(57)【要約】【課題】簡単な構成で、潤滑油の循環装置の異常検出精度が向上した風力発電装置の異常監視装置を提供する。【解決手段】風力発電装置の異常監視装置は、風力発電装置の可動部の潤滑を行なう潤滑油を循環させる循環経路に設けられた第１の透過型光センサ（１５１Ａ，１５２Ａ）と、循環経路において第１の透過型光センサ（１５１Ａ，１５２Ａ）の下流に設けられた第２の透過型光センサ（１５１Ｂ，１５２Ｂ）と、第１および第２の透過型光センサの出力の相互の相関関係に基づいて潤滑油の流速を検出する監視装置１６０とを含む。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
風力発電装置の異常監視装置であって、
前記風力発電装置の可動部の潤滑を行なう潤滑油を循環させる循環経路に設けられた第１の透過型光センサと、
前記循環経路において前記第１の透過型光センサの下流に設けられた第２の透過型光センサと、
前記第１および第２の透過型光センサの出力の相互の相関関係に基づいて前記潤滑油の流速を検出する異常監視部とを含む、風力発電装置の異常監視装置。
【請求項２】
前記異常監視部は、
検出した前記流速に基づいて、前記第１または第２の透過型光センサの出力から求めた異物量を補正する、請求項１に記載の風力発電装置の異常監視装置。
【請求項３】
前記第１および第２の透過型光センサが設置され、光を透過する材料で形成され、前記循環経路の一部を形成する管路をさらに備える、請求項１に記載の風力発電装置の異常監視装置。
【請求項４】
前記管路を光を透過しない状態に覆い、一部に光を透過するスリットが設けられたスリット形成部材をさらに備える、請求項３に記載の風力発電装置の異常監視装置。
【請求項５】
前記第１および第２の透過型光センサの少なくとも一方は、
投光器と、
受光器と、
前記投光器から放射された光を前記受光器に照射されるように向きを変える光ファイバとを含む、請求項１に記載の風力発電装置の異常監視装置。
【請求項６】
前記第１および第２の透過型光センサの少なくとも一方は、
前記投光器と前記受光器とが実装された基板をさらに含む、請求項５に記載の風力発電装置の異常監視装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、風力発電装置の異常監視装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特開２００５−２３３７２２号公報には、潤滑油中の異物混入量が極めて微量である場合にそれを検出することが可能な異物検出システムが開示されている。この異物検出システムは、流体（例えば潤滑油）が流れる管内で異物（例えば、鉄粉等の磁性体粉、その他の異物）を捕捉し且つ捕捉した異物を解放する捕捉手段と、解放された異物が管内を流過するのを検出する検出手段と、制御手段とを有する。この制御手段は、検出手段で検出可能な程度まで異物が滞留する時間だけ捕捉手段で異物を捕捉し、当該時間が経過したならば異物を解放する制御を行なうように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−２３３７２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のような異物検出システムは、たとえば風力発電装置の増速機を潤滑する潤滑油を循環させるシステムにも適用することができる。風力発電装置の増速機を潤滑する潤滑油は、ギヤの損傷時や経年変化などによって、鉄粉が混入することがある。風力発電装置の増速機の異常監視項目の一つとして、潤滑油内の鉄粉の量を光透過センサで検出を行なうことが検討されている。
【０００５】
しかし、風力発電装置のような大きなシステムの場合には、異物が均一に潤滑油全体に拡散するのは時間がかかるので潤滑油の光の透過率の低下は一律ではない。そこで、一定時間の透過率の低下を積算して異物の量を判断することも考えられる。
【０００６】
しかしながら、このような方法では、潤滑油の流速によって積算値と異物の量との対応関係が変化してしまう。流速は、潤滑油を送出するポンプを一定速度で運転したとしても、潤滑油の粘度によって変化する。潤滑油の温度が高ければ、潤滑油の粘度は低くなる。潤滑油の温度は、周囲温度の変化や増速機の回転速度によっても変化する。流速センサを設けて積算値を補正することも考えられるが、流速センサの部品点数が増えてしまい、異常検出システムのコストアップを招くとともに、設置工事時の手間も増えてしまう。
