(57)【要約】      （修正有）【課題】長尺のワークの切断においても、ワークの端部から切り出されたウェーハにおけるＷａｒｐの悪化を抑制できるワークの切断方法を提供する。【解決手段】ワークの切断において、ワイヤー２を複数の溝付きローラ３に巻掛けし、該溝付きローラ３にスラリーを供給しつつ、前記ワイヤー２を走行させながらワークＷに押し当てて、該ワークＷをウェーハ状に切断する方法であって、切断する前記ワークＷの端部の熱膨張による軸方向の変位量に応じて、前記溝付きローラ３に供給するスラリーの温度を、前記ワークＷの切り始め及び切り終わりにおける前記スラリーの温度よりも、前記ワークＷの切断中における前記スラリーの温度の方が低温になるように制御する。【選択図】図１
2016135529.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワイヤーを複数の溝付きローラに巻掛けし、該溝付きローラにスラリーを供給しつつ、前記ワイヤーを走行させながらワークに押し当てて、該ワークをウェーハ状に切断する方法であって、
切断する前記ワークの端部の熱膨張による軸方向の変位量に応じて、前記溝付きローラに供給するスラリーの温度を、前記ワークの切り始め及び切り終わりにおける前記スラリーの温度よりも、前記ワークの切断中における前記スラリーの温度の方が低温になるように制御することを特徴とするワークの切断方法。
【請求項２】
切断する前記ワークの端部の熱膨張による軸方向の変位量と、前記ワークの端部を切断する前記ワイヤーが巻掛けされている前記溝付きローラの軸方向の変位量とを一致させるように、前記溝付きローラに供給するスラリーの温度を制御することを特徴とする請求項１に記載のワークの切断方法。
【請求項３】
前記ワークの切断中における前記スラリーの温度を、
前記ワークの長さが２００ｍｍ未満の場合には１℃以上２℃以下、前記ワークの長さが２００ｍｍ以上３６０ｍｍ未満の場合には１℃以上４℃以下、前記ワークの長さが３６０ｍｍ以上の場合には２℃以上６℃以下の範囲内で、前記ワークの切り始め及び切り終わりにおける前記スラリーの温度よりも低温にすることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のワークの切断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワイヤーソーを用いて、ワーク（例えばシリコンインゴット、化合物半導体のインゴット等）から多数のウェーハを切り出す切断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ウェーハの大型化が望まれており、この大型化に伴い、ワーク（以下、インゴットということもある）の切断には専らワイヤーソーが使用されている。
ワイヤーソーは、ワイヤー（高張力鋼線）を高速走行させて、ここにスラリーを掛けながら、ワークを押し当てて切断し、多数のウェーハを同時に切り出す装置である。
【０００３】
ここで、図１２に、一般的なワイヤーソー１０１の一例の概要を示す。
図１２に示すように、ワイヤーソー１０１は、主に、ワークＷを切断するためのワイヤー１０２、ワイヤー１０２を巻回した溝付きローラ１０３、ワイヤー１０２に張力を付与するためのワイヤー張力付与機構１０４、切断されるワークＷを下方へと送り出すワーク送り機構１０５、切断時に溝付きローラ１０３、ワイヤー１０２にスラリーを供給するスラリー供給機構１０６で構成されている。
【０００４】
ワイヤー１０２は、一方のワイヤーリール１０７から繰り出され、トラバーサ１０８を介してダンサローラ１０９からなるワイヤー張力付与機構１０４を経て、溝付きローラ１０３に入っている。ワイヤー１０２がこの溝付きローラ１０３に３００〜４００回程度巻掛けられることによりワイヤー列が形成される。ワイヤー１０２はもう一方のワイヤー張力付与機構１０４’を経てワイヤーリール１０７’に巻き取られている。
【０００５】
