(57)【要約】【課題】導電性基板と電子部品との接合部の信頼性低下を抑えることができる。【解決手段】導電性基板１表面に電子部品２を導電性接合材４を介して搭載する第１工程と導電性基板１と成型樹脂板３とを組み合わせて前記電子部品の外形寸法より大きい内部空間を前記導電性基板１上に形成する際に、前記内部空間に、前記電子部２品が成型樹脂板３との間に間隔を置いて収納されるように構成する第２工程とを備え、前記第１工程における電子部品２の前記導電性基板１表面への接合と、前記第２工程における前記成型樹脂板３と前記導電性基板１との間および前記成型樹脂板３間の接合とを同時に行う第３工程を有する電子部品の樹脂パッケージの形成方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性基板表面に電子部品を導電性接合材を介して搭載する第１工程と導電性基板と成型樹脂板とを組み合わせて前記電子部品の外形寸法より大きい内部空間を前記導電性基板上に形成する際に、前記内部空間に、前記電子部品が成型樹脂板との間に間隔を置いて収納されるように構成する第２工程とを備え、前記第１工程の前記搭載にかかる前記導電性基板表面への電子部品、および、前記第２工程の組み合わせにかかる前記導電性基板と成型樹脂板とを同時に接合させる第３工程を有することを特徴とする電子部品の樹脂パッケージの形成方法。
【請求項２】
前記導電性基板がリードフレームであることを特徴とする請求項１記載の電子部品の樹脂パッケージの形成方法。
【請求項３】
前記第１工程の導電性接合材がペーストはんだであることを特徴とする請求項１記載の電子部品の樹脂パッケージの形成方法。
【請求項４】
前記第１工程の導電性接合材が導電性接着剤であることを特徴とする請求項１記載の電子部品の樹脂パッケージの形成方法。
【請求項５】
前記第１工程の導電性接着剤が銀粒子を含むエポキシ系接着剤あることを特徴とする請求項４に記載の電子部品の樹脂パッケージの形成方法。
【請求項６】
前記第３工程における接合が加熱により行われることを特徴とする請求項１記載の電子部品の樹脂パッケージの形成方法。
【請求項７】
前記第３工程における接合が超音波接合により行われることを特徴とする請求項１記載の電子部品の樹脂パッケージの形成方法。
【請求項８】
前記第３工程の前記導電性基板と成型樹脂板の接合における接合材がエポキシ系接着剤であることを特徴とする請求項１記載の電子部品の樹脂パッケージの形成方法。
【請求項９】
前記第１工程のリードフレームが複数のリードフレームに分離され、前記電子部品が異なる電位の印加される前記リードフレームの一端側の表面に跨って、導電性接着剤またはペーストはんだを介して搭載されることを特徴とする請求項２記載の電子部品の樹脂パッケージの形成方法。
【請求項１０】
前記電子部品がチップコンデンサであることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の電子部品の樹脂パッケージの形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リードフレームなどの導電端子板または導電性基板上に搭載されるチップコンデンサなどの電子部品を内包する樹脂パッケージの形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の、リードフレーム上に搭載されるチップコンデンサなどの電子部品を内包する樹脂パッケージの形成方法には、主として２方式がある。図２に示すトランスファモールドの一種であるインサート成型方式（第１方式）と図３に示す注形モールド方式（第２方式）である。第１方式は、図２で、予めチップコンデンサ２が接合材４を介して搭載され接合されたリードフレーム１を所要形状の樹脂成型用金型（図示せず）にセットし、この金型の樹脂注入口から熱軟化させ流動化させた樹脂３を高圧で流し込み、樹脂硬化後、金型から取り出して所定形状の樹脂パッケージ５aとする方式である。第２方式を、図３の断面図に示す。図３（ａ）は電子部品の樹脂パッケージ５部分を含む電子機能装置全体の断面図である。