(57)【要約】【課題】逆洗による洗浄力を高めることを可能にした濾過装置を提供する。【解決手段】第２通路系３１は、圧力波印加部を含み、圧力波印加部は、圧縮空気を貯留するためのレシーバタンク３８と、整流部１５に向けた圧縮空気の供給によって濾材１３に圧力波を印加する弁とを備え、第１通路系２１は、圧力波の印加によって濾材１３から取り除かれた異物を含む逆洗液を流入側の空間から排出するための後段排出路２４を含み、レシーバタンク３８の容量は、整流部１５の容量以上である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流入側の空間と流出側の空間とが濾材によって区画された濾過部と、
前記流入側の空間と連通し、異物を含む混合液が流れるための第１通路系と、
前記流出側の空間と連通し、濾液を貯留するための整流部と、
前記整流部に連通し、前記濾液が流れるための第２通路系と、
を備え、
前記第２通路系は、圧力波印加部を含み、
前記圧力波印加部は、圧縮空気を貯留するためのレシーバタンクと、前記レシーバタンクから前記整流部に向けた前記圧縮空気の供給と遮断とを切り替える弁とを備え、前記濾材から異物を取り除くための圧力波を前記圧縮空気の供給によって前記濾材に印加し、
前記第１通路系は、前記濾材から取り除かれた異物を含む逆洗液を前記流入側の空間から排出するための逆洗液排出路を含み、
前記レシーバタンクの容量は、前記整流部の容量以上である
濾過装置。
【請求項２】
前記レシーバタンクの容量は、前記濾過部の容量以上である
請求項１に記載の濾過装置。
【請求項３】
前記レシーバタンクの容量は、前記整流部の容量と前記濾過部の容量とを合わせた容量以上である
請求項１に記載の濾過装置。
【請求項４】
前記整流部に貯留される濾液の少なくとも一部が前記逆洗液として排出されるように、前記弁に開閉を複数回繰り返させる制御部をさらに備える
請求項１〜３のうち何れか１項に記載の濾過装置。
【請求項５】
前記第２通路系は、前記圧縮空気を前記整流部に供給するための空気供給路を含み、
前記逆洗液排出路の内径は、前記空気供給路の内径よりも大きい
請求項１から４の何れか１項に記載の濾過装置。
【請求項６】
前記第１通路系は、前記逆洗液排出路に連通することを可能に構成され、外部から前記混合液が供給される混合液供給路をさらに備え、
前記逆洗液排出路の内径は、前記混合液供給路の内径よりも大きい
請求項１から５の何れか１項に記載の濾過装置。
【請求項７】
流入側の空間と流出側の空間とが濾材によって区画された濾過部と、
前記流入側の空間と連通し、異物を含む混合液が流れるための第１通路系と、
前記流出側の空間と連通し、濾液を貯留するための整流部と、
前記整流部に連通し、前記濾液が流れるための第２通路系と、
を備え、
前記第２通路系は、圧力波印加部を含み、
前記圧力波印加部は、圧縮空気を貯留するためのレシーバタンクと、前記レシーバタンクから前記整流部に向けた前記圧縮空気の供給と遮断とを切り替える弁とを備え、前記濾材から異物を取り除くための圧力波を前記圧縮空気の供給によって前記濾材に印加し、
前記第１通路系は、前記濾材から取り除かれた異物を含む逆洗液を前記流入側の空間から排出するための逆洗液排出路を含み、
前記第２通路系は、前記圧縮空気を前記整流部に供給するための空気供給路を含み、
前記逆洗液排出路の内径は、前記空気供給路の内径よりも大きい
濾過装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、異物を含む液である混合液から異物を取り除く濾材を備えた濾過装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
