(57)【要約】【課題】パネルをより確実に保持しつつ気泡の混入を防止すること。【解決手段】第一のパネルと第二のパネルとを貼り合わせて積層体を製造する製造装置であって、前記第一のパネルを保持する第一の保持ユニットと、前記第一のパネルの下方において、前記第二のパネルを保持する複数の第二の保持ユニットと、前記第二の保持ユニットに保持された前記第二のパネルの下方から、前記第二のパネルを前記第一のパネルの方へ向けて押圧する押圧ローラと、前記押圧ローラに接続して設けられ、前記押圧ローラを前記第一のパネルに沿って移動させるローラ移動機構と、前記第一の保持ユニットに対して前記複数の第二の保持ユニットを上下に移動させる昇降機構と、を備え、前記複数の第二の保持ユニットは、それぞれ、前記第一の保持ユニットに保持された前記第一のパネルのパネル面に平行な軸回りに回動可能に支持される。【選択図】  図１７
2016092361.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一のパネルと第二のパネルとを貼り合わせて積層体を製造する製造装置であって、
前記第一のパネルを保持する第一の保持ユニットと、
前記第一のパネルの下方において、前記第二のパネルを保持する複数の第二の保持ユニットと、
前記第二の保持ユニットに保持された前記第二のパネルの下方から、前記第二のパネルを前記第一のパネルの方へ向けて押圧する押圧ローラと、
前記押圧ローラに接続して設けられ、前記押圧ローラを前記第一のパネルに沿って移動させるローラ移動機構と、
前記第一の保持ユニットに対して前記複数の第二の保持ユニットを上下に移動させる昇降機構と、を備え、
前記複数の第二の保持ユニットは、それぞれ、前記第一の保持ユニットに保持された前記第一のパネルのパネル面に平行な軸回りに回動可能に支持される、
ことを特徴とする製造装置。
【請求項２】
請求項１に記載の製造装置であって、
前記複数の第二の保持ユニットは、
前記第二のパネルの一辺を保持する少なくとも一つの一辺側保持ユニットと、
前記第二のパネルの、前記一辺に対向する他辺を保持する少なくとも一つの他辺側保持ユニットと、を含み、
前記昇降機構は、前記一辺側保持ユニットと前記他辺側保持ユニットとを独立して上下に移動可能である、
ことを特徴とする製造装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の製造装置であって、
前記複数の第二の保持ユニットは、それぞれ、前記第二のパネルの下面を吸着保持する吸着部を有する、
ことを特徴とする製造装置。
【請求項４】
請求項３に記載の製造装置であって、
前記複数の第二の保持ユニットは、当接部材を備える少なくとも一つの保持ユニットを含み、
前記当接部材は、前記第二のパネルの端縁に当接される下向きの傾斜部を有し、
前記第二のパネルの端縁は前記傾斜部と前記吸着部を備えるパネル保持面との間に位置する、
ことを特徴とする製造装置。
【請求項５】
請求項１に記載の製造装置であって、
複数の回動支持ユニットを更に備え、
前記複数の回動支持ユニットは、それぞれ、前記複数の第二の保持ユニットのうちの少なくとも一つの第二の保持ユニットを、前記第一の保持ユニットに保持された前記第一のパネルのパネル面に平行な軸回りに回動可能に支持する、
ことを特徴とする製造装置。
【請求項６】
請求項１に記載の製造装置であって、
前記複数の第二の保持ユニットの回動を規制又は規制解除する複数の規制機構を更に備える、
ことを特徴とする製造装置。
【請求項７】
請求項１に記載の製造装置であって、
前記押圧ローラは、その周面における前記複数の第二の保持ユニットと対向する部分に溝を有する、
ことを特徴とする製造装置。
【請求項８】
請求項２に記載の製造装置であって、
前記一辺側保持ユニットと前記他辺側保持ユニットのうち、少なくともいずれか一方を他方に近接・離間する方向に移動する水平移動機構を更に備える、
ことを特徴とする製造装置。
【請求項９】
請求項２に記載の製造装置であって、
前記一辺側保持ユニットを複数備え、
前記他辺側保持ユニットを複数備え、
複数の前記一辺側保持ユニットを、互いに近接・離間する方向に移動する第一の水平移動機構と、
複数の前記他辺側保持ユニットを、互いに近接・離間する方向に移動する第二の水平移動機構と、
を更に備える、
ことを特徴とする製造装置。
【請求項１０】
請求項１に記載の製造装置であって、
前記押圧ローラを貼合始端部側から貼合終端部側に移動させる制御を行うと共に、前記複数の第二の保持ユニットのうち、前記貼合終端部側における保持ユニットを上昇させる制御を行う制御ユニット、を更に備える、
ことを特徴とする製造装置。
【請求項１１】
請求項８に記載の製造装置であって、
前記押圧ローラを前記第二のパネルにおける前記一辺の側から前記他辺の側の方向に移動させる制御を行うと共に、前記他辺側保持ユニットを、上昇させつつ前記一辺側保持ユニットから離間する方向に移動させる制御を行う制御ユニット、を更に備える、
ことを特徴とする製造装置。
【請求項１２】
第一のパネルと第二のパネルとを貼り合わせて積層体を製造する製造方法であって、
貼り付け面を下向きにして保持された前記第一のパネルの下方で、貼り付け面を上向きにして前記第二のパネルを複数の保持ユニットで保持する保持工程と、
保持された前記第二のパネルの下面に押圧ローラを当接させると共に前記第一のパネルへ向けて前記第二のパネルを押圧し、前記第二のパネルの前記貼り付け面の少なくとも一部を前記第一のパネルの前記貼り付け面に当接させる当接工程と、
前記押圧ローラを前記第一のパネルに沿って移動させて、前記第一のパネルと前記第二のパネルとを貼り合わせる貼合工程と、を備え、
前記貼合工程は、
前記押圧ローラの移動に追従させて、前記第一のパネルに対する前記第二のパネルの当接領域を増大させるべく、前記複数の保持ユニットうちの少なくとも一部の保持ユニットの姿勢を変化させる、
ことを特徴とする製造方法。
【請求項１３】
請求項１２に記載の製造方法であって、
前記保持工程は、前記第二のパネルの端縁の一部を上下方向に挟み込む工程を含む、
ことを特徴とする製造方法。
【請求項１４】
請求項１２に記載の製造方法であって、
前記保持工程では、前記第二のパネルの貼合終端部側を前記第二のパネルの貼合始端部よりも前記第一のパネルから離間させて前記第二のパネルを保持する、
ことを特徴とする製造方法。
【請求項１５】
請求項１４に記載の製造方法であって、
前記貼合工程では、前記押圧ローラの移動に追従させて前記第二のパネルの前記貼合終端部を前記第一のパネルに近接する方向に移動させる、
ことを特徴とする製造方法。
【請求項１６】
請求項１４に記載の製造方法であって、
前記貼合工程では、前記押圧ローラの移動に追従させて前記第二のパネルの前記貼合終端部を前記第一のパネルに近接する方向に移動させつつ、前記第二のパネルの前記貼合始端部から水平方向に離間させる、
ことを特徴とする製造方法。
【請求項１７】
請求項１２に記載の製造方法であって、
前記押圧ローラは、前記複数の保持ユニットが前記第二のパネルを保持した状態で、前記第二のパネルを前記第一のパネルに向けて押圧する、
ことを特徴とする製造方法。
【請求項１８】
請求項１２に記載の製造方法であって、
前記当接工程では、前記第二のパネル前記貼り付け面と前記第一のパネルの前記貼付面との当接領域が帯状の領域であり、
前記貼合工程では、前記押圧ローラを、前記帯状の領域から前記第一のパネルに沿って一方向に移動させる、ことを特徴とする製造方法。
【請求項１９】
請求項１２に記載の製造方法であって、
前記当接工程では、前記第二のパネル前記貼り付け面と前記第一のパネルの前記貼り付け面との当接領域が帯状の領域であり、
前記貼合工程では、二つの前記押圧ローラを、前記帯状の領域から前記第一のパネルに沿って互いに離間する方向にそれぞれ移動させる、
ことを特徴とする製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はパネルの貼り合わせ技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルとカバーガラスのようなパネル同士を貼り合わせて積層体を製造する装置では、貼り合わせ面に気泡が混入すると、積層体の品質に影響を与える場合がある。気泡の混入を低減するために、ローラによって一方のパネルを他方のパネルに押圧しながらローラを移動することで両者の貼り合わせを行う装置が提案されている（特許文献１〜３）。
