(57)【要約】【課題】接着性および水蒸気バリア性に優れたフィルム状封止材、封止シートおよび電子デバイスを提供する。【解決手段】被着体に対して接着性を示す第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂと、第１の接着性樹脂層１１Ａと第２の接着性樹脂層１１Ｂとの間に位置する水蒸気バリア性樹脂層１２とを備えたフィルム状封止材１であって、第１の接着性樹脂層１１Ａまたは第２の接着性樹脂層１１Ｂのいずれか一方の面をガラス板に貼り合わせた際の当該ガラス板に対する接着力は、３Ｎ／２５ｍｍ以上であり、温度４０℃、相対湿度９０％ＲＨの環境下における、厚み５０μｍ換算（フィルム状封止材１の厚みを５０μｍとしたとき）の水蒸気透過率Ｗは、１０ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着体に対して接着性を示す第１および第２の接着性樹脂層と、
前記第１の接着性樹脂層と前記第２の接着性樹脂層との間に位置する水蒸気バリア性樹脂層とを備えたフィルム状封止材であって、
前記第１の接着性樹脂層または前記第２の接着性樹脂層のいずれか一方の面をガラス板に貼り合わせた際の前記ガラス板に対する接着力が、３Ｎ／２５ｍｍ以上であり、
温度４０℃、相対湿度９０％ＲＨの環境下における、厚み５０μｍ換算の水蒸気透過率Ｗが、１０ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下である
ことを特徴とするフィルム状封止材。
【請求項２】
温度４０℃、相対湿度９０％ＲＨの環境下における、厚み５０μｍ換算の前記第１の接着性樹脂層の水蒸気透過率をＷ１（ｇ／ｍ２・ｄａｙ）、厚み５０μｍ換算の前記第２の接着性樹脂層の水蒸気透過率をＷ２（ｇ／ｍ２・ｄａｙ）、厚み５０μｍ換算の前記水蒸気バリア性樹脂層の水蒸気透過率をＷ３（ｇ／ｍ２・ｄａｙ）としたときに、Ｗ１、Ｗ２およびＷ３が次の関係を満たす
Ｗ１＞Ｗ３、Ｗ２＞Ｗ３、かつＷ３≦１０
ことを特徴とする請求項１に記載のフィルム状封止材。
【請求項３】
前記第１の接着性樹脂層の厚さをＴ１（μｍ）、前記第２の接着性樹脂層の厚さをＴ２（μｍ）、前記水蒸気バリア性樹脂層の厚さをＴ３（μｍ）としたときに、Ｔ１、Ｔ２およびＴ３が次の関係を満たす
０．１＜{Ｔ３／（Ｔ１＋Ｔ２＋Ｔ３）}＜０．９９
１≦Ｔ１≦１００
１≦Ｔ２≦１００
５≦Ｔ３≦３００
ことを特徴とする請求項１または２に記載のフィルム状封止材。
【請求項４】
前記第１および第２の接着性樹脂層は、前記水蒸気バリア性樹脂層に直接積層されており、それらの３層構造からなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のフィルム状封止材。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載のフィルム状封止材と、
前記フィルム状封止材の片面に積層されたガスバリアフィルムと
を備えたことを特徴とする封止シート。
【請求項６】
請求項１〜４のいずれか一項に記載のフィルム状封止材によって封止されたことを特徴とする電子デバイス。
【請求項７】
請求項５に記載の封止シートによって封止されたことを特徴とする電子デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子素子等を封止することのできるフィルム状封止材および封止シート、ならびにそれらによって電子素子が封止された電子デバイスに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子デバイス、例えば、液晶素子、発光ダイオード（ＬＥＤ素子）等を有する表示装置用モジュール、太陽電池セルを有する太陽電池モジュールなどにおいては、デバイス内部の電子素子に水分や酸素が浸入して悪影響が及ぼされることを防止するために、ガラス板や樹脂フィルムを使用して電子素子をカバーしている。
【０００３】
そして、ガラス板や樹脂フィルムと、電子素子とを複合する際には、電子素子を封止するフィルム状の封止材が用いられる。封止材としては、例えば特許文献１，２等に示されるように、エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）や、ポリビニルブチラール（ＰＶＢ）が主に使用される。
【０００４】
上記の樹脂以外にも、例えば、特許文献３には、エチレン−メタクリル酸共重合体（ＥＭＡＡ）が使用できることが開示されており、特許文献４には、アイオノマー樹脂が使用できることが開示されており、特許文献５には、脂環式構造含有重合体が使用できることが開示されている。また、特許文献６には、低密度ポリエチレン樹脂または直鎖状低密度ポリエチレン樹脂からなる中間層と、その両面に接着剤層を有する三層構造の太陽電池用充填材シートが開示されている。特許文献６に記載の三層構造の太陽電池用充填材シートは、従来の単層のシートに比べ、熱収縮を防ぎ、かつ接着性に優れるものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平６−１７７４１２号公報
【特許文献２】特開平１０−２３３５２１号公報
【特許文献３】特開２０００−２５２４９１号公報
【特許文献４】特開２００６−６６７６２号公報
【特許文献５】特開２００３−５９６４５号公報
【特許文献６】特開２０１２−２１６８０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、近年注目されている有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）素子を有する表示装置用モジュールや、電子ペーパー、有機薄膜太陽電池等の電子デバイスにおいては、より高い水蒸気バリア性および接着性を有する封止材が求められており、従来の封止材では、依然として水蒸気バリア性は不十分である。また、従来の封止材は、ガラス板や樹脂フィルムに対する接着性が不十分であるため、ガラス板や樹脂フィルムと封止材との間に水蒸気が浸入したり、ガラス板や樹脂フィルムが剥離したりすることにより、電子素子に悪影響が及んでしまうことが懸念される。
【０００７】
本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであり、水蒸気バリア性および接着性に優れたフィルム状封止材、封止シートおよび電子デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、第１に本発明は、被着体に対して接着性を示す第１および第２の接着性樹脂層と、前記第１の接着性樹脂層と前記第２の接着性樹脂層との間に位置する水蒸気バリア性樹脂層とを備えたフィルム状封止材であって、前記第１の接着性樹脂層または前記第２の接着性樹脂層のいずれか一方の面をガラス板に貼り合わせた際の前記ガラス板に対する接着力が、３Ｎ／２５ｍｍ以上であり、温度４０℃、相対湿度９０％ＲＨの環境下における、厚み５０μｍ換算（フィルム状封止材の厚みを５０μｍとしたとき）の水蒸気透過率Ｗが、１０ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下であることを特徴とするフィルム状封止材を提供する（発明１）。
【０００９】
上記発明（発明１）に係るフィルム状封止材は、第１および第２の接着性樹脂層と、それらの間に位置する水蒸気バリア性樹脂層とを備えることにより、接着力および水蒸気透過率が上記のように制御されており、接着性および水蒸気バリア性に優れる。
【００１０】
上記発明（発明１）においては、温度４０℃、相対湿度９０％ＲＨの環境下における、厚み５０μｍ換算の前記第１の接着性樹脂層の水蒸気透過率をＷ１（ｇ／ｍ２・ｄａｙ）、厚み５０μｍ換算の前記第２の接着性樹脂層の水蒸気透過率をＷ２（ｇ／ｍ２・ｄａｙ）、厚み５０μｍ換算の前記水蒸気バリア性樹脂層の水蒸気透過率をＷ３（ｇ／ｍ２・ｄａｙ）としたときに、Ｗ１、Ｗ２およびＷ３が次の関係を満たす
Ｗ１＞Ｗ３、Ｗ２＞Ｗ３、かつＷ３≦１０
ことが好ましい（発明２）。
【００１１】
上記発明（発明１，２）においては、前記第１の接着性樹脂層の厚さをＴ１（μｍ）、前記第２の接着性樹脂層の厚さをＴ２（μｍ）、前記水蒸気バリア性樹脂層の厚さをＴ３（μｍ）としたときに、Ｔ１、Ｔ２およびＴ３が次の関係を満たす
０．１＜{Ｔ３／（Ｔ１＋Ｔ２＋Ｔ３）}＜０．９９
１≦Ｔ１≦１００
１≦Ｔ２≦１００
５≦Ｔ３≦３００
ことが好ましい（発明３）。
【００１２】
上記発明（発明１〜３）において、前記第１および第２の接着性樹脂層は、前記水蒸気バリア性樹脂層に直接積層されており、それらの３層構造からなることが好ましい（発明４）。