工作機械の排液通路に接続される濾過装置は、工作機械から排出される加工液から切り屑等の異物を取り除く。この際に、加工液の濾過が過度に繰り返されると、濾過装置に備えられた濾材で目詰まりが生じてしまう。そこで、濾液が流れる方向とは反対の逆方向に濾液を流して濾材に捕らわれた異物を濾材から取り除くいわゆる逆洗が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−４６２４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、環境の保全が求められる近年においては、混合液に含まれる異物の種類が増える一方である。例えば、濾過装置に供給される混合液には、金属加工の際に発生する金属スラッジ、半導体製造プロセスやＬＥＤ製造プロセスで発生するＧａＡｓ等の化合物残渣、砥石の砥粒残渣等の様々な異物が含まれる。物理的な吸着や化学的な吸着によって異物を捕集する濾材においては、これらのように、物理的な性状や化学的な性状が互いに異なる様々な異物に対し、同じような捕集性能を発揮することは不可能である。結果として、濾材に対して必要以上に強固に吸着してしまう異物の種類が増える一途をたどっており、一度濾材に吸着された異物を濾材から取り除くことを可能にした上述の逆洗技術においては、強固に吸着した異物をも除去することを可能にする洗浄力を切望されている。
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、逆洗による洗浄力を高めることを可能にした濾過装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決する濾過装置は、流入側の空間と流出側の空間とが濾材によって区画された濾過部と、前記流入側の空間と連通し、異物を含む混合液が流れるための第１通路系と、前記流出側の空間と連通し、濾液を貯留するための整流部と、前記整流部に連通し、前記濾液が流れるための第２通路系とを備える。前記第２通路系は、圧力波印加部を含み、前記圧力波印加部は、圧縮空気を貯留するためのレシーバタンクと、前記レシーバタンクから前記整流部に向けた前記圧縮空気の供給と遮断とを切り替える弁とを備え、前記濾材から異物を取り除くための圧力波を前記圧縮空気の供給によって前記濾材に印加する。前記第１通路系は、前記濾材から取り除かれた異物を含む逆洗液を前記流入側の空間から排出するための逆洗液排出路を含む。そして、前記レシーバタンクの容量は、前記整流部の容量以上である。
【０００７】
上記構成によれば、レシーバタンクの容量が整流部の容量以上であるため、圧縮空気が濾液の液面に衝突するとき、圧縮空気における圧力の低下が抑えられる。結果として、圧力波による波力を高めること、ひいては、逆洗による洗浄力を高めることが可能である。
【０００８】
上記濾過装置において、前記レシーバタンクの容量は、前記濾過部の容量以上であってもよい。
【０００９】
上記濾過装置において、前記レシーバタンクの容量は、前記整流部の容量と前記濾過部の容量とを合わせた容量以上であってもよい。
【００１０】
上記濾過装置は、前記整流部に貯留される濾液の少なくとも一部が前記逆洗液として排出されるように、前記弁に開閉を複数回繰り返させる制御部をさらに備えてもよい。
【００１１】
上記濾過装置において、前記第２通路系は、前記圧縮空気を前記整流部に供給するための空気供給路を含み、前記逆洗液排出路の内径は、前記空気供給路の内径よりも大きくてもよい。
【００１２】
上記濾過装置において、前記第１通路系は、前記逆洗液排出路に連通することを可能に構成され、外部から前記混合液が供給される混合液供給路をさらに備え、前記逆洗液排出路の内径は、前記混合液供給路の内径よりも大きくてもよい。
【００１３】
上記課題を解決する濾過装置は、流入側の空間と流出側の空間とが濾材によって区画された濾過部と、前記流入側の空間と連通し、異物を含む混合液が流れるための第１通路系と、前記流出側の空間と連通し、濾液を貯留するための整流部と、前記整流部に連通し、前記濾液が流れるための第２通路系とを備える。前記第２通路系は、圧力波印加部を含み、前記圧力波印加部は、圧縮空気を貯留するためのレシーバタンクと、前記レシーバタンクから前記整流部に向けた前記圧縮空気の供給と遮断とを切り替える弁とを備え、前記濾材から異物を取り除くための圧力波を前記圧縮空気の供給によって前記濾材に印加する。前記第１通路系は、前記濾材から取り除かれた異物を含む逆洗液を前記流入側の空間から排出するための逆洗液排出路を含む。前記第２通路系は、前記圧縮空気を前記整流部に供給するための空気供給路を含む。そして、前記逆洗液排出路の内径は、前記空気供給路の内径よりも大きい。
