(57)【要約】      （修正有）【課題】不要な振動を抑制して安定した斜め振動を生じさせることができる振動片、角速度センサー、電子機器および移動体を提供する。【解決手段】振動片は、第１主面５１１、第２主面５１２、第１側面５１３、第２側面５１４を含み、第１方向に延在する振動部を備える。振動部は、第１主面に形成された第１溝部５５と第２主面に形成された第２溝部５６とを有し、第１溝部の第１開口端ＯＥ１と、第１主面と第１側面とが交わる第１端Ｅ１との間の長さａ１は、第１溝部の第２開口端ＯＥ２と、第１主面と第２側面とが交わる第２端Ｅ２との間の長さｂ１よりも長く、第２溝部の第３開口端ＯＥ３と、第２主面と第２側面とが交わる第３端Ｅ３との間の長さａ２は、第２溝部の第４開口端ＯＥ４と、第２主面と第１側面とが交わる第４端Ｅ４との間の長さｂ２よりも長い。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１主面と、前記第１主面の反対側の第２主面と、第１側面と、前記第１側面と反対側の第２側面とを含み、第１方向に延在する振動部を備える振動片であって、
前記振動部は、
前記第１主面に形成された第１溝部と、
前記第２主面に形成された第２溝部と、
を有し、
前記第１主面に直交する方向から見た平面視において、前記第１溝部及び前記第２溝部が、前記振動部が延在する方向と直交する方向であって、かつ、前記第１主面に平行な方向にて互いに逆方向に偏移して設けられ、
前記振動部が延在する前記第１方向と直交する横断面において、前記第１溝部の前記第１側面側の第１開口端と、前記第１主面と前記第１側面とが交わる第１端との間の長さａ１は、前記第１溝部の前記第２側面側の第２開口端と、前記第１主面と前記第２側面とが交わる第２端との間の長さｂ１よりも長く、
前記横断面において、前記第２溝部の前記第２側面側の第３開口端と、前記第２主面と前記第２側面とが交わる第３端との間の長さａ２は、前記第２溝部の前記第１側面側の第４開口端と、前記第２主面と前記第１側面とが交わる第４端との間の長さｂ２よりも長いことを特徴とする振動片。
【請求項２】
請求項１に記載の振動片において、
前記第１主面と前記第２主面との間の距離を二等分する第１中心線に沿って、前記横断面の最大幅に亘って前記振動部が連続して形成されていることを特徴とする振動片。
【請求項３】
請求項２に記載の振動片において、
前記第１主面に直交する方向から見た平面視において、前記第１溝部の一部と前記第２溝部の一部とが重なっていることを特徴とする振動片。
【請求項４】
請求項２に記載の振動片において、
前記第１溝部は、前記第１側面と前記第２側面との間の最大幅を二等分する第２中心線と前記第２側面との間で前記第１主面に開口して形成され、
前記第２溝部は、前記第２中心線と前記第１側面との間で前記第２主面に開口して形成されていることを特徴とする振動片。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の振動片において、
ａ１＞２×ｂ１でかつａ２＞２×ｂ２を満たすことを特徴とする振動片。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一項に記載の振動片において、
前記第１溝部の深さｄ１と、前記第２溝部の深さｄ２とは、前記第１主面と前記第２主面との間の距離をｔとしたとき、ｄ１＋ｄ２＜ｔを満たすことを特徴とする振動片。
【請求項７】
請求項６に記載の振動片において、
０．３ｔ≦ｄ１＋ｄ２≦０．９５ｔを満たすことを特徴とする振動片。
【請求項８】
請求項６に記載の振動片において、
０．４ｔ≦ｄ１＋ｄ２≦０．９ｔを満たすことを特徴とする振動片。
【請求項９】
請求項６に記載の振動片において、
０．５ｔ≦ｄ１＋ｄ２≦０．８ｔを満たすことを特徴とする振動片。
【請求項１０】
請求項２乃至４のいずれか一項に記載の振動片において、
