(57)【要約】【課題】結露の発生に起因して、振動ミラー素子により走査される画像の質および光量が低下するのを抑制することが可能なプロジェクタを提供する。【解決手段】この発明によるプロジェクタ１は、レーザ光源４〜６と、レーザ光源４〜６から照射された光を反射する反射面１０１ａを有する第１ミラー部１０１を含み、第１ミラー部１０１を振動させる第１振動ミラー素子１０とを備え、第１振動ミラー素子１０の反射面１０１ａ側において、第１ミラー部１０１以外の部分には、レーザ光源４〜６から照射された光を吸収する光吸収層１０５が形成されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、
前記光源から照射された光を反射する反射面を有するミラー部を含み、前記ミラー部を振動させる振動ミラー素子とを備え、
前記振動ミラー素子の前記反射面側において、前記ミラー部以外の部分または前記振動ミラー素子の固定部材には、前記光源から照射された光を吸収する光吸収層が形成されている、プロジェクタ。
【請求項２】
前記光吸収層は、前記反射面の反射率よりも低い反射率を有する、請求項１に記載のプロジェクタ。
【請求項３】
前記振動ミラー素子は、前記光源から照射された光を反射する反射面を含む第１ミラー部を有し、前記第１ミラー部を振動させて走査領域の水平方向に所定の走査速度で光を走査するための第１振動ミラー素子と、前記第１ミラー部により反射された光を反射する反射面を含む第２ミラー部を有し、前記第２ミラー部を振動させて前記走査領域の垂直方向に前記所定の走査速度よりも遅い走査速度で光を走査するための第２振動ミラー素子とを含み、
前記光吸収層は、少なくとも、前記第１振動ミラー素子の前記反射面側における前記第１ミラー部以外の部分、または、前記第１振動ミラー素子の固定部材に形成されている、請求項１または２に記載のプロジェクタ。
【請求項４】
前記振動ミラー素子と前記光源との間に配置され、入射した光のうち一部の光のみを透過させる絞り部材をさらに備え、
前記絞り部材は、画像形成用の光を前記ミラー部に照射させるように透過させる第１貫通孔と、加熱用の光を前記振動ミラー素子または前記固定部材に照射させるように透過させる第２貫通孔とを含む、請求項１〜３のいずれか１項に記載のプロジェクタ。
【請求項５】
前記第２貫通孔は、複数設けられ、
複数の前記第２貫通孔は、それぞれ、前記振動ミラー素子または前記固定部材の異なる位置に前記加熱用の光を照射させるように構成されている、請求項４に記載のプロジェクタ。
【請求項６】
前記振動ミラー素子と前記光源との間に配置されるとともに、前記光源から照射された光を画像形成用の光と加熱用の光とに分割し、前記加熱用の光を前記光吸収層に照射させる光学部材をさらに備える、請求項１〜３のいずれか１項に記載のプロジェクタ。
【請求項７】
前記振動ミラー素子は、絞り部材を介さないことにより、前記光源から照射された光が前記ミラー部の周囲の前記光吸収層が形成された領域と前記反射面とに照射されるように構成されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載のプロジェクタ。
【請求項８】
前記振動ミラー素子は、前記ミラー部に接続され、前記ミラー部を振動可能に支持するねじり変形可能な軸部と、前記軸部を駆動させることにより前記ミラー部を振動させるための駆動部とをさらに含み、
前記軸部は、静電気力に作用する櫛歯部を有し、
前記駆動部は、前記櫛歯部に対応する形状の電極部を有し、
前記光吸収層は、少なくとも、前記櫛歯部および前記電極部に形成されている、請求項１〜７のいずれか１項に記載のプロジェクタ。
【請求項９】
前記振動ミラー素子は、画像が形成される画像形成領域と、前記画像形成領域の外側の領域であって画像が形成されない画像非形成領域とを含む走査領域に光を走査するように構成され、
少なくとも前記光源および前記振動ミラー素子を制御する制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記振動ミラー素子が前記画像非形成領域を走査する際にも前記光源に光を照射させる制御を行うように構成されている、請求項１〜８のいずれか１項に記載のプロジェクタ。
【請求項１０】
前記制御部は、前記振動ミラー素子が前記画像形成領域を走査する際に前記光源から照射される光のエネルギと前記振動ミラー素子が前記画像非形成領域を走査する際に前記光源から照射される光のエネルギとの合計が略一定になるように、前記光源を制御するように構成されている、請求項９に記載のプロジェクタ。
【請求項１１】
前記光源と、前記振動ミラー素子とを収容するプロジェクタ本体をさらに備え、
前記プロジェクタ本体は、前記振動ミラー素子が走査領域に向けて画像を投影するための開口部を含み、
前記開口部は、前記画像形成領域にのみ画像が投影され、前記画像非形成領域に光が照射されない開口形状を有する、請求項９または１０に記載のプロジェクタ。
【請求項１２】
前記振動ミラー素子は、光反射性の素材からなるスクリーンの前記画像形成領域と、光吸収性の素材または光透過性の素材からなるスクリーンの前記画像非形成領域とに向けて画像を投影するように構成されている、請求項９または１０に記載のプロジェクタ。
【請求項１３】
ユーザが視認する虚像に対応する画像の光を投影する光源と、
前記光源から照射された光を反射する反射面を有するミラー部を含み、前記ミラー部を振動させる振動ミラー素子とを備え、
前記振動ミラー素子の前記反射面側において、前記ミラー部以外の部分または前記振動ミラー素子の固定部材には、前記光源から照射された光を吸収する光吸収層が形成され、
前記振動ミラー素子は、ユーザの前方に配置される走査領域である表示板に画像を投影するように構成されている、ヘッドアップディスプレイ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、プロジェクタおよびヘッドアップディスプレイに関し、特に、振動ミラー素子を備えるプロジェクタおよびヘッドアップディスプレイに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、振動ミラー素子を備えるプロジェクタが知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１には、光源と、振動ミラー素子とを備えたプロジェクタが開示されている。この振動ミラー素子は、光源から照射された光を反射する反射面を含むミラー部を含み、ミラー部を振動させるように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２５８５６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１に記載のプロジェクタでは、振動ミラー素子の動作に起因して、振動ミラー素子に接する部分（振動ミラー素子の近傍の部分）における空気の密度が、振動ミラー素子から離れた部分における空気の密度よりも疎になる。この状態では、ボイルシャルルの法則に基づき、振動ミラー素子に接する部分における空気の温度が、振動ミラー素子から離れた部分における空気の温度よりも低くなる。これに起因して、振動ミラー素子の温度（振動ミラー素子の表面温度）が、振動ミラー素子の周囲の空気の温度よりも相対的に低くなる。このため、振動ミラー素子の温度が周囲の空気の露点以下になった場合には、振動ミラー素子に結露が発生する。その結果、振動ミラー素子により走査される画像の質および光量が低下するという問題点がある。
