(57)【要約】【課題】温度の影響を殆ど受けることなく安定して回転軸の回転によるスリーブの振動エネルギーを吸収し、製作が容易になるとともに軸受性能の数値計算が容易になる動圧気体軸受装置を提供すること。【解決手段】回転軸１１０とこの回転軸１１０の外周１１１に配設したスリーブ１２０とこのスリーブ１２０を弾性変形自在な弾性体（１４０）を介して保持するハウジング１３０とを備えて回転軸１１０を回転自在に支持する動圧気体軸受装置１００において、スリーブ１１０の外周１１１が、ハウジング１３０の内側から離間して設置され、弾性体（１４０）が、ハウジング１３０の内側で回転軸方向と直交する面内方向に張設された３本以上のワイヤ１４０であり、この３本以上のワイヤ１４０が、スリーブ１２０の外周と当接してハウジング１３０に対してスリーブ１２０を支持している動圧気体軸受装置１００。【選択図】図１
2016176485.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸と該回転軸の外周に配設したスリーブと該スリーブを弾性変形自在な弾性体を介して保持するハウジングとを備えて前記回転軸を回転自在に支持する動圧気体軸受装置において、
前記スリーブの外周が、前記ハウジングの内側から離間して設置され、
前記弾性体が、前記ハウジングの内側で前記回転軸方向と直交する面内方向に張設された３本以上のワイヤであり、該３本以上のワイヤが、前記スリーブの外周と当接してハウジングに対してスリーブを支持している動圧気体軸受装置。
【請求項２】
前記ワイヤ同士が、前記スリーブとハウジングとの間において接触している請求項１に記載の動圧気体軸受装置。
【請求項３】
前記スリーブの外周に形成されたスリーブ外周溝が、該スリーブの周方向に延設され、
前記ワイヤが、前記スリーブ外周溝と係合している請求項１または請求項２に記載の動圧気体軸受装置。
【請求項４】
前記３本以上のワイヤが、前記軸方向において異なる２箇所でそれぞれ配設されているとともに前記軸方向におけるスリーブの中心を基準とした一端側および他端側の外周とそれぞれ当接している請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載の動圧気体軸受装置。
【請求項５】
前記３本以上のワイヤが、前記軸方向から視て前記スリーブの外周で正多角形を形成している請求項１乃至請求項４のいずれか１つに記載の動圧気体軸受装置。
【請求項６】
前記ワイヤが、前記面内方向に５本以上張設されているとともに、前記ワイヤ１本におけるワイヤ同士の接触箇所の数が、４箇所である請求項１乃至請求項５のいずれか１つに記載の動圧気体軸受装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転軸を高速回転自在に支持する動圧気体軸受装置に関するものであって、特に、ターボチャージャーや高密度燃料電池用コンプレッサなどに用いられる動圧気体軸受装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、動圧気体軸受装置として、円筒状の外方部材と、この外方部材の内側に挿入された回転軸としての軸と、この軸の外周面と外方部材の内周面との間に周方向の複数箇所に配設された円弧型などのフォイルとを備え、ラジアル軸受隙間に生じた流体膜で軸を支持するとともに、フォイルの弾性変形によるダンパ機能により高速回転した軸の振動を吸収するフォイル軸受（空気動圧軸受）が知られている（例えば、特許文献１乃至特許文献３参照）。
【０００３】
また、動圧気体軸受装置として、円筒状の動圧軸受体と、この動圧軸受体の内側に挿入された回転軸としてのシャフトと、ゴムや樹脂でＯリング状に形成された弾性体を介して動圧軸受体の外周面と接触して動圧軸受体を内周側で保持するハウジングとを備え、回転するシャフトと動圧軸受体との間の気体に動圧が発生して動圧軸受体に対してシャフトを支持する動圧軸受装置が知られている（例えば、特許文献４、特許文献５参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−１２２７０８号公報（特に、図３、図４参照）
