(57)【要約】【課題】キャリアの表面にフレキシブルパネルが形成された複合パネルからキャリアを効率よく剥離するキャリア剥離装置を提供する。【解決手段】上キャリア１０１、パネル１０２および下キャリア１０３からなる複合パネル１００を載置する保持テーブル１０と、保持テーブル１０に設けられ、上下動可能な第１軸体部１３および第１軸体部１３の端部に設けられた第１粘着部１４を有する第１粘着昇降ピン１２Ａと、保持テーブル１０に設けられ、上下動可能な第２軸体部１３および第２軸体部１３の端部に設けられた第２粘着部１４を有する第２粘着昇降ピン１２Ｂと、第３粘着部２３およびゴム吸着部２４を有する弓状の剥離テーブル２１と、を備えることを特徴とする。【選択図】図１
2016044015.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上キャリア、パネルおよび下キャリアからなる複合パネルを載置する保持テーブルと、
前記保持テーブルに設けられ、上下動可能な第１軸体部および該第１軸体部の端部に設けられた第１粘着部を有する第１粘着昇降ピンと、
前記保持テーブルに設けられ、上下動可能な第２軸体部および該第２軸体部の端部に設けられた第２粘着部を有する第２粘着昇降ピンと、
第３粘着部およびゴム吸着部を有する弓状の剥離テーブルと、を備える
ことを特徴とするキャリア剥離装置。
【請求項２】
前記第１粘着昇降ピンおよび前記第２粘着昇降ピンを上昇させて、前記第１粘着部および前記第２粘着部で前記複合パネルの前記下キャリアを保持するとともに、
前記剥離テーブルの前記第３粘着部で前記複合パネルの前記上キャリアに押し付けて吸着させ、
前記剥離テーブルを該剥離テーブルの形状に沿って前記上キャリアの上を移動させることにより、前記上キャリアを剥離する
ことを特徴とする請求項１に記載のキャリア剥離装置。
【請求項３】
前記第１粘着昇降ピンは、前記剥離テーブルの前記第３粘着部の側に設けられ、
前記第２粘着昇降ピンは、前記剥離テーブルの前記ゴム吸着部の側に設けられており、
前記保持テーブルから前記パネルおよび前記下キャリアを回収した後に、
前記第１粘着昇降ピンおよび前記第２粘着昇降ピンを上昇させて、
前記剥離テーブルに吸着した前記上キャリアを前記剥離テーブルの前記ゴム吸着部の側で前記第２粘着昇降ピンの前記第２粘着部に押し付けて吸着させ、
前記剥離テーブルを該剥離テーブルの形状に沿って前記保持テーブルの上を移動させることにより、前記上キャリアを前記保持テーブルに吸着させる
ことを特徴とする請求項２に記載のキャリア剥離装置。
【請求項４】
スライド移動機構によりガイドレールに沿って往復動可能なローラユニットを更に備え、
該ローラユニットにより前記剥離テーブルが該剥離テーブルの弓状の形状に沿って移動する
ことを特徴とする請求項２または請求項３に記載のキャリア剥離装置。
【請求項５】
前記剥離テーブルおよび前記ローラユニットを有する剥離ユニットを跳ね上げ可能な跳ね上げ手段をさらに備える
ことを特徴とする請求項４に記載のキャリア剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、キャリア剥離装置に関し、特に、キャリアの表面にフレキシブルパネルが形成された複合パネルからキャリアを剥離するキャリア剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
フレキシブルＯＬＥＤ（Organic Light-Emitting Diode；有機発光ダイオード）パネル等のフレキシブルパネルの生産工程として、キャリアガラスの表面に成膜し、成膜されたキャリアガラスを成膜面で貼り合わせることにより、両面をキャリアガラスで挟まれたフレキシブルパネルの複合パネルを形成し、その後、複合パネルからキャリアガラスを剥離することでフレキシブルパネルを生産する方法が考案されている。このため、割れ易いキャリアガラスを安定して高速に剥離するキャリア剥離装置が求められている。
【０００３】
