(57)【要約】      （修正有）【課題】ターボ分子ポンプの打ち抜かれたステーターディスクとしてより厚い薄板から製造されるとき、少なくとも基本的に内部応力無いままの状態であるステーターディスク、及びその製造方法を提供する。【解決手段】ターボ分子ポンプの為のステーターディスク２４であって、内側リング６６及び外側リング６８並びにこれらの間に設けられた複数のステーター羽根７０を有し、これらが其々ウェブ７２，７４を介して内側リング６６及び外側リング６８と接続されており、その際、ステーターディスク２４が、目立てられた複数のステーター羽根７０と、周囲方向において、特にステーター羽根７０の数量に相当する数量の互いに分離された円環部分７６に細分された外側リング６８を有する打ち抜かれたステーターディスクとして形成されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空ポンプ（１０）、特にターボ分子ポンプの為のステーターディスク（２４）であって、内側リング（６６）及び外側リング（６８）並びにこれらの間に設けられた複数のステーター羽根（７０）を有し、これらが其々ウェブ（７２，７４）を介して内側リング（６６）及び外側リング（６８）と接続されており、その際、ステーターディスク（２４）が、目立てられた複数のステーター羽根（７０）と、周囲方向において、特にステーター羽根（７０）の数量に相当する数量の互いに分離された円環部分（７６）に細分された外側リング（６８）を有する打ち抜かれたステーターディスクとして形成されていることを特徴とするステーターディスク。
【請求項２】
外側リング（６８）の互いに分離された円環部分（７６）が、其々、少なくとも一つのウェブ（７４）を介してステーター羽根（７０）と接続されていることを特徴とする請求項１に記載のステーターディスク。
【請求項３】
外側リング（６８）の互いに分離された円環部分（７６）は、其々、ステーター羽根（７０）が半径方向に向けられていることを特徴とする請求項１または２に記載のステーターディスク。
【請求項４】
外側リング（６８）の、周囲方向において互いに連続する円環部分（７６）が半径方向のスリット（７８）によって互いに分離されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のステーターディスク。
【請求項５】
外側リング（６８）の互いに分離された円環部分（７６）が、一つの共通の平面の中で、互いに平行に設けられていることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載のステーターディスク。
【請求項６】
真空ポンプ、特にターボ分子ポンプの為のステーターディスクの製造方法であって、薄板により形成されたベースボディからなるステーターディスク（２４）が、内側リング（６６）、外側リング（６８）、及び、これらの間に設けられた複数のステーター羽根（７０）を有する打ち抜かれたステーターディスクとして製造されており、これらステーター羽根が、其々、ウェブ（７２，７４）を介して内側リング（６６）及び外側リング（６８）と接続されており、その際、ステーターディスク（２４）の外側リング（６８）が、周囲方向において、特にステーター羽根（７０）の数量に相当する数量の互いに分離された円環部分（７６）に細分され、ステーター羽根が目立てられ、そしてステーター羽根（７０）が引き続いて整向され、外側リング（６８）の互いに分離された円環部分（７６）が、その出発状態に戻され、当該出発状態において、これらが少なくとも基本的に、一つの共通な平面内において互いに平行な状態にあることを特徴とする方法。
【請求項７】
ステーターディスク（２４）の外側リング（６８）が、ステーター羽根（７０）の目立ての前に互いに分離された円環部分（７６）へと細分されることを特徴とする請求項６に記載の方法。
【請求項８】
ステーターディス（２４）の外側リング（６８）が、ステーター羽根（７０）を目立てた後に互いに分離された複数の円環部分（７６）へと細分されることを特徴とする請求項６に記載の方法。
【請求項９】
ステーター羽根（７０）の整向は、ステーター羽根（７０）の目立てによって引き起こされるウェブ（７２，７４）のトーションの保持もと行われることを特徴とする請求項６から８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１０】