【特許文献２】特開２０１２−９２９６７号公報（特に、図３、図４参照）
【特許文献３】特開平７−１５１３９号公報（特に、図１参照）
【特許文献４】特開平７−１９２３７号公報（特に、図１参照）
【特許文献５】特開２００７−１５４７７７号公報（特に、図２０、図２２参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した従来のフォイル軸受は、軸受面のフォイルが弾性変形する構造であったため、軸受性能の数値計算が非常に複雑になるという問題や、フォイルを塑性変形させて例えば円弧状に形成するため、軸受面のフォイルを精度よく製作することが困難であり軸受特性のバラツキが大きくなってしまうという問題があった。
【０００６】
また、上述した従来の動圧軸受装置は、弾性体が温度依存性が比較的高いゴムや樹脂で形成されていたため、シャフトの回転によって生じる動圧軸受体の振動エネルギーの弾性体による吸収性が温度の影響を受けて変化して不安定になってしまうという問題があった。
【０００７】
そこで、本発明は、前述したような従来技術の問題を解決するものであって、すなわち、本発明の目的は、温度の影響を殆ど受けることなく安定して回転軸の回転によるスリーブの振動エネルギーを吸収し、製作が容易になるとともに軸受性能の数値計算が容易になる動圧気体軸受装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本請求項１に係る発明は、回転軸と該回転軸の外周に配設したスリーブと該スリーブを弾性変形自在な弾性体を介して保持するハウジングとを備えて前記回転軸を回転自在に支持する動圧気体軸受装置において、前記スリーブの外周が、前記ハウジングの内側から離間して設置され、前記弾性体が、前記ハウジングの内側で前記回転軸方向と直交する面内方向に張設された３本以上のワイヤであり、該３本以上のワイヤが、前記スリーブの外周と当接してハウジングに対してスリーブを支持していることにより、前述した課題を解決するものである。
【０００９】
本請求項２に係る発明は、請求項１に記載された動圧気体軸受装置の構成に加えて、前記ワイヤ同士が、前記スリーブとハウジングとの間において接触していることにより、前述した課題をさらに解決するものである。
【００１０】
本請求項３に係る発明は、請求項１または請求項２に記載された動圧気体軸受装置の構成に加えて、前記スリーブの外周に形成されたスリーブ外周溝が、該スリーブの周方向に延設され、前記ワイヤが、前記スリーブ外周溝と係合していることにより、前述した課題をさらに解決するものである。
【００１１】
本請求項４に係る発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載された動圧気体軸受装置の構成に加えて、前記３本以上のワイヤが、前記軸方向において異なる２箇所でそれぞれ配設されているとともに前記軸方向におけるスリーブの中心を基準とした一端側および他端側の外周とそれぞれ当接していることにより、前述した課題をさらに解決するものである。
【００１２】
本請求項５に係る発明は、請求項１乃至請求項４のいずれか１つに記載された動圧気体軸受装置の構成に加えて、前記３本以上のワイヤが、前記軸方向から視て前記スリーブの外周で正多角形を形成していることにより、前述した課題をさらに解決するものである。
【００１３】
本請求項６に係る発明は、請求項１乃至請求項５のいずれか１つに記載された動圧気体軸受装置の構成に加えて、前記ワイヤが、前記面内方向に５本以上張設されているとともに、前記ワイヤ１本におけるワイヤ同士の接触箇所の数が、４箇所であることにより、前述した課題をさらに解決するものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の動圧気体軸受装置は、回転軸とこの回転軸の外周に配設したスリーブとこのスリーブを弾性変形自在な弾性体を介して保持するハウジングとを備えていることにより、回転軸を回転自在に支持することができるばかりでなく、以下のような特有の効果を奏することができる。
【００１５】
