(57)【要約】      （修正有）【課題】検出用フラップ板が固定電極に貼り付くことを抑制することができるジャイロセンサーを提供する。【解決手段】ジャイロセンサー１００は、基板と、基板に設けられている固定電極４６と、固定電極４６に対向して設けられ、回転軸Ｑを有して基板の厚さ方向に変位可能な検出用フラップ板４０と、を含み、平面視において、固定電極４６の中心Ｃ１は、検出用フラップ板４０の中心Ｃ２に対して、検出用フラップ板４０の回転軸Ｑ側に位置している。検出用フラップ板４０と固定電極４６との間の静電力を小さくすることができ、検出用フラップ板４０が固定電極に貼り付くことを抑制できる。【選択図】図１
2016176834.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板に設けられている固定電極と、
前記固定電極に対向して設けられ、回転軸を有して前記基板の厚さ方向に変位可能な検出用フラップ板と、
を含み、
平面視において、前記固定電極の中心は、前記検出用フラップ板の中心に対して、前記検出用フラップ板の回転軸側に位置している、ジャイロセンサー。
【請求項２】
請求項１において、
平面視において、前記固定電極の面積は、前記検出用フラップ板の面積の４０％以上７０％以下である、ジャイロセンサー。
【請求項３】
請求項１または２において、
平面視において、前記固定電極の形状および前記検出用フラップ板の形状は、矩形である、ジャイロセンサー。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項に記載のジャイロセンサーを含む、電子機器。
【請求項５】
請求項１ないし３のいずれか１項に記載のジャイロセンサーを含む、移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ジャイロセンサー、電子機器、および移動体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、シリコンＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ）技術を用いて角速度を検出するジャイロセンサーが開発されている（特許文献１参照）。ジャイロセンサーは、例えば、デジタルスチルカメラ（ＤＳＣ）の手振れ補正機能、自動車のナビゲーションシステム、ゲーム機のモーションセンシング機能などの用途が急速に広がりつつある。
【０００３】
上記のようなジャイロセンサーにおいて、基板に固定された固定電極と、振動体に梁部を介して接続された可動体と、を備え、振動体がＸ軸方向に振動して可動体がＺ軸方向に変位することにより、Ｙ軸まわりの角速度を検出することができるジャイロセンサーが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２００６−５１７３０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のようなジャイロセンサーにおいて、可動体（検出用フラップ板）がＺ軸方向に（固定電極側に）変位した際、検出用フラップ板と固定電極との間の静電力が大きいと、検出用フラップ板が固定電極に貼り付いてしまう場合がある。
【０００６】
本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、検出用フラップ板が固定電極に貼り付くことを抑制することができるジャイロセンサーを提供することにある。また、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、上記のジャイロセンサーを含む、電子機器および移動体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は前述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の態様または適用例として実現することができる。
【０００８】
［適用例１］
本適用例に係るジャイロセンサーは、
基板と、
前記基板に設けられている固定電極と、
前記固定電極に対向して設けられ、回転軸を有して前記基板の厚さ方向に変位可能な検出用フラップ板と、
を含み、
平面視において、前記固定電極の中心は、前記検出用フラップ板の中心に対して、前記検出用フラップ板の回転軸側に位置している。
【０００９】
このようなジャイロセンサーでは、検出用フラップ板と固定電極との間の静電力を小さくすることができ、検出用フラップ板が固定電極に貼り付くことを抑制することができる。