【００１４】
上記構成によれば、逆洗液排出路の内径が空気供給路の内径よりも大きいため、圧縮空気が濾液の液面に衝突した後に、濾材に対する圧力波の伝播が阻害されることが抑えられる。それゆえに、逆洗による洗浄力を高めることが可能である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の濾過装置によれば、逆洗による洗浄力を高められる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】濾過装置の一実施形態における濾材装置の全体構成を示す構成図である。
【図２】一実施形態における濾過装置が備える制御装置の構成を機能的に示すブロック図である。
【図３】一実施形態における濾過処理中の濾過装置の作用を示す作用図である。
【図４】一実施形態における逆洗処理の順序を示すフローチャートである。
【図５】一実施形態における逆洗処理中の濾過装置の作用を示す作用図である。
【図６】一実施形態における濾材の流入面に異物が付着した状態を示す断面図である。
【図７】一実施形態における濾材の流入面から異物が剥離した状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、一実施形態における濾過装置について図面を参照して説明する。
図１に示すように、濾過装置１は、金属加工の際に発生する金属スラッジ、半導体製造プロセスやＬＥＤ製造プロセスで発生するＧａＡｓ等の化合物残渣、砥石の砥粒残渣等の異物と水等が混ざった混合液を濾過する。このような混合液は、マシン２が供給元となり、接続路２ａを通じて混合液貯留タンク３に貯留される。この濾過装置１は、混合液を濾過する濾過タンク１１を備える。この濾過タンク１１には、混合液貯留タンク３から混合液を供給する第１通路系２１が接続されている。また、濾過タンク１１には、濾過タンク１１で異物が濾過された濾液を濾液貯留タンク４に排出する第２通路系３１が接続されている。
【００１８】
第１通路系２１は、濾過タンク１１と接続された接続路２２と、接続路２２から分岐した混合液供給路２３とを備えている。逆洗液排出路を構成する接続路２２には、これもまた逆洗液排出路を構成する後段排出路２４が接続されている。
【００１９】
混合液供給路２３は、ポンプで汲み上げられる混合液貯留タンク３の混合液を、接続路２２を通じて濾過タンク１１に供給するものであり、その途中に、混合液供給路２３を開閉する混合液供給弁２５が設けられている。混合液供給弁２５は、濾過処理時に混合液を濾過タンク１１に供給するとき、開弁し、逆洗処理時において、濾過タンク１１からの逆流防止のため閉弁する。
【００２０】
後段排出路２４は、濾過タンク１１内の濾材を逆洗したときに発生する逆洗液を濾過タンク１１から接続路２２を通じで逆洗液貯留タンク５に排出するものであり、その途中に、後段排出路２４を開閉する逆洗液排出弁２６が設けられている。逆洗液排出弁２６は、濾過処理時、後段排出路２４への混合液の進入を防ぐため閉弁し、逆洗処理時には開弁し、濾過タンク１１からの逆洗液を逆洗液貯留タンク５に排出可能にする。混合液供給弁２５及び逆洗液排出弁２６は、例えば、急開と急閉が可能な駆動方式として、例えば、空圧作動式が採用される。
【００２１】
第２通路系３１は、濾過タンク１１と接続された空気供給路を構成する接続路３２と、接続路３２から分岐した濾液排出路３３とタンク連通路３４とを備えている。濾液排出路３３は、濾過タンク１１で濾過された濾液を、接続路３２を通じて濾液貯留タンク４に排出するものであり、その途中に、濾液排出路３３を開閉する濾液排出弁３５が設けられている。濾液排出弁３５は、濾過処理時に濾過タンク１１の濾液を濾液貯留タンク４に排出するとき、開弁し、逆洗処理において、濾液排出路３３への濾液の進入を防止するため閉弁する。
【００２２】
