(57)【要約】【課題】識別装置の多数の子機の各々が有する弾性表面波ユニットを構成する各弾性表面波素子の表面には、個々の子機に固有のＩＤに対応した反射電極のパターンを形成せねばならず、設計・製造の手間とコストが多大であった。【解決手段】個々の弾性表面波ユニットを複数の弾性表面波素子を直列に接続したもので構成する。各弾性表面波素子は両端に櫛歯電極を設ける。弾性表面波は初段の素子から次段の弾性表面波素子へ受け渡され、その反射波は経路を逆にたどって初段の弾性表面波素子へ戻る。その過程で異なる遅延時間や異なる反射器パターンによる反射波信号を識別信号として生成する。複数の弾性表面波素子の組み合わせを異ならせるような製造方法をとることにより、子機ごとに異なる識別信号を付与することができる。【選択図】  図１
2016092666.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の入力信号によって励振される弾性表面波の伝搬面の状態に応じて、所定の識別パターンを応答信号として出力する弾性表面波ユニットを備える識別装置の製造方法において、
弾性表面波の前記伝播面の状態が異なる複数の弾性表面波素子を用意する工程と、
複数の前記弾性表面波素子の中から、少なくとも２つを選んで、直列に接続し、前記弾性表面波ユニットを構成する工程と、を備え、
前記弾性表面波ユニットを構成する工程では、前記弾性表面波ユニットが出力する応答信号の前記識別パターンが個々に異なるように、複数の前記弾性表面波素子の中から、選ぶ組合せを決定する工程を有する
ことを特徴とする識別装置の製造方法。
【請求項２】
前記弾性表面波素子のそれぞれは、遅延時間を異ならせることによって、前記弾性表面波素子の前記伝播面の状態が異なる
ことを特徴とする請求項１に記載の識別装置の製造方法。
【請求項３】
前記弾性表面波素子のそれぞれは、前記弾性表面波素子上の異なる位置に反射器を配置することによって、前記弾性表面波素子の前記伝播面の状態が異なる
ことを特徴とする請求項１に記載の識別装置の製造方法。
【請求項４】
前記弾性表面波素子を直列に接続する接続電極には、櫛歯電極が配置されている
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の識別装置の製造方法。
【請求項５】
前記弾性表面波素子の両端部に一対の送受信電極を配置し、前記識別パターンは、前記弾性表面波素子の一方の前記送受信電極から伝搬する弾性表面波が他方の前記送受信電極で反射して返ってくるまでの伝搬時間で決定される
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の識別装置の製造方法。
【請求項６】
前記弾性表面波素子の両端部に一対の送受信電極を配置し、前記識別パターンは、前記弾性表面波素子の一方の前記送受信電極から伝搬する弾性表面波が他方の前記送受信電極で反射して返ってくるまでの、他方の前記送受信電極及び前記弾性表面波素子上に配置された前記反射器の個数と位置とで決定される
ことを特徴とする請求項３又は４に記載の識別装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性表面波ユニットを備える識別装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
弾性表面波（Ｓｕｒｆａｃｅ  Ａｃｏｕｓｔｉｃ  Ｗａｖｅ；ＳＡＷと略称されることもある）を応用したユニットを用い、そのユニットを取り付けた個体の識別や、個体の物理的状態のセンシングをワイヤレスで行う個体情報識別装置が知られている。
【０００３】
図７に、このような識別装置の基本的な構成の例をブロック図で示す。図７に示すように、識別装置１０００は、親機２００と、複数の子機３００で構成される。ここで、複数の子機には同じ符号を付与したが、各子機を識別するＩＤは異なるように設定される。
【０００４】
親機２００は、例えば駆動信号作成回路２０１、送受信回路２０２、応答信号識別回路２０３、送受信アンテナ２０４で構成される。駆動信号作成回路２０１は、各子機３００に対して問い合わせをするための駆動信号を作成する。送受信回路２０２は送受信アンテナ２０４と接続されており、前述の駆動信号を受けると、送信信号２０５を発信し、また各子機３００からの応答信号３０２を受信する。応答信号識別回路２０３には、受信した応答信号３０２が入力され、各子機３００の応答信号に含まれるＩＤ信号を識別し、またセンシング情報などを読み取る。
【０００５】