【０００３】
特許文献２には、一方のパネルを水平に保持した状態から、斜めに姿勢変化させて他方のパネルに貼り付ける装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４８７００４６号公報
【特許文献２】特許第５３１１５２７号公報
【特許文献３】国際公開第ＷＯ２０１２／１７２６０３号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献２のように、一方のパネルを斜めに姿勢変化させて他方のパネルに貼り付けると、パネル間の空気がローラの移動によって開放側に押し出される。これは気泡の混入防止に効果がある。しかし、パネルを姿勢変化させる際、パネルの保持部分周辺には曲げが生じる。この曲げの弾性復帰力によって、パネルが保持機構から脱落する可能性がある。また、パネルの保持部分周辺は、水平となって他方のパネルに対して面接触となり易く、気泡が混入する可能性がある。
【０００６】
本発明の目的は、パネルをより確実に保持しつつ気泡の混入を防止することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、第一のパネルと第二のパネルとを貼り合わせて積層体を製造する製造装置であって、前記第一のパネルを保持する第一の保持ユニットと、前記第一のパネルの下方において、前記第二のパネルを保持する複数の第二の保持ユニットと、前記第二の保持ユニットに保持された前記第二のパネルの下方から、前記第二のパネルを前記第一のパネルの方へ向けて押圧する押圧ローラと、前記押圧ローラに接続して設けられ、前記押圧ローラを前記第一のパネルに沿って移動させるローラ移動機構と、前記第一の保持ユニットに対して前記複数の第二の保持ユニットを上下に移動させる昇降機構と、を備え、前記複数の第二の保持ユニットは、それぞれ、前記第一の保持ユニットに保持された前記第一のパネルのパネル面に平行な軸回りに回動可能に支持される、ことを特徴とする製造装置が提供される。
【０００８】
また、本発明によれば、第一のパネルと第二のパネルとを貼り合わせて積層体を製造する製造方法であって、貼り付け面を下向きにして保持された前記第一のパネルの下方で、貼り付け面を上向きにして前記第二のパネルを複数の保持ユニットで保持する保持工程と、保持された前記第二のパネルの下面に押圧ローラを当接させると共に前記第一のパネルへ向けて前記第二のパネルを押圧し、前記第二のパネルの前記貼り付け面の少なくとも一部を前記第一のパネルの前記貼り付け面に当接させる当接工程と、前記押圧ローラを前記第一のパネルに沿って移動させて、前記第一のパネルと前記第二のパネルとを貼り合わせる貼合工程と、を備え、前記貼合工程は、前記押圧ローラの移動に追従させて、前記第一のパネルに対する前記第二のパネルの当接領域を増大させるべく、前記複数の保持ユニットうちの少なくとも一部の保持ユニットの姿勢を変化させる、ことを特徴とする製造方法が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、パネルをより確実に保持しつつ気泡の混入を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施形態に係る製造装置の平面図。
【図２】図１の製造装置の図１における矢印Ｄ１方向矢視図。
【図３】図１の製造装置の図１における矢印Ｄ２方向矢視図。
【図４】（Ａ）は保持機構の構成を示す、図２における矢印Ｄ３方向矢視図、（Ｂ）は保持機構の側面図、（Ｃ）は図４（Ａ）のI-I線断面図、（Ｄ）は図４（Ａ）のII-II線断面図。
【図５】（Ａ）は図４（Ｂ）のIII-III線断面図、（Ｂ）及び（Ｃ）は当接部材の動作説明図。
【図６】（Ａ）〜（Ｅ）は保持ユニット及び規制機構の動作説明図。
【図７】（Ａ）は保持機構の他の構成例を示す図、（Ｂ）は保持機構の側面図、（Ｃ）は図７（Ａ）のV-V線断面図、（Ｄ）は当接部材の動作説明図。
【図８】（Ａ）は図７（Ｂ）のVI-VI線断面図、（Ｂ）は保持ユニット及び規制機構の動作説明図。
【図９】（Ａ）は保持機構の構成を示す、図２における矢印Ｄ４方向矢視図、（Ｂ）は保持機構の側面図、（Ｃ）は図９（Ａ）のVII-VII線断面図、（Ｄ）は図９（Ａ）のVIII-VIII線断面図。
【図１０】（Ａ）〜（Ｅ）は保持ユニット及び規制機構の動作説明図。
【図１１】押圧ローラの説明図。
【図１２】制御ユニットのブロック図。
【図１３】（Ａ）及び（Ｂ）は図１の製造装置の動作説明図。
【図１４】（Ａ）〜（Ｃ）は図１の製造装置の動作説明図。
【図１５】（Ａ）及び（Ｂ）は図１の製造装置の動作説明図。
【図１６】（Ａ）及び（Ｂ）は図１の製造装置の動作説明図。
【図１７】（Ａ）〜（Ｄ）は図１の製造装置の動作説明図。
【図１８】（Ａ）〜（Ｃ）は別例の説明図。
【図１９】（Ａ）及び（Ｂ）は別例の説明図。
【図２０】（Ａ）〜（Ｃ）は別例の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。各図において、矢印Ｘ及びＹは互いに直交する水平方向を示し、矢印Ｚは上下方向を示す。
【００１２】
＜第一実施形態＞
＜装置の概要＞
図１は本発明の一実施形態に係る製造装置Ａの平面図、図２は製造装置Ａの図１における矢印Ｄ１方向矢視図、図３は製造装置Ａの図１における矢印Ｄ２方向矢視図である。
【００１３】
製造装置Ａは、２枚のパネルを貼り合わせて積層体を製造する装置である。本実施形態の場合、方形のパネルＰ１と方形のパネルＰ２とを貼り合わせた積層体を製造する。パネルＰ１は例えば画像表示パネルであり、パネルＰ２は例えばカバーパネルであり、その積層体は画像表示装置を構成する。画像表示パネルとしては例えば液晶表示パネル（例えば、ＬＣＤ）であり、その表示面側（貼り合わせ過程では下面となる）にカバーパネル（例えば、カバーガラス）が貼り付けられる。カバーパネルは光透過性を有するパネルであり、例えばガラス板や樹脂板である。本実施形態の場合、パネルＰ２はその上面に未硬化状態の接着層が形成されて製造装置Ａに投入される形態を想定している。接着層は接着剤、接着シート、接着フィルム等により形成することができる。
【００１４】
製造装置Ａは、搬入台１と、搬送機構２と、移載機構３と、保持機構４と、押圧機構５とを備える。
【００１５】
＜搬入台＞
搬入台１は、製造装置ＡへパネルＰ１を投入するためのユニットである。パネルＰ１は貼り合わせ面を下面として、外部の装置又は作業者によって搬入台１上に載置される。搬入台１は、例えば、パネルＰ１を非接触で支持するエア浮上テーブルや、パネルＰ１と接触して支持する置台である。搬入台１の周囲にはパネルＰ１の姿勢調整や位置決めを行う装置を設けてもよい。この装置によりパネルＰ１とパネルＰ２との貼り合わせ位置の精度を向上できる。この装置は、例えば、パネルＰ１の周縁に当接することでその姿勢調整や位置決めを行う装置であってもよい。
【００１６】
＜移載機構＞
移載機構３は、搬入台１に搬入されたパネルＰ１を、パネルＰ２と貼り合わせる作業を行う領域（以下、作業領域と呼ぶ。）に搬送するユニットである。本実施形態の場合、作業領域は、搬送機構２の上方に設定されている。移載機構３は、保持ユニット３１と、移動機構３２とを備える。
【００１７】
保持ユニット３１は、本実施形態の場合、パネルＰ１を吸着保持するユニットであるが、パネルＰ１を機械的に保持する（例えば挟持する）ユニットであってもよい。保持ユニット３１の下面は水平な吸着面を構成している。この吸着面には空気孔が形成されており、保持ユニット３１内部の通路を介して不図示の空気吸引装置に接続されている。空気吸引装置は例えばポンプである。空気孔から空気を吸引することで、保持ユニット３１はパネルＰ１の上面を負圧吸引して吸着する。
【００１８】
移動機構３２は保持ユニット３１の昇降（Ｚ方向の移動）とＸ方向の移動を行うユニットである。移動機構３２は、昇降軸３２１と、駆動ユニット３２２と、レール３２３と、一対の支柱３２４とを備える。
【００１９】
昇降軸３２１はＺ方向に延びる軸であり、その下端に保持ユニット３１が固定されている。駆動ユニット３２２は昇降軸３２１を昇降する機構を備える。この機構は例えばボールねじ機構やベルト伝動機構等を採用可能である。レール３２３はＸ方向に水平に延設されており、その両端部が一対の支柱３２４により支持されている。