ステーター羽根（７０）の整向の為に、内側リング（６６）に隣接する、ステーター羽根（７０）の縁部（８０）が、其々、整向ツールの特に二つの点形状の要素によって固定され、そして、ステーター羽根（７０）の、外側リング（６８）に隣接する縁部（８２）に、其々、整向ツールの特に二つの点形状の要素が位置取らせられ、これらを介してステーター羽根（７０）の必要なトーションが軸方向の圧力によって引き起こされることを特徴とする請求項６から９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１１】
ステーター羽根（７０）の所望の目立て角度の調整の為に、及び、外側リング（６８）の互いに分離された円環部分（７６）をその出発状態へと戻すために、ステーター羽根（７０）が、整向の際にわずかに過回転されることを特徴とする請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
ステーターディスク（２４）が、打ち抜き、切断、レーザー、又はフライス加工によって、互いに分離された複数の円環部分（７６）へと細分されることを特徴とする請求項６から１１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１３】
ステーターディスク（２４）の外側リング（６８）が、スリット状の半径方向の切欠き部（７８）の形成によって、周囲方向に連続する複数の円環部分（７６）へと細分されることを特徴とする請求項６から１２のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１４】
ステーターディスク（２４）の、周囲方向に互いに連続する円環部分（７６）が、ステーター羽根（７０）の整向の後に、びょう留め、溶接、プラスチック等による射出包囲等によって安定化され、及び／又は互いに接続されることを特徴とする請求項６から１３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１５】
真空ポンプ（１０）、特にターボ分子ポンプであって、ローター軸（１８）の方向に相連続する複数のステーターディスク（２４）を有するステーターと、ローター軸（１８）を中心としてステーターに対して回転可能に支承されたローターを有し、このローターは、ローターシャフト（２０）と、ローターシャフト（２０）に設けられ、軸方向において相連続し、そしてステーターディスク（２４）の間に配置された複数のローターディスク（２２）を有し、その際、ステーターディスク（２４）及びローターディスク（２２）が、其々、ポンプ効果を発する構造を有し、そしてステーターディスク（２４）が請求項１から５のいずれか一項に従い形成され、及び／又は、請求項６から１３のいずれか一項に記載の方法によって製造されていることを特徴とする真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプの為のステーターディスクに関する。本発明は更に、そのようなステーターディスクの製造方法並びに真空ポンプ、特にターボ分子ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばターボ分子ポンプのような真空ポンプは、様々な技術領域で使用され、各プロセスに必要な真空を達成する。ターボ分子ポンプはローター軸の方向に連続する複数のステーターディスクを有するステーターと、ローター軸を中心としてステーターに対して相対的に回転可能に支承されたローターを有する。ローターは、ローターシャフトと、ローターシャフトに設けられ、軸法方向において相連続し、そしてステーターディスクの間に設けられた複数のローターディスクを有する。その際、ステーターディスクとローターディスクは、其々、ポンプ効果を発する構造を有している。
【０００３】
真空ポンプ又はターボ分子ポンプのローター直径が大きいほど、突然のガス進入の際に、ローターディスク及びステーターディスクに作用する圧力も大きい。しかしまた、これは、そのような場合に、ローターとステーターの間の接触が生じるほどに撓んではならない。よって、薄板より製造される、打ち抜かれたステーターディスクにおいて、相応して厚い薄板厚さを選択し、必要な強度を保持することが必要である。「打ち抜かれた」ステーターディスクとは、本開示の枠内では、特に、薄板から打ち抜かれたステーターディスクであり、特に、薄板から鋸挽きによって切り出すことによって得られたものでないステーターディスクであると解される。
【０００４】
相応して厚い薄板厚さの為に、ステーターディスクの強化の為にこれまで通常であった措置、例えばフレアリング（独語：Ｂｏｅｒｄｅｌｕｎｇ）がもはや実現不可能である。しかし、ステーター羽根の必要な目立ての際に、ステーターディスクがゆがむとき、目立て（独語：Ｓｃｈｒａｅｎｋｅｎ）に引き続く羽根の整向（独語：Ｒｉｃｈｔｅｎ）の為の通常の方法はもはや適用不可能である。
