(57)【要約】      （修正有）【課題】ボイスコイルモータとリニア同期モータとの利点を活かした新規なリニアモータとその装置を提供する。【解決手段】リニアモータ１のヨーク１０は、可動子を移動可能にする空間１９を有し、長手方向に沿って磁極が異なる永久磁石２０が複数、交互に配設されている。可動子は、３以上の複数のコイルが隣接して一体に組み立てられたコイルアセンブリ３０として構成され、空間１９内を移動可能に収容されている。制御部２は、永久磁石に対向するコイルの位置に応じてそのコイルに、（１）永久磁石と完全に対向する位置に位置するコイルには、当該コイルが対向する永久磁石の磁極と同じ磁極となる極性のＤＣ電流を印加し、（２）永久磁石と完全に対向せず、コイルアセンブリの移動方向から離れるコイルには、給電せず、（３）上記永久磁石と隣接する次の永久磁石と対向するコイルには、次の永久磁石の磁極と同じ磁極となる極性のＤＣ電流を給電する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定子と、当該固定子に対して直線状に移動する可動子とを有するリニアモータと、
当該可動子の移動を制御する制御部と
を備えたリニアモータ装置であって、
前記固定子は、前記可動子が直線状に移動する当該リニアモータの長手方向に沿って、磁極が異なる永久磁石が交互に複数、配設されたヨークを有し、
前記可動子は、３以上の複数のコイルが隣接して一体に組み立てられたコイルアセンブリとして構成され、前記ヨークに配設された前記永久磁石と対向し、かつ、前記長手方向に沿って移動可能に配設されており、当該コイルアセンブリを構成する複数のコイルは独立に給電可能となっており、
前記制御部は、
前記永久磁石と完全に対向する位置に位置するコイルには、当該コイルが対向する永久磁石の磁極と同じ磁極となる極性のＤＣ電流を印加し、
前記永久磁石と完全に対向せず、コイルアセンブリの移動方向から離れるコイルには、給電せず、
前記永久磁石と隣接する次の永久磁石と対向するコイルには、次の永久磁石の磁極と同じ磁極となる極性のＤＣ電流を給電する、
リニアモータ装置。
【請求項２】
当該リニアモータは、前記可動子の位置を検出する位置検出手段を有し、
前記制御部は、前記位置検出手段の検出信号に基づいて前記可動子の各コイルの位置を検出し、当該検出したコイル位置に基づいて、前記各コイルへの給電制御を行う、
請求項１に記載のリニアモータ装置。
【請求項３】
前記ヨークは、
センタヨークと、
当該センタヨークの長手方向の一端に位置する第１の端部ヨークと、
当該センタヨークの長手方向の他端に位置する第２の端部ヨークと、
前記長手方向と直交する方向において前記センタヨークと所定間隔を隔てて位置し、前記長手方向において前記第１の端部ヨークの一端と前記第２の端部ヨークの一端とに連続する第１の側部ヨークと、
前記長手方向と直交する方向において前記センタヨークと所定間隔を隔てて位置し、前記長手方向において前記第１の端部ヨークの他端と前記第２の端部ヨークの他端とに連続する第２の側部ヨークと
を有し、
対向する前記センタヨークと前記第１の側部ヨークとの間に前記コイルアセンブリが移動可能な第１の空間が規定され、対向する前記センタヨークと前記第２の側部ヨークとの間に前記コイルアセンブリが移動可能な第２の空間が規定され、
前記複数の永久磁石は、
前記センタヨークと対向する前記第１の側部ヨークに、前記リニアモータのが長手方向に沿って、磁極が異なる永久磁石が交互に配設され、
前記センタヨークと対向する前記第２の側部ヨークに、前記リニアモータのが長手方向に沿って、磁極が異なる永久磁石が交互に配設され、
前記可動子は、前記センタヨークを挟んで、前記第１および第２の空間内を移動自在に配設されている、
請求項１または２に記載のリニアモータ装置。
【請求項４】
前記ヨークは、
センタヨークと、
当該センタヨークの長手方向の両端に位置する第１、第２の外部ヨークと
からなり、
前記センタヨークと、前記第１、第２の外部ヨークとの間の前記可動子が移動可能な空間が規定され、
前記複数の永久磁石は、
前記第２の外部ヨークと対向する面の前記第１の外部ヨークの面に、当該リニアモータの長手方向に沿って、磁極が異なる永久磁石が交互に配設され、
前記第１の外部ヨークと対向する面の前記第２の外部ヨークの面に、当該リニアモータの長手方向に沿って、磁極が異なる永久磁石が交互に配設され、
前記可動子は、前記空間を移動自在に配設されている、
請求項１または２に記載のリニアモータ装置。
【請求項５】
固定子と、当該固定子に対して直線状に移動する可動子とを有するリニアモータであって、
前記固定子は、前記可動子が直線状に移動する当該リニアモータの長手方向に沿って、磁極が異なる永久磁石が交互に複数、配設されたヨークを有し、
前記可動子は、３以上の複数のコイルが隣接して一体に組み立てられたコイルアセンブリとして構成され、前記ヨークに配設された前記永久磁石と対向し、かつ、前記長手方向に沿って移動可能に配設されており、
当該コイルアセンブリを構成する複数のコイルは独立に給電可能であり、
各コイルは下記の方法で給電される、すなわち、
永久磁石と完全に対向する位置に位置するコイルには、当該コイルが対向する永久磁石の磁極と同じ磁極となる極性のＤＣ電流が印加され、
永久磁石と完全に対向せず、コイルアセンブリの移動方向から離れるコイルには、給電されず、
上記永久磁石と隣接する次の永久磁石と対向するコイルには、次の永久磁石の磁極と同じ磁極となる極性のＤＣ電流が給電される、
ように構成されている、リニアモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はリニアモータと、当該リニアモータと制御部とを有するリニアモータ装置に関する。