タンク連通路３４は、濾過タンク１１内の濾材を逆洗するときに圧縮空気を、接続路３２を通じて濾過タンク１１に供給するものであり、その途中に、圧力波印加部を構成しタンク連通路３４を開閉する空気供給弁３６が設けられている。空気供給弁３６は、濾過処理時、タンク連通路３４への濾液の進入を防ぐため閉弁し、逆洗処理時には開弁し、圧縮空気や路内の濾液を、接続路３２を通じて濾過タンク１１に供給可能にする。濾液排出弁３５及び空気供給弁３６にも、例えば、急開と急閉が可能な駆動方式として、例えば、空圧作動式が採用される。
【００２３】
タンク連通路３４には、圧力波印加部を構成し圧縮空気を生成するコンプレッサ等の空気圧縮機３７と、これもまた圧力波印加部を構成し圧縮空気を一時的に貯留するレシーバタンク３８とが設けられている。レシーバタンク３８は、空気供給弁３６が開弁すると、レシーバタンク３８からは、圧縮空気がタンク連通路３４から接続路３２に向けて供給される。この際、接続路３２や濾液排出路３３が濾液によって満たされるとき、圧縮空気はタンク連通路３４において濾液に衝突して圧力波を発生させ、この圧力波を濾材１３に印加させる。また、接続路３２や濾液排出路３３が濾液によって満たされていないとき、圧縮空気は濾過タンク１１において濾液に衝突して圧力波を発生させ、この圧力波を濾材１３に印加させる。
【００２４】
空気供給弁３６とレシーバタンク３８との間には、逆止弁３９が設けられている。逆止弁３９は、レシーバタンク３８から空気供給弁３６への圧縮空気の流れを許容し、空気供給弁３６からレシーバタンク３８への濾液の流れを禁止し、濾液がレシーバタンク３８に逆流することを抑制する。
【００２５】
図１に示すように、濾過タンク１１は、例えば円筒状のハウジング１２と、濾材１３と、濾材１３が収容される濾過部１４と、濾過された濾液を貯留し整流する整流部１５とを備えている。濾材１３は、例えば濾紙、不織布等によって円筒状に形成され、濾材１３の内周面が混合液の流入面１３ａであり、濾材１３の外周面が濾液の流出面１３ｂである。濾材１３が収容される濾過部１４は、濾材１３より一回り大きい空間部を有しており、濾過部１４の内部には、流入側の空間と流出側の空間とが濾材１３によって区画されている。濾過部１４は、ハウジング１２において整流部１５よりも第１通路系２１側に位置している。
【００２６】
濾過部１４には、第１通路系２１の接続路２２が接続されている。濾材１３の流入面１３ａで囲まれた中心空間部は流入側の空間であり、接続路２２から混合液が供給される空間である。濾過部１４において、濾材１３の流出面１３ｂよりも外側の空間部は、流出側の空間であり、整流部１５と連通し、整流部１５に濾液を供給する連通路１６として機能する。
【００２７】
整流部１５は、濾過部１４よりも第２通路系３１側に位置している。整流部１５は、濾液を一時的に貯留する空間部であり、その容量は濾過部１４の容量より小さい。整流部１５には、第２通路系３１の接続路３２が接続されている。濾過部１４の容量は、例えば、１４リットルであり、整流部１５の容量は、例えば、７リットルである。
【００２８】
以上のような濾過タンク１１では、濾過処理時において、第１通路系２１の接続路２２から濾過部１４内の濾材１３の中心空間部に混合液が供給される。すると、混合液は、濾材１３の流入面１３ａから濾材１３内に浸入し、外周側の流出面１３ｂから流出することで濾過される。濾材１３で濾過された混合液、すなわち濾液は、濾過部１４から連通路１６を通って整流部１５に供給され、一時的に貯留される。整流部１５の濾液は、その後、第２通路系３１の接続路３２に流出される。
【００２９】
一方で、逆洗処理時においては、圧縮空気が第２通路系３１における接続路３２濾液に衝突する。すると、整流部１５に貯留されている濾液には、圧力波が発生し、この圧力波は、濾過部１４の連通路１６に伝わり、濾材１３の流出面１３ｂに印加される。これにより、連通路１６の濾液は、流出面１３ｂから流入面１３ａに流れ、流入面１３ａに堆積した異物は、流入面１３ａから剥がれ取り除かれる。
【００３０】
ところで、濾材１３の流入面１３ａに密着した異物を逆洗処理によって流入面１３ａから効果的に剥がすには、印加する圧力波の波力を大きくする必要がある。また、逆洗する回数を増やす必要がある。
【００３１】
