(57)【要約】【課題】大型化せずに流体圧機器へ供給される圧縮流体の流量を増大させるとともに、消費電力を抑えつつも流体圧機器に残った圧縮流体を効率良く排出すること。【解決手段】マニホールドベース１１は、供給流路１７に連通するとともに取付面１１ａに開口して供給ポート２４及び第２出力ポート２６に連通する供給連通流路１３を有する。また、マニホールドベース１１は、出力流路１８に連通するとともに取付面１１ａに開口して第１出力ポート２５に連通する第１出力連通流路１４と、出力流路１８に連通するとともに取付面１１ａに開口して第２排出ポート２８に連通する第２出力連通流路１５とを有する。さらに、マニホールドベース１１は、排出流路１９に連通するとともに取付面１１ａに開口して第１排出ポート２７に連通する排出連通流路１６を有する。【選択図】図１
2016090009.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マニホールドベースと、前記マニホールドベースの取付面に取り付けられる電磁弁とを備え、前記電磁弁は、スプール弁体を往復動可能に収容する弁孔が形成された弁ボディを有しており、前記弁ボディには、前記取付面と対向する対向面に開口するとともに前記弁孔にそれぞれ連通し、且つ前記スプール弁体の軸方向において、一端側から他端側にかけて順に並んだ第１排出ポート、第１出力ポート、供給ポート、第２出力ポート及び第２排出ポートを有しており、流体圧機器に圧縮流体を供給して前記流体圧機器の駆動を制御する電磁弁マニホールドであって、
前記マニホールドベースは、圧縮流体が供給される供給流路に連通するとともに前記取付面に開口して前記供給ポート及び前記第２出力ポートに連通する供給連通流路と、前記流体圧機器に接続される出力流路に連通するとともに前記取付面に開口して前記第１出力ポートに連通する第１出力連通流路と、前記出力流路に連通するとともに前記取付面に開口して前記第２排出ポートに連通する第２出力連通流路と、外部に接続される排出流路に連通するとともに前記取付面に開口して前記第１排出ポートに連通する排出連通流路とを有することを特徴とする電磁弁マニホールド。
【請求項２】
前記供給連通流路、前記第１出力連通流路、前記第２出力連通流路及び前記排出連通流路は、前記取付面から、前記マニホールドベースにおける前記取付面とは反対側の面にかけて貫通していることを特徴とする請求項１に記載の電磁弁マニホールド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マニホールドベースに電磁弁が取り付けられてなる電磁弁マニホールドに関する。
【背景技術】
【０００２】
エアシリンダ等の流体圧機器に圧縮エア等の圧縮流体を供給して流体圧機器の駆動を制御する電磁弁マニホールドが、例えば特許文献１に開示されている。図３に示すように、特許文献１の電磁弁マニホールド１００は、マニホールドベース１０１と、マニホールドベース１０１の取付面１０１ａ（載置面）に取り付けられる電磁弁１１０とを備えている。
【０００３】
電磁弁１１０は、二つのパイロット弁部１２０が設けられた所謂ダブルパイロット型であり、二つのパイロット弁部１２０からのパイロット流体によりスプール弁体１１１を往復動させるパイロット形電磁弁である。電磁弁１１０は、スプール弁体１１１が挿入される弁孔１１２が形成された弁ボディ１１３を備えている。弁ボディ１１３は、給気ポート１１４、第１出力ポート１１５、第２出力ポート１１６、第１排気ポート１１７及び第２排気ポート１１８を有する。
【０００４】
給気ポート１１４、第１出力ポート１１５、第２出力ポート１１６、第１排気ポート１１７及び第２排気ポート１１８は、弁孔１１２にそれぞれ連通している。そして、スプール弁体１１１の軸方向において、一端側から他端側にかけて第１排気ポート１１７、第１出力ポート１１５、給気ポート１１４、第２出力ポート１１６及び第２排気ポート１１８の順に並んで配置されている。給気ポート１１４、第１出力ポート１１５、第２出力ポート１１６、第１排気ポート１１７及び第２排気ポート１１８は、弁ボディ１１３におけるマニホールドベース１０１の取付面１０１ａと対向する対向面１１３ａに開口している。