本発明は特に、ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）とリニア同期モータ（ＬＳＭ）の利点を生かして、有効ストロークが長く、高い磁気効率を示す、新規なリニアモータに関する。また本発明は、そのリニアモータと、そのリニアモータを制御する制御部とを有するリニアモータ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
リニアモータとしては、リニア誘導モータ（ＬＩＭ）、リニア同期モータ（ＬＳＭ）、リニア直流モータ（ＬＤＭ）、リニアパルスモータ（ＬＰＭ）などに分類される種々のタイプのリニアモータが知られている（たとえば、非特許文献１）。
【０００３】
リニア同期モータ（ＬＳＭ）は、たとえば、電機子巻線による移動磁界と同期して直線状に移動する界磁（可動子）は移動磁界と同じ方向の推力を発生して可動子が移動する。ＬＳＭは、界磁を大きくすると大出力が得られ、端効果も少なく、高速化も実現できるという利点がある（たとえば、非特許文献１）。
【０００４】
リニア直流モータ（ＬＤＭ）の１種として、コイル可動型のボイスコイルモータ（ＶＣＭ）が知られている（たとえば、非特許文献１）。
たとえば、特許文献１（特開２００３−１９９３１２号公報）は、ＶＣＭの１例として、内ヨーク磁石型リニアモータを開示する。
【０００５】
ＶＣＭおよびＬＳＭについて、下記に例示するようにこれまで様々な改善が講じられてきた。
特許文献２（特開２００２−２３８２４０号公報）は、磁場の効率が高く、ヨークの発熱を抑制し、可動コイルを小型にした位相制御駆動型リニアモータを開示する。
特許文献３（特開２０１２−２４４６７８号公報）は、磁束の漏洩を抑制したリニアモータを開示する。
特許文献４（特開２００５−２３７０７９号公報）は、ロバスト性を向上させたリニアモータを開示する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−１９９３１２号公報
【特許文献２】特開２００２−２３８２４０号公報
【特許文献３】特開２０１２−２４４６７８号公報
【特許文献４】特開２００５−２３７０７９号公報
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】「電気工学ハンドブック、第６版、電気学会、１６編、リニアモータと磁気浮上」
【０００８】
図面を参照して、ＶＣＭとＬＳＭの基本構造およびその基本動作について述べる。
【０００９】
図１にＶＣＭの概略構成例を示す。
図１（Ａ）は図１（Ｂ）のＡ方向から見た正面図であり、図１（Ｂ）は断面図であり、図１（Ｃ）はギャップ磁束密度Ｂｇと可動子（コイル）の位置との関係を示す図であり、図１（Ｄ）はコイルの駆動電流を示す図であり、図１（Ｅ）はコイルの接続（結線）状態を示す図である。
【００１０】
このＶＣＭは、コイルが可動子として移動する形式のＶＣＭである。
２個のコイルＡ，Ｂが一体にされたコイルアセンブリ（組体）１３０が可動子として機能する。
固定子として機能するヨーク１００は、センタヨーク１１１と、外ヨーク１１４、１１５からなる。
外ヨーク１１４、１１５のコイルアセンブリ１３０と対向する面に、ヨークの長手方向に沿って複数の永久磁石（マグネット）１２０が配設されている。
可動子として機能するコイルアセンブリ１３０が、センタヨーク１１１を挟んでヨーク内の空間１１９を移動可能に配設されている。
コイルアセンブリ１３０を構成する２つのコイルＡ，Ｂの結線状態は、図１（Ｅ）に図解したように、直列接続である。
コイルアセンブリ１３０の各コイルに、図１（Ｄ）に図解した直流（ＤＣ）電流が通電（給電）されて各コイルが電磁石として機能し、対向する永久磁石の磁界との間に作用する電磁力による吸引力および／または斥力により推力が発生し、ヨークに対してコイルアセンブリ１３０が移動する。
【００１１】
このＶＣＭにおいては、コイルに印加する駆動電流はＤＣ電流であるから、コイルに常に１００％の電流を流すことができる。その結果、図１（Ｃ）に図解したように、可動子の位置に対してギャップ磁束密度Ｂｇが矩形状になり、永久磁石の性能を有効に活用することができる。
【００１２】
図２にＬＳＭの１例を示す。
図２（Ａ）は図２（Ｂ）のＡ方向から見た正面図であり、図２（Ｂ）は断面構造図であり、図２（Ｃ）はギャップ磁束密度Ｂｇと可動子の位置との関係を示す図であり、図２（Ｄ）は駆動電流を示す図であり、図２（Ｅ）とコイルの接続（結線）状態を示す図である。
【００１３】
このＬＳＭにおいて、第１組の３相コイル（Ｕ相コイル、Ｖ相コイル、Ｗ相コイル）と、第２組の３相コイル（Ｕ相コイル、Ｖ相コイル、Ｗ相コイル）とが一体に構成されたコイルアセンブリ２３０が、センタヨーク２１１を挟んでヨーク２００内に形成された空間２１９を移動可能に配設されている。
外ヨーク２１４、２１５のコイルアセンブリ２３０と対向するそれぞれの面にコイルアセンブリ２３０の移動方向（長手方向）に沿って、たとえば、Ｓ極とＮ極のように、磁極が異なる複数の永久磁石２２０が交互に配設されている。
【００１４】
図２（Ｅ）にコイルアセンブリ２３０の３相のコイルの結線を示す。
図２（Ｄ）に示したＵ相、Ｖ相、Ｗ相の交流電流がコイルアセンブリ２３０の各コイルに通電され、各コイルＵ，Ｖ，Ｗが電磁石として機能し、対向する位置の永久磁石の磁界との間に作用する電磁力による吸引力および／または斥力により推力が発生することにより、ヨークに対してコイルアセンブリ２３０が移動する。
【００１５】
このＬＳＭにおいて、有効ストローク長は、図２（Ｂ）の右側の４個の永久磁石の長さ分である。
ＬＳＭは、構造、強度が許容する限り、ヨーク２００の長さを長くし、永久磁石の数を増加させると、有効ストロークを大きくすることができるという利点がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
上述したＶＣＭとＬＳＭの利点と欠点を例示すると下記になる。
ＶＣＭは、軽量であり、コギングがなく、推力リップルが小さく、微小位置決めに適しているという利点がある。
