(57)【要約】【課題】スクライビングホイールがピン軸方向に移動することによりスクライブラインの形成位置がずれるという問題点に鑑みてなされたものであって、スクライブラインの形成位置を安定させ、所望の位置からのずれが生じないようにするスクライブ装置を提供する。【解決手段】スクライブ装置１は、保持部６２ａ、保持部６２ｂの厚みを変えることによって、正面視におけるスクライビングホイール４０の保持位置Ｈを回転軸２３の軸中心Ｓから外れる構成としている。このためスクライブラインの形成を開始すると、脆性材料基板１５から受ける反力によって、スクライビングホイールとピン軸５０が斜めになり、側面４２ａ側が保持壁６５ａに近づく方向に移動し、側面４２ａと保持壁６５ａとのクリアランスがゼロになる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スクライビングホイールと、前記スクライビングホイールの貫通孔に貫通されたピン軸と、
本体部と、前記本体部の下方側に形成され前記スクライビングホイールを保持する一対の保持部と、同軸上に位置し前記保持部にそれぞれ形成されるとともに前記ピン軸が挿通されたピン孔と、を有するホルダと、を備えたホルダユニットと、
鉛直方向に伸びる回転軸を中心に前記ホルダユニットを回転自在に保持するスクライブヘッドと、
を備えるスクライブ装置であって、
前記スクライビングホイールは、正面視において前記回転軸の軸中心から外れて保持されていることを特徴とするスクライブ装置。
【請求項２】
前記スクライブヘッドは、前記回自転軸が取り付けられたホルダジョイントを備え、
前記ホルダユニットは、前記ホルダの本体部を前記ホルダジョイントに固定することを特徴とする請求項１に記載のスクライブ装置。
【請求項３】
前記ホルダの一対の前記保持部は、厚さが異なっていることを特徴とする請求項１または２に記載のスクライブ装置。
【請求項４】
前記ホルダジョイントは垂直壁を備え、
前記ホルダユニットは、前記ホルダの前記本体部側面を前記垂直壁に接触させて前記ホルダジョイントに固定されていることを特徴とする請求項２に記載のスクライブ装置。
【請求項５】
前記ホルダジョイントは垂直壁を備え、
前記垂直壁と前記ホルダの前記本体部側面との間に距離調整部材が配置されていることを特徴とする請求項２に記載のスクライブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板等の脆性材料基板の分断において、脆性材料基板の表面にスクライブラインを形成する際に用いるスクライブ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板等の脆性材料基板を所望の寸法に分断する際、一般的にスクライブ装置が用いられる。このスクライブ装置は、スクライビングホイールを保持するためのホルダにスクライビングホイールを取り付けて使用される。また、このスクライビングホイールは、ホルダの保持部に形成されたピン孔と、スクライビングホイールの側面に形成された貫通孔とに、円柱状のピン軸を挿入することで、保持部間（保持溝）に保持される。
【０００３】
そして、ホルダに取り付けられたスクライビングホイールは、回転自在に保持されており、脆性材料基板の表面を回転しながら進むことで、脆性材料基板にスクライブラインを形成する。なお、このようなスクライブ装置として、例えば、特許文献１に記載されているようなスクライブ装置がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際特許公開  ＷＯ２００７／０６３９７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ホルダに取り付けられたスクライビングホイールは、上述のようにスクライブラインを形成するために保持溝で回転する必要がある。したがって、保持溝の幅はスクライビングホイールの厚みより若干広くなっており、スクライビングホイールと保持部との間にはクリアランスが確保されている。具体的には、スクライビングホイールの厚みが０．６５ｍｍの場合には、保持溝の幅は０．０２ｍｍ程度広くなっている。このように、スクライビングホイールと保持部との間にクリアランスが存在することによって、スクライビングホイールは、回転自在に保持される。
【０００６】
