(57)【要約】      （修正有）【課題】高いＱ値を有し、耐衝撃性に優れた振動片、その振動片を備えるジャイロセンサー、電子機器、および移動体を提供する。【解決手段】基部１０と、基部１０から延出する一対の第１振動腕１２ａ，１２ｂと、を有する振動片であって、第１振動腕１２ａ，１２ｂには貫通穴２６ａ１，２６ａ２，２６ｂ１，２６ｂ２が形成されており、貫通穴２６ａ１，２６ａ２，２６ｂ１，２６ｂ２は、第１振動腕１２ａ，１２ｂの延出する基部１０の端部１０ａ側の穴幅が、第１振動腕１２ａ，１２ｂの先端に向かって狭くなっている部分を有する第１貫通穴２６ａ１，２６ｂ１と、第１振動腕１２ａ，１２ｂの先端側の穴幅が、端部１０ａに向かって狭くなっている部分を有する第２貫通穴２６ａ２，２６ｂ２と、を含んでいる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
前記基部から延出する一対の第１振動腕と、を有する振動片であって、
それぞれの前記第１振動腕には貫通穴が形成されており、
前記貫通穴は、穴幅が前記第１振動腕の延出する前記基部の端部側から前記第１振動腕の先端側に向かうに従って狭くなっている部分を有する第１貫通穴と、
穴幅が前記第１振動腕の先端側から前記端部に向かうに従って狭くなっている部分を有する第２貫通穴と、を含んでいることを特徴とする振動片。
【請求項２】
請求項１に記載の振動片において、
前記貫通穴は、平面視で直角三角形状又は二等辺三角形状になっていることを特徴とする振動片。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の振動片において、
前記第１振動腕が延出する前記基部側とは反対側の端部から延出する一対の第２振動腕を有し、
前記第２振動腕は、前記第２振動腕の延出する方向に沿って、貫通穴が複数個配列し形成されていることを特徴とする振動片。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片を駆動する回路および信号を検出する回路を含む電子部品と、前記振動片と前記電子部品とを収容するパッケージと、を備えていることを特徴とするジャイロセンサー。
【請求項５】
請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項６】
請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動片、この振動片を備えたジャイロセンサー、電子機器、および移動体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ジャイロセンサーは、船舶、航空機、ロケット等の姿勢を自律制御する技術に使用されているが、最近では、車両における車体制御、カーナビゲーションシステムの自車位置検出、デジタルカメラ、ビデオカメラ、および携帯電話の振動制御補正（いわゆる手振れ補正）等に用いられている。ジャイロセンサーは、高弾性材料としての水晶などの圧電性単結晶物からなるジャイロ素子により、物体の揺れや回転などの振動によってジャイロ素子の一部に発生する電気信号を角速度として検出し、回転角を算出することによって物体の変位を求めるものである。
【０００３】
ジャイロセンサーに用いられるジャイロ素子としては、水晶などの圧電体材料により形成されたジャイロ素子が広く用いられている。一般的に用いられているＨ型構造と呼ばれるジャイロ素子は、基部と、基部の一方の端部から並行して延出する一対の駆動用振動腕と、基部の他方の端部から駆動用振動腕の延出する方向と反対方向に並行して延出する一対の検出用振動腕と、を有している。ジャイロ素子に駆動信号を印加することにより駆動用振動腕を主面に沿った方向に振動（面内振動）させているときに、駆動用振動腕の延出する方向の軸まわりに回転させると、コリオリの力により駆動用振動腕が主面と直交する方向に振動（面外振動）する。この面外振動が基部を伝わり検出用振動腕を面外振動させることで、検出用振動腕に設けられた検出用電極に電荷が発生する。発生した電荷はジャイロ素子の回転速度に比例することから角速度として検出することができる。
【０００４】
近年のデジタルカメラ、ビデオカメラ、および携帯電話の小型化に伴い、手振れ補正等に用いられているジャイロセンサーと共にジャイロ素子も小型化が要求されている。しかし、ジャイロ素子を小型化すると等価直列抵抗Ｒ１が大きく、且つＱ値が小さくなり、高い感度が得られない等の課題があった。そのため、特許文献１に記載のジャイロ素子（特許文献１では慣性センサー素子と称す）は、振動腕部に振動腕部の長さ方向に開口部長径を配する形態の貫通穴を、振動腕部の長さ方向に沿って複数個配列して形成することで、等価直列抵抗Ｒ１が小さく、且つＱ値が大きくなり、高い感度を得ている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−２０８２６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載のジャイロ素子は、より感度を向上させるために振動腕部に設けられた貫通穴の両側の壁厚を薄くすると、衝撃が加わった時に振動腕部が破損するという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００８】
［適用例１］本適用例に係る振動片は、基部と、前記基部から延出する一対の第１振動腕と、を有する振動片であって、それぞれの前記第１振動腕には貫通穴が形成されており、前記貫通穴は、穴幅が前記第１振動腕の延出する前記基部の端部側から前記第１振動腕の先端側に向かうに従って狭くなっている部分を有する第１貫通穴と、穴幅が前記第１振動腕の先端側から前記端部に向かうに従って狭くなっている部分を有する第２貫通穴と、を含んでいることを特徴とする。
【０００９】
本適用例によれば、第１振動腕に貫通穴が設けられているので感度を向上することができる。また、第１貫通穴の穴幅が基部の端部側から第１振動腕の先端側に向かって狭くなり、逆に、第２貫通穴の穴幅が第１振動腕の先端側から基部の端部側に向かって狭くなっているため、第１貫通穴と第２貫通穴により、第１振動腕に連結部を設けることができ、穴幅方向の曲げに対する剛性が高まり、耐衝撃性の向上を図ることができる。そのため、高い感度を有し、耐衝撃性に優れた振動片を得ることができる。
