(57)【要約】      （修正有）【課題】光回路の小型化ができる光回路及び光回路の作製方法を提供する。【解決手段】光回路３０は、入出力導波路１１と、入出力導波路１２と、検査用導波路１３と、スラブ導波路１４と、アレイ導波路１５とを備え、検査用導波路１３は、入出力導波路１２の接続されるスラブ導波路１４に接続される。検査用導波路１３は、第１の端面３１ａと対向する第２の端面３１ｂに、検査ポート１３ａを有する。検査用導波路１３は、第３の端面３１ｃに位置する第２の端点１３ｂ及び第１の端点１３ｃで途切れる。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の端面に複数の入出力ポートが配置された光導波回路と、
前記光導波回路に接続された前記光導波回路の検査を行うための検査用導波路と、
を備え、
前記検査用導波路が、前記第１の端面と略垂直な第３の端面に位置する第１の端点で途切れていることを特徴とする光回路。
【請求項２】
前記第３の端面のうちの前記第１の端点とは異なる第２の端点から前記第１の端面と対向する第２の端面に導かれている導波路をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の光回路。
【請求項３】
前記第３の端面のうちの第３の端点と第４の端点とをつなぐ導波路をさらに備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の光回路。
【請求項４】
前記第３の端面に対向する第４の端面のうちの第３の端点と第４の端点とをつなぐ導波路をさらに備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の光回路。
【請求項５】
前記第３の端面に対向する第４の端面のうちの第３の端点から前記第１の端面に導かれている導波路をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の光回路。
【請求項６】
前記第３の端面のうちの前記第１の端点とは異なる第２の端点から前記第１の端面に導かれている導波路をさらに備えていることを特徴とする請求項１に記載の光回路。
【請求項７】
複数の入出力ポートに接続された光導波回路及び前記光導波回路に接続された検査用導波路を備える複数の光回路をウエハ上に形成する光回路形成工程と、
前記複数の光回路の境界で分離する分離工程と、
を順に有する光回路の作製方法であって、
前記光回路形成工程において、
隣接する２つの光回路のうちの第１の光回路の入出力ポートが第１の端面に配置され、かつ、前記２つの光回路のうちの第２の光回路の入出力ポートが前記第１の端面と対向する端面に配置されるように前記光導波回路を形成し、
前記第２の光回路の前記検査用導波路につながる検査ポートと前記第１の光回路の前記検査用導波路につながる検査ポートとが対向する面に配置され、かつ、前記第１の光回路及び前記第２の光回路の少なくともいずれかの前記検査用導波路が前記境界を少なくとも１回横切るように、前記検査用導波路を形成する、光回路の作製方法。
【請求項８】
前記隣接する２つの光回路は点対称の関係にあることを特徴とする請求項７に記載の光回路の作製方法。
【請求項９】
前記第１の端面の一辺に対し、前記第１の光回路と線対称の関係にある光回路を前記第２の光回路として形成することを特徴とする請求項７に記載の光回路の作製方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光回路及びその作製方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、光通信システムに用いられる光モジュールの小型化や、部品点数の削減を目的とした検討が続けられている。例えば、特許文献１のように、光回路が有する入出力導波路の入出力ポートを基板の同じ端面に配置することによって、光モジュールの小型化を達成する方法が考えられる。しかし、光回路を作製する際に、基板の１つの端面に光回路が有する導波路の入出力ポートをまとめて配置すると、入力導波路と出力導波路を近接して配置することとなる。そのため、光回路の検査が難しいという問題があった。
【０００３】
そこで、図１に示す光回路１０のような構成が用いられている。光回路１０は、入出力導波路１１と、入出力導波路１２と、検査用導波路１３と、スラブ導波路１４と、アレイ導波路１５とを備える。検査用導波路１３は、検査ポート１３ａを有する。１６ｂは分離線である。検査用導波路１３の検査ポート１３ａは、入出力導波路１１又は入出力導波路１２の入出力ポートと対向するように引き回されている。Ｗ１０は光回路１０の幅であり、Ｗ１０は、光回路１０を挟む分離線１６ｂ間の距離である。
【０００４】
図２に、４つの光回路１０をウエハ上面に配置した例を示す。光回路１０は、入力導波路として機能する入出力導波路１１と、出力導波路として機能する入出力導波路１２とが近接して配置される。しかし、検査用の検査用導波路１３及び検査ポート１３ａは、入出力導波路１１及び入出力導波路１２の入出力ポートの反対側に設けられているため、検査治具や検査器材がバーやチップを挟んで対向して設置できる。したがって、検査が容易である。
【０００５】
光回路のチャネル数が少ない場合には、図２に示すように光回路１０を同じ向きに並列に配置することができる。ここで、チャネル数とは、入出力導波路１１と入出力導波路１２が有する導波路の数の和である。また、検査用導波路１３は入出力導波路１２側で湾曲させ、検査用導波路１３を入出力導波路１１及び入出力導波路１２とは反対側の端へ導くことにより、光回路１０を有するチップの小型化を図っている。
【０００６】
入出力導波路１１及び入出力導波路１２のそれぞれが有する導波路の間隔は、例えば１２７μｍである。そのため、光回路１０のそれぞれの入出力導波路が配列しているｘ方向の長さは、少なくとも１２７μｍとチャネル数の積となる。したがって、チャネル数が少ない場合には、検査用導波路１３等の引き回し領域を広くしなければ、ｘ方向が長くなることによって、光回路１０が大型化することはない。しかし、光回路１０のｙ方向の長さはチャネル数に関係なくほぼ一定となる。これは、光回路１０が有する導波路の曲率半径を小さくできないことが原因であった。
【０００７】