【０００５】
しかし、目立てプロセスにおいて応力がステーターディスク内に生じるので、引き続いての整向過程は必要である。ステーター羽根の目立ての際に発生する応力は、個々のステーター羽根が、トーションのもと弾性的にのみ変形し、よって羽根は、目立て過程の後、再びその当初形状へと戻ろうとする。各ステーターディスクの内側リングは、これによって、ステーターディスクは、全体としてあらわれる非平坦性に基づいてもはや使用できないほどねじれる。後プレスや目立て過程の際の圧力の上昇も、より良好な結果をもたらすものではない。
【０００６】
ステーターディスクの望まれない変形又は非平坦性は、主として、ステーター羽根に、目立て過程によってトーションによる内部応力が生じることによって生じる。これは同時に、ステーター羽根がウェブを介して内側リング及び外側リングにより堅固に接続される際に、これらリングの変形にも通じる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】欧州特許出願公開第１７３１７６６Ａ２号明細書
【特許文献２】欧州特許出願公開第１９１８５８８Ａ２号明細書
【特許文献３】欧州特許出願公開第１６００６３９Ａ２号明細書
【特許文献４】欧州特許出願公開第２４５８２２２Ａ２号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の課題は、上述した問題点が解決される、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプの為のステーターディスク、及びそのようなステーターディスクの製造の為の方法を提供することである。その際、ステーターディスクは、特に、打ち抜かれたステーターディスクとしてより厚い薄板から製造されるとき、少なくとも基本的に内部応力無いままの状態であろう。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
課題は、発明に従い、請求項１に記載の特徴を有するステーターディスクによって、及び請求項６に記載の特徴を有する方法によって解決される。発明に係るステーターディスクの好ましい実施形と、発明に係る方法の好ましい態様は、下位請求項、明細書及び図面から生じる。
【００１０】
真空ポンプ、特にターボ分子ポンプの為の発明に係るステーターディスクは、内側リング及び外側リングと、これらの間に配置されたステーター羽根を有する。このステーター羽根は、複数のウェブを介して其々、内側リング及び外側リングと接続されている。その際、ステーターディスクは、目立てられたステーター羽根と、周囲方向において、複数の互いに分離された円環部分に細分された外側リングを有する打ち抜かれたステーターディスクとして形成されている。円環部分の数量は、特に、ステーター羽根の数量に相当する、つまり各ステーター羽根に対して一つの円環部分が設けられている。しかしこれは必須ではない。外側リングの細分は、基本的に、例えば、二つ毎のステーター羽根のみにおいて行われることも可能である。
【００１１】
「円環部分」の概念は、広く一般的に「セグメント」の意味に理解される。つまり、外側リングを形成するセグメントは、幾何学的に狭い意味で、円環の部材である必要は無い。
【００１２】
発明に係る形成に基づいて、各ステーターディスクは、厚い薄板から製造されることも可能である。ステーターディスクは、打ち抜かれたステーターディスクとして厚い薄板から製造されるとき、少なくとも基本的に内部応力を有さない状態のままである。好ましくは（しかし必須ではないが）ステーター羽根の数量に相当する数量の互いに分離された円環部分又はセグメントに、ステーターディスクの外側リングが細分されているので、ステーター羽根の目立てによって羽根内にもたらされた応力が、その後再び解消されることが可能である。これによってステーター羽根は、其々再びその当初形状に戻って回転することができる。その際、内側リングと内側の羽根縁部の間の角度と、外側リングと外側の羽根縁部の間の角度と、これにともないウェブのトーション（羽根を内側リング及び外側リングにつなぐトーション）は、少なくとも基本的に所望の値に一定のままである。目立てプロセスに続く整向過程は、羽根だけのトーションに限定することができる（羽根のトーションにおいてのみ行われることができる）。ウェブのトーションは、その際、そのままである（ウェブのトーションは整向されない）。これによって特に、打ち抜かれた熱いステーターディスクも実現されることが可能である。よって、より大きなローター直径を有する真空ポンプ又はターボ分子ポンプにおいても、より厚く、そして相応して強度の高い打ち抜かれたステーターディスクの使用によって製造コストが最小化されることが可能である。弾性的な変形が、整向過程の後、すぐに解消されることが可能であるので、そのような応力が、運転の間、ポンプ内部において熱によって解消され、そしてステーターディスクの望まれない変形に通じることが回避される。別のコスト削減は、唯一の整向過程のみが必要とされることによって生じる。
