(57)【要約】      （修正有）【課題】測定誤差の校正作業が容易であり且つ、測定対象物の厚さの測定誤差の低減を可能とした厚さ計測装置の厚さ計測方法を提供する。【解決手段】実施形態の厚さ計測方法は、第１の距離計又は第２の距離計を用いて、測定対象物の通過前の第１の距離計と第２の距離計との距離である第１の距離を測定するステップと、前記測定対象物の通過時の第１の距離計と測定対象物の第１の距離計との距離である第２の距離と、第２の距離計と測定対象物の第２の距離計との距離である第３の距離とを測定するステップと、測定対象物の通過後の第１の距離計と第２の距離計との距離である第４の距離を測定するステップと、第１の距離又は第４の距離と、第２の距離と、第３の距離とに基づいて求めた測定対象物の厚さの値を、第１の距離と第４の距離との差に基づいて補正するステップとを有する。【選択図】図１
2016133349.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送される測定対象物を挟んで一方の側に設けられた第１の距離計と、他方の側に設けられた第２の距離計とを有し、前記第１の距離計と前記第２の距離計との間を通過する前記測定対象物の厚さを測定する厚さ計測装置において、
前記第１の距離計又は前記第２の距離計を用いて、前記測定対象物の通過前の前記第１の距離計と前記第２の距離計との距離である第１の距離を測定する第１のステップと、
前記第１の距離計及び前記第２の距離計を用いて、前記測定対象物の通過時の前記第１の距離計と前記測定対象物の前記第１の距離計と対向する面との距離である第２の距離と、前記第２の距離計と前記測定対象物の前記第２の距離計と対向する面との距離である第３の距離とを測定する第２のステップと、
前記第１の距離計又は前記第２の距離計を用いて、前記測定対象物の通過後の前記第１の距離計と前記第２の距離計との距離である第４の距離を測定する第３のステップと、
前記第１の距離又は前記第４の距離と、前記第２の距離と、前記第３の距離とに基づいて求めた前記測定対象物の厚さの値を、前記第１の距離と前記第４の距離との差に基づいて補正する第４のステップと、
を有する厚さ計測方法。
【請求項２】
搬送される測定対象物を挟んで一方の側に設けられた第１の距離計及び第１の距離計と測定対象物の搬送方向と直交する方向に所定の距離離間した位置に設けられた第３の距離計と、他方の側に前記第１の距離計と対向して設けられた第２の距離計及び第１の距離計と測定対象物の搬送方向と直交する方向に所定の距離離間した位置に設けられた第４の距離計とを有し、前記第１の距離計および第３の距離計と、前記第２の距離計および第４の距離計との間を通過する前記測定対象物の厚さを、搬送方向と直交する複数の位置で測定する厚さ計測装置において、
前記第１の距離計又は前記第２の距離計を用いて、前記測定対象物の通過前の前記第１の距離計と前記第２の距離計との距離である第１の距離、および前記第３の距離計又は前記第４の距離計を用いて、前記測定対象物の通過前の前記第３の距離計と前記第４の距離計との距離である第５の距離を測定する第１のステップと、
前記第１の距離計及び前記第２の距離計を用いて、前記測定対象物の通過時の前記第１の距離計と前記測定対象物の前記第１の距離計と対向する面との距離である第２の距離と、前記第２の距離計と前記測定対象物の前記第２の距離計と対向する面との距離である第３の距離及び、前記第３の距離計及び前記第４の距離計を用いて、前記測定対象物の通過時の前記第３の距離計と前記測定対象物の前記第３の距離計と対向する面との距離である第６の距離と、前記第４の距離計と前記測定対象物の前記第４の距離計と対向する面との距離である第７の距離を測定する第２のステップと、
前記第１の距離計又は前記第２の距離計を用いて、前記測定対象物の通過後の前記第１の距離計と前記第２の距離計との距離である第４の距離、および前記第３の距離計又は前記第４の距離計を用いて、前記測定対象物の通過後の前記第３の距離計と前記第４の距離計との距離である第８の距離を測定する第３のステップと、
前記第１の距離又は前記第４の距離と、前記第２の距離と、前記第３の距離とに基づいて求めた前記測定対象物の厚さの値を、前記第１の距離と前記第４の距離との差に基づいて補正するとともに、前記第５の距離又は前記第８の距離と、前記第６の距離と、前記第７の距離とに基づいて求めた前記測定対象物の厚さの値を、前記第５の距離と前記第８の距離との差に基づいて補正する第４のステップと、
を有する厚さ計測方法。
【請求項３】
前記第２のステップは、前記第１の距離計と前記第２の距離計が測定対象物の通過時において、前記第２の距離および前記第３の距離を連続して測定し、
前記第４のステップは、前記第１の距離又は前記第４の距離と、前記連続して測定した前記第２の距離および前記第３の距離に基づいて求めた前記測定対象物の厚さの値を、前記第１の距離と前記第４の距離との差の、前記第２の距離および前記第３の距離の測定開始から測定終了までの測定時間に係る関数式に基づいて連続的に補正する、
請求項１または請求項２に記載の厚さ計測方法。
【請求項４】
前記測定時間に係る関数式は一次関数式である、
請求項３に記載の厚さ計測方法。
【請求項５】
前記第１の距離計または第２の距離計の少なくとも一方の距離計は複数の波長からなるレーザ光を前記測定対象物に照射する照射部と、前記測定対象物から反射した複数の波長からなるレーザ光を受光する受光部とからなり、前記受光部は前記複数の波長からなるレーザ光の干渉による、光量の強さによって距離を測定する、
請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の厚さ計測方法。
【請求項６】
前記第１の距離計および第２の距離計は屋内の内壁に配置されている、請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の厚さ計測方法。
【請求項７】
搬送される測定対象物を挟んで一方の側に設けられた第１の距離計と、他方の側に設けられた第２の距離計とを有し、前記第１の距離計と前記第２の距離計との間を通過する前記測定対象物の厚さを測定する厚さ計測装置において、
前記第１の距離計又は前記第２の距離計を用いて、前記測定対象物の通過前の前記第１の距離計と前記第２の距離計との距離である第１の距離を測定し、
前記第１の距離計及び前記第２の距離計を用いて、前記測定対象物の通過時の前記第１の距離計と前記測定対象物の前記第１の距離計と対向する面との距離である第２の距離と、前記第２の距離計と前記測定対象物の前記第２の距離計と対向する面との距離である第３の距離とを測定し、
前記第１の距離計又は前記第２の距離計を用いて、前記測定対象物の通過後の前記第１の距離計と前記第２の距離計との距離である第４の距離を測定し、
