(57)【要約】【課題】本発明はガイガーミュラー計数管の内部に封入する内部ガスを入れ替えることができるガイガーミュラー計数管を提供する。【解決手段】ガイガーミュラー計数管は、外形が金属で形成され、凹形状の円筒形に形成された外筒部と、外筒部の円形の開口部を気密封止することで内部空間を形成させる薄膜と、内部空間に配置される電極と、外筒部を貫通し、内部空間と外部空間とが通じる第１貫通孔と、外筒部を貫通し、内部空間と外部空間とが通じる第２貫通孔と、第２貫通孔に接続される着脱可能な封止弁と、内部空間に封入される不活性ガス及び腐食性のクエンチガスと、を備え、外筒部の内壁に、耐腐食膜が形成されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外形が金属で形成され、凹形状の円筒形に形成された外筒部と、
前記外筒部の円形の開口部を気密封止することで内部空間を形成させる薄膜と、
前記内部空間に配置される電極と、
前記外筒部を貫通し、前記内部空間と外部空間とが通じる第１貫通孔と、
前記外筒部を貫通し、前記内部空間と外部空間とが通じる第２貫通孔と、
前記第２貫通孔に接続される着脱可能な封止弁と、
前記内部空間に封入される不活性ガス及び腐食性のクエンチガスと、を備え、前記外筒部の内壁に、耐腐食膜が形成されているガイガーミュラー計数管。
【請求項２】
前記封止弁は小型に形成されており、前記第２貫通孔に固定されている請求項１に記載のガイガーミュラー計数管。
【請求項３】
前記第２貫通孔には雌ねじが形成され、
前記封止弁には雄ねじが形成され、
前記第２貫通孔と前記封止弁とがねじ込み式で気密に固定されている請求項１及び請求項２に記載のガイガーミュラー計数管。
【請求項４】
前記第１貫通孔には、前記電極が絶縁体を介して固定されている請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のガイガーミュラー計数管。
【請求項５】
前記電極は、前記絶縁体と共に取り外しできる請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のガイガーミュラー計数管。
【請求項６】
前記耐腐食膜は、表面が酸化されたクロムのメッキ膜又は前記クエンチガスに耐腐食性
の樹脂膜又は塗料膜である請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のガイガーミュラー計数管。
【請求項７】
前記薄膜は、雲母を材料としている請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のガイガーミュラー計数管。
【請求項８】
前記外筒部は陰極電極となる請求項１から請求項７のいずれか一項に記載のガイガーミュラー計数管。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、不活性ガスが封入されたガイガーミュラー計数管に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガイガーミュラー計数管（ＧＭ管）は、放射線測定装置に用いられる部品である。ＧＭ管の中には不活性ガスが封入されており、外部から通過する放射線がその不活性ガスを電離させる。また、ＧＭ管には陽極電極及び陰極電極が形成されており、陽極電極と陰極電極との間に高電圧が印加されるため、電離した電子が陽極電極に飛来し、イオンが陰極電極に飛来する。ＧＭ管が電気的に接続された放射線測定装置はこの電荷パルスの数を計測することで、放射線の量を計測している。このような不活性ガスが封入されたＧＭ管は、例えば、特許文献１に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開  平成４−４５５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１では不活性ガスの気密封止方法、及び製造されたＧＭ管の性能についてはなんら記載されていない。気密封止は、一般的にＧＭ管に排気及び不活性ガスを導入するためのガラスの排気管が取り付けられ、その後、ＧＭ管内部を真空にして、次に不活性ガスがＧＭ管へ導入されてガラスの排気管が封止される。このような工程は自動化が困難であるため、ＧＭ管の量産化、及び高性能のＧＭ管を製造するのが課題となっている。
