(57)【要約】【課題】現像時の密着性、および、硬化膜の密着性が良好な、感光性樹脂組成物、硬化膜の製造方法、および硬化膜を提供する。【解決手段】重合体成分と光酸発生剤と溶剤と下記一般式１で表される有機シラン化合物とを含有する感光性樹脂組成物；式中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に水素原子などを表し、Ｒ3は、水素原子などを表し、Ｒ4およびＲ5は、それぞれ独立に水素原子などを表し、Ｒ6は、炭素数１〜２０の１価の基を表し、ｎは１〜３の整数を表す。2016157100.tif 000052【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記１および２の少なくとも一方を満たす重合体成分と、
１：酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位ａ１と、一般式Ａ３で表される構成単位ａ３とを有する重合体Ａｘ１を含む重合体成分、
２：酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位ａ１を有する重合体Ａｘ２と、一般式Ａ３で表される構成単位ａ３を有する重合体Ａｘ３と、を含む重合体成分、
光酸発生剤と、
溶剤と、
下記一般式１で表される有機シラン化合物と、
を含有する感光性樹脂組成物；
【化１】
2016157100.tif 000043
式中、Ｒは水素原子またはメチル基を表し、Ｌは単結合または２価の連結基を表し、Ｘは酸基を表す；
【化２】
2016157100.tif 000044
式中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に、水素原子またはアルキル基を表し、
Ｒ3は、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、
Ｒ4およびＲ5は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、
Ｒ6は、炭素数１〜２０の１価の基を表し、
ｎは１〜３の整数を表す。
【請求項２】
前記酸基が酸分解性基で保護された基が、酸基がアセタールの形で保護された基である、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
前記構成単位ａ１が下記一般式Ａ２’で表される、請求項１または２に記載の感光性樹脂組成物；
【化３】
2016157100.tif 000045
式中、Ｒ21およびＲ22は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、Ｒ21およびＲ22の少なくとも一方がアルキル基またはアリール基であり、Ｒ23は、アルキル基またはアリール基を表し、Ｒ21またはＲ22と、Ｒ23とが連結して環状エーテルを形成してもよく、Ｒ24は、水素原子またはメチル基を表し、Ｘは単結合またはアリーレン基を表す。
【請求項４】
前記重合体Ａｘ１、前記重合体Ａｘ２および前記重合体Ａｘ３から選ばれる少なくとも１種が架橋性基を有する構成単位を含む、請求項１〜３のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
一般式Ａ３で表される構成単位ａ３を有する重合体Ａｘ３を含む重合体成分と、
キノンジアジド化合物と、
溶剤と、
下記一般式１で表される有機シラン化合物と、
を含有する感光性樹脂組成物；
【化４】
2016157100.tif 000046
式中、Ｒは水素原子またはメチル基を表し、Ｌは単結合または２価の連結基を表し、Ｘは酸基を表す；
【化５】
2016157100.tif 000047
式中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に、水素原子、または、アルキル基を表し、
Ｒ3は、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、
Ｒ4およびＲ5は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、または、アリール基を表し、
Ｒ6は、炭素数１〜２０の１価の基を表し、
ｎは１〜３の整数を表す。
【請求項６】
前記重合体Ａｘ３が、更に、架橋性基を有する、請求項５に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項７】
前記構成単位ａ３が、下記一般式Ａ３−１またはＡ３−２で表される、請求項１〜６のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物；
【化６】
2016157100.tif 000048
式中、Ｒは水素原子またはメチル基を表し、Ｌは単結合または２価の連結基を表す。
【請求項８】
前記重合体成分が、架橋性基を有する構成単位を含む重合体Ａｘ４を含む、請求項１〜７のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項９】
架橋性基を有する化合物を含む、請求項１〜８のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１０】
前記有機シラン化合物が、下記一般式２で表される化合物である、請求項１〜９のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物；
【化７】
2016157100.tif 000049
式中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に、水素原子、または、アルキル基を表し、
Ｒ3は、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、
Ｒ4およびＲ5は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、または、アリール基を表し、
Ｒ6はエポキシ基、オキセタニル基、カルボキシル基、（メタ）アクリロイル基、メルカプト基、スルフィド基、ヒドロキシル基、イソシアネート基、ウレイド基、ウレタン基およびアミド基から選ばれる少なくとも１種を有する、炭素数１〜２０の１価の基を表し、
Ｒ7は、炭素数１〜２０の１価の基を表し、
ｎは１〜３の整数を表し、ｍは１〜３の整数を表し、ｍ＋ｎ≦４である。
【請求項１１】
前記有機シラン化合物が、下記一般式３で表される化合物である、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物；
【化８】
2016157100.tif 000050
式中、Ｒ6はエポキシ基、オキセタニル基、カルボキシル基、（メタ）アクリロイル基、メルカプト基、スルフィド基、ヒドロキシル基、イソシアネート基、ウレイド基、ウレタン基およびアミド基から選ばれる少なくとも１種を有する、炭素数１〜２０の１価の基を表し、
Ｒ7は、炭素数１〜２０の１価の基を表し、
ｎは１〜３の整数を表し、ｍは１〜３の整数を表し、ｍ＋ｎ≦４である。
【請求項１２】
前記有機シラン化合物が、下記一般式４で表される化合物である、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物；
【化９】
2016157100.tif 000051
式中、Ｒ6はエポキシ基、オキセタニル基、カルボキシル基、（メタ）アクリロイル基、メルカプト基、スルフィド基、ヒドロキシル基、イソシアネート基、ウレイド基、ウレタン基およびアミド基から選ばれる少なくとも１種を有する、炭素数１〜２０の１価の基を表す。
【請求項１３】
前記架橋性基が、エポキシ基およびオキセタニル基から選ばれる少なくとも１種である、請求項４、６、８および９のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１４】
請求項１〜１３のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物を基板上に塗布する工程と、
塗布された感光性樹脂組成物から溶剤を除去する工程と、
溶剤が除去された感光性樹脂組成物を活性光線により露光する工程と、
露光された感光性樹脂組成物を現像液により現像する工程と、
現像された感光性樹脂組成物を熱硬化する工程とを含む硬化膜の製造方法。
【請求項１５】
請求項１〜１３のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化膜。
【請求項１６】
層間絶縁膜である、請求項１５に記載の硬化膜。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物に関する。さらに詳しくは、液晶表示装置、有機エレクトロルミネッセンス表示装置などの画像表示装置、タッチパネル、集積回路素子、固体撮像素子などの電子部品の平坦化膜、保護膜および層間絶縁膜等の形成に好適な、感光性樹脂組成物に関する。また、硬化膜の製造方法、および硬化膜に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置、および有機エレクトロルミネッセンス表示装置などの画像表示装置、およびタッチパネルなどの入力装置には、多くの場合パターン形成された層間絶縁膜が設けられている。層間絶縁膜の形成には、必要とするパターン形状を得るための工程数が少なく、しかも十分な平坦性が得られるといったことから、感光性樹脂組成物が広く使用されている。
【０００３】
上記装置における層間絶縁膜には、アクリル系樹脂を膜形成成分として用いることが試みられている。例えば、特許文献１、２に記載のものが知られている。
【０００４】
また、特許文献３には、ポリシロキサンと、キノンジアド化合物とを含む感光性樹脂組成物が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−２２１４９４号公報
【特許文献２】特開２０１４−１９７１５５号公報
【特許文献３】特開２００９−２２３２９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来、基板にはヘキサメチルジシラザン（ＨＭＤＳ）などで密着の向上のための前処理がされていた。しかし最近、コストダウンやプロセス簡略化の観点から、前処理を省略することが多くなりつつある。
また、スマートフォン等の普及により、ディスプレイの高解像度化が進み、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）や配線もより細かくなっている。層間絶縁膜は、ＴＦＴや配線が形成された基板上に形成されるため、細かなＴＦＴや配線が形成された基板に対する適性が必要となっている。また、細かなＴＦＴや配線が形成された基板では、細かな凹凸があったり、細かな下地の違い（基板素地、ＴＦＴ、金属配線）がある。層間絶縁膜の形成には、このような基板上で、リソグラフィーにより細かなパターンを形成することが必要である。
さらに、基板密着の前処理がなくなること、高精細が進むことから、現像時に基板への密着を保つことが困難になっている。その一方で硬化膜での基板密着性へも高い要求があり、これらを両立する素材の開発が望まれている。
【０００７】
感光性樹脂組成物としては、特許文献１〜３等に開示されたものが知られているが、近年においては、現像時の密着性、および、硬化膜の密着性のさらなる向上が望まれている。
【０００８】
よって、本発明は、現像時の密着性、および、硬化膜の密着性が良好な、感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。また、感光性樹脂組成物を用いた硬化膜の製造方法および硬化膜を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
かかる状況のもと、本願発明者が検討を行った結果、後述する一般式１で表される有機シラン化合物を含有させることで、現像時の密着性と硬化膜での密着性に優れた感光性樹脂組成物が得られることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は以下を提供する。
＜１＞  下記１および２の少なくとも一方を満たす重合体成分と、
１：酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位ａ１と、一般式Ａ３で表される構成単位ａ３とを有する重合体Ａｘ１を含む重合体成分、
２：酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位ａ１を有する重合体Ａｘ２と、一般式Ａ３で表される構成単位ａ３を有する重合体Ａｘ３と、を含む重合体成分、
光酸発生剤と、
溶剤と、
下記一般式１で表される有機シラン化合物と、
を含有する感光性樹脂組成物；
【化１】
2016157100.tif 000002
式中、Ｒは水素原子またはメチル基を表し、Ｌは単結合または２価の連結基を表し、Ｘは酸基を表す；
【化２】
2016157100.tif 000003
式中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に、水素原子またはアルキル基を表し、
Ｒ3は、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、
Ｒ4およびＲ5は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、
Ｒ6は、炭素数１〜２０の１価の基を表し、
ｎは１〜３の整数を表す。
＜２＞酸基が酸分解性基で保護された基が、酸基がアセタールの形で保護された基である、＜１＞に記載の感光性樹脂組成物。
＜３＞  構成単位ａ１が下記一般式Ａ２’で表される、＜１＞または＜２＞に記載の感光性樹脂組成物；
【化３】
2016157100.tif 000004
式中、Ｒ21およびＲ22は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、Ｒ21およびＲ22の少なくとも一方がアルキル基またはアリール基であり、Ｒ23は、アルキル基またはアリール基を表し、Ｒ21またはＲ22と、Ｒ23とが連結して環状エーテルを形成してもよく、Ｒ24は、水素原子またはメチル基を表し、Ｘは単結合またはアリーレン基を表す。
＜４＞  重合体Ａｘ１、重合体Ａｘ２および重合体Ａｘ３から選ばれる少なくとも１種が架橋性基を有する構成単位を含む、＜１＞〜＜３＞のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
＜５＞  一般式Ａ３で表される構成単位ａ３を有する重合体Ａｘ３を含む重合体成分と、
キノンジアジド化合物と、
溶剤と、
下記一般式１で表される有機シラン化合物と、
を含有する感光性樹脂組成物；
【化４】
2016157100.tif 000005
式中、Ｒは水素原子またはメチル基を表し、Ｌは単結合または２価の連結基を表し、Ｘは酸基を表す；
【化５】
2016157100.tif 000006
式中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に、水素原子、または、アルキル基を表し、
Ｒ3は、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、
Ｒ4およびＲ5は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、または、アリール基を表し、
Ｒ6は、炭素数１〜２０の１価の基を表し、
ｎは１〜３の整数を表す。
＜６＞  重合体Ａｘ３が、更に、架橋性基を有する、＜５＞に記載の感光性樹脂組成物。
＜７＞  構成単位ａ３が、下記一般式Ａ３−１またはＡ３−２で表される、＜１＞〜＜６＞のいずれかに記載の感光性樹脂組成物；
【化６】
2016157100.tif 000007
式中、Ｒは水素原子またはメチル基を表し、Ｌは単結合または２価の連結基を表す。
