(57)【要約】【課題】振動体の捩じれ振動による検出方向への振動漏れを防止可能な角速度センサー。【解決手段】ジャイロセンサー１００は、並設された第１支持体１２および第２支持体１３と、第１支持体１２および第２支持体１３の間を接続し、間隙を有して配置されている第１連結部１６ａおよび第２連結部１６ｂと、他端が基体１０に接続され一端が第１連結部１６ａに接続された第１梁部７１と、他端が基体１０に接続され一端が第２連結部１６ｂに接続された第２梁部７２と、を備え、第１支持体１２は、第１検出用バネ部４５ａを介して第１支持体１２に接続された第１検出用可動電極部５３ａおよび第１駆動部４０ａを有し、第２支持体１３は、第２検出用バネ部４５ｂを介して第２支持体１３に接続された第２検出用可動電極部５３ｂおよび第２駆動部４０ｂを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに直交する２つの軸を第１軸および第２軸とし、前記第１軸と前記第２軸とを含む面の法線方向と平行な軸を第３軸としたとき、
前記第１軸と前記第２軸とを含む面に沿った一面を備えている基体と、
前記一面と間隙を有して設けられている第１支持体と、
前記一面と間隙を有し、前記第１支持体と並設されている第２支持体と、
前記第１支持体と前記第２支持体とを一方で接続している第１連結部と、
前記第１連結部と間隙を有した他方で前記第１支持体と前記第２支持体とを接続している第２連結部と、
前記第１連結部に一端が接続され、他端が前記基体に接続されている第１梁部と、
前記第２連結部に一端が接続され、他端が前記基体に接続されている第２梁部と、を備え、
前記第１支持体は、
前記第１支持体に接続され、前記第２軸方向に振動可能な第１弾性部と、
前記第１弾性部に支持されている第１可動検出部と、
前記第１支持体を前記第３軸方向に振動させる第１駆動部と、を有し、
前記第２支持体は、
前記第２支持体に接続され、前記第２軸方向に振動可能な第２弾性部と、
前記第２弾性部に支持されている第２可動検出部と、
前記第２支持体を前記第３軸方向に振動させる第２駆動部と、を有していることを特徴とする角速度センサー。
【請求項２】
前記第１梁部および前記第２梁部は、前記第２軸に並行して延在されていることを特徴とする請求項１に記載の角速度センサー。
【請求項３】
前記第１梁部と前記第２梁部とは、前記第１連結部または前記第２連結部から互いに逆方向に向かって延在されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の角速度センサー。
【請求項４】
前記第１梁部および前記第２梁部は、前記第１連結部と前記第２連結部との間隙側に向かって、前記第１連結部または前記第２連結部から延在されていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の角速度センサー。
【請求項５】
前記第１駆動部は、第１可動電極部および第１固定電極部を備え、
前記第２駆動部は、第２可動電極部および第２固定電極部を備え、
前記第１固定電極部は、平面視にて少なくとも前記第１支持体と重なる位置の前記基体の前記一面に設けられ、
前記第２固定電極部は、平面視にて少なくとも前記第２支持体と重なる位置の前記基体の前記一面に設けられていることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の角速度センサー。
【請求項６】
前記第１支持体および第２支持体には、駆動モニター部を備えていることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の角速度センサー。
【請求項７】
前記第１支持体および前記第２支持体は、
前記第１連結部および前記第２連結部が設けられている側と反対側からそれぞれ延在し、前記第２軸の方向に変位し難く、且つ前記第３軸の方向に変位し易い弾性連結部を備えていることを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の角速度センサー。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の角速度センサーを備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項９】
請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の角速度センサーを備えていることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、角速度センサー、それを備えた電子機器、および移動体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、振動デバイスとして、例えばシリコンＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ）技術を用いた機能素子が開発されている。そして、この機能素子の一例としてのジャイロ素子を用いて角速度を検出するジャイロセンサー（静電容量型ＭＥＭＳジャイロセンサー）が開示されている。
【０００３】
このようなジャイロセンサー（角速度センサー）としては、駆動ばねを介して支持基板に対して、支持基板の板面に交差する方向に振動可能に支持される一対の駆動質量体と、検出ばねを介して各駆動質量体にそれぞれ連結され、各駆動質量体に対して支持基板の板面に沿った面内で一方向に変位可能にそれぞれ支持された一対の検出質量体と、を備えているジャイロセンサーが開示されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に示されているジャイロセンサーでは、Ｚ軸方向に振動している駆動部が、Ｘ軸まわりの角速度を受けてＹ軸方向に振動し、そのＹ軸方向の振動による容量変化を検出部が検出することによって角速度を検出することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−１５３５１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示されているジャイロセンサーでは、駆動質量体は、駆動ばねと駆動ばねから延在されている連結片とによって支持基板に一点支持されている。したがって、駆動質量部は、連結片を中心に面内方向（支持基板の板面方向）に回転する捩じれ振動（変位）を生じてしまう虞がある。面内方向に捩じれ振動を生じると、この捩じれ振動により検出質量体の検出振動方向に振動成分が漏れ、検出精度が低下してしまう虞を有していた。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例に係る角速度センサーは、互いに直交する２つの軸を第１軸および第２軸とし、前記第１軸と前記第２軸とを含む面の法線方向と平行な軸を第３軸としたとき、前記第１軸と前記第２軸とを含む面に沿った一面を備えている基体と、前記一面と間隙を有して設けられている第１支持体と、前記一面と間隙を有し、前記第１支持体と並設されている第２支持体と、前記第１支持体と前記第２支持体とを一方で接続している第１連結部と、前記第１連結部と間隙を有した他方で前記第１支持体と前記第２支持体とを接続している第２連結部と、前記第１連結部に一端が接続され、他端が前記基体に接続されている第１梁部と、前記第２連結部に一端が接続され、他端が前記基体に接続されている第２梁部と、を備え、前記第１支持体は、前記第１支持体に接続され、前記第２軸方向に振動可能な第１弾性部と、前記第１弾性部に支持されている第１可動検出部と、前記第１支持体を前記第３軸方向に振動させる第１駆動部と、を有し、前記第２支持体は、前記第２支持体に接続され、前記第２軸方向に振動可能な第２弾性部と、前記第２弾性部に支持されている第２可動検出部と、前記第２支持体を前記第３軸方向に振動させる第２駆動部と、を有していることを特徴とする。
【０００８】
本適用例によれば、第１支持体および第２支持体は、一方で第１連結部によって接続され、さらに第１連結部と間隙を有した他方で第２連結部によって接続されている。そして、第１連結部は、第１連結部に一端が接続された第１梁部（トーションバネともいう）の他端で基体に接続されている。また、第２連結部は、第２連結部に一端が接続された第２梁部（トーションバネともいう）の他端で基体に接続されている。このように、第１支持体および第２支持体は、間隙を有して設けられた第１連結部と第２連結部とにそれぞれ設けられた第１梁部と第２梁部とによって基体に接続されているため、捩じれ（回転）振動を生じ難くなる。これによって、第１支持体および第２支持体に捩じれ振動を生じることによる検出振動方向（第２軸方向）への振動漏れ現象を低減でき、検出精度を向上させることが可能となる。
また、第１支持体および第２支持体が、上述のように基体に接続されていることから、第１梁部および第２梁部を支点として、第１支持体および第２支持体を逆相で第３軸方向へ駆動振動させることが可能となる。
【０００９】
なお、本発明に係る記載では、「上方」という文言を、例えば、「特定のもの（以下、「Ａ」という）の「上方」に他の特定のもの（以下、「Ｂ」という）を形成する」などと用いる場合に、Ａ上に直接Ｂを形成するような場合と、Ａ上に他のものを介してＢを形成するような場合とが含まれるものとして用いている。
また、本発明に係る記載では、「平面視」という文言を、「基体の振動体が設けられる基面の法線方向から見た平面視」を意味する文言として用いている。
