(57)【要約】      （修正有）【課題】ポンプローターを駆動するためのその電動モーターが、簡単かつ安価に製造可能であり、そして運転中比較的高いトルクを提供するのに適した真空ポンプを提供する。【解決手段】真空ポンプ、特にロータリーベーンポンプ、ストロークピストンポンプ、ルーツポンプ又はスクリューポンプは、真空ポンプを通じて流体をポンピングするための、回転軸を中心として回転可能なポンプローターと、ポンプローターを駆動するための電動モーターを有し、その際、電動モーターが、回転可能なローターと、該ローターと相互作用し、基本形状がリング形状のステータ１１を有する。ステータが、ステータの周囲方向において連続する、基本形状がリングセグメント形状に形成された複数のステータ歯１３から構成される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空ポンプ、特にロータリーベーンポンプ、ストロークピストンポンプ、ルーツポンプ又はスクリューポンプであって、真空ポンプ（５１）を通じて流体をポンピングするための、回転軸を中心として回転可能なポンプローター（５５）と、ポンプローター（５５）を駆動するための電動モーターを有し、その際、電動モーターが、回転可能なローターと、該ローターと相互作用し、基本形状がリング形状のステータ（１１）を有する真空ポンプにおいて、
ステータ（１１）が、ステータ（１１）の周囲方向において連続する、基本形状がリングセグメント形状に形成された複数のステータ歯（１３）から構成されていることを特徴とする真空ポンプ。
【請求項２】
各ステータ歯（１３）が、少なくとも一つのコイル（２９）を担持しており、このコイルが、ステータ歯（１３）の構成の前に其々のステータ歯（１３）に巻き付けられることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項３】
ステータ歯（１３）によって担持されるコイル（２９）が、電気的に互いに結線されていることを特徴とする請求項１または２に記載の真空ポンプ。
【請求項４】
ステータ（１１）の周囲方向でみて先行する又は後続のステータ歯（１３）の方に向けられた側面に、各ステータ歯（１３）が、各一つの空所部（２１ａ，２１ｂ）を有しており、そしてステータ歯（１３）に巻き付けられたコイル（２９）がステータ歯（１３）の空所部（２１ａ，２１ｂ）内に収容されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
【請求項５】
コイル（２９）は、空所部（２１ａ，２１ｂ）が少なくとも近似的に完全にコイル（２９）によって満たされているようにステータ歯（１３）の周りに巻きつけられることを特徴とする請求項４に記載の真空ポンプ。
【請求項６】
コイル（２９）の巻き付け部（２７）内に含まれる伝導性の材料、特に銅が、空所部（２１ａ，２１ｂ）内で高い占積率を達成し、特に、３０パーセントを超える占積率、好ましくは３５パーセントを超える、更に好ましくは４０パーセントを超える、もっと更に好ましくは４５パーセントを超え、もっと更に好ましくは５０パーセントを超え、そしてもっとさらに好ましくは５５パーセントを超える占積率を達成することを特徴とする請求項４または５に記載の真空ポンプ。
【請求項７】
各ステータ歯（１３）が、第一の接点部分（１７ａ）と第二の接点部分（１７ｂ）を有すること、各ステータ歯（１３）の第一の接点部分（１７ａ）がステータ（１１）内で、ステータ（１１）の周囲方向（Ｉ）において先行するステータ歯（１３）の第二の接点部分（１７ｂ）に接すること、各ステータ歯（１３）の第二の接点部分（１７ｂ）が、周囲方向（Ｉ）で後続のステータ歯（１３）の第一の接点部分（１７ａ）に接することを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
【請求項８】
ステータ（１１）内で、ステータ（１１）の周囲方向で連続する二つのステータ歯（１３）の第一及び第二の接点部分（２１ａ，２１ｂ）が重なり合って形状結合的な接続を形成することを特徴とする請求項７に記載の真空ポンプ。
【請求項９】
