(57)【要約】      （修正有）【課題】ハイパースペクトルカメラ等の受光装置の分光性能を向上させる。【解決手段】受光装置１００は、入射する光から所定波長の１次光及び、該所定波長の１次光の複数のｎ次光（ｎは２以上の自然数）を抽出する選択波長可変型の波長可変フィルタ１１と、抽出された複数のｎ次光のうち、所定波長域の光を抽出する第１の帯域抽出フィルタ１２と、該所定波長域に含まれる一又は複数のｎ次光のうち一のｎ次光を受光する受光部１３と、を備える、或いは、入射する光のうち所定波長域の光を抽出する第１の帯域抽出フィルタ１２と、該所定波長域の光から所定波長の１次光及び、該所定波長の１次光の一又は複数のｎ次光を抽出する選択波長可変型の波長可変フィルタ１１と、抽出された一又は複数のｎ次光のうち一のｎ次光を受光する受光部１３と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射する光から所定波長の１次光及び、前記所定波長の１次光の複数のｎ次光（ｎは２以上の自然数）を抽出する選択波長可変型の波長可変フィルタと、
前記抽出された複数のｎ次光のうち、所定波長域の光を抽出する第１の帯域抽出フィルタと、
前記所定波長域に含まれる一又は複数のｎ次光のうち一のｎ次光を受光する受光部と、
を備えることを特徴とする受光装置。
【請求項２】
入射する光のうち所定波長域の光を抽出する第１の帯域抽出フィルタと、
前記所定波長域の光から所定波長の１次光及び、前記所定波長の１次光の一又は複数のｎ次光（ｎは２以上の自然数）を抽出する選択波長可変型の波長可変フィルタと、
前記抽出された一又は複数のｎ次光のうち一のｎ次光を受光する受光部と、
を備えることを特徴とする受光装置。
【請求項３】
前記波長可変フィルタは、
光軸上に配置された第１光学部材及び第２光学部材と、
前記第１光学部材及び前記第２光学部材間の距離を調整する調整部と、
を有し、
前記波長可変フィルタは、前記調整部により前記距離を調整することにより、前記所定波長の１次光を選択する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の受光装置。
【請求項４】
前記第１の帯域抽出フィルタを着脱可能に保持する保持部材を更に備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の受光装置。
【請求項５】
前記第１の帯域抽出フィルタに係る前記所定波長域とは異なる波長域の光を抽出する第２の帯域抽出フィルタを更に備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の受光装置。
【請求項６】
受光部を備える受光装置において、前記受光部の光路上流側に配置される光学フィルタであって、
入射する光から所定波長の１次光及び、前記所定波長の１次光の複数のｎ次光（ｎは２以上の自然数）を抽出する選択波長可変型の波長可変フィルタと、
前記抽出された複数のｎ次光のうち、所定波長域の光を抽出する帯域抽出フィルタと、
を備えることを特徴とする光学フィルタ。
【請求項７】
受光部を備える受光装置において、前記受光部の光路上流側に配置される光学フィルタであって、
入射する光のうち所定波長域の光を抽出する帯域抽出フィルタと、
前記所定波長域の光から所定波長の１次光及び、前記所定波長の１次光の一又は複数のｎ次光（ｎは２以上の自然数）を抽出する選択波長可変型の波長可変フィルタと、
を備えることを特徴とする光学フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、受光装置及び光学フィルタに関し、特に、入射光を分光した上で受光する受光装置及び該受光装置の光学フィルタの技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の装置として、例えば、検査対象物により反射された光から、所定波長の光を波長可変干渉フィルタにより取り出し、取り出された光を受光して分光画像を撮像する装置が提案されている（特許文献１参照）。