(57)【要約】【課題】チャック装置における減圧動作及び挟持動作の実行と解除とを適切なタイミングで行うことを課題とする。【解決手段】チャック装置は、対象物を挟持する第１の挟持部を備えるとともに、一端が前記第１の挟持部の挟持面に開口する第１の開口であり、他端が減圧装置側の開口となる第２の開口である第１の空気通路が形成された第１の爪部材と、  前記第１の挟持部と共働して対象物を挟持する第２の挟持部を備えるとともに、前記第１の爪部材と対向配置された第２の爪部材と、前記第１の挟持部と前記第２の挟持部とを開閉させる開閉駆動部と、前記開閉駆動部により前記第１の挟持部と前記第２の挟持部とを閉じる際に前記第１の空気通路内を減圧状態とするとともに、前記第１の挟持部と前記第２の挟持部とを開く際に前記第１の空気通路を開放して減圧状態を解消する減圧調整部とを備える。【選択図】図７
2016002604.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物を挟持する第１の挟持部を備えるとともに、一端が前記第１の挟持部の挟持面に開口する第１の開口であり、他端が減圧装置側の開口となる第２の開口である第１の空気通路が形成された第１の爪部材と、
前記第１の挟持部と共働して対象物を挟持する第２の挟持部を備えるとともに、前記第１の爪部材と対向配置された第２の爪部材と、
前記第１の挟持部と前記第２の挟持部とを開閉させる開閉駆動部と、
前記開閉駆動部により前記第１の挟持部と前記第２の挟持部とを閉じる際に前記第１の空気通路内を減圧状態とするとともに、前記第１の挟持部と前記第２の挟持部とを開く際に前記第１の空気通路を開放して減圧状態を解消する減圧調整部と、
を備えたチャック装置。
【請求項２】
前記減圧調整部は、
前記第１の空気通路から分岐し、前記第１の挟持部と前記第２の挟持部とが閉じた際に前記第２の爪部材が当接する当接面に開口する第３の開口を備えた第２の空気通路と、
一端が前記第２の挟持部の挟持面に開口する第４の開口であり、他端が前記第１の挟持部と前記第２の挟持部とが閉じた際に前記第１の爪部材が当接する当接面に開口し、前記第３の開口と接続可能に設けられた第５の開口である第３の空気通路と、
を含む請求項１に記載のチャック装置。
【請求項３】
前記減圧調整部は、
前記第１の空気通路から分岐し、前記第１の挟持部と前記第２の挟持部とが閉じた際に前記第２の爪部が当接する当接面に開口する第３の開口を備えた第２の空気通路と、
前記第１の挟持部と前記第２の挟持部とが閉じた際に前記第１の爪部材が当接する当接面と、
を含む請求項１に記載のチャック装置。
【請求項４】
前記開閉駆動部は、
前記第２の爪部材に設けられた軸部に係合する回転支持部と、
前記第２の爪部材の前記軸部よりも先端側に設けられ、先端側に向かうに従って下り傾斜となったガイド部に係合するスライダ部と、を有する駆動連結部を含む請求項１乃至３のいずれか１項に記載のチャック装置。
【請求項５】
前記減圧調整部は、
前記第２の爪部材に設けられ、前記開閉駆動部により前記第１の爪部材に対して離接可能であり、前記第１の挟持部と前記第２の挟持部とが閉じた際に前記第２の開口に接続される第４の空気通路が形成されるとともに、前記開閉駆動部により前記第１の爪部材から離れつつ前記第２の爪部材に係合して前記第２の爪部材を前記第１の爪部材から離す係合部を有する移動部材を含む請求項１に記載のチャック装置。
【請求項６】
前記第１の挟持部と前記第２の挟持部の少なくとも一方は、柔軟性を有する素材により成形された請求項１乃至５のいずれか１項に記載のチャック装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チャック装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、各種製品の組み立てに用いられる種々の産業用ロボットが提案されており、対象物を把持する把持装置も知られている（例えば、特許文献１）。ところで、各種製品の組み立て工程では、例えば、シールやフィルム等、薄いシート状で柔軟性に富んだ部品を把持することもある。このようなシート状の部品は挟む位置が安定せず、また、表面が滑りやすい材質であることが多い。このため、対象物を挟持しただけでは対象物がずれることがあり、対象物を挟持する形式の把持装置では、対象物の安定した把持が困難であった。これに対し、対象物の挟持とともに真空吸着を利用する提案が知られている（例えば、特許文献２）。真空吸着を利用することにより、対象物のずれが抑制され、対象物の安定した把持状態が期待される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−２８５８７７号公報
