(57)【要約】【課題】ガラス欠けの有無を簡単に認識できるとともにガラス欠けの欠け量を容易に把握できるパネルを提供する。【解決手段】ガラス基板１０と、ガラス基板１０の端部に形成された検査用パターン１１とを有するパネルであって、検査用パターン１１は、離散的に形成された複数の直線からなる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板と、
前記ガラス基板の端部に形成された検査用パターンとを有し、
前記検査用パターンは、離散的に形成された複数の直線からなる
パネル。
【請求項２】
前記検査用パターンは、前記ガラス基板の角部に形成されている
請求項１に記載のパネル。
【請求項３】
さらに、前記ガラス基板の角部に形成されたアライメントマークを有し、
前記検査用パターンは、前記アライメントマークよりも前記ガラス基板の端縁側に位置するように形成されている
請求項２に記載のパネル。
【請求項４】
さらに、前記ガラス基板の角部に形成されたアライメントマークを有し、
前記検査用パターンは、前記アライメントマークと重なる位置に形成されている
請求項２に記載のパネル。
【請求項５】
前記複数の直線の各々は、前記ガラス基板の一辺と略平行である
請求項１〜４のいずれか１項に記載のパネル。
【請求項６】
前記複数の直線は、前記ガラス基板の一辺と略平行な第１直線群と、前記ガラス基板の前記一辺と垂直な他の一辺と略平行な第２直線群とからなる
請求項１〜４のいずれか１項に記載のパネル。
【請求項７】
前記複数の直線の線幅は、前記パネルの内側に向かうに従って太くなっている
請求項５又は６に記載のパネル。
【請求項８】
前記複数の直線の線間隔は、前記パネルの内側に向かうに従って広くなっている
請求項７に記載のパネル。
【請求項９】
前記検査用パターンが格子状のパターンとなるように、前記第１直線群と前記第２直線群とが直交している
請求項６に記載のパネル。
【請求項１０】
前記検査用パターンが複数のＬ字状のパターンとなるように、前記第１直線群を構成する複数の直線の各々と前記第２直線群を構成する直線の各々とが１対１で連結されている
請求項６に記載のパネル。
【請求項１１】
前記検査用パターンは、複数のＶ字状のパターンである
請求項１〜４のいずれか１項に記載のパネル。
【請求項１２】
前記複数の直線は、異なる材料で形成されている
請求項１〜１１のいずれか１項に記載のパネル。
【請求項１３】
前記複数の直線は、異なる線種で形成されている
請求項１〜１２のいずれか１項に記載のパネル。
【請求項１４】
前記パネルは、表示パネルである
請求項１〜１３のいずれか１項に記載のパネル。
【請求項１５】
前記表示パネルの画素部に形成された配線又は電極を有し、
前記検査用パターンと前記配線又は前記電極とは、同層に形成されており、かつ、同じ材料で構成されている
請求項１４に記載のパネル。
【請求項１６】
マザーガラス基板を所定の割断線で割断することによって所定のガラス基板を有するパネルの製造方法であって、
前記所定のガラス基板の端部に位置するように前記マザーガラス基板に予め検査用パターンを形成する検査用パターン形成工程と、
前記マザーガラス基板を前記所定の割断線で割断する割断工程とを含み、
前記検査用パターンは、離散的に形成された複数の直線からなる
パネルの製造方法。
【請求項１７】
前記検査用パターン形成工程では、前記検査用パターンを前記所定のガラス基板の角部に対応する位置に形成する
請求項１６に記載のパネルの製造方法。
【請求項１８】
前記所定のガラス基板の角部には、アライメントマークが形成されており、
前記検査用パターン形成工程では、前記検査用パターンを、前記アライメントマークよりも前記所定のガラス基板の端縁側に位置するように形成する
請求項１７に記載のパネルの製造方法。
【請求項１９】
前記所定のガラス基板の角部には、アライメントマークが形成されており、
前記検査用パターン形成工程では、前記検査用パターンを、前記アライメントマークと重なる位置も形成する
請求項１７に記載のパネルの製造方法。
【請求項２０】
前記割断工程では、前記マザーガラス基板に応力を付加することで前記マザーガラス基板を割断し、
さらに、
前記割断工程において前記検査用パターンが形成された部分の前記所定のガラス基板が欠けた場合に、前記検査用パターンの欠け量を測定する測定工程と、
測定した前記検査用パターンの欠け量に応じて前記割断工程における前記応力を調整する調整工程とを含み、
前記測定工程では、前記所定の割断線から前記検査用パターンにおける欠け面までのズレ量に応じて前記検査用パターンの欠け量を測定する
請求項１６〜１９のいずれか１項に記載のパネルの製造方法。
【請求項２１】
前記複数の直線の各々は、前記所定の割断線と平行である
請求項１６〜２０のいずれか１項に記載のパネルの製造方法。
【請求項２２】
前記複数の直線は、前記所定の割断線に対して略平行な第１直線群と、前記所定の割断線に対して略垂直な第２直線群とからなる
請求項１６〜２０のいずれか１項に記載のパネルの製造方法。
【請求項２３】
検査用パターンを有するガラス基板であって、
前記検査用パターンは、前記ガラス基板の端部に形成されており、かつ、離散的に形成された複数の直線からなる
ガラス基板。
【請求項２４】
マザーガラス基板を所定の割断線で割断することによって所定のガラス基板を製造するガラス基板の製造方法であって、
前記所定のガラス基板の端部に位置するように前記マザーガラス基板に予め検査用パターンを形成する工程と、
前記マザーガラス基板を前記所定の割断線で割断する工程とを含み、
前記検査用パターンは、離散的に形成された複数の直線からなる
ガラス基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、パネル及びその製造方法、並びに、ガラス基板及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置又は有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示装置等の表示パネルないし照明パネル等のパネルでは、ガラス基板が用いられている。
【０００３】
