(57)【要約】      （修正有）【課題】取り出しストロークが短く、非常に短い剛体接触ピンを有する集積回路試験用電気接触子を提供する。【解決手段】集積回路試験装置に用いられる電気接触子であって非常に短い導電接触ピン１０を備えている。接触ピンが短いので、弾性部材２０と連結され、偏差０．１ｍｍで接触ピンの試験高さを０．５ｍｍまで低減するように上記弾性部材とともにハウジング３０によって支持されている。これにより、錫めっきされた装置であっても適切に接触させることができる。接触ピンは略「Ｆ」字形状を有しており、左側の縦棒部分が横たわるように左方向に９０°回転させて用いられる。また、「Ｆ」字形状の２本の爪部分の間には矩形形状の弾性部材が配置されている。また、「Ｆ」字形状の底部は２本の爪部分と略平行になるように上方に曲がっている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
集積回路試験装置に用いられる電気接触子であって、
第１部材（１２）と、第１部材（１２）に対して垂直に接続された第２部材（１４）と、第１部材（１２）に対して垂直に接続された第３部材（１６）とを備えた剛体部材（１０）を備え、
前記第２部材は前記第１部材の上面における前記第１部材の第１端部（１２１）またはその近傍に接続され、前記第３部材は前記第１部材の上面における前記第１部材の延伸方向の第１中間点（１２２）に接続され、前記第１部材（１２）は当該第１部材の第２端部（１２５）が上方を向くように第２中間点（１２４）で上方に曲がっており、
前記第２部材（１４）と前記第３部材（１６）との間の空間に支持された圧縮可能部材（２０）と、
前記圧縮可能部材（２０）の上面（２０２）に接触して前記圧縮可能部材（２０）を支持するハウジング（３０）と、
前記第１部材の下面（１２３）で前記剛体部材（１０）を支持する接触パッドとを備えていることを特徴とする電気接触子。
【請求項２】
前記第１部材（１２）の第２端部（１２５）は、前記第２部材（１４）および前記第３部材（１６）に対して実質的に平行であることを特徴とする請求項１に記載の電気接触子。
【請求項３】
前記第２部材（１４）に対して前記圧縮可能部材（２０）が配置されている側とは反対側の面に対向する領域に、前記第１部材の前記第２端部（１２５）が下方に押し下げられることによって前記剛体部材（１０）が移動しても前記第２部材（１４）が他の部材に接触しないように空間が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の電気接触子。
【請求項４】
前記第３部材（１６）に対して前記圧縮可能部材（２０）が配置されている側とは反対側の面に対向する領域に、前記第１部材の前記第２端部（１２５）が下方へ押し下げられることによって前記剛体部材（１０）が移動しても前記第３部材（１６）が他の部材に接触しないように空間が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の電気接触子。
【請求項５】
前記圧縮可能部材（２０）は、断面が矩形形状であることを特徴とする請求項１に記載の電気接触子。
【請求項６】
前記圧縮可能部材（２０）は、シリコンゴムからなることを特徴とする請求項１に記載の電気接触子。
【請求項７】
前記第２部材（１４）は前記第３部材（１６）よりも長いことを特徴とする請求項１に記載の電気接触子。
【請求項８】
請求項１に記載の電気接触子を複数備え、それら複数の電気接触子が正方形形状に沿って配置されていることを特徴とする集積回路試験装置。
【請求項９】
前記ハウジングは強化プラスチックからなることを特徴とする請求項８に記載の集積回路試験装置。
【請求項１０】
前記強化プラスチックは、トーロン（登録商標）であることを特徴とする請求項９に記載の集積回路試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気接触子（電気接点端子）に関するものであり、より具体的には、集積回路の試験装置に備えられる電気接触子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
無線周波数（ＲＦ；Radio frequency）半導体装置は、革新的な無線規格の要求に適合するように発展してきた。近年、スループットレートをより向上させるために、要求される信号帯域幅および搬送波周波数が時とともに増大している。これにより、装置の複雑化が進んでおり、それらの装置を広い動作範囲で試験する必要が生じている。また、ユニット数や生産ロット数の増大も要求されている。
