(57)【要約】【課題】撮像素子ユニットとレンズユニットとの相対位置姿勢を比較的容易に精度よく調整可能とする。【解決手段】撮像モジュール１は、撮像素子２０及び外部接続部２１が設けられた回路を有する撮像素子ユニット３と、レンズ群１０と、レンズ群の少なくとも一部のレンズを撮像素子に対して移動させてフォーカス調整及び像振れ補正を行うレンズ駆動装置１１と、を有し、撮像素子ユニットに固定されたレンズユニット２と、レンズ駆動装置を回路に接続する配線群Ｗと、を備え、配線群は、配線経路の少なくとも一部において複数の配線組Ｗ１，Ｗ２に分かれており、配線組毎に設けられ、且つ互いに分離された複数のフレキシブル配線部分１２ａ−１，１２ａ−２をさらに備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像素子及び外部接続部が設けられた回路を有する撮像素子ユニットと、
レンズ群と、該レンズ群の少なくとも一部のレンズを前記撮像素子に対して移動させてフォーカス調整及び像振れ補正を行うレンズ駆動装置と、を有し、前記撮像素子ユニットに固定されたレンズユニットと、
前記レンズ駆動装置を前記回路に接続する配線群と、
を備え、
前記配線群は、配線経路の少なくとも一部において複数の配線組に分かれており、
前記配線組毎に設けられ、且つ互いに分離された複数のフレキシブル配線部分をさらに備える撮像モジュール。
【請求項２】
請求項１記載の撮像モジュールであって、
前記撮像素子の画素ピッチは１μｍ以下である撮像モジュール。
【請求項３】
請求項１又は２記載の撮像モジュールであって、
前記レンズユニットは、前記レンズ駆動装置を収容する筐体をさらに有し、
前記フレキシブル配線部分の各々の少なくとも一部は、前記筐体の外部に設けられている撮像モジュール。
【請求項４】
請求項３記載の撮像モジュールであって、
前記配線組の各々は、同一方向に前記筐体から導出されている撮像モジュール。
【請求項５】
請求項４記載の撮像モジュールであって、
前記配線組の各々は、前記外部接続部に向けて前記筐体から導出されている撮像モジュール。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか一項記載の撮像モジュールであって、
前記レンズ駆動装置は、移動される前記レンズの位置を検出するセンサを含み、
前記配線群は、前記センサから出力される位置信号を伝送する配線を含む撮像モジュール。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか一項記載の撮像モジュールであって、
前記フレキシブル配線部分は、互いに並行して延在し、且つ前記レンズ群の光軸を含み該フレキシブル配線部分の延在方向と平行な中心面の両側に設けられている撮像モジュール。
【請求項８】
請求項７記載の撮像モジュールであって、
隣り合う前記フレキシブル配線部分の間には空間があけられている撮像モジュール。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか一項記載の撮像モジュールであって、
前記フレキシブル配線部分は、互いに並行して延在し、且つ前記レンズ群の光軸を含み該フレキシブル配線部分の延在方向と平行な中心面を挟んで対称に設けられている撮像モジュール。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか一項記載の撮像モジュールであって、
前記フレキシブル配線部分の各々の少なくとも一部は、前記撮像素子ユニットに固定されている撮像モジュール。
【請求項１１】
請求項１から１０のいずれか一項記載の撮像モジュールを搭載した電子機器。
【請求項１２】
請求項１から１０のいずれか一項記載の撮像モジュールの製造方法であって、
測定チャートに直交するＺ軸上にセットされた前記レンズユニット及び前記撮像素子ユニット、並びに該測定チャートのいずれかを複数の測定位置に移動させ、
前記測定位置の各々において、前記外部接続部を通じて前記レンズ駆動装置を動作させた状態で、前記レンズユニットによって結像される測定チャート像を前記撮像素子により撮像し、
得られた複数の画像に基づいて、Ｚ軸上での前記レンズユニットと前記撮像素子ユニットとの相対位置及びＺ軸に直交するＸ軸及びＹ軸回りの前記レンズユニットと前記撮像素子ユニットとの相対姿勢の調整量を求め、
求めた調整量に基づいて前記レンズユニットと前記撮像素子ユニットとの相対位置姿勢を調整して、前記レンズユニットと前記撮像素子ユニットとを固定する撮像モジュールの製造方法。
【請求項１３】
請求項１から１０のいずれか一項記載の撮像モジュールの製造方法であって、
測定チャートに直交するＺ軸上にセットされた前記レンズユニット及び前記撮像素子ユニット、並びに該測定チャートのいずれかを複数の測定位置に移動させ、
前記測定位置の各々において、前記配線群を通じて前記レンズ駆動装置を動作させた状態で、前記レンズユニットによって結像される測定チャート像を前記撮像素子により撮像し、
得られた複数の画像に基づいて、Ｚ軸上での前記レンズユニットと前記撮像素子ユニットとの相対位置及びＺ軸に直交するＸ軸及びＹ軸回りの前記レンズユニットと前記撮像素子ユニットとの相対姿勢の調整量を求め、
求めた調整量に基づいて前記レンズユニットと前記撮像素子ユニットとの相対位置姿勢を調整して、前記レンズユニットと前記撮像素子ユニットとを固定し、前記配線群を前記撮像素子ユニットの前記回路に接続する撮像モジュールの製造方法。
【請求項１４】
請求項１２又は１３記載の撮像モジュールの製造方法であって、
前記フレキシブル配線部分は、互いに並行して延在し、且つ前記レンズ群の光軸を含み該フレキシブル配線部分の延在方向と平行な中心面の両側に設けられており、
Ｘ軸方向又はＹ軸方向のいずれか一方は、前記中心面の面内方向である撮像モジュールの製造方法。
【請求項１５】
請求項１２から１４のいずれか一項記載の撮像モジュールの製造方法であって、
前記フレキシブル配線部分は、互いに並行して延在し、且つ前記レンズ群の光軸を含み該フレキシブル配線部分の延在方向と平行な中心面を挟んで対称に設けられており、
Ｘ軸方向又はＹ軸方向のいずれか一方は、前記中心面の面内方向である撮像モジュールの製造方法。
