(57)【要約】【課題】閉状態においてシール部材の押圧の均一性向上を図りうる真空バルブを提供する。【解決手段】支持面（２０）およびバルブハウジング（１）の当接は、軸線（２５）の回りに運動方向（１３）に対して傾斜している当接平面（２４）によって実現される。軸線（２５）は運動方向（１３）およびバルブ開口部（２）の縦軸線（３）のそれぞれに対して垂直に延在している。支持部材（１７）が、揺動軸線（１８）の回りに閉塞要素（８）に対して揺動可能に構成されている。揺動軸線（１８）は運動方向（１３）およびバルブ開口部（２）の縦軸線（３）のそれぞれに対して垂直に延在している。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空バルブであって、
縦軸線（３）を有するバルブ開口部（２）および前記バルブ開口部（２）を取り囲むバルブシート（４）を備えているバルブハウジング（１）と、
前記真空バルブが開いている開位置および前記真空バルブが閉じている閉位置の間で変位可能に構成されている閉塞要素（８）と、
前記閉塞要素（８）が取り付けられ、前記閉塞要素（８）を開位置および閉位置の間で位置調節するために軸線に沿って運動方向（１３）およびその反対の方向に変位可能に構成されているバルブロッド（９）と、
前記閉塞要素（８）の前側または前記バルブハウジング（１）の前記バルブシート（４）に配置される弾性シール部材（１２）と、
前記バルブハウジング（１）の前記バルブシート（４）または前記閉塞要素（８）の前側にあって、前記閉塞要素（８）の閉位置において前記弾性シール部材（１２）が当接するシール面（５）と、
前記バルブシート（４）とは反対側にある前記閉塞要素（８）の後側に配置され、前記閉塞要素（８）の閉位置において前記バルブハウジング（１）により支持される支持面（２０）を有する少なくとも１つの支持部材（１７）と、を備え、
前記支持面（２０）および前記バルブハウジング（１）の当接は、前記運動方向（１３）および前記バルブ開口部（２）の縦軸線（３）のそれぞれに対して垂直な軸線（２５）の回りに、前記運動方向（１３）に対して傾斜している当接平面（２４）によって実現され、
前記支持部材（１７）が、前記運動方向（１３）および前記バルブ開口部（２）の縦軸線（３）のそれぞれに対して垂直な揺動軸線（１８）の回りに、前記閉塞要素（８）に対して揺動可能に構成されていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項２】
請求項１記載の真空バルブにおいて、前記支持部材（１７）は、前記閉塞要素（８）の凹部（１９）に大部分が配置され、かつ、前記支持面（２０）に連続する領域において前記閉塞要素（８）の前記凹部（１９）から突出していることを特徴とする真空バルブ。
【請求項３】
請求項１または２記載の真空バルブにおいて、前記揺動軸線（１８）が軸受ピン（２２）により構成され、前記軸受ピン（２２）に対して前記支持部材（１７）が回動可能または前記軸受ピン（２２）が前記閉塞要素（８）に対して回動可能に取り付けられていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項４】
請求項１または２記載の真空バルブにおいて、前記支持部材（１７）は、前記閉塞要素（８）の円筒面（３３）または球面と相互作用する円筒面（３２）または球面を有することを特徴とする真空バルブ。
【請求項５】
請求項１〜４のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、前記支持部材（１７）が合成樹脂からなることを特徴とする真空バルブ。
【請求項６】
請求項１〜５のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、前記運動方向（１３）および前記バルブ開口部（２）の縦軸線（３）のそれぞれに対して平行であり、かつ、前記閉塞要素（８）の中央を通る中央平面（２６）を挟む両側において、少なくとも１つの前記支持部材（１７）が前記閉塞要素（８）に対して揺動可能に取り付けられ、前記支持部材（１７）の揺動軸線（１８）が共通の直線に沿って演算していることを特徴とする真空バルブ。
