(57)【要約】【課題】端材部分の形状によって、端材部分を製品部分から分離できなくなってしまう場合があった。【解決手段】装置３０は、第１の部分Ａ１、Ａ２を吸着し、下方へ移動される第１の吸着部３４と、第１の吸着部３４に対して移動可能となるように設けられ、第２の部分Ａ３を吸着する第２の吸着部３６と、第２の部分Ａ３の裏面と当接し、第２の部分が下方へ移動するのを防止する治具８２と、第１の吸着部３４が下方へ移動されて第１の部分Ａ１，Ａ２が第２の部分Ａ３から引き離されたときに、第１の吸着部３４に対する第２の吸着部３６の位置を維持する位置維持部８０とをさらに備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の部分と第２の部分とに予め切断された基板において、前記第１の部分と前記第２の部分との引っ掛かりを解除する装置であって、
前記第１の部分を吸着し、第１の方向へ移動される第１の吸着部と、
前記第１の吸着部に対して移動可能となるように設けられ、前記第２の部分を吸着する第２の吸着部と、
前記第２の部分に、前記第２の吸着部とは反対側から当接し、前記第２の部分が前記第１の方向へ移動するのを防止する治具と、
前記第１の吸着部が前記第１の方向へ移動されて前記第１の部分が前記第２の部分から引き離されたときに、前記第１の吸着部に対する前記第２の吸着部の位置を維持する位置維持部と、を備える、装置。
【請求項２】
前記基板は、平板であり、
前記第１の方向は、前記基板の表面に直交する方向であり、
前記第２の吸着部は、前記第１の吸着部に対して、前記第１の方向と平行な方向に移動可能である、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の装置と、
前記第１の吸着部が取り付けられるロボットアームと、を備える、ロボット。
【請求項４】
請求項３に記載のロボットと、
前記ロボットを制御する制御部と、を備える、ロボットシステム。
【請求項５】
前記制御部は、
前記第１の吸着部および前記第２の吸着部によって、前記第１の部分および前記第２の部分をそれぞれ吸着し、
前記ロボットアームを動作させて、前記第１の吸着部を前記第１の方向へ移動することによって、該前記第１の吸着部によって吸着された前記第１の部分を前記第１の方向へ押して、前記第１の部分を前記第２の部分から引き離し、
前記第１の部分が前記第２の部分から引き離されたときに、前記位置維持部を動作させて、前記第１の吸着部に対する前記第２の吸着部の位置を維持し、
前記第１の吸着部に対する前記第２の吸着部の位置を維持した状態で、前記ロボットアームを動作させて、前記第１の吸着部を前記第１の方向とは反対の第２の方向へ移動する、請求項４に記載のロボットシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、予め切断された基板の引っ掛かりを解除する装置、ロボット、およびロボットシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
チャック部によって基板の端材部分を保持し、該端材部分を基板の製品部分から引き離すための装置が知られている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−２５０８７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述の装置によれば、例えば端材部分が製品部分の周囲を取り囲むように設けられている場合、端材部分と製品部分とが互いに引っ掛かるので、端材部分を製品部分から引き離すことが困難となってしまう。このように、従来技術においては、端材部分の形状によって、端材部分と製品部分との引っ掛かりを解除することができなくなってしまう場合があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様において、第１の部分と第２の部分とに予め切断された基板において、第１の部分と第２の部分との引っ掛かりを解除する装置は、第１の部分を吸着し、第１の方向へ移動される第１の吸着部と、第１の吸着部に対して移動可能となるように設けられ、第２の部分を吸着する第２の吸着部とを備える。