【０００６】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、結露の発生に起因して、振動ミラー素子により走査される画像の質および光量が低下するのを抑制することが可能なプロジェクタおよびヘッドアップディスプレイを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明の第１の局面によるプロジェクタは、光源と、光源から照射された光を反射する反射面を有するミラー部を含み、ミラー部を振動させる振動ミラー素子とを備え、振動ミラー素子の反射面側において、ミラー部以外の部分または振動ミラー素子の固定部材には、光源から照射された光を吸収する光吸収層が形成されている。
【０００８】
この発明の第１の局面によるプロジェクタでは、上記のように、振動ミラー素子の反射面側において、ミラー部以外の部分または振動ミラー素子の固定部材に、光源から照射された光を吸収する光吸収層を形成する。これにより、光吸収層に光を吸収させ、振動ミラー素子の温度（振動ミラー素子の表面温度）を上昇させることができる。その結果、振動ミラー素子の動作に起因して、振動ミラー素子の温度が周囲の空気の露点以下になるのを抑制することができる。これにより、振動ミラー素子に結露が発生するのを抑制することができる。したがって、結露の発生に起因して、振動ミラー素子により走査される画像の質および光量が低下するのを抑制することができる。
【０００９】
また、上記のように構成することにより、振動ミラー素子の動作に起因して、振動ミラー素子の温度が周囲の空気の露点以下になるのを抑制するために別途ヒータなどを設ける必要がない。その結果、別途ヒータなどを設ける場合と比べて、部品点数が増加しない。また、光源から振動ミラー素子に向けて照射された光を利用して、振動ミラー素子の温度が周囲の空気の露点以下になるのを抑制することができる。これにより、別途ヒータなどを設ける場合と比べて、消費電力が増大するのを抑制することができる。
【００１０】
上記第１の局面によるプロジェクタにおいて、好ましくは、光吸収層は、反射面の反射率よりも低い反射率を有する。これにより、光吸収層に光を効率よく吸収させることができるので、振動ミラー素子の温度を効率よく上昇させることができる。
【００１１】
上記第１の局面によるプロジェクタにおいて、好ましくは、振動ミラー素子は、光源から照射された光を反射する反射面を含む第１ミラー部を有し、第１ミラー部を振動させて走査領域の水平方向に所定の走査速度で光を走査するための第１振動ミラー素子と、第１ミラー部により反射された光を反射する反射面を含む第２ミラー部を有し、第２ミラー部を振動させて走査領域の垂直方向に所定の走査速度よりも遅い走査速度で光を走査するための第２振動ミラー素子とを含み、光吸収層は、少なくとも、第１振動ミラー素子の反射面側における第１ミラー部以外の部分、または、第１振動ミラー素子の固定部材に形成されている。これにより、高速の動作に起因して、周囲の空気の温度よりも相対的に低くなりやすい第１振動ミラー素子に結露が発生するのを抑制することができる。
【００１２】
上記第１の局面によるプロジェクタにおいて、好ましくは、振動ミラー素子と光源との間に配置され、入射した光のうち一部の光のみを透過させる絞り部材をさらに備え、絞り部材は、画像形成用の光をミラー部に照射させるように透過させる第１貫通孔と、加熱用の光を振動ミラー素子または固定部材に照射させるように透過させる第２貫通孔とを含む。これにより、第１貫通孔と第２貫通孔とによって、光源から照射された光を画像形成用の光と加熱用の光とに容易に分割することができる。その結果、振動ミラー素子または固定部材に加熱用の光を容易に照射させることができる。
【００１３】
この場合、好ましくは、第２貫通孔は、複数設けられ、複数の第２貫通孔は、それぞれ、振動ミラー素子または固定部材の異なる位置に加熱用の光を照射させるように構成されている。これにより、複数の第２貫通孔によって、振動ミラー素子または固定部材の異なる位置に加熱用の光を容易に照射させることができる。
【００１４】
上記第１の局面によるプロジェクタにおいて、好ましくは、振動ミラー素子と光源との間に配置されるとともに、光源から照射された光を画像形成用の光と加熱用の光とに分割し、加熱用の光を光吸収層に照射させる光学部材をさらに備える。これにより、光学部材によって光源から照射された光を画像形成用の光と加熱用の光とに容易に分割することができる。その結果、光吸収層に加熱用の光を容易に照射させることができる。
【００１５】
上記第１の局面によるプロジェクタにおいて、好ましくは、振動ミラー素子は、絞り部材を介さないことにより、光源から照射された光がミラー部の周囲の光吸収層が形成された領域と反射面とに照射されるように構成されている。これにより、１つのまとまったパターンの光をミラー部の周囲の光吸収層が形成された領域に照射することができる。その結果、複数に分割されたパターンの光を光吸収層が形成された領域に照射する場合とは異なり、光吸収層が形成された領域にまとまった光を照射することができるので、光吸収層に光を効率よく吸収させることができる。また、絞り部材を設けないので、その分、部品点数を削減することができる。
【００１６】
上記第１の局面によるプロジェクタにおいて、好ましくは、振動ミラー素子は、ミラー部に接続され、ミラー部を振動可能に支持するねじり変形可能な軸部と、軸部を駆動させることによりミラー部を振動させるための駆動部とをさらに含み、軸部は、静電気力に作用する櫛歯部を有し、駆動部は、櫛歯部に対応する形状の電極部を有し、光吸収層は、少なくとも、櫛歯部および電極部に形成されている。これにより、静電駆動型の振動ミラー素子において、結露が発生しやすい櫛歯部および電極部の温度を上昇させることができる。その結果、櫛歯部および電極部に結露が発生するのを効果的に抑制することができる。また、結露に起因して、櫛歯部または電極部で電気的にショートするのを抑制することができる。
