(57)【要約】      （修正有）【課題】基板が備える隔壁のサイズが異なる開口部に優れた精度で液滴を供給することができる液滴吐出装置、かかる液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法および膜付きデバイスの製造方法を提供する。【解決手段】液滴吐出装置は、第１液滴吐出ヘッド５１２および第２液滴吐出ヘッド５２２を備えるヘッドユニット１８を有している。また、第１液滴吐出ヘッド５１２および第２液滴吐出ヘッド５２２は、液滴を吐出する際に、ヘッドユニット１８を基板に対して走査する主走査方向に沿って配設され、それぞれ、液滴を吐出する第１吐出ノズル５１１および第２吐出ノズル５２１を複数有している。そして、複数の第１吐出ノズル５１１および第２吐出ノズル５２１は、それぞれ、主走査方向に直交する副走査方向に並んで配設され、第２吐出ノズル５２１の液滴の吐出量が、第１吐出ノズル５１１の液滴の吐出量よりも少なくなっている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体とヘッドユニットとを相対的に第１の方向に移動させる主走査を行いながら、ヘッドから前記基体に対し液滴を供給する液滴吐出装置であって、
前記ヘッドユニットは、前記液滴をそれぞれ吐出する第１液滴吐出ヘッドおよび第２液滴吐出ヘッドを備え、
前記第１液滴吐出ヘッドは、複数の第１吐出ノズルが前記第１の方向と交差する第１のノズル列方向に並んで配置されてなる第１のノズル列を有し、
前記第２液滴吐出ヘッドは、複数の第２吐出ノズルが前記第１の方向と交差する第２のノズル列方向に並んで配置されてなる第２のノズル列を有し、
前記第２の液滴吐出ヘッドは、前記第１吐出ノズルから吐出する液滴より少ない量の液滴を、前記第２吐出ノズルから吐出することが可能であることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記第２吐出ノズルのノズル径は、前記第１吐出ノズルのノズル径より小さい請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記ヘッドユニットは、第２の方向に沿って設けられた案内レールを備え、前記案内レールに前記第２液滴吐出ヘッドが取り付けられ、
前記第２液滴吐出ヘッドは、前記ヘッドユニットに対して、前記第２の方向に移動可能となっている請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記第２液滴吐出ヘッドは、その前記第２の方向に移動可能な可動幅が、前記ヘッドユニットの前記第１の方向への主走査の後に、前記ヘッドユニットを前記第２の方向へ移動させる副走査での移動幅と等しく設定されている請求項１ないし３のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記第１のノズル列のノズル列長と、前記第２のノズル列のノズル列長とが等しい請求項１ないし４のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記第１吐出ノズルと前記第２吐出ノズルとは、前記ヘッドユニットを、前記基体に対して前記第１の方向に相対的に移動させる際に、両端に位置する吐出ノズル同士が前記基体上の同一の位置を通過する請求項３ないし５のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記基体は、第１の領域と、前記第１の領域よりも面積が小さい第２の領域とを有し、
前記第１液滴吐出ヘッドは前記第１の領域に対して前記液滴を吐出し、
前記第２液滴吐出ヘッドは前記第２の領域に対して前記液滴を吐出する請求項１ないし６のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記基体は、第１の隔壁と第２の隔壁とを備え、
前記第１の領域は、前記第１の隔壁に形成された第１の開口部により区画されてなり、
前記第２の領域は、前記第２の隔壁に形成された第２の開口部により区画されてなる請求項７に記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
さらに、前記第２液滴吐出ヘッドは、前記第１の領域に前記液滴を供給するよう構成されている請求項７または８に記載の液滴吐出装置。
【請求項１０】
請求項７ないし９のいずれか１項に記載の液滴吐出装置が備える前記ヘッドユニットを、前記基体に対して前記第１の方向に相対的に移動させつつ、
前記第１液滴吐出ヘッドが前記第１の領域上を通過する際に、前記第１液滴吐出ヘッドから前記液滴を吐出して前記第１の領域に供給し、前記第２液滴吐出ヘッドが前記第２の領域上を通過する際に、前記第２液滴吐出ヘッドから前記液滴を吐出して前記第２の領域に供給することを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項１１】
前記液滴が供給される前記基体において、前記第１の領域および前記第２の領域は、前記第１の方向に沿って配設される請求項１０に記載の液滴吐出方法。
【請求項１２】
前記第１の領域および前記第２の領域は、それぞれ、前記第２の方向に長い形状をなしている請求項１０または１１に記載の液滴吐出方法。
【請求項１３】
前記第１の領域は、前記第２の方向に長い形状をなし、前記第２の領域は、前記第１の方向に長い形状をなしている請求項１１または１２に記載の液滴吐出方法。
【請求項１４】
請求項１０ないし１３のいずれか１項に記載の液滴吐出方法を用いて、前記液滴を前記第１の領域および前記第２の領域に供給して、前記第１の領域および前記第２の領域内で、それぞれ、露出する前記基体上に、液状被膜を形成する供給工程と、
前記液状被膜を加熱して乾燥させることで、前記第１の領域および前記第２の領域内で、それぞれ、露出する前記基体上に膜を成膜する成膜工程と、
前記基体の前記第１の領域を含む第１の部分と、前記第２の領域を含む第２の部分とで分割することで、サイズの異なる膜付きデバイスを得る分割工程とを有することを特徴とする膜付きデバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置、液滴吐出方法および膜付きデバイスの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
成膜材料を溶媒に溶解してなる成膜性インクを液滴吐出装置を用いて基板上に供給（塗布）し、その基板上の成膜性インクから溶媒を除去（乾燥）することにより成膜を行う成膜方法が実用に供されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この成膜方法を用いて、例えば、有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）素子の有機層（例えば、発光層および正孔輸送層等）、カラーフィルターの着色層および配線基板の導体パターン等の膜付きデバイスが備える各種膜を形成することが提案されている。
【０００４】
このような有機層や、導体パターン等の膜のパターニング（成膜方法）は、形成すべき膜の形状に対応した開口部を備える隔壁（バンク）を基板（成膜用基板）上に形成して成膜領域を確保した後、その開口部内に、成膜用インクを液滴として供給し、その後、加熱して溶媒を除去することにより行われる。
【０００５】
さらに、有機ＥＬ素子等の膜付きデバイスは、その生産性を向上させるという観点からは、１つの基板からサイズの異なる膜付きデバイスを複数個取り（共取り）することが行われることがある。そのため、膜付きデバイスを製造するために基板上に形成される隔壁は、膜付きデバイスのサイズ毎に、その開口部のサイズや、向き等が異なってくる。
【０００６】
ここで、このような成膜方法に用いられる液滴吐出装置が備えるヘッドユニットは、複数の液滴吐出ヘッドを備えている。そして、これら液滴吐出ヘッドは、一般に、吐出ノズルを複数備えており、個々の吐出ノズルから成膜性インクを液滴として吐出し、この吐出された液滴が、隔壁が備える開口部に供給される。また、これら複数の液滴吐出ヘッドでは、通常、吐出ノズルのノズルピッチが同一となっている。
【０００７】
そのため、サイズが異なる膜付きデバイスの形成に用いられる基板が備える、サイズさらには向きが異なる隔壁の開口部に対して、各吐出ノズルから吐出される液滴を、優れた精度で供給することは困難であった。
【０００８】
なお、特許文献２では、異なる吐出量で液滴を吐出する吐出ノズルを備える液滴吐出ヘッドを複数有する液滴吐出装置が提案されている。しかしながら、この液滴吐出装置では、液滴を供給する際に、基板を移動させる主走査方向と、液滴吐出ヘッドを移動させる副走査方向とが直交する方向となっており、さらに、複数の液滴吐出ヘッドが副走査方向に並んで配列されている。したがって、一度の基板の主走査方向への走査で、複数の液滴吐出ヘッドから同時に隔壁が備える開口部に液滴を供給することは困難であった。また、たとえ可能であったとしても、複数の液滴吐出ヘッドからの液滴吐出の制御に困難を極め、優れた精度で、開口部に液滴を供給することはできなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平１１−５４２７０号公報
【特許文献２】特開２００１−３１５３１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の目的は、基板が備える隔壁のサイズが異なる開口部に優れた精度で液滴を供給することができる液滴吐出装置、かかる液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法および膜付きデバイスの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【００１２】
［適用例１］
本発明の液滴吐出装置は、基体とヘッドユニットとを相対的に第１の方向に移動させる主走査を行いながら、ヘッドから前記基体に対し液滴を供給する液滴吐出装置であって、
前記ヘッドユニットは、前記液滴をそれぞれ吐出する第１液滴吐出ヘッドおよび第２液滴吐出ヘッドを備え、
前記第１液滴吐出ヘッドは、複数の第１吐出ノズルが前記第１の方向と交差する第１のノズル列方向に並んで配置されてなる第１のノズル列を有し、
前記第２液滴吐出ヘッドは、複数の第２吐出ノズルが前記第１の方向と交差する第２のノズル列方向に並んで配置されてなる第２のノズル列を有し、
前記第２の液滴吐出ヘッドは、前記第１吐出ノズルから吐出する液滴より少ない量の液滴を、前記第２吐出ノズルから吐出することが可能であることを特徴とする。
【００１３】
かかる構成の液滴吐出装置とすることで、大きさの異なる第１の領域および第２の領域に、優れた精度で液滴を供給することができる。
【００１４】
［適用例２］
本発明の液滴吐出装置では、前記第２吐出ノズルのノズル径は、前記第１吐出ノズルのノズル径より小さいことが好ましい。
【００１５】
これにより、前記第１吐出ノズルから吐出する液滴より少ない量の液滴を、前記第２吐出ノズルから吐出することができる。
【００１６】
［適用例３］
本発明の液滴吐出装置では、前記ヘッドユニットは、第２の方向に沿って設けられた案内レールを備え、前記案内レールに前記第２液滴吐出ヘッドが取り付けられ、
前記第２液滴吐出ヘッドは、前記ヘッドユニットに対して、前記第２の方向に移動可能となっていることが好ましい。
【００１７】
かかる構成のヘッドユニットにおいて、第２液滴吐出ヘッドを移動させることで、第２液滴吐出ヘッドを第２の領域に対して優れた精度で位置決めさせることができる。
【００１８】
［適用例４］
本発明の液滴吐出装置では、前記第２液滴吐出ヘッドは、その前記第２の方向に移動可能な可動幅が、前記ヘッドユニットの前記第１の方向への主走査の後に、前記ヘッドユニットを前記第２の方向へ移動させる副走査での移動幅と等しく設定されていることが好ましい。
【００１９】
これにより、第２液滴吐出ヘッドにより供給すべき第２の領域に確実に第２液滴吐出ヘッドを位置合わせすることができる。