【請求項１６】
請求項１２から１５のいずれか一項記載の撮像モジュールの製造方法であって、
前記レンズユニットと前記撮像素子ユニットとを固定した後に、前記フレキシブル配線部分の各々の少なくとも一部を前記撮像素子ユニットに固定する撮像モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撮像モジュール及び電子機器並びに撮像モジュールの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話機等の携帯用電子機器に搭載されている撮像モジュールとして、オートフォーカス機能や像振れ補正機能を備える撮像モジュールが知られている（例えば、特許文献１、２参照）。
【０００３】
特許文献１に記載された撮像モジュールは、像振れ補正機能を備えた撮像モジュールであって、レンズ群及び撮像素子が一体化されてなるユニットと、レンズ群及び撮像素子のユニットを揺動させるレンズ駆動装置とを備え、レンズ及び撮像素子のユニットを揺動させることによって像振れを防止するように構成されている。レンズ駆動装置は、撮像素子に接続されているフレキシブル基板に設けられた端子部にフレキシブル基板を介して接続され、両フレキシブル基板を介して電力等を供給され、動作される。
【０００４】
特許文献２に記載された撮像モジュールは、オートフォーカス機能及び像振れ補正機能を備える撮像モジュールであって、撮像素子を有する撮像素子ユニットと、レンズ群及びレンズ群を変位させるレンズ駆動装置を有し、撮像素子ユニットに接着固定されたレンズユニットとを備え、レンズ駆動装置によりレンズ群の位置を調整することによってフォーカスを調整し、また像振れを防止するように構成されている。レンズ駆動装置は、撮像素子ユニットの基板に設けられた端子部にフレキシブル基板を介して接続され、撮像素子ユニットの基板及びフレキシブル基板を介して電力等を供給され、動作される。
【０００５】
そして、特許文献２に記載された撮像モジュールの製造方法では、撮像素子とレンズ群との相対位置姿勢精度を高めるべく、撮像素子ユニットとレンズユニットとを互いに接着固定した後に、フレキシブル基板を撮像素子ユニットの基板に設けられた端子部に接続している。それにより、フレキシブル基板の曲げに対する反力等の外力が撮像素子ユニット及びレンズユニットに作用して撮像素子とレンズ群との相対位置姿勢精度が低下することを抑制している。
【０００６】
また、撮像素子ユニットとレンズユニットとの相対位置姿勢を調整し、両ユニットを固定する方法として、撮像素子ユニット又はレンズユニットをレンズ群の光軸方向に異なる位置に配置し、各位置にて測定用チャートを撮像して得られる複数の画像から両ユニットの相対位置姿勢の調整量を算出し、算出された調整量に応じてレンズユニットと撮像素子ユニットとの相対位置姿勢を調整し、調整された状態で両ユニットを接着固定する方法も知られている（特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１２−３７６８９号公報
【特許文献２】特開２０１３−８８５２５号公報
【特許文献３】特開２０１０−２１９８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
撮像素子の画素数の増加に伴い、撮像素子ユニットとレンズユニットとの相対位置姿勢の調整には、より高い精度が求められている。
【０００９】
特許文献３に記載された方法のように、測定用チャートを撮像して得られる複数の画像に基づいて撮像素子ユニットとレンズユニットとの相対位置姿勢を調整する場合において、フォーカス調整や像振れ補正のために移動されるレンズ群を所定の位置に配置しておくことによって、調整により得られる撮像素子ユニットとレンズユニットとの相対位置姿勢精度を高めることが可能となるが、調整の際に、レンズ群を移動させるレンズ駆動装置を動作させておく必要がある。
【００１０】
しかし、特許文献２に記載された撮像モジュールの製造方法では、撮像素子ユニットとレンズユニットとの相対位置姿勢の調整及び接着固定が済んだ後に、レンズユニットのレンズ駆動装置に接続されたフレキシブル基板が撮像素子ユニットの基板に設けられた端子部に接続される。そのため、撮像素子ユニットとレンズユニットとの相対位置姿勢の調整の際に、撮像素子ユニットの基板及びフレキシブル基板を介してレンズ駆動装置を動作させることができない。
【００１１】
本発明の目的は、撮像素子ユニットとレンズユニットとの相対位置姿勢を比較的容易に精度よく調整可能とすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
（１）  撮像素子及び外部接続部が設けられた回路を有する撮像素子ユニットと、レンズ群と、このレンズ群の少なくとも一部のレンズを上記撮像素子に対して移動させてフォーカス調整及び像振れ補正を行うレンズ駆動装置と、を有し、上記撮像素子ユニットに固定されたレンズユニットと、上記レンズ駆動装置を上記回路に接続する配線群と、を備え、上記配線群は、配線経路の少なくとも一部において複数の配線組に分かれており、上記配線組毎に設けられ、且つ互いに分離された複数のフレキシブル配線部分をさらに備える撮像モジュール。
（２）  上記（１）の撮像モジュールの製造方法であって、測定チャートに直交するＺ軸上にセットされた上記レンズユニット及び上記撮像素子ユニット、並びにこの測定チャートのいずれかを複数の測定位置に移動させ、上記測定位置の各々において、上記外部接続部を通じて上記レンズ駆動装置を動作させた状態で、上記レンズユニットによって結像される測定チャート像を上記撮像素子により撮像し、得られた複数の画像に基づいて、Ｚ軸上での上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとの相対位置及びＺ軸に直交するＸ軸及びＹ軸回りの上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとの相対姿勢の調整量を求め、
