(57)【要約】【課題】見えの定量的な評価を好適に行うことができる検査システム等を提供する。【解決手段】検査システム３は、撮影システム３０とＰＣ３８とを有する。撮影システム３０は、光源３２から照射されタッチパネルセンサ１の積層体を反射した検査光３６をカメラ３４によって受光し、撮影を行う。カメラ３４は撮影範囲における積層体からの光の分光スペクトルを取得できる。ＰＣ３８は、各ポイントの分光スペクトルから、タッチパネルセンサ１の透明導電層１８上の検査領域４２と、比較領域４３についての分光スペクトルを算出し、これと比視感度に基づいて、両領域について見えの指標値ｉを算出する。そして、検査領域４２と比較領域４３について求めた見えの指標値ｉを比較する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物を撮影する際に撮影範囲における前記被検査物からの光の分光スペクトルを取得可能な撮影装置と、
前記分光スペクトルと比視感度とを用いて前記撮影範囲の検査領域と比較領域について見えの指標値を算出し、前記検査領域と前記比較領域の見えの指標値を比較する情報処理装置と、
を有することを特徴とする検査システム。
【請求項２】
前記情報処理装置は、前記見えの指標値を比較する際、前記検査領域と前記比較領域の見えの指標値の比を算出し、前記比が所定の範囲にあるか否かを判定することを特徴とする請求項１に記載の検査システム。
【請求項３】
前記情報処理装置は、前記見えの指標値を算出する際、所定波長における前記分光スペクトルの強度と比視感度の積を求めることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の検査システム。
【請求項４】
前記所定波長は、前記被検査物の撮影時の光源の分光スペクトルにおけるピーク波長であることを特徴とする請求項３に記載の検査システム。
【請求項５】
前記光源は三波長型蛍光灯であり、
前記所定波長は、前記三波長型蛍光灯の分光スペクトルにおけるピーク波長である３つの波長であり、
前記情報処理装置は、前記見えの指標値を算出する際、前記３つの波長のそれぞれに関して前記積を算出し、前記算出した積の和を求めることを特徴とする請求項４に記載の検査システム。
【請求項６】
前記被検査物が、インデックスマッチング層上に透明導電層のパターンが形成された積層体であり、
前記検査領域と前記比較領域が、前記透明導電層のパターンが形成された箇所と形成されない箇所に設定されることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の検査システム。
【請求項７】
撮影装置が被検査物を撮影して撮影範囲における前記被検査物からの光の分光スペクトルを取得し、
情報処理装置が、前記分光スペクトルと比視感度とを用いて前記撮影範囲の検査領域と比較領域について見えの指標値を算出し、前記検査領域と前記比較領域の見えの指標値を比較することを特徴とする検査方法。
【請求項８】
基材にインデックスマッチング層を形成する工程と、
前記インデックスマッチング層の上に透明導電層を形成し、積層体を形成する工程と、
撮影装置が前記積層体を撮影し、撮影範囲における前記積層体からの光の分光スペクトルを取得する工程と、
情報処理装置が、前記分光スペクトルと比視感度とを用いて前記撮影範囲の検査領域と比較領域について見えの指標値を算出し、前記検査領域と前記比較領域の見えの指標値を比較し、比較結果に応じて前記積層体をタッチパネルセンサの製品として合格と判定する工程と、
を有することを特徴とするタッチパネルセンサーの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査物の見えの検査を行う検査システム、検査方法、およびこれを用いたタッチパネルセンサの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
タッチパネルセンサでは、基材上に屈折率の異なる層を積層することにより、層上に形成された透明導電層のパターンを見えにくくするインデックスマッチング層が用いられることがある（特許文献１）。例えば、基材上に透明導電層より光屈折率の高い高屈折率層と透明導電層より光屈折率の低い低屈折率層とを有するインデックスマッチング層を設け、その上に透明導電層のパターンが形成される。
【０００３】