【請求項７】
請求項１〜６のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、前記運動方向（１３）および前記バルブ開口部（２）の前記縦軸線（３）のそれぞれに対して垂直な軸線（１６）の回りに、前記運動方向（１３）に対して、前記当接平面（２４）とは反対側に傾斜している、平行に配置された面のそれぞれに前記シール面（５）および前記シール部材（１２）のそれぞれが配置されていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項８】
請求項１〜７のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、前記閉塞要素（８）の閉位置において前記バルブハウジング（１）に対して当接する少なくとも１つのスライド部材（２７）が、前記シール部材（１２）または前記シール面（５９に隣接する前記閉塞要素（８）の前側に配置されていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項９】
請求項８記載の真空バルブにおいて、前記運動方向（１３）および前記バルブ開口部（２）の縦軸線（３）のそれぞれに対して平行であり、かつ、前記閉塞要素（８）の中央を通る中央平面（２６）を挟む両側に前記少なくとも１つのスライド部材（２７）が配置されていることを特徴とする真空バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空バルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
本発明の従来技術としての真空バルブが提案されている（たとえば特許文献１参照）。特許文献１に記載された真空バルブによれば、閉塞要素は楔形状に形成され、閉塞要素が取り付けられているバルブロッドの軸線方向の運動によって閉塞要素が開位置および閉位置の間で駆動される。閉塞要素の前側にシール部材に隣接してスライド部材およびスペーサ部材が配置されている。スライド部材およびスペーサ部材、ならびに閉塞要素の後側に配置されている支持部材が、閉位置に至る直前の運動行程における閉塞要素の滑り軸受を構成する。真空バルブが閉じている際に前記シール部材に作用する剪断圧力にもかかわらず、シール部材の耐用期間はさまざまな使用状況に対して十分なものになっている。パーティクルの発生が十分に低いレベルに維持される。
【０００３】
さまざまな種類の真空バルブにおいて、シール部材に作用する剪断応力の可及的低減が図られている。Ｌ−バルブ、振子式バルブ、バタフライバルブおよびスライドバルブなど、多くの構成要素を有するさまざまな形態のバルブが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許公報  ＵＳ７０１１２９４Ｂ１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１記載の真空バルブによれば、バルブハウジングおよび閉塞要素のうち一方または両方の製造公差のため、特に閉塞要素が大きな公証幅を有する場合、シール部材はその周方向について不均一に押圧される。このため、真空バルブが閉じられた際にシール不完全および局所的圧力のうち少なくとも一方によって摩耗が進行し、耐用期間が短縮される可能性がある。特許文献１には、バルブハウジングの壁部と相互作用するローラが閉塞要素の後側に回転可能に取り付けられている実施形態が記載されている。しかし、この構成によれば、バルブハウジングの壁部に存在する直線状の支持部材に関して、非常に強い局所的な力が作用するという欠点を有している。
【０００６】