他方、ＶＣＭにおいて、図１（Ｂ）におけるストロークＳＡ、ＳＢの合計が有効ストロークであるが、ヨークが磁気飽和するため、ＶＣＭは有効ストロークを長くすることが難しい、すなわち、短ストロークであるという不利益がある。
【００１７】
ＬＳＭは、ヨークなどの構造が維持できる限りＬＳＭの長手方向に有効ストロークを長くすることができ、可動子を長いスパン（有効ストローク）で移動させることができるという利点がある。
他方、ＬＳＭにおいては、図２（Ｄ）に図解したようにコイルアセンブリを構成する各コイルに印加する駆動電流は位相が異なる（移相）正弦波交流電流である。その結果、図２（Ｃ）に図解したように、可動子の位置に対してギャップ磁束密度Ｂｇが正弦波となり、磁気効率が低いという不利益がある。
【００１８】
この不利益の改善策の１つとして、永久磁石（マグネット）を可動子のストローク方向（長手方向）に多数長く配設し、ギャップ磁束密度Ｂｇを矩形状として、永久磁石を効率よく使用することができるという方法が考えられる。しかしながら、一般的に、元来、同期電動機として動作するＬＳＭは、ギャップ磁束密度Ｂｇの波形と交流電流を同期させて使用する傾向があり、ギャップ磁束密度Ｂｇを、矩形ではなく正弦波状にして使用することが多い。よって、磁気効率が低いという不利益を克服することができない。
【００１９】
また、ＬＳＭにおいて、図２（Ｄ）に図解したように、各コイルに印加する駆動電流が正弦波状であるから、各コイルに流れる実効電流は約７０％程度である。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明の目的は、ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）の利点とリニア同期モータ（ＬＳＭ）の利点を活かして、有効ストロークが長く、高い磁気効率を示し、大きな推力を得ることができる、新規なリニアモータを提供することにある。
本発明はまた、上記リニアモータと、当該コアレス・リニアモータを効果的に制御する制御部とを有するリニアモータ装置を提供することにある。
【００２１】
本発明のリニアモータは、固定子と、当該固定子に対して直線状に移動する可動子とを有するリニアモータである。
前記固定子は、前記可動子が直線状に移動する当該リニアモータの長手方向に沿って、磁極が異なる永久磁石が交互に複数、配設されたヨークを有する。
前記可動子は、３以上の複数のコイルが隣接して一体に組み立てられたコイルアセンブリとして構成され、前記ヨークに配設された前記永久磁石と対向し、かつ、前記長手方向に沿って移動可能に配設されている。
当該コイルアセンブリを構成する複数のコイルは独立に給電可能である。
コイルは下記の方法で給電される。
（１）永久磁石と完全に対向する位置に位置するコイルには、当該コイルが対向する永久磁石の磁極と同じ磁極となる極性のＤＣ駆動電流が印加される。
（２）永久磁石と完全に対向せず、コイルアセンブリの移動方向から離れるコイルには、給電されない。
（３）上記永久磁石と隣接する次の永久磁石と対向するコイルには、次の永久磁石の磁極と同じ磁極となる極性のＤＣ駆動電流が給電される。
【００２２】
また本発明によれば、上記リニアモータと制御部とを有するリニアモータ装置が提供される。
前記制御部は、
（１）永久磁石と完全に対向する位置に位置するコイルには、当該コイルが対向する永久磁石の磁極と同じ磁極となる極性のＤＣ電流を印加する。
（２）永久磁石と完全に対向せず、コイルアセンブリの移動方向から離れるコイルには給電しない。
（３）上記永久磁石と隣接する次の永久磁石と対向するコイルには、次の永久磁石の磁極と同じ磁極になる極性のＤＣ電流を給電する。
【００２３】
本発明のリニアモータは、構造的には、長手方向における永久磁石の配設、長い有効ストロークが得られるという観点においてリニア同期モータ（ＬＳＭ）に類似する。他方、コイルアセンブリを構成するコイルにＤＣ電流を印加する点において、本発明のリニアモータは、ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）に類似する。このように、本発明のリニアモータは、（ＬＳＭ＋ＶＣＭ）という形式のリニアモータに相当する。これにより、有効ストロークを大きくすることができるという利点がある。
【００２４】
それに加えて、本発明は、コイルアセンブリの各コイルの位置に応じて、各コイルに独立してＤＣ駆動電流を印加するという新規の技術思想を採用している。
このように、コイルにＤＣ電流を印加（給電）することにより、図１（Ｃ）を参照して述べた従来のＶＣＭにおける特徴と同様、たとえば、図６に図解したように、永久磁石（マグネット）を長くすると、可動子に対してギャップ磁束密度Ｂｇが矩形になり、磁束効率が高いという効果を奏する。
また、本発明のリニアモータは、推力も大きいという利点を奏する。
【００２５】
さらに本発明のリニアモータは、コイルアセンブリを構成する各コイルに独立にＤＣ駆動電流を給電するので、位相関係の制約を受けず、コイルアセンブリを構成するコイルの数を目的、用途に応じて適宜選択することができるという利点がある。
【００２６】
さらに本発明のリニアモータは、コイルアセンブリを構成するコイルの出来るだけ多くに、常時、ＤＣ駆動電流を印加して、電磁石として機能するコイルを多くして可動子の推力を高めている。
たとえば、コイルアセンブリを構成する複数（ｎ）のコイルのうちの（ｎ−１）個のコイルにＤＣ電流を印加して、大きい推力かつ可動子の円滑な移動を可能としている。
そのため、本発明のリニアモータは、コイルアセンブリの各コイルと対向する永久磁石の配設間隔、コイルアセンブリを構成する各コイルの長さと永久磁石の長さを適切に設定し、永久磁石に対するコイルの位置に応じて各コイルへの給電条件を制御するという新規な手法を採用している。
【００２７】
すなわち、本発明の制御部は、コイルと永久磁石との位置関係に応じて、下記の給電制御を行う。