このようなタッチパネルセンサの製造工程では、インデックスマッチング層上の透明導電層のパターンが見えてしまうかどうか検査する工程がある。透明導電層のパターンは見えないことが望まれるが、中には透明導電層のパターンが見えるようなものもあるため、そのようなタッチパネルセンサは検査工程にて取り除かれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開2012-146217号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、現在の検査工程は検査員の目視により行われることが多く、そのため透明導電層のパターンの見えにくさの評価（以下、見えの評価ともいう。）に検査員によるバラツキが生じる。
【０００６】
また、インデックスマッチング層上の透明導電層のような、目視では見えにくい透過性の高い材質については、見えの評価と分光光度計により計測した透過率、反射率のような指標が一致しないという課題があり、目視評価に見合った定量化が困難であった。
【０００７】
本発明は、見えの定量的な評価を好適に行うことができる検査システム等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前述した課題を解決するための第１の発明は、被検査物を撮影する際に撮影範囲における被検査物からの光の分光スペクトルを取得可能な撮影装置と、前記分光スペクトルと比視感度を用いて前記撮影範囲の検査領域と比較領域について見えの指標値を算出し、前記検査領域と前記比較領域の見えの指標値を比較する情報処理装置と、を有することを特徴とする検査システムである。
【０００９】
本発明の検査システムでは、分光スペクトルと比視感度を用いて人間の見えに即した指標値の定量化を行うことができ、また上記の撮影装置を用いることで、任意の領域の見えについての面的な指標値が容易に算出できる。指標値の比較によって被検査物の領域の目立ちについて自動的に検査でき、発明者らが行った検討によれば、インデックスマッチング層上の透明導電層等の目視では見えにくい透過性の高い材質に対しても、検査結果が目視評価と合致し、検査を好適に行えることが確認された。
【００１０】
前記情報処理装置は、前記見えの指標値を比較する際、前記検査領域と前記比較領域の見えの指標値の比を算出し、前記比が所定の範囲にあるか否かを判定することが望ましい。
両領域の指標値が大きく異なる場合には一方の領域が他の領域に対して目立つことになるので、比の値を用いて目立ちの検査を好適に行うことができる。
【００１１】
前記情報処理装置は、前記見えの指標値を算出する際、所定波長における前記分光スペクトルの強度と比視感度の積を求めることが望ましい。
所定波長に関してスペクトル強度と比視感度の積を取ることで、人間の見えに即した指標値を好適に算出することができる。
【００１２】
前記所定波長は、前記被検査物の撮影時の光源の分光スペクトルにおけるピーク波長であることが望ましい。例えば、前記光源は三波長型蛍光灯であり、前記所定波長は、前記三波長型蛍光灯の分光スペクトルにおけるピーク波長である３つの波長であり、前記情報処理装置は、前記見えの指標値を算出する際、前記３つの波長のそれぞれに関して前記積を算出し、前記算出した積の和を求めることが望ましい。
撮影装置への入射光の量は、光源のピーク波長に対応する波長で多くなるので、当該波長に関してスペクトル強度と比視感度の積を取ることで、差がでやすく感度の高い指標値を簡易に算出することができる。三波長型蛍光灯を用いる場合は、そのピーク波長である３つの波長に関してスペクトル強度と比視感度の積を取り、それらの和を算出すればよい。
【００１３】
前記被検査物が、インデックスマッチング層上に透明導電層のパターンが形成された積層体であり、前記検査領域と前記比較領域が、前記透明導電層のパターンが形成された箇所と形成されない箇所に設定されることが望ましい。
これにより、インデックスマッチング層上の透明導電層の目立ちの評価を好適に行うことができ、従来目視で行っていた評価を自動化することで製造工程の効率化につながり、検査員による評価のバラツキもない。また、検査結果は、インデックスマッチング層や透明導電層の製造条件や構成、材料の最適化にも有用である。
【００１４】
第２の発明は、撮影装置が被検査物を撮影して撮影範囲における前記被検査物からの光の分光スペクトルを取得し、情報処理装置が、前記分光スペクトルと比視感度とを用いて前記撮影範囲の検査領域と比較領域について見えの指標値を算出し、前記検査領域と前記比較領域の見えの指標値を比較することを特徴とする検査方法である。
【００１５】
