(57)【要約】【課題】気体操作バルブの切替弁の移動を確実に行うためのパイロットバルブを提供すること。【解決手段】本発明のパイロットバルブ８０は、一端に開口８１ｄする有底筒状のバルブ本体８４と、バルブ本体内８４に摺動可能に収納されるスプール８５，８７と、開口８１ｄ側と反対側となるスプール８５，８７の他端側に配置され、開口８１ｄ側にスプール８５，８７を付勢する弾性体８６，８８と、を備え、バルブ本体８４が長さ方向にほぼ均等間隔に設けられる少なくとも３つの貫通孔部８１ａを有し、スプール８５，８７が、バルブ本体８４の隣接する少なくとも２つの貫通孔部８１ａ間を連通可能とし、弾性体８６，８８と押圧手段とが共同してスプール８５，８７を開口８１ｄ側に押圧することで、スプール８５，８７が開口８１ｄ側と反対側に位置する状態から開口８１ｄ側に位置する状態になる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端に開口する有底筒状のバルブ本体と、
前記バルブ本体内に摺動可能に収納されるスプールと、
前記開口側と反対側となる前記スプールの他端側に配置され、前記開口側に前記スプールを付勢する弾性体と、を備え、
前記バルブ本体が長さ方向にほぼ均等間隔に設けられる少なくとも３つの貫通孔部を有し、
前記スプールが、前記バルブ本体の隣接する少なくとも２つの貫通孔部間を連通可能とし、
前記弾性体と押圧手段とが共同して前記スプールを前記開口側に押圧することで、前記スプールが前記開口側と反対側に位置する状態から前記開口側に位置する状態になることを特徴とするパイロットバルブ。
【請求項２】
前記バルブ本体には、前記スプールを前記開口側に付勢する前記押圧手段としての気体を導入する付勢気体導入部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のパイロットバルブ。
【請求項３】
前記スプールが、前記バルブ本体内に摺動可能に収納される中空状の第１スプールと前記第１スプール内に摺動可能に収納される第２スプールとからなり、
前記弾性体が、前記開口側と反対側となる前記第１スプールの他端側に配置される前記開口側に前記第１スプールを付勢する第１弾性体と前記開口側と反対側となる前記第２スプールの他端側に配置される前記開口側に前記第２スプールを付勢する前記第１弾性体よりも小さい弾性力の第２弾性体とからなり、
前記第１スプールが、前記開口側に位置するときに、前記バルブ本体の３つの貫通孔部に重なる少なくとも３つの貫通孔部を有し、
前記第２スプールが、前記第１スプールの３つの貫通孔部のうち、少なくとも隣接する２つの貫通孔部間を連通可能とする連通部を有していることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のパイロットバルブ。
【請求項４】
前記第１弾性体は、前記第１スプールの前記開口側の端部にかかる気体圧力に抗して前記第１スプールを前記開口側に位置させることができる弾性力を有し、
前記第２弾性体は、前記第２弾性体の弾性力だけでは、前記第２スプールの前記開口側の端部にかかる気体圧力に抗して前記第２スプールを前記開口側に位置させることができない小さい弾性力であることを特徴とする請求項３に記載のパイロットバルブ。
【請求項５】
前記バルブ本体と前記第１スプールとの間がシール部材によってシールされ、一方、前記第１スプールと第２スプールとの間は、前記第１スプールの内周面及び前記第２スプールの外周面の面精度によってシールされていることを特徴とする請求項３又は請求項４に記載のパイロットバルブ。
【請求項６】
前記バルブ本体が、
前記貫通孔部を有し、前記一端と他端とに開口する中空状の筒部と、
前記筒部の他端を閉塞する蓋部と、
前記蓋部の前記第２スプールの開口側と反対に位置する他端に対応する位置に設けられ、前記第２スプールの他端を前記開口側に押圧するように操作可能な復帰ボタンと、を備えることを特徴とする請求項３から請求項５のいずれか１項に記載のパイロットバルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パイロットバルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、シリンダの一端と他端とにそれぞれパイロットバルブを設け、パイロットバルブがピストンで押圧されることで、シリンダ本体の一端とピストンとの間の第１空間、及び、シリンダ本体の他端とピストンとの間の第２空間のどちらかに圧縮気体を供給し、残る第１空間又は第２空間からは気体が抜気されるようにし、ピストンの駆動を行う往復動ピストンポンプが知られている（例えば、特許文献１、２参照）。
【０００３】
より具体的には、往復動ピストンポンプは、第１空間及び第２空間への気体の供給及び抜気を制御するパイロットバルブに連動する気体操作バルブが設けられており、この気体操作バルブが第１空間及び第２空間への気体の供給及び抜気の制御を行うことでピストンの駆動を実現している。
【０００４】
例えば、気体操作バルブは、一端と他端との間を往復動する切替弁を有しており、気体操作バルブの一端と切替弁との間の一方の空間には一方のパイロットバルブから気体が常時供給され、気体操作バルブの他端と切替弁との間の他方の空間には、他方のパイロットバルブから気体が常時供給されている。
【０００５】
そして、一方のパイロットバルブがピストンに押圧されると、その時だけ、一方のパイロットバルブは、一方の空間の気体を抜気するように動作し、他方の空間との差圧によって、切替弁が一端側に移動し、逆に、他方のパイロットバルブがピストンに押圧されると、その時だけ、他方のパイロットバルブは、他方の空間の気体を抜気するように動作し、一方の空間との差圧によって、切替弁が他端側に移動する。
パイロットバルブのピストンによる押圧が終ると抜気動作は気体供給動作に戻るが、一方の空間と他方の空間との間に供給されている気体は同圧であるため切替弁が移動することはない。
【０００６】
このパイロットバルブの抜気動作に伴う切替弁の移動により、気体操作バルブは、シリンダの第１空間に圧縮気体を供給し第２空間の気体を抜気する状態と、第２空間に圧縮気体を供給し第１空間の気体を抜気する状態とに切替わるようになっている。
【０００７】
また、気体操作バルブの別の形態としては、一方の空間と他方の空間とに外部に連通する抜気口が設けられ、常時抜気される状態としてパイロットバルブがピストンで動作した時だけ一方の空間若しくは他方の空間に圧縮気体が供給されて切替弁が移動するようになっているものもある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特表２０１２―５２７５９２号公報
