(57)【要約】      （修正有）【課題】１回の撮像範囲を大きくしても断層に関する情報を精度よく取得する装置を提供する。【解決手段】走査部は、眼底を照射光で線状に走査する場合における眼底を走査する角度が空気中で換算して４７度以上となるように構成されており、光源部１０は、光周波数の掃引時に１４ｍｍ以上のコヒーレント長を有するＭＥＭＳ−ＶＣＳＥＬを有している。【選択図】図１
2016002382.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
射出される光周波数が掃引される光源部と、
前記光源部からの射出された光を眼底へ照射する照射光と参照光とに分岐し、前記照射光の反射光と前記参照光による干渉光を発生させる干渉部と、
前記眼底を前記照射光で走査する走査部と、
前記干渉光を検出する検出部と、
前記干渉光に基づいて、前記眼底の情報を取得する情報取得部と、を有する撮像装置であって、
前記走査部は、前記眼底を前記照射光で線状に走査する場合における前記眼底を走査する角度が空気中で換算して４７度以上となるように構成されており、
前記光源部は、第１反射鏡と第２反射鏡と前記第１反射鏡と前記第２反射鏡との間に配置された活性層とを備えた、前記第１反射鏡と前記第２反射鏡のうち少なくとも一方が駆動されて前記第１反射鏡と前記第２反射鏡との間の距離が変わることで射出光の光周波数が変化する面発光レーザを有し、
前記面発光レーザは、光周波数の掃引時に１４ｍｍ以上のコヒーレント長を有していることを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
前記面発光レーザの光周波数は、２００ｋＨｚ以上の掃引周波数で掃引されることを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項３】
前記面発光レーザの光周波数は、４００ｋＨｚ以上の掃引周波数で掃引されることを特徴とする請求項１又は２に記載の撮像装置。
【請求項４】
前記面発光レーザは、光周波数の掃引時に２３ｍｍ以上のコヒーレント長を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項５】
前記走査部は、前記角度が空気中で換算して６８度以上となるように構成されていることを特徴とする請求項４に記載の撮像装置。
【請求項６】
前記走査部は、偏向ミラーを有し、
前記偏向ミラーの角度を変えることで前記眼底を前記照射光で走査する請求項１乃至５のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項７】
前記第１反射鏡と前記第２反射鏡のうち駆動される反射鏡は、回折格子を有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項８】
前記回折格子は、高屈折率の材料と開口部とが周期的に配置された回折格子であることを特徴とする請求項７に記載の撮像装置。
【請求項９】
前記第１反射鏡と前記第２反射鏡のうち光射出側にある反射鏡の反射率の値は、９９．０％以上９９．７％以下であることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項１０】
前記第１反射鏡と前記第２反射鏡のうち光射出側にある反射鏡の反射率の値は、９９．３％以上９９．７％以下であることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項１１】
前記第１反射鏡と前記第２反射鏡のうち光射出側にある反射鏡とは異なる反射鏡の反射率の値は、９９．５％以上であることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項１２】
前記光源部は、前記面発光レーザから射出された光を増幅するための光アンプをさらに有することを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光干渉断層像を撮像する撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光干渉断層撮像法（Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｃｏｈｅｒｅｎｃｅ  Ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ、以下ＯＣＴという）を用いる撮像装置（以下、ＯＣＴ装置という）が開発されている（特許文献１）。ＯＣＴ装置は、物体へ光を照射し、照射光の波長を変化させ、参照光と物体の異なる深さから戻ってくる反射光とを干渉させている。そして、干渉光の強度の時間波形（以下、干渉スペクトルと略す）に含まれる周波数成分を分析することによって物体の断層に関する情報、具体的には断層像を得ることができる。ＯＣＴ装置は、例えば眼底検査に用いられる。
