(57)【要約】      （修正有）【課題】確実に誤操作を防止可能なバルブを提供する。【解決手段】ロック装置は、ステム、流体通路が開状態となる位置、および、流体通路が閉状態となる位置でロック可能であり、かつ、そのロックを解除可能に構成され、マイクは、作業者により流体通路の開閉操作を示す入力を受け付け可能に構成されている。そして、制御部は、Ｓ２で確認した現在のバルブの開閉状態が、Ｓ１におけるバルブの開閉操作を示す入力に対して逆の状態であるか否かを判断し、逆の状態である場合に、ロック装置のロック部によるステムに対するロックを解除させる。【選択図】図５
2016050614.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体通路が形成されたボディと、
駆動力を発生する駆動手段と、
前記流体通路を開閉するために、前記駆動手段による前記駆動力を受けて前記ボディに対し近接および離間移動可能に設けられたステムと、
前記ステムを、前記流体通路が開状態となる位置、および、前記流体通路が閉状態となる位置のいずれかまたは両方でロック可能であり、かつ、そのロックを解除可能であるロック手段と、
作業者により前記流体通路の開閉操作を示す入力を受け付け可能な入力手段と、
前記入力手段に対し前記流体通路の開閉操作を示す入力があった場合に、前記流体通路の開閉状態が前記開閉操作を示す入力に対し逆の状態であるか否かを判断し、前記逆の状態である場合に、前記ロック手段による前記ステムに対するロックを解除させる制御手段と、を備えるバルブ。
【請求項２】
出力手段を更に備え、
前記制御手段は、前記流体通路の開閉状態が、前記開閉操作を示す入力と同じ状態である場合に、前記出力手段により、前記同じ状態であることを示す情報を出力する請求項１に記載のバルブ。
【請求項３】
前記制御手段は、前記ロック手段による前記ステムに対するロックを解除させた後所定時間経過後に、前記流体通路の開閉状態を確認し、前記流体通路の開閉操作を示す入力と、前記確認した前記流体通路の開閉状態とが同じ状態でない場合に、前記出力手段により、前記同じ状態でないことを示す情報を出力する請求項１または請求項２に記載のバルブ。
【請求項４】
前記入力手段は、作業者による前記流体通路の開閉操作を示す音声入力を受け付け可能な音声入力手段であり、
前記出力手段は、前記同じ状態であることを示す情報および前記同じ状態でないことを示す情報に関する音声を出力可能な音声出力手段である請求項２に記載のバルブ。
【請求項５】
前記入力手段および前記出力手段は、タッチパネルであり、
前記タッチパネルは、作業者による前記流体通路の開閉操作を示すタッチ入力を受け付け可能であり、前記同じ状態であることを示す情報および前記同じ状態でないことを示す情報を表示可能である請求項３に記載のバルブ。
【請求項６】
前記ステムには、第１溝と第２溝とが軸方向に所定距離離れて形成され、
前記ロック手段は、前記第１溝に嵌入される嵌入位置と前記第１溝から退出される非嵌入位置との間を往復動可能に設けられた第１プランジャと、前記第２溝に嵌入される嵌入位置と前記第２溝から退出される非嵌入位置との間を往復動可能に設けられた第２プランジャとを有し、
前記流体通路が開状態にあるときには、前記ステムは、前記第１溝が前記第１プランジャを受入不能かつ前記第２溝が前記第２プランジャを受入可能な箇所に位置し、前記第１プランジャが前記非嵌入位置に位置し、前記第２プランジャが前記第２溝に嵌入されて前記嵌入位置に位置して前記ステムをロックし、
前記流体通路が閉状態にあるときには、前記ステムは、前記第１溝が前記第１プランジャを受入可能かつ前記第２溝が前記第２プランジャを受入不能な箇所に位置し、前記第２プランジャが前記非嵌入位置に位置し、前記第１プランジャが前記第１溝に嵌入されて前記嵌入位置に位置して前記ステムをロックする請求項１から請求項５のいずれかに記載のバルブ。
【請求項７】
前記第１プランジャおよび前記第２プランジャは磁気材料により構成され、
前記ロック手段は、
前記第１プランジャを前記嵌入位置から前記非嵌入位置に磁気吸引するための磁気力を発生させる第１磁気力発生部と、
前記第１プランジャを前記非嵌入位置から前記嵌入位置に付勢力により移動させる第１付勢手段と、
前記第２プランジャを前記嵌入位置から前記非嵌入位置に磁気吸引するための磁気力を発生させる第２磁気力発生部と、
前記第２プランジャを前記非嵌入位置から前記嵌入位置に付勢力により移動させる第２付勢手段と、を有する請求項６に記載のバルブ。
