(57)【要約】【課題】ラインヘッドのベースプレートの面性状や位置決めピンの直径寸法、取付位置、ベースプレートに対する直角度の影響を受けない、高精度なノズル孔の位置決めを行うラインヘッドの製造方法を提供すること。【解決手段】インクが吐出される複数のノズル孔が形成された複数のノズルヘッドを、複数のノズルヘッド毎にサブプレート部材に組み合わされ、サブプレートをベースプレートに位置合わせされ固定されるラインヘッドの組み立て方法であり、組み立てたラインヘッドに対して、ノズルヘッドの位置ずれであるアライメント誤差を求めるアライメント検査工程と、アライメント誤差が仕様を外れているノズルヘッドは、サブプレートとノズルヘッドは組み合わされた状態でベースプレートから取外し、サブプレートの位置に対して、アライメント誤差を減算してノズルヘッドの位置を修正するアライメント補正工程と、を含むラインヘッド組み立て方法を用いる。【選択図】  図３
2016002672.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクが吐出される複数のノズル孔が形成された複数のノズルヘッドを、前記複数のノズルヘッド毎にサブプレート部材に組み合わされ、前記サブプレートをベースプレートに位置合わせされ固定されるラインヘッドの組み立て方法であって、
組み立てた前記ラインヘッドに対して、前記ノズルヘッドの位置ずれであるアライメント誤差を求めるアライメント検査工程と、
前記アライメント誤差が仕様を外れている前記ノズルヘッドは、前記サブプレートと前記ノズルヘッドは組み合わされた状態で前記ベースプレートから取外し、前記サブプレートの位置に対して、前記アライメント誤差を減算して前記ノズルヘッドの位置を修正するアライメント補正工程と、
を備えることを特徴とするラインヘッドの組み立て方法。
【請求項２】
前記アライメント検査工程で求めたアライメント誤差が仕様内に収まるまで、前記アライメント補正工程と、前記アライメント検査工程と、を繰り返すことを特徴とする請求項１に記載のラインヘッドの組み立て方法。
【請求項３】
前記サブプレートと前記ノズルヘッドとを組み立てるノズルヘッド仮組立工程と、
アライメントマークが形成された透明なチェックプレートを、前記ノズルヘッドに対向して配置し、前記サブプレートに位置を合わせて固定するアライメント準備工程と、
前記チェックプレート上の前記アライメントマークを基準にして、前記サブプレートと前記ノズルヘッドとの位置を修正し再固定するノズルヘッドアライメント工程と、
前記サブプレートと前記ベースプレートとを位置合わせて固定するラインヘッド組立工程と、
前記ラインヘッド組立工程後の前記ラインヘッドを、前記アライメント検査工程に投入する投入工程と、
を含むことを特徴とする請求項１記載のラインヘッドの組み立て方法。
【請求項４】
前記アライメント検査工程の前記アライメント誤差をラインヘッドの番号とノズルヘッド取付位置に対応させて記録し、
前記ノズルヘッドの交換時には、交換用の異なるノズルヘッドに対して、前記アライメント補正工程のアライメントにおいて、前記アライメント誤差を減算することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のラインヘッドの組み立て方法。
【請求項５】
前記ノズルヘッドアライメント工程あるいは前記アライメント補正工程でのアライメント誤差であるアライメント補正誤差量と、
前記アライメント検査工程の前記アライメント誤差と、
をラインヘッドの番号とノズルヘッド取付位置に対応させて記録し、
前記ノズルヘッドの交換時には、交換用の異なるノズルヘッドに対して、前記ノズルヘッドアライメント工程または前記アライメント補正工程のアライメント目標値として、前記記録された前記アライメント補正誤差量から前記アライメント誤差を減算した値にすることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のラインヘッドの組み立て方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ラインヘッドの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、インクジェットプリンタやインクジェットプロッタなどの、インクジェット記録方式を利用したインクジェット装置が、一般消費者向けの小型プリンタだけでなく、例えば、電子回路の形成や液晶ディスプレイ用のカラーフィルターの製造、有機ＥＬディスプレイの製造といった工業用途にも、広く利用されている。
