(57)【要約】【課題】正確に物理量を検出することができる慣性センサーを提供する。【解決手段】本発明に係る慣性センサー１００は、基板１０と、基板１０と離間している可動体３４と、可動体３４に接続されている可動体固定部３０と、可動体３４から延出している可動櫛歯電極３６と、可動櫛歯電極３６と対向している固定櫛歯電極４４ａと、固定櫛歯電極４４ａを、梁部４２ａを介して固定している固定櫛歯固定部４０ａと、を含み、平面視において、梁部４２ａは、固定櫛歯固定部４０ａから第１方向に延出し、固定櫛歯電極４４ａは、梁部４２ａから、第１方向と交差し互いに対向する方向である第２方向および第３方向に延出し、第２方向に延出している固定櫛歯電極４４ａは、複数設けられ、第３方向に延出している固定櫛歯電極４４ａは、複数設けられており、各々の固定櫛歯電極４４ａに対応するように、可動櫛歯電極３６が複数設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板と離間している可動体と、
前記可動体に接続されている可動体固定部と、
前記可動体から延出している可動櫛歯電極と、
前記可動櫛歯電極と対向している固定櫛歯電極と、
前記固定櫛歯電極を、梁部を介して固定している固定櫛歯固定部と、
を含み、
平面視において、前記梁部は、前記固定櫛歯固定部から第１方向に延出し、
前記固定櫛歯電極は、前記梁部から、前記第１方向と交差し互いに対向する方向である第２方向および第３方向に延出し、
前記第２方向に延出している前記固定櫛歯電極は、複数設けられ、
前記第３方向に延出している前記固定櫛歯電極は、複数設けられており、
各々の前記固定櫛歯電極に対応するように、前記可動櫛歯電極が複数設けられている、慣性センサー。
【請求項２】
請求項１において、
前記固定櫛歯固定部は、前記第１方向に２つ設けられ、
前記可動体固定部は、２つの前記固定櫛歯固定部の間に設けられている、慣性センサー。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記可動体は、枠状の形状を有し、
前記可動体固定部、前記可動櫛歯電極、前記固定櫛歯電極、および前記固定櫛歯固定部は、平面視において、前記可動体の内側に設けられている、慣性センサー。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項において、
前記可動体の前記第１方向における端部は、複数の前記固定櫛歯電極のうち前記第１方向の端部に位置している前記固定櫛歯電極と対向している、慣性センサー。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項において、
平面視において、前記可動体固定部の第１辺、前記基板の表面、前記第１辺と対向している前記固定櫛歯固定部の第１辺は、連続して設けられている、慣性センサー。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１項に記載の慣性センサーを含む、電子機器。
【請求項７】
請求項１ないし５のいずれか１項に記載の慣性センサーを含む、移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、慣性センサー、電子機器、および移動体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、シリコンＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ）技術を用いて物理量を検出する慣性センサーが開発されている。特に、加速度を検出する加速度センサーや角速度を検出するジャイロセンサーは、例えば、デジタルスチルカメラ（ＤＳＣ）の手振れ補正機能、自動車のナビゲーションシステム、ゲーム機のモーションセンシング機能などの用途が急速に広がりつつある。
【０００３】
例えば特許文献１には、アンカー部（固定部）を介して基板に固定された固定電極と、センターバー（可動体）から互いに反対方向に延出している（可動体の両側から延出している）可動電極と、を備え、可動電極と固定電極との間の容量を測定することによって、加速度を検出することができる加速度センサーが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４４９９１９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の加速度センサーでは、可動体の一方側から延出している第１可動電極に対向している第１固定電極と、可動体の他方側から延出している第２可動電極に対向している第２固定電極とは、別々の固定部に接続されている。そのため、特許文献１に記載の加速度センサーでは、例えば、熱によって基板が反った場合に、第１可動電極と第１固定電極との間の容量と、第２可動電極と第２固定電極との間の容量と、に差が生じ、正確に加速度を検出することができない場合がある。