一方で、このクリアランスによって、スクライビングホイールは、ホルダ溝内でピン軸に沿って０．０２ｍｍ程度移動できることになってしまう。したがって、スクライブラインを形成する際に、スクライビングホイールがピン軸方向に移動してしまうことで、スクライブラインの形成位置が安定しなくなり、従来のスクライブ装置では、スクライブラインが所望の位置からずれるということが問題となっていた。
【０００７】
本発明は、上述したスクライビングホイールがピン軸方向に移動することによりスクライブラインの形成位置がずれるという問題点に鑑みてなされたものであって、スクライブイラインの形成位置を安定させ、所望の位置からのずれが生じないようにするスクライブ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明のスクライブ装置は、スクライビングホイールと、前記スクライビングホイールの貫通孔に貫通されたピン軸と、本体部と、前記本体部の下方側に形成され前記スクライビングホイールを保持する一対の保持部と、同軸上に位置し前記保持部にそれぞれ形成されるとともに前記ピン軸が挿通されたピン孔と、を有するホルダと、を備えたホルダユニットと、鉛直方向に伸びる回転軸を中心に前記ホルダユニットを回転自在に保持するスクライブヘッドと、を備えるスクライブ装置であって、前記スクライビングホイールは、正面視において前記回転軸の軸中心から外れて保持されていることを特徴とする。
【０００９】
本発明のスクライブ装置によれば、スクライブラインの形成を開始すると、スクライビングホイールとピン軸とが斜めになって進むため、スクライビングホイールが一方の保持部側へと寄ることになる。このため、スクライビングホイールと保持部との間のクリアランスによってスクライビングホイールがピン軸方向へ移動することが規制される。したがって、スクライブ装置は、スクライブラインの形成位置を安定させることができる。
【００１０】
また、本発明のスクライブ装置は、前記スクライブヘッドが、前記回自転軸が取り付けられたホルダジョイントを備え、前記ホルダユニットは、前記ホルダの本体部を前記ホルダジョイントに固定することを特徴とする。
【００１１】
本発明のスクライブ装置によれば、摩耗等で交換が必要になったホルダユニットの交換を簡単に行うことができる。
【００１２】
また、本発明のスクライブ装置は、前記ホルダの一対の前記保持部が、厚さが異なっていることを特徴とする。
【００１３】
本発明のスクライブ装置によれば、ホルダの保持溝の厚さを調整して加工することによって上記効果を簡単に奏することができる。
【００１４】
また、本発明のスクライブ装置は、前記ホルダジョイントが垂直壁を備え、前記ホルダユニットは、前記ホルダの前記本体部側面を前記垂直壁に接触させて前記ホルダジョイントに固定されていることを特徴とする。
【００１５】
本発明のスクライブ装置によれば、ホルダジョイントの垂直壁の厚さを調整することによって上記効果を簡単に奏することが可能となる。
【００１６】
また、本発明のスクライブ装置は、前記ホルダジョイントが垂直壁を備え、前記垂直壁と前記ホルダの前記本体部側面との間に距離調整部材が配置されていることを特徴とする。
【００１７】
本発明のスクライブ装置によれば、距離調整部材を用いるだけで上記効果を簡単に奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】実施形態１のスクライブ装置の概略図である。
【図２】図２（Ａ）は実施形態１のホルダユニットの正面図であり、図２（Ｂ）は比較例としてのホルダユニットの正面図である。
【図３】図３（Ａ）は実施形態１のホルダユニットの側面図であり、図３（Ｂ）は上方視におけるホルダユニットの概念図である。
【図４】図４（Ａ）は実施形態１のスクライブ装置でスクライブラインを形成する前の上方視におけるホルダユニットの概念図であり、図４（Ｂ）はスクライブラインを形成している状況での上面視におけるホルダユニットの概念図である。
【図５】実施形態２のホルダユニットの正面図である。
【図６】実施形態３のホルダユニットの正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。ただし、以下に示す実施形態は、本発明の技術思想を具体化するための一例を示すものであり、本発明をこの実施形態に特定することを意図するものではない。本発明は、特許請求の範囲に含まれるその他の実施形態にも適応できるものである。