【０００３】
工業用途のインクジェット装置には、印字速度の高速化が求められている。そこで、小さなノズルヘッドを複数の走査方向に移動させながら記録を行なうのではなく、ノズル孔が記録媒体の全幅にわたって複数配列された大きなノズルヘッドを用い、主走査方向にのみ移動させ、印字するインクジェット装置が知られている。
【０００４】
このようなインクジェット装置において、記録媒体の全幅をカバーできるノズルヘッドが必要になる。しかし、このような長尺のノズルヘッドを一括で作製することは製造コストが高くなるため、分割して作製されている。
【０００５】
具体的には、複数のノズルヘッドを準備し、ベースプレート上に位置合わせをした後、組み立て、１つのラインヘッドとして作製されている。ここで、各ノズルヘッドの位置合わせが正確でないと、各ノズルヘッド間でインク吐出の位置や方向が変化して、例えば、印字物にスジが発生するなどの不具合が生じることがあった。
【０００６】
そこで、ベースプレートに複数のノズルヘッドを組み込む際に、ベースプレートに設けた位置決めピンに、各ノズルヘッドの対応する基準位置を当接させておき、各ノズルヘッドをベースプレートにネジ止めする方法が提案されている（例えば、特許文献１。）。
【０００７】
図９は、特許文献１に記載された従来のラインヘッドを用いたインクジェット装置の斜視図、図１０（ａ）、図１０（ｂ）は、特許文献１に記載されたノズルヘッドの位置決めの構造を示した部分斜視図である。図１０（ｃ）は、図１０（ｂ）の部分上面図である。図１０（ｄ）は、図１０（ｂ）の部分下面図である。
【０００８】
図９に示すように、ラインヘッド１０４は、ベースプレート１０３にインクが吐出される複数のノズル孔を備えたノズルヘッド１０２が固定されている。
【０００９】
インクジェット装置１０１には、ラインヘッド１０４が組み付けられるとともに、ローラ１１２が備わり、ローラ１１２を回転させ、印刷ロール紙などの記録媒体１１１を搬送する。
【００１０】
つまり、ノズルヘッド１０２のノズル孔からインクを吐出させることにより、記録媒体１１１に画像や文字などを記録させることができる。
【００１１】
ラインヘッド１０４では、ノズルヘッド１０２を、画質低下を及ぼさないように高い位置精度でベースプレート１０３に組み込む必要がある。
【００１２】
図１０（ａ）〜図１０（ｄ）に示すように、ノズルヘッド１０２には、インクを吐出する複数のノズル孔１２０ａが長方形のノズル形成領域１２０ｂに形成されたノズル面１２０を備えており、ノズル面１２０がベースプレート１０３の主面に平行となるようにラインヘッド１０４（図９）に組み込まれている。
【００１３】
ノズルヘッド１０２は、位置決め基準としてＶ字状の切欠部を設けたアライメントプレート１２２ａと直線部を有する凹部を設けたアライメントプレート１２２ｂを有しており、２つの位置決めピン１２１ａ、１２１ｂに当接させることによって、位置決めする。
【００１４】
つまり、ノズルヘッド１０２は、ノズル形成領域１２０ｂの短辺より外側に、それぞれベースプレート１０３の主面から垂直に設けられた２つの位置決めピン１２１ａ、１２１ｂに当接しており、一方の位置決めピン１２１ａは、ベースプレート１０３の主面と平行な面内でノズルヘッド１０２が回転する中心を定め、他方の位置決めピン１２１ｂは、ノズルヘッド１０２の回転を規制するものである。
【００１５】
そして、ノズルヘッド１０２は、ノズル形成領域１２０ｂの位置決めピン１２１ａ側の短辺の外側と位置決めピン１２１ａとの当接部との間でベースプレート１０３にネジ１２５ａでネジ止めされており、ノズル形成領域１２０ｂの位置決めピン１２１ｂ側の短辺の外側と位置決めピン１２１ｂとの当接部との間でベースプレート１０３にネジ１２５ｂでネジ止めされている。
【００１６】
これにより、位置決めピン１２１ａ、１２１ｂに対して、ノズルヘッド１０２の位置を規制し、位置決めピン１２１ａ、１２１ｂに対するノズルヘッド１０２に形成されたノズル孔１２０ａを位置決めし、ベースプレート１０３に対してノズル孔１２０ａを精度よく位置決めするものであった。
【００１７】
ノズルヘッド１０２とベースプレート１０３の固定は、ネジ１２５ａ、１２５ｂを、それぞれ貫通孔１２３ａ、１２３ｂを通し、ベースプレート１０３のネジ孔１２４ａ、１２４ｂに取り付けることで行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１８】
