(57)【要約】      （修正有）【課題】接着層の厚さの製造上のばらつきに起因して、接着強度の不足が生じたり、圧電体の電極と振動板の導通が不安定になることがあった。【解決手段】圧電材料と圧電材料に形成された電極１ａとを有する圧電体１であって、電極１ａは、圧電材料の同一の面にそれぞれ略均一な厚さで形成された第１の電極領域１ｇ１ａと第２の電極領域１ｇ１ｂを含み、第１の電極領域１ｇ１ａの平均厚さは、第２の電極領域１ｇ１ｂの平均厚さと異なる。【選択図】図１
2016146426.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電材料と
前記圧電材料に形成された電極と
を有する圧電体であって
前記電極は、前記圧電材料の同一の面にそれぞれ略均一な厚さで形成された第１の電極領域と第２の電極領域を含み、前記第１の電極領域の平均厚さは、前記第２の電極領域の平均厚さと異なることを特徴とする圧電体。
【請求項２】
前記第１の電極領域の平均厚さと前記第２の電極領域の平均厚さとの差は、前記第１の電極領域と前記第２の電極領域の最小厚さより大きいことを特徴とする請求項１に記載の圧電体。
【請求項３】
前記第１の電極領域の面積は前記第２の電極領域の面積より大きいことを特徴とする請求項１または２に記載の圧電体。
【請求項４】
前記第１の電極領域と前記第２の電極領域は同一の材料で電極が形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の圧電体。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の圧電体と
前記圧電体に接着された振動板と
を有する振動子であって
前記振動板は前記第１の電極領域と前記第２の電極領域の一部または全部を含む領域に接着されていることを特徴とする振動子。
【請求項６】
前記圧電体の前記第１の電極領域と前記振動板の間に接着層が形成されていることを特徴とする請求項５に記載の振動子。
【請求項７】
請求項５または６に記載の振動子を利用した振動波モータ。
【請求項８】
前記振動板と前記第２の電極領域を経由して前記圧電体へ電圧を印加する給電手段を有することを特徴とする請求項７に記載の振動波モータ。
【請求項９】
前記振動波モータは、超音波モータであることを特徴とする請求項７または８に記載の振動波モータ。
【請求項１０】
圧電体の電極の形成方法であって、
第１の電極領域と第２の電極領域を含む領域に、第１の電極領域の平均厚さに相当する厚さの電極をスクリーン印刷によって印刷し、乾燥させる第１の工程と、
前記第２の電極領域に、第２の電極領域の平均厚さと前記第１の電極領域の平均厚さの差に相当する厚さの電極をスクリーン印刷によって印刷し、乾燥させる第２の工程と、
その後、焼成して電極を完全に硬化させることで電極を形成する工程と、
を含むことを特徴とする形成方法。
【請求項１１】
前記第１の電極領域の面積は前記第２の電極領域の面積より大きいことを特徴とする請求項１０に記載の形成方法。
【請求項１２】
前記第１の工程及び前記第２の工程では、同一のペースト材料を用い前記電極が形成されることを特徴とする請求項１０または１１に記載の形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は圧電体、圧電体を利用した振動子、振動波モータ及び圧電体の電極の形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、小型軽量、高速駆動、かつ、静音駆動を特徴とする振動波モータは撮像装置のレンズ鏡筒等に採用されていた。これらの振動波モータとしては、振動源として圧電体を利用したものが一般的であり、その一例が特許文献１に開示されている。
【０００３】
以下、図５を用いて特許文献１に開示されている圧電体、振動子、及び振動波モータの構成について説明する。
【０００４】