特許文献１には、波長可変干渉フィルタを透過する光のうち、例えば２次以降のピーク波長として透過される可視光（及び紫外光）を遮光するために、近赤外域の波長の光のみを透過させる近赤外ハイパスフィルタを設ける技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−１８１９１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述の背景技術では、半値全幅（Ｆｕｌｌ  Ｗｉｄｔｈ  ａｔ  Ｈａｌｆ  Ｍａｘｉｍｕｍ：ＦＷＨＭ）（以降、適宜“半値幅”と称する）により規定される装置の分光性能を向上させることが困難であるという技術的問題点がある。
【０００５】
本発明は、例えば上記問題点に鑑みてなされたものであり、分光性能を向上させることができる受光装置及び光学フィルタを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の受光装置は、上記課題を解決するために、入射する光から所定波長の１次光及び、前記所定波長の１次光の複数のｎ次光（ｎは２以上の自然数）を抽出する選択波長可変型の波長可変フィルタと、前記抽出された複数のｎ次光のうち、所定波長域の光を抽出する第１の帯域抽出フィルタと、前記所定波長域に含まれる一又は複数のｎ次光のうち一のｎ次光を受光する受光部と、を備える。
【０００７】
本発明の第２の受光装置は、上記課題を解決するために、入射する光のうち所定波長域の光を抽出する第１の帯域抽出フィルタと、前記所定波長域の光から所定波長の１次光及び、前記所定波長の１次光の一又は複数のｎ次光（ｎは２以上の自然数）を抽出する選択波長可変型の波長可変フィルタと、前記抽出された一又は複数のｎ次光のうち一のｎ次光を受光する受光部と、を備える。
【０００８】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための形態から明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１実施例に係るハイパースペクトルカメラの概要を示す概略構成図である。
【図２】第１実施例に係るファブリペロフィルタの構成の一例を示す構成図である。
【図３】ファブリペロフィルタのギャップと選択波長との関係を示す図の一例である。
【図４】選択波長６００ｎｍの光を１次光及び２次光各々により発生させた場合の分光特性のシミュレーション結果の一例である。
【図５】選択波長６００ｎｍの光を１次光及び２次光各々により発生させた場合の、ファブリペロフィルタのギャップバラツキを考慮したシミュレーション結果の一例である。
【図６】１次光及び２次光各々の半値幅の一例を示す図である。
【図７】第１実施例の変形例に係るハイパースペクトルカメラの概要を示す概略構成図である。
【図８】第２実施例に係るハイパースペクトルカメラの概要を示す概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明の受光装置及び光学フィルタに係る実施形態について説明する。
【００１１】
（受光装置）
実施形態の第１の受光装置は、入射する光から所定波長の１次光及び、前記所定波長の１次光の複数のｎ次光（ｎは２以上の自然数）を抽出する選択波長可変型の波長可変フィルタと、前記抽出された複数のｎ次光のうち、所定波長域の光を抽出する第１の帯域抽出フィルタと、前記所定波長域に含まれる一又は複数のｎ次光のうち一のｎ次光を受光する受光部と、を備える。
【００１２】
実施形態の第１の受光装置によれば、波長可変フィルタは、当該受光装置に入射する光から所定波長の１次光を選択し、該選択された１次光の、一又は複数のｎ次光を抽出する。ここで、「ｎ次光」とは、１次光の波長をλ１、ｎ次光の波長をλｎとして、“λｎ＝λ１／ｎ”の関係を満たす光を意味する。「複数のｎ次光」は、例えば「２次光、３次光、…」である。
【００１３】
第１の帯域抽出フィルタは、波長可変フィルタにより抽出された複数のｎ次光のうち、所定波長域の光を抽出する。ここで、「所定波長の光の抽出」は、所定波長の光が第１の帯域抽出フィルタを透過することにより実現されてもよいし、所定波長の光が第１の帯域抽出フィルタにより反射されることにより実現されてもよい。受光部は、第１の帯域抽出フィルタにより抽出される所定波長域に含まれる一又は複数のｎ次光のうち一のｎ次光を受光する。