【０００３】
なお、特許文献１には、基板に形成された導電性部と被検査体の電極とを電気的に接続する電気的接続装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許第７８１９６７２号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、ＲＦ装置試験のための試験方法を選択する際、信号の保全性が最も重要である。
【０００６】
しかしながら、ＲＦ装置の試験のための現在のほとんどの方法では、用いられている接触子のタイプや長さなどを含む様々な要因のために、要求される信号の信頼性を満たすことは困難である。例えば、スプリングプローブを用いる接触試験方法では、長い接触子あるいは長い導電部を被試験体に対して垂直に接触させる。ところが、このスプリングプローブは、上記の長い接触子に沿って複数の要素アッセンブリが備えられており、それらの要素アッセンブリが信号の信頼性に関して悪影響を及ぼす。
【０００７】
もう一つ重要な点は、押し込み長さである。押し込み長さは、被試験装置の接触パッドに対する接触ピンの接触領域の長さと取り出しストロークとの合計である。例えば、接触パッドが非常に小さい場合や、面取り形状や窪みパッド等のようにサイズが不規則である場合、押し込み長さが短いことが重要である。しかしながら、上記特許文献１の技術では、取り出しストロークが長いので押し込み長さが長い。このため、特許文献１の技術は、小さい接触パッドや不規則な接触パッドには不向きである。
【０００８】
一般に、試験装置では、接触ピンが長いと信号の保全性が低下する。また、面取り形状や窪みパッドなどの不規則な接触パッドや小さい接触パッドを有する装置の試験では、押し込み長さを短くする必要がある。
【０００９】
このため、信号の保全性を良好に保つとともに、非常に小さいサイズの接触パッド、あるいは面取り形状や窪みパッドなどの変則的な形状のパッドを有する装置の試験が可能なＲＦ装置試験装置が求められている。
【００１０】
本発明は、上記の問題点に鑑みて成されたものであり、その目的は、集積回路の試験装置に用いられる電気接触子であって、取り出しストロークが短い、非常に短い剛体接触ピンを有する電気接触子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
接触ピンを短くすることにより、弾性部材と連結され、偏差０．１ｍｍで接触ピンの試験高さを０．５ｍｍまで低減するように上記弾性部材とともにハウジングによって支持された、ユニークなデザインの接触ピンを実現できる。上記の偏差０．１ｍｍ、試験高さ０．５ｍｍという条件を満たすことにより、錫めっきされた装置であっても適切に接触させるのに十分な条件である押し込み長さ（接触領域の長さ＋取り出し長さ）５０μｍという条件を満たすことができる。本発明の接触ピンは略「Ｆ」字形状（左側の縦棒部分と、縦棒部分の上端部および中間部から右側に縦棒部分に対して略垂直に延伸する２本の横棒部分（爪部分）とを有する形状）を有しており、この「Ｆ」字の左側の縦棒部分が横たわるように左方向に９０°回転させて用いられる。また、「Ｆ」字形状の２本の爪部分（２本の横棒部分）の間には矩形形状の弾性部材が配置されている。また、「Ｆ」字形状の底部（左側の縦棒部分の下部）は２本の爪部分と略平行になるように上方に曲がっている。そして、この「Ｆ」字形状の底部の端部が被試験装置の電気接触パッドに接触するようになっている。また、「Ｆ」字形状の左側の横たわる部分（縦棒部分）は試験装置に接触する。ハウジングは、上記弾性部材の右上の角部（上記弾性部材における接触ピンの中央の爪部分の上に配置される角部）で上記弾性部材を支持している。接触ピンの底部（上記の「Ｆ」字形状の左側部分（縦棒部分））は、試験装置と接触して支持されている。
【００１２】
このように、本発明は、集積回路試験装置に用いられる電気接触子に関するものである。剛体部材は、第１部材を備えており、この第１部材には第２部材および第３部材の両方が、第１〜第３部材によって略「Ｆ」字型が形成されるように、当該第１部材に垂直に接続されている。具体的には、第１部材が「Ｆ」字型の左側の長い字画部分（縦棒部分）を形成し、第２部材が上側の字画部分（上側の横棒部分）を形成し、第３部材が中央の字画部分（横棒部分）を形成するように互いに接続されている。試験装置の使用時には、接触ピンの「Ｆ」字は左方向（「Ｆ」字がの左側が横たわる方向）に９０°回転して配置される。したがって、上記第２部材は上記第１部材の上面における上記第１部材の第１端部あるいはその近傍に接続されている。また、上記第３部材は、上記第１部材の上面における当該第１部材の第１中間点に接続されている。上記第１部材は、第１部材の第２端部が実質的に上方を向くように、第１部材の第２中間点で上方を向く形状になっている。弾性部材（圧縮可能部材）は、上記第２部材と上記第３部材との間の空間で支持されている。ハウジングは、上記圧縮可能部材を、当該圧縮可能部材の上面に接触することにより支持している。試験装置の接触パッドは、上記剛体部材を、上記第１部材の下面の一部に接触することにより支持している。
