(57)【要約】【課題】アライメントマークを検知可能な範囲が広いアライメント装置、露光装置、およびアライメント方法を提供する。【解決手段】アライメント装置は、アライメント用のマークが付されたワークが載置される載置面を有し、該載置面を貫通して該ワークを窺うことが出来る貫通孔が複数設けられている載置台と、前記載置面に並行して突き出した腕部から該腕部に交わる方向を望む視野を有し、前記ワークの前記マークを該視野経由で検出する検出器と、前記載置台を前記載置面に沿った面内で移動させて該載置台の貫通孔を前記検出器の視野と対向させる移動器と、を備える。【選択図】      図２
2016092043.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アライメント用のマークが付されたワークが載置される載置面を有し、該載置面を貫通して該ワークを窺うことが出来る貫通孔が複数設けられている載置台と、
前記載置面に並行して突き出した腕部から該腕部に交わる方向を望む視野を有し、前記ワークの前記マークを該視野経由で検出する検出器と、
前記載置台を前記載置面に沿った面内で移動させて該載置台の貫通孔を前記検出器の視野と対向させる移動器と、
を備えたことを特徴とするアライメント装置。
【請求項２】
前記移動器は、前記載置台を前記載置面に沿った面内で回転させる回転機能を有するものであり、
前記載置台は、前記回転機能の回転軸を中心とした円周に沿って前記貫通孔が複数設けられたものであることを特徴とする請求項１記載のアライメント装置。
【請求項３】
前記検出器を前記貫通孔の数よりも少ない数備えていることを特徴とする請求項１または２記載のアライメント装置。
【請求項４】
前記載置台は、前記貫通孔として、前記検出器の視野よりも広い大きさの貫通孔が設けられたものであることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項記載のアライメント装置。
【請求項５】
アライメント用のマークが付されたワークが載置される載置面を有し、該載置面を貫通して該ワークを窺うことが出来る貫通孔が複数設けられている載置台と、
前記載置面に並行して突き出した腕部から該腕部に交わる方向を望む視野を有し、前記ワークのマークを該視野経由で検出する検出器と、
前記載置台を前記載置面に沿った面内で移動させて該載置台の貫通孔を前記検出器の視野と対向させる移動器と、
を備えたアライメント部；および
前記載置台に載置されたワークを露光する露光部；
を備えたことを特徴とする露光装置。
【請求項６】
前記アライメント部の移動器が、前記露光器による露光箇所を前記ワーク上で変更しながら複数箇所を露光するための露光箇所変更器を兼ねていることを特徴とする請求項５記載の露光装置。
【請求項７】
アライメント用のマークが付されたワークが載置される載置面を有し、該載置面を貫通して該ワークを窺うことが出来る貫通孔が複数設けられている載置台を、前記載置面に並行して突き出した腕部から該腕部に交わる方向を望む視野を有する検出器の視野に前記貫通孔が対向するように移動させる移動過程と、
前記検出器によって前記ワークの前記マークを前記視野経由で検出する検出過程と、
を含むことを特徴とするアライメント方法。
【請求項８】
前記移動過程が、前記載置台を前記載置面に沿った面内で回転させることで複数の貫通孔を前記視野に順次に対向させる回転過程を含むことを特徴とする請求項７記載のアライメント方法。
【請求項９】
前記検出過程が、前記視野内で前記マークが検出されない場合に、該視野に対向している貫通孔の位置を、該視野が該貫通孔と対向する範囲内で変更して該マークを探索する探索過程を含むことを特徴とする請求項７または８記載のアライメント方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アライメント装置、露光装置、およびアライメント方法に関し、特にリソグラフィに応用されるアライメント装置、露光装置、およびアライメント方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