前記第１の距離又は前記第４の距離と、前記第２の距離と、前記第３の距離とに基づいて求めた前記測定対象物の厚さの値を、前記第１の距離と前記第４の距離との差に基づいて補正する、
厚さ計測方法を用いた厚さ計測装置。
【請求項８】
搬送される測定対象物を挟んで一方の側に設けられた第１の距離計と、
搬送される前記測定対象物を挟んで他方の側に設けられた第２の距離計と、
前記第１の距離計又は前記第２の距離計を用いて、前記測定対象物の通過前の前記第１の距離計と前記第２の距離計との距離である第１の距離を測定する第１の測定手段と、
前記第１の距離計を用いて、前記測定対象物の通過時の前記第１の距離計と前記測定対象物の前記第１の距離計と対向する面との距離である第２の距離を測定する第２の測定手段と、
前記第２の距離計を用いて、前記測定対象物の通過時の前記第２の距離計と前記測定対象物の前記第２の距離計と対向する面との距離である第３の距離を測定する第３の測定手段と、
前記第１の距離計又は前記第２の距離計を用いて、前記測定対象物の通過後の前記第１の距離計と前記第２の距離計との距離である第４の距離を測定する第４の測定手段と、
前記第１の測定手段で測定した第１の距離又は前記第４の測定手段で測定した第４の距離と、前記第２の測定手段で測定した第２の距離と、前記第３の測定手段で測定した第３の距離とに基づいて求めた前記測定対象物の厚さの値を、前記第１の測定手段で測定した第１の距離と前記第４の測定手段で測定した第４の距離との差に基づいて補正する補正手段と、
を有する厚さ計測装置。
【請求項９】
前記第１の距離計と測定対象物の搬送方向と直交する方向に所定の距離離間した位置に設けられた第３の距離計と、
前記第２の距離計と測定対象物の搬送方向と直交する方向に所定の距離離間した位置に設けられた第４の距離計と、
前記第３の距離計又は前記第４の距離計を用いて、前記測定対象物の通過前の前記第３の距離計と前記第４の距離計との距離である第５の距離を測定する第５の測定手段と、
前記第３の距離計を用いて、前記測定対象物の通過時の前記第３の距離計と前記測定対象物の前記第３の距離計と対向する面との距離である第６の距離を測定する第６の測定手段と、
前記第４の距離計を用いて、前記測定対象物の通過時の前記第４の距離計と前記測定対象物の前記第４の距離計と対向する面との距離である第７の距離を測定する第７の測定手段と、
前記第３の距離計又は前記第４の距離計を用いて、前記測定対象物の通過後の前記第３の距離計と前記第４の距離計との距離である第８の距離を測定する第８の測定手段と、をさらに有し、
前記補正手段は、前記第５の測定手段で測定した第５の距離又は前記第８の測定手段で測定した第８の距離と、前記第６の測定手段で測定した第６の距離と、前記第７の測定手段で測定した第７の距離とに基づいて求めた前記測定対象物の厚さの値を、前記第５の測定手段で測定した第５の距離と前記第８の測定手段で測定した第８の距離との差に基づいて補正する、
請求項８記載の厚さ計測装置。
【請求項１０】
前記第２の測定手段は、前記第１の距離計が測定対象物の通過時において、前記第２の距離を連続して測定をし、
前記第３の測定手段は、前記第２の距離計が測定対象物の通過時において、前記第３の距離を連続して測定をし、
前記補正手段は、前記第１の距離又は前記第４の距離と、前記連続して測定した前記第２の距離および前記第３の距離に基づいて求めた前記測定対象物の厚さの値を、前記第１の距離と前記第４の距離との差の、前記第２の距離および前記第３の距離の測定開始から測定終了までの測定時間に係る関数式に基づいて連続的に補正する、
請求項８または請求項９に記載の厚さ計測装置。
【請求項１１】
前記測定時間に係る関数式は一次関数式である、
請求項１０に記載の厚さ計測装置。
【請求項１２】
前記第１の距離計または第２の距離計の少なくとも一方の距離計は複数の波長からなるレーザ光を前記測定対象物に照射する照射部と、前記測定対象物から反射した複数の波長からなるレーザ光を受光する受光部とからなり、前記第１の測定手段又は前記第４の測定手段は前記受光部で受光した前記複数の波長からなるレーザ光の干渉による、光量の強さによって距離を測定する、
請求項８乃至請求項１１のいずれか１項に記載の厚さ計測装置。
【請求項１３】
前記第１の距離計および第２の距離計は屋内の内壁に配置されている、請求項８乃至請求項１２のいずれか１項に記載の厚さ計測装置。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、厚さ計測方法および厚さ計測装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、板状の測定物の厚さを連続的に非接触で測定する装置としてＣ型のフレームの上下に距離計を備えた厚さ計測装置がある。測定対象物の厚さは、Ｃ型フレームの上部の距離計から測定対象物までの距離と、下部の距離計から測定対象物までの距離とを測定し、上部の距離計と下部の距離計との間の距離からこれらの測定値を差分して算出する。
【０００３】
しかしながら、従来はＣ型フレームが外気の温度変化などで歪んだ場合などは上部の距離計と下部の距離計との距離の変動等の影響により、測定誤差が生じ、測定対象物の厚さを正確に算出することができないという課題があった。これに対して、Ｃ型フレームの下に車輪を設け、Ｃ型フレームに歪みが認められる場合に、厚さ計測装置を測定対象物の板厚を測定する位置から移動させ、測定対象物が上部の距離計と下部の距離計の間に無い状態にした後、上部の距離計から下部の距離計までの距離を測定し直し、測定誤差の校正を行うものがあった。
【０００４】
従来の厚さ計測装置では既知の厚さの板を実測したときの誤差を求め、この誤差分を測定対象物の板厚の測定値に補正値として与えていたが、測定誤差の校正作業が煩雑であること、Ｃ型フレームの歪の変化への対応が困難であるという課題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−２２７７０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明が解決しようとする課題は、測定誤差の校正作業が容易であり、測定対象物の厚さの測定誤差の低減を可能とした厚さ計測装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、実施形態の厚さ計測方法は、搬送される測定対象物を挟んで一方の側に設けられた第１の距離計と、他方の側に設けられた第２の距離計とを有し、前記第１の距離計と前記第２の距離計との間を通過する前記測定対象物の厚さを測定する厚さ計測装置において、前記第１の距離計又は前記第２の距離計を用いて、前記測定対象物の通過前の前記第１の距離計と前記第２の距離計との距離である第１の距離を測定する第１のステップと、前記第１の距離計及び前記第２の距離計を用いて、前記測定対象物の通過時の前記第１の距離計と前記測定対象物の前記第１の距離計と対向する面との距離である第２の距離と、前記第２の距離計と前記測定対象物の前記第２の距離計と対向する面との距離である第３の距離とを測定する第２のステップと、前記第１の距離計又は前記第２の距離計を用いて、前記測定対象物の通過後の前記第１の距離計と前記第２の距離計との距離である第４の距離を測定する第３のステップと、前記第１の距離又は前記第４の距離と、前記第２の距離と、前記第３の距離とに基づいて求めた前記測定対象物の厚さの値を、前記第１の距離と前記第４の距離との差に基づいて補正する第４のステップとを有する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の第１の実施形態の厚さ計測方法の装置の構成図。
