(57)【要約】【課題】ウォームの回転駆動に有利な動力伝達装置を提供すること。【解決手段】駆動手段によって回転駆動するウォーム（６）と、前記ウォームとともに回転駆動するウォーム軸（９）と、前記ウォーム軸に設けられる加圧手段（１５，１７）と、前記ウォームと前記加圧手段の間に設けられ、前記ウォーム軸を軸支する第１の軸受（７）および第２の軸受（８）と、を有し、前記第１の軸受の外輪（７ｂ）および前記第２の軸受の外輪（８ｂ）は、前記第１の軸受および前記第２の軸受を保持する筐体（１）によって固定され、前記加圧手段は、前記第１の軸受の内輪（７ａ）と前記第２の軸受の内輪（８ａ）とが相対的に近づくように前記ウォームの軸方向に圧力を加える、ことを特徴とする。【選択図】図１
2016176523.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動手段によって回転駆動するウォームと、
前記ウォームとともに回転駆動するウォーム軸と、
前記ウォーム軸に設けられる加圧手段と、
前記ウォームと前記加圧手段の間に設けられ、前記ウォーム軸を軸支する第１の軸受および第２の軸受と、
を有し、
前記第１の軸受は、環状の第１の内輪と、環状の第１の外輪と、前記第１の内輪と前記第１の外輪の間に転動可能に設けられた第１の転動体と、を備え、
前記第２の軸受は、環状の第２の内輪と、環状の第２の外輪と、前記第２の内輪と前記第２の外輪の間に転動可能に設けられた第２の転動体と、を備え、
前記第１の外輪および前記第２の外輪は、前記第１の軸受および前記第２の軸受を保持する筐体によって固定され、
前記加圧手段は、前記第１の内輪と前記第２の内輪とが相対的に近づくように前記ウォームの軸方向に圧力を加える、
ことを特徴とする動力伝達装置。
【請求項２】
前記第１の内輪は、前記ウォームに当接し、
前記第２の内輪は、前記加圧手段に当接し、
前記加圧手段は、前記ウォームと前記加圧手段との間で前記第１の内輪および前記第２の内輪を挟んだ状態で、前記ウォームの軸方向に圧力を加える、
ことを特徴とする請求項１に記載の動力伝達装置。
【請求項３】
前記ウォーム軸は、前記加圧手段を前記ウォームに対し相対的に移動させる移動手段を有し、
前記加圧手段は、前記移動手段により前記ウォームに近づくように移動することで、前記ウォームの軸方向に圧力を加える、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の動力伝達装置。
【請求項４】
前記加圧手段は、前記移動手段により移動することで、前記圧力の大きさを変更する、
ことを特徴とする請求項３に記載の動力伝達装置。
【請求項５】
前記加圧手段が前記ウォームから離れる方向へ移動することを防止する防止部材を有することを特徴とする請求項３または４に記載の動力伝達装置。
【請求項６】
前記ウォーム軸の外周面には、雄ねじが形成され、
前記加圧手段は、前記雄ねじと螺合する雌ねじが内周面に形成された第１の部材を有し、
前記移動手段は、
前記雄ねじと前記雌ねじが螺合することにより構成されることを特徴とする請求項３ないし５のいずれか１項に記載の動力伝達装置。
【請求項７】
前記加圧手段は、前記第１の部材と前記第２の軸受の内輪との間に、第２の部材を有し、
前記加圧手段は、前記第１の部材をねじ込むことで前記第２の部材を介して、前記ウォームの軸方向に圧力を加えることを特徴とする請求項６に記載の動力伝達装置。
【請求項８】
前記第１の部材は、前記筐体の外側に配置され、
前記第１の部材は、前記筐体の外側で回転操作されることで、前記ウォームを回転駆動することを特徴とする請求項６または７に記載の動力伝達装置。
【請求項９】
前記第１の部材は、工具と係合可能な外形形状を有することを特徴とする請求項８に記載の動力伝達装置。
【請求項１０】
前記第１の外輪と前記第２の外輪との間に、前記第１の外輪および前記第２の外輪を離間させるための離間部材を有することを特徴とする請求項１ないし９のいずれか１項に記載の動力伝達装置。
【請求項１１】
前記ウォーム軸の一部および前記加圧手段は、前記筐体の外側に配置されることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の動力伝達装置。
【請求項１２】
前記ウォームと歯合するウォームホィールを有することを特徴とする請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の動力伝達装置。
【請求項１３】
