(57)【要約】【課題】  ピラー領域を有するダイオードにおいて、逆回復特性をさらに改善する。【解決手段】  半導体装置であって、ダイオードを備える。ダイオードが、アノード電極と、カソード電極と、アノード電極に接続されているｐ型のアノード領域と、アノード領域に対して裏面側から接しているｎ型のバリア領域と、半導体基板の表面からアノード領域を貫通してバリア領域に達しているとともにアノード電極に接続されているｎ型のピラー領域と、バリア領域の裏面側に配置されているとともにカソード電極に接続されているｎ型のカソード領域を有している。カソード領域内であって半導体基板の厚み方向の中間部よりも裏面側の領域内に、結晶欠陥が半導体基板の平面方向に沿って分布するライフタイム制御層が形成されている。【選択図】図１
2016162950.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイオードを備える半導体装置であって、
半導体基板を有しており、
前記ダイオードが、
前記半導体基板の表面に形成されているアノード電極と、
前記半導体基板の裏面に形成されているカソード電極と、
前記半導体基板内に形成されており、前記アノード電極に接続されているｐ型のアノード領域と、
前記半導体基板内に形成されており、前記アノード領域に対して裏面側から接しているｎ型のバリア領域と、
前記半導体基板内に形成されており、前記表面から前記アノード領域を貫通して前記バリア領域に達しており、前記アノード電極に接続されているｎ型のピラー領域と、
前記半導体基板内に形成されており、前記バリア領域の裏面側に配置されており、前記カソード電極に接続されているｎ型のカソード領域、
を有しており、
前記カソード領域内であって前記半導体基板の厚み方向の中間部よりも裏面側の範囲内に、結晶欠陥が前記半導体基板の平面方向に沿って分布するライフタイム制御層が形成されており、
前記ライフタイム制御層内の結晶欠陥密度のピーク値が、その表面側で隣接する領域及び裏面側で隣接する領域内の結晶欠陥密度よりも高い、
半導体装置。
【請求項２】
前記バリア領域と前記カソード領域の間に、前記バリア領域と前記カソード領域とを分離するｐ型の分離領域が形成されている請求項１の半導体装置。
【請求項３】
ＩＧＢＴをさらに備えており、
前記ＩＧＢＴが、
前記表面に形成されているエミッタ電極と、
前記裏面に形成されているコレクタ電極と、
前記半導体基板内に形成されており、前記エミッタ電極に接続されているｎ型のエミッタ領域と、
前記半導体基板内に形成されており、前記エミッタ領域に対して裏面側から接しているｐ型のボディ領域と、
前記半導体基板内に形成されており、前記ボディ領域の裏面側に配置されており、前記ボディ領域によって前記エミッタ領域から分離されており、前記カソード領域と繋がっているｎ型のＩＧＢＴドリフト領域と、
前記半導体基板内に形成されており、前記ＩＧＢＴドリフト領域に対して裏面側から接しており、前記ＩＧＢＴドリフト領域によって前記ボディ領域から分離されており、前記コレクタ電極に接続されているｐ型のコレクタ領域と、
前記エミッタ領域と前記ＩＧＢＴドリフト領域を分離している範囲の前記ボディ領域にゲート絶縁膜を介して対向しているゲート電極、
を有しており、
前記ライフタイム制御層が、前記カソード領域から前記ＩＧＢＴドリフト領域に跨って形成されている、
請求項１または２の半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書が開示する技術は、半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に、ダイオードが開示されている。このダイオードは、アノード電極と、アノード電極に接するｐ型のアノード領域と、アノード領域の裏面側に形成されているｎ型のカソード領域を有している。また、このダイオードは、ｎ型のピラー領域を有している。ピラー領域は、半導体基板の表面からアノード領域を貫通してカソード領域に達している。ピラー領域の上端は、アノード電極に接続されている。このダイオードでは、ピラー領域によってアノード電極とカソード領域が接続されている。このダイオードに印加する順電圧を上昇させていくと、アノード電極から、ピラー領域を経由して、カソード領域に電流が流れる。この電流の主なキャリアは電子であるので、この電流が流れてもカソード領域にはホールはほとんど流入しない。また、カソード領域はピラー領域によってアノード電極に接続されているので、ダイオードに順電圧が印加されても、アノード領域とカソード領域の境界部のｐｎ接合に電位差が生じ難い。このため、このｐｎ接合はこの段階ではオンしない。順電圧をさらに上昇させると、アノード領域とカソード領域の境界部のｐｎ接合がオンする。これによって、アノード領域からカソード領域にホールが流入する。このように、このダイオードでは、ダイオードの順電圧を上昇させるときにアノード領域とカソード領域の境界部のｐｎ接合がオンし難く、これによって、カソード領域にホールが流れることが抑制される。ダイオードへの印加電圧を順電圧から逆電圧に切り換えると、ダイオードが逆回復動作を実行する。すなわち、カソード領域内のホールがアノード電極へ排出され、ダイオードに逆回復電流が流れる。このダイオードでは、ダイオードに順電圧を印加しているときにカソード領域に流入するホールが少ないので、ダイオードが逆回復動作を実行するときにカソード領域からアノード電極へ排出されるホールも少ない。このため、このダイオードには、逆回復電流が流れ難い。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−４８２３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したピラー領域を有するダイオードにおいて、逆回復特性（すなわち、逆回復電流の流れ難さ）のさらなる改善が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
