(57)【要約】【課題】マスク開口部の張力による変形を可及的に防止してより高精度な成膜を行える蒸着装置の提供。【解決手段】蒸着装置の蒸発源１と基板４との間に配設されるマスクホルダー６に付設される蒸着マスク２は、基板４の相対移動方向に長いスリット状のマスク開口部３をこの相対移動方向と直交する横方向に多数並設し、このマスク開口部３をその間に前記相対移動方向に長い長手方向遮蔽部７を介して多数並設した開口部領域８を、前記横方向に長い短手方向遮蔽部９を介して複数並設して形成した膜厚分布調整領域10を設けた構成とし、開口部領域８間の短手方向遮蔽部９の少なくとも１つは、前記相対移動方向の幅が中央部が広く前記横方向に離れる外側程狭くなるように構成し、開口部領域８の各マスク開口部３は、前記相対移動方向におけるマスク開口部３の延べ開口長が中央部に比して前記横方向に離れる外側程長くなるように設定する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸発源から蒸発した成膜材料を、蒸着マスクに形成したマスク開口部を介して基板上に堆積させて、この蒸着マスクにより定められた成膜パターンの蒸着膜が基板上に形成されるように構成した蒸着装置であって、前記蒸発源とこの蒸発源に対向状態に配設する前記基板との間にマスクホルダーを配設し、このマスクホルダーに前記基板に対して離間状態に配設される前記蒸着マスクを付設し、前記基板を、前記蒸着マスクを付設した前記マスクホルダー及び前記蒸発源に対して、前記蒸着マスクとの離間状態を保持したまま相対移動自在に構成し、前記蒸着マスクのマスク開口部は、前記基板の相対移動方向（Ｙ方向）に長いスリット状の前記マスク開口部をこの相対移動方向と直交する横方向（Ｘ方向）に多数並設し、均一にして広範囲に蒸着膜が形成されるように構成した蒸着装置において、前記蒸着マスクは、前記マスク開口部をその間に前記相対移動方向に長い長手方向遮蔽部を介して前記横方向に多数並設した開口部領域を、前記横方向に長い短手方向遮蔽部を介して前記相対移動方向（Ｙ方向）に複数並設して形成した膜厚分布調整領域を設けた構成とし、この膜厚分布調整領域の前記開口部領域間の前記短手方向遮蔽部の少なくとも１つは、前記相対移動方向の幅が中央部が広く前記横方向に離れる外側程狭くなるように構成し、前記膜厚分布調整領域の前記開口部領域の前記各マスク開口部は、前記相対移動方向における前記マスク開口部の延べ開口長が中央部に比して前記横方向に離れる外側程長くなるように設定した構成としたことを特徴とする蒸着装置。
【請求項２】
前記蒸発源は、複数の蒸発口部が前記横方向に多数配設することを特徴とする請求項１記載の蒸着装置。
【請求項３】
前記複数の蒸発口部毎に夫々対向状態に制限用開口部を設けた飛散制限部を有する前記マスクホルダーの各制限用開口部を覆うように、前記蒸着マスクをマスクホルダーの前記基板側の端部に付設し、前記蒸着マスクは、前記膜厚分布調整領域を前記横方向に複数並設した構成、又は前記横方向に複数枚に分割しこの分割した蒸着マスクに夫々前記膜厚分布調整領域を設けた構成として、前記蒸着マスクの前記各膜厚分布調整領域が前記各制限用開口部を夫々覆うように配設されたことを特徴とする請求項２記載の蒸着装置。
【請求項４】
前記マスクホルダーの前記基板側の端部に、前記蒸着マスクを張力を付与して張設したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の蒸着装置。
【請求項５】
前記膜厚分布調整領域の前記相対移動方向に並設した前記開口部領域の間に設けた前記短手方向遮蔽部は、前記蒸着マスクの前記マスクホルダー付設時に付与される前記張力のうち、前記横方向の張力と平行となるように横方向に長い短手方向遮蔽部に形成したことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の蒸着装置。
【請求項６】
前記短手方向遮蔽部は、前記長手方向遮蔽部に連設し且つ前記マスク開口部を有さず前記横方向に長い形状に設定したことを特徴とする請求項５記載の蒸着装置。
【請求項７】