前記第１溝部の深さｄ１と、前記第２溝部の深さｄ２とは、前記第１主面と前記第２主面との間の距離をｔとしたとき、ｄ１＜０．５ｔかつｄ２＜０．５ｔを満たすことを特徴とする振動片。
【請求項１１】
請求項１０に記載の振動片において、
０．１５ｔ≦ｄ１≦０．４７５ｔかつ０．１５ｔ≦ｄ２≦０．４７５ｔを満たすことを特徴とする振動片。
【請求項１２】
請求項１０に記載の振動片において、
０．２ｔ≦ｄ１≦０．４５ｔかつ０．２ｔ≦ｄ２≦０．４５ｔを満たすことを特徴とする振動片。
【請求項１３】
請求項１０に記載の振動片において、
０．２５ｔ≦ｄ１≦０．４ｔかつ０．２５ｔ≦ｄ２≦０．４ｔを満たすことを特徴とする振動片。
【請求項１４】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の振動片において、
前記横断面において、前記第１側面と前記第２側面との間の最大幅をＷとし、前記第１溝部の開口幅及び前記第２溝部の開口幅をＭとしたとき、０．１Ｗ≦Ｍ≦０．８Ｗを満たすことを特徴とする振動片。
【請求項１５】
請求項１４に記載の振動片において、
０．２Ｗ≦Ｍ≦０．７Ｗを満たすことを特徴とする振動片。
【請求項１６】
請求項１４に記載の振動片において、
０．３５Ｗ≦Ｍ≦０．６Ｗを満たすことを特徴とする振動片。
【請求項１７】
請求項１乃至１６のいずれか一項に記載の振動片において、
前記振動部が延在する前記第１方向と直交する方向であって、かつ前記第１主面に平行な第２方向において、前記第１開口端は前記第４開口端よりも一方側に位置し、前記第２開口端は前記第３開口端よりも前記一方側に位置することを特徴とする振動片。
【請求項１８】
請求項１乃至１７のいずれか一項に記載の振動片において、
基部と、
前記基部から前記第１方向に沿って平行に延在する前記振動部で形成された第１駆動部および第２駆動部と、
を有し、
前記第１駆動部及び前記第２駆動部とは、前記第１方向に沿った線分に対して線対称に配置され、前記横断面において前記第１主面と平行な方向に逆相で振動し、前記横断面において前記第１主面と直交する方向に同相で振動することを特徴とする振動片。
【請求項１９】
請求項１８に記載の振動片において、
前記振動片が回転した時に、前記第１駆動部及び前記第２駆動部に加わるコリオリ力に応じて屈曲振動する検出部をさらに備えることを特徴とする振動片。
【請求項２０】
請求項１８に記載の振動片において、
前記基部から前記第１方向に沿って前記第１駆動部とは逆方向に延在する第３駆動部と、
前記基部から前記第１方向に沿って前記第２駆動部とは逆方向に延在する第４駆動部と、
をさらに有し、
前記第３駆動部は前記第１駆動部の前記横断面と同一の形状を有し、
前記第４駆動部は前記第２駆動部の前記横断面と同一の形状を有することを特徴とする振動片。
【請求項２１】
請求項１〜２０のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片の前記第１方向と平行な軸廻りの角速度を検出する検出回路と、
を備えていることを特徴とする角速度センサー。
【請求項２２】
請求項２１に記載の角速度センサーを備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項２３】
請求項２１に記載の角速度センサーを備えていることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動片、角速度センサー、電子機器および移動体等に関する。
【背景技術】
【０００２】