【請求項８】
前記駆動手段は、手動式の駆動手段である請求項１から請求項７に記載のバルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置等の流体管路に使用されるバルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、誤操作による事故防止を図るための機能を備えたバルブが提案されている。例えば、誤操作防止のために、オープンクローズの札を付けたバルブや南京錠を付けて開閉操作を制限するバルブがある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−６５８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、従来のバルブでは、オープンクローズの札の操作や南京錠の取り外しが煩わしく、結局これらを使用しなくなり、誤操作を確実に防止することができなかった。また、操作時に、２以上の動作（バルブ開閉動作の他に確認動作）を必要としないため、誤操作を確実に防止することができなかった。
【０００５】
そこで本発明は、確実に誤操作を防止可能なバルブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を解決するために、本発明の一態様であるバルブは、流体通路が形成されたボディと、駆動力を発生する駆動手段と、前記流体通路を開閉するために、前記駆動手段による前記駆動力を受けて前記ボディに対し近接および離間移動可能に設けられたステムと、前記ステムを、前記流体通路が開状態となる位置、および、前記流体通路が閉状態となる位置のいずれかまたは両方でロック可能であり、かつ、そのロックを解除可能であるロック手段と、作業者により前記流体通路の開閉操作を示す入力を受け付け可能な入力手段と、前記入力手段に対し前記流体通路の開閉操作を示す入力があった場合に、前記流体通路の開閉状態が前記開閉操作を示す入力に対し逆の状態であるか否かを判断し、前記逆の状態である場合に、前記ロック手段による前記ステムに対するロックを解除させる制御手段と、を備える
【０００７】
また、出力手段を更に備え、前記制御手段は、前記流体通路の開閉状態が、前記開閉操作を示す入力と同じ状態である場合に、前記出力手段により、前記同じ状態であることを示す情報を出力しても良い。
【０００８】
また、前記制御手段は、前記ロック手段による前記ステムに対するロックを解除させた後所定時間経過後に、前記流体通路の開閉状態を確認し、前記流体通路の開閉操作を示す入力と、前記確認した前記流体通路の開閉状態とが同じ状態でない場合に、前記出力手段により、前記同じ状態でないことを示す情報を出力しても良い。
【０００９】
また、前記入力手段は、作業者による前記流体通路の開閉操作を示す音声入力を受け付け可能な音声入力手段であり、前記出力手段は、前記同じ状態であることを示す情報および前記同じ状態でないことを示す情報に関する音声を出力可能な音声出力手段であっても良い。
【００１０】
また、前記入力手段および前記出力手段は、タッチパネルであり、前記タッチパネルは、作業者による前記流体通路の開閉操作を示すタッチ入力を受け付け可能であり、前記同じ状態であることを示す情報および前記同じ状態でないことを示す情報を表示可能であっても良い。
【００１１】
また、前記ステムには、第１溝と第２溝とが軸方向に所定距離離れて形成され、前記ロック手段は、前記第１溝に嵌入される嵌入位置と前記第１溝から退出される非嵌入位置との間を往復動可能に設けられた第１プランジャと、前記第２溝に嵌入される嵌入位置と前記第２溝から退出される非嵌入位置との間を往復動可能に設けられた第２プランジャとを有し、前記流体通路が開状態にあるときには、前記ステムは、前記第１溝が前記第１プランジャを受入不能かつ前記第２溝が前記第２プランジャを受入可能な箇所に位置し、前記第１プランジャが前記非嵌入位置に位置し、前記第２プランジャが前記第２溝に嵌入されて前記嵌入位置に位置して前記ステムをロックし、前記流体通路が閉状態となる位置にあるときには、前記ステムは、前記第１溝が前記第１プランジャを受入可能かつ前記第２溝が前記第２プランジャを受入不能な箇所に位置し、前記第２プランジャが前記非嵌入位置に位置し、前記第１プランジャが前記第１溝に嵌入されて前記嵌入位置に位置して前記ステムをロックしても良い。
【００１２】