本請求項１に係る発明の動圧気体軸受装置によれば、スリーブの外周が、ハウジングの内側から離間して設置され、弾性体が、ハウジングの内側で回転軸方向と直交する面内方向に張設された３本以上のワイヤであり、この３本以上のワイヤが、スリーブの外周と当接してハウジングに対してスリーブを支持していることにより、ゴムや樹脂などの弾性体と比べてワイヤは温度依存性が低いため、温度の影響を殆ど受けることなく安定して回転軸の回転によるスリーブの振動エネルギーを吸収することができる。
また、ワイヤの弾性変形による復元力がばね要素として作用するだけでなくワイヤとスリーブとの接触点における摩擦力が減衰要素として振動減衰力となるため、より効果的に回転軸の回転によるスリーブの振動エネルギーを吸収することができる。
さらに、ワイヤを僅かに弾性変形させた状態でスリーブと当接させるだけでスリーブが挟持されてフォイルタイプの軸受と比べて単純な構造となるため、容易に製作するとともに軸受性能を容易に数値計算することができる。
【００１６】
本請求項２に係る発明の動圧気体軸受装置によれば、請求項１に係る発明が奏する効果に加えて、ワイヤ同士が、スリーブとハウジングとの間において接触していることにより、ワイヤとスリーブとの接触点における摩擦力が減衰要素として振動減衰力となるだけでなくワイヤ同士の接触点における摩擦力も減衰要素として振動減衰力となるため、より一層効果的に回転軸の回転によるスリーブの振動エネルギーを吸収することができる。
【００１７】
本請求項３に係る発明の動圧気体軸受装置によれば、請求項１または請求項２に係る発明が奏する効果に加えて、スリーブの外周に形成されたスリーブ外周溝が、このスリーブの周方向に延設され、ワイヤが、スリーブ外周溝と係合していることにより、ワイヤの張力がスリーブに対して回転軸の軸方向への移動を規制するように作用するため、ハウジングに対する回転軸の軸方向におけるスリーブの相対的な位置を固定することができる。
【００１８】
本請求項４に係る発明の動圧気体軸受装置によれば、請求項１乃至請求項３のいずれか１つに係る発明が奏する効果に加えて、３本以上のワイヤが、軸方向において異なる２箇所でそれぞれ配設されているとともに軸方向におけるスリーブの中心を基準とした一端側および他端側の外周とそれぞれ当接していることにより、スリーブの一端側および他端側の両側がワイヤで支持されるため、回転軸の軸方向に対するスリーブの姿勢を安定させることができる。
【００１９】
本請求項５に係る発明の動圧気体軸受装置によれば、請求項１乃至請求項４のいずれか１つに係る発明が奏する効果に加えて、３本以上のワイヤが、軸方向から視てスリーブの外周で正多角形を形成していることにより、３本以上のワイヤがスリーブに対して周方向にバラツキなくそれぞれ均等に作用するため、より安定して回転軸の回転によるスリーブの振動エネルギーを吸収することができる。
【００２０】
本請求項６に係る発明の動圧気体軸受装置によれば、請求項１乃至請求項５のいずれか１つに係る発明が奏する効果に加えて、ワイヤが、面内方向に５本以上張設されているとともに、ワイヤ１本におけるワイヤ同士の接触箇所の数が、４箇所であることにより、ワイヤの張設本数が３本〜４本でワイヤ１本におけるワイヤ同士の接触箇所の数が２箇所の場合と比べてワイヤ同士の摩擦力が生ずる箇所が多いため、より一層効果的に回転軸の回転によるスリーブの振動エネルギーを吸収することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の第１実施例である動圧気体軸受機構を備えた軸回転装置を示す一部断面概略斜視図。
【図２】本発明の第１実施例である動圧気体軸受機構の分解斜視図。
【図３】本発明の第１実施例である動圧気体軸受機構の側断面図。
【図４】本発明の第１実施例である動圧気体軸受機構の平面図。
【図５】本発明の第２実施例である動圧気体軸受機構の平面図。
【図６】本発明の第３実施例である動圧気体軸受機構の平面図。
【図７】本発明の第４実施例である動圧気体軸受機構の平面図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明の動圧気体軸受装置は、スリーブの外周が、ハウジングの内側から離間して設置され、弾性体が、ハウジングの内側で回転軸方向と直交する面内方向に張設された３本以上のワイヤであり、この３本以上のワイヤが、スリーブの外周と当接してハウジングに対してスリーブを支持していることにより、温度の影響を殆ど受けることなく安定して回転軸の回転によるスリーブの振動エネルギーを吸収し、製作が容易となるものであれば、その具体的な実施態様は、如何なるものであっても構わない。
