(57)【要約】【課題】非駆動体に過度に強いブレーキが掛からないようにする。【解決手段】圧電駆動装置は、振動板と、複数の圧電素子を有する圧電振動体であって、前記振動板に配置された圧電振動体と、前記圧電振動体に設けられ、被駆動体に接触する突起部と、前記複数の圧電素子を駆動する駆動回路と、を備える。前記駆動回路は、前記被駆動体を回転させるために前記圧電振動体を屈曲させる屈曲振動と、前記被駆動体と前記突起部とが接触・非接触を繰り返すように前記圧電振動体を前記圧電振動体の長手方向に沿って振動させる縦振動と、を実行可能であり、前記被駆動体を減速するときには、減速中における前記屈曲振動に対する前記縦振動の割合が、減速前における前記屈曲振動に対する前記縦振動の割合よりも高くなるように前記複数の圧電素子を駆動する。【選択図】図６
2016082834.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の圧電素子を有する圧電振動体と、
前記圧電振動体に設けられ、被駆動体に接触する接触部と、
前記複数の圧電素子を駆動する駆動回路と、
を備え、
前記駆動回路は、
前記圧電振動体を屈曲させることにより、前記被駆動体を駆動させることが可能な屈曲振動と、
前記屈曲振動による前記圧電振動体の屈曲よりも、前記圧電振動体の屈曲が小さく、前記被駆動体と前記接触部とが接触および非接触を繰り返す縦振動と、を実行可能であり、
前記被駆動体を減速するときには、減速中における前記屈曲振動に対する前記縦振動の割合が、減速前における前記屈曲振動に対する前記縦振動の割合よりも高くなるように前記複数の圧電素子を駆動する、
圧電駆動装置。
【請求項２】
請求項１に記載の圧電駆動装置において、
前記駆動回路は、前記被駆動体を停止させる時には、前記圧電振動体を縦振動させる、圧電駆動装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の圧電駆動装置において、
前記圧電振動体は、２行×２列に配置された４個の圧電素子を有し、
前記駆動回路は、
前記４個の圧電素子のうちの第１の対角に配置された２個の圧電素子を駆動することで、前記被駆動体を第１の方向に駆動させる屈曲振動を実行し、
前記４個の圧電素子のうちの前記第１の対角とは異なる第２の対角に配置された２個の圧電素子を駆動することで、前記被駆動体を前記第１の方向と逆方向である第２の方向に駆動させる屈曲振動を実行し、
前記４個の圧電素子を駆動することで、前記縦振動を実行する、
圧電駆動装置。
【請求項４】
請求項１または２に記載の圧電駆動装置において、
前記圧電振動体は、前記圧電振動体の幅方向の中央に配置された第１の圧電素子と、前記圧電振動体の四隅に配置された４個の第２の圧電素子の計５個の圧電素子を有し、
前記駆動回路は、
前記４個の第２の圧電素子のうちの第１の対角に配置された２個の第２の圧電素子を駆動することで、前記被駆動体を第１の方向に駆動させる屈曲振動を実行し、
前記４個の第２の圧電素子のうちの前記第１の対角とは異なる第２の対角に配置された２個の第２の圧電素子を駆動することで、前記被駆動体を前記第１の方向と逆方向である第２の方向に駆動させる屈曲振動を実行し、
前記第１の圧電素子と、前記４個の第２の圧電素子と、のうちの少なくとも一方の圧電素子を駆動することで、前記縦振動を実行する、
圧電駆動装置。
【請求項５】
請求項４に記載の圧電駆動装置において、
前記駆動回路は、
前記４個の第２の圧電素子のうちの第１の対角に配置された２個の第２の圧電素子と、前記第１の圧電素子と、を駆動することで、前記被駆動体を第１の方向に駆動させる屈曲振動を実行し、
前記４個の第２の圧電素子のうちの前記第１の対角とは異なる第２の対角に配置された２個の第２の圧電素子と、前記第１の圧電素子と、を駆動することで、前記被駆動体を前記第１の方向と逆方向である第２の方向に駆動させる屈曲振動を実行する、圧電駆動装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の圧電駆動装置において、
前記被駆動体を減速または停止させる場合には、前記駆動回路は、前記被駆動体の駆動時と異なる周波数の電圧を印加して前記縦振動を実行する、圧電駆動装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の圧電駆動装置において、
前記駆動回路は、前記被駆動体の減速を始めてから所定の時間が経過した場合、あるいは、前記被駆動体の速度が所定の速度以下となった場合には、前記圧電振動体の縦振動を停止する、圧電駆動装置。
【請求項８】
複数のリンク部と
前記複数のリンク部を接続する関節部と、
前記複数のリンク部を前記関節部で回動させる請求項１〜７のいずれか一項に記載の圧電駆動装置と、
を備えるロボット。
【請求項９】
請求項８に記載のロボットの駆動方法であって
前記複数の圧電素子の少なくとも一部を駆動することで前記複数のリンク部を前記関節部で回動させ、
前記複数のリンク部の前記関節部での回動を減速するときには、減速中における前記屈曲振動に対する前記縦振動の割合が、減速前における前記屈曲振動に対する前記縦振動の割合よりも高くなるように前記複数の圧電素子を駆動する、ロボットの駆動方法。
【請求項１０】
請求項１〜７のいずれか一項に記載の圧電駆動装置の駆動方法であって、
前記被駆動体を減速するときには、減速中における前記屈曲振動に対する前記縦振動の割合が、減速前における前記屈曲振動に対する前記縦振動の割合よりも高くなるように前記複数の圧電素子を駆動する、
