(57)【要約】【課題】継続して適切な検出結果を出力することが可能な変位センサを提供する。【解決手段】変位センサ１は、互いに同じ検出対象の変位量を検出し、隣接して配置される一対の第１検出部１１と、当該一対の第１検出部１１の検出結果に基づき、一対の第１検出部１１の双方が異常でないか否かを診断する第１診断部１３と、当該第１診断部１３の診断結果に応じて信号を出力する第１出力部１４と、第１検出部１１と同じ検出対象の変位量を検出し、一対の第１検出部１１と隣接して配置される一対の第２検出部２１と、当該一対の第２検出部２１の検出結果に基づき、当該一対の第２検出部２１の双方が異常でないか否かを診断する第２診断部２３と、当該第２診断部２３の診断結果に応じて信号を出力する第２出力部２４と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに同じ検出対象の変位量を検出し、隣接して配置される一対の第１検出部と、
前記一対の第１検出部の検出結果に基づき、前記一対の第１検出部の双方が異常でないか否かを診断する第１診断部と、
前記第１診断部の診断結果に応じて信号を出力する第１出力部と、
前記第１検出部と同じ検出対象の変位量を検出し、前記一対の第１検出部と隣接して配置される一対の第２検出部と、
前記一対の第２検出部の検出結果に基づき、当該一対の第２検出部の双方が異常でないか否かを診断する第２診断部と、
前記第２診断部の診断結果に応じて信号を出力する第２出力部と、
を備えた変位センサ。
【請求項２】
前記一対の第１検出部及び前記一対の第２検出部が、前記検出対象との距離の変化に応じて前記変位量を検出し、
前記一対の第１検出部と前記一対の第２検出部とが前記検出対象を中央にした環状に配置されている請求項１に記載の変位センサ。
【請求項３】
前記一対の第１検出部に電力供給を行う第１電源部と、前記一対の第２検出部に電力供給を行う第２電源部とが別体で備えられている請求項１又は２に記載の変位センサ。
【請求項４】
前記第１診断部及び前記第２診断部の夫々は、診断対象となる２つの検出結果の差が予め設定された設定値より小さい場合に異常でないと診断する請求項１から３のいずれか一項に記載の変位センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検出対象の変位量を検出する変位センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、変位量を検出する変位センサが広く利用されてきた。この種の変位センサには、変位量を検出する検出部が異常でないか否かを診断する自己診断機能を備えたものがある（例えば特許文献１及び２）。
【０００３】
特許文献１に記載の回転角度検出装置は、回転体に設けられた磁石からの磁束の変化を磁気検出部が検出して回転体の回転角度を検出する。磁気検出部には、出力信号が所定の位相差となるように第１磁気検出部と第２磁気検出部とが設けられる。第１磁気検出部及び第２磁気検出部は、夫々、第１磁気検出部の検出結果に基づいて生成された正弦波信号と、第２磁気検出部の検出結果に基づいて生成された余弦波信号とにより故障の有無が診断される。
【０００４】
特許文献２に記載の磁気センサは、複数の感磁部が互いに離間して設けられ、感度演算部が、複数の感磁部からの各軸に関する磁界強度情報に基づいて感度を演算するよう構成されている。具体的には、磁界強度情報は各軸毎の成分に分解され、感度判定部が各軸成分を所定の基準値と比較して感度を判定する。この感度判定部からの感度情報に基づいてセンサ診断部が磁気センサの感度良否を自己診断する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−１３６５６号公報