第３の発明は、基材にインデックスマッチング層を形成する工程と、前記インデックスマッチング層の上に透明導電層を形成し、積層体を形成する工程と、撮影装置が前記積層体を撮影し、撮影範囲における前記積層体からの光の分光スペクトルを取得する工程と、情報処理装置が、前記分光スペクトルと比視感度とを用いて前記撮影範囲の検査領域と比較領域について見えの指標値を算出し、前記検査領域と前記比較領域の見えの指標値を比較し、比較結果に応じて前記積層体をタッチパネルセンサの製品として合格と判定する工程と、を有することを特徴とするタッチパネルセンサの製造方法である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明により、見えの定量的な評価を好適に行うことができる検査システム等を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】検査システム３を示す図
【図２】タッチパネルセンサ１の積層体を示す図
【図３】タッチパネルセンサ１の製造方法を示すフローチャート
【図４】タッチパネルセンサ１の製造方法について説明する図
【図５】タッチパネルセンサ１の製造方法について説明する図
【図６】検査方法を示すフローチャート
【図７】検査方法を説明する図
【図８】検査方法を説明する図
【図９】指紋不可視フィルム２を示す図
【図１０】サンプルの高屈折率層や低屈折率層の膜厚等を示す図
【図１１】サンプルの画像の一例を示す図
【図１２】比の値をプロットした図
【図１３】各サンプルの画像を示す図
【図１４】各サンプルの屈折率もしくは概略の色を示す図
【図１５】サンプルの画像の一例を示す図
【図１６】比の値をプロットした図
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面に基づいて本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。
【００１９】
［第１の実施形態］
（１．検査システム３）
図１は、本発明の実施形態に係る検査システム３の一例を示す図である。この検査システム３は、撮影システム３０とＰＣ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｃｏｍｐｕｔｅｒ）３８（情報処理装置）とを有する。
【００２０】
撮影システム３０は、被検査物であるタッチパネルセンサ１（積層体）を筐体３１内の白色のベース１０上に配置し、これをカメラ（撮影装置）３４で撮影するものである。撮影システム３０では、カメラ３４の他、筐体３１内に光源３２、拡散板３３等が設けられる。
【００２１】
光源３２はタッチパネルセンサ１に検査光３５を照射するものである。光源３２としては三波長型蛍光灯が用いられる。本実施形態では、三波長型蛍光灯として、分光スペクトルにおいて波長４４０ｎｍ、５４５ｎｍ、６１５ｎｍ付近を３つのピーク波長とするものが用いられる。ただし、光源３２はこれに限らない。例えばＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）などでもよい。
【００２２】
拡散板３３は、検査光３５を拡散するものである。拡散板３３としては、例えば乳白色のアクリル板など用いることができるが、これに限ることはない。
【００２３】
カメラ３４は、被検査物であるタッチパネルセンサ１から反射した光を検査光３６として受光してタッチパネルセンサ１の撮影を行うものである。本実施形態では、カメラ３４として分光イメージングカメラを用いる。分光イメージングカメラは、撮影範囲にある被検査物からの光の分光スペクトルを取得可能な撮影装置である。すなわち、撮影範囲の各ポイントからの光の分光スペクトルを取得可能である。カメラ３４は、分光スペクトルとして、単波長ごと（例えば５〜１０ｎｍごと）の光の量（スペクトル強度）を取得でき、任意の単波長における受光量をグレースケール等の階調値に変換した画像（分光画像）を生成することができる。なお、分光スペクトルは撮影範囲の各ポイントについて取得してもよいし、撮影範囲の一部のポイントから取得してもよい。
【００２４】
ＰＣ３８は、カメラ３４とデータ通信可能に接続される。ＰＣ３８は、制御部、記憶部、入力部、表示部、通信部等を備える一般的なコンピュータを用いることができる。
【００２５】
（２．タッチパネルセンサ１）