【特許文献２】特表２００９―５０３３４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記のような構成の往復動ピストンポンプにおいては、パイロットバルブがピストンによって押圧される瞬間に正しく気体操作バルブの切替弁の移動が完了せず、切替弁が気体操作バルブの一端と他端との間の中間の位置で停止してしまう場合があり、この場合、気体操作バルブからシリンダへの気体の供給及びシリンダからの気体の抜気が行えなくなり、往復動ピストンポンプの駆動が停止してしまうという問題がある。
【００１０】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、気体操作バルブの切替弁の移動を確実に行うためのパイロットバルブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、上記目的を達成するために、以下の構成によって把握される。
（１）本発明のパイロットバルブは、一端に開口する有底筒状のバルブ本体と、前記バルブ本体内に摺動可能に収納されるスプールと、前記開口側と反対側となる前記スプールの他端側に配置され、前記開口側に前記スプールを付勢する弾性体と、を備え、前記バルブ本体が長さ方向にほぼ均等間隔に設けられる少なくとも３つの貫通孔部を有し、前記スプールが、前記バルブ本体の隣接する少なくとも２つの貫通孔部間を連通可能とし、前記弾性体と押圧手段とが共同して前記スプールを前記開口側に押圧することで、前記スプールが前記開口側と反対側に位置する状態から前記開口側に位置する状態になる。
（２）上記（１）の構成において、前記バルブ本体には、前記スプールを前記開口側に付勢する前記押圧手段としての気体を導入する付勢気体導入部が設けられている。
（３）上記（１）又は（２）の構成において、前記スプールが、前記バルブ本体内に摺動可能に収納される中空状の第１スプールと前記第１スプール内に摺動可能に収納される第２スプールとからなり、前記弾性体が、前記開口側と反対側となる前記第１スプールの他端側に配置される前記開口側に前記第１スプールを付勢する第１弾性体と前記開口側と反対側となる前記第２スプールの他端側に配置される前記開口側に前記第２スプールを付勢する前記第１弾性体よりも小さい弾性力の第２弾性体とからなり、前記第１スプールが、前記開口側に位置するときに、前記バルブ本体の３つの貫通孔部に重なる少なくとも３つの貫通孔部を有し、前記第２スプールが、前記第１スプールの３つの貫通孔部のうち、少なくとも隣接する２つの貫通孔部間を連通可能とする連通部を有している。
（４）上記（３）の構成において、前記第１弾性体は、前記第１スプールの前記開口側の端部にかかる気体圧力に抗して前記第１スプールを前記開口側に位置させることができる弾性力を有し、前記第２弾性体は、前記第２弾性体の弾性力だけでは、前記第２スプールの前記開口側の端部にかかる気体圧力に抗して前記第２スプールを前記開口側に位置させることができない小さい弾性力である。
（５）上記（３）又は（４）の構成において、前記バルブ本体と前記第１スプールとの間がシール部材によってシールされ、一方、前記第１スプールと第２スプールとの間は、前記第１スプールの内周面及び前記第２スプールの外周面の面精度によってシールされている。
（６）上記（３）から（５）のいずれか１つの構成において、前記バルブ本体が、前記貫通孔部を有し、前記一端と他端とに開口する中空状の筒部と、前記筒部の他端を閉塞する蓋部と、前記蓋部の前記第２スプールの開口側と反対に位置する他端に対応する位置に設けられ、前記第２スプールの他端を前記開口側に押圧するように操作可能な復帰ボタンと、を備える。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、気体操作バルブの切替弁の移動を確実に行うためのパイロットバルブを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明に係る実施形態の往復動ピストンポンプの断面図である。
【図２】本発明に係る実施形態のパイロットバルブの分解斜視図である。
【図３】本発明に係る実施形態のパイロットバルブの断面図である。
【図４】本発明に係る実施形態のパイロットバルブの動作を説明するための図である。
【図５】本発明に係る実施形態のパイロットバルブの動作を説明するための図である。
【図６】本発明に係る実施形態のパイロットバルブの動作を説明するための図である。
【図７】本発明に係る実施形態の往復動ピストンポンプの動作を説明するための図である。
【図８】本発明に係る実施形態の往復動ピストンポンプの動作を説明するための図である。
【図９】本発明に係る実施形態の往復動ピストンポンプの動作を説明するための図である。
【図１０】本発明に係る実施形態の往復動ピストンポンプの動作を説明するための図である。
【図１１】本発明に係る実施形態の往復動ピストンポンプの動作を説明するための図である。
【図１２】本発明に係る実施形態の往復動ピストンポンプの動作を説明するための図である。
【図１３】本発明に係る実施形態の往復動ピストンポンプの動作を説明するための図である。
【図１４】本発明に係る実施形態の往復動ピストンポンプの動作を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態（以下、実施形態）について詳細に説明する。なお、実施形態の説明の全体を通して同じ要素には同じ番号を付している。
【００１５】
図１は、本発明に係る実施形態の往復動ピストンポンプ１０を示す断面図である。
図１に示すように、往復動ピストンポンプ１０は、シリンダ２０と、第１パイロットバルブ３０と、第２パイロットバルブ４０と、気体操作バルブ５０と、を備えている。
【００１６】
（シリンダ）
シリンダ２０は、シリンダ本体２４とシリンダ本体２４内に往復動可能に収容されるピストン２５とを備える。
【００１７】
ピストン２５は、ピストンヘッド２６とピストンロッド２７とを備えており、本実施形態では、ピストンヘッド２６とピストンロッド２７とを別部品として組付けたものとしているが、ピストン２５はピストンヘッド２６とピストンロッド２７とを一体形成したものであっても良い。
【００１８】
シリンダ本体２４は、中空状のシリンダ筒部２１とシリンダ本体２４の一端を構成するシリンダ一端側蓋部２２’とシリンダ本体２４の他端を構成するシリンダ他端側蓋部２３’とを備える。
【００１９】
なお、本実施形態では、シリンダ本体２４がシリンダ筒部２１とシリンダ一端側蓋部２２’とシリンダ他端側蓋部２３’とで構成する場合を示しているが、シリンダ筒部２１とシリンダ一端側蓋部２２’とを一体形成したり、シリンダ筒部２１とシリンダ他端側蓋部２３’とを一体形成したりしても良く、シリンダ本体２４を具体的にどのように構成するのかは適宜決めればよい。
