(57)【要約】【課題】フォトマスクを用いることなく、従来よりも簡単な工程でエッチングマスクを形成できるエッチングマスクの形成方法を提供する。【解決手段】表面（１１ａ）にエッチング領域とエッチング領域で区画された複数の非エッチング領域とを有する被加工物（１１）の非エッチング領域を覆うエッチングマスクの形成方法であって、片面に粘着層を有し、平面視で非エッチング領域と同じ大きさの板状のマスク部材（２３）を用意するマスク部材準備工程と、マスク部材の粘着層を有する面側を非エッチング領域に貼着して、非エッチング領域をマスク部材で覆いエッチング領域を露出させるエッチングマスク形成工程と、を含む構成とした。【選択図】図６
2016076595.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面にエッチング領域と該エッチング領域で区画された複数の非エッチング領域とを有する被加工物の該非エッチング領域を覆うエッチングマスクの形成方法であって、
片面に粘着層を有し、平面視で該非エッチング領域と同じ大きさの板状のマスク部材を用意するマスク部材準備工程と、
該マスク部材の該粘着層を有する面側を該非エッチング領域に貼着して、該非エッチング領域を該マスク部材で覆い該エッチング領域を露出させるエッチングマスク形成工程と、を含むことを特徴とするエッチングマスクの形成方法。
【請求項２】
該マスク部材準備工程は、
該非エッチング領域よりも大きいマスク部材材料の一方の面側全体に粘着材を塗布して第１の粘着層を形成する第１の粘着層形成工程と、
該マスク部材材料の該第１の粘着層側を板状の保持部材の表面に貼着し、切削装置で該マスク部材材料を分割して、該第１の粘着層の一部でなる該粘着層をそれぞれ有する複数の該マスク部材を形成する分割工程と、
形成された複数の該マスク部材を該保持部材から剥離する剥離工程と、を含むこと特徴とする請求項１に記載のエッチングマスクの形成方法。
【請求項３】
該エッチングマスク形成工程は、
該マスク部材の該粘着層を有する面の反対の面側を、先端に吸着部を有する棒状の吸着手段で吸着して保持し、該マスク部材の該粘着層を有する面側を該非エッチング領域に貼着することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のエッチングマスクの形成方法。
【請求項４】
該マスク部材準備工程は、
該被加工物と同等以上の大きさのマスク部材材料の一方の面側全体に粘着材を塗布して第１の粘着層を形成する第１の粘着層形成工程と、
該マスク部材材料の該第１の粘着層側を板状の保持部材の表面に貼着し、該エッチング領域と複数の該非エッチング領域とに対応させて該マスク部材材料を切削装置で分割する分割工程と、
該マスク部材材料の該一方の面の反対の他方の面側の複数の該非エッチング領域に対応する部分に粘着材を塗布して第２の粘着層を形成する第２の粘着層形成工程と、
該保持部材から該マスク部材材料の該エッチング領域に対応する部分を剥離して除去することで、該第２の粘着層の一部でなる該粘着層をそれぞれ有する複数の該マスク部材を形成する除去工程と、を含み、
該エッチングマスク形成工程は、
該保持部材に貼着されている複数の該マスク部材の該粘着層を有する面側を該非エッチング領域にまとめて貼着するマスク部材貼着工程と、
複数の該マスク部材を該保持部材から剥離して被加工物に移す保持部材剥離工程と、を含むこと特徴とする請求項１に記載のエッチングマスクの形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エッチングによって板状の被加工物を加工する際の保護部材となるエッチングマスクの形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ストリートと呼ばれる分割予定ラインで区画された表面側の複数の領域に、それぞれＩＣ等のデバイスが形成された半導体ウェーハは、例えば、裏面側を研削された後に、各デバイスに対応する複数のチップに分割され、電子機器等に組み込まれる。
【０００３】