＜８＞  重合体成分が、更に、架橋性基を有する構成単位を含む重合体Ａｘ４を含む、＜１＞〜＜７＞のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
＜９＞  更に、架橋性基を有する化合物を含む、＜１＞〜＜８＞のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
＜１０＞  有機シラン化合物が、下記一般式２で表される化合物である、＜１＞〜＜９＞のいずれかに記載の感光性樹脂組成物；
【化７】
2016157100.tif 000008
式中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に、水素原子、または、アルキル基を表し、
Ｒ3は、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、
Ｒ4およびＲ5は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、または、アリール基を表し、
Ｒ6はエポキシ基、オキセタニル基、カルボキシル基、（メタ）アクリロイル基、メルカプト基、スルフィド基、ヒドロキシル基、イソシアネート基、ウレイド基、ウレタン基およびアミド基から選ばれる少なくとも１種を有する、炭素数１〜２０の１価の基を表し、
Ｒ7は、炭素数１〜２０の１価の基を表し、
ｎは１〜３の整数を表し、ｍは１〜３の整数を表し、ｍ＋ｎ≦４である。
＜１１＞  有機シラン化合物が、下記一般式３で表される化合物である、＜１＞〜＜１０＞のいずれかに記載の感光性樹脂組成物；
【化８】
2016157100.tif 000009
式中、Ｒ6はエポキシ基、オキセタニル基、カルボキシル基、（メタ）アクリロイル基、メルカプト基、スルフィド基、ヒドロキシル基、イソシアネート基、ウレイド基、ウレタン基およびアミド基から選ばれる少なくとも１種を有する、炭素数１〜２０の１価の基を表し、
Ｒ7は、炭素数１〜２０の１価の基を表し、
ｎは１〜３の整数を表し、ｍは１〜３の整数を表し、ｍ＋ｎ≦４である。
＜１２＞  有機シラン化合物が、下記一般式４で表される化合物である、＜１＞〜＜１１＞のいずれかに記載の感光性樹脂組成物；
【化９】
2016157100.tif 000010
式中、Ｒ6はエポキシ基、オキセタニル基、カルボキシル基、（メタ）アクリロイル基、メルカプト基、スルフィド基、ヒドロキシル基、イソシアネート基、ウレイド基、ウレタン基およびアミド基から選ばれる少なくとも１種を有する、炭素数１〜２０の１価の基を表す。
＜１３＞  架橋性基が、エポキシ基およびオキセタニル基から選ばれる少なくとも１種である、＜４＞、＜６＞、＜８＞および＜９＞のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
＜１４＞  ＜１＞〜＜１３＞のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を基板上に塗布する工程と、塗布された感光性樹脂組成物から溶剤を除去する工程と、溶剤が除去された感光性樹脂組成物を活性光線により露光する工程と、露光された感光性樹脂組成物を現像液により現像する工程と、現像された感光性樹脂組成物を熱硬化する工程とを含む硬化膜の製造方法。
＜１５＞  ＜１＞〜＜１３＞のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化膜。
＜１６＞  層間絶縁膜である、＜１５＞に記載の硬化膜。
【発明の効果】
【００１０】
現像時の密着性と硬化膜での密着性に優れた感光性樹脂組成物を提供可能になった。また、感光性樹脂組成物を用いた硬化膜の製造方法および硬化膜を提供可能になった。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下において、本発明の内容について詳細に説明する。以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされることがあるが、本発明はそのような実施態様に限定されるものではない。尚、本願明細書において「〜」とはその前後に記載される数値を下限値および上限値として含む意味で使用される。
本明細書における基（原子団）の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）をも包含するものである。
なお、本明細書中において、「（メタ）アクリレート」は、「アクリレート」および「メタクリレート」を表し、「（メタ）アクリル」は、「アクリル」および「メタクリル」を表し、「（メタ）アクリロイル」は、「アクリロイル」および「メタクリロイル」を表す。
本明細書において、重量平均分子量および数平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフ（ＧＰＣ）測定によるポリスチレン換算値として定義される。
本発明における固形分とは、２５℃における固形分をいう。
【００１２】
本発明の感光性樹脂組成物は、後述する重合体成分（以後、重合体成分（Ａ−１）と称する）と、光酸発生剤と、後述する一般式１で表される有機シラン化合物と、溶剤とを含有する組成物（第１の態様）、もしくは、後述する重合体成分（以後、重合体成分（Ａ−２）と称する）と、キノンジアジド化合物と、後述する一般式１で表される有機シラン化合物と、溶剤とを含有する組成物（第２の態様）である。
本発明によれば、現像時の密着性と硬化膜での密着性に優れた感光性樹脂組成物を提供可能できる。本発明の効果発現のメカニズムは下記の様に推定される。すなわち、後述する一般式１で表される有機シラン化合物は、置換基Ｒ6が、重合体成分と相互作用する。  また、この有機シラン化合物は、スルホン酸やカルボン酸などの酸の存在下で、以下に示すように、アリルカチオン中間体（下記式（１ａ）を経由して基板上のヒドロキシル基などとカップリング反応を起こす。この反応は、低温（例えば、９０℃〜１１０℃）で生じる。そして、本発明の感光性樹脂組成物は、重合体成分として、酸基を有する構成単位を有する重合体を含むので、上述したカップリング反応が進行して、現像時の密着性および硬化膜の密着性を高いレベルで両立することが可能となっているものと推定される。
【化１０】
2016157100.tif 000011
本発明の感光性樹脂組成物は、化学増幅型ポジ型感光性樹脂組成物として好ましく用いることができる。
以下本発明を詳細に説明する。
【００１３】
［本発明の第１の態様］
本発明の第１の態様の感光性樹脂組成物は、以下の重合体成分（Ａ−１）と、光酸発生剤と、後述する一般式１で表される有機シラン化合物と、溶剤とを含有する。以下、各成分について説明する。
【００１４】
＜重合体成分（Ａ−１）＞
本発明の第１の態様の感光性樹脂組成物は、重合体成分（Ａ−１）は、下記１および２の少なくとも一方を満たす重合体成分を含むことが好ましい。
１：酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位ａ１と、後述する一般式Ａ３で構成単位ａ３とを有する重合体Ａｘ１を含む重合体成分。
２：酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位ａ１を有する重合体Ａｘ２と、後述する一般式Ａ３で表される構成単位ａ３を有する重合体Ａｘ３と、を含む重合体成分。
以下、酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位ａ１を、構成単位（ａ１）ともいう。また、後述する一般式Ａ３で構成単位ａ３を、構成単位（ａ３）ともいう。
【００１５】
本発明において、重合体成分は、上記重合体に加えて、必要に応じて添加される他の重合体を含めたものを意味する。
本発明において、重合体成分（Ａ−１）に含まれる構成単位（ａ１）と構成単位（ａ３）とのモル比は、構成単位（ａ１）：構成単位（ａ３）＝５０：１〜１：１が好ましく、３０：１〜１：１がより好ましく、１０：１〜１：１が更に好ましい。
【００１６】
上記１の態様では、少なくとも１種類の重合体Ａｘ１を含み、重合体Ａｘ１が構成単位（ａ１）、および構成単位（ａ３）を有する態様である。構成単位（ａ１）や、構成単位（ａ３）は、それぞれ、２種類以上含んでいてもよい。また、後述する架橋性基を有する構成単位（ａ２）や、その他の構成単位（ａ４）などを含んでいてもよい。
【００１７】
上記２の態様では、構成単位（ａ１）を有する重合体Ａｘ２と、構成単位（ａ３）を有する重合体Ａｘ３とを含む態様である。構成単位（ａ１）を含む重合体Ａｘ２は、さらに、構成単位（ａ３）を含んでいても良い。同様に、構成単位（ａ１）を含む重合体Ａｘ３は、構成単位（ａ１）を含んでいても良い。このような場合、１と２の両方を満たす態様となる。また、重合体Ａｘ２および重合体Ａｘ３は、後述する架橋性基を有する構成単位（ａ２）や、その他の構成単位（ａ４）などを含んでいてもよい。
上記２の態様において、重合体Ａｘ２と重合体Ａｘ３の質量割合は、９５：５〜５：９５が好ましく、８０：２０〜２０：８０がより好ましく、７０：３０〜３０：７０がさらに好ましい。
【００１８】
本発明において、重合体成分（Ａ−１）は、付加重合型の重合体であることが好ましく、（メタ）アクリル酸および／またはそのエステルに由来する構成単位を含む重合体であることがより好ましい。なお、（メタ）アクリル酸および／またはそのエステルに由来する構成単位以外の構成単位、例えば、スチレンに由来する構成単位や、ビニル化合物に由来する構成単位等を有していてもよい。「（メタ）アクリル酸および／またはそのエステルに由来する構成単位」を「アクリル系構成単位」ともいう。
【００１９】
＜＜構成単位（ａ１）＞＞
重合体成分（Ａ−１）は、酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位ａ１（構成単位（ａ１））を少なくとも有する。重合体成分（Ａ−１）が構成単位（ａ１）を有することにより、高感度な感光性樹脂組成物とすることができる。
【００２０】
本発明における「酸基が酸分解性基で保護された基」は、酸を触媒（または開始剤）として脱保護反応を起こし、酸基と再生された酸と分解された構造とを生じる基を意味する。
本発明における「酸基が酸分解性基で保護された基」は、酸基および酸分解性基として公知のものを使用でき、特に限定されない。
具体的な酸基としては、後述する式Ａ３のＸで説明した酸基が挙げられ、カルボキシル基、および、フェノール性水酸基が好ましい。
具体的な酸分解性基としては、酸により比較的分解し易い基（例えば、後述するエステル構造、テトラヒドロピラニルエステル基、または、テトラヒドロフラニルエステル基等のアセタール系官能基）や、酸により比較的分解し難い基（例えば、ｔｅｒｔ−ブチルエステル基等の第三級アルキル基、ｔｅｒｔ−ブチルカーボネート基等の第三級アルキルカーボネート基）などが挙げられる。
【００２１】
構成単位（ａ１）は、酸分解性基で保護された保護カルボキシル基を有する構成単位、または、酸分解性基で保護された保護フェノール性水酸基を有する構成単位であることが好ましい。
以下、酸分解性基で保護された保護カルボキシル基を有する構成単位（ａ１−１）と、酸分解性基で保護された保護フェノール性水酸基を有する構成単位（ａ１−２）について、順にそれぞれ説明する。
【００２２】
＜＜＜酸分解性基で保護された保護カルボキシル基を有する構成単位（ａ１−１）＞＞＞
構成単位（ａ１−１）は、カルボキシル基を有する構成単位のカルボキシル基が、以下に説明する酸分解性基によって保護された保護カルボキシル基を有する構成単位である。
カルボキシル基を有する構成単位としては、特に制限はなく公知の構成単位を用いることができる。例えば、不飽和モノカルボン酸、不飽和ジカルボン酸、不飽和トリカルボン酸などの、分子中に少なくとも１個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸等に由来する構成単位（ａ１−１−１）が挙げられる。以下、構成単位（ａ１−１−１）について説明する。
【００２３】
＜＜＜＜構成単位（ａ１−１−１）＞＞＞＞
本発明で用いられる不飽和カルボン酸としては、不飽和モノカルボン酸、不飽和多価カルボン酸、またはその酸無水物であってもよい。例えば、特開２０１４−２３８４３８号公報段落００４３に記載の化合物が挙げられる。
中でも、現像性の観点から、上記構成単位（ａ１−１−１）を形成するためには、アクリル酸、メタクリル酸、２−（メタ）アクリロイロキシエチル−コハク酸、２−（メタ）アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸、２−（メタ）アクリロイロキシエチル−フタル酸、または不飽和多価カルボン酸の無水物等を用いることが好ましく、アクリル酸、メタクリル酸、２−（メタ）アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸を用いることがより好ましい。
構成単位（ａ１−１−１）は、１種単独で構成されていてもよいし、２種以上で構成されていてもよい。
【００２４】
＜＜＜＜構成単位（ａ１−１）に用いることができる酸分解性基＞＞＞＞
構成単位（ａ１−１）に用いることができる酸分解性基としては、上述した酸分解性基が挙げられる。
これらの酸分解性基の中でも、酸基がアセタールの形で保護された構造を有する基が好ましい。例えば、カルボキシル基がアセタールの形で保護された保護カルボキシル基であることが、感光性樹脂組成物の基本物性、特に感度やパターン形状、コンタクトホールの形成性、感光性樹脂組成物の保存安定性の観点から好ましい。さらに、カルボキシル基が下記一般式（ａ１−１０）で表されるアセタールの形で保護された保護カルボキシル基であることが、感度の観点からより好ましい。なお、カルボキシル基が下記一般式（ａ１−１０）で表されるアセタールの形で保護された保護カルボキシル基である場合、保護カルボキシル基の全体としては、−（Ｃ＝Ｏ）−Ｏ−ＣＲ101Ｒ102（ＯＲ103）の構造となっている。
【００２５】
一般式（ａ１−１０）
【化１１】
2016157100.tif 000012
式（ａ１−１０）中、Ｒ101およびＲ102は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基またはアリール基を表す。但し、Ｒ101とＲ102とが共に水素原子の場合を除く。Ｒ103は、アルキル基またはアリール基を表す。Ｒ101またはＲ102と、Ｒ103とが連結して環状エーテルを形成してもよい。
【００２６】
Ｒ101〜Ｒ103が表すアルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよい。
直鎖または分岐のアルキル基としては、炭素数１〜１２であることが好ましく、炭素数１〜６であることがより好ましく、炭素数１〜４であることがさらに好ましい。具体的には、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｉ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、ネオペンチル基、ｎ−ヘキシル基、テキシル基（２，３−ジメチル−２−ブチル基）、ｎ−ヘプチル基、ｎ−オクチル基、２−エチルヘキシル基、ｎ−ノニル基、ｎ−デシル基等を挙げることができる。
環状のアルキル基としては、炭素数３〜１２であることが好ましく、炭素数４〜８であることがより好ましく、炭素数４〜６であることがさらに好ましい。上記環状アルキル基としては、例えばシクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、ノルボルニル基、イソボルニル基等を挙げることができる。
アルキル基は、置換基を有していてもよく、置換基としては、ハロゲン原子、アリール基、アルコキシ基が例示できる。置換基としてハロゲン原子を有する場合、Ｒ101、Ｒ102、Ｒ103はハロアルキル基となり、置換基としてアリール基を有する場合、Ｒ101、Ｒ102、Ｒ103はアラルキル基となる。
