(57)【要約】【課題】加圧や減圧に伴う発熱・冷却の影響を抑えて測定の精度や安定性を向上させることのできるリーク検査方法、リーク検査方法を提供する。【解決手段】検査対象のワークＷを含む所定の空間（主管路３１、排気管３２、分岐管３３、管路３４、バイパス管３５、ワークＷ、小マスタＭｂの部分）に気体を加圧導入した後、該空間を密閉し、密閉後の該空間の圧力変化を測定することで検査対象に漏れがあるか否かを判定するリーク検査方法において、加圧導入する気体として、該空間に加圧導入された際に結露せずに所定以上の高湿度になる空気、あるいは周囲の空気より比熱が大きく前記空間に加圧導入された際に結露しない気体を使用する。たとえば、加圧導入時に湿度８０％となるように加湿器１３で加湿した空気をエアタンク１８から検査装置本体６に供給する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象を含む所定の空間に気体を加圧導入した後、前記空間を密閉し、密閉後の前記空間の圧力を測定して前記検査対象に漏れがあるか否かを判定するリーク検査方法において、
前記気体として、前記空間に加圧導入された際に結露せずに所定以上の高湿度になる空気、あるいは周囲の空気より比熱が大きく前記空間に加圧導入された際に結露しない気体を使用する
ことを特徴とするリーク検査方法。
【請求項２】
前記気体として、前記空間に加圧導入された際に、雰囲気温度と同一または略同一になるように温度調整された気体を使用する
ことを特徴とするリーク検査方法。
【請求項３】
前記気体を、前記空間の目標圧力より高い圧力でエアタンクに蓄えておき、前記エアタンクから前記空間に減圧して導入すると共に、前記エアタンクには前記気体を前記エアタンク内で結露しない湿度で蓄える
ことを特徴とする請求項１または２に記載のリーク検査方法。
【請求項４】
前記空間は、前記測定を行う差圧センサの両側の第１空間と第２空間であり、
前記検査対象は前記第２空間に含まれ、
前記密閉は、前記第１空間と前記第２空間を個別に行う
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１つに記載のリーク検査方法。
【請求項５】
空気を加湿した後に圧縮して前記気体を得る
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１つに記載のリーク検査方法。
【請求項６】
複数回の検査において、加圧導入された気体の密度、比熱、熱伝導度をそれぞれ一定の値にする
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１つに記載のリーク検査方法。
【請求項７】
加温した空気を加湿して前記気体を得ると共に、前記空間を断熱材で保温する
ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１つに記載のリーク検査方法。
【請求項８】
前記検査対象から前記高湿度の空気を大気解放する際に、前記検査対象から吐出する空気を、前記検査対象の近傍に設けた開閉可能な排気口から外界へ排出する
ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１つに記載のリーク検査方法。
【請求項９】
検査対象を含む所定の空間と、
前記空間に、気体を加圧導入する気体導入部と、
前記加圧導入後の前記空間を密閉する密閉部と、
前記密閉部で密閉された前記空間の圧力を測定する圧力センサと、
を有し、
前記気体導入部は、前記気体として、前記空間に加圧導入された際に結露せずに所定以上の高湿度になる空気、あるいは周囲の空気より比熱が大きく前記空間に加圧導入された際に結露しない気体を前記空間に加圧導入する
ことを特徴とするリーク検査装置。
【請求項１０】
前記気体導入部は、前記気体の温度を調整する温度調整部を備え、前記気体を、前記空間に加圧導入された際に、雰囲気温度と同一温度または略同一温度になるように温度調整する
ことを特徴とする請求項９に記載のリーク検査装置。
【請求項１１】
前記気体導入部は、前記気体を蓄えるエアタンクを備え、前記気体を、前記空間の目標圧力より高い圧力かつ前記エアタンク内で結露しない湿度で前記エアタンクに蓄えておき、前記気体を、前記エアタンクから前記空間に減圧して導入する
ことを特徴とする請求項９または１０に記載のリーク検査装置。
【請求項１２】
前記気体導入部は、空気を加湿する加湿器と、圧縮器とを有し、周囲から取り入れた空気を加湿し圧縮して前記エアタンクに蓄える
ことを特徴とする請求項１０に記載のリーク検査装置。
【請求項１３】
前記圧力センサは、差圧センサであり、
前記空間は、前記差圧センサの両側の第１空間と第２空間であり、
前記検査対象は、前記第２空間に含まれ、
前記密閉部は、前記第１空間と前記第２空間を個別に密閉する
ことを特徴とする請求項９乃至１２のいずれか１つに記載のリーク検査装置。
【請求項１４】
前記気体導入部は、複数回の検査において、加圧導入前の前記気体の密度、比熱、熱伝導度をそれぞれ一定の値にする
ことを特徴とする請求項９乃至１３のいずれか１つに記載のリーク検査装置。
【請求項１５】
前記気体導入部は、ヒータをさらに備え、該ヒータで加温した空気を加湿して前記気体を得、
前記空間を保温する断熱材を設けた
ことを特徴とする請求項９乃至１４のいずれか１つに記載のリーク検査装置。
【請求項１６】
前記検査対象から前記高湿度の空気を大気解放する際に、前記検査対象から吐出する空気を、前記検査対象の近傍に設けた開閉可能な排気口から外界へ排出する
ことを特徴とする請求項９乃至１５のいずれか１つにリーク検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象の容器からの漏れを検査するリーク検査方法およびリーク検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
容器の密閉性を検査する場合、容器に空気等の気体を加圧導入した後、これを密閉し、その後の圧力変化を観察する方法が一般的である。
【０００３】
また、わずかな漏れを検出するには、高い精度で圧力変化を測定する必要があるので、圧力センサとして差圧式のものが使用される。具体的には、差圧計の一方の第１空間に検査対象の容器(ワーク)を接続し、他方の第２空間に漏れのない容器（マスタ）を接続する。そして、第１空間と第２空間の双方に同時に気体を導入して目標圧力に加圧し、その後、第１空間と第２空間をそれぞれ密閉し、両者の圧力の低下状況の違いを差圧計で検出する（特許文献１参照）。
【０００４】
図１４は、上記の検査を行うための検査装置の構成および動作の概要を示す図である。加圧工程では、弁１０１〜弁１０３を開、排気弁１０４を閉、とした状態でエア源１００から加圧気体をワークとマスタを含む検査系に導入する。加圧の際に、検査系内に存在していた気体が略断熱圧縮されて発熱する。加圧工程の後、弁１０２、弁１０３を閉じて、ワークおよびマスタ内の圧力が安定（加圧工程で生じた熱の放熱が完了）するのを待つ（平衡工程）。次の検査工程では、ワーク内とマスタ内の圧力差を差圧計１０５で測定する。このとき、ワークに漏れがあると基準値を超える差圧が生じる。検査後、弁１０１を閉じ、弁１０２、１０３を開いた後、排気弁１０４を開いて検査系内の気体を外部に排気する排気工程を行う。次のワークを検査するときは、ワークを付け替えて加圧工程から再度行う。
【０００５】
上記の検査では、加圧工程、排気工程において差圧計１０５の両側が連通しているので、高い圧力で加圧しても、差圧計１０５の両側に加わる圧力差は、検査工程で生じるわずかなものである。そのため、耐圧が低いが、わずかな圧力差を検出できる高精度の差圧計を用いることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−６１２０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のようなリーク検査において、ワークやマスタに気体を加圧導入すると、該気体が断熱圧縮されて発熱し、検査後に減圧すると断熱膨張して冷却される。また、測定系の管路からの放熱もある。このため、測定系の温度変化が大きく、測定の精度が低下する、温度が安定するまで待ってからでないと測定できない、などの問題があった。さらに蓄熱されるのはこれにとどまらず、図１５に示すように差圧計内も含む、各分岐の端部が発熱・蓄熱する。
【０００８】
すなわち、図１４、図１５に示すように、大気開放部分(例えば交換されたワーク内大気開放部分、測定終了時に大気開放される部分等）に対して圧縮エア源１００から圧縮空気が送られると、例えば大気圧時に室温であった大気開放部分は、圧縮エア源１００からの圧縮空気に押されて移動し、下流の片隅に追いやられて圧縮され、発熱する。図１５の例では、グレー色で示す箇所（熱溜まり箇所）、具体的には、ワークやマスタの内部のほか、差圧計１０５の内部や閉じた排気弁１０４で行き止まりになっている箇所において発熱・蓄熱が生じる。８００ＫＰａや１０００ＫＰａのような高い圧力に加圧してリーク検査を行う場合には、上記の問題はより顕著になる。
【０００９】
さらに、大きいワーク（表面積に比して体積の大きいワーク）を高い圧力で加圧して検査する場合、放熱が安定した平衡状態（漏れ検査ができる状態）に至るまでの時間（静定期間とする）が、容積の割に長時間となり、検査が、予想以上にはかどらないという問題が生じた。すなわち、加圧終了後、ワークの温度は放熱で急降下するが、ある程度下がったところで、急に温度降下が緩慢になってしまう。
【００１０】
また、静定期間終了直後のまさに漏れ検査を行おうとする時に圧力が乱高下してしまい、正確に検査することが難しいという問題もある。
【００１１】
本発明は、上記の問題を解決しようとするものであり、加圧や減圧に伴う発熱・冷却の影響を抑えて測定の精度や安定性を向上させることのできるリーク検査方法、リーク検査装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
かかる目的を達成するための本発明の要旨とするところは、次の各項の発明に存する。
【００１３】
［１］検査対象を含む所定の空間に気体を加圧導入した後、前記空間を密閉し、密閉後の前記空間の圧力を測定して前記検査対象に漏れがあるか否かを判定するリーク検査方法において、
前記気体として、前記空間に加圧導入された際に結露せずに所定以上の高湿度になる空気、あるいは周囲の空気より比熱が大きく前記空間に加圧導入された際に結露しない気体を使用する
ことを特徴とするリーク検査方法。
【００１４】
上記発明および下記［９］に記載の発明では、空間に加圧導入された際に結露せずに所定以上の高湿度になる空気、あるいは周囲の空気より比熱が大きく前記空間に加圧導入された際に結露しない気体を使用することで、加圧導入時の断熱変化や摩擦熱に伴う温度変化の影響を少なくする。該気体は、結露しない高湿度の空気や、エチレン、メタン、ヘリウムなどの単体やこれを空気に混ぜたものなどがある。
【００１５】
［２］前記気体として、前記空間に加圧導入された際に、雰囲気温度と同一または略同一になるように温度調整された気体を使用する
ことを特徴とするリーク検査方法。
【００１６】
上記発明および下記［１０］に記載の発明では、空間に加圧導入された気体は、放熱等による次第に雰囲気温度に近づいて安定するが、加圧導入された段階で雰囲気温度と同一または略同一温度になるように予め温度調整してあるので、加圧導入後に空間内の気体の温度が短時間で安定する。
【００１７】
［３］前記気体を、前記空間の目標圧力より高い圧力でエアタンクに蓄えておき、前記エアタンクから前記空間に減圧して導入すると共に、前記エアタンクには前記気体を前記エアタンク内で結露しない湿度で蓄える
ことを特徴とする［１］または［２］に記載のリーク検査方法。
【００１８】
上記発明および下記［１１］に記載の発明では、気体は、空間の目標圧力より高い圧力でエアタンク内に蓄えられ、該エアタンクから空間に減圧導入される。また、エアタンク内でも結露しないように湿度が調整される。
【００１９】
［４］前記空間は、前記測定を行う差圧センサの両側の第１空間と第２空間であり、
前記検査対象は前記第２空間に含まれ、
前記密閉は、前記第１空間と前記第２空間を個別に行う
