(57)【要約】【課題】  位置決め対象部材の形状がばらついている場合であっても、保持している素子を位置決め対象部材に対して高精度に位置決めできる素子保持構造体を提供する。【解決手段】  本発明の素子保持構造体１００は、素子が固定される素子固定面１１１を備える素子配置部１１０、第１の当接面１２１が位置決め対象部材の側面に当接される第１当接部１２０、第２の当接面１３１が位置決め対象部材の側面に当接される第２当接部１３０、位置決め対象部材の上面に載置される第１の底面１４１を備える第１載置部１４０、および、位置決め対象部材の上面に載置される第２の底面１５１を備える第２載置部１５０を備え、素子固定面１１１上の第１の底面１４１と第２の底面１５１とを結ぶ直線上に素子が固定される。【選択図】      図１
2016170371.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
素子が固定される素子固定面を備える素子配置部と、
前記素子固定面の一端側に配置され、前記素子固定面と反対側の第１の当接面が位置決め対象部材の側面に当接される第１当接部と、
前記素子固定面の他端側に配置され、前記素子固定面と反対側の第２の当接面が前記位置決め対象部材の側面に当接される第２当接部と、
前記第１の当接面の上部に配置され、前記位置決め対象部材の上面に載置される第１の底面を備える第１載置部と、
前記第２の当接面の上部に配置され、前記位置決め対象部材の上面に載置される第２の底面を備える第２載置部と、
を備え、
前記素子固定面上の、前記第１の底面と前記第２の底面とを結ぶ直線上に、前記素子が固定されることを特徴とする素子保持構造体。
【請求項２】
光信号を出力する出力ポートを備える光導波路素子と、
前記出力された光信号の強度に応じた電流を出力するＰＤ素子と、
前記ＰＤ素子を保持し、前記光導波路素子の端部に載置されるＰＤキャリアと、
を備える受光モジュールであって、
前記ＰＤキャリアは、
前記ＰＤ素子が固定される素子固定面を備える素子配置部、
前記素子固定面の一端側に配置され、前記素子固定面と反対側の第１の当接面が前記光導波路素子の側面に当接される第１当接部と、
前記素子固定面の他端側に配置され、前記素子固定面と反対側の第２の当接面が前記光導波路素子の側面に当接される第２当接部と、
前記第１の当接面の上部に配置され、前記光導波路素子の上面に載置される第１の底面を備える第１載置部と、
前記第２の当接面の上部に配置され、前記光導波路素子の上面に載置される第２の底面を備える第２載置部と、
を備えることを特徴とする受光モジュール。
【請求項３】
前記ＰＤ素子は、前記素子固定面上の前記第１の底面および第２の底面を結ぶ線上に配置される、請求項２に記載の受光モジュール。
【請求項４】
前記第１当接部および前記第１当接部は、前記ＰＤキャリアが前記光導波路素子の端部に載置された時、前記ＰＤ素子と前記出力ポートとの間が所定の距離となる長さＬを有する、請求項２または３に記載の受光モジュール。
【請求項５】
前記第１当接部および前記第１当接部の高さＨは、前記光導波路素子の高さよりも小さい、請求項２乃至４のいずれか１項に記載の受光モジュール。
【請求項６】
前記第１載置部および前記第２載置部の幅ｗおよび長さｄは、前記ＰＤキャリアを安定的に前記光導波路素子に載置できる大きさに設定される、請求項２乃至５のいずれか１項に記載の受光モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、素子保持構造体および受光モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年のデータトラフィックの増加により、光通信の普及が急速に進んでおり、光回路の小型化、低コスト化が望まれている。多機能な光回路を小型集積するには、シリコン等の高屈折率材料を用いて光導波路を形成する必要がある。それに伴い、光導波路のスポットサイズが小さくなるため、光回路の光入出力ポートと結合する光素子に対して、高い実装精度が要求される。
【０００３】