ステータ（１１）の周囲方向で連続する二つのステータ歯（１３）の第一及び第二の接点部分（２１ａ，２１ｂ）の間の形状結合的な接続を形成するために、第一の接点部分（２１ａ）が突起部（２３）を有し、第二の接点部分（２１ｂ）が、該突起部（２３）に補完的な凹部（２５）を有することを特徴とする請求項７または８に記載の真空ポンプ。
【請求項１０】
各ステータ歯（１３）において、両方の接点部分（２１ａ，２１ｂ）が、ステータ（１１）の半径方向（ＩＩ）に関して半径方向外側に位置することを特徴とする請求項７から９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１１】
複数のステータ歯（１３）が、ハウジング（３１）内で固定されており、特に、ステータ歯（１３）とハウジング（３１）の間に、横断方向圧着接続、特に延伸圧着接続、または収縮圧着接続が形成されることにより固定されていることを特徴とする請求項１から１０のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
【請求項１２】
電動モーターが、回転可能なローターおよび該ローターと相互作用する、基本形状がリング形状であるステータ（１１）を有している、真空ポンプ、特に請求項１から１１のいずれか一項に記載の真空ポンプの為の電動モーターの製造の為の方法において、ステータ（１１）が、ステータ（１１）の周囲方向に連続する、基本形状がリングセグメント状に形成された複数のステータ歯（１３）から構成されることを特徴とする方法。
【請求項１３】
ステータ歯（１３）をステータ（１１）に構成する前に、各ステータ歯（１３）の周りに少なくとも一つのコイル（２９）が巻かれること、及び／又は、ステータ歯（１３）によって担持されるコイル（２９）が、特に、ステータ歯（１３）をステータ（１１）に構成した後に互いに結線されることを特徴とする請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
ステータ歯（１３）内に設けれらる空所部（２１ａ，２１ｂ）が、少なくとも近似的に完全にコイル（２９）によって満たされるよう、各コイルが各ステータ歯（１３）の周りに巻かれること、及び／又は、コイル（２９）の巻き付け部（２７）内に含まれる、伝導性の材料、特に銅が、空所部内（２１ａ，２１ｂ）で高い占積率を達成する、特に３０パーセントを越え、好ましくは３５パーセントを越え、更に好ましくは４０パーセントを越え、もっと更に好ましくは４５パーセントを越え、もっと更に好ましくは５０パーセントを越え、そしてもっと更に好ましくは５５パーセントを越える占積率を達成することを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
ステータ歯（１３）が、ハウジング（３１）内に固定されること、特にこれが、ステータ歯（１３）とハウジング（３１）の間の横断方向圧着接続、延伸圧着接続、または収縮圧着接続が形成されることによって固定されることを特徴とする請求項１２から１４のいずれか一項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプ、特にロータリーベーンポンプ、ストロークピストンポンプ、ルーツポンプ又はスクリューポンプのようなものであって、真空ポンプを通して流体をポンピングするため、回転軸の周りに回転可能なポンプローターと、該ポンプローターを駆動するための電動モーターを有し、その際、電動モーターが回転可能なローターと、該ローターと相互作用する、基本形状がリング形状のステータを有する真空ポンプに関する。本発明は、更に、真空ポンプの為の電動モーターを製造する為の方法に関する。その際、該電動モーターは、回転可能なローターと、該ローターと相互作用する、基本形状がリング形状のステータを有する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、ターボ分子ポンプとして形成された真空ポンプを有している。この真空ポンプにおいて、ポンプローターは、少なくとも毎分２０，０００回の回転を実施する。ターボ分子ポンプのポンプローターを駆動するために使用される電動モーターは、特許文献１の図２のように、六つの極片３６を有するリング形状の一つのステータ２６を有している。これら極片は、各ステータ歯を形成しており、そして各一つのコイル３８を担持している。その際、極片３６は、互いに、そしてステータ２６と一体に形成されている。
