(57)【要約】      （修正有）【課題】高粘度で低流量であっても液体の流量を精度よく計測できる流量計測装置を提供する。【解決手段】液体３が流れるパイプ４１と、パイプに流れる液体３が自由落下するパイプ開放端７１と、パイプ開放端７１から自由落下する液体３を撮像する撮像装置９１と、撮像装置９１が撮像した液体３の画像を処理して液体部分の面積を演算する演算部９５と、演算部９５で演算した面積から液体の流量を算出する算出部９６と、を備えた流量計測装置９０。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が流れるパイプと、
前記パイプに流れる液体が自由落下するパイプ開放端と、
前記パイプ開放端から自由落下する液体を撮像する撮像装置と、
前記撮像装置が撮像した液体の画像を処理して液体部分の面積を演算する演算部と、
前記演算部で演算した面積から液体の流量を算出する算出部と、を備えたことを特徴とする流量計測装置。
【請求項２】
前記パイプ開放端は、前記パイプを流れる液体が水平成分を含む方向に流れだして自由落下するようにされ、
前記撮像装置は、上記流れだして自由落下する液体を前記パイプ開放端の上方から撮像するように設けられたことを特徴とする請求項１に記載の流量計測装置。
【請求項３】
前記自由落下する液体を受ける樋部を備え、前記樋部の少なくとも底面は透明とされ、
前記撮像装置は自由落下する液体を前記樋部の下方から撮像するように設けられたことを特徴とする請求項１に記載の流量計測装置。
【請求項４】
前記パイプ及び前記パイプ開放端を複数備え、前記撮像装置は複数の前記パイプ開放端から自由落下する液体を撮像することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の流量計測装置。
【請求項５】
パイプを流れる液体をパイプ開放端から自由落下させ、自由落下する液体の画像を撮像装置で撮像し、
前記撮像装置で撮像した液体の画像を処理して液体部分の面積を演算部で演算し、
前記演算部で演算した前記面積から液体の流量を算出部で算出することを特徴とする流量計測方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高粘度かつ低流量な液体の流量計測装置、及びその流量計測方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ロールツーロールで送られる基材に、固形成分を含む液体、すなわち塗液を塗布することが行われている。このような基材への塗布は均一な厚さで塗布することが求められ、そのため液体の流量を管理することが重要となっている。
【０００３】
特許文献１には、塗布装置において、供給側流量計で塗布器への供給側の液体流量を計測し、戻り側流量計でタンクへの戻り側の液体流量を計測することにより、塗布量を管理し均一な塗布膜厚を実現する構成が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許文献１：特開２００１−１４５８４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、塗布ヘッドに供給した高粘度の液体（例えば、電池の極板に塗布するような固形成分が含まれたスラリーと呼ばれる塗液）の一部をタンクに戻すときには、沈殿や凝集した固形成分が含まれていることが多く、より高粘度となっていることがある。また、タンクに戻す際の流量は、低流量であることが多い。このような高粘度で低流量（例えば、１０００ｍｌ／ｍｉｎ未満）の液体の流量を従来の流量計で精度よく計測することは困難であるという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記問題点を解決して、高粘度で低流量であっても液体の流量を精度よく計測することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するために本発明は、液体が流れるパイプと、前記パイプに流れる液体が自由落下するパイプ開放端と、前記パイプ開放端から自由落下する液体を撮像する撮像装置と、前記撮像装置が撮像した液体の画像を処理して液体部分の面積を演算する演算部と、前記演算部で演算した面積から液体の流量を算出する算出部と、を備えたことを特徴とする流量計測装置を提供するものである。
