(57)【要約】【課題】装置の内部に対する作業を施す際に、外気の流入をできる限り抑えることができる電子部品搬送装置および電子部品検査装置を提供すること。【解決手段】電子部品検査装置は、開閉可能な第１開閉部と、第１開閉部を回動可能に支持する第１回動支持部と、第１開閉部に開閉可能に設けられた第２開閉部と、第２開閉部を回動可能に支持する第２回動支持部と、第１開閉部および第２開閉部のそれぞれの開閉状態を報知する報知部としてのモニター３００とを備える。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
開閉可能な第１開閉部と、
前記第１開閉部に開閉可能に設けられた第２開閉部と、
前記第１開閉部および前記第２開閉部のうちの少なくともいずれか１つの開閉状態を報知する報知部と、を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項２】
前記報知部は、発光、警報音、音声、または、前記発光、前記警報音、前記音声のうちの少なくとも２つの組み合わせを出力可能である請求項１に記載の電子部品搬送装置。
【請求項３】
前記報知部は、前記開閉状態を表示する表示画面である請求項１に記載の電子部品搬送装置。
【請求項４】
前記表示画面には、前記第１開閉部の開閉状態を報知する第１報知部と、前記第２開閉部の開閉状態を報知する第２報知部とを表示可能である請求項３に記載の電子部品搬送装置。
【請求項５】
前記第１報知部と前記第２報知部とは、色、形状、大きさ、点滅状態のうちの少なくとも１つが互いに異なる請求項４に記載の電子部品搬送装置。
【請求項６】
前記報知部は、前記第１開閉部の開閉状態を報知する第１報知部、前記第２開閉部の開閉状態を報知する第２報知部を有する請求項１に記載の電子部品搬送装置。
【請求項７】
前記報知部による報知後に、経過時間を予め定められた時間を超えた場合に、開状態となっている前記第１開閉部および前記第２開閉部のうちの少なくともいずれか１つを閉状態とするように指示可能である請求項１ないし６のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項８】
前記報知部による報知後に、予め定められた湿度または温度を超えた場合に、開状態となっている前記第１開閉部および前記第２開閉部のうちの少なくともいずれか１つを閉状態とするように指示可能である請求項１ないし７のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項９】
電子部品が搬送される領域に設けられ、移動可能な移動部と、
前記第１開閉部および前記第２開閉部の開閉を感知可能なセンサーとを備え、
前記センサーが前記第１開閉部および前記第２開閉部の開状態を感知した場合には、前記移動部は停止する請求項１ないし８のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１０】
電子部品が搬送される領域に設けられ、移動可能な移動部と、
前記第１開閉部および前記第２開閉部の閉状態を維持するロック部とを備え、
前記報知部による報知後に、前記移動部の移動が停止した場合に、前記ロック部による閉状態の維持を解除する請求項１ないし９のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１１】
開閉可能な第１開閉部と、
前記第１開閉部に開閉可能に設けられた第２開閉部と、
前記第１開閉部および前記第２開閉部のうちの少なくともいずれか１つの開閉状態を報知する報知部と、
電子部品を検査する検査部と、を備えることを特徴とする電子部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品搬送装置および電子部品検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えばＩＣデバイス等の電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置が知られており、この電子部品検査装置には、検査部の保持部までＩＣデバイスを搬送するための電子部品搬送装置が組み込まれている。ＩＣデバイスの検査の際は、ＩＣデバイスが保持部に配置され、保持部に設けられた複数のプローブピンとＩＣデバイスの各端子とを接触させる。
【０００３】
このようなＩＣデバイスの検査には、ＩＣデバイスを所定温度に冷却して行う場合がある。その場合は、ＩＣデバイスを検査する検査領域内をカバーで覆って密閉する必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−３５４５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１では、密閉された検査領域内のＩＣデバイスに対して、例えばジャム解除を行なう際に、カバーを必要以上に開状態とすることがあり、この場合、水分を含んだ外気が多量に流入してしまい、ＩＣデバイス等に結露が発生してしまう可能性が高くなるという問題があった。
【０００６】
本発明の目的は、装置の内部に対する作業を施す際に、外気の流入をできる限り抑えることができる電子部品搬送装置および電子部品検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
［適用例１］
本発明の電子部品搬送装置は、開閉可能な第１開閉部と、
前記第１開閉部に開閉可能に設けられた第２開閉部と、
前記第１開閉部および前記第２開閉部のうちの少なくともいずれか１つの開閉状態を報知する報知部と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
これにより、装置の内部に対する作業を施す際に、外気の流入をできる限り抑えることができる。
【０００９】
［適用例２］
本発明の電子部品搬送装置では、前記報知部は、発光、警報音、音声、または、前記発光、前記警報音、前記音声のうちの少なくとも２つの組み合わせを出力可能であるのが好ましい。
【００１０】
これにより、装置の内部に対する作業を施している際に、開状態となっている第１開閉部や第２開閉部をできる限り早く閉状態とする旨を、その作業者に促すことができる。これにより、開状態の時間を短くすることができ、よって、装置の内部への外気の流入をできる限り抑えることができる。
【００１１】
［適用例３］