【０００５】
マニホールドベース１０１は、圧縮流体の供給源（図示せず）に接続される給気流路１０２と、流体圧機器に接続される第１出力流路１０３及び第２出力流路１０４と、外部に接続される第１排気流路１０５及び第２排気流路１０６とを有する。
【０００６】
マニホールドベース１０１には、給気流路１０２に連通するとともに取付面１０１ａに開口して給気ポート１１４に接続される給気連通流路１０２ａが形成されている。また、マニホールドベース１０１には、第１出力流路１０３に連通するとともに取付面１０１ａに開口して第１出力ポート１１５に接続される第１出力連通流路１０３ａと、第２出力流路１０４に連通するとともに取付面１０１ａに開口して第２出力ポート１１６に接続される第２出力連通流路１０４ａとが形成されている。さらに、マニホールドベース１０１には、第１排気流路１０５に連通するとともに取付面１０１ａに開口して第１排気ポート１１７に接続される第１排気連通流路１０５ａと、第２排気流路１０６に連通するとともに取付面１０１ａに開口して第２排気ポート１１８に接続される第２排気連通流路１０６ａとが形成されている。
【０００７】
スプール弁体１１１は、二つのパイロット弁部１２０から供給されるパイロット流体により弁孔１１２内を往復動することで、給気ポート１１４、第１出力ポート１１５、第２出力ポート１１６、第１排気ポート１１７及び第２排気ポート１１８を流れる圧縮流体の流路を切り換える。
【０００８】
一方のパイロット弁部１２０への電力の供給が行われ、他方のパイロット弁部１２０への電力の供給が停止されると、一方のパイロット弁部１２０から供給されるパイロット流体により、スプール弁体１１１が移動し、給気ポート１１４と第１出力ポート１１５とが連通するとともに、第２出力ポート１１６と第２排気ポート１１８とが連通する。その結果、供給源から給気流路１０２、給気連通流路１０２ａ、給気ポート１１４、第１出力ポート１１５、第１出力連通流路１０３ａ及び第１出力流路１０３を介して流体圧機器に圧縮流体が供給される。また、流体圧機器から第２出力流路１０４、第２出力連通流路１０４ａ、第２出力ポート１１６、第２排気ポート１１８、第２排気連通流路１０６ａ及び第２排気流路１０６を介して外部に圧縮流体が排気される。
【０００９】
また、一方のパイロット弁部１２０への電力の供給が停止され、他方のパイロット弁部１２０への電力の供給が行われると、他方のパイロット弁部１２０から供給されるパイロット流体により、スプール弁体１１１が、一方のパイロット弁部１２０への電力の供給が行われているときとは反対側に移動する。これにより、給気ポート１１４と第２出力ポート１１６とが連通するとともに、第１出力ポート１１５と第１排気ポート１１７とが連通する。その結果、供給源から給気流路１０２、給気連通流路１０２ａ、給気ポート１１４、第２出力ポート１１６、第２出力連通流路１０４ａ及び第２出力流路１０４を介して流体圧機器に圧縮流体が供給される。また、流体圧機器から第１出力流路１０３、第１出力連通流路１０３ａ、第１出力ポート１１５、第１排気ポート１１７、第１排気連通流路１０５ａ及び第１排気流路１０５を介して外部に圧縮流体が排気される。
【００１０】
また、例えば、流体圧機器のメンテナンス等を行う場合には、流体圧機器に残った圧縮流体を外部へ排出する必要がある。そこで、例えば、特許文献２のような残圧排出弁を電磁弁マニホールド１００と流体圧機器との間に配設し、残圧排出弁によって、電磁弁マニホールド１００からの流体圧機器への圧縮流体の供給を遮断するとともに、流体圧機器に残った圧縮流体を外部へ排出することが行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２０１３−８３３２３号公報
