(57)【要約】      （修正有）【課題】低コストかつ容易に製造可能であり、さらに感度の低下を抑制することのできる振動素子を提供する。【解決手段】振動素子は、基部と、基部から延出する駆動腕５および検出腕６とを備える。また、検出腕６は、上面６１、下面６２、側面６３、６４を有し、上面６１、６２と側面６４との間には、第１、第２段差部６５、６６が形成されている。また、側面６３には、接地された第１検出電極８１が形成されており、第１段差部６５の第１段差側面６５１には、第２検出電極８２が形成されており、第２段差部６６の第２段差側面６６１には、第３検出電極８３が形成されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
前記基部から延出している第１振動腕と、
前記第１振動腕に配置されている少なくとも３つの電極と、を備え、
前記第１振動腕は、表裏関係にある第１主面および第２主面と、前記第１主面と前記第２主面とを連結する一対の側面である第１側面および第２側面と、前記第１主面または前記第２主面と前記第２側面との間に形成されている段差部と、を有し、
前記段差部は、前記第１主面に交わる段差側面と、前記第２側面に交わる段差面と、を有し、
前記少なくとも３つの電極は、前記第１側面に配置されている第１電極と、前記第２側面および前記段差側面のうちの一方に配置されている第２電極および他方に配置されている第３電極と、を有し、
前記第２電極および前記第３電極は、前記段差面にて分離され、
前記第１電極は、基準電位点に接続されていることを特徴とする振動素子。
【請求項２】
前記基部から前記第１振動腕と並んで延在する第２振動腕と、
前記第２振動腕に配置され、前記第２駆動腕を屈曲振動させる駆動電極と、を有し、
前記第１振動腕は、前記第１側面を前記第２振動腕と対向させて設けられている請求項１に記載の振動素子。
【請求項３】
前記第２電極および前記第３電極は、前記第１振動腕が前記第１主面と前記第２主面の離間方向に屈曲振動する際に、前記第１電極との間に発生する電界の向きが互いに逆向きとなるように設けられている請求項１または２に記載の振動素子。
【請求項４】
前記第１電極は、前記第１主面と前記第２主面の離間方向の全域にわたって配置されている請求項１ないし３のいずれか１項に記載の振動素子。
【請求項５】
前記第１電極は、前記第１主面および前記第２主面に跨って配置されている請求項４に記載の振動素子。
【請求項６】
前記段差部は、複数の段差からなる請求項１ないし５のいずれか１項に記載の振動素子。
【請求項７】
前記第１振動腕は、さらに、前記第１主面または前記第２主面と前記第１側面との間に配置されている段差部を有している請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振動素子。
【請求項８】
前記第１振動腕は、前記第１主面または前記第２主面に配置され、前記第１振動腕の長手方向に延在する溝を有し、
前記溝は、前記第１主面または前記第２主面に交わる一対の溝側面であって、前記第１側面側に位置する第１溝側面および前記第２側面側に位置する第２溝側面と、前記第１溝側面および前記第２溝側面を連結する溝底面と、を有し、
前記少なくとも３つの電極は、さらに、前記第１溝側面に配置された第４電極と、前記第２溝側面に配置された第５電極とを有し、
前記第１電極と前記第４電極とが対向配置され、前記第２電極または前記第３電極と前記第５電極とが対向配置されている請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動素子。
【請求項９】
基部と、前記基部から並んで延出する第１振動腕とを有し、前記第１振動腕が、表裏関係にある第１主面および第２主面と、前記第１主面と前記第２主面とを連結する一対の側面である第１側面および第２側面と、前記第１主面または前記第２主面と前記第２側面との間に形成されている段差部と、を備え、前記段差部が、前記第１主面に交わる段差側面と、前記第２側面に交わる段差面とを有する振動片を用意する工程と、
前記第１振動腕の表面に電極膜を配置するとともに、前記電極膜上にフォトレジスト膜を配置する工程と、
前記第１主面、前記第２主面および前記段差面の前記フォトレジスト膜を前記第１主面および前記第２主面から露光してパターニングする工程と、
前記パターニングにより前記フォトレジスト膜から露出した部分の前記電極膜を除去することにより、前記第１側面に位置し基準電位に接続される第１電極と、前記段差面にて分離され、前記第２側面および前記段差側面の一方に位置する第２電極および他方に位置する第３電極と、を形成する工程とを有することを特徴とする振動素子の製造方法。
【請求項１０】
請求項１ないし８のいずれか１項に記載の振動素子と、
前記振動素子を収納したパッケージと、を備えていることを特徴とする振動デバイス。
【請求項１１】
請求項１ないし８のいずれか１項に記載の振動素子を備えていることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動素子、振動デバイスおよび電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、角速度を検出するための振動素子として、音叉型のジャイロ素子が知られている（特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１のジャイロ素子は、基部と、基部から両側へＹ軸方向に延出する一対の振動腕を有している。また、一対の振動腕のうちの一方は、ジャイロ素子を駆動するための駆動腕であり、他方は、角速度を検出するための検出腕である。
【０００４】
駆動腕の一方の側面には、その上面側に第１検出電極が形成され、下面側に第２検出電極が形成されている。また、他方の側面には、その上面側に第２検出電極が形成され、下面側に第１検出電極が形成されている。このような電極配置とすることにより、検出腕がＺ軸方向に屈曲振動した際に発生する電界が直線的となり、対向する第１、第２検出電極間で電荷を検出し易くなる。
【０００５】
しかしながら、特許文献１のジャイロ素子では、検出腕の側面に形成された電極を第１、第２検出電極に分割しなければならないため、その製造が困難である。
【０００６】
具体的には、まず、検出腕の全面に金属膜を成膜し、さらに金属膜上にフォトレジスト膜（ポジ型のフォトレジスト膜）を成膜する。次に、除去したい電極膜の部分（第１、第２検出電極となる部分以外の部分）に対応するようにマスクを介してフォトレジスト膜に露光光を照射して露光し、露光した部分を現像液で除去する。これにより、第１、第２検出電極に対応する部分にのみフォトレジスト膜が形成されたレジストパターンが形成される。そして、このレジストパターンを介してウェットエッチングすることにより、電極膜のレジストパターンから露出している部分を除去する。これにより、検出腕に第１、第２検出電極が形成される。
【０００７】
このような工程の際、側面に形成された電極膜を第１、第２検出電極に分割するために、側面に露光光を照射する必要があり、露光光を上面側または下面側から斜めに照射しなければならない。しかしながら、一般的な露光機では、露光光を斜めに照射するのは困難である。また、マスクを通過する際の露光光の回析等によって、解像度が低下し、パターン精度が悪くなる。したがって、特許文献１のジャイロ素子では、その製造が困難である。
【０００８】
また、例えば、露光光を斜めに精度よく照射するためには、コンタクト露光を行う必要があるが、コンタクト露光は、上面側または下面側の片面側からの露光となるため製造工程が複雑化する。また、マスクの寿命も短いという問題もある。また、特殊な装置を用いる必要もある。したがって、引用文献１のジャイロ素子では、その製造コストが高くなる。
【０００９】
さらには、特許文献１のジャイロ素子では、駆動腕と検出腕とが並んで配置されているため、駆動腕の検出腕側の側面に形成された駆動電極と、検出腕の駆動腕側の側面に形成された第１、第２検出電極との間で容量結合（静電容量）が生じ、この容量を介して駆動信号が検出電極へ不要な信号として混入し（容量結合が生じ）、Ｓ／Ｎ比を悪化させる。また、温度などの外乱がジャイロ素子に加わり、駆動振動および駆動信号の大きさが変動すると、容量結合により変動分が検出電極へ出力されるため温度特性を著しく悪化させる。したがって、特許文献１のジャイロ素子では、Ｓ／Ｎ比や温度特性が悪化する問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００７−９３４００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の目的は、低コストかつ容易に製造可能であり、さらに感度の低下を抑制することのできる振動素子、振動デバイスおよび電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【００１３】
［適用例１］
本適用例の振動素子は、基部と、
前記基部から延出している第１振動腕と、
前記第１振動腕に配置されている少なくとも３つの電極と、を備え、
前記第１振動腕は、表裏関係にある第１主面および第２主面と、前記第１主面と前記第２主面とを連結する一対の側面である第１側面および第２側面と、前記第１主面または前記第２主面と前記第２側面との間に形成されている段差部と、を有し、
前記段差部は、前記第１主面に交わる段差側面と、前記第２側面に交わる段差面と、を有し、
前記少なくとも３つの電極は、前記第１側面に配置されている第１電極と、前記第２側面および前記段差側面のうちの一方に配置されている第２電極および他方に配置されている第３電極と、を有し、
前記第２電極および前記第３電極は、前記段差面にて分離され、
前記第１電極は、基準電位点に接続されていることを特徴とする。
【００１４】
これにより、フォトエッチングにて第１振動腕上の電極を形成する際の露光工程において、第１主面および第２主面側から垂直な露光光を照射することができるため、高い解像度でのパターニングが可能となる。そのため、電極を、簡単かつ高精度に形成することができる。また、一般的な露光機を用いることができるため、低コストとなる。