本発明の電子部品搬送装置では、前記報知部は、前記開閉状態を表示する表示画面であるのが好ましい。
【００１２】
これにより、装置の内部に対する作業を施している際に、開状態となっている第１開閉部や第２開閉部をできる限り早く閉状態とする旨を、その作業者に視覚によって促すことができる。これにより、開状態の時間を短くすることができ、よって、装置の内部への外気の流入をできる限り抑えることができる。
【００１３】
［適用例４］
本発明の電子部品搬送装置では、前記表示画面には、前記第１開閉部の開閉状態を報知する第１報知部と、前記第２開閉部の開閉状態を報知する第２報知部とを表示可能であるのが好ましい。
【００１４】
これにより、報知されているのは、第１開閉部の開閉状態なのか、または、第２開閉部の開閉状態なのかを把握することができる。
【００１５】
［適用例５］
本発明の電子部品搬送装置では、前記第１報知部と前記第２報知部とは、色、形状、大きさ、点滅状態のうちの少なくとも１つが互いに異なるのが好ましい。
【００１６】
これにより、報知されているのは、第１開閉部の開閉状態なのか、または、第２開閉部の開閉状態なのかを容易に把握することができる。
【００１７】
［適用例６］
本発明の電子部品搬送装置では、前記報知部は、前記第１開閉部の開閉状態を報知する第１報知部、前記第２開閉部の開閉状態を報知する第２報知部を有するのが好ましい。
【００１８】
これにより、装置を使用するユーザーに応じた開閉状態の報知の設定を行なうことができ、よって、ユーザーにとっての操作性が向上する。
【００１９】
［適用例７］
本発明の電子部品搬送装置では、前記報知部による報知後に、経過時間を予め定められた時間を超えた場合に、開状態となっている前記第１開閉部および前記第２開閉部のうちの少なくともいずれか１つを閉状態とするように指示可能であるのが好ましい。
これにより、装置の内部への外気の流入をさらにできる限り抑えることができる。
【００２０】
［適用例８］
本発明の電子部品搬送装置では、前記報知部による報知後に、予め定められた湿度または温度を超えた場合に、開状態となっている前記第１開閉部および前記第２開閉部のうちの少なくともいずれか１つを閉状態とするように指示可能であるのが好ましい。
これにより、装置の内部への外気の流入をさらにできる限り抑えることができる。
【００２１】
［適用例９］
本発明の電子部品搬送装置では、電子部品が搬送される領域に設けられ、移動可能な移動部と、
前記第１開閉部および前記第２開閉部の開閉を感知可能なセンサーとを備え、
前記センサーが前記第１開閉部および前記第２開閉部の開状態を感知した場合には、前記移動部は停止するのが好ましい。
これにより、作業を行なう作業者の安全を確保することができる。
【００２２】
［適用例１０］
本発明の電子部品搬送装置では、電子部品が搬送される領域に設けられ、移動可能な移動部と、
前記第１開閉部および前記第２開閉部の閉状態を維持するロック部とを備え、
前記報知部による報知後に、前記移動部の移動が停止した場合に、前記ロック部による閉状態の維持を解除するのが好ましい。
【００２３】
これにより、例えば第１開閉部または第２開閉部を開状態とするためのスイッチの操作を省略して、第１開閉部または第２開閉部を開状態とすることができる。
【００２４】
［適用例１１］
本発明の電子部品検査装置は、開閉可能な第１開閉部と、
前記第１開閉部に開閉可能に設けられた第２開閉部と、
前記第１開閉部および前記第２開閉部のうちの少なくともいずれか１つの開閉状態を報知する報知部と、
電子部品を検査する検査部と、を備えることを特徴とする。
【００２５】
これにより、装置の内部に対する作業を施す際に、外気の流入をできる限り抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】図１は、本発明の電子部品検査装置の実施形態を正面側から見た概略斜視図である。
【図２】図２は、図１に示す電子部品検査装置の概略平面図である。
【図３】図３は、図２に示す電子部品検査装置が備える開状態の第１開閉部と閉状態の第２開閉部とを示す図である。
【図４】図４は、図２に示す電子部品検査装置が備える閉状態の第１開閉部と開状態の第２開閉部とを示す図である。
【図５】図５は、図２に示す電子部品検査装置が備える第２開閉部とその周辺とを示す図である。
【図６】図６は、図２に示す電子部品検査装置が備える開閉状態の第２開閉部を示す断面図である。
【図７】図７は、図１に示す電子部品検査装置が備えるモニターに表示される第１開閉部および第２開閉部の開閉状態を示す画像である。
【図８】図８は、図１に示す電子部品検査装置が備えるモニターに表示される第１開閉部および第２開閉部の開閉状態を示す画像である。
【図９】図９は、図１に示す電子部品検査装置が備えるモニターに表示される第１開閉部および第２開閉部の開閉状態を示す画像である。
【図１０】図１０は、図１に示す電子部品検査装置における制御プログラムを示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００２８】
図１は、本発明の電子部品検査装置の実施形態を正面側から見た概略斜視図である。
図２は、図１に示す電子部品検査装置の概略平面図である。図３は、図２に示す電子部品検査装置が備える開状態の第１開閉部と閉状態の第２開閉部とを示す図である。図４は、図２に示す電子部品検査装置が備える閉状態の第１開閉部と開状態の第２開閉部とを示す図である。図５は、図２に示す電子部品検査装置が備える第２開閉部とその周辺とを示す図である。図６は、図２に示す電子部品検査装置が備える開閉状態の第２開閉部を示す断面図である。図７〜図９は、それぞれ、図１に示す電子部品検査装置が備えるモニターに表示される第１開閉部および第２開閉部の開閉状態を示す画像である。図１０は、図１に示す電子部品検査装置における制御プログラムを示すフローチャートである。なお、以下では、説明の便宜上、図１に示すように、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とする。また、Ｘ軸とＹ軸を含むＸＹ平面が水平となっており、Ｚ軸が鉛直となっている。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ方向」とも言い、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ方向」とも言い、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ方向」とも言う。また、電子部品の搬送方向の上流側を単に「上流側」とも言い、下流側を単に「下流側」とも言う。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干（例えば５°未満程度）傾いていた状態も含む。