請求項１ないし１２のいずれか１項に記載の動力伝達装置と、
前記動力伝達装置を駆動する駆動手段と、
を有することを特徴とする駆動装置。
【請求項１４】
前記駆動手段は、前記筐体の外側に配置され、
前記駆動手段は、前記筐体の外側で回転操作されることで前記ウォームを回転駆動することが可能な操作部を有する、
ことを特徴とする請求項１３に記載の駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、動力伝達装置に関し、特にモータにより駆動されるウォームおよびウォームホィールを備えた動力伝達装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウォーム機構は、ウォームホィール側からの回転でウォームを回転させるのが困難であるセルフロック機能を有している。このセルフロック機能は、逆転防止機構としては有用であるが、例えばモータによりウォームを駆動する場合に、該モータが故障した場合などの非常時においては、ウォームホィール側からウォームを回転させることができず不便である。
【０００３】
そこで、特許文献１は、非常時においてもウォーム機構を駆動できるようにするため、ウォームを外部から手動で回転させるための機構を、ウォーム軸とは別の位置に設置する思想を開示している。
【０００４】
また、特許文献２および３は、ウォーム軸の軸端部に、外部からウォームを回転させるための工具を係合させる工具係合部を形成する思想を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平７−１２３６３７号公報
【特許文献２】特開２００７−１７５８４５号公報
【特許文献３】特開平６−３０３３７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１の場合、ウォームの回転軸とは別の位置に、ウォームを外部から手動で回転させるための機構を設置しており、ウォーム機構全体を小型化することができないという問題がある。また、別軸を設ける部品が必要で複雑な機構になるという問題がある。また、ウォーム機構を駆動させるとウォームのスラスト方向に推力が生じるが、この推力によるスラスト方向のがたつき（スラストがた）を抑えることができない場合、位置決め精度が悪化するという問題がある。特許文献１は、このスラストがたについて対処されていないため、該スラストがたにより高精度な位置決めをすることができないという問題がある。
【０００７】
特許文献２の場合も、該スラストがたについて対処されていないため、該スラストがたにより高精度な位置決めをすることができないという問題がある。
【０００８】
特許文献３の場合、ウォームがモータ軸のみの片持ち支持のため、ウォームホィールの側圧を受けてモータ軸受の損傷が大きくなるという問題がある。また、ウォームホィールに側圧が十分に掛けられないため、ウォームとの歯合で歯が逃げて空転する虞もある。また、ウォーム機構を収納する筺体に工具を差し込むための穴を設けるため、そこから塵が筺体内に侵入する虞もある。また、スラストがたについて対処されていないため、該スラストがたにより高精度な位置決めをすることができないという問題がある。
【０００９】
そこで、本発明は、上記課題を鑑み、ウォームの回転駆動に有利な動力伝達装置を提供することを例示的目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一側面としての動力伝達装置は、駆動手段によって回転駆動するウォームと、前記ウォームとともに回転駆動するウォーム軸と、前記ウォーム軸に設けられる加圧手段と、前記ウォームと前記加圧手段の間に設けられ、前記ウォーム軸を軸支する第１の軸受および第２の軸受と、を有し、前記第１の軸受は、環状の第１の内輪と、環状の第１の外輪と、前記第１の内輪と前記第１の外輪の間に転動可能に設けられた第１の転動体と、を備え、前記第２の軸受は、環状の第２の内輪と、環状の第２の外輪と、前記第２の内輪と前記第２の外輪の間に転動可能に設けられた第２の転動体と、を備え、前記第１の外輪および前記第２の外輪は、前記第１の軸受および前記第２の軸受を保持する筐体によって固定され、前記加圧手段は、前記第１の内輪と前記第２の内輪とが相対的に近づくように前記ウォームの軸方向に圧力を加える、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、ウォームの回転駆動に有利な動力伝達装