しかし、現在、多チャネルを備える光モジュールの小型化要求が強くなるとともに、高Δ導波路構造の光回路の更なる小型化が求められている。ここで、Δとは、導波路を構成するコアとクラッドの比屈折率差である。高Δ化することにより導波路の曲率半径を小さく設計できるため、導波路を配置する密度を高めることによって光回路１０のうち、スラブ導波路１４とアレイ導波路１５の小型化を達成できる。しかし、検査用導波路１３を配置するスペースを確保することが難しくなるため、光回路１０全体では小型化が困難になるという問題があった。
【０００８】
図３のようなチャネル数が多い高Δの光回路２０では、チャネル数が多いことが原因で、入出力導波路１１及び入出力導波路１２の入出力ポート付近に空きスペースがない。そのため、検査用導波路１３はスラブ導波路１４から入出力導波路１２と逆側に湾曲し、入出力導波路１２の入出力ポートが接続される端面と対向する端面へと続く構成となる。
【０００９】
光回路２０のような構成では、チャネル数が多いためｘ軸方向は長くなるが、ｙ軸方向は高Δ化した分だけ短くできる。高Δ化されても入出力導波路１１及び入出力導波路１２の最小間隔は変わらないので、光回路２０のチップサイズのｘ方向は、導波路の最小間隔とチャネル数の積に制限される。
【００１０】
このように、光回路２０のｙ方向の長さは高Δ化によって削減できるが、ｘ方向の長さは主にチャネル数によって決まるため、光回路２０のｘ方向の長さの削減が容易ではないという問題があった。また、検査用導波路１３は検査が終了すると不要になるが、検査用導波路１３を設けなければならないことも小型化の障壁となっていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００４−４９０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
前記課題を解決するために、本発明は、隣接する光回路の余白領域を検査用導波路及び検査ポートを配置するために利用し、アレイ導波路を有する光回路の小型化を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するために、本発明に係る光回路は、光回路の検査が終了した後は不要となる検査用導波路を隣接する光回路の余白領域内に設ける光回路である。本願発明に係る光回路の作製方法は、本願発明に係る光回路を作製する方法である。
【００１４】
具体的には、本発明に係る光回路は、第１の端面に複数の入出力ポートが配置された光導波回路と、前記光導波回路に接続された前記光導波回路の検査を行うための検査用導波路と、を備え、前記検査用導波路が、前記第１の端面と略垂直な第３の端面に位置する第１の端点で途切れていることを特徴とする光回路である。
【００１５】
本発明に係る光回路は、検査用導波路が光導波回路と検査ポートの間で途切れている。これは、光回路の作製時に検査ポートにつながる検査用導波路が、隣接する光回路との境界を横切るように形成されていたためである。このように、本発明に係る光回路は、検査ポート及び検査ポートにつながる検査用導波路を、光回路の作製時に隣接する光回路の余白領域に配置するため、アレイ導波路を有する光回路の小型化を実現することができる。
【００１６】
本発明に係る光回路では、前記第３の端面のうちの前記第１の端点とは異なる第２の端点から前記第１の端面と対向する第２の端面に導かれている導波路をさらに備えていてもよい。
【００１７】
本発明に係る光回路では、前記第３の端面のうちの第３の端点と第４の端点とをつなぐ導波路をさらに備えていてもよい。
【００１８】
本発明に係る光回路では、前記第３の端面に対向する第４の端面のうちの第３の端点と第４の端点とをつなぐ導波路をさらに備えていてもよい。
【００１９】
本発明に係る光回路では、前記第３の端面に対向する第４の端面のうちの第３の端点から前記第１の端面に導かれている導波路をさらに備えていてもよい。
【００２０】
本発明に係る光回路では、前記第３の端面のうちの前記第１の端点とは異なる第２の端点から前記第１の端面に導かれている導波路をさらに備えていてもよい。
【００２１】
具体的には、本発明に係る光回路の作製方法は、複数の入出力ポートに接続された光導波回路及び前記光導波回路に接続された検査用導波路を備える複数の光回路をウエハ上に形成する光回路形成工程と、前記複数の光回路の境界で分離する分離工程と、を順に有する光回路の作製方法であって、前記光回路形成工程において、隣接する２つの光回路のうちの第１の光回路の入出力ポートが第１の端面に配置され、かつ、前記２つの光回路のうちの第２の光回路の入出力ポートが前記第１の端面と対向する第２の端面に配置されるように前記光導波回路を形成し、前記第２の光回路の前記検査用導波路につながる検査ポートと前記第１の光回路の前記検査用導波路につながる検査ポートとが対向する面に配置され、かつ、前記第１の光回路及び前記第２の光回路の少なくともいずれかの前記検査用導波路が前記境界を少なくとも１回横切るように、前記検査用導波路を形成する。
【００２２】
本発明に係る光回路の作製方法は、光回路形成工程及び分離工程を有するので、１つのウエハ上に複数の光回路を同時に作製した後、光回路ごとに分離することができる。ここで、光回路形成工程において光回路の検査ポートに繋がる検査用導波路は隣接する光回路の境界を横切るように形成するため、光回路の検査ポート及び検査用導波路を隣接する光回路の余白領域内に配置することができる。そのため、本発明に係る光回路の作製方法は、アレイ導波路を有する光回路の小型化を実現することができる。
【００２３】
本発明に係る光回路の作製方法では、前記隣接する２つの光回路の配置は点対称又は線対称の関係になるように形成する。
【００２４】
本発明に係る光回路の作製方法では、前記第１の端面の一辺に対し、前記第１の光回路と線対称の関係にある光回路を前記第２の光回路として形成してもよい。
【００２５】
なお、上記各発明は、可能な限り組み合わせることができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、小型化した光回路の作製方法及びその作製方法で作製した光回路を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】従来の光回路の一例を示す。
【図２】従来のチャネル数の少ない光回路を４つ並べた場合の一例を示す。
【図３】従来のチャネル数の多い光回路を４つ並べた場合の一例を示す。
【図４】本発明の第１の実施形態に係る光回路３０の一例を示す。