求めた調整量に基づいて上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとの相対位置姿勢を調整して、上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとを固定する撮像モジュールの製造方法。
（３）  上記（１）の撮像モジュールの製造方法であって、測定チャートに直交するＺ軸上にセットされた上記レンズユニット及び上記撮像素子ユニット、並びにこの測定チャートのいずれかを複数の測定位置に移動させ、上記測定位置の各々において、上記配線群を通じて上記レンズ駆動装置を動作させた状態で、上記レンズユニットによって結像される測定チャート像を上記撮像素子により撮像し、得られた複数の画像に基づいて、Ｚ軸上での上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとの相対位置及びＺ軸に直交するＸ軸及びＹ軸回りの上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとの相対姿勢の調整量を求め、求めた調整量に基づいて上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとの相対位置姿勢を調整して、上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとを固定し、上記配線群を上記撮像素子ユニットの上記回路に接続する撮像モジュールの製造方法。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、撮像素子ユニットとレンズユニットとの相対位置姿勢を比較的容易に精度よく調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態を説明するための、撮像モジュールの一例の外観斜視図である。
【図２】図１の撮像モジュールの断面図である。
【図３】図１の撮像モジュールの機能ブロック図である。
【図４】図１の撮像モジュールにおいてレンズユニットのレンズ駆動装置と撮像素子ユニットの回路とを接続する配線群を配線するフレキシブル基板の平面図である。
【図５】図１の撮像モジュールの製造方法の一例の概略図である。
【図６】撮像モジュール１の製造工程のフローチャートである。
【図７】図１の撮像モジュールの製造方法の他の例の概略図である。
【図８】本発明の実施形態を説明するための、撮像モジュールの他の例の模式図である。
【図９】本発明の実施形態を説明するための、撮像モジュールの他の例の模式図である。
【図１０】本発明の実施形態を説明するための、撮像モジュールの他の例の模式図である。
【図１１】本発明の実施形態を説明するための、撮像モジュールの他の例の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１６】
＜撮像モジュールの構成＞
図１は、本発明の実施形態を説明するための撮像モジュールの一例の外観を示し、図２は、図１の撮像モジュールの断面を示す。
【００１７】
撮像モジュール１は、レンズユニット２と、レンズユニット２が固定される撮像素子ユニット３とを備える。
【００１８】
レンズユニット２は、レンズ群１０と、レンズ駆動装置１１と、フレキシブル基板１２とを有する。
【００１９】
レンズ群１０は、筒状のレンズバレル１３に収容され、レンズバレル１３によって一体に支持されている。なお、レンズ群１０は、図示の例ではレンズ１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄの４枚のレンズによって構成されているが、レンズの枚数は４枚に限られない。
【００２０】
レンズ駆動装置１１は、レンズ群１０を支持するレンズバレル１３をレンズ光軸Ａｚ沿って移動させるフォーカス調整を行う。また、レンズ駆動装置１１は、レンズバレル１３を、レンズ光軸Ａｚに垂直な面に沿って移動させる像振れ補正を行う。なお、レンズバレル１３を、レンズ光軸Ａｚに垂直な面に対して傾動させることによって像振れ補正を行うように構成してもよい。また、レンズ群１０のうち一部のレンズを移動させることによってフォーカス調整や像振れ補正を行うように構成してもよい。
【００２１】
レンズ群１０及びレンズバレル１３並びにレンズ駆動装置１１は筐体１４に収容されており、レンズバレル１３と筐体１４との間で筐体１４の底部に開いた開口は底部ブロック１５によって塞がれている。
【００２２】
フレキシブル基板１２は、レンズ駆動装置１１を動作させるための信号（電力を含む）を伝送する配線群を含んで構成されている。
【００２３】
撮像素子ユニット３は、撮像素子２０と、外部接続部２１が設けられた回路とを有する。
【００２４】
撮像素子２０は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）イメージセンサやＣＭＯＳ（Complementary Metal-Oxide Semiconductor）イメージセンサなどの撮像素子であり、例えば３００万〜１０００万画素の比較的高画素数の撮像素子である。
【００２５】
撮像素子２０は、素子固定基板２２に実装されており、カバーガラス２３によって覆われている。カバーガラス２３は、カバーホルダ２４に支持されて素子固定基板２２に配置されている。
【００２６】
撮像素子ユニット３に設けられる回路は、撮像素子２０やレンズユニット２のレンズ駆動装置１１を動作させるための回路であり、素子固定基板２２及び素子固定基板２２から延設されたフレキシブル基板２５に設けられている。外部接続部２１は、撮像素子ユニット３の回路を外部機器の回路に接続するためのものであって、図示の例では、フレキシブル基板２５の先端部に設けられている。そして、このフレキシブル基板２５には、レンズユニット２のフレキシブル基板１２が接続される接続部２６が設けられている。レンズユニット２のレンズ駆動装置１１は、フレキシブル基板１２に含まれる配線群を介して、撮像素子ユニット３の回路に接続されている。
【００２７】
レンズユニット２は、レンズ群１０の結像面を撮像素子２０の受像面に一致させた状態で撮像素子ユニット３に組み付けられ、その状態で固定される。レンズユニット２と撮像素子ユニット３との固定は、例えばレンズユニット２の筐体１４や底部ブロック１５と撮像素子ユニット３の素子固定基板２２やカバーホルダ２４とを接着することによって行われる。
