(57)【要約】【課題】冷却性能を向上させることができる画像表示装置、及び電子機器を提供する。【解決手段】ミラーデバイス１００と、ミラーデバイス１００の少なくとも一部と第２フレーム５０２を介して熱的に接触する導電性の冷却膜６００と、冷却膜６００と熱的に接続された、放熱性を有しミラーデバイス１００の少なくとも一部を保持する第１フレーム５０１と、を備える。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板と、
前記第１基板を備えた表示パネルと、
前記表示パネルの少なくとも一部と接触する導電性の熱伝導層と、
前記熱伝導層と熱的に接続された、放熱性を有し前記表示パネルの少なくとも一部を保持する保持部材と、
を備えることを特徴とする画像表示装置。
【請求項２】
請求項１に記載の画像表示装置であって、
前記表示パネルは、前記第１基板に対向すると共に光が射出する側に第２基板が配置されており、
前記熱伝導層は、前記第２基板における前記第１基板と反対側の面から前記保持部材の一部に亘って設けられていることを特徴とする画像表示装置。
【請求項３】
請求項１に記載の画像表示装置であって、
前記熱伝導層は、前記第１基板と前記保持部材との間に配置されていることを特徴とする画像表示装置。
【請求項４】
請求項１に記載の画像表示装置であって、
前記第１基板と対向するように配置された第２基板を備え、
前記熱伝導層は、前記第１基板における前記第２基板側の面の少なくとも一部と、前記保持部材と、の間に配置されていることを特徴とする画像表示装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の画像表示装置であって、
前記表示パネルは、複数のミラーが配列されたミラーデバイスであることを特徴とする画像表示装置。
【請求項６】
請求項１に記載の画像表示装置であって、
前記第１基板と対向するように配置された第２基板と、
前記第１基板と前記第２基板との間に挟持された電気光学層と、
を備え、
前記保持部材は、少なくとも前記第１基板及び前記第２基板の表示領域と平面視で重なる領域が開口する開口部を有し、
前記熱伝導層は、前記第１基板と少なくとも前記保持部材の一部との間に配置されていることを特徴とする画像表示装置。
【請求項７】
請求項１に記載の画像表示装置であって、
前記第１基板と対向するように配置された第２基板と、
前記第１基板と前記第２基板との間に挟持された電気光学層と、
を備え、
前記保持部材は、少なくとも前記第１基板及び前記第２基板の表示領域と平面視で重なる領域が開口する開口部を有し、
前記熱伝導層は、前記第１基板と少なくとも前記保持部材の一部との間に配置されていると共に、平面視で表示領域と重なる領域にマトリクス状に開口する開口部が設けられていることを特徴とする画像表示装置。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載の画像表示装置であって、
前記熱伝導層は、透過性又は遮光性を有することを特徴とする画像表示装置。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８のいずれか一項に記載の画像表示装置であって、
前記熱伝導層及び前記保持部材は導電性を有し、
前記熱伝導層と前記保持部材とは、電気的に接続されていることを特徴とする画像表示装置。
【請求項１０】
請求項１乃至請求項９のいずれか一項に記載の画像表示装置を備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像表示装置、及び電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記電子機器として、例えば、光源から射出された光を、ミラーデバイスを備える画像表示装置に集光させ、投写光学系によって拡大投写することにより、スクリーン上にカラー表示させているプロジェクターが知られている。
【０００３】
このような光学デバイスとしては、例えば、特許文献１に記載のように、質量部と電極との間に電圧を印加することにより静電気力を発生させ、質量部と繋がっている光反射部を回動させる。これにより、反射する光の向きを変えて、画像を表示する技術が開示されている。
【０００４】
また、ミラーデバイスとして、複数のマイクロミラーがマトリクス状に配列されたＤＭＤ（デジタル・マイクロミラー・デバイス）がある。これら複数のマイクロミラーによって、光源から射出された光をマイクロミラーで反射することにより画像を表示する技術も知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−２０６６７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、複数のマイクロミラーを備えることにより、ミラーデバイスの温度が上昇しやすくなる。よって、更なる冷却効率を向上させることが求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の態様は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００８】
［適用例１］本適用例に係る画像表示装置は、第１基板と、前記第１基板を備えた表示パネルと、前記表示パネルの少なくとも一部と接触する導電性の熱伝導層と、前記熱伝導層と熱的に接続された、放熱性を有し前記表示パネルの少なくとも一部を保持する保持部材と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
本適用例によれば、表示パネルと熱伝導層を介して保持部材が熱的に接続されているので、例えば、表示パネルに光が照射して表示パネルが加熱した場合でも、表示パネルから熱伝導層を介して保持部材に放熱させることが可能となり、冷却性能を向上させることができる。その結果、冷却系に起因する装置を小型化することが可能となり、かかるコストを抑えることができる。
【００１０】
［適用例２］上記適用例に係る画像表示装置において、前記表示パネルは、前記第１基板に対向すると共に光が射出する側に第２基板が配置されており、前記熱伝導層は、前記第２基板における前記第１基板と反対側の面から前記保持部材の一部に亘って設けられていることが好ましい。
【００１１】
本適用例によれば、熱伝導層が、画像表示装置における外部の雰囲気と触れる側に設けられているので、冷却効率を向上させることができる。
【００１２】
［適用例３］上記適用例に係る画像表示装置において、前記熱伝導層は、前記第１基板と前記保持部材との間に配置されていることが好ましい。