【００１５】
また、第１電極が基準電位点に接続（接地）されているため、第１電極の周囲に配置された電極や配線等と第２電極および第３電極との間に発生する容量結合を遮蔽することができる。そのため、不要信号の混入を抑制することができ、振動素子のＳ／Ｎ比を高めることができる。
【００１６】
［適用例２］
本適用例の振動素子では、前記基部から前記第１振動腕と並んで延在する第２振動腕と、
前記第２振動腕に配置され、前記第２駆動腕を屈曲振動させる駆動電極と、を有し、
前記第１振動腕は、前記第１側面を前記第２振動腕と対向させて設けられていることが好ましい。
【００１７】
これにより、駆動電極と第２電極および第３電極との間の容量結合を遮蔽することができ、駆動信号からの不要信号の混入を抑制することができる。
【００１８】
［適用例３］
本適用例の振動素子では、前記第２電極および前記第３電極は、前記第１振動腕が前記第１主面と前記第２主面の離間方向に屈曲振動する際に、前記第１電極との間に発生する電界の向きが互いに逆向きとなるように設けられていることが好ましい。
【００１９】
これにより、第１電極と第２電極の間から取り出される電気信号と、第１電極と第３電極の間から取り出される電気信号とが異符号となり、これらを合わせることにより、より大きな電気信号を得ることができる。すなわち、感度を高めることができ、Ｓ／Ｎ比をさらに高めることができる。
【００２０】
［適用例４］
本適用例の振動素子では、前記第１電極は、前記第１主面と前記第２主面の離間方向の全域にわたって配置されていることが好ましい。
【００２１】
これにより、例えば、第２振動腕に形成された電極と第２電極および第３電極との間の容量結合を効果的に遮蔽することができる。
【００２２】
［適用例５］
本適用例の振動素子では、前記第１電極は、前記第１主面および前記第２主面に跨って配置されていることが好ましい。
【００２３】
これにより、例えば、第２振動腕に形成された電極と第２電極および第３電極との間の容量結合を効果的に遮蔽することができる。
【００２４】
［適用例６］
本適用例の振動素子では、前記段差部は、複数の段差からなることが好ましい。
【００２５】
これにより、複数の段差側面から所定の段差側面を選択して第２電極または第３電極を形成することにより、第１電極との離間距離および静電容量を条件に応じて調整することができる。
【００２６】
［適用例７］
本適用例の振動素子では、前記第１振動腕は、さらに、前記第１主面または前記第２主面と前記第１側面との間に配置されている段差部を有していることが好ましい。
これにより、第１振動腕を面外方向へバランスよく振動させることができる。
【００２７】
［適用例８］
本適用例の振動素子では、前記第１振動腕は、前記第１主面または前記第２主面に配置され、前記第１振動腕の長手方向に延在する溝を有し、
前記溝は、前記第１主面または前記第２主面に交わる一対の溝側面であって、前記第１側面側に位置する第１溝側面および前記第２側面側に位置する第２溝側面と、前記第１溝側面および前記第２溝側面を連結する溝底面と、を有し、
前記少なくとも３つの電極は、さらに、前記第１溝側面に配置された第４電極と、前記第２溝側面に配置された第５電極とを有し、
前記第１電極と前記第４電極とが対向配置され、前記第２電極または前記第３電極と前記第５電極とが対向配置されていることが好ましい。
【００２８】
これにより、対応する電極間の距離をいずれも小さくすることができ、電極間の静電容量を大きくすることができる。そのため、第１振動腕の屈曲振動により発生する電荷を効率よく検出することができる。
【００２９】
［適用例９］
本適用例の振動素子の製造方法は、基部と、前記基部から並んで延出する第１振動腕とを有し、前記第１振動腕が、表裏関係にある第１主面および第２主面と、前記第１主面と前記第２主面とを連結する一対の側面である第１側面および第２側面と、前記第１主面または前記第２主面と前記第２側面との間に形成されている段差部と、を備え、前記段差部が、前記第１主面に交わる段差側面と、前記第２側面に交わる段差面とを有する振動片を用意する工程と、
前記第１振動腕の表面に電極膜を配置するとともに、前記電極膜上にフォトレジスト膜を配置する工程と、
前記第１主面、前記第２主面および前記段差面の前記フォトレジスト膜を前記第１主面および前記第２主面から露光してパターニングする工程と、
前記パターニングにより前記フォトレジスト膜から露出した部分の前記電極膜を除去することにより、前記第１側面に位置し基準電位に接続される第１電極と、前記段差面にて分離され、前記第２側面および前記段差側面の一方に位置する第２電極および他方に位置する第３電極と、を形成する工程とを有することを特徴とする。
【００３０】
これにより、従来のフォトエッチング技術を利用し、一般的な露光機を用いた露光によって、電極を高精度に形成することができる。また、従来のような斜め露光の必要もないため、製造コストも抑えることができる。
【００３１】
［適用例１０］
本適用例の振動デバイスは、上記適用例の振動素子と、
前記振動素子を収納したパッケージと、を備えていることを特徴とする振動デバイス。
これにより、信頼性に優れる振動デバイスが得られる。
【００３２】
［適用例１１］
本適用例の電子機器は、上記適用例の振動素子を備えていることを特徴とする。
これにより、信頼性に優れる電子機器が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の振動デバイスの第１実施形態を示す断面図である。
【図２】図１に示す振動デバイスが備える振動素子の平面図である。
【図３】図２中のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】図２に示す振動素子の駆動を説明するための断面図である。
【図５】図２に示す振動素子の製造方法を示す断面図である。
【図６】図２に示す振動素子の製造方法を示す断面図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係る振動デバイスが有する振動素子の平面図および断面図である。
【図８】本発明の第３実施形態に係る振動デバイスが有する振動素子の平面図および断面図である。
【図９】本発明の第４実施形態に係る振動デバイスが有する振動素子の平面図および断面図である。
【図１０】本発明の第５実施形態に係る振動デバイスが有する振動素子の平面図および断面図である。
【図１１】本発明の第６実施形態に係る振動デバイスが有する振動素子の平面図および断面図である。
【図１２】本発明の第７実施形態に係る振動デバイスが有する振動素子の平面図および断面図である。
【図１３】本発明の第８実施形態に係る振動デバイスが有する振動素子の平面図および断面図である。
【図１４】本発明の第９実施形態に係る振動デバイスが有する振動素子の平面図および断面図である。
【図１５】図１４中のＩ−Ｉ線断面図である。
【図１６】本発明の第１０実施形態に係る振動デバイスの平面図である。
【図１７】図１６中のＪ−Ｊ線断面図である。
【図１８】図１６に示す振動デバイスの変形例を示す平面図である。
【図１９】本発明の第１１実施形態に係る振動デバイスの平面図である。
【図２０】図１９中のＫ−Ｋ線断面図である。
【図２１】本発明の振動素子を備える電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【図２２】本発明の振動素子を備える電子機器を適用した携帯電話機（スマートフォン、ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【図２３】本発明の振動素子を備える電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
以下、本発明の振動素子、振動デバイスおよび電子機器を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００３５】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の振動デバイスの第１実施形態を示す断面図、図２は、図１に示す振動デバイスが備える振動素子の平面図、図３は、図２中のＡ−Ａ線断面図、図４は、図２に示す振動素子の駆動を説明するための断面図、図５および図６は、図２に示す振動素子の製造方法を示す断面図である。
【００３６】
なお、以下では、図１に示すように、互いに直交する３軸を、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸とする。また、Ｘ軸に平行な方向「Ｘ軸方向」と言い、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」と言い、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」と言う。また、Ｘ軸およびＹ軸で規定される平面を「ＸＹ平面」と言い、Ｙ軸およびＺ軸で規定される平面を「ＹＺ平面」と言い、Ｚ軸およびＸ軸で規定される平面を「ＸＺ平面」と言う。また、図２〜図６の上側を「上」と言い、下側を「下」と言い、右側を「右」と言い、左側を「左」とも言う。
【００３７】
図１に示す振動デバイス１は、ジャイロ素子としての振動素子２と、振動素子２を収納するパッケージ９とを有している。以下、振動素子２およびパッケージ９について順次詳細に説明する。
【００３８】
１．振動素子
図２は、上側から（蓋部材９３側）から見た振動素子２の上面図である。なお、図２では、説明の便宜上、後述する各種電極の図示を省略している。
【００３９】
振動素子２は、Ｙ軸まわりの角速度ωｙを検出することのできるジャイロ素子（角速度検出素子）である。このような振動素子２は、振動片３と、振動片３に形成された複数の電極とで構成されている。
【００４０】