【００２３】
例えば、ワイヤは、ゴムや樹脂と比べて温度依存性が低い金属製の電線であれば如何なるものであっても構わない。
また、スリーブについて、回転軸の軸方向から視て内側が円形であれば、スリーブの外側は如何なる形状であっても構わない。
さらに、ハウジングについて、回転軸の軸方向から視て内側がスリーブの外周から離間していれば、ハウジングの内側は如何なる形状であっても構わない。
【実施例１】
【００２４】
以下に、本発明の第１実施例である動圧気体軸受装置としての動圧気体軸受機構１００を備えた軸回転装置ＡＲについて、図１乃至図４に基づいて説明する。
ここで、図１は、本発明の第１実施例である動圧気体軸受機構１００を備えた軸回転装置ＡＲを示す一部断面概略斜視図であり、図２は、本発明の第１実施例である動圧気体軸受機構１００の分解斜視図であり、図３は、本発明の第１実施例である動圧気体軸受機構１００の側断面図であり、図４は、本発明の第１実施例である動圧気体軸受機構１００の平面図である。
【００２５】
本発明の第１実施例である軸回転装置ＡＲは、図１に示すように、ベースＢＡと、タービン用気体流入口ＴＩと、タービン用気体噴射ノズルＴＮと、ラジアル軸受機構である動圧気体軸受機構１００と、上側スラスト静圧気体軸受ＵＢと、下側スラスト静圧気体軸受ＬＢとを備えている。
このうち、タービン用気体流入口ＴＩは、ベースＢＡの上側に配設され、圧縮された気体が供給されるように構成されている。
なお、本明細書では、発明の理解を容易にするために図１中の上側を上側として説明する。
また、タービン用気体噴射ノズルＴＮは、ベースＢＡの内部における回転軸１１０の周囲に複数配設され、タービン用気体流入口ＴＩに供給された圧縮気体を後述する回転軸１１０に噴射して回転軸１１０に回転力を付与するように構成されている。
【００２６】
動圧気体軸受機構１００は、ベースＢＡの内部に配設され、回転軸１１０と、スリーブ１２０と、ハウジング１３０と、弾性体としての上側ワイヤ１４０Ａおよび下側ワイヤ１４０Ｂとを有している。
このうち、スリーブ１２０は、直径約６ｍｍの回転軸１１０の外周に回転軸１１０から約４．７〜９．７μｍ離間して配設されている。
スリーブ１２０と対向する範囲の回転軸１１０の軸外周面１１１には、一例としてヘリングボーン溝１１１ａ（図２、図３参照）が形成されている。
【００２７】
また、回転軸１１０の軸外周面１１１におけるスリーブ１２０で覆われた範囲より図１中の上側には、周方向に複数のタービン用凹溝１１１ｂが形成されている。
複数のタービン用気体噴射ノズルＴＮから噴射された気体が、それぞれ複数のタービン用凹溝１１１ｂに吹き付けられることで、回転軸１１０に回転力が付与される。
そして、回転軸１１０が回転すると、回転軸１１０の軸外周面１１１とスリーブ１２０の内周面との間に動圧が発生して回転軸１１０が支持される。
なお、ヘリングボーン溝１１１ａによって動圧が発生しやすくなり、軸受剛性が生じやすくなる。
【００２８】
また、上側スラスト静圧気体軸受ＵＢは、ベースＢＡにおける回転軸１１０の上側に配設され、上側気体流入口ＵＢＩと、上側気体噴射ノズルＵＢＮとを有している。
このうち、上側気体流入口ＵＢＩは、ベースＢＡの上部外側に配設され、圧縮された気体が供給されるように構成されている。
また、上側気体噴射ノズルＵＢＮは、ベースＢＡの内部における回転軸１１０の軸上端面１１２と対向して配設され、上側気体流入口ＵＢＩに供給された圧縮気体を軸上端面１１２に噴射するように構成されている。
【００２９】
同様に、下側スラスト静圧気体軸受ＬＢは、ベースＢＡにおける回転軸１１０の下側に配設され、下側気体流入口ＬＢＩと、下側気体噴射ノズルＬＢＮとを有している。
このうち、下側気体流入口ＬＢＩは、ベースＢＡの下部外側に配設され、圧縮された気体が供給されるように構成されている。