【特許文献１】特許第４９１２２２２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
しかしながら、従来の構成の図９では、ノズルヘッド１０２と接するベースプレート１０３の主面のウネリ等の面性状の影響で、ノズルヘッド１０２がベースプレート１０３の理想基準面に対して若干の傾斜を有して取付けられ、ノズル孔１２０ａの位置が所望の位置からずれるという問題が発生した。
【００２０】
また、図１０（ａ）〜図１０（ｄ）では、複数のノズルヘッド１０２に対応する複数の位置決めピン１２１ａ、１２１ｂの直径寸法のばらつきがある。また、複数のノズルヘッド１０２に対応する複数の位置決めピン１２１ａ、１２１ｂのベースプレート１０３上での取付位置精度や、複数の位置決めピン１２１ａ、１２１ｂのベースプレート１０３に対する直角度のばらつきの影響もある。これらを受けて、ノズルヘッド１０２のノズル孔１２０ａの位置が所望の位置からずれるという問題が発生した。高精細な印刷のために、ミクロンオーダーのノズル孔１２０ａの位置決め精度が要求される場合、上記課題を解決する必要があった。
【００２１】
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、ラインヘッドのベースプレートの面性状や位置決めピンの直径寸法、取付位置、ベースプレートに対する直角度の影響を受けないより高精度なノズル孔の位置決めを行うラインヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
上記目的を達成するために、インクが吐出される複数のノズル孔が形成された複数のノズルヘッドを、複数のノズルヘッド毎にサブプレート部材に組み合わされ、サブプレートをベースプレートに位置合わせされ固定されるラインヘッドの組み立て方法であって、組み立てたラインヘッドに対して、ノズルヘッドの位置ずれであるアライメント誤差を求めるアライメント検査工程と、アライメント誤差が仕様を外れているノズルヘッドは、サブプレートとノズルヘッドは組み合わされた状態でベースプレートから取外し、サブプレートの位置に対して、アライメント誤差を減算してノズルヘッドの位置を修正するアライメント補正工程と、を備えるラインヘッドの組み立て方法を用いる。
【発明の効果】
【００２３】
以上のように、本発明のラインヘッドの製造方法によれば、まず、アライメント検査工程において、ラインヘッド組立状態で各ノズルヘッドのアライメント誤差が正確に測定する。このときのアライメント誤差には、ベースプレートの面性状やベースプレートとサブプレートの位置決め基準の影響を含んでいる。
【００２４】
この発明では、アライメント補正工程を設けることで、このアライメント誤差を逆補正するので、ベースプレートの面性状やベースプレートとサブプレートの位置決め基準の影響をキャンセルし、高精度なノズル孔の位置決めを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の一実施形態におけるラインヘッドを備えたインクジェット装置の概略構成図
【図２】（ａ）〜（ｂ）本発明の一実施形態におけるラインヘッドの概略構成図
【図３】（ａ）〜（ｄ）本発明の実施の形態１におけるラインヘッドの製造方法を示す図
【図４】（ａ）〜（ｃ）本発明の一実施形態におけるサブプレートとアライメントプレートの一般的かつ高精度な位置合わせ方法の例を示す図
【図５】本発明の一実施形態におけるサブプレートとベースプレートの一般的かつ高精度な位置合わせ方法の例を示す図
【図６】（ａ）〜（ｇ）本発明の実施の形態２におけるラインヘッドの製造方法を示す図
【図７】本発明の実施の形態３におけるラインヘッドの製造方法を示す図
【図８】本発明の実施の形態４におけるラインヘッドの製造方法を示す図
【図９】特許文献１に記載された従来のラインヘッドを用いたインクジェット装置の斜視図
【図１０】（ａ）〜（ｄ）特許文献１に記載されたノズルヘッドの位置決めの構造を示した図
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
まず、本発明の一実施形態における製造方法の対象とするラインヘッドの構成を説明する。図１は、本発明の一実施形態によるラインヘッドを備えたインクジェット装置の概略構成図である。図２（ａ）は、本発明の一実施形態によるラインヘッドの概略斜視図であり、図２（ｂ）は、本発明の一実施形態によるラインヘッドにおけるノズルヘッドの取り付け断面図である。