【００１０】
［適用例２］上記適用例に記載の角速度センサーにおいて、前記第１梁部および前記第２梁部は、前記第２軸に並行して延在されていることが好ましい。
【００１１】
本適用例によれば、第１梁部および第２梁部が第２軸に並行して延在されていることから、第１梁部および第２梁部の第２軸方向の強度が強くなる。したがって、第１梁部および第２梁部の第２軸方向への変位が起こりにくくなり、第１支持体および第２支持体の検出振動方向（第２軸方向）への振動漏れ現象を低減することが可能となる。
【００１２】
［適用例３］上記適用例に記載の角速度センサーにおいて、前記第１梁部と前記第２梁部とは、前記第１連結部または前記第２連結部から互いに逆方向に向かって延在されていることが好ましい。
【００１３】
本適用例によれば、第１梁部と第２梁部とが逆方向に変位する逆相振動を低減させることができ、振動漏れの更なる低減を図ることができる。
【００１４】
［適用例４］上記適用例に記載の角速度センサーにおいて、前記第１梁部および前記第２梁部は、前記第１連結部と前記第２連結部との間隙側に向かって、前記第１連結部または前記第２連結部から延在されていることが好ましい。
【００１５】
本適用例によれば、第１梁部および第２梁部が、第１連結部と第２連結部との間隙内に設けられるため、角速度センサーの小型化を図ることができる。
【００１６】
［適用例５］上記適用例に記載の角速度センサーにおいて、前記第１駆動部は、第１可動電極部および第１固定電極部を備え、前記第２駆動部は、第２可動電極部および第２固定電極部を備え、前記第１固定電極部は、平面視にて少なくとも前記第１支持体と重なる位置の前記基体の前記一面に設けられ、前記第２固定電極部は、平面視にて少なくとも前記第２支持体と重なる位置の前記基体の前記一面に設けられていることが好ましい。
【００１７】
本適用例によれば、第１固定電極部が第１支持部に重なる位置、第２固定電極部が第２支持部に重なる位置の基体の一面に設けられているため、第１駆動部および第２駆動部の平面視における面積を小さくすることが可能となる。したがって、角速度センサーの小型化を図ることができる。
【００１８】
［適用例６］上記適用例に記載の角速度センサーにおいて、前記第１支持体および第２支持体には、駆動モニター部を備えていることが好ましい。
【００１９】
本適用例によれば、第１支持部および第２支持部の変位状態を、駆動モニター部によってモニタリングすることができる。そして、モニタリング結果に基づいて第１支持部および第２支持部の駆動振動をコントロールすることができる。これにより、より安定した駆動振動を得ることができる。
【００２０】
［適用例７］上記適用例に記載の角速度センサーにおいて、前記第１支持体および前記第２支持体は、前記第１連結部および前記第２連結部が設けられている側と反対側からそれぞれ延在し、前記第２軸の方向に変位し難く、且つ前記第３軸の方向に変位し易い弾性連結部を備えていることが好ましい。
【００２１】
本適用例によれば、第３軸方向に変位する第１支持体および第２支持体の変位の支点となる第１梁部および第２梁部と反対側に第２軸の方向に変位し難く、且つ第３軸の方向に変位し易い弾性連結部が設けられている。このように、第１支持体および第２支持体の変位の支点と距離的に離れた位置に弾性連結部が設けられていることから、第１支持体および第２支持体は、第３軸方向の変位を阻害されることなく、捩じれ（回転）振動がさらに抑制される。これによって、第１支持体および第２支持体に捩じれ振動を生じることによる第２軸方向への振動漏れ現象をさらに低減でき、検出精度を向上させることが可能となる。
【００２２】
［適用例８］本適用例に係る電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の角速度センサーを備えていることを特徴とする。
【００２３】
本適用例によれば、検出精度を高めた角速度センサーを備えているため、高い検出精度により性能を向上させた電子機器を提供することができる。
【００２４】
［適用例９］本適用例に係る移動体は、上記適用例のいずれか一例に記載の角速度センサーを備えていることを特徴とする。
【００２５】
本適用例によれば、検出精度を高めた角速度センサーを備えているため、高い検出精度により性能を向上させた移動体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】第１実施形態に係るジャイロセンサーを模式的に示す平面図。
【図２】第１実施形態に係るジャイロセンサーを模式的に示し、（ａ）は図１中のＡ−Ａ断面図、（ｂ）は図１中のＢ−Ｂ断面図。
【図３】第１実施形態に係るジャイロセンサーの動作を模式的に示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正断面図。
【図４】第１実施形態に係るジャイロセンサーの動作を模式的に示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正断面図。
【図５】第２実施形態に係るジャイロセンサーを模式的に示す平面図。
【図６】第２実施形態に係るジャイロセンサーを模式的に示し、（ａ）は図５中のＣ−Ｃ断面図、（ｂ）は図５中のＤ−Ｄ断面図。
【図７】第２実施形態に係るジャイロセンサーの動作を模式的に示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正断面図。
【図８】第２実施形態に係るジャイロセンサーの動作を模式的に示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正断面図。
【図９】梁部の変形例を示し、（ａ）は変形例１を示す平面図、（ｂ）は変形例２を示す平面図。
【図１０】梁部の変形例を示し、（ａ）は変形例３を示す平面図、（ｂ）は変形例４を示す平面図。
【図１１】電子機器の一例としてのモバイル型のパーソナルコンピューターの構成を模式的に示す斜視図。
【図１２】電子機器の一例としての携帯電話機の構成を模式的に示す斜視図。
【図１３】電子機器の一例としてのデジタルスチールカメラの構成を模式的に示す斜視図。
【図１４】移動体の一例としての自動車の構成を模式的に示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００２８】
１．ジャイロセンサー
１−１．第１実施形態に係るジャイロセンサー（角速度センサー）の構成
まず、本発明に係るジャイロセンサー（角速度センサー）の第１実施形態について図面を参照しながら説明する。図１は、第１実施形態に係るジャイロセンサー１００を模式的に示す平面図である。図２は、第１実施形態に係るジャイロセンサー１００を模式的に示す図であり、図２（ａ）は、図１のＡ−Ａ線断面図、図２（ｂ）は、図１のＢ−Ｂ線断面図である。なお、図１および図２では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸（第１軸）、Ｙ軸（第２軸）、Ｚ軸（第３軸）を図示している。
【００２９】
ジャイロセンサー１００は、図１および図２に示すように、基体１０と、ジャイロ素子５を含んでいる。ジャイロ素子５は、振動体２０と、弾性連結部３０と、駆動部（第１駆動部４０ａ、第２駆動部４０ｂ）と、検出部（第１検出部５０ａ、第２検出部５０ｂ）と、駆動モニター部（第１駆動モニター部６０ａ、第２駆動モニター部６０ｂ）と、を含んでいる。ジャイロ素子５は、基体１０および蓋体８０によって囲まれるキャビティー８２に収容されている。ジャイロ素子５は、基体１０の上方に間隙（凹部１４）を介して設けられている。ジャイロ素子５は、基体１０の第１面１１に（基体１０上に）設けられた第１固定部１５に弾性連結部３０を介して支持されている。ジャイロセンサー１００では、ジャイロ素子５を構成する検出部（第１検出部５０ａ、第２検出部５０ｂ）が、Ｘ軸まわりの角速度を検出するジャイロセンサー素子（静電容量型ＭＥＭＳジャイロセンサー素子）である。なお、便宜上、図１では、基体１０および蓋体８０を透視して図示している。また、基体１０の振動体２０が設けられる基面である第１面１１（図２参照）の法線方向から見ること、即ち基体１０に支持されている振動体２０を上方から見ることを、以下、「平面視」という。
【００３０】
基体１０の材質は、例えば、ガラス、シリコンである。基体１０は、図２に示すように、第１面１１と、第１面１１と反対側の第２面１１ｂと、を有している。第１面１１には、凹部１４が設けられている。凹部１４の上方には、間隙を介して、振動体２０（第１振動体２１、第２振動体２２、第１連結部１６ａ、第２連結部１６ｂ、および第１梁部７１、および第２梁部７２）、弾性連結部３０が設けられている。凹部１４によって、振動体２０は、基体１０に妨害されることなく、所望の方向に可動することができる。凹部１４の平面形状（Ｚ軸方向から見たときの形状）は、特に限定されないが、図１に示す例では、長方形である。凹部１４は、例えば、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によって形成される。
【００３１】
基体１０は、図２（ａ）に示すように振動体２０の形態に応じて、第１面１１に適宜設けられる第１固定部１５を有している。第１固定部１５は、振動体２０を支持する弾性連結部３０の一端が固定（接合）され、該弾性連結部３０を介して振動体２０を支持する部分である。図１および図２に示すように、第１固定部１５は、Ｘ軸方向において振動体２０を挟むように配置されていてもよい。