また、溝付きローラ１０３は鉄鋼製円筒の周囲にポリウレタン樹脂を圧入し、その表面に一定のピッチで溝を切ったローラであり、巻掛けられたワイヤー１０２が、駆動用モータ１１０によって予め定められた走行距離で往復方向に駆動できるようになっている。
【０００６】
なお、ワークＷの切断時には、ワーク送り機構１０５によって、ワークＷは保持されつつ押し下げられ、溝付きローラ１０３に巻回されたワイヤー１０２に送り出される。
また、溝付きローラ１０３、巻掛けられたワイヤー１０２の近傍にはノズル１１５が設けられており、切断時にスラリータンク１１６から溝付きローラ１０３、ワイヤー１０２にスラリーを供給できるようになっている。また、スラリータンク１１６にはスラリーチラー１１７が接続されており、供給するスラリーの温度を調整できるようになっている。
【０００７】
このようなワイヤーソー１０１を用い、ワイヤー１０２にワイヤー張力付与機構１０４を用いて適当な張力をかけて、駆動用モータ１１０によりワイヤー１０２を往復方向に走行させながら、供給されたスラリー中の遊離砥粒をワイヤー１０２によりワイヤー溝（ワークの切断溝）の奥部に押しつけながら溝底部のワークを削り取ることによって切断する。
【０００８】
しかしながら、上記のようなワイヤーソー１０１を用いてワークＷをウェーハ状に切断し、実際に切断されたウェーハの形状を調べてみると、Ｗａｒｐが生じてしまっていた。このＷａｒｐは半導体ウェーハの切断における重要品質の１つであり、製品の品質要求が高まるにつれ、一層の低減が望まれている。
【０００９】
Ｗａｒｐの発生原因は、溝付きローラ及びワークの熱膨張、ワーク送りの真直度、切断中のワイヤーのたわみの影響が重畳したものであることが知られており、それを解決するための手段として、特許文献１や特許文献２のような方法が取られていた。
【００１０】
特許文献１には、インゴットを切断するときに、軸方向に変化するインゴットの変位量を測定し、それに対応させて溝付きローラ軸方向の変位量を制御（溝付きローラに流れる冷却水温度・流量調整等）することで、軸方向に変化するインゴットの全長に対してのワイヤーの相対位置を制御しながら切断する方法が開示されている。
【００１１】
特許文献２には、スラリーの供給温度を、ワークの切断開始から切断終了までの間上昇させながらワークを切断するように、制御しながら切断することで、ワークに描かれる切断軌跡を直線的にして、ワークを切断する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００８−２１３１１０号公報
【特許文献２】国際公開第２００９／７８１３０
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、ワークの熱膨張による軸方向の変化量（熱膨張量とも言う）は、ワークの中心から遠くなる程大きくなっていくため、特許文献１に記載の方法では、ワークが長尺になると、溝付きローラの軸方向の変位量を制御しきれなくなり、Ｗａｒｐの悪化を引き起こしていた。
【００１４】
また、ワークの切断開始から切断終了までの間上昇させながらワークを切断するような特許文献２に記載の方法でも、ワークが長尺になる程、ワークの切断軌跡が直線と掛け離れてしまうため、Ｗａｒｐの低減が困難であった。
【００１５】
このように、従来の方法では、生産効率の良い長尺のワークの切断を行う場合、ワークの端部から切り出されたウェーハにおけるＷａｒｐの悪化を十分に抑制することができなかった。
【００１６】
本発明は前述のような問題に鑑みてなされたもので、長尺のワークの切断においても、ワークの端部から切り出されたウェーハにおけるＷａｒｐの悪化を抑制できるワークの切断方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記目的を達成するために、本発明によれば、ワイヤーを複数の溝付きローラに巻掛けし、該溝付きローラにスラリーを供給しつつ、前記ワイヤーを走行させながらワークに押し当てて、該ワークをウェーハ状に切断する方法であって、
