(57)【要約】      （修正有）【課題】材料の無駄が少なく、環境への負荷の小さい方法で、所望の形状、パターンの成膜を効率よく行うことができる成膜装置を提供する。【解決手段】膜形成用の材料Ｐ３’を収容する収容部４３と、収容部４３に収容された材料Ｐ３’を加熱する加熱手段４と、収容部４３が設置され、材料Ｐ３’を蒸発させる蒸気発生室１５と、蒸気発生室１５で発生した材料Ｐ３’の蒸気が凝縮することにより形成された微粒子Ｐ３１を用いて、基材Ｐ１に対して被膜を形成する成膜室１６とを備えるとともに、Ｐ３’材料が蒸発している状態において、収容部４３に材料Ｐ３’を追加供給する材料供給手段８を備えている成膜装置１００。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
膜形成用の材料を収容する収容部と、
前記収容部に収容された前記材料を加熱する加熱手段と、
前記収容部が設置され、前記材料を蒸発させる蒸気発生室と、
前記蒸気発生室で発生した前記材料の蒸気が凝縮することにより形成された微粒子を用いて、基材に対して被膜を形成する成膜室とを備えるとともに、
前記材料が蒸発している状態において、前記収容部に前記材料を追加供給する材料供給手段を備えていることを特徴とする成膜装置。
【請求項２】
予熱した状態の前記材料を、前記収容部に追加供給するように構成されている請求項１に記載の成膜装置。
【請求項３】
前記材料供給手段は、粒子状の前記材料を追加供給するものである請求項１または２に記載の成膜装置。
【請求項４】
前記材料供給手段は、粒子状の前記材料を整列させ、前記収容部に前記材料を断続的に追加供給するものである請求項１ないし３のいずれか１項に記載の成膜装置。
【請求項５】
長尺状の前記材料をその長手方向に沿って、順次、前記収容部に追加供給するように構成されている請求項１ないし４のいずれか１項に記載の成膜装置。
【請求項６】
追加供給される前記材料は、多孔質材料である請求項１ないし５のいずれか１項に記載の成膜装置。
【請求項７】
前記収容部内の前記材料の温度が、前記成膜室で成膜を行う際に比べて、前記材料供給手段により前記材料を追加供給する際のほうが低くなるように、温度調節を行うように構成されている請求項１ないし６のいずれか１項に記載の成膜装置。
【請求項８】
前記材料供給手段により前記材料を追加供給する際に、蒸発した前記材料が前記基材に供給され付着することを防止する付着防止手段を備えている請求項１ないし７のいずれか１項に記載の成膜装置。
【請求項９】
前記付着防止手段が、蒸発した前記材料を、前記成膜室のガスを排気する排気口へと導くガイド部材である請求項８に記載の成膜装置。
【請求項１０】
前記収容部を観察する観察手段を備え、
前記観察手段の観察結果に基づいて、前記材料供給手段からの前記材料の供給量を調整する請求項１ないし９のいずれか１項に記載の成膜装置。
【請求項１１】
基材上に被膜を形成する成膜方法であって、
前記基材を準備する基材準備工程と、
成膜を行う系内に設置された収容部に収容された被膜形成用の材料を蒸発させた後に、前記材料の蒸気を凝縮させることにより形成した微粒子を堆積させることにより被膜を形成する被膜形成工程とを有し、
前記材料が蒸発している状態において、前記収容部に前記材料を追加供給することを特徴とする成膜方法。
【請求項１２】
請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の成膜装置を用いて被膜を形成することを特徴とする成膜方法。
【請求項１３】
請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の成膜装置を用いて形成された被膜を備えることを特徴とする装飾品。
【請求項１４】
請求項１１または１２に記載の成膜方法を用いて形成された被膜を備えることを特徴とする装飾品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成膜装置、成膜方法および装飾品に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、時計やその構成部品等の各種装飾品には、優れた審美性（美的外観）が要求される。
【０００３】
このため、装飾品には、各種金属材料等の優れた質感を有する材料が用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
そして、さらなる審美性の向上のために、所定のパターンで装飾層（被膜）を設けることが行われている。
【０００５】
従来においては、所定のパターンで装飾層（被膜）を設けるためには、マスク（レジスト等）を配した状態で真空蒸着等の気相成膜を行ったり、基材の全面に成膜を行った後にエッチングで不要部分を除去する方法等が採用されたりしている。
【０００６】
しかしながら、これらの方法では、最終的な装飾品に含まれる被膜の構成材料は、製造に用いる材料のごく一部であり、材料の無駄が多く、省資源の観点から好ましくなかった。
【０００７】
また、被膜形成用材料の回収、回収した材料のリサイクル、レジストの利用等に伴う工程増加や化学物質の使用が、環境負荷やコスト増大の問題を引き起こしていた。
【０００８】
また、従来においては、所定のパターンで被膜が設けられた装飾品を優れた生産性で製造することができなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００８−１５０６６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の目的は、材料の無駄が少なく、環境への負荷の小さい方法で、所望の形状、パターンの成膜を効率よく行うことができる成膜装置を提供すること、材料の無駄が少なく、環境への負荷の小さい方法で、所望の形状、パターンの成膜を効率よく行うことができる成膜方法を提供すること、また、前記成膜装置、前記成膜方法を用いて形成された被膜を備え、美的外観に優れ、製造時における材料の無駄が少なく、環境への負荷の小さい装飾品を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の成膜装置は、膜形成用の材料を収容する収容部と、
前記収容部に収容された前記材料を加熱する加熱手段と、
前記収容部が設置され、前記材料を蒸発させる蒸気発生室と、
前記蒸気発生室で発生した前記材料の蒸気が凝縮することにより形成された微粒子を用いて、基材に対して被膜を形成する成膜室とを備えるとともに、
前記材料が蒸発している状態において、前記収容部に前記材料を追加供給する材料供給手段を備えていることを特徴とする。
【００１２】
これにより、材料の無駄が少なく、環境への負荷の小さい方法で、所望の形状、パターンの成膜を効率よく行うことができる成膜装置を提供することができる。
【００１３】
本発明の成膜装置では、予熱した状態の前記材料を、前記収容部に追加供給するように構成されていることが好ましい。
【００１４】
これにより、収容部に材料を追加供給した際に、材料の粗大粒子が収容部の外部に飛び出すこと、すなわち、成膜に用いられる微粒子の粗大化をより確実に防止することができ、形成される被膜の品質をより確実に優れたものとすることができる。
【００１５】
本発明の成膜装置では、前記材料供給手段は、粒子状の前記材料を追加供給するものであることが好ましい。
【００１６】
これにより、追加供給するための材料の保存や、収容部への供給が容易となり、成膜の効率を特に優れたものとすることができる。また、収容部に追加供給する材料の量の管理が容易であるため、収容部内の材料の不本意な温度の低下等を防止することができ、安定した品質の被膜をより確実に形成することができる。
【００１７】
本発明の成膜装置では、前記材料供給手段は、粒子状の前記材料を整列させ、前記収容部に前記材料を断続的に追加供給するものであることが好ましい。
【００１８】
これにより、追加供給する材料の量の管理がさらに容易となり、安定した品質の被膜をさらに確実に形成することができる。
【００１９】
本発明の成膜装置では、長尺状の前記材料をその長手方向に沿って、順次、前記収容部に追加供給するように構成されていることが好ましい。
【００２０】
これにより、収容部に追加供給される材料の量の微妙な調整が可能となり、収容部内の材料の量をより高い精度で制御することができる。また、収容部からの熱伝導により、収容部の外部に存在する材料も加熱（予熱）されることとなり、その結果、材料を収容部に追加供給する際の収容部内の急激な温度変化をより効果的に防止することができ、形成される被膜の品質をより確実に優れたものとすることができる。
【００２１】
本発明の成膜装置では、追加供給される前記材料は、多孔質材料であることが好ましい。
【００２２】
これにより、材料が収容部に追加供給された際に、突沸現象が生じることを効果的に防止することができ、結果として、形成される被膜の品質をより安定的に優れたものとすることができる。
【００２３】
本発明の成膜装置では、前記収容部内の前記材料の温度が、前記成膜室で成膜を行う際に比べて、前記材料供給手段により前記材料を追加供給する際のほうが低くなるように、温度調節を行うように構成されていることが好ましい。
【００２４】
