(57)【要約】【課題】圧電振動片がベース部材に適切に接合された圧電振動子を提供する。【解決手段】圧電振動子１は、基部１１０と、基部１１０から第一（＋Ｙ）方向に延び、第一（＋Ｙ）方向と交差する第二（＋Ｘ）方向に離間して配置された一対の振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂと、基部１１０から第一（＋Ｙ）方向に延びる支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂと、を有する圧電振動片１００が、底面をなすベース部材３を有し、内部にキャビティＣ１が形成されたパッケージ２のキャビティＣ１に収容された圧電振動子１であって、ベース部材３の上部には、金属バンプの少なくとも一部同士が対向配置された規制部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３が形成され、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂは、規制部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３により形成された規制空間Ｋ１内部に塗布された導電性接着剤７０を介して、ベース部材３の上部に接合されるように構成されていることを特徴とする。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
前記基部から第一方向に延び、前記第一方向と交差する第二方向に離間して配置された一対の振動腕部と、
前記基部から前記第一方向に延びる支持腕部と、を有する圧電振動片が、底面をなすベース部材を有し、内部にキャビティが形成されたパッケージの前記キャビティに収容された圧電振動子であって、
前記ベース部材の上部には、金属バンプの少なくとも一部同士が対向配置された規制部が形成され、
前記支持腕部は、前記規制部により形成された規制空間内部に塗布された導電性接着剤を介して、前記ベース部材の上部に接合されるように構成されていることを特徴とする圧電振動子。
【請求項２】
前記規制部は、点状に対向配置された前記金属バンプにより構成されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動子。
【請求項３】
前記規制部は、前記支持腕部を挟んで前記第二方向に対向配置された前記金属バンプにより構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の圧電振動子。
【請求項４】
前記規制部は、凹部が形成されるように設けられた前記金属バンプにより構成され、
前記凹部の内部が前記規制空間とされていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の圧電振動子。
【請求項５】
前記規制部の上端は、前記支持腕部の底面よりも上方に位置していることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の圧電振動子。
【請求項６】
前記支持腕部の前記第二方向側の面には、内方に向かって凹む側面凹部が形成され、
前記側面凹部内には、前記規制部の少なくとも一部が配置されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の圧電振動子。
【請求項７】
前記支持腕部の底面には、内方に向かって凹む底面凹部が形成され、
前記底面凹部内には、前記規制部の少なくとも一部が配置されていることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の圧電振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、携帯電話や携帯情報端末器には、時刻源や制御信号等のタイミング源、リファレンス信号源等に用いられるデバイスとして、水晶等を利用した圧電振動子が採用される場合が多い。この種の圧電振動子として、キャビティが形成されたパッケージ内に圧電振動片を気密封止したものが知られている。
【０００３】
このような圧電振動片として、基部と、基部から延びる一対の振動腕及び一対の支持用アームと、を備えたものが知られている。また、パッケージの基板上の設けられた電極部に導電性接着剤が塗布され、当該導電性接着剤上に支持用アームが載置され、導電性接着剤が硬化することで、圧電振動片が導電性接着剤を介してパッケージの基板に接合される構成が提案されている（下記特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−９８９０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記の特許文献１に記載の構成では、導電性接着剤が硬化するまでに導電性接着剤が基板等のベース部材上を濡れ広がる際に、不均一に濡れ広がり、導電性接着剤の厚さに偏りが生じてしまうことがある。これにより、圧電振動片が水平から傾いた状態でベース部材上に接合されてしまう。よって、圧電振動子に外部衝撃が生じると、圧電振動片がベース部材の上面等に接触して、振動特性が悪化し、または圧電振動片自体が破損するという問題点がある。
また、導電性接着剤が濡れ広がり過ぎると、濡れ広がりとともに圧電振動片が所定の位置よりもずれた位置に移動してベース部材上に接合されてしまうため、圧電振動片がパッケージの側面等と接触してしまうという問題点もある。
【０００６】
そこで、本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、圧電振動片がベース部材に適切に接合された圧電振動子を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を採用している。
すなわち、本発明に係る圧電振動子は、基部と、前記基部から第一方向に延び、前記第一方向と交差する第二方向に離間して配置された一対の振動腕部と、前記基部から前記第一方向に延びる支持腕部と、を有する圧電振動片が、底面をなすベース部材を有し、内部にキャビティが形成されたパッケージの前記キャビティに収容された圧電振動子であって、前記ベース部材の上部には、金属バンプの少なくとも一部同士が対向配置された規制部が形成され、前記支持腕部は、前記規制部により形成された規制空間内部に塗布された導電性接着剤を介して、前記ベース部材の上部に接合されるように構成されていることを特徴とする。
【０００８】
このように構成された圧電振動子では、塗布された導電性接着剤が硬化するまでに濡れ広がる際には、導電性接着剤の濡れ広がりが規制部により規制されるため、導電性接着剤は規制部により形成された規制空間内部において濡れ広がる。そして、導電性接着剤は所定高さを有した状態で硬化し、圧電振動片は所定高さを有する導電性接着剤を介してベース部材に接合される、つまり、圧電振動片はベース部材から所定高さ上方に配置されて接合されているため、例えば外部衝撃が生じた場合でも、圧電振動片がベース部材の上面に接触することが抑制される。
また、導電性接着剤は規制空間内部において均一に濡れ広がるため、導電性接着剤の上面の高さは揃えられる。よって、圧電振動片をその姿勢を保持してベース部材の上部に接合することができる。