露光装置等によって処理されるワークのアライメントにおいては、従来からワークの表面に形成されたアライメントマークを基準としてアライメントが行われていた。しかし、近年は高集積化のために３次元積層実装が有望視されるようになってきているため、ワーク表面のアライメントマークが埋没してしまう場合がある。また、積層された材料が例えば銅などであると可視光や赤外線を反射してしまい、表面観察のみではアライメントマークを検出することが困難になってきている。このため、ワークの裏側にアライメントマークを形成してこれを検出する裏面アライメント手法の開発がされている。
【０００３】
例えば特許文献１や特許文献２には、その裏面アライメントを行う装置及び方法が開示されている。
特許文献１では、ワークＷは裏面にマーク２６が形成されていて、ミラー２１、２２、レンズなどの光学要素２３、２４、およびプリズム２５からなる表面−裏面アライメント光学部品２０がワークステージに埋め込まれている。そして、その表面−裏面アライメント光学部品２０によってマーク２６の像が投影された平行移動レプリカ像２７をアライメント系２８で検出する。
特許文献２では、ワークステージの可動チャック５０（ワークステージに相当）に光学系８０が固定されていて、基板の裏側のアライメントマーク６６Ｂで反射された光が光学系８０によって撮像光学系２０へと導かれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４３７３３７６号公報
【特許文献２】特許第４４９３２７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ワークに対する実装位置の設計自由度を確保するためにはアライメントマークの形成箇所にも自由度が求められる。また、アライメントマークの形成時に位置ずれを生じる場合や、ワークの搭載時に位置ずれを生じる場合もある。従ってアライメント装置は、アライメントマークの配置位置（設計位置、形成位置、および搭載位置）の自由度が高いことが望まれている。
しかしながら、特に、裏面アライメントにおいては、ワークステージに開口を設け、この開口を介して撮像光学系でワーク裏面のアライメントマークを検出するため、予め設けられた開口からアライメントマークが臨む位置に、アライメントマークをワーク裏面上に形成しなければならず、アライメントマークの形成箇所における自由度が低下していた。殊に、多様な種類のワークやアライメントマークに対応するためには、ある程度の大きさの開口と、この開口内の範囲全体を検出可能な撮像光学系とが必要となってしまう。
【０００６】
また、特許文献１や特許文献２に記載の装置のように、撮像光学系の一部または全部がワークステージに埋め込まれた構成では、撮像光学系の有する狭い視野がワークステージに固定されてしまうため、その狭い視野に入るようにアライメントマークの形成箇所を設計して形成するとともに、その視野内にアライメントマークが確実に入るようにワークを正確に載置することが必要であった。
そこで、本発明は、ワーク上のアライメントマークの配置の自由度向上を可能にするアライメント装置、露光装置、およびアライメント方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明に係るアライメント装置の一態様は、アライメント用のマークが付されたワークが載置される載置面を有し、該載置面を貫通して該ワークを窺うことが出来る貫通孔が複数設けられている載置台と、前記載置面に並行して突き出した腕部から該腕部に交わる方向を望む視野を有し、前記ワークの前記マークを該視野経由で検出する検出器と、前記載置台を前記載置面に沿った面内で移動させて該載置台の貫通孔を前記検出器の視野と対向させる移動器と、を備える。
このようなアライメント装置によれば、移動器で貫通孔の位置を検知器の視野に合わせるので、アライメントマークを検知可能な範囲が広い。その結果、貫通孔の位置の設計自由度が高く、延いてはアライメントマークの配置位置の自由度も高い。
【０００８】
また、前記アライメント装置において、前記移動器は前記載置台を前記載置面に沿った面内で回転させる回転機能を有するものであり、前記載置台は前記回転機能の回転軸を中心とした円周に沿って前記貫通孔が複数設けられたものであることが好ましい。
このような好ましい構造のアライメント装置によれば、回転機能によって複数の貫通孔を効率的に検出器の視野へと送ることが出来る。
【０００９】