これにより、成膜の効率を十分に優れたものとしつつ、必要以上に材料が蒸発し、不本意な成膜が進行することを防止することができる。
【００２５】
本発明の成膜装置では、前記材料供給手段により前記材料を追加供給する際に、蒸発した前記材料が前記基材に供給され付着することを防止する付着防止手段を備えていることが好ましい。
これにより、形成される被膜の品質をより確実に優れたものとすることができる。
【００２６】
本発明の成膜装置では、前記付着防止手段が、蒸発した前記材料を、前記成膜室のガスを排気する排気口へと導くガイド部材であることが好ましい。
【００２７】
これにより、形成される被膜の品質をさらに確実に優れたものとすることができる。また、成膜装置のメンテナンスが容易となる。
【００２８】
本発明の成膜装置では、前記収容部を観察する観察手段を備え、
前記観察手段の観察結果に基づいて、前記材料供給手段からの前記材料の供給量を調整することが好ましい。
これにより、より確実に、収容部内の材料の量を好適な範囲に調整することができる。
【００２９】
本発明の成膜方法は、基材上に被膜を形成する成膜方法であって、
前記基材を準備する基材準備工程と、
成膜を行う系内に設置された収容部に収容された被膜形成用の材料を蒸発させた後に、前記材料の蒸気を凝縮させることにより形成した微粒子を堆積させることにより被膜を形成する被膜形成工程とを有し、
前記材料が蒸発している状態において、前記収容部に前記材料を追加供給することを特徴とする。
【００３０】
これにより、材料の無駄が少なく、環境への負荷の小さい方法で、所望の形状、パターンの成膜を効率よく行うことができる成膜方法を提供することができる。
【００３１】
本発明の成膜方法は、本発明の成膜装置を用いて被膜を形成することを特徴とする。
これにより、材料の無駄が少なく、環境への負荷の小さい方法で、所望の形状、パターンの成膜を効率よく行うことができる成膜方法を提供することができる。
【００３２】
本発明の装飾品は、本発明の成膜装置を用いて形成された被膜を備えることを特徴とする。
【００３３】
これにより、美的外観に優れ、製造時における材料の無駄が少なく、環境への負荷の小さい装飾品を提供することができる。
【００３４】
本発明の装飾品は、本発明の成膜方法を用いて形成された被膜を備えることを特徴とする。
【００３５】
これにより、美的外観に優れ、製造時における材料の無駄が少なく、環境への負荷の小さい装飾品を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の成膜装置の第１実施形態を模式的に示す縦断面側面図である。
【図２】図１に示す成膜装置の主要部のブロック図である。
【図３】本発明の成膜装置の第２実施形態を模式的に示す縦断面側面図である。
【図４】本発明の成膜装置の第３実施形態を模式的に示す縦断面側面図であり、成膜時の状態を示す図である。
【図５】本発明の成膜装置の第３実施形態を模式的に示す縦断面側面図であり、成膜の待機時の状態（収容部に材料を追加供給する状態）を示す図である。
【図６】図４、図５に示す成膜装置の主要部のブロック図である。
【図７】装飾品の製造方法の好適な実施形態について、各工程を模式的に示す断面図である。
【図８】本発明の装飾品を時計用外装部品としてのカバーガラスに適用した場合の好適な実施形態を示す模式的な平面図である。
【図９】本発明の装飾品を時計（携帯時計）に適用した場合の好適な実施形態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３７】
以下、本発明の成膜装置、成膜方法および装飾品を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００３８】
＜＜成膜装置、成膜方法＞＞
まず、成膜装置、成膜方法について説明する。
【００３９】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の成膜装置の第１実施形態を模式的に示す縦断面側面図である。図２は、図１に示す成膜装置の主要部のブロック図である。なお、以下では、説明の便宜上、図１において、互いに直交する３つの軸として、ｘ軸、ｙ軸およびｚ軸を図示している。ｘ軸は、水平方向のうちの一方向に沿った軸であり、ｙ軸は、水平方向であって前記ｘ軸に対し垂直な方向に沿った軸であり、ｚ軸は、鉛直方向（上下方向）に沿った軸である。また、図示した各矢印の先端側を「正側（＋側）」、基端側を「負側（−側）」とする。また、図１中の上側を「上（上方）」と言い、下側を「下（下方）」と言う。
【００４０】
成膜装置１００は、装置内（系内）で発生させた粒子（微粒子）Ｐ３１をノズルから噴射し、成膜を行う装置である。
【００４１】
図１、図２に示すように、成膜装置１００は、第１のチャンバー（蒸気発生室）１５と、第２のチャンバー（成膜室）１６と、連結管２と、ガス供給手段３と、加熱手段４と、圧力調整手段５と、移動手段６と、材料供給手段８と、制御部７とを備えている。
【００４２】
第１のチャンバー１５は、気密性を維持することができるよう構成され、その内部に被膜Ｐ３の形成に用いる固体の母材（成膜用材料）Ｐ３’を収納することができる。
【００４３】
第２のチャンバー１６は、第１のチャンバー１５と独立して設けられている。この第２のチャンバー１６も、気密性を維持することができるよう構成され、その内部に複数の基材Ｐ１を収納することができる。
【００４４】
なお、第１のチャンバー１５、第２のチャンバー１６内の室温は、例えば、水冷により、すなわち、配管を通過する冷媒により、調整可能に構成されている。第１のチャンバー１５、第２のチャンバー１６内の温度は、例えば、２０℃以上９０℃以下に調整することができる。
【００４５】
連結管２は、第１のチャンバー１５と第２のチャンバー１６とを連結するものであり、その内腔部２２が、第２のチャンバー１６で気化（蒸発）した成膜用材料Ｐ３’が通過する流路として機能する。
【００４６】
連結管２は、その一端に開口した第１の開口部（一端開口部）２５が第１のチャンバー１５内に臨んでおり、他端に開口した第２の開口部（他端開口部）２１が第２のチャンバー１６内に臨んでいる。これにより、第１のチャンバー１５と第２のチャンバー１６とは、連結管２を介して、連通する。
【００４７】
図１に示すように、第１の開口部２５は、第１のチャンバー１５内の加熱手段４が有する容器（るつぼ）４３にその上側から対向しているのが好ましい。これにより、前記気化した成膜用材料Ｐ３’が第１の開口部２５に向かって迅速に流入することができる。
【００４８】
また、第２の開口部２１は、第２のチャンバー１６に収納された基材Ｐ１の面方向に対して平行に配されている。そして、前記気化した成膜用材料Ｐ３’は、連結管２（内腔部２２）を通過する過程で粒子（微粒子）Ｐ３１となり、当該粒子が第２の開口部２１から基材Ｐ１に吹き付けられる。これにより、被膜Ｐ３が基材Ｐ１上に形成される。このように、連結管２では、第２の開口部２１側の部分がノズル部２４として機能する。
【００４９】
なお、連結管２の平均内径は、特に限定されないが、例えば、１ｍｍ以上１０ｍｍ以下であるのが好ましい。また、第２の開口部２１の内径は、特に限定されないが、例えば、０．１ｍｍ以上１ｍｍ以下であるのが好ましい。
【００５０】
また、連結管２の構成材料としては、特に限定されず、例えば、ステンレス鋼等のような金属材料を用いることができる。
【００５１】
また、連結管２の外周部には、当該連結管２の温度を調整する温度調整機構９０が設けられている。この温度調整機構９０により、連結管２を通過する前記気化した成膜用材料Ｐ３’、粒子Ｐ３１の温度を好適に調整することができる。これにより、被膜Ｐ３の形成に用いられる粒子Ｐ３１の大きさを容易かつ確実に制御することができる。また、この温度調整機構９０により、連結管２を加熱することにより、連結管２を通過する粒子Ｐ３１が連結管２の内周部（内壁）に付着するのを防止することができる。なお、連結管２の温度としては、特に限定されず、例えば、３０℃以上３００℃以下が好ましく、５０℃以上３００℃以下がより好ましい。
【００５２】
図１に示すように、ガス供給手段３は、第１のチャンバー１５内にガスを供給するものである。
【００５３】
ガス供給手段から供給されたガスは、気化した成膜用材料Ｐ３’を冷却しつつ連結管２、第２のチャンバー（成膜室）１６へと導く機能を有している。すなわち、ガス供給手段３から供給されたガスは、キャリアガスとして機能する。そして、この冷却により、気化した成膜用材料Ｐ３’は、搬送過程において、凝集し、所定の大きさの粒子Ｐ３１となる。
【００５４】
ガス供給手段３は、ガスが充填されたタンク３１と、タンク３１と第１のチャンバー１５とを連結する連結管３２と、連結管３２の途中に設置された電磁弁３３とを有している。
【００５５】
タンク３１は、ガスを気密的に貯留することができるものである。
タンク３１に貯留されるガスとしては、特に限定されず、例えば、窒素ガスを用いることができ、その他、ヘリウムやアルゴン等のような不活性ガスも用いることができる。
【００５６】
タンク３１と第１のチャンバー１５とは、連結管３２を介して、連通している。この連結管３２は、硬質のものであってもよいし、可撓性を有するものであってもよい。
【００５７】