【００１３】
ステーターディスクの厚さ又は薄板厚さは、好ましくは０．５ｍｍよりも厚く、そして特に１．０ｍｍよりも厚い。好ましくは、厚さは約１．５ｍｍである。本発明は、基本的に、より薄い薄板から製造されるステーターディスクにも適する。発明に係るステーターディスクは、１．５ｍｍを越える厚さを有することも可能である。
【００１４】
好ましくは、外側リングの互いに分離された円環部分は、其々、少なくとも一つのウェブを介してステーター羽根と接続されている。
【００１５】
外側リングの互いに分離された円環部分は、其々、ステーター羽根が整向されているとき、特に有利である。
【００１６】
外側リングの周囲方向に連続する円環部分は、好ましくは半径方向のスリットによって互いに分離されている。
【００１７】
真空ポンプ又はターボ分子ポンプのスペーサーリングパケット内におけるステーターディスクの通常の支承によって、ステーターディスクを円環部分に細分しているにも関わらず、いずれにせよ、外側リングの面での連結が保証され、これに伴い、ステーターハウジングに対するステーターディスクの最適な熱的連結が保証される。
【００１８】
スペーサーリングによって各ステーターディスクをその外側リングに固定することによって、外側リングが円環部分に細分されているにもかかわらず、強度に関する損失が少なくとも基本的には生じない。
【００１９】
真空ポンプの為、特にターボ分子ポンプの為のステーターディスクの製造の為の発明に係る方法は、ステーターディスクが、内側リング、外側リング、及びこれらの間に配置された複数のステーター羽根を有する打ち抜かれたステーターディスクとして、薄板により形成されたベースボディから製造され、これらステーター羽根は、其々、ウェブを介して内側リング及び外側リングと接続されており、その際、ステーターディスクの外側リングは、周囲方向において、特にステーター羽根の数量に相当する数量の互いに分離された円環部分に細分され、ステーター羽根は目立てられ、そしてステーター羽根は引き続いて整向され、その結果、ステーター羽根は所望の目立て角度に調整され、そして外側リングの互いに分離された円環部分は、その出発状態に戻り、当該出発状態において、これらは少なくとも基本的に互いに平行に一つの平面内に位置する点において際立っている。
【００２０】
特に、ステーター羽根の目立てによって羽根高さも、所望の各値に調整されることが可能である。
【００２１】
ステーター羽根が外側リングに堅固に接続されないことによって、ステーター羽根は、目立ての後、負荷開放されることが可能であり、これによってステーターディスクの所望の平坦性が達成される。外側リングの個々の円環部分が、その当初位置に戻されることが可能である。その際、内側リングと内側の羽根縁部の間の角度、及び、外側リングと外側の羽根縁部の間の角度、及びこれに伴い、（ステーター羽根を内側リング及び外側リングに接続する）ウェブのトーションは、少なくとも基本的に、所望の値に一定のままである。これに続く整向過程は、ステーター羽根のトーションに限定されることが可能である（ステーター羽根だけのトーションにおいて行われることが可能である）。これによって、各所望の角度が得られる。ステーターディスクは、これによって、例えば１ｍｍまたは１．５ｍｍの厚さを有する相対的に厚い薄板から製造されることが可能であるので、より大きなローター直径を有する真空ポンプ又はターボ分子ポンプにおいても、打ち抜かれたステーターディスクを使用することによって製造コストが最小化される。全ての弾性的な変形が、整向過程の後、即座に再び解消されることが可能であるので、ステーターディスクは最終的に応力を有さない。これによって、運転中ポンプ内で熱によって応力が解消されることが可能であり、そして望まれていないステーターディスクの変形に至るということが排除される。更に、単に整向ツールのみが必要とされ、このことは更なるコストの最小化に貢献する。
【００２２】