ここで、レシーバタンク３８の容量は、整流部１５の容量以上であり、所定の圧力範囲で圧縮空気をより多く整流部１５に供給できるように構成されている。好ましくは、レシーバタンク３８の容量は、濾過部１４の容量以上に設定され、更に好ましくは、整流部１５の容量と濾過部１４の容量とを合わせた容量以上に設定される。なお、レシーバタンク３８の容量は、法規制、安全基準等によって最大値が制限され、ここでは４０リットル未満（３９リットル）に設定されている。
【００３２】
また、接続路２２の内径や後段排出路２４の内径は、第２通路系３１における濾液排出路３３の内径より大きい。また、接続路２２の内径や後段排出路２４の内径は、混合液供給路２３の内径より大きい。ここでは、一度生成された圧力波が第２通路系３１において反射することを抑え、濾材１３に対する整流部１５からの圧力波の伝播が阻害されることを抑えている。例えば、接続路２２の配管や後段排出路２４の配管には、４０Ａ（ボア径３２Ａ）が用いられ、濾液排出路３３の配管には、３２Ａ（ボア径２５Ａ）が用いられ、混合液供給路２３の配管には、２５Ａ（ボア径２０Ａ）が用いられる。
【００３３】
次に、図２を参照して濾過装置１における電気的構成を説明する。
図２に示すように、濾過装置１を構成する処理設定部４１は、外部の入力機器に接続され、濾過装置１における各種の処理の条件が入力機器から入力される。処理設定部４１では、例えば、濾過処理の行われた時間の累積値である濾過累積時間が濾過装置１における処理内容を濾過処理と逆洗処理とに切り替える切り替え条件として設定される。処理設定部４１は、濾過累積時間を計時し、濾過累積時間の計測値が切り替え条件となる所定時間以下であるとき、濾過処理のモードを設定し、濾過処理時間の計測値が所定時間よりも大きい場合に、逆洗処理のモードを設定して濾過処理時間をリセットする。
【００３４】
濾過制御部４２は、濾過処理のモードのときの動作を制御する。具体的に、濾過制御部４２は、濾過処理のモードのとき、混合液供給弁２５を開弁すると共に濾液排出弁３５を開弁する制御を行う制御信号を弁駆動部４４に出力する。また、逆洗液排出弁２６を閉弁すると共に、空気供給弁３６を閉弁する制御を行う制御信号を弁駆動部４４に出力する。
【００３５】
逆洗制御部４３は、逆洗処理のモードのときの動作を制御する。具体的に、逆洗制御部４３は、逆洗処理のモードのとき、逆洗液排出弁２６を開弁すると共に、空気供給弁３６を開弁する制御を行う制御信号を弁駆動部４４に出力する。また、混合液供給弁２５を閉弁すると共に濾液排出弁３５を閉弁する制御を行う制御信号を弁駆動部４４に出力する。
【００３６】
弁駆動部４４は、濾過制御部４２又は逆洗制御部４３からの各弁２５，２６，３５，３６の開閉を制御する制御信号に従って、各弁２５，２６，３５，３６を開閉する。
【００３７】
次に、図３を参照して濾過処理について説明する。
濾過処理のモードのとき、濾過制御部４２は、混合液供給弁２５を開弁し混合液供給路２３を開放すると共に、濾液排出弁３５を開弁し濾液排出路３３を開放する。また、逆洗液排出弁２６を閉弁し、後段排出路２４を遮断すると共に、空気供給弁３６を閉弁しタンク連通路３４を遮断する。これにより、混合液貯留タンク３から濾液貯留タンク４に至る経路が確立する。混合液は、ポンプによって、混合液貯留タンク３から第１通路系２１の混合液供給路２３及び接続路２２を通じて濾過タンク１１の濾過部１４に供給される。そして、混合液は、濾過部１４内の濾材１３の流入面１３ａから濾材１３内に進入し、流出面１３ｂから流出する。かくして、混合液は、濾材１３によって濾過され濾液となる。濾材１３の流入面１３ａ側には、混合液から除去した異物が堆積する。混合液を濾過して生成された濾液は、濾材１３の外周側の連通路１６を通って、整流部１５に一時的に貯留される。そして、濾液は、第２通路系３１の接続路３２及び濾液排出路３３を通じて濾液貯留タンク４に排出される。濾液貯留タンク４に貯留された濾液は、接続路２ｂを通りマシン２で再利用することができる。
【００３８】
処理設定部４１は、濾過処理のモード開始時から濾過処理時間を計時しており、累積時間が切り替え条件の所定時間より大きくなると、濾材１３での濾過効率が悪化することから、逆洗処理のモードに移行する。ここで、逆洗処理のモードを図４のフローチャートを参照して説明する。