ことを特徴とする［１］乃至［３］のいずれか１つに記載のリーク検査方法。
【００２０】
上記発明および下記［１２］に記載の発明では、漏れのない第１空間と、検査対象を含む第２空間に気体を加圧導入した後、第１空間と第２空間の差圧を測定する。検査対象に漏れがあれば、時間の経過に伴って第１空間と第２空間の圧力差が大きくなる。
【００２１】
［５］空気を加湿した後に圧縮して前記気体を得る
ことを特徴とする［１］乃至［４］のいずれか１つに記載のリーク検査方法。
【００２２】
上記発明および下記［１３］に記載の発明では、空気の比熱は、該空気に含まれる水分量が多いほど大きくなるので、空気を加湿することで比熱を大きくする。
【００２３】
［６］複数回の検査において、加圧導入された気体の密度、比熱、熱伝導度をそれぞれ一定の値にする
ことを特徴とする［１］乃至［５］のいずれか１つに記載のリーク検査方法。
【００２４】
上記発明および下記［１４］に記載の発明では、天候（温度や気圧）に左右されず、安定した測定が可能になる。
【００２５】
［７］加温した空気を加湿して前記気体を得ると共に、前記空間を断熱材で保温する
ことを特徴とする［１］乃至［６］のいずれか１つに記載のリーク検査方法。
【００２６】
上記発明および下記［１５］に記載の発明では、加温することで空気の絶対湿度を高めることができる。また、空間を断熱することで、結露し難くなる。
【００２７】
［８］前記検査対象から前記高湿度の空気を大気解放する際に、前記検査対象から吐出する空気を、前記検査対象の近傍に設けた開閉可能な排気口から外界へ排出する
ことを特徴とする［１］乃至［７］のいずれか１つに記載のリーク検査方法。
【００２８】
上記発明および下記［１６］に記載の発明では、高圧高湿度の空気を大気解放すると、断熱膨張によって急冷され、ダイヤモンドダストが舞う。検査対象から吐出する空気を、該検査対象の近傍に設けた弁等の開閉可能な排気口から外界へ排出することで、このダイヤモンドダストが検査装置本体内に入らないようにする。
【００２９】
［９］検査対象を含む所定の空間と、
前記空間に、気体を加圧導入する気体導入部と、
前記加圧導入後の前記空間を密閉する密閉部と、
前記密閉部で密閉された前記空間の圧力を測定する圧力センサと、
を有し、
前記気体導入部は、前記気体として、前記空間に加圧導入された際に結露せずに所定以上の高湿度になる空気、あるいは周囲の空気より比熱が大きく前記空間に加圧導入された際に結露しない気体を前記空間に加圧導入する
ことを特徴とするリーク検査装置。
【００３０】
［１０］前記気体導入部は、前記気体の温度を調整する温度調整部を備え、前記気体を、前記空間に加圧導入された際に、雰囲気温度と同一温度または略同一温度になるように温度調整する
ことを特徴とする［９］に記載のリーク検査装置。
【００３１】
［１１］前記気体導入部は、前記気体を蓄えるエアタンクを備え、前記気体を、前記空間の目標圧力より高い圧力かつ前記エアタンク内で結露しない湿度で前記エアタンクに蓄えておき、前記気体を、前記エアタンクから前記空間に減圧して導入する
ことを特徴とする［９］または［１０］に記載のリーク検査装置。
【００３２】
［１２］前記気体導入部は、空気を加湿する加湿器と、圧縮器とを有し、周囲から取り入れた空気を加湿し圧縮して前記エアタンクに蓄える
ことを特徴とする［１０］に記載のリーク検査装置。
【００３３】
［１３］前記圧力センサは、差圧センサであり、
前記空間は、前記差圧センサの両側の第１空間と第２空間であり、
前記検査対象は、前記第２空間に含まれ、
前記密閉部は、前記第１空間と前記第２空間を個別に密閉する
ことを特徴とする［９］乃至［１２］のいずれか１つに記載のリーク検査装置。
【００３４】
［１４］前記気体導入部は、複数回の検査において、加圧導入前の前記気体の密度、比熱、熱伝導度をそれぞれ一定の値にする
ことを特徴とする［９］乃至［１３］のいずれか１つに記載のリーク検査装置。
【００３５】
［１５］前記気体導入部は、ヒータをさらに備え、該ヒータで加温した空気を加湿して前記気体を得、
前記空間を保温する断熱材を設けた
ことを特徴とする［９］乃至［１４］のいずれか１つに記載のリーク検査装置。
【００３６】
［１６］前記検査対象から前記高湿度の空気を大気解放する際に、前記検査対象から吐出する空気を、前記検査対象の近傍に設けた開閉可能な排気口から外界へ排出する
ことを特徴とする［９］乃至［１５］のいずれか１つにリーク検査装置。
【発明の効果】
【００３７】
本発明に係るリーク検査方法、リーク検査装置によれば、加圧や減圧に伴う発熱・冷却の影響を抑えて測定の精度や安定性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るリーク検査装置の概略構成を示す図である。
【図２】ワークＷに手動４方弁を取り付けた状態を示す図である。
【図３】手動４方弁が取り得る４つの開閉状態を示す図である。
【図４】第１の実施の形態に係るリーク検査装置で行うリーク検査の手順を示す流れ図である。
【図５】図１のリーク検査装置における第１空間、第２空間を示す図である。
【図６】加圧開始から大気解放後所定時間が経過するまでの温度変化を示す図である。
【図７】第２の実施の形態に係るリーク検査装置を示す図である。
【図８】第３の実施の形態に係るリーク検査装置例を示す図である。
【図９】Ｙ字型の滞留防止構造の一例を示す図である。
【図１０】Ｙ字型とノズル型を組み合わせた滞留防止構造の一例を示す図である。
【図１１】第３の実施の形態に係るリーク検査装置における第１空間、第２空間、第３空間を示す図である。
【図１２】第３の実施の形態に係るリーク検査装置における検査手順を示す流れ図である。
【図１３】第３の実施の形態に係るリーク検査装置に生じ得る熱溜まり箇所を示す図である。
【図１４】従来のリーク検査工程を示す図である。
【図１５】加圧時に生じる熱溜まり箇所を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３９】
以下、図面に基づき本発明の実施の形態を説明する。
【００４０】
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るリーク検査装置５の概略構成を示している。リーク検査装置５は、検査対象となる容器（ワークＷ）の漏れを検査する装置である。
【００４１】
リーク検査装置５は、圧縮された気体の供給源である気体導入部１０と、検査装置本体６とを有する。検査装置本体６は、一端が気体導入部１０に通じ、他端に検査対象となるワークＷの接続口３１ａを備えた主管路３１を有している。主管路３１には気体導入部１０のある上流側から順に電空レギュレータ４１、第１圧力センサ４２、第１開閉弁４３、第２圧力センサ４４が設けてある。電空レギュレータ４１は、下流側が設定圧力を超えないように調整する機能を果たす。
【００４２】
主管路３１の第２圧力センサ４４より下流の所定箇所から排気管３２と分岐管３３が分岐している。排気管３２の途中には排気弁４５が設けてあり、排気管３２の末端は排気ポート３２ａにて大気に開放されている。排気管３２の分岐箇所と接続口３１ａとの間の主管路３１には手動弁４６が介挿されている。
【００４３】
手動弁４６は、接続口１〜３を備えている。接続口１は前述の分岐箇所に通じ、接続口２はワークＷの接続口３１ａに通じる。接続口３は大気に開放されている。手動弁４６は、開状態と閉状態とに手動で切り替えられる。手動弁４６は、開状態では接続口１、２を連通させ接続口３を封鎖し、閉状態では接続口１を封鎖し、接続口２、３を連通させる。
【００４４】
分岐管３３は、差圧センサ４７の一方の接続口に接続されている。差圧センサ４７の他方の接続口には管路３４が接続され、該管路３４の終端には小マスタＭｂが接続される。小マスタＭｂは、ワークＷに比べて、十分に容積が小さく、漏れのないことが確認された容器である。
【００４５】
さらに、検査装置本体６は差圧センサ４７をバイパスして分岐管３３と管路３４を接続するバイパス管３５を備えている。バイパス管３５の途中には、当該バイパス管３５を開通状態と閉鎖状態に切り替える第２開閉弁４８が介挿されている。
【００４６】
接続口３１ａには、手動４方弁５０を介してワークＷやマスタＭが接続される。ここでは、ワークＷやマスタＭは手動４方弁５０ごと接続口３１ａに着脱される。
【００４７】
第１開閉弁４３、第２開閉弁４８、排気弁４５は、コイルの発熱を回避するために電磁弁ではなく、エアオペレート式のバルブ（スプリングリターン単動作動形）を採用している。また、排気弁４５、第２開閉弁４８は、駆動時に閉じて非駆動時に開くノーマルオープン型であり、第１開閉弁４３は、駆動時に開き非駆動時に閉じるノーマルクローズ型である。これらのバルブは内部に弁体があると共に配管取付部を持つ。従って通常の管と異なり、内部容積の割には熱容量が大きい。
【００４８】
第１圧力センサ４２、第２圧力センサ４４は、単圧式の圧力センサである。定格圧力０〜１０００ＫＰａ、測定精度（誤差）は、±０．０２５％／フルスケール程度である。従って、測定レンジ１０００ＫＰａ時には２５０Ｐａ程度の誤差を含む。差圧センサ４７は定格差圧０〜５ＫＰａ（定格圧力−５〜＋５ＫＰａ）と、第１圧力センサ４２、第２圧力センサ４４に比してわずかな圧力（圧力差）で壊れる（破壊圧力は定格圧力に略比例）。その代わりに、例えば２．５Ｐａ程度の誤差しかないので、わずかな差圧を判別でき、高精度で検査することができる。
【００４９】
気体導入部１０は、比熱の大きい気体を温度調整して主管路３１へ送り出す。ここでは、比熱の大きい気体は、加湿した空気である。気体導入部１０は、周囲から取り入れた空気を加熱するヒータ１１と、気体導入部１０に入る空気（ヒータ１１を経た空気）の温度を測る入側温度センサ１２と、ヒータ１１を経た空気を所望の湿度に加湿する加湿器１３と、加湿器１３の出側の空気の湿度を測る湿度センサ１４と、加湿器１３を経た空気を圧縮するコンプレッサ１５と、加圧され加湿された空気を除湿するエアクーラ１６およびエアドライヤ１７と、圧縮された空気を圧縮された状態で蓄えるエアタンク１８と、エアタンク１８に蓄えられている空気を加温するためのヒータ１９と、雰囲気の気圧（大気圧）を測定する気圧計２１と、リーク検査装置５（特に検査装置本体６）の周囲の雰囲気の温度と湿度を測定する温湿度センサ２２と、気体導入部１０から出る空気の温度を測定する出側温度センサ２３と、目標圧力や大気圧等から、加湿器１１で加湿した後の空気の湿度等を演算する演算部２４と、気体導入部１０を含めてリーク検査装置５の全体の動作を制御する制御部２５を備えている。主管路３１は、エアタンク１８の出口に連通している。
【００５０】
気体導入部１０は、エアタンク１８から検査装置本体６内へ目標圧力になるように気体を加圧導入したとき、検査装置本体６の配管やワークＷ内等で結露が生じない湿度、たとえば、検査装置本体６内で相対湿度略８０〜１００％（加圧時相対湿度）を目標にする。検査装置本体６内の配管に導入されたときに該気体の湿度が略８０〜１００％となり、かつその温度が周囲温度とほぼ等しくなるように、湿度および温度を調整した加圧気体をエアタンク１８に蓄える。目標圧力は、たとえば、４００〜１０００ＫＰａにされる。
【００５１】
加湿器１３で加湿する目的は、気体導入部１０が取り入れる周囲の空気が乾燥している冬場であっても、エアドライヤ１７から出てエアタンク１８に蓄積される圧縮空気の湿度を略８０〜１００％（加圧時相対湿度）とするためである。
【００５２】
なお、従来のエアドライヤは以下のような構造である。すなわち、コンプレッサ１５からの湿った熱い空気はエアドライヤ内の熱交換器で、該エアドライヤから出てくる湿った（除湿された）冷たい空気と熱交換されて予冷され、更に、エアクーラでフロンガスにより所定温度に冷却される。これにより空気中の水分は凝縮し、冷却除湿される。すなわち湿度１００％（加圧時相対湿度１００％）となる。その後、エアドライヤ内の熱交換器に入ってくる熱い空気と熱交換（余熱）されて湿度が下げられてからエアドライヤから排出される。すなわち、エアドライヤからは乾燥した空気が供給される。
【００５３】