【図５】本発明の第１の実施形態に係る光回路３０を、組を構成する隣接する光回路３０が境界線１６ａの中心を基準として点対称となるように４つ並べた場合の一例を示す。
【図６】本発明の第１の実施形態の変形例であり、光回路３０を、組を構成する隣接する光回路３０が境界線１６ａの中心を基準として点対称となるように４つ並べた場合の一例を示す。
【図７】本発明の第２の実施形態に係る光回路５０の一例を示す。
【図８】本発明の第２の実施形態に係る光回路５０を４つ並べた場合の一例を示す。
【図９】本発明の第２の実施形態の別形態に係る光回路５５の一例を示す。
【図１０】本発明の第２の実施形態の別形態に係る光回路５５を４つ並べた場合の一例を示す。
【図１１】本発明の第３の実施形態に係る光回路６０の一例を示す。
【図１２】本発明の第３の実施形態に係る光回路６０を、組を構成する隣接する光回路６０が境界線１６ａの中心を基準として点対称となるように４つ並べた場合の一例を示す。
【図１３】本発明の第３の実施形態に係る光回路６０を、組を構成する隣接する光回路６０が境界線１６ａの中心を基準として点対称となるように並べ、さらに組と隣接する組が境界線１６ａを基準として線対称になるように４つ並べた場合の一例を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、本発明は、以下に示す実施形態に限定されるものではない。これらの実施の例は例示に過ぎず、本発明は当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。なお、本明細書及び図面において符号が同じ構成要素は、相互に同一のものを示すものとする。
【００２９】
（第１の実施形態）
図４に、本発明の第１の実施形態に係るウエハ上に形成された光回路３０のパターンの一例を示す。光回路３０は、入出力導波路１１と、入出力導波路１２と、検査用導波路１３と、スラブ導波路１４と、アレイ導波路１５とを備える。入出力導波路１１及び入出力導波路１２は、第１の端面３１ａに入出力ポートを備える。本実施形態では、入出力導波路１１、入出力導波路１２、スラブ導波路１４及びアレイ導波路１５は光導波回路として機能する。
【００３０】
本実施形態の光導波回路は、２つのスラブ導波路１４がアレイ導波路１５で接続され、一方のスラブ導波路１４が入出力導波路１１に接続され、他方のスラブ導波路１４が入出力導波路１２に接続される。入出力導波路１１及び入出力導波路１２の入出力ポートは、第１の端面３１ａに配置されている。入出力導波路１１及び入出力導波路１２の入出力ポートを有する端面が端面３１ａで、端面３１ａに対向する端面が端面３１ｂである。入出力導波路１１及び入出力導波路１２のそれぞれは１以上の導波路を有するので、第１の端面３１ａには複数の入出力ポートが配置される。複数の入出力ポートは、例えば１５以上６０以下の入出力ポートである。入出力導波路１１及び入出力導波路１２のそれぞれは、境界線１６ａと分離線１６ｂに挟まれた領域に配置される。境界線１６ａの両側に組を構成する２つの光回路３０を形成し、境界線１６ａで光回路を分離すると第３の端面３１ｃが形成される。また、分離線１６ｂを挟んで組単位で形成する光回路を、分離線１６ｂで分離すると第４の端面３１ｄが形成される。
【００３１】
光導波回路の検査を行うための検査用導波路１３は、入出力導波路１２の接続されるスラブ導波路１４に接続される。検査用導波路１３は、第１の端面３１ａと対向する第２の端面３１ｂに、検査ポート１３ａを有する。検査用導波路１３は、第３の端面３１ｃに位置する第２の端点１３ｂ及び第１の端点１３ｃで途切れる。このため、検査用導波路１３は、検査ポート１３ａと第２の端点１３ｂを繋ぐ導波路と、第１の端点１３ｃとスラブ導波路１４を繋ぐ導波路を有する。
【００３２】
ここで、第３の端面３１ｃは、光回路３０を作製する際に、ウエハ上で隣接する他の光回路３０と分離された端面であり、第１の端面３１ａ及び第２の端面３１ｂに接するとともに、第１の端面３１ａ及び第２の端面３１ｂと略垂直である。Ｗ３０は光回路３０の幅であり、光回路３０を作製する際にウエハから分離された境界線１６ａと分離線１６ｂの間の距離である。
【００３３】
また、本実施形態の光回路３０は、導波路１７を備える。導波路１７は、第３の端面３１ｃの第３の端点１７ａから入力された光を第３の端面３１ｃの第４の端点１７ｂから出力し、第３の端面３１ｃの第４の端点１７ｂから入力された光を第３の端面３１ｃの第３の端点１７ａから出力する。本実施形態に係る光回路３０では、第２の端点１３ｂ、第１の端点１３ｃ、第３の端点１７ａ、第４の端点１７ｂは同じ第３の端面３１ｃに配置される。
【００３４】
次に、本実施形態に係る光回路３０の作製方法について説明する。本実施形態に係る光回路３０の作製方法は、光回路形成工程と、分離工程とを順に有する。光回路形成工程と、分離工程との間に、光回路形成工程で形成した光回路を検査する検査工程を有してもよい。
【００３５】
本実施形態の光回路形成工程では、複数の光回路３０を隣接させてウエハ上に形成する。図５に、光回路３０を形成したウエハの一例の一部の拡大図を示す。２つの光回路３０を１組とする光回路３０ＡＢがウエハ上に複数配列されている。光回路ＡＢがｘ方向に２組形成されている様子を図５に示す。光回路３０ＡＢはウエハ上にｘ方向及びｙ方向に連結されて形成されており、ｘ方向及びｙ方向の連結数は任意である。
【００３６】
２つの光回路３０からなる光回路３０ＡＢは、第１の光回路３０Ａと、第２の光回路３０Ｂとが境界線１６ａを挟んで隣接している。また、２組の光回路３０ＡＢのうちの一方の光回路３０ＡＢの第１の光回路３０Ａと、他方の光回路３０ＡＢの第２の光回路３０Ｂとが分離線１６ｂを挟んで隣接している。光回路３０ＡＢのうち、第１の光回路３０Ａと第２の光回路３０Ｂは、分離工程で、これらの境界である境界線１６ａで分離され、一方の光回路３０ＡＢと他方の光回路３０ＡＢは分離線１６ｂで分離される。ここで、複数の光回路３０ＡＢの境界である境界線１６ａと分離線１６ｂは、第１の端面３１ａ及び第２の端面３１ｂと略垂直な面を通る線である。光回路３０ＡＢを構成する光回路３０Ａと光回路３０Ｂの２つの検査用導波路１３は、光回路３０ＡＢにある１つの境界線１６ａだけを横切る。
【００３７】