【００２０】
［適用例５］
本発明の液滴吐出装置では、前記第１のノズル列のノズル列長と、前記第２のノズル列のノズル列長とが等しいことが好ましい。
【００２１】
これにより、前記ヘッドユニットを、前記基板に対して前記第１の方向に相対的に移動させる際に、前記第１液滴吐出ヘッドおよび前記第２液滴吐出ヘッドにおいて両端に位置する吐出ノズル同士を前記基体上の同一の位置を通過させることができる。
【００２２】
［適用例６］
本発明の液滴吐出装置では、前記第１吐出ノズルと前記第２吐出ノズルとは、前記ヘッドユニットを、前記基体に対して前記第１の方向に相対的に移動させる際に、両端に位置する吐出ノズル同士が前記基体上の同一の位置を通過することが好ましい。
【００２３】
これにより、前記第１の領域および前記第２の領域に、優れた精度で液滴を供給することができる。
【００２４】
［適用例７］
本発明の液滴吐出装置では、前記基体は、第１の領域と、前記第１の領域よりも面積が小さい第２の領域とを有し、
前記第１液滴吐出ヘッドは前記第１の領域に対して前記液滴を吐出し、
前記第２液滴吐出ヘッドは前記第２の領域に対して前記液滴を吐出することが好ましい。
【００２５】
かかる構成の液滴吐出装置とすることで、前記第１の領域および前記第２の領域に、すなわち基体が備えるサイズが異なる領域に、優れた精度で液滴を供給することができる。
【００２６】
［適用例８］
本発明の液滴吐出装置では、前記基体は、第１の隔壁と第２の隔壁とを備え、
前記第１の領域は、前記第１の隔壁に形成された第１の開口部により区画されてなり、
前記第２の領域は、前記第２の隔壁に形成された第２の開口部により区画されてなることが好ましい。
【００２７】
かかる構成の液滴吐出装置とすることで、前記第１の開口部および前記第２の開口部に、すなわち基体が備えるサイズが異なる開口部に、優れた精度で液滴を供給することができる。
【００２８】
［適用例９］
本発明の液滴吐出装置では、さらに、前記第２液滴吐出ヘッドは、前記第１の領域に前記液滴を供給するよう構成されていることが好ましい。
【００２９】
これにより、第２液滴吐出ヘッドから吐出される液滴を、第１隔壁に付着させることなく、第１の開口部の縁部まで優れた精度で供給することができる。そのため、液滴を乾燥することで得られる膜の成膜精度の向上が図られる。
【００３０】
［適用例１０］
本発明の液滴吐出方法は、本発明の液滴吐出装置が備える前記ヘッドユニットを、前記基体に対して前記第１の方向に相対的に移動させつつ、
前記第１液滴吐出ヘッドが前記第１の領域上を通過する際に、前記第１液滴吐出ヘッドから前記液滴を吐出して前記第１の領域に供給し、前記第２液滴吐出ヘッドが前記第２の領域上を通過する際に、前記第２液滴吐出ヘッドから前記液滴を吐出して前記第２の領域に供給することを特徴とする。
【００３１】
かかる構成の液滴吐出方法により、前記第１の領域および前記第２の領域に、すなわち基板が備えるサイズが異なる領域に、優れた精度で液滴を供給することができる。
【００３２】
［適用例１１］
本発明の液滴吐出方法では、前記液滴が供給される前記基体において、前記第１の領域および前記第２の領域は、前記第１の方向に沿って配設されることが好ましい。
【００３３】
このような前記第１の領域および前記第２の領域に、優れた精度で液滴を供給することができる。
【００３４】
［適用例１２］
本発明の液滴吐出方法では、前記第１の領域および前記第２の領域は、それぞれ、前記第２の方向に長い形状をなしていることが好ましい。
【００３５】
このような前記第１の領域および前記第２の領域に、優れた精度で液滴を供給することができる。
【００３６】
［適用例１３］
本発明の液滴吐出方法では、前記第１の領域は、前記第２の方向に長い形状をなし、前記第２の領域は、前記第１の方向に長い形状をなしていることが好ましい。
【００３７】
このような前記第１の領域および前記第２の領域に対しても、優れた精度で液滴を供給することができる。
【００３８】
［適用例１４］
本発明の膜付きデバイスの製造方法は、本発明の液滴吐出方法を用いて、前記液滴を前記第１の領域および前記第２の領域に供給して、前記第１の領域および前記第２の領域内で、それぞれ、露出する前記基体上に、液状被膜を形成する供給工程と、
前記液状被膜を加熱して乾燥させることで、前記第１の領域および前記第２の領域内で、それぞれ、露出する前記基体上に膜を成膜する成膜工程と、
前記基体の前記第１の領域を含む第１の部分と、前記第２の領域を含む第２の部分とで分割することで、サイズの異なる膜付きデバイスを得る分割工程とを有することを特徴とする。
【００３９】
かかる膜付きデバイスの製造方法によれば、サイズの異なる膜付きデバイスを一括して複数製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】図１に示す液滴吐出装置が備えるヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す模式的な平面図である。
【図３】図２に示すヘッドユニットが備える液滴吐出ヘッドの要部の概略構成を示す断面図である。
【図４】図１に示す液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。
【図５】図１に示す液滴吐出装置を用いた成膜方法を説明する図である。
【図６】図２に示すヘッドユニットを備える液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法（本発明の液滴吐出方法の一例）を説明する平面図である。
【図７】図２に示すヘッドユニットを備える液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法（本発明の液滴吐出方法の一例）を説明する平面図である。
【図８】図２に示すヘッドユニットを備える液滴吐出装置を用いた他の液滴吐出方法を説明する平面図である。
【図９】本発明の第２実施形態に係る液滴吐出装置が備えるヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す模式的な平面図である。
【図１０】図９に示すヘッドユニットを備える液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法（本発明の液滴吐出方法の一例）を説明する平面図である。
【図１１】図９に示すヘッドユニットを備える液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法（本発明の液滴吐出方法の一例）を説明する平面図である。
【図１２】図９に示すヘッドユニットを備える液滴吐出装置を用いた他の液滴吐出方法を説明する平面図である。
【図１３】本発明の第３実施形態に係る液滴吐出装置が備えるヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す模式的な平面図である。
【図１４】図１３に示すヘッドユニットを備える液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法（本発明の液滴吐出方法の一例）を説明する平面図である。
【図１５】図１３に示すヘッドユニットを備える液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法（本発明の液滴吐出方法の一例）を説明する平面図である。
【図１６】発光装置の一例である表示装置を示す断面図である。
【図１７】図１６に示す表示装置が備える発光素子の断面図である。
【図１８】電子機器の一例であるモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
【図１９】電子機器の一例である携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【図２０】電子機器の一例であるディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００４１】
以下、本発明の液滴吐出装置、液滴吐出方法および膜付きデバイスの製造方法について、図面に示す好適な実施形態に基づいて説明する。なお、各図では、説明の便宜上、各部の縮尺が適宜変更されており、図示の構成は実際の縮尺と必ずしも一致するわけではない。
まず、本発明の液滴吐出装置の全体構成について説明する。
【００４２】
（液滴吐出装置）
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図、図２は、図１に示す液滴吐出装置が備えるヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す模式的な平面図、図３は、図２に示すヘッドユニットが備える液滴吐出ヘッドの要部の概略構成を示す断面図である。なお、図１には、説明の便宜上、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸が図示されている。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」という。また、図１では、Ｚ軸が鉛直方向に沿っており、＋Ｚ軸方向側（Ｚ軸を示す矢印の先端側）を「上」、−Ｚ軸方向側（Ｚ軸を示す矢印の基端側）を「下」という。
【００４３】
図１に示す液滴吐出装置６は、インクジェット装置である。この液滴吐出装置６は、基台７と、１対の案内レール８と、ステージ９と、主走査位置検出装置１０と、支持台１２と、案内部材１３と、収納タンク１４と、案内レール１５と、キャリッジ１６と、副走査位置検出装置１７と、ヘッドユニット１８と、を備えている。
【００４４】
基台７は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に沿った上面７ａを有する直方体形状をなしている。そして、基台７の上面７ａには、Ｙ軸方向に沿って延びている１対の案内レール８が設置されている。
【００４５】
この１対の案内レール８には、図示しない直動機構を介して、ステージ９が取り付けられている。これにより、ステージ９を１対の案内レール８に沿って移動させることで、ヘッドユニット１８が備える液滴吐出ヘッド部５１０、５２０をステージ９に対して主走査方向（本実施形態ではＹ軸方向）に相対的に移動させることができる。本実施形態では、かかる直動機構として、例えば、リニアモーターが用いられており、ステージ９がＹ軸方向に沿って所定の速度で往動と復動とを繰り返すようになっている。なお、かかる直動機構は、リニアモーターに限定されず、例えば、ネジ式直動機構等であってもよい。
【００４６】
また、基台７の上面７ａには、主走査位置検出装置１０が設けられている。この主走査位置検出装置１０により、基台７に対するステージ９のＹ軸方向での位置（すなわち主走査方向での位置）が検出される。
【００４７】
ステージ９の上面には、基板（基体）２が載置される載置面１１が形成されている。この載置面１１には、図示しない吸引式のチャック機構が設けられている。このチャック機構により、載置面１１上の基板２が載置面１１に対して吸着・固定される。
【００４８】
また、Ｘ軸方向における基台７の両端部には、上側に延びている１対の支持台１２が設けられている。この１対の支持台１２には、Ｘ軸方向に沿って延びている案内部材１３が架設されている。この案内部材１３の上側には、成膜性インク２６が収納されている収納タンク１４が設置されている。
【００４９】
一方、案内部材１３の下側には、Ｘ軸方向に沿って延びている案内レール１５が設置されている。この案内レール１５には、図示しない直動機構を介して、キャリッジ１６が取り付けられている。これにより、キャリッジ１６を案内レール１５に沿って移動させることで、ヘッドユニット１８が備える液滴吐出ヘッド部５１０、５２０をステージ９に対して、主走査方向（第１の方向）に直交（交差）する副走査方向（本実施形態ではＸ軸方向）に相対的に移動させることができる。本実施形態では、かかる直動機構として、例えば、リニアモーターが用いられており、任意のタイミング（例えば、前述した主走査の往動と復動との切り換え時）にキャリッジ１６がＸ軸方向に沿って移動するようになっている。なお、かかる直動機構は、リニアモーターに限定されず、例えば、ネジ式直動機構等であってもよい。