ダイオードのカソード領域内に結晶欠陥密度が高いライフタイム制御層を設けることで、ダイオードの逆回復特性を改善する技術が知られている。ライフタイム制御層内ではキャリアライフタイムが短いので、ホールを短時間で消滅させることができる。したがって、カソード領域内にライフタイム制御層を設けることで、逆回復動作時にカソード領域内でホールを消滅させることができ、逆回復特性を改善することができる。一般的なダイオード（ピラー領域を有さないダイオード）では、ダイオードがオンしているときに、アノード領域近傍のカソード領域内でホールの濃度が高くなる。このため、一般的なダイオードでは、ライフタイム制御層は、アノード領域近傍のカソード領域内に形成される。本願発明者らは、この知見に基づいて、ピラー領域を有するダイオードにライフタイム制御層を設けることで、逆回復特性をさらに改善することを検討した。しかしながら、ピラー領域を有するダイオードでは、従来のようにアノード領域近傍のカソード領域にライフタイム制御層を設けても、逆回復特性がそれほど改善されないことが分かった。その原因について検討した結果、以下のことが確認された。ピラー領域を有するダイオードでは、ピラー領域によってアノード領域からカソード領域へのホールの流入が抑制される。このため、ダイオードがオンしているときに、従来のダイオードとは異なり、アノード領域近傍のカソード領域内ではホールの濃度が低くなり、アノード領域から遠い側のカソード領域内でホールの濃度が高くなることが分かった。このため、アノード領域近傍のカソード領域内にライフタイム制御層を設けても、逆回復特性をそれほど改善することはできない。
【０００６】
本明細書では、ピラー領域を備えるダイオードであって、逆回復特性が良好なダイオードを備える半導体装置を提供する。この半導体装置は、半導体基板を有している。前記ダイオードが、アノード電極と、カソード電極と、アノード領域と、バリア領域と、ピラー領域と、カソード領域を有している。前記アノード電極は、前記半導体基板の表面に形成されている。前記カソード電極は、前記半導体基板の裏面に形成されている。前記アノード領域は、前記半導体基板内に形成されており、前記アノード電極に接続されているｐ型領域である。前記バリア領域は、前記半導体基板内に形成されており、前記アノード領域に対して裏面側から接しているｎ型領域である。前記ピラー領域は、前記半導体基板内に形成されており、前記表面から前記アノード領域を貫通して前記バリア領域に達しており、前記アノード電極に接続されているｎ型領域である。前記カソード領域は、前記半導体基板内に形成されており、前記バリア領域の裏面側に配置されており、前記カソード電極に接続されているｎ型領域である。前記カソード領域内であって前記半導体基板の厚み方向の中間部よりも裏面側の範囲内に、前記半導体基板の平面方向に沿って結晶欠陥が分布するライフタイム制御層が形成されている。前記ライフタイム制御層内の結晶欠陥密度が、その表面側で隣接する領域及び裏面側で隣接する領域内の結晶欠陥密度よりも高い。
【０００７】
なお、バリア領域とカソード領域は、ｐ型領域によって分離されていてもよいし、繋がっていてもよい。バリア領域とカソード領域が繋がっている場合には、これらの領域が実質的に一体化した１つのｎ型領域を構成していてもよい。また、上記の平面方向は、半導体基板の厚み方向に直交する方向（半導体基板の表面または裏面に沿う方向）を意味する。
【０００８】
この半導体装置のダイオードは、ピラー領域を有している。また、カソード領域内であって半導体基板の厚み方向の中間部よりも裏面側の範囲内（すなわち、アノード領域から遠い側の範囲内）に、ライフタイム制御層が形成されている。すなわち、ピラー領域を備えたダイオードがオンしているときにホールの濃度が高くなる範囲内にライフタイム制御層が形成されている。したがって、ダイオードが逆回復動作を行うときに、ライフタイム制御層によって多くのホールを消滅させることができる。このため、このダイオードには逆回復電流が流れ難い。すなわち、この技術によれば、ピラー領域を有するダイオードの逆回復特性をさらに改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】半導体装置１０の縦断面図。
【図２】半導体基板１２の厚み方向における結晶欠陥密度分布を示すグラフ。
【図３】ダイオードがオンしているときのカソード領域３８内のホールの濃度分布を示すグラフ。
【図４】ライフタイム制御層５０の位置と、ダイオードの順方向電圧効果Ｖｆと、逆回復損失Ｅｒｒの関係を示すグラフ。
【図５】変形例の半導体装置の縦断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１に示す実施形態の半導体装置１０は、半導体基板１２と、半導体基板１２の表面１２ａ及び裏面１２ｂに形成された電極、絶縁体等によって構成されている。半導体基板１２の厚みは、約１２０μｍである。半導体基板１２は、ＩＧＢＴが形成されているＩＧＢＴ領域１６と、ダイオードが形成されているダイオード領域１８を備えている。すなわち、半導体装置１０は、いわゆるＲＣ−ＩＧＢＴである。
【００１１】