切断する前記ワークの端部の熱膨張による軸方向の変位量に応じて、前記溝付きローラに供給するスラリーの温度を、前記ワークの切り始め及び切り終わりにおける前記スラリーの温度よりも、前記ワークの切断中における前記スラリーの温度の方が低温になるように制御することを特徴とするワークの切断方法を提供する。
【００１８】
このようにすれば、長尺のワークの切断においても、ワークの端部から切り出されたウェーハにおけるＷａｒｐの悪化を抑制できる。
【００１９】
このとき、切断する前記ワークの端部の熱膨張による軸方向の変位量と、前記ワークの端部を切断する前記ワイヤーが巻掛けされている前記溝付きローラの軸方向の変位量とを一致させるように、前記溝付きローラに供給するスラリーの温度を制御することが好ましい。
このようにすれば、長尺のワークの切断においても、ワークの端部から切り出されたウェーハにおけるＷａｒｐの悪化を確実に抑制できる。
【００２０】
またこのとき、前記ワークの切断中における前記スラリーの温度を、
前記ワークの長さが２００ｍｍ未満の場合には１℃以上２℃以下、前記ワークの長さが２００ｍｍ以上３６０ｍｍ未満の場合には１℃以上４℃以下、前記ワークの長さが３６０ｍｍ以上の場合には２℃以上６℃以下の範囲内で、前記ワークの切り始め及び切り終わりにおける前記スラリーの温度よりも低温にすることが好ましい。
このようにすれば、長尺のワークの切断においても、ワークの端部から切り出されたウェーハにおけるＷａｒｐの悪化をより確実に抑制でき、歩留まりを向上できる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明のワークの切断方法であれば、長尺のワークの切断においても、ワークの端部から切り出されたウェーハにおけるＷａｒｐの悪化を抑制できる
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明で用いることができるワイヤーソーの一例を示した概略図である。
【図２】ワークの切断を開始した時における溝付きローラの表面温度を示した概略図である。
【図３】ワークの切断中における溝付きローラの表面温度の分布を示した概略図である。
【図４】ワークの切断中における溝付きローラの表面温度の分布及び、溝付きローラの熱膨張による径方向の変位を示した概略図である。
【図５】溝付きローラの熱膨張による変位が生じる前と、変位が生じた後でのワイヤー溝位置の変位を示した概略図である。
【図６】ワークの熱膨張及び熱収縮がワークの切断に与える影響を示した図である。
【図７】ワークの熱膨張による軸方向の変位量を示した図である。
【図８】溝付きローラに供給するスラリーの温度がｔ２の場合における溝付きローラの変位の様子及び、溝付きローラとワークの軸方向の変位量を示した図である。
【図９】溝付きローラに供給するスラリーの温度がｔ２’の場合における溝付きローラの変位の様子及び、溝付きローラとワークの軸方向の変位量を示した図である。
【図１０】溝付きローラに供給するスラリーの温度がｔ２、ｔ２’の場合におけるＷａｒｐの分布を示す図である。
【図１１】溝付きローラとワークの軸方向の変位量を示した図である。
【図１２】一般的なワイヤーソーの一例を示した概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明について実施の形態を説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
上述したように、近年、長尺のワークの切断を行う場合、ワークの端部から切り出されたウェーハにおけるＷａｒｐの悪化を十分に抑制することができないという問題があった。
【００２４】
そこで、本発明者らはこのような問題を解決すべく鋭意検討を重ねた。
その結果、切断するワークの端部の熱膨張による軸方向の変位量は、ワークが長尺になる程、大きくなるので、このワークの変位量に合わせて、溝付きローラの軸方向の変位量を大きくすれば、ワークの端部から切り出されたウェーハのＷａｒｐの悪化を抑制できることに想到した。さらに、溝付きローラに供給するスラリーの温度を、ワークの切り始め及び切り終わりにおけるスラリーの温度よりも、ワークの切断中におけるスラリーの温度の方が低温になるように制御することで、溝付きローラの軸方向の変位量をワークの変位量に合わせることができることに想到した。そして、これらを実施するための最良の形態について精査し、本発明を完成させた。
