(57)【要約】【課題】互いに異なる材質で形成された第１部材と第２部材とを接触させた接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部に充填された液体の膜厚を、より高精度に検出することができる、液体膜厚計測方法及び液体膜厚計測装置を提供する。【解決手段】超音波プローブ４０から超音波ＷＳを発信し、第１部材１０の表面１０Ａにて反射した第１反射波Ｗ１の検出時刻を検出し、第１部材の裏面１０Ｂにて反射した第２反射波Ｗ２と第２部材２０の表面２０Ａにて反射した第３反射波Ｗ３との合成反射波ＷＧのエコー強度と検出時刻とを検出して、補正エコー強度と補正反射時間差を求め、予め作成した、第１部材上の各位置における補正エコー強度と、第１部材上の各位置における補正反射時間差と、第１部材上の各位置における第１部材と第２部材との間隔と、求めた補正エコー強度及び補正反射時間差と、に基づいて接触面の周囲の液体の膜厚を求める。【選択図】図６
2016065762.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに異なる材質で形成された第１部材と第２部材とを接触させた接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部に充填された液体の膜厚を計測する液体膜厚計測方法であって、
前記第１部材の形状は、表面と裏面を有しており、
前記第２部材の形状は、前記第１部材の裏面と対向する面が、前記第１部材に向かって少なくとも１つの曲率を有する凸形状を有しており、
前記第１部材と前記第２部材は、前記第１部材の裏面に前記第２部材の表面が接触するように配置され、前記第１部材と前記第２部材との接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部には液体が充填されており、
超音波伝導媒体を介して前記第１部材の表面の側に配置されて前記第１部材の表面から裏面に向かう超音波を発信するとともに発信した超音波の反射波を検出する超音波プローブと、前記超音波プローブを制御する制御手段と、を用いて、
前記超音波プローブから超音波を発信する、超音波発信ステップと、
発信された前記超音波が前記第１部材の表面にて反射した第１反射波の検出時刻を検出する、第１反射波検出ステップと、
発信された前記超音波が前記第１部材の裏面にて反射した第２反射波と、発信された前記超音波が前記第２部材の表面にて反射した第３反射波と、が合成された合成反射波のエコー強度と検出時刻とを検出して前記エコー強度に基づいた補正エコー強度を求める、合成反射波検出ステップと、
前記第１反射波の検出時刻と、前記合成反射波の検出時刻と、の時間差である反射時間差に基づいた補正反射時間差を求める、反射時間差取得ステップと、
予め作成した、前記第１部材上の各位置における補正エコー強度と、前記第１部材上の各位置における補正反射時間差と、前記第１部材上の各位置における第１部材と第２部材との間隔と、
前記合成反射波検出ステップにて求めた補正エコー強度と前記反射時間差取得ステップにて求めた補正反射時間差と、に基づいて、前記第１部材と前記第２部材との接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部に充填された液体の膜厚を求める、液体膜厚取得ステップと、を有する、
液体膜厚計測方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液体膜厚計測方法であって、
前記液体膜厚取得ステップにおいて、
前記合成反射波検出ステップにて求めた補正エコー強度と、前記第１部材上の各位置における補正エコー強度と、前記第１部材上の各位置における第１部材と第２部材との間隔と、に基づいて第１液体膜厚を求め、
前記反射時間差取得ステップにて求めた補正反射時間差と、前記第１部材上の各位置における補正反射時間差と、前記第１部材上の各位置における第１部材と第２部材との間隔と、に基づいて第２液体膜厚を求め、
前記第１液体膜厚と前記第２液体膜厚との双方で共通する液体膜厚を、第１部材と第２部材との接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部に充填された液体の膜厚とする、
液体膜厚計測方法。
【請求項３】
請求項２に記載の液体膜厚計測方法であって、
前記第１部材上の各位置における補正エコー強度は、
前記第１部材と前記第２部材との接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部に液体を充填した状態における前記第１部材と前記第２部材との間隙の大きさに対応した前記第１部材の表面の各位置のエコー強度を、
前記第２部材と液体を排除した前記第１部材のみの状態における前記第１部材の表面の前記各位置のエコー強度で除算することで作成されている、
液体膜厚計測方法。
【請求項４】
請求項２または３に記載の液体膜厚計測方法であって、
前記第１部材上の各位置における補正反射時間差は、
前記第２部材と液体を排除した前記第１部材のみの状態における前記第１部材の表面の各位置の前記反射時間差から、
前記第１部材と前記第２部材との接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部に液体を充填した状態における前記第１部材と前記第２部材との間隙の大きさに対応した前記第１部材の表面の前記各位置の前記反射時間差を減算することで作成されている、
液体膜厚計測方法。
【請求項５】
互いに異なる材質で形成された第１部材と第２部材とを接触させた接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部に充填された液体の膜厚を計測する液体膜厚計測方法であって、
前記第１部材の形状は、表面と裏面を有しており、
前記第２部材の形状は、前記第１部材の裏面と対向する面が、前記第１部材に向かって少なくとも１つの曲率を有する凸形状を有しており、
前記第１部材と前記第２部材は、前記第１部材の裏面に前記第２部材の表面が接触するように配置され、前記第１部材と前記第２部材との接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部には液体が充填されており、
超音波伝導媒体を介して前記第１部材の表面の側に配置されて前記第１部材の表面から裏面に向かう超音波を発信するとともに発信した超音波の反射波を検出する超音波プローブと、前記超音波プローブを制御する制御手段と、を用いて、
