(57)【要約】      （修正有）【課題】検査対象物が比較的小型の製品（ワークと呼ぶ）の場合、この複数のワークを一つのトレイあるいはテーブルに載置して検査する場合に効率的な検査及び正確な仕分作業のできる検査装置を提供する。【解決手段】ワークを検査するＸ線検査装置１と、ワークを複数設置できるトレイ５と、ワークを検査した結果を表示する表示窓と、検査結果を機械的機構により表示窓へ伝達する検査結果伝達手段とを備えたことを特徴とする検査装置。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象検査物を検査する検査手段と、
前記対象検査物を複数設置できるトレイと、
前記対象検査物を前記検査手段により検査した結果を表示する検査結果表示手段と、
前記検査手段より得られた検査結果を機械的機構により前記検査結果表示手段へ伝達する検査結果伝達手段とを備えたことを特徴とする検査装置。
【請求項２】
対象検査物を検査する検査手段と、
前記対象検査物を複数設置できるトレイと、
前記対象検査物を前記検査手段により検査した結果を表示する検査結果表示手段と、
前記検査手段より得られた検査結果を電気信号により前記検査結果表示手段へ伝達する検査結果伝達手段と、
前記検査結果表示手段に表示された検査結果の表示状態を保持する検査結果保持手段とを備えたことを特徴とする検査装置。
【請求項３】
請求項１に記載の検査装置において、
前記検査結果伝達手段は、電磁石による吸着あるいは反発作用による変化により伝達する検査装置。
【請求項４】
請求項２に記載の検査装置において、
前記検査結果表示手段は、対象検査物それぞれの近傍に検査結果を表示する判別ランプで、
前記検査結果保持手段は、前記ランプの点灯を保持する電池である検査装置。
【請求項５】
請求項２に記載の検査装置において、
前記検査結果保持手段は、検査結果を記憶できるメモリあるいは電磁的記憶装置である検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、例えばＸ線、赤外線、超音波、レーザースキャン、画像処理、接触式等の手段を用いて製品あるいは食品等を検査する装置全般に関する。
【背景技術】
【０００２】  検査対象物が比較的小型の製品（以降「ワーク」と呼ぶ）の場合、従来より、ワークを複数個検査テーブルあるいは検査トレイに並べて各々のワークを検査位置までＸＹ２軸テーブル等の稼働アクチュエータで移動させ、一つのワークの検査が終わるとワーク一つ分テーブルを移動し、次のワークを検査するといった方法で複数のワークを検査する方法がとられている。言うまでもなく、一つ一つ検査テーブルに乗せて、都度、検査するより、複数検査テーブルにのせてまとめて検査するほうが効率的である。しかしながら、一つ一つ検査する場合、検査結果によって不良品が出た場合は１回の検査につきワークは１つなのでその時の当該ワークを仕分することで間違いなくワーク仕分をすることができるが、複数検査テーブルにのせてまとめて検査する場合は同一のテーブルあるいはトレイ上に良品と不良品のワークが混在するため、仕分する場合に取り違えないよう注意する必要がある。【０００３】  図１７は従来の一般的な複数のワークを一つのトレイ１０３上に並べて検査する場合のＸ線検査装置の模式図である。従来の検査装置１０１のモニター１０２上には図１７のように検査結果が表示される。操作者はモニター１０２の結果に基づいてワークの仕分をする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−９３３４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】  従来のＸ線検査装置１０１では、トレイ１０３上にワークが載っている間は検査結果と比較しながらワークを仕分するので仕分作業をしている間はＸ線検査動作ができず、Ｘ線検査装置は遊休状態となる。ワークをトレイから外しても仕分可能とするために、ワーク自体にマーキングを施す方法もあるが、その場合、ワーク外観が変化することになり、ワークによっては好ましくない場合がある。【０００６】  前記は特にＸ線検査装置について述べているが、例えば赤外線検査装置や超音波検査装置、画像処理装置等で複数のワークを並べて検査する検査装置についても同様である。