(57)【要約】【課題】本発明は、半導体素子から発生する磁界を十分にシールドできる半導体モジュール、及びその半導体モジュールを備えた電力変換装置を提供することを目的とする。【解決手段】ケースと、該ケースの中に設けられた、電流をスイッチングする半導体素子と、該ケースの中に設けられた、該半導体素子を覆う封止樹脂と、該封止樹脂に接する、磁性体を含有する磁気シールドと、該ケースの中に埋め込まれた、磁性体を含有する埋め込み磁気シールドと、を備えたことを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケースと、
前記ケースの中に設けられた、電流をスイッチングする半導体素子と、
前記ケースの中に設けられた、前記半導体素子を覆う封止樹脂と、
前記封止樹脂に接する、磁性体を含有する磁気シールドと、
前記ケースの中に埋め込まれた、磁性体を含有する埋め込み磁気シールドと、を備えたことを特徴とする半導体モジュール。
【請求項２】
前記磁気シールドは、前記封止樹脂の上面全体に形成されたことを特徴とする請求項１に記載の半導体モジュール。
【請求項３】
前記埋め込み磁気シールドは前記半導体素子の側面を囲むことを特徴とする請求項１又は２に記載の半導体モジュール。
【請求項４】
前記埋め込み磁気シールドは前記半導体素子の下面側に設けられたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の半導体モジュール。
【請求項５】
前記ケースの中の、前記磁気シールドの上に設けられた制御回路基板と、
前記制御回路基板に固定された電子部品と、を備えたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の半導体モジュール。
【請求項６】
ケースと、
前記ケースの中に設けられた、電流をスイッチングする半導体素子と、
前記ケースの中に設けられた、前記半導体素子を覆う封止樹脂と、
前記封止樹脂に接する、磁性体を含有する磁気シールドと、
前記ケースの中の、前記磁気シールドの上に設けられた制御回路基板と、
前記制御回路基板に固定された電子部品と、を備えたことを特徴とする半導体モジュール。
【請求項７】
前記電子部品は磁界の授受により通信を行うマイクロトランスを備えることを特徴とする請求項５又は６に記載の半導体モジュール。
【請求項８】
前記磁気シールドの熱伝導率は、前記封止樹脂の熱伝導率より高く、  
前記磁気シールドの上面の表面粗さは、前記封止樹脂の上面の表面粗さより大きいことを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の半導体モジュール。
【請求項９】
前記磁気シールドは、磁性体を含有する樹脂であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の半導体モジュール。
【請求項１０】
前記磁気シールドは、フェライト粉末を含有したエポキシ樹脂であることを特徴とする請求項９に記載の半導体モジュール。
【請求項１１】
前記磁気シールドは、液体、ゲル、ゴム、又はエラストマーのいずれかであることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の半導体モジュール。
【請求項１２】
前記半導体素子はワイドバンドギャップ半導体によって形成されていることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項に記載の半導体モジュール。
【請求項１３】
前記ワイドバンドギャップ半導体は、炭化珪素、窒化ガリウム系材料又はダイヤモンドであることを特徴とする請求項１２に記載の半導体モジュール。
【請求項１４】
ケースと、前記ケースの中に設けられた、電流をスイッチングする半導体素子と、前記ケースの中に設けられた、前記半導体素子を覆う封止樹脂と、前記封止樹脂に接する、磁性体を含有する磁気シールドと、前記ケースの中に埋め込まれた、磁性体を含有する埋め込み磁気シールドと、を備えた半導体モジュールと、
前記半導体モジュールの外部に設けられ、前記半導体素子に対し制御信号を伝送する制御回路と、を備えた電力変換装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば大電流のスイッチングに用いられる半導体モジュールとその半導体モジュールを備えた電力変換装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、半導体素子を覆う絶縁性樹脂の上に導電性樹脂を設けた半導体装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−３０７４１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
半導体素子のスイッチングに伴い半導体素子の周辺に磁界が発生する。この磁界は、半導体素子の周辺機器の動作に悪影響を与えるのでシールドすべきである。しかしながら、特許文献１に開示の技術では磁界を十分にシールドできない問題があった。
