(57)【要約】【課題】玉軸受の温度上昇を抑制することができ、かつ効率よく回転円筒を回転させることが可能な回転陽極型Ｘ線管を提供することである。【解決手段】本発明の実施形態に係る回転陽極型Ｘ線管は、陽極ターゲットが固定された回転円筒と、回転円筒の内側に同軸的に固定された回転軸と、回転円筒及び回転軸の間に配置され、軸方向に延在した磁性体で形成されている磁性体部材と周囲より熱伝導率の高い伝熱促進部材とのいずれか一方で形成される陽極固定体と、陽極固定体及び回転軸の間に設けられた玉軸受と、陽極固定体及び回転軸の間に配置され、陽極固定体と接続部材で接続され、磁性体部材及び伝熱促進部材のいずれかであって陽極固定体と異なる一方で形成される内側部材と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
陽極ターゲットが固定された回転円筒と、
前記回転円筒の内側に同軸的に固定された回転軸と、
前記回転円筒及び前記回転軸の間に配置され、軸方向に延在した磁性体で形成されている磁性体部材と周囲より熱伝導率の高い伝熱促進部材とのいずれか一方で形成される陽極固定体と、
前記陽極固定体及び前記回転軸の間に設けられた玉軸受と、
前記陽極固定体及び前記回転軸の間に配置され、前記陽極固定体と接続部材で接続され、前記磁性体部材及び前記伝熱促進部材のいずれかであって前記陽極固定体と異なる一方で形成される内側部材と、を備える回転陽極型Ｘ線管。
【請求項２】
前記内側部材は、前記伝熱促進部材であり、前記陽極固定体は、前記磁性体部材である請求項１の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項３】
前記内側部材は、前記陽極固定体に設けられた少なくとも１つのネジ穴部に嵌合される少なくとも１つの押しネジによって押圧されて変形した少なくとも１つの押圧変形部が前記陽極固定体に接触する請求項２の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項４】
前記内側部材は、前記陽極固定体に設けられた少なくとも１つの穴部に嵌合される少なくとも１つの引きネジによって引っ張られて変形した少なくとも１つの引張変形部が前記陽極固定体に接触する請求項２の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項５】
前記内側部材は、少なくとも１つの前記ネジ穴部または前記穴部が前記玉軸受の近傍に形成される請求項３又は請求項４の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項６】
前記伝熱促進部材は、純銅または銅合金である請求項２乃至請求項５のいずれか１の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項７】
前記内側部材は、前記磁性体部材であり、前記陽極固定体は、前記伝熱促進部材である請求項１の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項８】
前記伝熱促進部材は、純銅、銅合金、酸化物強化銅または銅タンである請求項７の回転陽極型Ｘ線管。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
実施形態は、陽極回転機構に玉軸受を使用する回転陽極型Ｘ線管に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、回転陽極型Ｘ線管は、真空気密雰囲気に保たれた真空外囲器内に偏芯した陰極と略傘状の陽極ターゲットが対向配設されている。陽極ターゲットは、回転機構により支持され、且つ回転出来るようになっている。真空外囲器の外には、回転機構に対応してステータが配設され、回転機構を駆動している。
【０００３】
従来の回転陽極型Ｘ線管においては、陽極固定体が熱伝導性の悪い（Ｆｅ合金を含む）部材で形成されているので、玉軸受の温度が上昇して高くなり得る。  