【０００６】
本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、正確に物理量を検出することができる慣性センサーを提供することにある。また、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、上記の慣性センサーを含む電子機器および移動体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は前述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の態様または適用例として実現することができる。
【０００８】
［適用例１］
本適用例に係る慣性センサーは、
基板と、
前記基板と離間している可動体と、
前記可動体に接続されている可動体固定部と、
前記可動体から延出している可動櫛歯電極と、
前記可動櫛歯電極と対向している固定櫛歯電極と、
前記固定櫛歯電極を、梁部を介して固定している固定櫛歯固定部と、
を含み、
平面視において、前記梁部は、前記固定櫛歯固定部から第１方向に延出し、
前記固定櫛歯電極は、前記梁部から、前記第１方向と交差し互いに対向する方向である第２方向および第３方向に延出し、
前記第２方向に延出している前記固定櫛歯電極は、複数設けられ、
前記第３方向に延出している前記固定櫛歯電極は、複数設けられており、
各々の前記固定櫛歯電極に対応するように、前記可動櫛歯電極が複数設けられている。
【０００９】
このような慣性センサーでは、例えば熱によって基板が反った場合でも、正確に物理量を検出することができる。
【００１０】
［適用例２］
本適用例に係る慣性センサーにおいて、
前記固定櫛歯固定部は、前記第１方向に２つ設けられ、
前記可動体固定部は、２つの前記固定櫛歯固定部の間に設けられていてもよい。
【００１１】
このような慣性センサーでは、正確に物理量を検出することができる。
【００１２】
［適用例３］
本適用例に係る慣性センサーにおいて、
前記可動体は、枠状の形状を有し、
前記可動体固定部、前記可動櫛歯電極、前記固定櫛歯電極、および前記固定櫛歯固定部は、平面視において、前記可動体の内側に設けられていてもよい。
【００１３】
このような慣性センサーでは、正確に物理量を検出することができる。
【００１４】
［適用例４］
本適用例に係る慣性センサーにおいて、
前記可動体の前記第１方向における端部は、複数の前記固定櫛歯電極のうち前記第１方向の端部に位置している前記固定櫛歯電極と対向していてもよい。
【００１５】
このような慣性センサーでは、複数の固定櫛歯電極のうち第１方向の端部に位置している固定櫛歯電極と対向するように可動櫛歯電極を新たに設ける場合に比べて、小型化を図ることができる。
【００１６】
［適用例５］
本適用例に係る慣性センサーにおいて、
平面視において、前記可動体固定部の第１辺、前記基板の表面、前記第１辺と対向している前記固定櫛歯固定部の第１辺は、連続して設けられていてもよい。
【００１７】
このような慣性センサーでは、可動体固定部と第１固定櫛歯固定部との間の距離を小さくすることができる。
【００１８】
［適用例６］
本適用例に係る電子機器は、
本適用例に係る慣性センサーを含む。
【００１９】
このような電子機器では、正確に物理量を検出することができる慣性センサーを含むことができる。
【００２０】
［適用例７］
本適用例に係る移動体は、
本適用例に係る慣性センサーを含む。
【００２１】
このような移動体では、正確に物理量を検出することができる慣性センサーを含むことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本実施形態に係る慣性センサーを模式的に示す平面図。
【図２】本実施形態に係る慣性センサーを模式的に示す断面図。
【図３】本実施形態に係る慣性センサーの製造方法の一例を示すフローチャート。
【図４】本実施形態に係る慣性センサーの製造工程を模式的に示す断面図。
【図５】本実施形態に係る慣性センサーの製造工程を模式的に示す断面図。