図２はタッチパネルセンサ１の積層体を示す図である。このタッチパネルセンサ１は、特開2012-146217号公報に記載のタッチパネルセンサのように、透明導電層をインデックスマッチング層上に設けることで、薄膜干渉の効果により、透明導電層のパターンをそれ以外の部分に対し目立たなくして見えにくくするものである。
【００２６】
タッチパネルセンサ１は、樹脂フィルム１１（基材）の上面から順にアンダーコート層１５、インデックスマッチング層１６、透明導電層１８を上方に積層して形成される。なお、樹脂フィルム１１の下面にはアンダーコート層１２が形成される。
【００２７】
樹脂フィルム１１としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリカーボネイト（ＰＣ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリアミド（ＰＡ）、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、脂肪族環状ポリオレフィン、ノルボルネン系の熱可塑性透明樹脂などの可撓性フィルムを用いることができるが、これに限定されることはない。
【００２８】
アンダーコート層１２、１５は、樹脂フィルム１１を保護し適当な剛性を付与するために設けられる。上面のアンダーコート層１５については、特開2012-146217号公報に記載のように、樹脂フィルム１１中の低分子重合体がインデックスマッチング層１６の高屈折率層１６ａ側に入り込むのを防ぐ役割も有する。アンダーコート層１２、１５は例えばアクリル樹脂により形成されるが、これに限ることはない。
【００２９】
インデックスマッチング層１６は、高屈折率層１６ａの上に低屈折率層１６ｂを積層して形成される。
【００３０】
高屈折率層１６ａは、光屈折率が透明導電層１８よりも高い層であり、例えばチタン、アルミニウム、セリウム、イットリウム、ジルコニウム、ニオブ、アンチモン等よりなる無機酸化物を用いることができる。また、これらの無機酸化物と、アクリル樹脂、ウレタン樹脂などの有機物とを混合したものを使用することも可能である。
【００３１】
低屈折率層１６ｂは、光屈折率が透明導電層１８よりも低い層であり、例えばＳｉＯ2、ＴｉＯ2、ＮａＦ、Ｎａ3ＡｌＦ6、ＬＩＦ、ＭｇＦ2、ＣａＦ2、ＢａＦ2、ＳｉＯ、ＳｉＯX、ＬａＦ3、ＣｅＦ3、Ａｌ2Ｏ3、ＣｅＯ2、Ｎｄ2Ｏ3、Ｓｂ2Ｏ3、Ｔａ2Ｏ5、ＺｒＯ2、ＺｎＯ、ＺｎＳ等よりなる無機酸化物を用いることができる。また、これらの無機酸化物と、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、シロキサン系ポリマーなどの有機物とを混合したものも使用可能である。
【００３２】
透明導電層１８は、タッチパネルが押下された際に電気信号を伝達するためのものであり、金属を含むとともに透明性を有する層である。透明導電層１８の金属材料としては、例えば、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、酸化亜鉛、酸化インジウム、アンチモン添加酸化錫、フッ素添加酸化錫、アルミニウム添加酸化亜鉛、カリウム添加酸化亜鉛、シリコン添加酸化亜鉛や、酸化亜鉛−酸化錫系、酸化インジウム−酸化錫系、酸化亜鉛−酸化インジウム−酸化マグネシウム系などの金属酸化物を挙げることができ、また、これらの金属酸化物が２種以上複合されてもよい。
【００３３】
（３．タッチパネルセンサ１の製造方法）
次に、タッチパネルセンサ１の製造方法について説明する。図３はタッチパネルセンサ１の製造方法を示すフローチャートである。
【００３４】
タッチパネルセンサ１を製造するには、まず図４（ａ）に示すように、樹脂フィルム１１の上下面にアンダーコート層１５、１２が形成されたフィルムを準備し、図４（ｂ）に示すように、アンダーコート層１５上に高屈折率層１６ａを形成する（図３のＳ１）。
【００３５】
その後、図４（ｃ）に示すように、高屈折率層１６ａ上に低屈折率層１６ｂを形成する（Ｓ２）。そして、図４（ｄ）に示すように、低屈折率層１６ｂ上に透明導電層１８を形成する（Ｓ３）。
【００３６】
高屈折率層１６ａ、低屈折率層１６ｂ、および透明導電層１８の形成方法は特に限定されず、スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ法、塗工法、印刷法などを用いることができる。
【００３７】
次に、図５（ａ）に示すように、透明導電層１８上に感光性樹脂１９を塗布する（Ｓ４）。感光性樹脂１９は公知のものを用いることができ、本実施形態においてはポジ型の感光性樹脂を用いた場合について説明する。また、感光性樹脂１９は、例えばコーターを用いて塗布される。