【０００６】
また、この装置は、第２の部分に、第２の吸着部とは反対側から当接し、第２の部分が第１の方向へ移動するのを防止する治具と、第１の吸着部が第１の方向へ移動されて第１の部分が第２の部分から引き離されたときに、第１の吸着部に対する第２の吸着部の位置を維持する位置維持部とをさらに備える。
【０００７】
基板は、平板であってもよく、第１の方向は、基板の表面に直交する方向であってもよい。第２の吸着部は、第１の吸着部に対して、第１の方向と平行な方向に移動可能であってもよい。
【０００８】
本発明の他の態様において、ロボットは、上述の装置と、第１の吸着部が取り付けられるロボットアームとを備える。本発明のさらに他の態様において、ロボットシステムは、上述のロボットと、該ロボットを制御する制御部とを備える。
【０００９】
制御部は、第１の吸着部および第２の吸着部によって、第１の部分および第２の部分をそれぞれ吸着し、ロボットアームを動作させて、第１の吸着部を第１の方向へ移動することによって、該第１の吸着部によって吸着された第１の部分を第１の方向へ押して、第１の部分を第２の部分から引き離してもよい。
【００１０】
次いで、制御部は、第１の部分が第２の部分から引き離されたときに、位置維持部を動作させて、第１の吸着部に対する第２の吸着部の位置を維持してもよい。
【００１１】
次いで、制御部は、第１の吸着部に対する第２の吸着部の位置を維持した状態で、ロボットアームを動作させて、第１の吸着部を第１の方向とは反対の第２の方向へ移動してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】一実施形態に係るロボットシステムの概略図である。
【図２】図２に示す装置の斜視図である。
【図３】図２に示す装置の斜視図であって、基板および治具を省略した図である。
【図４】図２に示す基板および治具の斜視図である。
【図５】図１に示すロボットシステムの動作フローの一例を示すフローチャートである。
【図６】図２に示す装置によって基板を吸着し、該基板を治具の上方に位置決めした状態を示す斜視図である。
【図７】図６に示す基板を治具に押し当てて、製品部分と端材部分とを引き離した状態を示す斜視図である。
【図８】図７に示す基板を上方へ引き上げた状態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。まず、図１を参照して、本発明の一実施形態に係るロボットシステム１０について説明する。ロボットシステム１０は、端材部分と製品部分とに予め切断された基板Ａにおいて、端材部分と製品部分との引っ掛かりを解除するためのシステムである。
【００１４】
ロボットシステム１０は、ロボット１２と、ロボット１２を制御する制御部１４とを備える。本実施形態においては、ロボット１２は、複数の軸を有する垂直多関節型ロボットである。具体的には、ロボット１２は、旋回胴１６に取付けられた下腕部１８と、下腕部１８に取り付けられた前腕部２０を含むロボットアーム２２と、装置３０とを備える。
【００１５】
次に、図２および図３を参照して、本実施形態に係る装置３０について説明する。なお、図２は、分離後の基板Ａを保持している状態の装置３０の斜視図を示している。なお、以下の説明においては、図２および図３に示すようにｘ軸、ｙ軸、ｚ軸を定め、ｘ軸プラス方向を左方、ｙ軸プラス方向を前方、ｚ軸プラス方向を上方とする。
【００１６】
装置３０は、ベース部３２、複数の製品吸着部（第１の吸着部）３４、および複数の端材吸着部（第２の吸着部）３６を備える。ベース部３２は、上述のロボットアーム２２の手首部２４に取り付けられている。
【００１７】
具体的には、ベース部３２は、手首部２４に連結される台座部３８と、台座部３８から下方へ延びる柱部４０と、柱部４０に設けられた三又状のフランジ部４２と、フランジ部４２から下方に離隔して配置されたベースアーム部４４と、フランジ部４２とベースアーム部４４との間で延在するシャフト部４６とを有する。
【００１８】
本実施形態においては、計３本のシャフト部４６が設けられている。シャフト部４６の各々は、略円柱状であり、フランジ部４２からベースアーム部４４まで、真直ぐに下方へ延びている。