【図６】本実施形態の変形例に係る慣性センサーを模式的に示す平面図。
【図７】本実施形態に係る電子機器の機能ブロック図。
【図８】本実施形態に係る電子機器の一例であるスマートフォンの外観を模式的に示す図。
【図９】本実施形態に係る電子機器の一例であるウェアラブル機器の外観を模式的に示す図。
【図１０】本実施形態に係る移動体を模式的に示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００２４】
１．  慣性センサー
まず、本実施形態に係る慣性センサーについて、図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態に係る慣性センサー１００を模式的に示す平面図である。図２は、本実施形態に係る慣性センサー１００を模式的に示す図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。なお、図１および図２では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸を図示している。
【００２５】
慣性センサー１００は、例えば、加速度を検出することができる加速度センサーである。以下では、慣性センサー１００がＹ軸方向の加速度を検出することができる加速度センサーである場合について説明する。
【００２６】
慣性センサー１００は、図１および図２に示すように、基板１０と、蓋体２０と、機能素子１０２と、を含む。なお、便宜上、図１では、蓋体２０を省略している。
【００２７】
基板１０の材質は、例えば、ガラス、シリコンである。図示の例では、基板１０の平面形状（Ｚ軸方向からみた形状）は、四角形である。基板１０は、第１面１２と、第１面１２と反対方向を向く第２面１４と、を有している。第１面１２には、凹部１６が設けられている。凹部１６は、キャビティー２を構成している。凹部１６の底面（凹部１６を規定する基板１０の面）１７には、ポスト部１８が設けられている。図示の例では、ポスト部１８は、３つ設けられている。ポスト部１８は、機能素子１０２を支持するための部材である。
【００２８】
なお、図２に示す例では、凹部１６の内側面（凹部１６を規定する基板１０の側面）およびポスト部１８の側面は、Ｚ軸に平行であるが、凹部１６の内側面およびポスト部１８の側面は、Ｚ軸に対して傾斜していてもよい。
【００２９】
蓋体２０は、基板１０上に（蓋体２０の＋Ｚ軸方向側に）設けられている。蓋体２０の材質は、例えば、シリコンである。蓋体２０は、基板１０の第１面１２に接合されている。基板１０と蓋体２０とは、陽極接合によって接合されていてもよい。図示の例では、蓋体２０に凹部が形成されており、該凹部は、キャビティー２を構成している。
【００３０】
なお、基板１０と蓋体２０との接合方法は、特に限定されず、例えば、低融点ガラス（ガラスペースト）による接合でもよいし、半田による接合でもよい。または、基板１０および蓋体２０の各々の接合部分に金属薄膜（図示せず）を形成し、該金属薄膜同士を共晶接合させることにより、基板１０と蓋体２０とを接合させてもよい。
【００３１】
機能素子１０２は、基板１０の第１面１２側に設けられている。機能素子１０２は、例えば、陽極接合や直接接合によって、基板１０に接合されている。機能素子１０２は、基板１０と蓋体２０とによって形成されるキャビティー２に収容されている。キャビティー２は、不活性ガス（例えば窒素ガス）雰囲気で密閉されていてもよい。
【００３２】
機能素子１０２の材質は、例えば、リン、ボロン等の不純物がドープされることにより導電性が付与されたシリコンである。機能素子１０２は、可動体固定部３０と、バネ部３２と、可動体３４と、可動櫛歯電極３６と、固定櫛歯固定部４０ａ，４０ｂと、梁部４２ａ，４２ｂと、固定櫛歯電極４４ａ，４４ｂと、を含む。バネ部３２、可動体３４、可動櫛歯電極３６、梁部４２ａ，４２ｂ、および固定櫛歯電極４４ａ，４４ｂは、基板１０と離間している。
【００３３】
可動体固定部３０は、基板１０に固定されている。可動体固定部３０は、基板１０のポスト部１８に接合されている。可動体固定部３０は、バネ部３２を介して可動体３４と接続されている。可動体固定部３０は、平面視において（Ｚ軸方向からみて）基板１０の中心（図示せず）と重なって設けられている。図示の例では、可動体固定部３０の平面形状は、四角形である。
【００３４】