本発明は、前記のような類の真空バルブであって、その閉状態においてシール部材の押圧の均一性向上を図りうる真空バルブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、真空バルブであって、縦軸線を有するバルブ開口部および前記バルブ開口部を取り囲むバルブシートを備えているバルブハウジングと、前記真空バルブが開いている開位置および前記真空バルブが閉じている閉位置の間で変位可能に構成されている閉塞要素と、前記閉塞要素が取り付けられ、前記閉塞要素を開位置および閉位置の間で位置調節するために軸線に沿って運動方向およびその反対の方向に変位可能に構成されているバルブロッドと、前記閉塞要素の前側または前記バルブハウジングの前記バルブシートに配置される弾性シール部材と、前記バルブハウジングの前記バルブシートまたは前記閉塞要素の前側にあって、前記閉塞要素の閉位置において前記弾性シール部材が当接するシール面と、前記バルブシートとは反対側にある前記閉塞要素の後側に配置され、前記閉塞要素の閉位置において前記バルブハウジングにより支持される支持面を有する少なくとも１つの支持部材と、を備え、前記支持面および前記バルブハウジングの当接は、前記運動方向および前記バルブ開口部の縦軸線のそれぞれに対して垂直な軸線の回りに、前記運動方向に対して傾斜している当接平面によって実現されている真空バルブに関する。
【０００８】
本発明の真空バルブは、前記支持部材が、前記運動方向および前記バルブ開口部の縦軸線のそれぞれに対して垂直な揺動軸線の回りに、前記閉塞要素に対して揺動可能に構成されていることを特徴とする。
【０００９】
本発明に係る真空バルブによれば、バルブシートの反対側にある閉塞要素の後側に配置され、かつ、閉塞要素に対して揺動軸線の回りに揺動可能に構成されている少なくとも１つの支持部材が設けられている。揺動軸線は、バルブロッドの運動方向およびバルブ開口部に縦軸線のそれぞれに対して垂直に延在している。
【００１０】
支持部材は、閉塞要素の閉位置においてバルブハウジングの当接面に対して支持部材が支持されるところの支持面を有している。支持部材の支持面とバルブハウジングとの当接は、バルブロッドの運動方向に対して軸線回りに傾斜している当接平面によって実現される。当該軸線は、閉塞要素の運動方向およびバルブ開口部の縦軸線に対して垂直に延在している。すなわち、当該軸線は少なくとも１つの支持部材の揺動軸線に対して平行に延在している。揺動軸線の回りに揺動可能に構成されている支持部材の軸受によって、製造公差に由来する寸法誤差が存在する場合でも、少なくとも１つの支持部材がバルブハウジングに対して全面的に当接するとともに、閉塞要素の前側をバルブシートの存在面に位置させることが可能になる。この結果、閉塞要素の閉位置においてシール部材に作用する圧力の均一化が図られる。
【００１１】
閉塞要素において揺動可能になるように支持部材が取り付けられている揺動軸線は、たとえば軸受ピンにより構成される。軸受ピンに対して支持部材が回転可能に構成され、または、軸受ピンが閉塞要素に対して回転可能に構成されている。他の実施態様によれば、支持部材が閉塞要素の円筒面と相互作用する円筒面を有し、支持部材の揺動軸線を構成する仮想の回転軸線が構成されている。仮想の回転軸線は、バルブロッドの運動方向およびバルブ開口部の縦軸線のそれぞれに対して垂直に延在している。支持部材は、閉塞要素の球面と相互作用する球面を有していてもよい。この結果、仮想の揺動点が構成され、支持部材は仮想の揺動点を通る任意の揺動軸線、すなわちバルブロッドの運動方向およびバルブ開口部の縦軸線のそれぞれに対して垂直に延在している揺動軸線の回りに揺動可能である。
【００１２】
少なくとも１つの支持部材は、合成樹脂材料、特にＰＥＥＫなどの熱可塑性樹脂からなることが好ましい。支持部材は、ＰＴＦＥなどの合成樹脂材料からなる摺動用の被覆が施された金属製であってもよい。
【００１３】
少なくとも１つの支持部材の支持面の摩擦係数μが０．０５〜０．４０の範囲に含まれていることが好ましい。