【００２７】
本発明におけるラインヘッド４は、平板上のベースプレート３にインクが吐出される複数のノズル孔２０ａを備えたノズルヘッド２がサブプレート５を介して固定されている。ノズルヘッド２とサブプレート５は、ボルト６（図２（ｂ））で締結されている。
【００２８】
サブプレート５は、ベースプレート３にボルト７で締結されている。このとき、ベースプレート３とサブプレート５は相互に位置合わせするために位置決め基準を有している。
【００２９】
たとえば、ベースプレート３には、基準穴８、サブプレート５にはサブプレート５の基準穴９を設けており、この基準穴を位置合わせすることによって、相対位置決めの再現性を確保することができる。
【００３０】
インクジェット装置１には、ラインヘッド４が組み付けられるとともに、ローラ１２（図１）が備わり、ローラ１２を回転させ、印刷ロール紙などの記録媒体１１を搬送する。つまり、ラインヘッド４に対して記録媒体１１を相対的に移動させながら、ノズルヘッド２のノズル孔２０ａからインクを吐出させることにより、記録媒体１１に画像や文字などを記録させることができる。
【００３１】
図１に示したラインヘッド４には、１０個のノズルヘッド２がサブプレート５を介して固定されている。記録媒体１１の搬送方向（移動方向）に対して角度をつけてノズルヘッド２が並べられているので、記録媒体１１の搬送と直角方向にはノズル孔２０ａ（図６（ａ））の加工ピッチより、小さなピッチで、つまり、高密度に記録媒体１１に記録させることができる。
【００３２】
当然のことながら、ラインヘッド４において１０個のノズルヘッド２のノズル孔２０ａの位置精度が記録品質および高精細化の上で重要となる。
【００３３】
（実施の形態１）
図３（ａ）〜図３（ｄ）は、実施の形態１におけるラインヘッドの製造方法を示す図である。図３（ａ）は、実施の形態１におけるラインヘッドの製造方法において、アライメント検査工程を示す図である。図３（ｂ）は、その要部拡大図である。図３（ｃ）は、アライメント補正工程を示す図である。図３（ｄ）は、アライメント補正工程を示す断面図である。図３（ａ）〜図３（ｄ）において、図１、図２と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。
【００３４】
＜アライメント検査工程＞
図３（ａ）および図３（ｂ）において、ラインヘッド用にアライメントマーク３０ａが形成された透明なチェックプレート３０を用意し、前記チェックプレート３０と組み立てたラインヘッド４との位置関係を固定した状態にする。なお、チェックプレート３０と、ラインヘッド４とは、正確に位置合わせできる機構が別途ある。このため、アライメントマーク３０ａを基準とすることで、ノズルヘッド２のズレがわかる。
【００３５】
その上で、チェックプレート３０と前記ノズルヘッド２とを対向させて撮像手段３１により透明なチェックプレート３０を通してノズルヘッド２を観測する。チェックプレート３０のアライメントマーク３０ａを基準にしてノズルヘッド２の所定位置（たとえばノズル孔２０ａやアライメント用に形成されたマークなど）のずれ量を測定し、アライメント誤差とする。このアライメント誤差を測定するとともに、仕様から外れているノズルヘッド２を判定するアライメント検査工程を設ける。このときのノズルヘッド２の２箇所の所定位置のアライメント誤差を（ΔＸ１，ΔＹ１），（ΔＸ２，ΔＹ２）とする。
【００３６】
アライメント誤差が仕様から外れているノズルヘッド２は、サブプレート５とノズルヘッド２は組み合わされたままの状態で、ボルト７を緩めて前記ベースプレート３から取外す。
【００３７】
＜アライメント補正工程＞
次に、図３（ｃ）および図３（ｄ）を用いて、アライメント補正工程を説明する。図３（ｃ）および図３（ｄ）において、単一のノズルヘッド２用にアライメントマーク４０ａが形成された透明なアライメントプレート４０を用意する。アライメントプレート４０は、ホルダ４１に固定されており、ホルダ４１には、サブプレート５の位置決め基準である基準穴９と、位置合わせするための基準穴４２を設けている。
【００３８】
ここで、基準穴４２対してアライメントマーク４０ａが所定の位置になるように、アライメントプレート４０はホルダ４１に固定されている。
【００３９】