振動片３は、圧電体材料で構成されている。圧電体材料としては、例えば、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、ホウ酸リチウム、チタン酸バリウム等が挙げられる。特に、振動片３を構成する圧電体材料としては、水晶が好ましい。水晶で振動片３を構成すると、振動片３の振動特性（特に周波数温度特性）を優れたものとすることができる。また、エッチングにより高い寸法精度で振動片３を形成することができる。
【００４１】
図２に示す振動片３は、ＸＹ平面に広がりを有し、Ｚ軸方向に厚みを有している。また、振動片３は、基部４と、基部４から延出している２本の振動腕５、６とで構成されている。２本の振動腕５、６のうちの振動腕（第２振動腕）５は、振動素子２を駆動させるための駆動振動腕として機能し、一方の振動腕（第１振動腕）６は、角速度ωを検出するための検出振動腕として機能する。なお、以下では、説明の便宜上、振動腕５を「駆動腕５」とも言い、振動腕６を「検出腕６」とも言う。
【００４２】
基部４は、ＸＹ平面に広がりを有し、Ｚ軸方向に厚みを有している。このような基部４の一端から駆動腕５および検出腕６が延出している。駆動腕５および検出腕６は、Ｘ軸方向に並んで、基部４から延出している。また、駆動腕５および検出腕６は、互いに平行に、かつＹ軸方向に延在している。
【００４３】
図３に示すように、駆動腕５は、表裏関係にありＺ軸方向に対向する上面５１および下面５２と、上面５１および下面５２を連結しＸ軸方向に対向する一対の側面５３、５４とを有している。上面５１および下面５２は、それぞれ、ＸＹ平面で構成されており、側面５３、５４は、それぞれ、ＹＺ平面で構成されている。
【００４４】
また、駆動腕５の上面５１には、Ｙ軸方向に延在する溝５５が形成されており、下面５２には、Ｙ軸方向に延在する溝５６が形成されている。溝５５、５６は、駆動腕５の中心に対して対称的に形成されている。また、各溝５５、５６は、略矩形の横断面形状を有している。すなわち、駆動腕５は、略「Ｈ」状の横断面形状を有している。
【００４５】
このような駆動腕５には、駆動腕５をＸ軸方向に屈曲振動させるための第１駆動電極７１および第２駆動電極７２が配置されている。第１駆動電極７１は、側面５３、５４に配置されており、第２駆動電極７２は、溝５５、５６の内面に配置されている。
【００４６】
側面５３に配置された第１駆動電極７１は、側面５３の幅方向（Ｚ軸方向）の全域にわたって配置されているとともに、上面５１および下面５２に跨って配置されている。同様に、側面５４に配置された第１駆動電極７１は、側面５４の幅方向の全域にわたって配置されているとともに、上面５１および下面５２に跨って配置されている。
【００４７】
また、溝５５の内面に配置された第２駆動電極７２は、溝５５の幅方向（Ｘ軸方向）の全域にわたって配置されているとともに、上面５１に跨って形成されている。同様に、溝５６の内面に形成された第２駆動電極７２は、溝５６の幅方向の全域にわたって配置されているとともに、下面５２に跨って形成されている。
【００４８】
各側面５３、５４に配置された２つの第１駆動電極７１と、溝５５に配置された第２駆動電極７２とは、上面５１にて分離されており、各側面５３、５４に配置された２つの第１駆動電極７１と、溝５６に配置された第２駆動電極７２とは、下面５２にて分離されている。
【００４９】
第１、第２駆動電極７１、７２をこのような構成とすることにより、第１、第２駆動電極７１、７２の形成が容易となる。
【００５０】
第１、第２駆動電極７１、７２の構成としては、特に限定されず、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等の金属材料、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）等の導電材料により形成することができる。
【００５１】
中でも、第１、第２駆動電極７１、７２の構成材料としては、金を主材料とする金属（金、金合金）、白金を用いるのが好ましく、金を主材料とする金属（特に金）を用いるのがより好ましい。Ａｕは、導電性に優れ（電気抵抗が小さく）、酸化に対する耐性に優れているため、電極材料として好適である。また、ＡｕはＰｔに比しエッチングにより容易にパターニングすることができる。
【００５２】
なお、例えば、第１、第２駆動電極７１、７２を金で構成し、振動片３を水晶で構成した場合、これらの密着性が低い。そのため、このような場合、各第１、第２駆動電極７１、７２と振動片３との間に、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｎｉ等で構成された下地層を設けるのが好ましい。これにより、下地層と駆動腕５との密着性、および、下地層と第１、第２駆動電極７１、７２との密着性を高めることができる。その結果、第１、第２駆動電極７１、７２が駆動腕５から剥離するのを防止することができる。
【００５３】
図３に示すように、検出腕６は、表裏関係にありＺ軸方向に対向する上面（第１主面）６１および下面（第２主面）６２と、上面６１および下面６２を連結し、Ｘ軸方向に対向する一対の側面６３、６４とを有している。なお、一対の側面６３、６４のうちの側面（第１側面）６３が駆動腕５側に位置し、側面（第２側面）６４が駆動腕５と反対側に位置している。また、検出腕６は、上面６１と側面６４との間に第１段差部６５を有し、下面６２と側面６４との間に第２段差部６６を有している。
【００５４】
上面６１および下面６２は、それぞれ、ＸＹ平面で構成されており、側面６３は、ＹＺ平面で構成されている。
【００５５】
また、第１段差部６５は、上面６１に交わる右向き（＋Ｘ軸向き）の第１段差側面６５１と、側面６４に交わる上向き（＋Ｚ向き）の第１段差面６５２とにより構成されている。第１段差側面６５１は、ＹＺ平面で構成されており、第１段差面６５２は、ＸＹ平面で構成されている。
【００５６】
また、第２段差部６６は、下面６２に交わる右向き（＋Ｘ軸向き）の第２段差側面６６１と、側面６４に交わる下向き（−Ｚ軸向き）の第２段差面６６２とにより構成されている。第２段差側面６６１は、ＹＺ平面で構成されており、第２段差面６６２は、ＸＹ平面で構成されている。
【００５７】
第１段差部６５と第２段差部６６は、検出腕６の厚さを二等分する線（検出腕６の中心軸と交わりＸ軸に平行な線）Ｌに対して対称的に形成されている。これにより、検出腕６をバランスよくＺ軸方向に屈曲振動させることができる。
【００５８】
このような検出腕６には、角速度ωｙを電気信号として取り出すための第１検出電極（第１電極）８１、第２検出電極（第２電極）８２および第３検出電極（第３電極）８３が形成されている。第１検出電極８１は、側面６３に配置されており、第２検出電極８２は、第１段差側面６５１に配置されており、第３検出電極８３は、第２段差側面６６１に配置されている。振動素子２に角速度ωｙを加えることでＺ軸方向の屈曲振動が生じ、このＺ軸方向の屈曲振動により第２検出電極８２および第３検出電極８３に発生した電荷を図示しない検出回路にて検出する。
【００５９】
図３に示すように電極を形成することで、駆動腕５と検出腕６間に発生する電気力線Ｃは、駆動腕５の側面に形成された第１駆動電極７１と第１検出電極８１との間に形成され、第２検出電極８２および第３検出電極８３へは流れない。ここで、第１検出電極８１は接地され（基準電位点に接続されており）、電気力線Ｃを介して流れた電荷は大地へと流れる。以上のように、第１検出電極８１によって第２検出電極８２および第３検出電極８３を静電的にシールドすることができ、第１駆動電極７１からの不要信号を遮蔽することができるため、Ｓ／Ｎ比を高めることができる。
【００６０】
このような第１検出電極８１は、側面６３の高さ方向（Ｚ軸方向）の全域にわたって形成されているとともに、上面６１および下面６２に跨って形成されている。これにより、前述した漏れ出力をより低減することができる。
【００６１】
また、第２、第３検出電極８２、８３は、互いに異極となるように配置されている。具体的には、第２、第３検出電極８２、８３は、後述するように、検出腕６がＺ軸方向に屈曲振動する際に、第１検出電極８１との間に互いに逆向きの電界が発生するように配置されている。これにより、得られる電気信号が大きくなり、振動素子２の感度を高めることができる。
【００６２】
このような第２検出電極８２は、第１段差側面６５１の高さ（Ｚ軸方向）の全域にわたって形成されているとともに、上面６１および第１段差面６５２に跨って形成されている。一方の第３検出電極８３は、第２段差側面６６１の高さ方向の全域にわたって形成されているとともに、下面６２および第２段差面６６２に跨って形成されている。
【００６３】
なお、検出腕６には、これら第１〜第３検出電極８１、８２、８３の他に、角速度ωｙの検知に用いられない電極８９が形成されている。電極８９は、側面６４に配置されている。また、電極８９は、側面６４の高さ方向の全域にわたって配置されているとともに、第１段差面６５２および第２段差面６６２に跨って配置されている。このような電極８９は、後述する製造方法によって振動素子２を製造する場合に発生するものであり、他のどこにも電気的に接続されていないか、接地されている。なお、電極８９は、省略してもよい。
【００６４】
第１検出電極８１と第２検出電極８２は、上面６１にて分離されており、第１検出電極８１と第３検出電極８３は、下面６２にて分離されている。また、第２検出電極８２と電極８９は、第１段差面６５２にて分離されており、第３検出電極８３と電極８９は、第２段差面６６２にて分離されている。このように、第１〜第３検出電極８１〜８３および電極８９は、ＸＹ平面で構成された上面６１、下面６２、第１段差面６５２および第２段差面６６２のいずれにおいて互いに分離されている。第１〜第３検出電極８１〜８３および電極８９をこのように配置することによって、第１〜第３検出電極８１〜８３の形成が容易となる。
【００６５】
