(57)【要約】【課題】第１検査温度および第２検査温度における検査条件を容易に設定することができる電子部品搬送装置および電子部品検査装置を提供すること。【解決手段】電子部品搬送装置は、電子部品の検査条件を設定する設定表示部を備え、第１検査温度での前記電子部品の検査もしくは、前記第１検査温度よりも高い温度である第２検査温度での前記電子部品の検査が可能で、前記第１検査温度で検査する場合の前記検査条件と前記第２検査温度で検査する場合の前記検査条件とを設定する設定画面を、前記設定表示部で切り替え可能である。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品の検査条件を設定する設定表示部を備え、
第１検査温度での前記電子部品の検査もしくは、前記第１検査温度よりも高い温度である第２検査温度での前記電子部品の検査が可能であり、
前記第１検査温度で検査する場合の前記検査条件と前記第２検査温度で検査する場合の前記検査条件とを設定する設定画面を、前記設定表示部で切り替え可能であることを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項２】
前記電子部品の搬送を行う搬送部を備え、
前記検査条件は、前記搬送部により前記電子部品を搬送する場合の搬送速度を含む請求項１に記載の電子部品搬送装置。
【請求項３】
前記設定画面は、前記第１検査温度で検査する場合の前記検査条件を設定する第１設定画面と、前記第２検査温度で検査する場合の前記検査条件を設定する第２設定画面とを有する請求項１または２に記載の電子部品搬送装置。
【請求項４】
前記第１設定画面は、第１タブを備え、
前記第２設定画面は、第２タブを備え、
前記設定表示部には、前記第１タブと前記第２タブとを同時に表示することが可能であり、
前記第１タブおよび前記第２タブのいずれか一方を選択することにより、前記第１設定画面と前記第２設定画面とを切り替えることが可能である請求項３に記載の電子部品搬送装置。
【請求項５】
前記設定表示部には、選択された前記第１設定画面および前記第２設定画面のうちのいずれか一方が優先的に表示される請求項３または４に記載の電子部品搬送装置。
【請求項６】
前記第１設定画面と前記第２設定画面とは、色が異なる請求項３ないし５のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項７】
前記第１設定画面は、寒色であり、前記第２設定画面は、暖色である請求項３ないし６のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項８】
前記寒色の波長域は、４００〜５８０ｎｍであり、前記暖色の波長域は、５８１〜８００ｎｍである請求項７に記載の電子部品搬送装置。
【請求項９】
前記第１設定画面は、青色であり、前記第２設定画面は、赤色である請求項３ないし８のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１０】
前記第１設定画面および前記第２設定画面は、前記検査条件を入力する入力部を有し、
前記入力部にて前記検査条件を入力する際、テンキー機能を有する入力画面が、前記第１設定画面または前記第２設定画面と重なって表示される請求項３ないし９のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１１】
前記入力画面は、入力する前記入力部とずれた位置に表示される請求項１０に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１２】
予め設定された前記検査条件の最小値および最大値を前記第１設定画面および前記第２設定画面に表示することが可能であり、
前記検査条件は、前記最小値以上、前記最大値以下の範囲内で設定することが可能である請求項３ないし１１のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１３】
前記電子部品を搬送する搬送部を複数有し、
前記設定画面は、それぞれ、複数の前記搬送部における各前記検査条件を一括して表示する一括設定画面と、複数の前記搬送部における各前記検査条件を個別に表示する複数の個別設定画面とを有する請求項１ないし１２のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１４】
前記一括設定画面と複数の前記個別設定画面とは連動している請求項１３に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１５】
前記一括設定画面および複数の前記個別設定画面は、それぞれ、前記第１検査温度で検査する場合の前記検査条件を設定する第１設定画面と、前記第２検査温度で検査する場合の前記検査条件とを設定する第２設定画面とを有する請求項１３または１４に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１６】
前記一括設定画面が有する前記第１設定画面および前記第２設定画面には、それぞれ、複数の前記搬送部を一括して選択する一括選択ボタンと、複数の前記搬送部の選択を一括して解除する一括解除ボタンとを有する請求項１５に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１７】
前記検査条件は、前記搬送部により前記電子部品が搬送される際の搬送速度と、前記搬送部により前記電子部品が搬送される際の搬送加速度とを含み、
前記一括設定画面が有する前記第１設定画面および前記第２設定画面は、それぞれ、複数の前記搬送部の前記搬送速度および前記搬送加速度を一括して設定する第１操作部を有する請求項１６に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１８】
前記検査条件は、前記搬送部により前記電子部品が搬送される際の搬送速度と、前記搬送部により前記電子部品が搬送される際の搬送加速度とを含み、
前記一括設定画面が有する前記第１設定画面および前記第２設定画面は、それぞれ、複数の前記搬送部の各前記搬送速度を一括して設定することと、複数の前記搬送部の各前記搬送加速度を一括して設定することとのうちの少なくとも一方が可能である第２操作部を有する請求項１６または１７に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１９】
電子部品を検査する検査部と、
電子部品の検査条件を設定する設定表示部と、を備え、
第１検査温度での前記電子部品の検査もしくは、前記第１検査温度よりも高い温度である第２検査温度での前記電子部品の検査が可能であり、
前記第１検査温度で検査する場合の前記検査条件と前記第２検査温度で検査する場合の前記検査条件とを設定する設定画面を、前記設定表示部で切り替え可能であることを特徴とする電子部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品搬送装置および電子部品検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えばＩＣデバイス等の電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置が知られている。
【０００３】
電子部品検査装置の一例として、例えば、特許文献１に、ＩＣデバイスの試験（検査）を行う試験機と、ＩＣデバイスを試験機に搬送する自動機とを有する試験装置が開示されている。試験機は、ＩＣデバイスを試験する試験部と、試験の制御を行う制御部と、ＩＣデバイスの温度の制御を行う温度制御部とを有する。自動機は、未試験のＩＣデバイスを載置するＩＣトレイを置くＩＣトレイ置き場と、試験後のＩＣデバイスを載置するＩＣトレイを置くＩＣトレイ置き場と、ＩＣデバイスの搬送等を制御する制御部とを有する。
【０００４】
また、特許文献１に記載の試験装置では、ＩＣデバイスを所定温度に冷却または加熱しながらＩＣデバイスを試験する。また、ＩＣデバイスが載置されているＩＣトレイには、ＩＣデバイスの試験温度や試験条件が組み込まれたバーコードが貼り付けられている。そして、特許文献１に記載の試験装置では、バーコードを読み込むことにより、バーコードに組み込まれた試験温度や試験条件に応じて、試験装置の各部が作動する。これにより、ＩＣデバイスの試験が行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−３１０２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、このような特許文献１に記載の試験装置では、ＩＣトレイ毎に試験条件のバーコードを貼る作業を要するため、その作業が煩雑であるという問題がある。
【０００７】
