(57)【要約】【課題】水アトマイズ法によってシングルミクロン級の金属微粒子を安定的に生成させることの出来る、金属粉末の製造方法を提供する。【解決手段】水アトマイズ法による金属粉末の製造方法であって、当該水アトマイズ法における水ジェット圧力が６０ＭＰａを超え１８０ＭＰａ以下であり、水ジェット流量が８０Ｌ／ｍｉｎ以上１９０Ｌ／ｍｉｎ以下、水ジェット頂角が１０°以上３０°以下である金属粉末の製造方法を提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水アトマイズ法による金属粉末の製造方法であって、
当該水アトマイズ法における水ジェット圧力が６０ＭＰａを超え１８０ＭＰａ以下であり、水ジェット流量が８０Ｌ／ｍｉｎ以上１９０Ｌ／ｍｉｎ以下、水ジェット頂角が１０°以上３０°以下であることを特徴とする金属粉末の製造方法。
【請求項２】
前記水アトマイズ法における金属の溶湯温度が１１００℃以上１７００℃以下、出湯径が２ｍｍ以上５ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の金属粉末の製造方法。
【請求項３】
前記金属が、銅または銅合金であることを特徴とする請求項１または２に記載の金属粉末の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水アトマイズ法を用いた金属粉末の製造方法に係り、特にシングルミクロン級の微粒子を含む金属粉末の製造方法に係る。
【背景技術】
【０００２】
従来の技術に係る水アトマイズ法による金属粉末の製造方法について説明する。
例えば特許文献１には、環状のノズル端子と当該ノズル端子の端縁部を背後から圧縮力によって押圧している第二の環状のノズル端子とからなり、ノズル端子間への高圧水流の流入によって二つのノズル端子が離れてスリットが形成される噴射環帯と噴射環帯の下部に設けた減圧室と高圧液体ジェット（水ジェット）の噴射側下側部との連通路とを有する溶融金属の噴霧微粉化装置について記載されている。
また、特許文献２には、外周部から高圧流体（例えば、水）を供給して内周の円環状スリットから円錐膜状に高圧流体流（例えば、水ジェット）を噴出させる微粉製造用ノズルにおいて、当該高圧流体流にスリット円周方向に旋回流を付与する旋回流発生装置を付設した微粉製造用ノズルについて記載されている。
さらに、特許文献３には、タンディッシュの出口から落下する金属溶湯流を取り囲みながら溶湯流とともに流れる高圧のガス流を形成する工程と、前記溶湯流を取り囲む高圧ガスの圧力を減少させることにより、溶湯流を多数の微細液滴に分散させる工程と、前記微細液滴に水を噴霧することにより、微細液滴を凝固させる工程とを備える、金属粉末の製造方法について記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特公平３−５５５２２号公報
【特許文献２】特開平１−１２３０１２号公報
【特許文献３】特開２００５−８９３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら本発明者らの検討によれば、上述した特許文献１−３を始めとする従来の技術に係る水アトマイズ法では、金属粉の微粉末製造において課題があった。具体的には、シングルミクロン級の金属微粒子を安定的に製造することが困難であった。
尚、本発明においてシングルミクロン級の金属微粒子とは、平均粒径（累積粒径Ｄ５０）が１０μｍ未満の金属微粒子をいう。
その為、シングルミクロン級の金属微粒子を安定的に得ようとする場合、従来の技術に係る水アトマイズ法をおこなった後、さらに、分級処理を行って所望の金属微粒子を得たり、金属イオン溶液を還元することでシングルミクロン級の金属微粒子を生成させることが行われていた。
この為、シングルミクロン級の金属微粒子からなる金属粉末を得ようとする際、生産コストを低減することは困難であった。
【０００５】