従来の回転陽極型Ｘ線管においては、陽極固定体は、通常、磁性体材料であるＦｅまたはＦｅ合金等で形成されている。磁性体からなる陽極固定部は、中間にロータ（回転円筒）を挟んで、ステータコイルの磁性体コアと対向し、磁気回路を構成している。この磁気回路の存在により、回転円筒を通過する磁束密度が高められ、効率よく回転円筒を回転させることが可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−６３１７１号公報
【特許文献２】特開平５−１７４７４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の実施形態が解決しようとする課題は、玉軸受の温度上昇を抑制することができ、かつ効率よく回転円筒を回転させることが可能な回転陽極型Ｘ線管を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の実施形態に係る回転陽極型Ｘ線管は、陽極ターゲットが固定された回転円筒と、回転円筒の内側に同軸的に固定された回転軸と、回転円筒及び回転軸の間に配置され、軸方向に延在した磁性体で形成されている磁性体部材と周囲より熱伝導率の高い伝熱促進部材とのいずれか一方で形成される陽極固定体と、陽極固定体及び回転軸の間に設けられた玉軸受と、陽極固定体及び回転軸の間に配置され、陽極固定体と接続部材で接続され、磁性体部材及び伝熱促進部材のいずれかであって陽極固定体と異なる一方で形成される内側部材と、を備える。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】図１は、第１の実施形態のＸ線管の一例を示す概要図である。
【図２】図２は、第１の実施形態の陽極構体の一例を示す縦断面図である
【図３】図３は、第２の実施形態のＸ線管の陽極構体を示す縦断面図である。
【図４】図４（ａ）は、第２の実施形態の内側部材の変形前の示す概略図であり、図４（ｂ）は、第２の実施形態の内側部材の変形後を示す概略図である。
【図５】図５は、第２の実施形態の変形例１の陽極構体の一例を示す縦断面図である。
【図６】図６（ａ）は、第２の実施形態の変形例１の内側部材の変形前の示す概略図であり、図６（ｂ）は、第２の実施形態の変形例１の内側部材の変形後を示す概略図である。
【図７】図７は、比較例である従来の陽極構体を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図面を参照しながら実施形態に係るＸ線管について詳細に説明する。  
（第１の実施形態）  
図１は、第１の実施形態のＸ線管１００の一例を示す概要図である。  
Ｘ線管１００は、真空外囲器１と、陰極２と、陽極ターゲット３と、回転機構４と、陰極支持体２００とを備えている。Ｘ線管１００は、回転陽極型のＸ線管である。Ｘ線管１００において、真空外囲器１内に陰極２と略傘状の陽極ターゲット（ターゲットディスク）３とが対向配設されている。
【０００９】
真空外囲器１は、高真空に排気されている。また、真空外囲器１は、例えば、ガラス製のガラスバルブで形成されている。陰極２は、陽極ターゲット３に対向して配置された陰極支持体２００に保持され、管軸ＴＡより外れて（偏心して）配置されている。陽極ターゲット３は、回転機構４によって支持され、且つ回転可能に設置されている。陽極ターゲット３は、例えば、タングステンで形成され、Ｘ線を放射するターゲット層と、ターゲット層を支持する、例えばモリブデンで形成されるターゲット基体とから構成されている。以下で、陽極ターゲット３と回転機構４とをまとめて陽極構体９０と称する。さらに、真空外囲器１の外側には、回転機構４に対応してステータ（図示せず）が配設されている。このステータ（図示せず）は、電源（図示せず）から電流を供給されることによって磁場を発生させ回転機構４を駆動させる。ステータ（図示せず）は、回転部材（例えば、後述する回転円筒５）を挟んで磁性体で形成される磁性部材と磁気回路を構成している。一般的に、磁気回路によって回転部材を通過する磁束密度が高められ、効率よく回転部材を回転させることが可能である。なお、Ｘ線管１００の中心軸を管軸ＴＡと称する。また、管軸ＴＡに対して垂直は方向に離れる方を外側、管軸ＴＡに向かう方向を内側と称する。
【００１０】
図２は、本実施形態の陽極構体９０の一例を示す縦断面図である  