【特許文献２】特開２０１２−２１５５７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１及び２に記載の技術は検出部が異常であるか否かを診断するのみであり、検出部が異常であると診断された場合には、継続して正常な検出結果を出力することができない。このため、特許文献１に係る回転角度検出装置や特許文献２に係る磁気センサの出力を他のシステムが利用する場合には、当該システムは運転が停止される。
【０００７】
本発明の目的は、上記問題に鑑み、継続して適切な検出結果を出力することが可能な変位センサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するための本発明に係る変位センサの特徴構成は、互いに同じ検出対象の変位量を検出し、隣接して配置される一対の第１検出部と、前記一対の第１検出部の検出結果に基づき、前記一対の第１検出部の双方が異常でないか否かを診断する第１診断部と、前記第１診断部の診断結果に応じて信号を出力する第１出力部と、前記第１検出部と同じ検出対象の変位量を検出し、前記一対の第１検出部と隣接して配置される一対の第２検出部と、前記一対の第２検出部の検出結果に基づき、当該一対の第２検出部の双方が異常でないか否かを診断する第２診断部と、前記第２診断部の診断結果に応じて信号を出力する第２出力部と、を備えている点にある。
【０００９】
このように、一対の第１検出部及び一対の第２検出部の合計４つの検出部を備え、第１診断部が一対の第１検出部が異常でないか否かを診断し、第２診断部が一対の第２検出部が異常でないか否かを診断するので、４つの検出部の１つが異常であった場合でも、一対の第１検出部及び一対の第２検出部のうち、異常である検出部を含まない方で継続して変位量の検出を行うことができる。したがって、変位センサから正常な検出結果を継続して出力することができる。
【００１０】
また、前記一対の第１検出部及び前記一対の第２検出部が、前記検出対象との距離の変化に応じて前記変位量を検出し、前記一対の第１検出部と前記一対の第２検出部とが前記検出対象を中央にした環状に配置されていると好適である。
【００１１】
このように、環状の中央部に検出対象が位置するように一対の第１検出部と一対の第２検出部とを配置することで、一対の第１検出部の夫々と検出対象との距離を一様にすることができると共に、一対の第２検出部の夫々と検出対象との距離を一様にすることができる。したがって、一対の第１検出部の夫々の検出結果と、一対の第２検出部の夫々の検出結果とを特に補正することなく、同様の診断処理を行うことができ、変位センサの構成を簡略化することができる。
【００１２】
また、前記一対の第１検出部に電力供給を行う第１電源部と、前記一対の第２検出部に電力供給を行う第２電源部とが別体で備えられていると好適である。
【００１３】
このような構成とすれば、少なくとも一対の第１検出部及び一対の第２検出部の一方に電力供給がされていれば、電力不足に起因した変位センサの出力停止を防止できる。
【００１４】
また、前記第１診断部及び前記第２診断部の夫々は、診断対象となる２つの検出結果の差が予め設定された設定値より小さい場合に異常でないと診断すると好適である。
【００１５】
このような構成とすれば、一対の第１検出部及び一対の第２検出部の夫々が異常でないか否かを容易に特定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】変位センサの機能部の構成を模式的に示すブロック図である。
【図２】変位センサの上面図である。
【図３】変位センサの出力例を示す図である。
【図４】その他の実施形態に係る変位センサの上面図である。
【図５】その他の実施形態に係る変位センサの上面図である。