本発明は、上述の状況の下で為されたものであり、その解決しようとする課題は、水アトマイズ法によってシングルミクロン級の金属微粒子を安定的に生成させることの出来る、金属粉末の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らは、様々な条件下において水アトマイズ法による金属微粒子の生成を行い、当該アトマイズ条件と生成する金属微粒子との関係、特に、水アトマイズ法にて用いられる水ジェットが、生成する金属微粒子経与える効果について研究した。
当該研究の結果、本発明者らは、水アトマイズ法によるシングルミクロン級の金属微粒子の生成において、水ジェットの圧力、流量、頂角の値と、金属の溶湯温度、出湯量の値とが重要であるとの画期的な知見を得た。
【０００７】
当該観点から、上述した従来の技術に係る水アトマイズ法を検討してみると、当該アトマイズ法において形成される水ジェットにおいて、圧力：１３〜６０ＭＰａ、頂角：４０〜９０度、金属溶湯において温度：１２００〜１６００℃、出湯径：２〜５ｍｍにあることを知見した。
【０００８】
上述した知見を基に、さらに研究を進めた結果、本発明者らは水アトマイズ法による金属微粒子の生成において、水ジェット圧力を高圧とし、水ジェット流量も所定量以上を担保することで、初めて水アトマイズ法によってシングルミクロン級の金属微粒子を安定的に生成させることが出来ることを知見し、本発明を完成した。
【０００９】
即ち、上述の課題を解決する第１の発明は、
水アトマイズ法による金属粉末の製造方法であって、
当該水アトマイズ法における水ジェット圧力が６０ＭＰａを超え１８０ＭＰａ以下であり、水ジェット流量が８０Ｌ／ｍｉｎ以上１９０Ｌ／ｍｉｎ以下、水ジェット頂角が１０°以上３０°以下であることを特徴とする金属粉末の製造方法である。
第２の発明は、
前記水アトマイズ法における金属の溶湯温度が１１００℃以上１７００℃以下、出湯径が２ｍｍ以上５ｍｍ以下であることを特徴とする第１の発明に記載の金属粉末の製造方法である。
第３の発明は、
前記金属が、銅または銅合金であることを特徴とする第１または第２の発明に記載の金属粉末の製造方法である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る金属粉末の製造方法によれば、分級処理を行うことなく、水アトマイズ法の実施により、平均粒径（累積粒径Ｄ５０）が１０μｍ未満であるシングルミクロン級の微粒子からなる金属粉末を安定的に製造できた。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係る水アトマイズ法を示した模式的な断面図である。
【図２】図１におけるノズル付近の拡大図である。
【図３】本発明に係る水アトマイズ法にて用いるノズルの１例の模式的な斜視図である。
【図４】本発明に係る水アトマイズ法にて用いるノズルの異なる１例の模式的な斜視図である。
【図５】実施例１に係るアトマイズ粉の５０００倍のＳＥＭ写真である。
【図６】実施例５に係るアトマイズ粉の５０００倍のＳＥＭ写真である。
【図７】実施例７に係るアトマイズ粉の５０００倍のＳＥＭ写真である。
【図８】実施例８に係るアトマイズ粉の５０００倍のＳＥＭ写真である。
【図９】比較例１に係るアトマイズ粉の５０００倍のＳＥＭ写真である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
まず、図面を参照しながら本発明を実施するための形態について説明する。
図１は、本発明に係る水アトマイズ法に用いる装置であって、水アトマイズ法の実施状態を示した模式的な断面図である。そして、図２は、図１に係る水アトマイズ法に用いる装置のノズル付近の拡大断面図である。
また、図３は、本発明に係る水アトマイズ法にて用いるノズルの１例（所謂、Ｖ形ジェット式）であって、水アトマイズ法の実施状態を示した模式的な斜視図である。そして、図４は、本発明に係る水アトマイズ法にて用いる、図２とは異なるノズルの１例（所謂、円錐形ジェット式）であって、水アトマイズ法の実施状態を示した模式的な斜視図である。
【００１３】
図１、２に示すように、本発明に係る水アトマイズ法に用いる装置は、坩堝１１、チャンバー２１、ノズル５１または６１を有している。
【００１４】