【００１７】
上記第１の局面によるプロジェクタにおいて、好ましくは、振動ミラー素子は、画像が形成される画像形成領域と、画像形成領域の外側の領域であって画像が形成されない画像非形成領域とを含む走査領域に光を走査するように構成され、少なくとも光源および振動ミラー素子を制御する制御部をさらに備え、制御部は、振動ミラー素子が画像非形成領域を走査する際にも光源に光を照射させる制御を行うように構成されている。これにより、継続的に光吸収層に光を吸収させることができる。その結果、振動ミラー素子の温度が周囲の空気の露点以下になるのを効果的に抑制することができる。
【００１８】
この場合、好ましくは、制御部は、振動ミラー素子が画像形成領域を走査する際に光源から照射される光のエネルギと振動ミラー素子が画像非形成領域を走査する際に光源から照射される光のエネルギとの合計が略一定になるように、光源を制御するように構成されている。これにより、光吸収層に吸収させる光の量を略一定にすることができる。その結果、振動ミラー素子の温度が必要以上に高くなるのを抑制しながら、周囲の空気の露点以下になるのを抑制することができる。
【００１９】
上記少なくとも光源および振動ミラー素子を制御する制御部を備える構成において、好ましくは、光源と、振動ミラー素子とを収容するプロジェクタ本体をさらに備え、プロジェクタ本体は、振動ミラー素子が走査領域に向けて画像を投影するための開口部を含み、開口部は、画像形成領域にのみに画像が投影され、画像非形成領域に光が照射されない開口形状を有する。これによって、開口部を形成するプロジェクタ本体により、画像非形成領域に光が照射されるのを抑制することができる。その結果、画像形成領域の画像の視認性が低下するのを抑制しながら、継続的に光吸収層に光を吸収させることができる。
【００２０】
上記少なくとも光源および振動ミラー素子を制御する制御部を備える構成において、好ましくは、振動ミラー素子は、光反射性の素材からなるスクリーンの画像形成領域と、光吸収性の素材または光透過性の素材からなるスクリーンの画像非形成領域とに向けて画像を投影するように構成されている。これによって、画像非形成領域に照射された光がユーザに視認されるのを抑制することができる。その結果、画像形成領域の画像の視認性が低下するのを抑制しながら、継続的に光吸収層に光を吸収させることができる。
【００２１】
この発明の第２の局面によるヘッドアップディスプレイは、ユーザが視認する虚像に対応する画像の光を投影する光源と、光源から照射された光を反射する反射面を有するミラー部を含み、ミラー部を振動させる振動ミラー素子とを備え、振動ミラー素子の反射面側において、ミラー部以外の部分または振動ミラー素子の固定部材には、光源から照射された光を吸収する光吸収層が形成され、振動ミラー素子は、ユーザの前方に配置される走査領域である表示板に画像を投影するように構成されている。
【００２２】
この発明の第２の局面によるヘッドアップディスプレイでは、上記のように、振動ミラー素子の反射面側において、ミラー部以外の部分または振動ミラー素子の固定部材に、光源から照射された光を吸収する光吸収層を形成する。これにより、光吸収層に光を吸収させ、振動ミラー素子の温度（振動ミラー素子の表面温度）を上昇させることができる。その結果、振動ミラー素子の動作に起因して、振動ミラー素子の温度が周囲の空気の露点以下になるのを抑制することができる。これにより、振動ミラー素子に結露が発生するのを抑制することができる。したがって、結露の発生に起因して、振動ミラー素子により走査される画像の質および光量が低下するのを抑制することができる。
【００２３】
また、上記のように構成することにより、振動ミラー素子の動作に起因して、振動ミラー素子の温度が周囲の空気の露点以下になるのを抑制するために別途ヒータなどを設ける必要がない。その結果、別途ヒータなどを設ける場合と比べて、部品点数が増加しない。また、光源から振動ミラー素子に向けて照射された光を利用して、振動ミラー素子の温度が周囲の空気の露点以下になるのを抑制することができる。これにより、別途ヒータなどを設ける場合と比べて、消費電力が増大するのを抑制することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、上記のように、結露の発生に起因して、振動ミラー素子により走査される画像の質および光量が低下するのを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の第１実施形態によるＨＵＤの使用状態を示した模式図である。
【図２】本発明の第１実施形態によるＨＵＤの構成を示したブロック図である。
【図３】本発明の第１実施形態によるＨＵＤのＭＥＭＳミラーに光が照射された状態を示した模式図である。
【図４】本発明の第１実施形態によるＨＵＤのＭＥＭＳミラーを示した図である。
【図５】本発明の第１実施形態によるＨＵＤのＭＥＭＳミラーの櫛歯部および電極部を拡大した図である。
【図６】本発明の第１実施形態によるＨＵＤの走査領域を示した図である。
【図７】本発明の第２実施形態によるプロジェクタのＭＥＭＳミラーの固定部材に加熱用の光の照射位置を示した模式図である。
【図８】本発明の第３実施形態によるプロジェクタのＭＥＭＳミラーに光が照射された状態を示した模式図である。
【図９】本発明の第４実施形態によるプロジェクタのＭＥＭＳミラーに光が照射された状態を示した模式図である。
【図１０】本発明の第５実施形態によるプロジェクタの構成を示したブロック図である。
【図１１】本発明の第１実施形態によるＨＵＤの絞り部材の変形例を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２７】
（第１実施形態）
まず、図１〜図６を参照して、本発明の第１実施形態によるヘッドアップディスプレイ（以下、ＨＵＤ（Ｈｅａｄ Ｕｐ Ｄｉｓｐｌａｙ）という）１ａの構成について説明する。
【００２８】
図１に示すように、本発明の第１実施形態によるＨＵＤ１ａは、プロジェクタ１と、スクリーン２として機能する自動車のフロントガラスとにより構成されている。プロジェクタ１は、スクリーン２にレーザ光を照射する。これにより、プロジェクタ１は、ユーザの前方に配置されるスクリーン２に画像（ユーザが視認する虚像に対応する画像）を投影するように構成されている。なお、スクリーン２は、本発明の「表示板」の一例である。
【００２９】
図２に示すように、プロジェクタ１は、筺体であるプロジェクタ本体３に各種部品が設けられるように構成されている。
【００３０】