【００１３】
第２に本発明は、前記フィルム状封止材（発明１〜４）と、前記フィルム状封止材の片面に積層されたガスバリアフィルムとを備えたことを特徴とする封止シートを提供する（発明５）。
【００１４】
第３に本発明は、前記フィルム状封止材（発明１〜４）によって封止されたことを特徴とする電子デバイスを提供する（発明６）。
【００１５】
第４に本発明は、前記封止シート（発明５）によって封止されたことを特徴とする電子デバイスを提供する（発明７）。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係るフィルム状封止材は、被着体に対して接着性を示す第１および第２の接着性樹脂層と、第１の接着性樹脂層と第２の接着性樹脂層との間に位置する水蒸気バリア性樹脂層とを備えることにより、ガラス板に対する接着力が、３Ｎ／２５ｍｍ以上に制御されるとともに、温度４０℃、相対湿度９０％ＲＨの環境下における、厚み５０μｍ換算（フィルム状封止材の厚みを５０μｍとしたとき）の水蒸気透過率Ｗが、１０ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下に制御されており、接着性および水蒸気バリア性に優れる。封止材の性能は、被着体に対する接着力と、封止材の水蒸気透過率とに起因しており、本発明のフィルム状封止材によれば、電子素子を確実に封止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態に係るフィルム状封止材の概略断面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る封止シートの概略断面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る電子デバイスの概略断面図である。
【図４】本発明の他の実施形態に係る電子デバイスの概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態について説明する。
〔フィルム状封止材〕
図１に示すように、本実施形態に係るフィルム状封止材１は、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂと、第１の接着性樹脂層１１Ａと第２の接着性樹脂層１１Ｂとの間に位置する水蒸気バリア性樹脂層１２とを備える。なお、本実施形態では、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂは、水蒸気バリア性樹脂層１２に直接積層されており、本実施形態に係るフィルム状封止材１は、それらの３層構造からなるが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００１９】
フィルム状封止材１は、水蒸気バリア性樹脂層１２が、第１の接着性樹脂層１１Ａと第２の接着性樹脂層１１Ｂとの間に配置されることにより、水蒸気透過率が制御されており、かつ、水蒸気バリア性樹脂層１２の両側に第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂが配置されることにより、高い接着性を達成している。
【００２０】
フィルム状封止材１は、第１の接着性樹脂層１１Ａまたは第２の接着性樹脂層１１Ｂのいずれか一方の面をガラス板に貼り合わせた際の当該ガラス板に対する接着力が、３Ｎ／２５ｍｍ以上である。接着力が上記範囲内にあることにより、フィルム状封止材１を介して、ガラス板や樹脂フィル等の封止部材と電子素子等の封止対象物とを強固に貼り合わせ、封止対象物を確実に封止するとともに、ガラス板や樹脂フィルム等の封止部材とフィルム状封止材１との間に水分が浸入することがなく、また、フィルム状封止材１と封止対象物との間で、浮きや剥がれ等が発生することを防止することができる。
【００２１】
上記接着力は、３Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましく、特に５Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましく、さらには１０Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましい。接着力の上限は特に制限はないが、通常は、５００Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましい。なお、接着力の測定方法は、後述する試験例に示す通りである。
【００２２】
また、フィルム状封止材１は、厚み５０μｍ換算（フィルム状封止材１の厚みを５０μｍとしたとき）の、温度４０℃、相対湿度９０％ＲＨの環境下における水蒸気透過率Ｗが、１０ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下である。水蒸気透過率Ｗが上記範囲内にあることにより、電子素子等の封止対象物を封止したときに、外部からの水蒸気が、当該フィルム状封止材１で効果的にブロックされて、封止対象物に到達することが防止・抑制され、封止対象物が水分の悪影響を受け難くなる。
【００２３】
上記水蒸気透過率Ｗは、７ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下であることが好ましく、特に５ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下であることが好ましく、さらには３ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下であることが好ましい。
【００２４】
また、温度４０℃、相対湿度９０％ＲＨの環境下における、厚み５０μｍ換算（第１の接着性樹脂層１１Ａの厚みを５０μｍとしたとき）の第１の接着性樹脂層１１Ａの水蒸気透過率をＷ１（ｇ／ｍ２・ｄａｙ）、厚み５０μｍ換算（第２の接着性樹脂層１１Ｂの厚みを５０μｍとしたとき）の第２の接着性樹脂層１１Ｂの水蒸気透過率をＷ２（ｇ／ｍ２・ｄａｙ）、厚み５０μｍ換算（水蒸気バリア性樹脂層１２の厚みを５０μｍとしたとき）の水蒸気バリア性樹脂層１２の水蒸気透過率をＷ３（ｇ／ｍ２・ｄａｙ）としたときに、Ｗ１、Ｗ２およびＷ３は、
Ｗ１＞Ｗ３、Ｗ２＞Ｗ３、かつＷ３≦１０
の関係を満たすことが好ましい。Ｗ１、Ｗ２およびＷ３が上記範囲内にあることにより、フィルム状封止材１は、上記のような水蒸気透過率を達成し易くなる。
【００２５】
水蒸気透過率Ｗ１およびＷ２は、２００ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下であることが好ましく、特に１００ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下であることが好ましく、さらには５０ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下であることが好ましい。なお、水蒸気透過率Ｗ、Ｗ１、Ｗ２およびＷ３の測定方法は、後述する試験例に示す通りである。厚み５０μｍ換算の水蒸気透過率Ｗ、Ｗ１、Ｗ２およびＷ３の値は、各層の厚みから換算して求めることができる。例えば、厚みがＡμｍで、水蒸気透過率がＢｇ／（ｍ２・ｄａｙ）の場合、厚み５０μｍ換算の水蒸気透過率は、Ｂ×Ａ／５０という式に当てはめて求めることができる。
【００２６】
また、第１の接着性樹脂層の厚さをＴ１（μｍ）、第２の接着性樹脂層の厚さをＴ２（μｍ）、水蒸気バリア性樹脂層の厚さをＴ３（μｍ）としたとき、Ｔ１、Ｔ２およびＴ３は、
０．１＜{Ｔ３／（Ｔ１＋Ｔ２＋Ｔ３）}＜０．９９
１≦Ｔ１≦１００
１≦Ｔ２≦１００
５≦Ｔ３≦３００
の関係を満たすことが好ましい。Ｔ１、Ｔ２およびＴ３が上記の関係を満たすことにより、フィルム状封止材１は、上記のような水蒸気透過率および接着力を達成し易くなる。
【００２７】
{Ｔ３／（Ｔ１＋Ｔ２＋Ｔ３）}の上限値は、より好ましくは０．９５であり、特に好ましくは０．９であり、さらに好ましくは０．８である。一方、下限値は、より好ましくは０．３であり、特に好ましくは０．４であり、さらに好ましくは０．５である。{Ｔ３／（Ｔ１＋Ｔ２＋Ｔ３）}の下限値が０．１未満であると、所望の水蒸気バリア性が得られないおそれがある。一方、{Ｔ３／（Ｔ１＋Ｔ２＋Ｔ３）}の上限値が０．９９を超えると、所望の接着性が得られないおそれがある。
【００２８】