例えば、有機ＥＬ表示装置は、ガラス基板からなる基板の上に薄膜トランジスタ（ＴＦＴ：Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）が形成されたＴＦＴ基板と、ＴＦＴ基板の上に形成されたＥＬ層とを備える。
【０００４】
ガラス基板が用いられるパネルの製造工程には、ガラス基板をスクライブ加工によって割断する割断工程が含まれる。例えば、この割断工程は、マザーガラス基板の余分な部分を割断することによって所定の大きさのパネルを作製するような場合、又は、１枚のマザーガラス基板を割断することによって所定の大きさの複数のパネルを多面取りするような場合等に行われる。
【０００５】
スクライブ加工によってガラス基板を割断する場合、ガラス基板の角部に形成されたアライメントマーク（位置決めマーク）を基準としてガラス基板に直線状の溝（割断線）を形成し、その後、ガラス基板に応力を付加することによってガラス基板を溝に沿って割断する。
【０００６】
このとき、付加する応力の大きさによっては、割断時にガラス基板の角部にガラス欠けが発生することがある。この場合、ガラス欠けの発見が遅れると、その後のガラス基板にもガラス欠けが発生することになるのでガラス欠けを有するパネル（ガラス基板）が多く発生したり、後工程においてガラス欠けに起因してパネル割れが発生したりする。
【０００７】
このことから、従来、割断後のガラス基板については、顕微鏡を用いてガラス基板を検査して、ガラス欠けの基準に対する可否判断を行っていた。しかし、このような検査方法では、検査に際して顕微鏡を用いるために、１パネルあたりの検査に時間がかかるといった問題があった。そこで、ガラス欠けの有無を目視で判別できる検査用パターンをガラス基板の角部に形成する方法が提案されている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００３−２７９９１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献１に記載された方法を実際に行ってみると、ガラス欠けの発生を目視で認識することが難しいことが分かった。これは、特許文献１に記載された方法では、検査用パターンが比較的に面積の大きいベタ膜であることが原因であると考えられる。
【００１０】
また、仮にガラス欠けを目視で発見できたとしてもガラス欠けの欠け量が分からないので、割断工程に適切なフィードバックを行うことができず、割断時に付加する応力を適切に調整することができない。
【００１１】
さらに、特許文献１に記載された方法では、アライメントマークまでもが欠けてしまって、後工程の製造設備においてアライメントマークの認識エラーが発生することもある。
【００１２】
本開示は、このような課題に鑑みてなされたものであり、ガラス欠けの有無を簡単に認識できるとともにガラス欠けの欠け量を容易に把握できるパネル及びその製造方法等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するために、パネルの一態様は、ガラス基板と、前記ガラス基板の端部に形成された検査用パターンとを有し、前記検査用パターンは、離散的に形成された複数の直線からなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
ガラス欠けの有無を簡単に認識できるとともに、ガラス欠けの欠け量を適切に把握することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】実施の形態に係る表示パネルの平面図
【図２】実施の形態に係る表示パネルにおける検査用パターンの一例を示す図
【図３Ａ】実施の形態に係る表示パネルの製造方法の割断工程における割断線を示す図
【図３Ｂ】実施の形態に係る表示パネルの製造方法の割断工程における第１割断線に沿って割断するときの様子を示す図
【図３Ｃ】実施の形態に係る表示パネルの製造方法の割断工程における第２割断線に沿って割断するときの様子を示す図
【図３Ｄ】実施の形態に係る表示パネルの製造方法の割断工程における第３割断線に沿って割断するときの様子を示す図
【図３Ｅ】実施の形態に係る表示パネルの製造方法の割断工程における第４断線に沿って割断するときの様子を示す図
【図４】実施の形態に係る表示パネル（ガラス基板）にガラス欠けが発生した場合の状態を示す拡大図
【図５Ａ】変形例１に係る表示パネルの拡大図
【図５Ｂ】変形例１に係る表示パネル（ガラス基板）にガラス欠けが発生した場合の状態を示す拡大図
【図６Ａ】変形例２に係る表示パネルの拡大図
【図６Ｂ】変形例２に係る表示パネル（ガラス基板）にガラス欠けが発生した場合の状態を示す拡大図
【図７Ａ】変形例３に係る表示パネルの拡大図
【図７Ｂ】変形例３に係る表示パネル（ガラス基板）にガラス欠けが発生した場合の状態を示す拡大図
【図８Ａ】変形例３に係る他の表示パネルの拡大図
【図８Ｂ】変形例３に係る他の表示パネル（ガラス基板）にガラス欠けが発生した場合の状態を示す拡大図
【図９Ａ】変形例４に係る表示パネルの拡大図
【図９Ｂ】変形例４に係る表示パネル（ガラス基板）にガラス欠けが発生した場合の状態を示す拡大図
【図１０Ａ】変形例５に係る表示パネルの拡大図
【図１０Ｂ】変形例５に係る表示パネル（ガラス基板）にガラス欠けが発生した場合の状態を示す拡大図
【図１１Ａ】変形例６に係る表示パネルの拡大図
【図１１Ｂ】変形例６に係る表示パネル（ガラス基板）にガラス欠けが発生した場合の状態を示す拡大図
【図１２Ａ】変形例７に係る表示パネルの拡大図
【図１２Ｂ】変形例７に係る表示パネル（ガラス基板）にガラス欠けが発生した場合の状態を示す拡大図
【図１２Ｃ】変形例７に係る表示パネル（ガラス基板）にガラス欠けが発生した場合の状態を示す拡大図
【図１３Ａ】変形例８に係る表示パネルの拡大図
【図１３Ｂ】変形例８に係る表示パネル（ガラス基板）にガラス欠けが発生した場合の状態を示す拡大図
【図１３Ｃ】変形例８に係る表示パネル（ガラス基板）にガラス欠けが発生した場合の状態を示す拡大図
【図１４】実施の形態に係る表示パネルを多面取りする場合のマザーガラス基板と割断線とを示す図