【００２８】
図３は、撮像モジュール１の機能ブロックを示す。
【００２９】
レンズユニット２のレンズ駆動装置１１は、レンズバレル１３をレンズ光軸Ａｚに沿って移動させるアクチュエータ３０ｚと、レンズ光軸Ａｚに垂直な面内における直交２軸Ａｘ，Ａｙのうちレンズバレル１３をＡｘ軸方向に沿って移動させるアクチュエータ３０ｘと、レンズバレル１３をＡｙ軸方向に沿って移動させるアクチュエータ３０ｙとを有する。
【００３０】
また、レンズ駆動装置１１は、レンズバレル１３のＡｘ軸方向の位置を検出する位置センサ３１ｘと、レンズバレル１３のＡｙ軸方向の位置を検出する位置センサ３１ｙと、レンズバレル１３のＡｚ軸方向の位置を検出する位置センサ３１ｚとを有する。
【００３１】
撮像素子ユニット３の回路には、撮像モジュール１に作用するＡｘ軸回りの角速度を検出する角速度センサ３２ｘと、撮像モジュール１に作用するＡｙ軸回りの角速度を検出する角速度センサ３２ｙと、アクチュエータ３０ｘ，３０ｙ，３０ｚを駆動する制御ＩＣ３４とが設けられている。
【００３２】
制御ＩＣ３４は、位置センサ３１ｚから出力される位置信号及び撮像素子２０から出力される画像信号からフォーカス調整のためのレンズバレル１３のＡｚ軸方向の移動量を算出し、また、角速度センサ３２ｘ，３２ｙから出力される角速度信号及び位置センサ３１ｘ，３１ｙから出力される位置信号から像振れ補正のためのレンズバレル１３のＡｘ軸方向及びＡｙ軸方向の移動量を算出し、算出した各方向への移動量に基づいてアクチュエータ３０ｘ，３０ｙ，３０ｚを制御する。
【００３３】
角速度センサ３２ｘ，３２ｙや制御ＩＣ３４の動作電力は、撮像素子ユニット３の外部接続部２１に接続される外部機器から供給され、アクチュエータ３０ｘ，３０ｙ，３０ｚや位置センサ３１ｘ，３１ｙ，３１ｚの動作電力は制御ＩＣ３４から供給される。
【００３４】
以上の構成において、位置センサ３１ｘ，３１ｙ，３１ｚから出力される位置信号を制御ＩＣ３４に伝送する配線、並びに制御ＩＣ３４から出力されるアクチュエータ３０ｘ，３０ｙ，３０ｚや位置センサ３１ｘ，３１ｙ，３１ｚの動作電力をアクチュエータ３０ｘ，３０ｙ，３０ｚや位置センサ３１ｘ，３１ｙ，３１ｚの各々に伝送する配線は、フレキシブル基板１２によって配線されている。なお、図３において、動作電力を伝送する配線は太い実線で、位置信号を伝送する配線は細い実線で示している。
【００３５】
アクチュエータ３０ｘ，３０ｙ，３０ｚとして、図示の例ではボイスコイルモータ（ＶＣＭ）が用いられており、一つのＶＣＭにつき典型的には２本の配線を要する。また、位置センサ３１ｘ，３１ｙ，３１ｚとして、図示の例ではホール素子が用いられており、一つのホール素子につき典型的には４本の配線を要する。したがって、フレキシブル基板１２には多数の配線が含まれることとなる。
【００３６】
なお、図示の例では、角速度センサ３２ｘ，３２ｙ、制御ＩＣ３４が、いずれも撮像素子ユニット３に設けられているが、例えば制御ＩＣ３４をレンズユニット２に設けてもよく、その場合には、制御ＩＣ３４からアクチュエータ３０ｘ，３０ｙ，３０ｚや位置センサ３１ｘ，３１ｙ，３１ｚの各々に動作電力を伝送する配線に替えて、制御ＩＣ３４の動作電力を伝送する配線や、撮像素子２０から出力される画像信号及び角速度センサ３２ｘ，３２ｙから出力される角速度信号を制御ＩＣ３４に伝送する配線がフレキシブル基板１２に含まれることとなる。
【００３７】
フレキシブル基板１２に含まれる配線群は、その配線経路の少なくとも一部において複数の配線組に分けられ、配線組毎にフレキシブルに構成されたフレキシブル配線部分が設けられる。
【００３８】
図４は、フレキシブル基板１２の平面図を示す。
【００３９】
フレキシブル基板１２は、レンズユニット２の筐体１４内に収容される収容領域Ａ１と、筐体１４の外に導出される導出領域Ａ２とを有する。
【００４０】
収容領域Ａ１にはレンズバレル１３を挿通させる円形孔４０が形成されており、収容領域Ａ１は、レンズバレル１３の外周を取り囲んで配置され、同じくレンズバレル１３の外周に配置されているレンズ駆動装置１１に接続される。そして、収容領域Ａ１には、円形孔４０に連なるスリット４１が形成されており、スリット４１によって分離され、互いに並行する二つの部分基板１２ａ−１，１２ａ−２が設けられている。
【００４１】
導出領域Ａ２は、レンズユニット２の筐体１４から撮像素子ユニット３の外部接続部２１を臨むＡｙ軸方向に向けられた筐体１４の側面から外部接続部２１に向けて導出され、撮像素子ユニット３の接続部２６に接続される（図１参照）。
【００４２】
部分基板１２ａ−１，１２ａ−２は、フレキシブル基板１２によって配線される配線群Ｗを二組に振り分けてなる配線組Ｗ１，Ｗ２をそれぞれ含み、配線組Ｗ１，Ｗ２毎に設けられる上記のフレキシブル配線部分を構成している。フレキシブル配線部分１２ａ−１，１２ａ−２は、導出領域Ａ２の導出方向（Ａｙ軸方向）に互いに並行して延在し、レンズ光軸Ａｚを含みフレキシブル配線部分１２ａ−１，１２ａ−２の延在方向（Ａｙ軸方向）に平行な中心面Ｃの両側に設けられており、中心面Ｃを挟んで対称に設けられている。フレキシブル配線部分１２ａ−１，１２ａ−２を分離しているスリット４１は、例えば切れ込みであってもよいが、図示の例では、矩形孔として形成されており、フレキシブル配線部分１２ａ−１，１２ａ−２の間には空間があけられている。
【００４３】
なお、配線群Ｗを複数の配線組に振り分ける際の分け方は任意であり、例えば位置センサ３１ｘ，３１ｙ，３１ｚの各々に動作電力を伝送する配線、及び位置センサ３１ｘ，３１ｙ，３１ｚから制御ＩＣ３４に位置信号を伝送する配線を一組とし、アクチュエータ３０ｘ，３０ｙ，３０ｚの各々に動作電力を伝送する配線を一組としてもよいし、位置センサ３１ｘ，３１ｙ，３１ｚ及びアクチュエータ３０ｘ，３０ｙ，３０ｚの各々に動作電力を伝送する配線を一組とし、位置センサ３１ｘ，３１ｙ，３１ｚから制御ＩＣ３４に位置信号を伝送する配線を一組としてもよい。また、配線組の組数も、二組に限られず、三組以上としてもよい。