【００３８】
その後、所定の遮光パターンを有するマスクを介して感光性樹脂１９を露光し、現像を行うことで、感光性樹脂１９の露光部分が除去され、図５（ｂ）に示すように感光性樹脂１９のパターンが形成される（Ｓ５）。この感光性樹脂１９をマスクとして、既知の手法により、図５（ｃ）に示すように透明導電層１８のエッチングを行う（Ｓ６）。
【００３９】
その後、図５（ｄ）に示すように感光性樹脂１９を除去する（Ｓ７）と、透明導電層１８のパターンを有する積層体が形成される。この他、必要に応じてタッチパネルセンサに必要な端子等がスクリーン印刷法等により形成される。
【００４０】
最後に、この積層体の検査を、図１に示した検査システム３によって行い（Ｓ８）、透明導電層１８のパターンが目立たないものを、タッチパネルセンサ１の製品として合格とする。以上のようにしてタッチパネルセンサ１が製造される。
【００４１】
なお、本実施形態では上記のようにフォトリソグラフィとエッチングの手法を用いて低屈折率層１６ｂ上に透明導電層１８のパターンを形成したが、これに限ることはない。透明導電層１８のパターンを形成する方法としては、例えば、透明導電層１８のパターンの形状に対応する孔の開いた金属や樹脂製のプレート（ターゲット）を用い、スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ法等を用いて直接透明導電層１８のパターンを形成する手法を用いても良い。また、塗工用の版や印刷版を用いて塗工法や印刷法にて直接透明導電層１８のパターンを形成することもできる。
【００４２】
（４．検査システム３による検査方法）
次に、上記のＳ８において行われる、検査システム３による検査方法について説明する。図６は検査方法を示すフローチャートであり、図の各ステップはＰＣ３８の制御部が実行する処理である。
【００４３】
本実施形態では、まず、上記した積層体を、カメラ３４によって前記したように撮影する。図７（ａ）はカメラ３４による撮影画像の一部を模式的に示す図である。この例では、縞状に設けた透明導電層１８のパターンの１ラインと、その両隣の透明導電層１８が形成されないラインが示されている。
【００４４】
前記した通り、カメラ３４は撮影範囲の各ポイントに対応する位置から光の分光スペクトルを取得できる。具体的には、図７（ｂ）はこのポイント４１を模式的に示す図であり、図７（ａ）の範囲ｃにおけるポイント４１の例である。また、各ポイントは撮影画像の各画素であってもよい。各ポイント４１の分光スペクトルは、カメラ３４からＰＣ３８に送信される。ＰＣ３８はこれを受信して取得する（図６のＳ８１）。
【００４５】
ＰＣ３８では、撮影範囲における検査領域と比較領域が予め定められており、ＰＣ３８は、各ポイント４１の分光スペクトルから、検査領域と比較領域についての分光スペクトルを算出する（Ｓ８２）。
【００４６】
図７（ａ）の例では、透明導電層１８のパターンの１ライン上に矩形状の検査領域４２が設定される。比較領域４３は、その両隣の、透明導電層１８が形成されないライン上で矩形状に設定される。
【００４７】
本実施形態では、Ｓ８２において、検査領域４２と比較領域４３の各々について、領域内の全ポイント４１の分光スペクトルの平均値を算出し、これを検査領域４２と比較領域４３についての分光スペクトルとする。分光スペクトルの平均値とは、波長ごとに、各ポイント４１のスペクトル強度の平均値を算出したものである。なお、本実施形態では、上記のように、領域内の全ポイント４１の分光スペクトルの平均値を算出しているが、領域内の一部のポイント４１の分光スペクトルの平均値を算出して、検査領域４２と比較領域４３についての分光スペクトルとしてもよい。
【００４８】
次に、ＰＣ３８は、検査領域４２と比較領域４３の分光スペクトルと比視感度に基づいて、両領域について見えの指標値（以下、単に「指標値」ということがある）を算出する（Ｓ８３）。
【００４９】
図８（ａ）は、横軸を波長として各波長の比視感度を示した図である。比視感度は、各波長の光が人間の眼にどの程度明るく感じるかを、最大値（＝１）に対する割合として示したものである。
【００５０】
図８（ｂ）の左のグラフは、横軸を波長、縦軸をスペクトル強度（相対強度）として分光スペクトルを示したものであり、右のグラフは比視感度を図８（ａ）と同様に示したものである。本実施形態では、Ｓ８３において、検査領域４２と比較領域４３の各々に対し、図８（ｂ）に示すように、３つの所定波長４４０ｎｍ、５４５ｎｍ、６１５ｎｍのそれぞれについて分光スペクトルのスペクトル強度と比視感度をかけた積を算出し、それらの和を取って見えの指標値ｉとする。