【００３２】
また、基体１０は、図２（ｂ）に示すように、第１面１１に適宜設けられる第２固定部２５および第３固定部２６を有している。第２固定部２５には、振動体２０の第１連結部１６ａから延出する第１梁部７１の一端が固定（接合）される。また、第３固定部２６には、振動体２０の第２連結部１６ｂから延出する第２梁部７２の一端が固定（接合）される。すなわち、第２固定部２５は、第１梁部７１を介して第１連結部１６ａを支持する部分であり、第３固定部２６は、第２梁部７２を介して第２連結部１６ｂを支持する部分である。図１および図２（ｂ）に示すように、第２固定部２５は、少なくとも第１梁部７１を支持し、第３固定部２６は、少なくとも第２梁部７２を支持するように配置される。
【００３３】
第１固定部１５と弾性連結部３０との固定、第２固定部２５と第１梁部７１との固定、および第３固定部２６と第２梁部７２との固定（接合）方法は、特に限定されないが、例えば、基体１０の材質がガラスであり、振動体２０等の材質がシリコンである場合は、陽極接合を適用することができる。
【００３４】
振動体２０は、図２に示すように、基体１０および蓋体８０によって囲まれるキャビティー８２に収容されている。振動体２０は、基体１０の上方に間隙（凹部１４）を介して設けられている。振動体２０は、基体１０の第１面１１に（基体１０上に）弾性連結部３０を介して支持される。振動体２０は、図１に示すように、第１振動体２１、および第２振動体２２と、第１連結部１６ａ、第２連結部１６ｂと、第１梁部７１、および第２梁部７２と、を有している。
【００３５】
第１振動体２１および第２振動体２２は、Ｘ軸に沿う方向（第１方向）において並設され、第１連結部１６ａ、第２連結部１６ｂによって連結されている。また、第１振動体２１および第２振動体２２は、弾性連結部３０を介して、第１固定部１５によって支持されており、基体１０と離間して配置されている。より具体的には、基体１０の上方に間隙（凹部１４）を介して、第１振動体２１および第２振動体２２が設けられている。第１振動体２１および第２振動体２２は、例えば、フレーム状の形状（升状の枠形状）を有することができ、第１振動体２１には第１支持体１２が備えられ、第２振動体２２には第２支持体１３が備えられている。なお、この第１振動体２１および第２振動体２２が背景技術の駆動質量体に相当する。また、第１支持体１２および第２支持体１３は、電気的に固定電位を有しており、固定電位としてグランド（ＧＮＤ：接地）電位を有している。なお、固定電位とは、例えばグランド（接地）電位だけでなく、電源や基準電位などの変動しない電位であってもよい。なお、第１振動体２１および第２振動体２２は、図１に示すように、両者の境界線となる仮想直線に対して、すなわち第１梁部７１、および第２梁部７２それぞれの、Ｘ軸方向の中心をＹ軸に沿って結ぶ直線に対して、対称となる形状とすることが好ましい。
【００３６】
第１連結部１６ａは、第１支持体１２および第２支持体１３のＹ軸方向の一方に配置され、第２連結部１６ｂは、第１連結部１６ａと間隙を有した他方に配置されている。具体的には、第１支持体１２および第２支持体１３は、第１支持体１２および第２支持体１３の＋Ｙ軸方向にあってＸ軸方向に延在する一方の辺１２ａ，１３ａから延伸された第１連結部１６ａと、第１支持体１２および第２支持体１３の−Ｙ軸方向にあってＸ軸方向に延在する他方の辺１２ｂ，１３ｂから延伸された第２連結部１６ｂと、によって接続されている。
【００３７】
梁部としての第１梁部７１は、第１連結部１６ａから、Ｙ軸に沿う方向（振動体２０が振動する方向と直交する方向）に延出し、第２固定部２５に固定（接合）されている。また、第２梁部７２は、第２連結部１６ｂから、Ｙ軸に沿う方向（振動体２０が振動する方向と直交する方向）に延出し、第３固定部２６に固定（接合）されている。具体的には、図１および図２（ｂ）に示すように、第１梁部７１の一端は第１連結部１６ａに接続されている。第１連結部１６ａから＋Ｙ軸方向にＹ軸に並行して延在された第１梁部７１の他端（先端部）は、第２固定部２５（基体１０の第１面１１（図２参照））に接合（固定）されている。また、第２梁部７２の一端は、第２連結部１６ｂに接続されている。第２連結部１６ｂから−Ｙ軸方向にＹ軸に並行して延在された第２梁部７２の他端（先端部）は、第３固定部２６（基体１０の第１面１１（図２参照））に接合（固定）されている。換言すれば、第１梁部７１、および第２梁部７２は、第１連結部１６ａ、第２連結部１６ｂから、Ｙ軸に沿って互いに逆方向に向かって延在されている。
【００３８】
このように、第１梁部７１および第２梁部７２が設けられることにより、第１梁部７１および第２梁部７２のＹ軸方向の強度が強くなる。したがって、第１梁部７１および第２梁部７２のＹ軸方向への変位が起こりにくくなり、第１連結部１６ａおよび第２連結部１６ｂを介して第１梁部７１および第２梁部７２に連結されている第１支持体１２および第２支持体１３の検出振動方向（第２軸方向としてのＹ軸方向）への振動漏れ現象を低減することが可能となる。
また、第１梁部７１と第２梁部７２とは、第１連結部１６ａまたは第２連結部１６ｂから互いに逆方向に向かって延在されているため、第１梁部７１と第２梁部７２とが逆方向に変位する逆相振動を低減させることができ、振動漏れの更なる低減を図ることができる。
【００３９】
第１梁部７１は、第２固定部２５と固定されている部分を支点として捩じられることによって第１振動体２１を、Ｚ軸方向において変位し得るように構成されている。また、第２梁部７２は、第３固定部２６と固定されている部分を支点として捩じられることによって第２振動体２２を、Ｚ軸方向において変位し得るように構成されている。このように、第１梁部７１および第２梁部７２は、トーションバー（torsion bar）（トーションバネともいう）としての機能を有している。このように細い棒状のトーションバー（梁）を用いることで、スペース効率を高くすることが可能となる。なお、第１梁部７１、および第２梁部７２の構成は、Ｚ軸に沿う方向（振動体２０が振動する方向）に所定のバネ定数によって弾性変形することができる限り限定されない。
【００４０】
弾性連結部３０は、Ｘ軸方向に振動体２０を変位し得るように構成されている。具体的には、弾性連結部３０は、第１固定部１５から振動体２０（第１振動体２１または第２振動体２２）までＸ軸に沿う方向に延出し、Ｙ軸方向に往復しながらＸ軸方向に延出する形状を有している。弾性連結部３０は、図１および図２に示すように、Ｘ軸方向において振動体２０を挟むように、換言すれば、第１連結部１６ａおよび第２連結部１６ｂが設けられている側の反対側の第１支持体１２または第２支持体１３から延設されている。弾性連結部３０の一端は、第１固定部１５（基体１０の第１面１１）に接合（固定）されている。また、弾性連結部３０の他端は、振動体２０（第１振動体２１の第１支持体１２または第２振動体２２の第２支持体１３）に接続されている。図示の例では、弾性連結部３０は、振動体２０をＸ軸方向において挟むように、４か所に設けられている。
【００４１】
駆動部（第１駆動部４０ａおよび第２駆動部４０ｂ）は、櫛歯状に対向配置された駆動用可動電極部４１および駆動用固定電極部４２と、複数の駆動用固定電極部４２どうしを接続する駆動連接部４３とを含み構成されている。
【００４２】
駆動部（第１駆動部４０ａおよび第２駆動部４０ｂ）は、平面視で、第１振動体２１の第１支持体１２および第２振動体２２の第２支持体１３に対して、第１固定電極部としての第１検出用固定電極部５４ａ，５４ｂおよび第２検出用固定電極部５５ａ，５５ｂと反対側に設けられている。これにより、第１検出用固定電極部５４ａ，５４ｂおよび第２検出用固定電極部５５ａ，５５ｂと駆動部（第１駆動部４０ａおよび第２駆動部４０ｂ）とが、重ならないように配置することができる。また、第１支持体１２および第２支持体１３が固定電位であるため、駆動部（第１駆動部４０ａおよび第２駆動部４０ｂ）のノイズによる第１検出用固定電極部５４ａ，５４ｂおよび第２検出用固定電極部５５ａ，５５ｂへの容量結合を抑制することが可能となる。
【００４３】
駆動部（第１駆動部４０ａおよび第２駆動部４０ｂ）は、振動体２０の第１振動体２１または第２振動体２２を励振させることができる機構を有する。なお、駆動部（第１駆動部４０ａおよび第２駆動部４０ｂ）の構成および数は、第１振動体２１または第２振動体２２を励振することができる限り、特に限定されない。例えば、駆動部（第１駆動部４０ａおよび第２駆動部４０ｂ）は、振動体２０に直接設けられていてもよい。図１に示すように、振動体２０の外側に接続された駆動用可動電極部４１と、該駆動用可動電極部４１と所定の距離を介して対向配置された駆動用固定電極部４２から構成されていてもよい。また、図示はされないが、駆動部（第１駆動部４０ａおよび第２駆動部４０ｂ）は、振動体２０に直接接続せずに静電気力等によって振動体２０を励振する機構を有し、振動体２０の外側に配置されていてもよい。
【００４４】
駆動用可動電極部４１は、第１振動体２１および第２振動体２２に接続されて複数設けられていてもよい。本実施形態では、駆動用可動電極部４１は、第１振動体２１の第１支持体１２の辺１２ａ，１２ｂ、あるいは第２振動体２２の第２支持体１３の辺１３ａ，１３ｂから＋Ｙ軸方向（または−Ｙ軸方向）に、細幅状（矩形棒状）に延在されている。駆動用可動電極部４１は、複数本設けられており、Ｘ軸方向に間隙を有して並んで設けられている。