【００１４】
ここで、受光部には、該受光部で受光可能な波長域が存在する。従って、第１の帯域抽出フィルタにより抽出されたｎ次光が複数存在していたとしても、該抽出された複数のｎ次光全てが受光部により受光されるとは限らない。このため、第１の帯域抽出フィルタに係る「所定波長域」を、受光部の受光可能な波長域を考慮して設定すれば、第１の帯域抽出フィルタにより抽出されたｎ次光が複数存在する場合であっても、受光部が一のｎ次光のみを受光することができる。
【００１５】
本願発明者の研究によれば、以下の事項が判明している。即ち、受光部により受光される光のスペクトルは、ある程度の幅を有している。受光装置の分光性能は、この光のスペクトルの幅や波長可変フィルタのバラツキ等に応じて変化する。
【００１６】
本願発明者は、ｎ次光の半値幅が１次光の半値幅よりも小さいことに着目し、当該受光装置ではｎ次光が用いられている。但し、ｎ次光の波長は、上述の如く“λｎ＝λ１／ｎ”であるので、高次になるほど、ｎ次光の波長と（ｎ＋１）次光の波長との間隔が狭くなる。すると、受光部の受光可能な波長域によっては、ｎ次光だけでなく、より高次の光までもが受光部により受光される可能性がある。
【００１７】
そこで、本実施形態では、当該受光装置が受光すべき次数の光（即ち、“一のｎ次光”）以外の光が受光部により受光されないように、第１の帯域抽出フィルタにより所定波長域以外の光がカットされる。
【００１８】
本実施形態の第１の受光装置によれば、第１の帯域抽出フィルタ（更には、受光部の受光可能な波長域）により、波長可変フィルタにより生成された複数のｎ次光のうち、受光すべき一のｎ次光のみが受光部により受光されるので、分光性能を向上させることができる。
【００１９】
尚、受光すべき一のｎ次光が高次光であるほど分光性能を向上させることができる。
【００２０】
実施形態の第２の受光装置は、入射する光のうち所定波長域の光を抽出する第１の帯域抽出フィルタと、前記所定波長域の光から所定波長の１次光及び、前記所定波長の１次光の一又は複数のｎ次光（ｎは２以上の自然数）を抽出する選択波長可変型の波長可変フィルタと、前記抽出された一又は複数のｎ次光のうち一のｎ次光を受光する受光部と、を備える。
【００２１】
実施形態の第２の受光装置によれば、第１の帯域抽出フィルタは、当該受光装置に入射する光のうち所定波長域の光を抽出する。波長可変フィルタは、第１の帯域抽出フィルタにより抽出された所定波長域の光から所定波長の１次光を選択し、該選択された１次光の、一又は複数のｎ次光を抽出する。受光部は、波長可変フィルタにより抽出された一又は複数のｎ次光のうち一のｎ次光を受光する。
【００２２】
上述した第１の受光装置では、波長可変フィルタにより抽出された光が、第１の帯域抽出フィルタに入射するが、第２の受光装置では、第１の帯域抽出フィルタにより抽出された光が、波長可変フィルタに入射する。
【００２３】
第２の受光装置によれば、第１の帯域抽出フィルタにより抽出された光が波長可変フィルタに入射し、該波長可変フィルタにより生成された一又は複数のｎ次光のうち、受光部の受光可能な波長域に応じた受光すべき一のｎ次光のみが受光部により受光されるので、分光性能を向上させることができる。
【００２４】
第１の受光装置及び第２の受光装置の一態様では、波長可変フィルタは、光軸上に配置された第１光学部材及び第２光学部材と、該第１光学部材及び該第２光学部材間の距離を調整する調整部と、を有し、波長可変フィルタは、調整部により該距離を調整することにより、所定波長の１次光を選択する。
【００２５】
この態様によれば、比較的容易にして所定波長の１次光を選択することができ、実用上非常に有利である。尚、このような波長可変フィルタの一具体例としては、ファブリペロフィルタが挙げられる。
【００２６】
第１の受光装置及び第２の受光装置の他の態様では、第１の帯域抽出フィルタを着脱可能に保持する保持部材を更に備える。
【００２７】