また、前記アライメント装置において、前記検出器を前記貫通孔の数よりも少ない数備えていることも好ましい。これにより検出器の数を抑えて装置全体の小型化や低コスト化を図ることが出来る。
また、前記アライメント装置において、前記載置台は、前記貫通孔として、前記検出器の視野よりも広い大きさの貫通孔が設けられたものであることも好ましい。前記移動器によって貫通孔内でアライメントマークを探索することが出来るので、このように広い貫通孔を設けるとアライメントマークの形成箇所の自由度が一層高い。
【００１０】
さらに、上記課題を解決するために、本発明に係る露光装置の一態様は、アライメント用のマークが付されたワークが載置される載置面を有し、該載置面を貫通して該ワークを窺うことが出来る貫通孔が複数設けられている載置台と、前記載置面に並行して突き出した腕部から該腕部に交わる方向を望む視野を有し、前記ワークのマークを該視野経由で検出する検出器と、前記載置台を前記載置面に沿った面内で移動させて該載置台の貫通孔を前記検出器の視野と対向させる移動器と、を備えたアライメント部；および、前記載置台に載置されたワークを露光する露光部；を備える。
このような露光装置によれば、上記アライメント装置と同様に、移動器で貫通孔の位置を検知器の視野に合わせるので、アライメントマークを検知可能な範囲が広い。その結果、貫通孔の位置の設計自由度が高く、延いてはアライメントマークの形成箇所の自由度も高い。
【００１１】
また、前記露光装置において、前記アライメント部の移動器が、前記露光器による露光箇所を前記ワーク上で変更しながら複数箇所を露光するための露光箇所変更器を兼ねていることが好ましい。
この好ましい構造の露光装置によれば、いわゆるステップ＆リピート方式の露光に必要な露光箇所変更器を前記移動器と兼用するので装置の複雑化が回避され、装置の小型化に寄与する。
【００１２】
さらに、上記課題を解決するために、本発明に係るアライメント方法の一態様は、アライメント用のマークが付されたワークが載置される載置面を有し、該載置面を貫通して該ワークを窺うことが出来る貫通孔が複数設けられている載置台を、前記載置面に並行して突き出した腕部から該腕部に交わる方向を望む視野を有する検出器の視野に前記貫通孔が対向するように移動させる移動過程と、前記検出器によって前記ワークの前記マークを前記視野経由で検出する検出過程と、を経る。
このようなアライメント方法によれば、移動過程で貫通孔の位置を検知器の視野に合わせるので、アライメントマークを検知可能な範囲が広い。その結果、貫通孔の位置の設計自由度が高く、延いてはアライメントマークの形成箇所の自由度も高い。
【００１３】
また、前記アライメント方法において、前記移動過程が、前記載置台を前記載置面に沿った面内で回転させることで複数の貫通孔を前記視野に順次に対向させる回転過程を含むことが好ましい。このような好ましいアライメント方法によれば、回転過程によって複数の貫通孔を効率よく検出器の視野へと送ることが出来る。
また、前記アライメント方法において、前記検出過程が、前記視野内で前記マークが検出されない場合に、該視野に対向している貫通孔の位置を、該視野が該貫通孔と対向する範囲内で変更して該マークを探索する探索過程を含むことも好ましい。このような好ましいアライメント方法によれば、アライメントマークの形成箇所の自由度が一層高い。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のアライメント装置、露光装置、およびアライメント方法によれば、ワーク上のアライメントマークの配置の自由度向上を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本実施形態の露光装置を示す概略構成図である。
【図２】露光装置のアライメント部を示す側面図である。
【図３】露光装置のアライメント部を示す上面図である
【図４】アライメントマーク検出時の位置関係を示す図である。
【図５】アライメントマークの検出例を示す図である。
【図６】アライメントおよび露光の手順を示すフローチャートである。
【図７】ワーク受け取り位置に移動したワーク保持装置の状態を示す図である。
【図８】アライメント顕微鏡の位置に移動したワーク保持装置の状態を示す図である。
【図９】貫通孔と入光口が対向したワーク保持装置の状態を示す図である。