【００２５】
まず、本発明のワークの切断方法で使用することができるワイヤーソーについて説明する。
図１に示すように、ワイヤーソー１は、主に、ワークＷを切断するためのワイヤー２、ワイヤー２を巻回した溝付きローラ３、ワイヤー２に張力を付与するためのワイヤー張力付与機構４、切断されるワークＷを下方へと送り出すワーク送り機構５、切断時に溝付きローラ３、ワイヤー２にスラリーを供給するスラリー供給機構６で構成されている。
【００２６】
ワイヤー２は、一方のワイヤーリール７から繰り出され、トラバーサ８を介してダンサローラ９からなるワイヤー張力付与機構４を経て、溝付きローラ３に入っている。ワイヤー２がこの溝付きローラ３に３００〜４００回程度巻掛けられることによりワイヤー列が形成される。ワイヤー２はもう一方のワイヤー張力付与機構４’を経てワイヤーリール７’に巻き取られている。
【００２７】
また、溝付きローラ３は鉄鋼製円筒の周囲にポリウレタン樹脂を圧入し、その表面に一定のピッチで溝を切ったローラであり、巻掛けられたワイヤー２が、駆動用モータ１０によって予め定められた走行距離で往復方向に駆動できるようになっている。
【００２８】
ワークＷの切断時には、ワーク送り機構５によって、ワークＷは保持されつつ押し下げられ、溝付きローラ３に巻回されたワイヤー２に送り出される。
また、溝付きローラ３、巻掛けられたワイヤー２の近傍にはノズル１５が設けられており、切断時にスラリータンク１６から溝付きローラ３、ワイヤー２にスラリーを供給できるようになっている。また、スラリータンク１６にはスラリーチラー１７が接続されており、供給するスラリーの温度を調整できるようになっている。
【００２９】
次に、このワイヤーソー１を用いた場合の本発明のワークの切断方法の一実施形態について説明する。
ワイヤー２にワイヤー張力付与機構４を用いて適当な張力をかけて、駆動用モータ１０によりワイヤー２を往復方向に走行させる。ワークＷをこのワイヤー２に押し付けることでワークＷの切断を開始する。
【００３０】
図２に示すように、ワークＷの切断を開始して、ワークＷを切り始めたときには、溝付きローラ３の表面の温度はｔ３で一定であり、溝付きローラ３の径方向及び軸方向に変位は見られない。
なお、本発明においてワークＷの切り始めとは、ワイヤー２がワークＷの表面に接し、切断が開始されたときであるが、開始から数ｍｍ程度の範囲を切断しているときも含めることができる。
【００３１】
さらに供給されたスラリー中の遊離砥粒をワイヤー２によりワイヤー溝（ワークの切断溝）の奥部に押しつけながら溝底部を削り取ることによって、ワークＷを切り進んでいくと、ワークＷの切削熱の影響を受けて溝付きローラ３の表面温度が上昇していく。
ワイヤー２がワークＷの径方向の中央部を切断しているときには、溝付きローラ３の表面温度の分布は図３に示すようになる。図３に示すように、ワークＷを切断しているワイヤー２が巻掛けされている溝付きローラ３の表面では、ワークＷの切削熱の影響を受けて温度がｔ１となり、それ以外の部分では、溝付きローラ３に直接掛かるスラリー１８の温度の影響を受けて表面の温度はｔ２となるとすると、溝付きローラ３の表面の温度ｔ１、ｔ２、ｔ３の関係は、ｔ１＞ｔ２＞ｔ３となる。
【００３２】
このように、溝付きローラ３の表面の温度に、ｔ１＞ｔ２のような温度差が生じることによって、熱膨張による変位量の差が生じ、図４に示すように、溝付きローラ３の表面には径方向に急激な段差が生じる。
このような溝付きローラ３の熱膨張による影響で、図５に示すように、変位前のワイヤー溝位置ｐは、径方向にａ、軸方向にｂ変位して、変位後のワイヤー溝位置ｐ’に移る。
図５に示すように、このときの溝付きローラ３の軸方向の変位量ｂの分布において、その大きさが最も大きくなる特異点が段差部分で生じる。
