(57)【要約】【課題】十分な剛性を有し、且つ軽量化された部材を提供する。【解決手段】セラミックス部材４０は、セラミックスにより形成されたハウジング本体４２を含み、前記ハウジング本体４２には、計測基準面として設定された、Ｘ１方向及び当該Ｘ１方向と直交するＹ１方向に延在する第１の面（４３）と、被取付部材（１００、１１０）が固定される取付面２０６、２１６と、が設けられ、当該取付面２０６、２１６は、前記Ｘ１方向において前記計測基準面に対して第１の傾斜角度を有し、前記Ｙ１方向において前記計測基準面に対して第２の傾斜角度を有する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミックスにより形成されたハウジング本体を含み、
前記ハウジング本体には、
計測基準面として設定された、Ｘ１方向及び当該Ｘ１方向と直交するＹ１方向に延在する第１の面と、
被取付部材が固定される取付面と、
が設けられ、
当該取付面は、前記Ｘ１方向において前記計測基準面に対して第１の傾斜角度を有し、前記Ｙ１方向において前記計測基準面に対して第２の傾斜角度を有することを特徴とするセラミックス部材。
【請求項２】
前記ハウジング本体には、前記計測基準面および前記取付面のいずれとも直交しない第２の面がさらに設けられたことを特徴とする請求項１に記載のセラミックス部材。
【請求項３】
前記取付面は、前記ハウジング本体に形成された凹部の内側に形成されたことを特徴とする請求項１に記載のセラミックス部材。
【請求項４】
前記ハウジング本体には、前記被取付部材の一部が挿通される挿通孔が設けられ、当該挿通孔は、前記凹部と連通し、前記取付面から延在して設けられたことを特徴とする請求項３に記載のセラミックス部材。
【請求項５】
前記ハウジング本体には、異なる方向に向いた複数の前記取付面が設けられたことを特徴とする請求項１に記載のセラミックス部材。
【請求項６】
前記被取付部材は、光学計測装置であることを特徴とする請求項１に記載のセラミックス部材。
【請求項７】
Ｘ方向及び当該Ｘ方向と直交するＹ１方向に延在するように供給され、Ｘ−Ｙ面の表面を有する板ガラスの欠陥の有無を検出する欠陥検査システムであって、
前記Ｙ方向に移動可能に設けられた請求項１に記載の前記セラミックス部材と、
前記被取付部材として前記セラミックス部材の前記取付面に取り付けられたカメラと、
前記板ガラスを前記Ｘ方向に搬送されており、前記セラミックス部材を前記Ｙ方向に往復移動させている間に、前記カメラにより撮像された前記板ガラスの前記Ｘ−Ｙ面の画像データに基づき、前記板ガラスの欠陥の有無を検出する判定手段と、を有することを特徴とする欠陥検査システム。
【請求項８】
前記Ｘ１方向及び前記Ｙ１方向で規定されるＸ１−Ｙ１面は、前記Ｘ−Ｙ面と平行であることを特徴とする請求項７に記載の欠陥検査システム。
【請求項９】
前記Ｘ１方向及び前記Ｙ１方向で規定されるＸ１−Ｙ１面は、前記Ｘ−Ｙ面と垂直であることを特徴とする請求項７に記載の欠陥検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、セラミックス部材及び欠陥検査システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、板ガラスを製造する板ガラス製造装置においては、溶融ガラスを所望の厚さのガラスリボンに加工し、さらに搬送ロールにより搬送しながら徐冷して板ガラスを製造している。板ガラスの製造工程では、板ガラスの表面及び内部に微小なキズや気泡などの欠陥の有無を検査している。従来の板ガラス検査システムとしては、例えば、特許文献１（特開平１１―３３７３２４号公報）により開示された検査システムがある。
【０００３】
上記板ガラスの検査システムでは、帯状に形成された板ガラスの搬送方向に内面検査エリアと表面検査エリアとを設け、内面検査エリアには板ガラスの下方に照明装置を配置し、板ガラスの上方の搬送方向と直交する幅方向に複数のカメラを整列させる。また、表面検査エリアでは、板ガラスの表面近くに光源を配置し、板ガラスの斜め前方及び斜め上方のそれぞれにカメラを配置する。
【０００４】
このように、従来の検査システムは、それぞれの各エリア毎に複数のカメラを設ける構成であり、板ガラス基板の大型化により、上記の方法では必要なカメラ台数が増加するが、各カメラがそれぞれの検査領域を分担するため、各カメラの撮像条件が同じになるように調整することが難しかった。また、近年、各カメラに内蔵された撮像素子の性能が向上すると共に、小型化及び軽量化も進化していることから、カメラの台数を削減して検査システムの省スペース化及び効率化の促進が検討されている。