また、Ｔ３が５μｍ未満であると、フィルム状封止材１は所望の水蒸気透過率を満たすことができないおそれがあるため、Ｔ３は、５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であることが特に好ましく、１５μｍ以上であることがさらに好ましい。一方、Ｔ３が３００μｍを超えると透過率やハンドリング性が低下するおそれがあるため、Ｔ３は、３００μｍ以下であることが好ましく、２００μｍ以下であることが特に好ましく、１００μｍ以下であることがさらに好ましい。
【００２９】
一方、Ｔ１およびＴ２が１μｍ未満であると、フィルム状封止材１は所望の接着力が得られないおそれがあるため、Ｔ１およびＴ２は、１μｍ以上であることが好ましく、３μｍ以上であることが特に好ましく、５μｍ以上であることがさらに好ましい。一方、Ｔ１およびＴ２が１００μｍを超えると透過率やハンドリング性が低下するおそれがあるため、Ｔ１およびＴ２は、１００μｍ以下であることが好ましく、８０μｍ以下であることが特に好ましく、５０μｍ以下であることがさらに好ましい。
【００３０】
フィルム状封止材１は、可視光領域における全光線透過率が８５％以上であることが好ましく、特に８８％以上であることが好ましく、さらには９０％以上であることが好ましい。なお、全光線透過率は、ＪＩＳ Ｋ７３６１：１９９６に準拠して測定した値とする。
【００３１】
（１）接着性樹脂層
第１の接着性樹脂層１１Ａおよび第２の接着性樹脂層１１Ｂは、被着体に対して接着性を示す層であり、本実施形態では、フィルム状封止材１の両面の最外層に設けられている。
【００３２】
第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂを構成する樹脂としては、上記の接着力の範囲を満たすものであれば特に限定されず、例えば、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、エネルギー線硬化型樹脂などが挙げられる。これらの中でも、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂは、水蒸気バリア性樹脂層１２との密着性に優れるという点から、熱可塑性樹脂を含むことが好ましい。
【００３３】
熱可塑性樹脂としては、例えば、酸変性ポリオレフィン系樹脂、シラン変性ポリオレフィン系樹脂、アイオノマー、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸エステル共重合体、ポリエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリエステルウレタン系樹脂、アクリル系樹脂、アミド系樹脂、スチレン系樹脂、シラン系樹脂、ゴム系樹脂等が挙げられる。これらの中でも、上記の接着力の範囲を満たし易く、水蒸気透過率の比較的低い、酸変性ポリオレフィン系樹脂、シラン変性ポリオレフィン系樹脂、アイオノマーおよびエチレン−（メタ）アクリル酸共重合体が好ましい。これらは、１種を単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。なお、本明細書において、（メタ）アクリル酸とは、アクリル酸およびメタクリル酸の両方を意味する。他の類似用語も同様である。
【００３４】
上記の中でも、ガラス板に対する接着力に優れ、水蒸気バリア性樹脂層１２との密着性にも優れるという点から、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂは、酸変性ポリオレフィン系樹脂、シラン変性ポリオレフィン系、アイオノマーおよびエチレン−（メタ）アクリル酸共重合体からなる群より選ばれる少なくとも１種を含むことが好ましく、湿熱条件下においたときに接着力が低下しにくいという点から、酸変性ポリオレフィン系樹脂および／またはシラン変性ポリオレフィン系樹脂を含むことが特に好ましい。
【００３５】
酸変性ポリオレフィン系樹脂とは、ポリオレフィン系樹脂に不飽和カルボン酸を反応させ、カルボキシル基を導入（一般的にはグラフト変性）したものである。ポリオレフィン系樹脂とは、重合体を構成するモノマー成分としてオレフィンを含む重合体（共重合体の概念を含む）をいい、モノマー成分がオレフィンのみからなる重合体であってもよいし、モノマー成分としてオレフィンおよび他のモノマーを含む重合体（共重合体）であってもよい。なお、本明細書において、不飽和カルボン酸とは、カルボン酸無水物の概念を含み、カルボキシル基とは、無水カルボキシル基の概念を含むものである。
【００３６】
上記オレフィンとしては、炭素数２〜８のα−オレフィンが好ましく、例えば、エチレン、プロピレン、ブチレン、イソブチレン、１−ヘキセン、スチレン等が挙げられる。中でもエチレンおよびプロピレンが好ましく、特にエチレンが好ましい。上記他のモノマーとしては、本実施形態に係るフィルム状封止材１の目的を阻害しない限り特に限定されず、例えば、酢酸ビニル、（メタ）アクリル酸エステル等が挙げられる。
【００３７】
上記ポリオレフィン系樹脂としては、具体的には、超低密度ポリエチレン、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレン等のポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、エチレン−プロピレン共重合体、オレフィン系エラストマー、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸エステル共重合体などが挙げられる。これらは、１種を単独で、または２種以上を組み合わせて使用することができる。上記の中でも、超低密度ポリエチレン、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレン等のポリエチレン樹脂が好ましく、特に超低密度ポリエチレンが好ましい。
【００３８】
上記ポリオレフィン系樹脂に反応させる不飽和カルボン酸としては、例えば、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸、グルタコン酸、テトラヒドロフタル酸、アコニット酸、無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水グルタコン酸、無水シトラコン酸、無水アコニット酸、ノルボルネンジカルボン酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物等が挙げられる。これらは、１種を単独で、または２種以上を組み合わせて使用することができる。上記の中でも、特に接着力に優れる無水マレイン酸が好ましい。
【００３９】
上記酸変性ポリオレフィン系樹脂としては、無水マレイン酸変性ポリオレフィン系樹脂が好ましく、特に無水マレイン酸変性ポリエチレン樹脂が好ましい。
【００４０】
ポリオレフィン系樹脂に反応させる不飽和カルボン酸の量としては、ポリオレフィン系樹脂１００質量部に対して、０．１〜５．０質量部であることが好ましく、特に０．２〜３．０質量部であることが好ましく、さらには０．２〜１．０質量部であることが好ましい。反応させる不飽和カルボン酸の量が上記の範囲にあることで、得られる酸変性ポリオレフィン系樹脂は、接着力に優れる。
【００４１】
酸変性ポリオレフィン系樹脂は、ビカット軟化点が９０℃以下であることが好ましく、特に３０〜７０℃であることが好ましく、さらには３０〜６０℃であることが好ましい。ビカット軟化点が上記範囲であると、室温においては接着性が発現しないため、フィルム状封止材１の取扱性に優れる。なお、ビカット軟化点は、ＡＳＴＭ Ｄ１５２５に基づいて測定した値とする。
【００４２】
酸変性ポリオレフィン系樹脂は、１９０℃、荷重２０．２Ｎにおけるメルトフローレート（ＭＦＲ）が、０．５〜３０ｇ／１０分であることが好ましく、特に１〜１５ｇ／１０分であることが好ましく、さらには２〜１０ｇ／１０分であることが好ましい。第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂを押出成形により形成する場合、ＭＦＲが０．５ｇ／１０分未満であると、押出成形が困難となるおそれがあり、ＭＦＲが３０ｇ／１０分を超えると、押出成形により製膜した際に、厚み精度が低下するおそれがある。なお、本明細書におけるＭＦＲは、ＡＳＴＭＤ１２３８に基づいて測定した値とする。
【００４３】
酸変性ポリオレフィン系樹脂は、市販品を用いることもできる。市販品としては、例えば、アドマー（登録商標）（三井化学社製）、ＢｏｎｄｙＲａｍ（Ｐｏｌｙｒａｍ社製）、ｏｒｅｖａｃ（登録商標）（ＡＲＫＥＭＡ社製）、モディック（登録商標）（三菱化学社製）等が挙げられる。