【００５０】
また、案内部材１３のキャリッジ１６側には、副走査位置検出装置１７が設けられている。この副走査位置検出装置１７により、案内部材１３に対するキャリッジ１６のＸ軸方向での位置（すなわち副走査方向（第２の方向）での位置）が検出される。
【００５１】
キャリッジ１６には、ヘッドユニット１８が設置されている。
このヘッドユニット１８は、図２に示すように、第１液滴吐出ヘッド部５１０と、第２液滴吐出ヘッド部５２０とを有し、これら第１液滴吐出ヘッド部５１０と、第２液滴吐出ヘッド部５２０とが、主走査方向（本実施形態ではＹ軸方向）に沿って配設されている。すなわち、第１液滴吐出ヘッド部５１０と、第２液滴吐出ヘッド部５２０とは、主走査方向において互いに異なる位置に配置されている。そして、第１液滴吐出ヘッド部５１０は、複数（本実施形態では１２個）の第１液滴吐出ヘッド５１２を有し、また、第２液滴吐出ヘッド部５２０は、複数（本実施形態では１２個）の第２液滴吐出ヘッド５２２を有している。
【００５２】
この第１液滴吐出ヘッド部５１０において、各第１液滴吐出ヘッド５１２は、６つの第１液滴吐出ヘッド５１２からなる２つのサブグループに分けられ、各サブグループにおいて、６つの第１液滴吐出ヘッド５１２がＹ軸方向に沿って、副走査方向（本実施形態ではＸ軸方向）に一定間隔ずらした状態で、並んで配設されている。また、２つのサブグループは、Ｘ軸方向で離間して並んで配設されている。
【００５３】
さらに、第２液滴吐出ヘッド部５２０において、各第２液滴吐出ヘッド５２２は、６つの第２液滴吐出ヘッド５２２からなる２つのサブグループに分けられ、各サブグループにおいて、６つの第２液滴吐出ヘッド５２２がＹ軸方向に沿って、Ｘ軸方向に一定間隔ずらした状態で、並んで配設されている。また、２つのサブグループは、Ｘ軸方向で離間して並んで配設されている。
【００５４】
そして、各第１液滴吐出ヘッド５１２は、複数（本実施形態では１２個）の第１吐出ノズル５１１を有し、また、第２液滴吐出ヘッド５２２は、複数（本実施形態では１２個）の第２吐出ノズル５２１を有している。
【００５５】
この第１液滴吐出ヘッド５１２において、各第１吐出ノズル５１１は、６つの第１吐出ノズル５１１からなる２つのノズル列（第１のノズル列）を有し、各サブグループにおいて、６つの第１吐出ノズル５１１がＸ軸方向に一定の離間距離（ノズルピッチＣ１）を空けて並んで配設されている。また、２つのサブグループは、Ｙ軸方向に位置をずらし、X軸方向にノズルピッチC1の半ピッチ分位置をずらした千鳥配置の状態で、並んで配設されている。なお、本実施形態では半ピッチずらした位置としたが、X軸方向の位置ずれは半ピッチでなくともよい。また、第１のノズル列の列方向は、Ｘ軸方向に対して、一致していなくてもよい。
【００５６】
さらに、第２液滴吐出ヘッド５２２において、各第２吐出ノズル５２１は、１２個の第２吐出ノズル５２１からなる２つのノズル列（第２のノズル列）を有し、各サブグループにおいて、１２個の第２吐出ノズル５２１がＸ軸方向に一定の離間距離（ノズルピッチＣ２）を空けて並んで配設されている。また、２つのサブグループは、Ｙ軸方向に位置をずらし、X軸方向にノズルピッチC1の半ピッチ分位置をずらした状態で、並んで配設されている。本実施形態では半ピッチずらした千鳥配置の位置としたが、X軸方向の位置ずれは半ピッチでなくともよい。第２のノズル列の列方向は、Ｘ軸方向に対して、一致していなくてもよく、第１のノズル列の列方向に対して、一致していなくてもよい。
【００５７】
さらに、第１液滴吐出ヘッド５１２において、複数の第１吐出ノズル５１１からなるノズル列は、２列に限らず、１列または３列以上であってもよいし、第２液滴吐出ヘッド５２２において、複数の第２吐出ノズル５２１からなるノズル列は、２列に限らず、１列または３列以上であってもよい。
【００５８】
ここで、上述した構成の各第１液滴吐出ヘッド５１２において、Ｘ軸方向に対して液滴吐出ヘッド５１２の最も各端部側に位置する第１吐出ノズル５１１同士間の離間距離をノズル列長Ａ１とし、各第２液滴吐出ヘッド５２２において、Ｘ軸方向に対して液滴吐出ヘッド５２２の最も各端部側に位置する第２吐出ノズル５２１同士間の離間距離をノズル列長Ａ２としたとき、本実施形態では、ノズル列長Ａ１とノズル列長Ａ２との長さが等しくなっている。そのため、各第１液滴吐出ヘッド５１２における、各第１吐出ノズル５１１同士間の離間距離であるノズルピッチＣ１は、各第２液滴吐出ヘッド５２２における、各第２吐出ノズル５２１同士間の離間距離であるノズルピッチＣ２と等しくなっている。
【００５９】
また、本発明では、各第１液滴吐出ヘッド５１２の液滴吐出ヘッド５１２から吐出される液滴２９ａの吐出量と、各第２液滴吐出ヘッド５２２の液滴吐出ヘッド５２２から吐出される液滴２９ｂの吐出量とは、第１および第２液滴吐出ヘッド５１２、５２２の駆動波形およびノズル径口を変更することで、液滴２９ａよりも液滴２９ｂの方が少なくなっている。
【００６０】
さらに、Ｘ軸方向で隣接する第１液滴吐出ヘッド５１２同士間において、隣接する側の端部側で、最もこれら端部側に位置する第１吐出ノズル５１１同士間の離間距離を下軸改行ストロークＢ１とし、Ｘ軸方向で隣接する第２液滴吐出ヘッド５２２同士間において、隣接する側の端部側で、最もこれら端部側に位置する第２吐出ノズル５２１同士間の離間距離を下軸改行ストロークＢ２としたとき、本実施形態では、下軸改行ストロークＢ１と下軸改行ストロークＢ２との長さが等しくなっている。さらに、第１液滴吐出ヘッド部５１０および第２液滴吐出ヘッド部５２０において、第１液滴吐出ヘッド５１２および第２液滴吐出ヘッド５２２は、それぞれ、Ｘ軸方向に２行、Ｙ軸方向６列ずつ並んで配設されているが、同一の行および列に位置する第１液滴吐出ヘッド５１２と第２液滴吐出ヘッド５２２とは、Ｘ軸方向に対する位置が等しくなっているが、これらを等しくすることにより得られる効果については、後述する液滴吐出装置６を用いた液滴吐出方法において説明する。
【００６１】
以上のような第１液滴吐出ヘッド部５１０が備える第１液滴吐出ヘッド５１２と、第２液滴吐出ヘッド部５２０が備える第２液滴吐出ヘッド５２２とは、以下のような構成をなすことにより、それらが備える吐出ノズル５１１、５２１から液滴２９が吐出される。
【００６２】
すなわち、共通の構成をなす部分として、各液滴吐出ヘッド５１２、５２２は、図３に示すように、ノズルプレート２３を備え、このノズルプレート２３には、複数の吐出ノズル５１１、５２１が形成されている。
【００６３】
より具体的に説明すると、各液滴吐出ヘッド５１２、５２２は、ノズルプレート２３と、キャビティ２５と、振動板２７と、圧電素子２８と、を有している。
【００６４】
ノズルプレート２３には、複数の吐出ノズル５１１、５２１が形成されている。このノズルプレート２３に対して上側には、各吐出ノズル５１１、５２１に対応して、吐出ノズル５１１、５２１に連通しているキャビティ２５（圧力室）が設けられている。このキャビティ２５は、図示しない流路を介して、前述した収納タンク１４に連通されており、収納タンク１４からの成膜性インク２６が供給される。
【００６５】
また、キャビティ２５の上側には、振動板２７が配置されている。この振動板２７は、キャビティ２５の内壁面の一部を構成している。この振動板２７のキャビティ２５とは反対側の面には、圧電素子２８が配置されている。この圧電素子２８は、素子駆動信号を受けると、上下方向（Ｚ軸方向）に伸張または収縮して振動板２７を上下方向（Ｚ軸方向）に振動させる。これにより、キャビティ２５内の容積の縮小を伴ってキャビティ２５内が加圧される。その結果、そのキャビティ２５内の容積の縮小分に対応した量の成膜性インク２６が吐出ノズル５１１、５２１から液滴２９として吐出される。吐出された液滴２９は、隔壁２０が備える開口部２１で露出する基板２上に着弾する。
【００６６】
以上、液滴吐出装置６の構成を説明したが、この液滴吐出装置６を用いた液滴吐出方法については、後に詳述する。
【００６７】
［液滴吐出装置の制御系］
次に、液滴吐出装置６の制御系について説明する。
【００６８】
図４は、図１に示す液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。
図４に示すように、液滴吐出装置６は、液滴吐出装置６の各部の動作を制御する制御装置４１（制御部）を備えている。この制御装置４１は、各種の演算処理を行うＣＰＵ（中央演算処理装置）４２と、各種情報を記憶するメモリー４３（記憶部）と、を備えている。
【００６９】
ここで、ＣＰＵ４２には、入出力インターフェイス４６およびデータバス４７を介して、前述した主走査位置検出装置１０および副走査位置検出装置１７がそれぞれ接続されている。また、上記以外にも、ＣＰＵ４２には、入出力インターフェイス４６およびデータバス４７を介して、主走査駆動装置４４、副走査駆動装置４５、ヘッド駆動回路４８、入力装置４９および表示装置５０がそれぞれ接続されている。
【００７０】
主走査駆動装置４４は、前述したステージ９の主走査方向での移動を行うための駆動源であり、副走査駆動装置４５は、前述したキャリッジ１６の副走査方向での移動を行うための駆動源である。また、ヘッド駆動回路４８は、前述した液滴吐出ヘッド５１２、５２２を駆動するものである。
【００７１】
入力装置４９は、液滴吐出装置６の各種動作条件が入力される装置であり、例えば、図示しない外部装置から、基板２に液滴２９を吐出する座標情報が入力される。
【００７２】
また、表示装置５０は、液滴吐出装置６の加工条件や作業状況等の各種情報を表示する装置である。操作者は、表示装置５０に表示される情報に基づいて、入力装置４９を用いて操作を行うことができる。
【００７３】
メモリー４３は、例えば、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリー、または、ハードディスク、ＤＶＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置等を有して構成されている。このメモリー４３には、ＣＰＵ４２の動作に必要な各種情報が記憶されている。
【００７４】
具体的に説明すると、メモリー４３には、液滴吐出装置６における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト５１を記憶する記憶領域が設定される。また、メモリー４３には、基板２上に吐出する吐出位置の座標データである吐出位置データ５２を記憶するための記憶領域も設定される。
【００７５】
他にも、メモリー４３には、液滴吐出ヘッド５１２、５２２を駆動するときの駆動波形と吐出量の関係を示すデータである駆動電圧データ５３や、液滴吐出ヘッド５１２、５２２を駆動する駆動波形データ５４等の吐出条件を複数記憶するための記憶領域が設定される。また、メモリー４３には、吐出する各場所における駆動電圧のデータである吐出計画データ５５を記憶するための記憶領域が設定される。さらに、メモリー４３には、ＣＰＵ４２のためのワークエリアやテンポラリーファイル等として機能する記憶領域やその他各種類の記憶領域が設定される。
【００７６】
ＣＰＵ４２は、メモリー４３に記憶されたプログラムソフト５１に従って、液滴吐出装置６の各部の制御を行う。このＣＰＵ４２は、描画制御部５６と、吐出条件設定部６１と、吐出計画設定部６２と、を有している。
【００７７】