バネ部３２は、可動体固定部３０と可動体３４とを連結している。バネ部３２は、複数の（図示の例では４つの）梁部３３によって構成されている。梁部３３は、可動体３４の変位方向であるＹ軸方向に円滑に伸縮することができる。
【００３５】
可動体３４は、平面視において、枠状の形状を有している。可動体３４は、例えば、Ｘ軸方向に延出している第１部分３４ａおよび第２部分３４ｂと、Ｙ軸方向に延出している第３部分３４ｃおよび第４部分３４ｄと、によって構成されている。第３部分３４ｃは、第１部分３４ａおよび第２部分３４ｂに接続され、第４部分３４ｄは、第１部分３４ａおよび第２部分３４ｂに接続されている。図示の例では、第１部分３４ａは可動体３４の＋Ｙ軸方向の端部であり、第２部分３４ｂは可動体３４の−Ｙ軸方向の端部であり、第３部分３４ｃは可動体３４の＋Ｘ軸方向の端部であり、第４部分３４ｄは可動体３４の−Ｘ軸方向の端部である。可動体固定部３０、バネ部３２、可動櫛歯電極３６、固定櫛歯固定部４０ａ，４０ｂ、梁部４２ａ，４２ｂ、および固定櫛歯電極４４ａ，４４ｂは、平面視において、可動体３４の内側に設けられている。可動体３４は、Ｙ軸方向に変位可能である。具体的には、可動体３４は、Ｙ軸方向の加速度に応じて、バネ部３２を弾性変形させながら、Ｙ軸方向に変位する。
【００３６】
可動櫛歯電極３６は、可動体３４から延出している。可動櫛歯電極３６は、複数（図示の例では８つ）設けられている。図示の例では、第３部分３４ｃから４つの可動櫛歯電極３６が−Ｘ軸方向に延出し、第４部分３４ｄから４つの可動櫛歯電極３６が＋Ｘ軸方向に延出している。
【００３７】
第１固定櫛歯固定部４０ａおよび第２固定櫛歯固定部４０ｂは、基板１０に固定されている。固定櫛歯固定部４０ａ，４０ｂは、基板１０のポスト部１８に接合されている。第１固定櫛歯固定部４０ａは、第１梁部４２ａを介して、第１固定櫛歯電極４４ａを基板１０に対して固定している。第２固定櫛歯固定部４０ｂは、第２梁部４２ｂを介して、第２固定櫛歯電極４４ｂを基板１０に対して固定している。図示の例では、固定櫛歯固定部４０ａ，４０ｂの平面形状は、四角形である。
【００３８】
第１固定櫛歯固定部４０ａおよび第２固定櫛歯固定部４０ｂは、Ｙ軸方向（第１方向）に並んで設けられている（固定櫛歯固定部は、Ｙ軸方向に並んで２つ設けられている）。可動体固定部３０は、２つの固定櫛歯固定部４０ａ，４０ｂの間に設けられている。第１固定櫛歯固定部４０ａは、可動体固定部３０よりも＋Ｙ軸方向側に設けられている。第２固定櫛歯固定部４０ｂは、可動体固定部３０よりも−Ｙ軸方向側に設けられている。
【００３９】
平面視において、可動体固定部３０の第１辺３ａ、基板１０の表面（凹部１６の底面１７）、第１辺３ａと対向している第１固定櫛歯固定部４０ａの第１辺４ａは、連続して設けられている。さらに、平面視において、可動体固定部３０の第２辺３ｂ、底面１７、第２辺３ｂと対向している第２固定櫛歯固定部４０ｂの第１辺４ｂは、連続して設けられている。すなわち、平面視において、辺３ａ，４ａ間には、基板１０の底面１７以外の部材は設けられておらず、辺３ｂ，４ｂ間には、基板１０の底面１７以外の部材は設けられていない。図示の例では、第１辺３ａは、可動体固定部３０のＸ軸に平行な辺であって、＋Ｙ軸方向側の辺である。第２辺３ｂは、可動体固定部３０のＸ軸に平行な辺であって、−Ｙ軸方向側の辺である。第１辺４ａは、第１固定櫛歯固定部４０ａのＸ軸に平行な辺であって、−Ｙ軸方向側の辺である。第１辺４ｂは、第２固定櫛歯固定部４０ｂのＸ軸に平行な辺であって、＋Ｙ軸方向側の辺である。
【００４０】
辺３ａ，４ａ間の距離Ｄ１、および辺３ｂ，４ｂ間の距離Ｄ２は、互いに同じであってもよい。距離Ｄ１，Ｄ２は、梁部３３の幅と同じであってもよい。辺３ａ，３ｂは、それぞれ可動体固定部３０の側面１３０ａ，１３０ｂによって構成され、辺４ａ，４ｂは、それぞれ固定櫛歯固定部４０ａ，４０ｂの側面１４０ａ，１４０ｂによって構成されている。図２に示す例では、辺３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂを構成する側面１３０ａ，１３０ｂ，１４０ａ，１４０ｂは、Ｚ軸に平行である。第１辺３ａを構成する側面１３０ａ、および第１辺４ａを構成する側面は１４０ａ、互いに対向している。第２辺３ｂを構成する側面１３０ｂ、および第１辺４ｂを構成する側面１４０ｂは、互いに対向している。
【００４１】
第１梁部４２ａおよび第２梁部４２ｂは、平面視において、固定櫛歯固定部４０ａ，４０ｂからＹ軸方向に延出している。具体的には、第１梁部４２ａは、第１固定櫛歯固定部４０ａから＋Ｙ軸方向に延出している。第２梁部４２ｂは、第２固定櫛歯固定部４０ｂから−Ｙ軸方向に延出している。