前記蒸着マスクは前記マスクホルダーに溶接により固定し張設されることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の蒸着装置。
【請求項８】
前記横方向に隣り合う前記マスク開口部の各々の前記相対移動方向の開口長の長さの比、及び、前記横方向に多数並設した全てのマスク開口部のうち前記相対移動方向の開口長の最も短い長さの、最も長い長さに対する比は、構造解析を元に設定されることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の蒸着装置。
【請求項９】
前記開口部領域において、前記横方向に隣り合う前記マスク開口部の前記相対移動方向の開口長の長さの比が０．９以上１．０以下であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の蒸着装置。
【請求項１０】
前記横方向に多数並設した全てのマスク開口部のうち、前記相対移動方向の開口長の、最も短い長さの最も長い長さに対する比が０．７以上１．０未満であることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の蒸着装置。
【請求項１１】
前記複数の開口部領域において、少なくとも１つの開口部領域が、前記相対移動方向に分断部によって複数に分割されるように設定したことを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載の蒸着装置。
【請求項１２】
蒸着装置の蒸発源とこの蒸発源に対向状態に配設する基板との間に配設されるマスクホルダーに付設される蒸着マスクであって、この蒸着マスクは、前記基板との相対移動方向（Ｙ方向）に長いスリット状のマスク開口部をこの相対移動方向と直交する横方向（Ｘ方向）に多数並設し、前記マスク開口部をその間に前記相対移動方向に長い長手方向遮蔽部を介して前記横方向に多数並設した開口部領域を、前記横方向に長い短手方向遮蔽部を介して前記相対移動方向（Ｙ方向）に複数並設して形成した膜厚分布調整領域を設けた構成とし、この膜厚分布調整領域の前記開口部領域間の前記短手方向遮蔽部の少なくとも１つは、前記相対移動方向の幅が中央部が広く前記横方向に離れる外側程狭くなるように構成し、前記膜厚分布調整領域の前記開口部領域の前記各マスク開口部は、前記相対移動方向における前記マスク開口部の延べ開口長が中央部に比して前記横方向に離れる外側程長くなるように設定した構成としたことを特徴とする蒸着マスク。
【請求項１３】
前記蒸着マスクは、前記蒸発源にして前記横方向に多数配設された前記蒸発口部毎に夫々対向状態に制限用開口部を設けた飛散制限部を有する前記マスクホルダーの各制限用開口部を覆うように設けられるものであり、この蒸着マスクはマスクホルダーの前記基板側の端部に付設され、前記蒸着マスクの前記各膜厚分布調整領域が前記各制限用開口部を夫々覆うように配設されるように構成したことを特徴とする請求項１２記載の蒸着マスク。
【請求項１４】
前記蒸着マスクは、前記マスクホルダーの前記基板側の端部に張力を付与して張設されることを特徴とする請求項１２，１３のいずれか１項に記載の蒸着マスク。
【請求項１５】
前記膜厚分布調整領域の前記相対移動方向に並設した前記開口部領域の間に設けた前記短手方向遮蔽部は、前記蒸着マスクの前記マスクホルダー付設時に付与される前記張力のうち、前記横方向と平行となるように横方向に長い短手方向遮蔽部に形成したことを特徴とする請求項１２〜１４のいずれか１項に記載の蒸着マスク。
【請求項１６】
前記短手方向遮蔽部は、前記長手方向遮蔽部に連設し且つ前記マスク開口部を有さず前記横方向に長い形状に設定したことを特徴とする請求項１５記載の蒸着マスク。
【請求項１７】
前記蒸着マスクは前記マスクホルダーに溶接により固定し張設されることを特徴とする請求項１２〜１６のいずれか１項に記載の蒸着マスク。
【請求項１８】
前記横方向に隣り合う前記マスク開口部の各々の前記相対移動方向の開口長の長さの比、及び、前記横方向に多数並設した全てのマスク開口部のうち前記相対移動方向の開口長の最も短い長さの、最も長い長さに対する比は、構造解析を元に設定されることを特徴とする請求項１２〜１７のいずれか１項に記載の蒸着マスク。