また、連結管３２には、その長手方向の途中に電磁弁３３が設置されている。電磁弁３３は、連結管３２を開閉するものである。そして、電磁弁３３が開状態のときに、タンク３１と第１のチャンバー１５とが連通する。これにより、タンク３１から第１のチャンバー１５へのガスの供給が行われる。また、電磁弁３３が閉状態のときに、タンク３１と第１のチャンバー１５との連通が遮断される。これにより、タンク３１から第１のチャンバー１５へのガスの供給が停止する。
【００５８】
また、電磁弁３３は、開度の調整が可能に構成されている。
これにより、ガスの流量を好適に調整することができる。
【００５９】
加熱手段４は、第１のチャンバー１５内の母材（成膜用材料）Ｐ３’を気化するまで加熱するものである。加熱手段４は、第１のチャンバー１５内に設置された容器４３と、容器４３の外周側に配置されたコイル４４と、コイル４４に交流電圧を印加する電圧印加部としての交流電源（高周波電源）４１と、交流電源４１とコイル４４との間に配置されたスイッチ４２とを有している。
【００６０】
容器４３は、有底筒状をなす部材で構成され、その内部（収容部）に母材（成膜用材料）Ｐ３’を収納することができる。
【００６１】
なお、容器４３の収容部の内径は、特に限定されないが、例えば、１ｍｍ以上１５ｍｍ以下であるのが好ましい。
【００６２】
また、容器４３の収容部の容積は、特に限定されないが、例えば、０．５ｍｍ３以上２０００ｍｍ３以下であるのが好ましい。
【００６３】
また、容器４３の構成材料としては、特に限定されず、例えば、炭素等を用いることができる。
【００６４】
容器４３の収容部に収容される母材（成膜用材料）Ｐ３’は、形成すべき被膜Ｐ３の組成により異なるが、例えば、各種金属、各種金属酸化物、各種金属窒化物、各種金属炭化物、各種金属ホウ化物、各種金属硫化物、各種炭素材料、各種顔料、各種樹脂材料等を用いることができる。
【００６５】
金属材料としては、例えば、Ａｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｎｉ、Ａｇ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｔｉ、Ｃｒやこれらのうち少なくとも１種を含む合金等が挙げられるが、Ａｕを含むものであるのが好ましい。
【００６６】
金属酸化物としては、例えば、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化クロム、酸化ケイ素等が挙げられる。
【００６７】
金属窒化物としては、例えば、窒化チタン、窒化クロム、窒化ジルコニウム、窒化ハフニウム、窒化タンタル、窒化ケイ素等が挙げられる。
【００６８】
金属炭化物としては、例えば、炭化チタン、炭化クロム、炭化ジルコニア、炭化アルミニウム、炭化カルシウム、炭化タングステン、炭化ハフニウム、炭化バナジウム、炭化タンタル、炭化ニオブ、炭化ケイ素等が挙げられる。
【００６９】
金属ホウ化物としては、例えば、ホウ化ジルコニウム、ホウ化モリブデン等が挙げられる。
【００７０】
金属硫化物としては、例えば、硫化亜鉛、硫化クロム、硫化カドミウム等が挙げられる。
【００７１】
炭素材料としては、例えば、黒鉛、グラフェン、ダイヤモンド、カーボンナノチューブ、フラーレン等が挙げられる。
【００７２】
顔料としては、例えば、以下のようなものを挙げることができる。
すなわち、黒色顔料としては、例えば、ファーネスブラック、チャンネルブラック、アセチレンブラック、サーマルブラック等のカーボンブラック、酸化銅、二酸化マンガン、酸化チタン、アニリンブラック、活性炭、非磁性フェライト、マグネタイト等が挙げられる。
【００７３】
また、黄色顔料としては、例えば、黄鉛、亜鉛黄、黄色酸化鉄、カドミウムイエロー、クロムイエロー、ハンザイエロー、ハンザイエロー１０Ｇ 、ベンジジンイエローＧ、ベンジジンイエローＧＲ、スレンイエロー、キノリンイエロー、パーマネントイエローＮＣＧ等が挙げられる。
【００７４】
また、橙色顔料としては、例えば、赤色黄鉛、モリブデンオレンジ、パーマネントオレンジＧＴＲ 、ピラゾロンオレンジ、バルカンオレンジ、ベンジジンオレンジＧ、インダスレンブリリアントオレンジＲＫ、インダスレンブリリアントオレンジＧＫ等が挙げられる。
【００７５】
赤色顔料としては、ベンガラ、カドミウムレッド、鉛丹、硫化水銀、ウオッチヤングレッド、パーマネントレッド４Ｒ、リソールレッド、ブリリアンカーミン３Ｂ、ブリリアンカーミン６Ｂ、デイポンオイルレッド、ピラゾロンレッド、ローダミンＢレーキ、レーキレッドＣ、ローズベンガル、エオキシンレッド、アリザリンレーキ等が挙げられる。
【００７６】
また、青色顔料としては、例えば、紺青、コバルトブルー、アルカリブルーレーキ、ビクトリアブルーレーキ、ファストスカイブルー、インダスレンブルーＢＣ、アニリンブルー、ウルトラマリンブルー、カルコオイルブルー、メチレンブルークロライド、フタロシアニンブルー、フタロシアニングリーン、マラカイトグリーンオクサレレートなどが挙げられる。
【００７７】
紫色顔料としては、マンガン紫、ファストバイオレットＢ、メチルバイオレットレーキ等が挙げられる。
【００７８】
また、緑色顔料としては、例えば、酸化クロム、クロムグリーン、ピクメントグリーン、マラカイトグリーンレーキ、ファイナルイエローグリーンＧ等が挙げられる。
白色顔料としては、亜鉛華、酸化チタン、アンチモン白、硫化亜鉛等が挙げられる。
【００７９】
体質顔料としては、バライト粉、炭酸バリウム、クレー、シリカ、ホワイトカーボン、タルク、アルミナホワイト等が挙げられる。
【００８０】
樹脂材料としては、例えば、（メタ）アクリル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、スチレン−（メタ）アクリル系樹脂、ロジンン変性樹脂、テルペン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、エポキシ樹脂、塩化ビニル樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、繊維素系樹脂（例えば、セルロースアセテートブチレート、ヒドロキシプロピルセルロース等）、ポリビニルブチラール、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリビニルピロリドン（ＰＶＰ）、ポリウレタン系樹脂、ウレア系樹脂等が挙げられる。
【００８１】
容器４３の外周側には、コイル４４が同心的に配置されている。このコイル４４は、導電性材料で構成された素線４４１を巻回して形成されたものである。また、コイル４４の内周部４４２と、容器４３の外周部４３１とは、離間しているのが好ましい。
【００８２】
素線４４１を構成する導電性材料としては、特に限定されず、例えば、タングステン等のような比較的電気抵抗が高い材料を用いることができる。
【００８３】
交流電源４１は、コイル４４と電気的に接続されており、当該コイル４４に交流電圧を印加することができる。そして、スイッチ４２を操作することにより、コイル４４に交流電圧を印加する電圧印加状態と、その印加を停止する印加停止状態とに切り替えることができる。電圧印加状態では、すなわち、加熱手段４を作動させることにより、成膜用材料Ｐ３’を容器４３ごと加熱することができる。これにより、成膜用材料Ｐ３’は、融点で溶融して、さらに融点を超える程度にまで加熱される。このとき、成膜用材料Ｐ３’は、蒸発して、連結管２の内腔部２２をガス供給手段３から供給されたガスとともに流下する。この気化した成膜用材料Ｐ３’は、連結管２を通過する過程で冷却されて粒子Ｐ３１となり、第２の開口部２１から基材Ｐ１に吹き付けられる。そして、この粒子Ｐ３１は、基材Ｐ１に衝突して付着することとなり、その結果、被膜Ｐ３が形成される。
【００８４】
粒子（微粒子）Ｐ３１の平均粒径は、０．５ｎｍ以上１５０μｍ以下であるのが好ましく、１ｎｍ以上１００μｍ以下であるのがより好ましい。
【００８５】
これにより、被膜Ｐ３の美的外観を特に優れたものとすることができる。また、基材Ｐ１と被膜Ｐ３との密着性を特に優れたものとすることができ、被膜Ｐ３の耐久性を特に優れたものとすることができる。また、被膜Ｐ３の形成効率を特に優れたものとすることができる。
【００８６】
なお、本明細書では、「平均粒径」とは、質量基準の平均粒径のことを指すものとする。この平均粒径は、例えば、エアロゾルのモビリティーを測定し、エアロダイナミック径を求めることにより得ることができる。粒径の測定には、例えば、ＴＳＩ社製微分型静電分級器等を用いることができる。なお、平均粒径は、走査型電子顕微鏡や透過型電子顕微鏡の測定結果から求めてもよい。
【００８７】
なお、交流電圧の印加によって供給される電力は、１ｋＷ以上９０ｋＷ以下であるのが好ましく、５ｋＷ以上５０ｋＷ以下であるのがより好ましい。また、交流電圧の周波数は、１００ｋＨｚ以上６００ＭＨｚ以下であるのが好ましく、１５０ｋＨｚ以上５００ＭＨｚ以下であるのがより好ましく、２００ｋＨｚであるのがさらに好ましい。このような数値範囲により、固体の成膜用材料Ｐ３’を過不足なく加熱して確実に気化させることができる。
【００８８】
圧力調整手段５は、第２のチャンバー１６内の圧力を第１のチャンバー１５内の圧力よりも低くするものである。
【００８９】