また、前記第１プランジャおよび前記第２プランジャは磁気材料により構成され、前記ロック手段は、前記第１プランジャを前記嵌入位置から前記非嵌入位置に磁気吸引するための磁気力を発生させる第１磁気力発生部と、前記第１プランジャを前記非嵌入位置から前記嵌入位置に付勢力により移動させる第１付勢手段と、前記第２プランジャを前記嵌入位置から前記非嵌入位置に磁気吸引するための磁気力を発生させる第２磁気力発生部と、前記第２プランジャを前記非嵌入位置から前記嵌入位置に付勢力により移動させる第２付勢手段と、を有しても良い。
【００１３】
また、前記駆動手段は、手動式の駆動手段であっても良い。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、確実に誤操作を防止可能なバルブを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態に係るバルブの開状態にあるバルブ本体の縦断面図を示す。
【図２】図１の点線で囲った部分Ａの拡大図を示す。
【図３】ロック制御装置の電気的構成のブロック図を示す。
【図４】閉状態にあるバルブ本体の縦断面図を示す。
【図５】バルブの開閉制御処理の手順を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明の一実施形態によるバルブについて、図面を参照して説明する。
【００１７】
図１は、第１の実施形態に係る開状態にあるバルブ１の縦断面図を示している。図１に示すように、バルブ１は、バルブ本体１０と、ロック制御装置２０とを備える。バルブ本体１０はダイヤフラムバルブである。バルブ本体１０は、バルブボディ２と、ガイド筒３と、ダイヤフラム４と、ダイヤフラム押さえ５と、ステム６と、ハンドル７と、インジケータ８とを主に備える。なお、以下の説明において、バルブ１の、ハンドル７側を上側、ボディ２側を下側として説明する。
【００１８】
バルブボディ２には、流体流入路２ａおよび流体流出路２ｂとが形成されたボディ本体部２Ｃと、流体流入路２ａおよび流体流出路２ｂに連通する弁室２ｄを形成する角筒部２Ｅを有する。ボディ本体部２Ｃの流体流入路２ａと弁室２ｄとが連通する箇所の周縁には、環状のシート２Ｆが設けられている。角筒部２Ｅは、外形が矩形筒状をなし、断面円形の筒挿入孔２ｇが形成されている。角筒部２Ｅの一つの側面には、筒挿入穴２ｇに開口する矩形状の第１装着孔２ｈが形成されている。なお、角筒部２Ｅの複数側面に同様に形成されていても構わない。そして、後述のロック装置２１を、各側面に形成された第１装着孔に装着しても良い。
【００１９】
ガイド筒３は、円筒状をなし、角筒部２Ｅの筒挿入孔２ｇに挿入されている。ガイド筒３には、ステム挿入孔３ａが形成されている。角筒部２Ｅの上端に螺合結合されたグランドナット２Ｉにより、ガイド筒３は、バルブボディ２に対し固定される。また、ガイド筒３には、第１装着孔２ｈおよびステム挿入孔３ａに開口する矩形状の第２装着孔３ｂが形成されている。また、ガイド筒３の内周の上端部には、雌ねじ部３Ｃが形成されている。
【００２０】
弁体であるダイヤフラム４は、ガイド筒３の下端に配置された押さえアダプタ４Ａと、ボディ２の弁室２ｄを形成する底面とにより、その外周縁部が挟圧され保持されている。ダイヤフラム４は、球殻状をなし、上に凸の円弧状が自然状態となっている。ダイヤフラム４がシート２Ｆに対し当接（図４）および離間（図１）することによって、流体通路の開閉が行われる。ダイヤフラム４は、例えば、ニッケル合金薄板により構成され、円形に切り抜き、中央部を上方へ膨出させた球殻状に形成される。なお、ダイヤフラム４の形状はどのようなものであっても問題ない。
【００２１】
ダイヤフラム押さえ５は、ダイヤフラム４の上側に設けられ、ダイヤフラム４の中央部を押圧可能に構成されている。
【００２２】
ステム６は、ガイド筒３のステム挿入孔３ａに挿入され、ガイド筒３により上下方向に移動可能に支持されている。ステム６が上死点にあるときにはバルブ１は開状態であり、ステム６が下死点にあるときにはバルブ１は閉状態となるように構成されている。ステム６は、環状をなすように外周に一周連続して形成された第１溝６ａと、環状をなすように外周に一周連続して形成された第２溝６ｂとを有する。第１溝６ａと第２溝６ｂとは、上下方向（軸方向）に所定距離離れた位置であって、ガイド筒３の第２装着孔３ｂに対向する位置に形成されている。すなわち、第１溝６ａと第２溝６ｂとは、第２装着孔３ｂに連通している。なお、本実施形態ではステム７の移動方向は上下方向に相当する。