【００１４】
バルブロッドの運動方向およびバルブ開口部の縦軸線のそれぞれに対して平行に延在し、かつ、閉塞要素の中央を通る中央平面を仮想した場合、この中央平面を挟む両側に少なくとも１つの支持部材が存在することが適当である。すべての支持部材の揺動軸線は幾何学的に同一であり、共通の直線上にある。
【００１５】
本発明の有利な実施形態によれば、閉塞要素は、側面視において（少なくとも１つの支持部材の揺動軸線に視線方向を合わせた場合に）楔形状に形成されている。シール面およびシール部材のそれぞれは平行な面のそれぞれに存在する。当該平行な面は、バルブロッドの運動方向に対して、少なくとも１つの支持部材の揺動軸線に平行な軸線の回りに、当接平面とは反対側に傾斜している。
【００１６】
少なくとも１つのスライド部材がシール部材に隣接して閉塞要素の前側に配置されていてもよく、複数のスライド部材が配置されることが好ましい。少なくとも１つのスライド部材は、閉塞要素の閉位置においてバルブハウジングに対して当接する。スライド部材は、合成樹脂材料、特にＰＥＥＫなどの熱可塑性樹脂から構成されることが好ましい。少なくとも１つの別個のスライド部材に代えて、少なくとも１つの摺動可能な被覆が施された隆起部がたとえば閉塞要素に設けられていてもよい。このような摺動可能な被覆は、たとえばＰＴＦＥにより実現される。これに代えてまたは加えて、少なくとも１つのスライド部材または少なくとも１つの摺動可能に被覆されている隆起部がバルブハウジングに設けられ、閉塞要素の摺動面と相互作用してもよい。
【００１７】
本発明のさらなる利点および詳細は、次の添付図面を用いて説明される。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】開状態における本発明の第１実施形態としての真空バルブの説明図。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿った断面図。
【図３】閉状態における真空バルブの図２に対応する断面図。
【図４】図１のＣ−Ｃ線に沿った断面図。
【図５】閉状態における真空バルブの図４に対応する断面図。
【図６】図１のＤ−Ｄ線に沿った断面図。
【図７】閉状態における真空バルブの図６に対応する断面図。
【図８】斜め前方から見た際の閉塞要素の斜視図。
【図９】斜め後方から見た際の閉塞要素の斜視図。
【図１０】閉塞要素の正面図。
【図１１】閉塞要素の背面図。
【図１２】図１１のＢ−Ｂ線に沿った断面図。
【図１３】閉塞要素の側面図です。
【図１４】閉塞要素の分解説明図。
【図１５】閉塞要素の分解説明図。
【図１６】図１１対応の本発明の第２実施形態としての真空バルブの説明図。
【図１７】図１２対応の本発明の第２実施形態としての真空バルブの説明図。
【図１８】図１３対応の本発明の第２実施形態としての真空バルブの説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
図１〜図１５は本発明に係る真空バルブの第１実施形態を示している。各図面の縮尺は相違している。
【００２０】
真空バルブは、縦軸線３を有するバルブ開口部２を備えているバルブハウジング１を有している。バルブ開口部２は、シール面５を有するバルブシート４によって囲まれている。
【００２１】
バルブ開口部２とは反対側において、バルブハウジング１はハウジング開口部６を有しており、その縦軸線は縦軸線３に対して平行に、特に同一直線上に延在している。バルブ開口部２およびハウジング開口部６は、同径の円形状などの同一形状である。
【００２２】
真空バルブの開状態において、バルブ開口部２、ハウジング開口部６およびバルブハウジング１の内部空間７により構成される直線状の通路は、真空バルブが開かれた際にバルブハウジング１を通じて実現される。
【００２３】
本実施形態のバルブハウジング１は、板金から作製され、剛性部材の形態のフランジ１ｂおよび１ｃが溶接されている基体１ａを有している。バルブハウジング１は、これとは異なる形態で構成されていてもよい。