【０００５】
従って、カメラの数を削減することにより、複数のカメラの調整作業の手間を省くことが可能になる。さらに、検査工程の効率化を高めるには、カメラを高速で移動させて板ガラスの表面を走査しながら欠陥の有無を検査する検査システムの開発が検討されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１１―３３７３２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、カメラを高速で移動させて検査工程の効率化を促進するには、カメラが搭載されたハウジングが十分な剛性を有し、且つ軽量化されていることが重要であるが、金属を加工した場合、要求される剛性が得られても軽量化を実現することが難しかった。
【０００８】
本発明の一般的な目的は、関連技術の限界及び欠点に起因する１つ又はそれ以上の問題を実質的に解決するセラミックス部材等を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
一つの形態によれば、セラミックスにより形成されたハウジング本体を含み、前記ハウジング本体には、計測基準面として設定された、Ｘ１方向及び当該Ｘ１方向と直交するＹ１方向に延在する第１の面と、被取付部材が固定される取付面と、が設けられ、当該取付面は、前記Ｘ１方向において前記計測基準面に対して第１の傾斜角度を有し、前記Ｙ１方向において前記計測基準面に対して第２の傾斜角度を有することを特徴とするセラミックス部材が提供される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、上記被取付部材が固定されるハウジング本体の剛性の向上と軽量化を図り、さらには欠陥検査の検査精度を高めることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明によるセラミックス部材の一実施例が適用された欠陥検査システムの概略構成を示す側面図である。
【図２】本発明によるセラミックス部材の一実施例が適用された欠陥検査システムの概略構成を示す平面図である。
【図３】本発明によるセラミックス部材の一実施例が適用された欠陥検査システムの概略構成を示す正面図である。
【図４】カメラの取付構造を示す側面図である。
【図５】カメラの取付構造を示す正面図である。
【図６】セラミックス部材を斜め上方からみた斜視図である。
【図７】セラミックス部材を斜め下方からみた斜視図である。
【図８】本発明による変形例１が適用されたセラミックス部材を正面からみた概略構成図である。
【図９】本発明による変形例１が適用されたセラミックス部材を側面からみた概略構成図である。
【図１０】本発明による変形例２が適用されたセラミックス部材を正面からみた概略構成図である。
【図１１】本発明による変形例２が適用されたセラミックス部材を側面からみた概略構成図である。
【図１２】図１０中Ａ−Ａ線に沿う変形例２のセラミックス部材の縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に、本発明の実施例を添付の図面を用いて詳細に説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１３】
上述したように、検査システムにおいて、カメラが搭載されたハウジングが十分な剛性を有し、且つ軽量化されていることが要求されている。
【００１４】
さらに、カメラの撮像範囲を板ガラスの搬送方向または搬送方向と直交する幅方向に向くようにカメラのハウジング上への取付方向を設定した場合、搬送速度が高速になると、撮像された画像が移動方向に流れて検査精度が低下するという問題が生じる。
【００１５】
そこで、カメラのハウジング上への取付角度を板ガラスの搬送方向に対して所望の角度傾斜させることで板ガラスとカメラの相対速度を減少させて画像による欠陥の有無を判定する欠陥判定精度を向上させることが要望されている。
【００１６】
また、板ガラスの表面に付着している汚れや厚みのムラといった、内在する欠陥や表面傷とは異なるものを区別するために、光源の方向とカメラの方向を異なる軸方向から板ガラスに対して傾斜角度をつけて観察する必要がある。
【００１７】