各子機３００は弾性表面波ユニット（ＳＡＷユニットとも言う）１００と送受信アンテナ１２０とで構成される。電源を持たず、親機２００からの送信信号２０５によって、弾性表面波ユニット１００を動作させることができる。このようなシステムはパッシブ型ＲＦＩＤ（Ｒａｄｉｏ  Ｆｒｅｑｅｎｃｙ  Ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ；無線タグ）とも称される。
【０００６】
弾性表面波ユニット１００は、図示はしないが、弾性表面波素子（ＳＡＷ素子、遅延線とも呼ばれる）を含む回路で構成される。弾性表面波素子は、例えば圧電性基板の表面に形成された電極対であるＩＤＴ（Ｉｎｔｅｒ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ；以降櫛歯電極と呼ぶ）を設けた構成であり、櫛歯電極に交流信号を印加することによって励振され、弾性表面波を励起することができる。櫛歯電極から離れた位置であって弾性表面波の伝播方向に反射器を設ける構成とすれば、励起された弾性表面波の一部が反射器によって反射されるため、所定の時間経過後に、再び櫛歯電極は励振される。このような弾性表面波素子の櫛歯電極に送受信アンテナ１２０が接続され、受信した信号を櫛歯電極に印加することにより弾性表面波を励起し、反射波を応答信号として出力することができる。
【０００７】
上述の親機２００と子機３００によってワイヤレスの情報装置が構成される。親機２００は、所定の周波数（または周波数帯）の送信信号２０５を発信し、子機はこの送信信号を受信して弾性表面波を励起し、所定の時間経過後に応答信号３０２を発信する。ここで弾性表面波は周囲の環境変化（例えば温度や湿度など）に応じて伝播特性が変化するため、入力から出力するまでの時間の変化量から子機３００を取り付けた個体の環境情報等をセンシング情報として取得することができる。
【０００８】
上述の識別装置１０００において子機を複数使用する場合には、それぞれの子機３００を識別する必要がある。そのためには、弾性表面波ユニット１００の応答信号が互いに異なるようにすればよい。例えば、弾性表面波素子上に所定の距離をあけて複数の反射器を
設け、子機３００毎に配置パターンを異ならせることにより、応答信号である反射波の時間的パターンを子機のＩＤとすることができる。
このような構成としても、応答信号３０２から各子機の環境情報等を得ることはできる。
【０００９】
しかし、上述の基本的構成においては、弾性表面波ユニット１００の反射器の配置パターンを、子機３００の数だけ作成しなければならず、設計・製造・準備するために多大の手間とコストを要していた。
【００１０】
特許文献１に記載された従来技術は、この難点を改善しようとする提案の一つであり、図８を用いて要点を説明する。本図は特許文献１の図３と段落００４５〜００７６の記載に基づくが、後述の本発明の記述と整合させ、また説明を簡略にするため、図及び符号の一部を変更してある。
【００１１】
図８は弾性表面波ユニット（特許文献１の用語では弾性表面波素子部）の正面図である。圧電基板４１の表面には櫛歯電極４２（その各極は送受信アンテナ１２０、アース線１３０に接続され、弾性表面波の送受信電極となっている）、及び任意の個数の櫛歯電極４３Ａ〜４３Ｃが設けられる。櫛歯電極４３Ａ〜４３Ｃのそれぞれは、櫛歯電極４２から伝播してきた弾性表面波の反射器として作用する。
【００１２】
各櫛歯電極４３Ａ〜４３Ｃの一方の極は共通リード線４８に接続され、他方の極は、状態選択部３２の枠内に示す選択器５０Ａ、５０Ｂ、５０Ｃを経て、共通リード線４８に接続されている。
【００１３】
選択器５０Ａ、５０Ｂ、５０Ｃのそれぞれは、例えば短い導電パターンで構成され、レーザー光照射などによって切断され、電気的に開放することができる。
【００１４】
選択器が短絡されている反射器と、上記の切断によって選択器が開放された反射器とでは、反射される弾性表面波の強度が異なる。短絡されている反射器は、電極の付加質量等による「音響付加効果」のみで反射され、一方、開放された反射器は、更に圧電効果による「再励起効果」に基づく反射が加算されるため、短絡されている反射器からより、開放されている反射器からの反射強度は強くなる。親機（特許文献１の用語では問合せ器）はその反射パターンの強弱を利用して子機（特許文献１では応答器）のＩＤを識別する。
【００１５】
図８のように３個の反射器だけを備える圧電基板であっても、全部切断（１種）、２箇所切断（３種）、１箇所切断（３種）が選択可能なので（すべての反射器を短絡のまま残すことはないとする）計７種類のＩＤパターンが生成できる。特許文献１に記載の技術においては、反射器の数を数個〜十数個に増やすことにより、１種類の圧電基板から十分に多数のＩＤを、比較的簡単な追加工により得ることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１６】