【００１０】
［適用例２］
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
平面視において、前記固定電極の面積は、前記検出用フラップ板の面積の４０％以上７０％以下であってもよい。
【００１１】
このようなジャイロセンサーでは、高い検出感度を有しつつ、検出用フラップ板が固定電極に貼り付くことを、より確実に抑制することができる。
【００１２】
［適用例３］
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
平面視において、前記固定電極の形状および前記検出用フラップ板の形状は、矩形であってもよい。
【００１３】
このようなジャイロセンサーでは、検出用フラップ板が固定電極に貼り付くことを抑制することができる。
【００１４】
［適用例４］
本適用例に係る電子機器は、
本適用例に係るジャイロセンサーを含む。
【００１５】
このような電子機器では、検出用フラップ板が固定電極に貼り付くことを抑制することができるジャイロセンサーを含むことができる。
【００１６】
［適用例５］
本適用例に係る移動体は、
本適用例に係るジャイロセンサーを含む。
【００１７】
このような移動体では、検出用フラップ板が固定電極に貼り付くことを抑制することができるジャイロセンサーを含むことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本実施形態に係るジャイロセンサーを模式的に示す平面図。
【図２】本実施形態に係るジャイロセンサーを模式的に示す断面図。
【図３】本実施形態に係るジャイロセンサーを模式的に示す断面図。
【図４】駆動周波数とレゾナンスゲインとの関係を示す表。
【図５】駆動周波数とレゾナンスゲインとの関係を示すグラフ。
【図６】本実施形態に係るジャイロセンサーの製造方法の一例を示すフローチャート。
【図７】本実施形態に係るジャイロセンサーの製造工程を模式的に示す断面図。
【図８】本実施形態に係るジャイロセンサーの製造工程を模式的に示す断面図。
【図９】本実施形態に係る電子機器の機能ブロック図。
【図１０】本実施形態に係る電子機器の一例であるスマートフォンの外観を模式的に示す図。
【図１１】本実施形態に係る電子機器の一例であるウェアラブル機器の外観を模式的に示す図。
【図１２】本実施形態に係る移動体を模式的に示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に
説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００２０】
１．  ジャイロセンサー
まず、本実施形態に係るジャイロセンサーについて、図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態に係るジャイロセンサー１００を模式的に示す平面図である。図２は、本実施形態に係るジャイロセンサー１００を模式的に示す図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。図３は、本実施形態に係るジャイロセンサー１００を模式的に示す図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。なお、図１〜図３では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸を図示している。
【００２１】
ジャイロセンサー１００は、図１〜図３に示すように、基板１０と、蓋体２０と、機能素子１０２と、を含む。なお、便宜上、図１では、基板１０および蓋体２０を省略している。
【００２２】
基板１０の材質は、例えば、ガラス、シリコンである。基板１０は、第１面１２と、第１面１２と反対方向を向く第２面１４と、を有している。第１面１２には、凹部１６が設けられている。凹部１６は、キャビティー２を構成している。凹部１６の底面（凹部１６を規定する基板１０の面）１７には、ポスト部１８が設けられている。ポスト部１８は、機能素子１０２を支持するための部材である。
【００２３】
蓋体２０は、基板１０上に（蓋体２０の＋Ｚ軸方向側に）設けられている。蓋体２０の材質は、例えば、シリコンである。蓋体２０は、基板１０の第１面１２に接合されている。基板１０と蓋体２０とは、陽極接合によって接合されていてもよい。図示の例では、蓋体２０に凹部が形成されており、該凹部は、キャビティー２を構成している。
【００２４】