上記ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が例示され、これらの中でもフッ素原子または塩素原子が好ましい。
また、上記アリール基としては、炭素数６〜２０のアリール基が好ましく、より好ましくは炭素数６〜１２であり、具体的には、フェニル基、α−メチルフェニル基、ナフチル基等が例示でき、アリール基で置換されたアルキル基全体、すなわち、アラルキル基としては、ベンジル基、α−メチルベンジル基、フェネチル基、ナフチルメチル基等が例示できる。
上記アルコキシ基としては、炭素数１〜６のアルコキシ基が好ましく、より好ましくは炭素数１〜４であり、メトキシ基またはエトキシ基がより好ましい。
また、上記アルキル基が環状のアルキル基である場合、置換基として炭素数１〜１０の直鎖または分岐のアルキル基を有していてもよい。また、アルキル基が直鎖または分岐のアルキル基である場合には、置換基として炭素数３〜１２の環状のアルキル基を有していてもよい。
これらの置換基は、上記置換基でさらに置換されていてもよい。
【００２７】
Ｒ101〜Ｒ103が表すアリール基は、炭素数６〜１２のアリール基であることが好ましく、炭素数６〜１０のアリール基であることがより好ましい。上記アリール基は、置換基を有していてもよく、上記置換基としては炭素数１〜６のアルキル基が好ましく例示できる。アリール基の具体例としては、例えば、フェニル基、トリル基、キシリル基、クメニル基、１−ナフチル基等が例示できる。
【００２８】
Ｒ101、Ｒ102およびＲ103は、互いに結合して、それらが結合している炭素原子と一緒になって環を形成することができる。Ｒ101とＲ102、Ｒ101とＲ103またはＲ102とＲ103が結合した場合の環構造としては、例えばシクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、テトラヒドロフラニル基、アダマンチル基およびテトラヒドロピラニル基等を挙げることができる。
なお、上記一般式（ａ１−１０）において、Ｒ101およびＲ102のいずれか一方が、水素原子またはメチル基であることが好ましい。
【００２９】
上記一般式（ａ１−１０）で表される保護カルボキシル基を有する構成単位を形成するために用いられるラジカル重合性モノマーは、市販のものを用いてもよいし、公知の方法で合成したものを用いることもできる。例えば、特開２０１１−２２１４９４号公報の段落番号００３７〜００４０に記載の合成方法などで合成することができ、この内容は本願明細書に組み込まれる。
【００３０】
上記構成単位（ａ１−１）の第一の好ましい態様は、下記一般式Ａ２’で表される構成単位である。
【化１２】
2016157100.tif 000013
式中、Ｒ21およびＲ22は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、Ｒ21およびＲ22の少なくとも一方がアルキル基またはアリール基であり、Ｒ23は、アルキル基またはアリール基を表し、Ｒ21またはＲ22と、Ｒ23とが連結して環状エーテルを形成してもよく、Ｒ24は、水素原子またはメチル基を表し、Ｘは単結合またはアリーレン基を表す。
【００３１】
Ｒ21およびＲ22がアルキル基の場合、炭素数１〜１０のアルキル基が好ましい。Ｒ21およびＲ22がアリール基の場合、フェニル基が好ましい。Ｒ21およびＲ22は、それぞれ、水素原子または炭素数１〜４のアルキル基が好ましい。
Ｒ23は、アルキル基またはアリール基を表し、炭素数１〜１０のアルキル基が好ましく、１〜６のアルキル基がより好ましい。
Ｘは単結合またはアリーレン基を表し、単結合が好ましい。
【００３２】
上記構成単位（ａ１−１）の第二の好ましい態様は、下記一般式（１−１２）で表される構成単位である。
一般式（１−１２）
【化１３】
2016157100.tif 000014
（式（１−１２）中、Ｒ121は水素原子または炭素数１〜４のアルキル基を表し、Ｌ1はカルボニル基またはフェニレン基を表し、Ｒ122〜Ｒ128はそれぞれ独立に、水素原子または炭素数１〜４のアルキル基を表す。）
Ｒ121は水素原子またはメチル基が好ましい。Ｌ1はカルボニル基が好ましい。Ｒ122〜Ｒ128は、水素原子が好ましい。
【００３３】
上記構成単位（ａ１−１）の好ましい具体例としては、下記の構成単位が例示できる。  なお、下記の構成単位中、Ｒは水素原子またはメチル基を表す。
【００３４】
【化１４】
2016157100.tif 000015
【００３５】
＜＜＜酸分解性基で保護された保護フェノール性水酸基を有する構成単位（ａ１−２）＞＞＞
構成単位（ａ１−２）は、フェノール性水酸基を有する構成単位が、以下で詳細に説明する酸分解性基によって保護された保護フェノール性水酸基を有する構成単位（ａ１−２−１）である。
【００３６】
＜＜＜＜フェノール性水酸基を有する構成単位（ａ１−２−１）＞＞＞＞
上記フェノール性水酸基を有する構成単位としては、ヒドロキシスチレン系構成単位やノボラック系の樹脂における構成単位が挙げられるが、これらの中では、ヒドロキシスチレン、またはα−メチルヒドロキシスチレンに由来する構成単位が、感度の観点から好ましい。またフェノール性水酸基を有する構成単位として、特開２０１４−２３８４３８号公報段落００６５〜００７３に記載の構成単位も、感度の観点から好ましい。
【００３７】
＜＜＜構成単位（ａ１）の好ましい態様＞＞＞
上記構成単位（ａ１）を含有する重合体が、構成単位（ａ３）を実質的に含まない場合、構成単位（ａ１）の含有量は、重合体の構成単位の２０〜１００モル％が好ましく、３０〜９０モル％がより好ましい。なお、構成単位（ａ３）を実質的に有さないとは、重合体の全構成単位中、構成単位（ａ３）の含有量が０．５モル％以下であることが好ましく、０．１モル％以下であることがより好ましく、構成単位（ａ３）を含有しないことが一層好ましい。
上記構成単位（ａ１）を含有する重合体が、構成単位（ａ３）を含有する場合、構成単位（ａ１）の含有量は、重合体の構成単位の３〜７０モル％が好ましく、１０〜６０モル％がより好ましい。また、特に上記構成単位（ａ１）に用いることができる上記酸分解性基が、カルボキシル基がアセタールの形で保護された保護カルボキシル基を有する構成単位である場合、２０〜５０モル％が好ましい。
また、構成単位（ａ１）の含有量は、重合体成分の構成単位の３〜７０モル％が好ましく、１０〜６０モル％がより好ましく、２０〜５０モル％がさらに好ましい。
【００３８】
上記構成単位（ａ１−１）は、上記構成単位（ａ１−２）に比べると、現像が速いという特徴がある。よって、速く現像したい場合には、構成単位（ａ１−１）が好ましい。逆に現像を遅くしたい場合には、構成単位（ａ１−２）を用いることが好ましい。
【００３９】
＜＜構成単位（ａ３）＞＞
重合体成分（Ａ−１）は、下記一般式（Ａ３）で表される構成単位ａ３（構成単位（ａ３））を有する。重合体成分が、構成単位（ａ３）を含むので、有機シラン化合物による上述したカップリング反応が、進行しやすくでき、現像時の密着性および硬化膜の密着性を高いレベルで両立できる。さらには、アルカリ性の現像液に溶けやすくなり、現像性に優れる。
【化１５】
2016157100.tif 000016
式中、Ｒは水素原子またはメチル基を表し、Ｌは単結合または２価の連結基を表し、Ｘは酸基を表す。
【００４０】
式（Ａ３）において、Ｌは、単結合または２価の連結基を表す。２価の連結基としては、炭素数１〜１２のアルキレン基、炭素数６〜１２のアリーレン基、−Ｏ−、−ＣＯ−、−ＣＯＯ−およびこれらを２種以上組み合わせてなる基が挙げられる。アルキレン基は、直鎖、分岐、環状のいずれであってもよい。アルキレン基およびアリーレン基は、置換基を有していてもよい。置換基としては、炭素数１〜１０のアルキル基、炭素数１〜１０のアルコキシ基、炭素数１〜１０のチオアルコキシ基、ヒドロキシル基、シアノ基、ハロゲン原子（フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子）などが挙げられる。これら置換基は、さらに置換基を有していてもよい。
式（Ａ３）において、Ｘは、酸基を表す。酸基としては、ｐＫａが７より小さいプロトン解離性基が挙げられる。具体的には、カルボン酸基由来のもの、スルホンアミド基に由来のもの、ホスホン酸基に由来のもの、スルホン酸基に由来のもの、フェノール性水酸基に由来するもの、スルホンアミド基、スルホニルイミド基等が例示され、カルボン酸基由来のものおよび／またはフェノール性水酸基に由来のものが好ましい。
【００４１】
構成単位（ａ３）の導入方法としては、構成単位（ａ１）を有する重合体に導入することもできるし、構成単位（ａ１）を実質的に有さない重合体の構成単位として導入することもできる。なお、構成単位（ａ１）を実質的に有さないとは、重合体の全構成単位中、構成単位（ａ１）の含有量が０．５モル％以下であることが好ましく、０．１モル％以下であることがより好ましく、構成単位（ａ１）を含有しないことが一層好ましい。
【００４２】
構成単位（ａ３）を有する重合体としては、側鎖にカルボキシル基を有する重合体が好ましい。例えば、特開昭５９−４４６１５号、特公昭５４−３４３２７号、特公昭５８−１２５７７号、特公昭５４−２５９５７号、特開昭５９−５３８３６号、特開昭５９−７１０４８号の各公報に記載されているような、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等、並びに側鎖にカルボキシル基を有する酸性セルロース誘導体、ヒドロキシル基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等が挙げられ、さらに側鎖に（メタ）アクリロイル基を有する重合体も好ましいものとして挙げられる。
【００４３】
例えば、ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸共重合体、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸共重合体、特開平７−１４０６５４号公報に記載の、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシエチルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／メチルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシエチルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体などが挙げられる。
その他にも、特開平７−２０７２１１号公報、特開平８−２５９８７６号公報、特開平１０−３００９２２号公報、特開平１１−１４０１４４号公報、特開平１１−１７４２２４号公報、特開２０００−５６１１８号公報、特開２００３−２３３１７９号公報、特開２００９−５２０２０号公報等に記載の公知の高分子化合物を使用することができ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
【００４４】
これらの重合体として、市販されている、ＳＭＡ  １０００Ｐ、ＳＭＡ  ２０００Ｐ、ＳＭＡ  ３０００Ｐ、ＳＭＡ  １４４０Ｆ、ＳＭＡ  １７３５２Ｐ、ＳＭＡ  ２６２５Ｐ、ＳＭＡ  ３８４０Ｆ（以上、サートマー社製）、ＡＲＵＦＯＮ  ＵＣ−３０００、ＡＲＵＦＯＮ  ＵＣ−３５１０、ＡＲＵＦＯＮ  ＵＣ−３９００、ＡＲＵＦＯＮ  ＵＣ−３９１０、ＡＲＵＦＯＮ  ＵＣ−３９２０、ＡＲＵＦＯＮ  ＵＣ−３０８０（以上、東亞合成（株）製）、Ｊｏｎｃｒｙｌ  ６９０、Ｊｏｎｃｒｙｌ  ６７８、Ｊｏｎｃｒｙｌ  ６７、Ｊｏｎｃｒｙｌ  ５８６（以上、ＢＡＳＦ製）等を用いることもできる。
【００４５】
本発明では、特に、カルボキシル基を有する構成単位、または、フェノール性水酸基を有する構成単位を含有することが好ましい。例えば、特開２０１２−８８４５９号公報の段落番号００２１〜００２３および段落番号００２９〜００４４記載の化合物を用いることができ、この内容は本願明細書に組み込まれる。
【００４６】
本発明において、構成単位（ａ３）は、下記一般式Ａ３−１またはＡ３−２で表される構成単位であることが好ましい。この態様によれば、有機シラン化合物による上述したカップリング反応がより進行しやすく、現像時の密着性および硬化膜の密着性をより高いレベルで両立できる。
【化１６】
2016157100.tif 000017
式中、Ｒは水素原子またはメチル基を表し、Ｌは単結合または２価の連結基を表す。
式Ａ３−１およびＡ３−２のＬが表す２価の連結基は、式Ａ３のＬで説明した２価の連結基と同義である。
【００４７】
＜＜＜構成単位（ａ３）の好ましい態様＞＞＞
上記構成単位（ａ３）を含有する重合体が、構成単位（ａ１）を実質的に含まない場合、構成単位（ａ３）の含有量は、重合体の構成単位の１〜５０モル％が好ましく、２〜３０モル％がより好ましく、５〜２５モル％が更に好ましい。
上記構成単位（ａ３）を含有する重合体が、上記構成単位（ａ１）を含有する場合、構成単位（ａ３）の含有量は、重合体の構成単位の、１〜９０モル％が好ましく、５〜８０モル％がより好ましく、１０〜７０モル％が更に好ましい。
本発明では、さらに、いずれの態様にかかわらず、重合体成分（Ａ−１）の全構成単位中、構成単位（ａ３）の含有量は、１〜８０モル％が好ましく、１〜５０モル％がより好ましく、５〜４０モル％がさらに好ましく、５〜３０モル％が特に好ましく、５〜２５モル％が特に好ましい。
【００４８】
＜＜架橋性基を有する構成単位（ａ２）＞＞
重合体成分（Ａ−１）は、架橋性基を有する構成単位（ａ２）を有することが好ましい。この態様によれば、表面硬度に優れた硬化膜が得られる。
架橋性基は、１気圧における加熱処理の際の架橋反応の開始温度が１００℃以上の基であれば特に限定はされない。架橋反応の開始温度は公知の手法を使って分析することができ、例えばＤＳＣ測定（Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ  ｓｃａｎｎｉｎｇ  ｃａｌｏｒｉｍｅｔｒｙ）を用いた手法によって分析することができる。好ましい架橋性基を有する構成単位の態様としては、エポキシ基、オキセタニル基、−ＮＨ−ＣＨ2−Ｏ−Ｒ（Ｒは水素原子または炭素数１〜２０のアルキル基）で表される基およびエチレン性不飽和基よりなる群から選ばれた少なくとも１つを含む構成単位が挙げられる。エポキシ基、オキセタニル基、および、−ＮＨ−ＣＨ2−Ｏ−Ｒ（Ｒは水素原子または炭素数１〜２０のアルキル基）で表される基から選ばれる少なくとも１種であることが好ましい。その中でも、本発明の感光性樹脂組成物は、重合体成分（Ａ−１）が、エポキシ基およびオキセタニル基のうち少なくとも１つを含む構成単位を含むことが好ましい。
上記構成単位（ａ２）は、上記重合体Ａｘ１、重合体Ａｘ２および重合体Ａｘ３から選ばれる少なくとも１種が有していてもよいし、これらの重合体とは別の重合体Ａｘ４が有していてもよい。
【００４９】
＜＜＜エポキシ基および／またはオキセタニル基を有する構成単位（ａ２−１）＞＞＞
上記構成単位（ａ２−１）は、１つの構成単位中にエポキシ基またはオキセタニル基を少なくとも１つ有していればよい。特に限定されないが、エポキシ基および／またはオキセタニル基を合計で１〜３個有することが好ましく、１または２個有することがより好ましく、エポキシ基またはオキセタニル基を１つ有することがさらに好ましい。
【００５０】
エポキシ基を有する構成単位を形成するために用いられるラジカル重合性モノマーの具体例としては、例えば、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、α−エチルアクリル酸グリシジル、α−ｎ−プロピルアクリル酸グリシジル、α−ｎ−ブチルアクリル酸グリシジル、アクリル酸−３，４−エポキシブチル、メタクリル酸−３，４−エポキシブチル、アクリル酸−３，４−エポキシシクロヘキシルメチル、メタクリル酸−３，４−エポキシシクロヘキシルメチル、α−エチルアクリル酸−３，４−エポキシシクロヘキシルメチル、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、特許第４１６８４４３号公報の段落番号００３１〜００３５に記載の脂環式エポキシ骨格を含有する化合物などが挙げられ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