【００１９】
ベースアーム部４４は、左右方向に真直ぐ延びる。ベースアーム部４４の左端下側には、前後方向に延びる支持アーム４８が固定されている。支持アーム４８には、その前端部および後端部の位置に、計２個の製品吸着部３４が固定されている。
【００２０】
一方、ベースアーム部４４の右端下側には、前後方向に延びる支持アーム５０が固定されている。支持アーム５０には、その前端部および後端部の位置に、計２個の製品吸着部３４が固定されている。
【００２１】
同様に、ベースアーム部４４の中央下側には、前後方向に延びる支持アーム５２および５４が固定されている。支持アーム４８の右側に離隔して配置され、支持アーム５４は、支持アーム５２と支持アーム５０との間に配置されている。
【００２２】
支持アーム５２には、その前端部および後端部の位置に、計２個の製品吸着部３４が固定されている。一方、支持アーム５４には、その後端部の位置に、１個の製品吸着部３４が固定されている。このように、本実施形態においては、ベース部３２は、計７個の製品吸着部３４を保持する。
【００２３】
ベース部３２のシャフト部４６には、上下方向に移動可能となるように、可動部５６が嵌め込まれている。具体的には、可動部５６は、シャフト部４６の各々を内部に受容する計３個の筒状部５８と、これら筒状部５８の下端から後方へ延在する主プレート６０と、主プレート６０の後端に連結され、左右方向へ延びるアームプレート６２とを有する。
【００２４】
筒状部５８は、受容するシャフト部４６に対して、摺動可能となっている。これにより、可動部５６は、シャフト部４６に沿って、フランジ部４２とベースアーム部４４との間で、上下方向へ移動可能となる。アームプレート６２の下面には、下方へ延びる計４本のロッド６４が固定されている。
【００２５】
これら４本のロッド６４のうち、左側の２本のロッド６４の下端には、左右方向に延びる支持アーム６６が固定されている。同様に、４本のロッド６４のうち、右側の２本のロッド６４の下端には、左右方向に延びる支持アーム６８が固定されている。支持アーム６６の下面には、計５個の端材吸着部３６が固定されている。同様に、支持アーム６８の下面にも、計５個の端材吸着部３６が固定されている。
【００２６】
可動部５６の前端部には、左右方向に延びる可動アーム７０が固定されている。可動アーム７０の左端には、下方へ延びる２本のロッド７２が固定され、これらロッド７２の下端には、前後方向に延びる支持アーム７４が固定されている。支持アーム７４の下面には、計５個の端材吸着部３６が固定されている。
【００２７】
同様に、可動アーム７０の右端にも、下方へ延びる２本のロッド７６が固定され、これらロッド７６の下端には、前後方向に延びる支持アーム７８が固定されている。そして、この支持アーム７８の下面に、計５個の端材吸着部３６が固定されている。
【００２８】
このように、本実施形態においては、可動部５６は、計２０個の端材吸着部３６を保持している。したがって、これら端材吸着部３６は、可動部５６を介して、ベース部３２および製品吸着部３４に対して移動可能となっている。
【００２９】
本実施形態においては、製品吸着部３４および端材吸着部３６の各々は、空気吸引式吸着装置から構成されている。製品吸着部３４および端材吸着部３６の各々は、制御部１４からの指令に応じて、基板Ａとの接触面に負圧を生じさせ、該基板Ａを吸着する。
【００３０】
装置３０は、位置維持部８０をさらに備える。位置維持部８０は、制御部１４からの指令に応じて、シャフト部４６における予め定められた位置に可動部５６を保持するように、可動部５６に対して作用する。例えば、位置維持部８０は、油圧式または空圧式のシリンダから構成される。
【００３１】
この場合、位置維持部８０は、可動部５６に機械的に連結されたピストンを含み、制御部１４からの指令に応じてシリンダ内の空気圧をバランスさせることによって、可動部５６のシャフト部４６に対する位置を維持する。その結果、可動部５６に支持された第２の吸着部の位置も、ベース部３２に支持された第１の吸着部に対して維持されることになる。
【００３２】
