(57)【要約】【課題】本発明は、湾曲形成し易く、且つ、湾曲形成した方向と直交する方向に歪み難い格子、格子ユニット、湾曲型格子、湾曲型格子の製造方法及びＸ線撮像装置を提供する。【解決手段】本発明の格子１０は、格子本体１と、格子本体１の厚さ方向の一方面に配設された基体２とを備える。基体２は、複数の炭素繊維２１を備えた１つの板状体を備え、複数の炭素繊維２１は、繊維方向を揃えて繊維方向と直交する方向に並べられるように配置されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
格子本体と、前記格子本体の厚さ方向の一方面に配設された基体とを備え、
前記基体は、前記厚さ方向と直交し且つ互いに直交する２方向の弾性係数が互いに異なるように形成されていることを特徴とする格子。
【請求項２】
前記格子本体は、前記格子本体の厚さ方向の他方面に、互いに平行に配列された複数の溝を備え、
前記基体は、前記溝の長手方向に沿う方向の弾性係数が前記溝の配列方向に沿う方向の弾性係数よりも大きくなるように、配置されていることを特徴とする請求項１に記載の格子。
【請求項３】
前記基体は、少なくとも１つの板状体を備え、
前記板状体は、複数の炭素繊維を備え、
前記複数の炭素繊維は、繊維方向を揃えて前記繊維方向と直交する方向に並べられるように配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の格子。
【請求項４】
前記格子本体は、前記格子本体の厚さ方向の他方面に、互いに平行に配列された複数の溝を備え、
前記基体は、前記繊維方向が前記溝の長手方向に沿うように、配置されていることを特徴とする請求項３に記載の格子。
【請求項５】
前記基体は、積層された少なくとも２つの板状体を備え、
前記２つの板状体は、互いに繊維方向が交差するように配置されていることを特徴とする請求項３に記載の格子。
【請求項６】
１つの格子面を形成するように配置された複数の格子を備えた格子ユニットであって、
前記複数の格子は、請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の格子であることを特徴とする格子ユニット。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の格子が、湾曲形成された湾曲型格子であって、
前記格子本体は、前記格子本体の厚さ方向の他方面に、互いに平行に配列された複数の溝を備え、
前記格子が、前記溝の配列方向に沿って湾曲形成されていることを特徴とする湾曲型格子。
【請求項８】
Ｘ線を放射するＸ線源と、
前記Ｘ線源から放射されたＸ線が照射されるタルボ干渉計またはタルボ・ロー干渉計と、
前記タルボ干渉計またはタルボ・ロー干渉計によるＸ線の像を撮像するＸ線撮像素子とを備え、
前記タルボ干渉計またはタルボ・ロー干渉計は、請求項１ないし請求項７のいずれか１項に記載の格子を含むこと
を特徴とするＸ線撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線撮像装置等に用いられる格子、格子ユニット、湾曲型格子及びＸ線撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
回析格子は、多数の平行な部材から成る周期構造を備えた分光素子として様々な装置の光学系に利用されており、近年では、Ｘ線撮像装置への応用も試みられている。回折格子には、回折方法で分類すると、透過型回折格子と反射型回折格子とがあり、さらに、透過型回折格子には、光を透過させる基板上に光を吸収する部材を周期的に配列した振幅型回折格子（吸収型回折格子）と、光を透過させる基板上に光の位相を変化させる部材を周期的に配列した位相型回折格子とがある。ここで、吸収とは、５０％より多くの光が回折格子によって吸収されることをいい、透過とは、５０％より多くの光が回折格子を透過することをいう。
【０００３】
近赤外線用、可視光用または紫外線用の回折格子は、近赤外線、可視光および紫外線が非常に薄い金属によって充分に吸収されることから、比較的容易に製作可能である。例えばガラス等の基板に金属が蒸着されて基板上に金属膜が形成され、該金属膜が格子にパターニングされることによって、回折格子による振幅型回折格子が作製される。可視光用の振幅型回折格子では、金属にアルミニウム（Ａｌ）が用いられる場合、アルミニウムにおける可視光（約４００ｎｍ〜約８００ｎｍ）に対する透過率が０．００１％以下であるので、金属膜は、例えば１００ｎｍ程度の厚さで充分である。
【０００４】
一方、Ｘ線は、周知の通り、一般に、物質による吸収が非常に小さく、位相変化もそれほど大きくはない。比較的良好な金（Ａｕ）でＸ線用の吸収型回折格子が製作される場合でも、金の厚さは、数十μｍ以上となる。このようにＸ線用の回折格子では、透過部材と吸収部材や位相の変化部材とを等幅で数μｍ〜数十μｍのピッチで周期構造を形成した場合、金部分の幅に対する厚さの比（アスペクト比＝厚さ／幅）は、５以上の高アスペクト比となる。
【０００５】
ところで、周期構造を構成する個々の部材が互いに平行である場合、回折格子が上述したように高アスペクト比であり、さらに、Ｘ線を放射するＸ線源が一般に点波源であるため、図２０（ａ）に示すように、回折格子の周辺領域では、Ｘ線が斜め入射してしまう。この結果、前記周辺領域では、Ｘ線は、回折格子を透過しないため、いわゆるケラレが生じてしまう。このため、点波源から放射された各光線に周期構造の各部材を沿わせるために、図２０（ｂ）に示すように、湾曲した形状で周期構造を形成した回折格子が望まれる。
【０００６】
このような湾曲した周期構造を持つ回折格子は、例えば、特許文献１に開示されている。この特許文献１に開示の回析格子は、次の製造方法から製造される。回析格子が第１支持基板と第２支持基板との間に挟み込まれ、その状態で、更に、前記回析格子、第１支持基板及び第２支持基板が凹面ステージと凸面ステージとの間に挟み込まれ、その状態で凹面ステージと凸面ステージとが固定される。これにより、凹面ステージに設けられた凹面と凸面ステージにおける凹面との対向面に設けられた凸面とによって回析格子、第１支持基板及び第２支持基板が湾曲状に保持されるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１２−１３５３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、特許文献１に用いられるような支持基板は、弾性係数が大きくなると、湾曲形成し難くなってしまう。そのため、支持基板は、湾曲形成し易い弾性係数の小さいものが使用される場合が多い。