【図６】その他の実施形態に係る変位センサの上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明に係る変位センサは、検出部の一部が異常であった場合でも、継続して適切な検出結果を出力可能に構成される。以下、本実施形態の変位センサ１について説明する。なお、以下では変位センサ１が回転体に付設された磁石の回転速度を検出する回転センサであるとして説明する。
【００１８】
図１は、変位センサ１の機能部の構成を模式的に示すブロック図である。図２は、変位センサ１の上面図（ただし、モールド部分（二点鎖線の部分）は透明にしている）である。変位センサ１は、図１に示されるように、第１検出部１１、第１信号処理部１２、第１診断部１３、第１出力部１４、第１電源部１５、第２検出部２１、第２信号処理部２２、第２診断部２３、第２出力部２４、第２電源部２５の各機能部を備えて構成される。中でも、図１に示されるように第１検出部１１、第１信号処理部１２、第１診断部１３、第１出力部１４、第１電源部１５は第１のチップ１０として構成され、第２検出部２１、第２信号処理部２２、第２診断部２３、第２出力部２４、第２電源部２５は第２のチップ２０として構成される。
【００１９】
第１検出部１１は一対の第１検出部１１Ａ，１１Ｂで構成される。第１検出部１１Ａ，１１Ｂは、互いに同じ検出対象の変位量を検出し、隣接して配置される。「互いに同じ検出対象の変位量を検出する」とは、第１検出部１１Ａ、及び第１検出部１１Ｂが、共に検出対象としての回転体に付設された磁石の回転量を検出することをいう。このような第１検出部１１Ａ，１１Ｂは、例えばホール素子を用いて構成することが可能である。この場合、夫々の第１検出部１１Ａ，１１Ｂの検出結果の差異を小さくするために、第１検出部１１Ａ，１１Ｂは互いに隣接して配置される。第１検出部１１の検出結果は、後述する第１信号処理部１２に伝達される。
【００２０】
第１信号処理部１２も、第１検出部１１と同様に一対で構成される。本実施形態では、第１検出部１１Ａの検出結果が伝達される第１信号処理部１２Ａと、第１検出部１１Ｂの検出結果が伝達される第１信号処理部１２Ｂとで構成される。第１信号処理部１２は、後述する第１診断部１３が第１検出部１１Ａ，１１Ｂの検出結果を診断し易いようにするために、検出結果に対して例えばオフセット量の調節、ノイズの低減、信号増幅等の信号処理を行う。第１信号処理部１２Ａ，１２Ｂにより信号処理された第１検出部１１Ａ，１１Ｂの検出結果は、後述する第１診断部１３に伝達される。
【００２１】
第１診断部１３は、一対の第１検出部１１Ａ，１１Ｂの検出結果に基づき、一対の第１検出部１１Ａ，１１Ｂの双方が異常でないか否かを診断する。第１診断部１３は、上述の第１信号処理部１２Ａ，１２Ｂにより所定の信号処理が行われた第１検出部１１Ａの検出結果と第１検出部１１Ｂの検出結果とを比較する。この際、比較項目としては検出結果の周期、振幅、及び位相とすると良い。もちろん、他の項目で比較を行っても良い。
【００２２】
第１診断部１３は、診断対象となる２つの検出結果、すなわち第１検出部１１Ａの検出結果と第１検出部１１Ｂの検出結果との差が予め設定された設定値より小さい場合に異常でないと診断する。上記のように、第１診断部１３が第１検出部１１Ａの検出結果と第１検出部１１Ｂの検出結果との周期、振幅、及び位相を比較する場合は、全ての項目に対して、第１検出部１１Ａの検出結果と第１検出部１１Ｂの検出結果との差が予め設定された設定値より小さい時に、第１検出部１１Ａ及び第１検出部１１Ｂが異常でないと診断すると良い。
【００２３】
一方、第１診断部１３が第１検出部１１Ａの検出結果と第１検出部１１Ｂの検出結果との周期、振幅、及び位相のうちの少なくとも一つの差が予め設定された設定値以上の場合には第１検出部１１Ａ及び第１検出部１１Ｂの少なくとも一方が異常であると診断すると良い。なお、予め設定された設定値とは、第１検出部１１Ａ，１１Ｂの配置上、生じる誤差を考慮して設定すると良い。第１診断部１３の診断結果は後述する第１出力部１４に伝達される。