図５（ａ）は圧電体１０１の構造を説明するための図であって、（ａ）−１は一方の電極面から見た図、（ａ）−２は側面方向から見た図、（ａ）−３は他方の電極面から見た図である。圧電体１０１は、圧電材料１０１ｐと圧電材料１０１ｐに形成された電極１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｇ１、１０１ｇ２、１０１ｇ３で構成されている。圧電材料１０１ｐはセラミック材料を焼成して形成され、所定の圧電特性を示すように、電極１０１ａと１０１ｇ１、及び、１０１ｂと１０１ｇ１の間に所定の電圧を印加し、分極処理がされている。また、電極１０１ｇ１は側面に形成された１０１ｇ２を経由して電極１０１ｇ３へ電気的に導通している。
【０００５】
図５（ｂ）は振動子１０４の構成を説明するための図であって、（ｂ）−１は振動板１０２の平面図、（ｂ）−２は振動板１０２の側面図、（ｂ）−３は接着層１０３を示す側面図、（ｂ）−４は圧電体１０１の側面図、（ｂ）−５は振動子１０４の完成状態の図である。図５（ｂ）に示す通り、振動子１０４は、圧電体１０１と圧電体１０１に接着された振動板１０２で構成されている。振動子１０４は、振動板１０２と圧電体１０１の間に接着層１０３を介して圧着して接着層１０３を硬化させることによって製作される。
【０００６】
図５（ｃ）は振動波モータの完成状態を示す図である。図５（ｃ）に示すように、圧電体１０１に交流電圧を印加するにあたり、一方は電極１０１ａ、１０１ｂを経由して圧電体１０１へ印加し、他方は電極１０１ｇ３、１０１ｇ２、１０１ｇ１を経由して圧電体１０１に印加する給電手段１０５を設けて振動子１０４を駆動する。実際の駆動方法については特許文献１に記載されている。
【０００７】
なお、図５に示す厚さ方向の寸法ｔｐ、ｔ１、ｔ２、ｔ３、ｔｂは説明の便宜のため誇張して描かれている。実際は、圧電材料１０１ｐの厚さｔｐは数百μｍから数ｍｍ程度、電極１０１ｇ１の平均厚さｔ１、電極１０１ａ及び１０１ｂの平均厚さｔ２、電極１０１ｇ３の側面方向への突出部の平均厚さｔ３は数μｍから十数μｍ程度、接着層の平均厚さｔｂは数μｍから数十μｍ程度である。なお、接着強度が低下しない程度の範囲で接着層１０３には、厚さがほぼ０になっている部分が存在しても良い。
【０００８】
次に、図６を用いて特許文献１に開示されている圧電体の小型化を進めた場合の電極の構成について説明する。近年振動波モータが採用されるレンズ鏡筒等は小型化の要請が強く、そのために振動波モータ、振動子、及び、圧電体の小型化が重要になっている。図６は従来の圧電体１０１を小型化した場合の電極の図であり、（ａ）は従来の圧電体１０１の図、（ｂ）及び（ｃ）は圧電体１０１の外形を小型化した圧電体１０１´、圧電体２０１の図である。
【０００９】
図６（ａ）に示すように、従来の圧電体１０１は、電極１０１ａ及び電極１０１ｂと同じ面に電極１０１ｇ３が設けられている。しかし、分極処理する場合に電極１０１ｇ３は裏面の電極１０１ｇ１と同電位となるため、電極１０１ｇ３の範囲は分極がされない。分極されない電極１０１ｇ３の範囲は圧電効果が得られないので、この面積が大きいと振動特性を低下させる傾向がある。そこで従来の圧電素子１０１においては、電極を形成する上で可能な限り電極１０１ｇ３の面積を小さくすることによって、振動特性が低下する影響を無視できる程度にとどめていた。
【００１０】
しかしながら、図６（ｂ）に示す圧電素子１０１´のように、圧電体の小型化を進めると電極１０１ｇ３´の面積は電極１０１ｇ３より小さくできないので、電極１０１ａ´、１０１ｂ´の面積を小さくすることになる。この結果、分極されない電極１０１ｇ３´の面積の圧電体１０１´全体の面積に対する割合が相対的に圧電素子１０１より大きくなり、振動特性が低下する影響を無視できなくなくなる。
【００１１】
そこで、図６（ｃ）に示す圧電素子２０１のように、片面に電極２０１ａ、２０１ｂのみ形成して、小型化することが必要となる。
【００１２】
以下、図７を用いて、小型化を進めた場合の圧電体、振動子、及び、振動波モータの構成について説明する。