具体的には、プロジェクタ１は、レーザ光源４〜６と、偏光ビームスプリッタ７および８とを備えている。また、プロジェクタ１は、レンズ９ａと、絞り部材９ｂとを備えている。また、プロジェクタ１は、第１振動ミラー素子１０と、第２振動ミラー素子１１と、操作部１２とを備えている。また、プロジェクタ１は、メインＣＰＵ１３と、表示制御部１４とを備えている。また、プロジェクタ本体３は、第１振動ミラー素子１０（第２振動ミラー素子１１）が後述する走査領域Ｒに向けて画像を投影するための開口部３ａを含んでいる。この開口部３ａは、後述する画像形成領域Ｒ１にのみに画像が投影され、後述する画像非形成領域Ｒ２に光が照射されない開口形状（たとえば、矩形形状）を有している。なお、プロジェクタ本体３は、開口部３ａの開口形状に対応する形状の開口縁部３ｂを開口部３ａとの境界部分に有する。なお、レーザ光源４〜６は、本発明の「光源」の一例である。また、第１振動ミラー素子１０は、本発明の「振動ミラー素子」の一例である。また、メインＣＰＵ１３は、本発明の「制御部」の一例である。
【００３１】
レーザ光源４は、青色のレーザ光を照射するように構成されている。また、レーザ光源４は、レーザ光をビームスプリッタ７およびレンズ９ａを通過させて、第１振動ミラー素子１０および第２振動ミラー素子１１に照射するように構成されている。
【００３２】
レーザ光源５（６）は、緑色（赤色）のレーザ光を照射するように構成されている。また、レーザ光源５（６）は、レーザ光をビームスプリッタ８および７と、レンズ９ａとを通過させて第１振動ミラー素子１０および第２振動ミラー素子１１に照射するように構成されている。また、レーザ光源４〜６は、ユーザが視認する虚像に対応する画像の光を投影するように構成されている。
【００３３】
レンズ９ａは、入射した光を平行光にするコリメータレンズである。
【００３４】
絞り部材９ｂは、第１振動ミラー素子１０とレーザ光源４〜６およびレンズ９ａとの間に配置されている。図３に示すように、絞り部材９ｂは、入射した光のうち一部の光のみを透過させる部材（たとえば、アパーチャ）により構成されている。また、絞り部材９ｂは、入射光の進行方向から見て、略円形に形成されている。また、絞り部材９ｂは、第１貫通孔９１ｂと、第２貫通孔９２ｂとを含んでいる。また、第１貫通孔９１ｂおよび第２貫通孔９２ｂは、入射光の進行方向から見て、略円形に形成されている。
【００３５】
第１貫通孔９１ｂは、入射光の進行方向から見て、絞り部材９ｂの略中央に設けられている。また、第１貫通孔９１ｂは、画像形成用の光を第１振動ミラー素子１０の第１ミラー部１０１に照射させるように入射光を透過させるように構成されている。なお、第１ミラー部１０１は、本発明の「ミラー部」の一例である。
【００３６】
第２貫通孔９２ｂは、加熱用の光を第１振動ミラー素子１０に照射させるように入射光を透過させるように構成されている。また、第２貫通孔９２ｂは、複数設けられている。また、第２貫通孔９２ｂは、入射光の進行方向から見て、第１貫通孔９１ｂの周囲に設けられている。複数の第２貫通孔９２ｂにより、第１振動ミラー素子１０の異なる位置に加熱用の光を照射させることが可能である。加熱用の光は、たとえば、第１振動ミラー素子１０の軸部１０２、支持部１０３および駆動部１０４に照射される。
【００３７】
第１振動ミラー素子１０および第２振動ミラー素子１１は、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ）ミラーである。詳細には、第１振動ミラー素子１０および第２振動ミラー素子１１は、静電駆動型の振動ミラー素子である。第１振動ミラー素子１０および第２振動ミラー素子１１は、シリコンにより形成されている。第１振動ミラー素子１０および第２振動ミラー素子１１は、画像が形成される画像形成領域Ｒ１と、画像形成領域Ｒ１の外側の領域であって画像が形成されない画像非形成領域Ｒ２とを含む走査領域Ｒ（図２参照）を走査するように構成されている。
【００３８】
図４に示すように、第１振動ミラー素子１０は、第１ミラー部１０１と、軸部１０２と、支持部１０３と、駆動部１０４とを含んでいる。また、第１振動ミラー素子１０における、第１ミラー部１０１の後述する反射面１０１ａ側の第１ミラー部１０１以外の部分には光吸収層１０５が形成されている。第１振動ミラー素子１０は、固定部材１０６に固定されている。なお、図４および図５では、光吸収層１０５にハッチングを付して図示している。
【００３９】
第１ミラー部１０１は、レーザ光源４〜６から照射された光を反射する反射面１０１ａを含んでいる。反射面１０１ａは、第１ミラー部１０１のうちレンズ９ａ（図３参照）が配置される側に設けられている。また、反射面１０１ａは、第１ミラー部１０１の表面にアルミニウムを蒸着することにより形成されている。
【００４０】
第１振動ミラー素子１０は、第１ミラー部１０１を振動させて走査領域Ｒの水平方向（図６参照）に所定の走査速度でレーザ光を走査するように構成されている。第１振動ミラー素子１０の走査速度（振動速度）は、たとえば、２５ｋＨｚである。また、第１振動ミラー素子１０は、共振駆動により、走査領域Ｒの水平方向（図６参照）にレーザ光を走査するように高速で動作する。
【００４１】
軸部１０２は、一対設けられている。また、軸部１０２は、第１ミラー部１０１の両側に接続されている。また、軸部１０２は、第１ミラー部１０１を振動可能に支持するように構成されている。また、軸部１０２は、ねじり変形可能なように構成されている。
【００４２】
また、軸部１０２は、Ｙ方向に延びる棒状に形成されている。図５に示すように、軸部１０２は、短手方向（Ｘ方向）の両端部に櫛歯部１０２ａを含んでいる。櫛歯部１０２ａは、軸部１０２の長手方向（Ｙ方向）に沿って、所定の間隔を隔てて複数設けられている。
【００４３】
支持部１０３は、第１ミラー部１０１および軸部１０２の外側に設けられている。また、支持部１０３は、軸部１０２のＹ方向の端部に接続されるように構成されている。また、支持部１０３は、軸部１０２を支持するように構成されている。
【００４４】
また、駆動部１０４は、支持部１０３のうち、軸部１０２の近傍の位置に設けられている。駆動部１０４は、電極により構成されている。具体的には、駆動部１０４は、櫛歯部１０２ａに対応する櫛歯形状の電極部１０４ａを有している。駆動部１０４（電極部１０４ａ）は、軸部１０２の櫛歯部１０２ａに対応する位置に設けられている。詳細には、電極部１０４ａは、Ｘ方向およびＹ方向において、軸部１０２の複数の櫛歯部１０２ａのそれぞれと所定の間隔を隔てて配置されている。駆動部１０４は、軸部１０２を駆動させることにより第１ミラー部１０１を振動させるように構成されている。なお、図４では、軸部１０２の櫛歯部１０２ａと、駆動部１０４の櫛歯形状の電極部１０４ａとを簡略化して図示している。
【００４５】