【００５１】
すなわち、見えの指標値ｉは以下の式（１）で算出される。
指標値ｉ＝（波長４４０ｎｍのスペクトル強度）×（波長４４０ｎｍの比視感度）＋（波長５４５ｎｍのスペクトル強度）×（波長５４５ｎｍの比視感度）＋（波長６１５ｎｍのスペクトル強度）×（波長６１５ｎｍの比視感度）…（１）
【００５２】
上記の所定波長４４０ｎｍ、５４５ｎｍ、６１５ｎｍは、光源３２として用いた三波長型蛍光灯の分光スペクトルの３つのピーク波長に対応する。カメラ３４への入射光の量は、光源３２のピーク波長で多くなるので、上記の所定波長を光源３２のピーク波長に対応させることで、差がでやすく感度が高い指標値ｉを容易に算出できる。
【００５３】
続いて、ＰＣ３８は、検査領域４２と比較領域４３について求めた見えの指標値ｉを比較する（Ｓ８４）。
【００５４】
本実施形態では、Ｓ８４において、両領域の見えの指標値ｉの比Ｒを下式（２）で算出する。
比Ｒ＝（検査領域４２の見えの指標値ｉ）／（比較領域４３の見えの指標値ｉ）…（２）
【００５５】
ＰＣ３８は、Ｓ８４における比較結果に応じて、撮影した積層体をタッチパネルセンサ１の製品として合格と判定する。本実施形態では、上記の式（２）で求めた比Ｒの値が１．０前後の所定範囲にあれば（Ｓ８５；ＹＥＳ）、両領域の見えに差はなく、透明導電層１８が目立たないとして合格とする（Ｓ８６）。一方、比Ｒの値が所定範囲になければ（Ｓ８５；ＮＯ）、両領域の見えに差が有り、透明導電層１８が目立つとして不合格とする（Ｓ８７）。上記の所定範囲は、例えば１．００を中心とし０．９８〜１．０２程度の範囲に定める。
【００５６】
以上説明したように、本実施形態では、分光スペクトルと比視感度を用いて人間の見えに即した指標値の定量化を行うことができ、また上記のカメラ３４を用いることで、任意の領域についての面的な見えの指標値ｉが容易に算出できる。この指標値ｉの比較によってインデックスマッチング層１６上の透明導電層１８の目立ちについて自動的に検査できる。この検査結果は目視評価と合致し、検査を好適に行えることが発明者らが行った検討により確認されている。この検討結果については後述する。
【００５７】
また本実施形態では、見えの指標値ｉを比較する際、検査領域４２と比較領域４３の指標値ｉの比を算出し、比の値が所定範囲にあるか否かを判定する。両領域の指標値ｉが大きく異なる場合には検査領域４２が比較領域４３に対して目立つことになるので、これらの指標値ｉの比の値を用いて目立ちの検査を好適に行うことができる。
【００５８】
また、本実施形態では、見えの指標値ｉを算出する際、検査領域４２と比較領域４３の分光スペクトルの所定波長におけるスペクトル強度に、当該所定波長における比視感度をかけた積を取ることで、人間の見えに即した指標値を好適に算出できる。本実施形態では、光源３２に三波長型蛍光灯を用い、上記した所定波長を三波長型蛍光灯の３つのピーク波長に対応させることで、前記したように感度の高い指標値ｉを簡易に算出することができる。
【００５９】
ただし、所定波長はこれに限らず、例えばＬＥＤなど別の光源３２を用いる場合は、その光源３２のピーク波長として定めることができる。また、所定の波長範囲の各波長ごとに分光スペクトルと比視感度の積を取り、その和を算出してもよい。この波長範囲は光源３２のピーク波長を中心として定めてもよいし、光源３２に関係なく任意の一定範囲として定めてもよい。
【００６０】
また、本実施形態ではインデックスマッチング層１６上に透明導電層１８のパターンが形成されたタッチパネルセンサ１の積層体を被検査物とすることで、透過性が高く目視では見えにくい透明導電層１８の目立ちの評価を好適に行うことができ、従来目視で行っていた評価を自動化することで製造工程の効率化につながり、検査員による評価のバラツキもない。また、検査結果は、インデックスマッチング層１６や透明導電層１８の製造条件や構成、材料の最適化にも有用である。
【００６１】
しかしながら、本発明はこれに限らない。例えば、上記の検査手順では、領域内のポイント４１の分光スペクトルを平均して検査領域４２あるいは比較領域４３の分光スペクトルとした後、当該分光スペクトルから見えの指標値ｉを求めたが、領域内の各ポイント４１の分光スペクトルについて前記と同様にして見えの指標値ｉを求めた後、領域内のポイント４１の指標値ｉを平均して検査領域４２あるいは比較領域４３についての見えの指標値ｉとしてもよい。