【００１３】
また、本発明の集積回路試験装置に用いられる電気接触子は、上記第１部材の上記第２端部が上記第２部材および上記第３部材に対して実質的に平行であってもよい。
【００１４】
また、本発明の集積回路試験装置に用いられる電気接触子は、上記第２部材の左側（第２部材における圧縮可能部材が配置されている側とは反対側の面に対向する領域）に、上記第１部材の上記第２端部が押し下げられることによって上記剛性部材が移動しても上記第２部材が他の部材に接触しない程度の十分な空間が存在する構成であってもよい。
【００１５】
また、本発明の集積回路試験装置に用いられる電気接触子は、上記第３部材の右側（第３部材における圧縮可能部材が配置されている側とは反対側の面に対向する領域）に、上記第１部材の上記第２端部が押し下げられることによって上記剛体部材が移動しても上記第３部材が他の部材に接触しない程度の十分な空間が存在する構成であってもよい。
【００１６】
また、本発明の集積回路試験装置に用いられる電気接触子は、上記圧縮可能部材が矩形形状の断面を有し、ゴムからなる構成であってもよい。
【００１７】
また、本発明の集積回路試験装置に用いられる電気接触子は、上記第２部材が上記第３部材よりも長い構成であってもよい。
【００１８】
また、本発明は、上述した電気接触子が正方形形状の周囲に沿って複数配置され、ハウジングがトーロン（Ｔｏｒｌｏｎ、登録商標）などの強化プラスチックからなる、集積回路試験装置に関するものである。
【００１９】
本発明の他の目的や利点は、後述する説明および添付する請求項により、より明らかになるであろう。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、非常に短い剛体接触ピンを有する電気接触子を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施形態にかかる電気接触子の初期状態を示す正面図である。
【図２】本発明の一実施形態にかかる電気接触子を、ハウジングを省略して図示した正面図である。
【図３】本発明の一実施形態にかかる電気接触子の圧縮状態を示す正面図である。
【図４】本発明の一実施形態にかかる電気接触子における装置接触子パッドと接触している状態を示す正面図である。
【図５】本発明の一実施形態にかかる電気接触子を正方形形状の周囲に沿って複数配置した状態を示す説明図である。
【図６】本発明の一実施形態にかかる集積回路試験装置の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、集積回路試験装置の電気接触子について詳細に説明するが、本発明は特定のサイズや構成に限定されるものではなく、以下に示す説明の概念の範囲内で適宜変更可能である。
【００２３】
図１〜図４は、集積回路試験装置で用いられる電気接触子を示している。剛体部材（１０）は第１部材（１２）を備えており、この第１部材（１２）には第２部材（１４）および第３部材（１６）の両方が「Ｆ」字型を成すように垂直に接続されている。すなわち、第１部材（１２）が「Ｆ」字の左側の直線部分（縦棒部分）を成し、第２部材（１４）が「Ｆ」字の上側の直線部分（横棒部分）を成し、第３部材（１６）が「Ｆ」字の中央の直線部分（横棒部分）を成すように、これら各部材が接続されている。使用時には、この「Ｆ」字型の接触ピンは、「Ｆ」字の左側（縦棒部分）が横たわるように左方向に９０°回転させて用いられる。したがって、第２部材（１４）は、第１部材（１２）の上面における当該第１部材の第１端部（１２１）あるいはその近傍に接続されている。また、第３部材（１６）は、第１部材の上面における当該第１部材の延伸方向に沿った第１中間点（１２２）に接続されている。なお、第１部材（１２）、第２部材（１４）、および第３部材（１６）は、一体的に形成されていてもよい。また、第１部材（１２）は、当該第１部材の第２端部（１２５）が実質的に上方を向くように、当該第１部材の延伸方向に沿った第２中間点（１２４）で上方に曲げられている。第２中間点（１２４）は、第１中間点（１２２）よりも第１端部（１２１）から遠い側に配置されている。弾性部材あるいは圧縮可能部材（２０）は、第２部材（１４）と第３部材（１６）との間の空間で支持されている。ハウジング（３０）は、圧縮可能部材（２０）の上面（２０２）に接触して圧縮可能部材（２０）を支持しており、試験装置の接触パッドが第１部材の下面（１２３）で剛体部材（１０）を支持している。
