(57)【要約】【課題】鉛直方向に沿った方向、および、鉛直方向と交差する水平方向に沿った方向の振動の伝達を抑制することができる防振部材、および、その防振部材を備えたセンサー機器を提供する。【解決手段】防振部材１０は、弾性変形部３０の上面側に接続される上面側支持部と、下面側に接続される下面側支持部と、を備え、上面側支持部は、弾性変形部３０の一方の端部に一つと、弾性変形部３０の他方の端部に二つとが配置され、下面側支持部は、一方の端部に二つと、他方の端部に一つとが配置され、弾性変形部３０は、一方の端部の上面側支持部から他方の端部の上面側支持部に向けて延出する第１弾性変形部３１と、他方の端部の下面側支持部から一方の端部の下面側支持部に向けて延出する第２弾性変形部３２と、を含み、第１弾性変形部３１は第１軸に弾性変形し易く、第２弾性変形部３２は第２軸に弾性変形し易く、第１弾性変形部３１と第２弾性変形部３２とは、タイバー３３で互いに接続されている。【選択図】図２
2016130573.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１軸と、該第１軸に直交する第２軸と、前記第１軸と前記第２軸とを含む仮想平面と、を定義した場合に、
弾性変形部と、
前記弾性変形部の一端および他端の各々に接続された支持部と、を有し、
前記支持部は、前記一端および前記他端の各々において前記仮想平面の上面に接続される上面側支持部と、前記仮想平面の下面に接続される下面側支持部と、が前記第２軸に沿って配置され、
前記上面側支持部は、前記弾性変形部一端側に一つと、前記弾性変形部他端側に二つとが配置され、
前記下面側支持部は、前記一端側に二つと、前記他端側に一つとが配置され、
前記弾性変形部は、前記一端側の前記上面側支持部から前記他端側の前記上面側支持部の各々に向けて延出する第１弾性変形部と、前記他端側の前記下面側支持部から前記一端側の前記下面側支持部の各々に向けて延出する第２弾性変形部と、を含み、
前記第１弾性変形部は前記第１軸に弾性変形がし易く、前記第２弾性変形部は前記第２軸に弾性変形がし易く、
前記第１弾性変形部と前記第２弾性変形部とは、互いに接続されていることを特徴とする防振部材。
【請求項２】
請求項１に記載の防振部材において、
前記上面側支持部に接続される上面と、前記下面側支持部に接続される下面との間に前記弾性変形部が配置されていることを特徴とする防振部材。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の防振部材において、
前記上面側支持部および前記下面側支持部は、前記上面と前記下面との隙間の間隔を規定する形状で形成されたことを特徴とする防振部材。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の防振部材において、
前記上面側支持部を結んで形成される三角形と、前記下面側支持部を結んで形成される三角形とは、前記一方の端部から前記他方の端部へ延びる仮想の中心線に対して互いに線対称に形成されたことを特徴とする防振部材。
【請求項５】
請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の防振部材において、
前記第１弾性変形部または前記第２弾性変形部には、屈曲部が設けられたことを特徴とする防振部材。
【請求項６】
請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載の防振部材において、
前記弾性変形部の前記上面側および前記下面側の少なくとも一方にダンパー部材が接合されたことを特徴とする防振部材。
【請求項７】
請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載の防振部材の前記上面側および前記下面側の少なくとも一方にセンサー素子が搭載されたことを特徴とするセンサー機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、防振部材、および、センサー素子に対する防振構造を実現する防振部材を備えたセンサー機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、自動車産業、精密機器産業、建設等の各種分野において、車体、各種精密機器、建造物の姿勢や傾きの変位などの慣性量を検出する慣性センサーを備えたセンサー機器が広く用いられている。近年、センサー機器には、より小さな慣性量を精度よく検出することが求められていることから、環境振動や衝撃印加による振動がセンサー機器に搭載されるセンサー素子に伝達することによる誤検出を回避するために、振動伝達を抑制する技術が要求されている。
