(57)【要約】      （修正有）【課題】帯状のワークに露光処理を施すにあたって、露光精度を確保しつつ、露光処理の効率を向上させて生産性を高めることが可能な露光方法を提供する。【解決手段】露光処理部でフォトマスクを介してワークに露光光を照射する露光処理工程Ｓ１３と、露光処理工程Ｓ１３におけるワークとフォトマスクの位置関係を検出する位置関係検出工程Ｓ２２と、ワークとフォトマスクの位置関係を目標とする位置関係に調整する場合における、フォトマスクの移動量を演算で求める演算工程Ｓ２３と、ワークを露光処理部に搬送するワーク搬送工程Ｓ１１と、ワークの、次に露光処理が行われるべき領域が露光処理部に搬送されるまでに、演算工程にて求めたフォトマスクの移動量に基づき、フォトマスクの位置を調整するマスク位置調整工程Ｓ２１とを備える。【選択図】図７
2016130815.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光処理部において、帯状のワークの所定の領域に、フォトマスクを介して、露光光を照射する露光処理工程と、
前記露光処理工程における前記ワークと前記フォトマスクの位置関係を検出する位置関係検出工程と、
検出された前記位置関係から、前記フォトマスクを移動させて、前記ワークと前記フォトマスクの位置関係を目標とする位置関係に調整する場合における、前記フォトマスクの移動量を演算で求める演算工程と、
前記ワークの、前記露光処理工程で露光処理が行われた領域を前記露光処理部から排出するとともに、次に露光処理が行われるべき領域を、前記露光処理部に搬送するワーク搬送工程と、
前記ワークの、次に露光処理が行われるべき領域が前記露光処理部に搬送されるまでに、前記演算工程にて求めた前記フォトマスクの移動量に基づき、前記フォトマスクの位置を調整するマスク位置調整工程と
を備えていることを特徴とする露光方法。
【請求項２】
前記露光処理工程の実施中に、前記位置関係検出工程と前記演算工程が実施されるように構成されていることを特徴とする請求項１記載の露光方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯状のワークに露光処理を行うための露光方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
帯状のワークを搬送する場合には、通常、ワークの幅方向に蛇行が生じるので、露光処理を行うにあたり、帯状のワークと、ワークに回路パターンを形成するためのフォトマスクとの位置合わせを行うことが必要とされている。
そのような露光方法として、一般的に、帯状のワークとフォトマスクのそれぞれにアライメントマークを設け、それらのアライメントマークの位置情報に基づいて位置合わせを行い、その後、露光処理を行う方法が採用されている。
そして、特許文献１には、そのような露光処理を行う方法の一例が開示されている。
【０００３】
この特許文献１に開示されている露光方法は、図１２に示すように、まず、フォトマスク１４０のアライメントマークＡ２が、ワーク１の幅方向の外縁の外側に位置するように、フォトマスク１４０とワーク１とを対向させて配置している。
そして、フォトマスク１４０側から照明手段１７０で光を照射しながら、フォトマスク１４０のアライメントマークＡ２とワーク１のアライメントマークＡ１を、カメラ１６０ａ、１６０ｂでそれぞれ確認するようにしている。
【０００４】
次に、フォトマスク１４０の２つのアライメントマークＡ２の中点と、ワーク１の２つのアライメントマークＡ１の中点と、露光装置１１０の露光光の中心ＥＰとが重なり合うように、フォトマスク１４０又はワーク１移動させることで位置合わせを行うようにしている。