圧電駆動装置の駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電体を振動させて被駆動体を駆動する圧電アクチュエーター（圧電駆動装置）は、磁石やコイルが不要のため、様々な分野で利用されている（例えば特許文献１）。この圧電駆動装置の基本的な構成は、補強板の２つの面のそれぞれの上に、４つの圧電素子が２行２列に配置された構成であり、合計で８つの圧電素子が補強板の両側に設けられている。個々の圧電素子は、圧電体をそれぞれ２枚の電極で挟んだユニットであり、補強板は、圧電素子の一方の電極としても利用される。補強板の一端には、被駆動体としてのローターに接してローターを回転させるための突起部が設けられている。４つの圧電素子のうちの対角に配置された２つの圧電素子に交流電圧を印加すると、この２つの圧電素子が伸縮運動を行い、これに応じて補強板の突起部が往復運動又は楕円運動を行う。そして、この補強板の突起部の往復運動又は楕円運動に応じて、被駆動体としてのローターが所定の回転方向に回転する。また、交流電圧を印加する２つの圧電素子を他の２つの圧電素子に切り換えることによって、ローターを逆方向に回転させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−３２０９７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
圧電駆動装置への交流電圧の印加を停止すると、圧電駆動装置の振動が停止する。このとき補強板の突起部が被駆動体に接触した状態で、圧電駆動装置は振動を停止する。その結果、突起部と被駆動体との間の摩擦力によって、被駆動体に過度に強いブレーキが掛かってしまい、圧電駆動装置を用いる装置から異音が発生する場合や、圧電駆動装置を用いる装置が滑らかに動作できない場合があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
（１）本発明の一形態によれば、圧電駆動装置が提供される。この圧電駆動装置は、複数の圧電素子を有する圧電振動体と、前記圧電振動体に設けられ、被駆動体に接触する接触部と、前記複数の圧電素子を駆動する駆動回路と、を備える。前記駆動回路は、前記駆動回路は、前記圧電振動体を屈曲させることにより、前記被駆動体を駆動させることが可能な屈曲振動と、前記屈曲振動による前記圧電振動体の屈曲よりも、前記圧電振動体の屈曲が小さく、前記被駆動体と前記接触部とが接触および非接触を繰り返す縦振動と、を実行可能であり、前記被駆動体を減速するときには、減速中における前記屈曲振動に対する前記縦振動の割合が、減速前における前記屈曲振動に対する前記縦振動の割合よりも高くなるように前記複数の圧電素子を駆動する。この形態によれば、駆動回路は、被駆動体を減速させるときに屈曲振動に対する前記縦振動の割合を高くするので、減速前よりも突起部と被駆動体との間の非接触の割合が増加する。非接触の間はブレーキが掛からないので、過度に強いブレーキを掛けずに被駆動体を減速できる。
【０００７】
（２）上記形態の圧電駆動装置において、前記駆動回路は、前記被駆動体を停止させる時には、前記圧電振動体を縦振動させてもよい。この形態によれば、縦振動により、被駆動体に急ブレーキを掛けずに、被駆動体を停止できる。
【０００８】
（３）上記形態の圧電駆動装置において、前記圧電振動体は、２行×２列に配置された４個の圧電素子を有し、前記駆動回路は、前記４個の圧電素子のうちの第１の対角に配置された２個の圧電素子を駆動することで、前記被駆動体を第１の方向に駆動させる屈曲振動を実行し、前記４個の圧電素子のうちの前記第１の対角とは異なる第２の対角に配置された２個の圧電素子を駆動することで、前記被駆動体を前記第１の方向と逆方向である第２の方向に駆動させる屈曲振動を実行し、前記４個の圧電素子を駆動することで、前記縦振動を実行してもよい。この形態によれば、第１の方向の屈曲振動の横方向成分と、第２の方向の屈曲振動の横方向成分とは、向きが逆なので相殺できるが、第１の方向の屈曲振動の縦方向成分と、第２の方向の屈曲振動の縦方向成分の向きは同じなので、相殺できず、加算される。その結果、圧電振動体は、被駆動体と接触とが接触・非接触を繰り返すように縦振動を繰り返すので、急ブレーキを掛けずに被駆動体を減速、停止することが可能となる。
【０００９】
（４）上記形態の圧電駆動装置において、前記圧電振動体は、前記圧電振動体の幅方向の中央に配置された第１の圧電素子と、前記圧電振動体の四隅に配置された４個の第２の圧電素子の計５個の圧電素子を有し、前記駆動回路は、前記４個の第２の圧電素子のうちの第１の対角に配置された２個の第２の圧電素子を駆動することで、前記被駆動体を第１の方向に駆動させる屈曲振動を実行し、前記４個の第２の圧電素子のうちの前記第１の対角とは異なる第２の対角に配置された２個の第２の圧電素子を駆動することで、前記被駆動体を前記第１の方向と逆方向である第２の方向に駆動させる屈曲振動を実行し、前記第１の圧電素子と、前記４個の第２の圧電素子と、のうちの少なくとも一方の圧電素子を駆動することで、前記縦振動を実行してもよい。第１の圧電素子を駆動することで、被駆動体と接触とが接触・非接触を繰り返すように縦振動を実行できる。また、４個の第２の圧電素子を駆動することで、第１の方向の屈曲振動の横方向成分と、第２の方向の屈曲振動の横方向成分とを相殺し、第１の方向の屈曲振動の縦方向成分と、第２の方向の屈曲振動の縦方向成分とを加算することで、被駆動体と接触とが接触・非接触を繰り返すように縦振動を実行できる。この形態によれば、第１の圧電素子と、４個の第２の圧電素子と、のうちの少なくとも一方の圧電素子を駆動することで、縦振動を実行し、急ブレーキを掛けずに被駆動体を減速、停止できる。
【００１０】
（５）上記形態の圧電駆動装置において、前記駆動回路は、前記４個の第２の圧電素子のうちの第１の対角に配置された２個の第２の圧電素子と、前記第１の圧電素子と、を駆動することで、前記被駆動体を第１の方向に駆動させる屈曲振動を実行し、前記４個の第２の圧電素子のうちの前記第１の対角とは異なる第２の対角に配置された２個の第２の圧電素子と、前記第１の圧電素子と、を駆動することで、前記被駆動体を前記第１の方向と逆方向である第２の方向に駆動させる屈曲振動を実行してもよい。この形態によれば、屈曲振動を行うときに、第１の圧電素子も駆動するので、圧電駆動装置の駆動力を大きく出来る。
【００１１】
