(57)【要約】【課題】ポペット弁を大型化することなく、ダイアフラムの自励振動を抑制する。【解決手段】排気ポート部材１５に、給気ポート部材１４の出力室８側に位置する端部の外周面１４ｃに摺動可能に嵌め込まれる内周壁１５ｄと、ポペット弁２０の第２の弁体２０ｃによって排気ポート１５ａの出力室８側に面する開口部１５ａ１が開かれた時にこの開口部１５ａ１と出力室８との連通を図る排気導入流路１５とを設ける。これにより、排気ポート部材１５の横位置（排気ポート１５ａの横位置）が給気ポート部材１４によって拘束され、ポペット弁２０を大型化することなく、ダイアフラム４の自励振動が抑制される。また、排気導入流路１５ｇを通して、排気ポート１５ａからの排気量が十分確保されるものとなり、圧力調整が円滑に行われる。【選択図】  図２
2016170748.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
隔壁により内部が入力室となる第１の空間と出力室および排気室となる第２の空間とに隔てられ、前記入力室への加圧ガスの入力流路および前記出力室からの前記加圧ガスの出力流路が形成された容器と、
前記第２の空間内に設けられ、この第２の空間を前記隔壁側の前記出力室と前記排気室とに隔てるダイアフラムと、
前記ダイアフラムに結合され、前記出力室と前記排気室とを連通する連通孔が排気ポートとして形成された排気ポート部材と、
前記排気ポート部材を前記出力室に向かって付勢する第１の付勢部材と、
前記排気ポート部材と対向する前記隔壁に設けられ、前記入力室と前記出力室を連通する連通孔が給気ポートとして形成された給気ポート部材と、
前記給気ポートに挿通支持された軸部と、この軸部の一端に形成され前記給気ポートの前記入力室側に面する開口部を開閉する第１の弁体と、前記軸部の他端に形成され前記排気ポートの前記出力室側に面する開口部を開閉する第２の弁体とを有するポペット弁と、
前記第１の弁体を前記出力室に向かって付勢する第２の付勢部材とを備え、
前記排気ポート部材は、
前記給気ポート部材の前記出力室側に位置する端部の外周面に摺動可能に嵌め込まれる内周壁と、
前記ポペット弁の前記第２の弁体によって前記排気ポートの前記出力室側に面する開口部が開かれた時に当該開口部と前記出力室との連通を図る排気導入流路とを有する
ことを特徴とする減圧弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、加圧流体の圧力を減圧する減圧弁、特にダイアフラム型の減圧弁に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、化学プラントや電力プラントなどのプロセス系と呼ばれるシステムにおいては、防爆のために電気に代えて例えば空気などの流体の圧力によって駆動される機器を用いて制御が行われている。この機器に供給される加圧流体は、圧力が高すぎると誤動作や故障の原因となるので、減圧弁によって圧力を下げることが行われる。このような減圧弁の一種に、ダイアフラム型の減圧弁がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
ダイアフラム型の減圧弁は、入力室と出力室との連通および遮断を行う第１の開閉弁と、出力室と排気室との連通および遮断を行う第２の開閉弁とを備え、この第１の開閉弁と第２の開閉弁とが交互に逆の動作を行う。これにより、入力室から出力室に入った加圧流体は減圧されて出力される一方、排気室に入った加圧流体は排気孔を通して減圧弁の外部に放出される。
【０００４】
このダイアフラム型の減圧弁において、第１の開閉弁は、入力室と出力室とを連通する貫通孔として形成された給気ポートと、この給気ポートの入力室側の開口部を開閉する第１の弁体とから構成されており、第２の開閉弁は、出力室と排気室とを連通する貫通孔として形成された排気ポートと、この排気ポートの出力室側の開口部を開閉する第２の弁体とから構成されている。
【０００５】