【００２９】
図１、図２に示す検査装置（電子部品検査装置）１は、例えば、ＢＧＡ（Ball grid array）パッケージやＬＧＡ（Land grid array）パッケージ等のＩＣデバイス、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）、ＣＩＳ（CMOS Image Sensor）等の電子部品の電気的特性を検査・試験（以下単に「検査」と言う）するための装置である。なお、以下では、説明の便宜上、検査を行う前記電子部品としてＩＣデバイスを用いる場合について代表して説明し、これを「ＩＣデバイス９０」とする。
【００３０】
図２に示すように、検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１と、デバイス供給領域（以下単に「供給領域」と言う）Ａ２と、検査領域Ａ３と、デバイス回収領域（以下単に「回収領域」と言う）Ａ４と、トレイ除去領域Ａ５とに分けられている。そして、ＩＣデバイス９０は、トレイ供給領域Ａ１からトレイ除去領域Ａ５まで前記各領域を順に経由し、途中の検査領域Ａ３で検査が行われる。このように検査装置１は、各領域でＩＣデバイス９０を搬送する電子部品搬送装置と、検査領域Ａ３内で検査を行なう検査部１６と、制御部８０を備えたものとなっている。また、その他、検査装置１は、モニター３００と、シグナルランプ４００とを備えている。
【００３１】
検査装置１では、トレイ供給領域Ａ１からトレイ除去領域Ａ５のうち、ＩＣデバイス９０が搬送されるデバイス供給領域Ａ２から回収領域Ａ４までを「搬送領域（搬送エリア）」とも言うことができる。
【００３２】
なお、検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１、トレイ除去領域Ａ５が配された方（図２中の下側）が正面側となり、その反対側、すなわち、検査領域Ａ３が配された方（図２中の上側）が背面側として使用される。
【００３３】
トレイ供給領域Ａ１は、未検査状態の複数のＩＣデバイス９０が配列されたトレイ（配置部材）２００が供給される給材部である。トレイ供給領域Ａ１では、多数のトレイ２００を積み重ねることができる。
【００３４】
供給領域Ａ２は、トレイ供給領域Ａ１からのトレイ２００上に配置された複数のＩＣデバイス９０がそれぞれ検査領域Ａ３まで供給される領域である。なお、トレイ供給領域Ａ１と供給領域Ａ２とをまたぐように、トレイ２００を１枚ずつ搬送するトレイ搬送機構１１Ａ、１１Ｂが設けられている。
【００３５】
供給領域Ａ２には、温度調整部（ソークプレート）１２と、デバイス搬送ヘッド１３と、トレイ搬送機構（第１搬送装置）１５とが設けられている。
【００３６】
温度調整部１２は、複数のＩＣデバイス９０が載置される載置部であり、当該複数のＩＣデバイス９０を加熱または冷却することができる。これにより、ＩＣデバイス９０を検査に適した温度に調整することができる。図２に示す構成では、温度調整部１２は、Ｙ方向に２つ配置、固定されている。そして、トレイ搬送機構１１Ａによってトレイ供給領域Ａ１から搬入された（搬送されてきた）トレイ２００上のＩＣデバイス９０は、いずれかの温度調整部１２に搬送され、載置される。
【００３７】
デバイス搬送ヘッド１３は、供給領域Ａ２内で移動可能に支持されている。これにより、デバイス搬送ヘッド１３は、トレイ供給領域Ａ１から搬入されたトレイ２００と温度調整部１２との間のＩＣデバイス９０の搬送と、温度調整部１２と後述するデバイス供給部１４との間のＩＣデバイス９０の搬送とを担うことができる。
【００３８】
トレイ搬送機構１５は、全てのＩＣデバイス９０が除去された状態の空のトレイ２００を供給領域Ａ２内でＸ方向に搬送させる機構である。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、トレイ搬送機構１１Ｂによって供給領域Ａ２からトレイ供給領域Ａ１に戻される。
【００３９】
検査領域Ａ３は、ＩＣデバイス９０を検査する領域である。この検査領域Ａ３には、デバイス供給部（供給シャトル）１４と、検査部１６と、デバイス搬送ヘッド１７と、デバイス回収部（回収シャトル）１８とが設けられている。
【００４０】
デバイス供給部１４は、温度調整されたＩＣデバイス９０が載置される載置部であり、当該ＩＣデバイス９０を検査部１６近傍まで搬送することができる。このデバイス供給部１４は、供給領域Ａ２と検査領域Ａ３との間をＸ方向に沿って移動可能に支持されている。また、図２に示す構成では、デバイス供給部１４は、Ｙ方向に２つ配置されており、温度調整部１２上のＩＣデバイス９０は、いずれかのデバイス供給部１４に搬送され、載置される。
【００４１】
検査部１６は、ＩＣデバイス９０の電気的特性を検査・試験するユニットである。検査部１６には、ＩＣデバイス９０を保持した状態で当該ＩＣデバイス９０の端子と電気的に接続される複数のプローブピンが設けられている。そして、ＩＣデバイス９０の端子とプローブピンとが電気的に接続され（接触し）、プローブピンを介してＩＣデバイス９０の検査が行われる。ＩＣデバイス９０の検査は、検査部１６に接続されるテスターが備える検査制御部に記憶されているプログラムに基づいて行われる。なお、検査部１６では、温度調整部１２と同様に、ＩＣデバイス９０を加熱または冷却して、当該ＩＣデバイス９０を検査に適した温度に調整することができる。
【００４２】
デバイス搬送ヘッド１７は、検査領域Ａ３内で移動可能に支持されている。これにより、デバイス搬送ヘッド１７は、供給領域Ａ２から搬入されたデバイス供給部１４上のＩＣデバイス９０を検査部１６上に搬送し、載置することができる。
【００４３】
デバイス回収部１８は、検査部１６での検査が終了したＩＣデバイス９０が載置される載置部であり、当該ＩＣデバイス９０を回収領域Ａ４まで搬送することができる。このデバイス回収部１８は、検査領域Ａ３と回収領域Ａ４との間をＸ方向に沿って移動可能に支持されている。また、図２に示す構成では、デバイス回収部１８は、デバイス供給部１４と同様に、Ｙ方向に２つ配置されており、検査部１６上のＩＣデバイス９０は、いずれかのデバイス回収部１８に搬送され、載置される。この搬送は、デバイス搬送ヘッド１７によって行なわれる。