【００４５】
駆動用固定電極部４２は、駆動用可動電極部４１の外側に配置されている。駆動用固定電極部４２は、基体１０の第１面１１に配置されている。本実施形態では、駆動用固定電極部４２は、複数設けられ、駆動用可動電極部４１を介して、対向配置されるとともに、駆動連接部４３によって連接されている。
【００４６】
駆動用可動電極部４１および駆動用固定電極部４２は、図示しない電源に電気的に接続されている。駆動用可動電極部４１および駆動用固定電極部４２に電圧が印加されると、駆動用可動電極部４１と駆動用固定電極部４２との間に静電力が発生し、この静電力によって第１支持体１２および第２支持体１３をＺ軸に沿って変位させることができ、第１振動体２１および第２振動体２２をＺ軸に沿って振動させることができる。
【００４７】
駆動モニター部（第１駆動モニター部６０ａおよび第２駆動モニター部６０ｂ）は、第１振動体２１および第２振動体２２の振動状態をモニタリングし、その振動をコントロールするために設けられている。駆動モニター部（第１駆動モニター部６０ａおよび第２駆動モニター部６０ｂ）は、第１振動体２１および第２振動体２２に接続されて複数設けられていてもよい。本実施形態では、モニター用可動電極部６３は、第１振動体２１における第１支持体１２の辺１２ａ，１２ｂ、あるいは第２振動体２２における第２支持体１３の辺１３ａ，１３ｂから＋Ｙ軸方向（または−Ｙ軸方向）に、細幅状（矩形棒状）に延在されている。モニター用可動電極部６３は、複数本設けられており、Ｘ軸方向に間隙を有して並んで設けられている。
【００４８】
モニター用固定電極部６４は、モニター用可動電極部６３の外側に配置されている。モニター用固定電極部６４は、基体１０の第１面１１に配置されている。本実施形態では、モニター用固定電極部６４は、複数設けられ、モニター用可動電極部６３を介して、対向配置されるとともに、モニター連接部６５によって連接されている。
【００４９】
駆動モニター部（第１駆動モニター部６０ａおよび第２駆動モニター部６０ｂ）は、モニター用可動電極部６３とモニター用固定電極部６４との間の容量変化を検出、モニタリングし、その結果に基づいて第１振動体２１および第２振動体２２の駆動振動をコントロールすることができる。これにより、より安定した第１振動体２１および第２振動体２２の駆動振動を得ることができる。
【００５０】
検出部（第１検出部５０ａおよび第２検出部５０ｂ）は、振動体２０（第１振動体２１、および第２振動体２２）に連結されている。本実施形態における検出部は、第１振動体２１の第１支持体１２の内側に第１検出部５０ａが設けられ、第２振動体２２の第２支持体１３の内側に第２検出部５０ｂが設けられている。
第１検出部５０ａは、第１検出用支持部５６ａと、第１弾性部としての第１検出用バネ部４５ａと、第１可動検出部としての第１検出用可動電極部５３ａと、検出用固定電極部としての第１検出用固定電極部５４ａおよび第２検出用固定電極部５５ａと、第２検出用固定電極部５５ａどうしを接続する検出連接部５７ａと、を有している。
第２検出部５０ｂは、第２検出用支持部５６ｂと、第２弾性部としての第２検出用バネ部４５ｂと、第２可動検出部としての第２検出用可動電極部５３ｂと、検出用固定電極部としての第１検出用固定電極部５４ｂおよび第２検出用固定電極部５５ｂと、第２検出用固定電極部５５ｂどうしを接続する検出連接部５７ｂと、を有している。
【００５１】
第１弾性部としての第１検出用バネ部４５ａは、第１支持体１２の内側にあって、第１検出用支持部５６ａの外側（第１支持体１２側）に配置されている。第１検出用バネ部４５ａは、第１検出用支持部５６ａと振動体２０（第１振動体２１の第１支持体１２）とを接続している。より具体的には、第１検出用バネ部４５ａの一端は、第１検出用支持部５６ａに接続されている。第１検出用バネ部４５ａの他端は、振動体２０（第１振動体２１の第１支持体１２）に接続されている。
第２弾性部としての第２検出用バネ部４５ｂは、第２支持体１３の内側にあって、第２検出用支持部５６ｂの外側（第２支持体１３側）に配置されている。第２検出用バネ部４５ｂは、第２検出用支持部５６ｂと振動体２０（第２振動体２２の第２支持体１３）とを接続している。より具体的には、第２検出用バネ部４５ｂの一端は、第２検出用支持部５６ｂに接続されている。第２検出用バネ部４５ｂの他端は、振動体２０（第２振動体２２の第２支持体１３）に接続されている。
第１検出用バネ部４５ａおよび第２検出用バネ部４５ｂは、Ｙ軸方向に第１検出用支持部５６ａ、または第２検出用支持部５６ｂを変位し得るように構成されている。より具体的には、第１検出用バネ部４５ａおよび第２検出用バネ部４５ｂは、Ｘ軸方向に往復しながらＹ軸方向に延出する形状を有している。
【００５２】
第１可動検出部としての第１検出用可動電極部５３ａは、第１検出用支持部５６ａのＹ軸方向に沿って延在する両端のそれぞれから、第１支持体１２の設けられている側（外側）に向かってＸ軸方向に沿って細幅状（矩形棒状）に延在されている。第１検出用可動電極部５３ａは、第１支持体１２の内側に複数設けられており、Ｙ軸方向に間隙を有して並んで設けられている。なお、第１検出用可動電極部５３ａの配置数は、幾つであってもよい。
第２可動検出部としての第２検出用可動電極部５３ｂは、第２検出用支持部５６ｂのＹ軸方向に沿って延在する両端のそれぞれから、第２支持体１３の設けられている側（外側）に向かってＸ軸方向に沿って細幅状（矩形棒状）に延在されている。第２検出用可動電極部５３ｂは、第２支持体１３の内側に複数設けられており、Ｙ軸方向に間隙を有して並んで設けられている。なお、第２検出用可動電極部５３ｂの配置数は、幾つであってもよい。
【００５３】
第１検出用固定電極部５４ａ，５４ｂおよび第２検出用固定電極部５５ａ，５５ｂは、第１支持体１２および第２支持体１３の内側に配置されている。第１検出用固定電極部５４ａ，５４ｂおよび第２検出用固定電極部５５ａ，５５ｂは、基体１０の第１面１１に設けられた凹部１４の底面１１ａに配置されている。図示の例では、第１検出用固定電極部５４ａ，５４ｂおよび第２検出用固定電極部５５ａ，５５ｂは、複数設けられており、第１検出用可動電極部５３ａまたは第２検出用可動電極部５３ｂを介して、対向配置されている。換言すれば、第１検出用固定電極部５４ａ，５４ｂおよび第２検出用固定電極部５５ａ，５５ｂは、第１検出用可動電極部５３ａまたは第２検出用可動電極部５３ｂと平面視で重ならないように配置されている。
【００５４】
上述のように、第１検出部５０ａは、第１支持体１２に接続された第１検出用支持部５６ａからＸ軸方向に沿って延出された第１検出用可動電極部５３ａ、およびＸ軸方向に沿って延在し、Ｙ軸方向に並ぶように配置され、基体１０に接続されている第１検出用固定電極部５４ａおよび第２検出用固定電極部５５ａを有している。また、第２検出部５０ｂは、第２支持体１３に接続された第２検出用支持部５６ｂからＸ軸方向に沿って延出された第２検出用可動電極部５３ｂ、およびＸ軸方向に沿って延在し、Ｙ軸方向に並ぶように配置され、基体１０に接続されている第１検出用固定電極部５４ｂおよび第２検出用固定電極部５５ｂを有している。これにより、Ｘ軸回りの角速度を受けた場合に生じる第１振動体２１および第２振動体２２のＹ軸方向への振動（変位）を効率よく検出することができ、角速度の検出精度を高めことが可能となる。
【００５５】
検出部（第１検出部５０ａ、第２検出部５０ｂ）は、第１振動体２１または第２振動体２２が角速度に応じたコリオリ力を受けた場合に、第１振動体２１または第２振動体２２に生じるＹ軸方向の振動を、容量変化によって検出し、角速度に応じたコリオリ力を算出することができる。具体的には、第１振動体２１がＸ軸方向にコリオリ力を受けると、第１支持体１２、および第１検出用バネ部４５ａを介して第１支持体１２から延設されている第１検出用支持部５６ａや第１検出用可動電極部５３ａは、それに連れてＹ軸方向に変位する。このＹ軸方向の変位により、第１検出部５０ａは、第１検出用可動電極部５３ａと第１検出用固定電極部５４ａおよび第２検出用固定電極部５５ａとの間に生じる容量変化を検出し、角速度として算出することができる。また、同様に、第２支持体１３、および第２検出用バネ部４５ｂを介して第２支持体１３から延設されている第２検出用支持部５６ｂや第２検出用可動電極部５３ｂは、それに連れてＹ軸方向に変位する。このＹ軸方向の変位により、第２検出部５０ｂは、第２検出用可動電極部５３ｂと第１検出用固定電極部５４ｂおよび第２検出用固定電極部５５ｂとの間に生じる容量変化を検出し、角速度として算出することができる。
【００５６】
上述したジャイロ素子５を構成する振動体２０、弾性連結部３０、駆動部（第１駆動部４０ａおよび第２駆動部４０ｂの駆動用可動電極部４１）と、検出部（第１検出用可動電極部５３ａ、第２検出用可動電極部５３ｂ、第１検出用バネ部４５ａ、第２検出用バネ部４５ｂ、第１検出用支持部５６ａ、第２検出用支持部５６ｂ）、駆動モニター部（第１駆動モニター部６０ａおよび第２駆動モニター部６０ｂのモニター用可動電極部６３）、および弾性連結部３０の材質は、例えば、リン、ボロン等の不純物がドープされることにより導電性が付与されたシリコンである。また、ジャイロ素子５を構成するこれらの構成は、例えば、シリコン基板（図示せず）を、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によって振動体２０と共に一体的に、あるいは別体に加工することにより形成される。