第１の開閉弁を構成する給気ポートは、入力室と出力室とを隔てる隔壁に設けられた給気ポート部材に形成されており、第２の開閉弁を構成する排気ポートは、出力室と排気室とを隔てるダイアフラムに結合された排気ポート部材に形成されている。また、第１の開閉弁を構成する第１の弁体および第２の開閉弁を構成する第２の弁体は、ポペット弁の一端および他端に形成されている。
【０００６】
図４に従来のダイアフラム型の減圧弁の一例を示す。図５に図４における要部の拡大図を示す。図４および図５において、１０１は入力室、１０２は出力室、１０３は排気室、１０４は入力室１０１と出力室１０２とを隔てる隔壁、１０５は出力室１０２と排気室１０３とを隔てるダイアフラム、１０６は隔壁１０４に設けられた給気ポート部材、１０７はダイアフラム１０５に結合された排気ポート部材、１０８はポペット弁である。
【０００７】
給気ポート部材１０６には入力室１０１と出力室１０２とを連通する貫通孔として給気ポート１０６ａが形成されており、排気ポート部材１０７には出力室１０２と排気室１０３とを連通する貫通孔として排気ポート１０７ａが形成されている。
【０００８】
ポペット弁１０８は、給気ポート１０７ａに挿通支持される軸部（ステム）１０８ａと、軸部１０８ａの一端に形成され給気ポート１０６ａの入力室１０１側に面する開口部１０６ａ１を開閉する傘型の弁体（第１の弁体）１０８ｂと、軸部１０８ａの他端に形成され排気ポート１０７ａの出力室１０２側に面する開口部１０７ａ１を開閉する弁体（第２の弁体）１０８ｃとから構成されている。
【０００９】
ポペット弁１０８の第１の弁体１０８ｂはポペット弁スプリング１０９によって出力室１０２側に向かって付勢されており、第１の弁体１０８ｂと給気ポート１０６ａとによって第１の開閉弁１１０が構成され、第２の弁体１０８ｃと排気ポート１０７ａとによって第２の開閉弁１１１が構成されている。
【００１０】
この減圧弁１００において、ダイアフラム１０５は、調圧スプリング１１２によって出力室１０２に向かって付勢されており、この調圧スプリング１１２によるダイアフラム１０５への付勢の程度を調圧ノブ１１３によって調整することにより、出力室１０２から出力される加圧流体の圧力が設定される。以下、この設定される圧力を「設定圧」と言う。
【００１１】
ダイアフラム１０５は、出力室１０２側に押圧されたときに排気ポート１０７ａの開口部１０７ａ１がポペット弁１０８の第２の弁体１０８ｃで塞がれるよう、排気ポート１０７ａの中心とポペット弁１０８の軸線（軸部１０８ａの軸心）とが一致するように位置決めされる。
【００１２】
ダイアフラム１０５が出力室１０２に向かって付勢されると、ポペット弁１０８の第２の弁体１０８ｃが排気ポート１０７ａの出力室１０２側の開口部１０７ａ１を閉じると共に、排気ポート部材１０７に押されてポペット弁１０８の軸部１０８ａが入力室１０１に向かって移動し、ポペット弁１０８の第１の弁体１０８ｂが給気ポート１０６ａの開口部１０６ａ１から離間する。
【００１３】
この状態において、すなわち第１の開閉弁１１０が開いて第２の開閉弁１１１が閉じた状態において、外部からの加圧流体が入力流路１１４を通して入力室１０１に入力されると、この入力された加圧流体が給気ポート１０６ａを経て出力室１０２へと入り、出力流路１１５を通して外部に出力されることとなる。
【００１４】
この状態において、出力圧ＰOUTが設定圧よりも高くなると、ダイアフラム１０５が排気室１０３に向かって移動する。すると、排気ポート１０７ａの開口部１０７ａ１に付勢されていたポペット弁１０８の第２の弁体１０８ｃも排気室１０３に向かって移動して行き、この移動に伴うポペット弁１０８の軸部１０８ａの移動によって、ポペット弁１０８の第１の弁体１０８ａが給気ポート１０６ａの開口部１０６ａ１を塞ぐようになる。
【００１５】