【０００８】
この構成により、高粘度で低流量であっても液体の流量を精度よく計測することができる。
【０００９】
また、前記パイプ開放端は、前記パイプを流れる液体が水平成分を含む方向に流れだして自由落下するようにされ、前記撮像装置は、上記流れだして自由落下する液体を前記パイプ開放端の上方から撮像するように設けられた構成であってもよい。
【００１０】
この構成により、特に液体が滴下状態である場合等、流量が低流量である場合にも液体の流量を精度よく算出することができる。
【００１１】
また、前記自由落下する液体を受ける樋部を備え、前記樋部の少なくとも底面は透明とされ、前記撮像装置は自由落下する液体を前記樋部の下方から撮像するように設けられた構成としてもよい。
【００１２】
この構成によっても、特に滴下するような低流量の液体について、精度よく流量を測定することができる。
【００１３】
さらに、前記パイプ及び前記パイプ開放端を複数備え、前記撮像装置は複数の前記パイプ開放端から自由落下する液体を撮像する構成としてもよい。
【００１４】
この構成により、複数のパイプから自由落下する液体の流量を効率的に測定することができる。
【００１５】
また、上記の課題を解決するために本発明は、パイプを流れる液体をパイプ開放端から自由落下させ、自由落下する液体の画像を撮像装置で撮像し、前記撮像装置で撮像した液体の画像を処理して液体部分の面積を演算部で演算し、前記演算部で演算した前記面積から液体の流量を算出部で算出することを特徴とする流量計測方法を提供するものである。
【００１６】
この構成により、高粘度で低流量であっても液体の流量を精度よく計測することができる。
【発明の効果】
【００１７】
上記のように、液体が流れるパイプと、前記パイプに流れる液体が自由落下するパイプ開放端と、前記パイプ開放端から自由落下する液体を撮像する撮像装置と、前記撮像装置が撮像した液体の画像を処理して液体部分の面積を演算する演算部と、前記演算部で演算した面積から液体の流量を算出する算出部と、を備えたことを特徴とする流量計測装置により、高粘度で低流量であっても液体の流量を精度よく計測することができる。
【００１８】
また上記のように、パイプを流れる液体をパイプ開放端から自由落下させ、自由落下する液体の画像を撮像装置で撮像し、前記撮像装置で撮像した液体の画像を処理して液体部分の面積を演算部で演算し、前記演算部で演算した前記面積から液体の流量を算出部で算出することを特徴とする流量計測方法により、高粘度で低流量であっても液体の流量を精度よく計測することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】塗布装置に、本発明の実施例１における流量計測装置を設置した概要を示す図である。
【図２】図１のａ矢視のダイの断面と複数のパイプ等を示す図である。
【図３】本発明の実施例１における撮像装置が撮像した画像の例を示す図である。
【図４】（ａ）本発明の実施例２における流量計測装置を示す図である。        （ｂ）本発明の実施例２における撮像画像の例を示す図である。
【図５】本発明の実施例３における流量計測装置を示す図である。
【図６】本発明の実施例４における流量計測装置を示す図である。
【図７】本発明の実施例５における流量計測装置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００２０】