振動片、例えば角速度を検出する振動片として、特許文献１のジャイロセンサーが知られている。このジャイロセンサーは、特許文献１の図２および図３に示すように駆動腕の断面形状が、駆動腕の幅方向の中心線および厚さ方向の中心線に対し非対称である。その構造により、簡単な加工でありながら、特許文献１の図６に示すように斜め振動させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−１５７７０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示された構造によれば、確かに駆動椀を斜め振動させることができるが、駆動椀の剛性が弱いため、捩り振動等の不要な振動が加わる。そのため、検出される角速度信号の電気的特性（ノイズや安定性）に改善の余地があった。
【０００５】
本発明の幾つかの態様は、不要な振動を抑制して安定した斜め振動を生じさせることができる振動片、角速度センサー、電子機器および移動体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）本発明の一態様は、第１主面と、前記第１主面の反対側の第２主面と、第１側面と、前記第１側面と反対側の第２側面とを含み、一方向に延在する振動部を備える振動片であって、前記振動部は、前記第１主面に形成された第１溝部と、前記第２主面に形成された第２溝部と、を有し、前記第１主面に直交する方向から見た平面視において、前記第１溝部及び前記第２溝部が、前記振動部の延在する方向と直交する方向であって、かつ、前記第１主面に平行な方向にて互いに逆方向に偏移して設けられ、前記振動部の延在する方向と直交する横断面において、前記第１溝部の前記第１側面側の第１開口端と、前記第１主面と前記第１側面とが交わる第１端との間の長さａ１は、前記第１溝部の前記第２側面側の第２開口端と、前記第１主面と前記第２側面とが交わる第２端との間の長さｂ１よりも長く、前記横断面において、前記第２溝部の前記第２側面側の第３開口端と、前記第２主面と前記第２側面とが交わる第３端との間の長さａ２は、前記第２溝部の前記第１側面側の第４開口端と、前記第２主面上と前記第１側面とが交わる第４端との間の長さｂ２よりも長い振動片に関する。
【０００７】
本発明の一態様では、第１主面に形成された第１溝部と第２主面に形成された第２溝部とを偏移させて配置することにより、振動片の幅方向の中心線および厚さ方向の中心線に対し非対称となる。よって、振動片に斜め振動を生じさせることができる。また、本発明の一態様では、
ａ１＞ｂ１…（１）
ａ２＞ｂ２…（２）
が成立している。こうすると、第２溝部と対向する領域での第２主面側の振動片の壁厚ａ１と、第１溝部と対向する領域での第２主面側の振動片の壁厚ｂ２とを厚肉に確保できるので、機械的強度が高められる。それにより、振動片の剛性が高まり、捩り振動等の不要な振動が加わることを抑制できる。
【０００８】
（２）本発明の一態様では、前記第１主面と前記第２主面との間の距離を二等分する第１中心線に沿って、前記横断面の最大幅に亘って前記振動部を連続して形成することができる。
【０００９】
こうすると、第１，第２溝部に挟まれる第１中心線上では、横断面の最大幅に亘って振動部を連続して形成できるので、第１中心線を挟んだ第１，第２溝部側の部位間に捩れが生ずることをより抑制することができる。
【００１０】
（３）本発明の一態様では、前記第１溝部は、前記第１側面と前記第２側面との間の最大幅を二等分する第２中心線と前記第２側面との間で前記第１主面に開口して形成され、前記第２溝部は、前記第２中心線と前記第１側面との間で前記第２主面に開口して形成することができる。
【００１１】
こうすると、第２溝部と対向する領域での第１主面側の振動部の壁厚ａ１と、第１溝部と対向する領域での第２主面側の振動部の壁厚ａ２とをより厚肉にすることができるので、機械的強度が高められる。それにより、振動片の剛性はさらに高まり、捩り振動等の不要な振動が加わることを低減できる。
【００１２】
（４）本発明の一態様では、好ましくは式（３）、さらに好ましくは（４）を満たして、特許文献１よりも壁厚ａ１，ａ２を厚肉に確保することができる。
ａ１＞２×ｂ１でかつａ２＞２×ｂ２…（３）