【０００３】
ロータリーベーンポンプ、ストロークピストンポンプ、ルーツポンプ、又はスクリューポンプのような、ターボ分子ポンプの前ポンプとして使用される真空ポンプにおいては、ポンプローターは、ターボ分子ポンプのポンプローターよりも明らかに低い回転数を達成する。ただしそのような前ポンプの電動モーターは、高いトルクを提供すべきである。というのは、そのような前ポンプは、しばしば高い排出圧に抗して、大きく変化する負荷のもと作動せねばならない。その上、そのような真空ポンプ又はその電動モーターは、簡単かつ安価な方法で製造可能であるべきである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】欧州特許出願公開第２  ０７２  ８３１  Ａ２号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
よって本発明の課題は、ポンプローターを駆動するためのその電動モーターが、簡単かつ安価に製造可能であり、そして運転中比較的高いトルクを提供するのに適した真空ポンプを提供することである。
【０００６】
更に本発明は、真空ポンプの為の電動モーターの製造の為の簡単かつ安価に実施可能な方法を提供することも課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この課題は、請求項１に記載の特徴を有する真空ポンプによって、又は請求項１２に記載の特徴を有する方法によって解決される。本発明の好ましい実施形と発展形は、従属請求項に記載されている。
【０００８】
発明に従い、冒頭に記載した形式の真空ポンプは、ステータが、ステータの周囲方向に連続する、基本形状がリングセグメント状に形成された複数のステータ歯から構成されている点で発展している。よって発明に従う真空ポンプにおいては、複数のステータ歯が、互いに一体に形成されておらず、ステータが、個々のステータ歯から構成される。これによって、ステータの製造が簡単となる。というのは、これが一つのピースから製造される必要が無いからである。ステータ歯はむしろ、個々に製造され、そしてその後ステータを形成するために、まとめられる。
【０００９】
好ましくは各ステータ歯は、少なくとも一つのコイルを担持している。このコイルは、ステータ歯を構成する前に、各ステータ歯に巻き付けられる。磁場形成の為の電気的コイルは、よってステータ歯の周りに個々に巻き付けられる。これはステータ歯が構成される前に行われる。好ましくはその際、各コイルは、それ自体各ステータ歯に巻き付けられる。つまりコイルと無関係に他のステータ歯の周りに巻きつけられる。各ステータ歯の周りへの各コイルの巻き付けは、ステータ歯が構成される前に行われるので、ステータ歯は特に簡単に取り扱われることが可能である。巻き付け過程は、よって簡単に実施されることが可能である。
【００１０】
好ましくは、ステータ歯によって担持されるコイルは互いに電気的に結線されている。異なるステータ歯に担持されるコイルは、よって互いに電気的に接続され、特にこれは、ステータ歯の構成の後に行われる。
【００１１】
本発明の好ましい実施形では、各ステータ歯は、ステータの周囲方向でみて先行する又は後続するステータ歯の方に向けられている側面に、各一つの空所部を有している。その際、各ステータ歯に巻き付けられたコイルは、ステータ歯の空所部内へと収容されている。空所部によって、各コイルは各ステータ歯に確実に保持されることが可能である。その上、ステータの領域における空所部によって、比較的大きな自由空間が提供され、これにコイルが進入することが可能である。各ステータ歯の周りにには、よって比較的多くの所定のコイル材料が巻き付けられることが可能である。これによって比較的高い磁場がステータコイルによって生成されることができるので、該ステータを有する電動モーターは高いトルクを提供可能である。
【００１２】
