(57)【要約】【課題】測定精度の向上が可能な光学測定方法及び光学測定装置を提供する。【解決手段】光学測定装置１００及び光学測定方法では、複数の反射板からの反射光の情報を撮像部２０において取得することで、制御部３０では、１以上の反射板からの反射光の情報を測定対象物３からの反射光の情報の補正に利用することができるため、測定対象物３からの反射光の情報に応じて補正に使用する反射板の反射光の情報を選択することができるため、より高い精度での測定が可能となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定光を照射して得られる測定対象物からの反射光を撮像部により撮像することで、前記測定対象物からの前記反射光の情報を取得する対象物撮像ステップと、
反射率が互いに異なる複数の反射板に対して前記測定光と同じ光量の光を照射して得られる複数の反射光を前記撮像部により撮像することで、前記複数の反射板からの反射光の情報を取得する反射板撮像ステップと、
前記対象物撮像ステップにおいて取得された前記測定対象物からの反射光の情報を、前記反射板撮像ステップにおいて取得された前記複数の反射板からの反射光の情報から選ばれる１以上の反射光の情報に基づいて補正する補正ステップと、
を備える光学測定方法。
【請求項２】
前記対象物撮像ステップにおける前記測定対象物からの反射光の情報の取得と、前記反射板撮像ステップにおける前記複数の反射板からの反射光の情報の取得と、が同時に行われる請求項１記載の光学測定方法。
【請求項３】
前記対象物撮像ステップにおいて取得された反射光の情報に基づいて、光源から出射する前記測定光の光量を制御する光源制御ステップを更に備える請求項１又は２記載の光学測定方法。
【請求項４】
前記撮像部は、複数の受光素子が２次元に配列された受光面を備える受光部を含み、
前記複数の受光素子のうちの一部の受光素子で前記測定対象物からの反射光の情報を取得し、前記一部の受光素子とは異なる受光素子で前記複数の反射板からの前記反射光の情報を取得する請求項１又は２記載の光学測定方法。
【請求項５】
前記撮像部は、複数の受光素子が２次元に配列された受光面を備える受光部を含み、
前記複数の受光素子の各々で取得した前記測定対象物からの反射光の情報を、当該受光素子で取得された前記複数の反射板からの反射光の情報から選ばれる１以上の反射光の情報に基づいて補正する請求項１記載の光学測定方法。
【請求項６】
測定対象物に対して、測定光を照射する光源と、
前記測定対象物からの反射光を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像することで取得された前記測定対象物からの反射光の情報を補正する補正手段と、
を備える光学測定装置であって、
前記撮像手段は、反射率が互いに異なる複数の反射板に対して前記測定光と同じ光量の光を照射して得られる複数の反射光を撮像し、
前記補正手段は、前記測定対象物からの反射光の情報を、前記撮像手段により撮像することで取得された前記複数の反射板からの反射光の情報から選ばれる１以上の反射光の情報に基づいて補正する光学測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学測定方法及び光学測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
測定対象物に対して照明光を照射することによって生じる反射光を撮像する機能を有し、撮像された画像を測定対象物に係る分析に利用する画像撮影装置では、測定対象物からの反射光が変動することにより測定対象物の画像の精度が低下する場合がある。これに対して、特許文献１では、撮像部の視野の一部に基準反射板を配置して、撮像により得られた画像のうち、基準反射板の画像部分の値を用いて測定対象物の画像部分の値を補正する構成が示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−３３６４５２号公報
【特許文献２】特開２０１１−１４７１０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、測定対象物からの反射光の強度が変化した場合、特に基準反射板からの反射光の強度と、測定対象物からの反射光の強度と、が異なる場合について、測定精度に改善の余地があった。
【０００５】
本発明は上記を鑑みてなされたものであり、測定精度の向上が可能な光学測定方法及び光学測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願発明は、
