(57)【要約】【課題】成膜装置１０内の回転テーブル２０の回転を確実にサポートし、作業者の技能や経験によらず速やかに段取りできる回転治具１を提供する。【解決手段】リング状部材２と、リング状部材２の内周側に向けて形成された凸状部材３と、から構成された回転治具１とする。また、リング状部材２の外周側には棒状部材４を取り付けることもできる。さらに、リング状部材２の外周側には、湾曲部材５が取り付けられており、リング状部材２の外周側に沿って開閉可能である回転治具１とすることもできる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
リング状部材と、前記リング状部材の内周側に向けて形成された凸状部材と、から構成されていることを特徴とする回転治具。
【請求項２】
前記リング状部材の外周側には、棒状部材が取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載の回転治具。
【請求項３】
前記リング状部材の外周側には、湾曲部材が取り付けられており、前記リング状部材の外周側に沿って開閉可能であることを特徴とする請求項１に記載の回転治具。
【請求項４】
被処理物を保持しながら、前記被処理物の表面に成膜を行う回転テーブルを有した成膜装置であって、請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の回転治具を前記回転テーブルに備えたことを特徴とする成膜装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成膜装置内で成膜を行う部品を搭載した公転テーブル上に載置して、成膜中において工具等を保持した自転テーブルの回転を行う治具および当該治具を備えた成膜装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、成膜装置を用いたコーティングは、成膜を行う被コーティング物を複数ある（自転）テーブル上に載置した上で、それら複数の回転テーブルが回転（自転）しながら、同時に成膜装置内を回転（公転）する仕組みになっている。
【０００３】
例えば、特許文献１では複数のギア（歯車）の組合せによる回転駆動の伝達により、回転テーブルの自公転機構を利用した成膜装置が開示されている。
【０００４】
しかし、特許文献１に記載の成膜装置は連続的に回転テーブルの自公転が可能であるが、その構造が複雑であるため、製造コストがかさみ、修理や保守が困難である。また、ギアの数も多いので部品点数が多くなり、部品重量が増えるので加熱する際にはその分だけ余分にエネルギーが必要になる。合わせて、装置の冷却時には時間がかかることにもつながる。さらに、高温処理においては、材料の予測できない変形や熱膨張が発生した場合には良好な回転が維持できなくなるという問題がある。
【０００５】
また、ギアの一部が破損した場合には回転の停止を余儀なくされる場合もあり、複数のギア比によってその回転も決定されるので、ギア構成によっては回転の位相が揃うと、結果的に偏った成膜処理になる恐れがある。さらに、段取り替え時に全てのギアを合わせる必要があり、技術的に適用が困難になる場合もある。
【０００６】
そこで、特許文献２に開示されている成膜装置では、公転するワークホルダー上にある自転回転子が固定された爪状部品にて引っ掛けることで無秩序に回転させて、それらを繰り返すことで比較的に均一な自公転機構を得る方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平１１−３２３５５０号公報
【特許文献２】特開２００３−２７２３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、特許文献２に開示された回転方式では、爪部品の繰り返し使用による疲労破壊や治具不良による偏心などによる爪部品と回転テーブル上の凹凸部分との引っ掛かりの不具合により回転不良が発生するという問題があった。また、段取り時に爪部品の個別調整が必要となり、成膜装置の作業者の技能や経験によって作業工数も増大するという問題があった。
【０００９】
そこで、本発明においては回転テーブルの回転を確実にサポートし、作業者の技能や経験によらず速やかに段取りできる回転治具を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前述した課題を解決するために、本発明はリング状部材と、リング状部材の内周側に向けて形成された凸状部材と、から構成されている回転治具とした。また、請求項２に係る発明においては、上記の構成に加えてリング状部材の外周側には棒状部材が取り付けられている回転治具とした。さらに、請求項３に係る発明においては、上記の構成に加えてリング状部材の外周側には、湾曲部材が取り付けられており、リング状部材の外周側に沿って開閉可能である回転治具とした。また、請求項４に係る発明においては、上述したいずれかの回転治具を回転テーブル上に備えた成膜装置とした。
【００１１】
