(57)【要約】【課題】基板に生じる張力が適切な状態で基板を固定する。【解決手段】基板１００の縁部１０１ａ，１０１ｂをクランプするクランプ部１２ａ，１２ｂと、クランプ部１２ｂを移動させて基板１００に張力を生じさせる移動機構１３と、駆動用パラメータを制御して移動機構１３を駆動させる駆動処理を実行する駆動制御部（電空レギュレータ１４および処理部１７）とを備えて基板１００を固定可能に構成され、予め規定された規定張力を基板１００に生じさせる大きさの駆動用パラメータの値を閾値Ｐｔとして記憶する記憶部１６を備え、閾値Ｐｔは、縁部１０１ａ，１０１ｂをクランプした状態で移動機構１３によって移動させられるクランプ部１２ｂの移動量と駆動用パラメータの値との相関関係から特定される基板１００の弾性変形可能範囲に基づいて規定され、駆動制御部は、駆動処理において、駆動用パラメータを閾値Ｐｔに維持する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の縁部をクランプする複数のクランプ部と、互いに対向する各クランプ部の少なくとも一方を当該各クランプ部が互いに離間する向きに移動させて前記基板に張力を生じさせる移動機構と、駆動用パラメータを制御して前記移動機構を駆動させる駆動処理を実行する駆動制御部とを備えて当該基板を固定する基板固定装置であって、
予め規定された規定張力を前記基板に生じさせる大きさの前記駆動用パラメータの値を閾値として記憶する記憶部を備え、
前記閾値は、前記基板の前記縁部をクランプした状態で前記移動機構によって移動させられる前記クランプ部の移動量と前記駆動用パラメータの値との相関関係から特定される当該基板の弾性変形可能範囲に基づいて規定され、
前記駆動制御部は、前記駆動処理において、前記駆動用パラメータを前記閾値に維持する基板固定装置。
【請求項２】
前記移動機構は、エアシリンダを備えて構成され、
前記駆動制御部は、前記エアシリンダに供給する空気の圧力を前記駆動用パラメータとして制御する請求項１記載の基板固定装置。
【請求項３】
前記クランプ部の位置を測定する測定部と、
前記測定部によって測定された前記位置から求めた前記クランプ部の移動量と前記駆動用パラメータの値との相関関係に基づいて前記弾性変形可能範囲を特定し、当該弾性変形可能範囲に対応する前記駆動用パラメータの値の中から前記閾値とする値を規定する閾値規定処理を実行する処理部とを備え、
前記記憶部は、前記閾値規定処理によって規定された前記閾値を記憶する請求項１または２記載の基板固定装置。
【請求項４】
前記クランプ部は、当該クランプ部が移動する移動平面に対して傾斜する傾斜面を有し、
前記測定部は、前記移動平面に対して直交しかつ前記傾斜面から離間する配置位置から当該傾斜面までの離間距離を検出し、当該離間距離に基づいて前記クランプ部の位置を測定する請求項３記載の基板固定装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載の基板固定装置と、当該基板固定装置によって固定されている前記基板に接触させた検査用のプローブを介して入出力する電気信号に基づいて当該基板に対する検査を実行する検査部とを備えている基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クランプ部を移動させて基板に張力を生じさせる移動機構と、その移動機構を駆動させる駆動制御部とを備えて基板を固定する基板固定装置、およびその基板固定装置を備えた基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板固定装置として、下記特許文献１に開示された基板固定装置が知られている。この基板固定装置は、基板の各端部を把持する第１クランプ機構、第２クランプ機構、第３クランプ機構および第４クランプ機構と、第１クランプ機構および第２クランプ機構を相対移動させる第１移動機構と、第３クランプ機構および第４クランプ機構を相対移動させる第２移動機構と、各移動機構を制御する制御部とを備えている。