【００１３】
本適用例によれば、第１基板と保持部材との間に熱伝導層が配置されているので、保持部材に触れる面積を大きくすることが可能となり、冷却効率を向上させることができる。
【００１４】
［適用例４］上記適用例に係る画像表示装置において、前記第１基板と対向するように配置された第２基板を備え、前記熱伝導層は、前記第１基板における前記第２基板側の面の少なくとも一部と、前記保持部材と、の間に配置されていることが好ましい。
【００１５】
本適用例によれば、例えば、平面視で第１基板の大きさが第２基板の大きさより一回り大きい場合、張り出した第１基板の面に熱伝導層を配置することが可能となるので、表示領域に影響を与えることなく熱伝導層を用いて冷却することができる。言い換えれば、熱伝導層は、透過性の膜を用いるようにしてもよいし、遮光性の膜を用いるようにしてもよい。更に、用いる熱伝導層の材料の選択肢を増やすことができる。
【００１６】
［適用例５］上記適用例に係る画像表示装置において、前記表示パネルは、複数のミラーが配列されたミラーデバイスであることが好ましい。
【００１７】
本適用例によれば、ミラーデバイスに光が照射した際にミラーデバイスが加熱した場合でも、熱伝導層が設けられているので、ミラーデバイスから熱伝導層を介して保持部材に熱を放熱させることが可能となる。よって、冷却性能を向上させることができ、ミラーデバイスの温度上昇を抑えることができる。その結果、冷却系に起因した装置を小型化することが可能となり、かかるコストを抑えることができる。加えて、ミラーデバイスのミラーの熱膨張が小さくなるため、ミラー間のスペースを狭くすることが可能となり、反射率を向上させることができる。
【００１８】
［適用例６］上記適用例に係る画像表示装置において、前記第１基板と対向するように配置された第２基板と、前記第１基板と前記第２基板との間に挟持された電気光学層と、を備え、前記保持部材は、少なくとも前記第１基板及び前記第２基板の表示領域と平面視で重なる領域が開口する開口部を有し、前記熱伝導層は、前記第１基板と少なくとも前記保持部材の一部との間に配置されていることが好ましい。
【００１９】
本適用例によれば、保持部材に開口部が設けられており、第１基板と保持部材との間に熱伝導層が設けられているので、冷却性能を向上させることができると共に、透過型の表示パネルに適用することができる。
【００２０】
［適用例７］上記適用例に係る画像表示装置において、前記第１基板と対向するように配置された第２基板と、前記第１基板と前記第２基板との間に挟持された電気光学層と、を備え、前記保持部材は、少なくとも前記第１基板及び前記第２基板の表示領域と平面視で重なる領域が開口する開口部を有し、前記熱伝導層は、前記第１基板と少なくとも前記保持部材の一部との間に配置されていると共に、平面視で表示領域と重なる領域にマトリクス状に開口する開口部が設けられていることが好ましい。
【００２１】
本適用例によれば、熱伝導層が表示領域の外側から、マトリクス状に繋がった表示領域の中に亘って設けられているので、放熱させる面積を増やすことが可能となり、冷却効率を向上させることができる。更に、表示領域の中に熱伝導層が設けられているので、加熱しやすい表示領域の温度上昇を抑えることができる。更に、熱伝導層に遮光性の膜を用いることにより、ブラックマトリクスの効果を得ることができる。
【００２２】
［適用例８］上記適用例に係る画像表示装置において、前記熱伝導層は、透過性又は遮光性を有することが好ましい。
【００２３】
本適用例によれば、熱伝導層が透過性の場合には、表示領域及び非表示領域に影響を与えることなく熱伝導層として配置することができる。更に、透過型や反射型の表示パネルに影響を与えることなく配置することができる。熱伝導層が遮光性の場合には、反射型の表示パネルや、遮光領域として機能してほしい部分に設けることで、遮光性と熱伝導層としての機能を有することができる。
【００２４】
［適用例９］上記適用例に係る画像表示装置において、前記熱伝導層及び前記保持部材は導電性を有し、前記熱伝導層と前記保持部材とは、電気的に接続されていることが好ましい。
【００２５】
本適用例によれば、熱伝導層及び保持部材が電気的に接続されているので、熱導電層を電界の遮蔽膜として機能させることが可能となり、周辺ノイズの影響による誤動作を低減することができる。更に、周辺へノイズを放出することを低減することができる。
【００２６】
［適用例１０］本適用例に係る電子機器は、上記に記載の画像表示装置を備えることを特徴とする。
【００２７】
本適用例によれば、冷却性能を向上させることが可能な電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】電子機器としてのプロジェクターの光学系を示す模式図。
【図２】画像表示装置を構成するミラーデバイス（可動ミラー装置）の構成を示す模式図。
【図３】図２に示すミラーデバイスのＡ−Ａ’線に沿う模式断面図であると共に、ミラーデバイスのミラーの動作を示す模式断面図。
【図４】図２に示すミラーデバイスのＡ−Ａ’線に沿う模式断面図であると共に、ミラーデバイスのミラーの動作を示す模式断面図。
【図５】第１実施形態の画像表示装置の構成を示す模式図。
【図６】第２実施形態の画像表示装置の構造を示す模式図。
【図７】第３実施形態の画像表示装置の構造を示す模式図。
【図８】電子機器としてのプロジェクターの構成を示す概略図。
【図９】第４実施形態の画像表示装置を構成する液晶パネルの構成を示す模式平面図。
【図１０】図９に示す液晶パネルのＨ−Ｈ’線に沿う模式断面図。
【図１１】第４実施形態の画像表示装置の構成を示す模式図。
【図１２】変形例１の画像表示装置の構造を示す模式図。
【図１３】変形例２の画像表示装置の構成を示す模式図。
【図１４】変形例３の画像表示装置の構造を示す模式断面図。
【図１５】変形例４の画像表示装置の構造を示す模式断面図。
【図１６】変形例５の冷却膜の構造を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大または縮小して表示している。
【００３０】
なお、以下の形態において、例えば「基板上に」と記載された場合、基板の上に接するように配置される場合、または基板の上に他の構成物を介して配置される場合、または基板の上に一部が接するように配置され、一部が他の構成物を介して配置される場合を表すものとする。
【００３１】
（第１実施形態）
＜電子機器としてのプロジェクターの構成＞
図１は、電子機器としてのプロジェクターの光学系を示す模式図である。以下、プロジェクターの光学系を、図１を参照しながら説明する。