【特許文献２】特開２０１０−１５８７５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前記特許文献２に開示された提案のように、対象物の挟持と併せて真空吸着する場合、真空状態を解除するタイミングと、対象物の挟持を解除するタイミングとが適切でないと、挟持した対象物を適切に開放することができない可能性がある。これを解消するためには、挟持動作と吸着動作（減圧動作）をそれぞれ行うためのシーケンス制御が別途必要になる等、装置が複雑になる。
【０００５】
１つの側面では、本明細書開示のチャック装置は、減圧動作及び挟持動作の実行と解除とを適切なタイミングで行うことを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本明細書開示のチャック装置は、対象物を挟持する第１の挟持部を備えるとともに、一端が前記第１の挟持部の挟持面に開口する第１の開口であり、他端が減圧装置側の開口となる第２の開口である第１の空気通路が形成された第１の爪部材と、前記第１の挟持部と共働して対象物を挟持する第２の挟持部を備えるとともに、前記第１の爪部材と対向配置された第２の爪部材と、前記第１の挟持部と前記第２の挟持部とを開閉させる開閉駆動部と、前記開閉駆動部により前記第１の挟持部と前記第２の挟持部とを閉じる際に前記第１の空気通路内を減圧状態とするとともに、前記第１の挟持部と前記第２の挟持部とを開く際に前記第１の空気通路を開放して減圧状態を解消する減圧調整部と、を備える。
【発明の効果】
【０００７】
本明細書開示のチャック装置によれば、減圧動作及び挟持動作の実行と解除とを適切なタイミングで行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は第１実施形態のチャック装置を備えたハンド装置のブロック図の一例である。
【図２】図２はチャック装置の概略構成を示した説明図である。
【図３】図３は駆動連結部を取り外した状態の説明図である。
【図４】図４は駆動連結部を示す説明図である。
【図５】図５（Ａ）は第２の挟持部が対象物に接近する状態を示す説明図であり、図５（Ｂ）は第２の挟持部が対象物に接触した状態を示す説明図である。
【図６】図６はチャック装置１００がチャッキングした状態を示す説明図である。
【図７】図７はチャック装置の動作の一例を示すタームチャートである。
【図８】図８（Ａ）は第２実施形態のチャック装置がチャッキングした状態を示す説明図であり、図８（Ｂ）は第２実施形態のチャック装置の減圧状態が破壊された状態を示す説明図である。
【図９】図９は第３実施形態のチャック装置の概略構成を示した説明図である。
【図１０】図１０は移動部材を示す説明図である。
【図１１】図１１（Ａ）はチャック装置がチャッキングした状態を示す説明図であり、図１１（Ｂ）は対象物を挟持した状態で減圧状態を破壊した状態を示す説明図であり、図１１（Ｃ）は挟持していた対象物を開放した状態を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。ただし、図面中、各部の寸法、比率等は、実際のものと完全に一致するようには図示されていない場合がある。また、図面によっては、説明の都合上、実際には存在する構成要素が省略されていたり、寸法が実際よりも誇張されて描かれていたりする場合がある。
【００１０】
（第１実施形態）