【０００７】
この発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、その目的は、簡単な構成で、潤滑油の循環装置の異常検出精度が向上した風力発電装置の異常監視装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明は、要約すると、風力発電装置の異常監視装置であって、風力発電装置の可動部の潤滑を行なう潤滑油を循環させる循環経路に設けられた第１の透過型光センサと、循環経路において第１の透過型光センサの下流に設けられた第２の透過型光センサと、第１および第２の透過型光センサの出力の相互の相関関係に基づいて潤滑油の流速を検出する異常監視部とを含む。
【０００９】
好ましくは、異常監視部は、検出した流速に基づいて、第１または第２の透過型光センサの出力から求めた異物量を補正する。
【００１０】
好ましくは、異常監視装置は、第１および第２の透過型光センサが設置され、光を透過する材料で形成され、循環経路の一部を形成する管路をさらに備える。
【００１１】
より好ましくは、異常監視装置は、管路を光を透過しない状態に覆い、一部に光を透過するスリットが設けられたスリット形成部材をさらに備える。
【００１２】
好ましくは、第１および第２の透過型光センサの少なくとも一方は、投光器と、受光器と、投光器から放射された光を受光器に照射されるように向きを変える光ファイバとを含む。
【００１３】
より好ましくは、第１および第２の透過型光センサの少なくとも一方は、投光器と受光器とが実装された基板をさらに含む。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、機械部品の点数を増加させずに、潤滑油の流速を検出することができる。さらに、流速を検出することに加えて、潤滑油中の異物量を流速変化の影響を受けずに測定することもできる。したがって、工事が容易で異常検出精度が向上した異常監視装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本実施の形態による状態検出装置を備えた風力発電装置１の構成を模式的に示す図である。
【図２】増速機１３０に潤滑油を循環させるための循環装置１７０の構成を模式的に示す図である。
【図３】潤滑油中の異物の検出を説明するための概念図（異物が無い場合）である。
【図４】潤滑油中の異物の検出を説明するための概念図（異物がある場合）である。
【図５】センサユニット１５０の構造を模式的に示した図である。
【図６】本実施の形態において２個設置されるセンサを説明するための図である。
【図７】２個のセンサによって検出された波形の例を示した図である。
【図８】流速が異なる場合の出力を説明するための波形図である。
【図９】監視装置が実行する平均流速計測処理を説明するためのフローチャートである。
【図１０】流速の検出に加えて計測時間の補正処理を実行する場合を説明するためのフローチャートである。
【図１１】変形例１の異物検出処理を説明するためのフローチャートである。
【図１２】スリットなしの状態で投光器から受光器に光が照射された状態を示す図である。
【図１３】スリットありの状態で投光器から受光器に光が照射された状態を示す図である。
【図１４】光ファイバを用いた投光器と受光器の配置例を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付してその説明は繰返さない。
【００１７】
図１は、本実施の形態による状態検出装置を備えた風力発電装置１の構成を模式的に示す図である。
【００１８】
風力発電装置１は、複数のブレード２０と、ナセル１００と、タワー２００とを含んで構成される。
【００１９】
ナセル１００は、タワー２００の上端部に設けられる。ナセル１００の内部には、主軸１１０と、主軸受１２０と、増速機（ギヤボックス）１３０と、発電機１４０と、センサユニット１５０と、監視装置１６０とを格納する。
【００２０】
ブレード２０は、主軸１１０の先端に設けられ、風力を回転トルクに変換して主軸１１０に伝達する。主軸１１０は、ナセル１００内部で主軸受１２０に回転可能に支持され、ブレード２０から受ける回転トルクを増速機１３０へ伝達する。
【００２１】