【００４２】
第１固定櫛歯電極４４ａは、可動櫛歯電極３６と対向している。第１固定櫛歯電極４４ａは、第１梁部４２ａから、＋Ｘ軸方向および−Ｘ軸方向（第１方向と交差し互いに対向する方向（反対の方向）である第２方向および第３方向）に延出している。第１梁部４２ａから＋Ｘ軸方向に延出している第１固定櫛歯電極４４ａは、複数（図示の例では２つ）設けられ、第１梁部４２ａから−Ｘ軸方向に延出している第１固定櫛歯電極４４ａは、複数（図示の例では２つ）設けられている。各々の第１固定櫛歯電極４４ａに対応するように、可動櫛歯電極３６が複数（図示の例では４つ）設けられている。第１梁部４２ａから＋Ｘ軸方向に延出している第１固定櫛歯電極４４ａ、および第１梁部４２ａから−Ｘ軸方向に延出している第１固定櫛歯電極４４ａは、第１梁部４２ａを介して第１固定櫛歯固定部４０ａに接続され、第１固定櫛歯固定部４０ａによって基板１０に対して固定されている。
【００４３】
第２固定櫛歯電極４４ｂは、可動櫛歯電極３６と対向している。第２固定櫛歯電極４４ｂは、第２梁部４２ｂから、＋Ｘ軸方向および−Ｘ軸方向に延出している。第２梁部４２ｂから＋Ｘ軸方向に延出している第２固定櫛歯電極４４ｂは、複数（図示の例では２つ）設けられ、第２梁部４２ｂから−Ｘ軸方向に延出している第２固定櫛歯電極４４ｂは、複数（図示の例では２つ）設けられている。各々の第２固定櫛歯電極４４ｂに対応するように、可動櫛歯電極３６が複数（図示の例では４つ）設けられている。第２梁部４２ｂから＋Ｘ軸方向に延出している第２固定櫛歯電極４４ｂ、および第２梁部４２ｂから−Ｘ軸方向に延出している第２固定櫛歯電極４４ｂは、第２梁部４２ｂを介して第２固定櫛歯固定部４０ｂに接続され、第２固定櫛歯固定部４０ｂによって基板１０に対して固定されている。
【００４４】
機能素子１０２では、可動体固定部３０、バネ部３２、可動体３４、および可動櫛歯電極３６は、例えば、一体的に設けられている。固定櫛歯固定部４０ａ，４０ｂ、梁部４２ａ，４２ｂ、および固定櫛歯電極４４ａ，４４ｂは、例えば、一体的に設けられている。
【００４５】
慣性センサー１００では、可動体固定部３０は、第１パッド（図示せず）と電気的に接続されている。第１固定櫛歯固定部４０ａは、第２パッド（図示せず）と電気的に接続されている。第２固定櫛歯固定部４０ｂは、第３パッド（図示せず）と電気的に接続されている。慣性センサー１００では、第１パッドおよび第２パッドによって、可動櫛歯電極３６と第１固定櫛歯電極４４ａとの間の静電容量を測定することができる。さらに、第１パッドおよび第３パッドによって、可動櫛歯電極３６と第２固定櫛歯電極４４ｂとの間の静電容量を測定することができる。このように慣性センサー１００では、可動櫛歯電極３６と第１固定櫛歯電極４４ａとの間の静電容量、および可動櫛歯電極３６と第２固定櫛歯電極４４ｂとの間の静電容量を別々に測定し、差動検出することにより（いわゆる差動検出方式を用いて）、加速度を検出することができる。
【００４６】
慣性センサー１００は、例えば、以下の特徴を有する。
【００４７】
慣性センサー１００では、第１固定櫛歯固定部４０ａは、第１固定櫛歯電極４４ａを、第１梁部４２ａを介して固定し、第１固定櫛歯電極４４ａは、第１梁部４２ａから＋Ｘ軸方向および−Ｘ軸方向に延出している。さらに、第２固定櫛歯固定部４０ｂは、第２固定櫛歯電極４４ｂを、第２梁部４２ｂを介して固定し、第２固定櫛歯電極４４ｂは、第２梁部４２ｂから＋Ｘ軸方向および−Ｘ軸方向に延出している。このように、慣性センサー１００では、梁部から＋Ｘ軸方向に延出している固定櫛歯電極と、梁部から−Ｘ軸方向に延出している固定櫛歯電極と、を１つの固定部に接続し基板１０に対して固定することができる。そのため、慣性センサー１００では、例えば熱によって基板１０が反った場合に、＋Ｘ軸方向に延出している固定櫛歯電極（以下、「＋Ｘ延出電極」ともいう）と−Ｘ軸方向に延出している固定櫛歯電極（以下、「−Ｘ延出電極」ともいう）とが別々の固定部に接続されている場合に比べて、正確に物理量（加速度）を検出することができる。その結果、慣性センサー１００は、良好な温度特性を有することができる。
【００４８】