以下、本発明の実施例１を図面に基づいて説明する。  図１は、本発明の実施例１における流量計測装置９０を塗布装置１に適用した構成を示す図である。まず、この塗布装置１について説明する。塗布装置１は、ロールツーロールで送られる基材２に、固形成分、溶媒等を含む高粘度の液体３を塗布するための装置である。ここで、液体３は例えば、電池用極板を形成するスラリーとすることができる。
【００２１】
この塗布装置１によれば、塗布した液体３を乾燥させることで基材２上に固形成分を含む層が形成される。液体３は、基材２の送り方向に沿って均一な厚さ（均一な塗膜量）で塗布することが求められる。なお、基材２の幅方向は、基材２の送り方向に直交する方向であり、図１におけるＹ軸方向がこれに相当する。
【００２２】
塗布装置１は、基材２の幅方向に沿って長く構成されたダイ１０と、このダイ１０に液体３を供給する供給手段２０とを備えている。ダイ１０において、その長手方向（図１におけるＹ軸方向）を幅方向という。この塗布装置１では、ダイ１０に対向するローラ５が設置されており、ダイ１０の幅方向とローラ５の回転中心線の方向とは平行である。基材２は、このローラ５に案内され、基材２とダイ１０（後述のスリット１２の先端）との間隔（隙間）が一定に保たれ、この状態で液体３の塗布が行われる。
【００２３】
ダイ１０は、先細り形状である第一リップ１３ａを有する第一分割体１３と、先細り形状である第二リップ１４ａを有する第二分割体１４とを、これらの間にシム板１５を挟んで、組み合わせた構成からなる。図２は、図１のａ矢視のダイ１０の断面と複数のパイプ４１、４２、４３、４４等を示す図である。ダイ１０は、その内部に、幅方向に長い空間からなる第１のマニホールド１１と、この第１のマニホールド１１と繋がるスリット１２とが形成され、また、第一リップ１３ａと第二リップ１４ａとの間には、スリット１２の解放端である吐出口１８が形成されている。すなわち、第１のマニホールド１１と吐出口１８とは、スリット１２を経由して繋がっている。
【００２４】
この構成により、供給手段２０により供給された液体３は、先ず第１のマニホールド１１に溜められ、次に、スリット１２を経由して吐出口１８から吐出される。  スリット１２は、第１のマニホールド１１と同様に幅方向に長く形成されており、スリット１２の幅方向寸法は、シム板１５の内寸によって決定され、スリット１２の幅方向寸法と略同一の幅方向寸法の液体３を、基材２上に塗布することができる。スリット１２の隙間寸法（高さ寸法）は、例えば０．４〜１．５ｍｍである。スリット１２の隙間方向が上下方向であり、幅方向が水平方向となる姿勢でダイ１０は設置されている。つまり、第１のマニホールド１１とスリット１２とが水平方向に並んで配置される姿勢でダイ１０は設置されている。したがって、第１のマニホールド１１に溜められている液体３をスリット１２および吐出口１８を通じて基材２へと流す方向は水平方向となる。
【００２５】
なお、シム板１５の厚さを変更することにより、第１のマニホールド１１内部の圧力（塗布圧力）を調整することができ、この調整によって、様々な特性を有する液体３で均一な膜厚の塗布を行うことが可能となる。
【００２６】
ダイ１０の幅方向の中央部には、流入部１６が設けられており、この流入部１６は、ダイ１０の外部から第１のマニホールド１１へ繋がる貫通孔（流入口）からなる。供給手段２０は、この流入部１６に一端部が接続されている流入管２１と、液体３を貯留しているタンク２２と、このタンク２２内の液体３を、流入管２１を通じてダイ１０へ供給するためのポンプ２３とを有している。以上より、供給手段２０は、第１のマニホールド１１に流入部１６から液体３を供給することができる。なお、図１に示すように、流入部１６は、第１のマニホールド１１の底部１７と繋がっており、この底部１７から液体３を流入させる構成としている。
【００２７】