オキセタニル基を有する構成単位を形成するために用いられるラジカル重合性モノマーの具体例としては、例えば、特開２００１−３３０９５３号公報の段落番号００１１〜００１６に記載のオキセタニル基を有する（メタ）アクリル酸エステルや、特開２０１２−０８８４５９公報の段落番号００２７に記載されている化合物などが挙げられ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
【００５１】
上記構成単位（ａ２−１）を形成するために用いられるラジカル重合性モノマーの具体例としては、メタクリル酸エステル構造を含有するモノマー、アクリル酸エステル構造を含有するモノマーであることが好ましい。これらの中でも好ましいモノマーは、メタクリル酸グリシジル、アクリル酸３，４−エポキシシクロヘキシルメチル、メタクリル酸３，４−エポキシシクロヘキシルメチル、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、アクリル酸（３−エチルオキセタン−３−イル）メチル、および、メタクリル酸（３−エチルオキセタン−３−イル）メチルが、共重合反応性および硬化膜の諸特性の向上の観点から好ましい。これらのモノマーは、１種単独または２種類以上を組み合わせて使用することができる。
【００５２】
上記構成単位（ａ２−１）の好ましい具体例としては、下記の構成単位が例示できる。   なお、下記の構成単位中、Ｒは、水素原子またはメチル基を表す。
【００５３】
【化１７】
2016157100.tif 000018
【００５４】
＜＜＜エチレン性不飽和基を有する構成単位（ａ２−２）＞＞＞
上記架橋性基を有する構成単位（ａ２）の１つとして、エチレン性不飽和基を有する構成単位（ａ２−２）が挙げられる。構成単位（ａ２−２）としては、側鎖にエチレン性不飽和基を有する構成単位が好ましく、側鎖の末端にエチレン性不飽和基を有し、炭素数３〜１６の側鎖を有する構成単位がより好ましい。
その他、構成単位（ａ２−２）については、特開２０１１−２１５５８０号公報の段落番号００７２〜００９０の記載および特開２００８−２５６９７４の段落番号００１３〜００３１に記載の化合物等が好ましいものとして挙げられ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
【００５５】
＜＜＜−ＮＨ−ＣＨ2−Ｏ−Ｒ（Ｒは水素原子または炭素数１〜２０のアルキル基）で表される基を有する構成単位（ａ２−３）＞＞＞
構成単位（ａ２）は、−ＮＨ−ＣＨ2−Ｏ−Ｒ（Ｒは水素原子または炭素数１〜２０のアルキル基）で表される基を有する構成単位（ａ２−３）も好ましい。構成単位（ａ２−３）を有することで、緩やかな加熱処理で硬化反応を起こすことができ、諸特性に優れた硬化膜を得ることができる。Ｒは炭素数１〜９のアルキル基が好ましく、炭素数１〜４のアルキル基がより好ましい。また、アルキル基は、直鎖、分岐または環状のアルキル基のいずれであってもよいが、好ましくは、直鎖または分岐のアルキル基である。構成単位（ａ２−３）は、より好ましくは、下記一般式（ａ２−３０）で表される構成単位である。
【００５６】
一般式（ａ２−３０）
【化１８】
2016157100.tif 000019
一般式（ａ２−３０）中、Ｒ1は水素原子またはメチル基を表し、Ｒ2は水素原子または炭素数１〜２０のアルキル基を表す。
Ｒ2は、炭素数１〜９のアルキル基が好ましく、炭素数１〜４のアルキル基がさらに好ましい。また、アルキル基は、直鎖、分岐または環状のアルキル基のいずれであってもよいが、好ましくは、直鎖または分岐のアルキル基である。
Ｒ2の具体例としては、メチル基、エチル基、ｎ−ブチル基、ｉｓｏ−ブチル基、シクロヘキシル基、およびｎ−ヘキシル基を挙げることができる。中でもｉｓｏ−ブチル基、ｎ−ブチル基、メチル基が好ましい。
【００５７】
＜＜＜架橋性基を有する構成単位（ａ２）の好ましい態様＞＞＞
上記構成単位（ａ２）を含有する重合体が、構成単位（ａ１）および構成単位（ａ３）を実質的に含まない場合、構成単位（ａ２）の含有量は、重合体の全構成単位の５〜９０モル％が好ましく、２０〜８０モル％がより好ましい。なお、構成単位（ａ１）および構成単位（ａ３）を実質的に含まない重合体とは、重合体の全構成単位中、構成単位（ａ１）と構成単位（ａ３）との合計量が、０．５モル％以下であることが好ましく、０．１モル％以下であることがより好ましく、構成単位（ａ１）と構成単位（ａ３）とを含有しないことが一層好ましい。
上記構成単位（ａ２）を含有する重合体が、上記構成単位（ａ１）および／または構成単位（ａ３）を含有する場合、構成単位（ａ２）の含有量は、重合体の全構成単位の３〜７０モル％が好ましく、１０〜６０モル％がより好ましい。
本発明では、さらに、いずれの態様にかかわらず、重合体成分（Ａ−１）の全構成単位中、構成単位（ａ２）の含有量が３〜７０モル％であることが好ましく、１０〜６０モル％であることがより好ましい。上記の数値の範囲内とすることで、諸特性に優れる硬化膜を形成できる。
また、本発明の重合体成分は、構成単位（ａ２）を実質的に含まない態様とすることもできる。構成単位（ａ２）を実質的に含まないとは、例えば、重合体成分（Ａ−１）の全構成単位中、構成単位（ａ２）の含有量は１モル％以下が好ましく、０．５モル％以下がより好ましく、含有しないことが一層好ましい。
【００５８】
＜＜（ａ４）その他の構成単位＞＞
重合体成分（Ａ−１）は、構成単位（ａ１）および／または構成単位（ａ３）に加えて、上述した構成単位（ａ１）〜（ａ３）以外の他の構成単位（ａ４）を有していてもよい。構成単位（ａ４）は、構成単位（ａ１）および構成単位（ａ３）から選ばれる少なくとも一つの構成単位を有する重合体が含んでいてもよい。また、構成単位（ａ１）および構成単位（ａ３）を実質的に含まない重合体が含んでいてもよい。
【００５９】
構成単位（ａ４）となるモノマーとしては、特に制限はなく、例えば、スチレン類、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（メタ）アクリル酸環状アルキルエステル、（メタ）アクリル酸アリールエステル、不飽和ジカルボン酸ジエステル、ビシクロ不飽和化合物類、マレイミド化合物類、不飽和芳香族化合物、共役ジエン系化合物、不飽和モノカルボン酸、不飽和ジカルボン酸、不飽和ジカルボン酸無水物、その他の不飽和化合物を挙げることができる。
【００６０】
具体的には、スチレン、メチルスチレン、α−メチルスチレン、アセトキシスチレン、メトキシスチレン、エトキシスチレン、クロロスチレン、ビニル安息香酸メチル、ビニル安息香酸エチル、４−ヒドロキシ安息香酸（３−メタクリロイルオキシプロピル）エステル、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ｎ−プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸ベンジル、（メタ）アクリル酸イソボルニル、（メタ）アクリロイルモルホリン、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、アクリロニトリル、エチレングリコールモノアセトアセテートモノ（メタ）アクリレートなどを挙げることができる。この他、特開２００４−２６４６２３号公報の段落番号００２１〜００２４に記載の化合物を挙げることができる。
【００６１】
構成単位（ａ４）は、スチレン類または脂肪族環式骨格を有する構成単位が、電気特性の観点で好ましい。具体的にはスチレン、メチルスチレン、α−メチルスチレン、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００６２】
構成単位（ａ４）は、（メタ）アクリル酸アルキルエステルが、密着性の観点で好ましい。具体的には（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸ｎ−ブチル等が挙げられ、（メタ）アクリル酸メチルがより好ましい。
【００６３】
以下に、重合体成分（Ａ−１）の好ましい実施形態を挙げるが、本発明はこれらに限定されるものではない。
（第１の実施形態）
上述した（１）の態様において、構成単位（ａ１）および構成単位（ａ３）を有する重合体Ａｘ１が、さらに、１種または２種以上の構成単位（ａ２）を有する態様。
（第２の実施形態）
上述した（２）の態様において、構成単位（ａ１）を有する重合体Ａｘ２が、さらに、１種または２種以上の構成単位（ａ２）を有する態様。
（第３の実施形態）
上述した（２）の態様において、構成単位（ａ３）を有する重合体Ａｘ３が、さらに、１種または２種以上の構成単位（ａ２）を有する態様。
（第４の実施形態）
上記第１〜第３の実施形態のいずれかにおいて、重合体がその他の構成単位（ａ４）を含む態様。
（第５の実施形態）
上述した（１）および／または（２）の態様において、実質的に構成単位（ａ１）および構成単位（ａ３）を含まずに構成単位（ａ２）を有する重合体Ａｘ４を更に含む態様。
（第６の実施形態）
上記第１〜第５の実施形態の２以上の組み合わせからなる形態。
【００６４】
実質的に構成単位（ａ１）および構成単位（ａ３）を含まずに構成単位（ａ２）を有する重合体を有する態様においては、構成単位（ａ１）および／または構成単位（ａ３）を有する重合体の合計量と、実質的に構成単位（ａ１）および構成単位（ａ３）を含まずに構成単位（ａ２）を有する重合体の合計量との質量割合は、９９：１〜５：９５が好ましく、９７：３〜３０：７０がより好ましく、９５：５〜５０：５０がさらに好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物は、重合体成分を感光性樹脂組成物の固形分の７０質量％以上の割合で含むことが好ましく、７０〜９９質量％がより好ましい。
【００６５】
＜＜重合体成分（Ａ−１）の分子量＞＞
重合体成分（Ａ−１）に含まれる重合体の分子量は、ポリスチレン換算重量平均分子量で、好ましくは１，０００〜２００，０００、より好ましくは２，０００〜５０，０００の範囲である。上記範囲内であると、諸特性が良好である。数平均分子量と重量平均分子量の比（分散度）は１．０〜５．０が好ましく１．５〜３．５がより好ましい。
なお、本発明において、重合体の重量平均分子量及び数平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフ（ＧＰＣ）測定によるポリスチレン換算値であり、具体的には、後述する実施例に記載の方法で測定した値である。
【００６６】
＜＜重合体成分（Ａ−１）の製造方法＞＞
重合体成分（Ａ−１）の製造方法は、様々な方法が知られているが、一例を挙げると、少なくとも（ａ１）および（ａ３）で表される構成単位を形成するために用いられるラジカル重合性モノマーを含む組成物を有機溶剤中、ラジカル重合開始剤を用いて重合することにより合成することができる。また、いわゆる高分子反応で合成することもできる。
重合体成分（Ａ−１）は、（メタ）アクリル酸および／またはそのエステルに由来する構成単位を、全構成単位に対し、５０モル％以上含有することが好ましく、８０モル％以上含有することがより好ましい。
【００６７】
＜光酸発生剤＞
本発明の第１の態様の感光性樹脂組成物は、光酸発生剤を含有する。光酸発生剤としては、波長３００ｎｍ以上、好ましくは波長３００〜４５０ｎｍの活性光線に感応し、酸を発生する化合物が好ましいが、その化学構造に制限されるものではない。また、波長３００ｎｍ以上の活性光線に直接感応しない光酸発生剤についても、増感剤と併用することによって波長３００ｎｍ以上の活性光線に感応し、酸を発生する化合物であれば、増感剤と組み合わせて好ましく用いることができる。本発明で使用される光酸発生剤としては、ｐＫａが４以下の酸を発生する光酸発生剤が好ましく、ｐＫａが３以下の酸を発生する光酸発生剤がより好ましく、２以下の酸を発生する光酸発生剤が最も好ましい。なお本発明において、ｐＫａは、基本的に２５℃の水中におけるｐＫａを指す。水中で測定できないものは、測定に適する溶剤に変更し測定したものを指す。具体的には、化学便覧等に記載のｐＫａが参考にできる。ｐＫａが３以下の酸としては、スルホン酸またはホスホン酸であることが好ましく、スルホン酸であることがより好ましい。
【００６８】
光酸発生剤の例として、オニウム塩化合物、トリクロロメチル−ｓ−トリアジン類、スルホニウム塩、ヨードニウム塩、第四級アンモニウム塩類、ジアゾメタン化合物、イミドスルホネート化合物、および、オキシムスルホネート化合物などを挙げることができる。これらの中でも、オニウム塩化合物、イミドスルホネート化合物、オキシムスルホネート化合物が好ましく、オニウム塩化合物、オキシムスルホネート化合物が特に好ましい。光酸発生剤は、１種単独または２種類以上を組み合わせて使用することができる。
【００６９】
トリクロロメチル−ｓ−トリアジン類、ジアリールヨードニウム塩類、トリアリールスルホニウム塩類、第四級アンモニウム塩類、およびジアゾメタン化合物の具体例としては、特開２０１１−２２１４９４号公報の段落番号００８３〜００８８に記載の化合物や、特開２０１１−１０５６４５号公報の段落番号００１３〜００４９に記載の化合物が例示でき、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
イミドスルホネート化合物の具体例としてはＷＯ２０１１／０８７０１１号公報の段落番号００６５〜００７５に記載の化合物が例示でき、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
【００７０】
オニウム塩としては、ジアリールヨードニウム塩類やトリアリールスルホニウム塩類が好ましく例示できる。
ジアリールヨードニウム塩類としては、ジフェニルヨードニウムトリフルオロアセテート、ジフェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホナート、４−メトキシフェニルフェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホナート、４−メトキシフェニルフェニルヨードニウムトリフルオロアセテート、フェニル，４−（２’−ヒドロキシ−１’−テトラデカオキシ）フェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホナート、４−（２’−ヒドロキシ−１’−テトラデカオキシ）フェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモナート、フェニル，４−（２’−ヒドロキシ−１’−テトラデカオキシ）フェニルヨードニウム−ｐ−トルエンスルホナートが好ましく挙げられる。
トリアリールスルホニウム塩類としては、トリフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート、トリフェニルスルホニウムトリフルオロアセテート、４−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート、４−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロアセテート、４−フェニルチオフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート、又は、４−フェニルチオフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロアセテートが好ましく挙げられる。
【００７１】