本発明の回転治具を上述した構成にすることで、リング状部材に設けられた凸状部材（凸部）と回転テーブルとの間の距離を調整する必要がなくなり、その距離を適切に保つことができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る回転治具をリング状部材と、リング状部材の内周側に向けて形成された凸状部材と、から構成したことで、リング状部材に設けられた凸部と回転テーブルとの間の距離を調整する必要がなくなり、その距離を適切に保つことができるので、作業者に特別な技量を必要とせずに短時間で確実に回転テーブルの回転を起こさせることができる。また、回転テーブルの偏心を防止するために従来方式のような爪部分を必要以上に回転テーブルへ押し付ける必要もないので、回転テーブルを回転させるエネルギーを削減できるため、上記凸部の消耗も発生しがたくなるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態の一例である回転治具１の斜視図である。
【図２】本発明の別の実施形態の一例である回転治具１の斜視図である。
【図３】図２に示す回転治具１を構成する湾曲部材５が外側に開いた状態を示す斜視図である。
【図４】図２に示す回転治具１を成膜装置１０内で使用した状態を示す図である。
【図５】図４で示す使用状態において回転治具１と回転テーブル２０との位置関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の実施の形態の一例について図面を用いて説明する。図１は本発明の実施形態の一例である回転治具１の斜視図、図２は本発明の別の実施形態の一例である回転治具１の斜視図、図３は図２に示す回転治具１を構成する湾曲部材５が外側に開いた状態を示す斜視図である。
【００１５】
本発明の回転治具１は、リング状部材２と、リング状部材２の内周側に向けて形成された凸状部材３と、から構成されている（請求項１）。また、図１に示すようにリング状部材２の外周側にネジ穴を設けて、棒状部材４を当該ネジ穴に嵌め込んだ回転治具１とすることもできる（請求項２）。棒状部材４は凸状部材３とリング状部材２とからなる回転治具１が被回転物（回転テーブル）とともに回転しないように支点を設けるための重要部品である上に成膜装置内の回転テーブルへ載置したり、回転テーブルから別の場所へ移動したりする際に簡便となる部材である。
【００１６】
また、図２に示すように本発明の別の実施形態として、図１に示した棒状部材４の代わりに湾曲部材５をリング状部材２に取付ける回転治具１とすることもできる（請求項３）。この場合、湾曲部材５は、リング状部材２に対して自在に開閉できる構造となっているので、成膜装置内で使用する場合には図３に示すように湾曲部材５をリング状部材２に対して外周側に開いて使用し、使用しない場合には図２に示すように湾曲部材５をリング状部材２に対して内周側に折り畳んだ状態とすることができる。
【００１７】
これにより、棒状部材４の代わりに湾曲部材５を設けることで回転テーブルからのはみ出し部を無くすことができて、段取り時や後工程の作業時に突起物が引っ掛かり作業が停滞したり、治具本体や他の設備、製品に損傷を与えてしまう機会が格段に少なくなる。
【００１８】
次に、本発明に係る回転治具１を成膜装置１０内で使用した状態（設置状態）について図４および図５を用いて説明する。成膜装置１０内には図４に示すように同装置１０内に設けられている回転テーブル２０上に複数の被処理物（工具）Ｗが立てかけられた状態で保持されており、その状態で回転テーブル２０が回転（公転）しながら、それらの工具Ｗ表面を成膜していく。同時に、成膜中は各工具Ｗを保持している各工具固定筒３０も回転（自転）している。
【００１９】
回転テーブル２０上に回転治具１の湾曲部材５が外側に開かれた状態で載置された後に回転テーブル２０が回転すると、図４および図５に示すように湾曲部材５が成膜装置１０内の支柱４０に引っかかる。回転治具１と回転テーブル２０とは互いに固定されていない状態であるため、回転テーブル２０が回転し続けると、回転治具１は回転テーブル２０を滑りながら同じ位置に留まろうとする。そのため、回転治具１の凸状部材３と回転テーブル２０上に設けられた工具固定筒３０の下部の凹凸が歯車のように噛み合いながら、工具固定筒３０が半回転〜数回転する。その結果、成膜を行う工具Ｗが回転テーブル２０で公転しながら、自転できる。すなわち、本発明の回転治具１は、成膜装置１０を構成する回転テーブル２０上の工具固定筒３０の回転を促す（回転を起こす）治具である。
【００２０】
なお、本発明の実施の形態として、図４および図５に示すように工具Ｗ表面に均一なコーティング（成膜）を行う成膜装置１０の回転テーブル２０に使用した場合を説明したが、例えば赤外線などの加熱手段により棒状の食品表面を加熱する装置の回転テーブルに使用した場合には同食品は同装置内を公転しながら自転も万遍なく行えるので、その表面を均一に焼き上げる効果が得られる。
【符号の説明】
【００２１】
１            回転治具
２            リング状部材
３            凸状部材
４            棒状部材
５            湾曲部材
１０          成膜装置
２０          回転テーブル
Ｗ            被処理物（工具）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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