本実施形態の回転機構４は、回転円筒（ロータ）５と、回転円筒５に同軸的に取付けられた支持柱６と、回転軸７と、円板８と、取付けねじ９と、玉軸受（ボールベアリング）１１、１２と、筒状スペーサ１３と、固定ネジ１４、１５と、固定ナット１６と、陽極固定体１８と、内側部材１９とを備えている。
【００１１】
回転円筒５は、管軸ＴＡを中心軸とする有底の円筒状に形成されている。回転円筒５は、底部側に陽極ターゲット３が固定されている。回転円筒５は、陽極固定体１８の内側で回転軸７の外周部に配置された筒状スペーサ１３の両端部に密接して設置されている２つの玉軸受１１、１２に支持されている。したがって、回転円筒５は、回転軸７の回転に従って陽極固定体１８の外側で高速に回転する。回転円筒５は、例えば、銅で形成されている。
【００１２】
支持柱６と円板８とは、取付けねじ９によって固定されている。回転軸７は、陽極側の一端部に一体に形成された円板８を備える。回転軸７は、回転円筒５の内側で管軸ＴＡと同軸的に円板８を介して支持柱６の端面に固定されている。
【００１３】
本実施形態において、玉軸受１１、１２は、それぞれ、回転軸７と陽極固定体１８の内周面との間に固定されている。玉軸受１１、１２は、それぞれ、内側のリング状の内輪と外側のリング状の外輪との間に転動体（ボール）が設置されている。転動体には転動体が正しく回転するように保持器が装着されていても良い。ここで、転動体には、固体潤滑材がコーティングされている。ここで、固体潤滑材は、例えば、鉛または銀等の軟性金属系の潤滑材である。玉軸受１１は、外輪が固定ネジ１４及び陽極固定体１８の内周部に形成された段差に嵌合し、且つ内輪が回転軸７の外周部及び側部で筒状スペーサ１３に接触することよって固定されている。また、玉軸受１２は、外輪が固定ネジ１５、内側部材１９、陽極固定体１８の内周部に形成された段差に嵌合し、且つ内輪が固定ナット１６、回転軸７の外周部及び側部で筒状スペーサ１３に接触することによって固定されている。ここで、回転軸７の外周部において、玉軸受１１及び玉軸受１２の間に回転軸７の側部に沿って筒状スペーサ１３が設けられている。
【００１４】
陽極固定体１８は、有底円筒状に形成されている。陽極固定体１８は、回転円筒５の内周面と対向する位置に設置されている。また、管軸ＴＡに従う方向において、陽極固定体１８は、回転軸７の支持柱６に固定されている側と反対側から開口部に挿入するように設置されている。陽極固定体１８は、固定ネジ（接続部材）１５を螺合するためのネジ溝、または固定ネジ１５を通すための穴部が所定の部分に形成されている。陽極固定体１８は、内側に玉軸受１１、１２及び筒状スペーサ１３等を内包する。本実施形態において、陽極固定体１８は、周囲よりも熱伝導率の高い金属部材である伝熱促進部材で形成されている。本実施形態において、陽極固定体１８の伝熱促進部材は、例えば、純銅、銅合金、酸化物分散強化銅、または銅タンである。
【００１５】
内側部材１９は、玉軸受１１、１２と、筒状スペーサ１３と、陽極固定体１８と包囲される空間に設置されている。すなわち、内側部材１９は、筒状スペーサ１３の外側、且つ陽極固定体１８の内側に設置されている。内側部材１９は、固定ネジ１５で陽極固定体１８に固定されている。本実施形態において、内側部材１９は、磁性体部材である。磁性体部材は、磁性体で形成された金属部材である。例えば、磁性体部材は、ＦｅまたはＦｅ合金で形成されている。ここで、内側部材１９は、ステータコイル（図示せず）と対向する位置に設置されている。また、内側部材１９は、一端部が玉軸受１２を固定するように設置されている。
【００１６】
陽極固定体１８及び内側部材１９が接合されている場合には、熱膨張によって接合部の剥離や寸法のズレ等が生じ得る。しかし、本実施形態では、陽極固定体１８及び内側部材１９は、それぞれ、熱膨張差に伴う熱応力を緩和するように配置されている。すなわち、前述のように、陽極固定体１８及び内側部材１９は、固定ネジ１５で固定されているために、熱変形可能な遊び部分（余剰部分）が生じ得る。
【００１７】
本実施形態では、Ｘ線管１００に高電圧が印加された場合、陰極２から射出された電子が陽極ターゲット３に衝撃してＸ線が発生した際に生じる熱が支持柱６を介して玉軸受１１及び／または玉軸受１２に伝わる。玉軸受１１、１２が伝熱促進部材である陽極固定体１８に接触しているために、熱は陽極固定体１８に伝わり、陽極固定体１８から放熱される。