本実施形態では、パターンＡの光回路３０Ａと、パターンＡの光回路３０Ａを点対称に配置したパターンＢの光回路３０Ｂとを交互に形成する。具体的には、光回路３０Ａの入出力導波路１１及び１２の入出力ポートが光回路３０Ａの第１の端面３１ａに配置され、かつ、光回路３０Ｂの入出力導波路１１及び１２の入出力ポートが光回路３０Ｂの第１の端面３１ａに配置されるように、光導波回路を形成する。光回路３０Ａの第１の端面３１ａと光回路３０Ｂの第２の端面３１ｂは同じ平面上に形成される。また、光回路３０Ａの第２の端面３１ｂと光回路３０Ｂの第１の端面３１ａは同じ平面上に形成される。
【００３８】
組を構成する光回路３０ＡＢの光回路３０Ａと光回路３０Ｂのそれぞれの検査ポート１３ａは対向する面に形成する。例えば、光回路３０Ａの検査ポート１３ａが光回路３０Ａの第２の端面３１ｂに配置され、かつ、光回路３０Ｂの検査ポート１３ａが光回路３０Ｂの第２の端面３１ｂに配置されるように、検査用導波路１３を形成する。
【００３９】
光回路３０Ａの検査ポート１３ａが光回路３０Ａの入出力導波路１１及び１２の入出力ポートよりも境界線１６ａ側に配置され、かつ、光回路３０Ｂの検査ポート１３ａが光回路３０Ｂの入出力導波路１１及び１２の入出力ポートよりも境界線１６ａ側に配置されている。このような配置を採用することで、光回路３０が有する導波路の間隔が１２７μｍ、光回路３０が有する入出力導波路１１及び入出力導波路１２を構成する導波路の合計チャネル数が４０である場合、光回路３０のｘ方向の幅のうち、入出力導波路１１及び１２の入出力ポートの幅は約５ｍｍとなる。
【００４０】
検査ポート１３ａを境界線１６ａに近づけると同時に、入出力導波路１１及び１２の入出力ポートを境界線１６ａに近づけることで、光回路３０のｘ方向の幅を入出力導波路１１及び１２の入出力ポートの幅である約５ｍｍに近づけることができる。この場合、検査時の光の干渉を避けるため、検査ポート１３ａと入出力導波路１２の入出力ポートの向きが平行となる配置はとらない。入出力導波路の入出力ポート（１１及び１２）と検査ポート１３ａをこのように形成すると、光回路３０ＡＢは６インチウエハの直径上に約３０個の光回路３０が形成できる。
【００４１】
図５のように、本実施形態では、光回路３０Ａ及び光回路３０Ｂの検査ポート１３ａにつながる検査用導波路１３が境界線１６ａを横切るように、検査用導波路１３を形成する。具体的には、光回路３０Ａの検査用導波路１３は、境界線１６ａを横切って光回路３０Ａから光回路３０Ｂに入り、境界線１６ａを横切って光回路３０Ｂから光回路３０Ａに入るように形成する。また、光回路３０Ｂの検査用導波路１３は、境界線１６ａを横切って光回路３０Ｂから光回路３０Ａに入り、境界線１６ａを横切って光回路３０Ａから光回路３０Ｂに入るように形成する。このとき、隣接する光回路３０の領域のうち、導波路が配置されない余白領域に検査用導波路１３の一部を形成する。これにより、光回路３０Ｂに、図４に示す導波路１７が形成され、光回路３０Ａに、図４に示す導波路１７が形成される。
【００４２】
従来の光回路では、光モジュールの小型化や部品数削減のため、光回路の入出力導波路に繋がる入出力ポートは同じ端面に配置されている。入出力ポート数が多い場合には、従来の光回路では入出力導波路の専有面積が大きくなるため、検査ポート１３ａを取回すための領域が別途必要となっていた。そのため、小型化が困難であった。そこで、本実施形態では、隣接する光回路３０の領域のうち、導波路のない余白領域を、検査用導波路１３を配置する領域として利用する。
【００４３】
このように、本実施形態の光回路形成工程では、隣接する光回路３０の余白領域に検査用導波路１３の一部を形成するので、検査用導波路１３を取回すための領域を新たに設ける必要がなく、その領域の分だけ光回路３０の１つあたりの面積を縮小できる。ここで、図５の１８は従来のレイアウトでの分離線の位置である。図５のように光回路３０を配置するので、光回路３０のサイズはｘ方向にＷｄｉｆだけ小さくすることができる。ここで、Ｗｄｉｆは光回路３０での境界線１６ａの位置と、従来のレイアウトで配置する分離線１８の位置の間の距離である。
【００４４】
次に検査工程について説明する。検査工程では、光回路３０を形成したウエハを光回路３０の入出力導波路１１及び入出力導波路１２の入出力ポート並びに検査ポート１３ａが端面に露出するように分離して光回路３０ＡＢが連結されているバーとした後、それぞれの光回路３０の検査を行う。１つのバーに含まれる光回路３０の数は任意である。１つのバーに光回路３０ＡＢが２組含まれる場合、例えば、図５のような配置となる。光回路３０の分離は、例えば、ウエハのダイシングソー等での切断や、ウエハの劈開によって行う。
【００４５】
光回路３０を形成したウエハをバーにする際には、例えば、光回路３０を形成したウエハを、光回路３０のｙ方向の境界で分離し、第１の端面３１ａ及び第２の端面３１ｂを形成する。光回路３０が形成されたウエハをｙ方向の境界で分離し、第１の端面３１ａ及び第２の端面３１ｂが同じ平面上に形成されると複数の光回路３０がｘ方向に連結されたバーとなる。
【００４６】
次に、複数の光回路３０を含むバーのうち、それぞれの光回路３０の光回路としての動作を検査する。検査方法は任意である。例えば、入出力導波路１１の入出力ポートより光信号を入力し、検査用導波路１３の検査用ポート１３ａに出力される光信号を測定する。検査用ポート１３ａに出力される光信号から、光回路３０の動作特性の良否を判定することができる。
【００４７】
次に、分離工程について説明する。分離工程では、複数の光回路３０を、光回路３０の境界で分離し、チップとする。例えば、光回路形成工程で形成した複数の光回路３０を含むウエハを、それぞれの光回路３０のｙ方向の境界で分離し、さらに境界線１６ａ及び分離線１６ｂで分離する。ただし、本実施形態が検査工程を有する場合には、検査工程終了後に、複数の光回路３０を含むバーを、それぞれの光回路３０の境界である境界線１６ａ及び分離線１６ｂで分離する。
【００４８】
本実施形態では、隣接する光回路３０の領域のうち、導波路が配置されない余白領域に検査用導波路１３の一部を配置するので、光回路３０の分離の際に、検査用導波路１３も分離される。検査用導波路１３は分離されるが、分離工程は検査工程の後工程であるため、本実施形態に係る光回路３０の作製方法が検査工程を有する場合でも問題は生じない。
【００４９】
図５では、光回路形成工程において２つの光回路３０を組としてウエハ上に偶数の光回路３０を形成する例を示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、ウエハ上に同時に形成する光回路３０の数は任意であり、奇数であってもよい。奇数の光回路３０をウエハ上に形成する場合、１つの光回路３０は組となる光回路３０ＡＢを構成しない。