【００２０】
［実施形態１］
図１は、本発明の実施形態に係るスクライブ装置１の概略図である。スクライブ装置１は、移動台１０を備えている。移動台１０は、ボールネジ１１と螺合されており、モータの駆動によりこのボールネジ１１が回転することで、一対の案内レール１２に沿ってｙ軸方向に移動可能となっている。
【００２１】
移動台１０の上面には、モータ１３が設置されている。モータ１３は、上部に位置するテーブル１４をｘｙ平面で回転させて所定角度に位置決めする。モータ１３により水平回転可能なテーブル１４は、図示しない真空吸着手段を備えており、テーブル１４上に載置された脆性材料基板１５をこの真空吸着手段によって保持する。
【００２２】
この脆性材料基板１５は、ガラス基板、低温焼成セラミックスや高温焼成セラミックスからなるセラミック基板、シリコン基板、化合物半導体基板、サファイア基板、石英基板等である。また、脆性材料基板１５は、基板の表面又は内部に薄膜或いは半導体材料を付着させたり、含ませたりしたものであってもよい。また、脆性材料基板１５は、その表面に脆性材料に該当しない薄膜等が付着されていても構わない。
【００２３】
スクライブ装置１は、テーブル１４に載置された脆性材料基板１５の上方に、この脆性材料基板１５の表面に形成されたアライメントマークを撮像する二台のＣＣＤカメラ１６を備えている。移動台１０とその上部のテーブル１４とを跨ぐように、ブリッジ１７が支柱１８ａ、１８ｂに架設されている。
【００２４】
ブリッジ１７にはガイド１９が取り付けられており、スクライブヘッド２０はこのガイド１９に案内されてｘ軸方向に移動するように設置されている。スクライブヘッド２０は下端にホルダジョイント２１を備えている。ホルダ６０にスクライビングホイール４０が保持されているホルダユニット３０が、ホルダジョイント２１を介してスクライブヘッド２０に取り付けられている。
【００２５】
ここで、スクライブ装置１を用いて脆性材料基板１５へスクライブラインを形成する工程の概略を説明する。まず、スクライブヘッド２０に取り付けられたホルダ６０にスクライビングホイール４０を取り付ける。そして、スクライブ装置１は、一対のＣＣＤカメラ１６によって脆性材料基板１５の位置決めを行う。次いで、スクライブ装置１は、スクライブヘッド２０を所定の位置に移動させ、スクライビングホイール４０に対して所定の荷重を印加して、脆性材料基板１５へ接触させる。そして、スクライブ装置１は、スクライブヘッド２０をＸ軸方向に移動させることにより、脆性材料基板１５の表面に所定のスクライブラインを形成する。なお、スクライブ装置１は、必要に応じてテーブル１４を回動ないしＹ軸方向に移動し、上記の場合と同様にしてスクライブラインを形成する。
【００２６】
次に、ホルダユニット３０の詳細について図を用いて説明する。図２（Ａ）はホルダユニット３０の正面図であり、図２（Ｂ）は比較例としてのホルダユニット３０´の正面図である。また、図３（Ａ）はホルダユニット３０の側面図であり、図３（Ｂ）は図３（Ａ）の矢印Ａで示した上方視におけるホルダユニット３０の概念図である。なお、図２（Ａ）、図３（Ａ）には、ホルダユニット３０が直接取り付けられるホルダジョイント２１が併せて図示されている。また、図３（Ｂ）は、後述する回転軸２３の軸中心Ｓと、スクライビングホイール４０の保持位置Ｈとの関係を示すための概念図であるため、ホルダユニット３０について一部図示を省略している。また、図２（Ｂ）の比較例としてのホルダユニット３０´は、ホルダユニット３０とホルダ６０の形状のみが異なっているだけである。したがって、図２（Ｂ）では、ホルダユニット３０と同様の符号を用いるとともに説明を省略する。
【００２７】
ホルダユニット３０は、スクライビングホイール４０と、ピン軸５０と、ホルダ６０と、が一体となったものである。ホルダユニット３０は、図３（Ａ）に示すようにホルダジョイント２１に取付ネジ３１によって取り付けられている。
【００２８】
ここで、ホルダジョイント２１は、垂直壁２２ａと水平壁２２ｂからなり断面形状が逆Ｌ字状の取付部２２と、取付部２２の水平壁２２ｂの天面側から鉛直方向に伸びた回転軸２３と、回転軸２３が挿通された二つのベアリング２４ａ、２４ｂと、で構成されている。
【００２９】