【０００３】
振動伝達を抑制する技術として、例えば、特許文献１に、鉛直方向に沿った方向（厚さ方向）への変形のための支点となる被押圧部（変形支点形成部）と、変形に伴う被加圧部材（センサー素子）に荷重を加える作用点となる押圧部（作用点形成部）と、中央プレートを介して押圧部と接続されるアーム部と、を有する板ばねが開示されている。特許文献１の板ばねにおいて、押圧部でセンサー素子を支持することにより、振動による荷重が加わった時に、被押圧部と押圧部とを接続するアーム部が変形して板ばねとして機能し、センサー素子への振動伝達を抑制することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−１６０２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、橋梁などの構造物に配置させた慣性センサーにより振動や傾斜を検出し、構造物の健全性を監視するストラクチャーヘルスモニタリングを行うセンサー機器が用いられている。このようなセンサー機器は、多様に変化する環境下に設置されるので、鉛直方向に沿った方向や、鉛直方向に直交する水平方向に沿った方向などの様々な方向の振動や衝撃が印加される。ストラクチャーヘルスモニタリングにおいて、慣性センサー素子に慣性量とは異なる振動が伝達されると誤検出の原因となるので、振動伝達を抑制する措置を講ずる必要がある。
しかしながら、特許文献１に記載の防振部材としての板ばねでは、鉛直方向に沿った方向の振動伝達は抑制できるが、水平方向に沿った方向の振動の抑制はできないために、この防振部材を搭載したセンサー機器では、振動伝達による誤検出が起こったり、衝撃印加などの過大な振動によりセンサー素子が破壊されてしまったりする虞があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、鉛直方向に沿った方向、および、鉛直方向に交差する水平方向に沿った方向の振動の伝達を抑制することができる防振部材、および、その防振部材を備えたセンサー機器を提供することを目的とする。
【０００７】
［適用例１］  本適用例にかかる防振部材は、第１軸と、該第１軸に直交する第２軸と、前記第１軸と前記第２軸とを含む仮想平面と、を定義した場合に、弾性変形部と、前記弾性変形部の一端および他端の各々に接続された支持部と、を有し、前記支持部は、前記一端および前記他端の各々において前記仮想平面の上面に接続される上面側支持部と、前記仮想平面の下面に接続される下面側支持部と、が前記第２軸に沿って配置され、前記上面側支持部は、前記一端側に一つと、前記他端側に二つとが配置され、前記下面側支持部は、前記一端側に二つと、前記他端側に一つとが配置され、前記弾性変形部は、前記一端側の前記上面側支持部から前記他端側の前記上面側支持部の各々に向けて延出する第１弾性変形部と、前記他端側の前記下面側支持部から前記一端側の前記下面側支持部の各々に向けて延出する第２弾性変形部と、を含み、前記第１弾性変形部は前記第１軸に弾性変形がし易く、前記第２弾性変形部は前記第２軸に弾性変形がし易く、前記第１弾性変形部と前記第２弾性変形部とは、互いに接続されていることを特徴とする。
【０００８】
本適用例によれば、第１軸および第１軸に直交する第２軸を含む仮想平面において、一方の端部の上面側支持部から他方の端部の上面側支持部に向けて延出し第１軸に弾性変形し易い第１弾性変形部と、他方の端部の下面側支持部から一方の端部の下面側支持部に向けて延出し第１軸に直交する第２軸に弾性変形しやすい第２弾性変形部とがタイバーで互いに接続された弾性変形部を有している。また、上面側支持部は、弾性変形部において一方の端部に一つと他方の端部に二つとが配置され、下面側支持部は、弾性変形部弾性変形部において一方の端部に二つと他方の端部に一つとが配置されており、弾性変形部における第１弾性変形部および第２弾性変形部と、上面側支持部および下面側支持部が、各々バランスよく接続・配置されている。これにより、上面側支持部と下面側支持部との間に接続された弾性変形部において、第１軸に弾性変形し易い第１弾性変形部によって、第１軸方向の振動伝達を抑制することができるとともに、第２軸に弾性変形し易い第２弾性変形部によって、第１軸に直交する第２軸の振動伝達を抑制することができる。