オキシムスルホネート化合物、すなわち、オキシムスルホネート構造を有する化合物としては、下記一般式（Ｂ１−１）で表されるオキシムスルホネート構造を含有する化合物が好ましく例示できる。
【００７２】
一般式（Ｂ１−１）
【化１９】
2016157100.tif 000020
一般式（Ｂ１−１）中、Ｒ21は、アルキル基またはアリール基を表す。波線は他の基との結合を表す。
【００７３】
一般式（Ｂ１−１）中、いずれの基も置換されてもよく、Ｒ21におけるアルキル基は直鎖状でも分岐状でも環状でもよい。許容される置換基は以下に説明する。
Ｒ21のアルキル基としては、炭素数１〜１０の、直鎖または分岐のアルキル基が好ましい。Ｒ21のアルキル基は、ハロゲン原子、炭素数６〜１１のアリール基、炭素数１〜１０のアルコキシ基、または、環状のアルキル基（７，７−ジメチル−２−オキソノルボルニル基などの有橋式脂環基を含む、好ましくはビシクロアルキル基等）で置換されてもよい。
Ｒ21のアリール基としては、炭素数６〜１１のアリール基が好ましく、フェニル基またはナフチル基がより好ましい。Ｒ21のアリール基は、低級アルキル基、アルコキシ基あるいはハロゲン原子で置換されてもよい。
【００７４】
上記一般式（Ｂ１−１）で表されるオキシムスルホネート構造を含有する上記化合物は、特開２０１４−２３８４３８号公報段落０１０８〜０１３３に記載のオキシムスルホネート化合物であることも好ましい。
【００７５】
イミドスルホネート系化合物としては、ナフタレンイミド系化合物が好ましく、国際公開ＷＯ１１／０８７０１１号パンフレットの記載を参酌でき、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。本発明では特に、トリフルオロメチルスルホニルオキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エンジカルボキシイミド、スクシンイミドトリフルオロメチルスルホネート、フタルイミドトリフルオロメチルスルホネート、Ｎ−ヒドロキシナフタルイミドメタンスルホネート、Ｎ−ヒドロキシ−５−ノルボルネン−２，３−ジカルボキシイミドプロパンスルホネートが好ましく挙げられる。
【００７６】
本発明の感光性樹脂組成物において、光酸発生剤の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形成分１００質量部に対して、０．１〜２０質量部が好ましい。下限は、例えば、０．２質量部以上がより好ましく、０．５質量部以上がさらに好ましい。上限は、例えば、１０質量部以下がより好ましく、５質量部以下がさらに好ましい。
【００７７】
＜溶剤＞
本発明の第１の態様の感光性樹脂組成物は、溶剤を含有する。本発明の感光性樹脂組成物は、本発明の必須成分と、さらに後述の任意の成分を溶剤に溶解した溶液として調製されることが好ましい。溶剤としては、必須成分および任意成分を溶解し、各成分と反応しないものが好ましい。
本発明において、溶剤としては、公知の溶剤を用いることができる。例えば、エチレングリコールモノアルキルエーテル類、エチレングリコールジアルキルエーテル類、エチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、プロピレングリコールモノアルキルエーテル類、プロピレングリコールジアルキルエーテル類、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、ジエチレングリコールジアルキルエーテル類（例えばジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテルなど）、ジエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、ジプロピレングリコールモノアルキルエーテル類、ジプロピレングリコールジアルキルエーテル類、ジプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、エステル類、ケトン類、アミド類、ラクトン類等が例示できる。また、特開２０１１−２２１４９４号公報の段落番号０１７４〜０１７８に記載の溶剤、特開２０１２−１９４２９０公報の段落番号０１６７〜０１６８に記載の溶剤も挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【００７８】
また、これらの溶剤にさらに必要に応じて、ベンジルエチルエーテル、ジヘキシルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、１−オクタノール、１−ノナール、ベンジルアルコール、アニソール、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、シュウ酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、炭酸エチレン、炭酸プロピレン等の溶剤を添加することもできる。これら溶剤は、１種単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
溶剤は、１種単独であってもよく、２種以上を用いてもよい。２種以上を用いる場合は、例えば、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類とジアルキルエーテル類、ジアセテート類とジエチレングリコールジアルキルエーテル類、あるいは、エステル類とブチレングリコールアルキルエーテルアセテート類とを併用することがさらに好ましい。
【００７９】
溶剤は、沸点１３０℃以上１６０℃未満の溶剤、沸点１６０℃以上の溶剤、または、これらの混合物であることが好ましい。
沸点１３０℃以上１６０℃未満の溶剤としては、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（沸点１４６℃）、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート（沸点１５８℃）、プロピレングリコールメチル−ｎ−ブチルエーテル（沸点１５５℃）、プロピレングリコールメチル−ｎ−プロピルエーテル（沸点１３１℃）が例示できる。
沸点１６０℃以上の溶剤としては、３−エトキシプロピオン酸エチル（沸点１７０℃）、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル（沸点１７６℃）、プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート（沸点１６０℃）、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート（沸点２１３℃）、３−メトキシブチルエーテルアセテート（沸点１７１℃）、ジエチレングリコールジエチエルエーテル（沸点１８９℃）、ジエチレングリコールジメチルエーテル（沸点１６２℃）、プロピレングリコールジアセテート（沸点１９０℃）、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート（沸点２２０℃）、ジプロピレングリコールジメチルエーテル（沸点１７５℃）、１，３−ブチレングリコールジアセテート（沸点２３２℃）が例示できる。
【００８０】
本発明の感光性樹脂組成物における溶剤の含有量は、感光性樹脂組成物中の全成分１００質量部に対し、５０〜９５質量部であることが好ましい。下限は、６０質量部以上がより好ましい。上限は、９０質量部以下がより好ましい。溶剤は、１種類のみ用いてもよいし、２種類以上用いてもよい。２種類以上用いる場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
【００８１】
＜有機シラン化合物＞
本発明の感光性樹脂組成物は、下記一般式１で表される有機シラン化合物を含有する。下記一般式１で表される有機シラン化合物は、１種類のみ含んでいても良いし、２種以上含んでいても良い。
【化２０】
2016157100.tif 000021
式中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に、水素原子、または、アルキル基を表し、Ｒ3は、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、Ｒ4およびＲ5は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、または、アリール基を表し、Ｒ6は、炭素数１〜２０の１価の基を表し、ｎは１〜３の整数を表す。
【００８２】
式１において、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に、水素原子、または、アルキル基を表す。
Ｒ1およびＲ2が表すアルキル基の炭素数は、１〜６が好ましく、１〜３がより好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基が挙げられる。
Ｒ1およびＲ2の少なくとも一方は、水素原子が好ましく、Ｒ1およびＲ2の両方が水素原子であることがより好ましい。
【００８３】
式１において、Ｒ3は、水素原子、アルキル基またはアリール基を表す。
Ｒ3が表すアルキル基の炭素数は、１〜６が好ましく、１〜３がより好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基が挙げられる。
Ｒ3が表すアリール基の炭素数は、６〜１２が好ましく、６〜１０がより好ましい。具体例としては、フェニル基が挙げられる。
Ｒ3は、水素原子が好ましい。
【００８４】
式１において、Ｒ4およびＲ5は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基またはアリール基を表す。
Ｒ4およびＲ5が表すアルキル基の炭素数は、１〜１０が好ましく、１〜６がより好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよい。具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、イソプロピル基、ペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基が挙げられる。
Ｒ4およびＲ5が表すアリール基の炭素数は、６〜１２が好ましく、６〜１０がより好ましい。具体例としては、フェニル基が挙げられる。
Ｒ4およびＲ5の少なくとも一方は、水素原子が好ましく、Ｒ4およびＲ5の両方が水素原子であることがより好ましい。
【００８５】
式１において、Ｒ6は、炭素数１〜２０の１価の基を表す。１価の基は、アルキル基、アルケニル基、エポキシ基、オキセタニル基、カルボキシル基、（メタ）アクリロイル基、メルカプト基、スルフィド基、ヒドロキシル基、イソシアネート基、ウレイド基、ウレタン基およびアミド基から選ばれる少なくとも１種を有する基が好ましく、エポキシ基、オキセタニル基、カルボキシル基、（メタ）アクリロイル基、メルカプト基、スルフィド基、ヒドロキシル基、イソシアネート基、ウレイド基、ウレタン基およびアミド基から選ばれる少なくとも１種を有する基がさらに好ましい。なお、感度の観点から、Ｒ6は、アミノ基を含まないことが好ましい。
アルキル基の炭素数は、１〜１２が好ましく、１〜６がさらに好ましい。アルキル基は直鎖、分岐、環状のいずれでもよい。アルキル基は置換基を有していてもよいが、無置換が好ましい。
アルケニル基の炭素数は、２〜１２が好ましく、２〜６がさらに好ましい。アルケニル基は直鎖、分岐、環状のいずれでもよい。アルケニル基は置換基を有していてもよいが、無置換が好ましい。
【００８６】
Ｒ6は、「−Ｌ6a−Ｒ6a」で表される基が好ましい。
Ｌ6aは、単結合または、２価の連結基を表す。２価の連結基としては、アルキレン基、アルキレンオキシ基、スルフィド基、ウレタン基、アリーレン基、−Ｏ−、−ＣＯ−、−ＣＯＯ−、−Ｓｉ（Ｒｘ）（Ｒｙ）−Ｏ−およびこれらを組み合わせからなる基が好ましい。ＲｘおよびＲｙは、それぞれ独立に、炭素数１〜１０のアルキル基、または、炭素数６〜１２のアリール基を表す。
アルキレン基およびアルキレンオキシ基の炭素数は、１〜１２が好ましく、１〜６がより好ましい。アルキレン基およびアルキレンオキシ基は、直鎖、分岐、環状のいずれであってもよいが、直鎖が好ましい。
アリーレン基の炭素数は、６〜１２が好ましく、６〜１０がさらに好ましい。
Ｌ6aは、単結合、または、アルキレン基、アルキレンオキシ基、スルフィド基、ウレタン基、アリーレン基、−Ｏ−、−ＣＯ−、−ＣＯＯ−およびこれらを組み合わせからなる２価の連結基が好ましい。
Ｒ6aは、アルキル基、アルケニル基、エポキシ基、オキセタニル基、カルボキシル基、（メタ）アクリロイル基、メルカプト基、ヒドロキシル基、イソシアネート基、ウレイド基またはアミド基を表し、エポキシ基、オキセタニル基、カルボキシル基、（メタ）アクリロイル基、メルカプト基、ヒドロキシル基、イソシアネート基、ウレイド基またはアミド基が好ましい。
【００８７】
式１において、ｎは１〜３の整数を表し、２または３が好ましく、３がより好ましい。
【００８８】
本発明において、有機シラン化合物は、下記一般式２で表される化合物であることが好ましく、下記一般式３で表される化合物であることがより好ましく、下記一般式４で表される化合物であることが特に好ましい。以下の一般式で表される有機シラン化合物は、上述したカップリング反応がより低温で進行しやすく、高い感度を維持しつつ、現像時の密着性および硬化膜の密着性を高いレベルで両立できる。
【００８９】
【化２１】
2016157100.tif 000022
式２中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に、水素原子、または、アルキル基を表し、Ｒ3は、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、Ｒ4およびＲ5は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、または、アリール基を表し、Ｒ6はエポキシ基、オキセタニル基、カルボキシル基、（メタ）アクリロイル基、メルカプト基、スルフィド基、ヒドロキシル基、イソシアネート基、ウレイド基、ウレタン基およびアミド基から選ばれる少なくとも１種を有する、炭素数１〜２０の１価の基を表し、Ｒ7は、炭素数１〜２０の１価の基を表し、ｎは１〜３の整数を表し、ｍは１〜３の整数を表し、ｍ＋ｎ≦４である。
【００９０】
式２のＲ1〜Ｒ6は、式１のＲ1〜Ｒ6と同義であり、好ましい範囲も同様である。式２のＲ7は、炭素数１〜２０の１価の基を表す。１価の基としては、式１のＲ6で説明した１価の基が挙げられる。
式２において、ｎは１〜３の整数を表し、２または３が好ましく、３がより好ましい。ｍは１〜３の整数を表し、１または２が好ましく、１がより好ましい。
【００９１】
【化２２】
2016157100.tif 000023
式３中、Ｒ6はエポキシ基、オキセタニル基、カルボキシル基、（メタ）アクリロイル基、メルカプト基、スルフィド基、ヒドロキシル基、イソシアネート基、ウレイド基、ウレタン基およびアミド基から選ばれる少なくとも１種を有する、炭素数１〜２０の１価の基を表し、Ｒ7は、炭素数１〜２０の１価の基を表し、ｎは１〜３の整数を表し、ｍは１〜３の整数を表し、ｍ＋ｎ≦４である。
【００９２】
式３のＲ6は、式１のＲ6と同義であり、好ましい範囲も同様である。式３のＲ7は、式２のＲ6で説明した１価の基が挙げられる。
式３において、ｎは１〜３の整数を表し、２または３が好ましく、３がより好ましい。ｍは１〜３の整数を表し、１または２が好ましく、１がより好ましい。
【００９３】
【化２３】
2016157100.tif 000024
式中、Ｒ6はエポキシ基、オキセタニル基、カルボキシル基、（メタ）アクリロイル基、メルカプト基、スルフィド基、ヒドロキシル基、イソシアネート基、ウレイド基、ウレタン基およびアミド基から選ばれる少なくとも１種を有する、炭素数１〜２０の１価の基を表す。