前記超音波プローブから超音波を発信する、超音波発信ステップと、
発信された前記超音波が前記第１部材の表面にて反射した第１反射波の検出時刻を検出する、第１反射波検出ステップと、
発信された前記超音波が前記第１部材の裏面にて反射した第２反射波と、発信された前記超音波が前記第２部材の表面にて反射した第３反射波と、が合成された合成反射波のエコー強度と検出時刻とを検出する、合成反射波検出ステップと、
前記第１反射波の検出時刻と、前記合成反射波の検出時刻と、の時間差である反射時間差を求める、反射時間差取得ステップと、
予め作成した、前記第１部材と前記第２部材との接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部に液体を充填した状態における、前記第１部材上の各位置におけるエコー強度と、前記第１部材上の各位置における反射時間差と、
予め作成した、前記第１部材上の各位置における第１部材と第２部材との間隔と、
前記合成反射波検出ステップにて求めたエコー強度と前記反射時間差取得ステップにて求めた反射時間差と、に基づいて、前記第１部材と前記第２部材との接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部に充填された液体の膜厚を求める、液体膜厚取得ステップと、を有する、
液体膜厚計測方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の液体膜厚計測方法を用いて、前記第１部材と前記第２部材との接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部に充填された液体の膜厚を求める前記制御手段と、
前記超音波プローブと、
前記第１部材上の各位置における補正エコー強度と、前記第１部材上の各位置における補正反射時間差と、前記第１部材上の各位置における第１部材と第２部材との間隔、
あるいは、前記第１部材上の各位置におけるエコー強度と、前記第１部材上の各位置における反射時間差と、前記第１部材上の各位置における第１部材と第２部材との間隔、
が記憶された記憶手段と、を備えた、
液体膜厚計測装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、互いに異なる材質で形成された第１部材と第２部材との接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部に充填された液体の膜厚を計測する液体膜厚計測方法及び液体膜厚計測装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、ガラスの略平板の第１部材に、ガラスの略球体の第２部材を接触させて、第１部材と第２部材の接点を含む接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部に潤滑油を充填した場合、その油膜の膜厚は、光干渉縞を利用した光干渉計測方法にて計測することができる。しかし、この光干渉計測方法では、第１部材と第２部材の少なくとも一方が透明でなければならないので、例えば非透明な金属の軌道輪（第１部材に相当）と、非透明な鋼球（第２部材に相当）と、にて構成された転がり軸受装置等には適用できない。
【０００３】
非透明な第１部材に、非透明な第２部材の曲面を接触させて、その接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部に充填した液体の膜厚を計測する方法としては、超音波を利用した超音波計測方法を利用することができる。超音波計測方法は、発信した超音波の反射波の強度（エコー強度）を検出することで、エコー強度に応じた膜厚を計測することができる。
【０００４】
例えば特許文献１には、非透明なシリンダ（第１部材に相当）と、非透明なピストンリング（第２部材に相当）と、の間に形成された油膜の膜厚を計測する、膜厚等の超音波計測方法が記載されている。この超音波計測方法では、シリンダの外周側に第１探触子を設け、ピストンリングの内周側に第２探触子を設けている。そして第１探触子から第２探触子に向けて超音波を発信し、油膜を透過して第２探触子に達した第１透過波や、油膜やピストンリングにて数回反射した後に第２探触子に達した第２透過波や第３透過波等を検出している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−２９２２３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載の発明では、シリンダ（第１部材）とピストンリング（第２部材）を想定しているので、シリンダとピストンリングとが接触している場合を想定していない。つまり、特許文献１に記載された、油膜厚さ・エコー高さ比Ｈ特性は、シリンダとピストンリングが非接触であって、シリンダとピストンリングとの間の油膜厚さとエコー高さ比Ｈとの関係を示している。そして、特許文献１に記載されている、油膜厚さ・エコー高さ比Ｈ特性は、油膜が厚くなるに従って、エコー高さ比Ｈが徐々に小さくなる特性を示しているので、エコー高さ比Ｈを検出すれば、油膜厚さを１つに特定できる。
【０００７】
しかし、互いに異なる材質の第１部材と第２部材が、接しているような場合では、エコー高さ比Ｈを検出すれば油膜厚さを１つに特定できる特許文献１の油膜厚さ・エコー高さ比Ｈ特性を得られない場合がある。例えば、セラミックの外輪（第１部材に相当）と、金属の鋼球（第２部材に相当）では、位置（油膜厚さ）とエコー強度の関係は、図８の例に示す位置・エコー強度特性の形状になる。図８の例に示す位置・エコー強度特性において、例えば検出したエコー強度がＨ５の場合、位置・エコー強度特性におけるエコー強度Ｈ５に対応する位置は、位置Ｄ５Ａと位置Ｄ５Ｂの２つが特定されてしまう。この場合、位置Ｄ５Ａに対応する油膜厚さＬ５Ａと、位置Ｄ５Ｂに対応する油膜厚さＬ５Ｂの２つが特定されてしまい、計測対象の油膜厚さが、油膜厚さＬ５Ａであるか、油膜厚さＬ５Ｂであるか、特定することができない。
【０００８】