すなわち、カメラの取付角度に幅方向及び搬送方向の両方向に対して傾斜角度を持たせることになる。ここで、板ガラスの搬送方向をＸ方向、幅方向をＹ方向とすると、板ガラスの表面（上面）はＸ方向及びＹ方向で規定されるＸ−Ｙ面に延在する。この場合、カメラが固定される取付面は、Ｘ方向の第１の断面において、Ｘ−Ｙ平面に対する第１の傾斜角度と、Ｙ方向の第２の断面において、Ｘ−Ｙ平面に対する第２の傾斜角度とを有することになる。
【００１８】
例えば、上記ハウジングを金属で製作する場合、２つの異なる方向に対して傾斜角を有する取付け面を鋼材から切削加工で削り出すことは可能であるが、重量が非常に重くなる。また、アルミダイキャストのような製法で形成した場合は、剛性が不足しており、いずれも高速で移動する場合に、カメラの測定精度が得られない。
【００１９】
さらに、まだ余熱状態にある大型ガラス基板の表面近くにおいては、金属製のハウジングは熱膨張してカメラの光軸の正しい傾斜角度を保持できない。
【００２０】
なお、リボン状の板ガラスを切断した後ならば、ガラスをＸＹステージで移動させたり、回転台座に載せて回転させて、少数のカメラで検査することが考えられるが、パネル自体の大型化によりそれも困難になり、さらに切断前のリボンではこの方法は採用できない。
【００２１】
図１は、本発明によるセラミックス部材４０の一実施例が適用された欠陥検査システム１０の概略構成を示す側面図である。図２は本発明によるセラミックス部材４０の一実施例が適用された欠陥検査システム１０の概略構成を示す平面図である。
【００２２】
図１及び図２に示されるように、欠陥検査システム１０は、板ガラス２０が搬送される搬送経路の検査領域に設置されている。板ガラス２０は、搬送装置３０の搬送ロール３２の回転によりＸ方向（搬送方向）に搬送されて検査領域を通過する。
【００２３】
欠陥検査システム１０は、セラミックス部材４０と、画像判定部（判定手段）５０と、モニタ６０と、画像記憶部７０と、欠陥位置演算部８０と、欠陥位置記憶部９０とを有する。
【００２４】
セラミックス部材４０は、ハウジング本体４２と、ハウジング本体４２の前側に突出する一対の前側腕部４４と、ハウジング本体４２の後側に突出する一対の後側腕部４６とを有する。また、セラミックス部材４０は、例えば、炭化ケイ素（ＳｉＣ）やアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）等のセラミクスにより形成される。そのため、セラミックス部材４０は、剛性が高く、且つ鉄などの金属よりも軽量である。また、セラミックス部材４０には、搬送装置３０の上方に設けられ、板ガラス２０の表面に形成されたＸ−Ｙ面（Ｘ方向とＹ方向とに形成された被検査面）２０Ａを撮像するカメラ（被取付部材）１００、１１０が取り付けられている。カメラ１００、１１０は、それぞれ、板ガラス２０の表面からの光を捉えるレンズ部と、レンズ部からの入射光を画像信号に変換する撮像素子とを有する。
【００２５】
さらに、ハウジング本体４２は、搬送方向（Ｘ方向）と直交する幅方向（Ｙ方向）に移動可能に設けられている。ここで、ハウジング本体４２の複数の平面のうち任意の１面を「計測基準面」（第１の面）として選択することができる。以下、計測基準面を、Ｘ１方向及びＸ１方向に直交するＹ１方向に形成されるＸ１−Ｙ１面と言う。
【００２６】
例えば、本実施形態において、例えば、ハウジング本体４２の底面４３（第１の面）を計測基準面として設定することができる。以下、底面４３を「Ｘ１−Ｙ１面４３Ａ」（又は「Ｘ１−Ｙ１平面４３Ａ」）と言う。ここで、ハウジング本体４２には、計測基準面に対してカメラ１００、１１０が所望の向き（角度）となるようにカメラ１００、１１０が位置決め固定される複数の取付面が形成されている。尚、取付面の詳細については、後述する。
【００２７】
カメラ１００、１１０により撮像された画像データは、画像判定部５０に供給される。画像判定部５０では、画像データに基づいて板ガラス２０における欠陥による光の乱反射の有無を判定している。また、カメラ１００、１１０により撮像された画像データは、モニタ６０に転送されて表示されると共に、画像記憶部７０で記憶される。画像判定部５０において、板ガラス２０に欠陥があると判定された場合、判定結果を欠陥位置演算部８０に出力する。欠陥位置演算部８０は、欠陥位置（板ガラス２０のＸ−Ｙ面２０ＡにおけるＸ、Ｙ方向の座標位置）を演算し、演算結果を欠陥位置記憶部９０に記憶させる。
【００２８】