そして、上記の位置合わせ操作に続き、露光操作を行うようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−２３５８７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１に開示されたような方法で露光処理を行う場合は、露光光を照射する前に、フォトマスク１４０のアライメントマークＡ２とワーク１のアライメントマークＡ１を検出して、露光光の中心ＥＰに対して位置合わせを行う動作が必要となり、露光処理を施すための時間が長くなるという問題点がある。
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するものであり、帯状のワークに露光処理を施すにあたって、露光精度を確保しつつ、露光処理の効率を高めて、生産性を向上させることが可能な露光方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明の露光方法は、
露光処理部において、帯状のワークの所定の領域に、フォトマスクを介して、露光光を照射する露光処理工程と、
前記露光処理工程における前記ワークと前記フォトマスクの位置関係を検出する位置関係検出工程と、
検出された前記位置関係から、前記フォトマスクを移動させて、前記ワークと前記フォトマスクの位置関係を目標とする位置関係に調整する場合における、前記フォトマスクの移動量を演算で求める演算工程と、
前記ワークの、前記露光処理工程で露光処理が行われた領域を前記露光処理部から排出するとともに、次に露光処理が行われるべき領域を、前記露光処理部に搬送するワーク搬送工程と、
前記ワークの、次に露光処理が行われるべき領域が前記露光処理部に搬送されるまでに、前記演算工程にて求めた前記フォトマスクの移動量に基づき、前記フォトマスクの位置を調整するマスク位置調整工程と
を備えていることを特徴としている。
【０００９】
また、前記露光処理工程の実施中に、前記位置関係検出工程と前記演算工程が実施されるように構成されていることが好ましい。
【００１０】
露光処理工程の実施中に、位置関係検出工程と演算工程が実施されるようにした場合には、位置関係検出工程と演算工程のために別途時間を確保する必要がなくなるため、露光処理をより効率的に行うことが可能になる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の露光方法は、上記構成を備えることにより、ワークの、次に露光処理が行われるべき領域が露光処理部に搬送されるまでに、ワークとフォトマスクの位置関係を目標とする位置関係となるように調整することができるので、ワークの搬送が終了したときに、露光処理を実施することが可能になる。すなわち、ワークの、次に露光処理が行われるべき領域を露光処理部に搬送した後に、ワークとフォトマスクの位置関係の調整を不要にすることが可能になる。
その結果、帯状のワークに露光処理を施すにあたって、露光精度を確保しつつ、露光処理の効率を高めて、生産性を向上させることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明にかかる露光方法を実施する場合に用いる露光装置の概略平面図である。
【図２】図１に示した露光装置の正面図（Ａ−Ａ断面図）である。
【図３】図１に示した露光装置の側面図（Ｂ−Ｂ断面図）である。
【図４】図２に示した露光装置のワークとフォトマスクを矢印Ｅ（図２）側からみた場合の図である。
【図５】図１に示した露光装置の制御手段の入出力図である。
【図６】帯状のワークに最初に露光処理を行うフローを示す図である。
【図７】本発明にかかる露光方法を説明するための図であって、図６で示したフローにつづき、露光処理を繰り返して行うフローを示す図である。
【図８】本発明にかかる露光方法を実施する場合に用いる、他の例の露光装置の概略平面図である。
【図９】図８に示した露光装置の正面図（Ｃ−Ｃ断面図）である。
【図１０】本発明にかかる露光方法を実施する場合に用いる、さらに他の例の露光装置の概略平面図である。
【図１１】図１０に示した露光装置の正面図（Ｄ−Ｄ断面図）である。