また、導電性接着剤は規制部により濡れ広がり過ぎることがないため、導電性接着剤の濡れ広がりとともに圧電振動片が所定位置よりもずれた位置に移動して接合されることが抑制される。
したがって、圧電振動片をベース部材の上部の適切な位置において接合することができる。
【０００９】
また、本発明に係る圧電振動子は、前記規制部は、点状に対向配置された前記金属バンプにより構成されていることが好ましい。
【００１０】
このように構成された圧電振動子では、規制部は、点状に配置された金属バンプにより構成されているため、金属バンプの使用量、材料コストを抑えることができる。
【００１１】
また、本発明に係る圧電振動子は、前記規制部は、前記支持腕部を挟んで前記第二方向に対向配置された前記金属バンプにより構成されていてもよい。
【００１２】
このように構成された圧電振動子では、支持腕部は第二方向に対向配置された金属バンプに挟まれているため、支持腕部の位置決めを容易且つ精度良くすることができる。
【００１３】
また、本発明に係る圧電振動子は、前記規制部は、凹部が形成されるように設けられた前記金属バンプにより構成され、前記凹部の内部が前記規制空間とされていてもよい。
【００１４】
このように構成された圧電振動子では、凹部が形成されるように金属バンプを設ければ規制部が構成されるため、簡易な構成とすることができる。
【００１５】
また、本発明に係る圧電振動子は、前記規制部の上端は、前記支持腕部の底面よりも上方に位置していてもよい。
【００１６】
このように構成された圧電振動子では、規制部の上端は支持腕部の底面よりも上方に位置しているため、導電性接着剤が硬化するまでの間に、支持腕部が導電性接着剤上を移動した場合であっても、支持腕部の下部が規制部の上部に接すると移動が規制される。
【００１７】
また、本発明に係る圧電振動子は、前記支持腕部の前記第二方向側の面には、内方に向かって凹む側面凹部が形成され、前記側面凹部内には、前記規制部の少なくとも一部が配置されていてもよい。
【００１８】
このように構成された圧電振動子では、支持腕部の側面凹部に導電性接着剤が入り込みやすいため、支持腕部のベース部材への接合強度を高めることができる。また、支持腕部に側面凹部が形成されることにより、支持腕部の剛性が低くなり、振動を減衰させることができる。
【００１９】
また、本発明に係る圧電振動子は、前記支持腕部の底面には、内方に向かって凹む底面凹部が形成され、前記底面凹部内には、前記規制部の少なくとも一部が配置されていてもよい。
【００２０】
このように構成された圧電振動子では、支持腕部の底面凹部に規制部の少なくとも一部が配置されるため、支持腕部のベース部材に対する相対移動が規制される。よって、支持腕部を、適切な位置に配置しつつ、ベース部材に接合することができる。また、支持腕部に底面凹部が形成されることにより、支持腕部の剛性が低くなり、振動を減衰させることができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明に係る圧電振動子によれば、圧電振動片をベース部材に適切に接合することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第一実施形態に係る圧電振動子を示す外観斜視図である。
【図２】本発明の第一実施形態に係る圧電振動子を示す分解斜視図である。
【図３】本発明の第一実施形態に係る圧電振動子の内部構造を示す平面図である。
【図４】図３におけるＡ−Ａ断面図である。
【図５】本発明の第一実施形態の変形例１に係る圧電振動子の内部構造を示す平面図である。
【図６】図５におけるＢ−Ｂ断面図である。
【図７】本発明の第一実施形態の変形例２に係る圧電振動子の内部構造を示す平面図である。
【図８】図７におけるＣ−Ｃ断面図である。
【図９】本発明の第一実施形態の変形例３に係る圧電振動子の内部構造を示す平面図である。
【図１０】図９におけるＤ−Ｄ断面図である。
【図１１】本発明の第一実施形態の変形例４に係る圧電振動子の内部構造を示す平面図である。
【図１２】図１１におけるＥ−Ｅ断面図である。
【図１３】本発明の第一実施形態の変形例５に係る圧電振動子の内部構造を示す平面図である。
【図１４】図１３におけるＦ−Ｆ断面図である。
【図１５】本発明の第二実施形態に係る圧電振動子の内部構造を示す平面図である。
【図１６】図１５におけるＧ−Ｇ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
（第一実施形態）
本発明の第一実施形態として、圧電振動子について説明する。
図１は、本発明の第一実施形態に係る圧電振動子を示す外観斜視図である。図２は、本発明の第一実施形態に係る圧電振動子を示す分解斜視図である。図３は、本発明の第一実施形態に係る圧電振動子の内部構造を示す平面図である。図４は、図３におけるＡ−Ａ断面図である。
以下に説明する図１〜図１６までの説明においてはＸＹＺ座標系を設定し、このＸＹＺ座標系を参照しつつ各部材の位置関係を説明する。この際、圧電振動子１（図１参照）の厚み方向をＺ軸方向、圧電振動子１の長手方向をＹ軸方向、圧電振動子１の短手方向であってＹ軸方向とＺ軸方向の両方と直交する方向をＸ軸方向とする。
【００２４】
（圧電振動子）
図１〜４に示すように、圧電振動子１は、外形が略直方体状のいわゆるセラミックパッケージタイプの表面実装型振動子である。圧電振動子１は、気密封止されたキャビティＣ１が形成されたパッケージ２と、キャビティＣ１の内部に収容された圧電振動片１００と、を備える。
【００２５】
パッケージ２は、パッケージ本体（ベース部材）３と、パッケージ本体３に重ね合わされて接合された封口板４と、を有している。
【００２６】
パッケージ本体３は、互いに重ね合わされた状態で接合された第一ベース基板５０及び第二ベース基板５１と、第二ベース基板５１の上部に接合されたシールリング５２と、を有している。
【００２７】
第一ベース基板５０は、平面視略長方形状に形成されたセラミックス製の基板とされている。第二ベース基板５１は、第一ベース基板５０と同じ外形形状である平面視略長方形状に形成されたセラミックス製の基板とされており、第一ベース基板５０上に重ねられた状態で焼結等によって一体的に接合されている。
【００２８】
第一ベース基板５０及び第二ベース基板５１の四隅には、平面視１／４円弧状の切欠部５８が、第一ベース基板５０及び第二ベース基板５１の厚さ方向の全体にわたって形成されている。これら第一ベース基板５０及び第二ベース基板５１は、例えば、ウエハ状のセラミック基板を２枚重ねて接合した後、両セラミック基板を貫通する複数のスルーホールを行列状に形成し、その後、各スルーホールを基準としながら両セラミック基板を格子状に切断することで作製される。その際、スルーホールが４分割されることで、前述した切欠部５８となる。
【００２９】
また、第二ベース基板５１の上面は、圧電振動片１００がマウントされる実装面５１Ａとされている。
【００３０】
また、第二ベース基板５１には、厚さ方向（Ｚ軸方向）に貫通孔５１Ｈが形成されている。貫通孔５１Ｈは、平面視において、四隅が丸みを帯びた正方形状に形成されている。
【００３１】