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１の実施の形態によるウォーム機構の構造図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態による軸受の拡大断面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態によるウォーム機構の変形例を示す図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態によるＺ軸昇降機構の構造図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態によるウォーム機構の構造図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、添付の図面を参照して本発明の好適な実施形態について説明する。
【実施例１】
【００１４】
図１〜４は本発明の第１の実施の形態およびその変形例を示す。図１〜４における同一の要素については同一の番号が付されている。
【００１５】
ウォーム機構は、ウォーム（ねじ歯車）とそれに歯合するウォームホィールを組み合わせたものである。該ウォーム機構は、１段で大きな減速比が得られるほか、ウォームホィール側からの回転で、ウォームを回転させるのが困難である特徴を有している。本実施例では、該ウォームをモータで回転させ、ウォームホィール側で仕事をさせるモータ駆動方式のウォーム機構を採用している。また、本実施例では、このモータ駆動方式のウォーム機構をＺ軸ステージの昇降機構に用いている。モータ駆動のウォーム機構をＺ軸ステージの昇降機構に用いた場合、小型で大きな推力が得られ、かつ、重力でステージのテーブル面が下がらない保持力を有する機構となる。
【００１６】
モータ駆動のウォーム機構において、前述の通りウォームホィール側からの手動でウォームを回転させるのが困難であることから、モータが故障した場合などの非常時において、手動でウォームホィール側の駆動調整する対応が困難であるという問題がある。
【００１７】
そこで、本実施例では、非常時においてウォーム機構を手動で駆動できるようにするため、後述するようにウォームを外部から手動で回転させるための機構を、ウォーム機構に設けている。
【００１８】
以下、図１を参照して本実施例におけるウォーム機構の電動時の構成について詳細に説明していく。本実施例におけるウォーム機構（駆動装置）は、駆動手段であるモータと、該モータからの駆動力（回転力）を伝達するための動力伝達機構（動力伝達装置）と、を備えて構成される。
【００１９】
筐体１は、ウォーム６およびウォームホィール１９を収納するとともに、後述する軸受を保持（固定）するために設けられる。筺体１の外側には、駆動手段としてのモータ２が固定されている。モータ２は、２つの軸受３、４を有し、軸受３が筐体１の開口と係合している。軸受３が筐体１の開口と係合することにより、筺体１へモータ２を取り付ける際、ウォーム６と中心軸を一致させる芯出し位置決めをするとともに、外部からの異物が筐体１の内部へ侵入することを低減している。ここで、一致とは、完全に一致している場合と、許容誤差の範囲内で完全に一致している場合からずれている場合とを含む意味である。ここで、２つの軸受３、４はともに含油軸受である。含油軸受は焼結金属等の多孔質（空孔のある）材料に潤滑油を含浸した軸受で安価である。含油軸受が安価であるため、モータ２を低価格のモータで構成する事が出来る。
【００２０】
筐体１の内部において、モータ２の出力軸５には、ウォーム６が固定されている。このため、モータ２の出力軸５が回転することによってウォーム６が回転駆動する。また、ウォーム６の出力軸５が固定される側とは反対側には、軸受嵌合部９（ウォーム軸）が設けられている。軸受嵌合部９は、円柱形状を有し、ウォーム６の回転軸方向に延びている。ウォーム６の中心軸と軸受嵌合部９の中心軸は一致している。この軸受嵌合部９は、モータ２が駆動することにより、ウォーム６とともに回転駆動する。また、ウォーム６の出力軸５が固定される側とは反対側には、軸受嵌合部９を軸支するための２つのウォーム軸受７、８が筐体１によって位置決め固定されている。ここで、ウォーム軸受７（第１の軸受）は、図２に示すように、環状の第１の内輪７ａと、環状の第１の外輪７ｂと、該第１の内輪７ａと該第１の外輪７ｂの間に転動可能に設けられた第１の転動体７ｃと、を備えている。また、ウォーム軸受８（第２の軸受）は、環状の第２の内輪８ａと、環状の第２の外輪８ｂと、該第２の内輪８ａと該第２の外輪８ｂの間に転動可能に設けられた第２の転動体８ｃと、を備えている。具体的に言えば、ウォーム軸受７、８はともにボールベアリングである。ウォーム６の軸受嵌合部９は高精度な外径で形成され、ウォーム軸受７、８の内径に挿入される。