このようなキャリアの剥離に関して、特許文献１（特開２００４−１７６２３号公報）には、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムの表面に形成された複合シートにおいて、前記セラミックグリーンシートから前記キャリアフィルムを剥離するためのキャリアフィルム剥離方法であって、前記複合シートの端部から途中までの区間において前記セラミックグリーンシートから分離した前記キャリアフィルムの一部分である剥がし代を形成する剥がし代形成工程と、前記剥がし代の領域のうち前記端部を避けた位置に、外周面に粘着性を有する粘着ロールを押し当てて前記キャリアフィルムを保持した後に、前記粘着ロールを回転させて前記キャリアフィルムを前記セラミックグリーンシートから引き剥がすキャリアフィルム除去工程とを含む、キャリアフィルム剥離方法が開示されている（請求項１参照）。
【０００４】
また、特許文献２（特許第４４８２７５７号公報）には、台紙上に連続して貼付されたシート材を、その下面に保持して剥離エッジと被貼付物との間を直動可能な貼付ヘッドによって、前記剥離エッジ位置で前記台紙から剥離するシート材貼付装置（台紙からシート材を剥離する剥離装置）が開示されている（請求項１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−１７６２３号公報
【特許文献２】特許第４４８２７５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
引用文献１に開示された剥離方法では、粘着ロールを用いてキャリアフィルムを剥離するため、粘着ロールから剥離したキャリアフィルムを除去する必要がある。このため、剥がし代形成工程と、キャリアフィルム除去工程と、に分けて、キャリアフィルム除去工程においてキャリアフィルムの端部が粘着ロールに保持されていない状態とすることにより、粘着ロールからキャリアフィルムを除去可能な構成となっている。しかしながら、引用文献１に開示された剥離方法では、キャリアフィルムの剥離に要する時間が長くなるため、生産性を向上させることが困難である。
【０００７】
また、引用文献２に開示された剥離方法では、剥離エッジを用いて台紙からシート材を剥離するため、これを、両面をキャリアガラスで挟まれたフレキシブルパネルからキャリアガラスを剥離する工程に適用すると、許容曲げ限界を超えて、キャリアガラスやフレキシブルパネルが破損するおそれがある。
【０００８】
そこで、本発明は、キャリアの表面にフレキシブルパネルが形成された複合パネルからキャリアを効率よく剥離するキャリア剥離装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
このような課題を解決するために、本発明は、上キャリア、パネルおよび下キャリアからなる複合パネルを載置する保持テーブルと、前記保持テーブルに設けられ、上下動可能な第１軸体部および該第１軸体部の端部に設けられた第１粘着部を有する第１粘着昇降ピンと、前記保持テーブルに設けられ、上下動可能な第２軸体部および該第２軸体部の端部に設けられた第２粘着部を有する第２粘着昇降ピンと、第３粘着部およびゴム吸着部を有する弓状の剥離テーブルと、を備えることを特徴とするキャリア剥離装置。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、キャリアの表面にフレキシブルパネルが形成された複合パネルからキャリアを効率よく剥離するキャリア剥離装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】複合パネルおよび本実施形態に係るキャリア剥離装置の模式図である。
【図２】本実施形態に係るキャリア剥離装置の剥離動作を示すフローチャートである。
【図３】上キャリアガラスを剥離する様子を示したキャリア剥離装置の動作図である。
【図４】剥離した上キャリアガラスを剥離テーブルから回収する様子を示したキャリア剥離装置の動作図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明を実施するための形態（以下「実施形態」という）について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図において、共通する部分には同一の符号を付し重複した説明を省略する。
【００１３】
≪複合パネル≫