【００６２】
その他、検査システム３による被検査物も上記に限らない。以下、被検査物が異なる例について第２の実施形態として説明する。第２の実施形態は第１の実施形態と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
【００６３】
［第２の実施形態］
図９（ａ）は、第２の実施形態における被検査物である指紋不可視フィルム２を示す図である。この指紋不可視フィルム２は、樹脂フィルム２１（基材）に、指紋が付着しにくく指紋の目立ちを抑えるともに、指紋が付着しても簡単に除去し不可視とできるよう防汚膜２３によるコーティングを施したものである。
【００６４】
樹脂フィルム２１としては、前記と同様のフィルムを用いることができ、例えばＰＥＴフィルムなどを用いることができる。
【００６５】
防汚膜２３としては、各種の撥油材料、または親油材料を用いることができる。これらの材料は特に限定されないが、撥油材料としては、フッ素化合物類を含有する樹脂フィルム、フッ素化合物類を含有するコーティング材料を基材に塗布したもの、フッ素系添加剤を樹脂ハードコート材料に添加して基材に塗布したもの、シリコーン化合物類を含有する樹脂フィルム、シリコーン化合物類を含有するコーティング材料を基材に塗布したもの、シリコーン系添加剤を樹脂ハードコート材料に添加して基材に塗布したものを挙げることができる。親油材料としては、長鎖脂肪族類を樹脂ハードコート材料に添加して基材に塗布したもの等を挙げることができる。その他、プラズマ処理などの光や電磁波で基材表面を処理した膜や、酸化処理などの化学的な処理により基材表面を改質した膜なども挙げられる。
【００６６】
指紋不可視フィルム２の検査時には、図９（ｂ）に示すように、防汚膜２３の上面に指紋の付着を模した人工指紋液による指紋層２５を形成する。そして、指紋層２５の位置に検査領域４２を設定し、指紋層２５の周囲の指紋層２５が形成されない位置に比較領域４３を設定する。指紋層２５の拭取り前や拭取り後に第１の実施形態で説明したものと同様の検査を行うことで、指紋層２５の目立ちを検査でき、第１の実施形態と同様の効果が得られる。
【００６７】
次に、本発明の検査システム３により第１、第２の実施形態で説明した透明導電層１８と指紋層２５の検査を行い、検査結果の検討を行ったので、これを実施例１、２として説明する。なお、本発明はこれに限定されるものではない。
【実施例１】
【００６８】
＜被検査物＞
実施例１では、タッチパネルセンサとして、樹脂フィルムの上下面にアンダーコート層を設け、上面のアンダーコート層の上に高屈折率層、低屈折率層からなるインデックスマッチング層を設け、インデックスマッチング層上に透明導電層としてＩＴＯパターンを縞状に形成した積層体を被検査物として用意した。
【００６９】
樹脂フィルムとしてはＰＥＴフィルムを用い、高屈折率層はウレタンアクリレート中にジルコニアを分散させ、紫外線硬化させたものを用いた。低屈折率層としては酸化ケイ素を用いた。積層体は、高屈折率層および低屈折率層の膜厚や屈折率が異なる複数のサンプルを用意した。これらのサンプルの高屈折率層や低屈折率層の膜厚等を図１０に示す。
【００７０】
＜透明導電層の目立ちの検査＞
光源として三波長型蛍光灯を用い、各サンプルを分光イメージングカメラにて撮影した。撮影した画像の一例を図１１に示す。この画像は５４５ｎｍにおける分光画像であり、「ＩＴＯ」で示した縦方向のラインがＩＴＯパターンの１ラインである。その両隣のラインにはＩＴＯパターンが形成されていない。
【００７１】
その後、撮影範囲内の各ポイントの分光スペクトルデータを解析して、前記と同様に、ＩＴＯパターンの１ライン上の検査領域とその両隣のライン上の比較領域について分光スペクトルを算出した。その後、前記の式（１）で検査領域と比較領域について見えの指標値ｉを算出し、両領域の指標値ｉの比Ｒを、前記の式（２）で算出した。
【００７２】
＜検査結果＞
各サンプルの比Ｒの値を、横軸を低屈折率層の膜厚としてプロットしたものが図１２である。また、図１３は各サンプルの波長５４５ｎｍにおける分光画像を、比Ｒの値とともに示したものである。
【００７３】
各サンプルを目視した結果、全体として比の値が１に近い程ＩＴＯパターンが見え難くなり、比の値が０．９８〜１．０２程度の範囲にあればＩＴＯパターンが十分に見えにくい結果となった。なお、Ａ１〜Ａ４の比較ではＡ２が最もＩＴＯパターンが見えにくく、Ｂ１〜Ｂ４の比較ではＢ２が最もＩＴＯが見えにくい結果となった。これにより、本検査方法で目立ちの検査を行うことが有効であると確認された。