上述の如く、受光部には受光可能な波長域がある。このため、波長可変フィルタにより抽出される複数のｎ次光各々の波長によっては、第１の帯域抽出フィルタを用いなくとも、受光すべき一のｎ次光のみが受光部により受光される場合もある。
【００２８】
このため、保持部材により、第１の帯域抽出フィルタを着脱可能に保持すれば、該第１の帯域抽出フィルタが不要な場合に、該第１の帯域抽出フィルタを取り外すことによって、例えば受光部に入射する光量を増加させることができる。
【００２９】
第１の受光装置及び第２の受光装置の他の態様では、第１の帯域抽出フィルタに係る所定波長域とは異なる波長域の光を透過する第２の帯域抽出フィルタを更に備える。
【００３０】
受光すべき一のｎ次光の波長に応じて、第１の帯域抽出フィルタ及び第２の帯域抽出フィルタを選択すれば、第１の受光装置及び第２の受光装置で受光可能な波長の選択幅を増やすことができ、実用上非常に有利である。
【００３１】
（光学フィルタ）
実施形態の第１の光学フィルタは、受光部を備える受光装置において、該受光部の光路上流側に配置される光学フィルタであって、入射する光から所定波長の１次光及び、該所定波長の１次光の複数のｎ次光（ｎは２以上の自然数）を抽出する選択波長可変型の波長可変フィルタと、該抽出された複数のｎ次光のうち、所定波長域の光を抽出する帯域抽出フィルタと、を備える。
【００３２】
実施形態の第１の光学フィルタによれば、波長可変フィルタにより生成された複数のｎ次光のうち、帯域抽出フィルタにより抽出された所定波長域に含まれる一又は複数のｎ次光が、受光装置の受光部に入射する。この結果、受光部の受光可能な波長域に応じた受光すべき一のｎ次光のみが受光部により受光されるので、受光装置の分光性能を向上させることができる。
【００３３】
実施形態の第２の光学フィルタは、受光部を備える受光装置において、該受光部の光路上流側に配置される光学フィルタであって、入射する光のうち所定波長域の光を抽出する帯域抽出フィルタと、該所定波長域の光から所定波長の１次光及び、該所定波長の１次光の一又は複数のｎ次光（ｎは２以上の自然数）を抽出する選択波長可変型の波長可変フィルタと、を備える。
【００３４】
実施形態の第２の光学フィルタによれば、帯域抽出フィルタにより抽出された光が波長可変フィルタに入射し、該波長可変フィルタにより生成された一又は複数のｎ次光が、受光装置の受光部に入射する。この結果、受光部の受光可能な波長域に応じた受光すべき一のｎ次光のみが受光部により受光されるので、受光装置の分光性能を向上させることができる。
【実施例】
【００３５】
本発明の受光装置に係る実施例を、図面に基づいて説明する。以下では、本発明の受光装置の一例として、ハイパースペクトルカメラを挙げる。
【００３６】
＜第１実施例＞
本発明の受光装置の一例としてのハイパースペクトルカメラに係る第１実施例について、図１乃至図６を参照して説明する。
【００３７】
第１実施例に係るハイパースペクトルカメラの構成について、図１を参照して説明する。図１は、第１実施例に係るハイパースペクトルカメラの概要を示す概略構成図である。
【００３８】
図１において、ハイパースペクトルカメラ１００は、ファブリペロフィルタ１１、ハイパスフィルタ１２及びＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）カメラ１３を備えて構成されている。ハイパースペクトルカメラ１００は、更に、ハイパスフィルタ１２を着脱可能に保持する保持部材１４を備えている。
【００３９】
ファブリペロフィルタ１１について、図２を参照して説明する。図２は、第１実施例に係るファブリペロフィルタの構成の一例を示す構成図である。尚、図２では、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材ごとに縮尺を異ならしめてある。
【００４０】
図２において、ファブリペロフィルタ１１は、下部石英基板１１１及び銀（Ａｇ）合金薄膜１１２からなる固定部材と、銀合金薄膜１１３及び上部石英基板１１４からなる可動部材と、該固定部材及び該可動部材間の距離であるギャップＧを調整可能なアクチュエータ１１５と、を備えて構成されている。
