(57)【要約】【課題】供給コンデンサの余剰電力を早期に消費して、電源装置の終了動作時間を短縮する電源装置と、その電源装置を搭載した真空ポンプ装置の提供。【解決手段】電源装置１４は、外部から供給された電力により充電され、電力供給停止時に電源装置１４の内部回路に電力を供給する供給コンデンサ１４Ｄと、電源装置１４の動作を終了させる際に、供給コンデンサ１４Ｄを放電させて、その放電による供給コンデンサ１４Ｄの電力を、モータ１６、磁気軸受６０、及び、回生ブレーキ抵抗１４Ｅのうちの少なくとも１つに供給する放電制御部（制御部１４Ｎ）と、を備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部から電力が供給され、その電力により真空ポンプを駆動制御する電源装置であって、
外部から供給された電力により充電され、電力供給停止時に前記電源装置の内部回路に電力を供給するコンデンサと、
前記電源装置の動作を終了させる際に、前記コンデンサを放電させて前記コンデンサの電力を、前記真空ポンプのロータを回転駆動する前記真空ポンプに設けられたモータ、及び／又は、前記真空ポンプのロータを磁気浮上させる前記真空ポンプに設けられた磁気軸受に供給する放電制御部と、を備える電源装置。
【請求項２】
外部から電力が供給され、その電力により真空ポンプを駆動制御する電源装置であって、
外部から供給された電力により充電され、電力供給停止時に前記電源装置の内部回路に電力を供給するコンデンサと、
前記真空ポンプのロータの回転エネルギーによる回生電流を流すための回生ブレーキ抵抗と、
前記電源装置の動作を終了させる際に、前記コンデンサを放電させて前記コンデンサの電力を前記回生ブレーキ抵抗に供給する放電制御部と、を備える電源装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の電源装置において、
前記ロータの回転数が所定値以下になったか否かを判断する検出部をさらに備え、
前記ロータの回転数が所定値以下になったと判断された際に、前記放電制御部が、前記コンデンサを放電させる電源装置。
【請求項４】
請求項３に記載の電源装置において、
外部からの電力供給が停止した場合に、前記ロータの回転エネルギーを回生させる回生制御部をさらに備え、
前記放電制御部は、前記回生制御部による回生制御時に、前記ロータの回転数が所定値以下になったと判断された際に、前記コンデンサを放電する、電源装置。
【請求項５】
排気動作部が形成されたロータと、前記ロータを回転駆動するモータと、を有する真空ポンプと、
請求項１〜４のいずれか一項に記載の電源装置と、を備える真空ポンプ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電源装置及びその電源装置を搭載した真空ポンプ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ターボ分子ポンプなどの真空ポンプは、ドライエッチング装置やＣＶＤ装置などの真空チャンバに取り付けられる。ターボ分子ポンプ内には、ロータ翼とロータ円筒部が形成されたロータと、ロータとボルトで締結されたシャフトと、を有するロータ組立体が、収容されている。ロータ組立体が毎分数万回転という高速回転で回転し、ロータ翼とステータ翼とが協働し、ロータ円筒部と円筒状ステータが協働して、その真空チャンバ内の気体を排気することで、高真空状態を作り出す。
【０００３】
真空ポンプの電源装置（以下、単に「電源装置」と呼ぶ）は、外部電源によって電力を供給され、その供給された電力を電源装置内の回路（以下、「内部回路」と呼ぶ。）や、真空ポンプ内のモータや磁気軸受などに供給している。
【０００４】
ユーザなどにより電源装置の電源スイッチがオフにされたり、停電が生じたりすると、外部電源からの電力供給が停止する。その際に、電源装置内の負荷に電力を供給するために、コンデンサ（以下、供給コンデンサと呼ぶことにする。）が電源装置の回路に設けられている。例えば、特許文献１に記載のコンデンサ６３がそれに相当する。なお、この供給コンデンサは、平滑コンデンサとは異なるものである。