【０００９】
しかしながら、弾性係数の小さいものでは、例えば図２１に示すように、外乱、格子１０１１を挟み込む治具１０１２の締め付け方、或いは、支持基板や格子の重力によって、湾曲形成したＸ方向と直交するＹ方向に歪む場合がある。このような歪みがあると、例えばＸ線撮像装置に使用した場合に、ケラレによるノイズが生じるおそれがある。
【００１０】
本発明は、上述の事情に鑑みて為された発明であり、その目的は、湾曲形成し易く、且つ、湾曲形成した方向と直交する方向に歪み難い格子、格子ユニット、湾曲型格子、湾曲型格子の製造方法及びＸ線撮像装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者は、種々検討した結果、上記目的は、以下の本発明により達成されることを見出した。すなわち、本発明の一態様にかかる格子は、格子本体と、前記格子本体の厚さ方向の一方面に配設された基体とを備え、前記基体は、前記厚さ方向と直交し且つ互いに直交する２方向の弾性係数が互いに異なるように形成されていることを特徴とする。
【００１２】
これによれば、格子は基体の２方向の内の弾性係数が小さい方向に沿って湾曲状に曲げ形成されれば容易に曲げ形成される。又、そのように曲げ形成された方向と直交する方向の弾性係数は曲げ形成された方向のそれよりも大きいため、格子は曲げ形成された方向と直交する方向に歪み難い。
【００１３】
又、基体が格子本体の厚さ方向の他方面に配設されているため、基体を湾曲形成する装置にセットする等、格子の取り扱いが容易になる。又、基体に複数の格子本体を張り付けることで大きな格子ユニットの形成が容易になる。
【００１４】
他の一態様では、前記格子において、前記格子本体は、前記格子本体の厚さ方向の他方面に、互いに平行に配列された複数の溝を備え、前記基体は、前記溝の長手方向に沿う方向の弾性係数が前記溝の配列方向に沿う方向の弾性係数よりも大きくなるように、配置されていることを特徴とする。
【００１５】
これによれば、格子が溝の配列方向に沿って湾曲形成される場合に、湾曲状の曲げ形成が容易になり、又、湾曲形成後は湾曲形成された方向と直交する方向に歪みにくい。
【００１６】
他の一態様では、前記格子において、前記基体は、少なくとも１つの板状体を備え、前記板状体は、複数の炭素繊維を備え、前記複数の炭素繊維は、繊維方向を揃えて前記繊維方向と直交する方向に並べられるように配置されていることを特徴とする。
【００１７】
これによれば、複数の炭素繊維からなる板状体を用いることで、基体は繊維方向の弾性係数とそれに直交する方向の弾性係数との差が大きいものになる。従って、複数の炭素繊維からなる板状体を備えた基体を使用することで、格子は湾曲状に曲げ形成されやすく、曲げ形成された方向と直交する方向には、より歪み難くなる。
【００１８】
他の一態様では、前記格子において、前記格子本体は、前記格子本体の厚さ方向の他方面に、互いに平行に配列された複数の溝を備え、前記基体は、前記繊維方向が前記溝の長手方向に沿うように、配置されていることを特徴とする。
【００１９】
これによれば、格子が溝の配列方向に沿って湾曲形成される場合に、より一層容易に曲げ形成される。又、曲げ形成された後は、曲げ形成された方向と直交する方向には、より一層歪み難くなる。
【００２０】
他の一態様では、前記格子において、前記基体は、積層された少なくとも２つの板状体を備え、前記２つの板状体は、互いに繊維方向が交差するように配置されていることを特徴とする。
【００２１】
これによれば、互いに繊維方向が交差するように積層された２つの板状体を備えた基体を使用することで、格子は湾曲状に曲げ形成され易く、曲げ形成された方向と直交する方向には、より一層、歪み難くなる。
【００２２】
本発明の一態様の格子ユニットは、１つの格子面を形成するように配置された複数の格子を備えた格子ユニットであって、前記複数の格子は、上述のいずれかの格子であることを特徴とする。
【００２３】
これによれば、格子を含む格子ユニットが提供される。そして、このような格子ユニットは、前述の格子からなるため、湾曲状の曲げ形成が容易になり、又、曲げ形成した方向と直交する方向に歪み難い。又、格子ユニットの取り扱いが容易になる。
【００２４】
本発明の一態様の湾曲型格子は、前述のいずれかの格子が、湾曲形成された湾曲型格子であって、前記格子本体は、前記格子本体の厚さ方向の他方面に、互いに平行に配列された複数の溝を備え、前記格子が、前記溝の配列方向に沿って湾曲形成されていることを特徴とする。
【００２５】
これによれば、湾曲型格子は、製造に際して湾曲状の曲げ形成が容易になり、又、湾曲形成後は湾曲形成された方向と直交する方向に歪みにくい。
【００２６】
本発明の一態様のＸ線撮像装置は、Ｘ線を放射するＸ線源と、前記Ｘ線源から放射されたＸ線が照射されるタルボ干渉計またはタルボ・ロー干渉計と、前記タルボ干渉計またはタルボ・ロー干渉計によるＸ線の像を撮像するＸ線撮像素子とを備え、前記タルボ干渉計またはタルボ・ロー干渉計は、前述の湾曲型格子を含むことを特徴とする。
【００２７】
これによれば、湾曲型格子を含むＸ線撮像装置が提供される。このようなＸ線撮像装置は、前述の湾曲型格子を含むので、製造に際して湾曲形成し易く、又、曲げ形成した方向と直交する方向に歪み難く、ケラレによって生じるノイズを低減しつつ、より大きな診断面積のＸ線撮像画像を得ることができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明にかかる格子、格子ユニット、湾曲型格子及びＸ線撮像装置は、湾曲形成し易く、且つ、湾曲形成した方向と直交する方向に歪み難い。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の第１実施形態の格子の斜視図である。
【図２】（ａ）は、図１の格子に用いられる格子本体の平面図、（ｂ）は、図２（ａ）の格子の側面図である。
【図３】図１の格子に用いられる基体を模式的に表した説明図である。