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本開示の一実施の形態について、図面を用いて説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、いずれも本開示の好ましい一具体例を示すものである。したがって、以下の実施の形態で示される、数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、工程（ステップ）、工程の順序等は、一例であって本開示を限定する主旨ではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、本開示の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。
【００１７】
なお、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。また、各図において、実質的に同一の構成に対しては同一の符号を付しており、重複する説明は省略又は簡略化する。
【００１８】
（実施の形態）
以下、実施の形態に係るパネル及びその製造方法並びにガラス基板及びその製造方法について説明するが、本実施の形態では、パネルの一例として表示パネルについて説明する。
【００１９】
［表示パネル］
図１は、実施の形態に係る表示パネル１の平面図である。
【００２０】
表示パネル１は、ガラス基板を用いたパネルであり、例えば、液晶表示パネル、有機ＥＬ表示パネル、又は、無機ＥＬ表示パネル等である。図１に示すように、表示パネル１は、平面視が矩形状である。
【００２１】
本実施の形態における表示パネル１は、有機ＥＬ表示パネルであり、複数のＴＦＴが形成されたガラス基板１０（ＴＦＴ基板）と、ガラス基板１０の上に配置された有機ＥＬ層（発光素子層）と、有機ＥＬ層の上に配置された封止基板とを備える。本実施の形態では、封止基板もガラス基板（封止ガラス）である。
【００２２】
図１に示すように、表示パネル１は、所定の画像を表示するための画素部（有効領域）１ａと、画素部１ａの周辺の領域である周辺部（無効領域）１ｂとを有する。画素部１ａは、図１において破線で囲まれる領域であって、ＲＧＢの複数のサブ画素がマトリクス状に配列された領域（画像表示領域）である。
【００２３】
ガラス基板１０の端部には、ガラス基板１０を検査する際に用いられる検査用パターン１１が形成されている。さらに、ガラス基板１０の端部には、ガラス基板１０（表示パネル１）と製造設備との位置調整（アライメント）を行う際に用いられるアライメントマーク１２も形成されている。
【００２４】
本実施の形態において、検査用パターン１１及びアライメントマーク１２は、ガラス基板１０の角部（コーナー部）に形成されている。また、検査用パターン１１及びアライメントマーク１２は、表示パネル１の周辺部１ｂに形成されている。
【００２５】
なお、図１において、検査用パターン１１及びアライメントマーク１２は、矩形状のガラス基板１０の右上の角部のみに形成されているが、これに限るものではなく、ガラス基板１０の全ての角部に形成されていてもよい。
【００２６】
また、本実施の形態において、検査用パターン１１は、表示パネル１の画素部１ａに形成された配線又は電極と同層に形成されており、かつ、当該配線と同じ材料で構成されている。つまり、検査用パターン１１と画素部１ａの配線又は電極とは、同じ材料を用いて同じ工程で同時にパターン形成される。画素部１ａの配線は、例えば、ソース配線、ドレイン配線、ゲート配線又は電源配線等であり、また、画素部１ａの電極は、ソース電極、ドレイン電極又はゲート電極等である。画素部１ａの配線又は電極の材料としては、銅（Ｃｕ）又はアルミニウム（Ａｌ）の金属等が挙げられる。
【００２７】
ここで、検査用パターン１１の詳細について、図２を用いて説明する。図２は、実施の形態に係る表示パネル１における検査用パターン１１の一例を示す図であり、図１における表示パネル１の右上角部の拡大図である。
【００２８】
図２に示すように、検査用パターン１１は、離散的に形成された複数の直線からなる。本実施の形態において、検査用パターン１１を構成する複数の直線の各々は、ガラス基板１０の一辺と略平行である。つまり、検査用パターン１１を構成する複数の直線同士は、略平行である。一例として、検査用パターン１１は、５本の平行な直線からなる。
【００２９】
なお、本実施の形態における検査用パターン１１については、各直線の線幅が一定であり、隣り合う直線同士の間隔（ピッチ）も一定である。
【００３０】
検査用パターン１１の一例として、各直線の線幅Ｗは０．１ｍｍであり、隣り合う直線同士の間隔（ピッチ）Ｐは０．２ｍｍであり、各直線の長さＬｈは４ｍｍである。また、ガラス基板１０の長辺側の端面から当該端面から最も遠い直線までの距離Ｌｖは１．７ｍｍであり、ガラス基板１０の長辺側の端面から当該端面に最も近い直線までの距離（基板端−線間幅）は０．１ｍｍである。
【００３１】
また、検査用パターン１１は、アライメントマーク１２よりもガラス基板１０の端縁側に位置するように形成されている。つまり、検査用パターン１１は、アライメントマーク１２とガラス基板１０の長辺との間の領域内に、かつ、アライメントマーク１２とガラス基板１０の短辺との間の領域内に形成されている。
【００３２】
なお、アライメントマーク１２の形状は、一例として十字形状としているが、これに限るものではなく、Ｌ字形状等のその他の形状であってもよい。
【００３３】
［表示パネルの製造方法］
次に、本実施の形態に係る表示パネル１の製造方法について、図３Ａ〜図３Ｅを用いて説明する。図３Ａ〜図３Ｅは、実施の形態に係る表示パネル１の製造方法における割断工程を説明するための図である。
【００３４】
表示パネル１の製造方法は、マザーガラス基板を所定の割断線で割断することによって所定のガラス基板を有する表示パネル１を作製するものである。
【００３５】
本実施の形態における表示パネル１の製造方法は、所定のガラス基板１０の端部に位置するようにマザーガラス基板に予め検査用パターン１１を形成する検査用パターン形成工程と、マザーガラス基板を所定の割断線で割断する割断工程とを含む。
【００３６】