装置３０は、基板Ａの下方側に配置される治具８２をさらに備える。次に、図２および図４を参照して、治具８２について説明する。治具８２は、本体部８４と、該本体部８４から上方へ立ち上がる立ち上がり部８６とを有する。
【００３３】
立ち上がり部８６は、前後方向へ延在する第１の立ち上がり部８６ａ、第２の立ち上がり部８６ｂ、および第３の立ち上がり部８６ｃと、左右方向へ延在する第４の立ち上がり部８６ｄおよび第５の立ち上がり部８６ｅとを有する。
【００３４】
次に、図４を参照して、基板Ａについて簡単に説明する。本実施形態においては、基板Ａは、平面である表面Ａｓ１および表面Ａｓ１とは反対側の裏面Ａｓ２を有する平板である。基板Ａは、切断用の工作機械（図示せず）によって、２つの製品部分Ａ１、Ａ２（第１の部分）と、１つの端材部分Ａ３（第２の部分）とに予め切断される。
【００３５】
なお、図４においては、理解の容易のために、端材部分Ａ３を、製品部分Ａ１およびＡ２から離隔して示している。しかしながら、基板Ａを切断加工した直後の状態においては、端材部分Ａ３と製品部分Ａ１およびＡ２とが互いに引っ掛かっており、一枚の板状部材となっている。
【００３６】
基板Ａは、上述の製品吸着部３４および端材吸着部３６によって吸着されて、略水平、すなわち、図中のｚ軸が表面Ａｓ１および裏面Ａｓ２に直交するように、保持される。本実施形態においては、端材部分Ａ３は、製品部分Ａ１およびＡ２を、左側、上側、および右側から取り囲むように、形成されている。
【００３７】
具体的には、端材部分Ａ３は、左右方向に延びる後側部Ａ３ｂと、後側部Ａ３ｂの左端から前方へ延びる左側部Ａ３ａと、後側部Ａ３ｂの右端から前方へ延びる右側部Ａ３ｃと、後側部Ａ３ｂの中央から前方へ延びる中央部Ａ３ｄとを含む。
【００３８】
製品部分Ａ１は、左側部Ａ３ａ、後側部Ａ３ｂ、および中央部Ａ３ｄによって取り囲まれている。また、製品部分Ａ２は、右側部Ａ３ｃ、後側部Ａ３ｂ、および中央部Ａ３ｄによって取り囲まれている。
【００３９】
図４に示すように、治具８２の立ち上がり部８６は、基板Ａの端材部分Ａ３に対応する位置に配置されている。具体的には、立ち上がり部８６の第１の立ち上がり部８６ａ、第２の立ち上がり部８６ｂ、第３の立ち上がり部８６ｃ、第４の立ち上がり部８６ｄ、および第５の立ち上がり部８６ｅは、それぞれ、端材部分Ａ３の左側部Ａ３ａ、中央部Ａ３ｄ、右側部Ａ３ｃ、後側部Ａ３ｂの左半分、および後側部Ａ３ｂの右半分に対応して配置されている。
【００４０】
また、上述の製品吸着部３４および端材吸着部３６は、それぞれ、製品部分Ａ１、Ａ２、および端材部分Ａ３に対応する位置に配置されている。より具体的には、図３および図４を参照して、支持アーム４８および５２に固定された計４個の製品吸着部３４は、製品部分Ａ１に対応する位置に配置され、該製品部分Ａ１を吸着可能である。これら計４個の製品吸着部３４は、製品吸着部３４の第１群３４ａを構成する。
【００４１】
また、支持アーム５４および５０に固定された計３個の製品吸着部３４は、製品部分Ａ２に対応する位置に配置され、該製品部分Ａ２を吸着可能である。これら計３個の製品吸着部３４は、製品吸着部３４の第２群３４ｂを構成する。
【００４２】
一方、支持アーム７４に固定された計５個の端材吸着部３６は、端材部分Ａ３の左側部Ａ３ａに対応する位置に配置され、該左側部Ａ３ａを吸着可能である。これら計５個の端材吸着部３６は、端材吸着部３６の第１群３６ａを構成する。
【００４３】
また、支持アーム６６および６８に固定された計１０個の端材吸着部３６は、端材部分Ａ３の後側部Ａ３ｂに対応する位置に配置され、該後側部Ａ３ｂを吸着可能である。これら計１０個の端材吸着部３６は、端材吸着部３６の第２群３６ｂを構成する。
【００４４】
また、支持アーム７８に固定された計５個の端材吸着部３６は、端材部分Ａ３の右側部Ａ３ｃに対応する位置に配置され、該右側部Ａ３ｃを吸着可能である。これら計５個の端材吸着部３６は、端材吸着部３６の第３群３６ｃを構成する。
【００４５】
このように、本実施形態においては、製品吸着部３４の第１群３４ａおよび第２群３４ｂは、互いに左右方向に隣り合うように配置され、且つ、端材吸着部３６の第１群３６ａ、第２群３６ｂ、および第３群３６ｃによって、左側、後側、および、右側から取り囲まれるように、配置されている。
