(57)【要約】【課題】搭載ヘッドの大型化・重量化を防止しつつ、吸着ノズルの動作を確認することができる部品実装装置を提供することを目的とする。【解決手段】部品を供給するパーツフィーダ１３と、互いに独立して移動し、それぞれ複数の吸着ノズル１７によりパーツフィーダ１３から部品３を吸着して基板２に搭載する前方搭載ヘッド１５Ａ及び後方搭載ヘッド１５Ｂと、前方搭載ヘッド１５Ａに設けられ、後方搭載ヘッド１５Ｂが備える各吸着ノズル１７の動作を撮像する第１の動作撮像カメラ２０Ａと、後方搭載ヘッド１５Ｂに設けられ、前方搭載ヘッド１５Ａが備える各吸着ノズル１７の動作を撮像する第２の動作撮像カメラ２０Ｂを備える。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品を供給する部品供給部と、
互いに独立して移動し、それぞれ複数の吸着ノズルにより前記部品供給部から部品を吸着して基板に搭載する第１の搭載ヘッド及び第２の搭載ヘッドと、
前記第１の搭載ヘッドに設けられ、前記第２の搭載ヘッドに備えられた前記各吸着ノズルの動作を撮像する第１の撮像手段と、
前記第２の搭載ヘッドに設けられ、前記第１の搭載ヘッドに備えられた前記各吸着ノズルの動作を撮像する第２の撮像手段とを備えたことを特徴とする部品実装装置。
【請求項２】
前記第１の撮像手段により、前記第２の搭載ヘッドに備えられた前記吸着ノズルの動作を撮像する場合には、撮像対象の前記吸着ノズルが前記第１の撮像手段の撮像可能領域内に収まる位置に前記第１の搭載ヘッドを移動させ、
前記第２の撮像手段により、前記第１の搭載ヘッドに備えられた前記吸着ノズルの動作を撮像する場合には、撮像対象の前記吸着ノズルが前記第２の撮像手段の撮像可能領域内に収まる位置に前記第２の搭載ヘッドを移動させることを特徴とする請求項１に記載の部品実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搭載ヘッドが備える吸着ノズルにより部品を基板に搭載する部品実装装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、部品実装装置において、搭載ヘッドに撮像手段を設けてその搭載ヘッドが備える複数の吸着ノズルの吸着動作や搭載動作を撮像するようにしたものが知られている。このような部品実装装置では、基板に搭載されるべき部品が搭載されていないなどの基板の不良状態が発見された場合に、撮像された吸着動作や搭載度さの画像データを表示することにより、不良基板が生成されることとなった原因を追究するものがある（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−０８４１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来の構成では、搭載ヘッドが備える全ての吸着ノズルについて動作確認をすることができるようにするためには、吸着ノズルの数だけ撮像手段が必要となる。そうすると搭載ヘッドが大型・重量化してしまい、搭載ヘッドの動作特性が低下するという課題が生じる。また、製造コストが高くなるという課題も生じる。
【０００５】
そこで本発明は、搭載ヘッドの大型化・重量化を防止しつつ、吸着ノズルの動作を確認することができる部品実装装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の部品実装装置は、部品を供給する部品供給部と、互いに独立して移動し、それぞれ複数の吸着ノズルにより前記部品供給部から部品を吸着して基板に搭載する第１の搭載ヘッド及び第２の搭載ヘッドと、前記第１の搭載ヘッドに設けられ、前記第２の搭載ヘッドに備えられた前記各吸着ノズルの動作を撮像する第１の撮像手段と、前記第２の搭載ヘッドに設けられ、前記第１の搭載ヘッドに備えられた前記各吸着ノズルの動作を撮像する第２の撮像手段とを備えた。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、搭載ヘッドの大型化・重量化を防止しつつ、吸着ノズルの動作を確認することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施の形態における部品実装装置の平面図
