(57)【要約】【課題】内部に凍結乾燥された薬剤（薬液）が充填された中空型マイクロニードルを提供する。【解決手段】基板１０１の一方の面に針状部１０２を備え、該針状部が孔１０３を備える中空型マイクロニードルを作製する工程と、前記孔を除く針状部の表面に撥水処理をおこなう工程と、前記中空型マイクロニードル及び薬液を薬液に浸漬し回転させて遠心力を付与することにより、前記孔に薬液を充填する工程と、前記孔に充填された薬液を凍結乾燥する工程とを備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の一方の面から突出する針状部を有し且つ該針状部に先端部側から基板側に延びる孔が開口した中空型マイクロニードルの構造体を作製する工程と、
前記孔の内部を除く針状部の表面に撥水処理をおこなう工程と、
前記撥水処理後の中空型マイクロニードルの構造体を薬液に浸漬し遠心力によって、前記孔に薬液を充填する工程と、
前記孔に充填された薬液を凍結乾燥する工程と、
を備えることを特徴とする中空型マイクロニードルの製造方法。
【請求項２】
前記中空型マイクロニードルの構造体を作製する工程では、第１の基板に針状の針状部を研削で成形すると共に前記針状部を軸方向に貫通する貫通孔を形成した後に、前記第１の基板に第２の基板を貼り合わせて前記貫通孔の一方の開口を閉塞することを特徴とする請求項１に記載の中空型マイクロニードルの製造方法。
【請求項３】
前記中空型マイクロニードルの構造体を作製する工程では、基板に針状の針状部を作製すると共に、針状部に先端部側から基板側に延びる有底孔を前記孔として作製することを特徴とする請求項１に記載の中空型マイクロニードルの製造方法。
【請求項４】
前記撥水処理をおこなう工程では、少なくとも針状構造体を除く基板部分にも、撥水性処理を施されることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の中空型マイクロニードルの製造方法。
【請求項５】
前記孔に薬液を充填する工程において遠心力で前記孔に薬液を充填するに際し、針状部以外の部分を覆う治具を装着することを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の中空型マイクロニードルの製造方法。
【請求項６】
前記薬液が菌体と糖類を含み、かつ、該糖類がグルコース、スクロース、トレハロース、フルクトース、ラクトースおよびこれらの混合物から選ばれることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の中空型マイクロニードルの製造方法。
【請求項７】
第１の基板の一方の面から突出する針状部と、その針状部の先端部側から第１の基板側に延びて前記針状部と第１の基板とを共に貫通する貫通孔と、前記第１の基板の他方の面に積層して前記貫通孔の一端開口部を閉塞する第２の基板と、上記貫通孔内に凍結乾燥状態で充填されている薬剤と、を備えることを特徴とする中空型マイクロニードル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワクチンなどの経皮投与を行うための中空型マイクロニードルに関する。
【背景技術】
【０００２】
人体に痛みを与えることなく簡便に送達物を投与することが出来る方法として、皮膚上から薬剤などの送達物を浸透させ体内に送達物を投与する経皮吸収法がある。これは、マイクロニードル法と呼ばれ、μｍオーダーの微細なマイクロニードルを用いて皮膚を穿刺し、皮膚内に薬剤を投与する方法である（特許文献１参照）。
このときに用いる微細なマイクロニードルの形状は、皮膚を穿孔するための十分な細さと先端角、および皮下に薬液を浸透させるための十分な長さを有していることが好ましく、マイクロニードルの直径は数μｍから数百μｍ（具体的には、例えば、１μｍ〜３００μｍ程度）、マイクロニードルの長さは、具体的には数十μｍから数百μｍ（具体的には、例えば、１０μｍ〜１０００μｍ程度）のものが望ましい。
【０００３】
一般的にマイクロニードルを形成する工程では、サンドブラスト、レーザー加工、及びマイクロドリルなどによってマイクロニードルの形状に成形されると共に、必要に応じて貫通孔が形成される。