増速機１３０は、主軸１１０と発電機１４０との間に設けられ、主軸１１０の回転速度を増速して発電機１４０へ出力する。
【００２２】
発電機１４０は、増速機１３０の出力軸１３１に接続され、増速機１３０から受ける回転トルクによって発電する。発電機１４０は、たとえば、誘導発電機によって構成される。
【００２３】
ナセル１００の内部には、増速機１３０に潤滑油を循環させるための循環装置１７０（後述の図２参照）が設けられる。
【００２４】
図２は、増速機１３０に潤滑油を循環させるための循環装置１７０の構成を模式的に示す図である。
【００２５】
循環装置１７０は、オイルパン１７１と、配管１７２と、ポンプ１７３と、オイルフィルタ１７４とを含む。
【００２６】
オイルパン１７１は、増速機１３０の下部に設けられる。配管１７２の一方の端部はオイルパン１７１の下部に接続され、配管１７２の他方の端部は増速機１３０の上部に接続される。ポンプ１７３およびオイルフィルタ１７４は、配管１７２の経路上に設けられる。
【００２７】
ポンプ１７３が駆動されると、オイルパン１７１に溜められた潤滑油が配管１７２の一方の端部からオイルフィルタ１７４に供給されてろ過される。オイルフィルタ１７４を通過した潤滑油は、ポンプ１７３から送出され、増速機１３０の上部に設けられた配管１７２の他方の端部から自然落下して増速機１３０内のギヤ１３２に供給される。ギヤ１３２に供給された潤滑油は、自然落下によってオイルパン１７１に戻される。
【００２８】
センサユニット１５０は、配管１７２において、オイルパン１７１から、オイルフィルタ１７４、ポンプ１７３を経由した後の部分に設けられる。なお、センサユニット１５０が設けられる位置は、配管１７２の経路上であれば、必ずしもポンプ１７３より後の部分に限定されるものではない。また、オイルフィルタ１７４、ポンプ１７３、センサユニット１５０の配置順も図２に示した通りでなくても構わない。
【００２９】
監視装置１６０は、図示しないＣＰＵ（Central  Processing  Unit）およびメモリを内蔵したユニットにより構成され、当該メモリに記憶された情報およびセンサユニット１５０の出力値等に基づいて、配管１７２を流れる潤滑油中に鉄粉等の異物か混入されているか否かを判定する。監視装置１６０は、潤滑油に異物か混入されていると判定した場合、図示しないランプを点灯させる等によって警告を発したり、電話回線や無線回線を経由して遠隔地の監視者に異常を判断するためのデータを送信したりする。
【００３０】
図３は、潤滑油中の異物の検出を説明するための概念図（異物が無い場合）である。図４は、潤滑油中の異物の検出を説明するための概念図（異物がある場合）である。本実施の形態では、風力発電装置の増速機の異常監視項目の一つとして、潤滑油内の鉄粉の量を透過型光センサで検出を行なう。管路の一部に透明管路１５７を設け、光センサの投光器１５１から光を放射し、受光器１５２で受光する。
【００３１】
図３に示すように異物が無ければ、投光器１５１から放射された光は、遮られずに管内を透過する。図４に示すように、潤滑油中に異物２０５が流れてきた場合には、異物２０５が投光器１５１からの光を遮るため、光の透過率が低下する。光の透過率の低下によって潤滑油中の異物量を判断することができる。
【００３２】
しかし、風力発電装置のような大きなシステムの場合には、異物が均一に潤滑油全体に拡散するのは時間がかかるので、潤滑油の光の透過率の低下は一律ではない。そこで、本実施の形態では、一定時間の透過率の低下を積算して異物の量を判断する。
【００３３】
しかしながら、このような方法では、潤滑油の流速によって積算値と異物の量との対応関係が変化してしまう。そこで、本実施の形態では、２つの透過型光センサを用いて潤滑油の流速を検出するとともに、流速によって積算値を補正する。
【００３４】
図５は、センサユニット１５０の構造を模式的に示した図である。図５を参照して、センサユニット１５０は、増速機１３０に供給される潤滑油の透過光量を検出する、透過型の光センサを含む。光センサは、投光器１５１Ａ，１５１Ｂと、受光器１５２Ａ，１５２Ｂとを含む。
【００３５】