【０００５】
供給コンデンサの電力は、外部電源からの電力供給の停止から回生動作への移行までの電力を保持する為、余裕を持たせている。そのため、通常の電源装置の終了動作時においては、その余剰電力までも内部回路で消費する必要がある。内部回路は、もともと消費電力が少ないため、その余剰電力を消費するのには時間がかかる。その結果、電源装置の終了動作時間を長くしてしまうという問題がある。
【０００６】
ここで、「電源装置の終了動作」とは、電源装置の制御部を構成する各種プログラムが立ち下げられ（終了され）、且つ、外部電源からの電力供給が遮断されてから供給コンデンサに蓄積された電力が安全な所定電力にまで低下する動作を指す。また、「電源装置の終了動作時間」とは、外部電源からの電力供給が遮断されてから、供給コンデンサに蓄積された電力が安全な所定電力にまで低下するまでの時間を指す。「電源装置の終了動作時間」では、電源装置の制御部を構成する各種プログラムを立ち下げることも行われるが、外部電源からの電力供給が遮断されてから供給コンデンサに蓄積された電力を消費する動作が最も時間がかかるため、以上のような定義とした。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平７−２７９９６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
このように、供給コンデンサの余剰電力を早期に消費して、電源装置の終了動作時間を短縮する真空ポンプ用の電源装置、及び、その電源装置を搭載した真空ポンプ装置が望まれていた。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
（１）本発明の第１の好ましい態様による電源装置は、外部から電力が供給され、その電力により真空ポンプを駆動制御する電源装置であって、外部から供給された電力により充電され、電力供給停止時に電源装置の内部回路に電力を供給するコンデンサと、電源装置の動作を終了させる際に、コンデンサを放電させてコンデンサの電力を、真空ポンプのロータを回転駆動する真空ポンプに設けられたモータに供給する放電制御部と、を備える。
（２）本発明の第２の好ましい態様による電源装置は、外部から電力が供給され、その電力により真空ポンプを駆動制御する電源装置であって、外部から供給された電力により充電され、電力供給停止時に電源装置の内部回路に電力を供給するコンデンサと、電源装置の動作を終了させる際に、コンデンサを放電させてコンデンサの電力を、真空ポンプのロータを磁気浮上させる真空ポンプに設けられた磁気軸受に供給する放電制御部と、を備える。
（３）本発明の第３の好ましい態様による電源装置は、外部から電力が供給され、その電力により真空ポンプを駆動制御する電源装置であって、外部から供給された電力により充電され、電力供給停止時に電源装置の内部回路に電力を供給するコンデンサと、真空ポンプのロータの回転エネルギーによる回生電流を流すための回生ブレーキ抵抗と、電源装置の動作を終了させる際に、コンデンサを放電させてコンデンサの電力を回生ブレーキ抵抗に供給する放電制御部と、を備える。
（４）本発明の好ましい態様による真空ポンプ装置は、排気動作部が形成されたロータと、ロータを回転駆動するモータと、を有する真空ポンプと、本発明の第１〜第３の好ましい態様による電源装置と、を備える。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、供給コンデンサの余剰電力を早期に消費して、電源装置の終了動作時間を短縮する真空ポンプ用の電源装置、及び、その電源装置を搭載した真空ポンプ装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一の実施形態によるターボ分子ポンプ及び電源装置を備える真空ポンプ装置と、外部電源とを示した図。
