(57)【要約】      （修正有）【課題】有機発光素子製造用工程装備の全体の長さを減らすクラスタータイプの蒸着装置の提供。【解決手段】ローディングチャンバー、搬送チャンバー２１、蒸着を行う工程チャンバー２２と基板Ｐを搬送及び回転させるバッファーチャンバー２４に連結する複数のクラスター２０を備え、工程チャンバー２２が、両側に夫々設けた基板Ｐを支持する基板支持台２２１ａ、ｂと、床面に設け基板支持台２２１ａ、ｂの下部領域を往復移動する蒸着源２２２を備え、移送ユニット２５は基板ホルダー２５１と先端部２５２ａが基板ホルダー２５１に連結する前後進用の多関節リンク２５２と一端部２５３ａが搬送チャンバー２１の中央、他端部２５３ｂが多関節リンク２５２の後端部２５２ｂに連結して多関節リンク２５２の先端部２５２ａと後端部２５２ｂと基板支持台の正面中央から蒸着源２２２の移動方向と直交する基板の移送ラインに配置する回動リンク２５３を備える蒸着装置。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機発光素子用基板を供給するローディングチャンバーと、
基板移送用の移送ユニットを有する搬送チャンバーと、前記ローディングチャンバーから基板の供給を受けて蒸着を行うように前記搬送チャンバーの周囲に配置される工程チャンバーとをそれぞれ備え、前記基板を搬送および回転させるバッファーチャンバーに連結される複数のクラスターとを備え、
前記工程チャンバーが、該工程チャンバー内部の両側に設けられそれぞれ前記基板を支持する基板支持台と、前記工程チャンバー内部の床面に設けられ前記基板上に有機物を蒸着させるために両側の前記基板支持台の下部領域を往復移動する蒸着源とを備え、
前記移送ユニットは、基板ホルダーと、先端部が前記基板ホルダーに連結される前後進用の多関節リンクと、一端部が前記搬送チャンバーの中央に連結され他端部が前記多関節リンクの後端部に連結されて前記多関節リンクの前記先端部と後端部とが前記基板支持台の正面中央から前記蒸着源の移動方向と直交する前記基板の移送ラインに配置されるようにする回動リンクとを備える有機発光素子製造用クラスタータイプの蒸着装置。
【請求項２】
前記多関節リンクの前記後端部が、前記回動リンクの前記一端部の回転に対して前記回動リンクの回転方向と反対方向に回転し、前記多関節リンクの前記後端部の回転角度が、前記回動リンクの回転角度と同じ角度で回転する請求項１に記載の有機発光素子製造用クラスタータイプの蒸着装置。
【請求項３】
前記工程チャンバーが、前記搬送チャンバーの周りに沿って多数配置され、
前記搬送チャンバーの周りに沿って多数配置されるストックチャンバーをさらに備える請求項２に記載の有機発光素子製造用クラスタータイプの蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機発光素子製造用クラスタータイプの蒸着装置に関する。より詳細には、１つの搬送チャンバーの周りに多数の工程チャンバー、バッファーチャンバーおよびストックチャンバーを配置して、有機発光素子製造用工程装備の全体の長さを減らすことができる有機発光素子製造用クラスタータイプの蒸着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機電界発光表示装置は、自発光型表示装置であって、視野角が広く、コントラストが優れているだけでなく、応答速度が速いという長所を有しているため、次世代の表示装置として注目されている。
【０００３】
有機電界発光表示装置に備えられる有機電界発光素子は、一般的に知られているように、互いに対向した第１，２電極（アノード電極およびカソード電極）および該電極の間に形成された中間層により構成され、該中間層には、様々な層を備えることができ、これは例えば、ホール注入層、ホール輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層などにより構成されることができる。
【０００４】
上記のような構成を有する有機電界発光素子を製造するにおいて、基板上に形成されるホール注入層、ホール輸送層、発光層、電子輸送層および電子注入層などの有機薄膜または電極は、蒸着装置を用いる蒸着方法によって形成されることができる。
【０００５】
