(57)【要約】【課題】低コストで研磨液への浸漬時の粘着力の低下を抑制でき、かつ優れた再剥離性を有する粘着シートを提供する。【解決手段】本発明は、研磨機の定盤に研磨材を着脱自在に固定する粘着シートであって、ポリウレタンを主成分として一体成型されており、一方の面及び他方の面が粘着性を有する。ポリオール化合物及びポリイソシアネート化合物を含む組成物の硬化体であるとよい。また、上記一方の面が平均厚さ１ｍｍのステンレス鋼板に対面し、かつ上記他方の面が平均厚さ２５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムに対面するようにステンレス鋼板とポリエチレンテレフタレートフィルムとの間に貼り合せ、２００ｇのローラを１往復させて圧着した積層体に対し、剥離速度１００ｍｍ／分、剥離角度１８０°で引き剥がし試験を行ったとき、ステンレス鋼板にポリウレタンが付着しないとよい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨機の定盤に研磨材を着脱自在に固定する粘着シートであって、
ポリウレタンを主成分として一体成型されており、
一方の面及び他方の面が粘着性を有することを特徴とする粘着シート。
【請求項２】
ポリオール化合物及びポリイソシアネート化合物を含む組成物の硬化体である請求項１に記載の粘着シート。
【請求項３】
上記ポリオール化合物がポリカーボネートポリオールを含み、上記ポリイソシアネート化合物がヘキサメチレンジイソシアネートを含む請求項２に記載の粘着シート。
【請求項４】
上記一方の面が平均厚さ１ｍｍのステンレス鋼板に対面し、かつ上記他方の面が平均厚さ２５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムに対面するようにステンレス鋼板とポリエチレンテレフタレートフィルムとの間に貼り合せ、２００ｇのローラを１往復させて圧着した積層体に対し、剥離速度１００ｍｍ／分、剥離角度１８０°で引き剥がし試験を行ったとき、上記ステンレス鋼板にポリウレタンが付着しない請求項１、請求項２又は請求項３に記載の粘着シート。
【請求項５】
上記ステンレス鋼板とポリエチレンテレフタレートフィルムとの間に貼り合せ、２００ｇのローラを１往復させて圧着し、研磨液に１週間浸漬した積層体に対し、剥離速度１００ｍｍ／分、剥離角度１８０°で引き剥がし試験を行ったときの粘着力が６Ｎ／１０ｍｍ以上である請求項４に記載の粘着シート。
【請求項６】
上記組成物中のＮＣＯ基のモル数に対するＯＨ基のモル数の比が１以上である請求項２に記載の粘着シート。
【請求項７】
研磨機の定盤に研磨材を着脱自在に固定する粘着シートの製造方法であって、
ポリオール化合物及びポリイソシアネート化合物を含む組成物を溶剤を用いずに形成用基材へ塗工する工程と、
上記組成物の加熱により粘着層を形成する工程と、
上記粘着層から形成用基材を剥離する工程と
を備えることを特徴とする粘着シートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粘着シート及び粘着シートの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、研磨装置の定盤に研磨材を固定するために両面粘着テープが用いられている。このような研磨材を固定する両面粘着テープには、研磨工程中の研磨材の固定維持と共に、研磨工程後に定盤から糊残りなく剥離できる優れた再剥離性が要求される。
【０００３】
これらの要求を満たすために、ポリエチレンテレフタレートフィルムを基材とし、この基材の一方の面にアクリル系粘着剤層を積層し、この基材の他方の面にウレタン系粘着剤層を積層した両面粘着テープが考案されている（特開２００９−２０９３２０号公報参照）。
【０００４】
しかし、上記両面粘着テープは、基材の両面に粘着剤層を積層するため、製造工程が多くなり製造コストが増加する。また、上記両面粘着テープは、研磨時に研磨液に浸漬されるが、基材の両面への複数の粘着剤層の積層により界面が多いので研磨液が粘着剤層に浸入し易く、そのため粘着剤層表面の粘着力が低下し易い。また、上記両面粘着テープは、粘着剤層が基材に積層されているため、粘着剤層内の凝集力が小さいので、定盤からの剥離時に糊残りが生じ易い。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−２０９３２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであり、低コストで研磨液への浸漬時の粘着力の低下を抑制でき、かつ優れた再剥離性を有する粘着シート及び粘着シートの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するためになされた発明は、研磨機の定盤に研磨材を着脱自在に固定する粘着シートであって、ポリウレタンを主成分として一体成型されており、一方の面及び他方の面が粘着性を有することを特徴とする。