【０００５】
また、ＧＭ管は不活性ガスが電離することで放射線を計測するために、ある一定の電荷パルスの数（カウント）を超えると使用不能になり、使用不能になったＧＭ管は廃棄され、新品と交換する必要があるため、使用者の負担の増加となっている。
【０００６】
本発明では、不活性ガスを入れ替えすることができるガイガーミュラー計数管を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の観点のガイガーミュラー計数管は、外形が金属で形成され、凹形状の円筒形に形成された外筒部と、外筒部の円形の開口部を気密封止することで内部空間を形成させる薄膜と、内部空間に配置される電極と、外筒部を貫通し、内部空間と外部空間とが通じる第１貫通孔と、外筒部を貫通し、内部空間と外部空間とが通じる第２貫通孔と、第２貫通孔に接続される着脱可能な封止弁と、内部空間に封入される不活性ガス及び腐食性のクエンチガスと、を備え、外筒部の内壁に、耐腐食膜が形成されていることを特徴としている。
【０００８】
第２の観点のガイガーミュラー計数管は、第１の観点において、封止弁は小型に形成されており、第２貫通孔に固定されていることを特徴としている。
【０００９】
第３の観点のガイガーミュラー計数管は、第１の観点及び第２の観点において、第２貫通孔には雌ねじが形成され、封止弁には雄ねじが形成され、第２貫通孔と前記封止弁とがねじ込み式で気密に固定されていることを特徴としている。
【００１０】
第４の観点のガイガーミュラー計数管は、第１の観点から第３の観点において、第１貫通孔には、電極が絶縁体を介して固定されていることを特徴としている。
【００１１】
第５の観点のガイガーミュラー計数管は、第１の観点から第４の観点において、電極は、絶縁体と共に取り外し可能であることを特徴としている。
【００１２】
第６の観点のガイガーミュラー計数管は、第１の観点から第５の観点において、耐腐食膜は、表面が酸化されたクロムのメッキ膜又はクエンチガスに耐腐食性の樹脂膜又は塗料膜であることを特徴としている。
【００１３】
第７の観点のガイガーミュラー計数管は、第１の観点から第６の観点において、薄膜は、雲母を材料としていることを特徴としている。
【００１４】
第８の観点のガイガーミュラー計数管は、第１の観点から第７の観点において、外筒部は陰極電極となることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のＧＭ管は、構造が単純であるため気密性の高いＧＭ管を製造することができ、ＧＭ管の性能検査の際に不良品と判断された際に、そのＧＭ管の不活性ガスを入れ替えて再度、性能検査を行うことが可能となる。このため、製品の歩留まりの向上の効果を奏し得る。また、本発明のＧＭ管は不活性ガスを入れ替えて性能検査をすれば、繰り返し使用可能であることから使用者の経済的な負担を減少させる優れた効果を奏し得る。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】（ａ）は、ＧＭ管１００の側面図である。    （ｂ）は、ＧＭ管１００の上面図である。    （ｃ）は、ＧＭ管１００の下面図である。
【図２】ＧＭ管１００の断面図である。
【図３】ニードルバルブの断面図である。
【図４】ＧＭ管１００に内部ガスを封入するフローチャートである。
【図５】（ａ）は、三方弁８０においてバルブの第１位置８５を図示している。    （ｂ）は、三方弁８０においてバルブの第２位置８６を図示している。    （ｃ）は、三方弁８０において閉栓した場合のバルブの第３位置８７を図示している。
【図６】ＧＭ管１００の再生利用のフローチャートである。
【図７】ＧＭ管２００の断面図である。
【図８】ＧＭ管２００の再生利用のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明の範囲は以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限るものではない。
【００１８】