本発明は、このような点に鑑みて創案されたものであり、互いに異なる材質で形成された第１部材と第２部材とを接触させた接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部に充填された液体の膜厚を、より高精度に検出することができる、液体膜厚計測方法及び液体膜厚計測装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明に係る液体膜厚計測方法及び液体膜厚計測装置は次の手段をとる。まず、本発明の第１の発明は、互いに異なる材質で形成された第１部材と第２部材とを接触させた接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部に充填された液体の膜厚を計測する液体膜厚計測方法である。また、前記第１部材の形状は、表面と裏面を有しており、前記第２部材の形状は、前記第１部材の裏面と対向する面が、前記第１部材に向かって少なくとも１つの曲率を有する凸形状を有しており、前記第１部材と前記第２部材は、前記第１部材の裏面に前記第２部材の表面が接触するように配置され、前記第１部材と前記第２部材との接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部には液体が充填されている。そして、超音波伝導媒体を介して前記第１部材の表面の側に配置されて前記第１部材の表面から裏面に向かう超音波を発信するとともに発信した超音波の反射波を検出する超音波プローブと、前記超音波プローブを制御する制御手段と、を用いて、前記超音波プローブから超音波を発信する、超音波発信ステップと、発信された前記超音波が前記第１部材の表面にて反射した第１反射波の検出時刻を検出する、第１反射波検出ステップと、発信された前記超音波が前記第１部材の裏面にて反射した第２反射波と、発信された前記超音波が前記第２部材の表面にて反射した第３反射波と、が合成された合成反射波のエコー強度と検出時刻とを検出して前記エコー強度に基づいた補正エコー強度を求める、合成反射波検出ステップと、前記第１反射波の検出時刻と、前記合成反射波の検出時刻と、の時間差である反射時間差に基づいた補正反射時間差を求める、反射時間差取得ステップと、予め作成した、前記第１部材上の各位置における補正エコー強度と、前記第１部材上の各位置における補正反射時間差と、前記第１部材上の各位置における第１部材と第２部材との間隔と、前記合成反射波検出ステップにて求めた補正エコー強度と前記反射時間差取得ステップにて求めた補正反射時間差と、に基づいて、前記第１部材と前記第２部材との接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部に充填された液体の膜厚を求める、液体膜厚取得ステップと、を有する、液体膜厚計測方法である。
【００１０】
次に、本発明の第２の発明は、上記第１の発明に係る液体膜厚計測方法であって、前記液体膜厚取得ステップにおいて、前記合成反射波検出ステップにて求めた補正エコー強度と、前記第１部材上の各位置における補正エコー強度と、前記第１部材上の各位置における第１部材と第２部材との間隔と、に基づいて第１液体膜厚を求め、前記反射時間差取得ステップにて求めた補正反射時間差と、前記第１部材上の各位置における補正反射時間差と、前記第１部材上の各位置における第１部材と第２部材との間隔と、に基づいて第２液体膜厚を求め、前記第１液体膜厚と前記第２液体膜厚との双方で共通する液体膜厚を、第１部材と第２部材との接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部に充填された液体の膜厚とする、液体膜厚計測方法である。
【００１１】
次に、本発明の第３の発明は、上記第２の発明に係る液体膜厚計測方法であって、前記第１部材上の各位置における補正エコー強度は、前記第１部材と前記第２部材との接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部に液体を充填した状態における前記第１部材と前記第２部材との間隙の大きさに対応した前記第１部材の表面の各位置のエコー強度を、前記第２部材と液体を排除した前記第１部材のみの状態における前記第１部材の表面の前記各位置のエコー強度で除算することで作成されている。
【００１２】
次に、本発明の第４の発明は、上記第２または第３の発明に係る液体膜厚計測方法であって、前記第１部材上の各位置における補正反射時間差は、前記第２部材と液体を排除した前記第１部材のみの状態における前記第１部材の表面の各位置の前記反射時間差から、前記第１部材と前記第２部材との接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部に液体を充填した状態における前記第１部材と前記第２部材との間隙の大きさに対応した前記第１部材の表面の前記各位置の前記反射時間差を減算することで作成されている。
【００１３】
次に、本発明の第５の発明は、互いに異なる材質で形成された第１部材と第２部材とを接触させた接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部に充填された液体の膜厚を計測する液体膜厚計測方法である。また、前記第１部材の形状は、表面と裏面を有しており、前記第２部材の形状は、前記第１部材の裏面と対向する面が、前記第１部材に向かって少なくとも１つの曲率を有する凸形状を有しており、前記第１部材と前記第２部材は、前記第１部材の裏面に前記第２部材の表面が接触するように配置され、前記第１部材と前記第２部材との接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部には液体が充填されている。そして、超音波伝導媒体を介して前記第１部材の表面の側に配置されて前記第１部材の表面から裏面に向かう超音波を発信するとともに発信した超音波の反射波を検出する超音波プローブと、前記超音波プローブを制御する制御手段と、を用いて、前記超音波プローブから超音波を発信する、超音波発信ステップと、発信された前記超音波が前記第１部材の表面にて反射した第１反射波の検出時刻を検出する、第１反射波検出ステップと、発信された前記超音波が前記第１部材の裏面にて反射した第２反射波と、発信された前記超音波が前記第２部材の表面にて反射した第３反射波と、が合成された合成反射波のエコー強度と検出時刻とを検出する、合成反射波検出ステップと、前記第１反射波の検出時刻と、前記合成反射波の検出時刻と、の時間差である反射時間差を求める、反射時間差取得ステップと、予め作成した、前記第１部材と前記第２部材との接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部に液体を充填した状態における、前記第１部材上の各位置におけるエコー強度と、前記第１部材上の各位置における反射時間差と、予め作成した、前記第１部材上の各位置における第１部材と第２部材との間隔と、前記合成反射波検出ステップにて求めたエコー強度と前記反射時間差取得ステップにて求めた反射時間差と、に基づいて、前記第１部材と前記第２部材との接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部に充填された液体の膜厚を求める、液体膜厚取得ステップと、を有する、液体膜厚計測方法である。