【００１０】
［適用例２］上記適用例に係る振動片において、前記貫通穴は、平面視で直角三角形状又は二等辺三角形状になっていることが好ましい。
【００１１】
本適用例によれば、貫通穴が直角三角形状になっていることにより、貫通穴の直角部が配置された側の壁厚を略一定とすることができるので、電界効率を高めることができ、感度を向上することができる。また、貫通穴が二等辺三角形状になっていることにより、二等辺部が連結部を形成することができ、且つ基部の端部に接するように形成することができるため、穴幅方向の曲げに対する剛性をより高めることができ、耐衝撃性をより向上させることができる。
【００１２】
［適用例３］上記適用例に係る振動片において、前記第１振動腕が延出する前記基部側とは反対側の端部から延出する一対の第２振動腕を有し、前記第２振動腕は、前記第２振動腕の延出する方向に沿って、貫通穴が複数個配列し形成されていることが好ましい。
【００１３】
本適用例によれば、第１振動腕を検出用振動腕とし、第２振動腕を駆動用振動腕とするＨ型構造の振動片とすることで、検出用振動腕と駆動用振動腕とにそれぞれ貫通穴が設けられているため低インピーダンス、高感度のジャイロ用の振動片を得ることができる。また、第１振動腕の検出用振動腕には、第１貫通穴と第２貫通穴とにより連結部が形成されているため、耐衝撃性に優れている。
【００１４】
［適用例４］本適用例に係るジャイロセンサーは、上記適用例に記載の振動片と、前記振動片を駆動する回路および信号を検出する回路を含む電子部品と、前記振動片と前記電子部品とを収容するパッケージと、を備えていることを特徴とする。
【００１５】
本適用例によれば、高い感度を有し、耐衝撃性に優れた振動片を備えたジャイロセンサーを構成できるという効果がある。
【００１６】
［適用例５］本適用例に係る電子機器は、上記適用例に記載の振動片を備えていることを特徴とする。
【００１７】
本適用例によれば、高い感度を有し、耐衝撃性に優れた振動片を備えた電子機器を構成できるという効果がある。
【００１８】
［適用例６］本適用例に係る移動体は、上記適用例に記載の振動片を備えていることを特徴とする。
【００１９】
本適用例によれば、高い感度を有し、耐衝撃性に優れた振動片を備えた移動体を構成できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る振動片の一例としてのジャイロ素子の構造を示す概略平面図。
【図２】本発明の実施形態に係る振動片の一例としてのジャイロ素子の壁厚ｔとインピーダンスとの相関を示すグラフ。
【図３】本発明の実施形態に係る振動片の一例としてのジャイロ素子の壁厚ｔと感度との相関を示すグラフ。
【図４】本発明の第１実施形態に係る振動片の一例としてのジャイロ素子の動作原理を説明する概略平面図。
【図５】本発明の第２実施形態に係る振動片の一例としてのジャイロ素子の構造を示す概略平面図。
【図６】本発明の第３実施形態に係る振動片の一例としてのジャイロ素子の構造を示す概略平面図。
【図７】本発明の第４実施形態に係る振動片の一例としてのジャイロ素子の構造を示す概略平面図。
【図８】本発明の実施形態に係る振動片の一例としてのジャイロ素子を備えるジャイロセンサーの構造を示す概略図であり、（ａ）は概略平面図、（ｂ）は（ａ）中のＡ−Ａ線の概略断面図。
【図９】本発明の実施形態に係る振動片の一例としてのジャイロ素子を備える電子機器を示すモバイル型（又はノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図。
【図１０】本発明の実施形態に係るジャイロ素子を備える電子機器を示す携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図。
【図１１】本発明の実施形態に係る振動片の一例としてのジャイロ素子を備える電子機器としてのデジタルカメラの構成を示す斜視図。
【図１２】本発明の実施形態に係る振動片の一例としてのジャイロ素子を備える移動体としての自動車の構成を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の各図においては、各層や各部材を認識可能な程度の大きさにするため、各層や各部材の尺度を実際とは異ならせている。また、図１および図４〜図８において、説明の便宜上、互いに直交する３軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を図示しており、その図示した矢印の先端側を「＋側」、基端側を「−側」としている。また、以下の説明では、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」と言い、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」と言い、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」と言う。更に、説明の便宜上、Ｚ軸方向から見たときの平面視において、Ｚ軸方向の面を主面として説明する。
【００２２】
＜第１実施形態＞
［ジャイロ素子］
本発明の第１実施形態に係る振動片の一例として、Ｈ型と呼ばれる構造のジャイロ素子を挙げ、図１〜図３を参照して説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る振動片の一例としてのジャイロ素子の構造を示す概略平面図である。なお、駆動用電極や検出用電極は、説明の便宜上、省略して図示してある。
図２は、本発明の実施形態に係る振動片の一例としてのジャイロ素子の壁厚ｔとインピーダンスとの相関を示すグラフである。図３は、本発明の実施形態に係る振動片の一例としてのジャイロ素子の壁厚ｔと感度との相関を示すグラフである。
【００２３】
（ジャイロ素子の構造）
ジャイロ素子１００は、図１に示すように、基材（主要部分を構成する材料）を加工することにより一体に形成された矩形状の基部１０と、基部１０の長辺方向と交わる方向（Ｙ軸方向）の端部１０ａ，１０ｂのうち一方の端部１０ａから、＋Ｙ軸方向に沿って並行するように延出された一対の第１振動腕としての検出用振動腕１２ａ，１２ｂと、基部１０の一方の端部１０ａと反対側の他方の端部１０ｂから−Ｙ軸方向に沿って並行するように延出された一対の第２振動腕としての駆動用振動腕１４ａ，１４ｂと、基部１０の一方の端部１０ａから＋Ｙ軸方向に沿って並行するように延出された一対の調整用振動腕１６ａ，１６ｂと、を有して構成されている。