そして、第１のマニホールド１１は、供給手段２０から供給された液体３を溜めることができ、第１のマニホールド１１に溜められている液体３を、スリット１２を通って吐出口１８からロールツーロールで送られる基材２に対して吐出し、この基材２に対して液体３を連続的に塗布することができる。スリット１２の隙間寸法はその幅方向に一定であり、基材２上に塗布される液体３の厚さは幅方向に一定となる。
【００２８】
そして、スリット１２には、第１のマニホールド１１の液体３を吐出口１８以外からダイ１０の外部へ流出させる調整部３１，３２，３３，３４が設けられている。スリット１２の幅方向の両端部１２ａ，１２ｂに、第１と第２の調整部３１，３２が設けられ、この両端部１２ａ，１２ｂの間の途中部１２ｃ，１２ｄに、第３と第４の調整部３３，３４が設けられている。
【００２９】
調整部３１，３２，３３，３４は、スリット１２と、ダイ１０の外部とを繋ぐ貫通孔と、バルブ６１、６２、６３、６４と、貫通孔とバルブ６１、６２、６３、６４の入力端とを接続するパイプ５１、５２、５３、５４とからなる。
【００３０】
調整部３１，３２，３３，３４のバルブ６１、６２、６３、６４の出力端は、流出流路５０の一端に接続されている。流出流路５０は、パイプ４１、４２、４３、４４、樋部８１及びパイプ８２とからなる。パイプ４１、４２、４３、４４、樋部８１及びパイプ８２は、金属で構成されているが、樹脂で構成してもよい。流出流路５０の他端はタンク２２に繋がれており、調整部３１，３２，３３，３４から流出した液体３は、タンク２２へ戻される。
【００３１】
この調整部３１，３２，３３，３４それぞれには、スリット１２から流出させる液体３の流量の調整を行うバルブ６１，６２，６３，６４が設けられている。具体的に説明すると、図２に示すように、パイプ５１，５２，５３，５４それぞれに、バルブ６１，６２，６３，６４が接続されている。
【００３２】
これらバルブ６１，６２，６３，６４それぞれは、調整部３１，３２，３３，３４それぞれから流出する液体３の流量を調整する機能を有している。
【００３３】
また、図１、図２に示すように、流出流路５０の途中には、パイプ開放端７１、７２、７３、７４が設けられていて、そのパイプ開放端７１、７２、７３、７４から液体３が自由落下する構成とされている。具体的に説明すると、流出流路５０のパイプ４１、４２、４３、４４の一端はバルブ６１，６２，６３，６４に接続され、パイプ４１、４２、４３、４４の他端はパイプ開放端７１、７２、７３、７４となっている。
【００３４】
パイプ開放端７１、７２、７３、７４はできるだけダイ１０の直近（すなわちバルブ６１、６２、６３、６４の直近）に設けられ、パイプ４１、４２、４３、４４内で液体の固形成分が付着したり詰まったりする可能性を少なくしている。パイプ４１、４２、４３、４４のパイプ開放端７１、７２、７３、７４の開放面は水平方向を向いており、このパイプ開放端７１、７２、７３、７４の開放面から液体３が流れ出て自由落下又は滴下する構成とされている。
【００３５】
なお、実施例１において、パイプ開放端７１、７２、７３、７４の開放面は水平方向を向いているが、必ずしもこれに限定されず、水平方向成分を含んでいる角度であれば水平方向から角度を有した方向に構成してもよい。
【００３６】
パイプ４１、４２、４３、４４のそれぞれに流れる液体３の流量は、流入管２１に流れる液体３の流量より少なく低流量であり、また固形成分を含んでいることから高粘度である。そのため、詰まりを防ぎ、また詰まった場合のメンテナンス性を考慮して、パイプ４１、４２、４３、４４のパイプ開放端７１、７２、７３、７４から液体３を自由落下させるようにしている。
【００３７】
パイプ開放端７１、７２、７３、７４から自由落下した液体３は、樋部８１で受けて集められて、パイプ８２を経由してタンク２２に戻される。樋部８１は、金属又は樹脂で構成され、上面が開放されており、ほぼ直線状に配置されたパイプ開放端７１、７２、７３、７４に沿って延伸されている。また液体３を集めやすくするために樋部８１は、樋部８１の長さ方向の中央部を最下部として両端部から中央部に向けてわずかに傾斜していている。そして、パイプ８２は樋部８１の最下部である中央部の底部に一端が接続され、他端はタンク２２に接続されている。