【図１０】ワークの位置が修正されたワーク保持装置の状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本実施形態の露光装置を示す概略構成図である。本実施形態では露光装置の一例としてステッパへの応用例が示されている。
（本実施形態の露光装置の全体構成）  
露光装置１００は、ワークＷを露光する露光装置である。ここで、ワークＷは例えばシリコンウエハなどの半導体基板である。
露光装置１００は露光部１１０とアライメント部１２０と制御部１０５に大別され、露光部１１０には照明系１３０とマスク系１４０と投影レンズ１５０が備えられている。露光部１１０は、本発明にいう露光部の一例に相当し、アライメント部１２０は、本発明にいうアライメント部の一例に相当する。制御部１０５は例えばパーソナルコンピュータや組み込みコンピュータなどで構成され、露光部１１０やアライメント部１２０の動作を制御するものである。
【００１７】
照明系１３０は、光源１３１として例えば紫外線を含む光を放射する高圧水銀ランプなどを備え、この光源１３１からの光を反射して集光する集光鏡１３２や、集光鏡１３２で反射された光をマスク系１４０へと導く各種の光学部品１３３を備えている。なお、光源１３１と集光鏡１３２は図示を省略したランプハウス内に収容されている。
マスク系１４０には、ワークＷに露光（転写）されるマスクパターンが形成されたマスク１４１が備えられており、マスク１４１はマスクステージ１４２によって保持されることで水平状態が保たれている。
投影レンズ１５０は、マスク１４１に形成されたマスクパターンをワークＷ上に投影するレンズである。
【００１８】
（アライメント系の構成）
次に、アライメント部１２０の詳細について説明する。
図２、図３は、露光装置のアライメント部を示す図である。図２にはアライメント部の側面図が示され、図３にはアライメント部の上面図が示されている。なお、説明の便宜のため、図２ではワークが載置された状態が示され、図３ではワークが外された状態が示されている。
このアライメント部１２０が、本発明のアライメント装置の一実施形態に相当する。
アライメント部１２０には、アライメント顕微鏡１６０とワーク保持装置１７０が備えられている。これらのアライメント顕微鏡１６０とワーク保持装置１７０は、図示が省略されたフレームにそれぞれ固定されている。
【００１９】
ワーク保持装置１７０はワークＷを保持して移動させるものであり、ワークＷを例えば水平の上面１７６に吸着して保持する吸着板１７１と、吸着板１７１を回転させる回転ユニット１７２を備えている。回転ユニット１７２による吸着板１７１の回転は一周以上の広範囲で可能となっている。また、ワーク保持装置１７０は、例えば水平な土台となっているスライダベース１７４と、スライダベース１７４上での平行移動が自在なワークスライダ１７３を備えており、回転ユニット１７２はワークスライダ１７３上に固定されている。なお、スライダベース１７４は、水平状態を保ったまま鉛直方向（Ｚ軸方向）に移動することで照明系１３０による露光のフォーカスを調整することができる。また、回転ユニット１７２のような大きな角度ではないが、ワークスライダ１７３も、ワークＷのアライメントに十分な角度範囲での回転機能を有してよい。
【００２０】
吸着板１７１には貫通孔１７５が設けられていて、この貫通孔１７５を介して吸着板１７１の下面からワークＷのアライメントマークＭを窺うことが出来る。ここでは一例として４つの貫通孔１７５が設けられており、この４つの貫通孔１７５は、一例として、回転ユニット１７２の回転軸を中心とした１つの円周上に並べて設けられている。また、アライメントマークＭと貫通孔１７５の数は同一である必要はないが、ここでは一例として４つのアライメントマークＭが形成されているものとする。
【００２１】
吸着板１７１は、本発明にいう載置台の一例に相当し、上面１７６は本発明にいう載置面の一例に相当し、貫通孔１７５は本発明にいう貫通孔の一例に相当する。また、回転ユニット１７２とワークスライダ１７３とを合わせたものが、本発明にいう移動器の一例に相当する。
スライダベース１７４上でワークスライダ１７３が平行移動する面を、説明の便宜上、以下ではＸＹ平面と称する場合がある。また、このＸＹ平面に垂直な方向をＺ方向と称し、ＸＹ平面に平行な回転をθ回転と称する場合がある。