【特許文献１】特開２００４−３４３６７１号公報（第７〜９頁、図３）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
しかしながら、特許文献１に開示された技術において、反射波の強弱を識別するためには、２種類の応答強度の中間に閾値Ｓｔｈを設定し、応答強度がその大小いずれであるかを判別せねばならない。また、弾性表面波は伝播距離が増すと共に減衰するので、反射器の距離による反射波強度の変化を抑えるため、図８に示すように、櫛歯電極４２（送受信
電極）から遠い反射器ほど、その櫛歯の幅をＲ１〜Ｒ３のように大きくしておく必要がある。このため、圧電基板４１の設計負荷は増すことになる。
【００１８】
また、親機の送信電波強度がたとえ一定であっても、子機の受信電波強度、更には親機が受ける応答電波強度は、親機と子機との距離や互いのアンテナの向きによって大幅に異なり得るから、上記閾値Ｓｔｈを各子機に合わせて適切に設定し、誤動作なくＩＤの識別を行うことは困難である。
【００１９】
さらに、レーザーによる追加工を行うための装置を別途設ける必要があり、製造工程も複雑になる。
【００２０】
本発明の目的は、誤動作なくＩＤの識別を確実に行うことができる識別装置の製造方法を提供することである。また更なる目的は、多種類のＩＤパターンを容易かつ安価に設計・製造・準備するための識別装置の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
本発明の識別装置の製造方法は、上記目的を達成するため、以下の構成を採用する。
【００２２】
所定の入力信号によって励振される弾性表面波の伝搬面の状態に応じて、所定の識別パターンを応答信号として出力する弾性表面波ユニットを備える識別装置の製造方法において、弾性表面波の伝播面の状態が異なる複数の弾性表面波素子を用意する工程と、複数の弾性表面波素子の中から、少なくとも２つを選んで、直列に接続し、弾性表面波ユニットを構成する工程と、を備え、弾性表面波ユニットを構成する工程では、弾性表面波ユニットが出力する応答信号の識別パターンが個々に異なるように、複数の弾性表面波素子の中から、選ぶ組合せを決定する工程を有することを特徴とする。
【００２３】
このような構成にすることによって、直列に接続された弾性表面波素子は、全体として１個の弾性表面波素子と同等に作用するので、異なる組み合わせで直列に接続された弾性表面波素子の各組により、互いに異なる識別パターンを有する複数の弾性表面波ユニットを実現することができる。
【００２４】
また、弾性表面波素子のそれぞれは、遅延時間を異ならせることによって、弾性表面波素子の伝播面の状態が異なるようにしてもよい。
【００２５】
このような構成にすることによって、遅延時間が互いに異なる識別パターンを有する複数の弾性表面波ユニットを実現することができる。
【００２６】
また、弾性表面波素子のそれぞれは、弾性表面波素子上の異なる位置に反射器を配置することによって、弾性表面波素子の伝播面の状態が異なるようにしてもよい。
【００２７】
このような構成にすることによって、反射器の配置が異なることにより、互いに異なる識別パターンを有する複数の弾性表面波ユニットを実現することができる。
【００２８】
また、弾性表面波素子を直列に接続する接続電極には、櫛歯電極が配置されているようにしてもよい。
【００２９】
このように構成することによって、直列に接続された弾性表面波素子の間で弾性表面波の受け渡しを確実に行わせることができる。
【００３０】
また、弾性表面波素子の両端部に一対の送受信電極を配置し、識別パターンは、弾性表
面波素子の一方の送受信電極から伝搬する弾性表面波が他方の送受信電極で反射して返ってくるまでの伝搬時間で決定されるようにしてもよい。
【００３１】
このような構成にすることによって、識別パターンの相違を、弾性表面波が素子両端部の送受信電極間を伝播する時間の相違として実現することができる。
【００３２】
弾性表面波素子の両端部に一対の送受信電極を配置し、識別パターンは、弾性表面波素子の一方の送受信電極から伝搬する弾性表面波が他方の送受信電極で反射して返ってくるまでの、他方の送受信電極及び弾性表面波素子上に配置された反射器の個数と位置とで決定されるようにしてもよい。
【００３３】
このように構成することによって、識別パターンの相違を、素子両端部に配置した櫛歯電極の間に配置された反射器の配置パターンの相違に対応させることができる。
【発明の効果】
【００３４】