【０００８】
当該粘着シートは、基材を有さない一体成型のため界面が無いので、研磨液の浸入を低減でき、研磨液への浸漬時の粘着力の低下を抑制できる。また、当該粘着シートは、一体成型されているため主成分であるポリウレタンの凝集力が大きくなり、定盤からの剥離時に定盤への糊残りが生じ難く再剥離性に優れる。また、当該粘着シートは、基材を有さない一体成型のため製造工程を少なくできるので、製造コストを低減できる。ここで「主成分」とは、最も含有量の多い成分であり、例えば５０質量％以上含有される成分である。
【０００９】
ポリオール化合物及びポリイソシアネート化合物を含む組成物の硬化体であるとよい。このように、ポリオール化合物及びポリイソシアネート化合物を含む組成物を硬化させることで、主成分のポリウレタンの架橋度を制御し易くなり、高い粘着力を維持しながら再剥離性を向上させ易くなる。
【００１０】
上記ポリオール化合物がポリカーボネートポリオールを含み、上記ポリイソシアネート化合物がヘキサメチレンジイソシアネート（ＨＤＩ）を含むことが好ましい。このように、ポリカーボネートポリオール及びヘキサメチレンジイソシアネートを用いることで、流動性が高く、かつ加熱により速やかに硬化する組成物とすることができるので、さらに一体成型加工性を向上できる。
【００１１】
上記一方の面が平均厚さ１ｍｍのステンレス鋼板に対面し、かつ上記他方の面が平均厚さ２５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムに対面するようにステンレス鋼板とポリエチレンテレフタレートフィルムとの間に貼り合せ、２００ｇのローラを１往復させて圧着した積層体に対し、剥離速度１００ｍｍ／分、剥離角度１８０°で引き剥がし試験を行ったとき、上記ステンレス鋼板にポリウレタンが付着しないとよい。このように、上記引き剥がし試験を行ったときにステンレス鋼板にポリウレタンが付着しないことで、より確実に高い再剥離性が得られる。
【００１２】
上記ステンレス鋼板とポリエチレンテレフタレートフィルムとの間に貼り合せ、２００ｇのローラを１往復させて圧着し、研磨液に１週間浸漬した積層体に対し、剥離速度１００ｍｍ／分、剥離角度１８０°で引き剥がし試験を行ったときの粘着力としては、６Ｎ／１０ｍｍ以上が好ましい。このように、上記引き剥がし試験を行ったときに上記下限以上の粘着力を有することで、研磨液への浸漬時の粘着力の低下をより確実に抑制できる。
【００１３】
上記組成物中のＮＣＯ基のモル数に対するＯＨ基のモル数の比としては、１以上が好ましい。このように、硬化してポリウレタンとなる組成物中のＮＣＯ基のモル数に対するＯＨ基のモル数の比が上記下限以上であることで、上記組成物の硬化後にポリウレタン中にＯＨ基が残存し難く、高温高湿下での発泡を防止できる。ここで、高温とは、例えば７０℃以上を意味し、高湿とは、例えば７０％ＲＨ以上を意味する。
【００１４】
また、上記課題を解決するためになされた別の発明は、研磨機の定盤に研磨材を着脱自在に固定する粘着シートの製造方法であって、ポリオール化合物及びポリイソシアネート化合物を含む組成物を溶剤を用いずに形成用基材へ塗工する工程と、上記組成物の加熱により粘着層を形成する工程と、上記粘着層から形成用基材を剥離する工程とを備えることを特徴とする。
【００１５】
当該粘着シートの製造方法は、ポリオール化合物及びポリイソシアネート化合物を含む組成物を用いるので、基材を有さない一体成型の粘着シートを容易に製造できる。これにより、当該粘着シートの製造方法により製造された粘着シートは、界面が無いので研磨液の粘着層への浸入を低減でき、研磨液への浸漬時の粘着力の低下を抑制できる。また、当該粘着シートの製造方法により製造された粘着シートは、一体成型されているため主成分であるポリウレタンの凝集力が大きくなり、定盤からの剥離時に定盤への糊残りが生じ難く、再剥離性に優れる。また、当該粘着シートの製造方法は、粘着シートを一体成型するので製造工程を少なくでき、製造コストを低減できる。
【発明の効果】
【００１６】