この第二ベース基板５１と第一ベース基板５０とが互いに重ね合わされて接合された状態において、貫通孔５１Ｈは、第二ベース基板５１の実装面５１Ａから第二ベース基板５１の厚さ方向（Ｚ軸方向）に凹む凹部５１Ｐとされている。
【００３２】
なお、第一ベース基板５０及び第二ベース基板５１はセラミックス製としたが、その具体的なセラミックス材料としては、例えばアルミナ製のＨＴＣＣ（Ｈｉｇｈ  Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  Ｃｏ−Ｆｉｒｅｄ  Ｃｅｒａｍｉｃ）や、ガラスセラミックス製のＬＴＣＣ（Ｌｏｗ  Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  Ｃｏ−Ｆｉｒｅｄ  Ｃｅｒａｍｉｃ）等が挙げられる。
【００３３】
シールリング５２は、第一ベース基板５０及び第二ベース基板５１の外形よりも一回り小さい導電性の枠状部材である。シールリング５２は、第二ベース基板５１の実装面５１Ａに接合されている。
具体的には、シールリング５２は、銀ロウ等のロウ材や半田材等による焼付けによって実装面５１Ａ上に接合、あるいは、実装面５１Ａ上に形成（例えば、電解メッキや無電解メッキの他、蒸着やスパッタリング法等により）された金属接合層に対する溶着等によって接合されている。
【００３４】
なお、シールリング５２の材料としては、例えばニッケル基合金等が挙げられ、具体的にはコバール、エリンバー、インバー、４２−アロイ等から選択すればよい。特に、シールリング５２の材料としては、セラミック製とされている第一ベース基板５０及び第二ベース基板５１に対して熱膨張係数が近いものを選択することが好ましい。例えば、第一ベース基板５０及び第二ベース基板５１として、熱膨張係数６．８×１０-6／℃のアルミナを用いる場合には、シールリング５２としては、熱膨張係数５．２×１０−６／℃のコバールや、熱膨張係数４．５×１０-6／℃以上、６．５×１０-6／℃以下の４２−アロイを用いることが好ましい。
【００３５】
封口板４は、シールリング５２の上部に重ねられた導電性基板である。封口板４は、銀ロウ等のロウ材や半田材等による焼付け等によって、シールリング５２と気密に接合されている。そして、この封口板４とシールリング５２と第二ベース基板５１の実装面５１Ａとで画成された空間が、気密封止されたキャビティＣ１として機能する。
【００３６】
尚、封口板４の溶接方法としては、例えばローラ電極を接触させることによるシーム溶接や、レーザ溶接、超音波溶接等が挙げられる。また、封口板４とシールリング５２との溶接をより確実なものとするため、互いになじみの良いニッケルや金等の接合層を、少なくとも封口板４の下面と、シールリング５２の上面とにそれぞれ形成することが好ましい。
【００３７】
第二ベース基板５１の実装面５１Ａ上には、凸部６０，６０が設けられている。凸部６０は、圧電振動片１００が実装されている側に突出して形成されており、平面視形状は特に限定されず、矩形状であっても、他の形状であってもよい（図では矩形状）。
【００３８】
凸部６０の上面は、実装面５１Ａと平行である。凸部６０は、実装面５１Ａにおいて凹部５１Ｐの−Ｙ軸方向側に、実装面５１Ａの幅方向（Ｘ軸方向）の中心を挟んで２つ、対称の位置に設けられている。凸部６０，６０の上面には、圧電振動片１００との接続電極である電極パッド６１Ａ，６１Ｂがそれぞれ形成されている。
【００３９】
第一ベース基板５０の下面には、一対の外部電極６２Ａ，６２Ｂが、圧電振動子１の長手方向（Ｙ軸方向）に間隔をあけて形成されている。
【００４０】
これら電極パッド６１Ａ，６１Ｂ及び外部電極６２Ａ，６２Ｂは、例えば、蒸着やスパッタリング法等で形成された単一金属による単層膜、または異なる金属が積層された積層膜である。
【００４１】
電極パッド６１Ａと外部電極６２Ａとは、図示しない第一配線により電気的に接続されている。また、電極パッド６１Ｂと外部電極６２Ｂとは、図示しない第二配線により電気的に接続されている。
【００４２】
なお、第一配線は、例えば、第一ベース基板５０を厚み方向（Ｚ軸方向）に貫通して外部電極６２Ａと導通する第一貫通電極と、第二ベース基板５１を厚み方向（Ｚ軸方向）に貫通して電極パッド６１Ａと導通する第二貫通電極と、第一ベース基板５０と第二ベース基板５１との間に設けられ第一貫通電極と第二貫通電極とを接続する接続配線と、を含む。電極パッド６１Ｂと外部電極６２Ｂとを接続する第二配線は、第一配線と同様の構成である。第一配線及び第二配線の構成は、適宜選択できる。
り、互いにそれぞれ導通している。
【００４３】
（圧電振動片）
圧電振動片１００は、平板状に形成されている。圧電振動片１００は、基部１１０と、基部１１０に接続され、幅方向（Ｘ軸方向）に並んで配置された一対の振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂと、基部１１０における振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂの幅方向（Ｘ軸方向）の両側に接続された一対の支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂと、を備えている。
【００４４】
圧電振動片１００は、水晶、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウム等の圧電材料から形成されたサイドアーム型の振動片であり、所定の電圧が印加されたときに振動するものである。
【００４５】
本実施形態において、基部１１０、一対の振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂ及び支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂは、一体に形成され、隣接する各部が界面なく連続している。
【００４６】
基部１１０は、振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂと、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂとを、接続している。平面視（ＸＹ面視）において、基部１１０は、矩形状に形成されている。基部１１０における振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂの幅方向両側（±Ｘ側）の端部には、それぞれ支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂが接続されている。基部１１０における支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの長さ方向一方側（＋Ｙ側）には、振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂが接続されている。
【００４７】