【００４４】
シラン変性ポリオレフィン系樹脂とは、ポリオレフィン系樹脂に不飽和シラン化合物を反応させることにより、ポリオレフィン系樹脂をグラフト変性したものである。シラン変性ポリオレフィン系樹脂は、特に被着体がガラス板の場合に強固に接着することができるとともに、湿熱条件下においたときにも接着力が低下し難いため、好ましい。
【００４５】
シラン変性ポリオレフィン系樹脂のポリオレフィン系樹脂としては、前述の酸変性ポリオレフィン系樹脂で例示したポリオレフィン系樹脂が挙げられる。
【００４６】
シラン変性ポリオレフィン系樹脂は、シラン変性ポリエチレン樹脂およびシラン変性エチレン−酢酸ビニル共重合体が好ましく、特に、シラン変性低密度ポリエチレン、シラン変性超低密度ポリエチレン、シラン変性直鎖状低密度ポリエチレン等のシラン変性ポリエチレン樹脂が好ましい。
【００４７】
上記ポリオレフィン系樹脂に反応させる不飽和シラン化合物としては、ビニルシラン化合物が好ましく、例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリプロポキシシラン、ビニルトリイソプロポキシシラン、ビニルトリブトキシシラン、ビニルトリペンチロキシシラン、ビニルトリフェノキシシラン、ビニルトリベンジルオキシシラン、ビニルトリメチレンジオキシシラン、ビニルトリエチレンジオキシシラン、ビニルプロピオニルオキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリカルボキシシラン等が挙げられる。これらは、１種を単独で、または２種以上を組み合わせて使用することができる。
【００４８】
ポリオレフィン系樹脂に反応させる不飽和シラン化合物の量としては、ポリオレフィン系樹脂１００質量部に対して、０．１〜１０質量部であることが好ましく、特に０．３〜７質量部であることが好ましく、さらには０．５〜５質量部であることが好ましい。反応させる不飽和シラン化合物の量が上記の範囲にあることで、得られるシラン変性ポリオレフィン系樹脂は、接着力に優れる。
【００４９】
シラン変性ポリオレフィン系樹脂は、１９０℃、荷重２０．２Ｎにおけるメルトフローレート（ＭＦＲ）が、０．５〜３０ｇ／１０分であることが好ましく、特に１〜１５ｇ／１０分であることが好ましく、さらには２〜１０ｇ／１０分であることが好ましい。第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂを押出成形により形成する場合、ＭＦＲが０．５ｇ／１０分未満であると、押出成形が困難となるおそれがあり、ＭＦＲが３０ｇ／１０分を超えると、押出成形により製膜した際に、厚み精度が低下するおそれがある。
【００５０】
シラン変性ポリオレフィン系樹脂は、市販品を用いることもできる。市販品としては、例えば、リンクロン（登録商標）（三菱化学社製）等が挙げられ、中でも、低密度ポリエチレン系のリンクロン、直鎖状低密度ポリエチレン系のリンクロン、超低密度ポリエチレン系のリンクロン、およびエチレン−酢酸ビニル共重合体系のリンクロンを好ましく使用することができる。
【００５１】
アイオノマーとしては、特に限定されないが、例えば、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン−フマル酸共重合体等のオレフィン系樹脂の分子間を金属イオンで結合したものが好ましい。
【００５２】
エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体は、エチレンとアクリル酸および／またはメタクリル酸との共重合体であるが、特にエチレンとメタクリル酸との共重合体であるエチレン−メタクリル酸共重合体が好ましい。エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体中における単量体単位としての（メタ）アクリル酸の含有量は、２〜２０質量％であることが好ましく、特に３〜１５質量％であることが好ましい。（メタ）アクリル酸の含有量が２質量％未満であると、樹脂の結晶化度が高くなり、不透明になるおそれがある。一方、（メタ）アクリル酸の含有量が２０質量％を超えると、所望の水蒸気バリア性が得られないおそれがある。
【００５３】
なお、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂは、上記樹脂以外に、所望により、例えば粘着付与剤、紫外線吸収剤、紫外線安定剤、帯電防止剤、顔料、難燃剤、可塑剤、滑剤、ブロッキング防止剤、シランカップリング剤等の各種添加剤等を含有してもよい。
【００５４】
なお、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂの材料は、それぞれ同じであってもよいし、異なっていてもよい。
【００５５】
（２）水蒸気バリア性樹脂層
水蒸気バリア性樹脂層１２は、フィルム状封止材１において水蒸気が透過することを防止・抑制するための層である。水蒸気バリア性樹脂層１２は、単層であってもよく、複数層であってもよい。
【００５６】
水蒸気バリア性樹脂層１２を構成する樹脂としては、上記の水蒸気透過率の範囲を満たすものであれば特に限定されないが、例えば、シクロオレフィン系樹脂、直鎖状低密度ポリエチレン、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体およびゴム系樹脂からなる群から選ばれる少なくとも１種の熱可塑性樹脂であることが好ましい。水蒸気バリア性樹脂層１２がこれらの樹脂を含むことにより、フィルム状封止材１は前述した水蒸気透過率を達成し易いものとなる。
【００５７】
上記の中でも、水蒸気透過率が低く、所望の水蒸気透過率を達成し易いという点から、水蒸気バリア性樹脂層１２は、シクロオレフィン系樹脂、低密度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレンおよびゴム系樹脂からなる群から選ばれる少なくとも１種を含むことが好ましい。
【００５８】
シクロオレフィン系樹脂とは、重合体を構成するモノマー成分としてシクロオレフィンを含む重合体（共重合体の概念を含む）樹脂をいい、モノマー成分がシクロオレフィンのみからなる重合体であってもよいし、モノマー成分としてシクロオレフィンおよび他のモノマーを含む重合体（共重合体）であってもよい。上記他のモノマーとしては、本実施形態に係るフィルム状封止材１の目的を阻害しない限り特に限定されず、例えば、エチレン、プロプレンなど炭素数２以上のα−オレフィン、（メタ）アクリル酸エステル等が挙げられる。
【００５９】
上記の中でも、シクロオレフィン系樹脂は、前述した第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂとの密着性に優れ、フィルム状封止材１の層間剥離を防止できるという点から、モノマー成分としてシクロオレフィンとエチレンとを含む共重合体であることが好ましい。
【００６０】
シクロオレフィン系樹脂は、親水性基を有さないことが好ましい。親水性基を有すると、水蒸気バリア性が低下するおそれがある。親水性基としては、例えば、水酸基、カルボキシル基、アミノ基、アミド基、イミド基、スルホン酸基、メルカプト基等が挙げられる。一方、シクロオレフィン系樹脂は、疎水性基を有していてもよい。疎水性基であれば、水蒸気バリア性が低下するおそれはない。疎水性基としては、例えば、アルキル基、アリール基等が挙げられる。
【００６１】
好ましいシクロオレフィン系樹脂としては、下記構造式（ａ）
【化１】
2016064499.tif 000003
（式（ａ）中、ｍおよびｎは１以上の整数である。Ｒ１およびＲ２は水素原子またはアルキル基を示し、それぞれ同じであってもよいし、異なっていてもよい。Ｒ１およびＲ２は、それらが結合して環を形成していてもよい。）
で示されるシクロオレフィン重合体（モノマー成分としてシクロオレフィンとエチレンとを含む共重合体；ＣＯＣ）、下記構造式（ｂ）
【化２】
2016064499.tif 000004
（式（ｂ）中、ｍおよびｎは１以上の整数である。Ｒ１およびＲ２は水素原子またはアルキル基を示し、それぞれ同じであってもよいし、異なっていてもよい。Ｒ１およびＲ２は、それらが結合して環を形成していてもよい。）
で示されるシクロオレフィン重合体（モノマー成分としてシクロオレフィンとエチレンとを含む共重合体；ＣＯＣ）、下記構造式（ｃ）
【化３】
2016064499.tif 000005
（式（ｃ）中、ｎは１以上の整数であり、Ｒ１およびＲ２は水素原子またはアルキル基を示し、それぞれ同じであってもよいし、異なっていてもよい。Ｒ１およびＲ２は、それらが結合して環を形成していてもよい。）