また、本実施の形態における割断工程では、マザーガラス基板に応力を付加することによってマザーガラス基板を割断しており、表示パネル１の製造方法には、さらに、割断工程において検査用パターンが欠けた場合に検査用パターンの欠け量を測定する測定工程と、測定した検査用パターンの欠け量に応じて割断工程における応力を調整する調整工程とが含まれている。
【００３７】
検査用パターン形成工程では、図３Ａに示されるように、割断する前にマザーガラス基板１００に予め検査用パターン１１を形成しておく。このとき、検査用パターン１１は、マザーガラス基板１００から切り出した後（割断後）の所定のガラス基板１０の端部に位置するように形成される。
【００３８】
検査用パターン形成工程では、離散的に形成された複数の直線からなる検査用パターン１１を形成する。具体的には、検査用パターン１１を割断後の所定のガラス基板１０の角部に対応する位置に形成する。
【００３９】
検査用パターン１１は、例えば、図２に示されるようなパターンで形成される。また、検査用パターン１１は、上述のように、アライメントマーク１２よりも所定のガラス基板１０の端縁側に位置するように形成される。
【００４０】
なお、図３Ａ〜図３Ｅにおいて、マザーガラス基板１００のうち白抜きで示された領域は、割断後の所定のガラス基板１０に対応する部分である。一方、散点状のハッチングで示された領域は、マザーガラス基板１００から切り取られる不要な部分（不要部分）である。
【００４１】
以下、図３Ａ〜図３Ｅを用いて割断工程の詳細を説明する。なお、図３Ａ〜図３Ｄにおける一点鎖線は、割断線を示しており、当該割断線（一点鎖線）の矢印の方向は、スクライブする方向を示している。また、本実施の形態では、４本の割断線に沿って１枚のマザーガラス基板の余分な部分を割断することによって所定の大きさのガラス基板を有する１枚の矩形状の表示パネル１を作製する例を説明する。つまり、４本の割断線は、表示パネル１の４辺となる。
【００４２】
本実施の形態において、マザーガラス基板１００はスクライブ加工によって割断される。この場合、アライメントマーク１２を基準としてマザーガラス基板１００に割断線として直線状の溝（割断線）を形成する。
【００４３】
例えば、まず、図３Ａに示すように、スクライブ加工することによって、マザーガラス基板１００に第１割断線１０１を形成する。
【００４４】
その後、マザーガラス基板１００に所定の応力を付加することによって、図３Ｂに示すように、第１割断線１０１に沿ってマザーガラス基板１００を割断し、マザーガラス基板１００から第１の不要部分１１０を除去する。
【００４５】
なお、このとき、同図に示すように、マザーガラス基板１００における第１割断線１０１の割断進行方向における最後の部分にガラス欠けが発生することがあるが、当該ガラス欠けは、ガラス基板１０（製品として残す部分）ではなく、第２の不要部分１２０に発生するので問題はない。
【００４６】
続いて、図３Ｂに示すように、スクライブ加工することによって、マザーガラス基板１００に第２割断線１０２を形成する。
【００４７】
その後、マザーガラス基板１００に所定の応力を付加することによって、図３Ｃに示すように、第２割断線１０２に沿ってマザーガラス基板１００を割断し、マザーガラス基板１００から第２の不要部分１２０を除去する。
【００４８】
なお、このとき、同図に示すように、マザーガラス基板１００における第２割断線１０２の割断進行方向における最後の部分にガラス欠けが発生することがあるが、当該ガラス欠けは、ガラス基板１０の部分ではなく、第３の不要部分１３０に発生するので問題はない。
【００４９】
続いて、図３Ｃに示すように、スクライブ加工することによって、マザーガラス基板１００に第３割断線１０３を形成する。
【００５０】
その後、マザーガラス基板１００に所定の応力を付加することによって、図３Ｄに示すように、第３割断線１０３に沿ってマザーガラス基板１００を割断し、マザーガラス基板１００から第３の不要部分１３０を除去する。
【００５１】
なお、このとき、同図に示すように、マザーガラス基板１００における第３割断線１０３の割断進行方向における最後の部分にガラス欠けが発生することがあるが、当該ガラス欠けは、ガラス基板１０の部分ではなく、第４の不要部分１４０に発生するので問題はない。
【００５２】
続いて、図３Ｄに示すように、スクライブ加工することによって、マザーガラス基板１００に第４割断線１０４を形成する。
【００５３】
その後、マザーガラス基板１００に所定の応力を付加することによって、図３Ｅに示すように、第４割断線１０４に沿ってマザーガラス基板１００を割断し、マザーガラス基板１００から第４の不要部分１４０を除去する。
【００５４】
このとき、同図に示すように、マザーガラス基板１００における第４割断線１０４の割断進行方向における最後の部分にガラス欠けが発生することがある。
【００５５】
図４は、このときの発生したガラス欠けの一例を示しており、図３Ｅに示される表示パネル１の右上角部の拡大図である。
【００５６】
図４に示すように、最後の割断線（第４割断線１０４）によるガラス欠けは、製品として残すガラス基板１０に発生する。この場合、以降に流れてくるマザーガラス基板１００に対して割断時の付加応力を変えずにそのままの付加応力を継続すると、ガラス欠けを有する表示パネル（ガラス基板）を多く発生させてしまうことになる。
【００５７】
そこで、本実施の形態における表示パネル１の製造方法には、割断工程において検査用パターン１１が形成された部分のガラス基板１０が欠けた場合に検査用パターン１１の欠け量を測定する測定工程と、測定した検査用パターン１１の欠け量に応じて割断工程における応力を調整する調整工程とが含まれている。
【００５８】
例えば、図４に示すように、割断時に検査用パターン１１が欠けた場合、検査用パターン１１の欠け量を測定して、その欠け量に応じて割断時に付加する応力を調整する。つまり、検査用パターン１１の欠け量によってガラス基板１０の欠け量を把握し、その欠け量に応じて割断時に付加する応力を調整する。具体的には、割断時に検査用パターン１１（ガラス基板１０）に欠けが発生しないような応力に調整する。
【００５９】
この場合、検査用パターン１１（ガラス基板１０）の欠け量を測定する場合、所定の割断線から検査用パターン１１における欠け面までのズレ量によって検査用パターン１１（ガラス基板１０）の欠け量を目視で測定することができる。