半導体ウェーハのような板状の被加工物を分割する際には、例えば、高速に回転する切削ブレードを被加工物の分割予定ラインに切り込ませた上で、切削ブレード及び被加工物を分割予定ラインと平行な方向に相対移動させる。しかしながら、この方法では、被加工物を分割予定ラインに沿って機械的に削り取るので、チップの抗折強度が低下しがちである。
【０００４】
また、この方法では、切削ブレードを分割予定ラインに対して高精度に位置合わせした上で、各分割予定ラインを個別に切削する必要があるので、加工の終了までに長い時間を要してしまう。特に、この問題は、切削すべき分割予定ラインの数が多い被加工物において深刻である。
【０００５】
そこで、近年では、プラズマエッチングを利用して被加工物を分割する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この方法では、プラズマエッチングでウェーハの全面を一度に加工できるので、チップの小型化、被加工物の大型化等によって分割予定ラインの数が増えても、加工に要する時間は殆ど変わらずに済む。
【０００６】
また、被加工物を機械的に削り取るわけではないないので、加工時の欠け等を抑制し、チップの抗折強度を高く維持できる。なお、この方法では、所望の遮光パターンが形成されたフォトマスクを用いて、被加工物の表面に保護部材となるエッチングマスクを形成している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−１１４８２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上述したフォトマスクは、遮光膜の形成、レジスト膜の被覆、レジスト膜のパターン描画、遮光膜のエッチングといった複雑な工程を経て製造され、高価である。そのため、このフォトマスクを用いてエッチングマスクを形成すると、被加工物の加工コストを低く抑えるのが難しくなる。
【０００９】
また、上述したフォトマスクを使用するエッチングマスクの形成方法では、被加工物の表面全体をフォトレジスト材で被覆した後に、このフォトレジスト材を露光、現像して、被加工物のエッチングすべき領域を露出させるので、工程が煩雑になり易い。その上、エッチングによる膜減りを考慮してフォトレジスト材の厚みを調整しなくてはならないという煩わしさもある。
【００１０】
このように、従来のエッチングマスクの形成方法には、工程が煩雑で、加工コストを低く抑えるのに向いていないという問題があった。本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、フォトマスクを用いることなく、従来よりも簡単な工程でエッチングマスクを形成できるエッチングマスクの形成方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明によれば、表面にエッチング領域と該エッチング領域で区画された複数の非エッチング領域とを有する被加工物の該非エッチング領域を覆うエッチングマスクの形成方法であって、片面に粘着層を有し、平面視で該非エッチング領域と同じ大きさの板状のマスク部材を用意するマスク部材準備工程と、該マスク部材の該粘着層を有する面側を該非エッチング領域に貼着して、該非エッチング領域を該マスク部材で覆い該エッチング領域を露出させるエッチングマスク形成工程と、を含むことを特徴とするエッチングマスクの形成方法が提供される。
【００１２】
本発明において、該マスク部材準備工程は、該非エッチング領域よりも大きいマスク部材材料の一方の面側全体に粘着材を塗布して第１の粘着層を形成する第１の粘着層形成工程と、該マスク部材材料の該第１の粘着層側を板状の保持部材の表面に貼着し、切削装置で該マスク部材材料を分割して、該第１の粘着層の一部でなる該粘着層をそれぞれ有する複数の該マスク部材を形成する分割工程と、形成された複数の該マスク部材を該保持部材から剥離する剥離工程と、を含むことが好ましい。
【００１３】
また、本発明において、該エッチングマスク形成工程は、該マスク部材の該粘着層を有する面の反対の面側を、先端に吸着部を有する棒状の吸着手段で吸着して保持し、該マスク部材の該粘着層を有する面側を該非エッチング領域に貼着することが好ましい。