で示されるシクロオレフィン重合体（モノマー成分としてシクロオレフィンのみを含む重合体；ＣＯＰ）、および下記構造式（ｄ）
【化４】
2016064499.tif 000006
（式（ｄ）中、ｎは１以上の整数であり、Ｒ１およびＲ２は水素原子またはアルキル基を示し、それぞれ同じであってもよいし、異なっていてもよい。Ｒ１およびＲ２は、それらが結合して環を形成していてもよい。）
で示されるシクロオレフィン重合体（モノマー成分としてシクロオレフィンのみを含む重合体；ＣＯＰ）が挙げられる。これらのシクロオレフィン重合体は、水蒸気バリア性に非常に優れ、入手も容易である。これらのシクロオレフィン重合体は、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる。
【００６２】
シクロオレフィン重合体は、市販品を用いることもできる。市販品としては、例えば、ＺＥＯＮＥＸ（登録商標）（日本ゼオン社製，ノルボルネン系モノマーの開環メタセシス重合体水素化ポリマー）、ＴＯＰＡＳ（登録商標）（ポリプラスチックス社製，ノルボルネンとエチレンとのコポリマー）、ＺＥＯＮＯＲ（登録商標）（日本ゼオン社製，ジシクロペンタジエンとテトラシクロペンタドデセンとの開環重合に基づくコポリマー）、アペル（登録商標）（三井化学社製，エチレンとテトラシクロドデセンとのコポリマー）、アートン（登録商標）（ＪＳＲ社製，ジシクロペンタジエンおよびメタクリル酸エステルを原料とする極性基を含む環状オレフィン樹脂）などが挙げられる。
【００６３】
ゴム系樹脂としては、例えば、天然ゴム、変性天然ゴム、ポリイソブチレン系樹脂、ブタジエンゴム、クロロプレンゴム、イソプレンゴム、ハロゲン化ブチルゴム、スチレン−ブタジエン共重合体（ＳＢＲ）、スチレン−イソプレン共重合体、アクリロニトリル−ブタジエンの共重合体（ニトリルゴム）、メタクリル酸メチル−ブタジエン共重合体、ウレタンゴム、スチレン−１，３−ブタジエン−スチレンブロック共重合体（ＳＢＳ）、スチレン−イソプレン−スチレンブロック共重合体（ＳＩＳ）、エチレン−プロピレン−非共役ジエン三元共重合体等が挙げられる。これらは１種単独で、あるいは２種以上を組み合わせて用いることができる。上記の中でも、水蒸気透過率が低く、所望の水蒸気透過率を達成しやすいという点から、ゴム系樹脂は、ポリイソブチレン系樹脂であることが好ましい。
【００６４】
上記ポリイソブチレン系樹脂は、モノマー成分としてイソブチレンを含む重合体（共重合体の概念を含む）をいい、モノマー成分がイソブチレンのみからなる単独重合体であってもよいし、モノマー成分としてイソブチレンと他のモノマーを重合して得られる共重合体であってもよい。ポリイソブチレン系樹脂は、一部を臭素化又は塩素化したハロゲン化ポリイソブチレン系樹脂であってもよく、一部を水酸基、カルボキシル基等の官能基で置換したものであってもよい。上記他のモノマーとしては、例えば、イソプレン、ｎ−ブテン、ブタジエン、イソプレン、スチレン等が挙げられる。他のモノマーは単独で又は２種以上を併用して用いてもよい。なお、ポリイソブチレン系樹脂が共重合体である場合は、原料モノマー中、イソブチレンは主成分として最大量のモノマーである。ポリイソブチレン系樹脂は、水蒸気バリア性に優れるという点から、モノマー成分がイソブチレンのみからなる単独重合体、モノマー成分としてイソブチレンとイソプレンとを重合して得られるイソブチレン−イソプレン共重合体であることが好ましい。
【００６５】
水蒸気バリア性樹脂層１２は、前述の樹脂以外に、上記の水蒸気透過率の範囲を満たす範囲で、他の樹脂成分を含有してもよい。他の樹脂成分としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン、エチレン−αオレフィン共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸エステル共重合体等のオレフィン系樹脂（ただし、シクロオレフィン系樹脂を除く。）、ウレタン系樹脂、ゴム系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリエステルウレタン系樹脂、アクリル系樹脂、アミド系樹脂、スチレン系樹脂、シラン系樹脂などが挙げられる。
【００６６】
また、水蒸気バリア性樹脂層１２は、上記樹脂以外に、所望により、粘着付与剤、紫外線吸収剤、紫外線安定剤、帯電防止剤、顔料、難燃剤、可塑剤、滑剤、ブロッキング防止剤等の各種添加剤等を含有してもよい。
【００６７】
（４）フィルム状封止材の製造方法
フィルム状封止材１は、常法によって製造することができる。例えば、第１の接着性樹脂層１１Ａと、水蒸気バリア性樹脂層１２と、第２の接着性樹脂層１１Ｂとを、その順で積層されるように共押出成形する方法、第１の接着性樹脂層１１Ａとしての単層のフィルム（第１の接着性樹脂フィルム）および第２の接着性樹脂層１１Ｂとしての単層のフィルム（第２の接着性樹脂フィルム）をそれぞれ用意し、第１の接着性樹脂フィルムに水蒸気バリア性樹脂層１２を形成した後、当該水蒸気バリア性樹脂層１２に第２の接着性樹脂フィルムを積層する方法、水蒸気バリア性樹脂層１２としての単層のフィルム（水蒸気バリア性樹脂フィルム）を用意し、その水蒸気バリア性樹脂フィルムの両面に、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂを形成する方法、第１の接着性樹脂フィルムと、水蒸気バリア性樹脂フィルムと、第２の接着性樹脂フィルムとを用意し、それら３枚の樹脂フィルムをその順で重ねて積層する方法などの方法によって、フィルム状封止材１を製造することができる。また、剥離シート上に、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂを形成し、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂ付きの剥離シートをそれぞれ用意し、あらかじめ用意した水蒸気バリア性樹脂フィルムの両面に、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂ付きの剥離シートを積層する方法によって、フィルム状封止材１を製造することもできる。
【００６８】
なお、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂとしての単層のフィルム（第１の接着性樹脂フィルム，第２の接着性樹脂フィルム）、水蒸気バリア性樹脂層１２としての単層のフィルム（水蒸気バリア性樹脂フィルム）を形成する方法としては、特に限定されず、溶融押出法、カレンダー法、乾式法、溶液法などが例示される。溶液法の場合には、上述した各層を構成する樹脂を有機溶剤に溶解した溶液を、公知の塗布方法により塗布し、得られた塗膜を適宜乾燥することで各層を形成すればよい。
【００６９】
第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂが熱可塑性樹脂を含む場合、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂ（第１の接着性樹脂フィルム，第２の接着性樹脂フィルム）と水蒸気バリア性樹脂層１２（水蒸気バリア性樹脂フィルム）とを積層する際には、加熱しながら積層することが好ましい。加熱温度は、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂ（第１の接着性樹脂フィルム，第２の接着性樹脂フィルム）が軟化する温度以上であることが好ましい。
【００７０】
（５）フィルム状封止材の用途
本実施形態に係るフィルム状封止材１は、ガラス板に対する接着力が、３Ｎ／２５ｍｍ以上に制御されるとともに、温度４０℃、相対湿度９０％ＲＨの環境下における、厚み５０μｍ換算の水蒸気透過率Ｗが、１０ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下に制御されており、水蒸気バリア性および接着性に優れる。封止材の性能は、被着体に対する接着力および封止材の水蒸気透過率に起因しており、本実施形態に係るフィルム状封止材１によれば、種々のものの封止に使用することができ、特に電子デバイスにおける電子素子の封止に好適に使用することができる。具体的には、液晶素子、発光ダイオード（ＬＥＤ素子）、有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）素子等を有する表示装置用モジュール、電子ペーパー、太陽電池モジュールなどが挙げられる。中でも、有機ＥＬ素子を有する表示装置用モジュール（有機ＥＬモジュール）や電子ペーパーにおいては、高い水蒸気バリア性および接着性が求められているため、本実施形態に係るフィルム状封止材１を好適に使用することができる。なお、本実施形態に係るフィルム状封止材１を用いて電子素子を封止する方法については、後述の電子デバイスの項で説明する。