図３は本発明によるセラミックス部材４０の一実施例が適用された欠陥検査システム１０の概略構成を示す正面図である。
【００２９】
図２及び図３に示されるように、欠陥検査システム１０は、セラミックス部材４０をＹ方向に往復移動させる移動装置１２０を有する。移動装置１２０は、搬送装置３０の上方にＹ方向に横架されたガイドレール１３０と、ボールネジ１４０と、駆動装置１５０とを有する。ボールネジ１４０は、ガイドレール１３０と平行にＹ方向に横架されたねじ軸１４２と、ねじ軸１４２が螺合するナット１４４とを有する。ナット１４４は、内部にボールが循環する構成であり、ハウジング本体４２の側面に固定される。
【００３０】
ガイドレール１３０は、セラミックス部材４０の一対の前側腕部４４を貫通し、両端が支持部材１６０、１７０により支持されている。ねじ軸１４２は、セラミックス部材４０の一対の後側腕部４６を貫通し、且つ後側腕部４６に固定されたナット１４４に螺合する。また、ねじ軸１４２は、両端が支持部材１６０、１７０に保持された軸受１６２、１７２により回転可能に支持されている。
【００３１】
さらに、ねじ軸１４２は、一方の端部が駆動装置１５０のモータに接続されており、モータ回転力により回転駆動される。そして、ねじ軸１４２の回転方向が適宜反転することでナット１４４に対してＹ方向の往復駆動力が伝達される。これにより、ハウジング本体４２に搭載されたカメラ１００、１１０は、Ｙ方向に往復移動しながら板ガラス２０の表面を異なる傾斜方向から同時に撮像する。また、各カメラ１００、１１０の撮像範囲は、レンズ部のズーム機能（広角側又は望遠側に調整可能）により適宜調整可能である。
【００３２】
検査対象となる板ガラス２０の上面の面積が大型化した場合、ハウジング本体４２は高速で移動する必要がある。特に、ハウジング本体４２の動作方向が反転する場合に発生する歪みを小さくするためには、ハウジング本体４２は弾性率が高く、密度が小さい方が望ましい。例えば、本実施例においては、弾性率が２００ＧＰａ以上、密度が５Ｍｇ／ｍ３以下のセラミックスによりハウジング本体４２を形成することが望ましい。特に、液晶表示用のような大型パネル用の板ガラス２０を検査する場合には、弾性率が２５０ＧＰａ以上、密度が３．５Ｍｇ／ｍ３以下がより望ましい。従って、検査対象の大きさに応じてセラミックスの弾性率、密度を適宜変更することが望ましい。
【００３３】
ここで、セラミックス部材４０の構成、及びカメラ１００、１１０の取付面について説明する。
【００３４】
セラミックス部材４０は、例えば、炭化ケイ素（ＳｉＣ）により調合された泥奬を型に入れて成形し、その後乾燥し、さらに焼成して所定形状のセラミックス部材となる。
【００３５】
図４はカメラ１００及び１１０の取付構造を示す側面図である。図５は、カメラ１００及び１１０の取付構造を示す正面図である。
【００３６】
図４及び図５に示されるように、ハウジング本体４２の前方向（Ｘ方向）に突出する腕部４４には、ガイドレール１３０が挿通されるガイド孔４５がＹ方向に貫通している。また、ハウジング本体４２の後方向（Ｘ方向）に突出する腕部４６には、ボールネジ１４０のねじ軸１４２が挿通されるガイド孔４７がＹ方向に貫通している。
【００３７】
セラミックス部材４０のハウジング本体４２には、上面４１に開口する取付凹部２００、２１０が設けられている。カメラ１００、１１０は、それぞれ取付凹部２００、２１０に挿入される。取付凹部２００、２１０は、カメラ１００、１１０のカメラ本体１０２、１１２の形状に応じた四角形状の開口を有し、カメラ１００、１１０の撮像方向に応じた方向に傾斜している。
【００３８】
また、取付凹部２００、２１０の内側には、カメラ１００、１１０が固定される取付面２０６、２１６と、カメラ１００、１１０の一部であるレンズ部１０４、１１４が挿通される挿通孔２０２、２１２とが設けられている。また、挿通孔２０２、２１２の下端は、ハウジング本体４２の底面４３に開口する下側開口部２０４、２１４に連通している。尚、挿通孔２０２、２１２は、軸方向と直交する断面が円形に形成され、上端が取付凹部２００、２１０に連通され、下端が挿通孔（下側開口部）２０２、２１２に連通されている。
【００３９】
取付凹部２００、２１０の内部には、挿通孔２０２、２１２の上端を囲むように段差が設けられている。段差により形成された挿通孔２０２、２１２を囲む平面は、カメラ１００、１１０の取付面２０６、２１６である。
【００４０】