【０００７】  従って、本発明は、複数のワークを一つのトレイあるいはテーブルに載置して検査する場合に効率的な検査及び正確な仕分作業のできる検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】  前記目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、対象検査物を検査する検査手段と、前記対象検査物を複数設置できるトレイと、前記対象検査物を前記検査手段により検査した結果を表示する検査結果表示手段と、前記検査手段より得られた検査結果を機械的機構により前記検査結果表示手段へ伝達する検査結果伝達手段とを備えたことを要旨とする。【０００９】  また、前記目的を達成するため、請求項２に記載の発明は、対象検査物を検査する検査手段と、前記対象検査物を複数設置できるトレイと、前記対象検査物を前記検査手段により検査した結果を表示する検査結果表示手段と、前記検査手段より得られた検査結果を電気信号により前記検査結果表示手段へ伝達する検査結果伝達手段と、前記検査結果表示手段に表示された検査結果の表示状態を保持する検査結果保持手段とを備えたことを要旨とする。【００１０】  この構成により、複数のワークをトレイに乗せたままトレイごと検査装置から外し、次に検査する予定の複数のワークを乗せたトレイと交換することにより、次の検査動作をしている間、前回の検査結果の表示がなされているトレイ上で正確に複数のワークの仕分作業が行える為、検査装置の遊休時間がなくなり、一定時間あたりの検査回数が増やせ、検査効率の高い検査装置を提供できる。また、対象物の仕分け作業においても個々のワークについての検査結果が表示されているので、良品・不良品を取り違えることのない信頼性が高い検査を実施することが出来る。
【発明の効果】
【００１１】  本発明によれば、複数ワークを同時に検査する場合に、効率的でかつ信頼性の高い検査装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第一の実施形態に係る検査装置の全体図。
【図２】本発明の第一の実施形態に係るワークトレイ及び周辺機構部の外観構成図。
【図３】本発明の第一の実施形態の部分構造図。
【図４】本発明の第一の実施形態のワークトレイを検査テーブルに設置した状態を上から見た概略図。
【図５】本発明の第一の実施形態のワークトレイを検査テーブルに設置した状態を上からみた外観図。
【図６】本発明の第一の実施形態のワークトレイを検査テーブルから外した状態を上からみた外観図。
【図７】本発明の第一の実施形態の別の実施例のワークトレイを上からみた構造図。
【図８】本発明の第一の実施形態の別の実施例の部分構造図。
【図９】本発明の第二の実施形態のワークトレイを上からみた模式図。
【図１０】本発明の第二の実施形態のワークトレイ及び受け台を横からみた模式図。
【図１１】本発明の第三の実施形態のワークトレイを上からみた模式図。
【図１２】本発明の第三の実施形態の部分構造図。
【図１３】本発明の第三の実施形態の動作説明図。
【図１４】本発明の第三の実施形態の動作説明図。
【図１５】本発明の第三の実施形態の動作説明図。
【図１６】本発明の第四の実施形態のワークトレイを上からみた模式図。
【図１７】従来の一般的な複数のワークを一つのトレイ上に並べて検査する場合のＸ線検査装置の模式図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】（本発明の第一の実施の形態の構成）
図１乃至図８を参照して、第一の実施の形態の構成を説明する。
【００１４】  図１は本発明の第一の実施形態に係るＸ線検査装置１の全体図の一例である。図１において検査テーブル４は駆動装置によって上下左右前後に水平面を平行に保ったまま一定距離を移動できる。テーブル４の下方にはＸ線発生器２が配置され、検査テーブル４へ向けて上方へＸ線が照射される。Ｘ線は、検査テーブル４の上に設置されたワークトレイ５を透過して、検査テーブル４の上方に設置されている検出器３で検出され、ワークトレイ５に載置される検査対象物の透過画像が得られる。本発明においてはワークトレイ５に載置される検査対象物（以下ワークと呼ぶ）は複数載置されるため、各々のワークに対し、良品、不良品判定等の検査結果が各々得られる。