【００２０】
駆動ユニット３２２は不図示の駆動機構によってレール３２３の案内によってＸ方向に往復移動可能である。駆動機構は例えばボールねじ機構やベルト伝動機構等を採用可能である。駆動ユニット３２２のＸ方向の移動と、昇降軸３２１の昇降とによって保持ユニット３１はＸ−Ｚ平面上を移動可能である。
【００２１】
＜搬送機構＞
搬送機構２は、製造装置Ａに投入されたパネルＰ２の作業領域への搬送と、積層体の搬出とを行うユニットである。本実施形態の場合、搬送機構２は水平な搬送面２ａ上でパネルＰ２又は積層体をＹ方向に搬送する。パネルＰ２は、搬送機構２のＹ方向の一方端（図１では左端）に外部の装置又は作業者によって投入され、積層体は搬送機構２のＹ方向の他方端（図１では右端）に搬出される。
【００２２】
搬送機構２は、例えば、パネルＰ２を非接触で支持するエア浮上テーブルを用いた搬送機構や、パネルＰ２と接触して搬送する搬送機構（例えばベルトコンベア、ローラコンベア）である。
【００２３】
搬送面２ａにはＹ方向に離間した一対のピット部２１が形成されている。一対のピット部２１はＸ方向に延びる溝であり、作業領域のＹ方向の両端部に位置している。ピット部２１は後述する第二保持ユニット４１Ｌ、４１Ｒ等と搬送機構２との干渉を回避するために設けられている。
【００２４】
搬送機構２の周囲にはパネルＰ２の姿勢調整や位置決めを行う装置を設けてもよい。この装置によりパネルＰ１とパネルＰ２との貼り合わせ位置の精度を向上できる。この装置は、例えば、パネルＰ２の周縁に当接することでその姿勢調整や位置決めを行う装置であってもよい。この装置は作業領域又は作業領域よりも上流側の領域に配置することができる。上流側とはパネルＰ２の搬送方向の上流側を意味する。同様に下流側とはパネルＰ２の搬送方向の下流側を意味する。
【００２５】
＜保持機構＞
次に、保持機構４について説明する。保持機構４は、搬送機構２により搬送されるパネルＰ２の作業領域への搬送と、貼り合わせ作業中におけるパネルＰ２の保持とを行う。
【００２６】
保持機構４は、保持ユニット４１Ｌ及び４１Ｒと、回動支持ユニット４２Ｌ及び４２Ｒと、規制機構４３Ｌ及び４３Ｒと、昇降機構４４Ｌ及び４４Ｒと、水平移動機構４５Ｌ及び４５Ｒと、を備える。図１〜図３に加えて、図４〜図１０を参照してこれらの構成について説明する。
【００２７】
図４（Ａ）は保持機構４の構成を示す、図２における矢印Ｄ３方向矢視図、図４（Ｂ）は保持機構４の側面図、図４（Ｃ）は図４（Ａ）のI-I線断面図、図４（Ｄ）は図４（Ａ）のII-II線断面図である。図５（Ａ）は図４（Ｂ）のIII-III線断面図である。図５（Ｂ）及び図５（Ｃ）は当接部材４１３の動作説明図であり、図４（Ｃ）のIV部分の拡大破断図である。図６（Ａ）〜図６（Ｅ）は保持ユニット４１Ｌ及び規制機構４３Ｌの動作説明図である。
【００２８】
図７（Ａ）〜図７（Ｄ）及び図８（Ａ）及び図８（Ｂ）は保持ユニット４１Ｌ等の他の構成例の説明図である。
【００２９】
図９（Ａ）は保持機構４の構成を示す、図２における矢印Ｄ４方向矢視図、図９（Ｂ）は保持機構４の側面図、図９（Ｃ）は図９（Ａ）のVII-VII線断面図、図９（Ｄ）は図９（Ａ）のVIII-VIII線断面図である。図１０（Ａ）〜図１０（Ｅ）は保持ユニット４１Ｒ及び規制機構４３Ｒの動作説明図である。
【００３０】
保持ユニット４１Ｌ及び４１Ｒは、保持ユニット３１のパネルＰ１の下方において、パネルＰ２を保持するユニットである。本実施形態の場合、保持ユニット４１Ｌ及び４１ＲはパネルＰ２を吸着保持するユニットであるが、パネルＰ２を機械的に保持する（例えば挟持する）ユニットであってもよい。
【００３１】
本実施形態の場合、保持ユニット４１Ｌ及び４１Ｒは互いにＹ方向に離間しており、保持ユニット４１ＬはパネルＰ２の一辺を保持し、保持ユニット４１ＲはパネルＰ２の該一辺に対向する他辺を保持する。換言すると、保持ユニット４１ＬはパネルＰ２の搬送方向上流側の端部を保持する。保持ユニット４１ＲはパネルＰ２の搬送方向下流側の端部を保持する。
【００３２】
本実施形態の場合、保持ユニット４１Ｌは２つ設けられており、Ｘ方向に離間して配置されている。同様に、保持ユニット４１Ｒも２つ設けられており、Ｘ方向に離間して配置されている。保持ユニット４１Ｌ及び４１Ｒの数は１つでもよいし、３以上であってもよい。保持ユニット４１Ｌの数と保持ユニット４１Ｒの数とは同数であってもよいし、異なっていてもよい。
【００３３】
主に図４〜図６を参照して保持ユニット４１Ｌ、回動支持ユニット４２Ｌ、規制機構４３Ｌ及び昇降機構４４Ｌについて説明する。
【００３４】
保持ユニット４１Ｌは、Ｙ方向に突出した一対の爪状の載置部４１１を備える。載置部４１１はＸ方向に離間して設けられている。なお、載置部４１１は１つでもよいし、３以上であってもよい。
【００３５】
載置部４１１の上面４１１ａには吸着部４１２が形成されている。吸着部４１２は載置部４１１の上面４１１ａに開口した穴である。この穴には、載置部４１１内に形成された空気通路４１１ｂが連通しており、空気通路４１１ｂは不図示の空気吸引装置に接続されている。空気吸引装置は例えばポンプである。吸着部４１２から空気を吸引することで、保持ユニット４１ＬはパネルＰ２の下面を負圧吸引して吸着する。上面４１１ａは平坦、平滑に形成されており、これによってパネルＰ２が密接されるパネル保持面を形成している。
【００３６】
保持ユニット４１Ｌの上面には、一対の当接部材４１３と、一対の当接部材４１３をＹ方向に進退させるアクチュエータ４１４とを備える。当接部材４１３とアクチュエータ４１４とはパネルＰ２を機械的に保持するクランプ機構を構成する。アクチュエータ４１４は例えばエアシリンダ、或いは、電動シリンダであり、そのロッド部の端部に当接部材４１３が接続されている。アクチュエータ４１４は退避位置と保持位置との間で当接部材４１３を載置部４１１の上面４１１ａ上で進退させる。図５（Ｂ）は当接部材４１３が退避位置にある場合を示し、図５（Ｃ）は当接部材４１３が保持位置にある場合を示している。
【００３７】
当接部材４１３の端部は上面側が下面側よりも迫り出した軒状をなしており、その端面は下向きの傾斜部４１３ａを形成している。傾斜部４１３ａが図５（Ｃ）に示すようにパネルＰ２の端縁に当接することで、パネルＰ２の端縁は傾斜部４１３ａと載置部４１１の上面４１１ａとの間に位置し、挟持された状態、言い換えると上面側から押さえ込まれた状態となる。
【００３８】
パネルＰ２の保持は、吸着部４１２による負圧吸引だけで可能であるが、本実施形態では、保持力を補強するために、当接部材４１３によっても、パネルＰ２を機械的に保持する構成としている。
【００３９】
なお、本実施形態では当接部材４１３をアクチュエータ４１４によって進退させる構成としたが、当接部材４１３を保持ユニット４１Ｌに固定的に配置する構成も採用可能である。この場合、例えば、後述する水平移動機構４５Ｌによって保持ユニット４１Ｌ全体の移動により、当接部材４１３と上面４１１ａとの間にパネルＰ２の端縁が位置するようにすればよい。
【００４０】
回動支持ユニット４２Ｌは保持ユニット４１Ｌを回動可能に支持する逆Ｕ字型のユニットである。本実施形態の場合、一つの保持ユニット４１Ｌに対して一つの回動支持ユニット４２Ｌが設けられているが複数の保持ユニット４１Ｌを一つの回動支持ユニット４２Ｌで支持する構成でもよい。
【００４１】
回動支持ユニット４２Ｌは一対の側壁４２１と、一対の側壁４２１の上部を接続する上壁４２２と、を備える。一対の側壁４２１はＸ方向に互いに離間して配置され、その面方向はＹ−Ｚ平面と平行である。
【００４２】
一対の側壁４２１間には軸４２３が回転可能に支持されている。軸４２３はＸ方向と平行な軸であり、換言すると、保持ユニット３１に保持されたパネルＰ１のパネル面に平行な軸である。軸４２３は保持ユニット４１Ｌを貫通し、かつ、保持ユニット４１Ｌに固定されている。したがって、保持ユニット４１Ｌは軸４２３回りに回動可能に支持されている。なお、本実施形態では軸４２３と保持ユニット４１Ｌとを互いに固定する構成としたが、軸４２３に対して保持ユニット４１Ｌが回動自在な構成であってもよい。
【００４３】