振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂは、基部１１０から支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向、第一方向）に向かって延びている。振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂは、長手方向（Ｙ軸方向）と垂直で圧電振動片１００の面と平行な方向（第二方向、Ｘ軸方向）に並んで設けられている。
【００４８】
振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂは、それぞれ幅（Ｘ軸方向長さ）が均一な幅で直線的に延びる帯状部１２１と、帯状部１２１の先端に設けられ、幅（Ｘ軸方向長さ）が帯状部１２１よりも広いハンマー部１２２と、を有している。
【００４９】
帯状部１２１には、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向）に帯状に延びる溝部１２１Ｍが形成されている。
なお、本実施形態では、各振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂに一の溝部１２１Ｍが形成されているが、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向）に離間して複数の溝部が形成されていてもよい。例えば、振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂの先端側に＋Ｙ軸方向に長さの長い溝部が形成され、振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂの基端側に＋Ｙ軸方向に長さの短い溝部が形成されていてもよい。
【００５０】
ハンマー部１２２は、帯状部１２１の先端部から、振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向）に延びるように形成されている。ハンマー部１２２の幅（Ｘ軸方向長さ）は、振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂの幅（Ｘ軸方向長さ）よりも大きく形成されている。ハンマー部１２２は、基部１１０を固定端として、幅方向（Ｘ軸方向）に振動する自由端に設定されている。
【００５１】
また、一対の振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂの外表面上には、これら一対の振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂを振動させる不図示の励振電極が形成されている。
【００５２】
支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂは、基部１１０から振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向）に向かって延びている。支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂは、長手方向（Ｙ軸方向）と垂直で圧電振動片１００の面と平行な方向（Ｘ軸方向）に並んで設けられている。
【００５３】
支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂは、基部１１０から振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向）に向かって延びている。詳細には、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂは、基部１１０から、振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂの幅方向（Ｘ軸方向）両側に延びた後、振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向）に沿って延びている。
【００５４】
支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの先端側の対向面（ＸＹ面）１３１Ａ，１３１Ｂには、マウント部１４１Ａ，１４１Ｂが設けられている。マウント部１４１Ａ，１４１Ｂが設けられている位置は、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂが振動する際に、振動の節となる位置である。
【００５５】
図３，４に示すように、第二ベース基板５１の凸部６０，６０の上面の電極パッド６１Ａ，６１Ｂには、バンプ規制部（規制部）Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３が設けられている。
【００５６】
バンプ規制部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３は、電極パッド６１Ａ，６１Ｂ上に、金属板バンプが点状に、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの長手方向（Ｙ軸方向）に沿って間隔を有して設けられたものである。
【００５７】
バンプ規制部Ｂ１は、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの基部１１０側に設けられている。バンプ規制部Ｂ２は、バンプ規制部Ｂ１よりも支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの先端部１３０Ｚ側に設けられている。バンプ規制部Ｂ３は、バンプ規制部Ｂ２よりも支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの先端部１３０Ｚ側に設けられている。このように、バンプ規制部Ｂ１，Ｂ２同士、バンプ規制部Ｂ２，Ｂ３同士、バンプ規制部Ｂ１，Ｂ３同士は、それぞれ対向配置されている。なお、本実施形態では、各バンプ規制部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３の高さは、同一とされている。バンプ規制部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３として、ハンダや金等の電気伝導性を有する素材を採用することができる。
なお、本実施形態では、各バンプ規制部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３の高さは、同一とされているが、高さが異なっていてもよい。
【００５８】
バンプ規制部Ｂ１とバンプ規制部Ｂ３との間に形成された空間は、規制空間Ｋ１とされている。電極パッド６１Ａ，６１Ｂ上において、規制空間Ｋ１の内部には、導電性接着剤７０が塗布されている。塗布された導電性接着剤７０の上面７０Ａは、バンプ規制部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３の上端ＢＡ０よりも上方に位置するとともに、圧電振動片１００の対向面１００Ａに当接して硬化している。換言すると、導電性接着剤７０は支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂに付着するが、バンプ規制部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３は支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂにまで到達していない。なお、導電性接着剤７０として、熱硬化性を有する接着剤を採用することができる。