この基板固定装置では、制御部が第１移動機構を制御することにより、基板の各端部を把持している第１クランプ機構および第２クランプ機構を互いに離間するようにＸ軸方向に移動させる。また、制御部が第２移動機構を制御することにより、基板の各端部を把持している第３クランプ機構および第４クランプ機構を互いに離間するようにＹ軸方向に移動させる。これにより、基板がＸ軸方向およびＹ軸方向に引っ張られて基板に張力が生じ、これによって基板の歪みや弛みを解消させることが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−２２８３４７号公報（第６−１０頁、第３図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記の基板固定装置には、以下の問題点がある。すなわち、この基板固定装置では、クランプ機構を移動させる際に、基板に生じる張力に応じてクランプ機構の移動量を制御（調整）する手段を備えていないため、張力が不足して基板の歪みや弛みが残ったり、これとは逆に張力が過大となって基板が塑性変形したりするおそれがある。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、基板に生じる張力が適切な状態で基板を固定し得る基板固定装置および基板検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の基板固定装置は、基板の縁部をクランプする複数のクランプ部と、互いに対向する各クランプ部の少なくとも一方を当該各クランプ部が互いに離間する向きに移動させて前記基板に張力を生じさせる移動機構と、駆動用パラメータを制御して前記移動機構を駆動させる駆動処理を実行する駆動制御部とを備えて当該基板を固定する基板固定装置であって、予め規定された規定張力を前記基板に生じさせる大きさの前記駆動用パラメータの値を閾値として記憶する記憶部を備え、前記閾値は、前記基板の前記縁部をクランプした状態で前記移動機構によって移動させられる前記クランプ部の移動量と前記駆動用パラメータの値との相関関係から特定される当該基板の弾性変形可能範囲に基づいて規定され、前記駆動制御部は、前記駆動処理において、前記駆動用パラメータを前記閾値に維持する基板固定装置。
【０００７】
また、請求項２記載の基板固定装置は、請求項１記載の基板固定装置において、前記移動機構は、エアシリンダを備えて構成され、前記駆動制御部は、前記エアシリンダに供給する空気の圧力を前記駆動用パラメータとして制御する。
【０００８】
また、請求項３記載の基板固定装置は、請求項１または２記載の基板固定装置において、前記クランプ部の位置を測定する測定部と、前記測定部によって測定された前記位置から求めた前記クランプ部の移動量と前記駆動用パラメータの値との相関関係に基づいて前記弾性変形可能範囲を特定し、当該弾性変形可能範囲に対応する前記駆動用パラメータの値の中から前記閾値とする値を規定する閾値規定処理を実行する処理部とを備え、前記記憶部は、前記閾値規定処理によって規定された前記閾値を記憶する。
【０００９】
また、請求項４記載の基板固定装置は、請求項３記載の基板固定装置において、前記クランプ部は、当該クランプ部が移動する移動平面に対して傾斜する傾斜面を有し、前記測定部は、前記移動平面に対して直交しかつ前記傾斜面から離間する配置位置から当該傾斜面までの離間距離を検出し、当該離間距離に基づいて前記クランプ部の位置を測定する。
【００１０】