【００１５】  図２は本発明の第一の実施形態に係るワークトレイ及び周辺機構部の外観構成図である。図２において四角い平板上のワークトレイ５は厚み方向に２枚の板を重ねた構造をしており、下側の板５ｂは厚く、上側の板５ａは薄い。尚、本発明においては下側の板５ｂと上側の板５ａは固定されているが、固定の方法は接着あるいはねじ止め等特に規定するものではない。下側の板５ｂには図３に示すように、外側の縁からワーク置き位置近傍まで溝５ｅが加工されており、溝５ｅには細長い表示板５ｄが嵌っており、通常、表示板５ｄの一方の端は下側の板５ｂの縁から外に出ており、その延長上にエアシリンダ６が、表示板５ｄをワークトレイ５の内側に押し込む向きで配置されている。従って。エアシリンダ６を駆動するとエアシリンダ５は表示板５ｄを押し、表示板５ｄは、溝５ｅに沿ってスライドする。また、表示板５ｄの上面の、ワークトレイ５の内側にある端から少し離れた位置には図３のようなマーク５ｄ２が掘り込み、あるいは印刷、あるいは塗装、あるいはシールのような形態で、マーク５ｄ２があり、表示板５ｄがスライドすると、マーク５ｄ２の位置が変わる。また、表示板５ｄ及び、エアシリンダ５はワークトレイ５に載置されるワークの数量分ワークトレイ５に設置される。
【００１６】  図４は本発明の第一の実施形態のワークトレイを検査テーブルに設置した状態を上から見た概略図であり、図４の点線部分が溝５ｅであり、表示板５ｄが配置されている。前述したように、ワークトレイ５は下側の板５ｂと上側の板５ａを平面で張り合わせた構造をしており、上側の板５ａには図４に示すように、載置されるワーク７ａの近傍に表示窓５ｃが開けられている。表示窓５ｃは表示板５ｄ上側にあり、表示板５ｄがエアシリンダ６に押されてスライドした場合、表示板５ｄ上のマーク５ｄ２が視認できる位置に開けられている。
【００１７】  図５は本発明の第一の実施形態のワークトレイを検査テーブルに設置した状態を上からみた外観図である。図５ではエアシリンダ６ａ及びエアシリンダ６ｂが駆動しているが、それ以外のエアシリンダは駆動していない状態にある。すなわち、図５においてはワーク７ａとワーク７ｂが不良品であると想定し、ワーク７ａとワーク７ｂ近傍の表示窓５ｃのみにマーク５ｄ２が視認できる状態にある。
【００１８】  図６は図５の状態のままワークトレイ５を図５の検査テーブル面４ａ上から外した状態を上から見た外観図である。ワークトレイ５の表示窓５ｃから視認できるマーク５ｄ２は、ワークトレイ５が図５の検査テーブル面４ａ上にある状態を保ったままである。前述のようなワークトレイ５のように、複数あるワーク７近傍の表示が機械的な構造によって表示されるような複数配列トレイ上のマーキング装置を備えた検査装置であれば、ワークの選別は、ワークトレイ５を検査テーブル上から外してもマーキングを目安に確実に行うことができ、選別作業時に、他のワークの検査を同時に行うことができるため、効率的でかつ信頼性の高い検査装置を提供できる。
【００１９】  尚、ワーク選別終了後は、図３の突起５ｄ１を持ち、手動にてスライドさせることで元の状態に戻す。
【００２０】  図７は本発明の第一の実施形態の別の実施例のワークトレイを上からみた構造図である。図７に示すようにワークトレイ８上には３列×３行の９個のワーク７が並べられており、各々のワーク近傍にはヒンジ式マーク表示器９が９個設置されており、各々のヒンジ式マーク表示器９には９本の駆動用エアホース１１ａが繋がれており、９本の駆動用エアホース１１ａは矢印１２ａの向きにそれぞれ別個にエア圧力が供給される。また、図７においてはヒンジ式マーク表示器９には駆動用エアホース１１ａの接続面の反対側に吸引及びエア噴出兼用のエアホース１１ｂが接続されている。ヒンジ式マーク表示器９からでている、吸引及びエア噴出兼用のエアホース１１ｂは複数の三方継手１０によってエア供給口は一つに統合されている。今、図７ではワーク７ｃが不良品と判定されてマーク９ａが表示されている。ヒンジ式マーク表示器９の動作原理を図８にて説明する。エアホース１１ａに正圧エアが供給されるとヒンジ式マーク表示器９の内部空洞を通り、ヒンジ９ｂの通常位置の真下からヒンジ９ｂを跳ね上げるように矢印１２ｂの向きにエアが噴出し、エア圧力によってヒンジ９ｂは矢印１２ｃのように回転してエアホース１３ａ側に倒れる。同時にエアホース１３ａからはエア吸引がかけられており、エアホース１３ａのエア通り道出口はヒンジ９ｂが倒れた際の真下にあるため、ヒンジ９ｂが倒れた後、反動で戻るのを防ぐ役目をする。