しかし、この構造では、加圧時相対湿度を略８０〜１００％とするという気体導入部１０における加湿の目的を達成できない。そこで、気体導入部１０で用いるエアドライヤ１７は、前述した予冷、余熱を行う熱交換器を用いず（または低能力として）にエアドライヤ１７から出る空気の湿度が下げられることなく（または下げ幅をコントロールして）高湿度で出る仕組みを用いていると共に、エアドライヤ１７から出る空気の温度が略気体導入部１０に入る空気の温度（雰囲気温度）と略同じ温度（又は所定温度低い温度）になるように温度調整する。これにより、エアドライヤ１７の下流、例えば、検査装置本体６、エアタンク１８、検査装置本体６〜エアタンク１８（またはエアドライヤ１７）間の配管等の内部で結露するのを防止している。
【００５４】
なお、夜間を含む略１日間の最低温度を記憶しておき、最低温度のときでも結露しない湿度とすべく、好ましくは湿度８５％（加圧時湿度）のように若干湿度を低めにしてエアドライヤ１７から出すようにしてもよい。なお、冬場に気体導入部１０に入る空気の温度と検査装置本体６等がある場所の雰囲気温度が異なる場合には、気体導入部１０に入る空気の温度とエアドライヤ１７から出る空気の温度（雰囲気温度）とは同じ温度とせずに、エアドライヤ１７から出る空気の温度は検査装置本体６等がある場所の雰囲気温度と同じ温度とすることで、前記配管等内で結露するのを防止することができる。
【００５５】
本実施の形態に示す気体導入部１０では、加湿器１３、コンプレッサ１５、エアドライヤ１７、エアタンク１８の順に接続されているが、例えば加湿器１３、コンプレッサ１５、エアタンク１８、エアドライヤ１７の順であってもかまわず、順番は問わない。
【００５６】
図２は、ワークＷに手動４方弁５０を取り付けた状態を示している。手動４方弁５０は、接続口１〜４を備えている。接続口１は主管路３１の接続口３１ａに接続される。接続口２には、ワークＷの内部の奥まで挿入される内挿管５１の一端が接続される。接続口３には、外郭管５２の一端が接続される。接続口４は大気に開放されている。外郭管５２の他端はワークＷの入り口に接続される。内挿管５１は外郭管５２の途中で外郭管５２の周壁を貫通して外郭管５２の中に入り、その後は、外郭管５２の中を通ってワークＷの中に挿入される。ワークＷの内部に挿入された内挿管５１はワークＷの内部の奥まで至り、先端がワークＷの内部の最奥付近で開口している。
【００５７】
図３は、手動４方弁５０が取り得る４つの開閉状態を示している。同図（ａ）は、接続口１と接続口２が連通し、かつ接続口３と接続口４が連通した「両開」の状態を示している。「両開」の状態で気体導入部１０から加圧導入された気体が接続口１から流入すると、該気体は接続口２から内挿管５１を通じてワークＷの内部の奥に吐出される。また外郭管５２は接続口４を経て外界に通じている。内挿管５１の先端からワークＷの内部の奥に気体が吐出されると、これに伴って、元々ワークＷの内部にあった空気が外郭管５２を通じて外界に排出される。なお、図２は、手動４方弁５０が「両開」の状態を示している。
【００５８】
図３（ｂ）は、接続口１と接続口２が連通し、かつ接続口３と接続口４が閉鎖された「第１開」の状態を示している。図３（ｃ）は、接続口１、接続口２、接続口３、接続口４がいずれも閉鎖された「閉」の状態を示している。図３（ｄ）は、接続口１と接続口４が連通し、かつ接続口２と接続口３が閉鎖された「第２開」の状態を示している。手動４方弁５０では各状態への切り替えは手動で行われる。
【００５９】
次に、リーク検査装置５を用いて行うリーク検査の手順について、図４に基づき説明する。
【００６０】
リーク検査の手順は、特許文献１に開示されているものと同一でよい。相違点は、特許文献１では、空気を加圧導入するが、本実施の形態のリーク検査装置５では加湿した空気を加圧導入する点と、マスタＭ（検査時はワークＷ）に専用の手動４方弁５０を設けている点である。
【００６１】
まず、気体導入部１０のエアタンク１３に加湿して圧縮し温度調整した空気を蓄える（ステップＳ１０１）。すなわち、気体導入部１０は、周囲から空気を取り入れ、この空気を加湿器１３で加湿する。そして、加湿器１３で加湿後の空気をコンプレッサ１５で目標圧力以上に圧縮し、エアクーラ１６およびエアドライヤ１７を経て、エアタンク１８に送り込み蓄える。このとき、制御部２５は、検査装置本体６内の配管に導入されたときに該気体の湿度が略８０〜１００％となり、かつその温度が周囲温度とほぼ等しくなるように、湿度および温度を調整した加圧気体をエアタンク１８に蓄える。
【００６２】
次に、検査装置本６体全体を掃気する（ステップＳ１０２）。すなわち、第１開閉弁４３、排気弁４５、第２開閉弁４８、手動弁４６を開いて、エアタンク１８から供給される気体を、主管路３１、排気管３２、分岐管３３、管路３４、バイパス管３５などすべての管路に流してこれらの管路を掃気する。掃気が完了したら第１開閉弁３３を閉じる。
【００６３】
次に、接続口３１ａにマスタＭを取り付ける（ステップＳ１０３）。マスタＭは、漏れのないワークＷと同形状、同体積である（同一放熱特性を持つ）。また、管路３４の末端に小マスタＭｂを取り付ける。そして、手動弁４６を開き、マスタＭ側に取りつけてある手動４方弁５０を「両開」の位置とし、排気弁４５を閉じ、第２開閉弁４８を開いた状態で、第１開閉弁４３を再び開いてエアタンク１８からの気体（加湿され圧縮された空気）を、主管路３１、排気管３２、分岐管３３、管路３４、バイパス管３５、マスタＭ（検査時はワークＷ）、小マスタＭｂを含む空間に加圧導入し（ステップＳ１０４）、所定時間が経過後に手動４方弁５０を「第１開」の位置に変えて該空間内を目標圧力にする(ステップＳ１０５)。
【００６４】
この加圧導入の当初（Ｓ１０４）は、マスタＭ側に取りつけてある手動４方弁５０が「両開」の位置にあるので、エアタンク１８から加圧導入された気体は、図２に示すように、マスタＭの内部の奥で内挿管５１の先端から吐出し、元々、マスタＭの内部にあった空気がマスタＭの出口から外郭管５２を通じて手動４方弁５０の接続口４から外界へ排出される。
【００６５】
手動４方弁５０が「両開」の位置にあると目標圧力には達しにくいが、マスタＭ内の掃気が完了する所定時間後に手動４方弁５０を「第１開」の位置にするので、その後は圧力の上昇が進み、目標圧力に至る。
【００６６】
目標圧力になったか否かは第２圧力センサ４４の検出値で確認する。この時目標圧力より少し高めの圧力としておき、加圧時に排気管３２の終端（排気弁４５に接続される位置）に出来る熱の溜まりを解消するために排気弁４５を少し開けて目標圧力にしても良い。
【００６７】
上記の空間内が目標圧力に達したら、第１開閉弁４３を閉じ、さらに第２開閉弁４８を閉じる。これにより、差圧センサ４７の一方は、小マスタＭｂを含む密閉された空間（第１空間Ｒ１）となり、他方はマスタＭを含む密閉された空間（第２空間Ｒ２）になる。詳細には、図５に示すように、第１空間Ｒ１は、管路３４、小マスタＭｂおよび第２開閉弁４８より下流のバイパス管３５の部分である。図中、第１空間Ｒ１は太破線で示す。第２空間Ｒ２は第１開閉弁４３より下流の主管路３１、排気弁４５より上流の排気管３２、分岐管３３、第２開閉弁４８より分岐管３３側のバイパス管３５およびマスタＭ（検査時はワークＷ）の部分である。図中、第２空間Ｒ２は太線で示す。
【００６８】
なお、ワークＷの容積に比べて、第１空間Ｒ１の容積は十分に小さくされている。たとえば、ワークＷは１５０Ｌ、第１空間Ｒ１は２５ｍＬ＝タンク状膨らみ１３ｍＬ＋配管１２ｍＬにされる。
【００６９】
その後、差圧センサ４７の検出値の時間経過に伴う変化を測定する。この測定結果を基準特性として、その時の周囲湿度、周囲温度、周囲気圧、エアタンク１８内の気体の温度・湿度・圧力、加圧時間、加圧完了時の検査装置本体６内の気体の温度などと共に記憶する（ステップＳ１０７）。これにより検査準備が完了する。
【００７０】
次に、マスタＭをワークＷに交換して、ワークＷの漏れを検査する。具体的には、第２開閉弁４８を開いて第１空間Ｒ１と第２空間Ｒ２を連通させる（ステップＳ１０８）と共に、手動弁３６を閉じた後、マスタＭ側に取りつけてある手動４方弁５０を「両開」の位置としてマスタＭ内にある気体を大気開放とする（ステップＳ１０９）。マスタＭ内の気体は手動弁４６から外界へ排出される。
【００７１】
マスタＭ（検査時はワークＷ）内の気体解放が済んだならば、この状態で、ステップＳ１０２と同様に検査装置本体の全体を掃気する（ステップＳ１１０）。掃気を終えたら第１開閉弁３３と排気弁３５を閉じる。この掃気は測定毎の誤差を最小限にするために行われる（対策３とする）。
【００７２】
次に、マスタＭを取り外してワークＷを接続口３１ａに取り付ける（ステップＳ１１１）。そして手動弁３６を開き、マスタＭ側に取りつけてある手動４方弁５０を「両開」の位置とし、排気弁４５を閉じ、第２開閉弁４８を開いた状態で、第１開閉弁３３を開いてエアタンク１８からの気体を検査装置本体６に加圧導入する（ステップＳ１１２）。このとき、ワークＷの内部が掃気される。ワークＷ内の掃気が完了する所定時間後に手動４方弁５０を「第１開」の位置に変え、連通状態の第１空間と第２空間にエアタンク１８からの気体をさらに加圧導入して目標圧力にする（ステップＳ１１３）。
【００７３】
目標圧力に到達したら、第１開閉弁４３を閉じ、さらに第２開閉弁４８を閉じる（ステップＳ１１４）。これにより、差圧センサ４７の一方は、ワークＷを含む密閉された第２空間Ｒ２になり、差圧センサ４７の他方は、小マスタＭｂを含む密閉された第１空間Ｒ１になる。
【００７４】
その後、差圧センサ４７の検出値の時間経過に伴う変化を測定し、この測定結果と、先に測定した基準特性を比較することで、ワークＷの漏れの有無を判定する（ステップＳ１１５）。すなわち、ワークＷに漏れがなければ、測定結果は基準特性と一致あるいはほぼ一致する。ワークＷから空気が漏れている場合は、基準特性との差が大きくなる。たとえば、所定時間経過時点の検出値と基準特性の値との差が許容値を超える場合はワークＷに漏れがあると判定する。
【００７５】
なお、加圧完了後、放熱（漏れ以外の要因）による圧力低下がほぼ収まるまでの所定の時間を静定時間として設定し、マスタＭについて静定時間が経過したときの圧力差の値を基準特性として取得する。そして、ワークＷの検査において静定時間が経過したときに検出された圧力差と基準特性としての静定時間経過後の圧力差とを比較し、その差が所定の閾値未満ならばワークＷは漏れなし（検査合格）と判定し、閾値以上ならば漏れあり（検査不合格）と判定するようにしてもよい。
【００７６】
ワークＷの検査が終了したら、第２開閉弁４８を開いて第１空間と第２空間を連通させる（ステップＳ１１６）と共に、手動弁３６を閉じた後、ワークＷに取りつけてある手動４方弁５０を「両開（第１開？）」の位置としてワークＷ内にある気体を大気開放とする（ステップＳ１１７）。ワークＷ内の気体は手動弁４６から外界へ排出される。
【００７７】
次のワークＷを続けて検査する場合は（ステップＳ１１８;Ｎｏ）、ステップＳ１１０に戻って作業を継続し、検査終了の場合は(ステップＳ１１８;Ｙｅｓ)、排気弁４５を開き、ワークＷを取り外して（ステップＳ１１９）、作業を終了する。
【００７８】
なお、加湿器１３で加湿する際の目標湿度（エアタンク１８に貯留する気体の湿度）は、検査にあたって第１開閉弁４３等を開いて空気を電空レギュレータ４１で減圧導入する際に検査装置本体６で結露が生じない湿度、たとえば、相対湿度略８０〜１００％（加圧時相対湿度）となるような湿度にされている。
【００７９】
検査準備やワークＷの検査では、エアタンク１８から気体を第１空間Ｒ１および第２空間Ｒ２に加圧導入する際に、気体が電空レギュレータ４１を通じて減圧されて断熱膨張する現象や、加圧導入時の摩擦熱などに起因して温度変動する。しかし、エアタンク１８から供給される気体は、上述したように加湿器１３で加湿されて、検査装置本体６内に加圧導入されたときに結露が生じない湿度（略８０％から１００％）になるように調湿されている。このような高湿度の空気は乾燥した低湿度の空気に比べて、比熱が大きいので、温度変動が少なく抑えられ、測定の精度や安定性を向上させることができる。
【００８０】
さらに、気体導入部１０は、エアタンク１８から検査装置本体６へ気体を加圧導入した後の該気体の温度が周囲温度とほぼ一致するようにエアタンク１８内の気体の温度を調整するので、加圧導入後に気体の温度が落ち着くまでの待ち時間を短くでき、効率よく検査を進めることができる。
【００８１】