【図１２】従来の露光装置を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
次に、本発明にかかる露光方法について、実施形態を示してさらに詳しく説明する。
【００１４】
［実施形態１］
図１〜３は、本発明にかかる露光方法を実施する場合に用いる、露光装置１０の一例を示す図である。
【００１５】
この露光装置１０は、露光処理を行う領域である露光処理部１１と、露光処理対象である帯状のワーク１を、ワーク１の長手方向（Ｘ方向）に搬送するワーク搬送手段２０とを備えている。
【００１６】
ワーク搬送手段２０は、間欠駆動することで、ワーク１の、次に露光処理が行われるべき領域ｐn+1を露光処理部１１において露光処理を行う所定の領域（すなわち、フォトマスク４０の、露光光を通過させてワーク１への露光を行うための露光パターン部４１に対応する領域）４１ｐに搬送するとともに、ワーク１の、露光パターン部４１に対応する領域４１ｐに搬送され、露光処理が行われた領域ｐnを、露光処理部１１の外側の領域ｐn-1に排出するように構成されている。
【００１７】
露光処理部１１には、ワーク保持手段２５が配設されている。
ワーク保持手段２５は、ワーク１を吸引するための吸引孔２６を備えており、ワーク１への露光時には、吸引孔２６から吸引して所定位置にワーク１を保持し、ワーク１の搬送時には、吸引孔２６から気体を噴出してワーク１を浮かせて搬送することができるように構成されている。
【００１８】
露光処理対象であるワーク１は、例えば、ＰＥＴフィルムに樹脂層、金属層、感光層が順に積層形成されたシートである。このワーク１には、位置合わせをするためのアライメントマークは形成されていない。
【００１９】
露光処理部１１に搬送されたワーク１の一方の主面１ｈ側（図２における上方）には、ワーク１に照射する露光光を発生させる露光光源３０が配設されている。
【００２０】
ワーク１と露光光源３０の間には、ワーク１の主面１ｈと平行となるようにフォトマスク４０が配設されている。
ワーク１の主面１ｈとフォトマスク４０の間隔は、例えば、０．０１ｍｍ〜０．２ｍｍであり、プロキシミティー露光条件となる間隔で設定されている。
【００２１】
フォトマスク４０は、透光性を有するマスク本体４０ａの一方側主面に、光を遮断する遮光膜４０ｂを所定のパターンで付与することにより形成され、ワーク１に回路パターンを形成するための露光パターン部４１（上述の領域ｐnに対応する領域）と、該露光パターン部４１の外側に位置するマスク外周部４５に設けられた、光を透過させる複数の透過窓４２ａ，４２ｂ，４２ｃとを有している。
なお、透過窓４２ａ〜４２ｃは、マスク外周部４５において、マスク本体４０ａに、光を遮断する遮光膜４０ｂを所定の態様（透過窓４２ａ〜４２ｃとなる領域には遮光膜４０ｂを存在させないような態様）で付与することにより形成されている。
【００２２】
３つの透過窓４２ａ〜４２ｃのうち、２つの透過窓４２ａ，４２ｂは、ワーク１の幅方向（Ｙ方向）の一対の端部（一方側端部１ａ，他方側端部１ｂ）のそれぞれと対向する位置に配置されている。
また、３つの透過窓４２ａ〜４２ｃのうち、２つの透過窓４２ａ，４２ｃは、ワーク１の一対の端部１ａ，１ｂのうちの一方側端部１ａと対向する位置に配置されている。
透過窓４２ａ〜４２ｃは、方形であり、ワーク１の幅方向Ｙに平行な一対の縁部ｅと、ワークの幅方向Ｙに直交する一対の縁部ｆとを有している（図４参照）。
【００２３】
フォトマスク４０は、吸引機能を備えたマスク保持手段４７により吸引保持されている（図３参照）。マスク保持手段４７は、支持部材４８を介して、ワーク１の幅方向（Ｙ方向）に、フォトマスク４０の位置を調整することが可能な幅方向の位置調整手段５１と、ワーク１の主面１ｈに平行な回転方向（θ方向）に、フォトマスク４０の位置を調整することが可能な回転方向の位置調整手段５２に取り付けられている。