【００１４】
次に、本発明の第６の発明は、上記第１の発明〜第５の発明のいずれか１つに係る液体膜厚計測方法用いて第１部材と第２部材との接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部に充填された液体の膜厚を求める前記制御手段と、前記超音波プローブと、前記第１部材上の各位置における補正エコー強度と、前記第１部材上の各位置における補正反射時間差と、前記第１部材上の各位置における第１部材と第２部材との間隔、あるいは、前記第１部材上の各位置におけるエコー強度と、前記第１部材上の各位置における反射時間差と、前記第１部材上の各位置における第１部材と第２部材との間隔、が記憶された記憶手段と、を備えた、液体膜厚計測装置である。
【発明の効果】
【００１５】
第１の発明によれば、検出したエコー強度から求めた補正エコー強度と、予め作成した第１部材上の各位置における補正エコー強度と、からでは液体膜厚を１つに特定できない場合であっても、検出した反射時間差から求めた補正反射時間差と、予め作成した第１部材上の各位置における補正反射時間差と、を利用することで、液体膜厚を１つに特定することができる。
【００１６】
第２の発明によれば、例えば第１液体膜厚が１つに特定できない場合であっても、第１液体膜厚と第２液体膜厚との双方で共通する液体膜厚を１つに特定することができる。
【００１７】
第３の発明によれば、第１部材上の各位置における補正エコー強度を、適切に求めることが可能であり、検出したエコー強度におけるノイズ等の影響をより抑制することができる。
【００１８】
第４の発明によれば、第１部材上の各位置における補正反射時間差を、適切に求めることが可能であり、検出した反射時間差におけるノイズ等の影響をより抑制することができる。
【００１９】
第５の発明によれば、検出したエコー強度と、検出した反射時間差と、予め作成した第１部材上の各位置におけるエコー強度と、予め作成した第１部材上の各位置における反射時間差と、予め作成した第１部材上の各位置における第１部材と第２部材との間隔と、から適切に液体膜厚を求めることができる。
【００２０】
第６の発明によれば、第１〜第５の発明のいずれか１つに記載した液体膜厚計測方法を利用して液体の膜厚を計測する液体膜厚計測装置を適切に実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】外輪と、内輪と、複数の転動体と、を有する転がり軸受装置の外観の例を説明する図である。
【図２】図１におけるＩＩ−ＩＩ断面図である。
【図３】図２における外輪と転動体をモデル化した例を説明する図である。
【図４】第１部材と第２部材が異なる材質の場合において、第１部材と第２部材との接触面の位置に向けて超音波を発信した場合の例を説明する図である。
【図５】図４の場合において、発信した超音波に対して第１部材の表面で反射した第１反射波と、第１部材の裏面で反射した第２反射波及び第２部材の表面で反射した第３反射波とが合成された合成反射波との、エコー強度と検出時刻とを説明する図である。
【図６】第１部材と第２部材が異なる材質の場合において、第１部材と第２部材との接触面から離れた位置にて超音波を発信した場合の例を説明する図である。
【図７】図６の場合において、発信した超音波に対して第１部材の表面で反射した第１反射波と、第１部材の裏面で反射した第２反射波及び第２部材の表面で反射した第３反射波とが合成された合成反射波との、エコー強度と検出時刻とを説明する図である。
【図８】第１部材と第２部材が異なる材質の場合において、超音波を発信した第１部材上の位置とエコー強度との関係を示す位置・エコー強度特性と、超音波を発信した第１部材上の位置と反射時間差との関係を示す位置・反射時間差特性と、第１部材上の各位置に対応する第１部材と第２部材との間隙の大きさを示す位置・間隔特性と、の例を説明する図である。
【図９】予め記憶手段に記憶しておく、位置・補正エコー強度特性と、位置・補正反射時間差特性と、位置・間隔特性と、を作成する手順を説明するフローチャートである。
【図１０】第２部材と油膜を除去した第１部材のみの状態における、超音波を発信した第１部材上の位置とエコー強度との関係を示す第１部材位置・エコー強度特性と、超音波を発信した第１部材上の位置と反射時間差との関係を示す第１部材位置・反射時間差特性と、の例を説明する図である。
【図１１】第１部材と第２部材が異なる材質の場合において、超音波を発信した第１部材上の位置と補正エコー強度との関係を示す位置・補正エコー強度特性と、超音波を発信した第１部材上の位置と補正反射時間差との関係を示す位置・補正反射時間差特性と、超音波を発信した第１部材上の位置と間隔（第１部材と第２部材との間隔）を示す位置・間隔特性と、の例を説明する図である。
【図１２】液体膜厚計測装置にて液体の膜厚を計測する処理手順の例を説明するフローチャートである。
【図１３】液体膜厚計測装置の構成の例を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下に本発明を実施するための形態を図面を用いて説明する。なお、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸が記載されている図において、Ｘ軸とＹ軸とＺ軸は互いに直交しており、Ｚ軸は鉛直上方に向かう方向を示している。
【００２３】
●［液体の膜厚の計測対象物の例（図１、図２）と計測対象物のモデル（図３）］
図１は、液体の膜厚の計測対象物の例である転がり軸受装置１の外観を示しており、図２は、図１の転がり軸受装置１のＩＩ−ＩＩ断面図を示している。転がり軸受装置１は、外輪１１と、内輪３１と、複数の転動体２１等にて構成されている。なお、図１及び図２の例では、隣り合う転動体２１の間隔を保持する保持器の記載を省略している。