【図２】本発明の一の実施形態による真空ポンプ装置及び外部電源についてのブロック図。
【図３】本発明の一の実施形態における、外部電源の電力供給が停止した際のフローチャート。
【図４】変形例１における外部電源の電力供給が停止した際のフローチャート。
【図５】変形例２における真空ポンプ装置及び外部電源についてのブロック図。
【図６】変形例２における外部電源の電力供給が停止した際のフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下では、真空ポンプのうち、複合型のターボ分子ポンプに本発明を適用した例で説明する。なお、本発明は、全翼型のターボ分子ポンプやモレキュラドラッグポンプの真空ポンプにも適用できる。
【００１３】
上述したが、本明細書においては、「電源装置の終了動作」とは、電源装置の制御部を構成する各種プログラムが立ち下げられ（終了され）、且つ、外部電源からの電力供給が遮断されてから供給コンデンサに蓄積された電力が安全な所定電力にまで低下する（完全消費としてもよい）動作を指す。また、「電源装置の終了動作時間」とは、外部電源からの電力供給が遮断されてから、供給コンデンサに蓄積された電力が安全な所定電力にまで低下する（完全消費としてもよい）までの時間を指す。「電源装置の終了動作時間」では、電源装置の制御部を構成する各種プログラムの立ち下げ動作も行われるが、外部電源からの電力供給が遮断されてから供給コンデンサに蓄積された電力を消費する動作が最も時間がかかるため、以上のような定義とした。
【００１４】
―実施形態―
図１は、真空ポンプ装置１００の概略構成を示す図である。真空ポンプ装置１００は、ターボ分子ポンプ５と、電源装置１４を備えている。ターボ分子ポンプ５は、内部構成を説明するために、断面図で示されている。電源装置１４は、ターボ分子ポンプ５に接続され、ターボ分子ポンプ５に電力を供給し、そして、ターボ分子ポンプ５の各構成を制御している。電源装置１４は、外部電源１５に接続され、外部電源１５から電力を供給されている。
【００１５】
ターボ分子ポンプ５のケーシング５２内にはロータ組立体３２（回転体３２）が回転自在に設けられている。真空ポンプ装置１００は磁気軸受式のポンプであり、ロータ組立体３２は、上部ラジアル電磁石６２、下部ラジアル電磁石６４、スラスト電磁石６６を有する磁気軸受６０によって非接触支持される。なお、磁気浮上していない時のために、ターボ分子ポンプ５は、ロータ組立体３２を支持するための保護ベアリング７を備えている。
【００１６】
ロータ組立体３２は、ロータ３４と、シャフト３３と、ロータディスク３５とを備える。ロータ３４には、排気動作部である複数段のロータ翼２０とロータ円筒部１８とが設けられている。複数段のロータ翼２０の間には、軸方向に対して複数段のステータ翼４４が設けられ、ロータ円筒部１８の外周側には円筒状ステータ４８が設けられている。ステータ翼４４のそれぞれは、スペーサ５０を介してベース５４上に配設されている。ケーシング５２をベース５４に固定すると、積層されたスペーサ５０がベース５４とケーシング５２との間に挟持され、ステータ翼４４が位置決めされる。
【００１７】
ベース５４には排気口５６が設けられ、この排気口５６にバックポンプが接続される。ロータ組立体３２が磁気軸受６０によって磁気浮上されつつモータ１６により高速回転されることにより、吸気口３０側の気体分子は排気口５６側へと排気される。ロータ組立体３２の回転数は、回転数検出部１９によって検出され、電源装置１４に送信されている。
【００１８】
図２を参照して、電源装置１４の構成について説明する。電源装置１４は、ＡＣ／ＤＣコンバータ１４Ａと、平滑コンデンサ１４Ｂと、ダイオード１４Ｃと、電圧検出部１４Ｑと、供給コンデンサ１４Ｄと、回生ブレーキ抵抗１４Ｅと、トランジスタ１４Ｆと、トランジスタ制御回路１４Ｇと、三相インバータ１４Ｈと、ＤＣ／ＤＣコンバータ１４Ｊと、ＤＣ／ＤＣコンバータ１４Ｋと、制御部１４Ｎと、励磁アンプ１４Ｐと、を備えている。