【特許文献２】実開平２−１０２０７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
ところで、特許文献１のような電磁弁マニホールド１００においては、大型化せずに、流体圧機器に供給される圧縮流体の流量を増大させたいという要望がある。
また、例えば、停電等で電磁弁１１０（二つのパイロット弁部１２０）への電力の供給が停止したときに、流体圧機器に残った圧縮流体を即座に外部へ排出したい場合がある。この場合、特許文献２のような残圧排出弁の切り替え動作を電気制御によって行う。そして、電磁弁１１０への電力の供給が行われている際には、残圧排出弁に対しても電力の供給が行われて、電磁弁マニホールド１００からの流体圧機器への圧縮流体の供給が許容されるとともに流体圧機器から外部への圧縮流体の排出が遮断されるように残圧排出弁の切り替え動作が行われる。一方、電磁弁１１０への電力の供給が停止されると、残圧排出弁に対する電力の供給も停止されて、電磁弁マニホールド１００からの流体圧機器への圧縮流体の供給が遮断されるとともに流体圧機器から外部への圧縮流体の排出が行われるように残圧排出弁の切り替え動作が行われる。
【００１３】
このようにすれば、停電等で電磁弁１１０への電力の供給が停止したときに、流体圧機器に残った圧縮流体を効率良く排出することができる。しかし、電磁弁マニホールド１００からの流体圧機器への圧縮流体の供給を許容するためには、残圧排出弁に対する電力の供給が常に行われている状態とする必要があるため、消費電力が大きくなってしまう。
【００１４】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、大型化せずに流体圧機器へ供給される圧縮流体の流量を増大させるとともに、消費電力を抑えつつも流体圧機器に残った圧縮流体を効率良く排出することができる電磁弁マニホールドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決する電磁弁マニホールドは、マニホールドベースと、前記マニホールドベースの取付面に取り付けられる電磁弁とを備え、前記電磁弁は、スプール弁体を往復動可能に収容する弁孔が形成された弁ボディを有しており、前記弁ボディには、前記取付面と対向する対向面に開口するとともに前記弁孔にそれぞれ連通し、且つ前記スプール弁体の軸方向において、一端側から他端側にかけて順に並んだ第１排出ポート、第１出力ポート、供給ポート、第２出力ポート及び第２排出ポートを有しており、流体圧機器に圧縮流体を供給して前記流体圧機器の駆動を制御する電磁弁マニホールドであって、前記マニホールドベースは、圧縮流体が供給される供給流路に連通するとともに前記取付面に開口して前記供給ポート及び前記第２出力ポートに連通する供給連通流路と、前記流体圧機器に接続される出力流路に連通するとともに前記取付面に開口して前記第１出力ポートに連通する第１出力連通流路と、前記出力流路に連通するとともに前記取付面に開口して前記第２排出ポートに連通する第２出力連通流路と、外部に接続される排出流路に連通するとともに前記取付面に開口して前記第１排出ポートに連通する排出連通流路とを有する。
【００１６】
上記電磁弁マニホールドにおいて、前記供給連通流路、前記第１出力連通流路、前記第２出力連通流路及び前記排出連通流路は、前記取付面から、前記マニホールドベースにおける前記取付面とは反対側の面にかけて貫通していることが好ましい。
【発明の効果】
【００１７】
この発明によれば、大型化せずに流体圧機器へ供給される圧縮流体の流量を増大させるとともに、消費電力を抑えつつも流体圧機器に残った圧縮流体を効率良く排出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】（ａ）は実施形態における電磁弁マニホールドを示す断面図、（ｂ）は図１（ａ）における１−１線断面図。