【０００５】
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、半導体素子から発生する磁界を十分にシールドできる半導体モジュール、及びその半導体モジュールを備えた電力変換装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願の発明に係る半導体モジュールは、ケースと、該ケースの中に設けられた、電流をスイッチングする半導体素子と、該ケースの中に設けられた、該半導体素子を覆う封止樹脂と、該封止樹脂に接する、磁性体を含有する磁気シールドと、該ケースの中に埋め込まれた、磁性体を含有する埋め込み磁気シールドと、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
本願の発明に係る他の半導体モジュールは、ケースと、該ケースの中に設けられた、電流をスイッチングする半導体素子と、該ケースの中に設けられた、該半導体素子を覆う封止樹脂と、該封止樹脂に接する、磁性体を含有する磁気シールドと、該ケースの中の、該磁気シールドの上に設けられた制御回路基板と、該制御回路基板に固定された電子部品と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
本願の発明に係る電力変換装置は、ケースと、該ケースの中に設けられた、電流をスイッチングする半導体素子と、該ケースの中に設けられた、該半導体素子を覆う封止樹脂と、該封止樹脂に接する、磁性体を含有する磁気シールドと、該ケースの中に埋め込まれた、磁性体を含有する埋め込み磁気シールドと、を備えた半導体モジュールと、該半導体モジュールの外部に設けられ、該半導体素子に対し制御信号を伝送する制御回路と、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、封止樹脂に接する磁気シールドと、ケースの中に埋め込まれた埋め込み磁気シールドを設けることで、磁界を十分にシールドできる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施の形態１に係る半導体モジュールの断面図である。
【図２】変形例に係る半導体モジュールの断面図である。
【図３】実施の形態２に係る半導体モジュールの断面図である。
【図４】マイクロトランス構造を示す図である。
【図５】実施の形態３に係る半導体モジュールの断面図である。
【図６】実施の形態４に係る電力変換装置の概念図である。
【図７】比較例に係る電力変換装置の概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の実施の形態に係る半導体モジュールと電力変換装置について図面を参照して説明する。同じ又は対応する構成要素には同じ符号を付し、説明の繰り返しを省略する場合がある。
【００１２】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係る半導体モジュール１０の断面図である。半導体モジュール１０は、ベース板１１と壁部１２を有するケース１３を備えている。ケース１３には信号端子１４と電力端子１６が埋め込まれている。信号端子１４はケース１３の内部に露出する部分とケース１３の外部に露出する部分を備えている。電力端子１６も同様である。
【００１３】
ベース板１１にははんだ１９によって絶縁基板２０が固定されている。絶縁基板２０は、セラミック基板２０ａと、セラミック基板２０ａの下面に形成された金属層２０ｂと、セラミック基板２０ａの上面に形成された金属パターン２０ｃを備えている。
【００１４】
金属パターン２０ｃにははんだ２２によって半導体素子２４が固定されている。半導体素子２４は、例えばＩＧＢＴ(Insulated Gate Bipolar Transistor)などの電流をスイッチングする素子である。半導体素子２４に加えて還流ダイオードなどを搭載してもよい。ワイヤ２８ａは半導体素子２４のゲートと信号端子１４を接続している。ワイヤ２８ｂは半導体素子２４のエミッタと金属パターン２０ｃを接続している。ワイヤ２８ｃはエミッタに接続された金属パターン２０ｃと電力端子１６を接続している。なお、半導体素子２４の裏面側に形成されたコレクタは、半導体素子２４の直下の金属パターン２０ｃを介して図示しない電力端子に接続される。
【００１５】
このように、絶縁基板２０、半導体素子２４、及びワイヤ２８ａ、２８ｂ、２８ｃがケース１３の中に収容されている。ケース１３の中には半導体素子２４を覆う封止樹脂３０が設けられている。封止樹脂３０の上には封止樹脂３０に接するように磁気シールド３２が形成されている。磁気シールド３２は、封止樹脂３０の上面全体に形成されている。磁気シールド３２は磁性体を含有する。磁気シールド３２は、磁性体を含有する樹脂とすることが好ましい。そのような樹脂としては、例えばフェライト粉末を含有したエポキシ樹脂がある。