まず、図１を参照しつつ、第１実施形態のチャック装置１００を備えたハンド装置１の概略構成について説明する。図１は第１実施形態のチャック装置を備えたハンド装置のブロック図の一例である。チャック装置１００は、種々の物品、例えば、電子部品であるフレキシブルプリント基板（ＦＰＢ）等を挟持する対象物５０とすることができる。本実施形態のチャック装置１００は、フィルム状や、シート状の対象物５０に対して適用することができる。ハンド装置１は、制御部２を備える。制御部２には、開閉駆動部３、減圧装置５、移動機構６及び回転機構７が電気的に接続されている。開閉駆動部３は、後に詳述するようにチャック装置１００の開閉動作を行う。開閉駆動部３には、駆動連結部４が含まれる。駆動連結部については、後に説明する。減圧装置５は、ハンド装置１により挟持する対象物を吸着するものである。減圧装置５を作動させることにより、減圧装置５の接続先の状態を真空状態に近づけることができる。これにより、対象物５０を吸着することができる。移動機構６は、チャック装置１００をＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向に移動させる。回転機構７は、チャック装置１００をＺ軸回り（θｚ）に回転させることができる。なお、回転機構７は、Ｘ軸回り（θｘ）やＹ軸回り（θｙ）に回転させる機能を備えていてもよい。
【００１１】
チャック装置１００は、第１の挟持部１０２を有する第１の爪部材１０１と、第２の挟持部１０６を有する第２の爪部材１０５を備える。第１の爪部材１０１には、第１の空気通路１０３と第２の空気通路１０４が形成されている。第二の爪部材１０５には、第３の空気通路１０７が形成されている。以下、第１の爪部材１０１及び第２の爪部材１０５について、図２乃至図４を参照しつつ説明する。図２はチャック装置１００の概略構成を示した説明図である。図３は駆動連結部４を取り外した状態の説明図である。図４は駆動連結部４を示す説明図である。
【００１２】
第１の爪部材１０１は、対象物５０を挟持する第１の挟持部１０２を備える。第１の挟持部１０２は、第２の爪部材１０５が備える第２の挟持部１０６と共働して対象物５０を挟持する。第１の爪部材１０１の内部には、第１の空気通路１０３が形成されている。第１の空気通路１０３の一端である第１の開口１０３ａは、第１の挟持部１０２の挟持面１０２ａに開口している。第１の空気通路１０３の他端は減圧装置５側の開口である第２の開口１０３ｂとなる。第２の開口１０３ｂは、第１の爪部材１０１の後端面１０１ｂに開口している。第１の爪部材１０１には、第１の挟持部１０２側が低くなった段差部１０１ａが形成されている。この段差部１０１ａの上面は、第２の爪部材１０５の当接面１０５ａが当接する当接面１０１ａ１となる。
【００１３】
第２の爪部材１０５は、第１の挟持部１０２と共働して対象物５０を挟持する第２の挟持部１０６を備える。第２の爪部材１０５は、第１の挟持部１０２と第２の挟持部１０６とが向き合うように対向配置されている。第２の爪部材１０５の第１の爪部材１０１との対向面は、平滑であり、この対向面の後端側に位置する部分が第１の爪部材１０１が備える当接面１０１ａ１との当接面１０５ａとなっている。第２の挟持部１０６は、第２の爪部材１０５の先端側に位置しており、第２の爪部材１０５の後端側の材質と比較して柔軟性を有する素材で形成されている。具体的に、第２の挟持部１０６は、シリコンゴム製とされている。これにより、第２の挟持部１０６は、容易に弾性変形することができる。なお、本実施形態では、第２の挟持部１０６を、柔軟性を有する素材で形成しているが、第１の挟持部１０２と第２の挟持部１０６の少なくとも一方が、柔軟性を有する素材により成形されていることが望ましい。
【００１４】
第１の爪部材１０１の内部には、第２の空気通路１０４が形成されている。第２の空気通路１０４は、第１の空気通路１０３から分岐している。第２の空気通路１０４は、第１の挟持部１０２と第２の挟持部１０６とが閉じた際に第２の爪部材１０５が当接する当接面１０１ａ１に開口する第３の開口１０４ａを備えている。
【００１５】
また、第２の爪部材１０５の内部には、第３の空気通路１０７が形成されている。第３の空気通路１０７の一端は、第２の挟持部１０６の挟持面１０６ａに開口する第４の開口１０７ａである。また、第３の空気通路１０７の他端は、第１の挟持部１０２と第２の挟持部１０６とが閉じた際に第１の爪部材１０１が当接する当接面１０５ａに開口し、第３の開口１０４ａと接続可能に設けられた第５の開口１０７ｂである。
【００１６】