なお、基板１０と蓋体２０との接合方法は、特に限定されず、例えば、低融点ガラス（ガラスペースト）による接合でもよいし、半田による接合でもよい。または、基板１０および蓋体２０の各々の接合部分に金属薄膜（図示せず）を形成し、該金属薄膜同士を共晶接合させることにより、基板１０と蓋体２０とを接合させてもよい。
【００２５】
機能素子１０２は、基板１０の第１面１２側に設けられている。機能素子１０２は、例えば、陽極接合や直接接合によって、基板１０に接合されている。機能素子１０２は、基板１０と蓋体２０とによって形成されるキャビティー２に収容されている。キャビティー２は、減圧状態であることが望ましい。これにより、機能素子１０２の振動が空気粘性によって減衰することを抑制することができる。
【００２６】
機能素子１０２は、２つの構造体１１２（第１構造体１１２ａ、第２構造体１１２ｂ）を有している。２つの構造体１１２は、図１に示すように、Ｙ軸に平行な仮想直線αに関して対称となるように、Ｘ軸方向に並んで設けられている。
【００２７】
構造体１１２は、固定部３０と、駆動バネ部３２と、質量部（振動体）３４と、可動駆動電極３６と、固定駆動電極３８，３９と、検出用フラップ板（可動体）４０と、梁部４２と、可動検出電極４４と、固定検出電極（固定電極）４６と、を有している。駆動バネ部３２、質量部３４、可動駆動電極３６、検出用フラップ板４０、梁部４２、および可動検出電極４４は、基板１０と離間している。
【００２８】
固定部３０は、基板１０に固定されている。固定部３０は、例えば、陽極接合によって基板１０の第１面１２に接合されている。固定部３０は、例えば、１つの構造体１１２に
対して、４つ設けられている。図示の例では、構造体１１２ａ，１１２ｂは、第１構造体１１２ａの＋Ｘ軸方向側の固定部３０と第２構造体１１２ｂの−Ｘ軸側の固定部３０とを、共通の固定部としている。共通の固定部３０は、例えば、ポスト部１８上に設けられている。
【００２９】
駆動バネ部３２は、固定部３０と質量部３４とを連結している。駆動バネ部３２は、複数の梁部３３によって構成されている。梁部３３は、固定部３０の数に対応して、複数設けられている。梁部３３は、Ｙ軸方向に往復しながらＸ軸方向に延出している。梁部３３は（駆動バネ部３２は）、質量部３４の振動方向であるＸ軸方向に円滑に伸縮することができる。
【００３０】
質量部３４は、例えば、平面視において、矩形の枠体である。質量部３４のＸ軸方向の側面（例えばＸ軸に平行な垂線を持つ側面）は、駆動バネ部３２と接続されている。質量部３４は、可動駆動電極３６および固定駆動電極３８，３９によって、Ｘ軸方向に振動することができる。
【００３１】
可動駆動電極３６は、質量部３４に設けられている。図示の例では、可動駆動電極３６は、１つの構造体１１２に対して４つ設けられ、２つの可動駆動電極３６は、質量部３４の＋Ｙ軸方向側に位置し、他の２つの可動駆動電極３６は、質量部３４の−Ｙ軸方向側に位置している。可動駆動電極３６は、図１に示すように、質量部３４からＹ軸方向に延出している幹部と、該幹部からＸ軸方向に延出している複数の枝部と、を備えた櫛歯状の形状を有していてもよい。
【００３２】
固定駆動電極３８，３９は、基板１０に固定されている。固定駆動電極３８，３９は、例えば、陽極接合によって基板１０の第１面１２に接合されている。固定駆動電極３８，３９は、可動駆動電極３６と対向して設けられ、固定駆動電極３８，３９間に可動駆動電極３６が配置されている。図１に示すように、可動駆動電極３６が櫛歯状の形状を有する場合、固定駆動電極３８，３９は、可動駆動電極３６に対応した櫛歯状の形状を有していてもよい。
【００３３】
検出用フラップ板４０は、梁部４２を介して、質量部３４に支持されている。検出用フラップ板４０のＸ軸方向の側面（例えばＸ軸に平行な垂線を持つ側面）は、梁部４２と接続されている。検出用フラップ板４０は、平面視において、枠状の質量部３４の内側に設けられている。検出用フラップ板４０は、板状の形状を有している。図示の例では、平面視において、検出用フラップ板４０の形状は、矩形である。検出用フラップ板４０は、固定検出電極４６に対向して設けられている。
【００３４】
梁部４２は、質量部３４と検出用フラップ板４０とを連結している。図示の例では、梁部４２は、１つの構造体１１２において、２つ設けられている。１つの構造体１１２において、２つの梁部４２と、検出用フラップ板４０の、２つの梁部４２に挟まれた部分とは、回転軸部４１を構成している。回転軸部４１は、回転軸Ｑを有し、ねじり変形することができる。このねじり変形により、検出用フラップ板４０をＺ軸方向に変位させることができる。すなわち、検出用フラップ板４０は、回転軸Ｑを有して（回転軸Ｑの一部を有して）Ｚ軸方向に（基板１０の厚さ方向に）変位可能である。図示の例では、回転軸Ｑは、Ｘ軸と平行である。