またマイクロニードルの形成としては、切削加工を用いて原版を作成し、該原版から複製版を形成し、該複製版を用いた転写加工成形を行なうことも提案されている（特許文献２参照）。
【０００４】
また、マイクロニードルを構成する材料としては、仮にマイクロニードルが体内に残留する場合でも、人体に悪影響を及ぼさない材料であることが望ましく、このような材料としてはポリ乳酸、ヒアルロン酸等の生体適合材料が提案されている（特許文献３参照）。
マイクロニードルは形状的に中空型と中実型に大別される。中空型は、既存の注射針を小型化したもので、貫通孔を通じてそれと同様の薬液が体内に注入される機能をもつ。中実型は、薬剤が微細針表面に塗られる塗布型と、薬物含有の微細針が皮膚中の体液で溶解し、薬物が皮膚内で放出される溶解型に分類され、乾燥薬剤と針が一体となっている。
【０００５】
なお塗布型の中実型については、例えば浸漬によるコーティング方法が提案されている（特許文献４参照）。
一方、医薬品として広く利用されている酵素、抗体、ペプチド等のタンパク質は、製造工程及び保存期間中に生理活性が損なわれないことが重要である。特に高分子であるタンパク質を水溶液とした場合、生理活性が長期間維持できない問題があるため、乾燥状態で保存されている。
【０００６】
乾燥方法としては、噴霧乾燥、凍結乾燥等などがある。噴霧乾燥法は、液体を微細な霧状にし、これを熱風中に噴出させ、瞬間的に粉状の乾燥物を得る方法である。この手法は連続生産性・大量生産性に長けており、製品ロスも少ないためコストを安価にする事ができる。品質についてスプレードライ製品は、製造時に熱風中にさらされるため、品質が劣るとされている。
【０００７】
これに対し、凍結乾燥法は、溶液を一度凍結させ、減圧下水分を昇華させて乾燥物を得る方法である。この方法は製品に熱が加わらないため、品質劣化が少ないことが特徴である。しかし、凍結・乾燥工程にコスト・時間がかかるため、一般的に、高価な医薬品などを長期保存する場合には、凍結乾燥法が採用されている。凍結乾燥法では、凍結された薬物の氷の昇華によって乾燥が進むため、乾燥による薬剤分子の構造変化がなく、薬物の活性を保持したまま乾燥することができると考えられている。
【０００８】
タンパク質の多くは熱によって失活しやすい性質を有するが、凍結乾燥法では、熱をかけずにタンパク質を安定化することができるため、薬剤としての医薬物質を高安定性、高信頼性に収容するために、薬液から水等の揮発性物質を取り除く処理である凍結乾燥が好適に用いられている。
以上のことを鑑みて用いられている固形注射剤は、使用する際に生理的食塩水などで溶解又は懸濁して用いるものである。そのため、注射製剤として、シリンジ自体を凍結乾燥の容器として使用すれば、凍結乾燥した薬剤を移し替える必要がなく好都合であることが知られている（特許文献５参照）。
【０００９】
凍結乾燥製剤は、使用時に水溶液として溶解して用いる場合、タンパク質製剤を必要な濃度に調整した水溶液を、その都度に調製しなければならないという煩雑さの問題がある。このような理由から、一般に、タンパク質やペプチドなどの高分子の医薬品を凍結乾燥する際に安定化剤として糖類が添加されている。例えば、タンパク質を類含有水溶液または糖類含有緩衝液で安定化させる技術が公開されている（特許文献６参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特許第４４２７６９１号公報
【特許文献２】特許第５２８５９４３号公報
【特許文献３】特許第５２６７９１０号公報
【特許文献４】特許第５０４９２６８号公報
【特許文献５】特開２００８−６７９８２号公報
【特許文献６】特許第５４０１４４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、貫通穴のある中空型マイクロニードルにおいては、注入する薬液を格納するチャンバーに多量の薬液が必要である。一方、塗布型の中実型マイクロニードルにおいては、ある一定以上の乾燥薬剤を固定化するのには制限があること、薬剤が充填後凍結乾燥された中実型マイクロニードル表面への固定化量を上げるとマイクロニードル先端がマッチ棒の様に薬剤が固まり、先端が丸みを帯びた状態となり先端の鋭角度が失われることがあり、塗布量に制限が有る。溶解型の中実型マイクロニードルにおいては、穿刺された針の高さでのみ経皮中で溶け出すので、これもまた薬剤の経皮吸収量には課題が残されている。