ａ１＞３×ｂ１でかつａ２＞３×ｂ２…（４）
【００１３】
（５）本発明の一態様では、前記第１溝部の深さｄ１と、前記第２溝部の深さｄ２とは、前記第１主面と前記第２主面との間の距離をｔとしたとき、
ｄ１＋ｄ２＜ｔ…（５）
を成立させることができる。この場合、好ましくは式（６）、さらに好ましくは式（７）、さらに好ましくは式（８）を満たすことができる。ここで、第１，第２溝部の深さｄ１，ｄ２は、深いほど振動部のインピーダンスは下がるが、加工は困難である。第１，第２溝部の深さｄ１，ｄ２は浅いほど加工し易く、しかも第１，第２溝部の間の領域に最大幅の厚肉部を残して機械的強度を高めることができる。
０．３ｔ≦ｄ１＋ｄ２≦０．９５ｔ…（６）
０．４ｔ≦ｄ１＋ｄ２≦０．９ｔ  …（７）
０．５ｔ≦ｄ１＋ｄ２≦０．８ｔ  …（８）
【００１４】
（６）本発明の一態様では、前記第１溝部の深さｄ１と、前記第２溝部の深さｄ２とは、前記第１主面と前記第２主面との間の距離をｔとしたとき、以下の式（９）を満たすことができる。
ｄ１＜０．５ｔ、かつｄ２＜０．５ｔ…（９）
この数値限定により、第１，第２溝部に挟まれる第１中心線上では、横断面の最大幅に亘って振動部を連続して形成できるので、第１中心線を挟んだ第１，第２溝部側の部位間に捩れが生ずることをより抑制することができる。この場合、好ましくは式（１０）、さらに好ましくは式（１１）、さらに好ましくは式（１２）を満たすことができる。
０．１５ｔ≦ｄ１≦０．４７５ｔ、かつ０．１５ｔ≦ｄ２≦０．４７５ｔ…（１０）
０．２ｔ≦ｄ１≦０．４５ｔ、かつ０．２ｔ≦ｄ２≦０．４５ｔ        …（１１）
０．２５ｔ≦ｄ１≦０．４ｔ、かつ０．２５ｔ≦ｄ２≦０．４ｔ        …（１２）
【００１５】
（７）本発明の一態様では、前記横断面において、前記第１側面と前記第２側面との間の最大幅をＷとし、前記第１溝部の開口幅及び前記第２溝部の開口幅をＭとしたとき、好ましくは式（１３）、さらに好ましくは式（１４）、さらに好ましくは式（１５）を満たすことができる。第１溝部及び第２溝部の開口幅Ｍは、広いほどインピーダンスＣＩが下がり、斜め振動成分が多く、加工し易い。ただし、開口幅Ｍが広いほど振動部の機械的強度が下がる。
０．１Ｗ≦Ｍ≦０．８Ｗ  …（１３）
０．２Ｗ≦Ｍ≦０．７Ｗ  …（１４）
０．３５Ｗ≦Ｍ≦０．６Ｗ  …（１５）
【００１６】
（８）本発明の一態様では、基部と、前記基部から前記第１方向に沿って平行に延在する前記振動部で形成された第１駆動部および第２駆動部とを有し、前記第１駆動部及び前記第２駆動部とは、前記第１方向に沿った線分に対して線対称に配置され、前記横断面において前記第１主面と平行な方向に逆相で振動し、前記横断面において前記第１主面と直交する方向に同相で振動することができる。
【００１７】
こうして、第１駆動部及び第２駆動部を、第１方向に沿った線分に対して線対称に斜め振動させることができる。
【００１８】
（９）本発明の一態様では、前記振動片が回転した時に、前記第１駆動部及び前記第２駆動部に加わるコリオリ力に応じて屈曲振動する検出部をさらに備えることができる。
【００１９】
この検出部は、第１駆動部及び第２駆動部の線対称な斜め振動のうち、第１主面と直交する方法の振動と釣り合うように面外振動することができる。よって、第１方向に沿った軸廻りの回転は、この面外振動を利用して検出するので、検出感度を高めることができる。
【００２０】
（１０）本発明の一態様では、前記振動部が延在する前記第１方向と直交する方向であって、かつ前記第１主面に平行な第２方向において、前記第１開口端は前記第４開口端よりも一方側に位置し、前記第２開口端は前記第３開口端よりも前記一方側に位置させることができる。
【００２１】
本発明の他の態様に係る振動片では、本発明の一態様での第１，第２溝部の第２方向での偏移をより明確に定義している。
【００２２】
