(57)【要約】【課題】  ガイドローラの長寿命化させ、蛇行させることなく基板を搬送させる。【解決手段】  基板Ｗの下面に当接し、基板Ｗを所定の搬送方向へ搬送させる複数の搬送ローラ２と、搬送方向と直交する方向において基板Ｗを挟むように設けられ、かつ、基板の搬送方向に沿って複数配置されるガイドローラ４と、その位置を調整するガイドローラ調整部４０を有し、ガイドローラ調整部４０は、ガイドローラ４を回転可能に保持する第１の可動部材４５と、第１の可動部材４５の基板Ｗの厚み方向に対する高さ位置を調整するＺ軸調整機構３００とを有することを特徴とする。【選択図】  図２
2016064924.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送する基板搬送装置において、
前記基板の下面に当接し、前記基板を所定の搬送方向へ搬送させる複数の搬送ローラと、
前記搬送方向と直交する方向において、前記基板を挟むように設けられ、かつ、前記基板の搬送方向に沿って複数配置されるガイドローラと、
前記ガイドローラの位置を調整するガイドローラ調整部を有し、
前記ガイドローラ調整部は、
前記ガイドローラを回転可能に保持する部材と、
前記部材の、前記基板の厚み方向に対する高さ位置を調整するＺ軸調整機構と、
を有することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記部材が保持する前記ガイドローラの表面と、前記基板との距離を調整するＸ軸調整機構を有することを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記ガイドローラは、前記基板の厚みの２倍以上の高さを有することを特徴とする請求項１または２記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記Ｘ軸調整機構は、
前記ガイドローラを回転自在に保持し、前記搬送方向とは直交する方向に沿ってスライド孔を有する第１の可動部材と、
この第１の可動部材を前記スライド孔を介して固定する第２の可動部材と、
を有することを特徴とする請求項２または３記載の基板搬送装置。
【請求項５】
前記Ｚ軸調整機構は、
前記部材と固定部材とを固定する引きボルトと、
先端が前記固定部材に当接した状態で前記部材にねじ込まれ、前記引きボルトを挟むように配置される一対の押しボルトと、
を備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の基板搬送装置。
【請求項６】
前記Ｚ軸調整機構は、
前記部材と固定部材とを固定する引きボルトと、
前記部材と前記固定部材との間に介在させた調整部材を有し、
前記調整部材は、前記引きボルトの長手方向に対する長さの異なる複数の前記調整部材を入れ替えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の基板搬送装置。
【請求項７】
基板を搬送する搬送方法において、
前記基板の下面に当接し、前記基板を所定の搬送方向へ搬送させ、
前記搬送方向へ搬送される前記基板の前記搬送方向に沿って複数設けられるガイドローラで前記基板をその側面を挟むようにしてガイドするとともに、
前記ガイドローラが摩耗したときには、前記ガイドローラの位置を前記基板の厚み方向において調整して、継続使用することを特徴とする基板搬送方法。
【請求項８】
基板の厚みの２倍以上の高さを有するガイドローラで前記基板の側面をガイドして搬送する基板搬送方法であって、
前記ガイドローラは、前記基板を搬送するときに前記基板の側面が前記ガイドローラの高さ方向中央よりも上もしくは下に接触するようにして搬送し、
前記ガイドローラが摩耗したときには、前記ガイドローラの上下を反転させることによって前記基板の側面と前記ガイドローラとが接触する位置を変更して、継続使用する基板搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、基板搬送装置および基板搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板搬送装置としては、基板の搬送方向とは直交する方向に延びるシャフトに、複数の搬送ローラを設け、この搬送ローラに基板の下面を当接させて、当該基板を搬送する装置が知られている。