図１に示すように、圧力調整手段５は、第２のチャンバー１６内を吸引するポンプ５１と、ポンプ５１と第２のチャンバー１６とを連結する連結管５２と、連結管５２の途中に設置された電磁弁５３とを有している。
【００９０】
ポンプ５１は、第２のチャンバー１６内のガスＧ２を吸引するものである。この吸引により、第２のチャンバー１６内のガスＧ２が連結管５２を介して排出され、よって、第２のチャンバー１６内の圧力が第１のチャンバー１５内の圧力よりも確実に低くなる。これにより、粒子Ｐ３１が第２のチャンバー１６内に確実に流出することができ、よって、被膜Ｐ３を確実に形成することができる。
【００９１】
なお、第２のチャンバー１６内の圧力としては、第１のチャンバー１５内の圧力にもよるが、例えば、第１のチャンバー１５内の圧力が０．１気圧以上１０気圧以下である場合、０．１気圧未満とすることができる。
【００９２】
また、ポンプ５１としては、特に限定されず、例えば、ターボ分子ポンプ、ドライポンプ、メカニカルブースターポンプ、ロータリーポンプ等を用いることができる。
【００９３】
ポンプ５１は、連結管５２を介して、第２のチャンバー１６と連結されている。この連結管５２は、硬質のものであってもよいし、可撓性を有するものであってもよい。
【００９４】
また、連結管５２には、その長手方向の途中に電磁弁５３が設置されている。電磁弁５３は、連結管５２を開閉するものである。そして、電磁弁５３が開状態のときに、ポンプ５１の吸引力により、第２のチャンバー１６内を吸引することができ、よって、第２のチャンバー１６内を減圧することができる。また、電磁弁５３が閉状態のときに、ポンプ５１の吸引力が第２のチャンバー１６内に及ぶのが阻止される。
【００９５】
図１に示すように、移動手段６は、基材Ｐ１を第２の開口部２１に対し、ｙ軸方向に向かって移動させるものである。図１、図２に示すように、移動手段６は、複数の基材Ｐ１を搬送するステージ（テーブル）６１と、ステージ６１をｙ軸方向に向かって移動させるｙ軸モーター６２ｙと、ｙ軸モーター６２ｙの駆動を制御するｙ軸モータードライバー６３ｙとを有している。また、移動手段６は、ステージ６１をｘ軸方向に向かって移動させることもでき、その移動を行なうｘ軸モーター６２ｘと、ｘ軸モーター６２ｘの駆動を制御するｘ軸モータードライバー６３ｘとを有している。
【００９６】
ステージ６１は、例えばステンレス鋼等のような金属材料で構成された板状をなす部材である。このステージ６１は水平に支持されている。
【００９７】
ｙ軸モーター６２ｙは、例えばサーボモータであり、ボールねじ（図示せず）等を介して、ステージ６１と連結されている。そして、ｙ軸モーター６２ｙが回転することにより、その回転力がボールねじを介してステージ６１に伝達される。これにより、ステージ６１上に載置された複数の基材Ｐ１をステージ６１ごと、ｙ軸方向に向かって移動させることができる。
【００９８】
また、ｙ軸モーター６２ｙは、ｙ軸モータードライバー６３ｙと電気的に接続されている。
【００９９】
このｙ軸モータードライバー６３ｙの制御により、ｙ軸モーター６２ｙの回転数を変化させることができる。これにより、ステージ６１が移動する際の速さ、すなわち、移動手段６の作動時の速さが可変となる。そして、当該速さの大小に応じて、形成される被膜Ｐ３の厚さをそれぞれ調整することができる。例えば、速さが「大」のときは、「薄い」被膜Ｐ３が形成され、速さが「小」のときは、「厚い」被膜Ｐ３が形成される。
【０１００】
ｘ軸モーター６２ｘは、ｙ軸モーター６２ｙと同様に、例えばサーボモータであり、ボールねじ（図示せず）等を介して、ステージ６１と連結されている。そして、ｘ軸モーター６２ｘが回転することにより、その回転力がボールねじを介してステージ６１に伝達される。これにより、ステージ６１上に載置された複数枚の基材Ｐ１をステージ６１ごと、ｘ軸方向に向かって移動させることができる。
【０１０１】
また、ｘ軸モーター６２ｘは、ｘ軸モータードライバー６３ｘと電気的に接続されている。
【０１０２】
ガス供給手段３、加熱手段４、圧力調整手段５および移動手段６の各作動は、それぞれ、制御部７により制御される。制御部７は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）が内蔵されたパーソナルコンピューター（ＰＣ）である。
【０１０３】
材料供給手段８は、母材（成膜用材料）Ｐ３’が蒸発している状態において、容器４３の収容部に、成膜用材料Ｐ３’を追加供給する機能を有するものである。
【０１０４】
このように、母材（成膜用材料）Ｐ３’が蒸発している状態において、容器４３の収容部に、成膜用材料Ｐ３’を追加供給することにより、容器内の成膜用材料Ｐ３’が少なくなった場合であっても、成膜装置１００の運転を中断することなく、継続して成膜を行うことができる。したがって、成膜の効率を優れたものとし、例えば、成膜装置により形成された膜（被膜）を備える部材（例えば、装飾品）の生産性を優れたものとすることができる。
【０１０５】
容器４３の収容部の大きさが小さい場合であっても、大きな面積の成膜が可能となり、成膜装置１００の大型化を防止することができる。
【０１０６】
また、容器４３の小型化を図ることができるため、容器４３内の成膜用材料Ｐ３’の加熱効率が優れたものとなる。さらに、過剰量の成膜用材料Ｐ３’を予め容器４３内に収容しておきこれを溶融させる必要がなく、実際に成膜に用いる成膜用材料Ｐ３’について、随時、成膜用材料Ｐ３’の蒸発に必要なエネルギーを付与すればよいため、過剰なエネルギーを成膜用材料Ｐ３’の加熱に用いる必要がない。以上のようなことから、少ないエネルギーで効率よく成膜を行うことができ、省エネルギーの観点からも好ましい。
【０１０７】
これに対し、成膜装置の運転を中断して成膜用材料を追加する場合、より具体的には、例えば、成膜用材料を追加するに際して、成膜用材料の加熱を停止し、容器の温度が十分に低くなった状態で、成膜用材料を追加する場合等では、成膜の効率は低いものとなる。
【０１０８】
材料供給手段８は、容器４３の収容部に追加供給される成膜用材料Ｐ３’を貯蔵する貯蔵部８１と成膜用材料を容器４３の収容部に搬送する搬送路８２とを有している。
【０１０９】
特に、本実施形態においては、材料供給手段８は、粒子状の成膜用材料Ｐ３’を追加供給するものである。
【０１１０】
これにより、成膜用材料Ｐ３’の保存や、容器４３の収容部への供給が容易となり、被膜Ｐ３’の形成効率を特に優れたものとすることができる。また、追加供給する成膜用材料Ｐ３’の量の管理が容易であるため、容器４３内の成膜用材料Ｐ３’の不本意な温度の低下等を防止することができ、安定した品質の被膜Ｐ３をより確実に形成することができる。
【０１１１】
追加供給される成膜用材料の平均粒径は、０．３ｍｍ以上２．０ｍｍ以下であるのが好ましく、０．５ｍｍ以上１．５ｍｍ以下であるのがより好ましい。
【０１１２】
材料供給手段８によって追加供給される成膜用材料Ｐ３’は、多孔質材料であるのが好ましい。
【０１１３】
これにより、成膜用材料Ｐ３’が容器４３の収容部に追加供給された際に、突沸現象が生じることを効果的に防止することができ、結果として、形成される被膜Ｐ３の品質をより安定的に優れたものとすることができる。
【０１１４】
追加供給される成膜用材料Ｐ３’の空孔率は、５０体積％以下であるのが好ましく、３０体積％以下であるのがより好ましい。
【０１１５】
また、材料供給手段８は、シャッター８３を備えており、搬送路８２において一列に整列した粒子状の成膜用材料Ｐ３’が断続的に、容器４３の収容部に追加供給されるように構成されている。
【０１１６】
これにより、追加供給する成膜用材料Ｐ３’の量の管理がさらに容易となり、安定した品質の被膜Ｐ３をさらに確実に形成することができる。
【０１１７】
また、本実施形態では、材料供給手段８は、成膜用材料Ｐ３’を、容器４３の収容部に追加供給される前に加熱（予熱）する加熱手段（予熱手段）８４を備えている。
【０１１８】
これにより、予め容器４３の収容部に収容されていた成膜用材料Ｐ３’の温度と追加供給される成膜用材料Ｐ３’の温度との差により、容器４３の収容部に成膜用材料Ｐ３’を追加供給した際に、成膜用材料Ｐ３’の粗大粒子が収容部の外部に飛び出すこと、すなわち、成膜に用いられる微粒子Ｐ３１の粗大化をより確実に防止することができ、形成される被膜Ｐ３の品質をより確実に優れたものとすることができる。
【０１１９】
加熱手段（予熱手段）８４による成膜用材料Ｐ３’の加熱温度（予熱温度）は、成膜用材料Ｐ３’の組成等にもよるが、成膜用材料Ｐ３’の融点をＴｍとしたとき、（Ｔｍ−６００）℃以上（Ｔｍ−１０）℃以下であるのが好ましく、（Ｔｍ−５００）℃以上（Ｔｍ−５０）℃以下であるのが好ましい。
【０１２０】
これにより、追加供給される成膜用材料Ｐ３’の形状の安定性、搬送性を十分に優れたものとしつつ、前述したような効果をより顕著に発揮させることができる。
【０１２１】
材料供給手段８により成膜用材料Ｐ３’を追加供給する際には、前記成膜室で成膜を行う際に比べて、容器４３の収容部内の成膜用材料Ｐ３’の温度が低くなるように、前述した加熱手段４による加熱を調節してもよい。
【０１２２】
これにより、成膜の効率を十分に優れたものとしつつ、必要以上に成膜用材料Ｐ３’が蒸発し、不本意な成膜が進行することを防止することができる。
【０１２３】