（第１実施形態）
＜ＧＭ管１００の構成＞
【００１９】
図１（ａ）は、ＧＭ管１００の側面図である。図１（ｂ）は、ＧＭ管１００の上面図である。図１（ｃ）は、ＧＭ管１００の下面図である。なお、以下の説明では、図１（ａ）に示されるように、外筒部１０が伸びる方向をＺ軸方向、外筒部１０を構成する円筒の直径方向でありＺ軸方向に垂直な方向をＹ軸方向、Ｚ軸方向及びＹ軸方向に垂直な方向をＸ軸方向とする。図２は図１のＧＭ管１００のＡ−Ａ断面である。以下は、ＧＭ管１００の構成を図１及び図２を参照して説明する。
【００２０】
図１及び図２に図示されるように、ＧＭ管１００は、外筒部１０と、封止弁２０と、窓部３０と、陽極電極５０と、第１絶縁体６０とにより構成されている。
【００２１】
外筒部１０は金属を材料とし、凹形状に成形され、中心部に外筒部１０と絶縁された陽極電極５０と、内部ガスが封入される内部空間１１とが形成されている。外筒部１０の−Ｚ軸側の壁面には第１貫通孔１２と、第２貫通孔１３が形成され、内部空間１１と外部とが通じている。第１貫通孔１２には、陽極電極５０が第１絶縁体６０を介して設置され、第２貫通孔１３には、封止弁２０が設置される。外筒部１０の＋Ｚ軸側の端には、円形に開口されている開口部１４を有している。本実施形態の外筒部１０は削り出し加工で一体に形成されているが、円筒状の金属材料と円盤状の金属材料で形成してもよいし、プレス加工、または鋳造により一体に形成してもよい。
【００２２】
図１に図示されるように、陽極電極５０は、−Ｚ軸側の外筒部１０の中心を貫通して、内部空間１１を直線状に進み、Ｚ軸に平行に設置される。陽極電極５０はタングステン、ステンレス、インコネル、及びチタンなどの金属を材料としている。
【００２３】
開口部１４には窓部３０が設置される。開口部１４は、窓部３０を接合するための溝部１５が形成されている。
【００２４】
窓部３０は雲母（マイカ）を材料としている。窓部３０は薄い半透明な雲母の平板を円形に形成し、端部を外筒部１０の溝部１５に載置して接合材６１を用いて気密に接着している。接合材６１はエポキシ樹脂系接着剤などを使用する。雲母はβ線及びα線を通過するため、ＧＭ管１００での使用に好適である。また、雲母は内部ガスによる腐食が起きにくいため、ＧＭ管１００での使用に好適である。β線及びα線の検出を目的としない場合には耐腐食膜１７を形成した金属膜でもよい。
【００２５】
ＧＭ管１００の−Ｚ軸側には、陽極電極５０、陰極電極７０、及び封止弁２０が接続される。
【００２６】
外筒部１０を貫通する陽極電極５０は、Ｚ軸に平行に延びて設置される。陽極電極５０と外筒部１０とは第１絶縁体６０で固定する。第１絶縁体６０は第１貫通孔１２の中心に陽極電極５０を配置して、その外周を埋める、第１絶縁体６０はアルミナ、合成樹脂、及びガラスなどを材料として、陽極電極５０の絶縁を確保したまま気密に固定する。例えば、図２は、陽極電極５０と外筒部１０とが合成樹脂で固定されている場合を図示している。陽極電極５０は第１貫通孔１２の中心に配置して、例えば、型枠を用いて合成樹脂を充填させることで気密に固定している。なお、図２は、合成樹脂が固着した後に型枠を除去した後の断面図である。
【００２７】
陰極電極７０は、外筒部１０と電気的に接続し、Ｚ軸に平行に延びて設置される。陰極電極７０と外筒部１０との接続は、はんだ６２を用いてはんだ付けされている。なお、陰極電極７０と外筒部１０との接続は、溶接などの手法で接続してもよい。また、図示されていないが、外筒部１０の外部に設置される陽極電極５０、陰極電極７０、及びこれらに接続する配線は、同軸ケーブルなどでシールドして配線するとノイズを減少させ、好適である。
【００２８】
封止弁２０と外筒部１０とは、ねじが形成され管用テーパーねじ機構１６を使用する。管用テーパーねじ機構１６は、外筒部１０の第２貫通孔１３にテーパー雌ねじを形成し、封止弁２０側のねじにはテーパー雄ねじを形成する。管用テーパーねじ機構１６により、封止弁２０と外筒部１０とは所望の真空度に保つよう気密に固定されている。さらに、管用テーパーねじ機構１６は、熱、及び振動で緩まないようにバルカテープ、Ｏリング、及び樹脂封印を組み合わせる。なお、封止弁２０は管用テーパーねじ機構１６に限ることなく、所望の真空度に保つことができれば、管用平行ねじ機構を用いてもよい。