坩堝１１内には、本発明に係る水アトマイズ法に用いられる金属溶湯１が保持されている。金属溶湯１は、図示していない保温装置により融点以上の所定温度に保持されている。金属溶湯１は、銅、銀、亜鉛、錫、ニッケル、鉄、アルミニウム等を含む各種金属、各種合金、さらに、リン、ケイ素、ビスマス等を含む各種金属、各種合金の溶湯である。
当該坩堝１１の底部には出湯孔１２が設けられており、金属溶湯１は出湯孔１２から出湯２となって落下する。この出湯孔１２の径の値を出湯径とする。
【００１５】
坩堝１１の下方には、チャンバー２１が設置されている。チャンバー２１の上面であって、坩堝１１からの出湯２を受ける位置には、円形の穿孔部２２設けられている。そして、後述する理由により、穿孔部２２からチャンバー２１内部へ向かって整流管２３が設けられていることが好ましい。整流管２３は、穿孔部２２の径と同寸法、または若干大きな寸法の内径を有する管状部材である。
【００１６】
チャンバー２１の上面であって、坩堝１１からの出湯２を受ける位置には、さらに水ジェットを発生させるノズルが設けられる。当該ノズルは所望により多様な形状をとることが可能であるが、本明細書においては典型的な２例として、所謂、Ｖ形ジェット式ノズルと、円錐形ジェット式ノズルとを例示し、当該典型的な２例について、図３、４も参照しがら説明する。
【００１７】
図３に示すノズル５１は、２本の直管５２が並行して設けられているＶ形ジェット式ノズルである。各々の直管５２には１本以上（例えば１本）の給水口５３と、水の噴射スリット５４とが設けられている。
給水口５３から直管５２へ供給される水５は、噴射スリット５４から噴射されて水ジェット６を生成する。水ジェット６は連続した面状であることが好ましい。ここで、噴射スリット５４は、２本の直管５２から生成する水ジェット６が、穿孔部２２下方のチャンバー２１内（整流管２３内）において、断面がＶ字形で水ジェット頂角θをもって衝突する水ジェット衝突部７を形成するように、直管５２の長さ方向に沿って設けられている。そして、このとき形成される水ジェット衝突部７の有する長さを、水ジェット６のサイズｗとした。
【００１８】
図４に示すノズル６１は、円環状の曲管６２を有する円錐形ジェット式ノズルである。曲管６２には複数（例えば４本）の給水口６３が設けられ、曲管６２の内周には水の噴射スリット６４が設けられている。
また、給水口６３は円周方向に円環状の曲管６２と接続し、供給される水５は、曲管６２内を旋回させることとしても良い。
給水口６３から円環状の曲管６２へ供給される水５は、噴射スリット６４から噴射されて水ジェット６を生成する。水ジェット６は連続した面状であることが好ましい。ここで、噴射スリット６４は、曲管６２から生成する水ジェット６が、穿孔部２２下方のチャンバー２１内（整流管２３内）において、逆円錐状で水ジェット頂角θをもって衝突する水ジェット衝突部７を形成するように、曲管６２を構成する円管の弧に沿う方向で設けられている。そして、このとき水ジェット６が形成する逆円錐形における底面の径を、水ジェット６のサイズφとした。
【００１９】
ノズル５１、５２において、水５の供給量を８０〜１９０Ｌ／ｍｉｎとしたとき、水ジェット６の圧力が６０〜１８０ＭＰａとなるように、直管５２や曲管６２の径寸法、噴射スリット５４や６４のスリット幅を設定する。給水口５３や６３の数、径寸法も、水５の供給量を８０〜１９０Ｌ／ｍｉｎとしたとき、水ジェット６の圧力が６０〜１８０ＭＰａとなる範囲で設定すれば良い。穿孔部２２の径寸法、直管５２や曲管６２の径寸法や長さも、水５の供給量を８０〜１９０Ｌ／ｍｉｎとしたとき、水ジェットの、直管５２または曲管６２における入口圧力が６０〜１８０ＭＰａとなる範囲で設定すれば良い。
【００２０】
一方、坩堝１１からの出湯２は、自重によって水ジェット衝突部７に引き込まれる。そして水ジェット衝突部７において、水ジェット６により機械的衝撃と急冷とを受け、シングルミクロン級の金属微粒子であるアトマイズ粉３を生成する。生成したアトマイズ粉３は水５と一緒になってスラリー２４を形成し、チャンバー２１の底部に溜まる。
【００２１】