例えば、＋Ｘ延出電極が第１固定部に接続され、−Ｘ延出電極が第２固定部に接続されている場合では、例えば、熱によって基板が反った場合に、第１固定部における基板の反り量（基板の、平面視において第１固定部と重なる部分の反り量）と第２固定部における基板の反り量（基板の、平面視において第２固定部と重なる部分の反り量）とが異なる場合がある。そのため、可動電極および＋Ｘ延出電極が互いに対向する面積と、可動電極および−Ｘ延出電極が互いに対向する面積と、において差が生じる場合がある。これにより、可動電極と＋Ｘ延出電極との間の静電容量と、可動電極と−Ｘ延出電極との間の静電容量と、に差が生じ、正確に加速度を検出することができない場合がある。
【００４９】
特に、実装基板（図示せず）上に基板１０を設け、基板１０の周りにモールド樹脂（図示せず）を設けると、実装基板の線膨張係数とモールド樹脂の線膨張係数との差によって、基板１０は反りやすくなる。
【００５０】
さらに、慣性センサー１００では、梁部４２ａ，４２ｂから＋Ｘ軸方向に延出している固定櫛歯電極４４ａ，４４ｂは、それぞれ複数設けられ、梁部４２ａ，４２ｂから−Ｘ軸方向に延出している固定櫛歯電極４４ａ，４４ｂは、それぞれ複数設けられている。そのため、慣性センサー１００では、＋Ｘ延出電極および−Ｘ延出電極の各々が１つしか設けられていない場合に比べて、物理量の検出感度を高めることができる。
【００５１】
慣性センサー１００では、平面視において、可動体固定部３０の第１辺３ａ、基板１０の表面（底面１７）、第１辺３ａと対向している第１固定櫛歯固定部４０ａの第１辺４ａは、連続して設けられている。さらに、平面視において、可動体固定部３０の第２辺３ｂ、基板１０の底面１７、第２辺３ｂと対向している第２固定櫛歯固定部４０ｂの第１辺４ｂは、連続して設けられている。そのため、慣性センサー１００では、可動体固定部３０と第１固定櫛歯固定部４０ａとの間の距離、および可動体固定部３０と第２固定櫛歯固定部４０ｂとの間の距離を小さくすることができる。これにより、例えば、平面視で基板１０の中心が可動体固定部３０と重なっている場合に、固定櫛歯固定部４０ａ，４０ｂにおける基板１０の反りの影響を小さくすることができる。
【００５２】
なお、図示はしないが、慣性センサー１００は、第２固定櫛歯固定部４０ｂ、第２梁部４２ｂ、および第２固定櫛歯電極４４ｂを有していなくてもよい。
【００５３】
また、上記では、加速度を検出することができる慣性センサー（加速度センサー）１００について説明したが、本発明に係る慣性センサーは、加速度センサーに限定されず、例えば角速度を検出することができるジャイロセンサーであってもよい。
【００５４】
２．  慣性センサーの製造方法
次に、本実施形態に係る慣性センサー１００の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図３は、本実施形態に係る慣性センサー１００の製造方法の一例を示すフローチャートである。図４および図５は、本実施形態に係る慣性センサー１００の製造工程を模式的に示す断面図である。
【００５５】
機能素子１０２を形成する（Ｓ１）。具体的には、まず、図４に示すように、ガラス基板を準備し、当該ガラス基板をパターニングして凹部１６およびポスト部１８を形成する。パターニングは、例えば、フォトリソグラフィーおよびエッチングにより行われる。本工程により、凹部１６およびポスト部１８が設けられた基板１０を得ることができる。
【００５６】
図５に示すように、基板１０の第１面１２に、シリコン基板５を接合する。基板１０とシリコン基板５との接合は、例えば、陽極接合によって行われる。これにより、基板１０とシリコン基板５とを強固に接合することができる。
【００５７】
図２に示すように、シリコン基板５を、例えば研削機によって研削して薄膜化した後、所定の形状にパターニングして、機能素子１０２を形成する。パターニングは、フォトリソグラフィーおよびエッチング（ドライエッチング）によって行われ、具体的なエッチングとして、ボッシュ（Ｂｏｓｃｈ）法を用いることができる。
【００５８】
以上の工程により、可動体固定部３０、バネ部３２、可動体３４、可動櫛歯電極３６、固定櫛歯固定部４０ａ，４０ｂ、梁部４２ａ，４２ｂ、および固定櫛歯電極４４ａ，４４ｂを含む機能素子１０２を形成することができる。
【００５９】
次に、基板１０と蓋体２０とを接合して、基板１０と蓋体２０とによって形成されるキャビティー２に、機能素子１０２を収容する（Ｓ２）。基板１０と蓋体２０との接合は、例えば、陽極接合によって行われる。これにより、基板１０と蓋体２０とを強固に接合することができる。
【００６０】
以上の工程により、慣性センサー１００を製造することができる。