ステーター羽根を外側リングに堅固に接続しないことによって、及びこれに伴って現れる、捩られた羽根の応力開放（負荷開放、独語：Ｅｎｔｓｐａｎｎｕｎｇ）によって、整向過程の後にステーターディスクの所望の平坦性が生じる。スペーサーリングによる各ステーターディスクの外側リングへの通常の固定によって、外側リングが細分化されているにも拘わらず、真空ポンプ又はターボ分子ポンプの各スペーサーリングパケット内で外側リングは面で接続されることとなり、これによって、特に最適な熱的な接続が保証される。
【００２３】
ステーターディスクの外側リングは、ステーター羽根の目立ての前にも後にも、互いに分離された円環部分へと細分されることが可能である。
【００２４】
ステーター羽根の整向は、有利には、ステーター羽根の目立てによって引き起こされる、ウェブのトーションの維持によって行われる。
【００２５】
発明に係る方法の好ましい実践的な態様に従い、ステーター羽根の整向の為に、内側リングに隣接するステーター羽根の縁部は、其々、整向ツールの特に二つの点形状の要素によって固定され、そして外側リングに隣接するステーター羽根の縁部には、其々、整向ツールの特に二つの点形状の要素が位置取らせられ、これを介して、ステーター羽根の必要なトーションが、軸方向の圧力によって引き起こされる。
【００２６】
その際、ステーター羽根の所望の目立て角度の調整の為に、及び、外側リングの互いに分離された円環部分をその出発状態に戻すために、ステーター羽根は、整向の際に好ましくは軽く過回転させられる。
【００２７】
ステーターディスクは、特に打ち抜き（独語：Ｓｔａｎｚｅｎ）、切断、レーザー、フライス加工、又は鋸挽き（独語：Ｓａｅｇｅｎ）によって、互いに分離された円環部分へと細分されることが可能である。
【００２８】
好ましくは、ステーターディスクの外側リングは、半径方向のスリット状の切欠き部を周囲方向に連続する円環部分内に形成することによって細分される。
【００２９】
各ステーターディスクを、スペーサーリングによって通常通り固定することによって、外側リングの細分によって、実質的に、ステーターディスクのたわみに対する強度に関して損失が生じない。しかし、ステーターディスクの安定化の為に、周囲方向に連続するステーターディスクの複数の円環部分は、ステーター羽根の整向の後に、例えばびょう留め、溶接、樹脂等による射出包囲等によって処理され、又は取り扱われることが可能である。その際、複数のセグメントは、再び互いに接続されることが可能である。しかしその際、そのような再統合化は必須ではない。
【００３０】
発明に係る真空ポンプ、特にターボ分子ポンプは、ローター軸の方向に連続する複数のステーターディスクを有するステーターと、ローター軸を中心としてローターに対して回転可能に支承されたローターを有する。該ローターは、ローターシャフト、及び、該ローターシャフトに設けられ、軸北欧に連続し、そしてステーターディスクの間に配置された複数のローターディスクを有する。その際、ステーターディスクとローターディスクは、其々、ポンプ効果を発する構造を有し、そしてステーターディスクとして発明に係るステーターディスクが設けられている。
【００３１】
ステーターディスクは、特に、其々、部分円環形状の複数部分から成っていることが可能である。その際、好ましくはこれらは、其々、二つの半円形状の部分から成っている。
【００３２】
発明に係る解決策によって、より厚い薄板から製造されたステーターディスクも問題なく使用されることが可能であり、これによって、真空ポンプ及び特にターボ分子ポンプの大きくなる直径によって、同じ圧力において、ステーターディスクに作用する圧力が、著しく上昇するということ、このことが、より大きなポンプにおいて、小さなポンプの場合において従来そうであったよりも厚い材料が使用される必要があるという結果を有するということが考慮されることが可能である。発明に係る解決策に基づいて、従来と異なり、比較的高価なステーターディスクはもはや使用される必要が無い。これは、今や、打ち抜かれたステーターディスクによって置き換えられることが可能であり、これによってコストは明らかに最小化されることが可能である。打ち抜かれたステーターディスクは、相応な厚さ、例えば１．５ｍｍの領域の厚さを有することが可能である。この厚さは、予期せぬ氾濫過程（独語：Ｆｌｕｔｖｏｒｇａｅｎｇｅｎ）の際に生じる高い圧力に耐えることが可能である。
【００３３】