【０００３】
眼疾患は、完治困難な疾患が多いため、眼底の病変部を早期に発見し、病変部が眼底の広範囲にまで進行することを遅らせる治療を早期に開始することが重要である。特に、病変部が黄班にまで進行すると、視覚に甚大な影響を与えるため、病変部が黄班から十分離れた位置にあっても、その病変部を発見したいという要求がある。この要求に答えるため、眼底検査に用いられるＯＣＴ装置の広画角化が期待されている。
【０００４】
特許文献１では、眼底の断層像の観察領域を広範囲とするために複数の断層像をつなぎ合わせて広範囲の断層像を構成することが開示されている。また、特許文献１には、波長可変光源を用いたＯＣＴ装置（Ｓｗｅｐｔ  Ｓｏｕｒｃｅ  ＯＣＴ装置、以下ＳＳ−ＯＣＴ装置という）について開示されている。また、特許文献１には、その波長可変光源としては、ファイバーリング共振器、及び波長選択フィルタが例示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−１１５５７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１の方法では、取得した複数の断層像を連続的につなぎ合わせるための画像処理に時間や手間がかかる。そのため、１回の撮像で広範囲にわたる断層情報を取得することが好ましい。この場合、眼球は略球体であるため、眼底の中央部と周辺部では、照射光の光路長が大きく異なってしまう。眼底の測定位置の違いによって照射光の光路長が異なる場合、特許文献１の波長可変光源として用いられるコヒーレント長が短い光源では、測定位置ごとに得られる干渉信号の強度が異なってしまう。そのため、断層に関する情報を広範囲にわたって精度よく得ることができない。
【０００７】
上述した課題に対して、本発明では、１回の走査の撮像範囲を大きくしても断層に関する情報を精度よく取得することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、射出される光周波数が掃引される光源部と、前記光源部からの射出された光を眼底へ照射する照射光と参照光とに分岐し、前記照射光の反射光と前記参照光による干渉光を発生させる干渉部と、前記眼底を前記照射光で走査する走査部と、前記干渉光を検出する検出部と、前記干渉光に基づいて、前記眼底の情報を取得する情報取得部と、を有する撮像装置であって、前記走査部は、前記眼底を前記照射光で線状に走査する場合における前記眼底を走査する角度が空気中で換算して４７度以上となるように構成されており、前記光源部は、第１反射鏡と第２反射鏡と前記第１反射鏡と前記第２反射鏡との間に配置された活性層とを備えた、前記第１反射鏡と前記第２反射鏡のうち少なくとも一方が駆動されて前記第１反射鏡と前記第２反射鏡との間の距離が変わることで射出光の光周波数が変化する面発光レーザを有し、前記面発光レーザは、光周波数の掃引時に１４ｍｍ以上のコヒーレント長を有していることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、１回の走査の撮像範囲を大きくしても断層に関する情報を精度よく取得することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明に係るＯＣＴ装置の一例を示す模式図
【図２】本発明に係るＯＣＴ装置の走査部が行う照射光の走査方法の一例を示す模式図
【図３】眼球の模式図
【図４】広画角化の課題を説明するための図
【図５】コヒーレント長を説明するための図
【図６】本発明のＭＥＭＳ−ＶＣＳＥＬの一例を示す模式図
【図７】実施例１の光源部を表す模式図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の実施形態について説明するが、本発明はこれに限られない。図１は、本発明の実施形態における光干渉断層撮像法を用いた撮像装置（ＯＣＴ装置）の構成例を示す図である。ＯＣＴ装置は、射出される光周波数が掃引される光源部１０と、干渉光を生成する干渉部２０と、干渉光を検出する検出部３０と、干渉光に基づいて、被検体１００の眼底の情報を取得する情報取得部４０と、を有している。さらに、ＯＣＴ装置は、測定アーム５０と参照アーム６０を有している。
【００１２】
