(57)【要約】      （修正有）【課題】記録媒体およびまたは近接場トランスデューサからレーザダイオードへの戻り反射を削減し、レーザの安定性を提供する。【解決手段】記録ヘッド１０６は、第１のモードにおいてエネルギー源１０２から放出されるエネルギーを受けるよう構成される入力面１０３を有する。モードオーダーコンバータは第１のモードから第２のモードへエネルギーを変換するするよう構成される。ヘッドの導波路１１０は、入力面に近接して配置され、第１のモードにおいてエネルギーを受けるよう構成される入力端を有する。導波路は、媒体対向面に近接して配置され、第２のモードにおいてエネルギーを届けるよう構成される出力端を有する。出力端は、媒体対向面および基板に平行な平面の交点においてクロストラック線に対して斜めの角度である。【選択図】図１
2016129082.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置であって、
エネルギー源から第１のモードにおいて放出されるエネルギーを受けるよう構成される入力面を備える入力領域と、
前記エネルギーを前記第１のモードから第２のモードへ変換するよう構成されるモードオーダーコンバータと、
上部および下部クラッド層、およびその間の基板に平行な平面上に配置されるコアと、前記入力面に近接して配置され前記第１のモードにおいて前記エネルギーを受けるよう構成される入力端と、媒体対向面に近接して配置され第２のモードにおいてエネルギーを届けるよう構成される出力端とを備える導波路とを備え、前記出力端は前記媒体対向面および前記基板に平行な平面の交点においてクロストラック線に対し第１の斜めの角度であり、前記装置はさらに、
前記コアに近接しかつ前記媒体対向面に近接して配置される近接場トランデューサとを備える、装置。
【請求項２】
前記近接場トランデューサは、拡張部分およびペグを備え、前記拡張部分は前記媒体対向面および前記基板に平行な平面の交点においてクロストラック線に対し第２の斜めの角度で配置される、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記第１および第２の斜めの角度は実質的に同じである、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記ペグは、前記媒体対向面および前記基板に平行な平面において、クロストラック線に対して第３の斜めの角度で配置される、請求項２に記載の装置。
【請求項５】
前記第１、第２、第３の斜めの角度は実質的に同じである、請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記第１の斜めの角度は、前記媒体対向面に垂直な位置から、約５度から約１５度のの範囲である、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記第２の斜めの角度は前記媒体対向面に垂直な位置から、約５度から約１５度の範囲である、請求項２に記載の装置。
【請求項８】
前記第１、第２、第３の斜めの角度は、前記媒体対向面に垂直な位置から、約５度から約１５度の範囲である、請求項５に記載の装置。
【請求項９】
前記ペグは、前記出力端の前記斜めの角度に基づき、前記拡張部分に近接して位置決めされる、請求項２に記載の装置。
【請求項１０】
前記近接場トランデューサは、前記導波路コアの中央線からクロストラック方向にオフセットして配置される、請求項１に記載の装置。
【請求項１１】
装置であって、
エネルギー源から第１のモードにおいて放出されるエネルギーを受けるよう構成される入力面を備える入力領域と、
エネルギーを記録媒体に届けるよう構成される出力面と、
前記入力面および前記出力面の間に配置され、前記エネルギーを前記第１のモードから第２のモードへ変換するよう構成されるモードオーダーコンバータと、
上部および下部クラッド層およびその間の基板に平行な平面上に配置されるコアと、前記入力面に近接して配置され、前記第１のモードにおいて前記エネルギーを受けるよう構成される入力端と、前記出力面に近接して配置され、第２のモードにおいてエネルギーを届けるよう構成される出力端とを備える導波路とを備え、前記出力端は、前記出力面と前記出力面および前記モードコンバータの間の前記基板に平行な平面との交点においてクロストラック線に対して斜めの角度であり、前記装置はさらに
前記コアに近接しかつ拡張部分およびペグを含む前記出力面に近接する近接場トランデューサとを備え、前記近接場トランデューサはエネルギーを第２のモードにおいて前記出力端から受けるよう構成され、前記拡張部分は、前記出力面および前記基板に平行な平面の交点において、クロストラック線に対して斜めの角度に配置される、装置。