ヒンジ式マーク表示器９の上面のエアホース１１ｂ側にはマーク９ａが描かれており、ヒンジ９ｂがエアホース１１ｂ側にある、通常状態ではヒンジ９ｂの下にあって見えないが、前述の動作によってヒンジ９ｂがエアホース１３ａ側に倒れた後はマーク９ａが見える状態になる。この構造により、９個のヒンジ式マーク表示器９の各々に接続しているエアホース１１に任意にエア供給することにより、検査結果に基づき、不良品、良品のマーキングをすることができる。また、その際吸気側のエアは９個同時に吸引しても各々のヒンジ式マーク表示器９のヒンジ９の動作には影響を与えない為、吸引側が９本のエアホースの供給元は１つに統合している。前述の動作により、任意のワーク近傍のマーキング動作を行ったあと、ワークトレイ８を単体で外してもこの状態は保持されるので、検査装置外での正確な仕分作業が可能となり、前述と同様の効能が得られる。
尚、前述したエア吸引されるエアホース１３ａに反対にエア正圧力を供給すれば、ヒンジ９はまたエアホース１１ｂ側に倒れる為、ワークトレイ８を再利用する際、容易にマーキングを元の隠れた状態に戻すことができる。
【００２１】  （第一の実施の形態の効果）
前述した２例のように、機械的な構造によって表示されるような複数配列トレイ上のマーキング装置を備えた検査装置であれば、予めワーク７を複数載置している別のワークトレイと、マーキングが終わったワークトレイを入れ替えることで、Ｘ線検査装置１の外でマーキングを目安に正確にワークの良品・不良品の仕分を行うことができ、Ｘ線検査動作とワーク仕分動作を同時進行で行うことができるため、Ｘ線検査動作を仕分作業の為に中断することがないので複数ワークを同時に検査する場合に、効率的でかつ信頼性の高い検査装置を提供できる。さらにワークの良品、不良品のマーキングをワークに直接マーキングする方式ではない為、ワーク資源の再利用も可能になり、コストや環境に効果的なＸ線検査装置を提供することができる。
【００２２】  尚、前述の２例は３列×３行の９個のワークが配列されるワークトレイについて述べているが配列と数量が、例えば４列×４行の１６個、３行×４列の１２個等、配列と数量が変化しても本発明の主旨と効能を違えるわけではない。
【００２３】（本発明の第二の実施の形態の構成）
図９乃至図１０を参照して、第二の実施の形態の構成を説明する。
【００２４】  図９に示されるワークトレイ１４では３列×３行の９個のワーク７が設置されており、各々のワーク７の設置位置近傍にはランプ１５が固定されており、さらにワークトレイ１４上の、ワーク７検査には支障をきたさない位置にランプ点灯用電池付回路１６が設置され、ワークトレイ下側端には電気配線用コネクタ１７ａが設置されている。図９では左上隅に配置されたワーク７ａが検査後に不良品であると判断され、ワーク７ａ近傍のランプ１５ａが点灯した状態である。
【００２５】  図１０はワークトレイ１４を図示しない検査テーブル上の受け台１９に、複数ワークを配列した状態で設置する際の説明図である。図１０において、ワークトレイ１４下には前述したように、電気配線用コネクタ１７ａが固定されているが、受け台１８には前述の電気配線用コネクタ１７ａと嵌合する位置に電気配線用コネクタ１７ｂが設置されており、ワークトレイ１４を受け台１８に、矢印１９の方向で設置する際にはコネクタ１７ａと電気配線用コネクタ１７ｂも同時に接続される。複数ワークを検査した後の検査結果により、どのランプを点灯させるかの電気的情報は、電気配線用コネクタ１７ａと電気配線用コネクタ１７ｂを通して、前述したワークトレイ１４上のランプ点灯用電池付回路１６に伝達され、ワークトレイ１４上の任意の位置のランプが点灯される。ワークトレイ１４は電池付回路１６を載置しているため、受け台１８から外した後も点灯したランプの電源は電池付回路１６から供給されるため、任意の位置のランプが点灯した状態を保持できる。
【００２６】  また、元の消灯状態に戻すには次回の検査開始前に自動的に全消灯させるか、図示しないリセットスイッチにより、全消灯させる。
【００２７】  （第二の実施の形態の効果）
従って、第一の実施の形態で説明したものと同様、検査装置外で点灯したランプ点灯の有無に基づき、ワークを確実に選別することができ、第一の実施の形態の効果と同様に、Ｘ線検査動作と確実なワーク仕分動作を同時進行で行うことができるため、複数ワークを同時に検査する場合に、効率的でかつ信頼性の高い検査装置を提供できる。