【００４４】
＜撮像モジュールの製造方法＞
図５は、撮像モジュール１の製造方法の概略を示す。
【００４５】
撮像モジュール１は、レンズユニット２と撮像素子ユニット３との相対位置姿勢が調整され、調整後にレンズユニット２と撮像素子ユニット３とが固定されて製造される。
【００４６】
レンズユニット２と撮像素子ユニット３との相対位置姿勢の調整には、測定チャート５０が用いられる。測定チャート５０の表面には複数のチャート画像ＣＨ１，ＣＨ２，ＣＨ３，ＣＨ４，ＣＨ５が印刷されている。チャート画像ＣＨ１，ＣＨ２，ＣＨ３，ＣＨ４，ＣＨ５は、黒色線が一定間隔で配列された、いわゆるラダー状のチャートパターンであって、同一の画像とされている。
【００４７】
レンズユニット２は、レンズ光軸Ａｚが測定チャート５０の中心を通り測定チャート５０に直交するＺ軸に一致した状態に保持されている。さらに、図示の例では、レンズユニット２は、フレキシブル配線部分１２ａ−１，１２ａ−２の延在方向（Ａｙ軸方向）がＺ軸に直交する２軸（Ｘ軸，Ｙ軸）のうちの一軸方向（図示の例ではＹ軸方向）に平行な状態に保持されている。
【００４８】
撮像素子ユニット３は、保持部材５１によって、撮像素子２０の受像面の中心位置がＺ軸上に配置された状態に保持されている。保持部材５１は、Ｚ軸方向に移動可能に構成されており、また、撮像素子２０の受像面の中心位置を回転中心にしてＸ軸回り及びＹ軸回りに回転可能に構成されている。したがって、撮像素子２０の受像面の中心位置とＺ軸との位置関係は、撮像素子ユニット３の回転にかかわらず一定に保たれる。
【００４９】
撮像素子ユニット３の外部接続部２１には、コネクタケーブル５２が接続される。コネクタケーブル５２は、撮像素子ユニット３の撮像素子２０を動作させるための信号及び撮像素子ユニット３から出力される画像信号を伝送する配線を含む。また、コネクタケーブル５２は、レンズユニット２のレンズ駆動装置１１を動作させるための信号を伝送する配線を含む。
【００５０】
図６は、撮像モジュール１の製造工程のフローを示す。
【００５１】
まず、撮像素子ユニット３のＺ軸上における位置に関して離散的に設定された複数の測定位置に撮像素子ユニット３を移動させ、各測定位置にて測定チャート５０を撮像し、複数の画像を取得する（ステップＳ１）。
【００５２】
次いで、取得された複数の画像から、レンズユニット２のレンズ群１０の近似結像面を算出する（ステップＳ２）。近似結像面の算出は、特開２０１０−２１９８５号公報に記載された方法を用いることができ、撮像素子ユニット３の撮像素子２０の受像面において測定チャート５０のチャート画像ＣＨ１，ＣＨ２，ＣＨ３，ＣＨ４，ＣＨ５の各々の像が形成される画素領域毎に、各測定位置での合焦度合いを評価する。合焦度合いの評価には、例えばコントラスト伝達関数（ＣＴＦ：Contrast Transfer Function）を用いることができ、各画素領域に対応する画像領域のＣＴＦ値が高いほどに、合焦度合いが高いものとみなすことができる。そして、画素領域毎に、複数の画像から得られる複数の合焦度合いに基づいて、合焦度合いが最大となるＺ軸上の座標値を合焦座標値として算出する。そして、撮像素子２０の受像面をＸＹ座標平面に投影したときの各画素領域のＸＹ座標値と、その画素領域の合焦座標値（Ｚ軸上の座標値）との組み合わせで表されるＸＹＺ座標系の点群から近似平面を算出し、この近似平面を近似結像面とする。
【００５３】
次いで、近似結像面とＺ軸との交点である結像面座標値Ｆと、ＸＹ座標平面に対する近似結像面のＸ軸回りの傾き角θＸ及びＹ軸回りの傾き角θＹとを算出し（ステップＳ３）、算出された結像面座標値Ｆ及び傾き角θＸ，θＹに基づいて、撮像素子ユニット３をＺ軸方向に移動させ、またＸ軸回り及びＹ軸回りに回転させて、撮像素子２０の受像面を近似結像面に一致させる（ステップＳ４）。
【００５４】
そして、相対位置姿勢が調整されたレンズユニット２と撮像素子ユニット３とを固定する（ステップＳ５）。
【００５５】
なお、本例では撮像素子ユニット３を移動させて複数の画像を取得しているが、測定チャート５０又はレンズユニット２のＺ軸上における位置に関して複数の測定位置を設定し、測定チャート５０又はレンズユニット２を各測定位置に移動させて複数の画像を取得するようにしてもよい。
【００５６】
以上の工程において、近似結像面を算出するための複数の画像を取得する際に、レンズユニット２のレンズ駆動装置１１を動作させるための信号を、コネクタケーブル５２を介して撮像素子ユニット３の外部接続部２１に入力し、レンズユニット２のレンズバレル１３を所定の位置に配置する。レンズバレル１３の位置として、Ａｚ軸方向の位置についてはフォーカスのＮＥＡＲ端に対応する位置を例示することができ、Ａｘ軸方向及びＡｙ軸方向の位置については原点位置を例示することができる。
【００５７】
コネクタケーブル５２を介して撮像素子ユニット３の外部接続部２１に入力される信号であってレンズユニット２のレンズ駆動装置１１を動作させるための信号としては、レンズバレル１３の位置を撮像素子ユニット３の制御ＩＣ３４に対して指示する制御信号、撮像素子ユニット３の制御ＩＣ３４の動作電力が含まれる。制御ＩＣ３４は、外部接続部２１に入力された上記制御信号、及び位置センサ３１ｘ，３１ｙ，３１ｚから出力される位置信号に基づいてレンズバレル１３の各方向の移動量を算出し、算出した各方向への移動量に基づいてアクチュエータ３０ｘ，３０ｙ，３０ｚを制御する。
【００５８】
そして、位置センサ３１ｘ，３１ｙ，３１ｚから出力される位置信号、制御ＩＣ３４から出力されるアクチュエータ３０ｘ，３０ｙ，３０ｚや位置センサ３１ｘ，３１ｙ，３１ｚの動作電力は、フレキシブル基板１２に含まれる配線群によって、レンズユニット２と撮像素子ユニット３との間で伝送される。
【００５９】
レンズ駆動装置１１を動作させてレンズバレル１３を所定の位置に配置した状態で近似結像面を算出するための複数の画像を取得することにより、撮像素子２０の受像面における上記画素領域毎の合焦度合いを適正に評価することが可能となる。それにより、近似結像面を精度よく算出することができ、レンズユニット２と撮像素子ユニット３との相対位置姿勢の調整の精度を高めることができる。なお、レンズ駆動装置１１のアクチュエータ３０ｘ，３０ｙ，３０ｚのみを動作させてレンズバレル１３の位置を開ループ制御するようにしてもよいが、位置センサ３１ｘ，３１ｙ，３１ｚを併せて動作させてレンズバレル１３の位置を閉ループ制御することにより、レンズバレル１３を所定の位置に精度よく配置することができる。
