(57)【要約】【課題】複数個の磁気センサを同時に、かつ高精度に検査することができ、検査コストの低減を図ることができる磁気センサの検査装置を提供する。【解決手段】磁界が作用する略立方体形状に広がる磁場発生領域を形成する磁場発生手段１０と、平面状態に並べられた複数個の磁気センサ２１からなる磁気センサ群２０を、その平面方向と直交する直交方向に複数段並べて保持するとともに、磁場発生領域に対し進退移動する可動部３１を有する駆動手段３０と、磁場発生領域において、各磁気センサ２１に同時に接触可能なプローブ群４３をを磁気センサ群２０と同数段備えるプローブ手段４０とを備える。【選択図】      図１
2016142654.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁界が作用する略立方体形状に広がる磁場発生領域を形成する磁場発生手段と、
平面状態に並べられた複数個の磁気センサからなる磁気センサ群を、その平面方向と直交する直交方向に複数段並べて保持するとともに、前記磁場発生領域に対し進退移動する可動部を有する駆動手段と、
前記磁場発生領域において、前記磁気センサ群の各磁気センサに同時に接触可能なプローブ群を前記磁気センサ群と同数段備えるプローブ手段とを備える磁気センサの検査装置。
【請求項２】
前記可動部は、
少なくとも二段の前記磁気センサ群の被検査面をそれぞれ外側に向けて逆向きに保持するとともに、
これら二段の前記磁気センサ群を前記磁場発生領域に向けて前記平面方向に沿って移動可能に設けられ、
前記プローブ手段の各プローブ群は、
前記磁気センサ群を前記磁場発生領域内に配置した際に、
各磁気センサ群に対峙する位置にそれぞれ配設され、
プローブ移動手段により、前記磁気センサ群に向けて前記直交方向に沿って移動可能に設けられる請求項１に記載の磁気センサの検査装置。
【請求項３】
前記可動部は、
少なくとも二段の前記磁気センサ群の被検査面をそれぞれ内側に向けて対向させて保持するとともに、
これら二段の前記磁気センサ群を前記磁場発生領域に向けて前記平面方向に沿って移動可能に、かつ前記磁場発生領域内において、各磁気センサ群をそれぞれ前記直交方向に沿って移動可能に設けられ、
前記プローブ手段の各プローブ群は、
前記磁気センサ群を前記磁場発生領域内に配置した際に、
対向する二段の前記磁気センサ群の間において、それぞれ前記磁気センサ群に対峙する位置に固定されている請求項１記載の磁気センサの検査装置。
【請求項４】
前記駆動手段の駆動源は、前記磁場発生手段により囲まれた空間の外部に配置される請求項１から３のいずれか一項に記載の磁気センサの検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気センサの磁気特性を検査する磁気センサの検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気センサの磁気特性を検査する場合、ヘルムホルツ型コイル等の磁場発生コイルにより発生させた磁場内に磁気センサを配置し、その磁気センサの出力信号を測定するようにしている。この場合、パッケージ封入された後の磁気センサを１個ずつ検査するのでは、その取扱いが煩雑であるとともに、検査で異常と判断された磁気センサの組み立てコストが無駄になるため、ウエハの状態で検査することが有効である。また、ウエハの状態で磁気センサを検査する場合、磁気センサを１個ずつ検査するのではなく、複数個の磁気センサを同時に検査することができると効率的である。そこで、特許文献１に記載される技術においては、複数個の磁気センサを含む広い検査領域に磁場を発生させることが行われている。
【０００３】