【請求項１２】
前記出力端の角度および前記拡張部分の角度は実質的に同じである、請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
前記出力端の角度は、前記出力面に垂直な位置から約５度から約１５度の範囲である、請求項１１に記載の装置。
【請求項１４】
前記近接場トランデューサは、前記導波路コアの中央線からクロストラック方向にオフセットされて配置される、請求項１１に記載の装置。
【請求項１５】
前記ペグは、前記出力面および前記基板に平行な平面の交点においてクロストラック線に対して斜めの角度に配置される、請求項１２に記載の装置。
【請求項１６】
前記ペグは、前記出力端の角度に基づき、前記拡張部分に近接して位置決めされる、請求項１１に記載の装置。
【請求項１７】
方法であって、
光をレーザーから記録ヘッドの入力領域の入力面に第１のモードにおいて放出することと、
前記光を前記第１のモードにおいて第１の導波路の部分を用いて受けることと、
前記光を前記導波路内で前記第１のモードから第２のモードへ変換することと、
前記光を第２のモードにおいて前記記録ヘッドの出力面に前記導波路の第２の部分を介して垂直以外の角度で案内することを備え、前記導波路の前記第２の部分は、前記出力面と前記出力面および前記モードコンバータの間の基板に平行な平面との交点においてクロストラック線に対して斜めの角度に配置され、前記方法はさらに
前記出力面を介して記録媒体の部分を加熱するためにエネルギーを届けることとを備える、方法。
【請求項１８】
前記出力面に近接し前記エネルギーを生成するよう構成される近接場トランデューサに前記光を前記第２の部分を介して案内することをさらに備え、前記近接場トランデューサは拡張部分およびペグを含み、前記拡張部分は、前記出力面および基板に平行な平面の交点において、クロストラック線に対して斜めの角度に配置される、請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
前記ペグは、前記出力面および基板に平行な平面の交点において、クロストラック線に対して斜めの角度に配置される、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記ペグは、前記導波路の前記斜めの角度に基づき、前記拡張部分に近接して位置決めされる、請求項１８に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
関連特許文献
本願は、米国特許法第１１９条に従って主張される、２０１４年１２月９日に出願された米国特許仮出願第６２／０８９，５４６号の優先権の利益を主張し、その全体は参照により本明細書に組み込まれる。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００２】
概要
装置は、エネルギー源から第１のモードにおいて放出されるエネルギーを受けるよう構成される入力面を備える入力領域と、エネルギーを第１のモードから第２のモードへ変換するよう構成されるモードオーダーコンバータと、導波路とを備える。導波路は、上部および下部クラッド層と、その間の基板に平行な平面上に配置されるコアと、入力面に近接して配置され第１のモードにおいてエネルギーを受けるよう構成される入力端と、媒体対向面に近接して配置され第２のモードにおいてエネルギーを届けるよう構成される出力端とを備える。出力端は媒体対向面および基板に平行な平面の交点においてクロストラック線に対し第１の斜めの角度である。装置はさらに、コアに近接しかつ媒体対向面に近接して配置される近接場トランデューサを含む。
【０００３】
別の実施形態による装置は、エネルギー源から第１のモードにおいて放出されるエネルギーを受けるよう構成される入力面を備える入力領域と、エネルギーを記録媒体に届けるよう構成される出力面と、入力面および出力面の間に配置され、エネルギーを第１のモードから第２のモードへ変換するよう構成されるモードオーダーコンバータとを備える。装置は、導波路を含み、導波路は、上部および下部クラッド層と、その間の基板に平行な平面上に配置されるコアと、入力面に近接して配置され、第１のモードにおいてエネルギーを受けるよう構成される入力端と、出力面に近接して配置され、第２のモードにおいてエネルギーを届けるよう構成される出力端とを含む。出力端は、出力面と出力面およびモードコンバータの間の基板に平行な平面との交点においてクロストラック線に対して斜めの角度である。装置はさらに、コアに近接しかつ拡張部分およびペグを含む出力面に近接する近接場トランデューサとを含む近接場トランデューサはエネルギーを第２のモードにおいて出力端から受けるよう構成される。拡張部分は、出力面および基板に平行な平面の交点において、クロストラック線に対して斜めの角度に配置される。