図３（ｂ）〜図３（ｃ）は、図３（ａ）の破線円枠Ａの拡大断面図で示す製造工程図である。図３（ｂ）に示すように、チップコンデンサ２が搭載される予定のリードフレーム１部分を露出するように板状の成型樹脂３ｂまたは樹脂ケースをリードフレーム１に接着剤４ａを介して固着させ、図３（ｃ）に示すように、チップコンデンサ２をこの成型樹脂板３ｂまたは樹脂ケースで囲まれたリードフレーム１露出部分に接合材４ｂを介して搭載し接合した後、図３（ｄ）に示すように、このリードフレーム１露出部分を底部とする凹部に、常温で液状の未硬化樹脂３ｃを流し込み、高温で樹脂硬化させて樹脂パッケージ５ｂとする方式である。
【０００３】
このような樹脂パッケージに関して、ターミナル（導電端子板）とチップコンデンサ等の電子部品とを電気的に接続した後に、電子部品を樹脂製の保護材で覆って第１部品を形成する。次に、この第１部品をインサート部品として、樹脂ハウジングをインサート成形するという趣旨の記載がみられる（特許文献１）。
【０００４】
チップコンデンサ等の電子部品をハウジングの開口部内に配置してターミナル（導電端子板））に電気的に接続した後に、ハウジングの開口部にエポキシまたはシリコーン樹脂等の封止材を注入するという趣旨の記述がある（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−２５１８９８号公報（段落００３４〜００３５）
【特許文献２】特開２００８−１５１７９２号公報（段落００１９〜００２０）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前述の第１、第２方式のどちらでも、樹脂パッケージの成型後は、チップコンデンサが樹脂材と直接接することになり、樹脂硬化時の内部応力がチップコンデンサにダメージを及ぼす惧れが高い。その場合、特にチップコンデンサとリードフレームの接合部の耐久性などの信頼性が著しく低下することがある。
【０００７】
前述の第１方式では、インサート成型時に高温の熱軟化樹脂を高圧で金型に流し込むため、チップコンデンサ自体が受けるダメージ及びチップコンデンサが搭載されるリードフレームとの接合部が受ける熱によるダメージ、または樹脂硬化時に生じる歪応力に起因する前記接合部の耐久性などの信頼性低下が避けられない。
【０００８】
本発明は前述した点を考慮してなされたものであり、本発明の目的は、導電性基板と電子部品との接合部の信頼性低下を抑えることができる電子部品の樹脂パッケージの形成方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記本発明の目的を達成するために、導電性基板表面に電子部品を導電性接合材を介して搭載する第１工程と導電性基板と成型樹脂板とを組み合わせて前記電子部品の外形寸法より大きい内部空間を前記導電性基板上に形成する際に、前記内部空間に、前記電子部品が成型樹脂板との間に間隔を置いて収納されるように構成する第２工程とを備え、前記第１工程の前記搭載にかかる前記導電性基板表面への電子部品、および、前記第２工程の組み合わせにかかる前記導電性基板と成型樹脂板とを同時に接合させる第３工程を有する電子部品の樹脂パッケージの形成方法とする。
【００１０】
前記導電性基板がリードフレームであること好ましい。
【００１１】
前記第１工程の導電性接合材がペーストはんだであることが望ましい。
前記第１工程の導電性接着剤が導電性接着剤であること
前記第１工程の導電性接着剤が銀粒子を含むエポキシ系接着剤あること好ましい。
【００１２】
前記第３工程における接合が加熱により行われることが好ましい。
【００１３】
前記第３工程における接合が超音波接合により行われるも好ましい。
【００１４】
前記第３工程の前記導電性基板と成型樹脂板の接合における接合材がエポキシ系接着剤であることが望ましい。
前記第１工程のリードフレームが複数のリードフレームに分離され、前記電子部品が異なる電位の印加される前記リードフレームの一端側の表面に跨って、導電性接着剤またはペーストはんだを介して搭載されることが望ましい。
【００１５】