図７（ａ）は圧電体２０１の構造を説明するための図であって、（ａ）−１は一方の電極面から見た図、（ａ）−２は側面方向から見た図、（ａ）−３は他方の電極面から見た図である。圧電体２０１は、圧電材料２０１ｐと圧電材料２０１ｐに形成された電極２０１ａ、２０１ｂ、２０１ｇで構成されている。圧電体２０１は所定の圧電特性を示すように、電極２０１ａと２０１ｇ、及び、２０１ｂと２０１ｇの間に所定の電圧を印加し、分極処理がされている。
【００１３】
図７（ｂ）は振動子２０４の構成を説明するための図であって、（ｂ）−１は振動板２０２の平面図、（ｂ）−２は振動板２０２の側面図、（ｂ）−３は接着層２０３を示す側面図、（ｂ）−４は圧電体２０１の側面図、（ｂ）−５は振動子２０４の完成状態の図である。図７（ｂ）に示すように、振動子２０４は、圧電体２０１と圧電体２０１に接着された振動板２０２で構成されている。振動子２０４は、振動板２０２と圧電体２０１の間に接着層２０３を介して圧着して接着層２０３を硬化させることによって製作される。ここで、接着層２０３は、平均厚さが非常に小さく、かつ、厚さがほぼ０になっている部分が、接着強度が低下しない程度の範囲で存在しているので、電気抵抗が小さい。従って、圧電体２０１の電極２０１ｇと振動板２０２は電気的に導通している。
【００１４】
図７（ｃ）は振動波モータの完成状態を示す図である。図７（ｃ）に示すように、圧電体２０１に交流電圧を印加するにあたり、一方は電極２０１ａ、２０１ｂを経由して圧電体２０１へ印加し、他方は振動板２０２と電極２０１ｇを経由して圧電体２０１に印加する給電手段２０５を設けて振動子を駆動する。実際の駆動方法については特許文献１に記載の通りである。なお、図７の厚さ方向の寸法が誇張して描かれていることは図５と同様である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１５】
【特許文献１】特開２０１２−１６１０７号公報
【特許文献２】特許第５３３３５２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
従来の圧電体、振動子、及び振動波モータには、接着層の厚さの製造上のばらつきに起因する以下のような課題があった。
【００１７】
製造ばらつきによって、接着層の厚さが薄くなりすぎると、接着強度の不足が生じる場合がある。これは接着層が薄くなる部分の面積が、接着強度が低下する程度にまで大きくなり、そこからはがれが生じる可能性があるためである。逆に、製造ばらつきによって、接着層の厚さが厚くなりすぎると、圧電体の電極と振動板の導通が不安定になる場合がある。これは接着層の電気抵抗が大きくなり、圧電体の電極と振動板が絶縁される可能性があるためである。なお、接着層の厚さが製造上ばらつきやすい要因は、振動板と圧電体の平面精度と表面粗さ、接着材の粘性、振動板と圧電体を圧着する加圧力がばらついてしまうためである。
【００１８】
ここで、接着層の厚さの製造上のばらつきを軽減する技術として接着材に所定の粒径を有する粒体を混合することが特許文献２に開示されている。しかし、この方法では、粒体が接着層のどの部分に集まるかまで管理することができず、接着層にほぼ均一に粒体を混合するしかない。また、粒体の表面積の分だけ接着層の界面が増えることになり、かえって接着強度を低下させるおそれもある。
【００１９】
以上説明した通り、従来の圧電体、振動子、及び振動波モータには、接着層の厚さの製造上のばらつきに起因して、接着強度の不足が生じたり、圧電体の電極と振動板の導通が不安定になるという課題があった。
【００２０】
そこで、本発明の目的は、接着層の厚さの製造上のばらつきを軽減して、接着強度の不足が生じることを防止するとともに、圧電体の電極と振動板の導通が不安定になることを防止することである。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
上記の課題を解決するために、本発明の圧電体は、
圧電材料と
前記圧電材料に形成された電極と