【００５０】
図６に、本実施形態に係る光回路３０を形成する際の変形例を示す。図６では、光回路
３０Ｄ、３０Ｂ、３０Ａ及び３０Ｃを隣接して形成する。光回路３０Ｄは複数の光回路の組である光回路３０ＣＤの一部を構成し、光回路３０Ａ及び３０Ｂは複数の光回路の組である光回路３０ＡＢを構成し、光回路３０Ｃは複数の光回路の組である光回路３０ＣＤの一部を構成する。光回路３０Ａと光回路３０Ｃ、光回路３０Ｂと光回路３０Ｄはそれぞれ分離線１６ｂに対し線対称の関係にある。また、光回路３０Ａと光回路３０Ｂ、光回路３０Ｃと光回路３０Ｄは、境界線１６ａの中心を基準として点対称の関係にある。組を形成する光回路３０Ａ及び光回路３０Ｂと、組を形成する光回路３０Ｃ及び光回路３０Ｄと、が交互に配置される。そのため、隣接する光回路３０の検査用導波路１３を導波路のない余白領域に形成することにより、本実施形態の変形例においても光回路３０の幅Ｗ３０を小さくすることができる。具体的には、本実施形態の変形例においても、光回路３０は、図５で示したＷｄｉｆだけ光回路１０又は光回路２０よりも小さくすることができる。
【００５１】
（第２の実施形態）
図７に、本発明の第２の実施形態に係るウエハ上に形成された光回路５０のパターンの一例を示す。光回路５０は、入出力導波路１１と、入出力導波路１２と、検査用導波路１３と、スラブ導波路１４と、アレイ導波路１５とを備える。検査用導波路１３は検査ポート１３ａを備える。一対の光回路５０から１組の光回路が構成される。
【００５２】
第１の実施形態に係る光回路３０では、第２の端点１３ｂ、第１の端点１３ｃ、第３の端点１７ａ及び第４の端点１７ｂは同じ第３の端面３１ｃに配置される（図４）。しかし、本実施形態では、第２の端点１３ｂ及び第１の端点１３ｃは第３の端面３１ｃに配置され、第３の端点１７ａ及び第４の端点１７ｂは第４の端面３１ｄに配置される。ここで、第４の端面３１ｄは、分離線１６ｂで光回路の組どうしを分離すると形成される断面であり、第３の端面３１ｃに対向し、第１の端面３１ａ及び第２の端面３１ｂに接するとともに、第１の端面３１ａ及び第２の端面３１ｂと略垂直な面である。導波路１７は、第４の端面３１ｄの第３の端点１７ａから入力された光を第４の端面３１ｄの第４の端点１７ｂから出力し、第４の端面３１ｄの第４の端点１７ｂから入力された光を第４の端面３１ｄの第３の端点１７ａから出力する。
【００５３】
次に、第２の実施形態に係る光回路５０の作製方法について説明する。本実施形態に係る光回路５０の作製方法は、光回路形成工程と、分離工程とを順に有する。光回路形成工程と、分離工程との間に、光回路形成工程で形成した光回路を検査する検査工程を有してもよい。本実施形態に係る検査工程及び分離工程は、第１の実施形態に係る検査工程及び分離工程と同じである。
【００５４】
本実施形態の光回路形成工程では、境界線１６ａと分離線１６ｂの両側に、ｘ軸に対し線対称の関係にある光回路５０を隣接して形成する。したがって、光回路５０の入出力導波路は交互に対向する端面に形成されている。
【００５５】
図８に、光回路５０を形成したウエハの一例の一部の拡大図を示す。図８では、ウエハ上の一部の領域に２つの光回路５０を有する光回路５０ＡＢがｘ方向に２組形成されている例を示す。光回路形成工程では、図８に示す光回路５０ＡＢがｘ方向及びｙ方向に連結され形成される。光回路５０ＡＢのｘ方向及びｙ方向の連結数は任意である。
【００５６】
第１の光回路５０Ａと第２の光回路５０Ｂから成る光回路５０ＡＢが１組を構成し、隣接する２組の光回路５０ＡＢの一方の組の第１の光回路５０Ａと、他方の組の第２の光回路５０Ｂとが隣接している。光回路５０ＡＢを構成する第１の光回路５０Ａと第２の光回路５０Ｂは、分離工程で、これらの境界である境界線１６ａで分離される。光回路５０Ａの第１の端面３１ａと光回路５０Ｂの第２の端面３１ｂは同じ平面上に形成される。また、光回路５０Ａの第２の端面３１ｂと光回路５０Ｂの第１の端面３１ａは同じ平面上に形成される。
【００５７】
本実施形態に係る光回路形成工程は、基本的には、第１の実施形態に係る光回路形成工程と同じである。ただし、本実施形態に係る光回路形成工程では、第１の実施形態に係る光回路に比べ、第１の光回路５０Ａの検査ポート１３ａをより境界線１６ａ側に形成できる。
【００５８】
具体的には、第１の実施形態に係る光回路３０の配置では、隣接する光回路の検査用導波路１３の湾曲部（導波路１７）が、検査ポート１３ａを境界線１６ａに近接して形成することの障害となっている。そのため、隣接する光回路の検査用導波路１３の湾曲部（導波路１７）を避けて、第２の端点１３ｂから検査ポート１３ａに至る検査用導波路１３は、スラブ導波路１４及びアレイ導波路１５に近づくように配置される。それに対し、本実施形態に係る光回路５０では、隣接する検査用導波路１３の湾曲部（導波路１７）が検査ポート１３ａを形成する端面側には配置されないため、検査ポート１３ａを可能な限り境界線１６ａの近傍に形成できる。すなわち、光回路５０においては、第２の端点１３ｂから検査ポート１３ａに至る検査用導波路１３は、境界線１６ａに近接して平行に配置できる。このため、本実施形態に係る光回路５０は、第１の実施形態に係る光回路３０に比べ、検査ポート１３ａと入出力導波路１１及び１２の各ポートとを、格段に、境界線１６ａの近くに形成でき、その分、光回路５０のｘ方向の長さを小さくできる。
ここで、近傍とは導波光が隣接する導波路に結合しない距離で、作製上で問題とならない距離である。例えば、入出力導波路の導波路間隔程度の距離があれば十分であるが、隣接する導波路間隔が２０μｍ程度までは光の結合の影響は無視できる。また、個々のチップに分離するためダイシング用のマーカー（コアを直線状に残したパターン）を境界線の一部に設ける必要があるため、その障害とならない位置に検査ＷＧを通す必要があり、このマーカーに光が結合しない位置とする必要ある。したがって、検査用導波路１３と境界線１６ａ（又は分離線１６ｂ）、検査用導波路１３と入出力導波路１１、又は検査用導波路１３どうしは少なくとも２０μｍ以上の間隔を取る必要がある。
【００５９】