【００１８】
図７は、比較例である従来の陽極構体９０を示す図であり、図７に示す陽極構体９０は、一般的な陽極構体である。比較例の陽極構体９０は、陽極固定体１８が磁性体部材で形成され、筒状スペーサ１３の間に間隙がある。比較例において、陽極固定体１８は、ステータコイル（図示せず）との間に回転円筒５を挟んで磁気回路を構成する。
【００１９】
本実施形態では、比較例に示す従来の陽極構体９０の陽極固定体１８が伝熱促進部材となっているため、ステータコイル（図示せず）と磁気回路を構成するために、磁性体部材である内側部材１９が、筒状スペーサ１３および陽極固定体１８の間に設置されている。したがって、本実施形態の陽極構体では、ステータコイル（図示せず）と陽極固定体１８との間に磁気回路が形成される。
【００２０】
本実施形態によれば、Ｘ線管１００は、伝熱促進部材で形成される内側部材１９を備えている。内側部材１９は、支持柱６を介して伝わる熱を放熱する。また、陽極固定体１８と内側部材１９は、固定ネジ１５によって固定されているために、互いに熱変形する遊び部分が生じる。陽極固定体１８及び内側部材１９は、互いに接合されている場合と比較して固定ネジ１５によって別体として接続されていることによって熱変形による異種部材間における接合部分の剥離や寸法精度の低下といったことが抑制される。換言すると、陽極固定体１８及び内側部材１９は、互いに異種部材ごとに変形領域が分断さていることによって熱変形による異種部材間における接合部分の剥離や寸法精度の低下といったことが解消される。
【００２１】
また、本実施形態のＸ線管１００は、図７に示す従来のＸ線管１００では磁性体である陽極固定体１８を伝熱促進部材で形成することによって放熱を促進させているが、ステータコイル（図示せず）との磁束密度の強度を確保するために磁性体である内側部材１９を備えている。したがって、本実施形態のＸ線管１００は、ステータコイル（図示せず）と内側部材１９との間に従来のＸ線管と同等の磁束密度の磁界を形成することができる。
【００２２】
その結果、本実施形態のＸ線管１００は、玉軸受１１、１２の温度上昇を抑制でき、且つ効率よく回転円筒５を回転させることができる。
【００２３】
次に他の実施形態に係るＸ線管装置について説明する。他の実施形態において、前述した第１の実施形態と同一の部分には同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略する。  
（第２の実施形態）  
第２の実施形態のＸ線管１００は、第１の実施形態のＸ線管１００とほぼ同等であるが、陽極固定体１８及び内側部材１９を形成する部材が第１の実施形態のＸ線管１００と異なる構成である。
【００２４】
図３は、第２の実施形態のＸ線管１００の陽極構体９０を示す縦断面図である。  
第２の実施形態のＸ線管１００は、陽極固定体１８が磁性体部材で形成され、内側部材１９が伝熱促進部材で形成されている。ずわなり、第２の実施形態のＸ線管１００は、陽極固定体１８および内側部材１９の各々を構成する部材を第１の実施形態のＸ線管１００と相互に置き換えた構成となっている。
【００２５】
本実施形態の陽極固定体１８は、磁性体部材で形成されている。本実施形態の陽極固定体１８は、内側部材を押圧することによって変形させる押しネジ２０を挿入するための少なくとも１つのネジ穴部が側部の所定の部分に形成されている。ネジ穴部は、内側部材１９の周方向に均等な間隔で形成される。好適には、このネジ穴部は、それぞれ、玉軸受１１、１２の近傍に形成される。ネジ穴部は、例えば、玉軸受１１、１２の各々の近傍に３つずつ設置される。
【００２６】
本実施形態の内側部材１９は、伝熱促進部材で形成されている。内側部材１９は、少なくとも１つの押しネジ２０によって陽極固定体１８のネジ穴部を介して外側から内側に押圧されることによって筒状スペーサ１３と陽極固定体１８との間の空間で変形する。このとき、内側部材１９は、押しネジ２０によって押圧された部分の容積に応じて変形量が大きくなる。そして、内側部材１９は、所定の変形量で陽極固定体１８の内周部の一部と接触する。ここで、陽極固定体１８と内側部材１９との接触部分を変形接触部１９ａと称する。押圧されて変形している場合、変形接触部１９ａを押圧変形部１９ａと称する場合もある。