本発明の目的は、第１検査温度および第２検査温度における検査条件を容易に設定することができる電子部品搬送装置および電子部品検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００９】
［適用例１］
本発明の電子部品搬送装置は、電子部品の検査条件を設定する設定表示部を備え、
第１検査温度での前記電子部品の検査もしくは、前記第１検査温度よりも高い温度である第２検査温度での前記電子部品の検査が可能であり、
前記第１検査温度で検査する場合の前記検査条件と前記第２検査温度で検査する場合の前記検査条件とを設定する設定画面を、前記設定表示部で切り替え可能であることを特徴とする。
【００１０】
これにより、第１検査温度および第２検査温度における検査条件を容易に設定することができる。
【００１１】
［適用例２］
本発明の電子部品搬送装置では、前記電子部品の搬送を行う搬送部を備え、
前記検査条件は、前記搬送部により前記電子部品を搬送する場合の搬送速度を含むことが好ましい。
【００１２】
これにより、設定表示部にて搬送速度を設定することができるため、搬送部の搬送速度を、例えば検査状況に応じて、より容易に変更することができる。
【００１３】
［適用例３］
本発明の電子部品搬送装置では、前記設定画面は、前記第１検査温度で検査する場合の前記検査条件を設定する第１設定画面と、前記第２検査温度で検査する場合の前記検査条件を設定する第２設定画面とを有することが好ましい。
【００１４】
これにより、作業者が、第１検査温度での検査条件の設定と、第２検査温度での検査条件の設定とを間違えることを低減することができる。
【００１５】
［適用例４］
本発明の電子部品搬送装置では、前記第１設定画面は、第１タブを備え、
前記第２設定画面は、第２タブを備え、
前記設定表示部には、前記第１タブと前記第２タブとを同時に表示することが可能であり、
前記第１タブおよび前記第２タブのいずれか一方を選択することにより、前記第１設定画面と前記第２設定画面とを切り替えることが可能であることが好ましい。
【００１６】
これにより、第１検査温度での検査条件と第２検査温度での検査条件とをより容易に切り替えることができ、よって、それぞれの検査条件をより容易に設定することができる。
【００１７】
［適用例５］
本発明の電子部品搬送装置では、前記設定表示部には、選択された前記第１設定画面および前記第２設定画面のうちのいずれか一方が優先的に表示されることが好ましい。
【００１８】
これにより、作業者が、第１検査温度での検査条件の設定と、第２検査温度での検査条件の設定とを間違えることをより低減することができる。
【００１９】
［適用例６］
本発明の電子部品搬送装置では、前記第１設定画面と前記第２設定画面とは、色が異なることが好ましい。
【００２０】
これにより、作業者が、第１設定画面と、第２設定画面とを視覚的に判別し易くなる。そのため、作業者が、第１検査温度での検査条件の設定と、第２検査温度での検査条件の設定とを間違えることをより低減することができる。
【００２１】
［適用例７］
本発明の電子部品搬送装置では、前記第１設定画面は、寒色であり、前記第２設定画面は、暖色であることが好ましい。
【００２２】
これにより、作業者が、第１設定画面と、第２設定画面とをより容易に判別することができる。
【００２３】
［適用例８］
本発明の電子部品搬送装置では、前記寒色の波長域は、４００〜５８０ｎｍであり、前記暖色の波長域は、５８１〜８００ｎｍであることが好ましい。
【００２４】
これにより、作業者が、第１設定画面と、第２設定画面とをさらに容易に判別することができる。
【００２５】
［適用例９］
本発明の電子部品搬送装置では、前記第１設定画面は、青色であり、前記第２設定画面は、赤色であることが好ましい。
【００２６】
これにより、作業者が、第１設定画面と、第２設定画面とをさらに容易に判別することができる。
【００２７】
［適用例１０］
本発明の電子部品搬送装置では、前記第１設定画面および前記第２設定画面は、前記検査条件を入力する入力部を有し、
前記入力部にて前記検査条件を入力する際、テンキー機能を有する入力画面が、前記第１設定画面または前記第２設定画面と重なって表示されることが好ましい。
【００２８】
これにより、第１検査温度での検査条件や第２検査温度での検査条件をより容易に設定することができる。
【００２９】
［適用例１１］
本発明の電子部品搬送装置では、前記入力画面は、入力する前記入力部とずれた位置に表示されることが好ましい。
【００３０】
これにより、作業者は検査条件の入力をより容易に行うことができる。そのため、検査条件を設定する作業の作業性をより向上させることができる。
【００３１】
［適用例１２］
本発明の電子部品搬送装置では、予め設定された前記検査条件の最小値および最大値を前記第１設定画面および前記第２設定画面に表示することが可能であり、
前記検査条件は、前記最小値以上、前記最大値以下の範囲内で設定することが可能であることが好ましい。
【００３２】
これにより、作業者は検査条件の入力をより容易に行うことができる。そのため、検査条件を設定する作業の作業性をより向上させることができる。
【００３３】
［適用例１３］
本発明の電子部品搬送装置では、前記電子部品を搬送する搬送部を複数有し、
前記設定画面は、それぞれ、複数の前記搬送部における各前記検査条件を一括して表示する一括設定画面と、複数の前記搬送部における各前記検査条件を個別に表示する複数の個別設定画面とを有することが好ましい。
【００３４】
これにより、作業者は入力したい検査条件に応じて一括設定画面と個別設定画面とを使い分けることができる。そのため、検査条件を設定する作業の作業性をより向上させることができる。
【００３５】
［適用例１４］
本発明の電子部品搬送装置では、前記一括設定画面と複数の前記個別設定画面とは連動していることが好ましい。
【００３６】
これにより、作業者は入力したい検査条件を一括設定画面および個別設定画面のいずれか一方にて設定すれば、その設定が他方に反映されるため、検査条件を設定する作業の作業性をさらに向上させることができる。
【００３７】
［適用例１５］
本発明の電子部品搬送装置では、前記一括設定画面および複数の前記個別設定画面は、それぞれ、前記第１検査温度で検査する場合の前記検査条件を設定する第１設定画面と、前記第２検査温度で検査する場合の前記検査条件とを設定する第２設定画面とを有することが好ましい。
【００３８】
これにより、作業者が第１検査温度での検査条件の設定と第２検査温度での検査条件の設定とを間違えることをより低減することができる。
【００３９】
［適用例１６］
本発明の電子部品搬送装置では、前記一括設定画面が有する前記第１設定画面および前記第２設定画面には、それぞれ、複数の前記搬送部を一括して選択する一括選択ボタンと、複数の前記搬送部の選択を一括して解除する一括解除ボタンとを有することが好ましい。
【００４０】
これにより、作業者は複数の搬送部の検査条件を一括して設定することができるため、検査条件を設定する作業の作業性をより向上させることができる。
【００４１】
［適用例１７］
本発明の電子部品搬送装置では、前記検査条件は、前記搬送部により前記電子部品が搬送される際の搬送速度と、前記搬送部により前記電子部品を搬送される際の搬送加速度とを含み、
前記一括設定画面が有する前記第１設定画面および前記第２設定画面は、それぞれ、複数の前記搬送部の前記搬送速度および前記搬送加速度を一括して設定する第１操作部を有することが好ましい。
【００４２】
これにより、複数の搬送部の搬送速度や搬送加速度を一括して設定することができるため、検査条件を設定する作業の作業性をより向上させることができる。
【００４３】
［適用例１８］
本発明の電子部品搬送装置では、前記検査条件は、前記搬送部により前記電子部品が搬送される際の搬送速度と、前記搬送部により前記電子部品が搬送される際の搬送加速度とを含み、
前記一括設定画面が有する前記第１設定画面および前記第２設定画面は、それぞれ、複数の前記搬送部の各前記搬送速度を一括して設定することと、複数の前記搬送部の各前記搬送加速度を一括して設定することとのうちの少なくとも一方が可能である第２操作部を有することが好ましい。
【００４４】
これにより、作業者は、搬送速度および搬送加速度のうちの所望の方のみを単独で設定することができるため、検査条件を設定する作業の作業性をより向上させることができる。
【００４５】
［適用例１９］
本発明の電子部品検査装置は、電子部品を検査する検査部と、
前記電子部品の検査条件を設定する設定表示部と、を備え、
第１検査温度での前記電子部品の検査もしくは、前記第１検査温度よりも高い温度である第２検査温度での前記電子部品の検査が可能であり、
記第１検査温度で検査する場合の前記検査条件と前記第２検査温度で検査する場合の前記検査条件とを設定する設定画面を、前記設定表示部で切り替え可能であることを特徴とする。
