(57)【要約】【課題】モールドに形成されている転写パターンを被転写体に精度よく転写でき、しかも、モールドと転写体とをきれいに離型することができるインプリント印刷装置を提供する。【解決手段】押上部７０でテーブル１０に載置された被転写体５の中央部を押し上げるとともに、押下部８０でモールド７を押し下げて、被転写体５の中央部にモールド７を密着させ、押下部８０と押上部７０を降下させるとともに、モールド移動部３０でモールド７全体を降下させて、被転写体５の中央部から外側に向かって被転写体５とモールド７とを密着させた後、押圧部２０によりモールド７を被転写体５に押圧させた状態で、転写部４０により、モールド７の転写パターンを被転写体５に転写させた後、被転写体５に対するモールド７の押圧状態を開放し、モールド移動部３０によりモールド７の縁部外側の３箇所を順次押し上げて、モールド７を被転写体５から離隔させる。【選択図】図６
2016162839.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被転写体を載置するための載置体と、
前記被転写体に転写する転写パターンが形成されたモールドが取付けられ、前記モールドの縁部外側の複数の箇所を上下させることにより前記モールドを移動させるモールド移動手段と、
前記載置体に載置された前記被転写体の略中心部を下方から上方に押し上げる押上手段と、
前記載置体に載置された前記被転写体に、前記モールド移動手段でモールドを密着させた状態で、前記押上手段で前記被転写体を押し上げる位置に対向する位置を上方から下方に押し下げる押下手段と、
前記載置体に載置された前記被転写体と前記モールドとが密着した状態で前記モールドを前記被転写体に押圧させる押圧手段と、
前記押圧手段により前記モールドを前記被転写体に押圧させた状態で、前記モールドに形成されている転写パターンを前記被転写体に転写させる転写手段と、
前記押上手段で、前記載置体に載置された前記被転写体を押し上げるとともに、前記押下手段で前記モールドを押し下げて、前記被転写体の略中央部に前記モールドを密着させた状態で、前記押下手段を下方に押し下げつつ前記押上手段を下方に移動させるとともに、前記モールド移動手段で、前記モールド全体を下方に移動させることにより、前記被転写体の略中央部から外側に向かって前記被転写体と前記モールドとを密着させた後、
前記押下手段に代えて、前記押圧手段により前記モールドを前記被転写体に押圧させた状態で、前記転写手段により前記モールドに形成されている転写パターンを前記被転写体に転写させた後、
前記押圧手段による前記被転写体に対する前記モールドの押圧状態を開放し、前記モールド移動手段により、前記モールドの縁部外側の複数の箇所を順次押し上げることにより、前記モールドを前記被転写体から離隔させる制御手段と、
を備えたことを特徴とするインプリント装置。
【請求項２】
請求項１に記載のインプリント印刷装置において、
前記モールド移動手段は、前記モールドの縁部外側を３点で支持することによって前記モールドを上下方向に移動させることを特徴とするインプリント印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被転写体にモールドを押圧することによってモールドに形成されている転写パターンを被転写体に転写するインプリント印刷装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、モールドを被転写体の樹脂（レジストなど）に押しつけ、ナノメータオーダーで、モールド上に形成された転写パターンを樹脂に転写するナノインプリント技術がある。ナノインプリントの工程は、（１）塗布、（２）プレス、（３）転写（ＵＶ光又は熱）、（４）離型の４つの要素からなり、単純な工程で容易にナノサイズの加工をすることができる。
【０００３】
また、装置も簡単で高スループットが期待されるため、低コストで量産できる微細加工技術として、半導体デバイス、ストレージメディア、バイオ、光学部材など多方面の分野で実用化が期待されている。
【０００４】
ところが、上記プレス工程においてモールドを被転写体に密着させる際に、平板のモールドを平板の被転写体に押し付けて加圧すると、モールドと被転写体との間に空気が入ってしまうという問題がある。
【０００５】
また、上記塗布工程、プレス工程及び転写工程を実施した後には、モールドと被転写体とが密着しているために、離型工程において、被転写体からモールドを離隔させる際に、被転写体が破損したり、溝形状（凹形状）の角部分がダレたりするという問題もある。
【０００６】