（６）上記形態の圧電駆動装置において、前記被駆動体を減速または停止させる場合には、前記駆動回路は、前記被駆動体の駆動時と異なる周波数の電圧を印加して前記縦振動を実行してもよい。この形態によれば、前記被駆動体を減速または停止させる場合には、前記駆動回路は、縦振動の周波数を、被駆動体の駆動時における周波数と異ならせるので、圧電駆動装置への交流電圧の印加を停止する場合に比べると弱いが、縦振動を被駆動体の駆動時における周波数と同じ周波数で行う場合よりも、摩擦力を上げて強いブレーキを掛けることが出来る。
【００１２】
（７）上記形態の圧電駆動装置において、前記駆動回路は、前記被駆動体の減速を始めてから所定の時間が経過した場合、あるいは、前記被駆動体の速度が所定の速度以下となった場合には、前記圧電振動体の縦振動を停止してもよい。この形態によれば、圧電駆動装置への交流電圧の印加を停止して被駆動体を停止させても、急ブレーキとなりにくい。
【００１３】
（８）本発明の一形態によれば、ロボットが提供される。このロボットは、複数のリンク部と、前記複数のリンク部を接続する関節部と、前記複数のリンク部を前記関節部で回動させる、上記形態のいずれかに記載の圧電駆動装置と、を備える。この形態によれば、圧電駆動装置をロボットの駆動に利用できる。
【００１４】
（９）本発明の一形態によれば、ロボットの駆動方法が提供される。この駆動方法は、前記複数の圧電素子の少なくとも一部を駆動することで前記複数のリンク部を前記関節部で回動させ、前記複数のリンク部の前記関節部での回動を減速するときには、減速中における前記屈曲振動に対する前記縦振動の割合が、減速前における前記屈曲振動に対する前記縦振動の割合よりも高くなるように前記複数の圧電素子を駆動する。この形態によれば、急ブレーキを掛けずに複数のリンク部の回動を減速または停止できる。
【００１５】
（１０）本発明の一形態によれば、上記形態の圧電駆動装置の駆動方法が提供される。この駆動方法は、前記被駆動体を減速するときには、減速中における前記屈曲振動に対する前記縦振動の割合が、減速前における前記屈曲振動に対する前記縦振動の割合よりも高くなるように前記複数の圧電素子を駆動する。この形態によれば、被駆動体を減速させるときに屈曲振動に対する前記縦振動の割合を高くするので、減速前よりも突起部と被駆動体との間の非接触の割合が増加する。非接触の間はブレーキが掛からないので、急ブレーキを掛けずに被駆動体を減速できる。
【００１６】
本発明は、種々の形態で実現することが可能であり、例えば、圧電駆動装置の他、圧電駆動装置の駆動方法、圧電駆動装置の製造方法、圧電駆動装置を搭載するロボット、圧電駆動装置を搭載するロボットの駆動方法、電子部品搬送装置、送液ポンプ、投薬ポンプ等、様々な形態で実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】圧電駆動装置の概略構成を示す平面図及び断面図。
【図２】振動板の平面図。
【図３】圧電駆動装置と駆動回路の電気的接続状態を示す説明図。
【図４】圧電駆動装置の屈曲振動の例を示す説明図。
【図５】圧電駆動装置の縦振動の例を示す説明図。
【図６】第１の駆動パターンの説明図。
【図７】第２の駆動パターンの説明図。
【図８】第３の駆動パターンの説明図。
【図９】屈曲振動時に３つの圧電素子を駆動する駆動パターンの説明図。
【図１０】被駆動体の減速または停止時に圧電素子の駆動周波数を変える駆動パターンの説明図。
【図１１】他の実施形態の圧電駆動装置の断面図。
【図１２】他の実施形態の圧電駆動装置の平面図。
【図１３】圧電駆動装置を利用したロボットの一例を示す説明図。
【図１４】ロボットの手首部分の説明図。
【図１５】圧電駆動装置を利用した送液ポンプの一例を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１（Ａ）は、圧電駆動装置１０の概略構成を示す平面図であり、図１（Ｂ）はそのＢ−Ｂ断面図である。圧電駆動装置１０は、振動板２００と、振動板２００の両面（第１面２１１と第２面２１２）にそれぞれ配置された２つの圧電振動体１００とを備える。圧電振動体１００は、基板１２０と、基板１２０の上に形成された第１電極１３０と、第１電極１３０の上に形成された圧電体１４０と、圧電体１４０の上に形成された第２電極１５０と、を備えている。第１電極１３０と第２電極１５０は、圧電体１４０を挟持している。２つの圧電振動体１００は、振動板２００を中心として対称に配置されている。２つの圧電振動体１００は同じ構成を有しているので、以下では特に断らない限り、振動板２００の上側にある圧電振動体１００の構成を説明する。
【００１９】
圧電振動体１００の基板１２０は、第１電極１３０と圧電体１４０と第２電極１５０を成膜プロセスで形成するための基板として使用される。また、基板１２０は機械的な振動を行う振動板としての機能も有する。基板１２０は、例えば、Ｓｉ，Ａｌ２Ｏ３，ＺｒＯ２などで形成することができる。Ｓｉ製の基板１２０として、例えば半導体製造用のＳｉウェハーを利用することが可能である。この実施形態において、基板１２０の平面形状は長方形である。基板１２０の厚みは、例えば１０μｍ以上１００μｍ以下の範囲とすることが好ましい。基板１２０の厚みを１０μｍ以上とすれば、基板１２０上の成膜処理の際に基板１２０を比較的容易に取扱うことができる。また、基板１２０の厚みを１００μｍ以下とすれば、薄膜で形成された圧電体１４０の伸縮に応じて、基板１２０を容易に振動させることができる。
【００２０】
第１電極１３０は、基板１２０上に形成された１つの連続的な導電体層として形成されている。一方、第２電極１５０は、図１（Ａ）に示すように、５つの導電体層１５０ａ〜１５０ｅ（「第２電極１５０ａ〜１５０ｅ」とも呼ぶ）に区分されている。中央にある第２電極１５０ｅは、基板１２０の幅方向の中央において、基板１２０の長手方向のほぼ全体に亘る長方形形状に形成されている。他の４つの第２電極１５０ａ，１５０ｂ，１５０ｃ，１５０ｄは、同一の平面形状を有しており、基板１２０の四隅の位置に形成されている。図１の例では、第１電極１３０と第２電極１５０は、いずれも長方形の平面形状を有している。第１電極１３０や第２電極１５０は、例えばスパッタリングによって形成される薄膜である。第１電極１３０や第２電極１５０の材料としては、例えばＡｌ（アルミニウム）や、Ｎｉ（ニッケル）、Ａｕ（金）、Ｐｔ（白金）、Ｉｒ（イリジウム）などの導電性の高い任意の材料を利用可能である。なお、第１電極１３０を１つの連続的な導電体層とする代わりに、第２電極１５０ａ〜１５０ｅと実質的に同じ平面形状を有する５つの導電体層に区分してもよい。なお、第２電極１５０ａ〜１５０ｅの間の電気的接続のための配線（又は配線層及び絶縁層）と、第１電極１３０及び第２電極１５０ａ〜１５０ｅと駆動回路との間の電気的接続のための配線（又は配線層及び絶縁層）とは、図１では図示が省略されている。