【００４６】
これにより、第１検査温度および第２検査温度における検査条件を容易に設定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の電子部品検査装置の好適な実施形態を示す概略斜視図である。
【図２】図１に示す検査装置（電子部品検査装置）の概略平面図である。
【図３】図１に示す検査装置が有する温度調整部を示す断面模式図である。
【図４】図１に示す検査装置の制御装置と設定表示部とを示すブロック図である。
【図５】図１に示すモニターを示す図である。
【図６】図１に示すモニターにバーが表示された状態を示す図である。
【図７】図１に示すモニターに設定画面（一括設定画面Ｗ１）が表示された状態を示す図である。
【図８】図７に示す設定画面（一括設定画面Ｗ１）が有する高温用パネルを示す図である
【図９】図７に示す設定画面（一括設定画面Ｗ１）が有する低温用パネルを示す図である。
【図１０】図７に示す設定画面（一括設定画面Ｗ１）が有する入力画面ＳＷを示す図である。
【図１１】入力画面ＳＷにより動作速度を設定し終えた後の設定画面（一括設定画面Ｗ１）が有する高温用パネルの状態を示す図である。
【図１２】図１に示すモニターに表示される設定画面（個別設定画面Ｗ２）を示す図である。
【図１３】図１に示すモニターに表示される設定画面（個別設定画面Ｗ３）を示す図である。
【図１４】図１に示すモニターに表示される設定画面（個別設定画面Ｗ４）を示す図である。
【図１５】図１に示すモニターに表示される設定画面（個別設定画面Ｗ５）を示す図である。
【図１６】図１に示すモニターに表示される設定画面（個別設定画面Ｗ６）を示す図である。
【図１７】図１に示すモニターに表示される設定画面（個別設定画面Ｗ７）を示す図である。
【図１８】図１に示すモニターに表示される設定画面（個別設定画面Ｗ８）を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００４８】
以下、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置について添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００４９】
図１は、本発明の電子部品検査装置の好適な実施形態を示す概略斜視図である。図２は、図１に示す検査装置（電子部品検査装置）を示す概略平面図である。図３は、図１に示す検査装置が有する温度調整部を示す断面模式図である。図４は、図１に示す検査装置の制御装置と設定表示部とを示すブロック図である。図５は、図１に示すモニターを示す図である。図６は、図１に示すモニターにバーが表示された状態を示す図である。図７は、図１に示すモニターに設定画面（一括設定画面Ｗ１）が表示された状態を示す図である。図８は、図７に示す設定画面（一括設定画面Ｗ１）が有する高温用パネルを示す図である。図９は、図７に示す設定画面（一括設定画面Ｗ１）が有する低温用パネルを示す図である。図１０は、図７に示す設定画面（一括設定画面Ｗ１）が有する入力画面ＳＷを示す図である。図１１は、入力画面ＳＷにより動作速度を設定し終えた後の設定画面（一括設定画面Ｗ１）が有する高温用パネルの状態を示す図である。図１２は、図１に示すモニターに表示される設定画面（個別設定画面Ｗ２）を示す図である。図１３は、図１に示すモニターに表示される設定画面（個別設定画面Ｗ３）を示す図である。図１４は、図１に示すモニターに表示される設定画面（個別設定画面Ｗ４）を示す図である。図１５は、図１に示すモニターに表示される設定画面（個別設定画面Ｗ５）を示す図である。図１６は、図１に示すモニターに表示される設定画面（個別設定画面Ｗ６）を示す図である。図１７は、図１に示すモニターに表示される設定画面（個別設定画面Ｗ７）を示す図である。図１８は、図１に示すモニターに表示される設定画面（個別設定画面Ｗ８）を示す図である。
【００５０】
なお、以下では、説明の便宜上、図１に示すように、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とする。また、Ｘ軸とＹ軸を含むＸＹ平面が水平となっており、Ｚ軸が鉛直となっている。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ方向」とも言い、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ方向」とも言い、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ方向」とも言う。また、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸の各軸の矢印の方向をプラス側、矢印と反対の方向をマイナス側と言う。また、電子部品の搬送方向の上流側を単に「上流側」とも言い、下流側を単に「下流側」とも言う。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干（例えば５°未満程度）傾いた状態も含む。
【００５１】
図１に示す検査装置（電子部品検査装置）１は、例えば、ＢＧＡ（Ball grid array）パッケージやＬＧＡ（Land grid array）パッケージ等のＩＣデバイス、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）、ＣＩＳ（CMOS Image Sensor）等の電子部品の電気的特性を検査・試験（以下単に「検査」と言う）するための装置である。なお、以下では、説明の便宜上、検査を行う前記電子部品としてＩＣデバイスを用いる場合について代表して説明し、これを「ＩＣデバイス９０」とする。
【００５２】
図１および図２に示すように、検査装置１は、ＩＣデバイス９０を搬送する電子部品搬送装置１０と、検査部１６と、表示部４０および操作部５０を有する設定表示部６０とを備えている。なお、本実施形態では、検査部１６、および、後述する制御装置３０が有する検査制御部３１２を除く構成によって電子部品搬送装置１０が構成されている。
【００５３】
また、図１および図２に示すように、検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１と、デバイス供給領域Ａ２と、検査部１６が設けられている検査領域Ａ３と、デバイス回収領域Ａ４と、トレイ除去領域Ａ５とに分けられている。この検査装置１において、ＩＣデバイス９０は、トレイ供給領域Ａ１からトレイ除去領域Ａ５まで各領域を順に経由し、途中の検査領域Ａ３で検査が行われる。
【００５４】
また、検査装置１は、常温環境下、低温（第１検査温度）環境下および高温（第２検査温度）環境下で検査を行うことができるよう構成されている。
【００５５】
以下、検査装置１について領域Ａ１〜Ａ５ごとに説明する。
〈トレイ供給領域Ａ１〉
トレイ供給領域Ａ１は、未検査状態の複数のＩＣデバイス９０が配列されたトレイ２００が供給される領域である。トレイ供給領域Ａ１では、多数のトレイ２００を積み重ねることができる。
【００５６】
〈デバイス供給領域Ａ２〉
デバイス供給領域Ａ２は、トレイ供給領域Ａ１からのトレイ２００上の複数のＩＣデバイス９０がそれぞれ検査領域Ａ３まで供給される領域である。なお、トレイ供給領域Ａ１とデバイス供給領域Ａ２とを跨ぐように、トレイ２００を搬送するトレイ搬送機構１１Ａ、１１Ｂが設けられている。
【００５７】
デバイス供給領域Ａ２には、温度調整部（ソークプレート）１２と、供給ロボット（デバイス搬送ヘッド）１３と、供給空トレイ搬送機構１５とが設けられている。
【００５８】
温度調整部１２は、ＩＣデバイス９０を配置し、配置されたＩＣデバイス９０を加熱または冷却して、当該ＩＣデバイス９０を検査に適した温度に調整（制御）する装置である。図１に示す構成では、温度調整部１２は、Ｙ方向に２つ配置、固定されている。そして、トレイ搬送機構１１Ａによってトレイ供給領域Ａ１から搬入されたトレイ２００上のＩＣデバイス９０は、いずれかの温度調整部１２に搬送され、載置される。
【００５９】
このような温度調整部１２は、具体的には、図３（ａ）に示すように、温度制御プレート１２１と、ＩＣデバイス９０が配置されるプレート１２２と、これらを囲むように設けられたハウジング１２３と、ハウジング１２３を囲むように設けられたシャッターカバー（プレートカバー）１２４とを有している。また、図示しないが、温度調整部１２には、温度調整部１２におけるＩＣデバイス９０の温度を検出する温度検出部が設けられている。
【００６０】
温度調整部１２は、図示しない加熱機構により加熱可能に、また、図示しない冷却機構により冷却可能に構成されている。これにより、温度調整部１２は、プレート１２２に配置されたＩＣデバイス９０を加熱または冷却することができる。