（１）測定光を照射して得られる測定対象物からの反射光を撮像部により撮像することで、前記測定対象物からの前記反射光の情報を取得する対象物撮像ステップと、
反射率が互いに異なる複数の反射板に対して前記測定光と同じ光量の光を照射して得られる複数の反射光を前記撮像部により撮像することで、前記複数の反射板からの反射光の情報を取得する反射板撮像ステップと、
前記対象物撮像ステップにおいて取得された前記測定対象物からの反射光の情報を、前記反射板撮像ステップにおいて取得された前記複数の反射板からの反射光の情報から選ばれる１以上の反射光の情報に基づいて補正する補正ステップと、
を備える光学測定方法、
（２）測定対象物に対して、測定光を照射する光源と、
前記測定対象物からの反射光を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像することで取得された前記測定対象物からの反射光の情報を補正する補正手段と、
を備える光学測定装置であって、
前記撮像手段は、反射率が互いに異なる複数の反射板に対して前記測定光と同じ光量の光を照射して得られる複数の反射光を撮像し、
前記補正手段は、前記測定対象物からの反射光の情報を、前記撮像手段により撮像することで取得された前記複数の反射板からの反射光の情報から選ばれる１以上の反射光の情報に基づいて補正する光学測定装置、
である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、測定精度の向上が可能な光学測定方法及び光学測定装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施形態に係る光学測定装置の概略構成図である。
【図２】ハイパースペクトル画像について説明する図である。
【図３】ベルトコンベア上での反射板の配置について説明する図である。
【図４】光学測定方法を説明するフローチャートである。
【図５】反射板の変形例について説明する図である。
【図６】反射板の変形例について説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
［本願発明の実施形態の説明］
最初に本願発明の実施態様を列記して説明する。
【００１０】
本願の光学測定方法は、（１）測定光を照射して得られる測定対象物からの反射光を撮像部により撮像することで、前記測定対象物からの前記反射光の情報を取得する対象物撮像ステップと、反射率が互いに異なる複数の反射板に対して前記測定光と同じ光量の光を照射して得られる複数の反射光を前記撮像部により撮像することで、前記複数の反射板からの反射光の情報を取得する反射板撮像ステップと、前記対象物撮像ステップにおいて取得された前記測定対象物からの反射光の情報を、前記反射板撮像ステップにおいて取得された前記複数の反射板からの反射光の情報から選ばれる１以上の反射光の情報に基づいて補正する補正ステップと、を備えることを特徴とする。
【００１１】
上記のような構成を有することで、１以上の反射板からの反射光の情報を、測定対象物からの反射光の情報の補正に利用することができる。測定対象物からの反射光の情報に応じて補正に使用する反射板の反射光の情報を選択することができるため、より高い精度での測定が可能となる。
【００１２】
（２）（１）の光学測定方法において、前記対象物撮像ステップにおける前記測定対象物からの反射光の情報の取得と、前記反射板撮像ステップにおける前記複数の反射板からの反射光の情報の取得と、が同時に行われる態様とすることができる。
【００１３】
上記のように、対象物撮像ステップと反射板撮像ステップとを同時に行う構成を備えている場合、測定対象物からの反射光の情報をリアルタイムに補正することが可能となる。
【００１４】
（３）（１）又は（２）の光学測定方法において、前記対象物撮像ステップにおいて取得された反射光の情報に基づいて、光源から出射する前記測定光の光量を制御する光源制御ステップを更に備える態様とすることができる。
【００１５】
上記のように、光源からの測定光の光量の制御を行う構成を更に備えることで、より高い精度での測定が可能となる。
【００１６】
（４）（１）又は（２）の光学測定方法において、前記撮像部は、複数の受光素子が２次元に配列された受光面を備える受光部を含み、前記複数の受光素子のうちの一部の受光素子で前記測定対象物からの反射光の情報を取得し、前記一部の受光素子とは異なる受光素子で前記複数の反射板からの前記反射光の情報を取得する態様とすることができる。