【００２１】
圧電体１４０は、第２電極１５０ａ〜１５０ｅと実質的に同じ平面形状を有する５つの圧電体層として形成されている。この代わりに、圧電体１４０を、第１電極１３０と実質的に同じ平面形状を有する１つの連続的な圧電体層として形成してもよい。第１電極１３０と圧電体１４０と第２電極１５０ａ〜１５０ｅとの積層構造によって、５つの圧電素子１１０ａ〜１１０ｅ（図１（Ａ））が構成される。
【００２２】
圧電体１４０は、例えばゾル−ゲル法やスパッタリング法によって形成される薄膜である。圧電体１４０の材料としては、ＡＢＯ３型のペロブスカイト構造を採るセラミックスなど、圧電効果を示す任意の材料を利用可能である。ＡＢＯ３型のペロブスカイト構造を採るセラミックスとしては、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、タングステン酸ナトリウム、酸化亜鉛、チタン酸バリウムストロンチウム（ＢＳＴ）、タンタル酸ストロンチウムビスマス（ＳＢＴ）、メタニオブ酸鉛、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等を用いることが可能である。またセラミック以外の圧電効果を示す材料、例えばポリフッ化ビニリデン、水晶等を用いることも可能である。圧電体１４０の厚みは、例えば５０ｎｍ（０．０５μｍ）以上２０μｍ以下の範囲とすることが好ましい。この範囲の厚みを有する圧電体１４０の薄膜は、成膜プロセスを利用して容易に形成することができる。圧電体１４０の厚みを０．０５μｍ以上とすれば、圧電体１４０の伸縮に応じて十分に大きな力を発生することができる。また、圧電体１４０の厚みを２０μｍ以下とすれば、圧電駆動装置１０を十分に小型化することができる。
【００２３】
図２は、振動板２００の平面図である。振動板２００は、長方形形状の振動体部２１０と、振動体部２１０の左右の長辺からそれぞれ３本ずつ延びる接続部２２０とを有しており、また、左右の３本の接続部２２０にそれぞれ接続された２つの取付部２３０を有している。なお、図２では、図示の便宜上、振動体部２１０にハッチングを付している。取付部２３０は、ネジ２４０によって他の部材に圧電駆動装置１０を取り付けるために用いられる。振動板２００は、例えば、ステンレス鋼、アルミニウム、アルミニウム合金、チタン、チタン合金、銅、銅合金、鉄−ニッケル合金などの金属材料で形成することが可能である。
【００２４】
振動体部２１０の上面（第１面）及び下面（第２面）には、圧電振動体１００（図１）がそれぞれ接着剤を用いて接着される。振動体部２１０の長さＬと幅Ｗの比は、Ｌ：Ｗ＝約７：２とすることが好ましい。この比は、振動体部２１０がその平面に沿って左右に屈曲する超音波振動（後述）を行うために好ましい値である。振動体部２１０の長さＬは、例えば３．５ｍｍ以上３０ｍｍ以下の範囲とすることができ、幅Ｗは、例えば１ｍｍ以上８ｍｍ以下の範囲とすることができる。なお、振動体部２１０が超音波振動を行うために、長さＬは５０ｍｍ以下とすることが好ましい。振動体部２１０の厚み（振動板２００の厚み）は、例えば５０μｍ以上７００μｍ以下の範囲とすることができる。振動体部２１０の厚みを５０μｍ以上とすれば、圧電振動体１００を支持するために十分な剛性を有するものとなる。また、振動体部２１０の厚みを７００μｍ以下とすれば、圧電振動体１００の変形に応じて十分に大きな変形を発生することができる。
【００２５】
振動板２００の一方の短辺には、突起部２０（「接触部」又は「作用部」とも呼ぶ）が設けられている。突起部２０は、被駆動体と接触して、被駆動体に力を与えるための部材である。突起部２０は、セラミックス（例えばＡｌ２Ｏ３）などの耐久性がある材料で形成することが好ましい。
【００２６】
図３は、圧電駆動装置１０と駆動回路３００の電気的接続状態を示す説明図である。５つの第２電極１５０ａ〜１５０ｅのうちで、第１の対角にある一対の第２電極１５０ａ，１５０ｄが配線１５１を介して互いに電気的に接続され、他の第２の対角の一対の第２電極１５０ｂ，１５０ｃも配線１５２を介して互いに電気的に接続されている。これらの配線１５１，１５２は成膜処理によって形成しても良く、或いは、ワイヤ状の配線によって実現してもよい。図３の右側にある３つの第２電極１５０ｂ，１５０ｅ，１５０ｄと、第１電極１３０（図１）は、配線３１０，３１２，３１４，３２０を介して駆動回路３００に電気的に接続されている。駆動回路３００は、一対の第２電極１５０ａ，１５０ｄと第１電極１３０との間に周期的に変化する交流電圧又は脈流電圧を印加することにより、圧電駆動装置１０を超音波振動させて、突起部２０に接触するローター（被駆動体）を所定の回転方向に回転させることが可能である。ここで、「脈流電圧」とは、交流電圧にＤＣオフセットを付加した電圧を意味し、その電圧（電界）の向きは、一方の電極から他方の電極に向かう一方向である。また、他の一対の第２電極１５０ｂ，１５０ｃと第１電極１３０との間に交流電圧又は脈流電圧を印加することにより、突起部２０に接触するローターを逆方向に回転させることが可能である。このような電圧の印加は、振動板２００の両面に設けられた２つの圧電振動体１００に同時に行われる。なお、図３に示した配線１５１，１５２，３１０，３１２，３１４，３２０を構成する配線（又は配線層及び絶縁層）は、図１では図示が省略されている。
【００２７】