【００２０】
このため、以下では、蓋部と呼ばずに、単に、シリンダ一端側蓋部２２’の部分をシリンダ本体２４の一端２２と呼び、シリンダ他端側蓋部２３’の部分をシリンダ本体２４の他端２３と呼ぶことにする。
但し、シリンダ２０の組立作業のし易さやシリンダ２０のピストンヘッド２６が摺動することになる内面の内面精度の出し安さなどを考えれば、本実施形態のように、シリンダ筒部２１、シリンダ一端側蓋部２２’及びシリンダ他端側蓋部２３’で構成するようにするのが好適である。
【００２１】
シリンダ本体２４の一端２２には、ピストン２５が第１パイロットバルブ３０のスプール３１を押圧できるように、第１パイロットバルブ３０が設けられている。
同様にシリンダ本体２４の他端２３には、ピストン２５が、第２パイロットバルブ４０のスプール４１を押圧できるように、第２パイロットバルブ４０が設けられている。
【００２２】
また、シリンダ本体２４の他端２３には、ピストンロッド２７をシリンダ本体２４の外部に延出させるための、シリンダ本体２４の他端２３を貫通するピストンロッド取出貫通孔部２８が設けられ、ピストンロッド取出貫通孔部２８を通じてピストンロッド２７がシリンダ本体２４の外部に延出されている。
【００２３】
一方、シリンダ本体２４内は、ピストンヘッド２６によって仕切られる２つの空間に分けられている。
つまり、シリンダ２０は、シリンダ本体２４の一端２２とピストン２５（ピストンヘッド２６）との間の第１シリンダ内空間Ａとシリンダ本体２４の他端２３とピストン２５（ピストンヘッド２６）との間の第２シリンダ内空間Ｂとを備える。
【００２４】
そして、シリンダ２０には、第１シリンダ内空間Ａへの気体の供給及び第１シリンダ内空間Ａからの気体の排出を行うための第１気体ライン６１が接続されている。
本実施形態では、第１気体ライン６１は、シリンダ本体２４の一端２２側に近いシリンダ筒部２１の位置に設けられた第１シリンダ気体出入口６１ａに接続されている場合を示しているが、この第１シリンダ気体出入口６１ａをシリンダ本体２４の一端２２に設け、そのシリンダ本体２４の一端２２に設けられた第１シリンダ気体出入口６１ａに第１気体ライン６１が接続されていても良い。
【００２５】
また、シリンダ２０には、第２シリンダ内空間Ｂへの気体の供給及び第２シリンダ内空間Ｂから気体の排出を行うための第２気体ライン６２が接続されている。
本実施形態では、第２気体ライン６２は、シリンダ本体２４の他端２３側に近いシリンダ筒部２１の位置に設けられた第２シリンダ気体出入口６２ａに接続されている場合を示しているが、上記と同様に、この第２シリンダ気体出入口６２ａをシリンダ本体２４の他端２３に設け、そのシリンダ本体２４の他端２３に設けられた第２シリンダ気体出入口６２ａに第２気体ライン６２が接続されていても良い。
【００２６】
このように構成されているため、第１気体ライン６１から第１シリンダ内空間Ａに圧縮気体が供給されるとともに、第２気体ライン６２を通じて第２シリンダ内空間Ｂの気体が排出される状態となると、ピストン２５がシリンダ本体２４の他端２３側に移動する。
【００２７】
逆に、第２気体ライン６２から第２シリンダ内空間Ｂに圧縮気体が供給されるとともに、第１気体ライン６１を通じて第１シリンダ内空間Ａの気体が排出される状態になると、ピストン２５がシリンダ本体２４の一端２２側に移動する。
このような動作を繰り返すことでピストンは往復動を繰り返すことになる。
【００２８】
（気体操作バルブ）
気体操作バルブ５０は、第１パイロットバルブ３０のスプール３１がピストン２５で押圧されると、上述した第１シリンダ内空間Ａに圧縮気体を供給するとともに、第２シリンダ内空間Ｂから気体を排出する状態になる。
【００２９】
この状態になると、上述したように、ピストン２５がシリンダ本体２４の他端２３側に移動する。
また、このピストン２５の移動の結果、ピストン２５が第２パイロットバルブ４０のスプール４１を押圧すると、今度は、気体操作バルブ５０が、第２シリンダ内空間Ｂに圧縮気体を供給するとともに、第１シリンダ内空間Ａから気体を排出する状態になり、ピストン２５は、シリンダ本体２４の一端２２側に移動するようになる。
【００３０】
具体的な気体操作バルブ５０の構造について説明すると、気体操作バルブ５０は、操作バルブ本体５４と気体排出口切替弁５７とを備える。
操作バルブ本体５４は、主に、操作バルブ筒部５１と操作バルブ本体５４の一端を構成する操作バルブ一端側蓋部５２’と操作バルブ本体５４の他端を構成する操作バルブ他端側蓋部５３’とを備える。
【００３１】
なお、本実施形態では、操作バルブ本体５４が、主に、操作バルブ筒部５１、操作バルブ一端側蓋部５２’及び操作バルブ他端側蓋部５３’とで構成する場合を示しているが、操作バルブ筒部５１と操作バルブ一端側蓋部５２’とを一体形成するなど、シリンダ本体２４で述べたのと同様に、操作バルブ本体５４を具体的にどのように構成するのかは適宜決めればよい。
【００３２】
このため、以下では、蓋部と呼ばずに、単に、操作バルブ一端側蓋部５２’の部分を操作バルブ本体５４の一端５２と呼び、操作バルブ他端側蓋部５３’の部分を操作バルブ本体５４の他端５３と呼ぶことにする。
但し、操作バルブ本体５４の組立作業のし易さや操作バルブ本体５４の気体排出口切替弁５７が摺動することになる内面の内面精度の出し安さなどを考えれば、本実施形態のように、操作バルブ筒部５１、操作バルブ一端側蓋部５２’及び操作バルブ他端側蓋部５３’で構成するようにするのが好適である。
【００３３】
また、本実施形態では、第１気体ライン６１及び第２気体ライン６２の接続される部分について、操作バルブ筒部５１の一部に部品を嵌め込んで構成する場合を示しているが、この部分についても、別部品とする必要はなく、気体排出口切替弁５７の形状を図１に示すように、操作バルブ筒部５１内に出っ張るような形状としないようにして、つまり、操作バルブ筒部５１内に収容できるサイズにして、この別部品となっている部分を操作バルブ筒部５１に一体形成したものとしても良い。
【００３４】
操作バルブ本体５４は、図示しない気体供給源（例えば、コンプレッサ）からの気体の供給を受ける気体供給口５４ａと第１気体排出口５４ｂと第２気体排出口５４ｃと抜気口５４ｄとを有しており、第１気体排出口５４ｂには、上述した第１シリンダ内空間Ａへの気体の供給及び第１シリンダ内空間Ａからの気体の排出を行う第１気体ライン６１が接続されている。
また、第２気体排出口５４ｃには、上述した第２シリンダ内空間Ｂへの気体の供給及び第２シリンダ内空間Ｂからの気体の排出を行う第２気体ライン６２が接続されている。
【００３５】