【０００４】
さらに実施形態は、光をレーザーから記録ヘッドの入力領域の入力面に第１のモードにおいて放出することと、光を第１のモードにおいて第１の導波路の部分を用いて受けることと、光を導波路内で第１のモードから第２のモードへ変換することとを備える方法に向けられる。第２のモードにおける光は、記録ヘッドの出力面に導波路の第２の部分を介して垂直以外の角度で案内され、導波路の第２の部分は、出力面と出力面およびモードコンバータの間の基板に平行な平面との交点においてクロストラック線に対して斜めの角度に配置される。方法はさらに、出力面を介して記録媒体の部分を加熱するためにエネルギーを届けることとを含む。
【０００５】
以下の詳細な説明および添付の図面を考慮して、これらおよび他の様々な実施形態の特徴および態様は、理解することができる。
【０００６】
図面の簡単な説明
以下の図において、同じ参照番号が複数の図面における同様の／同じ／類似の構成要素を識別するために使用され得る。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】一実施形態に係るスライダー組立体の斜視図である。
【図２】一実施形態に係るスライダー組立体の媒体対向面のブロック図である。
【図３】一実施形態に係る導波路を示す断面図である。
【図４】一実施形態に係る近接場トランデューサと傾斜した導波路を示す断面図である。
【図５】一実施形態に係る近接場トランデューサの傾斜した拡張部分と傾斜した導波路を示す断面図である。
【図６】本発明の実施形態による近接場トランデューサの傾斜した拡張部分およびペグと導波路を示す断面図である。
【図７Ａ】一実施形態に係る導波路コアの中心線からオフセットした近接場トランデューサの断面図である。
【図７Ｂ】一実施形態に係る導波路コアの中心線からオフセットした近接場トランデューサの断面図である。
【図８Ａ】図５の導波路構成に対する反射電力の電界分布を様々な角度で示すグラフである。
【図８Ｂ】図５の導波路構成に対する反射電力の電界分布を様々な角度で示すグラフである。
【図８Ｃ】図５の導波路構成に対する反射電力の電界分布を様々な角度で示すグラフである。
【図８Ｄ】図５の導波路構成に対する反射電力の電界分布を様々な角度で示すグラフである。
【図９Ａ】近接場トランデューサのペグ部分の位置に基づいて傾斜した導波路のための結合効率を示すグラフである。
【図９Ｂ】近接場トランデューサのペグ部分の位置に基づいて傾斜した導波路のための結合効率を示すグラフである。
【図１０】一実施形態に係る方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
詳細な説明
本開示は概して、エネルギー源（例えば、レーザーダイオード）からエネルギー（例えば、光）を受け、エネルギーを記録媒体（例えば、熱アシスト磁気記録媒体）へと記録ヘッドの出力面に対して垂直以外の角度で届ける、傾斜した導波路（例えば、チャネル導波路）の使用に関する。導波路は、記録ヘッド内に一体的に形成され、追加的な記録ヘッド部（例えば、近接場トランデューサ）はある角度で形成されてもよい。レーザーダイオードは、記録ヘッドの外面に取り付けられ、その出力を導波路へと記録ヘッドの出力面に大よそ垂直な角度で導いてもよい。導波路の角度は、記録媒体およびまたは近接場トランデューサからレーザーダイオードへと戻るレーザー出力の反射を削減するために選択される。この反射の削減は、レーザーの不安定性の問題を削減するのに役立つ。
【０００９】
熱アシスト磁気記録（ＨＡＭＲ）データ格納媒体は、現在、従来のハードドライブのメディアの面データ密度を制限する超常磁性効果（例えば、熱誘起、ランダム、磁気の向きの変更）を克服することができる高い保持力を有する。ＨＡＭＲデバイスにおいて、磁気媒体の小さな部分または「ホットスポット」は、局所的にそのキュリー温度に加熱され、これにより、媒体の磁気の向きはトランデューサ（例えば、磁気書き込み極）によって書き込まれながらホットスポットにおいて変えられることができるようになる。熱が除去された後、領域は、その磁気的状態を維持し、それにより確実にデータをその後に検索するために格納するだろう。
【００１０】