前のアライメント検査工程で、アライメント誤差が仕様から外れていると判定されたサブプレート５とノズルヘッド２のセットは、ホルダ４１の基準穴４２とサブプレート５の基準穴９を位置合わせした上で、ボルト４３によってホルダ４１と締結する。
【００４０】
その上で、前記アライメントプレート４０と前記ノズルヘッド２とを対向させて撮像手段４４により透明なアライメントプレート４０を通してノズルヘッド２を観測する。アライメントプレート４０のアライメントマーク４０ａを基準にしてノズルヘッド２の所定位置（たとえばノズル孔２０ａやアライメント用に形成されたマークなど）のずれ量を測定し、初期誤差とする。
【００４１】
このときの２箇所の初期誤差を（Δｘ１，Δｙ１），（Δｘ２，Δｙ２）とする。
【００４２】
さらに、ボルト６を緩めてサブプレート５に対してノズルヘッド２が移動可能な状態にした上で、撮像手段４４により透明なアライメントプレート４０を通してノズルヘッド２を観測する。アライメントプレート４０のアライメントマーク４０ａを基準にしてノズルヘッド２の所定位置（たとえばノズル孔２０ａやアライメント用に形成されたマークなど）のずれ量を、前記初期誤差から前記アライメント誤差を減算した値を目標値として、サブプレート５に対してノズルヘッド２を移動させ、ボルト６を締め付けて再固定する。つまり、アライメントマーク４０ａを基準にしたノズルヘッド２の所定位置２箇所の移動目標位置を（Δｕ１，Δｖ１），（Δｕ２，Δｖ２）と置くと、以下の式１、２となる。
【００４３】
（Δｕ１，Δｖ１）＝（Δｘ１，Δｙ１）−（ΔＸ１，ΔＹ１）・・・（式１）
（Δｕ２，Δｖ２）＝（Δｘ２，Δｙ２）−（ΔＸ２，ΔＹ２）・・・（式２）
これらの値を小さくなるように、ノズルヘッド２を再配置するアライメント補正工程を設ける。
【００４４】
＜効果＞
かかる構成によれば、（１）アライメント検査工程（図３（ａ）、図３（ｂ））では、ノズルヘッド２がラインヘッド４のベースプレート３に実際に組み付けられた状態で、アライメントマーク３０ａを基準としたノズルヘッド２のずれ量、つまり、アライメント誤差を取得することができる。
【００４５】
（２）アライメント補正工程（図３（ｃ）、図３（ｄ））では、得られたアライメント誤差分を減算してノズルヘッド２の位置を修正することができる。これらの工程を経ることにより、ベースプレート３のうねり等の面性状やベースプレート３とサブプレート５の位置決め基準の影響を含めた上で、アライメント誤差を取得し補正できるので、ベースプレート３の面性状やベースプレート３とサブプレート５の位置決め基準の影響をキャンセルする高精度なノズル孔２０ａの位置決めを行うことができる。
【００４６】
＜位置合わせ方法の例＞
なお、ここで、図４（ａ）〜図４（ｃ）で、サブプレート５の位置決め基準である基準穴９とホルダ４１ひいてはアライメントプレート４０の位置決め基準である基準穴４２の一般的で高精度かつ簡易な位置合わせ方法の例を示す。説明しない要素は、図３（ｃ）図３（ｄ）と同じである。
【００４７】
図４（ａ）は、コレット治具５０によるサブプレート５とホルダ４１の位置合わせを示す断面図、図４（ｂ）は、コレット治具５０の斜視図、図４（ｃ）はコレット治具５０の断面図である。
【００４８】
コレット治具５０において、コレット５１は外周側が略円筒形状で内周側がテーパー形状を有するスリ割り付のコレットである。テーパーコーン５２は、外周側はテーパー形状でコレット５１の内周側テーパーと接触しており、テーパーコーン５２の内周側は、めねじが施されている。プルボルト５３は、おねじが施されており、テーパーコーン５２の内周側とネジ結合されている。
【００４９】
図４（ｃ）において、プルボルト５３を回転させることによりテーパーコーン５２は引き上げられ、コレット５１は拡径される。この機構を用いることによって、図４（ａ）に示すように、サブプレート５の位置決め基準である基準穴９と、ホルダ４１、つまり、アライメントプレート４０の位置決め基準である基準穴４２の高精度かつ簡易な位置合わせが可能となる。
【００５０】
図４（ａ）では、サブプレート５とホルダ４１の位置合わせであった。図５では、コレット治具５０を用いて、ベースプレート３とサブプレート５との位置合わせを示す。ベースプレート３の位置決め基準である基準穴８と、サブプレート５の位置決め基準である基準穴９と、を位置合わせしている様子を示す。説明しない要素は図２（ａ）、図２（ｂ）と同じである。図４同様に、位置合わせができる。
【００５１】
（実施の形態２）