空所部が、少なくとも近似的に完全にコイルによって満たされているように、各コイルが、各ステータ歯の周りに巻きつけられることが可能である。コイル材料は、よって少なくとも近似的に、各ステータ歯の空所部を完全に満たすことが可能である。
【００１３】
コイルの巻き付け部内に含まれる伝導性材料、特に銅が、空所部内で高い占積率（独語：Ｆｕｅｌｌｆａｋｔｏｒ）、特に３０パーセントを越える、好ましくは３５パーセントを超える、更に好ましくは４０パーセントを越える、もっと更に好ましくは４５パーセントを越える、もっと更に好ましくは５０パーセントを越える、そしてもっと更に好ましくは５５パーセントを越える占積率を達成するとき、特に有利である。高い占積率によって、オーム損失と、電動モーターの温まりが低く抑えられることが可能である。その際、占積率は、伝導性の材料の積算された断面積と、各空所部内で巻き付けの為に提供される断面の間のパーセントで記載された比率に関する。
【００１４】
一つの好ましい態様に従い、各ステータ歯は、第一の接点部分及び第二の接点部分を有している。その際、ステータ内で第一のステータ歯の第一の接点部分は、ステータの周囲方向で先行するステータ歯の第二の接点部分に接触し、そしてその際、各ステータ歯の第二の接点部分は、周囲方向で後続するステータ歯の第一の接点部分に接触する。ステータに構成されるステータ歯においては、よってステータ歯の第二の接点部分が、ステータの周囲方向で後続するステータ歯の各第一の接点部分と接触している。ステータの周囲方向で後続するステータ歯の複数の接点部分は、よって、合致するので、これらステータ歯の間の領域における隙間は防止されることが可能である。ステータ歯の接点部分は、よって、ステータの周囲方向で見て、一つの閉じたヨークを形成し、これによって電動モーターの性能が改善される。
【００１５】
好ましくは、ステータ内で、ステータの周囲方向に連続する二つのステータ歯の第一及び第二の接点部分は、互いに重なり合い一つの形状結合的な接続を形成する。ステータの周囲方向で見て連続する複数のステータ歯は、よって、複数の接点部分を介して互いに形状結合的に接続されることができる。これによって、ステータ歯の構成の過程は簡易化されることが可能である。というのは、構成される複数のステータ歯から形成されるステータは、連続する複数のステータ要素の間の形状結合的な接続に基づいて所定の安定性を有し、これは例えば、ハウジング内でのステータ歯の配置を簡単とする。
【００１６】
特に、ステータの周囲方向に連続する二つのステータ歯の第一及び第二の接点部分の間の形状結合的な接続の形成の為に、第一の接点部分は突起部を有し、そして第二の接点部分は、該突起部に補完的な凹部を有する。ステータ歯の第一の接点部分に設けられる突起部は、ステータの周囲方向で先行するステータ歯の第二の接点部分の補完的な凹部内に係合するので、ステータの周囲方向に連続する二つのステータ歯の間の形状結合的な接続が形成される。
【００１７】
好ましくは、各ステータ歯における両方の接点部分は、ステータの半径方向に関し半径方向外側に位置している。複数の接点部分は、よって、半径方向外側に位置する、ステータのヨークを形成することが可能である。
【００１８】
本発明の好ましい発展形では、（複数の）ステータ歯はハウジング内に固定されている。ハウジングは、ステータのハウジングであることが可能である。該ハウジングは、電動モーターのハウジングに固定される。ハウジングは、ただし電動モーターのハウジングでもあり得る。この結果、独立したステータハウジングは省略されることが可能である。
【００１９】
ステータ歯は、特にステータ歯とハウジングの間に横断方向圧着接続（独語：Ｑｕｅｒｐｒｅｓｓｖｅｒｂｉｎｄｕｎｇ）、特に延伸圧着接続（独語：Ｄｅｈｎｐｒｅｓｓｖｅｒｂｉｎｄｕｎｇ）又は収縮圧着接続（独語：Ｓｃｈｒｕｍｐｆｐｒｅｓｓｖｅｒｂｉｎｄｕｎｇ）が形成されることによって、ハウジング内に固定されることが可能である。他方でステータ歯はハウジング内でステータに構成される間、ハウジングは加熱される。冷却の間にハウジングはステータ上へと収縮する。これによって収縮圧着接続がハウジングとステータの間に形成される。ステータ歯は、これによって長期にわたってハウジング内で固定される。