上記のような光回路の光入出力ポートと結合する光素子の一つに、光導波路の出力ポートからの出力光を受光するフォトダイオード（ＰＤ：Photodiode）がある。フォトダイオード（ＰＤ：Photodiode）は、受光モジュールのキャリアに実装される。シリコン等の高屈折率材料で光導波路が形成された光回路の場合、光回路の出力ポートからの出射光の放射角が広くなるため、受光モジュールにおいて高受光感度を実現するには、光回路の出力ポートと受光モジュールのＰＤとの距離を狭くし、且つ、出力ポートに対する光軸垂直方向のＰＤの位置ずれを抑制する必要がある。
【０００４】
光回路の出力ポートに対して受光モジュールのＰＤを高精度に実装する技術は、例えば、特許文献１に開示されている。特許文献１の光送受信モジュールは、Ｖ溝付きシリコン基板に一対の縦溝を形成すると共に、ＰＤが実装されたチップキャリアに上記の縦溝と嵌合する一対の突起を配置する。そして、上記縦溝と突起をそれぞれ嵌合させることで、シリコン基板の出力ポートとチップキャリア上のＰＤとを高精度に位置合わせする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−１２１８７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、シリコン基板に形成された縦溝とチップキャリアに配置された突起を嵌合させる場合、シリコン基板の製造ばらつき等によってシリコン基板の厚さがばらついた場合、出力ポートとＰＤとの高さが一致しなくなる。
【０００７】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、位置決め対象の部材の形状がばらついている場合であっても、保持している素子を位置決め対象の部材に対して高精度に位置決めできる、素子保持構造体および受光モジュールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために本発明に係る素子保持構造体は、素子が固定される素子固定面を備える素子配置部と、前記素子固定面の一端側に配置され、前記素子固定面と反対側の第１の当接面が位置決め対象部材の側面に当接される第１当接部と、前記素子固定面の他端側に配置され、前記素子固定面と反対側の第２の当接面が前記位置決め対象部材の側面に当接される第２当接部と、前記第１の当接面の上部に配置され、前記位置決め対象部材の上面に載置される第１の底面を備える第１載置部と、前記第２の当接面の上部に配置され、前記位置決め対象部材の上面に載置される第２の底面を備える第２載置部と、を備え、前記素子固定面上の、前記第１の底面と前記第２の底面とを結ぶ直線上に、前記素子が固定されることを特徴とする。
【０００９】
上記目的を達成するために本発明に係る受光モジュールは、光信号を出力する出力ポートを備える光導波路素子と、前記出力された光信号の強度に応じた電流を出力するＰＤ素子と、前記ＰＤ素子を保持し、前記光導波路素子の端部に載置されるＰＤキャリアと、を備える受光モジュールであって、前記ＰＤキャリアは、前記ＰＤ素子が固定される素子固定面を備える素子配置部、前記素子固定面の一端側に配置され、前記素子固定面と反対側の第１の当接面が前記光導波路素子の側面に当接される第１当接部と、前記素子固定面の他端側に配置され、前記素子固定面と反対側の第２の当接面が前記光導波路素子の側面に当接される第２当接部と、前記第１の当接面の上部に配置され、前記光導波路素子の上面に載置される第１の底面を備える第１載置部と、前記第２の当接面の上部に配置され、前記光導波路素子の上面に載置される第２の底面を備える第２載置部と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
上述した本発明の態様によれば、位置決め対象の部材の形状がばらついている場合であっても、保持している素子を位置決め対象の部材に対して高精度に位置決めできる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１の実施形態に係る素子保持構造体１００の斜視図である。
【図２】第１の実施形態に係る素子保持構造体１００およびＰＤ素子２００の、（ａ）正面図、（ｂ）側面図である。
【図３】第２の実施形態に係る受光モジュール５００の、（ａ）部分上面図、（ｂ）部分側面図、（ｃ）部分断面図である。
【図４】第２の実施形態に係る受光モジュール５００の製造手順を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
＜第１の実施形態＞