【００２４】
真空バルブの真空領域を構成するバルブハウジング１の内部空間７に閉塞要素８が配置されている。閉塞要素８はバルブロッド９に取り付けられている。バルブロッド９は、その軸線方向に沿って運動方向１３およびその反対方向に運動可能であり、縦軸線２９に対して平行な方向に運動可能に構成されている。バルブロッド９の軸線方向の運動によって、閉塞要素８が真空バルブの開状態にあってバルブハウジング１を通じて通路を開いている際の開位置（図２参照）および真空バルブが閉状態にあってバルブハウジング１を貫通する通路が閉じられている際の閉位置（図３参照）の間で位置調節される。
【００２５】
バルブロッド９は、直線状のフィードスルーによってバルブハウジング１の内部空間７から導出される。本実施形態では、この目的のためにベローズ１０が設けられている。バルブハウジング１からバルブロッド９を導出する際の封止は、少なくとも１つの弾性シールリングによって実現される。
【００２６】
バルブハウジング１から導出されたバルブロッド９の一部は、気圧式のピストンシリンダユニット１１のピストンに対して接続されている。したがって、バルブロッド９はピストンシリンダユニット１１のピストンロッドとして兼用される。本実施形態では、ピストンシリンダユニット１１は、閉塞要素８を開位置および閉位置の間で駆動する駆動装置を構成する。電動アクチュエータなど、これとは異なる駆動装置が用いられてもよい。原則的に手動式の駆動装置が用いられてもよい。
【００２７】
閉塞要素８が閉位置にある際にバルブシート４のシール面５に対して押し付けられる弾性シール部材１２が、閉塞要素８が閉位置にある際にバルブシート４に対面する閉塞要素８の前側に配置されている。シール部材１２は、周方向について閉じた形状、すなわち環状に形成されている。本実施形態におけるシール部材１２は円形状であるが、他の実施形態では角が丸い矩形状に形成されていてもよい。シール部材１２の形状は、バルブ開口部２およびそこに適用される閉塞要素８の輪郭形状に適合するように形成される。
【００２８】
シール部材１２は、たとえばＦＫＭ（Ｖｉｔｏｎ社製）から公知の方法で作製されるが、他の材料、特にＦＦＫＭから作製されることが知られている。
【００２９】
本実施形態では、シール部材１２はＯリングとして構成され、閉塞要素８の溝部に配置されている。シール部材１２は閉塞要素８に対して加硫接合されてもよい。
【００３０】
シール部材１２がバルブシート４に配置され、シール面５が閉塞要素８に配置されている逆の配置態様も可能である。
【００３１】
運動方向１３およびバルブ開口部２の縦軸線３のそれぞれに対して垂直な方向の側面視で、閉塞要素８は楔形状に形成されている（図１３参照）。シール面５およびシール部材１２のそれぞれは相互に平行な第１平面１４および第２平面１５のそれぞれに配置されている（図３参照）。第１平面１４および第２平面１５は、運動方向１３およびバルブ開口部２の縦軸線３のそれぞれに対して垂直な方向に延在する軸線１６の回りに、運動方向１３に対して傾斜している。当該傾斜角度３０（図１３参照）は、１°〜４５°の範囲、好ましくは４°〜１０°の範囲に含まれている。
【００３２】
支持部材１７は、閉塞要素８の閉位置においてバルブシート４から離間している閉塞要素８の後側で揺動可能に閉塞要素８に取り付けられている。閉塞要素８に対して各支持部材１７を揺動可能にするところの揺動軸線１８は共通の直線上に延在している。すなわち、各支持部材１７の揺動軸線１８は一致している。揺動軸線１８は、運動方向１３およびバルブ開口部２の縦軸線３のそれぞれに対して垂直な方向に延在している。
【００３３】
支持部材１７は支持面２０を有している。閉塞要素８の閉位置において、各支持部材１７はその支持面２０においてバルブハウジング１の当接平面２１に対して当接する。バルブハウジング１の当接平面２１は、バルブハウジング１の内部空間７に面し、かつ、ハウジング開口部６を取り囲む領域に位置している。ハウジング開口部６を取り囲む、閉塞要素８の共通の連続する当接平面２１がすべての支持部材１７に設けられていることが好ましい。