少数種類の弾性表面波素子を用いて、多種類の識別パターンを有する弾性表面波ユニットを得ることができる。また、反射の有無による２値を識別パターンとして用いることができるため、閾値の必要な検出方法における不安定要因を考慮する必要がない。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】実施例１の弾性表面波ユニットを説明するもので、（ａ）はその正面図、（ｂ）は識別信号のダイヤグラムである。
【図２】実施例１の弾性表面波ユニットにおける４種の組み合わせを示し、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）はそれらの正面図、（ｅ）、（ｆ）、（ｇ）、（ｈ）はそれぞれの識別信号の時間的パターンを示す。
【図３】実施例２に用いる弾性表面波素子を示し、（ａ）、（ｂ）はそれぞれ弾性表面波素子１、２の正面図である。
【図４】実施例２の弾性表面波ユニットを示し、（ａ）はその正面図、（ｂ）はそれを簡略化した図である。
【図５】実施例２の弾性表面波ユニットの４種の組み合わせを示す正面図である。
【図６】実施例２の弾性表面波ユニットの異なる２種の配置を示す正面図である。
【図７】識別装置の代表的構成を示すブロック図である。
【図８】従来例の弾性表面波ユニットの正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
以下、本発明の実施の形態を、図面を用いて説明する。図面は、必要に応じて誤解のない範囲で簡略化したものもある。また、同一の構成には同一の符号を付与している。
【実施例１】
【００３７】
図１は実施例１の弾性表面波ユニットを説明するものである。図１（ａ）は子機の一例である弾性表面波ユニット１００の正面図である。作用の理解を容易にするため、子機の送受信アンテナ１２０と接地線１３０を記号で書き加えてある。後述する他の実施例や変形例の図についても同様とする。図１（ｂ）は、弾性表面波ユニットで発生する信号強度と時間に関するダイヤグラムである。
【００３８】
図１（ａ）に示すとおり、弾性表面波ユニット１００は、母基板１４０の上に配置された２つの弾性表面波素子１０及び２０と、送受信アンテナ１２０とで構成される。
【００３９】
母基板１４０は、例えばセラミック基板や樹脂基板など圧電性を有しない材料であり、弾性表面波素子がセンシングする環境変化などの状況に対して、特性変化が起きにくい材
料を用いるのが好ましい。
【００４０】
弾性表面波素子１０、２０は、圧電性基板の表面に送受信電極１１、１２、２１、２２がそれぞれの基板に別れて形成されている。圧電性基板は、圧電性を有することが知られている水晶、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、４ホウ酸リチウム、ランガサイトなどの結晶基板を用いることができる。または、圧電性を持たない基板に圧電性のある材質を成膜あるいは塗布などにより形成してもよい。
圧電性材料ごとに弾性表面波の伝播速度やモードが異なり、特に結晶基板は単結晶からの切出し角度によっても異なることが知られている。このような材料群の中から、適宜選択することが可能である。
【００４１】
送受信電極１１、１２、２１、２２は、それぞれ一組の電極が入れ子型に組み合わされた、いわゆる櫛歯電極を形成している。
図１においては、櫛歯電極を構成する電極の本数は２本１組とする４本として表現しているが、電極本数はこの数に限定されず、１０数本〜数１０本と多くしてもよく、励振効率やサイズなどを考慮して適宜選択することができる。同様に隣り合う電極の間隔や幅は、弾性表面波の波長にもとづいて損失なく励振し検出できるような値に設定することができる。
【００４２】
弾性表面波素子１０の送受信電極１１は一方の極が送受信アンテナ１２０に、他方の極が接地線１３０にそれぞれ接続されている。また、弾性表面波素子１０の送受信電極１２の両極は、弾性表面波素子２０の送受信電極２１の両極とそれぞれリード線３、４で結線されている。つまり、弾性表面波素子１０、２０は電気的に直列接続されていることになる。ここで、送受信アンテナ１２０に接続された弾性表面波素子１０を初段の素子とし、弾性表面波素子２０を次段の素子とする。
【００４３】
弾性表面波素子１０、２０を接続するリード線３、４の構成は任意である。例えば金属膜等の導電パターンを用いてもよいし、ワイヤボンディングによってもよく、リードフレームなどの金属導体を用いてもよい。要するに、初段と次段の弾性表面波素子の送受信電極が電気的に直列となる接続が達成できればよい。
【００４４】