（１１）本発明の一態様では、前記基部から前記第１方向に沿って前記第１駆動部とは逆方向に延在する第３駆動部と、前記基部から前記第１方向に沿って前記第２駆動部とは逆方向に延在する第４駆動部と、をさらに有し、前記第３駆動部は前記第１駆動部の前記横断面と同一の形状を有し、前記第４駆動部は前記第２駆動部の前記横断面と同一の形状を有することができる。
【００２３】
基部が配置される平面内の直交二軸の各軸に線対称にて第１〜第４駆動部が配置され、振動バランスが良好となる。
【００２４】
（１２）本発明の他の態様では、（１）〜（１１）のいずれかに記載の振動片と、前記振動片の前記第１方向と平行な軸廻りの角速度を検出する検出回路と、を備えている角速度センサーに関する。この角速度センサーによれば、駆動部での斜め振動以外の振動を抑制することができる。それにより、ノイズを抑制し、温度特性が向上して、角速度信号を安定して検出することができる。
【００２５】
（１３）本発明のさらに他の態様では、（１２）に記載の角速度センサーを備えている電子機器に関する。
【００２６】
（１４）本発明のさらに他の態様では、（１２）に記載の角速度センサーを備えている移動体に関する。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の第１実施形態に係る振動片を示す平面図である。
【図２】図１中のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図２に示す駆動腕の拡大断面図である。
【図４】図１に示す振動片の動作を説明するための断面図である。
【図５】図３に示す駆動腕の変形例を示す断面図である。
【図６】振動片を収容・固定するパッケージを示す断面図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係る振動片が備えるジャイロセンサー素子を示す平面図である。
【図８】ジャイロセンサー素子にｚ軸まわりの回転が作用した時の検出時の状態を示す平面図である。
【図９】ジャイロセンサー素子にｙｚ軸まわりの回転が作用した時の検出時の状態を示す平面図である。
【図１０】駆動椀に駆動時に作用する斜め振動のｚ成分と釣り合う検出腕のｚ方向の振動成分を示す図である。
【図１１】本発明の振動片を備える電子機器（携帯電話機）を示す図である。
【図１２】本発明の振動片を備える電子機器（デジタルスチルカメラ）を示す図である。
【図１３】本発明の振動片を備える移動体（自動車）を示す図である。
【図１４】図３に示す駆動腕の変形例を示す断面図である。
【図１５】図３に示す駆動腕のさらに他の変形例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明の振動片、角速度センサー、電子機器および移動体を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００２９】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る振動片を示す平面図、図１は、図１中のＡ− Ａ線断面図、図２は、図１に示す駆動腕（広義には駆動部）の拡大断面図、図３は、図２に示す駆動腕の変形例を示す断面図、図４は、図１に示す振動片の動作を説明するための断面図である。
【００３０】
なお、各図では、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸としてｘ軸、ｙ軸およびｚ軸を図示している。また、以下では、ｘ軸に平行な方向を「ｘ軸方向」、ｙ軸に平行な方向を「ｙ軸方向」（第１方向とも言う）、ｚ軸に平行な方向を「ｚ軸方向」と言う。また、以下では、ｘ軸とｙ軸とで規定される平面を「ｘｙ」平面と言い、ｙ軸とｚ軸とで規定される平面を「ｙｚ平面」と言い、ｘ軸とｚ軸とで規定される平面を「ｘｚ平面」と言う。また、以下の説明では、説明の便宜上、図１中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