【図４】図１の格子が格子保持型により湾曲状に形成された状態の斜視図である。
【図５】図４の状態の拡大断面図である。
【図６】第１実施形態の格子を湾曲型格子に形成した際の形状線図である。
【図７】歪みがない理想モデルのモデル形状線図である。
【図８】比較例１の形状線図である。
【図９】第２実施形態の格子に用いられる格子本体の平面図、（ｂ）は、図２（ａ）の格子の側面図である。
【図１０】（ａ）は、第２実施形態の図９の格子に用いられる基体を模式的に表した説明図、（ｂ）は、基体の変形例を模式的に表した説明図である。
【図１１】第２実施形態の格子が格子保持型により湾曲状に形成された状態の斜視図である。
【図１２】（ａ）は、第２実施形態の格子を湾曲型格子に形成した際の歪みを説明する図、（ｂ）は、比較例２の歪みを説明する図である。
【図１３】第３実施形態の格子に用いられる基体を模式的に表した説明図である。
【図１４】第３実施形態の格子が格子保持型により湾曲状に形成された状態の斜視図である。
【図１５】（ａ）は、第３実施形態の格子を湾曲型格子に形成した際の歪みを説明する図、（ｂ）は、比較例３の歪みを説明する図である。
【図１６】格子ユニットの斜視図である。
【図１７】Ｘ線用タルボ干渉計の構成を示す斜視図である。
【図１８】Ｘ線用タルボ・ロー干渉計の構成を示す上面図である。
【図１９】Ｘ線撮像装置の構成を示す説明図である。
【図２０】ケラレの発生を説明するための図である。
【図２１】従来例の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、適宜、その説明を省略する。図１は、第１実施形態の格子の斜視図、図２（ａ）は、図１の格子に用いられる格子本体の平面図、図２（ｂ）は、図２（ａ）の側面図である。尚、図１、図２（ａ）（ｂ）及び図５では、説明の都合上、溝の数は一致させないで表している。以下の図９（ａ）（ｂ）において同じである。
【００３１】
（第１実施形態）
この第１実施形態の格子１０は、格子本体１と、格子本体１の厚さ方向（Ｚ方向）の一方面に配設された基体２とを備えている。各格子本体１は、矩形状の板状部材である。例えば、本実施形態では、格子１０がＸ線用に用いられることから、格子本体１は、Ｘ線を透過または吸収する特性を有する所定の材料から形成される。このように格子本体１は、格子１０の使用用途に応じて適宜な材料で形成されてよい。
【００３２】
本実施形態では、微細加工技術が略確立されていることから、格子本体１は、Ｘ線を透過する特性を有する半導体、例えばシリコン（Ｓｉ）から形成されている。
【００３３】
この格子本体１は、厚さ方向（Ｚ方向）の他方面に、格子領域１２を備えている。格子領域１２は、互いに略同じ形状の複数の部材を周期的に設けた領域である。格子領域１２は、互いに主面を対向させ所定の間隔（ピッチＰ）を空けて、互いに略並設するように配列された板状（層状）の複数の突条１３と、互いに隣接する２つの突条１３に挟まれた空間である溝（凹部）１４とを備えている。尚、Ｘ線用の回折格子では、透過部材と吸収部材や位相の変化部材とを等幅で数μｍ〜数十μｍのピッチで周期構造を形成する。
【００３４】
この格子本体１は、例えば次のように製造される。例えば直径２００ｍｍ、板状のシリコンウェハー９の一方面上に、溝形成工程によって、前述のように溝１４が形成される。
【００３５】
この実施形態の溝形成工程は、レジスト層を形成するレジスト層形成工程と、レジスト層をパターニングして前記パターニングした部分の前記レジスト層を除去するパターニング工程と、所定のエッチング法（ドライエッチング法またはウェットエッチング法）によって前記レジスト層を除去した部分に対応する格子本体１をエッチングして、溝１４に対応する所定の深さＨ１の凹部を形成するエッチング工程とを備えており、格子領域１２は、これら各工程によって形成される。
【００３６】
この格子形成工程によって、この第１実施形態の格子本体１には、溝１４の幅Ｗ１が約２．６５μｍで深さＨ１が約１３０μｍ、ピッチＰが約５．３μｍである一次元周期構造の格子領域１２が形成される。
【００３７】
したがって、本実施形態では、複数の突条１３は、格子本体１に格子領域１２が形成されていない基礎部分と一体になって形成されている。なお、エッチング工程における前記エッチング法は、凹部の側壁を略垂直に形成することができることから、ボッシュ（Ｂｏｓｃｈ）プロセスであることが好ましい。このボッシュプロセスは、公知の手法であり、ＳＦ６プラズマがリッチな状態と、Ｃ４Ｆ８プラズマがリッチな状態とを交互に繰り返すことで、側壁保護と底面エッチングとを交互に進行させるエッチング方法である。
【００３８】
この第１実施形態では、格子領域１２が形成された後、金属埋設工程によって、図２（ｂ）に示すように溝１４が金属１６で埋められている。金属埋設工程は、例えば電鋳法によって、溝１４内に金属（例えば金）１６が埋められる。この実施形態では、金属１６は、溝１４の底から１１０μｍの深さＨ２で埋設されている。
【００３９】
なお、この金属埋設工程は、電鋳法によって行われる形態のものに限らず、公知の方法によって行うことができ、適宜変更できる。又、金属埋設工程は、この例では、後述のように基体２の貼り合わせに先だって行われたが、この形態のものに限らず、基体２の貼り合わせ後に格子１０の溝１４に金属を埋設することもでき、適宜変更できる。又、金属の埋設を行わなくてもよく、適宜変更できる。
【００４０】
そして、図２（ａ）に示すように、シリコンウェハーから、１４４ｍｍ×１２６ｍｍの大きさの矩形状に切り出され、溝１４を形成していない側を研磨することで、厚さｔ１を２５０μｍに形成した格子本体１が得られる。
【００４１】
次に、基体２について、説明する。この第１実施形態の基体２は、図３に示すように、複数の炭素繊維２１からなる一枚の板状体２０からなる。板状体２０は、複数の炭素繊維２１が、繊維方向（繊維軸方向、Ｙ方向）と直交する方向（Ｘ方向）に並べるように配置されてバインダーによって固定的に接着されることにより板状に形成されている。
【００４２】