【００３８】
そして、パイプ開放端７１、７２、７３、７４から自由落下する液体３を樋部８１で集めてパイプ８２に導くことにより、効率的に液体３をタンク２２に戻すことができる。
【００３９】
次に、本発明の実施例１について、詳しく説明する。塗布装置１には、流出流路５０のパイプ４１、４２、４３、４４に設けたパイプ開放端７１、７２、７３、７４から自由落下する液体３の流量を計測する本発明の実施例１における流量計測装置９０が設けられている。
【００４０】
流量計測装置９０は、パイプ開放端７１、７２、７３、７４毎に自由落下する液体を側方から撮像する撮像装置９１、９２、９３、９４と、撮像装置９１、９２、９３、９４が撮像した液体３の画像を２値化して液体部分の面積を演算する演算部９５と、演算部９５で演算した面積から液体の流量を算出する算出部９６とからなる。
【００４１】
撮像装置９１、９２、９３、９４は、ＴＶカメラで構成されていて、その撮像画像９７の例を図３に示す。撮像画像９７には、パイプ４１のパイプ開放端７１から流れ出て自由落下する液体３が撮像される。なお、撮像装置９１、９２、９３、９４はＴＶカメラに限定されず、ラインセンサで構成してもよい。
【００４２】
ここで、液体３と背景とのコントラストを向上させるために、液体３の背景に背景版を設けてもよい。例えば、液体３が黒色であれば、液体３の背景に白色の背景版を設ければよい。これにより、撮像装置９１、９２、９３、９４が撮像した画像において、後述する画像処理を円滑に行うことができる。
【００４３】
図３に示すように、撮像画像９７内に画像処理のためのウィンドウＷを設定してもよい。ウィンドウＷは四角形とし、その大きさと位置は液体３の撮像状態に合わせて任意であるが、液体３が最も多く自由落下する場合でもその幅方向が全てウィンドウＷ内に入るように設定する。ウィンドウＷの幅は余裕をもって広く設定することにより、飛散する液体３も確実にそのウィンドウＷ内に収めることができる。
【００４４】
演算部９５は、撮像画像９７を２値化してウィンドウＷ内の液体３の面積を演算する。例えば、液体３が黒色であれば、ウィンドウＷ内の黒色部分の面積を演算すればよい。なお、ウィンドウＷは設けても設けなくてもよい。設けない場合は、撮像画像の全ての範囲について演算する。特に液体３が低流量で滴下するような場合は、ウィンドウＷを設けないか、ウィンドウＷの縦方向の長さを大きく設定するとよい。これによって確実に液体３の面積を演算することができる。
【００４５】
次に、算出部９６にて、液体３の面積からその流量を算出する。具体的には、予め、液体３の面積と流量との関係を算出部９６に記憶しておき、演算部９５が演算した液体３の面積に基づいて記憶している流量を算出すればよい。算出した流量は、制御装置３７に入力されフィードバック制御される。
【００４６】
液体３の面積を演算して流量を算出することにより、滴下するような低流量の液体３についても見逃すことなく精度よく流量を算出することができる。なお、滴下するような低流量の液体３の流量を計測する必要がなければ、例えば、撮像した液体３の幅を演算するようにしてもよい。
【００４７】
流量計測装置９０が計測した液体３の流量は、塗布装置１の制御装置３７へ伝達され、制御装置３７では流量計測装置９０の計測結果に基づいたフィードバック制御を行い、バルブ６１，６２，６３，６４の開度を調整する。つまり、液体３の流量の計測結果に応じて、制御装置３７は、バルブ６１，６２，６３，６４それぞれに対して制御信号を出力し、バルブ６１，６２，６３，６４それぞれの開度を調整する。これにより、液体３の膜厚を幅方向に一定に保つことが可能となる。
【００４８】