本発明の第１の実施形態について説明する。本実施形態に係る素子保持構造体の斜視図を図１に示す。また、素子保持構造体１００にＰＤ（Photodiode）素子２００を配置した時の正面図を図２（ａ）に、側面図を図２（ｂ）に示す。
【００１３】
素子保持構造体１００は、ＰＤ素子２００の図示しないＰＤ電極を引き回すための配線を形成可能であるセラミックやガラス等の材料で形成される。図１、図２において、素子保持構造体１００は、素子配置部１１０、第１当接部１２０、第２当接部１３０、第１載置部１４０および第２載置部１５０から成る。以下、素子配置部１１０の幅方向をＸ方向、素子配置部１１０の厚さ方向をＹ方向、素子配置部１１０の高さ方向をＺ方向とする。
【００１４】
素子配置部１１０は、ＰＤ素子２００が搭載される素子固定面１１１を有する。図２（ａ）に示すように、素子固定面１１１のＸ方向の略中心にＰＤ素子２００が配置される。また、素子固定面１１１上の、後述する第１載置部１４０の底面１４１と第２載置部１５０の底面１５１とを結ぶ線上に、ＰＤ素子２００の中心が配置される。第１載置部１４０の底面１４１と第２載置部１５０の底面１５１とを結ぶ線を図２（ａ）に点線で示す。
【００１５】
第１当接部１２０は、素子配置部１１０の素子固定面１１１の一端側に配置された直方体型の部材である。そして、素子固定面１１１と反対側の当接面１２１が、位置決め対象の光導波路素子の側面に当接される。一方、第２当接部１３０は、素子配置部１１０の素子固定面１１１の他端側に配置された直方体型の部材である。そして、素子固定面１１１と反対側の当接面１３１が、位置決め対象の光導波路素子の側面に当接される。
【００１６】
ここで、図１に示した第１当接部１２０および第２当接部１３０のＹ方向の長さＬは、素子保持構造体１００を光導波路素子の端部に載置した時に、ＰＤ素子２００と光導波路素子の出力ポートとのＹ方向の距離が所望の距離となるように設計される。第１当接部１２０および第２当接部１３０の長さＬを適切に設定することにより、素子保持構造体１００を光導波路素子に載置した時に、ＰＤ素子２００が光導波路素子に当ることなくＰＤ素子２００と光導波路素子の出力ポートとの間の距離が所望の距離となる。
【００１７】
第１載置部１４０は、第１当接部１２０の当接面１２１の上方に配置された直方体型の部材である。第１載置部１４０の底面１４１が光導波路素子の上面に当接される。一方、第２載置部１５０は、第２当接部１３０の当接面１３１の上方に配置された直方体型の部材である。第２載置部１５０の底面１５１が光導波路素子の上面に当接される。
【００１８】
ここで、第１載置部１４０および第２載置部１５０のＺ方向の高さｈは、素子配置部１１０の素子固定面１１１にＰＤ素子２００を搭載できる値に設計される。そして、第１載置部１４０の底面１４１と第２載置部１５０の底面１５１とを結ぶ線上に、ＰＤ素子２００が配置される。これにより、素子保持構造体１００を光導波路素子に載置した時に、ＰＤ素子２００の高さと光導波路素子の出力ポートの高さが一致する。
【００１９】
なお、第１載置部１４０および第２載置部１５０のＸ方向の幅ｗおよびＹ方向の長さｄは特に限定されないが、素子保持構造体１００が安定的に光導波路素子に載置される大きさにそれぞれ設計される。
【００２０】
ＰＤ素子２００には、図示しない光導波路素子の出力ポートから出射された光信号が入力する。ＰＤ素子２００は、入力された光信号の強度に応じた電流を出力する。ＰＤ素子２００は、素子保持構造体１００が光導波路素子の端部に載置されることで、光導波路素子の出力ポートに対するＺ方向の位置とＹ方向の位置とが位置決めされる。
【００２１】
上記のように、本実施形態に係る素子保持構造体１００において、第１当接部１２０および第２当接部１３０のＹ方向の長さＬは、第１当接部１２０の当接面１２１および第２当接部１３０の当接面１３１を光導波路素子の側面と接触させた時に、ＰＤ素子２００と光導波路素子の出力ポートとのＹ方向の距離が所望の距離となる値に設計されている。これにより、素子保持構造体１００を光導波路素子の端部に載置した時、ＰＤ素子２００と光導波路素子の出力ポートとのＹ方向の位置が高精度に位置決めされる。
【００２２】
また、本実施形態に係る素子保持構造体１００において、素子固定面１１１上の、光導波路素子の上面に載置される第１載置部１４０の底面１４１と光導波路素子の上面に載置される第２載置部１５０の底面１５１とを結ぶ線上に、ＰＤ素子２００が配置される。これにより、素子保持構造体１００を光導波路素子の端部に載置した時、ＰＤ素子２００のＺ方向の位置と光導波路素子の出力ポートのＺ方向の位置とが一致する。