センサユニット１５０は、さらに、透明なアクリルなどで形成された透明管路１５７を含む。透明管路１５７の両端部にはフランジが形成されており、配管１７２に締結部材１８０によって締結されている。潤滑油の劣化度合いについては、光センサで判断する。なお、潤滑油の循環経路の一部にこのような透明な透明管路１５７を設けることによって、メンテナンスに訪れた作業者も、透明な透明管路１５７を目視することによって直感的に潤滑油の劣化度合いを把握することができる。
【００３６】
図６は、本実施の形態において２個設置されるセンサを説明するための図である。図７は、２個のセンサによって検出された波形の例を示した図である。
【００３７】
図６に示したように、本実施の形態では、透明管路１５７の潤滑油流れ方向に沿って、距離を離した透過型光センサを２個（投光器と受光器を２組）設置する。そして、光センサの受光量を測定することで異物量を診断する。また、図７に示したように、２つのセンサ出力の相互相関を求め時間差（Ｔａ−Ｔｂ）を算出することで、流速を推定することができる。相互相関を求める方法は、限定されないが、２つのセンサの所定時間の波形を記憶しておき、時間差を変えながら２つの波形の測定値を乗算し、乗算結果が最大を示す時間差Ｔを求め、センサの設置間隔Ｌを求めた時間差Ｔで除算すれば流速を算出することができる。
【００３８】
風力発電装置が設置されて間もないような、異物が検出されない場合も、増速機のギヤが潤滑油を拡販することにより潤滑油中に気泡が混入するので、気泡によって光量が変化するため、流速の推定が可能である。また、流速を測定しやすいように、ギヤの材質よりもやわらかい銅粉や固形潤滑剤などを潤滑油にあらかじめ添加しておいても良い。
【００３９】
流速を検出することによって、潤滑油を循環させるポンプ１７３などに異常が生じていないかを監視することができる。
【００４０】
次に、異物量を流速で補正することについて説明する。図８は流速が異なる場合の出力を説明するための波形図である。流速が変化した時には、一定時間当たりにセンサから照射された光を遮る異物量が変化する。
【００４１】
たとえば、流速が低いときには一秒間に１個の異物が検出されたとしても、流速が２倍になれば、同じ異物量でも一秒間に２個の異物が検出されるといった場合である。この場合には、図８に示すように、算出した潤滑油の流速に応じてセンサの計測時間を補正する。計測時間を補正することによって、速度変化による影響を受けずに潤滑油内の異物量を検出することができる。流速が早いほど計測時間を短くし、計測時間内の光を遮った回数を積算することにより、流速の影響を受けずに異物量を判定することができる。
【００４２】
判定結果は、増速機の潤滑油の劣化状況を診断することに利用できる。また、判定結果は、増速機のギヤまたは軸受の摩耗を検出することにも利用できる。
【００４３】
本実施の形態では、透過型光センサを２個設置するだけでよく、流速を測定する機器を潤滑油内に設置する必要がない。そのため、潤滑油に機器が触れることによる発熱がなく、機械部品のトラブルによる故障の可能性が低い。
【００４４】
また、２つの光センサで信号を分析するのでデータ量が２倍になり、データの信頼性が向上する。
【００４５】
図９は、監視装置が実行する平均流速計測処理を説明するためのフローチャートである。以下、二つの光センサをセンサＡ、Ｂと呼ぶことにする。図９のフローチャートの処理が開始されると、ステップＳ１１において、センサＡの出力が記憶され、ステップＳ１２でセンサＡよりも下流に設置されたセンサＢの出力が記憶される。
【００４６】
そしてステップＳ１３において、センサＡ，Ｂの出力より、平均流速Ｖが算出される。たとえば、図７に示したように、２つのセンサ出力の相互相関を求め時間差（Ｔａ−Ｔｂ）を算出することで、流速を推定することができる。相互相関を求める方法は、限定されないが、２つのセンサの所定時間の波形を記憶しておき、時間差を変えながら２つの波形の測定値を乗算し、乗算結果が最大を示す時間差Ｔを求め、センサの設置間隔Ｌを求めた時間差Ｔで除算すれば流速Ｖを算出することができる。
【００４７】
そしてステップＳ１４において平均流速Ｖから平均計測時間Ｔが算出される。平均流速Ｖと平均計測時間Ｔとの関係は、あらかじめ実験的に最適な関係を求めておいてマップにしておいても良い。平均流速Ｖに対応する平均計測時間Ｔをマップを参照して得ることができる。また、監視装置１６０のメモリにデータを記憶する場合には、計測時間Ｔにおけるサンプリングデータ数Ｎｓを等しくするほうがデータを処理しやすい。その関係から流速Ｖと計測時間Ｔとサンプリング周期Ｔｓとの関係を決めておいても良い。