回動支持ユニット４２Ｌの一方側部には軸４２３の回動範囲を規制する機構が設けられている。この機構はアーム４２４と、２つのストッパ４２５とを備える。軸４２３の回動範囲を規制することで保持ユニット４１Ｌの回動範囲が規制されることになる。
【００４４】
アーム４２４は、回動支持ユニット４２Ｌの一方側部における軸４２３の端部に固定されている。２つのストッパ４２５は、回動支持ユニット４２Ｌの一方側部における側壁４２１の外面に固定されており、２つのストッパ４２５の間にアーム４２４が位置している。軸４２３は、アーム４２４が一方のストッパ４２５に当接する位置から、アーム４２４が他方のストッパ４２５に当接する位置までの所定の角度範囲内で回動可能である。
【００４５】
規制機構４３Ｌは保持ユニット４１Ｌの回動を規制又は規制解除するユニットである。本実施形態の場合、一つの保持ユニット４１Ｌに対して一つの規制機構４３Ｌが設けられている。本実施形態の場合、規制機構４３Ｌはエアシリンダ、電動シリンダ或いは電磁ソレノイド等の伸縮型のアクチュエータであり、本体部４３１と本体部４３１から進退するロッド部４３２とを備える。本体部４３１は、ロッド部４３２の進退方向がＺ方向となるように回動支持ユニット４２Ｌの上壁４２２に固定されている。ロッド部４３２は保持ユニット４１Ｌの回動を規制する規制位置と、保持ユニット４１Ｌの回動規制を解除する解除位置との間で移動可能である。規制位置にある場合、ロッド部４３２の先端（下端）が保持ユニット４１Ｌの上面に当接する。当接する位置は、軸４２３よりも搬送方向下流側で、一対の載置部４１１の間の位置である。退避位置にある場合、ロッド部４３２の先端（下端）が保持ユニット４１Ｌの上面から離間する。
【００４６】
図６を参照して、規制機構４３Ｌの動作及び保持ユニット４１Ｌの回動態様について説明する。図６（Ａ）及び図６（Ｂ）は規制機構４３Ｌのロッド部４３２が規制位置にあり、保持ユニット４１Ｌの回動が規制されている状態を示す。図６（Ａ）は図６（Ｂ）において、側壁４２１等の図示を省略したものである。ロッド部４３２の先端が保持ユニット４１Ｌの上面に当接しているため、同図において反時計回り方向における保持ユニット４１Ｌの回動が規制される。アーム４２４は同図で右側のストッパ４２５に当接しており、同図において時計回り方向における保持ユニット４１Ｌの回動も規制されている。この状態においては、載置部４１１の上面４１１ａが水平であり、保持されるパネルＰ２の端部は水平姿勢で保持されることになる。
【００４７】
図６（Ｃ）は規制機構４３Ｌのロッド部４３２が解除位置に上昇され、保持ユニット４１Ｌの回動規制が解除された状態を示す。保持ユニット４１Ｌは一対のストッパ４２５により規定される所定の角度範囲内で自由回動が可能なフローティング状態にある。図６（Ｄ）及び図６（Ｅ）は、規制機構４３Ｌのロッド部４３２が解除位置にあり、保持ユニット４１Ｌが同図で反時計回りに最大限、回動した状態を示す。図６（Ｄ）は図６（Ｅ）において、側壁４２１等の図示を省略したものである。アーム４２４は同図で左側のストッパ４２５に当接しており、同図において反時計回り方向における保持ユニット４１Ｌの回動が規制されている。この状態においては、載置部４１１の上面４１１ａが水平面に対して傾斜しており、保持されるパネルＰ２の端部は傾斜した姿勢で保持されることになる。
【００４８】
本実施形態では、保持ユニット４１Ｌが回動可能であるため、後述するように、保持されるパネルＰ２の姿勢に応じて、保持ユニット４１Ｌの姿勢変化が可能となる。本実施形態の場合、保持ユニット４１Ｌの回動は、自由回動としているが、保持ユニット４１Ｌを強制的に回動させる駆動機構を設けてもよい。駆動機構は例えばモータを駆動源とした機構とすることができる。駆動機構を設けることで、保持ユニット４１Ｌの姿勢を制御することが可能となる。しかし、パネルＰ２の姿勢に応じて保持ユニット４１Ｌの姿勢を変化させる場合、本実施形態のように、保持ユニット４１Ｌを自由回動可能なフローティング状態とする方が、パネルＰ２に不必要な外力が作用することを回避でき、より好適である。
【００４９】
次に昇降機構４４Ｌについて主に図２、図４を参照して説明する。昇降機構４４Ｌは、保持ユニット４１Ｌを保持ユニット３１に対して上下に移動させるユニットである。本実施形態の場合、一組の保持ユニット４１Ｌ及び回動支持ユニット４２Ｌに対して、一つの昇降機構４４Ｌが設けられている。
【００５０】
昇降機構４４Ｌは、昇降軸４４１と駆動ユニット４４２とを備える。昇降軸４４１はＺ方向に延びる軸であり、その下端に回動支持ユニット４２Ｌの上壁４２２が固定されている。駆動ユニット４４２は昇降軸４４１を昇降する機構を備える。この機構は例えばボールねじ機構やベルト伝動機構等を採用可能である。
【００５１】
次に水平移動機構４５Ｌについて主に図１、図２を参照して説明する。本実施形態の場合、水平移動機構４５Ｌは保持ユニット４１ＬをＹ方向及びＸ方向に移動させる機構であるが、保持ユニット４１ＬをＹ方向にのみ移動させる機構であってもよい。
【００５２】
水平移動機構４５Ｌは、可動レール４５１と、一対のスライダ４５２と、一対のレール４５３とを備える。可動レール４５１は搬送機構２を横断するようにＸ方向に延設された梁部材である。２つの駆動ユニット４４２は、Ｘ方向に移動自在に可動レール４５１と係合し、かつ、支持されている。
【００５３】
駆動ユニット４４２は不図示の駆動機構によって可動レール４５１の案内によってＸ方向に往復移動可能である。この駆動機構は駆動ユニット４４２毎に設けられ、２つの駆動ユニット４４２は互いに独立してＸ方向に移動可能である。２つの駆動ユニット４４２のＸ方向の距離を変更することにより、２つの保持ユニット４１ＬのＸ方向の距離が変更される。これにより、サイズが異なるパネルＰ２を保持することができる。駆動機構は例えばボールねじ機構やベルト伝動機構等を採用可能である。
【００５４】
可動レール４５１の両端部には、それぞれスライダ４５２が固定されている。スライダ４５２はＹ方向に移動自在にレール４５３と係合している。一対のレール４５３は互いにＸ方向に離間して平行に配置されている。各レール４５３はＹ方向に延設されている。スライダ４５２は不図示の駆動機構によってレール４５３の案内によってＹ方向に往復移動可能である。この駆動機構は、一対のスライダ４５２のうちの少なくとも一方に設けることができ、可動レール４５１をＹ方向に平行移動させる。駆動機構は例えばボールねじ機構やベルト伝動機構等を採用可能である。
【００５５】
可動レール４５１がＹ方向に平行移動することで、２つの保持ユニット４１Ｌを、保持ユニット４１Ｒに対して近接又は離間させることができる。
【００５６】
次に、主に図７及び図８を参照して、上述した保持ユニット４１Ｌ、回動支持ユニット４２Ｌ及び規制機構４３Ｌの他の構成例である保持ユニット４１Ｌ’、回動支持ユニット４２Ｌ’及び規制機構４３Ｌ’について説明する。保持ユニット４１Ｌ’は、保持ユニット４１ＬよりもパネルＰ１及びＰ２に対する粉塵の付着を低減させる点等において、より好ましい構成となっている。
【００５７】
図７（Ａ）は保持ユニット４１Ｌ’等を用いた場合の保持機構４の構成を示す図であり、図２における矢印Ｄ３方向矢視図に相当する図である。図７（Ｂ）は図７（Ａ）の保持機構４の側面図、図７（Ｃ）は図７（Ａ）のV-V線断面図、図７（Ｄ）は保持ユニット４１Ｌ’の動作説明図である。図８（Ａ）は図７（Ｂ）のVI-VI線断面図、図８（Ｂ）は保持ユニット４１Ｌ’の動作説明図である。
【００５８】
保持ユニット４１Ｌ’、回動支持ユニット４２Ｌ’及び規制機構４３Ｌ’の各構成のうち、上述した保持ユニット４１Ｌ、回動支持ユニット４２Ｌ及び規制機構４３Ｌの各構成と同じ構成又は対応する構成については、同じ符号を付している。以下、異なる構成を中心に説明する。
【００５９】
保持ユニット４１Ｌ’は、Ｙ方向に突出した一対の爪状の載置部４１１、及び、載置部４１１の上面４１１ａに形成された吸着部４１２を備える。本構成例では、保持ユニット４１Ｌ’は、その底部に凹部を有して軽量化されており、図７（Ａ）で示す視線図では軸４２３の中央部が露出している。
【００６０】
保持ユニット４１Ｌ’の上面には、当接部材４１３が設けられている。本構成例では、当接部材４１３は、一対の載置部４１１間に跨る大きさを有する一枚の板状の部材としている。
【００６１】