図４は、圧電駆動装置１０の屈曲振動の例を示す説明図である。圧電駆動装置１０の突起部２０は、被駆動体としてのローター５０の外周に接触している。図４に示す例では、駆動回路３００（図３）は、第１の対角に配置された一対の第２電極１５０ａ，１５０ｄと第１電極１３０との間に交流電圧又は脈流電圧を印加しており、圧電素子１１０ａ，１１０ｄは図４の矢印ｘの方向に伸縮する。これに応じて、圧電駆動装置１０の振動体部２１０は、図４（Ａ）に示す蛇行していないまっすぐな形状と、図４（Ｂ）に示す振動体部２１０の平面内で屈曲して蛇行形状（Ｓ字形状）に交互に変形し、突起部２０の先端が矢印ｙの向きに往復運動するか、又は、楕円運動する。その結果、ローター５０は、その中心５１の周りに第１の方向ｚ（図４では時計回り方向）に回転する。本実施形態では、振動体部２１０は、図４（Ａ）に示すような蛇行していないまっすぐな形状と、図４（Ｂ）に示すような振動体部２１０の平面内で屈曲して蛇行形状（Ｓ字形状）と、に交互に変形することを屈曲振動と呼ぶ。図２で説明した振動板２００の３つの接続部２２０（図２）は、このような振動体部２１０の振動の節（ふし）の位置に設けられている。なお、駆動回路３００が、第１の対角とは異なる第２の対角に配置された他の一対の第２電極１５０ｂ，１５０ｃと第１電極１３０との間に交流電圧又は脈流電圧を印加する場合には、ローター５０は逆方向（第２の方向あるいは、反時計回り方向）に回転する。なお、屈曲振動では、時計回り時に駆動される２つの圧電素子１１０ａ，１１０ｄは、振動体部２１０（あるいは圧電振動体１００）の中心２１１に対して点対称位置にあり、反時計回り時に駆動される２つの圧電素子１１０ｂ，１１０ｃは、振動体部２１０（あるいは圧電振動体１００）の中心２１１に対して点対称位置にある。中央の第２電極１５０ｅに、一対の第２電極１５０ａ，１５０ｄ（又は他の一対の第２電極１５０ｂ，１５０ｃ）と同じ電圧を印加すれば、圧電駆動装置１０が長手方向に伸縮するので、突起部２０からローター５０に与える力をより大きくすることが可能である。なお、駆動回路３００が屈曲振動時に駆動する圧電素子は、点対称位置になくてもよく、例えば、中心２１１に対して偏った位置にあっても良い。なお、圧電駆動装置１０（又は圧電振動体１００）のこのような動作については、上記先行技術文献１（特開２００４−３２０９７９号公報、又は、対応する米国特許第７２２４１０２号）に記載されており、その開示内容は参照により組み込まれる。
【００２８】
図５は、圧電駆動装置１０の縦振動の例を示す説明図である。本実施形態では、振動体部２１０が、振動体部２１０の平面内で伸びた形状（図５（Ａ））と縮んだ形状（図５（Ｂ））とに交互に変形することを縦振動と呼ぶ。図５（Ａ）に示すような振動体部２１０が振動体部２１０の平面内で伸びた形状においては、振動板２００の長さはＬ１であり、突起部２０は、被駆動体５０に接触する。被駆動体５０は、被駆動体の中心５１方向（被駆動体の外周の法線方向）の力Ｎを受ける。この力Ｎにより生じる被駆動体５０と突起部２０との間の摩擦力により、被駆動体５０の回転は減速し、あるいは停止する。一方、図５（Ｂ）に示すような振動体部２１０が振動体部２１０の平面内で縮んだ形状においては、振動板２００の長さはＬ２（Ｌ２＜Ｌ１）であり、突起部２０は、被駆動体５０から離間する。突起部２０は、被駆動体５０から離間している間は、被駆動体５０と突起部２０との間に摩擦力が生じないので、被駆動体５０は、慣性により運動状態を持続する。縦振動では、突起部２０は、被駆動体５０への接触・非接触を繰り返す。その結果、急ブレーキではなく、ゆっくりとしたブレーキで、被駆動体５０の回転を減速または停止できる。
【００２９】
縦振動は、５つの圧電素子１１０ａ〜１１０ｅを、以下に示す３つの駆動パターンのいずれかで駆動することにより、実現可能である。なお、圧電素子１１０ｅを「第１の圧電素子」、圧電素子１１０ａ〜１１０ｄを「第２の圧電素子」とも呼ぶ。
（１）第１の駆動パターン
第１の圧電素子１１０ｅを除いた４つの圧電素子１１０ａ〜１１０ｄを駆動する。
（２）第２の駆動パターン
５つの圧電素子１１０ａ〜１１０ｅを駆動する。
（３）第３の駆動パターン
圧電素子１１０ｅのみを駆動する。
上記各縦振動の駆動パターンでは、同時に駆動される圧電素子は、突起部２０を通り圧電振動体の長手方向に伸びる中心線２０２に対して線対称に配置されている圧電素子である。
【００３０】
＜縦振動の第１の駆動パターン＞
図６は、第１の駆動パターンの説明図である。ここでは、被駆動体５０を時計回りに回転させ、その後、被駆動体５０の回転を停止させ、さらに、被駆動体５０を反時計回りに回転させる場合を例にとって説明する。なお、被駆動体５０を時計回りに回転させるとき、あるいは、反時計回りに回転させるときに、被駆動体５０の回転を減速させることを行う。
【００３１】
時刻ｔ０〜ｔ１までの間：
駆動回路３００は、２つの圧電素子１１０ａと１１０ｄを駆動する。図４で説明したように、振動体部２１０は、屈曲振動し、被駆動体５０を時計回りに回転させる。
【００３２】
時刻ｔ１〜ｔ２までの間：
駆動回路３００は、さらに２つの圧電素子１００ｂと１００ｃを駆動し、合計４つの圧電素子１１０ａ〜１１０ｄを駆動する第１の駆動パターンを実行する。２つの圧電素子１１０ａと１１０ｄは、被駆動体５０を時計回りに回転させようとする第１の屈曲運動を行い、２つの圧電素子１１０ｂと１１０ｃは、被駆動体５０を反時計回りに回転させようとする第２の屈曲運動を行う。第１の屈曲運動の振動体部２１０の長手方向と交わる方向の成分（「横振動の成分」とも呼ぶ。）と、第２の屈曲運動の振動体部２１０の長手方向と交わる方向の成分とは、相殺され、振動体部２１０の長手方向に沿った成分（「縦振動の成分」とも呼ぶ。）が加算される。その結果、減速前における接触部２０の屈曲振動に対する接触部２０の縦振動の割合よりも、減速中における屈曲振動に対する縦振動の割合が高くなる。図５で説明したように、振動体部２１０は縦振動し、突起部２０は被駆動体５０に間欠的に接触する。被駆動体５０の回転は、ゆっくりと減速する。
【００３３】
時刻ｔ２〜ｔ３までの間、時刻ｔ４〜ｔ５までの間：