【００２４】
露光処理部１１に搬送されたワーク１の他方の主面１ｉ側（図２における下方）には、フォトマスク４０の透過窓４２ａ，４２ｂ，４２ｃに対向する位置に、複数の撮像手段６０ａ，６０ｂ，６０ｃがそれぞれ配設されている。
撮像手段６０ａ〜６０ｃは、図４に示すように、ワーク１の一対の端部１ａ，１ｂのそれぞれを、透過窓４２ａ，４２ｂ，４２ｃのそれぞれの領域内４３ａ，４３ｂ，４３ｃに位置する態様で撮像できるように構成されている。
【００２５】
フォトマスク４０の上方で、撮像手段６０ａ，６０ｂ，６０ｃに対向する位置には、複数の照明手段７０ａ，７０ｂ，７０ｃがそれぞれ配設されている。
なお、照明手段７０ａ〜７０ｃは、撮像手段６０ａ〜６０ｃでワーク１の端部１ａ，１ｂや透過窓４２ａ〜４２ｃを撮像するときに、照明光が照射されるように設定されていてもよいし、常時、照明ＯＮ状態となるように設定されていてもよい。
【００２６】
この露光装置１０は、図５に示す入出力を有する制御手段９０を備えている。制御手段９０は、撮像手段６０ａ〜６０ｃで撮像することにより得られる、透過窓４２ａ〜４２ｃの位置と、透過窓４２ａ〜４２ｃから認識されるワーク１の一対の端部１ａ，１ｂの位置との関係から、ワーク１とフォトマスク４０の位置関係を求め、その関係が目標とする位置関係になるように、位置調整手段５１，５２を駆動するように構成されている。
【００２７】
次に、上述の露光装置１０を用いてワーク１に露光処理を行う方法について説明する。まず、図６を参照しつつ、露光処理を繰り返し行う前の、ワーク１に対して最初に露光処理を行うフローについて説明を行う。
【００２８】
まず、ワーク搬送手段２０によって、帯状のワーク１を長手方向（Ｘ方向）に搬送し、露光処理部１１に位置させた状態で、ワーク保持手段２５によって、ワーク１を吸引保持する（図６：Ｓ１）。
【００２９】
次に、撮像手段６０ａ〜６０ｃによって、フォトマスク４０の透過窓４２ａ〜４２ｃをそれぞれ撮像する。
そして、撮像することにより得られた、透過窓４２ａ〜４２ｃの位置と、透過窓４２ａ〜４２ｃから認識されるワーク１の一対の端部１ａ，１ｂの位置との関係から、ワーク１とフォトマスク４０の位置関係を検出する（図６：Ｓ２）。
【００３０】
次に、検出した上記の位置関係から、フォトマスク４０を移動させてワーク１とフォトマスク４０の位置関係を目標とする位置関係に調整する場合における、フォトマスク４０の移動量を演算で求める（図６：Ｓ３）。
【００３１】
次に、ステップＳ３にて求めた演算結果に基づき、ワーク１に対するフォトマスク４０のＹ方向の位置を、幅方向の位置調整手段５１により調整するとともに、θ方向の位置を、回転方向の位置調整手段５２により調整する（図６：Ｓ４）。
【００３２】
次に、フォトマスク４０の位置調整が終了したことを確認した後、露光光源３０によりワーク１に露光光を照射する（図６：Ｓ５）。
そして、所定時間経過した後、露光光の照射を停止する（図６：Ｓ６）。
【００３３】
これらの動作によって、ワーク１に対する最初の露光処理を終了する。
次に、図７を参照しつつ、露光処理を繰り返し行う場合のフローについて説明を行う。
【００３４】
まず、ワーク搬送手段２０によって、帯状のワーク１を長手方向（Ｘ方向）に搬送し、露光処理部１１に位置させた状態で、ワーク保持手段２５によって、ワーク１を所定の位置に吸引保持する（図７：Ｓ１１）。
【００３５】
一方、ステップＳ１１を実施中に、ワーク１に対するフォトマスク４０のＹ方向の位置を、幅方向の位置調整手段５１により調整するとともに、θ方向の位置を、回転方向の位置調整手段５２により調整する（図７：Ｓ２１）。
ただし、すでにワーク１とフォトマスク４０の位置関係が、目標とする位置関係となっている場合は、改めて位置調整する必要はない。
【００３６】
次に、ワーク１の搬送と、フォトマスク４０の位置調整の両方が終了していることを確認する（図７：Ｓ１２）。
【００３７】