【００３９】
ステップＳ１及び図５に示すように、逆洗制御部４３は、更に、混合液供給弁２５及び濾液排出弁３５を閉弁する。また、空気供給弁３６及び逆洗液排出弁２６は、閉弁した状態にある。ステップＳ２において、逆洗制御部４３は、逆洗液排出弁２６を開弁し後段排出路２４を開放する。ステップＳ３において、逆洗制御部４３は、更に、空気供給弁３６を開弁しタンク連通路３４を開放する。
【００４０】
ここで、逆洗制御部４３は、空気圧縮機３７を駆動し、レシーバタンク３８から圧縮空気をタンク連通路３４に放出する。例えば、空気圧が０．５Ｍｐａ程度の圧縮空気をタンク連通路３４に供給する。すると、圧縮空気は、タンク連通路３４及び接続路３２を通り濾過タンク１１の整流部１５に至り、整流部１５に貯留されている濾液に衝突し圧力波を発生させる。圧力波は、濾過部１４の連通路を通り、濾材１３の流出面１３ｂに印加される。図６に示すように、濾材１３の流入面１３ａには、これまでの濾過処理のモードによって異物６が堆積している。図７に示すように、この流入面１３ａに堆積している異物６は、圧力波Ｐによって、連通路１６の濾液７ａが高圧で流出面１３ｂから流入面１３ａに透過することで、流入面１３ａから剥がれ取り除かれる。濾材１３から取り除かれた異物６を含む逆洗液７ｂは、第２通路系３１の接続路３２から開放されている濾液排出路３３を通り逆洗液貯留タンク５に排出される。この後、逆洗制御部４３は、ステップＳ４において、逆洗液排出弁２６及び空気供給弁３６を閉弁し、１回目の逆洗処理を終了する。
【００４１】
ステップＳ５において、逆洗制御部４３は、改めて、逆洗液排出弁２６を開弁し後段排出路２４を開放し、ステップＳ６において、逆洗制御部４３は、空気供給弁３６を開弁しタンク連通路３４を開放する。そして、逆洗制御部４３は、レシーバタンク３８から圧縮空気をタンク連通路３４に放出し、濾材１３の流出面１３ｂに圧力波を印加する。これにより、２回目の逆洗処理が行われ、濾材１３から取り除かれた異物６を含む逆洗液７ｂは、第２通路系３１の接続路３２から濾液排出路３３を通り逆洗液貯留タンク５に排出される。この後、逆洗制御部４３は、ステップＳ７において、逆洗液排出弁２６及び空気供給弁３６を閉弁し、２回目の逆洗処理を終了する。
【００４２】
ステップＳ８において、逆洗制御部４３は、再度、逆洗液排出弁２６を開弁し後段排出路２４を開放し、ステップＳ９において、逆洗制御部４３は、空気供給弁３６を開弁しタンク連通路３４を開放する。そして、逆洗制御部４３は、レシーバタンク３８から圧縮空気をタンク連通路３４に放出し、濾材１３の流出面１３ｂに圧力波を印加する。これにより、３回目の逆洗処理が行われ、濾材１３から取り除かれた異物６を含む逆洗液７ｂは、第２通路系３１の接続路３２から濾液排出路３３を通り逆洗液貯留タンク５に排出される。この後、逆洗制御部４３は、ステップＳ１０において、逆洗液排出弁２６及び空気供給弁３６を閉弁し、３回目の逆洗処理を終了する。
以上３回の逆洗処理では、例えば１回の逆洗処理につき、３リットルの濾液が整流部１５から濾過部１４に供給される。
【００４３】
ステップＳ１１において、逆洗制御部４３は、所定時間、例えば１０秒程度、待機し、濾過タンク１１の濾過部１４の底部や第１通路系２１の接続路２２や後段排出路２４の中の逆洗液７ｂに分散している異物を沈降させる。ステップＳ１２において、逆洗制御部４３は、混合液供給弁２５及び逆洗液排出弁２６を開弁し、混合液供給路２３と後段排出路２４とを連通させ、混合液貯留タンク３から逆洗液貯留タンク５との間の経路を確立する。そして、逆洗制御部４３は、ポンプを駆動し、混合液貯留タンク３の混合液を、混合液貯留タンク３から混合液供給路２３と後段排出路２４とを通って逆洗液貯留タンク５へ流す。これにより、混合液供給路２３と後段排出路２４に沈殿した異物を逆洗液貯留タンク５へ排出することができる。すなわち、ここでの処理は、後段排出路２４の清掃処理であり、例えば、２リットル程度の混合液を後段排出路２４に流す。
逆洗制御部４３は、ステップＳ１３において、以上のようなステップＳ１〜ステップＳ１２に至る処理を、あと、２回繰り返し、逆洗処理のモードを終了する。