【請求項１９】
前記開口部領域において、前記横方向に隣り合う前記マスク開口部の前記相対移動方向の開口長の長さの比が０．９以上１．０以下であることを特徴とする請求項１２〜１８のいずれか１項に記載の蒸着マスク。
【請求項２０】
前記横方向に多数並設した全てのマスク開口部のうち、前記相対移動方向の開口長の、最も短い長さの最も長い長さに対する比が０．７以上１．０未満であることを特徴とする請求項１２〜１９のいずれか１項に記載の蒸着マスク。
【請求項２１】
前記複数の開口部領域において、少なくとも１つの開口部領域が、前記相対移動方向に分断部によって複数に分割されるように設定したことを特徴とする請求項１２〜２０のいずれか１項に記載の蒸着マスク。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着装置並びに蒸着マスクに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
大型の基板に均一に蒸着を行う手段として、図１に図示したように基板ＡとスリットＤが形成されたマスクＢとを密着させずに離間状態として、蒸発源Ｃ及びマスクＢを基板Ａに対してスリットＤの長手方向に相対移動させながら蒸着することで、基板Ａ上に例えば図２に図示したような所定の成膜パターンの蒸着膜Ｅを形成する所謂スモールマスクスキャニング方式がある（特許文献１等参照）。図１中符号ＦはマスクＢが溶接されるマスクホルダーである。
【０００３】
ところで、このようなスモールマスクスキャニング方式においては、例えば図３に図示したように、スリットＤの長さを中央は短く外側程長くすることで、蒸着膜の膜厚分布を均一にしている。
【０００４】
しかし、図３に図示したようなスリットＤが形成されたマスクＢを用いる場合、マスクＢを作製する際にマスク箔に付加される張力でスリットＤ（マスク開口部）が変形してしまう（図４（ａ）→（ｂ））。そして、マスク開口部が変形した状態でマスクＢがマスクホルダーＦに溶接されるため、マスク開口部が変形した形状を保ったまま蒸着が行われることになり、基板上に、設計形状とは異なる成膜パターンが設計位置からずれた箇所に成膜されてしまう問題点がある。
【０００５】
また、張力変形を抑えるために、張力の大きさを制限した場合、蒸着時に蒸発源から受ける放射熱によって、マスクの温度が高くなり、熱ひずみによってマスク開口部の形状が変形してしまう問題が発生する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−１６７３０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上述の問題点を解決したもので、マスクの開口部領域を相対移動方向に多数分割して配置することで、膜厚分布を均一化する役割を維持したまま隣接する開口部の長さの変化を緩やかにすることができ、マスク開口部の張力による変形を可及的に防止してより高精度な成膜を行える実用性に優れた蒸着装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。
【０００９】
蒸発源１から蒸発した成膜材料を、蒸着マスク２に形成したマスク開口部３を介して基板４上に堆積させて、この蒸着マスク２により定められた成膜パターンの蒸着膜が基板４上に形成されるように構成した蒸着装置であって、前記蒸発源１とこの蒸発源１に対向状態に配設する前記基板４との間にマスクホルダー６を配設し、このマスクホルダー６に前記基板４に対して離間状態に配設される前記蒸着マスク２を付設し、前記基板４を、前記蒸着マスク２を付設した前記マスクホルダー６及び前記蒸発源１に対して、前記蒸着マスク２との離間状態を保持したまま相対移動自在に構成し、前記蒸着マスク２のマスク開口部３は、前記基板４の相対移動方向（Ｙ方向）に長いスリット状の前記マスク開口部３をこの相対移動方向と直交する横方向（Ｘ方向）に多数並設し、均一にして広範囲に蒸着膜が形成されるように構