さらに、搬送ローラに加え、搬送される基板の搬送方向に沿って、複数のガイドローラを設け、このガイドローラによって基板の側面をガイドすることにより、搬送ローラによって搬送される基板を位置決めし、基板を蛇行させずに搬送できるように構成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−４２９０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述した基板搬送装置は、いろいろな基板の搬送に用いられるが、例えば液晶パネル製造装置の分野では、近年、搬送対象である基板の薄化が進んでいる。従来では、例えば１ｍｍ程度の厚みの基板を搬送しながら処理することが一般的であった。ところが、近年では、０．０１ｍｍ〜０．３ｍｍ程度の厚みの基板を処理することが増えている。基板が薄くなれば、その分、ガイドローラ表面における、基板の側面と接触する表面積（接触する領域）が小さくなる。このため、ガイドローラの表面の小さい表面積に集中して基板が当たり続けることになる。ガイドローラ表面の、集中的に基板が接触する部分は、時間が経つにつれ（つまり、ガイドする基板の枚数が増えると）、徐々に磨耗して、基板の厚みを高さとする凹形状になっていく。ガイドローラに凹形状の溝（凹部）が形成された部分では、基板の側面とガイドローラとの間に当初規定した以上の隙間が空くことになる。このような状態になると、基板が蛇行して搬送がうまく行えなくなったり、それによってガイドローラに基板の角が衝突するなどして、基板に割れや欠けが生じたりすることがある。従って、このようにガイドローラが磨耗してしまった場合、ガイドローラを新品のものと交換しなくてはならない。特に、基板の厚みが薄くなると、基板の側面がカッター刃のごとくガイドローラに作用し、ガイドローラの摩耗が激しくなるため、ガイドローラを短期間に、しかも頻繁に交換する必要があった。
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は、ガイドローラの長寿命化を図り、基板を蛇行させることなく搬送させる基板搬送装置および基板搬送方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
実施形態に係る基板搬送装置は、
基板を搬送する基板搬送装置において、
前記基板の下面に当接し、前記基板を所定の搬送方向へ搬送させる複数の搬送ローラと、
前記搬送方向と直交する方向において、前記基板を挟むように設けられ、かつ、前記基板の搬送方向に沿って複数配置されるガイドローラと、
前記ガイドローラの位置を調整するガイドローラ調整部を有し、
前記ガイドローラ調整部は、
前記ガイドローラを回転可能に保持する部材と、
前記部材の、前記基板の厚み方向に対する高さ位置を調整するＺ軸調整機構と、
を有することを特徴とする。
【０００７】
実施形態に係る基板搬送方法は、
基板を搬送する搬送方法において、
前記基板の下面に当接し、前記基板を所定の搬送方向へ搬送させ、
前記搬送方向へ搬送される前記基板の前記搬送方向に沿って複数設けられるガイドローラで前記基板をその側面を挟むようにしてガイドするとともに、
前記ガイドローラが摩耗したときには、前記ガイドローラの位置を前記基板の厚み方向において調整して、継続使用することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、ガイドローラを長寿命化させ、基板を蛇行させることなく搬送させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１の実施形態に係る基板搬送装置の概略構成を示す正面図である。
【図２】第１の実施形態に係る基板搬送装置の概略平面図である。
【図３】第１の実施形態に係るガイドローラ調整部の側面を示し、図４におけるＡ−Ａ断面図である。
【図４】第１の実施形態に係るガイドローラ調整部の平面を示す図である。
【図５】第２の実施形態に係るガイドローラ調整部の側面を示す図である。
【図６】第２の実施形態に係るガイドローラ調整部の側面を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
（第１の実施形態）
第１の実施形態について図１〜図４を参照して説明する。
【００１１】