ＨＡＭＲ読み書き要素は、ときにスライダまたは読み書きヘッドとも呼ばれ、現在のハードドライブのものと同様の磁気読み書きトランデューサを含む。例えば、データは、移動媒体の磁気変動を検出する磁気抵抗センサによって読み取られてもよい。データは、書き込み極に結合された磁気媒体に書き込みコイルによって書き込まれてもよい。ＨＡＭＲスライダは、また一般にレーザーダイオードといったエネルギー源と、媒体の表面へとエネルギーを届けるスライダを通る光学的搬送パスとを含むだろう。
【００１１】
ＨＡＭＲスライダの光学的搬送パスは、媒体対向面（例えば、浮上面、接触面）に近接する近接場トランデューサ（ＮＦＴ）を含んでもよい。ＮＦＴは、エネルギーを形成し、媒体上の小さな領域に伝達する。ＮＦＴはときに、光学アンテナ、光アンテナ、表面プラズモン共振器、等とも呼ばれる。ペグおよび拡張部分を含むＨＡＭＲデバイスためのＮＦＴはとても小さく（例えば、１λから２λのオーダーであり、λは励起のための光波長を表す。）、電磁相互作用を介して媒体で高い電力密度の局所領域を作成する。これは、１００ナノメートル未満の寸法でキュリー温度を超える領域を有する媒体上の小さな領域で高い温度上昇を生じさせる。
【００１２】
レーザー（または他のエネルギー源）はＨＡＭＲスライダから分離されていても取り付けられていてもよい。レーザー（例えば、エッジ放出または表面放出）がＨＡＭＲスライダに取り付けられている構成では、スライダ本体のウェハへ一度に多くの数のレーザーの平行な取り付けを可能とし、これにより製造コストを削減する。レーザーの向きに応じて、出力エネルギーを媒体対向面に対し大よそ直角または垂直な角度で導くために、レーザーの光出力は、ウェハの面に平行であってもよい。
【００１３】
エッジ放出レーザーダイオードといった光源は、しばしば基本と横の電気モード、ＴＥ００−のような出力ビームプロファイルを持つ。しかしながら位相シフトされた高オーダーモード、たとえば、ＴＥ１０は、プラズモントランスデューサのいくつかの構成に結合するために望ましい。この望ましさは、モード変換前後のＴＥ００およびＴＥ１０モードプロファイルそれぞれの電界強度プロットを比較することによって、理解されることができる。基本のＴＥ００モードは、電界強度プロット上の高い強度の単一の領域を提供し、高オーダーモード、例えば、ＴＥ１０は、同程度の面積でわずかに少ない強度の二重領域をもたらす。高オーダーモードにおいて光は、表面プラズモンを応答して生成するプラズモントランスデューサに向けられる。高オーダーモードにおける光強度の二重領域は、より均一なプラズモントランスデューサ（例えば、ＮＦＴ）のカバレッジを提供する。結果として表面プラズモンは記録媒体を加熱するために向けられる。このより高オーダーのモードは、導波路に沿って配置されるモードコンバータを用いてスライダ内で生成される。記録媒体はまた、光をスライダ本体へと反射し返し、導波路内でＴＥ００およびＴＥ１０モードを励起する。この反射されたＴＥ１０光は、モードオーダーコンバータを通って伝播する時に、ＴＥ００モードに戻って変換しレーザーダイオード光源に戻り、レーザーの不安定性を引き起こし得る。しかしながら、反射されたＴＥ００モードは失われ、光源に戻らないだろう。
【００１４】
以下に説明される実施形態においては、導波路はエネルギーをレーザーダイオードから記録媒体に案内し導くために使用される。図１を参照して、斜視図は、一実施形態に係るＨＡＭＲスライダ組立体１００を示す。スライダ組立体１００は、スライダ本体１０１の入力面１０３上に配置されるエネルギー源１０２（例えば、レーザーダイオード）を含む。エネルギー源１０２は、スライダ本体１０１の媒体対向面１０８近くに配置されるＨＡＭＲ読み書きヘッド１０６に近接する領域に光を届ける。媒体対向面１０８は、デバイスの動作中、移動媒体面に近接し、面して保持される。媒体対向面１０８は、空気の薄い層を介して媒体面からの分離を維持する浮上面（ＡＢＳ）として構成されてもよい。
【００１５】
スライダ組立体１００は、図１のｘ軸、またクロストラック方向とも称される方向に磁気記録媒体にわたってトラックする。スライダに相対的に、磁気記録媒体は、直交するｚ軸方向、またダウントラック方向とも称される方向に回転する。始めにダウントラック方向に回転する記録媒体のいずれかの位置を通過するスライダのエッジはリーディングエッジとも称され、最後に記録媒体の位置を通過するスライダのエッジは、トレイリングエッジとも称され、面１０４によって指定される。磁気記録媒体がスライダに相対的に回転するときに、スライダ組立体１００を用いて磁気記録ヘッド構成は、回転する磁気記録媒体へビットを読み込みおよびまたは書き込む。