なお、コンプレッサ１５で圧縮した後の空気を加湿することもできる。たとえば、エアタンク１８の中に加湿器１３を設置すれば、圧縮後の空気が加湿される。しかし、圧縮後に加湿すると、加湿方法（超音波加湿、加熱水蒸気加湿）によりエアタンク１８内の温度が変わる。例えば超音波加湿を行うとエアタン１８内の温度が下がり、加熱水蒸気加湿を行うとエアタン１８内の温度が上がる。検査装置本体６に減圧導入した際に雰囲気温度と一致するようにエアタンク１８内で気体を保温貯留しておけば、検査装置本体６に目標圧力で減圧導入した際に、結露が生じ難くなるが、圧縮後に加湿すると、検査装置本体６に減圧導入した際に結露させないようにするための温度制御も難しくなる。そのため、本実施の形態では、加湿器１３で加湿した後の空気をコンプレッサ１５で圧縮している。
【００８２】
また、天候によって、加湿器１３に入る空気の温度や湿度、気圧が相違する。そこで、天候に左右されずに、毎日の検査を同じ条件で行うために、制御部２５は、加湿器１３で加湿しコンプレッサ１５で圧縮してエアタンク１８に蓄える空気が、一定密度（kg/m3）、一定比熱KJ(/kg・K)、一定熱伝導度W/(M・K)になるように加湿器１３、コンプレッサ１５、エアクーラ１６、エアドライヤ１７、ヒータ１９等を制御する。
【００８３】
なお、空気の比熱Ｃは以下の式によって求められる。
【００８４】
Ｃ＝（Ｃpa・ｔ＋（γ＋Ｃpv・ｔ）ｘ）／ｔ
Ｃpa：乾き空気の定圧比熱［1.006KJ/(kg/K)］
Ｃpv：水蒸気の定圧比熱［1.805KJ/(kg/K)］
γ：１気圧、０℃の水の蒸発潜熱［2500KJ/kg］
ｔ：湿り空気の温度［℃］
ｘ：絶対湿度[kg/kg(DA)]
空気の比熱は、空気中に含まれる水分量（絶対湿度）に大きく左右されるので、空気に含ませることのできる水分量を多くするために、特に冬場においては、空気を加温して加湿することが有効になる。
【００８５】
たとえば、周囲から取り入れた空気を気体導入部１０に設けたヒータ１１で昇温してから加湿器１３で加湿する。加温しても（さらにコンプレッサ１５で圧縮されて発熱しても）エアタンク１８に貯留している間に放熱して雰囲気温度に近づく。すると、検査時に、主管路３１等に導かれた時に、電空レギュレータ４１で減圧（断熱膨張によりさらに冷却）するので、主管路３１などの各管路（第１空間Ｒ１、第２空間Ｒ２等を構成する管路）を断熱材で保温したり、エアタンク１８内にヒータ１９を入れて保温するとよい。
【００８６】
上記の保温は、電空レギュレータ４１で減圧冷却した温度が雰囲気温度となるように、減圧後の湿度、エアタンク１８内圧力、目標圧力等からエアタンク１３内の貯留温度を求めて制御する。このように、管路を断熱材で保温したり、エアタンク１８内にヒータ１９を入れて保温することで、減圧した際に結露し難くなるので、加湿器１３で加湿後の空気の絶対湿度を高めることができる。
【００８７】
ここで、エアタンク１８内に蓄える空気の湿度、温度を目標値に調整する際に気体導入部１０が行う制御や演算について説明する。
【００８８】
気体導入部１０の演算部２４は、空気の湿度を演算する第１演算、エアタンク１８内の加圧された空気の貯留温度を演算する第２演算、検査装置本体６内の目標圧力に対してエアタンク１８内の圧力をどの程度高くしておくかを表す係数の値を決定する第３演算等を行う。係数は、エアタンク１８内に蓄えられる空気圧力／目標圧力  で表される。
【００８９】
空気の湿度を演算する第１演算は次のように行なう。
【００９０】
大気圧をＰ１、検査での目標圧力をＰ２、気体導入部１０に取り入れる空気の温度をＴ１、エアタンク１８の出口での気体の温度をＴ２、大気圧Ｐ１かつ温度Ｔ１での飽和水蒸気量をＶ１、大気圧Ｐ１かつ温度Ｔ２での飽和水蒸気量をＶ２とし、エアタンク内での気体を湿度１００％とする場合、
加圧前の大気圧下の空気に必要な湿度Ｈ１は、
Ｈ１＝Ｖ２×圧縮比÷Ｖ１×１００＝Ｖ２×（Ｐ１／（（Ｐ１＋Ｐ２）×係数））÷Ｖ１×１００
として求まる。
【００９１】
必要な湿度Ｈ１が、大気圧下の加湿前の空気の湿度Ｈ２より高ければ、（Ｈ１−Ｈ２）だけ加湿器１３で加湿する必要があり、Ｈ１がＨ２以下であれば、加湿器１３で加湿する必要はない。
【００９２】
＜演算例１＞
たとえば、大気圧１００ＫＰａ、目標圧力９００ＫＰａ、目標加圧時相対湿度１００％、係数１．３、気体導入部１０に取り入れる空気の温度Ｔ１が３０℃、エアタンク１８の出口で気体の温度Ｔ２が３０℃の時について、必要な湿度Ｈ１を求める。
【００９３】
この場合の圧縮比は、
圧縮比＝１／１３（＝大気圧１００ＫＰａ／（（大気圧１００ＫＰａ＋９００ＫＰａ目標圧力）×係数１．３））  となる。
【００９４】
雰囲気温度Ｔ１が３０℃のとき、検査装置本体６に供給される圧縮空気の温度（エアタンク１８の出口での気体の温度）Ｔ２も、周囲温度と同じ３０℃にすべきである。大気圧下かつ３０℃での飽和水蒸気量Ｖ２は３０．４（g/m3）なので、気体導入部１０から吐出する空気中の（湿度１００％時の）水分量Ｋは、
水分量Ｋ＝Ｖ２×圧縮比＝３０．４（g/m3）×（１／１３）＝２．３３８（g/m3）となる。
【００９５】
加湿器１３の入口温度Ｔ１が３０℃ならば、加湿器１３の入側の空気の飽和水蒸気量Ｖ１はＶ２と同じ３０．４（g/m3）である。よって大気圧下かつ３０℃での必要な湿度Ｈ１は、
Ｈ１＝Ｖ２×圧縮比÷Ｖ１×１００＝Ｋ÷Ｖ１×１００＝２．３３８／３０．４×１００＝７．７％となる。
【００９６】
したがって、加湿器１３の入口湿度が約７．７％以下ならば加湿を行って約７．７％以上としてエアドライヤ１７（コンプレッサ１５）に送り込む（７．７％は大気圧時湿度）。例えば夏期では、気温が高く（例えば３０℃）湿度も高い（例えば６５％RH）。このような時期において雰囲気の湿度を測定する温湿度センサ２２の出力が例えば６５％RHを出力していた場合には、目標圧力から求める必要湿度Ｈ１（上記演算例１）が約７．７％なので、この差（７．７−６５．０）がマイナスの場合には加湿不要として、加湿器１１を動かす（加湿する）ことは行わない。
【００９７】
なお、検査装置本体６が置かれている場所の雰囲気温度と気体導入部１０に入る空気の温度とが異なる場合には下記のように演算を行う。
【００９８】
＜演算例２＞
目標加圧時相対湿度１００％、目標圧力４２０ＫＰａ、大気圧１０３ＫＰａ、気体導入部１０に入る空気の温度１０℃、検査装置本体の周囲の雰囲気温度が２５℃の場合、
大気圧下、１０℃での飽和水蒸気量は９．４（g/m3）、
大気圧下、２５℃での飽和水蒸気量は２３．０（g/m3）、
圧縮比＝１０３／（（４２０＋１０３）×１．３）＝０．１５１から
Ｈ１＝Ｖ２×圧縮比÷Ｖ１×１００＝２３．０×０．１５１÷９．４×１００＝３７．１％  となる。
【００９９】
雰囲気温度が仮に１０℃であれば、Ｈ１＝１５．１％であるが、雰囲気温度が２５℃なので３７．１％以上としてエアドライヤ１７（コンプレッサ１５に送り込む。
【０１００】
例えば冬期では、気温が低く（例えば10℃）湿度も低い（例えば12％RH／25℃）。このような時期において雰囲気の湿度を測定する温湿度センサ２２の出力が例えば１２％RH／２５℃を出力していた場合には、目標圧力から求める必要湿度Ｈ１（上記演算例２）が約３７．１％となるので、この差がプラスの場合（０＜（３７．１％−１２．０％））には加湿必要として、加湿器１３を大気圧時湿度において３７．１％となるように動かして加湿する。
【０１０１】
すなわち、この加湿によって、例えば春〜秋期に至る期間（例えば演算例１の場合）と、乾燥した冬場の期間（例えば演算例２の場合）とで、加圧時の湿度に差が生じないように、すなわち、検査条件に差が生じないようにしている。
【０１０２】
次に、エアタンク１８内の加圧された空気の貯留温度を演算する第２演算について説明する。エアタンク１８内の加圧された空気の貯留温度は下記のようにして求める。
【０１０３】
例えば、大気圧１００ＫＰａ、目標圧力９００ＫＰａ、係数１．３の場合、エアタンク内の圧力は１２００ＫＰａ（＝（（大気圧１００ＫＰａ＋９００ＫＰａ目標圧力）×係数１．３）−大気圧１００ＫＰａ）であるが、この空気が検査装置本体６に充填されると９００ＫＰａ（目標圧力）となる。
【０１０４】
すなわち、減圧充填されるので、エアタンク１３内にある時に比して充填されると温度が下がる（検査装置本体６は断熱構造ではないが、断熱圧縮時の発熱と逆の現象（断熱膨張）で温度が下がる）。検査装置本体６内に空気を加圧導入して目標圧力である９００ＫＰａになったときの検査装置本体内の空気の温度が周囲温度と略同じになれば、加圧導入直後に、温度の安定した状態にすることができる。そこで、該状態にすべく係数１．３に基づき（正確には大気圧、湿度等も考慮に入れて）、周囲温度に比して所定温度高めた温度でエアタンク１３内に空気を蓄える。
【０１０５】
この時、所定温度高めた温度を下記理由に基づいてやや低めとしても良い。詳述すると、図４に示すＳ１１３の加圧時とＳ１１０やＳ１１９の減圧時等において、空気と検査装置本体６内の配管との摩擦によって熱が発生する（摩擦発熱）。この摩擦発熱の大きさはマッハ数（空気の速度）によって左右される（断熱圧縮の温度は圧力の0.3乗に比例するが、マッハ１を超えると衝撃波が発生し、圧力に比例する別の温度上昇現象が発生するのでマッハ１未満としている）。
【０１０６】
ところで、Ｓ１１０の掃気によってある程度の熱は除去できるものの、掃気時間を短くしようとすればするほど摩擦発熱の熱が残ってしまう（発熱の絶対量が多くなる為）。そこで、摩擦発熱のうちの掃気で除去しきれなかった蓄熱分を、Ｓ１１３の加圧時に周囲温度より少し低い温度の空気をエアタンク１８から導入して相殺する。
【０１０７】
これにより、加圧後の静定時間中の放熱（Ｓ１１５）は、検査装置本体６内の空気温度と周囲温度との差がほぼない状態からスタートする僅かな放熱となるので、掃気の短時間化を図ることができる。このように、エアタンク１８内の加圧された空気の貯留温度は、周囲温度に比して所定温度高めた温度ではなく、摩擦発熱を相殺するためにやや低めとしても良い。
【０１０８】
次に、目標圧力に対してエアタンク１８内の圧力をどの程度高くすべきかを示す係数の値を決定する第３演算について説明する。係数は固定でなくても良い。
【０１０９】
たとえば、大気圧１００ＫＰａ、目標圧力８００ＫＰａ（加圧時相対湿度８０％）、係数１．３の場合、エアタンク１８内の圧力は１０７０ＫＰａ（＝（（大気圧１００ＫＰａ＋目標圧力８００ＫＰａ）×係数１．３）−大気圧１００ＫＰａ）にされる。１０７０ＫＰａのエアタンク１８内の湿度を１００％（加圧時相対湿度）とすると、８００ＫＰａに減圧したときの湿度は、以下に示すように７７％になる。
【０１１０】
エアタンク内の圧力が１０７０ＫＰａ時の圧縮比は、圧縮比＝大気圧／（（大気圧＋目標圧力）×１．３）＝１００／（（１００＋８００）×１．３）＝１／１１．７であり、目標圧力における圧縮比は、圧縮比＝大気圧／（大気圧＋目標圧力）＝１００／（１００＋８００）＝１／９、である。したがって、
圧縮比１／１１．７：湿度１００％＝圧縮比１／９：７７％、
なので、８００ＫＰａに減圧したときの湿度は７７％になる。
【０１１１】
このように、係数１．３の場合には目標圧力８００ＫＰａとすると検査装置本体に導入したときの気体の湿度は７７％となり、希望の８０％にならない。そこで、第３演算では、係数を、たとえば、１．３から１．２５に変更する。すなわち、目標圧力８００ＫＰａに対してエアタンク１８内の圧力を１０７０ＫＰａから１０２５ＫＰａに落とす。こうすると、加圧時間が長くなって検査時間が延びるものの、目標圧力８００ＫＰａ時の湿度を略８０％以上（加圧時相対湿度）にすることができ、検査装置本体６に送りこむ気体の比熱を大きくして、温度による影響を少なくできる。
【０１１２】
なお、エアタンク１８の容量Ｖと、エアタンク１８内の圧力Ｐ１と、必要吐出圧力Ｐ２と、使用空気量（必要空気量−吐出空気量）（ｍ３）と、使用時間ｔ（分）との間には以下の関係がある。
【０１１３】
Ｖ＝Ｑ×ｔ÷（（Ｐ１−Ｐ２）×１０）
図４に示す手順で検査を行う場合、Ｓ１０４、Ｓ１１３において手動４方弁５０を「両開」の位置にして加圧気体を導入する動作によりワークＷ内に元々あった空気を外界に追い出す掃気が行われる（対策１とする）。また、Ｓ１０９、Ｓ１１７においては、ワークＷ内の気体を手動弁４６から外界へ逃がす動作（対策２とする）を行うので、ワークＷ内の気体が検査装置本体６の主管路３１や排気管３２等を通らずに外界へ排出されている。