【００２３】
また、ステム６の上端部には、雄ねじ部６Ｃが形成され、雄ねじ部６Ｃはガイド筒３の雌ねじ部３Ｃと螺合している。これにより、ステム６は、ガイド筒３に対し、回転可能かつ回転に伴い上下方向に移動可能に支持されている。また、ステム６とガイド筒３との間には、Ｏリング６Ｄが介在している。
【００２４】
ハンドル７は、ステム６の上端に取り付けられており、作業者が手動でハンドル７を回転させ駆動力を発生させることにより、ステム６が回転駆動力を受けて回転し上下方向に沿って移動する。ハンドル７には、貫通孔７ａが形成されている。
【００２５】
インジケータ８は、ガイド筒３の上端に固定されている。インジケータ８の上面には、「開」および「閉」の文字が印字されている。ハンドル７を回転させて、バルブ１が開状態であるときには、「開」の文字がハンドル７の貫通孔７ａを介して視認され、バルブ１が閉状態であるときには、「閉」の文字がハンドル７の貫通孔７ａを介して視認されるように構成されている。
【００２６】
次に、ロック制御装置２０について、図１〜図３を参照して詳細に説明する。図２は、図１の点線で囲った部分Ａの拡大図を示し、図３は、ロック制御装置２０の電気的構成のブロック図を示している。
【００２７】
図１〜図３に示すように、ロック制御装置２０は、ロック装置２１、制御部２２、マイク２３と、スピーカ２４とを備える。
【００２８】
図２に示すように、ロック装置２１は、ベース２５（図１も参照）と、ロック部２６と、センサ部２７とを有する。ベース２５およびロック部２６により、いわゆる電磁石装置が構成されている。ロック装置２１はロック手段に相当する。
【００２９】
ベース２５は、強磁性材料により構成され、矩形状をなし、角筒部２Ｅの矩形状の第１装着孔２ｈに嵌るように構成され、角筒部２Ｅに対し固定されている。ベース２５のステム６側には、第１凸部２５Ａと、第２凸部２５Ｂとが設けられ、第１凸部２５Ａには第１凹部２５ｃが形成され、第２凸部２５Ｂには第２凹部２５ｄが形成されている。
【００３０】
ロック部２６は、第１コイル２８Ａと、第２コイル２９Ａと、第１コイルばね２８Ｂと、第２コイルばね２９Ｂと、第１プランジャ２８Ｃと、第２プランジャ２９Ｃとを有する。第１コイル２８Ａおよび第２コイル２９Ａは、ぞれぞれ第１凸部２５Ａおよび第２凸部２５Ｂの外周に巻回されている。第１コイル２８Ａおよび第２コイル２９Ａには、それぞれ配線３０、３１が接続されている。第１コイルばね２８Ｂおよび第２コイルばね２９Ｂは、それぞれ第１凹部２５ｃおよび第２凹部２５ｄに挿入されている。第１プランジャ２８Ｃおよび第２プランジャ２９Ｃは、それぞれ第１凸部２５Ａおよび第２凸部２５Ｂのステム６側に設けられ、第１コイルばね２８Ｂおよび第２コイルばね２９Ｂによりそれぞれステム６に向かって常に付勢されている。第１コイルばね２８Ｂおよび第２コイルばね２９Ｂは、第１付勢手段および第２付勢手段に相当する。
【００３１】
また、第１プランジャ２８Ｃおよび第２プランジャ２９Ｃは、強磁性材料により構成されている。第１プランジャ２８Ｃおよび第２プランジャ２９Ｃは、嵌入位置と非嵌入位置との間で往復動可能である。嵌入位置とは、第１プランジャ２８Ｃおよび第２プランジャ２９Ｃの先端部が第１溝６ａおよび第２溝６ｂに嵌入された状態における第１プランジャ２８Ｃおよび第２プランジャ２９Ｃの位置を示す。非嵌入位置とは、第１プランジャ２８Ｃおよび第２プランジャ２９Ｃの先端部が第１溝６ａおよび第２溝６ｂから退出した状態における第１プランジャ２８Ｃおよび第２プランジャ２９Ｃの位置を示す。第１プランジャ２８Ｃおよび第２プランジャ２９Ｃの往復動は、ベース２５とステム６との間に設けられガイド筒３により支持されるガイド部材３２により支持される。
【００３２】
第１凸部２５Ａ、第１コイル２８Ａ、第１コイルばね２８Ｂ、および第１プランジャ２８Ｃにより一つの電磁石装置が構成され、第２凸部２５Ｂ、第２コイル２９Ａ、第２コイルばね２９Ｂ、および第２プランジャ２９Ｃにより別の電磁石装置が構成される。
【００３３】
センサ部２７は、第１タッチセンサ２７Ａおよび第２のタッチセンタ２７Ｂにより構成される。第１タッチセンサ２７Ａは、その先端が僅かに第１凹部２５ｃから突出するように第１凹部２５ｃに設けられている。第２タッチセンサ２７Ｂは、その先端が僅かに第２凹部２５ｄから突出するように第２凹部２５ｄに設けられている。第１タッチセンサ２７Ａおよび第２のタッチセンタ２７Ｂには、それぞれ配線３３、３４が接続されている。