【図２】第１の実施形態の上側距離計と下側距離計との構成図。
【図３】第１の実施形態の距離計と測定対象物との距離の測定方法の図。
【図４】第１の実施形態の上側距離計の構成図の一例。
【図５】第１の実施形態の計測方法のブロック図。
【図６】第１の実施形態の厚さ計測方法のフローチャート。
【図７】第１の実施形態の厚さ計測方法のフローチャートの変形例。
【図８】第１の実施形態による測定値および、測定対象物の板厚の算出値。
【図９】光コム発生器の構成図。
【図１０】第２の実施形態の上側距離計と下側距離計との構成図。
【図１１】コーナーキューブにおける入射光と反射光との特性図。
【図１２】第２の実施形態の距離計と測定対象物との距離の測定方法の図。
【図１３】第３の実施形態の上側距離計と下側距離計との構成図。
【図１４】第３の実施形態の距離計と測定対象物との距離の測定方法の図。
【図１５】第４の実施形態の上側距離計と下側距離計との構成図。
【図１６】第４の実施形態の下側距離計の構成図の一例。
【図１７】第５の実施形態の上側距離計と下側距離計との構成図。
【図１８】第６の実施形態の上側距離計と下側距離計との構成図。
【図１９】第７の実施形態の厚さ計測方法の装置の構成図。
【図２０】Ｏ型フレームを用いた第１の実施形態乃至第７の実施形態の厚さ計測装置の構成図。
【図２１】フレーム無しの構造を用いた第１の実施形態乃至第７の実施形態の厚さ計測装置の構成図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、厚さ計測方法および厚さ計測装置の実施形態を図面に基づき説明する。
【００１０】
（第１の実施形態）
図１は第１の実施形態の厚さ計測装置の図である。本実施形態は図１（ａ）のように、上側のフレームと下側のフレームと支柱１ａとからなるＣ型形状のＣ型フレーム１を有し、このＣ型フレーム１の上下に対向するように上側距離計２Ａと下側距離計２Ｂとを備えている。図１（ｂ）は厚さ計測装置のＣ型フレーム１の内側の測定位置に搬送される測定対象物３が通過時の図である。本実施形態の厚さ計測装置は、上側距離計２Ａと下側距離計２Ｂとの間にある測定対象物３の厚さｔｈを、レーザ光を用いて非接触で測定するものである。測定対象物３は一例として鋼板等であり、本実施形態の厚さ計測装置は測定対象物３の板厚ｔｈを測定するものである。
【００１１】
Ｃ型フレーム１の開口から支柱１ａへの方向をＸ軸とする。レーザ光の照射方向をＹ軸とする。測定対象物３は上側距離計２Ａと下側距離計２Ｂとの間を、上記Ｘ軸およびＹ軸と直交する方向（Ｚ軸方向）に搬送される。図１（ｃ）は厚さ計測装置から測定対象物３が通過した後の図である。測定対象物３が通過する前の上側距離計２Ａと下側距離計２Ｂとの間隔を上下距離計間隔Ｄｓとする。また、測定対象物３が通過した後の上側距離計２Ａと下側距離計２Ｂとの間隔を上下距離計間隔Ｄｅとする。上側距離計２Ａは、上側距離計２Ａと、測定対象物３の上側距離計２Ａと対向する面３ａとの上側距離ｄｔを測定する。下側距離計２Ｂは、下側距離計２Ｂと、測定対象物３の下側距離計２Ｂと対向する面３ｂとの下側距離ｄｂを測定する。
【００１２】
図２は上側距離計２Ａと下側距離計２Ｂのそれぞれの構成図である。上側距離計２Ａにはレーザ照射部４Ａとレーザ受光部５Ａとを備えている。下側距離計２Ｂにはレーザ照射部４Ｂとレーザ受光部５Ｂとを備えている。以下、レーザ照射部とはレーザ光を照射する装置であり、レーザ受光部とはレーザ光を受光する装置のことである。
【００１３】
本実施形態の厚さ計測装置は測定対象物３が通過する前に、レーザ照射部４Ａから下側距離計２Ｂにレーザ光が照射される。下側距離計２Ｂで反射されたレーザ光はレーザ受光部５Ａに受光される。ここで、上下距離計間隔Ｄｓの算出は例えば、レーザ照射角度（直角）と、レーザ光の受光角度θ０と、レーザ照射部４Ａとレーザ受光部５Ａとの距離ｄ１とから三角測量法により導出される。
【００１４】
ここで、レーザ照射部４Ｂはレーザ照射部４Ａと対向する位置に配置されている。レーザ照射部４Ａからのレーザ光を反射させるため、レーザ照射部４Ｂはレーザ照射部４ＡからＸ軸方向にずらして配置しても良い。また、下側距離計２Ｂの反射点付近にレーザ光の反射率を高めるコーティング部材を設けても良い。
【００１５】
図３は本実施形態の厚さ計測装置に測定対象物３が通過しているときの上側距離ｄｔと下側距離ｄｂとの測定方法の図である。上下距離計間隔Ｄｓを測定した後、測定対象物３を厚さ計測装置の上側距離計２Ａと下側距離計２Ｂとの間の測定位置にＺ軸方向に搬送させる。
【００１６】
レーザ照射部４Ａは測定対象物３へレーザ光を照射する。照射されたレーザ光は測定対象物３の上側距離計２Ａと対向する面３ａにて反射される。反射されたレーザ光はレーザ受光部５Ａに受光される。
【００１７】
上側距離計２Ａと同様に、下側距離計２Ｂは測定対象物３が搬送されると、レーザ照射部４Ｂから測定対象物３へレーザ光を照射する。照射されたレーザ光は測定対象物３の下側距離計２Ｂと対向する面３ｂにて反射される。反射されたレーザ光はレーザ受光部５Ｂに受光される。レーザ受光部５Ａ、および５ＢはＣＣＤカメラ等である。ここで、上側距離ｄｔの算出は例えば、レーザ照射角度（直角）と、レーザ光の受光角度θ１と、レーザ照射部４Ａとレーザ受光部５Ａとの距離ｄ１とから三角測量法により導出される。同様に下側距離ｄｂの算出は例えば、レーザ照射角度（直角）と、レーザ光の受光角度θ２と、レーザ照射部４Ｂとレーザ受光部５Ｂとの距離ｄ２とから三角測量法により導出される。
【００１８】
測定対象物３が通過した後は再度上側距離計２Ａが、測定対象物３が通過する直前の上下距離計間隔Ｄｓの測定と同様に、測定対象物３が通過した後の上下距離計間隔Ｄｅを測定する。
【００１９】