また、成膜装置１００は、容器４３の収容部を観察する観察手段１を備えている。
これにより、より確実に、容器４３の収容部内の成膜用材料Ｐ３’の量を好適な範囲に調整することができる。より具体的には、例えば、容器４３の収容部内に収容された成膜用材料Ｐ３’が所定量以上となった場合に、後に詳述する制御部７により、材料供給手段８からの成膜用材料Ｐ３’の供給を中断し、収容部内に過剰の成膜用材料Ｐ３’が収容されることによる弊害の発生を確実に防止することができる。また、例えば、容器４３の収容部内に収容された成膜用材料Ｐ３’の量が所定値以下となった場合に、材料供給手段８からの成膜用材料Ｐ３’の供給を開始するようにする構成することができる。
【０１２４】
観察手段１としては、例えば、各種センサー、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ等を用いることができる。
【０１２５】
図２に示すように、制御部７は、ガス供給手段３の電磁弁３３と、加熱手段４の交流電源４１およびスイッチ４２と、圧力調整手段５のポンプ５１および電磁弁５３と、移動手段６のｘ軸モータードライバー６３ｘおよびｙ軸モータードライバー６３ｙと、材料供給手段８（特に、シャッター８３および加熱手段（予熱手段）８４）と、観察手段１と、温度調整機構９０とにそれぞれ電気的に接続されている。そして、制御部７は、これらをそれぞれ独立して作動させることができる。なお、制御プログラムは、制御部７に内蔵された記憶部（記録媒体）７１に予め記憶されている。
【０１２６】
なお、記憶部７１は、例えば、ＲＡＭ（Random Access Memory：揮発性、不揮発性のいずれをも含む）、ＦＤ（Floppy Disk（Floppyは登録商標））、ＨＤ（Hard Disk）、ＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disc Read-Only Memory）等のような、磁気的、光学的記録媒体、もしくは半導体メモリーで構成されている。
【０１２７】
次に、被膜形成工程における成膜装置１００の作動について、詳細に説明する。
被膜形成工程では、図１に示すように、連結管２の第２の開口部２１を基材Ｐ１に対向するように、ステージ６１を連結管２の第２の開口部２１に対し位置合わせを行なう。なお、この位置合わせは、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラを用いて、当該ＣＣＤカメラで撮像された画像に基づいて行われる。
【０１２８】
また、このとき、成膜装置１００では、圧力調整手段５が作動している。これにより、第２のチャンバー１６内の圧力が第１のチャンバー１５内の圧力よりも低くなる。なお、この状態は、基材Ｐ１に対する被膜Ｐ３の形成が完了するまで維持される。
【０１２９】
また、成膜装置１００では、加熱手段４も作動している。これにより、前述したように、容器４３内の成膜用材料Ｐ３’が気化する。そして、当該気化した成膜用材料Ｐ３’は、第１のチャンバー１５内の圧力と第２のチャンバー１６内の圧力との差により、連結管２を通過していく。
さらに、成膜装置１００では、ガス供給手段３も作動している。
【０１３０】
そして、移動手段６を作動させる、すなわち、ステージ６１をｙ軸正方向に向かって移動させる。
【０１３１】
以上のようにガス供給手段３、加熱手段４、圧力調整手段５、移動手段６が作動することにより、第１のチャンバー１５内で気化した成膜用材料Ｐ３’は、第２のチャンバー１６に向かって連結管２を確実に通過する。この通過の際、前記気化した成膜用材料Ｐ３’は、所定の大きさの粒子Ｐ３１となり、当該粒子Ｐ３１は、第１のチャンバー１５に導入されたガスによって、円滑に連結管２を通過することができる。粒子Ｐ３１は、第２の開口部２１から排出されて、各基材Ｐ１に対し順に吹き付けられて付着する。
【０１３２】
そして、成膜用材料Ｐ３’が蒸発している状態において、必要に応じて、随時、材料供給手段８から容器４３の収容部に成膜用材料Ｐ３’を追加供給する。
【０１３３】
前述したような本発明の成膜装置、成膜方法によれば、材料の無駄が少なく、環境への負荷の小さい方法で、所望の形状、パターンの成膜を効率よく行うことができる。
【０１３４】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の成膜装置、成膜方法の第２実施形態について説明する。
【０１３５】
図３は、本発明の成膜装置の第２実施形態を模式的に示す縦断面側面図である。以下の説明では、前述した実施形態との相違点について中心的に説明し、同様の事項についての説明は省略する。
【０１３６】
図３に示すように、本実施形態では、材料供給手段８による容器４３の収容部への成膜用材料Ｐ３’の追加供給の形態が異なる。より具体的には、本実施形態では、容器４３の収容部に追加供給する成膜用材料Ｐ３’が長尺状（ワイヤー状）をなすものであり、材料供給手段８がローラー８５を備えるものであり、当該ローラー８５の回転により、長尺状（ワイヤー状）の成膜用材料Ｐ３’を容器４３の収容部に順次追加供給するように構成されている。
【０１３７】
このような構成であることにより、容器４３の収容部に追加供給される成膜用材料Ｐ３’の量の微妙な調整が可能となり、容器４３の収容部内の成膜用材料Ｐ３’の量をより高い精度で制御することができる。また、容器４３の収容部に追加供給される成膜用材料Ｐ３’が長尺状（ワイヤー状）をなすものであると、収容部からの熱伝導により、収容部の外部に存在する成膜用材料Ｐ３’も加熱（予熱）されることとなる。その結果、成膜用材料Ｐ３’を収容部に追加供給する際の収容部内の急激な温度変化をより効果的に防止することができ、形成される被膜Ｐ３の品質をより確実に優れたものとすることができる。
【０１３８】
長尺状（ワイヤー状）をなす成膜用材料Ｐ３’の幅（断面形状が円形である場合には直径）は、１０μｍ以上１０００μｍ以下であるのが好ましく、２０μｍ以上５００μｍ以下であるのがより好ましい。
【０１３９】
これにより、容器４３の収容部に供給される成膜用材料Ｐ３’の形状の安定性を優れたものとし、容器４３の収容部への成膜用材料Ｐ３’の供給量のより微妙な調整を行うことができる。その結果、容器４３の収容部内の成膜用材料Ｐ３’の量をさらに高い精度で制御することができる。また、収容部からの熱伝導と、放熱とのバランスをより好ましいものとすることができ、収容部内に供給される前の状態の長尺状（ワイヤー状）をなす成膜用材料Ｐ３’の温度をより確実に好ましい範囲内の値とすることができる。
【０１４０】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の成膜装置、成膜方法の第３実施形態について説明する。
【０１４１】
図４は、本発明の成膜装置の第３実施形態を模式的に示す縦断面側面図であり、成膜時の状態を示す図である。図５は、本発明の成膜装置の第３実施形態を模式的に示す縦断面側面図であり、成膜の待機時の状態（収容部に材料を追加供給する状態）を示す図である。図６は、図４、図５に示す成膜装置の主要部のブロック図である。
【０１４２】
図４、図５に示すように、本実施形態の成膜装置１００は、容器４３の収容部に成膜用材料Ｐ３’を追加供給する際に、蒸発した成膜用材料Ｐ３’が基材Ｐ１に供給され付着してしまうことを防止する付着防止手段９を備えている。
【０１４３】
これにより、例えば、容器４３の収容部に成膜用材料Ｐ３’を追加供給した際に収容部に不本意な温度変化が生じ、成膜用材料Ｐ３’の粗大粒子が収容部の外部に飛び出した場合であっても、当該粗大粒子が被膜Ｐ３中に含まれることを防止することができ、被膜Ｐ３の品質をより確実に優れたものとすることができる。
【０１４４】
特に、図示の構成では、付着防止手段９は、蒸発した成膜用材料Ｐ３’を成膜室１６のガスを排気する排気口５２１へと導くガイド部材である。
【０１４５】
これにより、成膜用材料Ｐ３’の粗大粒子が、直接的に基材Ｐ１上に付着することを防止するだけでなく、成膜用材料Ｐ３’の粗大粒子が、蒸気発生室（第１のチャンバー）１５内等に滞留したり、蒸気発生室（第１のチャンバー）１５の壁面等にいったん付着した後に、その剥離物が被膜Ｐ３の形成に利用されてしまうこと等も好適に防止することができる。その結果、形成される被膜Ｐ３の品質をさらに確実に優れたものとすることができる。また、成膜装置１００のメンテナンスが容易となる。
【０１４６】
図示の構成では、ガイド部材（付着防止手段）９は、成膜用材料Ｐ３’（粒子Ｐ３１を含む。以下同様。）が流れる中空部を有する管状をなすものである。
【０１４７】
このような構造であることにより、ガイド部材９の内部に成膜用材料Ｐ３’を取り込むことができ、かつ、いったん取り込まれた成膜用材料Ｐ３’が不本意に漏洩することが効果的に防止されるため、成膜用材料Ｐ３’が不本意な部位に付着することを、より効果的に防止することができる。また、中空部に成膜用材料Ｐ３’を含む流体を取り込むことにより、中空部内において、排気口５２１側へと向かうガス流が効率よく発生する。このため、ガイド部材９への成膜用材料Ｐ３’の付着をより効果的に防止することができるとともに、成膜用材料Ｐ３’の成膜室１６外部への排出効率も向上する。
【０１４８】