【００３４】
本実施形態では、支持部材１７の大部分が挿入されるスロット形状の凹部１９が閉塞要素８の後側に形成されている。支持部材１７が凹部１９から突出する平坦部分において支持部材１７は支持面２０を有している。
【００３５】
本実施形態では、閉塞要素８の各凹部１９を横断し、凹部１９を両側で画定する壁部に設けられている穴に突入している軸受ピン２２によって揺動軸線１８が構成されている。軸受ピン２２は開口部２３および支持部材１７を通り、支持部材１７は軸受ピン２２に対して揺動可能である。支持部材１７が軸受ピン２２と堅固にまたは一体的に構成されてもよく、この場合、軸受ピン２２はバルブハウジング１の穴の中で回転可能である。
【００３６】
各支持部材１７の支持面２０と、バルブハウジング１の一またはそれぞれの当接平面２１とは、当接平面２４において当接している。当接平面２４はすべての支持部材１７に対して共通である。傾斜角度３１（図１３参照）は、１°〜４５°の範囲、好ましくは４°〜１０°の範囲に含まれている。当接平面２４は、運動方向１３およびバルブ開口部２の縦軸線３のそれぞれに対して垂直な軸線２５の回りに運動方向１３に対して傾斜している。
【００３７】
第１平面１４および第２平面１５ならびに当接平面２４は、運動方向１３を基準として反対方向に傾斜している。
【００３８】
本実施形態では、閉塞要素８の中央を通り、揺動軸線１８に対して垂直な中央平面２６を挟む両側で閉塞要素８において揺動可能に一の支持部材１７が取り付けられている。中央平面２６を挟む両側のそれぞれに複数の支持部材１７が設けられ、すべての支持部材１７の揺動軸線１８が共通の直線上に延在していてもよい。原理的に、単一の支持部材１７が中央平面２６によって通過されるように設けられてもよい。
【００３９】
シール部材１２に隣接して、好ましくはシール部材１２によって囲まれている領域の外側で、閉塞要素８の前側にスライド部材２７が配置されている。閉塞要素８の閉位置において、スライド部材２７はバルブハウジング１のスライド面２８に対して当接している。本実施形態において、複数のスライド部材２７が中央平面２６を挟む両側に配置されていることが好ましい。細長い（＝帯状の）スライド部材２７が、たとえば中央平面２６の両側に配置されてもよい。
【００４０】
バルブシート４にシール部材１２が設けられ、シール面５が閉塞要素８に配置されている場合、スライド部材２７は、シール面５に隣接して、好ましくはシール面５により囲まれている領域の外側で、閉塞要素８に配置される。
【００４１】
開状態から真空バルブを閉じるため、閉塞要素８がその開位置から閉位置に駆動される。閉位置に到達するまでの閉塞要素８の運動行程の最後の部分にわたり、支持部材１７は、バルブハウジング１に対して当接することにより、バルブハウジング１に対する閉塞要素８の滑り軸受を構成する。支持部材１７の共通の揺動軸線１８の回りの滑り軸受により、全面的な当接を実現するために各支持部材１７はその支持面２０をバルブハウジング１の当接平面２１に当接させることができる。支持部材１７画素の支持面２０を全面的に単一のまたはそれぞれの当接平面２１に当接させている間、閉塞要素８はその前側をバルブシート４に位置させるために揺動軸線１８の回りに揺動することができる。揺動軸線１８の回りの揺動（たとえば１°未満の非常にわずかな揺動）がバルブロッド９の弾性に抗して実現される。閉塞要素８およびバルブロッド９が弾性的にまたは揺動可能に接続されてもよい。
【００４２】
閉塞要素８の前側に配置されているスライド部材２７は、閉塞要素８の閉位置に至るまでの運動行程の最後の部分において、バルブハウジング１に対する閉塞要素８の滑り軸受を構成する。さらに、スライド部材２７は閉塞要素８が閉位置にある際に閉塞要素８をバルブハウジング１から離間させ、シール部材１２の圧力を制限する。
【００４３】