【００３４】
図１に示すように、バルブ１が開状態にあるときには、ステム６は、その第１溝６ａが第１プランジャ２８Ｃを受入不能であり、第２溝６ｂが第２プランジャ２９Ｃを受入可能な箇所に位置する。
【００３５】
そして、第１コイル２８Ａは、配線３０を介して通電され、電磁石装置が励磁され、第１凸部２５Ａのステム６側の端部が電磁石の磁極となっている。これにより強磁性材料から構成される第１プランジャ２８Ｃが、第１コイルばね２８Ｂの付勢力に抗して磁気吸引され、図２に示すように第１プランジャ２８Ｃは非嵌入位置に位置する。第１コイル２８Ａおよび第１凸部２５Ａは磁気力を発生する第１磁気力発生部に相当する。また、第２コイル２９Ａには通電されておらず、電磁石装置は消磁状態となっている。その結果、第２プランジャ２９Ｃは、第２コイルばね２９Ｂの付勢力により押されて、図２に示すように、第２プランジャ２９Ｃの先端が第２溝６ｂに嵌入され、第２プランジャ２９Ｃは嵌入位置に位置する。この結果、ステム６は、ロック装置２１により流体通路が開状態となる位置でロックされる。
【００３６】
一方、バルブ１が閉状態にあるときには、図４に示すように、ステム６は、その第１溝６ａが第１プランジャ２８Ｃを受入可能であり、第２溝６ｂが第２プランジャ２９Ｃを受入不能な箇所に位置する。
【００３７】
そして、第２コイル２９Ａは、配線３１を介して通電され、電磁石装置が励磁され、第２凸部２５Ｂのステム６側の端部が電磁石の磁極となっている。これにより強磁性材料から構成される第２プランジャ２９Ｃが、第２コイルばね２９Ｂの付勢力に抗して磁気吸引され、第２プランジャ２９Ｃは非嵌入位置に位置する。第２コイル２９Ａおよび第２凸部２５Ｂは磁気力を発生する第２磁気力発生部に相当する。また、第１コイル２８Ａには通電されておらず、電磁石装置は消磁状態となっている。その結果、第１プランジャ２８Ｃは、第１コイルばね２８Ｂの付勢力により押されて、第１プランジャ２８Ｃの先端が第２溝６ｂに嵌入され、第１プランジャ２８Ｃは嵌入位置に位置する。この結果、ステム６は、ロック装置２１により流体通路が閉状態となる位置でロックされる。
【００３８】
また、図３に示すように、第１プランジャ２８Ｃが非嵌入位置にある状態では、第１プランジャ２８Ｃが第１タッチセンサ２７Ａに接触し、図４に示すように、第２プランジャ２９Ｃが非嵌入位置にある状態では、第２プランジャ２９Ｃが第２タッチセンサ２７Ｂに接触するように構成されている。そして、第１タッチセンサ２７Ａおよび第２タッチセンサ２７Ｂは、第１プランジャ２８Ｃおよび第２プランジャ２９Ｃが接触または非接触であることを示す信号を配線３３、３４を介して制御部２２に送信する。これにより、制御部２２は、第１プランジャ２８Ｃおよび第２プランジャ２９Ｃが非嵌入位置または嵌入位置にあるとことを検知する。
【００３９】
なお、図２において、第１コイル２８Ａに通電されず、第１プランジャ２８Ｃが第１コイルばね２８Ｂにより押され僅かにステム６側に移動しステム６の外周面に当接してる状態であっても、第１プランジャ２８Ｃは第１タッチセンサ２７Ａに接触するように構成されている。第２プランジャ２９Ｃについても同様に構成されている。
【００４０】
図３に示した制御部２２は、図示せぬＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを有し、ＲＯＭには、後述の開閉制御処理に関するプログラムが格納されている。また、制御部２２には、配線３０、３１、３３、３４が接続されている。制御部２２は制御手段に相当する。
【００４１】
マイク２３およびスピーカ２４は、配線３５、３６を介して制御部２２に電気的に接続されている。マイク２３は、入力手段（音声入力手段）に相当し、スピーカ２４は出力手段（音声出力手段）に相当する。
【００４２】
以上のような構成を備える本実施形態のバルブ１は、以下に説明する手順でバルブ１の開閉制御処理を実行する。
【００４３】
図５は、バルブ１の開閉制御処理の手順を示すフローチャートである。
【００４４】
次に、制御部２２により実行されるバルブ１の開閉制御処理について図５を参照して説明する。本開閉制御処理は、制御部２２のＲＯＭに記憶された開閉制御処理に関するプログラムに基づき、制御部２２に電気が供給されている間は常に実行されている。また、バルブ１は開状態または閉状態にあり、ステム６はロック部２６によりロックされている。
【００４５】