【００１４】
また、本発明において、該マスク部材準備工程は、該被加工物と同等以上の大きさのマスク部材材料の一方の面側全体に粘着材を塗布して第１の粘着層を形成する第１の粘着層形成工程と、該マスク部材材料の該第１の粘着層側を板状の保持部材の表面に貼着し、該エッチング領域と複数の該非エッチング領域とに対応させて該マスク部材材料を切削装置で分割する分割工程と、該マスク部材材料の該一方の面の反対の他方の面側の複数の該非エッチング領域に対応する部分に粘着材を塗布して第２の粘着層を形成する第２の粘着層形成工程と、該保持部材から該マスク部材材料の該エッチング領域に対応する部分を剥離して除去することで、該第２の粘着層の一部でなる該粘着層をそれぞれ有する複数の該マスク部材を形成する除去工程と、を含み、該エッチングマスク形成工程は、該保持部材に貼着されている複数の該マスク部材の該粘着層を有する面側を該非エッチング領域にまとめて貼着するマスク部材貼着工程と、複数の該マスク部材を該保持部材から剥離して被加工物に移す保持部材剥離工程と、を含むことが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係るエッチングマスクの形成方法では、平面視で被加工物の非エッチング領域と同じ大きさの板状のマスク部材を用意して、このマスク部材を非エッチング領域に貼着するので、高価なフォトマスクを用いることなく、従来よりも簡単な工程でエッチングマスクを形成できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】被加工物の構成例を模式的に示す斜視図である。
【図２】マスク部材準備工程の第１の粘着層形成工程を説明するための斜視図である。
【図３】マスク部材準備工程の分割工程でマスク部材材料を保持部材に貼着する様子を模式的に示す斜視図である。
【図４】分割工程で用いられる切削装置を模式的に示す斜視図である。
【図５】図５（Ａ）は、分割工程で分割されたマスク部材材料を模式的に示す斜視図であり、図５（Ｂ）は、マスク部材準備工程の剥離工程で剥離されたマスク部材を模式的に示す斜視図である。
【図６】エッチングマスク形成工程を説明するための図である。
【図７】変形例に係るマスク部材準備工程の分割工程で分割されたマスク部材材料を模式的に示す斜視図である。
【図８】変形例に係るマスク部材準備工程の第２の粘着層形成工程を説明するための斜視図である。
【図９】変形例に係るマスク部材準備工程の除去工程を説明するための斜視図である。
【図１０】変形例に係るエッチングマスク形成工程のマスク部材貼着工程を説明するための図である。
【図１１】変形例に係るマスク部材貼着工程の保持部材剥離工程で複数のマスク部材を保持部材から剥離した状態を模式的に示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。本実施形態に係るエッチングマスクの形成方法は、マスク部材準備工程（図２、図３、図４、図５（Ａ）及び図５（Ｂ）参照）、及びエッチングマスク形成工程（図６参照）を含む。
【００１８】
マスク部材準備工程では、被加工物の非エッチング領域と同じ大きさの板状のマスク部材を用意する。エッチングマスク形成工程では、このマスク部材を非エッチング領域に貼着する。なお、本実施形態のマスク部材準備工程は、第１の粘着層形成工程、分割工程、及び剥離工程をさらに含んでいる。以下、本実施形態に係るエッチングマスクの形成方法について詳述する。
【００１９】
はじめに、エッチングマスクが形成される被加工物について説明する。図１は、被加工物の構成例を模式的に示す斜視図である。図１に示すように、本実施形態の被加工物１１は、例えば、シリコン等の材料でなる円盤状のウェーハであり、表面１１ａは、格子状に配列された分割予定ライン（ストリート）１３で複数の領域に区画されている。
【００２０】
この分割予定ライン１３及び外周近傍の領域が、エッチングによって加工されるエッチング領域となる。一方、分割予定ライン１３で区画された複数の領域は、それぞれ、エッチングで加工されない非エッチング領域となる。各非エッチング領域には、ＩＣ等のデバイス１５が形成されている。なお、被加工物１１の裏面１１ｂ側は、略平坦である。