そして、胴部５５と抜気口接続部５６とからなる気体排出口切替弁５７が、操作バルブ本体５４内の一端５２と他端５３との間を往復移動可能に操作バルブ本体５４内に設けられており、この気体排出口切替弁５７によって、気体供給口５４ａから供給される気体が第１気体排出口５４ｂ又は第２気体排出口５４ｃのどちらからシリンダ２０側へ排出されるのかが選択されるとともに、その選択されたのとは反対の第１気体排出口５４ｂ又は第２気体排出口５４ｃが抜気口５４ｄに接続されるようになっている。
【００３６】
図１は、第２パイロットバルブ４０のスプール４１がピストン２５で押圧された後の状態を示しており、ピストン２５が第１パイロットバルブ３０側に向かって移動している途中の状態を示している。
【００３７】
後ほど、パイロットバルブ（第１パイロットバルブ３０及び第２パイロットバルブ４０）の構成及び動作については詳細に説明するが、ピストン２５が第２パイロットバルブ４０のスプール４１を押圧してから、ピストン２５が第１パイロットバルブ３０のスプール３１を押圧するまでの間は、操作バルブ本体５４の一端５２と気体排出口切替弁５７との間の第１気体操作バルブ内空間Ｃからの気体の抜気状態が持続されるようになっている。
【００３８】
また、操作バルブ本体の他端５３と気体排出口切替弁５７との間の第２気体操作バルブ内空間Ｄへは、気体の供給状態が持続されるようになっている。
このため、第２パイロットバルブ４０のスプール４１がピストン２５で押圧された後、ピストン２５が第１パイロットバルブ３０のスプール３１を押圧するまでの間は、第２気体操作バルブ内空間Ｄ内の圧力が高く、第１気体操作バルブ内空間Ｃ内の圧力が低い状態が維持される。
【００３９】
したがって、第２パイロットバルブ４０のスプール４１がピストン２５で押圧される前に、操作バルブ本体５４の他端５３側に位置する気体排出口切替弁５７は、第２パイロットバルブ４０のスプール４１がピストン２５で押圧されると、この圧力差によって確実に操作バルブ本体５４の一端５２側に移動し、気体排出口切替弁５７が操作バルブ本体５４の一端５２に位置するようになっている。
【００４０】
つまり、この圧力差は第２パイロットバルブ４０のスプール４１がピストン２５で押圧された瞬間だけに発生するわけではなく、ピストン２５が第１パイロットバルブ３０のスプール３１を押圧するまで維持されているので、従来のように、気体排出口切替弁５７の動きが悪い瞬間があったとしても、気体排出口切替弁５７が操作バルブ本体５４の一端５２と他端５３との間の中間で停止することなく、確実に操作バルブ本体５４の一端５２側に位置するように移動する。
【００４１】
そして、気体排出口切替弁５７が操作バルブ本体５４の一端５２側に位置する状態のときには、気体排出口切替弁５７の胴部５５と操作バルブ本体５４の間の隙間を通って、気体供給口５４ａに供給される気体は、第２気体排出口５４ｃから第２シリンダ内空間Ｂ側に排出される。
つまり、第２気体排出口５４ｃから第２気体ライン６２を通じて第２シリンダ内空間Ｂに圧縮気体が供給される。
【００４２】
また、この状態のときには、気体排出口切替弁５７の抜気口接続部５６によって、第１気体排出口５４ｂは抜気口５４ｄに接続されているので、第１シリンダ内空間Ａ内の気体は、第１気体ライン６１を通じて外部に抜気される。
このため、ピストン２５は、シリンダ本体２４の一端２２側に移動する。
【００４３】
この移動の結果、第１パイロットバルブ３０のスプール３１がピストン２５に押圧されると、今度は、ピストン２５が第２パイロットバルブ４０のスプール４１を押圧するまでは、第１気体操作バルブ内空間Ｃへは、気体の供給状態が持続され、第２気体操作バルブ内空間Ｄからの気体の抜気状態が持続される。
【００４４】
このため、先ほどとは逆に、第１気体操作バルブ内空間Ｃ内の圧力が高く、第２気体操作バルブ内空間Ｄ内の圧力が低い状態が維持されるので、確実に、気体排出口切替弁５７が操作バルブ本体５４の他端５３側に位置するように移動する。
【００４５】
そして、気体排出口切替弁５７が操作バルブ本体５４の他端５３側に位置する状態のときには、気体排出口切替弁５７の胴部５５と操作バルブ本体５４の間の隙間を通って、気体供給口５４ａに供給される気体は、今度は、第１気体排出口５４ｂから第１シリンダ内空間Ａ側に排出される。
つまり、第１気体排出口５４ｂから第１気体ライン６１を通じて第１シリンダ内空間Ａに圧縮気体が供給される。
【００４６】
また、この状態のときには、気体排出口切替弁５７の抜気口接続部５６によって、第２気体排出口５４ｃは抜気口５４ｄに接続されるので、第２シリンダ内空間Ｂ内の気体は、第２気体ライン６２を通じて外部に抜気される。
このため、先ほどとは逆に、ピストン２５は、シリンダ本体２４の他端２３側に移動する。
上記の動作が繰り返されることでピストン２５の往復動が行われる。
【００４７】
（パイロットバルブ）
第１パイロットバルブ３０及び第２パイロットバルブ４０は、同じ構成であるため、以下では、第１パイロットバルブ３０及び第２パイロットバルブの区別を行わず、単に、パイロットバルブ８０として説明を行う。
【００４８】
図２は、パイロットバルブ８０の分解斜視図であり、図３は、パイロットバルブ８０を組立てた状態の断面図である。
図２及び図３に示すように、パイロットバルブ８０は、中空状の筒部８１と筒部８１の他端を閉塞する蓋部８２と蓋部８２に設けられる復帰ボタン８３とで一端に開口８１ｄする有底筒状のバルブ本体８４が構成されている。
【００４９】
図２に示すように、筒部８１には、長さ方向にほぼ均等間隔に設けられる３つの貫通孔部８１ａが設けられ、その各貫通孔部８１ａには、周方向に複数の貫通孔８１ｂが設けられている。
つまり、バルブ本体８４が、長さ方向にほぼ均等間隔に設けられる３つの貫通孔部８１ａを有するようになっている。
なお、貫通孔部８１ａに設ける貫通孔８１ｂの数自体は、特に限定されるものではなく、１つてあっても良い。
【００５０】
また、各貫通孔部８１ａの長さ方向の両側には、シール部材８１ｃが設けられている。
このシール部材８１ｃは、パイロットバルブ８０をシリンダ本体２４に取付けたときに、バルブ本体８４（筒部８１）とシリンダ本体２４との間のシールを行うためのものである。
【００５１】
図２及び図３に示すように、パイロットバルブ８０は、バルブ本体８４内に摺動可能に収納される中空状の第１スプール８５を備えている。
図２に示すように、この第１スプール８５にも、長さ方向に、バルブ本体８４（筒部８１）に設けられる貫通孔部８１ａと同じ間隔で３つの貫通孔部８５ａが設けられており、その各貫通孔部８５ａには、周方向に複数の貫通孔８５ｂが設けられている。
なお、貫通孔部８５ａに設ける貫通孔８５ｂの数自体は、特に限定されるものではなく、１つてあっても良い。
【００５２】
また、各貫通孔部８５ａの長さ方向の両側には、シール部材８５ｃが設けられており、バルブ本体８４（筒部８１）と第１スプール８５との間がシールされるようになっている。