図６（ａ）〜図６（ｇ）は、本発明の実施の形態２におけるラインヘッドの製造方法を示す図である。
【００５２】
図６（ａ）は、実施の形態２におけるラインヘッドの製造方法において、ノズルヘッド仮組立工程を示す断面図である。図６（ｂ）は、本発明の実施の形態２におけるラインヘッドの製造方法において、アライメント準備工程を示す図である。図６（ｃ）は、アライメント準備工程を示す断面図である。図６（ｄ）は、本発明の実施の形態２におけるラインヘッドの製造方法において、ノズルヘッドアライメント工程を示す図である。図６（ｅ）は、ノズルヘッドアライメント工程を示す断面図である。図６（ｆ）は、本発明の実施の形態２におけるラインヘッドの製造方法において、ラインヘッド組立工程を示す図である。図６（ｇ）は、ラインヘッド組立工程を示す断面図である。
【００５３】
図６（ａ）〜図６（ｇ）において、図１、図２、図３と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。
【００５４】
＜ノズルヘッド仮組立工程＞
図６（ａ）は、サブプレート５にノズルヘッド２をボルト６で固定するノズルヘッド仮組立工程を示している。
【００５５】
＜アライメント準備工程＞
図６（ｂ）および図６（ｃ）において、単一のノズルヘッド２用にアライメントマーク４０ａが形成された透明なアライメントプレート４０を用意する。アライメントプレート４０は、ホルダ４１に固定されている。ホルダ４１には、サブプレート５の位置決め基準である基準穴９と位置合わせするための基準穴４２を設けている。
【００５６】
ここで、基準穴４２対してアライメントマーク４０ａが所定の位置になるように、アライメントプレート４０は、ホルダ４１に固定されている。
【００５７】
ノズルヘッド仮組立工程で組み立てられたサブプレート５と、ノズルヘッド２とのセットは、ホルダ４１の基準穴４２とサブプレート５の基準穴９を位置合わせした上で、ボルト４３によってホルダ４１と締結し、アライメント準備工程を完了する。
【００５８】
＜ノズルヘッドアライメント工程＞
図６（ｄ）および図６（ｅ）において、アライメント準備工程を経て、かつ、ボルト６を緩めてサブプレート５に対してノズルヘッド２が移動可能な状態にした上で、アライメントプレート４０とノズルヘッド２とを対向させて撮像手段４４により透明なアライメントプレート４０を通してノズルヘッド２を観測する。
【００５９】
アライメントプレート４０のアライメントマーク４０ａを基準にしてノズルヘッド２の所定位置（たとえばノズル孔２０ａやアライメント用に形成されたマークなど）のずれ量を、０を目標値として、サブプレート５に対してノズルヘッド２を移動させ、ボルト６を締め付けて再固定するノズルヘッドアライメント工程を設ける。
【００６０】
＜ラインヘッド組立工程＞
図６（ｆ）および図６（ｇ）において、ベースプレート３とサブプレート５は相互に位置合わせするために位置決め基準を有しており、ベースプレート３には、基準穴８、サブプレート５にはサブプレートの基準穴９を設けている。この基準穴を位置合わせして相対位置決めの再現性を確保した上で、サブプレート５をベースプレート３にボルト７で締結するラインヘッド組立工程を設ける。
【００６１】
ラインヘッド組立工程を経たラインヘッドは、本発明の実施の形態１におけるアライメント検査工程に投入される。
【００６２】
＜効果＞
かかる構成によれば、（１）ヘッドなどの構成要素でない、第３者であるアライメントプレート４０のアライメントマーク４０ａを基準にして、ノズルヘッド２とサブプレート５を位置合わせしていることから、それぞれの変形などによる位置合わせ誤差を少なくできる。
【００６３】
（２）ノズルヘッド２を、サブプレート５を介して、ベースプレート３と、位置合わせしている。サブプレート５を介することで、それぞれに同時に力がかからず、位置合わせが正確にできる。
【００６４】
（実施の形態３）
図７は、本発明の実施の形態３におけるラインヘッドの製造方法を示す工程フロー図である。実施の形態１と２とを組み合わせたものである。実施の形態１，２で説明したので簡単に説明する。
【００６５】
＜ノズルヘッド仮組立工程：図６（ａ）＞
サブプレート５にノズルヘッド２をボルト６で固定する。
【００６６】
＜アライメント準備工程：図６（ｂ）、図６（ｃ）＞
ノズルヘッド仮組立工程で組み立てられたサブプレート５とノズルヘッド２とのセットは、ホルダ４１の基準穴４２とサブプレート５の基準穴９を位置合わせした上で、ボルト４３によってホルダ４１と締結する。