【００２７】
複数の押しネジ２０が設置される場合、押しネジ２０は、内側部材１９の周方向に均等な間隔で設置されている。好適には、押しネジ２０は、それぞれ、玉軸受１１、１２の近傍を押圧するように設置される。押しネジ２０は、例えば、玉軸受１１、１２の各々の近傍に３つずつ設置される。
【００２８】
本実施形態の内側部材１９は、熱による熱応力を逃がすために、管軸ＴＡに従う方向において玉軸受１１及び１２の間の長さよりも短く、及び／又は筒状スペーサ１３及び陽極固定体１８の間の管軸ＴＡに垂直な方向の長さ（隙間）よりも肉厚が薄くなるように形成される。この場合、本実施形態の内側部材１９は、熱が伝わってきたときに生じる熱応力を変形（膨張）することによって逃がすことができる。本実施形態の内側部材１９は、熱伝導率が周囲の部材よりも高く、熱変形し易い部材で形成される。なお、本実施形態において、内側部材１９の伝熱促進部材は、例えば、純銅または銅合金である。
【００２９】
以下で図面を参照して本実施形態の内側部材１９の変形について説明する。  
図４（ａ）は、本実施形態の内側部材１９の変形前の示す概略図であり、図４（ｂ）は、本実施形態の内側部材１９の変形後を示す概略図である。
【００３０】
また図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、陽極固定体１８に設けられたネジ穴または穴部に嵌合される押しネジ２０により、内側部材１９の複数個所が押圧されて、内側部材１９の一部分が変形することより、陽極固定体１８と内側部材１９との変形接触部１９ａが形成される。
【００３１】
本実施形態では、Ｘ線管１００に高電圧が印加された場合、陰極２から射出された電子が陽極ターゲット３に衝撃してＸ線が発生した際に生じる熱が支持柱６を介して玉軸受１１及び／または玉軸受１２に伝わる。玉軸受１１、１２が陽極固定体１８に接触しているために、熱は陽極固定体１８に伝わり、変形接触部１９ａを介して伝熱部材で形成される内側部材１９に伝わる。このとき、熱の一部分は、陽極固定体１８から放熱される。また、内側部材１９は、筒状スペーサ１３の外側と陽極固定体１８の内側との空間内で伝わってきた熱によって熱膨張変形することで熱応力を逃がすことができる。
【００３２】
本実施形態において、陽極構体９０は、陽極固定体１８の内側に内側部材１９を備えている。内側部材１９は、少なくとも１つの押しネジ２０で外周面を押圧されることによって変形し、一部が陽極固定体１８の内周部の一部に接触する。このとき、Ｘ線が発生した際に生じる熱は、支持柱６から玉軸受１１及び陽極固定体１８を介して内側部材１９へ伝わる。内側部材１９は、熱変形することによって熱によって生じる熱応力を逃がすことができる。
【００３３】
その結果、本実施形態のＸ線管１００は、玉軸受１１、１２の温度上昇を抑制でき、且つ効率よく回転円筒５を回転させることができる。
【００３４】
次に第２の実施形態に係るＸ線管の変形例について説明する。実施形態の変形例において、前述した実施形態と同一の部分には同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略する。
【００３５】
（変形例１）  
第２の実施形態の変形例１のＸ線管１００は、前述のＸ線管１００とほぼ同等の構成であるが、陽極構体９０の構成が異なる。  
図５は、第２の実施形態の変形例１の陽極構体９０の一例を示す縦断面図である。  
第２の実施形態の変形例１の陽極構体９０は、引きネジ２１によって引っ張られることで内側部材１９の一部が変形する。
【００３６】
変形例１の内側部材１９は、引っ張る（引き寄せる）ことによって変形させる引きネジ２１を挿入するための少なくとも１つのネジ穴部が形成されている。ここで、ネジ穴部は、ネジ溝が形成されているネジ穴である。ネジ穴部は、内側部材１９の周方向に均等な間隔で形成される。このネジ穴部は、好適には、玉軸受１１、１２の近傍に設置される。ネジ穴部は、例えば、玉軸受１１、１２の各々の近傍に３つずつ設置される。内側部材１９は、少なくとも１つの引きネジ２１によって外側から引っ張られることによって筒状スペーサ１３と陽極固定体１８との間の空間で変形する。このとき、内側部材１９は、引きネジ２１によって引っ張られた部分の容積に応じて変形量が大きくなる。そして、内側部材１９は、所定の変形量で陽極固定体１８の内周部の一部と接触する。即ち、変形接触部１９ａが形成される。なお、引っ張られて変形している場合、変形接触部１９ａを引張変形部１９ａと称する場合もある。  