上述したように、本実施形態において、ハウジング本体４２の底面４３の一つが計測基準面として選択され、「Ｘ１−Ｙ１面４３Ａ」（又は「Ｘ１−Ｙ１平面４３Ａ」）と言う。ここで、Ｘ１−Ｙ１面４３Ａは、Ｘ−Ｙ面２０Ａ（板ガラス２０の表面）と平行である。
【００４１】
取付面２０６は、Ｘ１方向においてＸ１−Ｙ１平面４３Ａに対する第１の傾斜角度θ１ａと、Ｙ１方向においてＸ１−Ｙ１平面４３Ａに対する第２の傾斜角度θ２ａとを有するように形成される。同様に、取付面２１６は、Ｘ１方向においてＸ１−Ｙ１平面４３Ａに対する第３の傾斜角度θ１ｂと、Ｙ１方向においてＸ１−Ｙ１平面４３Ａに対する第４の傾斜角度θ２ｂとを有するように形成される。
【００４２】
尚、各傾斜角度θ１ａ、θ２ａ、θ１ｂ、θ２ｂは、例えば、カメラ１００、１１０の撮像範囲（画角）に応じて１°〜８９°の範囲でそれぞれ所望とする任意の角度に設定される。ここで、取付面２０６に対する角度θ１ａ及びθ２ａの組み合わせ、及び取付面２１６に対する角度θ１ｂ及びθ２ｂの組み合わせは、異なるようにすることができ、これにより、取付面２０６及び２１６の方向が互いに異なるようにすることができる。なお、取付面２０６及び２１６は、互いに直交しない構成とすることができ、一方が一の取付面に該当し、他方が第２の面に該当する構成とすることができる。
【００４３】
カメラ１００、１１０のカメラ本体１０２、１１２は、四角形状に形成された段差形状の下側端面が取付面２０６、２１６に当接して撮像方向が位置決めされる。また、取付面２０６、２１６の形成は、セラミックス部材４０をセラミックス材で成形する工程で例えば、ハウジング本体４２の底面４３を基準面として各傾斜角度θ１ａ及びθ２ａ、並びにθ１ｂ及びθ２ｂが正確に規定される。そして、焼成後のセラミックス部材４０は、全体的に収縮が生じるが、全体が均一に収縮することで取付面２０６、２１６の取付角度（計測基準面としてのＸ１−Ｙ１面４３Ａに対するＸ１、Ｙ１方向の傾斜角度θ１ａ及びθ２ａ、並びにθ１ｂ及びθ２ｂ）がずれることなく正確に形成される。
【００４４】
各カメラ１００、１１０の取付方向は、取付面２０６、２１６によって位置決めされるため、水平面（Ｘ−Ｙ平面）に対して２つの傾斜角度θ１ａ及びθ２ａ、並びにθ１ｂ及びθ２ｂを有する。このようにハウジング本体４２の取付面２０６、２１６に取り付けられた各カメラ１００、１１０は、ハウジング本体４２と共にＹ方向に往復移動する間に、それぞれＸ方向に搬送される板ガラス２０の表面を斜め上方から撮像することが可能になる。さらに、各カメラ１００、１１０は、垂直方向（Ｚ方向）の軸回り方向（θｚ方向）に異なる向きに設置され、板ガラス２０を左右斜め方向から撮像する。
【００４５】
板ガラス２０に欠陥がある場合、欠陥形状及び欠陥の大きさによって検知しにくい場合があるが、本実施例では２台のカメラ１００、１１０により異なる２方向から撮像することで、欠陥による光の変化（乱反射）を確実に検知できる。よって、各カメラ１００、１１０により撮像された画像データに基づく欠陥判定の検査精度が向上する。さらに、各カメラ１００、１１０が撮像しながらＹ１、Ｙ２方向に往復移動することで、Ｘ１方向に搬送される板ガラス２０の表面全体を効率良く検査することが可能になる。
【００４６】
図６は、セラミックス部材４０を斜め上方からみた斜視図である。図７は、セラミックス部材４０を斜め下方からみた斜視図である。
【００４７】
図６及び図７に示されるように、セラミックス部材４０は、ハウジング本体４２の上面４１に四角形状の取付凹部２００、２１０が開口し、ハウジング本体４２の底面４３に円形の挿通孔（下側開口部）２０４、２１４が開口している。そして、取付凹部２００、２１０の内側には、カメラ１００、１１０のカメラ本体１０２、１１２が固定される取付面２０６、２１６が設けられている。
【００４８】
本実施例では、ハウジング本体４２の底面４３に形成された計測基準面としてのＸ１−Ｙ１面４３Ａは、カメラ１００、１１０によって観察される板ガラス２０の表面（被検査面）上に形成されるＸ−Ｙ面２０Ａに対して平行である。そして、取付面２０６、２１６は、ハウジング本体４２の上面４１又は底面４３に形成された計測基準面としてのＸ１−Ｙ１面４３Ａに対してＸ１方向に対する第１の傾斜角度θ１ａ、第３の傾斜角度θ１ｂと、Ｙ１方向に対する第２の傾斜角度θ２ａ、第４の傾斜角度θ２ｂとを有する向きに形成されている。
【００４９】