【００２４】
なお、検出用振動腕１２ａ，１２ｂには、検出用振動腕１２ａ，１２ｂの延出方向に沿って第１貫通穴２６ａ１，２６ｂ１および第２貫通穴２６ａ２，２６ｂ２が配列し形成されている。また、駆動用振動腕１４ａ，１４ｂにも、駆動用振動腕１４ａ，１４ｂの延出方向に沿って複数個の貫通穴２８ａ１，２８ａ２，２８ｂ１，２８ｂ２が配列し形成されている。
【００２５】
また、基部１０から延出する第１連結部２０ａ、および第１連結部２０ａに連結する第１支持部２２ａと、基部１０から第１連結部２０ａと反対方向に延出する第２連結部２０ｂ、および第２連結部２０ｂに連結する第２支持部２２ｂと、が設けられている。更に、第１支持部２２ａおよび第２支持部２２ｂは、駆動用振動腕１４ａ，１４ｂの側で一体的に繋って、固定枠部２４を構成している。そして、ジャイロ素子１００は、固定枠部２４の所定の位置で、図示しないパッケージ等の基板に固定される。
【００２６】
第１振動腕としての検出用振動腕１２ａ，１２ｂは、基部１０の一方の端部１０ａから＋Ｙ軸方向に沿って延出し、検出用振動腕１２ａ，１２ｂの腕幅（Ｘ軸方向の長さ）は、基部１０と接合する一方の端部１０ａ部分における腕幅（Ｘ軸方向の長さ）と、検出用振動腕１２ａ，１２ｂの＋Ｙ軸方向の先端部分における腕幅（Ｘ軸方向の長さ）と、が略同一となるように形成されている。
【００２７】
検出用振動腕１２ａには、検出用振動腕１２ａの延出方向（＋Ｙ軸方向）に沿って第１貫通穴２６ａ１および第２貫通穴２６ａ２が配列し連結部３４ａを挟んで形成されている。また、検出用振動腕１２ｂにも、検出用振動腕１２ａと同様に、検出用振動腕１２ｂの延出方向（＋Ｙ軸方向）に沿って第１貫通穴２６ｂ１および第２貫通穴２６ｂ２が配列し連結部３４ｂを挟んで形成されている。
【００２８】
第１貫通穴２６ａ１，２６ｂ１は、検出用振動腕１２ａ，１２ｂの端部１０ａ側に配置され、検出用振動腕１２ａ，１２ｂの延出する基部１０の端部１０ａ側の穴幅（Ｘ軸方向の長さ）が、基部１０の端部１０ａ側から検出用振動腕１２ａ，１２ｂの＋Ｙ軸方向の先端に向かうに従って狭くなっている部分を有している。第２貫通穴２６ａ２，２６ｂ２は、検出用振動腕１２ａ，１２ｂの＋Ｙ軸方向の先端側に配置され、検出用振動腕１２ａ，１２ｂの＋Ｙ軸方向の先端側の穴幅（Ｘ軸方向の長さ）が、検出用振動腕１２ａ，１２ｂの＋Ｙ軸方向の先端から検出用振動腕１２ａ，１２ｂの端部１０ａに向かうに従って狭くなっている部分を有している。所謂、第１貫通穴２６ａ１，２６ｂ１の形状は、平面視で、直角部を端部１０ａ側とする直角三角形である。また、第２貫通穴２６ａ２，２６ｂ２の形状は、平面視で、直角部を検出用振動腕１２ａ，１２ｂの先端側とする直角三角形である。
【００２９】
検出用振動腕１２ａには、第１貫通穴２６ａ１および第２貫通穴２６ａ２を形成する連結部３４ａの一端が基部１０の一方の端部１０ａに接するように設けられている。また、検出用振動腕１２ｂには、第１貫通穴２６ｂ１および第２貫通穴２６ｂ２を形成する連結部３４ｂの一端が基部１０の一方の端部１０ａに接するように設けられている。従って、検出用振動腕１２ａ，１２ｂは、穴幅方向（Ｘ軸方向）の曲げに対する剛性を高めることができるため、耐衝撃性を向上させることができる。
【００３０】
なお、検出用振動腕１２ａは、検出用振動腕１２ａの側壁３０ａ１，３０ａ２と、第１貫通穴２６ａ１および第２貫通穴２６ａ２と、による壁厚（Ｘ軸方向の長さ）ｔが略一定となるように形成されている。また、検出用振動腕１２ｂは、検出用振動腕１２ｂの側壁３０ｂ１，３０ｂ２と、第１貫通穴２６ｂ１および第２貫通穴２６ｂ２と、による壁厚（Ｘ軸方向の長さ）ｔが略一定となるように形成されている。
【００３１】
そのため、検出用振動腕１２ａ，１２ｂの電界効率を高めることができ、感度を向上することができる。また、後述するＸ軸方向に振動する面内モードの屈曲振動やＺ軸方向に振動する面外モードの屈曲振動において、±Ｘ軸方向又は±Ｚ軸方向の変位量が均一となり、安定な屈曲振動を励振することができる。
【００３２】
なお、本実施形態では、第１貫通穴２６ａ１，２６ｂ１および第２貫通穴２６ａ２，２６ｂ２の形状を直角三角形としているが、これに限定することはなく、略直角を有する三角形状や検出用振動腕１２ａ，１２ｂの延出方向（＋Ｙ軸方向）に沿って、２つの直角部を有する台形状でも構わない。
【００３３】
ここで、駆動用振動腕１４ａ，１４ｂの側壁３２ａ１，３２ａ２，３２ｂ１，３２ｂ２と、第１貫通穴２８ａ１，２８ｂ１の内壁および第２貫通穴２８ａ２，２８ｂ２の内壁を壁面としている壁の厚さである壁厚ｔとジャイロ素子１００のインピーダンスとの関係について、図２を参照し説明する。
図２は、本実施形態の駆動用振動腕１４ａ，１４ｂの構造で、駆動用振動腕１４ａ，１４ｂの壁厚ｔを１２μｍから２１μｍまで変化させた時の駆動用振動腕１４ａ，１４ｂのインピーダンスを有限要素法（ＦＥＭ）で解析した結果を示したグラフであり、横軸は、駆動用振動腕１４ａ，１４ｂの壁厚ｔを示し、縦軸は、駆動用振動腕１４ａ，１４ｂのインピーダンスを示している。
【００３４】
図２より、駆動用振動腕１４ａ，１４ｂのインピーダンスは、壁厚ｔが厚くなるに従い小さくなり励振し易くなる傾向を示し、壁厚ｔが約２０μｍより大きくなると、約３０ｋΩで略一定となる。よって、壁厚ｔを約２０μｍより薄くするとインピーダンスが増大し、駆動用振動腕１４ａ，１４ｂの設計に適さないことが解る。
【００３５】
次に、図３は、本実施形態のジャイロ素子１００の構造で、検出用振動腕１２ａ，１２ｂの壁厚ｔを１０μｍから１４μｍまで変化させた時のジャイロ素子１００のＹ軸回りの角速度に対する感度を有限要素法（ＦＥＭ）で解析した結果を示したグラフであり、横軸は、検出用振動腕１２ａ，１２ｂの壁厚ｔを示し、縦軸は、壁厚ｔを１０μｍとした時のジャイロ素子１００の感度を基準とした感度を示している。
【００３６】
図３より、ジャイロ素子１００の感度は、壁厚ｔが厚くなるに従い低下する傾向を示し、壁厚ｔが１２μｍで壁厚ｔが１０μｍにおける感度の約８８．９％であり、壁厚ｔが１４μｍで壁厚ｔが１０μｍにおける感度の約７４．７％となる。よって、壁厚ｔが１．４倍厚くなると感度は約７５％に低下することが解る。