【０１１４】
対策１、対策２は、後述するダイヤモンドダストの発生による問題を回避する対策となっているが、対策１、２の両方を行う必要はなく、いずれか一方でもよい。
【０１１５】
ここで、ダイヤモンドダストの発生による問題について説明する。たとえば、目標加圧時相対湿度１００％（相対湿度１００％at４２０KPa＝相対湿度１５．１５％ G＝１００×１／６．６）、目標圧力４２０ＫＰａ、大気圧１０３ＫＰａ、雰囲気温度が２５℃の場合であって、マスタＭ内にある気体が２５℃湿度４０％の場合には、気体導入部１０から気体を導入して検査装置本体内を目標圧力４２０ＫＰａに加圧すると、元々マスタＭ内にあった気体は１／６．６に圧縮され、その後放熱により雰囲気温度と同じ２５℃になった場合には相対湿度２６４％（at４２０KPa  ２６５＝４０×６．６）となっている。
【０１１６】
ただし、目標加圧時相対湿度１００％ならば全量（＝２６４％−１００％）が放熱面のマスタＭの内表面に結露し、目標加圧時相対湿度１００％より低い場合は、一部は放熱面のマスタＭの内表面に結露するが、残りはマスタＭ内に導入された気体の湿度上昇に費やされ、おおむねマスタＭ内は相対湿度１００％となる。この時の絶対湿度は、大気圧下での２５℃飽和水蒸気量＝２３．０（g/m3）より３．４８５（g/m3）（＝２３×１／６．６）である。
【０１１７】
図６に示すように４２０ＫＰａに加圧したマスタＭ（検査時はワークＷ）内にある気体は大気解放により、例えば−１０℃近くになり、一瞬ではあるがこの時の絶対湿度はおおよそ２．１４（g/m3）近くまで下がる。すなわち、一瞬ではあるがマスタＭ（検査時はワークＷ）内においてダイヤモンドダスト（微小な氷）が舞う（ダイヤモンドダスト量１．３４５g/m3＝３．４８５g/m3-２．１４g/m3）。
【０１１８】
たとえば、図１の構成において、前述した対策１、対策２の両方を行っていなかった場合には、減圧で発生したダイヤモンドダストは、第２圧力センサ４４のある管路を塞ぐように溜まる。すなわち、ワークＷやマスタＭを大気解放する際に排気弁４５を開くと、マスタＭ（検査時はワークＷ）内の気体は排気管３２を通って検査装置本体６から排出されるが、減圧によって生成されたダイヤモンドダストは、慣性力で直進し、第２圧力センサ３４に向かい、排気管３２方向へは行かない。
【０１１９】
このダイヤモンドダストは、周囲湿度が低いので（４２０KPaに加圧されている時の相対湿度１００％は、大気解放下では相対湿度１５．１５％なので）、すぐに蒸発するが、それと共に周囲湿度が上昇する。対策３（加圧前の掃気）を行わなかった場合には、次の加圧により管内で結露が発生してしまう。なお、図８（第３の実施の形態に係るリーク検査装置５Ｃ）では、ダイヤモンドダストの発生を防止するために別の対策を行っている。すなわち、ダイヤモンドダストが、慣性力で直進しても溜まる場所を設けない構造としている（対策４）。
【０１２０】
次に、本発明の第２の実施の形態にかかわるリーク検査装置５Ｂについて説明する。図１では、差圧センサ４７を用いたリーク検査装置５を例示したが、単圧式の圧力センサを用いる場合にも本発明は適用される。
【０１２１】
図７は、単圧式の圧力センサを用いた第２の実施の形態に係るリーク検査装置５Ｂの一例を示している。リーク検査装置５Ｂは、気体導入部１０と検査装置本体６Ｂを備えている。気体導入部１０はリーク検査装置５と同様である。図１と同一部分には同一の符号を付してあり、それらの説明は適宜省略する。リーク検査装置５Ｂでは、検査装置本体６Ｂが備える分岐管３３の先の部分が検査装置本体６と相違する。リーク検査装置５Ｂでは、分岐管３３に単圧式の圧力計４９が取り付けてある。
【０１２２】
リーク検査装置５Ｂでは、排気弁４５を開いた状態で第１開閉弁４３を開いて管路を掃気し、その後、第１開閉弁４３を閉じて掃気を終える。次に、接続口３１ａにワークＷを取り付け、排気弁４５を閉じた後、第１開閉弁４３を開いて、加湿された空気をワークＷに加圧導入する。次に、第１開閉弁４３を閉じてワークＷの含まれる空間を密閉する。該空間は、第１開閉弁４３より下流の主管路３１、ワークＷ、排気弁４５より上流の排気管３２、単圧式の圧力計４９に至る分岐管３３からなる。この状態での単圧式の圧力計４９の出力を監視してワークＷの漏れの有無を判定する。
【０１２３】
リーク検査装置５Ｂにおいても、比熱の大きい気体を加圧導入することで、断熱圧縮等による温度変化の影響を少なく抑えて、測定の精度や安定性を向上させることができる。また、前述の対策１、対策２の少なくとも一方を行うことで、ダイヤモンドダストに起因する問題を回避する。
【０１２４】
次に、本発明の第３の実施の形態について説明する。
【０１２５】
図８は、第３の実施の形態に係るリーク検査装置５Ｃの構成を示している。気体導入部１０は図１と同一である。
【０１２６】
リーク検査装置５Ｃの検査装置本体６Ｃは、気体導入部１０の気体吐出口に一端が接続され、他端が排気ポート６１ａにされた主管路６１を備えている。主管路６１の途中には、気体導入部１０側から順に、電空レギュレータ４１、第１開閉弁４３、第２圧力センサ４４、排気弁４５が設けてある。
【０１２７】
電空レギュレータ４１と第１開閉弁４３の間の第１分岐箇所Ｂ１において主管路６１から第１分岐管６２が分岐し、第１分岐管６２の終端は、検査前のワークＷやマスタＭを接続するための準備用接続口６２ａとなっている。第１分岐管６２の途中には、該第１分岐管６２を開閉する分岐管開閉弁７２が設けてある。
【０１２８】
第１開閉弁４３と排気弁４５の間の第２分岐箇所Ｂ２において主管路６１から第２分岐管６３が分岐し、第２分岐管６３の終端は、検査対象のワークＷやマスタＭを接続するための検査用接続口６３ａとなっている。第２分岐管６３の途中には、手動弁４６が設けてある。第２圧力センサ４４は、第２分岐箇所に設けてある。
【０１２９】
第１開閉弁４３と第２圧力センサ４４の間の第３分岐箇所Ｂ３において主管路６１から第３分岐管６４が分岐し、第３分岐管６４の終端は、大気解放口６４ａとなっている。第３分岐管６４には、大気解放口６４ａに向けて順に、第２開閉弁７７、小マスタ７９、第３開閉弁７８、逃がし弁８４が介挿されている。第２開閉弁７７、第３開閉弁７８、逃がし弁８４はそれぞれ第３分岐管６４を開閉する。
【０１３０】
第２圧力センサ４４と排気弁４５の間の第４分岐箇所Ｂ４において主管路６１から第４分岐管６５が分岐し、第４分岐管６５の終端は逃がし弁８４と第３開閉弁７８との間で第３分岐管６４に合流している。第４分岐管６５には、該合流箇所に向けて、第３開閉弁８１、小マスタ８３、第４開閉弁８２が介挿されている。
【０１３１】
小マスタ７９と第３開閉弁７８の間の第５分岐箇所Ｂ５において第３分岐管６４から第５分岐管６６が分岐し、その分岐先は差圧センサ４７の一方の接続口に接続されている。小マスタ８３と第４開閉弁８２の間の第６分岐箇所Ｂ６において第４分岐管６５から第６分岐管６７が分岐し、その分岐先は差圧センサ４７の他方の接続口に接続されている。
【０１３２】
第５分岐管６６、第６分岐管６７は極めて短くされている。第１開閉弁４３と排気弁４５の間に設けられた部分は、差圧センサ４７の一方の接続口側と他方の接続口側とが対称構造にされている。
【０１３３】
すなわち、第３分岐箇所Ｂ３から第３分岐管６４と第４分岐管６５の合流箇所に至るまでの第３分岐管６４、これに介挿された第２開閉弁７７、小マスタ７９、第３開閉弁７８、これらの配置および第５分岐管６６と、第４分岐箇所Ｂ４から第３分岐管６４と第４分岐管６５の合流箇所に至るまでの第４分岐管６５、これに介挿された第３開閉弁８１、小マスタ８３、第４開閉弁８２、これらの配置および第６分岐管６７とは、差圧センサ４７に対して対称構造になっている。小マスタ７９と小マスタ８３は同じものである。小マスタ７９、小マスタ８３の容量はワークＷの容量に比べて十分小さい。
【０１３４】
また、第２分岐箇所Ｂ２は第１開閉弁４３と排気弁４５の中央に位置している。第３分岐箇所Ｂ３から第１開閉弁４３までの主管路６１の長さと、第４分岐箇所Ｂ４から排気弁４５までの主管路６１の長さは同一になっている。また、第３開閉弁７８から第３分岐管６４と第４分岐管６５の合流箇所までの部分の第３分岐管６４の長さと、第４開閉弁８２から該合流箇所までの部分の第４分岐管６５の長さは同一になっている。
【０１３５】
ワークＷやマスタＭにはそれぞれ手動４方弁５０が取り付けられ、該手動４方弁５０を介しワークＷやマスタＭは準備用接続口６２ａや検査用接続口６３ａに接続される。
【０１３６】
準備用開閉弁７２、第１開閉弁４３、排気弁４５、第２開閉弁７７、第３開閉弁７８、第３開閉弁８１、第４開閉弁８２、逃がし弁８４はいずれも、エアオペレート式のバルブ（スプリングリターン単動作動形）である。また、第３開閉弁７８、第４開閉弁８２は、駆動時に閉じて非駆動時に開くノーマルオープン型であり、準備用開閉弁７２、第１開閉弁４３、排気弁４５、第２開閉弁７７、第３開閉弁８１、逃がし弁８４はいずれも、駆動時に開き非駆動時に閉じるノーマルクローズ型である。
【０１３７】
検査装置本体６Ｃにおいては、第２分岐箇所Ｂ２、第３分岐箇所Ｂ３，第４分岐箇所Ｂ４、第５分岐箇所Ｂ５、第６分岐箇所Ｂ６において、気体の滞留を防止する滞留防止構造を設けてある。
【０１３８】
図９、図１０は、滞留防止構造の一例を示している。図９は、Ｙ字型の滞留防止構造であり、図１０は、Ｙ字型とノズル型を組み合わせた滞留防止構造である。滞留防止構造は、Ｙ字構造やノズル構造を用いて、慣性力を用いた慣性掃気により分岐箇所で分岐した管路の奥深くまで掃気する機能を果たす。第２分岐箇所Ｂ２、第３分岐箇所Ｂ３、第４分岐箇所Ｂ４、第５分岐箇所Ｂ５、第６分岐箇所Ｂ６にはＹ字型の滞留防止構造を使用する。
【０１３９】
たとえば、第３分岐箇所Ｂ３の場合、第１開閉弁４３側（入口側）から滞留防止構造に到来した気体は、慣性を有するので、Ｙ字構造の部分で急に向きを変えることができず、そのまま、第３分岐管６４を通じて第２開閉弁７７（至行き止まり箇所側）に向かう。第２開閉弁７７が閉じている場合は、そこで行き止まりになるので、その行き止まりの部分に滞留している気体を巻き込んで向きを変え、第２圧力センサ４４のあるＹ字構造の出口側に向かう。このようにして、分岐管の奥深くまで掃気される。
【０１４０】
なお、図１０に示す滞留防止構造においては、Ｙ字構造の部分については図９と同様となり、Ｙ字構造の出口の部分にノズル構造を設けてある。管径を細くしたノズル型の滞留防止構造においては、気体がノズルの部分で流速を増して行き止まりの箇所に向かって吐出し、その行き止まりになっている管路内に滞留している気体を巻き込んで向きを変え、出口に向かって進むようになる。このようにして、分岐管の奥深くまで掃気される。
【０１４１】
次に、リーク検査装置５Ｃにおける検査手順について説明する。
【０１４２】
リーク検査装置５Ｃでは、差圧センサ４７の両側の空間を一度目標圧力に加圧すると、その状態を維持したままで、マスタＭやワークＷを交換して次々と検査を進めることができる。また、断熱圧縮・膨張による温度変動を極力抑えて、短時間でかつ高い精度での検査を行えるようになっている。
【０１４３】
リーク検査装置５Ｃの検査装置本体６Ｃにおいては、図１１に示すように、第３開閉弁８１と第４開閉弁８２と差圧センサ４７の間の空間を第１空間９１、第２開閉弁７７と第３開閉弁７８と差圧センサ４７の間の空間を第２空間９２、第１開閉弁４３と排気弁４５と手動弁４６と第２開閉弁７７と第３開閉弁８１の間の空間を第３空間９３、とする。
【０１４４】
詳細には、第１空間９１は、第３開閉弁８１と第４開閉弁８２の間の第４分岐管６５、小マスタ８３、および第６分岐管６７で構成される。第２空間９２は、第２開閉弁７７と第３開閉弁７８の間の第３分岐管６４、小マスタ７９、および第５分岐管６６で構成される。図１１では、第１空間９１、第２空間９２は太線で示してある。第３空間９３は、第１開閉弁４３と排気弁４５の間の主管路６１、第２分岐箇所Ｂ２と手動弁４６の間の第２分岐管６３、第３分岐箇所Ｂ３と第２開閉弁７７の間の第３分岐管６４、第４分岐箇所Ｂ４と第３開閉弁８１との間の第４分岐管６５で構成される。図１１では、第３空間９３は太破線で示してある。
【０１４５】