【００６１】
ハウジング１２３の上部（図３中における上部）には、複数の開口部１２３１が設けられている。開口部１２３１は、プレート１２２上のＩＣデバイス９０に対応する箇所に設けられている。また、シャッターカバー１２４の上部（図３中における上部）には、複数の開口部１２４１が設けられている。そして、シャッターカバー１２４は、Ｙ方向にスライド可能に構成されており、図３（ａ）に示す閉状態と、図３（ｂ）および図３（ｃ）に示す開状態とをとる。シャッターカバー１２４は、図３（ａ）に示す閉状態では、開口部１２４１が開口部１２３１とずれるように配置される。一方、シャッターカバー１２４は、図３（ｂ）および図３（ｃ）に示す開状態では、開口部１２４１と開口部１２３１とが重なるように配置される。なお、開状態のときに、ＩＣデバイス９０をプレート１２２に配置したり、ＩＣデバイス９０をプレート１２２から搬送したりすることができる。
【００６２】
図２に示す供給ロボット１３は、ＩＣデバイス９０の搬送を行う搬送部であり、デバイス供給領域Ａ２内でＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向に移動可能に支持されている。この供給ロボット１３は、トレイ供給領域Ａ１から搬入されたトレイ２００と温度調整部１２との間のＩＣデバイス９０の搬送と、温度調整部１２と後述するデバイス供給部１４との間のＩＣデバイス９０の搬送とを担っている。なお、供給ロボット１３は、ＩＣデバイス９０を把持する複数の把持部（図示せず）を有している。各把持部は、吸着ノズルを備えており、ＩＣデバイス９０を吸着することで把持することができる。
【００６３】
供給空トレイ搬送機構１５は、全てのＩＣデバイス９０が除去された状態の空のトレイ２００をＸ方向に搬送する搬送部（搬送機構）である。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、トレイ搬送機構１１Ｂによってデバイス供給領域Ａ２からトレイ供給領域Ａ１に戻される。
【００６４】
〈検査領域Ａ３〉
検査領域Ａ３は、ＩＣデバイス９０が検査される領域である。この検査領域Ａ３には、第１シャトル（搬送部）２３Ａおよび第２シャトル（搬送部）２３Ｂと、検査部１６と、測定ロボット（デバイス搬送ヘッド）１７とが設けられている。
【００６５】
第１シャトル２３Ａおよび第２シャトル２３Ｂは、それぞれ、検査領域Ａ３をＸ方向に跨ぐように設けられている。この第１シャトル２３Ａおよび第２シャトル２３Ｂは、それぞれ、ＩＣデバイス９０を搬送する搬送部であり、デバイス供給部（供給シャトル）１４と、デバイス回収部（回収シャトル）１８とを有している。
【００６６】
デバイス供給部１４は、温度調整（温度制御）されたＩＣデバイス９０を検査部１６近傍まで搬送する。このデバイス供給部１４は、デバイス供給領域Ａ２と検査領域Ａ３との間をＸ方向に沿って移動可能に支持されている。そして、温度調整部１２上のＩＣデバイス９０は、第１シャトル２３Ａおよび第２シャトル２３Ｂのいずれかのデバイス供給部１４に搬送され、載置される。なお、この搬送は、供給ロボット１３によって行われる。また、デバイス供給部１４は、温度調整部１２と同様に、ＩＣデバイス９０を加熱または冷却することができるように構成されている。また、図示はしないが、デバイス供給部１４には、デバイス供給部１４におけるＩＣデバイス９０の温度を検出する温度検出部が設けられている。
【００６７】
デバイス回収部１８は、検査部１６での検査が終了したＩＣデバイス９０をデバイス回収領域Ａ４まで搬送する。このデバイス回収部１８は、検査領域Ａ３とデバイス回収領域Ａ４との間をＸ方向に沿って移動可能に支持されている。そして、検査部１６上のＩＣデバイス９０は、第１シャトル２３Ａおよび第２シャトル２３Ｂのいずれかのデバイス回収部１８に搬送され、載置される。なお、この搬送は、測定ロボット１７によって行われる。また、図示はしないが、デバイス回収部１８には、デバイス回収部１８におけるＩＣデバイス９０の温度を検出する温度検出部が設けられている。
【００６８】
検査部１６は、ＩＣデバイス９０の電気的特性を検査・試験するユニットであり、ＩＣデバイス９０を検査する場合にそのＩＣデバイス９０を保持する保持部である。検査部１６には、ＩＣデバイス９０を保持した状態で当該ＩＣデバイス９０の端子と電気的に接続される複数のプローブピンが設けられている。そして、ＩＣデバイス９０の端子とプローブピンとが電気的に接続され（接触し）、プローブピンを介してＩＣデバイス９０の検査が行われる。また、検査部１６は、温度調整部１２と同様に、ＩＣデバイス９０を加熱または冷却することができるように構成されている。また、図示はしないが、検査部１６には、検査部１６におけるＩＣデバイス９０の温度を検出する温度検出部が設けられている。
【００６９】
測定ロボット１７は、ＩＣデバイス９０の搬送を行う搬送部であり、検査領域Ａ３内で移動可能に支持されている。この測定ロボット１７は、デバイス供給領域Ａ２から搬入されたデバイス供給部１４上のＩＣデバイス９０を検査部１６上に搬送し、載置することができる。また、ＩＣデバイス９０を検査する場合に、測定ロボット１７は、ＩＣデバイス９０を検査部１６に向けて押圧し、これにより、ＩＣデバイス９０を検査部１６に当接させる。これによって、前述したように、ＩＣデバイス９０の端子と検査部１６のプローブピンとが電気的に接続される。なお、測定ロボット１７は、ＩＣデバイス９０を把持する複数の把持部（図示せず）を有している。各把持部は、吸着ノズルを備えており、ＩＣデバイス９０を吸着することで把持することができる。また、測定ロボット１７は、温度調整部１２と同様に、ＩＣデバイス９０を加熱または冷却することができるように構成されている。また、図示はしないが、測定ロボット１７には、測定ロボット１７におけるＩＣデバイス９０の温度を検出する温度検出部が設けられている。
【００７０】
〈デバイス回収領域Ａ４〉
デバイス回収領域Ａ４は、検査が終了したＩＣデバイス９０が回収される領域である。このデバイス回収領域Ａ４には、回収用トレイ１９と、回収ロボット（デバイス搬送ヘッド）２０と、回収空トレイ搬送機構（トレイ搬送機構）２１とが設けられている。また、デバイス回収領域Ａ４には、３つの空のトレイ２００も用意されている。
【００７１】
回収用トレイ１９は、ＩＣデバイス９０が載置される載置部であり、デバイス回収領域Ａ４内に固定され、図２に示す構成では、Ｘ方向に沿って３つ配置されている。また、空のトレイ２００も、ＩＣデバイス９０が載置される載置部であり、Ｘ方向に沿って３つ配置されている。そして、デバイス回収領域Ａ４に移動してきたデバイス回収部１８上のＩＣデバイス９０は、これらの回収用トレイ１９および空のトレイ２００のうちのいずれかに搬送され、載置される。これにより、ＩＣデバイス９０は、検査結果ごとに回収されて、分類されることとなる。
【００７２】
回収ロボット２０は、ＩＣデバイス９０の搬送を行う搬送部であり、デバイス回収領域Ａ４内でＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向に移動可能に支持されている。この回収ロボット２０は、ＩＣデバイス９０をデバイス回収部１８から回収用トレイ１９や空のトレイ２００に搬送することができる。なお、回収ロボット２０は、ＩＣデバイス９０を把持する複数の把持部（図示せず）を有している。各把持部は、吸着ノズルを備えており、ＩＣデバイス９０を吸着することで把持することができる
回収空トレイ搬送機構２１は、トレイ除去領域Ａ５から搬入された空のトレイ２００をＸ方向に搬送させる搬送部（搬送機構）である。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、ＩＣデバイス９０が回収される位置に配されることとなる、すなわち、前記３つの空のトレイ２００のうちのいずれかとなり得る。
【００７３】
〈トレイ除去領域Ａ５〉
トレイ除去領域Ａ５は、検査済み状態の複数のＩＣデバイス９０が配列されたトレイ２００が回収され、除去される領域である。トレイ除去領域Ａ５では、多数のトレイ２００を積み重ねることができる。なお、デバイス回収領域Ａ４とトレイ除去領域Ａ５とを跨ぐように、トレイ２００を１枚ずつ搬送するトレイ搬送機構２２Ａ、２２Ｂが設けられている。トレイ搬送機構２２Ａは、検査済みのＩＣデバイス９０が載置されたトレイ２００をデバイス回収領域Ａ４からトレイ除去領域Ａ５に搬送する。トレイ搬送機構２２Ｂは、ＩＣデバイス９０を回収するための空のトレイ２００をトレイ除去領域Ａ５からデバイス回収領域Ａ４に搬送する。
【００７４】