【００９４】
式４のＲ6は、式１のＲ6と同義であり、好ましい範囲も同様である。式４のＲ7は、式２のＲ6で説明した１価の基が挙げられる。
式４において、ｎは１〜３の整数を表し、２または３が好ましく、３がより好ましい。ｍは１〜３の整数を表し、１または２が好ましく、１がより好ましい。
【００９５】
式１で表される有機シラン化合物の具体例として、以下の化合物が例示される。本発明がこれらに限定されるものではないことは言うまでもない。
【化２４】
2016157100.tif 000025
【化２５】
2016157100.tif 000026
【００９６】
有機シラン化合物の分子量は、特に定めるものではないが、１０００未満であることが好ましく、５００以下であることがより好ましく、５００未満であることが更に好ましく、４００未満であることが一層好ましい。下限については、特に定めるものではないが、１００以上が好ましい。なお、有機シラン化合物の分子量は、構造式から算出できる場合は、構造式から算出した理論値であり、構造式から算出できない場合は、ゲルパーミエーションクロマトグラフ（ＧＰＣ）測定によるポリスチレン換算値であり、具体的には、後述する実施例に記載の方法で測定した値である。
【００９７】
本発明の感光性樹脂組成物は、有機シラン化合物を感光性樹脂組成物の全固形分中の０．０５〜１０．０質量％の範囲で含むことが好ましい。下限は、０．１質量％以上がより好ましく、０．５質量％以上が特に好ましい。上限は、８質量％以下がより好ましく、６質量％以下が特に好ましい。
また、有機シラン化合物の含有量は、上述した重合体成分（Ａ−１）の１００質量部に対し、０．０５〜１０．０質量部が好ましい。下限は、０．１質量部以上がより好ましく、０．５質量部以上がさらに好ましい。上限は、８質量部以下がより好ましく、６質量部以下がさらに好ましい。このような範囲とすることにより、高い感度を維持しつつ、現像時の密着性および硬化膜の密着性を高いレベルで両立できる。
【００９８】
＜密着改良剤＞
本発明の感光性樹脂組成物は、さらに、密着改良剤を含有してもよい。なお、本発明において、密着改良剤とは、上述した一般式（１）で表される有機シラン化合物以外の化合物を意味する。
密着改良剤は、エポキシ基、エチレン性不飽和二重結合を有する基、クロロ基で置換されたアルキル基およびメルカプト基からなる群より選ばれる少なくとも１種とアルコキシシラン構造とを有する化合物（「アルコキシシラン化合物」ともいう）を含むことが好ましい。このような化合物を配合することにより、感度をより向上させることができるとともに、感光性樹脂組成物の硬化時の基板との密着性をさらに向上させることができる。
密着改良剤は１種類のみ含んでいても良いし、２種以上含んでいても良い。
密着改良剤の分子量は特に定めるものではないが、１０００未満であることが好ましく、５００以下であることがより好ましい。（成分Ｓ−２）の分子量の下限値については、特に定めるものではないが、１００以上が好ましく、２００以上がより好ましい。
【００９９】
密着改良剤は、下記一般式（２）で表される化合物であることが好ましい。
一般式（２）
【化２６】
2016157100.tif 000027
（一般式（２）中、Ｒ6は、エポキシ基、エチレン性不飽和二重結合を有する基、クロロ基で置換されたアルキル基、またはメルカプト基を表し、Ｌは２価の連結基を表し、Ｒ7およびＲ8は、それぞれ独立に、炭素数１〜４のアルキル基を表す。ｍは１〜３の整数を表す。）
Ｒ6が表すエチレン性不飽和二重結合を有する基は（メタ）アクリロイル基、ビニル基、アリル基が好ましく、（メタ）アクリロイル基が好ましい。
Ｒ6が表すクロロ基で置換されたアルキル基の炭素数は、１〜１２が好ましく、１〜６がより好ましい。
Ｌは２価の連結基を表す。具体的には、アルキレン基、アルケニレン基、アルキニレン基、カルボニル基、エーテル結合、エステル結合、アミド結合、ウレア結合、チオウレア結合、またはこれらを組み合わせからなる基が好ましく、アルキレン基、エステル結合、アミド結合、ウレア結合、またはこれらを組み合わせからなる基がより好ましい。アルキレン基の炭素数は、１〜１２が好ましく、１〜６がより好ましい。アルキレン基は、直鎖、分岐、環状のいずれであってもよいが、直鎖が好ましい。
Ｌが表す２価の連結基は、置換基を有していてもよい。置換基としては、ヘテロ原子を含まないことが好ましく、アルキル基がより好ましい。アルキル基の炭素数は、１〜８が好ましく、１〜４がより好ましい。Ｌの水素原子以外の原子数は１〜１８が好ましく、３〜１２がより好ましい。
Ｒ7およびＲ8は、それぞれ独立に、メチル基またはエチル基が好ましい。
ｎは２または３が好ましく、３がより好ましい。
【０１００】
密着改良剤の具体例としては、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリアコキシシラン、γ−グリシドキシプロピルジアルコキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリアルコキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルジアルコキシシラン、γ−クロロプロピルトリアルコキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリアルコキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリアルコキシシラン、ビニルトリアルコキシシランが挙げられる。
市販品としては、信越シリコーン製、ＫＢＭ−４０３、ＫＢＭ−５１０３、ＫＢＭ−３０３、ＫＢＭ−８０３が例示される。
【０１０１】
本発明の感光性樹脂組成物が、密着改良剤を含有する場合、密着改良剤の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分中の０．０５〜１０質量％が好ましい。下限は、０．１質量％以上がより好ましく、０．５質量％以上が特に好ましい。上限は、８質量％以下がより好ましく、６質量％以下が特に好ましい。
また、密着改良剤と、上記式１で表される有機シラン化合物との質量比は、密着改良剤／有機シラン化合物＝０．１〜１０であることが好ましく、０．２〜５であることがより好ましい。
また、密着改良剤として、アルコキシシラン化合物を用いる場合は、アルコキシシラン化合物の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分中の０．０５〜１０質量％が好ましい。下限は、０．１質量％以上がより好ましく、０．５質量％以上が特に好ましい。上限は、８質量％以下がより好ましく、６質量％以下が特に好ましい。また、アルコキシシラン化合物と上記式１で表される有機シラン化合物との質量比は、アルコキシシラン化合物／有機シラン化合物＝０．１〜１０であることが好ましく、０．２〜５であることがより好ましい。
また、密着改良剤と有機シラン化合物との合計が感光性樹脂組成物の全固形分中の０．６〜１５．０質量％であることが好ましい。下限は、０．８質量％以上がより好ましく、１質量％以上が特に好ましい。上限は、１５質量％以下がより好ましく、１０質量％以下が特に好ましい。このような範囲とすることにより、現像時の基板への密着性と、硬化後の密着性をより高いレベルで両立できる。
【０１０２】
＜架橋性基を有する化合物＞
本発明の第１の態様の感光性樹脂組成物は、架橋性基を有する化合物（以下、「架橋剤」ともいう）を含有してもよい。架橋剤を含有することにより、より強硬な硬化膜を得ることができる。特に、上記重合体成分（Ａ−１）が、架橋性基を有する構成単位含む重合体を含有しない場合か、含有量が少ない場合においては、架橋剤を含有することが一層好ましい。なお、本発明において、架橋剤は、上述した有機シラン化合物以外の化合物を意味する。
架橋剤としては、熱によって架橋反応が起こるものであれば制限は無い。例えば、分子内に２個以上のエポキシ基またはオキセタニル基を有する化合物、ブロックイソシアネート化合物、アルコキシメチル基含有架橋剤、エチレン性不飽和二重結合を有する化合物等が挙げられる。分子内に２個以上のエポキシ基および／またはオキセタニル基を有する化合物が好ましい。分子内に２個以上のエポキシ基および／またはオキセタニル基を有する化合物を配合すると硬化膜の表面荒れ抑制や露光現像後のパターンの矩形性向上という効果がより効果的に発揮される。
本発明において、架橋剤の分子量は、２００〜２，０００が好ましく、２００〜１，０００がより好ましい。
【０１０３】
本発明の感光性樹脂組成物が架橋剤を含有する場合、架橋剤の含有量は、上記重合体成分（Ａ−１）１００質量部に対し、０．０１〜５０質量部であることが好ましく、０．１〜３０質量部であることがより好ましく、０．５〜２５質量部であることがさらに好ましい。この範囲で添加することにより、機械的強度および耐溶剤性に優れた硬化膜が得られる。架橋剤は１種類のみ含んでいても良いし、２種類以上含んでいても良い。２種類以上含む場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
架橋剤としては、特開２０１４−２３８４３８号公報段落０１３８〜０１４７に記載の架橋剤も好ましく用いられる。
【０１０４】
＜塩基性化合物＞
本発明の第１の態様の感光性樹脂組成物は、塩基性化合物を含有してもよい。塩基性化合物としては、例えば、脂肪族アミン、芳香族アミン、複素環式アミン、第四級アンモニウムヒドロキシド、カルボン酸の第四級アンモニウム塩等が挙げられる。これらの具体例としては、特開２０１１−２２１４９４号公報の段落番号０２０４〜０２０７に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
【０１０５】
具体的には、脂肪族アミンとしては、例えば、トリメチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、ジ−ｎ−プロピルアミン、トリ−ｎ−プロピルアミン、ジ−ｎ−ペンチルアミン、トリ−ｎ−ペンチルアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、ジシクロヘキシルアミン、ジシクロヘキシルメチルアミンなどが挙げられる。
芳香族アミンとしては、例えば、アニリン、ベンジルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、ジフェニルアミンなどが挙げられる。
複素環式アミンとしては、例えば、ピリジン、２−メチルピリジン、４−メチルピリジン、２−エチルピリジン、４−エチルピリジン、２−フェニルピリジン、４−フェニルピリジン、Ｎ−メチル−４−フェニルピリジン、４−ジメチルアミノピリジン、イミダゾール、ベンズイミダゾール、４−メチルイミダゾール、２−フェニルベンズイミダゾール、トリフェニルイミダゾール、ニコチン、ニコチン酸、ニコチン酸アミド、キノリン、８−オキシキノリン、ピラジン、ピラゾール、ピリダジン、プリン、ピロリジン、ピペリジン、ピペラジン、モルホリン、４−メチルモルホリン、Ｎ−シクロヘキシル−Ｎ’−［２−（４−モルホリニル）エチル］チオ尿素、１，５−ジアザビシクロ［４．３．０］−５−ノネン、１，８−ジアザビシクロ［５．３．０］−７−ウンデセン、１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセンなどが挙げられる。
第四級アンモニウムヒドロキシドとしては、例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラ−ｎ−ブチルアンモニウムヒドロキシド、テトラ−ｎ−ヘキシルアンモニウムヒドロキシドなどが挙げられる。
カルボン酸の第四級アンモニウム塩としては、例えば、テトラメチルアンモニウムアセテート、テトラメチルアンモニウムベンゾエート、テトラ−ｎ−ブチルアンモニウムアセテート、テトラ−ｎ−ブチルアンモニウムベンゾエートなどが挙げられる。
本発明に用いることができる塩基性化合物は、１種単独で使用しても、２種以上を併用してもよい。
【０１０６】
本発明の感光性樹脂組成物が塩基性化合物を含有する場合、塩基性化合物の含有量は、感光性樹脂組成物中の全固形成分１００質量部に対し、０．００１〜３質量部であることが好ましく、０．００５〜１質量部であることがより好ましい。塩基性化合物は、１種単独で使用しても、２種以上を併用してもよい。２種類以上用いる場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１０７】
＜界面活性剤＞
本発明の第１の態様の感光性樹脂組成物は、界面活性剤を含有してもよい。界面活性剤としては、アニオン系、カチオン系、ノニオン系、または、両性のいずれでも使用することができるが、好ましい界面活性剤はノニオン界面活性剤である。界面活性剤としては、例えば、特開２０１２−８８４５９号公報の段落番号０２０１〜０２０５に記載のものや、特開２０１１−２１５５８０号公報の段落番号０１８５〜０１８８に記載のものを用いることができ、これらの記載は本願明細書に組み込まれる。
ノニオン系界面活性剤の例としては、ポリオキシエチレン高級アルキルエーテル類、ポリオキシエチレン高級アルキルフェニルエーテル類、ポリオキシエチレングリコールの高級脂肪酸ジエステル類、シリコーン系、フッ素系界面活性剤を挙げることができる。また、以下商品名で、ＫＰ−３４１、Ｘ−２２−８２２（信越化学工業（株）製）、ポリフローＮｏ．９９Ｃ（共栄社化学（株）製）、エフトップ（三菱マテリアル化成社製）、メガファック（ＤＩＣ（株）製）、フロラードノベックＦＣ−４４３０（住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ−２４２（ＡＧＣセイミケミカル社製）、ＰｏｌｙＦｏｘＰＦ−６３２０（ＯＭＮＯＶＡ社製）、ＳＨ−８４００（東レ・ダウコーニングシリコーン）、フタージェントＦＴＸ−２１８Ｇ（ネオス社製）等を挙げることができる。
また、界面活性剤として、特開２０１４−２３８４３８号公報段落０１５１〜０１５５に記載の化合物も好ましい例として挙げることができる。
【０１０８】
本発明の感光性樹脂組成物が界面活性剤を含有する場合、界面活性剤の添加量は、感光性樹脂組成物中の全固形成分１００質量部に対し、１０質量部以下であることが好ましく、０．００１〜１０質量部であることがより好ましく、０．０１〜３質量部であることがさらに好ましい。界面活性剤は１種類のみ含んでいても良いし、２種類以上含んでいても良い。２種類以上含む場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１０９】
＜その他の成分＞
本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて増感剤、酸化防止剤、熱ラジカル発生剤、熱酸発生剤、酸増殖剤、現像促進剤、紫外線吸収剤、増粘剤、有機または無機の沈殿防止剤などの公知の添加剤を、それぞれ独立に１種または２種以上、加えることができる。
これらの化合物としては、例えば特開２０１２−８８４５９号公報の段落番号０２０１〜０２２４の記載の化合物、特開２０１４−２３８４３８号公報に記載の化合物を使用することができ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
また、特開２０１２−８２２３号公報の段落番号０１２０〜０１２１に記載の熱ラジカル発生剤、ＷＯ２０１１／１３６０７４Ａ１に記載の窒素含有化合物および熱酸発生剤も用いることができ、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
【０１１０】
［本発明の第２の態様］
次に、本発明の感光性樹脂組成物の第２の態様について説明する。
本発明の第２の態様の感光性樹脂組成物は、上述した一般式Ａ３で表される構成単位（ａ３）を有する重合体Ａｘ３を含む重合体成分（Ａ−２）と、キノンジアジド化合物と、溶剤と、上述した一般式１で表される有機シラン化合物とを含有する。