例えば、図１（ｂ）の「０」の時に、送受信アンテナ１２０から親機の送信信号を受けると、弾性表面波素子１０上の送受信電極１１の位置に弾性表面波が励起される。弾性表面波は図の経路１９Ａに示すように、送受信電極１１から送受信電極１２に向かって進行し、送受信電極１２に達すると、一部が反射されて経路１９Ｂの方向に進行（経路１９Ａを逆行）する。この反射波が、送受信電極１１に達すると信号Ｓ１として出力される。この往復に要する遅延時間、すなわち親機から送信信号を受けてから信号Ｓ１を発信するまでの伝播時間はΔｔ１となる。
【００４５】
また、送受信電極１２は、到達した弾性表面波によって励振されて出力する。送受信電極１２はリード線３、４で弾性表面波素子２０上の送受信電極２１に結線されているため、略タイムラグなしに送受信電極２１を励振し、弾性表面波が励起される。この弾性表面波は、経路２９Ａに示すように送受信電極２１から送受信電極２２に向かって進行し、送受信電極２２によって反射された信号は経路２９Ｂの方向に進行（経路２９Ａを逆行）する。この経路２９Ａ、Ｂの伝播にかかる遅延時間をΔｔ２とする。送受信電極２２によって反射された弾性表面波は、送受信電極２１に達すると、リード線３、４で結線された送受信電極１２を励振し、弾性表面波を発生させる。この弾性表面波は経路１９Ｂを経て送受信電極１１に達し、信号Ｓ２として出力される。信号Ｓ２は、送信信号を受けてからΔｔ１＋Δｔ２時間遅れて発生し、送受信アンテナ１２０から発信される。
つまり、親機２００からの送信信号を受けてから信号Ｓ２を発信するまでの伝播時間は
、この各弾性表面波素子１０、２０の遅延時間の足し算であり、Δｔ１＋Δｔ２となる。
【００４６】
図１（ｂ）に示すとおり、信号Ｓ１及びＳ２の時間差、つまり伝播時間の差が、子機から親機に向かって送受信アンテナ１２０が送信する応答信号であり、その時間的パターンが子機の識別信号（識別パターン）となる。
【００４７】
識別パターンを異ならせるためには、遅延時間の異なる弾性表面波素子を数種ずつ用意し、それらを上述の弾性表面波素子１０、２０に適用したときに組み合わせによって得られる時間的応答が互いに異なるように配慮して弾性表面波素子を選択すればよい。これにより、少数の弾性表面波素子から多数の識別パターンが得られる。
【００４８】
応答信号Ｓ１、Ｓ２の強度は弾性表面波ユニット内の弾性表面波の伝播距離によって減衰し変化するが、親機の応答信号識別回路２０３は、信号検出の閾値を特定の値に設定する必要がなく十分低くすることができるので、確実に識別を行うことができる。
【００４９】
図２は、実施励１の構成において、遅延時間の異なる２種の弾性表面波素子１０、２０を組み合わせて得られる弾性表面波ユニットと、それによって発生する識別信号のパターンの具体例を示す。この例では、弾性表面波素子１０の送受信電極１１、１２の間隔は、弾性表面波素子２０の送受信電極２１、２２の間隔と比較して大きいとする。従って遅延時間は、弾性表面波素子１０が弾性表面波素子２０に比べて長くなる。ここで弾性表面波素子１０Ａの遅延時間をΔｔ３、弾性表面波素子２０Ａの遅延時間をΔｔ４として説明する。この弾性表面波素子１０、２０を用いて、弾性表面波素子の初段と次段を構成した弾性表面波ユニットの組み合わせを示す。
【００５０】
図２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は、弾性表面波素子１０、２０の組み合わせによって構成された各弾性表面波ユニット１０１、１０２、１０３、１０４を順に示した正面図であり、図２（ｅ）、（ｆ）、（ｇ）、（ｈ）は各弾性表面波ユニット１０１、１０２、１０３、１０４のそれぞれが発生する識別信号の時間的パターンである。
【００５１】
図２（ａ）に示すとおり、弾性表面波ユニット１０１は初段に弾性表面波素子１０を、次段に弾性表面波素子２０を用いた構成であり、図２（ｅ）に示すとおり、応答信号はΔｔ３とΔｔ３＋Δｔ４後に出力される。
また、図２（ｂ）に示すとおり、弾性表面波ユニット１０２は初段に弾性表面波素子２０を、次段に弾性表面波素子１０を用いた構成であり、図２（ｆ）に示すとおり、応答信号はΔｔ４とΔｔ４＋Δｔ３後に出力される。
また、図２（ｃ）に示すとおり、弾性表面波ユニット１０３は初段及び次段に弾性表面波素子１０を用いた構成であり、図２（ｇ）に示すとおり、応答信号はΔｔ３と２×Δｔ３後に出力される。
また、図２（ｄ）に示すとおり、弾性表面波ユニット１０４は初段及び次段に弾性表面波素子２０を用いた構成であり、図２（ｈ）に示すとおり、応答信号はΔｔ４と２×Δｔ４後に出力される。
このように弾性表面波素子１０、２０の組み合わせにより、それぞれの弾性表面波ユニット１０１〜１０４の応答信号のパターンが互いに異なるため、これを識別信号（識別パターン）とすることができる。
【００５２】