このとき、整流管２３は、下方への気流を効果的に生み出すと伴に、生成したアトマイズ粉３がチャンバー２１内において、不必要に拡散することを防止して、アトマイズ粉３の生産性を向上させることが出来る。当該観点から、整流管２３の長さは、チャンバー２１の上面から水ジェット衝突部７までの距離の２〜１５倍の長さがあれば良い。
【実施例】
【００２２】
次に、実施例を参照しながら本発明を、より具体的に説明する。
（実施例１）
水ジェットを発生させるノズルとして、２本の直状管を有するＶ形ジェット式のノズルを準備した。当該Ｖ形ジェット式のノズルには、水ジェットサイズｗが４０ｍｍ、水ジェット頂角θが１５°のＶ字型で、連続した面状の水ジェットになるように水の噴射スリットが設けられている。さらに、当該Ｖ形ジェット式のノズルは、７０ＭＰａの圧力で送水した際に、１００Ｌ／ｍｉｎの水量が噴出するように設計したものである。
当該Ｖ形ジェット式のノズルを、所定のチャンバー上面に設けられた円形の穿孔部上に設置した。尚、当該円形の穿孔部からチャンバー内部へ向かって、当該穿孔部と同様の径を有する整流管を設けた。当該整流管の長さは、前記Ｖ字型の水ジェットの高さの７倍の長さとした。
【００２３】
前記Ｖ形ジェット式のノズルへ７０ＭＰａの圧力で送水し、１００Ｌ／ｍｉｎの水量を噴出させて、水ジェットサイズｗが４０ｍｍ、水ジェット頂角θが１５°の水ジェットを、チャンバー内に設けられた整流管内に形成した。
【００２４】
一方、前記のチャンバー上方に設置された記坩堝内に、金属溶湯として溶湯温度１３００℃の純銅（Ｃｕ重量比１００）を準備した。
そして、当該坩堝から径２ｍｍの金属溶湯を出湯し、前記Ｖ字型の水ジェット衝突部の中央へ落下させた。
【００２５】
Ｖ字型の水ジェット衝突部の中央へ落下した金属溶湯は、水ジェットとは激しく衝突し、急激に微細化すると伴に冷却されアトマイズ粉を生成した。生成したアトマイズ粉は水ジェットを形成した水と伴にスラリーとなり、チャンバー内部に滞留した。
【００２６】
チャンバー内部に滞留した、生成したアトマイズ粉のスラリーを適宜、取り出し乾燥させて、実施例１に係るアトマイズ粉を得た。
得られたアトマイズ粉の粒径を測定したところ、１０％累積粒径（Ｄ１０）が１．５μｍ、５０％累積粒径（Ｄ５０）が４．７μｍ、９０％累積粒径（Ｄ９０）が１５．２μｍであることが判明した。
即ち、実施例１に係るアトマイズ粉は、Ｄ５０において粒径４．７μｍというシングルミクロンの金属微粒子であるアトマイズ粉であることが判明した。また、実施例１に係るアトマイズ粉は、Ｄ９０において粒径１５．２μｍである。
従って、実施例１によれば、分級操作をすることなくシングルミクロン級の金属微粒子であるアトマイズ粉を得られることが判明した。
実施例１に係るアトマイズ粉の５０００倍のＳＥＭ写真を、図５に示す。
【００２７】
一方、実施例１に係るアトマイズ粉のＢＥＴ値を測定したところ０．２５ｍ２／ｇであり、ＴＡＰ密度を測定したところ４．８ｇ／ｃｍ３であることが判明した。酸素含有量は０．４３質量％であった。
以上の条件および結果を表１に示す。
【００２８】
尚、実施例１において累積粒度分布は、レーザー回折式粒度分布装置（ＳＹＭＰＡＴＥＣ社製のヘロス粒度分布測定装置（ＨＥＬＯＳ＆ＲＯＤＯＳ））により測定し、累積１０％粒子径（Ｄ１０）、累積５０％粒子径（Ｄ５０）、累積９０％粒子径（Ｄ９０）を求めた。
また、ＢＥＴ比表面積は、ＢＥＴ比表面積測定装置（ユアサイオニクス株式会社製  ４ソーブＵＳ）を用いてＢＥＴ法により求めた。
さらに、ＴＡＰ密度は、所定のホルダーに測定対象の粉体を充填して粉体層を形成し、当該粉体層へ、０．１４Ｎ／ｍ２以上、０．１８Ｎ／ｍ２以下の圧力を加えた後、粉体層の高さを測定し、当該粉体層の高さの測定値と、充填された粉体の重量とから測定対象の粉体の密度を求めた（詳細は、特開２００７−２６３８６０号公報参照。）。
以下の実施例、比較例においても同様である。
【００２９】
（実施例２）
前記Ｖ形ジェット式のノズルを、１５０ＭＰａの圧力で送水した際に、１００Ｌ／ｍｉｎの水量が噴出するように設計し、当該Ｖ形ジェット式のノズルへ１５０ＭＰａの圧力で送水し、１００Ｌ／ｍｉｎの水量を噴出させた以外は、実施例１と同様の操作を行って実施例２に係るアトマイズ粉を得た。