【００３７】
次に、図１に戻り、第２振動腕としての駆動用振動腕１４ａ，１４ｂは、検出用振動腕１２ａ，１２ｂが延出する基部１０側とは反対側の他方の端部１０ｂから−Ｙ軸方向に沿って延出し、駆動用振動腕１４ａ，１４ｂの腕幅（Ｘ軸方向の長さ）は、−Ｙ軸方向の先端に向かって略一定である。つまり、駆動用振動腕１４ａ，１４ｂの基部１０と接合する他方の端部１０ｂ部分における腕幅（Ｘ軸方向の長さ）と駆動用振動腕１４ａ，１４ｂの先端部分における腕幅（Ｘ軸方向の長さ）とが略同一となるように形成されている。
【００３８】
駆動用振動腕１４ａ，１４ｂには、駆動用振動腕１４ａの延出方向（−Ｙ軸方向）に沿って２個の貫通穴２８ａ１，２８ａ２が配列し連結部３６ａを挟んで形成されている。また、駆動用振動腕１４ｂにも、駆動用振動腕１４ａと同様に、駆動用振動腕１４ｂの延出方向（−Ｙ軸方向）に沿って２個の貫通穴２８ｂ１，２８ｂ２が配列し連結部３６ｂを挟んで形成されている。
貫通穴２８ａ１，２８ａ２，２８ｂ１，２８ｂ２の形状は、平面視で、駆動用振動腕１４ａ，１４ｂの延出方向（Ｙ軸方向）を長辺とする矩形状である。
【００３９】
なお、本実施形態では、一対の駆動用振動腕１４ａ，１４ｂにおいて、それぞれの振動腕に貫通穴を２個ずつ形成しているが、これに限定されることはなく、振動腕の延出する方向に沿って２個以上の複数個を振動腕に形成しても構わない。振動腕に貫通穴を２個以上の複数個形成することで、振動腕に複数個の連結部を設けることができ、貫通穴によるインピーダンスの低減を図りながら、振動腕の衝撃に対する強度を高めることができる。
【００４０】
次に、検出用振動腕１２ａ，１２ｂの先端部には錘部４２ａ，４２ｂが設けられており、駆動用振動腕１４ａ，１４ｂの先端部には錘部４４ａ，４４ｂが設けられている。錘部４２ａ，４２ｂ，４４ａ，４４ｂを設けることによって、共振周波数を同一で検出用振動腕１２ａ，１２ｂおよび駆動用振動腕１４ａ，１４ｂの延出する方向の長さ（Ｙ軸方向の長さ）を短くすることができるため、ジャイロ素子１００の小型化を図ることができる。また、検出用振動腕１２ａ，１２ｂおよび駆動用振動腕１４ａ，１４ｂの共振周波数を低めることができる。更に、錘部４２ａ，４２ｂ，４４ａ，４４ｂは、必要に応じて複数の幅（Ｘ軸方向の長さ）を有していても良く、省略しても良い。なお、錘部４２ａ，４２ｂ，４４ａ，４４ｂに金属膜等で形成された質量部（図示せず）を設け、この質量部の一部をレーザー光等で除去することにより検出用振動腕１２ａ，１２ｂおよび駆動用振動腕１４ａ，１４ｂの共振周波数を調整することができる。
【００４１】
本実施形態のジャイロ素子１００では、基材として圧電体材料である水晶を用いた例について説明する。ジャイロ素子１００をなす基材は、水晶結晶軸において直交するＸ軸およびＹ軸で規定される平面に沿って切り出されて平板状に加工され、平面と直交するＺ軸方向に所定の厚みを有している。Ｘ軸を中心に０度から２度の範囲で回転して切り出したものを使用することができる。Ｙ軸およびＺ軸についても同様である。本実施形態においてジャイロ素子１００は、水晶を用いたが他の圧電材料、例えば、タンタル酸リチウムやチタン酸ジルコン酸鉛等を基材として用いても良い。なお、所定の厚み（Ｚ軸方向の長さ）は、振動周波数、外形サイズ、加工性などにより適宜設定される。
【００４２】
更に、ジャイロ素子１００には、図１に示すように、水晶の結晶Ｘ軸（電気軸）と交差する方向に検出用振動腕１２ａ，１２ｂと並行させて且つ検出用振動腕１２ａ，１２ｂを内側に挟むように、基部１０の一方の端部１０ａから延出された一対の調整用振動腕１６ａ，１６ｂが設けられている。即ち、調整用振動腕１６ａ，１６ｂは、Ｙ軸に沿って＋Ｙ軸方向に延出され、検出用振動腕１２ａ，１２ｂと所定の間隔を空けて内側に挟むように位置し、且つ並行するように設けられている。
【００４３】
なお、調整用振動腕１６ａ，１６ｂは、チューニングアームと呼ばれることもある。このような調整用振動腕１６ａ，１６ｂが設けられていることにより、水晶のエッチング異方性や加工プロセスのばらつきなどによって、駆動用振動腕１４ａ，１４ｂの断面形状が矩形状とならずに、平行四辺形や菱形となることによる駆動用振動腕１４ａ，１４ｂの振動方向の設計値からのずれ、所謂振動漏れによる漏れ出力を調整することが可能となる。換言すれば、駆動振動が漏れる（伝播する）、所謂振動漏れで発生する検出用振動腕１２ａ，１２ｂの電荷を調整用振動腕１６ａ，１６ｂに発生する電荷で相殺することができる。
【００４４】
また、調整用振動腕１６ａ，１６ｂは、検出用振動腕１２ａ，１２ｂおよび駆動用振動腕１４ａ，１４ｂよりも全長が短く形成されている。これにより、漏れ出力を調整するための調整用振動腕１６ａ，１６ｂの振動が、検出用振動腕１２ａ，１２ｂと駆動用振動腕１４ａ，１４ｂによるジャイロ素子１００の主要な振動を阻害することがないので、ジャイロ素子１００の振動特性が安定するとともに、ジャイロ素子１００の小型化にも有利となる。
【００４５】
更に、調整用振動腕１６ａ，１６ｂの基部１０と接続する一端と反対側の他端側の先端部には、調整用振動腕１６ａ，１６ｂより幅が広い（Ｘ軸方向の寸法が大きい）略矩形状の錘部４６ａ，４６ｂが設けられている。このように、調整用振動腕１６ａ，１６ｂの先端部に錘部４６ａ，４６ｂを設けることにより、調整用振動腕１６ａ，１６ｂにおける質量変化を顕著にさせることができ、ジャイロ素子１００の高感度化に寄与する効果を更に向上させることができる。
【００４６】
基部１０の中央は、ジャイロ素子１００の重心とすることができる。そして、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸は、互いに直交し、重心を通るものとする。ジャイロ素子１００の外形は、重心を通るＹ軸方向の仮想の中心線に対して線対称とすることができる。これにより、ジャイロ素子１００の外形はバランスのよいものとなり、ジャイロ素子１００の特性が安定して、検出感度が向上するので好ましい。このようなジャイロ素子１００の外形形状は、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチング（ウェットエッチング又はドライエッチング）により形成することができる。なお、ジャイロ素子１００は、１枚の水晶ウェハーから複数個取りすることが可能である。