まず、本実施形態に係るキャリア剥離装置１を説明する前に、複合パネル１００について図１を用いて説明する。図１は、複合パネル１００および本実施形態に係るキャリア剥離装置１の模式図である。
【００１４】
図１に示すように、複合パネル１００は、上キャリアガラス１０１と、フレキシブルパネル１０２と、下キャリアガラス１０３と、が積層されて構成されている。即ち、複合パネル１００は、フレキシブルパネル１０２の両面をキャリアガラス１０１，１０３で挟まれた構造を有している。
【００１５】
≪キャリア剥離装置≫
次に、本実施形態に係るキャリア剥離装置１について説明する。ここで、本実施形態に係るキャリア剥離装置１は、複合パネル１００（フレキシブルパネル１０２）から上キャリアガラス１０１を剥離する装置である。
【００１６】
図１に示すように、本実施形態に係るキャリア剥離装置１は、保持テーブル１０と、剥離ユニット２０と、基台部３０と、制御部（図示せず）と、で構成されている。
【００１７】
保持テーブル１０は、真空吸着部１１と、粘着昇降ピン１２と、スライド移動機構１５と、を備えている。
【００１８】
真空吸着部１１は、保持テーブル１０の上面に形成されている。複合パネル１００が保持テーブル１０の上面に載置された状態において、真空吸着部１１は、減圧手段（図示せず）を用いて保持テーブル１０の上面と複合パネル１００の下面との間を減圧することにより、複合パネル１００を保持テーブル１０の上面に真空吸着することができるようになっている。なお、制御部（図示せず）は、減圧手段（図示せず）の動作を制御することにより、真空吸着部１１における複合パネル１００の真空吸着および解除を制御することができるようになっている。
【００１９】
粘着昇降ピン１２は、駆動部（図示せず）により上下動する軸体部１３と、軸体部１３の上端部に設けられた粘着部材からなる粘着部１４と、を有している。複合パネル１００が保持テーブル１０の上面に載置された状態において、粘着昇降ピン１２は、駆動部（図示せず）を用いて軸体部１３を上昇させることにより、粘着部１４を複合パネル１００の下面に粘着させ、複合パネル１００を保持することができるようになっている。また、駆動部（図示せず）を用いて軸体部１３を下降させることにより、粘着部１４を複合パネル１００の下面から剥がして、複合パネル１００の保持を解除することができるようになっている。なお、制御部（図示せず）は、駆動部（図示せず）の動作を制御することにより、粘着昇降ピン１２の上下動を制御することができるようになっている。
【００２０】
また、粘着昇降ピン１２は、後述する剥離テーブル２１による上キャリアガラス１０１の剥離方向（図１において左右方向）にみて、真空吸着部１１の両側に設けられている。以下の説明において、図１において真空吸着部１１の左側の粘着昇降ピン１２を粘着昇降ピン１２Ａと称するものとし、図１において真空吸着部１１の右側の粘着昇降ピン１２を粘着昇降ピン１２Ｂと称するものとする。なお、粘着昇降ピン１２の数は、２つに限定されるものではなく、適宜変更してもよい。
【００２１】
スライド移動機構１５は、保持テーブル１０の下端に形成されており、基台部３０のガイドレール３１に沿って保持テーブル１０をＭ１方向（図１において左右方向）に移動させることができるようになっている。具体的には、保持テーブル１０は、スライド移動機構１５により、図１において実線で示す位置（複合パネル１００を保持テーブル１０にセットする位置）である原点位置と、図１において二点鎖線で示す位置（後述する剥離ユニット２０により複合パネル１００から上キャリアガラス１０１を剥離する位置）である剥離位置とを、移動することができるようになっている。なお、制御部（図示せず）は、スライド移動機構１５の動作を制御することにより、保持テーブル１０のＭ１方向（図１において左右方向）の移動を制御することができるようになっている。
【００２２】