【００２４】
図１及び図２に示すように、外輪１１は、内周面に凹状の外輪側軌道面１１Ｋを有する円環状である。また内輪３１は、外周面に凹状の内輪側軌道面３１Ｋを有する円環状である。そして図２に示すように、外輪側軌道面１１Ｋと転動体２１との接点を含む接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部には、潤滑油が充填された油膜Ｍが形成されている。また、内輪側軌道面３１Ｋと転動体２１との接点を含む接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部には、潤滑油が充填された油膜Ｎが形成されている。本実施の形態では、図２において、外輪１１の表面１１Ａの側から、外輪１１の裏面１１Ｂの側に向かって超音波を発信して、外輪１１の裏面１１Ｂと、転動体２１の表面２１Ａ（外輪に対向する面）との接点を含む接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部に充填された油膜Ｍの膜厚を計測する方法について説明する。
【００２５】
なお、転がり軸受装置１における外輪の形状や転動体の形状に対して、計測に都合の良い形状としたモデルを図３に示し、以降、この図３のモデルの形状を用いて説明する。図３のモデルでは、外輪の代わりに、Ｚ軸方向の厚さ１０Ｔが一定の第１部材１０を用い、転動体の代わりに、第１部材１０に向かって少なくとも１つの曲率を有する凸形状を有する第２部材２０を用いている。図３に示す第２部材２０は、接触面の中心である接触中心Ｓを含む曲率であって外周部ＳＬと外周部ＳＲとの間の曲率と、外周部ＳＬよりも左側及び外周部ＳＲよりも右側の曲率と、が異なる曲率を有する部材である。そして第１部材１０と第２部材２０とが接触中心Ｓを含む接触面にて接触しており、接触中心Ｓを含む接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部に、油膜Ｍが形成されている。また、符号１０Ａは第１部材１０の表面を示し、符号１０Ｂは第１部材１０の裏面を示し、符号２０Ａは第２部材の表面（第１部材に対向する面）を示している。また接触中心Ｓは、第１部材と第２部材が面で接触している接触面の中心位置となる点を示している。
【００２６】
●［第１部材１０と第２部材２０が、異なる材質の場合（図４〜図８）］
次に図４〜図８を用いて、図３に示すモデルの形状において第１部材１０と第２部材２０が異なる材質の場合について説明する。例えば図４、図６、図８において第１部材１０の材質はガラスであり、第２部材２０の材質は鋼鉄である。
【００２７】
次に図４を用いて、超音波を用いた液体膜厚計測方法の概略について説明する。図４に示す図は、第１部材１０と第２部材２０とが異なる材質であるので、接触中心Ｓにて合成反射波ＷＧが発生する点が、第１部材と第２部材が同一の材質である場合とは異なる。なお図４に示すように、第１部材１０の裏面１０Ｂには、第２部材２０の表面２０Ａが、接触中心Ｓを含む接触面にて接触しており、接触中心Ｓを含む接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部には潤滑油が充填された油膜Ｍが形成されている。そして第１部材１０の周囲には、シール部材５２を介して媒体保持部材５１が設けられている。そして媒体保持部材５１の内壁と第１部材１０の表面１０Ａにて形成された空間には、超音波を伝導する超音波伝導媒体Ｂ（例えば水）が充填されている。そして超音波伝導媒体Ｂの中に超音波プローブ４０の先端部が配置されている。
【００２８】
超音波プローブ４０は、超音波伝導媒体Ｂを介して第１部材１０の表面１０Ａの側に配置されて、図示省略した制御手段からの制御信号に基づいて、第１部材１０の表面１０Ａから裏面１０Ｂに向かう超音波ＷＳを発信するとともに、発信した超音波ＷＳの反射波を検出する。なお図４の例では、超音波プローブ４０を接触中心Ｓの上方の位置に配置して、接触中心Ｓに向けて超音波を発信した例を示している。第１反射波Ｗ１は、発信した超音波ＷＳが第１部材１０の表面１０Ａにて反射した反射波であり、超音波プローブ４０にて検出される。また合成反射波ＷＧは、発信した超音波ＷＳが第１部材１０の裏面１０Ｂにて反射した第２反射波Ｗ２と、発信した超音波ＷＳが第２部材の表面２０Ａにて反射した第３反射波Ｗ３と、が合成された反射波である。第１部材１０と第２部材２０とが異なる材質であるので、同一材質の場合とは異なり、接触中心Ｓを含む接触面にて反射波が発生する。
【００２９】
図５は、超音波プローブ４０にて検出した反射波の例を示しており、横軸は時刻を示し、縦軸はエコー強度を示しており、この場合は第１反射波Ｗ１と合成反射波ＷＧが主に検出される。そして液体膜厚計測装置の制御手段は、第１反射波Ｗ１における最初のゼロクロスポイントの検出時刻Ｚ１と、合成反射波ＷＧにおける最初のゼロクロスポイントの検出時刻ＺＧと、合成反射波ＷＧの振幅の最大値であるエコー強度ＨＧを検出する。そして制御手段は、第１反射波の検出時刻Ｚ１と、合成反射波の検出時刻ＺＧとから反射時間差Ｔ１Ｇを求めることができる。
【００３０】
図６は、図４に対して超音波プローブ４０をＸ軸方向に距離Ｄ１だけ移動した場合の例を示している。この場合、超音波プローブ４０が超音波ＷＳを発信すると、超音波プローブ４０は、第１部材１０の表面１０Ａにて反射された第１反射波Ｗ１と、第１部材１０の裏面１０Ｂにて反射された第２反射波Ｗ２及び第２部材２０の表面２０Ａにて反射された第３反射波Ｗ３とが合成された合成反射波ＷＧと、の主に２つの反射波を検出する。
【００３１】
図７は、超音波プローブ４０にて検出した反射波の例を示しており、横軸は時刻を示し、縦軸はエコー強度を示しており、この場合は第１反射波Ｗ１と合成反射波ＷＧが主に検出される。そして液体膜厚計測装置の制御手段は、第１反射波Ｗ１の最初のゼロクロスポイントの検出時刻Ｚ１と、合成反射波ＷＧの最初のゼロクロスポイントの検出時刻ＺＧと、合成反射波ＷＧの振幅の最大値であるエコー強度ＨＧを検出する。そして制御手段は、第１反射波の検出時刻Ｚ１と、合成反射波の検出時刻ＺＧとから反射時間差Ｔ１Ｇを求めることができる。
【００３２】