図１２は、リーク検査装置５Ｃにおける検査手順を示している。まず、気体導入部１０のエアタンク１３に、第１の実施の形態と同様にして、加湿し圧縮し温度調整した空気を蓄える（ステップＳ２０１）。すなわち、検査装置本体内に減圧導入したとき（目標圧力における）の気体の温度が検査装置本体の雰囲気温度とほぼ同一となり、湿度が略８０％となるように前述した第１から第３演算に基づいて湿度や温度を調整した気体をエアタンク１８に蓄える。
【０１４６】
次に、検査装置本体内の全体を掃気する（ステップＳ２０２）。すなわち、第２開閉弁７７、第３開閉弁７８、第３開閉弁８１、第４開閉弁８２、逃がし弁８４、排気弁４５、手動弁４６、準備用開閉弁７２を開いた状態で第１開閉弁４３を開き、エアタンク１８から供給される気体を、検査装置本体６Ｃの各管路に流して掃気する。所定時間掃気したら、準備用開閉弁７２、手動弁４６、排気弁４５、逃がし弁８４および第１開閉弁４３を閉じる。掃気において第１空間９１、第２空間９２、第３空間９３は連通している。
【０１４７】
次に、検査装置本体内の全体を目標圧力に加圧した後、放置して温度が安定するまで待つ（ステップＳ２０３）。詳細には、第３開閉弁７８、第４開閉弁８２を閉じた後、第１開閉弁４３を開いて第１空間９１、第２空間９２および第３空間９３が連通した状態でエアタンク１８からの気体を検査装置本体内に加圧導入する。加圧導入が終了したら第１開閉弁４３を閉じる。
【０１４８】
このとき、気体導入部１０から導入される気体は、検査装置本体内に減圧導入されて目標圧力になったとき、ちょうど、周囲温度と同じ温度になるように調整されているので、検査装置本体内の温度が周囲温度と一致して安定な状態になるまでの待ち時間は短くて済む。また気体導入部１０から減圧導入された気体は結露せず、かつ湿度略８０％になる。
【０１４９】
ところで、ステップＳ２０２の掃気の時間を短縮して掃気が完全でない場合には、検査装置本体の中に残っていた気体が、行き止まりの箇所で断熱圧縮されて発熱し熱溜まりが形成される。図１３では、たとえば、リーク検査装置５Ｃの製造時の空気が検査装置本体６Ｃに残っている状態でステップＳ２０３で加圧した場合に生じる熱溜まり箇所をグレーの塗りつぶしで示している。具体的には、主管路６１が排気弁４５で行き止まりになる熱溜まり箇所ｄ１、第３分岐管６４が第３開閉弁７８で行き止まりになる熱溜まり箇所ｄ２、第４分岐管６５が第４開閉弁８２で行き止まりになる熱溜まり箇所ｄ３、第２分岐管６３が手動弁４６で行き止まりになる熱溜まり箇所ｄ４が生じる。
【０１５０】
そこで、ステップＳ２０３での加圧の終了直前に、排気弁４５、第３開閉弁７８、第４開閉弁８２、手動弁４６を少し開いて、熱溜まり箇所ｄ１〜ｄ４に溜まっている気体を排出して熱を外界へ逃がすようにしている。手動弁４６については、ここでは、閉じたままとしてもよい。この場合、後述するＳ２０５の掃気において、熱溜まり箇所ｄ４に溜まっている熱（気体）が排出される。
【０１５１】
なお、この加圧において第５分岐管６６、第６分岐管６７は差圧センサ４７のところで行き止まりになっているが、前述したＹ字型の滞留防止構造により、掃気され、熱溜まりの発生は防止される。
【０１５２】
検査装置本体内が目標圧力になったら、第１空間９１と第２空間９２と第３空間９３を分離し、それぞれを閉鎖空間にする（ステップＳ２０４）。具体的には、第２開閉弁７７、第３開閉弁７８を閉じる。このあと、第１空間９１は目標圧力に維持される。また、ワークＷやマスタＭを交換する場合に手動弁４６を閉じることで、第２空間９２、第３空間９３についても、ほぼ目標圧力に維持され、気体の入替はほとんど生じない。
【０１５３】
次に、マスタＭを準備用接続口６２ａに接続し、手動４方弁５０を「両開」の位置にして、準備用開閉弁７２を開き、マスタＭの内部を掃気する。その後、手動４方弁５０を「第１開」の位置にして目標圧力まで加圧し、準備用開閉弁７２を閉じる（ステップＳ２０５）。マスタＭ（後述するワークＷについても同じ）を加圧する場合の圧力は、検査装置本体内と同じ目標圧力にすることが好ましいが、任意の圧力でもよい。
【０１５４】
次に、手動４方弁５０を「閉」の位置にし、マスタＭを準備用接続口６２ａから外して検査用接続口６３ａに取り付ける（ステップＳ２０６）。
【０１５５】
次に、手動弁４６を開き、手動４方弁５０を「第２開」の位置にして、手動弁４６と手動４方弁５０との間にあった空気を外界へ排気する（ステップＳ２０７）。
【０１５６】
次に、手動４方弁５０を「第１開」の位置にして、マスタＭと第３空間９３を連通させ、該空間を第２圧力センサ４４の検出値に基づいて、目標圧力よりやや高い圧力に加圧してから、さらに第２空間９２と第３空間９３を連通させる（ステップＳ２０８）。たとえば、目標圧力８００ＫＰａに対して、８００．２５ＫＰａまで（第２圧力センサ４４の誤差分以上まで）加圧する。第２圧力センサ４４は誤差が大きいので、第２圧力センサ２４の測定レンジ（フルスケール）１０００ＫＰａにて検出値が８００．２５ＫＰａを示していても、例えば第２圧力センサ４４の測定精度（誤差）が、０．０２５％／フルスケールの場合、実際には、８００．０〜８００．５ＫＰａの範囲の圧力になる。したがって、第１空間９１よりも第２空間９２、第３空間９３は、０〜０．５ＫＰａだけ高い圧力になる。
【０１５７】
その後、差圧センサ４７の検出値から、第２空間９２、第３空間９３側の圧力と第１空間９１側の圧力が等しくなるように、排気弁４５と逃がし弁８４（第３開閉弁７８を開いて）から少しずつ排気して圧力を合わせ込む(ステップＳ２０９)。このようにすることで、第２圧力センサ４４の測定誤差を差圧センサ４７で校正して、正確に目標圧力（第１空間９１側と同じ圧力）に加圧することができる。
【０１５８】
なお、第３空間９３をほぼ目標圧力に加圧してから第２空間９２と第３空間９３を連通させるので、差圧センサ４７に大きな差圧が加わることが防止される。
【０１５９】
ステップＳ２０８の加圧においても、各種の対策を施さなければ、行き止まりの箇所にて発熱する。具体的には、図１３に示すように、第４分岐管６５が第３開閉弁８１で行き止まりになる箇所ｄ５、第３分岐管６４が第３開閉弁７８で行き止まりになる箇所ｄ２、ワークＷの内部の奥で行き止まりになる箇所ｄ６、主管路６１が排気弁４５で行き止まりになる箇所ｄ１にて熱溜まりが発生し得る。
【０１６０】
しかし、ステップＳ２０９にて排気弁４５と、逃がし弁８４（第３開閉弁７８を開いて）から排気することで熱溜まり箇所ｄ１、ｄ２の熱は外界へ排出される。また、熱溜まり箇所ｄ５については前述のＹ字型の滞留防止構造により熱の溜まりは解消される。同様に、第５分岐管６６が差圧センサ４７で行き止まる箇所についても第５分岐箇所Ｂ５に設けた滞留防止構造により熱溜まりが防止される。そして、マスタ内の奥ｄ６については、Ｓ２０５でマスタＭ内を同じ気体で事前に目標圧力に加圧してあるので、熱の発生はほとんどない。また、結露しない。後述するＳ２１３で事前に同じ気体で目標圧力へ加圧するワークＷについても同様である。
【０１６１】
次に、第１の実施の形態と同様に、基準特性を測定する（ステップＳ２１０）。前述したように、加圧時に、熱溜まり箇所に熱はほとんど溜まることがなく、また、目標圧力になったときに周囲温度と一致するように温度湿度の調整された気体が気体導入部１０から減圧導入されるので、検査装置本体内の温度が安定するまでの時間(静定時間)は短くて済む。
【０１６２】
基準特性の測定が終了したら、第２開閉弁７７を閉じて、第２空間９２と第３空間９３を分離する（ステップＳ２１１）。次に、手動弁４６を「閉」位置として、マスタＭを大気解放とし、手動４方弁５０ごと、マスタＭを検査用接続口６３ａから取り外す（ステップＳ２１２）。マスタＭ内の気体は手動弁４６から外界へ排出され、前述のダイヤモンドダストの問題は生じない。
【０１６３】
次に、ワークＷを準備用接続口６２ａに接続し、マスタＭの時と同様に掃気した後、目標圧力に加圧する（ステップＳ２１３）。
【０１６４】
次に、手動４方弁５０を「閉」位置にしてワークＷを準備用接続口６２ａから取り外し、検査用接続口６３ａに取り付ける（ステップＳ２１４）。なお、ワークＷについては、目標圧力に加圧する作業を次々に行い、準備用接続口６２ａから取り外したものを、内部の気体の温度が周囲温度に一致するまで保管場所にてしばらく放置し、その後、検査用接続口６３ａに接続する。こうすれば、別のワークＷを検査している間に、保管場所にて温度の安定を図ることができる。
【０１６５】
次に、手動弁４６を開き、手動４方弁５０を「第２開」の位置にして、手動弁４６と手動４方弁５０との間にあった空気を外界へ排気(パージ)する（ステップＳ２１５）。
【０１６６】
次に、手動４方弁５０を「第１開」の位置にして、ワークＷと第３空間９３を連通させ、該空間を第２圧力センサ４４の検出値に基づいて、目標圧力よりやや高い圧力に加圧してから、さらに第２空間９２と第３空間９３を連通させる（ステップＳ２１６）。そして、差圧センサ４７の検出値から、第２空間９２、第３空間９３側の圧力と第１空間９１側の圧力が等しくなるように、排気弁４５と逃がし弁８４（第３開閉弁７８を開いて）から少しずつ排気して第３空間９３の圧力を第１空間９１と同一圧力に合わせ込む(ステップＳ２１７)。第３空間９３をほぼ目標圧力に加圧してから第２空間９２と第３空間９３を連通させるので、差圧センサ４７に大きな差圧が加わることが防止される。
【０１６７】
ここでも、ステップＳ２０８、２０９で説明したと同様に、合わせ込み時の排気やＹ字型構造により、熱溜まりの発生が防止される。また、ワークＷ内はＳ２１３にて同じ気体で事前に充填されているので、発熱や結露は生じない。
【０１６８】
次に、第１の実施の形態と同様に、ワークＷの漏れを検査する（ステップＳ２１８）。前述したように、加圧時に熱溜まり箇所に熱がほとんど溜まることがなく、また、目標圧力になったときに周囲温度と一致し結露せずに湿度略８０％になるように温度・湿度が調整された気体が気体導入部１０から導入されるので、検査装置本体内の温度が安定するまでの時間(静定時間)は短くて済む。また、結露しない。ステップＳ２０５〜Ｓ２０９と、Ｓ２１３〜Ｓ２１７は同じ動作であり、基準特定の測定時と検査時とで条件を同一にすることができる。
【０１６９】
検査が終了したら、第２開閉弁７７を閉じて、第２空間９２と第３空間９３を分離する（ステップＳ２１９）。次に、手動弁４６を「閉」位置として、ワークＷを大気解放とし、手動４方弁５０ごとワークＷを検査用接続口６３ａから取り外す（ステップＳ２２０）。ワークＷ内の気体は検査装置本体の内部を通らずに手動弁４６を介して外界へ排出されるので、前述したダイヤモンドダストの問題は生じない。
【０１７０】
次のワークＷを続けて検査する場合は（ステップＳ２２１;Ｎｏ）、ステップＳ２１３へ移動して作業を継続する。検査終了ならば（ステップＳ２２１;Ｙｅｓ）、本処理を終了する。この際、第２開閉弁７７、第３開閉弁８１を開いて、第１空間９１と第２空間９２と第３空間９３を連通させ、その後、排気弁４５を開く。
【０１７１】
このように、リーク検査装置５Ｃでは、マスタＭやワークＷを交換する場合にも、差圧センサ４７の両側の第１空間９１と第２空間９２はほぼ同一圧力に維持されるので、差圧センサ４７の両側に大きな差圧が加わることがなく、高精度の差圧センサ４７を用いて、高圧下での検査を行うことができる。
【０１７２】
また、第１空間９１、第２空間９２、第３空間９２内は、マスタ＠Ｍやワーク＠Ｗを交換しても、ほぼ目標圧力に維持されると共に、気体がほとんど入れ替わらない状態に維持される。このため、発熱も少なく、同じ条件で短時間のうちに複数のワーク＠Ｗを検査することができる。
【０１７３】
ここで、検査圧力の切換えがある場合について説明する。
【０１７４】
まず、検査準備として、第１空間９１と第２空間９２を目標圧力に加圧した後、冷やして、安定な状態にする。たとえば、前回の検査が第１の実施の形態で例示した演算例１に示すような目標圧力（９００ＫＰａ）であり、今回の検査が演算例２に示すような目標圧力（４２０ＫＰａ）であるような場合には、以下のような方法でリーク検査装置５Ｃの検査装置本体６Ｃ内の掃気を行う。
【０１７５】
すなわち、前回の検査は目標圧力９００ＫＰａ（雰囲気温度30℃）であり、気体導入部１０に蓄える気体は、圧力が１２００ＫＰａ（＝((100+900)×1.3)-100）で湿度は１００％（加圧時湿度）なので、これを絶対湿度に換算すると２．３(＝30.4×1/13)（g/m3）となる。