回転ユニット１７２は、吸着板１７１ごとワークＷをθ回転させることになり、θ回転軸はＺ軸に平行である。また、ワークスライダ１７３は、回転ユニット１７２および吸着板１７１ごとワークＷをＸＹ平面と平行に移動させることになる。また、スライダベース１７４は、鉛直方向（Ｚ軸方向）にも移動可能に構成されてよい。
【００２２】
アライメント顕微鏡１６０は、ワークＷの例えば裏面に形成されたアライメントマークＭを検出するものであり、撮像素子１６１として例えばＣＣＤを備えている。このアライメント顕微鏡１６０が、本発明にいう検出器の一例に相当する。また、アライメント顕微鏡１６０には、スライダベース１７４の外からワークＷ側へ、例えばＸＹ平面と並行して腕状につきだした鏡筒１６２が備えられ、その鏡筒１６２の例えば先端部分に入光口１６５が設けられている。この鏡筒１６２が本発明にいう腕部の一例に相当し、アライメント顕微鏡１６０の視野は入光口１６５の例えば中央に位置する。さらに、アライメント顕微鏡１６０には、撮像素子１６１のフォーカス調整のために撮像素子１６１と鏡筒１６２とを一体で例えばＺ方向に移動させる昇降ユニット１６３も備えられている。アライメント顕微鏡１６０によるアライメントマークＭの検出の際には、ワーク保持装置１７０の回転ユニット１７２およびワークスライダ１７３によって吸着板１７１（およびワークＷ）が、アライメント顕微鏡１６０の入光口１６５と貫通孔１７５が対向する位置まで移動される。このように、スライダベース１７４の外に固定されたアライメント顕微鏡１６０に対して吸着板１７１（およびワークＷ）が移動される構造により、ワークスライダ１７３の移動スペースが広く保たれている。特に露光装置１００が大型のワークＷに対応するものである場合には、アライメント顕微鏡が移動する挿入／退避型を採用すると挿入／退避のストロークが大きくなってしまうので、アライメント顕微鏡１６０を固定し、ワークステージ側を移動させる構成を採用した本実施形態の利点が大きい。
【００２３】
また、ワークステージ自体を移動させてステップ＆リピート方式で逐次露光を行うステッパ型の露光装置の場合には、移動体であるワークステージに撮像光学系を設けると装置が損傷しやすくなるおそれが生じ、制御も複雑化してしまうが、本実施形態では、ワークステージ外にアライメント顕微鏡１６０が設けられているのでそのような不都合が回避される。
【００２４】
（本実施形態におけるアライメントの概要と手順）
図４は、アライメントマーク検出時の位置関係を示す図である。
アライメントマーク検出時には、アライメント顕微鏡１６０の鏡筒１６２が吸着板１７１の裏面側に入り込んだ状態となり、入光口１６５と貫通孔１７５が対向する。このような位置関係は、貫通孔１７５の形成位置がここに例示された位置とは異なっている場合であっても、回転ユニット１７２およびワークスライダ１７３によって容易に実現される。従って、貫通孔１７５の位置の設計自由度は高く、延いてはアライメントマークＭの形成箇所の自由度も高い。
【００２５】
鏡筒１６２内の一端には、撮像素子１６１の受光部１６４が位置しており、図示は省略されているが、アライメント顕微鏡１６０には、アライメントマークＭを照らす光源も備えられている。
光源の光に照らされたアライメントマークＭの反射光は入光口１６５から鏡筒１６２内に入射する。そして、その反射光が立ち上げミラー１６６およびリレーレンズ１６７を経て鏡筒１６２内を導かれることでアライメントマークＭの像が受光部１６４に結像する。即ち、アライメント顕微鏡１６０の視野は、鏡筒１６２から例えばＺ方向を向いた視野となっている。
【００２６】
図５は、アライメントマークの検出例を示す図である。
図５には、受光面１６４の範囲が示されており、この範囲がアライメント顕微鏡１６０の視野範囲となっている。この視野範囲に対応したワークＷ上での範囲は例えば１ｍｍ角程度の範囲である。そして、この視野範囲内にアライメントマークＭが入っていると、そのアライメントマークＭの像が撮像されることとなる。ここには一例として十字形状のアライメントマークＭが示されている。撮像で得られた画像データは、図１に示す制御部１０５へと送られてワークＷの露光位置のアライメントに用いられる。
【００２７】