ダイアフラム１０５が排気室１０３に向かってさらに移動すると、ポペット弁１０８の第２の弁体１０８ｃが排気ポート１０７ａの開口部１０７ａ１から離間する。このような状態となると、すなわち第１の開閉弁１１０が閉じて第２の開閉弁１１１が開くと、出力室１０２内の加圧流体は、排気ポート１０７ａを通って排気室１０３へと入り、排気孔１１６から減圧弁１００の外部に放出される。
【００１６】
これにより、出力室１０２内の加圧流体が減圧され、ダイアフラム１０５が出力室１０２に向かって付勢され、第２の開閉弁１１１が閉じられる。このような動作が繰り返されることにより、出力室８内の調圧が図られ、結果として、設定圧に減圧された加圧流体が出力室１０２から出力流路１１５を通して外部に出力されることとなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１７】
【特許文献１】特開２０００−１２０８９６号公報
【特許文献２】実開平５−４０６６８号公報
【特許文献３】特開平１１−３１１３４９号公報
【特許文献４】特開２００７−２１８４２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
このような減圧弁１００では、構成を簡易化・軽量化することを目的として、通常は、ダイアフラム１０５としてゴム製のダイアフラムが使用されており、平衡調圧状態では調圧スプリング（設定スプリング）１１２の作用力が流体圧の作用力とダイアフラム１０５を介して平衡している。
【００１９】
しかしながら、この減圧弁１００において、ゴム製のダイアフラム１０５は、外乱的な流体圧力や通過流量の変動などがトリガーとなり、自励振動を起こす。この場合、作用力の平衡状態が振動的な挙動となるため、流体圧力が振動的な出力となってしまい、出力側の配管系機器へ悪影響を及ぼすことになる。
【００２０】
一般に、ゴム製のダイアフラムは薄いことが望まれるが、どれだけ薄くできるかは、力学的よりも、むしろ、この自励振動の回避限度に依存している。このため、実際はダイアフラム１０５として厚いゴム材を使用せざるを得なくなり、コストおよび品質の面で阻害要因となっている。
【００２１】
なお、関連する従来技術として、排気ポートをポペット弁にガイドさせるようにしたものがある（例えば、特許文献２，３，４参照）。この関連する従来技術では、横ずれしたり傾斜しないように排気ポートを拘束（排気ポートの横位置を拘束）することで、ダイアフラムの自励振動を軽減させる効果が期待できる。しかし、排気ポートの横位置の拘束をポペット弁で行うようにしているために、ポペット弁が部分的に大型化するなどの問題が生じる。
【００２２】
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、ポペット弁を大型化することなく、ダイアフラムの自励振動を抑制することが可能な減圧弁を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
このような目的を達成するために本発明は、隔壁により内部が入力室となる第１の空間と出力室および排気室となる第２の空間とに隔てられ、入力室への加圧ガスの入力流路および出力室からの加圧ガスの出力流路が形成された容器と、第２の空間内に設けられ、この第２の空間を隔壁側の出力室と排気室とに隔てるダイアフラムと、ダイアフラムに結合され、出力室と排気室とを連通する連通孔が排気ポートとして形成された排気ポート部材と、排気ポート部材を出力室に向かって付勢する第１の付勢部材と、排気ポート部材と対向する隔壁に設けられ、入力室と出力室を連通する連通孔が給気ポートとして形成された給気ポート部材と、給気ポートに挿通支持された軸部と、この軸部の一端に形成され給気ポートの入力室側に面する開口部を開閉する第１の弁体と、軸部の他端に形成され排気ポートの出力室側に面する開口部を開閉する第２の弁体とを有するポペット弁と、第１の弁体を出力室に向かって付勢する第２の付勢部材とを備え、排気ポート部材は、給気ポート部材の出力室側に位置する端部の外周面に摺動可能に嵌め込まれる内周壁と、ポペット弁の第２の弁体によって排気ポートの出力室側に面する開口部が開かれた時に当該開口部と出力室との連通を図る排気導入流路とを有することを特徴とする。