【００５３】
図３は、第１スプール８５がバルブ本体８４の開口８１ｄ側に位置する状態を示しており、図３を見るとわかるように、第１スプール８５が開口８１ｄ側に位置するときには、バルブ本体８４（筒部８１）の３つの貫通孔部８１ａに、第１スプール８５の３つの貫通孔部８５ａが重なるようになっている。
【００５４】
また、図２及び図３に示すように、パイロットバルブ８０は、バルブ本体８４（筒部８１）の開口８１ｄ側と反対側となる第１スプール８５の他端側に配置される第１スプール８５を開口８１ｄ側に付勢する第１弾性体８６と、第１スプール８５内に摺動可能に収納される第２スプール８７と、開口８１ｄ側と反対側となる第２スプール８７の他端側に配置される第２スプール８７を開口８１ｄ側に付勢する第１弾性体８６よりも小さい弾性力の第２弾性体８８と、を備えている。
【００５５】
図３に示すように、復帰ボタン８３は、蓋部８２の第２スプール８７の開口８１ｄ側と反対に位置する他端（第２弾性体８８の当接する端）に対応する位置に設けられており、この復帰ボタン８３を押し込むように押すと、第２スプール８７の他端を開口８１ｄ側に押圧する操作が行えるようになっている。
この復帰ボタン８３を設けている意味については、後ほど説明する。
【００５６】
第２スプール８７と第１スプール８５との間は、いわゆるメタルシールによってシールされている。
つまり、第１スプール８５の内周面及び第２スプール８７の外周面の面精度によって第２スプール８７と第１スプール８５との間はシールされている。
【００５７】
図２に示すように、第２スプール８７は、長さ方向の中間部に外径が小さくなる切欠部が設けられている。
この切欠部は、図３に示すように、第１スプール８５の３つの貫通孔部８５ａのうちの隣接する２つの貫通孔部８５ａを連通可能とする連通部８７ａになっている。
なお、本実施形態では、連通部８７ａを切欠部として構成しているが、切欠き状のものに限定される必要はない。
【００５８】
このように、本実施形態のパイロットバルブ８０は、上述した第１パイロットバルブ３０のスプール３１及び第２パイロットバルブ４０のスプール４１として個別に摺動可能な２つのスプール（第１スプール８５及び第２スプール８７）を有するようになっており、スプールがダブルアクションする構成になっている。
【００５９】
このスプール（第１スプール８５及び第２スプール８７）の動作について、図４〜図６を参照しながら説明する。
なお、往復動ピストンポンプ１０の動作に合わせたスプール（第１スプール８５及び第２スプール８７）の動きに関しては、後ほど詳細に後述することにし、ここでは、スプール（第１スプール８５及び第２スプール８７）の取り得る状態と、その時に図１に示す気体供給源（図示せず）からパイロットバルブ用気体供給ライン６３によってパイロットバルブ（第１パイロットバルブ３０及び第２パイロットバルブ４０）に供給される気体がどのように流れるのかについて説明する。
【００６０】
図４は、図３と同じ状態を示した図であり、図５は、第１スプール８５及び第２スプール８７が共に開口８１ｄと反対側に位置している状態を示す図であり、図６は、第１スプール８５は開口８１ｄ側に位置し、第２スプール８７が開口８１ｄと反対側に位置している状態を示す図である。
【００６１】
先ず、説明の簡略化のために、図４を参照してバルブ本体８４の３つの貫通孔部８１ａについて名称を与えることとする。
なお、以後の説明においてもこの名称を用いてバルブ本体８４の貫通孔部８１ａを区別して記載する場合がある。
【００６２】
図４に示す貫通孔部８１ａの一番図下側の貫通孔部８１ａは、図１の第１パイロットバルブ３０を見るとわかるように、大気開放ラインに接続されるので抜気ポート９１と呼ぶ。
【００６３】
同様に、図４に示す貫通孔部８１ａの下から２番目の貫通孔部８１ａ（つまり、中央の貫通孔部８１ａ）は、図１の第１パイロットバルブ３０を見るとわかるように、気体操作バルブ５０に接続されるので気体操作バルブポート９２と呼ぶ。
【００６４】
また、図４に示す貫通孔部８１ａの一番上の貫通孔部８１ａは、図１の第１パイロットバルブ３０を見るとわかるように、気体供給源（図示せず）側から気体の供給を受けるポートであるため気体供給ポート９３と呼ぶ。
【００６５】
さらに、貫通孔部８１ａ以外に、バルブ本体８４には、第２弾性体８８が当接する第２スプール８７の開口８１ｄと反対の他端のところに気体を供給する気体供給口（付勢気体導入部９４）が設けられているが、これは、動作については後ほど説明するが、図６に示す第２スプール８７が開口８１ｄと反対側に位置している状態を、図４に示す開口８１ｄ側に位置する状態にするように、第２弾性体８８と共同して第２スプール８７を開口８１ｄ側に付勢する押圧手段としての気体を導入するための付勢気体導入部９４である。
【００６６】
なお、図１に示す第２パイロットバルブ４０は、第１パイロットバルブ３０と上下の向きが反対になっているだけであり、上記で第１パイロットバルブ３０を例にして説明した同様である。
【００６７】
以下、具体的な気体の流れについて説明する。
図４に示す第１スプール８５及び第２スプール８７が共にバルブ本体８４の開口８１ｄ側に位置する状態のときには、バルブ本体８４の気体供給ポート９３に供給された気体は、第１スプール８５の一番上の貫通孔部８５ａに供給されるが、この部分は、第２スプール８７によって閉鎖されているので、それ以上、先に供給されることはない。
【００６８】
そして、この状態のときには、バルブ本体８４の気体操作バルブポート９２が、第１スプール８５の中央の貫通孔部８５ａ、一番下の貫通孔部８５ａ及び第２スプール８７の連通部８７ａを介して、バルブ本体８４の抜気ポート９１に接続された状態となっている。
【００６９】
このため、例えば、この状態のパイロットバルブ８０が第１パイロットバルブ３０である場合、気体操作バルブポート９２に接続されているのは、図１を参照して説明した第１気体操作バルブ内空間Ｃからの気体ライン６４ａであるので、第１気体操作バルブ内空間Ｃ内の気体は、抜気ポート９１を通じて外部に放出（抜気）され、第１気体操作バルブ内空間Ｃ内の圧力が低くなる。
なお、この状態のパイロットバルブ８０が第２パイロットバルブ４０である場合は、同様に、図１を参照して説明した第２気体操作バルブ内空間Ｄ内の気体が気体ライン６４ｂを通じて外部に放出（抜気）されるので第２気体操作バルブ内空間Ｄ内の圧力が低くなることになる。
【００７０】
次に、図５に示す第１スプール８５及び第２スプール８７が共にバルブ本体８４の開口８１ｄと反対側に位置する状態のとき、つまり、ピストン２５によってスプール（第１スプール８５及び第２スプール８７）が押圧されている状態のときには、バルブ本体８４の気体供給ポート９３に供給された気体は、第１スプール８５の中央の貫通孔部８５ａを通り、第２スプール８７の連通部８７ａを介して再び第１スプール８５の一番下の貫通孔部８５ａを通じてバルブ本体８４の気体操作バルブポート９２に供給される。