【００２１】
ウォーム軸受７、８は、筺体１の軸受穴１１、軸受穴１２にそれぞれ固定される。より具体的には、ウォーム軸受７、８の第１の外輪７ｂおよび第２の外輪８ｂが、筐体１の軸受穴１１、１２によって固定される。筐体１は、軸受穴１１と軸受穴１２の間に段付形状の突起部（離間部材）１３が形成されている。換言すれば、筐体１は、第１の外輪７ｂを固定保持するための軸受穴１１と第２の外輪８ｂを固定保持するための軸受穴１２との間に、該第１の外輪７ｂおよび第２の外輪８ｂを離間させるための離間部材として突起部１３を有している。突起部１３とウォーム軸受７、８の第１の外輪７ｂおよび第２の外輪８ｂとが当接することでウォーム軸受７、８のＸ軸方向（ウォーム６の軸方向）における位置決めが行われる。ウォーム軸受７、８の間に突起部１３が形成されているため、ウォーム軸受７は該ウォーム軸受７がウォーム軸受８に近づく＋Ｘ方向（第１方向）への移動が規制される。また、ウォーム軸受８は該ウォーム軸受８がウォーム軸受７に近づく−Ｘ方向（第１方向とは反対の第２方向）への移動が規制される。ウォーム６は、軸受３とウォーム軸受７、８とでウォーム両端を保持する両持ち構造で支持される。
【００２２】
ウォーム６が両持ち構造であるため、ウォームホィールに十分側圧が掛けられることで、従来問題となっていたウォームとの歯合で歯が逃げて空転する虞が低減される。
【００２３】
ウォーム軸受７の第１の内輪７ａは、ウォーム６と軸受嵌合部９との間に形成される段付部１４が当接する。ウォーム軸受７の内輪と段付部１４とが当接することで、ウォーム６が＋Ｘ方向へ移動することを低減できる。
【００２４】
ウォーム６の軸受嵌合部９の端部９ａ（一部）は、筐体１（ひいてはウォーム軸受８）の外部に配置される。すなわち、軸受嵌合部９の端部９ａは、筐体１およびウォーム軸受８から外部に突出し、外部に露出している。また、軸受嵌合部９の端部９ａの外周面には、雄ねじ１６が形成されている。ナット１７（第１の部材）は、軸受嵌合部９の端部９ａに設けられ、該雄ねじ１６と螺合する雌ねじ（不図示）がその内周面に形成されている。該雄ねじ１６と雌ねじが螺合し、ナット１７を軸受嵌合部９の中心軸（ウォーム６の中心軸）の周方向に回転させることで、該中心軸が延びる方向にナット１７を移動させることができる。このように、軸受嵌合部９は、ナット１７をウォーム６に対しＸ軸方向に相対的に移動させるための移動手段として雄ねじ１６を有する。この移動手段は、雄ねじ１６と雌ねじが螺合することでウォーム６の中心軸が延びる方向へナット１７を移動できるように構成されている。
【００２５】
また、軸受嵌合部９の端部９ａにおいて、ウォーム軸受８とナット１７との間には、ワッシャ１５（第２の部材）が設けられている。ワッシャ１５のＸ軸方向の両端は、ウォーム軸受８の第２の内輪８ａとナット１７に当接している。なお、ウォーム軸受７、８は、該ワッシャ１５およびナット１７と、ウォーム６と、の間に設けられている。
【００２６】
この構成により、雄ねじ１６にナット１７をねじ込むことでワッシャ１５を介してウォーム軸受７、８との間に所望の予圧を与えることができる。ここで、前述したように、第１の内輪７ａはウォーム６の段付部１４と当接している。また、第２の内輪８ａはワッシャ１５と当接している。したがって、ナット１７およびワッシャ１５は、移動手段により−Ｘ方向に移動することで、第１の内輪７ａと第２の内輪８ａとが相対的に近づくようにウォーム６の中心軸が延びる方向（Ｘ軸方向）に圧力（予圧）を加えることができる。換言すれば、ナット１７およびワッシャ１５は、第１の内輪７ａと第２の内輪８ａとが相対的に近づくようにＸ軸方向に圧力を加える加圧手段として構成される。もう少し言えば、本実施例の加圧手段は、ウォーム６の段付部１４と加圧手段のワッシャ１５との間で第１の内輪７ａおよび第２の内輪８ａを挟んだ状態で、雄ねじ１６によりナット１７がウォーム６に近づくように移動させられることで、ウォーム６の軸方向に圧力を加えている。この圧力は、ウォーム駆動時の推力によるスラスト方向（ウォーム６の軸方向）のがたつきを抑制できる予圧である。この予圧を与えることで、ウォーム軸受７およびウォーム軸受８のＸ軸方向における内部隙間を除去することができる。これにより、ウォーム６がＸ軸方向へ容易に移動してしまうことを低減することができる。なお、加圧手段は、ナット１７の軸方向への移動に応じて、圧力（予圧）の大きさを変更することができる。具体的には、加圧手段がウォーム６に近づくにつれて第１の内輪７ａおよび第２の内輪８ａの間に加わる圧力は大きくなり、逆に離れるにつれて圧力は小さくなる。なお、第１の外輪７ｂおよび第２の外輪８ｂを離間させるための突起部１３の作用により、第１の内輪７ａと第２の内輪８ａとは、互いに当接しない。