【００３５】
可動検出電極４４は、検出用フラップ板４０に設けられている。可動検出電極４４は、検出用フラップ板４０のうち、平面視において固定検出電極４６と重なっている部分である。可動検出電極４４は、固定検出電極４６との間に静電容量を形成することができる。
【００３６】
固定部３０、駆動バネ部３２、質量部３４、可動駆動電極３６、検出用フラップ板４０、梁部４２、および可動検出電極４４は、一体に設けられている。固定部３０、駆動バネ部３２、質量部３４、可動駆動電極３６、固定駆動電極３８，３９、検出用フラップ板４０、梁部４２、および可動検出電極４４の材質は、例えば、リン、ボロン等の不純物がドープされることにより導電性が付与されたシリコンである。
【００３７】
固定検出電極４６は、基板１０に固定されている。固定検出電極４６は、基板１０に（凹部１６の底面１７に）設けられている。図示の例では、平面視において、固定検出電極４６の形状は、矩形である。平面視において、固定検出電極４６の中心Ｃ１は、検出用フラップ板４０の中心Ｃ２に対して、検出用フラップ板４０の回転軸Ｑ側に位置している。図１に示す例では、中心Ｃ１は、中心Ｃ２の＋Ｙ軸方向側に位置している。平面視において、固定検出電極４６の面積は、検出用フラップ板４０の面積の４０％以上７０％以下である。図示の例では、平面視において、検出用フラップ板４０は、中心Ｃ２を通りＸ軸に平行な仮想直線（図示せず）よりも＋Ｙ軸方向側の第１領域４０ａと、該仮想直線よりも−Ｙ軸方向側の第２領域４０ｂと、を有し、固定検出電極４６は、第１領域４０ａと重なっており、第２領域４０ｂと重なっていない。
【００３８】
なお、図示はしないが、平面視において、固定検出電極４６の中心Ｃ１が検出用フラップ板４０の中心Ｃ２に対して回転軸Ｑ側に位置していれば、固定検出電極４６は、第２領域４０ｂの一部と重なっていてもよい。
【００３９】
固定検出電極４６の材質は、例えば、アルミニウム、金、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）である。固定検出電極４６としてＩＴＯ等の透明電極材料を用いることにより、固定検出電極４６上に存在する異物等を、基板１０の第２面１４側から、容易に視認することができる。
【００４０】
次に、ジャイロセンサー１００の動作について説明する。
【００４１】
可動駆動電極３６と固定駆動電極３８，３９との間に、図示しない電源によって、電圧を印加すると、可動駆動電極３６と固定駆動電極３８，３９との間に静電力を発生させることができる。これにより、駆動バネ部３２をＸ軸方向に伸縮させつつ、質量部３４をＸ軸方向に振動させることができる。
【００４２】
図１に示すように、第１構造体１１２ａでは、固定駆動電極３８は、可動駆動電極３６の−Ｘ軸方向側に配置され、固定駆動電極３９は、可動駆動電極３６の＋Ｘ軸方向側に配置されている。第２構造体１１２ｂでは、固定駆動電極３８は、可動駆動電極３６の＋Ｘ軸方向側に配置され、固定駆動電極３９は、可動駆動電極３６の−Ｘ軸方向側に配置されている。そのため、可動駆動電極３６と固定駆動電極３８との間に第１交番電圧を印加し、可動駆動電極３６と固定駆動電極３９との間に第１交番電圧と位相が１８０度ずれた第２交番電圧を印加することにより、第１構造体１１２ａの質量部３４と、第２構造体１１２ｂの質量部３４と、を互いに逆位相でかつ所定の周波数で、Ｘ軸方向に振動させる（音叉型振動させる）ことができる。
【００４３】
質量部３４が上記の振動を行っている状態で、ジャイロセンサー１００にＹ軸まわりの角速度ωｙが加わると、コリオリ力が働き、第１構造体１１２ａの検出用フラップ板４０と、第２構造体１１２ｂの検出用フラップ板４０とは、Ｚ軸方向に（Ｚ軸に沿って）互いに反対方向に変位する。検出用フラップ板４０は、コリオリ力を受けている間、この動作を繰り返す。
【００４４】
検出用フラップ板４０がＺ軸方向に変位することにより、可動検出電極４４と固定検出
電極４６との間の距離は、変化する。そのため、可動検出電極４４と固定検出電極４６との間の静電容量は、変化する。この電極４４，４６間の静電容量の変化量を検出することにより、Ｙ軸まわりの角速度ωｙを求めることができる。
【００４５】
なお、上記では、静電力によって、質量部３４を駆動させる形態（静電駆動方式）について説明したが、質量部３４を駆動させる方法は、特に限定されず、圧電駆動方式や、磁場のローレンツ力を利用した電磁駆動方式等を適用することができる。