干渉部２０は、カプラ２１、２２を有している。まず、カプラ２１は、光源部１０から射出された光を眼底へ照射する照射光と参照光とに分岐する。照射光は、測定アーム５０を経由して被検体１００に照射される。より具体的には、測定アーム５０に入射した照射光は、偏光コントローラ５１で偏光状態を整えられた後、コリメータ５２から空間光として射出される。その後、照射光は、Ｘ軸スキャナー５３、Ｙ軸スキャナー５４、フォーカスレンズ５５を介して被検体１００の眼底に照射される。なお、Ｘ軸スキャナー５３、Ｙ軸スキャナー５４は眼底を照射光で走査する機能を有する走査部である。走査部によって、照射光の眼底への照射位置が変えられる。そして、眼底からの後方散乱光（反射光）は、再びフォーカスレンズ５５、Ｙ軸スキャナー５４、Ｘ軸スキャナー５３、コリメータ５２、偏光コントローラ５１を経由して測定アーム５０から射出される。そして、カプラ２１を経由してカプラ２２に入射する。
【００１３】
一方、参照光は参照アーム６０を経由し、カプラ２２に入射する。より具体的には、参照アーム６０に入射した参照光は、偏光コントローラ６１で偏光状態を整えられた後、コリメータ６２から空間光として射出される。その後、参照光は分散補償ガラス６３、光路長調整光学系６４、分散調整プリズムペア６５を通り、コリメータレンズ６６を介して光ファイバーに入射され、参照アーム６０から射出されてカプラ２２に入射する。
【００１４】
カプラ２２で測定アーム５０を経由した被検体１００の反射光と参照アーム６０を通った光とが干渉する。そして、その干渉光を検出部３０で検出する。検出部３０は、差動検出器３１とＡ／Ｄ変換器３２を有している。まず、検出部３０では、カプラ２２で干渉光を発生させた後すぐに分波された干渉光を差動検出器３１で検出する。そして、差動検出器３１で電気信号に変換された干渉信号をＡ／Ｄ変換器３２でデジタル信号に変換している。そして、デジタル信号が情報取得部４０に送られ、デジタル信号に対してフーリエ変換などの周波数分析が行われることで、眼底の情報が得られる。得られた眼底の情報は表示部７０によって断層像として表示される。
【００１５】
図１のＯＣＴ装置では、干渉光のサンプリングタイミングは、光源部１０の外に設けられるｋクロック発生部８０が発信するｋクロック信号に基づいて等光周波数（等波数）間隔に行われる。また、光源部１０から射出された光の一部をｋクロック発生部８０に分岐するために、カプラ９０が設けられている。なお、ｋクロック発生部８０、カプラ９０は光源部１０に組み込まれていてもよい。
【００１６】
以上は、被検体１００のある１点における断層に関する情報の取得のプロセスであり、このように被検体１００の奥行き方向の断層に関する情報を取得することをＡ−ｓｃａｎと呼ぶ。また、Ａ−ｓｃａｎと直交する方向で被検体の断層に関する情報、すなわち２次元画像を取得するための走査方向をＢ−ｓｃａｎ、更にＡ−ｓｃａｎ、及びＢ−ｓｃａｎのいずれの走査方向とも直交する方向に走査することをＣ−ｓｃａｎと呼ぶ。これは、３次元断層像を取得する際に眼底面内に２次元ラスター走査する場合、高速な走査方向がＢ−ｓｃａｎ、Ｂ−ｓｃａｎをその直交方向に並べて走査する低速な走査方向をＣ−ｓｃａｎと呼ぶ。Ａ−ｓｃａｎ及びＢ−ｓｃａｎを行うことで２次元の断層像が得られ、Ａ−ｓｃａｎ、Ｂ−ｓｃａｎ及びＣ−ｓｃａｎを行うことで、３次元の断層像を得ることができる。Ｂ−ｓｃａｎ、Ｃ−ｓｃａｎは、上述したＸ軸スキャナー５３、Ｙ軸スキャナー５４により行われる。
【００１７】
なお、Ｘ軸スキャナー５３、Ｙ軸スキャナー５４は、それぞれ回転軸が互いに直交するよう配置された偏向ミラーで構成されている。Ｘ軸スキャナー５３は、Ｘ軸方向の走査を行い、Ｙ軸スキャナー５４は、Ｙ軸方向の走査を行う。Ｘ軸方向、Ｙ軸方向の各方向は、眼球の眼軸方向に対して垂直な方向で、互いに垂直な方向である。また、Ｂ−ｓｃａｎ、Ｃ−ｓｃａｎのようなライン走査方向と、Ｘ軸方向またはＹ軸方向とは、一致していなくてもよい。このため、Ｂ−ｓｃａｎ、Ｃ−ｓｃａｎのライン走査方向は、撮像したい２次元の断層像あるいは３次元の断層像に応じて、適宜決めることができる。
【００１８】
また、Ｘ軸スキャナー５３とＹ軸スキャナー５４をともに駆動させ、偏向ミラーの角度を変えることでさまざまな走査が可能である。例えば、図２（ａ）、（ｂ）のようなラスター走査でもよいし、図２（ｃ）のように、眼球の一点（例えば黄班）を複数回通過する方法でもよい。また、図２（ｄ）に示すように眼球の一点（例えば黄班）を中心としてらせん状に走査を行ってもよい。
【００１９】
ところで、眼底検査においては、黄班と視神経乳頭を同一の走査で撮像したいという要望がある。これを実現するために求められるＯＣＴ装置の照射光で走査する範囲（走査角度）について図３を用いて説明する。図３は、眼球を球体として仮定したときの模式図である。眼球の瞳孔中心の反対側には黄班がある。また、黄班から少し離れた位置に視神経乳頭がある。この黄班と視神経乳頭は、眼底において特に重要な部位である。