また、請求項５記載の基板検査装置は、請求項１から４のいずれかに記載の基板固定装置と、当該基板固定装置によって固定されている前記基板に接触させた検査用のプローブを介して入出力する電気信号に基づいて当該基板に対する検査を実行する検査部とを備えている。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１記載の基板固定装置、および請求項５記載の基板検査装置では、駆動制御部が、駆動用パラメータを制御して移動機構を駆動させる駆動処理において、駆動用パラメータを、移動機構によるクランプ部の移動量と駆動用パラメータとの相関関係から特定される基板の弾性変形可能範囲に基づいて規定された閾値に維持する。このため、この基板固定装置および基板検査装置によれば、基板に生じる張力に応じてクランプ部の移動量を制御する手段を備えていない従来の基板固定装置とは異なり、基板に生じる張力が不足して基板の歪みや弛みが残ったり、これとは逆に張力が過大となって基板が塑性変形したりする事態を確実に防止して、基板に生じる張力が適切な状態で基板を固定することができる。
【００１２】
また、請求項２記載の基板固定装置、および請求項５記載の基板検査装置では、移動機構がエアシリンダを備えて構成され、駆動制御部がエアシリンダに供給する空気の圧力を駆動用パラメータとして制御する。このため、この基板固定装置および基板検査装置によれば、圧力を制御する簡易な構成でありながら、移動機構によるクランプ部の移動量を正確に制御することができる。
【００１３】
また、請求項３記載の基板固定装置、および請求項５記載の基板検査装置では、処理部がクランプ部の移動量と駆動用パラメータの値との相関関係に基づいて基板の弾性変形可能範囲を特定し、弾性変形可能範囲に対応する駆動用パラメータの値の中から閾値とする値を規定する閾値規定処理を実行する。このため、この基板固定装置および基板検査装置によれば、検査対象の基板の検査に先立って閾値規定処理を実行することで、基板の種類に対応する閾値を確実に規定することができるため、各種の基板を張力が適切な状態で固定することができる。
【００１４】
また、請求項４記載の基板固定装置、および請求項５記載の基板検査装置では、クランプ部が移動する移動平面に対して傾斜する傾斜面をクランプ部が有し、測定部が移動平面に対して直交しかつ傾斜面から離間する配置位置から傾斜面までの離間距離を検出し、離間距離に基づいてクランプ部の位置を測定する。このため、この基板固定装置および基板検査装置によれば、クランプ部の上方においてプローブを移動させるプロービング機構を用いて測定部を配置位置に移動させることができる。したがって、この基板固定装置および基板検査装置によれば、測定部を移動させるための専用の移動機構を設ける必要がないため、その分構成を簡略化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】基板固定装置２の構成を示す構成図である。
【図３】基板固定装置２の平面図である。
【図４】クランプ３３ａ〜３３ｃの側面図である。
【図５】基板検査装置１の使用方法を説明する説明図である。
【図６】移動量Ｄｈと圧力Ｐとの相関関係を示す相関関係図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明に係る基板固定装置および基板検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１７】
最初に、基板検査装置の一例としての図１に示す基板検査装置１の構成について説明する。基板検査装置１は、同図に示すように、基板固定装置２、プロービング機構３および制御部４を備えて、例えば、コアレス基板等の可撓性を有する基板１００（図２，５参照）を検査可能に構成されている。
【００１８】
基板固定装置２は、図２，３に示すように、支持台１１、クランプ部１２ａ，１２ｂ（以下、区別しないときには「クランプ部１２」ともいう）、移動機構１３、電空レギュレータ１４、レーザ変位計１５、記憶部１６および処理部１７を備えて、基板１００を固定可能に構成されている。
【００１９】