ホルダジョイント２１に取り付けられたホルダユニット３０は、ホルダユニット３０の側面が取付部２２の垂直壁２２ａと接触し、ホルダユニット３０の上面が水平壁２２ｂと接触する。また、垂直壁２２ａには、図２（Ａ）に示すように取付ネジ３１が挿入されるネジ孔２５が形成されている。
【００３０】
そして、ホルダジョイント２１は、取付部２２に取り付けられたホルダユニット３０をスクライブヘッド２０から露出するようにして、スクライブヘッド２０の内部へと固定される。この時、ホルダジョイント２１に固定されたホルダユニット３０は、回転軸２３を中心として回転自在となっている。なお、一点鎖線Ｓは、回転軸２３の軸中心を示している。
【００３１】
また、スクライブ装置１を用い脆性材料基板１５の表面にスクライブラインを形成する際、スクライビングホイール４０は図２（Ａ）の矢印Ｒの方向に進むように回転する。なお、スクライブ装置１は、ホルダジョイント２１を用いないで、ホルダユニット３０自身が回転軸２３やベアリング２４ａ、２４ｂを備える構成でも構わない。
【００３２】
スクライビングホイール４０は、例えば焼結ダイヤモンドや超硬合金等で形成された、円板状の部材である。また、スクライビングホイール４０にはピン軸５０が貫通するための貫通孔４１が円板の両側面４２ａ、４２ｂの中心に形成されている。また、スクライビングホイール４０には稜線を形成するＶ字状の刃が外周部に形成されている。また、本実施形態のスクライビングホイール４０は、厚さが約０．６５ｍｍであり、外径が約２．０ｍｍ、貫通孔４１の径が約０．８ｍｍ、刃の刃先角が約１３０°である。
【００３３】
ピン軸５０は、例えば焼結ダイヤモンドや超硬合金等で形成された、円柱状の部材であり、図２（Ａ）に示すように一端が尖頭形状の尖頭部５１になっている。また、本実施形態のピン軸５０の径は約０．８ｍｍとなっている。
【００３４】
ホルダ６０は、ステンレスや炭素工具鋼からなる本体部６１からなる。本体部６１は、図３（Ａ）に示すように下方側が側面視において下端に向かって幅が狭くなる台形状となっている。また、本体部６１の台形状部分には、それぞれ保持部６２ａ、６２ｂが形成されており、保持部６２ａ、６２ｂとの間に保持溝６３が形成される。なお、ホルダ６０は本体部６１を一つの基材で構成しているが、例えば、保持部６２ａ、６２ｂをそれぞれ有する二つの基材を固定することで本体部６１を形成したものでも構わない。
【００３５】
保持部６２ａ、６２ｂには、ピン軸５０が挿通されるピン孔６４ａ、６４ｂが同軸位置に形成されている。したがって、スクライビングホイール４０の側面４２ａは保持部６２ａと対向し、側面４２ｂは保持部６２ｂと対向する。側面４２ａと対向する保持部６２ａの対向面は保持壁６５ａとなり、側面４２ｂと対向する保持部６２ｂの対向面は保持壁６５ｂとなる。
【００３６】
本体部６１の上部には、取付ネジ３１が挿入されるネジ孔６６が形成されている。また、保持部６２ａ側には止め金６８ａがネジ６９ａで取り付けられており、保持部６２ｂ側には止め金６８ｂがネジ６９ｂで取り付けられている。この止め金６８ａ、６８ｂは、ピン孔６４ａ、６４ｂを閉塞するためのものである。
【００３７】
以上のようなスクライブ装置１は、スクライビングホイール４０と、スクライビングホイール４０の貫通孔４１に貫通されたピン軸５０と、本体部６１の下方側の保持部６２ａ、６２ｂに設けられたピン孔６４ａ、６４ｂにピン軸５０が挿通されたホルダ６０と、を備えたホルダユニット３０と、回転軸２３を中心にホルダユニット３０を回転自在に保持するとともにスクライブヘッド２０内部へ固定されるホルダジョイント２１と、を備えている。
【００３８】
また、スクライブ装置１は、正面視において、スクライビングホイール４０のピン軸５０における回転位置である保持位置Ｈを、回転軸２３の軸中心Ｓから外して形成されている。この点についてより具体的に説明する。
【００３９】
まず、比較例として示している図２（Ｂ）のホルダユニット３０´は、回転軸２３の軸中心Ｓ上にスクライビングホイール４０が保持されている。一方、本実施形態のホルダユニット３０は、回転軸２３の軸中心Ｓ上でスクライビングホイール４０は保持されておらず、軸中心Ｓから外れた位置で保持されている。
【００４０】
また、スクライブ装置１における回転軸２３の軸中心Ｓと、スクライビングホイール４０の保持位置Ｈの関係は、図３（Ｂ）に示すように、保持位置Ｈは、進行方向Ｒに対して軸中心Ｓよりも右側後方に位置している。
【００４１】