【００１７】
上記のように、複数の受光素子のうちの一部の受光素子で測定対象物からの反射光の情報を取得すると共に、一部の受光素子とは異なる受光素子で複数の反射板からの反射光の情報を取得する態様とすることで、一部の受光素子により取得される測定対象物からの反射光の情報と、他の受光素子により取得される複数の反射板からの反射光の情報とを区別して取り扱うことが容易となる。また、対象物撮像ステップと反射板撮像ステップとを同時に行うこともできる。
【００１８】
（５）（１）の光学測定方法において、前記撮像部は、複数の受光素子が２次元に配列された受光面を備える受光部を含み、前記複数の受光素子の各々で取得した前記測定対象物からの反射光の情報を、当該受光素子で取得された前記複数の反射板からの反射光の情報から選ばれる１以上の反射光の情報に基づいて補正する態様とすることができる。
【００１９】
上記のように、複数の受光素子の各々で取得した反射板からの反射光の情報を用いて、当該受光素子で取得した測定対象物からの反射光の情報を補正することにより、受光素子毎の特性を考慮した補正が可能となる。
【００２０】
また、本願の光学測定装置は、（６）測定対象物に対して、測定光を照射する光源と、前記測定対象物からの反射光を撮像する撮像手段と、前記撮像手段により撮像することで取得された前記測定対象物からの反射光の情報を補正する補正手段と、を備える光学測定装置であって、前記撮像手段は、反射率が互いに異なる複数の反射板に対して前記測定光と同じ光量の光を照射して得られる複数の反射光を撮像し、前記補正手段は、前記測定対象物からの反射光の情報を、前記撮像手段により撮像することで取得された前記複数の反射板からの反射光の情報から選ばれる１以上の反射光の情報に基づいて補正することを特徴とする。
【００２１】
上記のような構成を有することで、１以上の反射板からの反射光の情報を、測定対象物からの反射光の情報の補正に利用することができる。測定対象物からの反射光の情報に応じて補正に使用する反射板の反射光の情報を選択することができるため、より高い精度での測定が可能となる。
【００２２】
［本願発明の実施形態の詳細］
本発明に係る光学測定方法及び光学測定装置の具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
【００２３】
本発明の一形態に係る光学測定方法を用いる光学測定装置１００について図１を用いて説明する。本実施形態に係る光学測定装置１００は、ベルトコンベア２上に載置された測定対象物３に対して測定光を照射して測定対象物３からの反射光についての分析を行う装置である。光学測定装置１００の測定対象物３としては、例えば、食品、薬品、工業製品等が挙げられるが特に限定されない。
【００２４】
光学測定装置１００は、測定光を測定対象物３に対して照射することにより得られる拡散反射光のスペクトルを測定し、そのスペクトルに基づいて測定対象物３を検査する。このため、光学測定装置１００は、光源１０、撮像部２０、及び制御部３０（補正手段）を備える。また、測定対象物３の近傍には互いに異なる反射率を有する複数種類の反射板から構成された複合反射板４が配置される。複合反射板４については後述する。
【００２５】
光源１０は、測定光をベルトコンベア２上における所定の照射領域へ向けて照射する。光源１０が照射する測定光の波長範囲は、測定対象物３によって適宜選択される。測定光としては、例えば近赤外光を用いることができるが、可視光であってもよい。測定光が近赤外光である場合、具体的には、波長範囲が８００ｎｍ〜２５００ｎｍの近赤外光が好適に用いられ、特に波長範囲が１０００ｎｍ〜２３００ｎｍの光が好適に用いられる。測定光の波長範囲については、測定対象物３に応じて適宜選定することが好ましい。光源１０としては例えばハロゲンランプ等が好適に用いられる。
【００２６】
なお、照射領域とは、測定対象物３を載置するベルトコンベア２の表面（載置面２ｂ）の一部の領域である。この照射領域は、載置面２ｂの搬送方向２ａと垂直な幅方向に広がり、載置面２ｂの一方の端から他方の端までを覆う領域である。
【００２７】
なお、本実施形態では、光源１０から出射される光が照射領域に対して直接照射される構成について説明するが、光源１０からの光を例えばシリンドリカルレンズ等を介してライン上に整形して出射する構成としてもよい。
【００２８】
光源１０から出力された測定光Ｌ１は、照射領域上に載置された測定対象物３により拡散反射される。そして、その一部が、拡散反射光Ｌ２として撮像部２０に入射する。