図１、図２に示すように、第１の実施形態に係る基板搬送装置１００は、基板Ｗの搬送方向（図１において紙面直交方向）とは直交する方向（以下、「基板Ｗの幅方向」ともいう。）に延びるように設けられたシャフト１と、このシャフト１に一定間隔で複数設けられ、かつ、基板Ｗの下面に当接するように設けられた搬送ローラ２と、シャフト１を保持する軸受３を有する。さらに、基板Ｗの幅方向において、基板Ｗを挟むように、かつ、基板Ｗの搬送方向に沿って一定間隔で複数のガイドローラ４が、シャフト５（図２参照）を介して設けられる。このガイドローラ４は、ゴムなどの弾性体や、樹脂などからなり、基板Ｗの厚みの２倍以上の高さを有する円柱状をしており、図３、図４を用いて説明するように、各ガイドローラ４は、ガイドローラ４毎に設けたガイドローラ調整部４０によって、基板の厚み方向における高さ位置と、基板Ｗの幅方向における水平位置とが調整できるように構成されている。なお、図３において、基板Ｗの幅方向をＸ方向、基板Ｗの搬送方向をＹ方向（Ｘ方向とは直交する方向）、Ｘ方向とＹ方向のいずれにも直交する方向（基板Ｗの表面に垂直な方向）をＺ方向とする。
【００１２】
図３、図４に示すように、ガイドローラ調整部４０は、Ｘ軸調整機構２００と、Ｚ軸調整機構３００とを有している。Ｘ軸調整機構２００は、基板Ｗの幅方向（Ｘ方向）における、ガイドローラ４の水平位置を調整する。Ｚ軸調整機構３００は、基板Ｗの厚み方向（Ｚ方向）における、ガイドローラ４の高さ位置を調整する。
【００１３】
Ｘ軸調整機構２００は、基板搬送装置１００の架台（不図示）に固定支持される固定部材４１、第１の可動部材４５（第１部材）、第２の可動部材４２（第２部材）、調整ボルト４６Ａ、４６Ｂを有して構成される。第１の可動部材４５は、固定部材４１によって水平方向に支持される板状部材で、図４に示すように、Ｘ方向に沿ってスライド孔４５Ａを有し、スライド孔４５Ａを介して調整ボルト４６Ａ、４６Ｂを第２の可動部材４２の一端部側にねじ込むことで、第１の可動部材４５は、第２の可動部材４２と一体化される。さらに第１の可動部材４５における基板Ｗ側の端部には、シャフト５が回転可能に支持され、このシャフト５にガイドローラ４が保持される。シャフト５は、Ｚ方向に沿って設けられる。なお、図４に示すように、第２の可動部材４２には、第１の可動部材４５の幅と同等な幅を有するスライド溝Ｄが、Ｘ方向に沿って切り欠かれている。これにより、このスライド溝Ｄ内にて第１の可動部材４５がスライドすることで、第１の可動部材４５が、スライド孔４５Ａに沿った方向、つまり基板の幅方向に移動できるようになっている。
【００１４】
Ｚ軸調整機構３００は、固定部材４１、第２の可動部材４２、引きボルト４３と、この引きボルト４３の両脇に設けられる押しボルト４４Ａ、４４Ｂ、ガイドＳ１、Ｓ２とを有して構成される。第２の可動部材４２は、固定部材４１によって水平方向に支持される板状部材である。引きボルト４３は、第２の可動部材４２の他端部側に設けられた貫通孔４２ａを通り、固定部材４１にねじ込まれる。押しボルト４４Ａと４４Ｂは、第２の可動部材４２にそれぞれねじ込まれるとともに、ボルト先端は、固定部材４１の上面に当接するように構成される。さらに、第２の可動部材４２の他端部側面には、切り欠きＫ１、切り欠きＫ２が設けられている。固定部材４１には、棒状のガイド部材Ｓ１、ガイド部材Ｓ２が固定されており、切り欠きＫ１にはガイド部材Ｓ１、切り欠きＫ２にはガイド部材Ｓ２が当接するように設けられる。なお、本実施形態においては、図４に示す平面視における基板の幅方向（図４では左右方向）において、切り欠きＫ１（ガイドＳ１）が引きボルト４３と押しボルト４４Ａとの間に、切り欠きＫ２（ガイドＳ２）は引きボルト４３と押しボルト４４Ｂの間に設けられる。後述する調整によって、第２の可動部材４２が固定部材４１に対して上昇したり下降したりする際、第２の可動部材４２は、ガイドＳ１、ガイドＳ２に沿って上下するから、第２の可動部材４２、ひいてはガイドローラ４が、引きボルト４３を中心に旋回したり、がたつくことを防止できる。さらに、第２の可動部材４２に一端を固定された目盛り板Ｇを有していても良い。
【００１５】
次に、基板搬送装置１００の動作について説明する。
【００１６】