【図２】電磁駆動部への電力の供給が行われている状態を示す電磁弁マニホールドの断面図。
【図３】従来例における電磁弁マニホールドを示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、電磁弁マニホールドを具体化した一実施形態を図１及び図２にしたがって説明する。本実施形態の電磁弁マニホールドは、エアシリンダ等の流体圧機器に圧縮エア等の圧縮流体を供給して流体圧機器の駆動を制御するものである。
【００２０】
図１（ａ）に示すように、電磁弁マニホールド１０は、略直方体形状のマニホールドベース１１と、マニホールドベース１１の取付面１１ａ（載置面）に取り付けられる電磁弁２０とを備えている。電磁弁２０は、マニホールドベース１１の取付面１１ａに取り付けられる弁ボディ２１を有する。弁ボディ２１におけるマニホールドベース１１の取付面１１ａと対向する対向面２１ａと、マニホールドベース１１の取付面１１ａとの間には、取付面１１ａと対向面２１ａとの間をシールする板状のガスケット１２が配設されている。
【００２１】
弁ボディ２１には、スプール弁体２２が挿入される弁孔２３が形成されている。スプール弁体２２には、その軸方向において互いに離間する複数の弁部２２ａが形成されている。各弁部２２ａの直径は、スプール弁体２２の軸径よりも大きい。各弁部２２ａは、弁孔２３との間をシールする。
【００２２】
弁ボディ２１は、供給ポート２４、第１出力ポート２５、第２出力ポート２６、第１排出ポート２７及び第２排出ポート２８を有する。供給ポート２４、第１出力ポート２５、第２出力ポート２６、第１排出ポート２７及び第２排出ポート２８は、弁孔２３にそれぞれ連通している。そして、スプール弁体２２の軸方向において、一端側から他端側にかけて第１排出ポート２７、第１出力ポート２５、供給ポート２４、第２出力ポート２６及び第２排出ポート２８の順に並んで配置されている。供給ポート２４、第１出力ポート２５、第２出力ポート２６、第１排出ポート２７及び第２排出ポート２８は、弁ボディ２１の対向面２１ａに開口している。
【００２３】
弁ボディ２１におけるスプール弁体２２の一端部側には、ピストン室２９が形成されている。ピストン室２９と第１排出ポート２７との間は、スプール弁体２２の一端部によりシールされている。ピストン室２９にはピストン３０が往復動可能に収容されている。ピストン３０は、スプール弁体２２の一端部に装着されている。そして、ピストン３０によりピストン室２９にパイロット圧作用室３１が区画されている。
【００２４】
弁ボディ２１におけるスプール弁体２２の他端部側には、収容室３２が形成されている。収容室３２と第２排出ポート２８との間は、スプール弁体２２の他端側によりシールされている。収容室３２にはスプール弁体２２をピストン室２９に向けて付勢する付勢ばね３３が収容されている。
【００２５】
電磁弁２０は、弁ボディ２１の一端側端面に設けられるパイロット弁部３５を有する。よって、本実施形態において、電磁弁２０は、パイロット弁部３５が一つ設けられた所謂シングルパイロット型である。パイロット弁部３５は、パイロット圧を制御する電磁駆動部３５ａ（図１（ａ）において破線で示す）を備えている。パイロット弁部３５は、電磁駆動部３５ａへの電力の供給が行われることで開弁するとともに、電磁駆動部３５ａへの電力の供給が停止されることで閉弁する公知の電磁弁であるため、その詳細な説明を省略する。
【００２６】
スプール弁体２２は、パイロット弁部３５からのパイロット圧作用室３１に対するパイロット圧の供給に基づいて弁孔２３内を往復動する。具体的には、パイロット圧作用室３１は、パイロット流路（図示せず）を介して供給ポート２４に連通している。パイロット流路は、パイロット弁部３５により開閉される。よって、本実施形態において、電磁弁２０は、供給ポート２４に供給された圧縮流体を用いて、スプール弁体２２を往復動させる内部パイロット式である。