以上説明したように、本発明の粘着シートは、低コストで研磨液への浸漬時の粘着力の低下を抑制でき、かつ優れた再剥離性を有する。また、本発明の粘着シートの製造方法により、研磨液への浸漬時の粘着力の低下が小さく、かつ優れた再剥離性を有する粘着シートを製造できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態に係る粘着シートの模式的断面図である。
【図２】（ａ）図１の粘着シートの製造方法の塗工工程を示す模式的断面図である。（ｂ）図１の粘着シートの製造方法の粘着層形成工程を示す模式的断面図である。
【図３】図１の粘着シートによる研磨機の定盤と研磨材との固定状態を示す模式的断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の実施形態を詳説する。
【００１９】
図１に示す当該粘着シート１は、研磨機の定盤に研磨材を着脱自在に固定する粘着シートであって、ポリウレタンを主成分として一体成型されており、一方の面２及び他方の面３が粘着性を有する。図１に示すように、当該粘着シート１は１層の粘着層で形成される。当該粘着シート１の主成分であるポリウレタンは、熱硬化性であり、耐薬品性、耐汚染性、耐久性等に優れる。
【００２０】
当該粘着シート１は、ポリオール化合物及びポリイソシアネート化合物を含む組成物の硬化体であることが好ましい。これらの化合物を含む組成物を用いることにより、当該粘着シート１を構成するポリウレタンの架橋度を制御し易い。
【００２１】
上記ポリオール化合物としては、特に限定されず、例えばポリカーボネートポリオール、ポリエーテルポリオール、ポリオレフィンポリオール、ポリエステルポリオール等が挙げられる。これらの中でも、耐加水分解性、機械的特性及び耐薬品性に優れる点においてポリカーボネートポリオールが好ましい。
【００２２】
上記ポリカーボネートポリオールとしては、例えば炭酸ジエステルとジオールとの反応物が挙げられる。
【００２３】
上記炭酸ジエステルとしては、例えばジメチルカーボネート、ジエチルカーボネートなどのジアルキルカーボネート、ジフェニルカーボネートなどのジアリールカーボネート、エチレンカーボネートなどのアルキレンカーボネート等が挙げられる。これらは単独で使用してもよいし、複数を混合して使用してもよい。
【００２４】
上記ジオールとしては、例えば１，４−ブタンジオール、ジエチレングリコール、１，５−ペンタンジオール、１，６−ヘキサンジオール、１，７−ヘプタンジオール、１，８−オクタンジオール、２−メチル−１，８−オクタンジオール、１，９−ノナンジオール、１，１０−デカンジオール、２−エチル−１，６−ヘキサンジオール、３−メチル−１，５−ペンタンジオール、２，４−ジメチル−１，５−ペンタンジオール、ネオペンチルグリコール、１，３−シクロヘキサンジオール、１，４−シクロヘキサンジオール、１，４−シクロヘキサンジメタノール、２，２−ビス（４−ヒドロキシシクロヘキシル）プロパン等が挙げられる。これらは単独で使用してもよいし、また複数を混合して使用してもよい。
【００２５】
また、上記ジオールとしては、炭素数４以上９以下の脂肪族ジオール及び炭素数４以上９以下の脂環族ジオールが好ましく、例えば１，４−ブタンジオール、ジエチレングリコール、１，５−ペンタンジオール、１，６−ヘキサンジオール、３−メチル−１，５−ペンタンジオール、２，４−ジメチル−１，５−ペンタンジオール、１，４−シクロヘキサンジメタノール、１，７−ヘプタンジオール、１，８−オクタンジオール、２−メチル−１，８−オクタンジオール、１，９−ノナンジオール等を単独で又は複数を混合して使用することが好ましい。
【００２６】
また、上記ポリカーボネートポリオールとしては、上記ジオールとして１，６−ヘキサンジオールと３−メチル−１，５−ペンタンジオールとを用いて形成されるコポリカーボネートジオール、上記ジオールとして１，６−ヘキサンジオールと１，５−ペンタンジオールとを用いて形成されるコポリカーボネートジオールも好ましく用いることができる。
【００２７】
また、上記ポリカーボネートポリオールとしては、例えばポリカーボネートグリコール、ポリカーボネートトリオール、ポリカーボネートテトラオール、これらに側鎖や分岐構造を導入した誘導体、変性体、さらにこれらの混合物等を用いることもできる。
【００２８】
上記ポリエーテルポリオールとしては、例えばポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリプロピレントリオール、ポリプロピレンテトラオール、ポリテトラメチレングリコール、ポリテトラメチレントリオール、２種以上のオキシアルキレン単位を有するポリオールなどのポリアルキレングリコール、これらに側鎖や分岐構造を導入した誘導体、変性体、さらにこれらの混合物等が挙げられる。