【００２３】
ここで、ＰＤ素子２００の高さは、光導波路素子の出力ポートの高さと一致させる必要があるが、光導波路素子の底面から出力ポートまでの高さは、光導波路素子の厚さの製造ばらつきに大きく影響される。従って、光導波路素子が載置されている面を基準にＰＤ素子２００の高さを決めると、ＰＤ素子２００の高さと光導波路素子の出力ポートの高さとが一致しない場合が生じる。これに対して、光導波路素子の上面を基準にすることにより、ＰＤ素子２００の高さと光導波路素子の出力ポートの高さを高精度に一致させることができる。
【００２４】
ユーザは、光導波路素子の上面を基準にＰＤ素子２００のＸ方向を位置決めするだけで、光導波路素子の厚さ等がばらついている場合であっても、ＰＤ素子２００と光導波路素子の出力ポートとを、所望の間隔で対向配置させることができる。
【００２５】
なお、本実施形態では、素子保持構造体１００の素子固定面１１１に光導波路素子の出力ポートから出射された光信号の強度に応じた電流を出力するＰＤ素子２００を配置し、ＰＤ素子２００が配置された素子保持構造体１００を光導波路素子の端部に載置したが、これに限定されない。素子保持構造体１００には、位置決め対象部材に対して位置決めが必要な各種素子を搭載することができる。また、本実施形態では、素子保持構造体１００に一つのＰＤ素子２００を配置したが、これに限定されない。素子保持構造体１００に二以上の各種素子を搭載することもできる。
【００２６】
＜第２の実施形態＞
第２の実施形態について説明する。本実施形態に係る受光モジュールの部分上面図を図３（ａ）に、部分側面図を図３（ｂ）に示す。さらに、図３（ａ）の受光モジュール５００を光導波路３１０を通る直線で切断した時の部分断面図を図３（ｃ）に示す。図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）において、受光モジュール５００は、ＰＤキャリア１００’、ＰＤ素子２００、光導波路素子３００およびパッケージ４００を含む。
【００２７】
ＰＤキャリア１００’は、第１の実施形態で説明した図１、図２の素子保持構造体１００をそのまま適用することができる。すなわち、ＰＤキャリア１００’は、素子配置部１１０’、第１当接部１２０’、第２当接部１３０’、第１載置部１４０’および第２載置部１５０’から成り、素子配置部１１０’の素子固定面１１１’にＰＤ素子２００が搭載される。
【００２８】
第１当接部１２０’および第２当接部１３０’の長さＬは、ＰＤキャリア１００’を光導波路素子３００の端部に載置した時に、ＰＤ素子２００と光導波路素子３００の出力ポートとの距離が所望の距離となるように設計される。一方、第１載置部１４０’および第２載置部１５０’の高さｈは、ＰＤ素子２００を素子固定面１１１’上に搭載できるように設計される。さらに、第１載置部１４０’および第２載置部１５０’の幅ｗおよび長さｄは、ＰＤキャリア１００’が安定的に光導波路素子３００に載置される値に設計される。
【００２９】
そして、第１当接部１２０’の当接面１２１’および第２当接部１３０’の当接面１３１’を光導波路素子３００の側面に突き当て、第１載置部１４０’の底面１４１’および第２載置部１５０’の底面１５１’を光導波路素子３００の上面に突き当てて、ＰＤキャリア１００’を光導波路素子３００の端部に載置させることにより、ＰＤ素子２００のＹ方向とＺ方向が、光導波路素子３００の出力ポートに対して位置決めされる。ここで、本実施形態に係るＰＤキャリア１００’は、光導波路素子３００の高さよりも小さい高さＨを有する。
【００３０】
ＰＤ素子２００は、第１の実施形態で説明した図２のＰＤ素子２００と同様である。すなわち、ＰＤ素子２００は、素子固定面１１１’上の、第１載置部１４０’の底面１４１’と第２載置部１５０’の底面１５１’とを通る線上のＸ方向略中央位置に固定される。ＰＤ素子２００は、ＰＤキャリア１００’が光導波路素子３００の端部に載置された状態で、光導波路素子３００の出力ポートから出射された光信号を受光し、受光した光信号を電気信号に変換して出力する。
【００３１】