有機物蒸着方法は、一般的に真空チャンバー内に基板を装着した後、蒸着される物質を入れた加熱容器を加熱して、その内部の蒸発する物質を蒸発または昇華させることによって具現される。すなわち、基板上に形成しようとする有機物パターンの形状と同じ開口部を有するシャドウマスクを基板の前に整列し、該基板に有機物質を蒸発または昇華させて、基板上に有機薄膜などを蒸着する。
【０００６】
このように、基板に対して有機物蒸着工程を行うためには、基板に対して有機物蒸着工程を行う工程チャンバー、該工程チャンバーに基板を移送および搬出するための搬送チャンバーおよび該搬送チャンバーに基板をローディングまたはアンローディングを行うローディング／アンローディングチャンバーまたはロードロックチャンバーにより構成された有機物蒸着システムが必要である。
【０００７】
一方、最近は、工程チャンバー内に２つの基板をローディングして、２つの基板に対して同時または順次に有機物蒸着工程を行うことによって、基板に対する有機物蒸着収率を増大させようとする研究が進行している。
図１は、従来の一般的な有機物蒸着システムの平面図であり、図２は２つの基板に対する有機物蒸着工程を行う工程チャンバーの正面図であり、図３は従来の工程チャンバーの基板整列過程を示す作用図である。
【０００８】
図１および図２に示すように、従来の一般的な有機物蒸着システムは、基板Ｐをローディングまたはアンローディングするように製造工程の両端部に配置されるローディング／アンローディングチャンバー１ａ，１ｂと、該ローディングチャンバー１ａとアンローディングチャンバー１ｂとの間に一列に配置される複数のクラスター２により構成され、各クラスター２は、２つの基板Ｐに対して有機物蒸着工程が行われる工程チャンバー１２０と該工程チャンバー１２０に基板Ｐを搬入／搬出する搬送チャンバー１３０とにより構成される。
【０００９】
一方、ローディング／アンローディングチャンバー１ａ，１ｂと搬送チャンバー１３０との間には、開閉ドアが備えられ、搬送チャンバー１３０と工程チャンバー１２０との間にも、開閉ドアが備えられて、真空が維持された状態で基板Ｐが移送されるようにする。
【００１０】
前記工程チャンバー１２０内部の両側には、基板Ｐを支持する基板支持台１２１ａ，１２１ｂがそれぞれ配置され、内部の床面には、前記基板Ｐ上に有機物を蒸着させるために両側の基板支持台１２１ａ，１２１ｂの下部領域を往復移動する蒸着源１２２が移送手段１２３によって両側の基板支持台１２１ａ，１２１ｂの下部領域で水平方向に往復移動するように構成される。
【００１１】
上記のように構成される工程チャンバー１２０内に移送された２つの基板Ｐには、工程チャンバー１２０の床側に配置される有機物蒸着源１２２から蒸発した有機物が蒸着される。
したがって、工程チャンバー１２０内の一側および他側上部に配置された基板支持台１２１ａ，１２１ｂに支持されている２つの基板Ｐ上に有機薄膜を同時または順次に蒸着させることができる。
【００１２】
一方、工程チャンバー１２０内に移送される２つの基板Ｐは、搬送チャンバー１３０内部に配置される移送ユニット１４０によって移送され、移送ユニット１４０は、後端部１４１が前記搬送チャンバー１３０の中央に回転可能に設置され、関節部１４２が折り畳まれながら先端部１４３の基板ホルダー１４４を搬送チャンバー１３０の中心点Ｃ１から前後進させるように構成されている。したがって、移送ユニット１４０によって移送される基板Ｐは、搬送チャンバー１３０の中心点Ｃ１から放射状に前後移動することになる。
【００１３】
したがって、工程チャンバー１２０内部には、基板Ｐが移送ユニット１４０の前後進によって搬入搬出される方向と並んで配置されるか、蒸着源１２２の移動方向と並んだ方向に配置されるように、基板支持台１２１ａ，１２１ｂを回動させる回動ユニット１２４が設けられる。
【００１４】
すなわち、従来の蒸着装置は、工程チャンバー１２０に基板Ｐを搬入または搬出する過程において、毎回回動ユニット１２４を用いて基板Ｐを蒸着源１２２が移動する方向Ａ１と並んで回転させるか、ロボットアームが前後進する方向Ａ２と並んで回転させなければならないので、工程装備および工程制御が複雑になり、蒸着が行われる工程チャンバー１２０内に基板支持台１２１ａ，１２１ｂを回転させるための回転ユニット１２４を設置しなければならないので、回転ユニット１２４に蒸着物質が蒸着されないようにする構成を追加で備えなければならないのはもちろんこと、維持・補修の項目が増加する問題がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
