(57)【要約】【課題】表面に傷がつきにくく、製造コストを抑制することが可能なガラス基板の製造方法。【解決手段】第１の表面および第２の表面を有するガラス板に対して、表面処理を実施するステップと、前記ガラス板の前記第１の表面に保護膜を設置するステップと、前記ガラス板をステージ上に配置するステップであって、前記ガラス板は、前記第２の表面が、前記ステージの側となるようにして前記ステージ上に配置され、前記ガラス板と前記ステージの間には、保護部材が介在されるステップ）と、前記ガラス板を前記ステージに固定させた状態で、前記ガラス板の前記第１の表面に、前記保護膜は貫通するものの前記第２の表面までは貫通しない切り溝を形成するステップであって、前記切り溝が前記第２の表面まで伝播するような力を加えることにより、前記ガラス板がより小さな寸法に切断されるステップと、をこの順に有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板の製造方法であって、
（ａ）第１の表面および該第１の表面と対向する第２の表面を有するガラス板に対して、表面処理を実施するステップと、
（ｂ）前記ガラス板の前記第１の表面に保護膜を設置するステップと、
（ｃ）前記ガラス板をステージ上に配置するステップであって、前記ガラス板は、前記第２の表面が、前記ステージの側となるようにして前記ステージ上に配置され、前記ガラス板と前記ステージの間には、保護部材が介在されるステップと、
（ｄ）前記ガラス板を前記ステージに固定させた状態で、前記ガラス板の前記第１の表面に、前記保護膜は貫通するものの前記第２の表面までは貫通しない切り溝を形成するステップであって、前記切り溝が前記第２の表面まで伝播するような力を加えることにより、前記ガラス板がより小さな寸法に切断されるステップと、
をこの順に有する、製造方法。
【請求項２】
前記ステージは、吸引孔を有し、前記ガラス板は、前記ステージに吸引固定される、請求項１に記載の製造方法。
【請求項３】
前記保護膜は、接着フィルムで構成される、請求項１または２に記載の製造方法。
【請求項４】
さらに、（ｄ）のステップの後、
（ｅ）切断されたガラス板を第２のステージに固定させた状態で、前記切断されたガラス板の面取りを行うステップ
を有し、
前記（ｅ）のステップにおいて、前記切断されたガラス板は、前記保護膜が前記第２のステージの側となるようにして、前記第２のステージ上に配置される、請求項１乃至３のいずれか一つに記載の製造方法。
【請求項５】
前記第２のステージは、吸引孔を有し、前記切断されたガラス板は、前記第２のステージに吸引固定される、請求項１乃至４のいずれか一つに記載の製造方法。
【請求項６】
前記保護部材は、紙および多孔質体からなる群から選定される、請求項１乃至５のいずれか一つに記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板は、半導体素子などを担持するための担持体、および内部部材を保護するためのカバー部材など、様々な用途に使用されている。
【０００３】
一般に、ガラス基板は、
（ｉ）第１および第２の表面を有する大きな寸法のガラス板を最終寸法またはこれに近い寸法に切断する小片化工程、および
（ｉｉ）切断されたガラス板の厚さを調整したり、ガラス板に追加機能を付加したりするために実施される表面処理工程（例えば、研磨処理、エッチング処理、および成膜処理など）
の工程を経て、製造されている。
【０００４】
このうち（ｉ）の工程では、ガラス板がステージ上に配置される。ガラス板は、例えば、第２の表面の側がステージ側となるように配置される。次に、ガラス板に、上側（すなわち第１の表面側）から切断カッターを用いて、所望の形状の切り溝（スクライブ）が形成される。通常の場合、切り溝は、第２の表面までは貫通しない。このため、その後、ガラス板の切り溝に沿って力が加えられる。これにより、切り溝が第１の表面から第２の表面まで伝播し、大きな寸法のガラス板から所望の寸法の小片を分離することができる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の製造方法では、（ｉ）の工程において、ガラス板をステージ上に配置したり、ガラス板をステージから回収したりする際などに、ガラス板がステージに当接して、ガラス板に傷がつくおそれがある。また、切断カッターによる切り溝の形成の際に、ガラス板の第１の表面に破片（カレット）が付着し、それがガラス板に対して移動した際に、ガラス板に傷が生じるおそれがある。そして、ガラス板の表面にそのような傷が生じると、最終的に得られるガラス基板を製品として出荷することができなくなるという問題が生じ得る。