これらの問題を解決するために、離型工程において、被転写体又は被転写体を載置したテンプレート（以下、被転写体等という）を変形させてモールドを被転写体等から離型するインプリント・リソグラフィ装置がある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特表２０１２−５０７１３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところが、上記インプリント・リソグラフィ装置では、被転写体等をモールドに密着させる際に、モールドの端面部分を押し上げて湾曲させるように変形させているため、モールドに印加される圧力が均一でなく、被転写体をモールドで均一に押圧することができず、また、モールドに印加する圧力が大きくできないという問題があった。
【０００９】
本発明は、こうした問題に鑑みなされたもので、モールドに形成されている転写パターンを被転写体に精度よく転写でき、しかも、モールドと転写体とをきれいに離型することができるインプリント印刷装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この欄においては、発明に対する理解を容易にするため、必要に応じて「発明を実施するための形態」欄において用いた符号を付すが、この符号によって請求の範囲を限定することを意味するものではない。
【００１１】
上記「発明が解決しようとする課題」において述べた問題を解決するためになされた発明は、載置体（１０）、モールド移動手段（３０）、押上手段（７０）、押下手段（８０）、押圧手段（２０）、転写手段（４０）、及び制御手段（５０）を備えたことを特徴とするインプリント装置である。
【００１２】
載置体（１０）は、被転写体（５）を載置するためのものであり、モールド移動手段（３０）は、被転写体（５）に転写する転写パターンが形成されたモールド（７）が取付けられ、モールド（７）の縁部外側の複数の箇所を上下させることによりモールド（７）を移動させるものである。
【００１３】
押上手段（７０）は、載置体（１０）に載置された被転写体（５）の略中心部を下方から上方に押し上げるものであり、押下手段（８０）は、載置体（１０）に載置された被転写体（５）に、モールド移動手段（３０）でモールド（７）を密着させた状態で、押上手段（７０）で被転写体（５）を押し上げる位置に対向する位置を上方から下方に押し下げるものである。
【００１４】
押圧手段（２０）は、載置体（１０）に載置された被転写体（５）とモールド（７）とが密着した状態でモールド（７）を被転写体（５）に押圧させるものであり、転写手段（４０）は、押圧手段（２０）によりモールド（７）を被転写体（５）に押圧させた状態で、モールド（７）に形成されている転写パターンを被転写体（５）に転写させるものである。
【００１５】
制御手段（５０）は、押上手段（７０）で載置体（１０）に載置された被転写体（５）を押し上げるとともに、押下手段（８０）でモールド（７）を押し下げて、被転写体（５）の略中央部にモールド（７）を密着させた状態で、押下手段（８０）を下方に押し下げつつ押上手段（７０）を下方に移動させるとともに、モールド移動手段（３０）でモールド（７）全体を下方に移動させることにより、被転写体（５）の略中央部から外側に向かって被転写体（５）とモールド（７）とを密着させた後、
押下手段（８０）に代えて、押圧手段（２０）によりモールド（７）を被転写体（５）に押圧させた状態で、転写手段（４０）によりモールド（７）に形成されている転写パターンを被転写体（５）に転写させた後、
押圧手段（２０）による被転写体（５）に対するモールド（７）の押圧状態を開放し、モールド移動手段（３０）により、モールド（７）の縁部外側の複数の箇所を順次押し上げることにより、モールド（７）を被転写体（５）から離隔させるものである。
【００１６】
このようなインプリント印刷装置（１）によれば、モールド（７）に形成されている転写パターンを被転写体（５）に精度よく転写でき、しかも、モールド（７）と転写体（５）をきれいに離型することができる。
【００１７】
つまり、載置体（１０）に載置された被転写体（５）にモールド（７）を密着させる際に、被転写体（５）の略中央部を押上手段（７０）で押し上げるとともに、対向する位置のモールド（７）を押下手段（８０）で押し下げ、被転写体（５）の略中央部にモールド（７）を密着させる。
【００１８】
その状態で、押下手段（８０）を下方に押し下げつつ押上手段（７０）を下方に移動させるとともに、モールド移動手段（３０）により、モールド（７）全体を下方に移動させる。
【００１９】
すると、被転写体（５）は略中央部を中心として上側に湾曲し、モールド（７）は被転写体（５）の略中央部に対向する位置を中心として下側に湾曲しながら、被転写体（５）