この特許文献１に記載の技術は、磁場発生コイルをプローブカード上ではなく、その外方に配置することにより、プローブ群の周辺の広い領域に磁場を発生し、その磁場発生状態においてプローブ群に複数個の磁気センサを接触することにより、これら複数個の磁気センサに同時に磁場を作用させて、これらを同時に検査することができる。また、特許文献１には、検査に際して、プローブカードにおける測定領域内の磁場を磁場環境測定センサによって測定し、その結果を磁場発生コイルにフィードバックすることにより、測定領域内に所望の磁場を正確に発生できることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３‐３６９４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このように、特許文献１に記載の技術では、プローブ群の周辺の広い領域に磁場を発生させることで、その検査領域内に限り、ウエハに並べて形成された磁気センサを同時に測定することを可能としている。ところが、さらに多くの磁気センサを一度に検査しようとする場合には、磁場の発生領域を広げるために、コイルを大きくする必要がある。しかし、特許文献１に記載されるように、複数のコイルを組み合わせた複雑な構成を有する検査装置において、コイルを大型化することは、検査コストの増加を招く。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、複数個の磁気センサを同時に、かつ高精度に検査することができ、検査コストの低減を図ることができる磁気センサの検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の磁気センサの検査装置は、磁界が作用する略立方体形状に広がる磁場発生領域を形成する磁場発生手段と、平面状態に並べられた複数個の磁気センサからなる磁気センサ群を、その平面方向と直交する直交方向に複数段並べて保持するとともに、前記磁場発生領域に対し進退移動する可動部を有する駆動手段と、前記磁場発生領域において、前記磁気センサ群の各磁気センサに同時に接触可能なプローブ群を前記磁気センサ群と同数段備えるプローブ手段とを備える。
【０００８】
従来においても、例えば特許文献１にも記載されるように、複数の磁気センサをウエハ状態に、すなわち平面状態に並べることにより、複数個の磁気センサを同時に検査することが行われている。そして、特許文献１に記載の検査装置においては、このように平面状態に並べた複数個の磁気センサを検査するに当たって、複数個の磁気センサを含む広い検査領域に磁場を発生させている。また、この検査装置においては、３組のヘルムホルツ型コイルにより、３軸の合成磁界を作用させる構造を採用しているが、３組のヘルムホルツ型コイルにより形成される磁場発生領域は、立方体形状に広がるものである。これに対し、検査対象の磁気センサの厚みは薄く、この磁気センサを平面状態に複数個並べた磁気センサ群の厚みも薄いものである。このため、３組のヘルムホルツ型コイルにより必要な平面方向の磁場発生領域を確保した場合において、直交方向の磁場発生領域は一部しか使用されておらず、磁場発生領域を有効に活用できていなかった。
そこで、本発明の磁気センサの検査装置においては、平面状態に並べられた複数個の磁気センサからなる磁気センサ群を、直交方向に複数並べて配置する構造とすることにより、直交方向においても磁場発生領域を有効に活用できるようにした。この場合、一度に検査できる磁気センサの検査数は、磁気センサ群の段数に応じて倍増するため、磁場発生手段の磁場発生コイル自体の大きさを変更することなく、検査効率を向上させることができる。したがって、複数個の磁気センサを同時に、かつ高精度に検査しながらも、検査コストの低減を図ることができる。
【０００９】
本発明の磁気センサの検査装置において、前記可動部は、少なくとも二段の前記磁気センサ群の被検査面をそれぞれ外側に向けて逆向きに保持するとともに、これら二段の前記磁気センサ群を前記磁場発生領域に向けて前記平面方向に沿って移動可能に設けられ、前記プローブ手段の各プローブ群は、前記磁気センサ群を前記磁場発生領域内に配置した際に、各磁気センサ群に対峙する位置にそれぞれ配設され、プローブ移動手段により、前記磁気センサ群に向けて前記直交方向に沿って移動可能に設けられる。
【００１０】
上記の磁気センサの検査装置は、本発明の磁気センサの検査装置において、平面状態に並べられた複数個の磁気センサからなる磁気センサ群を、直交方向に複数並べて配置する構造の具体例である。この場合、二段の磁気センサ群の被検査面は、それぞれ逆向きに配置されており、これら二段の磁気センサ群を平面方向に移動する構成とされる。そして、二段の磁気センサ群を磁場発生領域内に移動した後、それぞれの磁気センサ群に対峙するプローブ群を直交方向に移動して、磁気センサ群に接触させることとしている。