すなわち、パイプ開放端７１、７２、７３、７４から自由落下する液体３を流量計測装置９０がその流量を計測してフィードバックしバルブ６１，６２，６３，６４の開度を調整する。つまり、ダイ１０における第１のマニホールドの幅方向両端部１２ａ，１２ｂの液体３の流量が多くなり過ぎればバルブ６１、６２を閉めるように開度を調整し、又はダイ１０における第１のマニホールドの幅方向両端部１２ａ，１２ｂの液体３の流量が少なくなり過ぎればバルブ６１、６２を開けるように開度を調整して、ダイ１０の吐出口１８からの液体３吐出量を制御して基材２上に形成される液体３の膜厚を均一にすることが可能となる。
【００４９】
また塗布装置１は、基材２上へ塗布した液体３の膜厚を測定するセンサ３６を備えている（図１参照）。センサ３６は、幅方向に沿って複数設けられていてもよい。センサ３６は、非接触式であり、基材２上の液体３の膜厚を、幅方向に沿って複数カ所、又は、幅方向の全長にわたって計測可能であり、計測結果は、塗布装置１が備えている制御装置（コンピュータ）３７に入力される。
【００５０】
制御装置３７は、流量計測装置９０で算出された液体３の流量と、センサ３６で計測された塗布後の液体３の膜厚とに基づいてフィードバック制御を行い、バルブ６１，６２，６３，６４の開度を調整するようにしてもよい。つまり、パイプ４１、４２、４３、４４から自由落下する液体３の流量と塗布後の液体３の膜厚に応じて、制御装置３７は、バルブ６１，６２，６３，６４それぞれに対して制御信号を出力し、バルブ６１，６２，６３，６４それぞれの開度を調整する。これにより、液体３の膜厚を幅方向に一定に保つことが可能となる。
【００５１】
さらに、スリット１２の両端部１２ａ，１２ｂの間の途中部１２ｃ，１２ｄにも、調整部３３，３４が設けられており、両端部１２ａ，１２ｂのみで液体３の流量が多くなることを抑えている。そして、この途中部１２ｃ，１２ｄに接続されているバルブ６３，６４の開度を調整することで、液体３の吐出作業を長時間継続して行っていても、基材２上に形成される液体３の膜厚を均一にすることが可能となる。
【００５２】
以上のように、実施例１における上記構成により、流量計測装置９０がパイプ開放端７１、７２、７３、７４から自由落下する液体３の流量を計測することにより、液体３が高粘度で低流量であっても精度よく流量を計測することができる。
【実施例２】
【００５３】
本発明の実施例２について、図４（ａ）及び図４（ｂ）を参考にして説明する。図４（ａ）は、実施例２における流量計測装置１９０の構成を示し、図４（ｂ）は、実施例２における撮像装置１９１、１９２、１９３、１９４が撮像した撮像画像１９７の例を示している。
【００５４】
図４（ａ）に示すように、実施例２は、撮像装置１９１、１９２、１９３、１９４（撮像装置１９１のみ図示）がパイプ開放端７１、７２、７３、７４（パイプ開放端７１のみ図示）のそれぞれの上方に設けられた流量計測装置１９０を備えた点で実施例１と異なっている。
【００５５】
撮像装置１９１、１９２、１９３、１９４は、上方からパイプ開放端７１、７２、７３、７４より水平方向に流れ出て自由落下する液体３を撮像する。パイプ開放端７１の上方から撮像した撮像画像１９７の例を図４（ｂ）に示す。実施例２においては、主にパイプ開放端７１、７２、７３、７４から水平方向に流れ出る液体３をそれぞれ撮像することにより、安定した撮像画像１９７を得ることができる。
【００５６】
そして、実施例２においても、演算部９５が撮像画像１９７を２値化し、ウィンドウＷ内の液体３の面積を演算する。演算部９５が演算した液体３の面積に基づいて、算出部９６が液体３の流量を算出する。
【００５７】
実施例２においては、特に液体３が滴下状態である場合等、流量が低流量である場合により精度よく液体３の面積を演算することができ、その結果、液体３の流量を精度よく算出することができる。
【００５８】