【００１９】
ここで、「内部回路」とは、例えば、制御部１４Ｎ、三相インバータ１４Ｈ、励磁アンプ１４Ｐ、トランジスタ制御回路１４Ｇ、ＡＣ／ＤＣコンバータ１４Ａ、ＤＣ／ＤＣコンバータ１４Ｊ、１４Ｋなどである。従来は、この内部回路で供給コンデンサ１４Ｄの余剰電力（後述）を消費していた。
【００２０】
ＡＣ／ＤＣコンバータ１４Ａは、交流電源である外部電源１５からの交流電力を直流電力に変換する。また、ＡＣ／ＤＣコンバータ１４Ａは、不図示であるが、外部電源１５側の電圧を検出している。そして、ＡＣ／ＤＣコンバータ１４Ａは、制御部１４Ｎにその電圧値を送信する。
【００２１】
平滑コンデンサ１４Ｂは、ＡＣ／ＤＣコンバータ１４Ａから出力された直流電流を平滑化する。
【００２２】
ＤＣ／ＤＣコンバータ１４Ｊは、平滑コンデンサ１４Ｂ側からの電力を降圧して制御部１４Ｎに供給する。ＤＣ／ＤＣコンバータ１４Ｋは、平滑コンデンサ１４Ｂ側からの電力を降圧して励磁アンプ１４Ｐに供給する。なお、制御部１４Ｎと励磁アンプ１４Ｐでは駆動させるのに必要な電力が大きく異なるため、異なるＤＣ／ＤＣコンバータを設けている。
【００２３】
三相インバータ１４Ｈは、制御部１４Ｎの指令により、モータ１６に電流を印加する。
【００２４】
励磁アンプ１４Ｐは、制御部１４Ｎの指令により、磁気軸受６０に電流を印加する。
【００２５】
制御部１４Ｎは、モータ１６の駆動制御時、三相インバータ１４Ｈの不図示のスイッチを制御してモータ１６に通電し、励磁アンプ１４Ｐの不図示のスイッチを制御して磁気軸受６０に通電する。
【００２６】
制御部１４Ｎは、ＡＣ／ＤＣコンバータ１４Ａが検出する外部電源１５側の電圧の情報をＡＣ／ＤＣコンバータ１４Ａから受信し、ロータ組立体３２の回転数の情報を回転数検出部１９から受信し、供給コンデンサ１４Ｄの電圧の情報を電圧検出部１４Ｑから受信する。
【００２７】
また、制御部１４Ｎは、モータ１６の回生制御時、三相インバータ１４Ｈ内に設けられたスイッチを適宜オンオフして、モータ１６からの回生電力を三相インバータ１４Ｈの直流側に回生させる。制御部１４Ｎは、ＤＣ／ＤＣコンバータ１４Ｋ及び励磁アンプ１４Ｐを制御して、モータ１６からの回生電力を磁気軸受６０に供給する。また、制御部１４Ｎは、トランジスタ制御回路１４Ｇを制御してトランジスタ１４Ｆをオンにすることで、モータ１６からの回生電力を用いて回生ブレーキ抵抗１４Ｅに通電し、その回生電力を消費させる。なお、ダイオード１４Ｃは、モータ１６からの回生電流が平滑コンデンサ１４Ｂ側に逆流することを防止するために設けられている。
【００２８】
供給コンデンサ１４Ｄは、制御部１４Ｎのプログラムが終了動作をする際の電力供給に用いられる補助電源である。
【００２９】
また、供給コンデンサ１４Ｄは、外部電源１５からの電力供給が停止してから制御部１４Ｎがモータ１６を回生動作に移行させるまでのわずかな時間に、制御部１４Ｎや磁気軸受６０などに電力を供給するためにも用いられる。さらに、供給コンデンサ１４Ｄは、瞬時停電（瞬停）に、制御部１４Ｎやモータ１６や磁気軸受６０などに電力を供給するためにも用いられる。
【００３０】
電圧検出部１４Ｑは、供給コンデンサ１４Ｄの電圧を検出し、制御部１４Ｎにその電圧情報を送信する。供給コンデンサ１４Ｄの電圧は、供給コンデンサ１４Ｄが供給できる電力量を把握するために必要なパラメータである。
【００３１】
図３は、本実施形態における外部電源の電力供給が停止された時のフローチャートを示した図である。このフローチャートは制御部１４Ｎで実行される。なお、制御部１４Ｎの制御によってモータ１６から電源装置に電力供給されることがあるが、そのような制御部１４Ｎの制御による電力供給がない場合であっても、供給コンデンサ１４Ｄが、制御部１４Ｎの制御によらずに、自動的に放電することで電力供給を行うので、フローチャートの途中で電力供給が停止することはない。
【００３２】