【００３３】
発明者らは、溝付きローラ３に供給するスラリーの温度を変化させることで、特異点における変位の大きさ、すなわち、変位の最大量が変化することを見出した。
具体的には、溝付きローラ３に供給するスラリーの温度をｔ２よりもさらに低温のｔ２’に制御した場合、特異点における変位の大きさがより顕著に大きくなることを発見した。
【００３４】
一方、ワークＷの切断中に生じる切削熱によって、ワークＷ自身も熱膨張する。
図６に示すように、ワークＷは、切り始めでは変位は見られないが、切り進めていくうちにだんだんと熱膨張していき、切り終わり近傍では熱収縮する。このようにしてワークＷの切断中に、ワークＷに変位が生じることによって、図６に示すように、切断後のウェーハにＷａｒｐが生じてしまう。
本発明においてワークＷの切り終わりは、切断を完了する時点であるが、その手前数ｍｍ程度を切断しているときも含めることができる。
【００３５】
図７に示すように、ワークＷの中心からの距離が遠いほどワークＷの熱膨張による変位量が大きくなる傾向がある。すなわち、ワークＷの端部において、ワークＷの軸方向の変位量が最大となる。
【００３６】
図８は、溝付きローラに供給するスラリーの温度がｔ２の場合における溝付きローラの径方向及び軸方向の変位の様子を示している。図８のグラフの曲線は溝付きローラの軸方向の変位量を示し、点線はワークの軸方向の変位量を示している。
図９は、溝付きローラに供給するスラリーの温度がｔ２よりも低温のｔ２’の場合における溝付きローラの径方向及び軸方向の変位の様子を示している。図９のグラフの曲線は溝付きローラの軸方向の変位量を示し、点線はワークの軸方向の変位量を示している。
図８、９に示すように、溝付きローラ３に供給するスラリーの温度をｔ２（図８）よりもさらに低温のｔ２’に制御した（図９）場合、特異点における変位の大きさをより大きくすることができる。
【００３７】
Ｗａｒｐの程度は、ワークの熱膨張による軸方向の変位量と、溝付きローラの軸方向の変位量の差分で定義される。
具体的には、図８のグラフの場合、溝付きローラの軸方向の変位量を示す曲線と、ワークの軸方向の変位量を示す点線との差分で、Ｗａｒｐは表される。図８のグラフから求められるＷａｒｐは、図１０のｔ２で示す曲線のようになる。同様にして、図９のグラフから求められるＷａｒｐは図１０のｔ２’で示す曲線のようになる。上記したようにｔ２＞ｔ２’である。
図１０に示したｔ２’で示される曲線は、ｔ２で示される曲線よりもＷａｒｐが低減されていることが分かる。
溝付きローラ３に供給するスラリーの温度を制御して、溝付きローラ３の変位の最大量を、切断するワークＷの端部の熱膨張による軸方向の変位量に合わせるように制御することで、ワークＷの端部から切り出されたウェーハのＷａｒｐを低減することができる。具体的には、切断するワークの端部の熱膨張による軸方向の変位量に応じて、溝付きローラに供給するスラリーの温度を、ワークの切り始め及び切り終わりにおけるスラリーの温度よりも、ワークの切断中におけるスラリーの温度の方が低温になるように制御する。
【００３８】
このとき、切断するワークＷの端部の熱膨張による軸方向の変位量に応じて、ワークＷの端部を切断するワイヤー２が巻掛けされている溝付きローラ３の軸方向の変位量とを一致させるように、スラリーの温度を制御することが好ましい。
図１１は、このようにスラリーの温度を制御して、本発明の切断方法を実施したときの、ワークＷおよび溝付きローラ３の軸方向の変位量を示している。点線Ｗｂ１はワークＷの長さが１４０ｍｍの場合、点線Ｗｂ２はワークＷの長さが２６０ｍｍの場合、点線Ｗｂ３はワークＷの長さが４００ｍｍの場合のそれぞれのワークＷの軸方向の変位量を示している。
曲線３ｂ１は溝付きローラ３に供給するスラリーの温度をｔ２、３ｂ２は溝付きローラ３に供給するスラリーの温度をｔ２’、３ｂ３は切断中に溝付きローラ３に供給するスラリーの温度をｔ２’’に制御したときの溝付きローラ３の軸方向の変位量を示している（ｔ２＞ｔ２’＞ｔ２’’としている）。図１１に示すように、曲線３ｂ１−３ｂ３はそれぞれ、特異点における変位量のピーク値を示しており、この値が、ワークＷの変位量の値と一致している。