図５には、視野範囲（受光面１６４の範囲）に重ねて、吸着板１７１の貫通孔１７５の範囲も例示されている。貫通孔１７５の範囲はアライメント顕微鏡１６０の視野範囲よりも広いため、アライメントマークＭが視野範囲の外に位置していても、貫通孔１７５の範囲には入っている場合がある。そのような場合には、ワーク保持装置１７０の回転ユニット１７２およびワークスライダ１７３によって吸着板１７１（およびワークＷ）の位置がずらされることにより、アライメントマークＭを視野範囲内へと動かすことが出来るため、アライメントマークＭの形成箇所の自由度が高く、形成の位置ずれや設計変更などにも対応可能となっている。
【００２８】
以上説明した露光装置１００におけるアライメントおよび露光の手順について以下説明する。
図６は、アライメントおよび露光の手順を示すフローチャートであり、図７〜図１０は、この手順中でのワーク保持装置１７０の状態を示す図である。図７には、ワーク受け取り位置に移動した状態が示され、図８には、アライメント顕微鏡の位置に移動した状態が示され、図９には、貫通孔と入光口が対向した状態が示され、図１０には、ワークの位置が修正された状態が示されている。また、図６に示す手順は、図１に示す制御部１０５が露光装置１００の各部を制御することによって実行される。
【００２９】
図６に示す手順が開始されると、制御部１０５がワークスライダ１７３を制御してワーク受け取り位置まで移動させる（ステップＳ０１）。このワーク受け取り位置では、図示が省略された搬送ロボットなどによってワークが吸着板１７１上に搭載され（ステップＳ０２）、ワークは吸着板１７１によって吸着保持される。図７に示すように、ワーク受け取り位置のワークスライダ１７３は、スライダベース１７４の端に偏っており、アライメント顕微鏡１６０からも離れている。また、吸着板１７１上にワークを搭載する搬送ロボットなどの搭載精度は、アライメントマークが吸着板１７１の貫通孔１７５に重なる程度の精度であり、アライメントマークが貫通孔１７５の中心からずれていることも多い。図７に示されている丸付き数字は、ワークＷの裏面に形成されている例えば４つのアライメントマークを概念的に示したものである。また、図７（およびこの後説明する図８〜図１０）では、実際にはワークＷによって隠れる貫通孔１７５が説明の便宜のため図示されている。
【００３０】
このようにステップＳ１０２でワークが搭載されると、制御部１０５はワークスライダ１７３を制御してアライメント顕微鏡１６０の位置まで移動させる（ステップＳ０３）。図８に示すように、アライメント顕微鏡１６０の鏡筒１６２の先端部分は吸着板１７１の裏側に入り込んだ状態となる。
このように、アライメント顕微鏡（光学系）へのワークスライダ１７３の挿入を容易にするために、回転ユニット１７２の径をワークの吸着板１７１長さより小さく構成することが好適である。
【００３１】
次に制御部１０５は回転ユニット１７２（図２参照）を制御して吸着板１７１を回転させて、図９に示すように貫通孔１７５を入光口１６５に対面させる。そして、制御部１０５はワークスライダ１７３とアライメント顕微鏡１６０を制御して、その貫通孔１７５内に存在するはずのアライメントマーク（例えば丸付きの数字「１」が示すアライメントマーク）を探索（サーチ）する（ステップＳ０４）。即ち、貫通孔１７５が入光口１６５に対面した位置で撮像素子１６１による撮像が行われ、視野内でアライメントマークが検出されない場合には、入光口１６５に対する貫通孔１７５の位置が少し変更されて再び撮像素子１６１による撮像が行われて、アライメントマークが検出されるまで貫通孔１７５内の全域が順次に撮像される。
【００３２】
ステップＳ０３とステップＳ０４の前段とで貫通孔１７５が入光口１６５に対面するまでの過程が、本発明にいう移動過程の一例に相当し、その内ステップＳ０４の前段は、本発明にいう回転過程の一例に相当する。また、ステップＳ０４の後段は、本発明にいう検出過程に相当し、その内、貫通孔１７５の位置が変更されて再び撮像される過程は、本発明にいう探索過程の一例に相当する。
【００３３】
一つのアライメントマークが検出されると、次に制御部１０５は回転ユニット１７２（図２参照）を制御して吸着板１７１を回転させて、次の貫通孔１７５を入光口１６５に対面させる。回転機能をこのように利用することで入光口１６５に対して複数の貫通孔１７５を効率よく対面させることが出来る。その後、制御部１０５はワークスライダ１７３とアライメント顕微鏡１６０を制御して、その貫通孔１７５内に存在するはずのアライメントマーク（例えば丸付きの数字「２」が示すアライメントマーク）を探索（サーチ）する（ステップＳ０５）。