ノズル部２４からの成膜用材料Ｐ３’を含むガス流の供給方向と、ガイド部材９の成膜用材料Ｐ３’が接触する表面の法線とのなす角θは、４０°以上であるのが好ましく、４５°以上８５°以下であるのがより好ましい。
【０１４９】
これにより、ガイド部材９への成膜用材料Ｐ３’の付着をより効果的に防止することができる。その結果、成膜用材料Ｐ３’の成膜室１６外部への排出効率を特に優れたものとすることができるとともに、成膜装置１００のメンテナンスの頻度を少なくすることができる。また、成膜室１６内での成膜用材料Ｐ３’の滞留等をさらに効果的に防止することができ、被膜Ｐ３を有する部材（例えば、装飾品）の歩留まりを向上させることができる。
【０１５０】
ガイド部材９は、いかなる材料で構成されたものであってもよく、ガイド部材９の構成材料としては、例えば、ステンレス鋼等の各種金属材料、炭化チタン等のセラミックス材料、各種樹脂材料等が挙げられる。
【０１５１】
また、ガイド部材９の成膜用材料Ｐ３’が接触しうる表面には、粒子Ｐ３１の付着を防止する表面処理が施されていてもよい。
【０１５２】
これにより、ガイド部材９への成膜用材料Ｐ３’の付着をより効果的に防止することができる。その結果、成膜用材料Ｐ３’の成膜室１６外部への排出効率を特に優れたものとすることができるとともに、成膜装置１００のメンテナンスの頻度を少なくすることができる。
【０１５３】
前記表面処理は、成膜用材料Ｐ３’の付着を防止するものであればいかなるものであってもよいが、付着防止膜の形成であるのが好ましい。
【０１５４】
これにより、ガイド部材９への粒子Ｐ３１の付着をさらに効果的に防止することができる。その結果、粒子Ｐ３１の成膜室１６外部への排出効率をさらに優れたものとすることができるとともに、成膜装置１００のメンテナンスの頻度をさらに少なくすることができる。また、ガイド部材９の形状が複雑なものであっても、前述したような効果を容易かつ確実に得ることができる。
【０１５５】
付着防止膜の構成材料としては、例えば、ポリテトラフルオロエチレン等のフッ素系樹脂、ＤＬＣ（ダイヤモンド様炭素）等が挙げられる。
【０１５６】
付着防止膜の厚さは、特に限定されないが、５０μｍ以上３ｍｍ以下であるのが好ましく、１００μｍ以上１ｍｍ以下であるのがより好ましい。
【０１５７】
これにより、ガイド部材９の生産コストを抑制しつつ、より長期間にわたって前述した効果をより安定的に得ることができる。
【０１５８】
また、ガイド部材９は、ｙ軸方向に向かって移動するためのモーター９２と、モーター９２の駆動を制御するモータードライバー９３とを有している。
モーター９２は、モータードライバー９３と電気的に接続されている。
【０１５９】
図６に示すように、本実施形態において、制御部７は、ガス供給手段３の電磁弁３３、加熱手段４の交流電源４１およびスイッチ４２、圧力調整手段５のポンプ５１および電磁弁５３、移動手段６のｘ軸モータードライバー６３ｘおよびｙ軸モータードライバー６３ｙ、材料供給手段８、観察手段１、温度調整機構９０に加え、ガイド部材９のモータードライバー９３にも、電気的に接続されている。そして、制御部７は、これらをそれぞれ独立して作動させることができる。
【０１６０】
例えば、材料供給手段８により成膜用材料Ｐ３’を追加供給する際に、ガイド部材９を作動させることにより、第２の開口部２１から供給された成膜用材料Ｐ３’を排気口５２１へと導き、成膜用材料Ｐ３’（粒子Ｐ３１）が基材Ｐ１に衝突することを確実に防止することができる。
【０１６１】
また、ガイド部材９により粒子Ｐ３１を排気口５２１に導く際に、基材Ｐ１が設置されるステージ６１と、ノズル部２４とを、相対的に移動させるのが好ましい。
【０１６２】
これにより、基材Ｐ１に不本意な粒子Ｐ３１の付着が生じることをより確実に防止することができる。
【０１６３】
特に、図５に示す構成では、ステージ６１が、ノズル部２４との距離が大きくなるように、ｚ軸正方向に移動している。
これにより、前述したような効果がより顕著に発揮される。
【０１６４】
ガイド部材９により粒子Ｐ３１を排気口５２１へと導くタイミングとしては、材料供給手段８により成膜用材料Ｐ３’を容器４３の収容部に追加供給する際のほかに、例えば、成膜装置１００の立ち上げ時（電源投入時）等であってもよい。
【０１６５】
＜＜装飾品の製造方法＞＞
次に、本発明の成膜方法を適用した装飾品の製造方法について説明する。
【０１６６】
装飾品としては、例えば、眼鏡（サングラス、ヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）等を含む）、イヤリング、ピアス、ネックレス、腕時計（スマートウォッチ等を含む）、ブレスレッド、指輪、アンクレット等の装身具や、置時計、掛時計、各種オブジェ、額、壺、花瓶等の置物や、これらの構成部材等が挙げられる。
【０１６７】
以下の説明では、本発明の成膜方法を、装飾品の一例としての時計用外装部品の製造に適用した場合について、代表的に説明する。
【０１６８】
なお、本明細書において、時計用外装部品とは、時計の構成部品であり、時計の使用時において、外部から視認可能な部品のことをいい、時計の外部に露出して用いられるもののほか、時計の内部に収納した部品も含む概念である。
【０１６９】
時計用外装部品としては、例えば、カバーガラス（風防ガラス）、文字板、針（時針、分針、秒針等）、ベゼル、ケース、裏蓋、りゅうず、円盤針、日車、曜車、月齢板等の回転表示体等が挙げられる。
【０１７０】
図７は、装飾品の製造方法の好適な実施形態について、各工程を模式的に示す断面図である。
【０１７１】
図７に示すように、本実施形態の方法は、基材Ｐ１を準備する基材準備工程（１ａ）と、基材Ｐ１の表面に下地層Ｐ２を形成する下地層形成工程（１ｂ）と、成膜を行う系内に設置された収容部に収容された被膜形成用の材料（成膜用材料）を蒸発させた後に、前記成膜用材料の蒸気を凝縮させることにより形成した微粒子Ｐ３１を堆積させることにより被膜Ｐ３を形成する被膜形成工程（１ｃ）と、基材Ｐ１の被膜Ｐ３が設けられた面側に反射防止膜Ｐ４を形成する反射防止膜形成工程（１ｄ）とを有している。
【０１７２】
そして、被膜形成工程においては、前記成膜用材料が蒸発している状態において、前記収容部に前記成膜用材料を追加供給する。
【０１７３】
被膜形成工程は、前述したような成膜装置を用いることにより好適に行うことができる。
【０１７４】
＜基材準備工程＞
基材準備工程では、基材Ｐ１を準備する（１ａ）。
【０１７５】
基材Ｐ１は、いかなる材料で構成されたものであってもよいが、透明性を有するものであるのが好ましい。
【０１７６】
これにより、例えば、時計用外装部品（装飾品）Ｐ１０の美的外観を特に優れたものとすることができる。また、例えば、時計用外装部品Ｐ１０を備えた時計において、時計用外装部品Ｐ１０の被膜Ｐ３が設けられた面とは反対側の面が外表面側を向くように配置した場合であっても、使用者等が被膜Ｐ３を好適に視認することができ、被膜Ｐ３を備えることによる効果を効果的に発揮させつつ、被膜Ｐ３等が摩擦等により損傷することをより確実に防止することができ、当該時計の耐久性を特に優れたものとすることができる。なお、本明細書において、「時計用外装部品Ｐ１０の美的外観」とは、時計用外装部品Ｐ１０を単独で観察した際の美的外観に加え、時計用外装部品Ｐ１０が時計に組み込まれた状態での当該部位についての美的外観も含むものである。
【０１７７】
なお、本明細書において、「透明性を有する」とは、可視光の少なくとも一部を透過するものであればよいが、光の透過率（波長：６００ｎｍの光の透過率）が、８５％以上のものであるのが好ましく、９０％以上のものであるのがより好ましい。
【０１７８】
基材Ｐ１の好適な構成材料としては、例えば、サファイアガラス、石英、プラスチック等が挙げられる。
【０１７９】
基材Ｐ１がこれらの群から選択される１種または２種以上を含む材料で構成されたものである場合、時計用外装部品Ｐ１０の美的外観をさらに優れたものとすることができる。また、時計用外装部品Ｐ１０を備えた時計の耐久性をさらに優れたものとすることができる。
【０１８０】
基材Ｐ１は、各部位で均一な組成を有するものであってもよいし、異なる組成を有するものであってもよい。例えば、厚さ方向に組成の異なる層が積層された積層体や、傾斜的に組成が変化する傾斜材料で構成されたものであってもよい。
【０１８１】
本工程で用意する基材Ｐ１は、水洗、アルカリ洗、酸洗、有機溶媒による洗浄等の清浄化処理が施されたものであってもよい。
【０１８２】
また、基材Ｐ１上に形成される層との密着性向上等を目的として表面処理が施されたものであってもよい。
【０１８３】
＜下地層形成工程＞
下地層形成工程では、基材Ｐ１の表面に下地層Ｐ２を形成する（１ｂ）。
【０１８４】
これにより、例えば、基材Ｐ１と被膜Ｐ３との密着性（下地層Ｐ２を介した密着性）を特に優れたものとすることができる。また、例えば、下地層Ｐ２を着色層として機能させることにより、時計用外装部品Ｐ１０の美的外観のさらなる向上を図ることもできる。また、下地層Ｐ２をギャップ層として機能させることにより、被膜Ｐ３が浮き上がったような立体感のある外観を得ることができる。
【０１８５】
下地層Ｐ２の平均厚さは、０．１ｎｍ以上１０μｍ以下であるのが好ましい。
これにより、下地層Ｐ２は、前述したような機能をより効果的に発揮することができる。