以上のように、実施例２においても、流量計測装置９０がパイプ開放端７１、７２、７３、７４から自由落下する液体３の流量を計測することにより、液体３が高粘度で低流量であっても精度よく流量を計測することができる。
【実施例３】
【００５９】
本発明の実施例３について、図５を参考にして説明する。実施例３は、樋部２８１の少なくとも底面が透明の部材から構成され、撮像装置２９１、２９２、２９３、２９４は樋部２８１の下方に設け、樋部２８１の透明の底面を介して、自由落下する液体３を下方から撮像するように構成された流量計測装置２９０を備えた点で実施例１、実施例２と異なっている。
【００６０】
なお、樋部２８１は,底面のみ透明部材で構成してもよいし、樋部２８１全てを透明部材で構成してもよい。少なくとも底面が透明であればよい。
【００６１】
撮像装置２９１、２９２、２９３、２９４はＴＶカメラからなり、パイプ開放端７１、７２、７３、７４から自由落下する液体３を撮像する。そして実施例１、２と同様に撮像装置２９１、２９２、２９３、２９４の撮像画像は、順次、演算部９５でそれぞれの液体３の面積を演算し、その面積に基づき算出部９６がそれぞれの液体３の流量を算出する。
【００６２】
実施例３においても、特に液体３が滴下状態である場合等、流量が低流量である場合により精度よく液体３の面積を演算することができ、その結果、液体３の流量を精度よく算出することができる。
【００６３】
なお、実施例３においては、樋部２８１をその長さ方向中央部に向けて傾斜させることに加えて、樋部２８１の長さ方向と直交するいずれかの方向に傾斜させて液体３が樋部２８１のいずれかの隅を流れてパイプ８２に流れ込むように構成してもよい。このように構成することにより、撮像装置２９１、２９２、２９３、２９４がそれぞれのパイプ開放端７１、７２、７３、７４から自由落下した液体３を撮像することができる、つまり、パイプ開放端７１、７２、７３、７４から自由落下した液体３が混じり合うことなく、それぞれの液体３を撮像することができる。
【００６４】
上記の構成により実施例３においても、流量計測装置９０がパイプ開放端７１、７２、７３、７４から自由落下する液体３の流量を計測することにより、液体３が高粘度で低流量であっても精度よく流量を計測することができる。
【実施例４】
【００６５】
本発明の実施例４について、図６を参考にして説明する。図６は、パイプ４１、４２、４３、４４のそれぞれのパイプ開放端７１、７２、７３、７４から流れ出て自由落下する液体３を上方から撮像した撮像画像３９７の例を示している。
【００６６】
すなわち、実施例４は、図６に示すようにパイプ開放端７１、７２、７３、７４から流れ出る液体３を１台の撮像装置３９１（図示せず）で上方から撮像するように流体計測装置３９０（図示せず）を構成した点で実施例１〜３と異なっている。実施例４では、パイプ４１のパイプ開放端７１とパイプ４２のパイプ開放端７２とが互いに対向するように配置され、パイプ４３のパイプ開放端７３とパイプ４４のパイプ開放端７４とが互いに対向するとともに、パイプ開放端７１及びパイプ開放端７２と水平面で直交するように配置されている。
【００６７】
つまり、同一水平面において互いに近接して、パイプ開放端７１と９０°回転した位置にパイプ開放端７３、さらに９０°回転した位置にパイプ開放端７２、さらに９０°回転した位置にパイプ開放端７４が配置されている。
【００６８】
なお、パイプ開放端の配置は上記に限定されるものではない。例えば、同一水平面において互いに近接して、パイプ開放端７１と９０°回転した位置にパイプ開放端７２、さらに９０°回転した位置にパイプ開放端７３、さらに９０°回転した位置にパイプ開放端７４が配置されるようにしてもよい。
【００６９】
そして、これらのパイプ開放端７１、７２、７３、７４を上方から１つの撮像視野で撮像できるように撮像装置３９１を配置している。
【００７０】