剥離ユニット２０は、基台部３０から立設した支持柱３２で揺動自在に支持されており、また、伸縮可能な直動駆動アクチュエータ３３により支持されている。これにより、直動駆動アクチュエータ３３を伸縮することにより、剥離ユニット２０の左側端部をＭ２方向（図１において略上下方向）に移動させることができるようになっている。具体的には、直動駆動アクチュエータ３３を伸ばすことにより剥離ユニット２０を図１において実線で示す位置である上昇位置（跳ね上げ位置）に移動させ、直動駆動アクチュエータ３３を縮めることにより剥離ユニット２０を図１において二点鎖線で示す位置である下降位置に移動させることができるようになっている。なお、制御部（図示せず）は、直動駆動アクチュエータ３３の動作を制御することにより、剥離ユニット２０のＭ２方向（図１において略上下方向）の移動を制御することができるようになっている。
【００２３】
剥離ユニット２０は、剥離テーブル２１と、ローラユニット２５と、ガイドレール２８と、を備えている。
【００２４】
剥離テーブル２１は、弓状板部２２と、粘着部２３と、ゴム吸着部２４と、を有している。弓状板部２２は、湾曲した板部材である。弓状板部２２の下面には、粘着部材からなる粘着部２３と、ゴムシートからなるゴム吸着部２４と、が設けられている。
【００２５】
ここで、粘着部２３は、後述する剥離テーブル２１による上キャリアガラス１０１の剥離方向（図１において左右方向）の前側（図１において左側）に配置されており、ゴム吸着部２４は、剥離方向の中間部から後側（図１において右側）に配置されている。換言すれば、保持テーブル１０が剥離位置（図１において二点鎖線で示す保持テーブル１０の位置）にある場合、真空吸着部１１より左側の粘着昇降ピン１２Ａと対応する位置に粘着部２３が設けられ、真空吸着部１１と対応する位置および真空吸着部１１より右側の粘着昇降ピン１２Ｂと対応する位置にゴム吸着部２４が設けられている。さらに換言すれば、剥離ユニット２０を跳ね上げ可能に支持する支持柱３２から離れた側に粘着部２３が設けられ、支持柱３２に近い側にゴム吸着部２４が設けられている。
【００２６】
なお、剥離テーブル２１は、剥離テーブル係止手段２９（後述する図３参照）で制限された範囲内であれば内部を自由に動くことができるようになっており、また、剥離ユニット２０を跳ね上げた際にも剥離テーブル係止手段２９により剥離ユニット２０をとともに剥離テーブル２１も跳ね上げられるようになっている。
【００２７】
ローラユニット２５は、下方に設けられたローラ２６と、上方に設けられたスライド移動機構２７と、を有している。スライド移動機構２７は、ガイドレール２８に沿ってローラユニット２５をＭ３方向（図１において略左右方向）に移動させることができるようになっている。なお、制御部（図示せず）は、スライド移動機構２７の動作を制御することにより、ローラユニット２５のＭ３方向（図１において略左右方向）の移動を制御することができるようになっている。そして、ローラユニット２５がＭ３方向に移動する際、ローラ２６が剥離テーブル２１（弓状板部２２）の上面と接しながら移動することにより、剥離テーブル２１の端部がＭ４方向（図１において略上下方向）に移動するようになっている。
【００２８】
制御部（図示せず）は、真空吸着部１１の減圧手段（図示せず）と、粘着昇降ピン１２（１２Ａ，１２Ｂ）の駆動部（図示せず）と、保持テーブル１０のスライド移動機構１５と、ローラユニット２５のスライド移動機構２７と、直動駆動アクチュエータ３３と、を制御することにより、キャリア剥離装置１による剥離動作の全体を制御することができるようになっている。
【００２９】
≪キャリア剥離装置による剥離動作≫
次に、本実施形態に係るキャリア剥離装置１の動作について、図２から図４を用いて説明する。図２は、本実施形態に係るキャリア剥離装置１の剥離動作を示すフローチャートである。図３は、上キャリアガラス１０１を剥離する様子を示したキャリア剥離装置１の動作図である。図４は、剥離した上キャリアガラス１０１を剥離テーブル２１から回収する様子を示したキャリア剥離装置１の動作図である。
【００３０】
なお、図２に示す制御の開始時において、保持テーブル１０は原点位置にあり、粘着昇降ピン１２は下降位置にあり、剥離ユニット２０は上昇位置（跳ね上げ位置）にあり、ローラユニット２５は剥離テーブル２１の粘着部２３の位置にいるものとする。また、真空吸着部１１の減圧手段（図示せず）は停止しているものとする。
【００３１】
まず、キャリア剥離装置１の外部に設けられた搬送手段（図示せず）により複合パネル１００が保持テーブル１０の上面に載置される。
【００３２】