【００５７】
また、駆動用固定電極部４２、駆動連接部４３、モニター用固定電極部６４、モニター連接部６５、第１検出用固定電極部５４ａ，５４ｂ、第２検出用固定電極部５５ａ，５５ｂ、および検出連接部５７ａ，５７ｂは、例えばＩＴＯ（酸化インジウムスズ）、ＺｎＯ（酸化亜鉛）などの透明電極材料をスパッタリング法などによって成膜し、フォトリソグラフィー法、エッチング法などでパターニングされることによって形成される。なお、透明電極材料に限らず、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等の金属材料を用いることができる。また、基体１０がシリコンのような半導体材料においては、駆動用固定電極部４２、駆動連接部４３、モニター用固定電極部６４、モニター連接部６５、第１検出用固定電極部５４ａ，５４ｂ、第２検出用固定電極部５５ａ，５５ｂ、および検出連接部５７ａ，５７ｂとの間に、絶縁層を有していることが好ましい。絶縁層としては、例えばＳｉＯ2（酸化ケイ素）、ＡｌＮ（窒化アルミ）、ＳｉＮ（窒化ケイ素）などを用いることができる。
【００５８】
蓋体８０は、基体１０上に設けられている。基体１０および蓋体８０は、図２に示すように、パッケージを構成することができる。基体１０および蓋体８０は、キャビティー８２を形成することができ、キャビティー８２にジャイロ素子５（振動体２０）を収容することができる。例えば、図２に示す基体１０と蓋体８０との間の接合部分は、接着部材等によって埋められていてもよく、この場合、キャビティー８２は、例えば、不活性ガス（例えば窒素ガス）雰囲気、または真空雰囲気で密閉されていてもよい。
【００５９】
蓋体８０の材質は、例えば、シリコン、ガラスである。蓋体８０と基体１０との接合方法は、特に限定されないが、例えば、基体１０の材質がガラスであり、蓋体８０の材質がシリコンである場合は、基体１０と蓋体８０とは、陽極接合されることができる。
【００６０】
１−２．第１実施形態に係るジャイロセンサーの動作
次に、ジャイロセンサー１００の動作について、図面を参照しながら説明する。図３および図４はジャイロセンサー１００の動作を模式的に説明するための図であり、図３（ａ）および図４（ａ）は概略を示す平面図、図３（ｂ）および図４（ｂ）は概略を示す正断面図である。なお、図３および図４では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示している。また、便宜上、図３および図４では、ジャイロセンサー１００の各構成を、簡略化して図示している。
【００６１】
前述のように、ジャイロセンサー１００の振動モードでは、第１振動体２１と第２振動体２２は、駆動部（第１駆動部４０ａおよび第２駆動部４０ｂ）により励振され、互いに逆相（逆位相）で駆動振動することができる。より具体的には、第１振動体２１に設けられた駆動用可動電極部４１と駆動用固定電極部４２との間に第１交番電圧を印加し、第２振動体２２の駆動用可動電極部４１と駆動用固定電極部４２との間に第１交番電圧と位相が１８０度ずれた第２交番電圧を印加する。これにより、第１振動体２１および第２振動体２２は、互いに逆相（逆位相）で且つ所定の周波数で、基体１０の第２固定部２５を支点として第１梁部７１が捩じられるようにＺ軸方向に振動し、第３固定部２６を支点として第２梁部７２が捩じられるようにＺ軸方向に振動する。すなわち、Ｘ軸に沿って互いに連結された第１振動体２１および第２振動体２２は、Ｚ軸に沿って、互いに逆相で振動する。換言すれば、第１振動体２１および第２振動体２２は、Ｚ軸に沿って、互いに反対方向に変位する。このように、第１梁部７１および第２梁部７２は、トーションバネとしての機能を有している。
【００６２】
図３に示す例では、先ず、第１振動体２１は、第１梁部７１および第２梁部７２を中心軸として、α１方向（−Ｚ軸方向）に変位し、第２振動体２２は、第１梁部７１および第２梁部７２を中心軸として、α１方向と反対方向のα２方向（＋Ｚ軸方向）に変位する。次に、第１振動体２１は、第１梁部７１および第２梁部７２を中心軸として、α３方向（＋Ｚ軸方向）に変位し、第２振動体２２は、第１梁部７１および第２梁部７２を中心軸として、α３方向と反対方向のα４方向（−Ｚ軸方向）に変位する。第１振動体２１および第２振動体２２は、このような変位を繰り返す振動を行う。
【００６３】
なお、本実施形態において、第１検出用可動電極部５３ａ（第１検出用支持部５６ａ）および第２検出用可動電極部５３ｂ（第２検出用支持部５６ｂ）が、振動体２０（第１振動体２１、第２振動体２２）に連結されている部分である第１検出用バネ部４５ａおよび第２検出用バネ部４５ｂは、振動体２０（第１振動体２１、第２振動体２２）の振動に伴い、Ｙ軸に沿って変位しやすいように構成されている。したがって、検出部（第１検出部５０ａ、第２検出部５０ｂ）の内、第１検出用可動電極部５３ａ（第１検出用支持部５６ａ）および第２検出用可動電極部５３ｂ（第２検出用支持部５６ｂ）は、Ｙ軸方向に変位しやすく、Ｚ軸方向やＸ軸方向には変位しにくい。
【００６４】
図４に示すように、第１振動体２１、第２振動体２２がＺ軸に沿って振動を行っている状態で、ジャイロセンサー１００にＸ軸回りの角速度ωが加わると、コリオリの力が働き、第１検出用可動電極部５３ａおよび第２検出用可動電極部５３ｂは、Ｙ軸に沿って変位する。すなわち、第１振動体２１に連結された第１検出用可動電極部５３ａ、および第２振動体２２に連結された第２検出用可動電極部５３ｂは、Ｙ軸に沿って、互いに反対方向に変位する。図４に示す例では、先ず、第１検出用可動電極部５３ａは、β１方向に変位し、第２検出用可動電極部５３ｂは、β１方向と反対方向のβ２方向に変位する。次に、第１検出用可動電極部５３ａは、β３方向に変位し、第２検出用可動電極部５３ｂは、β３方向と反対方向のβ４方向に変位する。
【００６５】
第１検出用可動電極部５３ａがＹ軸に沿って変位することにより、第１検出用可動電極部５３ａと第１検出用固定電極部５４ａおよび第２検出用固定電極部５５ａとの間の距離が変化する。そのため、第１検出用可動電極部５３ａと第１検出用固定電極部５４ａおよび第２検出用固定電極部５５ａとの間の静電容量が変化する。同様に、第２検出用可動電極部５３ｂがＹ軸に沿って変位することにより、第２検出用可動電極部５３ｂと第１検出用固定電極部５４ｂおよび第２検出用固定電極部５５ｂとの間の距離が変化する。そのため、第２検出用可動電極部５３ｂと第１検出用固定電極部５４ａおよび第２検出用固定電極部５５ｂとの間の静電容量が変化する。ジャイロセンサー１００では、第１検出用可動電極部５３ａ、第２検出用可動電極部５３ｂ、第１検出用固定電極部５４ａ，５４ｂおよび第２検出用固定電極部５５ａ，５５ｂに電圧を印加する。これにより、第１検出用可動電極部５３ａと第１検出用固定電極部５４ａおよび第２検出用固定電極部５５ａとの間、第２検出用可動電極部５３ｂと第１検出用固定電極部５４ｂおよび第２検出用固定電極部５５ｂとの間の静電容量の変化量を検出し、Ｘ軸回りの角速度ωを求めることができる。
【００６６】
第１実施形態に係るジャイロセンサー１００によれば、第１振動体２１の第１支持体１２および第２振動体２２の第２支持体１３は、間隙を有して設けられた第１連結部１６ａと第２連結部１６ｂとを介して、第１連結部１６ａおよび第２連結部１６ｂから延出された第１梁部７１および第２梁部７２によって基体１０に接続されているため、（回転）振動を生じ難くなる。これによって、第１支持体１２および第２支持体１３の捩じれ振動によって生じる検出部（第１検出部５０ａおよび第２検出部５０ｂ）における検出振動方向（第２軸方向であるＹ軸方向）への振動漏れ現象を低減でき、検出精度を向上させることが可能となる。
また、第１支持体１２および第２支持体１３が、上述のように基体１０に接続されていることから、第１梁部７１および第２梁部７２を支点として、第１支持体１２および第２支持体１３を逆相で第３軸方向（Ｚ軸方向）へ駆動振動させることが可能となる
【００６７】
また、第１梁部７１および第２梁部７２が第２軸（Ｙ軸）に並行して延在されていることから、第１梁部７１および第２梁部７２の第２軸方向の強度が強くなる。したがって、第１梁部７１および第２梁部７２の第２軸方向への変位が起こりにくくなり、第１支持体１２および第２支持体１３の検出振動方向（第２軸方向）への振動漏れ現象を低減することが可能となる。
【００６８】
１−３．第２実施形態に係るジャイロセンサーの構成
本発明に係るジャイロセンサーの第２実施形態について図面を参照しながら説明する。図５は、第２実施形態に係るジャイロセンサー１０１を模式的に示す平面図である。図６は、第２実施形態に係るジャイロセンサー１０１を模式的に示す図であり、図６（ａ）は、図５のＣ−Ｃ線断面図、図６（ｂ）は、図５のＤ−Ｄ線断面図である。なお、図５および図６では、前述の第１実施形態と同様に、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸（第１軸）、Ｙ軸（第２軸）、Ｚ軸（第３軸）を図示している。
【００６９】
本第２実施形態のジャイロセンサー１０１は、駆動部（第１駆動部および第２駆動部）および駆動モニター部（第１駆動モニター部、第２駆動モニター部）の構成が、前述した第１実施形態のジャイロセンサー１００と異なる。以下、第２実施形態のジャイロセンサー１０１について、第１実施形態のジャイロセンサー１００と異なる構成を中心にして具体的に説明し、前述の第１実施形態と同様な構成については同符号を付してその説明を省略する。