【０１７６】
今回の検査が目標圧力４２０ＫＰａ（雰囲気温度25℃）の場合、絶対湿度は３．５(＝23.0×1/13)（g/m3）となり、前回の検査状態を放置したまま今回の検査を行うと、第１空間９１、第２空間９２内に残っている空気の湿度（例えば絶対湿度２．３g/m3）と、今回検査に用いる空気がの湿度（例えば絶対湿度３．５g/m3）とが異なることとなり、検査毎に少しずつ空間内の空気が今回の検査の空気と入れ替わる第２空間９２、第３空間９３と、まったく入れ替わらない第１空間９１内の空気の湿度（比熱）が異なることとなり、測定毎に誤差が生じてくる。
【０１７７】
そこで検査条件が異なる場合には、事前に第１空間９１、第２空間第２空間９２（第３空間９３も）内の空気を入れ替える。さらに初回の検査前にもこの掃気を行う。なぜならば、第１空間９１、第２空間９２、第３空間９３内の空気はリーク検査装置５Ｃの検査装置本体６Ｃが組立てられた時の空気で満たされているためである。
【０１７８】
このような検査前の検査条件切換えに伴う掃気は、図８のような、各所にＹ字型の滞留防止構造やノズル型の滞留防止構造を用いつつ貫通型の小マスタ７９、８３を用いるような装置で行われる（慣性掃気）。
【０１７９】
なお、例えば図１のリーク検査装置５では、差圧センサ４７の両側で行き止まりとなる箇所（図５のグレーの箇所）がうまく掃気できずに空気の入れ替わりに時間を要する部分であるが、図８と同様に、分岐管３３からバイパス管３５が分岐する箇所、およびバイパス管３５が分岐管３３に合流する箇所にそれぞれＹ字型の滞留防止構造を設けることで、掃気用の気体が慣性の力で差圧センサ４７の行き止まりに達し、その部分の気体を巻き込んで進むような掃気（慣性掃気）が行われる（小マスタは貫通型にするか、掃気毎に取り外す）。
【０１８０】
これにより、検査圧力変更等で必要となる空気の入れ替えが速やかに行え、第１空間Ｒ１、第２空間Ｒ２内の空気が同一となり、同一の物理常数（検査用気体の調湿を行って、同一温度、同一圧力の元で、同一の比熱）を持った空気での比較を行うことができる。
【０１８１】
次に、熱溜まり箇所の発熱を掃気で解消する点について、より詳しく説明する。
【０１８２】
例えば、大気圧１００ＫＰａ、目標圧力８００ＫＰａ、係数１．２５の場合、エアタンク１８内には、気体が１０２５ＫＰａ（＝（（大気圧１００ＫＰａ＋８００ＫＰａ目標圧力）×係数１．２５）−大気圧１００ＫＰａ）で蓄えられる。この時のエアタンク１８内湿度が略１００％であれば、気体導入部１０からリーク検査装置５Ｃの検査装置本体６Ｃに気体が減圧導入されるとその気体の湿度は略８０％（加圧時相対湿度）となる。
【０１８３】
前述したようにＳ２０３での発熱は、加圧の終了直前に排気弁４５等を少し開いて熱溜まり箇所ｄ１〜ｄ４に溜まっている気体を外界へ排出する制御およびＹ字型の滞留防止構造により解消され、Ｓ２０８やＳ２１６での発熱は、排気弁４５等を開いて熱溜まり箇所ｄ１、ｄ２、ｄ５に溜まっている熱を外界へ排出する圧力合わせ込み制御およびＹ字型の滞留防止構造により、解消される。
【０１８４】
ところが、マスタＭやワークＷ内の発熱箇所ｄ６の熱は、上記の制御や滞留防止構造では解消されない。リーク検査装置５、５Ｃでは、ワークＷやマスタＭ内を気体導入部１０から導入される気体で事前に掃気することで発熱箇所ｄ６の発熱を防止するが、これを行わない場合には以下のようなになる。
【０１８５】
たとえば、大気圧１００ＫＰａ、目標圧力８００ＫＰａ、雰囲気温度が３０℃、雰囲気湿度６５％RH、係数（第三演算により）１．３→１．２５、エアタンク１８内湿度略１００％（加圧時相対湿度）、リーク検査装置５Ｃの検査装置本体６Ｃへ送られる空気の湿度が略８０％（加圧時相対湿度）の時（温度は第二演算により雰囲気温度）、エアタンク１８から導入されてワークＷに向けて送られる加圧空気は雰囲気温度と同じ３０℃（目標圧力８００ＫＰａ加圧時温度）で、湿度略８０％（目標圧力８００ＫＰａ加圧時湿度）である。
【０１８６】
しかし、事前の掃気を行わない場合には、元々ワークＷ内にあった空気が、雰囲気温度と同じ３０℃（大気圧時温度）、雰囲気湿度６５％（大気圧時相対湿度）で満たされている場合が多い。ワークＷ内の空気は加圧により発熱（図１３の発熱箇所ｄ６）し、この熱は対流してワークＷ（タンク）内上方に移動するが、時間と共に雰囲気温度に近づく（図６参照）。雰囲気温度（３０℃）に近づいた（例えば＋０〜＋１０℃以内程度）ところでリーク検査が終了するが、この時ワークＷ（タンク）内では以下のような現象が予想される。
【０１８７】
すなわち、大気圧時相対湿度６５％のワークＷ内にあった空気は、加圧後に体積は１／９（＝−１００ＫＰａ／（８００ＫＰａ＋１００ＫＰａ））になり、これによって湿度は５８５％（＝６５％×９  目標圧力８００ＫＰａ加圧時湿度at３０℃）となる。すなわち、図６にあるように時間と共に放熱すると、タンク内では水蒸気（気体）が水（液体）に変化し、それと共に潜熱を放熱する。すなわち、ワークＷの漏れ検査を判別終了するまでの静定時間が潜熱放熱により延びる。さらに、タンク内表面を部分的にうっすら水膜が覆った状態となる。
【０１８８】
ところで、検査時と実際の使用時とでワークＷの中に入れるものが同じ気体であれば、検査時の判定基準となる漏れ気体量と、実際に使用する際に許される気体の漏れ許容量とに同じ基準値を用いることができる。しかし、内部に液体を入れて使用する容器（例えば電気温水器で使用するようなステンレス製温水貯湯タンク（オールステンレス）、瞬間湯沸器で使用するような銅製熱交換器（銅製フィンと銅管）など）をワークＷとする場合には、実際の使用時に許される液体の漏れ許容値を気体の漏れ量に換算して、検査時用漏れ許容値（気体）を設定しなければならない。
【０１８９】
この換算に当たっては粘性係数の差を用いて換算する。ところが、ワークＷ（タンク）で漏れを生じている部分に水滴（水膜）が付着しているならば漏れ検査基準は、液体の漏れ量を用いなくてはならない。しかし、前述したように、検査において、タンク内表面を部分的にうっすら水膜が覆った状態になる場合、漏れを生じている部分に水滴（水膜）が付着していかどうかが判らない（漏れ塞ぎ現象）。
【０１９０】
さらに、結露→放熱妨害→滴下→放熱復活のサイクルを経ていると思われる圧力変化の揺らぎが、静定期間終了後のまさに漏れ検査を行おうとする時（リーク検査終了間際）に発生しており、正確に検査することが難しい（圧力揺らぎ現象）。
【０１９１】
そこで、本実施の形態に係るリーク検査装置５Ｃの検査装置本体６Ｃでは、上記したワークＷ内結露を防止すべく、電空レギュレータ４１の下流側を２手に分岐し、検査前に大気圧時相対湿度６５％（at３０℃）のワークＷ内にあった空気を、８００ＫＰａ時相対湿度８０％（at３０℃）＝大気圧時相対湿度８．９％（at３０℃）の空気で置換しておくことで、上記の問題を解決している。同様に、リーク検査装置５、５Ｂにおいても、気体導入部１０から導入された気体でワークＷ内を掃気して同様の解決を図っている。
【０１９２】
さらにワークＷには、手動４方弁５０が取り付けられており、気体導入部１０から送り込んだ空気と雰囲気空気（例えば相対湿度６５％（at３０℃））とが混ざらないようにしている。この時、ワークＷ内に閉じ込めた空気の圧力は、大気圧であろうと、負圧であろうと、目標圧力であろうとかまわない。
【０１９３】
ところで、ワークＷに取りつけられた手動４方弁５０のワークＷでない側（接続口１側）は大気（例えば相対湿度６５％（at３０℃））で満たされており、さらに検査装置本体６Ｃの検査用接続口６３ａの部分も大気で満たされており、図１２のステップＳ２１４でのワークＷに取りつけにあたって、図８の手動弁４６と手動４方弁５０との間も大気圧時相対湿度６５％（at３０℃）の大気が封印されてしまう。
【０１９４】
そこでステップＳ２１５（マスタＭの場合はＳ２０７）にて、手動４方弁５０を一時的に「第２開」としてパージを行い、調湿されていない空気がワークＷ内に流れ込むことを防止している。これにより、第１空間９１、第２空間９２内の空気だけではなく、ワークＷ内、手動弁４６と手動４方弁５０の間の空気も同一となり、同一の物理常数を持った空気での比較（漏れ検査）を行うことができる。
【０１９５】
ところで、気体導入部１０から送られる気体以外の気体（例えば雰囲気）が、ワークＷやワークＷに取りつけられた手動４方弁５０と手動弁４６との間の配管等の中に入っているが故に（気体導入部１０から送られる気体と同一の物理常数を持っていない空気がワークＷや配管に満たされているが故に）、加圧時に結露が発生し、漏れ塞ぎ現象等の不具合が発生するが、リーク検査装置５Ｃでは、慣性掃気を可能とする構造（滞留防止構造）と、排気弁４５等を開いて目標圧力に合わせ込む等の制御（「発熱箇所の掃気解消」を含む）等によりこれを解消している。
【０１９６】
例えば、リーク検査装置５Ｃの検査装置本体６Ｃが組立てられた（製造された）時に、分岐管端部に残っていた内部空気が除去され、また例えば、リーク検査装置５Ｃの検査装置本体６Ｃと気体導入部１０が接続された時の、検査装置本体６Ｃ〜気体導入部１０間の配管内気体（雰囲気）が掃気される。
【０１９７】
ところで、結露を防止するのならば、例えば、リーク検査装置５、５Ｂ、５Ｃの組立てにあたって、湿度が「０」のような環境で組立てれば良い。しかしそれでは気体導入部１０から送られる気体の物理常数と異なる空気でリーク検査が行われることとなり、物理常数を同じとした空気条件下での比較ができず、無意味である。
【０１９８】
本発明に係るリーク検査装置５、５Ｂ、５Ｃでは、冬場であっても加湿することで、温度の影響を受け難い比熱の大きい気体で検査できるという特徴を有している。このことは特に乾燥地帯（エジプト、モロッコ等）での検査にあたっては、通年して加湿した空気で検査できるので特に有効である。
【０１９９】
次にリーク検査を行うワークＷの製造方法について述べる。本実施の形態に係るリーク検査装置５、５Ｂ、５Ｃが検査対象とするものは、内部に液体を入れて使用する容器（例えば電気温水器で使用するようなステンレス製温水貯湯タンク（オールステンレス）、瞬間湯沸器で使用するような銅製熱交換器（銅製フィンと銅管））であり、溶接によって作られる（又は射出成型によるプラスチック製温水貯湯タンクでも良い）。
【０２００】
内部に気体を入れて使用する容器としてのワークＷをリーク検査するならば、許される漏れ許容値として気体の漏れ量を簡単に設定できる。すなわち、検査時と実際の使用時とでワークＷの中に入れるものが同じ気体であれば、検査時の判定基準となる漏れ気体量と、実際に使用する際に許される気体の漏れ許容量とに同じ基準値を用いることができる。しかし、液体を入れて用いるワークの検査に気体を用いる場合には、実際の使用時に許される液体の漏れ許容値を気体の漏れ量に換算して、検査時用漏れ許容値（気体）を設定しなければならない。
【０２０１】
この換算に当たっては動粘性係数の差を用いて換算する。本発明での検査対象とする容器としてのワークＷは製造して、リーク検査合格後に機器に組み込まれる。例えば瞬間湯沸器の場合には出荷検査で（内部に組み込まれたワークＷを含めて）水を通水するが、ステンレス製温水貯湯タンクがワークＷのような場合には機器に組み込まれて施工現場に運び込まれてから初めて、ワークＷを組み込んだ製品に通水される。すなわち、ワークＷは容器に加工される部品（例えばステンレス板、銅板、銅管等部品）段階から容器形状となってリーク検査に至るまでの間は、一度も通水されることなく、水で洗浄されることもない。
【０２０２】
ところで、ワークＷと同じはずのマスタＭを元に基準特性（ステップＳ１０７、Ｓ２１０）を取得し、複数のワークＷのリーク検査を行うが、マスタＭを含めた複数のワークＷ（以下ワークＷ等）間の製造誤差によりそれぞれの重さが微妙に異なり、リーク検査に影響を与える（外乱）。本実施の形態で用いているワークＷ等の重量差は、部品に用いている母材と異なる（比熱が異なる）物、たとえば内部の水等によって重量が異なるわけではないので（ワークＷ等と比熱が異なる外乱物の混入がないので、「比熱が異なる外乱物の除去」は不要なので）、重量の差は母材重量の差である。そこで、マスタＭとの重量差を補正するために、母材と同一材質で作った補正部品を、ワークＷ内に入れたり接続口３１ａに接続する部品内に取り付けたりすることで重量差を補正する（ワークＷ等と「同一比熱補正部品を用いた外乱防止」）。