【００１２】
そこで、本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、注入する薬液を格納する大きなチャンバーが不要で且つ中実型針状体に比べて注入する薬剤の制限が緩和した中空型マイクロニードルを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
課題を解決するために、本発明の一態様である中空型マイクロニードルの製造方法は、基板の一方の面から突出する針状部を有し且つ該針状部に先端部側から基板側に延びる孔が開口した中空型マイクロニードルの構造体を作製する工程と、前記孔の内部を除く針状部の表面に撥水処理をおこなう工程と、前記撥水処理後の中空型マイクロニードルの構造体を薬液に浸漬し遠心力によって、前記孔に薬液を充填する工程と、前記孔に充填された薬液を凍結乾燥する工程と、を備えることを特徴とする。
【００１４】
また本発明の一態様である中空型マイクロニードルは、第１の基板の一方の面から突出する針状部と、その針状部の先端部側から第１の基板側に延びて前記針状部と第１の基板とを共に貫通する貫通孔と、前記第１の基板の他方の面に積層して前記貫通孔の一端開口部を閉塞する第２の基板と、上記貫通孔内に凍結乾燥状態で充填されている薬剤と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、マイクロニードルの内部に夾雑物が入り込むことがなく、凍結乾燥された薬剤（薬液）として充填される。そして、注入する薬液を格納する大きなチャンバーが不要で且つ中実型針状体に比べて注入する薬剤の制限が緩和した中空型マイクロニードルを提供することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態に係る中空型マイクロニードルの例を示す２種類の断面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る中空型マイクロニードルの例を示す２種類の斜視図である。
【図３】本発明の実施形態に係る凍結乾燥剤が充填された中空型マイクロニードルの製造方法の説明図である。
【図４】本発明の実施形態に係る中空型マイクロニードルへ薬液滴下に用いる浸漬治具の説明図である。
【図５】本発明の実施形態に係る中空型マイクロニードルへ薬液滴下に用いる浸漬治具の説明図である。
【図６】本発明の実施形態に係る中空型マイクロニードルへ薬液滴下に用いる浸漬治具の説明図である。
【図７】本発明の実施形態に係る中空型マイクロニードルへ薬液滴下に用いる浸漬治具の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明に係る、薬剤が充填後凍結乾燥された中空型マイクロニードルの製造方法及び製造された中空型マイクロニードルの実施形態について説明する。
当然のことながら、本発明の薬剤が充填後凍結乾燥された中空型マイクロニードルの製造方法は下記実施の形態に限定されず、各工程において公知の資料から類推できる他の製造方法をも含むものとする。
【００１８】
本実施形態で製造される中空型マイクロニードルは、例えば図１に記載の構造となっている。
図１（ａ）に示す中空型マイクロニードルは、基板の一方の面から針状の針状部が突出し、その針状部に先端部側から基板側に延びる有底の孔が形成されている。孔には、凍結乾燥状態の薬剤が充填されている。
【００１９】
図１（ｂ）に示す中空型マイクロニードルは、第１の基板の一方の面から針状の針状部が突出していると共に針状部を軸方向に貫通する貫通孔が形成されている。その第１の基板の他面に第２の基板が貼り合わされて貫通孔の一方の開口が閉塞されることで、孔が有底孔となっている。
このような中空型マイクロニードルは、薬液を非貫通の有底の孔に注入し凍結乾燥品を得ることで、穿刺したとき、体液から染み出た薬液が有底の孔に固定化された薬剤を溶かすことによって徐放性を持たせる。