別個のスライド部材２７に代えて、スライド部材の機能を発揮する摺動可能な被覆が施された隆起部が閉塞要素８に設けられてもよい。当該隆起部または別個のスライド部材はバルブハウジング１に設けられてもよい。別個のスライド部材２７または隆起部が省略され、閉塞要素８の前側において閉塞要素８が閉位置にある際にバルブハウジング１に対して当接する領域に摺動可能な被覆が施されてもよい。この場合、閉塞要素８が閉位置にある際にシール部材１２を完全に収容する閉塞要素８の深い溝部にシール部材１２が設けられることにより、シール部材１２の押圧が制限される。
【００４４】
閉塞要素８の開位置から閉位置までの運動行程にわたる位置調節は、バルブハウジング１から閉塞要素８に対して力が伝達される（すなわち、支持部材１７およびスライド部材２７のうち少なくとも一方がバルブハウジング１に当接する）当該運動行程の最後の部分を除き、閉塞要素８が運動方向１３に対して平行に直線運動することにより実行される。運動行程の最後の部分において、閉塞要素８がわずかに傾動またはバルブ開口部２の縦軸線３の方向に変位可能である。
【００４５】
閉塞要素８の前側において楔形状が省略されてもよい。このような実施形態によれば、閉塞要素８が閉位置に到達するまでの閉塞要素８の運動行程の最後の部分において、各支持部材１７の支持面２０がバルブハウジング１に当接することにより、閉塞要素８がバルブシート４に接近するように駆動されてバルブシート４に押し付けられる。バルブシート４に向かう閉塞要素８のこのわずかな運動は、バルブロッド９の弾性に抗して実現される。
【００４６】
以下に説明する相違点を除いて、図１６〜図１８に示されている本発明の第２実施形態は、前記した本発明の第１実施形態に対応しているため、本発明の第１実施形態およびその変形実施形態は、本発明の第２実施形態にも同様に適用される。
【００４７】
本発明の第２実施形態によれば、各支持部材１７が、閉塞要素８に面している側に円筒面３２（凸円筒面）を有し、閉塞要素８が支持部材１７の円筒面３２が当接する円筒面３３（凹円筒面）を有している。相互作用する円筒面３２、３３の縦軸線は、運動方向１３およびバルブ開口部２の縦軸線３のそれぞれに対して垂直に延在する（仮想の）揺動軸線１８を構成する。
【００４８】
相互に当接する円筒面３２および３３に代えて、支持部材１７と閉塞要素８のそれぞれの凹部とが、相互に当接するように対応している球面を有していてもよい。相互作用している球面の断面は図１７に示されているのと同様である（閉塞要素８の横縁部からある程度深くまで離間している斜線箇所参照）。これにより、相互作用している球面の中心に位置する仮想の揺動点が実現されている。各支持部材１７は、運動方向１３およびバルブ開口部２の縦軸線３のそれぞれに対して垂直な方向に延在する揺動軸線の回りに揺動可能である。
【００４９】
各支持部材１７の円筒面または球面と、閉塞要素８の円筒面または球面との相互作用または当接は、全周にわたり閉じられた円筒面（円筒側面）または球面の対応する部分の相互作用を意味する。
【符号の説明】
【００５０】
１‥バルブハウジング、１ａ‥基体、１ｂ‥フランジ、１ｃ‥フランジ、２‥バルブ開口部、３‥縦軸線、４‥バルブシート、５‥シール面、６‥ハウジング開口部、７‥内部空間、８‥閉塞要素、９‥バルブロッド、１０‥ベローズ、１１‥ピストンシリンダユニット、１２‥シール部材、１３‥運動方向、１４‥第１平面、１５‥第２平面、１６‥軸線、１７‥支持部材、１８‥揺動軸線、１９‥凹部、２０‥支持面、２１‥当接平面、２２‥軸受ピン、２３‥貫通孔、２４‥当接平面、２５‥軸線、２６‥中央平面、２７‥スライド部材、２８‥スライド面、２９‥縦軸線、３０‥角度、３１‥角度、３２‥円筒面、３３‥円筒面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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