駆動部１０４は、図４に示すように、駆動用配線１２１を介してミラードライバ１４５（図２参照）に接続されている。駆動部１０４には、ミラードライバ１４５からの駆動信号に基づく所定電圧が印加されるように構成されている。これにより、駆動部１０４（電極部１０４ａ）と軸部１０２（櫛歯部１０２ａ）との間に静電引力および静電斥力が交互に生じる。その結果、軸部１０２および第１ミラー部１０１が、軸線９００周りのＡ方向およびＢ方向に振動する。
【００４６】
第１実施形態では、光吸収層１０５は、第１振動ミラー素子１０の反射面１０１ａ側における第１ミラー部１０１以外の部分に設けられている。具体的には、光吸収層１０５は、第１ミラー部１０１の反射面１０１ａ側における、櫛歯部１０２ａを含む軸部１０２、支持部１０３、および、電極部１０４ａを含む駆動部１０４の略全領域に形成されている。光吸収層１０５は、レーザ光源４〜６から照射された光を吸収するように構成されている。また、光吸収層１０５は、反射面１０１ａの反射率よりも低い反射率を有している。また、光吸収層１０５は、黒色である。また、光吸収層１０５は、第１ミラー部１０１の厚みの０％より大きく略１０％以下の厚みを有する。また、光吸収層１０５は、シリコンよりも光を吸収しやすい金属を蒸着して形成されている。言い換えると、光吸収層１０５の反射率は、シリコンの反射率よりも小さい。
【００４７】
固定部材１０６は、第１振動ミラー素子１０と、枠状のフレキシブル配線基板１２０とを固定するように構成されている。また、固定部材１０６は、フレキシブル配線基板１２０の枠の内側の位置であって、かつ、フレキシブル配線基板１２０から所定の間隔を隔てた位置に第１振動ミラー素子１０を固定するように構成されている。また、固定部材１０６は、黒色の樹脂により形成されている。
【００４８】
第２振動ミラー素子１１は、第１振動ミラー素子１０の第１ミラー部１０１により反射された光を反射する反射面１１１ａを含む第２ミラー部１１１を含み、第２ミラー部１１１を振動させて走査領域Ｒの垂直方向に所定の走査速度よりも遅い走査速度でレーザ光を走査するように構成されている。第２振動ミラー素子１１の走査速度（振動速度）は、たとえば、６０Ｈｚである。これにより、第２振動ミラー素子１１は、直流駆動により、走査領域Ｒの垂直方向にレーザ光を走査するように第１振動ミラー素子１０よりも低速で動作する。第２振動ミラー素子１１は、走査速度が異なる点および光吸収層が形成されていない点を除いて、基本的に第１振動ミラー素子１０と同様の構成を有している。このため、第２振動ミラー素子１１の詳細な説明は、省略する。
【００４９】
図２に示すように、操作部１２は、ユーザが入力したＨＵＤ１ａを操作するための情報を受け付けるように構成されている。
【００５０】
メインＣＰＵ１３は、所定の動作プログラムに基づいて、ＨＵＤ１ａの制御を行うように構成されている。
【００５１】
メインＣＰＵ１３は、レーザ光源４〜６、第１振動ミラー素子１０および第２振動ミラー素子１１を制御するように構成されている。また、メインＣＰＵ１３は、第１振動ミラー素子１０（第２振動ミラー素子１１）が画像非形成領域Ｒ２を走査する際にもレーザ光源４〜６に光を照射させる制御を行うように構成されている。この場合でも、画像形成領域Ｒ１にのみに画像が投影され、画像非形成領域Ｒ２に光が照射されない開口形状に開口部３ａが形成されていることによって、スクリーン２の画像形成領域Ｒ１にのみに画像が投影される。すなわち、スクリーン２の画像非形成領域Ｒ２には光が照射されない。これにより、画像形成領域Ｒ１の画像の視認性が低下するのを抑制することができる。
【００５２】
また、メインＣＰＵ１３は、１フレーム分の走査領域Ｒにおいて、第１振動ミラー素子１０（第２振動ミラー素子１１）が画像形成領域Ｒ１を走査する際にレーザ光源４〜６から照射される光のエネルギと第１振動ミラー素子１０（第２振動ミラー素子１１）が画像非形成領域Ｒ２を走査する際にレーザ光源４〜６から照射される光のエネルギとの合計が略一定になるように、レーザ光源４〜６を制御することが可能なように構成されている。すなわち、画像形成領域Ｒ１の画像が暗めの場合には、画像非形成領域Ｒ２に明るい光（階調数が大きい光）が投影される。一方、画像形成領域Ｒ１の画像が明るめの場合には、画像非形成領域Ｒ２に暗めの光（階調数が小さい光）が投影される。これにより、第１振動ミラー素子１０の温度が上昇し過ぎるのを抑制しながら、第１振動ミラー素子１０に結露が発生するのを抑制することができる。
【００５３】
表示制御部１４は、図２に示すように、映像処理部１４１と、光源制御部１４２と、ＬＤ（レーザダイオード）ドライバ１４３と、ミラー制御部１４４と、ミラードライバ１４５とを含む。また、表示制御部１４は、ＣＰＵにより構成されている。また、表示制御部１４は、所定の動作プログラムに基づいて、表示に関する制御を行うように構成されている。
【００５４】
映像処理部１４１は、外部から入力される映像信号に基づいて、ミラー制御部１４４およびＬＤドライバ１４３を介して、第１振動ミラー素子１０および第２振動ミラー素子１１の駆動を制御するように構成されている。また、映像処理部１４１は、光源制御部１４２を介して、レーザ光源４〜６によるレーザ光の照射を制御するように構成されている。
【００５５】
光源制御部１４２は、第１振動ミラー素子１０が走査するタイミングに合せて画像に対応する色のレーザ光をレーザ光源４〜６から照射させる制御を行うように構成されている。
【００５６】
ミラー制御部１４４は、映像処理部１４１による制御に基づいて、ミラードライバ１４５を制御して、第１振動ミラー素子１０および第２振動ミラー素子１１の駆動を制御するように構成されている。
【００５７】
第１実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００５８】
第１実施形態では、上記のように、第１振動ミラー素子１０の反射面１０１ａ側において、第１ミラー部１０１以外の部分に、レーザ光源４〜６から照射された光を吸収する光吸収層１０５を形成する。これにより、光吸収層１０５に光を吸収させ、第１振動ミラー素子１０の温度（第１振動ミラー素子１０の表面温度）を上昇させることができる。その結果、第１振動ミラー素子１０の動作に起因して、第１振動ミラー素子１０の温度が周囲の空気の露点以下になるのを抑制することができる。これにより、第１振動ミラー素子１０に結露が発生するのを抑制することができる。したがって、結露の発生に起因して、第１振動ミラー素子１０により走査される画像の質および光量が低下するのを抑制することができる。
【００５９】