したがって、三次元の方向の振動伝達を抑制することができる防振部材を薄型にて提供することができる。
【０００９】
［適用例２］  上記適用例にかかる防振部材において、前記上面側支持部に接続される上面と、前記下面側支持部に接続される下面との間に前記弾性部材部が配置されていることが好ましい。
【００１０】
本適用例によれば、上面側支持部に支持される被上面側支持部材と、下面側支持部に支持される被下面側支持部材との間で、三次元の方向の振動伝達を抑制する防振構造を構成することができる。
【００１１】
［適用例３］  上記適用例にかかる防振部材において、前記上面側支持部および前記下面側支持部は、前記上面と前記下面との隙間の間隔を規定する形状で形成されたことが好ましい。
【００１２】
本適用例によれば、上面側支持部に支持される被上面側支持部材と、下面側支持部に支持される被下面側支持部材との間の防振構造を構成する防振部材の鉛直方向に沿った第２軸（厚み方向）の厚みを任意に調整することができ、特に薄型化を図ることができる。
【００１３】
［適用例４］  上記適用例にかかる防振部材において、前記上面側支持部を結んで形成される三角形と、前記下面側支持部を結んで形成される三角形とは、前記一方の端部から前記他方の端部へ延びる仮想の中心線に対して互いに線対称に形成されたことが好ましい。
【００１４】
本適用例によれば、弾性変形部において、第１弾性変形部と第２弾性変形部とにより振動伝達をバランスよく抑制し、三次元の各方向の振動を平均的に抑制し、且つ、振動を早く終息させる防振部材を提供することができる。
【００１５】
［適用例５］  上記適用例にかかる防振部材において、前記第１弾性変形部または前記第弾性変形部には、屈曲部が設けられたことが好ましい。
【００１６】
本適用例によれば、プレスなどの打ち抜き加工により弾性変形部の原型を形成してから、屈曲部を形成する曲げ加工をすることにより、第１弾性変形部や第２弾性変形部の各部に所望の弾性を付与させた防振部材を効率よく形成することができる。
【００１７】
［適用例６］  上記適用例にかかる防振部材において、前記弾性変形部の前記上面側および前記下面側の少なくとも一方にダンパー部材が接合されていることを特徴とする。
【００１８】
本適用例によれば、弾性変形部に接合されたダンパーにより、弾性変形部が弾性変形して振動伝達の抑制を行った際に、弾性変形部に生じた運動エネルギーの減衰が促進され、振動伝達抑制時の弾性変形部の振動をより短時間で終息させる防振部材を提供することができる。
【００１９】
［適用例７］  本適用例にかかるセンサー機器は、上記適用例に記載の防振部材の前記上面側および前記下面側の少なくとも一方にセンサー素子が搭載されたことを特徴とする。
【００２０】
本適用例によれば、上記適用例に記載の防振部材にセンサー素子が搭載された構成となっていることにより、三次元の方向の振動伝達が抑制され、誤検出が抑えられたセンサー機器を薄型にて提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】実施形態１に係るセンサー機器の全体構成を示す概略斜視図。
【図２】（ａ）は、実施形態１に係る防振部材を示す平面図、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ線断面図。
【図３】防振部材に上側基板および下側基板を取り付けた状態を示す概略斜視図。
【図４】実施形態２に係る防振部材を示す概略斜視図。
【図５】防振部材の変形例におけるアーム部の形態のバリエーションを模式的に示すものであり、（ａ）は一つのバリエーションを示す部分平面図、（ｂ）は別のバリエーションを示す部分断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の各図においては、各層や各部材を認識可能な程度の大きさにするため、各層や各部材について実際とは異なる尺度で示している場合がある。
【００２３】
（実施形態１）
図１は、実施形態１に係るセンサー機器の全体構成を示す概略斜視図である。また、図２は、センサー機器に備わる防振部材を示すものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。また、図３は、防振部材に上側基板および下側基板を取り付けた状態を示す概略斜視図である。なお、図１は、センサー機器の内部の構成を説明する便宜上、筐体としてのケース３の一部を切り欠いて図示している。