【００２４】
図３は、第１部材（１２）の第２端部（１２５）上に押下方向の荷重がかけられたときの電気接触子を示している。試験装置の使用時には、被試験装置（５０）の電気接触パッド（５２）によって第２端部（１２５）に下方に押し下げる方向の荷重が作用する。これにより、剛体部材（１０）は第１部材の下面で右側へ搖動し、圧縮可能部材（２０）はハウジング（３０）により圧縮される。被試験装置（５０）が第２端部（１２５）から引き上げられると、圧縮可能部材（２０）が圧縮状態から復元されて第１部材の第１端部（１２１）が下方へ押し戻され、それによって剛体部材（１０）および圧縮可能部材（２０）は初期状態に戻る。
【００２５】
図１〜図４に示したように、第２部材（１４）の図中における左側（第２部材（１４）における圧縮可能部材（２０）が配置されている側とは反対側の面に対向する領域）には、第１部材（１４）の第２端部（１２５）が下方に押し下げられることによって剛体部材（１０）が移動しても第２部材（１４）が他の部材に接触しないための十分な空間（フリースペース）が設けられている。同様に、第３部材（１６）の図中における右側（第３部材（１６）における圧縮可能部材（２０）が配置されている側とは反対側の面に対向する領域）には、第１部材（１４）の第２端部（１２５）が下方に押し下げられることによって剛体部材（１０）が移動しても第３部材（１６）が他の部材に接触しないための十分な空間（フリースペース）が設けられている。
【００２６】
図５は、本発明の電気接触子を複数備えた典型的な構成例を示している。なお、上述したハウジングは適切な動作を行うために必要であるが、図５では図示を省略している。連続して配置された４つの剛体部材（１０）によって１つの圧縮可能部材（２０）が保持されている。なお、共通の圧縮可能部材（２０）を保持する剛体部材（２０）の数は図５に示した構成に限らず、適宜変更してもよい。また、図５では複数の圧縮可能部材（２０）を正方形形状の周囲に沿って配置しているが、これに限らず、試験装置に応じた適切な形状に配置すればよい。
【００２７】
図６は、本発明の試験装置の全体構成を示している。剛体部材（１０）および圧縮可能部材（２０）はソケットハウジング（４０）内に配置されている。ソケットハウジング（４０）は中央に開口部を備えており、この開口部の壁面である装置ガイド（３０）に沿って試験対象の装置を第１部材の第２端部（１２５）上に正確に押し下げることができるようになっている。
【００２８】
なお、圧縮可能部材（２０）は、断面が矩形形状であるシリコンゴムからなるものであってもよい。
【００２９】
また、第１部材（１２）の第２端部（１２５）は、第２部材（１４）および第３部材（１６）に対して実質的に平行に設けられていてもよい。
【００３０】
また、第２部材（１４）は第３部材（１６）よりも長くてもよい。
【００３１】
また、上記ハウジングは、トーロン（Ｔｏｒｌｏｎ、登録商標）などの強化プラスチック（engineered plastic）からなるものであってもよい。
【００３２】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施例にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施例についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。
【符号の説明】
【００３３】
（１０）  剛体部材
（１２）  第１部材
（１２１）  第１部材の第１端部
（１２２）  第１部材の第１中間点
（１２３）  第１部材の下面
（１２４）  第１部材の第２中間点
（１２５）  第１部材の第２端部
（１４）  第２部材
（１６）  第３部材
（２０）  圧縮可能部材（弾性部材）
（３０）  装置ガイド
（４０）  ソケットハウジング
（５０）  被試験装置
（５２）  被試験装置の電気接触パッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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