したがって、本発明の目的は、このような従来の問題点を解決するためのものであって、１つの搬送チャンバーの周りに多数の工程チャンバー、バッファーチャンバーおよびストックチャンバーを配置して、有機発光素子製造用工程装備の全体の長さを減らすことができる有機発光素子製造用クラスタータイプの蒸着装置を提供することにある。
【００１６】
また、工程チャンバーの基板搬入／搬出方向が移送ユニットの中心を向かなくても良いようにすることによって、工程装備を構成するクラスターの設計が自由な有機発光素子製造用クラスタータイプの蒸着装置を提供することにある。
【００１７】
また、従来のように工程チャンバー内に移送ユニットの移動方向と基板の搬入／搬出方向を整列するための構成を省略することができるので、工程および工程制御が簡素化され、全体の製造工程ラインを停止して、工程チャンバーの真空を解除しなければならない維持・補修項目を最小化することができる有機発光素子製造用クラスタータイプの蒸着装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記目的は、本発明によって、有機発光素子用基板を供給するローディングチャンバーと、基板移送用の移送ユニットを有する搬送チャンバーと、前記ローディングチャンバーから基板の供給を受けて蒸着を行うように前記搬送チャンバーの周囲に配置される工程チャンバーをそれぞれ備え、前記基板を搬送および回転させるバッファーチャンバーに連結される多数のクラスターとを備え、前記工程チャンバーが、該工程チャンバー内部の両側に設けられそれぞれ前記基板を支持する基板支持台と、前記工程チャンバー内部の床面に設けられ前記基板上に有機物を蒸着させるために両側の前記基板支持台の下部領域を往復移動する蒸着源とを備え、前記移送ユニットは、基板ホルダーと、先端部が前記基板ホルダーに連結される前後進用の多関節リンクと、一端部が前記搬送チャンバーの中央に連結され他端部が前記多関節リンクの後端部に連結されて前記多関節リンクの前記先端部と後端部とが前記基板支持台の正面中央から前記蒸着源の移動方向と直交する前記基板の移送ラインに配置されるようにする回動リンクとを備える有機発光素子製造用クラスタータイプの蒸着装置によって達成される。
【００１９】
ここで、前記多関節リンクの前記後端部が、前記回動リンクの前記一端部の回転に対して前記回動リンクの回転方向と反対方向に回転し、前記多関節リンクの前記後端部の回転角度が、前記回動リンクの回転角度と同じ角度で回転することが好ましい。
また、前記工程チャンバーが、前記搬送チャンバーの周りに沿って多数配置されることが好ましく、前記搬送チャンバーの周りに沿って多数配置されるストックチャンバーをさらに備えることができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、１つの搬送チャンバーの周りに多数の工程チャンバー、バッファーチャンバーおよびストックチャンバーを配置して、有機発光素子製造用工程装備の全体の長さを減らすことができる有機発光素子製造用クラスタータイプの蒸着装置が提供される。
【００２１】
また、移送ユニットの多関節リンクを回動リンクによって搬送チャンバーの中心から移動させて、工程チャンバーの両側の基板支持台の正面にそれぞれ配置することができるので、工程チャンバーの基板搬入／搬出方向が移送ユニットの中心を向かなくても良く、これによって、工程装備を構成するクラスターの設計が自由な有機発光素子製造用クラスタータイプの蒸着装置が提供される。
【００２２】
また、従来のように、工程チャンバー内に移送ユニットの移動方向と基板の搬入／搬出方向を整列するための構成を省略することができるので、工程および工程制御が簡素化され、全体の製造工程ラインを停止して工程チャンバーの真空を解除しなければならない維持・補修項目を最小化することができる有機発光素子製造用クラスタータイプの蒸着装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】従来の一般的な有機物蒸着システムを示す平面図である。
【図２】２つの基板に対する有機物蒸着工程を行う工程チャンバーを示す正面構成図である。