【図２】本発明の一実施の形態における部品実装装置の部分側面図
【図３】本発明の一実施の形態における部品実装装置の制御系統を示すブロック図
【図４】本発明の一実施の形態における部品実装装置の部分平面図
【図５】本発明の一実施の形態における部品実装装置の部分側面図
【図６】本発明の一実施の形態における部品実装装置の部分側面図
【図７】本発明の一実施の形態における部品実装装置が行う吸着動作の動作確認の手順を示すフローチャート
【図８】本発明の一実施の形態における部品実装装置が行う搭載動作の動作確認の手順を示すフローチャート
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１及び図２は本発明の一実施の形態における部品実装装置１を示している。部品実装装置１は、上流工程側（図１の紙面左方）から送られてきた基板２を搬入して位置決めし、基板２の電極部２ｄに部品３（図２）を搭載して下流工程側（図１の紙面右方）に搬出する基板生産動作を繰り返し実行する装置である。説明の便宜上、基板２の搬送方向をＸ軸方向（作業者ＯＰから見た左右方向）とし、Ｘ軸方向と直交する方向をＹ軸方向（作業者ＯＰから見た前後方向）とする。また、上下方向をＺ軸方向とする。
【００１０】
図１及び図２において、部品実装装置１は、基台１１の中央部に基板２を搬送する一対の基板搬送コンベア１２を備えている。基台１１の前後方向の両端部には部品供給部としてのパーツフィーダ１３（例えばテープフィーダ）が設けられている。各パーツフィーダ１３は基台１１の中央部側の端部に形成された部品供給口１３ｐに部品３を連続的に供給する。本実施の形態では、基台１１の前方側に設けられたパーツフィーダ１３を前方パーツフィーダ１３Ａと称し、基台１１の後方側に設けられたパーツフィーダ１３を後方パーツフィーダ１３Ｂと称する。
【００１１】
図１及び図２において、基台１１上には部品搭載手段１４が設けられている。部品搭載手段１４は２つの搭載ヘッド１５とその移動手段であるヘッド移動機構１６から成る。本実施の形態では、２つの搭載ヘッド１５のうち、前方側に位置する搭載ヘッド１５を前方搭載ヘッド１５Ａ（第１の搭載ヘッド）と称し、後方側に位置する搭載ヘッド１５を後方搭載ヘッド１５Ｂ（第２の搭載ヘッド）と称する。ヘッド移動機構１６は、Ｘ軸方向に延びて搭載ヘッド１５をＸ軸方向に移動させる２つのＸ軸ビーム１６ａと、各Ｘ軸ビーム１６ａをＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸ビーム１６ｂから成る。Ｙ軸ビーム１６ｂは、基台１１上をＹ軸方向に延びてＸ軸方向に対向して配置されている。
【００１２】
各Ｘ軸ビーム１６ａは、Ｘ軸方向の両端部が一対のＹ軸ビーム１６ｂに支持されている。各Ｘ軸ビーム１６ａは一対のＹ軸ビーム１６ｂに駆動されてＹ軸方向に移動し、各搭載ヘッド１５はＸ軸ビーム１６ａに駆動されてＸ軸方向に移動する。各搭載ヘッド１５は、Ｘ軸ビーム１６ａによる搭載ヘッド１５のＸ軸方向への移動動作と、Ｙ軸ビーム１６ｂによるＸ軸ビーム１６ａのＹ軸方向への移動動作との組み合わせによって、水平面内を互いに独立して移動する。
【００１３】
図１及び図２において、各搭載ヘッド１５は下方に延びた複数の吸着ノズル１７を備えている。各吸着ノズル１７は搭載ヘッド１５に対して昇降及びＺ軸回りの回転が自在であり、真空吸着力によって部品３を吸着する。各吸着ノズル１７の昇降及びＺ軸回りの回転は搭載ヘッド１５が備えるノズル駆動部１５ａによってなされる。各吸着ノズル１７による吸着動作は、搭載ヘッド１５が備える吸着制御部１５ｂが、図示しない真空圧供給源から供給される真空圧の制御を行うことによってなされる。
【００１４】