【００７１】
〔封止シート〕
図２に示すように、本実施形態に係る封止シート２は、前述したフィルム状封止材１と、フィルム状封止材１の片面に積層されたガスバリアフィルム２１とを備える。
【００７２】
ガスバリアフィルム２１は、水蒸気、酸素等のガスを透過させ難い特性を有するフィルムである。また、封止シート２を、表示装置用モジュール、電子ペーパー、太陽電池モジュール、後述のトップエミッション型の電子デバイスなどの透明性が必要とされる用途に用いる場合は、ガスバリアフィルム２１は透明であることが好ましい。ガスバリアフィルム２１としては、基材フィルムとガスバリア層との積層体が好ましい。このようなガスバリアフィルム２１としては、例えば、基材フィルムの片面または両面に、直接またはその他の層を介してガスバリア層を形成したもの、基材フィルムの中間にガスバリア層を設けたものなどを使用することができる。
【００７３】
基材フィルムとしては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸エステル共重合体等のポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリウレタン、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポリエーテルスルフォン、ポリフェニレンスルフィド、ポリアリレート、ポリメタクリル酸メチル等のアクリル系樹脂、ポリブテン、ポリブタジエン、ポリメチルペンテン、エチレン酢酸ビニル共重合体、ＡＢＳ樹脂、アイオノマー樹脂などの樹脂からなるフィルム、またはそれらの積層フィルム等が挙げられる。それらの中でも、強度の観点から、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポリエーテルスルフォン、ポリフェニレンスルフィド、ポリアリレートなどからなるフィルムが好ましい。基材フィルムは、延伸フィルムであってもよいし、無延伸フィルムであってもよい。また、基材フィルムは、紫外線吸収剤等の各種添加剤を含んだものであってもよい。
【００７４】
基材フィルムの厚さは、１〜５００μｍであることが好ましく、特に５〜３００μｍであることが好ましく、さらには１０〜１００μｍであることが好ましい。
【００７５】
ガスバリア層は、基材フィルムにガスバリア性を付与することを目的として積層される。ガスバリア層の材料としては、ガスバリアフィルム２１のガスバリア性を所望のレベルにすることができるものであれば、特に限定されることはない。ガスバリア層の材料としては、例えば、酸化ケイ素、酸窒化ケイ素、酸化アルミニウム、酸窒化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化スズ等の無機酸化物、窒化ケイ素、窒化アルミニウム等の無機窒化物、酸化窒化ケイ素等の無機酸化窒化物等、アルミニウム、マグネシウム、亜鉛、スズ等の金属などが挙げられる。これらは、１種を単独で、または２種以上を組み合わせて使用することができる。また、ガスバリア層は、ポリシラザン化合物、ポリカルボシラン化合物、ポリシラン化合物、ポリオルガノシロキサン化合物、テトラオルガノシラン化合物等のケイ素化合物を含む層にプラズマイオン注入して得られる層であってもよい。
【００７６】
ガスバリア層の厚さは、１ｎｍ〜１０μｍであることが好ましく、１０〜１０００ｎｍであることがより好ましく、２０〜５００ｎｍであることが特に好ましく、５０〜２００ｎｍであることがさらに好ましい。
【００７７】
ガスバリア層は、単層であってもよく、複数層であってもよいが、より高いガスバリア性が得られるという観点から、ガスバリア層は複数層であることが好ましい。
【００７８】
ガスバリア層を形成する方法は、使用する材料に応じて適宜選択すればよい。例えば、上記ガスバリア層の材料を、蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、熱ＣＶＤ法、プラズマＣＶＤ法等により基材フィルム上に形成する方法、あるいは上記ガスバリア層の材料を有機溶剤に溶解した溶液を、基材フィルムに塗布する方法などが挙げられる。プラズマイオン注入にて注入されるイオンとしては、例えば、アルゴン、ヘリウム、ネオン、クリプトン、キセノン等の希ガス、フルオロカーボン、水素、窒素、酸素、二酸化炭素、塩素、フッ素、硫黄等のイオン；金、銀、銅、白金、ニッケル、パラジウム、クロム、チタン、モリブデン、ニオブ、タンタル、タングステン、アルミニウム等の金属のイオンなどが挙げられる。
【００７９】
ガスバリアフィルム２１の水蒸気透過率は、４０℃、９０％ＲＨにおいて、０．５ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下であることが好ましく、特に０．１ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下であることが好ましく、さらには０．０５ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下であることが好ましい。
【００８０】
封止シート２を製造するには、フィルム状封止材１とガスバリアフィルム２１とを重ね合わせて積層すればよい。本実施形態に係るフィルム状封止材１は、接着力に優れた第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂを有するため、その接着性樹脂層（図２中では第１の接着性樹脂層１１Ａ）がガスバリアフィルム２１と強固に接着する。したがって、封止シート２を用いて電子デバイス等の封止をした場合に、ガスバリアフィルム２１とフィルム状封止材１との間に水蒸気が浸入することを効果的に防止することができる。なお、ガスバリアフィルム２１がその片面にガスバリア層を有する場合、ガスバリア層がフィルム状封止材１側となるように、ガスバリアフィルム２１とフィルム状封止材１とを積層することが好ましい。
【００８１】
第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂが熱可塑性樹脂を含む場合、フィルム状封止材１とガスバリアフィルム２１とを積層する際には、加熱しながら積層することが好ましい。加熱温度は、フィルム状封止材１の接着性樹脂層（図２中では第１の接着性樹脂層１１Ａ）が軟化する温度以上であることが好ましい。
【００８２】
本実施形態に係る封止シート２は、前述したフィルム状封止材１の用途と同様の用途に用いることができ、特に、高い水蒸気バリア性および接着性が求められる有機ＥＬ素子等を有する表示装置用モジュール、電子ペーパー、太陽電池モジュールなどの電子デバイスにおける電子素子の封止に好適に使用することができる。封止シート２を用いて封止を行う場合、ガスバリアフィルム２１が積層された側とは反対側の接着性樹脂層（図２中では第２の接着性樹脂層１１Ｂ）と被着体とを熱圧着することで、封止することができる。
【００８３】
〔電子デバイス〕
本発明の一実施形態に係る電子デバイスは、上述した実施形態に係るフィルム状封止材１によって封止されている。本実施形態に係る電子デバイス３Ａは、具体的には、図３に示すように、基板３１と、基板３１上に形成された電子素子３２と、電子素子３２を封止するフィルム状封止材１と、フィルム状封止材１の電子素子３２とは反対側に積層された封止部材３３とを備える。封止部材３３としては、特に制限はなく、例えばガラス板等が挙げられる。
【００８４】
また、本発明の他の実施形態に係る電子デバイスは、上述した実施形態に係る封止シート２によって封止されている。本実施形態に係る電子デバイス３Ｂは、具体的には、図４に示すように、基板３１と、基板３１上に形成された電子素子３２と、電子素子３２を封止する封止シート２とを備える。なお、封止シート２は、フィルム状封止材１と当該フィルム状封止材１の片面に積層されたガスバリアフィルム２１との積層体である。
【００８５】