【００２９】
外筒部１０の第２貫通孔１３は、テーパー雌ねじが形成され外筒部１０の外壁を貫通している。第２貫通孔１３は、その穴から治具を挿入して、陽極電極５０の観察及び清掃を行うことも可能となっている。陽極電極５０の汚れは、ＧＭ管１００の連続放電の原因となるため、性能の低いＧＭ管１００の原因の一因である。内部ガスの入れ替えの際には、陽極電極５０を観察及び清掃しておくことで、再度、性能の高いＧＭ管１００を提供できる。
【００３０】
外筒部１０の内部空間１１は、窓部３０、陽極電極５０、第１絶縁体６０、及び封止弁２０で外気と隔離される。内部空間１１には、内部ガスが封入される。内部ガスは、不活性ガス及びクエンチガスである。不活性ガスは、例えばヘリウム（Ｈｅ）、ネオン（Ｎｅ）、又はアルゴン（Ａｒ）等の希ガスが用いられる。また、クエンチガスには、例えば、フッ素（Ｆ）、臭素（Ｂｒ）又は塩素（Ｃｌ）等のハロゲン系のガスが用いられる。このようなクエンチガスは金属を腐食させる性質を有しているために外筒部１０で使用する金属が腐食される可能性がある。このため、外筒部１０の内側面には、耐腐食膜１７が形成されている。耐腐食膜１７は、例えば表面が酸化されたクロム（Ｃｒ）のメッキ膜、耐熱性が良く腐食しないエポキシ樹脂等の樹脂膜、又は、塗料膜等が用いられる。なお、陽極電極５０は耐腐食のある金属が用いられ、封止弁２０はクロムのメッキ膜又は耐腐食のある材料で形成されている。
【００３１】
ＧＭ管１００は、窓部３０から内部空間１１に放射線が侵入すると、放射線は不活性ガスを正に帯電したイオンと負に帯電した電子とに電離させる。陽極電極５０と陰極電極７０との間には、例えば４６０から９００Ｖの電圧がかけられて内部空間１１に電界が形成される。電離したイオン及び電子は、それぞれ陰極電極７０及び陽極電極５０に向かって加速する。加速されたイオンは、他の不活性ガスに衝突して他の不活性ガスを電離させる。このような電離の繰り返しにより、内部空間１１には雪崩状に電離したイオン及び電子が形成されパルス電流が流れる。ＧＭ管１００を接続する放射線測定装置は、このパルス電流によるパルス回数を計測することにより放射線量を測定することができる。また、パルス電流が連続的に流れるとパルス回数を計測できなくなるが、クエンチガスはイオンが有するエネルギーを失わせて、雪崩状に電離したイオンの動きを抑える。
【００３２】
本実施形態は、封止弁２０にニードルバルブを使用した場合で説明する。
図３は、ニードルバルブの断面図である。図３（ａ）は、ニードルバルブが開栓の状態を図示し、図３（ｂ）は、ニードルバルブが閉栓の場合を示し、図３（ｃ）は、ニードルバルブを充填剤６３で固定した場合の状態を図示している。
【００３３】
封止弁２０は金属を材料として形成されている。図３で示されるように、封止弁２０の主な構成は、基部２１、管部２２、第１出入口部２３、第２出入口部２４、及びニードル部２５である。
【００３４】
管部２２は基部２１と、第１出入口部２３と、第２出入口部２４とが配置されたＹ字型に形成されている。第１出入口部２３の近傍にはテーパー部２６が形成されている。また、第１出入口部２３とテーパー部２６との間にはテーパー雄ねじが形成されている。
【００３５】
基部２１は雌ねじ部２７が形成されている。雌ねじ部２７はニードル部２５に形成された雄ねじ部２８が回転することでニードル部２５をＺ軸方向と平行に移動させる。
【００３６】
ニードル部２５は雄ねじ部２８と回転部２９とが形成されており、回転部２９を回転させることにより基部２１の雌ねじ部２７のガイドでニードル部２５がＺ軸方向と平行に移動する。
【００３７】
図３（ａ）に図示するように、封止弁２０のニードル部２５が−Ｚ軸方向に位置する場合、ニードルバルブが開栓される。開栓したニードルバルブは、第１出入口部２３と第２出入口部２４とが通じ、内部空間１１の排気、及び内部ガスの給気を行うことができる。内部空間１１の排気、及び内部ガスの給気は後述する。
【００３８】
図３（ｂ）に図示するように、ニードルバルブのニードル部２５は管部２２のテーパー部２６まで移動させることで閉栓する。ニードルバルブは閉栓することで外筒部１０を封止させる。ニードルバルブの閉栓は、内部ガスが内部空間１１に所定量を給気された後に行う。