【００７１】
このため、例えば、この状態のパイロットバルブ８０が第１パイロットバルブ３０である場合、気体操作バルブポート９２に接続されているのは、図１を参照して説明した第１気体操作バルブ内空間Ｃからの気体ライン６４ａであるので、第１気体操作バルブ内空間Ｃに気体が供給され、第１気体操作バルブ内空間Ｃの圧力を高くする。
なお、この状態のパイロットバルブ８０が第２パイロットバルブ４０である場合は、同様に、気体ライン６４ｂを通じて、図１を参照して説明した第２気体操作バルブ内空間Ｄ内の圧力が高くなる。
【００７２】
そして、上述した図５に示す状態になると、ピストン２５で押圧されていない方のパイロットバルブが図４を参照して説明した状態になる。
より具体的には、図５に示す状態、つまり、ピストン２５が第１スプール８５及び第２スプール８７を押圧した後、ピストン２５が第１スプール８５及び第２スプール８７から離れると、第１スプール８５に関しては、図６に示すように、第１弾性体８６によって自動的に開口８１ｄ側に位置するようになっている。
このため、ピストン２５で押圧されていない方のパイロットバルブは、図６に示すような状態になっている。
【００７３】
例えば、図１は、上述したように、ピストン２５で第２パイロットバルブ４０のスプール４１（第１スプール８５及び第２スプール８７）が押圧された後、ピストン２５が第１パイロットバルブ３０側に向かっている途中の状態であるので、図６に示す状態にある。
【００７４】
そして、図１に示すように、第１気体操作バルブ内空間Ｃと第１パイロットバルブ３０の気体操作バルブポート９２を接続する気体ライン６４ａの途中からは、分岐ライン６４ａａが取られ、第２パイロットバルブ４０の図４で説明した第２スプール８７を開口８１ｄ側に付勢する気体を導入するための付勢気体導入部９４にも気体が供給されるようになっている。
【００７５】
このため、図５を参酌して説明したように、第１パイロットバルブ３０のスプール３１（第１スプール８５及び第２スプール８７）がピストン２５で押圧されて、気体ライン６４ａに気体が供給されると、分岐ライン６４ａａにも気体が供給されて、図１に示す図６の状態にある第２パイロットバルブ４０の第２スプール８７が、付勢気体導入部９４から導入される気体によって、開口８１ｄ側に押圧されて、図４に示す状態のように、第２スプール８７が開口８１ｄ側に位置するようになる。
【００７６】
上述でも触れたが、図６は、図５のピストン２５が第１スプール８５及び第２スプール８７を押圧した後、ピストン２５が第１スプール８５及び第２スプール８７から離れるように移動したときの状態を示しているものである。
この状態のときには、ピストン２５が離れていく動きの状態であることからわかるように、この状態となるパイロットバルブ８０は圧縮気体が供給されている雰囲気中に第１スプール８５及び第２スプール８７が置かれていることになる。
【００７７】
そして、第１スプール８５を開口８１ｄ側に付勢する第１弾性体８６は、この圧縮気体が第１スプール８５の開口８１ｄ側の端部を開口８１ｄと反対側に押す力よりも強く第１スプール８５を開口８１ｄ側に付勢するものが使用されている。
つまり、第１弾性体８６は、第１スプールの開口８１ｄ側の端部にかかる気体圧力に抗して第１スプール８５を開口８１ｄ側に位置させることができる弾性力を有するようにされている。
【００７８】
一方、第２スプール８７は、第２弾性体８８によって開口８１ｄ側に付勢されているものの、ピストン２５が離れても、それだけでは開口８１ｄ側に移動することがない。
つまり、第２弾性体８８は、第２弾性体８８の弾性力だけでは、第２スプール８７の開口８１ｄ側の端部にかかる気体圧力に抗して第２スプール８７を開口８１ｄ側に位置させることができない小さい弾性力を有するようにされている。
【００７９】
既に、触れたが、付勢気体導入部９４から気体が導入されると、第２スプール８７の開口８１ｄ側の端部と反対側の端部（第２弾性体８８が当接する端部）とが同圧になるので、この状態になると、第２弾性体８８の弾性力が小さい弾性力であっても第２スプール８７は開口８１ｄ側に位置するように移動する。
【００８０】
なお、付勢気体導入部９４から気体が導入されると、第２スプール８７は開口８１ｄ側に位置するように移動することになり、移動しないことは殆どないが、第２弾性体８８の弾性力として小さいものを選択しているため、万一、第２スプール８７が開口８１ｄ側に位置するように移動しなかったときのために、強制的に開口８１ｄ側に復帰させることができるように、本実施形態では、上述した復帰ボタン８３を設けている。
【００８１】
そして、図５と図６とを見比べるとわかるように、第１スプール８５及び第２スプール８７がピストン２５で押圧されている状態（図５）からピストン２５が第１スプール８５及び第２スプール８７から離れた状態に変わると、第１スプール８５は開口８１ｄ側に位置するようになるが、第２スプール８７はピストン２５で押圧されている時と同じ位置を維持しているので、パイロットバルブ８０としてのラインの切替わりはない。
つまり、図５のピストン２５で押圧されている状態のときの気体操作バルブポート９２に気体が供給されている状態が、図６のピストン２５が離れた状態でも維持されている。
【００８２】
このため、例えば、図１の第２パイロットバルブ４０を見るとわかるように、第２気体操作バルブ内空間Ｄへの気体の供給状態が維持され続けることになる。
つまり、第２気体操作バルブ内空間Ｄへの気体の供給状態が持続され続ける。
【００８３】
一方、上述したように、これと反対側のパイロットバルブである第１パイロットバルブ３０は、第２パイロットバルブ４０がピストン２５で押圧されたときに、上述したように、第２スプール８７が開口８１ｄ側に位置するようになり、図１に示すように、第１気体操作バルブ内空間Ｃは抜気される状態になり、この状態は第１パイロットバルブ３０のスプール３１（第１スプール８５及び第２スプール８７）がピストン２５で押圧されるまで維持される
つまり、第１気体操作バルブ内空間Ｃからの気体の抜気状態が持続され続けることになる。
【００８４】
この結果、上述したように、本実施形態の気体操作バルブ５０は、第１パイロットバルブ３０のスプール３１及び第２パイロットバルブ４０のスプール４１がピストン２５で押圧される瞬間だけでなく、第１パイロットバルブ３０のスプール３１及び第２パイロットバルブ４０のスプール４１がピストン２５で押圧されて、操作バルブ本体５４内で気体排出口切替弁５７が位置すべき一端側又は他端側の関係が変わるまでの間、気体排出口切替弁５７が位置すべき側に位置させるように差圧が維持され続けるので、気体排出口切替弁５７が移動途中に中間位置で停止してしまうような動作不良が抑制される。