これらの電子デバイス３Ａ，３Ｂは、例えば、電子素子３２として液晶素子、ＬＥＤ素子、有機ＥＬ素子等を有する表示装置用モジュール、電子素子３２として電気泳動型素子、電子粉粒体型素子、コレステリック液晶素子等を有する電子ペーパー、電子素子３２として太陽電池セルを有する太陽電池モジュールなどであるが、これらに限定されるものではない。また、電子デバイス３Ａ，３Ｂは、トップエミッション型の電子デバイスであってもよいし、ボトムエミッション型の電子デバイスであってもよい。例えば、電子デバイス３Ａ，３Ｂがボトムエミッション型のデバイスである場合には、基板３１は、透明基板であることが好ましい。また、電子デバイス３Ａ，３Ｂがトップエミッション型の電子デバイスである場合には、封止部材３３およびガスバリアフィルム２１は、透明であることが好ましい。
【００８６】
基板３１としては、電子デバイス３Ａ，３Ｂの種類に応じて適宜選択されるが、例えば、ガラス板や樹脂フィルムが好ましく挙げられる。ガラス板の材料としては、例えば、無アルカリガラス、ソーダライムガラス、鉛ガラス、アルミノケイ酸ガラス、ホウケイ酸ガラス、バリウムホウケイ酸ガラス、バリウム・ストロンチウム含有ガラス、石英等からなる無機ガラス、ハイブリッドガラス等が挙げられる。樹脂フィルムとしては、例えば、ガスバリアフィルム２１で例示した基材フィルムが挙げられる。
【００８７】
基板３１の厚さは、電子デバイス３Ａ，３Ｂの種類に応じて適宜設定される。
【００８８】
電子デバイス３Ａを製造する方法は特に限定されない。例えば、まず常法によって基板３１上に電子素子３２を形成する。その後、当該電子素子３２を覆うようにして、フィルム状封止材１を載置し、さらにフィルム状封止材１の上にガラス板等の封止部材３３を載置し、それらを貼り合わせ、電子素子３２を封止することで電子デバイス３Ａを製造することができる。なお、あらかじめ、フィルム状封止材１と封止部材３３とを貼り合わせた積層体を得て、この積層体を電子素子３２と貼り合わせて電子デバイス３Ａを製造してもよい。
【００８９】
一方、電子デバイス３Ｂを製造する方法についても特に限定されない。例えば、基板３１上に形成された電子素子３２を覆うようにして、フィルム状封止材１が電子素子３２側となるように封止シート２を載置し、それらを貼り合わせ、電子素子３２を封止することで電子デバイス３Ｂを製造することができる。
【００９０】
封止は、常圧で行ってもよいし、減圧雰囲気で行ってもよく、またはこれらを組み合わせて行ってもよい。また、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂが熱可塑性樹脂を含む場合、フィルム状封止材１と電子素子３２とを貼り合わせる際には、加熱する（熱圧着する）ことが好ましく、加熱することにより、フィルム状封止材１と電子素子３２、基板３１、および封止部材３３またはガスバリアフィルム２１とが強固に接着する。
【００９１】
貼り合わせる時の加熱温度は、通常、第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂおよび水蒸気バリア性樹脂層１２が軟化する温度以上であることが好ましい。本実施形態における第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂは、酸変性ポリオレフィン系樹脂およびシラン変性ポリオレフィン系樹脂の両者を含有することで、比較的短時間での加熱圧着、具体的には１秒〜５分で封止することができる。このように、本実施形態に係るフィルム状封止材１は、デバイス製造時の生産性に優れたものとなっている。
【００９２】
本実施形態に係る電子デバイス３Ａ，３Ｂにおいては、電子素子３２が、本実施形態に係るフィルム状封止材１で覆われているため、外部からの水蒸気が、フィルム状封止材１の水蒸気バリア性樹脂層１２によってブロックされて、電子素子３２に到達することが防止・抑制されるため、電子素子３２が水分の悪影響を受け難いものとなっている。また、フィルム状封止材１は接着力に優れた第１および第２の接着性樹脂層１１Ａ，１１Ｂを備えているため、フィルム状封止材１と基板３１、フィルム状封止材１と電子素子３２、フィルム状封止材１と封止部材３３、フィルム状封止材１とガスバリアフィルム２１とは強固に接着し、それらの間で浮きや剥がれ等が発生したり、それらの間に水蒸気が浸入したりすることが防止・抑制されている。さらには、第１の接着性樹脂層１１Ａと水蒸気バリア性樹脂層１２との間、第２の接着性樹脂層１１Ｂと水蒸気バリア性樹脂層１２との間で層間剥離することが防止・抑制されている。
【００９３】
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
【００９４】
例えば、上記フィルム状封止材１において、第１の接着性樹脂層１１Ａおよび／または第２の接着性樹脂層１１Ｂは、水蒸気バリア性樹脂層１２に、その他の層を介して積層されていてもよい。また、第１の接着性樹脂層１１Ａおよび／または第２の接着性樹脂層１１Ｂ上には、剥離シートが積層されていてもよい。なお、剥離シートは、接着性樹脂層を形成する時に利用されたり、接着性樹脂層を保護する目的で設けられ、フィルム状封止材１を使用する際には剥離される。
【実施例】
【００９５】
以下、実施例等により本発明をさらに具体的に説明するが、本発明の範囲はこれらの実施例等に限定されるものではない。
【００９６】
〔実施例１〕
＜フィルム状封止材の作製＞
表１に示す第１の接着性樹脂層、第２の接着性樹脂層および水蒸気バリア性樹脂層を構成する材料を、押出機（東洋精機製作所社製）によって共押出成形し、厚さ１０μｍの第１の接着性樹脂層と、厚さ３０μｍの水蒸気バリア性樹脂層と、厚さ１０μｍの第２の接着性樹脂層とをその順で積層してなるフィルム状封止材を製造した。
【００９７】
＜ガスバリアフィルムの作製＞
基材としてのポリエチレンテレフタレートフィルム（東洋紡績社製，コスモシャインＡ４１００，厚さ５０μｍ）上に、ポリシラザン化合物（ペルヒドロポリシラザンを主成分とするコーティング材，クラリアントジャパン社製，アクアミカＮＬ１１０−２０）をスピンコート法により塗布し、１２０℃で１分間加熱して、厚さ１５０ｎｍの、ペルヒドロポリシラザンを含むポリシラザン層を形成した。次に、プラズマイオン注入装置を用いて、ポリシラザン層の表面に、下記の条件にてアルゴンをプラズマイオン注入してガスバリア層を形成し、ガスバリアフィルムＡを作製した。
【００９８】
上記のガスバリア層を形成するために用いたプラズマイオン注入装置及びプラズマイオン注入条件は以下の通りである。
〔プラズマイオン注入装置〕
ＲＦ電源：日本電子社製，型番号「ＲＦ」５６０００
高電圧パルス電源：栗田製作所社製，「ＰＶ−３−ＨＳＨＶ−０８３５」
〔プラズマイオン注入条件〕
プラズマ生成ガス：Ａｒ
ガス流量：１００ｓｃｃｍ
Ｄｕｔｙ比：０．５％
印加電圧：−１５ｋＶ
ＲＦ電源：周波数  １３．５６ＭＨｚ，印加電力  １０００Ｗ
チャンバー内圧：０．２Ｐａ
パルス幅：５μｓｅｃ
処理時間（イオン注入時間）：２００秒
【００９９】
＜封止シートＡの作製＞
得られたフィルム状封止材とガスバリアフィルムＡとを、１３０℃で加熱しながら貼り合わせて、封止シートＡを得た。
【０１００】
＜封止シートＢの作製＞
一方、得られたフィルム状封止材とガスバリアフィルムＢ（厚み７μｍのアルミニウム箔の両面に、厚み１２μｍのポリエチレンテレフタレートシートをウレタン系接着剤層で接着した積層フィルム，アジヤアルミ社製）を、１３０℃で加熱しながら貼り合わせて、封止シートＢを得た。
【０１０１】
＜トップエミッション型の電子デバイスの製造＞
下記の方法により、ガラス基板上に陰極、発光層および陽極をこの順で積層し、電子素子（有機ＥＬ素子）を形成した。
【０１０２】
まず、ガラス基板を溶媒洗浄およびＵＶ／オゾン処理で洗浄した後、アルミニウム（Ａｌ）（高純度化学研究所社製）を０．１ｎｍ／ｓの速度で１００ｎｍ蒸着させて陰極を形成した。
【０１０３】
得られた陰極（Ａｌ膜）上に、（８−ヒドロキシ−キノリノレート）リチウム（Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ社製）を１０ｎｍ、２，９−ジメチル−４，７−ジフェニル−１，１０−フェナントロリン（Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ社製）を１０ｎｍ、トリス（８−ヒドロキシ−キノリネート）アルミニウム（Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ社製）を４０ｎｍ、Ｎ，Ｎ’−ビス（ナフタレン−１−イル）−Ｎ，Ｎ’−ビス（フェニル）−ベンジデン）（Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ社製）を６０ｎｍ、０．１〜０．２ｎｍ／ｓの速度で順次蒸着させ、発光層を形成した。