【００２１】
本実施形態に係るエッチングマスクの形成方法では、まず、被加工物１１の非エッチング領域と同じ大きさの板状のマスク部材を用意するマスク部材準備工程を実施する。このマスク部材準備工程では、はじめに、マスク部材のベースとなるマスク部材材料に粘着材を塗布して第１の粘着層を形成する第１の粘着層形成工程を実施する。図２は、マスク部材準備工程の第１の粘着層形成工程を説明するための斜視図である。
【００２２】
第１の粘着層形成工程は、例えば、図２に示す粘着材塗布装置１で実施される。粘着材塗布装置１は、板状のマスク部材材料２１を保持した状態で回転可能なテーブル３を備えている。テーブル３の上方には、粘着性のある液状の粘着材Ａを滴下するノズル５が配置されている。
【００２３】
マスク部材材料２１は、エッチングに耐性のある任意の材料（樹脂、ガラス等）で円盤状に形成されており、略平坦な表面（一方の面）２１ａ及び裏面（他方の面）２１ｂを備えている。
【００２４】
このマスク部材材料２１は、平面視で被加工物１１の非エッチング領域よりも大きく、また、エッチングによって失われない程度に厚い。なお、本実施形態では、円盤状のマスク部材材料２１を用いているが、マスク部材材料の形状は特に限定されない。
【００２５】
第１の粘着層形成工程では、まず、表面２１ａが上方に露出するようにマスク部材材料２１をテーブル３で保持する。次に、テーブル３とともにマスク部材材料２１を回転させて、ノズル５から粘着材Ａを滴下する。これにより、マスク部材材料２１の表面２１ａ全体に粘着材Ａを塗布して、第１の粘着層（不図示）を形成できる。
【００２６】
第１の粘着層形成工程を実施した後には、マスク部材材料２１を分割して複数のマスク部材を形成する分割工程を実施する。この分割工程では、マスク部材材料２１を保持部材に貼着し、その後、切削装置で切削して複数のマスク部材に分割する。図３は、マスク部材準備工程の分割工程でマスク部材材料２１を保持部材に貼着する様子を模式的に示す斜視図である。
【００２７】
図３に示すように、保持部材３１は、マスク部材材料２１と略同径の円盤状に形成されており、略平坦な表面３１ａ及び裏面３１ｂを備えている。保持部材３１としては、例えば、樹脂等でなる板状物やフィルムを用いることができる。後にマスク部材材料２１を剥離し易いように、保持部材３１の表面３１ａを離型剤等で処理しておいても良い。
【００２８】
マスク部材材料２１を保持部材３１に貼着する際には、第１の粘着層が形成されたマスク部材材料２１の表面２１ａ側を保持部材３１の表面３１ａ側に対面させて、マスク部材材料２１と保持部材３１とを重ね合せる。これにより、保持部材３１は、第１の粘着層の粘着力によってマスク部材材料２１の表面２１ａ側に貼着される。
【００２９】
保持部材３１に貼着されたマスク部材材料２１は、切削装置で切削され、複数のマスク部材へと分割される。図４は、マスク部材準備工程の分割工程で用いられる切削装置を模式的に示す斜視図である。
【００３０】
図４に示すように、切削装置２は、各構造を支持する基台４を備えている。基台４の上面には、Ｘ軸方向（前後方向、加工送り方向）に長い矩形状の開口４ａが形成されている。この開口４ａ内には、Ｘ軸移動テーブル６、Ｘ軸移動テーブル６をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構（加工送り手段）（不図示）、及びＸ軸移動機構を覆う防塵防滴カバー８が設けられている。
【００３１】
Ｘ軸移動テーブル６上には、上述したマスク部材材料２１を吸引保持する保持テーブル１０が設けられている。保持テーブル１０は、モータ等の回転駆動源（不図示）と連結されており、Ｚ軸方向（鉛直方向）に平行な回転軸の周りに回転する。また、保持テーブル１０は、上述のＸ軸移動機構でＸ軸移動テーブル６とともにＸ軸方向に加工送りされる。
【００３２】
保持テーブル１０の表面（上面）は、保持部材３１を介してマスク部材材料２１を吸引保持する保持面１０ａとなっている。この保持面１０ａは、保持テーブル１０の内部に形成された流路（不図示）を通じて吸引源（不図示）と接続されている。