第３の開口１０４ａを備えた第２の空気通路１０４、第４の開口１０７ａ及び第５の開口１０７ｂを備えた第３の空気通路１０７は、減圧調整部として機能する。すなわち、第２の空気通路１０４及び第３の空気通路１０７は、第１の挟持部１０２と第２の挟持部１０６とが閉じ、対象物５０を挟持した状態となると、第１の空気通路１０３とともに減圧装置５に通じる閉じた経路を形成する。一方、第１の挟持部１０２と第２の挟持部１０６とが離れると、減圧状態が保たれていた回路が破壊されることになり、減圧状態が解除される。
【００１７】
対象物５０を減圧動作及び挟持動作により、適切に把持及び解放する場合、減圧動作及び挟持動作を実行するタイミングが重要となる。具体的に、対象物５０を把持するときは、第１の挟持部１０２と第２の挟持部１０６との挟持動作が完了した後に吸着する為の減圧動作が作用するようにする。一方、対処物５０を開放するときは、減圧動作による吸着を解除した後に挟持動作を終了する。本実施形態のチャック装置１００は、装置の機械的な動作に伴って、上記のようなタイミングで各動作が実施されるようになっている。
【００１８】
上述のように、減圧動作及び挟持動作のタイミングはわずかにずれることが求められる。そこで、本実施形態のチャック装置１００は、駆動連結部４を用いて第２の爪部材１０５の開閉動作を行うことにより、このタイミングのずれを創出している。図２、図４を参照すると、駆動連結部４は、第２の爪部材１０５を覆うように形成されたフレーム４ａとこのフレーム４ａに設けられた接続部４ａ１を備える。接続部４ａ１は、開閉駆動部３に接続されており、フレーム４ａ、ひいては、第２の爪部材１０５を昇降させる。フレーム４には、回転支持部４ｂとスライダ部４ｃが設けられている。回転支持部４ｂとスライダ部４ｃは、いずれも棒状の部材である。図３を参照すると、第２の爪部材１０５には、軸部１０５ｂが形成されている。軸部１０５ｂは、貫通孔であり、この軸部１０５ｂには、駆動連結部４が備える回転支持部４ｂが挿通される。第２の爪部材１０５には、軸部１０５ｂよりも先端側に設けられ、先端側に向かうに従って下り傾斜となったガイド部１０５ｃが形成されている。ガイド部１０５ｃには、スライダ部４ｃが係合する。このような駆動連結部４を備えることにより、第２の爪部材１０５を移動させるときに、回転動作と直線動作が実現される。回転動作は、第２の挟持部１０６を支点として行われる。これにより、第１の挟持部１０２と第２の挟持部１０６による挟持動作を継続しつつ、第３の開口１０４ａと第５の開口１０７ｂとの接続を解除することにより減圧状態を破壊し、減圧動作を終了させることができる。
【００１９】
つぎに、図５乃至図７を参照しつつ、チャック装置１００の動作につき説明する。図５（Ａ）は第２の挟持部が対象物に接近する状態を示す説明図である。図５（Ｂ）は第２の挟持部が対象物に接触した状態を示す説明図である。図６はチャック装置１００がチャッキングした状態を示す説明図である。図７はチャック装置１００の動作の一例を示すタームチャートである。なお、チャック装置１００は、移動機構６により把持する対象物５０の位置まで移動する。
【００２０】
対象物を把持するとき、制御部２は、まずタイムチャートにおける（ａ）のタイミングでチャック動作信号として閉信号を送る。これにより、図５（Ａ）で示すように、駆動連結部４を介して第２の爪部材１０５が下降する。このとき、第２の爪部材１０５は、回転支持部４ｂによって回転し、スライダ部４ｃが、ガイド部１０５ｃの上端縁に接触した状態となっている。これにより、第２の爪部材１０５は、先端側である第２の挟持部１０６が下がって状態となっている。なお、減圧装置５は動作を継続している。しかしながら、減圧装置５が接続された第１の空気通路１０３は、第１の空気通路１０３から分岐した第２の空気通路１０４が第３の開口１０４ａで開放された状態となっているため、いずれの箇所においても吸着作用は発揮されていない状態となっている。この状態で駆動連結部４が下降すると、（ｂ）のタイミングで第２の挟持部１０６が対象物５０に接触する。これにより、図５（Ｂ）に示すように第１の挟持部１０２と第２の挟持部１０６とによる挟持動作が開始される。このタイミングでは、上述のように減圧作用が効いていないため、対象物が空気の動きによって吹き飛ばされてしまうことはない。
【００２１】