図１及び図２において、各搭載ヘッド１５には撮像視野を下方に向けた基板撮像カメラ１８が設けられている。本実施の形態では、前方搭載ヘッド１５Ａに設けられた基板撮像カメラ１８を前方基板撮像カメラ１８Ａと称し、後方搭載ヘッド１５Ｂに設けられた基板撮像カメラ１８を後方基板撮像カメラ１８Ｂと称する。
【００１５】
図１及び図２において、基台１１上の基板搬送コンベア１２とパーツフィーダ１３との間の領域には撮像視野を上方に向けた部品撮像カメラ１９が設けられている。本実施の形態では、基板搬送コンベア１２と前方パーツフィーダ１３Ａとの間の領域に設けられた部品撮像カメラ１９を前方部品撮像カメラ１９Ａと称し、基板搬送コンベア１２と後方パーツフィーダ１３Ｂとの間の領域に設けられた部品撮像カメラ１９を後方部品撮像カメラ１９Ｂと称する。
【００１６】
図１及び図２において、２つの搭載ヘッド１５のそれぞれには動作撮像カメラ２０が設けられている。本実施の形態では、前方搭載ヘッド１５Ａに設けられた動作撮像カメラ２０を第１の動作撮像カメラ２０Ａ（第１の撮像手段）と称し、後方搭載ヘッド１５Ｂに設けられた動作撮像カメラ２０を第２の動作撮像カメラ２０Ｂ（第２の撮像手段）と称する。第１の動作撮像カメラ２０Ａは、撮像視野を後方斜め下方に向けて前方搭載ヘッド１５Ａに取り付けられており、第２の動作撮像カメラ２０Ｂは、撮像視野を前方斜め下方に向けて後方搭載ヘッド１５Ｂに取り付けられている。第１の動作撮像カメラ２０Ａは、後方搭載ヘッド１５Ｂが備える各吸着ノズル１７の動作（部品３の吸着動作及び搭載動作）を撮像し、第２の動作撮像カメラ２０Ｂは、前方搭載ヘッド１５Ａが備える各吸着ノズル１７の動作（部品３の吸着動作及び搭載動作）を撮像する。
【００１７】
図３において、基板搬送コンベア１２による基板２の搬送制御、各パーツフィーダ１３による部品３の供給制御、ヘッド移動機構１６による２つの搭載ヘッド１５（前方搭載ヘッド１５Ａ及び後方搭載ヘッド１５Ｂ）の移動制御、各搭載ヘッド１５におけるノズル駆動部１５ａによる各吸着ノズル１７の昇降及び制御及び吸着制御部１５ｂによる各吸着ノズル１７の吸着制御、２つの基板撮像カメラ１８（前方基板撮像カメラ１８Ａ及び後方基板撮像カメラ１８Ｂ）の撮像制御、２つの部品撮像カメラ１９（前方部品撮像カメラ１９Ａ及び後方部品撮像カメラ１９Ｂ）の撮像制御、２つの動作撮像カメラ２０（第１の動作撮像カメラ２０Ａ及び第２の動作撮像カメラ２０Ｂ）の撮像制御は、部品実装装置１が備える制御装置３０が行う。２つの基板撮像カメラ１８、２つの部品撮像カメラ１９及び２つの動作撮像カメラ２０のそれぞれが撮像して得られた画像に基づく画像認識等は、制御装置３０の画像認識部３０ａが行う。
【００１８】
次に、部品実装装置１の生産動作を説明する。基板搬送コンベア１２が上流工程側から基板２を搬入して作業位置に位置決めする。基板搬送コンベア１２が基板２を位置決めしたら、前方搭載ヘッド１５Ａ又は後方搭載ヘッド１５Ｂが基板２の上方に移動し、前方基板撮像カメラ１８Ａ又は後方基板撮像カメラ１８Ｂによって基板２に設けられた基板マーク２ｍ（図１）を撮像する。これにより得られた画像は制御装置３０に送られ、制御装置３０において、基板２の正規の停止位置からの位置ずれが求められる。
【００１９】
部品搭載手段１４による部品３の移載動作では、先ず、ヘッド移動機構１６が搭載ヘッド１５を吸着動作位置に位置させる。ここで吸着動作位置とは、吸着ノズル１７がパーツフィーダ１３の部品供給口１３ｐの上方に位置して吸着ノズル１７により部品３を吸着し得る位置である。搭載ヘッド１５が吸着動作位置に位置したら、ヘッド移動機構１６は吸着ノズル１７を昇降させ、パーツフィーダ１３が部品供給口１３ｐに供給する部品３を吸着ノズル１７に吸着させてピックアップする。
【００２０】