得られた実施例２に係るアトマイズ粉に対し、実施例１と同様の測定を行った。
【００３０】
（実施例３）
前記溶湯温度を１１００℃とし、出湯径を４ｍｍとした以外は、実施例２と同様の操作を行って実施例３に係るアトマイズ粉を得た。
得られた実施例３に係るアトマイズ粉に対し、実施例１と同様の測定を行った。
【００３１】
（実施例４）
前記水ジェット頂角θを２０°とした以外は、実施例２と同様の操作を行って実施例４に係るアトマイズ粉を得た。
得られた実施例４に係るアトマイズ粉に対し、実施例１と同様の測定を行った。
【００３２】
（実施例５）
水ジェットを発生させるノズルとして、円環状の曲管を有する円錐形ジェット式のノズルを準備した。当該円錐形ジェット式のノズルには、水ジェットサイズφが６０ｍｍ、水ジェット頂角θが２０°の逆円錐型で、連続した面状の水ジェットになるように水の噴射スリットが設けられている。さらに、当該円錐形ジェット式のノズルは、７０ＭＰａの圧力で送水した際に、１６０Ｌ／ｍｉｎの水量が噴出するように設計したものである。
当該円錐形ジェット式のノズルを、所定のチャンバー上面に設けられた円形の穿孔部上に設置した。尚、当該円形の穿孔部からチャンバー内部へ向かって、当該穿孔部と同様の径を有する整流管を設けた。当該整流管の長さは、前記逆円錐型の水ジェットの高さの６倍の長さとした。
【００３３】
前記円錐形ジェット式のノズルへ７０ＭＰａの圧力で送水し、１６０Ｌ／ｍｉｎの水量を噴出させて、水ジェットサイズφが６０ｍｍ、水ジェット頂角θが２０°の水ジェットを、チャンバー内に設けられた整流管内に形成した。
【００３４】
一方、前記のチャンバー上方に設置された記坩堝内に、金属溶湯として溶湯温度１２００℃の純銅（Ｃｕ重量比１００）を準備した。
そして、当該坩堝から径２ｍｍの金属溶湯を出湯し、前記逆円錐型の水ジェット衝突部の頂点へ落下させた。
【００３５】
逆円錐型の水ジェット衝突部の頂点へ落下した金属溶湯は、水ジェットとは激しく衝突し、急激に微細化すると伴に冷却されアトマイズ粉を生成した。生成したアトマイズ粉は水ジェットを形成した水と伴にスラリーとなり、チャンバー内部に滞留した。
【００３６】
チャンバー内部に滞留した、生成したアトマイズ粉のスラリーを適宜、取り出し乾燥させて、実施例５に係るアトマイズ粉を得た。
実施例５に係るアトマイズ粉の５０００倍のＳＥＭ写真を、図６に示す。
得られた実施例５に係るアトマイズ粉に対し、実施例１と同様の測定を行った。
【００３７】
（実施例６）
前記円錐形ジェット式のノズルを、１５０ＭＰａの圧力で送水した際に、１６０Ｌ／ｍｉｎの水量が、水ジェット頂角θが２５°の逆円錐型の水ジェットになって噴出するように設計した。当該直状管式のノズルへ１５０ＭＰａの圧力で送水、１６０Ｌ／ｍｉｎの水量を、水ジェット頂角θが２５°の逆円錐型の水ジェットとして噴出させた以外は、実施例５と同様の操作を行って実施例６に係るアトマイズ粉を得た。
得られた実施例６に係るアトマイズ粉に対し、実施例１と同様の測定を行った。
【００３８】
（実施例７）
前記円錐形ジェット式のノズルを、１５０ＭＰａの圧力で送水した際に、１６０Ｌ／ｍｉｎの水量が、水ジェット頂角θが２０°の逆円錐型の水ジェットになって噴出するように設計した。当該円錐形ジェット式のノズルへ１５０ＭＰａの圧力で送水、１６０Ｌ／ｍｉｎの水量を、水ジェット頂角θが２０°の逆円錐型の水ジェットとして噴出させた。そこへ、温度１６００℃の溶湯を出湯した以外は、実施例５と同様の操作を行って実施例７に係るアトマイズ粉を得た。
実施例７に係るアトマイズ粉の５０００倍のＳＥＭ写真を、図７に示す。
得られた実施例７に係るアトマイズ粉に対し、実施例１と同様の測定を行った。
【００３９】
（実施例８）
銅９５重量部、亜鉛５重量部からなる合金を１２００℃の溶湯として用いる以外は、実施例７と同様の操作を行って実施例８に係るアトマイズ粉を得た。
実施例８に係るアトマイズ粉の５０００倍のＳＥＭ写真を、図８に示す。
得られた実施例８に係るアトマイズ粉に対し、実施例１と同様の測定を行った。