【００２９】
撮像部２０は、ハイパースペクトル画像を取得するハイパースペクトルセンサとしての機能を有する構成として実現することができる。ここで、本実施形態におけるハイパースペクトル画像について図２を用いて説明する。図２は、ハイパースペクトル画像についてその概略を説明する図である。図２に示すように、ハイパースペクトル画像とは、Ｎ個の画素Ｐ１〜ＰＮにより構成されている画像である。図２ではそのうちの一例として２個の画素Ｐｎ及びＰｍについて具体的に示している。画素Ｐｎ及びＰｍには、それぞれ複数の強度データからなるスペクトル情報Ｓｎ及びＳｍが含まれている。この強度データとは、特定の波長（又は波長帯域）におけるスペクトル強度を示すデータであり、図２では、１５個の強度データがスペクトル情報Ｓｎ及びＳｍとして保持されていて、これらを重ね合わせた状態で示している。このように、ハイパースペクトル画像は、画像を構成する画素毎に、それぞれ複数の強度データを持つという特徴から、画像としての二次元的要素と、スペクトルデータとしての要素をあわせ持った三次元的構成のデータである。なお、本実施形態では、ハイパースペクトル画像とは、１画素あたり少なくとも５つの波長帯域における強度データを保有している画素によって構成された画像のことをいう。
【００３０】
図２では測定対象物３もあわせて示している。すなわち、図２においてＰｎは測定対象物３を撮像した画素であり、Ｐｍは背景材料（例えば、ベルトコンベアや搬送容器）を撮像した画素である。このように、撮像部２０では、測定対象物３だけでなく背景材料を撮像した画像も取得される。したがって、測定対象物３の分類に係る処理においては、背景材料を撮像した画素を特定しその画素で取得されたスペクトルデータは、測定対象物３を撮像した画素で取得されたスペクトルデータとは区別して取り扱われる。
【００３１】
図１に戻り、本実施形態に係る撮像部２０は、カメラレンズ２４と、スリット２１と、分光器２２と、受光部２３と、を備える。この撮像部２０は、その視野領域２０ｓ（撮像領域）がベルトコンベア２の搬送方向２ａと垂直な方向に延びている。撮像部２０の視野領域２０ｓは、載置面２ｂにおける光源１０による測定光Ｌ１の照射領域に含まれるライン状の領域であって、スリット２１を通過した拡散反射光Ｌ２が受光部２３上に像を結ぶ領域である。
【００３２】
スリット２１は、視野領域２０ｓと平行な方向に開口が設けられる。撮像部２０のスリット２１に入射した拡散反射光Ｌ２は、分光器２２へ入射する。
【００３３】
分光器２２は、スリット２１及び視野領域２０ｓの延在方向に垂直な方向に拡散反射光Ｌ２を分光する。分光器２２により分光された光は、受光部２３によって受光される。
【００３４】
受光部２３は、複数の受光素子が２次元に配列された受光面を備え、各受光素子が光を受光する。これにより、受光部２３がベルトコンベア２上の幅方向に沿った各位置で反射した拡散反射光Ｌ２の各波長の光をそれぞれ受光することとなる。各受光素子は、受光した光の強度に応じた信号を位置と波長とからなる二次元平面状の一点に関する情報として出力する。この受光部２３の受光素子から出力される信号が、ハイパースペクトル画像に係る画素毎のスペクトルデータとして、撮像部２０から制御部３０に送られる。
【００３５】
なお、撮像部２０は、ハイパースペクトルセンサには限定されない。撮像部２０は、画素毎に単一波長又は複数波長の光強度情報を取得する機能を有していればよく、その構成は適宜変更することができる。
【００３６】
制御部３０は、入力された信号により拡散反射光Ｌ２の反射光スペクトルを得て、この得られたスペクトルに基づいて検査を行う。そして、この制御部３０による分析の結果は、例えば制御部３０に接続されるモニタや、プリンタ等に出力することによって、この光学測定装置１００のオペレータに通知される。
【００３７】
制御部３０では、拡散反射光Ｌ２の反射光スペクトルを検査に用いる際に、測定対象物３に係る反射光スペクトル（反射光に係る情報）を、複合反射板４に含まれる複数の反射板に対して測定光Ｌ１を照射することで得られる反射板からの反射光スペクトル（反射光に係る情報）から選ばれる１以上の反射光スペクトル（反射光に係る情報）に基づいて補正する。
【００３８】