【０２０３】
もちろん、接続口３１ａ、６３ａに接続する部品や接続口３１ａ、６３ａに接続する場所以外の開口部を塞ぐ補機類の材質と重量も、複数のワークＷ等間で差がないように同一部材を用いると共に同じ重量物を用いることで熱容量を合わせる（「接続口に接続する部品や補機類による外乱防止」）。
【０２０４】
このような各種外乱の防止を行った後、均温化作業に入る。すなわち、ワークＷ等間で温度が異なると、その保有熱量によりリーク検査に影響を与えるのでそれを除去する（「保有熱量合わせ込みによる外乱防止」）。上述のような外乱防止は、ステップＳ２０１〜ステップＳ２０４のように、基準特性や検査の前日までに行うとよい。
【０２０５】
ところで断熱圧縮による発熱は、検査にあたってリーク検査装置５、５Ｂ、５Ｃの検査装置本体６、６Ｂ、６Ｃに導入される気体と異なる気体（例えば前回検査して放熱しきって温度が異なる気体や、ワークＷが作られた際に一緒に閉じ込められた湿度・温度が違う気体等）が残っているからなのであるから、例えば検査に先立ちリーク検査装置５、５Ｂ、５Ｃの検査装置本体６、６Ｂ、６Ｃ内の気体、ワークＷ内気体、マスタＭ内気体、差圧センサ４７内気体等、検査装置本体内のすべてを真空吸引してしまえば、断熱圧縮による発熱問題は一気に解消される。発熱の根源である気体を無くしてしまうのであるから理想的である（ただし、真空吸引に起因する減圧冷却が静定する静定時間が代わりに必要となる）。
【０２０６】
ところが真空吸引しても発熱の根源である気体を完全に無くすことはできない。なぜならば、気体のない空間（絶対真空）をだれ一人つくれた者がいないからである。このことはＪＩＳの定義で、真空とは「大気圧より低い圧力の気体で満たされている特定の空間の状態」となっていることからも判る。すなわち、真空にしても気体が残存するので断熱圧縮による発熱は回避できない。
【０２０７】
本発明では、負圧吸引で真空を作り、そこに気体導入部１０からの検査用気体を流し込むことで、新旧気体の置換をはかるのではなく、気体導入部１０から検査用気体を流し込み、加圧掃気で新旧気体の置換を行った。これにより、コンプレッサ１５のほかに真空ポンプを設ける必要がない。
【０２０８】
さらに付言すれば、真空吸引の方式では、以下のような方法を取り得る。すなわち、真空吸引によって減圧冷却が起き、この時所定量の気体を残して加圧すれば残った気体の断熱圧縮で発熱がおきる。そこで、この減圧冷却量と断熱圧縮発熱量が等量になった時点で吸引から加圧に切り替えれば、熱が相殺され、たとえ完全に吸引（絶対真空）を作ることができなくとも目的（測定時間の短縮化）を達することができる。
【０２０９】
ところが、吸引が足りずに加圧したり、逆に吸引しすぎてから加圧したりする場合には、熱が相殺できずに測定毎の誤差が生じる。これに対して、加圧掃気による新旧気体の置換では、所定時間以上の掃気であれば良く、測定毎の誤差を簡単に収束させることができる。
【０２１０】
次に、液体の漏れ許容値を気体の漏れ量に換算する換算計算式等について説明する。
【０２１１】
＜粘性係数を用いた換算計算式＞
細孔から漏れる流量は粘性係数を用いて計算することができる。
【０２１２】
粘性係数（μ  Pa・s）20℃時  水のμ＝0.0010050Pa・s  空気のμ＝0.0000181Pa・s、細孔の直径  0.1mm（＝0.0001m）、細孔の長さ  1mm（＝0.001m）、大気圧（雰囲気の気圧）101300Pa Abs、細孔入口圧（目標圧力）300kPa G（＝401300Pa Abs）、細孔出口圧（雰囲気の圧力）0kPa G（＝101300Pa Abs）の時の水の漏れ量は、
ΔＰ（以下、水ΔＰとする）＝[細孔入口圧]−[細孔出口圧]（Pa Abs）＝300000（Pa Abs）
とすると、
[水の漏れ量]＝π×[細孔の直径]4×[水ΔＰ]／（128×[水のμ]×[細孔の長さ]）
＝3.14×0.0001[m]４×（300000[Pa Abs]）／（128×0.0010050[Pa・s]×0.001[m]
＝0.00000073[m3/s]＝0.73[ml/s]、となる。
【０２１３】
これに対し空気の漏れ量は、水が非圧縮性流体であるのに対し、空気は圧縮性流体であるので差圧（以下、空気ΔＰとする）は下記のように表される。
【０２１４】
空気ΔＰ＝（[細孔入口圧]2-[細孔出口圧]2)／（2×[細孔入口圧]）
＝744225（Pa Abs）
[空気の漏れ量]＝π×[細孔の直径]4×[空気ΔＰ]／（128×[空気のμ]×[細孔の長さ]）
＝3.14×0.0001[m]4×（744225[Pa Abs]）／（128×0.0000181[Pa・s]×0.001[m]
＝0.00010087[m3/s]＝100.87[ml/s]、となる。
【０２１５】
[水の漏れ量]を基に、リーク検査装置からの[空気の漏れ量]を換算する為の換算係数（[水の細孔入口圧]＝[空気の細孔入口圧]とした場合に）は、
[空気の漏れ量]＝[水の漏れ量]×[換算係数]
[換算係数]＝[空気の漏れ量]／[水の漏れ量]
＝（[細孔入口圧]2-[細孔出口圧]2)×[水のμ]／（2×[細孔入口圧]×[空気のμ]×（[細孔入口圧]−[細孔出口圧]））
＝137.7（＝100.87／0.73）  となる。
【０２１６】
たとえば、70℃の温水を300[kPa G]で蓄えるタンクの許容温水漏れ量が10[ml/h]の時で検査時の周囲温度（＝リーク検査装置に満たされる気体温度）が20℃の時に200[kPa G]で検査する場合（[水の細孔入口圧]＝[空気の細孔入口圧]とならない場合）には、[20℃空気のμ]＝0.0000181Pa・s、[70℃の温水のμ]＝0.0004Pa・s、大気圧（雰囲気の気圧）101300Pa Absとすると、
[換算係数]＝[空気の漏れ量]／[水の漏れ量]は、
[空気の漏れ量]＝π×[細孔の直径]4×[空気ΔＰ]／（128×[空気のμ]×[細孔の長さ]）
[水の漏れ量]＝π×[細孔の直径]4×[水ΔＰ]／（128×[水のμ]×[細孔の長さ]）  なので、
[換算係数]＝（[空気ΔＰ]×[水のμ]）／（[空気のμ]×[水ΔＰ]）
で表される。計算すると、
[換算係数]＝29.28（＝292.8／10）  となり、
許容気体漏れ量（[空気の漏れ量]）＝292.8[ml/h]  として求められる。
【０２１７】
但し、圧力センサには誤差があるので、その分を考慮に入れて換算係数を修正して、許容気体漏れ量を設定する必要がある。ここでは、
Ａ：高耐圧（片耐圧が例えば１０００ＫＰａ以上）で、誤差２５０Ｐａ、測定精度（誤差）０．０２５％／フルスケールの第２圧力センサ２４を用いる場合
Ｂ：高耐圧（片耐圧が例えば１０００ＫＰａ以上）で、わずかな差圧を判別できる（誤差２．５Ｐａ、測定精度（誤差）０．０００２５％／フルスケール）差圧センサを用いる場合
を比較して説明する。
【０２１８】
Ａの差圧センサ２５を用いる場合、目標圧力８００ＫＰａに対して、８００．２５ＫＰａまで加圧しても誤差があるので、本当の圧力は８００．０〜８００．５ＫＰａの範囲の圧力であることしか判らない（誤差２５０Ｐａ）。漏れ量はＢと同程度に測れるが、加圧する目標圧力に対する誤差があるので、前述の換算係数の演算で用いる細孔入口圧が変わり、Ｂに対してある程度厳しい漏れ判定基準を用いなければならない。
【０２１９】
すなわち、Ａの場合、
空気ΔＰ＝([901550±250 Pa Abs]２-［101300 Pa Abs］２)／(2×[901300±250 Pa Abs])
[換算係数]＝[空気ΔＰ]×［水のμ］／[空気のμ]×[水ΔＰ]で表される。計算すると、
[換算係数]＝(([901550-250 Pa Abs]２-［101300 Pa Abs］２)／(2×[901300-250 Pa Abs])×［水のμ］／[空気のμ]×[水ΔＰ]、となる。
【０２２０】
Ｂの差圧センサを用いる場合、目標圧力８００ＫＰａに対して、８００．２５ＫＰａまで加圧すると、本当の圧力は８００．２４７５〜８００．２５２５ＫＰの範囲にある。したがって、Ｂの場合、
空気ΔＰ＝([901550±2.5 Pa Abs]２-［101300 Pa Abs］２)／(2×[901300±2.5 Pa Abs])
[換算係数]＝[空気ΔＰ]×［水のμ］／[空気のμ]×[水ΔＰ]で表され、計算すると、
[換算係数]＝(([901550-2.5 Pa Abs]２-［101300 Pa Abs］２)／(2×[901300-2.5 Pa Abs])×［水のμ］／[空気のμ]×[水ΔＰ]、となる。
【０２２１】
したがって、Ｂに対してＡの方を厳しい判定基準にすることで、同等の測定（判定）が可能になる。
【０２２２】
以上、本発明の実施の形態を図面によって説明してきたが、具体的な構成は実施の形態に示したものに限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における変更や追加があっても本発明に含まれる。
【０２２３】
実施の形態では、比熱の大きい気体を、加湿した空気としたが、比熱の大きい気体は、たとえば、エチレン、メタン、ヘリウム等の単体、あるいはこれを空気に混ぜたものであってもよい。周囲の空気より比熱が大きく加圧導入された際に結露しない気体であればよい。
【０２２４】
リーク検査装置５、５Ｂ、５Ｃの構成は実施の形態に例示したものに限定されない。気体導入部１０以外の部分は、検査対象に気体を加圧導入した後、密閉し、その後の圧力変化を測定して漏れを検査する構成であれば任意でよい。
【０２２５】
行き止まり箇所に配置される排気弁４５等の開閉弁から所定距離だけ気体導入部１０側の位置に弁体を設け、加圧完了直前に排気弁４５等を開いて熱溜まり箇所にあった気体を外部に逃がし、その後、上記の弁体を閉じて目標圧力にする。すなわち、熱溜まりにあった気体を外部に逃がしても排気弁４５やその近傍の管路は熱を持っているので、上記の弁体を閉じることでその熱が検査装置本体内に伝導することを防止する。
【符号の説明】
【０２２６】
５、５Ｂ、５Ｃ…リーク検査装置
６、６Ｂ、６Ｃ…検査装置本体
１０…気体導入部
１１…ヒータ
１２…入側温度センサ
１３…加湿器
１４…湿度センサ
１５…コンプレッサ
１６…エアクーラ
１７…エアドライヤ
１８…エアタンク
１９…ヒータ
２１…気圧計
２２…温湿度センサ
２３…出側温度センサ
２４…演算部
２５…制御部
３１…主管路
３１ａ…接続口
３２…排気管
３２ａ…排気ポート
３３…分岐管
３４…管路
３５…バイパス管
４１…電空レギュレータ
４２…第１圧力センサ
４３…第１開閉弁
４４…第２圧力センサ
４５…排気弁
４６…手動弁
４７…差圧センサ
４８…第２開閉弁
４９…圧力計
５０…手動４方弁
５１…内挿管
５２…外郭管
６１…主管路
６１ａ…排気ポート
６２…第１分岐管
６２ａ…準備用接続口
６３…第２分岐管
６３ａ…検査用接続口
６４…第３分岐管
６４ａ…大気解放口
６５…第４分岐管
６６…第５分岐管
６７…第６分岐管
７２…準備用開閉弁
７７…第２開閉弁
７８…第３開閉弁
７９…小マスタ
８１…第３開閉弁
８２…第４開閉弁
８３…小マスタ
８４…逃がし弁
９１…第１空間
９２…第２空間
９３…第３空間
Ｂ１…第１分岐箇所
Ｂ２…第２分岐箇所
Ｂ３…第３分岐箇所
Ｂ４…第４分岐箇所
Ｂ５…第５分岐箇所
Ｂ６…第６分岐箇所
Ｍ…マスタ
Ｍｂ…小マスタ
Ｒ１…第１空間
Ｒ２…第２空間
Ｗ…ワーク
【図１】
2016176866.tif 000003
【図４】
2016176866.tif 000004
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図２】
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【図３】
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【図５】
2016176866.tif 000014
【図６】
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【図１４】
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【図１５】
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