当接部材４１３をＹ方向に進退させるアクチュエータ４１４は、支持部材４１６を介して保持ユニット４１Ｌ’に接続されて支持されている。支持部材４１６は保持ユニット４１Ｌ’の下方に延設され、アクチュエータ４１４は保持ユニット４１Ｌ’の下側に配置されている。当接部材４１３とアクチュエータ４１４とはパネルＰ２を機械的に保持するクランプ機構を構成する。
【００６２】
アクチュエータ４１４のロッド部の端部にはブラケット４１５を介して当接部材４１３が接続されている。アクチュエータ４１４は退避位置と保持位置との間で当接部材４１３を載置部４１１の上面４１１ａ上で進退させる。図７（Ｃ）は当接部材４１３が退避位置にある場合を示し、図７（Ｄ）は当接部材４１３が保持位置にある場合を示している。
【００６３】
本構成例では、アクチュエータ４１４が、載置部４１１の上面４１１ａよりも下方に位置しているので、アクチュエータ４１４の駆動により粉塵が発生した場合、上面４１１ａに保持されるパネルＰ２への粉塵の付着を低減することができる。
【００６４】
回動支持ユニット４２Ｌ’の構成は、基本的に回動支持ユニット４２Ｌと同様の構成であり、側壁４２１及び上壁４２２の形状又は大きさが異なる程度である。本構成例においても、軸４２３は保持ユニット４１Ｌ’を貫通し、かつ、保持ユニット４１Ｌ’に固定されているが、軸４２３に対して保持ユニット４１Ｌ’が回動自在な構成であってもよい。また、回動支持ユニット４２Ｌ’の一方側部には、軸４２３の回動範囲を規制する機構（アーム４２４及び２つのストッパ４２５）が設けられている。
【００６５】
規制機構４３Ｌ’の構成も、基本的に規制機構４３Ｌと同じであり、本体部４３１と本体部４３１から進退するロッド部４３２とを備えるが、保持ユニット４１Ｌ’に対する当接部位が異なっている。本構成例では、保持ユニット４１Ｌ’の上面に、当接部材４１３を跨るように配置された逆Ｕ字型の枠体４１５が固定されている。保持ユニット４１Ｌ’の回動を規制する場合、ロッド部４３２の先端（下端）は枠体４１５の上面に当接する。図７（Ｃ）及び図７（Ｄ）はロッド部４３２が規制位置にある場合を示す。載置部４１１の上面４１１ａが水平であり、保持されるパネルＰ２の端部は水平姿勢で保持されることになる。
【００６６】
図８（Ｂ）はロッド部４３２が退避位置にある場合を示している。退避位置にある場合、ロッド部４３２の先端（下端）が枠体４１５の上面から離間する。保持ユニット４１Ｌ’は自由回動可能なフローティング状態となり、同図に示すように、保持ユニット４１Ｌ’が傾斜した姿勢をとることが可能となる。この場合、保持されるパネルＰ２の端部は傾斜した姿勢で保持されることになる。
【００６７】
次に、主に図９及び図１０を参照して保持ユニット４１Ｒ、回動支持ユニット４２Ｒ、規制機構４３Ｒ及び昇降機構４４Ｒについて説明する。保持ユニット４１Ｒ、回動支持ユニット４２Ｒ、規制機構４３Ｒ及び昇降機構４４Ｒの構成は、基本的に、上述した保持ユニット４１Ｌ、回動支持ユニット４２Ｌ、規制機構４３Ｌ及び昇降機構４４Ｌと同様であり、同様の構成については同じ符号を付している。
【００６８】
保持ユニット４１Ｒは、Ｙ方向に突出した一対の爪状の載置部４１１を備える。載置部４１１はＸ方向に離間して設けられている。なお、載置部４１１は１つでもよいし、３以上であってもよい。
【００６９】
載置部４１１の上面４１１ａには吸着部４１２が形成されている。吸着部４１２は載置部４１１の上面４１１ａに開口した穴である。この穴には、載置部４１１内に形成された空気通路４１１ｂが連通しており、空気通路４１１ｂは不図示の空気吸引装置に接続されている。空気吸引装置は例えばポンプである。吸着部４１２から空気を吸引することで、保持ユニット４１ＲはパネルＰ２の下面を負圧吸引して吸着する。上面４１１ａは平坦、平滑に形成されており、これによって、パネルＰ２が密接されるパネル保持面を形成している。
【００７０】
本実施の形態においては、保持ユニット４１Ｒは、保持ユニット４１Ｌと異なり、当接部材４１３及びアクチュエータ４１４を備えていない構成のものを例に挙げている。しかし、保持ユニット４１Ｒとして、保持ユニット４１Ｌと同構成のものを採用しても良いことは言うまでもない。
【００７１】
回動支持ユニット４２Ｒは保持ユニット４１Ｒを回動可能に支持する逆Ｕ字型のユニットである。本実施形態の場合、一つの保持ユニット４１Ｒに対して一つの回動支持ユニット４２Ｒが設けられているが複数の保持ユニット４１Ｒを一つの回動支持ユニット４２Ｒで支持する構成でもよい。
【００７２】
回動支持ユニット４２Ｒは一対の側壁４２１と、一対の側壁４２１の上部を接続する上壁４２２と、を備える。一対の側壁４２１はＸ方向に互いに離間して配置され、その面方向はＹ−Ｚ平面と平行である。
【００７３】
一対の側壁４２１間には軸４２３が回転可能に支持されている。軸４２３はＸ方向と平行な軸であり、換言すると、保持ユニット３１に保持されたパネルＰ１のパネル面に平行な軸である。軸４２３は保持ユニット４１Ｒを貫通し、かつ、保持ユニット４１Ｒに固定されている。したがって、保持ユニット４１Ｒは軸４２３回りに回動可能に支持されている。なお、本実施形態では軸４２３と保持ユニット４１Ｒとを互いに固定する構成としたが、軸４２３に対して保持ユニット４１Ｒが回動自在な構成であってもよい。
【００７４】
回動支持ユニット４２Ｒの一方側部には軸４２３の回動範囲を規制する機構が設けられている。この機構はアーム４２４と、２つのストッパ４２５とを備える。軸４２３の回動範囲を規制することで保持ユニット４１Ｒの回動範囲が規制されることになる。
【００７５】
アーム４２４は、回動支持ユニット４２Ｒの一方側部における軸４２３の端部に固定されている。２つのストッパ４２５は、回動支持ユニット４２Ｒｎｏ一方側部における側壁４２１の外面に固定されており、２つのストッパ４２５の間にアーム４２４が位置している。軸４２３は、アーム４２４が一方のストッパ４２５に当接する位置から、アーム４２４が他方のストッパ４２５に当接する位置までの所定の角度範囲内で回動可能である。
【００７６】
規制機構４３Ｒは保持ユニット４１Ｒの回動を規制又は規制解除するユニットである。本実施形態の場合、一つの保持ユニット４１Ｒに対して一つの規制機構４３Ｒが設けられている。本実施形態の場合、規制機構４３Ｒはエアシリンダ、電動シリンダ或いは電磁ソレノイド等の伸縮型のアクチュエータであり、本体部４３１と本体部４３１から進退するロッド部４３２とを備える。本体部４３１は、ロッド部４３２の進退方向がＺ方向となるように回動支持ユニット４２Ｒの上壁４２２に固定されている。ロッド部４３２は保持ユニット４１Ｒの回動を規制する規制位置と、保持ユニット４１Ｌの回動規制を解除する解除位置との間で移動可能である。規制位置にある場合、ロッド部４３２の先端（下端）が保持ユニット４１Ｌの上面に当接する。当接する位置は、軸４２３よりも下流側の位置である。退避位置にある場合、ロッド部４３２の先端（下端）が保持ユニット４１Ｌの上面から離間する。
【００７７】
図１０を参照して、規制機構４３Ｒの動作及び保持ユニット４１Ｒの回動態様について説明する。図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）は規制機構４３Ｒのロッド部４３２が規制位置にあり、保持ユニット４１Ｒの回動が規制されている状態を示す。図１０（Ａ）は図１０（Ｂ）において、側壁４２１等の図示を省略したものである。ロッド部４３２の先端が保持ユニット４１Ｒの上面に当接しているため、同図において反時計回り方向における保持ユニット４１Ｒの回動が規制される。アーム４２４は同図で右側のストッパ４２５に当接しており、同図において時計回り方向における保持ユニット４１Ｒの回動も規制されている。この状態においては、載置部４１１の上面４１１ａが水平であり、保持されるパネルＰ２の端部は水平姿勢で保持されることになる。
【００７８】
図１０（Ｃ）は規制機構４３Ｒのロッド部４３２が解除位置に上昇され、保持ユニット４１Ｒの回動規制が解除された状態を示す。保持ユニット４１Ｒは一対のストッパ４２５により規定される所定の角度範囲内で自由回動が可能なフローティング状態にある。図１０（Ｄ）及び図１０（Ｅ）は、規制機構４３Ｒのロッド部４３２が解除位置にあり、保持ユニット４１Ｒが同図で反時計回りに最大限、回動した状態を示す。図１０（Ｄ）は図１０（Ｅ）において、側壁４２１等の図示を省略したものである。アーム４２４は同図で左側のストッパ４２５に当接しており、同図において反時計回り方向における保持ユニット４１Ｒの回動が規制されている。この状態においては、載置部４１１の上面４１１ａが水平面に対して傾斜しており、保持されるパネルＰ２の端部は傾斜した姿勢で保持されることになる。