【００５９】
そして、圧電振動片１００は、導電性接着剤７０を介して、マウント部１４１Ａ，１４１Ｂに形成されている図示しないマウント電極が、電極パッド６１Ａ，６１Ｂに接触するようにマウントされている。
【００６０】
これにより、圧電振動片１００は、第二ベース基板５１の実装面５１Ａに対して、対向面（ＸＹ面）１００Ａが平行な状態で支持されると共に、一対の電極パッド６１Ａ，６１Ｂにそれぞれ電気的に接続された状態とされている。
【００６１】
なお、例えば、圧電振動片１００の面に垂直な方向の厚さ（Ｚ軸方向長さ）は、９０〜１１０μｍとすることができる。また、圧電振動片１００と第二ベース基板５１との間隔（Ｚ軸方向長さ）は、１５μｍとすることができる。また、圧電振動片１００と封口板４との間隔（Ｚ軸方向長さ）は、２０μｍとすることができる。また、圧電振動子１の面に垂直な方向の厚さ（Ｚ軸方向長さ）は、３５０μｍ以下とすることができる。このように、圧電振動片１００と第二ベース基板５１との間隔及び圧電振動片１００と封口板４との間隔は、圧電振動片１００の面に垂直な方向の厚さの２０％以下とされている。
【００６２】
このように構成された圧電振動子１を作動させる場合には、外部電極６２Ａ，６２Ｂに対して、所定の駆動電圧を印加する。これにより、圧電振動片１００の励振電極に電流を流すことができ、一方の振動腕部１２０Ａと他方の振動腕部１２０Ｂとを圧電振動片１００の面に沿って所定の周波数で振動させることができる。そして、この振動を利用して、時刻源、制御信号のタイミング源やリファレンス信号源等として圧電振動子１を利用することができる。
【００６３】
次に、本実施形態の圧電振動片１００の実装方法について説明する。
まず、第二ベース基板５１の凸部６０，６０の上面の電極パッド６１Ａ，６１Ｂに、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの長手方向（Ｙ軸方向）に沿って、間隔を有して点状にバンプ規制部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３を設ける。
【００６４】
次に、バンプ規制部Ｂ１，Ｂ３により形成された規制空間Ｋ１の内部に、導電性接着剤７０を塗布する。未硬化状態の導電性接着剤７０は、電極パッド６１Ａ，６１Ｂ上を濡れ広がる。この際、導電性接着剤７０は、バンプ規制部Ｂ１により基部１１０側への濡れ広がりが抑制されるとともに、バンプ規制部Ｂ３により支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの先端部１３０Ｚ側への濡れ広がりが抑制される。また、平面視において、バンプ規制部Ｂ１，Ｂ２間に塗布された導電性接着剤は、主にバンプ規制部Ｂ１，Ｂ２間おいて濡れ広がる。また、バンプ規制部Ｂ２，Ｂ３間に塗布された導電性接着剤は、主にバンプ規制部Ｂ２，Ｂ３間おいて濡れ広がる。これにより、導電性接着剤７０は、規制空間Ｋ１の内部において、上面７０Ａが第二ベース基板５１の実装面５１Ａと平行となるようにして濡れ広がる。ここで、導電性接着剤７０の上面７０Ａは、バンプ規制部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３の上端よりも上方に位置している。
【００６５】
次に、圧電振動片１００を、圧電振動片１００の対向面１００Ａが第二ベース基板５１の実装面５１Ａと対向するようにして、第二ベース基板５１上に設置する。
このとき、圧電振動片１００における支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂのマウント部１４１Ａ，１４１Ｂを、第二ベース基板５１の凸部６０上に設けられた電極パッド６１Ａ，６１Ｂの上面に対向するようにして、未硬化の導電性接着剤７０に当接させる。導電性接着剤７０の上面７０Ａが第二ベース基板５１の実装面５１Ａと平行とされているため、圧電振動片１００は、圧電振動片１００の対向面１００Ａと、実装面５１Ａと、が平行な姿勢で、第二ベース基板５１上に設置される。また、導電性接着剤７０は支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂに付着するが、バンプ規制部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３は支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂに到達していない。
【００６６】
次に、未硬化の導電性接着剤７０を、加熱することにより、硬化させる。この工程により、硬化した導電性接着剤７０により、圧電振動片１００のマウント部１４１Ａ，１４１Ｂと、第二ベース基板５１の凸部６０上に設けられた電極パッド６１Ａ，６１Ｂと、がそれぞれ固着される。
【００６７】
以上の工程により、圧電振動片１００は、第二ベース基板５１の実装面５１Ａに対して、対向面１００Ａが平行な状態で支持されるとともに、一対の電極パッド６１Ａ，６１Ｂにそれぞれ電気的に接続された状態で実装される。
【００６８】
このように構成された圧電振動子１では、塗布された導電性接着剤７０が硬化するまでに濡れ広がる際には、導電性接着剤７０の濡れ広がりがバンプ規制部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３により規制されるため、導電性接着剤７０はバンプ規制部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３により形成された規制空間Ｋ１内部において濡れ広がる。そして、導電性接着剤７０は所定高さを有した状態で硬化し、圧電振動片１００は所定高さを有する導電性接着剤７０を介して電極パッド６１Ａ，６１Ｂに接合される、つまり、圧電振動片１００は第二ベース基板５１の実装面５１Ａから所定高さ上方に配置されて接合されているため、例えば圧電振動子１に外部衝撃が生じた場合でも、圧電振動片１００が第二ベース基板５１の実装面５１Ａに接触することが抑制される。
また、導電性接着剤７０は規制空間Ｋ１内部において均一に濡れ広がるため、導電性接着剤７０の上面７０Ａが第二ベース基板５１の実装面５１Ａと平行とされている。よって、圧電振動片１００を、第二ベース基板５１の実装面５１Ａと平行な状態で接合することができる。
【００６９】
また、規制部により、導電性接着剤７０が濡れ広がり過ぎることがないため、導電性接着剤７０の濡れ広がりとともに圧電振動片１００が所定位置よりもずれた位置に移動して接合されることが抑制される。よって、圧電振動片１００を第二ベース基板５１上の適切な位置において接合することができる。
【００７０】
このように、圧電振動片１００が、第二ベース基板５１の実装面５１Ａから所定高さ上方に、第二ベース基板５１の実装面５１Ａと平行な状態で、第二ベース基板５１上の適切な位置に接合される。よって、キャビティＣ１内の高さ（Ｚ軸方向の高さ）を低くしても支障がない。したがって、圧電振動子１を薄型化することができる。