ユーザが電源装置１４の電源スイッチをオンにし、外部電源１５から電源装置１４に電力が供給されると、制御部１４Ｎは、図３に示すフローチャートを開始する（ステップＳ１）。ステップＳ２において、制御部１４Ｎは、ＡＣ／ＤＣコンバータ１４Ａから受信した情報で、外部電源１５の電力供給が停止しているかを判定する。否定判定、すなわち、外部電源１５の電力供給が継続していると判定された場合は、再び、ステップＳ２に入る。肯定判定、すなわち、外部電源１５の電力供給が停止していると判定された場合は、ステップＳ３に移行する。
【００３３】
ステップＳ３では、制御部１４Ｎは、回転数検出部１９から受信した情報で、ロータ組立体３２の回転数が所定値以下であるかを判定する。ここで、「所定値」とは、例えば、６０ｒｐｍというような低回転の回転数を意味する。
このような低回転になることを条件としているのは、安全上の理由から、ロータ組立体３２が低速回転になって、電源装置１４を終了させる意図などがある。例えば、電源装置が終了しているのを見て、ロータ組立体３２が未だ高速回転している真空ポンプ５を大気開放してロータ翼２０を破損させてしまうような事態を回避することなどが挙げられる。
ステップＳ３において、否定判定されれば、ステップＳ４に移行する。肯定判定されれば、ステップＳ５に移行する。
【００３４】
ステップＳ４では、制御部１４Ｎは、三相インバータ１４Ｈに指令を出して、三相インバータ１４Ｈに、モータ１６の回生動作を行わせ、ロータ組立体３２の停止操作を行わせる。なお、この回生で得られた電力は、磁気軸受６０で磁気浮上制御のために用いられたり、回生ブレーキ抵抗１４Ｅで消費されたりする。
【００３５】
ステップＳ５では、制御部１４Ｎは、電圧検出部１４Ｑから受信した電圧情報に基づいて、供給コンデンサ１４Ｄの蓄積された電力量を算出する。さらに、供給コンデンサ１４Ｄの充電されている電力量から、制御部１４Ｎのプログラムの終了動作に必要な電力量を差し引いた電力量、すなわち、余剰電力の電力量を算出する。
【００３６】
この余剰電力が、電源装置１４内の内部回路が消費するのに長い時間を要していた原因、すなわち、電源装置１４の終了動作を長くしていた原因である。ステップＳ５において、制御部１４Ｎは、その余剰電力を、モータ１６、磁気軸受６０、回生ブレーキ抵抗１４Ｅの少なくともいずれか１つに供給し、消費させる。モータ１６、磁気軸受６０、回生ブレーキ抵抗１４Ｅが単位時間あたりに消費できる電力量は、内部回路が単位時間あたりに消費できる電力量よりも大きい。そのため、内部回路に余剰電力を消費させるよりも、モータ１６、磁気軸受６０、回生ブレーキ抵抗１４Ｅに余剰電力を消費させた方がより速く余剰電力を消費することができる。これによって、電源装置１４の終了動作時間を短縮することができる。なお、余剰電力の供給消費先が多ければ多いほど、電源装置１４の終了動作時間が短縮されることは言うまでもない。
【００３７】
モータ１６に消費させる場合は、制御部１４Ｎは、三相インバータ１４Ｈの不図示のスイッチを制御して、モータ１６に通電する。なお、モータ１６の通電によって、ロータ組立体３２が回転しないように通電することが好ましい。例えば、三相インバータ１４Ｈの３相あるスイッチの内の２相だけを用いて通電するなどすればよい。
【００３８】
磁気軸受６０に消費させる場合は、制御部１４Ｎは、励磁アンプ１４Ｐの不図示のスイッチを制御して、磁気軸受６０に通電する。
【００３９】
回生ブレーキ抵抗１４Ｅに消費させる場合は、トランジスタ制御回路１４Ｇを制御して、トランジスタ１４Ｆをオンにして、回生ブレーキ抵抗１４Ｅに通電する。
【００４０】
以上のように、ステップＳ５で、制御部１４Ｎが余剰電力を供給するように指令を出したら、ステップＳ６に移行する。
【００４１】
ステップＳ６では、制御部１４Ｎは、電圧検出部１４Ｑから受信する電圧情報に基づいて、供給コンデンサ１４Ｄの蓄積している電力量を把握し、余剰電力が消費されたかを判定する。ステップＳ６を設けてあるのは、余剰電力消費が完了するまでは、制御部１４Ｎの機能を停止させないためである。否定判定されれば、ステップＳ５に移行し、余剰電力の消費を継続する。肯定判定されれば、ステップＳ７に移行する。