【００６０】
ここで、図５を参照して、本撮像モジュール１では、フレキシブル基板１２に含まれる配線群Ｗが二組の配線組Ｗ１，Ｗ２に振り分けられ、配線組Ｗ１，Ｗ２毎にフレキシブル配線部分１２ａ−１，１２ａ−２が設けられている。撮像素子ユニット３をＸ軸回り及びＹ軸回りに回転させて撮像素子２０の受像面を近似結像面に一致させる際に、フレキシブル基板１２は、その剛性に起因して、捻りや曲げに伴う反力をレンズユニット２及び撮像素子ユニット３に作用させるが、互いに分離されたフレキシブル配線部分１２ａ−１，１２ａ−２においてフレキシブル基板１２の剛性を小さくできる。それにより、フレキシブル基板１２の反力を軽減することができる。特に、本撮像モジュール１では、フレキシブル配線部分１２ａ−１，１２ａ−２の間に空間があけられており、フレキシブル基板１２の反力を一層軽減することができる。
【００６１】
そして、撮像素子２０の受像面を近似結像面に一致させる際の撮像素子ユニット３のＸ軸回り及びＹ軸回りの回転は典型的には±０．０５°以内の極僅かな回転であり、フレキシブル基板１２の反力が軽減されることによって、レンズユニット２と撮像素子ユニット３との相対位置姿勢の調整の精度を高め、且つ、調整に要する時間も短縮することができる。
【００６２】
さらに、本撮像モジュール１では、フレキシブル配線部分１２ａ−１，１２ａ−２が、レンズ光軸Ａｚを含みフレキシブル配線部分１２ａ−１，１２ａ−２の延在方向（Ａｙ軸方向）に平行な中心面Ｃの両側に設けられている。そして、撮像素子ユニット３の一方の回転軸であるＹ軸が中心面Ｃの面内に配置されている。そのため、フレキシブル配線部分１２ａ−１，１２ａ−２の捻りや曲げに伴う反力は、Ｙ軸を挟んで略均等に配分されてレンズユニット２及び撮像素子ユニット３に作用する。それにより、レンズユニット２と撮像素子ユニット３との相対位置姿勢の調整が容易となる。反力を略均等に配分する観点から、フレキシブル配線部分１２ａ−１，１２ａ−２が中心面Ｃを挟んで対称に設けられていることも好ましい。
【００６３】
フレキシブル基板１２の反力を軽減することは、撮像素子ユニット３の撮像素子２０の画素ピッチが小さくなる程に有用となり、画素ピッチが１μｍ以下である場合に特に有用である。画素ピッチが小さくなる、つまりは画素サイズが小さくなると、許容錯乱円が小さくなり、一画素あたりに入る光が減るため、開放Ｆ値が小さい明るいレンズが用いられる。そして、Ｆ値が小さくなると焦点深度が浅くなるので、レンズユニット２と撮像素子ユニット３との相対位置姿勢の厳密な調整が必要とされ、画素ピッチが１μｍ以下となると、厳密な調整の必要性が特に顕著になる。
【００６４】
図７は、撮像モジュール１の製造方法の他の例の概略を示す。
【００６５】
図７に示す例では、レンズユニット２と撮像素子ユニット３との相対位置姿勢が調整される際に、フレキシブル基板１２にコネクタケーブル５３が接続され、レンズ駆動装置１１を動作させるための信号がコネクタケーブル５３を介してレンズユニット２に直接入力される。フレキシブル基板１２は、レンズユニット２と撮像素子ユニット３との相対位置姿勢の調整及び固定が済んだ後、撮像素子ユニット３の接続部２６に接続される。
【００６６】
レンズ駆動装置１１を動作させるための信号をレンズユニット２に直接入力する方法としては、例えばレンズユニット２の筐体１４の側面に端子群を設け、端子群にプローブを接触させて信号を入力することも考えられるが、プローブの接触に伴って、レンズユニット２の変形や位置ずれが懸念される。これに対して、本例ではフレキシブル基板１２が介在することにより、レンズユニット２の変形や位置ずれが抑制される。また、撮像モジュール１では、互いに分離されたフレキシブル配線部分１２ａ−１，１２ａ−２においてフレキシブル基板１２の剛性を小さくできるので、フレキシブル基板１２を介して外力が伝わることを防ぐことができる。
【００６７】
次に、撮像モジュールの他の例を説明する。
【００６８】
上述した撮像モジュール１では、フレキシブル基板１２によって配線される配線群Ｗを二組に振り分けてなる配線組Ｗ１，Ｗ２毎のフレキシブル配線部分１２ａ−１，１２ａ−２がレンズユニット２の筐体１４内に設けられているが、以下に説明する例では、配線組Ｗ１，Ｗ２毎のフレキシブル配線部分が筐体１４の外に設けられている。配線組Ｗ１，Ｗ２毎のフレキシブル配線部分を筐体１４の外に設けることによって、フレキシブル配線部分を延長することができ、フレキシブル基板１２の捻りや曲げに伴う反力を一層軽減することができる。また、配線組Ｗ１，Ｗ２毎のフレキシブル配線部分を筐体１４の外に設けることによって、配線組Ｗ１，Ｗ２の配線経路の自由度も高まる。
【００６９】
図８に示す撮像モジュール１０１において、レンズユニット２のレンズ駆動装置１１と撮像素子ユニット３の回路とを接続するフレキシブル基板１１２は、レンズユニット２の筐体１４内に収容される収容領域Ａ１と、筐体１４の外に導出される導出領域Ａ２−１，Ａ２−２とを有している。
【００７０】
導出領域Ａ２−１は一方の配線組Ｗ１を含み、配線組Ｗ１のフレキシブル配線部分を構成している。また、導出領域Ａ２−２は他方の配線組Ｗ２を含み、配線組Ｗ２のフレキシブル配線部分を構成している。導出領域Ａ２−１，Ａ２−２は、筐体１４から撮像素子ユニット３の外部接続部２１を臨むＡｙ軸方向と直交するＡｘ軸方向に向けられた筐体１４の一対の側面からそれぞれ導出され、互いに反対方向に導出されている。
【００７１】
図９に示す撮像モジュール２０１において、レンズユニット２のレンズ駆動装置１１と撮像素子ユニット３の回路とを接続するフレキシブル基板２１２は、レンズユニット２の筐体１４内に収容される収容領域Ａ１と、筐体１４の外に導出される導出領域Ａ２とを有している。
【００７２】