半導体基板１２は、シリコンにより形成されている。半導体基板１２の表面１２ａには、複数のトレンチ４０が形成されている。各トレンチ４０は、図１の紙面に対して垂直方向に互いに平行に伸びている。
【００１２】
ＩＧＢＴ領域１６内の各トレンチ４０の内面は、ゲート絶縁膜４２に覆われている。ＩＧＢＴ領域１６内の各トレンチ４０の内部には、ゲート電極４４が配置されている。ゲート電極４４は、ゲート絶縁膜４２によって半導体基板１２から絶縁されている。ゲート電極４４の表面は、層間絶縁膜４６に覆われている。
【００１３】
ダイオード領域１８内の各トレンチ４０の内面は、絶縁膜５２に覆われている。ダイオード領域１８内の各トレンチ４０の内部には、制御電極５４が配置されている。制御電極５４は、絶縁膜５２によって半導体基板１２から絶縁されている。制御電極５４の表面は、層間絶縁膜５６に覆われている。制御電極５４の電位は、ゲート電極４４の電位から独立して制御される。
【００１４】
半導体基板１２の表面１２ａには、上部電極６０が形成されている。上部電極６０は、層間絶縁膜４６によってゲート電極４４から絶縁されており、層間絶縁膜５６によって制御電極５４から絶縁されている。半導体基板１２の裏面１２ｂには、下部電極６２が形成されている。
【００１５】
ＩＧＢＴ領域１６の内部には、エミッタ領域２０、表面側ボディ領域２２、ＩＧＢＴバリア領域２３、ＩＧＢＴピラー領域２４、裏面側ボディ領域２５、ドリフト領域２６及びコレクタ領域３２が形成されている。
【００１６】
エミッタ領域２０は、ｎ型領域であり、半導体基板１２の表面１２ａに露出している。エミッタ領域２０は、上部電極６０にオーミック接触している。エミッタ領域２０は、ゲート絶縁膜４２に接している。
【００１７】
表面側ボディ領域２２は、エミッタ領域２０の周囲に形成されており、エミッタ領域２０に接している。また、表面側ボディ領域２２は、エミッタ領域２０の下側で、ゲート絶縁膜４２に接している。すなわち、ゲート電極４４が、ゲート絶縁膜４２を介して、エミッタ領域２０の下側に位置する表面側ボディ領域２２に対向している。表面側ボディ領域２２は、ボディコンタクト領域２２ａと低濃度ボディ領域２２ｂを有している。
【００１８】
ボディコンタクト領域２２ａは、高濃度のｐ型不純物を含有するｐ型領域である。ボディコンタクト領域２２ａは、半導体基板１２の表面１２ａに露出している。ボディコンタクト領域２２ａは、上部電極６０にオーミック接触している。ボディコンタクト領域２２ａは、エミッタ領域２０に隣接している。
【００１９】
低濃度ボディ領域２２ｂは、ボディコンタクト領域２２ａよりもｐ型不純物濃度が低いｐ型領域である。低濃度ボディ領域２２ｂは、エミッタ領域２０とボディコンタクト領域２２ａの下側に形成されている。低濃度ボディ領域２２ｂは、エミッタ領域２０の下側でゲート絶縁膜４２に接している。また、低濃度ボディ領域２２ｂの一部は、ボディコンタクト領域２２ａに隣接する位置で半導体基板１２の表面１２ａに露出している。
【００２０】
ＩＧＢＴバリア領域２３は、ｎ型領域であり、表面側ボディ領域２２（すなわち、低濃度ボディ領域２２ｂ）の下側に形成されている。ＩＧＢＴバリア領域２３と表面側ボディ領域２２の境界に、ｐｎ接合４９が形成されている。ＩＧＢＴバリア領域２３は、表面側ボディ領域２２によってエミッタ領域２０から分離されている。ＩＧＢＴバリア領域２３は、表面側ボディ領域２２の下側でゲート絶縁膜４２に接している。
【００２１】
ＩＧＢＴピラー領域２４は、ＩＧＢＴ領域１６内のトレンチ４０に挟まれた領域のそれぞれに形成されている。ＩＧＢＴピラー領域２４は、ｎ型領域であり、表面側ボディ領域２２に隣接している。ＩＧＢＴピラー領域２４は、半導体基板１２の表面１２ａから半導体基板１２の厚み方向に長く伸びている。ＩＧＢＴピラー領域２４は、表面側ボディ領域２２を貫通してＩＧＢＴバリア領域２３に達している。ＩＧＢＴピラー領域２４の下端は、ＩＧＢＴバリア領域２３と繋がっている。ＩＧＢＴピラー領域２４の上端は、上部電極６０に対してショットキー接触している。すなわち、ＩＧＢＴピラー領域２４と上部電極６０の間に、ショットキー接合４８が形成されている。
【００２２】
裏面側ボディ領域２５は、ｐ型領域であり、ＩＧＢＴバリア領域２３の下側に形成されている。裏面側ボディ領域２５は、ＩＧＢＴバリア領域２３によって表面側ボディ領域２２から分離されている。裏面側ボディ領域２５は、ＩＧＢＴバリア領域２３の下側でゲート絶縁膜４２に接している。すなわち、ゲート電極４４が、ゲート絶縁膜４２を介して、裏面側ボディ領域２５に対向している。
【００２３】
ドリフト領域２６は、ｎ型領域であり、裏面側ボディ領域２５の下側に形成されている。ドリフト領域２６は、裏面側ボディ領域２５によってＩＧＢＴバリア領域２３から分離されている。ドリフト領域２６は、低濃度ドリフト領域２６ａとバッファ領域２６ｂを有している。
【００２４】
低濃度ドリフト領域２６ａは、エミッタ領域２０及びバッファ領域２６ｂよりも低濃度のｎ型不純物を含有するｎ型領域である。低濃度ドリフト領域２６ａは、裏面側ボディ領域２５の下側に形成されている。低濃度ドリフト領域２６ａは、裏面側ボディ領域２５によってＩＧＢＴバリア領域２３から分離されている。低濃度ドリフト領域２６ａは、裏面側ボディ領域２５の下側において、トレンチ４０の下端部近傍のゲート絶縁膜４２と接している。
【００２５】
バッファ領域２６ｂは、低濃度ドリフト領域２６ａよりも高濃度のｎ型不純物を含有するｎ型領域である。バッファ領域２６ｂは、低濃度ドリフト領域２６ａの下側に形成されている。
【００２６】