を有する圧電体であって
前記電極は、前記圧電材料の同一の面にそれぞれ略均一な厚さで形成された第１の電極領域と第２の電極領域を含み、前記第１の電極領域の平均厚さは、前記第２の電極領域の平均厚さと異なることを特徴としている。
【００２２】
更に、第１の電極領域の平均厚さと第２の電極領域の平均厚さの差は、第１の電極領域と第２の電極領域の最小厚さより大きいことを特徴としている。
【００２３】
上記の課題を解決するために、本発明の圧電体の電極の形成方法は、
圧電体の電極の形成方法であって、
第１の電極領域と第２の電極領域を含む領域に、第１の電極領域の平均厚さに相当する厚さの電極をスクリーン印刷によって印刷し、乾燥させる第１の工程と、
前記第２の電極領域に、第２の電極領域の平均厚さと前記第１の電極領域の平均厚さの差に相当する厚さの電極をスクリーン印刷によって印刷し、乾燥させる第２の工程と、
その後、焼成して電極を完全に硬化させることで電極を形成する工程と、
を含むことを特徴としている。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、接着層の厚さの製造上のばらつきを軽減して、接着強度の不足が生じることを防止するとともに、圧電体の電極と振動板の導通が不安定になることを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の第１実施例の圧電体、及び、振動波モータの構成を説明するための図である。
【図２】本発明の第１実施例の電極と圧電体の断面図である。
【図３】本発明の第１実施例の圧電体の別形態を説明するための図である。
【図４】本発明の第２実施例の圧電体及び振動波モータの構成を説明するための図である。
【図５】従来の圧電体及び振動波モータを説明するための図である。
【図６】従来の圧電体を小型化した場合を説明するための図である。
【図７】従来の圧電体及び振動波モータを小型化した場合を説明するための図である。
【図８】（ａ）は、従来の電極と圧電体の断面図である。（ｂ）は、従来の電極の表面の部分拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下に、本発明の各実施例を、添付の図面に基づいて詳細に説明する。図面において同一部分は同一符号で示してある。また、以下説明する各実施例は、本発明を例示するものであり、限定するものでないことは言うまでもない。
【００２７】
（第１実施例）
以下、図１を用いて本発明の第１実施例の圧電体、振動子、及び振動波モータ（超音波モータ）の構成について説明する。
【００２８】
図１（ａ）は、圧電体１の構造を説明するための図であって、（ａ）−１は一方の電極面から見た図、（ａ）−２は側面方向から見た図、（ａ）−３は他方の電極面から見た図である。圧電体１は、圧電材料１ｐと圧電材料１ｐに形成された電極１ａ、１ｂ、１ｇ１、１ｇ２、１ｇ３で構成されている。圧電体１は所定の圧電特性を示すように、電極１ａと１ｇ１、及び１ｂと１ｇ１の間に所定の電圧を印加し、分極処理がされている。また、電極１ｇ１は側面に形成された１ｇ２を経由して電極１ｇ３へ電気的に導通している。
【００２９】
ここで、第１実施例の電極１ｇ１の特徴について説明する。電極１ｇ１は圧電体１の同一の面に略均一な厚さで形成された第１の電極領域１ｇ１ａと第２の電極領域１ｇ１ｂとを含んでいる。第１の電極領域１ｇ１ａの平均厚さは、第２の電極領域１ｇ１ｂの平均厚さと異なる。本実施例の圧電体１の場合、第１の電極領域１ｇ１ａの平均厚さ（ｔ１）の２倍程度が、第２の電極領域１ｇ１ｂの平均厚さ（ｔ１＋ｔ４）となっている。
【００３０】
次に、第１実施例の電極１ｇ１の形成方法について説明する。電極は導体（銀）が分散したペーストをスクリーン印刷の工程で形成することが一般的である。電極１ｇ１については、１回目のスクリーン印刷で第１の電極領域１ｇ１ａと第２の電極領域１ｇ１ｂを含む領域に、第１の電極領域１ｇ１ａの平均厚さ（ｔ１）に相当する厚さの電極を印刷し、乾燥させる。