以上説明したような各領域Ａ１〜Ａ５は、互いに、図示しない壁部やシャッター等により仕切られている。そして、デバイス供給領域Ａ２は、壁部やシャッター等で画成された第１室Ｒ１となっており、検査領域Ａ３は、壁部やシャッター等で画成された第２室Ｒ２となっており、デバイス回収領域Ａ４は、壁部やシャッター等で画成された第３室Ｒ３となっている。また、第１室Ｒ１、第２室Ｒ２および第３室Ｒ３は、それぞれ、気密性や断熱性を確保することができるように構成されている。これにより、第１室Ｒ１、第２室Ｒ２および第３室Ｒ３は、それぞれ、湿度や温度を可能な限り維持することができる。
【００７５】
また、図示はしないが、検査装置１は、ドライエアー供給機構を有している。ドライエアー供給機構は、第１室Ｒ１、第２室Ｒ２および第３室Ｒ３に湿度の低い空気、窒素等の気体（以下、ドライエアーとも言う）を供給できるよう構成されている。そのため、必要に応じて、ドライエアーを供給することにより、ＩＣデバイス９０の結露、結氷（着氷）を防止することができる。
【００７６】
次に、制御装置３０と、表示部４０および操作部５０を有する設定表示部６０とについて説明する。
【００７７】
〈制御装置３０〉
図４に示すように、制御装置３０は、検査装置１の各部を制御する機能を有し、駆動制御部３１１および検査制御部３１２を有する制御部３１と、記憶部３２とを有している。
【００７８】
駆動制御部３１１は、各部（トレイ搬送機構１１Ａ、１１Ｂ、温度調整部１２、供給ロボット１３、供給空トレイ搬送機構１５、デバイス供給部１４とデバイス回収部１８とを有する第１シャトル２３Ａおよび第２シャトル２３Ｂ、検査部１６、測定ロボット１７、デバイス回収部１８、回収ロボット２０、回収空トレイ搬送機構２１およびトレイ搬送機構２２Ａ、２２Ｂ）の駆動等を制御する。検査制御部３１２は、例えば、記憶部３２内に記憶されたプログラム（ソフトウェア）に基づいて、検査部１６に配置されたＩＣデバイス９０の検査等を行うことも可能である。
【００７９】
また、制御部３１は、各部の駆動や検査結果等を表示部４０に表示する機能や、操作部５０からの入力に従って処理を行う機能等をも有している。
記憶部３２は、制御部３１が各種処理を行うためのプログラムやデータ等を記憶する。
【００８０】
〈設定表示部６０〉
前述したように、設定表示部６０は、表示部４０および操作部５０を有する。
【００８１】
表示部４０は、各部の駆動や検査結果等を表示するモニター４１を有する。モニター４１は、例えば、液晶表示パネルや有機ＥＬ等の表示パネル等で構成することができる。作業者は、このモニター４１を介して、検査装置１の各種処理や条件等を設定したり、確認したりすることができる。なお、表示部４０は、図１に示すように、検査装置１の図中上方に配置されている。
【００８２】
操作部５０は、マウス５１等の入力デバイスであり、作業者による操作に応じた操作信号を制御部３１に出力する。したがって、作業者は、マウス５１を用いて、制御部３１に対して各種処理等の指示を行うことができる。なお、マウス５１（操作部５０）は、図１に示すように、検査装置１の図中右側で、表示部４０に近い位置に配置されている。また、本実施形態では、操作部５０としてマウス５１を用いているが、操作部５０はこれに限定されず、例えばキーボード、トラックボール、タッチパネル等の入力デバイス等であってもよい。
以上、検査装置１の構成について簡単に説明した。
【００８３】
このような検査装置１は、前述したように、温度調整部１２、デバイス供給部１４、検査部１６および測定ロボット１７が、加熱および冷却可能に構成されている。このため、温度調整部１２、デバイス供給部１４、検査部１６および測定ロボット１７が加熱されると、その加熱に応じて、温度調整部１２、デバイス供給部１４、検査部１６および測定ロボット１７が配置されている第１室Ｒ１および第２室Ｒ２の温度が上昇する。これにより、高温環境下でのＩＣデバイス９０の検査を行うことができる。なお、高温環境下で検査をする場合には、温度調整部１２、デバイス供給部１４、検査部１６および測定ロボット１７は、例えば、３０℃〜１３０℃程度に加熱制御される。
【００８４】
また、温度調整部１２、デバイス供給部１４、検査部１６および測定ロボット１７が冷却されると、その冷却に応じて、第１室Ｒ１および第２室Ｒ２の温度も下降する。これにより、低温環境下でのＩＣデバイス９０の検査を行うことができる。なお、低温環境下で検査をする場合には、温度調整部１２、デバイス供給部１４、検査部１６および測定ロボット１７は、例えば、−６０℃〜２５℃程度に冷却制御される。
【００８５】
また、温度調整部１２、デバイス供給部１４、検査部１６および測定ロボット１７を常温に制御することで、常温環境下でのＩＣデバイス９０の検査を行うことができる。また、温度調整部１２、デバイス供給部１４、検査部１６および測定ロボット１７を加熱や冷却しないことにより、常温環境下でのＩＣデバイス９０の検査をすることも可能である。なお、常温環境下で検査をする場合には、温度調整部１２、デバイス供給部１４、検査部１６および測定ロボット１７は、例えば、２５℃〜３５℃程度に制御される。
【００８６】
このように、温度調整部１２、デバイス供給部１４、検査部１６および測定ロボット１７の温度を制御（調整）することで、常温環境下、低温環境下および高温環境下でのＩＣデバイス９０の検査をすることができる。なお、この制御では、必要に応じ第１室Ｒ１、第２室Ｒ２および第３室Ｒ３にドライエアーを供給することでＩＣデバイス９０の温度や湿度を制御する。また、この制御では、温度調整部１２、デバイス供給部１４、検査部１６およびデバイス回収部１８に各々設けられた温度検出部（図示せず）にてＩＣデバイス９０の温度を検出し、制御部３１にて、検出された温度に応じてフィードバック制御を行う。これにより、ＩＣデバイス９０は、搬送されている間、温度が設定温度付近に維持される。
【００８７】
また、本実施形態の検査装置１は、搬送部およびシャッターカバー１２４の検査条件（駆動条件）を設定表示部６０で設定することができるように構成されている。また、本実施形態の検査装置１では、常温環境下、高温環境下および低温環境下における各駆動条件を設定することができるように構成されている。
【００８８】
なお、前記搬送部とは、供給ロボット１３、供給空トレイ搬送機構１５、第１シャトル２３Ａ、第２シャトル２３Ｂ、測定ロボット１７、回収ロボット２０および回収空トレイ搬送機構２１のことを示す。また、前記検査条件（駆動条件）としては、例えば、動作速度（搬送速度）および加速度（搬送加速度）等が挙げられる。
【００８９】
以下、図５〜図１８を参照しつつ、設定表示部６０を用いた検査条件の設定について説明する。なお、以下では、各搬送部（供給ロボット１３、供給空トレイ搬送機構１５、第１シャトル２３Ａ、第２シャトル２３Ｂ、測定ロボット１７、回収ロボット２０および回収空トレイ搬送機構２１）と、シャッターカバー１２４と、を各々「駆動部」ということもある。
【００９０】
図５に示すように、検査装置１が起動されたとき、制御部３１は、モニター４１上に複数の画面（ウインドウ）ＷＤを表示する。また、制御部３１は、モニター４１の上部にバーＶ１を表示する。バーＶ１には、各種設定等を行うために用いられる複数のボタンＢ１が設けられている。複数のボタンＢ１のうち、「ＵｎｉｔＳｅｔ」と表示されたボタンＢ１１が、常温環境下、高温環境下および低温環境下における駆動部の検査条件を設定するために用いられる。
【００９１】
ここで、作業者は、マウス５１を用いた操作（例えば、クリック操作）により、制御部３１に対して、各種処理等の指示を行うことができる。前記操作は、作業者がマウス５１を用いてモニター４１上に表示されるマウスポインタ（図示せず）により行われる。
【００９２】
図６に示すように、作業者がボタンＢ１１を選択する操作を行うと、その操作に応じて、制御部３１はバーＶ１の下方にバーＶ２を表示する。バーＶ２には、各駆動部の検査条件を設定する設定画面を表示するために用いられる複数のアイコンＩ２１〜Ｉ２８が設けられている。アイコンＩ２１〜Ｉ２８には、それぞれ、各駆動部の名称等が簡潔に示されている。具体的には、バーＶ２には、「Ｓｐｅｅｄ」と表示されたアイコンＩ２１と、「ＩＮ  Ｉｎｐｕｔ  Ａｒｍ」と表示されたアイコンＩ２２と、「ＳＨＴ  Ｓｈｕｔｔｌｅ」と表示されたアイコンＩ２３と、「ＩＸ  Ｉｎｄｅｘ  Ｕｎｉｔ」と表示されたアイコンＩ２４と、「ＯＵＴ  Ｏｕｔｐｕｔ  Ａｒｍ」と表示されたアイコンＩ２５と、「ＴＲＹ  ＩＮ．Ｅ．Ｔｒａｙ」と表示されたアイコンＩ２６と、「ＴＲＹ  ＯＵＴ．Ｅ．Ｔｒａｙ」と表示されたアイコンＩ２７と、「ＰＬＴ  ＰｌａｔｅＣｏｖｅｒ」と表示されたアイコンＩ２８とが左から順に並んで設けられている。
【００９３】