【００４４】
回収領域Ａ４は、検査が終了した複数のＩＣデバイス９０が回収される領域である。この回収領域Ａ４には、回収用トレイ１９と、デバイス搬送ヘッド２０と、トレイ搬送機構（第２搬送装置）２１とが設けられている。また、回収領域Ａ４には、空のトレイ２００も用意されている。
【００４５】
回収用トレイ１９は、ＩＣデバイス９０が載置される載置部であり、回収領域Ａ４内に固定され、図２に示す構成では、Ｘ方向に沿って３つ配置されている。また、空のトレイ２００も、ＩＣデバイス９０が載置される載置部であり、Ｘ方向に沿って３つ配置されている。そして、回収領域Ａ４に移動してきたデバイス回収部１８上のＩＣデバイス９０は、これらの回収用トレイ１９および空のトレイ２００のうちのいずれかに搬送され、載置される。これにより、ＩＣデバイス９０は、検査結果ごとに回収されて、分類されることとなる。
【００４６】
デバイス搬送ヘッド２０は、回収領域Ａ４内で移動可能に支持されている。これにより、デバイス搬送ヘッド２０は、ＩＣデバイス９０をデバイス回収部１８から回収用トレイ１９や空のトレイ２００に搬送することができる。
【００４７】
トレイ搬送機構２１は、トレイ除去領域Ａ５から搬入された空のトレイ２００を回収領域Ａ４内でＸ方向に搬送させる機構である。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、ＩＣデバイス９０が回収される位置に配されることとなる、すなわち、前記３つの空のトレイ２００のうちのいずれかとなり得る。このように検査装置１では、回収領域Ａ４にトレイ搬送機構２１が設けられ、その他に、供給領域Ａ２にトレイ搬送機構１５が設けられている。これにより、例えば空のトレイ２００のＸ方向への搬送を１つの搬送機構で行なうよりも、スループット（単位時間当たりのＩＣデバイス９０の搬送個数）の向上を図ることができる。
【００４８】
なお、トレイ搬送機構１５、２１の構成としては、特に限定されず、例えば、トレイ２００を吸着する吸着部材と、当該吸着部材をＸ方向に移動可能に支持するボールネジ等の支持機構とを有する構成が挙げられる。
【００４９】
トレイ除去領域Ａ５は、検査済み状態の複数のＩＣデバイス９０が配列されたトレイ２００が回収され、除去される除材部である。トレイ除去領域Ａ５では、多数のトレイ２００を積み重ねることができる。
【００５０】
また、回収領域Ａ４とトレイ除去領域Ａ５とをまたぐように、トレイ２００を１枚ずつ搬送するトレイ搬送機構２２Ａ、２２Ｂが設けられている。トレイ搬送機構２２Ａは、検査済みのＩＣデバイス９０が載置されたトレイ２００を回収領域Ａ４からトレイ除去領域Ａ５に搬送する機構である。トレイ搬送機構２２Ｂは、ＩＣデバイス９０を回収するための空のトレイ２００をトレイ除去領域Ａ５から回収領域Ａ４に搬送する機構である。
【００５１】
制御部８０は、例えば、駆動制御部を有している。駆動制御部は、例えば、トレイ搬送機構１１Ａ、１１Ｂと、温度調整部１２と、デバイス搬送ヘッド１３と、デバイス供給部１４と、トレイ搬送機構１５と、検査部１６と、デバイス搬送ヘッド１７と、デバイス回収部１８と、デバイス搬送ヘッド２０と、トレイ搬送機構２１と、トレイ搬送機構２２Ａ、２２Ｂの各移動部の駆動を制御する。
【００５２】
なお、前記テスターの検査制御部は、例えば、図示しないメモリー内に記憶されたプログラムに基づいて、検査部１６に配置されたＩＣデバイス９０の電気的特性の検査等を行なう。
【００５３】
以上のような検査装置１では、温度調整部１２や検査部１６以外にも、デバイス搬送ヘッド１３、デバイス供給部１４、デバイス搬送ヘッド１７もＩＣデバイス９０を加熱または冷却可能に構成されている。これにより、ＩＣデバイス９０は、搬送されている間、温度が一定に維持される。そして、以下では、ＩＣデバイス９０に対して冷却を行ない、例えば−６０℃〜−４０℃の範囲内の低温環境下で検査を行なう場合について説明する。
【００５４】
オペレーターは、モニター３００を介して、検査装置１の作動時の温度条件等を設定したり、確認したりすることができる。このモニター３００は、検査装置１の正面側上部に配置されている。図１および図２に示すように、トレイ除去領域Ａ５の図中の右側には、モニター３００に表示された画面を操作する際に用いられるマウスを載置するマウス台６００が設けられている。
【００５５】
また、シグナルランプ４００は、発光する色の組み合わせにより、検査装置１の作動状態等を報知することができる。シグナルランプ４００は、トップカバー７４上に配置されている。なお、検査装置１には、スピーカー５００が内蔵されており、このスピーカー５００によっても検査装置１の作動状態等を報知することもできる。
【００５６】
図２に示すように、検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１と供給領域Ａ２との間が第１隔壁６１によって区切られて（仕切られて）おり、供給領域Ａ２と検査領域Ａ３との間が第２隔壁６２によって区切られており、検査領域Ａ３と回収領域Ａ４との間が第３隔壁６３によって区切られており、回収領域Ａ４とトレイ除去領域Ａ５との間が第４隔壁６４によって区切られている。また、供給領域Ａ２と回収領域Ａ４との間も、第５隔壁６５によって区切られている。これらの隔壁は、各領域の気密性を保つ機能を有している。さらに、検査装置１は、最外装がカバーで覆われており、当該カバーには、例えばフロントカバー７０、サイドカバー７１および７２、リアカバー７３がある。
【００５７】
そして、供給領域Ａ２は、第１隔壁６１と第２隔壁６２と第５隔壁６５とサイドカバー７１とリアカバー７３とによって画成された第１室Ｒ１となっている。第１室Ｒ１には、未検査状態の複数のＩＣデバイス９０がトレイ２００ごと搬入される。
【００５８】
検査領域Ａ３は、第２隔壁６２と第３隔壁６３とリアカバー７３とによって画成された第２室Ｒ２となっている。また、第２室Ｒ２には、リアカバー７３よりも内側に内側隔壁６６が配置されている。
【００５９】
回収領域Ａ４は、第３隔壁６３と第４隔壁６４と第５隔壁６５とサイドカバー７２とリアカバー７３とによって画成された第３室Ｒ３となっている。第３室Ｒ３には、検査が終了した複数のＩＣデバイス９０が第２室Ｒ２から搬入される。