【００１６】
エネルギー源１０２は、それが読み書きヘッド１０６を通過するときに記録媒体を加熱するために使用される電磁気エネルギーを提供する。導波路１１０といった光結合部品は、一体的にスライダ組立体１００内に形成され、近接場トランデューサ（ＮＦＴ）１１２を介してエネルギー源１０２から記録媒体にエネルギーを届ける光学パスを形成する。レーザー光は、テーパ状の光学導波路または放物面鏡といった様々な光学要素を有するＮＦＴ１１２上に集束されることができる。近接場トランデューサ１１２は読み書きヘッド１０６の近くにあり、記録動作中に媒体の加熱を引き起こす。
【００１７】
この例において、エネルギー源は、レーザーのコーナーエッジ近くに配置される出力を有する細長いチャネルから光を放出するエッジ放出レーザーである。エッジ放出レーザーは、入力面１０３上に面取付され、入力面１０３に対して垂直に（または大よそそのように）光を、例えば、ｙ方向に沿って放出する。導波路１１０および、ここに説明されるそのバリエーションはまた、垂直共振器面発光レーザ（ＶＣＳＥＬ）といった他の種類のレーザーダイオードを使用されてもよい。一般的に、ＶＣＳＥＬはレーザー本体の表面に対して直角な方向に光を放出する。エネルギー源１０２は、スライダ本体１０１の表面上に（または、ポケットもしくはキャビティ内に）取り付けられてもよい。これらのいずれの例の表面放出またはエッジ放出レーザーは、スライダ本体１０１に、または（図示しない）サブマウントといった結合部品を介して結合されてもよい。
【００１８】
エネルギー源１０２は、磁気記録ヘッド構成に外付けまたは一体的に取り付けられることができる。  図１の例はエネルギー源１０２がスライダ組立体１００に直接取り付けられることを示すが、ここで説明される導波路１１０は、いずれの種類の光搬送コンフィグレーションにも適用されてもよい。たとえば、自由空間の光搬送コンフィグレーションにおいて、レーザーはスライダに外的に取り付けられてもよく、光ファイバおよび／または導波路といった手段によってスライダに結合されてもよい。そのような構成のスライダは、入力面１０３上の結合部を含んでもよく、その中で光が導波路１１０に結合され届けられ、導波路１１０は光を近接場トランデューサ１１２に励起する方向に伝播する。以下で詳細に説明されるように、導波路１１０は、媒体対向面１０８に対して垂直以外の角度で媒体対向面１０８のクロストラック（ｘ軸）方向に光を導くことを容易にする。
【００１９】
ここで図２を参照して、スライダ組立体の媒体対向面のブロック図が図示される。媒体対向面２０８の図示される部分は、ＮＦＴ２１２に近接する書き込み極２１４および導波路２１０を含む。導波路２１０は、１つまたは複数のクラッド層２１６、２２０に囲まれるコア層２１８を含む。コア層２１８およびクラッド層２１６、２２０は誘電体材料から形成されてもよく、誘電体材料はコア層２１８の屈折率がクラッド層２１６、２２０の屈折率より高くなるよう選択される。導波路コア２１８に対し高い屈折率を有する誘電体材料の例は、Ｔａ２Ｏ５（酸化タンタル）、ＴｉＯ２（酸化チタン）、Ｎｂ２Ｏ５（酸化ニオブ）、ＳｉＮｘ（Ｓｉ３Ｎ４を含む窒化ケイ素）、ＳｉＣ（シリコンカーボン）、Ｙ２Ｏ３（酸化イットリウム）、Ｈｆ２Ｏ３（ハフニウム酸化物）、ＺｎＳｅ（セレン化亜鉛）、ＺｎＳ（硫化亜鉛）、ＺｎＴｅ（テルル化亜鉛）、Ｂａ４Ｔｉ３Ｏ１２（テルル化亜鉛）、ＧａＰ（ガリウム燐）、ＣｕＯ２（酸化銅）、Ｓｉ（シリコン）を含む。クラッド層２１６、２２０は各々コアのものよりも低い屈折率を有する誘電体材料から形成され、そのような材料は、Ａｌ２Ｏ３（酸化アルミニウム）、ＳｉＯ（酸化ケイ素）、ＳｉＯ２（シリカ）、ＳｉＯｘＮｙ（シリコン酸窒化）、およびＡｌＮ（窒化アルミニウム）などを含んでもよい。導波路コアの屈折率が高いほど、例えば、導波路２１０を通る光といったエネルギーの効率的な伝搬が容易になる。たとえば、コア層２１８は、Ｔａ２Ｏ５を備えてもよく、一方クラッド層２１６はＡｌ２Ｏ３を備えてもよく、クラッド層２２０はＳｉＯ２を備えてもよい。
【００２０】
図２の隠された（破線の）線は、少なくとも導波路２１０のコア層２１８およびクラッド層２１６が媒体対向面２０８で斜めの角度に配置されることを図示する。導波路２１０は媒体対向面に関して傾いており、長方形の断面で図示されるように、導波路２１０の終端部分は媒体対向面と同一平面である。
【００２１】