ここで、以下の説明では、針状部に形成する孔が有底の孔の場合を例示するが、針状部と基板を共に貫通する貫通孔（基板側の径が、針状部先端側に比べて小径であることが好ましい）であっても良い。
以下、本実施形態の中空型マイクロニードルの製造方法の例について説明する。
【００２０】
＜マイクロニードルの構造体の作製工程例の１＞  
この工程例は、図１（ａ）のマイクロニードルの構造体の作製例に関する。
まず、基材１０１として厚さ７００μｍの単結晶シリコンウェハを準備し、中空の流路となる有底孔１０３をあける。有底孔１０３の形成は、レーザー加工を用い、その方法としては、板状の加工対象物にレーザー光を集光させて加工対象物の内部に改質領域を形成する。その後、この加工対象物にエッチング処理を施して改質領域を除去することにより、厚さ方向に沿った有底孔１０３がＳｉウェハ上に形成される。ここで、当該工程は、ウェットエッチング、ドライエッチング、レーザー加工、機械加工等の各種の公知技術を用いることができる。
【００２１】
上記の作製方法については、特に制限は無い。マイクロニードルの作製方法は、公知の手法を用いて良く、機械加工もしくは半導体製造に用いられる微細加工を用いることができる。このとき、基材としては、材質は特に制限されず、加工適性や、材料の入手容易性などから材質を選択することが望ましい。例えば、ＳＵＳやアルミ、チタン等の金属材料、アルミナ、窒化アルミニウム、マシナブルセラミックスなどのセラミックス、またＳｉやガラスなどの硬脆性材料、アクリルやポリアセタールなどの有機材料が挙げられる。作製するマイクロニードルの形状に応じて適宜公知の製造方法を用いて良い。例えば、微細加工技術によって所望するパターン形状を有するマイクロニードル原版を作製しても良い。ここで、微細加工技術としては、例えば、リソグラフィ法、ウェットエッチング法、ドライエッチング法、サンドブラスト法、レーザー加工法、精密機械加工法などを用いてもよい。原版材料についての制限は特に無く、微細加工に用いる方法に適する材料を選択することができる。
【００２２】
次に、当該有底孔１０３の中心部が流路となるようにダイヤモンド刃を有する切削加工装置を用い、Ｓｉ基板上に１個の中空型針状部１０２を研削する。このとき得られる中空型マイクロニードル１０は、図２（ａ）の場合、針状部１０２が、底面から立設した四角柱形状を本体とし、その先端を斜めに切断して先端部をとがらしている。図２（ｂ）の場合は円柱形状を本体とする場合である。針状部は、例えば、先端角が２０°、高さが約５００μｍ、底面の一辺の幅が２００μｍとなる。このとき針状部１０２を複数個作成してもよい。
【００２３】
また原版から複製版を転写してマイクロニードル１０を作製してもよい。熱硬化型シリコーン樹脂溶液を当該原版に垂らし、転写させる基材であるＳｉ基板を乗せ、１００℃で１０分間加熱し、ＰＤＭＳ溶液を硬化してもよい。その後、マイクロニードル原版を完全に除去することにより転写させた複製版から剥離を行ない、１９０℃で１時間加熱しキュアすることで、ＰＤＭＳから成るマイクロニードル複製版が得られる。
【００２４】
複製版を用いてマイクロニードル１０を作製するには、熱圧縮成形を用いる。例えば融点が２３０℃と高い材料であるＰＧＡを用いて、マイクロニードル材料であるＰＧＡをマイクロニードル複製版上に配置し、２８０℃で加熱し当該材料を溶融し、金属の熱プレス機で溶融しＰＧＡを圧縮して成形することができる。
その後、熱圧縮中にマイクロニードル複製版と成形材料であるＰＧＡを室温まで急速に冷却してマイクロニードル複製版からのＰＧＡの離型を促進する。このとき、ＰＧＡはマイクロニードル複製版から容易に剥離され、ピンセットでマイクロニードル材料であるＰＧＡの端部を摘んでマイクロニードル複製版から容易に剥離することが出来る、熱圧縮成形により得られたマイクロニードルは位置合わせ後、レーザー加工するにより中空の有底孔１０３が得られる。
【００２５】
＜マイクロニードルの構造体の作製工程例の２＞  
この工程例は、図１（ｂ）のマイクロニードルの構造体の作製例に関する。