まず、実施形態１に係るセンサー機器１の概略構成について説明する。
【００２４】
図１において、センサー機器１は、ベース２、防振部材１０、下側基板２１、上側基板２２、センサー素子５５が内蔵されたセンサーパッケージ５０、およびケース３などから構成されている。
【００２５】
ベース２上には、下側基板２１が固定されている。下側基板２１上には、防振部材１０が接続され、防振部材１０上に、上側基板２２が接続されている。即ち、ベース２上に、防振部材１０を挟んだ上下に下側基板２１と上側基板２２とが接続され、下側基板２１と上側基板２２との間の振動伝達が防振部材１０により抑制される防振構造が構成されている。なお、防振部材１０の詳細な構成や、防振部材１０と下側基板２１および上側基板２２との接続構造の詳細については後述する。
【００２６】
上側基板２２上には、センサーパッケージ５０が固定されている。センサーパッケージ５０は、上面側が開口されたパッケージ容器５１と、自由端と固定端を有し、固定端がパッケージ容器５１内に固定されたセンサー素子５５と、センサー素子５５が固定されたパッケージ容器５１の開口を塞ぐように接合されたリッド５２などを有して構成されている。
【００２７】
下側基板２１、防振部材１０、および上側基板２２により形成された防振構造の上側基板２２上にセンサーパッケージ５０が配置されたベース２上には、それら防振構造上およびセンサーパッケージ５０を覆うケース３が接合されている。なお、図示はしないが、上側基板２２とセンサーパッケージ５０、および、下側基板２１とベース２は、各々電気的に接続され、上側基板２２と下側基板２１とはフレキシブル基板などにより電気的に接続されている。これにより、センサーパッケージ５０のセンサー素子５５は、ベース２の外側に引き出された外部接続端子（不図示）を介して外部と接続できるようになっている。
【００２８】
次に、防振部材１０について詳細に説明する。
図２（ａ）において、防振部材１０は、バネ鋼板材などをプレス加工して原型を作成したのち、所望の形状に成形して形成されている。防振部材は、水平方向に沿った第１軸の方向（図２（ａ）において紙面左右方向）に主面を有して形成された弾性変形部３０と、弾性変形部３０の第１軸において対向する両端部に各々接続された支持部としての上面側支持部３７ａ，３７ｂ，３７ｃおよび下面側支持部３８ａ，３８ｂ，３８ｃとを有している。
【００２９】
上面側支持部３７ａ，３７ｂ，３７ｃは、弾性変形部３０から第１軸に直交する鉛直方向に沿った第２軸において上面側に折り曲げ加工され、各々配置されている。また、下面側支持部３８ａ，３８ｂ，３８ｃは、弾性変形部３０から第２軸において下面側に折り曲げ加工され、各々配置されている。上面側支持部３７ａ，３７ｂ，３７ｃは、弾性変形部３０の一方の端部に一つの上面側支持部３７ａが配置され、弾性変形部３０の他方の端部に二つの上面側支持部３７ｂ，３７ｃが配置されている。また、下面側支持部３８ａ，３８ｂ，３８ｃは、弾性変形部３０の一方の端部に二つの下面側支持部３８ａ，３８ｂが配置され、弾性変形部３０の他方の端部に一つの下面側支持部３８ｃが配置されている。
【００３０】
弾性変形部３０は、一方の端部の上面側支持部３７ａから他方の端部の上面側支持部３７ｂに向けて延出するアーム部３１ａ，３１ｂ、および、アーム部３１ａから他方の端部の上面側支持部３７ｃに向けて延出するアーム部３１ｃを有する第１弾性変形部３１と、他方の端部の下面側支持部３８ｃから一方の端部の下面側支持部３８ａに向けて延出するアーム部３２ｃ，３２ａ、および、アーム部３２ｃから一方の端部の下面側支持部３８ｂに向けて延出するアーム部３２ｂを有する第２弾性変形部３２と、を含んでいる。第１弾性変形部３１と第２弾性変形部３２とは、弾性変形部３０の一方の端部と他方の端部との中央に配置されたタイバー（ｔｉｅ−ｂａｒ）３３で互いに接続されている。即ち、第１弾性変形部３１および第２弾性変形部３２は、タイバー３３の一部を含んで形成されている。
【００３１】