また、上記のように構成することにより、第１振動ミラー素子１０の動作に起因して、第１振動ミラー素子１０の温度が周囲の空気の露点以下になるのを抑制するために別途ヒータなどを設ける必要がない。その結果、別途ヒータなどを設ける場合と比べて、部品点数が増加しない。また、レーザ光源４〜６から第１振動ミラー素子１０に向けて照射された光を利用して、第１振動ミラー素子１０の温度が周囲の空気の露点以下になるのを抑制することができる。これにより、別途ヒータなどを設ける場合と比べて、消費電力が増大するのを抑制することができる。
【００６０】
また、第１実施形態では、反射面１０１ａの反射率よりも低い反射率を有するように光吸収層１０５を構成する。これにより、光吸収層１０５に光を効率よく吸収させることができるので、第１振動ミラー素子１０の温度を効率よく上昇させることができる。
【００６１】
また、第１実施形態では、走査領域Ｒの水平方向に所定の走査速度で光を走査するための第１振動ミラー素子１０と、走査領域Ｒの垂直方向に所定の走査速度よりも遅い走査速度で光を走査するための第２振動ミラー素子１１とを設ける。また、光吸収層１０５を、第１振動ミラー素子１０の反射面１０１ａ側における第１ミラー部１０１以外の部分に形成する。これにより、高速の動作に起因して、周囲の空気の温度よりも相対的に低くなりやすい第１振動ミラー素子１０に結露が発生するのを抑制することができる。
【００６２】
また、第１実施形態では、画像形成用の光を第１ミラー部１０１に照射させるように透過させる第１貫通孔９１ｂと、加熱用の光を第１振動ミラー素子１０に照射させるように透過させる第２貫通孔９２ｂとを絞り部材９ｂに設ける。これにより、第１貫通孔９１ｂと第２貫通孔９２ｂとによって、レーザ光源４〜６から照射された光を画像形成用の光と加熱用の光とに容易に分割することができる。
【００６３】
また、第１実施形態では、複数の第２貫通孔９２ｂを、それぞれ、第１振動ミラー素子１０の異なる位置に加熱用の光を照射させるように構成する。これにより、複数の第２貫通孔９２ｂによって、第１振動ミラー素子１０または固定部材１０６の異なる位置に加熱用の光を容易に照射させることができる。
【００６４】
また、第１実施形態では、光吸収層１０５を、少なくとも櫛歯部１０２ａおよび電極部１０４ａに形成する。これにより、静電駆動型の第１振動ミラー素子１０において、結露が発生しやすい櫛歯部１０２ａおよび電極部１０４ａの温度を上昇させることができる。その結果、櫛歯部１０２ａおよび電極部１０４ａに結露が発生するのを効果的に抑制することができる。また、結露に起因して、櫛歯部１０２ａまたは電極部１０４ａで電気的にショートするのを抑制することができる。
【００６５】
また、第１実施形態では、第１振動ミラー素子１０が画像非形成領域Ｒ２を走査する際にもレーザ光源４〜６に光を照射させる制御を行うようにメインＣＰＵ１３を構成する。これにより、継続的に光吸収層１０５に光を吸収させることができる。その結果、第１振動ミラー素子１０の温度が周囲の空気の露点以下になるのを効果的に抑制することができる。
【００６６】
また、第１実施形態では、第１振動ミラー素子１０が画像形成領域Ｒ１を走査する際にレーザ光源４〜６から照射される光のエネルギと第１振動ミラー素子１０が画像非形成領域Ｒ２を走査する際にレーザ光源４〜６から照射される光のエネルギとの合計が略一定になるように、レーザ光源４〜６を制御するようにメインＣＰＵ１３を構成する。これにより、第１振動ミラー素子１０の温度が必要以上に高くなるのを抑制しながら、周囲の空気の露点以下になるのを抑制することができる。
【００６７】
また、第１実施形態では、画像形成領域Ｒ１にのみに画像が投影され、画像非形成領域Ｒ２に光が照射されない開口形状を有する開口部３ａを設ける。これによって、開口部３ａを形成するプロジェクタ本体３により、画像非形成領域Ｒ２に光が照射されるのを抑制することができる。その結果、画像形成領域Ｒ１の画像の視認性が低下するのを抑制しながら、継続的に光吸収層１０５に光を吸収させることができる。
【００６８】
（第２実施形態）
以下、図７を参照して、本発明の第２実施形態によるプロジェクタ１００の構成について説明する。
【００６９】
この第２実施形態では、光吸収層１０５が第１振動ミラー素子１０に形成されているプロジェクタ１について説明した第１実施形態と異なり、光吸収層が第１振動ミラー素子１０に形成されていないプロジェクタ１００について説明する。なお、上記第１実施形態と同様の構成については同じ符号を用いるとともに、説明を省略する。
【００７０】
絞り部材９ｂ（図３参照）は、第１貫通孔９１ｂと、複数の第２貫通孔９２ｂとを含んでいる。第１貫通孔９１ｂは、画像形成用の光を第１ミラー部１０１に照射させるように入射光を透過させるように構成されている。また、図７に示すように、複数の第２貫通孔９２ｂは、それぞれ、固定部材１０６の異なる位置に加熱用の光を照射させるように構成されている。
【００７１】
また、第２実施形態では、第１実施形態とは異なり、光吸収層が第１振動ミラー素子１０に形成されていない。また、第１振動ミラー素子１０は、固定部材１０６に固定されている。また、固定部材１０６は、黒色の樹脂により形成されていることにより、光吸収層として機能する。これにより、固定部材１０６が照射された加熱用の光を吸収することによって、固定部材１０６の温度が上昇する。その結果、第１振動ミラー素子１０の温度を上昇させることができる。したがって、第１振動ミラー素子１０の構造および製造工程を簡素化しながら、第１振動ミラー素子１０により走査される画像の質および光量が低下するのを抑制することができる。
【００７２】
なお、第２実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【００７３】
第２実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００７４】
第２実施形態では、上記のように、固定部材１０６を、レーザ光源４〜６から照射された光を吸収する光吸収層として機能するように構成する。これにより、第１振動ミラー素子１０に結露が発生するのを抑制することができる。
【００７５】
なお、第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。
【００７６】
（第３実施形態）
以下、図８を参照して、本発明の第３実施形態によるプロジェクタ２００の構成について説明する。
【００７７】
この第３実施形態では、絞り部材９ｂにより入射光を画像形成用の光と加熱用の光とに分割したプロジェクタ１について説明した第１実施形態と異なり、光学部材９ｃにより入射光を画像形成用の光と加熱用の光とに分割するプロジェクタ２００について説明する。なお、上記第１実施形態と同様の構成については同じ符号を用いるとともに、説明を省略する。
【００７８】