アイコンＩ２１を選択すると、全ての駆動部の検査条件を設定する一括設定画面（設定画面）Ｗ１が表示される（図７、図８参照）。また、アイコンＩ２２〜Ｉ２８を選択すると、選択したアイコンＩ２２〜Ｉ２８に対応した個別設定画面（設定画面）Ｗ２〜Ｗ８が表示される（図１２〜図１８参照）。なお、アイコンＩ２１〜Ｉ２８の配列順序は、任意である。ただし、作業者の使用頻度や、検査装置１の上流側から順に配列するのが好ましい。これにより、作業性を向上させることができる。
【００９４】
以下に、一括設定画面Ｗ１と、個別設定画面Ｗ２〜Ｗ８とについて説明する。
〈一括設定画面〉
図７に示すように、作業者がアイコンＩ２１を選択する操作を行うと、その操作に応じて、制御部３１は一括設定画面Ｗ１を表示する。一括設定画面Ｗ１は、バーＶ１の下方に表示される。また、一括設定画面Ｗ１は、画面ＷＤと重なり、かつ、画面ＷＤの手前に表示される。この一括設定画面Ｗ１では、全ての駆動部の動作速度および加速度を設定することができる。
【００９５】
この一括設定画面Ｗ１は、図８に示す高温用パネル（第２設定画面）Ｐ２と、図９に示す低温用パネル（第１設定画面）Ｐ１を有している。高温用パネルＰ２は、高温環境下における各駆動部の動作速度および加速度を設定するのに用いられる。低温用パネルＰ１は、低温環境下における各駆動部の動作速度および加速度を設定するのに用いられる。なお、高温用パネルＰ２および低温用パネルＰ１は、それぞれ、常温環境下における各駆動部の動作速度および加速度を設定するのにも用いられる。
【００９６】
なお、前記低温とは、例えば寒冷地における冬季の気温であり、氷点下を下回る温度である。また、前記高温とは、例えば、熱帯地域の夏季の気温であったり、車のエンジンルーム内の高温時の温度であったりする。また、ＩＣデバイス９０（電子部品）に求められる高温環境あるいは低温環境における信頼性として、例えば、−４０℃〜１２５℃で動作することが求められる場合がある。それゆえ、検査装置１における設定可能温度としては、−４５〜１５５℃、さらには、−４５〜１７５℃としている。なお、常温とは、例えば電子部品製造工場などにおける工場内の室温である。あるいは、通常の生活環境において不快にならない範囲での平均的な気温である場合もある。
【００９７】
また、高温用パネルＰ２は「Ａｍｂｉｅｎｔ／Ｈｉｇｈ」と表示されたタブ（第２タブ）ＴＢ２を備えている。低温用パネルＰ１は「Ｃｏｌｄ／Ａｍｂｉｅｎｔ  ｃｏｎｔｒｏｌ」と表示されたタブ（第１タブ）ＴＢ１を備えている。
【００９８】
一括設定画面Ｗ１において、これらタブＴＢ２、ＴＢ１は同時に表示される。そして、作業者が２つのタブＴＢ２、ＴＢ１のいずれか一方を選択する操作を行うと、一括設定画面Ｗ１上に、選択したタブに対応した高温用パネルＰ２または低温用パネルＰ１が優先的に（排他的に）表示される。
【００９９】
このようにタブＴＢ２、ＴＢ１を選択するという簡単な操作により、高温用パネルＰ２と低温用パネルＰ１とを切り替えることができる。このため、作業者が高温用パネルＰ２と低温用パネルＰ１とを間違えることを回避することができる。
【０１００】
さらに、高温用パネルＰ２の背景色と低温用パネルＰ１の背景色とは異なる色で表示される。具体的には、高温用パネルＰ２の背景色が赤色であり、低温用パネルＰ１の背景色が青色である。これにより、作業者は高温用パネルＰ２と低温用パネルＰ１とを視覚的に判別することができる。特に、赤色は高温であることを連想させ易く、青色は低温であることを連想させ易いため、作業者が高温用パネルＰ２と低温用パネルＰ１とを間違えることをより低減することができる。なお、赤色の波長域は、５９５ｎｍ〜８００ｎｍであり、青色の波長域は、４００ｎｍ〜５００ｎｍである。
【０１０１】
また、本実施形態では、高温用パネルＰ２の背景色は赤色であり、低温用パネルＰ１の背景色は青色であるが、各背景色はこれに限定されず、如何なる色であってもよい。ただし、高温用パネルＰ２の背景色は暖色であることが好ましく、低温用パネルＰ１の背景色は寒色であることが好ましい。これにより、本実施形態と同様に、作業者は高温用パネルＰ２と低温用パネルＰ１とをそれぞれ認識し易くなる。なお、寒色の波長域は、４００〜５８０ｎｍであり、暖色の波長域は、５８１〜８００ｎｍである。また、寒色とは、寒い印象を与える色、すなわち、青またはそれに近い色を示す。また、暖色とは、温かい印象を与える色、すなわち、赤色、橙色、黄色またはこれらに近い色を示す。
【０１０２】
また、タブＴＢ２の背景色とタブＴＢ１の背景色も異なる色で表示される。タブＴＢ２の背景色は高温用パネルＰ２の背景色に対応した色（本実施系形態では赤色）であり、タブＴＢ１の背景色は低温用パネルＰ１の背景色に対応した色（本実施系形態では青色）である。これにより、作業者は、タブＴＢ２とタブＴＢ１とを視覚的に判別することが容易となる。
【０１０３】
なお、本実施形態では、タブＴＢ２の背景色は赤色で、ＴＢ１の背景色は青色であるが、各背景色はこれに限定されず、如何なる色であってもよい。ただし、タブＴＢ２は高温用パネルＰ２と同等の色であるのが好ましく、タブＴＢ１は低温用パネルＰ１と同等の色であるのが好ましい。これにより、作業者がタブＴＢ２とタブＴＢ１とを間違えることをより低減することができ、よって、作業者が高温用パネルＰ２と低温用パネルＰ１とを間違えることをより低減することができる。
【０１０４】
このような高温用パネルＰ２および低温用パネルＰ１のそれぞれを用いて、全ての駆動部の動作速度および加速度を設定することができる。また、高温用パネルＰ２および低温用パネルＰ１は、それぞれにて設定された各駆動部の動作速度および加速度を別々に保存することができる。
【０１０５】
以下に、高温用パネルＰ２および低温用パネルＰ１について説明するが、高温用パネルＰ２および低温用パネルＰ１は、背景色が異なること以外、同様の構成であるため、以下では、高温用パネルＰ２について代表的に説明する。
【０１０６】
図８に示すように、高温用パネルＰ２には、各駆動部の動作速度および加速度を設定するために用いられる設定ユニット欄（Ｕｎｉｔｓ  ｔｏ  Ａｐｐｌｙ  Ｃｈａｎｇｅ）６１が設けられている。この設定ユニット欄６１は、各駆動部に関する名称６１１と、各駆動部の動作速度が入力されるテキストボックス（入力部）６１２と、各駆動部の加速度が入力されるテキストボックス（入力部）６１３と、各駆動部の動作速度の閾値を表示する閾値表示部６１４と、各駆動部の加速度の閾値を表示する閾値表示部６１５とを有している。
【０１０７】
設定ユニット欄６１には、名称６１１として、「Ｉｎｄｅｘ  Ａｒｍ」、「Ｉｎｐｕｔ  Ａｒｍ」、「Ｚ  Ａｘｉｓ」、「Ｈａｎｄ  Ｏｐｅｎ／Ｃｌｏｓｅ」、「Ｏｕｔｐｕｔ  Ａｒｍ」、「Ｚ  Ａｘｉｓ」、「Ｈａｎｄ  Ｏｐｅｎ／Ｃｌｏｓｅ」、「Ｓｈｕｔｔｌｅ  １」、「Ｓｈｕｔｔｌｅ  ２」、「Ｉｎｐｕｔ  Ｅｍｐｔｙ  Ｔｒａｙ  Ａｒｍ」、「Ｏｕｔｐｕｔ  Ｅｍｐｔｙ  Ｔｒａｙ  Ａｒｍ」、「Ｈｏｔｐｌａｔｅ  Ｃｏｖｅｒ」が上方から下方に並んで表示されている。
【０１０８】
「Ｉｎｄｅｘ  Ａｒｍ」は、測定ロボット１７のＹ−Ｚ平面内の移動について示している。「Ｉｎｐｕｔ  Ａｒｍ」は、供給ロボット１３のＸ−Ｙ平面内の移動について示している。「Ｉｎｐｕｔ  Ａｒｍ」の直下に表示された「Ｚ  Ａｘｉｓ」は、供給ロボット１３のＺ方向の移動について示し、「Ｈａｎｄ  Ｏｐｅｎ／Ｃｌｏｓｅ」は、供給ロボット１３の把持部（ハンド）の吸着（開閉）を示している。「Ｏｕｔｐｕｔ  Ａｒｍ」は、回収ロボット２０のＸ−Ｙ平面内の移動について示している。「Ｏｕｔｐｕｔ  Ａｒｍ」の直下に表示された「Ｚ  Ａｘｉｓ」は、回収ロボット２０のＺ方向の移動について示し、「Ｈａｎｄ  Ｏｐｅｎ／Ｃｌｏｓｅ」は、回収ロボット２０の把持部（ハンド）の吸着（開閉）を示している。「Ｓｈｕｔｔｌｅ  １」は、第１シャトル２３ＡのＸ方向の移動を示し、「Ｓｈｕｔｔｌｅ  ２」は、第２シャトル２３ＢのＸ方向の移動を示している。「Ｉｎｐｕｔ  Ｅｍｐｔｙ  Ｔｒａｙ  Ａｒｍ」は、供給空トレイ搬送機構１５のＸ方向の移動を示し、「Ｏｕｔｐｕｔ  Ｅｍｐｔｙ  Ｔｒａｙ  Ａｒｍ」は、回収空トレイ搬送機構２１のＸ方向の移動を示している。「Ｈｏｔｐｌａｔｅ  Ｃｏｖｅｒ」は、温度調整部１２のシャッターカバー１２４のＸ−Ｙ平面内の移動を示している。
【０１０９】
なお、これら名称６１１の表示順は、任意である。ただし、作業者の使用頻度や、検査装置１の上流側から順に配列するのが好ましい。これにより、作業性を向上されることができる。
【０１１０】
各名称６１１の右側には、各名称６１１に対応したテキストボックス６１２、６１３が設けられている。テキストボックス６１２内に表示されている数値は、動作速度を示している。テキストボックス６１３内に表示されている数値は、加速度を示している。
【０１１１】
作業者がテキストボックス６１２に動作速度を入力する操作を行うと、制御部３１は、作業者の入力操作に応じた動作速度をテキストボックス６１２内に表示する。また、作業者がテキストボックス６１３に加速度を入力する操作を行うと、制御部３１は、作業者の入力操作に応じた加速度をテキストボックス６１３内に表示する。