【００８５】
（往復動ピストンポンプ動作）
上記で既に各部の動作について詳細説明を行ったので、以下では、図７から図１４を参照しながら、それらの動作を一連の動作としたときの往復動ピストンポンプの動作について説明する。
【００８６】
まず、図７は、図１に対応する図であり、ピストン２５がシリンダ本体２４の一端２２側に向かって移動中の状態を示す図である。
この状態のときには、第２パイロットバルブ４０は、図６に示した状態にあり、第１パイロットバルブ３０は、図４に示した状態にある。
このため、第２パイロットバルブ４０から気体ライン６４ｂを通じて気体操作バルブ５０の第２気体操作バルブ内空間Ｄに圧縮気体が供給されて、一方、気体操作バルブ５０の第１気体操作バルブ内空間Ｃは、気体ライン６４ａを通じて第１パイロットバルブ３０を介して抜気された状態となる。
【００８７】
したがって、気体操作バルブ５０の気体排出口切替弁５７が操作バルブ本体５４の一端５２側に位置し、気体操作バルブ５０から第２気体ライン６２を通じてシリンダ２０の第２シリンダ内空間Ｂに圧縮気体が供給されるとともに第１シリンダ内空間Ａ内の気体は、第１気体ライン６１を通じて気体操作バルブ５０を介して抜気され、ピストン２５は、シリンダ本体２４の一端２２側に向かって移動する。
【００８８】
そして、ピストン２５が、図８に示すように、第１パイロットバルブ３０のスプール３１を押圧すると、第１パイロットバルブ３０は、図５の状態となる。
この状態になると、第１パイロットバルブ３０から気体ライン６４ａを通じて気体操作バルブ５０の第１気体操作バルブ内空間Ｃに圧縮気体の供給が開始される。
合わせて、気体ライン６４ａの途中の分岐ライン６４ａａを通じて第２パイロットバルブ４０の付勢気体導入部９４にも圧縮気体の供給が開始される。
【００８９】
今、第２パイロットバルブ４０は、図６に示す状態にあり、第２パイロットバルブ４０の付勢気体導入部９４に導入された気体によって、第２パイロットバルブ４０の第２スプール８７が開口８１ｄ側に位置するように移動することで、初めて第２パイロットバルブ４０の駆動状態が変化し、図８の第２パイロットバルブ４０から気体ライン６４ｂを通じて気体操作バルブ５０の第２気体操作バルブ内空間Ｄに圧縮気体が供給されている状態から、図９に示す気体ライン６４ｂを通じて第２気体操作バルブ内空間Ｄ内の気体が、第２パイロットバルブ４０を介して抜気される状態になる。
【００９０】
この動作が起こって初めて、気体操作バルブ５０の第１気体操作バルブ内空間Ｃと第２気体操作バルブ内空間Ｄとの差圧が発生し、気体排出口切替弁５７の移動が起こり、シリンダ２０の第１シリンダ内空間Ａと第２シリンダ内空間Ｂとの気体の供給、抜気状態が変化してピストン２５の移動向きが変わることになる。
したがって、その初めの段階である第２パイロットバルブ４０の第２スプール８７が開口８１ｄ側に位置するように移動する動作がスムーズになされるかが、往復動ピストンポンプ１０の駆動のスムーズさに影響する。
【００９１】
そこで、本実施形態では、上述したように、第１スプール８５と第２スプール８７との間は、メタルシール、つまり、面精度でシールを取る構造とし、一般のＯリングなどのシール部材を用いる場合よりも摺動抵抗を少なくし、動きのスムーズさを向上させており、スムーズに図８の状態から図９の状態に変化する。
【００９２】
図９に示す状態になると、上述のように、気体操作バルブ５０の第２気体操作バルブ内空間Ｄが気体ライン６４ｂを通じて第２パイロットバルブ４０を介して抜気されるようになる。
また、このとき、気体ライン６４ｂの途中から分岐する分岐ライン６４ｂｂが第１パイロットバルブ３０の付勢気体導入部９４にもつながっているので、第１パイロットバルブ３０の第２スプール８７を第２弾性体８８とともに付勢するために第２スプール８７の第２弾性体８８が当接する側の端部側に供給されていた気体も抜気される。
【００９３】
このため、ピストン２５が第１パイロットバルブ３０のスプール３１（第１スプール８５及び第２スプール８７）から離れても、第１パイロットバルブ３０の第２スプール８７は、移動することなく、図９の状態の位置に留まる。
【００９４】
そして、図９の状態となって、気体操作バルブ５０の第１気体操作バルブ内空間Ｃ（高圧）と第２気体操作バルブ内空間Ｄ（低圧）との差圧が発生すると、図１０に示すように、気体操作バルブ５０の気体排出口切替弁５７が操作バルブ本体５４の他端５３側に位置するように移動する。
【００９５】
この気体排出口切替弁５７の移動によって、気体操作バルブ５０から第１気体ライン６１を通じてシリンダ２０の第１シリンダ内空間Ａに圧縮気体が供給されるとともに、シリンダ２０の第２シリンダ内空間Ｂの気体が第２気体ライン６２を通じて気体操作バルブ５０を介して抜気され、ピストン２５がシリンダ本体２４の他端２３側に移動するようになる。
【００９６】
なお、上述したように、この移動に伴って、ピストン２５が、図１１に示すように、第１パイロットバルブ３０のスプール３１から離れてもスプール３１の第２スプール８７は移動せず、第１スプール８５だけが開口８１ｄ側に位置するように移動して、第１パイロットバルブ３０のスプール３１がピストン２５で押圧されている時の第１パイロットバルブ３０の駆動状態が維持される。
つまり、第１パイロットバルブ３０から気体ライン６４ａを通じて、気体操作バルブ５０の第１気体操作バルブ内空間Ｃへの気体の供給状態が持続し続ける。
【００９７】
そして、図１２に示すように、ピストン２５が第２パイロットバルブ４０のスプール４１を押圧すると、第２パイロットバルブ４０から気体ライン６４ｂを通じて気体操作バルブ５０の第２気体操作バルブ内空間Ｄへの圧縮気体の供給が始まるとともに、第１パイロットバルブ３０の第２スプール８７を開口８１ｄ側に付勢するための気体が、気体ライン６４ｂの途中の分岐ライン６４ｂｂを通じて第１パイロットバルブ３０の付勢気体導入部９４に供給される。
【００９８】
このため、図１３に示すように、第１パイロットバルブ３０の第２スプール８７が開口８１ｄ側に位置するようになり、気体操作バルブ５０の第１気体操作バルブ内空間Ｃ内の気体が気体ライン６４ａを通じて第１パイロットバルブ３０を介して抜気され、気体操作バルブ５０の第１気体操作バルブ内空間Ｃ（低圧）と第２気体操作バルブ内空間Ｄ（高圧）とに差圧が発生する。
【００９９】
なお、このとき、第２パイロットバルブ４０の第２スプール８７に当接する第２弾性体８８側に供給されていた気体は、気体ライン６４ａの途中から分岐されて第２パイロットバルブ４０の付勢気体導入部９４に接続されている分岐ライン６４ａａを通じて抜気されて、第２パイロットバルブ４０のスプール４１からピストン２５が離れても、第２パイロットバルブ４０の第２スプール８７が図１３に示す位置状態を維持するようになっている。