【００２７】
マニホールドベース１１は、供給連通流路１３と、スプール弁体２２の軸方向において供給連通流路１３の両側に配置される第１出力連通流路１４及び第２出力連通流路１５と、スプール弁体２２の軸方向において第１出力連通流路１４に対して供給連通流路１３とは反対側に配置される排出連通流路１６とを有する。供給連通流路１３、第１出力連通流路１４、第２出力連通流路１５及び排出連通流路１６は、マニホールドベース１１の取付面１１ａから、マニホールドベース１１における取付面１１ａとは反対側の面１１ｂにかけて貫通するように延びている。なお、以下の説明において、供給連通流路１３、第１出力連通流路１４、第２出力連通流路１５及び排出連通流路１６の延設方向とは、取付面１１ａから、マニホールドベース１１における取付面１１ａとは反対側の面１１ｂにかけて延びる方向のことを言う。
【００２８】
供給連通流路１３は、取付面１１ａに開口して供給ポート２４及び第２出力ポート２６に連通している。第１出力連通流路１４は、取付面１１ａに開口して第１出力ポート２５に連通している。第２出力連通流路１５は、取付面１１ａに開口して第２排出ポート２８に連通している。排出連通流路１６は、取付面１１ａに開口して第１排出ポート２７に連通している。
【００２９】
図１（ｂ）に示すように、マニホールドベース１１において、供給連通流路１３、第１出力連通流路１４、第２出力連通流路１５及び排出連通流路１６の延設方向に対して直交し、且つスプール弁体２２の軸方向に対して直交する方向に位置する両側面１１ｃ，１１ｄには、供給流路１７及び出力流路１８がそれぞれ開口している。供給流路１７及び出力流路１８は互いに対向配置されている。供給流路１７は、マニホールドベース１１の側面１１ｃに開口するとともに、圧縮流体の供給源３６に接続されている。出力流路１８は、マニホールドベース１１の側面１１ｄに開口するとともに流体圧機器３７に接続されている。
【００３０】
供給流路１７は、マニホールドベース１１の側面１１ｃから、供給連通流路１３、第１出力連通流路１４、第２出力連通流路１５及び排出連通流路１６の延設方向に対して直交し、且つスプール弁体２２の軸方向に対して直交する方向に延びて、供給連通流路１３に連通している。出力流路１８は、マニホールドベース１１の側面１１ｄから、供給連通流路１３、第１出力連通流路１４、第２出力連通流路１５及び排出連通流路１６の延設方向に対して直交し、且つスプール弁体２２の軸方向に対して直交する方向に延びて、第１出力連通流路１４に連通している。また、出力流路１８と第２出力連通流路１５とは、連通孔１５ｈを介して連通している。
【００３１】
マニホールドベース１１において、供給連通流路１３、第１出力連通流路１４、第２出力連通流路１５及び排出連通流路１６の延設方向に対して直交し、且つスプール弁体２２の軸方向に位置する両側面１１ｅ，１１ｆのうち、排出連通流路１６寄りに位置する側面１１ｅには、排出流路１９が開口している。排出流路１９は、外部に接続されている。排出流路１９は、マニホールドベース１１の側面１１ｅから、供給連通流路１３、第１出力連通流路１４、第２出力連通流路１５及び排出連通流路１６の延設方向に対して直交し、且つスプール弁体２２の軸方向に沿う方向に延びて、排出連通流路１６に連通している。
【００３２】
図１（ａ）に示すように、マニホールドベース１１における取付面１１ａとは反対側の面１１ｂには、板状のガスケット３８ｓを介して平板状の蓋部材３８が取り付けられている。そして、マニホールドベース１１における取付面１１ａとは反対側の面１１ｂにおいて、供給連通流路１３、第１出力連通流路１４、第２出力連通流路１５及び排出連通流路１６が、ガスケット３８ｓ及び蓋部材３８によって閉鎖されている。
【００３３】