成した蒸着装置において、前記蒸着マスク２は、前記マスク開口部３をその間に前記相対移動方向に長い長手方向遮蔽部７を介して前記横方向に多数並設した開口部領域８を、前記横方向に長い短手方向遮蔽部９を介して前記相対移動方向（Ｙ方向）に複数並設して形成した膜厚分布調整領域10を設けた構成とし、この膜厚分布調整領域10の前記開口部領域８間の前記短手方向遮蔽部９の少なくとも１つは、前記相対移動方向の幅が中央部が広く前記横方向に離れる外側程狭くなるように構成し、前記膜厚分布調整領域10の前記開口部領域８の前記各マスク開口部３は、前記相対移動方向における前記マスク開口部３の延べ開口長が中央部に比して前記横方向に離れる外側程長くなるように設定した構成としたことを特徴とする蒸着装置に係るものである。
【００１０】
また、前記蒸発源１は、複数の蒸発口部12が前記横方向に多数配設することを特徴とする請求項１記載の蒸着装置に係るものである。
【００１１】
また、前記複数の蒸発口部12毎に夫々対向状態に制限用開口部５を設けた飛散制限部11を有する前記マスクホルダー６の各制限用開口部５を覆うように、前記蒸着マスク２をマスクホルダー６の前記基板４側の端部に付設し、前記蒸着マスク２は、前記膜厚分布調整領域10を前記横方向に複数並設した構成、又は前記横方向に複数枚に分割しこの分割した蒸着マスク２に夫々前記膜厚分布調整領域10を設けた構成として、前記蒸着マスク２の前記各膜厚分布調整領域10が前記各制限用開口部５を夫々覆うように配設されたことを特徴とする請求項２記載の蒸着装置に係るものである。
【００１２】
また、前記マスクホルダー６の前記基板４側の端部に、前記蒸着マスク２を張力を付与して張設したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の蒸着装置に係るものである。
【００１３】
また、前記膜厚分布調整領域10の前記相対移動方向に並設した前記開口部領域８の間に設けた前記短手方向遮蔽部９は、前記蒸着マスク２の前記マスクホルダー６付設時に付与される前記張力のうち、前記横方向の張力と平行となるように横方向に長い短手方向遮蔽部９に形成したことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の蒸着装置に係るものである。
【００１４】
また、前記短手方向遮蔽部９は、前記長手方向遮蔽部７に連設し且つ前記マスク開口部３を有さず前記横方向に長い形状に設定したことを特徴とする請求項５記載の蒸着装置に係るものである。
【００１５】
また、前記蒸着マスク２は前記マスクホルダー６に溶接により固定し張設されることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の蒸着装置に係るものである。
【００１６】
また、前記横方向に隣り合う前記マスク開口部３の各々の前記相対移動方向の開口長の長さの比、及び、前記横方向に多数並設した全てのマスク開口部３のうち前記相対移動方向の開口長の最も短い長さの、最も長い長さに対する比は、構造解析を元に設定されることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の蒸着装置に係るものである。
【００１７】
また、前記開口部領域８において、前記横方向に隣り合う前記マスク開口部３の前記相対移動方向の開口長の長さの比が０．９以上１．０以下であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の蒸着装置に係るものである。
【００１８】
また、前記横方向に多数並設した全てのマスク開口部３のうち、前記相対移動方向の開口長の、最も短い長さの最も長い長さに対する比が０．７以上１．０未満であることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の蒸着装置に係るものである。
【００１９】
また、前記複数の開口部領域８において、少なくとも１つの開口部領域８が、前記相対移動方向に分断部14によって複数に分割されるように設定したことを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載の蒸着装置に係るものである。