【００７０】
図５および図６に示すように、第２実施形態のジャイロセンサー１０１は、第１実施形態と同様に、基体１０と、機能素子としてのジャイロ素子５を含んでいる。ジャイロ素子５は、振動体２０と、弾性連結部３０と、駆動部（第１駆動部７０ａ、第２駆動部７０ｂ）と、検出部（第１検出部５０ａ、第２検出部５０ｂ）と、駆動モニター部（第１駆動モニター部９０ａ、第２駆動モニター部９０ｂ）と、を含んでいる。ジャイロ素子５は、基体１０および蓋体８０によって囲まれるキャビティー８２に収容されている。ジャイロ素子５は、基体１０の上方に間隙（凹部１４）を介して設けられている。ジャイロ素子５は、基体１０の第１面１１に（基体１０上に）設けられた第１固定部１５に弾性連結部３０を介して支持されている。ジャイロセンサー１０１では、ジャイロ素子５を構成する検出部（第１検出部５０ａ、第２検出部５０ｂ）が、Ｘ軸まわりの角速度を検出するジャイロセンサー素子（静電容量型ＭＥＭＳジャイロセンサー素子）である。なお、便宜上、図５では、基体１０および蓋体８０を透視して図示している。また、基体１０の振動体２０が設けられる基面である第１面１１（図６参照）の法線方向から見ること、即ち基体１０に支持されている振動体２０を上方から見ることを、以下、「平面視」という。
【００７１】
以下、第１実施形態と異なる、駆動部（第１駆動部７０ａおよび第２駆動部７０ｂ）および駆動モニター部（第１駆動モニター部９０ａおよび第２駆動モニター部９０ｂ）の構成について説明する。
【００７２】
第２実施形態のジャイロセンサー１０１における駆動部は、第１駆動部７０ａおよび第２駆動部７０ｂを有している。第１駆動部７０ａは、第１可動電極部としての第１駆動用可動電極部７７ａと第１固定電極部としての第１駆動用固定電極部７８ａとを備えている。同様に、第２駆動部７０ｂは、第２可動電極部としての第２駆動用可動電極部７７ｂと第２固定電極部としての第２駆動用固定電極部７８ｂとを備えている。
【００７３】
第１駆動部７０ａの第１駆動用可動電極部７７ａは、導電性が付与されたシリコンから構成される第１振動体２１の第１支持体１２の一部を用いている。また、第２駆動部７０ｂの第２駆動用可動電極部７７ｂは、同様に、第２振動体２２の第２支持体１３の一部を用いている。
【００７４】
第１駆動部７０ａの第１駆動用固定電極部７８ａは、平面視で、第１振動体２１の第１支持体１２（第１駆動用可動電極部７７ａ）と重なる位置の、基体１０の第１面１１に設けられた凹部１４の底面１１ａに配置されている。また、第２駆動部７０ｂの第２駆動用固定電極部７８ｂは、平面視で、第２振動体２２の第２支持体１３（第２駆動用可動電極部７７ｂ）と重なる位置の、基体１０の第１面１１に設けられた凹部１４の底面１１ａに配置されている。
なお、第１駆動部７０ａの第１駆動用固定電極部７８ａは、平面視にて、少なくとも一部が第１支持体１２（第１駆動用可動電極部７７ａ）と重なる位置にあればよく、同様に、第２駆動部７０ｂの第２駆動用固定電極部７８ｂは、平面視にて、少なくとも一部が第２支持体１３（第２駆動用可動電極部７７ｂ）と重なる位置にあればよい。
【００７５】
第１駆動用可動電極部７７ａおよび第２駆動用可動電極部７７ｂと、第１駆動用固定電極部７８ａおよび第２駆動用固定電極部７８ｂとは、図示しない電源に電気的に接続されている。第１駆動用可動電極部７７ａおよび第２駆動用可動電極部７７ｂと、第１駆動用固定電極部７８ａおよび第２駆動用固定電極部７８ｂとに電圧が印加されると、第１駆動用可動電極部７７ａと第１駆動用固定電極部７８ａとの間、および第２駆動用可動電極部７７ｂと第２駆動用固定電極部７８ｂとの間に静電力が発生し、この静電力によって第１駆動用可動電極部７７ａ（第１支持体１２）および第２駆動用可動電極部７７ｂ（第２支持体１３）をＺ軸に沿って変位させることができ、第１振動体２１および第２振動体２２をＺ軸に沿って振動させることができる。
【００７６】
第２実施形態のジャイロセンサー１０１における駆動モニター部は、第１駆動モニター部９０ａおよび第２駆動モニター部９０ｂを有している。第１駆動モニター部９０ａは、前述した第１駆動部７０ａのＹ軸方向における両側に配置され、第１モニター用可動電極部９１ａと第１モニター用固定電極部９２ａとを備えている。同様に、第２駆動モニター部９０ｂは、前述した第２駆動部７０ｂのＹ軸方向における両側に配置され、第２モニター用可動電極部９１ｂと第２モニター用固定電極部９２ｂとを備えている。
【００７７】
第１駆動モニター部９０ａの第１モニター用可動電極部９１ａは、導電性が付与されたシリコンから構成される第１振動体２１の第１支持体１２の一部を用いている。また、第２駆動モニター部９０ｂの第２駆動用可動電極部９１ｂは、同様に、第２振動体２２の第２支持体１３の一部を用いている。
【００７８】
第１駆動モニター部９０ａの第１モニター用固定電極部９２ａは、平面視で、第１振動体２１の第１支持体１２（第１モニター用可動電極部９１ａ）と重なる位置の、基体１０の第１面１１に設けられた凹部１４の底面１１ａに配置されている。また、第２駆動モニター部９０ｂの第２モニター用固定電極部９２ｂは、平面視で、第２振動体２２の第２支持体１３（第２モニター用可動電極部９１ｂ）と重なる位置の、基体１０の第１面１１に設けられた凹部１４の底面１１ａに配置されている。
なお、第１駆動モニター部９０ａの第１モニター用固定電極部９２ａは、平面視にて、少なくとも一部が第１支持体１２（第１モニター用可動電極部９１ａ）と重なる位置にあればよく、同様に、第２駆動モニター部９０ｂの第２モニター用固定電極部９２ｂは、平面視にて、少なくとも一部が第２支持体１３（第２モニター用可動電極部９１ｂ）と重なる位置にあればよい。
【００７９】
駆動モニター部（第１駆動モニター部９０ａおよび第２駆動モニター部９０ｂ）は、第１モニター用可動電極部９１ａと第１モニター用固定電極部９２ａとの間、および第２モニター用可動電極部９１ｂと第２モニター用固定電極部９２ｂとの間の容量変化を検出、モニタリングし、その結果に基づいて第１振動体２１および第２振動体２２の駆動振動をコントロールすることができる。これにより、より安定した第１振動体２１および第２振動体２２の駆動振動を得ることができる。
【００８０】
第１駆動用固定電極部７８ａ、第２駆動用固定電極部７８ｂ、第１モニター用固定電極部９２ａ、および第２モニター用固定電極部９２ｂは、例えばＩＴＯ（酸化インジウムスズ）、ＺｎＯ（酸化亜鉛）などの透明電極材料をスパッタリング法などによって成膜し、フォトリソグラフィー法、エッチング法などでパターニングされることによって形成される。なお、第１駆動用固定電極部７８ａ、第２駆動用固定電極部７８ｂ、第１モニター用固定電極部９２ａ、および第２モニター用固定電極部９２ｂは、透明電極材料に限らず、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等の金属材料を用いることができる。また、基体１０がシリコンのような半導体材料においては、第１駆動用固定電極部７８ａ、第２駆動用固定電極部７８ｂ、第１モニター用固定電極部９２ａ、および第２モニター用固定電極部９２ｂとの間に、絶縁層を有していることが好ましい。絶縁層としては、例えばＳｉＯ2（酸化ケイ素）、ＡｌＮ（窒化アルミ）、ＳｉＮ（窒化ケイ素）などを用いることができる。
【００８１】
第２実施形態の駆動部（第１駆動部７０ａおよび第２駆動部７０ｂ）および駆動モニター部（第１駆動モニター部９０ａおよび第２駆動モニター部９０ｂ）の構成によれば、平面視におけるジャイロ素子５の面積を小さくすることが可能となる。具体的には、第１駆動用可動電極部７７ａ（第１支持体１２）と第１駆動用固定電極部７８ａとが重なる位置に配置され、第２駆動用可動電極部７７ｂ（第２支持体１３）と第２駆動用固定電極部７８ｂとが重なる位置に設けられている。また、第１モニター用可動電極部９１ａ（第１支持体１２）と第１モニター用固定電極部９２ａとが重なる位置に配置され、第２モニター用可動電極部９１ｂ（第２支持体１３）と、第２モニター用固定電極部９２ｂと、が重なる位置に設けられている。したがって、第１駆動部７０ａおよび第２駆動部７０ｂと、第１駆動モニター部９０ａおよび第２駆動モニター部９０ｂとが設けられている平面視における面積を小さくすることが可能となる。
【００８２】
１−４．第２実施形態に係るジャイロセンサーの動作
次に、ジャイロセンサー１０１の動作について、図面を参照しながら説明する。図７および図８はジャイロセンサー１０１の動作を模式的に説明するための図であり、図７（ａ）および図８（ａ）は概略を示す平面図、図７（ｂ）および図８（ｂ）は概略を示す正断面図である。なお、図７および図８では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示している。また、便宜上、図７および図８では、ジャイロセンサー１０１の各構成を、簡略化して図示している。
【００８３】