【００２７】
雄ねじ１６、ナット１７およびワッシャ１５が軸受嵌合部９の端部９ａ（一部）に配置されていることから、移動手段および加圧手段は筐体１（およびウォーム軸受８）の外側に配置されているということができる。そのため、ウォーム６のスラスト方向のがたつきを抑えるための予圧の調整を筐体１の外部から容易に行うことができる。ナット１８はナット１７のゆるみ止めでダブルナット構造にしている。このように、ナット１８は、加圧手段がウォーム６から離れる方向（＋Ｘ方向）へ移動することを防止する防止部材として機能する。
【００２８】
ボールベアリングを用いないモータ２はスラストがたを持つが、本実施例の動力伝達機構の構成によりスラスト方向のがたつきを抑えることができる。
【００２９】
なお、筐体１には前述した軸受穴１１、１２としての開口を有するが、例えば図３に示すように、開口を有する軸受穴１２の内部において、筐体１とワッシャ１５との間に、オイルシール１０（シール部材）を設けてもよい。図３は、本実施例の変形例としてのウォーム機構の構造図である。筐体１（軸受穴１２）とワッシャ１５との間の隙間がオイルシール１０によって封鎖されているため、外部から異物が筐体内に侵入するのを低減することができる。
【００３０】
ウォーム６は、ウォームホィール１９と歯合しモータ２の出力軸５の回転を大きなギヤ比でウォームホィール１９に回転伝達する。
【００３１】
モータ２におけるウォーム６とは反対側の出力軸２０には摘み２１が設置されている。なお、本実施例において、出力軸５と出力軸２０とは同じ軸である。モータ２は、筐体１の外側に配置されており、ウォーム６とは反対側の出力軸２０に設置された摘み２１も筐体１の外側に配置されている。摘み２１は、筐体１の外側で回転操作されることでウォーム６を回転駆動することができる。したがって、摘み２１は、非常時においてウォーム６を手動で回転駆動させるための操作部として機能する。モータ２が電動で回転しなくなった場合、摘み２１により手動で駆動する。
【００３２】
図４は本発明の第１の実施の形態によるＺ軸昇降機構の構造図である。ウォーム６と歯合するウォームホィール１９は平歯車２２、軸２３を有し、筺体１に設置された軸受２６、２７により支持される。平歯車２２と相対する平歯車２８は滑りねじ２９と固着され、筺体１に設置された滑りねじナット３０で、平歯車２８が回転することにより滑りねじ２９が直動する。これにより、ウォーム６を回転させると、平歯車２８と滑りねじ２９とが回転しながら矢印で示したＺ方向に直動する。
【００３３】
なお、本実施例では、ウォーム軸受７，８の間に予圧を与える手段として、ナット１７およびワッシャ１５を使用する例について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、ワッシャ１５に代えて、ばねやゴム等の弾性部材をナット１７と第２の内輪８ａとの間に配置するような構成でも本発明を達成することができる。
【実施例２】
【００３４】
図５は本発明の第２の実施の形態によるウォーム機構の構造図である。第１の実施の形態と同じ構成については同一の番号を付与し説明を省略する。
【００３５】
実施例１では、モータ２の出力軸５がウォーム６に直接固定されていたが、本実施例では、モータ２の出力軸５がカップリング３１を介してウォーム６と接続されている点で実施例１と異なる。ここで、カップリングは一例であり、モータの出力軸とウォームは回転方向のみ規制される構造（カップリングのほかコッタ、二方どりなど）であれば他の構成としてもよい。
【００３６】
ウォーム軸受７、８は筺体１’に固定され、ウォーム６は軸受３とウォーム軸受７、８とで両持ち構造で支持される。
【００３７】