第１弾性変形部３１は、一方の端部の上面側支持部３７ａからタイバー３３までを最短の長さで接続するアーム部３１ａと、他方の端部の上面側支持部３７ｂおよび上面側支持部３７ｃの各々からタイバー３３までを最短の長さで接続するアーム部３１ｂおよびアーム部３１ｃと、タイバー３３の一部とを含んで形成されている。これに対して、第２弾性変形部３２は、一方の端部の下面側支持部３８ａおよび下面側支持部３８ｂの各々からタイバー３３に接続されるアーム部３２ａおよびアーム部３２ｂは、水平方向（第１軸）に屈曲させた屈曲部が設けられている。本実施形態では、アーム部３２ａおよびアーム部３２ｂともに、下面側支持部３８ａ，３８ｂから一旦他方の端部側に延びてから、第１軸において互いに接近する方向に屈曲し、上面側支持部３７ａからタイバー３３に延びるアーム部３１ａに接触しない位置でアーム部３１ａと並行するように他方の端部側に屈曲してから、さらに第１軸において互いに離間する方向に屈曲し、再び他方の端部側に屈曲してタイバー３３に接続される屈曲形状を有して形成されている。また、他方の端部の下面側支持部３８ｃから一方の端部側に延出されてタイバー３３に接続されるアーム部３２ｃは、下面側支持部３８ｃから一方の端部側に延びてから、第１軸において互いに離間する２方向に枝分かれして延び、各々が上面側支持部３７ｂからタイバー３３に延びるアーム部３１ｂ、および、上面側支持部３７ｃからタイバー３３に延びるアーム部３１ｃに接触しない位置でアーム部３１ｂまたはアーム部３１ｃと並行するように一方の端部側に屈曲してから、さらに第１軸において互いに接近する方向に屈曲し、中央で再び一つに合流してから再び一方の端部側に屈曲してタイバー３３に接続される屈曲形状を有して形成されている。これにより、弾性変形部３０において、第１弾性変形部３１は、第２弾性変形部３２に比して第１軸に弾性変形し易く、第２弾性変形部３２は、第１弾性変形部３１に比して第１軸に直交する第２軸に弾性変形し易くなっている。
【００３２】
以上、述べた形状に形成された防振部材１０は、上面側支持部３７ａ，３７ｂ，３７ｃを結んで形成される三角形と、下面側支持部３８ａ，３８ｂ，３８ｃを結んで形成される三角形とが、一方の端部から他方の端部へ延びる仮想の中心線Ｐに対して互いに線対称となるように形成されている。また、各アーム部およびタイバー３３が接続されて形成された第１弾性変形部３１および第２弾性変形部３２からなる弾性変形部３０の形状についても、仮想の中心線Ｐに対して線対称になっている。これにより、弾性変形部３０において、第１弾性変形部３１と第２弾性変形部３２とにより振動伝達をバランスよく抑制することができ、第１軸および第２軸の三次元の各方向の振動を平均的に抑制し、且つ、早く終息させる防振部材１０とすることができる。
【００３３】
また、上述した防振部材１０において、上面側支持部３７ａ，３７ｂ，３７ｃ、下面側支持部３８ａ，３８ｂ，３８ｃ、およびタイバー３３と、第１弾性変形部３１のアーム部３１ａ，３１ｂ，３１ｃおよび第２弾性変形部３２のアーム部３２ａ，３２ｂ，３２ｃとが各々接続される接続部分は、各アーム部３１ａ〜３１ｃ，３２ａ〜３２ｃから各々の接続部分に向けて徐々に幅を広げてから接続されるテーパー３５が形成されている。これにより、各接続部分にテーパー３５が形成されていない場合に比して、各アーム部３１ａ〜３１ｃ，３２ａ〜３２ｃと各々の接続部分の強度をより確保することができる。
また、タイバー３３の両端部には、アーム部３１ｂ，３１ｃ，３２ａ，３２ｂとの接合部から外側に突出した突出部３３ａが形成されている。
【００３４】
図３に示すように、防振部材１０の下方には下側基板２１が固定され、防振部材１０の上方には上側基板２２が固定される。具体的には、防振部材１０の下面側支持部３８ａ，３８ｂ，３８ｃには、下側基板２１がネジ２５により固定される。また、防振部材１０の上面側支持部３７ａ，３７ｂ，３７ｃには、上側基板２２がネジ２５により固定されている。なお、防振部材１０と、下側基板２１および上側基板２２との固定方法は、ネジ２５による方法に限らず、接着剤による接着、半田付け、など、種々の固定方法をとることができる。図３によりわかるように、上面側支持部３７ａ〜３７ｃに接続される上面側の上側基板２２と、下面側支持部３８ａ〜３８ｃに接続される下面側の下側基板２１との間に弾性変形部３０が配置される。ここで、防振部材１０において、上面側支持部３７ａ〜３７ｃおよび下面側支持部３８ａ〜３８ｃは、上面側に配置される上側基板２２と下面側に配置される下側基板２１との隙間の間隔を規定する形状で形成されている（図２（ｂ）を併せて参照のこと）。これにより、上面側支持部３７ａ〜３７ｃに支持される被上面側支持部材としての上側基板２２と、下面側支持部３８ａ〜３８ｃに支持される被下面側支持部材としての下側基板２１間で、三次元の方向の振動伝達を抑制する防振構造を構成することができる。また、上面側支持部３７ａ〜３７ｃに支持される上側基板２２と、下面側支持部３８ａ〜３８ｃに支持される下側基板２１との間の防振構造の第２軸（厚み方向）の厚みを、上面側支持部３７ａ〜３７ｃおよび下面側支持部３８ａ〜３８ｃの形状の設計により任意に調整することができ、特に薄型化が図り易いという効果を奏する。