ジャイロセンサー１０１の振動モードでは、第１振動体２１と第２振動体２２は、駆動部（第１駆動部７０ａおよび第２駆動部７０ｂ）により励振され、互いに逆相（逆位相）で駆動振動することができる。より具体的には、第１振動体２１に設けられた第１駆動用可動電極部７７ａと第１駆動用固定電極部７８ａとの間に、第１交番電圧を印加し、第２振動体２２の第２駆動用可動電極部７７ｂと第２駆動用固定電極部７８ｂとの間に、第１交番電圧と位相が１８０度ずれた第２交番電圧を印加する。これにより、第１振動体２１および第２振動体２２は、互いに逆相（逆位相）で且つ所定の周波数で、基体１０の第２固定部２５を支点として第１梁部７１が捩じられるようにＺ軸方向に振動し、第３固定部２６を支点として第２梁部７２が捩じられるようにＺ軸方向に振動する。すなわち、Ｘ軸に沿って互いに連結された第１振動体２１および第２振動体２２は、Ｚ軸に沿って、互いに逆相で振動する。換言すれば、第１振動体２１および第２振動体２２は、Ｚ軸に沿って、互いに反対方向に変位する。このように、第１梁部７１および第２梁部７２は、トーションバネとしての機能を有している。
【００８４】
図７に示す例では、先ず、第１振動体２１は、第１梁部７１および第２梁部７２を中心軸として、α１方向（−Ｚ軸方向）に変位し、第２振動体２２は、第１梁部７１および第２梁部７２を中心軸として、α１方向と反対方向のα２方向（＋Ｚ軸方向）に変位する。次に、第１振動体２１は、第１梁部７１および第２梁部７２を中心軸として、α３方向（＋Ｚ軸方向）に変位し、第２振動体２２は、第１梁部７１および第２梁部７２を中心軸として、α３方向と反対方向のα４方向（−Ｚ軸方向）に変位する。第１振動体２１および第２振動体２２は、このような変位を繰り返す振動を行う。
【００８５】
図８に示すように、第１振動体２１、第２振動体２２がＺ軸に沿って振動を行っている状態で、ジャイロセンサー１０１にＸ軸回りの角速度ωが加わると、コリオリの力が働き、検出部（第１検出用可動電極部５３ａ、第２検出用可動電極部５３ｂ）は、Ｙ軸に沿って変位する。すなわち、第１振動体２１に連結された第１検出用可動電極部５３ａ、および第２振動体２２に連結された第２検出用可動電極部５３ｂは、Ｙ軸に沿って、互いに反対方向に変位する。図８に示す例では、先ず、第１検出用可動電極部５３ａは、β１方向に変位し、第２検出用可動電極部５３ｂは、β１方向と反対方向のβ２方向に変位する。次に、第１検出用可動電極部５３ａは、β３方向に変位し、第２検出用可動電極部５３ｂは、β３方向と反対方向のβ４方向に変位する。
【００８６】
第１検出用可動電極部５３ａおよび第２検出用可動電極部５３ｂがＹ軸に沿って変位することにより、第１検出用可動電極部５３ａと第１検出用固定電極部５４ａとの間の距離が変化し、第１実施形態と同様に、Ｘ軸回りの角速度ωを求めることができる。
【００８７】
第２実施形態のジャイロセンサー１０１によれば、第１実施形態のジャイロセンサー１００の効果に加え、さらに上述したように平面視での面積を小さくした、すなわち小型のジャイロセンサー１０１を得ることが可能となる。
【００８８】
１−５．変形例に係るジャイロセンサーの構成
ジャイロ素子５の変形例について図面を参照しながら説明する。図９は、梁部（上述の実施形態における第１梁部７１および第２梁部７２）の変形例を示し、図９（ａ）は変形例１を示す平面図であり、図９（ｂ）は変形例２を示す平面図である。図１０は、同様に、梁部の変形例を示し、図１０（ａ）は変形例３を示す平面図であり、図１０（ｂ）は変形例４を示す平面図である。なお、以下の説明では、上述の実施形態と同様な構成は同符号を付して説明を省略し、異なる梁部を中心に説明する。
【００８９】
（変形例１）
図９（ａ）に示す変形例１のジャイロセンサー１０２における梁部は、第１梁部７１、第２梁部７２、第３梁部７３、および第４梁部７４を備えている。第１梁部７１および第３梁部７３は、第１連結部１６ａから延出し、第２梁部７２および第４梁部７４は、第２連結部１６ｂから延出している。
【００９０】
具体的には、第１梁部７１の一端は、第１連結部１６ａに接続され、第１連結部１６ａから＋Ｙ軸方向にＹ軸に並行して延在された第１梁部７１の他端（先端部）は、第２固定部２５（基体１０の第１面１１（図２参照））に接合（固定）されている。また、第３梁部７３の一端は、第１連結部１６ａに接続され、第１連結部１６ａから−Ｙ軸方向にＹ軸に並行して延在された第３梁部７３の他端（先端部）は、第４固定部２７（基体１０の第１面１１）に接合（固定）されている。すなわち、第１梁部７１と第３梁部７３とは、第１連結部１６ａからＹ軸方向に沿って互いに反対方向に延出している。
【００９１】
第２梁部７２の一端は、第２連結部１６ｂに接続され、第２連結部１６ｂから−Ｙ軸方向にＹ軸に並行して延在された第２梁部７２の他端（先端部）は、第３固定部２６（基体１０の第１面１１）に接合（固定）されている。また、第４梁部７４の一端は、第２連結部１６ｂに接続され、第２連結部１６ｂから＋Ｙ軸方向にＹ軸に並行して延在された第４梁部７４の他端（先端部）は、第５固定部２８（基体１０の第１面１１）に接合（固定）されている。すなわち、第２梁部７２と第４梁部７４とは、第２連結部１６ｂからＹ軸方向に沿って互いに反対方向に延出している。
【００９２】
このように、第１連結部１６ａのＹ軸方向の両側に第１梁部７１および第３梁部７３が設けられ、第２連結部１６ｂのＹ軸方向の両側に第２梁部７２および第４梁部７４が設けられることにより、第１梁部７１および第２梁部７２のＹ軸方向の強度が強くなる。したがって、ジャイロ素子５における第１連結部１６ａおよび第２連結部１６ｂのＹ軸方向への変位が起こりにくくなり、第１支持体１２および第２支持体１３の検出振動方向（Ｙ軸方向）への振動漏れ現象をより低減することが可能となる。
【００９３】
（変形例２）
図９（ｂ）に示す変形例２のジャイロセンサー１０３における梁部は、２つの梁部（第３梁部７３および第４梁部７４）を備えている。以下の説明では、説明の便宜上、第１梁部に相当する梁部を第３梁部７３と呼び、第２梁部に相当する梁部を第４梁部７４と呼ぶ。変形例２における第３梁部７３は、第１連結部１６ａから延出し、第４梁部７４は、第２連結部１６ｂから延出している。
【００９４】
具体的には、第３梁部７３の一端は、第１連結部１６ａに接続されている。第１連結部１６ａから−Ｙ軸方向にＹ軸に並行して延在された第３梁部７３の他端（先端部）は、第４固定部２７（基体１０の第１面１１（図２参照））に接合（固定）されている。また、第４梁部７４の一端は、第２連結部１６ｂに接続されている。第２連結部１６ｂから＋Ｙ軸方向にＹ軸に並行して延在された第４梁部７４の他端（先端部）は、第５固定部２８（基体１０の第１面１１）に接合（固定）されている。
【００９５】
このように、第３梁部７３は、第１連結部１６ａから第１連結部１６ａと第２連結部１６ｂとの間隙側に向かって延出され、第４梁部７４は、第２連結部１６ｂから第１連結部１６ａと第２連結部１６ｂとの間隙側に向かって延出されている。すなわち、第３梁部７３および第４梁部７４は、それぞれが第１連結部１６ａと第２連結部１６ｂとの間隙側に向かって延出されている。
【００９６】
変形例２の梁部の構成によれば、第１梁部としての第３梁部７３および第２梁部としての第４梁部７４が、第１連結部１６ａと第２連結部１６ｂとの間隙内に設けられるため、第１連結部１６ａおよび第２連結部１６ｂの外側（Ｙ軸方向）に梁部の配置領域を設けることが不要となる。これにより、ジャイロ素子５は、Ｙ軸方向の大きさを小さくすることが可能となり、結果として角速度センサーとしてのジャイロセンサー１０３の小型化を図ることができる。
【００９７】
（変形例３）
図１０（ａ）に示す変形例３のジャイロセンサー１０４における梁部は、２つの梁部（第１梁部７１および第４梁部７４）を備えている。以下の説明では、説明の便宜上、第２梁部に相当する梁部を第４梁部７４と呼ぶ。変形例３における第１梁部７１は、第１連結部１６ａから延出し、第４梁部７４は、第２連結部１６ｂから延出している。
【００９８】
具体的には、第１梁部７１の一端は、第１連結部１６ａに接続されている。第１連結部１６ａから＋Ｙ軸方向にＹ軸に並行して延在された第１梁部７１の他端（先端部）は、第２固定部２５（基体１０の第１面１１（図２参照））に接合（固定）されている。また、第４梁部７４の一端は、第２連結部１６ｂに接続されている。第２連結部１６ｂから＋Ｙ軸方向にＹ軸に並行して延在された第４梁部７４の他端（先端部）は、第５固定部２８（基体１０の第１面１１）に接合（固定）されている。このように、第１梁部７１および第４梁部７４は、第１連結部１６ａおよび第２連結部１６ｂのそれぞれから、同じ方向（＋Ｙ軸方向）に延出されている。
【００９９】
変形例３の梁部の構成によれば、第１振動体２１の第１支持体１２および第２振動体２２の第２支持体１３は、間隙を有して設けられた第１連結部１６ａと第２連結部１６ｂとを介して、第１連結部１６ａおよび第２連結部１６ｂから延出された第１梁部７１および第４梁部７４によって基体１０に接続されているため、（回転）振動を生じ難くなる。これによって、第１支持体１２および第２支持体１３の捩じれ振動によって生じる検出部（第１検出部５０ａおよび第２検出部５０ｂ）における検出振動方向（第２軸方向であるＹ軸方向）への振動漏れ現象を低減でき、検出精度を向上させることが可能となる。
【０１００】
（変形例４）
図１０（ｂ）に示す変形例４のジャイロセンサー１０５における梁部は、第１連結部１６ａおよび第２連結部１６ｂのそれぞれから延出されている２つの梁部（第１梁部７１および第２梁部７２）と、第１連結部１６ａおよび第２連結部１６ｂの間を連結する連結梁部８８とを備えている。
【０１０１】