支持台１１は、図２，３に示すように、一例として、略長方形の板状に形成されている。また、支持台１１の中央部には、略矩形の開口部２１が形成されている。また、図３に示すように、支持台１１における開口部２１の縁部２１ａの近傍には、支持台１１のＸ方向に延在するようにしてレール２２が配設されている。また、レール２２には、スライダー２３が配設されている。
【００２０】
クランプ部１２ａは、図３に示すように、梁部材３１ａおよび３つのクランプ３２ａ〜３２ｃ（以下、区別しないときには「クランプ３２」ともいう）を備えて構成されている。梁部材３１ａは、支持台１１における開口部２１の縁部２１ｃの近傍において、支持台１１のＹ方向に延在するように支持台１１に固定されている。各クランプ３２は、図２に示すように、図外のコンプレッサからの圧縮空気の供給によって先端部が開閉するように構成されて、先端部で基板１００の縁部１０１ａをクランプ（挟持）することが可能となっている。また、各クランプ３２は、例えば、図３に示すように、梁部材３１ａの長さ方向に沿って等間隔に並ぶように梁部材３１ａに固定されている。
【００２１】
クランプ部１２ｂは、図３に示すように、梁部材３１ｂおよび３つのクランプ３３ａ〜３３ｃ（以下、区別しないときには「クランプ３３」ともいう）を備えて構成されている。梁部材３１ｂは、同図に示すように、一方の端部が支持台１１のレール２２に配設されているスライダー２３の上面に固定されると共に、他方の端部が移動機構１３のスライダー１３ａの上面に固定されて、クランプ部１２ａの梁部材３１ａと平行な状態で、かつ支持台１１のＹ方向に沿って延在ように配設されている。
【００２２】
各クランプ３３は、図２に示すように、図外のコンプレッサからの圧縮空気の供給によって先端部が開閉するように構成されて、先端部で基板１００の縁部１０１ｂをクランプすることが可能となっている。また、各クランプ３３は、例えば、図３に示すように、梁部材３１ｂの長さ方向に沿って等間隔に並ぶように梁部材３１ｂに固定されている。この場合、クランプ部１２ｂは、上記したように、梁部材３１ｂの各端部が支持台１１のスライダー２３および移動機構１３のスライダー１３ａ固定されているため、各スライダー２３，１３ａがスライドすることによって支持台１１のＸ方向に移動させられる。また、図４に示すように、クランプ３３には、クランプ部１２ｂが移動する移動平面（支持台１１の表面に平行な面であって、以下「ＸＹ平面」ともいう）に対して傾斜する傾斜面４１が形成されている。
【００２３】
移動機構１３は、一例として、ロッドレスタイプのエアシリンダで構成されて、図３に示すように、支持台１１における開口部２１の縁部２１ｂの近傍において、レール２２と平行な状態で、かつ支持台１１のＸ方向に沿って延在するように、支持台１１に固定されている。また、移動機構１３は、電空レギュレータ１４を経由して供給される図外のコンプレッサからの圧縮空気によって駆動されて、スライダー１３ａを同図に示すＸ方向にスライドさせ、これによってクランプ部１２ｂ（「互いに対向するクランプ部の少なくとも一方」の一例）を、各クランプ部１２ａ，１２ｂが互いに接離する方向（同図に示す支持台１１のＸ方向）に移動させる。この場合、移動機構１３は、基板１００の各縁部１０１ａ，１０１ｂをクランプしている状態の各クランプ部１２ａ，１２ｂが互いに離間する向き（同図に示す支持台１１のＸ１の向き）にクランプ部１２ｂを移動させることにより、基板１００に張力を生じさせる。
【００２４】
電空レギュレータ１４は、処理部１７と共に、移動機構１３を駆動させる駆動制御部として機能する。この場合、電空レギュレータ１４は、電空比例弁を備えたレギュレータであって、処理部１７から出力される制御信号に応じて（例えば、制御信号の電流値に比例して）、図外のコンプレッサからの圧縮空気の圧力Ｐを無段階で調整して移動機構１３に供給する。つまり、この基板固定装置２では、駆動制御部は、移動機構１３としてのエアシリンダに供給する空気の圧力Ｐを駆動用パラメータとして制御する。