【００６１】
３．  慣性センサーの変形例
次に、本実施形態の変形例に係る慣性センサーについて、図面を参照しながら説明する。図６は、本実施形態の変形例に係る慣性センサー２００を模式的に示す平面図である。なお、図６では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸を図示している。
【００６２】
以下、本実施形態の変形例に係る慣性センサー２００において、本実施形態に係る慣性センサー１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００６３】
慣性センサー２００では、図６に示すように、可動体３４のＹ軸方向における端部（第１部分３４ａおよび第２部分３４ｂ）は、複数の固定櫛歯電極４４ａ，４４ｂのうちＹ軸方向の端部に位置している固定櫛歯電極４４ａ，４４ｂと対向している点について、上述した慣性センサー１００と異なる。
【００６４】
具体的には、可動体３４の＋Ｙ軸方向における端部である第１部分３４ａは、複数の第１固定櫛歯電極４４ａのうち最も＋Ｙ軸方向側に位置している第１固定櫛歯電極４４ａと対向している。可動体３４の−Ｙ軸方向における端部である第２部分３４ｂは、複数の第２固定櫛歯電極４４ｂのうち最も−Ｙ軸方向側に位置している第２固定櫛歯電極４４ｂと対向している。
【００６５】
慣性センサー２００では、可動体３４の第１部分３４ａおよび第２部分３４ｂは、複数の固定櫛歯電極４４ａ，４４ｂのうちＹ軸方向の端部に位置している固定櫛歯電極４４ａ，４４ｂと対向している。そのため、第１部分３４ａおよび第２部分３４ｂは、可動櫛歯電極としての機能を有することができる。したがって、慣性センサー２００では、複数の固定櫛歯電極のうちＹ軸方向の端部に位置している固定櫛歯電極と対向するように可動櫛歯電極を新たに設ける場合に比べて、小型化を図ることができる。
【００６６】
４．  電子機器
次に、本実施形態に係る電子機器について図面を参照しながら説明する。図７は、本実施形態に係る電子機器１０００の機能ブロック図である。
【００６７】
電子機器１０００は、本発明に係る慣性センサーを含む。以下では、本発明に係る慣性センサーとして、慣性センサー１００を含む場合について説明する。
【００６８】
電子機器１０００は、さらに、演算処理装置（ＣＰＵ）１０２０、操作部１０３０、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）１０４０、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）１０５０、通信部１０６０、表示部１０７０を含んで構成されている。なお、本実施形態の電子機器は、図７の構成要素（各部）の一部を省略又は変更し、あるいは、他の構成要素を付加した構成としてもよい。
【００６９】
演算処理装置１０２０は、ＲＯＭ１０４０等に記憶されているプログラムに従い、各種の計算処理や制御処理を行う。具体的には、演算処理装置１０２０は、慣性センサー１００の出力信号や、操作部１０３０からの操作信号に応じた各種の処理、外部装置とデータ通信を行うために通信部１０６０を制御する処理、表示部１０７０に各種の情報を表示させるための表示信号を送信する処理等を行う。
【００７０】
操作部１０３０は、操作キーやボタンスイッチ等により構成される入力装置であり、ユーザーによる操作に応じた操作信号を演算処理装置１０２０に出力する。
【００７１】
ＲＯＭ１０４０は、演算処理装置１０２０が各種の計算処理や制御処理を行うためのプログラムやデータ等を記憶している。
【００７２】
ＲＡＭ１０５０は、演算処理装置１０２０の作業領域として用いられ、ＲＯＭ１０４０から読み出されたプログラムやデータ、慣性センサー１００から入力されたデータ、操作部１０３０から入力されたデータ、演算処理装置１０２０が各種プログラムに従って実行した演算結果等を一時的に記憶する。
【００７３】
通信部１０６０は、演算処理装置１０２０と外部装置との間のデータ通信を成立させるための各種制御を行う。
【００７４】
表示部１０７０は、ＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）等により構成される表示装置であり、演算処理装置１０２０から入力される表示信号に基づいて各種の情報を表示する。表示部１０７０には操作部１０３０として機能するタッチパネルが設けられていてもよい。
【００７５】