【００２０】
また、蒸着装置の蒸発源１とこの蒸発源１に対向状態に配設する基板４との間に配設されるマスクホルダー６に付設される蒸着マスク２であって、この蒸着マスク２は、前記基板４との相対移動方向（Ｙ方向）に長いスリット状のマスク開口部３をこの相対移動方向と直交する横方向（Ｘ方向）に多数並設し、前記マスク開口部３をその間に前記相対移動方向に長い長手方向遮蔽部７を介して前記横方向に多数並設した開口部領域８を、前記横方向に長い短手方向遮蔽部９を介して前記相対移動方向（Ｙ方向）に複数並設して形成した膜厚分布調整領域10を設けた構成とし、この膜厚分布調整領域10の前記開口部領域８間の前記短手方向遮蔽部９の少なくとも１つは、前記相対移動方向の幅が中央部が広く前記横方向に離れる外側程狭くなるように構成し、前記膜厚分布調整領域10の前記開口部領域８の前記各マスク開口部３は、前記相対移動方向における前記マスク開口部３の延べ開口長が中央部に比して前記横方向に離れる外側程長くなるように設定した構成としたことを特徴とする蒸着マスクに係るものである。
【００２１】
また、前記蒸着マスク２は、前記蒸発源１にして前記横方向に多数配設された前記蒸発口部12毎に夫々対向状態に制限用開口部５を設けた飛散制限部11を有する前記マスクホルダー６の各制限用開口部５を覆うように設けられるものであり、この蒸着マスク２はマスクホルダー６の前記基板４側の端部に付設され、前記蒸着マスク２の前記各膜厚分布調整領域10が前記各制限用開口部５を夫々覆うように配設されるように構成したことを特徴とする請求項１２記載の蒸着マスクに係るものである。
【００２２】
また、前記蒸着マスク２は、前記マスクホルダー６の前記基板４側の端部に張力を付与して張設されることを特徴とする請求項１２，１３のいずれか１項に記載の蒸着マスクに係るものである。
【００２３】
また、前記膜厚分布調整領域10の前記相対移動方向に並設した前記開口部領域８の間に設けた前記短手方向遮蔽部９は、前記蒸着マスク２の前記マスクホルダー６付設時に付与される前記張力のうち、前記横方向と平行となるように横方向に長い短手方向遮蔽部９に形成したことを特徴とする請求項１２〜１４のいずれか１項に記載の蒸着マスクに係るものである。
【００２４】
また、前記短手方向遮蔽部９は、前記長手方向遮蔽部７に連設し且つ前記マスク開口部３を有さず前記横方向に長い形状に設定したことを特徴とする請求項１５記載の蒸着マスクに係るものである。
【００２５】
また、前記蒸着マスク２は前記マスクホルダー６に溶接により固定し張設されることを特徴とする請求項１２〜１６のいずれか１項に記載の蒸着マスクに係るものである。
【００２６】
また、前記横方向に隣り合う前記マスク開口部３の各々の前記相対移動方向の開口長の長さの比、及び、前記横方向に多数並設した全てのマスク開口部３のうち前記相対移動方向の開口長の最も短い長さの、最も長い長さに対する比は、構造解析を元に設定されることを特徴とする請求項１２〜１７のいずれか１項に記載の蒸着マスクに係るものである。
【００２７】
また、前記開口部領域８において、前記横方向に隣り合う前記マスク開口部３の前記相対移動方向の開口長の長さの比が０．９以上１．０以下であることを特徴とする請求項１２〜１８のいずれか１項に記載の蒸着マスクに係るものである。
【００２８】
また、前記横方向に多数並設した全てのマスク開口部３のうち、前記相対移動方向の開口長の、最も短い長さの最も長い長さに対する比が０．７以上１．０未満であることを特徴とする請求項１２〜１９のいずれか１項に記載の蒸着マスクに係るものである。
【００２９】
また、前記複数の開口部領域８において、少なくとも１つの開口部領域８が、前記相対移動方向に分断部14によって複数に分割されるように設定したことを特徴とする請求項１２〜２０のいずれか１項に記載の蒸着マスクに係るものである。
【発明の効果】
【００３０】
本発明は上述のように構成したから、マスク開口部の張力による変形を可及的に防止してより高精度な成膜を行える実用性に優れた蒸着装置となる。