の略中央部から外側に向かって被転写体（５）とモールド（７）とが順次密着していき、最終的に平板状になる。したがって、被転写体（５）とモールド（７）との間に空気が入り込むことがなく被転写体（５）にモールド（７）を密着させることができる。
【００２０】
そのようにして被転写体（５）とモールド（７）を密着させた後に、押下手段（８０）に代えて、押圧手段（２０）によりモールド（７）を被転写体（５）に押圧させた状態で、転写手段（４０）によりモールド（７）に形成されている転写パターンを被転写体（５）に転写させる。
【００２１】
これにより、モールド（７）が被転写体（５）に強く押圧された状態で転写パターンを被転写体（５）に綺麗に転写することができる。
【００２２】
その後、押圧手段（２０）による被転写体（５）に対するモールド（７）の押圧状態を開放し、モールド移動手段（３０）により、モールド（７）の縁部外側の複数の箇所を順次押し上げる。すると、転写パターンの転写が完了した被転写体（５）に密着した状態のモールド（７）の縁部が複数の箇所で順次押し上げられる。
【００２３】
つまり、被転写体（５）からモールド（７）が離隔する際に、複数の押圧点の押圧力が同時に開放され、面で剥がされるのではなく、複数の押圧点の押圧力が順次開放されるので、モールド（７）が被転写体（５）から線状に剥がされる。
【００２４】
そして、被転写体（５）からモールド（７）を容易に剥がすことができるので、離型の際に被転写体（５）を破損したり、モールド（７）の転写パターンがダレたりすることなくきれいに離型することができる。
【００２５】
ところでモールド移動手段（３０）によりモールド（７）の縁部外側を押し上がる場合、その押し上げ点の数には種々のものが考えられるが、請求項２に記載のように、モールとの縁部外側を３点で支持するようにするとよい。
【００２６】
このようにすると、幾何学上平面を形成することができる最小限の３点で被転写体（５）を押圧することになるため、装置の構造を簡易にすることがでる。また、平面を構成する３点の押圧点の押圧力を順次開放していくので、モールド（７）と被転写体（５）とを容易に離型することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】インプリント印刷装置全体の概略の構成を示す外観図である。
【図２】テーブルの概略の構成を示す外観図である。
【図３】モールド移動部の概略の構成を示す外観図である。
【図４】押圧部の概略の構成を示す外観図である。
【図５】押下部の概略の構成を示す外観図である。
【図６】インプリント印刷装置による印刷工程を模式的に示した図である。
【図７】インプリント印刷機による印刷結果を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明が適用された実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明の実施の形態は、下記の実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の形態を採りうる。
（インプリント印刷装置１の構成）
まず、図１に基づいてインプリント印刷装置１の概略の構成について説明する。図１は、インプリント印刷装置１の概略の構成を示す外観図であり、図１（ａ）は正面図、図１
（ｂ）は平面図、図１（ｃ）は右側面図である。なお、図１においては、説明を分かりやすくするために、一部簡略化した図としている。
【００２９】
図１に示すように、インプリント印刷装置１は、主な構成部分として、テーブル１０、押圧部２０、モールド移動部３０、転写部４０、制御部５０、筐体６０、押上部７０及び押下部８０を備えている。
【００３０】
次に、図２に基づいて、テーブル１０について説明する。図２は、テーブル１０の概略の形状を示す外観図である。図２（ａ）は平面図、図２（ｂ）は側面図を示す。
【００３１】
テーブル１０は、被転写体５を載置するためのものであり、図２に示すように、ＳＵＳ材などの金属の板材で箱型のボディを形成し、その上面に被転写体５を載置する吸着テーブル１０ａを取り付け、吸着テーブル１０ａに被転写体５を吸着させて固定するようになっている。
【００３２】
また、テーブル１０の下面には図示しないスライダが設けられており、筐体６０の基部６０ａに設けられたレール６０ｅ上（図１参照）を、図１（ａ）中で左右方向に移動するようになっている。
【００３３】
このスライダにより、被転写体５を吸着テーブル１０ａに載置する際には、テーブル１０を押圧部２０の下方から図１中左向きに移動させ、換言すれば、テーブル１０を押圧部２０の外にスライドさせる。このように、押圧部２０が載置作業の妨げにならないようにして、被転写体５を吸着テーブル１０ａに載置した後、テーブルを押圧部２０の下方に移動させる。