（１）永久磁石と完全に対向する位置に位置するコイルには、当該コイルが対向する永久磁石の磁極と同じ磁極となる極性のＤＣ電流を印加する。
（２）永久磁石と完全に対向せず、コイルアセンブリの移動方向から離れるコイルには、給電しない。
（３）上記永久磁石と隣接する次の永久磁石と対向するコイルには、次の永久磁石の磁極と同じ磁極になるような極性のＤＣ電流を給電する。
【発明の効果】
【００２８】
本発明のリニアモータは、有効ストロークが長く、高い磁気効率を示し、実効電流も大きく、推力の大きくなる、リニアモータである。
【００２９】
本発明のリニアモータ装置は、制御部で上記リニアモータの可動子のコイルに適切にＤＣ駆動電流を給電制御することにより、有効ストロークが長く、高い磁気効率を示し、実効電流も大きく、推力の大きいリニアモータを実現している。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】ＶＣＭの１例の概略構成とその動作を説明する図である。
【図２】ＬＳＭの１例の概略構成とその動作を説明する図である。
【図３】本発明のリニアモータ装置の第１実施の形態の構成を示す図である。
【図４】図３（Ｃ）に図解したリニアモータの断面の部分拡大図である。
【図５】図３に図解したリニアモータ装置の動作を説明する図である。
【図６】図５に図解したリニアモータ装置リニアモータにおける、コイルに電流を印加する状態を説明する図である。
【図７】本発明のリニアモータ装置の第２実施の形態の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
本発明のリニアモータ、および、リニアモータと制御手段とを有すリニアモータ装置について、添付図面を参照して、好適な実施の形態について述べる。
【００３２】
第１実施の形態
図３〜図６を参照して本発明のリニアモータおよびリニアモータ装置の第１実施の形態について述べる。
図３は本発明のリニアモータ（ＬＭ）装置の第１実施の形態の構成を示す図である。
図３（Ａ）は図３（Ｃ）のＡ方向から見た正面図であり、図３（Ｂ）は図３（Ｃ）の断面Ｂ−Ｂにおけるリニアモータ（ＬＭ）の断面図であり、図３（Ｃ）はＬＭの断面構造図である。図３（Ｄ）はリニアモータ装置を構成する制御部と駆動回路を示す図であり、図３（Ｅ）はコイルアセンブリを構成するコイルの接続（結線）状態を示す図である。
図４は図３（Ｃ）に図解したリニアモータ（ＬＭ）１の部分拡大図とギャップ磁束密度Ｂｇを示す図である。
【００３３】
リニアモータの構造
第１実施の形態のリニアモータ（ＬＭ）装置３００は、図３（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に図解したリニアモータ（ＬＭ）１と、図３（Ｄ）に図解した制御部２および駆動回路７とを有する。
第１実施の形態のＬＭ１は、固定子と、固定子に対して移動する可動子とを有する。
固定子は、ヨーク１０と、たとえば、Ｓ極とＮ極のように磁極が異なる永久磁石（マグネット）が交互に複数、ＬＭ１の長手方向に配設された永久磁石群２０とで構成されている。
【００３４】
ヨーク
ヨーク１０は、その周囲を可動子として機能するコイルアセンブリ（コイル組体）３０が移動自在に配設されているセンタヨーク１１と、左端部（または第１端部）ヨーク１２および右端部（または第２端部）ヨーク１３、上部（または第１側部）ヨーク１４および下部（または第２側部）ヨーク１５とで構成されている。
ヨーク１０を構成するこれらの部分は磁性材料で製造されている。磁性材料は、本実施の形態の主題ではなく、任意の磁性材料を使用することができる。
（センタヨーク１１、左端部ヨーク１２、上部ヨーク１４、右端部ヨーク１３）とで構成されるヨーク部分が連通して第１の磁気回路を構成している。同様に、（センタヨーク１１、右端部ヨーク１３、下部ヨーク１５、左端部ヨーク１２）とで構成されるヨーク部分が連通して第２の磁気回路を構成している。
センタヨーク１１と上部ヨーク１４との間、および、センタヨーク１１と下部ヨーク１５との間には、コイルアセンブリ３０を長手方向に移動可能とする空間（ギャップ）１９が規定されている。
【００３５】
永久磁石群
コイルアセンブリ３０およびセンタヨーク１１と対向する位置の上部側部ヨーク１４の下面には、本実施の形態のＬＭ１の長手方向（コイルアセンブリ３０の移動方向、または、ストローク方向）に沿って、たとえば、Ｓ極とＮ極のように磁極が異なる複数の永久磁石（マグネット）が交互に配設されている。同様に、コイルアセンブリ３０およびセンタヨーク１１と対向する位置の下部側部ヨーク１５の上面には、本実施の形態のＬＭ１の長手方向に沿って、磁極が異なる複数の永久磁石が交互に配設されている。
永久磁石の材料は、本実施の形態の主題ではなく、たとえば、要求される磁力に応じて、たとえば、希土類材料を含む種々の磁力の強い永久磁石を用いることができる。
【００３６】
この永久磁石の配置構成により、上側部ヨーク１４の下面および下部側部ヨーク１５の上面に領域に、たとえば、Ｓ極からＮ極に向かう磁力線により発生する磁場（磁界）が形成される。
この複数の永久磁石による磁場（磁界）と、コイルアセンブリ３０の各コイルにＤＣ電流を印加することによって形成される電磁石による磁界（磁場）との相互作用により、ヨーク１０に対してコイルアセンブリ３０を移動させる推力が発生し、コイルアセンブリ３０がリニアモータの長手方向に移動する。
【００３７】
コイルアセンブリ
可動子はコイルアセンブリ３０により構成されている。
コイルアセンブリ３０は、巻回された複数のコイル、本実施の形態では、５個のコイルＣ１〜Ｃ５が一体に構成されている。
コイルアセンブリ３０は、センタヨーク１１を挟んで、ヨーク１０の空間１９内に挿入され、空間１９内を長手方向において左右に自在に移動可能に配設されている。
図３（Ｅ）に図解したように、第１〜第５コイルＣ１〜Ｃ５の相互の接続はなく、第１〜第５コイルＣ１〜Ｃ５それぞれに独立に給電可能である。