【００２９】
上記ポリオレフィンポリオールとしては、例えばポリブタジエンポリオール又はその水素化物、ポリイソプレンポリオール又はその水素化物等が挙げられる。
【００３０】
上記ポリエステルポリオールとしては、例えばジカルボン酸とジオールとを脱水縮合させたもの、ヒドロキシ基含有化合物を開始剤としてラクトンを開環重合して得られるポリラクトンポリオール等が挙げられる。
【００３１】
上記ジカルボン酸としては、例えばテレフタル酸、イソフタル酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸などの芳香族ジカルボン酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、アゼライン酸、セバシン酸などの脂肪族ジカルボン酸が挙げられる。
【００３２】
上記ジオールとしては、例えばエチレングリコール、１，４−ブタンジオール、ジエチレングリコール、ネオペンチルグリコール、３−メチル−１，５−ペンタンジオール、１，５−ペンタンジオール、１，９−ノナンジオールなどの脂肪族ジオール、１，４−シクロヘキサンジメタノールなどの脂環族ジオール、ｐ−キシリレングリコールなどの芳香族ジオール、ポリエチレングルコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレングリコールなどのポリアルキレングリコール等が挙げられる。
【００３３】
これらのジカルボン酸とジオールとを脱水縮合させたポリエステルポリオールは、線状構造であるが、３価以上のエステル形成化合物を用いることにより分枝状ポリエステルとしてもよい。上記ジカルボン酸とジオールとは、ジカルボン酸に対するジオールのモル比を１．１以上１．３以下にて１５０℃以上３００℃以下で反応させればよい。
【００３４】
上記ポリラクトンポリオールとしては、例えばポリカプロラクトンポリオール、ポリバレロラクトンポリオール、ポリメチルバレロラクトンポリオール等が挙げられる。
【００３５】
上記ポリオール化合物の数平均分子量の下限としては、３００が好ましく、５００がより好ましい。一方、上記ポリオール化合物の数平均分子量の上限としては、５０００が好ましく、２０００がより好ましい。上記ポリオール化合物の数平均分子量が上記下限未満の場合、反応が速すぎて当該粘着シート１の成形が困難となるおそれがある。逆に、上記ポリオール化合物の数平均分子量が上記上限を超える場合、上記組成物の粘度が高くなりすぎ、当該粘着シート１の成形が困難となるおそれがある。
【００３６】
上記ポリイソシアネート化合物としては、例えばヘキサメチレンジアソシネート（ＨＤＩ）、水素化トリレンジイソシアネート、水素化４，４’−ジフェニルメタンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、リジンジイソシアネート、イソプロピリデンビス（４−シクロヘキシルイソシアネート）、ノルボルナンジイソシアネート、これらの変性体、多量体等が挙げられる。これらの中でも、ヘキサメチレンジイソシアネート（ＨＤＩ）及びその変性体が好ましい。これらは単独で使用してもよいし、複数を混合して使用してもよい。
【００３７】
上記ヘキサメチレンジイソシアネートの変性体としては、例えばヘキサメチレンジイソシアネートをイソシアヌレート変性、アロファネート変性、又はウレタン変性したもので、平均官能基数が２．０以上のものが挙げられる。
【００３８】
上記組成物は、さらにモノイソシアネート化合物を含有してもよい。モノイソシアネート化合物は、分子内に１個のイソシアネート基を有する化合物であり、例えばオクタデシルイソシアネート（ＯＤＩ）、２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート（ＭＯＩ）、２−アクリロイルオキシエチルイソシアネート（ＡＯＩ）、イソシアン酸オクチル、イソシアン酸ヘプチル、３−イソシアナトプロピオン酸エチル、イソシアン酸シクロペンチル、イソシアン酸シクロヘキシル、２−メトキシエタンイソシアネート、イソシアナト酢酸エチル、イソシアナト酢酸ブチル、ｐ−トルエンスルフォニルイソシアネート等が挙げられる。これらの中でも、ポリオール成分との相溶性がよく疎水性が高いことから２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート（ＭＯＩ）が好ましい。これらは単独で使用してもよいし、複数を混合して使用してもよい。