【０００６】
また、従来の製造方法では、（ｉｉ）の工程において、切断されたそれぞれのガラス板に対して、表面処理を実施する必要がある。このため、製造コストが上昇するという問題がある。
【０００７】
このような点から、従来のガラス基板の製造方法が有する問題を解消しまたは抑制することができる製造方法が求められている。
【０００８】
本発明は、このような背景に鑑みなされたものであり、本発明では、従来に比べて表面に傷がつきにくく、製造コストを抑制することが可能なガラス基板の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明では、ガラス基板の製造方法であって、
（ａ）第１の表面および該第１の表面と対向する第２の表面を有するガラス板に対して、表面処理を実施するステップと、
（ｂ）前記ガラス板の前記第１の表面に保護膜を設置するステップと、
（ｃ）前記ガラス板をステージ上に配置するステップであって、前記ガラス板は、前記第２の表面が、前記ステージの側となるようにして前記ステージ上に配置され、前記ガラス板と前記ステージの間には、保護部材が介在されるステップと、
（ｄ）前記ガラス板を前記ステージに固定させた状態で、前記ガラス板の前記第１の表面に、前記保護膜は貫通するものの前記第２の表面までは貫通しない切り溝を形成するステップであって、前記切り溝が前記第２の表面まで伝播するような力を加えることにより、前記ガラス板がより小さな寸法に切断されるステップと、
をこの順に有する、製造方法が提供される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、従来に比べて表面に傷がつきにくく、製造コストを抑制することが可能なガラス基板の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態によるガラス基板の製造方法のフローを模式的に示した図である。
【図２】ガラス板の一例としての形態を模式的に示した図である。
【図３】第１の積層体の断面を模式的に示した図である。
【図４】第１の積層体がステージ上に配置された状態を模式的に示した図である。
【図５】第１の積層体に切り溝が形成された後の状態を模式的に示した図である。
【図６】第１の積層体から、複数の小片化された第２の積層体が形成された後の状態を模式的に示した図である。
【図７】面取り加工のため、第２の積層体が第２のステージ上に配置された状態を模式的に示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。
【００１３】
図１には、本発明の一実施形態によるガラス基板の製造方法のフローを模式的に示す。
【００１４】
図１に示すように、本発明の一実施形態によるガラス基板の製造方法（以下、「第１の製造方法」と称する）は、
（ａ）第１の表面および該第１の表面と対向する第２の表面を有するガラス板に対して、表面処理を実施するステップ（ステップＳ１１０）と、
（ｂ）前記ガラス板の前記第１の表面に保護膜を設置するステップ（ステップＳ１２０）と、
（ｃ）前記ガラス板をステージ上に配置するステップであって、前記ガラス板は、前記第２の表面が、前記ステージの側となるようにして前記ステージ上に配置され、前記ガラス板と前記ステージの間には、保護部材が介在されるステップ（ステップＳ１３０）と、
（ｄ）前記ガラス板を前記ステージに固定させた状態で、前記ガラス板の前記第１の表面に、前記保護膜は貫通するものの前記第２の表面までは貫通しない切り溝を形成するステップであって、その後、前記切り溝が前記第２の表面まで伝播するような力を加えることにより、前記ガラス板がより小さな寸法に切断されるステップ（ステップＳ１４０）と、
（ｅ）前記切断されたガラス板を第２のステージに吸引固定した状態で、前記切断されたガラス板の面取りを行うステップ（ステップＳ１５０）と、
（ｆ）前記保護膜を剥離するステップ（ステップＳ１６０）と、
を有する。
【００１５】
なお、ステップＳ１５０は、必須のステップではなく、省略されても良い。
【００１６】
以下、図２〜図７を参照して、各ステップについて詳しく説明する。なお、図２〜図７は、第１の製造方法における各過程を模式的に示した図である。
【００１７】
（ステップＳ１１０）
まず、被加工体としてガラス板が準備される。
【００１８】
図２には、ガラス板の一例としての形態を模式的に示す。