【００１６】
ケース１３の中には埋め込み磁気シールド５０が埋め込まれている。埋め込み磁気シールド５０は半導体素子２４の側面を囲むように形成されている。埋め込み磁気シールド５０は、平面視では、半導体素子２４を切れ目なく囲む。埋め込み磁気シールド５０は、磁性体を含有する。なお、埋め込み磁気シールド５０と磁気シールド３２は同じ材料とし、両者を一括して形成することが好ましい。
【００１７】
磁気シールド３２の上には蓋３４が設けられている。半導体素子２４は信号端子１４からの信号によってオンオフされ、その主電流は電力端子１６に流れる。半導体素子２４のＥＭＩ放射ノイズが大きいと、その磁界によって周辺機器が誤動作する。例えば数〜数１００Ａクラスの電流を扱う場合にはＥＭＩ放射ノイズも大きくなる。そのため、半導体素子２４のスイッチングに伴って生じた磁界が半導体モジュール１０の外部に漏れ出さないようにするべきである。
【００１８】
本発明の実施の形態１に係る半導体モジュール１０によれば、磁気シールド３２と埋め込み磁気シールド５０により、半導体素子２４で発生した磁界が外部に漏れ出すことを防止できる。すなわち、磁気シールド３２により半導体素子２４の上方に発生する磁界をシールドでき、埋め込み磁気シールド５０により半導体素子２４の横に発生する磁界をシールドできる。
【００１９】
磁気シールド３２と埋め込み磁気シールド５０を磁性体を含有する樹脂とする場合、当該樹脂を封止樹脂３０の上に流し込むだけで容易に磁気シールド３２と埋め込み磁気シールド５０を形成できる。そのため、磁気シールド３２と埋め込み磁気シールド５０を固定するための構造体は一切不要である。また、ある程度流動性のある磁気シールド３２を用いれば、これを封止樹脂３０の上に流しこむことで、磁気シールド３２を封止樹脂３０の上面全体とケース１３内壁に接触させることができる。つまり、磁気シールド３２を十分大きな面積にできる。なお、磁気シールド３２と埋め込み磁気シールド５０に熱硬化性樹脂を含ませ、これらを加熱し硬化させてもよい。
【００２０】
半導体モジュール１０は、磁気シールド３２と埋め込み磁気シールド５０で半導体素子２４の周辺の磁界を遮蔽するものである。したがって、この特徴を失わない範囲で様々な変形をなし得る。例えば、磁気シールド３２と埋め込み磁気シールド５０は磁性体を含有するものであれば特に限定されない。磁気シールド３２と埋め込み磁気シールド５０は、液体、ゲル、ゴム、又はエラストマーのいずれでもよい。また、板状の固体状態の磁気シールドを封止樹脂に固定してもよい。
【００２１】
磁気シールド３２と埋め込み磁気シールド５０の形成方法は特に限定されない。例えば、磁気シールド３２を封止樹脂３０に塗布又は散布してもよい。
【００２２】
半導体モジュール１０のケース１３の構造、電気的接続のための構成、及び電気的絶縁のための構成等は適宜変更してもよい。半導体素子２４はＳｉで形成されることが多いがワイドバンドギャップ半導体によって形成してもよい。高速スイッチング用途の半導体モジュール等については、シリコンに比べて低損失かつ高温耐量が高いワイドバンドギャップ半導体を用いることが好ましい。ワイドバンドギャップ半導体としては、例えば炭化珪素、窒化ガリウム系材料又はダイヤモンドがある。
【００２３】
ワイドバンドギャップ半導体を用いることにより半導体モジュールを小型化できる。そして、磁気シールド３２と埋め込み磁気シールド５０は半導体モジュールの規模を大きくするものではない。そのため、半導体モジュール１０はワイドバンドギャップ半導体を用いることによる小型化に好適である。
【００２４】
磁気シールド３２をスプレー噴射し封止樹脂３０に吹き付けてもよい。また、磁気シールド３２に加えて、磁気シールド３２の上又は下に導電性樹脂を形成することで電界を遮断する効果を得るようにしてもよい。その場合、ケースの中に埋め込み導電性樹脂を設けると電界をシールドする効果を高めることができる。
【００２５】
図２は、変形例に係る半導体モジュールの断面図である。埋め込み磁気シールド５０は半導体素子２４の側面を囲む第１部分５０ａと、半導体素子２４の下面側に設けられた第２部分５０ｂを備えている。磁気シールド３２と第１部分５０ａと第２部分５０ｂにより半導体素子２４を覆うことができるので、全方位について、磁界をシールドできる。
【００２６】
これらの変形は、以下の実施の形態に係る半導体モジュールにも応用できる。なお、以下の実施の形態に係る半導体モジュールについては、実施の形態１との共通点が多いので実施の形態１との相違点を中心に説明する。
【００２７】
実施の形態２．
図３は、実施の形態２に係る半導体モジュールの断面図である。ケース１３の中の、磁気シールド３２の上には、制御回路基板６０が設けられている。制御回路基板６０は例えばプリント基板である。制御回路基板６０の上面と下面にはそれぞれ電子部品６２、６４が固定されている。制御回路基板６０には、半導体モジュールの外部に伸びる端子６６が固定されている。端子６６から制御回路基板６０に伝送された制御信号は、電子部品６２、６４で予め定められた処理を受け、信号端子１４とワイヤ２８ａを経由して半導体素子２４に達する。