【００３９】
上記組成物が、ポリオール化合物及びポリイソシアネート化合物と共にモノイソシアネート化合物を含有することで、当該粘着シート１の柔軟性をさらに確保し易くなり、高温及び高湿下における粘着性を確保し易くなる。
【００４０】
上記組成物は、さらに触媒を含有してもよい。上記触媒としては、ウレタン化反応に使用される触媒であれば特に限定されず、例えばジラウリル酸ジ−ｎ−ブチル錫、ジラウリル酸ジメチル錫、ジブチル錫オキシド、ジオクタン酸錫などの有機錫化合物、カルボン酸錫塩、有機チタン化合物、有機ジルコニウム化合物、カルボン酸ビスマス塩、トリエチレンジアミンなどのアミン等が挙げられる。触媒としてアミンを用いると当該粘着シート１が変色し易くなるため、上記触媒としては、アミン以外のものが好ましく、有機錫化合物がより好ましく、ジラウリル酸ジメチル錫が特に好ましい。
【００４１】
上記触媒は、通常、ポリオール化合物、ポリイソシアネート化合物及びモノイソシアネート化合物の合計量に対して、０．０１質量％以上０．１質量％以下程度添加する。
【００４２】
上記組成物中のＮＣＯ基のモル数に対するＯＨ基のモル数の比の下限としては、１が好ましく、１．１がより好ましい。上記ＮＣＯ基のモル数に対するＯＨ基のモル数の比が上記下限未満の場合、上記ポリウレタンにポリオール化合物由来のＯＨ基が残存することとなり、その結果、高温高湿下で上記ポリウレタンが発泡するおそれがある。上記ポリウレタンが発泡すると、雰囲気が常温常湿下に戻っても粘着力が回復しなくなる。ここで、常温常湿とは、例えば１５℃以上３０℃以下、４０％ＲＨ以上６０％ＲＨ以下を意味する。
【００４３】
上記組成物がモノイソシアネート化合物を含有する場合、この組成物において、ポリイソシアネート化合物由来のＮＣＯ基及びモノイソシアネート化合物由来のＮＣＯ基の合計量に対するモノイソシアネート化合物由来のＮＣＯ基のモル比率の下限としては、１０モル％が好ましい。一方、上記モル比率の上限としては、３５モル％が好ましい。上記モル比率が上記下限未満の場合、高温高湿下で十分な粘着力を確保し難くなるおそれがある。逆に、上記モル比率が上記上限を超える場合、上記組成物が加熱により十分に硬化し難くなるおそれがある。
【００４４】
当該粘着シート１の平均厚さの下限としては、３０μｍが好ましく、１００μｍがより好ましい。一方、当該粘着シート１の平均厚さの上限としては、５ｍｍが好ましく、３ｍｍがより好ましい。当該粘着シート１の平均厚さが上記下限未満の場合、粘着力が低下し、研磨中に当該粘着シート１が定盤から剥離するおそれがある。逆に、当該粘着シート１の平均厚さが上記上限を超える場合、再剥離性は保たれるが、質量が増加すると共に嵩高くなるためハンドリング性が著しく悪化するおそれがある。
【００４５】
当該粘着シート１は、次の１８０°引き剥がし試験において、引き剥がし後に糊残りが生じないことが好ましい。具体的には、一方の面２を平均厚さ１ｍｍのステンレス鋼板に対面させ、他方の面３を平均厚さ２５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムに対面するようにステンレス鋼板とポリエチレンテレフタレートフィルムとの間に当該粘着シート１を貼り合せ、２００ｇのローラを１往復させて圧着した後の積層体に対して、剥離速度１００ｍｍ／分、剥離角度１８０°で引き剥がし試験を行い、この試験後にステンレス鋼板にポリウレタンが付着しないことが好ましい。
【００４６】
当該粘着シート１の粘着力の下限としては、上記１８０°引き剥がし試験において、６Ｎ／１０ｍｍが好ましく、８Ｎ／１０ｍｍがより好ましい。一方、上記粘着力の上限としては、５０Ｎ／１０ｍｍが好ましく、３０Ｎ／１０ｍｍがより好ましい。上記粘着力が上記下限未満の場合、研磨中に当該粘着シート１が定盤から剥離するおそれがある。逆に、上記粘着力が上記上限を超える場合、定盤から当該粘着シート１を剥離し難くなり、研磨材交換の作業効率が低下するおそれがある。
【００４７】
研磨機では研磨液を供給しながら被研磨物を研磨するので、定盤と研磨材とを固定する当該粘着シート１は、研磨時に研磨液に浸漬する。従って、上記積層体を１週間以上研磨液に浸漬させた後の粘着力も、上記範囲内であることが好ましい。
【００４８】
研磨液は、一般に硬質の砥粒を水性又は油性の研磨溶液中に分散させたものを用いる。上記砥粒としては、ダイヤモンド、炭化珪素、炭化ホウ素、アルミナなどの微粉、酸化珪素、酸化セリウム、ジルコニア、酸化クロムなどの親水性の酸化物系砥粒等を用いることができる。