また、制御部３０は、光源１０と接続されて、光源１０から出射する測定光Ｌ１の光量を制御する機能を備えていてもよい。測定精度を向上させるためには、撮像部２０により受光の強度が所定の範囲内となることが好ましい。したがって、測定対象物３の光学特性に応じて、光源１０から出射する測定光Ｌ１の光量を制御する。なお、制御部３０による測定光Ｌ１の光量の制御とは、測定対象物３の光学特性に応じて予め光量を設定するものを指しているのではなく、制御部３０により取得された拡散反射光Ｌ２のうち測定対象物３からの拡散反射光の情報に基づいて光量を制御することを指している。すなわち、制御部３０は、測定対象物３からの拡散反射光の情報に基づいて、光源１０からの測定光Ｌ１の光量をアクティブ制御する（光源制御ステップ）構成とすることができる。
【００３９】
制御部３０は、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）、主記憶装置であるＲＡＭ（Random  Access  Memory）及びＲＯＭ（Read  Only  Memory）、検出部等の他の機器との間の通信を行う通信モジュール、並びにハードディスク等の補助記憶装置等のハードウェアを備えるコンピュータとして構成される。そして、これらの構成要素が動作することにより、制御部３０としての機能が発揮される。
【００４０】
次に、視野領域２０ｓに配置される複合反射板４について説明する。図３に示すように、複合反射板４は互いに反射率が異なる３つの領域（反射板）４ａ，４ｂ，４ｃを含んで構成される。３つの領域４ａ，４ｂ，４ｃは、ベルトコンベア２の搬送方向２ａに沿って延在していて、搬送方向２ａに対して直交する撮像部２０の視野領域２０ｓにおいて測定対象物３と重ならない位置に配置される。これにより、複合反射板４に含まれる３つの反射板４ａ，４ｂ，４ｃからの反射光は、撮像部２０において測定対象物３からの反射光とは区別してそれぞれ受光される。３つの反射板４ａ，４ｂ，４ｃとしては、例えば、ホワイト標準反射板、２０％グレー標準反射板、４０％グレー反射板等のように、濃淡が異なる反射板を組み合わせることができる。３つの反射板４ａ，４ｂ，４ｃは、それぞれその幅（視野領域２０ｓに沿った幅）が、受光部２３の受光素子の２画素分以上であることが好ましい。この場合、複数画素において受光された反射光の情報を平均化処理した後に利用することも可能となり、信頼性が向上する。なお、複数の反射板が隣接して配置される必要はなく、例えば、測定対象物３の両側に互いに異なる反射率を有する反射板が配置される構成であってもよい。
【００４１】
互いに反射率が異なる３つの反射板からの反射光は、測定対象物３からの反射光スペクトルの補正を行うために用いられる。なお、反射光に基づく補正とは、測定対象物３からの反射光の検出感度を調整することをいう。例えば、測定対象物３からの反射光の強度が弱い場合には、ＳＮ比が低くなるため、計測精度が劣化する可能性がある。このような場合、検出光量が規定値以上となるように光源１０からの光量を増すことで、検出光のＳＮ比を改善させる方法がある。しかしながら、この場合、ホワイト板からの基準光が強すぎてセンサ出力が飽和する問題が生じる。そこで、本実施形態に係る光学測定装置１００では、複数の反射板から１以上の反射板を選択し、当該反射板からの反射光の強度を用いて、測定対象物３からの反射光の検出感度を調整することで、測定精度が向上される。
【００４２】
上記の光学測定装置１００による光学測定方法を、図４を参照しながら説明する。図４に示すように、測定対象物３に対して測定光を照射することで、測定対象物３からの反射光の情報（反射光スペクトル）を取得する（Ｓ０１：対象物撮像ステップ）。このときの測定光の強度は、測定対象物３の光学測定に応じて設定される。また、測定光を複合反射板４に対しても照射することによって、複合反射板４を構成する複数の反射板からの反射光の情報（反射光スペクトル）を取得する（Ｓ０２：反射板撮像ステップ）。そして、測定対象物３からの反射光の情報を、複数の反射板からの反射光の情報から選ばれる１以上の反射光の情報により補正する（Ｓ０３：補正ステップ）。なお、光学測定装置１００では、測定対象物３に対して測定光を照射することで、測定対象物３からの反射光の情報（反射光スペクトル）を取得するステップ（Ｓ０１）と、測定光を複合反射板４に対しても照射することによって、複合反射板４を構成する反射板の中から選ばれる１以上の反射板からの反射光の情報（反射光スペクトル）を取得するステップ（Ｓ０２）とを同時に行っている。
【００４３】