コレクタ領域３２は、高濃度のｐ型不純物を含有するｐ型領域である。コレクタ領域３２は、ドリフト領域２６（すなわち、バッファ領域２６ｂ）の下側に形成されている。コレクタ領域３２は、ドリフト領域２６によって裏面側ボディ領域２５から分離されている。コレクタ領域３２は、半導体基板１２の裏面１２ｂに露出している。コレクタ領域３２は、下部電極６２にオーミック接触している。
【００２７】
ＩＧＢＴ領域１６内には、エミッタ領域２０、表面側ボディ領域２２、ＩＧＢＴバリア領域２３、ＩＧＢＴピラー領域２４、裏面側ボディ領域２５、ドリフト領域２６、コレクタ領域３２及びゲート電極４４等によって、上部電極６０と下部電極６２の間に接続されたＩＧＢＴが形成されている。半導体装置１０がＩＧＢＴとして動作する場合には、上部電極６０がエミッタ電極であり、下部電極６２がコレクタ電極である。
【００２８】
ダイオード領域１８の内部には、表面側アノード領域３４、ダイオードバリア領域３５、ダイオードピラー領域３６、裏面側アノード領域３７及びカソード領域３８が形成されている。
【００２９】
表面側アノード領域３４は、ｐ型領域であり、半導体基板１２の表面１２ａに露出している。また、表面側アノード領域３４は、絶縁膜５２に接している。表面側アノード領域３４は、アノードコンタクト領域３４ａと低濃度アノード領域３４ｂを有している。
【００３０】
アノードコンタクト領域３４ａは、高濃度のｐ型不純物を含有するｐ型領域である。アノードコンタクト領域３４ａは、半導体基板１２の表面１２ａに露出している。アノードコンタクト領域３４ａは、上部電極６０にオーミック接触している。
【００３１】
低濃度アノード領域３４ｂは、アノードコンタクト領域３４ａよりもｐ型不純物濃度が低いｐ型領域である。低濃度アノード領域３４ｂは、アノードコンタクト領域３４ａの下側の領域を含むアノードコンタクト領域３４ａの周囲の領域に形成されている。低濃度アノード領域３４ｂは、絶縁膜５２に接している。また、低濃度アノード領域３４ｂの一部は、アノードコンタクト領域３４ａに隣接する位置で半導体基板１２の表面１２ａに露出している。
【００３２】
ダイオードバリア領域３５は、ｎ型領域であり、表面側アノード領域３４（すなわち、低濃度アノード領域３４ｂ）の下側に形成されている。ダイオードバリア領域３５と表面側アノード領域３４の界面に、ｐｎ接合５９が形成されている。ダイオードバリア領域３５は、表面側アノード領域３４の下側で絶縁膜５２に接している。ダイオードバリア領域３５は、ＩＧＢＴバリア領域２３と略同じ深さに形成されている。
【００３３】
ダイオードピラー領域３６は、ダイオード領域１８内のトレンチ４０に挟まれた領域のそれぞれに形成されている。ダイオードピラー領域３６は、ｎ型領域であり、表面側アノード領域３４に隣接している。ダイオードピラー領域３６は、半導体基板１２の表面１２ａから半導体基板１２の厚み方向に長く伸びている。ダイオードピラー領域３６は、表面側アノード領域３４を貫通してダイオードバリア領域３５に達している。ダイオードピラー領域３６の下端は、ダイオードバリア領域３５と繋がっている。ダイオードピラー領域３６の上端は、上部電極６０に対してショットキー接触している。すなわち、ダイオードピラー領域３６と上部電極６０の間にショットキー接合５８が形成されている。
【００３４】
裏面側アノード領域３７は、ｐ型領域であり、ダイオードバリア領域３５の下側に形成されている。裏面側アノード領域３７内のｐ型不純物濃度は、低濃度アノード領域３４ｂ内のｐ型不純物濃度よりも低い。裏面側アノード領域３７は、ダイオードバリア領域３５によって表面側アノード領域３４から分離されている。裏面側アノード領域３７は、ダイオードバリア領域３５の下側で絶縁膜５２に接している。裏面側アノード領域３７は、ＩＧＢＴ領域１６内の裏面側ボディ領域２５と略同じ深さに形成されている。
【００３５】
カソード領域３８は、ドリフト領域２６と繋がっているｎ型領域である。カソード領域３８は、裏面側アノード領域３７の下側に形成されている。カソード領域３８は、裏面側アノード領域３７によってダイオードバリア領域３５から分離されている。カソード領域３８は、半導体基板１２の裏面１２ｂに露出している。カソード領域３８は、下部電極６２にオーミック接触している。カソード領域３８は、低濃度ドリフト領域３８ａと、バッファ領域３８ｂと、カソードコンタクト領域３８ｃを有している。
【００３６】
低濃度ドリフト領域３８ａは、裏面側アノード領域３７の下側に形成されている。低濃度ドリフト領域３８ａは、裏面側アノード領域３７によってダイオードバリア領域３５から分離されている。低濃度ドリフト領域３８ａは、裏面側アノード領域３７の下側において、トレンチ４０の下端部近傍の絶縁膜５２と接している。低濃度ドリフト領域３８ａは、ＩＧＢＴ領域１６内の低濃度ドリフト領域２６ａと略同じｎ型不純物濃度を有している。低濃度ドリフト領域３８ａは、ＩＧＢＴ領域１６内の低濃度ドリフト領域２６ａと繋がっている。
【００３７】
バッファ領域３８ｂは、低濃度ドリフト領域３８ａの下側に形成されている。バッファ領域３８ｂは、低濃度ドリフト領域３８ａよりも高濃度のｎ型不純物を含有するｎ型領域である。バッファ領域３８ｂは、ＩＧＢＴ領域１６内のバッファ領域２６ｂと略同じｎ型不純物濃度を有している。バッファ領域３８ｂは、ＩＧＢＴ領域１６内のバッファ領域２６ｂと繋がっている。
【００３８】
カソードコンタクト領域３８ｃは、バッファ領域３８ｂよりも高濃度のｎ型不純物を含有するｎ型領域である。カソードコンタクト領域３８ｃは、バッファ領域３８ｂの下側に形成されている。カソードコンタクト領域３８ｃは、半導体基板１２の裏面１２ｂに露出している。カソードコンタクト領域３８ｃは、下部電極６２にオーミック接触している。カソードコンタクト領域３８ｃは、ＩＧＢＴ領域１６内のコレクタ領域３２に隣接している。