【００４９】
［粘着シートの製造方法］
当該粘着シート１の製造方法は、ポリオール化合物及びポリイソシアネート化合物を含む組成物を溶剤を用いずに形成用基材へ塗工する工程（塗工工程）と、上記組成物の加熱により粘着層を形成する工程（粘着層形成工程）と、上記粘着層から形成用基材を剥離する工程（剥離工程）とを備える。
【００５０】
＜塗工工程＞
塗工工程では、まず、ポリオール化合物及びポリイソシアネート化合物を含む組成物を調製する。これらの化合物は、調整後の組成物中のＯＨ基及びＮＣＯ基のモル数の比が上述した範囲となる質量を配合する。上記組成物の調製は、例えば自転公転ミキサーを用いた上記化合物の撹拌混合により行う。
【００５１】
次に、図２（ａ）に示すように、上記組成物を形成用基材Ｘの表面へ塗工し、塗膜４を形成する。上記組成物の形成用基材Ｘの表面への塗工方法としては、例えばロールコーター、バーコーター、ブレードコーター、スピンコーター、グラビアコーター、フローコーター、エアーナイフ、スプレー等を用いたコーティング法を挙げることができる。上記組成物は、ポリオール化合物及びポリイソシアネート化合物を含むため、流動性が高く、溶剤を用いずに塗工できる。
【００５２】
上記形成用基材Ｘとしては特に限定されないが、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−ビニルアルコール共重合体、ポリエチレンテレフタレートなどの合成樹脂フィルム、ゴムシート、紙、布、不織布、ネット、発泡シート、金属箔、又はこれらのラミネート体などからなる適当なフィルム状体を用いることができる。形成用基材Ｘの表面には、硬化後の塗膜４からの剥離性を高めるため、必要に応じてシリコーン処理、長鎖アルキル処理、フッ素処理等の剥離処理を施すことが好ましい。形成用基材Ｘの剥離性は、剥離処理に用いる薬剤の種類又はその塗工量等を調節することにより制御することができる。
【００５３】
＜粘着層形成工程＞
粘着層形成工程では、塗工工程で形成用基材Ｘの表面に形成した塗膜４を加熱により架橋させ、粘着層を形成する。具体的には、例えば図２（ｂ）に示すように、形成用基材Ｘの表面に形成した塗膜４に保護フィルムＹを積層する。そして、形成用基材Ｘと保護フィルムＹとで塗膜４を挟んだ状態で加熱装置Ａにより所定時間加熱することで、組成物を架橋させる。これにより、塗膜４が硬化して粘着層が形成される。
【００５４】
上記保護フィルムＹとしては特に限定されないが、上記形成用基材Ｘとして挙げたものを好ましく用いることができる。形成用基材Ｘと同様に、硬化後の塗膜４の剥離性を高めるため、保護フィルムＹも剥離処理を施すことが好ましい。
【００５５】
上記加熱装置Ａによる加熱温度の下限としては、５０℃が好ましく、６０℃がより好ましい。一方、上記加熱温度の上限としては、１２０℃が好ましく、１００℃がより好ましい。上記加熱温度が上記下限未満の場合、組成物が十分に硬化しないおそれがある。逆に、上記加熱温度が上記上限を超える場合、加熱に要するエネルギーが大きくなると共に、耐熱性の高い形成用基材を使用しなければならず、製造コストが増大するおそれがある。
【００５６】
また、上記加熱装置Ａによる加熱時間の下限としては、１５分が好ましく、２０分がより好ましい。一方、上記加熱時間の上限としては、特に制限はないが、例えば５０分が好ましく、４０分がより好ましい。上記加熱時間が上記下限未満の場合、組成物が十分に硬化しないおそれがある。逆に、上記加熱時間が上記上限を超える場合、当該粘着シート１の製造工程全体の時間が長くなり、生産効率が低下するおそれがある。しかし、上記加熱時間が長いほどより確実に組成物を硬化させられるので、生産効率等に影響が無い範囲で上記加熱時間を長くしてもよい。
【００５７】
＜剥離工程＞
剥離工程では、粘着層から上記形成用基材Ｘ及び保護フィルムＹを剥離する。これにより、当該粘着シート１が得られる。
【００５８】
［粘着シートの使用方法］
次に、当該粘着シート１の使用方法について説明する。当該粘着シート１は、図３に示すように、研磨機の定盤Ｂに研磨材Ｃを着脱自在に固定させるために用いられる。
【００５９】
まず、当該粘着シート１の一方の面２と研磨材Ｃの当該粘着シート１と対向する面とが対面するよう重ね合わせ、厚さ方向の両側からの押圧により当該粘着シート１と研磨材Ｃとを一体化させる。
【００６０】