【００６０】
例えば、本実施野形態では、検査用パターン１１の複数の直線の各々が第４割断線１０４と平行であるので、第４割断線１０４から検査用パターン１１の直線が何本目まで欠けているかによって、第４割断線１０４に沿って割断する際の検査用パターン１１（ガラス基板１０）の欠け量を目視で測定することができる。
【００６１】
［効果等］
以上、本実施の形態における表示パネル１では、ガラス基板１０の端部に形成された検査用パターン１１が離散的に形成された複数の直線からなる。また、本実施の形態における表示パネル１の製造方法では、所定のガラス基板１０の端部に位置するようにマザーガラス基板１００に離散的に形成された複数の直線からなる検査用パターン１１を予め形成しておいて、マザーガラス基板１００を所定の割断線で割断している。
【００６２】
これにより、割断時に発生するガラス基板１０のガラス欠けを目視によって簡単に認識することができる。特に、検査用パターンが比較的に面積の大きいベタ膜である場合にはガラス欠けを目視で識別することが難しかったが、本実施の形態における検査用パターン１１を用いることによって、従来の検査用パターンと比べて、ガラス欠けの視認性を飛躍的に向上させることができる。しかも、検査用パターン１１を複数の直線によって構成することによって、ガラス基板１０の欠け量を容易に把握することができる。
【００６３】
さらに、複数の直線からなる検査用パターン１１を用いることによって、割断面の傾斜状態を観察しやすくでき、また、大きな面積のパターン形成が不要となるので検査用パターン１１の膜剥がれも抑制できる。
【００６４】
また、本実施の形態において、検査用パターン１１は、アライメントマーク１２よりもガラス基板１０の端縁側に位置するように形成されている。
【００６５】
これにより、検査用パターン１１が欠けることでアライメントマーク１２までもが欠けてしまうことを抑制できる。したがって、後工程の製造設備においてアライメントマーク１２の認識エラーが発生することを抑制できる。
【００６６】
また、本実施の形態において、検査用パターン１１を構成する複数の直線の各々は、ガラス基板１０の一辺と略平行、つまり、割断線と略平行である。
【００６７】
これにより、図４に示すように、ガラス基板１０にガラス欠けが発生した場合、検査用パターン１１の欠損状態（残存状態）に応じてＶ方向（垂直方向）の欠け量を目視によって容易に把握することができる。
【００６８】
なお、ガラス基板１０のガラス欠けの有無を目視で容易に認識できるように、検査用パターン１１については、各直線の線幅は、例えば、０．１ｍｍ〜０．５ｍｍであるとよく、また、隣り合う直線同士の間隔（ピッチ）は、例えば、０．１ｍｍ〜１ｍｍであるとよい。また、検査用パターン１１における各直線の長さは、例えば、１ｍｍ〜１０ｍｍであるとよい。
【００６９】
また、本実施の形態では、マザーガラス基板１００に応力を付加することでマザーガラス基板１００を割断しているが、割断時においてガラス基板１０にガラス欠けが発生した場合、所定の割断線から検査用パターン１１における欠け面までのズレ量に応じて検査用パターン１１の欠け量を測定して、その検査用パターン１１の欠け量に応じて割断時の応力を調整している。つまり、ガラス基板１０の欠け量に応じて割断時にマザーガラス基板１００に付加する応力を調整している。
【００７０】
このように、本実施の形態によれば、検査用パターン１１の欠け量に応じて割断時に付加する応力を適切に調整することができる。つまり、割断工程に対して適切なフィードバックを行うことができる。これにより、表示パネル１（ガラス基板１０）にガラス欠けが発生することを抑制することができるので、安定した割断品質を有する表示パネル１が得られる。なお、このフィードバックは繰り返して行うとよい。これにより、複数種のマザーガラス基板の各々に対して割断時の応力を所望に設定することができる。
【００７１】
しかも、割断時のガラス欠けを防止することによって、ガラス欠けを有する表示パネル１（ガラス基板１０）の発生を食い止めることができる。つまり、後工程にガラス欠けを有する表示パネル１（ガラス基板１０）が流出することを防ぐことができる。これにより、後工程においてガラス欠けに起因してパネル割れが発生することを防止できる。
【００７２】
また、本実施の形態において、検査用パターン１１は、マザーガラス基板１００における所定の表示パネル１内に形成されており、割断線上には形成されていない。つまり、検査用パターン１１は、割断線の内側の領域に形成されており、割断線と重なっていない。これにより、割断時に検査用パターン１１の材料が表示パネル１の電極端子に付着することを抑制できるので、電極端子のショートを抑制できる。
【００７３】
（変形例）
以下、本実施の形態に係る表示パネル及びその製造方法の変形例について説明する。なお、基本的な構成は、上記の実施の形態と同じであるので、詳細な説明は省略する。
【００７４】
（変形例１）
図５Ａは、変形例１に係る表示パネル１Ａの拡大図であり、図５Ｂは、同表示パネル１Ａのガラス基板１０にガラス欠けが発生した場合を示す図である。
【００７５】
図５Ａに示すように、本変形例における表示パネル１Ａのガラス基板１０には、検査用パターン１１Ａが形成されている。
【００７６】
本変形例における検査用パターン１１Ａは、上記実施の形態における検査用パターン１１と同様に、離散的に形成された複数の直線によって構成されているが、上記実施の形態における検査用パターン１１では、複数の直線の各々がガラス基板１０の一辺と略平行であったのに対して、本変形例における検査用パターン１１Ａでは、複数の直線がガラス基板１０の一辺（割断線）と略平行な第１直線群（平行線群）とガラス基板１０の一辺と垂直な他の一辺（割断線）と略平行な第２直線群（垂直線群）とからなる。
【００７７】
つまり、本変形例における検査用パターン１１Ａは、上記実施の形態における検査用パターン１１（複数の横線）に対して複数の縦線が追加された構成となっており、複数の直線同士が略直交するように構成されている。
【００７８】
具体的に、本変形例における検査用パターン１１Ａは、格子状にパターン形成されている。言い換えると、本変形例における検査用パターン１１Ａは、格子状のパターンとなるように、第１直線群（平行線群）と第２直線群（垂直線群）とが直交している。