そして、ワーク１の搬送と、フォトマスク４０の両方の動作が終了していると判断した後、ワーク１に対して露光光源３０から露光光を照射する（露光処理工程）（図７：Ｓ１３）。
そして、所定時間経過した後、露光光の照射を停止する（図７：Ｓ１４）。
【００３８】
一方、ステップＳ１３を実施中に、撮像手段６０ａ〜６０ｃによって、フォトマスク４０の透過窓４２ａ〜４２ｃをそれぞれ撮像する。そして、撮像することにより得られた、透過窓４２ａ〜４２ｃの位置と、透過窓４２ａ〜４２ｃから認識されるワーク１の一対の端部１ａ，１ｂの位置との関係から、ワーク１とフォトマスク４０の位置関係を検出する（位置関係検出工程）（図７：Ｓ２２）。
【００３９】
次に、検出した上記の位置関係から、フォトマスク４０を移動させてワーク１とフォトマスク４０の位置関係を目標とする位置関係に調整する場合における、フォトマスク４０の移動量を演算で求める（演算工程）（図７：Ｓ２３）。
【００４０】
なお、フォトマスク４０の移動量は、具体的には、以下に示す方法により求めることができる。
【００４１】
まず、撮像手段６０ａ〜６０ｃで撮像して得られたワーク１の幅方向の端部１ａ，１ｂと、方形状の透過窓４２ａ〜４２ｃの幅方向（Ｙ方向）に直交する縁部ｆとの距離ｙ１（ｙ１ａ，ｙ１ｂ，ｙ１ｃ）を、それぞれの透過窓４２ａ〜４２ｃについて求める。
【００４２】
次に、ワーク１の幅方向の一対の端部１ａ，１ｂをそれぞれ認識できるように、幅方向（Ｙ方向）に隣り合って配設された透過窓４２ａ，４２ｂについて求めたそれぞれの距離ｙ１（ｙ１ａ，ｙ１ｂ）が等しくなるような（または距離の差が所定範囲内になるような）、フォトマスク４０のＹ方向の移動量を求める。
また、ワーク１の一方側端部１ａを２箇所において認識できるように、長手方向（Ｘ方向）に隣り合って配設された透過窓４２ａ，４２ｃについて求めたそれぞれの距離ｙ１（ｙ１ａ，ｙ１ｃ）が等しくなるような（または距離の差が所定範囲内になるような）、フォトマスク４０のθ方向の移動量を求める。
これらの演算により、フォトマスク４０の移動量を求めることができる。
【００４３】
次に、フォトマスク４０の移動量の演算と、露光停止の両方が終了しているかを確認する（図７：Ｓ１５）。
【００４４】
そして、フォトマスク４０の移動量の演算と、露光停止の両方が終了していると判断した後、ステップＳ１１とステップＳ２１に戻り、再び、露光処理部１１にワーク１（次に露光処理部が行われるべき領域ｐn+1）を搬送する（ワーク搬送工程）（図７：Ｓ１１）。
【００４５】
一方、ステップＳ１１を実施中に、ステップＳ２３にて求めたフォトマスク４０の移動量に基づき、幅方向の位置調整手段５１によりフォトマスク４０の幅方向の位置を調整するとともに、回転方向の位置調整手段５２により、フォトマスク４０の回転方向の位置を調整する（マスク位置調整工程）（図７：Ｓ２１）。
【００４６】
以降、図７におけるステップＳ１１〜Ｓ１５とステップＳ２１〜Ｓ２３の動作を繰り返すことにより、露光処理を繰り返して行う。
【００４７】
上述したように、本発明にかかる露光方法によれば、ワークの、次に露光処理が行われるべき領域が露光処理部に搬送されるまでに、ワークとフォトマスクの位置関係を目標とする位置関係となるように調整することができるので、ワークの搬送が終了した時点で、直ちに露光処理を実施することが可能になる。
その結果、帯状のワークに露光処理を施すにあたって、露光精度を確保しつつ、露光処理の効率を高めて、生産性を向上させることが可能になる。
【００４８】
［実施形態２］
実施形態２では、ワーク１とフォトマスク４０の垂直方向（Ｚ方向）の位置調整が可能な露光方法について説明する。
【００４９】
図８，９は、この実施形態２にかかる露光方法を実施する場合に用いる露光装置１０Ａを示す図である。露光装置１０Ａは、ワーク１の主面１ｈに垂直な垂直方向について、ワーク１に対するフォトマスク４０の位置を検出する複数の垂直位置検出手段６５と、フォトマスク４０の垂直方向の位置を調整する位置調整手段５３を備えている。