【００３２】
図１に示すように、プロジェクター１０００は、光源装置１００２と、光源装置１００２から射出された光を画像情報に応じて変調するミラーデバイス１００（表示パネル）と、ミラーデバイス１００からの変調光を投写画像として投写する投写光学系１００４と、を具備して構成されている。
【００３３】
光源装置１００２は、発光素子１０２０と、蛍光体基板１０３０と、を備えている。光源装置１００２は、青色のレーザー光を射出するレーザー光源である。発光素子１０２０から射出されるレーザー光の光路上には、蛍光体基板１０３０、が配置されている。なお、光源装置１００２の構成は上記に限定されず、発光素子１０２０とレーザー光源の代わりに、高圧水銀ランプとカラーホイールを配置するようにしても、同様の効果を得ることができる。
【００３４】
なお、ミラーデバイス１００が搭載される電子機器としては、プロジェクター１０００の他、ヘッドアップディスプレイ（ＨＵＤ）、ヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）、モバイルミニプロジェクター、車載機器、オーディオ機器、露光装置や照明機器など各種電子機器に用いることができる。
【００３５】
＜画像表示装置を構成するミラーデバイスの構成＞
図２は、画像表示装置を構成するミラーデバイス（可動ミラー装置）の構成を示す模式図である。図３及び図４は、図２に示すミラーデバイスのＡ−Ａ’線に沿う模式断面図であると共に、ミラーデバイスのミラーの動作を示す模式断面図である。以下、ミラーデバイスの構成及び動作を、図２〜図４を参照しながら説明する。
【００３６】
図２に示すように、ミラーデバイス（例えば、ＤＭＤ）１００は、第１基板としての基板３００の上方に、ヒンジ１０６、支持部１０５（これら図３参照）を介してミラー１０２がマトリクス状に配置されている。基板３００は、例えば、シリコン基板である。ミラー１０２の表面には、光を反射するための反射金属膜が形成されている。反射金属膜としては、例えば、アルミニウム（Ａｌ）が挙げられる。
【００３７】
図３に示すように、本実施形態のミラーデバイス１００は、制御回路部を含む底部１１０と、電極２０２及びヒンジ１０６を備えた中間部１２０と、ミラー１０２を備えた上部１３０と、の３つの主要な部分を備えている。
【００３８】
底部１１０の制御回路部は、ミラーデバイス１００の各ミラー１０２の動作を選択的に制御するために用いられる。なお、制御回路部は、標準的ＣＭＯＳ技術を使用して組み立てることが可能であり、ＳＲＡＭ（Static Random Access Memory）に類似している。
【００３９】
中間部１２０は、電極２０２、ヒンジ１０６、及び支持部１０５によって構成されている。ミラー１０２は、電極２０２の静電引力によって、一方の電極２０２（第１電極）に引き寄せられる。また、ヒンジ１０６は、ミラー１０２が電極２０２に引き寄せられたときねじれ、電極２０２に電圧が印加されていないとき、ねじれが戻るようになっている。静電引力は、ミラー１０２と電極２０２との間の２乗に反比例するので、この影響は、ミラー１０２をそのランディング位置で傾斜させたときに明白になる。
【００４０】
なお、一方の電極２０２（第１電極）は、ミラー１０２の第１部分と基板３００との間に配置されている。一方の電極２０２と対向する他方の電極２０２（第２電極）は、ミラー１０２の第２部分と基板３００との間に配置されている。
【００４１】
ミラー１０２の第１部分は、ミラー１０２が動作した際に一方の電極２０２と接触する領域周辺であり、例えば、ミラー１０２におけるコーナー周辺である。ミラー１０２の第２部分は、ミラー１０２が逆側に動作した際に他方の電極２０２と接触する領域周辺であり、例えば、上記コーナーと対向するコーナー周辺である。
【００４２】
上部１３０は、上面に平坦な反射金属膜としてのミラー１０２を有する。ヒンジ１０６は、例えば、ミラー１０２の一部になるように形成される。また、ミラー１０２の下側には、最小距離を保持して所定の角度を回転するだけの間隙が与えられる。
【００４３】
図３は、照明光源４０１からの指向性光４１１が入射角θ１を形成するときの、本発明の一実施態様に基づくミラーデバイス１００の一部分の断面図を示す。ミラーデバイス１００を通常の方向で測定したとき、偏向光４１２は角度θｏを有する。デジタル動作モードにおいて、この構成を一般的に「オン」の位置と呼ぶ。
【００４４】
図４は、ミラー１０２が、反対側の電極２０２（第２電極）に向かって回転される間の、ミラーデバイス１００の同じ部分の断面図を示す。指向性光４１１及び偏向光４１２は、より大きな角度θ１およびθｏを成す。偏向光４１２は、光吸収装置４０２の方へ射出する。
【００４５】
＜画像表示装置の構成＞
図５は、画像表示装置の構成を示す模式図である。図５（ａ）は、画像表示装置を上方から見た概略平面図である。図５（ｂ）は、図５（ａ）に示す画像表示装置のＢ−Ｂ’線に沿う模式断面図である。以下、画像表示装置の構成を、図５を参照しながら説明する。
【００４６】
図５に示すように、画像表示装置５００は、上記したミラーデバイス１００と、ミラーデバイス１００を支持する凹状の第１フレーム５０１（保持部材）と、ミラーデバイス１００の上方を覆うカバー５０３（第２基板）と、カバー５０３を支持する第２フレーム５０２（保持部材）と、を備えている。なお、ミラーデバイス１００とカバー５０３を合わせてミラーデバイス１００と称するようにしてもよい。
【００４７】
カバー５０３における第１フレーム５０１とは反対側の面から第２フレーム５０２に亘って（延在して）、熱伝導層としての冷却膜６００が配置されている。冷却膜６００としては、例えば、ＩＴＯやＩＺＯなどの透明導電膜である。また、冷却膜６００として、ＩＴＯやＩＺＯなどの単層に限定されず、例えば、ＩＭＩＴＯ（Index Mached ITO）のような積層構造を適用するようにしてもよい。
【００４８】
なお、冷却膜６００の形状は、ベタの膜に限定されず、カバー５０３を構成する材料よりも熱伝導率が高ければよく、平面視で表示領域と重なる領域に開口部を有する冷却膜でもよい。なお、開口部は、表示領域と重なっている形状でもよいし、重なっていない形状でもよい。
【００４９】
このように、冷却膜６００と、ヒートシンクや冷却ファンなどの冷却機構と、を組み合わせることにより、冷却性能を向上させることができる。
【００５０】