第３実施形態によるプロジェクタ２００は、第１実施形態と同様に、レーザ光源４〜６、第１振動ミラー素子１０および第２振動ミラー素子１１などを備えている。図８に示すように、プロジェクタ２００は、これらに加えて光学部材９ｃをさらに備えている。
【００７９】
光学部材９ｃは、レーザ光源４〜６およびレンズ９ａと、第１振動ミラー素子１０との間に配置されている。また、光学部材９ｃは、入射光（レーザ光源４〜６から照射された光）を画像形成用の光と２つの加熱用の光とに分割する光学部材（たとえば、回折格子やレンチキュラレンズなど）により構成されている。また、光学部材９ｃにより、第１振動ミラー素子１０の異なる位置に加熱用の光を照射させることが可能である。具体的には、第１振動ミラー素子１０の少なくとも、軸部１０２の櫛歯部１０２ａ（図５参照）および駆動部１０４の電極部１０４ａ（図５参照）に加熱用の光が照射される。
【００８０】
絞り部材２０９ｂは、第１振動ミラー素子１０と光学部材９ｃとの間に配置されている。また、絞り部材２０９ｂは、貫通孔２９１ｂを含んでいる。また、貫通孔２９１ｂは、入射光の進行方向から見て、略円形に形成されている。貫通孔２９１ｂは、入射光の進行方向から見て、絞り部材２０９ｂの略中央に設けられている。また、絞り部材２０９ｂは、画像形成用の光が貫通孔２９１ｂに照射（入射）する位置に配置されている。また、絞り部材２０９ｂは、平面視において（上方から見て）、２つの加熱用の光の間の位置であって、２つの加熱用の光が照射されないように配置されている。
【００８１】
なお、第３実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【００８２】
第３実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００８３】
第３実施形態では、上記のように、第１振動ミラー素子１０の反射面１０１ａ側において、第１ミラー部１０１以外の部分に、レーザ光源４〜６から照射された光を吸収する光吸収層１０５を形成する。これにより、第１振動ミラー素子１０に結露が発生するのを抑制することができる。
【００８４】
また、第３実施形態では、レーザ光源４〜６から照射された光を画像形成用の光と加熱用の光とに分割し、加熱用の光を光吸収層１０５に照射させる光学部材９ｃを設ける。これにより、光学部材９ｃによってレーザ光源４〜６から照射された光を画像形成用の光と加熱用の光とに容易に分割することができる。その結果、光吸収層１０５に加熱用の光を容易に照射させることができる。
【００８５】
なお、第３実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。
（第４実施形態）
以下、図９を参照して、本発明の第４実施形態によるプロジェクタ３００の構成について説明する。
【００８６】
この第４実施形態では、レーザ光源４〜６から照射された光が絞り部材９ｂを介して第１振動ミラー素子１０に照射されるプロジェクタ１について説明した第１実施形態と異なり、レーザ光源４〜６から照射された光が絞り部材９ｂを介さずに第１振動ミラー素子１０に照射される（絞り部材が設けられていない）プロジェクタ３００について説明する。なお、上記第１実施形態と同様の構成については同じ符号を用いるとともに、説明を省略する。
【００８７】
図９に示すように、第４実施形態によるプロジェクタ３００は、第４実施形態では第１実施形態とは異なり、絞り部材９ｂが設けられていない。
【００８８】
第１振動ミラー素子１０は、レーザ光源４〜６から照射された光が絞り部材を介さない状態で照射される。詳細には、１つの略円形状を有するスポットの光（複数個のスポットに分割されていない光）が、第１振動ミラー素子１０に向けて照射される。これにより、第１振動ミラー素子１０は、レーザ光源４〜６から照射された光が第１ミラー部１０１の周囲の領域と反射面１０１ａとに照射されるように構成されている。具体的には、レーザ光源４〜６から照射された光が、軸部１０２（櫛歯部１０２ａ（図５参照））と、支持部１０３と、駆動部１０４（電極部１０４ａ（図５参照））と、反射面１０１ａとに照射される。
【００８９】
この構成によれば、光吸収層１０５により光が吸収されるので、絞り部材を設けなくても第１振動ミラー素子１０のうち第１ミラー部１０１以外の部分で光が反射されることよる不必要な画像（輝線）が投影されるのを抑制することが可能である。
【００９０】
なお、第４実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【００９１】
第４実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００９２】
第４実施形態では、上記のように、第１振動ミラー素子１０の反射面１０１ａ側において、第１ミラー部１０１以外の部分に、レーザ光源４〜６から照射された光を吸収する光吸収層１０５を形成する。これにより、第１振動ミラー素子１０に結露が発生するのを抑制することができる。
【００９３】
また、第４実施形態では、絞り部材９ｂを介さないことにより、レーザ光源４〜６から照射された光が第１ミラー部１０１の周囲の光吸収層１０５が形成された領域と反射面１０１ａとに照射されるように第１振動ミラー素子１０を構成する。これにより、１つのまとまったパターンの光を第１ミラー部１０１の周囲の光吸収層１０５が形成された領域に照射することができる。その結果、複数に分割されたパターンの光を光吸収層１０５が形成された領域にまとまった光を照射することができるので、光吸収層１０５に光を効率よく吸収させることができる。また、絞り部材を設けないので、その分、部品点数を削減することができる。
【００９４】
なお、第４実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。
【００９５】
（第５実施形態）
以下、図１０を参照して、本発明の第５実施形態によるプロジェクタ４００の構成について説明する。
【００９６】
この第５実施形態では、画像非形成領域Ｒ２に光が照射されない開口形状に形成された開口部３ａを有するプロジェクタ１について説明した第１実施形態と異なり、画像非形成領域Ｒ２にも光が照射される開口部４０３ａを有するプロジェクタ４００について説明する。なお、上記第１実施形態と同様の構成については、同じ符号を用いるとともに説明を省略する。
【００９７】
図１０に示すように、第５実施形態によるプロジェクタ４００は、壁面などに設置されるスクリーン４０２に画像を投影するように構成されている。
【００９８】
スクリーン４０２は、画像形成領域Ｒ１に対応する部分が光反射性の素材からなるように構成されている。
【００９９】