【００７９】
本実施形態では、保持ユニット４１Ｒが回動可能であるため、後述するように、保持されるパネルＰ２の姿勢に応じて、保持ユニット４１Ｒの姿勢変化が可能となる。本実施形態の場合、保持ユニット４１Ｒの回動は、自由回動としているが、保持ユニット４１Ｒを強制的に回動させる駆動機構を設けてもよい。駆動機構は例えばモータを駆動源とした機構とすることができる。駆動機構を設けることで、保持ユニット４１Ｒの姿勢を制御することが可能となる。しかし、パネルＰ２の姿勢に応じて保持ユニット４１Ｒの姿勢を変化させる場合、本実施形態のように、保持ユニット４１Ｒを自由回動可能なフローティング状態とする方が、パネルＰ２に不必要な外力が作用することを回避でき、より好適である。
【００８０】
次に昇降機構４４Ｒについて主に図２、図４を参照して説明する。昇降機構４４Ｒは、保持ユニット４１Ｒを、保持ユニット３１に対して上下に移動させるユニットである。本実施形態の場合、一組の保持ユニット４１Ｒ及び回動支持ユニット４２Ｒに対して、一つの昇降機構４４Ｒが設けられている。
【００８１】
昇降機構４４Ｒは、昇降軸４４１と駆動ユニット４４２とを備える。昇降軸４４１はＺ方向に延びる軸であり、その下端に回動支持ユニット４２Ｒの上壁４２２が固定されている。駆動ユニット４４２は昇降軸４４１を昇降する機構を備える。この機構は例えばボールねじ機構やベルト伝動機構等を採用可能である。昇降機構４４Ｌと昇降機構４４Ｒとは独立して駆動される。したがって、保持ユニット４１Ｌ及び回動支持ユニット４２Ｌと、保持ユニット４１Ｒ及び回動支持ユニット４２Ｒと、は互いに独立して昇降可能である。
【００８２】
次に水平移動機構４５Ｒについて主に図１、図２を参照して説明する。本実施形態の場合、水平移動機構４５Ｒは保持ユニット４１ＲをＹ方向及びＸ方向に移動させる機構であるが、保持ユニット４１ＲをＹ方向にのみ移動させる機構であってもよい。
【００８３】
水平移動機構４５Ｒは、可動レール４５１と、一対のスライダ４５２と、一対のレール４５３とを備える。可動レール４５１は搬送機構２を横断するようにＸ方向に延設された梁部材である。２つの駆動ユニット４４２は、Ｘ方向に移動自在に可動レール４５１と係合し、かつ、支持されている。
【００８４】
駆動ユニット４４２は不図示の駆動機構によって可動レール４５１の案内によってＸ方向に往復移動可能である。この駆動機構は駆動ユニット４４２毎に設けられ、２つの駆動ユニット４４２は互いに独立してＸ方向に移動可能である。２つの駆動ユニット４４２のＸ方向の距離を変更することにより、２つの保持ユニット４１ＲのＸ方向の距離が変更される。これにより、サイズが異なるパネルＰ２を保持することができる。駆動機構は例えばボールねじ機構やベルト伝動機構等を採用可能である。
【００８５】
可動レール４５１の両端部には、それぞれスライダ４５２が固定されている。スライダ４５２はＹ方向に移動自在にレール４５３と係合している。一対のレール４５３は互いにＸ方向に離間して平行に配置されている。各レール４５３はＹ方向に延設されている。スライダ４５２は不図示の駆動機構によってレール４５３の案内によってＹ方向に往復移動可能である。この駆動機構は、一対のスライダ４５２のうちの少なくとも一方に設けることができ、可動レール４５１をＹ方向に平行移動させる。駆動機構は例えばボールねじ機構やベルト伝動機構等を採用可能である。
【００８６】
可動レール４５１がＹ方向に平行移動することで、２つの保持ユニット４１Ｒを、保持ユニット４１Ｌに対して近接又は離間させることができる。本実施形態では、保持ユニット４１Ｌに対して水平移動機構４５Ｌを設け、保持ユニット４１Ｒに対して水平移動機構４５Ｒを設けている。これにより、保持ユニット４１Ｌと保持ユニット４１Ｒとが、それぞれ、独立して、互いに近接又は離間する方向に移動可能となっている。しかし、水平移動機構４５Ｌと水平移動機構４５Ｒのうちの一方のみを設けもよい。この場合、保持ユニット４１Ｌと保持ユニット４１Ｒとのうちの一方のみが、他方に対して近接又は離間する構成となる。
【００８７】
＜押圧機構＞
押圧機構５は、保持ユニット３１に保持されたパネルＰ１に対して、保持ユニット４１Ｌ及び４１Ｒで保持されたパネルＰ２を、その厚み方向（ここではＺ方向）に押圧する機構である。
【００８８】
押圧ユニット５は、押圧ローラ５１と、ローラ移動機構５２とを備える。押圧ローラ５１は、搬送機構２を跨るようにＸ方向に水平に延設されており、ローラ移動機構５２によってＺ方向とＹ方向に移動される。押圧ローラ５１は、例えば、金属製の軸と、この軸の周囲を被覆するゴム製或いは樹脂製の円筒体（ローラ部材）とから構成される。図１１は押圧ローラ５１の平面視図である。
【００８９】
本実施形態の場合、押圧ローラ５１の周面には、複数の溝５１ａと複数の溝５１ｂとが形成されている。
【００９０】
溝５１ａは、保持ユニット４１Ｌ及び４１Ｒと押圧ローラ５１との干渉を回避することを目的とした溝である。溝５１ａは、押圧ローラ５１の周面において、保持ユニット４１Ｌ及び４１Ｒと対向する部分に配置されている。本実施形態の場合、載置部４１１と対向する部分に形成されており、載置部４１１の幅及び厚みよりも広い幅及び深さを有している。このような溝５１ａを設けたことで、パネルＰ２がパネルＰ１と同サイズの場合、或いは、パネルＰ１よりも小さいサイズであっても、パネルＰ２の端縁周辺を、載置部４１１と干渉することなく押圧することが可能となる。
【００９１】
単一サイズのパネルＰ２の使用を想定した場合、溝５１ａの数は、載置部４１１の数と同数でよい。本実施形態では複数サイズのパネルＰ２の使用を想定して載置部４１１の数よりも溝５１ａの数を多くしている。
【００９２】
溝５１ｂは、パネルＰ１とパネルＰ２との密着性を向上することを目的とした溝であり、溝５１ａよりも幅及び深さがそれぞれ小さくされており、かつ、押圧ローラ５１の周面全域に渡って形成されている。溝５１ｂのピッチは等ピッチでも不等ピッチでもよいが、ここでは等ピッチとしている。
【００９３】
パネルＰ１の貼り合わせ面には、微小なうねりがある場合がある。溝５１ｂを設けたことにより、押圧ローラ５１の周面は、溝５１ｂ間の突起により形成され、この突起は可撓性を有して弾性変形することから、うねりに対してより均一な押圧力を発揮することが可能となる。押圧ローラ５１の周面を弾性変形し易くする別の方法としては、押圧ローラ５１の円筒体を、より硬度の低い材料で形成することが考えられる。しかし、この方法ではパネルＰ２と押圧ローラ５１の周面との接触面積が大きくなり、両者間の摩擦が大きくなる。このため、押圧ローラ５１の移動によって、パネルＰ１に対してパネルＰ２がずれてしまう場合がある。本実施形態のように溝５１ｂを設けることで、パネルＰ２と押圧ローラ５１の周面との接触面積が小さくなり、パネルＰ２のずれも防止できる。
【００９４】
ローラ移動機構５２は、複数の支持部５２１、複数の昇降機構５２２と、複数のスライダ５２３と、複数のレール５２４とを備える。支持部５２１と昇降機構５２２とスライダ５２３とレール５２４とは２組設けられている。昇降機構５２２はスライダ５２３に搭載され、支持部５２１は昇降機構５２２に搭載されている。
【００９５】
押圧ローラ５１は、その両端部が支持部５２１に回転自在に支持されて自由回転可能である。レール５２４は、搬送機構２を挟んでその両側に１つずつ配置されており、Ｙ方向に水平に延設されている。スライダ５２３はレール５２４と係合してレール５２４の案内によりＹ方向に移動可能である。スライダ５２３は不図示の駆動機構によってＹ方向に往復移動される。２つのスライダ５２３を同期的に移動させることで、押圧ローラ５１をＹ方向に平行移動することができる。
【００９６】
昇降機構５２２は例えばエアシリンダ、電動シリンダ、電磁ソレノイド等のアクチュエータをその駆動源として含み、支持部５２１を昇降する。２つの支持部５２１を同期的に昇降移動させることで、押圧ローラ５１をＺ方向に平行移動（昇降）することができる。