具体的には、後述する製造方法でも説明するが、第１〜第３検出電極８１〜８３は、検出腕６の表面に一様に成膜された電極膜１００をフォトエッチングすることにより形成される。このような方法では、まず、電極膜１００上にフォトレジスト膜（ポジ型のフォトレジスト膜）１１０を形成する。次に、フォトレジスト膜１１０の電極膜１００を除去する部分に対応する部分を露光し、露光した部分を現像液によって除去し、レジストパターン１１１を形成する。電極膜１００を除去する部分は、第１〜第３検出電極８１〜８３および電極８９を互いに分離する部分に相当し、当該部分は、前述したように、ＸＹ平面である上面６１、下面６２、第１段差面６５２および第２段差面６６２に存在する。したがって、フォトレジスト膜１１０を露光する際に、ＸＹ平面に垂直な露光光を用いることができる。その結果、特殊な装置や手法を用いることなく、一般的な露光機を用いた両面露光（上面６１側および下面６２側からの露光）が可能となる。そのため、微細なパターンであっても容易にかつ高精度に転写することができ、製造上不良率を小さくして歩留まりを向上させ、製造コストを低減できるとともに、屈曲振動片の小型化にも対応することができる。なお、上記効果は、駆動腕５に形成された第１、第２駆動電極７１、７２の製造にも同様に発揮される。
【００６６】
なお、第１〜第３検出電極８１〜８３および電極８９の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、前述した第１、第２駆動電極７１、７２と同様の材料を用いることができる。
【００６７】
２．パッケージ
以上のような構成の振動素子２は、パッケージ９に収容・固定されている。
【００６８】
パッケージ９は、板状のベース基板９１と、枠状の枠部９２と、板状の蓋部材９３とを有している。パッケージ９は、その他、必要に応じて、パッケージ９内に形成され、振動素子２と電気的に接続される電極や、この電極をパッケージ９の外部へ引き出すための導体ポスト等を有していてもよい。
【００６９】
ベース基板９１、枠部９２および蓋部材９３は、下側から上側へこの順で積層されている。ベース基板９１と枠部９２とは、セラミック材料等で形成されており、互いに一体に焼成されることで接合されている。
【００７０】
枠部９２と蓋部材９３は、接着剤あるいはろう材等により接合されている。パッケージ９は、ベース基板９１、枠部９２および蓋部材９３で画成された内部空間Ｓに、振動素子２を収納している。なお、パッケージ９内には、振動素子２の他、振動素子２を駆動する電子部品（発振回路）等を収納することもできる。
【００７１】
ベース基板９１の構成材料としては、絶縁性を有しているものが好ましく、例えば、各種ガラス、酸化物セラミックス、窒化物セラミックス、炭化物系セラミックス等の各種セラミックス材料、ポリイミド等の各種樹脂材料などを用いることができる。
【００７２】
また、枠部９２および蓋部材９３の構成材料としては、例えば、ベース基板９１と同様の構成材料、Ａｌ、Ｃｕのような各種金属材料、各種ガラス材料等を用いることができる。
【００７３】
このベース基板９１の上面には、固定材９６を介して、前述した振動素子２が固定されている。この固定材９６は、例えば、エポキシ系、ポリイミド系、シリコーン系等の接着剤で構成されている。このような固定材９６は、未硬化（未固化）の接着剤をベース基板９１上に塗布し、さらに、この接着剤上に振動素子２を載置した後、その接着剤を硬化または固化させることにより形成される。これにより、振動素子２がベース基板９１に確実に固定される。
【００７４】
なお、この固定は、導電性粒子を含有するエポキシ系、ポリイミド系、シリコーン系等の導電性接着剤を用いて行ってもよい。
【００７５】
３．振動素子の駆動方法
次に、振動素子２の駆動方法（角速度ωの検出方法）について説明する。
【００７６】
第１駆動電極７１および第２駆動電極７２の間に交流電圧を印加すると、これら電極７１、７２の間に図４（ａ）中の実線および破線の矢印で示すような電界が発生する。これにより、駆動腕５は、上面６１および下面６２と同じＸＹ面内にて屈曲振動する。一方の検出腕６は、駆動腕５の屈曲振動とバランスを取るように、同じくＸＹ平面内にて、駆動腕５とは逆向きに屈曲振動する。すなわち、駆動腕５および検出腕６は、ＸＹ平面内にて、互いに接近、離間を繰り返すように屈曲振動する。
【００７７】
この状態にて、振動素子２がＹ軸まわりに回転し、振動素子２にＹ軸まわりの角速度ωｙが加わると、駆動腕５の振動方向およびＹ軸に直交するＺ軸方向のコリオリ力が作用する。このようなコリオリ力が加わることにより、駆動腕５および検出腕６は、Ｚ軸方向に互いに逆向きに屈曲振動する。このとき、検出腕６には、図４（ｂ）中の実線および破線の矢印で示すように、第１検出電極８１と第２検出電極８２との間、第１検出電極８１と第３検出電極８３との間に互いに逆向きの電界が発生する（例えば、検出腕６が上面側へ屈曲した場合に実線で示す電界が発生し、反対に、検出腕６が下面側へ屈曲した場合に破線で示す電界が発生する）。このような電界によって発生する電荷を第１検出電極８１と第２検出電極８２との間および第１検出電極８１と第３検出電極８３との間から電気信号として取り出すことにより、振動素子２に加わったＹ軸まわりの角速度ωｙを検出することができる。
【００７８】
振動素子２によれば、第１、第２段差部６５、６６を形成しているため、第１検出電極８１と第２検出電極８２の距離と、第１検出電極８１と第３検出電極８３の距離とを、例えば、従来の構成よりも短くすることができる。そのため、検出腕６がＺ軸方向に屈曲振動する際に発生する電荷を第１検出電極８１と第２検出電極８２および第１検出電極８１と第３検出電極８３にて効率良く検出することができる。
【００７９】
また、第１検出電極８１と第２検出電極８２の距離と、第１検出電極８１と第３検出電極８３の距離とが互いに一致しているため、第１検出電極８１と第２検出電極８２の間および第１検出電極８１と第３検出電極８３の間で検出した電気信号がバランスよく出力される。
【００８０】
また、振動素子２では、第１検出電極８１を接地することにより、第２検出電極８２と第３検出電極８３を静電的にシールドでき、側面５４に形成された第１駆動電極７１（７１’）と第２検出電極８２と第３検出電極８３との容量結合による不要信号の混入を遮蔽することができ、Ｓ／Ｎ比を高めることができる。そのため、振動素子２は、Ｓ／Ｎ比を有するものとなる。また、容量結合による不要信号の混入を遮蔽することで、温度などの外乱が振動素子２に加わり、駆動振動および駆動信号の大きさが変動した場合にも、容量結合により変動分が検出電極へ出力されないため、振動素子２の温度特性の低下を抑制することができる。そのため、振動素子２の信頼性が向上する。
【００８１】
特に、本実施形態１では、第１検出電極８１を、側面６３の幅方向の全域にわたって形成し、さらに上面６１および下面６２に跨って形成している。そのため、第１検出電極８１によって第１駆動電極７１からの容量結合をより効果的に（具体的には、上面６１や下面６２側に回り込むような容量結合も）遮蔽することができ、容量結合による不要信号の混入をより低減することができる。なお、上記では、第１駆動電極７１’からの容量結合について説明したが、同様に、第２駆動電極７２からの容量結合についても、効果的に遮蔽することができる。
【００８２】
４．振動素子の製造方法
次に、振動素子２の製造方法（本発明の振動素子の製造方法）について説明する。
【００８３】
振動素子２の製造方法は、［１］基部４、駆動腕５および検出腕６で構成された振動片３を用意する工程と、［２］駆動腕５および検出腕６の表面に電極膜１００を配置するとともに、電極膜１００上にフォトレジスト膜１１０を配置する工程と、［３］駆動腕５の上面５１および下面５２のフォトレジスト膜１１０を露光してパターニングするとともに、検出腕６の上面６１、下面６２、第１段差面６５２および第２段差面６６２のフォトレジスト膜１１０を露光してレジストパターン１１１を配置する工程と、［４］レジストパターン１１１から露出した部分の電極膜１００を除去し、駆動腕５に第１、第２駆動電極７１、７２を形成するとともに、検出腕６に第１〜第３検出電極８１〜８３を形成する工程と、［５］フォトレジスト膜１１０（レジストパターン１１１）を除去する工程とを有している。
【００８４】
［１］
まず、図５（ａ）に示すように、水晶等のウエハをフォトエッチングすることで、基部４、駆動腕５および検出腕６で構成された振動片３を形成する。ただし、図５（ａ）では、基部４は図示していない。
【００８５】
［２］
次に、図５（ｂ）に示すように、駆動腕５および検出腕６の全周（全面）に、電極膜１００を成膜し、さらに、電極膜１００上にフォトレジスト膜１１０を成膜する。
【００８６】
［３］
次に、図５（ｃ）に示すように、駆動腕５および検出腕６の上方および下方にそれぞれ投影レンズ１３０、１４０を配置し、さらにその上方および下方にそれぞれフォトマスク１５０、１６０を配置する。フォトマスク１５０、１６０には、露光したいフォトレジスト膜１１０の領域に対応する開口部１５０ａ〜１５０ｄ、１６０ａ〜１６０ｄが設けられている。次に、一般的な露光機を用いて、上面側および下面側から同時に紫外線を投影レンズ１３０、１４０を通して垂直に照射する。なお、紫外線は、上下から同時に照射しなくてもよく、順に行ってもよい。
【００８７】
次に、フォトレジスト膜１１０を現像し、露光した領域を除去することにより、図６（ａ）に示すようレジストパターン１１１を形成し、除去した領域から電極膜１００を露出させる。
【００８８】
［４］
次に、図６（ｂ）に示すように、電極膜１００の露出部分をウェットエッチングにより除去し、水晶面（駆動腕５および検出腕６）を露出させる。これにより、駆動腕５に第１、第２駆動電極７１、７２が形成されるとともに、検出腕６に第１、第２、第３検出電極８１、８２、８３が形成される。
【００８９】
［５］
最後に、図６（ｃ）に示すように、残存するレジストパターン１１１を除去する。
以上の工程によって、振動素子２が得られる。
【００９０】
このような製造方法によれば、ＸＹ平面で構成された面のフォトレジスト膜１１０を露光すればよいため、特殊な装置や手法を用いることなく、一般的な露光機を用いた両面露光（上面６１側および下面６２側からの露光）が可能となる。そのため、微細なパターンであっても容易にかつ高精度に転写することができ、製造上不良率を小さくして歩留まりを向上させ、製造コストを低減できるとともに、屈曲振動片の小型化にも対応することができる。