ステップＳ１において、制御部（図示せず）は、保持テーブル１０の上に複合パネル１００が載置されたか否かを判定する。複合パネル１００が載置されていない場合（Ｓ１・Ｎｏ）、載置されるまでステップＳ１を繰り返す。複合パネル１００が載置された場合（Ｓ１・Ｙｅｓ）、制御部（図示せず）の処理はステップＳ２に進む。
【００３３】
ステップＳ２において、制御部（図示せず）は、粘着昇降ピン１２の駆動部（図示せず）を制御して、粘着昇降ピン１２を上昇させる。これにより、粘着部１４を複合パネル１００の下面に粘着させ、複合パネル１００を保持する。
【００３４】
ステップＳ３において、制御部（図示せず）は、真空吸着部１１の減圧手段（図示せず）を制御して、保持テーブル１０の上面と複合パネル１００の下面との間を減圧する。これにより、複合パネル１００を保持テーブル１０の上面に真空吸着する。
【００３５】
ステップＳ４において、制御部（図示せず）は、保持テーブル１０のスライド移動機構１５を制御して、複合パネル１００を保持した保持テーブル１０を原点位置から剥離位置まで移動させる。
【００３６】
ステップＳ５において、制御部（図示せず）は、直動駆動アクチュエータ３３を制御して、剥離ユニット２０を上昇位置（跳ね上げ位置）から下降位置に移動させる。ここで、ローラユニット２５は剥離テーブル２１の粘着部２３の位置にいるため、剥離ユニット２０を下降させることにより、図３（ａ）に示すように、剥離テーブル２１の粘着部２３が複合パネル１００（上キャリアガラス１０１）の端部を含む上面に押しつけられ（図３（ａ）の矢印参照）、上キャリアガラス１０１が剥離テーブル２１の粘着部２３に吸着される。
【００３７】
ステップＳ６において、制御部（図示せず）は、ローラユニット２５のスライド移動機構２７を制御して、ローラユニット２５を剥離方向（図３（ｂ）の矢印参照）に移動させる。ここで、図３（ｂ）に示すように、ローラユニット２５が剥離方向（図３（ｂ）の矢印参照）に移動することにより、剥離テーブル２１は、弓状板部２２の湾曲形状に沿って上キャリアガラス１０１の上を移動する。この際、弓状板部２２の湾曲形状により、粘着部２３が持ち上げられた状態となる。一方、下キャリアガラス１０３の下面は、粘着昇降ピン１２（１２Ａ，１２Ｂ）の粘着部１４および真空吸着部１１により保持されている。このため、粘着部２３と吸着した上キャリアガラス１０１の端部（図３（ｂ）において左側）を起点として、上キャリアガラス１０１はフレキシブルパネル１０２から剥離される。
【００３８】
ステップＳ７において、制御部（図示せず）は、ローラユニット２５のスライド移動機構２７を制御して、ローラユニット２５を剥離方向（図３（ｂ）の矢印参照）の終端部まで移動させて停止する。これにより、図３（ｃ）に示すように、上キャリアガラス１０１の上面は、剥離テーブル２１の粘着部２３とゴム吸着部２４に吸着された状態となる。なお、上キャリアガラス１０１が剥離されたフレキシブルパネル１０２および下キャリアガラス１０３を以下の説明において複合パネル１００Ａと称するものとする。
【００３９】
ステップＳ８において、制御部（図示せず）は、直動駆動アクチュエータ３３を制御して、剥離ユニット２０を下降位置から上昇位置（跳ね上げ位置）に移動させる。ここで、上キャリアガラス１０１は、剥離テーブル２１の粘着部２３およびゴム吸着部２４により保持される。なお、ローラユニット２５が図３（ｃ）に示す位置で停止しているため、剥離テーブル２１の粘着部２３の側は弓状板部２２の湾曲形状により、ゴム吸着部２４の側よりも持ち上げられた状態となっており、さらに、粘着部２３が剥離ユニット２０を跳ね上げ可能に支持する支持柱３２から離れた側に設けられているので、剥離ユニット２０を上昇位置（跳ね上げ位置）に移動させた状態においても粘着部２３がゴム吸着部２４よりも高い位置となるようになっている。このため、上キャリアガラス１０１の上側を吸着力の高い粘着部２３で吸着し、中間部から下側をゴム吸着部２４により吸着することができる構造となっている。これにより、上キャリアガラス１０１は、保持テーブル１０に保持された複合パネル１００Ａから、完全に剥離される。
【００４０】
ステップＳ９において、制御部（図示せず）は、保持テーブル１０のスライド移動機構１５を制御して、複合パネル１００Ａを保持した保持テーブル１０を剥離位置から原点位置まで移動させる。