マイクロニードル部基板（第１の基板）がＳｉ製の場合は、陽極接合法を用いて貫通孔１０５を形成した中空マイクロニードル１０と、もう一方の基板（第２の基板）のガラス基板１０６を貼り合わせて作製することができる。即ちソーダガラスと当該マイクロニードルの界面に載せ、ガラスとＳｉとを接触させ、３００〜４５０℃程度に加熱しつつ、Ｓｉを陽極側として５００Ｖの高電圧を印加し、ガラス内の易移動陽イオンを陰極側に移動させ、ガラスとシリコンとの界面において静電的かつ化学的に強固な結合を生じさせて両者を接合貼り合わせ、中空マイクロニードル１０とする。
【００２６】
またポリエーテルエーテルケトン製樹脂と当該マイクロニードル裏面の界面に熱可塑性樹脂を含む接着剤等を用いてもよい。
以上により、非貫通の中空の流路を有するマイクロニードル１０（図１（ｂ））が得られる。
ここで、以下説明では、貫通孔１０５と有底孔１０３とを共に有底孔１０３と記載して説明する。貫通孔１０５も第２の基板を貼り合わせることで有底の孔となる。
【００２７】
＜薬剤充填工程＞
薬剤充填は、ノズル５０などを用いて有底孔１０３にのみ薬剤が溶媒に溶解又は分散された薬液３０が滴下（充填）されることが望ましい。そのためには、針状部１０２以外に撥水処理もしくは、針状部１０２のみが薬液に接触できる浸漬治具４０を用いる（図５参照）。
【００２８】
前記撥水処理としては、プラズマ処理による超撥水化、フッ素系表面改質剤による超撥水化、化学吸着法による超撥水化、ゾル−ゲル法による超撥水化、フッ素系グラフト共重合体・フッ素系樹脂微粒子添加電着塗装による超撥水処理、シランカップリング剤による撥水化、アクリルシリコーン／シリカ複合膜による超撥水化、化学吸着単分子膜による撥水化、イオンビーム改質による超撥水化などの技術や、飽和フルオロアルキル基、アルキルシリル基、フルオロアシル基、長鎖アルキル基などの官能基をもつ化学物質をコーティングする等の技術があり種々の試料に対応して選択され用いることが出来る。
【００２９】
遠心力を用いて有底孔１０３への薬液の充填は、図３に示すように、針状部を上向きにして、容器中の薬液に浸漬させて設置、あるいは薬液３０を滴下し、その後、遠心分離機２０のスウィングローターに設置した後、必要に応じた回転数で回転させた後、マイクロニードルを容器から引き上げ、取り出すことで、有底孔１０３へ薬液を充填することが出来る。また浸漬治具４０自体を、図７に示すように、容器の様に加工し用いてもよい。容器中の薬液に浸漬させる際に、浸漬治具４０をマイクロニードルに取り付けても良い。
【００３０】
また、浸漬治具４０としては、図５に示すような、針状構造体以外を覆うようなカバー部材４０１及び基台４０２を用いることが出来る。カバー部材４０１及び基台４０２としては、樹脂製、ゴム製、ガラス製等の平板や粘着性テープ等のシール材料を用いることができる。例えば粘着性テープで開放部を塞いで撥水部をカバーする方法、開放部の形状に合わせたＯリング４０３を固定した板材を密着させて密閉する方法、粘土様の物質で開放部に蓋をして密閉する方法などを好適に用いることができる。
【００３１】
図４は、マイクロニードル１０にカバー部材４０１を装着した浸漬治具に対し、糖類を含む薬液を注入する際の一態様を示す浸漬治具の凹部付近の断面図である。浸漬治具の凹部の空間を形成させ、カバーを装着した状態を示す。図４の状態で浸漬治具を旋回回転することで、遠心力を利用して薬液３０を攪拌し、マイクロニードルの下部まで薬液を浸漬することができる。
【００３２】
薬液３０が注入された浸漬治具４０を旋回回転させる際、浸漬治具を旋回回転させる遠心加速度、回転数、回転半径にあわせる。
図４に例示する浸漬治具は、凹部の全体を覆うカバー部材４０１にマイクロニードル１０が装着されて薬液３０が凹部に浸漬される例である。具体的には、図４と図５に示す浸漬治具４０に平板状のカバー部材４０１がＯリング４０３を介して装着されたものである。図５は凹部が１個の場合、図６は凹部を複数個有する場合の一例であり、図５は凹部の断面を示している。
【００３３】