【０１８６】
下地層Ｐ２は、いかなる材料で構成されたものであってもよく、下地層Ｐ２の構成材料としては、例えば、ＴｉＮ、ＡｌＮ、ＳｉＮ、ＧａＮ、ＳｉＯ、ＳｉＯＮ等が挙げられるが、下地層Ｐ２は、ＴｉＮ、ＡｌＮおよびＳｉＮよりなる群から選択される１種または２種以上を含む材料で構成されたものであるのが好ましい。
【０１８７】
これにより、基材Ｐ１と被膜Ｐ３との密着性（下地層Ｐ２を介した密着性）、特に、被膜Ｐ３が金属材料や金属酸化物、金属窒化物で構成されたものである場合の密着性を特に優れたものとすることができる。また、ＴｉＮ、ＡｌＮおよびＳｉＮは、前述したような厚さで、高い透明性を有する材料であるため、時計用外装部品Ｐ１０全体としての外観に悪影響を及ぼすことをより効果的に防止することができる。
【０１８８】
なお、図示の構成では、基材Ｐ１の被膜Ｐ３が設けられた側の面全体に下地層Ｐ２を形成しているが、例えば、下地層Ｐ２は、被膜Ｐ３と接触する部位のみに選択的に形成してもよい。また、下地層Ｐ２は、基材Ｐ１の被膜Ｐ３で被覆される部位のうちの一部のみに設けられるものであってもよい。
【０１８９】
また、図示の構成では、１層の下地層Ｐ２を形成しているが、２層以上の下地層を形成してもよい。
【０１９０】
下地層Ｐ２は、各部位で均一な組成を有するものであってもよいし、異なる組成を有するものであってもよい。例えば、厚さ方向に組成の異なる層が積層された積層体や、傾斜的に組成が変化する傾斜材料で構成されたものであってもよい。
【０１９１】
下地層Ｐ２は、例えば、真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタリング、化学蒸着法（ＣＶＤ）等の気相成膜法（乾式めっき法）、湿式めっき法、ディッピング等により形成することができる。
【０１９２】
また、下地層Ｐ２の形成方法としては、例えば、下地層Ｐ２の構成材料で構成された粒子が気体中に分散してなるエアロゾルをノズルから、基材Ｐ１に向けて吹き付けて、その衝撃力によって下地層Ｐ２を形成する方法を採用してもよい。これにより、所望の部位に選択的かつ効率よく下地層Ｐ２を形成することができる。
【０１９３】
また、下地層Ｐ２の形成方法としては、例えば、被膜Ｐ３と同様の形成方法を採用してもよい。これにより、所望の部位に選択的かつ効率よく下地層Ｐ２を形成することができる。
【０１９４】
＜被膜形成工程＞
次に、下地層Ｐ２の表面の一部に、被膜Ｐ３を形成する（１ｃ）。
特に、被膜Ｐ３の形成は、前述したような成膜装置１００を用いて行う。
【０１９５】
これにより、美的外観に優れ、製造時における材料の無駄が少なく、環境への負荷の小さい時計用外装部品（装飾品）Ｐ１０を提供することができる。すなわち、所望の部位に所望の量だけ粒子Ｐ３１を堆積させることができ、形成される被膜Ｐ３を、確実に所望の形状、パターンを有するものとすることができ、また、目的とする部位に選択的に成膜をすることができるため、材料の無駄も抑えることができる。また、成膜装置の運転を中断することなく、成膜用材料を追加供給すること等から、時計用外装部品（装飾品）Ｐ１０の生産性を優れたものとすることができる。また、優れた質感を有する材料で構成された被膜Ｐ３を形成することができる。
【０１９６】
また、このような方法では、揮発性溶媒等を用いる必要がないので、時計用外装部品Ｐ１０が時計に組み込まれた状態で、揮発性成分（揮発性有機化合物）が揮発することによる問題（ムーブメントの故障、不具合の発生、カバーガラス等の曇り等）の発生を効果的に防止することができる。
【０１９７】
被膜Ｐ３は、時計用外装部品Ｐ１０が時計に組み込まれた状態において、観察可能な部位の一部に選択的に設けられるものであるのが好ましい。
【０１９８】
これにより、被膜Ｐ３自体が特定のパターンを有するものであることの効果や、被膜Ｐ３が設けられた部位と被膜Ｐ３が設けられていない部位との組み合わせによる効果により、時計用外装部品Ｐ１０、時計の美的外観を特に優れたものとすることができる。
【０１９９】
また、従来においては、時計用外装部品が時計に組み込まれた状態において、被膜が観察可能な部位の一部に選択的に設けられたものである場合に、時計用外装部品（装飾品）の製造時における材料の無駄が特に多くなる等の問題があったが、本発明によれば、このような問題の発生を確実に防止することができる。したがって、被膜Ｐ３が、時計用外装部品（装飾品）Ｐ１０が時計に組み込まれた状態において観察可能な部位の一部に選択的に設けられたものである場合に、本発明による効果がより顕著に発揮される。
【０２００】
時計用外装部品Ｐ１０が時計に組み込まれた状態において、時計用外装部品Ｐ１０の観察可能な部位のうち、被膜Ｐ３が設けられている部位の占める面積率（時計用外装部品Ｐ１０の表面が平坦なものである場合には、当該面の法線方向から観察した際の面積率）は、特に限定されないが、７０％以下であるのが好ましく、２％以上５０％以下であるのがより好ましい。
これにより、前述したような効果がより顕著に発揮される。
【０２０１】
被膜Ｐ３の平均厚さは、０．０１μｍ以上３００μｍ以下であるのが好ましく、０．０５μｍ以上１６０μｍ以下であるのがより好ましく、０．１０μｍ以上７０μｍ以下であるのがさらに好ましい。
【０２０２】
これにより、時計用外装部品Ｐ１０の美的外観を特に優れたものとすることができる。また、時計用外装部品Ｐ１０の耐久性を特に優れたものとすることができる。また、時計用外装部品Ｐ１０の生産性を特に優れたものとすることができる。
【０２０３】
本工程で形成される被膜Ｐ３は、各部位で均一な組成を有するものであってもよいし、異なる組成を有するものであってもよい。例えば、時計用外装部品Ｐ１０は、異なる質感（例えば、異なる色彩）の複数種の被膜Ｐ３を所定のパターンで有するものであってもよい。これにより、時計用外装部品Ｐ１０の美的外観のさらなる向上を図ることができる。
【０２０４】
＜反射防止膜形成工程＞
反射防止膜形成工程では、基材Ｐ１の被膜Ｐ３が設けられた面側に反射防止膜Ｐ４を形成する（１ｄ）。
【０２０５】
これにより、外光の不本意な映り込みを効果的に防止することができ、時計用外装部品Ｐ１０の美的外観を特に優れたものとすることができる。
【０２０６】
また、時計用外装部品Ｐ１０がカバーガラス（風防ガラス）に適用される場合においては、上記のように美的外観を向上させる効果が得られるとともに、文字板の視認性も向上させることができ、時計全体としての美的外観を特に優れたものとすることができる。また、時刻等の識別性も向上する等、実用品としての機能も向上する。
【０２０７】
反射防止膜Ｐ４は、例えば、真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタリング、化学蒸着法（ＣＶＤ）等の気相成膜法（乾式めっき法）、湿式めっき法、ディッピング等により形成することができる。
【０２０８】
反射防止膜Ｐ４の厚さは、特に限定されないが、０．２μｍ以上１０μｍ以下であるのが好ましく、０．３μｍ以上７μｍ以下であるのがより好ましい。
【０２０９】
これにより、時計用外装部品Ｐ１０が大型化、厚型化するのを効果的に防止しつつ、前述したような機能をより効果的に発揮することができる。
【０２１０】
なお、図示の構成では、基材Ｐ１の被膜Ｐ３が設けられた側の面全体に反射防止膜Ｐ４を形成しているが、例えば、反射防止膜Ｐ４は、基材Ｐ１の被膜Ｐ３が設けられた側の面の一部のみに選択的に設けられるものであってもよい。
【０２１１】
＜＜装飾品＞＞
次に、本発明の装飾品について説明する。
【０２１２】
本発明の装飾品は、前述したような本発明の成膜装置を用いて形成された被膜を備えるもの、または、前述したような本発明の成膜方法を用いて形成された被膜を備えるものである。
【０２１３】
これにより、所望の形状、パターンの被膜を備え、美的外観に優れ、製造時における材料の無駄が少なく、環境への負荷の小さい装飾品を提供することができる。
【０２１４】
前述したように、本発明は、各種装飾品に適用することができるが、以下、本発明の装飾品を、時計用外装部品としてのカバーガラス（風防ガラス）に適用した場合の具体的な一例について説明する。
【０２１５】
図８は、本発明の装飾品を時計用外装部品としてのカバーガラスに適用した場合の好適な実施形態を示す模式的な平面図である。
【０２１６】
図８に示すように、カバーガラスとしての本実施形態の時計用外装部品（装飾品）Ｐ１０は、平面視した際の外周部付近に選択的に被膜Ｐ３が設けられている。
【０２１７】
時計用外装部品（装飾品）は、時計に組み込まれた状態において、基材の被膜が設けられた面が、内側を向くように配置されるものであるのが好ましい。これにより、被膜の不本意な剥離等をより効果的に防止することができ、時計の耐久性を特に優れたものとすることができる。
【０２１８】
特に、図示の構成では、所定のパターン（唐草模様）で被膜が設けられている。このように、複雑なパターンの被膜Ｐ３であっても、本発明によれば、製造時における材料の無駄が少なく、環境への負荷の小さいものとして得ることができる。
【０２１９】
次に、本発明の装飾品を、時計に適用した場合の具体例について説明する。
図９は、本発明の装飾品を時計（携帯時計）に適用した場合の好適な実施形態を示す断面図である。
【０２２０】