搭載ヘッド１５が部品３をピックアップしたら、ヘッド移動機構１６は、吸着ノズル１７により吸着された部品３が部品撮像カメラ１９の上方を通過するように搭載ヘッド１５を移動させる。部品３が上方を通過するとき部品撮像カメラ１９はその部品３を撮像する。これにより得られた画像は制御装置３０に送られ、制御装置３０において、吸着ノズル１７に対する部品３の位置ずれ（吸着ずれ）が求められる。なお、前方パーツフィーダ１３Ａからピックアップされた部品３については前方部品撮像カメラ１９Ａによって撮像され、後方パーツフィーダ１３Ｂからピックアップされた部品３については後方部品撮像カメラ１９Ｂによって撮像されるように各搭載ヘッド１５が移動される。
【００２１】
制御装置３０が部品３の吸着ずれを求めたら、ヘッド移動機構１６は、搭載ヘッド１５を、基板２の上方の搭載動作位置に移動させる。ここで搭載動作位置とは、吸着ノズル１７によりピックアップした部品３を基板２上の部品搭載位置（電極部２ｄ）の上方に位置させた位置である。搭載ヘッド１５は、基板２の位置ずれと部品３の吸着ずれがキャンセルされるように修正された搭載動作位置で吸着ノズル１７を下降させ、基板２上の電極部２ｄに部品３を搭載する。
【００２２】
ヘッド移動機構１６は、基板２に搭載されるべき部品３が基板２に搭載されるように、搭載ヘッド１５を吸着動作位置と搭載動作位置との間で往復させる。基板２に搭載されるべき全ての部品３が基板２に搭載されたら、基板搬送コンベア１２は基板２を下流工程側に搬出する。これにより基板２の１枚当たりの基板生産動作が終了する。
【００２３】
上記のような手順による基板２の生産作業において、搭載ヘッド１５によるパーツフィーダ１３からの部品３の吸着ミスや吸着した部品３の基板２への搭載ミス等の実装不良が発生した場合には、部品実装装置１による基板生産を一時停止したうえで、以下に説明する吸着ノズル１７の動作（部品３の吸着動作及び搭載動作）の確認を行って、実装不良の発生原因を追究することができる。
【００２４】
例えば、動作を確認する対象が後方搭載ヘッド１５Ｂに設けられた吸着ノズル１７（図４、図５及び図６において符号１７Ｔで示す）であり、その吸着ノズル１７の動作を第１の動作撮像カメラ２０Ａによって撮像しようとする場合には、先ず、制御装置３０に制御されたヘッド移動機構１６が前方搭載ヘッド１５Ａを移動させて、吸着動作位置又は搭載動作位置に位置させた撮像対象の吸着ノズル１７が、第１の動作撮像カメラ２０Ａの撮像可能領域ＫＲ（図５及び図６）内に収まるようにする。そして、撮像対象の吸着ノズル１７を昇降作動させ、その吸着ノズル１７の動作（部品３の吸着動作又は搭載動作）を第１の動作撮像カメラ２０Ａによって撮像する。ここで、「第１の動作撮像カメラ２０Ａの撮像可能領域ＫＲ」とは、第１の動作撮像カメラ２０Ａに備えられた撮像素子のイメージエリアにピントの合ったイメージ（画像）を形成させることができる第１の動作撮像カメラ２０Ａの被写界深度内の領域をいう。なお、図５は吸着ノズル１７の吸着動作を撮像するときの例を示しており、図６は吸着ノズル１７の搭載動作を撮像するときの例を示している。
【００２５】
同様に、動作を確認する対象が前方搭載ヘッド１５Ａに設けられた吸着ノズル１７であり、その吸着ノズル１７の動作を第２の動作撮像カメラ２０Ｂによって撮像しようとする場合には、先ず、制御装置３０に制御されたヘッド移動機構１６が後方搭載ヘッド１５Ｂを移動させて、吸着動作位置又は搭載動作位置に位置させた撮像対象の吸着ノズル１７が、第２の動作撮像カメラ２０Ｂの撮像可能領域ＫＲ内に収まるようにする。そして、撮像対象の吸着ノズル１７を昇降作動させ、その吸着ノズル１７の動作（部品３の吸着動作又は搭載動作）を第２の動作撮像カメラ２０Ｂによって撮像する。ここで、「第２の動作撮像カメラ２０Ｂの撮像可能領域ＫＲ」とは、第２の動作撮像カメラ２０Ｂに備えられた撮像素子のイメージエリアにピントの合ったイメージ（画像）を形成させることができる第２の動作撮像カメラ２０Ｂの被写界深度内の領域をいう。
【００２６】