【００９１】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の振動デバイスの第２実施形態について説明する。
【００９２】
図７は、本発明の第２実施形態に係る振動デバイスが有する振動素子の平面図および断面図である。なお、図７（ｂ）は、図７（ａ）中のＢ−Ｂ線断面図である。
【００９３】
本実施形態にかかる振動デバイスは、振動素子の検出腕の形状および検出電極の配置が異なる以外は、前述した第１実施形態にかかる振動デバイスと同様である。
【００９４】
なお、以下の説明では、第２実施形態の振動デバイスに関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図７では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
【００９５】
図７に示すように、振動素子２Ａの検出腕６Ａは、上面６１と側面６４との間に設けられた第１段差部６５Ａと、下面６２と側面６３との間に設けられた第２段差部６６Ａとを有している。
【００９６】
第１段差部６５Ａは、上面６１に交わる右向きの第１段差側面６５１Ａと、側面６４に交わる上向きの第１段差面６５２Ａとにより構成されている。これら面のうち、第１段差側面６５１Ａは、ＹＺ平面で構成されており、第１段差面６５２Ａは、ＸＹ平面で構成されている。
【００９７】
第２段差部６６Ａは、下面６２に交わる左向きの第２段差側面６６１Ａと、側面６３に交わる下向きの第２段差面６６２Ａとにより構成されている。これら面のうち、第２段差側面６６１Ａは、ＹＺ平面で構成されており、第２段差面６６２Ａは、ＸＹ平面で構成されている。
【００９８】
第１段差部６５Ａと第２段差部６６Ａは、検出腕６Ａの中心軸に対して対称的に形成されている。そのため、検出腕６Ａは、例えば前述した第１実施形態と比較して、Ｚ軸方向にバランスよく屈曲振動することができる。
【００９９】
第１検出電極８１は、側面６３、第２段差面６６２Ａおよび第２段差側面６６１Ａに跨って、厚さ方向の全域にわたって配置されている。すなわち、第１検出電極８１は、上面６１と下面６２とを駆動腕５側にて連結する全ての面に跨って配置されている。また、第１検出電極８１は、上面６１および下面６２にも跨って配置されている。また、第１検出電極８１は、接地されている。
【０１００】
また、第２検出電極８２は、第１段差側面６５１Ａの高さ方向（Ｚ軸方向）の全域にわたって配置されているとともに、上面６１および第１段差面６５２Ａに跨って配置されている。一方、第３検出電極８３は、側面６４の高さ方向の全域にわたって配置されているとともに、下面６２および第１段差面６５２Ａに跨って配置されている。
【０１０１】
第２検出電極８２および第３検出電極８３は、ＸＹ平面で構成された第１段差面６５２Ａにて分離されている。また、第１検出電極８１と第２検出電極８２は、ＸＹ平面で構成された上面６１にて分離されており、第１検出電極８１と第３検出電極８３は、ＸＹ平面で構成された下面６２にて分離されている。
【０１０２】
このように、本実施形態では検出腕６Ａに第２段差部６６Ａが形成されているため、例えば、前述した第１実施形態と比較して第１駆動電極７１’と第１検出電極８１との離間距離（平均離間距離。すなわち、Ｚ軸方向の各部位における離間距離の平均値）を大きくすることができる。したがって、もともと発生し得る第１駆動電極７１’からの容量結合を低減することができる。
【０１０３】
以上のような第２実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【０１０４】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の振動デバイスの第３実施形態について説明する。
【０１０５】
図８は、本発明の第３実施形態に係る振動デバイスが有する振動素子の平面図および断面図である。なお、図８（ｂ）は、図８（ａ）中のＣ−Ｃ線断面図である。
【０１０６】
本実施形態にかかる振動デバイスは、振動素子の検出腕の形状および検出電極の配置が異なる以外は、前述した第１実施形態にかかる振動デバイスと同様である。
【０１０７】
なお、以下の説明では、第３実施形態の振動デバイスに関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図８では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
【０１０８】
図８に示すように、振動素子２Ｂの検出腕６Ｂは、下面６２と側面６４との間に設けられた第１段差部６５Ｂと、上面６１と側面６３との間に設けられた第２段差部６６Ｂとを有している。
【０１０９】
第１段差部６５Ｂは、下面６２に交わる右向きの第１段差側面６５１Ｂと、側面６４に交わる下向きの第１段差面６５２Ｂとにより構成されている。これら面のうち、第１段差側面６５１Ｂは、ＹＺ平面で構成されており、第１段差面６５２Ｂは、ＸＹ平面で構成されている。
【０１１０】
第２段差部６６Ｂは、上面６１に交わる左向きの第２段差側面６６１Ｂと、側面６３に交わる上向きの第２段差面６６２Ｂとにより構成されている。これら面のうち、第２段差側面６６１Ｂは、ＹＺ平面で構成されており、第２段差面６６２Ｂは、ＸＹ平面で構成されている。
【０１１１】
第１段差部６５Ｂと第２段差部６６Ｂは、検出腕６Ｂの中心軸に対して対称的に形成されている。そのため、検出腕６Ｂは、例えば前述した第１実施形態と比較して、Ｚ軸方向にバランスよく屈曲振動することができる。
【０１１２】
第１検出電極８１は、側面６３、第２段差面６６２Ｂおよび第２段差側面６６１Ｂに跨って、厚さ方向の全域にわたって配置されている。すなわち、第１検出電極８１は、上面６１と下面６２とを駆動腕５側にて連結する全ての面に跨って配置されている。また、第１検出電極８１は、上面６１および下面６２にも跨って配置されている。また、第１検出電極８１は、接地されている。
【０１１３】
また、第２検出電極８２は、側面６４の高さ方向の全域にわたって形成されているとともに、上面６１および第１段差面６５２Ｂに跨って配置されている。一方、第３検出電極８３は、第１段差側面６５１Ｂの高さ方向の全域にわたって配置されているとともに、下面６２および第１段差面６５２Ｂに跨って配置されている。
【０１１４】
第２検出電極８２および第３検出電極８３は、ＸＹ平面で構成された第１段差面６５２Ｂにて分離されている。また、第１検出電極８１と第２検出電極８２は、ＸＹ平面で構成された上面６１にて分離されており、第１検出電極８１と第３検出電極８３は、ＸＹ平面で構成された下面６２にて分離されている。
【０１１５】
このように、本実施形態では検出腕６Ｂに第２段差部６６Ｂが形成されているため、例えば、前述した第１実施形態と比較して第１駆動電極７１’と第１検出電極８１との離間距離（平均離間距離）を大きくすることができる。したがって、もともと発生し得る第１駆動電極７１’からの容量結合を低減することができる。
【０１１６】
以上のような第３実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【０１１７】
＜第４実施形態＞
次に、本発明の振動デバイスの第４実施形態について説明する。
【０１１８】
図９は、本発明の第４実施形態に係る振動デバイスが有する振動素子の平面図および断面図である。なお、図９（ｂ）は、図９（ａ）中のＤ−Ｄ線断面図である。
【０１１９】
本実施形態にかかる振動デバイスは、振動素子の検出腕の形状および検出電極の配置が異なる以外は、前述した第１実施形態にかかる振動デバイスと同様である。
【０１２０】
なお、以下の説明では、第４実施形態の振動デバイスに関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図９では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
【０１２１】
図９に示すように、振動素子２Ｃの検出腕６Ｃは、上面６１と側面６４との間に設けられた第１段差部６５Ｃと、上面６１と側面６３との間に設けられた第２段差部６６Ｃとを有している。
【０１２２】
第１段差部６５Ｃは、上面６１に交わる右向きの第１段差側面６５１Ｃと、側面６４に交わる上向きの第１段差面６５２Ｃとにより構成されている。これら面のうち、第１段差側面６５１Ｃは、ＹＺ平面で構成されており、第１段差面６５２Ｃは、ＸＹ平面で構成されている。
【０１２３】
第２段差部６６Ｃは、上面６１に交わる左向きの第２段差側面６６１Ｃと、側面６３に交わる上向きの第２段差面６６２Ｃとにより構成されている。これら面のうち、第２段差側面６６１Ｃは、ＹＺ平面で構成されており、第２段差面６６２Ｃは、ＸＹ平面で構成されている。
【０１２４】
このような第１段差部６５Ｃと第２段差部６６Ｃは、検出腕６Ｃの幅方向の中心線に対して対称的に形成されている。そのため、検出腕６Ｃは、左右対称の形状を有しており、例えば前述した第１実施形態と比較して、Ｚ軸方向にバランスよく屈曲振動することができる。
【０１２５】
また、検出腕６Ｃでは、第１、第２段差部６５Ｃ、６６Ｃがともに上側を向いているため、検出腕６の形成（外形加工）が、例えば前述した第１実施形態と比較して少なくて済むため、容易となる。
【０１２６】
第１検出電極８１は、側面６３、第２段差面６６２Ｃおよび第２段差側面６６１Ｃに跨って、厚さ方向の全域にわたって配置されている。すなわち、第１検出電極８１は、上面６１と下面６２とを駆動腕５側にて連結する全ての面に跨って配置されている。また、第１検出電極８１は、上面６１および下面６２にも跨って配置されている。また、第１検出電極８１は、接地されている。
【０１２７】