このようにＸ１−Ｙ１面３４Ａに対する複数の傾斜角度θ１ａ、θ１ｂとθ２ａ、θ２ｂを有する取付面２０６、２１６が取付凹部２００、２１０内に設けられた取付構造を、硬度の高いムクのセラミックスブロックから機械加工で加工することは、極めて加工時間がかかり、その分コストが高くなる。そのため、特に大型形状のセラミックス部材においては、セラミックスブロックから機械加工を施すといった方法による工業的な生産は、困難であった。
【００５０】
しかしながら、本実施例では、セラミックス部材４０を成形する際に用いる型形状あるいは成形後の修正作業により上記取付面２０６、２１６を計測基準面としてのＸ１−Ｙ１面４３Ａに対して所望の傾斜角度θ１ａ及びθ２ａ、並びにθ１ｂ及びθ２ｂを有する傾斜面に正確に形成することが可能である。よって、セラミックス部材４０は、金属よりも軽量で、且つ金属と同等以上の剛性を有すると共に、複数の傾斜角度θ１ａ及びθ２ａ、並びにθ１ｂ及びθ２ｂとを有する取付面２０６、２１６を高精度に加工される。
【００５１】
そのため、板ガラスの欠陥検査システム１０においては、カメラ１００、１１０が搭載されたセラミックス部材４０の軽量化及び高剛性化が可能になり、検査工程の高速化及び検査精度の向上を図ることが可能になる。
【００５２】
本実施例では、ハウジング本体４２に２台のカメラ１００、１１０を設置した場合を例に挙げて説明するが、カメラの設置台数は、２台に限らず、３台以上設置する構成としても良い。
【００５３】
また、セラミックス部材４０の構成は、上記構成に限るものではなく、例えば、ハウジング本体４２の底面４３あるいは上面４１、あるいは側面等にカメラ以外の他の光学計測装置（例えば、レーザ干渉計や光源など）を取り付ける構成としても良い。
【００５４】
また、計測基準面としては、ハウジング本体４２の底面４３に限らず、例えばハウジング本体４２の上面４１又は側面に設定することも可能である。
【００５５】
また、上記実施例では、カメラ１００、１１０を固定するための取付面２０６、２１６が形成されたセラミックス部材４０について説明したが、これに限らず、カメラ以外の光学計測装置などの被取付部材を固定する場合にも本発明を適用できる。
【００５６】
また、セラミックス部材４０を移動させる移動装置１２０として、ガイドレール１３０とボールネジ１４０とを有する構成について例示したが、これに限らず、他の駆動方式（例えば、タイミングベルトやリニアモータなど）を用いても良い。
【００５７】
また、セラミックス部材４０は、ハウジング本体４２と一対の腕部４４、４６とを有する構成のものを一例として挙げたが、他の構成、他の形状のものでも良い。
【００５８】
〔変形例１〕
図８は、本発明による変形例１が適用されたセラミックス部材４０Ａを正面からみた概略構成図である。図９は、本発明による変形例１が適用されたセラミックス部材４０Ａを側面からみた概略構成図である。
【００５９】
図８及び図９に示されるように、この変形例１のセラミックス部材４０Ａでは、ハウジング本体４２Ａと、ガイド孔４５Ａ、４７Ａを有するハウジング上部４８Ａと、上下方向に延在形成された一対の腕部４４Ａ、４６Ａとを有する。
【００６０】
すなわち、セラミックス部材４０Ａは、ハウジング本体４２Ａの上方に離間した位置にハウジング上部４８Ａが設けられており、ハウジング本体４２Ａとハウジング上部４８Ａとの間が一対の腕部４４Ａ、４６Ａにより連結された構成である。また、セラミックス部材４０Ａは、軽量化のため、一対の腕部４４Ａ、４６Ａの間に四角形の開口部４９Ａが設けられている。
【００６１】
このように、ガイドレール１３０、ボールネジ１４０が挿通されるガイド孔４５Ａ、４７Ａを有するハウジング上部４８Ａがハウジング本体４２Ａの上方に離間した位置に設けられている。そのため、ガイドレール１３０、ボールネジ１４０が板ガラス２０から離間することで、板ガラス２０の表面温度が比較的高い場合に、ガイドレール１３０、ボールネジ１４０の熱膨張による変形を回避することが可能になる。
【００６２】
また、セラミックス部材４０Ａにおいて、ハウジング上部４８Ａに垂直な表面、ハウジング上部４８Ａの左右側面の一つが位置決めのための計測基準面としてのＸ１−Ｙ１平面４３Ａとして設定される。すなわち、変形例１では、板ガラス２０の表面（被検査面）に形成されるＸ−Ｙ面２０Ａに対して垂直方向の平面がＸ１−Ｙ１平面４３Ａとして設定される。
【００６３】