【００６０】
図２に示すように、サイドカバー７１には、第１扉（左側第１扉）７１１と第２扉（左側第２扉）７１２とが設けられている。第１扉７１１や第２扉７１２を開けることにより、例えば第１室Ｒ１内での例えばメンテナンスやＩＣデバイス９０におけるジャムの解除等（以下、これらを総称として「作業」という）を行なうことができる。なお、第１扉７１１と第２扉７１２とは、互いに反対方向に開閉する、いわゆる「観音開き」となっている。
【００６１】
同様に、サイドカバー７２には、第１扉（右側第１扉）７２１と第２扉（右側第２扉）７２２とが設けられている。第１扉７２１や第２扉７２２を開けることにより、例えば第３室Ｒ３内での作業を行なうことができる。なお、第１扉７２１と第２扉７２２も、互いに反対方向に開閉する、いわゆる「観音開き」となっている。
【００６２】
また、リアカバー７３にも、第１扉（背面側第１扉）７３１と第２扉（背面側第２扉）７３２と第３扉（背面側第３扉）７３３とが設けられている。第１扉７３１を開けることにより、例えば第１室Ｒ１内での作業を行なうことができる。第３扉７３３を開けることにより、例えば第３室Ｒ３内での作業を行なうことができる。さらに、内側隔壁６６には、第４扉７５が設けられている。そして、第２扉７３２および第４扉７５を開けることにより、例えば第２室Ｒ２内での作業を行なうことができる。なお、第１扉７３１と第２扉７３２と第４扉７５とは、同じ方向に開閉し、第３扉７３３は、これらの扉と反対方向に開閉する。
【００６３】
そして、各扉を閉じることにより、対応する各室での気密性や断熱性を確保することができる。
【００６４】
ところで、検査装置１では、これら扉のうち、サイドカバー７１側の第１扉７１１および第２扉７１２と、サイドカバー７２側の第１扉７２１および第２扉７２２と、リアカバー７３側の第１扉７３１および第３扉７３３とは、それぞれ、第１開閉部４と第２開閉部５とで構成され（図３、図４参照）、これらを組み立ててなる組立体となっている。以下、サイドカバー７１側にある第１扉７１１を代表的に説明する。なお、第２扉７３２と第４扉７５とは、第１開閉部４（開口部４４を省略したもの）と同じ構造をなすものとなっている。
【００６５】
図３〜図５に示すように、第１開閉部４は、サイドカバー７１に形成された開口部７１３に対して開閉可能な扉である。これにより、第１開閉部４は、閉状態で開口部７１３の半分（図中の左側の部分）を覆うことができ（図４参照）、開状態で開口部７１３を開放させることができる（図３参照）。
【００６６】
この第１開閉部４は、平面視でほぼ四角形状をなす板部材で構成されている。なお、第１開閉部４の大きさとしては、検査装置１の大きさにもよるが、例えば、縦の長さ（Ｚ方向の長さ）、横の長さ（Ｙ方向の長さ）がいずれも、４００ｍｍ以上、６００ｍｍ以下であるのが好ましく、４５０ｍｍ以上、５５０ｍｍ以下であるのがより好ましい。
【００６７】
そして、四角形状をなす第１開閉部４は、４つの辺（縁部）４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄのうちの鉛直方向に延びた辺４１ａが２つの第１回動支持部４２でサイドカバー７１と連結されている。これら２つの第１回動支持部４２は、Ｚ方向に離間して配置されている。また、各第１回動支持部４２は、第１開閉部４を回動可能に支持する蝶番で構成されている。これにより、第１開閉部４を鉛直方向、すなわち、Ｚ方向と平行な軸を回動軸として回動可能に支持することができ、その開閉を円滑に行なうことができる。
【００６８】
図５に示すように、第１開閉部４が閉じた状態を維持する第１ロック機構（ロック部）としてのシリンダー７４０が、サイドカバー７１の開口部７１３の上部近傍（例えば０ｍｍ以上、５０ｍｍ以下）に配置、固定されている。シリンダー７４０は、シリンダーロッド７４０ａが出没自在なものである。そして、シリンダーロッド７４０ａが下方に向かって突出したときに、第１開閉部４に設けられたロック部材４３に係合することができる（図５参照）。これにより、第１開閉部４の閉状態が維持され、例えばＩＣデバイス９０の搬送中にオペレーター（操作者）が誤って第１開閉部４を開けてしまうのを防止することができる。
【００６９】
なお、本実施形態では、シリンダー７４０は、第１扉７１１の第１開閉部４の閉状態を維持するのみならず、第２扉７１２の第１開閉部４の閉状態を維持することもできる。すなわち、シリンダー７４０は、シリンダーロッド７４０ａが、第１扉７１１の第１開閉部４のロック部材４３と、第２扉７１２の第１開閉部４のロック部材４３とに一括して係合することができ、よって、これらの第１開閉部４の閉状態を一括して維持することができる。
【００７０】
同様に、サイドカバー７２側では、シリンダー７４５が第１扉７２１と第２扉７２２との閉状態を一括して維持することができる。また、リアカバー７３側では、シリンダー７４１が第１扉７３１の閉状態を維持することができ、シリンダー７４２が第２扉７３２の閉状態を維持することができ、シリンダー７４４が第３扉７３３の閉状態を維持することができ、シリンダー７４３が第４扉７５の閉状態を維持することができる。そして、各シリンダー７４０〜７４５の動作は、所定のスイッチを用いて独立して行なわれる。
【００７１】
前述したように、第１開閉部４と第２開閉部５とで構成された扉には、サイドカバー７１側の第１扉７１１および第２扉７１２と、サイドカバー７２側の第１扉７２１および第２扉７２２と、リアカバー７３側の第１扉７３１および第３扉７３３とがある。従って、第１開閉部４の設置数は、これらの扉と同じ数（複数）となる。これにより、前記搬送領域内の作業をしたい部分に対し、できる限り近い第１開閉部４を開ければ、その作業を容易に行なうことができる。
【００７２】
また、図５に示すように、第１開閉部４の開閉を検出する検出部７６としてのマグネットセンサー７６１とマグネット７６２とが設けられている。マグネットセンサー７６１は、サイドカバー７１の開口部７１３の上部近傍（例えば０ｍｍ以上、５０ｍｍ以下）に配置、固定されており、制御部８０と電気的に接続されている。マグネット７６２は、第１開閉部４に固定されており、当該第１開閉部４が閉状態にあるときに、マグネットセンサー７６１に近接する、すなわち、臨む位置に配置されている。そして、第１室Ｒ１内での作業を行なう際に、第１開閉部４の開状態が検出部７６によって検出された場合、第１室Ｒ１内のデバイス搬送ヘッド１３等の移動部が停止する。これにより、作業するオペレーターの安全を確保することができる。
