(57)【要約】【課題】金属部材どうし又は金属部材と無機質部材とを音波振動又は超音波振動で接合する接合装置の提供。【解決手段】金属部材２１，２２からなる接合対象部材２０が第１振動子１２に共振する第１共振器９と第２振動子１９に共振する第２共振器１６とで挟まれて加圧され、加圧される方向に直交する横方向の振動が第１共振器９及び第２共振器１６の一方又は両方から接合対象部２０に付与されて金属部材２１，２２どうしを互いに接合する構成であり、接合対象部材２０を挟んで加圧するように第１共振器９の最大振動振幅点における接合ツール部１０と第２共振器１６の最大振動振幅点における接合ツール部１７とが互いに１対１に対応し、接合ツール部１０からの振動エネルギーと接合ツール部１７からの振動エネルギーとが複数個の金属部材２１，２２の所定箇所に上下から集中して作用して複数個の金属部材２１，２２を接合することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数個の金属部材からなる接合対象部材又は金属部材と無機質部材とからなる接合対象部材が第１振動子に共振する第１共振器と第２振動子に共振する第２共振器とで挟まれて加圧され、加圧される方向に直交する横方向の振動が第１共振器及び第２共振器の一方又は両方から接合対象部に付与されて複数個の金属部材どうし又は金属部材と無機質部材とを接合する接合装置であって、接合対象部材を挟んで加圧するように第１共振器の最大振動振幅点と第２共振器の最大振動振幅点とが互いに１対１に対応した構造になったことを特徴とする接合装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属部材どうし又は金属部材と無機質部材とを音波振動又は超音波振動で接合する接合装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１０を参照し、特許文献１で開示された接合装置ついて説明する。図１０に示したように、第１共振器５１と第２共振器５２とが積層状になった複数個の金属部材５３，５４を挟んで加圧し、第１振動子５５が超音波振動を発生して第１共振器５１を共振させ、第２振動子５６が超音波振動を発生して第２共振器５２を共振させて、複数個の金属部材５３，５４を互いに接合するようになっている。
【０００３】
しかしながら、特許文献１で開示された接合装置は、第１共振器５１の最大振動振幅点（振動の腹と同義語）５７と第２共振器５２の最小振動振幅点（振動の節と同義語）５９とが互い１対１に対応し、第１共振器５１の最小振動振幅点５８と第２共振器５２の最大振動振幅点６０とが互いに１対１に対応した構造になっているので、第１共振器５１の最大振動振幅点からの振動エネルギーと第２共振器５２の最大振動振幅点からの振動エネルギーとを複数個の金属部材５３，５４の所定箇所に上下から集中して作用させることができないという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−９６６２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記背景技術に鑑みてなされたものであり、音波又は超音波振動の振動エネルギーを複数個の金属部材の所定箇所に上下から集中して作用できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、複数個の金属部材からなる積層状の接合対象部材が第１振動子に共振する第１共振器と第２振動子に共振する第２共振器とで挟まれて加圧され、加圧される方向に直交する横方向の振動が第１共振器及び第２共振器の一方又は両方から接合対象部に付与されて複数個の金属部材を接合することを特徴とする接合装置であって、接合対象部材を挟んで加圧するように第１共振器の最大振動振幅点と第２共振器の最大振動振幅点とが互いに１対１に対応した構造になったことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明は、接合対象部材を挟んで加圧するように第１共振器の最大振動振幅点と第２共振器の最大振動振幅点とが互いに１対１に対応した構造になったことにより、第１共振器の最大振動振幅点からの振動エネルギーと第２共振器の最大振動振幅点からの振動エネルギーとが複数個の金属部材の所定箇所に上下から集中して作用して複数個の金属部材を接合することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】発明を実施するための形態１に係る接合装置を示した正面図。