光回路５０Ａ及び光回路５０Ｂの検査ポート１３ａにつながる検査用導波路１３は、境界線１６ａを横切るように形成する。１つの境界線１６ａ又は１つの分離線１６ｂを横切る検査用導波路１３は１つの光回路から延びる検査用導波路１３のみである。具体的には、光回路５０Ａの検査用導波路１３は、境界線１６ａを横切って光回路５０Ａから光回路５０Ｂに入り、同じ境界線１６ａを横切って光回路５０Ｂから元の光回路５０Ａに入るように形成する。また、光回路５０Ｂの検査用導波路１３は、隣接する組との境界である分離線１６ｂを横切って、隣接する組の光回路５０Ａに入り、再度分離線１６ｂを横切って元の光回路５０Ｂに戻るように形成する。
【００６０】
図９に実施形態２の別形態に係るウエハ上に形成された光回路５５のパターンの一例を示す。図１０に、光回路５５を形成したウエハの一例の一部の拡大図を示す。この別形態が実施形態２と異なるのは、図１０に示すように、光回路５５Ａの検査ポート１３ａが光回路５５Ｂの第１の端面３１ａにあり、光回路５５Ｂの検査ポート１３ａが光回路５５Ａの第１の端面３１ａにある点である。この別形態では、図１０に示すように、検査用導波路１３は境界線１６ａ又は分離線１６ｂを１回横切るだけであり、図９に示すように、第３の端面３１ｃに第１の端点１３ｃが形成され、第４の端面３１ｄに第３の端点１７ａは形成されるが、第３の端面３１ｃには第２の端点１３ｂは形成されず、第４の端面３１ｄに第４の端点１７ｂは形成されない。そのため、光回路５５は、第４の端面３１ｄのうちの第３の端点１７ａから第１の端面３１ａの検査ポート１３ａに導かれている導波路を備える。
【００６１】
図８、図１０では、光回路形成工程において２つの光回路５０ＡＢ又は光回路５５ＡＢを組としてウエハ上に偶数の光回路５０又は光回路５５を形成する例を示したが、本発明はこれに限定されない。つまり、ウエハ上に同時に形成する光回路５０又は光回路５５の数は任意であり、奇数であってもよい。奇数の光回路５０又は光回路５５をウエハ上に形成する場合、１つの光回路５０又は光回路５５は組となる光回路５０ＡＢ又は光回路５５ＡＢを構成しない。
【００６２】
以上説明したように、本実施形態と本実施形態の別形態では、光回路５０Ａと光回路５０Ｂ又は光回路５５Ａと光回路５５Ｂが組を構成する。光回路５０Ａと光回路５０Ｂ又は光回路５５Ａと光回路５５Ｂのそれぞれの検査ポート１３ａは対向するように形成する。第１の実施形態に係る光回路３０では、図５のように境界線１６ａの中心を基準として点対称に形成するが、光回路５０Ａと光回路５０Ｂ又は光回路５５Ａと光回路５５Ｂとは、それぞれに形成される光回路の配置がｘ軸に対し線対称の関係にある。本実施形態と本実施形態の別形態においても、隣接する光回路５０又は光回路５５の余白領域に検査用導波路１３の一部を形成するので、その余白領域の分だけ光回路５０又は光回路５５の１つあたりの面積を縮小することができる。しかも、本実施形態では、検査用導波路１３を形成する上で、導波路１７が障害とならないため、検査ポート１３ａを境界線１６ａ又は分離線１６ｂの近傍に形成できるため、第１の実施形態に係る光回路に比べ、より光回路５０又は光回路５５の１つあたりの面積を縮小することができる。
【００６３】
（第３の実施形態）
図１１に、本発明の第３の実施形態に係るウエハ上に形成された光回路６０のパターンの一例を示す。光回路６０は、入出力導波路１１と、入出力導波路１２と、検査用導波路１３と、スラブ導波路１４と、アレイ導波路１５とを備える。検査用導波路１３は検査ポート１３ａを備える。
【００６４】
第１の実施形態及び第２の実施形態では、検査ポート１３ａが同じ光回路の第２の端面３１ｂに配置されていた。しかし、本実施形態に係る光回路６０では、検査ポート１３ａが隣接する光回路の第１の端面３１ａに配置される。検査用導波路１３は境界線１６ａを横切り、検査用導波路１３の検査ポート１３ａは分離線１６ｂの近傍に配置される。境界線１６ａで切断するとその断面には第１の端点１３ｃ、第２の端点１３ｂ、さらに第３の端面３１ｃが形成される。分離線１６ｂで切断するとその断面に第４の端面３１ｄが形成されるが、検査用導波路１３は分離線１６ｂを横切らないので端点は形成されない。
【００６５】
組を構成する光回路６０Ａと光回路６０Ｂは点対称の関係に有る。本実施形態では、点対称の関係にある光回路６０が隣接して交互に形成される。光回路６０Ｂに接続される検査用導波路１３は第１の端点１３ｃから光回路６０Ａに入り、光回路６０Ａの第２の端面３１ｂの近傍を経由し、分離線１６ｂ近傍へ導かれ、光回路６０Ａの第１の端面３１ａに光回路６０Ｂの検査ポート１３ａは形成される。また、光回路６０Ａに接続される検査用導波路１３は第１の端点１３ｃから光回路６０Ｂに入り、光回路６０Ｂの第２の端面３１ｂの近傍を経由し、分離線１６ｂ近傍へ導かれ、光回路６０Ｂの第１の端面３１ａに光回路６０Ａの検査ポート１３ａは形成される。光回路６０Ａの第１の端面３１ａと光回路６０Ｂの第２の端面３１ｂは同じ平面上に形成される。また、光回路６０Ａの第２の端面３１ｂと光回路６０Ｂの第１の端面３１ａは同じ平面上に形成される。
【００６６】
具体的には、検査用導波路１３は、第３の端面３１ｃに位置する第２の端点１３ｂ及び第１の端点１３ｃで途切れる。このため、検査用導波路１３は、第２の端点１３ｂと検査ポート１３ａを繋ぐ導波路と、第１の端点１３ｃとスラブ導波路１４を繋ぐ導波路を有する。
【００６７】
光回路６０が有する検査用導波路１３のうち、検査ポート１３ａと第２の端点１３ｂを繋ぐ導波路は、組となる隣接する光回路６０の光導波回路に繋がる検査用導波路１３である。つまり、光回路６０Ａと光回路６０Ｂが隣接して組となる場合には、光回路６０Ａの光導波回路に繋がる検査用導波路１３を光回路６０Ｂの内部にも形成し、光回路６０Ｂの光導波回路に繋がる検査用導波路１３を光回路６０Ａの内部にも形成する。また、第１の実施形態に係る光回路３０及び第２の実施形態に係る光回路５０は導波路１７を有するが、本実施形態に係る光回路６０は、導波路１７を有しない。
【００６８】
本実施形態に係る光回路６０の作製方法について説明する。本実施形態に係る光回路６０の作製方法は、光回路形成工程と、分離工程とを順に有する。光回路形成工程と、分離工程との間に、光回路形成工程で形成した光回路を検査する検査工程を有してもよい。本実施形態に係る検査工程は、第１の実施形態に係る検査工程と同じである。
【００６９】
本実施形態の光回路形成工程では、複数の光回路６０を、隣接させてウエハ上に形成する。本実施形態では、パターンＡの光回路６０Ａと、パターンＡの光回路６０Ａを点対称に配置したパターンＢの光回路６０Ｂとを交互に形成する。検査用導波路１３は、光回路６０Ａと光回路６０Ｂとに連続する導波路として形成する。