【図３】従来の工程チャンバーの基板整列過程を示す作用図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る有機発光素子製造用クラスタータイプの蒸着装置を示す平面図である。
【図５】図４の蒸着装置の工程チャンバーを示す正面構成図である。
【図６】図４の蒸着装置のクラスターを示す拡大図である。
【図７】図４の蒸着装置の工程チャンバーの基板搬入／搬出過程を示す作用図である。
【図８】図４の蒸着装置の工程チャンバーの基板搬入／搬出過程を示す作用図である。
【図９】図４の蒸着装置の工程チャンバーの基板搬入／搬出過程を示す作用図である。
【図１０】図４の蒸着装置の工程チャンバーの基板搬入／搬出過程を示す作用図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
説明に先立ち、様々な実施形態において、同一の構成を有する構成要素については、同一の符号を使用して代表的な一実施形態で説明し、その他の実施形態においては、代表的な一実施形態と異なる構成について説明することにする。
以下、添付した図面を参照して本発明の一実施形態に係る有機発光素子製造用クラスタータイプの蒸着装置について詳細に説明する。
【００２５】
添付図面のうち、図４は、本発明の一実施形態に係る有機発光素子製造用クラスタータイプの蒸着装置の平面図であり、図５は、本実施形態に係る蒸着装置の工程チャンバーの正面構成図であり、図６は、本実施形態に係る蒸着装置のクラスターの拡大図である。
【００２６】
本実施形態に係る蒸着装置は、図４に示すように、有機発光素子を製造するための基板Ｐを供給および回収するように両端部に配置されるローディング／アンローディングチャンバー１０ａ，１０ｂと、ローディングチャンバー１０ａから供給された基板Ｐを各製造工程別に加工処理するようにローディング／アンローディングチャンバー１０ａ，１０ｂの間に配置される複数のクラスター２０とを備えている。図４には、４つのクラスター２０が配置されたものとして図示したが、クラスター２０の数は、必要に応じて変更することができる。
【００２７】
各クラスター２０は、搬送チャンバー２１、工程チャンバー２２、ストックチャンバー２３、およびバッファーチャンバー２４により構成される。
【００２８】
搬送チャンバー２１は、クラスター２０の中央部分に配置され、バッファーチャンバー２４を介してローディング／アンローディングチャンバー１０ａ，１０ｂまたは隣合うクラスター２０と連結される。基板Ｐには、搬送チャンバー２１の中央に配置される移送ユニット２５によって搬送チャンバー２１の周辺に配置された多数の工程チャンバー２２を通過しながら、有機発光素子を構成する多数の薄膜が順に蒸着される。
【００２９】
工程チャンバー２２は、１つのクラスター２０当たり１つ以上存在し、搬送チャンバー２１の周囲に位置する。工程チャンバー２２のそれぞれには、基板Ｐに互いに異なる蒸着層を蒸着させるために、異なる種類の蒸着源を備えている。
【００３０】
工程チャンバー２２は、内部が真空に維持され、内部の両側には、それぞれの基板Ｐを支持する基板支持台２２１ａ，２２１ｂを備え、工程チャンバー２２内部の床面には、基板Ｐ上に有機物を蒸着させるために、両側の基板支持台２２１ａ，２２１ｂの下部領域で駆動手段２２３によって水平方向に往復移動する蒸着源２２２を備える。
【００３１】
上記のような本発明の有機発光素子製造用クラスタータイプの蒸着装置によれば、１つの搬送チャンバー２１の周りに多数の工程チャンバー２２、バッファーチャンバー２４およびストックチャンバー２３が配置されて、全体の工程装備の長さを減らすことができる。
【００３２】
ところが、工程チャンバー２２は、内部の床面に工程チャンバーと法線方向に蒸着源２２２が往復移動するように構成され、内部の両側の基板支持台２２１ａ，２２１ｂは、基板Ｐの一方の辺が蒸着源２２２の移動方向と並んで配置されるように構成されるので、このような基板支持台２２１ａ，２２１ｂの正面に基板Ｐを搬入／搬出する場合、基板Ｐの移送方向が搬送チャンバー２１の中心から外れることになる。
【００３３】