【００１９】
図２に示すように、このガラス板１１０は、相互に対向する第１の表面１１５および第２の表面１１７を有する。また、ガラス板１１０は、縦ａ（Ｘ方向の長さ）、横ｂ（Ｙ方向の長さ）、および厚さｔ（Ｚ方向の長さ）の寸法を有し、略矩形状の形状を有する。
【００２０】
ただし、これは単なる一例であって、ガラス板１１０は、いかなる形状を有しても良い。例えば、ガラス板１１０は、正方形形状、台形形状、菱形形状、円形形状、および楕円形状等の形状を有しても良い。また、ガラス板１１０は、例えば、ロールツーロールの形態で、供給されても良い。
【００２１】
次に、ガラス板１１０の第１の表面１１５および／または第２の表面１１７に対して、各種表面処理が実施される。実施される表面処理は、例えば、研磨処理、エッチング処理、および／または成膜処理等であっても良い。
【００２２】
ここで、研磨処理には、例えば、機械研磨処理、化学研磨処理、および化学機械研磨処理等が含まれる。
【００２３】
また、エッチング処理には、例えば、フッ酸等を使用して、第１の表面１１５および／または第２の表面１１７をパターン化する処理（粗面化処理を含む）が含まれる。
【００２４】
さらに、成膜処理には、例えば、スパッタリング法、蒸着法、ＰＶＤ法、ＣＶＤ法、電気めっき法、無電解めっき法、および塗布法などにより、各機能層を形成する処理が含まれる。
【００２５】
このような表面処理によって、例えば、ガラス板１１０の厚さｔが所望の値にされても良い。あるいは、表面処理によって、例えば、ガラス板１１０に、アンチグレア特性、導電性、耐薬品性などの特性が付与されても良い。
【００２６】
なお、以上の表面処理の具体例は、単なる例示であって、ガラス板１１０に対して、その他の表面処理を実施しても良い。
【００２７】
（ステップＳ１２０）
次に、ガラス板１１０の第１の表面１１５に、保護膜が設置され、第１の積層体が構成される。
【００２８】
図３には、第１の積層体１３０の断面を模式的に示す。図３に示すように、第１の積層体１３０は、ガラス板１１０の第１の表面１１５全体に、保護膜１２０を形成することにより構成される。なお、図の明確化のため、図３には、ステップＳ１１０の表面処理によって形成された層などは、示されていないことに留意する必要がある。
【００２９】
保護膜１２０は、例えば、接着フィルム等で形成されても良い。
【００３０】
接着フィルムとしては、例えば、市販の樹脂フィルム（例えばポリエチレンフィルム）等が使用できる。
【００３１】
保護膜１２０は、以降のステップにおいて、ガラス板１１０の第１の表面１１５を適正に保護できるものであれば、その材質および配置方法は、特に限られない。ただし、保護膜１２０は、最終的に除去される必要があるため、ガラス板１１０から比較的容易に剥離できるものから選定されることが好ましい。
【００３２】
なお、図３に示すように、第１の積層体１３０において、ガラス板１１０の第２の表面１１７の側には、保護膜が設置されないことに留意する必要がある。
【００３３】
（ステップＳ１３０）
次に、第１の積層体１３０がステージ上に配置される。
【００３４】
図４には、第１の積層体１３０がステージ１５０上に配置された状態を模式的に示す。
【００３５】
図４に示すように、第１の積層体１３０は、ガラス板１１０の第２の表面１１７の側がステージ１５０の側となるように、ステージ１５０上に配置される。また、第１の積層体１３０は、ステージ１５０との間に、保護部材１４０が介在されるようにして、ステージ１５０上に配置される。
【００３６】
保護部材１４０は、第１の積層体１３０がステージ１５０と当接したり、ステージ１５０と擦れたりした際に、ガラス板１１０の第２の表面１１７が傷つくことを防止する役割を有する。従って、保護部材１４０には、例えば、紙部材および緩衝部材など、柔らかくて柔軟性のある材料が使用される。保護部材１４０は、多孔質体であっても良い。
【００３７】
ステージ１５０は、吸引機構を有するものであっても良い。例えば、図４に示した例では、ステージ１５０は、複数の吸引孔１５５を有し、該吸引孔１５５は、吸引手段（図示されていない）に接続されている。このような「吸引ステージ」１５０では、吸引孔１５５からの吸引により、上部に載置された第１の積層体１３０を、保護部材１４０とともにステージ１５０の表面１５２に吸引固定することができる。
【００３８】
なお、このような吸引ステージ１５０を使用する場合、保護部材１４０は、薄い厚さ（例えば５００μｍ以下）を有し、空気透過性を有することが好ましい。