【０１１２】
各テキストボックス６１２の右側には、各テキストボックス６１２に対応した閾値表示部６１４が表示されている。また、各テキストボックス６１３の右側には、各テキストボックス６１３に対応した閾値表示部６１５が表示されている。閾値表示部６１４、６１５には、それぞれ、対応するテキストボックス６１２、６１３に入力できる最小値と最大値とが表示されている。また、本実施形態の検査装置１は、各動作速度の閾値および各加速度の閾値を予め設定することができ、設定した閾値を閾値表示部６１４、６１５に表示することができるよう構成されている。そして、表示された閾値表示部６１４、６１５内において、作業者は動作速度および加速度を設定することができる。このように、閾値表示部６１４、６１５に閾値（最大値および最小値）が表示されていることにより、作業者は設定可能な動作速度および加速度を視覚的に確認することができる。このため、動作速度および加速度を設定する作業の作業性をより向上させることができる。また、例えばテキストボックス６１２、６１３での入力間違えにより駆動部が過剰な速度で駆動することを低減することもできる。
【０１１３】
ここで、設定ユニット欄６１を用いた各駆動部の動作速度および加速度の設定（変更）について説明する。例えば、測定ロボット１７の動作速度の設定について代表して説明する。
【０１１４】
まず、図８に示すように、「Ｉｎｄｅｘ  Ａｒｍ」に対応したテキストボックス６１２には、「５５」と表示されている。この状態で、作業者がテキストボックス６１２を選択する操作を行うと、その操作に応じて、制御部３１は、図１０に示すように、テンキー機能を有する入力画面ＳＷを表示する。この入力画面ＳＷは、一括設定画面Ｗ１と重なって表示される。また、入力画面ＳＷは、選択されたテキストボックス６１２の近傍で、選択されたテキストボックス６１２とずれた位置に表示される。この入力画面ＳＷは、テンキーボタン７１１と、選択されたテンキーボタン７１１に対応する数値を表示する入力表示部７１２とを有している。
【０１１５】
次に、テンキーボタン７１１を用いて、作業者が所望の動作速度に対応する数値を入力する操作を行うと、制御部３１は、図１０に示すように、作業者の入力操作に応じた数値を入力表示部７１２に表示する。そして、作業者が「ＯＫ」ボタン７１３を選択する操作を行うと、制御部３１は、図１１に示すように、入力画面ＳＷの表示を解除（非表示に）し、「Ｉｎｄｅｘ  Ａｒｍ」に対応したテキストボックス６１２に作業者が入力した数値、例えば「７５」と表示する。このようにして測定ロボット１７の動作速度を設定することができる。
【０１１６】
このようなテンキー機能を有する入力画面ＳＷを用いることで、動作速度をより容易に設定することができる。また、前述したように、入力画面ＳＷが、選択されたテキストボックス６１２の近傍で、選択されたテキストボックス６１２とずれた位置に表示されるため、動作速度を設定する作業の作業性をより向上させることができる。
【０１１７】
なお、上記では、各駆動部の動作速度の設定について、測定ロボット１７の動作速度の設定を代表して説明したが、測定ロボット１７の加速度の設定や、他の駆動部の動作速度や加速度の設定についても上記と同様の方法にて設定することができる。
【０１１８】
また、設定ユニット欄６１は、チェックボタン６１６と、「Ａｌｌ  Ｓｅｌｅｃｔ」と表示されたボタン６１７と、「Ａｌｌ  Ｃｌｅａｒ」と表示されたボタン６１８とを有している。
【０１１９】
チェックボタン６１６は、各名称６１１の左横に設けられている。チェックボタン６１６は横に表示された名称６１１に対応している。
【０１２０】
ボタン６１７、６１８は、設定ユニット欄６１内の最も下方に設けられている。「Ａｌｌ  Ｓｅｌｅｃｔ」と表示されたボタン６１７は、各チェックボタン６１６を一括して選択するために用いられる。「Ａｌｌ  Ｃｌｅａｒ」と表示されたボタン６１８は、選択されたチェックボタン６１６のチェックを一括して解除するために用いられる。
【０１２１】
このようなチェックボタン６１６およびボタン６１７、６１８を用いて、作業者は各駆動部を一括選択したり、選択を一括解除したりすることができる。
【０１２２】
また、設定ユニット欄６１の上方には、チェックボタン６１６にチェックされた駆動部の動作速度を一括操作するＳｐｅｅｄ操作部（第１操作部）６２と、チェックボタン６１６にチェックされた駆動部の加速度を一括操作するＡｃｃｅｌ．／Ｄｅｃｅｌ．操作部（第２操作部）６３とが設けられている。なお、Ｓｐｅｅｄ操作部６２を操作して動作速度を設定すると、設定された動作速度に対応する加速度が自動的に設定されるよう構成されている。すなわち、Ｓｐｅｅｄ操作部６２を操作すると、動作速度と加速度とを一括して設定することができる。なお、本実施形態の検査装置１では、動作速度を設定すると、対応する加速度が自動的に設定されるよう構成されているが、加速度を設定すると、対応する動作速度が自動的に設定されてるよう構成されていてもよい。
【０１２３】
Ｓｐｅｅｄ操作部６２は、動作速度が入力されるテキストボックス（入力部）６２１と、その下方に設けられたスライダー６２２とを有している。また、Ａｃｃｅｌ．／Ｄｅｃｅｌ．操作部６３は、加速度が入力されるテキストボックス（入力部）６３１と、その下方に設けられたスライダー６３２とを有している。
【０１２４】
作業者がテキストボックス６２１に動作速度を入力する操作を行うと、制御部３１は、作業者の入力操作に応じた動作速度をテキストボックス６２１内に表示する。これに応じて、チェックボタン６１６にチェックされた駆動部の動作速度が設定（変更）される。同様に、作業者がテキストボックス６３１に加速度を入力する操作を行うと、制御部３１は、作業者の入力操作に応じた加速度をテキストボックス６３１内に表示する。これに応じて、チェックボタン６１６にチェックされた駆動部の加速度が設定（変更）される。
【０１２５】
また、作業者は、スライダー６２２、６３２を利用することによっても、動作速度や加速度を設定することができる。
【０１２６】
このようなＳｐｅｅｄ操作部６２を用いることで、同じ動作速度および加速度で駆動させたい駆動部が複数ある場合に、それらの動作速度および加速度を一括して設定することができる。また、Ａｃｃｅｌ．／Ｄｅｃｅｌ．操作部６３を用いることで、同じ加速度で駆動させたい駆動部が複数ある場合に、それを一括して、動作速度とは別に設定することができる。このように、Ｓｐｅｅｄ操作部６２およびＡｃｃｅｌ．／Ｄｅｃｅｌ．操作部６３を用いることで、設定の作業性をより向上させることができる。なお、本実施形態では、Ａｃｃｅｌ．／Ｄｅｃｅｌ．操作部６３にて加速度のみを設定することができるが、これとは別に、動作速度のみを設定できる操作部を設けてもよい。
【０１２７】
〈個別設定画面〉
前述したように、作業者がバーＶ２に設けられたアイコンＩ２２〜Ｉ２８を選択する操作を行うと、制御部３１は、選択したアイコンＩ２２〜Ｉ２８に対応した個別設定画面（設定画面）Ｗ２〜Ｗ８を表示する（図１２〜１８参照）。
【０１２８】
図１２に示すように、作業者がアイコンＩ２２を選択すると、制御部３１は、個別設定画面Ｗ２を表示する。個別設定画面Ｗ２は、供給ロボット１３の検査条件を設定するために用いられる。
【０１２９】
図１３に示すように、作業者がアイコンＩ２３を選択する操作を行うと、制御部３１は、個別設定画面Ｗ３を表示する。個別設定画面Ｗ３は、第１シャトル２３Ａおよび第２シャトル２３Ｂの検査条件を設定するために用いられる。
【０１３０】
図１４に示すように、作業者がアイコンＩ２４を選択する操作を行うと、制御部３１は、個別設定画面Ｗ４を表示する。個別設定画面Ｗ４は、測定ロボット１７の検査条件を設定するために用いられる。
【０１３１】
図１５に示すように、作業者がアイコンＩ２５を選択する操作を行うと、制御部３１は、個別設定画面Ｗ５を表示する。個別設定画面Ｗ５は、回収ロボット２０の検査条件を設定するために用いられる。
【０１３２】
図１６に示すように、作業者がアイコンＩ２６を選択する操作を行うと、制御部３１は、個別設定画面Ｗ６を表示する。個別設定画面Ｗ６は、供給空トレイ搬送機構１５の検査条件を設定するために用いられる。
【０１３３】
図１７に示すように、作業者がアイコンＩ２７を選択する操作を行うと、制御部３１は、図１７に示す個別設定画面Ｗ７を表示する。個別設定画面Ｗ７は、回収空トレイ搬送機構２１の検査条件を設定するために用いられる。
【０１３４】
図１８に示すように、作業者がアイコンＩ２８を選択する操作を行うと、制御部３１は、図１８に示す個別設定画面Ｗ８を表示する。個別設定画面Ｗ８は、シャッターカバー１２４の検査条件を設定するために用いられる。
【０１３５】