第１〜第５コイルＣ１〜Ｃ５には、図４、図５を参照して述べる、各コイルの位置に応じて、制御部２で算出された、図６に例示するＤＣ駆動電流が駆動回路７から給電される。
【００３８】
制御部、コイル駆動回路
制御部２は、演算制御処理機能を有する手段、好ましくは、たとえば、マイクロコンピュータを用いて構成され、コイルアセンブリ３０の現在位置、各コイルの位置、ユーザーが指示する移動方向および目標位置に応じて、コイルアセンブリ３０内の各コイルに独立して印加するＤＣ電流値を算出する。
コイル駆動回路７は、制御部２で算出したＤＣ電流値に応じたＤＣ駆動電流を対応するコイルに印加して、対応するコイルを励起させて電磁石として機能させる。
ＤＣ駆動電流の給電により励磁されて電磁石として機能するコイルアセンブリ３０の各コイルが、対向する位置の永久磁石の磁界と作用する電磁力により、ヨーク１０に対してコイルアセンブリ３０がリニアモータの長手方向に移動する。
【００３９】
ＤＣ駆動電流は、この実施の形態では、図６に例示するように、振幅が一定で正のＤＣ駆動電流、または、振幅が一定で負のＤＣ駆動電流である。従って、この実施の形態では、コイルアセンブリ３０と一定速度で移動する。
なお、ＤＣ駆動電流の振幅を変えることにより、コイルアセンブリ３０の移動速度を変更することができる。
【００４０】
駆動回路７を介して制御部２がコイルアセンブリ３０に図６に図解した正負の駆動電流を印加することにより、各コイルには、略１００％の電流を流すことができる。
本実施の形態は、永久磁石（マグネット）を長くすることにより、図１（Ｃ）に図解して述べた従来のＶＣＭの場合と同様に、図４（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に図解して例示したように、永久磁石（マグネット）と、可動子、すなわち、コイルアセンブリとの各位置おいて、可動子の位置に対してギャップ磁束密度Ｂｇが矩形状になり、永久磁石の性能を有効に活用することができるという特徴を有する。
【００４１】
位置検出手段
好ましくは、本実施の形態のＬＭ装置３００は、ヨーク１０に対するコイルアセンブリ３０の位置を正確に検出するため、位置検出手段を設けている。
位置検出手段としては、たとえば、ヨーク１０の上部側部ヨーク１４の側面に長手方向に沿って配設した磁気位置識別マーク１４１と、右端部ヨーク１３の側面と対向するコイルアセンブリ３０に設けた位置検出センサ５とで構成する、リニア位置検出センサである。
磁気位置識別マーク１４１は、たとえば、リニア磁気スケールであり、所定の間隔、たとえば、数１０μｍ間隔で磁化マークを付したものである。
位置検出センサ５、たとえば、ホール素子が、コイルアセンブリ３０の移動に伴い、リニア磁気スケールの磁化マーク部分を検出するたびに、たとえば、数１０μｍごとに、パルス検出信号を出力する。
【００４２】
制御部２は、位置検出センサ５のパルス検出信号を計数して位置データを累積し、コイルアセンブリ３０の現在位置を更新していく。これにより、制御部２はコイルアセンブリ３０の現在位置を正確に把握することができる。
また、コイルアセンブリ３０における位置検出センサ５の取り付け位置、コイルアセンブリ３０内のコイルの位置から、制御部２は、各コイルの位置を検出することができる。各コイルの位置は、後述する各コイルへの給電制御に使用する。
【００４３】
端部検出器
さらに好ましくは、ＬＭ装置３００は、コイルアセンブリ３０がヨーク１０の左端部に位置することを検出する左端部検出器３、および／または、コイルアセンブリ３０がヨーク１０の右端部に位置することを検出する右端部検出器４を備えることができる。
これら左端部検出器３、右端部検出器４３は、コイルアセンブリ３０の可動範囲を規定している。
左端部検出器３は、たとえば、ヨーク１０の左端部に配設したタッチスイッチである。同様に、右端部検出器４は、たとえば、ヨーク１０の右端部に配設したタッチスイッチである。
図３（Ｄ）図解したように、左端部検出器３の検出信号および右端部検出器４の検出信号が、制御部２に入力されている。
たとえば、左端部検出器３としてのタッチスイッチは、コイルアセンブリ３０が、ヨーク１０の左端部に当接したとき（または位置しているとき）閉となり、コイルアセンブリ３０がヨーク１０の左端部から離れると開（オープン）になる。これより、制御部２は、コイルアセンブリ３０がヨーク１０の左端部に位置しているか否かを検出することができる。
【００４４】
本実施の形態のＬＭ装置３００において、コイルアセンブリ３０の初期位置として、ヨーク１０の左端部とする場合は、左端部検出器３のみ配設する。他方、コイルアセンブリ３０の初期位置として、ヨーク１０の右端部とする場合は、右端部検出器４３のみ配設する。コイルアセンブリ３０の初期位置として、ヨーク１０の左端部でも右端部でもよいとする場合は、右端部検出器４および可動子位置検出センサ５を設ける。
【００４５】
リニアモータの要素の配設関係
リニアモータの各要素の配設（位置）関係、寸法、コイルアセンブリ３０を構成するコイル数などは、リニアモータ全体の寸法、永久磁石の磁力、各コイルへの給電するＤＣ電流の振幅、各コイルの電磁力、位置決め精度、その他の条件を勘案して決定される。
本実施の形態は、制御部２においてコイルの位置に応じて給電制御を行うため、図３（Ｃ）、図４（Ｂ）に図解の状況における各要素の寸法の関係の１例を下記に述べる。
【００４６】
ａ．長さＬ１の永久磁石が幅（長さ）Ｌの１区間（ゾーンＺ）内に配設されている。
Ｌ＞Ｌ１。
ｂ．隣接する永久磁石がギャップＬｇを隔てて配設されている。
なお、隣接する永久磁石をギャップＬｇを隔てることなく密着して配設することもできるが、本実施の形態では、隣接する永久磁石をギャップＬｇを隔てて配設した場合について述べる。
ｃ．コイルアセンブリ３０の長手方向の長さ（幅）Ｌ２は１つの永久磁石が配設される１領域（ゾーン）の長さＬに等しい。Ｌ＝Ｌ２。