【００３５】
以上述べたように、本実施形態に係る防振部材１０、および、それを備えたセンサー機器１によれば、以下の効果を得ることができる。
【００３６】
本実施形態の防振部材１０は、水平方向に沿った第１軸の方向に主面を有し、一方の端部の上面側支持部３７ａから他方の端部の上面側支持部３７ｂ，３７ｃに向けて延出し第１軸に弾性変形し易い第１弾性変形部３１と、他方の端部の下面側支持部３８ｃから一方の端部の下面側支持部３８ａ，３８ｂに向けて延出し第１軸に直交する第２軸に弾性変形しやすい第２弾性変形部３２とがタイバー３３で互いに接続された弾性変形部３０を有している。
これにより、上面側支持部３７ａ〜３７ｃと下面側支持部３８ａ〜３８ｃとの間に第１軸の方向に主面を有して接続された弾性変形部３０において、第１軸に弾性変形し易い第１弾性変形部３１によって、水平方向に沿った第１軸、即ち、弾性変形部３０を平面視したときのＸ方向およびＸ方向に直交するＹ方向の振動伝達を抑制することができるとともに、第２軸に弾性変形し易い第２弾性変形部３２により、鉛直方向に沿った第２軸の振動伝達を抑制することができる。
したがって、第１軸および第２軸の三次元の各方向の振動伝達を抑制することができる防振部材１０を提供することができる。
【００３７】
また、本実施形態の防振部材１０において、上面側支持部３７ａ〜３７ｃは、弾性変形部３０において一方の端部に一つの上面側支持部３７ａと、他方の端部に二つ上面側支持部３７ｂ，３７ｃとが配置され、下面側支持部３８ｃは、弾性変形部３０において一方の端部に二つの下面側支持部３８ａ，３８ｂと、他方の端部に一つの下面側支持部３８ｃとが配置されており、弾性変形部３０における第１弾性変形部３１および第２弾性変形部３２と、上面側支持部３７ａ〜３７ｃおよび下面側支持部３８ａ〜３８ｃが、各々バランスよく配置されて接続されている。しかも、上面側支持部３７ａ，３７ｂ，３７ｃを結んで形成される三角形と、下面側支持部３８ａ，３８ｂ，３８ｃを結んで形成される三角形とが、一方の端部から他方の端部へ延びる仮想の中心線Ｐに対して互いに線対称となるように形成されている。
このような構成により、弾性変形部３０において、第１弾性変形部３１と第２弾性変形部３２とにより振動伝達をバランスよく抑制することができ、第１軸および第２軸の三次元の各方向の振動を平均的に、且つ、早く終息させることができる防振部材１０を実現することができる。
【００３８】
本実施形態のセンサー機器１は、上述した防振部材１０を挟んだ下側に固定された下側基板２１および上側に固定された上側基板２２により形成された防振構造の上側基板２２上にセンサーパッケージ５０が配置されたベース２上に、ケース３が接合されて構成されている。
これにより、環境振動や衝撃印加などによる三次元の方向の振動が、防振部材１０などによる防振構造により緩和され、センサーパッケージ５０のセンサー素子５５への振動伝達が抑制されるので、センサー素子５５への不要な振動伝達による誤検出が抑えられ、過大な振動によるセンサー素子５５の破壊が抑制されたセンサー機器１を薄型にて提供することができる。
【００３９】
（実施形態２）
図４は、実施形態２に係る防振部材を示す概略斜視図である。この図を用いて、実施形態２に係る防振部材１０Ｄについて説明する。なお、実施形態１と同一の構成部位については、同一の番号を使用し、重複する説明は省略する。
【００４０】
図４において、実施形態２に係る防振部材１０Ｄは、上記実施形態１の防振部材１０の弾性変形部３０の上面側および下面側にダンパー部材７７，７８が接合されている。本実施形態では、弾性変形部３０の上面側にダンパー部材７７が接合され、弾性変形部３０の下面側にダンパー部材７８が接合されている。ダンパー部材７７，７８としては、粘弾性を比較的顕著に有するプラスチックやゴムなどの高分子材料により形成したものを用いることが好ましい。