以上のような濾過装置１は、以下のように列挙する効果を得ることができる。
【００４４】
（１）レシーバタンク３８の容量が整流部１５の容量以上であるため、圧縮空気が濾液の液面に衝突するとき、圧縮空気の圧力の低下が抑えられる。したがって、逆洗による洗浄力を高めることができる。
【００４５】
（２）レシーバタンク３８の容量が整流部１５の容量以上であるため、逆洗処理を複数回繰り返して行うときには、濾液の液面に衝突する圧縮空気の圧力の低下が特に抑えられる。
【００４６】
（３）複数回の逆洗処理を行った後に、路内の逆洗液に分散した異物が沈澱する時間を設けて、その後、後段排出路２４の異物を逆洗液貯留タンク５に流すようにしている。したがって、後段排出路２４に異物に残留してしまうことを抑制することができる。
【００４７】
（４）接続路２２の一端からは、混合液供給路２３と後段排出路２４とが分岐している。したがって、混合液供給路２３と後段排出路２４とが各別に濾過タンク１１と接続される構成と比べて、第１通路系における配管構成を簡素化することができる。
【００４８】
（５）接続路３２の一端からは、濾液排出路３３とタンク連通路３４とが分岐している。したがって、濾液排出路３３とタンク連通路３４とが各別に濾過タンク１１と接続される構成と比べて、第２通路系における配管構成を簡素化することができる。
【００４９】
（６）接続路２２の内径や後段排出路２４の内径は、混合液供給路２３の内径や濾液排出路３３の内径よりも大きい。そのため、圧縮空気が濾液の液面に衝突した後に、濾材１３に対する圧力波の伝播が阻害されることが抑えられる。それゆえに、逆洗による洗浄力を高めることができる。
【００５０】
なお、以上のような濾過装置１は、以下のように変更して実施することもできる。
・混合液供給路２３は、接続路２２を介さず、濾過タンク１１と直接接続されていなくてもよい。この場合、混合液供給路２３は、濾過タンク１１において接続路２２とは別の部位と逆洗液貯留タンク５とを接続すればよい。
・逆洗を行う回数は、特に限定されるものではない。すなわち、ステップＳ１〜ステップＳ４の処理と、ステップＳ１１〜ステップＳ１２の処理とを実施し、逆洗処理を１回としてもよい。また、逆洗処理の回数が複数回のときには、逆洗処理の回数は特に限定されるものではない。
・濾液排出路３３は、接続路３２を介さず、整流部１５と直接接続されていなくともよい。この場合、濾液排出路３３は、整流部１５において接続路３２とは別の部位と接続すればよい。
・レシーバタンク３８の容量は、整流部１５の容量以上であれば、特に限定されるものではない。
・濾過タンク１１内に配される濾材１３は、外周面を流入面１３ａとし、内周面を流出面１３ｂとしてもよい。この場合、第１通路系２１は、濾材１３の流入面１３ａ側の外周側空間部と接続され、第２通路系３１は、濾材１３の中心空間部と接続されることになる。
・逆洗液貯留タンク５に貯留された逆洗液は、遠心分離機によって捕集される。濾紙等によって捕集された捕集対象物は、微粒子であっても、微粒子が粒子結合しているため、遠心分離器によって容易に捕集することができる。
【符号の説明】
【００５１】
１…濾過装置、２…マシン、２ａ…接続路、２ｂ…接続路、３…混合液貯留タンク、４…濾液貯留タンク、５…逆洗液貯留タンク、６…異物、７ａ…濾液、７ｂ…逆洗液、１１…濾過タンク、１２…ハウジング、１３…濾材、１３ａ…流入面、１３ｂ…流出面、１４…濾過部、１５…整流部、１６…連通路、２１…第１通路系、２２…接続路、２３…混合液供給路、２４…後段排出路、２５…混合液供給弁、２６…逆洗液排出弁、３１…第２通路系、３２…接続路、３３…濾液排出路、３４…タンク連通路、３５…濾液排出弁、３６…空気供給弁、３７…空気圧縮機、３８…レシーバタンク、３９…逆止弁、４１…処理設定部、４２…濾過制御部、４３…逆洗制御部、４４…弁駆動部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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