【図２】発明を実施するための形態１に係る接合状態を示した模式図。
【図３】発明を実施するための形態１に係る接合装置の或る動作を示したタイミングチャート。
【図４】発明を実施するための形態１に係る接合装置の別の動作を示したタイミングチャート。
【図５】発明を実施するための形態１に係る接合装置の更に別の動作を示したタイミングチャート。
【図６】発明を実施するための形態１に係る接合装置に使用可能な或る接合対象部材を示した正面図。
【図７】発明を実施するための形態１に係る接合装置に使用可能な別の接合対象部材を示した正面図。
【図８】発明を実施するための形態１に係る接合装置に使用可能な更に別の接合対象部材を示した正面図。
【図９】発明を実施するための形態１に係る接合装置に使用可能な更に別の接合対象部材を示した側面図。
【図１０】特許文献１で開示された接合状態を示した模式図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
図１を参照し、発明を実施するための形態１に係る接合装置１の構造について説明する。図１に示した発明を実施するための形態１に係る接合装置１は、装置躯体２に作業空間部３が設けられる。装置躯体２の作業空間部３よりも上部には、加圧機構４が設けられる。加圧機構４の出力部材５は、装置躯体２の上部から作業空間部３に配置される。出力部材５の作業空間部３に配置された下部は、加圧機構４の駆動によって、作業空間部３の内部を直線的に昇降する。出力部材５の作業空間部３に配置された下部には、第１支持具６が設けられる。
【００１０】
第１支持具６は前後及び下方に貫通する内部空間７の左右両側に支持部８を備えた構成である。第１支持具６には第１共振器９が設置される。第１共振器９は、一端から他端までの長さが第１振動子１２から伝達された音波振動又は超音波振動の共振周波数の少なくとも１波長を有する直線的な棒状になっている。第１共振器９の長さ方向の両端部及び中央部には、最大振動振幅点が位置する。第１共振器９の長さ方向の中央部おける最大振動振幅点の位置する外面部には、接合ツール部１０が設けられる。
【００１１】
接合ツール部１０は、第１共振器９の外側面より突出して設けられた場合又は第１共振器９の外側面と同一面に設けられた場合又は第１共振器９の外側面より窪んで設けられた場合のいずれでも適用可能である。第１共振器９の接合ツール部１０より長さ方向の両側に存在する最小振動振幅点に位置する外面部には、被支持部１１が設けられる。
【００１２】
第１共振器９の一端部には、第１振動子１２が取り付けられる。第１共振器９と第１振動子１２との間には、図示のされていないブースターを設けることも適用可能である。第１支持具６には第１共振器９の長さ方向が矢印Ｘで示した左右方向に向けられ、第１共振器９の被支持部１１以外の部分が第１支持具６に接触しないように内部空間７に配置され、被支持部１１が支持部８に支持されることにより、第１共振器９が第１支持具６に設置される。
【００１３】
装置躯体２の作業空間部３よりも下部には、第２支持具１３が設けられる。第２支持具１３は前後及び下方に貫通する内部空間１４の左右両側に支持部１５を備えた構成である。第２支持具１３には第２共振器１６が設置される。第２共振器１６は、一端から他端までの長さが第２振動子１９から伝達された音波振動又は超音波振動の共振周波数の少なくとも１波長を有する直線的な棒状になっている。第２共振器１６の長さ方向の両端部及び中央部には、最大振動振幅点が位置する。第２共振器１６の長さ方向の中央部おける最大振動振幅点の位置する外面部には、接合ツール部１７が設けられる。
【００１４】
接合ツール部１７は、第２共振器１６の外側面より突出して設けられた場合又は第２共振器１６の外側面と同一面に設けられた場合又は第２共振器１６の外側面より窪んで設けられた場合のいずれでも適用可能である。第２共振器１６の接合ツール部１７より長さ方向の両側に存在する最小振動振幅点に位置する外面部には、被支持部１８が設けられる。
【００１５】
第２共振器１６の一端部には、第２振動子１９が取り付けられる。第２共振器１６と第２振動子１９との間には、図示のされていないブースターを設けることも適用可能である。第２支持具１３には第２共振器１６の長さ方向が矢印Ｘで示した左右方向に向けられ、第２共振器１６の被支持部１８以外の部分が第２支持具１３に接触しないように内部空間１４に配置され、被支持部１８が支持部１５に支持されることにより、第２共振器１６が第２支持具１３に設置される。