まず、準備段階において、基板Ｗが基板搬送装置１００へ搬入されると、基板Ｗは、搬送ローラ２の上に載置される。このとき、基板Ｗの幅方向両端にそれぞれ対向して配置される複数のガイドローラ４は、規定位置（基板Ｗの側面をガイドする位置）に対し、基板の側面から離れる方向、つまり基板Ｗの幅方向長さよりも広い間隔となるように位置付けられている。この調整については、後述する。
【００１７】
次に、基板Ｗの幅方向両端の側面に対して、基板Ｗの幅方向両端側から基板Ｗ中央側に向かう方向に、基板Ｗを挟み込むように、ガイドローラ４を移動させる。さらに、ガイドローラ４は、Ｚ方向についても、基板Ｗの側面がガイドローラ４のＺ方向長さの半分（高さ方向中央）よりも下側に当接するように調整、移動されて、準備段階は終了する。なお、これらの調整については後述する。
【００１８】
ガイドローラ４の位置調整が完了すると、搬送ローラ２が回転し、前工程の装置から基板Ｗが搬入され、その基板Ｗは搬送ローラ２によって搬送方向へ搬送されながら、ガイドローラ４によって蛇行することなくガイドされる。搬送装置１００の上方には、図示しない処理ツール（例えば処理液を供給するノズルや、乾燥エアを供給するエアナイフなど）が設けられており、基板Ｗは、基板搬送装置１００によって搬送されながら順次処理が行われる。
【００１９】
複数のガイドローラ４は、上述のように、それぞれガイドローラ調整部４０によって、位置の調整が可能に設けられており、Ｘ軸調整機構２００、Ｚ軸調整機構３００によって、次のように位置が調整される。
【００２０】
まず、Ｘ軸調整機構２００による位置調整について説明する。図３、図４に示すように、ガイドローラ４が保持されるシャフト５が取り付けられた第１の可動部材４５は、第２の可動部材４２にねじ込められた調整ボルト４６Ａ、４６Ｂを緩めることで、スライド溝Ｄに案内されながら、スライド孔４５Ａが延びるＸ方向に動かすことが可能となる。この状態で、ガイドローラ４が基板Ｗの側面に当接する位置に調整した後、調整ボルト４６Ａ、４６Ｂを締めて固定することで、Ｘ方向の位置調整（ガイドローラ４の表面と基板Ｗとの距離の調整）が行われるようになっている。
【００２１】
次に、Ｚ軸調整機構３００による位置調整について説明する。図３、図４に示すように、ガイドローラ調整部４０の第１の可動部材４５は、第２の可動部材４２に取り付け固定されている。すなわち、第２の可動部材４２のＺ方向高さを調整することによって、第１の可動部材４５、すわなちガイドローラ４のＺ方向の調整を行う。
【００２２】
引きボルト４３には、長手方向の下半分にねじが設けられて、固定部材４１に固定されるが、第２の可動部材４２に対してはフリーである。２つの押しボルト４４Ａ、４４Ｂには、長手方向の上半分にねじが設けられている。なお押しボルト４４Ａ、４４Ｂの先端は、固定部材４１の上面に当接している。
【００２３】
図３の状態において、ガイドローラ４によってガイドされた基板Ｗの枚数が増加していくと、ガイドローラ４が摩耗してくる。そこで、本実施形態においては、基板Ｗの搬送が開始してから所定時間経過する毎に、ガイドローラ４を保持する第２の可動部材４２をＺ方向に沿って、上方に５ミリメートル上昇させる場合を想定する。
【００２４】
まず、引きボルト４３を緩めて、上方向に目分量で２センチメートルほど上昇させる。次に、押しボルト４４Ａ、４４Ｂを均等に締めていく。押しボルト４４Ａ、４４Ｂを締めることによって、第２の可動部材４２は、固定部材４１から離れる方向へ移動していく。すなわち、可第２の動部材４２は、ガイドＳ１、Ｓ２に沿ってＺ方向に上昇していくことになる。目盛り板Ｇを参照しながら、第２の可動部材４２のＺ方向位置を上昇させ、目標の５ミリメートル上昇地点まで上昇させると、今度は、引きボルト４３を固定部材４１に締めつけていく。この場合、引きボルト４３を約１．５センチメートル分締めると、第２の可動部材４２は、固定部材４１に固定される。このようにして第２の可動部材４２が上昇することによって、第２の可動部材４２に固定される第１の可動部材４５、および第１の可動部材４５に保持されるガイドローラ４も追従して上昇する。ガイドローラ４を降下させたい場合は、まず引きボルト４３を緩めたのち、押しボルト４４Ａ、４４Ｂを緩め、可動部材４２を降下させた後、引きボルト４３を締めて固定するようにすれば良い。
【００２５】
なお、図３、図４には、一つのガイドローラ４のガイドローラ調整部４０を示しているが、このガイドローラ調整部４０はＹ方向にも複数配置されており、さらに基板Ｗを挟んで対向して配置されるガイドローラ４に対しても、配置されている。つまり、ガイドローラ調整部４０は、ガイドローラごとに設けられる。