【００３１】
その後、２回目のスクリーン印刷で第２の電極領域１ｇ１ｂに、第２の電極領域１ｇ１ｂの平均厚さと第１の電極領域１ｇ１ａの平均厚さの差に相当する厚さ（ｔ４）の電極を印刷し、乾燥させる。その後、焼成して電極を完全に硬化させて電極１ｇ１が形成される。
【００３２】
１回目のスクリーン印刷も２回目のスクリーン印刷も同一のペースト材料を用いて、第１の電極領域１ｇ１ａも第２の電極領域１ｇ１ｂも同一の材料で電極が形成されていることが望ましい。これは、異なるペースト材料で電極１ｇ１を形成すると、図１に示すような形状が形成できても、界面が生じて機械的な強度が低下するおそれがあるからである。だたし、電極１ｇ１の形成方法については、上記の方法に限定されるものではない。
【００３３】
図１（ｂ）は振動子４の構成を説明するための図であって、（ｂ）−１は振動板２の平面図、（ｂ）−２は振動板２の側面図、（ｂ）−３は接着層３を示す側面図、（ｂ）−４は圧電体１の側面図、（ｂ）−５は振動子４の完成状態の図である。図１（ｂ）に示すように、振動子４は、圧電体１と圧電体１に接着された振動板２で構成されており、振動板２は第１の電極領域１ｇ１ａと第２の電極領域１ｇ１ｂの一部または全部を含む領域に接着されている。
【００３４】
第１実施例の場合は、振動板２は第１の電極領域１ｇ１ａと第２の電極領域１ｇ１ｂの一部または全てを含む領域に接着されている。振動子４は、振動板２と圧電体１の間に接着層３を介して圧着して、接着層３を硬化させることによって製作され、圧電体１の第１の電極領域１ｇ１ａと振動板２の間に接着層３が形成されている。
【００３５】
ここで、本発明の特徴である第２の電極領域１ｇ１ｂの作用について説明する。従来の圧電体の場合は、振動板と圧電体の平面精度と表面粗さ、接着材の粘性、振動板と圧電体を圧着する加圧力がばらついてしまうため接着層の厚さがばらついてしまう場合があった。
【００３６】
しかしながら、本実施例の圧電体１の場合は、振動板２と圧電体１を圧着する加圧力を十分に大きくすれば、振動板２と第２の電極領域１ｇ１ｂとが当接する。そこで、あらかじめ接着強度を満足する適切な接着層３の厚さを求めておく。その上で、第２の電極領域１ｇ１ｂの平均厚さと第１の電極領域１ｇ１ａの平均厚さの差（ｔ４）をその値に設定して、電極１ｇ１を形成すれば、適切な接着層の厚さを安定して得ることができ、製造上のばらつきを軽減させることができる。
【００３７】
図１（ｃ）は振動波モータ１０の完成状態を示す図である。図１（ｃ）に示すように、圧電体１に交流電圧を印加するにあたり、一方は電極１ａ、１ｂを経由して圧電体１へ印加し、他方は電極１ｇ３、１ｇ２、１ｇ１を経由して圧電体１に印加する給電手段５を設けて振動子４を駆動する。実際の駆動方法については特許文献１に記載の通りである。
【００３８】
なお、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示す厚さ方向の寸法ｔｐ、ｔ１、ｔ２、ｔ３、ｔ４、ｔｂ、第２の電極領域１ｇ１ｂの幅寸法Ｗは、説明の便宜のため誇張して描かれていることは言うまでもない。実際は、圧電材料１ｐの厚さｔｐは数百μｍから数ｍｍ程度、電極１ｇ１ａの平均厚さｔ１、電極１ａ及び１ｂの平均厚さｔ２、電極１ｇ３の側面方向への突出部の平均厚さｔ３は数μｍから十数μｍ程度、接着層３の厚さｔｂは数μｍから数十μｍ程度である。また、第２の電極領域１ｇ１ｂの幅寸法Ｗは、接着強度が低下しない程度の寸法、例えば数百μｍ以下となっている。これらの寸法は一例であり、適宜変更可能であって上記の値に限定されるものではない。
【００３９】
以下、図２を用いて第２の電極領域１ｇ１ｂの平均厚さと第１の電極領域１ｇ１ａの平均厚さの差について説明する。なお、図２において、厚さ方向の寸法が誇張されていることは図１と同様である。
【００４０】
図２は第１実施例の電極１ｇ１と圧電体１を示す断面図である。第１の電極領域１ｇ１ａの平均厚さがｔ１であり、第２の電極領域１ｇ１ｂの平均厚さがｔ１＋ｔ４であり、差がｔ４である。前述の通り、接着層が形成される領域は図示Ｚ１の領域である。