更に、第１フレーム５０１及び第２フレーム５０２が導電性を有することが好ましい。具体的には、第１フレーム５０１及び第２フレーム５０２は、固定電位に電気的に接続されている。つまり、冷却膜６００、第１フレーム５０１、及び第２フレーム５０２が電気的に接続されていることにより、冷却膜６００を電界の遮蔽膜として機能させることが可能となり、周辺ノイズの影響による誤動作を低減することができる。更に、周辺へノイズを放出することを低減することができる。
【００５１】
本実施形態の冷却膜６００の製造方法としては、まず、カバー５０３を第２フレーム５０２に固定する。その後、治具を並べてマスキングを施す。そして、例えば、電子ビーム蒸着法、物理気相成長法、スパッタ蒸着法などを用いて冷却膜６００を形成する。以上により、画像表示装置５００が完成する。
【００５２】
以上詳述したように、第１実施形態の画像表示装置５００、及びプロジェクター１０００によれば、以下に示す効果が得られる。
【００５３】
（１）第１実施形態の画像表示装置５００によれば、ミラーデバイス１００と第２フレーム５０２と冷却膜６００が熱的に接続されているので、例えば、ミラーデバイス１００に光が照射した場合でも、ミラーデバイス１００の温度が上昇することを抑えることができる。具体的には、表示領域に相当する広い面積で、画像表示装置５００の表面に露出しているので冷却効率を高くすることができる。よって、冷却性能を向上させることができ、その結果、冷却系に起因する装置を小型化することが可能となり、かかるコストを抑えることができる。また、温度的に余裕が生じた分、より高輝度の光源を使用することが可能となり、より明るい表示を得ることができる。更に、冷却膜６００が、画像表示装置５００における外部の雰囲気と接触する側に設けられているので、冷却効率を向上させることができる。
【００５４】
（２）第１実施形態の画像表示装置５００によれば、ミラーデバイス１００のミラー１０２の熱膨張が小さくなるため、ミラー１０２間のスペースを狭くすることが可能となる。よって、画素ピッチに対するミラー１０２の占有率を大きくすることができ、より明るい表示を得ることができる。また、ミラー１０２間へ侵入した光が乱反射することに起因する迷光を低減することができる。加えて、ミラー１０２間のスペースが狭くなるので、ミラー１０２で反射した光による回折光が弱まり、コントラスト比が低下することを抑えることができる。
【００５５】
（３）第１実施形態の画像表示装置５００によれば、第１フレーム５０１及び第２フレーム５０２が導電性を有するので、冷却膜６００、第１フレーム５０１、及び第２フレーム５０２が電気的に接続されることになる。よって、冷却膜６００を電界の遮蔽膜として機能させることが可能となり、周辺ノイズの影響による誤動作を低減することができる。更に、周辺へノイズを放出することを低減することができる。
【００５６】
（４）本実施形態のプロジェクター１０００によれば、上記に記載の画像表示装置５００を備えているので、冷却性能を向上させることが可能な電子機器を提供することができる。
【００５７】
（第２実施形態）
＜画像表示装置の構造＞
図６は、第２実施形態の画像表示装置の構造を示す模式図である。図６（ａ）は、画像表示装置の構造を示す模式断面図である。図６（ｂ）は、画像表示装置を構成するミラーデバイス及び冷却膜の構造を示す斜視図である。以下、画像表示装置の構造を、図６を参照しながら説明する。
【００５８】
第２実施形態の画像表示装置５１０は、上述の第１実施形態の画像表示装置５００と比べて、第１フレーム５０１と、ミラーデバイス１００を構成する基板３００との間に冷却膜６０１を配置している部分が異なり、その他の部分については概ね同様である。このため第２実施形態では、第１実施形態と異なる部分について詳細に説明し、その他の重複する部分については適宜説明を省略する。
【００５９】
図６に示すように、画像表示装置５１０は、第１実施形態と同様に、ミラーデバイス１００と、ミラーデバイス１００を保持する凹状の第１フレーム５０１と、ミラーデバイス１００の上方を覆うカバー５０３と、カバー５０３を支持する第２フレーム５０２と、を備えている。
【００６０】
第１実施形態と異なる部分として、ミラーデバイス１００を構成する基板３００と、第１フレーム５０１との間に、基板３００を構成する材料よりも熱伝導率が高い材料からなる冷却膜６０１が配置されている。冷却膜６０１は、例えば、表示領域から非表示領域に亘って全体に配置されている。また、これに限定されず、冷却膜６０１を表示領域のみに配置してもよいし、非表示領域のみに配置するようにしてもよい。
【００６１】
冷却膜６０１としては、例えば、ＩＴＯやＩＺＯなどの透明導電膜である。
【００６２】
また、ＩＴＯなど透明導電膜に限定されず、アルミニウムなどの遮光性を有する金属膜でもよい。遮光性の金属膜としては、アルミニウム（Ａｌ）に限定されず、例えば、窒化チタン（ＴｉＮ）、アルミニウム及び窒化チタンなどの積層構造でもよく、タングステン（Ｗ）、銅（Ｃｕ）、タングステン及び銅などの合金などでもよい。金属膜を用いる場合、ＩＴＯやＩＺＯなどよりも熱伝導率が高いので、冷却効率をさらに向上させることができる。
【００６３】
画像表示装置５１０としてミラーデバイス１００を適用することに限定されず、例えば、反射型の液晶装置や有機ＥＬ装置などであってもよい。また、この場合はカバー５０３を備えなくてもよい。
【００６４】
以上詳述したように、第２実施形態の画像表示装置５１０によれば、上記した（１）〜（３）の効果に加えて、以下に示す効果が得られる。
【００６５】
（５）第２実施形態の画像表示装置５１０によれば、ミラーデバイス１００を構成する基板３００と第１フレーム５０１との間に冷却膜６０１が配置されているので、第１フレーム５０１に触れる面積を大きくすることが可能となり、第１実施形態の効果に加えて更に冷却効率を向上させることができる。
【００６６】
（第３実施形態）
＜画像表示装置の構造＞
図７は、第３実施形態の画像表示装置の構造を示す模式図である。図７（ａ）は、画像表示装置の構造を示す模式断面図である。図７（ｂ）は、ミラーデバイス及び冷却膜の構造を示す斜視図である。以下、画像表示装置の構造を、図７を参照しながら説明する。
【００６７】
第３実施形態の画像表示装置５２０は、上述の第１実施形態の画像表示装置５００と比べて、ミラーデバイス１００を構成する基板３００と、第２フレーム５０２との間（平面視でミラーデバイス１００と第２フレーム５０２とが重なる領域）に冷却膜６０２を配置している部分が異なり、その他の部分については概ね同様である。このため第３実施形態では、第１実施形態と異なる部分について詳細に説明し、その他の重複する部分については適宜説明を省略する。
【００６８】