【００７９】
このような形状の検査用パターン１１Ａを用いることによって、表示パネル１Ａ（ガラス基板１０）の角部におけるガラス欠け（コーナー欠け）の視認性を向上させることができる。
【００８０】
また、本変形例では、検査用パターン１１Ａの欠損状態（残存状態）により、Ｖ方向（垂直方向）の欠け量に加えて、Ｈ方向（水平方向）の欠け量についても目視によって容易に測定することができる。
【００８１】
（変形例２）
図６Ａは、変形例２に係る表示パネル１Ｂの拡大図であり、図６Ｂは、同表示パネル１Ｂのガラス基板１０にガラス欠けが発生した場合を示す図である。
【００８２】
図６Ａに示すように、本変形例における表示パネル１Ｂのガラス基板１０には、検査用パターン１１Ｂが形成されている。
【００８３】
本変形例における検査用パターン１１Ｂは、上記変形例１における検査用パターン１１Ａと同様に、離散的に形成された複数の直線によって構成されており、また、ガラス基板１０の一辺と略平行な第１直線群（平行線群）とガラス基板１０の一辺と垂直な他の一辺と略平行な第２直線群（垂直線群）とからなる。
【００８４】
一方、本変形例における検査用パターン１１Ｂは、上記変形例１における検査用パターン１１Ａと異なり、検査用パターン１１Ｂが複数のＬ字状のパターンとなるように第１直線群（平行線群）を構成する複数の直線の各々と第２直線群（垂直線群）を構成する直線の各々とが１対１で連結されている。
【００８５】
このような形状の検査用パターン１１Ｂを用いることによって、図５Ａの検査用パターン１１Ａ（格子状パターン）と同様の効果を得ることができる。つまり、表示パネル１Ｂ（ガラス基板１０）のコーナー欠けの視認性を向上させることができ、また、検査用パターン１１Ｂの欠損状態によってＶ方向及びＨ方向の欠け量を目視によって容易に測定することができる。
【００８６】
また、本変形例のように、Ｌ字状の検査用パターン１１Ｂを用いることによって、図５Ａの検査用パターン１１Ａ（格子状パターン）と比べて、簡単な構成のパターン形状とすることができる。
【００８７】
（変形例３）
図７Ａは、変形例３に係る表示パネル１Ｃの拡大図であり、図７Ｂは、同表示パネル１Ｃのガラス基板１０にガラス欠けが発生した場合を示す図である。
【００８８】
図７Ａに示すように、本変形例における表示パネル１Ｃのガラス基板１０には、検査用パターン１１Ｃが形成されている。
【００８９】
本変形例における検査用パターン１１Ｃは、上記変形例１及び２における検査用パターン１１Ａ及び１１Ｂと同様に、離散的に形成された複数の直線によって構成されており、また、ガラス基板１０の一辺と略平行な第１直線群（平行線群）とガラス基板１０の一辺と垂直な他の一辺と略平行な第２直線群（垂直線群）とからなる。
【００９０】
一方、本変形例における検査用パターン１１Ｃは、上記変形例１及び２における検査用パターン１１Ａ及び１１Ｂと異なり、検査用パターン１１Ｃを構成する複数の第１直線群（平行線群）と複数の第２直線群（垂直線群）とがガラス基板１０の角部においてのみ交差している。
【００９１】
検査用パターン１１Ｃについては、第１直線群及び第２直線群の各直線の線幅が一定であり、隣り合う直線同士の間隔（ピッチ）も一定である。
【００９２】
検査用パターン１１Ｃの一例として、各直線の線幅Ｗは０．１ｍｍであり、隣り合う直線同士の間隔（ピッチ）Ｐは０．２ｍｍである。また、第１直線群（平行線群）の各直線の長さＬｈは４ｍｍであり、第２直線群（垂直線群）の直線の長さＬｖは２．５ｍｍである。また、第１直線群と第２直線群の各々について、ガラス基板１０の端面から当該端面から最も近い直線までの距離（基板端−線間幅）は０．１ｍｍである。
【００９３】
このような形状の検査用パターン１１Ｃを用いることによって、変形例１及び２と同様に、表示パネル１Ｃ（ガラス基板１０）の角部におけるガラス欠け（コーナー欠け）の視認性を向上させることができる。なお、本変形例でも、検査用パターン１１Ｃの欠損状態（残存状態）により、Ｖ方向（垂直方向）の欠け量に加えて、Ｈ方向（水平方向）の欠け量についても目視によって容易に測定することができる。
【００９４】
また、本変形例の検査用パターン１１Ｃを、図８Ａ及び図８Ｂに示すような検査用パターン１１Ｃ’に変更してもよい。図８Ａは、変形例３に係る他の表示パネルの拡大図であり、図８Ｂは、同表示パネル（ガラス基板）にガラス欠けが発生した場合の状態を示す拡大図である。
【００９５】
図８Ａ及び図８Ｂに示すように、検査用パターン１１Ｃ’では、図７Ａ及び図７Ｂに示す検査用パターン１１Ｃにおいて、検査用パターン１１を構成する複数の直線の線幅を、表示パネル１Ｃ’（ガラス基板１０）の内側に向かうに従って太くしている。
【００９６】
さらに、検査用パターン１１Ｃ’では、複数の直線の線間隔（ピッチ）を表示パネル１Ｃ’（ガラス基板１０）の内側に向かうに従って広くしている。
【００９７】
このような形状の検査用パターン１１Ｃ’を用いることによって、上記変形例１及び２における検査用パターン１１Ａ及び１１Ｂと比べて直線の本数を少なくしながらも、表示パネル１Ｃ’（ガラス基板１０）の角部におけるガラス欠け（コーナー欠け）の視認性を向上させることができ、また、検査用パターン１１Ｃ’の欠損状態（残存状態）によってＶ方向（垂直方向）及びＨ方向（水平方向）の欠け量を目視によって容易に測定することもできる。
【００９８】
したがって、検査用パターン１１Ｃ’の直線の本数を少なくしながらも、ガラス欠けを視認できる範囲を広範囲でカバーすることができる。
【００９９】
言い換えると、検査用パターン１１Ｃ’の直線の本数と変形例１及び２における検査用パターン１１Ａ及び１１Ｂの直線の本数とを同程度にした場合、検査用パターン１１Ｃ’の場合は、変形例１及び２よりも優れた効果を発揮させることができる。つまり、表示パネル１Ｃ’（ガラス基板１０）のコーナー欠けの視認性を一層向上させることができ、また、検査用パターン１１Ｃ’の欠損状態によってＶ方向及びＨ方向の欠け量を目視によって一層容易に測定することができる。
【０１００】
なお、図８Ａ及び図８Ｂに示す検査用パターン１１Ｃ’の内容は、上記実施の形態及び他の変形例にも適用することができる。