【００４７】
（ジャイロ素子の動作原理）
次に、ジャイロ素子１００の動作原理について、図４を参照して説明する。
図４は、本発明の第１実施形態に係るジャイロ素子の動作原理を説明する概略図であり、図４（ａ）は駆動状態を示す概略平面図であり、図４（ｂ）はＹ軸回りに回転する角速度ωが印加された検出状態を示す概略平面図である。説明の便宜上、基部１０周辺のみを図示している。なお、図４（ｂ）において、○で囲んだ黒点の記号は、＋Ｚ軸方向への変位を示し、○で囲んだ×の記号は、−Ｚ軸方向への変位を示している。
【００４８】
駆動モードにおいて、駆動用電極に所定の交流電圧を印加すると、図４（ａ）に示すように、駆動用振動腕１４ａ，１４ｂは、ＸＹ面内方向で逆向きに即ち互いに接近離反する向きに屈曲振動（面内モード振動）する。また、調整用振動腕１６ａ，１６ｂは、駆動用振動腕１４ａ，１４ｂの屈曲振動（面内モード振動）に基部１０を介して共振し、駆動用振動腕１４ａ，１４ｂと同様に、ＸＹ面内方向で逆向きに即ち互いに接近離反する向きに屈曲振動（面内モード振動）する。
【００４９】
この状態でジャイロ素子１００が各振動腕の延出方向であるＹ軸回りに回転する角速度ωを印加すると、その角速度ωに応じて発生するコリオリ力の作用により、図４（ｂ）に示すように、駆動用振動腕１４ａ，１４ｂは主面に垂直な面外方向即ちＺ軸方向に互いに逆向きに屈曲振動（面外モード振動）する。このＺ軸方向の振動に共振して、検出用振動腕１２ａ，１２ｂが検出モードで、同じくＺ軸方向に互いに逆向きに屈曲振動（面外モード振動）する。このとき、検出用振動腕１２ａ，１２ｂの振動方向は、駆動用振動腕１４ａ，１４ｂの振動方向とは逆相になる。
【００５０】
つまり、駆動用振動腕１４ａが＋Ｚ軸方向に振動すると、駆動用振動腕１４ｂは−Ｚ軸方向に振動する面外モード振動の屈曲振動となる。この駆動用振動腕１４ａ，１４ｂの面外モードの屈曲振動が基部１０を介して検出用振動腕１２ａ，１２ｂに伝わることで、検出用振動腕１２ａ，１２ｂを共振させ、検出用振動腕１２ａが−Ｚ軸方向に振動すると、検出用振動腕１２ｂは＋Ｚ軸方向に振動する面外モードの屈曲振動となる。
【００５１】
この検出モードにおいて、検出用振動腕１２ａ，１２ｂの検出用電極（図示せず）間に発生する電荷量を取り出すことによって、ジャイロ素子１００に加えられた角速度ωが求められる。
【００５２】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態に係る振動片としてのジャイロ素子１００ａについて、図５を参照して説明する。
図５は、本発明の第２実施形態に係る振動片の一例としてのジャイロ素子の構造を示す概略平面図である。
以下、第２実施形態に係るジャイロ素子１００ａについて、前述した第１実施形態のジャイロ素子１００との相違点を中心に説明する。また、同様の構成には、同一符号を付してあり、同様の事項については、その説明を省略する。
【００５３】
第２実施形態に係るジャイロ素子１００ａは、検出用振動腕１２１ａ，１２１ｂの形状が異なっており、一対の検出用振動腕１２１ａ，１２１ｂのそれぞれに３個の貫通穴が設けられている。検出用振動腕１２１ａには、検出用振動腕１２１ａの延出方向（＋Ｙ軸方向）に沿って第１貫通穴２６１ａ１、第３貫通穴２６１ａ３、および第２貫通穴２６１ａ２が配列し連結部３４１ａ１，３４１ａ２を挟んで形成されている。また、検出用振動腕１２１ｂにも、検出用振動腕１２１ａと同様に、検出用振動腕１２１ｂの延出方向（＋Ｙ軸方向）に沿って第１貫通穴２６１ｂ１、第３貫通穴２６１ｂ３、および第２貫通穴２６１ｂ２が配列し連結部３４１ｂ１，３４１ｂ２を挟んで形成されている。
【００５４】
第１貫通穴２６１ａ１，２６１ｂ１の形状は、第１実施形態のものと同等であり、直角部を端部１０ａ側とする直角三角形状である。第２貫通穴２６１ａ２，２６１ｂ２の形状は、第１実施形態のものと同等で、直角三角形状であり、直角部が＋Ｙ軸方向の先端側で、第１貫通穴２６１ａ１，２６１ｂ１の直角部の配置されている側に配置されている。第３貫通穴２６１ａ３の形状は、第１貫通穴２６１ａ１および第２貫通穴２６１ａ２を形成する連結部３４１ａ１，３４１ａ２を二等辺部とし、両底角を調整用振動腕１６ａ側とする二等辺三角形状である。また、第３貫通穴２６１ｂ３の形状は、第１貫通穴２６１ｂ１および第２貫通穴２６１ｂ２を形成する連結部３４１ｂ１，３４１ｂ２を二等辺部とし、両底角を調整用振動腕１６ｂ側とする二等辺三角形状である。
【００５５】
また、検出用振動腕１２１ａは、検出用振動腕１２１ａの側壁３０１ａ２と第１貫通穴２６１ａ１および第２貫通穴２６１ａ２とによる壁厚（Ｘ軸方向の長さ）ｔと、検出用振動腕１２１ａの側壁３０１ａ１と第３貫通穴２６１ａ３とによる壁厚（Ｘ軸方向の長さ）ｔと、が略一定となるように形成されている。また、検出用振動腕１２１ｂは、検出用振動腕１２１ｂの側壁３０１ｂ１と第１貫通穴２６１ｂ１および第２貫通穴２６１ｂ２とによる壁厚（Ｘ軸方向の長さ）ｔと、検出用振動腕１２１ｂの側壁３０１ｂ２と第３貫通穴２６１ｂ３とによる壁厚（Ｘ軸方向の長さ）ｔと、が略一定となるように形成されている。
【００５６】
このような構成とすることで、第１実施形態における効果に加え、貫通穴を設けることで強度が低下する振動腕に連結部３４１ａ１，３４１ａ２，３４１ｂ１，３４１ｂ２が形成されているため、腕幅方向（Ｘ軸方向）の曲げに対する剛性がより高まり、検出用振動腕１２１ａ，１２１ｂの腕幅方向（Ｘ軸方向）に対する耐衝撃性をより向上させることができる。従って、感度が高く、耐衝撃性に優れた検出用振動腕１２１ａ，１２１ｂを備えたジャイロ素子１００ａを得ることができる。
【００５７】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態に係る振動片としてのジャイロ素子１００ｂについて、図６を参照して説明する。
図６は、本発明の第３実施形態に係る振動片の一例としてのジャイロ素子の構造を示す概略平面図である。
以下、第３実施形態に係るジャイロ素子１００ｂについて、前述した第１実施形態のジャイロ素子１００との相違点を中心に説明する。また、同様の構成には、同一符号を付してあり、同様の事項については、その説明を省略する。
【００５８】