図７に示すように、画像表示装置５２０は、第１実施形態と同様に、ミラーデバイス１００と、ミラーデバイス１００を保持する凹状の第１フレーム５０１と、ミラーデバイス１００の上方を覆うカバー５０３と、カバー５０３を支持する第２フレーム５０２と、を備えている。
【００６９】
第１実施形態と異なる部分として、ミラーデバイス１００（基板３００）と、第２フレーム５０２との間に、冷却膜６０２が配置されている。冷却膜６０２は、例えば、少なくとも平面視で第２フレーム５０２とミラーデバイス１００とが重なる領域の一部に配置されている。
【００７０】
冷却膜６０２としては、例えば、ＩＴＯやＩＺＯなどの透明導電膜や、アルミニウム（Ａｌ）や窒化チタン（ＴｉＮ）などの遮光性を有する金属膜などでもよい。
【００７１】
なお、基板３００の４辺に沿って冷却膜６０２を形成することに限定されず、例えば、対向する２辺に沿って冷却膜６０２を形成するようにしてもよい。また、少なくとも１辺に沿って冷却膜６０２を形成するようにしてもよい。
【００７２】
また、画像表示装置５２０としては、ＤＭＤをはじめとするミラーデバイスを適用することに限定されず、例えば、液晶パネル、有機ＥＬ装置、ＥＰＤ（電子ペーパー）などを搭載するようにしてもよい。また、この場合はカバー５０３を備えなくてもよい。
【００７３】
以上詳述したように、第３実施形態の画像表示装置５２０によれば、上記した（１）〜（３）の効果に加えて、以下に示す効果が得られる。
【００７４】
（６）第３実施形態の画像表示装置５２０によれば、平面視でミラーデバイス１００の大きさがカバー５０３の大きさより一回り大きい場合、張り出したミラーデバイス１００の上面に冷却膜６０２を配置することが可能となる。よって、表示領域に影響を与えることなく冷却膜６０２を用いて冷却することができる。言い換えれば、冷却膜６０２は、透過性の膜を用いるようにしてもよいし、遮光性の膜を用いるようにしてもよい。よって、用いる熱伝導層の材料の選択肢を増やすことができる。
【００７５】
（第４実施形態）
＜電子機器の構成＞
次に、第４実施形態の電子機器としてのプロジェクターについて、図８を参照しながら説明する。図８は、プロジェクターの構成を示す概略図である。
【００７６】
本実施形態では、プロジェクター１００１を構成する画像表示装置５３０は、薄膜トランジスター（ＴＦＴ：Thin Film Transistor）を画素のスイッチング素子として備えたアクティブマトリクス型の液晶パネル２００（表示パネル）を備えている。この液晶パネル２００は、液晶のプロジェクター１００１の光変調素子（液晶ライトバルブ）として好適に用いることができるものである。
【００７７】
図８に示すように、本実施形態のプロジェクター１００１は、システム光軸Ｌに沿って配置された偏光照明装置１１００と、光分離素子としての２つのダイクロイックミラー１１０４，１１０５と、３つの反射ミラー１１０６，１１０７，１１０８と、５つのリレーレンズ１２０１，１２０２，１２０３，１２０４，１２０５と、３つの光変調手段としての透過型の液晶ライトバルブ１２１０，１２２０，１２３０と、光合成素子としてのクロスダイクロイックプリズム１２０６と、投写レンズ１２０７とを備えている。
【００７８】
偏光照明装置１１００は、超高圧水銀灯やハロゲンランプなどの白色光源からなる光源としてのランプユニット１１０１と、インテグレーターレンズ１１０２と、偏光変換素子１１０３とから概略構成されている。
【００７９】
ダイクロイックミラー１１０４は、偏光照明装置１１００から射出された偏光光束のうち、赤色光（Ｒ）を反射させ、緑色光（Ｇ）と青色光（Ｂ）とを透過させる。もう１つのダイクロイックミラー１１０５は、ダイクロイックミラー１１０４を透過した緑色光（Ｇ）を反射させ、青色光（Ｂ）を透過させる。
【００８０】
ダイクロイックミラー１１０４で反射した赤色光（Ｒ）は、反射ミラー１１０６で反射した後にリレーレンズ１２０５を経由して液晶ライトバルブ１２１０に入射する。ダイクロイックミラー１１０５で反射した緑色光（Ｇ）は、リレーレンズ１２０４を経由して液晶ライトバルブ１２２０に入射する。ダイクロイックミラー１１０５を透過した青色光（Ｂ）は、３つのリレーレンズ１２０１，１２０２，１２０３と２つの反射ミラー１１０７，１１０８とからなる導光系を経由して液晶ライトバルブ１２３０に入射する。
【００８１】
液晶ライトバルブ１２１０，１２２０，１２３０は、クロスダイクロイックプリズム１２０６の色光ごとの入射面に対してそれぞれ対向配置されている。液晶ライトバルブ１２１０，１２２０，１２３０に入射した色光は、映像情報（映像信号）に基づいて変調されクロスダイクロイックプリズム１２０６に向けて射出される。
【００８２】
このプリズムは、４つの直角プリズムが貼り合わされ、その内面に赤色光を反射する誘電体多層膜と青色光を反射する誘電体多層膜とが十字状に形成されている。これらの誘電体多層膜によって３つの色光が合成されて、カラー画像を表す光が合成される。合成された光は、投写光学系である投写レンズ１２０７によってスクリーン１３００上に投写され、画像が拡大されて表示される。
【００８３】
液晶ライトバルブ１２１０は、後述される画像表示装置５３０が適用されたものである。画像表示装置は、色光の入射側と射出側とにおいてクロスニコルに配置された一対の偏光素子の間に隙間を置いて配置されている。他の液晶ライトバルブ１２２０，１２３０も同様である。
【００８４】
このようなプロジェクター１００１に、液晶ライトバルブ１２１０，１２２０，１２３０を用いているので、高い信頼性を得ることができる。
【００８５】
なお、液晶パネル２００が搭載される電子機器としては、プロジェクター１００１の他、ヘッドアップディスプレイ（ＨＵＤ）、ヘッドマウントディスプレイ（ＨＭＤ）、スマートフォン、ＥＶＦ（Electrical View Finder）、モバイルミニプロジェクター、電子ブック、携帯電話、モバイルコンピューター、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、ディスプレイ、車載機器、オーディオ機器、露光装置や照明機器など各種電子機器に用いることができる。
【００８６】
＜画像表示装置を構成する液晶パネルの構成＞
図９は、画像表示装置を構成する液晶パネルの構成を示す模式平面図である。図１０は、図９に示す液晶パネルのＨ−Ｈ’線に沿う模式断面図である。以下、液晶パネルの構成を、図９及び図１０を参照しながら説明する。
【００８７】
図９及び図１０に示すように、本実施形態の液晶パネル２００は、対向するように配置された素子基板１０及び対向基板２０と、これら一対の基板によって挟持された電気光学層としての液晶層１５とを有する。素子基板１０を構成する基板としての第１基材１０ａは、例えば、ガラス基板、石英基板などの透明基板、あるいはシリコン基板が用いられ、対向基板２０を構成する第２基材２０ａは、例えば、ガラス基板、石英基板などの透明基板が用いられている。なお、素子基板１０及び対向基板２０のどちらかが第１基板又は第２基板に対応する。