【００３３】
開口４ａと近接する位置には、マスク部材材料２１及び保持部材３１を保持テーブル１０へと搬送する搬送機構（不図示）が設けられている。搬送機構で搬送されたマスク部材材料２１及び保持部材３１は、マスク部材材料２１の裏面２１ｂ側が上方に露出するように保持テーブル１０に載置される。
【００３４】
基台４の上面には、マスク部材材料２１を切削する切削ユニット１２を支持する門型の支持構造１４が、開口４ａを跨ぐように配置されている。支持構造１４の前面上部には、切削ユニット１２をＹ軸方向（割り出し送り方向）及びＺ軸方向（鉛直方向）に移動させる切削ユニット移動機構１６が設けられている。
【００３５】
切削ユニット移動機構１６は、支持構造１４の前面に配置されＹ軸方向に平行な一対のＹ軸ガイドレール１８を備えている。Ｙ軸ガイドレール１８には、切削ユニット移動機構１６を構成するＹ軸移動プレート２０がスライド可能に設置されている。
【００３６】
Ｙ軸移動プレート２０の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｙ軸ガイドレール１８と平行なＹ軸ボールネジ２２が螺合されている。Ｙ軸ボールネジ２２の一端部には、Ｙ軸パルスモータ（不図示）が連結されている。Ｙ軸パルスモータでＹ軸ボールネジ２２を回転させれば、Ｙ軸移動プレート２０は、Ｙ軸ガイドレール１８に沿ってＹ軸方向に移動する。
【００３７】
Ｙ軸移動プレート２０の表面（前面）には、Ｚ軸方向に平行な一対のＺ軸ガイドレール２４が設けられている。Ｚ軸ガイドレール２４には、Ｚ軸移動プレート２６がスライド可能に設置されている。
【００３８】
Ｚ軸移動プレート２６の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール２４と平行なＺ軸ボールネジ２８が螺合されている。Ｚ軸ボールネジ２８の一端部には、Ｚ軸パルスモータ３０が連結されている。Ｚ軸パルスモータ３０でＺ軸ボールネジ２８を回転させれば、Ｚ軸移動プレート２６は、Ｚ軸ガイドレール２４に沿ってＺ軸方向に移動する。
【００３９】
Ｚ軸移動プレート２６の下部には、マスク部材材料２１を切削する切削ユニット１２が設けられている。また、切削ユニット１２と隣接する位置には、マスク部材材料２１の上面側（裏面２１ｂ側）を撮像するカメラ３２が設置されている。切削ユニット移動機構１６で、Ｙ軸移動プレート２０をＹ軸方向に移動させれば、切削ユニット１２及びカメラ３２は割り出し送りされ、Ｚ軸移動プレート２６をＺ軸方向に移動させれば、切削ユニット１２及びカメラ３２は昇降する。
【００４０】
切削ユニット１２は、Ｙ軸方向に平行な回転軸を構成するスピンドル（不図示）の一端側に装着された円環状の切削ブレード３４を備えている。スピンドルの他端側にはモータ等の回転駆動源（不図示）が連結されており、スピンドルに装着された切削ブレード３４を回転させる。
【００４１】
図５（Ａ）は、分割工程で分割されたマスク部材材料２１を模式的に示す斜視図である。図５（Ａ）に示すように、マスク部材材料２１を切削ブレード３４で切削し、平面視で非エッチング領域と同じ大きさの複数の小片に分割することで、上述した第１の粘着層の一部でなる粘着層をそれぞれ備えた複数のマスク部材２３を形成できる。
【００４２】
分割工程を実施した後には、複数のマスク部材２３を保持部材３１から剥離する剥離工程を実施する。図５（Ｂ）は、マスク部材準備工程の剥離工程で剥離されたマスク部材２３を模式的に示す斜視図である。
【００４３】
以上のように、第１の粘着層形成工程、分割工程、及び剥離工程を含むマスク部材準備工程を実施した後には、マスク部材２３を被加工物１１の非エッチング領域に貼着するエッチングマスク形成工程を実施する。図６は、エッチングマスク形成工程を説明するための図である。
【００４４】
エッチングマスク形成工程は、例えば、図６に示すマスク部材貼着装置４２で実施される。マスク部材貼着装置４２は、マスク部材を吸着する吸着部を先端（下端）に備えた棒状の吸着ユニット（吸着手段）４４を含む。吸着ユニット４４の基端側には、吸引源４６が接続されている。