駆動回路３００は、２つの圧電素子１００ｂと１００ｃの駆動を停止し、時刻ｔ０〜ｔ１までと同様に、２つの圧電素子１１０ａと１１０ｄを駆動する。振動体部２１０は、屈曲振動し、被駆動体５０を時計回りに回転させる。
【００３４】
時刻ｔ３〜ｔ４までの間、時刻ｔ５〜ｔ６までの間：
駆動回路３００は、時刻ｔ１〜ｔ２までの間と同様にさらに２つの圧電素子１００ｂと１００ｃを駆動し、合計４つの圧電素子１１０ａ〜１１０ｄを駆動する第１の駆動パターンを実行する。図５で説明したように、振動体部２１０は縦振動し、突起部２０は被駆動体５０に間欠的に接触し、被駆動体５０の回転は、ゆっくりと減速する。なお、時刻ｔ６に至ると、被駆動体５０は、回転を停止する。
【００３５】
時刻ｔ６〜ｔ７までの間：
駆動回路３００は、圧電素子１１０ａ〜１１０ｄの駆動を停止する。振動体部２１０は、突起部２０が被駆動体５０に接触した状態で動作を停止し、屈曲振動も縦振動も行わない。被駆動体５０が回転している最中に圧電素子の駆動が停止されれば、振動体部２１０は、突起部２０が被駆動体５０に接触した状態で動作を停止するので、被駆動体５０に急ブレーキが掛かる。しかし、被駆動体５０が回転を停止した後に圧電素子の駆動が停止されても、被駆動体５０に急ブレーキが掛かることは無い。なお、非駆動体５０が停止する前であっても、被駆動体５０の減速を始めてから所定時間経過した場合や、被駆動体の回転速度が予め定められた速度以下となった場合には、駆動回路３００は、圧電素子の駆動を停止してもよい。被駆動体５０の減速を始めてから所定時間経過すれば、被駆動体の回転速度は、低くなる。被駆動体の回転速度が予め定められた速度以下であれば、圧電素子の駆動を停止して大きなブレーキ力を掛けても、停止状態との速度差が小さいので、異音が発生し難く、動作も比較的滑らかである。
【００３６】
時刻ｔ７〜ｔ８までの間、時刻ｔ９〜ｔ１０までの間、時刻ｔ１１〜ｔ１２までの間：
駆動回路３００は、２つの圧電素子１１０ｂと１１０ｃを駆動する。振動体部２１０は、屈曲振動し、被駆動体５０を反時計回りに回転させる。
【００３７】
時刻ｔ８〜ｔ９までの間、時刻ｔ１０〜ｔ１１までの間、時刻ｔ１２〜ｔ１３までの間：
駆動回路３００は、さらに２つの圧電素子１００ａと１００ｄを駆動し、合計４つの圧電素子１１０ａ〜１１０ｄを駆動する。振動体部２１０は、縦振動し、被駆動体５０の回転をゆっくりと減速させる。なお、時刻ｔ１３に至ると、被駆動体５０は、回転を停止する。
【００３８】
＜縦振動の第２の駆動パターン＞
図７は、第２の駆動パターンの説明図である。時刻ｔ０〜ｔ１までの間、時刻ｔ２〜ｔ３までの間、時刻ｔ４〜ｔ５までの間の動作は、第１の駆動パターンで説明した動作と同一であるので、説明を省略する。
【００３９】
時刻ｔ１〜ｔ２までの間、時刻ｔ３〜ｔ４までの間、時刻ｔ５〜ｔ６までの間：
駆動回路３００は、さらに３つの圧電素子１００ｂと１００ｃと１００ｅとを駆動し、合計５つの圧電素子１１０ａ〜１１０ｅを駆動する第２の駆動パターンを実行する。図５で説明したように、振動体部２１０は縦振動し、突起部２０は被駆動体５０に間欠的に接触し、被駆動体５０の回転は、ゆっくりと減速する。なお、時刻ｔ６に至ると、被駆動体５０は、回転を停止する。第１の駆動パターンと比較すると、圧電素子１００ｅの縦振動が加わるため、縦振動の割合がさらに大きくなる。そのため、突起部２０が被駆動体５０に接触したときに力Ｎの大きさが大きくなり、摩擦力も大きくなる。その結果、圧電素子の駆動を停止した場合よりは弱いが、第１の駆動パターンよりも強いブレーキを掛けることができる。
【００４０】
時刻ｔ６〜ｔ７までの間：
駆動回路３００は、圧電素子１１０ａ〜１１０ｅの駆動を停止する。振動体部２１０は、突起部２０が被駆動体５０に接触した状態で動作を停止し、屈曲振動も縦振動も行わない。被駆動体５０が回転している最中に圧電素子の駆動が停止されれば、振動体部２１０は、突起部２０が被駆動体５０に接触した状態で動作を停止するので、被駆動体５０に急ブレーキが掛かる。しかし、被駆動体５０が回転を停止した後に圧電素子の駆動が停止されても、被駆動体５０に急ブレーキが掛かることは無い。
【００４１】
時刻ｔ７以降の動作は、被駆動体５０の回転方向が逆になるだけで、時刻ｔ０〜ｔ６までの動作と同じであるので、説明を省略する。
【００４２】
＜縦振動の第３の駆動パターン＞
図８は、第３の駆動パターンの説明図である。時刻ｔ０〜ｔ１までの間、時刻ｔ２〜ｔ３までの間、時刻ｔ４〜ｔ５までの間の動作は、第１の駆動パターンで説明した動作と同一であるので、説明を省略する。
【００４３】
時刻ｔ１〜ｔ２までの間、時刻ｔ３〜ｔ４までの間、時刻ｔ５〜ｔ６までの間：
駆動回路３００は、２つの圧電素子１００ａと１００ｄの駆動を停止し、代わりに圧電素子１００ｅのみを駆動する第３の駆動パターンを実行する。図５で説明したように、振動体部２１０は縦振動し、突起部２０は被駆動体５０に間欠的に接触し、被駆動体５０の回転は、ゆっくりと減速する。なお、時刻ｔ６に至ると、被駆動体５０は、回転を停止する。第１の駆動パターンと比較すると、縦振動の振幅の時に駆動される圧電体は１００ｅの１つだけであり、縦振動の振幅が小さくなる。そのため、突起部２０が被駆動体５０に接触したときに力Ｎの大きさが小さくなり、摩擦力も小さくなる。その結果、ブレーキ力は第１の駆動パターンよりもさらに弱くなり、さらにゆっくりとしたブレーキを掛けることができる。なお、被駆動体５０を減速、または停止させようとする場合、第３の駆動パターンでは、屈曲振動が無くなるので、屈曲振動に対する縦振動の比率は、高くなる。
【００４４】
時刻ｔ７以降の動作は、被駆動体の回転方向が逆になるだけで、時刻ｔ０〜ｔ６までの動作と同じであるので、説明を省略する。
【００４５】
以上、本実施形態によれば、被駆動体５０を減速あるいは停止させる場合において、駆動回路は、縦振動の第１の駆動パターン〜第３の駆動パターンの１つを行うことにより、屈曲振動に対する前記縦振動の割合を高くして、減速前よりも接触部２０と被駆動体５０との間の非接触の割合を増加させる。接触部２０と被駆動体５０とが非接触の間は被駆動体５０にブレーキが掛からないので、急ブレーキを掛けずにゆっくりと被駆動体５０を減速または停止できる。