【００５０】
垂直位置検出手段６５は、フォトマスク４０の上方に配設されたレーザ変位計である。フォトマスク４０には、レーザ光を透過させるためのレーザ光用透過窓８１が設けられており、レーザ変位計によって、ワーク１とフォトマスク４０との距離を検出することができるように構成されている。
なお、他にも、垂直位置検出手段６５としては、差動トランス式接触変位計を用いて、フォトマスク４０の垂直方向の位置を検出することも可能である。
【００５１】
垂直方向の位置調整手段５３は、マスク保持手段４７と支持部材４８を介してフォトマスク４０に接続されている。これにより、フォトマスク４０は、Ｚ方向の位置を調整することができるように構成されている。
【００５２】
この実施形態２にかかる露光方法においても、実施形態１で示した位置関係検出工程（Ｓ２２）にて、垂直位置検出手段６５でワーク１とフォトマスク４０の垂直方向の位置関係を検出する。
それから、演算工程（Ｓ２３）にて、ワーク１とフォトマスク４０の垂直方向の位置関係を目標とする位置関係に調整する場合における、フォトマスク４０の垂直方向の移動量を演算する。
次に、マスク位置調整工程（Ｓ２１）に戻り、上記移動量に基づき、垂直方向の位置調整手段５３で、フォトマスク４０のＺ方向の位置を調整する。
【００５３】
上述の実施形態２の露光方法によれば、例えば、ワークとフォトマスクの間隔が経時的に変化した場合にも、垂直方向の位置合わせ精度を所定範囲内に維持しつつ、露光処理を効率的に行うことが可能になる。
【００５４】
［実施形態３］
実施形態３では、ワーク１とフォトマスク４０の長手方向（Ｘ方向）の位置調整が可能な露光方法について説明する。
【００５５】
図１０，１１は、この実施形態３にかかる露光方法を実施する場合に用いる露光装置１０Ｂを示す図である。露光装置１０Ｂは、ワーク１の幅方向の両端部１ａ、１ｂの内側に位置合わせ用の貫通孔８５が複数設けられている。また、フォトマスク４０の、ワーク１の長手方向（Ｘ方向）の位置を調整するための位置調整手段５４が配設されている。長手方向の位置調整手段５４は、マスク保持手段４７と支持部材４８を介してフォトマスク４０に接続されている。
【００５６】
フォトマスク４０には、ワーク１の貫通孔８５よりも大きい方形の透過窓４２ａ〜４２ｃと、透過窓４２ａ〜４２ｃの領域内に、貫通孔８５よりも径が小さく光を透過しない遮光マーク８６ａ，８６ｂ，８６ｃが設けられている。
遮光マーク８６ａ〜８６ｃは、ワーク１の下方に配設された撮像手段６０ａ〜６０ｃ側からみて、所定の貫通孔８５の中に位置するように構成されている。
【００５７】
この実施形態３にかかる露光方法においても、実施形態１で示した位置関係検出工程（Ｓ２２）にて、撮像手段６０ａ〜６０ｃで貫通孔８５と遮光マーク８６ａ〜８６ｃを撮像して、ワーク１とフォトマスク４０の長手方向の位置関係を検出する。
それから、演算工程（Ｓ２３）にて、ワーク１とフォトマスク４０の長手方向の位置関係を目標とする位置関係に調整する場合における、フォトマスク４０の長手方向の移動量を演算で求める。
次に、マスク位置調整工程（Ｓ２１）に戻り、上記移動量に基づき、長手方向の位置調整手段５４で、フォトマスク４０のＸ方向の位置を調整する。
【００５８】
上述の実施形態３の露光方法によれば、実施形態１で示した幅方向と回転方向の位置合わせに加え、長手方向（Ｘ方向）においてもワーク１とフォトマスク４０との位置合わせを行うことが可能になる。
また、実施形態２で示した垂直位置検出手段６５と垂直方向の位置調整手段５３を用いた場合には、垂直方向における位置合わせも可能になる。
【００５９】
なお、上記の各実施形態では、撮像手段６０ａ〜６０ｃをワーク１の他方の主面１ｉ側に配設して撮像したが、撮像手段６０ａ〜６０ｃをワーク１の一方の主面１ｈ側に配設して撮像することも可能である。
【００６０】