描画制御部５６は、液滴吐出ヘッド５１２、５２２から液滴２９を吐出して描画するための制御を行う。この描画制御部５６は、主走査駆動装置４４を駆動制御する主走査制御部５７と、副走査駆動装置４５を駆動制御する副走査制御部５８と、ヘッド駆動回路４８を駆動制御する吐出制御部５９と、を有している。主走査制御部５７は、ステージ９を主走査方向へ所定の速度で移動させるための制御を行う。副走査制御部５８は、液滴吐出ヘッド５１２、５２２を副走査方向へ所定の副走査量で移動させるための制御を行う。吐出制御部５９は、液滴吐出ヘッド５１２、５２２が有する複数のノズルのそれぞれの吐出量や吐出の有無の制御を行う。
【００７８】
吐出条件設定部６１は、塗布領域に吐出する成膜性インク２６の量と吐出特性とに基づいて、吐出ノズル５１１、５２１から吐出する液滴２９の吐出量と吐出回数を設定する。吐出計画設定部６２は、液滴２９を吐出する各場所における圧電素子２８の駆動波形を設定する。
【００７９】
以上説明したような液滴吐出装置６を用いて、基板２が備える隔壁２０の開口部２１に成膜性インクを液滴２９として供給することにより、開口部２１で露出する基板２上に膜２９Ｄが形成されるが、以下、液滴吐出装置６を用いた液相プロセスによる成膜方法について説明する。
【００８０】
［成膜方法］
図５は、図１に示す液滴吐出装置を用いた成膜方法を説明する図である。
【００８１】
成膜性インクを用いた成膜方法は、［１］成膜性インクを開口部２１で露出する基板２上に液滴２９として供給して、液状被膜２９Ｃを形成する工程（供給工程）と、［２］液状被膜２９Ｃを加熱して、乾燥させることにより膜２９Ｄを形成する工程（成膜工程）と、を有する。
【００８２】
以下、各工程を順次詳細に説明する。
［１］供給工程（インク付与工程）
まず、図５（ａ）に示すように、開口部２１が形成された隔壁２０を備える基板２を用意し、次いで、図５（ｂ）に示すように、開口部２１内で露出する基板２上に、前述した成膜性インクを液滴吐出ヘッド５１２、５２２から液滴２９として吐出・供給する。これにより、開口部２１内で露出する基板２上に成膜性インクからなる液状被膜２９Ｃが形成される。
【００８３】
なお、本工程［１］における雰囲気の温度および圧力は、それぞれ、成膜性インクの組成や液性媒体の沸点および融点に応じて決められるものであり、基板２上に成膜性インクを付与することができれば、特に限定されないが、常温常圧であるのが好ましい。したがって、常温常圧下において、基板２上に付与可能な成膜性インクを用いるのが好ましい。これにより、工程［１］を簡単に行える。
【００８４】
［２］成膜工程（乾燥工程）
次に、基板２上に形成された液状被膜２９Ｃ（成膜性インク）を加熱する。
【００８５】
これにより、液状被膜２９Ｃから液性媒体を除去して、液状被膜２９Ｃを乾燥させることで、図５（ｃ）に示すように、成膜用インクに含まれる成膜材料を主成分とする膜２９Ｄが形成される。
【００８６】
乾燥工程［２］における雰囲気の温度および圧力は、それぞれ、成膜性インクの組成や液性媒体の沸点および融点に応じて決められるものであり、基板２上の液状被膜２９Ｃから液性媒体を除去することができれば、特に限定されるものではない。
【００８７】
また、液状被膜２９Ｃを加熱する方法は、特に限定されないが、ホットプレートや赤外線などで行うことができ、さらに、前述した液滴吐出装置６のステージ９が備えるラバーヒータにより行ってもよい。
【００８８】
以上のような工程を有する成膜方法を用いることにより、隔壁２０が備える開口部２１内で露出する基板２上に、均質で均一な膜厚を有する膜２９Ｄが優れた成膜精度で形成することができるが、ここで、以上のような成膜方法により、開口部２１内で露出する基板２上に均質で均一な膜厚を有する膜２９Ｄを成膜するには、液滴吐出装置６を用いて吐出された液滴２９を、優れた精度で開口部２１内に供給する必要がある。
【００８９】
特に、基板２上に膜２９Ｄが形成された膜付きデバイスを、その生産性を向上させるという観点から、３２インチや４２インチのようにサイズの異なるものを１つの基板２から、複数個取り（共取り）する場合では、膜付きデバイスを製造するために基板２上に形成される隔壁２０は、膜付きデバイスのサイズ毎に、その開口部２１のサイズや、向き等が異なってくる。そのため、液滴２９を開口部２１内に供給するには、より優れた精度が求められるが、液滴吐出装置６（本発明の液滴吐出装置）を用いることにより、その開口部２１への液滴２９の供給を実現することができる。以下、液滴吐出装置６を用いた液滴吐出方法（本発明の液滴吐出方法）により、開口部２１内に液滴２９を供給する方法について説明する。
【００９０】
［液滴吐出方法］
図６、図７は、図２に示すヘッドユニットを備える液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法（本発明の液滴吐出方法の一例）を説明する平面図、図８は、図２に示すヘッドユニットを備える液滴吐出装置を用いた他の液滴吐出方法を説明する平面図である。
【００９１】
なお、以下では、図６、図７に示すように、１つの基板２から、サイズが異なる膜付きデバイスとして、サイズが大きい２つの膜付きデバイス２ａと、サイズが小さい３つの膜付きデバイス２ｂとを共取りする場合を一例に説明する。
【００９２】
以下、液滴吐出装置６を用いた液滴吐出方法の各工程を順次詳細に説明する。
＜１＞  まず、図６（ａ）に示すように、サイズが大きい２つの膜付きデバイス２ａと、サイズが小さい３つの膜付きデバイス２ｂとを共取りするために、開口部（第１の開口部）２１ａを備える隔壁（第１隔壁）２０ａおよび開口部（第２の開口部）２１ｂを備える隔壁（第２隔壁）２０ｂを、それぞれ、２つおよび３つ備える基板２を用意し、この基板２を、液滴吐出装置６が備えるステージ９の載置面１１に吸着・固定させる。
【００９３】
なお、基板２において、２つの隔壁２０ａは、Ｘ軸方向に沿って配設されており、３つの隔壁２０ｂは、Ｘ軸方向に沿って配設され、２つの隔壁２０ａと３つの隔壁２０ｂとは、Ｙ軸方向に沿って、２つの隔壁２０ａを−Ｙ軸方向側として配設されている。そして、隔壁２０ａにおいて、開口部２１（第１の領域）ａは、１０個形成されており、それぞれ、Ｘ軸方向に長い長方形状をなしており、Ｘ軸方向に沿って２つ、Ｙ軸方向に沿って５つずつ配設されている。また、隔壁２０ｂにおいて、開口部（第２の領域）２１ｂは、８個形成されており、それぞれ、Ｘ軸方向に長い長方形状をなしており、Ｘ軸方向に沿って２つ、Ｙ軸方向に沿って４つずつ配設されている。かかる構成の基板２において、図６、図７に示すように、開口部２１ａは、その開口面積が開口部２１ｂの開口面積よりも大きくなっている。
【００９４】
このように、本実施形態では、第１の領域は、隔壁２０ａに形成された開口部２１ａにより区画されてなり、前記第２の領域は、隔壁２０ｂに形成された開口部２１ｂにより区画されてなる。
【００９５】
＜２＞  次に、キャリッジ１６を案内レール１５に沿って移動させることで、このキャリッジ１６に装着されたヘッドユニット１８を、副走査方向（Ｘ軸方向）における所定の位置に移動させる。
【００９６】
＜３＞  次に、ステージ９を案内レール８に沿って移動させる（主走査）。これにより、ステージ９上に固定された基板２が、主走査方向（Ｙ軸方向）に沿って移動することとなり、その結果、ヘッドユニット１８が備える第１および第２液滴吐出ヘッド部５１０、５２０が基板２に対して主走査方向（Ｙ軸方向）に相対的に移動する。
【００９７】
この第１および第２液滴吐出ヘッド部５１０、５２０の基板２に対する主走査方向（Ｙ軸方向）に対する相対的な移動の際に、本発明では、第１液滴吐出ヘッド部５１０（第１液滴吐出ヘッド５１２）と第２液滴吐出ヘッド部５２０（第２液滴吐出ヘッド５２２）とが、Ｙ軸方向に沿って配列されているため、これら第１および第２液滴吐出ヘッド５１２、５２２の下側を、液滴２９を供給すべき隔壁２０ａの開口部２１ａと隔壁２０ｂの開口部２１ｂとが通過することで、第１液滴吐出ヘッド部５１０（第１液滴吐出ヘッド５１２）と第２液滴吐出ヘッド部５２０（第２液滴吐出ヘッド５２２）とが、それぞれ、隔壁２０ａの開口部２１ａと隔壁２０ｂの開口部２１ｂとに相対する。特に、本実施形態では、第１液滴吐出ヘッド５１２の離間距離をノズル列長Ａ１と第２液滴吐出ヘッド５２２の離間距離をノズル列長Ａ２とが等しく、Ｙ軸方向に並んで配設されており、ヘッドユニット１８を、基板２に対して主走査方向に相対的に移動させる際に、第１および第２液滴吐出ヘッド５１２、５２２の両端に位置する第１および第２吐出ノズル５１１、５２１同士が基板２上の同一の位置を通過する。すなわち、第１および第２液滴吐出ヘッド５１２、５２２の下側を通過する、隔壁２０ａの開口部２１ａと隔壁２０ｂの開口部２１ｂの領域が第１液滴吐出ヘッド５１２と第２液滴吐出ヘッド５２２とで等しくなっている。
【００９８】
そのため、第１および第２液滴吐出ヘッド５１２、５２２が、隔壁２０ａの開口部２１ａおよび隔壁２０ｂの開口部２１ｂの上を通過するときに、Ｘ軸方向で重なる位置の第１および第２吐出ノズル５１１、５２１から液滴２９（２９ａ、２９ｂ）を、吐出することで、開口部２１ａ、２１ｂに供給することができる。
【００９９】
この際、第１および第２液滴吐出ヘッド５１２、５２２の第１および第２吐出ノズル５１１、５２１のいずれからも、隔壁２０ａの開口部２１ａおよび隔壁２０ｂの開口部２１ｂに液滴２９（２９ａ、２９ｂ）を供給することができるが、本発明では、第１吐出ノズル５１１から吐出される液滴２９ａの吐出量よりも第２吐出ノズル５２１から吐出される液滴２９ｂの吐出量の方が少なく設定されている。
【０１００】
そのため、第１吐出ノズル５１１から、隔壁２０ａの開口部２１ａに液滴２９ａを供給する。これにより、開口面積の大きい開口部２１ａに対して、効率よく液滴２９ａを供給することができる。さらに、第２吐出ノズル５２１から、隔壁２０ｂの開口部２１ｂに液滴２９ｂを供給する。これにより、開口面積の小さい開口部２１ｂに対しても、優れた精度で液滴２９ｂを供給することができる。
【０１０１】
また、ヘッドユニット１８の主走査方向（Ｙ軸方向）に沿った一度の相対的な移動により、第１吐出ノズル５１１および第２吐出ノズル５２１の双方から、液滴２９（２９ａ、２９ｂ）を供給することができるため、液滴２９（２９ａ、２９ｂ）を供給するための時間の短縮を図ることができる。
【０１０２】
以上のように、ヘッドユニット１８が備える第１および第２液滴吐出ヘッド部５１０、５２０が基板２に対して主走査方向に相対的に移動する際に、第１および第２吐出ノズル５１１、５２１から液滴２９ａ、２９ｂを吐出することで、図６（ｂ）のように、第１および第２液滴吐出ヘッド部５１０、５２０がＹ軸方向に沿って通過した位置の隔壁２０ａの開口部２１ａおよび隔壁２０ｂの開口部２１ｂに液滴２９を供給することができる。
【０１０３】
＜４＞  次に、キャリッジ１６を案内レール１５に沿って、下軸改行ストロークＢ１の大きさの移動幅で移動させる副走査により、このキャリッジ１６に装着されたヘッドユニット１８を、Ｘ軸方向に下軸改行ストロークＢ１の大きさ距離で移動させた後、前記工程＜３＞を再度行う。この際、下軸改行ストロークＢ１および下軸改行ストロークＢ２の大きさが等しくなっていることから、隔壁２０ａの開口部２１ａおよび隔壁２０ｂの開口部２１ｂの液滴２９が供給されていない領域に対して、本工程＜４＞においてより効率よく、かつ、より優れた精度で液滴２９（２９ａ、２９ｂ）を供給することができる。
【０１０４】
したがって、本工程＜４＞を、第１および第２液滴吐出ヘッド部５１０、５２０が、隔壁２０ａの開口部２１ａおよび隔壁２０ｂの開口部２１ｂの全領域を通過するまで、繰り返して行うことにより、図７に示すように、隔壁２０ａの開口部２１ａおよび隔壁２０ｂの開口部２１ｂに、それぞれ、液滴２９ａおよび液滴２９ｂを均一に供給することができる。
【０１０５】
以上説明したように、Ｙ軸方向に沿って配列された、第１液滴吐出ヘッド５１２と第２液滴吐出ヘッド５２２とを、主走査方向（Ｙ軸方向）に沿って移動させる際に、第１液滴吐出ヘッド５１２（第１吐出ノズル５１１）から、隔壁２０ａの開口部２１ａに液滴２９ａを供給し、第２液滴吐出ヘッド５２２（第２吐出ノズル５２１）から、隔壁２０ｂの開口部２１ｂに液滴２９ｂを供給することにより、共取りのために基板２にサイズの異なる隔壁２０が形成されていたとしても、隔壁２０ａおよび隔壁２０ｂの開口部２１ａおよび開口部２１ｂの双方に液滴２９（２９ａ、２９ｂ）を優れた精度で供給することができる。