引きネジ２１は、内側部材１９の周方向に均等な間隔で設置されている。好適には、複数の引きネジ２１は、それぞれ、玉軸受１１、１２の近傍に設置される。引きネジ２１は、例えば、玉軸受１１、１２の各々の近傍に３つずつ設置される。
【００３７】
以下で図面を参照して変形例１の内側部材１９の変形について説明する。  
図６（ａ）は、本実施形態の変形例１の内側部材１９の変形前の示す概略図であり、図６（ｂ）は、本実施形態の変形例１の内側部材１９の変形後を示す概略図である。
【００３８】
また図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、陽極固定体１８に設けられた穴部に嵌合される引きネジ２１により、内側部材１９の複数個所が引っ張られて、内側部材１９の一部分が変形することより、陽極固定体１８と内側部材１９との変形接触部１９ａが形成される。
【００３９】
本実施形態によれば、陽極固定体１８と内側部材１９とは、引きネジ２１によって変形接触部１９ａが形成される。本実施形態のＸ線管１００では、陽極固定体１８と内側部材１９とが引きネジ２１によって強固に固定され、且つ第２の実施形態よりも確実に互いに接触することができる。したがって、第２の実施形態のＸ線管１００よりも確実に変形接触部１９ａが形成される。
【００４０】
本実施形態によれば、Ｘ線管１００は、伝熱促進部材で形成される内側部材１９を備えている。内側部材１９は、支持柱６を介して伝わる熱を放熱する。また、陽極固定体１８と内側部材１９は、固定ネジ１５によって固定されているために、互いに熱変形する遊び部分が生じる。陽極固定体１８及び内側部材１９は、互いに異種部材ごとに変形領域が分断さていることによって熱変形による異種部材間における接合部分の剥離や寸法精度の低下といったことが解消される。
【００４１】
また、本実施形態のＸ線管１００は、図７に示す従来のＸ線管では磁性体である陽極固定体１８を伝熱促進部材で形成することによって放熱を促進させているが、ステータコイル（図示せず）との磁束密度の強度を確保するために磁性体である内側部材１９を備えている。したがって、本実施形態のＸ線管１００は、ステータコイル（図示せず）と内側部材１９との間に従来のＸ線管と同等の磁束密度の磁界を形成することができる。
【００４２】
その結果、本実施形態のＸ線管１００は、玉軸受１１、１２の温度上昇を抑制でき、且つ効率よく回転円筒５を回転させることができる。
【００４３】
前述の実施形態では２つの玉軸受１１、１２は内輪を有するが、内輪をなくして回転軸７に軸受レースを設けても良い。また、前述の実施形態では２つの玉軸受１１、１２は外輪を有するが、外輪をなくして陽極固定体１８に軸受レースを設けても良い。
【００４４】
なお、この発明は、上記実施形態そのものに限定されるものでなく、その実施の段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具現化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。
【符号の説明】
【００４５】
１…真空外囲器、２…陰極、３…陽極ターゲット、４…回転機構、５…回転円筒（ロータ）、６…支持柱、７…回転軸、８…回転軸の一端に一体に形成された円板、９…取付けねじ、１１，１２…玉軸受、１３…筒状スペーサ、１４，１５…固定ネジ、１６…固定ナット、１７…固定リング、１８…陽極固定体、１９…内側部材、２０…押しネジ、２１…引きネジ、２００…陰極支持体。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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