【００２４】
第１出力部１４は、第１診断部１３の診断結果に応じて信号を出力する。第１出力部１４は、第１診断部１３により第１検出部１１Ａ及び第１検出部１１Ｂが異常でないと診断された場合には、第１出力部１４は、第１検出部１１Ａ及び第１検出部１１Ｂの一方の検出結果に応じた信号を出力する。ここで、第１検出部１１Ａ及び第１検出部１１Ｂは共にアナログ値を出力するので、第１出力部１４は当該アナログ値をデジタル値に変換して出力すると良い。
【００２５】
一方、第１診断部１３により第１検出部１１Ａ及び第１検出部１１Ｂの少なくとも一方が異常であると診断された場合には、第１出力部１４は、第１検出部１１Ａの検出結果及び第１検出部１１Ｂの検出結果とは異なる他の信号を出力する。このような他の信号として、例えばハイ信号とすることも可能であるし、ロー信号とすることも可能である。本実施形態では、第１出力部１４は、第１検出部１１Ａの診断結果に応じた結果を出力する第１出力部１４Ａと、第１検出部１１Ｂの診断結果に応じた結果を出力する第１出力部１４Ｂとを備えて構成される。
【００２６】
上述した第１のチップ１０に搭載される第１検出部１１、第１信号処理部１２、第１診断部１３、及び第１出力部１４には、第１電源部１５により電力供給が行われる。変位センサ１の第１電源部１５には、図２に示されるように端子電極７０を介して外部電源（例えばバッテリ）から電力供給が行われる。第１電源部１５は、この電力に係る電圧を第１検出部１１、第１信号処理部１２、第１診断部１３、及び第１出力部１４の駆動に適した電圧にレギュレーションする。この場合、第１電源部１５はレギュレータを用いて構成すると良い。レギュレータは、外部電源の出力電圧と前記駆動に適した電圧との関係に応じて、降圧レギュレータ、昇圧レギュレータ、及び昇降圧レギュレータの中から適宜選択して構成することが可能である。
【００２７】
第２検出部２１は一対の第２検出部２１Ａ，２１Ｂで構成される。第２検出部２１Ａ，２１Ｂは、第１検出部１１と同じ検出対象の変位量を検出し、一対の第１検出部１１と隣接して配置される。上述したように本実施形態では、第１検出部１１は磁石の回転量を検出する。したがって、第２検出部２１Ａ，２１Ｂも第１検出部１１の検出対象と同じ磁石の回転量を検出する。このような第２検出部２１Ａ，２１Ｂも、第１検出部１１Ａ，１１Ｂと同様に例えばホール素子を用いて構成することが可能である。第２検出部２１Ａ，２１Ｂは、第１検出部１１との検出結果の差異を小さくするために、第１検出部１１Ａ，１１Ｂと隣接して配置される。第２検出部２１の検出結果は、後述する第２信号処理部２２に伝達される。
【００２８】
第２信号処理部２２も、第１信号処理部１２と同様に一対で構成される。本実施形態では、第２信号処理部２２は、第２検出部２１Ａの検出結果が伝達される第２信号処理部２２Ａと、第２検出部２１Ｂの検出結果が伝達される第２信号処理部２２Ｂとで構成される。第２信号処理部２２は、後述する第２診断部２３が第２検出部２１Ａ，２１Ｂの検出結果を診断し易いようにするために、第２検出部２１Ａ，２１Ｂの検出結果に対して、第１信号処理部１２と同様の処理（例えばオフセット量の調節、ノイズの低減、信号増幅等の信号処理）を行う。第２信号処理部２２Ａ，２２Ｂにより信号処理された第２検出部２１Ａ，２１Ｂの検出結果は、後述する第２診断部２３に伝達される。
【００２９】
第２診断部２３は、一対の第２検出部２１Ａ，２１Ｂの検出結果に基づき、一対の第２検出部２１Ａ，２１Ｂの双方が異常でないか否かを診断する。第２診断部２３は、上述の第２信号処理部２２Ａ，２２Ｂにより所定の信号処理が行われた第２検出部２１Ａの検出結果と第２検出部２１Ｂの検出結果とを比較する。この際、比較項目としては、第１診断部１３と同様に、検出結果の周期、振幅、及び位相等とすると良い。