【００７１】
また、バンプ規制部Ｂ１は、点状に配置された金属バンプにより構成されているため、金属バンプの使用量、材料コストを抑えることができる。
【００７２】
（第一実施形態の変形例１）
次に、上記に示す第一実施形態の変形例１について、主に図５，６を用いて説明する。
なお、以下に説明する変形例及び実施形態においては、上記に示す実施形態と共通する構成については図中に同符号を付してその説明を省略する。
【００７３】
図５は、本発明の第一実施形態の変形例１に係る圧電振動子の内部構造を示す平面図である。図６は、図５におけるＢ−Ｂ断面図である。
図３に示すように、第一実施形態に係る圧電振動子１では、バンプ規制部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３が支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの直下に配置されているのに対して、図５，６に示すように、本変形例１に係る圧電振動子１Ａでは、バンプ規制部Ｂ１１，Ｂ１２，Ｂ１３，Ｂ１４が支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの幅（Ｘ軸方向）の側方に配置されている。
【００７４】
バンプ規制部Ｂ１１，Ｂ１２，Ｂ１３，Ｂ１４は、第二ベース基板５１の凸部１６０，１６０の上面の電極パッド１６１Ａ，１６１Ｂに設けられている。平面視において、バンプ規制部Ｂ１１は、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの基部１１０側且つ対応する支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂよりも隣接する振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂ側に設けられている。バンプ規制部Ｂ１２は、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの先端部１３０Ｚ側且つ対応する支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂよりも隣接する振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂ側に設けられている。バンプ規制部Ｂ１３は、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの基部１１０側且つ対応する支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂを挟んでバンプ規制部Ｂ１１と反対側に設けられている。バンプ規制部Ｂ１４は、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの先端部１３０Ｚ側且つ対応する支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂを挟んでバンプ規制部Ｂ１２と反対側に設けられている。
【００７５】
換言すると、バンプ規制部Ｂ１１とバンプ規制部Ｂ１３とは、対応する支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂを挟んで、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの幅方向（Ｘ軸方向）に対向配置されている。また、バンプ規制部Ｂ１２とバンプ規制部Ｂ１４とは、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂを挟んで、対応する支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの幅方向（Ｘ軸方向）に対向配置されている。
【００７６】
バンプ規制部Ｂ１１，Ｂ１２，Ｂ１３，Ｂ１４間に形成された空間は、規制空間Ｋ１１とされている。電極パッド１６１Ａ，１６１Ｂ上において、規制空間Ｋ１１の内部には、導電性接着剤１７０が塗布されている。バンプ規制部Ｂ１１，Ｂ１２，Ｂ１３，Ｂ１４の上端ＢＡ１０は、導電性接着剤１７０の上面１７０Ａよりも上方に位置している。また、バンプ規制部Ｂ１１，Ｂ１２，Ｂ１３，Ｂ１４の上端ＢＡ１０は、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの対向面（底面）１３１Ａ，１３１Ｂよりも上方に位置している。
【００７７】
このように構成された圧電振動子１Ａにおいて、導電性接着剤１７０は、バンプ規制部Ｂ１１により基部１１０側且つ隣接する振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂ側への濡れ広がりが抑制される。また、導電性接着剤１７０は、バンプ規制部Ｂ１２により支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの先端部１３０Ｚ側且つ隣接する振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂ側への濡れ広がりが抑制される。また、導電性接着剤１７０は、バンプ規制部Ｂ１３により基部１１０側且つバンプ規制部Ｂ１１側と反対側への濡れ広がりが抑制される。また、導電性接着剤１７０は、バンプ規制部Ｂ１４により支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの先端部１３０Ｚ側且つバンプ規制部Ｂ１２側と反対側への濡れ広がりが抑制される。これにより、導電性接着剤１７０は、規制空間Ｋ１１の内部において、上面１７０Ａが第二ベース基板５１の実装面５１Ａと平行となるようにして濡れ広がり、圧電振動片１００のマウント部１４１Ａ，１４１Ｂと当接し、硬化する。
【００７８】
このように構成された圧電振動子１Ａでは、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂは、幅（Ｘ軸方向）に対向配置されたバンプ規制部Ｂ１１とバンプ規制部Ｂ１３とにより挟まれるとともに、バンプ規制部Ｂ１２とバンプ規制部Ｂ１４とにより挟まれている。よって、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの幅（Ｘ軸方向）における位置決めを容易且つ精度良くすることができる。
【００７９】
また、バンプ規制部Ｂ１１，Ｂ１２，Ｂ１３，Ｂ１４の上端ＢＡ１０は支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの対向面１３１Ａ，１３１Ｂよりも上方に位置している。よって、導電性接着剤１７０が硬化するまでの間に、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂが導電性接着剤１７０上を移動した場合であっても、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの下部が規制部の上部に接すると移動が規制される。よって、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの幅（Ｘ軸方向）方向のずれを規制することができる。