【００７３】
図３〜図５に示すように、第１開閉部４には、第２開閉部５が設けられている。第２開閉部５は、第１開閉部４に形成された開口部４４に対して開閉可能な扉である。これにより、第２開閉部５は、閉状態で開口部４４を覆うことができ（図３参照）、開状態で開口部４４を開放させることができる（図４参照）。そして、第２開閉部５は、平面視でほぼ四角形状をなす板部材で構成されており、その面積は、第１開閉部４の面積よりも小さい。なお、第１開閉部４の開口部４４の周囲には、第２開閉部５が閉状態となった際に、当該第２開閉部５がデバイス供給領域Ａ２側に傾くのを防止するストッパー用の板片４５が設けられている（図６参照）。なお、板片４５にパッキン（シール材）が設置されていてもよい。これにより、閉状態の第２開閉部５と板片４５との間の気密性を好適に保持することができる。
【００７４】
このような第２開閉部５が設けられていることにより、例えばデバイス供給領域Ａ２内の温度調整部１２（検査装置１の内部）に対する作業を施す際に、第１開閉部４を開状態とするのではなく、第２開閉部５を開状態として、その作業を行なうことができる。第２開閉部５の開状態は、第１開閉部４の開状態よりも小さいため、温度調整部１２に対する作業中に、外気がデバイス供給領域Ａ２内に流入するのをできる限り抑えることができる。これにより、デバイス供給領域Ａ２内の低温環境が保たれ、よって、ＩＣデバイス９０等に結露や霜が生じるのを防止することができ、また、第２開閉部５を再度閉状態としてからの検査装置１の作動を迅速に行なうことができる。
【００７５】
なお、第２開閉部５の大きさとしては、第１開閉部４の大きさにもよるが、例えば、縦の長さ（Ｚ方向の長さ）が１５０ｍｍ以上、２００ｍｍ以下であるのが好ましく、１８０ｍｍ以上、２００ｍｍ以下であるのがより好ましく、横の長さ（Ｙ方向の長さ）が１５０ｍｍ以上、４００ｍｍ以下であるのが好ましく、２００ｍｍ以上、３６０ｍｍ以下であるのがより好ましい。このような大きさにより、開状態の第２開閉部５を介して、例えば一般的な成人者の腕や、一般的な大きさのトレイ２００の出入りを容易に行なうことができる。また、開状態の第２開閉部５を介して作業者の頭が侵入してしまうのを防止することもできる。
【００７６】
そして、四角形状をなす第２開閉部５は、４つの辺（縁部）５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、５１ｄのうちの水平方向に延びた辺５１ｂが２つの第２回動支持部５２で第１開閉部４と連結されている。これら２つの第２回動支持部５２は、Ｙ方向に離間して配置されている。また、各第２回動支持部５２は、第２開閉部５を回動可能に支持する蝶番で構成されている。これにより、第２開閉部５を水平方向、すなわち、Ｙ方向と平行な軸を回動軸として回動可能に支持することができ、その開閉を円滑に行なうことができる。
【００７７】
また、図６に示すように、第２回動支持部５２を構成する蝶番は、トーションバネ５２１が内蔵されたものとなっている。トーションバネ５２１は、第２開閉部５を付勢する付勢部として機能する。これにより、第２開閉部５は、自重で閉じることの他に、トーションバネ５２１による付勢力によっても閉じることができる。これにより、作業後の第２開閉部５の閉め忘れを防止することができる。
【００７８】
図４、図６に示すように、本実施形態では、第２開閉部５は、検査装置１の外側に向かって開くものとなっている。これにより、例えば開状態の第２開閉部５が第１開閉部４に対して垂直となるように規制する構成とした場合、第２開閉部５上に作業に用いられるツールを一時的に載置することができる。
【００７９】
また、図５に示すように、第２開閉部５の配置箇所としては、デバイス供給領域Ａ２内の温度調整部１２近傍であって、当該温度調整部１２よりも鉛直上方に配置されているのが好ましい。ここで、「近傍」とは、温度調整部１２から第２開閉部５までの距離が、一般的な成人の肩から指先までの長さの程度（肩まで挿入した場合に指先が届く程度）、すなわち、７００ｍｍ以下とするのが好ましく、肘から指先までの長さ程度（肘まで挿入した場合に指先が届く程度）、すなわち、５００ｍｍ以下とするのがより好ましい。これにより、第２開閉部５を開状態とすれば、作業するオペレーターの目線よりも低い位置に温度調整部１２がある状態とすることができ、よって、温度調整部１２に対する作業を即座に行なうことができる。そして、この迅速な作業により、第２開閉部５の開状態となっている時間をできる限り短くすることができ、よって、外気がデバイス供給領域Ａ２内に流入するのを抑えることができる。
【００８０】
第２開閉部５が閉じた状態を維持する第２ロック機構（ロック部）としてのシリンダー７４６が、第１開閉部４の開口部４４の近傍（例えば０ｍｍ以上、５０ｍｍ以下）に配置、固定されている。シリンダー７４６は、シリンダーロッド７４６ａが出没自在なものである。そして、シリンダーロッド７４６ａが突出したときに、第２開閉部５に設けられたロック部材５３に係合することができる（図５参照）。これにより、第２開閉部５の閉状態が維持され、例えばＩＣデバイス９０の搬送中にオペレーターが誤って第２開閉部５を開けてしまうのを防止することができる。なお、シリンダー７４６の動作は、所定のスイッチを用いて行なわれる。
【００８１】
また、第２開閉部５の開閉を検出する、すなわち、感知可能な検出部７７としてのマグネットセンサー７７１とマグネット７７２とが設けられている。マグネットセンサー７７１は、第１開閉部４の開口部４４の下部近傍（例えば０ｍｍ以上、５０ｍｍ以下）に配置、固定されており、制御部８０と電気的に接続されている。マグネット７７２は、第２開閉部５に固定されており、当該第２開閉部５が閉状態にあるときに、マグネットセンサー７７１に近接する、すなわち、臨む位置に配置されている。そして、第１室Ｒ１内での作業を行なう際に、第２開閉部５の開状態が検出部７７によって検出された場合にも、検出部７６で第１開閉部４の開状態が検出された場合と同様に、第１室Ｒ１内のデバイス搬送ヘッド１３等の移動部が停止する。これにより、作業するオペレーターの安全を確保することができる。
【００８２】