また、スクリーン４０２は、画像非形成領域Ｒ２に対応する部分が光吸収性の素材からなるように構成されている。これにより、メインＣＰＵ１３が、画像非形成領域Ｒ２を走査する際にレーザ光源４〜６に光を照射させる制御を行っても、スクリーン４０２の画像非形成領域Ｒ２に対応する部分では光が吸収される。すなわち、ユーザには、画像非形成領域Ｒ２に照射された光は視認されにくくなり、画像形成領域Ｒ１に投影された画像が容易に視認される。これにより、画像形成領域Ｒ１の画像の視認性が低下するのを抑制することができる。
【０１００】
なお、第５実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【０１０１】
第５実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【０１０２】
第５実施形態では、上記のように、第１振動ミラー素子１０の反射面１０１ａ側において、第１ミラー部１０１以外の部分に、レーザ光源４〜６から照射された光を吸収する光吸収層１０５を形成する。これにより、第１振動ミラー素子１０に結露が発生するのを抑制することができる。
【０１０３】
また、第５実施形態では、光反射性の素材からなるスクリーン４０２ａの画像形成領域Ｒ１と、光吸収性の素材からなるスクリーン４０２ａの画像非形成領域Ｒ２とに向けて画像を投影するように第１振動ミラー素子１０を構成する。これによって、画像非形成領域Ｒ２に照射されたユーザに光が視認されるのを抑制することができる。その結果、画像形成領域Ｒ１の画像の視認性が低下するのを抑制しながら、継続的に光吸収層１０５に光を吸収させることができる。
【０１０４】
なお、第５実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。
【０１０５】
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での変更（変形例）が含まれる。
【０１０６】
たとえば、上記第１実施形態では、ＨＵＤを自動車に搭載する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、たとえば、航空機など、自動車以外の輸送用機器にＨＵＤを搭載してもよい。
【０１０７】
上記第１および第３〜第５実施形態では、蒸着により光吸収層を形成する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、たとえば、光を吸収する機能を有するペースト状の材料を塗布することにより光吸収層を形成してもよい。また、薬品で処理したり、酸化させるなどの化学的な処理や、レーザを照射するなどの物理的な処理により表面粗さを大きくして光吸収層として機能するようにしてもよい。
【０１０８】
また、上記第１および第３〜第５実施形態では、振動ミラー素子における反射面側のミラー部以外の全領域に光吸収層を形成する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、振動ミラー素子における反射面側のミラー部以外の少なくとも一部に光吸収層をしてもよい。
【０１０９】
また、上記第２実施形態では、黒色の固定部材が光吸収層として機能する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、蒸着などにより固定部材の表面に光吸収層を形成してもよい。
【０１１０】
また、上記第１〜第５実施形態では、振動ミラー素子が静電駆動型である例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、圧電駆動型など、静電駆動型以外の振動ミラー素子であってもよい。
【０１１１】
また、上記第１および第３〜第５実施形態では、第１振動ミラー素子にのみ光吸収層を設けたが、本発明はこれに限られない。本発明では、第１振動ミラー素子および第２振動ミラー素子の両方に光吸収層を設けてもよい。
【０１１２】
また、上記第１〜第５実施形態では、画像形成領域に照射される光のエネルギおよび画像非形成領域に照射される光のエネルギが一定になるように、画像非形成領域に光を照射させる例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、画像非形成領域に光を照射させなくてもよい。
【０１１３】
また、上記第１および第２実施形態では、円形状の第２貫通孔を設けた例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、図１１に示すように、円弧形状など、円形状以外の形状の第２貫通孔１９２ｂを設けてもよい。
【０１１４】
また、上記第５実施形態では、画像非形成領域に対応する部分が光吸収性の素材からなるようにスクリーンが構成されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、画像非形成領域に対応する部分が光透過性の素材からなるようにスクリーンが構成されていてもよい。これにより、ユーザには、画像非形成領域Ｒ２に照射された光は視認されず、画像形成領域Ｒ１に投影された画像のみが視認される。その結果、画像形成領域Ｒ１の画像の視認性が低下するのを抑制することができる。
【符号の説明】
【０１１５】
１、１００、２００、３００、４００  プロジェクタ
１ａ  ＨＵＤ
２  スクリーン（表示板）
３ａ、４０３ａ  開口部
４、５、６  レーザ光源（光源）
９ｂ、２０９ｂ  絞り部材
９ｃ  光学部材
１０  第１振動ミラー素子（振動ミラー素子）
１１  第２振動ミラー素子
１３  メインＣＰＵ（制御部）
９１ｂ、２０９ｂ  第１貫通孔
９２ｂ、１９２ｂ  第２貫通孔
１０１  第１ミラー部（ミラー部）
１０１ａ  反射面
１０２ａ  櫛歯部
１０４ａ  電極部
１０５  光吸収層
１０６  固定部材
１１１  第２ミラー部
１１１ａ  反射面
４０２  スクリーン
Ｒ  走査領域
Ｒ１  画像形成領域
Ｒ２  画像非形成領域
【図１】
2016011975.tif 000003
【図２】
2016011975.tif 000004
【図３】
2016011975.tif 000005
【図４】
2016011975.tif 000006
【図５】
2016011975.tif 000007
【図６】
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【図７】
2016011975.tif 000009
【図８】
2016011975.tif 000010
【図９】
2016011975.tif 000011
【図１０】
2016011975.tif 000012
【図１１】
2016011975.tif 000013