【００２０】
標準的な成人の眼底では、黄班と視神経乳頭を包含する距離Ｄは約５．７５ｍｍである。照射光は、眼球の瞳孔中心を中心に旋回され、眼底を走査する。黄班を中心として、視神経乳頭を包含する範囲を同じ走査で撮像する場合、個人差も勘案すると、黄班と視神経乳頭を結ぶ最短の曲線の長さ（撮像範囲）Ｌが１４ｍｍ程度必要である。ここで、この撮像範囲に対応する瞳孔中心を中心に旋回される測定光の振れ角をαとする。成人の眼球の直径の平均は２４ｍｍ程度なので、撮像範囲Ｌを１４ｍｍ以上にするためには、振れ角αは３３．４度以上必要になる。この角度は、眼球内の平均屈折率が１．３８であることを利用して、空気中の、瞳孔中心に入射する照射光の振れ角βで表すと、ａｒｃｓｉｎ（１．３８×ｓｉｎ（３３．４度／２））×２≒４７度となる。つまり、黄班を中心に、黄班と視神経乳頭を同時に撮像するためには、眼底を照射光で線状に走査する場合において、眼底を走査する角度範囲が空気中で換算して４７度以上であればよい。なお、以下では、眼底を照射光で線状に走査する場合における眼底を走査する角度範囲を空気中で換算した範囲を画角とする。つまり、振れ角βを画角とする。
【００２１】
次に、上記の振れ角βで走査する場合に生じる課題について、図４を用いて説明する。図４は、図３と同様に眼球を球体として仮定したときの模式図である。図４の破線は、走査軌跡を表している。図４で示すように、瞳孔中心から眼球の外壁つまり眼底までの物理的な距離は、黄班ではａ＋ｂであり、黄班から離れた位置にある部分（角度θ／２の部分）ではａである。ａ、ｂは眼軸長の長さＴと眼球内の振れ角θを用いると、以下の式で表される。
ａ＝Ｔ×ｃｏｓ（θ／２）  ・・・式１
ａ＋ｂ＝Ｔ  ・・・式２
このように、瞳孔中心から黄班までの距離と瞳孔中心から黄班から離れた位置までの距離とは、ｂだけ異なる。このｂは角度θが大きくなればなるほど、大きくなるため、広画角の眼底検査用のＯＣＴ装置では、瞳孔中心から黄班までの光路長と瞳孔中心から黄班から離れた周辺の位置までの距離とが大きく異なってしまう。成人の眼軸長Ｔは個人差が大きく、９５％の人が含まれる眼軸長Ｔの範囲は２１ｍｍ以上２８ｍｍ以下である。ここでは、眼軸長Ｔの値として、その範囲の最大値である２８ｍｍを用い、眼球内の振れ角θが３３．４度の場合、式１、２からｂは約１．２ｍｍとなる。
【００２２】
また、眼底検査用のＯＣＴ装置で観察する眼底組織は、眼底の表面近傍の網膜とその奥にある脈絡膜である。網膜は最厚部分で０．５０ｍｍ、脈絡膜は０．３０ｍｍ程度であるので、眼底検査用のＯＣＴ装置は少なくとも０．８０ｍｍの深さまで撮像する必要がある。つまり、眼底の表面と脈絡膜との間では、０．８ｍｍの距離の差が生じる。
【００２３】
よって、黄班と視神経乳頭とを同一の走査で撮像し、かつ視神経乳頭の表面近傍と黄班の奥にある脈絡膜との情報を同程度の精度で得るためには、次のような条件が光源に求められる。すなわち、２×（ｂ＋０．８０）≒４．０ｍｍの距離差が生じても十分な干渉信号が得られるだけのコヒーレンシーが光源に求められる。この距離差は、空気中の光路差で考えると、４．０ｍｍ×１．３８≒５．５ｍｍに対応する。つまり、画角４７度以上としても、精度よく断層情報を得ることができるＯＣＴ装置を実現するためには、空気中で５．５ｍｍの光路長差があるときにも十分な強度の干渉信号が得られる光源が必要となる。
【００２４】
一般的には、５．５ｍｍの光路長差まで干渉信号を得るためには、コヒーレント長が５．５ｍｍ以上の光源を使えばよいと言われているが、医療用のＯＣＴ装置では、それでは不足である。コヒーレント長と等しい光路長差があると、干渉信号強度は光路長差がない時の半分にまで低下してしまうからである。
【００２５】
医用画像では、読影精度を高めるために画像の輝度やコントラストを精度よく管理する必要がある。一般社団法人日本画像医療システム工業会が発行している「医用画像表示用モニタの品質管理に関するガイドライン」で、読影にマルチモニタを使用する場合はモニタ間の輝度差を１０％以下にするよう求めている。つまり、１画像内での場所による１００％明度の輝度差は１０％以下にすることが望ましい。この条件を実現するためには、５．５ｍｍの光路長差が有るときの干渉信号のロールオフ特性が−１０％以内となるようにＯＣＴ装置を構成すればよい。
【００２６】
光周波数掃引型の光源の多くは、瞬時スペクトル形状が略ガウス形状なので、干渉信号の光路長差に対するロールオフ特性も略ガウス形状でロールオフする。図５は、干渉信号の強度に対応する画像コントラストの光路長差に対応するロールオフ特性を示している。なお、横軸の光路長差は、画像コントラストの値が、光路長差がない場合の画像コントラストの値の半分になる光路長差で規格化して表されている。なお、画像コントラストの値が、光路長差がない場合の画像コントラストの値の半分になる光路長差をコヒーレント長という。また、画像コントラストは、干渉信号強度または輝度値と読み替えてもよい。