打ち抜かれたステーターディスクは、まずプロフィル（輪郭、独語：Ｐｒｏｆｉｌ）が打ち抜かれ、そして引き続いて個々の羽根が目立てられることによって製造される。連続する外側リングを有する従来のステーターディスクにおいては、目立ての際に、弾性的変形によって、羽根内部に、これらが部分的に弾性的にのみ変形されるので、ディスクが引き続いてもはや使用されることが不可能であったような大きさの固有応力が生じる一方で、発明に係る外側リングの切断によって、是正が行われる。外側リングが、各羽根の間で発明に従い分離されることによって、応力は解消されることが可能である。個々の外側リング要素又は円環部分は、目立て過程の後に、確かに傾斜して起立するが、しかしこれらは引き続いて整向されることが可能である。当該整向過程によって、後に、所望のトーションが、軽度の過剰曲げによる可塑的な変形によって達成されることが可能である。この事は、連続する外側リングの観点から従来は不可能であった。外側リングの切断によって、ステーターディスクの安定性はいずれにせよわずかに影響を受ける。しかし、外側リングにおけるスペーサーリングによるステーターディスクの通常の固定の際に、ステーターディスクの過剰曲げの高い危険性が、実際上、生じない。しかしながら、ステーターディスクの更なる安定化の為に、まず外側リングの互いに分離された円環部分を整向過程の後、例えば、びょう留め、溶接、又はプラスチックによる射出包囲によって再び接続することも考え得る。
【００３４】
ステーターディスクの外側リングの発明に係る切断によって、より厚い薄板もステーターディスクへと処理されることが可能である。切断によってこれらが整向可能となるからである。これは、過剰曲げと吸引性能の間のできるだけ良い妥協案を、詳しく言うとより大きなステーターディスク直径においても可能とする。その際、より大きな真空ポンプ又はより大きなターボ分子ポンプにおいても、打ち抜かれたステーターディスクのコストメリットが利用されることが可能である。
【００３５】
本発明を、以下に添付の図面を参照しつつ実施例に基づいて詳細に説明する。図は、以下を示している。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】発明に係るステーターディスクが使用可能である真空ポンプの一つの例示的な実施形の簡略図
【図２】発明に係るステーターディスクの例示的な実施形のうち、二つの半円形状の部分から成る実施形の半円形の部分の簡略上面図
【図３】図２の半円形状のステーターディスクの図２の矢印の方向の簡略図
【発明を実施するための形態】
【００３７】
図１に示された真空ポンプ１０は、インレットフランジ１２によって取り囲まれたポンプインレット１４と、ポンプインレット１４に及ぶガスを、図１に表されていないポンプアウトレットへと搬送するための複数のポンプ段を有している。真空ポンプ１０は、静的な（又は静止した）ハウジング１６を有するステーターと、該ハウジング１６に設けられ、回転軸１８を中心として回転可能に支承されたローターシャフト２０を有するローターを有している。
【００３８】
真空ポンプ１０は、ターボ分子ポンプとして形成され、そしてポンプ作用を奏するよう互いにシリアルに接続された複数のターボ分子的ポンプ段を有する。これらポンプ段は、ローターシャフト２０と接続された複数のローターディスク２２と、軸方向においてローターディスク２２の間に設けられ、そしてハウジング１６に固定された複数のターボ分子的ステーターディスク２４を有する。これらは、スペーサーリング２６によって互いに所望の軸方向間隔に保持されている。ローターディスク２２とステーターディスク２４は、吸い込み領域（独語：Ｓｃｈｏｅｐｆｂｅｒｅｉｃｈ）２８において矢印３０の方向に向けられた軸方向のポンプ作用を提供する。
【００３９】
真空ポンプ１０は、更に、半径方向において入れ子式（独語：ｉｎｅｉｎａｎｄｅｒ）に設けられ、そしてポンプ作用を奏するよう互いにシリアルに接続された三つのホルベックポンプ段を有する。ホルベックポンプ段のローター側の部材は、ローターシャフト２０と接続されたローラーハブ３２と、ローターハブ３２に固定され、そしてこれによって担持されたシリンダー側面形状の二つのホルベックロータースリーブ３４，３６を有する。これらは、ローター軸１８に対して同軸に向けられており、そして半径方向において入れ子式に接続されている。更に、シリンダー側面形状のホルベックステータースリーブ３８，４０が設けられている。ホルベックポンプ段のポンプ効果を発する表面は、狭い半径方向のホルベック間隙を形成しつつ互いに向かい合っている半径方向の、ホルベックロータースリーブ３４，３６とホルベックステータースリーブ３８，４０の側面によって形成されている。その際、ポンプ効果を発する表面の各一方（本場面においてはホルベックロータースリーブ３４または３６のそれ）は滑らかに形成されており、ホルベックステータースリーブ３８，４０の向かい合ったポンプ効果を発する表面は、構造化部を有している。構造化部は、回転軸１８の周りをねじ線形状に軸方向へと推移する複数の溝を有しており、この中を、ローターの回転によってガスが搬送され、これによってポンピングが行われる。