上述のように、わずか２種の弾性表面波素子から任意の２つを選択して組み合わせることにより、互いに異なる４種の識別信号が得られるが、種類や組み合わせの数はこれに限定されず、遅延時間の異なる弾性表面波素子の種類や直列に接続する弾性表面波素子の段数を増やす（上述の次段に続いて、更に他の弾性表面波素子を直列接続する）ことにより、得られる組み合わせの種類、即ち識別パターンの数は飛躍的に増すことができる。
【００５３】
上述の説明においては、弾性表面波の伝播方向は、経路１９Ａ、２９Ａといったように一方の櫛歯電極から他方の櫛歯電極の方向に進行するとして説明を行ったが、実際には片側ではなく、櫛歯電極の両側に向かって発生し進行する。両側に発生する弾性表面波の両方を利用したい場合には、反射器や送受信電極となる櫛歯電極もまた、両側にそれぞれ配置することも可能である。
【００５４】
また、弾性表面波は圧電性基板の端に達しても反射する現象が起こる。反射器と同様の信号が反射するのであれば、その信号を応用することも可能であるが、基板端面の形状によってはノイズ成分となり正確な信号を出力できなくなるおそれがある。このような場合には、圧電性基板の端部近傍に公知の吸音物質を塗布しておくことにより、好ましくない方向に進行する弾性表面波は減衰させ、無害化することができる。
【００５５】
また、上述したように、各弾性表面波素子の遅延時間を異ならせるために弾性表面波が伝搬する２つの送受信電極間の距離を変える例で説明を行ったが、これに限らず伝搬速度の異なる圧電基板材料を用いてもよい。例えば、水晶のＳＴカット（オイラ角（０°，１３２．７５°，０°））は伝搬速度が３１５８ｍ／ｓｅｃであり、ニオブ酸リチウムの１２８゜回転Ｙカット（オイラ角（０°，３７．８°，０°））は伝搬速度が３９８０ｍ／ｓｅｃと異なる。この場合、同じ寸法で作成しても遅延時間を異ならせることができるため、パッケージサイズの共通化や、電極形成用フォトマスクの共通化といった製造上のメリットがある。
【実施例２】
【００５６】
先の実施例１においては、複数の識別パターンを作成するために数種類の遅延時間の弾性表面波素子を組み合わせ、個々の弾性表面波ユニットで、それぞれの伝搬時間が異なる構成として説明をした。組合せに使用する要素は遅延時間に限らず、反射波の数、つまり反射パターンを異ならせる方法でもよい。実施例２では各弾性表面波素子上に形成する反射器を複数設け、この反射器の間隔が互いに異なるものを数種類用意して組み合わせる例として説明する。
【００５７】
図３は、識別パターンを作成するための組合せに用いるための２種の弾性表面波素子１、２を示し、図３（ａ）は弾性表面波素子１の、図３（ｂ）は弾性表面波素子２の正面図である。弾性表面波素子１は、両端に設けた送受信電極１１と送受信電極１２の間に、反射器として作用する櫛歯電極（櫛歯を形成する電極膜の２つの極は他と接続されない）１３、１４、１５、１７がほぼ等間隔に配置されている。しかし反射器１５と反射器１７の間の位置には反射器となる電極を設けない反射器未設置領域１６がある。図では反射器のない状態を細い点線の枠で示している。同様に、弾性表面波素子２においては、送受信電極２１と送受信電極２２の間に、反射器２３、２４、２７を設ける。そして反射器２４と反射器２７の間の位置には反射器を設けない反射器未設置領域２５、２６がある。
【００５８】
図４（ａ）は、図３に示した弾性表面波素子１を初段（送受信アンテナ１２０のある側）にし、弾性表面波素子２を次段にして、実施例１と同様に弾性表面波素子１の送受信電極１１を送受信アンテナ１２０と接地線１３０に、送受信電極１２と弾性表面波素子２の送受信電極２１とをリード線３、４によってそれぞれ電気的に直列に接続して母基板１４０上に配置した、実施例２の弾性表面波ユニット１０５を示す正面図である。また図４（ｂ）は、全く同じ実施例２の正面図であるが、図の煩雑化を避けるため、櫛歯電極を設ける位置を太い実線の枠で置換したものである。実際、反射器は櫛歯電極の形状でなくてもよいし、送受信電極と同様の本数でなくてもよく、例えば単に１本か２本の線状電極であっても弾性表面波を反射できるので、図４（ｂ）の表示の方が図４（ａ）よりも広義の反射器を示していることになる。後述の他の図面も同様な表記とする。
【００５９】
実施例２の動作を述べる。送受信アンテナ１２０が受信した信号によって送受信電極１１に励起した弾性表面波は、送受信電極１１から送受信電極１２の方向に進行し、反射器１３、１４、１５、１７を経て送受信電極１２に達する。同時にリード線３、４で結線された弾性表面波素子２の送受信電極２１を励振して弾性表面波素子２上に弾性表面波素子１を励起し、送受信電極２１から送受信電極２２の方向に進行し、反射器２３、２４、２７を経て、送受信電極２２に達する。