【０１０４】
得られた発光層上に、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）膜（厚さ：１００ｎｍ、シート抵抗：５０Ω／□）をスパッタリング法により形成して陽極を作製し、有機ＥＬ素子を得た。なお、蒸着時の真空度は、全て１×１０−４Ｐａ以下であった。
【０１０５】
次いで、上記封止シートＡを、窒素雰囲気下で、ホットプレートを用いて１２０℃で３０分間加熱して乾燥し、封止シートＡ中に含まれる水分を除去した後、そのまま放置して室温まで冷却した。そして、ガラス基板上に形成された有機ＥＬ素子を覆うように、フィルム状封止材が有機ＥＬ素子側になるように封止シートＡを載置し、それらを１００℃で熱圧着して有機ＥＬ素子を封止し、トップエミッション型の電子デバイスを得た。
【０１０６】
＜ボトムエミッション型の電子デバイスの製造＞
下記の方法により、ガラス基板上に陽極、発光層および陰極をこの順で積層し、電子素子（有機ＥＬ素子）を形成した。
【０１０７】
まず、ガラス基板の表面に酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）膜（厚さ：１５０ｎｍ、シート抵抗：３０Ω／□）をスパッタリング法により形成し、次いで、溶媒洗浄およびＵＶ／オゾン処理を行うことで陽極を作製した。
【０１０８】
得られた陽極（ＩＴＯ膜）上に、Ｎ，Ｎ’−ビス（ナフタレン−１−イル）−Ｎ，Ｎ’−ビス（フェニル）−ベンジデン）（Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ社製）を６０ｎｍ、トリス（８−ヒドロキシ−キノリネート）アルミニウム（Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ社製）を４０ｎｍ、２，９−ジメチル−４，７−ジフェニル−１，１０−フェナントロリン（Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ社製）を１０ｎｍ、（８−ヒドロキシ−キノリノレート）リチウム（Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ社製）を１０ｎｍ、０．１〜０．２ｎｍ／ｓの速度で順次蒸着させ、発光層を形成した。
【０１０９】
得られた発光層上に、アルミニウム（Ａｌ）（高純度化学研究所社製）を０．１ｎｍ／ｓの速度で１００ｎｍ蒸着させて陰極を形成し、有機ＥＬ素子を得た。なお、蒸着時の真空度は、全て１×１０−４Ｐａ以下であった。
【０１１０】
次いで、上記封止シートＢを、窒素雰囲気下で、ホットプレートを用いて１２０℃で３０分間加熱して、封止シートＢ中に含まれる水分を除去した後、そのまま放置して室温まで冷却した。そして、ガラス基板上に形成された有機ＥＬ素子を覆うように、フィルム状封止材が有機ＥＬ素子側になるように封止シートＢを載置し、それらを１００℃で熱圧着して有機ＥＬ素子を封止し、ボトムエミッション型の電子デバイスを得た。
【０１１１】
〔実施例２〜１０，比較例１〜４〕
接着性樹脂層および水蒸気バリア性樹脂層を構成する材料および各層の厚みを表１に示すように変更する以外、実施例１と同様にしてフィルム状封止材を製造した。このフィルム状封止材を使用して、実施例１と同様にして封止シートＡ，Ｂを作製し、トップエミッション型およびボトムエミッション型の電子デバイスを得た。
【０１１２】
なお、表１に記載の略号等の詳細は以下の通りである。
［接着性樹脂層］
・ＡｄｍｅｒＳＦ７３１：無水マレイン酸変性ポリエチレン系樹脂（三井化学社製，商品名「ＡｄｍｅｒＳＥ７３１」）
・リンクロンＸＬＥ８１５Ｎ：シラン変性直鎖状低密度ポリエチレン（三菱化学社製，商品名「リンクロンＸＬＥ８１５Ｎ」）
・ウルトラセン  ６３０：エチレン−酢酸ビニル共重合体（東ソー社製，商品名「ウルトラセン  ６３０」）
・ニュクレル  Ｎ１２０７Ｃ：エチレン−メタクリル酸共重合体（三井−デュポンポリケミカル社製，商品名「ニュクレル  Ｎ１２０７Ｃ」）
・ハイミラン  １６５０：エチレン系アイオノマー（Ｚｎタイプ）（三井−デュポンポリケミカル社製，商品名「ハイミラン  １６５０」）
［水蒸気バリア性樹脂層］
・ＴＯＰＡＳ９５０６Ｆ−０４：前述した構造式（ａ）で示されるシクオロレフィン重合体（ポリプラスチックス社製，商品名「ＴＯＰＡＳ９５０６Ｆ−０４」，ガラス転移温度６５℃）
・ＡＰＬ８００８Ｔ：前述した構造式（ｂ）で示されるシクオロレフィン重合体（三井化学社製，商品名「アペル８００８Ｔ」，ガラス転移温度７０℃）
・ＺＥＯＮＯＲ１０６０Ｒ：前述した構造式（ｄ）で示されるシクオロレフィン重合体（日本ゼオン社製，商品名「ＺＥＯＮＯＲ１０６０Ｒ」，ガラス転移温度１００℃）
・Ｅｘｘｏｎ  Ｂｕｔｙｌ  ３６５：イソブチレン−イソプレン共重合体（日本ブチル社製，商品名「Ｅｘｘｏｎ  Ｂｕｔｙｌ  ３６５」）
・エクセレンＶＬ  ＥＵＬ７３１：超低密度ポリエチレン（住友化学社製，商品名「エクセレンＶＬ  ＥＵＬ７３１」）
・スミカセンＬ７０５：低密度ポリエチレン（住友化学社製，商品名「スミカセンＬ７０５」）
【０１１３】
〔試験例１〕（水蒸気透過率の測定）
実施例または比較例で得られたフィルム状封止材の厚み５０μｍ換算の水蒸気透過率Ｗを測定した。また、第１の接着性樹脂層、第２の接着性樹脂層および水蒸気バリア性樹脂層を構成する材料を、それぞれ押出機（東洋精機製作所社製）により押出成形して、厚さ５０μｍの単層の樹脂フィルムを製膜した。得られた単層の樹脂フィルムを用いて、各層の厚み５０μｍ換算の水蒸気透過率Ｗ１、Ｗ２およびＷ３を測定した。具体的には、ＬＹＳＳＹ社製の透過率測定機「Ｌ８０−５０００」を用い、４０℃、９０％ＲＨの条件で測定を行った。結果を表１に示す。
【０１１４】
〔試験例２〕（接着力の測定）
実施例または比較例で得られた封止シートＢの接着性樹脂層を、被着体としてのガラス板（ソーダライムガラス，日本板硝子社製）と重ね合わせ、１３０℃で加熱しながら貼り合わせて、試験片を得た。
【０１１５】
得られた試験片を、貼り合わせ後２４時間、２３℃、５０％ＲＨの環境下で放置した後、同環境下で、引張試験機（オリエンテック社製，テンシロン）を用いて、剥離速度３００ｍｍ／分、剥離角度１８０°の条件で剥離試験を行い、接着力（Ｎ／２５ｍｍ）を測定した。結果を表１に示す。なお、表１中、接着力が１Ｎ／２５ｍｍ以下の場合は、「＜１」と表記した。
【０１１６】
〔試験例３〕（電子デバイスの評価）
実施例または比較例で得られたトップエミッション型およびボトムエミッション型の電子デバイスを、２３℃、５０％ＲＨの環境下で１００時間放置した後、有機ＥＬ素子を起動させ、ダークスポット（非発光箇所）の有無を観察し、以下の基準で評価した。結果を表１に示す。
Ａ：ダークスポットが発光面積の５％未満
Ｂ：ダークスポットが発光面積の５％以上１０％未満
Ｃ：ダークスポットが発光面積の１０％以上９０％未満
【０１１７】
【表１】
2016064499.tif 000007
【０１１８】
表１から分かるように、実施例で得られたフィルム状封止材は、特定の範囲の水蒸気透過率および接着力に制御されており、実施例で得られたフィルム状封止材によって封止された有機ＥＬ素子は、ダークスポットがほとんど見られず、電子デバイスの性能が良好であった。一方、比較例のフィルム状封止材は、水蒸気透過率が高いため、当該フィルム状封止材によって封止された有機ＥＬ素子は、ダークスポットが多く見られ、電子デバイスの性能が劣っていた。また、比較例３のフィルム状封止材は、接着力が低すぎて、有機ＥＬ素子を封止することができなかった。
【産業上の利用可能性】
【０１１９】
本発明に係るフィルム状封止材および封止シートは、例えば有機ＥＬモジュールや電子ペーパーに好適に用いられる。また、本発明に係る電子デバイスは、例えば有機ＥＬモジュールや電子ペーパーとして好適である。
【符号の説明】
【０１２０】
１…フィルム状封止材
１１Ａ…第１の接着性樹脂層
１１Ｂ…第２の接着性樹脂層
１２…水蒸気バリア性樹脂層
２…封止シート
２１…ガスバリアフィルム
３Ａ，３Ｂ…電子デバイス
３１…基板
３２…電子素子
３３…封止部材
【図１】
2016064499.tif 000008
【図２】
2016064499.tif 000009
【図３】
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【図４】
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