【００３０】
第２診断部２３は、診断対象となる２つの検出結果、すなわち第２検出部２１Ａの検出結果と第２検出部２１Ｂの検出結果との差が予め設定された設定値より小さい場合に異常でないと診断する。上記のように、第２診断部２３が第２検出部２１Ａの検出結果と第２検出部２１Ｂの検出結果との周期、振幅、及び位相を比較する場合には、全ての項目に対して、第２検出部２１Ａの検出結果と第２検出部２１Ｂの検出結果との差が予め設定された設定値より小さい時に、第２検出部２１Ａ及び第２検出部２１Ｂが異常でないと診断すると良い。
【００３１】
一方、第２診断部２３が第２検出部２１Ａの検出結果と第２検出部２１Ｂの検出結果との周期、振幅、及び位相のうちの少なくとも一つの差が予め設定された設定値以上の場合には第２検出部２１Ａ及び第２検出部２１Ｂの少なくとも一方が異常であると診断すると良い。なお、予め設定された設定値とは、第２検出部２１Ａ，２１Ｂの配置上、生じる誤差を考慮して設定すると良い。第２診断部２３の診断結果は後述する第２出力部２４に伝達される。
【００３２】
第２出力部２４は、第２診断部２３の診断結果に応じて信号を出力する。第２出力部２４は、第２診断部２３により第２検出部２１Ａ及び第２検出部２１Ｂが異常でないと診断された場合には、第２出力部２４は、第２検出部２１Ａ及び第２検出部２１Ｂの一方の検出結果に応じた信号を出力する。ここで、第２検出部２１Ａ及び第２検出部２１Ｂは共にアナログ値を出力するので、第２出力部２４は第１出力部１４と同様に、アナログ値をデジタル値に変換して出力すると良い。
【００３３】
一方、第２診断部２３により第２検出部２１Ａ及び第２検出部２１Ｂの少なくとも一方が異常であると診断された場合には、第２出力部２４は、第２検出部２１Ａの検出結果及び第２検出部２１Ｂの検出結果とは異なる他の信号を出力する。このような他の信号として、第１出力部１４と同様にハイ信号やロー信号を出力すると良い。本実施形態では、第２出力部２４は、第２検出部２１Ａの診断結果に応じた結果を出力する第２出力部２４Ａと、第２検出部２１Ｂの診断結果に応じた結果を出力する第２出力部２４Ｂとを備えて構成される。
【００３４】
本実施形態では、第１電源部１５と第２電源部２５とが別体で設けられる。したがって、上述した第２のチップ２０に搭載される第２検出部２１、第２信号処理部２２、第２診断部２３、及び第２出力部２４には、第２電源部２５により電力供給が行われる。変位センサ１の第２電源部２５には、図２に示されるように端子電極７０を介して外部電源（例えばバッテリ）から電力供給が行われる。第２電源部２５は、この電力に係る電圧を第２検出部２１、第２信号処理部２２、第２診断部２３、及び第２出力部２４の駆動に適した電圧にレギュレーションする。この場合、第２電源部２５は、レギュレータを用いて構成すると良い。レギュレータは、外部電源の出力電圧と前記駆動に適した電圧との関係に応じて、降圧レギュレータ、昇圧レギュレータ、及び昇降圧レギュレータの中から適宜選択して構成することが可能である。
【００３５】
図２に示されるように、第１検出部１１Ａと第１検出部１１Ｂとは隣接して配置される。また、第２検出部２１Ａと第２検出部２１Ｂとも互いに隣接して配置される。更に、これらの一対の第１検出部１１Ａ，１１Ｂと、一対の第２検出部２１Ａ，２１Ｂとは、互いに隣接して配置される。したがって、一対の第１検出部１１Ａ，１１Ｂと、一対の第２検出部２１Ａ，２１Ｂとは検出対象を中央にして環状に配置されることになり、互いの距離を等間隔で配置することが可能となる。したがって、上述したように、一対の第１検出部１１Ａ，１１Ｂ及び一対の第２検出部２１Ａ，２１Ｂが、検出対象との距離に応じて変位量を検出するような回転センサや、ストロークセンサである場合には、検出結果に含まれる配置に起因した差異を最小限にすることができる。本発明での検出対象を中央にして環状とは、形状的に円形あるいは同一平面に限定するものではなく、検出対象を中心とする球表面の任意の点の様に、検出対象から等距離の位置という意味である。