【００４５】
エッチングマスク形成工程では、このマスク部材貼着装置４２の吸着ユニット４４でマスク部材２３を吸着、保持して、被加工物１１の非エッチング領域に貼着する。具体的には、粘着層が形成された第一の面（粘着層を有する面）２３ａとは反対の第二の面（反対の面）２３ｂ側を吸着ユニット４４で吸着し、第一の面２３ａ側の粘着層を非エッチング領域に接触させる。
【００４６】
これにより、エッチングマスクとなるマスク部材２３を非エッチング領域に貼着できる。被加工物１１の全ての非エッチング領域にマスク部材２３を貼着し、非エッチング領域が覆われエッチング領域が露出すると、エッチングマスク形成工程は終了する。
【００４７】
このように、本実施形態に係るエッチングマスクの形成方法では、平面視で被加工物１１の非エッチング領域と同じ大きさの板状のマスク部材２３を用意して、このマスク部材２３を非エッチング領域に貼着するので、高価なフォトマスクを用いることなく、従来よりも簡単な工程でエッチングマスクを形成できる。
【００４８】
特に、本実施形態では、エッチングに耐性のある材料で形成された十分に厚い板状のマスク部材２３を用いるので、エッチングマスクを形成する際にエッチングによる膜減りを考慮する必要がない。
【００４９】
なお、本発明は上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、複数のマスク部材２３をそれぞれ吸着ユニット４４で吸着、保持して、被加工物１１の非エッチング領域に貼着しているが、本発明のエッチングマスクの形成方法はこれに限定されない。
【００５０】
例えば、複数のマスク部材をまとめて（一括して）被加工物１１に貼着することもできる。この変形例では、例えば、マスク部材準備工程を、第１の粘着層形成工程、分割工程、第２の粘着層形成工程、及び除去工程で構成し、エッチングマスク形成工程を、マスク部材貼着工程、及び除去工程で構成する。
【００５１】
変形例に係るマスク部材準備工程の第１の粘着層形成工程は、上記実施形態の第１の粘着層形成工程と同様である。ただし、変形例では、被加工物１１と同等以上の大きさのマスク部材材料２１を使用する。このようなマスク部材材料２１を用いることで、複数のマスク部材をまとめて被加工物１１の非エッチング領域に貼着できる。
【００５２】
第１の粘着層形成工程を実施した後には、マスク部材材料２１を分割する分割工程を実施する。図７は、変形例に係るマスク部材準備工程の分割工程で分割されたマスク部材材料２１を模式的に示す斜視図である。
【００５３】
変形例に係る分割工程では、保持部材３１に貼着したマスク部材材料２１を上述の切削装置２で切削して、図７に示すように、被加工物１１の各非エッチング領域に対応するマスク部２５と、被加工物１１のエッチング領域に対応する余剰部２７とに分割する。各マスク部２５は、各非エッチング領域と同じ大きさ、対応する位置に形成される。
【００５４】
分割工程を実施した後には、マスク部材材料２１のマスク部２５に粘着材を塗布して第２の粘着層を形成する第２の粘着層形成工程を実施する。図８は、変形例に係るマスク部材準備工程の第２の粘着層形成工程を説明するための斜視図である。第２の粘着層形成工程は、例えば、第１の粘着層形成工程と同じ粘着材塗布装置１で実施される。
【００５５】
第２の粘着層形成工程では、まず、マスク部材材料２１の裏面２１ｂが上方に露出するようにマスク部材材料２１及び保持部材３１をテーブル３で保持する。次に、テーブル３とともにマスク部材材料２１を回転させて、ノズル５から粘着材Ａを滴下する。これにより、マスク部材材料２１の裏面２１ｂ全体に粘着材Ａを塗布して、第２の粘着層（不図示）を形成できる。
【００５６】
なお、ここでは、マスク部材材料２１の裏面２１ｂ全体に粘着材Ａを塗布して、第２の粘着層を形成しているが、第２の粘着層は、少なくともマスク部材材料２１の裏面２１ｂのマスク部２５に形成されれば良い。
【００５７】