【００２４】
この発明において、ダイアフラムに結合された排気ポート部材は、給気ポート部材の出力室側に位置する端部の外周面にその内周壁が摺動可能に嵌め込まれる。これにより、排気ポート部材の横位置（排気ポートの横位置）が給気ポート部材によって拘束され、ポペット弁を大型化することなく、ダイアフラムの自励振動が抑制される。なお、排気ポート部材にはポペット弁の第２の弁体によって排気ポートの出力室側に面する開口部が開かれた時に当該開口部と出力室との連通を図る排気導入流路が設けられているので、排気ポートからの排気量が十分確保されるものとなり、圧力調整が円滑に行われる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、排気ポート部材に排気ポートの出力室側に面する開口部と出力室との連通を図る排気導入流路を設け、排気ポート部材の内周壁を給気ポート部材の出力室側に位置する端部の外周面に摺動可能に嵌め込むようにしたので、ポペット弁を大型化することなく、ダイアフラムの自励振動を抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明に係る減圧弁の一実施の形態の構成を示す断面図である。
【図２】図１における要部の拡大図である。
【図３】排気導入流路を排気ポート部材の別の部位に設けた例を示す図である。
【図４】従来のダイアフラム型の減圧弁の一例を示す構成図である。
【図５】図４における要部の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１は本発明に係る減圧弁の一実施の形態の構成を示す断面図であり、図２は図１における要部の拡大図である。
【００２８】
本実施の形態の減圧弁１は、有底筒状のフィルターカバー２と、このフィルターカバー２上に配置され、内部に隔壁３１が形成された筒状のセンターボディ３と、このセンターボディ３上にセンターボディ３の上部開口を覆うように配設されたダイアフラム４と、このダイアフラム４上に配置された有天筒状のボンネット５とを備えており、フィルターカバー２とセンターボディ３とボンネット５とによって容器６が構成されている。
【００２９】
この容器６内は、隔壁３１により入力室７となる第１の空間１０と出力室８および排気室９となる第２の空間１１とに隔てられている。入力室７はフィルターカバー２と隔壁３１との間に形成されており、出力室８は隔壁３１とダイアフラム４との間に形成されており、排気室９はダイアフラム４とボンネット５との間に形成されている。
【００３０】
フィルターカバー２は、有底円筒状の部材であり、例えばアルミニウムなどで形成されている。このフィルターカバー２の底部には、ドレン用ボルト１６が螺着されている。
【００３１】
フィルターカバー２は、天部側の端部に形成されたフランジ２ａがガスケット１７を介してセンターボディ３の入力室７側の外縁部に当接させた状態で、そのフランジ２ａに挿通されるボルト１８によりセンターボディ３に固定されている。
【００３２】
センターボディ３のフィルターカバー２側の開口とフィルターカバー２の天部側の開口との間には、すなわち入力室７内の出力室８側に向かう圧力流体の流路の途中には、塵埃除去用のスポンジやステンレスメッシュなどからなるフィルタ１９が設けられている。
【００３３】
センターボディ３は、円筒状の部材であり、例えばアルミニウムなどで形成されている。センターボディ３の内部は、隔壁３１により上下２つの空間に隔てられている。この隔壁３１の中央部には、貫通孔３２が形成されており、この貫通孔３２に給気ポート部材１４が設けられている。
【００３４】
給気ポート部材１４は、例えば黄銅から形成されており、その中央部に上下方向に貫通した貫通孔が給気ポート１４ａとして形成されている。また、給気ポート１４ａの中央部には、この給気ポート１４ａと直交する方向に、給気ポート１４ａを出力室８に連通させる分岐孔１４ｂが形成されている。また、給気ポート１４ａの下方の通路１４ａ１の内径は大径とされ、給気ポート１４ａの上方の通路１４ａ２の内径は小径とされている。