【００１１】
本発明の磁気センサの検査装置において、前記可動部は、少なくとも二段の前記磁気センサ群の被検査面をそれぞれ内側に向けて対向させて保持するとともに、これら二段の前記磁気センサ群を前記磁場発生領域に向けて前記平面方向に沿って移動可能に、かつ前記磁場発生領域内において、各磁気センサ群をそれぞれ前記直交方向に沿って移動可能に設けられ、前記プローブ手段の各プローブ群は、前記磁気センサ群を前記磁場発生領域内に配置した際に、対向する二段の前記磁気センサ群の間において、それぞれ前記磁気センサ群に対峙する位置に固定されている。
【００１２】
上記の磁気センサの検査装置は、本発明の磁気センサの検査装置において、平面状態に並べられた複数個の磁気センサからなる磁気センサ群を、直交方向に複数並べて配置する構造の具体例である。この場合、プローブ手段を磁場発生領域内に固定しておき、二段の磁気センサ群を平面方向に移動して各プローブ群に対峙させた後、さらに二段の磁気センサ群をそれぞれ直交方向に移動して各プローブ群に接触させることとしている。
【００１３】
本発明の磁気センサの検査装置において、前記駆動手段の駆動源は、前記磁場発生手段により囲まれた空間の外部に配置される。
駆動源として使用されるモータ等の磁性部品が磁場発生手段により囲まれた空間の内部に配置されると、磁場発生手段により形成される磁場発生領域の合成磁界に影響する。このため、駆動源を磁場発生手段の外部に配置することで、磁場発生領域の均一磁場を形成し易くなり、検査効率をより向上することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、磁場発生領域を有効に活用することができるので、複数個の磁気センサを同時に、かつ高精度に検査することができ、検査コストの低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明に係る磁気センサの検査装置の第１実施形態を示す概略斜視図である。
【図２】図１の磁気センサの検査装置におけるプローブ手段及び駆動手段の縦断面図である。
【図３】可動部とプローブカードとの平面上の位置関係を示す平面図である。
【図４】本発明の第２実施形態の磁気センサの検査装置におけるプローブ手段及び駆動手段の縦断面図である。
【図５】本発明の第３実施形態の磁気センサの検査装置におけるプローブ手段及び駆動手段の縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明に係る磁気センサの検査装置の実施形態を、図面を参照しながら説明する。
本実施形態の磁気センサの検査装置１は、図１に示すように、６個の磁場発生コイル１１ａ〜１１ｃにより構成される磁場発生手段１０と、図１では作図を省略しているが、図２に示すように、磁気センサ群２０を磁場発生領域に対して移動する駆動手段３０と、プローブ群４３を有するプローブカード４１を複数備えるプローブ手段４０とを備える。この磁場発生手段１０により形成される磁場発生領域において、図２に示すように、検査対象である平面状態に並べられた複数個の磁気センサ２１からなる磁気センサ群２０にプローブ群４３を接触することにより、これら複数個の磁気センサ２１に同時に磁場を作用させて、これらを同時に検査するようになっている。
【００１７】
磁場発生手段１０は、図１に示すように、対向する２個の磁場発生コイル１１ａ〜１１ｃを一組として、各コイルの中心軸を一致させて並設したヘルムホルツ型コイル１１ａ〜１１ｃ（磁場発生コイル１１ａ〜１１ｃと同じ符号を用いる）を３組備える構成とされる。各組のヘルムホルツ型コイル１１ａ〜１１ｃは、図１に示すように、フレーム１２の両側部、上部及び下部、前面及び背面にそれぞれ一組ずつ配設され、それぞれの軸方向を相互に直交させて、全体として立方体形状（正六面体）に配設される。
【００１８】