第３実施形態に係るジャイロ素子１００ｂは、検出用振動腕１２２ａ，１２２ｂの形状が異なっており、一対の検出用振動腕１２２ａ，１２２ｂのそれぞれに４個の貫通穴が設けられている。検出用振動腕１２２ａには、検出用振動腕１２２ａの延出方向（＋Ｙ軸方向）に沿って第１貫通穴２６２ａ１、第２貫通穴２６２ａ２、第３貫通穴２６２ａ３、および第４貫通穴２６２ａ４が配列し連結部３４２ａ１，３４２ａ２を挟んで形成されている。また、検出用振動腕１２２ｂにも、検出用振動腕１２２ａと同様に、検出用振動腕１２２ｂの延出方向（＋Ｙ軸方向）に沿って第１貫通穴２６２ｂ１、第２貫通穴２６２ｂ２、第３貫通穴２６２ｂ３、および第４貫通穴２６２ｂ４が配列し連結部３４２ｂ１，３４２ｂ２を挟んで形成されている。
【００５９】
第１貫通穴２６２ａ１の形状は、第１貫通穴２６２ａ１、第２貫通穴２６２ａ２、第３貫通穴２６２ａ３、および第４貫通穴２６２ａ４を形成する連結部３４２ａ１，３４２ａ２を二等辺部とし、両底角を一方の端部１０ａ側とする二等辺三角形状である。第２貫通穴２６２ａ２の形状は、連結部３４２ａ１，３４２ａ２を二等辺部とし、両底角を＋Ｙ軸方向の先端側とする二等辺三角形状である。第３貫通穴２６２ａ３の形状は、連結部３４２ａ１，３４２ａ２を二等辺部とし、両底角を調整用振動腕１６ａ側とする二等辺三角形状である。第４貫通穴２６２ａ４の形状は、連結部３４２ａ１，３４２ａ２を二等辺部とし、両底角を検出用振動腕１２２ｂ側とする二等辺三角形状である。
【００６０】
第１貫通穴２６２ｂ１の形状は、第１貫通穴２６２ｂ１、第２貫通穴２６２ｂ２、第３貫通穴２６２ｂ３、および第４貫通穴２６２ｂ４を形成する連結部３４２ｂ１，３４２ｂ２を二等辺部とし、両底角を一方の端部１０ａ側とする二等辺三角形状である。第２貫通穴２６２ｂ２の形状は、連結部３４２ｂ１，３４２ｂ２を二等辺部とし、両底角を＋Ｙ軸方向の先端側とする二等辺三角形状である。第３貫通穴２６２ｂ３の形状は、連結部３４２ｂ１，３４２ｂ２を二等辺部とし、両底角を調整用振動腕１６ｂ側とする二等辺三角形状である。第４貫通穴２６２ｂ４の形状は、連結部３４２ｂ１，３４２ｂ２を二等辺部とし、両底角を検出用振動腕１２２ａ側とする二等辺三角形状である。
【００６１】
また、検出用振動腕１２２ａは、検出用振動腕１２２ａの側壁３０２ａ１と第３貫通穴２６２ａ３とによる壁厚（Ｘ軸方向の長さ）ｔと、検出用振動腕１２２ａの側壁３０２ａ２と第４貫通穴２６２ａ４とによる壁厚（Ｘ軸方向の長さ）ｔと、が略一定となるように形成されている。また、検出用振動腕１２２ｂは、検出用振動腕１２２ｂの側壁３０２ｂ２と第３貫通穴２６２ｂ３とによる壁厚（Ｘ軸方向の長さ）ｔと、検出用振動腕１２２ｂの側壁３０２ｂ１と第４貫通穴２６２ｂ４とによる壁厚（Ｘ軸方向の長さ）ｔと、が略一定となるように形成されている。
【００６２】
このような構成とすることで、第１実施形態における効果に加え、連結部３４２ａ１，３４２ａ２，３４２ｂ１，３４２ｂ２の一端が一方の端部１０ａに接するように形成されているため、腕幅方向（Ｘ軸方向）の曲げに対する剛性がより高まり、検出用振動腕１２２ａ，１２２ｂの腕幅方向（Ｘ軸方向）に対する耐衝撃性をより向上させることができる。従って、インピーダンスが小さく高い感度を有し、耐衝撃性に優れた検出用振動腕１２２ａ，１２２ｂを備えたジャイロ素子１００ｂを得ることができる。
【００６３】
＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態に係る振動片としてのジャイロ素子１００ｃについて、図７を参照して説明する。
図７は、本発明の第４実施形態に係る振動片の一例としてのジャイロ素子の構造を示す概略平面図である。
以下、第４実施形態に係るジャイロ素子１００ｃについて、前述した第１実施形態のジャイロ素子１００との相違点を中心に説明する。また、同様の構成には、同一符号を付してあり、同様の事項については、その説明を省略する。
【００６４】
第４実施形態に係るジャイロ素子１００ｃは、検出用振動腕１２３ａ，１２３ｂの形状が異なっており、一対の検出用振動腕１２３ａ，１２３ｂのそれぞれに３個の貫通穴が設けられている。検出用振動腕１２３ａには、検出用振動腕１２３ａの延出方向（＋Ｙ軸方向）に沿って第１貫通穴２６３ａ１、第２貫通穴２６３ａ２、および第５貫通穴２６３ａ３が配列し連結部３４３ａ１，３４３ａ２を挟んで形成されている。また、検出用振動腕１２３ｂにも、検出用振動腕１２３ａと同様に、検出用振動腕１２３ｂの延出方向（＋Ｙ軸方向）に沿って第１貫通穴２６３ｂ１、第２貫通穴２６３ｂ２、および第５貫通穴２６３ｂ３が配列し連結部３４３ｂ１，３４３ｂ２を挟んで形成されている。なお、第５貫通穴２６３ａ３，２６３ｂ３は、連結部３４３ａ２，３４３ｂ２と錘部４２ａ，４２ｂの間に形成されている。
【００６５】
第１貫通穴２６１ａ１，２６１ｂ１の形状は、第１実施形態のものと同等であり、直角部を端部１０ａ側とする直角三角形状である。第２貫通穴２６１ａ２，２６１ｂ２の形状は、第１実施形態のものと同等であり、直角部を＋Ｙ軸方向の先端側とする直角三角形状である。第５貫通穴２６３ａ３，２６３ｂ３の形状は、平面視で、検出用振動腕１２３ａ，１２３ｂの延出方向（＋Ｙ軸方向）を長辺とする矩形状である。
【００６６】
また、検出用振動腕１２３ａは、検出用振動腕１２３ａの側壁３０３ａ２と第１貫通穴２６３ａ１および第５貫通穴２６３ａ３とによる壁厚（Ｘ軸方向の長さ）ｔと、検出用振動腕１２３ａの側壁３０３ａ１と第２貫通穴２６３ａ２および第５貫通穴２６３ａ３とによる壁厚（Ｘ軸方向の長さ）ｔと、が略一定となるように形成されている。また、検出用振動腕１２３ｂは、検出用振動腕１２３ｂの側壁３０３ｂ１と第１貫通穴２６３ｂ１および第５貫通穴２６３ｂ３とによる壁厚（Ｘ軸方向の長さ）ｔと、検出用振動腕１２３ｂの側壁３０３ｂ２と第２貫通穴２６３ｂ２および第５貫通穴２６３ｂ３とによる壁厚（Ｘ軸方向の長さ）ｔと、が略一定となるように形成されている。
【００６７】
このような構成とすることで、第１実施形態における効果に加え、連結部３４３ａ２，３４３ｂ２が形成されているため、腕幅方向（Ｘ軸方向）の曲げに対する剛性がより高まり、検出用振動腕１２３ａ，１２３ｂの腕幅方向（Ｘ軸方向）に対する耐衝撃性をより向上させることができる。従って、インピーダンスが小さく高い感度を有し、耐衝撃性に優れた検出用振動腕１２３ａ，１２３ｂを備えたジャイロ素子１００ｃを得ることができる。