このような板状体２０は、例えばトレカＴ１７００Ｓ（商品名：東レ株式会社製）が挙げられ、トレカＴ１７００Ｓを板状体２０として使用できる。このトレカＴ１７００Ｓは、繊維方向の弾性係数が最も大きく、約１５×１０３ｋｇｆ／ｍｍ２であり、繊維方向と直交する方向の弾性係数が最も小さく、約１×１０３ｋｇｆ／ｍｍ２である。従って、繊維方向には、曲がり難いが、繊維方向と直交する方向には、繊維方向に比べて小さい力で曲がる。
【００４３】
この第１実施形態では、基体２は、トレカＴ１７００Ｓからなる厚さ１００μｍの１枚の板状体２０から構成されている。そして、この基体２は、格子本体１の厚さ方向の他方面に、基体２の繊維方向（Ｘ方向）と溝１４の長手方向とが一致するように配置され、その状態で接着剤によって貼り付けられている。
【００４４】
以上のように構成された格子１０は、例えば図４、図５に示すように湾曲形成工程によって湾曲状の湾曲型格子１０ａに形成されて、例えばＸ線用として用いられる。
【００４５】
湾曲形成工程は、図４に示すように格子１０の両端部が一対の格子保持型３１に保持されることにより格子１０が湾曲形成される。この格子保持型は、同構成を採る一対の格子保持型片３１からなる。又、各格子保持型片３１は、湾曲状の凹面３２ａを有する第１格子保持型片３２と、凹面３２ａと対向する湾曲状の凸面３３ａを有する第２格子保持型片３３とからなる。この実施形態の凹面３２ａは、曲率半径Ｒが約１．４ｍに形成されている。
【００４６】
そして、格子１０が第１格子保持型片３２の凹面３２ａと第２格子保持型片３３の凸面３３ａとの間に、格子１０の溝１４の長手方向（基体２の繊維方向）が第１格子保持型片３２の凹面３２ａの軸方向（Ｙ方向）に沿うように挟み込まれる。その状態で、第１格子保持型片３２と第２格子保持型片３３とが図示しないボルト等の固定手段で固定され、この状態で保持される。
【００４７】
上述のように湾曲状に保持された格子１０は、図５に示すように基体２の繊維方向と直交する方向（溝１４の配列方向、Ｘ方向）に沿って曲率半径が約１．４ｍで湾曲されている。
【００４８】
なお、湾曲形成工程は、一対の格子保持型３１を用いて行う形態のものに限らず、公知の方法により行うことができ、適宜変更できる。又、格子１０の湾曲は、上述の例では、格子領域１２側が凹に形成されたが、この形態のものに限らず、格子領域１２側が凸に形成されてもよく、適宜変更できる。
【００４９】
次に、以上のように湾曲状に形成された湾曲型格子１０ａの歪みについて、調べたので、以下に説明する。
【００５０】
歪みの測定は、上記第１実施形態の湾曲型格子１０ａの歪みを、パナソニック社製の３次元形状測定機ＵＡ−３Ｐを用いて行い、湾曲型格子１０ａが歪みを全く歪みを起こしていない図７に示す理想モデルのモデル形状線１８との対応する位置での差分値に基づいて、図６に示すようにＸＹＺ直交座標系にその湾曲型格子１０ａの差分形状線１７ａを表した。
【００５１】
又、比較例１の湾曲型格子１００１を作成し、比較例１の湾曲型格子１００１の歪みを、上記と同様に、パナソニック社製の３次元形状測定機ＵＡ−３Ｐを用いて行い、図７に示す理想モデルのモデル形状線１８との差分値に基づいて、図８に示すようにＸＹＺ直交座標系にその比較例１の差分形状線１０１９ａを表した。
【００５２】
この比較例１の湾曲型格子１００１は、実施例１のトレカＴ１７００Ｓから作成した基体２に代えて厚さ２００μｍのアクリル製の板状体から基体を構成し、約１．４ｍの曲率半径で湾曲形成した。このアクリル製の板状体は、弾性係数が約０．３５×１０３ｋｇｆ／ｍｍ２で異方性がない。比較例１のその他は、上記第１実施形態の湾曲型格子１０ａと同じである。
【００５３】
比較の結果は、図６に示す第１実施形態の湾曲型格子１０ａの差分形状線１７ａでは、差分値が正方向に最大で８０μｍ、負方向に最大で１０μｍであったのに対し、図８に示す比較例１の湾曲型格子１００１の差分形状線１０１９ａでは、差分値が正方向に最大で２５０μｍ、負方向に最大で２５０μｍであった。従って、第１実施形態の湾曲型格子１０ａは、比較例１の湾曲型格子１０１よりもの歪みが小さかった。
【００５４】
（第２実施形態）
次に、第２実施形態の格子１００について、図９に基づいて説明する。第２実施形態の格子１００は、先の第１実施形態と同様に、格子本体１０１と、格子本体１に貼り付けられた基体１０２とを備えている。
【００５５】
この第２実施形態の格子本体１０１は、厚さｔ２が２００μｍ、格子領域１１２の溝１１４の幅Ｗ２が約２．１５μｍで深さＨ２が約１８μｍ、ピッチＰが約４．３μｍである。
【００５６】
又、この第２実施形態の格子本体１０１の溝１１４には、先の第１実施形態のような金属１６は埋設されていない。
【００５７】
基体１０２は、図１０（ａ）に示すように上述のトレカＴ１７００Ｓからなる第１板状体１２１と、積層トレカＴ１７００Ｓからなる第２板状体１２２との２枚が積層されたものからなる。
【００５８】
第１板状体１２１は、この第２実施形態では、その繊維方向が一方向（Ｙ方向）に対する角度α１が時計方向に１５°をなすように配置されている。
【００５９】
第２板状体１２２は、その繊維方向が一方向（Ｙ方向）に対する角度α２が反時計方向に１５°をなすように第１板状体１２１に重ね合わされて貼り付けられている。これにより、基体１０２は、第１板状体１２１と第２板状体１２２とが積層された板状のものに形成されている。このように形成された第２実施形態の基体１０２は、第１方向（Ｙ方向）の弾性係数が最も大きく、その弾性係数が約８×１０３ｋｇｆ／ｍｍ２であり、第１方向と直交する第２方向（Ｘ方向）の弾性係数が最も小さく、その弾性係数が約０．６×１０３ｋｇｆ／ｍｍ２であった。
【００６０】
そして、このように形成された基体１０２は、基体１０２の弾性係数が最も大きい第１方向（Ｙ方向）が格子本体１０１の溝１１４の長手方向に沿うように、格子本体１０１に貼り付けられている。
【００６１】
又、格子１００は、図１１に示すように、その両端部が一対の格子保持型１３１、１３１に保持され、これにより、湾曲形成された湾曲型格子１００ａが形成される。
【００６２】
この第２実施形態で用いられた格子保持型１３１、１３１は、先の第１実施形態で用いた格子保持型３１、３１と略同構成を採っている。ただし、第２実施形態で用いられた格子保持型１３１、１３１は、凹面の曲率半径Ｒ１が約１．２ｍに形成されている。
【００６３】
そして、格子１００は、格子本体１０１の溝１１４の長手方向が格子保持型１３１、１３１の凹面１３２ａの軸方向に沿うように、格子保持型１３１、１３１に保持される。従って、この第２実施形態の湾曲型格子１００ａは、曲率半径が約１．２ｍの湾曲状のものである。