【００４２】
ステップＳ７では、制御部１４Ｎは、供給コンデンサ１４Ｄに蓄積された電力量を用いて、制御部１４Ｎを構成する各種プログラムの終了動作を実行する。
【００４３】
ステップＳ７において制御部１４Ｎが上記の指令を出した後、ステップＳ８に移行し、フローチャートを終了する。
【００４４】
上述した実施形態の電源装置は、以下の構成を備え、その構成によって以下の作用効果が得られる。
（１）電源装置１４は、外部から供給された電力により充電され、電力供給停止時に電源装置１４の内部回路に電力を供給する供給コンデンサ１４Ｄと、電源装置１４の動作を終了させる際に、供給コンデンサ１４Ｄを放電させて、その放電による供給コンデンサ１４Ｄの電力を、モータ１６、磁気軸受６０、及び、回生ブレーキ抵抗１４Ｅのうちの少なくともいずれか１つに供給する放電制御部（制御部１４Ｎ）と、を備える。
これにより、電源装置１４の内部回路よりも消費電力の高いモータ１６、磁気軸受６０、回生ブレーキ抵抗１４Ｅに供給コンデンサ１４Ｄの余剰電力を消費させるので、供給コンデンサ１４Ｄの余剰電力を消費する時間が短縮される。その結果、電源装置１４の終了動作時間が短縮される。
【００４５】
（２）電源装置１４は、ロータ組立体３２（ロータ３４）の回転数が所定値（例えば、６０ｒｐｍ）以下になったか否かを判断する回転数検出部１９をさらに備え、ロータ組立体３２の回転数が所定値以下になったと判断された際に、制御部１４Ｎが、供給コンデンサ１４Ｄを放電させる。
これによって、ロータ組立体３２が低速回転になって、電源装置１４を終了させることができ、安全に真空ポンプ装置を停止することができる。例えば、電源装置が終了しているのを見てロータ組立体３２が未だ高速回転している真空ポンプ５を大気開放してロータ翼２０を破損させてしまうような事態を回避することができる。
【００４６】
（３）外部からの電力供給が停止した場合に、ロータ組立体３２（ロータ３４）の回転エネルギーを回生させる回生制御部（制御部１４Ｎ）をさらに備え、放電制御部（制御部１４Ｎ）は、回生制御時に、ロータ組立体３２（ロータ３４）の回転数が所定値以下になったと判断された際に、供給コンデンサ１４Ｄを放電する。
回生機能を有していることで、ロータが回転している場合に、その回転エネルギーを有効に用いることができる。特に、ロータの回転エネルギーから得られる電力を磁気軸受６０に供給してロータの磁気浮上に用いれば、ロータの回転エネルギーが低下する一方でその回転エネルギーの低下分をロータの磁気浮上に用いるので、ロータが高速回転している状態でロータの磁気浮上が停止することはない。その結果、外部電源１５の電力供給の遮断時に仮にロータが回転している場合でも、安全に、電源装置１４の終了動作を行うことができる。
【００４７】
―変形例１―
図４は、変形例１におけるフローチャートである。
以上の実施形態のフローチャート（図３参照）とは、
・本変形例のフローチャートでは、ステップＳ６を有しないこと
・ステップＳ６を有しないため、ステップＳ５において供給コンデンサ１４Ｄの蓄積された電力量の算出や余剰電力の算出を行わないこと
が主に相違している。
【００４８】
以上を踏まえて、図４を用いて、本変形例のフローチャートを説明する。ステップＳ１〜Ｓ４における処理は、以上の実施形態（図３参照）と同様である。
【００４９】
ステップＳ５においては、制御部１４Ｎは、三相インバータ１４Ｈ、励磁アンプ１４Ｐ、トランジスタ制御回路１４Ｇの少なくともいずれか１つに指令を出して、供給コンデンサ１４Ｄの電力をモータ１６、磁気軸受６０、及び、回生ブレーキ抵抗１４Ｅの少なくとも１つに供給させる。なお、本変形例では、供給コンデンサ１４Ｄの余剰電力を算出しないので、上述のとおり、「供給コンデンサ１４Ｄの電力」とした。ステップＳ５終了後、ステップＳ７に移行する。
【００５０】