【００３４】
さらに、テーブル１０には、被転写体５のＸ軸方向（図２（ａ）中横方向）への直線移動、Ｘ軸と直交するＹ軸方向への直線移動、Ｘ軸及びＹ軸の双方に直交するＺ軸の周りの回転移動をする、いわゆるＸＹθ型のアライメントモジュール１０ｂが設けられており、被転写体５の位置決めを精度よく行うことができる。
【００３５】
また、図２に示すように、テーブル１０には、押上部７０が設置されている。押上部７０は、テーブル１０に載置された被転写体５の略中心部を下方から上方に押し上げる部分である。
【００３６】
押上部７０は、ピエゾ素子により伸縮する、いわゆるピエゾアクチュエータであり、先端部は凸状に形成され、制御部５０からの制御信号により伸縮する。そして、伸縮した状態で、被転写体５を固定している吸着テーブル１０ａの下面略中央部分に先端部の凸状部分が接触し、下方から吸着テーブル１０ａとともに被転写体５の中央部分を押し上げ、被転写体５を上方に湾曲させる。
【００３７】
次に、図３に基づいてモールド移動部３０について説明する。図３は、モールド移動部３０の概略の構成を示す外観図である。図３（ａ）は平面図、図３（ｂ）は側面図、図３（ｃ）は、アクチュエータ部分（図３（ｃ）中にＡで示す部分）の拡大図である。
【００３８】
モールド移動部３０は、被転写体５に転写する転写パターンが形成されたモールド７が取付けられ、モールド７の縁部外側の複数の箇所を上下させることによりモールド７を移動させる部分である。
【００３９】
モールド７は、インプリントのための型であり、石英やシリコンなどに、被転写体５にインプリントする半導体の回路パターンなどが形成されている。
【００４０】
図３（ａ）に示すように、モールド移動部３０は、モールド保持部材３２、アクチュエータ３４を備えている。
【００４１】
モールド保持部材３２は、モールド７を保持するための部材であり、ＳＵＳ材等の金属材料を略正三角形に形成したものであり、正三角形の各頂点部分が外側に長方形状に延伸され、アクチュエータへ取り付けるための取付部３２ａ，３２ｂ，３２ｃが形成されている。
【００４２】
また、モールド保持部材３２の中央部分には、円形の孔（孔部３２ｄ）が空けられ、この孔部３２ｄ部分にモールド７が位置するように後述する円形ガラス７ａが取り付けられる。
【００４３】
モールド７は、平板の円形ガラス７ａの中央に取り付けられており（以下、円形ガラスと呼ぶ）、このモールド７が取り付けられた円形ガラス７ａを、モールド７の部分が孔部３２ｄの位置となるように、モールド保持部材３２に取り付けることによって、モールド７をモールド保持部材３２に取り付ける。
【００４４】
図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、各取付部３２ａ，３２ｂ，３２ｃの下側に、計３個のアクチュエータ３４が配置されている。
【００４５】
このアクチュエータ３４は、電動モータを備えた電動アクチュエータであり、制御部５０から制御信号により、回転軸３４ａ，３４ｂ，３４ｃが回転するようになっている。
【００４６】
図３（ｃ）に示すように、アクチュエータ３４の回転軸３４ａ，３４ｂ，３４ｃが、モールド移動部３０の取付部３２ａ，３２ｂ，３２ｃの間を結合するための結合部材３４ｄによって、モールド移動部３０の取付部３２ａ，３２ｂ．３２ｃに結合されている。
【００４７】
回転軸３４ａ，３４ｂ，３４ｃは、ボールネジとなっており、結合部材３４ｄの中央部分にボールネジナット３４ｉが取り付けられている。そして、制御部５０からの制御信号により回転軸３４ａ，３４ｂ，３４ｃが回転し、ボールネジとボールネジナット３４ｉによってモールド保持部材３２が上下方向に移動するようになっている。
【００４８】
結合部材３４ｄには、モールド保持部材３２が上下する際にガイドとなるガイド部材３４ｅが取り付けられている。ガイド部材３４ｅは、ＳＵＳ材などの金属製のバー材であり、取付部材３４ｆに設けられているガイド孔に通され、モールド保持部材３２が上下する際に軸がぶれないようになっている。
【００４９】
アクチュエータ３４は、上端部が、コの字の取付部材３４ｆの上部のコの字の１辺部分に取り付けられ、対向する１辺部分で筐体６０の上部筐体６０ｂ(図１参照）に取り付けられ、固定されている。
【００５０】
取付部材３４ｆの上部の１辺部分には、ガイド部材３４ｅを通すためのガイド３４ｈが設けられており、このガイド３４ｈにガイド部材３４ｅが通された状態でモールド保持部材３２が上下する際のブレを防ぐことができる。
【００５１】