【００２８】
図４は、制御回路基板６０に固定された電子部品によって形成される回路の一部を示す図である。図４にはマイクロトランス構造が示されている。マイクロトランス構造とは、絶縁された２つのコイル７４、７６間で磁界を授受することで、送信回路７０と受信回路７２の間で信号を授受するものである。そのため、マイクロトランス構造は、外部から磁界の影響を受けると誤動作してしまうものである。
【００２９】
ケース１３の中に半導体素子２４と制御回路基板６０がある場合は、両者が近接するので、制御回路基板６０に形成された回路（構造）は強い磁界の影響を受けるおそれがある。しかし、本発明の実施の形態３に係る半導体モジュールによれば、磁界の発生源となる半導体素子２４と制御回路基板６０の間に磁気シールド３２があるので、マイクロトランス構造の誤動作を防止できる。なお、制御回路基板６０には、磁界の授受により通信を行うマイクロトランス以外の回路を形成してもよい。
【００３０】
実施の形態３．
図５は、実施の形態３に係る半導体モジュールの断面図である。磁気シールド３２の中には、封止樹脂３０よりも熱伝導率の高い物質を混入させている。これにより、磁気シールド３２の熱伝導率は、封止樹脂３０の熱伝導率より高くなっている。例えば、エポキシ樹脂で形成された封止樹脂３０の熱伝導率は０．２１[W・m-1・K-1]であるので、その熱伝導率より高い熱伝導率を有する物質を磁気シールド３２に混入する。磁気シールド３２に含有させた磁性体がフェライト粉末の場合、そのフェライト粉末が「封止樹脂よりも熱伝導率の高い物質」に該当することが多い。磁気シールドの熱伝導率を十分に高めるためには、磁気シールドに金、銀、又は銅などの熱伝導率が非常に高い物質を混入させることが好ましい。
【００３１】
磁気シールド３２の上面の表面粗さは、封止樹脂３０の上面の表面粗さより大きくなっている。これにより磁気シールド３２の上面の面積は、封止樹脂３０の上面の面積より大きくなっている。
【００３２】
一般的な半導体モジュールでは、半導体素子で発生した熱は、ベース板を介して半導体素子の下方へ放熱する。本発明の実施の形態３に係る半導体モジュールは磁気シールド３２を上記のように放熱しやすい材料及び形状とした。そのため、磁気シールド３２を介して半導体素子２４の上方へ放熱できる。したがって、本発明の実施の形態３に係る半導体モジュールによれば、半導体素子の上方と下方の両方に放熱できるので、十分な放熱性を得ることができる。なお、十分な放熱性を得ることで半導体素子自体の小型化及び半導体モジュールの小型化が可能となる。
【００３３】
実施の形態４．
図６は、本発明の実施の形態４に係る電力変換装置の概念図である。この電力変換装置は筐体９０を備えている。筐体９０の中には、実施の形態１で説明した半導体モジュール１０が設けられている。半導体モジュール１０を実施の形態２又は３の半導体モジュールに置き換えても良い。筐体９０の中には、半導体素子に対し制御信号を伝送する制御回路９２が設けられている。制御回路９２は半導体モジュール１０の外部に設けられている。
【００３４】
電力変換装置は、大電流をスイッチングするものであれば特に限定されないが、例えばインバータ回路、コンバータ回路、サーボアンプ、又は電源ユニットである。電力変換装置からの出力については、単相、三相、直流、交流などの種類を問わない。
【００３５】
図７は、比較例に係る電力変換装置の概念図である。比較例の電力変換装置は、筐体９０、並びに、筐体９０の中に設けられた半導体モジュール９４及び制御回路９２を備えている。半導体モジュール９４は磁気シールドを有していない。半導体モジュール９４から制御回路９２に及ぼされる磁界の影響を低減するために、ノイズフィルタ９６ａ、９６ｂ、９６ｃ、９６ｄが設けられている。
【００３６】
本発明の実施の形態５に係る電力変換装置は、半導体モジュール１０の磁気シールドにより半導体素子で発生する磁界をシールドできるので、ノイズフィルタを省略して電力変換装置を簡素化できる。しかも、磁気シールドを設けることによる半導体モジュールの体積増加はないので、電力変換装置を小型化しやすい。なお、ここまでで説明した各実施の形態に係る半導体モジュール又は電力変換層の特徴は適宜に組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【００３７】
１０  半導体モジュール、  １１  ベース板、  １２  壁部、  １３  ケース、  １４  信号端子、  １６  電力端子、  ２０  絶縁基板、  ２４  半導体素子、  ３０  封止樹脂、  ３２  磁気シールド、  ５０  埋め込み磁気シールド、  ６０  制御回路基板、  ６２，６４  電子部品
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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