【００１６】
発明を実施するための形態１に係る接合装置１の動作について説明する。第１共振器９が第１支持具６に装着され、出力部材５が上昇限度位置に停止し、第２共振器１６が第２支持具１３に装着され、接合ツール部１０，１７が接合対象部材２０の挿入可能な空間を形成して上下方向で互いに１対１に対向した状態になっている。その状態において、接合ツール部１７の上には、接合対象部材２０が搭載される。接合対象部材２０は、複数個の金属部材２１，２２が互いに重ね合わされた積層状になっている。
【００１７】
次に、加圧機構４が駆動し、出力部材５が下降するのに伴って、第１共振器９及び第１振動子１２が下降し、図２に示したように、接合対象部材２０が接合ツール部１０，１７で挟まれて加圧される。そして、第１振動子１２と第２振動子１９とが同時発振（図３参照）するか又はオーバーラップ発振（図４参照）するか又はリレー発振（図５参照）する。第１振動子１２と第２振動子１９との同時発振又はオーバーラップ発振又はリレー発振により、第１共振器９が第１振動子１２から伝達された音波振動又は超音波振動に共振し、接合ツール部１０が第１共振器９から伝達された振動に共振し、第２共振器１６が第２振動子１９から伝達された音波振動又は超音波振動に共振し、接合ツール部１７が第２共振器１６から伝達された振動に共振する。
【００１８】
これによって、第１共振器９の接合ツール部１０の下面が矢印で示した横方向に最大振動振幅で振動し、第２共振器１６の接合ツール部１７の下面が矢印で示した横方向に最大振動振幅で振動し、接合対象部材２０における複数個の金属部材２１，２２が上記加圧と上記横方向の振動による振動エネルギーを受けて互いに接合される。
【００１９】
即ち、発明を実施するための形態１に係る接合装置１は、接合対象部材２０を挟んで加圧するように第１共振器９の最大振動振幅点と第２共振器１６の最大振動振幅点とが互いに１対１に対応した構造になったことにより、第１共振器９の最大振動振幅点からの振動エネルギーと第２共振器１６の最大振動振幅点からの振動エネルギーとが複数個の金属部材２１，２２の所定箇所としての重ね合わされた部分に上下から集中して作用して複数個の金属部材２１，２２を接合することができる。
【００２０】
その後、出力部材５が上昇し、接合ツール部１０が金属部材２１から離れ、接合対象部材２０が接合構造体となって接合ツール部１７の上に残される。この接合ツール部１７の上に残された接合構造体となった接合対象部材２０が接合ツール部１７から接合装置１の外部に取り出され、接合装置１による接合対象部材２０に対する１回の接合動作が終了する。
【００２１】
図２を参照し、発明を実施するための形態１に係る第１振動子１２と第２振動子１９との同時発振又はオーバーラップ発振又はリレー発振の制御について説明する。図２に示したように、同時発振の制御では、操作部２３ａが人為的な操作により同時発振の指示を電線等の電気経路２７から制御部２４に出力し、制御部２４が電力を電線等の電気経路２８，２９から第１発振器２５と第２発振器２６とに出力し、第１発振器２５が音波又は超音波の電気エネルギーを電線等の電気経路３０から第１振動子１２に出力し、第１振動子１２が第１発振器２５から出力された音波又は超音波の電気エネルギーを機械エネルギーとしての機械振動に変換して第１共振器９に出力し、第２発振器２６が音波又は超音波の電気エネルギーを電線等の電気経路３１から第２振動子１９に出力し、第２振動子１９が第２発振器２６から出力された音波又は超音波の電気エネルギーを機械エネルギーとしての機械振動に変換して第２共振器１６に出力する。これにより、第１共振器９と第２共振器１６とが互いに振動する。
【００２２】
又、オーバーラップ発振の制御では、操作部２３ｂが人為的な操作によりオーバーラップ発振の指示を電線等の電気経路２７から制御部２４に出力し、制御部２４が電力を電線等の電気経路２８，２９から第１発振器２５と第２発振器２６とに制御部２４に予め設定された重なる時間差を持って出力し、第１発振器２５が音波又は超音波の電気エネルギーを電線等の電気経路３０から第１振動子１２に出力し、第１振動子１２が第１発振器２５から出力された音波又は超音波の電気エネルギーを機械エネルギーとしての機械振動に変換して第１共振器９に出力し、第２発振器２６が音波又は超音波の電気エネルギーを電線等の電気経路３１から第２振動子１９に出力し、第２振動子１９が第２発振器２６から出力された音波又は超音波の電気エネルギーを機械エネルギーとしての機械振動に変換して第２共振器１６に出力する。これにより、第１共振器９と第２共振器１６とが上記重なる時間差に基づき互いに重なるように振動する。