【００９７】
＜制御ユニット＞
図１２は製造装置Ａの制御を行う制御ユニット６のブロック図である。制御ユニット６は、ＣＰＵ等の処理部６１と、ＲＡＭ、ＲＯＭ等の記憶部６２と、外部デバイスと処理部６１とをインターフェースするインターフェース部６３と、を含む。インターフェース部６３には、ホストコンピュータとの通信を行う通信インターフェースも含まれる。ホストコンピュータは、例えば、製造装置Ａが配置された製造設備全体を制御するコンピュータである。
【００９８】
処理部６１は記憶部６２に記憶されたプログラムを実行し、各種のセンサ６５の検出結果や上位のコンピュータ等の指示に基づいて、各種のアクチュエータ６４を制御する。各種のセンサ６５には、例えば、搬送機構２により搬送されるパネルＰ２の位置を検出するセンサ、保持ユニット４１Ｌ及び４１Ｒの位置を検出するセンサ、支持部５２１の位置を検出するセンサ、保持ユニット３１の位置を検出するセンサ等、各種のセンサが含まれる。各種のアクチュエータ６４には、例えば、吸着部４１１ａ用の空気装置、保持ユニット３１用の空気装置、各種機構の駆動源（例えばモータ）等が含まれる。
【００９９】
＜制御例＞
処理部６１の制御例について図１３〜図１７を参照して説明する。ここではパネルＰ１とパネルＰ２との貼り合わせについて説明する。なお、貼り合わせ作業中、保持機構４のうち、各アクチュエータ４１４、各規制機構４３Ｌ、各昇降機構４４Ｌは同期的に制御される。同様に、各規制機構４３Ｒ、各昇降機構４４Ｒは同期的に制御される。また、初期状態として、規制機構４３Ｌ、４３Ｒは保持ユニット４１Ｌ、４１Ｒの回動を規制し、当接部材４１３は退避位置に位置している。
【０１００】
搬送機構２に搬入されたパネルＰ２は図１３（Ａ）に示すように作業領域に搬送される。このとき保持ユニット４１ＬはパネルＰ２の搬送方向上流側に、保持ユニット４１ＲはパネルＰ２の搬送方向下流側にそれぞれ位置している。
【０１０１】
図１３（Ｂ）に示すように、昇降機構４４Ｌ、４４Ｒによって保持ユニット４１Ｌ、４１Ｒがそれぞれピット部２１に降下される。更に水平移動機構４５Ｌ、４５Ｒによって保持ユニット４１Ｌ、４１Ｒが互いに近接する方向に移動され、保持ユニット４１Ｌの載置部４１１をパネルＰ２の搬送方向上流側の端部の下方に、保持ユニット４１Ｒの載置部４１１をパネルＰ２の搬送方向下流側の端部の下方に、それぞれ位置させる。
【０１０２】
これらの動作に並行して搬入台１上のパネルＰ１が作業領域に搬送される。図１４（Ａ）に示すように保持ユニット３１が搬入台１の上方に移動される。続いて保持ユニット３１が降下され、保持ユニット３１にてパネルＰ１が吸着保持される。パネルＰ１は、パネルＰ２に貼り合わされる側の面（ここでは下面）とは反対側の面（ここでは上面）が吸着される。
【０１０３】
図１４（Ｂ）に示すように保持ユニット３１を搬入台１から上昇させ、作業領域へ移動して停止させる。
【０１０４】
図１４（Ｃ）に示すように、昇降機構４４Ｌ、４４Ｒによって保持ユニット４１Ｌ、４１Ｒがそれぞれピット部２１から上昇されてパネルＰ２が搬送面２ａから持ち上げられる。このとき、保持ユニット４１Ｌ、４１Ｒの各吸着部４１２によってパネルＰ２が吸着保持される。パネルＰ２はパネルＰ１の下方において、貼り付け面を上向きにして水平姿勢で保持された状態となる。
【０１０５】
図１５（Ａ）に示すように当接部材４１３が退避位置から保持位置に移動される。これにより、パネルＰ２の搬送方向上流側の端縁の一部が当接部材４１３と載置部４１１の上面４１１ａとの間で上下方向に挟み込まれる。このようにパネルＰ２の搬送方向上流側の端部は吸着部４１２による吸着保持に加えて、当接部材４１３と載置部４１１の上面４１１ａとの間で機械的に保持される。
【０１０６】
次に、保持されたパネルＰ２の姿勢を変化させる。本例では、パネルＰ２の搬送方向下流側の端部を貼合始端部とし、搬送方向上流側の端部を貼合終端部とする。このため、Ｚ方向でパネルＰ２の搬送方向下流側の端部がパネルＰ１に近く、パネルＰ２の搬送方向上流側の端部がパネルＰ１から遠くなるようにパネルＰ２の姿勢を斜めに変化させる。
【０１０７】
まず、図１５（Ｂ）に示すように、規制機構４３Ｌ、４３Ｒによる保持ユニット４１Ｌ、４１Ｒの回動規制を解除する。保持ユニット４１Ｌ、４１Ｒは軸４２３回りに自由回動可能となる。
【０１０８】
昇降機構４４Ｌ又は昇降機構４４Ｒの少なくともいずれか一方を駆動して、図１６（Ａ）に示すように、保持ユニット４１Ｌが保持ユニット４１ＲよりもパネルＰ１から離れた状態となるように移動させる。ここでは保持ユニット４１Ｌを距離Ｌ２だけ降下させている。このとき、保持ユニット４１Ｌの軸４２３と、保持ユニット４１Ｒの軸４２３との軸間距離が変わらないように、水平移動機構４５Ｌによって保持ユニット４１ＬをＹ方向に距離Ｌ１だけ移動させる。保持ユニット４１Ｌの移動軌跡は弧状の軌跡Ｔ１となる。
【０１０９】
保持ユニット４１Ｌの移動に伴って、パネルＰ２の姿勢が水平方向に対して斜めに変化する。このとき、保持ユニット４１Ｌ、４１Ｒはフローティング状態にあるため、パネルＰ２の姿勢変化に応じて保持ユニット４１Ｌ、４１Ｒの姿勢が変化する。図１６（Ａ）の例では保持ユニット４１Ｌ、４１Ｒは反時計回りに回動される。
【０１１０】
このように保持ユニット４１Ｌ、４１Ｒの姿勢が変化することで、パネルＰ２がほぼ真っ直ぐな（略平坦な）状態が維持され、パネルＰ２をより確実に保持することができる。すなわち、保持ユニット４１Ｌ、４１Ｒの姿勢が変化せず、載置部４１１が水平な状態であると、パネルＰ２の端部も水平姿勢で保持され、端部から中央部へ向かって急激に湾曲することになる。この曲げの弾性復帰力によって、パネルＰ２が載置部４１１から脱落する可能性がある。しかし、本実施形態では、パネルＰ２の傾斜に応じて載置部４１１が傾くので、パネルＰ２に曲げがほとんど生じず、したがって、パネルＰ２をより確実に保持できる。
【０１１１】
次に、ローラ移動機構５２により押圧ローラ５１を貼合始端部の下方位置へ移動させる。
【０１１２】
図１７（Ａ）に示すように、ローラ移動機構５２により押圧ローラ５１を上昇させ、パネルＰ１とパネルＰ２との貼り合わせが開始される。押圧ローラ５１はパネルＰ２の搬送方向下流側の端部をパネルＰ１へ向けて押圧する。押圧力は保持ユニット３１で受け止められる。パネルＰ２の貼り付け面（上面）の一部がパネルＰ１の貼り付け面（下面）に当接する。パネルＰ２とパネルＰ１との当接領域は、Ｘ方向に長い帯状の領域となる。
【０１１３】
押圧ローラ５１がパネルＰ２の端部をパネルＰ１へ押しつけることにより、該端部の姿勢が徐々に水平に変化する。これに伴って保持ユニット４１Ｒも時計回りに回動され、載置部４１１の姿勢が水平姿勢に戻る。保持ユニット４１Ｒの載置部４１１は押圧ローラ５１の溝５１ａ内に位置するので、載置部４１１と押圧ローラ５１とが干渉することがなく、また、パネルＰ２の搬送方向下流側の端部における気泡混入を防止できる。
【０１１４】
貼り合わせ中、保持ユニット４１Ｒの載置部４１１の姿勢は、パネルＰ１とパネルＰ２との剥離防止の点で、水平姿勢の状態が好ましいので、図１７（Ｂ）に示すように規制機構４３Ｒを駆動して保持ユニット４１Ｒの回動を規制する。ローラ移動機構５２により押圧ローラ５１を貼合終端部となるパネルＰ２の搬送方向上流側の端部へ向けて水平に移動させる。パネルＰ１は保持ユニット３１により水平姿勢で保持されているので、押圧ローラ５１はパネルＰ１に沿って移動することになる。
【０１１５】
押圧ローラ５１の移動に追従してパネルＰ１とパネルＰ２との当接領域が増大し、パネルＰ２がその搬送方向下流側の端部から順次パネルＰ１へ貼り付けられる。パネルＰ１とパネルＰ２との間の空気は、搬送方向上流側へ順次押し出され、パネル間への気泡の混入を防止することができる。
【０１１６】
押圧ローラ５１の移動に伴って、保持ユニット４１Ｌを昇降機構４４Ｌによって上昇させると共に水平移動機構４５Ｌによって保持ユニット４１Ｒから離れる方向に移動させる。図１７（Ｂ）の例では保持ユニット４１Ｌは上方に距離Ｌ４だけ上昇され、Ｙ方向に距離Ｌ３だけ移動され、その移動軌跡は弧状の軌跡Ｔ２となっている。保持ユニット４１Ｌの回動規制は解除された状態が継続される。したがって、押圧ローラ５１の移動に伴うパネルＰ２の姿勢変化に応じて、フローティング状態にある保持ユニット４１Ｌが回動してその姿勢が変化する。押圧ローラ５１による押圧箇所から貼合終端部に向かってパネルＰ２は湾曲されるが、保持ユニット４１Ｌの吸着部４１２による吸着保持に加えて当接部材４１３によってパネルＰ２の搬送方向下流側の端部が機械的に保持されているので、パネルＰ２がより確実に保持される。