薬液３０は、薬剤が水等の溶媒に溶解または分散させたものを使用することができる。ここで、薬剤としては、薬理活性物質、あるいは、化粧品組成物を用いることができる。薬剤は、使用者の用途に応じて適宜選択される。薬理活性物質としては、インフルエンザワクチン等の菌体、癌患者などが用いる痛止め薬、インスリン、生物製剤、遺伝子治療薬、注射剤、経口剤、および、皮膚適用製剤をあげることができる。菌体とは、病原性を持つウイルス、細菌、微生物の毒性を弱めたもの、もしくは化学処理したものを示し、ワクチンである。
【００３４】
薬液には、薬剤のほかに安定化剤を含有させることができる。特に、薬剤として菌体を用いた場合、糖類を薬液に加えることにより薬剤を安定化することができる。前記薬液３０に添加する糖類としては、例えばイノシトール、ガラクトース、キシロース、グルコース、フルクトース、マンノース、リボース等の単糖類、スクロース、セロビオース、トレハロース、マルトース、ラクトース等の二糖類、メレジトース、ラフィノース等の三糖類、シクロデキストリン等のオリゴ糖、デキストリン等の多糖類、キシリトール、ソルビトール、マルチトール、マンニトール等の糖アルコール等が挙げられる。これらの糖類の中では単糖類又は二糖類が好ましく、中でもグルコース、スクロース、トレハロース、フルクトース、ラクトースおよびこれらの混合物から選ばれる糖類が入手性等の点からより好ましい。
【００３５】
＜薬剤乾燥工程＞
有底孔１０３に充填した薬液は、例えば液体窒素等で急速冷凍させ、その後、減圧しながら乾燥させる。この場合、試料温度を時間の経過とともに上昇させながら乾燥させると乾燥時間を短くすることができるため、試料温度を時間の経過とともに上昇させながら乾燥させるのが好ましい。例えばマイクロニードルの針状部を上向きにした状態で、凍結乾燥機に入れ、乾燥させる。乾燥は、１．０×１０−２Ｔｏｒｒの減圧下で行なう。このときの温度は、−４０℃から３時間ごとに５℃ずつ５℃まで温度を上昇させ、５℃から、３時間ごとに１０℃ずつ２５℃まで温度を上昇させる。次に、凍結乾燥機から乾燥物を取り出し、シリカゲルを入れたデシケーターに移し、７日間保存し、完全脱水して薬液（薬剤）が充填されたマイクロニードル１０を得る。
【００３６】
得られたマイクロニードルは、指又は専用の器具（アプリケータ）を用いて、皮膚に穿刺される。そして、一定時間経過後、マイクロニードルは皮膚から取り除かれる。専用の器具であるアプリケータは、マイクロニードルの穿刺位置及び皮膚に対する角度を固定するための補助器具であり、マイクロニードルの形状に応じて作製される。アプリケータを用いることにより、マイクロニードルの使用者は穿刺を容易に特定できる。また、アプリケータを用いることにより、使用者がマイクロニードルを皮膚に穿刺する際に、穿刺する針状体の針部を皮膚に対して垂直方向から穿刺することを容易におこなうことができる。
【００３７】
以上より、本発明の薬剤が充填後凍結乾燥された中空型マイクロニードルの製造を実施することが出来る。なお、本発明の薬剤が充填後凍結乾燥された中空型マイクロニードルならびに薬剤が充填後凍結乾燥された中空型マイクロニードルの製造方法は上記実施の形態に限定されず、各工程において類推することのできる他の公知の方法をも含むものとする。
【００３８】
以上のようにして製造された中空型マイクロニードルは、薬剤の溶解液導入に係る夾雑物の混入を防止することができると共に、使用現場においては、単純な押圧操作により速やかに痛みも無く経皮に薬剤を投与可能なので、臨床医療現場での利用可能性は極めて大きい。また医療のみならず、微細な中空型マイクロニードルを必要とする様々な分野に利用可能であり、例えば、ＭＥＭＳデバイス、光学部材、創薬、化粧品、美容用途などに用いる微細な薬剤が充填後凍結乾燥された中空型マイクロニードルの製造方法としても有用である。
【符号の説明】
【００３９】
１０  マイクロニードル
１０１  基板
１０２  針状部
１０３  孔
２０  遠心機
２０１  回転軸
３０  薬液
４０  浸漬治具
４０１  浸漬治具カバー部
４０２  浸漬治具支持体
４０３  Ｏリング
５０  ノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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