【００３９】
ダイオード領域１８内には、表面側アノード領域３４、ダイオードバリア領域３５、ダイオードピラー領域３６、裏面側アノード領域３７及びカソード領域３８等によって、上部電極６０と下部電極６２の間に接続されたダイオードが形成されている。なお、裏面側アノード領域３７のｐ型不純物濃度が低いので、このダイオードがオンする際には、キャリアが裏面側アノード領域３７を通過する。つまり、表面側アノード領域３４とダイオードバリア領域３５の界面のｐｎ接合５９が実質的なｐｎダイオードとして機能し、裏面側アノード領域３７は電流経路として機能する。半導体装置１０がダイオードとして動作する場合には、上部電極６０がアノード電極であり、下部電極６２がカソード電極である。すなわち、ダイオードは、ＩＧＢＴに対して逆並列に接続されている。
【００４０】
低濃度ドリフト領域２６ａ及び低濃度ドリフト領域３８ａ内には、結晶欠陥密度が高いライフタイム制御層５０が形成されている。ライフタイム制御層５０は、低濃度ドリフト領域２６ａから低濃度ドリフト領域３８ａに跨って、半導体基板１２の平面方向に層状に分布している。ライフタイム制御層５０は、半導体基板１２の厚み方向の中間部Ｃ１よりも裏面側の範囲内に形成されている。より詳細には、ライフタイム制御層５０は、バッファ領域２６ｂ、３８ｂの近傍に形成されている。
【００４１】
図２は、半導体基板１２の厚み方向における結晶欠陥密度分布を示している。なお、ＩＧＢＴ領域１６とダイオード領域１８の何れでも、図２に示すように結晶欠陥密度が分布している。図２に示すように、ライフタイム制御層５０内の結晶欠陥密度は、それより表面１２ａ側の半導体層８３内の結晶欠陥密度Ｎｂ及びそれより裏面１２ｂ側の半導体層８４内の結晶欠陥密度Ｎａよりも高い。すなわち、ライフタイム制御層５０内の結晶欠陥密度のピーク値は、結晶欠陥密度Ｎａ、Ｎｂよりも高い。ライフタイム制御層５０内には、結晶欠陥密度のピークが形成されている。また、半導体層８３の結晶欠陥密度Ｎｂは、半導体層８４の結晶欠陥密度Ｎａよりも高い。図２に示す結晶欠陥密度分布は、半導体装置１０の製造工程において、半導体基板１２に対して表面１２ａ側から荷電粒子（例えば、ヘリウムイオン等）を注入することで得ることができる。荷電粒子は、ライフタイム制御層５０の深さで停止するように注入される。半導体基板１２内で荷電粒子が停止すると、その停止位置近傍に高密度に結晶欠陥が形成される。このため、停止位置近傍に、結晶欠陥密度が高いライフタイム制御層５０が形成される。また、半導体基板１２中の荷電粒子が通過する領域（すなわち、ライフタイム制御層５０よりも表面１２ａ側の半導体層８３）にも、ライフタイム制御層５０よりは低密度であるが、結晶欠陥が形成される。したがって、ライフタイム制御層５０より表面１２ａ側の半導体層８３の結晶欠陥密度Ｎｂが、ライフタイム制御層５０より裏面１２ｂ側の半導体層８４の結晶欠陥密度Ｎａよりも高くなる。ライフタイム制御層５０がバッファ領域２６ｂ、３８ｂの近傍に形成されるので、低濃度ドリフト領域２６ａ、３８ａの大部分において、結晶欠陥が密度Ｎｂで分布する。
【００４２】
次に、ダイオード領域１８内のダイオードの動作について説明する。ダイオードに印加する順電圧（すなわち、上部電極６０が下部電極６２に対してプラスとなる電圧）を徐々に上昇させる場合を考える。順電圧が、ショットキー接合５８の立ち上がり電圧を超えると、ショットキー接合５８がオンする。すると、図１の実線矢印７０に示すように電流（以下、電流７０という）が流れる。すなわち、電子が、実線矢印７０に示す経路を逆向きに流れる。より詳細には、電子が、下部電極６２から、カソード領域３８、裏面側アノード領域３７、ダイオードバリア領域３５及びダイオードピラー領域３６を経由して、上部電極６０に流れる。電流７０は電子の流れによるものなので、電流７０が流れてもカソード領域３８にはほとんどホールは流入しない。また、ダイオード領域１８内には、表面側アノード領域３４とダイオードバリア領域３５によってｐｎ接合５９が形成されている。ｐｎ接合５９に印加される電圧は、上部電極６０とダイオードバリア領域３５の間に印加される電圧と略等しい。ｐｎ接合５９の立ち上がり電圧は、ショットキー接合５８の立ち上がり電圧よりも高いため、この段階ではｐｎ接合５９はオンしない。
【００４３】
さらに順電圧を増加させると、電流７０が増加する。ダイオードピラー領域３６が抵抗を有しているので、電流７０が増加すると、ダイオードバリア領域３５と上部電極６０の間の電圧が上昇する。この電圧がｐｎ接合５９の立ち上がり電圧まで上昇すると、ｐｎ接合５９がオンする。これによって、図１の破線矢印７２に示すように、電流（以下、電流７２という）が流れる。すなわち、破線矢印７２に沿って、ホールが、上部電極６０から、表面側アノード領域３４、ダイオードバリア領域３５、裏面側アノード領域３７、カソード領域３８を経由して、下部電極６２に流れる。また、破線矢印７２に示す経路を逆方向に電子が流れる。電流７２が流れると、表面側アノード領域３４からカソード領域３８にホールが流入する。
【００４４】
このように、このダイオードでは、ダイオードピラー領域３６に電流７０が流れることで、ｐｎ接合５９がオンするタイミングが遅くなる。これによって、カソード領域３８にホールが流入することが抑制される。図３は、ダイオード（すなわち、ｐｎ接合５９）がオンしているときの、カソード領域３８内のホールの濃度分布を示している。なお、図３の横軸は、半導体基板１２の表面１２ａからの深さ（すなわち、半導体基板１２の表面１２ａから下方向に計測した距離）を示している。図３に示すように、ピラー領域３６を有するダイオードでは、カソード領域３８内において、裏面１２ｂ側ほどホールの濃度が高くなる。