【００３６】
また、一対の第１検出部１１Ａ，１１Ｂと一対の第２検出部２１Ａ，２１Ｂとは、互いに異なる基板において、夫々基板の縁部に配置される。本実施形態では、基板とは第１のチップ１０を構成する基板と、第２のチップ２０を構成する基板が相当する。したがって、一対の第１検出部１１Ａ，１１Ｂは、第１のチップ１０の縁部に配置され、一対の第２検出部２１Ａ，２１Ｂは、第２のチップ２０の縁部に配置される。第１のチップ１０の縁部と第２のチップ２０の縁部とを近づけて配置することにより、一対の第１検出部１１Ａ，１１Ｂと、一対の第２検出部２１Ａ，２１Ｂと、を互いに近づけて配置することが可能となる。また、検出対象としての磁石を一対の第１検出部１１Ａ，１１Ｂと、一対の第２検出部２１Ａ，２１Ｂとで形成される環状の中央部に対向して配置することができるので、磁石から一対の第１検出部１１Ａ，１１Ｂ及び一対の第２検出部２１Ａ，２１Ｂまでの距離を夫々、等しくすることができ、検出結果における距離依存性を低減することが可能となる。
【００３７】
もちろん、上記構成に代えて、第１検出部１１及び第２検出部２１は磁石の回転に応じた磁束の変化を検出し易くするために、第１検出部１１及び第２検出部２１を１つの磁気収束板上に配置しても良い。この場合でも、一対の第１検出部１１Ａ，１１Ｂと一対の第２検出部２１Ａ，２１Ｂとを互いに隣接して配置することができるので、互いを近づけることが可能である。
【００３８】
また、端子電極７０に接続するための各機能部のパッドを、第１検出部１１及び第２検出部２１が並べられた第１のチップ１０及び第２のチップ２０の縁部とは異なる縁部に集約することができるので、ワイヤボンディングに用いられるワイヤ８０の引き回しを簡素にすることが可能となる。
【００３９】
図３には、変位センサ１の各部の波形が示される。（Ｉ）は第１検出部１１Ａの検出結果であり、（ＩＩ）は第１検出部１１Ｂの検出結果である。また、（ＩＶ）は第２検出部２１Ａの検出結果であり、（ＶＩ）は第２検出部２１Ｂの検出結果である。図３の例では、ｔ＝０で第１検出部１１Ａ，１１Ｂ及び第２検出部２１Ａ，２１Ｂが、磁石の回転を検出し、検出結果を出力している。第１診断部１３は、第１検出部１１Ａの検出結果と第１検出部１１Ｂの検出結果とに基づき異常がないか否かを診断し、診断結果を第１出力部１４に伝達する。
【００４０】
ｔ＝１までは、第１検出部１１Ａと第１検出部１１Ｂとの夫々の検出結果に差異がないので、第１出力部１４は、（ＩＩＩ）に示されるような第１検出部１１Ａ及び第１検出部１１Ｂの検出結果に応じたデジタル信号を出力する。しかしながら、ｔ＝１以降は、（ＩＩ）に示されるように、第１検出部１１Ａの検出結果と第１検出部１１Ｂの検出結果とが互いに異なり、差異が生じているので、第１診断部１３により第１検出部１１Ａ及び第１検出部１１Ｂの少なくとも一方が異常であると診断する。これにより、第１出力部１４は、第１検出部１１Ａ及び第１検出部１１Ｂの少なくとも一方が異常であることを示す信号（図３の例では、ハイ信号）を出力する。
【００４１】
一方、第２検出部２１Ａと第２検出部２１Ｂとは、ｔ＝０以降、（ＩＶ）及び（Ｖ）に示されるように、夫々の検出結果に差異がないので、（ＶＩ）に示されるように継続して第２検出部２１Ａの検出結果、及び第２検出部２１Ｂの検出結果に応じたデジタル信号が出力される。
【００４２】