ｄ．コイルアセンブリ３０の長さ（幅）はＬ２であり、各コイルの長さ（幅）はＬ３である。Ｌ２＞Ｌ３。
したがって、本実施の形態では、Ｌ２≒（５×Ｌ３）である。
ｅ．コイルアセンブリ３０の長さＬ２は永久磁石の長さＬ１より長い。
Ｌ２＞Ｌ１。
ｆ．永久磁石の長さＬ１は各コイルの長さＬ３より長い。Ｌ１＞Ｌ３。
ｇ．各コイルの長さＬ３はギャップＬｇより長い。Ｌ３＞Ｌｇ。
ｈ．コイルアセンブリ３０の長手方向の長さＬ２と、１つの永久磁石が配設される１領域（ゾーン）の長さＬは、コイルアセンブリ３０を構成する各コイルの長さＬ３とギャップＬｇとの和に等しい。
Ｌ２＝Ｌ＝（Ｌ３×コイル数＋Ｌｇ）。
【００４７】
制御情報
制御部２は、コイルアセンブリ３０を構成する各コイルの位置に応じてコイルへの給電制御を行うので、各コイルと永久磁石との位置関係を把握する必要がある。
制御部２は、コイルアセンブリ３０の駆動制御するために必要な各種制御情報として、上記位置関係情報に加えて、下記の制御情報を、たとえば、マイクロコンピュータのメモリに記憶して、適宜、制御に使用する。付加制御情報を下記に例示する。
イ．コイルアセンブリ３０を構成するコイルの数ｎ
ロ．コイルアセンブリ３０の現在位置
ハ．コイルアセンブリ３０の移動方向
ニ．コイルアセンブリ３０の移動目標値
ホ．コイルアセンブリ３０の移動速度
ヘ．コイルアセンブリ３０の可能なストローク量
【００４８】
制御部２によるコイルアセンブリ３０の各コイルの励磁方法と位置制御について、図４〜図６を参照して述べる。
なお、１例として、磁気位置識別マーク１４１と位置検出センサ５、および、左端部検出器３を設けた場合について述べる。
【００４９】
初期位置、時刻ｔ０
図４（Ａ）、図５（Ａ）に図解のごとく、コイルアセンブリ３０の左端部（第１コイルＣ１）が左端部ヨーク１２の内壁に当接して停止しており、左端部検出器３から制御部２に「閉」信号が出力されている。制御部２はこれによりコイルアセンブリ３０がヨーク１０の空間１９の左端に位置していることが判る。
ここが、リニアモータにおけるコイルアセンブリ３０の初期位置である。
制御部２は、コイルアセンブリ３０の現在位置を、ストローク範囲の左端を示す、初期値、たとえば、「００００．００」ｍｍとして、メモリに記憶する。
この現在位置は、コイルアセンブリ３０の移動に伴う位置検出センサ５からの検出値を基に計数（累積）していくことにより更新されるので、制御部２はコイルアセンブリ３０の現在位置、ひいては、各コイルの位置を検出することができる。
上述した制御情報から各永久磁石の配設位置は判っているから、制御部２は、対向する永久磁石と各コイルの位置関係も判る。
コイルアセンブリ３０が移動しても同様に、制御部２は、位置検出センサ５の検出信号を参照して、対向する永久磁石と各コイルの位置関係も判る。
【００５０】
動作条件設定、動作指示
ユーザーが図示しない操作パネルを介して制御装置２に、コイルアセンブリ３０の移動方向とコイルアセンブリ３０の移動先目標値を設定し、動作開始指示を行う。
制御部２はその指令に基づき動作制御を開始する。
【００５１】
時刻ｔ０における電流印加とコイルアセンブリの移動開始
この初期状態のときは、図３（Ａ）、図４（Ａ）に例示したように、コイルアセンブリ３０は第１の永久磁石Ｓ１が配設されている第１ゾーンＺ１に位置している。
制御部２は、左端部検出器３の出力信号から、第１〜第４コイルＣ１Ｃ４が上部ヨーク１４の内壁に配設された第１のＳ極永久磁石Ｓ１に対向して位置し、第５コイルＣ５の左半分が第１のＳ極永久磁石Ｓ１の一部と対向し、かつ、第５コイルＣ５の右半分が隣接する永久磁石Ｓ１とＮ１との間のギャップＬｇ領域内に位置していることを認識する。
【００５２】
制御装置２は、下記の給電制御を行う。
（１）永久磁石Ｓ１と完全に対向する第１〜第４コイルＣ１〜Ｃ４に、正（プラス）のＤＣ電流を印加する。
なお、永久磁石と対向するとは、その永久磁石の磁界（磁場）の近傍にコイルが位置していることを意味する。
（２）永久磁石Ｓ１とは左側が部分的にしか対向していず、右の他の部分がギャップＬｇに位置している第５コイルＣ５には給電しない。
【００５３】
この給電制御により５個のコイルのうち４個のコイルに給電される。
第１〜第４コイルＣ１〜Ｃ４に正のＤＣ電流を印加して、Ｓ極永久磁石Ｓ１と対向する第１〜第４コイルＣ１〜Ｃ４をＳ極永久磁石と同じ磁極に励磁して、Ｓ極永久磁石Ｓ１と同じ磁極の電磁石として機能させる。これにより、Ｓ極の電磁石とＳ極永久磁石Ｓ１の磁界との斥力により、コイルアセンブリ３０を右方向に移動させる推力が発生し、コイルアセンブリ３０を移動させる。
他方、Ｓ極永久磁石Ｓ１から離間する方向に移動する第５コイルＣ５にはＤＣ電流を印加させず、コイルアセンブリ３０の移動を阻害させない。
【００５４】
時刻ｔ１における電流印加コイルアセンブリの運動
制御部２は、上記コイルアセンブリ３０の移動に伴う位置検出センサ５の検出信号を入力し、コイルアセンブリ３０の位置、そして、各コイルの位置を更新していく。
コイルアセンブリ３０が移動して、図５（Ｂ）に図解したように、第１コイルＣ１〜第３コイルＣ３が第１のＳ極永久磁石Ｓ１に対向し、第４コイルＣ４の半分が第１のＳ極永久磁石Ｓ１の一部と対向しつつギャップＬｇに位置し、第５コイルＣ５の左半分がギャップＬｇに位置し、右半分が第２のＮ極永久磁石Ｎ２と部分的に対向する状態となる。
【００５５】
制御部２は下記の給電制御を行う。
（１）第１コイル〜第３コイルＣ１〜Ｃ３に、正のＤＣ電流を印加し続ける。
（２）第４コイルＣ４への電流を印加を停止する。
（３）第５コイルＣ５には負のＤＣ電流を印加する。
【００５６】
この給電制御においても、５個のコイルのうち４個のコイルに給電される。
第１〜第３コイルＣ１〜Ｃ３に正のＤＣ電流を印加して、第１〜第３コイルＣ１〜Ｃ３を対向するＳ極永久磁石Ｓ１と同じ磁極に励磁する。これにより、上記同様、第１の推力が発生する。