【００６０】
この過程で、各弾性表面波素子の弾性表面波の一部は各反射器や送受信電極に達する都度、進行方向の逆向きに反射される。送受信電極１１に到達する反射波はそれぞれ、反射器１３、１４、１５、１７、送受信電極１２及び送受信電極２１（時間差なく反射波は１個）、反射器２３、２４、２７、２２からその順序で到達する。また反射器がない反射器未設置領域１６、２５、２６の位置からは反射がないので、それに対応して反射波の時間間隔が部分的に伸びる。送受信電極１１に達した反射波は送受信電極１１を励振し、その出力が送受信アンテナ１２０より子機の応答信号として親機に送信される。
【００６１】
親機が識別する識別信号のパターンについて検討する。各弾性表面波素子において弾性波表面が励起される送受信電極に最も近い反射器からの反射信号を一連の識別信号の最初のものとし、最も遠い送受信電極からの反射信号を一連の識別信号の最後のものとし、これらのレベルを「１」で表し、反射器がないため信号が来なかった状態を「０」で表す。すなわち、数ビットのデジタル信号で表記する。
各反射器や送受信電極をほぼ等間隔に配置したため、各弾性表面波素子の識別信号の時間的パターンは、図３（ａ）、（ｂ）の配置に対応して弾性波表面素子１は「１１１０１１」、弾性波表面素子２は「１１００１１」となる。よって、これらを直列接続にして弾性表面波ユニット１０５とした図４の配置では、「１１１０１１１１００１１」となる。
【００６２】
なお、送受信アンテナ１２０に接続された送受信電極（実施励２においては送受信電極１１）に最も近い反射器（実施励２においては反射器１３）からは、子機の応答信号の最初の部分が発信される。故に、その反射器（実施励２においては反射器１３）の位置は電極なしとせず、必ず櫛歯電極を置くことによって、それからの信号を必ず存在させ、その信号を、識別信号の最初のビット（最上位ビット）を検出するための信号として使うことができる。
【００６３】
反射波は、弾性表面波が電極位置を通過するたびに起こるから、反射信号が際限なく起こって識別信号が混乱する可能性もあるが、これは識別信号として先頭から所定の個数又は時間に至るまでの反射信号を採用することで防ぐことができる。
【００６４】
図５（ａ），（ｂ），（ｃ）、（ｄ）の各図は、それぞれ実施例２において得られる識別信号のパターンを多様化するため弾性表面波素子１、２をそれぞれ複数個用意し、これらの組み合わせを変えた状態を示す弾性表面波ユニットの正面図である。これらに用いた弾性表面波素子１及び２は、図３に記載した弾性表面波素子１及び２と同じパターンを有している。
【００６５】
図５（ａ）に示すとおり、弾性表面波ユニット１０５は初段に弾性表面波素子１を次段に弾性表面波素子２とした組み合わせであり、図４に例示したものと同一である。従って、応答信号である識別パターンは、「１１１０１１１１００１１」となる。
図５（ｂ）に示すとおり、弾性表面波ユニット１０６の初段と次段に、いずれも同じ弾性表面波素子１を用いた。従って、識別パターンは、「１１１０１１１１１０１１」となる。
図５（ｃ）に示すとおり、弾性表面波ユニット１０７は、初段に弾性表面波素子２を、
次段に弾性表面波素子１を用いた。従って、識別パターンは、「１１００１１１１１０１１」となる。
図５（ｄ）に示すとおり、弾性表面波ユニット１０８の初段と次段に、いずれも同じ弾性表面波基板２を用いた。従って、識別パターンは、「１１００１１１１００１１」となる。
【００６６】
上述のように、反射器の個数と位置とが異なる弾性表面波素子を２種類用意し、その中から任意の２つを選択して弾性表面波ユニットを構成することによって４種類の識別パターンが得られることがわかる。実用的には、反射器の数を数個〜１０数個又は更に多くし、多種類の弾性表面波素子を準備することによって、飛躍的に多様な識別パターンを得ることができる。例えば、６種類の異なる弾性表面波素子によって、６×６＝３６通りの識別パターンが得られる。また、実施例１で説明したとおり、直列に接続される弾性表面波基板の段数を増してもよい。このような反射器の数や反射位置の変化は実施例２の範囲内である。
【００６７】
＜実施例の変形例＞
以下、実施例の種々の変形例について述べる。
【００６８】
＜実施例１の変形例＞
送受信電極１１と送受信電極１２、また送受信電極２１と送受信電極２２の間の任意の位置に、実施例２で示したような任意の個数の反射器を配置することによって、反射信号のパターンと遅延時間の変化を組み合わせた識別信号を得ることができる。これは実施例２の識別パターンに更に遅延時間の変化を加味することでもある。
【００６９】
＜実施例２の変形例＞