【００６７】
＜ノズルヘッドアライメント工程：図６（ｄ）、図６（ｅ）＞
アライメントプレート４０のアライメントマーク４０ａを基準にしてノズルヘッド２の所定位置（たとえばノズル孔２０ａやアライメント用に形成されたマークなど）のずれ量を、０を目標値として、サブプレート５に対してノズルヘッド２を移動させ、ボルト６を締め付けて再固定する。
【００６８】
＜ラインヘッド組立工程：図６（ｆ）、図６（ｇ）＞
ベースプレート３の位置決め基準である基準穴８とサブプレート５の位置決め基準である基準穴９を位置合わせして相対位置決めの再現性を確保した上で、サブプレート５をベースプレート３にボルト７で締結する。
【００６９】
＜アライメント検査工程：  図３（ａ）、図３（ｂ）＞
ラインヘッド用にアライメントマーク３０ａが形成された透明なチェックプレート３０を用意し、前記チェックプレート３０と組み立てたラインヘッド４との位置関係を固定した状態にする。その上で、チェックプレート３０と前記ノズルヘッド２とを対向させて撮像手段３１により透明なチェックプレート３０を通してノズルヘッド２を観測する。チェックプレート３０のアライメントマーク３０ａを基準にしてノズルヘッド２の所定位置（たとえばノズル孔２０ａやアライメント用に形成されたマークなど）のずれ量を測定し、アライメント誤差とする。このアライメント誤差を測定するとともに、仕様から外れているノズルヘッドを判定する。
【００７０】
＜アライメント補正工程：図３（ｃ）、図３（ｄ）＞
前記アライメント検査工程で、アライメント誤差が仕様から外れていると判定されたサブプレート５とノズルヘッド２のセットは、ホルダ４１の基準穴４２とサブプレート５の基準穴９を位置合わせした上で、ボルト４３によってホルダ４１と締結する。
【００７１】
その上で、前記アライメントプレート４０と前記ノズルヘッド２とを対向させて撮像手段４４により透明なアライメントプレート４０を通してノズルヘッド２を観測する。アライメントプレート４０のアライメントマーク４０ａを基準にしてノズルヘッド２の所定位置（たとえばノズル孔２０ａやアライメント用に形成されたマークなど）のずれ量を測定し、初期誤差とする。
【００７２】
さらに、ボルト６を緩めてサブプレート５に対してノズルヘッド２が移動可能な状態にした上で、撮像手段４４により透明なアライメントプレート４０を通してノズルヘッド２を観測する。アライメントプレート４０のアライメントマーク４０ａを基準にしてノズルヘッド２の所定位置（たとえばノズル孔２０ａやアライメント用に形成されたマークなど）のずれ量を、前記初期誤差から前記アライメント誤差を減算した値を目標値として、サブプレート５に対してノズルヘッド２を移動させ、ボルト６を締め付けて再固定する。
【００７３】
＜ラインヘッドの製造工程のループ＞
アライメント補正工程を経たサブプレート５とノズルヘッド２のセットは、前記ラインヘッド組立工程とアライメント検査工程に投入され、ラインヘッドに組まれた状態で、アライメント誤差が測定され、アライメント誤差が仕様内に収まれば、製造工程を終了し、アライメント誤差が仕様外の場合は、再びアライメント補正工程に回される。
【００７４】
＜効果＞
かかる構成によれば、アライメント検査工程で求めたアライメント誤差が仕様内に収まるまで、アライメント補正工程と前記ラインヘッド組立工程とアライメント検査工程を繰り返す工程フローを取ることによって、ラインヘッドの各ノズル位置を高精度に位置決めすることができる。
【００７５】
（実施の形態４）
図８は、本発明の実施の形態４におけるラインヘッドの製造方法を示す工程フロー図である。図８において、各々の工程の内容については、実施の形態１および実施の形態２で既出であるので、説明を省略する。
【００７６】
図８におけるノズルヘッドアライメント工程、あるいは、アライメント補正工程において、アライメントプレート４０のアライメントマーク４０ａを基準にしてノズルヘッド２の所定位置（たとえばノズル孔２０ａやアライメント用に形成されたマークなど）の最終のずれ量を測定し、最終アライメント補正誤差量（Δｃ１，Δｄ１），（Δｃ２，Δｄ２）とする。
【００７７】
また、図８のアライメント検査工程において、チェックプレート３０のアライメントマーク３０ａを基準にしてノズルヘッド２の所定位置（たとえばノズル孔２０ａやアライメント用に形成されたマークなど）の最終のずれ量を測定し、最終アライメント誤差（Δａ１，Δｂ１），（Δａ２，Δｂ２）とする。