取付部材３４ｆのガイド３４ｈがある１辺の反対側の上端部には、Ｌ字状のストッパ３４ｇが取り付けられている。このストッパ３４ｇは、Ｌ字の長辺の端部が取付部材３４ｆの上部端面に接触するように取付部材３４ｆに取り付けられ、短辺に、回転軸３４ａ，３４ｂ，３４ｃが通るガイド孔が設けられており、回転軸３４ａ，３４ｂ，３４ｃが延伸す
る上限位置を制限している。
【００５２】
このガイド孔に回転軸３４ａ，３４ｂ，３４ｃが通された状態で回転軸３４ａ，３４ｂ，３４ｃが伸縮することにより、回転軸３４ａ，３４ｂ，３４ｃがブレずに伸縮することができるようになっている。
【００５３】
このようにして、モールド移動部３０は、モールド７が取り付けられたモールド保持部材３２を３点で支持して、モールド７を上下に移動させる。
【００５４】
次に図４に基づき、押圧部２０について説明する。図４は、押圧部２０の概略の構成を示す外観図である。図４（ａ）は正面図であり、図４（ｂ）は先端部の拡大図である。
【００５５】
押圧部２０は、テーブル１０に載置された被転写体５とモールド７とが密着した状態でモールド７を被転写体５に押圧させる部分である。
【００５６】
図４（ａ）に示すように、押圧部２０は、モータ２１、内筒２２、外筒２３、圧力印加部２４及びガイド部２５を備えている。
【００５７】
モータ２１は、外筒２３の上端面にボルトで取り付けられており、モータ２１の回転軸２１ａは、ボールネジになっており、回転軸２１ａに内筒２２がボールネジナットで取り付けられている。また、内筒２２の先端（下端）に圧力印加部２４がボルトで取り付けられている。
【００５８】
内筒２２は、ＳＵＳ材などの金属材料を円筒状に形成し、上端面側を底板２２ａで塞いだ形状となっている。
【００５９】
底板２２ａは、中心に穴が設けられ、その部分にボールネジナットが設けられている。そのボールネジナットにモータ２１の回転軸２１ａのボールネジが嵌合し、回転軸２１ａの正転・逆転に伴い、内筒２２が上下に移動するようになっている。
【００６０】
外筒２３は、ＳＵＳ材などの金属材料を円筒状に形成した部材であり、上端部にモータ２１がボルトで取り付けられておち、内筒２２が上下方向に移動する際のカバー兼ガイドとなっている。
【００６１】
圧力印加部２４は、箱形形状の内箱部２４ａとモールド７に接触して、モールド７に圧力を印加する石英柱２７を取り付ける石英柱取付部２４ｂを備えている。
【００６２】
内箱部２４ａは、ＳＵＳ材などの金属材料を前後面の板がない箱形に形成し、上端をＳＵＳ材などの金属製の底板２４ｃで塞いだ形状である（つまり、左右側面と上部の蓋があり、前後面がない形状）。そして、左右両側面がガイド部２５の内面と接触してガイドの役目を果たすようになっている。
【００６３】
内箱部２４ａの上端側の底板２４ｃに内筒２２の先端（下端）がボルトで取り付けられている。また、内箱部２４ａの下端側端面に石英柱取付部２４ｂがボルトで取り付けられている。
【００６４】
次に、図４（ｂ）に基づき、石英柱２７の取り付け状態について説明する。図４（ｂ）は、図４（ａ）の石英柱２７の取り付け部分の拡大図である。
【００６５】
図４（ｂ）に示すように、石英柱取付部２４ｂの先（下部）には、３個のピエゾ素子２
４ｆ、円盤状の底部２４ｄと底部２４ｄよりも直径の小さい筒状の先端部２４ｅとが取り付けられている。底部２４ｄと先端部２４ｅとは、１つのＳＵＳ材などの金属のバー材を加工して一体成形されている。
また、３個のピエゾ素子は、石英柱取付部２４ｂを平面視した場合に略正三角形を形成する位置に取り付けられている。
【００６６】
また、底部２４ｄは、石英柱取付部２４ｂと板バネ２４ｇで結合されており、筒状の先端部２４ｅの内径部分に石英柱２７が埋め込まれるようにして側面の設けられた孔からボルトで締め付けられて固定されている。
【００６７】
さらに、ピエゾ素子２４ｆは、石英柱取付部２４ｂと底部２４ｄとの間に取り付けられており、制御部５０からの制御信号により伸縮し、石英柱取付部２４ｂと板バネ２４ｇで結合されている底部２４ｄ（つまり石英柱２７）の高さ調整を行うことができるようになっている。
【００６８】
ガイド部２５は、ＳＵＳ材などの金属材料のフレームであり、内側面に圧力印加部２４の内箱部２４ａの左右の外側面が接触するようにして、圧力印加部２４が上下移動する際に左右方向にブレないようにガイドする。
【００６９】
このような構成の押圧部２０では、制御部５０からの制御信号によりモータ２１が作動し、モータ２１の回転軸２１ａを正転させると、内筒２２が下降し、それに伴い内筒部が下降する。これにより、石英柱取付部２４ｂに取り付けられた石英柱２７が下降し、石英柱２７の先端がモールド７の上面に接触して加圧し、その結果、モールド７が被転写体５に押下され加圧される。