【００７４】
なお、各サンプルにつき、分光光度計にてＩＴＯパターン上の１点の透過率および反射率を計測したが、その値の大小と目視評価による見えにくさは、上記の結果に比べると、合致したとは言えなかった。
【実施例２】
【００７５】
＜被検査物＞
実施例２では、指紋不可視フィルムとして、樹脂フィルムであるＰＥＴフィルムの上面に撥油材料を塗布して防汚膜を形成し、防汚膜の上面に指紋層を形成した積層体を被検査物として用意した。指紋層の形成は、人工指紋液をシリコンスタンプにて一定の力および時間でスタンプして行った。
【００７６】
撥油材料としては、屈折率が異なるように調合した５種類と、色が異なるように調合した６種類を用い、防汚膜の屈折率が異なる５つのサンプルによるサンプル群Ｃと、防汚膜の色が異なる６つのサンプルによるサンプル群Ｄを用意した。サンプル群Ｃの各サンプルＣ１〜Ｃ５について屈折率を、サンプル群Ｄの各サンプルＤ１〜Ｄ６について概略の色を示したものが図１４である。
【００７７】
＜指紋層の目立ちの検査＞
指紋層の目立ちの検査は、指紋層の位置に検査領域を設定し、指紋層の周囲の指紋層が形成されない位置に比較領域を設定した上で、実施例１で説明したものと同様に行った。防汚膜の屈折率が異なるサンプル群Ｃについては指紋層の拭取り前に検査を１回行い、防汚膜の色が異なるサンプル群Ｄについては、指紋層の拭取り前、指紋層を１回拭取った後、２回拭取った後、３回拭取った後、指紋層が目視できなくなるまで４回以上拭取った後、の各時点で検査を行った。
【００７８】
図１５（ａ）はサンプルＣ１の波長５４５ｎｍの分光画像である。図１５（ｂ）は、サンプルＤ２について、指紋層の拭取り前、指紋層を１回拭取った後、２回拭取った後、３回拭取った後、指紋層が目視できなくなるまで４回以上拭取った後のそれぞれについて撮影を行った波長５４５ｎｍの分光画像である。白抜きの矢印は、指紋層の位置を示す。
【００７９】
＜検査結果＞
防汚膜の屈折率が異なるサンプル群Ｃの各サンプルについて、前記の式（２）によって求めた比Ｒの値を、横軸を防汚膜の屈折率としてプロットしたものが図１６（ａ）である。この例でも、各サンプルを目視した結果、全体として比の値が１に近い程指紋層が目立たないことが確認され、好適に検査を行えることが確認された。
【００８０】
図１６（ｂ）は、サンプル群Ｄの各サンプルについて、前記の式（２）によって求めた比Ｒの値を、指紋層の拭取り前、指紋層を１回拭取った後、２回拭取った後、３回拭取った後、指紋層が目視できなくなるまで４回以上拭取った後の順にプロットしたものである。
【００８１】
この例では、１回指紋層を拭取るだけでは汚れが逆に目立つが、指紋層の拭取りを繰り返すと指紋層が徐々に目立たなくなる様子が定量化できることが確認された。
【００８２】
以上、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されない。当業者であれば、本願で開示した技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【符号の説明】
【００８３】
１：タッチパネルセンサ
２：指紋不可視フィルム
３：検査システム
１１、２１：樹脂フィルム
１２、１５：アンダーコート層
１６：インデックスマッチング層
１８：透明導電層
２３：指紋層
３０：撮影システム
３２：光源
３４：カメラ
３５、３６：検査光
３８：ＰＣ
４１：ポイント
４２：検査領域
４３：比較領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１２】
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【図１４】
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【図１６】
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【図１１】
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【図１３】
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【図１５】
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