他の特徴が媒体対向面２０８において図示されており、書き込み極２１４およびＮＦＴ２１２を含む。書き込み極２１４は、図面を簡略にするためヒートシンク（例えば、Ｃｒヒートシンク）と分離することなく示される。媒体対向面２０８において示されるＮＦＴ２１２の部分は、ＮＦＴ２１２のペグの断面である。しかしながら、ＮＦＴ２１２のペグはまた、隠れた（破線の）線で図示されるように、媒体対向面２０８で斜めの角度に任意に配置されることができる。ＮＦＴ２１２の寸法は異なることができ、図示されるペグの断面の例示の寸法は、６０ナノメーター×２５ナノメータである。
【００２２】
スライダ組立体の特徴部は、複数の層を配置することによって製造されることができるため、コア層２１８は、堆積基板に平行な面に配置される。コアは、媒体対向面２０８に関していずれかの方向に傾斜することができ、コア２１８はここにクロストラック方向において傾斜して示され、これによりコアがマスキングと堆積ステップとの組み合わせにより生成される。このため、示されるように、コア２１８と、導波路２１０と、ＮＦＴ２１２とが媒体対向面２０８に関して互いに平行な面において、また書き込み極２１４といったスライダ組立体特徴部に関して傾斜されることができる。
【００２３】
図３では、断面視は、一実施形態に係るエッジ放出レーザー３０２とともに用いられる導波路３１０を示す（必ずしも縮尺されていない）。一般的に、レーザー３０２は導波路３１０と、入力面３０６においておよび／または近くに位置合わせされ、これにより導波路３１０は、レーザー３０２から放出される光（矢印３１６）受けるよう構成される。基板３１４（または実領域）は、上述されるような高屈折率材料を含む導波路３１０に近接する。この基板３１４（または実領域）は低屈折率材料を含んでもよい。導波路３１０は、光３０４をレーザー３０２から媒体対向面３０８へ向かって運ぶ。モードオーダーコンバータ３２２は、光が媒体対向面に到達する前に、光３０４を第１のモードから第２のモードに変換する。近接場トランデューサ３１２は、媒体対向（出力）面３０８の近くに含まれてもよい。
【００２４】
導波路３１０は、クロストラック（ｘ軸）方向に傾斜する。導波路は、入力面３０６から媒体対向面３０８に（図示される断面において見えない角度に）傾けられることができ、または導波路の部分（例えば、モードオーダーコンバータ３２２および媒体対向面３０８の間部分）だけが傾けられてもよい。導波路３１０の面は、トレイリングエッジ３１８に対して大よそ平行である。媒体対向面３０８における角度は、媒体対向面３０８に対して垂直または平行以外のいずれかの斜めの角度にされることができる。たとえば、角度は媒体対向面３０８に対して垂直から５から１５度の間にされることができる。（図示しない）入力導波路カプラーを有するレーザー３０２からの結合を容易にするために、入力面３０６における導波路３１０は入力面３０６に大よそ垂直である。導波路３１は、入力導波路カプラー／モードオーダーコンバータの後、媒体対向面３０８に対し垂直から小さな角度を形成するためにわずかに屈曲する。入力導波路カプラー／モードオーダーコンバータ３２２の後の媒体対向面３０８に対する屈曲の度合は小さく、これにより、近接場トランデューサの励起のために使用される、第１のより高オーダーの導波路モード（ＴＥ１０モード）は、導波路の基本のモードＴＥ００に戻って変換しない。近接場トランデューサの効率を実質的に減らすことを避けるために、媒体対向面に対する垂直からの傾き角度は通常１５度より小さい。これらの傾き角度で、媒体からの反射後のＴＥ１０モードの量は、傾きのないコンフィギュレーションと比較されたときに、多く削減される。媒体からの反射光はＴＥ１０およびＴＥ００モードの両方を含む。しかしながら、ＴＥ１０モードのみが最終的に光源に戻り、レーザー不安定を引き起こすだろう。
【００２５】
図面の明確さのため、レーザー３０２は入力面３０６に取り付けられて示されるが、実際には直接または間接に入力面３０６に取り付けられてももよい。他の実施形態では、導波路３１０および、周りの特徴部（例えば、近接場トランデューサ３１２）は、スライダ本体の表面の上方に突出するスライダ本体に取り付けられる部分として含まれてもよく、これにより、レーザー３０２の出力との光学結合を容易にする。この実施形態では、導波路３１０に近接する低屈折率材料の追加的層、導波路３１０の上の格子、および（例えば、媒体対向面３０８における）テーパーのいずれかの組み合わせを任意に含んでもよい。
【００２６】