【００４８】
図１０は、流速の検出に加えて計測時間の補正処理を実行する場合を説明するためのフローチャートである。図１０のフローチャートの処理が開始されると、ステップＳ２１において、センサＡの出力が記憶され、ステップＳ２２でセンサＡよりも下流に設置されたセンサＢの出力が記憶される。そしてステップＳ２３において、センサＡ，Ｂの出力より、平均流速Ｖｄが算出される。
【００４９】
続いて、ステップＳ２４において、Ｖｄ−Ｖがゼロであるか否かが判断される。ここで、流速Ｖは、初期に求めた流速であっても良いし、所定温度におけるポンプの性能と潤滑油の粘度と潤滑路の流通抵抗とから求められる基準値であっても良い。
【００５０】
ステップＳ２４において、Ｖｄ−Ｖ＝０である場合は、測定時点の流速Ｖｄが標準的な流速Ｖと等しいので補正を行なう必要がない。したがって、ステップＳ２４からステップＳ２０に処理が進められる。
【００５１】
一方、ステップＳ２４でＶｄ−Ｖ＝０が成立しない場合には、測定時点の流速Ｖｄが標準的な流速Ｖとは異なるので、補正を行なう必要がある。したがって、ステップＳ２５の補正処理が実行される。
【００５２】
ステップＳ２５では、補正計測時間Ｔｄが算出される。補正計測時間Ｔｄは次式によって得ることができる。
Ｔｄ＝Ｔ×（１−（Ｖｄ−Ｖ）／Ｖ）
そしてステップＳ２５においては、補正計測時間Ｔｄの間のセンサＡまたはセンサＢの値を積算することによって、異物量を判断する。
【００５３】
以上説明したように、本実施の形態では、算出した潤滑油の流速に応じてセンサの計測時間を補正する。補正することによって、速度変化による影響を受けずに潤滑油内の異物量を検出することができる。
【００５４】
［変形例１］
図１０に示した異物検出処理は、常時流速を確認して、計測時間Ｔの補正の有無を判断し、異物の検出を行なうものであったが、異物の量が十分に少ない場合には、そのような処理を行なう必要がない。そこで変形例１では、異物量が或る程度増加したときのみ、計測時間Ｔの補正処理を行なう。
【００５５】
図１１は、変形例１の異物検出処理を説明するためのフローチャートである。図１１を参照して、まず処理が開始されると、ステップＳ３１において、２つのセンサＡ，Ｂの平均出力低下量が所定のしきい値よりも大きいか否かが判断される。平均出力低下量がしきい値よりも小さい場合には、潤滑油中にはほとんど異物は混入していない。したがって、潤滑油の劣化度合いやギヤ等の摩耗度合いも少ないので、流速による検出値の補正も行なう必要がない。したがって、ステップＳ３１からステップＳ３３に処理が進められる。
【００５６】
一方、潤滑油中にある程度の量の異物が混入している場合、異物量を正確に検出し、誤診断を避ける必要がある。したがって、ステップＳ３１において、平均出力低下量がしきい値よりも大きい場合には、ステップＳ３２の処理が実行され補正した計測時間の積算値から異物量の判定が実行される。ステップＳ３２では、図１０で説明した処理が実行され、補正時間Ｔｄの間に取得されたデータに基づいて異物量が算出される。ステップＳ３２で異物量判定処理が行なわれた後には、ステップＳ３３に処理が進められ、制御はメインルーチンに移される。
【００５７】
変形例１では、必要なときのみ補正時間の算出処理を実行するので、初期段階では処理時間が短く、演算の負荷も低くて済む。
【００５８】
［変形例２］
変形例２ではスリットから光を照射することによって、ノイズを減らすことについて説明する。
【００５９】
図１２は、スリットなしの状態で投光器から受光器に光が照射された状態を示す図である。図１３は、スリットありの状態で投光器から受光器に光が照射された状態を示す図である。
【００６０】
図１２では、投光器１５１からの光は、透明管路１５７に照射された際に拡散するので、最小検出物体２０５Ａのサイズは比較的大きくなってしまう。これに比べて、図１３に示すように投光器１５１からの光をスリットが形成されたスリット形成部材３０１を介して異物に照射し、スリット形成部材３０２のスリットから光を受光器１５２に導くようにすれば、受光器１５２の感度が向上し、最小検出物体２０５Ｂのサイズは、図１２に示した最小検出物体２０５Ａよりも小さくなる。
【００６１】
［変形例３］
図５に示したように、通常は、光センサは、投光側と受光側を対向させて配置する必要がある。このため、光センサのサイズを小さくすることができなかった。変形例３では、光ファイバを用いることにより投光器と受光器の配置の自由度を向上させることについて説明する。