具体的には、本例のセラミックス部材４０Ａにおいて、計測基準面としてのＸ１−Ｙ１平面４３Ａがハウジング上部４８Ａの左右側面の一方に設定されているため、例えばハウジング本体４２Ａが往復移動する際、側方に設けられた光学式距離センサによりＸ１−Ｙ１平面４３Ａまでの移動中の距離を検出することでハウジング本体４２Ａの位置を正確に割り出すことができる。
【００６４】
ハウジング本体４２Ａには、前述した実施例と同様に、カメラ１００、１１０を保持するための取付凹部２００Ａ、２１０Ａが形成されている。そして、各取付凹部２００Ａ、２１０Ａの内部には、カメラ１００、１１０を固定するための取付面２０６Ａ、２１６Ａが形成されている。
【００６５】
上述したように、本実施形態において、ハウジング上部４８Ａの底面４３の一つが計測基準面として選択され、「Ｘ１−Ｙ１平面４３Ａ」と言う。ここで、Ｘ１−Ｙ１平面４３Ａは、Ｘ−Ｙ面２０Ａ（板ガラス２０の表面）に垂直である。
【００６６】
本実施形態において、取付面２０６Ａは、Ｘ１方向においてＸ１−Ｙ１平面４３Ａに対する第１の傾斜角度θ１ａと、Ｙ１方向においてＸ１−Ｙ１平面４３Ａに対する第２の傾斜角度θ２ａを有するように形成される。同様に、取付面２１６は、Ｘ１方向においてＸ１−Ｙ１平面４３Ａに対する第３の傾斜角度θ１ｂと、Ｙ１方向においてＸ１−Ｙ１平面４３Ａに対する第４の傾斜角度θ２ｂとを有するように形成される。
【００６７】
取付面２０６Ａ、２１６Ａは、垂直方向に形成された平面に対応するＸ１−Ｙ１平面４３Ａ内の座標軸Ｘ１、Ｙ１に対して、それぞれ複数の傾斜角度θ１ａ、θ１ｂとθ２ａ、θ２ｂとを有し、赤外線カメラや、レーザー干渉計や、光源などの光学計測機器を取り付けることができる。
【００６８】
この変形例１においては、ハウジング本体４２Ａの熱膨張率が小さい方が計測基準面としてのＸ１−Ｙ１平面４３Ａからカメラ１００、１１０の位置までの距離の誤差が少ないため、より正確な測定ができる。望ましくは、ハウジング本体４２Ａの線膨張係数が８×１０−６／Ｋ以下、液晶パネル用のように小さな欠点まで位置を正しく検出する必要がある場合は、ハウジング本体４２Ａの線膨張係数が５×１０−６／Ｋ以下がより望ましく、ムライトや窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）などが好適なセラミックス材として選ばれる。
【００６９】
〔変形例２〕
図１０は、本発明による変形例２が適用されたセラミックス部材４０Ｂを正面からみた概略構成図である。図１１は、本発明による変形例２が適用されたセラミックス部材４０Ｂを側面からみた概略構成図である。図１２は、図１０中Ａ−Ａ線に沿うセラミックス部材４０Ｂの側断面図である。
【００７０】
図１０〜図１２に示されるように、本変形例２のセラミックス部材４０Ｂでは、ハウジング本体４２Ｂの左右両側下面にリニアガイド（不図示）用のガイド溝４５５、４７５が延在形成された支持部４４Ｂ、４６Ｂを有する。ガイド溝４５５、４７５は、それぞれリニアガイドの突出形状に対応する台形状凹部に形成されており、セラミックス部材４０Ｂは、リニアガイドに嵌合することで搬送方向（Ｘ方向）と直交する移動方向（Ｙ方向）にガイドされる。
【００７１】
欠陥の有無を検査するためのカメラ１００、１１０、光源５００（光源５００の一つは不図示）は、ハウジング本体４２Ｂの各取付凹部２００Ｂ、２２０Ｂ、２１０Ｂに挿入され、各取付凹部２００Ｂ、２２０Ｂ、２１０Ｂに形成された各取付面２０６Ｂ、２２６Ｂ、２１６Ｂに固定される。
【００７２】
そのため、カメラ１００、１１０及び光源５００は、取付面２０６Ｂ、２２６Ｂ、２１６Ｂに固定されることで、板ガラス２０の表面（被検査面）に対して左右方向（Ｙ方向）の斜め上方から板ガラス２０の検査を行う所定の傾斜角度に保持される。
【００７３】
また、ハウジング本体４２Ｂの底面中央部には、Ｙ方向の一側（図１０中、右側）に配された光源５００からＹ方向の他側（取付面２０６Ｂ、図１０中、左側）に配されたカメラ１００に反射する光路に乱反射が入らない様に下方に突出する乱反射遮へい部４２５が設けられている。また、乱反射遮へい部４２５は、光源５００及びカメラ１００、１１０の光路に沿うように傾斜された傾斜面４２６、４２７を有する。傾斜面４２６、４２７は、周囲からの光が光源５００及びカメラ１００、１１０の光路に進入しないように光を遮蔽する。
【００７４】
また、別の光源５００及びカメラ１１０は、上記光源５００及びカメラ１００と左右方向（Ｙ方向）に逆向きに配置されており、１８０度反転した向きから板ガラス２０の検査を行う。
【００７５】