【００６４】
次に、以上のように湾曲状に形成された第２実施形態の湾曲型格子１００ａの歪みについて、調べたので、以下に説明する。
【００６５】
歪みの測定は、先の第１実施形態の場合と同様に、湾曲型格子１００ａの歪みを、パナソニック社製の３次元形状測定機ＵＡ−３Ｐを用いて行い、湾曲型格子１００ａが歪みを全く歪みを起こしていない理想モデルのモデル形状線との対応する位置での差分値に基づいて、図１２（ａ）に示すようにＸＹＺ直交座標系にその湾曲型格子１００ａの差分形状線１１７を表した。
【００６６】
又、比較例２の湾曲型格子１００２を作成し、比較例２の湾曲型格子１００２の歪みを、上記と同様に、パナソニック社製の３次元形状測定機ＵＡ−３Ｐを用いて行い、理想モデルのモデル形状線との差分値に基づいて、図１２（ｂ）に示すようにＸＹＺ直交座標系にその比較例２の湾曲型格子１００２の差分形状線１０１９ｂを表した。
【００６７】
この比較例２の湾曲型格子１００２は、厚さ２００μｍのアクリル製の板状体から基体を構成し、約１．２ｍの曲率半径で湾曲形成した。尚、この比較例２の基体も、弾性係数が約０．３５×１０３ｋｇｆで異方性がない。比較例２のその他は、上記第２実施形態の湾曲型格子１００ａと同じである。
【００６８】
比較の結果は、第２実施形態の湾曲型格子１００ａでは、差分値が正方向に最大で１５μｍ、負方向に最大で３μｍであったのに対し、比較例２の湾曲型格子１００２では、差分値が正方向に最大で５０μｍ、負方向に最大で２μｍであった。従って、第２実施形態の湾曲型格子１００ａの歪みが、比較例２の湾曲型格子１００２よりも小さかった。
【００６９】
なお、上記第２実施形態では、第１板状体１２１と第２板状体１２２とは、互いの繊維方向が角度をなすように重ね合わされて貼り付けられたが、この形態のものに限らず、適宜変更できる。例えば図１０（ｂ）に示すように、第１板状体１２１と第２板状体１２２とは、互いの繊維方向が一致するように重ね合わされて貼り付けられたものでもよい。
【００７０】
（第３実施形態）
次に、第３実施形態の格子２００について説明する。第３実施形態の格子２００は、図１３に示すように、先の第１実施形態と同様に、格子本体１と、格子本体１に貼り付けられた基体２０２とを備えている。格子本体１は、図２に示した先の第１実施形態のものと同構成を採っている。
【００７１】
基体２０２は、図１３に示すように、上述のトレカＴ１７００Ｓからなる第１板状体２２１〜第４板状体２２４が順次積層された４枚からなる。
【００７２】
第１板状体２２１は、この第３実施形態では、その繊維方向が一方向（Ｙ方向）に対する角度α１が時計方向に１５°をなすように配置されている。第２板状体２２２は、その繊維方向が第１方向（Ｙ方向）に対する角度α２が反時計方向に１５°をなすように第１板状体１２１に配置されている。
【００７３】
第３板状体２２３は、その繊維方向が第１板状体２２１と同じ向きになるように配置され、第４板状体２２４は、その繊維方向が第２板状体２２２と同じ向きになるように配置されている。そして、隣接する２つが互いに貼り付けられ、これにより、基体２０２は、第１板状体２２１〜第４板状体２２４が積層された板状のものに形成されている。
【００７４】
このように形成された第３実施形態の基体２０２は、第１方向（Ｙ方向）の弾性係数が最も大きく、その弾性係数が約４×１０３ｋｇｆ／ｍｍ２であり、第１方向と直交する第２方向（Ｘ方向）の弾性係数が最も小さく、その弾性係数が約２×１０３ｋｇ／ｆであった。
【００７５】
そして、このように形成された基体２０２は、基体１０２の弾性係数が最も大きい第１方向（Ｙ方向）が格子本体１の溝１４の長手方向に沿うように、格子本体１に貼り付けられている。
【００７６】
又、格子２００は、図１４に示すように格子保持型２３１，２３１に保持され、これにより、湾曲形成された湾曲型格子２００ａが形成される。
【００７７】
この第３実施形態で用いられた格子保持型２３１，２３１は、格子２００における溝１４の長手方向と直交する配列方向の両端部を保持するもので、格子保持型は、同構成を採る一対の格子保持型片２３１からなる。
【００７８】
各格子保持型片２３１は、格子２００における溝１４の長手方向と直交する配列方向の両端部を保持する保持溝２３１ａを備えている。
【００７９】
そして、各格子保持型片２３１の保持溝２３１ａに、格子２００の上記両端部のそれぞれが嵌入され、その状態で、一対の格子保持型片２３１が互いに接近する方向Ｑに押圧される。そして、この押圧状態で格子保持型片２３１同士が図示しない固定手段によって固定されている。これにより、曲率半径約１．４ｍの湾曲状の湾曲型格子２００ａが形成される。
【００８０】
次に、第３実施形態の湾曲型格子２００ａの歪みについて、以下に説明する。歪みの測定は、先の第１実施形態の場合と同様に、湾曲型格子２００ａの歪みを、パナソニック社製の３次元形状測定機ＵＡ−３Ｐを用いて行い、湾曲型格子２００ａが歪みを全く歪みを起こしていない理想モデルのモデル形状線との対応する位置での差分値に基づいて、図１５（ａ）に示すようにＸＹＺ直交座標系にその湾曲型格子２００ａの差分形状線２１７を表した。
【００８１】
又、比較例３の湾曲型格子１００３を作成し、比較例２の湾曲型格子１００３の歪みを、上記と同様に、パナソニック社製の３次元形状測定機ＵＡ−３Ｐを用いて行い、理想モデル形状との差分値に基づいて、図１５（ｂ）に示すようにＸＹＺ直交座標系にその比較例３の湾曲型格子１００３の差分形状線１０１９ｃ表した。
【００８２】
この比較例３の湾曲型格子１００３は、厚さ２００μｍのアクリル製の板状体から基体を構成し、上記第３実施形態の湾曲型格子２００ａに用いた格子保持型３ｂと同構成のものを用いて約１．４ｍの曲率半径で湾曲形成した。尚、この比較例３の基体も、弾性係数が約０．３５×１０３ｋｇｆで異方性がない。
【００８３】
比較の結果は、第３実施形態の湾曲型格子１００ｃでは、差分値が正方向に最大で１８μｍ、負方向に略０μｍであったのに対し、比較例３の湾曲型格子１００３では、差分値が正方向に最大で３０μｍ、負方向に最大で１０μｍであった。従って、第３実施形態の湾曲型格子２００ａの歪みが、比較例２の湾曲型格子１００３よりも小さかった。