前述したように、検査装置１は、モニター３００と、シグナルランプ４００と、スピーカー５００とを備えている。そして、これらは、制御部８０と電気的に接続されており、各検出部７６での第１開閉部４の開閉の検出結果と各検出部７７での第２開閉部５の開閉の検出結果とに応じて、全ての第１開閉部４および第２開閉部５の開閉状態を報知する報知部としても機能する。
【００８３】
モニター３００は、液晶の表示画面３０１を有し、発光、すなわち、光の三原色の組み合わせ（発色）により、前記開閉状態を報知することができる。
【００８４】
シグナルランプ４００は、例えば３色（赤色、緑色、黄色）の色の光をそれぞれ独立して発するよう構成されており、これらの色の組み合わせにより、前記開閉状態を報知することができる。
【００８５】
スピーカー５００は、警報音や、その他、音声を発することにより、前記開閉状態を報知することができる。
【００８６】
そして、いずれの報知によっても、検査装置１に対する作業を施している際に、開状態となっている第１開閉部４や第２開閉部５をできる限り早く閉状態とする旨を、視覚や聴覚によってオペレーターに促すことができる。これにより、開状態の時間を短くすることができ、よって、検査装置１（前記搬送領域）への外気の流入をできる限り抑えることができる。
【００８７】
また、検査装置１では、モニター３００での報知と、シグナルランプ４００での報知と、スピーカー５００での報知とのうち、少なくとも２つを適宜組み合わせて出力することができる。これにより、オペレーターは、報知に容易に気付くことができる。
【００８８】
また、検査装置１では、モニター３００での報知と、シグナルランプ４００での報知と、スピーカー５００での報知とを、第１開閉部４の開閉状態、第２開閉部５の開閉状態に応じて使い分けることができる。例えば、第１開閉部４の開閉状態を報知する第１報知部として、モニター３００を用い、第２開閉部５の開閉状態を報知する第２報知部として、シグナルランプ４００を用いることができる。このように、検査装置１では、第１報知部としてモニター３００、シグナルランプ４００およびスピーカー５００のうちのいずれか１つを選択して用い、第２報知部として、モニター３００、シグナルランプ４００およびスピーカー５００のうちの前記選択されたもの以外の残りのものを選択して用いることができる。これにより、検査装置１を使用するユーザーに応じた報知の設定を行なうことができ、よって、ユーザーとっての操作性が向上する。
【００８９】
以下では、一例として、報知部としてモニター３００を用いた場合について説明する。
図７〜図９に示すように、表示画面３０１には、メインフォームＭＦと、メインフォームＭＦの図中の右隣に位置するサブフォームＳＦとが表示される。
【００９０】
メインフォームＭＦには、例えば、各種メニューを選択するためのボタン等が含まれている。
【００９１】
サブフォームＳＦは、検査装置１の概略図である。そして、このサブフォームＳＦには、各第１開閉部４の開閉状態（本実施形態では「開状態」）を報知する第１報知部１０Ａと、各第２開閉部５の開閉状態（本実施形態では「開状態」）を報知する第２報知部１０Ｂとが含まれている。
【００９２】
なお、第１開閉部４が閉状態となっているときには、第１報知部１０Ａの表示が抑止され、第２開閉部５が閉状態となっているときには、第２報知部１０Ｂの表示が抑止される。
【００９３】
本実施形態では、第１報知部１０Ａと第２報知部１０Ｂとは、形状および大きさとが異なっており、第１報知部１０Ａが円形をなし、第２報知部１０Ｂが第１報知部１０Ａよりも小さい正方形をなしている。このような相違により、報知されているのは、第１開閉部４の開閉状態なのか、または、第２開閉部５の開閉状態なのかを容易に把握することができる。
【００９４】
なお、第１報知部１０Ａと第２報知部１０Ｂとの相違態様は、形状および大きさの相違に限定されず、例えば、形状のみの相違、大きさのみの相違、その他、色、点滅状態（点滅の周期、デューティー比等）を含んだ相違であってもよい。また、これらの条件から適宜組み合わせてもよい。
【００９５】
前述したように、第１開閉部４と第２開閉部５とで構成された扉には、サイドカバー７１側の第１扉７１１および第２扉７１２と、サイドカバー７２側の第１扉７２１および第２扉７２２と、リアカバー７３側の第１扉７３１および第３扉７３３とがある。
【００９６】
例えば、これらの各扉での第１開閉部４が全て開状態となっている場合には、図７に示すように、第１報知部１０Ａ７１１で第１扉７１１の第１開閉部４の開状態を報知し、第１報知部１０Ａ７１２で第２扉７１２の第１開閉部４の開状態を報知し、第１報知部１０Ａ７２１で第１扉７２１の第１開閉部４の開状態を報知し、第１報知部１０Ａ７２２で第２扉７２２の第１開閉部４の開状態を報知し、第１報知部１０Ａ７３１で第１扉７３１の第１開閉部４の開状態を報知し、第１報知部１０Ａ７３３で第３扉７３３の第１開閉部４の開状態を報知する。
【００９７】
また、これらの各扉での第２開閉部５が全て開状態となっている場合には、図８に示すように、第２報知部１０Ｂ７１１で第１扉７１１の第２開閉部５の開状態を報知し、第２報知部１０Ｂ７１２で第２扉７１２の第２開閉部５の開状態を報知し、第２報知部１０Ｂ７２１で第１扉７２１の第２開閉部５の開状態を報知し、第２報知部１０Ｂ７２２で第２扉７２２の第２開閉部５の開状態を報知し、第２報知部１０Ｂ７３１で第１扉７３１の第２開閉部５の開状態を報知し、第２報知部１０Ｂ７３３で第３扉７３３の第２開閉部５の開状態を報知する。
【００９８】
また、例えば、第１扉７２１の第２開閉部５が開状態となり、第２扉７２２の第２開閉部５が開状態となり、第１扉７３１の第２開閉部５が開状態となり、第３扉７３３の第１開閉部４が開状態となっている場合には、図９に示すように、第２報知部１０Ｂ７２１で第１扉７２１の第２開閉部５の開状態を報知し、第２報知部１０Ｂ７２２で第２扉７２２の第２開閉部５の開状態を報知し、第２報知部１０Ｂ７３１で第１扉７３１の第２開閉部５の開状態を報知し、第１報知部１０Ａ７３３で第３扉７３３の第１開閉部４の開状態を報知する。
【００９９】
このような構成により、表示画面３０１を確認すれば、どこの扉のどの開閉部が開状態となったかを迅速に把握することができる。
【０１００】
なお、検査装置１では、１つの扉で、第１開閉部４および第２開閉部５の両方が開状態となっている場合には、第１開閉部４の開状態を優先的に報知するよう構成されている。
【０１０１】