また、下側気体噴射ノズルＬＢＮは、ベースＢＡの内部における回転軸１１０の軸下端面１１３と対向して配設され、下側気体流入口ＬＢＩに供給された圧縮気体を軸下端面１１３に噴射するように構成されている。
したがって、回転軸１１０は、非接触で軸方向に安定して支持される。
【００３０】
続いて、動圧気体軸受機構１００についてより詳しく説明する。
図２乃至図４に示すように、スリーブ１２０のスリーブ内周面１２１、スリーブ外周面１２２およびハウジング内周面１３１は、回転軸１１０の軸方向から視て円形に形成されている。
また、ハウジング内周面１３１が、スリーブ外周面１２２から離間して設置されている。
【００３１】
さらに、弾性体としてのワイヤ１４０が、ハウジング１３０の内側で回転軸方向と直交する面内方向に３本以上として上側および下側にそれぞれ６本張設されている。
そして、この６本のワイヤ１４０が、スリーブ外周面１２２と当接して僅かに弾性変形した状態でハウジング１３０に対してスリーブ１２０を支持している。
これにより、ゴムや樹脂などの弾性体と比べてワイヤ１４０は温度依存性が低く温度の影響を受けにくくなる。
また、ワイヤ１４０の変形による復元力がばね要素として作用するだけでなくワイヤ１４０とスリーブ１２０との接触点における摩擦力が減衰要素として振動減衰力となる。
さらに、ワイヤ１４０を僅かに弾性変形させた状態でスリーブ１２０と当接させるだけでスリーブ１２０が挟持されて従来のフォイルタイプの軸受と比べて単純な構造となる。
なお、張設されたワイヤ１４０の端部は、ハウジング１３０に例えば、エポキシ樹脂などで固定されている。
【００３２】
さらに、本実施例では、ワイヤ１４０同士が、スリーブ１２０とハウジング１３０との間において接触している。
これにより、ワイヤ１４０とスリーブ１２０との接触点における摩擦力が減衰要素として振動減衰力となるだけでなくワイヤ１４０同士の接触点における摩擦力も減衰要素として振動減衰力となる。
【００３３】
また、本実施例では、３本以上の例として６本のワイヤ１４０が、軸方向において異なる２箇所で上側ワイヤ１４０Ａおよび下側ワイヤ１４０Ｂとしてそれぞれ配設されているとともに軸方向におけるスリーブ１２０の中心を基準とした一端側である上側および他端側である下側のスリーブ外周面１２２とそれぞれ当接している。
これにより、スリーブ１２０の上側および下側の両側が上側ワイヤ１４０Ａおよび下側ワイヤ１４０Ｂで支持され、回転軸１１０の軸方向に対するスリーブ１２０の姿勢が安定する。
また、軸受構造の動剛性および減衰係数を測定すると、動剛性および減衰係数ともに加振周波数が増すにつれて、減少していく傾向の結果が得られた。
この測定結果から、本発明の動圧気体軸受機構１００では、回転軸１１０の回転数が高くなるにつれて、回転軸１１０の安定性が高くなることがわかる。
つまり、動圧気体軸受機構１００は、高速回転用の軸受として良い特性を有している。
【００３４】
さらに、本実施例では、スリーブ外周面１２２に形成された上側スリーブ外周溝１２２ａおよび下側スリーブ外周溝１２２ｂが、このスリーブ１２０の周方向に延設され、上側ワイヤ１４０Ａが、上側スリーブ外周溝１２２ａと係合し、下側ワイヤ１４０Ｂが、下側スリーブ外周溝１２２ｂと係合している。
これにより、上側ワイヤ１４０Ａおよび下側ワイヤ１４０Ｂの張力が、スリーブ１２０に対して回転軸１１０の軸方向への移動を規制するように作用する。
【００３５】
また、本実施例では、６本の上側ワイヤ１４０Ａおよび下側ワイヤ１４０Ｂが、軸方向から視てスリーブ１２０の外周で正六角形を形成している。
これにより、６本の上側ワイヤ１４０Ａおよび下側ワイヤ１４０Ｂがスリーブ１２０に対して周方向にバラツキなくそれぞれ均等に作用する。
【００３６】
また、本実施例では、上側ワイヤ１４０Ａおよび下側ワイヤ１４０Ｂが、面内方向に５本以上の一例としてそれぞれ６本張設されている。
さらに、ワイヤ１本におけるワイヤ１４０同士の接触箇所の数が、４箇所であるように構成されている。
これにより、例えばワイヤ１４０の張設本数が３本〜４本でワイヤ１本におけるワイヤ１４０同士の接触箇所の数が２箇所の場合と比べて、ワイヤ１４０同士の摩擦力が生ずる箇所が多くなる。
【００３７】