制御装置３０の表示制御部３０ｂ（図３）は、上記のようにして撮像した吸着ノズル１７の動作を制御装置３０に繋がるモニター３０Ｍ（図３）の画面に画像表示する。これにより作業者ＯＰは、撮像対象の吸着ノズル１７の動作を観察して確認することができる。なお、上記吸着ノズル１７の動作確認時には、吸着ノズル１７の昇降動作の速度を通常よりも低速度に変更できるようになっていることが好ましく、このようにすれば作業者ＯＰは吸着ノズル１７の動作をより正確に観察することができる。
【００２７】
次に、図７及び図８を参照して、吸着ノズル１７の動作確認の例を示す。図７は、パーツフィーダ１３からの部品３の吸着時における吸着ノズル１７の昇降動作（吸着動作）の動作確認の手順を示すフローチャートであり、図８は、吸着した部品３の基板２への搭載時における吸着ノズル１７の昇降動作（搭載動作）の動作確認の手順を示すフローチャートである。
【００２８】
先ず、吸着動作の動作確認について説明する。吸着動作の確認を行うケースとしては、例えば、吸着ノズル１７が部品３のピックアップそのものに失敗していた場合のほか、部品３のピックアップには成功したものの、部品３の角を吸着するなどして部品３が立ち姿勢になっている、いわゆる立ち吸着が発生していた場合等が挙げられる。
【００２９】
吸着動作の確認動作では、図７に示すように、先ず、制御装置３０が目標位置を決定する（ステップＳＴ１）。ここで決定する目標位置は、撮像対象の吸着ノズル１７に部品３を供給するパーツフィーダ１３の部品供給口１３ｐの上方領域（吸着動作位置）である。制御装置３０が目標位置を決定したら、ヘッド移動機構１６は、撮像対象の吸着ノズル１７が目標位置に位置するように被撮像側（撮像対象の吸着ノズル１７を備えた側）の搭載ヘッド１５を移動させるとともに（ステップＳＴ２）、撮像対象の吸着ノズル１７が動作撮像カメラ２０の撮像可能領域ＫＲ内に収まるように、撮像側（吸着ノズル１７の動作を撮像しようとする動作撮像カメラ２０を備えた側）の搭載ヘッド１５を移動させる（ステップＳＴ３）。
【００３０】
ヘッド移動機構１６が被撮像側の搭載ヘッド１５と撮像側の搭載ヘッド１５を移動させたら、撮像対象の吸着ノズル１７を昇降させつつ（ステップＳＴ４）、撮像側の動作撮像カメラ２０によって、撮像対象の吸着ノズル１７の一連の動作を撮像し、その内容をモニター３０Ｍに画像表示する（ステップＳＴ５）。なお、ステップＳＴ４では吸着ノズル１７を昇降させるだけでよく、部品３の吸着は必ずしも行う必要はない。
【００３１】
制御装置３０は、目標位置において撮像対象の吸着ノズル１７の昇降と撮像及び画像表示を行ったら、次の目標位置があるかどうかを判断する（ステップＳＴ６）。その結果、次の目標位置がある場合にはステップＳＴ１に戻り、次の目標位置がない場合にはその吸着ノズル１７についての吸着動作の確認を終了する。そして、まだ吸着動作の確認を行っていない吸着ノズル１７がある場合には、その吸着ノズル１７について図７のフローチャートの処理を実行し、更には、被撮像側と撮像側を入れ替えて、同様の処理を実行する。これにより前方搭載ヘッド１５Ａと後方搭載ヘッド１５Ｂの双方について、全ての吸着ノズル１７についての吸着動作の動作確認が完了する。
【００３２】
次に、搭載動作の動作確認について説明する。搭載動作の確認を行うケースとしては、例えば、吸着ノズル１７が部品３の搭載動作を行ったものの、基板２上で部品３を離脱できずにそのまま持ち帰ってしまう、いわゆる部品持ち帰りが発生していた場合や、基板２上に搭載された部品３が隣接する他の部品３と干渉していたような場合等が挙げられる。
【００３３】
搭載動作の確認動作では、図８に示すように、先ず、制御装置３０が、パーツフィーダ１３を作動させるとともに被撮像側の搭載ヘッド１５をそのパーツフィーダ１３の上方位置（吸着動作位置）に移動させて、部品３を吸着させる（ステップＳＴ１１）。そして、被撮像側の搭載ヘッド１５を移動させ、撮像対象の吸着ノズル１７に吸着させた部品３を部品撮像カメラ１９に認識させて（ステップＳＴ１２）、目標位置を決定する（ステップＳＴ１３）。ここで決定する目標位置は、撮像対象の吸着ノズル１７が部品３の搭載動作を行う基板２の上方の搭載動作位置である。制御装置３０が目標位置を決定したら、ヘッド移動機構１６は撮像対象の吸着ノズル１７が目標位置に位置するように被撮像側の搭載ヘッド１５を移動させるとともに（ステップＳＴ１４）、撮像対象の吸着ノズル１７が撮像側の動作撮像カメラ２０の撮像可能領域ＫＲ内に収まる位置に撮像側の搭載ヘッド１５を移動させる（ステップＳＴ１５）。