【００２０】
ステータ歯は、鋳造（材）によって、特にステータ歯の内側表面だけが見えるよう覆われる（独語：ｕｅｂｅｒｇｉｅｓｓｅｎ）ことが可能である。
【００２１】
コイルは、ステータ歯に鋳込まれていることが可能である。
【００２２】
発明に係る真空ポンプは、ロータリーベーンポンプ、ストロークピストンポンプ、スクリューポンプ、ルーツポンプであることが可能である。これらはしばしばターボ分子ポンプの前ポンプとして使用される。発明に係る真空ポンプは、その際、その電動モーターが高いトルクを提供し、これによって高い排出圧と変化する負荷が問題無く克服されるという利点を有する。好ましくは、ポンプローターの回転数と、相応して電動モーターのローターの回転数は、３３３Ｈｚよりも低く、好ましくは最大１２５Ｈｚである。
【００２３】
流体は、特にガスである。これは例えば空気のようなものである。
【００２４】
本発明は、真空ポンプの為の電動モーターの製造の為の方法にも関する。その際、電動モーターは、回転可能なローターおよび該ローターと相互作用する、基本形状がリング形状のステータを有する。そしてその際、ステータは、ステータの周囲方向で連続する、基本形状がリングセグメント状に形成された複数のステータ歯から構成される。
【００２５】
ステータ歯がステータに構成される前に、各ステータ歯の周りに各コイルが巻き付けられると、有利である。
【００２６】
好ましくは、ステータ歯によって担持されるコイルは、複数のステータ歯をステータへと構成した後に電気的に互いに結線される。
【００２７】
好ましくは、各コイルは各ステータ歯の周りに巻きつけられる。ステータ歯内に設けられる空所部が、少なくとも近似的に完全にコイルによって満たされる、及び／又は、コイルの巻き付け部内に含まれる伝導性の材料、特に銅が空所部内で３０パーセントよりも高い占積率、好ましくは３５パーセントより高く、更に好ましくは４０パーセントよりも高く、もっと更に好ましくは４５パーセントよりも高く、もっと更に好ましくは５０パーセントよりも高く、そしてもっとさらに好ましくは５５パーセントよりも高い占積率を達成する。
【００２８】
ステータ歯がハウジング内で固定されるときも有利である。その際好ましくは、ステータ歯とハウジングの間に、横断方向圧着接続、特に延伸圧着接続、または収縮圧着接続が形成される。
【００２９】
以下に本発明を例示的に有利な実施形に基づき説明する。添付の図面が参照される。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】発明に係る真空ポンプの電動モーターのステータの断面図
【図２】図１のステータの斜視図
【図３】図１のステータのステータ歯の断面図
【図４】発明に係る真空ポンプの電動モーターのハウジングの斜視図
【図５】ロータリーベーン真空ポンプの簡略断面図
【発明を実施するための形態】
【００３１】
図１および２にしめされたステータ１１は、ステータ１１の周囲方向Ｉに連続する複数のステータ歯１３から構成されている。これらステータ歯は、その基本形状が図１および２に見て取れるように、リングセグメント状に形成されているので、ステータ１１は、図１および２に見て取れるように、基本形状がリング形状の構造を有する。
【００３２】
図３が示すように、各ステータ歯１３は、二重のＴ字構造の形式で形成されている。（ステータ１１の中心軸Ｍから見て）半径方向ＩＩに関し、各ステータ歯１３は、断面が少なくとも近似的に長方形である担持部分１５を有している。担持部分１５の周りには、図３に示されているように、コイル２９の巻き部２７が巻かれている。その際、各巻き部２７は、好ましくは、基本的に半径方向ＩＩに対し横断する方向に延在する巻き部断面を有している。担持部分１５は、第一の側面１５ａおよび第二の側面１５ｂを有している。図３が示すように、第一の側面１５ａは、周囲方向Ｉと反対に向けられており、これと反対に第二の側面１５ｂは、周囲方向に向けられている。
【００３３】