【００８４】
なお、上記第３実施形態のように、基体２０２が第１板状体２２１〜第４板状体２２４の４枚から構成される場合、上記実施形態のように、繊維方向の角度が第１方向に対して第１板状体２２１から第４板状体２２４に、順に、α１、α２、α１、α２になる形態のものかぎらず、例えば第１板状体２２１から第４板状体２２４に、順に、α１、α２、α２、α１に、或いは、α１、α１、α２、α２になるようにしてもよく、適宜変更できる。又、繊維方向の角度α１と角度α２とは、互いに直交しなければよく、適宜変更できる。
【００８５】
次に、別の実施形態について説明する。
【００８６】
（第４実施形態；格子ユニット）
上述のように形成された格子１０（１００、２００）は、例えば図１６に示すようにＸ方向及びＹ方向に複数、並べられて格子ユニット１０ｄが形成されている。この格子ユニット１０ｄは、この実施形態では、全体が平板状を呈する。そして、この格子ユニット１０ｄは、湾曲形成工程によって格子ユニット１０ｄの全体が湾曲状に形成される。
【００８７】
なお、格子ユニット１０ｄは、上述の湾曲型格子１０ａ（１００ａ、２００ａ）を複数、用いて、全体が湾曲状のものに形成してもよく、適宜変更できる。
【００８８】
（第５および第６実施形態；タルボ干渉計およびタルボ・ロー干渉計）
上述の格子１を湾曲状に形成した湾曲型格子１０および格子ユニットは、一適用例として、Ｘ線用のタルボ干渉計およびタルボ・ロー干渉計に好適に用いることができる。この湾曲型格子１０ａ（１００ａ、２００ａ）および格子ユニット１０ｄを用いたＸ線用タルボ干渉計およびＸ線用タルボ・ロー干渉計について説明する。
【００８９】
図１７は、第５実施形態におけるＸ線用タルボ干渉計の構成を示す斜視図である。図１８は、第５実施形態におけるＸ線用タルボ・ロー干渉計の構成を示す上面図である。図１７および図１８も作図の都合上、湾曲型格子１０ａ（１００ａ、２００ａ）は、湾曲していない状態で図示されている。
【００９０】
第５実施形態のＸ線用タルボ干渉計３００Ａは、図１７に示すように、所定の波長のＸ線を放射するＸ線源３０１と、Ｘ線源３０１から照射されるＸ線を回折する位相型の第１回折格子３０２と、第１回折格子３０２により回折されたＸ線を回折することにより画像コントラストを形成する振幅型の第２回折格子３０３とを備え、第１および第２回折格子３０２、３０３がＸ線タルボ干渉計を構成する条件に設定される。そして、第２回折格子３０３により画像コントラストの生じたＸ線は、例えば、Ｘ線を検出するＸ線画像検出器３０５によって検出される。
【００９１】
そして、このＸ線用タルボ干渉計３００Ａでは、第１回折格子３０２および第２回折格子３０３の少なくとも一方は、前記湾曲型格子１０ａ（１００ａ、２００ａ）または格子ユニット１０ｄである。第１回折格子３０２および第２回折格子３０３の少なくとも一方を、上述の製造方法によって製造することによって、前記一方は、上述したいわゆるケラレを低減可能な、点波源による球面波に沿うように湾曲した格子となる。または、前記一方を格子ユニットで構成した場合、前記格子ユニットは、湾曲型格子１０ａ（１００ａ、２００ａ）を含むので、複数の格子を曲面に沿って配置することができ、上述したいわゆるケラレを低減しつつ、より大きな格子面を形成できる。
【００９２】
タルボ干渉計３００Ａを構成する前記条件は、次の式１および式２によって表される。式２は、第１回折格子３０２が位相型回折格子であることを前提としている。
ｌ＝λ／（ａ／（Ｌ＋Ｚ１＋Ｚ２））      ・・・（式１）
Ｚ１＝（ｍ＋１／２）×（ｄ２／λ）      ・・・（式２）
ここで、ｌは、可干渉距離であり、λは、Ｘ線の波長（通常は中心波長）であり、ａは、回折格子の回折部材にほぼ直交する方向におけるＸ線源３０１の開口径であり、Ｌは、Ｘ線源３０１から第１回折格子３０２までの距離であり、Ｚ１は、第１回折格子３０２から第２回折格子３０３までの距離であり、Ｚ２は、第２回折格子３０３からＸ線画像検出器３０５までの距離であり、ｍは、整数であり、ｄは、回折部材の周期（回折格子の周期、格子定数、隣接する回折部材の中心間距離、前記ピッチＰ）である。
【００９３】
このようなＸ線用タルボ干渉計３００Ａでは、Ｘ線源３０１から第１回折格子３０２に向けてＸ線が照射される。この照射されたＸ線は、第１回折格子３０２でタルボ効果を生じ、タルボ像を形成する。このタルボ像が第２回折格子３０３で作用を受け、モアレ縞の画像コントラストを形成する。そして、この画像コントラストがＸ線画像検出器３０５で検出される。
【００９４】
タルボ効果とは、回折格子に光が入射されると、或る距離に前記回折格子と同じ像（前記回折格子の自己像）が形成されることをいい、この或る距離をタルボ距離Ｌといい、この自己像をタルボ像という。タルボ距離Ｌは、回折格子が位相型回折格子の場合では、上記式２に表されるＺ１となる（Ｌ＝Ｚ１）。タルボ像は、Ｌの奇数倍（＝（２ｍ＋１）Ｌ、ｍは、整数）では、反転像が現れ、Ｌの偶数倍（＝２ｍＬ）では、正像が現れる。
【００９５】
ここで、Ｘ線源３０１と第１回折格子３０２との間に被検体Ｓが配置されると、前記モアレ縞は、被検体Ｓによって変調を受け、この変調量が被検体Ｓによる屈折効果によってＸ線が曲げられた角度に比例する。このため、モアレ縞を解析することによって被検体Ｓおよびその内部の構造が検出される。
【００９６】
このような図１７に示す構成のタルボ干渉計３００Ａでは、Ｘ線源３０１は、単一の点光源（点波源）であり、このような単一の点光源は、単一のスリット（単スリット）を形成した単スリット板をさらに備えることで構成することができ、Ｘ線源３０１から放射されたＸ線は、前記単スリット板の前記単スリットを通過して被写体Ｓを介して第１回折格子３０２に向けて放射される。前記スリットは、一方向に延びる細長い矩形の開口である。
【００９７】
一方、タルボ・ロー干渉計３００Ｂは、図１８に示すように、Ｘ線源３０１と、マルチスリット板３０４と、第１回折格子３０２と、第２回折格子３０３とを備える。すなわち、タルボ・ロー干渉計３００Ｂは、図１７に示すタルボ干渉計３００Ａに加えて、Ｘ線源３０１のＸ線放射側に、複数のスリットを並列に形成したマルチスリット板３０４をさらに備えて構成される。
【００９８】