【００３４】
ヘッド移動機構１６が被撮像側の搭載ヘッド１５と撮像側の搭載ヘッド１５を移動させたら、撮像対象の吸着ノズル１７を昇降させつつ（ステップＳＴ１６）、撮像側の動作撮像カメラ２０によって、撮像対象の吸着ノズル１７の一連の動作を撮像し、その内容をモニター３０Ｍに画像表示する（ステップＳ１７）。なお、ステップＳＴ１６では吸着ノズル１７を昇降させるだけでよく、基板２への部品３の搭載は必ずしも行う必要はない。
【００３５】
制御装置３０は、目標位置において撮像対象の吸着ノズル１７の昇降と撮像及び画像表示を行ったら、次の目標位置がある場合かどうかを判断する（ステップＳＴ１８）。その結果、次の目標がある場合にはステップＳＴ１３に戻り、次の目標位置がない場合にはその吸着ノズル１７についての搭載動作の確認を終了する。そして、まだ搭載動作の確認を行っていない吸着ノズル１７がある場合には、その吸着ノズル１７について図８のフローチャートの処理を実行し、更には、被撮像側と撮像側を入れ替えて、同様の処理を実行する。これにより前方搭載ヘッド１５Ａと後方搭載ヘッド１５Ｂの双方について、全ての吸着ノズル１７についての搭載動作の動作確認が完了する。
【００３６】
作業者ＯＰは、上記吸着ノズル１７の吸着時の動作及び搭載時の動作をモニター３０Ｍに表示される画像（動作）を通じて観察できるので、吸着ノズル１７の動作異常等を発見してその対策を講じることができる。
【００３７】
以上説明したように、本実施の形態における部品実装装置１では、互いに独立して移動する２つの搭載ヘッド（前方搭載ヘッド１５Ａ及び後方搭載ヘッド１５Ｂ）のそれぞれに動作撮像カメラ２０（撮像手段）が設けられており、被撮像側の搭載ヘッド１５が備える吸着ノズル１７の動作（部品３の吸着動作及び搭載動作）を撮像側の搭載ヘッド１５が備える動作撮像カメラによって撮像する。このとき撮像対象の吸着ノズル１７が動作撮像カメラ２０の撮像可能領域ＫＲ内に収まる位置に撮像側の搭載ヘッド１５を移動させるので、１つの撮像手段（第１の動作撮像カメラ２０Ａ又は第２の動作撮像カメラ２０Ｂ）で被撮像側の搭載ヘッド１５が備える全ての吸着ノズル１７を撮像できる。このため本実施の形態における部品実装装置１によれば、搭載ヘッド１５の大型化・重量化を防止しつつ、吸着ノズル１７（前方搭載ヘッド１５Ａが備える全ての吸着ノズル１７及び後方搭載ヘッド１５Ｂが備える全ての吸着ノズル１７）の動作を確認することができる。
【００３８】
なお、撮像対象の吸着ノズル１７の位置に応じて動作撮像カメラ２０を（直接的には撮像側の搭載ヘッド１５を）移動させるので、被撮像側の搭載ヘッド１５における吸着ノズル１７の本数やノズル列の数や配置等とは無関係に、その全ての吸着ノズル１７の動作確認を行うことができる。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
搭載ヘッドの大型化・重量化を防止しつつ、吸着ノズルの動作を確認することができる部品実装装置を提供する。
【符号の説明】
【００４０】
１  部品実装装置
２  基板
３  部品
１３  パーツフィーダ（部品供給部）
１５Ａ  前方搭載ヘッド（第１の搭載ヘッド）
１５Ｂ  後方搭載ヘッド（第２の搭載ヘッド）
１７  吸着ノズル
２０Ａ  第１の動作撮像カメラ（第１の撮像手段）
２０Ｂ  第２の動作撮像カメラ（第２の撮像手段）
ＫＲ  撮像可能領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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