【０１０６】
なお、上記では、主走査方向（Ｙ軸方向）に沿った走査で、第１吐出ノズル５１１から、隔壁２０ａの開口部２１ａに液滴２９ａを供給し、第２吐出ノズル５２１から、隔壁２０ｂの開口部２１ｂに液滴２９ｂを供給する場合について説明したが、かかる液滴吐出方法に限定されるものではない。
【０１０７】
例えば、図８に示すように、サイズの大きい隔壁２０ａの開口部２１ａには、第１液滴吐出ヘッド５１２（第１吐出ノズル５１１）および第２液滴吐出ヘッド５２２（第２吐出ノズル５２１）の双方から、液滴２９（２９ａ、２９ｂ）を供給するようにしてもよい。これにより、液滴２９ａばかりでなく吐出量の少ない液滴２９ｂも、液滴２９ａに対して同一のピッチ（間隔）で供給されることから、開口部２１ａに供給される液滴２９の供給量を所望の量に容易に設定することができる。そのため、液滴２９（２９ａ、２９ｂ）を乾燥することで得られる膜２９Ｄをより均一な膜厚のものとすることができる。
【０１０８】
また、前記工程＜３＞の度にその後に実施する前記工程＜２＞におけるヘッドユニット１８の副走査方向（Ｘ軸方向）への移動を省略して、複数回の前記工程＜３＞を繰り返した後に、前記工程＜２＞を行うようにしてもよい。この場合、主走査方向（Ｙ軸方向）に沿ったヘッドユニット１８の往復運動うち、＋Ｙ軸方向に沿った往動および−Ｙ軸方向に沿った復動の双方で、第１液滴吐出ヘッド５１２（第１吐出ノズル５１１）および第２液滴吐出ヘッド５２２（第２吐出ノズル５２１）の双方から、液滴２９（２９ａ、２９ｂ）を供給するようにしてもよいし、＋Ｙ軸方向に沿った往動で、第１液滴吐出ヘッド５１２（第１吐出ノズル５１１）および第２液滴吐出ヘッド５２２（第２吐出ノズル５２１）のうちの一方から、液滴２９を供給し、−Ｙ軸方向に沿った復動で、第１液滴吐出ヘッド５１２（第１吐出ノズル５１１）および第２液滴吐出ヘッド５２２（第２吐出ノズル５２１）のうちの他方から、液滴２９を供給するようにしてもよい。
【０１０９】
さらに、前記工程＜４＞における最終の前記工程＜３＞の後に、隔壁２０（２０ａ、２０ｂ）に供給された液滴２９（２９ａ、２９ｂ）でのスジムラ等の欠陥の有無を検査した後、前記工程＜３＞を再度実施し、欠陥が認められた位置に、第２液滴吐出ヘッド５２２（第２吐出ノズル５２１）から、液滴２９ｂを供給して欠陥を修復するようにしてもよい。これにより、この修復の精度を向上させることができる。
【０１１０】
＜＜第２実施形態＞＞
次に、本発明の液滴吐出装置の第２実施形態、およびかかる液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法について説明する。
【０１１１】
図９は、本発明の第２実施形態に係る液滴吐出装置が備えるヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す模式的な平面図、図１０、図１１は、図９に示すヘッドユニットを備える液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法（本発明の液滴吐出方法の一例）を説明する平面図、図１２は、図９に示すヘッドユニットを備える液滴吐出装置を用いた他の液滴吐出方法を説明する平面図である。
【０１１２】
以下、第２実施形態における液滴吐出装置６が備えるヘッドユニット１８Ａについて、前記第１実施形態における液滴吐出装置６が備えるヘッドユニット１８との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１１３】
図９に示すヘッドユニット１８Ａは、第２液滴吐出ヘッド部５２０Ａが備える各第２液滴吐出ヘッド５２２Ａにおける、各第２吐出ノズル５２１Ａ同士間の離間距離であるノズルピッチＣ２が、第１液滴吐出ヘッド部５１０が備える各第１液滴吐出ヘッド５１２における、各第１吐出ノズル５１１同士間の離間距離であるノズルピッチＣ１よりも小さくなっていること以外は、図２に示すヘッドユニット１８と同様である。
【０１１４】
すなわち、第２実施形態の液滴吐出装置６が備えるヘッドユニット１８Ａでは、第１液滴吐出ヘッド部５１０が備える各第１液滴吐出ヘッド５１２が、１２個の第１吐出ノズル５１１を有しているのに対して、第２液滴吐出ヘッド部５２０Ａが備える各第２液滴吐出ヘッド５２２Ａが、２０個の第２吐出ノズル５２１を有している。これにより、第２液滴吐出ヘッド部５２０Ａが備える各第２液滴吐出ヘッド５２２Ａにおける、各第２吐出ノズル５２１Ａ同士間の離間距離であるノズルピッチＣ２が、第１液滴吐出ヘッド部５１０が備える各第１液滴吐出ヘッド５１２における、各第１吐出ノズル５１１同士間の離間距離であるノズルピッチＣ１よりも小さくなっている。
【０１１５】
［液滴吐出方法］
本実施形態におけるヘッドユニット１８Ａを備える液滴吐出装置６では、前記第１実施形態で説明したヘッドユニット１８を備える液滴吐出装置６を用いた液滴吐出方法の他に、例えば、以下のような液滴吐出方法を行うこともできる。
【０１１６】
すなわち、本実施形態の液滴吐出方法では、前記工程＜１＞において、図１０（ａ）に示すように、前記第１実施形態と同様に、基板２として、サイズが異なる膜付きデバイスとして、サイズが大きい２つの膜付きデバイス２ａと、サイズが小さい３つの膜付きデバイス２ｂとを共取りするためのものを用意する。
【０１１７】
そして、前記工程＜２＞の後に、前記工程＜３＞を実施することで、図１０（ｂ）に示すように、第１吐出ノズル５１１から、隔壁２０ａの開口部２１ａに液滴２９ａを供給し、第２吐出ノズル５２１から、隔壁２０ｂの開口部２１ｂに液滴２９ｂを供給する。この際、本実施形態では、前述の通り、各第２吐出ノズル５２１Ａ同士間の離間距離であるノズルピッチＣ２が、各第１吐出ノズル５１１同士間の離間距離であるノズルピッチＣ１よりも小さくなっている。そのため、開口面積の小さい開口部２１ｂに対して、より微細なピッチで液滴２９ｂが供給されることとなるため、より優れた精度で液滴２９ｂを開口部２１ｂ内に供給することができる。
【０１１８】
したがって、本実施形態においても、前記工程＜４＞を、第１および第２液滴吐出ヘッド部５１０、５２０が、隔壁２０ａの開口部２１ａおよび隔壁２０ｂの開口部２１ｂの全領域を通過するまで、繰り返して行うことにより、図１１（ａ）に示すように、隔壁２０ａの開口部２１ａおよび隔壁２０ｂの開口部２１ｂに、それぞれ、液滴２９ａおよび液滴２９ｂを均一に供給することができる。なお、この際、本実施形態では、開口部２１ｂに供給される液滴２９ｂは、開口部２１ａに供給される液滴２９ａと比較して、微細なピッチを有するパターンで供給されたものとなっている。
【０１１９】
また、本実施形態においても、主走査方向（Ｙ軸方向）に沿った走査で、第１吐出ノズル５１１から、隔壁２０ａの開口部２１ａに液滴２９ａを供給し、第２吐出ノズル５２１から、隔壁２０ｂの開口部２１ｂに液滴２９ｂを供給する場合について説明したが、かかる液滴吐出方法に限定されるものではない。
【０１２０】
例えば、図１２に示すように、サイズの大きい隔壁２０ａの開口部２１ａには、第１液滴吐出ヘッド５１２（第１吐出ノズル５１１）および第２液滴吐出ヘッド５２２（第２吐出ノズル５２１）の双方から、液滴２９（２９ａ、２９ｂ）を供給するようにしてもよい。これにより、液滴２９ｂは、液滴２９ａに対してより狭いピッチ（間隔）で供給されることから、液滴２９ｂを、隔壁２０ａに付着させることなく、開口部２１ａの縁部まで優れた精度で液滴２９ｂを供給することができる。そのため、液滴２９（２９ａ、２９ｂ）を乾燥することで得られる膜２９Ｄにスジムラが生じるのを的確に抑制または防止することができることから、膜２９Ｄの成膜精度の向上が図られる。
【０１２１】
＜＜第３実施形態＞＞
次に、本発明の液滴吐出装置の第３実施形態、およびかかる液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法について説明する。
【０１２２】
図１３は、本発明の第３実施形態に係る液滴吐出装置が備えるヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す模式的な平面図、図１４、図１５は、図１３に示すヘッドユニットを備える液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法（本発明の液滴吐出方法の一例）を説明する平面図である。
【０１２３】
以下、第３実施形態における液滴吐出装置６が備えるヘッドユニット１８Ｂについて、前記第２実施形態における液滴吐出装置６が備えるヘッドユニット１８Ａとの相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１２４】
図１３に示すヘッドユニット１８Ｂは、さらに、一対の案内レール５３１を備え、これら一対の案内レール５３１に、図示しない直動機構を介して、第２液滴吐出ヘッド部５２０Ｂが取り付けられていること以外は、図９に示すヘッドユニット１８Ａと同様である。
【０１２５】
すなわち、第３実施形態の液滴吐出装置６が備えるヘッドユニット１８Ｂでは、第２液滴吐出ヘッド部５２０Ｂは、直動機構を介して、Ｘ軸方向に延設された一対の案内レール５３１に取り付けられ、これにより、第２液滴吐出ヘッド部５２０Ｂを一対の案内レール５３１に沿って移動させること、換言すれば、第２液滴吐出ヘッド部５２０Ｂを基板２に対してＸ軸方向に沿って相対的に移動させることができる。
【０１２６】
なお、この第２液滴吐出ヘッド部５２０ＢのＸ軸方向に対する移動の幅は、本実施形態では、図１３に示すように、最大±Ｅ１の大きさに設定され、また、直動機構として、例えば、リニアモーターが用いられており、第２液滴吐出ヘッド部５２０ＢがＸ軸方向に沿って最大±Ｅ１の幅で往動と復動とを行え得るようになっている。なお、かかる直動機構は、リニアモーターに限定されず、例えば、ネジ式直動機構等であってもよい。また、２×Ｅ１の大きさは、ヘッドユニット１８を副走査方向へ移動させる副走査での移動幅と等しく設定されている。
【０１２７】
［液滴吐出方法］
本実施形態におけるヘッドユニット１８Ｂを備える液滴吐出装置６では、前記第２実施形態で説明したヘッドユニット１８Ａを備える液滴吐出装置６を用いた液滴吐出方法の他に、例えば、以下のような液滴吐出方法を行うこともできる。
【０１２８】
すなわち、本実施形態の液滴吐出方法では、前記工程＜１＞において、図１４（ａ）に示すように、前記第１実施形態と同様に、１つの基板２から、サイズが異なる膜付きデバイスとして、サイズが大きい２つの膜付きデバイス２ａと、サイズが小さい３つの膜付きデバイス２ｂとを共取りする点が同様であるが、サイズが小さい３つの膜付きデバイス２ｂを共取りするための隔壁２０ｂ、２０ｃのうち、最も−Ｘ軸方向側に位置する隔壁２０ｃにおいて、開口部２１ｃは、８個形成されており、それぞれ、Ｙ軸方向に長い長方形状をなしており、Ｘ軸方向に沿って４つ、Ｙ軸方向に沿って２つずつ配設されており、＋Ｘ軸方向側に位置する２つの隔壁２０ｂにおいて、開口部２１ｂは、８個形成されており、それぞれ、Ｘ軸方向に長い長方形状をなしており、Ｘ軸方向に沿って２つ、Ｙ軸方向に沿って４つずつ配設されている点が異なる。
【０１２９】
そして、前記工程＜２＞において、キャリッジ１６を案内レール１５に沿って移動させることで、このキャリッジ１６に装着されたヘッドユニット１８Ｂを、副走査方向（Ｘ軸方向）における所定の位置に移動させるとともに、第２液滴吐出ヘッド部５２０を案内レール５３１に沿って移動させることで、第２液滴吐出ヘッド部５２０Ｂを、副走査方向（Ｘ軸方向）に移動させる。このようなキャリッジ１６の移動により、第１液滴吐出ヘッド５１２が開口部２１ａに対して優れた精度で位置決めがなされ、第２液滴吐出ヘッド部５２０Ｂの移動により、第２液滴吐出ヘッド５２２が開口部２１ｂに対して優れた精度で位置決めがなされることとなる。
【０１３０】