このマルチスリット板３０４は、上述の製造方法によって製造された湾曲型格子１０ａ（１００ａ、２００ａ）または格子ユニット１０ｄであってよい。マルチスリット板３０４を、上述の製造方法によって製造することによって、マルチスリット板３０４は、上述したいわゆるケラレを低減可能な、点波源による球面波に沿うように湾曲した格子となる。特にマルチスリット板３０４は、第１回折格子３０２や第２回折格子３０３より、より波源に距離的に近いので、マルチスリット板３０４は、第１回折格子３０２や第２回折格子３０３より曲率半径の小さな大きく湾曲した格子となる。または、マルチスリット板２０４を格子ユニットで構成した場合、格子ユニットは、湾曲型格子１０ａ（１００ａ、２００ａ）を含むので、複数の湾曲型格子１０ａ（１００ａ、２００ａ）を曲面に沿って配置することができ、上述したいわゆるケラレを低減しつつ、より大きな格子面を形成できる。
【００９９】
そして、タルボ・ロー干渉計３００Ｂとすることによって、タルボ干渉計３００Ａよりも、被写体Ｓを介して第１回折格子３０２に向けて放射されるＸ線量が増加するので、より良好なモアレ縞が得られる。
【０１００】
次に、別の実施形態について説明する。
【０１０１】
（第７実施形態；Ｘ線撮像装置）
湾曲型格子１０ａ（１００ａ、２００ａ）および前記格子ユニット１０ｄは、種々の光学装置に利用することができるが、例えば、Ｘ線撮像装置に好適に用いることができる。特に、Ｘ線タルボ干渉計を用いたＸ線撮像装置は、Ｘ線を波として扱い、被写体を通過することによって生じるＸ線の位相シフトを検出することによって、被写体の透過画像を得る位相コントラスト法の一つであり、被写体によるＸ線吸収の大小をコントラストとした画像を得る吸収コントラスト法に較べて、約１０００倍の感度改善が見込まれ、それによってＸ線照射量が例えば１／１００〜１／１０００に軽減可能となるという利点がある。本実施形態では、前記格子ユニットを用いたＸ線タルボ干渉計を備えたＸ線撮像装置について説明する。
【０１０２】
図１９は、第６実施形態におけるＸ線撮像装置の構成を示す説明図である。図１９において、Ｘ線撮像装置４００は、Ｘ線撮像部４０１と、第２回折格子４０２と、第１回折格子４０３と、Ｘ線源４０４とを備え、さらに、本実施形態では、Ｘ線源４０４に電源を供給するＸ線電源部４０５と、Ｘ線撮像部４０１の撮像動作を制御するカメラ制御部４０６と、本Ｘ線撮像装置４００の全体動作を制御する処理部４０７と、Ｘ線電源部４０５の給電動作を制御することによってＸ線源４０４におけるＸ線の放射動作を制御するＸ線制御部４０８とを備えて構成される。
【０１０３】
Ｘ線源４０４は、Ｘ線電源部４０５から給電されることによって、Ｘ線を放射し、第１回折格子４０３へ向けてＸ線を照射する装置である。Ｘ線源４０４は、例えば、Ｘ線電源部４０５から供給された高電圧が陰極と陽極との間に印加され、陰極のフィラメントから放出された電子が陽極に衝突することによってＸ線を放射する装置である。
【０１０４】
第１回折格子４０３は、Ｘ線源４０４から放射されたＸ線によってタルボ効果を生じる透過型の回折格子である。第１回折格子４０３は、例えば、上述の前記格子ユニットである。第１回折格子４０３は、タルボ効果を生じる条件を満たすように構成されており、Ｘ線源４０４から放射されたＸ線の波長よりも充分に粗い格子、例えば、格子定数（回折格子の周期）ｄが当該Ｘ線の波長の約２０倍以上である位相型回折格子である。なお、第１回折格子４０３は、振幅型回折格子であってもよい。
【０１０５】
第２回折格子４０２は、第１回折格子４０３から略タルボ距離Ｌ離れた位置に配置され、第１回折格子４０３によって回折されたＸ線を回折する透過型の振幅型回折格子である。この第２回折格子４０２も、第１回折格子４０３と同様に、例えば、上述の前記格子ユニットである。
【０１０６】
第１回折格子４０３において、第１回折格子４０３を構成する複数の湾曲型格子１０ａ（１００ａ、２００ａ）のそれぞれは、受光面の中心を通る法線が点光源としてのＸ線源４０４の放射源を通るように、Ｘ線源４０４の前記放射源を通る仮想線を中心軸とした仮想的な円筒面に沿って配列されることが好ましく、そして、第１回折格子４０３を構成する複数の湾曲型格子１０ａ（１００ａ、２００ａ）のそれぞれは、曲率半径の中心が点光源としてのＸ線源４０４の放射源に位置するように、配列されることが好ましい。また、第２回折格子４０２において、第２回折格子４０２を構成する複数の湾曲型格子１０ａ（１００ａ、２００ａ）のそれぞれは、受光面の中心を通る法線が点光源としてのＸ線源４０４の放射源を通るように、Ｘ線源４０４の前記放射源を通る仮想線を中心軸とした仮想的な円筒面に沿って配列されることが好ましく、そして、第２回折格子４０２を構成する複数の湾曲型格子１０ａ（１００ａ、２００ａ）のそれぞれは、曲率半径の中心が点光源としてのＸ線源４０４の放射源に位置するように、配列されることが好ましい。
【０１０７】
そして、これら第１および第２回折格子４０３、４０２は、上述の式１および式２によって表されるタルボ干渉計を構成する条件に設定されている。
【０１０８】
Ｘ線撮像部４０１は、第２回折格子４０２によって回折されたＸ線の像を撮像する装置である。Ｘ線撮像部４０１は、例えば、Ｘ線のエネルギーを吸収して蛍光を発するシンチレータを含む薄膜層が受光面上に形成された二次元イメージセンサを備えるフラットパネルディテクタ（ＦＰＤ）や、入射フォトンを光電面で電子に変換し、この電子をマイクロチャネルプレートで倍増し、この倍増された電子群を蛍光体に衝突させて発光させるイメージインテンシファイア部と、イメージインテンシファイア部の出力光を撮像する二次元イメージセンサとを備えるイメージインテンシファイアカメラなどである。
【０１０９】
処理部４０７は、Ｘ線撮像装置４００の各部を制御することによってＸ線撮像装置４００全体の動作を制御する装置であり、例えば、マイクロプロセッサおよびその周辺回路を備えて構成され、機能的に、画像処理部４７１およびシステム制御部４７２を備えている。
【０１１０】
システム制御部４７２は、Ｘ線制御部４０８との間で制御信号を送受信することによってＸ線電源部４０５を介してＸ線源４０４におけるＸ線の放射動作を制御すると共に、カメラ制御部４０６との間で制御信号を送受信することによってＸ線撮像部４０１の撮像動作を制御する。システム制御部４７２の制御によって、Ｘ線が被写体Ｓに向けて照射され、これによって生じた像がＸ線撮像部４０１によって撮像され、画像信号がカメラ制御部４０６を介して処理部４０７に入力される。