【００７０】
図１２に、光回路６０を形成したウエハの一例の一部の拡大図を示す。図１２では、ウエハ上の一部の領域に２つの光回路６０を有する光回路６０ＡＢがｘ方向に２組形成されている状態を示す。光回路形成工程では、図１２に示す光回路６０ＡＢがｘ方向及びｙ方向に連結され形成される。光回路６０ＡＢのｘ方向及びｙ方向の連結数は任意である。
【００７１】
２組の光回路６０ＡＢのそれぞれでは、第１の光回路６０Ａと、第２の光回路６０Ｂとが隣接している。また、一方の組の光回路６０ＡＢを構成する第１の光回路６０Ａと、他方の組の光回路６０ＡＢを構成する第２の光回路６０Ｂとが隣接している。光回路６０ＡＢを構成する第１の光回路６０Ａと第２の光回路６０Ｂは、分離工程で、これらの境界である境界線１６ａで分離される。境界である境界線１６ａは、第１の端面３１ａ及び第２の端面３１ｂと略垂直な面を通る線である。１組の光回路６０ＡＢでは、組を構成する光回路６０Ａと光回路６０Ｂの２つの検査用導波路１３が１つの境界線１６ａを横切る。
【００７２】
本実施形態に係る光回路形成工程は、基本的には第１の実施形態に係る光回路形成工程と同じである。ただし、本実施形態に係る光回路形成工程では、組を構成する第１の光回路６０Ａの光導波回路に繋がる検査ポート１３ａは組を構成する相手方の第２の光回路６０Ｂの入出力ポートの外側に形成される。また、同様に第２の光回路６０Ｂの光導波回路に繋がる検査ポート１３ａは第１の光回路６０Ａの入出力ポートの外側に形成される。
【００７３】
具体的には、図１２のように、組を構成する第１の光回路６０Ａの光導波回路に繋がる検査用ポート１３ａは、組を構成する相手方の第２の光回路６０Ｂの入出力ポートより分離線１６ｂ近くに形成する。また、第２の光回路６０Ｂの光導波回路に繋がる検査用ポート１３ａは、第１の光回路６０Ａの入出力ポートより分離線１６ｂ近くに形成する。図１２のように、光回路６０では、いずれの検査用導波路１３も分離線１６ｂの近傍に形成することができる。
【００７４】
本実施形態では、組を構成する光回路６０Ａと光回路６０Ｂのそれぞれの検査ポート１３ａは対向するように形成する。第１の実施形態に係る光回路３０及び第２の実施形態に係る光回路５０では、光導波回路に繋がる検査用導波路１３が有する検査ポート１３ａは、それぞれの光回路３０及び光回路５０の内部に形成される。しかし、本実施形態に係る光回路６０では、光導波回路に繋がる検査用導波路１３が有する検査ポート１３ａは、組を構成する相手の光回路６０の内部に形成する。
【００７５】
組を構成する光回路６０ＡＢにおいて、検査ポート１３ａが形成される端面と、入出力導波路１１及び入出力導波路１２の入出力ポートが配置される端面は対向し、十分に離れている。そのため、光回路６０Ａにおける検査ポート１３ａ、入出力導波路１１及び入出力導波路１２の入出力ポートのそれぞれで生じる迷光の影響が光回路６０Ｂの検査ポート１３ａや他の入出力ポートに及ぶことはなく、光回路６０Ｂにおける検査ポート１３ａ、入出力導波路１１及び入出力導波路１２の入出力ポートのそれぞれで生じる迷光の影響が光回路６０Ａの検査ポート１３ａや他の入出力ポートに及ぶことはない。また、光回路６０Ａ及び６０Ｂの検査用導波路１３は、いずれも分離線１６ｂの近傍を通り検査ポート１３ａに導かれるため、光回路６０のｘ方向の幅は入出力導波路１１及び入出力導波路１２の入出力ポートの幅に近くなり、光回路６０のｘ方向の長さは非常に小さくできる。
【００７６】
図１３に、本実施形態に係る光回路６０を形成する際の変形例を示す。図１３でも、組となる隣り合う光回路６０を境界線１６ａの中心を基準として点対称に形成する。図１３では、光回路６０ＡＢと、光回路６０ＣＤを隣接して形成する。光回路６０ＡＢと光回路６０ＣＤは、分離線１６ｂに対し線対称の関係にある。
【００７７】
この変形例でも組を構成する光回路は点対称の関係にあるため、使用しない余白領域に検査用導波路１３を配置することにより、本実施形態の変形例においても光回路６０の幅を小さくすることができる。
【００７８】
次に、本実施形態に係る分離工程について説明する。本実施形態に係る分離工程は、基本的には第１の実施形態に係る分離工程と同じである。しかし、本実施形態では、検査用導波路１３は境界線１６ａを横切り、検査ポート１３ａは分離線１６ｂの近傍に形成される。また、検査用導波路１３の一部は分離線１６ｂと重なっていてもよい。
【００７９】
図１２及び図１３では、光回路形成工程において２つの光回路６０ＡＢ又は光回路６０ＣＤを組としてウエハ上に偶数の光回路６０を形成する例を示した。しかし、本発明はこれに限定されない。ウエハ上に同時に形成する光回路６０の数は任意であり、奇数であってもよい。奇数の光回路６０をウエハ上に形成する場合、１つの光回路６０は組となる光回路６０ＡＢ又は光回路６０ＣＤを構成しない。
【００８０】
以上説明したように、本実施形態では、光回路６０Ａ及び光回路６０Ｂが組である光回路６０ＡＢを構成し、光回路６０Ｃ及び光回路６０Ｄが組である光回路６０ＣＤを構成する。組を構成する光回路６０Ａ及び光回路６０Ｂ又は光回路６０Ｃ及び光回路６０Ｄのそれぞれの検査ポート１３ａは対向するように形成する。本実施形態に係る光回路６０は、図１２のように境界線１６ａの中心を基準として点対称に形成する。本実施形態では、隣接する光回路６０の余白領域に検査用導波路１３の一部を配置するので、その余白領域の分だけ光回路６０の１つあたりの面積を縮小することができる。
【産業上の利用可能性】
【００８１】
本発明の光回路及びその作製方法は、光通信産業に適用することができる。
【符号の説明】
【００８２】
１０：光回路
１１：入出力導波路
１２：入出力導波路
１３：検査用導波路
１３ａ：検査ポート
１３ｂ：第２の端点
１３ｃ：第１の端点
１４：スラブ導波路
１５：アレイ導波路
１６ａ：境界線
１６ｂ：分離線
１７：導波路
１７ａ：第３の端点
１７ｂ：第４の端点
１８：分離線
２０：光回路
３０、３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｄ、３０ＡＢ、３０ＣＤ：光回路
３１ａ：第１の端面
３１ｂ：第２の端面
３１ｃ：第３の端面
３１ｄ：第４の端面
５０、５０Ａ、５０Ｂ、５０ＡＢ、５５、５５Ａ、５５Ｂ、５５ＡＢ：光回路