まず、制御部２２は、マイク２３に作業者がこれから行おうとするバルブ１に対する開閉操作を示す所定の音声入力があるか否かを判断する（Ｓ１）。マイク２３に所定の音声入力があった場合は（Ｓ１：ＹＥＳ）、制御部２２はステップＳ２に進む。例えば、マイク２３に対する音声入力としては、「バルブオープン」および「バルブクローズ」等のバルブ１の開閉操作を示す入力であり、バルブ１を現在の状態から逆の状態にする旨を示す入力である。一方、マイク２３に所定の音声入力がない場合は（Ｓ１：ＮＯ）、Ｓ１の処理を繰り返し実行する。
【００４６】
次に、制御部２２は、現在バルブ１が開状態または閉状態にあるのかを確認する。例えば、制御部２２は、第１タッチセンサ２７Ａおよび第２タッチセンサ２７Ｂからの信号に基づき、第１プランジャ２８Ｃおよび第２プランジャ２９Ｃの位置を把握してバルブ１が開状態または閉状態にあるかを確認する。詳細には、制御部２２は、第１タッチセンサ２７Ａおよび第２タッチセンサ２７Ｂからの信号に基づき、第１プランジャ２８Ｃが非嵌入位置、第２プランジャ２９Ｃが嵌入位置にあれば（図１）、バルブ１が開状態であると判断し、第１プランジャ２８Ｃが嵌入位置、第２プランジャ２９Ｃが非嵌入位置にあれば（図４）、バルブ１が閉状態であると判断する。
【００４７】
制御部２２は、Ｓ２で確認した現在のバルブ１の開閉状態が、Ｓ１におけるバルブ１の開閉操作を示す入力に対し逆の状態であるか否かを判断する（Ｓ３）。Ｓ１におけるバルブ１の開閉操作を示す入力がバルブ１を開状態にすることを示す入力であり、Ｓ２で確認した現在のバルブ１の状態が閉状態である場合には（Ｓ３：ＹＥＳ）、入力内容と確認内容とが逆の状態であるので、制御部２２はステップＳ４に進む。Ｓ１におけるバルブ１の開閉操作を示す入力がバルブ１を閉状態にすることを示す入力であり、Ｓ２で確認した現在のバルブ１の状態が開状態である場合であっても（Ｓ３：ＹＥＳ）、入力内容と確認内容とが逆の状態であるので、制御部２２はステップＳ４に進む。
【００４８】
一方、入力内容と確認内容とが同じ状態である場合（Ｓ３：ＮＯ）、制御部２２は、エラーメッセージをスピーカ２４から出力させて（Ｓ５）、その後ステップＳ１に戻る。例えば、Ｓ１におけるバルブ１の開閉操作を示す入力がバルブ１を開状態（または閉状態）にすることを示す入力であり、Ｓ２で確認した現在のバルブ１の状態が開状態（または閉状態）である場合には、入力内容と確認内容とが同じ状態であるので、制御部２２はステップＳ５に進む。制御部２２は、例えば、ＲＯＭに記憶した「現在開状態です」または「現在閉状態です」等のメッセージをスピーカ２４から出力させる。
【００４９】
次に、制御部２２は、ロック装置２１のロック部２６によるステム６に対するロックを解除する（Ｓ４）。例えば、第１プランジャ２８Ｃが嵌入位置に位置してステム６をロックしている場合には、制御部２２は、配線３０を介して第１コイル２８Ａに電流を流し、第１凸部２５Ａのステム６側の端部が電磁石の磁極にし、第１プランジャ２８Ｃを磁気吸引して、嵌入位置から非嵌入位置に移動させる。これにより、ロック部２６によるステム６に対するロックが解除される。第２プランジャ２９Ｃが嵌入位置に位置してステム６をロックしている場合も、第１プランジャ２８Ｃと同様に、第２プランジャ２９Ｃを磁気吸引して、嵌入位置から非嵌入位置に移動させる。なお、ロック部２６によるステム６に対するロックを解除した状態では、第１コイル２８Ａおよび第２コイル２９Ａに対して通電され電磁石装置が励磁された状態であり、第１プランジャ２８Ｃおよび第２プランジャ２９Ｃは共に非嵌入位置に位置する。
【００５０】
ロック解除後、制御部２２は、「ハンドル操作可能です」等のステム６のロックを解除しハンドル７を操作可能であることを示すメッセージをスピーカ２４を介して出力する（Ｓ６）。
【００５１】
次に、制御部２２は、ステップＳ６でメッセージを出力した後、所定時間（例えば、３秒）経過したか否かを判断する（Ｓ７）。所定時間は、作業者がハンドル７を操作してバルブ１を閉状態（または開状態）から開状態（または閉状態）にするために必要な時間であり、適宜設定可能である。所定時間を経過してない場合には（Ｓ７：ＮＯ）、制御部２２は、当該判断を繰り返す。
【００５２】
所定時間経過後（Ｓ７：ＹＥＳ）、制御部２２は、第１コイル２８Ａおよび第２コイル２９Ａに対する通電を停止し、電磁石装置を消磁状態にする（Ｓ８）。これにより、第１プランジャ２８Ｃおよび第２プランジャ２９Ｃに対する電磁吸引がなくなり、第１プランジャ２８Ｃおよび第２プランジャ２９Ｃは、第１コイルばね２８Ｂおよび第２コイルばね２９Ｂの付勢力により、非嵌入位置から嵌入位置に移動しようとする。