具体的には、第１梁部７１は、第１連結部１６ａから、Ｙ軸に沿う方向（振動体２０が振動する方向と直交する方向）に延出し、第２固定部２５に固定（接合）されている。また、第２梁部７２は、第２連結部１６ｂから、Ｙ軸に沿う方向（振動体２０が振動する方向と直交する方向）に延出し、第３固定部２６に固定（接合）されている。第１梁部７１の一端は第１連結部１６ａに接続されている。第１連結部１６ａから＋Ｙ軸方向にＹ軸に並行して延在された第１梁部７１の他端（先端部）は、第２固定部２５（基体１０の第１面１１（図２参照））に接合（固定）されている。また、第２梁部７２の一端は、第２連結部１６ｂに接続されている。第２連結部１６ｂから−Ｙ軸方向にＹ軸に並行して延在された第２梁部７２の他端（先端部）は、第３固定部２６（基体１０の第１面１１（図２参照））に接合（固定）されている。
連結梁部８８は、第１梁部７１と第１連結部１６ａとの接続位置、および第２梁部７２と第２連結部１６ｂとの接続位置とを結ぶ仮想線上にあって、第１連結部１６ａと第２連結部１６ｂとをＹ軸に沿って連結している。なお、本例における連結梁部８８は、前述の仮想線上に設けられている例で説明したが、仮想線上でなくてもよく、Ｙ軸に沿って設けられていればよい。
【０１０２】
このように、連結梁部８８が設けられることにより、第１連結部１６ａおよび第２連結部１６ｂのＹ軸方向の強度が強くなる。したがって、第１連結部１６ａおよび第２連結部１６ｂのＹ軸方向への変位が起こりにくくなり、第１連結部１６ａおよび第２連結部１６ｂと連結された第１支持体１２および第２支持体１３の検出振動方向（第２軸方向であるＹ軸方向）への振動漏れ現象を低減することが可能となる。
【０１０３】
なお、上述の実施形態では、振動体２０の構成として、第１振動体２１および第２振動体２２が設けられている構成を例に説明したが、振動体２０の構成としては、３つ以上の第１〜第ｎ振動体が用いられている構成であってもよい。
【０１０４】
２．電子機器
次に、本実施形態に係る電子機器について、図面を参照しながら説明する。本実施形態に係る電子機器は、本発明に係るジャイロセンサー１００，１０１，１０２，１０３，１０４，１０５のいずれかを含む。以下では、本発明に係るジャイロセンサー１００を含む電子機器を例として説明する。
【０１０５】
図１１は、本実施形態に係る電子機器として、モバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューター１１００を模式的に示す斜視図である。図１１に示すように、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０８を有する表示ユニット１１０６と、により構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、ジャイロセンサー１００が内蔵されている。
【０１０６】
図１２は、本実施形態に係る電子機器として、携帯電話機（ＰＨＳも含む）１２００を模式的に示す斜視図である。図１２に示すように、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０８が配置されている。このような携帯電話機１２００には、ジャイロセンサー１００が内蔵されている。
【０１０７】
図１３は、本実施形態に係る電子機器として、デジタルスチールカメラ１３００を模式的に示す斜視図である。なお、図１３には、外部機器との接続についても簡易的に示している。ここで、従来のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチールカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【０１０８】
デジタルスチールカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１３１０が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。撮影者が表示部１３１０に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。
【０１０９】
また、このデジタルスチールカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、ビデオ信号出力端子１３１２には、テレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４には、パーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなデジタルスチールカメラ１３００には、ジャイロセンサー１００が内蔵されている。
【０１１０】
以上のような電子機器としてのパーソナルコンピューター１１００、携帯電話機１２００、デジタルスチールカメラ１３００は、２つの振動体が逆相で振動する駆動系において、相互間の振動エネルギー交換を阻害せず、且つ容量結合による特性の劣化を防止することができるジャイロセンサー１００を有することができる。
【０１１１】
なお、上記ジャイロセンサー１００を備えた電子機器は、図１１に示すパーソナルコンピューター１１００（モバイル型パーソナルコンピューター）、図１２に示す携帯電話機１２００、図１３に示すデジタルスチールカメラ１３００の他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ヘッドマウントディスプレイ、ビデオテープレコーダー、各種ナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、ロケット、船舶の計器類）、ロボットや人体などの姿勢制御、フライトシミュレーターなどを挙げることができる。
【０１１２】
３．移動体
本実施形態に係る移動体は、本発明に係るジャイロセンサー１００，１０１，１０２，１０３，１０４，１０５のいずれかを含む。以下では、本発明に係るジャイロセンサー１００を含む移動体を例として説明する、図１４は、本実施形態に係る移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。
【０１１３】
自動車５０６には本発明に係る機能素子（ジャイロ素子５）を用いたジャイロセンサー１００が搭載されている。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車５０６には、機能素子（ジャイロ素子５）を用いたジャイロセンサー１００を内蔵してタイヤ５０９などを制御する電子制御ユニット５０８が車体５０７に搭載されている。また、ジャイロセンサー１００は、他にもキーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム、等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic control unit）に広く適用できる。
【０１１４】
上述した実施形態は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば、各実施形態を適宜組み合わせることも可能である。
【０１１５】
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的および効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成または同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【０１１６】
５…ジャイロ素子、１０…基体、１１…第１面、１１ａ…底面、１１ｂ…第２面、１２…第１支持体、１２ａ，１２ｂ…第１支持体の辺、１３…第２支持体、１３ａ，１３ｂ…第２支持体の辺、１４…凹部、１５…第１固定部、２０…振動体、２１…第１振動体、２２…第２振動体、２５…第２固定部、２６…第３固定部、２７…第４固定部、２８…第５固定部、３０…弾性連結部、４０ａ…第１駆動部、４０ｂ…第２駆動部、４１…駆動用可動電極部、４２…駆動用固定電極部、４３…駆動連接部、４５ａ…第１検出用バネ部、４５ｂ…第２検出用バネ部、５０ａ…第１検出部、５０ｂ…第２検出部、５３ａ…第１可動検出部としての第１検出用可動電極部、５３ｂ…第２可動検出部としての第２検出用可動電極部、５４ａ，５４ｂ…第１検出用固定電極部、５５ａ，５５ｂ…第２検出用固定電極部、５６ａ…第１検出用支持部、５６ｂ…第２検出用支持部、５７ａ，５７ｂ…検出連接部、６０ａ…第１駆動モニター部、６０ｂ…第２駆動モニター部、６３…モニター用可動電極部、６４…モニター用固定電極部、６５…モニター連接部、７０ａ…第１駆動部、７０ｂ…第２駆動部、７１…第１梁部、７２…第２梁部、７３…第３梁部、７４…第４梁部、７７ａ…第１駆動用可動電極部、７７ｂ…第２駆動用可動電極部、７８ａ…第１駆動用固定電極部、７８ｂ…第２駆動用固定電極部、８０…蓋体、８２…キャビティー、８８…連結梁部、９０ａ…第１駆動モニター部、９０ｂ…第２駆動モニター部、９１ａ…第１モニター用可動電極部、９１ｂ…第２モニター用可動電極部、９２ａ…第１モニター用固定電極部、９２ｂ…第２モニター用固定電極部、１００，１０１，１０２，１０３，１０４，１０５…ジャイロセンサー（角速度センサー）、５０６…移動体としての自動車、１１００…電子機器としてのパーソナルコンピューター、１２００…電子機器としての携帯電話機、１３００…電子機器としてのデジタルスチールカメラ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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