【００２８】  （本発明の第三の実施の形態の構成）
図１１乃至図１５を参照して、第三の実施の形態の構成を説明する。
【００２９】  図１１に示されるワークトレイ２０では３列×３行の９個のワーク７が設置されており、各々のワーク７の設置位置近傍には表示窓２１があり、表示窓２１の下側には電磁石２２がワークトレイ２０内に内蔵されており、電磁石２２の磁力が発生する方向には可動鉄ブロック２３もワークトレイ２０内に内蔵されている。また、電磁石２２のコイルへの電流供給接点はワークトレイ２０端の下側に並ぶようにコネクタ２４まで各々配線されており、図示しない検査テーブルにワークトレイ２０を設置した際には検査テーブル側にはコネクタ２４に接続できる位置に受けコネクタが配置され、検査テーブル側で任意の接点に電流を供給することで任意の電磁石２２に電磁力を与えることができる。尚、図１１ではワーク７は３列×３行の９個配置されているが、右上のワーク７ａのみが不良品であると仮定し、ワーク７ａ近傍の、表示窓２１ａのみに可動鉄ブロック２３が視認できている状態である。
【００３０】  図１２は前述の電磁石付近の構造をワークトレイ厚み方向から見た断面図である。図１２に示すように、可動鉄ブロック２３は、ワークトレイ２０内に掘られた溝に沿って図１２の矢印２７ａの方向にスライド移動でき、電磁石２２側に移動した時は、表示窓２１を通して上から可動鉄ブロック２３を視認できる。可動鉄ブロック２３の上面は例えば赤等の目立つ色に着色することで、表示窓２１からの視認性をあげることができる。
【００３１】  図１３乃至図１５は、電磁石２２のコイルへ電流を供給したときの可動鉄ブロック２３の動作を、表示窓２１の上から見た場合の模式図である。通常の状態では図１３に示すように電磁石２２への電力供給スイッチ２６は切られており、この状態では可動鉄ブロック２３には何ら作用を及ぼさず、この時は表示窓２１からは可動鉄ブロック２３は視認できない。図１４は電磁石２２への電力供給スイッチ２６の接点が接続され、電磁石２２へ電流が流れ、電磁石２２が励磁され、電磁石２２に電磁力が発生して、可動鉄ブロック２３を電磁石２２側へ、矢印２７ｂの向きに吸着移動させた図であり、この状態になると表示窓２１から可動鉄ブロック２３が視認できる。図１５は、図１４の後に電力供給スイッチ２６を切った時の図であり、この時には電磁石２２は励磁さておらず、可動鉄ブロック２３への電磁力の作用は消えているが、可動鉄ブロック２３には何らの力も働いていないのでその場にとどまっている。
【００３２】  前述のように、ワークトレイ２０上に複数ある電磁石２２の任意のものを励磁して、任意の可動鉄ブロック２３を移動させて、任意の表示窓２１から任意の可動鉄ブロック２３を視認できるようにしてしまえばワークトレイ２０を図示しない検査テーブルから外して電磁石２２への供給電力を遮断しても任意のワーク７のマーキング状態を保持できる。
【００３３】  尚、ワーク選別終了後はワークトレイ２０を持ち、可動ブロック２３が電磁石２２から離れるよう、ワークトレイ２０を傾けることで、可動ブロック２３は表示窓２１から見えない位置に可動ブロック２３を一度に全て移動させることができ、検査前の状態に戻すことができる。
【００３４】  （第三の実施の形態の効果）
従って、第一の実施の形態で説明したものと同様、検査装置外で、表示窓２１からの視認状態に基づき、ワークを確実に選別することができ、第一の実施の形態の効果と同様に、Ｘ線検査動作と確実なワーク仕分動作を同時進行で行うことができるため、複数ワークを同時に検査する場合に、効率的でかつ信頼性の高い検査装置を提供できる。
【００３５】  （本発明の第四の実施の形態の構成）
図１６を参照して、第四の実施の形態の構成を説明する。
