈｒｏｍａｔｏｐａｃ
測定条件：カラム  Ｇｅｌｐａｃｋ  ＧＬ−Ｓ３００ＭＤＴ−５×２本
溶離液  ：ＴＨＦ／ＤＭＦ＝１／１（容積比）
ＬｉＢｒ（０．０３ｍｏｌ／ｌ）、Ｈ３ＰＯ４（０．０６ｍｏｌ／ｌ）
流速    ：１．０ｍｌ／ｍｉｎ、検出器：ＵＶ２７０ｎｍ
【００８４】
酸価は、次のようにして測定した。１ｇの固形のアクリル樹脂Ａを精秤した後、精秤したアクリル樹脂Ａを三角フラスコに入れ、アセトンを３０ｇ添加し、均一に溶解した。次いで、指示薬であるフェノールフタレインをその溶液に適量添加して、０．１ＮのＫＯＨ水溶液を用いて滴定を行った。そして、次式により酸価を算出した。
酸価＝１０×Ｖｆ×５６．１／（Ｗｐ×Ｉ）
式中、ＶｆはＫＯＨ水溶液の滴定量（ｍＬ）を示し、Ｗｐは測定した樹脂溶液の質量（ｇ）を示し、Ｉは測定した樹脂溶液中の不揮発分の割合（質量％）を示す。
【００８５】
実施例１〜３
（１）導電フィルムの作製と評価
製造例１で得られた銀繊維分散液１（３０ｋｇ）を、スリーワンモータ（ヤマト科学（株）製、ＢＬ１２００）を用い、表２に示す８００ｒｐｍ以上の回転数で３０分間攪拌した。この銀繊維分散液１をポリエチレンテレフタレートフィルム（帝人（株）製、商品名「Ｇ２−５０」、５０μｍ厚）上に２５ｇ／ｍ２で均一に塗布し、５０℃の熱風対流式乾燥機で１０分間乾燥して水分が揮発したことを確認後、１０ｋｇ／ｃｍの線圧で加圧することにより、支持フィルム上に導電層を形成した（導電フィルム）。尚、導電層の乾燥後の膜厚は、走査型電子顕微鏡により測定したところ、約０．０２μｍであった。前記導電層の銀ナノワイヤ凝集物（金属凝集物）は以下の方法で測定した。
【００８６】
（銀ナノワイヤ凝集物の検出方法）
導電フィルムを幅方向に１０ｃｍにカットし、均等に３ｃｍ×３ｃｍの正方形を９個分枠取り、光学顕微鏡で暗視野観察し、９ｃｍ２当たりの銀ナノワイヤ凝集物の個数を求め、１ｍ２当たりの数量に換算した。
【００８７】
（２）感光性導電フィルムの作製と評価
次に、製造例２で調製した感光性樹脂組成物の溶液を、（１）で得られた導電フィルムのポリエチレンテレフタレートフィルム上に形成された導電層上に均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥機で１０分間乾燥して感光性樹脂層を形成した。その後、感光性樹脂層を、保護フィルム（ポリエチレンフィルム、タマポリ（株）製、商品名「ＮＦ−１３」）で覆い、実施例１〜３の感光性導電フィルムを得た。尚、感光性樹脂層の乾燥後の膜厚は５μｍであった。
【００８８】
（３）導電膜の作製と評価
１ｍｍ厚のポリカーボネート基材を８０℃に加温した。その表面上に前記（２）で得られた感光性導電フィルムを、保護フィルムを剥離しながら感光性樹脂層を基材に対向させて、１１０℃、０．４ＭＰａの条件でラミネートした。ラミネート後、ポリカーボネート基材を冷却し、基材の温度が２３℃になった時点で、支持フィルム側から高圧水銀灯ランプを有する露光機（（株）オーク製、商品名「ＨＭＷ−２０１Ｂ」）を用いて、１０００ｍＪ／ｃｍ２の露光量で導電層及び感光性樹脂層に光照射した。露光後、室温（２５℃）で１５分間放置し、続いて、支持フィルムであるポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離することで、銀繊維を含んでなる導電膜をポリカーボネート基材上に形成した。
【００８９】
（表面抵抗値の測定）
非接触表面抵抗計（ナプソン（株）製、商品名「ＥＣ−８０Ｐ」）を用いて、前記ポリカーボネート基材上に形成した導電膜の表面抵抗値を測定した。評価結果を表２に示す。
【００９０】
（４）導電パターンの作製と評価