【００２３】
又、リレー発振の制御では、操作部２３ｃが人為的な操作によりリレー発振の指示を電線等の電気経路２７から制御部２４に出力し、制御部２４が電力を電線等の電気経路２８，２９から第１発振器２５と第２発振器２６とに制御部２４に予め設定された受け継ぐ時間差を持って出力し、第１発振器２５が音波又は超音波の電気エネルギーを電線等の電気経路３０から第１振動子１２に出力し、第１振動子１２が第１発振器２５から出力された音波又は超音波の電気エネルギーを機械エネルギーとしての機械振動に変換して第１共振器９に出力し、第２発振器２６が音波又は超音波の電気エネルギーを電線等の電気経路３１から第２振動子１９に出力し、第２振動子１９が第２発振器２６から出力された音波又は超音波の電気エネルギーを機械エネルギーとしての機械振動に変換して第２共振器１６に出力する。これにより、第１共振器９と第２共振器１６とが上記受け継ぐ時間差に基づき互いに受け継ぐように振動する。
【００２４】
図２における結合子３２は、電気経路３０が互いに接続されたことを示す。図２では、同時発振のための操作部２３ａ、オーバーラップ発振のための操作部２３ｂ、リレー発振のための操作部２３ｃを設けたが、操作部を１個に構成し、この１個の操作部が人為的に操作されるごとに同時発振の指示とオーバーラップ発振の指示とリレー発振の指示とを制御部２４に順繰りに出力するようにしても適用可能である。
【００２５】
図３を参照し、発明を実施するための形態１に係る接合装置１における第１振動子１２と第２振動子１９との同時発振について説明する。図３において、横軸を時間とし、縦軸を第１振動子１２の動作と第２振動子１９の動作とし、時間Ｔ０の時刻からの経過時間を時間Ｔ１とすると、動作曲線３３，３４で示したように第１振動子１２と第２振動子１９とが時間Ｔ０から時間Ｔ１まで発振する態様である。
【００２６】
図４を参照し、発明を実施するための形態１に係る接合装置１における第１振動子１２と第２振動子１９とのオーバーラップ発振について説明する。図４において、横軸を時間とし、縦軸を第１振動子１２の動作と第２振動子１９の動作とし、時間Ｔ０の時刻からの経過時間を時間Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４とすると、動作曲線３５で示したように第１振動子１２が時間Ｔ０から時間Ｔ３まで発振し、動作曲線３６で示したように第２振動子１９が時間Ｔ２から時間Ｔ４まで発振し、第１振動子１２の発振と第２振動子１９の発振とが時間Ｔ２から時間Ｔ３まで重なる態様である。
【００２７】
図５を参照し、発明を実施するための形態１に係る接合装置１における第１振動子１２と第２振動子１９とのリレー発振について説明する。図５において、横軸を時間とし、縦軸を第１振動子１２の動作と第２振動子１９の動作とし、時間Ｔ０の時刻からの経過時間を時間Ｔ５，Ｔ６とすると、動作曲線３７で示したように第１振動子１２が時間Ｔ０から時間Ｔ５まで発振し、動作曲線３８で示したように第２振動子１９が時間Ｔ５から時間Ｔ６まで発振し、第１振動子１２の発振と第２振動子１９の発振とが時間Ｔ０から時間Ｔ６まで重なないで受け継ぐ態様である。尚、第１振動子１２の発振が停止する時間Ｔ５と第２振動子１９の発振が開始する時間Ｔ５との間に第１振動子１２と第２振動子１９とが発振しない時間が存在しても適用可能である。
【００２８】