【００３５】
給気ポート１４ａには、例えば黄銅やステンレスからなるポペット弁２０が挿通支持されている。このポペット弁２０は、軸部（ステム）２０ａと、この軸部２０ａの入力室７側の一端に形成された傘型の弁体（第１の弁体）２０ｂと、軸部２０ａの他端に形成された後述する排気ポート１５ａの出力室８側に面する開口部１５ａ１を開閉する弁体（第２の弁体）２０ｃとから構成されている。
【００３６】
ポペット弁２０の軸部２０ａの外径は、軸部２０ａと給気ポート１４ａの下方の通路１４ａ１との間を加圧流体が流通するように、給気ポート１４ａの下方の通路１４ａ１の内径よりも小さく形成されている。また、ポペット弁２０の軸部２０ａの外径は、軸部２０ａが給気ポート１４ａの上方の通路１４ａ２の内周面をガイド面として摺動移動するように、給気ポート１４ａの上方の通路１４ａ２の内径よりも僅かに小さくされている。また、ポペット弁２０の弁体２０ｂの外径は、給気ポート１４ａの入力室７側に面する開口部１４ａ３を開閉するように、開口部１４ａ３の内径よりも大きく形成されている。
【００３７】
隔壁３１の入力室７側の面における貫通孔３２の下端には、ポペットスプリング受け２１が支持されている。ポペットスプリング受け２１とポペット弁２０の第１の弁体２０ｂとの間には、ポペットスプリング２２が配設されている。このポペットスプリング２２は、例えばステンレスのコイルスプリングなどからなり、ポペット弁２０を出力室８に向かって付勢する。これにより、ポペット弁２０の第２の弁体２０ｃは、給気ポート１４ａの上方の通路（出力室８側の開口部）１４ａ２から突出することとなる。
【００３８】
また、センターボディ３には、一端がセンターボディ３の外側面に開口し、他端が入力室７側の面に開口した入力流路１２と、一端が出力室８側の面に開口し、他端がセンターボディ３の外側面に開口した出力流路１３とが形成されている。また、入力流路１２におけるセンターボディ３の外側面の開口には、外部から加圧流体を入力するための配管（図示せず）が接続される。また、出力流路１３におけるセンターボディ３の外側面の開口には、外部に加圧流体を送出するための配管（図示せず）が接続される。
【００３９】
ダイアフラム４は、平面視略円形の膜状の部材であり、例えばニトリルゴムなどの可撓性を有する材料で形成されている。ダイアフラム４の外径は、センターボディ３上面の外径と同等に形成されている。このダイアフラム４は、センターボディ３の出力室８側の端部とボンネット５の底部側の開口縁部とにより外縁部が挟持された状態で、センターボディ３とボンネット５との間に配設されている。これにより、ダイアフラム４は、出力室８と排気室９とを隔てることとなる。
【００４０】
ダイアフラム４の出力室８側の面には、排気ポート部材１５が結合されている。この排気ポート部材１５は、円盤状の部材であり、例えば黄銅から形成されている。排気ポート部材１５の外径は、ダイアフラム４の外径およびセンターボディ３の出力室８側の開口よりも小さく形成されている。
【００４１】
排気ポート部材１５のダイアフラム４に当接する側の面の中央部には、円柱状の第１の突出部１５ｂが形成されており、この第１の突出部１５ｂは、ダイアフラム４の中央部に形成された貫通孔４ａに挿通されており、ダイアフラム４の排気室９側の面から突出している。
【００４２】
また、排気ポート部材１５の出力室８側の面の中央部には円筒状の第２の突出部１５ｃが形成されており、この第２の突出部１５ｃの内周面（内周壁）１５ｄを摺動面として、給気ポート部材１４の出力室８側に位置する端部の外周面１４ｃに摺動可能に排気ポート部材１５が嵌め込まれている。
【００４３】