撮像装置３９１で撮像した撮像画像３９７は演算部９５で他の実施例と同様に２値化され、液体３の面積をパイプ開放端７１、７２、７３、７４毎に演算し、算出部９６がそれぞれの液体３の流量を算出する。
【００７１】
上記の構成により実施例４においても、流量計測装置３９０がパイプ開放端７１、７２、７３、７４から自由落下する液体３の流量を計測することにより、液体３が高粘度で低流量であっても精度よく流量を計測することができる。
【実施例５】
【００７２】
本発明の実施例５について、図７を参考にして説明する。実施例５は、１台の撮像装置でパイプ開放端７１、７２、７３、７４から流れ出て自由落下する液体３を撮像する点では実施例４と同じであるが、１台の撮像装置４９１がパイプ開放端７１、７２、７３、７４から流れ出て自由落下する液体３の側方に配置されるとともに、撮像装置４９１がズームレンズ４９８を有している点で他の実施例と異なっている。
【００７３】
つまり、略直線状に配置されたパイプ開放端７１、７２、７３、７４から流れ出て自由落下する液体３の側方に、ズームレンズ４９８を有した撮像装置４９１を配置して流量計測装置４９０が構成されている。そして、ズームレンズ４９８を自動的に駆動して、パイプ開放端７１、７２、７３、７４から流れ出て自由落下する液体３それぞれにピントを合わせて撮像装置４９１は撮像する。
【００７４】
撮像装置４９１はズームレンズ４９８を駆動しながら、順次、パイプ開放端７１、７２、７３、７４から流れ出て自由落下する液体３を撮像し、演算部９５は他の実施例と同様に液体３の面積を演算し、算出部９６はそれぞれの液体３の流量を算出する。
【００７５】
上記の構成により実施例５においても、流量計測装置４９０がパイプ開放端７１、７２、７３、７４から自由落下する液体３の流量を計測することにより、液体３が高粘度で低流量であっても精度よく流量を計測することができる。
【００７６】
上記した本発明における流量計測装置及び流量計測方法は、基材に塗布するスラリー（塗液）の流量計測以外にも広く適用できる。例えば、油圧機器においてオイルが自由落下するような場合にもその流量を計測することができる。
【産業上の利用可能性】
【００７７】
本発明は、高粘度かつ低流量な液体の流量計測に幅広く適用することができる。
【符号の説明】
【００７８】
１：塗布装置    ２：基材    ３：液体  １０：ダイ    １１：第１のマニホールド      １２：スリット  １６：流入部    １７：底部    １８：吐出口    ２０：供給手段  ２１：流入管    ２２：タンク  ２３：ポンプ  ３１：調整部    ３２：調整部    ３３：調整部    ３４：調整部  ３６：センサ    ３７：制御装置  ４１：パイプ    ４２：パイプ    ４３：パイプ    ４４：パイプ  ５０：流出流路  ５１：パイプ  ５２：パイプ  ５３：パイプ  ５４：パイプ６１：バルブ    ６２：バルブ    ６３：バルブ    ６４：バルブ  ７１：パイプ開放端  ７２：パイプ開放端  ７３：パイプ開放端  ７４：パイプ開放端  ８１：樋部      ２８１：樋部      ８２：パイプ  ９０：流量計測装置  １９０：流量計測装置  ２９０：流量計測装置  ３９０：流量計測装置  ４９０：流量計測装置９１：撮像装置  ９２：撮像装置  ９３：撮像装置  ９４：撮像装置１９１：撮像装置  １９２：撮像装置  １９３：撮像装置  １９４：撮像装置２９１：撮像装置  ２９２：撮像装置  ２９３：撮像装置  ２９４：撮像装置３９１：撮像装置  ４９１：撮像装置  ９５：演算部    ９６：算出部    ９７：撮像画像  １９７：撮像画像  ２９７：撮像画像  ３９７：撮像画像４９８：ズームレンズ 
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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