次に、当該粘着シート１の他方の面３と定盤Ｂの当該粘着シート１と対向する面とが対面するように、当該粘着シート１と研磨材Ｃとを一体化させた積層体を定盤Ｂに載置し、押圧してその積層体を定盤Ｂに着脱自在に固定させる。なお、当該粘着シート１の一方の面２及び他方の面３は同等の粘着力を有しているので、当該粘着シート１の研磨材Ｃ及び定盤Ｂに固定させる面は逆であってもよい。
【００６１】
そして、研磨材Ｃの上方に固定した被研磨物を研磨材Ｃの当該粘着シート１と反対側の面に接触させ、例えば円盤状の定盤Ｂを回転させることで研磨材Ｃによって被研磨物を研磨する。
【００６２】
被研磨物の研磨の繰り返しにより研磨材Ｃが磨耗した後、定盤Ｂから当該粘着シート１及び研磨材Ｃを剥離し、新しい研磨材Ｃと当該粘着シート１とを一体化した積層体を定盤Ｂの表面に固定させる。そして、上述と同様の研磨方法により、新しい研磨材Ｃによって被研磨物を研磨する。すなわち、被研磨物を新しい研磨材Ｃの当該粘着シート１と反対側の面に接触させ、定盤Ｂを回転させることで被研磨物を研磨する。
【００６３】
［利点］
当該粘着シートは、基材を有さない一体成型のため界面が無いので、粘着層への研磨液の浸入を低減でき、研磨液への浸漬時の粘着力の低下を抑制できる。そのため、研磨時における研磨材の定盤からの剥離を確実に防止できる。
【００６４】
また、当該粘着シートは、一体成型されているため主成分であるポリウレタンの凝集力が大きいので、定盤からの剥離時に定盤への糊残りが生じ難く、再剥離性に優れる。
【００６５】
また、当該粘着シートは、基材を有さない一体成型のため、基材を有する粘着シートに比べて製造工程を少なくでき、製造コストを低減できる。
【００６６】
〔その他の実施形態〕
本発明の粘着シート及びその製造方法は、上述の実施形態に限定されるものではなく、以下のような実施形態とすることもできる。
【００６７】
上記実施形態では、粘着層形成後に形成用基材及び保護フィルムを剥離することとしたが、形成用基材及び保護フィルムを剥離せずに積層した状態のまま製品としてもよい。例えば形成用基材として保護フィルムを用い、保護フィルムを両面に積層した状態で加熱により粘着層を形成させ、これらの保護フィルムが両面に積層された状態で当該粘着シートを出荷してもよい。これらの保護フィルムとして、例えば粘着層に積層される側の面に離型処理が施されたポリエチレンテレフタレートフィルムを用いることができる。
【００６８】
また、上記実施形態では、ポリオール化合物及びポリイソシアネート化合物を含む組成物を形成用基材の表面へ塗工した後に保護フィルムを積層し、加熱により上記組成物を架橋させて粘着層を形成したが、他の方法により粘着層を形成してもよい。例えば、離間して配置された一対のロールからポリエチレンテレフタレート等の保護フィルムを連続的に送り出し、これらの保護フィルムの間隙に上記組成物を流し込み、保護フィルムの間隙に保持した状態で加熱により上記組成物を架橋させて粘着層を形成してもよい。
【実施例】
【００６９】
以下、実施例によって本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【００７０】
［実施例１］
数平均分子量１０００のポリカーボネートポリオール化合物（日本ポリウレタン工業株式会社の「ＯＮ−Ｋ３６ＰＣ」）１００質量部、ポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン工業株式会社の「ＨＣ−２４７」）６８．４質量部、モノイソシアネート化合物（昭和電工株式会社の「カレンズＭＯＩ」）６．７質量部、及び触媒としてジラウリル酸ジメチル錫（Ｍｏｍｅｎｔｉｖｅ  Ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ  Ｉｎｃ．の「Ｆｏｍｒｅｚ  ｃａｔａｌｙｓｔＵＬ−２８」）０．０３質量部を計量した。そして、これらの化合物を自転公転ミキサー（株式会社シンキーの「あわとり練太郎ＡＲＥ−３１０」）に投入し、溶剤を用いずに２０００ｒｐｍで１分間撹拌混合し、塗工用の組成物を得た。この塗工用の組成物を形成用基材へコーター塗工し、ラミネートして搬送しながら、炉内温度７０℃、炉内時間３０分間の条件で上記組成物を架橋硬化させ、平均厚さ５００μｍの一体成型された実施例１の粘着シートを得た。
【００７１】
［実施例２］
実施例１と同様の製造方法により、実施例２として平均厚さ２２０μｍの一体成型された粘着シートを得た。
【００７２】
［比較例１］
比較例１の粘着シートとして、平均厚さ１０８μｍの積水化学工業株式会社の「両面テープ５６０５ＨＧＤ」を用いた。
【００７３】
［比較例２］