【００２７】
図５において、ガウス形状のロールオフ特性では、画像コントラストのピーク（光路長差がない場合）の−１０％に強度が低下する光路長差は、画像コントラストのピークの半値まで低下するコヒーレント長の０．３９倍である。このことから、上記の条件を満たすには、コヒーレント長が最低でも５．５ｍｍ／０．３９≒１４ｍｍ必要である。つまり、光周波数掃引型の光源のコヒーレンス長は、光周波数の掃引時において１４ｍｍ以上であることが必要である。
【００２８】
また、広画角に眼底を撮像する場合、画角が広いので断層像の撮像点数も多くする必要がある。この撮像点数を多くするためには、Ａ−ｓｃａｎを高速に行う必要があり、このためには光源の光周波数は、２００ｋＨｚ以上の掃引周波数で掃引されることが求められる。つまり、上述したような画角が４７度以上のＯＣＴ装置においては、高速な光周波数の掃引速度と長いコヒーレンス長を兼ね備えた光源が必要となる。この光源としては、Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ（以下、ＭＥＭＳという）技術により垂直共振器型面発光レーザ（以下、ＶＣＳＥＬという）の発振波長を制御する、いわゆるＭＥＭＳ−ＶＣＳＥＬが最適である。よって、本発明の、画角４７度以上のＯＣＴ装置においては、コヒーレンス長が１４ｍｍ以上のＭＥＭＳ−ＶＣＳＥＬを備えた光周波数掃引型の光源を有する。この構成により、眼科疾患の診断能力が高く臨床価値の高いＯＣＴ装置を提供することができる。なお、ＭＥＭＳ−ＶＣＳＥＬとは、マイクロマシニング技術、特に犠牲層エッチングを用いたリソグラフィ技術にて作製された可動性を有する反射鏡を備えたＶＣＳＥＬを指す。
【００２９】
図６は、ＭＥＭＳ−ＶＣＳＥＬの一例を示す断面模式図である。ＭＥＭＳ−ＶＣＳＥＬ６０１は、第１反射鏡６０２と、第２反射鏡６０３と、第１反射鏡６０２と第２反射鏡６０３との間に活性層６０４を備えている。また、第１電極６０５と第２電極６０６から活性層６０４に電荷が注入され、活性層６０４が発光する。このため、活性層６０４は、第１電極６０５と第２電極６０６との間に配置されている。また第１電極６０５は、基板６０７に対して活性層６０４と反対側に配置されている。
【００３０】
第２反射鏡６０３は、可動梁６０８上であって、少なくとも発光領域に対応する位置に配置されている。そして、第２反射鏡６０３は、可動梁６０８を介して駆動される。このため、この可動梁６０８は、ギャップ形成層６０９を介して基板６１０により支持されているが、ギャップ形成層６０９には、可動梁６０８の第２反射鏡６０３が設けられた部分が厚さ方向に動くようにギャップ６１１が形成されている。また、同様に、第２反射鏡６０３と活性層６０４の間にもギャップ６１２が形成されている。
【００３１】
可動梁６０８は導電部材でできている。そして、可動梁６０８に電気的に接続された第３電極６１３と、基板６１０に対して第３電極６１３とは反対側に設けられた第４電極６１４と、の間に電圧を印加することで、静電気力により、可動梁６０８及び第２反射鏡６０３が一体で駆動される。その結果、可動梁６０８の第２反射鏡６０３が設けられた部分が、厚さ方向に動き、第１反射鏡６０２と第２反射鏡６０３との間の距離が変化する。そして、その距離に応じた波長が強められてＭＥＭＳ−ＶＣＳＥＬ６０１の射出光の発振波長（光周波数）が変化する。
【００３２】
なお、図６のＭＥＭＳ−ＶＣＳＥＬでは、活性層６０４に対して光射出側とは反対にある第２反射鏡６０３が駆動されるが、活性層６０４に対して光射出側にある第１反射鏡６０２が駆動されるように構成されていてもよい。また、第１反射鏡６０２と第２反射鏡６０３とがともに駆動されるように構成されていてもよい。
【００３３】
このＭＥＭＳ−ＶＣＳＥＬ６０１は、以下のように製造することができる。第１反射鏡６０２と活性層６０４と第１電極６０５と第２電極６０６とを有する基板６０７と、第２反射鏡６０３と可動梁６０８とギャップ形成層６０９と第３電極６１３と第４電極６１４とを有する基板６１０と、が接合層６１５で張り合わされる。なお、光射出側に位置する基板６０７は、レーザ光の吸収を抑制するために、発光領域に対応する部分に開口が形成されている。
【００３４】
活性層６０４や基板６０７、第１反射鏡６０２などに用いられる材料は、ＯＣＴ装置に使用される波長に応じて選択されればよい。例えば、ＧａＡｓ系などが挙げられる。また、眼球などの主成分は水であるため、水での吸収を抑制するため、発振波長の中心波長は中心波長が１０４０ｎｍ以上１０８０ｎｍ以下（２７７．６ＧＨｚ以上２８８．３ＧＨｚ以下）であることが望ましい。また、発振波長帯域は中心波長の±３０ｎｍ以上の範囲であることが好ましい。