【００３９】
このようにして、スラリーの温度を制御し、特異点における変位の大きさを制御して、特異点を適切な大きさにする、すなわち、ワークの熱膨張に応じた大きさにすることによって、長尺のワークＷの切断においても、ワークＷの端部から切り出されたウェーハのＷａｒｐを確実に低減することができる。
【００４０】
切断するワークＷの端部の熱膨張による軸方向の変位量は、ワークＷの長さが長いほど大きくなるため、切断するワークの長さが長いほど、ワークＷの切断中におけるスラリーの温度をより低温にする（すなわち、ｔ２＞ｔ２’＞ｔ２’’とする）ことが好ましい。
【００４１】
さらに具体的には、ワークＷの切断中におけるスラリーの温度を、ワークＷの長さが２００ｍｍ未満の場合には１℃以上２℃以下、ワークＷの長さが２００ｍｍ以上３６０ｍｍ未満の場合には１℃以上４℃以下、ワークＷの長さが３６０ｍｍ以上の場合には２℃以上６℃以下の範囲内で、ワークＷの切り始め及び切り終わりにおけるスラリーの温度よりも低温にすることで、上記Ｗａｒｐ低減の効果を確実に奏することができる。
【実施例】
【００４２】
以下、本発明の実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００４３】
（実施例１）
図１に示すようなワイヤーソー１を用い、本発明の切断方法を実施した。
ワイヤーソー１として、コマツＮＴＣ製のものを用いた。ワイヤー２の直径は１３０μｍ、ワイヤー２に付与する張力は２５Ｎ、ワイヤー新線供給量は１００ｍ／分、ワイヤー反転サイクルは１２０秒、ワイヤー走行速度は平均７００ｍ／分、スラリー砥粒はＧＣ＃２０００、スラリー砥粒濃度（クーラント／砥粒）は５０／５０とした。このような切断条件で、ワイヤー２及び溝付きローラ３にスラリーを掛けながら直径３００ｍｍのシリコンインゴット（以下、単にワークとも言う）を切断した。
【００４４】
実施例１において、切断対象のワークは長さ１４０ｍｍのものを用いた。
また、ワークＷの切り始め及び切り終わりにおける溝付きローラ３に供給するスラリーの温度を２４．０℃とした。そして、切断中（切断中央）おける溝付きローラ３に供給するスラリーの温度を、切り始め及び切り終わりのスラリーの温度よりも２．０℃低温となるように２２．０℃とした。
【００４５】
ワークＷの切断終了後、ワークの両端部および中央部から得られたアズカットウェーハのＷａｒｐをウェーハ形状測定器であるコベルコ科研製のＳＢＷ−３３１で測定した。
【００４６】
このときの結果を表１に示す。なお、表１のＰ面側、およびＫ面側は、それぞれワークの端部を表し、Ｃｔｒは中央部を表している。
また、表１では、Ｗａｒｐを、平均的なＷａｒｐ値を１．０とした場合の相対値（％）で表した。
【００４７】
表１に示したように、実施例１のＷａｒｐの相対値は、後述する比較例１〜３の全てと比べて低減し、Ｗａｒｐが改善されていることが確認された。
【００４８】
（実施例２）
切断対象のワークの長さを実施例１よりも長い２６０ｍｍとし、ワークの切断中におけるスラリーの温度を２１．５℃とした以外は、実施例１と同様にしてワークの切断を行った（温度の差は２．５℃）。
このときのウェーハのＷａｒｐを実施例１と同様にして測定し、その結果を表１に示した。
【００４９】
その結果、表１に示したように、実施例２のＷａｒｐの相対値は、後述する比較例１〜３の全てと比べて低減し、Ｗａｒｐが改善されていることが確認された。さらに、実施例１よりも長尺のワークを切断しているにも関わらず、実施例１と比べてＷａｒｐが同等以上に改善されていた。
【００５０】
（実施例３）
切断対象のワークの長さを実施例１、２よりも長い４００ｍｍとし、ワークの切断中におけるスラリーの温度を１８．１℃とした以外は、実施例１と同様にしてワークの切断を行った（温度の差は５．９℃）。
このときのウェーハのＷａｒｐを実施例１と同様にして測定し、その結果を表１に示した。
【００５１】