【００２６】
以上説明したとおり、このようなガイドローラ調整部４０を有する基板搬送装置によれば、ガイドローラ４の表面に、基板Ｗが複数枚当接することでガイドローラ４表面が摩耗し、ガイドローラ４の表面に凹部ができ、このことによって、基板Ｗの側面とガイドローラ４との距離が、ガイドローラ４の位置決め当初と変わってしまったとしても、Ｘ方向とＺ方向のいずれの方向に対しても、容易にガイドローラ４の位置調整を行うことができるので、ガイドローラ４をすぐに新品と取り替えることなく継続的に使用ができ、従って、ガイドローラの長寿命化を図ることができる。
【００２７】
さらに、小まめにガイドローラ４の高さ調整を行うことにより、薄い基板を搬送したとしても、ガイドローラ４の表面（基板と接触する面）の同一の領域に、集中的に基板が当たることを避けることができ、ガイドローラ４が局所的に磨耗するのを防ぐことができるため、ガイドローラを長寿命化させることができる。
【００２８】
また、ガイドローラ４のＺ方向の長さは、前述の通り、基板Ｗの厚みの２倍以上を有していて、当初、基板Ｗの側面がガイドローラ４のＺ方向長さの半分よりも下側に当接するように調整、移動される。そして、ガイドローラ４の表面に凹部が形成されつつある時点で、ガイドローラ４のＺ方向長さの半分よりも上側にガイドローラ４が当接するように、ガイドローラのＺ方向の位置を調整するようにしても良い。なお、ガイドローラ４のＺ軸方向長さの半分よりも上側を先に使用し、摩耗したらＺ軸方向長さの半分よりも下側を使用するようにしても良い。いずれにしろ、ガイドローラ４のＺ方向長さのちょうど半分の箇所に目印などを付しておくことにより、目盛り板Ｇを使用して正確に調整しなくても良好に調整することが可能である。すなわち、目印よりも上（あるいは下）の箇所であれば、どの箇所であっても凹部が形成されていない状態（領域）であるので、この領域に基板Ｗの側面が当接するように調整しさえすれば、すべてのガイドローラに関して、搬送される基板Ｗの厚み方向（上下方向）での位置を正確に調整せずとも良い。もっとも、実施形態においては、ガイドローラ４における基板Ｗの側面との当接領域を、ガイドローラ４のＺ方向長さの半分よりも上側と下側とに分けることなく、ガイドローラ４に凹部が形成されたときに、Ｚ軸調整機構３００を用いて、基板Ｗとガイドローラ４との接触領域を、ガイドローラ４の高さ方向（Ｚ方向）において変えるだけでも、ガイドローラの長寿命化という作用効果は十分に得ることができる。
【００２９】
しかも、ガイドローラ４の高さ方向（Ｚ方向）における位置を変えることで、基板Ｗとガイドローラ４との接触領域を変化させる場合、先に述べたように、新たな接触領域が未使用領域であればよいので、Ｚ方向での位置を正確に調整しなくても良いのに加え、前述の準備段階で行なった基板の幅方向（Ｘ方向）での位置調整を不要とすることが可能である。この点では、ガイドローラ４に凹部が形成されてしまった時に、ガイドローラ４をＸ方向に移動させて、基板の側面との当接状態を再調整するものと比べると、作業性の点できわめて有利となる。
【００３０】
ただし、この場合、ガイドローラにおいて、基板の側面と接触することとなる、高さ方向（Ｚ方向）における少なくとも複数の領域の部分は、シャフト５の回転中心から同径を有するようにする必要がある。たとえば、ガイドローラ全体を円柱状としても良いし、基板の側面と接触する領域だけは円柱状とし、他の部分は円錐形等としてもよい。
（第２の実施形態）
第２の実施形態について図５、図６を参照して説明する。
【００３１】
第２の実施形態は、基本的に第１の実施形態と同様である。このため、第２の実施形態では、第１の実施形態との相違点について説明し、第１の実施形態で説明した部分と同一部分は同一符号で示し、その説明も省略する。
【００３２】
図５に示すように、第２の実施形態に係る基板搬送装置は、ガイドローラ調整部４００を備えている。ガイドローラ調整部４００のＸ軸調整機構は、第１の実施形態のＸ軸調整機構２００と同一のものである。Ｚ軸調整機構は、第１の実施形態とは異なり、固定部材４１と第２の可動部材４２との間に調整部材（スペーサ部材）４００Ａを備えている。調整部材４００Ａは、厚みが多段階の大きさのものを予め複数用意しておき、これを入れ替えることによって第２の可動部材４２の位置を調整し、ガイドローラ４のＺ方向の位置が調整できるようになっている。つまり調整整部材は、前記引きボルトの長手方向に対する長さが異なる。