【００７０】
また、加圧後、モータ２１の回転軸２１ａを逆転させると内筒２２が上昇し、それに伴いモールド７に対する圧力が開放される。
【００７１】
転写部４０は、押圧部２０によりモールド７を被転写体５に押圧させた状態で、モールド７に形成されている転写パターンを被転写体５に転写させる部分である。
【００７２】
転写部４０は、紫外線を照射して被転写体５の光硬化樹脂を硬化させるタイプの装置であり、円柱状の容器の先端に紫外線照射器が設けられた構造になっている。
【００７３】
押圧部２０の側面に水辺方向に回転可能に取り付けられた支持棒で、容器の側面が支持されており、転写時、つまり紫外線照射時に、手動で指示棒を回転させ、容器先端の紫外線照射器が押圧部２０の石英柱２７の上端に接触するようにする。
【００７４】
この状態で、紫外線照射器から紫外線を照射すると、石英柱２７及びモールド７を通して被転写体５に紫外線が照射され、被転写体５の表面の光硬化樹脂が硬化する。硬化が終了すると手動で指示棒を回転させ、元の位置に戻す。
【００７５】
次に、図５に基づき押下部８０について説明する。図５は、押下部の概略の構成を示す外観図である。
【００７６】
押下部８０は、テーブル１０に載置された被転写体５に、モールド移動部３０でモールド７を密着させた状態で、押上部７０で被転写体５を押し上げる位置に対向する位置を上方から下方に押し下げる部分である。
【００７７】
図５に示すように、押下部８０は、押下端部８２、支持部８４、回転部８６、上下移動
部８８を備えている。
【００７８】
押下端部８２は、支持部８４の一端に取り付けられており、先端部分が凸状に形成され、この凸状の先端が、モールド７の上面に接触し、モールド７を上側から押圧する。
【００７９】
支持部８４は、ＳＵＳ材などの金属板を細長く形成し、上述のように、一端に押下端部８２が取り付けられている。また、他端は、回転部８６の回転軸８６ａに取り付けられ、回転軸８６ａを中心として水平面状を回転するようになっている。
【００８０】
回転部８６は、回転軸８６ａと回転軸８６ａを回転させるモータ８６ｂとを備えている。回転軸８６ａには支持部８４の他端側が取り付けられ、制御部５０からの制御信号によりモータ８６ｂを回転させることにより回転軸８６ａを回転させて、支持部８４を水平面内で回転させる。
【００８１】
上下移動部８８は、回転部８６を上下方向に移動させる装置であり、モータ８８ａ、回転軸８８ｂ、ボールネジナット８８ｃ及び結合部８８ｄを備えている。
【００８２】
上下移動部８８は、ＳＵＳ材などの金属部材である結合部８８ｄにより回転部８６に結合されている。結合部８８ｄの一端は回転部８６に結合され、他端部分にはボールネジナット８８ｃが取り付けられている。
【００８３】
回転軸８８ｂは、ボールネジとなっており、制御部５０からの制御信号によりモータ８８ａが作動すると、回転軸８８ｂが回転し、回転軸８８ｂのボールネジとボールネジナット８８ｃにより、回転軸８８ｂの回転運動が結合部８８ｄ、つまり回転部８６の上下運動となる。
【００８４】
制御部５０は、図示しないＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、Ｉ／Ｏ、記憶装置等を内蔵した制御部本体５０ａ及びインプリント印刷装置１の制御操作を行うための操作表示部５０ｂを備えている（図１参照）。
【００８５】
操作表示部５０ｂにおいて下記（ア）〜（エ）の制御を行うために必要となるパラメータの表示と設定、インプリント印刷装置１の作動中の状態表示（パラメータの表示、異常時の警告表示等）を行うため装置である。
【００８６】
制御部本体５０ａは、操作表示部５０ｂにおいて設定されたパラメータに基づいて、下記（ア）〜（コ）の制御を繰り返し実行することによりインプリント印刷を繰り返す。
（ア）押下部８０の回転部８６のモータ８６ｂを作動させ、押下端部８２の先端部がモールド７の中央となる位置まで支持部８４を回転させる。
（イ）押下部８０の上下移動部８８のモータ８８ａを作動させ、押下端部８２の先端部によりモールド７（円形ガラス７ａ）を押し下げて、被転写体５の略中央部にモールド７を密着させる。
（ウ）（イ）とともに、テーブル１０に被転写体５を載置・固定した状態で  押上部７０（ピエゾアクチュエータ）を伸張させ、テーブル１０に載置された被転写体５を押し上げる。
（エ）この状態で、押下部８０のモータ８８ａを作動させて、押下端部８２の先端部でモールド７（円形ガラス７ａ）を下方に押し下げつつ押上部７０（のピアゾアクチュエータ）を引き下げる。