そのため、前記工程＜３＞において、第１吐出ノズル５１１から、隔壁２０ａの開口部２１ａに液滴２９ａを供給し、第２吐出ノズル５２１から、隔壁２０ｂの開口部２１ｂおよび隔壁２０ｃの開口部２１ｃに液滴２９ｂを供給する際に、これらの供給を優れた位置精度で行うことができる。特に、隔壁２０ｃの開口部２１ｃは、Ｙ軸方向に長い長方形状をなし、Ｙ軸方向において微細な形状を有するものではあるが、この開口部２１ｃに対しても液滴２９ｂの供給を優れた位置精度で行うことができる。
【０１３１】
なお、本実施形態においても、ノズル列長Ａ１とノズル列長Ａ２との長さが等しくなっているが、本実施形態では、前記のように、第２液滴吐出ヘッド部５２０を案内レール５３１に沿って移動させているため、ノズル列長Ａ１で第１吐出ノズル５１１が通過する領域と、ノズル列長Ａ２で第２吐出ノズル５２１が通過する領域とが、完全には一致していない状態で、吐出ノズル５１１、５２１からの吐出が行われる。ただし、第１吐出ノズル５１１が通過する領域と、第２吐出ノズル５２１が通過する領域とが、完全には一致していないものの、前述の通り、２×Ｅ１の大きさは、ヘッドユニット１８を副走査方向へ移動させる副走査での移動幅と等しく設定されている。これにより、１度の主走査で、第２吐出ノズル５２１により供給すべき隔壁２０ｃの開口部２１ｃに確実に第２吐出ノズル５２１を位置合わせすることができる。
【０１３２】
したがって、本実施形態においても、前記工程＜４＞を、第１および第２液滴吐出ヘッド部５１０、５２０が、隔壁２０ａの開口部２１ａ、隔壁２０ｂの開口部２１ｂおよび隔壁２０ｃの開口部２１ｃの全領域を通過するまで、繰り返して行うことにより、図１５（ａ）に示すように、隔壁２０ａの開口部２１ａおよび隔壁２０ｂ、２０ｃの開口部２１ｂ、２１ｃに、それぞれ、液滴２９ａおよび液滴２９ｂを均一に供給することができる。
【０１３３】
以上のような、液滴吐出装置６を用いた成膜方法および液滴吐出方法を用いて、開口部２１ａ、２１ｂ、（２１ｃ）で露出する基板２に膜２９Ｄが成膜された隔壁２０ａ、２０ｂ、（２０ｃ）を備える基板２を、隔壁２０ａ、２０ｂ、（２０ｃ）が形成された部分（第１の部分、第２の部分、（第３の部分））毎にその厚さ方向に切断（分割）すること（分割工程）で、サイズの異なる膜付きデバイスを一括して複数製造することができる。
【０１３４】
また、この膜付きデバイスとしては、有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）素子を備える表示装置、カラーフィルターおよび配線基板等が挙げられるが、以下では、膜付きデバイスとして、有機ＥＬ素子を備える表示装置に適用した場合について説明する。
【０１３５】
なお、この場合、有機ＥＬ素子が備える有機層のうち、例えば、正孔注入層、正孔輸送層および発光層のうちの少なくとも１層の形成に、上述した膜付きデバイスが備える膜を形成するための液滴吐出装置を用いた成膜方法および液滴吐出方法を適用することができ、正孔注入層、正孔輸送層および発光層を成膜するために用いる成膜用インクに含まれる成膜材料としては、それぞれ、後述する、正孔注入性を有する高分子材料、正孔輸送性を有する高分子材料、および、発光性を有する有機材料を用いることができる。
【０１３６】
（表示装置）
図１６は、発光装置の一例である表示装置を示す断面図である。なお、以下では、説明の都合上、図１６中の上側を「上」、下側を「下」として説明を行う。
【０１３７】
図１６に示す表示装置３００は、複数の発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂがサブ画素３００Ｒ、３００Ｇ、３００Ｂに対応して設けられ、トップエミッション構造のディスプレイパネルを構成している。
【０１３８】
なお、本実施形態では表示装置の駆動方式としてアクティブマトリックス方式を採用した例に説明するが、パッシブマトリックス方式を採用したものであってもよい。
【０１３９】
表示装置３００は、基板３０１と、複数の発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂと、複数のスイッチング素子３０２とを有している。
【０１４０】
基板３０１は、複数の発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂおよび複数のスイッチング素子３０２を支持するものである。本実施形態の各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂは、基板３０１とは反対側から光を取り出す構成（トップエミッション型）である。したがって、基板３０１には、透明基板および不透明基板のいずれも用いることができる。なお、各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂが基板３０１側から光を取り出す構成（ボトムエミッション型）とする場合には、基板３０１は、実質的に透明（無色透明、着色透明または半透明）とされる。
【０１４１】
基板３０１の構成材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリプロピレン、シクロオレフィンポリマー、ポリアミド、ポリエーテルサルフォン、ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネート、ポリアリレートのような樹脂材料や、石英ガラス、ソーダガラスのようなガラス材料等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【０１４２】
不透明基板としては、例えば、アルミナのようなセラミックス材料で構成された基板、ステンレス鋼のような金属基板の表面に酸化膜（絶縁膜）を形成したもの、樹脂材料で構成された基板等が挙げられる。
【０１４３】
このような基板３０１上には、複数のスイッチング素子３０２がマトリクス状に配列されている。
【０１４４】
各スイッチング素子３０２は、各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂに対応して設けられ、各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂを駆動するための駆動用トランジスタである。
【０１４５】
このような各スイッチング素子３０２は、シリコンからなる半導体層３０２ａと、半導体層３０２ａ上に形成されたゲート絶縁層３０２ｂと、ゲート絶縁層３０２ｂ上に形成されたゲート電極３０２ｃと、ソース電極３０２ｄと、ドレイン電極３０２ｅとを有している。
【０１４６】
このような複数のスイッチング素子３０２を覆うように、絶縁材料で構成された平坦化層３０３が形成されている。
【０１４７】
平坦化層３０３上には、各スイッチング素子３０２に対応して発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂが設けられている。
【０１４８】
発光素子２００Ｒは、平坦化層３０３上に、反射膜３０４、腐食防止膜３０５、陽極２０１、積層体（有機ＥＬ発光部）２０８（２０８Ｒ）、陰極２０７、陰極カバー３０６がこの順に積層されている。本実施形態では、各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂの陽極２０１は、画素電極を構成し、各スイッチング素子３０２のドレイン電極３０２ｅに導電部（配線）３０７により電気的に接続されている。また、各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂの陰極２０７は、共通電極とされている。
【０１４９】
また、発光素子２００Ｇ、２００Ｂの構成は、それぞれ、発光素子２００Ｒと同様に構成することができる。ここで、発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂの積層体２０８Ｒ、２０８Ｇ、２０８Ｂ（特に発光層）を互いに異ならせることにより、異なる色を発光させることができる。例えば、発光素子２００Ｒは、赤色発光し、発光素子２００Ｇは、緑色発光し、発光素子２００Ｂは、青色発光する。
【０１５０】
隣接する発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂ同士の間には、隔壁３０８が設けられている。また、陰極カバー３０６には、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂で構成された樹脂層３０９を介して、基板３１０が接合されている。
【０１５１】
前述したように本実施形態の各発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂはトップエミッション型であるため、基板３１０には、透明基板が用いられる。
【０１５２】
このような基板３１０の構成材料としては、基板３１０が光透過性を有するものであれば、特に限定されず、前述した基板３０１の構成材料と同様のものを用いることができる。
【０１５３】
（発光素子）
ここで、図１７に基づき、発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂを詳細に説明する。
【０１５４】
図１７は、図１６に示す表示装置が備える発光素子の断面図である。
図１７に示す発光素子（エレクトロルミネッセンス素子）２００は、前述した発光素子２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂを構成するものであり、前述したように２つの電極間（陽極２０１と陰極２０７との間）に積層体２０８が介挿されている。この積層体２０８は、図１７に示すように、陽極２０１側から陰極２０７側へ、正孔注入層２０２と正孔輸送層２０３と発光層２０４と電子輸送層２０５と電子注入層２０６とがこの順に積層されている。
【０１５５】
このような発光素子２００にあっては、発光層２０４に対し、陰極２０７側から電子が供給（注入）されるとともに、陽極２０１側から正孔が供給（注入）される。そして、各発光層２０４では、正孔と電子とが再結合し、この再結合に際して放出されたエネルギーによりエキシトン（励起子）が生成し、エキシトンが基底状態に戻る際にエネルギー（蛍光やりん光）を放出（発光）する。
【０１５６】
この発光素子２００は、前述した成膜方法を用いて正孔輸送層２０３または正孔注入層２０２が形成されている。これにより、優れた特性を有する発光素子２００および表示装置３００を提供することができる。なお、発光素子２００は、正孔注入層２０２および正孔輸送層２０３のうちのいずれか一方を省略してもよい。
【０１５７】
以下、発光素子２００を構成する各部を順次説明する。
（陽極）
陽極２０１は、後述する正孔注入層２０２を介して正孔輸送層２０３に正孔を注入する電極である。この陽極２０１の構成材料としては、仕事関数が大きく、導電性に優れる材料を用いるのが好ましい。
【０１５８】
陽極２０１の構成材料としては、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）、ＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｚｉｎｃ  Ｏｘｉｄｅ）、Ｉｎ３Ｏ３、ＳｎＯ２、Ｓｂ含有ＳｎＯ２、Ａｌ含有ＺｎＯ等の酸化物、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕまたはこれらを含む合金等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【０１５９】
（陰極）
一方、陰極２０７は、後述する電子注入層２０６を介して電子輸送層２０５に電子を注入する電極である。この陰極２０７の構成材料としては、仕事関数の小さい材料を用いるのが好ましい。
【０１６０】