前記電子部品がチップコンデンサであることが望ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、導電性基板と電子部品との接合部の信頼性低下を抑えることができる電子部品の樹脂パッケージの形成方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の電子部品の樹脂パッケージの形成工程断面図である。
【図２】従来の第１方式にかかる樹脂パッケージの形成工程断面図である。
【図３】従来の第２方式にかかる樹脂パッケージの形成工程断面図である。
【図４】本発明にかかる電子部品の樹脂パッケージを含む電子機能デバイスの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の電子部品の樹脂パッケージの形成方法にかかる実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の実施形態の説明および添付図面において、同様の構成には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。また、以下の説明に用いられる添付図面は、見易くまたは理解し易くするために正確なスケール、寸法比で描かれていない。また、本発明はその要旨を超えない限り、以下に説明する実施形態の記載に限定されるものではない。
【００１９】
図１、図４を参照して、本発明の実施形態について説明する。
図１は本発明の電子部品の樹脂パッケージの形成工程を（ａ）〜（ｃ）で示す断面図である。図４は本発明により形成された電子部品の樹脂パッケージを用いて、さらに他の電子部品との一体化により形成される電子機能デバイスを示す。図４（ａ）は電子機能デバイスの断面図、図４（ｂ）は電子機能デバイスから封止樹脂を除いた平面図、図４（ｃ）は図４（ａ）のａ１−ａ２線断面図、図４（ｄ）はｂ１−ｂ２線断面図、図４（ｅ）はｃ１−ｃ２線断面図である。
【００２０】
図１（ａ）に示すように、銅合金板を基材とし、表面にニッケルメッキ膜などが設けられた導電性基板であるリードフレーム１の一端側の表面に塗布された導電性接着剤４上に電子部品として、例えばチップコンデンサ２を搭載する。導電性接着剤４として、公知の銀粒子を含むエポキシ系接着剤を用いる。また、溶融温度２５０℃程度のＳｎ／Ｓｂ系はんだを含むペーストはんだを用いることもできる。リードフレーム１は、例えば、異なる電位が印加される複数の端子板に分離される。また、図４（ａ）に示すようにリードフレーム１（端子板）の両端が樹脂パッケージ８の外部に導出されていてもよい。
【００２１】
図１（ａ）の断面図は、図４（ｂ）に示す複数の端子板１ａ、１ｂ、１ｃのうちの一枚の端子板の断面を示す。図１（ａ）ではチップコンデンサ２が複数の端子板１ａ、１ｂ、１ｃ間に跨るように搭載されることは示されていないが、実際には、電子部品として前記チップコンデンサ２を用いる場合は、図４（ｂ）に示すように、異なる電位のいずれか２枚の端子板に跨って搭載され、チップコンデンサ２の両端側の電極部でそれぞれ導電接着剤４またははんだ接合材４による接着またははんだ接合される。しかし、チップコンデンサ以外の電子部品によっては、必ずしも２枚の端子板に跨って搭載される必要はなく、平板状の端子板の中央部に接着される構造であってもよい。
【００２２】
図１（ｂ）に示すように、チップコンデンサ２が端子板以外に接触しない大きさの内部空間を形成するように組み合わせた成型樹脂板３を、端子板１ａ、１ｂ、１ｃであるリードフレーム１上に搭載され接合されたチップコンデンサ２を覆うように載せる。この成型樹脂板３は複数の成型樹脂板３を前記内部空間を形成するように、接着剤６を用いた接着による組み合わせ構成とすることができる。この成型樹脂板３に使う接着剤６としては公知のエポキシ系接着剤を用いることができる。しかし、後述のように、接着剤なしに超音波接合により成型樹脂板３間の接触部の温度を上昇させて樹脂の接触端面を溶融させて接着させることもできる。さらに、表面にチップコンデンサ２が搭載されたリードフレーム１の一端側の前記搭載位置以外の両面を成型樹脂板３で挟み込み接着する構成にすると、リードフレーム２と成型樹脂板３とが確実に固定されるので好ましい。また、リードフレーム１の他端または両端は成型樹脂板３から外部に導出するように配置させる。成型樹脂板３間の接着が必要な端面には、それぞれ接着剤６を予め塗布しておく。また、成型樹脂板３の形状は、平板またはコの字形、凹部型の形状の成型樹脂板を用いることができる。平型以外の形状の場合は成型樹脂板３間の接合部を少なくすることができる。成型樹脂板としてはエポキシ系樹脂を用いることができる。