このため、第２パイロットバルブ４０からピストン２５が離れても、気体操作バルブ５０の第２気体操作バルブ内空間Ｄへの気体の供給状態が持続される。
【０１００】
そして、気体操作バルブ５０の第１気体操作バルブ内空間Ｃ（低圧）と第２気体操作バルブ内空間Ｄ（高圧）との差圧によって、図１４に示すように、気体操作バルブ５０の気体排出口切替弁５７が操作バルブ本体５４の一端５２側に位置するように移動する。
【０１０１】
この移動によって、気体操作バルブ５０から第２気体ライン６２を通じてシリンダ２０の第２シリンダ内空間Ｂに圧縮気体が供給されるとともに、シリンダ２０の第１シリンダ内空間Ａ内の気体が第１気体ライン６１を通じて気体操作バルブ５０を介して抜気されて、ピストン２５が、再び、シリンダ本体２４の一端２２側に移動し、図７の状態に至る。
このようにして、本実施形態の往復動ピストンポンプ１０は駆動する。
【０１０２】
上記のように、本実施形態のパイロットバルブ８０であれば、詳細に説明したように、気体操作バルブ５０の第１気体操作バルブ内空間Ｃと第２気体操作バルブ内空間Ｄとの内圧を、一方を高く、他方を低くして差圧ができる状態が常に維持され、パイロットバルブがピストンで押圧されることで、その差圧の関係が逆転する動作が実現できるので、気体操作バルブ５０の気体排出口切替弁５７の移動が確実に行える。
【０１０３】
以上、具体的な実施形態に基づき、本発明に係るパイロットバルブについて説明してきたが、本発明は、実施形態に限定されるものではない。
例えば、本実施形態のパイロットバルブ８０では、第１弾性体８６及び第２弾性体８８にコイルばねを用いているが、コイルばね以外の弾性体にしても良い。
【０１０４】
また、本実施形態のパイロットバルブ８０では、貫通孔部８１ａ、８５ａとして３つの貫通孔部を設ける場合を示しているが、貫通孔部８１ａ、８５ａは３つ以上であっても良く、この場合、連通部８７ａも２つ以上の隣接する貫通孔部８５ａを連通するものとしても良い。
このようにすれば、上記で説明した以外に、さらに、気体の流れるポートが作れるため、そのポートを別の動作のために利用することが可能となる。
【０１０５】
さらに、本実施形態では、パイロットバルブ８０のスプールとして、つまり、第１パイロットバルブ３０のスプール３１及び第２パイロットバルブ４０のスプール４１として、第１スプール８５及び第２スプール８７の２つのスプールで構成される場合を示したが、第１スプール８５を省略して、第２スプール８７がバルブ本体８４の内周面に接触して摺動可能とし、第２スプール８７を付勢する第２弾性体８８が、第２弾性体８８の弾性力だけでは、第２スプール８７の開口８１ｄ側の端部にかかる気体圧力に抗して第２スプール８７を開口８１ｄ側に位置させることができない小さい弾性力であるものとしても良い。
このようにしても、パイロットバルブ８０自体の動作は、同様の動作とすることが可能である。
【０１０６】
しかしながら、本実施形態で示した第１スプール８５及び第２スプール８７を用いた２つのスプールからなる構成の方がスプールの動作がスムーズに行えるため好適である。
つまり、図６を見るとわかるように、第１スプール８５が先に開口８１ｄ側に移動していることで、第２スプール８７の摺動面の一部は第１スプール８５と一部接触していない状態となっており、このため、図６に示す状態から図４に示す状態となるために、付勢気体導入部９４から気体が供給され、第２スプール８７が開口８１ｄ側に移動を開始する瞬間の摺動抵抗が小さく抑えられ、移動開始時のスムーズさを得られるようにできる。
【０１０７】
したがって、パイロットバルブ８０のスプールとして、つまり、第１パイロットバルブ３０のスプール３１及び第２パイロットバルブ４０のスプール４１としては、第１スプール８５及び第２スプール８７の２つのスプールで構成されるのが好適である。
【０１０８】
このように、本発明は、具体的な実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形や改良を施したものも本発明の技術的範囲に含まれるものであり、そのことは、当業者にとって特許請求の範囲の記載から明らかである。
【符号の説明】
【０１０９】
１０      往復動ピストンポンプ
２０      シリンダ
２１      シリンダ筒部
２２      一端
２２’    シリンダ一端側蓋部
２３      他端
２３’    シリンダ他端側蓋部
２４      シリンダ本体
２５      ピストン
２６      ピストンヘッド
２７      ピストンロッド
２８      ピストンロッド取出貫通孔部
３０      第１パイロットバルブ
３１      スプール
４０      第２パイロットバルブ
４１      スプール
５０      気体操作バルブ
５２      一端
５２’    操作バルブ一端側蓋部
５３      他端
５３’    操作バルブ他端側蓋部
５４      操作バルブ本体
５４ａ    気体供給口
５４ｂ    第１気体排出口
５４ｃ    第２気体排出口
５４ｄ    抜気口
５５      胴部
５６      抜気口接続部
５７      気体排出口切替弁
６１      第１気体ライン
６１ａ    第１シリンダ気体出入口
６２      第２気体ライン
６２ａ    第２シリンダ気体出入口
６３      パイロットバルブ用気体供給ライン
６４ａ    気体ライン
６４ａａ  分岐ライン
６４ｂ    気体ライン
６４ｂｂ  分岐ライン
８０      パイロットバルブ
８１      筒部
８１ａ    貫通孔部
８１ｂ    貫通孔
８１ｃ    シール部材
８１ｄ    開口
８２      蓋部
８３      復帰ボタン
８４      バルブ本体
８５      第１スプール
８５ａ    貫通孔部
８５ｂ    貫通孔
８５ｃ    シール部材
８６      第１弾性体
８７      第２スプール
８７ａ    連通部
８８      第２弾性体
９１      抜気ポート
９２      気体操作バルブポート
９３      気体供給ポート
９４      付勢気体導入部
Ａ        第１シリンダ内空間
Ｂ        第２シリンダ内空間
Ｃ        第１気体操作バルブ内空間
Ｄ        第２気体操作バルブ内空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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