次に、本実施形態の作用について説明する。
図２に示すように、電磁駆動部３５ａへの電力の供給が行われると、パイロット弁部３５が開弁して、パイロット圧作用室３１にパイロット圧として圧縮エア（パイロット流体）が供給される。すると、ピストン３０に作用するパイロット圧作用室３１内の圧力が、付勢ばね３３の付勢力に抗してピストン３０を収容室３２に向けて押圧し、スプール弁体２２が弁孔２３内で収容室３２（他端側）に向けて移動する。その結果、供給ポート２４と第１出力ポート２５とが連通するとともに第２出力ポート２６と第２排出ポート２８とが連通する。また、供給ポート２４と第２出力ポート２６との間が弁部２２ａによってシールされるとともに、第１出力ポート２５と第１排出ポート２７との間が弁部２２ａによってシールされる。
【００３４】
供給源３６から供給流路１７に供給された圧縮流体は、供給連通流路１３を介して供給ポート２４及び第２出力ポート２６に供給される。供給ポート２４に供給された圧縮流体は、第１出力ポート２５、第１出力連通流路１４及び出力流路１８を介して流体圧機器３７に供給されるとともに、第２出力ポート２６に供給された圧縮流体は、第２排出ポート２８、第２出力連通流路１５、連通孔１５ｈ及び出力流路１８を介して流体圧機器３７に供給される。
【００３５】
図１（ａ）に示すように、電磁駆動部３５ａへの電力の供給が停止されると、パイロット弁部３５が閉弁して、パイロット圧作用室３１への圧縮空気の供給が行われなくなる。すると、付勢ばね３３の付勢力によって、スプール弁体２２が弁孔２３内でピストン室２９（一端側）に向けて移動する。その結果、供給ポート２４と第２出力ポート２６とが連通するとともに、第１出力ポート２５と第１排出ポート２７とが連通する。また、供給ポート２４と第１出力ポート２５との間が弁部２２ａによってシールされるとともに、第２出力ポート２６と第２排出ポート２８との間が弁部２２ａによってシールされる。
【００３６】
供給源３６から供給流路１７に供給された圧縮流体は、供給連通流路１３と供給ポート２４及び第２出力ポート２６との間で流れるのみとなり、流体圧機器３７への圧縮流体の供給が遮断される。そして、流体圧機器３７からの圧縮流体が、出力流路１８、第１出力連通流路１４、第１出力ポート２５、第１排出ポート２７、排出連通流路１６及び排出流路１９を介して外部に排出され、流体圧機器３７に残った圧縮流体が排出される。
【００３７】
上記実施形態では以下の効果を得ることができる。
（１）マニホールドベース１１は、供給流路１７と供給ポート２４及び第２出力ポート２６とを連通する供給連通流路１３と、出力流路１８と第１出力ポート２５とを連通する第１出力連通流路１４と、出力流路１８と第２排出ポート２８とを連通する第２出力連通流路１５と、排出流路１９と第１排出ポート２７とを連通する排出連通流路１６とを有する。
【００３８】
電磁弁２０（電磁駆動部３５ａ）への電力の供給が行われると、供給流路１７の圧縮流体は、供給連通流路１３を介して供給ポート２４及び第２出力ポート２６に供給される。供給ポート２４に供給された圧縮流体は、第１出力ポート２５、第１出力連通流路１４及び出力流路１８を介して流体圧機器３７に供給されるとともに、第２出力ポート２６に供給された圧縮流体は、第２排出ポート２８、第２出力連通流路１５及び出力流路１８を介して流体圧機器３７に供給される。よって、従来技術では第２排出ポート２８から外部に排出されていた圧縮流体を、本実施形態では流体圧機器３７に供給することができ、電磁弁マニホールド１０を大型化せずに流体圧機器３７へ供給される圧縮流体の流量を増大させることができる。
【００３９】