担持部分１５には、第一の接点部分１７ａと第二の接点部分１７ｂが設けられている。これらは半径方向ＩＩでみて半径方向外側に位置している。その際、両方の接点部分１７ａおよび１７ｂは、複数のステータ歯１７から構成されるステータ１１の外半径に相応して湾曲されており、その際、第一の接点部分１７ａは周囲方向Ｉと反対に、担持部分１５の第一の側面１５ａを越えて突き出している。図３に見て取れるように、第二の接点部分１７ｂは、周囲方向Ｉに担持部分１５の第二の側面１５ｂを越えて突き出している。
【００３４】
その上、担持部分１５には更に、第一および第二の端部部分１９ａ，１９ｂが設けられている。その際、第一の端部部分１９ａは、周囲方向Ｉと反対に担持部分１５の第一の側面を越えて突き出している。第二の端部部分１９ｂは、周囲方向Ｉでみて担持部分１５の第二の側面１５ｂを越えて突き出している。
【００３５】
図３における中心軸Ｍからの点線で記載された角度αが示すように、ステータ歯１３はその基本形状がリングセグメント形状に形成されている。ただし、各ステータ歯１３は、リングセグメント状の形状から逸脱して、第一の側面１５ａの領域に空所部２１ａを有する。この空所部は、半径方向で見て、第一の接点部分１７ａと第一の端部部分１９ａによって境界づけられている。これに相応して、各ステータ歯１３は、その第二の側面１５ｂの領域に第二の空所部２１ｂを有する。この空所部は、半径方向で、第二の接点部分１７ｂと第二の端部部分１９ｂによって境界づけられている。
【００３６】
図３が示すように、各ステータ歯１３の第一の接点部分１７ａは、その外側の端部に突起部２３を有する。第二の接点部分１７ｂは、その外側の端部に凹部２５を有する。この凹部は、突起部２３と補完的に形成されている。
【００３７】
図１および２に示されたステータ１１の製造の為に、これは複数のステータ歯１３から構成される。その際、少なくとも一つのコイル２９が、構成の前に、各ステータ歯１３に巻き付けられる。これは好ましくは、空所部２１ａ，２１ｂが少なくとも近似的には完全にコイル２９によって満たされているように、および例えば銅のような伝導性の材料が、巻き付け部２７内において、空所部２１ａ，２１ｂ内でできるだけ高い占積率を達成するように巻き付けられる。
【００３８】
好ましくは３０から５５％の領域の占積率が実現される。高い占積率によって、巻き付け部２７内のオーム抵抗が低く保たれることができるので、運転中、巻き付け部２７内には低いオーム損失のみが発生し、これによって温度上昇が低く保たれ、かつ電動モーターの性能が高められることが可能である。
【００３９】
空所部２１ａ、２１ｂ内の占積率の計算の為に、巻き付け部２７の伝導性の材料の、一つの平面を通って延在する断面面積の、各空所部２１ａ，２１ｂの該平面内で全体として提供される断面面積に対する比率を求める。代替として、占積率の検出の為に、巻き付け部２７の隔離層も取り込まれることが可能であり、これによって１００％までのより高い占積率が実現可能である。
【００４０】
ステータ歯１３は、一つのステータ歯１３の第一の接点部分１７ａにおける突起部２３が、周囲方向Ｉでみて前配置されたステータ歯１３の第二の接点部分１７ｂの凹部２５内へと係合するようステータ１１に構成される。このようにして、複数のステータ歯１３は形状結合的に互いに接続される。
ステータ歯１３によって形成されるリング形状のステータ１１は、よって内在的な安定性を有する。
【００４１】
その上、該ステータ１１において、連続するステータ歯１３の接点部分１７ａ，１７ｂは、互いに接し合っているので、図１が示すように、周囲方向Ｉでみて閉じられた一つのヨークが形成される。
【００４２】
ステータ歯１３は、ハウジング３１（図４）の内部でステータ１１に構成される（組み立てられる）。代替として、ステータ歯１３は、ハウジング３１の外でステータ１１に構成され、そして該ステータ１１がその後ハウジング３１内に組み込まれる。
【００４３】
好ましくは、ハウジング３１の内径とステータ１１の外径は、互いに、しまり嵌め（の関係）を有するので、ステータ１１とハウジング３１の間には押圧接続が形成されることができる。ステータ１１をその内部に配置するため、またはステータ歯１３がハウジング３１内部でステータ１１に構成される間、好ましくはハウジング３１が加熱される。ハウジング３１がその後冷却されると、しまり嵌めに基づいてステータ１１上へと収縮する。