【００３６】  図１６に示されるワークトレイ２８では３列×３行の９個のワーク７が設置されており、各々のワーク７の設置位置近傍には、例えば液晶画面等の、電子的表示窓３１があり、さらにワークトレイ２８上の、ワーク７検査には支障をきたさない位置に、例えばフラッシュメモリ等の、不揮発性メモリ回路２９が設置され、ワークトレイ下側端には電気配線用コネクタ３０が設置されている。電気配線用コネクタ３０はワークトレイ２８を検査装置に設置した際に、検査装置側のコネクタに接続される位置に配設されている。図１６では左上隅に配置されたワーク７ａ、及び、上中間位置に配置されたワーク７ｂが検査後に不良品であると判断され、ワーク７ａ近傍の電子的表示窓３１ａ及び、ワーク７ｂ近傍の電子的表示窓３１ｂに識別マークが表示された状態である。電子的表示窓３１ａ及び、電子的表示窓３１ｂへの電子的信号は、不揮発性メモリ回路２９を介しているため、その情報は、ワークトレイ２８を、検査装置から外した際も保存され、例えば後工程へとワークトレイ２８を移載した際も検査装置で得られた各ワークに関する情報に応じて、ワークの選別や修正を後工程の加工装置において自動的に、あるいは人手ですることができるようになり、汎用性、精密性の高い生産ラインを構築することが可能となり、検査装置のみならず、生産ライン全体にも付加価値のある装置を提供することができる。さらに前述の、液晶画面等の、電子的表示窓３１であれば、図１６に示すように、検査結果の状態に応じて別々の表示をさせることが可能であり、各ワークの製作状態を精密に表示させることができるため、製品品質へのフィードバックに効果的である。また、図１６に示す構成によれば、ワークトレイ２８をワークトレイ２８を検査位置に設置すれば、検査前の状態に戻すことは自在である。
【００３７】  （第四の実施の形態の効果）
前述のように、第四の実施の形態をとるワークトレイ２８は、検査装置から外しても、各ワークの検査結果情報をワークトレイ２８内に記憶させておくことができ、また電子的表示窓３１を各ワーク近傍に配置することで視覚的にも各ワークの情報を精密に識別できるため、大変品質の高いワークを生産することに寄与することができる。尚、特に電子的表示窓３１を配置せず、簡単なランプ、あるいはワーク情報のみを不揮発性メモリ回路２９を介して次工程へ受け渡す構成でも自動生産ラインにおいては同様の効果を発揮できる。
【００３８】  さらに、電子的表示窓３１を例えば磁気反転表示器等を用いて、ワークトレイ３１を検査装置から外して電源が遮断されても表示が残る形態の電子的表示窓３１にすることでも前述の第一の実施例と同様の効果を発揮することができる。
【００３９】  （本発明の第五の実施の形態の構成）
前述した第一の形態から第四の形態の説明にて述べた方法を組み合わせ、あるいは他の方法によってもワークトレイを検査装置から外してもワークの情報表示が保存される機能を持ったワークトレイであれば、Ｘ線検査装置１の外でマーキングを目安に正確にワークの仕分を行うことができ、Ｘ線検査動作とワーク仕分動作を同時進行で行うことができるため、Ｘ線検査動作を仕分作業の為に中断することがないので複数ワークを同時に検査する場合に、効率的でかつ信頼性の高い検査装置を提供できる。
【符号の説明】
【００４０】１…Ｘ線検査装置  ２…Ｘ線発生器  ３…検出器  ４、４ａ…検査テーブル  ５…ワークトレイ  ５ａ…ワークトレイ５を構成する上側の板  ５ｂ…ワークトレイ５を構成する下側の板  ５ｃ…表示窓  ５ｄ…表示板  ５ｄ１…ストッパ  ５ｄ２…マーク  ５ｅ…溝  ６、６ａ、６ｂ…エアシリンダ  ６ａ…Ｘ線発生器  ６ｂ…Ｘ線検出器  ７、７ａ、７ｂ…ワーク  ８…ワークトレイ  ９…ヒンジ式マーク表示器  ９ａ…マーク  ９ｂ…ヒンジ９ｃ…ヒンジ支点  ９ｄ…エア継手  １０…エア継手  １１…エアホース  １２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ…矢印  １３、１３ａ…エアホース  １４…ワークトレイ  １５、１５ａ…ランプ  １６…ランプ点灯用電池付回路  １７ａ、１７ｂ…コネクタ  １８…受け台  １９…矢印  ２０…ワークトレイ  ２１…表示窓  ２２…電磁石  ２３…可動鉄ブロック  ２４…コネクタ  ２５…電源  ２６…電力供給スイッチ  ２７ａ、２７ｂ…矢印  ２８…ワークトレイ  ２９…不揮発性メモリ回路  ３０…コネクタ  ３１…電子的表示窓３２…配線  １０１…従来の検査装置  １０２…モニター  １０３…トレイ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
2016133500.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
2016133500.tif 000018
【図１７】
2016133500.tif 000019