【００２３】
図１（ｃ）では、成型樹脂板３に矢印で示す方向に押圧力７を加えながら、成型樹脂板３の接触面に塗布された接着剤６およびチップコンデンサ２とリードフレーム１間の導電性接着材４を電気炉中で２５０℃程度の温度で熱硬化させ接合する工程を示している。
その際、同時に、電子部品とリードフレーム間の接合部も２５０℃で溶融するペーストはんだまたは銀粒子を含むエポキシ系接着剤が塗布されているので、成型樹脂板３の接着と電子部品の接合とを同時に行うことができる。この場合、成型樹脂板３間の接着は接着剤の塗布なしとし、成型樹脂板３を接着させる方向に押圧力を加えた状態で、リードフレーム１に超音波振動を加える樹脂パッケージの形成方法とすると、接着剤の塗布工程を少なくすることができるので好ましい。
【００２４】
また、前述のように、成型樹脂３がチップコンデンサ２に接触せず、端子板が成型樹脂板３で挟まれ固着される構成では、図４（ｃ）、図４（ｄ）、図４（ｅ）に示すように、リードフレーム１が３枚の端子板間に隙間が形成されるので、端子板間の厚さ分の隙間を埋めて内部空間が密封されるように、成型樹脂間の接触面に端子板の厚さに対応する凹凸を設けることが好ましい。
【００２５】
以上説明した実施例では、本発明にかかる樹脂パッケージの形成方法について説明したが、この樹脂パッケージを含む圧力センサなどの電子機能デバイスを図４（ａ）、図４（ｂ）に示す。図４（ａ）と（ｂ）は、それぞれ本発明の樹脂パッケージを含む電子機能デバイスの断面図と平面図である。図４（ｂ）の破線は成形した樹脂の外形を想定した線である。シリコン圧力センサチップ１０が前記リードフレーム１を一体に成形した樹脂ケース１２の凹部１３に接合されている。このシリコン圧力センサチップ１０には、図示しないシリコンダイアフラム部とピエゾ抵抗を利用した圧力検出部と、デジタル／アナログコンバータと、出力信号増幅回路などが形成されたワンチップタイプのシリコン半導体デバイスを用いることができる。その詳細は本発明とは直接的には関係しないので、詳細な説明を省く。また、図４でもその詳細は示されていない。このシリコン圧力センサチップ１０の入出力電極および電源端子が前述の本発明にかかる樹脂パッケージから導出される端子板１ａ、１ｂ、１ｃとの間にアルミまたは金などのワイヤで接続される。また、図４では、樹脂パッケージ８は２つの成形樹脂３から構成されている。
【００２６】
以上説明した本発明にかかる実施の形態によれば、樹脂パッケージのリードフレーム上に内部空間が設けられ、この内部空間内にチップコンデンサなどの電子部品が内部空間を構成する成型樹脂板に接触しないように収納されているので、成型樹脂板とリードフレーム間の接着と成型樹脂板間の接着とによって構成される樹脂パッケージの形成時の歪応力によって電子部品のリードフレームとの接合の信頼性に悪影響を及ぼすことがない。さらに、樹脂パッケージの形成と電子部品の接合とが同一の工程で行われるので、製造コストが低減される。
【符号の説明】
【００２７】
１      導電性基板、リードフレーム
１ａ，１ｂ，１ｃ    端子板
２      チップコンデンサ
３      成型樹脂板
４      導電性接着剤、はんだ接合材
５      電子部品
６      接着剤
７      押圧力
８      電子部品の樹脂パッケージ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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