【００４０】
ローターシャフト２０の回転可能な支承は、ポンプアウトレットの領域のローラー支承部４２とポンプインレット１４の領域の永久磁石支承部によって行われる。
【００４１】
永久磁石支承部４４は、ローター側の支承半部４６とステーター側の支承半部４８を有している。これらは、其々一つのリング積層部を有する。リング積層部は、軸方向に互いに積層された永久磁石の複数のリング５０，５２から成る。その際、磁石リング５０，５２は、半径方向の支承間隙５４を形成しつつ互いに向き合っている。
【００４２】
永久磁石支承部４４の内部には、緊急用または安全用支承部（独語：Ｎｏｔ−  ｏｄｅｒ  Ｆａｎｇｌａｇｅｒ）５６が設けられている。該支承部は、潤滑されていないローラー支承部として形成されており、そして真空ポンプの通常の運転においては、非接触で空転し、そして、ローターがステーターに対して過剰に半径方向に偏向した際に初めて係合するに至り、ローターの為の半径方向のストッパーを形成する。このストッパーは、ローター側の構造がステーター側の構造と衝突するのを防止する。
【００４３】
ローラー支承部４２の領域においては、ローターシャフト２０に円すい形のスプラッシュナット５８が設けられている。スプラッシュナットは、ローラー支承部４２の方に向かって増加する外直径を有している。これは、作動媒体、例えば潤滑媒体を染み込ませられた吸収性の複数のディスク６０を有する作動媒体貯蔵部のスキマーとすべり接触状態にある。運転中、作動媒体は毛細管作用によって、作動媒体貯蔵部からスキマー（独語：Ａｂｓｔｒｅｉｆｅｒ）を介して回転するスプラッシュナット５８へと伝達され、そして引き続いて遠心力によってスプラッシュナット５８にそって、スプラッシュナット５８の大きくなる外直径の方向へとローラー支承部４２に向かって搬送され、そこで例えば潤滑機能を発揮する。
【００４４】
真空ポンプは、ローターの回転駆動の為の駆動モーター６２を有する。その回転子は、ローターシャフト２０によって形成されている。制御ユニット６４が、駆動モーター６２を駆動する。
【００４５】
ターボ分子的ポンプ段は、吸い込み領域２８において矢印３０の方向のポンプ作用を提供する。
【００４６】
図２は、真空ポンプの為の発明に係るステーターディスク２４の、そのような二つの半円形状の部分から成る例示的な実施形の半円形状の部分の簡略上面図を示す。その様なステーターディスク２４は、図１と関連して説明されたように、例えば真空ポンプ１０又はターボ分子ポンプにおいて使用されることが可能である。図３には、図２の半円形状のステーターディスク部分が、矢印Ａの方向の簡略図として再度再現されている。
【００４７】
ステーターディスク２４は、内側リング６６及び外側リング６８と、これらの間に設けられたステーター羽根７０を有する。ステーター羽根７０は、其々、内側のウェブ７２とそ外側のウェブ７４を介して内側リング６６又は外側リング６８と接続されている。
【００４８】
その際、ステーターディスク２４は、ねじられた（独語：ｇｅｓｃｈｒａｅｎｋｔｅｎ）複数のステーター羽根７０を有する、打ち抜かれた（独語：ｇｅｂｌｅｃｈｔｅ）ステーターディスクとしての薄板から形成されたベースボディと、周囲方向においてステーター羽根７０の数量と対応する数量の、互いに分離された円環部分７６に細分された外側リング６８から形成されている。
【００４９】
図２に見て取れるように、外側リング６８の互いに分離された円環部分は、其々、唯一の外側のウェブ７４を介して各ステーター羽根７０と接続されている。ここで、外側リング６８の互いに分離された円環部分７６は、其々、当該ステーター羽根７０が半径方向に向けられている。
【００５０】
この場合、外側リング６８の周囲方向において連続する円環部分７６は、半径方向のスリット７８によって互いに分離されている。
【００５１】
製造されたステーターディスク２４の外側リング６８の互いに分離された円環部分７６は、互いに平行に一つの共通の平面内に設けられている。
【００５２】
対応するステーターディスク２４の製造の為に、発明に係る方法の例示的な形態では、ステーターディスク２４は、薄板から形成されたベースボディから、内側リング６６、外側リング６８及びこれらの間に設けられたステーター羽根７０を有する打ち抜かれたステーターディスクとして製造される。これらは、其々、内側のウェブ７２及び外側のウェブ７４を介して内側リング６６又は外側リング６８と接続されている。