具体的には、フレーム１２の両側部に、平面方向に沿う軸方向（Ｘ軸方向とする）を一致させた一組のヘルムホルツ型コイル１１ａ（以下、Ｘ軸コイルとも称す）が設けられ、これらＸ軸コイル１１ａの軸方向と直交する平面方向に軸方向（Ｙ軸方向とする）を向けた一組のヘルムホルツ型コイル１１ｂ（以下、Ｙ軸コイルとも称す）が、フレーム１２の前面及び背面に設けられ、これらＸ軸コイル１１ａとＹ軸コイル１１ｂとの両軸方向のいずれにも直交する平面方向に対する直交方向に軸方向（Ｚ軸方向とする）を向けた一組のヘルムホルツ型コイル１１ｃ（以下、Ｚ軸コイルとも称す）がフレーム１２の上部及び下部に設けられている。図１には、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の各軸を一点鎖線で示している。
【００１９】
そして、これらのヘルムホルツ型コイル１１ａ〜１１ｃにより囲まれた空間の内部において各ヘルムホルツ型コイル１１ａ〜１１ｃの中心軸が交差する中心位置Ｃに、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向の３軸方向のそれぞれの単独の磁場が発生することにより、これら３軸の合成磁界が作用する略立方体形状に広がる磁場発生領域が形成される。
【００２０】
駆動手段３０は、平面状態に並べられた複数個の磁気センサ２１からなる磁気センサ群２０を、図２に示すように、その平面方向（Ｘ軸方向及びＹ軸方向）と直交する直交方向（Ｚ軸方向）に複数段（ここでは、二段）並べて保持するとともに、磁場発生領域に対して平面方向に進退移動する可動部３１を有する。また、可動部３１は、二段の磁気センサ群２０の被検査面をそれぞれ外側に向けて逆向きに、言い換えれば、背中合わせに保持する。そして、駆動手段３０には、この可動部３１を平面方向に移動する駆動源３２が設けられており、この駆動源３２は、磁場発生手段１０である各磁場発生コイル１１ａ〜１１ｃにより囲まれた空間の外部に配置される。
【００２１】
なお、磁気センサ２１は、ウエハ表面に半導体プロセスによって作製され、ダイシングテープ（図示略）が貼り付けられた状態で、そのダイシングテープ上で各個片に切断分離されたものであり、ダイシングテープ上にマトリクス状に貼り付けられ、そのダイシングテープごと、リング状のキャリア治具（図示略）に保持されている。そして、可動部３１には、このキャリア治具に保持された状態の磁気センサ２１の磁気センサ群２０が載置され、真空吸着によって固定されるようになっている。
【００２２】
また、プローブ手段４０は、図２に示すように、磁気センサ群２０と同数段である二段のプローブカード４１を備え、各プローブカード４１は、磁気センサ群２０の各磁気センサ２１に同時に接触可能なプローブ群４３を有する。また、各プローブカード４１は、磁気センサ群２０を磁場発生領域内に配置した際に、そのプローブ群４３を各磁気センサ群２０と対峙する位置にそれぞれ配設されており、プローブ移動手段４２により、Ｚ軸方向（直交方向）に沿って移動に可能に設けられる。
【００２３】
なお、プローブ群４３には、例えばばね性を有するりん青銅が用いられ、フレーム１２、可動部３１、キャリア治具等にはＴｉ等が用いられるなど、それぞれ磁場発生時に磁気センサ２１の出力に影響を与えないように非磁性材によって形成されている。
【００２４】
次に、このように構成される磁気センサの検査装置１を使用して、検査する方法について説明する。
磁気センサ２１は、ウエハ上に多数形成され、図３に示すように、ダイシングテープの上でダイシングされた状態とされており、ダイシングテープはキャリア治具に保持されている。この状態では、各磁気センサ２１は、相互に分離され個片化されているが、ダイシングテープ上にマトリクス状に並べられた状態で貼り付けられ、平面状態に並べられた磁気センサ群２０として保持されている。
【００２５】
このように構成される磁気センサ群２０を、可動部３１の表裏面に、被検査面をそれぞれ外側に向けて逆向きに配置して真空吸着によって固定する。そして、可動部３１の表裏面に固定した二段の磁気センサ群２０を、図２（ａ）の矢印で示すように、平面方向（Ｘ軸方向及びＹ軸方向）に移動しながら、二段設けられる各プローブカード４１のそれぞれのプローブ群４３に、各磁気センサ群２０内の一つのブロックＦ内（図３参照）に配置された複数個の磁気センサ２１を対峙させる。この対峙状態でプローブカード４１を、図２（ｂ）の矢印で示すように、直交方向（Ｚ軸方向）に移動する。すなわち、プローブカード４１どうしを接近させる方向に移動し、各プローブカード４１を各磁気センサ群２０に向けて接近させる。これにより、可動部３１の表側と裏側の両側に配置される磁気センサ群２０において、それぞれ多数の磁気センサ２１のうちの一つのブロックＦに区画された複数個の磁気センサ２１に対してプローブ群４３を接触させることができる。そして、各磁気センサ２１に通電して、その出力から各磁気センサ２１の磁気特性を同時に検査する。なお、この検査は、３組のヘルムホルツ型コイル１１ａ〜１１ｃによりＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向に磁場を発生させながら行う。