図８は、超音波プローブ４０を、第１部材１０の表面１０Ａの側において接触中心Ｓの位置からＸ軸方向に走査して、第１部材１０上の各位置において、第１反射波Ｗ１の検出時刻、合成反射波ＷＧのエコー強度と検出時刻、から得られた特性を示している。図８に示す位置・エコー強度特性（第１部材上の各位置におけるエコー強度、に相当）は、第１部材１０上の各位置と、当該位置における合成反射波ＷＧのエコー強度と、の関係を示している。また、位置・反射時間差特性（第１部材上の各位置における反射時間差、に相当）は、第１部材１０上の各位置と、当該位置における合成反射波ＷＧの検出時刻と第１反射波Ｗ１の検出時刻との時間差である反射時間差と、の関係を示している。また位置・間隔特性（第１部材上の各位置における第１部材と第２部材との間隔、に相当）は、第１部材と第２部材の形状から理論的に求めた、第１部材上の位置と、当該位置における第１部材と第２部材との間隔の大きさを示している。例えば、位置・間隔特性は、第２部材の各位置の曲率半径と、ヘルツ接触理論と、接触荷重等から求められている。そして、液体膜厚計測装置の記憶手段に、位置・エコー強度特性と、位置・間隔特性と、位置・反射時間差特性を、予め記憶しておく。また図８に示す位置・エコー強度特性、位置・反射時間差特性、位置・間隔特性は、いずれも、接触中心Ｓから右側の位置に対する特性を示しており、接触中心Ｓから左側の位置については、省略した例を示している。
【００３３】
図８における位置・エコー強度特性からわかるように、接触中心Ｓから位置ＳＳまでの間（第１部材１０と第２部材が接触している位置（各位置では接触圧力が異なる））では、接触中心Ｓ（接触範囲の中心となる位置）から遠ざかるに従って、エコー強度が低下する傾向を示している。なお、接触中心Ｓから位置ＳＳまでの間は、第１部材１０と第２部材２０とが接触している。そして位置ＳＳよりも遠い位置では、接触中心Ｓから遠ざかるに従って、エコー強度が上昇する傾向を示している。これでは、接触中心Ｓから位置ＤＺの間の任意の位置にて計測したエコー強度が、例えばエコー強度Ｈ５であった場合、当該エコー強度Ｈ５と、（予め記憶手段に記憶した）位置・エコー強度特性と、から位置Ｄ５Ａと位置Ｄ５Ｂの２つが特定されてしまう。
【００３４】
●［液体の膜厚を計測する処理手順（その１）］
そこで、以下の手順により、接触中心Ｓから位置ＤＺの間の任意の位置において、液体膜厚を１つに特定することができる。なお、記憶手段には、図８に示す位置・エコー強度特性、位置・反射時間差特性、位置・間隔特性が、予め計測や理論計算等がされて記憶されている。
【００３５】
作業者は、液体膜厚計測装置を起動し、図６の例に示す第１部材１０上の任意の位置に超音波プローブ４０を位置決めして、当該位置における液体膜厚の計測開始を指示する。すると制御手段は、超音波プローブ４０を制御して、超音波プローブ４０から超音波を発信する。このステップは、超音波発信ステップに相当する。
【００３６】
次に制御手段は、発信した超音波に対する第１反射波の検出時刻を超音波プローブ４０にて検出する。このステップは、第１反射波検出ステップに相当する。このとき検出した第１反射波の検出時刻を検出時刻Ｚ１とする。
【００３７】
また、制御手段は、発信した超音波に対する合成反射波の検出時刻及びエコー強度を超音波プローブ４０にて検出する。このステップは、合成反射波検出ステップに相当する。このとき検出した合成反射波の検出時刻を検出時刻ＺＧとして、合成反射波のエコー強度をエコー強度Ｈ５とする。
【００３８】
次に制御手段は、第１反射波の検出時刻Ｚ１と合成反射波の検出時刻ＺＧと、から反射時間差Ｔ５を求める。このステップは、反射時間差取得ステップに相当する。
【００３９】
次に制御手段は、予め記憶手段に記憶している位置・エコー強度特性と位置・反射時間差特性と位置・間隔特性と、計測したエコー強度と反射時間差と、に基づいて、第１部材１０上の超音波プローブ４０の位置における液体の膜厚を特定する。このステップは、液体膜厚取得ステップに相当する。
【００４０】
なお、液体の膜厚は、具体的には以下のようにして求める。図８において、エコー強度がＨ５であった場合、当該エコー強度Ｈ５と、（予め記憶手段に記憶した）位置・エコー強度特性と、から位置Ｄ５Ａ、及び位置Ｄ５Ｂを特定する。そして、特定した位置Ｄ５Ａ、及び位置Ｄ５Ｂと、（予め記憶手段に記憶した）位置・間隔特性と、から位置Ｄ５Ａにおける第１部材と第２部材との間隔Ｌ５Ａ（すなわち液体膜厚）を特定し、位置Ｄ５Ｂにおける第１部材と第２部材との間隔Ｌ５Ｂ（すなわち液体膜厚）を特定する。また、図８において、エコー強度Ｈ５であった場合の反射時間差がＴ５であった場合、当該反射時間差Ｔ５と、（予め記憶手段に記憶した）位置・反射時間差特性と、から位置Ｄ５Ｂを特定する。そして、特定した位置Ｄ５Ｂと、（予め記憶手段に記憶した）位置・間隔特性と、から当該位置Ｄ５Ｂにおける第１部材と第２部材との間隔Ｌ５Ｂ（すなわち液体膜厚）を特定する。
【００４１】
そして、位置・エコー強度特性及び位置・間隔特性と、計測したエコー強度と、から求めた間隔Ｌ５Ａ及び間隔Ｌ５Ｂ（第１液体膜厚に相当）と、位置・反射時間差特性及び位置・間隔特性と、計測した反射時間差と、から求めた間隔Ｌ５Ｂ（第２液体膜厚に相当）と、の双方で共通する液体膜厚（この場合、間隔Ｌ５Ｂ）を、計測位置における液体膜厚として特定する。なお、位置・反射時間差特性から求めた位置は、位置・エコー強度特性から求めた位置に対して誤差が大きいので、位置・エコー強度特性と位置・間隔特性から液体膜厚（間隔）を求めることが、より好ましい。
【００４２】
以上、予め記憶手段に、位置・エコー強度特性と、位置・間隔特性と、位置・反射時間差特性と、を記憶しておき、これらの位置・エコー強度特性と位置・間隔特性と位置・反射時間差特性と、計測したエコー強度と反射時間差と、から液体膜厚を特定することができる。しかし、以降に説明する位置・補正エコー強度特性と、位置・間隔特性と、位置・補正反射時間差特性と、第１部材位置・エコー強度特性と、第１部材位置・反射時間差特性と、計測したエコー強度と反射時間差と、から液体膜厚を特定すると、さらに高精度に液体膜厚を特定することができる。
【００４３】
●［予め記憶手段に記憶しておく位置・補正エコー強度特性、位置・補正反射時間差特性、位置・間隔特性等の作成方法（図９〜図１１）］