なお、図２（Ｂ）のホルダユニット３０´のように正面視において回転軸２３の軸中心Ｓとスクライビングホイール４０の保持位置とが一致している状態で、進行方向Ｒに対して保持位置Ｈが単に後方に位置（進行方向Ｒに沿って、軸中心Ｓと保持位置Ｈが同一線上に位置）するものは、所謂キャスター効果を利用したスクライビングホイール４０の姿勢制御として既によく知られている構成である。
【００４２】
本実施形態のスクライブ装置１は、図２（Ａ）、図３（Ｂ）に示すように、正面視において回転軸２３の軸中心Ｓからスクライビングホイール４０の保持位置Ｈが外れ、進行方向Ｒに対して保持位置Ｈが斜め後方に位置するように保持している。
【００４３】
このようなスクライブ装置１を用いて脆性材料基板１５の表面にスクライブラインを形成した時のホルダユニット３０について、図を用いて説明する。
【００４４】
図４（Ａ）はスクライブ装置１を用いて脆性材料基板１５の表面にスクライブラインを形成する直前の上方視のホルダユニット３０の概念図であり、図４（Ｂ）はスクライブラインを形成している状況での上面視のホルダユニット３０の概念図である。なお、図３（Ｂ）と同様、図４においてもホルダユニット３０の一部の構成は図示を省略している。
【００４５】
図４（Ａ）に示すように、回転軸２３の軸中心Ｓからスクライビングホイール４０の保持位置Ｈが外れたホルダユニット３０を用いてスクライブラインの形成を開始すると、図４（Ｂ）に示すように、脆性材料基板１５から受ける反力によって、スクライビングホイール４０とともにピン軸５０が斜めになる。この状態でスクライビングホイール４０は、回転しながら進行することになり、側面４２ａ側が保持壁６５ａに近づく方向に移動し、保持壁６５ａへと接触する。
【００４６】
このため、スクライビングホイール４０の側面４２ａと保持壁６５ａとのクリアランスがゼロになる。したがって、スクライビングホイール４０は、スクライブラインを形成する際に、ピン軸５０に沿った移動を規制されることになる。このため、スクライブ装置１はスクライブラインの形成位置が安定することになり、所望の位置へスクライブラインを形成することができる。
【００４７】
なお、本実施形態においてスクライブ装置１は、保持部６２ａ、保持部６２ｂの厚みを変えることによって、正面視におけるスクライビングホイール４０の保持位置Ｈを回転軸２３の軸中心Ｓから外れる構成としている。具体的には、図３（Ｂ）に示すように、保持部６２ａの厚みＷａが保持部６２ｂの厚みＷｂに比べ薄くなっている。
【００４８】
また、スクライブ装置１は、正面視における軸中心Ｓからの保持位置Ｈのズレ量を４００〜５００μｍ程度としてスクライブラインを形成したところ、形成位置が安定したスクライブラインを形成することができた。
【００４９】
［実施形態２］
次に他の実施形態について図を用いて説明する。図５はホルダジョイント１２１に取り付けられたホルダユニット１３０の正面図である。
【００５０】
ホルダジョイント１２１は、実施形態１のホルダジョイント２１と同様の構成となっているため詳細な説明を省略する。
【００５１】
ホルダユニット１３０は、実施形態１のホルダユニット３０と異なり、ホルダユニット１３０を構成するホルダ１６０の保持部１６２ａと保持部１６２ｂの厚さが同様の厚みになっている。その他の構成については、実施形態１のホルダユニット３０と同様の構成となっているため詳細な説明を省略する。
【００５２】
本実施形態において、スクライブ装置１は、距離調整部材８０を用いて正面視においてスクライビングホイール１４０の保持位置Ｈを回転軸１２３の軸中心Ｓから外れる構成としている。
【００５３】
具体的には、保持部１６２ｂ側の側面とホルダジョイント１２１の垂直壁１２２ａとの間に、厚さが４００〜５００μｍ程度の金属製の板材からなる距離調整部材８０が配置されている。ホルダユニット１３０を垂直壁１２２ａに取り付けるための取付ネジ１３１が貫通するネジ穴が距離調整部材８０には形成されており、距離調整部材８０は、取付ネジ１３１を用いて、保持部１６２ｂの側面と垂直壁１２２ａとの間に固定されている。
【００５４】
このような構成のホルダユニット１３０であってもスクライブ装置１に用いてスクライブラインを形成すると、脆性材料基板１５から受ける反力によって、スクライビングホイール１４０とともにピン軸１５０が斜めになる。この状態でスクライビングホイール１４０は、回転しながら進行することになり、側面１４２ａ側が保持壁１６５ａに近づく方向に移動し、保持壁１６５ａへと接触する。