【０１１１】
＜重合体成分（Ａ−２）＞
重合体成分（Ａ−２）は、上述した一般式Ａ３で表される構成単位ａ３（構成単位（ａ３）を有する重合体Ａｘ３を含む。重合体成分（Ａ−２）が、構成単位（ａ３）を含むので、有機シラン化合物による上述したカップリング反応が、進行しやすくでき、現像時の密着性および硬化膜の密着性を高いレベルで両立できる。さらには、アルカリ性の現像液に溶けやすくなり、現像性に優れる。
構成単位（ａ３）については、上述した重合体成分（Ａ−１）で説明した範囲と同義であり、好ましい範囲も同様である。
【０１１２】
本発明において、重合体成分（Ａ−２）は、架橋性基を有する構成単位（ａ２）を有する重合体を含有することが好ましい。この態様によれば、表面硬度に優れた硬化膜を形成しやすい。架橋性基を有する構成単位（ａ２）の具体例としては、上述した重合体成分（Ａ−１）の構成単位（ａ２）で説明したものが挙げられ、好ましい範囲も同様である。
上記構成単位（ａ２）は、上記構成単位（ａ３）を有する重合体Ａｘ３に含まれていてもよいし、上記構成単位（ａ３）を有する重合体とは別の重合体Ａｘ４に含まれていてもよい。
【０１１３】
＜＜（ａ４）その他の構成単位＞＞
重合体成分（Ａ−２）は、上記構成単位（ａ３）および上記構成単位（ａ２）以外の他の構成単位（ａ４）を有していてもよい。他の構成単位（ａ４）の具体例としては、上述した重合体成分（Ａ−１）の構成単位（ａ４）で説明したものが挙げられる。
【０１１４】
重合体成分（Ａ−２）の全構成単位中、構成単位（ａ３）は、１〜８０モル％含有することが好ましく、５〜５０モル％含有することがより好ましく、８〜３０モル％含有することがさらに好ましい。
重合体成分（Ａ−２）の全構成単位中、構成単位（ａ２）は、３〜７０モル％含有することが好ましく、１０〜６０モル％含有することがより好ましく、１５〜５０モル％含有することがさらに好ましい。
重合体成分（Ａ−２）の全構成単位中、構成単位（ａ４）は、１０〜９５モル％含有することが好ましく、１０〜９５モル％含有することがより好ましく、２０〜９０モル％含有することがさらに好ましい。
本発明の第２の形態の感光性樹脂組成物は、重合体成分（Ａ−２）を、感光性樹脂組成物の全固形分の７０質量％以上の割合で含むことが好ましい。
【０１１５】
＜キノンジアジド化合物＞
本発明において、キノンジアジド化合物は、分子内に部分構造を有する化合物が好ましく、分子内に少なくとも１個の１，２−キノンジアジド部分構造を有する化合物がより好ましい。
キノンジアジド化合物としては、活性光線の照射によりカルボン酸を発生する１，２−キノンジアジド化合物を好ましく用いることができる。１，２−キノンジアジド化合物としては、フェノール性化合物またはアルコール性化合物（以下、「母核」と称する）と、１，２−ナフトキノンジアジドスルホン酸ハライドとの縮合物などを用いることができる。これらの化合物の具体例としては、例えば特開２０１２−０８８４５９公報の段落番号００７５〜００７８の記載を参酌することができ、この内容は本願明細書に組み込まれる。
【０１１６】
フェノール性化合物またはアルコール性化合物（母核）と、１，２−ナフトキノンジアジドスルホン酸ハライドとの縮合反応においては、フェノール性化合物またはアルコール性化合物中のＯＨ基数に対して、好ましくは３０〜８５モル％、より好ましくは５０〜７０モル％に相当する１，２−ナフトキノンジアジドスルホン酸ハライドを用いることができる。縮合反応は、公知の方法によって実施することができる。
【０１１７】
また、１，２−キノンジアジド化合物としては、上記例示した母核のエステル結合をアミド結合に変更した１，２−ナフトキノンジアジドスルホン酸アミド類、例えば２，３，４−トリアミノベンゾフェノン−１，２−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸アミド等も好適に使用される。
【０１１８】
これらのキノンジアジド化合物は、単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。本発明の感光性樹脂組成物におけるキノンジアジド化合物の含有量は、感光性樹脂組成物中の全固形分に対し、１〜５０質量％が好ましく、１０質量％を超え４０質量％以下であることがより好ましく、１２質量％を超え４０質量％以下であることがさらに好ましい。
また、本発明の感光性樹脂組成物におけるキノンジアジド化合物の含有量は、重合体成分の合計１００質量部に対し、５〜１００質量部であることが好ましく、１０〜５０質量部であることがより好ましく、１０〜３５質量部であることがさらに好ましい。
キノンジアジド化合物の含有量を上記範囲とすることで、現像液となるアルカリ水溶液に対する活性光線の照射部分と未照射部分との溶解度の差が大きく、パターニング性能が良好となり、また得られる硬化膜の耐溶剤性が良好となる。
【０１１９】
＜溶剤＞
本発明の第２の態様の感光性樹脂組成物は、溶剤を含有する。溶剤としては、上述した第１の態様の感光性樹脂組成物で説明した溶剤が挙げられ、好ましい範囲も同様である。
溶剤の含有量は、感光性樹脂組成物中の全成分１００質量部に対し、４０〜９５質量部が好ましい。下限は、４５質量部以上がより好ましく、５０質量部以上がさらに好ましい。上限は、９０質量部以下がより好ましく、８５質量部以下がさらに好ましい。溶剤は、１種類のみ用いてもよいし、２種類以上用いてもよい。２種類以上用いる場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１２０】
＜有機シラン化合物＞
本発明の第２の態様の感光性樹脂組成物は、有機シラン化合物を含有する。有機シラン化合物としては、上述した一般式１で表される有機シラン化合物が挙げられ、好ましい範囲も同様である。
有機シランの含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分中の０．０５〜１０質量％が好まし。下限は、例えば、０．１質量％以上がより好ましく、０．５質量％以上がさらに好ましい。上限は、例えば、８質量％以下がより好ましく、６質量％以下がさらに好ましい。このような範囲とすることにより、本発明の効果がより効果的に発揮される傾向にある。
また、有機シラン化合物の含有量は、上述した重合体成分（Ａ２）の１００質量部に対し、０．０５〜１０．０質量部が好ましい。下限は、０．１質量部以上がより好ましく、０．５質量部以上がさらに好ましい。上限は、８質量部以下がより好ましく、６質量部以下がさらに好ましい。このような範囲とすることにより、本発明の効果がより効果的に発揮される傾向にある。
【０１２１】
＜その他の成分＞
本発明の第２の態様の感光性樹脂組成物は、上記成分に加え、本発明の効果を損なわない範囲で必要に応じて、架橋剤、密着改良剤、塩基性化合物、界面活性剤、酸化防止剤、現像促進剤、可塑剤、熱ラジカル発生剤、熱酸発生剤、紫外線吸収剤、増粘剤、および、有機または無機の沈殿防止剤などの公知の添加剤を加えることができる。これら成分は上述した第１の態様と同様であり、好ましい範囲も同様である。これらの成分は、それぞれ、１種類のみ用いてもよいし、２種類以上用いてもよい。
【０１２２】
＜感光性樹脂組成物の調製方法＞
本発明の感光性樹脂組成物は、各成分を所定の割合でかつ任意の方法で混合し、撹拌溶解して調製することができる。例えば、各成分を、それぞれ予め溶剤に溶解させた溶液とした後、これらを所定の割合で混合して本発明の感光性樹脂組成物を調製することもできる。以上のように調製した組成物溶液は、例えば孔径０．２μｍのフィルター等を用いてろ過した後に、使用することもできる。
【０１２３】
＜硬化膜の製造方法＞
本発明の硬化膜の製造方法は、以下の（１）〜（５）の工程を含むことが好ましい。
（１）本発明の感光性樹脂組成物を基板上に塗布する工程（塗布工程）
（２）塗布された感光性樹脂組成物から溶剤を除去する工程（溶剤除去工程）
（３）溶剤が除去された感光性樹脂組成物を活性光線により露光する工程（露光工程）
（４）露光された感光性樹脂組成物を現像液により現像する工程（現像工程）
（５）現像された感光性樹脂組成物を熱硬化する工程（ポストベーク工程）
以下に各工程を順に説明する。
【０１２４】
（１）の工程では、本発明の感光性樹脂組成物を基板上に塗布して溶剤を含む湿潤膜とすることが好ましい。
【０１２５】
（１）の工程では、基板に感光性樹脂組成物を塗布する前に、基板に対してアルカリ洗浄やプラズマ洗浄などの洗浄を行ってもよい。また、洗浄後の基板に対してヘキサメチルジシラザンなどで基板表面を処理してもよい。ヘキサメチルジシラザンで基板表面を処理する方法としては、特に限定されないが、例えば、ヘキサメチルジシラザン蒸気中に基板を晒しておく方法等が挙げられる。
基板としては、無機基板、樹脂、樹脂複合材料などが挙げられる。
無機基板としては、例えばガラス基板、石英基板、シリコーン基板、シリコンナイトライド基板（ＳｉＮx基板、ただし、ｘは１〜１．３である）、および、これらの基板上にモリブデン、チタン、アルミニウム、銅などを蒸着した複合基板、モリブデン基板、チタン基板、アルミニウム基板、銅基板などの金属基板が挙げられる。
樹脂基板としては、特開２０１４−２３８４３８号公報段落０１９２に記載の樹脂基板を用いることができる。
基板への感光性樹脂組成物の塗布方法は特に限定されず、例えば、スリットコート法、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法、流延塗布法、スリットアンドスピン法等の方法を用いることができる。
感光性樹脂組成物を塗布したときの湿潤膜厚は特に限定されるものではなく、用途に応じた膜厚で塗布することができる。例えば、０．５〜１０μｍが好ましい。
基板に本発明の感光性樹脂組成物を塗布する前に、特開２００９−１４５３９５号公報に記載されているような、所謂プリウェット法を適用することも可能である。
【０１２６】
（２）の工程では、感光性樹脂組成物を塗布して形成した上記の湿潤膜から、減圧（バキューム）および／または加熱等により、溶剤を除去して基板上に乾燥膜を形成させる。  加熱条件は、好ましくは７０〜１３０℃で３０〜３００秒間程度である。温度と時間が上記範囲である場合、パターンの密着性がより良好で、且つ残渣もより低減できる傾向にある。
【０１２７】
（３）の工程では、乾燥膜を設けた基板に所定のパターンの活性光線を照射する。本発明の第１の態様においては、露光部において、カルボキシル基やフェノール性水酸基等の酸基が生成し、露光部における現像液への溶解性が向上する。すなわち、酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を有する重合体成分と、光酸発生剤とを含む態様においては、活性光線の照射によって、光酸発生剤が分解して酸が発生する。そして、発生した酸の触媒作用により、塗膜成分中に含まれる酸分解性基が加水分解されて、カルボキシル基やフェノール性水酸基等の酸基が生成する。また、本発明の第２の態様においては、活性光線の照射によって、キノンジアジド化合物からカルボキシル基が生成される。
活性光線の光源としては、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ケミカルランプ、発光ダイオード（ＬＥＤ）光源、エキシマレーザー発生装置などを用いることができ、ｉ線（３６５ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）、ｇ線（４３６ｎｍ）などの波長３００ｎｍ以上４５０ｎｍ以下の波長を有する活性光線が好ましく使用できる。また、必要に応じて長波長カットフィルター、短波長カットフィルター、バンドパスフィルターのような分光フィルターを通して照射光を調整することもできる。露光量は好ましくは１〜５００ｍＪ／ｃｍ2である。
露光装置としては、ミラープロジェクションアライナー、ステッパー、スキャナー、プロキシミティ、コンタクト、マイクロレンズアレイ、レンズスキャナ、レーザー露光、など各種方式の露光機を用いることができる。また、いわゆる超解像技術を用いた露光をすることもできる。超解像技術としては、複数回露光する多重露光や、位相シフトマスクを用いる方法、輪帯照明法などが挙げられる。これら超解像技術を用いることでより高精細なパターン形成が可能となり、好ましい。
【０１２８】
（４）の工程では感光性樹脂組成物を、現像液を用いて現像する。現像液に溶解しやすい酸基（カルボキシル基またはフェノール性水酸基など）を有する露光部領域を除去（現像）することにより、ポジ画像が形成する。
現像工程で使用する現像液には、塩基性化合物が含まれることが好ましい。塩基性化合物としては、特開２０１４−２３８４３８号公報の段落２００に記載の化合物を使用することができる。
これらのうち、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、コリン（２−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド）が好ましい。
また、上記アルカリ類の水溶液にメタノールやエタノールなどの水溶性有機溶剤や界面活性剤を適当量添加した水溶液を現像液として使用することもできる。
現像液のｐＨは、好ましくは１０．０〜１４．０である。
現像時間は、好ましくは３０〜５００秒間であり、また、現像の手法は液盛り法（パドル法）、シャワー法、ディップ法等の何れでもよい。
現像の後に、リンス工程を行うこともできる。リンス工程では、現像後の基板を純水などで洗うことで、付着している現像液除去、現像残渣除去を行う。リンス方法は公知の方法を用いることができる。例えばシャワーリンスやディップリンスなどを挙げる事ができる。
【０１２９】
（５）の工程では、本発明の第１の態様においては、得られたポジ画像を加熱することにより、酸分解性基を熱分解して酸基（カルボキシル基またはフェノール性水酸基など）を生成させる。また第１の態様および第２の態様共に、酸基と架橋性基または架橋剤等とを架橋させることにより、硬化膜を形成することができる。この加熱は、ホットプレートやオーブン等の加熱装置を用いて、所定の温度、例えば１８０〜２５０℃で、所定の時間、例えばホットプレートなら５〜９０分間、オーブンならば３０〜１２０分間、加熱処理をすることが好ましい。このように架橋反応を進行させることにより、耐熱性、硬度等により優れた保護膜や層間絶縁膜を形成することができる。また、加熱処理を行う際は窒素雰囲気下で行うことにより、透明性をより向上させることもできる。
ポストベークの前に、比較的低温でベークを行った後にポストベークすることもできる（ミドルベーク工程の追加）。また、ポストベークに先立ち、パターンを形成した基板に活性光線により全面再露光（ポスト露光）した後、ポストベークすることにより未露光部分に存在する光酸発生剤から酸を発生させ、架橋を促進する触媒として機能させることができる。ミドルベーク工程およびポスト露光工程を行う際の条件としては、特開２０１４−２３８４３８号公報段落２０１に記載の条件を用いることができる。
【０１３０】
本発明の感光性樹脂組成物より得られた硬化膜は、ドライエッチングレジストとして使用することもできる。ポストベーク工程により熱硬化して得られた硬化膜をドライエッチングレジストとして使用する場合、エッチング処理としてはアッシング、プラズマエッチング、オゾンエッチングなどのドライエッチング処理を行うことができる。
【０１３１】
＜硬化膜＞
本発明の硬化膜は、上述した本発明の感光性樹脂組成物を硬化して得られた硬化膜である。また、本発明の硬化膜は、上述した本発明の硬化膜の製造方法により得られた硬化膜であることが好ましい。本発明の硬化膜は、層間絶縁膜として好適に用いることができる。
本発明の硬化膜は、液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置などの画像表示装置や、タッチパネルなどの入力装置等の用途に有用である。例えば、特開２０１４−２３８４３８号公報段落０２０７〜０２０８に記載の液晶表示装置、特開２０１４−２３８４３８号公報段落０２０９に記載の有機ＥＬ表示装置、特開２０１４−２３８４３８号公報段落０２１２〜０２２３に記載のタッチパネル表示装置、特開２０１４−２３８４３８号公報段落２１０に記載の用途などが挙げられる。