光導波路素子３００は、光導波路３１０および基板３２０を備える。例えば、基板３２０はシリコンで形成され、その上面にＳｉＯ2膜、単結晶シリコン薄膜を積層した後、単結晶シリコン薄膜をパターンエッチングすることによって、光導波路３１０が形成される。図示しない光ファイバ等から光導波路素子３００の入力ポートに入力された光信号は、光導波路３１０内を通過して光導波路素子３００の出力ポートからＰＤ素子２００に向かって出射される。
【００３２】
パッケージ４００内に、ＰＤキャリア１００’、ＰＤ素子２００および光導波路素子３００が配置される。具体的には、パッケージ４００の搭載面に、光導波路素子３００の底面が配置される。なお、ＰＤキャリア１００’の高さＨが光導波路素子３００の高さよりも小さいことから、図３（ｂ）、（ｃ）に示すように、ＰＤキャリア１００’の底面とパッケージ４００の搭載面とは接触しない。
【００３３】
次に、図３および図４を参照して、受光モジュール５００の製造方法について説明する。図４は、受光モジュール５００の製造手順を示すフローチャートである。
【００３４】
図４において、先ず、シリコンで形成された基板３２０の上面にＳｉＯ2膜、単結晶シリコン薄膜を積層した後、単結晶シリコン薄膜をパターンエッチングし、光導波路３１０を形成することで、光導波路素子３００を形成する（Ｓ１０１）。そして、光導波路素子３００の基板３２０の底面をパッケージ４００の搭載面に固定する（Ｓ１０２）。
【００３５】
一方、セラミックやガラス等によって形成された直方体型の部材から一端側の中央領域を切除して素子固定面１１１’を形成する。さらに、切除した側の両端部下方の所定範囲をさらに切除することで、当接面１２１’および当接面１３１’を備えた所定の長さＬの第１当接部１２０’および第２当接部１３０’を形成すると共に、所定の長さｄ、高さｈ、および、幅ｗの第１載置部１４０’および第２載置部１５０’を形成する。これにより、ＰＤキャリア１００’が形成される（Ｓ１０３）。
【００３６】
そして、ＰＤキャリア１００’の素子固定面１１１’上の、第１載置部１４０’の底面１４１’と第２載置部１５０’の底面１５１’とを通る線上のＸ方向略中央位置に、ＰＤ素子２００を固定する（Ｓ１０４）。
【００３７】
その後、ＰＤ素子２００が固定されたＰＤキャリア１００’を、光導波路素子３００の端部に載置する（Ｓ０１５）。すなわち、ＰＤキャリア１００’の第１当接部１２０’の当接面１２１’および第２当接部１３０’の当接面１３１’を光導波路素子３００の側面に突き当て、第１載置部１４０’の底面１４１’および第２載置部１５０’の底面１５１’を光導波路素子３００の上面に突き当てて、ＰＤキャリア１００’を光導波路素子３００に載置させる。これにより、ＰＤ素子２００のＹ方向とＺ方向が、光導波路素子３００の出力ポートに対して位置決めされる。
【００３８】
なお、ＰＤキャリア１００’の高さＨが光導波路素子３００の高さよりも小さいことから、図３（ｂ）、（ｃ）に示すように、ＰＤキャリア１００’を光導波路素子３００に載置した時、ＰＤキャリア１００’の下面はパッケージ４００の搭載面と接触しない。すなわち、ＰＤキャリア１００’は第１載置部１４０’および第２載置部１５０’によって光導波路素子３００上に支持される。
【００３９】
次に、ユーザは、光導波路素子３００の出力ポートの位置を上方から目視で確認しながら、ＰＤキャリア１００’を光導波路素子３００の端部に載置させたままでＸ方向に移動させ（Ｓ１０６）、光導波路素子３００の出力ポートとＰＤ素子２００の受光面中心のＸ方向の位置を一致させる。これにより、ＰＤ素子２００の光導波路素子３００の出力ポートに対するＸ方向の位置も決まり、ＰＤ素子２００が光導波路素子３００の出力ポートに対して位置決めされる。
【００４０】
ＰＤ素子２００と光導波路素子３００の出力ポートとが所望の間隔で対向配置された位置に、ＰＤキャリア１００’を固定することで、受光モジュール５００が形成される（Ｓ１０７）。
【００４１】
上記のようにして形成された受光モジュール５００は、以下のように動作する。すなわち、光導波路素子３００の入力ポートに入力された光信号は、基板３２０上に形成された光導波路３１０内を伝搬し、光導波路素子３００の出力ポートから出射される。光導波路素子３００の出力ポートとＰＤ素子２００とは高精度に位置決めされていることから、光導波路素子３００の出力ポートから出射された光信号は高効率でＰＤ素子２００に受光され、電気信号に変換される。
【００４２】