超音波プローブ４０を、第１部材１０の上方にて接触中心Ｓの位置からＸ軸方向に走査して、第１部材１０上における各位置にて合成反射波のエコー強度を計測して、位置・エコー強度特性を作成した場合、第１部材１０の表面１０Ａの微細な凹凸や、第１部材１０の裏面１０Ｂの微細な凹凸等によって誤差が発生し、滑らかな位置・エコー強度特性が得られない場合がある。同様に、第１部材１０上における各位置にて第１反射波と合成反射波の反射時間差を計測して、位置・反射時間差特性を作成した場合、第１部材１０の表面１０Ａの微細な凹凸や、第１部材１０の裏面１０Ｂの微細な凹凸等によって誤差が発生し、滑らかな位置・反射時間差特性が得られない場合があり、高精度に液体膜厚を計測できない可能性がある。そこで、図９に示す処理手順にて、位置・エコー強度特性を、より滑らかに（より正確に）補正した位置・補正エコー強度特性（第１部材上の各位置における補正エコー強度、に相当）を作成し、位置・反射時間差特性を、より滑らかに（より正確に）補正した位置・補正反射時間差特性（第１部材上の各位置における補正反射時間差、に相当）を作成して、記憶手段に記憶しておく。
【００４４】
次に図９に示す処理手順について説明する。作業者は、まずステップＳ１０にて、第１部材１０と第２部材２０とを接触中心Ｓを含む接触面にて接触させて、接触中心Ｓを含む接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部に潤滑油を充填して油膜Ｍを形成する。
【００４５】
ステップＳ２０にて作業者は、図４に示すように、超音波プローブ４０、媒体保持部材５１、シール部材５２、超音波伝導媒体Ｂ等を配置し、超音波プローブ４０を接触中心Ｓの位置からＸ軸方向に走査しながら、第１部材１０上の各位置（Ｘ軸方向の位置）に対する合成反射波のエコー強度を計測して、位置・エコー強度特性を作成する。また同時に、第１部材１０上の各位置（Ｘ軸方向の位置）に対する第１反射波の検出時刻と合成反射波の検出時刻とから反射時間差を計測して、位置・反射時間差特性を作成する。
【００４６】
ステップＳ３０にて作業者は、ステップＳ２０の計測後の状態から、第２部材２０と油膜Ｍを除去して、第１部材１０のみの状態とする（媒体保持部材５１、シール部材５２、超音波伝導媒体Ｂ等は、ステップＳ２０の状態を維持する）。
【００４７】
ステップＳ４０にて作業者は、超音波プローブ４０を接触中心Ｓの位置からＸ軸方向に走査しながら、第１部材１０上の各位置（Ｘ軸方向の位置）に対する第２反射波（第１部材１０の裏面１０Ｂからの反射波）のエコー強度を計測して、図１０の例に示す第１部材位置・エコー強度特性を作成する。また同時に、第１部材１０上の各位置（Ｘ軸方向の位置）に対する第１反射波の検出時刻と第２反射波の検出時刻とから反射時間差を計測して、図１０の例に示す第１部材位置・反射時間差特性を作成する。
【００４８】
ステップＳ５０にて作業者は、ステップＳ２０にて作成した位置・エコー強度特性における各位置のエコー強度を、ステップＳ４０にて作成した第１部材位置・エコー強度特性における前記各位置のエコー強度で除算することで、図１１に示す位置・補正エコー強度特性を作成する。この位置・補正エコー強度特性は、第１部材１０の表面１０Ａ及び裏面１０Ｂの凹凸の誤差等が排除された滑らかな（より正確な）特性を示している。また作業者は、ステップＳ４０にて作成した第１部材位置・反射時間差特性における各位置の反射時間差から、ステップＳ２０にて作成した位置・反射時間差特性における前記各位置の反射時間差を減算することで、図１１に示す位置・補正反射時間差特性を作成する。この位置・補正反射時間差特性は、第１部材１０の表面１０Ａ及び裏面１０Ｂの凹凸の誤差等が排除された滑らかな（より正確な）特性を示している。
【００４９】
ステップＳ６０にて作業者は、理想的な第１部材１０の形状と、理想的な第２部材２０の形状と、接触荷重等から理論的に求めた、第１部材１０上の位置と、当該位置における第１部材１０と第２部材２０との間隔の大きさを示す位置・間隔特性（第１部材上の各位置における第１部材と第２部材との間隔、に相当（図１１参照））を作成する。例えば、位置・間隔特性は、第２部材の各位置の曲率半径と、ヘルツ接触理論と、接触荷重等から求められている。そして作業者は、液体膜厚計測装置の記憶手段に、図１１の例に示す位置・補正エコー強度特性と位置・補正反射時間差特性と位置・間隔特性、及び図１０の例に示す第１部材位置・エコー強度特性と第１部材位置・反射時間差特性、を記憶する。
【００５０】
●［液体の膜厚を計測する処理手順（その２）（図１２）］
次に図１２を用いて、液体膜厚計測装置の制御手段の処理手順について説明する。作業者は、液体膜厚計測装置を起動し、図６の例に示す第１部材１０上の任意の位置に超音波プローブ４０を位置決めして、当該位置における液体膜厚の計測開始を指示する。
【００５１】
ステップＳ１１０にて制御手段は、超音波プローブ４０から超音波を発信し、ステップＳ１２０に進む。このステップは、超音波発信ステップに相当する。
【００５２】
ステップＳ１２０にて制御手段は、発信した超音波に対する第１反射波の検出時刻を超音波プローブ４０にて検出してステップＳ１３０に進む。このステップは、第１反射波検出ステップに相当する。このとき検出した第１反射波の検出時刻を検出時刻Ｚ１とする。
【００５３】
ステップＳ１３０にて制御手段は、発信した超音波に対する合成反射波の検出時刻及びエコー強度を超音波プローブ４０にて検出してステップＳ１４０に進む。このとき検出した合成反射波の検出時刻を検出時刻ＺＧとして、合成反射波のエコー強度をエコー強度Ｈ６とする。
【００５４】
ステップＳ１４０にて制御手段は、計測したエコー強度Ｈ６と、記憶手段に記憶されている第１部材位置・エコー強度特性に基づいて、補正エコー強度ＨＨ６を求めてステップＳ１５０に進む。例えば、エコー強度Ｈ６を、第１部材位置・エコー強度特性におけるエコー強度の平均値であるエコー強度Ｈａｖにて除算して補正エコー強度ＨＨ６を求める（補正エコー強度ＨＨ６＝エコー強度Ｈ６／エコー強度Ｈａｖ）。このステップＳ１３０、Ｓ１４０は、合成反射波検出ステップに相当する。
【００５５】
ステップＳ１５０にて制御手段は、第１反射波の検出時刻Ｚ１と、合成反射波の検出時刻ＺＧと、記憶手段に記憶されている第１部材位置・反射時間差特性に基づいて、補正反射時間差ＨＴ６を求めてステップＳ１６０に進む。例えば、第１部材位置・反射時間差特性における反射時間差の平均値である反射時間差Ｔａｖから反射時間差Ｔ６を減算して補正反射時間差ＨＴ６を求める（補正反射時間差ＨＴ６＝反射時間差Ｔａｖ−反射時間差Ｔ６）。このステップは、反射時間差取得ステップに相当する。
【００５６】