【００３９】
図３（ｃ）に図示するように、封止弁２０の第２出入口部２４に合成樹脂などの充填剤６３を注入し、固化させてニードル部２５を固定すると共に、気体の漏れを防ぐ。封止弁２０は、ねじ締めだけでの封止によると、振動、または熱などの原因によりねじが緩む。このため、封止弁２０は、第２出入口部２４に合成樹脂などを注入して固化させることでねじの緩みと気体の流出入を防ぎ、外筒部１０の気密を保持させる。
【００４０】
内部空間１１の排気、及び内部ガスの給気、及び封止は、図４及び図５を用いて説明する。
【００４１】
図４は、ＧＭ管１００に内部ガスを封入するフローチャートである。図５は内部ガスの供給元となるガスボンベＧＢと、真空ポンプＶＰとを接続する三方弁８０の断面図を示した図である。三方弁８０は、第１端部８１、第２端部８２、及び第３端部８３の３箇所に開口した入出口がある。三方弁８０は、それぞれ、第１端部８１には封止弁２０、第２端部８２には真空ポンプＶＰ、及び第３端部８３にはガスボンベＧＢが送気管８４で接続される。
【００４２】
図５（ａ）は、三方弁８０において真空ポンプＶＰで内部空間１１の気体を排出する場合のバルブの第１位置８５を図示し、図５（ｂ）は、三方弁８０においてガスボンベＧＢで内部空間１１に内部ガスを給気する場合のバルブの第２位置８６を図示し、図５（ｃ）は、三方弁８０において閉栓した場合のバルブの第３位置８７を図示している。なお、図５は、理解し易いように図３で図示した封止弁２０を並べて図示している。以下は、図４及び図５を参照してＧＭ管１００に内部ガスを封入する方法を説明する。
【００４３】
図４のステップＳ０１では、ＧＭ管１００に接続された封止弁２０を開栓にする。ＧＭ管１００は外筒部１０が窓部３０、陽極電極５０、第１絶縁体６０、及び封止弁２０を部材として気密に製造されている。封止弁２０はニードル部２５を−Ｚ軸方向に移動させて開栓し（図５（ａ）を参照）、ＧＭ管１００の内部空間１１と外部とを開通させる。なお、三方弁８０の第１端部８１には封止弁２０、第２端部８２には真空ポンプＶＰ、及び第３端部８３にはガスボンベＧＢがすでに接続済みとする。
【００４４】
ステップＳ０２では、三方弁８０のバルブを第１位置８５にする。三方弁８０は、図５（ａ）に示されるように、封止弁２０の第２出入口部２４と三方弁８０の第一端部とは、送気管８４が接続されている。三方弁８０のバルブは第１位置８５に配置することで、真空ポンプＶＰとＧＭ管１００の内部空間１１とが第１矢印Ｙ１が示す流路で通じる。
【００４５】
ステップＳ０３では、真空ポンプＶＰを作動させてＧＭ管１００の内部空間１１を所定の真空圧にする。ＧＭ管１００の内部空間１１の気体は、第１矢印Ｙ１が示す流路で排出される。
【００４６】
ステップＳ０４では、所定の真空度になった時点で、三方弁８０のバルブを第２位置８６にする。図５（ｂ）に示されるように、三方弁８０のバルブは第２位置８６に配置することで、ガスボンベＧＢとＧＭ管１００の内部空間１１とが第２矢印Ｙ２が示す流路で通じる。
【００４７】
ステップＳ０５では、ガスボンベＧＢからＧＭ管１００の内部空間１１に所定の量の内部ガスを給入する。ガスボンベＧＢのガスは、第２矢印Ｙ２が示す流路でＧＭ管１００の内部空間１１に給入される。
【００４８】
ステップＳ０６では、所定の量の内部ガスが給入された時点で、三方弁８０のバルブを第３位置８７にする。図５（ｃ）に示されるように、三方弁８０のバルブは第３位置８７に配置することで、三方弁８０は閉栓される。三方弁８０はＧＭ管１００の内部空間１１の内部ガスが漏れるのを防止するとともに、ガスボンベＧＢのガスの供給路を遮断する。
【００４９】
ステップＳ０７では、封止弁２０を閉栓にする。封止弁２０はニードル部２５を＋Ｚ軸方向に移動させることで閉栓され（図５（ｃ）を参照）、ＧＭ管１００の外筒部１０を封止する。
【００５０】
ステップＳ０８では、ＧＭ管１００の外筒部１０の封止を、所望の環境下の条件に合致するように封止弁２０の第２出入口部２４に合成樹脂などの充填剤６３を注入して封印する（図３（ｃ）を参照）。なお、封止弁２０の封印は、封止弁２０の第２出入口部２４と送気管８４との接続を解除して作業する。これにより、ＧＭ管１００は熱、及び振動などの条件下においても内部ガスが漏れにくくなる。