【００４１】
ここで、図８（ａ）は、従来の電極１０１ｇ１と圧電体１０１の断面図である。従来と同様に、電極を１回だけスクリーン印刷した場合であっても、ある程度の接着層の厚さのむらは生じるので、比較的電極の厚さが薄い領域Ａと比較的電極の厚さが厚い領域Ｂは存在している。この圧電体を接着した場合の接着層が形成される領域は図８（ａ）に示すＺ２の領域であり、微小な凹凸が生じる。しかし、このようなむら程度の凹凸での厚さの差は非常に小さく、接着強度を十分にする程度の接着層の厚さにはならない。また、このような厚さのむらが生じると、比較的電極の厚さが薄い領域Ａと比較的電極の厚さが厚い領域Ｂを安定して形成することが困難である。
【００４２】
更に、図８（ｂ）は、従来の電極１０１ｇ１の表面の部分拡大図である。電極の表面を微視的にみれば、電極を従来と同様に１回だけスクリーン印刷した場合であっても、ある程度の電極の厚さのむらは生じるので、比較的電極の厚さが薄い部分Ｃと比較的電極の厚さが厚い部分Ｄは存在している。しかし、このような微視的な厚さの差は、非常に小さく、接着強度を十分にする程度の厚さにはならない。この結果、電極を従来と同様に１回だけスクリーン印刷した場合に生じる接着層の厚さの差では、本実施形態のような効果を得ることはできない。
【００４３】
従って、第１実施例のような効果を得るためには、スクリーン印刷を２回行い、積極的に電極に厚さの差を設けることが必要である。具体的には、第１の電極領域１ｇ１ａの平均厚さｔ１と第２の電極領域１ｇ１ｂの平均厚さｔ１＋ｔ４の差ｔ４は、第１の電極領域１ｇ１ａと第２の電極領域１ｇ１ｂの最小厚さｔｍｉｎより大きいことがより適切な設定である。
【００４４】
以上、説明した通り第１実施例の圧電体１は第２の電極領域１ｇ１ｂの作用によって、接着層の厚さの製造上のばらつきを軽減して、接着強度の不足が生じることを防止することができる。
【００４５】
また、第２の電極領域１ｇ１ｂは接着層の厚さを安定させる機能を有し、第１の電極領域１ｇ１ａは接着強度を確保する機能を有していることは前述の通りであるので、第１の電極領域１ｇ１ａの面積は第２の電極領域１ｇ１ｂの面積より大きいことがより適切な設定である。
【００４６】
なお、第２の電極領域１ｇ１ｂの形状は適宜変更可能であり、図３はその例である。図３（ａ）に示す圧電体１１のように十字形状の領域を第２の電極領域１１ｇ１ｂとし、その他の領域を第１の電極領域１１ｇ１ａとすることも可能である。また、図３（ｂ）に示す圧電体２１のように閉図形（四角形）の領域を第２の電極領域２１ｇ１ｂとし、その他の領域を第１の電極領域２１ｇ１ａとすることも可能である。
【００４７】
（第２実施例）
以下、図４を用いて本発明の第２実施例の圧電体、振動子、及び振動波モータの構成について説明する。
【００４８】
図４（ａ）は圧電体４１の構造を説明するための図であって、（ａ）−１は一方の電極面から見た図、（ａ）−２は側面方向から見た図、（ａ）−３は他方の電極面から見た図である。圧電体４１は、圧電材料４１ｐと圧電材料４１ｐに形成された電極４１ａ、４１ｂ、４１ｇで構成されている。圧電体４１は所定の圧電特性を示すように、電極４１ａと４１ｇ、及び、４１ｂと４１ｇの間に所定の電圧を印加し、分極処理がされている。
【００４９】
ここで、第２実施例の電極４１ｇの特徴について説明する。電極４１ｇは圧電体４１の同一の面に略均一な厚さで形成された第１の電極領域４１ｇａと第２の電極領域４１ｇｂとを含んでいる。第１の電極領域４１ｇａの平均厚さは、第２の電極領域４１ｇｂの平均厚さと異なる。本実施形態の圧電体の場合、第１の電極領域４１ｇａの平均厚さ（ｔ１）の２倍程度が、第２の電極領域４１ｇｂの平均厚さ（ｔ１＋ｔ４）となっている。
【００５０】
本実施形態の電極４１ｇの形成方法は、２回のスクリーン印刷によって行われることは第１実施例と同様である。また、第１の電極領域４１ｇａも第２の電極領域４１ｇｂも同一の材料で電極が形成されていることが望ましいことも第１実施例の場合と同様である。ただし、電極４１ｇの形成方法については、この方法に限定されるものではない。