【００４６】
ジャイロセンサー１００は、例えば、以下の特徴を有する。
【００４７】
ジャイロセンサー１００では、平面視において、固定検出電極４６の中心Ｃ１は、検出用フラップ板４０の中心Ｃ２に対して、回転軸Ｑ側に位置している。そのため、ジャイロセンサー１００では、固定検出電極の中心が検出用フラップ板の中心と同じ位置にある場合や、固定検出電極の中心が検出用フラップ板の中心に対して回転軸Ｑから離れる方向に位置している場合に比べて、検出用フラップ板４０と固定検出電極４６との間の静電力を小さくすることができる。したがって、ジャイロセンサー１００では、検出用フラップ板４０が固定検出電極４６に貼り付くことを抑制することができる。すなわち、ジャイロセンサー１００では、検出用フラップ板４０と固定検出電極４６との間の静電力が回転軸部４１の復元力よりも大きくなって検出用フラップ板４０が固定検出電極４６に貼り付くこと（いわゆるプルイン）を抑制することができる。
【００４８】
ジャイロセンサー１００では、平面視において、固定検出電極４６の面積は、検出用フラップ板４０の面積の４０％以上７０％以下である。そのため、ジャイロセンサー１００では、高い検出感度（角速度の検出感度）を有しつつ、検出用フラップ板４０が固定検出電極４６に貼り付くことを、より確実に抑制することができる。例えば、平面視において、固定検出電極の面積が検出用フラップ板の面積の４０％より小さいと、高い検出感度を有することができない場合がある。例えば、平面視において、固定検出電極の面積が検出用フラップ板の面積の７０％より大きいと、検出用フラップ板と固定検出電極との間の静電力が大きくなる場合がある。
【００４９】
ジャイロセンサー１００では、平面視において、検出用フラップ板４０は、中心Ｃ２を通りＸ軸に平行な仮想直線（図示せず）よりも＋Ｙ軸方向側の第１領域４０ａと、該仮想直線よりも−Ｙ軸方向側の第２領域４０ｂと、を有し、固定検出電極４６は、第１領域４０ａと重なっており、第２領域４０ｂと重なっていない。そのため、ジャイロセンサー１００では、検出用フラップ板４０が固定検出電極４６に貼り付くことを、より確実に抑制することができる。
【００５０】
ここで、ジャイロセンサー１００では、検出用フラップ板４０は、例えば、平面視において固定検出電極４６と重ならない部分（例えば第２領域４０ｂ）を有するため、第２領域を有さない検出用フラップ板を備えたジャイロセンサーに比べて、検出用フラップ板４０の質量を大きくすることができる。これにより、ジャイロセンサー１００では、質量部３４の周波数を低くすることができ、検出用フラップ板４０の共振現象による振動増幅（レゾナンスゲイン）を小さくすることができる。その結果、検出用フラップ板４０が固定検出電極４６に貼り付くことを、より確実に抑制することができる。例えばレゾナンスゲインが大きいと、検出用フラップ板が固定検出電極側に大きく変位して、検出用フラップ板と固定検出電極との間の静電力が大きくなり、検出用フラップ板が固定電極に貼り付く場合がある。
【００５１】
以下、質量部の周波数（駆動周波数）を小さくすると、レゾナンスゲインが小さくなることについて説明する。
【００５２】
駆動周波数ω０ｘ［ｒａｄ］、検出周波数（検出用フラップ板の周波数）ω０ｙ［ｒａｄ］として、下記式（１）のように表す。
【００５３】
【数１】
2016176834.tif 000003
【００５４】
このとき、所定の駆動周波数で質量部を振動させたときに、検出用フラップ板の周波数の振幅比（周波数がどれくらい増幅されるか）、すなわちレゾナンスゲインＧｒｅｓは、下記式（２）のように表せる。
【００５５】
【数２】
2016176834.tif 000004
【００５６】
一例として、駆動周波数と検出周波数との差である離調周波数を８００［Ｈｚ］（＝５０２６．５４８［ｒａｄ］）として、駆動周波数ｆ０ｘ［Ｈｚ］を変化させると、レゾナンスゲインＧｒｅｓは、図４に示す表のように表される。図４に示す表の値をプロットすると、図５に示すグラフとなる。図４および図５より、駆動周波数を小さくすると、レゾナンスゲインが小さくなることがわかる。
【００５７】
２．  ジャイロセンサーの製造方法
次に、本実施形態に係るジャイロセンサー１００の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図６は、本実施形態に係るジャイロセンサー１００の製造方法の一例を示すフローチャートである。図７および図８は、本実施形態に係るジャイロセンサー１００の製造工程を模式的に示す断面図である。
【００５８】