このように、セラミックス部材４０Ｂは、板ガラス２０の表面に対して光源５００から浅い角度で絞った光を当て、光源５００の光軸とは別の方向のカメラ１００、１１０により板ガラス２０の欠陥部の反射を識別して検出することに適した構造になっている。例えば、板ガラス２０がタッチパネル用などのような比較的薄い場合は、ガラス内部の欠陥と、表面の付着物とを区別するために、カメラ１００、１１０及び一対の光源５００の取り付け角度をできるだけ水平に近い角度に傾斜させることが望ましい。
【００７６】
また、カメラ１００、１１０及び一対の光源５００は、各取付凹部２００Ｂ、２２０Ｂ、２１０Ｂに挿入された状態で取付面２０６Ｂ、２２６Ｂ、２１６Ｂに固定される。そのため、本変形例２のハウジング本体４２Ｂにおいては、各取付凹部２００Ｂ、２２０Ｂ、２１０Ｂの貫通方向が板ガラス２０の表面に形成されたＸ−Ｙ面２０Ａに対して比較的水平に近い傾斜角となるように形成されているので、一対の光源５００からの光がほぼＹ方向の側方から照射されるため、板ガラス２０のＸ−Ｙ面２０Ａに形成された欠陥部をみつけやすい。
【００７７】
本変形例２において、リニアガイドに接触する台形状凹部に形成されたガイド溝４５５、４７５の内側と外側の傾斜面のうち１つ（例えば、ガイド溝４５５の内側の傾斜面）を選択し、セラミックス部材４０Ｂの計測基準面として設定し、「Ｘ１−Ｙ１面４３Ｂ」と言う。Ｘ１−Ｙ１面４３Ｂは、Ｘ−Ｙ面２０Ａ（板ガラス２０の表面）に対しておよそ４５°の角度を有する。
【００７８】
取付面２０６Ｂ、２１６Ｂ、２２６Ｂは、Ｘ１−Ｙ１面４３Ｂ内の座標軸Ｘ１、Ｙ１に対して、それぞれ複数の傾斜角度θ１ａ、θ１ｂ、θ１ｃとθ２ａ、θ２ｂ、θ２ｃとを有し、カメラ１００、１１０や、光源５００などを取り付けることができる。
【００７９】
尚、図１２に示す取付面２０６Ｂ、２２６Ｂの傾斜角度θ１ａ、θ１ｃは、Ｘ１−Ｙ１面４３ＢのＸ１軸に対する角度であり、図１０に示す傾斜角度θ２ａ、θ２ｂは、Ｘ１−Ｙ１面４３ＢのＹ１軸に対する角度である。
【００８０】
本変形例２においては、ハウジング本体４２Ｂの全体の温度が均一である方が、微小欠陥の位置をより正確な測定ができる。望ましくは、１００℃における熱伝導率が４０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上、液晶パネル用のように小さな欠点まで位置を正しく検出する必要がある場合は、１００℃における熱伝導率が８０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上がより望ましく、炭化ケイ素（ＳｉＣ）や窒化アルミニウム（ＡｌＮ）などが好適なセラミックス材として選ばれる。
【００８１】
以上、本発明を実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載の範囲内で様々な変形が可能である。
【符号の説明】
【００８２】
１０  欠陥検査システム
２０  板ガラス
３０  搬送装置
３２  搬送ロール
４０、４０Ａ、４０Ｂ           セラミックス部材
４２、４２Ａ、４２Ｂ           ハウジング本体
４３  底面
４３Ａ      Ｘ１−Ｙ１面
４３Ｂ      Ｘ１−Ｙ１面
４４  前側腕部
４４Ａ、４６Ａ    腕部
４４Ｂ      支持部
４５、４５Ａ、４７ ガイド孔
４６  後側腕部
４８Ａ      ハウジング上部
４９Ａ      開口部
５０  画像判定部
６０  モニタ
７０  画像記憶部
８０  欠陥位置演算部
９０  欠陥位置記憶部
１００      カメラ
１０２      カメラ本体
１０４      レンズ部
１１０      カメラ
１２０      移動装置
１３０      ガイドレール
１４０      ボールネジ
１４２      ねじ軸
１４４      ナット
１５０      駆動装置
１６０      支持部材
１６２      軸受
２００、２００Ａ、２００Ｂ     取付凹部
２０２、２０４    挿通孔
２０６、２０６Ａ、２０６Ｂ、２１６   取付面
４２５      乱反射遮へい部
４２６      傾斜面
４５５      ガイド溝
５００      光源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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