その結果、表１に示したように、実施例３のＷａｒｐの相対値は、後述する比較例１〜３の全てと比べて低減し、Ｗａｒｐが改善されていることが確認された。さらに、実施例１よりも長尺のワークを切断しているにも関わらず、実施例１と比べてＷａｒｐが同等以上に改善されていた。
【００５２】
（実施例４）
ワークの切断中におけるスラリーの温度を１８．１℃とした以外は、実施例１と同様にして、長さを１４０ｍｍのワークの切断を行った（温度の差は５．９℃）。
そして、このときのウェーハのＷａｒｐを実施例１と同様にして測定し、その結果を表１に示した。
【００５３】
その結果、表１に示したように、実施例４のＷａｒｐの相対値は、後述する比較例１〜３の全てと比べて低減し、Ｗａｒｐが改善されていることが確認された。
さらに、実施例４の場合、実施例１と比べて、切断中のスラリーの温度をさらに低温にしたため、溝付きローラの軸方向の変位量の特異点における変位の大きさが更に顕著に大きくなり、ワークの端部から切り出したウェーハの表面形状が平坦形状とならず凹形状となった。
この結果から、切断中のスラリー温度を低温にすることで、Ｗａｒｐの低減のみならず、ウェーハの表面形状の制御をすることも可能であることが確認できた。
【００５４】
（比較例１）
ワークの切り始め、切り終わり、および切断中における溝付きローラに供給するスラリーの温度を、２４．０℃で変化させずにワークの切断を行ったこと以外は、実施例１と同様な条件で、長さ１４０ｍｍのワークを切断した。
その後、実施例１と同様の方法でウェーハのＷａｒｐを評価し、結果を表１に示した。
【００５５】
表１に示すように、比較例１では、アズカットウェーハのＷａｒｐの相対値は、実施例１よりも増加し、平坦度が悪化していることが確認された。
【００５６】
（比較例２）
ワークの切り始め、切り終わり、および切断中における溝付きローラに供給するスラリーの温度を、２４．０℃で変化させずにワークの切断を行ったこと以外は、実施例２と同様な条件で、長さ２６０ｍｍのワークを切断した。
その後、実施例２と同様の方法でウェーハのＷａｒｐを評価し、結果を表１に示した。
【００５７】
表１に示すように、比較例２では、Ｗａｒｐの相対値は、実施例２よりも増加し、平坦度が悪化していることが確認された。
【００５８】
（比較例３）
ワークの切り始め、切り終わり、および切断中における溝付きローラに供給するスラリーの温度を、２４．０℃で変化させずにワークの切断を行ったこと以外は、実施例３と同様な条件で、長さ４００ｍｍのワークを切断した。
その後、実施例３と同様の方法でウェーハのＷａｒｐを評価し、結果を表１に示した。
【００５９】
表１に示すように、比較例３では、Ｗａｒｐの相対値は、実施例３よりも増加し、平坦度が悪化していることが確認された。
比較例１−３の結果が実施例の結果より悪化したのは、比較例１−３では、溝付きローラの特異点の変位量が、それぞれ実施例１−３における特異点の変位量と比べて小さく、ワークの端部の熱膨張による軸方向の変化量に比べて、ワークの端部を切断するワイヤーが巻掛けされている溝付きローラの軸方向の変位量が小さかったためであると考えられる。
【００６０】
【表１】
2016135529.tif 000003
【００６１】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【符号の説明】
【００６２】
１…ワイヤーソー、  ２…ワイヤー、  ３…溝付きローラ、
４、４’…ワイヤー張力付与機構、  ５…ワーク送り機構、  ６…スラリー供給機構、
７、７’…ワイヤーリール、  ８…トラバーサ、  ９…ダンサローラ、
１０…駆動用モータ、  １５…ノズル、  １６…スラリータンク、
１７…スラリーチラー、  １８…スラリー、  Ｗ…ワーク。
【図１】
2016135529.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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