【００５３】
次に、制御部２２は、ステップＳ２と同様に現在のバルブ１の開閉状態を確認する（Ｓ９）。上記のように、第１プランジャ２８Ｃおよび第２プランジャ２９Ｃの位置に基づきバルブ１の開閉状態を判断する。なお、作業者がステム６をその上死点または下死点まで完全に移動させていない場合は、第１溝６ａまたは第２溝６ｂが、第１プランジャ２８Ｃまたは第２プランジャ２９Ｃを嵌入可能な位置まで移動しないこととなる。このため、制御部２２は、第１プランジャ２８Ｃおよび第２プランジャ２９Ｃの両方が非嵌入位置に位置し、バルブ１が不完全な開閉状態にある場合も検知する。
【００５４】
制御部２２は、Ｓ９で確認した現在のバルブ１の開閉状態が、Ｓ１におけるバルブ１の開閉操作を示す入力と同じ状態であるか否かを判断する（Ｓ１０）。入力内容と確認内容とが同じ状態であると判断された場合（Ｓ１０：ＹＥＳ）、制御部２２は、開閉操作が完了したことを知らせる通知（例えば、「開閉操作が完了しました」等）をスピーカ２４から出力させて（Ｓ１１）、ステップＳ１に戻る。
【００５５】
一方、入力内容と確認内容とが同じ状態でない場合（Ｓ１０：ＮＯ）、制御部２２は、操作が完了していない旨のエラーメッセージ（例えば、「開閉操作が完了していません」等）をスピーカ２４から所定時間出力させて（Ｓ１２）、ステップＳ１０に戻る。以上のようにして、制御部２２によりバルブ１の開閉制御処理が実行される。
【００５６】
以上のように、本実施形態のバルブ１によれば、ロック装置２１は、ステム６を、流体通路が開状態となる位置、および、流体通路が閉状態となる位置でロック可能であり、かつ、そのロックを解除可能に構成され、マイク２３は、作業者により流体通路の開閉操作を示す入力を受け付け可能に構成されている。そして、制御部２２は、Ｓ２で確認した現在のバルブ１の開閉状態が、Ｓ１におけるバルブ１の開閉操作を示す入力に対し逆の状態であるか否かを判断し、逆の状態である場合に、ロック装置２１のロック部２６によるステム６に対するロックを解除させる。
【００５７】
このように、現在のバルブ１の開閉状態が、作業者によるバルブ１の開閉操作を示す入力に対して逆の状態であれば、制御部２２は、ロック部２６によるステム６に対するロックを解除する。例えば、作業者によるバルブ１の開閉操作を示す入力が、バルブ１を開状態にすることを示す入力であり、現在のバルブ１の開閉状態が閉状態である場合には、入力内容と確認内容とが逆の状態であるので、ロック部２６によるステム６に対するロックが解除される。そして、この状態で作業者がハンドル７を操作すれば、バルブ１は必ず閉状態から開状態となる。よって、作業者によるバルブ１の開閉操作を示す入力と異なる操作が行われるのを防止することができ、確実に誤操作を防止することができる。
【００５８】
また、制御部２２は、作業者によるバルブ１の開閉操作を示す入力と、現在のバルブ１の開閉状態とが同じ状態である場合、エラーメッセージをスピーカ２４から出力させる。例えば、バルブ１の開閉操作を示す入力がバルブ１を開状態にすることを示す入力であり、現在のバルブ１の状態が開状態である場合に、エラーメッセージがスピーカ２４から出力される。これにより、作業者に対し、バルブ１に対する操作が適切か否かの再確認を促すことができ、誤操作を防止することができる。
【００５９】
また、制御部２２は、ロック装置２１のロック部２６によるステム６に対するロックを解除させた後所定時間経過後に、流体通路の開閉状態を確認し、作業者によるバルブ１の開閉操作を示す入力と、確認した現在のバルブ１の開閉状態とが同じ状態でない場合に、スピーカ２４からエラーメッセージを出力させる。
【００６０】
例えば、作業者によるバルブ１の開閉操作を示す入力が、バルブ１を開状態にすることを示す入力であり、現在のバルブ１の開閉状態が閉状態である場合には、操作が完了していない旨のエラーメッセージをスピーカ２４から出力させる。これにより、作業者に対し、バルブ１に対する操作を確実に実行させることができ、誤操作を防止することができる。
【００６１】
また、音声入力手段であるマイク２３により、作業者によるバルブ１に対する開閉操作を示す音声入力が行われ、音声出力手段であるスピーカ２４によりエラーメッセージを出力させるように構成されている。
【００６２】