陰極２０７の構成材料としては、例えば、Ｌｉ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｅｒ、Ｅｕ、Ｓｃ、Ｙ、Ｙｂ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｃｓ、Ｒｂまたはこれらを含む合金等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて（例えば、複数層の積層体等）用いることができる。
【０１６１】
特に、陰極２０７の構成材料として合金を用いる場合には、Ａｇ、Ａｌ、Ｃｕ等の安定な金属元素を含む合金、具体的には、ＭｇＡｇ、ＡｌＬｉ、ＣｕＬｉ等の合金を用いるのが好ましい。かかる合金を陰極２０７の構成材料として用いることにより、陰極２０７の電子注入効率および安定性の向上を図ることができる。
【０１６２】
また、本実施形態の発光素子２００は、トップエミッション型であるため、陰極２０７は、光透過性を有する。
【０１６３】
（正孔注入層）
正孔注入層２０２は、陽極２０１からの正孔注入効率を向上させる機能を有するものである。
【０１６４】
この正孔注入層２０２の構成材料（正孔注入材料）としては、正孔注入性を有する高分子材料が挙げられる。
【０１６５】
また、この正孔注入性を有する高分子材料としては、特に限定されないが、例えば、ポリ（２，７−（９，９−ジ−ｎ−オクチルフルオレン）−（１，４−フェニレン−（（４−sec−ブチルフェニル）イミノ）−１，４−フェニレン（ＴＦＢ）等のポリアリールアミンのようなアリールアミン骨格を有するもの、フルオレン−ビチオフェン共重合体のようなフルオレン骨格を有するもの、フルオレン−アリールアミン共重合体のようなアリールアミン骨格およびフルオレン骨格の双方を有するもの、ポリ（Ｎ−ビニルカルバゾール）、ポリビニルピレン、ポリビニルアントラセン、ポリチオフェン、ポリアルキルチオフェン、ポリヘキシルチオフェン、ポリ（ｐ−フェニレンビニレン）、ポリチニレンビニレン、ピレンホルムアルデヒド樹脂、エチルカルバゾールホルムアルデヒド樹脂またはその誘導体等が挙げられる。
【０１６６】
このような正孔注入層２０２の平均厚さは、特に限定されないが、５ｎｍ以上、１５０ｎｍ以下程度であるのが好ましく、１０ｎｍ以上、１００ｎｍ以下程度であるのがより好ましい。
【０１６７】
（正孔輸送層）
正孔輸送層２０３は、陽極２０１から正孔注入層２０２を介して注入された正孔を発光層２０４まで輸送する機能を有するものである。
【０１６８】
この正孔輸送層２０３の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、ＴＦＢ（poly(9,9-dioctyl-fluorene-co-N-(4- butylphenyl)-diphenylamine)）等のトリフェニルアミン系ポリマー等のアミン系化合物、ポリフルオレン誘導体（ＰＦ）やポリパラフェニレンビニレン誘導体（ＰＰＶ）、ポリパラフェニレン誘導体（ＰＰＰ）、ポリビニカルバゾール（ＰＶＫ）、ポリチオフェン誘導体、ポリメチルフェニルシラン（ＰＭＰＳ）を含むポリシラン系などの正孔輸送性を有する高分子材料が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。また、前述した正孔注入層２０２の構成材料を正孔輸送層２０３の構成材料として用いることもできる。
【０１６９】
このような正孔輸送層２０３の平均厚さは、特に限定されないが、１０〜１５０ｎｍ程度であるのが好ましく、１０〜１００ｎｍ程度であるのがより好ましい。
【０１７０】
（発光層）
この発光層２０４は、発光材料を含んで構成されている。
【０１７１】
発光材料としては、特に限定されず、各種蛍光材料、燐光材料のような有機材料を１種または２種以上組み合わせて用いることができる。発光素子２００を前述した発光素子２００Ｒに用いる場合には、発光材料として赤色蛍光材料または赤色燐光材料が用いられ、発光素子２００を前述した発光素子２００Ｇに用いる場合には、発光材料として緑色蛍光材料または緑色燐光材料が用いられ、発光素子２００を発光素子２００Ｂとして用いる場合には、発光材料として青色蛍光材料または青色燐光材料が用いられる。
【０１７２】
赤色蛍光材料としては、赤色の蛍光を発するものであれば特に限定されず、例えば、ジインデノペリレン誘導体等のペリレン誘導体、ユーロピウム錯体、ベンゾピラン誘導体、ローダミン誘導体、ベンゾチオキサンテン誘導体、ポルフィリン誘導体、ナイルレッド、２−（１，１−ジメチルエチル）−６−（２−（２，３，６，７−テトラヒドロ−１，１，７，７−テトラメチル−１Ｈ，５Ｈ−ベンゾ（ｉｊ）キノリジン−９−イル）エテニル）−４Ｈ−ピラン−４Ｈ−イリデン）プロパンジニトリル（ＤＣＪＴＢ）、４−（ジシアノメチレン）−２−メチル−６−（ｐ−ジメチルアミノスチリル）−４Ｈ−ピラン（ＤＣＭ）等の有機材料が挙げられる。
【０１７３】
赤色燐光材料としては、赤色の燐光を発するものであれば特に限定されず、例えば、イリジウム、ルテニウム、白金、オスミウム、レニウム、パラジウム等の金属錯体が挙げられ、これら金属錯体の配位子の内の少なくとも１つがフェニルピリジン骨格、ビピリジル骨格、ポルフィリン骨格等を持つ有機材料も挙げられる。より具体的には、トリス（１−フェニルイソキノリン）イリジウム、ビス［２−（２’−ベンゾ［４，５−α］チエニル）ピリジネート−Ｎ，Ｃ３’］イリジウム（アセチルアセトネート）（ｂｔｐ２Ｉｒ（ａｃａｃ））、２，３，７，８，１２，１３，１７，１８−オクタエチル−１２Ｈ，２３Ｈ−ポルフィリン−白金（ＩＩ）、ビス［２−（２’−ベンゾ［４，５−α］チエニル）ピリジネート−Ｎ，Ｃ３’］イリジウム、ビス（２−フェニルピリジン）イリジウム（アセチルアセトネート）が挙げられる。
【０１７４】
緑色蛍光材料としては、緑色の蛍光を発する有機材料であれば特に限定されず、例えば、クマリン誘導体、キナクリドン誘導体等のキナクリドンおよびその誘導体、９，１０−ビス［（９−エチル−３−カルバゾール）−ビニレニル］−アントラセン、ポリ（９，９−ジヘキシル−２，７−ビニレンフルオレニレン）、ポリ［（９，９−ジオクチルフルオレン−２，７−ジイル）−コ−（１，４−ジフェニレン−ビニレン−２−メトキシ−５−｛２−エチルヘキシルオキシ｝ベンゼン）］、ポリ［（９，９−ジオクチル−２，７−ジビニレンフルオレニレン）−オルト−コ−（２−メトキシ−５−（２−エトキシルヘキシルオキシ）−１，４−フェニレン）］等が挙げられる。
【０１７５】
緑色燐光材料としては、緑色の燐光を発する有機材料であれば特に限定されず、例えば、イリジウム、ルテニウム、白金、オスミウム、レニウム、パラジウム等の金属錯体が挙げられ、具体的には、ファク−トリス（２−フェニルピリジン）イリジウム（Ｉｒ（ｐｐｙ）３）、ビス（２−フェニルピリジネート−Ｎ，Ｃ２’）イリジウム（アセチルアセトネート）、ファク−トリス［５−フルオロ−２−（５−トリフルオロメチル−２−ピリジン）フェニル−Ｃ，Ｎ］イリジウム等が挙げられる。
【０１７６】
青色蛍光材料としては、青色の蛍光を発する有機材料であれば、特に限定されず、例えば、ジスチリルジアミン系化合物等のジスチリルアミン誘導体、フルオランテン誘導体、ピレン誘導体、ペリレンおよびペリレン誘導体、アントラセン誘導体、ベンゾオキサゾール誘導体、ベンゾチアゾール誘導体、ベンゾイミダゾール誘導体、クリセン誘導体、フェナントレン誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体、テトラフェニルブタジエン、４，４’−ビス（９−エチル−３−カルバゾビニレン）−１，１’−ビフェニル（ＢＣｚＶＢｉ）、ポリ［（９，９−ジオクチルフルオレン−２，７−ジイル）−コ−（２，５−ジメトキシベンゼン−１，４−ジイル）］、ポリ［（９，９−ジヘキシルオキシフルオレン−２，７−ジイル）−オルト−コ−（２−メトキシ−５−｛２−エトキシヘキシルオキシ｝フェニレン−１，４−ジイル）］、ポリ［（９，９−ジオクチルフルオレン−２，７−ジイル）−コ−（エチルニルベンゼン）］等が挙げられる。
【０１７７】
青色燐光材料としては、青色の燐光を発する有機材料であれば、特に限定されず、例えば、イリジウム、ルテニウム、白金、オスミウム、レニウム、パラジウム等の金属錯体が挙げられ、具体的には、ビス［４，６−ジフルオロフェニルピリジネート−Ｎ，Ｃ２’］−ピコリネート−イリジウム、トリス［２−（２，４−ジフルオロフェニル）ピリジネート−Ｎ，Ｃ２’］イリジウム、ビス［２−（３，５−トリフルオロメチル）ピリジネート−Ｎ，Ｃ２’］−ピコリネート−イリジウム、ビス（４，６−ジフルオロフェニルピリジネート−Ｎ，Ｃ２’）イリジウム（アセチルアセトネート）等が挙げられる。
【０１７８】
以上のような発光材料は、１種を単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。
【０１７９】
また、発光層２０４中には、前述した発光材料の他に、発光材料がゲスト材料として添加されるホスト材料が含まれていてもよい。
【０１８０】
ホスト材料は、正孔と電子とを再結合して励起子を生成するとともに、その励起子のエネルギーを発光材料に移動（フェルスター移動またはデクスター移動）させて、発光材料を励起する機能を有する。このようなホスト材料を用いる場合、例えば、ゲスト材料である発光材料をドーパントとしてホスト材料にドープして用いることができる。
【０１８１】
このようなホスト材料としては、用いる発光材料に対して前述したような機能を発揮するものであれば、特に限定されないが、例えば、ナフタセン誘導体、ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体のようなアセン誘導体（アセン系材料）、ジスチリルアリーレン誘導体、ペリレン誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体、ジスチリルアミン誘導体、トリス（８−キノリノラト）アルミニウム錯体（Ａｌｑ３）等のキノリノラト系金属錯体、トリフェニルアミンの４量体等のトリアリールアミン誘導体、オキサジアゾール誘導体、シロール誘導体、ジカルバゾール誘導体、オリゴチオフェン誘導体、ベンゾピラン誘導体、トリアゾール誘導体、ベンゾオキサゾール誘導体、ベンゾチアゾール誘導体、キノリン誘導体、４，４’−ビス（２，２’−ジフェニルビニル）ビフェニル（ＤＰＶＢｉ）等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることもできる。
【０１８２】
前述したような赤色発光材料（ゲスト材料）およびホスト材料を用いる場合、発光層２０４中における発光材料の含有量（ドープ量）は、０．０１〜１０ｗｔ％であるのが好ましく、０．１〜５ｗｔ％であるのがより好ましい。赤色発光材料の含有量をこのような範囲内とすることで、発光効率を最適化することができる。
【０１８３】
このような発光層２０４の平均厚さは、特に限定されないが、１０〜１５０ｎｍ程度であるのが好ましく、１０〜１００ｎｍ程度であるのがより好ましい。また、発光層２０４は、積層された複数の発光層で構成されていてもよく、その場合、任意の発光層間に発光しない中間層が介在していてもよい。
【０１８４】
（電子輸送層）
電子輸送層２０５は、陰極２０７から電子注入層２０６を介して注入された電子を発光層２０４に輸送する機能を有するものである。
【０１８５】
電子輸送層２０５の構成材料（電子輸送材料）としては、例えば、トリス（８−キノリノラト）アルミニウム（Ａｌｑ３）等の８−キノリノールなしいその誘導体を配位子とする有機金属錯体などのキノリン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ペリレン誘導体、ピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、キノキサリン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、ニトロ置換フルオレン誘導体等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【０１８６】