【００３３】
以下、図５、図６を用いてガイドローラ調整部４００のＺ軸調整機構の調整方法について説明する。
【００３４】
まず、第２の可動部材４２を上昇させたい場合は、引きボルト４３を緩め、固定部材４１から調整部材４００Ａと第２の可動部材４２を取り外す。取り外した調整部材４００ＡよりもＺ方向の長さが長い別の調整部材４００Ｂ（図６参照）を、固定部材４１と第２の可動部材４２との間に介在させ、引きボルト４３を用いて固定部材４１に固定し、Ｚ方向の調整が完了する。
【００３５】
第２の可動部材４２を降下させたい場合は、固定部材４００ＡよりもＺ方向の長さが短い調整部材４００Ｃ（不図示）を引きボルト４３を用いて取り付ければ良い。
【００３６】
このようなガイドローラ調整部４００を有する基板搬送装置によれば、ガイドローラ４の表面に基板Ｗが複数枚当接するなどして、ガイドローラ４の表面に凹部ができることによって、基板Ｗとガイドローラ４との距離が、ガイドローラ４の位置決め当初と変わってしまったとしても、すぐにガイドローラ４を取り替えることなく、継続的に使用することができ、容易にガイドローラ４の位置調整を行うことができる。これにより、ガイドローラの長寿命化を図ることができる。
【００３７】
また、調整部材を交換することによって、ガイドローラ４のＺ方向の位置調整を行うので、目盛りなどの別の部材がなくても調整可能である。
（その他の例）
さらに、上記の第１の実施形態においては、基板Ｗの側面が、ガイドローラ４のＺ方向長さの半分よりも下側（または上側）に当接するようにし、次に、基板Ｗの側面がガイドローラ４のＺ方向長さの半分よりも上側（または下側）に当接するようにするようにしたが、これに限らず、ガイドローラ４のＺ方向長さの例えば下半分（または上半分）の領域を用いて基板のガイドを一定時間行った後、ガイドローラ４自体の上下を反転させて、反転後のガイドローラ４におけるＺ方向長さの下半分（または上半分）の領域を用いることで、Ｚ軸調整するようにしても良い。この場合、ガイドローラ４を反転させる作業は必要となるが、ガイドローラ４のＺ方向での移動調整範囲がＺ方向長さの半分で済み、狭くなるから、Ｚ軸調整機構を小型化できるし、ガイドローラ４の調整をする時間が減少するため、効率よく基板を搬送することができる。また、この場合でも、ガイドローラ４の摩耗により、基板Ｗとガイドローラ４との距離が、ガイドローラ４の位置決め当初と変わってしまったとしても、すぐにガイドローラ４を取り替えることなく、継続的に使用することができ、ガイドローラの長寿命化を図ることができる。
【００３８】
また、ガイドローラ調整部４０、４００は、Ｘ軸調整機構とＺ軸調整機構の両方を有するものであるが、少なくとも一方を有していれば良いものである。
【００３９】
さらに、ガイドローラ調整部４０、４００は、複数のガイドローラを一つの調整部４０、４００で調整しても良いし、ガイドローラ毎にそれぞれ一つずつ設けられていても良い。ガイドローラ毎にそれぞれ一つずつ設けられている場合、ガイドロローラの摩耗具合に差があるときでも、調整したいガイドローラを選択的に調整することが可能になる。
【００４０】
以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００４１】
１  シャフト
２  搬送ローラ
３  軸受
４００  Ｚ軸調整機構
４  ガイドローラ
５  シャフト
４０、４００  ガイドローラ調整部
４１  固定部材
４２  第２の可動部材（第２部材）
４３  引きボルト
４４Ａ、Ｂ  押しボルト
４５  第１の可動部材（第１部材）
４５Ａ  スライド孔
４６Ａ、Ｂ  調整ボルト
Ｇ  目盛り
Ｗ  基板
【図１】
2016064924.tif 000003
【図２】
2016064924.tif 000004
【図３】
2016064924.tif 000005
【図４】
2016064924.tif 000006
【図５】
2016064924.tif 000007
【図６】
2016064924.tif 000008
【手続補正書】
【提出日】平成27年7月14日(2015.7.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