【００３１】
また、上記構成により、開口の変形を抑制しつつ大きな張力をマスクに付加することができるため、熱ひずみによる変形の小さいマスクを作製することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】スモールマスクスキャニング方式の概略説明図（（ａ）はマスクの平面図、（ｂ）は概略側断面図）である。
【図２】蒸着膜が形成された基板の概略説明図（（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図）である。
【図３】マスクの一例を示す概略説明平面図である。
【図４】マスク開口部の張力による変形を示す概略説明図である。
【図５】本実施例の概略説明図（（ａ）は蒸着マスクの平面図、（ｂ）は概略側断面図）である。
【図６】膜厚分布調整領域の概略説明図である。
【図７】膜厚分布調整領域の概略説明図である。
【図８】膜厚分布調整領域の概略説明図である。
【図９】膜厚分布調整領域の概略説明図である。
【図１０】開口部領域の概略説明図である。
【図１１】別例１の概略説明図（（ａ）は蒸着マスクの平面図、（ｂ）は概略側断面図）である。
【図１２】別例２の概略説明図（（ａ）は蒸着マスクの平面図、（ｂ）は概略側断面図）である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
好適と考える本発明の実施形態を、図面に基づいて本発明の作用を示して簡単に説明する。
【００３４】
基板４を、蒸着マスク２、マスクホルダー６及び蒸発源１に対してこの蒸着マスク２との離間状態を保持したまま相対移動させることで、蒸着マスク２による成膜パターンの蒸着膜をこの相対移動方向に連続形成する。
【００３５】
この際、開口部領域８を短手方向遮蔽部９を介して前記相対移動方向に多数並設し、この開口部領域８間の短手方向遮蔽部９の少なくとも１つは前記相対移動方向の幅が中央部が広く前記横方向に離れる外側程狭くなる膜厚分布調整領域10を設けたことで、各開口部領域８において隣接する各マスク開口部３同士の開口長の変化を可及的に小さくしつつ、前記相対移動方向に並設される全ての開口部領域８の前記相対移動方向における前記マスク開口部３の延べ開口長を中央部に比して外側を十分長くすることが可能となる。
【００３６】
従って、相対移動方向の延べマスク開口部３の変化量を膜厚分布を均一化する役割を維持できる量に設定しつつ、開口部領域８において隣接する各マスク開口部の長さが大きく異なることに起因する張力によるマスク開口部３の変形を可及的に抑制することが可能となる。
【００３７】
よって、本発明によれば、マスク開口部３が設計形状及び設計位置を維持した状態で蒸着を行うことが可能となり、より高精度な成膜が可能となる。
【００３８】
また、例えば、前記膜厚分布調整領域10の前記相対移動方向に並設した前記開口部領域８の間に設けた前記短手方向遮蔽部９は、前記蒸着マスク２の前記マスクホルダー６付設時に付与される前記横方向の張力と平行となるように横方向に長い短手方向遮蔽部９に形成することで、張力による変形を一層抑制できるものとなる。
【００３９】
また、例えば、前記複数の開口部領域８において、少なくとも１つの開口部領域８が、前記相対移動方向に分断部14によって複数に分割されるように設定することで、張力による変形を一層抑制できるものとなる。
【実施例】
【００４０】
本発明の具体的な実施例について図５〜１２に基づいて説明する。
【００４１】
本実施例は、減圧雰囲気とする蒸着室内に、成膜材料を収めた蒸発源１と、この蒸発源１の蒸発口部12から蒸発した前記成膜材料の蒸発粒子が通過するマスク開口部３を設けた蒸着マスク２とを配設し、蒸発源１から蒸発した成膜材料を、蒸着マスク２に形成したマスク開口部３を介して基板４上に堆積させて、この蒸着マスク２により定められた成膜パターンの蒸着膜が基板４上に形成されるように構成した蒸着装置に本発明を適用した例である。
【００４２】