【００４５】
その後、ダイオードに印加する電圧を逆電圧に切り換えると、ダイオードが逆回復動作を行う。すなわち、カソード領域３８内に存在するホールが、上部電極６０に排出される。これによって、ダイオードに逆回復電流が流れる。上記の通り、ダイオードがオンしているときにカソード領域３８にホールが流入することが抑制されるので、ダイオードの逆回復動作時にカソード領域３８から上部電極６０に排出されるホールが少ない。このため、このダイオードには、逆回復電流が流れ難い。
【００４６】
さらに、低濃度ドリフト領域３８ａ内には、結晶欠陥密度が高いライフタイム制御層５０が形成されている。結晶欠陥は、キャリアの再結合中心として機能する。このため、ライフタイム制御層５０内では、キャリアライフタイムが短い。したがって、ダイオードが逆回復動作を行うときに、カソード領域３８内のホールがライフタイム制御層５０内で再結合により消滅する。これによって、逆回復動作時にカソード領域３８から上部電極６０に排出されるホールが少なくなる。特に、ライフタイム制御層５０は、低濃度ドリフト領域３８ａ内であって、半導体基板１２の厚み方向の中間部よりも裏面側の範囲内に形成されている。すなわち、ライフタイム制御層５０は、低濃度ドリフト領域３８ａ内であって、ダイオードがオンしているときにホールが高濃度で存在する範囲内に形成されている。このため、逆回復動作時により多くのホールを再結合によって消滅させることができる。このため、より効果的に逆回復電流を低減させることができる。
【００４７】
図４は、半導体基板の厚み方向におけるライフタイム制御層５０の位置と、ダイオードの順方向電圧降下Ｖｆと、逆回復損失Ｅｒｒ（すなわち、逆回復動作時に生じる損失）の関係を示している。図４では、ライフタイム制御層５０の位置として、半導体基板１２の表面１２ａから下方向に計測した距離Ｌ（すなわち、深さ）を示している。図４では、距離Ｌが、４０μｍ、６０μｍ、７０μｍ、８０μｍ、９０μｍ及び１００μｍの場合をそれぞれ示している。距離Ｌが上記の値のいずれの場合でも、ライフタイム制御層５０は、低濃度ドリフト領域３８ａ内に位置している。上述したように、半導体基板１２の厚みが１２０μｍであるので、距離Ｌが４０μｍの場合は、ライフタイム制御層５０が半導体基板１２の厚み方向の中間部よりも表面１２ａ側に位置している。また、距離Ｌが６０μｍの場合は、ライフタイム制御層５０が半導体基板１２の厚み方向の中間部に位置している。距離Ｌが７０μｍ、８０μｍ、９０μｍ及び１００μｍの場合は、ライフタイム制御層５０が半導体基板１２の厚み方向の中間部よりも裏面１２ｂ側に位置している。図４から明らかなように、距離Ｌが長いほど、逆回復損失Ｅｒｒが小さくなる。これは、距離Ｌが長いほど、逆回復動作時にライフタイム制御層５０で消滅するホールが多いことを意味している。また、距離Ｌが長いほど、順方向電圧降下Ｖｆが大きくなる。これは、ダイオードがオンしているときに、ライフタイム制御層５０で消滅するホールが多いことを意味している。これらの結果から、ライフタイム制御層５０を裏面１２ｂに近い位置に形成することで、ホールをより効率的に消滅させることが可能であることが分かる。図４から明らかなように、ライフタイム制御層５０を半導体基板１２の厚み方向の中間部よりも裏面１２ｂ側に形成することで、ホールを効率的に消滅させることが可能であり、逆回復損失Ｅｒｒを効果的に低減することができる。例えば、図４に示すように、距離Ｌが７０μｍ以上の場合には、距離Ｌが４０μｍの場合に比べて、逆回復損失Ｅｒｒを約半分またはそれ以下に低減することができる。
【００４８】
また、ライフタイム制御層５０より表面１２ａ側の低濃度ドリフト領域３８ａ内にも、比較的高い密度Ｎｂで結晶欠陥が形成されている。このため、逆回復動作時に、ライフタイム制御層５０よりも上側の低濃度ドリフト領域３８ａ内でも、ホールを再結合により消滅させることができる。これによっても、逆回復電流を低減させることができる。
【００４９】
以上に説明したように、半導体装置１０では、ダイオードピラー領域３６によって、ダイオードの逆回復特性が改善される。さらに、半導体装置１０では、カソード領域３８内の結晶欠陥によっても、ダイオードの逆回復特性が改善される。特に、ダイオードピラー領域３６を有するダイオードにおいて、半導体基板１２の厚み方向の中間部よりも裏面１２ｂ側の範囲にライフタイム制御層５０を設けることで、ダイオードの逆回復特性を効率的に改善することができる。
【００５０】
また、ダイオードに逆電圧が印加されると、裏面側アノード領域３７から低濃度ドリフト領域３８ａ内に空乏層が広がる。低濃度ドリフト領域３８ａが空乏化されることで、ダイオードが非導通状態となる。半導体装置１０では、ライフタイム制御層５０が裏面側アノード領域３７から遠い位置に形成されているので、低濃度ドリフト領域３８ａが空乏化されたときに漏れ電流が流れ難い。また、上述したように、ライフタイム制御層５０を裏面１２ｂ側に形成する場合には、ライフタイム制御層５０を表面１２ａ側に形成する場合（例えば、距離Ｌが４０μｍの場合）に比べて、効果的に逆回復損失を低減することができる。このため、ライフタイム制御層５０を裏面１２ｂ側に形成する場合には、ライフタイム制御層５０を表面１２ａ側に形成する場合に比べてライフタイム制御層５０内の結晶欠陥密度を低くしても、十分に逆回復損失を低減することができる。このように、裏面１２ｂ側に位置するライフタイム制御層５０内の結晶欠陥密度を低くする場合には、低濃度ドリフト領域３８ａが空乏化されたときの漏れ電流をさらに抑制することができる。また、この場合には、ライフタイム制御層５０を形成するときの荷電粒子照射工程を短時間で終了させることができ、半導体装置１０の製造効率を向上させることができる。