【００３４】
その後、同様に、吸着板１７１の回転により他の貫通孔１７５が順次に入光口１６５に対面させられ、各貫通孔１７５内のアライメントマーク（例えば丸付きの数字「３」、「４」が示すアライメントマーク）が探索（サーチ）される（ステップＳ０６、ステップＳ０７）。このように、貫通孔よりも少ない数のアライメント顕微鏡１６０によって各貫通孔内のアライメントマークが検出されるので、アライメント顕微鏡１６０の設置数が抑制され、アライメント部１２０や露光装置１００の小型化に寄与する。アライメント顕微鏡１６０の数が少なければ、省スペース化、低コスト化の観点から好適であり、貫通孔１７５の数よりも少ないことが好適である。
【００３５】
ワークＷに形成されている例えば４つアライメントマークがこのように検出されると、それらが検出された各位置の情報（受光部１６４上の位置の情報およびワークスライダ１７３の移動位置の情報）と、各アライメントマークの設計位置とに基づいて、ＸＹ平面内で実際に各アライメントマークが存在している位置が制御部１０５で算出される（ステップＳ０８）。その結果、ＸＹ平面内におけるワークＷの位置と角度が判別され、制御部１０５はワークスライダ１７３を制御してワークＷの位置を正しい露光位置に修正する（ステップＳ０９）。
【００３６】
図１０に示すように、正しい露光位置にワークＷが移動すると、貫通孔１７５は入光口１６５との対向位置からずれる場合もある。制御部１０５は、ワークスライダ１７３および図１に示す照射部１１０を制御して、このように修正された位置を基準としたいわゆるステップ＆リピートによってワークＷ上の各箇所にマスク１４１のパターンを繰り返し露光する（ステップＳ１０）。即ち、ワークスライダ１７３は、本発明にいう露光箇所変更器を兼ねている。
なお、上述した実施形態では、露光装置としてステッパが例示されているが、本発明の露光装置は、１回の露光でワークの全面を露光する、いわゆるシングルショット型の露光装置であってもよい。
【００３７】
また、上述した実施形態のアライメントは、露光装置以外の各種装置に適用することもでき、例えば貼り合せ装置（ボンダ装置）におけるアライメントに適用することができる。
また、上述した実施形態では、好ましい例としてアライメント顕微鏡を１つ備えた装置が示されているが、本発明の露光装置やアライメント装置は、複数の検出器を備えたものであってもよい。また、上述した実施形態では、好ましい例として、貫通孔の数よりも少ない数のアライメント顕微鏡を備えた装置が示されているが、本発明の露光装置やアライメント装置は、貫通孔の数以上の検出器を備えたものであってもよい。
【００３８】
また、上述した実施形態では、吸着板に４つの貫通孔が設けられた例が示されているが、本発明にいう載置台には、２つの貫通孔や６つ以上の貫通孔が設けられてもよいし、あるいは奇数個の貫通孔が設けられてもよい。また、上述した実施形態では、吸着板の４つの貫通孔が同一の円周上に並んでいる例が示されているが、本発明にいう載置台に設けられる複数の貫通孔は、径が異なり中心が共通した複数の円周上にそれぞれ並んで設けられてもよい。
【００３９】
また、上述した実施形態では、ワークおよび吸着板を平行移動させるワークスライダと、ワークおよび吸着板を回転させる回転ユニットとを備えた例が示されているが、本発明にいう移動器については、載置台を回転させる回転機能を備えることが望ましいものの必須ではない。
また、上述した実施形態では、アライメントマークがワークの裏面に設けられた例が示されているが、本発明にいう検出器は、ワークの表面に形成されたアライメントマークを例えば赤外線などでワークの裏面から検出するものであってもよい。
【符号の説明】
【００４０】
１００…露光装置、Ｗ…ワーク、Ｍ…アライメントマーク、１１０…露光部、１２０…アライメント部、１６０…アライメント顕微鏡、１７０…ワーク保持装置、１７１…吸着板、１７２…回転ユニット、１７３…ワークスライダ、１７４…スライダベース、１７５…貫通孔、１７６…上面、１６２…鏡筒、１６５…入光口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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