このように、バルブ１の開閉操作を示す入力を、マイク２３に対する音声入力という簡易な操作で作業者に実行させることできる。また、簡易な構成で作業者に対しエラーメッセージを出力することができる。
【００６３】
また、バルブ１が開状態にあるときには、ステム６は、その第１溝６ａが第１プランジャ２８Ｃを受入不能であり、第２溝６ｂが第２プランジャ２９Ｃを受入可能な箇所に位置し、第１プランジャ２８Ｃが非嵌入位置に位置し、第２プランジャ２９Ｃが第２溝６ｂに嵌入されて嵌入位置に位置してステム６をロックする。バルブ１が閉状態にあるときには、ステム６は、その第１溝６ａが第１プランジャ２８Ｃを受入可能であり、第２溝６ｂが第２プランジャ２９Ｃを受入不能な箇所に位置し、第２プランジャ２９Ｃが非嵌入位置に位置し、第１プランジャ２８Ｃが第１溝６ａに嵌入されて嵌入位置に位置してステム６をロックしている。
【００６４】
このような構成により、ステム６をバルブ１が開状態となる位置およびバルブ１が閉状態となる位置に確実にロックすることができ、ハンドル７が操作されてもステム６が移動するのを防止することができる。
【００６５】
また、第１プランジャ２８Ｃは、第１コイル２８Ａおよび第１凸部２５Ａによる発生する磁気力により、嵌入位置から非嵌入位置に磁気吸引され、第１コイルばね２８Ａの付勢力によりにより非嵌入位置から嵌入位置に移動される。また、第２プランジャ２９Ｃは、第２コイル２９Ａおよび第２凸部２５Ｂによる発生する磁気力により、嵌入位置から非嵌入位置に磁気吸引され、第２コイルばね２９Ｂの付勢力によりにより非嵌入位置から嵌入位置に移動される。
【００６６】
このような構成により、第１プランジャ２８Ｃおよび第２プランジャ２９Ｃを確実に非嵌入位置および嵌入位置に移動させることができ、ステム６に対するロックおよびアンロックを確実に実行することができる。
【００６７】
なお、本発明は、上述した実施例に限定されない。当業者であれば、本発明の範囲内で、種々の追加や変更等を行うことができる。
【００６８】
例えば、上記の実施形態において、ステム６を上下動させる駆動手段は、手動式のハンドル７であったが、自動式の駆動手段であっても良い。自動式の駆動手段としては、空圧式の駆動手段でも良く、バルブ本体１０が操作エアによりステム６が上下動するように構成され、さらに電磁弁と、エア供給源と、操作装置と、エアチューブとを備えても良い。ステム６に対するロックが解除された後、操作装置を作業者が操作して、電磁弁を開状態にすることにより、エア供給源からエアチューブおよび電磁弁を介して操作エアが供給され、ステム６が上下動し、バルブ１が開閉されるように構成されている。かかる構成のバルブであっても、上記の実施形態のバルブ１と同様の効果を奏する。
【００６９】
また、上記の実施形態において、入力手段および出力手段は、マイク２３およびスピーカ２４であったが、タッチパネルであっても良い。すなわち、タッチパネルにより、作業者によるバルブ１の開閉操作を示す入力を可能にし、エラーメッセージをタッチパネルに表示しても良い。バルブ１の開閉操作を示す入力を、タッチパネルに対するタッチ入力という簡易な操作で作業者に実行させることできる。また、簡易な構成で作業者に対しエラーメッセージを出力することができる。
【００７０】
また、入力手段は、撮像装置でも良く、撮像装置により作業者によるバルブ１の開閉操作を示す動作を撮像して、バルブ１の開閉操作を示す入力を読み取ってもよい。また、ロック制御装置２０のロック装置２１により、ステム６を、流体通路が開状態となる位置および流体通路が閉状態となる位置でロックするように構成したが、いずれか一方の位置でロックするように構成しても良い。また、バルブ本体１０は、ダイヤフラムであったが、他のバルブであっても良い。
【符号の説明】
【００７１】
１：バルブ、２：バルブボディ、４：ダイヤフラム、６：ステム  ６ａ：第１溝、６ｂ：第２溝、７：ハンドル、バルブ本体１０、２０：ロック制御装置、２１：ロック装置、２２：制御部、２３：マイク、２４：スピーカ、２５：ベース、２５Ａ：第１凸部、２５Ｂ：第２凸部、２８Ａ：第１コイル、２８Ｂ：第１コイルばね、２８Ｃ：第１プランジャ、２９Ａ：第２コイル、２９Ｂ：第２コイルばね、２９Ｃ：第２プランジャ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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