挟持動作が開始された後も駆動連結部４の下降が継続されると、第２の爪部材１０５の後端側が図中、反時計回りに回転する。これは、スライダ部４ｃがガイド部１０５ｃに沿って相対的に移動することができることから、第２の爪部材１０５の軸部１０５ｂを回転軸とした回転が許容されるためである。これにより、第２の爪部材１０５は恰も第２の挟持部１０６を支点とした回転動作を行い第３の開口１０４ａと第５の開口１０７ｂとが接近する。このとき、第２の挟持部１０６は、柔軟なシリコンゴム製であることから、対象物５０に押し付けられることにより、容易に変形する。この結果、第４の開口１０７ａの周囲が密閉された状態となる。駆動連結部４の下降が継続されると、（ｃ）で示すタイミングで、図６に示すように第３の開口１０４ａと第５の開口１０７ｂとが接続された状態となる。これにより、第１の空気通路１０３、第２の空気通路１０４及び第３の空気通路１０７が閉じた回路を形成する。この結果、これらの空気通路が減圧状態となり、対象物５０は、第１の開口１０３ａ及び第４の開口１０７ａによって吸着される。
【００２２】
このように、挟持動作後に、減圧動作を実行することにより、挟持した対象物５０の滑りを抑制することができる。
【００２３】
把持した対象物５０を開放するときは、これと逆の動作を辿ることとなる。すなわち、図７中、（ｄ）のタイミングでチャック動作信号として開信号が送られると、駆動連結部４が上昇を開始する。これにより、第２の爪部材１０５は、軸部１０５ｂを支点として回転し、後端側が持ち上げられた状態となる。この結果、図７中、（ｅ）のタイミングで第３の開口１０４ａと第５の開口１０７ｂとが離れ、減圧状態が破壊される。そして、駆動連結部４がさらに上昇すると、スライダ部がガイド部１０５ｃの上端縁に接触するため、第２の爪部材１０５の回転が停止し、以後は、その姿勢を維持したまま第２の爪部材１０５が引き上げられる。この結果、（ｆ）のタイミングで第１の挟持部１０２と第２の挟持部１０６による挟持動作が終了する。
【００２４】
このように、挟持動作を終了するときに、減圧動作はすでに終了した状態となっているので、対象物を減圧作用による空気の動きにより吹き飛ばしてしまうことがない。
【００２５】
このように、本実施形態のチャック装置１００によれば、減圧動作及び挟持動作の実行と解除とを適切なタイミングで行うことができる。
【００２６】
（第２実施形態）
つぎに、図８を参照しつつ、第２実施形態のチャック装置２００について説明する。図８（Ａ）は第２実施形態のチャック装置２００がチャッキングした状態を示す説明図であり、図８（Ｂ）は第２実施形態のチャック装置２００の減圧状態が破壊された状態を示す説明図である。
【００２７】
第２実施形態のチャック装置２００が第１実施形態のチャック装置１００と異なる点は、第２実施形態のチャック装置２００が、第３の空気通路１０７を備えていない点であり、装置の動作も共通する。従って、共通する構成要素については、図面中、同一の参照番号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００２８】
第２実施形態において、減圧調整部として機能するのは、第２の空気通路１０４と、第２の爪部材１０５が備える当接面１０５ａである。当接面１０５ａは、第１の挟持部１０２と第２の挟持部１０６とが閉じた際に第１の爪部材１０１が当接する面である。第１実施形態では、第２の空気通路１０４の第３の開口１０４ａと第３の空気通路１０７の第５の開口１０７ｂとが接続し、また、離れることにより減圧動作が実施され、また、終了した。これに対し、第２実施形態では、当接面１０５ａが第２の空気通路１０４の第３の開口１０４ａを閉塞するか、開放するかによって減圧動作が実施され、また、終了する。このように、第２実施形態のチャック装置２００においても、減圧動作及び挟持動作の実行と解除とを適切なタイミングで行うことができる。
【００２９】
（第３実施形態）
つぎに、第３実施形態のチャック装置３００について、図９乃至図１１を参照しつつ説明する。図９は第３実施形態のチャック装置３００の概略構成を示した説明図である。図１０は移動部材２０７を示す説明図である。図１１（Ａ）はチャック装置３００がチャッキングした状態を示す説明図であり、図１１（Ｂ）は対象物５０を挟持した状態で減圧状態を破壊した状態を示す説明図であり、図１１（Ｃ）は挟持していた対象物５０を開放した状態を示す説明図である。
【００３０】