第２の粘着層形成工程を実施した後には、保持部材３１からマスク部材材料２１の余剰部２７を除去して複数のマスク部材を形成する除去工程を実施する。図９は、変形例に係るマスク部材準備工程の除去工程を説明するための斜視図である。
【００５８】
マスク部材材料２１の余剰部２７を保持部材３１から剥離、除去することで、図９に示すように、保持部材３１の表面３１ａにマスク部２５を残存させて、上述した第２の粘着層の一部でなる粘着層をそれぞれ備えた複数のマスク部材２９を形成できる。
【００５９】
すなわち、変形例に係るエッチングマスクの形成方法では、第一の粘着層によって保持部材３１に貼着される第一の面２９ａとは反対の第二の面（粘着層を有する面）２９ｂ側に、被加工物１１との貼着に用いる粘着層が形成される。
【００６０】
以上のように、第１の粘着層形成工程、分割工程、第２の粘着層形成工程、及び除去工程を含むマスク部材準備工程を実施した後には、被加工物１１の非エッチング領域にマスク部材２９を貼着するエッチングマスク形成工程のマスク部材貼着工程を実施する。図１０は、変形例に係るエッチングマスク形成工程のマスク部材貼着工程を説明するための図である。
【００６１】
このマスク部材貼着工程では、複数の非エッチング領域と複数のマスク部材２９とがそれぞれ対応するように、被加工物１１の表面１１ａ側と保持部材３１の表面３１ａ側とを対面させて、各非エッチング領域に各マスク部材２９を接触させる。これにより、複数のマスク部材２９及び保持部材３１は、マスク部材２９の第二の面２９ｂ側に形成された粘着層を介して被加工物１１に貼着される。
【００６２】
マスク部材貼着工程を実施した後には、複数のマスク部材２９を保持部材３１から剥離して被加工物１１に移す保持部材剥離工程を実施する。図１１は、変形例に係るマスク部材貼着工程の保持部材剥離工程で複数のマスク部材２９を保持部材３１から剥離した状態を模式的に示す斜視図である。図１１に示すように、被加工物１１の全ての非エッチング領域が複数のマスク部材２９で覆われ、エッチング領域が露出すると、エッチングマスク形成工程は終了する。
【００６３】
このように、変形例に係るエッチングマスクの形成方法でも、平面視で被加工物１１の非エッチング領域と同じ大きさの板状のマスク部材２９を用意して、このマスク部材２９を非エッチング領域に貼着するので、高価なフォトマスクを用いることなく、従来よりも簡単な工程でエッチングマスクを形成できる。
【００６４】
また、このエッチングマスクの形成方法では、エッチングに耐性のある材料で形成された十分に厚い板状のマスク部材２９を用いるので、エッチングマスクを形成する際にエッチングによる膜減りを考慮する必要がない。
【００６５】
その他、上記実施形態に係る構成、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００６６】
１１  被加工物
１１ａ  表面
１１ｂ  裏面
１３  分割予定ライン（ストリート）
１５  デバイス
２１  マスク部材材料
２１ａ  表面（一方の面）
２１ｂ  裏面（他方の面）
２３  マスク部材
２３ａ  第一の面（粘着層を有する面）
２３ｂ  第二の面（反対の面）
２５  マスク部
２７  余剰部
２９  マスク部材
２９ａ  第一の面
２９ｂ  第二の面（粘着層を有する面）
３１  保持部材
３１ａ  表面
３１ｂ  裏面
１  粘着材塗布装置
３  テーブル
５  ノズル
２  切削装置
４  基台
４ａ  開口
６  Ｘ軸移動テーブル
８  防塵防滴カバー
１０  保持テーブル
１０ａ  保持面
１２  切削ユニット
１４  支持構造
１６  切削ユニット移動機構
１８  Ｙ軸ガイドレール
２０  Ｙ軸移動プレート
２２  Ｙ軸ボールネジ
２４  Ｚ軸ガイドレール
２６  Ｚ軸移動プレート
２８  Ｚ軸ボールネジ
３０  Ｚ軸パルスモータ
３２  カメラ
３４  切削ブレード
４２  マスク部材貼着装置
４４  吸着ユニット（吸着手段）
４６  吸引源
Ａ  粘着材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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