【００５１】
なお、ＩＧＢＴ領域１６内にも、ｐｎ接合４９によって寄生ダイオードが形成されている。また、ｐｎ接合４９の下側のＩＧＢＴバリア領域２３が、ＩＧＢＴピラー領域２４によって上部電極６０に接続されている。したがって、上述したように順電圧（すなわち、上部電極６０の電位）が上昇するときには、最初にＩＧＢＴピラー領域２４に電子による電流が流れる。その後にさらに順電圧が上昇すると、寄生ダイオードを構成するｐｎ接合４９がオンする。このように、ＩＧＢＴ領域１６内でも、ｐｎ接合４９がオンするタイミングが遅くなり、表面側ボディ領域２２から低濃度ドリフト領域２６ａ、３８ａにホールが流入することが抑制される。これによっても、逆回復電流が抑制される。
【００５２】
次に、ＩＧＢＴの動作について説明する。ゲート電極４４に閾値以上の電位（すなわち、エミッタ‐ゲート間電圧）を印加すると、ゲート絶縁膜４２に隣接する範囲の低濃度ボディ領域２２ｂと裏面側ボディ領域２５にチャネルが形成される。下部電極６２が上部電極６０よりも高電位となる電圧が印加されている状態では、チャネルが形成されると、電子が、上部電極６０から、エミッタ領域２０、表面側ボディ領域２２のチャネル、ＩＧＢＴバリア領域２３、裏面側ボディ領域２５のチャネル、ドリフト領域２６及びコレクタ領域３２を経由して下部電極６２へ流れる。また、ホールが、下部電極６２から、コレクタ領域３２、ドリフト領域２６、裏面側ボディ領域２５、ＩＧＢＴバリア領域２３及び表面側ボディ領域２２を経由して上部電極６０へ流れる。すなわち、ＩＧＢＴがオンする。
【００５３】
その後、ゲート電極４４の電位を低下させると、チャネルが消失し、ＩＧＢＴがオフする。すると、ＩＧＢＴがオンしているときにドリフト領域２６内に存在していたホールが、表面側ボディ領域２２を介して上部電極６０へ排出される。これによって、ターンオフ時にＩＧＢＴにテール電流が流れる。テール電流が大きいと、ＩＧＢＴのターンオフ損失が大きくなる。しかしながら、このＩＧＢＴでは、低濃度ドリフト領域２６ａ内にライフタイム制御層５０が形成されている。したがって、ＩＧＢＴがオフするときに、ドリフト領域２６内のホールがライフタイム制御層５０内で再結合により消滅する。したがって、このＩＧＢＴでは、テール電流が小さい。ＩＧＢＴでは、ライフタイム制御層５０のように、ドリフト領域２６内の裏面１２ｂに近い位置に結晶欠陥が形成されていると、効率的にホールを消滅させることができる。したがって、ライフタイム制御層５０によれば、効率的にホールを消滅させることが可能であり、テール電流をより低減することができる。このため、このＩＧＢＴで生じるターンオフ損失は小さい。
【００５４】
以上に説明したように、半導体装置１０によれば、ダイオードの逆回復損失及びＩＧＢＴのターンオフ損失を共に低減させることができる。ダイオード領域１８とＩＧＢＴ領域１６の何れでも、ライフタイム制御層５０を、カソード領域３８及びドリフト領域２６内であって裏面１２ｂに近い範囲に形成することで、効率的に損失を低減することができる。このため、ダイオード領域１８内とＩＧＢＴ領域１６内で略同じ深さにライフタイム制御層５０を形成することができる。このため、半導体装置１０の製造工程において、ダイオード領域１８とＩＧＢＴ領域１６に同時にライフタイム制御層５０を形成することができる。すなわち、ダイオード領域１８とＩＧＢＴ領域１６とでライフタイム制御層の深さが異なるようにライフタイム制御層を作り分ける必要が無い。このため、半導体装置１０を効率的に製造することができる。
【００５５】
なお、上述した実施形態の半導体装置１０では、バリア領域２３、３５と低濃度ドリフト領域２６ａ、３８ａの間にｐ型の裏面側ボディ領域２５及び裏面側アノード領域３７が形成されていた。しかしながら、図５に示すように、裏面側ボディ領域２５及び裏面側アノード領域３７が形成されていなくてもよい。すなわち、ＩＧＢＴバリア領域２３が低濃度ドリフト領域２６ａに接しており、これらの領域が互いに繋がった実質的に１つのｎ型領域によって構成されていてもよい。また、ダイオードバリア領域３５が低濃度ドリフト領域３８ａに接しており、これらの領域が互いに繋がった実質的に１つのｎ型領域によって構成されていてもよい。また、図５の場合において、バリア領域２３、３５のｎ型不純物濃度が、低濃度ドリフト領域２６ａ、３８ａのｎ型不純物濃度より高くてもよい。また、バリア領域２３、３５のｎ型不純物濃度が低濃度ドリフト領域２６ａ、３８ａのｎ型不純物濃度と等しくてもよい。
【００５６】
なお、上述した実施形態では、ダイオード領域１８内に制御電極５４が形成されていたが、ダイオード領域１８内に制御電極５４が必ずしも形成されている必要はない。
【００５７】
また、上述した実施形態の半導体装置１０は、アノード電極とエミッタ電極が共通化された上部電極６０を有していた。しかしながら、アノード電極がエミッタ電極から分離されていてもよい。また上述した実施形態の半導体装置１０は、カソード電極とコレクタ電極が共通化された下部電極６２を有していた。しかしながら、カソード電極がコレクタ電極から分離されていてもよい。
【００５８】