【００４１】
尚、銀合金薄膜１１２及び１１３の膜厚は、例えば４０ｎｍ（ナノメートル）である。また、下部石英基板１１１の板厚は例えば１ｍｍ（ミリメートル）、上部石英基板１１４の板厚は、例えば０．５ｍｍである。
【００４２】
ファブリペロフィルタ１１は、ギャップＧを変更することにより、該ファブリペロフィルタ１１を透過する選択波長を変えることができる選択波長可変型の光学フィルタの一つです。ファブリペロフィルタ１１は、一の波長を有する１次光に対応するギャップＧを、約２倍に広げることにより、該一の波長を２次光で再現することができる。
【００４３】
ここで、ファブリペロフィルタ１１の特性について、図３を参照して説明を加える。図３は、ファブリペロフィルタのギャップと選択波長との関係を示す図である。
【００４４】
図３に示すように、ファブリペロフィルタ１１のギャップＧを、例えば１６０ｎｍ〜３６０ｎｍに設定することにより、ファブリペロフィルタ１１により選択波長４００ｎｍ〜８００ｎｍの１次光を発生させることができる。ギャップＧを、例えば３６０ｎｍ〜７６０ｎｍに設定すれば、ファブリペロフィルタ１１により選択波長４００ｎｍ〜８００ｎｍの２次光を発生させることができる。
【００４５】
尚、ファブリペロフィルタ１１により選択透過される１次光の波長をλ１とすると、ｎ次光の波長λｎは、λｎ＝λ１／ｎと表すことができる。例えば１次光の波長λ１が８００ｎｍである場合、２次光の波長λ２は４００ｎｍとなる。或いは、例えば１次光の波長λ１が１６００ｎｍである場合、２次光の波長λ２は８００ｎｍとなり、３次光の波長λ３は５３３ｎｍとなる。
【００４６】
ところで、ファブリペロフィルタの作成の際には、そのプロセス上、±５ｎｍ程度のギャップバラツキが発生する。このギャップバラツキに加え、ファブリペロフィルタにより選択された光のスペクトルの半値幅により、ハイパースペクトルカメラの分光性能が決まる。
【００４７】
ファブリペロフィルタ１１を透過した１次光及び２次光各々のスペクトルについて、図４及び図５を参照して説明する。図４は、図３に示した特性を有するファブリペロフィルタについて、波長６００ｎｍの１次光及び２次光各々を発生させた場合の分光特性のシミュレーション結果の一例である。図５は、図３に示した特性を有するファブリペロフィルタについて、波長６００ｎｍの１次光及び２次光各々を発生させた場合の、ファブリペロフィルタのギャップバラツキを考慮したシミュレーション結果の一例である。
【００４８】
図４からわかるように、２次光のスペクトルの幅は、１次光のスペクトルの幅に比べて狭い。より具体的には、２次光の半値幅は、例えば６ｎｍであり、１次光の半値幅は、例えば１１ｎｍである。
【００４９】
実際のファブリペロフィルタには、上述の如く、ギャップバラツキが存在する。該ギャップバラツキを考慮すると、１次光及び２次光各々のスペクトルは、ギャップバラツキがない場合に比べて広くなる（図５参照）。ギャップバラツキを±５ｎｍと仮定した場合、２次光の半値幅は、例えば１１ｎｍとなり、１次光の半値幅は、例えば２３ｎｍとなる。
【００５０】
１次光に係る半値幅と２次光に係る半値幅との一例を図６に示す。図６からわかるように、２次光に係る半値幅は、１次光に係る半値幅の約半分である。本願発明者は、この点に着目し、２次光を用いることによりハイパースペクトルカメラの分光特性の向上を図った。
【００５１】
しかしながら、２次光を用いる場合、以下のようなデメリットが生じる。即ち、ファブリペロフィルタ１１により２次光を発生させる場合、例えば３次光等のより高次のｎ次光も発生する。上述の如く、ｎ次光の波長λｎは、λｎ＝λ１／ｎと表されるので、高次になるほど、隣接波長間の間隔は狭くなる。
【００５２】
ここで、ハイパースペクトルカメラ１００のＣＣＤカメラ１３の受光可能な波長域（即ち、ハイパースペクトルカメラ１００に係る選択波長域）を、例えば４００ｎｍ〜８００ｎｍ（図３における網かけ領域）とする。例えば２次光の波長が８００ｎｍである場合、３次光の波長は５３３ｎｍとなり、４次光の波長は４００ｎｍとなる。４次光の波長である４００ｎｍは、可視光域短波長側の端に該当し、可視照明光の分光強度も該波長域では、かなり弱いため、２次光を用いた撮像への影響は殆どない又はない。他方で、３次光の波長である５３３ｎｍは、可視光域のほぼ中央に該当するため、２次光を用いた撮像への影響が比較的大きい。