このような電子機器１０００としては種々の電子機器が考えられ、例えば、パーソナルコンピューター（例えば、モバイル型パーソナルコンピューター、ラップトップ型パーソナルコンピューター、タブレット型パーソナルコンピューター）、スマートフォンや携帯電話機などの移動体端末、ディジタルスチールカメラ、インクジェット式吐出装置（例えば、インクジェットプリンター）、ルーターやスイッチなどのストレージエリアネットワーク機器、ローカルエリアネットワーク機器、移動体端末基地局用機器、テレビ、ビデオカメラ、ビデオレコーダー、カーナビゲーション装置、リアルタイムクロック装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ゲーム用コントローラー、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター、ヘッドマウントディスプレイ、モーショントレース、モーショントラッキング、モーションコントローラー、ＰＤＲ（歩行者位置方位計測）等が挙げられる。
【００７６】
図８は、電子機器１０００の一例であるスマートフォンの外観の一例を示す図である。電子機器１０００であるスマートフォンは、操作部１０３０としてボタンを、表示部１０７０としてＬＣＤを備えている。
【００７７】
図９は、電子機器１０００の一例である腕装着型の携帯機器（ウェアラブル機器）の外観の一例を示す図である。電子機器１０００であるウェアラブル機器は、表示部１０７０としてＬＣＤを備えている。表示部１０７０には操作部１０３０として機能するタッチパネルが設けられていてもよい。
【００７８】
また、電子機器１０００である携帯機器は、例えば、ＧＰＳ受信機（ＧＰＳ：Ｇｌｏｂａｌ  Ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍ）等の位置センサーを備え、ユーザーの移動距離や移動軌跡を計測することができる。
【００７９】
５．  移動体
次に、本実施形態に係る移動体について、図面を参照しながら説明する。図１０は、本実施形態に係る移動体１１００として、自動車を模式的に示す斜視図である。
【００８０】
本実施形態に係る移動体は、本発明に係る慣性センサーを含む。以下では、本発明に係る慣性センサーとして、慣性センサー１００を含む移動体について説明する。
【００８１】
本実施形態に係る移動体１１００は、さらに、エンジンシステム、ブレーキシステム、キーレスエントリーシステム等の各種の制御を行うコントローラー１１２０、コントローラー１１３０、コントローラー１１４０、バッテリー１１５０およびバックアップ用バッテリー１１６０を含んで構成されている。なお、本実施形態に係る移動体１１００は、図１０に示される構成要素（各部）の一部を省略または変更してもよいし、他の構成要素を付加した構成としてもよい。
【００８２】
このような移動体１１００としては種々の移動体が考えられ、例えば、自動車（電気自動車も含む）、ジェット機やヘリコプター等の航空機、船舶、ロケット、人工衛星等が挙げられる。
【００８３】
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【００８４】
２…キャビティー、３ａ…第１辺、３ｂ…第２辺、４ａ，４ｂ…第１辺、５…シリコン基板、１０…基板、１２…第１面、１４…第２面、１６…凹部、１７…底面、１８…ポスト部、２０…蓋体、３０…可動体固定部、３２…バネ部、３３…梁部、３４…可動体、３４ａ…第１部分、３４ｂ…第２部分、３４ｃ…第３部分、３４ｄ…第４部分、３６…可動櫛歯電極、４０ａ…第１固定櫛歯固定部、４０ｂ…第２固定櫛歯固定部、４２ａ…第１梁部、４２ｂ…第２梁部、４４ａ…第１固定櫛歯電極、４４ｂ…第２固定櫛歯電極、１００…慣性センサー、１０２…機能素子、１３０ａ，１３０ｂ，１４０ａ，１４０ｂ…側面、２００…慣性センサー、１０００…電子機器、１０２０…演算処理装置、１０３０…操作部、１０４０…ＲＯＭ、１０５０…ＲＡＭ、１０６０…通信部、１０７０…表示部、１１００…移動体、１１２０，１１３０，１１４０…コントローラー、１１５０…バッテリー、１１６０…バックアップ用バッテリー
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１】
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【図６】
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