チャック装置３００は、第１の爪部材２０１と第２の爪部材２０５を備える。第１の爪部材２０１は、先端部に第１の挟持部２０２を備える。第１の爪部材２０１が第２の爪部材２０５と対向する面は、平滑面となっている。第１の爪部材２０１の内部には、第１実施形態の第１の爪部材１０１と同様に内部に第１の空気通路２０３が形成されており、第１の開口２０３ａが挟持面２０２ａに開口している。そして、第２の開口２０３ｂが第２の爪部材２０５との対向面に開口している。この点、第１実施形態と異なっている。また、本実施形態の第１の爪部材２０１は、第１実施形態と異なり第２の空気通路を備えていない。
【００３１】
第２の爪部材２０５は、後端部に一段高くなった段差部２０５ａを備える。段差部２０５ａには、貫通孔２０５ａ１が設けられている。段差部２０５ａにおいて第１の爪部材２０１と対向する面は、後に詳述する係合部２０７ｂが係合する係合面２０５ｂを形成している。貫通孔２０５ａ１には、移動部材２０７が摺動自在に装着されている。
【００３２】
移動部材２０７は、減圧調整部として機能する。移動部材２０７は、第２の爪部材２０５に設けられ、開閉駆動部３により第１の爪部材２０１に対して離接可能とされている。また、移動部材２０７は、第１の挟持部２０２と第２の挟持部２０６とが閉じた際に第２の開口２０３ｂに接続される第４の空気通路２０８が形成されている。第４の空気通路２０８は、減圧装置５に接続されている。すなわち、第３実施形態では、第４の空気通路２０８を介して第１の空気通路２０３が減圧装置５に接続された状態となる。移動部材２０７は、筒状部２０７ａとこれに連接された鍔状の係合部２０７ｂを備える。筒状部２０７ａは、貫通孔２０５ａ１に摺動自在に嵌め込まれる。係合部２０７ｂは、段差部２０５ａが設けられることにより段差部２０５ａの下側に形成された空間に配置される。係合部２０７ｂは、開閉駆動部３により引き上げられることにより、第１の爪部材２０１から離れつつ第２の爪部材２０５、より具体的には、係合面２０５ｂに係合して第２の爪部材２０５を第１の爪部材２０１から離す。
【００３３】
図１１（Ａ）に示す状態では、第１の挟持部２０２と第２の挟持部２０６とのよって対象物５０が挟持されているとともに、第４の空気通路２０８が第２の開口２０３ｂと接続された状態なっている。すなわち、挟持動作と減圧動作が行われる状態となっている。この状態から、図１１（Ｂ）に示すように、移動部材２０７を上方に引き上げると、第４の空気通路２０８と第２の開口２０３ｂとの接続状態が解消され、減圧状態が破壊される。そして、図１１（Ｃ）で示すように、移動部材２０７がさらに引き上げられ、係合部２０７ｂが係合面２０５ｂと係合すると、以後、第２の爪部材２０５が引き上げられ、第１の爪部材２０１から離れる。
【００３４】
このような第３実施形態のチャック装置３００であっても、第１実施形態のチャック装置１００や第２実施形態のチャック装置２００と同様に、減圧動作及び挟持動作の実行と解除とを適切なタイミングで行うことができる。
【００３５】
以上本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。
【符号の説明】
【００３６】
１  ハンド装置
２  制御部
３  開閉駆動部
４  駆動連結部
４ａ  フレーム
４ａ１  接続部
４ｂ  回転支持部
４ｃ  スライダ部
５  減圧装置
１００、２００、３００  チャック装置
１０１、２０１  第１の爪部材
１０１ａ  段差部
１０１ａ１  当接面
１０１ｂ、２０１ａ  後端面
１０２、２０２  第１の挟持部
１０２ａ、２０２ａ  挟持面
１０３、２０３  第１の空気通路
１０３ａ、２０３ａ  第１の開口
１０３ｂ、２０３ｂ  第２の開口
１０４  第２の空気通路
１０４ａ  第３の開口
１０５、２０５  第２の爪部材
１０５ａ  当接面
１０５ｂ  軸部
１０５ｃガイド部
１０６、２０６  第２の挟持部
１０７  第３の空気通路
１０７ａ  第４の開口
２０５ｂ  係合面
２０７  移動部材
２０７ａ  筒状部
２０７ｂ  係合部
２０８  第４の空気通路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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