【０１１１】
画像処理部４７１は、Ｘ線撮像部４０１によって生成された画像信号を処理し、被写体Ｓの画像を生成する。
【０１１２】
次に、本実施形態のＸ線撮像装置の動作について説明する。被写体Ｓが例えばＸ線源４０４を内部（背面）に備える撮影台に載置されることによって、被写体ＳがＸ線源４０４と第１回折格子４０３との間に配置され、Ｘ線撮像装置４００のユーザ（オペレータ）によって図略の操作部から被写体Ｓの撮像が指示されると、処理部４０７のシステム制御部４７２は、被写体Ｓに向けてＸを照射すべくＸ線制御部４０８に制御信号を出力する。この制御信号によってＸ線制御部４０８は、Ｘ線電源部４０５にＸ線源４０４へ給電させ、Ｘ線源４０４は、Ｘ線を放射して被写体Ｓに向けてＸ線を照射する。
【０１１３】
照射されたＸ線は、被写体Ｓを介して第１回折格子４０３を通過し、第１回折格子４０３によって回折され、タルボ距離Ｌ（＝Ｚ１）離れた位置に第１回折格子４０３の自己像であるタルボ像Ｔが形成される。
【０１１４】
この形成されたＸ線のタルボ像Ｔは、第２回折格子４０２によって回折され、モアレを生じてモアレ縞の像が形成される。このモアレ縞の像は、システム制御部４７２によって例えば露光時間などが制御されたＸ線撮像部４０１によって撮像される。
【０１１５】
Ｘ線撮像部４０１は、モアレ縞の像の画像信号をカメラ制御部４０６を介して処理部４０７へ出力する。この画像信号は、処理部４０７の画像処理部４７１によって処理される。
【０１１６】
ここで、被写体ＳがＸ線源４０４と第１回折格子４０３との間に配置されているので、被写体Ｓを通過したＸ線には、被写体Ｓを通過しないＸ線に対し位相がずれる。このため、第１回折格子４０３に入射したＸ線には、その波面に歪みが含まれ、タルボ像Ｔには、それに応じた変形が生じている。このため、タルボ像Ｔと第２回折格子４０２との重ね合わせによって生じた像のモアレ縞は、被写体Ｓによって変調を受けており、この変調量が被写体Ｓによる屈折効果によってＸ線が曲げられた角度に比例する。したがって、モアレ縞を解析することによって被写体Ｓおよびその内部の構造を検出することができる。また、被写体Ｓを複数の角度から撮像することによってＸ線位相ＣＴ（ｃｏｍｐｕｔｅｄ  ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ）により被写体Ｓの断層画像が形成可能である。
【０１１７】
そして、本実施形態の第２回折格子４０２では、高アスペクト比の金属部分１６を備える上述した実施形態における金属格子であるので、良好なモアレ縞が得られ、高精度な被写体Ｓの画像が得られる。
【０１１８】
また、格子ユニットの湾曲型格子１０ａ（１００ａ、２００ａ）がボッシュプロセスによってシリコンウェハーがドライエッチングされる場合には、前記溝の側面（突条１３の側面）がより平坦となり、高精度に第２回折格子４０２を形成することができる。このため、より良好なモアレ縞が得られ、より高精度な被写体Ｓの画像が得られる。
【０１１９】
なお、上述のＸ線撮像装置４００は、Ｘ線源４０４、第１回折格子４０３および第２回折格子４０２によってタルボ干渉計を構成したが、Ｘ線源４０４のＸ線放射側にマルチスリットとしての上述の湾曲型格子１０ａ（１００ａ、２００ａ）をさらに配置することで、タルボ・ロー干渉計を構成してもよい。このようなタルボ・ロー干渉計とすることで、単スリットの場合よりも被写体Ｓに照射されるＸ線量を増加することができ、より良好なモアレ縞が得られ、より高精度な被写体Ｓの画像が得られる。
【０１２０】
また、上述のＸ線撮像装置４００では、Ｘ線源４０４と第１回折格子４０３との間に被写体Ｓが配置されたが、第１回折格子４０３と第２回折格子４０２との間に被写体Ｓが配置されてもよい。
【０１２１】
また、上述のＸ線撮像装置４００では、Ｘ線の像がＸ線撮像部４０１で撮像され、画像の電子データが得られたが、Ｘ線フィルムによって撮像されてもよい。
【０１２２】
本発明を表現するために、上述において図面を参照しながら実施形態を通して本発明を適切且つ十分に説明したが、当業者であれば上述の実施形態を変更および／または改良することは容易に為し得ることであると認識すべきである。したがって、当業者が実施する変更形態または改良形態が、請求の範囲に記載された請求項の権利範囲を離脱するレベル
のものでない限り、当該変更形態または当該改良形態は、当該請求項の権利範囲に包括されると解釈される。
【符号の説明】
【０１２３】
１、１００、２００  格子
２、１０２、２０２  基体
１２  格子領域
１３  突条
１４、１１４  溝
１０ａ、１００ａ、２００ａ  湾曲型格子
３００Ａ  タルボ干渉計
３００Ｂ  タルボ・ロー干渉計
４００  Ｘ線撮像装置
【図１】
2016001264.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2016001264.tif 000009
【図８】
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【図９】
2016001264.tif 000011
【図１０】
2016001264.tif 000012
【図１１】
2016001264.tif 000013
【図１２】
2016001264.tif 000014
【図１３】
2016001264.tif 000015
【図１４】
2016001264.tif 000016
【図１５】
2016001264.tif 000017
【図１６】
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【図１７】
2016001264.tif 000019
【図１８】
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【図１９】
2016001264.tif 000021
【図２０】
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【図２１】
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