具体的には、本実施例は、図５に図示したように、前記蒸発口部12を複数並設し、蒸発源１とこの蒸発源１と対向状態に配設する前記基板４との間に、隣接する若しくは離れた位置の蒸発口部12からの蒸発粒子を通過させない制限用開口部５を設けた飛散制限部11を構成する前記マスクホルダー６を配設し、このマスクホルダー６に前記基板４に対して離間状態に配設される前記蒸着マスク２を付設し、前記基板４を、前記蒸着マスク２を付設した前記マスクホルダー６及び前記蒸発源１に対して、前記蒸着マスク２との離間状態を保持したまま相対移動自在に構成している。
【００４３】
また、本実施例においては、前記マスクホルダー６の前記基板４側の端部に、前記蒸着マスク２に張力を付与して張設している。具体的には、前記蒸着マスク２は前記マスクホルダー６に溶接により固定し張設される構成としている。
【００４４】
本実施例の前記蒸着マスク２のマスク開口部３は、前記基板４の相対移動方向（Ｙ方向）に長いスリット状の前記マスク開口部３をこの相対移動方向と直交する横方向（Ｘ方向）に多数並設し、均一にして広範囲に蒸着膜が形成されるように構成している。
【００４５】
また、本実施例の前記蒸着マスク２は、前記マスク開口部３をその間に前記Ｙ方向に長い長手方向遮蔽部７を介して前記Ｘ方向に多数並設した開口部領域８を、前記Ｘ方向に長い短手方向遮蔽部９を介して前記Ｙ方向に複数並設して形成した膜厚分布調整領域10を設けた構成とし、この膜厚分布調整領域10の前記開口部領域８間の前記短手方向遮蔽部９の少なくとも１つ（本実施例では全部）は、前記Ｙ方向の幅が中央部が広く前記Ｘ方向に離れる外側程狭くなるように構成し、前記膜厚分布調整領域10の前記開口部領域８の前記各マスク開口部３は、前記Ｙ方向における前記マスク開口部３の延べ開口長が中央部に比して前記Ｘ方向に離れる外側程長くなるように設定している。
【００４６】
従って、前記Ｙ方向において、前記蒸着マスク２と前記基板４は相対移動して蒸着を行うため、前記Ｙ方向に均一な蒸着膜が形成される。一方で、前記蒸着マスク２の前記Ｙ方向に複数並設した前記各開口部領域８の前記Ｘ方向に多数並設した前記Ｙ方向における前記マスク開口部３の延べ開口長が、中央部が短く前記Ｘ方向に離れる外側程長くなるように設定しているため、前記Ｘ方向に均一な蒸着膜が形成される。
【００４７】
膜厚分布調整領域10は、例えば図６〜９に図示した形状の開口部領域８及び短手方向遮蔽部９で構成することができる。開口部領域８としては、例えば図１０（ａ）〜（ｃ）に図示したような中央程短いスリット状のマスク開口部３及び長手方向遮蔽部７から成る構成を採用できる。なお、図１０（ｂ）及び（ｃ）のように、少なくとも一端が長手方向遮蔽部７に連設する分断部14によりいくつかのマスク開口部３を前記Ｘ方向に分断することで、張力による変形を更に抑制できる。
【００４８】
図６は、中央の開口部領域８を矩形形状とし、その他を前記Ｙ方向に向かい合う２辺が曲線であり中央部程くびれる形状とした例である。前記曲線の曲率は外側程大きくする。この場合、各開口部領域８の総開口面積を比較すると、中央程開口面積が多くなるため、中央の開口部領域８の直下に蒸発口部12を配設した場合、材料収率が良好となる。
【００４９】
図７は、全ての開口部領域８の前記Ｙ方向に向かい合う２辺の曲率が同一の形状とした例である。この場合、全ての開口部領域８の形状が同一となるため、マスク開口部３の変形量のムラが少なくなる。
【００５０】
図８及び図９は、図７及び図６の各開口部領域８が、前記Ｙ方向に複数（２つ）に分割されてその短手方向遮蔽部９もＸ方向に平行（矩形）となるように設定した例である。図８及び図９においては、図７及び図６に比し、一層マスク開口部３の張力による変形が小さくなる。
【００５１】
本実施例においては図９の構成を採用している。
【００５２】
また、前記膜厚分布調整領域10の前記Ｙ方向に並設した前記開口部領域８の間に設けた前記短手方向遮蔽部９は、前記蒸着マスク２の前記マスクホルダー６付設時に付与される前記Ｘ方向の張力と平行となるようにＸ方向に長く形成している。
【００５３】