【００５３】
つまり、２次光を用いる場合、該２次光の波長と、ＣＣＤカメラ１３の受光可能な波長域とによっては、３次以上のｎ次光の影響を受けるおそれがある。
【００５４】
そこで、本実施例に係るハイパースペクトルカメラ１００では、ハイパスフィルタ１２により、３次以上のｎ次光が遮断される。ここで、図３に示すように、２次光の波長が６００ｎｍである場合、３次光の波長は４００ｎｍとなる。つまり、２次光の波長が６００ｎｍ〜８００ｎｍである場合、３次光が、２次光を用いた撮像に影響を及ぼす。３次光の影響をなくすためには、例えば５６０ｎｍ以下の波長を遮断するハイパスフィルタを、ハイパスフィルタ１２として用いればよい。
【００５５】
尚、ハイパスフィルタ１２は、保持部材１４により着脱可能に保持されている。このため、波長４００ｎｍ〜６００ｎｍの２次光を用いて撮像する場合には、ハイパスフィルタ１２を取り外せばよい。
【００５６】
尚、例えばバンドパスフィルタを用いることにより２次光のみを有する帯域の光を透過することで、３次以上のｎ次光を遮断することも考えられる。また、ハイパースペクトルカメラ１００の波長選択域（即ち、ＣＣＤカメラ１３の受光可能な波長域）が、例えば波長４００ｎｍ〜１１００ｎｍであり、２次光の波長が４００ｎｍ〜６００ｎｍである場合は、例えば波長７６０ｎｍ以上の波長を遮断するローパスフィルタを用いることにより、ハイパースペクトルカメラ１００の波長選択域内である波長８００ｎｍ〜１１００ｎｍの１次光を遮断することが考えられる。
【００５７】
このように、２次光の波長やハイパースペクトルカメラ１００の波長選択域に応じて、ハイパスフィルタでなくローパスフィルタやバンドパスフィルタを用いることで２次光のみを抽出することも考えられる。即ち、ファブリぺロフィルタ１１を透過した光のうち２次光以外の光をハイパースペクトルカメラ１００の波長選択域及びハイパスフィルタ等の透過帯域から除外することで２次光のみを抽出できればよい。
【００５８】
以上の結果、ハイパースペクトルカメラ１００によれば、３次以上のｎ次光の影響を排除しつつ、ハイパースペクトルカメラ１００の分光性能を向上させることができる。
【００５９】
本実施例に係る「ファブリペロフィルタ１１」、「ハイパスフィルタ１２」、「ＣＣＤカメラ１３」、「保持部材１４」及び「ハイパースペクトルカメラ１００」は、夫々、本発明に係る「波長可変フィルタ」、「第１の帯域抽出フィルタ」、「受光部」、「保持部材」及び「受光装置」の一例である。本実施例に係る「石英基板１１１及び銀合金薄膜１１２からなる固定部材」、「銀合金薄膜１１３及び二酸化ケイ素薄膜１１４からなる可動部材」及び「アクチュエータ１５」は、夫々、本発明に係る「第１光学部材」、「第２光学部材」及び「調整部」の一例である。また、本実施例に係る「ファブリペロフィルタ１１」及び「ハイパスフィルタ１２」により、本発明に係る「第１の光学フィルタ」の一例が構成される。
【００６０】
＜変形例＞
次に、第１実施例に係るハイパースペクトルカメラの変形例について、図７を参照して説明する。図７は、図１と同趣旨の、第１実施例の変形例に係るハイパースペクトルカメラの概要を示す概略構成図である。
【００６１】
図７において、ハイパースペクトルカメラ２００は、ファブリペロフィルタ１１、ハイパスフィルタ１２及び１５、ＣＣＤカメラ１３、ハイパスフィルタ１２を着脱可能に保持する保持部材１４、並びに、ハイパスフィルタ１５を着脱可能に保持する保持部材１６を備えて構成されている。
【００６２】
ハイパースペクトルカメラ２００の波長選択域（即ち、ＣＣＤカメラ１３の受光可能な波長域）は、例えば波長４００ｎｍ〜１１００ｎｍである。
【００６３】
２次光の波長が８００ｎｍ〜１１００ｎｍである場合、３次光の波長は５３３ｎｍ〜７３３ｎｍとなる。仮に、ハイパスフィルタが１つしかないとすると、３次光の影響を排除するために、該ハイパスフィルタは、例えば７６０ｎｍ以下の波長を遮断するように設定する必要がある。しかしながら、２次光の波長が６００ｎｍ〜７６０ｎｍである場合、該ハイパスフィルタにより、２次光も遮断されてしまう。