このように、上記の光学測定装置１００及び光学測定方法では、１以上の反射板からの反射光を撮像部２０の情報を取得することで、１以上の反射板からの反射光の情報を補正に利用することができるため、測定対象物３からの反射光の情報に応じて補正に使用する反射板の反射光の情報を選択することができるため、より高い精度での測定が可能となる。具体的には、例えば、測定対象物３からの反射光の強度が変動する場合であっても、測定精度を向上させることができる。特に、本実施形態に係る光学測定装置１００のように、画素毎に異なるスペクトル情報を保持する場合には、画素毎に補正に利用する反射光の情報を選択することも可能となることから、測定精度の向上が図られる。また、従来から行われている標準反射板等を用いた受光素子の出力調整に加えて、上記の構成を備えることで、測定対象物３からの反射光に応じた適切な補正を行うことができるため、測定精度がさらに向上する。
【００４４】
また、上記で示したように、測定対象物３に対して測定光を照射することで、測定対象物３からの反射光の情報（反射光スペクトル）を取得するステップ（Ｓ０１）と、測定光を複合反射板４に対しても照射することによって、複合反射板４を構成する反射板の中から選ばれる１以上の反射板からの反射光の情報（反射光スペクトル）を取得するステップ（Ｓ０２）とを同時に行う構成を備えている場合、測定対象物３からの反射光の情報（反射光スペクトル）をリアルタイムに補正することが可能となる。
【００４５】
また、制御部３０により、拡散反射光Ｌ２に含まれる測定対象物３からの反射光の情報に基づいて、光源１０からの測定光Ｌ１の光量をアクティブ制御する（光源制御ステップ）構成を備えている場合、光学測定装置１００における測定精度がさらに向上する。上述したように、光源１０からの光量の調整を行うことで受光素子によるセンサ出力が飽和してしまう可能性があるが、光学測定装置１００における測定対象物からの反射光の情報に基づいて制御を行う構成とすることで、センサ出力が飽和しない範囲での制御が可能となり、より測定精度を高めることが可能となる。
【００４６】
なお、複数の反射板の配置は図３に示す構成に限定されない。例えば、図５に示すように、ベルトコンベア２による搬送方向２ａに対して垂直に、すなわち、視野領域２０ｓと平行となるように、互いに反射率が異なる複数の反射板４ａ，４ｂ，４ｃを複数並べる構成にすることも可能である。この場合、同一の画素において、測定対象物３からの反射光と、複数の反射板４ａ，４ｂ，４ｃからの反射光とを取得することができる。一般的に、２次元センサでは、光量に対するリニアリティ（線形性）の画素依存性があることから、互いに反射率が異なる複数の反射板４ａ，４ｂ，４ｃを図５に示すような配置にした場合、画素毎にホワイトからグレーの互いに異なるレベルの反射光の情報を取得した上で補正に活用することができるため、画素依存性の保証という観点で、有効であると考えられる。
【００４７】
また、図３に示す構成と同様に視野領域２０ｓに対して直交するように互いに反射率が異なる複数の反射板を配置する場合でもその構成を適宜変更することができる。
【００４８】
例えば、図６（Ａ）では、ベルトコンベア２による搬送方向２ａに沿ってグラデーションとなるように、反射率が互いに異なる領域が形成された反射板４ｄを示している。また、図６（Ｂ）では、ベルトコンベア２による搬送方向２ａに沿って反射率が互いに異なる領域が複数交互に配置された反射板４ｅを示している。また、図６（Ｃ）では、反射板４ｅでは、反射率が互いに異なる領域が市松模様に複数配置された反射板４ｆを示している。反射板４ｄ〜４ｆは、いずれも反射率が互いに異なる領域を同一の画素において撮像することが可能な構成である。このような場合、図３に示すような複合反射板４と比較して反射板が配置される領域の面積を小さくしながら、測定対象物３からの反射光の情報に応じて補正に使用する反射板の反射光の情報を選択することができる。
【００４９】
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
【００５０】
例えば、上記実施形態では、ハイパースペクトル画像を撮像した場合について説明をしているが、少なくとも一波長の光の強度情報を取得すればよくその構成は適宜変更することができる。
【符号の説明】
【００５１】
１００…光学測定装置、３…測定対象物、１０…光源、２０…撮像部、２１…スリット、２２…分光器、２３…受光部、３０…制御部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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