また、第５コイルＣ５に負のＤＣ電流を印加して、第５コイルＣ５を対向するＮ極永久磁石Ｎ２と同じ磁極の電磁石となるように励磁する。これにより、第２の推力が発生する。
次の永久磁石Ｎ２に向かう第４コイルＣ４への電流を印加を停止して、コイルアセンブリ３０の移動を阻害させない。
コイルアセンブリ３０は、第１の推力と第２の推力との合成推力によってヨーク１０に対して移動する。
【００５７】
時刻ｔ２における電流印加コイルアセンブリの運動
制御部２は、コイルアセンブリ３０の移動に伴う位置検出センサ５の検出信号を入力し、コイルアセンブリ３０の位置を更新していく。
コイルアセンブリ３０が移動して、図５（Ｃ）に図解したように、コイルアセンブリ３０の第１〜第２コイルＣ１〜Ｃ２が第１のＳ極永久磁石Ｓ１と対向し、第３コイルＣ３が第１のＳ極マグネットＳ１と部分的に対向し、かつ、一部がギャップＬｇに位置し、第４コイルＣ４が部分的にギャップＬｇに位置し、かつ、一部が次の第２のＮ極永久磁石Ｎ２と部分的に対向し、第５コイルＣ５が第２のＮ極マグネットＮ２と対向する位置に位置する状態となる。
【００５８】
制御部２は下記の給電制御を行う。
（１）第１〜第２コイルＣ１〜Ｃ２に正のＤＣ電流を印加し続ける。
（２）第３コイルＣ３へのＤＣ電流の印加を停止する。
（３）第４コイルＣ４に負のＤＣ電流の印加を開始し、第５コイルＣ５への負のＤＣ電流の印加を継続する。
【００５９】
この給電制御においても、５個のコイルのうち、常時、４個のコイルに給電される。
コイルアセンブリ３０は、第１〜第２コイルＣ１〜Ｃ２とＳ極永久磁石Ｓ１による第１の推力と、第４〜第５コイルＣ４〜Ｃ５とＮ極永久磁石Ｎ２による第２の推力との合計推力により移動する。
【００６０】
以下同様に、コイルアセンブリ３０の各コイルの位置に応じて、制御部２はコイルアセンブリ３０の各コイルへの給電制御を行う。
【００６１】
目標位置への到達
コイルアセンブリ３０が移動して目標の位置（の近傍）に到達したら、制御部２は上記コイルへの給電を停止する。
コイルアセンブリ３０は慣性がある。したがって、移動したコイルアセンブリ３０を精確に目標位置に停止させるには、好ましくは、コイルアセンブリ３０の慣性などを考慮して、公知の停止制御を行うことが望ましい。
その方法としては、たとえば、目標位置においてブレーキをかける強制停止と、目標位置近傍で移動速度を低下させるソフト停止させる方法とがあり、本実施の形態においてもこれらの停止方法をとることができる。
【００６２】
本実施の形態のＬＭ装置３００においては、下記の効果を奏する。
ＬＭ装置３００は、リニアモータの構造的としては、永久磁石の配設、長い有効ストロークが得られるという観点においてリニア同期モータ（ＬＳＭ）に類似する。これにより、有効ストロークを大きくすることができるという特徴がある。
すなわち、このような構造を持ってＬＭ１においては、構造および機械的強度などの条件が許容する限り、ヨーク１０の長さを長くして、永久磁石の配設数を増加させると、有効ストロークを長くすることができるという効果を得ることができる。
【００６３】
他方、コイルアセンブリを構成するコイルにＤＣ電流を印加する点においてボイスコイルモータ（ＶＣＭ）に類似する。したがって、ギャップ磁束密度Ｂｇが矩形になり、磁束効率が高い。コギングも少なく、推力も大きいという利点を奏する。
すなわち、各コイルにＤＣ電流を印加することより、本実施の形態のＬＭ１では、ギャップ磁束密度Ｂｇが矩形になり、磁束効率が高く、推力も大きいという、ＬＳＭでは得られない効果を得ることができる。
【００６４】
ＬＭ装置３００は、コイルアセンブリを構成する複数（ｎ）のコイルのうち、好ましくは、最小１個のコイルを除いた全てのコイル、上記実施の形態では５個のコイルのうち４個のコイルを、コイルアセンブリの推力発生に寄与させることができるという利点がある。
【００６５】
上述した制御部２のコイルアセンブリ３０の各コイルへの給電条件を要約すると下記になる。
（１）ＤＣ電流の給電
コイルアセンブリ３０を構成する各コイルには、励磁されたとき対向する永久磁石の磁極と同じになる正極または負極の同じＤＣ電流を給電する。
なお、本明細書における「ＤＣ電流の給電」の意味は、正のＤＣ電流を給電すること、負のＤＣ電流を給電すること、そして、ＤＣ電流を給電しない場合も含む。
【００６６】
（２）常時給電するコイル数
上記例では、コイルアセンブリ３０がどの位置でも、コイルアセンブリ３０を構成する、たとえば、５個のコイルのうち４個に給電する。
好ましくは、コイルアセンブリ３０を構成するｎ個（ｎは３以上）のコイルのうち、常時、（ｎ−１）個のコイルに給電する。そのための、コイルの寸法、永久磁石の寸法および配設ピッチなどもそのように設定する。
【００６７】
（３）給電制御
制御部２は、コイルと永久磁石との位置に応じて、下記の給電制御を行う。
ａ．永久磁石と完全に対向する位置に位置するコイルには、当該コイルが対向する永久磁石の磁極と同じ磁極となる極性、たとえば、正のＤＣ電流を印加する。
なお、永久磁石と対向するとは、その永久磁石の磁界（磁場）の近傍にコイルが位置していることを意味する。
ｂ．永久磁石と完全に対向せず、コイルアセンブリ３０の移動方向から離れるコイル、具体的には、コイルの半分が永久磁石と部分的に対向し、残りの半分がギャップＬｇに位置するコイルには、給電しない。
ｃ．コイルの半分が移動方向に隣接する次の永久磁石と部分的に対向し、残りの半分が隣接する永久磁石間のギャップに位置するとき、そのコイルに次の永久磁石の磁極と同じ磁極になるような極性、たとえば、負のＤＣ電流を給電する。
【００６８】
上述した給電制御の簡易な実施方法としては、制御部２を、たとえば、マイクロコンピュータで構成した場合、制御部２のメモリに、ストロークの向きと、各コイルの位置における上述した給電条件をテーブルとして記憶させておき、各コイルの位置に応じて、テーブルを検索して、検索したコイルの給電制御条件に基づいて給電制御を行うことができる。この方法によれば、非常に簡単に給電制御を行うことができる。