【００５５】
このため、スクライビングホイール１４０の側面１４２ａと保持壁１６５ａとのクリアランスがゼロになる。したがって、スクライビングホイール１４０は、スクライブラインを形成する際に、ピン軸１５０に沿った移動を規制されることになる。このため、スクライブ装置１はスクライブラインの形成位置が安定することになり、所望の位置へスクライブラインを形成することができる。
【００５６】
また、本実施形態のスクライブ装置１は、同じ幅の保持部１６２ａ、１６２ｂからなるホルダ１６０を用いることができるため、特別に製造したホルダを用いることなく一般的に用いられるホルダユニットをそのまま使用することができる。
【００５７】
［実施形態３］
次に他の実施形態について図を用いて説明する。図６はホルダジョイント２２１に取り付けられたホルダユニット２３０の正面図である。
【００５８】
ホルダジョイント２２１は、実施形態１のホルダジョイント２１に比べ、垂直壁２２２ａの厚さが４００〜５００μｍ程度厚くなっている。なお、他の構成は同様となっているため、詳細な説明を省略する。
【００５９】
ホルダユニット２３０は、実施形態２のホルダユニット１３０と同様に、ホルダユニット２３０を構成するホルダ２６０の保持部２６２ａと保持部２６２ｂの厚さが同様の厚みになっている。
【００６０】
本実施形態において、スクライブ装置１は、ホルダジョイント２２１の垂直壁２２２ａの厚さを調整することにで、正面視においてスクライビングホイール２４０の保持位置Ｈを回転軸２２３の軸中心Ｓから外れる構成としている。
【００６１】
このような構成のホルダユニット２３０であってもスクライブ装置１に用いてスクライブラインを形成すると、脆性材料基板１５から受ける反力によって、スクライビングホイール２４０とともにピン軸２５０が斜めになる。この状態でスクライビングホイール２４０は、回転しながら進行することになり、側面２４２ａ側が保持壁２６５ａに近づく方向に移動し、保持壁２６５ａへと接触する。
【００６２】
このため、スクライビングホイール２４０の側面２４２ａと保持壁２６５ａとのクリアランスがゼロになる。したがって、スクライビングホイール２４０は、スクライブラインを形成する際に、ピン軸２５０に沿った移動を規制されることになる。このため、スクライブ装置１はスクライブラインの形成位置が安定することになり、所望の位置へスクライブラインを形成することができる。
【００６３】
また、本実施形態のスクライブ装置１は、同じ幅の保持部２６２ａ、２６２ｂからなるホルダ２６０を用いることができるため、特別に製造したホルダを用いることなく一般的に用いられるホルダユニットを使用することができる。また、本実施形態のスクライブ装置１は、実施形態２の距離調整部材８０のような特別な部材も不要となる。
【００６４】
なお、スクライブ装置１は、例えば図３（Ｂ）に示すように、上述の実施形態において何れも正面視においてスクライビングホイール４０の保持位置Ｈが進行方向Ｒに対して軸中心Ｓよりも右側後方に位置するように外れているが、左側後方に外れる構成でも構わない。
【符号の説明】
【００６５】
１…スクライブ装置
１０…移動台
１１…ボールネジ
１２…案内レール
１３…モータ
１４…テーブル
１５…脆性材料基板
１６…ＣＣＤカメラ
１７…ブリッジ
１８ａ、１８ｂ…支柱
１９…ガイド
２０…スクライブヘッド
２１…ホルダジョイント
２２…取付部
２２ａ…垂直壁
２２ｂ…水平壁
２３…回転軸
２４ａ、２４ｂ…ベアリング
２５…ネジ孔
３０、３０´、１３０、２３０…ホルダユニット
３１、１３１…取付ネジ
４０、１４０、２４０…スクライビングホイール
４１…貫通孔
４２ａ、４２ｂ、１４２ａ、２４２ａ…側面
５０、１５０、２５０…ピン軸
５１…尖頭部
６０、１６０、２６０…ホルダ
６１…本体部
６２ａ、６２ｂ、１６２ａ、１６２ｂ、２６２ａ、２６２ｂ…保持部
６３…保持溝
６４ａ、６４ｂ…ピン孔
６５ａ、６５ｂ、１６５ａ、２６５ａ…保持壁
６６…ネジ孔
６８ａ、６８ｂ…止め金
６９ａ、６９ｂ…ネジ
８０…距離調整部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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