また、上記実施形態では、ワーク１の端部１ａ，１ｂとフォトマスク４０の透過窓４２ａ〜４２ｃを撮像するにあたって、照明手段７０ａ〜７０ｃを用いるようにしたが、照明手段７０ａ〜７０ｃを用いずに露光光源３０の露光光を利用して、これらを撮像することも可能である。
【００６１】
また、ワーク１のロスを少なくして、コストの低減を図る見地からは、露光処理が行われる各領域の間隔は、できるだけ小さくすることが好ましい。
なお、具体的には、上記の各領域の間隔を、例えば、０ｍｍ〜４ｍｍとすることが可能である。
【００６２】
また、本発明において、ワーク１が複数層により構成される多層シートである場合に、撮像手段６０ａ〜６０ｃでワーク１の端部１ａ，１ｂを撮像する際は、複数層のうちの所定の層を検出対象とすることが可能である。
【００６３】
また、本発明におけるフォトマスク４０の透過窓４２ａ〜４２ｃの形状に特別の制約はなく、多角形、円形または楕円形とすることも可能である。
【００６４】
本発明はさらにその他の点においても上記の実施形態に限定されるものではなく、発明の範囲内において種々の応用、変形を加えることが可能である。
【符号の説明】
【００６５】
１              ワーク
１ａ            ワークの幅方向の端部（一方側端部）
１ｂ            ワークの幅方向の端部（他方側端部）
１ｈ            ワークの一方の主面
１ｉ            ワークの他方の主面
１０，１０Ａ，１０Ｂ  露光装置
１１            露光処理部
２０            ワーク搬送手段
２５            ワーク保持手段
２６            吸引孔
３０            露光光源
４０            フォトマスク
４１            露光パターン部
４１ｐ          露光光を通過させてワークへの露光を行うための露光パターン部に対応する領域
４２ａ，４２ｂ，４２ｃ  フォトマスクの透過窓
４５            マスク外周部
４７            マスク保持手段
４８            支持部材
５１            幅方向の位置調整手段
５２            回転方向の位置調整手段
５３            垂直方向の位置調整手段
５４            長手方向の位置調整手段
６０ａ，６０ｂ，６０ｃ  撮像手段
６５            垂直位置検出手段
７０ａ，７０ｂ，７０ｃ  照明手段
７１            発光部
７２            遮光部
８１            レーザ光用透過窓
８５            ワークの貫通孔
８６ａ，８６ｂ，８６ｃ  フォトマスクの遮光マーク
９０            制御手段
ｐn-1           ワークの、露光処理部の外側の領域
ｐn             ワークの、露光処理が行われる領域（所定の領域）
ｐn+1           ワークの、次に露光処理が行われるべき領域
Ｘ              ワークの長手方向
Ｙ              ワークの幅方向
Ｚ              ワークの長手方向と幅方向に垂直な方向
θ              ワークの主面に平行な回転方向
ｙ１（ｙ１ａ，ｙ１ｂ，ｙ１ｃ）  ワークの幅方向の端部と、透過窓の縁部ｆとの距離
【図１】
2016130815.tif 000003
【図２】
2016130815.tif 000004
【図３】
2016130815.tif 000005
【図４】
2016130815.tif 000006
【図５】
2016130815.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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