【００５１】
図４（ｂ）は振動子４４の構成を説明するための図であって、（ｂ）−１は振動板４２の平面図、（ｂ）−２は振動板４２の側面図、（ｂ）−３は接着層４３を示す側面図、（ｂ）−４は圧電体４１の側面図、（ｂ）−５は振動子４４の完成状態の図である。図示の通り、振動子４４は、圧電体４１と圧電体４１に接着された振動板４２で構成されており、振動板４２は第１の電極領域４１ｇａと第２の電極領域４１ｇｂの一部または全部を含む領域に接着されている。
【００５２】
第１実施例と同様に、第２実施例においても、振動板４２は第１の電極領域４１ｇａと第２の電極領域４１ｇｂの一部または全てを含む領域に接着されている。振動子４４は、振動板４２と圧電体４１の間に接着層４３を介して圧着して、接着層４３を硬化させることによって製作され、圧電体４１の第１の電極領域４１ｇａと振動板４２の間に接着層４３が形成されている。
【００５３】
ここで、接着層４３は、第２の電極領域４１ｇｂにおいて、厚さがほぼ０になっている部分が、接着強度が低下しない程度の範囲で存在しているので、電気抵抗が小さい。従って、圧電体４１の電極４１ｇと振動板４２は電気的に導通している。
【００５４】
本発明の特徴である第２の電極領域４１ｇｂの作用については、第１実施例と同様であり、接着層４３の厚さの製造上のばらつきを軽減させることができる。
【００５５】
図４（ｃ）は振動波モータ４０の完成状態を示す図である。図４（ｃ）に示すように、圧電体４１に交流電圧を印加するにあたり、一方は電極４１ａ、４１ｂを経由して圧電体４１へ印加し、他方は振動板４２と電極４１ｇを経由して圧電体４１に印加する給電手段４５を設けて振動子を駆動する。実際の駆動方法については特許文献１に記載の通りである。
【００５６】
なお、図４の厚さ方向の寸法ｔｐ、ｔ１、ｔ２、ｔ４、ｔｂ、第２の電極領域４１ｇ１ｂの幅寸法Ｗは誇張して描かれていることは図１と同様である。また、第２実施例のような効果を得るためには、第１の電極領域４１ｇａの平均厚さ（ｔ１）と第２の電極領域４１ｇｂの平均厚さ（ｔ１＋ｔ４）の差（ｔ４）は、第１の電極領域４１ｇａと第２の電極領域４１ｇｂの最小厚さより大きいことがより適切な設定であることも第１実施例と同様である。
【００５７】
以上、説明した通り、第２実施例の圧電体４１は第２の電極領域４１ｇｂの作用によって、接着層４３の厚さの製造上のばらつきを軽減して、接着強度の不足が生じることを防止し、圧電体４１の電極と振動板の導通が不安定になることを防止することができる。
【００５８】
なお、第１の電極領域４１ｇａの面積は第２の電極領域４１ｇｂの面積より大きいことがより適切な設定であること、第２の電極領域４１ｇｂの形状は適宜変更可能であることも第１の実施例と同様である。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
本発明は、小型軽量かつ広い駆動速度レンジが要求される電子機器、特にレンズ駆動装置等に利用可能である。
【符号の説明】
【００６０】
１            圧電体
２            振動板
３            接着層
４            振動子
５            給電手段
１０          振動波モータ
４０          振動波モータ
４１          圧電体
４２          振動板
４３          接着層
４４          振動子
１ｇ１ａ      第１の電極領域
１ｇ１ｂ      第２の電極領域
４１ｇａ      第１の電極領域
４１ｇｂ      第２の電極領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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