また、排気ポート部材１５の中央部には、出力室８と排気室９とを連通する貫通孔が排気ポート１５ａとして形成されており、排気ポート１５ａの出力室８側に面する開口部１５ａ１の周縁部１５ｅはすり鉢状とされている。また、排気ポート部材１５には、第１の突出部１５ｂと第２の突出部１５ｃとで挟まれた基台部１５ｆに、第２の突出部１５ｃの内壁面１５ｄ内の空間と出力室８とを連通する複数の連通孔１５ｇが形成されている。以下、この連通孔１５ｇを排気導入流路と呼ぶ。
【００４４】
ダイアフラム４の排気室９側の面には、面積板２３が配設されている。この面積板２３は、円盤状の部材であり、例えば黄銅で形成されている。面積板２３の外径は、ダイアフラム４の外径およびボンネット５の底部開口よりも小さく形成されている。この面積板２３は、中央部に形成された貫通孔２３ａに排気ポート部材１５の突出部１５ｂが挿通された状態で、ダイアフラム４の上面に固定されている。
【００４５】
ボンネット５は、例えばアルミニウムからなる有天円筒状の部材である。このボンネット５は、センターボディ３の上部に載置されたダイアフラム４上に、ボンネット５の下端部に形成されたフランジ５ａを載せた状態で、このフランジ５ａに挿通されるボルト２４によりダイアフラム４を介してセンターボディ３に固定されている。これにより、ダイアフラム４とボンネット５との間には排気室９が形成される。この排気室９は、ボンネット５の側壁に形成された排気孔５ｂを介して外部と連通している。
【００４６】
ボンネット５の天部には、調圧ノブ２５が螺着されている。この調圧ノブ２５は、つまみ２５ａと、一端がつまみ２５ａに固定され、他端がボンネット５内に位置する軸２５ｂとから構成されており、軸２５ｂが上下方向に移動可能にボンネット５の天部に螺着されている。
【００４７】
ボンネット５の内部には、調圧ノブ２５の軸２５ｂの他端近傍に例えば鋼材などからなる調圧スプリング受け２６が配設されおり、この調圧スプリング受け２６とダイアフラム４に固定された面積板２３との間には、例えばばね用鋼材で形成されたコイルバネなどからなる調圧スプリング２７が配設されている。
【００４８】
この減圧弁１では、第１の弁体２０ｂと給気ポート１４ａとによって第１の開閉弁３４が構成されており、第２の弁体２０ｃと排気ポート１５ａとによって第２の開閉弁３５が構成されている。また、調圧スプリング２７によるダイアフラム４への付勢の程度を調圧ノブ２５によって調整することにより、出力室８から出力される加圧流体の圧力が設定される。
【００４９】
この減圧弁１において、ダイアフラム４が出力室８に向かって付勢されると、給気ポート部材１４の出力室８側に位置する端部の外周面１４ｃに内周壁１５ｄが嵌め込まれた排気ポート部材１５が出力室８側に摺動移動し、ポペット弁２０の第２の弁体２０ｃが排気ポート１５ａの出力室８側の開口部１５ａ１を閉じると共に、ポペット弁２０の軸部２０ａが入力室８に向かって移動し、ポペット弁２０の第１の弁体２０ｂが給気ポート１４ａの開口部１４ａ１から離間する。
【００５０】
この状態において、すなわち第１の開閉弁３４が開いて第２の開閉弁３５が閉じた状態において、外部からの加圧流体が入力流路１２を通して入力室７に入力されると、この入力された加圧流体が給気ポート１４ａを経て出力室８へと入り、出力流路１３を通して外部に出力されることとなる。
【００５１】
この状態において、出力圧ＰOUTが設定圧よりも高くなると、ダイアフラム４が排気室９に向かって移動する。すなわち、給気ポート部材１４の出力室８側に位置する端部の外周面１４ｃに内周壁１５ｄが嵌め込まれた排気ポート部材１５が排気室９側に摺動移動する。
【００５２】
すると、排気ポート１４ａの開口部１４ａ１に付勢されていたポペット弁２０の第２の弁体２０ｃも排気室９に向かって移動して行き、この移動に伴うポペット弁２０の軸部２０ａの移動によって、ポペット弁２０の第１の弁体２０ｂが給気ポート１４ａの開口部１４ａ３を塞ぐようになる。
【００５３】