次に、基板Ｗの幅方向両端の側面に対して、基板Ｗの幅方向両端側から基板Ｗ中央側に向かう方向に、基板Ｗを挟み込むように、ガイドローラ４を移動させる。さらに、ガイドローラ４は、Ｚ方向についても、基板Ｗの側面がガイドローラ４のＺ方向長さの半分（高さ方向中央）よりも上側に当接するように調整、移動されて、準備段階は終了する。なお、これらの調整については後述する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
また、ガイドローラ４のＺ方向の長さは、前述の通り、基板Ｗの厚みの２倍以上を有していて、当初、基板Ｗの側面がガイドローラ４のＺ方向長さの半分よりも上側に当接するように調整、移動される。そして、ガイドローラ４の表面に凹部が形成されつつある時点で、ガイドローラ４のＺ方向長さの半分よりも下側にガイドローラ４が当接するように、ガイドローラのＺ方向の位置を調整するようにしても良い。なお、ガイドローラ４のＺ軸方向長さの半分よりも下側を先に使用し、摩耗したらＺ軸方向長さの半分よりも上側を使用するようにしても良い。いずれにしろ、ガイドローラ４のＺ方向長さのちょうど半分の箇所に目印などを付しておくことにより、目盛り板Ｇを使用して正確に調整しなくても良好に調整することが可能である。すなわち、目印よりも上（あるいは下）の箇所であれば、どの箇所であっても凹部が形成されていない状態（領域）であるので、この領域に基板Ｗの側面が当接するように調整しさえすれば、すべてのガイドローラに関して、搬送される基板Ｗの厚み方向（上下方向）での位置を正確に調整せずとも良い。もっとも、実施形態においては、ガイドローラ４における基板Ｗの側面との当接領域を、ガイドローラ４のＺ方向長さの半分よりも上側と下側とに分けることなく、ガイドローラ４に凹部が形成されたときに、Ｚ軸調整機構３００を用いて、基板Ｗとガイドローラ４との接触領域を、ガイドローラ４の高さ方向（Ｚ方向）において変えるだけでも、ガイドローラの長寿命化という作用効果は十分に得ることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成27年7月30日(2015.7.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
次に、Ｚ軸調整機構３００による位置調整について説明する。図３、図４に示すように、ガイドローラ調整部４０の第１の可動部材４５は、第２の可動部材４２に取り付け固定されている。すなわち、第２の可動部材４２のＺ方向高さを調整することによって、第１の可動部材４５、すなわちガイドローラ４のＺ方向の調整を行う。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
まず、引きボルト４３を緩めて、上方向に目分量で２センチメートルほど上昇させる。次に、押しボルト４４Ａ、４４Ｂを均等に締めていく。押しボルト４４Ａ、４４Ｂを締めることによって、第２の可動部材４２は、固定部材４１から離れる方向へ移動していく。すなわち、第２の可動部材４２は、ガイドＳ１、Ｓ２に沿ってＺ方向に上昇していくことになる。目盛り板Ｇを参照しながら、第２の可動部材４２のＺ方向位置を上昇させ、目標の５ミリメートル上昇地点まで上昇させると、今度は、引きボルト４３を固定部材４１に締めつけていく。この場合、引きボルト４３を約１．５センチメートル分締めると、第２の可動部材４２は、固定部材４１に固定される。このようにして第２の可動部材４２が上昇することによって、第２の可動部材４２に固定される第１の可動部材４５、および第１の可動部材４５に保持されるガイドローラ４も追従して上昇する。ガイドローラ４を降下させたい場合は、まず引きボルト４３を緩めたのち、押しボルト４４Ａ、４４Ｂを緩め、可動部材４２を降下させた後、引きボルト４３を締めて固定するようにすれば良い。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
さらに、ガイドローラ調整部４０、４００は、複数のガイドローラを一つの調整部４０、４００で調整しても良いし、ガイドローラ毎にそれぞれ一つずつ設けられていても良い。ガイドローラ毎にそれぞれ一つずつ設けられている場合、ガイドローラの摩耗具合に差があるときでも、調整したいガイドローラを選択的に調整することが可能になる。