ここで、レーザ受光部５Ａは下側距離計２Ｂからの反射光と測定対象物３からの反射光を受光するので、レーザ受光部５Ａは下側距離計２Ｂからの反射光を受光する場合と測定対象物３からの反射光を受光する場合とで、角度を調整して上下距離計間隔ＤｓおよびＤｅと、上側距離ｄｔとを測定する。また、角度の調整以外の方法として、レーザ受光部５Ａには視野角の広いＣＣＤカメラを用いることで、角度を固定して上下距離計間隔ＤｓおよびＤｅと、上側距離ｄｔとを測定しても良い。
【００２０】
また、第１の実施形態の変形例として、図４のようにレーザ受光部を２つ設け、上下距離計間隔ＤｓおよびＤｅを測定するためのレーザ光を受光するレーザ受光部５Ａ’と、上側距離ｄｔを測定するためのレーザ光を受光するレーザ受光部５Ａとを分けても良い。レーザ受光部５Ａのみのときは、上下距離計間隔ＤｓおよびＤｅと上側距離ｄｔとの測定とでレーザ受光部５Ａの角度を調整するか、レーザ受光部５Ａに視野角の広いＣＣＤカメラを用いる必要があるが、レーザ受光部５Ａと５Ａ’とに分けることで、レーザ受光部５Ａの角度の調整の手間を省くことができ、またレーザ受光部５Ａに視野角の広いＣＣＤカメラを用いる必要も無い。
【００２１】
測定対象物３の板厚ｔｈは上下距離計間隔Ｄｓと、上側距離ｄｔと、下側距離ｄｂとから以下の式より算出される。
【００２２】
ｔｈ＝Ｄｓ−ｄｔ−ｄｂ  ……式（１）
ここで、測定対象物３の板厚ｔｈを測定する際、厚さ計測装置には、Ｚ軸方向に所定の長さを有する測定対象物３を、Ｚ軸方向に所定の間隔を空けた状態で間欠的に搬送する。厚さ計測装置は、複数の測定対象物３の板厚ｔｈを搬送してくる順に順次算出する。
【００２３】
本実施形態の厚さ計測装置は、測定対象物３の板厚ｔｈを測定する前後、即ち、測定対象物３が通過する前後において、通過前の上下距離計間隔Ｄｓおよび通過後の上下距離計間隔Ｄｅを測定し、通過前の上下距離計間隔Ｄｓと通過後の上下距離計間隔Ｄｅの差分に基づいて補正する。なお、上記式（１）で通過前の上下距離計間隔Ｄｓを用いたが、通過後の上下距離計間隔Ｄｅであっても良い。
【００２４】
図５は第１の実施形態の計測方法のブロック図である。上側距離計２Ａは、測定対象物３の通過前の上下距離計間隔Ｄｓおよび通過後の上下距離計間隔Ｄｅと、通過中の上側距離ｄｔとを測定する。下側距離計２Ｂは測定対象物３が通過中の下側距離ｄｂを測定する。測定部２Ｃは上側距離計２Ａおよび下側距離計２Ｂの測定から、測定対象物３の通過前の上下距離計間隔Ｄｓおよび通過後の上下距離計間隔Ｄｅと、上側距離ｄｔと下側距離ｄｂの測定値を導出し、上記式（１）により測定対象物３の板厚ｔｈを算出する機構である。補正部２Ｄは測定部２Ｃにて算出された板厚ｔｈに、測定対象物３の通過前の上下距離計間隔Ｄｓと通過後の上下距離計間隔Ｄｅの差分に基づいて補正する機構である。測定部２Ｃと補正部２ＤはＣ型フレーム１に内在していても良く、またＣ型フレーム１とは個別の筐体に存しても良い。
【００２５】
図６は本実施形態の厚さ計測装置の厚さ計測方法のフローチャートである。測定対象物３が厚さ計測装置に通過する前に上側距離計２Ａが上下距離計間隔Ｄｓを測定する（ステップＳ１）。その後、厚さ計測装置に測定対象物３の搬送が開始される（ステップＳ２）。測定対象物３が厚さ計測装置に搬送され、上側距離計２Ａと下側距離計２Ｂとの間を通過するとき、上側距離計２Ａによる上側距離ｄｔの測定を連続して行い、同時に下側距離計２Ｂによる下側距離ｄｂの測定を連続して行う（ステップＳ３）。連続した上側距離ｄｔと下側距離ｄｂとの測定は、複数の点をサンプリングすることも含む。厚さ計測装置から測定対象物３の通過後（ステップＳ４）、上側距離計２Ａによる上下距離計間隔Ｄｅの測定を行う（ステップＳ５）。その後、測定対象物３の板厚ｔｈを式（１）により算出し、上下距離計間隔Ｄｓと上下距離計間隔Ｄｅとの差分による補正値を算出し、測定対象物３の板厚ｔｈを補正する（ステップＳ６）。後続の測定対象物３が存在しない場合は（ステップＳ７のＮＯ）、厚さ計測装置による厚さの計測を終了させる。後続の測定対象物３が存在する場合は（ステップＳ７のＹＥＳ）、次の測定対象物３が厚さ計測装置に搬送される前に、上側距離計２Ａが上下距離計間隔Ｄｓを測定する（ステップＳ１）。
【００２６】
また、本実施形態の厚さ計測方法は図７のようなフローチャートとすることもできる。図７は本実施形態の厚さ計測方法のフローチャートの変形例である。ステップＳ１からステップＳ６までは図６のフローチャートと同様のため、詳細な説明を省略する。先の測定対象物３の通過後に後続の測定対象物３が存在する場合（ステップＳ７のＹＥＳ）、先の測定対象物３と後続の測定対象物３の搬送される間隔が短い場合、この間のＣ型フレーム１の変形は小さい。このため、ステップＳ５で求めた上下距離計間隔Ｄｅを、次の測定対象物３の板厚ｔｈを求めるための上下距離計間隔Ｄｓとして適用しても良い（ステップＳ８）。
【００２７】
図８は測定時間をＴとしたときの本実施形態の厚さ計測方法により測定される、測定時間ｔごとの各種距離の測定値（ｄｔ、ｄｂ）および、算出される測定対象物３の板厚ｔｈの算出値を示す図である。測定時間Ｔについて通過開始から通過終了まで（即ち、上側距離計２Ａと下側距離計２Ｂとの間を測定対象物３が通過する時間）は一般に２分から３０分程度とされている。ただし、この測定時間Ｔは測定対象物３の長さによって決まる。このため、本実施形態の厚さ計測方法においては測定時間Ｔの範囲については限定しない。
【００２８】
測定対象物３の先端が厚さ計測装置に入る直前（通過前）の上下距離計間隔はＤｓである。測定対象物３の後端が厚さ計測装置から出た直後（通過後）の上下距離計間隔はＤｅである。図８（ａ）は通過直前の上下距離計間隔Ｄｓと、通過中の上側距離ｄｔと、下側距離ｄｂと、通過直後の上下距離計間隔Ｄｅとの測定値の例である。通過直前から通過直後までの間に、Ｃ型フレーム１が変形し、上側距離計２Ａから下側距離計２Ｂまでの距離はＤｓからＤｅに変化したとする。図８（ａ）では通過直前の上下距離計間隔Ｄｓは通過直後の上下距離計間隔Ｄｅと比較して大きい値としているが小さい値でも良い。
【００２９】
図８（ｂ）は通過直前から通過直後までの測定時間をＴとし、通過直前の上下距離計間隔Ｄｓと通過直後の上下距離計間隔Ｄｅとの変化について時間ｔの関数式として表したときの板厚ｔｈの算出値の例である。測定対象物３の先端から後端までの板厚ｔｈが本実施形態の厚さ計測方法の算出結果となる。
【００３０】
通過直前の上下距離計間隔Ｄｓと通過直後の上下距離計間隔Ｄｅとの変化が時間ｔの１次関数によって表されるとしたとき、測定対象物３の板厚ｔｈは以下の式（２）により算出される。
【００３１】
ｔｈ＝Ｄｓ−ｄｔ−ｄｂ＋（Ｄｅ−Ｄｓ）・ｔ／Ｔ  ……式（２）