【００３９】
（ステップＳ１４０）
次に、第１の積層体１３０をステージ１５０上に固定させた状態で、ガラス板１１０の第１の表面１１５に、スクライブ（「切り溝」とも称する）が形成される。
【００４０】
図５には、第１の積層体１３０に切り溝１６０が形成された後の状態を示す。
【００４１】
図５に示すように、切り溝１６０は、第１の積層体１３０の保護膜１２０を貫通するものの、ガラス板１１０の第２の表面１１７までは貫通しないように形成される。
【００４２】
なお、図５では、切り溝１６０は、上面視、Ｘ方向に垂直な方向（すなわちＹ方向）に沿って複数形成されている。ただし、これに加えて、切り溝１６０は、例えば、上面視、Ｘ方向と平行な方向にも形成される。従って、切り溝１６０の形成により、第１の積層体１３０の保護膜１２０は、所定の寸法の保護膜１２１に小片化され、これらの小片化保護膜１２１は、相互に分離される。
【００４３】
このような切り溝１６０は、例えば、切断カッター等により形成されても良い。
【００４４】
次に、切り溝１６０の先端がガラス板１１０の第２の表面１１７まで伝播するように力を加えることにより、第１の積層体１３０のガラス板１１０が所定の寸法に小片化される。
【００４５】
図６には、このような操作により、第１の積層体１３０から、複数の小片化された第２の積層体１７０が形成された後の状態を示す。
【００４６】
図６に示すように、各第２の積層体１７０は、小片化された第２のガラス板１１１と、該第２のガラス板１１１の第１の表面（ガラス板１１０の第１の表面１１５に相当するため、以降「第１の表面１１５」と称する）に設置された小片化保護膜１２１を有する。
【００４７】
第２の積層体１７０の形状は、特に限られない。第２の積層体１７０は、上面視、例えば、正方形形状、矩形形状、台形形状、菱形形状、円形形状、および楕円形状等の形状を有しても良い。また、第２の積層体１７０は、対称形でなく、不等辺三角形等のような非対称形状であってもよい。
【００４８】
（ステップＳ１６０）
その後、第２の積層体１７０から小片化された保護膜１２１を剥離させることにより、所望の寸法形状を有するガラス基板を製造することができる。
【００４９】
ガラス基板の寸法および形状は、特に限られない。例えば、ガラス基板は、正方形形状、矩形形状、台形形状、菱形形状、円形形状、および楕円形状等の形状を有しても良い。
【００５０】
ここで、前述のように、従来の製造方法では、ガラス基板は、
（ｉ）第１および第２の表面を有する大きな寸法のガラス板を最終寸法またはこれに近い寸法に切断する小片化工程、および
（ｉｉ）切断されたガラス板に追加機能を付加するために実施される表面処理工程
を経て、製造される。
【００５１】
ここで、従来の製造方法では、（ｉ）の工程において、ガラス板をステージ上に配置したり、ガラス板をステージから回収したりする際などに、ガラス板がステージに当接して、ガラス板に傷がつくおそれがある。また、切断カッターによる切り溝の形成の際に、ガラス板の第１の表面に破片（カレット）が付着し、それがガラス板に対して移動した際に、ガラス板に傷が生じるおそれがある。
【００５２】
しかしながら、本発明の第１の製造方法では、ステップＳ１２０において、ガラス板１１０の第１の表面１１５に、保護膜１２０が配置される。また、ステップＳ１３０において、ガラス板１１０の第２の表面１１７とステージ１５０の間には、保護部材１４０が配置される。
【００５３】
このため、本発明の第１の製造方法では、ガラス板１１０のハンドリングの際に、ガラス板１１０がステージ１５０に当接して、ガラス板１１０に傷が生じることを有意に抑制できる。また、ステップＳ１４０における切り溝１６０の形成の際に、ガラス板１１０の第１の表面１１５に付着した破片（カレット）により、ガラス板１１０に傷が生じることを有意に抑制できる。
【００５４】
また、従来の製造方法では、（ｉｉ）の工程において、切断されたそれぞれのガラス板に対して、各表面処理を実施する必要がある。このため、製造コストが上昇するという問題がある。
【００５５】
これに対して、本発明の第１の製造方法では、ステップＳ１１０において、ガラス板１１０を小片に切断する前に、表面処理が実施される。そして、ガラス板１１０に対する表面処理が実施されてから、ステップＳ１４０において、ガラス板１１０が小片に切断される。
【００５６】
従って、本発明の第１の製造方法では、同じ表面処理を何回も実施する必要がなくなり、製造コストの上昇を抑制することができる。
【００５７】