【００４１】
ステップＳ１０において、制御部（図示せず）は、真空吸着部１１の減圧手段（図示せず）を制御して、真空吸着部１１の真空吸着を解除するとともに、粘着昇降ピン１２の駆動部（図示せず）を制御して、粘着昇降ピン１２を下降させる。これにより、粘着昇降ピン１２の粘着部１４が複合パネル１００Ａの下面から離れ、複合パネル１００Ａの保持が解除される。
【００４２】
ステップＳ１０の後、キャリア剥離装置１の外部に設けられた搬送手段（図示せず）により複合パネル１００Ａが保持テーブル１０の上面から回収される。
【００４３】
ステップＳ１１において、制御部（図示せず）は、保持テーブル１０の上から複合パネル１００Ａが回収されたか否かを判定する。複合パネル１００Ａが回収されていない場合（Ｓ１１・Ｎｏ）、回収されるまでステップＳ１１を繰り返す。複合パネル１００Ａが回収された場合（Ｓ１１・Ｙｅｓ）、制御部（図示せず）の処理はステップＳ１２に進む。
【００４４】
ステップＳ１２において、制御部（図示せず）は、保持テーブル１０のスライド移動機構１５を制御して、空の保持テーブル１０を原点位置から剥離位置まで移動させる。
【００４５】
ステップＳ１３において、制御部（図示せず）は、粘着昇降ピン１２の駆動部（図示せず）を制御して、粘着昇降ピン１２を上昇させる。
【００４６】
ステップＳ１４において、制御部（図示せず）は、直動駆動アクチュエータ３３を制御して、剥離ユニット２０を上昇位置（跳ね上げ位置）から下降位置に移動させる。ここで、ローラユニット２５は剥離テーブル２１のゴム吸着部２４の側の位置にいるため、剥離ユニット２０を下降させることにより、図４（ａ）に示すように、保持テーブル１０の粘着昇降ピン１２Ｂの粘着部１４が上キャリアガラス１０１の下面に押しつけられ（図４（ａ）の矢印参照）、上キャリアガラス１０１が粘着昇降ピン１２Ｂの粘着部２４に吸着される。
【００４７】
ステップＳ１５において、制御部（図示せず）は、ローラユニット２５のスライド移動機構２７を制御して、ローラユニット２５を回収方向（図４（ｂ）の矢印参照）に移動させる。ここで、図４（ｂ）に示すように、ローラユニット２５が回収方向（図４（ｂ）の矢印参照）に移動することにより、上キャリアガラス１０１を吸着した剥離テーブル２１は、弓状板部２２の湾曲形状に沿って保持テーブル１０の上を移動する。この際、弓状板部２２の湾曲形状により、剥離テーブル２１のゴム吸着部２４の側が持ち上げられた状態となる。ここで、剥離テーブル２１のゴム吸着部２４の吸着力よりも粘着昇降ピン１２Ｂの粘着部１４の吸着力の方が強いため、上キャリアガラス１０１が剥離テーブル２１から剥離される。
【００４８】
ステップＳ１６において、制御部（図示せず）は、ローラユニット２５のスライド移動機構２７を制御して、ローラユニット２５を回収方向（図４（ｂ）の矢印参照）の終端部まで移動させて停止する。これにより、図４（ｃ）に示すように、上キャリアガラス１０１の下面は、粘着昇降ピン１２Ａの粘着部１４と粘着昇降ピン１２Ｂの粘着部１４に吸着された状態となる。即ち、上キャリアガラス１０１は、保持テーブル１０に吸着された状態となる。
【００４９】
ステップＳ１７において、制御部（図示せず）は、直動駆動アクチュエータ３３を制御して、剥離ユニット２０を下降位置から上昇位置（跳ね上げ位置）に移動させる。ここで、剥離テーブル２１の粘着部２３の吸着力よりも粘着昇降ピン１２Ａ，１２Ｂの粘着部１４の吸着力の方が強いため、上キャリアガラス１０１が剥離テーブル２１から剥離される。これにより、上キャリアガラス１０１は、剥離テーブル２１から完全に剥離される。
【００５０】
ステップＳ１８において、制御部（図示せず）は、保持テーブル１０のスライド移動機構１５を制御して、上キャリアガラス１０１を保持した保持テーブル１０を剥離位置から原点位置まで移動させる。
【００５１】
ステップＳ１９において、制御部（図示せず）は、粘着昇降ピン１２の駆動部（図示せず）を制御して、粘着昇降ピン１２を下降させる。これにより、粘着昇降ピン１２の粘着部１４が上キャリアガラス１０１の下面から離れ、上キャリアガラス１０１の保持が解除される。
【００５２】