式（２）の＋（Ｄｅ−Ｄｓ）・ｔ／Ｔの部分は式（１）による板厚ｔｈに対する補正値である。式（２）にて補正値を通過直前の上下距離計間隔Ｄｓと通過直後の上下距離計間隔Ｄｅとの変化を時間ｔの１次関数としたが、本実施形態において時間ｔの関数式は１次関数式に限定しない。一例として、上下距離計間隔Ｄｓと通過直後の上下距離計間隔Ｄｅとの平均値でも良い。また、一例として、測定対象物３の通過前の上下距離計間隔Ｄｓを複数回測定し、測定対象物３の通過後の上下距離計間隔Ｄｅを複数回測定し、最小二乗法により時間ｔに係る２次関数以上の高次関数式としても良い。
【００３２】
これより、本実施形態は通過直前の上下距離計間隔Ｄｓと通過直後の上下距離計間隔Ｄｅを用いて板厚ｔｈを算出することで、測定対象物３が通過している間のＣ型フレーム１の変化を考慮し、それによる測定誤差を低減できる。外気の温度変化等に起因する測定誤差を低減し、正確に板厚ｔｈの値を補正することができる。
【００３３】
（第２の実施形態）
第２の実施形態の厚さ計測装置の外形は、図１と同様の外形である。本実施形態において、上側距離計２１Ａと下側距離計２１Ｂには光コム発生器６が設けられている。図９は第２の実施形態の厚さ計測装置の距離計に用いられる、光コム発生器６の図である。光コム発生器６に単波長ｆ０のレーザ光を入力すると、位相変調用結晶８にて波長ｆ０から周波数を変化させたレーザ光が生成される。位相変調用結晶８の両脇には光共振器の鏡７を配置している。位相変調用結晶８を通過したレーザ光は光共振器の鏡７にて反射し、再度、位相変調用結晶８に入力される。この光共振器の鏡７による反射が繰り返されて、光の共振により一定の強さのレーザ光を生成する。これにより、光コム発生器６は波長ｆ０を中心として、複数の周波数からなるレーザ光を発生する。
【００３４】
図１０は本実施形態の上側距離計２１Ａと下側距離計２１Ｂとのそれぞれの構成図である。本実施形態は第１の実施形態と同様に上側距離計２１Ａが上側距離計２１Ａと下側距離計２１Ｂとの距離を測定する。上側距離計２１Ａにはレーザ照射部４Ａとレーザ受光部５Ｃ、５Ｄと光コム発生器６Ａとビームスプリッター１０Ａとが設けてられている。下側距離計２１Ｂにはレーザ照射部４Ｂとレーザ受光部５Ｅ、５Ｆと光コム発生器６Ｂとビームスプリッター１０Ｂとコーナーキューブ９Ｂが設けてられている。コーナーキューブ９Ｂは図１１のように入射光とコーナーキューブ９Ｂとの角度θｉと、反射光とコーナーキューブ９Ｂとの角度θｒとを等しくする機構である。図１０において、コーナーキューブ９Ｂは下側距離計２１Ｂに設けられたビームスプリッター１０Ｂの中央に近接して配置されている。ビームスプリッター１０Ｂの中央とはビームスプリッター１０Ｂの中央の点である。
【００３５】
上側距離計２１Ａのレーザ照射部４Ａは単波長のレーザ光を、光コム発生器６Ａに照射する。光コム発生器６Ａは照射された単波長のレーザ光から複数の波長からなるレーザ光を生成する。光コム発生器６Ａより生成された複数の波長からなるレーザ光はビームスプリッター１０Ａの中央に入射される。ビームスプリッター１０Ａはレーザ光を二つに分割する装置であり、ビームスプリッター１０Ａを透過する透過光と、反射する反射光に分割する。透過光と反射光の強さを同等の割合にするものとしてハーフミラーがある。ビームスプリッター１０Ａにて反射された反射光はレーザ受光部５Ｃにて受光される。ビームスプリッター１０Ａにて透過された透過光は下側距離計２１Ｂに設けられたコーナーキューブ９Ｂに照射される。
【００３６】
ビームスプリッター１０Ａを透過したレーザ光はコーナーキューブ９Ｂの表面に垂直に入射された後、コーナーキューブ９Ｂの表面に垂直に反射される。コーナーキューブ９Ｂにて反射された光はビームスプリッター１０Ａにて反射され、上側距離計２１Ａのレーザ受光部５Ｄに受光される。測定対象物３が本実施形態の厚さ計測装置に通過前の、上側距離計２１Ａのビームスプリッター１０Ａと下側距離計２１Ｂのコーナーキューブ９Ｂとの距離を上下距離計間隔Ｄｓとする。光コム発生器６Ａにて生成される複数の波長からなるレーザ光のある波長をλとする。レーザ受光部５Ｃに受光されるレーザ光とレーザ受光部５Ｄに受光されるレーザ光とは２Ｄｓの光路の違いから位相のずれが発生する。位相のずれは、レーザ受光部５Ｃに受光されるレーザ光と、レーザ受光部５Ｄに受光されるレーザ光とで干渉縞を形成する。波長λにおいて、２Ｄｓ／λが自然数となる波長λのレーザ光は位相のずれが起きないため、光の強さが大きくなり、干渉縞の明るい縞の部分を形成する。この干渉縞において、最も強い明るさの縞を形成させる波長より上下距離計間隔Ｄｓを算出する。
【００３７】
図１２は本実施形態の厚さ計測装置に測定対象物３が搬送されているときの上側距離ｄｔと下側距離ｄｂとの測定方法の図である。上下距離計間隔Ｄｓを測定した後、測定対象物３を本実施形態の厚さ計測装置にＺ軸方向に流す。上側距離計２１Ａのビームスプリッター１０Ａの中央と測定対象物３の上側距離計２１Ａと対向する面３ａとの距離を上側距離ｄｔとする。また、下側距離計２１Ｂのビームスプリッター１０Ｂの中央と測定対象物３の上側距離計２１Ｂと対向する面３ｂとの距離を下側距離ｄｂとする。
【００３８】
上側距離ｄｔの測定は上側距離計２１Ａにて測定される。上側距離計２１Ａのレーザ照射部４Ａにて照射され、光コム発生器６Ａにて複数の波長を有するレーザ光はビームスプリッター１０Ａの中央にて反射光と透過光に分割される。反射光はレーザ受光部５Ｃに受光され、透過光は測定対象物３へ照射される。測定対象物３に照射されたレーザ光は、測定対象物３の上面３ａにて反射される。この反射光は、ビームスプリッター１０Ａに入射され、ビームスプリッター１０Ａの中央にて反射され、レーザ受光部５Ｄに受光される。光コム発生器６Ａにて生成される複数の波長からなるレーザ光のある波長をλｔとする。レーザ受光部５Ｃに受光されるレーザ光とレーザ受光部５Ｄに受光されるレーザ光とは２ｄｔの光路の違いから位相のずれが発生する。位相のずれは、レーザ受光部５Ｃに受光されるレーザ光と、レーザ受光部５Ｄに受光されるレーザ光とで干渉縞を形成する。波長λｔにおいて、２ｄｔ／λｔが自然数となる波長λｔのレーザ光は位相のずれが起きないため、光の強さが大きくなり、干渉縞の明るい縞の部分を形成する。この干渉縞において、最も強い明るさの縞を形成させる波長より上側距離ｄｔを算出する。
【００３９】
下側距離ｄｂの測定は下側距離計２１Ｂにて測定される。下側距離計２１Ｂのレーザ照射部４Ｂにて照射され、光コム発生器６Ｂにて複数の波長を有するレーザ光はビームスプリッター１０Ｂの中央にて反射光と透過光に分割される。反射光はレーザ受光部５Ｅに受光され、透過光は測定対象物３へ照射される。測定対象物３に照射されたレーザ光は、測定対象物３の下面３ｂにて反射される。この反射光は、ビームスプリッター１０Ｂに入射され、ビームスプリッター１０Ｂの中央にて反射され、レーザ受光部５Ｆに受光される。光コム発生器６Ｂにて生成される複数の波長からなるレーザ光のある波長をλｂとする。レーザ受光部５Ｅに受光されるレーザ光とレーザ受光部５Ｆに受光されるレーザ光とは２ｄｂの光路の違いから位相のずれが発生する。位相のずれは、レーザ受光部５Ｅに受光されるレーザ光と、レーザ受光部５Ｆに受光されるレーザ光とで干渉縞を形成する。波長λｂにおいて、２ｄｂ／λｂが自然数となる波長λｔのレーザ光は位相のずれが起きないため、光の強さが大きくなり、干渉縞の明るい縞の部分を形成する。この干渉縞において、最も強い明るさの縞を形成させる波長より下側距離ｄｂを算出する。