【００８８】
素子基板１０は対向基板２０よりも大きく、両基板１０，２０は、対向基板２０の外周に沿って配置されたシール材１４を介して接合されている。平面視で環状に設けられたシール材１４の内側で、素子基板１０は対向基板２０の間に正または負の誘電異方性を有する液晶が封入されて液晶層１５を構成している。シール材１４は、例えば熱硬化性又は紫外線硬化性のエポキシ樹脂などの接着剤が採用されている。シール材１４には、一対の基板の間隔を一定に保持するためのスペーサー（図示省略）が混入されている。
【００８９】
シール材１４の内縁より内側には、複数の画素Ｐが配列した表示領域Ｅが設けられている。表示領域Ｅは、表示に寄与する複数の画素Ｐに加えて、複数の画素Ｐを囲むように配置されたダミー画素を含むとしてもよい。また、図９及び図１０では図示を省略したが、表示領域Ｅにおいて複数の画素Ｐをそれぞれ平面的に区分する遮光膜（ブラックマトリクス：ＢＭ）が対向基板２０に設けられている。
【００９０】
素子基板１０の１辺部に沿ったシール材１４と該１辺部との間に、データ線駆動回路２２が設けられている。また、該１辺部に対向する他の１辺部に沿ったシール材１４と表示領域Ｅとの間に、検査回路２５が設けられている。さらに、該１辺部と直交し互いに対向する他の２辺部に沿ったシール材１４と表示領域Ｅとの間に走査線駆動回路２４が設けられている。該１辺部と対向する他の１辺部に沿ったシール材１４と検査回路２５との間には、２つの走査線駆動回路２４を繋ぐ複数の配線２９が設けられている。
【００９１】
対向基板２０における環状に配置されたシール材１４と表示領域Ｅとの間には、遮光部材としての遮光膜１８（見切り部）が設けられている。遮光膜１８は、例えば、遮光性の金属あるいは金属酸化物などからなり、遮光膜１８の内側が複数の画素Ｐを有する表示領域Ｅとなっている。なお、図９では図示を省略したが、表示領域Ｅにおいても複数の画素Ｐを平面的に区分する遮光膜が設けられている。
【００９２】
これらデータ線駆動回路２２、走査線駆動回路２４に繋がる配線は、該１辺部に沿って配列した複数の外部接続用端子３５に接続されている。以降、該１辺部に沿った方向をＸ方向とし、該１辺部と直交し互いに対向する他の２辺部に沿った方向をＹ方向として説明する。
【００９３】
図１０に示すように、第１基材１０ａの液晶層１５側の表面には、画素Ｐごとに設けられた透光性の画素電極２７およびスイッチング素子である薄膜トランジスター（ＴＦＴ：Thin Film Transistor、以降、「ＴＦＴ３０」と呼称する）と、信号配線と、これらを覆う無機配向膜２８とが形成されている。
【００９４】
また、ＴＦＴ３０における半導体層に光が入射してスイッチング動作が不安定になることを防ぐ遮光構造が採用されている。本発明における素子基板１０は、少なくとも画素電極２７、ＴＦＴ３０、無機配向膜２８を含むものである。
【００９５】
対向基板２０の液晶層１５側の表面には、遮光膜１８と、これを覆うように成膜された絶縁膜３３と、絶縁膜３３を覆うように設けられた対向電極３１と、対向電極３１を覆う無機配向膜３２とが設けられている。本発明における対向基板２０は、少なくとも絶縁膜３３、対向電極３１、無機配向膜３２を含むものである。
【００９６】
遮光膜１８は、図９に示すように、表示領域Ｅを取り囲むと共に、平面的に走査線駆動回路２４、検査回路２５と重なる位置に設けられている（図示簡略）。これにより対向基板２０側からこれらの駆動回路を含む周辺回路に入射する光を遮蔽して、周辺回路が光によって誤動作することを防止する役目を果たしている。また、不必要な迷光が表示領域Ｅに入射しないように遮蔽して、表示領域Ｅの表示における高いコントラストを確保している。
【００９７】
絶縁膜３３は、例えば酸化シリコンなどの無機材料からなり、光透過性を有して遮光膜１８を覆うように設けられている。このような絶縁膜３３の形成方法としては、例えばプラズマＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法などを用いて成膜する方法が挙げられる。
【００９８】
対向電極３１は、例えばＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電膜からなり、絶縁膜３３を覆うと共に、図９に示すように対向基板２０の四隅に設けられた上下導通部２６により素子基板１０側の配線に電気的に接続している。
【００９９】
画素電極２７を覆う無機配向膜２８、および対向電極３１を覆う無機配向膜３２は、液晶パネル２００の光学設計に基づいて選定される。無機配向膜２８，３２としては、気相成長法を用いてＳｉＯｘ（酸化シリコン）などの無機材料を成膜して、負の誘電異方性を有する液晶分子に対して略垂直配向させた無機配向膜が挙げられる。
【０１００】
このような液晶パネル２００は透過型であって、電圧が印加されない時の画素Ｐの透過率が電圧印加時の透過率よりも大きいノーマリーホワイトや、電圧が印加されない時の画素Ｐの透過率が電圧印加時の透過率よりも小さいノーマリーブラックモードの光学設計が採用される。光の入射側と射出側とにそれぞれ偏光素子が光学設計に応じて配置されて用いられる。
【０１０１】
＜画像表示装置の構成＞
図１１は、画像表示装置の構成を示す模式図である。図１１（ａ）は、画像表示装置の構造を示す模式断面図である。図１１（ｂ）は、画像表示装置を構成する液晶パネルのうち対向基板及び冷却膜の構成を示す斜視図である。以下、画像表示装置の構成を、図１１を参照しながら説明する。
【０１０２】
図１１に示すように、第４実施形態の画像表示装置５３０は、上述の第１実施形態の画像表示装置５００と比べて、ミラーデバイス１００の代わりに透過型の液晶パネル２００を用いている部分が異なり、その他の部分については概ね同様である。このため第４実施形態では、第１実施形態と異なる部分について詳細に説明し、その他の重複する部分については適宜説明を省略する。
【０１０３】
図１１に示すように、画像表示装置５３０は、上記した液晶パネル２００と、液晶パネル２００を保持する凹状のフレーム５０５（保持部材）と、液晶パネル２００をフレーム５０５に固定するためのフック５０６と、を備えている。
【０１０４】
第１実施形態と異なる部分として、平面視でフレーム５０５の中央の領域に開口部５０５ａが形成されている。これにより、フレーム５０５に液晶パネル２００を固定した際、液晶パネル２００を介して光を透過させることが可能となる。