弾性表面波素子１、２の少なくとも一方を１８０°反転させ、弾性表面波の進行方向に対して反射器が逆順に配置されるようにすることによって、さらに識別パターン数をふやすことができる。具体例を実施例２における弾性表面波素子１、２を例にして説明をする。
実施例２において、弾性表面波素子１の反射器の配置パターン、すなわち識別信号の時間的パターンは上述のとおり「１１１０１１」としたが、この弾性表面波素子１を１８０°反転させると「１０１１１１」となる。同様に弾性表面波素子２の時間的パターンは「１１００１１」であるが、１８０°反転することにより「１００１１１」となる。これにより、４種類の中から２つを選択する組み合わせになるため１６通りのパターンを作成することができる。このように１８０°組み合わせて反射器を逆順にしたときに同じ配置パターンとならないよう配慮することにより、識別パターンの種類を増やすことができる。このとき、弾性表面波素子１の送受信電極１１、１２と、弾性表面波素子２の送受信電極２１、２２を同一形状で作成しておき、どちらの送受信電極が送受信アンテナ１２０及び接地線１３０に接続されたとしても同じ特性がでるようにしておくのが好ましい。より好ましくは、送受信電極１１、１２、２１、２２のいずれも同一形状とするとよい。
【００７０】
＜その他の変形例１＞
次段に当たる弾性表面波素子の送受信電極で最後尾に当たるものは、存在すれば組み合わせの多様性を増すことができて有用ではあるが、動作上は不要である（最後の反射器が存在すればよい）ので、場合によっては設計上省略することができる。但し弾性表面波素子の組み合わせ数は限定される。
【００７１】
＜その他の変形例２＞
識別装置は、子機のＩＤの識別のみならず、弾性表面波素子の温度や圧力などの物理的状況を計測する場合がある。既述の実施例においては、子機の識別パターンの変化（応答
波の強度、形状、遅延時間や位相等の変化）によって検知することを想定しているが、物理的状態の検知にすぐれた、いわゆる共振型の弾性表面波素子を、本発明の弾性表面波素子に直列に接続することによってセンシングを行うようにしてもよい。
【００７２】
＜その他の変形例＞
上述の実施例１や実施例２においては、各弾性表面波素子を図１、４、５に示すような配置（これを縦並びと呼ぶ）をする構成としたが、このような配置に限定されない。図６（ａ）、（ｂ）は、例えば図４に示す実施例２の弾性表面波素子１、２の機械的な配置を、縦並びではなく横並びに変更したものである。図６（ａ）に示すとおり弾性表面波ユニット１０９では２つの弾性表面波素子を平行にし、図６（ｂ）に示すとおり弾性表面波ユニット１１０では弾性表面波素子２の左右を反転し、平行かつ逆向きとした。そのため、母基板１４０の形状もそれに合わせることがある。リード線３、４は両素子を電気的に直列に接続すればよいため、このような配置変更も可能である。このように、弾性表面波ユニットは、目的のサイズ等に応じて任意の形状とさせることが可能である。なお、複数の弾性表面波素子を平面的に並べるのでなく、厚さ方向に重ねて配置することもあり得る。
【００７３】
その他、既述の事項を様々に組み合わせて実施の態様を変更してもよい。
【００７４】
以上、説明したとおり、少数種類の弾性表面波素子を用いて、多種類の識別パターンを有する弾性表面波ユニットを得ることができる。また、反射の有無による２値を識別パターンとして用いることができるため、識別動作の安定化も図ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００７５】
複数箇所のセンシングが必要でかつ、有線接続が困難な装置に取り付ける個体情報識別装置に利用できる。
【符号の説明】
【００７６】
１、２、１０、２０  弾性表面波素子
３、４  連結リード線
１１、１２、２１、２２  送受信電極
１３、１４、１５、１７、２３，２４、２７  反射器
１６、２５、２６  反射器未設置領域
１９Ａ、１９Ｂ、２９Ａ、２９Ｂ  伝播経路
１００、１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６、１０７、１０８、１０９、１１０  弾性表面波ユニット
１２０  送受信アンテナ
１３０  接地線
１４０  母基板
２００  親機
２０１  駆動信号作成回路
２０２  送受信回路
２０３  応答信号識別回路
２０４  アンテナ
２０５  送信信号
３００  子機
３０２  応答信号
１０００  識別装置
Δｔ１、Δｔ２、Δｔ３、Δｔ４  遅延時間
Ｓ１、Ｓ２  応答信号
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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