また、電磁弁２０への電力の供給が停止されると、供給流路１７から供給された圧縮流体は、供給連通流路１３と供給ポート２４及び第２出力ポート２６との間で流れるのみとなり、流体圧機器３７への圧縮流体の供給が遮断される。そして、流体圧機器３７からの圧縮流体が、出力流路１８、第１出力連通流路１４、第１出力ポート２５、第１排出ポート２７、排出連通流路１６及び排出流路１９を介して外部に排出される。よって、従来技術のような残圧排出弁を用いる必要が無くなるため、残圧排出弁への電力の供給が無くなる分、消費電力を抑えつつも流体圧機器３７に残った圧縮流体を効率良く排出することができる。
【００４０】
（２）供給連通流路１３、第１出力連通流路１４、第２出力連通流路１５及び排出連通流路１６は、マニホールドベース１１の取付面１１ａから、マニホールドベース１１における取付面１１ａとは反対側の面１１ｂにかけて貫通している。これによれば、マニホールドベース１１における取付面１１ａとは反対側の面１１ｂも、電磁弁２０が取り付けられる取付面として機能させることができるため、電磁弁マニホールド１０の使用範囲を拡大することができる。
【００４１】
なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・  実施形態において、供給連通流路１３、第１出力連通流路１４、第２出力連通流路１５及び排出連通流路１６が、マニホールドベース１１の取付面１１ａから、マニホールドベース１１における取付面１１ａとは反対側の面１１ｂにかけて貫通していなくてもよく、マニホールドベース１１の内部で閉塞していてもよい。
【００４２】
・  実施形態において、付勢ばね３３を削除してもよい。そして、弁ボディ２１におけるスプール弁体２２の他端部側にも、ピストン室２９を形成し、ピストン室２９に、スプール弁体２２の他端部に装着されるピストン３０を往復動可能に収容し、ピストン３０によりピストン室２９にパイロット圧作用室３１を区画してもよい。このパイロット圧作用室３１には、供給ポート２４に供給された圧縮流体が常に供給されるようになっている。スプール弁体２２の他端部に装着されるピストン３０は、スプール弁体２２の一端部に装着されるピストン３０よりも小径になっている。そして、スプール弁体２２を、両ピストン３０の受圧面積の差から、弁孔２３内を往復動させるようにしてもよい。
【００４３】
・  実施形態において、電磁弁２０は、二つのパイロット弁部３５が設けられた所謂ダブルパイロット型であってもよい。この場合、弁ボディ２１におけるスプール弁体２２の他端部側にも、ピストン室２９が形成されるとともに、ピストン室２９に、スプール弁体２２の他端部に装着されるピストン３０が往復動可能に収容され、ピストン３０によりピストン室２９にパイロット圧作用室３１が区画される。スプール弁体２２の他端部に装着されるピストン３０は、スプール弁体２２の一端部に装着されるピストン３０よりも小径になっており、スプール弁体２２は、両ピストン３０の受圧面積の差から、弁孔２３内を往復動する。
【００４４】
・  実施形態において、電磁弁２０は、外部から供給された圧縮流体を用いて、スプール弁体２２を往復動させる外部パイロット式であってもよい。
・  実施形態において、パイロット流体としては、圧縮エアに限らず、圧縮された流体であれば他の流体でもよい。
【００４５】
・  実施形態において、流体圧機器３７に供給される圧縮流体は、圧縮エアに限らず、圧縮された流体であれば他の流体でもよい。
【符号の説明】
【００４６】
１０…電磁弁マニホールド、１１…マニホールドベース、１１ａ…取付面、１１ｂ…面、１３…供給連通流路、１４…第１出力連通流路、１５…第２出力連通流路、１６…排出連通流路、１７…供給流路、１８…出力流路、１９…排出流路、２０…電磁弁、２１…弁ボディ、２１ａ…対向面、２２…スプール弁体、２３…弁孔、２４…供給ポート、２５…第１出力ポート、２６…第２出力ポート、２７…第１排出ポート、２８…第２排出ポート、３７…流体圧機器。
【図１】
2016090009.tif 000003
【図２】
2016090009.tif 000004
【図３】
2016090009.tif 000005