機能素子１０２を形成する（Ｓ１）。具体的には、まず、図７に示すように、ガラス基板を準備し、当該ガラス基板をパターニングして凹部１６およびポスト部１８を形成する。パターニングは、例えば、フォトリソグラフィーおよびエッチングにより行われる。本工程により、凹部１６およびポスト部１８が設けられた基板１０を得ることができる。
【００５９】
次に、凹部１６の底面１７に固定検出電極４６を形成する。固定検出電極４６は、例えば、導電層（図示せず）をスパッタ法やＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法により成膜し、該導電層をフォトリソグラフィーおよびエッチングによりパターニングすることにより形成される。
【００６０】
図８に示すように、基板１０の第１面１２に、シリコン基板５を接合する。基板１０とシリコン基板５との接合は、例えば、陽極接合によって行われる。これにより、基板１０とシリコン基板５とを強固に接合することができる。
【００６１】
図２に示すように、シリコン基板５を、例えば研削機によって研削して薄膜化した後、所定の形状にパターニングして、機能素子１０２を形成する。パターニングは、フォトリソグラフィーおよびエッチング（ドライエッチング）によって行われ、具体的なエッチングとして、ボッシュ（Ｂｏｓｃｈ）法を用いることができる。
【００６２】
以上の工程により、固定部３０、駆動バネ部３２、質量部３４、可動駆動電極３６、固定駆動電極３８，３９、検出用フラップ板４０、梁部４２、可動検出電極４４、および固定検出電極４６を有する機能素子１０２を形成することができる。
【００６３】
次に、基板１０と蓋体２０とを接合して、基板１０と蓋体２０とによって形成されるキャビティー２に、機能素子１０２を収容する（Ｓ２）。基板１０と蓋体２０との接合は、例えば、陽極接合によって行われる。これにより、基板１０と蓋体２０とを強固に接合することができる。
【００６４】
以上の工程により、ジャイロセンサー１００を製造することができる。
【００６５】
３．  電子機器
次に、本実施形態に係る電子機器について図面を参照しながら説明する。図９は、本実施形態に係る電子機器１０００の機能ブロック図である。
【００６６】
電子機器１０００は、本発明に係るジャイロセンサーを含む。以下では、本発明に係るジャイロセンサーとして、ジャイロセンサー１００を含む場合について説明する。
【００６７】
電子機器１０００は、さらに、演算処理装置（ＣＰＵ）１０２０、操作部１０３０、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）１０４０、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）１０５０、通信部１０６０、表示部１０７０を含んで構成されている。なお、本実施形態の電子機器は、図９の構成要素（各部）の一部を省略又は変更し、あるいは、他の構成要素を付加した構成としてもよい。
【００６８】
演算処理装置１０２０は、ＲＯＭ１０４０等に記憶されているプログラムに従い、各種の計算処理や制御処理を行う。具体的には、演算処理装置１０２０は、ジャイロセンサー１００の出力信号や、操作部１０３０からの操作信号に応じた各種の処理、外部装置とデータ通信を行うために通信部１０６０を制御する処理、表示部１０７０に各種の情報を表示させるための表示信号を送信する処理等を行う。
【００６９】
操作部１０３０は、操作キーやボタンスイッチ等により構成される入力装置であり、ユーザーによる操作に応じた操作信号を演算処理装置１０２０に出力する。
【００７０】
ＲＯＭ１０４０は、演算処理装置１０２０が各種の計算処理や制御処理を行うためのプログラムやデータ等を記憶している。
【００７１】
ＲＡＭ１０５０は、演算処理装置１０２０の作業領域として用いられ、ＲＯＭ１０４０から読み出されたプログラムやデータ、ジャイロセンサー１００から入力されたデータ、操作部１０３０から入力されたデータ、演算処理装置１０２０が各種プログラムに従って実行した演算結果等を一時的に記憶する。
【００７２】
通信部１０６０は、演算処理装置１０２０と外部装置との間のデータ通信を成立させるための各種制御を行う。
【００７３】
表示部１０７０は、ＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）等により構成される表示装置であり、演算処理装置１０２０から入力される表示信号に基づいて各種の情報を表示する。表示部１０７０には操作部１０３０として機能するタッチパネルが設けられていてもよい。
【００７４】