【００４０】
本実施形態のブロック図は図５と同様である。本実施形態のフローチャートは図６および図７と同様である。測定対象物３が通過した後は再度上側距離計２１Ａが、測定対象物３が通過する直前の上下距離計間隔Ｄｓの測定と同様に、測定対象物３が通過した後の上下距離計間隔Ｄｅを測定する。上下距離計間隔Ｄｓと、上側距離ｄｔと、下側距離ｄｂと上下距離計間隔Ｄｅとから補正値を考慮した板厚ｔｈを算出する。板厚ｔｈは一例として式（２）に代入することで、算出される。
【００４１】
測定時間ごとの各種距離の測定値（ｄｔ、ｄｂ）および、算出される測定対象物３の板厚ｔｈの算出値は図８と同様になる。即ち、通過開始時は測定対象物３の先端の板厚ｔｈが測定される時であり、通過終了時は測定対象物３の後端の板厚ｔｈが測定された時である。測定対象物３の先端から後端までの板厚ｔｈが本実施形態の厚さ計測方法の算出結果となる。
【００４２】
これより、本実施形態は第１の実施形態と同様に、測定対象物３の通過前の上下距離計間隔Ｄｓおよび測定対象物３の通過後の上下距離計間隔Ｄｅ測定し、その測定値を測定対象物３の板厚ｔｈの算出に用いることで、外気の温度変化等に起因する測定誤差を低減し、正確に板厚ｔｈの値を算出することができる。また、光コム発生器６Ａ、６Ｂを設けて、複数の波長のレーザ光を使用することにより、単波長のレーザ光を用いた三角測量法と比べて、レーザ受光部５Ｄ、５Ｆの測定レンジを広げる必要がなく、測定分解能の悪化を抑制することができる。これにより、精度よく各種距離を測定し、板厚ｔｈを算出することができる。
【００４３】
（第３の実施形態）
第３の実施形態の厚さ計測装置の外形は、図１と同様の外形である。本実施形態は第２の実施形態と同様に、上側距離計２２Ａと下側距離計２２Ｂには光コム発生器６が設けられている。
【００４４】
図１３は本実施形態の上側距離計２２Ａと下側距離計２２Ｂとのそれぞれの構成、およびレーザ受光部５Ｄ’と５Ｆ’との位置関係を示す図である。レーザ受光部５Ｄ’はレーザ受光部５Ｄの横に設けられ、上側距離計２２Ａに内在している。レーザ受光部５Ｆ、５Ｆ’はレーザ受光部５Ｆの横に設けられ、下側距離計２２Ｂに内在している。ただし、本実施形態では上下距離計間隔ＤｓおよびＤｅは光コム発生器６Ａ、ビームスプリッター１０Ａ、レーザ受光部５Ｃ、レーザ受光部５Ｄを用いて測定し、上側距離ｄｔおよび下側距離ｄｂは三角測量法により測定する。このため、本実施形態ではレーザ受光部５Ｅ、レーザ受光部５Ｆ、光コム発生器６Ｂ、ビームスプリッター１０Ｂを省略しても良い。
【００４５】
測定対象物３が本実施形態の厚さ計測装置に通過前の、上側距離計２２Ａのビームスプリッター１０Ａと下側距離計２２Ｂのコーナーキューブ９Ｂとの距離を上下距離計間隔Ｄｓとする。本実施形態は上下距離計間隔Ｄｓの測定方法は第２の実施形態の厚さ計測装置と同じである。
【００４６】
図１４は本実施形態の厚さ計測装置に測定対象物３が通過しているときの上側距離ｄｔと下側距離ｄｂとの測定方法の図である。上下距離計間隔Ｄｓを測定した後、測定対象物３を本実施形態の厚さ計測装置にＺ軸方向に流す。上側距離計２２Ａのビームスプリッター１０Ａの中央と測定対象物３の上側距離計２２Ａと対向する面３ａとの距離を上側距離ｄｔとする。また、下側距離計２２Ｂのビームスプリッター１０Ｂの中央と測定対象物３の下側距離計２２Ｂと対向する面３ｂとの距離を下側距離ｄｂとする。
【００４７】
上側距離ｄｔの測定は上側距離計２２Ａとレーザ受光部５Ｄ’とにより測定される。上側距離計２２Ａのレーザ照射部４Ａにて照射され、光コム発生器６Ａにて複数の波長を有するレーザ光はビームスプリッター１０Ａの中央にて反射光と透過光に分割される。反射光はレーザ受光部５Ｃに受光され、透過光は測定対象物３へ照射される。測定対象物３に照射されたレーザ光は、測定対象物３の上面３ａにて反射される。この反射光は、レーザ受光部５Ｄ’に受光される。この時のビームスプリッター１０Ａとレーザ受光部５Ｄ’との距離と、レーザ受光部５Ｄ’の角度とから三角測量法により上側距離ｄｔを測定する。
【００４８】
下側距離ｄｂの測定は下側距離計２２Ｂとレーザ受光部５Ｆ’とにより測定される。下側距離計２２Ｂのレーザ照射部４Ｂにて照射され、光コム発生器６Ｂにて複数の波長を有するレーザ光はビームスプリッター１０Ｂの中央にて反射光と透過光に分割される。反射光はレーザ受光部５Ｅに受光され、透過光は測定対象物３へ照射される。測定対象物３に照射されたレーザ光は、測定対象物３の下面３ｂにて反射される。この反射光は、レーザ受光部５Ｆ’に受光される。この時のビームスプリッター１０Ｂとレーザ受光部５Ｆ’との距離と、レーザ受光部５Ｆ’の角度とから三角測量法により下側距離ｄｂを測定する。
【００４９】
本実施形態のブロック図は図５と同様である。本実施形態のフローチャートは図６および図７と同様である。本実施形態の厚さ計測装置は第１の実施形態および第２の実施形態と同様に、測定対象物３が通過した後の上下距離計間隔Ｄｅを測定する。上下距離計間隔Ｄｓと、上側距離ｄｔと、下側距離ｄｂと上下距離計間隔Ｄｅとから補正値を考慮した板厚ｔｈを算出する。板厚ｔｈは一例として式（２）に代入することで算出される。
【００５０】
測定時間ごとの各種距離の測定値（ｄｔ、ｄｂ）および、算出される測定対象物３の板厚ｔｈの算出値は図８と同様になる。即ち、通過開始時は測定対象物３の先端の板厚ｔｈが測定される時であり、通過終了時は測定対象物３の後端の板厚ｔｈが測定された時である。測定対象物３の先端から後端までの板厚ｔｈが本実施形態の厚さ計測方法の算出結果となる。
【００５１】
これより、本実施形態は第１の実施形態と同様に、測定対象物３の通過前の上下距離計間隔Ｄｓおよび測定対象物３の通過後の上下距離計間隔Ｄｅ測定し、その測定値を測定対象物３の板厚ｔｈの算出に用いることで、外気の温度変化等に起因する測定誤差を低減し、正確に板厚ｔｈの値を算出することができる。また、光コム発生器６Ａ、６Ｂを設けて、複数の波長のレーザ光を使用することにより、単波長のレーザ光を用いた三角測量法と比べて、レーザ受光部５Ｄ、５Ｄ’、５Ｆ’の測定レンジを広げる必要がなく、測定分解能の悪化を抑制することができる。これにより、精度よく各種距離を測定し、板厚ｔｈを算出することができる。
【００５２】