導出領域Ａ２には、収容領域Ａ１から延びるスリット２４１が形成されており、スリット２４１によって分離され、互いに並行する二つの部分基板２１２ａ−１，２１２ａ−２が設けられている。部分基板２１２ａ−１，２１２ａ−２は、配線組Ｗ１，Ｗ２をそれぞれ含み、配線組Ｗ１，Ｗ２毎に設けられるフレキシブル配線部分をそれぞれ構成している。フレキシブル配線部分２１２ａ−１，２１２ａ−２は、筐体１４から撮像素子ユニット３の外部接続部２１を臨むＡｙ軸方向と直交するＡｘ軸方向に向けられた筐体１４の一側面から導出され、同一方向に導出されている。そして、フレキシブル配線部分２１２ａ−１，２１２ａ−２は互いに並行して延在し、レンズ光軸Ａｚを含みフレキシブル配線部分２１２ａ−１，２１２ａ−２の延在方向に平行な中心面Ｃの両側に設けられており、中心面Ｃを挟んで対称に設けられている。
【００７３】
このように、フレキシブル配線部分２１２ａ−１，２１２ａ−２を同一方向に筐体１４から導出するようにすれば、配線部分を互いに異なる方向に導出する場合（図８参照）に比べて、撮像モジュールを小型化することができる。
【００７４】
図１０に示す撮像モジュール３０１において、レンズユニット２のレンズ駆動装置１１と撮像素子ユニット３の回路とを接続するフレキシブル基板３１２は、レンズユニット２の筐体１４内に収容される収容領域Ａ１と、筐体１４の外に導出される導出領域Ａ２とを有している。
【００７５】
導出領域Ａ２には、収容領域Ａ１から延びるスリット３４１が形成されており、スリット３４１によって分離され、互いに並行する二つの部分基板３１２ａ−１，３１２ａ−２が設けられている。部分基板３１２ａ−１，３１２ａ−２は、配線組Ｗ１，Ｗ２をそれぞれ含み、配線組Ｗ１，Ｗ２毎に設けられるフレキシブル配線部分をそれぞれ構成している。フレキシブル配線部分３１２ａ−１，３１２ａ−２は、筐体１４から撮像素子ユニット３の外部接続部２１を臨むＡｙ軸方向に向けられた筐体１４の一側面から導出され、同一方向に導出されている。そして、フレキシブル配線部分３１２ａ−１，３１２ａ−２は互いに並行して延在し、レンズ光軸Ａｚを含みフレキシブル配線部分３１２ａ−１，３１２ａ−２の延在方向に平行な中心面Ｃの両側に設けられており、中心面Ｃを挟んで対称に設けられている。
【００７６】
このように、フレキシブル配線部分３１２ａ−１，３１２ａ−２を、撮像素子ユニット３の外部接続部２１に向けて筐体１４から導出するようにすれば、筐体１４から外部接続部２１を臨む方向とは異なる方向に導出する場合（図９参照）に比べて、撮像モジュールを小型化することができる。また、本例ではフレキシブル配線部分３１２ａ−１，３１２ａ−２が導出領域Ａ２の全長に亘って設けられており、フレキシブル基板３１２の捻りや曲げに伴う反力が一層軽減される。
【００７７】
上述した撮像モジュール１，１０１，２０１，３０１では、レンズユニット２のレンズ駆動装置１１と撮像素子ユニット３の回路とを接続する配線群が一つのフレキシブル基板によって配線され、配線組Ｗ１，Ｗ２毎のフレキシブル配線部分はフレキシブル基板の一部によってそれぞれ構成されているが、図１１に示す撮像モジュール４０１では、配線組Ｗ１はフレキシブル基板４１２−１によって配線され、配線組Ｗ２はフレキシブル基板４１２−２によって配線されている。このように、配線組毎に異なるフレキシブル基板を用いて、配線組毎のフレキシブル配線部分を設けるようにしてもよい。この場合に、複数のフレキシブル基板（フレキシブル配線部分）を、レンズユニット２の筐体１４から互いに異なる方向に導出してもよいが、複数のフレキシブル基板を同一方向に導出し、さらに撮像素子ユニット３の外部接続部２１に向けて導出するようにすれば、撮像素子モジュールを小型化することができる。
【００７８】
なお、上述した撮像モジュール１，１０１，２０１，３０１，４０１において、レンズユニット２と撮像素子ユニット３の相対位置姿勢の調整及び両ユニット２，３の固定が済んだ後に、フレキシブル配線部分の各々の少なくとも一部を撮像素子ユニット３に固定してもよい。それにより、フレキシブル配線部分のばたつきなどが防止され、撮像モジュールの取り扱いが容易となり、フレキシブル配線部分がレンズユニット２の筐体１４の外に設けられる場合に特に有用である。
【００７９】
以上説明した撮像モジュールは、図示しない基板等の支持部材に支持され、デジタルカメラや車載用カメラ等の電子機器の筐体内に配置され、撮像装置として供される。撮像モジュールの組み込み対象としては、上記の他、例えば、ＰＣ（Personal Computer）内蔵型又は外付け型のＰＣ用カメラ、カメラ付きインターフォン、或いは、撮影機能を有する携帯端末装置、腕時計型端末装置、眼鏡型端末装置等の電子機器を挙げることができる。携帯端末装置としては、例えば、携帯電話機やスマートフォン、ＰＤＡ(Personal Digital Assistants)、携帯型ゲーム機等が挙げられる。
【００８０】
本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、実施形態の各構成を相互に組み合わせることや、明細書の記載、並びに周知の技術に基づいて、当業者が変更、応用することも本発明の予定するところであり、保護を求める範囲に含まれる。
【００８１】
以上説明したとおり、本明細書には下記の事項が開示されている。
【００８２】
（１）  撮像素子及び外部接続部が設けられた回路を有する撮像素子ユニットと、レンズ群と、このレンズ群の少なくとも一部のレンズを上記撮像素子に対して移動させてフォーカス調整及び像振れ補正を行うレンズ駆動装置と、を有し、上記撮像素子ユニットに固定されたレンズユニットと、上記レンズ駆動装置を上記回路に接続する配線群と、を備え、上記配線群は、配線経路の少なくとも一部において複数の配線組に分かれており、上記配線組毎に設けられ、且つ互いに分離された複数のフレキシブル配線部分をさらに備える撮像モジュール。
（２）  上記（１）の撮像モジュールであって、上記撮像素子の画素ピッチは１μｍ以下である撮像モジュール。
（３）  上記（１）又は（２）の撮像モジュールであって、上記レンズユニットは、上記レンズ駆動装置を収容する筐体をさらに有し、上記フレキシブル配線部分の各々の少なくとも一部は、上記筐体の外部に設けられている撮像モジュール。