比較例２の粘着シートとして、平均厚さ４０μｍのニッタ株式会社の基材レス発泡タイプの「インテリマーテープＳＳ４４４０Ｎ１０」を用いた。
【００７４】
［比較例３］
比較例３の粘着シートとして、平均厚さ５０μｍのリンテック株式会社の「タックライナーＴＬ−４５０Ｓ−１６」を用いた。
【００７５】
［比較例４］
比較例４の粘着シートとして、平均厚さ１１３μｍの積水化学工業株式会社の「両面テープ５６０４ＴＤＨ」を用いた。
【００７６】
［比較例５］
比較例５の粘着シートとして、平均厚さ１２７μｍの３Ｍ社の「４６８ＭＣ」を用いた。
【００７７】
［比較例６］
比較例６の粘着シートとして、平均厚さ１８５μｍの日東電工株式会社の「ＳＨ−４０４８  ＮＯ．５３８１９」を用いた。
【００７８】
＜粘着力評価＞
実施例１、２、比較例１〜６の粘着シートについて、以下の方法で剥離角度１８０°で引き剥がし試験を行い、粘着力を測定した。
【００７９】
各粘着シートの一方の面が幅４０ｍｍ、長さ１２５ｍｍ、平均厚さ１ｍｍのステンレス鋼板（２Ｂ仕上げのＳＵＳ３０４）に対面し、他方の面が幅４０ｍｍ、長さ２００ｍｍ、平均厚さ２５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムに対面するように重ね合せ、２００ｇのローラを１往復させて圧着して各粘着シートを上記ステンレス鋼板及びポリエチレンテレフタレートフィルムの間に貼り合せた。
【００８０】
ステンレス鋼板及びポリエチレンテレフタレートフィルムの間に貼り合せた各粘着シートに対して、剥離角度１８０°、剥離速度１００ｍｍ／分で引き剥がし試験を行い、それぞれの粘着力を測定した。粘着力の測定は、上述のように粘着シートを上記ステンレス鋼板及びポリエチレンテレフタレートフィルムの間に貼り合せた直後と、貼り合せた後に油系研磨液に１週間浸漬した後とについて実施した。上記油系研磨液として、実施例１、比較例１、２、３では、出光興産株式会社の「タフニーラッピングオイル」を用い、実施例２、比較例４、５、６では、ユシロ化学工業株式会社の「ユシロオイル」を用いた。これらの粘着力の測定結果を表１に示す。なお、表１において「研磨液浸漬前」は貼り合せ直後の測定結果を示し、「研磨液浸漬後」は研磨液に１週間浸漬した後の測定結果を示している。
【００８１】
＜再剥離性評価＞
上記粘着力評価にて各積層体の研磨液への浸漬１週間後の引き剥がし試験を行った際に、剥離後のステンレス鋼板の表面への各粘着シートを構成する樹脂の付着の有無を観察した。剥離後にステンレス鋼板の表面に樹脂の付着が認められなかったものを「Ａ」と判定し、ステンレス鋼板の表面に樹脂の付着が認められたものを「Ｂ」と判定した。これらの再剥離性の判定結果を表１に示す。
【００８２】
【表１】
2016147976.tif 000003
【００８３】
［評価結果］
表１の結果より、実施例１、２の粘着シートは、研磨液浸漬後の粘着力が８Ｎ／１０ｍｍ以上と大きく、かつ粘着シート剥離後のステンレス鋼板の表面にポリウレタンの付着が認められない。これにより、実施例１、２の粘着シートは、研磨液への浸漬時の粘着力の低下が小さく高い粘着力が維持できると共に、再剥離性が優れているといえる。
【００８４】
一方、比較例１、２、３、６の粘着シートは、研磨液浸漬後の粘着力が４Ｎ／１０ｍｍ以下と小さく、研磨時に定盤から粘着シートが剥がれ易いと考えられる。
【００８５】
また、比較例４、５の粘着シートは、研磨液浸漬後の粘着力が９Ｎ／１０ｍｍ以上と大きいものの、粘着シート剥離後のステンレス鋼板の表面に粘着シートを構成する樹脂の付着が認められた。これらの粘着シートを定盤と研磨材との固定に用いると、研磨材を交換する際に定盤に付着した樹脂を除去する作業が必要となり、研磨作業効率が低下すると考えられる。
【産業上の利用可能性】
【００８６】
本発明の粘着シートは、低コストで研磨液への浸漬時の粘着力の低下を抑制でき、かつ優れた再剥離性を有するので、研磨機の定盤に研磨材を着脱自在に固定する粘着シートとして好適に用いることができる。
【符号の説明】
【００８７】
１  粘着シート
２  一方の面
３  他方の面
４  塗膜
Ｘ  形成用基材
Ｙ  保護フィルム
Ａ  加熱装置
Ｂ  定盤
Ｃ  研磨材
【図１】
2016147976.tif 000004
【図２】
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【図３】
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