また、検査装置１は、第１報知部１０Ａや第２報知部１０Ｂによる報知後に、デバイス搬送ヘッド１３等の移動部の可動が停止した場合に、前記第１ロック機構や前記第２ロック機構による閉状態の維持を解除するよう構成されていてもよい。これにより、前記所定のスイッチの操作を省略して、第１開閉部４または第２開閉部５を開状態とすることができ、操作性に優れる。
【０１０２】
次に、例えば第１開閉部４および第２開閉部５のうちの一方の開閉部が開状態となっているときに、当該開状態の開閉部を閉状態とするように指示するプログラムについて、図１０に示すフローチャートに基づいて説明する。ここでは、第２開閉部５が開状態となっている場合を一例として挙げる。
【０１０３】
検出部７７で第２開閉部５が開状態となったことが検出されると（ステップＳ１０１）、第２報知部１０Ｂで第２開閉部５の開状態を報知するとともに（ステップＳ１０２）、制御部８０に内蔵されているタイマーが作動する（ステップＳ１０３）。そして、その間、第２開閉部５が設置されている領域内の湿度センサー（図示せず）で検出された湿度（または温度センサー（図示せず）で検出された温度）αが、予め定められた閾値α０を越えたか否かを判断する（ステップＳ１０４）。ここで、閾値α０は、当該領域内の低温環境が、結露を生じ易い状態となり得る湿度である。
【０１０４】
ステップＳ１０４での判断の結果、湿度αが閾値α０を越えたと判断した場合には、開状態の第２開閉部５を閉状態とするように指示を発する（ステップＳ１０５）。この指示は、当該領域内の低温環境が、結露を生じ易い状態となりつつあることを意味し、オペレーターに第２開閉部５を閉状態とすることを促すことができる。また、指示は、モニター３００、シグナルランプ４００、スピーカー５００のうちの少なくとも１つを用いて発せられる。
【０１０５】
ステップＳ１０５の実行後、検出部７７で第２開閉部５が閉状態となったか否かを検出する（ステップＳ１０６）。
【０１０６】
また、ステップＳ１０４での判断の結果、湿度αが閾値α０を越えていないと判断した場合には、タイムアップしたか否か、すなわち、所定時間が経過したか否かを制御部８０で判断する（ステップＳ１０７）。ステップＳ１０７においてタイムアップしたと判断した場合には、ステップＳ１０５に移行し、以後、それよりも下位のステップを順次実行する。所定時間が経過しても、当該領域内の低温環境が、結露を生じ易い状態となりつつあるということができる。
【０１０７】
また、ステップＳ１０７において未だタイムアップしていないと判断した場合には、ステップＳ１０６に移行する。
【０１０８】
以上、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、電子部品搬送装置および電子部品検査装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
【０１０９】
また、第１開閉部は、前記実施形態では回動可能に支持されたものであるが、これに限定されず、例えば、水平方向に摺動可能に支持されたものであってもよい。
【０１１０】
また、第２開閉部は、前記実施形態では回動可能に支持されたものであるが、これに限定されず、例えば、水平方向に摺動可能に支持されたものであってもよい。
【０１１１】
また、報知部は、前記実施形態では第１開閉部および第２開閉部のそれぞれの開閉状態を報知するものであるが、これに限定されず、例えば、第１開閉部の開閉状態を報知するものであってもよいし、第２開閉部の開閉状態を報知するものであってもよい。
【符号の説明】
【０１１２】
１……検査装置（電子部品検査装置）
１１Ａ、１１Ｂ……トレイ搬送機構
１２……温度調整部（ソークプレート）
１３……デバイス搬送ヘッド
１４……デバイス供給部（供給シャトル）
１５……トレイ搬送機構（第１搬送装置）
１６……検査部
１７……デバイス搬送ヘッド
１８……デバイス回収部（回収シャトル）
１９……回収用トレイ
２０……デバイス搬送ヘッド
２１……トレイ搬送機構（第２搬送装置）
２２Ａ、２２Ｂ……トレイ搬送機構
４……第１開閉部
４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄ……辺（縁部）
４２……第１回動支持部
４３……ロック部材
４４……開口部
４５……板片
５……第２開閉部
５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、５１ｄ……辺（縁部）
５２……第２回動支持部
５２１……トーションバネ
５３……ロック部材
６１……第１隔壁
６２……第２隔壁
６３……第３隔壁
６４……第４隔壁
６５……第５隔壁
６６……内側隔壁
７０……フロントカバー
７１……サイドカバー
７１１……第１扉
７１２……第２扉
７１３……開口部
７２……サイドカバー
７２１……第１扉
７２２……第２扉
７３……リアカバー
７３１……第１扉
７３２……第２扉
７３３……第３扉
７４……トップカバー
７４０、７４１、７４２、７４３、７４４、７４５、７４６……シリンダー
７４０ａ、７４６ａ……シリンダーロッド
７５……第４扉
７６……検出部
７６１……マグネットセンサー
７６２……マグネット
７７……検出部
７７１……マグネットセンサー
７７２……マグネット
１０Ａ、１０Ａ７１１、１０Ａ７１２、１０Ａ７２１、１０Ａ７２２、１０Ａ７３１、１０Ａ７３３……第１報知部
１０Ｂ、１０Ｂ７１１、１０Ｂ７１２、１０Ｂ７２１、１０Ｂ７２２、１０Ｂ７３１、１０Ｂ７３３……第２報知部
８０……制御部
９０……ＩＣデバイス
２００……トレイ（配置部材）
３００……モニター
３０１……表示画面
４００……シグナルランプ
５００……スピーカー
６００……マウス台
Ａ１……トレイ供給領域
Ａ２……デバイス供給領域（供給領域）
Ａ３……検査領域
Ａ４……デバイス回収領域（回収領域）
Ａ５……トレイ除去領域
ＭＦ……メインフォーム
Ｒ１……第１室
Ｒ２……第２室
Ｒ３……第３室
ＳＦ……サブフォーム
Ｓ１０１〜Ｓ１０７……ステップ
α……湿度（または温度）
α０……閾値
【図１】
2016170146.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2016170146.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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