【００４６】
本実施形態においては、製品吸着部３４および端材吸着部３６によって基板Ａの表面Ａｓ１を吸着するとき、可動部５６は、ベースアーム部４４と当接する位置（すなわち、可動部５６のストローク下限位置）に配置され、製品吸着部３４および端材吸着部３６の吸着面が、略同じ平面上に配置されることになる。
【００４７】
次に、図５〜図８を参照して、ロボットシステム１０の動作について説明する。図５に示すフローは、制御部１４が使用者から基板Ａを分離する作業命令を受け付けたときに、開始する。ステップＳ１において、制御部１４は、予め切断された基板Ａを吸着する。
【００４８】
具体的には、制御部１４は、ロボットアーム２２を動作させて、切断用の工作機械によって切断加工が施された基板Ａの上方の予め定められた位置に、装置３０のベース部３２を配置させる。
【００４９】
例えば、制御部１４は、該制御部１４に内蔵されたメモリに予め記録されたロボットプログラムを読み出し、該ロボットプログラムに従ってロボットアーム２２を動作させて、ベース部３２を基板Ａの上方の予め定められた位置へ配置させる。
【００５０】
このとき、可動部５６は、ベースアーム部４４と当接する位置（ストローク下限位置）に配置され、製品吸着部３４および端材吸着部３６の吸着面が、略同じ平面上に配置されている。
【００５１】
このように、本実施形態においては、重力の作用により、可動部５６をストローク下限位置に配置させ、以って、製品吸着部３４および端材吸着部３６を、基板Ａを吸着すべき吸着位置に配置させている。なお、制御部１４は、位置維持部８０を動作させて、ストローク下限位置に配置された可動部５６のシャフト部４６に対する位置を維持させてもよい。
【００５２】
また、他の例として、位置維持部８０とは別の第２の位置維持部（図示せず）を設けて、該第２の位置維持部を動作することによって、ストローク下限位置に配置された可動部５６のシャフト部４６に対する位置を維持させてもよい。この第２の位置維持部は、位置維持部８０と同様に、油圧式または空圧式のシリンダ等から構成され、可動部５６に対して作用してもよい。
【００５３】
次いで、制御部１４は、ロボットアーム２２を動作させて、製品吸着部３４および端材吸着部３６の吸着面が基板Ａの表面Ａｓ１と当接するように、ベース部３２を基板Ａに向かって移動させる。その結果、製品吸着部３４の第１群３４ａは、基板Ａの製品部分Ａ１と当接し、製品吸着部３４の第２群３４ｂは、基板Ａの製品部分Ａ２と当接する。
【００５４】
一方、端材吸着部３６の第１群３６ａは、基板Ａの左側部Ａ３ａと当接し、端材吸着部３６の第２群３６ｂは、基板Ａの後側部Ａ３ｂと当接し、端材吸着部３６の第３群３６ｃは、基板Ａの右側部Ａ３ｃと当接する。次いで、制御部１４は、製品吸着部３４および端材吸着部３６を動作させ、製品吸着部３４および端材吸着部３６によって、基板Ａの表面Ａｓ１を吸着する。
【００５５】
なお、製品吸着部３４および端材吸着部３６によって基板Ａを吸着するために、位置維持部８０によって可動部５６のシャフト部４６に対する位置を維持させていた場合は、製品吸着部３４および端材吸着部３６によって基板Ａを吸着した後、位置維持部８０の動作を停止して、可動部５６の維持を解除する。
【００５６】
ステップＳ２において、制御部１４は、基板Ａを、装置３０の治具８２の上方へ移動させる。具体的には、制御部１４は、ロボットプログラムに従ってロボットアーム２２を動作させ、ベース部３２を、治具８２の上方の予め定められた位置に位置決めする。この状態を図６に示す。
【００５７】
図６に示すように、このステップＳ２によって、治具８２の第１の立ち上がり部８６ａ、第２の立ち上がり部８６ｂ、および第３の立ち上がり部８６ｃは、それぞれ、端材部分Ａ３の左側部Ａ３ａ、中央部Ａ３ｄ、および右側部Ａ３Ｃの直下に位置決めされる。また、治具８２の第４の立ち上がり部８６ｄおよび第５の立ち上がり部８６ｅは、端材部分Ａ３の後側部Ａ３ｂの直下に位置決めされる。
【００５８】
ステップＳ３において、制御部１４は、基板Ａを治具８２に押し付けて、基板Ａの製品部分Ａ１、Ａ２と、端材部分Ａ３との間の引っ掛かりを解除する。具体的には、制御部１４は、図６に示す状態から、ロボットアーム２２を動作させて、ベース部３２を下方（第１の方向）へ移動させる。