図１乃至図５に示した接合装置１では、接合対象部材２０を接合する場合に第１振動子１２と第２振動子１９とを振動させたが、接合対象部材２０を接合する場合に第１振動子１２と第２振動子１９とのいずれか一方を振動させ他方を振動させないも適用可能である。例えば、図２において、第１振動子１２を振動させ第２振動子１９を振動させない図示のされていない操作部と、第２振動子１９を振動させ第1振動子１２を振動させない図示のされていない操作部とを設ける。そして、第１振動子１２を振動させ第２振動子１９を振動させない操作部が人為的な操作により第１振動子発信の指示を電線等の図示のされていない電気経路から制御部２４に出力し、制御部２４が電力を電線等の電気経路２８から第１発振器２５に出力し、第１発振器２５が音波又は超音波の電気エネルギーを電線等の電気経路３０から第１振動子１２に出力し、第１振動子１２が第１発振器２５から出力された音波又は超音波の電気エネルギーを機械エネルギーとしての機械振動に変換して第１共振器９に出力し、第１共振器９が振動し、第２共振器１６が振動しないことにより、第２共振器１６が図１又は図６乃至９の接合対象部材２０を下から加圧しかつ支えるアンビルとして機能する。又、第２振動子１９を振動させ第1振動子１２を振動させない図示のされていない操作部が人為的な操作により第２振動子発信の指示を電線等の図示のされていない電気経路から制御部２４に出力し、制御部２４が電力を電線等の電気経路２９から第２発振器２６に出力し、第２発振器２６が音波又は超音波の電気エネルギーを電線等の電気経路３１から第２振動子１９に出力し、第２振動子１９が第２発振器２６から出力された音波又は超音波の電気エネルギーを機械エネルギーとしての機械振動に変換して第２共振器１６に出力し、第２共振器１６が振動し、第１共振器１２が振動しないことにより、第１共振器９が図１又は図６乃至９の接合対象部材２０を上から加圧しかつ支えるアンビルとして機能する。
【００２９】
図６を参照し、発明を実施するための形態１に係る接合装置１に使用可能な接合対象部材２０について説明する。図６において、接合対象部材２０は、金属部材２１，２２の間に金属接合材４１を介在させて重ね合わされた積層状になっている。金属接合材４１としては、例えば、半田、金属ナノペースト、金属ペースト、錫部材、電気抵抗率の小さな金属部材等の何れかを用いることが可能である。金属ナノペースト又は金属ペーストは、分散剤や希釈剤等の有機材と金・銀・銅・アルミニウム等の電気抵抗率の小さな金属粒子とからなり、粘性を有する半溶融状の有機材の中に金属粒子を内蔵した構造である。電気抵抗率の小さな金属部材は、金・銀・銅・アルミニウム等のいずれかからなる金属である。
【００３０】
尚、図６に示したように金属部材２１，２２の間に金属接合材４１を介在した場合は、金属接合材４１の厚さが１乃至２μｍ程度の厚さの層状になるように、図１に示した出力部材５の下降が停止し、その停止状態が０．１乃至１秒程度保持される。又、図６に示したように金属接合材４１が金属ナノペースト又は金属ペーストの場合は、接合ツール部１０，１７による接合対象部材２０加圧と接合ツール部１０，１７による横方向の振動による振動エネルギーとにより金属ナノペースト又は金属ペースト中の有機材が蒸発し、金属ナノペースト又は金属ペースト中の電気抵抗率の小さな金属粒子がインゴット層に変化して複数個の金属部材２１，２２を互いに接合する。
【００３１】
図７を参照し、発明を実施するための形態１に係る接合装置１に使用可能な接合対象部材２０について説明する。図７において、接合対象部材２０は、金属部材２１，２２の間に金属接合材４１を介在させて重ね合わされた積層状になっている。接合対象部材２０の上には、テフロン（登録商標）又はシリコン等からなる板状の弾性部材４２が重ね合わせられている。弾性部材４２としては、接合時の熱に対する耐熱性を有すれば、テフロン（登録商標）やシリコン以外の合成樹脂又はエラストマー等の弾性部材でも適用可能である。弾性部材４２は、接合対象部材２０の上下の一方又は両方に重ね合わせても適用可能である。
【００３２】
接合ツール部１０又は接合ツール部１０，１７と接合対象部材２０との間に接合時の熱に対する耐熱性を有する弾性部材４２が配置されたことにより、接合ツール部１０，１７による横方向の振動による振動エネルギーが接合対象部材２０に集中し、金属接合材４１中の金属粒子が励起或いは焼結しやすくなる。よって、図６に示した金属部材２１，２２よりも厚い又は薄い又は大面積又は小面積の接合が可能になる。又、周囲の発熱が押さえられるので、半導体チップ又は半導体素子等の半導体装置の電極部を回路基板の電極部に接合する場合でも、半導体装置や回路基板等の接合部品に損傷が発生しない。
【００３３】