【０１１７】
押圧ローラ５１がパネルＰ２の搬送方向上流側の端部に近づくと、図１７（Ｃ）に示すようにアクチュエータ４１４の駆動により当接部材４１３が退避位置へ移動され、当接部材４１３とパネルＰ１との干渉が回避される。押圧ローラ５１の移動に伴う、保持ユニット４１Ｌの上昇とＹ方向の水平移動とが継続され、図１７（Ｃ）の例では保持ユニット４１Ｌは上方に距離Ｌ６だけ上昇され、Ｙ方向に距離Ｌ５だけ移動され、その移動軌跡は弧状の軌跡Ｔ３となっている。保持ユニット４１Ｌの回動規制は解除された状態が継続され、その載置部４１１が徐々に水平姿勢に近づいてくる。
【０１１８】
押圧ローラ５１が貼合終端部であるパネルＰ２の搬送方向下流側の端部に到達すると、パネルＰ１とパネルＰ２との貼り合わせ作業が完了する。図１７において、線Ｍは貼り合わせ開始時における保持ユニット４１Ｌの軸４２３の位置を示している。貼り合わせが進行することに伴って、保持ユニット４１Ｌの軸４２３の位置が保持ユニット４１Ｒから離間する方向に移動していることが分る。保持ユニット４１Ｌを上昇させつつ上流側に移動させることで、パネルＰ２の撓みを小さくしてパネルＰ１に対して、パネルＰ２をぴったりと貼り付けることが可能となる。線Ｎは貼り合わせ開始時における保持ユニット４１Ｒの軸４２３の位置を示している。貼り合わせが進行しても、保持ユニット４１Ｒは移動しないことが分る。
【０１１９】
この後、規制機構４３Ｌにより保持ユニット４１Ｌの回動が規制され、その載置部４１１が水平姿勢とされる。ローラ移動機構５２により押圧ローラ５１が初期位置へ退避され、保持ユニット３１によるパネルＰ１の保持が解除される。更に保持ユニット４１Ｌ及び４１Ｒを降下させ、パネルＰ１とパネルＰ２との積層体が搬送機構２の搬送面２ａ上に載置される。その後、積層体は搬送機構２によって搬送されて一単位の処理が終了する。
【０１２０】
＜第二実施形態＞
第一実施形態では、貼り合わせの際、押圧ローラ５１をパネルＰ２の一方端部から他方端部へ移動させたが、他の移動態様も採用可能である。図１８（Ａ）〜図１８（Ｃ）はその説明図である。
【０１２１】
同図の例ではパネルＰ２の中央部を貼合始端部とし、図１８（Ａ）のように押圧ローラ５１の初期位置をパネルＰ２の中央部とする。保持ユニット４１Ｌ、４１Ｒの回動規制は共に解除した状態で貼り合わせ作業を行う。図１８（Ｂ）に示すように、押圧ローラ５１をＹ方向の一方向に移動させる。同図の例では搬送方向下流側（保持ユニット４１Ｒ側）に移動させている。パネルＰ１とパネルＰ２との間の空気は、順次、搬送方向下流側へ押し出される。押圧ローラ５１がパネルＰ２の搬送方向下流側の端部に到達するとパネルＰ２の半分の貼り合わせが完了する。
【０１２２】
続いて、図１８（Ｃ）に示すように押圧ローラ５１をＹ方向の他方向に移動させる。同図の例では搬送方向上流側（保持ユニット４１Ｌ側）に移動させている。パネルＰ１とパネルＰ２との間の空気は、順次、搬送方向上流側へ押し出される。押圧ローラ５１がパネルＰ２の搬送方向上流側の端部に到達するとパネルＰ２の貼り合わせが完了する。
【０１２３】
押圧ローラ５１をこのような移動態様で移動させた場合においても、パネルＰ２の姿勢変化に応じて、フローティング状態にある保持ユニット４１Ｌ及び４１Ｒの姿勢が変化するので、パネルＰ２をより確実に保持しつつ気泡の混入を防止することができる。
【０１２４】
次に、第一実施形態では１つの押圧ローラ５１によりパネルＰ１とパネルＰ２との貼り合わせを行ったが、複数の押圧ローラ５１によりパネルＰ１とパネルＰ２との貼り合わせを行ってもよい。図１９（Ａ）はその一例を示す。同図の例は、図１８の例と同様にパネルＰ２の中央部を貼合始端部とし、かつ、押圧ローラ５１を２つとしている。２つの押圧ローラ５１はＹ方向に並設されており、互いに離間する方向に移動される。同図の例では一方の押圧ローラ５１aがＹ方向の一方向（例えば保持ユニット４１Ｒ側）に、他方の押圧ローラ５１ｂがＹ方向の他方向（例えば保持ユニット４１Ｌ側）に、それぞれ移動される。
【０１２５】
図１９（Ａ）の例の場合、貼合始端部において複数の押圧ローラ５１が同時にパネルＰ２を押圧すると、押圧ローラ５１間に気泡が混入する畏れがある。そこで、最初に一つの押圧ローラ５１でパネルＰ２を押圧し、他の押圧ローラ５１が最初に押圧する領域を事前に押圧してもよい。図２０（Ａ）〜図２０（Ｃ）はその一例を示す。
【０１２６】
まず、図２０（Ａ）に示すように押圧ローラ５１Ａだけが上昇し、パネルＰ２の貼り付け面（上面）の一部をパネルＰ１の貼り付け面（下面）に当接させる。続いて、図２０（Ｂ）に示すように、一旦、押圧ローラ５１Ａを保持ユニット４１Ｒ側に移動して押圧ローラ５１Ｂが最初に押圧する領域を貼り合わせる。このとき、保持ユニット４１Ｒへの押圧ローラ５１Ａの移動量は押圧ローラ５１Ｂが上昇してパネルＰ２の押圧を開始する位置までの距離分である。その後、図２０（Ｃ）に示すように、押圧ローラ５１Ａの移動を折り返して保持ユニット４１Ｌ側の貼合終端部まで移動する。また、押圧ローラ５１Ｂは、押圧ローラ５１Ａが保持ユニット４１Ｌ側へ移動を開始した後に上昇してパネルＰ２を押圧し、保持ユニット４１Ｒ側の貼合終端部まで移動する。パネルＰ２とパネルＰ１との当接領域は、Ｘ方向に長い帯状の領域となる。このように複数の押圧ローラ５１Ａ、５１Ｂを用いることで貼り合わせ時間を短縮でき、かつ、気泡の混入を防止できる場合がある。
【０１２７】
次に、押圧ローラ５１の移動方向は、パネルＰ２の一辺から対向する辺への方向以外であってもよい。図１９（Ｂ）はその一例を示す。同図の例は、押圧ローラ５１の移動方向を対角線方向とした例を示しており、パネルＰ２の中央部を貼合始端部とし、かつ、押圧ローラ５１を２つとしている。２つの押圧ローラ５１はパネルＰ２の対角線上を互いに離間する方向に移動される。保持ユニット４１Ｌ、４１ＲはパネルＰ２の互いに対向する隅部を保持している。
【０１２８】
この他、複数の押圧ローラをパネルＰ２の中央部の周りに放射状に配置し、各押圧ローラを放射状に移動させる構成等も採用可能である。これにより、パネルＰ１とパネルＰ２との間の空気を、順次、パネルＰ２の端縁部へ向けて押し出すことができる。このとき、パネルＰ２の中央部から各端縁部への距離はそれぞれ異なっている。よって、全ての押圧ローラが同時にパネルＰ２の端縁部に到達するように、各押圧ローラの移動速度を調整することが好ましい。また、各押圧ローラは、放射状の配置箇所に応じてそのローラ幅を調整しても良い。例えば、パネルＰ２の中央部から各角部へと移動させる押圧ローラは、パネルＰ２の中央部から各端縁部へと移動させる押圧ローラと比べて、ローラ幅を長くするようにしても良い。
【０１２９】
＜他の実施形態＞
第一実施形態では、保持ユニット４１ＬによりパネルＰ２の搬送方向上流側の端部を、保持ユニット４１ＲによりパネルＰ２の搬送方向下流側の端部をそれぞれ保持し、パネルＰ２の互いに対向する端部を保持する構成とした。これはパネルＰ２を安定して保持することを可能とする。
【０１３０】
しかし、パネルＰ２の一方端部のみを保持する構成（例えば、保持ユニット４１Ｌ又は４１Ｒのいずれか一方とする構成）も採用可能である。逆に、保持ユニットを増設してパネルＰ２の４辺全部や３辺を保持する構成も採用可能である。このパネルＰ２の４辺保持又は３辺保持は、パネルＰ２の中央部を貼合始端部とする貼り合わせ方法に対して特に好適である。
【符号の説明】
【０１３１】
Ａ  製造装置、Ｐ１  パネル、Ｐ２  パネル、３１  保持ユニット、４１Ｌ  保持ユニット、４１Ｒ  保持ユニット、４４Ｌ  昇降機構、４４Ｒ  昇降機構、５１  押圧ローラ、５２  ローラ移動機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2016092361.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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