（オ）（エ）とともに、モールド移動部３０のアクチュエータ３４を同時に引き下げ、モールド７全体を下方に移動させる。この（エ）及び（オ）により、被転写体５の略中央部から外側に向かって被転写体５とモールド７とを密着させる。
（オ）押下部８０の上下移動部８８のモータ８８ａを作動させて、押下端部８２を上方に移動させる。
（カ）押下部８０の回転部８６のモータ８６ｂを作動させ、支持部８４を回転させて押下端部８２を収納位置に戻す。
（キ）押圧部２０のモータ２１を作動させ、石英柱２７をモールド７（円形ガラス７ａ）に接触させてモールド７を押圧し、モールド７を被転写体５に押圧させる。
（ク）（キ）の状態で、転写部４０を作動させて紫外線を被転写体５に照射し、モールド７に形成されている転写パターンを被転写体５に転写させる。
（ケ）押圧部２０のモータ２１を作動させ、被転写体５に対するモールド７（円形ガラス７ａ）の押圧状態を開放する。
（コ）（ケ）とともに、モールド移動部３０のアクチュエータ３４を順次伸張させ、モールド７の縁部外側の３箇所を順次押し上げることにより、モールド７（円形ガラス７ａ）を被転写体５から離隔させる。
【００８７】
筐体６０は、基部６０ａと上部筐体６０ｂとを備えている（図１参照）。基部６０ａは、インプリント印刷装置１全体を支える部分であり、平板状のベッド６０ｃとそれを支える４本の支柱６０ｄ及びテーブル１０の下部に取り付けられたスライダをスライドさせるためのレール６０ｅを備えている。
【００８８】
上部筐体６０ｂは、ベッド６０ｃの上面に設置された門型の部分であり、この上部筐体６０ｂに、テーブル１０、押圧部２０、モールド移動部３０、転写部４０及び制御部５０の操作表示部５０ｂが取り付けられている。
（インプリント印刷装置１による印刷）
次に、図６に基づき、インプリント印刷装置１による印刷について説明する。図６は、インプリント印刷装置１による印刷工程を模式的に示した図である。なお、図６において３本のアクチュエータのうちアクチュエータ３４は省略してある。
（ア）図６（ａ）に示すように、テーブル１０の上面中央部分に被転写体５を載置し、吸着させて、テーブル１０の上面に被転写体５を固定し、テーブル１０をモールド移動部３０の下方に，図６（ａ）中に矢印で示すようにスライド移動させる。
（イ）図６（ｂ）に示すように、押下部８０を下降させ、モールド７を被転写体５の中央部に押し付けるとともに、押上部７０を伸張させて被転写体５の中央部をモールド７に押し付ける。この時、被転写体５とモールド７とは中央部を中心として湾曲する。
（ウ）図６（ｃ）に示すように、押上部７０を引き下げるとともに、押下部８０を下降させ、同時にモールド移動部３０の３個のアクチュエータ３４の回転軸３４ａ，３４ｂ，３４ｃを同時に引き下げて、モールド移動部３０を降下させ、被転写体５とモールド７とが平坦になるようにする。
（エ）図６（ｄ）に示すように、押下部８０に代えて、押圧部２０でモールド７を被転写体５に押し付け、転写部４０から紫外線を被転写体５に照射してモールド７の転写パターンを被転写体５に転写する。
（オ）図６（ｅ）に示すように、モールド移動部３０の３個のアクチュエータ３４の回転軸３４ａ，３４ｂ，３４ｃを、回転軸３４ａ→回転軸３４ｂ→回転軸３４ｃの順で徐々に上昇させて、モールド移動部３０を上昇させる。
（カ）テーブル１０をスライド移動させ、テーブル１０から被転写体５を取り外す。
（キ）（ア）〜（カ）の内容を繰り返して、複数の被転写体５に印刷を行う。
（インプリント印刷装置１の特徴）
以上のようなインプリント印刷装置１によれば、モールド７に形成されている転写パターンを被転写体５に精度よく転写でき、しかも、モールド７と被転写体５とをきれいに離型することができる。
【００８９】
つまり、テーブル１０に載置された被転写体５にモールド７を密着させる際に、被転写
体５の略中央部を押上部７０で押し上げるとともに、対向する位置のモールド７（円形ガラス７ａ）を押下部８０で押し下げ、被転写体５の略中央部にモールド７を密着させる。
【００９０】
その状態で、押下部８０を下方に押し下げつつ押上部７０を下方に移動させるとともに、モールド移動部３０により、モールド７全体を下方に移動させている。
【００９１】
すると、被転写体５は略中央部を中心として上側に湾曲し、モールド７は被転写体５の略中央部に対向する位置を中心として下側に湾曲しながら、被転写体５の略中央部から外側に向かって被転写体５とモールド７とが順次密着していく、したがって、被転写体５とモールド７との間に空気が入り込むことがなく被転写体５にモールド７を密着させることができる。
【００９２】
そのようにして被転写体５とモールド７を密着させた後に、押下部８０に代えて、押圧部２０によりモールド７を被転写体５に押圧させた状態で、転写部４０によりモールド７に形成されている転写パターンを被転写体５に転写させている。