６０、６０Ａ、６０Ｂ、６０Ｃ、６０Ｄ、６０ＡＢ、６０ＣＤ：光回路
【図１】
2016133583.tif 000003
【図２】
2016133583.tif 000004
【図３】
2016133583.tif 000005
【図４】
2016133583.tif 000006
【図５】
2016133583.tif 000007
【図６】
2016133583.tif 000008
【図７】
2016133583.tif 000009
【図８】
2016133583.tif 000010
【図９】
2016133583.tif 000011
【図１０】
2016133583.tif 000012
【図１１】
2016133583.tif 000013
【図１２】
2016133583.tif 000014
【図１３】
2016133583.tif 000015
【手続補正書】
【提出日】平成28年5月18日(2016.5.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の端面に複数の入出力ポートが配置された光導波回路と、
前記光導波回路に接続された前記光導波回路の検査を行うための検査用導波路と、
を備え、
前記検査用導波路が、前記第１の端面と略垂直な第３の端面に位置する第１の端点で途切れていることを特徴とする光回路。
【請求項２】
前記検査用導波路が、前記第３の端面と異なる端面に導かれていることを特徴とする請求項１に記載の光回路。
【請求項３】
他の光回路に備わる検査用導波路につながる端点が、前記第３の端面又は前記第３の端面に対向する第４の端面に配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の光回路。
【請求項４】
前記第３の端面のうちの前記第１の端点とは異なる第２の端点から前記第１の端面と対向する第２の端面に導かれている導波路をさらに備えることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の光回路。
【請求項５】
前記第３の端面のうちの第３の端点と第４の端点とをつなぐ導波路をさらに備えることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の光回路。
【請求項６】
前記第３の端面に対向する第４の端面のうちの第３の端点と第４の端点とをつなぐ導波路をさらに備えることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の光回路。
【請求項７】
前記第３の端面に対向する第４の端面のうちの第３の端点から前記第１の端面に導かれている導波路をさらに備えることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の光回路。
【請求項８】
前記第３の端面のうちの前記第１の端点とは異なる第２の端点から前記第１の端面に導かれている導波路をさらに備えていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の光回路。
【請求項９】
第１の端面に複数の入出力ポートが配置された光導波回路と、
前記光導波回路に接続された前記光導波回路の検査を行うための検査用導波路と、
を備え、
隣接する２つの光回路のうちの第１の光回路の入出力ポートが第１の端面に配置され、かつ、前記２つの光回路のうちの第２の光回路の入出力ポートが前記第１の端面と対向する端面に配置され、
前記第１の光回路及び前記第２の光回路の少なくともいずれかの前記検査用導波路は前記第１の光回路と前記第２の光回路との境界を少なくとも１回横切ることを特徴とする前記第１の光回路及び前記第２の光回路を含むバー。
【請求項１０】
請求項９に記載の前記バーを前記境界で分離して形成されていることを特徴とする光回路。
【請求項１１】
複数の入出力ポートに接続された光導波回路及び前記光導波回路に接続された検査用導波路を備える複数の光回路をウエハ上に形成する光回路形成工程と、
前記複数の光回路の境界で分離する分離工程と、
を順に有する光回路の作製方法であって、
前記光回路形成工程において、
隣接する２つの光回路のうちの第１の光回路の入出力ポートが第１の端面に配置され、かつ、前記２つの光回路のうちの第２の光回路の入出力ポートが前記第１の端面と対向する端面に配置されるように前記光導波回路を形成し、
前記第２の光回路の前記検査用導波路につながる検査ポートと前記第１の光回路の前記検査用導波路につながる検査ポートとが対向する面に配置され、かつ、前記第１の光回路及び前記第２の光回路の少なくともいずれかの前記検査用導波路が前記境界を少なくとも１回横切るように、前記検査用導波路を形成する、光回路の作製方法。
【請求項１２】
前記隣接する２つの光回路は点対称の関係にあることを特徴とする請求項１１に記載の光回路の作製方法。
【請求項１３】
前記第１の端面の一辺に対し、前記第１の光回路と線対称の関係にある光回路を前記第２の光回路として形成することを特徴とする請求項１１に記載の光回路の作製方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
具体的には、本発明に係る光回路は、第１の端面に複数の入出力ポートが配置された光導波回路と、前記光導波回路に接続された前記光導波回路の検査を行うための検査用導波路と、を備え、前記検査用導波路が、前記第１の端面と略垂直な第３の端面に位置する第１の端点で途切れていることを特徴とする光回路である。
前記検査用導波路が、前記第３の端面と異なる端面に導かれていてもよい。
また、他の光回路に備わる検査用導波路につながる端点が、前記第３の端面又は前記第３の端面に対向する第４の端面に配置されていてもよい。
具体的には、本発明に係るバーは、第１の端面に複数の入出力ポートが配置された光導波回路と、前記光導波回路に接続された前記光導波回路の検査を行うための検査用導波路と、を備え、隣接する２つの光回路のうちの第１の光回路の入出力ポートが第１の端面に配置され、かつ、前記２つの光回路のうちの第２の光回路の入出力ポートが前記第１の端面と対向する端面に配置され、前記第１の光回路及び前記第２の光回路の少なくともいずれかの前記検査用導波路は前記第１の光回路と前記第２の光回路との境界を少なくとも１回横切ることを特徴とする前記第１の光回路及び前記第２の光回路を含む。
本発明に係る光回路は、前記バーを前記境界で分離して形成されていてもよい。