【００６８】
なお、本実施形態では、第１貫通穴２６３ａ１，２６３ｂ１および第２貫通穴２６３ａ２，２６３ｂ２の形状を直角三角形としているが、これに限定することはなく、略直角を有する三角形状や検出用振動腕１２３ａ，１２３ｂの延出方向（＋Ｙ軸方向）に沿って、２つの直角部を有する台形状でも構わない。
【００６９】
以上、本発明の実施形態に係る振動片の一例としてジャイロ素子１００，１００ａ，１００ｂ，１００ｃは、圧電材料である水晶を基材として説明したが、シリコン基板やガラス基板上に機械的に可動な構造体を半導体微細加工技術で形成したＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）素子であっても構わない。ＭＥＭＳ素子の場合は、半導体回路を組み込んで製造することが容易であり、微細化、高機能化に対し有利である。
【００７０】
［ジャイロセンサー］
次に、前述の第１実施形態に係る振動片の一例としてのジャイロ素子１００を備えるジャイロセンサー２００について説明する。
図８は、本発明の実施形態に係る振動片の一例としてのジャイロ素子を備えるジャイロセンサーの構造を示す概略図であり、図８（ａ）は概略平面図であり、図８（ｂ）は、図８（ａ）中のＡ−Ａ線の概略断面図である。なお、図８（ａ）において、ジャイロセンサー２００の内部の構成を説明する便宜上、リッド２４０を取り外した状態を図示している。また、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を図示している。更に、説明の便宜上、Ｚ軸方向から見たときの平面視において、＋Ｚ軸方向の面を上面、−Ｚ軸方向の面を下面として説明する。
【００７１】
ジャイロセンサー２００は、図８に示すように、パッケージ２１０のキャビティー２１８に、ジャイロ素子１００と、ジャイロ素子１００を駆動する回路および電荷を検出する回路を含む電子部品２５０と、を収容し、パッケージ２１０の開口部をリッド２４０により密閉し、内部を気密に保持されている。パッケージ２１０は、図８（ｂ）に示すように、平板状の第１基板２１２と、第１基板２１２上に、枠状の第２基板２１４、第３基板２１６、を順に積層、固着して形成され、電子部品２５０とジャイロ素子１００とが収容されるキャビティー２１８が形成される。基板２１２，２１４，２１６は、例えばセラミックスなどにより形成される。
【００７２】
第１基板２１２のキャビティー２１８側には、電子部品２５０が載置され固定されるダイパッド（図示せず）が設けられている。電子部品２５０はダイパッド上に、例えば、ろう材（ダイアタッチ材）などの接合部材２６０によって接着され、固定されている。
【００７３】
電子部品２５０は、ジャイロ素子１００を駆動振動させるための励振手段としての駆動回路と、角速度が加わったときにジャイロ素子１００に生じる検出振動を検出する検出手段としての検出回路と、を有する。具体的には、電子部品２５０が有する駆動回路は、ジャイロ素子１００の一対の駆動用振動腕１４ａ，１４ｂ（図１参照）にそれぞれ形成された駆動用電極（図示せず）に駆動信号を供給する。また、電子部品２５０が有する検出回路は、ジャイロ素子１００の一対の検出用振動腕１２ａ，１２ｂ（図１参照）にそれぞれ形成された検出用電極（図示せず）に生じる検出信号を増幅させて増幅信号を生成し、該増幅信号に基づいてジャイロセンサー２００に加わった回転角速度を検出する。
【００７４】
第２基板２１４は、電子部品２５０が収容可能な大きさの開口を有する枠状の形状に形成されている。第３基板２１６は、第２基板２１４の開口より広い開口を有する枠状の形状に形成され、第２基板２１４上に積層され、固着されている。そして、第２基板２１４に第３基板２１６が積層されて第３基板２１６の開口の内側に現れる第２基板２１４上には、ジャイロ素子１００が第１支持部２２ａと第２支持部２２ｂ（図１参照）とを位置合わせして載置され、接合部材２７０によって接着され、固定されている。そのため、各振動腕はパッケージ２１０やリッド２４０と接触することなく、振動することができるので、高いＱ値を有し安定な振動特性となるため、高い検出感度のジャイロセンサー２００を得ることができる。また、第３基板２１６の開口の内側に現れる第２基板２１４上には、複数の内部端子２２２が形成されている。
【００７５】
第１基板２１２上に固定されている電子部品２５０のキャビティー２１８側には、前述した駆動回路や検出回路が設けられており、各回路と接続し第２基板２１４上に形成されている内部端子２２２やジャイロ素子１００上に形成されている電極パッド（図示せず）と接続するための接続端子２５２，２５２ａ，２５２ｂが複数形成されている。接続端子２５２は、ボンディングワイヤー２８０を介して第２基板２１４上の内部端子２２２と電気的に接続されている。接続端子２５２ａは、検出用の端子であり、ボンディングワイヤー２８０を介してジャイロ素子１００上の検出信号を出力する電極パッド１８ａ，１８ｂと電気的に接続されている。接続端子２５２ｂは、グランド用の端子であり、ボンディングワイヤー２８０を介してジャイロ素子１００上の電極パッド１９ａ，１９ｂと電気的に接続されている。
【００７６】
第２基板２１４上に形成されている内部端子２２２のいずれかは、パッケージ２１０の内部配線（図示せず）により、第１基板２１２の外部底面に設けられた複数の外部接続端子２２０に電気的に接続されている。
【００７７】
更に、第３基板２１６の開口の上面にリッド２４０が配置され、パッケージ２１０の開口を封止し、パッケージ２１０の内部が気密封止され、ジャイロセンサー２００が得られる。リッド２４０は、例えば、４２アロイ（鉄にニッケルが４２％含有された合金）やコバール（鉄、ニッケルおよびコバルトの合金）等の金属、セラミックス、あるいはガラスなどを用いて形成することができる。例えば、金属によりリッド２４０を形成した場合には、コバール合金などを矩形環状に型抜きして形成されたシールリング等の接合部材２３０を介してシーム溶接することによりパッケージ２１０と接合される。パッケージ２１０およびリッド２４０によって形成されるキャビティー２１８（内部空間）は、ジャイロ素子１００が動作するための空間となるため、略真空又は減圧雰囲気に気密封止することが好ましい。
【００７８】
［電子機器］