ダイアフラム４が排気室９に向かってさらに移動すると、ポペット弁２０の第２の弁体２０ｃが排気ポート１５ａの開口部１５ａ１から離間する。このような状態となると、すなわち第１の開閉弁３４が閉じて第２の開閉弁３５が開くと、出力室８内の加圧流体が排気ポート１５ａを通って排気室９へと入り、排気孔５ｂから減圧弁１の外部に放出される。
【００５４】
すなわち、ポペット弁２０の第２の弁体２０ｃによって排気ポート１５ａの開口部１５ａ１が開かれると、排気ポート部材１５に形成されている排気導入流路１５ｇによって開口部１５ａ１と出力室８との連通が図られ、出力室８内の加圧流体が排気ポート１５ａを通って排気室９へと入り、排気孔５ｂから減圧弁１の外部に放出され、出力室８内の調圧が図られるものとなる。
【００５５】
この減圧弁１では、ダイアフラム４に結合された排気ポート部材１５の内周壁１５ｄが給気ポート部材１４の出力室８側に位置する端部の外周面１４ｃに摺動可能に嵌め込まれているので、排気ポート部材１５の横位置（排気ポート１５ａの横位置）が給気ポート部材１４によって拘束される。これにより、ポペット弁２０を大型化することなく、ダイアフラム４の自励振動を抑制することができる。
【００５６】
また、ポペット弁２０の第２の弁体２０ｃによって排気ポート１５ａの開口部１５ａ１が開かれた時、この排気ポート１５ａの開口部１５ａ１と出力室８との連通が排気導入流路１５ｇによって図られるので、排気ポート１５ａからの排気量が十分確保されるものとなり、圧力調整が円滑に行われる。
【００５７】
また、この減圧弁１では、ダイアフラム４の自励振動を抑制することができるので、ダイアフラム４の厚みを薄くすることができる。ゴム製のダイアフラムを薄くすることは、低コスト化とともに、加工公差を狭めることもできるので、組み立てによる性能品質のばらつきを抑えるという効果も期待できる。
【００５８】
なお、上述した実施の形態では、排気ポート部材１５の第１の突出部１５ｂと第２の突出部１５ｃとで挟まれた基台部１５ｆに排気導入流路１５ｇを形成するようにしたが、図３に示すように、第２の突出部１５ｃの周壁に排気導入流路１５ｇを形成するようにしてもよい。このようにすると、基台部１５ｆの厚みを薄くすることができ、排気ポート部材１５の上下寸法の大型化を避けることができる。
【００５９】
また、上述した実施の形態において、排気ポート部材１５に設ける排気導入流路１５ｇは１つ以上あればよく、また第２の突出部１５ｃの周壁を網目状とするなどして、排気の導入流路を確保するようにしてもよい。また、減圧弁１に入出力される加圧流体は、液体および気体の何れも用いることができる。
【００６０】
また、本発明の減圧弁は、ダイアフラムを使用するポペット式パイロットリレーなど、ダイアフラムの自励振動が発生しているものに適用可能であり、バルブポジショナや電空変換器などで用いることができる。ダイアフラムを使用するポペット式パイロットリレーは、内弁構造に共通点が多い。
【００６１】
〔実施の形態の拡張〕
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
【符号の説明】
【００６２】
１…減圧弁、２…フィルタカバー、３…センターボディ、４…ダイアフラム、５…ボンネット、５ｂ…排気孔、６…容器、７…入力室、８…出力室、９…排気室、１０…第１の空間、１１…第２の空間、１２…入力流路、１３…出力流路、１４…給気ポート部材、１４ａ…給気ポート、１４ａ３…開口部、１４ｂ…分岐孔、１４ｃ…外周面、１５…排気ポート部材、１５ａ…排気ポート、１５ａ１…開口部、１５ｂ…第１の突出部、１５ｃ…第２の突出部、１５ｄ…内周壁、１５ｆ…基台部、１５ｇ…排気導入流路、２０…ポペット弁、２０ａ…軸部、２０ｂ…第１の弁体、２０ｃ…第２の弁体、２２…ポペットスプリング、２７…調圧スプリング、３１…隔壁、３４…第１の開閉弁、３５…第２の開閉弁。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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