ステップＳ７における処理は、基本的には、以上の実施形態（図３参照）と同様である。ただし、制御部１４Ｎの供給コンデンサ１４Ｄの電力供給に関係するプログラム（以下、供給プログラムと呼ぶ）については、供給コンデンサ１４Ｄの電力が消費されるまで起動させておく。
【００５１】
具体的に説明する。三相インバータ１４Ｈ、励磁アンプ１４Ｐ、トランジスタ制御回路１４Ｇは、所定の電位のスイッチング信号を受信するとスイッチをオンにし、その電位未満の信号を受信するとスイッチをオフとするように設定されている。すなわち、電力がある程度供給されている時でないと、スイッチはオンにならない。ステップＳ５において、制御部１４Ｎは、供給プログラムを用いて、供給コンデンサ１４Ｄの電力が続く限り、三相インバータ１４Ｈ、励磁アンプ１４Ｐ、トランジスタ制御回路１４Ｇに対して所定の電位のスイッチング信号であるスイッチオンの信号を送り続ける。供給コンデンサ１４Ｄの電力が消費されると、制御部１４Ｎにも電力が供給されなくなるので、供給プログラムも終了する。その結果、スイッチオンの信号を送信しなくなる。それによって、三相インバータ１４Ｈ、励磁アンプ１４Ｐ、トランジスタ制御回路１４Ｇは、スイッチをオフにする。
【００５２】
本変形例のように行えば、供給コンデンサ１４Ｄの余剰電力の算出等を行わなくて済むため、制御部１４Ｎの負担が減る。また、供給コンデンサ１４Ｄの余剰電力の消費を待たずに制御部１４Ｎのほとんどのプログラムを終了させることができるため、電源装置の終了時間がより短縮される。
【００５３】
―変形例２―
以上の実施形態の真空ポンプ装置は回生機能を有していたが、本発明は回生機能を有していない真空ポンプ装置に適用することもできる。図５及び図６を用いて説明する。なお、以上の実施形態と同様の箇所については説明を省略する。
【００５４】
図５は、回生機能を有していない真空ポンプ装置を示している。本変形例の真空ポンプ装置は、回生機能を有していない。そのため、本変形例の真空ポンプ装置は、回生ブレーキ抵抗を有していない。本変形例の真空ポンプ装置は、図５に示すように、電源装置１４内に、直流の補助バッテリー１４Ｔを有している。補助バッテリー１４Ｔは、外部電源１５の電力供給が遮断された時に、主にロータ組立体３２の磁気浮上を維持するためのものである。そのため、補助バッテリー１４Ｔは、外部電源１５の電力の供給が停止した際にロータ組立体３２が回転を停止するまでの長時間に渡りロータ組立体３２が磁気浮上できるだけの十分な電力を、外部からの電力供給（不図示）により予め蓄えている。よって、補助バッテリー１４Ｔの蓄電量は、供給コンデンサ１４Ｄの蓄電量よりもはるかに大きい。
【００５５】
さらに、本変形例の電源装置１４は、補助バッテリー１４Ｔの電力供給の接続または遮断を行う補助バッテリー用スイッチ１４Ｌを備えている。スイッチ１４Ｌは、制御部１４Ｎの指令によって、スイッチを接続したり遮断したりすることで、補助バッテリー１４Ｔの電力供給の接続または遮断を行う。スイッチ１４Ｌは、通常時はオフになっており、外部電源１５の電力供給が停止してロータ組立体３２が停止操作に入るステップ周辺（図６参照）でだけオンになる。
【００５６】
図６は、本変形例における制御部１４Ｎで実行されるフローチャートである。図３との主な相違点は、図３のステップＳ２とステップＳ３の間にステップＳＡ１が設けられていることと、ステップＳ４がステップＳＡ２に変更されていることと、ステップＳ３とステップＳ５の間にステップＳＡ３が設けられていることと、ステップＳ５がステップＳＡ４に変更されていることである。これらの相違点に関することを中心に、以下で図６を説明する。なお、制御部１４Ｎの制御によって補助バッテリー１４Ｔから電源装置１４に電力供給されることがあるが、そのような制御部１４Ｎの制御による電力供給がない場合であっても、供給コンデンサ１４Ｄが、制御部１４Ｎの制御によらずに、自動的に放電することで電力供給を行うので、フローチャートの途中で電力供給が停止することはない。