【００２５】
レーザ変位計１５は、処理部１７と共に、クランプ部１２ｂの位置を測定する測定部として機能する。この場合、レーザ変位計１５は、プロービング機構３（図３参照）によってクランプ３３における傾斜面４１の上方の位置（クランプ部１２ｂの移動平面（ＸＹ平面）に対して直交しかつ傾斜面４１から離間する位置）に移動させられる（図２参照）。また、レーザ変位計１５は、レーザ光Ｌをクランプ３３の傾斜面４１に照射すると共にその反射光を受光して、レーザ変位計１５から傾斜面４１までの離間距離Ｄｖ（図２における高さ方向の距離）を検出する。
【００２６】
記憶部１６は、基板固定装置２によって基板１００を固定する際に用いる閾値Ｐｔを記憶する。この場合、閾値Ｐｔは、基板１００を固定する際に、基板１００の縁部１０１ａ，１０１ｂをクランプ部１２ａ，１２ｂでそれぞれクランプしている状態で、移動機構１３によってクランプ部１２ｂを移動させ、その際に基板１００に生じる張力が予め規定された規定張力となるときの移動機構１３に供給する圧縮空気の圧力Ｐ（駆動用パラメータの値）であって、処理部１７によって実行される閾値規定処理において規定される。
【００２７】
処理部１７は、上記したように電空レギュレータ１４と共に駆動制御部として機能し、移動機構１３に供給する空気の圧力Ｐ（駆動用パラメータ）を制御して移動機構１３を駆動させる駆動処理を実行する。この場合、処理部１７は、駆動処理において、圧力Ｐを上記した閾値Ｐｔに維持することにより、基板１００に生じる張力が規定張力となる状態に維持する。
【００２８】
また、処理部１７は、測定部として機能し、レーザ変位計１５によって検出された離間距離Ｄｖ（レーザ変位計１５からクランプ３３の傾斜面４１までの距離）からクランプ３３の位置を測定する。また、処理部１７は、検出したクランプ３３の位置からクランプ部１２ｂの移動量（移動距離）Ｄｈを求め、移動量Ｄｈと圧縮空気の圧力Ｐの値との相関関係に基づいて基板１００の弾性変形可能範囲を特定し、弾性変形可能範囲に対応する圧力Ｐの範囲の中から選択した値を閾値Ｐｔとして規定する閾値規定処理を実行する。
【００２９】
プロービング機構３は、制御部４の制御に従って検査用のプローブ５１（図３参照）を基板１００（例えば、基板１００に形成されている図外の導体パターン）にプロービングさせる。
【００３０】
制御部４は、図外の操作部に対する操作に従い、基板固定装置２およびプロービング機構３を制御する。また、制御部４は、検査部として機能し、基板固定装置２によって固定されている基板１００に接触させたプローブ５１を介して入出力する電気信号に基づいて基板１００に対する検査を実行する。
【００３１】
次に、基板検査装置１を用いて基板１００を検査する方法について、添付図面を参照して説明する。
【００３２】
まず、検査に先立ち、上記した閾値Ｐｔを規定する作業を行う。この作業では、まず、検査対象の基板１００と同じ構成のテスト用の基板１００を基板固定装置２に固定させる。具体的には、図５に示すように、クランプ部１２ａの各クランプ３２ａ〜３２ｃに基板１００の縁部１０１ａをクランプさせる。次いで、基板１００の幅（同図における左右方向の長さ）に合わせてクランプ部１２ｂをクランプ部１２ａに近づける。続いて、クランプ部１２ｂの各クランプ３３ａ〜３３ｃに基板１００の縁部１０１ｂをクランプさせる。
【００３３】
次いで、図外の操作部を操作して、閾値規定処理の実行を指示する。これに応じて、制御部４が、プロービング機構３を制御して基板固定装置２のレーザ変位計１５をクランプ３３（例えば、クランプ３３ｂ）の傾斜面４１の上方の位置に移動させる。続いて、制御部４は、基板固定装置２の処理部１７に対して閾値規定処理の実行を指示する。
【００３４】