図４〜６は様々な記録媒体上の光の入射角度に対する記録ヘッド特徴部の様々な角度決めと、その組み合わせとを図示し、これによって光源に戻るレーザー光の反射を削減する。図４は、導波路４１０が媒体対向面４０８に関して斜めの角度４２０に傾けられた実施形態を図示する。傾きを有さないか、媒体対向面４０８に対して垂直な角度に位置決めされる導波路は、点線４０６を有する導波路４１０との比較のために重ねあわせて示される。  傾けられた導波路４１０の部分は、媒体対向面４０８およびモードオーダーコンバータ４２２の間に配置されてもよい。モードオーダーコンバータ４２２の前の導波路４１０ａの部分（光源およびモードオーダーコンバータ４２２の間）媒体対向面４０８および（図示しない）光入力面に対して大よそ垂直な角度に位置決めされてもよい。導波路はクラッド層４１８を含み、ペグ４１２および拡張部分４１４を有するＮＦＴに近接して位置決めされる。ＮＦＴ部分４１２、４１４は媒体対向面４０８に対して大よそ垂直な角度に両方維持される。
【００２７】
図５は、ＮＦＴの導波路５１０および拡張部分５１４の両方が媒体対向面５０８に関して斜めの角度に傾けられた代替的な実施形態を図示する。導波路５１０および拡張部分５１４は、媒体対向面５０８に関して同じまたは異なる斜めの角度に傾けられることができる。導波路はクラッド層５１８を含み、ＮＦＴに近接して位置決めされる。ＮＦＴもまた傾けられていない、つまり媒体対向面５０８に対して大よそ垂直な角度に維持されるペグ５１２を含む。ＮＦＴは説明される実施形態の各々においての様々な形状をとることができることに留意すべきである。たとえば、拡張部分は細長いディスクとして示されるが、拡張部分は円形ディスク、漏斗、正方形プレート、または他の適切ないずれかの形状とされることができる。
【００２８】
図６は、導波路６１０と、拡張部分６１４およびＮＦＴのペグ６１２の各々が媒体対向面６０８に関して斜めの角度に傾けられた他の代替的な実施形態を図示する。導波路６１０と、拡張部分６１４と、ペグ６１２とは各々、媒体対向面６０８に関して同じにまたは異なった角度に傾けられることができる。導波路はクラッド層６１８を含みＮＦＴに近接して位置決めされる。図４〜６の実施形態の各々に対して、（クロストラック方向における）ＮＦＴ拡張部分に関するＮＦＴペグの位置は結合効率を向上させ維持するために再構成される。
【００２９】
図４〜６は、導波路コアに近接して大よそ中心にされたＮＦＴを図示するが、ＮＦＴはまたクロストラック方向に導波路コアの中心からオフセットされて位置決めされることができる。図７Ａ〜Ｂは、導波路コア７１０に関してＮＦＴのクロストラックオフセットを図示する。ＮＦＴは拡張部分７１４およびペグ７１２を含む。図７Ａは、（点線７１６で図示される）中央線から離れて導波路コア側壁７１８に向かってクロストラック方向にシフトされる拡張部分７１４およびペグ７１２の両方を含む。しかしながら、ＮＦＴは、いずれかのクロストラック方向にシフトされることができる。これにより、図７Ｂは（図７Ａと比較して）中央線７１６から離れて導波路コア側壁７２０に向かって対向するクロストラック方向にシフトされる拡張部分７１４およびペグ７１２の両方を図示する。導波路コア７１０および拡張部分７１４は傾斜し、ペグ７１２はしていないように図示されるが、オフセット位置決めは上述のいずれかの実施形態、例えば図４〜６のものに適用されることができる。
【００３０】
図８Ａ−Ｄは、導波路およびＮＦＴの拡張部分の様々な傾き角度に対する反射された光のｘ−およびｚ−方向の電界分布を図示する（例えば、図５において図示されるジオメトリ）。図８Ａは傾き角度ゼロ（傾けられていない、または媒体対向面に対して垂直な角度）での反射された光を図示し、図８Ｂは５度の角度に反射された光を図示し、図８Ｃは１０度角度に反射された光を図示し、図８Ｄは１５度の角度に反射された光を図示する。これらの分布の各々に対して、導波路およびＮＦＴの拡張部分は同じ角度に（例えば、図８Ｂでは５度）傾斜する。ＴＥ００およびＴＥ１０モードで反射された光は、下の表１にまとめられる。
【００３１】
【表１】
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【００３２】
示されるように、記録ヘッドの特徴部の角度決め（例えば、導波路および拡張されたＮＦＴ部分）は、傾き角度の各増分に対して総反射を削減する。導波路および拡張されたＮＦＴ部分を角度決めすることは光源に反射されて戻るＴＥ１０モード光を７．４％から０．８％（例えば、特徴部をクロストラック方向に媒体対向面に対して垂直から１５度角度決めすることによって）削減できる。これにより、記録ヘッドのこれらの特徴部を傾けることはＴＥ１０モード電力を劇的に削減するできる（例えば、１０度の角度決めは、オリジナルの反射された電力の〜１／７をもたらす）。小さい傾きの度合を使用すること（例えば、垂直から１５度以下）は、総反射（ＴＥ００モードプラスＴＥ１０モード）中程度にのみ削減されるるものの、反射されて戻る光においてＴＥ１０モードを大きく削減する。モードオーダーコンバータ含む光パスコンフィグレーションを用いる実施形態では、ＴＥ１０モードのみが光源にを反射して戻り、これによりレーザー不安定を引き起こすだろう。しかしながら、導波路を媒体対向面において傾けることは、また近接場トランデューサ効率を削減する。たとえば、１０度の傾き角度において、近接場トランデューサ効率は２５％削減される。これにより、傾き角度は、例えば、１０度以下と、小さく保たれる。