電子輸送層２０５の平均厚さは、特に限定されないが、０．５〜１００ｎｍ程度であるのが好ましく、１〜５０ｎｍ程度であるのがより好ましい。
なお、この電子輸送層２０５は、省略することができる。
【０１８７】
（電子注入層）
電子注入層２０６は、陰極２０７からの電子注入効率を向上させる機能を有するものである。
【０１８８】
この電子注入層２０６の構成材料（電子注入材料）としては、例えば、各種の無機絶縁材料、各種の無機半導体材料が挙げられる。
【０１８９】
このような無機絶縁材料としては、例えば、アルカリ金属カルコゲナイド（酸化物、硫化物、セレン化物、テルル化物）、アルカリ土類金属カルコゲナイド、アルカリ金属のハロゲン化物およびアルカリ土類金属のハロゲン化物等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。これらを主材料として電子注入層を構成することにより、電子注入性をより向上させることができる。特にアルカリ金属化合物（アルカリ金属カルコゲナイド、アルカリ金属のハロゲン化物等）は仕事関数が非常に小さく、これを用いて電子注入層２０６を構成することにより、発光素子２００は、高い輝度が得られるものとなる。
【０１９０】
アルカリ金属カルコゲナイドとしては、例えば、Ｌｉ２Ｏ、ＬｉＯ、Ｎａ２Ｓ、Ｎａ２Ｓｅ、ＮａＯ等が挙げられる。
【０１９１】
アルカリ土類金属カルコゲナイドとしては、例えば、ＣａＯ、ＢａＯ、ＳｒＯ、ＢｅＯ、ＢａＳ、ＭｇＯ、ＣａＳｅ等が挙げられる。
【０１９２】
アルカリ金属のハロゲン化物としては、例えば、ＣｓＦ、ＬｉＦ、ＮａＦ、ＫＦ、ＬｉＣｌ、ＫＣｌ、ＮａＣｌ等が挙げられる。
【０１９３】
アルカリ土類金属のハロゲン化物としては、例えば、ＣａＦ２、ＢａＦ２、ＳｒＦ２、ＭｇＦ２、ＢｅＦ２等が挙げられる。
【０１９４】
また、無機半導体材料としては、例えば、Ｌｉ、Ｎａ、Ｂａ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｙｂ、Ａｌ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｃｄ、Ｍｇ、Ｓｉ、Ｔａ、ＳｂおよびＺｎのうちの少なくとも１つの元素を含む酸化物、窒化物または酸化窒化物等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【０１９５】
電子注入層２０６の平均厚さは、特に限定されないが、０．１〜１０００ｎｍ程度であるのが好ましく、０．２〜１００ｎｍ程度であるのがより好ましく、０．２〜５０ｎｍ程度であるのがさらに好ましい。
なお、この電子注入層２０６は、省略することができる。
【０１９６】
（電子機器）
図１８は、電子機器の一例であるモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
【０１９７】
この図において、パーソナルコンピュータ１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部を備える表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
【０１９８】
このパーソナルコンピュータ１１００において、表示ユニット１１０６が備える表示部が前述の表示装置３００で構成されている。
【０１９９】
図１９は、電子機器の一例である携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【０２００】
この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６とともに、表示部を備えている。
携帯電話機１２００において、この表示部が前述の表示装置３００で構成されている。
【０２０１】
図２０は、電子機器の一例であるディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
【０２０２】
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【０２０３】
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。
【０２０４】
ディジタルスチルカメラ１３００において、この表示部が前述の表示装置３００で構成されている。
【０２０５】
ケースの内部には、回路基板１３０８が設置されている。この回路基板１３０８は、撮像信号を格納（記憶）し得るメモリが設置されている。
【０２０６】
また、ケース１３０２の正面側（図示の構成では裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【０２０７】
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、回路基板１３０８のメモリに転送・格納される。
【０２０８】
また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示のように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニタ１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピュータ１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、回路基板１３０８のメモリに格納された撮像信号が、テレビモニタ１４３０や、パーソナルコンピュータ１４４０に出力される構成になっている。
【０２０９】
なお、電子機器は、図１８のパーソナルコンピュータ（モバイル型パーソナルコンピュータ）、図１９の携帯電話機、図２０のディジタルスチルカメラの他にも、例えば、テレビや、ビデオカメラ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器（例えば金融機関のキャッシュディスペンサー、自動券売機）、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電表示装置、超音波診断装置、内視鏡用表示装置）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレータ、その他各種モニタ類、プロジェクター等の投射型表示装置等に適用することができる。
【０２１０】
以上、本発明の液滴吐出装置、液滴吐出方法および膜付きデバイスの製造方法を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものでない。
【０２１１】
例えば、前述した実施形態において、ヘッドユニットが備える、第１液滴吐出ヘッドおよび第２液滴吐出ヘッドは、ヘッドユニットに対して回動可能であり、第１液滴吐出ヘッドおよび第２液滴吐出ヘッドがそれぞれ備える第１吐出ノズルおよび第２吐出ノズルのノズル列は、副走査方向に対して可変可能なものであっても良い。
【０２１２】
また、本発明の膜付きデバイスの製造方法を、有機ＥＬ素子を備える表示装置の製造に適用する場合について説明したが、本発明の膜付きデバイスの製造方法は、回路基板が備える配線の成膜にも適用することができる。なお、この場合、配線を形成するための成膜材料としては、ポリアセチレン、ポリ（p−フェニレンビニレン）、ポリピロール、ポリチオフェン、ポリアニリン、ポリ（p−フェニレンスルフィド）のような導電性高分子材料を高分子材料として含有するものが挙げられる。
【符号の説明】
【０２１３】
２‥‥基板
２ａ‥‥膜付きデバイス
２ｂ‥‥膜付きデバイス
２ｃ‥‥膜付きデバイス
６‥‥液滴吐出装置
７‥‥基台
７ａ‥‥上面
８‥‥案内レール
９‥‥ステージ
１０‥‥主走査位置検出装置
１１‥‥載置面
１２‥‥支持台
１３‥‥案内部材
１４‥‥収納タンク
１５‥‥案内レール
１６‥‥キャリッジ
１７‥‥副走査位置検出装置
１８‥‥ヘッドユニット
１８Ａ‥‥ヘッドユニット
１８Ｂ‥‥ヘッドユニット
２０‥‥隔壁
２０ａ‥‥隔壁
２０ｂ‥‥隔壁
２０ｃ‥‥隔壁
２１‥‥開口部
２１ａ‥‥開口部
２１ｂ‥‥開口部
２１ｃ‥‥開口部
２３‥‥ノズルプレート
２５‥‥キャビティ
２６‥‥成膜性インク
２７‥‥振動板
２８‥‥圧電素子
２９‥‥液滴
２９ａ‥‥液滴
２９ｂ‥‥液滴
２９Ｃ‥‥液状被膜
２９Ｄ‥‥膜
４１‥‥制御装置
４２‥‥ＣＰＵ
４３‥‥メモリー
４４‥‥主走査駆動装置
４５‥‥副走査駆動装置
４６‥‥入出力インターフェイス
４７‥‥データバス
４８‥‥ヘッド駆動回路
４９‥‥入力装置
５０‥‥表示装置
５１‥‥プログラムソフト
５２‥‥吐出位置データ
５３‥‥駆動電圧データ
５４‥‥駆動波形データ
５５‥‥吐出計画データ
５６‥‥描画制御部
５７‥‥主走査制御部
５８‥‥副走査制御部
５９‥‥吐出制御部
６１‥‥吐出条件設定部
６２‥‥吐出計画設定部
２００‥‥発光素子
２００Ｂ‥‥発光素子
２００Ｇ‥‥発光素子
２００Ｒ‥‥発光素子
２０１‥‥陽極
２０２‥‥正孔注入層
２０３‥‥正孔輸送層
２０４‥‥発光層
２０５‥‥電子輸送層
２０６‥‥電子注入層
２０７‥‥陰極
２０８‥‥積層体
２０８Ｂ‥‥積層体
２０８Ｇ‥‥積層体
２０８Ｒ‥‥積層体
３００‥‥表示装置
３００Ｂ‥‥サブ画素
３００Ｇ‥‥サブ画素
３００Ｒ‥‥サブ画素
３０１‥‥基板
３０２‥‥スイッチング素子
３０２ａ‥‥半導体層
３０２ｂ‥‥ゲート絶縁層
３０２ｃ‥‥ゲート電極
３０２ｄ‥‥ソース電極
３０２ｅ‥‥ドレイン電極
３０３‥‥平坦化層
３０４‥‥反射膜
３０５‥‥腐食防止膜
３０６‥‥陰極カバー
３０７‥‥導電部
３０８‥‥隔壁
３０９‥‥樹脂層
３１０‥‥基板
５１０‥‥第１液滴吐出ヘッド部
５１１‥‥第１吐出ノズル
５１２‥‥第１液滴吐出ヘッド
５２０‥‥第２液滴吐出ヘッド部
５２０Ａ‥‥第２液滴吐出ヘッド部
５２０Ｂ‥‥第２液滴吐出ヘッド部
５２１‥‥第２吐出ノズル
５２１Ａ‥‥第２吐出ノズル
５２２‥‥第２液滴吐出ヘッド
５２２Ａ‥‥第２液滴吐出ヘッド
５３１‥‥案内レール
１１００‥‥パーソナルコンピュータ
１１０２‥‥キーボード
１１０４‥‥本体部
１１０６‥‥表示ユニット
１２００‥‥携帯電話機
１２０２‥‥操作ボタン
１２０４‥‥受話口
１２０６‥‥送話口
１３００‥‥ディジタルスチルカメラ
１３０２‥‥ケース
１３０４‥‥受光ユニット
１３０６‥‥シャッタボタン
１３０８‥‥回路基板
１３１２‥‥ビデオ信号出力端子
１３１４‥‥入出力端子
１４３０‥‥テレビモニタ
１４４０‥‥パーソナルコンピュータ
Ａ１‥‥ノズル列長
Ａ２‥‥ノズル列長
Ｂ１‥‥下軸改行ストローク
Ｂ２‥‥下軸改行ストローク
Ｃ１‥‥ノズルピッチ
Ｃ２‥‥ノズルピッチ
【図１】
2016170875.tif 000003
【図２】
2016170875.tif 000004
【図３】
2016170875.tif 000005
【図４】
2016170875.tif 000006
【図５】
2016170875.tif 000007
【図６】
2016170875.tif 000008
【図７】
2016170875.tif 000009
【図８】
2016170875.tif 000010
【図９】
2016170875.tif 000011
【図１０】
2016170875.tif 000012
【図１１】
2016170875.tif 000013
【図１２】
2016170875.tif 000014
【図１３】
2016170875.tif 000015
【図１４】
2016170875.tif 000016
【図１５】
2016170875.tif 000017
【図１６】
2016170875.tif 000018
【図１７】
2016170875.tif 000019
【図１８】
2016170875.tif 000020
【図１９】
2016170875.tif 000021
【図２０】
2016170875.tif 000022