【００４６】
上記第１の駆動パターン〜第３の駆動パターンは、１つの減速期間において、タイミングにより使い分けても良い。一例をあげれば、時刻ｔ１からｔ２の間の前半を第１の駆動パターンで駆動し、後半を第３の駆動パターンで駆動しても良い。
【００４７】
図９は、屈曲振動時に３つの圧電素子を駆動する駆動パターンの説明図である。図９の動作は、時刻ｔ２〜ｔ３の間と、時刻ｔ９〜ｔ１０の間を除き、図７の動作と同じである。また時刻ｔ２〜ｔ３の間と、時刻ｔ９〜ｔ１０の間の動作は、回転方向が逆である点を除き同じ動作なので、時刻ｔ２〜ｔ３の間の動作についてのみ説明する。
【００４８】
時刻ｔ２〜ｔ３の間では、図７に示す実施形態では、駆動回路３００は、圧電素子１００ａ、１００ｄのみを駆動する。これに対し、図９に示す実施形態では、駆動回路３００は、圧電素子１００ａ、１００ｄに加え、圧電素子１００ｅも駆動する。屈曲振動は、縦振動と横振動とを含んでいる。図９に示す実施形態では、圧電素子１００ａ、１００ｄにより生じる屈曲振動（縦振動＋横振動）に圧電素子１００ｅの縦振動が加わるので、全体として屈曲振動の大きさを大きくできる。その結果、圧電駆動装置１０の駆動力を大きく出来る。
【００４９】
図１０は、被駆動体の減速または停止時に圧電素子の駆動周波数を変える駆動パターンの説明図である。駆動回路３００は、圧電振動体１００の共振周波数と同じ周波数の交流電圧または脈流電圧を印加する。こうすることで、圧電振動体１００を滑らかに屈曲振動又は縦振動させることができる。本実施形態では、被駆動体の減速または停止させようとする場合に、縦振動の駆動周波数を、共振周波数より高くする（図１０（Ａ））または、低くする（図１０（Ｂ））。こうすることで、共振周波数で縦振動させるよりも、縦振動がギクシャクし、接触部２０が被駆動体５０に強く接触する。その結果、圧電駆動装置１０への電圧の印加を停止する場合に比べると弱いが、縦振動を共振周波数で行う場合よりも、強いブレーキを掛けることが出来る。
【００５０】
・圧電駆動装置の他の実施形態：
図１１は、本発明の他の実施形態としての圧電駆動装置１０ａの断面図であり、第１実施形態の図１（Ｂ）に対応する図である。この圧電駆動装置１０ａでは、圧電振動体１００が、図１（Ｂ）とは上下を逆にした状態で振動板２００に配置されている。すなわち、ここでは、第２電極１５０が振動板２００に近く、基板１２０が振動板２００から最も遠くなるように配置されている。なお、図１１においても、図１（Ｂ）と同様に、第２電極１５０ａ〜１５０ｅの間の電気的接続のための配線（又は配線層及び絶縁層）と、第１電極１３０及び第２電極１５０ａ〜１５０ｅと駆動回路との間の電気的接続のための配線（又は配線層及び絶縁層）とは、図示が省略されている。この圧電駆動装置１０ａも、第１実施形態と同様な効果を達成することができる。
【００５１】
図１２（Ａ）は、本発明の更に他の実施形態としての圧電駆動装置１０ｂの平面図であり、第１実施形態の図１（Ａ）に対応する図である。図１２（Ａ）、（Ｂ）では、図示の便宜上、振動板２００の接続部２２０や取付部２３０は図示が省略されている。図１２（Ａ）の圧電駆動装置１０ｂでは、２組の一対の第２電極１５０ｂ，１５０ｃが省略されている。この圧電駆動装置１０ｂも、図４に示すような１つの方向ｚにローター５０を回転させることが可能である。本実施形態では、被駆動体５０を減速あるいは停止させる場合には、圧電素子１００ｅのみ駆動すればよい。
【００５２】
図１２（Ｂ）は、本発明の更に他の実施形態としての圧電駆動装置１０ｃの平面図である。この圧電駆動装置１０ｃでは、図１（Ａ）の中央の第２電極１５０ｅが省略されており、他の４つの第２電極１５０ａ，１５０ｂ，１５０ｃ，１５０ｄが２行×２列に配置され、図１（Ａ）よりも大きな面積に形成されている。この圧電駆動装置１０ｃも、第１実施形態とほぼ同様な効果を達成することができる。本実施形態では、被駆動体５０を減速あるいは停止させる場合には、圧電素子１００ａ〜１００ｄを駆動すればよい。
【００５３】
・圧電駆動装置を用いた装置の実施形態：
上述した圧電駆動装置１０は、共振を利用することで被駆動体に対して大きな力を与えることができるものであり、各種の装置に適用可能である。圧電駆動装置１０は、例えば、ロボット、電子部品搬送装置（ＩＣハンドラー）、投薬用ポンプ、時計のカレンダー送り装置、印刷装置（例えば紙送り機構。ただし、ヘッドに利用される圧電駆動装置では、振動板を共振させないので、ヘッドには適用不可である。）等の各種の機器における駆動装置として用いることが出来る。以下、代表的な実施の形態について説明する。
【００５４】
図１３は、上述の圧電駆動装置１０を利用したロボット２０５０の一例を示す説明図である。ロボット２０５０は、複数本のリンク部２０１２（「リンク部材」とも呼ぶ）と、それらリンク部２０１２の間を回動又は屈曲可能な状態で接続する複数の関節部２０２０とを備えたアーム２０１０（「腕部」とも呼ぶ）を有している。それぞれの関節部２０２０には、上述した圧電駆動装置１０が内蔵されており、圧電駆動装置１０を用いて関節部２０２０を任意の角度だけ回動又は屈曲させることが可能である。アーム２０１０の先端には、ロボットハンド２０００が接続されている。ロボットハンド２０００は、一対の把持部２００３を備えている。ロボットハンド２０００にも圧電駆動装置１０が内蔵されており、圧電駆動装置１０を用いて把持部２００３を開閉して物を把持することが可能である。また、ロボットハンド２０００とアーム２０１０との間にも圧電駆動装置１０が設けられており、圧電駆動装置１０を用いてロボットハンド２０００をアーム２０１０に対して回転させることも可能である。
【００５５】