【００３５】
第１反射鏡６０２や第２反射鏡６０３は、図６のような多層膜を用いることができる。より具体的には、分布ブラッグ反射鏡（Ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄ  Ｂｒａｇｇ  Ｒｅｆｌｅｃｔｏｒ、以下ＤＢＲという）を用いることができる。ＤＢＲは、相対的に高い屈折率を有する高屈折率層と、相対的に低い屈折率を有する低屈折率層とが交互に積層された構成である。高屈折率層と低屈折率層は、それぞれに含まれる元素が異なっていたり、元素が同じでもその組成の比率が異なっている。また、高屈折率層と低屈折率層それぞれの光学的厚さは、中心波長をλとすると、λ／４の奇数倍であることが好ましい。また、ＤＢＲは、半導体多層膜で構成されていてよいし、誘電体多層膜で構成されていてもよい。
【００３６】
また、第１反射鏡６０２や第２反射鏡６０３はＤＢＲでなくてもよい。例えば、回折格子、例えば高屈折率差サブ波長回折格子（Ｈｉｇｈ  ｉｎｄｅｘ  Ｃｏｎｔｒａｓｔ  Ｇｒａｔｉｎｇ、以下ＨＣＧという）ミラーであってもよい。ＨＣＧミラーは、高屈折率の材料と低屈折率の材料とが面内方向に交互に周期的に並んだ構成である。例えば、高屈折率の材料（例えば、Ａｌ０．７Ｇａ０．３Ａｓ）の一部を除去してスリット（開口部）を周期的に形成することで、高屈折領域（Ａｌ０．７Ｇａ０．３Ａｓ）と低屈折領域（空気）を面内方向に交互に周期的に並んだ構成を得ることができる。ＨＣＧミラーを用いる場合には、１次元あるいは２次元の周期構造を有するＨＣＧミラーを用いることができる。なお、第２反射鏡６０３としてＨＣＧミラーを用いる場合には、可動梁６０８と第２反射鏡６０３とが一体化された構成とすることが望ましい。
【００３７】
第１反射鏡６０２と第２反射鏡６０３のうち光射出側の反射鏡（図６の構成では第１反射鏡６０２）としては、反射率の値が９９．０％以上９９．７％以下の間であることが好ましい。また、光射出側の反射鏡とは異なる反射鏡（図６の構成では第２反射鏡６０３）の反射率の値は、９９．５％以上が好ましい。反射率の値は、発振波長帯域の全領域における値である。
【００３８】
ＭＥＭＳ−ＶＣＳＥＬ６０１の光周波数掃引時のコヒーレント長は、第１反射鏡６０２と第２反射鏡６０３の反射率を大きくすることで、長くすることができる。上述した反射率の範囲であれば、ＭＥＭＳ−ＶＣＳＥＬ６０１の光周波数掃引時のコヒーレント長が１４ｎｍ以上を達成することができる。コヒーレント長を更に長くするためには、駆動される第２反射鏡６０３は限りなく反射率を高くすることが好ましい。一方、活性層６０４と活性層６０４に電荷を注入するための第１電極６０５との間にある第１反射鏡６０２は、反射率を高くするとコヒーレント長は長くなるが、トレードオフで光出力パワーが低下するため、上述した範囲で適切な反射率に設定する。光周波数掃引時のコヒーレント長２３ｍｍ以上を達成するためには、光出射側の第１反射鏡６０２の反射率の値が９９．３％以上９９．７％以下とすることが好ましい。
【００３９】
活性層６０４は、広波長帯域の利得を有するものであることが好ましく、具体的には第１反射鏡６０２と第２反射鏡６０３の反射帯域より広い波長領域において、十分な利得を有することが好ましい。そのような活性層６０４としては、例えば、少なくとも２つ以上の異なるエネルギー準位で発光が可能な量子井戸構造を有する活性層が挙げられる。また、量子井戸構造は、単量子井戸構造でもよいし多重量子井戸構造であってもよい。また、多重量子井戸構造の場合は、活性層６０４は、井戸ポテンシャルの深さや井戸の幅が同じ複数の量子井戸を有していてもよいし、井戸ポテンシャルの深さや井戸の幅が異なる複数の量子井戸を有していてもよい。
【００４０】
また、活性層６０４を励起する方法として、第１電極６０５と第２電極６０６とか電荷を注入する方法を例示して説明したが、外部光源を用いて光励起する方法も挙げられる。この場合には、第１電極６０５と第２電極６０６とは不要である。
【００４１】
また、光周波数の掃引速度を上げるには、第３電極６１３と第４電極６１４に印加する交流電圧の周波数を大きくすればよい。また、第２反射鏡６０３と可動梁６０８の構造物の共振周波数を高くし、その共振周波数と交流電圧の周波数とを同じにすることが好ましい。これにより、高速且つ大きな変位で第２反射鏡６０３を可動することができ、掃引速度が速く、広い発振波長帯域を有するＭＥＭＳ−ＶＣＳＥＬ６０１を得ることができる。第２反射鏡６０３と可動梁６０８の構造物の共振周波数を大きくするには、例えば、第２反射鏡６０３または可動梁６０８のうち一方又は両方の質量を小さくすればよい。