【００６９】
コイルアセンブリのコイル数
以上、コイルアセンブリ３０を構成するコイルの数が５個の場合について述べたが、コイルの数ｎは、３以上で、任意の数にすることができる。
本実施の形態においては、給電の効率を高めるため、基本的には、コイルアセンブリ３０がどの位置でも、コイルアセンブリ３０を構成する複数のコイルのうち、基本的には、１個を除いて給電するようにしている。
たとえば、コイルが５個の場合、常に、４個のコイルに給電するようにしている。
このように、コイルアセンブリ３０を構成するコイルの数を増加させると、永久磁石の磁界と鎖交するコイルによる電磁石の数が多くなり、磁気効率およびコイルに印加され実効電流が向上する。また、コギングが少なく、位置決め精度を向上させることができる。
このように、コイルアセンブリ３０を構成するコイルの数は、３個以上であればよく、コイルアセンブリ３０を構成するコイルの数を増やすと、磁気効率が向上し、推力も大きくなる。
【００７０】
ＬＭ装置３００は、コイルアセンブリ３０を構成する各コイル毎、独立にＤＣ電流を給電するので、コイルアセンブリを構成するコイルの数を目的、用途に応じて適宜選択することができるという利点がある。
【００７１】
このように、第１実施の形態のＬＭ装置３００は、コイルアセンブリの各コイルと対向する永久磁石の配設間隔、コイルアセンブリを構成する各コイルの長さと永久磁石の長さを適切に設定し、永久磁石に対するコイルの位置に応じて各コイルへの給電条件を制御するという新規な手法を採用している。
【００７２】
移動速度の変更
以上の記述はコイルアセンブリ３０を所定の速度で移動させる場合について述べた。
本実施の形態のリニアモータ装置において、コイルに印加するＤＣ電流の振幅を変えることにより、コイルの磁力を変化させて、コイルアセンブリ３０の移動速度を変化させることができる。
移動速度の変化は、初期設定の場合と、動作途中の速度変更とがある。
初期設定時、ユーザーがコイルアセンブリ３０の移動速度を設定したとき、制御部２は、その移動速度の設定に応じた振幅のＤＣ電流を選択してコイルアセンブリ３０を移動させることができる。
コイルアセンブリ３０の移動中速度変更があった場合は、制御部２は、その移動速度に応じた振幅のＤＣ電流を給電するように変更する。
【００７３】
本実施の形態のリニアモータとしては、第１実施の形態の構成に限らず、他の構成をとることできる。
【００７４】
隣接する永久磁石のギャップ
第１実施の形態では、長手方向に隣接する永久磁石をギャップＬｇで離間して配設した場合について述べた。
しかしながら、本発明のリニアモータは、上記例示に限らず、長手方向に隣接する永久磁石を隙間なく配設してもよい。
この場合のコイルの給電制御は、
ａ．永久磁石に対向するコイルには、その永久磁石の磁極と同じになる極性のＤＣ電流を印加し、
ｂ．コイルアセンブリ３０の移動方向において、離れる永久磁石と部分的にでも対向するコイルには給電せず、
ｃ．コイルアセンブリ３０の移動方向において、次の永久磁石と対向する位置にコイルには、次の永久磁石の磁極と同じになる極性のＤＣ電流を印加する。
【００７５】
第２実施の形態
図３〜図６を参照して述べたリニアモータ装置は、コイルアセンブリ３０がセンタヨーク１１を挟んで移動する形式のリニアモータを用いたものであった。
図７を参照して第２実施の形態のリニアモータを述べる。
図７に図解したリニアモータ装置４００は、図解した範囲において、図７（Ａ）に斜視図として示したリニアモータと、制御部２Ａおよび駆動回路７Ａと、位置検出手段を構成する位置検出センサ５とリニアスケール１４１とを有する。
図７（Ｂ）はコイルアセンブリ３０Ａの斜視図であり、図７（Ｃ）は断面図である。
その他の構成要素は、たとえば、必要に応じて配設される端部検出用スイッチ３、４などは、第１実施の形態と同様である。
【００７６】
第２実施の形態のリニアモータは、センタヨーク１１Ａと、サイドヨーク１６Ａと、外部ヨーク１４Ａ、１５Ａとからなるコ字型ヨーク１０Ａと、その凹部１９Ａに移動可能に配設された可動子、すなわち、コイルアセンブリ３０Ａとを有するリニア同期モータに類する構造を有する。
外部ヨーク１４Ａ、１５Ａの対向する面に、長手方向に沿って、永久磁石２０Ａ、２０Ａが配設されている。永久磁石２０Ａ、２０ＡはギャップＬｇを隔て離間して配設されていてもよく、密着して配設されていてもよい。
【００７７】
図７に図解した第２実施の形態のリニアモータにおいても、制御部２Ａによるコイルアセンブリ３０Ａの給電方法は、第１実施の形態と同様である。
第２実施の形態のリニアモータ装置においても、第１実施の形態にリニアモータ装置と同様の効果を得ることができる。
【００７８】
本発明の実施に際しては、上述した実施の形態の構造、給電方法に限定されず、種々の変形態様をとることができる。
【００７９】
なお、位置検出手段として、上述した位置検出センサ５と位置識別マーク１４１からなるリニア位置検出センサに代えて、アブソリュート・リニア・センサを用いることもできる。アブソリュート・リニア・センサは、可動子に装着する。
【符号の説明】
【００８０】
１００，２００，３００…リニアモータ装置
１…リニアモータ（ＬＭ）
１０…ヨーク
１１…センタヨーク
１２、１３…左（第１）端部ヨーク、右（第２）端部ヨーク
１４、１５…上部（第１側部）ヨーク、下部（第２側部）ヨーク
１９…移動空間（ギャップ）
１４１…位置識別マーク（リニアマーク）
２０…永久磁石（マグネット）群
３０…コイルアセンブリ（コイル組体）
Ｃ１〜Ｃ５…第１〜第５コイル
２…制御部
３、４…端部検出器
５…位置検出センサ
７…コイル駆動回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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