【００４１】
実施形態２の防振部材１０Ｄによれば、実施形態１での効果に加えて、以下の効果を得ることができる。即ち、弾性変形部３０が弾性変形して振動伝達の抑制を行った際に、弾性変形部３０に密着させて接合したダンパー部材７７，７８によって、弾性変形部３０に生じた振動エネルギーの減衰が促進されるので、振動伝達抑制時の弾性変形部３０の振動を短時間で終息させる防振部材１０Ｄを提供することができる。
【００４２】
図５は、上記実施形態の防振部材１０におけるアーム部の形態のバリエーションを模式的に示すものであり、（ａ）は一つのバリエーションを示す部分平面図、（ｂ）は別のバリエーションを示す部分断面図である。
図５に示すアーム部の形態は、図２に示す実施形態１の防振部材１０の各アーム部に適用することができる。詳細には、図２に示す実施形態１の防振部材１０の弾性変形部３０において、屈曲形状を形成することにより弾性を調整している第２弾性変形部３２のアーム部３２ａ〜３２ｃに対して、屈曲形状を形成せずにアーム部の弾性を調整することができる形態として説明する。
【００４３】
図５（ａ）に示すアーム部３０ｘは、幅広部３４ａと、幅広部３４ａより幅が狭く形成された狭小部３４ｂとを有している。これによれば、防振部材において振動伝達の抑制を望む所定の大きさの振動に対して、弾性変形を保持できる範囲で狭小部３４ｂを形成することにより、アーム部３０ｘに所望の弾性変形特性を持たせることができる。
【００４４】
また、図５（ｂ）に示すアーム部３０ｘ´は、厚みが厚い肉厚部３４ａ´と、肉厚部３４ａ´よりも厚みが薄い肉薄部３４ｂ´とを有している。これによれば、防振部材において振動伝達の抑制を望む所定の大きさの振動に対して、弾性変形を保持できる範囲で肉薄部３４ｂ´を形成することにより、アーム部３０ｘ´に所望の弾性変形特性を持たせることができる。
【００４５】
以上、発明者によってなされた本発明の実施の形態について具体的に説明したが、本発明は上記した実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えることが可能である。
【００４６】
例えば、上記実施形態では、１つのセンサーパッケージ５０に対して防振部材１０による振動伝達の抑制を行う防振構造を有するセンサー機器１について説明した。これに限らず、上記実施形態および変形例の防振部材１０，１０Ｄ，１１０，２１０を用いることにより、複数のセンサーパッケージ、または、複数のセンサー素子５５に対して振動伝達を抑制する防振構造を実現することができる。
【００４７】
また、防振部材の弾性変形部の引き回し形状についても、上記実施形態で説明した防振部材１０，１０Ｄ，１１０，２１０の形状に限るものではない。上記実施形態および変形例の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えた形状とすることができる。
【００４８】
また、上記実施形態２の防振部材１０Ｄでは、弾性変形部３０の上面側の略全面にダンパー部材７７を接合し、弾性変形部３０の下面側の略全面にダンパー部材７８を接合したが、これに限らない。弾性変形部３０の上面側または下面側の少なくとも一部にダンパー部材を固定することにより、ダンパー部材による弾性変形部３０の振動の減衰を促進させる効果を得ることができる。
【符号の説明】
【００４９】
１…センサー機器、２…ベース、３…ケース、１０，１０Ｄ，１１０，２１０…防振部材、２１…下側基板、２２…上側基板、２５…ネジ、３０，１３０，２３０…弾性変形部、３１，１３１，２３１…第１弾性変形部、３１ａ〜３１ｃ，３２ａ〜３２ｃ，３０ｘ，３０ｘ´，１３１ａ〜１３１ｃ，２３１ａ〜２３１ｃ…アーム部、３２，１３２，２３２…第２弾性変形部、３３，１３３，２３３…タイバー、３４ａ…幅広部、３４ｂ…狭小部、３４ａ´…肉厚部、３４ｂ´…肉薄部、３５…テーパー、３７ａ〜３７ｃ，１３７ａ〜１３７ｃ，２３７ａ〜２３７ｃ…上面側支持部、３８ａ〜３８ｃ，１３８ａ〜１３８ｃ，２３８ａ〜２３８ｃ…下面側支持部、５０…センサーパッケージ、５１…パッケージ容器、５２…リッド、５５…センサー素子、７７，７８…ダンパー部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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