【００４２】
近年、眼底疾患の診断のために眼底の周辺部にあるドルーゼンをＯＣＴ装置で観察したいという要望がある。つまり、図３の撮像範囲Ｌが２０ｍｍ以上の広い範囲を観察できるＯＣＴ装置が求められている。ただし、撮像範囲Ｌが２０ｍｍ以上とすることは、画角６８度以上であることに対応する。撮像範囲Ｌが２０ｍｍの場合には、眼底の中心部と周辺部との距離変化である、式２のｂは約２．４ｍｍとなる。これに深さ０．８ｍｍを加えた約３．２ｍｍの距離差は、空気中で約８．８ｍｍ（＝３．２×２×１．３８）の光路長差に対応する。この光路長差が生じた場合でも、精度のよい断層情報を得るためには、上述したロールオフ特性を考慮すると、光周波数掃引時にコヒーレント長が２３ｍｍ以上の光源が必要となる。
【００４３】
この光源としては、やはり上述したようなＭＥＭＳ−ＶＣＳＥＬ６０１を用いることができる。ただし、コヒーレント長を長くするために、反射鏡の反射率を大きくする必要があるため、ＭＥＭＳ−ＶＣＳＥＬ６０１の光出力は小さくなってしまう。そのため、光源部１０は、ＭＥＭＳ−ＶＣＳＥＬ６０１と、ＭＥＭＳ−ＶＣＳＥＬ６０１の光出力を増幅するための光アンプを備えていることが好ましい。光アンプの一例としては半導体光アンプが挙げられる。
【００４４】
また、画角６８度以上のＯＣＴ装置においては、撮像間隔にもよるが、光周波数の掃引速度を４００ｋＨｚ以上にすることが求められる。このために、可動梁６０８の質量を減らし、共振周波数を上げることが望ましい。具体的には、第２反射鏡６０３と可動梁６０８を一体で形成したＨＣＧミラーを第２反射鏡６０３として用いた構成とすることが好ましい。
【００４５】
（実施例）
以下に、本発明の実施例について説明する。
【００４６】
［実施例１］
本実施例では、図１のＯＣＴ装置の光源部１０に用いられる光周波数掃引型の光源として、図６で示したＭＥＭＳ−ＶＣＳＥＬを用いる例である。光源部１０の詳細を図７で示す。ＭＥＭＳ−ＶＣＳＥＬ６０１の光出力が不足しているため、光源部１０は、光アンプ７０１を備え、ＭＥＭＳ−ＶＣＳＥＬ６０１の光出力を増幅する。具体的には、出力ファイバー７０２から２０ｍＷの光出力を出射するように構成する。また、光源部１０は、ＭＥＭＳ−ＶＣＳＥＬ６０１の出力光を光アンプに導波するための光ファイバー７０３に結合させるためのレンズ７０４を備えている。
【００４７】
光源部１０は、２９６．８ＴＨｚ（１０１０ｎｍ）から２７０．１ＴＨｚ（１１１０ｎｍ）の光を高周波数から低周波数に向かって掃引し、光を出力する。ここで高周波数から低周波数に向かって掃引するのは、逆向きに光周波数掃引する場合、つまり低周波数から高周波数向かって掃引する場合と比べて少し大きな光出力が得られ、画質が向上するからである。ＭＥＭＳ−ＶＣＳＥＬ６０１の光周波数掃引時のコヒーレント長は１４ｍｍ以上のものを使用すればよく、本実施例では２０ｍｍのものを使用する。
【００４８】
図１を用いて、本実施例のＯＣＴ装置の動作について説明する。光源部１０の出力光の一部をｋクロック発生部８０へ分岐するためのカプラ９０に入力する。カプラ９０の分岐比は０．９５対０．０５で、５％の光量をｋクロック発生部８０に分岐する。ｋクロック発生部８０は入力された光から等光周波数間隔のクロック信号を生成する。画角４７度の範囲を包含する深度範囲２．０ｍｍ（眼内）をロールオフ特性−１０％以内で撮像するために必要な１０．６ＧＨｚ光周波数間隔のｋクロックを生成するように構成されている。具体的には、ｋクロック発生部８０はマッハツェンダー干渉計で構成する。
【００４９】
カプラ９０から射出される光の他の一部は、干渉部２０のカプラ２１に入射される。カプラ２１は、光源部１０から射出された光を眼底へ照射する照射光と参照光とに分岐する。カプラ２１の分岐比は、測定アーム５０対参照アーム６０の比で、３：７である。測定アーム５０に導入された照射光は、偏光コントローラ５１で偏光状態を整えられた後、コリメータ５２から空間光として射出される。その後、Ｘ軸スキャナー５３、Ｙ軸スキャナー５４、フォーカスレンズ５５を介して被検体１００の眼底に照射され、眼底を線状に走査する。Ｘ軸方向は視神経乳頭と黄班とを結ぶ直線と平行な方向とし、それと垂直な方向をＹ軸方向とする。Ｘ軸スキャナー５３のスキャン範囲、Ｙ軸スキャナー５４のスキャン範囲はともに画角４７度とする。そして、黄班が中央に位置する範囲を走査するようにＸ軸スキャナー５３、Ｙ軸スキャナー５４は構成されている。被検体１００の眼底からの後方散乱光は、再びフォーカスレンズ５５、Ｙ軸スキャナー５４、Ｘ軸スキャナー５３、コリメータ５２、偏光コントローラ５１を介してファイバーに導入され、カプラ２１を経由してカプラ２２に入射する。