ここで、第１の実施形態でも説明したように、基板３２０の底面から光導波路素子３００の出力ポートまでの距離（高さ）は、基板３２０の厚さの製造ばらつきに大きく影響される。従って、光導波路素子３００が載置されているパッケージ４００の搭載面を基準にＰＤ素子２００の高さを決めると、ＰＤ素子２００の高さと光導波路素子３００の出力ポートの高さとが一致しない場合が生じる。
【００４３】
これに対して、基板３２０の上面から光導波路素子３００の出力ポートまでの距離（高さ）は、光導波路素子３００の上部においてコア（光導波路３１０）およびクラッドが高精度に成膜されることから、ほぼ一定である。従って、第１載置部１４０’の底面１４１’および第２載置部１５０’の底面１５１’を光導波路素子３００の上面に突き当てて、光導波路素子３００の上面を基準にすることにより、ＰＤ素子２００の高さと光導波路素子３００の出力ポートの高さを高精度に一致させることができる。
【００４４】
一方、第１当接部１２０’および第２当接部１３０’の長さＬが所定の値に設計されていることから、第１当接部１２０’の当接面１２１’および第２当接部１３０’の当接面１３１’を光導波路素子３００の側面と接触させることにより、ＰＤ素子２００と光導波路素子３００の出力ポートが当たることなく、両者が所望の距離で対向する。
【００４５】
以上のように、本実施形態に係るＰＤキャリア１００’は、光導波路素子３００の端部に載置された時に、ＰＤ素子２００と光導波路素子３００の出力ポートとの距離が所望の距離となるように設計された長さＬをそれぞれ有する第１当接部１２０’および第２当接部１３０’を備える。さらに、本実施形態に係るＰＤキャリア１００’は、ＰＤ素子２００が所望高さに搭載されるように設計された高さｈ、および、ＰＤキャリア１００’が安定的に光導波路素子３００に載置される値に設計された幅ｗ、長さｄをそれぞれ有する第１載置部１４０’および第２載置部１５０’を備える。これにより、ＰＤキャリア１００’を光導波路素子３００の端部に突き当てて載置するだけで、ＰＤ素子２００のＹ方向とＺ方向が、光導波路素子３００の出力ポートに対して高精度に位置決めされる。
【００４６】
従って、ユーザは、ＰＤ素子２００の光導波路素子３００の出力ポートに対するＸ方向を位置決めするだけで、ＰＤキャリア１００’、ＰＤ素子２００および光導波路素子３００の位置関係が高精度に調整された受光モジュール５００を容易に得ることができる。
【００４７】
なお、本実施形態では、ＰＤ素子２００のＸ方向の位置決めを目視にて行ったが、光導波路素子３００の入力ポートに光信号を入力させて、ＰＤ素子２００において計測された光信号のパワーが最大になった位置にＰＤキャリア１００を固定することもできる。ＰＤ素子２００のＹ方向およびＺ方向はすでに位置決めされていることから、ＰＤキャリア１００’をＸ方向に往復させるだけで、光信号のパワーが最大となる位置を容易に見つけることができる。
【００４８】
また、本実施形態では、パッケージ４００の搭載面に光導波路素子３００を固定した後、光導波路素子３００にＰＤキャリア１００’を載置したが、これに限定されない。光導波路素子３００にＰＤキャリア１００’を載置した後で、光導波路素子３００をパッケージ４００の搭載面に固定することでも良い。
【００４９】
本願発明は上記実施形態に限定されるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があってもこの発明に含まれる。
【符号の説明】
【００５０】
１００    素子保持構造体
１００’    ＰＤキャリア
１１０、１１０’    素子配置部
１１１、１１１’    素子固定面
１２０、１２０’    第１当接部
１２１、１２１’    当接面
１３０、１３０’    第２当接部
１３１、１３１’    当接面
１４０、１４０’    第１載置部
１４１、１４１’    底面
１５０、１５０’    第２載置部
１５１、１５１’    底面
２００    ＰＤ素子
３００    光導波路素子
３１０    光導波路
３２０    基板
４００    パッケージ
５００    受光モジュール
【図１】
2016170371.tif 000003
【図２】
2016170371.tif 000004
【図３】
2016170371.tif 000005
【図４】
2016170371.tif 000006