また、図１２〜１８に示すように、各個別設定画面Ｗ２〜Ｗ８は、一括設定画面Ｗ１と同様に、高温用パネルＰ２および低温用パネルＰ１と、タブＴＢ２、ＴＢ１とを有している。そして、各個別設定画面Ｗ２〜Ｗ８においても、作業者により選択されたタブに対応した高温用パネルＰ２または低温用パネルＰ１が優先的に（排他的に）表示される。したがって、各個別設定画面Ｗ２〜Ｗ８においても、一括設定画面Ｗ１と同様に、タブＴＢ２、ＴＢ１を選択するという簡単な操作により、高温用パネルＰ２と低温用パネルＰ１とを切り替えることができる。
【０１３６】
また、個別設定画面Ｗ２〜Ｗ８も、一括設定画面Ｗ１と同様に、各駆動部に関する名称６１１と、各名称６１１に対応するテキストボックス６１２、６１３と、閾値表示部６１４、６１５とを有している。また、個別設定画面Ｗ２〜Ｗ８における各駆動部の動作速￥度および加速度の設定の際にも、テンキー機能を有する入力画面ＳＷが表示される。
【０１３７】
そして、各個別設定画面Ｗ２〜Ｗ８は、一括設定画面Ｗ１と連動している。このため、作業者は一括設定画面Ｗ１および個別設定画面Ｗ２〜Ｗ８のいずれか一方で駆動部の動作速度および加速度を設定（変更）すれば、その設定（変更）が他方に反映される。このため、設定の作業性をさらに向上させることができる。
【０１３８】
このような個別設定画面Ｗ２〜Ｗ８を、一括設定画面Ｗ１とは別に設けることで、作業者は入力したい動作速度および加速度に応じて、個別設定画面Ｗ２〜Ｗ８と、一括設定画面Ｗ１とを使い分けることができる。一括設定画面Ｗ１は、複数の駆動部の動作速度および加速度を設定するのに有効である。また、個別設定画面Ｗ２〜Ｗ８は、所望の駆動部の動作速度および加速度を設定するのに有効である。また、個別設定画面Ｗ２〜Ｗ８を用いると、作業者が設定したい駆動部とは異なる駆動部を設定するような間違いを低減することができる。
【０１３９】
以上、検査条件の設定について説明した。上述したように、本実施形態では、設定表示部６０にて、高温用パネルＰ２と低温用パネルＰ１とを、タブＴＢ２、ＴＢ１の選択により切り替えることができる。このため、高温環境下で検査する場合の検査条件と、低温環境下で検査する場合の検査条件とを、容易に設定することができる。また、設定表示部６０にて高温環境下における検査条件の設定と、低温環境下における検査条件の設定とを行うことができるため、高温環境下で検査する場合と低温環境下で検査する場合とで、異なるソフトウェアを用意することを省くことができる。
【０１４０】
また、高温用パネルＰ２および低温用パネルＰ１のそれぞれにて検査条件を保存しておくことができるため、高温環境下での検査を行った後に低温環境下で検査を行う場合に、駆動部の検査条件を入力し直す手間を省くことができる。このため、検査装置１を用いた検査の作業効率を高めることができる。
【０１４１】
特に、本実施形態の検査装置１では、検査条件のうち動作速度および加速度を設定表示部６０上にて設定することができる。検査条件の中でも、動作速度および加速度を設定表示部６０で設定することができることで、検査状況に応じて各駆動部の搬送速度および加速度をより容易に変更することができる。そのため、例えば、検査を開始したときには、安全を確保するためにも遅い動作速度で駆動部を駆動させておき、安全が確認できたら、検査の効率を上げるために各駆動部の動作速度を上げるという設定を容易に行うことができる。
【０１４２】
以上、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を図示の好適な実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、他の任意の構成物が付加されていてもよい。
【０１４３】
例えば、前述した実施形態では、一括表示画面が有する高温用パネル（第２設定画面）の背景色と低温用パネル（第１設定画面）の背景色とは異なる色で表示されていたが、個別設定画面が有する高温用パネル（第２設定画面）の背景色および低温用パネル（第１設定画面）の背景色も、異なる色で表示されていてもよい。その場合には、各個別設定画面が有する低温用パネルの背景色は、一括表示画面が有する低温用パネルの背景色と同等であるのが好ましい。また、各個別設定画面が有する高温用パネルの背景色は、一括表示画面が有する高温用パネルの背景色と同等であるのが好ましい。
【０１４４】
また、前述した実施形態では、高温用パネルの背景色と低温用パネルの背景色とは異なる色で表示する形態を代表に説明したがが、高温用パネルと低温用パネルとは、作業者が各パネルを判別することができる形態であれば、如何なる形態であってもよい。例えば、高温用パネルの一部の色と低温用パネルの一部の色とが異なっていてもよいし、高温用パネルに表示される文字と低温用パネルに表示される文字の色とが異なっていてもよい。また、例えば、高温用パネルと低温用パネルとが異なる形状、大きさで表示されてもよいし、異なる輝度で表示されてもよい。
【０１４５】
また、前述した実施形態では、高温用パネルおよび低温用パネルのうち選択された一方のパネルのみが、設定画面上に、排他的に表示されたが、選択された一方のパネルが優先的に表示される形態であれば、排他的な表示でなくてもよい。例えば、高温用パネルおよび低温用パネルが同時に表示された状態で、選択された一方が大きく表示され、他方が小さく表示される形態であってもよい。
【０１４６】
また、前述した実施形態では、設定表示部は、操作部と表示部とを備えていたが、例えば、表示部と操作部とが一体になった構成でもよい。表示部と操作部とが一体になった構成としては、例えば、表示部が有するモニターがタッチパネルになっている構成が挙げられる。
【０１４７】
また、前述した実施形態では、検査装置は、各搬送部（供給ロボット、供給空トレイ搬送機構、第１シャトル、第２シャトル、測定ロボット、回収ロボットおよび回収空トレイ搬送機構）およびシャッターカバーの各検査条件を設定表示部にて設定することができたが、検査装置の他の部分の検査条件についても設定表示部にて設定することができるよう構成されていてもよい。例えば、トレイ搬送機構およびトレイ搬送機構の検査条件についても設定表示部にて設定することができるよう構成されていてもよい。
【０１４８】
また、前述した実施形態では、検査条件として、例えば、動作速度（搬送速度）および加速度（搬送加速度）等を挙げたが、これら以外の検査条件について設定表示部にて設定することができるよう構成されていてもよい。
【符号の説明】
【０１４９】
１‥‥検査装置
１０‥‥電子部品搬送装置
１１Ａ、１１Ｂ‥‥トレイ搬送機構
１２‥‥温度調整部
１２１‥‥温度制御プレート
１２２‥‥プレート
１２３‥‥ハウジング
１２３１‥‥開口部
１２４‥‥シャッターカバー
１２４１‥‥開口部
１３‥‥供給ロボット（搬送部）
１４‥‥デバイス供給部
１５‥‥供給空トレイ搬送機構（搬送部）
１６‥‥検査部
１７‥‥測定ロボット（搬送部）
１８‥‥デバイス回収部
１９‥‥回収用トレイ
２０‥‥回収ロボット（搬送部）
２１‥‥回収空トレイ搬送機構（搬送部）
２３Ａ‥‥第１シャトル（搬送部）
２３Ｂ‥‥第２シャトル（搬送部）
２２Ａ、２２Ｂ‥‥トレイ搬送機構
３０‥‥制御装置
３１‥‥制御部
３１１‥‥駆動制御部
３１２‥‥検査制御部
３２‥‥記憶部
４０‥‥表示部
４１‥‥モニター
５０‥‥操作部
５１‥‥マウス
９０‥‥ＩＣデバイス
２００‥‥トレイ
６０‥‥設定表示部
６１‥‥設定ユニット欄
６２‥‥Ｓｐｅｅｄ操作部
６３‥‥Ａｃｃｅｌ．／Ｄｅｃｅｌ．操作部
６１１‥‥名称
６１２、６１３‥‥テキストボックス
６１４、６１５‥‥閾値表示部
６１６‥‥チェックボタン
６１７、６１８‥‥ボタン
６２１‥‥テキストボックス
６２２‥‥スライダー
６３１‥‥テキストボックス
６３２‥‥スライダー
７１１‥‥テンキーボタン
７１２‥‥入力表示部
７１３‥‥ボタン
Ａ１‥‥トレイ供給領域（領域）
Ａ２‥‥デバイス供給領域（領域）
Ａ３‥‥検査領域（領域）
Ａ４‥‥デバイス回収領域（領域）
Ａ５‥‥トレイ除去領域（領域）
Ｒ１‥‥第１室
Ｒ２‥‥第２室
Ｒ３‥‥第３室
ＳＷ‥‥入力画面
ＴＢ１、ＴＢ２‥‥タブ
Ｖ１、Ｖ２‥‥バー
Ｂ１‥‥ボタン
Ｂ１１‥‥ボタン
Ｉ２１‥‥アイコン
Ｉ２２‥‥アイコン
Ｉ２３‥‥アイコン
Ｉ２４‥‥アイコン
Ｉ２５‥‥アイコン
Ｉ２６‥‥アイコン
Ｉ２７‥‥アイコン
Ｉ２８‥‥アイコン
Ｐ１‥‥低温用パネル
Ｐ２‥‥高温用パネル
Ｗ１‥‥一括設定画面（設定画面）
Ｗ２、Ｗ３、Ｗ４、Ｗ５、Ｗ６、Ｗ７、Ｗ８‥‥個別設定画面（設定画面）
ＷＤ‥‥画面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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