次いで、処理部１７は、制御部４の指示に従って閾値規定処理を実行する。この閾値規定処理では、処理部１７は、電空レギュレータ１４に対して出力する制御信号の電流値を徐々に上昇させることにより、移動機構１３に供給する圧縮空気の圧力Ｐを徐々に上昇させる。これに応じて、移動機構１３がスライダー１３ａをＸ１の向き（クランプ部１２ａ，１２ｂが互いに離間する向き。図５参照）に徐々にスライドさせる。この場合、クランプ部１２ｂにおける梁部材３１ｂの端部がスライダー１３ａに固定されている。このため、スライダー１３ａのスライドに伴ってクランプ部１２ｂがＸ１の向きに移動させられる。
【００３５】
一方、レーザ変位計１５は、レーザ光Ｌをクランプ３３の傾斜面４１に照射すると共にその反射光を受光して、レーザ変位計１５（傾斜面４１の上方の位置）から傾斜面４１までの離間距離Ｄｖを検出する。続いて、処理部１７は、レーザ変位計１５によって検出された離間距離Ｄｖからクランプ３３の位置を測定する。この場合、傾斜面４１がＸＹ平面に対し傾斜しているため、ＸＹ平面に沿ったクランプ部１２ｂの移動量Ｄｈに応じて離間距離Ｄｖが変化する（具体的には、離間距離Ｄｖが移動量Ｄｈに比例して変化する）。したがって、離間距離Ｄｖから移動量Ｄｈを測定することができる。
【００３６】
また、処理部１７は、記憶部１６に出力する制御信号の電流値から記憶部１６に供給する圧縮空気の圧力Ｐを特定し、移動量Ｄｈと圧力Ｐとの相関関係（クランプ部の移動量と駆動用パラメータの値との相関関係）を特定する。
【００３７】
ここで、移動量Ｄｈと圧力Ｐとの相関関係は、基板１００が可撓性を有しているため、一例として、図６に示す相関関係図で表される。具体的には、同図に示すように、移動機構１３に対する圧縮空気の供給が開始された時点から、圧力Ｐが圧力Ｐ１（移動機構１３が駆動を開始する圧力Ｐ）に達するまで（同図に示す「停止区間」）は、スライダー１３ａ（クランプ部１２ｂ）が停止している（移動量Ｄｈが「０」の状態に維持される）。次いで、圧力Ｐが圧力Ｐ１に達したときに、スライダー１３ａのスライドが開始されてクランプ部１２ｂの移動が開始する。続いて、圧力Ｐが圧力Ｐ２に達するまで（同図に示す「撓み除去区間」）は、クランプ部１２ｂの移動に伴って基板１００の撓みが徐々に除去されて、移動量Ｄｈが移動量Ｄｈ１となる。次いで、圧力Ｐが圧力Ｐ２に達してから圧力Ｐ３に達するまで（同図に示す「弾性変形区間」）は、基板１００が弾性変形して、移動量Ｄｈが移動量Ｄｈ２となる。続いて、圧力Ｐが圧力Ｐ３に達してから圧力Ｐ４に達するまで（同図に示す「塑性変形区間」）は、基板１００が塑性変形し、圧力Ｐ４に達したときには、基板１００に亀裂や破断が生じる。
【００３８】
処理部１７は、上記した移動量Ｄｈと圧力Ｐとの相関関係に基づいて基板１００の弾性変形可能範囲（上記した弾性変形区間）を特定し、弾性変形可能範囲に対応する圧力Ｐの範囲（上記の例では、圧力Ｐ２から圧力Ｐ３の範囲）の中から閾値Ｐｔを規定する。この場合、処理部１７は、一例として、圧力Ｐ３から圧力Ｐ２を差し引いた値の８０％に相当する値を圧力Ｐ２に加えた値（すなわち：Ｐ２＋（Ｐ３−Ｐ２）×０．８）の値を閾値Ｐｔとして規定する。次いで、処理部１７は、規定した閾値Ｐｔを記憶部１６に記憶させる。続いて、処理部１７は、電空レギュレータ１４制御して移動機構１３に対する圧縮空気の供給を停止させて、スライダー１３ａのスライド（クランプ部１２ｂの移動）を停止させて、規定処理を終了する。
【００３９】
次いで、クランプ部１２ａ，１２ｂによる基板１００のクランプを解除し、基板１００を基板固定装置２から取り外す。以上により、閾値Ｐｔを規定する作業が完了する。
【００４０】
次に、検査対象の基板１００に対する検査を実行する。まず、図５に示すように、基板固定装置２のクランプ部１２ａ，１２ｂに基板１００の縁部１０１ａ，１０１ｂをそれぞれクランプさせる。
【００４１】