ステップＳ１９の後、キャリア剥離装置１の外部に設けられた搬送手段（図示せず）により上キャリアガラス１０１が保持テーブル１０の上面から回収される。
【００５３】
ステップＳ２０において、制御部（図示せず）は、保持テーブル１０の上から上キャリアガラス１０１が回収されたか否かを判定する。上キャリアガラス１０１が回収されていない場合（Ｓ２０・Ｎｏ）、回収されるまでステップＳ２０を繰り返す。上キャリアガラス１０１が回収された場合（Ｓ２０・Ｙｅｓ）、制御部（図示せず）の処理を終了する。
【００５４】
以上のように、本実施形態に係るキャリア剥離装置１によれば、複合パネル１００から上キャリアガラス１０１を安定して高速に剥離することができる。また、本実施形態に係るキャリア剥離装置１の剥離動作は、粘着昇降ピン１２の駆動部（図示せず）、スライド移動機構１５、スライド移動機構２７、直動駆動アクチュエータ３３による往復動運動で実現することができ、特許文献１のような複雑な制御を要せず、装置の耐久性を高めることができる。
【００５５】
≪変形例≫
なお、本実施形態に係るキャリア剥離装置１は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々の変更が可能である。
【００５６】
本実施形態に係るキャリア剥離装置１の保持テーブル１０は、真空吸着部１１を備えているものとして説明したが、これに限られるものではなく、真空吸着部１１を備えていなくてもよい。
【００５７】
また、ステップＳ１５において、上キャリアガラス１０１を保持テーブル１０に吸着させた後に、真空吸着部１１を動作させてさらに真空吸着するようにしてもよい。これにより、ステップＳ１７において、剥離ユニット２０を上昇位置（跳ね上げ位置）に移動させた際、剥離テーブル２１の粘着部２３の吸着力よりも、粘着昇降ピン１２Ａ，１２Ｂの粘着部１４の吸着力および真空吸着部１１の真空吸着力の和の方を確実に強くすることができるので、上キャリアガラス１０１を確実に剥離テーブル２１から剥離することができる。
【符号の説明】
【００５８】
１                    キャリア剥離装置
１０                  保持テーブル
１１                  真空吸着部
１２，１２Ａ，１２Ｂ  粘着昇降ピン
１３                  軸体部（第１軸体部、第２軸体部）
１４                  粘着部（第１粘着部、第２粘着部）
１５                  スライド移動機構
２０                  剥離ユニット
２１                  剥離テーブル
２２                  弓状板部
２３                  粘着部（第２粘着部）
２４                  ゴム吸着部
２５                  ローラユニット
２６                  ローラ
２７                  スライド移動機構
２８                  ガイドレール
２９                  剥離テーブル係止手段
３０                  基台部
３１                  ガイドレール
３２                  支持柱
３３                  直動駆動アクチュエータ（跳ね上げ手段）
１００、１００Ａ      複合パネル
１０１                上キャリアガラス（上キャリア）
１０２                フレキシブルパネル（パネル）
１０３                下キャリアガラス（下キャリア）
Ｍ１                  方向（保持テーブルの移動方向）
Ｍ２                  方向（剥離ユニット端部の移動方向）
Ｍ３                  方向（ローラユニットの移動方向）
Ｍ４                  方向（剥離テーブル端部の移動方向）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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