図１４は、図１３に示したロボット２０５０の手首部分の説明図である。手首の関節部２０２０は、手首回動部２０２２を挟持しており、手首回動部２０２２に手首のリンク部２０１２が、手首回動部２０２２の中心軸Ｏ周りに回動可能に取り付けられている。手首回動部２０２２は、圧電駆動装置１０を備えており、圧電駆動装置１０は、手首のリンク部２０１２及びロボットハンド２０００を中心軸Ｏ周りに回動させる。ロボットハンド２０００には、複数の把持部２００３が立設されている。把持部２００３の基端部はロボットハンド２０００内で移動可能となっており、この把持部２００３の根元の部分に圧電駆動装置１０が搭載されている。このため、圧電駆動装置１０を動作させることで、把持部２００３を移動させて対象物を把持することができる。
【００５６】
なお、ロボットとしては、単腕のロボットに限らず、腕の数が２以上の多腕ロボットにも圧電駆動装置１０を適用可能である。ここで、手首の関節部２０２０やロボットハンド２０００の内部には、圧電駆動装置１０の他に、力覚センサーやジャイロセンサー等の各種装置に電力を供給する電力線や、信号を伝達する信号線等が含まれ、非常に多くの配線が必要になる。従って、関節部２０２０やロボットハンド２０００の内部に配線を配置することは非常に困難だった。しかしながら、上述した実施形態の圧電駆動装置１０は、通常の電動モーターや、従来の圧電駆動装置よりも駆動電流を小さくできるので、関節部２０２０（特に、アーム２０１０の先端の関節部）やロボットハンド２０００のような小さな空間でも配線を配置することが可能になる。
【００５７】
図１５は、上述の圧電駆動装置１０を利用した送液ポンプ２２００の一例を示す説明図である。送液ポンプ２２００は、ケース２２３０内に、リザーバー２２１１と、チューブ２２１２と、圧電駆動装置１０と、ローター２２２２と、減速伝達機構２２２３と、カム２２０２と、複数のフィンガー２２１３、２２１４、２２１５、２２１６、２２１７、２２１８、２２１９と、が設けられている。リザーバー２２１１は、輸送対象である液体を収容するための収容部である。チューブ２２１２は、リザーバー２２１１から送り出される液体を輸送するための管である。圧電駆動装置１０の突起部２０は、ローター２２２２の側面に押し付けた状態で設けられており、圧電駆動装置１０がローター２２２２を回転駆動する。ローター２２２２の回転力は減速伝達機構２２２３を介してカム２２０２に伝達される。フィンガー２２１３から２２１９はチューブ２２１２を閉塞させるための部材である。カム２２０２が回転すると、カム２２０２の突起部２２０２Ａによってフィンガー２２１３から２２１９が順番に放射方向外側に押される。フィンガー２２１３から２２１９は、輸送方向上流側（リザーバー２２１１側）から順にチューブ２２１２を閉塞する。これにより、チューブ２２１２内の液体が順に下流側に輸送される。こうすれば、極く僅かな量を精度良く送液可能で、しかも小型な送液ポンプ２２００を実現することができる。なお、各部材の配置は図示されたものには限られない。また、フィンガーなどの部材を備えず、ローター２２２２に設けられたボールなどがチューブ２２１２を閉塞する構成であってもよい。上記のような送液ポンプ２２００は、インシュリンなどの薬液を人体に投与する投薬装置などに活用できる。ここで、上述した実施形態の圧電駆動装置１０を用いることにより、従来の圧電駆動装置よりも駆動電流が小さくなるので、投薬装置の消費電力を抑制することができる。従って、投薬装置を電池駆動する場合は、特に有効である。
【００５８】
・変形例：
なお、この発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。
【００５９】
・変形例１：
上記実施形態では、基板１２０の上に第１電極１３０と圧電体１４０と第２電極１５０とが形成されていたが、基板１２０を省略して、振動板２００の上に第１電極１３０と圧電体１４０と第２電極１５０とを形成するようにしてもよい。
【００６０】
・変形例２：
上記実施形態では、振動板２００の両面にそれぞれ１つの圧電振動体１００を設けていたが、圧電振動体１００の一方を省略することも可能である。但し、振動板２００の両面にそれぞれ圧電振動体１００を設けるようにすれば、振動板２００をその平面内で屈曲した蛇行形状に変形させることがより容易である点で好ましい。
【００６１】
上記各実施形態では、圧電素子として、成膜プロセスにより形成した圧電体を用いるものを例に取り説明したが、圧電体は、バルクの圧電体であってもよい。
【００６２】
以上、いくつかの実施例に基づいて本発明の実施の形態について説明してきたが、上記した発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨並びに特許請求の範囲を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその等価物が含まれることはもちろんである。
【符号の説明】
【００６３】
１０、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ、…圧電駆動装置
１２…チューブ
２０…突起部（接触部、作用部）
５０…ローター（被駆動体）
５１…被駆動体の中心
１００…圧電振動体
１１０ａ、１１０ｂ、１１ｃ、１１０ｄ、１１０ｅ…圧電素子
１２０…基板
１２５…絶縁層
１３０…第１電極
１４０…圧電体
１５０、１５０ａ、１５０ｂ、１５０ｃ、１５０ｄ、１５０ｅ…第２電極
１５１、１５２…配線
２００…振動板
２０１…振動体部（振動板）の中心
２０２…中心線
２１０…振動体部
２２０…接続部
２３０…取付部
２４０…ネジ
３００…駆動回路
３１０、３１２、３１４、３２０…配線
２０００…ロボットハンド
２００３…把持部
２０１０…アーム
２０１２…リンク部
２０２０…関節部
２０２２…手首回動部
２０５０…ロボット
２２００…送液ポンプ
２２０２…カム
２２０２Ａ…突起部
２２１１…リザーバー
２２１２…チューブ
２２１３…フィンガー
２２２２…ローター
２２２３…減速伝達機構
２２３０…ケース
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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