【００５０】
参照アーム６０に導入された参照光は、偏光コントローラ６１で偏光状態を整えた後、コリメータ６２から空間光として射出される。その後、分散補償ガラス６３、光路長調整光学系６４、分散調整プリズムペア６５を通り、コリメータレンズ６６を介してファイバーに導入され、カプラ２２に入射する。
【００５１】
カプラ２２で測定アーム５０を経由した被検体１００の後方散乱光と参照アーム６０を通った光が干渉する。そして、その干渉光は検出部３０の差動検出器３１で検出される。差動検出器３１で電気信号に変換された干渉信号は、ｋクロック発生部８０で生成したｋクロックに同期してＡ／Ｄ変換器３２でサンプリングし、等光周波数間隔のデジタル信号に変換される。Ａ／Ｄ変換器３２で取得した等光周波数間隔のデジタル信号に対して情報取得部４０が、ノイズ低減、フーリエ変換、断層画像化処理などの信号処理を行う。その結果、眼底の情報が得られ、得られた眼底の情報は表示部７０によって画像として表示される。
【００５２】
光源部１０の光周波数の掃引周波数を２００ｋＨｚとし、Ｘ軸方向に２０μｍ間隔、Ｙ軸方向に５０μｍ間隔で断層画像を撮像する。サンプリング数は１９６０００点である。このようにして４７度の画角、すなわち１４×１４ｍｍの範囲の眼底の断層画像を１秒弱で取得した。ここで、Ｘ軸方向の撮像間隔を２０μｍとしたのは、瞳孔径で制限されるＯＣＴ装置の横方向分解能は通常２０μｍであり、本実施例でもそれと同じにするためである。一方、従来のＯＣＴ装置と同様に、撮像時間を短くするために、Ｙ軸方向の走査間隔を広くし、５０μｍとした。
【００５３】
［実施例２］
本実施例は、実施例１とは、Ｘ軸方向の撮像間隔を２０μｍとした点と光周波数の掃引周波数を２４５ｋＨｚとした点で異なる。この構成により、断層像の取得間隔をＸ方向、Ｙ方向ともに２０μｍとしているので、後処理でどの場所の断層像も生成することが可能となり、自在な読影が可能なＯＣＴ装置が得られる。また、光周波数掃引の周波数を２４５ｋＨｚとすることで、１４ｍｍ×１４ｍｍの範囲の断層像取得が２秒で可能となる。患者が固視できる時間は２秒程度が限界であるため、１枚の断層画像を２秒以下で取得することにより、モーションアーチファクトの少ない良好な画像を取得することができる。
【００５４】
なお、実施例１、２、後述する実施例３、４の比較を表１示す。
【００５５】
【表１】
2016002382.tif 000003
【００５６】
［実施例３］
本実施例は、実施例１とは、上記表１で示すように、ＭＥＭＳ−ＶＣＳＥＬ６０１のコヒーレント長、光周波数の掃引周波数、画角、撮像範囲、Ｘ方向の撮像間隔、Ｙ方向の撮像間隔が異なっている。まず、Ｘ軸スキャナー５３、Ｙ軸スキャナー５４の走査角度を大きくし、画角を６８度としている。その結果、眼底の２０ｍｍ×２０ｍｍの範囲が撮像できるＯＣＴ装置を構成することができ、眼底の周辺部にあるドルーゼンを観察することが可能となる本実施例では、コヒーレンス長が４０ｍｍのＭＥＭＳ−ＶＣＳＥＬ６０１を用いる。その構成は、図６で示したものとほぼ同じであるが、光射出側にある第１反射鏡６０２の反射率を実施例１のものよりも高くし、実施例１で用いたものよりもフィネスを大きくしている。また第２反射鏡６０３として可動梁６０８と一体となったＨＣＧミラーを用いている。ただし、本実施例のＭＥＭＳ−ＶＣＳＥＬ６０１は、第１反射鏡６０２の反射率を上げたことにより、実施例１のＭＥＭＳ−ＶＣＳＥＬ６０１よりも光出力が低下し、光源部１０の光出力は１０ｍＷである。
【００５７】
また、Ｘ軸方向に１０μｍ間隔、Ｙ軸方向に５０μｍ間隔で断層画像を撮像し、２０×２０ｍｍの範囲の眼底断層像を２秒で取得するために、光源部１０の光周波数の掃引周波数を４００ｋＨｚとしている。
【００５８】
本実施例により、眼底の周辺部のドルーゼンが１回の走査で観察可能な広画角なＯＣＴ装置を得ることができる。
【００５９】
［実施例４］
本実施例は、実施例３とは、上記表１で示すように、光周波数の掃引周波数、Ｘ方向の撮像間隔、Ｙ方向の撮像間隔が異なっている。具体的には、Ｘ軸方向に２０μｍ間隔、Ｙ軸方向に２０μｍ間隔で断層画像を撮像する。そして、光周波数の掃引周波数を５００ｋＨｚとすることで、２０ｍｍ×２０ｍｍの範囲の２０μｍ間隔での断層像取得が２秒で可能となる。
【符号の説明】
【００６０】
１０  光源部
２０  干渉部
３０  検出部
４０  情報取得部
５３  Ｘ軸スキャナー
５４  Ｙ軸スキャナー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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