具体的には、両側の基板支持台２２１ａ，２２１ｂに基板Ｐを搬入／搬出するための移送ラインは、一側の基板支持台２２１ａの正面中央から蒸着源２２２の移送方向と直交する基板Ｐの移送ライン（以下、一側の基板支持台２２１ａの基板移送ラインＬ１）と、他側の基板支持台２２１ｂの正面中央から蒸着源２２２の移送方向と直交する基板移送ライン（以下、他側の基板支持台２２１ｂの基板移送ラインＬ２）で構成され、このような一側の基板支持台２２１ａの基板移送ラインＬ１と他側の基板支持台２２１ｂの基板移送ラインＬ２は、搬送チャンバー２１の中心を基準として両側に互いに並んで配置される。
【００３４】
また、工程チャンバー２２とともに搬送チャンバー２１の周りに設置されるバッファーチャンバー２４およびストックチャンバー２３は、基板Ｐの搬入／搬出のための基板Ｐの移送方向が搬送チャンバー２１の中心点Ｃ１と交差することになる。
【００３５】
したがって、移送ユニット２５は、図６に示すように、工程チャンバー２２の一側の基板支持台２２１ａおよび他側の基板支持台２２１ｂの基板移送ラインＬ１，Ｌ２と、バッファーチャンバー２４およびストックチャンバー２３の基板移送ラインに沿って前後進するものであって、基板ホルダー２５１と、先端部２５２ａが基板ホルダー２５１に連結される前後進用の多関節リンク２５２と、一端部２５３ａが搬送チャンバー２１の中央に連結され、他端部２５３ｂが多関節リンク２５２の後端部２５２ｂに連結されて、多関節リンク２５２が基板支持台２２１ａ，２２１ｂの正面中央から蒸着源２２２の移動方向と直交するライン上に配置されるようにする回動リンク２５３を備えて構成される。
【００３６】
このような移送ユニット２５を用いて工程チャンバー２２に基板Ｐを搬入／搬出する過程をみると、次の通りである。
【００３７】
添付図面のうち、図７〜図１０は、本実施形態に係る蒸着装置の工程チャンバー２２の基板Ｐ搬入／搬出過程を示す作用図である。
【００３８】
まず、図７に示すように、前記多関節リンク２５２は、先端部２５２ａと後端部２５２ｂが一側の基板支持台２２１ａの基板移送ラインＬ１上に配置された状態で、中間関節部２５２ｃが回転することによって、先端部２５２ａの基板ホルダー２５１が基板移送ラインＬ１に沿って搬送チャンバー２１の内部空間から工程チャンバー２２内部の基板支持台２２１ａまで前進するか、先端部２５２ａの基板ホルダー２５１が工程チャンバー２２内部の基板支持台２２１ａから搬送チャンバー２１の内部空間まで後進することになる。
【００３９】
続いて、図８に示すように、工程チャンバー２２の他側の基板支持台２２１ｂに基板Ｐを搬入または搬出するために、移送ユニット２５の回動リンク２５３が工程チャンバー２２の一側の基板支持台２２１ａから他側の基板支持台２２１ｂに向かって回転すると、回動リンク２５３とともに多関節リンク２５２が搬送チャンバー２１の内部空間で回転する。この際、前記回動リンク２５３の回転角Ａは、多関節リンク２５２の後端部２５２ｂと連結された回動リンク２５３の他端部２５３ｂが一側の基板支持台２２１ａの基板移送ラインＬ１と重なる地点から、他側の基板支持台２２１ｂの基板移送ラインＬ２と重なる地点に至る角に設定される。
【００４０】
また、図９に示すように、回動リンク２５３の他端部２５３ｂと連結された多関節リンク２５２の後端部２５２ｂは、回動リンク２５３と反対方向に回転して、の先端部２５２ａと後端部２５２ｂが他側の基板支持台２２１ｂの基板移送ラインＬ２上に配置されるようにする。この際、回動リンク２５３の他端部２５３ｂと連結された多関節リンク２５２の後端部２５２ｂの回転角Ａは、回動リンク２５３の一端部２５３ａの回転角Ａと同一に設定される。上記のように、回動リンク２５３の他端部２５３ｂに連結された多関節リンク２５２の後端部２５２ｂが回動リンク２５３の一端部２５３ａと反対方向に回転すると、多関節リンク２５２の先端部２５２ａと後端部２５２ｂの回転中心がそれぞれ他側の基板支持台２２１ｂの基板移送ラインＬ２上に配置される。
【００４１】
このような状態で、図１０に示すように、多関節リンク２５２の中間関節部２５２ｃが回転駆動すると、多関節リンク２５２の先端部２５２ａに連結された基板ホルダー２５１が他側の基板支持台２２１ｂの基板移送ラインＬ２上で前進または後進して、他側の基板支持台２２１ｂに基板Ｐを搬入または搬出することができることになる。
【００４２】