また、第２検出電極８２は、第１段差側面６５１Ｃの高さ方向（Ｚ軸方向）の全域にわたって配置されているとともに、上面６１および第１段差面６５２Ｃに跨って配置されている。一方、第３検出電極８３は、側面６４の高さ方向の全域にわたって配置されているとともに、下面６２および第１段差面６５２Ｃに跨って配置されている。
【０１２８】
第２検出電極８２および第３検出電極８３は、ＸＹ平面で構成された第１段差面６５２Ｃにて分離されている。また、第１検出電極８１と第２検出電極８２は、ＸＹ平面で構成された上面６１にて分離されており、第１検出電極８１と第３検出電極８３は、ＸＹ平面で構成された下面６２にて分離されている。
【０１２９】
このように、本実施形態では検出腕６Ｃに第２段差部６６Ｃが形成されているため、例えば、前述した第１実施形態と比較して第１駆動電極７１’と第１検出電極８１との離間距離（平均離間距離）を大きくすることができる。したがって、もともと発生し得る第１駆動電極７１’からの容量結合を低減することができる。
【０１３０】
以上のような第４実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【０１３１】
＜第５実施形態＞
次に、本発明の振動デバイスの第５実施形態について説明する。
【０１３２】
図１０は、本発明の第５実施形態に係る振動デバイスが有する振動素子の平面図および断面図である。なお、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）中のＥ−Ｅ線断面図である。
【０１３３】
本実施形態にかかる振動デバイスは、振動素子の検出腕の形状および検出電極の配置が異なる以外は、前述した第１実施形態にかかる振動デバイスと同様である。
【０１３４】
なお、以下の説明では、第５実施形態の振動デバイスに関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１０では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
【０１３５】
図１０に示すように、振動素子２Ｄの検出腕６Ｄは、上面６１と側面６４との間に設けられた第１段差部６５Ｄを有している。
【０１３６】
第１段差部６５Ｄは、上面６１に交わる右向きの第１段差側面６５１Ｄと、側面６４に交わる上向きの第１段差面６５２Ｄとにより構成されている。これら面のうち、第１段差側面６５１Ｄは、ＹＺ平面で構成されており、第１段差面６５２Ｄは、ＸＹ平面で構成されている。
【０１３７】
このように、検出腕６Ｄでは、段差部が１つしか形成されていないため、検出腕６の形成（外形加工）が、例えば前述した第１実施形態と比較して少なくて済むため、容易となる。
【０１３８】
第１検出電極８１は、側面６３の厚さ方向の全域にわたって配置されている。また、第１検出電極８１は、上面６１および下面６２に跨って配置されている。また、第１検出電極８１は、接地されている。
【０１３９】
また、第２検出電極８２は、第１段差側面６５１Ｄの高さ方向の全域にわたって配置されているとともに、上面６１および第１段差面６５２Ｄに跨って配置されている。一方、第３検出電極８３は、側面６４の高さ方向の全域にわたって配置されているとともに、下面６２および第１段差面６５２Ｄに跨って配置されている。
【０１４０】
第２検出電極８２および第３検出電極８３は、ＸＹ平面で構成された第１段差面６５２Ｄにて分離されている。また、第１検出電極８１と第２検出電極８２は、ＸＹ平面で構成された上面６１にて分離されており、第１検出電極８１と第３検出電極８３は、ＸＹ平面で構成された下面６２にて分離されている。
【０１４１】
以上のような第５実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【０１４２】
＜第６実施形態＞
次に、本発明の振動デバイスの第６実施形態について説明する。
【０１４３】
図１１は、本発明の第６実施形態に係る振動デバイスが有する振動素子の平面図および断面図である。なお、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）中のＦ−Ｆ線断面図である。
【０１４４】
本実施形態にかかる振動デバイスは、振動素子の検出腕の形状および検出電極の配置が異なる以外は、前述した第１実施形態にかかる振動デバイスと同様である。
【０１４５】
なお、以下の説明では、第６実施形態の振動デバイスに関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１１では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
【０１４６】
図１１に示すように、振動素子２Ｅの検出腕６Ｅは、上面６１と側面６４との間に設けられた第１段差部６５Ｅと、下面６２と側面６３との間に設けられた第２段差部６６Ｅとを有している。
【０１４７】
第１段差部６５Ｅは、上下に連続する２つの段差部６７Ｅ、６８Ｅから構成される。これら２つの段差部６７Ｅ、６８Ｅのうち上側に位置する段差部６７Ｅは、上面６１に交わる右向きの段差側面６７１Ｅと、段差側面６７１Ｅに交わる上向きの段差面６７２Ｅとにより構成されている。また、下側に位置する段差部６８Ｅは、段差面６７２Ｅに交わる右向きの段差側面６８１Ｅと、側面６４に交わる上向きの段差面６８２Ｅとにより構成されている。これら面のうち、段差側面６７１Ｅ、６８１Ｅは、ＹＺ平面で構成されており、段差面６７２Ｅ、６８２Ｅは、ＸＹ平面で構成されている。
【０１４８】
第２段差部６６Ｅは、下面６２に交わる左向きの第２段差側面６６１Ｅと、側面６３に交わる下向きの第２段差面６６２Ｅとにより構成されている。これら面のうち、第２段差側面６６１Ｅは、ＹＺ平面で構成されており、第２段差面６６２Ｅは、ＸＹ平面で構成されている。
【０１４９】
第１検出電極８１は、側面６３、第２段差面６６２Ｅおよび第２段差側面６６１Ｅに跨って、厚さ方向の全域にわたって配置されている。すなわち、第１検出電極８１は、上面６１と下面６２とを駆動腕５側にて連結する全ての面に跨って配置されている。また、第１検出電極８１は、上面６１および下面６２にも跨って配置されている。また、第１検出電極８１は、接地されている。
【０１５０】
また、第２検出電極８２は、段差側面６７１Ｅの高さ方向の全域にわたって配置されているとともに、上面６１および段差面６７２Ｅに跨って配置されている。一方、第３検出電極８３は、側面６４の高さ方向の全域にわたって配置されているとともに、下面６２および段差面６８２Ｅに跨って配置されている。
【０１５１】
また、検出腕６Ｅには、第２、第３検出電極８２、８３の間に、電極８９が配置されている。電極８９は、段差側面６８１ＥのＺ軸方向の全域にわたって配置されているとともに、段差面６７２Ｅおよび段差面６８２Ｅに跨って配置されている。電極８９は、他のことにも電気的に接続されていないか、もしくは、接地されている。
【０１５２】
第２検出電極８２と電極８９は、ＸＹ平面で構成された段差面６７２Ｅにて分離されており、第３検出電極８３と電極８９は、ＸＹ平面で構成された段差面６８２Ｅにて分離されている。また、第１検出電極８１と第２検出電極８２は、ＸＹ平面で構成された上面６１にて分離されており、第１検出電極８１と第３検出電極８３は、ＸＹ平面で構成された下面６２にて分離されている。
【０１５３】
本実施形態のように、第１段差部６５Ｅを、上下に連続する２つの段差部６７Ｅ、６８Ｅによって構成することにより、例えば、２つの段差側面６７１Ｅ、６８１Ｅから一方を選択して第２検出電極８２を形成することができる。そのため、第２検出電極８２と第１検出電極８１との離間距離および静電容量を条件に応じて調整することができる。
【０１５４】
以上のような第６実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【０１５５】
＜第７実施形態＞
次に、本発明の振動デバイスの第７実施形態について説明する。
【０１５６】
図１２は、本発明の第７実施形態に係る振動デバイスが有する振動素子の平面図および断面図である。なお、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）中のＧ−Ｇ線断面図である。
【０１５７】
本実施形態にかかる振動デバイスは、振動素子の検出腕の形状および検出電極の配置が異なる以外は、前述した第１実施形態にかかる振動デバイスと同様である。
【０１５８】
なお、以下の説明では、第７実施形態の振動デバイスに関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１２では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
【０１５９】
図１２に示すように、振動素子２Ｆの検出腕６Ｆは、上面６１と側面６３との間に設けられた第１段差部６５Ｆと、下面６２と側面６４との間に設けられた第２段差部６６Ｆとを有している。
【０１６０】
第１段差部６５Ｆは、上下に連続する２つの段差部６７Ｆ、６８Ｆから構成される。これら２つの段差部６７Ｆ、６８Ｆのうち上側に位置する段差部６７Ｆは、上面６１に交わる左向きの段差側面６７１Ｆと、段差側面６７１Ｆに交わる上向きの段差面６７２Ｆとにより構成されている。また、下側に位置する段差部６８Ｆは、段差面６７２Ｆに交わる左向きの段差側面６８１Ｆと、側面６３に交わる上向きの段差面６８２Ｆとにより構成されている。これら面のうち、段差側面６７１Ｆ、６８１Ｆは、ＹＺ平面で構成され、段差面６７２Ｆ、６８２Ｆは、ＸＹ平面で構成されている。
【０１６１】
第２段差部６６Ｆは、下面６２に交わる右向きの第２段差側面６６１Ｆと、側面６４に交わる下向きの第２段差面６６２Ｆとにより構成されている。これら面のうち、第２段差側面６６１Ｆは、ＹＺ平面で構成されており、第２段差面６６２Ｆは、ＸＹ平面で構成されている。
【０１６２】
第１検出電極８１は、側面６３、段差面６８２Ｆ、段差側面６８１Ｆ、段差面６７２Ｆおよび段差側面６７１Ｆに跨って、厚さ方向の全域にわたって形成されている。すなわち、第１検出電極８１は、上面６１と下面６２とを駆動腕５側にて連結する全ての面に跨って形成されている。また、第１検出電極８１は、上面６１および下面６２にも跨って形成されている。また、第１検出電極８１は、接地されている。