（４）  上記（３）の撮像モジュールであって、上記配線組の各々は、同一方向に上記筐体から導出されている撮像モジュール。
（５）  上記（４）の撮像モジュールであって、上記配線組の各々は、上記外部接続部に向けて上記筐体から導出されている撮像モジュール。
（６）  上記（１）から（５）のいずれか一つの撮像モジュールであって、上記レンズ駆動装置は、移動される上記レンズの位置を検出するセンサを含み、上記配線群は、上記センサから出力される位置信号を伝送する配線を含む撮像モジュール。
（７）  上記（１）から（６）のいずれか一つの撮像モジュールであって、上記フレキシブル配線部分は、互いに並行して延在し、且つ上記レンズ群の光軸を含みこのフレキシブル配線部分の延在方向と平行な中心面の両側に設けられている撮像モジュール。
（８）  上記（７）の撮像モジュールであって、隣り合う上記フレキシブル配線部分の間には空間があけられている撮像モジュール。
（９）  上記（１）から（８）のいずれか一つの撮像モジュールであって、上記フレキシブル配線部分は、互いに並行して延在し、且つ上記レンズ群の光軸を含みこのフレキシブル配線部分の延在方向と平行な中心面を挟んで対称に設けられている撮像モジュール。
（１０）  上記（１）から（９）のいずれか一つの撮像モジュールであって、上記フレキシブル配線部分の各々の少なくとも一部は、上記撮像素子ユニットに固定されている撮像モジュール。
（１１）  上記（１）から（１０）のいずれか一つの撮像モジュールを搭載した電子機器。
（１２）  上記（１）から（１０）のいずれか一つの撮像モジュールの製造方法であって、測定チャートに直交するＺ軸上にセットされた上記レンズユニット及び上記撮像素子ユニット、並びにこの測定チャートのいずれかを複数の測定位置に移動させ、上記測定位置の各々において、上記外部接続部を通じて上記レンズ駆動装置を動作させた状態で、上記レンズユニットによって結像される測定チャート像を上記撮像素子により撮像し、得られた複数の画像に基づいて、Ｚ軸上での上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとの相対位置及びＺ軸に直交するＸ軸及びＹ軸回りの上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとの相対姿勢の調整量を求め、求めた調整量に基づいて上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとの相対位置姿勢を調整して、上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとを固定する撮像モジュールの製造方法。
（１３）  上記（１）から（１０）のいずれか一つの撮像モジュールの製造方法であって、測定チャートに直交するＺ軸上にセットされた上記レンズユニット及び上記撮像素子ユニット、並びにこの測定チャートのいずれかを複数の測定位置に移動させ、上記測定位置の各々において、上記配線群を通じて上記レンズ駆動装置を動作させた状態で、上記レンズユニットによって結像される測定チャート像を上記撮像素子により撮像し、得られた複数の画像に基づいて、Ｚ軸上での上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとの相対位置及びＺ軸に直交するＸ軸及びＹ軸回りの上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとの相対姿勢の調整量を求め、求めた調整量に基づいて上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとの相対位置姿勢を調整して、上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとを固定し、上記配線群を上記撮像素子ユニットの上記回路に接続する撮像モジュールの製造方法。
（１４）  上記（１２）又は（１３）の撮像モジュールの製造方法であって、上記フレキシブル配線部分は、互いに並行して延在し、且つ上記レンズ群の光軸を含みこのフレキシブル配線部分の延在方向と平行な中心面の両側に設けられており、Ｘ軸方向又はＹ軸方向のいずれか一方は、上記中心面の面内方向である撮像モジュールの製造方法。
（１５）  上記（１２）から（１４）のいずれか一つの撮像モジュールの製造方法であって、上記フレキシブル配線部分は、互いに並行して延在し、且つ上記レンズ群の光軸を含みこのフレキシブル配線部分の延在方向と平行な中心面を挟んで対称に設けられており、Ｘ軸方向又はＹ軸方向のいずれか一方は、上記中心面の面内方向である撮像モジュールの製造方法。
（１６）  上記（１２）から（１５）のいずれか一つの撮像モジュールの製造方法であって、上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとを固定した後に、上記フレキシブル配線部分の各々の少なくとも一部を上記撮像素子ユニットに固定する撮像モジュールの製造方法。
【符号の説明】
【００８３】
１     撮像モジュール
２     レンズユニット
３     撮像素子ユニット
１０   レンズ群
１１   レンズ駆動装置
１２   フレキシブル基板
１２ａ−１，１２ａ−２      フレキシブル配線部分
１４   筐体
２０   撮像素子
２１   外部接続部
２２   素子固定基板
３０ｘ，３０ｙ，３０ｚ      アクチュエータ
３１ｘ，３１ｙ       位置センサ
３２ｘ，３２ｙ       角速度センサ
３４   制御ＩＣ
５０   測定チャート
５１   保持部材
５２   コネクタケーブル
Ｗ１，Ｗ２    配線組
【図１】
2016176967.tif 000003
【図２】
2016176967.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2016176967.tif 000011
【図１０】
2016176967.tif 000012
【図１１】
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