続いて、図外の操作部を操作して、検査開始を指示する。これに応じて、制御部４が、基板固定装置２の処理部１７に対して駆動処理の実行を指示する。次いで、処理部１７は、制御部４の指示に従って駆動処理を実行する。この駆動処理では、処理部１７は、電空レギュレータ１４に対して出力する制御信号の電流値を徐々に上昇させることにより、移動機構１３に供給する圧縮空気の圧力Ｐを徐々に上昇させる。これに応じて、移動機構１３がスライダー１３ａを図５に示すＸ１の向きに徐々にスライドさせ、これによってクランプ部１２ｂがＸ１の向きに徐々に移動させられる。
【００４２】
続いて、処理部１７は、圧力Ｐが閾値Ｐｔに達した時点でその状態（圧力Ｐが閾値Ｐｔの状態）を維持する（制御信号の電流値を閾値Ｐｔに対応する電流値に維持する）。これにより、基板固定装置２によって基板１００が固定される。この場合、閾値Ｐｔは、上記したように、基板１００の弾性変形可能範囲に対応する圧力Ｐの範囲内で規定されている。このため、この状態（圧力Ｐが閾値Ｐｔの状態）では、基板１００の撓みが確実に除去され、かつ基板１００が塑性変形しない状態に維持される。つまり。基板１００に生じる張力が適切な状態で基板１００が基板固定装置２によって固定される。
【００４３】
次いで、制御部４は、プロービング機構３を制御して、基板１００の導体パターンにプローブ５１をプロービングさせる。この場合、基板固定装置２によって基板１００が撓みのない状態で固定されている。このため、この基板検査装置１では、プローブ５１と導体パターンとの位置ずれが確実に防止されて、プロービング対象位置にプローブ５１を確実にプロービングさせることが可能となっている。
【００４４】
続いて、制御部４は、プローブを介して入出力した電気信号に基づいて基板１００に対する検査を実行する。この後、基板１００についての検査を終了したときには、制御部４は、基板固定装置２に対して固定の解除を指示する。これに応じて、基板固定装置２の処理部１７が電空レギュレータ１４を制御して、スライダー１３ａが図５に示すＸ２の向きにスライドするように移動機構１３に対して圧縮空気を供給させる。これによって、クランプ部１２ｂがＸ２の向きに移動し、基板固定装置２による基板１００の固定が解除される。次いで、クランプ３２，３３による基板１００の縁部１０１ａ，１０１ｂのクランプを解除し、基板１００を基板固定装置２から取り外す。以上により、基板１００に対する検査が終了する。続いて、他の基板１００に対する検査を行う際には、上記した手順で、基板１００を基板固定装置２に固定させ、検査の実行を指示する。
【００４５】
このように、この基板固定装置２および基板検査装置１では、制御部４および電空レギュレータ１４（駆動制御部）が、圧縮空気の圧力Ｐ（駆動用パラメータ）を制御して移動機構１３を駆動させる駆動処理において、圧力Ｐを、移動機構１３によるクランプ部１２ｂの移動量Ｄｈと圧力Ｐとの相関関係から特定される基板１００の弾性変形可能範囲に基づいて規定された閾値Ｐｔに維持する。このため、この基板固定装置２および基板検査装置１によれば、基板１００に生じる張力に応じてクランプ部１２ｂの移動量Ｄｈを制御する手段を備えていない従来の基板固定装置とは異なり、基板１００に生じる張力が不足して基板の歪みや弛みが残ったり、これとは逆に張力が過大となって基板１００が塑性変形したりする事態を確実に防止して、基板１００に生じる張力が適切な状態で基板１００を固定することができる。
【００４６】
また、この基板固定装置２および基板検査装置１では、移動機構１３がエアシリンダを備えて構成され、駆動制御部がエアシリンダに供給する空気の圧力Ｐを駆動用パラメータとして制御する。このため、この基板固定装置２および基板検査装置１によれば、圧力Ｐを制御する簡易な構成でありながら、移動機構１３によるクランプ部１２ｂの移動量Ｄｈを正確に制御することができる。
【００４７】