【０１６３】
また、第２検出電極８２は、側面６４の高さ方向の全域にわたって配置されているとともに、上面６１および第２段差面６６２Ｆに跨って配置されている。一方、第３検出電極８３は、第２段差側面６６１Ｆの高さ方向の全域にわたって配置されているとともに、下面６２および第２段差面６６２Ｆに跨って配置されている。
【０１６４】
第２検出電極８２と第３検出電極８３は、ＸＹ平面で構成された第２段差面６６２Ｆにて分離されている。また、第１検出電極８１と第２検出電極８２は、ＸＹ平面で構成された上面６１にて分離されており、第１検出電極８１と第３検出電極８３は、ＸＹ平面で構成された下面６２にて分離されている。
【０１６５】
このように、本実施形態では検出腕６Ｆに比較的大きい第１段差部６５Ｆが形成されているため、例えば、前述した第６実施形態と比較して第１駆動電極７１’と第１検出電極８１との離間距離（平均離間距離）を大きくすることができる。したがって、もともと発生し得る第１駆動電極７１’からの容量結合を、第６実施形態よりも低減することができる。
【０１６６】
以上のような第７実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【０１６７】
＜第８実施形態＞
次に、本発明の振動デバイスの第８実施形態について説明する。
【０１６８】
図１３は、本発明の第８実施形態に係る振動デバイスが有する振動素子の平面図および断面図である。なお、図１３（ｂ）は、図１３（ａ）中のＨ−Ｈ線断面図である。
【０１６９】
本実施形態にかかる振動デバイスは、振動素子の検出腕の形状および検出電極の配置が異なる以外は、前述した第１実施形態にかかる振動デバイスと同様である。
【０１７０】
なお、以下の説明では、第８実施形態の振動デバイスに関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１３では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
【０１７１】
図１３に示すように、振動素子２Ｇの検出腕６Ｇは、下面６２と側面６４との間に設けられた第１段差部６５Ｇと、下面６２と側面６３との間に設けられた第２段差部６６Ｇとを有している。さらに、検出腕６Ｇは、上面６１に開放しＹ軸方向に延在する溝６９を有している。
【０１７２】
第１段差部６５Ｇは、下面６２に交わる右向きの第１段差側面６５１Ｇと、側面６４に交わる下向きの第１段差面６５２Ｇとにより構成されている。これら面のうち、第１段差側面６５１Ｇは、ＹＺ平面で構成されており、第１段差面６５２Ｇは、ＸＹ平面で構成されている。
【０１７３】
第２段差部６６Ｇは、下面６２に交わる左向きの第２段差側面６６１Ｇと、側面６３に交わる下向きの第２段差面６６２Ｇとにより構成されている。これら面のうち、第２段差側面６６１Ｇは、ＹＺ平面で構成されており、第２段差面６６２Ｇは、ＸＹ平面で構成されている。
【０１７４】
溝６９は、上面６１と交わる一対の溝側面６９１、６９２と、溝側面６９１、６９２を連結する溝底面６９３とを有している。これら面のうち、溝側面６９１、６９２は、ＹＺ平面で構成されており、溝底面６９３は、ＸＹ平面で構成されている。
【０１７５】
このような形状の検出腕６Ｇは、左右対称であるため、Ｚ軸方向にバランスよく屈曲振動することができる。
このような検出腕６Ｇには、第１〜第５検出電極８１〜８５が配置されている。
【０１７６】
第１検出電極８１は、側面６３、第２段差面６６２Ｇおよび第２段差側面６６１Ｇに跨って、厚さ方向の全域にわたって配置されている。すなわち、第１検出電極８１は、上面６１と下面６２とを駆動腕５側にて連結する全ての面に跨って配置されている。また、第１検出電極８１は、上面６１および下面６２に跨って配置されている。また、第１検出電極８１は、接地されている。
【０１７７】
また、第２検出電極８２は、側面６４の高さ方向の全域にわたって配置されているとともに、下面６２および第１段差面６５２Ｇに跨って配置されている。一方、第３検出電極８３は、第１段差側面６５１ＧのＺ軸方向の全域にわたって配置されているとともに、下面６２および第１段差面６５２Ｇに跨って配置されている。
【０１７８】
また、第４検出電極８４は、溝側面（第１溝側面）６９１の高さ方向の全域にわたって配置されているとともに、上面６１および溝底面６９３に跨って配置されている。また、第５検出電極８５は、溝側面（第２溝側面）６９２の高さ方向の全域にわたって配置されているとともに、上面６１および溝底面６９３に跨って配置されている。
【０１７９】
なお、第４検出電極８４は、第２検出電極８２と電気的に接続し、第５検出電極８５は、第１検出電極８１とともに接地することができる。
【０１８０】
第１検出電極８１と第４検出電極８４は、ＸＹ平面で構成された上面６１にて分離されている。また、第４検出電極８４と第５検出電極８５は、ＸＹ平面で構成された溝底面６９３にて分離されている。また、第５検出電極８５と第２検出電極８２は、ＸＹ平面で構成された上面６１にて分離されている。また、第２検出電極８２と第３検出電極８３とは、ＸＹ平面で構成された第１段差面６５２Ｇにて分離されている。また、第３検出電極８３と第１検出電極８１は、ＸＹ平面で構成された下面６２にて分離されている。
【０１８１】
なお、検出腕６ＧがＺ軸方向に屈曲振動すると、図１３（ｂ）中の実線および破線により示した電界が発生し、第１検出電極８１と第４検出電極８４の間、第２検出電極８２と第５検出電極８５の間および第１検出電極８１と第３検出電極８３の間からそれぞれ電気信号を取り出すことができる。
【０１８２】
特に、検出腕６Ｇの上面側では、例えば、前述した第３実施形態などと比較して、ほぼ２倍の強度の電気信号を取り出すことができるため、振動素子２の感度をより高めることができる。
【０１８３】
以上のような第８実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【０１８４】
＜第９実施形態＞
次に、本発明の振動デバイスの第９実施形態について説明する。
【０１８５】
図１４は、本発明の第９実施形態に係る振動デバイスが有する振動素子の平面図、図１５は、図１４中Ｉ−Ｉ線断面図である。
【０１８６】
本実施形態にかかる振動デバイスは、振動素子の構成、具体的には駆動腕の数が異なる以外は、前述した第１実施形態にかかる振動デバイスと同様である。
【０１８７】
なお、以下の説明では、第９実施形態の振動デバイスに関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１４および図１５では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
【０１８８】
１．振動素子
図１４および図１５に示すように、振動素子２Ｈは、基部４と、基部４から延出する３本の振動腕（２本の駆動腕５と１本の検出腕６）とで構成されている。各駆動腕５および検出腕６は、Ｘ軸方向に並んで設けられている。また、検出腕６は、両側に駆動腕５が位置しないように、３本の振動腕のうちの外側（端）に位置するように設けられている。そして、検出腕６は、駆動腕５と対向する側の側面６３に設置された第１検出電極８１を有している。このように、検出腕６の側面６４側（第２、第３検出電極８２、８３側）に、駆動腕５を位置させないことにより、第２、第３検出電極８２、８３と第１駆動電極７１との間の容量結合を効果的に遮蔽することができる。そのため、振動素子２Ｈの感度が高まる。
【０１８９】
２．振動素子の駆動方法
一方の駆動腕５の第１駆動電極７１および他方の駆動腕５の第２駆動電極７２と、一方の駆動腕５の第２駆動電極７２および他方の駆動腕５の第１駆動電極７１との間に交流電圧を印加すると、図１５に示すように、２本の駆動腕５は、上面６１および下面６２と同じＸＹ面内にて、互いに接近、離間を繰り返すように屈曲振動する。この際、２本の駆動腕５の振動はキャンセルため、検出腕６は、ほとんど振動しない。
【０１９０】
この状態にて、振動素子２がＹ軸まわりに回転し、振動素子２にＹ軸まわりの角速度ωｙが加わると、駆動腕５の振動方向およびＹ軸に直交するＺ軸方向のコリオリ力が作用する。このようなコリオリ力が加わることにより、各駆動腕５および検出腕６は、Ｚ軸方向に互いに逆向きに屈曲振動する。そして、検出腕６のＺ軸方向の屈曲によって発生する電荷を第１検出電極８１と第２検出電極８２との間および第１検出電極８１と第３検出電極８３との間から電気信号として取り出すことにより、振動素子２に加わったＹ軸まわりの角速度ωが検出される。
【０１９１】
以上のような第９実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【０１９２】
＜第１０実施形態＞
次に、本発明の振動デバイスの第１０実施形態について説明する。
【０１９３】
図１６は、本発明の第１０実施形態に係る振動デバイスの平面図、図１７は、図１６中のＪ−Ｊ線断面図、図１８は、図１６に示す振動デバイスの変形例を示す平面図である。
【０１９４】
本実施形態にかかる振動デバイスは、振動素子の構成が異なる以外は、前述した第１実施形態にかかる振動デバイスと同様である。
【０１９５】
なお、以下の説明では、第１０実施形態の振動デバイスに関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１６、図１７および図１８では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
【０１９６】
図１６に示すように、振動素子２Ｉは、基部４と、基部４から延出する４本の振動腕（具体的には、２本の駆動腕５’、５”と、２本の検出腕６’、６”）とを有している。２本の駆動腕５’、５”と、２本の検出腕６’、６”は、基部４を介して互いに反対側に設けられている。また、２本の駆動腕５’、５”は、互いにＸ軸方向に並びつつ、基部４からＹ軸方向に延出している。また、２本の検出腕６’、６”は、互いにＸ軸方向に並びつつ、基部４からＹ軸方向に延出している。