また、上述した実施形態では、ピラー領域２４、３６が上部電極６０にショットキー接触していた。しかしながら、ピラー領域２４、３６が上部電極６０にオーミック接触していてもよい。
【００５９】
また、上述した実施形態では、ライフタイム制御層５０よりも裏面側の半導体層８４内の結晶欠陥密度Ｎａが、ライフタイム制御層５０よりも表面側の半導体層８３内の結晶欠陥密度Ｎｂよりも低かった。しかしながら、半導体層８４内の結晶欠陥密度Ｎａが、半導体層８３内の結晶欠陥密度Ｎｂよりも高くてもよい。このような結晶欠陥密度分布は、裏面１２ｂ側から半導体基板１２に荷電粒子（例えば、ヘリウムイオン等）を注入することで得ることができる。但し、この場合には、ライフタイム制御層５０よりも表面１２ａ側の広い範囲で結晶欠陥密度Ｎｂが低くなるので、逆回復電流の低減効果が上述した実施形態に比べて少し弱くなる。
【００６０】
以下に、実施形態の構成要素と請求項の構成要素との関係について説明する。実施形態の上部電極６０は、請求項のアノード電極及びエミッタ電極の一例である。実施形態の下部電極６２は、請求項のカソード電極及びコレクタ電極の一例である。実施形態の表面側アノード領域３４は、請求項のアノード領域の一例である。実施形態のダイオードバリア領域３５は、請求項のバリア領域の一例である。実施形態のダイオードピラー領域３６は、請求項のピラー領域の一例である。実施形態の裏面側アノード領域３７は、請求項の分離領域の一例である。実施形態の表面側ボディ領域２２は、請求項のボディ領域の一例である。
【００６１】
本明細書が開示する技術要素について、以下に列記する。なお、以下の各技術要素は、それぞれ独立して有用なものである。
【００６２】
本明細書が開示する一例の半導体装置では、前記バリア領域と前記カソード領域の間に、前記バリア領域と前記カソード領域とを分離するｐ型の分離領域が形成されていてもよい。
【００６３】
本明細書が開示する一例の半導体装置は、ＩＧＢＴをさらに備えていてもよい。この場合、前記ＩＧＢＴが、エミッタ電極と、コレクタ電極と、エミッタ領域と、ボディ領域と、ＩＧＢＴドリフト領域と、コレクタ領域と、ゲート電極を有している。エミッタ電極は、前記表面に形成されている。コレクタ電極は、前記裏面に形成されている。エミッタ領域は、前記半導体基板内に形成されており、前記エミッタ電極に接続されているｎ型領域である。ボディ領域は、前記半導体基板内に形成されており、前記エミッタ領域に対して裏面側から接しているｐ型領域である。ＩＧＢＴドリフト領域は、前記半導体基板内に形成されており、前記ボディ領域の裏面側に配置されており、前記ボディ領域によって前記エミッタ領域から分離されており、前記カソード領域と繋がっているｎ型領域である。コレクタ領域は、前記半導体基板内に形成されており、前記ＩＧＢＴドリフト領域に対して裏面側から接しており、前記ＩＧＢＴドリフト領域によって前記ボディ領域から分離されており、前記コレクタ電極に接続されているｐ型領域である。ゲート電極は、前記エミッタ領域と前記ＩＧＢＴドリフト領域を分離している範囲の前記ボディ領域にゲート絶縁膜を介して対向している。前記ライフタイム制御層が、前記カソード領域から前記ＩＧＢＴドリフト領域に跨って形成されている。
【００６４】
この構成では、半導体装置がダイオードとＩＧＢＴを有している。この構成では、ライフタイム制御層が、カソード領域からＩＧＢＴドリフト領域に跨って分布している。このため、半導体基板の中間部よりも裏面側のＩＧＢＴドリフト領域内（すなわち、コレクタ領域近傍のＩＧＢＴドリフト領域内）にライフタイム制御層が形成されている。この位置にライフタイム制御層を形成すると、ＩＧＢＴのスイッチング損失を効果的に低減することができる。また、この構成によれば、ダイオード領域とＩＧＢＴ領域とで略同じ位置（深さ）にライフタイム制御層が形成される。このため、ダイオード領域とＩＧＢＴ領域とに一度にライフタイム制御層を形成することができる。したがって、この半導体装置は、効率的に製造することができる。
【００６５】
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例をさまざまに変形、変更したものが含まれる。
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組み合わせによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組み合わせに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【符号の説明】
【００６６】
１０    ：半導体装置
１２    ：半導体基板
１６    ：ＩＧＢＴ領域
１８    ：ダイオード領域
２０    ：エミッタ領域
２２    ：表面側ボディ領域
２３    ：ＩＧＢＴバリア領域
２４    ：ＩＧＢＴピラー領域
２５    ：裏面側ボディ領域
２６    ：ドリフト領域
３２    ：コレクタ領域
３４    ：表面側アノード領域
３５    ：ダイオードバリア領域
３６    ：ダイオードピラー領域
３７    ：裏面側アノード領域
３８    ：カソード領域
４０    ：トレンチ
４４    ：ゲート電極
５０    ：ライフタイム制御層
５４    ：制御電極
６０    ：上部電極
６２    ：下部電極
【図１】
2016162950.tif 000003
【図２】
2016162950.tif 000004
【図３】
2016162950.tif 000005
【図４】
2016162950.tif 000006
【図５】
2016162950.tif 000007