本実施形態において、レーザ受光部５Ｄと５Ｄ’は同一筐体（上側距離計２２Ａ）に内在しているが、それぞれが別の筐体に内在していても良い。
【００５３】
（第４の実施形態）
本実施形態は、測定対象物３の通過前後における上下距離計間隔Ｄｓおよび上下距離計間隔Ｄｅを、下側距離計２Ｂが測定する構成としたものである。図１５は本実施形態の上側距離計２Ａと下側距離計２Ｂとのそれぞれの構成図である。測定対象物３の通過前に下側距離計２Ｂのレーザ照射部４Ｂは上側距離計２Ａにレーザ光を照射する。照射されたレーザ光は上側距離計２Ａにて反射し、下側距離計２Ｂのレーザ受光部５Ｂにて受光する。レーザ照射部４Ａとレーザ受光部５Ｂとの距離と、レーザ受光部５Ｂとの角度により三角測量法により、測定対象物３の通過前後における上下距離計間隔Ｄｓを測定する。
【００５４】
本実施形態のブロック図は図５と同様である。本実施形態のフローチャートは図６および図７と同様である。本実施形態の場合、ステップＳ１およびステップＳ５における上下距離計間隔Ｄｓ、Ｄｅの測定は下側距離計２Ｂにより測定する。測定対象物３が厚さ計測装置に流れた時の各種距離の上側距離ｄｔおよび下側距離ｄｂの測定方法は第１の実施形態と同様である。本実施形態のフローチャートは図６および図７と同様である。本実施形態の場合、ステップＳ１およびステップＳ５における上下距離計間隔Ｄｓ、Ｄｅの測定は下側距離計２Ｂにより測定する。上下距離計間隔Ｄｓと、上側距離ｄｔと、下側距離ｄｂと上下距離計間隔Ｄｅとから補正値を考慮した板厚ｔｈを算出する。板厚ｔｈは一例として式（２）に代入することで算出される。
【００５５】
測定時間ごとの各種距離の測定値（ｄｔ、ｄｂ）および、算出される測定対象物３の板厚ｔｈの算出値は図８と同様になる。通過開始時は測定対象物３の先端の板厚ｔｈが厚さ計測装置により測定される時であり、通過終了時は測定対象物３の後端の板厚ｔｈが厚さ計測装置により測定された時である。測定対象物３の先端から後端までの板厚ｔｈが本実施形態の厚さ計測方法の算出結果となる。
【００５６】
本実施形態は第１の実施形態と同様に、測定対象物３の通過前の上下距離計間隔Ｄｓおよび測定対象物３の通過後の上下距離計間隔Ｄｅ測定し、その測定値を測定対象物３の板厚ｔｈの算出に用いることで、外気の温度変化等に起因する測定誤差を低減し、正確に板厚ｔｈの値を算出することができる。また、図１６のようにレーザ受光部を２つ設け、上下距離計間隔Ｄｓおよび上下距離計間隔Ｄｅを測定するためのレーザ光を受光するレーザ受光部５Ｂ’と、上側距離ｄｂを測定するためのレーザ光を受光するレーザ受光部５Ｂとを分けても良い。図１５のようにレーザ受光部５Ｂのみのときは、上下距離計間隔Ｄｓおよび上下距離計間隔Ｄｅと上側距離ｄｂとの測定とでレーザ受光部５Ｂの角度を調整するか、レーザ受光部５Ｂに視野角の広いＣＣＤカメラを用いる必要があるが、レーザ受光部５Ｂと５Ｂ’とに分けることで、レーザ受光部５Ａの角度の調整の手間を省くことができ、またレーザ受光部５Ｂに視野角の広いＣＣＤカメラを用いる必要も無い。
【００５７】
本実施形態は上下距離計間隔Ｄｓおよび上下距離計間隔Ｄｅを、下側距離計２Ｂが測定することとしたが、第１の実施形態の上側距離計２Ａによる測定と組み合わせても良い。即ち上側距離計２Ａと下側距離計２Ｂとの双方が上下距離計間隔Ｄｓおよび上下距離計間隔Ｄｅを測定可能であり、上下距離計間隔Ｄｓおよび上下距離計間隔Ｄｅの測定において、距離計の選択を可能としても良い。
【００５８】
（第５の実施形態）
本実施形態は、測定対象物３の通過前後における上下距離計間隔Ｄｓおよび上下距離計間隔Ｄｅを、下側距離計２３Ｂが測定する構成としたものである。図１７は本実施形態の上側距離計２３Ａと下側距離計２３Ｂとのそれぞれの構成図である。上側距離計２３Ａにはコーナーキューブ９Ａが設けてられている。図１７において、コーナーキューブ９Ａは上側距離計２３Ａに設けられたビームスプリッター１０Ａの中央に近接して配置されている。ビームスプリッター１０Ａの中央とはビームスプリッター１０Ａの中央の点である。
【００５９】
下側距離計２３Ｂのレーザ照射部４Ｂは単波長のレーザ光を、光コム発生器６Ｂに照射する。光コム発生器６Ｂは照射された単波長のレーザ光から複数の波長からなるレーザ光を生成する。光コム発生器６Ｂより生成された複数の波長からなるレーザ光はビームスプリッター１０Ｂの中央に入射され、反射光と透過光に分割される。ビームスプリッター１０Ｂにて反射された反射光はレーザ受光部５Ｅにて受光される。ビームスプリッター１０Ｂにて透過された透過光は上側距離計２３Ａに設けられたコーナーキューブ９Ａに照射される。
【００６０】
ビームスプリッター１０Ｂを透過したレーザ光はコーナーキューブ９Ａの表面に垂直に入射された後、コーナーキューブ９Ａの表面に垂直に反射される。コーナーキューブ９Ａにて反射された光はビームスプリッター１０Ｂにて反射され、下側距離計２３Ｂのレーザ受光部５Ｆに受光される。測定対象物３が通過前の下側距離計２３Ｂのビームスプリッター１０Ｂと上側距離計２３Ａのコーナーキューブ９Ａとの距離を上下距離計間隔Ｄｓとする。上下距離計間隔Ｄは第２の実施形態と同様に、レーザ受光部５Ｆにて観測されるレーザの位相のずれから生じる干渉縞から測定する。即ち、最も強い明るさを持つ縞を発生させる波長から上下距離計間隔Ｄｓを算出する。
【００６１】
測定対象物３が厚さ計測装置に流れた時の各種距離の上側距離ｄｔおよび下側距離ｄｂの測定方法は第２の実施形態と同様である。本実施形態のブロック図は図５と同様である。本実施形態のフローチャートは図６および図７と同様である。本実施形態の場合、ステップＳ１およびステップＳ５における上下距離計間隔Ｄｓ、Ｄｅの測定は下側距離計２３Ｂにより測定する。また、測定対象物３が通過後の上下距離計間隔Ｄｅの測定方法は上下距離計間隔Ｄｓの測定方法と同様である。これより、測定対象物３の板厚ｔｈは一例として式（２）より算出する。
【００６２】
また、測定時間ごとの各種距離の測定値（ｄｔ、ｄｂ）および、算出される測定対象物３の板厚ｔｈの算出値は図８と同様になる。通過開始時は測定対象物３の先端の板厚ｔｈが厚さ計測装置により測定される時であり、通過終了時は測定対象物３の後端の板厚ｔｈが厚さ計測装置により測定された時である。測定対象物３の先端から後端までの板厚ｔｈが本実施形態の厚さ計測方法の算出結果となる。
【００６３】
本実施形態は第２の実施形態と同様に、測定対象物３の通過前の上下距離計間隔Ｄｓおよび測定対象物３の通過後の上下距離計間隔Ｄｅ測定し、その測定値を測定対象物３の板厚ｔｈの算出に用いることで、外気の温度変化等に起因する測定誤差を低減し、正確に板厚ｔｈの値を算出することができる。また、光コム発生器６Ａ、６Ｂを設けて、複数の波長のレーザ光を使用することにより、単波長のレーザ光を用いた三角測量法と比べて、レーザ受光部５Ｄ、５Ｆの測定レンジを広げる必要がなく、測定分解能の悪化を抑制することができる。これにより、精度よく各種距離を測定し、板厚ｔｈを算出することができる。