このように本変位センサ１によれば、第１検出部１１Ａ，１１Ｂ及び第２検出部２１Ａ，２１Ｂのうち、何れか一つが異常であっても、異常でない検出信号を継続して出力することが可能となる。
【００４３】
〔その他の実施形態〕
上記実施形態では、変位センサ１が磁石の回転量を検出するとして説明したが、他の変位量を検出する変位センサに用いることも当然に可能である。
【００４４】
上記実施形態では、一対の第１検出部１１Ａ，１１Ｂと一対の第２検出部２１Ａ，２１Ｂとが環状に配置されているとして説明したが、一対の第１検出部１１Ａ，１１Ｂと一対の第２検出部２１Ａ，２１ＢとがＩ字状やＬ字状に並んで配置することも当然に可能である。
【００４５】
上記実施形態では、一対の第１検出部１１Ａ，１１Ｂと一対の第２検出部２１Ａ，２１Ｂとが、互いに異なる基板において、夫々基板の縁部に配置されているとして説明したが、一対の第１検出部１１Ａ，１１Ｂと一対の第２検出部２１Ａ，２１Ｂとを同一の基板に配置することも可能である。この場合でも一対の第１検出部１１Ａ，１１Ｂと一対の第２検出部２１Ａ，２１Ｂとを基板の縁部に配置することにより、上述した効果を奏することが可能である。また、一対の第１検出部１１Ａ，１１Ｂと一対の第２検出部２１Ａ，２１Ｂとを、異なる基板に配置する場合でも、夫々の基板の縁部から離間して配置することも当然に可能である。
【００４６】
上記実施形態では、第１電源部１５と第２電源部２５とが別体で備えられているとして説明したが、第１電源部１５と第２電源部２５とを単一の電源部で構成することも可能である。
【００４７】
上記実施形態では、第１診断部１３及び第２診断部２３の夫々は、診断対象となる２つの検出結果の差が予め設定された設定値より小さい場合に異常でないと診断するとして説明したが、第１診断部１３及び第２診断部２３は、例えば予め既知のリファレンス信号と比較することで異常であるか否かを診断する構成とすることも可能である。
【００４８】
上記実施形態では、変位センサ１が一対の第１検出部１１Ａ，１１Ｂと一対の第２検出部２１Ａ，２１Ｂとを備え、一対の第１検出部１１Ａ，１１Ｂと一対の第２検出部２１Ａ，２１Ｂと互いに異なる基板において、夫々基板の縁部に配置されているとして説明したが、変位センサ１が一対の第１検出部１１Ａ，１１Ｂのみを備えている場合でも、一対の第１検出部１１Ａ，１１Ｂを基板の縁部に配置して構成することが可能である。このような場合には、一対の第１検出部１１Ａ，１１Ｂを搭載する基板のサイズを小型化できるので、変位センサ１のサイズをコンパクトにすることが可能となる。
【００４９】
上記実施形態では、図２において変位センサが端子電極７０を基板のスルーホールやソケットに挿入して実装するリード部品として示したが、図４に示されるように面実装部品として構成することも可能である。
【００５０】
上記実施形態では、第１出力部１４Ａと第１出力部１４Ｂとが互いに離間して構成され、第２出力部２４Ａと第２出力部２４Ｂとが互いに離間して構成されるとして説明したが、図５に示されるように、第１出力部１４Ａと第１出力部１４Ｂとを一体で、或いは、隣接して構成し、第２出力部２４Ａと第２出力部２４Ｂとを一体で、或いは、隣接して構成することも可能である。もちろん、このような構成であっても、図６に示されるように面実装部品として構成することも可能である。
【００５１】
本発明は、検出対象の変位量を検出する変位センサに用いることが可能である。
【符号の説明】
【００５２】
１：変位センサ
１１：第１検出部
１２：第１信号処理部
１３：第１診断部
１４：第１出力部
１５：第１電源部
２１：第２検出部
２２：第２診断部
２４：第２出力部
２５：第２電源部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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