ここで、実施例１では、ウォーム軸受７、８との間に筐体１に形成された突起部１３が配置されていたが、本実施例では、そのような突起部１３が筐体１’には形成されていない点で実施例１と異なる。その代わり、本実施例では、ウォーム軸受７、８との間にワッシャ３２を有する。すなわち、ウォーム軸受７の第１の外輪７ｂとウォーム軸受８の第２の外輪８ｂとの間に、該第１の外輪７ｂおよび第２の外輪８ｂを離間させるための離間部材としてワッシャ３２を有する。ワッシャ３２は、ウォーム軸受７、８の第１の外輪７ｂおよび第２の外輪８ｂによって挟まれている。ウォーム軸受７の第１の内輪７ａはウォーム６の段付部１４が当接し、ウォーム軸受８の第２の内輪８ａはワッシャ１５が当接している。なお、第１の外輪７ｂおよび第２の外輪８ｂを離間させるためのワッシャ３２の作用により、第１の内輪７ａと第２の内輪８ａとは、互いに当接しない。
【００３８】
軸受嵌合部９の端部９ａの外周面には、雄ねじ１６が形成されている。手動部材３３（第１の部材）は、該雄ねじ１６と螺合する雌ねじ（不図示）がその内周面に形成されている。手動部材３３は、本実施例ではナットであり、雄ねじ１６に固定される。手動部材３３、ナット１８のそれぞれの内径には雌ねじが形成され、手動部材３３をねじ込むことでワッシャ１５を介してウォーム軸受７、８との間に所望の予圧を得ている。この予圧を与える動作については、実施例１と同じため説明は省略する。ナット１８は手動部材３３のゆるみ止めでダブルナット構造になっている。本実施例では、手動部材３３は、ナット１８よりも大きい形状を有している。手動部材３３が筺体の外側に配置されていることから、手動部材３３は、筐体の外部で操作可能である。本実施例では、手動部材３３を筐体の外側で回転操作することで、ウォーム６を回転駆動することができる。したがって、非常時においても外部から容易に手動でウォーム６を動かすことが出来る。このように、本実施例の手動部材３３は、非常時においてウォーム６を手動で回転駆動させるための操作部としての機能を有する。さらに、本実施例の手動部材３３（およびワッシャ１５）は、ウォーム軸受７、８との間に所望の予圧を与えるための加圧手段としての機能も有する。すなわち、本実施例では、手動部材３３（およびワッシャ１５）は、加圧手段としての機能と操作部としての機能を兼用している。これにより、本実施例によれば、実施例１に対して部品点数を少なくすることができ、小型化および低コスト化することができる。
【００３９】
ボールベアリングを用いないモータ２はスラストがたを持つが、本実施例の動力伝達機構の構成により実施例１と同様にスラスト方向のがたつきを抑えることができる。
【００４０】
ウォーム６は、ウォームホィール１９と歯合しモータ２の出力軸５の回転を大きなギヤ比でウォームホィール１９に回転伝達する。
【００４１】
手動部材３３は、工具と係合可能な外形形状を有している。手動部材４４の外形形状を例えば多角形や二方取り形状にすることにより、モンキーレンチやスパナ等市販の工具を用いて容易にウォーム６を手動回転することが可能になる。
【００４２】
本発明によれば、簡単な構造でウォームの手動駆動が出来る上、ウォームのスラスト方向のがたつきを抑えることができる。したがって、ウォームの回転駆動に有利な動力伝達装置を提供することができる。また、この動力伝達装置をＺ軸ステージの昇降機構に適用することで、ウォームのスラスト方向のがたつきによる位置決め精度の悪化を抑え、小型で大きな推力得られ重力でステージのテーブル面が下がらない保持力を有するＺ軸ステージの昇降機構が出来る。
【００４３】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明の動力伝達装置は、作業台の昇降ユニットや、ロボットの関節ユニットや、自動車のステアリングユニットなどの各種ユニットに好適に使用することができる。
【符号の説明】
【００４５】
１、１’：筺体
２：モータ
３、４、２６、２７：軸受
５、２０：出力軸
６：ウォーム
７、８：ウォーム軸受
９：軸受嵌合部
１０：オイルシール
１１、１２：軸受穴
１３：突起部
１４：段付部
１５、３２：ワッシャ
１６：雄ねじ
１７、１８：ナット
１９：ウォームホィール
２１：摘み
２２、２８：平歯車
２３：軸
２９：滑りねじ
３０：滑りねじナット
３１：カップリング
３３：手動部材
【図１】
2016176523.tif 000003
【図２】
2016176523.tif 000004
【図３】
2016176523.tif 000005
【図４】
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【図５】
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