【００２６】
そして、一つのブロックＦの磁気センサ２１の検査が終了した後、プローブカード４１をＺ軸方向に退避させ、すなわち、二段のプローブカード４１をそれぞれ可動部３１から離れる方向に移動させて、プローブ群４３と磁気センサ２１との接触を解除する。そして、再び可動部３１をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動して、次のブロックＦの磁気センサ２１をプローブカード４１のプローブ群４３に対峙させ、この対峙状態でプローブカード４１をＺ軸方向に移動してプローブ群４３と磁気センサ２１とを接触させることにより、各磁気センサ２１の検査を行う。
この一連の操作を繰り返すことにより、磁気センサ群２０内のすべての磁気センサ２１をブロックＦ毎に検査することができる。
【００２７】
なお、本実施形態の磁気センサの検査装置１においては、可動部３１の表裏面に固定した二段の磁気センサ群２０に対し、その両側から各プローブカード４１を各磁気センサ群２０に接触させることとしているので、そのプローブ時の圧力を可動部３１の両面に対称に作用させることができる。このため、プローブ時に可動部３１や、その表裏面に固定された磁気センサ群２０にたわみ等を生じさせることなく、強度上有利な構造となっている。
【００２８】
以上説明したように、本実施形態の磁気センサの検査装置１では、平面状態に並べられた複数の磁気センサ２１からなる磁気センサ群２０を、直交方向（Ｚ軸方向）に複数並べて配置する構造とすることにより、３組のヘルムホルツ型コイル１１ａ〜１１ｃにより形成される略立方体形状に広がる磁場発生領域を、直交方向においても有効に活用することができる。
この場合、一度に検査できる磁気センサ２１の検査数は、磁気センサ群２０の段数に応じて倍増するため、磁場発生手段１０の磁場発生コイル１１ａ〜１１ｃ自体の大きさを変更することなく、検査効率を向上させることができる。したがって、複数個の磁気センサ２１を同時に、かつ高精度に検査しながらも、検査コストの低減を図ることができる。
【００２９】
また、本実施形態の磁気センサの検査装置１では、駆動手段３０の駆動源３２を磁場発生手段１０の外部に配置しているので、磁場発生領域の均一磁場を形成し易くなり、検査効率をより向上することができる。なお、駆動源３２として使用されるモータ等の磁性部品が、磁場発生手段１０により囲まれた空間の内部に配置されると、磁場発生手段１０により形成される磁場発生領域の合成磁界に影響する。
【００３０】
図４及び図５は、本発明の他の実施形態の磁気センサの検査装置におけるプローブ手段４０及び駆動手段３０の縦断面図を示している。これらの実施形態において、磁気センサ群２０（ウエハ）やプローブカード４１のプローブ群４３等の構成要素は第１実施形態と同じものが用いられることから、説明を省略するとともに、各図において、第１実施形態と共通要素には同一符号を付して説明を省略する。
【００３１】
図４に示す第２実施形態の磁気センサの検査装置では、プローブ手段４０が、磁場発生手段１０の各ヘルムホルツ型コイル１１ａ〜１１ｃの中心軸が交差する中心位置Ｃ、すなわち磁場発生領域に固定されており、この固定されたプローブ手段４０に対して、駆動手段３０の可動部３１に固定した磁気センサ群２０を平面方向（Ｘ軸方向及びＹ軸方向）と、直交方向（Ｚ軸方向）とに移動して検査を行う構成とされる。
【００３２】
駆動手段３０の可動部３１は、図４に示すように二段構成とされ、それぞれの可動部３１に磁気センサ群２０を固定する。この際、各可動部３１は、二段の磁気センサ群２０の被検査面をそれぞれ内側に向けて対向させて、言い換えれば、向い合わせに保持する。そして、これら二段の磁気センサ群２０を磁場発生領域に向けて平面方向（Ｘ軸方向及びＹ軸方向）に沿って移動可能に、かつ、磁場発生領域内において、各磁気センサ群２０をそれぞれ直交方向（Ｚ軸方向）に沿って移動可能に設けられる。