このようにして得られた本発明の第１実施例である動圧気体軸受装置としての動圧気体軸受機構１００は、スリーブ外周面１２２が、ハウジング１３０の内側から離間して設置され、弾性体が、ハウジング１３０の内側で回転軸方向と直交する面内方向に張設された３本以上の一例である６本の上側ワイヤ１４０Ａおよび下側ワイヤ１４０Ｂであり、この６本の上側ワイヤ１４０Ａおよび下側ワイヤ１４０Ｂが、スリーブ外周面１２２と当接してハウジング１３０に対してスリーブ１２０を支持していることにより、温度の影響を殆ど受けることなく安定して回転軸１１０の回転によるスリーブ１２０の振動エネルギーを吸収し、容易に製作するとともに軸受性能を容易に数値計算することができる。
【００３８】
さらに、上側ワイヤ１４０Ａ同士および下側ワイヤ１４０Ｂ同士が、スリーブ１２０とハウジング１３０との間において接触していることにより、より一層効果的に回転軸１１０の回転によるスリーブ１２０の振動エネルギーを吸収することができる。
【００３９】
また、スリーブ外周面１２２に形成された上側スリーブ外周溝１２２ａおよび下側スリーブ外周溝１２２ｂが、このスリーブ１２０の周方向に延設され、上側ワイヤ１４０Ａが、上側スリーブ外周溝１２２ａと係合し、下側ワイヤ１４０Ｂが、下側スリーブ外周溝１２２ｂと係合していることにより、ハウジング１３０に対する回転軸１１０の軸方向におけるスリーブ１２０の相対的な位置を固定することができる。
【００４０】
さらに、３本以上の一例として６本のワイヤ１４０が、軸方向において異なる２箇所で上側ワイヤ１４０Ａおよび下側ワイヤ１４０Ｂとしてそれぞれ配設されているとともに軸方向におけるスリーブ１２０の中心を基準とした一端側である上側および他端側である下側の外周とそれぞれ当接していることにより、回転軸１１０の軸方向に対するスリーブ１２０の姿勢を安定させることができる。
【００４１】
また、３本以上の一例として６本の上側ワイヤ１４０Ａおよび下側ワイヤ１４０Ｂが、軸方向から視てスリーブ１２０の外周で正六角形を形成していることにより、より安定して回転軸１１０の回転によるスリーブ１２０の振動エネルギーを吸収することができる。
【００４２】
さらに、上側ワイヤ１４０Ａおよび下側ワイヤ１４０Ｂが、面内方向に５本以上の一例として６本それぞれ張設されているとともに、ワイヤ１本におけるワイヤ１４０同士の接触箇所の数が、４箇所であることにより、ワイヤ１４０の張設本数が３本〜４本でワイヤ１本におけるワイヤ１４０同士の接触箇所の数が２箇所の場合と比べてより一層効果的に回転軸１１０の回転によるスリーブ１２０の振動エネルギーを吸収することができるなど、その効果は甚大である。
【実施例２】
【００４３】
続いて、本発明の第２実施例である動圧気体軸受機構２００について、図５に基づいて説明する。
ここで、図５は、本発明の第２実施例である動圧気体軸受機構２００の平面図である。
第２実施例の動圧気体軸受機構２００は、第１実施例の動圧気体軸受機構１００の上側ワイヤ１４０Ａおよび下側ワイヤ１４０Ｂの張設本数をそれぞれ３本としたものであり、多くの要素について第１実施例の動圧気体軸受機構１００と共通するので、共通する事項については詳しい説明を省略し、下２桁が共通する２００番台の符号を付すのみとする。
【００４４】
本発明の第２実施例である動圧気体軸受機構２００では、図５に示すように、上側ワイヤ２４０Ａが、ハウジング２３０の内側で回転軸方向と直交する面内方向に３本張設されている。
そして、３本の上側ワイヤ２４０Ａが、スリーブ外周面２２２と当接してハウジング２３０に対してスリーブ２２０を支持している。
同様に、下側ワイヤ２４０Ｂが、３本張設され、この３本の下側ワイヤ２４０Ｂが、スリーブ外周面２２２と当接してハウジング２３０に対してスリーブ２２０を支持している。
このように、面内方向におけるワイヤ２４０の張設本数が、３本以上であれば、ワイヤ２４０はスリーブ２２０を安定して支持することができる。
【実施例３】
【００４５】
続いて、本発明の第３実施例である動圧気体軸受機構３００について、図６に基づいて説明する。
ここで、図６は、本発明の第３実施例である動圧気体軸受機構３００の平面図である。