具体的には、前記開口部領域８の前記長手方向遮蔽部７を介して前記Ｘ方向に多数並設する前記各マスク開口部３は、少なくとも前記Ｙ方向に長いスリット状開口部から成る構成とし、この開口部領域８間に設けた前記短手方向遮蔽部９は、前記長手方向遮蔽部７間であってこの長手方向遮蔽部７に連設し且つ前記マスク開口部３を有さず前記Ｘ方向に長い形状に設定している。
【００５４】
また、本実施例においては、図５（ｂ）に図示したように、前記蒸発源１の蒸発口部12を前記Ｘ方向に複数並設し、この一若しくは複数の蒸発口部12毎に夫々対向状態に前記制限用開口部５を設けた前記飛散制限部11を有する前記マスクホルダー６の各制限用開口部５を覆うように、前記蒸着マスク２をマスクホルダー６の前記基板４側の端部に付設している。具体的には、前記蒸着マスク２は、前記膜厚分布調整領域10を前記Ｘ方向に複数並設した構成として、各膜厚分布調整領域10の直下に各蒸発口部12が配設されるように前記蒸着マスク２の前記各膜厚分布調整領域10が前記各制限用開口部５を夫々覆うように配設されて、前記各蒸発口部12により基板４に成膜される蒸着膜の膜厚分布を前記Ｘ方向に均一となるように構成している。
【００５５】
なお、１つの蒸着マスク２に複数の膜厚分布調整領域10を並設するのではなく、前記Ｘ方向に複数枚に分割しこの分割した蒸着マスク２に夫々前記膜厚分布調整領域10を設けた構成としてもよい。
【００５６】
また、本実施例においては、各膜厚分布調整領域10における開口部領域８の配置（マスク開口部３の形状及び配置）は同一としているが、別々の配置としても良い。
【００５７】
例えば図１１に図示した別例１のように、中央の２つの膜厚分布調整領域10の前記Ｙ方向側両端部の開口部領域８を、両端の２つの膜厚分布調整領域10の前記Ｙ方向側両端部の開口部領域８に比し、総開口面積が小さい構成とすれば、蒸発源１中央部の蒸発口部12からの蒸気の噴出量が両端部の蒸発口部12より多い場合にも、膜厚分布を均一化することができる。
【００５８】
また、本実施例においては、各膜厚分布調整領域10の各開口部領域８の形状は、前記Ｘ方向の中心線に対して対称な構成としているが、非対称な構成としても良い。
【００５９】
例えば図１２に図示した別例２のように、前記Ｘ方向の中心線に対して左右いずれかの領域の開口面積が大きくなるように各マスク開口部３の長さ等を設定することで、各蒸発口部12の位置が、各膜厚分布調整領域10の前記Ｘ方向の中心線からずれている場合にも、膜厚分布を均一化することができる。
【００６０】
また、前記Ｘ方向に隣り合う前記マスク開口部３の前記Ｙ方向の開口長の長さの比、及び、前記Ｘ方向に多数並設した全てのマスク開口部３のうち前記Ｙ方向の開口長の最も短い長さの、最も長い長さに対する比は、構造解析を元に設定されている。構造解析は、マスクホルダー形状、マスク開口部形状、配置、使用材料の機械的材料特性値、付加する張力の大きさ、向き、分布を入力値として、例えば有限要素法を用いて実施し、マスク全体に付加する張力に対するマスク開口部の変形量を出力として算出する。
【００６１】
具体的には、前記Ｙ方向に並設した全ての開口部領域８において、前記Ｘ方向に隣り合う前記マスク開口部３の前記Ｙ方向の開口長の長さの比が０．９以上１．０以下に設定されている。また、前記Ｘ方向に多数並設した全てのマスク開口部３のうち、前記Ｙ方向の開口長の、最も短い長さの最も長い長さに対する比が０．７以上１．０未満に設定されている。上記数値範囲内に設定することで、マスク開口部３の張力による変形を良好に抑制できることを確認している。
【００６２】
なお、本発明は、本実施例に限られるものではなく、各構成要件の具体的構成は適宜設計し得るものである。
【符号の説明】
【００６３】
１  蒸発源
２  蒸着マスク
３  マスク開口部
４  基板
５  制限用開口部
６  マスクホルダー
７  長手方向遮蔽部
８  開口部領域
９  短手方向遮蔽部
10  膜厚分布調整領域
11  飛散制限部
12  蒸発口部
14  分断部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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