【００７８】
これらの最終アライメント補正誤差量や最終アライメント誤差は、ラインヘッド製造番号やノズル取付位置と対応させてデータベース化しておく。
【００７９】
このようなデータを蓄積することによって、単一のノズルヘッドの交換が高精度に行うことができる。
【００８０】
つまり、例えば任意のノズルヘッド２が故障して交換する場合、データベースから、ラインヘッド製造番号とノズルヘッド２の取付位置に対応した最終アライメント補正誤差量と最終アライメント誤差を出力し、アライメントマーク４０ａを基準にした交換用のノズルヘッド２の所定位置の２箇所の移動目標位置を（Δｐ１，Δｑ１），（Δｐ２，Δｑ２）と置くと、式３、式４となる。
【００８１】
（Δｐ１，Δｑ１）＝（Δｃ１，Δｄ１）−（Δａ１，Δｂ１）・・・・（式３）
（Δｐ２，Δｑ２）＝（Δｃ２，Δｄ２）−（Δａ２，Δｂ２）・・・・（式４）
これらの値を使用して、ノズルヘッド２を配置するノズルヘッドアライメント工程やアライメント補正工程を設ける。
【００８２】
なお、上記で、最終アライメント誤差だけを、記録し、利用することもできる。相対的に、最終アライメント誤差を、補正すればよい。ただし、この場合、ノズルヘッド２を新製した場合には、利用できない。
【００８３】
ノズルヘッド２を新製した場合には、最終アライメント補正を求めた時点で、過去のデータで、同じ、類似するノズルヘッド２のデータを用い、最終アライメント誤差を類推、利用できる。
【００８４】
＜効果＞
かかる構成によれば、（１）アライメント検査工程では、ノズルヘッド２がラインヘッド４のベースプレート３に実際に組み付けられた状態で、アライメントマーク３０ａを基準としたノズルヘッド２のずれ量、つまりアライメント誤差を取得している。
【００８５】
（２）アライメント補正工程では、得られたアライメント誤差分を減算して前記ノズルヘッドの位置を修正する。このことで、ベースプレート３のうねり等の面性状やベースプレートとサブプレートの位置決め基準の影響を含めた上で、アライメント誤差を取得し補正できるので、ベースプレートの面性状やベースプレートとサブプレートの位置決め基準の影響をキャンセルする高精度なノズル孔の位置決めをノズルヘッド毎に行うことができる。また、アライメント誤差をデータベース化することで、データベースに対応して１つずつのノズルヘッドの高精度なアライメント補正と交換が可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００８６】
本発明のラインヘッドの製造方法によれば、ノズルヘッドの高精度なアライメントとノズルヘッド毎の高精度な交換が可能となり、有機ＥＬの発光体、ホール輸送層、電子輸送層の印刷や、カラーフィルターの印刷等に適用することができる。
【符号の説明】
【００８７】
１  インクジェット装置
２  ノズルヘッド
３  ベースプレート
４  ラインヘッド
５  サブプレート
６  ボルト
７  ボルト
８  基準穴
９  基準穴
１１  記録媒体
１２  ローラ
２０ａ  ノズル孔
３０  チェックプレート
３０ａ  アライメントマーク
３１  撮像手段
４０  アライメントプレート
４０ａ  アライメントマーク
４１  ホルダ
４２  基準穴
４３  ボルト
４４  撮像手段
５０  コレット治具
５１  コレット
５２  テーパーコーン
５３  プルボルト
ＥＬ  有機
１０１  インクジェット装置
１０２  ノズルヘッド
１０３  ベースプレート
１０４  ラインヘッド
１１１  記録媒体
１１２  ローラ
１２０  ノズル面
１２０ａ  ノズル孔
１２０ｂ  ノズル形成領域
１２１ａ  ピン
１２１ｂ  ピン
１２２ａ  アライメントプレート
１２２ｂ  アライメントプレート
１２５ａ  ネジ
１２５ｂ  ネジ
【図１】
2016002672.tif 000003
【図２】
2016002672.tif 000004
【図３】
2016002672.tif 000005
【図４】
2016002672.tif 000006
【図５】
2016002672.tif 000007
【図６】
2016002672.tif 000008
【図７】
2016002672.tif 000009
【図８】
2016002672.tif 000010
【図９】
2016002672.tif 000011
【図１０】
2016002672.tif 000012