【００６４】
しかしながら、ハイパースペクトルカメラ２００は、２つのハイパスフィルタ１２及び１５を備えている。そして、ハイパスフィルタ１２を、例えば５６０ｎｍ以下の波長を遮断するハイパスフィルタとし、ハイパスフィルタ１５を、例えば７６０ｎｍ以下の波長を遮断するハイパスフィルタとすれば、２次光の波長が８００ｎｍ〜１１００ｎｍである場合には、ハイパスフィルタ１５を用いて３次以上のｎ次光を遮断し、２次光の波長が６００ｎｍ〜８００ｎｍである場合には、ハイパスフィルタ１２を用いて３次以上のｎ次光を遮断することができる。
【００６５】
また、ハイパスフィルタ１２及びハイパスフィルタ１５のいずれか一方を、遮断する光の波長に応じて択一的に用いることも可能である。
【００６６】
即ち、例えば２次光の波長が８００ｎｍ〜１１００ｎｍである場合には、ハイパスフィルタ１５を用いることで３次以上のｎ次光を遮断し、２次光の波長が６００ｎｍ〜８００ｎｍである場合には、ハイパスフィルタ１２を用いることで３次以上のｎ次光を遮断することができる。
【００６７】
本変形例によれば、ハイパースペクトルカメラ２００の波長選択域を拡張することができ、実用上非常に有利である。尚、ハイパースペクトルカメラ２００は、ハイパスフィルタ１２及び１５に限らず、３以上のハイパスフィルタを備えていてよい。本変形例に係る「ハイパスフィルタ１５」は、本発明に係る「第２の帯域抽出フィルタ」の一例である。
【００６８】
また、本変形例においても、ハイパスフィルタでなくローパスフィルタやバンドパスフィルタを用いることで３次以上のｎ次光を遮断することも考えられる。或いは、ハイパスフィルタとローパスフィルタとの組み合わせ等、異なるフィルタを組み合わせることで３次以上のｎ次光を遮断することも考えられる。
【００６９】
＜第２実施例＞
本発明の受光装置の一例としてのハイパースペクトルカメラに係る第２実施例について、図８を参照して説明する。第２実施例では、ファブリペロフィルタとハイパスフィルタとの配置が異なっている以外は、上述した第１実施例と同様である。よって、第２実施例について、第１実施例と重複する説明を省略すると共に、図面上における共通箇所には同一符号を付して示し、基本的に異なる点についてのみ、図８を参照して説明する。図８は、図１と同趣旨の、第２実施例に係るハイパースペクトルカメラの概要を示す概略構成図である。
【００７０】
図８において、ハイパースペクトルカメラ３００は、ファブリペロフィルタ１１、ハイパスフィルタ１２、ＣＣＤカメラ１３、及びハイパスフィルタ１２を着脱可能に保持する保持部材１４を備えて構成されている。ここでは特に、ファブリペロフィルタ１１が、ハイパスフィルタ１２とＣＣＤカメラ１３との間に配置されている。
【００７１】
本実施例では、ファブリペロフィルタ１１は、ＣＣＤカメラ１３に外付けされていてもよいし、内蔵されていてもよい。
【００７２】
ハイパースペクトルカメラ３００も、上述した第１実施例と同様に、３次以上のｎ次光の影響を排除しつつ、ハイパースペクトルカメラ３００の分光性能を向上させることができる。
【００７３】
尚、本実施例に係る「ファブリペロフィルタ１１」及び「ハイパスフィルタ１２」により、本発明に係る「第２の光学フィルタ」の一例が構成される。
【００７４】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う受光素子及び光学フィルタもまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００７５】
１１…ファブリペロフィルタ、１２、１５…ハイパスフィルタ、１３…ＣＣＤカメラ、１４、１５…保持部材、１００、２００、３００…ハイパースペクトルカメラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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