【００５９】
そうすると、基板Ａもベース部３２とともに下方へ移動され、治具８２の立ち上がり部８６が、端材部分Ａ３の裏面Ａｓ２に当接する。これにより、端材部分Ａ３の下方（すなわち裏面Ａｓ２側）への移動が防止され、端材吸着部３６および可動部５６の下方への移動も、防止されることになる。
【００６０】
その一方で、製品吸着部３４によって吸着されている製品部分Ａ１およびＡ２は、ロボットアーム２２によってベース部３２が下方へ移動されるのに伴って、製品吸着部３４によって下方へ押されて、ベース部３２とともに下方（すなわち、裏面Ａｓ２側）へ移動される。
【００６１】
ここで、上述したように、端材吸着部３６を保持する可動部５６は、シャフト部４６に沿って移動可能となっている。したがって、ベース部３２が下方へ移動するのに伴って、可動部５６は、シャフト部４６に沿って相対的に移動する。
【００６２】
これにより、端材部分Ａ３は、端材吸着部３６と立ち上がり部８６との間に挟み込まれて固定される一方で、製品部分Ａ１およびＡ２は、製品吸着部３４によって下方へ押されて移動する。
【００６３】
その結果、製品部分Ａ１、Ａ２と端材部分Ａ３との間の境界面にせん断力が発生し、製品部分Ａ１、Ａ２と、端材部分Ａ３との間の引っ掛かりが解除され、製品部分Ａ１およびＡ２は、端材部分Ａ３から引き離される。この状態を、図７に示す。
【００６４】
図７に示すように、ステップＳ３によって、製品部分Ａ１およびＡ２は、端材部分Ａ３から引き離され、端材部分Ａ３よりも距離ｄだけ下方に配置されることになる。なお、本実施形態においては、製品部分Ａ１およびＡ２は、治具８２の本体部８４の上面と当接するまで、ベース部３２とともに下方側へ移動される。
【００６５】
ステップＳ４において、制御部１４は、製品吸着部３４に対する端材吸着部３６の位置を維持する。具体的には、制御部１４は、位置維持部８０のシリンダ内の空気圧をバランスさせることによって、可動部５６のシャフト部４６に対する位置を維持させる。その結果、製品吸着部３４に対する端材吸着部３６の位置を維持することができる。
【００６６】
ステップＳ５において、制御部１４は、ロボットアーム２２を動作させて、ベース部３２を上方（第２の方向）へ移動させる。このとき、位置維持部８０によって可動部５６のシャフト部４６に対する位置が維持されているので、製品部分Ａ１およびＡ２と端材部分Ａ３との間の距離ｄが維持されたまま、製品部分Ａ１、Ａ２および端材部分Ａ３は、上方側（すなわち表面ＡＳ１側）へ引き上げられる。この状態を図８に示す。
【００６７】
ステップＳ６において、制御部１４は、製品部分Ａ１、Ａ２を収容するための製品収容部（図示せず）まで基板Ａを移動させる。具体的には、制御部１４は、ロボットプログラムに従ってロボットアーム２２を動作させ、製品収容部の上方の予め定められた位置へ基板Ａを配置させる。
【００６８】
ステップＳ６において、制御部１４は、製品吸着部３４の吸着を解除する。具体的には、制御部１４は、製品吸着部３４の吸着動作を停止させ、製品吸着部３４から製品部分Ａ１、Ａ２を放出させる。これにより、製品部分Ａ１、Ａ２は、製品収容部内に収容されることになる。
【００６９】
ステップＳ７において、制御部１４は、端材部分Ａ３を収容するための端材収容部（図示せず）まで端材部分Ａ３を移動させる。具体的には、制御部１４は、ロボットプログラムに従ってロボットアーム２２を動作させ、端材収容部の上方の予め定められた位置へ端材部分Ａ３を配置させる。
【００７０】
ステップＳ８において、制御部１４は、端材吸着部３６の吸着を解除する。具体的には、制御部１４は、端材吸着部３６の吸着動作を停止させ、端材吸着部３６から端材部分Ａ３を放出させる。これにより、端材部分Ａ３は、端材収容部内に収容されることになる。
【００７１】
ステップＳ９において、制御部１４は、全ての基板の分離作業が終了したか否かを判断する。制御部１４は、ＮＯと判断した場合、ステップＳ１に戻る一方、ＹＥＳと判断した場合、図５に示すフローを終了する。
【００７２】