このような効果により、本発明の第１の製造方法では、従来に比べて表面に傷がつきにくく、製造コストを抑制することが可能となる。
【００５８】
また、本発明による第１の製造方法では、ステップＳ１２０において、ガラス板１１０の第１の表面１１５には、保護膜１２０が配置されるものの、第２の表面１１７には、保護膜は設置されないという特徴を有する。
【００５９】
ここで、第２の表面１１７にも保護膜を配置した場合、以下のような問題が生じ得る。すなわち、ステップＳ１４０において、切り溝１６０の先端の伝播を利用して、ガラス板１１０を第２のガラス板１１１に小片化しようとした際に、第２の表面１１７に配置された保護膜が、各第２のガラス板１１１を繋ぎ止める役割を果たし、第２のガラス板１１１を相互に分離することが困難になる。
【００６０】
これに対して、本発明による第１の製造方法では、第２の表面１１７には、保護膜が設置されていないため、切り溝１６０の先端がガラス板１１０の第２の表面１１７にまで到達さえすれば、小片化された第２の積層体１７０を相互に対して容易に分離することが可能となる。
【００６１】
（ステップＳ１５０）
前述のステップＳ１１０〜ステップＳ１４０およびステップＳ１６０を経て、所望の寸法形状を有するガラス基板を製造することができる。ただし、必要な場合、前述のステップＳ１４０の後に、第２の積層体１７０に対して、第２のガラス板１１１の面取り加工を実施しても良い。
【００６２】
面取り加工は、通常、第２の積層体１７０を第２のステージ上に固定した状態で実施される。
【００６３】
図７には、一例として、面取り加工のため、第２の積層体１７０が第２のステージ１８０上に配置された状態を模式的に示す。
【００６４】
第２のステージ１８０は、第２の積層体１７０に対して、一回り以上小さな表面１８２を有することが好ましい。これにより、第２の積層体１７０の第２のガラス板１１１の全周囲に対して、面取りを実施することが可能になる。
【００６５】
図７に示すように、第２のステージ１８０は、吸引機構を有するものであっても良い。例えば、図７に示した例では、第２のステージ１８０は、吸引孔１８５を有し、該吸引孔１８５は、吸引手段（図示されていない）に接続されている。このような「吸引ステージ」１８０を使用した場合、吸引孔１８５からの吸引により、上部に載置された第２の積層体１７０を、第２のステージ１８０の表面１８２に吸引固定することができる。
【００６６】
面取り加工は、例えば、グラインダーのような回転砥石を用いて、第２の積層体１７０の端面を研削することにより、実施される。
【００６７】
ここで、従来のガラス基板の製造方法では、ガラス板の面取り加工の際に、ガラス板が第２のステージに当接して、ガラス板に傷がつくおそれがある。
【００６８】
これに対して、本発明による第１の製造方法では、第２の積層体１７０は、小片化保護膜１２１の側が、第２のステージ１８０の表面１８２側となるようにして、第２のステージ１８０上に配置される。
【００６９】
この場合、第２のガラス板１１１の面取り加工の際に、第２のガラス板１１１が第２のステージ１８０に当接して、第２のガラス板１１１に傷が生じることを有意に抑制することが可能となる。
【００７０】
その後、前述のように、ステップＳ１６０において、第２の積層体１７０から小片化保護膜１２１を剥離することにより、端部が面取りされたガラス基板を得ることができる。
【００７１】
以上、第１の製造方法を例に、本発明の一実施形態について説明した。しかしながら、以上の記載は、単なる一例であって、本発明は、その他の実施形態で実施し得ることは当業者には明らかである。
【符号の説明】
【００７２】
１１０    ガラス板
１１１    第２のガラス板
１１５    第１の表面
１１７    第２の表面
１２０    保護膜
１２１    小片化保護膜
１３０    第１の積層体
１４０    保護部材
１５０    ステージ
１５２    表面
１５５    吸引孔
１６０    切り溝
１７０    第２の積層体
１８０    第２のステージ
１８２    表面
１８５    吸引孔
【図１】
2016050162.tif 000003
【図２】
2016050162.tif 000004
【図３】
2016050162.tif 000005
【図４】
2016050162.tif 000006
【図５】
2016050162.tif 000007
【図６】
2016050162.tif 000008
【図７】
2016050162.tif 000009