【００５３】
ステーターディスク２４の外側リング６８は、周囲方向において、ステーター羽根７０の数量に相当する数量の、互いに分離された円環部分７６へと細分されている。ステーター羽根７０は、ステーター羽根７０の所望の目立て角度（独語：Ｓｃｈｒａｅｎｋｗｉｎｋｅｌ）を調整するため、目立てを行われ、そして引き続いて整向され、そして外側リング６８の互いに分離した円環部分７６は、その出発状態へと戻される。当該出発状態においては、これらは一つの共通な平面内で、再び少なくとも基本的に互いに平行である。
【００５４】
その際、ステーターリング２４の外側リング６８は、ステーター羽根７０の目立て（独語：Ｓｃｈｒａｅｎｋｅｎ）の前又は後に、ステーター羽根７０の数量に相当する数量の互いに分離された円環部分７６へと細分されることが可能である。
【００５５】
ステーター羽根７０の整向（独語：Ｒｉｃｈｔｅｎ）は、ステーター羽根７０の目立てによって引き起こされるウェブ７２，７４のトーションを保ちつつ行われる。
【００５６】
この為、ステーター羽根７０の整向の為に、内側リング６６に隣接するステーター羽根７０の縁部８０は、其々、整向ツール（図示せず）の特に二つの点形状の要素によって固定され、そして、外側リング６８に隣接するステーター羽根７０の縁部６２に、整向ツールの特に二つの点形状の要素が位置取られる。これらを介して、軸方向の圧力によってステーター羽根７０の必要なトーションが引き起こされる。
【００５７】
ステーター羽根７０の所望の目立て角度を調整するために、及び、外側リング６８の互いに分離された円環部分７６を、その出発状態に戻すために、ステーター羽根７０は整向の際にわずかに過回転させられる。
【００５８】
ステーターディスク２４は、特に打ち抜き、切断、レーザー、又はフライス加工によって、ステーター羽根７０に相当する数量の互いに分離された円環部分７６へと細分される。その際、ステーターディスク２４の外側リング６８の細分は、周囲方向に連続する円環部分７６へと、特にスリット状の半径方向の切欠き部又は半径方向のスリット７８によって細分される。
【００５９】
しかしまた、外側リングのセグメント間の中間空間又は中断は、スリット状である必要は無い。また、この中間空間又は中断が、半径方向に延在すること、又は少なくとも連続的に半径方向に延在することは、必須ではない。中間空間又は中断の形態及び形状は、基本的に任意であり、そして特に、使用される薄板の厚さと、ステーターディスクの寸法に依存して選択される。
【００６０】
ステーターディスク２４をスペーサーリングによって外側リング６８に通常通り固定する際に、実際的には、ステーターディスク２４の強度に関して本質的な損失が発生せず、そして相応して、ステーターディスクのたわみの危険性が高まることも実際的には無い。しかしまた、ステーターディスク２４の安定性を高める為に、ステーターディスク２４の周囲方向に連続する円環部分７６が、ステーター羽根７０の整向の後に、例えばびょう留め、溶接、プラスチック等による射出包囲（独語：Ｕｍｓｐｒｉｔｚｅｎ）等によって処理されるか、及び／又は、互いに接続されることが基本的に考え得る。
【符号の説明】
【００６１】
１０    真空ポンプ
１２    インレットフランジ
１４    ポンプインレット
１６    ハウジング
１８    回転軸
２０    ローターシャフト
２２    ローターディスク
２４    ステーターディスク
２６    スペーサーリング
２８    吸い込み領域
３０    矢印
３２    ローターハブ
３４    ホルベックロータースリーブ
３６    ホルベックロータースリーブ
３８    ホルベックステータースリーブ
４０    ホルベックステータースリーブ
４２    ローラー支承部
４４    永久磁石支承部
４６    ローター側の支承半部
４８    ステーター側の支承半部
５０    永久磁石のリング
５２    永久磁石のリング
５４    半径方向の支承間隙
５６    緊急用又は安全用支承部
５８    円すい形のスプラッシュナット
６０    吸収性のディスク
６２    駆動モーター
６４    制御ユニット
６６    内側リング
６８    外側リング
７０    ステーター羽根
７２    内側のウェブ
７４    外側のウェブ
７６    円環部分
７８    半径方向のスリット、半径方向の切欠き部
８０    内側の縁部
８２    外側の縁部
【図１】
2016142268.tif 000003
【図２】
2016142268.tif 000004
【図３】
2016142268.tif 000005