【０１３２】
本発明の感光性樹脂組成物は、例えば特開２０１１−１０７４７６号公報の図２に記載のバンク層（１６）および平坦化膜（５７）、特開２０１０−９７９３号公報の図４（ａ）に記載の隔壁（１２）および平坦化膜（１０２）、特開２０１０−２７５９１号公報の図１０に記載のバンク層（２２１）および第３層間絶縁膜（２１６ｂ）、特開２００９−１２８５７７号公報の図４（ａ）に記載の第２層間絶縁膜（１２５）および第３層間絶縁膜（１２６）、特開２０１０−１８２６３８号公報の図３に記載の平坦化膜（１２）および画素分離絶縁膜（１４）、特開２０１２−２０３１２１号公報の図１に記載の画素分離膜（１９）や平坦化膜（１７）、特開２０１３−１９６９１９号公報の図１に記載の高抵抗層（１８）、画素間絶縁膜（１６）、層間絶縁膜（１４）、層間絶縁膜（１２ｃ）などの形成に用いることもできる。この他、液晶表示装置における液晶層の厚みを一定に保持するためのスペーサーや、ファクシミリ、電子複写機、固体撮像素子等のオンチップカラーフィルターの結像光学系あるいは光ファイバコネクタのマイクロレンズにも好適に用いることができる。
【実施例】
【０１３３】
以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」、「％」は質量基準である。
＜重量平均分子量（Ｍｗ）および数平均分子量（Ｍｎ）の測定＞
重量平均分子量は、以下の方法で測定した。
カラムの種類：ＴＳＫ  ｇｅｌ  Ｓｕｐｅｒ（東ソー）、展開溶媒：  ＴＨＦ（テトラヒドロフラン）、カラム温度：  ４０℃、流量（サンプル注入量）：  １０μｌ、装置名：  ＨＬＣ−８２２０ＧＰＣ（東ソー）、検量線ベース樹脂：ポリスチレン
【０１３４】
以下の合成例において、以下の符号はそれぞれ以下の化合物を表す。
ＭＡＴＨＦ：２−テトラヒドロフラニルメタクリレート（合成品）
ＭＡＥＶＥ：１−エトキシエチルメタクリレート（和光純薬工業社製）
ＯＸＥ−３０：３−エチル−３−オキセタニルメチルメタクリレート（大阪有機化学工業社製）
ＧＭＡ：グリシジルメタクリレート（和光純薬工業社製）
ＮＢＭＡ：ｎ−ブトキシメチルアクリルアミド（東京化成製）
ＨＥＭＡ：ヒドロキシエチルメタクリレート（和光純薬社製）
ＭＡＡ：メタクリル酸（和光純薬工業社製）
ＭＭＡ：メチルメタクリレート（和光純薬工業社製）
Ｓｔ：スチレン（和光純薬工業社製）
ＤＣＰＭ：ジシクロペンタニルメタクリレート（日立化成製）
Ｖ−６０１：ジメチル  ２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオネート）（和光純薬工業社製）
Ｖ−６５：２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）（和光純薬工業社製）
＜ＭＡＴＨＦの合成＞
メタクリル酸（８６ｇ、１ｍｏｌ）を１５℃に冷却しておき、カンファースルホン酸（４．６ｇ、０．０２ｍｏｌ）を添加した。その溶液に、２，３−ジヒドロフラン（７１ｇ、１ｍｏｌ、１．０当量）を滴下した。１時間撹拌した後に、飽和炭酸水素ナトリウム（５００ｍＬ）を加え、酢酸エチル（５００ｍＬ）で抽出し、硫酸マグネシウムで乾燥後、不溶物を濾過後４０℃以下で減圧濃縮し、残渣の黄色油状物を減圧蒸留して沸点５４〜５６℃／３．５ｍｍＨｇ留分のメタクリル酸テトラヒドロ−２Ｈ−フラン−２−イル（ＭＡＴＨＦ）１２５ｇを無色油状物として得た（収率８０％）。
【０１３５】
＜重合体Ａ−１の合成例＞
３つ口フラスコにＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）（８９ｇ）を入れ、窒素雰囲気下において７５℃に昇温した。その溶液にＭＡＡ（全単量体成分中の１０ｍｏｌ％となる量）、ＭＡＴＨＦ（全単量体成分中の３０ｍｏｌ％となる量）、ＧＭＡ（全単量体成分中の３０ｍｏｌ％に相当）、ＭＭＡ（全単量体成分中の３０ｍｏｌ％に相当）、Ｖ−６５（全単量体成分の合計１００ｍｏｌ％に対して４ｍｏｌ％に相当）をＰＧＭＥＡ（１０ｇ）に室温で溶解させた溶液を、２時間かけて滴下した。滴下終了後２時間攪拌し、反応を終了させた。それにより重合体Ａ−１を得た。なお、溶剤以外の成分（固形分と称する。）の濃度が４０質量％になるよう調整した。
＜重合体Ａ−２〜Ａ−１６の合成例＞
モノマーの種類等を下記表に示す通りに変更し、Ａ−７、８、９については重合溶剤をジエチレングリコールエチルメチルエーテル（ＭＥＤＧ）に変更し、その他の条件については、Ａ−１と同様の方法で合成した。重合体の固形分濃度は、４０質量％になるよう調整した。
【０１３６】
【表１】
2016157100.tif 000028
【０１３７】
＜感光性樹脂組成物の調製＞
下記表に記載の固形分比（質量比）で各成分を溶剤（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ））に固形分濃度２５質量％になるまで溶解混合し、孔径０．２μｍのポリテトラフルオロエチレン製フィルターで濾過して、各感光性樹脂組成物を得た。
【０１３８】
実施例および比較例に用いた各化合物を示す略号の詳細は、以下の通りである。
（重合体成分）
上記表１に示すＡ−１〜Ａ−１３を用いた。
【０１３９】
（光酸発生剤）
Ｂ−１：ＰＡＧ−１０３（商品名、下記に示す構造、ＢＡＳＦ社製）
【化２７】
2016157100.tif 000029
Ｂ−２：下記に示す構造（特開２０１４−１９７１５５号公報の段落番号０２１０に記載の方法に従って合成した）
【化２８】
2016157100.tif 000030
Ｂ−３：下記に示す構造（特表２００２−５２８４５１号公報の段落０１０８に記載の方法に従って合成した）
【化２９】
2016157100.tif 000031
Ｂ−４：下記に示す構造（特開２０１４−１９７１５５号公報の段落番号０２０９に記載の方法に従って合成した）
【化３０】
2016157100.tif 000032
Ｂ−５：ＧＳＩＤ−２６−１、トリアリールスルホニウム塩（ＢＡＳＦ社製）
【化３１】
2016157100.tif 000033
Ｂ−６：４，７−ジ−ｎ−ブトキシ−１−ナフチルテトラヒドロチオフェニウムトリフルオロメタンスルホネート
Ｂ−７：下記に示す構造（合成例を後述する）
【化３２】
2016157100.tif 000034
Ｂ−８：下記に示す構造
【化３３】
2016157100.tif 000035
国際公開ＷＯ１１／０８７０１１号パンフレットの段落記載０２４９の方法に従って合成。
【０１４０】
＜Ｂ−７の合成＞
攪拌器及び温度計を装着したセパラブルフラスコにＮ―ヒドロキシナフタルイミドナトリウム塩３３．６ｇ、４−ジメチルアミノピリジン０．７２ｇ、テトラヒドロフラン３００ミリリットルを仕込み、室温２５℃下で攪拌し溶解させた。次いで、（＋）１０−カンファースルホニルクリライド４２ｇを加えて３時間攪拌した後、トリエチルアミン１５ｇを加えた後、室温下で１０時間攪拌した。次いで、蒸留水３００ミリリットル中に反応溶液を入れ、析出した沈殿をろ別した。この沈殿をアセトンとヘキサンを用いて再沈殿処理を数回繰り返し、Ｎ−カンファースルホニルオキシ−１，８−ナフタルイミド１２ｇを得た。
【０１４１】
（増感剤）
ＤＢＡ：９，１０−ジブトキシアントラセン、川崎化成製
【０１４２】
（有機シラン化合物）
【化３４】
2016157100.tif 000036
【０１４３】
上記化合物Ｓ−１〜Ｓ−５は、特許４５４４１１号の段落番号００６５に記載の合成方法に倣って合成した。なお、Ｓ−１９のｎは、ｎ≒３８である。
【０１４４】
＜ナフトキノンジアジド化合物＞
Ｂ−２−１：４，４’−［１−［４−［１−［４−ヒドロキシフェニル］−１−メチルエチル］フェニル］エチリデン］ビスフェノール（１．０モル）と１，２−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸クロリド（３．０モル）との縮合物
Ｂ−２−２：１，１，１−トリ（ｐ−ヒドロキシフェニル）エタン（１．０モル）と１，２−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸クロリド（２．０モル）との縮合物
Ｂ−２−３：２，３，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノン（１．０モル）と１，２−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸エステル（２．４４モル）との縮合物
【０１４５】
（アルコキシシラン化合物）
ＳＣ−１：ＫＢＭ−４０３、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、信越シリコーン製
ＳＣ−２：ＫＢＭ−３０３、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、信越シリコーン製
【０１４６】
（塩基性化合物）
Ｈ−１：下記構造の化合物
【化３５】
2016157100.tif 000037
【０１４７】
（界面活性剤）
Ｗ−１：下記構造式で示されるパーフルオロアルキル基含有ノニオン界面活性剤（Ｆ−５５４、ＤＩＣ製）
【化３６】
2016157100.tif 000038
【０１４８】
（架橋剤）
Ｄ−１：ＪＥＲ８２８、三菱化学製
Ｄ−２：ＥＸ−３２１Ｌ、ナガセケムテックス（株）製
Ｄ−３：ＪＥＲ１５７Ｓ６５、三菱化学製
Ｄ−４：タケネートＢ−８７０Ｎ、三井化学（株）製
Ｄ−５：ＣＥＬ  ２０２１Ｐ、ダイセル（株）製
【０１４９】
（その他成分）
Ｆ−１：イルガノックス１０３５、ＢＡＳＦ製
Ｆ−２：イルガノックス１０９８、ＢＡＳＦ製
【０１５０】
＜感度の評価＞
ガラス基板（コーニング１７３７、０．７ｍｍ厚（コーニング社製））上に、各感光性樹脂組成物をスリット塗布した後、９０℃で１２０秒ホットプレートで加熱により溶剤を除去し、膜厚４．０μｍの感光性樹脂組成物層を形成した。
次に、得られた感光性樹脂組成物層を、キヤノン（株）製、ＭＰＡ  ５５００ＣＦ（超高圧水銀ランプ）を用いて、所定のマスクを介して露光した。そして、露光後の感光性樹脂組成物層を、アルカリ現像液（２．３８質量％のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液）で２３℃／６０秒間現像した後、超純水で６０秒リンスした。
上記方法にて１０μｍのコンタクトホールを解像する時の最適ｉ線露光量（Ｅｏｐｔ）を感度とした。感度の数値が小さいほど好ましく、以下の評価１〜３が実用可能なレベルである。
【０１５１】
１：８０ｍＪ／ｃｍ2未満
２：８０ｍＪ／ｃｍ2以上１２０ｍＪ／ｃｍ2未満
３：１２０ｍＪ／ｃｍ2以上１８０ｍＪ／ｃｍ2未満
４：１８０ｍＪ／ｃｍ2以上３００ｍＪ／ｃｍ2未満
５：３００ｍＪ／ｃｍ2以上
【０１５２】
＜現像密着性評価＞
基材として、ＳｉＯ2基板（１０ｃｍ×１０ｃｍ、Ｅａｇｌｅ  ＸＧ  コーニング社製）、モリブデン基板（１０ｃｍ×１０ｃｍ、ＳｉＯ2基板にモリブデンをスパッタ製膜、製造元  ＫＳＴワールド）、チタン基板（１０ｃｍ×１０ｃｍ、ＳｉＯ2基板にチタンをスパッタ製膜、製造元  ＫＳＴワールド）、ＳｉＮｘ基板（１０ｃｍ×１０ｃｍ、ＳｉＯ2基板にＳｉＮx（ただし、ＳｉＮxのｘは１〜１．３である）をプラズマＣＶＤ（化学蒸着）製膜、製造元  ＫＳＴワールド）を用いた。
各基板を純水で洗浄し、１３０℃で２分乾燥した後、各基板上に、各感光性樹脂組成物をスリット塗布した後、９０℃で１２０秒ホットプレートで加熱により溶剤を除去し、膜厚４．０μｍの感光性樹脂組成物層を形成した。
次に、得られた感光性樹脂組成物層を、キヤノン（株）製、ＭＰＡ  ５５００ＣＦ（超高圧水銀ランプ）を用いて、所定のマスクを介して露光した。そして、露光後の感光性樹脂組成物層を、アルカリ現像液（２．３８質量％のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液）で２３℃／６０秒間現像した後、超純水で６０秒リンスした。
上記方法にて１０μｍのラインアンドスペースパターンを形成したとき、各基材上でのパターンの欠け、剥がれを観察し、評価した。以下の評価１〜３が実用可能なレベルである。
１：欠け、剥がれが発生していない
２：欠け、剥がれが発生している面積が、５％以下
３：欠け、剥がれが発生している面積が、５％を超え、１０％未満
４：欠け、剥がれが発生している面積が、１０％を超え、２０％未満
５：欠け、剥がれが発生している面積が、２０％を超える
【０１５３】
＜硬化膜密着性の評価＞
上記各基板上に、各感光性樹脂組成物をスリット塗布した後、９０℃で１２０秒ホットプレートで加熱により溶剤を除去し、膜厚４．０μｍの感光性樹脂組成物層を形成した。
次に、得られた感光性樹脂組成物層を、キヤノン（株）製、ＭＰＡ  ５５００ＣＦ（超高圧水銀ランプ）で積算照射量が３００ｍＪ／ｃｍ2（照度：２０ｍＷ／ｃｍ2、ｉ線）となるように露光し、その後、この基板をオーブンにて２３０℃で１時間加熱して硬化膜を得た。得られた硬化膜にカッターを用いて、縦横に１ｍｍの間隔で切り込みを入れ、スコッチテープを用いてテープ剥離試験を行った（ＪＩＳ  Ｋ５６００−５−６：１９９９）。テープ裏面に転写された硬化膜の面積から硬化膜と基板間の密着性を評価した。以下の評価１〜３が実用可能なレベルである。
１：テープ裏面に転写された面積が１％未満
２：テープ裏面に転写された面積が１％以上３％未満
３：テープ裏面に転写された面積が３％以上５％未満
４：テープ裏面に転写された面積が５％以上１０％未満
５：テープ裏面に転写された面積が１０％以上
【０１５４】
【表２】
2016157100.tif 000039
【表３】
2016157100.tif 000040
【表４】
2016157100.tif 000041
【表５】
2016157100.tif 000042
【０１５５】
上記表において、ＳｉＮｘのｘは１〜１．３である。
上記表に示すように、実施例は、基板の材質によらず、現像密着性および硬化膜密着性が優れていた。さらには、感度も良好であった。
一方、比較例は、現像密着性と硬化膜密着性とを両立することができなかった。
【０１５６】
＜表示装置の作製＞
（実施例１０１）
特開２０１２−２０３１２１号公報の図１に記載の表示装置を、画素分離膜（１９）及び平坦化膜（１７）を実施例１の感光性樹脂組成物を用いて作成したこと以外は、特開２０１２−２０３１２１号公報に従って作製した。表示特性に優れる表示装置であった。
（実施例１０２〜１０５）
実施例１０１において、実施例１の感光性樹脂組成物を、実施例１６、２３、３０または３４の感光性樹脂組成物に換えたこと以外は、実施例１０１と同様にして表示装置を作製した。表示特性に優れる表示装置であった。
【０１５７】
（実施例２０１）
特開２０１３−１９６９１９号公報の図１に記載の表示装置を、画素間絶縁膜（１６）及び層間絶縁膜（１４）を実施例１の感光性樹脂組成物を用いて作成したこと以外は、特開２０１３−１９６９１９号公報に従って作製した。表示特性に優れる表示装置であった。
（実施例２０２〜２０５）
実施例２０１において、実施例１の感光性樹脂組成物を、実施例１６、２３、３０または３４の感光性樹脂組成物に換えたこと以外は、実施例２０１と同様にして表示装置を作製した。表示特性に優れる表示装置であった。
【０１５８】
（実施例３０１）
特開２００７−３２８２１０号公報の図１に記載の液晶表示装置を、有機絶縁膜ＰＡＳを実施例１の感光性樹脂組成物を用いて作成したこと以外は、特開２００７−３２８２１０号公報に従って作製した。表示特性に優れる表示装置であった。
（実施例３０２〜３０５）
実施例３０１において、実施例１の感光性樹脂組成物を、実施例１６、２３、３０または３４の感光性樹脂組成物に換えたこと以外は、実施例３０１と同様にして表示装置を作製した。表示特性に優れる表示装置であった。