図８、図９を参照し、発明を実施するための形態１に係る接合装置１に使用可能な接合対象部材２０について説明する。図８に示したように、接合対象部材２０は、金属部材２１と金属部材２２と金属保護部材４３とが互いに重ね合されて積層状になった構成である。金属部材２１は、多数本の電線からなり、金属部材２２と金属保護部材４３とで挟まれた状態になっている。接合対象部材２０が接合ツール部１７の上に搭載される場合は、金属部材２１又は金属保護部材４３の一方が接合ツール部１７の上に搭載される態様のいずれでも適用可能である。
【００３４】
例えば、金属部材２１，２２並びに金属保護部材４３には、銅又は銅合金又はアルミニウム又はアルミニウム合金等の金属材料を採用した。金属部材２１としての電線としては、裸線又は被膜線のいずれでも適用可能である。被膜線は、上記裸線にアルミニウム被膜（アルミニウムメッキに同義語）又は銅被膜（銅メッキに同義語）或いは複数本の裸線に一纏めとして合成樹脂被膜の施された態様の何れでも適用可能である。
【００３５】
金属保護部材４３としては板状の金属部材を採用し、金属保護部材４３の金属部材２１の側の矢印Ｘで示す振動方向の両端部は下方に凸状になった曲面部４４になっている。又、図８に示したように、接合ツール部１０の振動方向の幅は、金属保護部材４３の上面の振動方向の幅よりも小さくなっている。そして、接合ツール部１０が金属保護部材４３の上面に接触した場合は、金属保護部材４３の上面の振動方向の両端部が接合ツール部１０と接触しないようになっている。
【００３６】
又、図９に示したように、金属部材２１としての多数本の電線の前後方向の両側には、はみ出し規制部材４５が配置される。はみ出し規制部材４５の前後方向の対向間隔は、金属保護部材４３の前後方向の幅よりも広くなっている。はみ出し規制部材４５としては、金属部材２１の上面に固定された態様、金属部材２１から上方に折り曲げられた態様のいずれでも適用可能である。
【００３７】
接合ツール部１０，１７による接合対象部材２０の加圧と接合ツール部１０，１７による横方向の振動による振動エネルギーとにより、左右のはみ出し規制部材４５が金属部材２１としての多数本の電線と金属保護部材４３との前後方向へのはみ出しを防止し、金属部材２２と金属部材２１としての多数本の電線と金属保護部材４３とが互いに接合される。
【００３８】
上記金属接合に用いた音波又は超音波振動として、１０ｋＨｚから２０ｋＨｚの範囲中の或る１つの周波数に固定された音波振動で実験したところ、アルミニウム、銅、金、銀、ニッケルの接合が可能であること、接合時間は数秒の短時間であること、金属接合材４１の金属粒子からなるインゴット層の内部にボイドが発生していないこと、音波振動で金属接合材４１の大気中での常温接合が数秒で可能になること等を確認できた。尚、超音波振動を利用した場合は、音波振動よりも接合時間が長くなるものの、アルミニウム、銅、金、銀、ニッケルの接合が可能であることも確認できた。
【００３９】
接合装置１に使用可能な接合対象部材２０としては、図６乃至９に示した以外に、金属部材とセラミックス又はガラス等の無機部材との間に金属接合材を挟んだ構造でも適用可能である。
【符号の説明】
【００４０】
１    接合装置
２    装置躯体
３    作業空間部
４    加圧機構
５    出力部材
６    第１支持具
７    内部空間
８    支持部
９    第１共振器
１０  接合ツール部
１１  被支持部
１２  第１振動子
１３  第２支持具
１４  内部空間
１５  支持部
１６  第２共振器
１７  接合ツール部
１８  被支持部
１９  第２振動子
２０  接合対象部材
２１  金属部材
２２  金属部材
２３  操作部
２４  制御部
２５  第１発振器
２６  第２発振器
２７  電気経路
２８  電気経路
２９  電気経路
３０  電気経路
３１  電気経路
３２  結合子
３３  動作曲線
３４  動作曲線
３５  動作曲線
３６  動作曲線
３７  動作曲線
３８  動作曲線
４１  金属接合材
４２  弾性部材
４３  金属保護部材
４４  曲面部
４５  はみ出し規制部材
５１  第１共振器
５２  第２共振器
５３  金属部材
５４  金属部材
５５  第１振動子
５６  第２振動子
５７  第１共振器５１の最大振動振幅点
５８  第１共振器５１の最小振動振幅点
５９  第２共振器５２の最小振動振幅点
６０  第２共振器５２の最大振動振幅点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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