【００９３】
これにより、モールド７が被転写体５に強く押圧された状態で転写パターンを被転写体５に綺麗に転写することができる。
【００９４】
その後、押圧部２０による被転写体５に対するモールド７（円形ガラス７ａ）の押圧状態を開放し、モールド移動部３０により、モールド７（円形ガラス７ａ）の縁部外側の３箇所を順次押し上げている。すると、転写パターンの転写が完了した被転写体５に密着した状態のモールド７（円形ガラス７ａ）の縁部が３箇所で順次押し上げられる。
【００９５】
したがって、被転写体５からモールド７が離隔する際に、（３箇所の押圧点の押圧力が同時に開放され、面で剥がされるのではなく、）３箇所の押圧点の押圧力が順次開放されるので、モールド７が被転写体５から線状に剥がされる。
【００９６】
つまり、被転写体５からモールド７を容易に剥がすことができるので、離型の際に被転写体５を破損したり、モールド７の転写パターンがダレたりすることなくきれいに離型することができる。
【００９７】
図７に、インプリント印刷機１で被転写体５にパターンを印刷した様子を示す。図７は、インプリント印刷機１による印刷結果を示す図である。
【００９８】
図７（ａ）に、パターンを印刷した後の被転写体５の全体の様子を示す。図７（ｂ）に、被転写体５に、縦線状のラインを印刷したときの拡大図を示す。また、図７（ｃ）に、穴状のホールを印刷したときの拡大図、図７（ｄ）に凸状のドットを印刷したときの拡大図を示す。
【００９９】
図７（ｂ）〜図７（ｄ）の拡大図に示すように、ライン、ホール及びドットのいずれも印刷されているパターンの縁部がダレたりせず綺麗に印刷されていることが分かる。
［その他の実施形態］
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、本実施形態に限定されるものではなく、種々の態様を採ることができる。
（１）上記実施形態では、転写部４０において、被転写体５として光硬化性樹脂をガラス基板等に塗布し、紫外線を照射してモールド７から被転写体５に転写パターンを転写していたが、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）などの熱可塑性樹脂をガラス基板などに塗布した被転写体５を樹脂（ＰＭＭＡ）のガラス転移温度（ＰＭＭＡでは１０５℃）以上に昇温させ、モールド７の転写パターンを熱可塑性樹脂に転写するようにしてもよい。
【０１００】
また、ジメチルポリシロキサン（ＰＤＭＳ）モールド７を用いるようにしてもよい。つまり、原盤を用いて作成したＰＤＭＳモールド７にインクを塗布した後、それを被転写体５に接触させて、ＰＤＭＳモールドから被転写体５に転写パターンの転写を行うようにしてもよい。
（２）上記実施形態では、押圧部２０を箱形状にし、転写時に転写部４０を石英柱２７に接触させ、転写が終了したら転写部を押圧部２０から取り外すようにしていたが、転写部４０を石英柱２７の上端部に固定してもよい。
【符号の説明】
【０１０１】
１… インプリント印刷装置  ５… 被転写体  ７… モールド（ＰＤＭＳモールド）  ７ａ… 円形ガラス  １０… テーブル  １０ａ… 吸着テーブル  １０ｂ… アライメントモジュール  ２０… 押圧部  ２１… モータ  ２１ａ… 回転軸  ２２… 内筒  ２２ａ…
底板  ２３… 外筒  ２４… 圧力印加部  ２４ａ… 内箱部  ２４ｂ… 石英柱取付部  ２４ｃ… 底板  ２４ｆ… ピエゾ素子  ２４ｄ… 底部  ２４ｅ… 先端部  ２４ｇ… 板バネ  ２５… ガイド部  ２７… 石英柱  ３０… モールド移動部  ３２… モールド保持部材  ３２ａ，３２ｂ，３２ｃ…取付部  ３２ｄ… 孔部  ３４… アクチュエータ  ３４ａ，３４ｂ，３４ｃ… 回転軸  ３４ｄ… 結合部材  ３４ｅ… ガイド部材  ３４ｆ… 取付部材  ３４ｇ… ストッパ  ３４ｈ… ガイド  ３４ｉ… ボールネジナット  ４０… 転写部  ５０… 制御部  ５０ａ… 制御部本体  ５０ｂ… 操作表示部  ６０… 筐体  ６０ａ… 基部  ６０ｂ… 上部筐体  ６０ｃ… ベッド  ６０ｄ… 支柱  ６０ｅ… レール  ７０… 押上部  ８０… 押下部  ８２… 押下端部  ８４… 支持部  ８６… 回転部  ８６ａ… 回転軸  ８６ｂ… モータ  ８８… 上下移動部  ８８ａ… モータ  ８８ｂ… 回転軸  ８８ｃ… ボールネジナット  ８８ｄ… 結合部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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