【００３３】
また、プローブ手段４０は、磁気センサ群２０と同数段である二段のプローブカード４１を備え、各プローブカード４１は、磁気センサ群２０の各磁気センサ２１に同時に接触可能なプローブ群４３を有する。そして、各プローブカード４１は、磁気センサ群２０を磁場発生領域内に配置した際に、対向する二段の磁気センサ群２０の間において、各プローブカード４１のプローブ群４３をそれぞれ磁気センサ群２０に対峙する位置に固定されている。
【００３４】
このように構成される第２実施形態の磁気センサの検査装置では、二段の磁気センサ群２０を、被検査面をそれぞれ内側に向けて対向させて配置する。そして、可動部３１に固定した二段の磁気センサ群２０を、図４（ａ）の矢印で示すように、平面方向（Ｘ軸方向及びＹ軸方向）に移動しながら、二段設けられる各プローブカード４１のそれぞれのプローブ群４３に、各磁気センサ群２０の一つのブロックＦ内に配置された複数個の磁気センサ２１を対峙させる。この対峙状態で、さらに可動部３１を、図４（ｂ）の矢印で示すように、直交方向（Ｚ軸方向）に移動する。すなわち、磁気センサ群２０どうしを接近させる方向に移動し、各プローブカード４１に向けて各磁気センサ群２０を接近させる。これにより、各磁気センサ群２０において、それぞれ多数の磁気センサ２１のうちの一つのブロックＦに区画された複数個の磁気センサ２１に対して、プローブ群４３を接触させる。そして、各磁気センサ２１に通電して、その出力から各磁気センサ２１の磁気特性を同時に検査する。
【００３５】
そして、一つのブロックＦの磁気センサ２１の検査が終了した後、各磁気センサ群２０をＺ軸方向に退避させ、すなわち、二段の磁気センサ群２０をそれぞれプローブ手段４０から離間させて、プローブ群４３と磁気センサ２１との接触を解除する。そして、再び可動部３１をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動して、次のブロックＦの磁気センサ２１をプローブカード４１のプローブ群４３に対峙させ、この対峙状態で各磁気センサ群２０をＺ軸方向に移動し、プローブ群４３と磁気センサ２１とを接触させて、各磁気センサ２１の検査を行う。
【００３６】
このように、第２実施形態の磁気センサの検査装置においても、平面状態に並べられた複数の磁気センサ２１からなる磁気センサ群２０を、直交方向（Ｚ軸方向）に複数並べて配置する構造とすることにより、３組のヘルムホルツ型コイル１１ａ〜１１ｃにより形成される略立方体形状に広がる磁場発生領域を、直交方向においても有効に活用することができる。したがって、複数個の磁気センサ２１を同時に、かつ高精度に検査しながらも、検査コストの低減を図ることができる。
【００３７】
なお、第１実施形態及び第２実施形態では、平面状態に並べられた複数の磁気センサ２１からなる磁気センサ群２０を、直交方向（Ｚ軸方向）に二段並べて配置する構造について説明を行ったが、これに限定されるものではなく、その他磁気センサ群を二段以上の段数備える構造とすることが可能である。
【００３８】
例えば、図５に示す第３実施形態の磁気センサの検査装置のように、磁気センサ群２０を直交方向に四段並べて配置する構造とすることも可能である。この図５に示す第３実施形態の磁気センサの検査装置は、可動部３１を二段備える構成とされ、それぞれの可動部３１に、二段の磁気センサ群２０が被検査面をそれぞれ外側に向けて逆向きに固定されており、この可動部３１により、各磁気センサ群２０が平面方向（Ｘ軸方向及びＹ軸方向）と直交方向（Ｚ軸方向）とに移動可能に設けられる。
また、プローブ手段４０を構成するプローブカード４１は、磁気センサ群２０と同数段の四段設けられ、そのうちの中央に配置される二段のプローブカード４１ａが磁場発生領域に固定されている。一方、これら中央のプローブカード４１ａの外側に配置される二段のプローブカード４１ｂは、プローブ移動手段４２によりＺ軸方向（直交方向）に沿って移動に可能に設けられる。
【００３９】