図９に示すように、本実施形態の腕時計（携帯時計）Ｐ１００は、胴（ケース）Ｐ８２と、裏蓋Ｐ８３と、ベゼル（縁）Ｐ８４と、ガラス板（カバーガラス）Ｐ８５とを備えている。また、ケースＰ８２内には、時計用文字板Ｐ７と、太陽電池Ｐ９４と、ムーブメントＰ８１とが収納されており、さらに、図示しない針（指針）等が収納されている。
時計Ｐ１００は、その構成部品の少なくとも１つに、本発明が適用されていればよい。
【０２２１】
ガラス板Ｐ８５は、通常、透明性の高い透明ガラスやサファイア等で構成されている。これにより、時計用文字板Ｐ７や針等の視認性を十分に優れたものとすることができるとともに、太陽電池Ｐ９４に十分な光量の光を入射させることができる。
ムーブメントＰ８１は、太陽電池Ｐ９４の起電力を利用して、指針を駆動する。
【０２２２】
図９中では省略しているが、ムーブメントＰ８１内には、例えば、太陽電池Ｐ９４の起電力を貯蔵する電気二重層コンデンサー、リチウムイオン二次電池や、時間基準源として水晶振動子や、水晶振動子の発振周波数をもとに時計を駆動する駆動パルスを発生する半導体集積回路や、この駆動パルスを受けて１秒毎に指針を駆動するステップモーターや、ステップモーターの動きを指針に伝達する輪列機構等を備えている。
【０２２３】
また、ムーブメントＰ８１は、図示しない電波受信用のアンテナを備えている。そして、受信した電波を用いて時刻調整等を行う機能を有している。
【０２２４】
太陽電池Ｐ９４は、光エネルギーを電気エネルギーに変換する機能を有する。そして、太陽電池Ｐ９４で変換された電気エネルギーは、ムーブメントの駆動等に利用される。
【０２２５】
太陽電池Ｐ９４は、例えば、非単結晶シリコン薄膜にｐ型の不純物とｎ型の不純物とが選択的に導入され、さらにｐ型の非単結晶シリコン薄膜とｎ型の非単結晶シリコン薄膜との間に不純物濃度の低いｉ型の非単結晶シリコン薄膜を備えたｐｉｎ構造を有している。
【０２２６】
胴Ｐ８２には巻真パイプＰ８６が嵌入・固定され、この巻真パイプＰ８６内にはりゅうずＰ８７の軸部Ｐ８７１が回転可能に挿入されている。
【０２２７】
胴Ｐ８２とベゼルＰ８４とは、プラスチックパッキンＰ８８により固定され、ベゼルＰ８４とガラス板Ｐ８５とはプラスチックパッキンＰ８９により固定されている。
【０２２８】
また、胴Ｐ８２に対し裏蓋Ｐ８３が嵌合（または螺合）されており、これらの接合部（シール部）Ｐ９３には、リング状のゴムパッキン（裏蓋パッキン）Ｐ９２が圧縮状態で介挿されている。この構成によりシール部Ｐ９３が液密に封止され、防水機能が得られる。
【０２２９】
りゅうずＰ８７の軸部Ｐ８７１の途中の外周には溝Ｐ８７２が形成され、この溝Ｐ８７２内にはリング状のゴムパッキン（りゅうずパッキン）Ｐ９１が嵌合されている。ゴムパッキンＰ９１は巻真パイプＰ８６の内周面に密着し、該内周面と溝Ｐ８７２の内面との間で圧縮される。この構成により、りゅうずＰ８７と巻真パイプＰ８６との間が液密に封止され防水機能が得られる。なお、りゅうずＰ８７を回転操作したとき、ゴムパッキンＰ９１は軸部Ｐ８７１と共に回転し、巻真パイプＰ８６の内周面に密着しながら周方向に摺動する。
【０２３０】
なお、上記の説明では、時計の一例として、ソーラー電波時計としての腕時計（携帯時計）を挙げて説明したが、本発明は、腕時計以外の携帯時計、置時計、掛け時計等の他の種類の時計にも同様に適用することができる。また、本発明は、ソーラー電波時計を除くソーラー時計や、ソーラー電波時計を除く電波時計等、いかなる時計にも適用することができる。
【０２３１】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記のようなものに限定されるものではない。
【０２３２】
例えば、本発明の成膜装置、装飾品では、各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。
【０２３３】
また、成膜装置の連結管の開口部は、前述した実施形態ではｚ軸負方向を向いているが、これに限定されず、例えば、ｘ軸正方向、ｘ軸負方向、ｙ軸正方向、ｙ軸負方向またはｚ軸正方向を向いていてもよい。
【０２３４】
また、成膜装置の移動手段は、前記実施形態では基材を連結管のノズル部に対し移動させるよう構成されているが、これに限定されず、例えば、連結管のノズル部を基材に対し移動させるよう構成されていてもよい。
【０２３５】
また、成膜装置は、ステージが回転可能に構成されていてもよい。
また、前述した実施形態では、成膜装置が連結管を加熱する温度調整機構を備えるものとして説明したが、被膜の形成には、前記温度調整機構を備えていないものを用いてもよい。
【０２３６】
また、前述した第３実施形態では、ガイド部材（付着防止手段）が管状の構造を有するものである場合について代表的に説明したが、ガイド部材は、いかなる形状のものであってもよい。例えば、ガイド部材は、粒子を排気口へと導くガス流を生じる溝を備えた板状の部材等であってもよい。
【０２３７】
また、前述した実施形態では、成膜室の圧力調整用の排気口が、ガイド部材によって導かれた粒子とともに成膜室のガスを排出する排気口も兼ねている構成について中心的に説明したが、成膜室の圧力調整用の排気口と、ガイド部材によって導かれた粒子を排出する排気口とは、別個のものであってもよい。
【０２３８】
また、付着防止手段は、材料供給手段により成膜用材料を追加供給する際に、蒸発した成膜用材料が基材に供給され付着することを防止する機能を有するものであればよく、前述したようなガイド部材（蒸発した成膜用材料を、成膜室のガスを排気する排気口へと導く部材）でなくてもよい。例えば、付着防止手段は、防着板（シャッター部材）等であってもよい。
【０２３９】
また、前述した実施形態では、ガス供給手段が供給するガスが不活性ガスである場合について説明したが、ガス供給手段が供給するガスは反応性のガスであってもよい。これにより、例えば、成膜用材料を微粒子とする過程において、前記ガスと反応させ、成膜用材料とは異なる組成の被膜を形成することができる。
【０２４０】
また、前述した実施形態では、成膜装置は、ガス供給手段を１つのみ備え、１種類のガスを供給するものとして説明したが、複数のガス供給手段を備え、異なる複数種のガスを供給するように構成してもよい。これにより、例えば、ガス供給手段が供給するガスとして、不活性ガスと反応性ガスとを併用することができ、被膜を各部位で異なる組成を有するものとすることができる。
【０２４１】
また、前述した実施形態では、時計用外装部品（装飾品）が、基材、被膜に加え、下地層、反射防止膜を備える場合について中心的に説明したが、本発明の装飾品は、基材と被膜とを備えるものであればよく、下地層、反射防止膜を備えていないものであってもよい。
【０２４２】
また、本発明の成膜方法においては、必要に応じて、前処理工程、中間処理工程、後処理工程を行ってもよい。
【０２４３】
また、前述した実施形態では、本発明の成膜装置を用いて、装飾品を製造する場合について中心的に説明したが、本発明の成膜装置は、装飾品の製造に用いられるものでなくてもよい。
【符号の説明】
【０２４４】
Ｐ１００……腕時計（携帯時計）
Ｐ１０……時計用外装部品（装飾品）
Ｐ１……基材
Ｐ２……下地層
Ｐ３……被膜
Ｐ３’……母材（成膜用材料）
Ｐ３１……粒子（微粒子）
Ｐ４……反射防止膜
Ｐ７……時計用文字板
Ｐ８１……ムーブメント
Ｐ８２……胴（ケース）
Ｐ８３……裏蓋
Ｐ８４……ベゼル（縁）
Ｐ８５……ガラス板（カバーガラス）
Ｐ８６……巻真パイプ
Ｐ８７……りゅうず
Ｐ８７１……軸部
Ｐ８７２……溝
Ｐ８８……プラスチックパッキン
Ｐ８９……プラスチックパッキン
Ｐ９１……ゴムパッキン（りゅうずパッキン）
Ｐ９２……ゴムパッキン（裏蓋パッキン）
Ｐ９３……接合部（シール部）
Ｐ９４……太陽電池
１００……成膜装置
１……観察手段
２……連結管
２１……第２の開口部（他端開口部）
２２……内腔部
２４……ノズル部
２５……第１の開口部（一端開口部）
３……ガス供給手段
３１……タンク
３２……連結管
３３……電磁弁
４……加熱手段
４１……交流電源（高周波電源）
４２……スイッチ
４３……容器（るつぼ）
４３１……外周部
４４……コイル
４４１……素線
４４２……内周部
５……圧力調整手段
５１……ポンプ
５２……連結管
５２１……排気口
５３……電磁弁
６……移動手段
６１……ステージ（テーブル）
６２ｘ……ｘ軸モーター
６２ｙ……ｙ軸モーター
６３ｘ……ｘ軸モータードライバー
６３ｙ……ｙ軸モータードライバー
７……制御部
７１……記憶部（記録媒体）
８……材料供給手段
８１……貯蔵部
８２……搬送路
８３……シャッター
８４……加熱手段（予熱手段）
８５……ローラー
１５……第１のチャンバー（蒸気発生室）
１６……第２のチャンバー（成膜室）
９……付着防止手段（ガイド部材）
９２……モーター
９３……モータードライバー
９０……温度調整機構
Ｇ２……ガス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2016044354.tif 000008
【図７】
2016044354.tif 000009
【図８】
2016044354.tif 000010
【図９】
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