【０１０５】
冷却膜６０３は、対向基板２０における液晶層１５とは反対側の面の外側と、フレーム５０５と、の間に配置されている。言い換えれば、冷却膜６０３は、光の入射側に配置されている。冷却膜６０３としては、例えば、ＩＴＯやＩＺＯなどの透明導電膜や、アルミニウム（Ａｌ）や窒化チタン（ＴｉＮ）などの遮光性を有する金属膜などでもよい。
【０１０６】
なお、冷却膜６０３が表示領域まで延在する場合は、ＩＴＯなどの透明導電膜であることが好ましい。また、冷却膜６０３は、ＩＴＯやアルミニウムなどの単層に限定されず、例えば、ＩＭＩＴＯなどの積層構造でもよい。
【０１０７】
また、フレーム５０５と液晶パネル２００とが分離しないように、液晶パネル２００を構成する素子基板１０の裏面側（液晶層１５とは反対側）からフレーム５０５にかけてフック５０６が固定されている。
【０１０８】
以上詳述したように、第４実施形態の画像表示装置５３０によれば、上記した（１）〜（３）の効果に加えて、以下に示す効果が得られる。
【０１０９】
（７）第４実施形態の画像表示装置５３０によれば、フレーム５０５に開口部５０５ａが設けられており、少なくとも対向基板２０とフレーム５０５との間に冷却膜６０３が設けられているので、冷却性能を向上させることができると共に、透過型の表示パネル（液晶パネル２００）に適用することができる。
【０１１０】
（８）第４実施形態の画像表示装置５３０によれば、液晶層１５を構成する液晶材料の温度上昇を抑えることができるので、液晶材料の寿命を長くすることができる。なお、上記した実施形態のうち、電子粉粒（電子インク）、有機ＥＬ材料、無機ＥＬ材料、蛍光材料を用いる表示パネルにおいても、長寿命化に寄与することができる。
【０１１１】
なお、本発明の態様は、上記した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、本発明の態様の技術範囲に含まれるものである。また、以下のような形態で実施することもできる。
【０１１２】
（変形例１）
上記した第４実施形態のように、冷却膜６０３が対向基板２０の外側のみに配置されていることに限定されず、例えば、図１２に示すように配置してもよい。
【０１１３】
図１２（ａ）は、変形例１の画像表示装置の構造を示す模式断面図である。図１２（ｂ）は、画像表示装置を構成する対向基板及び冷却膜の構成を示す斜視図である。図１２（ａ）に示す画像表示装置５４０は、対向基板２０に形成された冷却膜６０４の範囲が、基板の外側に配置されていることに加えて、表示領域にマトリクス状に形成された開口部を有する部分が、第４実施形態と異なっている。
【０１１４】
表示領域に形成されたマトリクス状の開口部を有する冷却膜６０４ａに、遮光性を有する金属材料を用いることにより、ブラックマトリクス（ＢＭ）の効果を有することができる。更に、冷却膜６０４（６０４ａ）が表示領域の外側から、マトリクス状に開口部が形成された表示領域の中に亘って設けられているので、放熱させる面積を増やすことが可能となり、冷却効率を向上させることができる。更に、表示領域の中に冷却膜６０４ａが設けられているので、加熱しやすい表示領域の温度上昇を抑えることができる。
【０１１５】
（変形例２）
上記した第４実施形態や変形例１に記載のように、対向基板２０における液晶層１５と反対側にメタルからなる冷却膜を形成する場合は、図１３に示すような冷却膜の構造に形成することが好ましい。また、第３実施形態の画像表示装置５２０の冷却膜として適用するようにしてもよい。
【０１１６】
図１３（ａ）は、変形例２の画像表示装置の構成を示す斜視図である。図１３（ｂ）は、図１３（ａ）に示す画像表示装置のＣ−Ｃ’線に沿う模式断面図である。メタルとしては、例えば、アルミニウム（Ａｌ）と窒化チタン（ＴｉＮ）との積層膜である。なお、アルミニウム（Ａｌ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）などの単層を用いるようにしてもよい。
【０１１７】
このように、冷却膜６０５がメタルの場合、冷却膜６０５が酸化及び電蝕すること防ぐために、冷却膜６０５及び対向基板２０上（例えば、液晶層１５と反対側の面）に、ＳｉＯ2やＳｉＮｘなどからなる保護膜６０５ａが形成される。
【０１１８】
更に、フレームとの熱伝達効率を向上させるために、保護膜６０５ａに開口部６０５ｂを設け、冷却膜６０５と接続された冷却膜保護層６０５ｃが基板の表面に露出するように形成されている。冷却膜保護層６０５ｃとしては、例えば、ＩＴＯやＩＺＯなどが挙げられる。
【０１１９】
このような冷却膜の構造の形成方法は、例えば、一般的な外部接続端子部の形成工程と同じ工程で形成することができる。なお、冷却膜保護層６０５ｃとフレームとの良好な接触を得るために、フレーム側における冷却膜保護層６０５ｃと接触する部分に凸部を設けるようにしてもよい。
【０１２０】
これによれば、冷却膜保護層６０５ｃとフレームとを確実に接触させることが可能となり、冷却効率を向上させることができる。
【０１２１】
（変形例３）
上記した第２実施形態のように、基板（１００）と第１フレーム５０１との間に冷却膜を配置することに限定されず、例えば、図１４に示すようにしてもよい。図１４は、例えば、素子基板と対向基板とを有する液晶パネルを備えた画像表示装置、また、ミラーデバイスとカバーとを有する画像表示装置など、２つの基板を有する画像表示装置５５０の構造を示す模式断面図である。以下、反射型の液晶パネル２０１の場合を例にして説明する。
【０１２２】
図１４に示す画像表示装置５５０は、素子基板１０と対向基板２０とを有する液晶パネル２０１を備えている。液晶パネル２０１は、凹状のフレーム５０７で支持されている。また、液晶パネル２０１とフレーム５０７とは、フック５０６によって固定されている。
【０１２３】
具体的には、対向基板２０は、素子基板１０より一回り大きく（張り出して）形成されている。フレーム５０７は、液晶パネル２０１の段差に倣って階段状の凹部が形成されている。つまり、一回り大きい対向基板２０が張り出した面と、階段状のフレーム５０７の部分とが当接するようになっている。
【０１２４】
対向基板２０の全面には、ＩＴＯなどの透過膜が、冷却膜６０６として形成されている。なお、全面が同じ材料の膜であることに限定されず、少なくとも表示領域に透過膜が配置され、非表示領域に遮光膜が配置される形態でもよい。
【０１２５】
これにより、フレーム５０７に液晶パネル２０１を組み込んだ際、張り出した対向基板２０に形成された冷却膜６０６と、フレーム５０７の段差部とが接触するようになっている。その結果、液晶パネル２０１の熱をフレーム５０７に伝えることができる。