【００６２】
図１４は、光ファイバを用いた投光器と受光器の配置例を示した図である。投光器１５１から、光ファイバ４０２を用いて光を曲げて透明管路１５７に照射し、光ファイバ４００を用いて透過光を曲げて受光器１５２に導光すれば、たとえば、平面基板５００上に並べて投光器１５１と受光器１５２を実装するような簡単な構成を採用することができる。
【００６３】
したがって光ファイバによって、投光器１５１と受光器１５２の配置の自由度を向上させることができる。
【００６４】
図５に示したように２か所に光センサを設置する場合には、図１４に示したような光ファイバを用いて配置することにより、投光器および受光器を集中配置することが可能となり、形状の制約も少なくなるとともに、製造が容易になる。
【００６５】
最後に、再び図５などを参照して本実施の形態および変形例の発明を説明する。風力発電装置の異常監視装置は、風力発電装置の可動部の潤滑を行なう潤滑油を循環させる循環経路に設けられた第１の透過型光センサ（１５１Ａ，１５２Ａ）と、循環経路において第１の透過型光センサ（１５１Ａ，１５２Ａ）の下流に設けられた第２の透過型光センサ（１５１Ｂ，１５２Ｂ）と、第１および第２の透過型光センサの出力の相互の相関関係に基づいて潤滑油の流速を検出する監視装置１６０とを含む。
【００６６】
好ましくは、監視装置１６０は、検出した流速に基づいて、第１または第２の透過型光センサの出力から求めた異物量を補正する。たとえば、補正は、図１０のフローチャートで説明したように、補正計測時間Ｔｄを変更することによって行なわれる。
【００６７】
好ましくは、異常監視装置は、第１および第２の透過型光センサが設置され、光を透過する材料で形成され、循環経路の一部を形成する透明管路１５７をさらに備える。
【００６８】
より好ましくは、図１３に示すように、異常監視装置は、管路を光を透過しない状態に覆い、一部に光を透過するスリットが設けられたスリット形成部材３０１，３０２をさらに備える。
【００６９】
好ましくは、図１４に示すように、第１および第２の透過型光センサの少なくとも一方は、投光器１５１と、受光器１５２と、投光器１５１から放射された光を受光器１５２に照射されるように向きを変える光ファイバ４００，４０２とを含む。
【００７０】
より好ましくは、第１および第２の透過型光センサの少なくとも一方は、投光器１５１と受光器１５２とが実装された基板５００をさらに含む。
【００７１】
今回開示された実施の形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施の形態の説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００７２】
１  風力発電装置、２０  ブレード、１００  ナセル、１１０  主軸、１２０  主軸受、１３０  増速機、１３１  出力軸、１３２  ギヤ、１４０  発電機、１５０  センサユニット、１５１，１５１Ａ，１５１Ｂ  投光器、１５２，１５２Ａ，１５２Ｂ  受光器、１５７  透明管路、１６０  監視装置、１７０  循環装置、１７１  オイルパン、１７２  配管、１７３  ポンプ、１７４  オイルフィルタ、１８０  締結部材、２００  タワー、２０５  異物、２０５Ａ，２０５Ｂ  最小検出物体、３０１，３０２  スリット形成部材、４００，４０２  光ファイバ、５００  平面基板。
【図１】
2016079860.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2016079860.tif 000007
【図６】
2016079860.tif 000008
【図７】
2016079860.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
2016079860.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
2016079860.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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