このような電子機器１０００としては種々の電子機器が考えられ、例えば、パーソナルコンピューター（例えば、モバイル型パーソナルコンピューター、ラップトップ型パーソナルコンピューター、タブレット型パーソナルコンピューター）、スマートフォンや携帯電話機などの移動体端末、ディジタルスチールカメラ、インクジェット式吐出装置（例えば、インクジェットプリンター）、ルーターやスイッチなどのストレージエリアネットワーク機器、ローカルエリアネットワーク機器、移動体端末基地局用機器、テレビ、ビデオカメラ、ビデオレコーダー、カーナビゲーション装置、リアルタイムクロック装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ゲーム用コントローラー、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター、ヘッドマウントディスプレイ、モーショントレース、モーショントラッキング、モーションコントローラー、ＰＤＲ（歩行者位置方位計測）等が挙げられる。
【００７５】
図１０は、電子機器１０００の一例であるスマートフォンの外観の一例を示す図である。電子機器１０００であるスマートフォンは、操作部１０３０としてボタンを、表示部１０７０としてＬＣＤを備えている。
【００７６】
図１１は、電子機器１０００の一例である腕装着型の携帯機器（ウェアラブル機器）の外観の一例を示す図である。電子機器１０００であるウェアラブル機器は、表示部１０７０としてＬＣＤを備えている。表示部１０７０には操作部１０３０として機能するタッチパネルが設けられていてもよい。
【００７７】
また、電子機器１０００である携帯機器は、例えば、ＧＰＳ受信機（ＧＰＳ：Ｇｌｏｂａｌ  Ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍ）等の位置センサーを備え、ユーザーの移動距離や移動軌跡を計測することができる。
【００７８】
４．  移動体
次に、本実施形態に係る移動体について、図面を参照しながら説明する。図１２は、本実施形態に係る移動体１１００として、自動車を模式的に示す斜視図である。
【００７９】
本実施形態に係る移動体は、本発明に係るジャイロセンサーを含む。以下では、本発明に係るジャイロセンサーとして、ジャイロセンサー１００を含む移動体について説明する。
【００８０】
本実施形態に係る移動体１１００は、さらに、エンジンシステム、ブレーキシステム、キーレスエントリーシステム等の各種の制御を行うコントローラー１１２０、コントローラー１１３０、コントローラー１１４０、バッテリー１１５０およびバックアップ用バッテリー１１６０を含んで構成されている。なお、本実施形態に係る移動体１１００は、図１２に示される構成要素（各部）の一部を省略または変更してもよいし、他の構成要素を付加した構成としてもよい。
【００８１】
このような移動体１１００としては種々の移動体が考えられ、例えば、自動車（電気自動車も含む）、ジェット機やヘリコプター等の航空機、船舶、ロケット、人工衛星等が挙げられる。
【００８２】
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実
施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【００８３】
２…キャビティー、５…シリコン基板、１０…基板、１２…第１面、１４…第２面、１６…凹部、１７…底面、１８…ポスト部、２０…蓋体、３０…固定部、３２…駆動バネ部、３３…梁部、３４…質量部、３６…可動駆動電極、３８…第１固定駆動電極、３９…第２固定駆動電極、４０…検出用フラップ板、４０ａ…第１領域、４０ｂ…第２領域、４１…回転軸部、４２…梁部、４４…可動検出電極、４６…固定検出電極、１００…ジャイロセンサー、１０２…機能素子、１１２…構造体、１１２ａ…第１構造体、１１２ｂ…第２構造体、１０００…電子機器、１０２０…演算処理装置、１０３０…操作部、１０４０…ＲＯＭ、１０５０…ＲＡＭ、１０６０…通信部、１０７０…表示部、１１００…移動体、１１２０，１１３０，１１４０…コントローラー、１１５０…バッテリー、１１６０…バックアップ用バッテリー
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１】
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【図５】
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