ステップＳ１６０にて制御手段は、求めた補正エコー強度ＨＨ６と、予め記憶手段に記憶されている位置・補正エコー強度特性と、予め記憶手段に記憶されている位置・間隔特性とに基づいて、第１液体膜厚を求めてステップＳ１７０に進む。例えば、図１１に示すように、位置・補正エコー強度特性と補正エコー強度ＨＨ６から位置Ｄ６Ａ、位置Ｄ６Ｂを特定する。そして特定した位置Ｄ６Ａ、位置Ｄ６Ｂのそれぞれと位置・間隔特性から間隔Ｌ６Ａ、間隔Ｌ６Ｂのそれぞれを特定する。この間隔Ｌ６Ａ、間隔Ｌ６Ｂが、第１液体膜厚に相当する。また、位置・補正エコー強度特性と位置・間隔特性が、補正エコー強度・液体膜厚特性に相当する。
【００５７】
ステップＳ１７０にて制御手段は、求めた補正反射時間差ＨＴ６と、予め記憶手段に記憶されている位置・補正反射時間差特性と、予め記憶手段に記憶されている位置・間隔特性とに基づいて、第２液体膜厚を求めてステップＳ１８０に進む。例えば、図１１に示すように、位置・補正反射時間差特性と補正反射時間差ＨＴ６から位置Ｄ６Ｂを特定する。そして特定した位置Ｄ６Ｂと位置・間隔特性から間隔Ｌ６Ｂを特定する。この間隔Ｌ６Ｂが、第２液体膜厚に相当する。また、位置・補正反射時間差特性と位置・間隔特性が、補正反射時間差・液体膜厚特性に相当する。
【００５８】
ステップＳ１８０にて制御手段は、第１液体膜厚と第２液体膜厚の双方で共通する液体膜厚を、今回計測した位置における液体膜厚として処理を終了する。この場合、第１液体膜厚と第２液体膜厚とで共通する間隔Ｌ６Ｂを、今回計測した位置の液体膜厚とする。このステップＳ１６０〜Ｓ１８０が、液体膜厚取得ステップに相当する。なお、位置・補正反射時間差特性から求めた位置は、位置・補正エコー強度特性から求めた位置に対して誤差が大きいので、位置・補正エコー強度特性と位置・間隔特性から液体膜厚（間隔）を求めることが、より好ましい。また、上記の例では、ステップＳ１６０にて特定した第１液体膜圧と、ステップＳ１７０にて特定した第２液体膜圧と、の双方で共通する液体膜厚を今回計測した位置における液体膜厚としたが、ステップＳ１６０にて特定した位置（Ｄ６Ａ、Ｄ６Ｂ）と、ステップＳ１７０にて特定した位置（Ｄ６Ｂ）と、の双方で共通する位置（Ｄ６Ｂ）を特定し、共通する位置（Ｄ６Ｂ）と位置・間隔特性から間隔Ｌ６Ｂを特定しても同じことである。
【００５９】
●［液体膜厚計測装置の構成（図１３）］
次に図１３を用いて、液体膜厚計測装置２の構成の例について説明する。液体膜厚計測装置２は、以上に説明した液体膜厚検出方法を用いて第１部材１０と第２部材２０との接触面の周囲に形成された空間の少なくとも一部に充填された液体膜（油膜Ｍ）の膜厚を求める制御手段６０と、超音波プローブ４０と、記憶手段と、を備えている。制御手段６０は、例えばパーソナルコンピュータであり、記憶手段を収容している。そして記憶手段には、位置・補正エコー強度特性と位置・間隔特性、位置・補正反射時間差特性と位置・間隔特性、第１部材位置・エコー強度特性、第１部材位置・反射時間差特性、等が記憶されている。あるいは、記憶手段には、位置・エコー強度特性、位置・反射時間差特性、位置・間隔特性、等が記憶されている。
【００６０】
また液体膜厚計測装置２は、上下に重ねられた第１部材１０と第２部材２０を把持する支持部材８３、支持部材８３が固定される基台８１、８２、超音波プローブ４０を保持するプローブホルダ７２、プローブホルダ７２に保持された超音波プローブ４０をＸＹ平面内で移動させるプローブアーム７１、媒体保持部材５１、シール部材５２、等を有している。制御手段６０は、プローブアーム７１に制御信号を出力するとともに、プローブアーム７１からの位置検出信号を取り込み、所望するＸＹ平面上の任意の位置に超音波プローブ４０を移動させることができる。また制御手段６０は、超音波プローブ４０に制御信号を出力して超音波を発信させ、超音波プローブ４０にて受信した反射波を取り込む。
【００６１】
本発明の液体膜厚計測方法及び液体膜厚計測装置、の処理手順、構成、構造、外観、形状状等は、本発明の要旨を変更しない範囲で種々の変更、追加、削除が可能である。
【００６２】
また本実施の形態の説明では、第１部材の材質がガラス、第２部材の材質が鋼鉄の場合の例で説明したが、第１部材と第２部材が互いに異なる材質であればよく、第１部材の材質と第２部材の材質は、ガラスや鋼鉄に限定されるものではない。
【００６３】
また本実施の形態の説明では、潤滑油の油膜の厚さを計測する例を説明したが、潤滑油の油膜に限定されず、水等の種々の液体の膜厚の計測に適用することが可能である。
【００６４】
また本実施の形態の説明では、第１反射波Ｗ１の検出時刻Ｚ１を、第１反射波Ｗ１の最初のゼロクロスポイントの位置としたが、これに限定されるものではない。また、合成反射波ＷＧの検出時刻ＺＧを、合成反射波ＷＧの最初のゼロクロスポイントの位置としたが、これに限定されるものではない。
【００６５】
また、例えば、転動体（球、ころ等）と、内輪及び外輪と、が異なる材質の軸受装置（例えば、転動体が鋼鉄で、内輪及び外輪がセラミック等）の実機の動的条件下（軸受として作動状態）における液体膜厚（油膜厚さ）の計測にも適用可能である。また、セラミック板（第１部材）と鋼球（第２部材）の油膜厚さ計測用のモデル等にも適用可能である。
【００６６】
また、動的条件下において液体膜厚の計測が可能であるので、潤滑油の供給量や、軌道の形状の効果や、異常診断（油膜切れの判定）等にも適用可能である。
【符号の説明】
【００６７】
２          液体膜厚計測装置
１０        第１部材
１０Ａ      表面
１０Ｂ      裏面
２０        第２部材
２０Ａ      表面
４０        超音波プローブ
５１        媒体保持部材
５２        シール部材
７１        プローブアーム
７２        プローブホルダ
６０        制御手段
８１、８２  基台
Ｂ          超音波伝導媒体
Ｍ          油膜（液体膜）
Ｓ          接触中心
Ｗ１        第１反射波
Ｗ２        第２反射波
Ｗ３        第３反射波
ＷＧ        （第２反射波と第３反射波の）合成反射波
【図１】
2016065762.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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