次に、図９〜図１１を参照して、前述の第１実施形態に係るジャイロ素子１００を備えた電子機器について説明する。なお、以下の説明では、ジャイロ素子１００を用いた例について説明する。図９〜図１１は、本実施形態に係るジャイロ素子１００を備える電子機器の一例を示す斜視図である。
【００７９】
図９は、本実施形態に係る電子機器として、モバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューター１１００を模式的に示す斜視図である。図９に示すように、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１０００を有する表示ユニット１１０６と、により構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、ジャイロ素子１００が内蔵されている。
【００８０】
図１０は、本実施形態に係る電子機器として、携帯電話機（ＰＨＳも含む）１２００を模式的に示す斜視図である。図１０に示すように、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１０００が配置されている。このような携帯電話機１２００には、ジャイロ素子１００が内蔵されている。
【００８１】
図１１は、本実施形態に係る電子機器として、デジタルカメラ１３００を模式的に示す斜視図である。なお、図１１には、外部機器との接続についても簡易的に示している。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。デジタルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１０００が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１０００は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【００８２】
撮影者が表示部１０００に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。また、このデジタルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、ビデオ信号出力端子１３１２には、テレビモニター１３３０が、データ通信用の入出力端子１３１４には、パーソナルコンピューター１３４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１３３０や、パーソナルコンピューター１３４０に出力される構成になっている。このようなデジタルカメラ１３００には、ジャイロ素子１００が内蔵されている。
【００８３】
なお、上記ジャイロ素子１００を備えた電子機器は、図９に示すパーソナルコンピューター１１００（モバイル型パーソナルコンピューター）、図１０に示す携帯電話機１２００、図１１に示すデジタルカメラ１３００の他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ヘッドマウントディスプレイ、ビデオテープレコーダー、各種ナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、ロケット、船舶の計器類）、ロボットや人体などの姿勢制御、フライトシミュレーター等を挙げることができる。
【００８４】
［移動体］
次いで、前述の第１実施形態に係るジャイロ素子１００を備える移動体について、図１２を参照して説明する。
図１２は、本実施形態に係る移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。自動車１４００には、本実施形態に係るジャイロ素子１００を備えるジャイロセンサー２００が搭載されている。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車１４００の車体１４０１には、ジャイロセンサー２００を内蔵してタイヤ１４０３などを制御する電子制御ユニット１４０２が搭載されている。また、ジャイロセンサー２００は、他にもナビゲーション装置、姿勢制御装置等の姿勢検出センサーとして用いられている。更に、上記自動車１４００に限らず、自走式ロボット、自走式搬送機器、列車、船舶、飛行機、人工衛星等を含む移動体の姿勢検出センサー等として好適に用いることができる。
【００８５】
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的および効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成または同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【００８６】
１０…基部、１０ａ，１０ｂ…端部、１２ａ，１２ｂ…第１振動腕としての検出用振動腕、１４ａ，１４ｂ…第２振動腕としての駆動用振動腕、１６ａ，１６ｂ…調整用振動腕、１８ａ，１８ｂ，１９ａ，１９ｂ…電極パッド、２０ａ…第１連結部、２０ｂ…第２連結部、２２ａ…第１支持部、２２ｂ…第２支持部、２４…固定枠部、２６ａ１，２６ｂ１…第１貫通穴、２６ａ２，２６ｂ２…第２貫通穴、２８ａ１，２８ａ２，２８ｂ１，２８ｂ２…貫通穴、３０ａ１，３０ａ２，３０ｂ１，３０ｂ２，３２ａ１，３２ａ２，３２ｂ１，３２ｂ２…側壁、３４ａ，３４ｂ，３６ａ，３６ｂ…連結部、４２ａ，４２ｂ，４４ａ，４４ｂ，４６ａ，４６ｂ…錘部、１００…振動片としてのジャイロ素子、２００…ジャイロセンサー、２１０…パッケージ、２１２…第１基板、２１４…第２基板、２１６…第３基板、２１８…キャビティー、２２０…外部接続端子、２２２…内部端子、２３０…接合部材、２４０…リッド、２５０…電子部品、２５２，２５２ａ，２５２ｂ…接続端子、２６０，２７０…接合部材、２８０…ボンディングワイヤー、１０００…表示部、１１００…電子機器としてのパーソナルコンピューター、１２００…電子機器としての携帯電話機、１３００…電子機器としてのデジタルカメラ、１４００…移動体としての自動車。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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