【００８０】
（第一実施形態の変形例２）
次に、上記に示す第一実施形態の変形例２について、主に図７，８を用いて説明する。
【００８１】
図７は、本発明の第一実施形態の変形例２に係る圧電振動子の内部構造を示す平面図である。図８は、図７におけるＣ−Ｃ断面図である。
図７，８に示すように、本変形例２に係る圧電振動子１Ｂでは、バンプ規制部Ｂ２１，Ｂ２２は、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの長手方向（Ｙ軸方向）に延びる線状に形成されている。
【００８２】
バンプ規制部Ｂ２１，Ｂ２２は、第二ベース基板５１の凸部１６０，１６０の上面の電極パッド１６１Ａ，１６１Ｂに設けられている。平面視において、バンプ規制部Ｂ２１は、対応する支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂよりも隣接する振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂ側に設けられている。バンプ規制部Ｂ２２は、対応する支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂを挟んでバンプ規制部Ｂ２１と反対側に設けられている。
【００８３】
換言すると、バンプ規制部Ｂ２１とバンプ規制部Ｂ２２とは、対応する支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂを挟んで、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの幅方向（Ｘ軸方向）に対向配置されている。
【００８４】
バンプ規制部Ｂ２１，Ｂ２２間に形成された空間は、規制空間Ｋ２１とされている。電極パッド１６１Ａ，１６１Ｂ上において、規制空間Ｋ２１の内部には、導電性接着剤２７０が塗布されている。
【００８５】
このように構成された圧電振動子１Ｂにおいて、導電性接着剤２７０は、バンプ規制部Ｂ２１により隣接する振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂ側への濡れ広がりが抑制される。また、導電性接着剤２７０は、バンプ規制部Ｂ２２によりバンプ規制部Ｂ２１側と反対側への濡れ広がりが抑制される。これにより、導電性接着剤２７０は、規制空間Ｋ２１の内部において、上面２７０Ａが第二ベース基板５１の実装面５１Ａと平行となるようにして濡れ広がり、圧電振動片１００のマウント部１４１Ａ，１４１Ｂと当接し、硬化する。
【００８６】
このように構成された圧電振動子１Ｂでは、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂは、幅（Ｘ軸方向）に対向配置されたバンプ規制部Ｂ２１とバンプ規制部Ｂ２２とにより挟まれている。よって、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの幅（Ｘ軸方向）における位置決めを容易且つ精度良くすることができる。
【００８７】
（第一実施形態の変形例３）
次に、上記に示す第一実施形態の変形例３について、主に図９，１０を用いて説明する。
【００８８】
図９は、本発明の第一実施形態の変形例３に係る圧電振動子の内部構造を示す平面図である。図１０は、図９におけるＤ−Ｄ断面図である。
図９，１０に示すように、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの幅方向（Ｘ軸方向）の側面１３０Ｐ，１３０Ｑには、それぞれ内方に向かって凹む側面凹部１３０Ｒが形成されている。
【００８９】
側面凹部１３０Ｒは、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの厚み方向（Ｚ軸方向）にわたって形成されている。バンプ規制部Ｂ３１，Ｂ３２，Ｂ３３，Ｂ３４は、その一部が、それぞれ側面凹部１３０Ｒに入りこむように配置されている。バンプ規制部Ｂ３１，Ｂ３２，Ｂ３３，Ｂ３４の平面視支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂ側の部分及びバンプ規制部Ｂ３１，Ｂ３２，Ｂ３３，Ｂ３４の上部が、側面凹部１３０Ｒに入りこんでいる。
【００９０】
バンプ規制部Ｂ３１，Ｂ３２，Ｂ３３，Ｂ３４間に形成された規制空間Ｋ３１の内部には、導電性接着剤３７０が塗布されている。
【００９１】
このように構成された圧電振動子１Ｃでは、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの側面凹部１３０Ｒに導電性接着剤３７０が入り込みやすいため、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの第二ベース基板５１への接合強度を高めることができる。また、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂに側面凹部１３０Ｒが形成されることにより、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの剛性が低くなり、振動を減衰させることができる。
【００９２】
（第一実施形態の変形例４）
次に、上記に示す第一実施形態の変形例４について、主に図１１，１２を用いて説明する。
【００９３】
図１１は、本発明の第一実施形態の変形例４に係る圧電振動子の内部構造を示す平面図である。図１２は、図１１におけるＥ−Ｅ断面図である。
図１１，１２に示すように、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの対向面１３１Ａ，１３１Ｂには、それぞれ内方（＋Ｚ軸方向）に向かって凹む底面凹部１３０Ｓが形成されている。
【００９４】
底面凹部１３０Ｓは、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの幅方向（Ｘ軸方向）にわたって形成されている。バンプ規制部Ｂ４１，Ｂ４２は、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの長手方向（Ｙ軸方向）に離間して設けられている。バンプ規制部Ｂ４１，Ｂ４２の上部は、それぞれ底面凹部１３０Ｓに入りこむように配置されている。
【００９５】
バンプ規制部Ｂ４１，Ｂ４２間に形成された規制空間Ｋ４１の内部には、導電性接着剤４７０が塗布されている。
【００９６】
このように構成された圧電振動子１Ｄでは、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの底面凹部１３０Ｓにバンプ規制部Ｂ４１，Ｂ４２の上部が配置されるため、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの第二ベース基板５１に対する長手方向（Ｙ軸方向）の相対移動が規制される。よって、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂを、適切な位置に配置しつつ、第二ベース基板５１に接合することができる。また、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂに底面凹部１３０Ｓが形成されることにより、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの剛性が低くなり、振動を減衰させることができる。