前記（２）で得られた感光性導電フィルムの保護フィルムを剥離した後、１１０℃、０．４ＭＰａの条件で感光性導電フィルムを１５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム基材上にラミネートした。ラミネート後、ポリエチレンテレフタレートフィルム基材を冷却し、ポリエチレンテレフタレートフィルム基材の温度が２３℃になった時点で、超高圧水銀ランプを有する露光機（（株）オーク製、商品名「ＨＭＷ−２０１Ｂ」）を用いてＬ／Ｓ＝１５０μｍ／３０μｍのフォトマスクを介し、２５ｍＪ／ｃｍ２の露光量で導電層及び感光性樹脂層に対して支持フィルム側から光照射した。室温（２５℃）で１５分間放置した後、支持フィルムであるポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、１００ｍＪ／ｃｍ２で導電層及び感光性樹脂層に対して支持フィルム剥離側から光照射した。露光後、室温（２５℃）で１５分間放置した後、スプレー現像機を用いて３０℃、１％の炭酸ナトリウム水溶液で４０秒間現像しＬ／Ｓ＝１５０μｍ／３０μｍの導電パターンを得た。
【００９１】
（タッチパネルの駆動性）
前記で得られた導電パターンの隣接するパターン間で、ショートするかしないかをテスター（マルチ計測器（株）製）で検出し、全体のパターン数５００個からショートしたパターンの数の比率を算出してショート率とした。以下の基準で評価した。結果を表２に示す。
「○」：ショート率２％以下
「△」：ショート率２％以下、ただしセンサー感度が低い（作動しない場合がある）
「×」：ショート率２％超
「−」：銀ナノワイヤ凝集物が多すぎたため、測定することができなかった。
【００９２】
比較例１〜６
攪拌の回転数を、６００ｒｐｍ以下の、表２に示す回転数にし、撹拌時間を表２に示す時間にした以外、実施例１〜３と同様に、導電フィルム、感光性導電フィルム、導電膜及び導電パターンを製造し、評価した。結果を表２に示す。
導電層の乾燥後の膜厚は、約０．０２μｍであった。感光性樹脂層の乾燥後の膜厚は５μｍであった。
【００９３】
【表２】
2016066590.tif 000004
【００９４】
製造例３＜銀繊維分散液２〜６の調製＞
導電膜作製時におけるｐＨの影響を調べるため、以下の銀繊維分散液２〜６を調製した。
純水に代えて、純水に塩酸を加えｐＨを４．６とした液を用いた以外は、銀繊維分散液１と同様に調製し、銀繊維分散液２を得た。銀繊維分散液２のｐＨは、６．０だった。
【００９５】
純水に前記で得られた銀繊維を０．２質量％、及び、ドデシルーペンタエチレングリコールを０．１質量％の濃度となるように分散し、銀繊維分散液３を得た。銀繊維分散液３のｐＨは、７．８だった。
【００９６】
純水に代えて、純水に炭酸ナトリウムを加えｐＨを９．５とした液を用いた以外は、銀繊維分散液１と同様に調製し、銀繊維分散液４を得た。銀繊維分散液４のｐＨは、８．５だった。
【００９７】
純水に代えて、純水に塩酸を加えｐＨを３．１とした液を用いた以外は、銀繊維分散液１と同様に調製し、銀繊維分散液５を得た。銀繊維分散液５のｐＨは、３．１だった。
【００９８】
純水に代えて、純水に炭酸ナトリウムを加えｐＨを１２．１とした液を用いた以外は、銀繊維分散液１と同様に調製し、銀繊維分散液６を得た。銀繊維分散液６のｐＨは、１１．６だった。
【００９９】
実施例４〜６
導電膜作製時におけるｐＨの影響を調べるため、銀繊維分散液１に代えて、製造例３で得られた銀繊維分散液２〜４を表３に示すように用いて、マグネチックスターラーを用い、２００ｒｐｍの回転数で３０分間攪拌し、導電層形成の際の乾燥温度を５０℃とした以外、実施例１〜３と同様に製造し、実施例４〜６の導電フィルム、感光性導電フィルム、導電膜及び導電パターンを得た。導電層の乾燥後の膜厚は、約０．０２μｍであり、感光性樹脂層の乾燥後の膜厚は５μｍであった。
【０１００】
導電層の銀ナノワイヤ凝集物の検出方法及びタッチパネルの駆動性は、実施例１〜３と同様に評価した。結果を表３に示す。
導電層の銀ナノワイヤ凝集物において、「−」は、凝集物が９ｃｍ２当たり２６０個を超え、多すぎたため数えることができなかったことを示す。
【０１０１】
（銀繊維分散液中の銀ナノワイヤ凝集物の検出方法）
銀繊維分散液２〜６を、フロー式粒子像分析装置（シスメックス（株）製、商品名「ＦＰＩＡ−３０００」）で評価し凝集物を検出した。測定は１１０μリットル当たり分で評価した。結果を表３に示す。
【０１０２】
（塗布状態の確認）
導電フィルムの導電層を、目視で外観を観察した。塗布が均一になっているものを○、不均一なものを×とした。結果を表３に示す。
【０１０３】
比較例７及び８
銀繊維分散液２〜４に代えて、製造例３で得られた銀繊維分散液５及び６を表３に示すように用い、乾燥温度を比較例７では７０℃、比較例８では１００℃とした以外、実施例４〜６と同様に、導電フィルム等を製造し、評価した。結果を表３に示す。