また、この基板固定装置２および基板検査装置１では、処理部１７がクランプ部１２ｂの移動量Ｄｈと圧力Ｐの値との相関関係に基づいて基板１００の弾性変形可能範囲を特定し、弾性変形可能範囲に対応する圧力Ｐの中から閾値Ｐｔとする値を規定する閾値規定処理を実行する。このため、この基板固定装置２および基板検査装置１によれば、検査対象の基板１００の検査に先立って閾値規定処理を実行することで、基板１００の種類に対応する閾値Ｐｔを確実に規定することができるため、各種の基板１００を張力が適切な状態で固定することができる。
【００４８】
また、この基板固定装置２および基板検査装置１では、ＸＹ平面（移動平面）に対して傾斜する傾斜面４１をクランプ部１２ｂが有し、レーザ変位計１５が移動平面に対して直交しかつ傾斜面４１から離間する配置位置から傾斜面４１までの離間距離Ｄｖを検出し、処理部１７が離間距離Ｄｖに基づいてクランプ部１２ｂの位置を測定する。このため、この基板固定装置２および基板検査装置１によれば、クランプ部１２ｂの上方においてプローブ５１を移動させるプロービング機構３を用いてレーザ変位計１５を配置位置に移動させることができる。したがって、この基板固定装置２および基板検査装置１によれば、レーザ変位計１５を移動させるための専用の移動機構を設ける必要がないため、その分構成を簡略化することができる。
【００４９】
なお、基板固定装置および基板検査装置の構成は、上記した構成には限定されない。例えば、互いに対向するクランプ部１２ａ，１２ｂの一方であるクランプ部１２ｂだけを移動させる例について上記したが、クランプ部１２ａ，１２ｂの双方を移動させる構成を採用することもできる。
【００５０】
また、基板１００の縁部１０１ａ，１０１ｂを２つのクランプ部１２ａ，１２ｂでクランプして基板１００を固定する構成例について上記したが、他の２つの縁部（図５における上下２つの縁部）を２つのクランプ部でクランプして基板１００を固定する構成を採用することもできる。また、基板１００の４つの縁部の全てを４つのクランプ部でクランプして、互いに対向する各クランプ部の一方または双方を移動させる構成を採用することもできる。
【００５１】
また、３つのクランプ３３のうちの１つ（上記例ではクランプ３３ｂ）についての離間距離Ｄｖだけに基づいて移動量Ｄｈを測定する例について上記したが、３つのクランプ３３の全てについての離間距離Ｄｖを検出し、各離間距離Ｄｖに基づいて（例えば、各離間距離Ｄｖの平均値に基づいて）移動量Ｄｈを測定する構成を採用することもできる。
【００５２】
また、クランプ３３に形成した傾斜面４１の上方にレーザ変位計１５を配置して、レーザ変位計１５から傾斜面４１までの離間距離Ｄｖからクランプ部１２ｂの位置を測定する例について上記したが、レーザ変位計１５をクランプ３３の側面（例えば、図４における右側の面）に対向する位置にレーザ変位計１５を位置し、そのレーザ変位計１５からクランプ３３の側面までの離間距離からクランプ部１２ｂの位置を測定する構成を採用することもできる。
【００５３】
また、レーザ変位計１５を用いて離間距離Ｄｖを測定する例について上記したが、例えばダイヤルゲージ等の機械式の測定機器を用いて離間距離Ｄｖを測定する構成を採用することもできる。
【００５４】
また、処理部１７が閾値規定処理を実行して閾値Ｐｔを規定する例について上記したが、予め規定した（例えば、外部機器を用いて算出した）閾値Ｐｔを記憶部１６に記憶させる構成を採用することもできる。
【符号の説明】
【００５５】
１  基板検査装置
２  基板固定装置
３  プロービング機構
４  制御部
１２ａ，１２ｂ  クランプ部
１３  移動機構
１４  電空レギュレータ
１５  レーザ変位計
１６  記憶部
１７  処理部
３３ａ〜３３ｃ  クランプ
４１  傾斜面
５１  プローブ
１００  基板
１０１ａ，１０１ｂ  縁部
Ｄｈ  移動量
Ｄｖ  離間距離
Ｐ  圧力
Ｐｔ  閾値
【図１】
2016139764.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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