一方、図８および図９においては、回動リンク２５３の駆動の理解のために回動リンク２５３の一端部２５３ａの回転と多関節リンク２５２の後端部２５２ｂの回転が順次に行われるものとして説明したが、搬送チャンバー２１の中央に連結された回動リンク２５３の一端部２５３ａと多関節リンク２５２の後端部２５２ｂが同時に回転駆動するように設定されることが好ましい。
【００４３】
また、本実施形態においては、移送ユニット２５が工程チャンバー２２の一側の基板支持台２２１ａの基板移送方向Ｌ１に位置した状態で、他側の基板支持台２２１ｂの基板移送方向Ｌ２に直接に移動するものとして例をあげて説明したが、これは移送ユニット２５の作用を説明するために例をあげて説明したものであり、このような駆動順序を限定するものではない。すなわち、蒸着工程の円滑な進行のために一側に位置したバッファーチャンバー２４から搬送チャンバー２１の内部に基板Ｐを搬入して、工程チャンバー２２の一側の基板支持台２２１ａに基板Ｐを伝達し、再び一側のバッファーチャンバー２４から搬送チャンバー２１の内部に基板Ｐを搬入して、工程チャンバー２２の他側の基板支持台２２１ｂに基板Ｐを伝達し、該当工程チャンバー２２内で蒸着が完了すると、一側の基板支持台２２１ａから基板Ｐを搬出して、他側のバッファーチャンバー２４に基板Ｐを伝達し、再び他側の基板支持台２２１ｂから基板Ｐを搬出して、他側のバッファーチャンバー２４に基板Ｐを伝達するように駆動が制御されることができる。
【００４４】
同様に、工程チャンバー２２の内部に配置されたマスクを交換しようとする場合には、移送ユニット２５を用いて、搬送チャンバー２１の一側に位置したストックチャンバー２３からマスクを取り出して、該当工程チャンバー２２の基板支持台２２１ａ，２２１ｂ側に搬入するか、逆に、工程チャンバー２２内のマスクを取り出して、ストックチャンバー２３に伝達するように駆動することも可能である。
【００４５】
本実施形態によれば、上記のような基板Ｐの蒸着工程およびマスクの交換過程において、１つの移送ユニット２５を用いて基板Ｐまたはマスクを移送することができるので、工程装備を簡素化させることができる。
【００４６】
特に、移送ユニット２５の多関節リンク２５２を回動リンク２５３によって搬送チャンバー２１の中心から移動させて工程チャンバーの両側の基板支持台２２１ａ，２２１ｂの正面にそれぞれ配置することができるので、工程チャンバー２２の基板Ｐ搬入／搬出方向が移送ユニットの中心を向かなくても良い。したがって、工程装備を構成するクラスター２０の設計が自由になり、従来のように工程チャンバー内に移送ユニットの移動方向と基板の搬入／搬出方向を整列するための回転ユニットを省略することができるので、全体の製造工程ラインを停止して工程チャンバー２２の真空を解除しなければならない維持・補修項目を最小化することができる。
【００４７】
本発明の権利範囲は、前述した実施形態に限定されるものではなく、添付した特許請求の範囲内で様々な形態の実施形態で具現することができる。特許請求の範囲で請求する本発明の要旨を逸脱することなく、当該発明の属する技術分野における通常の知識を有する者であれば誰でも変形可能な多様な範囲まで本発明の請求範囲の記載の範囲内にあるものとみなす。
【符号の説明】
【００４８】
１０ａ，１０ｂ  ローディング／アンローディングチャンバー
２０  クラスター
２１  搬送チャンバー
２２  工程チャンバー
２２１ａ，２２１ｂ  基板支持台
２２２  蒸着源
２２３  移送手段
２３  ストックチャンバー
２４  バッファーチャンバー
２５  移送ユニット
２５１  基板ホルダー
２５２  多関節リンク
２５２ａ  先端部
２５２ｂ  後端部
２５２ｃ  中間関節部
２５３  回動リンク
２５３ａ  一端部
２５３ｂ  他端部
Ｐ  基板
【図１】
2016130367.tif 000003
【図２】
2016130367.tif 000004
【図３】
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【図４】
2016130367.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2016130367.tif 000010
【図９】
2016130367.tif 000011
【図１０】
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