上述したように、本実施形態に係る装置３０によれば、端材部分Ａ３が、端材吸着部３６と立ち上がり部８６との間に挟み込まれて固定される一方で、製品部分Ａ１およびＡ２が、製品吸着部３４によって押されて移動される。
【００７３】
その結果、基板Ａにおいて製品部分Ａ１、Ａ２と、端材部分Ａ３との間の引っ掛かりを確実に解除することができる。このように、本実施形態によれば、例えば上述の基板Ａのように、端材部分が複雑な形状を有して、端材部分と製品部分とが互いに複雑に引っ掛かっているような基板も、製品部分と端材部分とに有利に引き離すことができる。
【００７４】
また、本実施形態においては、基板Ａを分離した後、位置維持部８０によって、製品吸着部３４に対する端材吸着部３６の位置を維持することができる。このため、製品部分Ａ１、Ａ２および端材部分Ａ３を、距離ｄだけ互いに離隔させた状態で、製品収容部および端材収容部に運搬することができる。
【００７５】
これにより、分離後の基板Ａを運搬しているときに、製品部分Ａ１、Ａ２と端材部分Ａ３とが再度引っ掛かってしまうのを確実に防止することができるので、製品部分Ａ１、Ａ２および端材部分Ａ３を、製品収容部および端材収容部に円滑に収容することができる。
【００７６】
なお、上述の実施形態においては、端材吸着部３６が、可動部５６を介して、製品吸着部３４に対して移動可能となるように設けられている場合について述べた。しかしながら、これに限らず、製品吸着部３４を可動部５６に固定し、端材吸着部３６をベース部３２（例えばベースアーム部４４）に固定することによって、製品吸着部３４を、ベース部３２および端材吸着部３６に対して移動可能に配置させてもよい。
【００７７】
この場合は、端材吸着部３６は、端材部分Ａ３（第１の部分）の表面Ａｓ１を吸着し、下方へ移動される第１の吸着部を構成する。その一方で、製品吸着部３４は、第１の吸着部に対して移動可能となるように設けられ、製品部分Ａ１、Ａ２（第２の部分）の表面Ａｓ１を吸着する第２の吸着部を構成する。また、この場合の治具は、上述の治具８２とは異なって、製品部分Ａ１、Ａ２の裏面Ａｓ２に当接する立ち上がり部を有する。
【００７８】
また、上述の実施形態においては、位置維持部８０は、油圧式または空圧式のシリンダから構成される場合について述べた。しかしながら、これに限らず、位置維持部８０は、例えば、モータ、ワンウェイクラッチ、または突き当て部等、可動部５６のシャフト部４６に対する位置を維持できるものであれば、如何なる構造を適用してもよい。
【００７９】
また、上述の実施形態においては、吸着部３４、３６を、空気吸引式吸着装置から構成されている場合について述べた。しかしながら、これに限らず、吸着部３４、３６は、例えば電磁石、または吸盤から構成されてもよい。
【００８０】
以上、発明の実施形態を通じて本発明を説明したが、上述の実施形態は、特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。また、本発明の実施形態の中で説明されている特徴を組み合わせた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得るが、これら特徴の組み合わせの全てが、発明の解決手段に必須であるとは限らない。さらに、上述の実施形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることも当業者に明らかである。
【００８１】
また、特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、工程、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【符号の説明】
【００８２】
１０    ロボットシステム
１２    ロボット
１４    制御部
２２    ロボットアーム
３０    装置
３４    製品吸着部
３６    端材吸着部
８０    位置維持部
８２    治具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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