【００６４】
本実施形態は上下距離計間隔Ｄｓおよび上下距離計間隔Ｄｅを、下側距離計２Ｂが測定することとしたが、第２の実施形態の上側距離計２Ａによる測定と組み合わせても良い。即ち上側距離計２Ａと下側距離計２Ｂとの双方が上下距離計間隔Ｄｓおよび上下距離計間隔Ｄｅを測定可能であり、上下距離計間隔Ｄｓおよび上下距離計間隔Ｄｅの測定において、距離計の選択を可能としても良い。
【００６５】
（第６の実施形態）
本実施形態は、測定対象物３の通過前後における上下距離計間隔Ｄｓおよび上下距離計間隔Ｄｅを、下側距離計２４Ｂが測定する構成としたものである。図１８は本実施形態の上側距離計２４Ａと下側距離計２４Ｂとのそれぞれの構成図である。
【００６６】
測定対象物３の通過前後における上下距離計間隔Ｄｓおよび上下距離計間隔Ｄｅの測定は第５の実施形態と同様である。本実施形態のブロック図は図５と同様である。本実施形態のフローチャートは図６および図７と同様である。本実施形態の場合、ステップＳ１およびステップＳ５における上下距離計間隔Ｄｓ、Ｄｅの測定は下側距離計２４Ｂにより測定する。また、測定対象物３が厚さ計測装置に流れた時の各種距離の上側距離ｄｔおよび下側距離ｄｂの測定方法は第３の実施形態と同様である。上下距離計間隔Ｄｓと、上側距離ｄｔと、下側距離ｄｂと上下距離計間隔Ｄｅとから補正値を考慮した板厚ｔｈを算出する。板厚ｔｈは一例として式（２）に代入することで算出される。
【００６７】
測定時間ごとの各種距離の測定値（ｄｔ、ｄｂ）および、算出される測定対象物３の板厚ｔｈの算出値は図８と同様になる。通過開始時は測定対象物３の先端の板厚ｔｈが厚さ計測装置により測定される時であり、通過終了時は測定対象物３の後端の板厚ｔｈが厚さ計測装置により測定された時である。測定対象物３の先端から後端までの板厚ｔｈが本実施形態の厚さ計測方法の算出結果となる。
【００６８】
本実施形態の効果は第３の実施形態と同様に、測定対象物３の通過前の上下距離計間隔Ｄｓおよび測定対象物３の通過後の上下距離計間隔Ｄｅ測定し、その測定値を測定対象物３の板厚ｔｈの算出に用いることで、外気の温度変化等に起因する測定誤差を低減し、正確に板厚ｔｈの値を算出することができる。また、光コム発生器６Ａ、６Ｂを設けて、複数の波長のレーザ光を使用することにより、単波長のレーザ光を用いた三角測量法と比べて、レーザ受光部５Ｄ’、５Ｆ、５Ｆ’の測定レンジを広げる必要がなく、測定分解能の悪化を抑制することができる。これにより、精度よく各種距離を測定し、板厚ｔｈを算出することができる。
【００６９】
ただし、本実施形態では上下距離計間隔ＤｓおよびＤｅは光コム発生器６Ｂ、ビームスプリッター１０Ｂ、レーザ受光部５Ｅ、レーザ受光部５Ｆを用いて測定し、上側距離ｄｔおよび下側距離ｄｂは三角測量法により測定する。このため、本実施形態ではレーザ受光部５Ｃおよびレーザ受光部５Ｄ、光コム発生器６Ａ、ビームスプリッター１０Ａを省略しても良い。また、図１８において、レーザ受光部５Ｆと５Ｆ’は同一筐体（下側距離計２４Ｂ）に内在しているが、それぞれが別の筐体に内在していても良い。
【００７０】
本実施形態は上下距離計間隔Ｄｓおよび上下距離計間隔Ｄｅを、下側距離計２Ｂが測定することとしたが、第３の実施形態の上側距離計２Ａによる測定と組み合わせても良い。即ち上側距離計２Ａと下側距離計２Ｂとの双方が上下距離計間隔Ｄｓおよび上下距離計間隔Ｄｅを測定可能であり、上下距離計間隔Ｄｓおよび上下距離計間隔Ｄｅの測定において、距離計の選択を可能としても良い。
【００７１】
（第７の実施形態）
図１９は第７の実施形態の厚さ計測装置の図である。上記の第１の実施形態または第４の実施形態における、Ｃ型フレーム１に複数の対を成す上側距離計２Ａと下側距離計２Ｂとを配置したものである。複数の対を成す上側距離計２Ａと下側距離計２Ｂとは測定対象物３の搬送方向（Ｚ軸方向）と直交する方向（Ｘ軸方向）に所定の距離離間して配置されている。それぞれの対を成す上側距離計２Ａと下側距離計２Ｂとは測定対象物３が通過する直前の上下距離計間隔Ｄｓを測定し、その後、測定対象物３が通過中の上側距離ｄｔと下側距離ｄｂとを測定し、測定対象物３が通過後の上下距離計間隔Ｄｅを測定する。複数の対を成す上側距離計２４Ａと下側距離計２Ｂとを所定の距離離間して配置することで、所定の距離離間して複数個所の板厚ｔｈを測定することができ、１対の上側距離計２Ａと下側距離計２Ｂとによる厚さ測定装置よりもより正確な値を算出することができる。本実施形態は、例えば、Ｃ型フレーム１に３対の上側距離計２Ａと下側距離計２Ｂとをそれぞれ配置し、測定対象物３の中央と両側端の板厚を算出する。
【００７２】
また、本実施形態において、各種距離計は第１の実施形態の上側距離計２Ａと下側距離計２Ｂとを用いたが、第２の実施形態の上側距離計２１Ａと下側距離計２１Ｂとを用いても良く、第３の実施形態の上側距離計２２Ａと下側距離計２２Ｂとを用いても良く、第５の実施形態の上側距離計２３Ａと下側距離計２３Ｂとを用いても良く、第６の実施形態の上側距離計２４Ａと下側距離計２４Ｂとを用いても良い。
【００７３】
以上の第１の実施形態乃至第７の実施形態において上側距離計２Ａと下側距離計２ＢとをＣ型フレーム１に配置したが、フレームの形状はＣ型フレーム１に限定せず、図２０のようにＯ型フレーム１１に配置しても良い。また、図２１のように屋内の内壁（例えば、天井１２と、床１３）に上側距離計２Ａと下側距離計２Ｂとを配置した、フレーム無しの構造をとっても良い。
【００７４】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、そのほかの様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００７５】
１‥‥Ｃ型フレーム、
１ａ‥‥支柱、
２Ａ、２１Ａ、２２Ａ、２３Ａ、２４Ａ‥‥上側距離計、
２Ｂ、２１Ｂ、２２Ｂ、２３Ｂ、２４Ｂ‥‥下側距離計、
２Ｃ‥‥測定部、
２Ｄ‥‥補正部、
３‥‥測定対象物、
４Ａ、４Ｂ‥‥レーザ照射部、
５Ａ、５Ａ’、５Ｂ、５Ｂ’、５Ｃ、５Ｄ、５Ｄ’、５Ｅ、５Ｆ、５Ｆ’‥‥レーザ受光部、
６、６Ａ、６Ｂ‥‥光コム発生器、
７‥‥光共振器の鏡、
８‥‥位相変調用結晶、
９Ａ、９Ｂ‥‥コーナーキューブ、
１０Ａ、１０Ｂ‥‥ビームスプリッター、
１１‥‥Ｏ型フレーム、
１２‥‥天井、
１３‥‥床。 
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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