【００５７】
（ステップＳＡ１周辺のフローについて）
ステップＳ２において、外部電源１５からの電力供給が停止していると判定されると、ステップＳＡ１に移行する。ステップＳＡ１では、制御部１４Ｎは、スイッチ１４Ｌをオンにして、補助バッテリー１４Ｔの電力供給を接続する。そして、ステップＳ３に移行する。
【００５８】
（ステップＳＡ２周辺のフローについて）
ステップＳ３で否定判定されると、ステップＳＡ２に移行する。ステップＳＡ２では、モータ１６の回生操作は行わずに、ロータ組立体３２の停止操作を行う。具体的には、制御部１４Ｎが、補助バッテリー１４Ｔの電力を用いて、ロータ組立体３２が回転駆動する時と位相が異なる交流電流をモータ１６に印加することで、ロータ組立体３２の回転を停止させる。ロータ組立体３２が停止するまでの間は、制御部１４Ｎが、補助バッテリー１４Ｔの電力を用いて、磁気軸受６０に通電して、ロータ組立体３２の磁気浮上を維持する。なお、補助バッテリー１４Ｔが接続されている間は、供給コンデンサは充電されているので、ロータ組立体の回転停止操作中に供給コンデンサ１４Ｄの電圧降下が生じることはない。ステップＳＡ２の後、ステップＳ３に移行する。
【００５９】
（ステップＳＡ３、ＳＡ４周辺のフローについて）
ステップＳ３で肯定判定されると、ステップＳＡ３に移行する。ステップＳＡ３では、制御部１４Ｎは、スイッチ１４Ｌをオフにして、補助バッテリー１４Ｔの電力供給を遮断する。ステップＳＡ３の後、ステップＳＡ４に移行する。ステップＳＡ４では、制御部１４Ｎが余剰電力の供給先がモータ１６及び磁気軸受６０の少なくともいずれか一方になったこと以外は、図３のステップＳ５と同様である。ステップＳＡ４の後、ステップＳ６に移行する。
【００６０】
以上のように、本変形例のような回生機能を有さず、回生ブレーキ抵抗を有しない電源装置及び真空ポンプ装置にも本発明を適用でき、上述の実施形態と同様の作用効果を奏する。
【００６１】
次のような変形も本発明の範囲内である。
【００６２】
以上では、電源装置をターボ分子ポンプと別体（図１参照）としたが、電源装置をターボ分子ポンプと一体的に設けることもできる。
【００６３】
以上では、本発明を複合型のターボ分子ポンプに適用したが、本発明は、全翼型のターボ分子ポンプや、モレキュラドラッグポンプなどの真空ポンプにも適用できる。
【００６４】
上記では、種々の実施形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。例えば、変形例２に変形例１を適用することもできる。また、本発明は、磁気軸受の代わりに転がり軸受を有する真空ポンプを備える真空ポンプ装置にも適用できる。
【符号の説明】
【００６５】
５：ターボ分子ポンプ、  ７：保護ベアリング、  １４：電源装置、  
１４Ａ：ＡＣ／ＤＣコンバータ、  １４Ｂ：平滑コンデンサ、  １４Ｃ：ダイオード、
１４Ｄ：供給コンデンサ、  １４Ｅ：回生ブレーキ抵抗、  １４Ｆ：トランジスタ、
１４Ｇ：トランジスタ制御回路、  １４Ｈ：三相インバータ、  
１４Ｊ：ＤＣ／ＤＣコンバータ、  １４Ｋ：ＤＣ／ＤＣコンバータ、
１４Ｎ：制御部、  １４Ｐ：励磁アンプ、  １４Ｑ：電圧検出部、  １５：外部電源、
１６：モータ、  １８：ロータ円筒部、  １９：回転数検出部、  ２０：ロータ翼、
３０：吸気口、  ３２：ロータ組立体、  ３３：シャフト、  ３４：ロータ、
３５：ロータディスク、  ４４：ステータ翼、  ４８：円筒状ステータ、  
５０：スペーサ、  ５２：ケーシング、  ５４：ベース、  ５６：排気口、
６０：磁気軸受、  ６２：上部ラジアル電磁石、  ６４：下部ラジアル電磁石、
６６：スラスト電磁石、  １００：真空ポンプ装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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