【０１０１】
（変形例４）
図９Ａは、変形例４に係る表示パネル１Ｄの拡大図であり、図９Ｂは、同表示パネル１Ｄのガラス基板１０にガラス欠けが発生した場合を示す図である。
【０１０２】
図９Ａに示すように、本変形例における表示パネル１Ｄのガラス基板１０には、検査用パターン１１Ｄが形成されている。
【０１０３】
本変形例における検査用パターン１１Ｄは、上記実施の形態における検査用パターン１１と同様に、離散的に形成された複数の直線によって構成されているが、上記実施の形態における検査用パターン１１と異なり、複数のＶ字状のパターンである。
【０１０４】
このような形状の検査用パターン１１Ｄを用いることによって、表示パネル１Ｄ（ガラス基板１０）のコーナー欠けが割断線に対して平行又は垂直にならない角度であったとしても、コーナー欠けの視認性を向上させることができる。
【０１０５】
（変形例５）
図１０Ａは、変形例５に係る表示パネル１Ｅの拡大図であり、図１０Ｂは、同表示パネル１Ｅのガラス基板１０にガラス欠けが発生した場合を示す図である。
【０１０６】
図１０Ａに示すように、本変形例における表示パネル１Ｅのガラス基板１０には、検査用パターン１１Ｅが形成されている。
【０１０７】
本変形例における検査用パターン１１Ｅは、上記実施の形態における検査用パターン１１と同様に、離散的に形成された複数の直線によって構成されているが、上記実施の形態における検査用パターン１１と異なり、複数の直線が異なる材料で形成されている。つまり、複数の直線には異なる材料のものが含まれている。例えば、検査用パターン１１Ｅの複数の直線を、ＣｕやＡｌ等の複数の異なる金属材料で形成することができる。
【０１０８】
これにより、検査用パターン１１Ｅを線色が異なる複数の直線で構成することができるので、上記の実施の形態と比べて、表示パネル１Ｅ（ガラス基板１０）のコーナー欠けの視認性を向上させることができる。また、本変形例によれば、表示パネル１Ｅ（ガラス基板１０）の欠け量の限度を、検査用パターン１１Ｅの欠損した線色で判断することができる。なお、本変形例は、他の変形例にも適用することができる。
【０１０９】
（変形例６）
図１１Ａは、変形例６に係る表示パネル１Ｆの拡大図であり、図１１Ｂは、同表示パネル１Ｆのガラス基板１０にガラス欠けが発生した場合を示す図である。
【０１１０】
図１１Ａに示すように、本変形例における表示パネル１Ｆのガラス基板１０には、検査用パターン１１Ｆが形成されている。
【０１１１】
本変形例における検査用パターン１１Ｆは、上記実施の形態における検査用パターン１１と同様に、離散的に形成された複数の直線によって構成されているが、上記実施の形態における検査用パターン１１と異なり、複数の直線が異なる線種で形成されている。つまり、複数の直線には異なる線種のものが含まれている。例えば、検査用パターン１１Ｆの複数の直線を、直線、破線、点線、一点鎖線又は二点鎖線等の複数の異なる線種で形成することができる。
【０１１２】
これにより、上記の実施の形態と比べて、表示パネル１Ｅ（ガラス基板１０）のコーナー欠けの視認性を向上させることができる。また、表示パネル１Ｅ（ガラス基板１０）の欠け量の限度を、検査用パターン１１Ｅの欠損した線種で判断することができる。なお、本変形例は、他の変形例にも適用することができる。
【０１１３】
（変形例７）
図１２Ａは、変形例７に係る表示パネル１Ｇの拡大図であり、図１２Ｂ及び図１２Ｃは、同表示パネル１Ｇのガラス基板１０にガラス欠けが発生した場合を示す図である。
【０１１４】
図１２Ａに示すように、本変形例における表示パネル１Ｇのガラス基板１０には、検査用パターン１１Ｇが形成されている。
【０１１５】
本変形例における検査用パターン１１Ｇは、上記実施の形態における検査用パターン１１と同様に、離散的に形成された複数の直線によって構成されているが、上記実施の形態における検査用パターン１１と異なり、アライメントマーク１２Ｇと重なる位置に形成されている。具体的には、検査用パターン１１Ｇを構成する複数の直線の中に、各直線と接続されないようにアライメントマーク１２Ｇが形成されている。
【０１１６】
このような形状の検査用パターン１１Ｇを用いることによって、実施の形態１と同様の効果が得られる。つまり、図１２Ｂに示すように、ガラス基板１０の欠け量を容易に把握することができる。しかも、割断面の傾斜状態を観察しやすくでき、また、大きな面積のパターン形成が不要となるので検査用パターン１１の膜剥がれも抑制できる。
【０１１７】
さらに、本変形例では、図１２Ｃに示すように、検査用パターン１１の欠けた本数によってアライメントマーク１２Ｇの欠けの有無を容易に把握することができる。
【０１１８】
なお、アライメントマーク１２Ｇの形状は、実施の形態１におけるアライメントマーク１２の形状と異なっているが、本変形例のアライメントマークとして、上記実施の形態におけるアライメントマーク１２を用いてもよい。逆に、上記実施の形態におけるアライメントマークとして、本変形例におけるアライメントマークを用いてもよい。
【０１１９】
（変形例８）
図１３Ａは、変形例８に係る表示パネル１Ｈの拡大図であり、図１３Ｂ及び図１３Ｃは、同表示パネル１Ｈのガラス基板１０にガラス欠けが発生した場合を示す図である。
【０１２０】
図１３Ａに示すように、本変形例における表示パネル１Ｈのガラス基板１０には、検査用パターン１１Ｈが形成されている。
【０１２１】
本変形例における検査用パターン１１Ｈは、図７Ａに示す変形例３における検査用パターン１Ｃと同様に、検査用パターン１１Ｈを構成する複数の第１直線群（平行線群）と複数の第２直線群（垂直線群）とがガラス基板１０の角部においてのみ交差している。
【０１２２】
そして、本変形例における検査用パターン１１Ｈは、さらに、変形例７における検査用パターン１１Ｇと同様に、アライメントマーク１２Ｇと重なる位置に形成されている。
【０１２３】
これにより、変形例７と同様の効果が得られる。つまり、図１３Ｂに示すように、ガラス基板１０の欠け量を容易に把握することができる。しかも、割断面の傾斜状態を観察しやすくでき、また、大きな面積のパターン形成が不要となるので検査用パターン１１の膜剥がれも抑制できる。
【０１２４】