【００４０】
（実施例９）
銅８５重量部、ニッケル５重量部、亜鉛１０重量部からなる合金を溶湯として用いる以外は、実施例８と同様の操作を行って実施例９に係るアトマイズ粉を得た。
得られた実施例９に係るアトマイズ粉に対し、実施例１と同様の測定を行った。
【００４１】
（比較例１）
前記Ｖ形ジェット式のノズルを、３０ＭＰａの圧力で送水した際に、１００Ｌ／ｍｉｎの水量が噴出するように設計し、当該Ｖ形ジェット式のノズルへ３０ＭＰａの圧力で送水し、１００Ｌ／ｍｉｎの水量を噴出させた以外は、実施例１と同様の操作を行って比較例１に係るアトマイズ粉を得た。
比較例１に係るアトマイズ粉の５０００倍のＳＥＭ写真を、図９に示す。
得られた比較例１に係るアトマイズ粉に対し、実施例１と同様の測定を行った。
【００４２】
【表１】
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【００４３】
（まとめ）
実施例１〜９に係るアトマイズ粉の累積粒径Ｄ５０は１．７〜５．５μｍ、Ｄ９０は４．５〜１７．７μｍであることが判明した。即ち、本発明に係る水アトマイズ法による金属粉末の製造方法によれば、分級操作を行うまでもなくシングルミクロンに準じる所謂シングルミクロン級の金属粉末を製造出来ることが判明した。また、当該累積粒径Ｄ５０、Ｄ９０の結果は、分級操作を行うことで高い生産性をもってシングルミクロンの金属粉末を製造出来ることが判明した。
【００４４】
これに対し、水ジェットの圧力が低い比較例１に係るアトマイズ粉の累積粒径Ｄ５０は２６．２μｍ、Ｄ９０は１８１μｍであることが判明した。即ち、水ジェットの圧力が６０ＭＰａ未満である３０ＭＰａと低い場合、分級操作を行うことなく所謂シングルミクロン級の金属粉末を製造することは、困難であることが判明した。さらに比較例１に係るアトマイズ粉へ分級操作を行ってシングルミクロンの金属粉末を製造しようとしても、その生産性は、実施例に係るアトマイズ粉へ分級操作を行ってシングルミクロンの金属粉末を製造しようとするのに比較して、はるかに低いものであると考えられる。
【００４５】
次に、ＢＥＴ値の観点から実施例１〜９に係るアトマイズ粉を見てみると、０．２０〜０．６６ｍ２／ｇの値であることが判明した。ここで、上述した実施例１〜９に係るアトマイズ粉の累積粒径の値を考えると、実施例１〜９に係るアトマイズ粉の表面状態は、ほぼ同様の状態であるものが製造出来ていると考えられる。
当該考察は、実施例１〜９に係るアトマイズ粉のＴＡＰ密度が４．２〜５．０ｇ／ｃｍ３の間にあることからも裏付けられると考えられる。
【００４６】
また、酸素含有量の観点から実施例１〜９に係るアトマイズ粉を見てみると、０．２４〜０．６７質量％の値であることが判明した。そして累積粒径の値の小さなものの方が、酸素含有量が大きくなる傾向も見られた。しかしながら、水ジェットの圧力が低い比較例１に係るアトマイズ粉の酸素含有量の値が０．４２質量％であることを考えると、水ジェットの圧力を上げたことによる、新たな問題は見出せなかった。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明は、シングルミクロン級の微粒子からなる金属粉末を、高い生産性をもって安定的に製造しようとすることに有益である。
【符号の説明】
【００４８】
１：金属溶湯
２：出湯
３：アトマイズ粉
５：水
６：水ジェット
７：水ジェット衝突部
１１：坩堝
１２：出湯孔
２１：チャンバー
２２：穿孔部
２３：整流管
２４：スラリー
５１：ノズル（Ｖ形ジェット式）
５２：直管
５３：給水口
５４：噴射スリット
６１：ノズル（円錐形ジェット式）
６２：曲管
６３：給水口
６４：噴射スリット
θ：水ジェット頂角
ｗ：水ジェットのサイズ（水ジェットが形成するＶ字型の衝突部の幅）
φ：水ジェットのサイズ（水ジェットが形成する逆円錐形における底面の径）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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