【００５１】
作業者はステップＳ０８の作業を終えると、送気管８４に新たな封止弁２０の第２出入口部２４を接続し、ステップＳ０１に戻ることで連続してＧＭ管１００に内部ガスを封入することが可能となる。
【００５２】
本発明のＧＭ管１００は、使用不能となった個体も再生利用が可能となっている。図６では再生利用の作業手順を説明する。
【００５３】
図６は、ＧＭ管１００の再生利用のフローチャートである。
【００５４】
ステップＳ１１では、ＧＭ管１００の封止弁２０を開栓する。封止弁２０は開栓することで外筒部１０から撤去し易くなる。なお、封止弁２０の第２出入口部２４には合成樹脂などの充填剤６３が注入されているため、熱などを加えて除去するのが好ましい。
【００５５】
ステップＳ１２では、封止弁２０を外筒部１０から撤去する。封止弁２０と外筒部１０とは管用テーパーねじで固定されているため、容易に撤去可能である。
【００５６】
ステップＳ１３では、外筒部１０の内部空間１１に配置された陽極電極５０を観察する。陽極電極５０の観察は、陽極電極５０の汚れがあるか、または変形があるかを確認する。外筒部１０の第２貫通孔１３は陽極電極５０と平行に設置されているため、治具を用いて陽極電極５０を観察できる。
【００５７】
ステップＳ１４では、陽極電極５０が使用可能かを判断する。陽極電極５０が変形している場合、または清掃で落ちない汚れがある場合はステップＳ１５に進む。陽極電極５０が使用可能である場合はステップＳ１６に進む。
【００５８】
ステップＳ１５では、ＧＭ管１００を廃棄する。陽極電極５０の変形は内部空間１１の電界が乱れる原因となり、陽極電極５０の汚れは連続放電の原因となる。このため、このような陽極電極５０を使用したＧＭ管１００は高性能にならないため廃棄する。
【００５９】
ステップＳ１６では、陽極電極５０を観察して、陽極電極５０の清掃が必要かを判断する。陽極電極５０の清掃が必要な場合はステップＳ１７に進む。陽極電極５０の清掃の必要がない場合はステップＳ１８に進む。
【００６０】
ステップＳ１７では、陽極電極５０の清掃を行う。陽極電極５０の清掃は、外筒部１０の第２貫通孔１３から治具を用いて清掃を行う。陽極電極５０の清掃が終わると、ステップＳ１３に戻り陽極電極５０の観察を行う。
【００６１】
ステップＳ１８では、新たな封止弁２０を外筒部１０に設置する。封止弁２０は外筒部１０が気密になるよう固定する。
【００６２】
図６に示された工程により、使用不能となったＧＭ管１００が再生できる。再生できたＧＭ管１００は図４に示された工程により内部ガスを封入する。内部ガスを封入したＧＭ管１００は性能検査の工程を経て完成品となる。
【００６３】
本実施形態では封止弁２０はニードルバルブを用いているが、内部空間１１が封止できればよいため、ゲートバルブ、ボールバルブ、及びバタフライバルブなどの他の封止機構を使用してもよい。
【００６４】
（第２実施形態）
本実施形態のＧＭ管２００は、陽極電極５０が着脱可能である。以下は、第１実施形態と相違している点を説明する。なお、同じ構成部品については同じ記号を用いて説明を省く。
【００６５】
図７は、ＧＭ管２００の断面図である。ＧＭ管２００は陽極電極５０を固定している第２絶縁体６９の構成が異なる。以下は図７を用いて説明する。
第２絶縁体６９はキャップ６４と充填剤６３で構成され、いずれも絶縁材料で形成されている。
【００６６】
キャップ６４は凹形状した円柱状であり、合成樹脂を材料として射出成型などで成形される。キャップ６４の中心には陽極電極５０が通過する大きさの穴が形成されている。充填剤６３はエポキシ樹脂などの合成樹脂を材料として、充填後に硬化する材料を使用する。
【００６７】
陽極電極５０は、キャップ６４の中心に形成された穴に差し込まれて、第１貫通孔１２にはめ込まれている。その後、陽極電極５０はキャップ６４の凹部とキャップ６４の外周とに合成樹脂を材料とした充填剤６３を注入することで気密に固定している。陽極電極５０はキャップ６４を用いて外筒部１０と接続されているため、陽極電極５０に不具合があった場合にキャップ６４及び充填剤６３と共に外筒部１０から除去し、新たなキャップ６４付きの陽極電極５０を設置して充填剤６３で気密に固定することができる。