【００３３】
結合効率損失は、傾斜した特徴部に関してクロストラック方向にＮＦＴペグの位置を再配置することによって１０％以内に管理されることができる。このことは９Ａ〜９Ｂにみられることができ、これらは、基板に平行な平面（ｘｙ−面）に対して見られる、それぞれ傾斜したおよび傾斜していないＮＦＴに対する電界分布を示す。図９Ｂに見られるように、導波路およびＮＦＴの拡張部分の１０度の角度決めに対して、ＮＦＴのペグを２０ナノメータ動かすことによって結合効率は１．１％にまで上昇できる。ペグはこの実施形態において再配置されるが、ペグは傾けられない。さらに拡張部分およびレーザーモードの間で形状を合わせることは、結合効率を向上できる。
【００３４】
図１０を参照して、フローチャートは一実施形態に係る方法を図示する。方法は、光をレーザーから記録ヘッドの入力領域の入力面にに放出すること１００２を伴う。入力面は媒体対向面に対して実質的に平行であり、光は入力面に垂直に放出されてもよい（必須ではない）。光を放出すること１００２に応じて、光は導波路を用いて受けられる１００４。導波路が出力面において出力面に対して垂直以外の角度に配置されるとき、導波路は光を出力面に垂直以外の角度１００６で案内する。導波路はまた入力面において入力面に対して垂直以外の角度に配置されてもよい。エネルギーは、そして出力面を介して記録媒体の部分を加熱するために届けられる１００８。任意に、加熱されるときに、磁気場は記録媒体の部分に適用されてもよい１０１０。このようにして、磁気場は記録媒体にデータを記録する。
【００３５】
上述の方法はさらに、光を導波路を介して出力面に近接する近接場トランデューサに案内することを含むことができる。近接場トランデューサは少なくとも記録媒体に届けられるエネルギーの部分を生成する。近接場トランデューサは拡張部分およびペグを含む。方法は、出力面に関して斜めの角度配置される、近接場トランデューサの拡張部分および／またはペグを用いて実施されることができる。拡張部分および／またはペグと導波路との角度は実質的に同じにされることができる。たとえば、傾斜した部品の各々は出力面に対して垂直な位置から５、１０、または１５度の角度に配置されることができる。導波路の角度は、記録媒体および出力面に近接する他の部品からレーザーに戻る光の反射削減するように選択されてもよい。
【００３６】
特に断りのない限り、明細書、特許請求の範囲中で使用される特徴のサイズ、量、及び物理的性質を表現する全ての数は、すべての例において「約」という用語によって修飾されるものとして理解されるべきである。したがって、特に断らない限り、前述の明細書及び添付の特許請求の範囲に記載された数値パラメータは、本明細書に開示する教示を利用する当業者が得ようとする所望の特性に応じて変化し得る近似値である。したがって、端点による数値範囲の使用は、その範囲内の全ての数（例えば１〜５は、１．５、２、２．７５、３、３．８０、４、５を含み、）その範囲内の任意の範囲を含む。
【００３７】
前述の説明は例示的な実施形態の例示および説明のために提示された。それは網羅的であること、または開示された正確な形態に本発明の概念を限定することを意図しない。上記の教示に照らして多くの修正および変形が可能である。個別に、または任意の組み合わせで適用することができる開示された実施形態のいずれかまたはすべての機能は、限定するものではなく純粋に例示を意味する。特許請求の範囲は、この詳細な説明に限定されるものではなく、むしろ添付の特許請求の範囲によって決定されることが意図される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図１０】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図８Ｄ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【外国語明細書】
2016129082000001.pdf