【００９７】
（第一実施形態の変形例５）
次に、上記に示す第一実施形態の変形例５について、主に図１３，１４を用いて説明する。
【００９８】
図１３は、本発明の第一実施形態の変形例５に係る圧電振動子の内部構造を示す平面図である。図１４は、図１３におけるＦ−Ｆ断面図である。
図１３，１４に示すように、本変形例５に係る圧電振動子１Ｅでは、バンプ規制部Ｂ５０は、点状に形成されている。このバンプ規制部Ｂ５０には、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの先端部１３０Ｚ側から基部１１０側に向かって凹む凹部ＢＰが形成されている。
【００９９】
凹部ＢＰは、互いに支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの幅方向（Ｘ軸方向）に対向する壁部Ｂ５１，５２を有している。これら壁部Ｂ５１，５２により形成された規制空間Ｋ５１の内部には、導電性接着剤５７０が入り込んでいる。これにより、導電性接着剤５７０は、凹部ＢＰにおいて、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの幅方向（Ｘ軸方向）の濡れ広がりが規制されている。
【０１００】
このように構成された圧電振動子１Ｅでは、凹部ＢＰが形成されるように金属バンプを設ければバンプ規制部Ｂ５０が構成されるため、簡易な構成とすることができる。
【０１０１】
（第二実施形態）
次に、上記に示す第二実施形態について、主に図１５，１６を用いて説明する。
【０１０２】
図１５本発明の第二実施形態に係る圧電振動子の内部構造を示す平面図である。図１６は、図１５におけるＧ−Ｇ断面図である。
図１５，１６に示すように、圧電振動子１Ｆを構成する圧電振動片６００は、センターアーム型の振動片である。圧電振動片６００は、基部６１０と、一対の振動腕部６２０Ａ，６２０Ｂと、支持腕部６３０と、を備えている。
【０１０３】
振動腕部６２０Ａ，６２０Ｂは、基部６１０からそれぞれ同一の方向（＋Ｙ軸方向）に向かって延びている。振動腕部６２０Ａ，６２０Ｂは、長手方向（Ｙ軸方向）と垂直で圧電振動片６００の面と平行な方向（Ｘ軸方向）に並んで設けられている。振動腕部６２０Ａ，６２０Ｂの外表面上には、これら一対の振動腕部６２０Ａ，６２０Ｂを振動させる不図示の励振電極が形成されている。
【０１０４】
振動腕部６２０Ａ，６２０Ｂの先端部には、ハンマー部６２２がそれぞれ設けられている。ハンマー部６２２は、それぞれ振動腕部６２０Ａ，６２０Ｂの先端部から、振動腕部６２０Ａ，６２０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向）に延びるように形成されている。ハンマー部６２２の幅（Ｘ軸方向長さ）は、振動腕部６２０Ａ，６２０Ｂの幅（Ｘ軸方向長さ）よりも大きく形成されている。ハンマー部６２２は、基部６１０を固定端として、幅方向（Ｘ軸方向）に振動する自由端に設定されている。
【０１０５】
支持腕部６３０は、基部６１０における、振動腕部６２０Ａ，６２０Ｂが延出している箇所の間から、振動腕部６２０Ａ，６２０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向）に向かって延びている。
【０１０６】
支持腕部６３０の対向面（ＸＹ面）６３０Ａには、マウント部６４１Ａ，６４１Ｂが設けられている。マウント部６４１Ａ，６４１Ｂが設けられている位置は、支持腕部６３０が振動する際に、振動の節となる位置である。
【０１０７】
第二ベース基板５１の凸部５６０の上面の電極パッド５６０Ａには、支持腕部６３０の長手方向（Ｙ軸方向）に沿って、間隔を有して点状にバンプ規制部Ｂ６１，Ｂ６２が設けられている。また、第二ベース基板５１の凸部５６０の上面の電極パッド５６１Ａには、支持腕部６３０の長手方向（Ｙ軸方向）に沿って、間隔を有して点状にバンプ規制部Ｂ６３，Ｂ６４が設けられている。
【０１０８】
バンプ規制部Ｂ６１，Ｂ６２間に形成された規制空間Ｋ６１の内部には、導電性接着剤６７１が塗布されている。また、バンプ規制部Ｂ６３，Ｂ６４間に形成された規制空間Ｋ６２の内部には、導電性接着剤６７１が塗布されている。
【０１０９】
このように構成された圧電振動子１Ｆにおいて、導電性接着剤６７１は、バンプ規制部Ｂ６１，Ｂ６２により、支持腕部６３０の長手方向への濡れ広がりが抑制される。また、導電性接着剤６７２は、バンプ規制部Ｂ６３，Ｂ６４により、支持腕部６３０の長手方向への濡れ広がりが抑制される。これにより、導電性接着剤６７１，６７２は、規制空間Ｋ６１，Ｋ６２の内部において、上面６７１Ａ，６７２Ａが第二ベース基板５１の実装面５１Ａと平行となるようにして濡れ広がり、圧電振動片６００のマウント部６４１Ａ，６４１Ｂと当接し、硬化する。
【０１１０】
そして、圧電振動片６００は、導電性接着剤（不図示）を介して、マウント部６４１Ａ，６４１Ｂに形成されているマウント電極（不図示）が、電極パッド（不図示）に接触するようにマウントされている。
【０１１１】
これにより、圧電振動片６００は、第二ベース基板５１の実装面５１Ａに対して、対向面が平行な状態で支持されると共に、一対の電極パッドにそれぞれ電気的に接続された状態とされている。
【０１１２】
このように構成された圧電振動子１Ｆを作動させる場合には、外部電極６２Ａ，６２Ｂに対して、所定の駆動電圧を印加する。これにより、圧電振動片６００の励振電極に電流を流すことができ、一方の振動腕部６２０Ａと他方の振動腕部６２０Ｂとを圧電振動片６００の面に沿って所定の周波数で振動させることができる。
【０１１３】
このように構成された圧電振動子１Ｆでは、電極パッド５６０Ａに塗布された導電性接着剤６７１が濡れ広がって電極パッド５６１Ａ側にまで達することがないとともに、電極パッド５６１Ａに塗布された導電性接着剤６７２が濡れ広がって電極パッド５６０Ａ側にまで達することがないため、短絡を防止することができる。
【０１１４】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【符号の説明】
【０１１５】
１…圧電振動子
２…パッケージ
３…パッケージ本体（ベース部材）
４…封口板
５１…第二ベース基板
７０…導電性接着剤
１００…圧電振動片
１１０…基部
１２０Ａ，１２０Ｂ…振動腕部
１３０Ａ，１３０Ｂ…支持腕部
１４１Ａ，１４１Ｂ…マウント部
Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３…バンプ規制部（規制部）
Ｃ１…キャビティ
Ｋ１…規制空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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