【０１２６】
なお、反射型の液晶パネル（表示装置）に限定されず、透過型の液晶装置や自発光表示装置に適用することができる。
【０１２７】
これによれば、光学材料（例えば、液晶材料、電子粉粒（電子インク）、有機／無機のＥＬ材料、蛍光材料など）により近い部分で冷却が行えるため、冷却効率を向上させることができる。
【０１２８】
（変形例４）
上記したように、ミラーデバイス１００や液晶パネル２００，２０１などを備えた画像表示装置に限定されず、例えば、図１５に示すように、自発光パネル２１０を備えた画像表示装置５６０に適用するようにしてもよい。図１５は、変形例４の画像表示装置５６０の構造を示す模式断面図である。
【０１２９】
図１５に示す画像表示装置５６０は、例えば、有機ＥＬパネルなど自発光パネル２１０と、自発光パネル２１０を保持する凹状のフレーム５０８と、フレーム５０８と自発光パネル２１０とを固定するためのフック５０６と、を備えている。冷却膜６０７は、自発光パネル２１０における発光する方向とは逆の面２１０ａとフレーム５０８との間に配置されている。
【０１３０】
冷却膜６０７としては、例えば、ＩＴＯやＩＺＯなどの透明導電膜や、アルミニウム（Ａｌ）や窒化チタン（ＴｉＮ）などの遮光性を有する金属膜などでもよい。
【０１３１】
（変形例５）
上記したような冷却膜の構造に限定されず、例えば、図１６に示すような構造でもよい。図１６（ａ）及び（ｂ）は、変形例５の冷却膜の構造を示す斜視図である。
【０１３２】
図１６（ａ）に示す冷却膜としては、基板上に、ＩＴＯなどの透明導電膜や、アルミニウムなどの遮光性を有する遮光膜が形成されている。
【０１３３】
また、冷却膜６０５は、中央の領域がマトリクス状に開口部が形成されている。更に、表示領域から非表示領域に亘って、基板上に冷却膜６０５を介して保護膜６０５ａが形成されている。保護膜６０５ａには、開口部が形成されており、冷却膜６０５と接続された冷却膜保護層６０５ｃが表面に露出している。図１６（ａ）に示す冷却膜６０５は、例えば、透過型の画像表示装置に適用される。
【０１３４】
これによれば、表示領域にマトリクス状に形成された開口部を有する冷却膜６０５が形成されているので、表示領域内の冷却効率をより高めることができる。また、冷却と同時に、一般的なブラックマトリクスとしての効果（表示不良部位のマスク、初期耐光性性能向上、温度上昇の軽減）を合わせて期待できる。
【０１３５】
図１６（ｂ）に示す冷却膜６０７は、第２実施形態や変形例４において、冷却膜６０７にメタルを用いる場合に適用することが好ましい。メタルは、例えば、アルミニウム（Ａｌ）と窒化チタン（ＴｉＮ）の積層構造である。この場合、メタルの酸化及び電蝕を防ぐために、メタル上に保護膜６０７ａを形成する。
【０１３６】
具体的には、図１３に示す構造と同様であり、基板上に、アルミニウムなどの遮光性を有する冷却膜６０７が形成されている。冷却膜６０７の上には、保護膜６０７ａが形成されている。保護膜６０７ａとしては、例えば、ＳｉＯ2やＳｉＮｘが挙げられる。
【０１３７】
基板上の略中央の領域の保護膜６０７ａには、フレームとの熱伝達効率を上げるために、冷却膜６０７まで到達する開口部が形成されている。そして冷却膜６０７と接続するように冷却膜保護層６０７ｃが保護膜６０７ａの上に引き出されている。冷却膜保護層６０７ｃとしては、例えば、ＩＴＯやＩＺＯなどが挙げられる。
【０１３８】
この構造を形成する方法としては、例えば、一般的な外部接続端子部と同じ工程で形成することができる。なお、冷却膜保護層６０７ｃとフレームとの良好な接触を得るために、フレーム側における冷却膜保護層６０７ｃと接触する部分に凸部を設けるようにしてもよい。図１６（ｂ）に示す基板は、例えば、反射型の画像表示装置に適用される。
【０１３９】
（変形例６）
上記したように、各実施形態や変形例に合わせて冷却膜のパターンを組み合わせてきたが、例えば、基板３００より熱伝導率が高ければよく、更に、透過型や反射型のことを考慮しながら、他の実施形態や変形例で用いた冷却膜のパターンを適宜組み合わせて適用するようにしてもよい。
【０１４０】
（変形例７）
上記したように、画像表示装置に搭載する表示パネルとしては、ＤＭＤ等のミラーデバイスや透過型及び反射型の液晶パネルに限定されず、例えば、有機ＥＬ装置、ＥＰＤ（電子ペーパー）、プラズマディスプレイなどでもよい。
【符号の説明】
【０１４１】
１０…素子基板（第１基板又は第２基板）、１０ａ…第１基材、１４…シール材、１５…電気光学層としての液晶層、１８…遮光膜、２０…対向基板（第１基板又は第２基板）、２０ａ…第２基材、２２…データ線駆動回路、２４…走査線駆動回路、２５…検査回路、２６…上下導通部、２７…画素電極、２８，３２…無機配向膜、２９…配線、３０…ＴＦＴ、３１…対向電極、３３…絶縁膜、３５…外部接続用端子、１００…表示パネルとしてのミラーデバイス、１０２…ミラー、１０５…支持部、１０６…ヒンジ、１１０…底部、１２０…中間部、１３０…上部、２００，２０１…表示パネルとしての液晶パネル、２０２…電極、２１０…自発光パネル、２１０ａ…面、３００…第１基板としての基板、４０１…照明光源、４０２…光吸収装置、４１１…指向性光、４１２…偏向光、５００，５１０，５２０，５３０，５４０，５５０，５６０…画像表示装置、５０１…保持部材の１つである第１フレーム、５０２…保持部材の１つである第２フレーム、５０３…第２基板としてのカバー、５０５，５０７，５０８…保持部材としてのフレーム、５０５ａ…開口部、５０６…フック、６００，６０１，６０２，６０３，６０４，６０４ａ，６０５，６０６，６０７…熱伝導層としての冷却膜、６０５ａ，６０７ａ…保護膜、６０５ｂ…開口部、６０５ｃ，６０７ｃ…冷却膜保護層、１０００…プロジェクター、１００１…プロジェクター、１００２…光源装置、１００４…投写光学系、１０２０…発光素子、１０３０…蛍光体基板、１１００…偏光照明装置、１１０１…ランプユニット、１１０２…インテグレーターレンズ、１１０３…偏光変換素子、１１０４，１１０５…ダイクロイックミラー、１１０６，１１０７，１１０８…反射ミラー、１２０１，１２０２，１２０３，１２０４，１２０５…リレーレンズ、１２０６…クロスダイクロイックプリズム、１２０７…投写レンズ、１２１０，１２２０，１２３０…液晶ライトバルブ、１３００…スクリーン。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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