導電層の乾燥後の膜厚は、約０．０２μｍであり、感光性樹脂層の乾燥後の膜厚は５μｍであった。
【０１０４】
【表３】
2016066590.tif 000005
【０１０５】
実施例７
導電膜作製時におけるフィルタによるろ過工程の有無の影響を調べるために、以下の実験を行った。
製造例１で得られた銀繊維分散液１（１００ｋｇ）を３０μｍナイロンディスクフィルタ（ディスクはＡＤＶＡＮＴＥＣ（株）製、商品名「ＫＳ−２９３−ＳＴ」、ナイロンフィルタは東京スクリーン（株）製、商品名「Ｎ−３３０−Ｔ」）でろ過を行ない、ポリエチレンテレフタレートフィルム（帝人（株）製、商品名「Ａ１５１７」、１６μｍ厚）上に３２ｇ／ｍ２で均一に塗布し、５０℃の熱風対流式乾燥機で１０分間乾燥して水分が揮発したことを確認後、１０ｋｇｆ／ｃｍ（９８Ｎ／ｃｍ）の線圧で加圧することにより、支持フィルム上に導電層を形成した（導電フィルム）。尚、導電層の乾燥後の膜厚は、約０．０２μｍであった。
【０１０６】
前記で得られた導電フィルムを用いて、保護フィルムＮＦ−１３に代えて、ポリプロピレン製の保護フィルム（王子エフテックス（株）製、商品名「ＥＳ−２０１」）を用いた以外、実施例１〜３と同様にして、感光性導電フィルム、導電膜及び導電パターンを製造した。感光性樹脂層の乾燥後の膜厚は５μｍであった。
【０１０７】
銀ナノワイヤ凝集物の検出方法、表面抵抗値の測定及びタッチパネルの駆動性を、実施例１〜３と同様に評価した。結果を表４に示す。
【０１０８】
実施例８
３０μｍナイロンディスクフィルタを、３０μｍＳＵＳディスクフィルタ（ディスクはＡＤＶＡＮＴＥＣ（株）製、商品名「ＫＳ−２９３−ＳＴ」、ＳＵＳフィルタは東京スクリーン（株）製）に変更した以外は、実施例７と同様に導電フィルム等を製造し、評価した。結果を表４に示す。
【０１０９】
実施例９
３０μｍナイロンディスクフィルタを、４０μｍＰＰ（ポリプロピレン）カートリッジフィルタ（スリーエムジャパン（株）製、商品名「ＢｅｔａｐｕｒｅＴＭ  ＮＴ−Ｔシリーズ」）に変更した以外は、実施例７と同様に導電フィルム等を製造し、評価した。結果を表４に示す。
【０１１０】
実施例１０
３０μｍナイロンディスクフィルタを、５０μｍＰＰカートリッジフィルタ（スリーエムジャパン（株）製、商品名「ＢｅｔａｐｕｒｅＴＭ  ＮＴ−Ｔシリーズ」）に変更した以外は、実施例７と同様に導電フィルム等を製造し、評価した。結果を表４に示す。
【０１１１】
実施例１１
３０μｍナイロンディスクフィルタを、５０μｍＰＯ（ポリオレフィン）カートリッジフィルタ（スリーエムジャパン（株）製、商品名「ＢｅｔａｐｕｒｅＴＭ  ＮＴ−Ｔシリーズ」）に変更した以外は、実施例７と同様に導電フィルム等を製造し、評価した。結果を表４に示す。
【０１１２】
比較例９
銀繊維分散液１をろ過しなかった以外は、実施例７と同様に導電フィルム等を製造し、評価した。結果を表４に示す。
【０１１３】
比較例１０
３０μｍナイロンディスクフィルタを、７０μｍＰＯカートリッジフィルタ（スリーエムジャパン（株）製、商品名「ＢｅｔａｐｕｒｅＴＭ  ＮＴ−Ｔシリーズ」）に変更した以外は、実施例７と同様に導電フィルム等を製造し、評価した。結果を表４に示す。
【０１１４】
【表４】
2016066590.tif 000006
【産業上の利用可能性】
【０１１５】
本発明の導電フィルム及び感光性導電フィルムは、表示機器や太陽電池等のデバイスなどに使用できる。
【符号の説明】
【０１１６】
１…支持フィルム、２…導電層、２ａ…導電パターン、３…感光性樹脂層、３ａ，３ｂ…樹脂硬化層、４…感光層、５…マスクパターン、１０，１２…感光性導電フィルム、２０…基材、４２…導電パターン基材、Ｌ…活性光線、１０１…透明基材、１０２…タッチ画面、１０３…透明電極（Ｘ位置座標）、１０４…透明電極（Ｙ位置座標）。
【図１】
2016066590.tif 000007
【図２】
2016066590.tif 000008
【図３】
2016066590.tif 000009
【図４】
2016066590.tif 000010
【図５】
2016066590.tif 000011