【０１９７】
図１７に示すように、検出腕６’、６”の構成は、前述した第１実施形態と同様である。ただし、検出腕６’、６”は、互いの第２側面６４同士が対向するように形成されている。言い換えれば、検出腕６’、６”は、側面６３がパッケージ９の枠部９２と対向するように形成されている。
【０１９８】
このような構成によれば、次のような効果を発揮することができる。すなわち、図１６に示すように、パッケージ９内には、振動素子２の駆動等を制御するＩＣチップ２００や、パッケージ９に形成された配線（図示せず）や、ＩＣチップ２００および振動素子２と前記配線とを接続するボンディングワイヤー２２０が形成されている。そして、これら配線やボンディングワイヤー２２０は、主に、振動素子２の周囲に形成される。
【０１９９】
そのため、前述のように、検出腕６’、６”をその側面６３がパッケージ９の方（振動素子２Ｉの外側）を向くように形成することにより、接地された第１検出電極８１をボンディングワイヤー２２０と対向させることができ、ボンディングワイヤー２２０を流れる電気信号からの容量結合Ｃを遮蔽することができ、振動素子２の感度を高めることができる。
【０２００】
以上のような第１０実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【０２０１】
ここで、図１８に本実施形態の変形例を示す。例えば、所定のボンディングワイヤー２２０’に他のボンディングワイヤー２２０よりも大きな電気信号が流れるような場合には、側面６３（第１検出電極８１）をボンディングワイヤー２２０’と対向させるようにして検出腕６’、６”を配置してもよい。これにより、ボンディングワイヤー２２０’との間の容量結合Ｃを優先的に遮蔽することができ、結果として、容量結合（静電容量）の合計をより小さくすることができる。すなわち、パッケージ９内の配線、ボンディングワイヤー２２０の配置や、配線、ボンディングワイヤー２２０を流れる電気信号の強度などに基づいて、容量結合の合計がより小さくなるように、振動腕６’、６”の向き（側面６３の向き）を決定することができる。
【０２０２】
＜第１１実施形態＞
次に、本発明の振動デバイスの第１１実施形態について説明する。
【０２０３】
図１９は、本発明の第１１実施形態に係る振動デバイスの平面図、図２０は、図１９中のＫ−Ｋ線断面図である。
【０２０４】
本実施形態にかかる振動デバイスは、振動素子の構成が異なる以外は、前述した第１実施形態にかかる振動デバイスと同様である。
【０２０５】
なお、以下の説明では、第１１実施形態の振動デバイスに関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１９および図２０では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
【０２０６】
図１９および図２０に示すように、振動素子２Ｊは、基部４と、基部４から延出する４本の振動腕（具体的には、２本の駆動腕５’、５”と、２本の検出腕６’、６”）と、基部４を支持する支持部４１と、基部４と支持部４１とを連結する連結部４２とを有している。
【０２０７】
２本の駆動腕５’、５”と、２本の検出腕６’、６”は、基部４を介して互いに反対側に設けられている。また、２本の駆動腕５’、５”は、互いにＸ軸方向に並びつつ、基部４からＹ軸方向に延出している。また、２本の検出腕６’、６”は、互いにＸ軸方向に並びつつ、基部４からＹ軸方向に延出している。
【０２０８】
また、支持部４１は、基部４の検出腕６’、６”側に位置しており、パッケージ９に固定されている。また、基部４と支持部４１は、検出腕６’、６”の間に位置し、Ｙ軸方向に延在する連結部４２を介して連結されている。このような構成の振動素子２Ｊでは、第１、第２駆動電極７１、７２と接続された配線２３０が連結部４２を介して支持部４１まで引き出されている。
【０２０９】
本実施形態では、各検出腕６’、６”は、その側面６３が連結部４２と対向するように設けられている。これにより、配線２３０を流れる電気信号（駆動振動）からの容量結合Ｃを遮蔽することができ、振動素子２の感度を高めることができる。
【０２１０】
以上のような第１１実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【０２１１】
次に、本発明の振動素子を備える電子機器について、図２１〜図２３に基づき、詳細に説明する。
【０２１２】
図２１は、本発明の振動素子を備える電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０８を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、ジャイロセンサーとして機能する振動デバイス１（振動素子２）が内蔵されている。
【０２１３】
図２２は、本発明の振動素子を備える電子機器を適用した携帯電話機（スマートフォン、ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０８が配置されている。このような携帯電話機１２００には、ジャイロセンサーとして機能する振動デバイス１（振動素子２）が内蔵されている。
【０２１４】
図２３は、本発明の振動素子を備える電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１３１０が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。
【０２１５】
また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。撮影者が表示部１３１０に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリ１３０８に転送・格納される。
【０２１６】
また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリ１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。
【０２１７】
このようなディジタルスチルカメラ１３００には、ジャイロセンサーとして機能する振動デバイス１（振動素子２）が内蔵されている。
【０２１８】
なお、本発明の振動素子を備える電子機器は、図２１のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図２２の携帯電話機、図２３のディジタルスチルカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレーター等に適用することができる。
【０２１９】
以上、本発明の振動素子、振動デバイスおよび電子機器を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。
【０２２０】
また、前述した実施形態では、各振動腕が互いに平行に延在している構成について説明した、各振動腕が互いに異なる方向に延在していてもよい。
【０２２１】
また、前述した実施形態では、２本または３本の振動腕を有する構成について説明したが、振動腕の数は、これに限定されず、４本以上であってもよい。
【符号の説明】
【０２２２】
１……振動デバイス
２、２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ、２Ｅ、２Ｆ、２Ｇ、２Ｈ、２Ｉ、２Ｊ……振動素子
３……振動片
４……基部
４１……支持部
４２……連結部
５、５’、５”……駆動腕
５１……上面
５２……下面
５３……側面
５４……側面
５５、５６……溝
６、６’、６”、６Ａ、６Ｂ、６Ｃ、６Ｄ、６Ｅ、６Ｆ、６Ｇ……検出腕
６１……上面
６２……下面
６３……側面
６４……側面
６５、６５Ａ、６５Ｂ、６５Ｃ、６５Ｄ、６５Ｅ、６５Ｆ、６５Ｇ……第１段差部
６５１、６５１Ａ、６５１Ｂ、６５１Ｃ、６５１Ｄ、６５１Ｇ……第１段差側面
６５２、６５２Ａ、６５２Ｂ、６５２Ｃ、６５２Ｄ、６５２Ｇ……第１段差面
６６、６６Ａ、６６Ｂ、６６Ｃ、６６Ｅ、６６Ｆ、６６Ｇ……第２段差部
６６１、６６１Ａ、６６１Ｂ、６６１Ｃ、６６１Ｅ、６６１Ｆ、６６１Ｇ……第２段差側面
６６２、６６２Ａ、６６２Ｂ、６６２Ｃ、６６２Ｅ、６６２Ｆ、６６２Ｇ……第２段差面
６７Ｅ、６７Ｆ、６８Ｅ、６８Ｆ……段差部
６７１Ｅ、６７１Ｆ、６８１Ｅ、６８１Ｆ……段差側面
６７２Ｅ、６７２Ｆ、６８２Ｅ、６８２Ｆ……段差面
６９……溝
６９１、６９２……溝側面
６９３……溝底面
７１、７１’……第１駆動電極
７２……第２駆動電極
８１……第１検出電極
８２……第２検出電極
８３……第３検出電極
８４……第４検出電極
８５……第５検出電極
８９……電極
９……パッケージ
９１……ベース基板
９２……枠部
９３……蓋部材
９６……固定材
１００……電極膜
１１０……フォトレジスト膜
１１１……レジストパターン
１３０、１４０……投影レンズ
１５０、１６０……フォトマスク
１５０ａ〜１５０ｄ、１６０ａ〜１６０ｄ……開口部
２００……ＩＣチップ
２２０、２２０’……ボンディングワイヤー
２３０……配線
１１００……パーソナルコンピューター
１１０２……キーボード
１１０４……本体部
１１０６……表示ユニット
１１０８……表示部
１２００……携帯電話機
１２０２……操作ボタン
１２０４……受話口
１２０６……送話口
１２０８……表示部
１３００……ディジタルスチルカメラ
１３０２……ケース
１３０４……受光ユニット
１３０６……シャッターボタン
１３０８……メモリ
１３１０……表示部
１３１２……ビデオ信号出力端子
１３１４……入出力端子
１４３０……テレビモニター
１４４０……パーソナルコンピューター
Ｃ……容量結合
Ｓ……内部空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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