第３実施例の動圧気体軸受機構３００は、第１実施例の動圧気体軸受機構１００の上側ワイヤ１４０Ａおよび下側ワイヤ１４０Ｂの張設本数をそれぞれ５本として、ハウジング１３０とスリーブ１２０との間を大きくしたものであり、多くの要素について第１実施例の動圧気体軸受機構１００と共通するので、共通する事項については詳しい説明を省略し、下２桁が共通する３００番台の符号を付すのみとする。
【００４６】
本発明の第３実施例である動圧気体軸受機構３００では、図６に示すように、上側ワイヤ３４０Ａが、ハウジング３３０の内側で回転軸方向と直交する面内方向に５本張設されている。
そして、５本の上側ワイヤ３４０Ａが、スリーブ外周面３２２と当接してハウジング３３０に対してスリーブ３２０を支持している。
同様に、下側ワイヤ３４０Ｂが、５本張設され、この５本の下側ワイヤ３４０Ｂが、スリーブ外周面３２２と当接してハウジング３３０に対してスリーブ３２０を支持している。
ここで、面内方向におけるワイヤ３４０の張設本数が、５本以上であれば、ハウジング３３０とスリーブ３２０との間隔を広くすることにより、ワイヤ１本におけるワイヤ同士の接触箇所の数を、４箇所にすることが可能である。
【実施例４】
【００４７】
続いて、本発明の第４実施例である動圧気体軸受機構４００について、図７に基づいて説明する。
ここで、図７は、本発明の第４実施例である動圧気体軸受機構４００の平面図である。
第４実施例の動圧気体軸受機構４００は、第１実施例の動圧気体軸受機構１００の上側ワイヤ１４０Ａおよび下側ワイヤ１４０Ｂの張設本数をそれぞれ４本としたものであり、多くの要素について第１実施例の動圧気体軸受機構１００と共通するので、共通する事項については詳しい説明を省略し、下２桁が共通する４００番台の符号を付すのみとする。
【００４８】
本発明の第４実施例である動圧気体軸受機構４００では、図７に示すように、上側ワイヤ４４０Ａが、ハウジング４３０の内側で回転軸方向と直交する面内方向に４本張設されている。
そして、４本の上側ワイヤ４４０Ａが、スリーブ外周面４２２と当接してハウジング４３０に対してスリーブ４２０を支持している。
同様に、下側ワイヤ４４０Ｂが、４本張設され、この４本の下側ワイヤ４４０Ｂが、スリーブ外周面４２２と当接してハウジング４３０に対してスリーブ４２０を支持している。
このように、回転軸方向と直交する面内方向におけるワイヤ４４０の張設本数を、４本にしてもよい。
【符号の説明】
【００４９】
１００、  ２００、  ３００、  ４００・・・  動圧気体軸受機構（動圧気体軸受装置）
１１０、  ２１０、  ３１０、  ４１０・・・  回転軸
１１１  ・・・  軸外周面
１１１ａ・・・  ヘリングボーン溝
１１１ｂ・・・  タービン用凹溝
１１２  ・・・  軸上端面
１１３  ・・・  軸下端面
１２０、  ２２０、  ３２０、  ４２０・・・  スリーブ
１２１  ・・・  スリーブ内周面
１２２、  ２２２、  ３２２、  ４２２・・・  スリーブ外周面
１２２ａ・・・  上側スリーブ外周溝
１２２ｂ・・・  下側スリーブ外周溝
１３０、  ２３０、  ３３０、  ４３０・・・ハウジング
１３１  ・・・  ハウジング内周面
１４０、  ２４０、  ３４０、  ４４０・・・  ワイヤ
１４０Ａ、２４０Ａ、３４０Ａ、４４０Ａ・・・  上側ワイヤ
１４０Ｂ、２４０Ｂ、３４０Ｂ、４４０Ｂ・・・  下側ワイヤ
ＡＲ    ・・・  軸回転装置
ＢＡ    ・・・  ベース
ＬＢ    ・・・  下側スラスト静圧気体軸受
ＬＢＩ  ・・・  下側気体流入口
ＬＢＮ  ・・・  下側気体噴射ノズル
ＴＩ    ・・・  タービン用気体流入口
ＴＮ    ・・・  タービン用気体噴射ノズル
ＵＢ    ・・・  上側スラスト静圧気体軸受
ＵＢＩ  ・・・  上側気体流入口
ＵＢＮ  ・・・  上側気体噴射ノズル
【図１】
2016176485.tif 000003
【図２】
2016176485.tif 000004
【図３】
2016176485.tif 000005
【図４】
2016176485.tif 000006
【図５】
2016176485.tif 000007
【図６】
2016176485.tif 000008
【図７】
2016176485.tif 000009