【００６８】
これらの構成によりＧＭ管２００は陽極電極５０も着脱可能になる。着脱可能になった陽極電極５０はＧＭ管２００の再生利用の際に交換可能である。
【００６９】
図８は、ＧＭ管２００の再生利用のフローチャートである。
【００７０】
図８のフローチャートは図６のフローチャートと似ているため、異なる点のみ説明する。ステップＳ２１からステップＳ２３は図６のステップＳ１１からステップＳ１３と同様である。
【００７１】
ステップＳ２４では、陽極電極５０を観察して、陽極電極５０の清掃または交換が必要かを判断する。陽極電極５０の清掃または交換が必要な場合はステップＳ２５に進む。陽極電極５０の清掃または交換の必要がない場合はステップＳ２６に進む。
【００７２】
ステップＳ２５では、陽極電極５０の清掃または交換を行う。陽極電極５０の清掃は、陽極電極５０に汚れが付着している場合に行われる。陽極電極５０の清掃は、外筒部１０の第２貫通孔１３から治具を用いて清掃を行う。陽極電極５０の交換は、陽極電極５０の変形または清掃で落ちない汚れがある場合に行われる。陽極電極５０の交換は一体となっている陽極電極５０、キャップ６４、及び充填剤６３を外筒部１０から除去し、空洞になった第１貫通孔１２に新たなキャップ６４付きの陽極電極５０を設置して充填剤６３をキャップ６４の外周まで充填させることで気密に固定する。
陽極電極５０の清掃または交換が終わると、ステップＳ２３に戻り陽極電極５０の観察を行う。
【００７３】
ステップＳ２６は図６のステップＳ１８と同様である。
【００７４】
第１実施形態では、図６のステップＳ１４、及びステップＳ１５で変形、または清掃で落ちない汚れがある陽極電極５０に対して廃棄処分が行われているが、本実施形態の陽極電極５０は交換できるため、ステップＳ１４、及びステップＳ１５に相当する工程を必要としない。このためＧＭ管２００の廃棄率は減少する。
【００７５】
本実施形態で使用する封止弁２０は、ニードルバルブであるが、第１実施形態と同様にゲートバルブ、ボールバルブ、及びバタフライバルブなどを使用してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００７６】
本発明のＧＭ管は、封入される内部ガスを入れ替えることができるため、ＧＭ管がリサイクル可能となり、産業廃棄物の減少、及び使用者の経済的負担を減少させる。また、当業者に明らかなように、封止弁は外形が金属で形成されたＧＭ管だけでなく、外形が合成樹脂またはガラスで形成されたＧＭ管に利用可能である。
【符号の説明】
【００７７】
１０    …  外筒部
１１    …  内部空間
１２    …  第１貫通孔
１３    …  第２貫通孔
１４    …  開口部
１５    …  溝部
１６    …  管用テーパーねじ機構
１７    …  耐腐食膜
２０    …  封止弁
２１    …  基部
２２    …  管部
２３    …  第１出入口部
２４    …  第２出入口部
２５    …  ニードル部
２６    …  テーパー部
２７    …  雌ねじ部
２８    …  雄ねじ部
２９    …  回転部
３０    …  窓部
５０    …  陽極電極
６０    …  第１絶縁体
６１    …  接合材
６３    …  充填剤
６４    …  キャップ
６９    …  第２絶縁体
７０    …  陰極電極
８０    …  三方弁
８１    …  第１端部
８２    …  第２端部
８３    …  第３端部
８４    …  送気管
８５    …  第１位置
８６    …  第２位置
８７    …  第３位置
１００、２００  …ＧＭ管
ＧＢ    …ガスボンベ
ＶＰ    …真空ポンプ
Ｙ１    …第１矢印
Ｙ２    …第２矢印
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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