このように構成される第３実施形態の磁気センサの検査装置では、二段の可動部３１に固定した各磁気センサ群２０を、各プローブカード４１の間を平面方向（Ｘ軸方向及びＹ軸方向）に移動しながら、各プローブカード４１のプローブ群４３に各磁気センサ群２０の一つのブロックＦ内に配置された複数個の磁気センサ２１に対峙させる。そして、この対峙状態で、可動部３１を中央のプローブカード４１ａに接近させる方向（直交方向）に移動して、中央のプローブカード４１ａと可動部３１とを重ねるとともに、外側のプローブカード４１ｂを可動部３１に向けて接近させる方向（直交方向）に移動して、図５に示すように、各プローブカード４１の間に磁気センサ群２０を挟み、磁気センサ２１とプローブ群４３とを接触させる。そして、各磁気センサ２１に通電して、その出力から各磁気センサ２１の磁気特性を同時に検査する。
【００４０】
このように、第３実施形態の磁気センサの検査装置においても、平面状態に並べられた複数の磁気センサ２１からなる磁気センサ群２０を、直交方向（Ｚ軸方向）に複数並べて配置する構造とすることにより、３組のヘルムホルツ型コイル１１ａ〜１１ｃにより形成される略立方体形状に広がる磁場発生領域を有効に活用することができる。したがって、複数個の磁気センサ２１を同時に、かつ高精度に検査しながらも、検査コストの低減を図ることができる。
【００４１】
なお、上記第１実施形態及び第３実施形態では、図２及び図５に表されているように、平板状の可動部３１の表裏面に二段の磁気センサ群２０（ウエハ）を固定することにより、これら二段の磁気センサ群２０の被検査面をそれぞれ外側に向けて逆向きに保持するようにしていたが、可動部３１をリング状に設け、二段の磁気センサ群２０を背中合わせに直接重ねて、これら二段の磁気センサ群２０の周縁部を可動部３１により保持することとしてもよい。二段の磁気センサ２０どうしを直接重ねることで、互いの磁気センサ群２０を接近して配置できるため、双方の磁気センサ群２０を磁場発生領域の均一磁場において検査することが可能となる。さらに、このように二段の磁気センサ群２０を直接重ねて保持する場合においても、これら二段の磁気センサ群２０に対し、その両側から各プローブカード４１を各磁気センサ群２０に接触させるので、そのプローブ時の圧力を各磁気センサ群２０の両面に対称に作用させることができる。このため、プローブ時に、磁気センサ群２０にたわみ等を生じさせることなく、強度上有利な構造を維持できる。
【００４２】
また、本発明は前記実施形態の構成のものに限定されるものではなく、細部構成においては、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記実施形態では、磁気センサ２１は、ウエハ表面に半導体プロセスによって作製され、ダイシングテープが貼り付けられた状態で、そのダイシングテープ上で各個片に切断分離されたものとされ、ダイシングテープ上にマトリクス状に貼り付けられ、そのダイシングテープごと、リング状のキャリア治具に保持された磁気センサ群２０を検査対象としていたが、検査対象は、この形態に限定されるものではなく、例えば、各磁気センサ２１がウエハから分離される前の状態で検査を行うことも可能であるし、各磁気センサ２１をウエハから分離してトレイ上に並べたものを検査することも可能である。
【００４３】
また、複数段設けられる磁気センサ群（可動部）又はプローブカードのいずれを平面方向又は直交方向へ移動可能とし、又は、いずれを固定するかは、上記実施形態の構成のものに限定されるものではなく、磁場発生領域において、複数段の磁気センサ群とプローブカードとを重ねて磁気センサとプローブ群とを接触可能であれば、上記構成以外のものを採用することも可能である。
【符号の説明】
【００４４】
１…磁気センサの検査装置、１０…磁場発生手段、１１ａ〜１１ｃ…ヘルムホルツ型コイル（磁場発生コイル）、１２…フレーム、２０…磁気センサ群、２１…磁気センサ、３０…駆動手段、３１…可動部、３２…駆動源、４０…プローブ手段、４１…プローブカード、４２…プローブ移動手段、４３…プローブ群
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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