【００４４】
図５に示されたロータリーベーン真空ポンプ５１は、オイルによって覆われた（独語：ｏｅｌｕｅｂｅｒｌａｇｅｒｔｅ）回転容積式ポンプであり、そしてハウジング５３、偏心して組み込まれたポンプローター５５、遠心力及びばね力によって半径方向に移動することができるベーン５７そしてインレットとアウトレット５９を有する。インレットバルブ６１は、真空安全バルブとして形成されており、そして運転中常に開かれている。作動空間６３は、ハウジング５３、ポンプローター５５およびベーン５７によって境界付けられている。ポンプローター５５とベーン５７は、作動空間６３を異なる容積を有する二つの独立した空間に分ける。ポンプローター５５が回転すると、ガスは、大きくなる吸い込み空間内へと流れる。これは、ベーン５７によって遮断されるまで行われる。引き続いいて、閉じ込められたガスは、アウトレットバルブ６５が、環境圧に対して開かれるまで圧縮される。アウトレットバルブ６５は、オイルによって覆われているので、アウトレットバルブ６５が開いた際に、少量のオイルが吸い込み空間内に進入する。進入したオイルは、良好な潤滑を行い、そしてベーン５７をハウジング５３に対してシールする。
【００４５】
ロータリーベーン真空ポンプ５１においては、ポンプローター５５と連結された電動モーター（図示せず）が、ローター５５の回転駆動の為に使用される。その際、電動モーターは回転可能なローターと、ステータ１１に対応して形成されたステータを有する。これらは図４に従いハウジング３１内に収容されていることが可能である。
【００４６】
電動モーターは、例えばＰＭＳＭモーターであることが可能である（ＰＭＳＭ：パーマネント・マグネット・シンクロナス・モーター）。つまり、ブラシレスの電動モーターであり、永久磁石を有するローターが装備されている。
【００４７】
ステータ１１においては、二つの接するステータ歯１３の空所部２１ａ、２１ｂが各一つの溝６７を形成しているので、ステータは全体としてＱ＝９の溝を有し、そしてこれによってＰ＝６の磁極が達成されることが可能である。その上、実現された個々の歯巻き付けることによって、電気的なフェーズの数量を再現するストリップ数ｍ＝３と極数Ｐ＝６の積と溝数Ｑ＝９の間の商が、端数ｒ：ｒ＝１／２であることが可能となる。
【００４８】
ステータ１１に対応して形成されたステータを有する電動モーターは、例えば、ストロークピストンポンプ又はルーツポンプ等のような他の真空ポンプ内でも、ポンプローターの駆動の為に使用されることが可能である。そのような電動モーターの適用は、よって図５が示すようなロータリーベーンポンプに制限されない。
【符号の説明】
【００４９】
１１          ステータ
１３          ステータ歯
１５          担持部分  
１５ａ        第一の側面
１５ｂ        第二の側面
１７ａ        第一の接点部分
１７ｂ        第二の接点部分
１９ａ        第一の端部部分
１９ｂ        第二の端部部分
２１ａ        第一の空所部
２１ｂ        第二の空所部
２３          突起部
２５          凹部  
２７          巻き部
２９          コイル
３１          ハウジング
５１          ロータリーベーン真空ポンプ
５３          ハウジング
５５          ポンプローター
５７          ベーン
５９          インレット及びアウトレット
６１          インレットバルブ
６３          作動空間
６５          アウトレットバルブ
６７          溝
Ｉ            周囲方向
ＩＩ          半径方向
Ｍ            ステータの中心軸  
α            角度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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