さらに、本変形例でも、図１３Ｃに示すように、検査用パターン１１の欠けた本数によってアライメントマーク１２Ｇの欠けの有無を容易に把握することができる。
【０１２５】
（その他変形例等）
以上、パネル及びその製造方法について、実施の形態及び変形例に基づいて説明したが、本開示は、上記実施の形態及び変形例に限定されるものではない。
【０１２６】
例えば、上記実施の形態及び変形例では、４本の割断線に沿って１枚のマザーガラス基板１００を割断することによって１枚の矩形状の表示パネル１を作製する例を示したが、これに限らず、本開示は、図１４に示すように、１枚のマザーガラス基板１００Ａを割断することによって複数の表示パネル１（ガラス基板１０）を多面取りするような場合にも適用することができる。なお、図１４では、１枚のマザーガラス基板１００Ａから４つの表示パネル１を作製する例を示している。また、図１４でも、散点状のハッチングで示された領域は、マザーガラス基板１００Ａから切り取られる不要部分を示しており、また、一点鎖線は、割断線を示している。
【０１２７】
また、上記の実施の形態及び変形例において、検査用パターンは、表示パネル（ガラス基板）における４つの角部のうちの１つの角部にのみ形成したが、これに限らない。例えば、検査用パターンは、４つの角部の全部に形成されていてもよいし、３つの角部に形成されていてもよいし、２つの角部に形成されていてもよい。検査用パターンは、少なくとも割断時において、マザーガラス基板の不要部分ではなく表示パネル（ガラス基板）にガラス欠けが発生しうる箇所に形成するとよい。
【０１２８】
また、上記の実施の形態及び変形例において、検査用パターンは、表示パネルのＴＦＴ基板におけるガラス基板に形成したが、これに限らない。例えば、検査用パターンは、表示パネルの封止基板（対向基板）に形成してもよい。
【０１２９】
また、上記の実施の形態及び変形例において、検査用パターン及びアライメントマークは、ガラス基板の表面（ＴＦＴが形成される側の面）に直接形成されているが、これに限らない。例えば、検査用パターン及びアライメントマークは、ガラス基板の裏面に形成されていてもよい。
【０１３０】
また、上記実施の形態及び変形例では、ガラス基板を用いた表示パネルについて説明したが、本開示は、ガラス基板を用いた照明パネル等、ガラス基板を用いたその他のパネルにも適用することができる。
【０１３１】
また、上記の実施の形態及び変形例では、表示パネル及びその製造方法について説明したが、本開示は、ガラス基板のみについても適用することができる。つまり、離散的に形成された複数の直線からなる検査用パターンが形成されたガラス基板及びその製造方法についても適用できる。
【０１３２】
また、上記の実施の形態及び変形例では、表示パネル（ガラス基板）の欠けの有無を目視で識別したが、これに限らない。例えば、表示パネル（ガラス基板）の欠けの有無は、カメラで識別してもよい。
【０１３３】
その他、各実施の形態及び変形例に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態及び変形例における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本開示に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【０１３４】
ここに開示された技術は、表示パネル又は照明パネル等のガラス基板を用いたパネルにおいて広く利用することができる。
【符号の説明】
【０１３５】
１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｃ’、１Ｄ、１Ｅ、１Ｆ  表示パネル
１ａ  画素部
１ｂ  周辺部
１０  ガラス基板
１１、１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１Ｃ’、１１Ｄ、１１Ｅ、１１Ｆ  検査用パターン
１２、１２Ｇ  アライメントマーク
１００、１００Ａ  マザーガラス基板
１０１  第１割断線
１０２  第２割断線
１０３  第３割断線
１０４  第４割断線
１１０  第１の不要部分
１２０  第２の不要部分
１３０  第３の不要部分
１４０  第４の不要部分
【図１】
2016064959.tif 000003
【図２】
2016064959.tif 000004
【図３Ａ】
2016064959.tif 000005
【図３Ｂ】
2016064959.tif 000006
【図３Ｃ】
2016064959.tif 000007
【図３Ｄ】
2016064959.tif 000008
【図３Ｅ】
2016064959.tif 000009
【図４】
2016064959.tif 000010
【図５Ａ】
2016064959.tif 000011
【図５Ｂ】
2016064959.tif 000012
【図６Ａ】
2016064959.tif 000013
【図６Ｂ】
2016064959.tif 000014
【図７Ａ】
2016064959.tif 000015
【図７Ｂ】
2016064959.tif 000016
【図８Ａ】
2016064959.tif 000017
【図８Ｂ】
2016064959.tif 000018
【図９Ａ】
2016064959.tif 000019
【図９Ｂ】
2016064959.tif 000020
【図１１Ａ】
2016064959.tif 000021
【図１１Ｂ】
2016064959.tif 000022
【図１２Ａ】
2016064959.tif 000023
【図１２Ｂ】
2016064959.tif 000024
【図１２Ｃ】
2016064959.tif 000025
【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
2016064959.tif 000027
【図１３Ｃ】
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【図１４】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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