【００３１】
［振動片２］
まず、振動片２について説明する。図１は、例えばジャイロセンサー素子として用いられる振動片２を示している。この振動片２は、例えば３脚音叉型の振動片である。また、本実施形態の振動片２は、所定の周波数（共振周波数）で振動する電気信号を発生させるための振動子として用いられる。
【００３２】
このような振動片２は、基部４および基部４から延出する３本の振動腕（広義には振動部）５，６，７により構成された圧電体基板と、この圧電体基板上に形成された複数の電極とを有している。
【００３３】
圧電体基板は、圧電体材料で構成されている。このような圧電体材料としては、例えば、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、ホウ酸リチウム、チタン酸バリウム等が挙げられる。特に、圧電体基板を構成する圧電体材料としては水晶が好ましい。水晶（Ｚカット板など）で圧電体基板を構成すると、圧電体基板の振動特性（特に周波数温度特性）を優れたものとすることができる。また、エッチングにより高い寸法精度で圧電体基板を形成することができる。なお、圧電体基板は必ずしも圧電性を有しなくても良く、例えばシリコン基板を用い、圧電膜を用いて振動腕５，６，７を振動させても良い。
【００３４】
（基部４）
基部４は、ｘｙ平面に広がりを有し、ｚ軸方向に厚さを有する板状をなしている。また、基部４は、振動腕５，６，７と等しい厚さとなるように形成されている。このような基部４には、３つの振動腕，７が接続されている。
【００３５】
これら振動腕５，６，７のうち、振動腕５，６は、振動片２を駆動するための駆動腕として機能し、振動腕７は、振動腕５，６のＺ方向の振動を相殺するための調整腕として機能する。なお、以下では説明の便宜上、振動腕５および振動腕６をそれぞれ「駆動腕５」および「駆動腕６」（それぞれ広義には駆動部）と言い、振動腕７を「調整腕７」とも言う。
【００３６】
駆動腕５，６は、基部４のｘ軸方向での両端部に接続され、調整腕７は、基部４のｘ軸方向での中央部に接続されている。これら３つの振動腕５〜 ７は、互いに平行となるように基部４からそれぞれｙ軸方向に延出して設けられている。また、３つの振動腕５〜 ７は、等間隔でｘ軸方向に並んで離間配置されている。また、３つの振動腕５〜 ７は、それぞれ、長手形状をなし、その端部が固定端となり、先端部が自由端となる。
【００３７】
（駆動腕５）
図１および図２に示すように、駆動腕５は、Ｙ軸方向（第１方向）に延在している。このような振動腕５は、ｙｚ平面であって、駆動腕５の幅方向（Ｘ軸方向）の中心線（第２中心線とも言う）Ｌ’および厚さ方向（Ｚ軸方向）の中心線（第１中心線とも言う）Ｌ”に関して非対称な横断面形状を有している。駆動腕５をこのような非対称な形状とすることにより、後述するように、駆動腕５をｘ軸方向およびｚ軸方向の両方向成分を有する方向、言い換えればｚ軸およびｚ軸の両軸に対して傾斜した方向に屈曲振動（以下、「斜め振動」とも言う。）させることができる。
【００３８】
具体的には、図３に示すように、駆動腕５は、ｚ軸方向に対向（離間）し、表裏関係にある、ｘｙ平面にて構成される上面（第１主面）５１１および下面（第２主面）５１２と、上面５１１および下面５１２を接続する一対の側面（第１側面、第２側面）５１３、５１４とを有している。
【００３９】
駆動腕５には、上面５１１に開口する第１溝部５５と、下面に開口する第２溝部５６とが形成されている。第１溝部５５および第２溝部５６は、それぞれ、ｙ軸方向（第１方向）に延在しており、基部４との接続部を跨いで形成することができる。第１溝部５５および第２溝部５６は、ｚ軸方向に深さを有する。第１溝部５５および第２溝部５６は、図３では矩形の横断面を有しているが、特に限定されず、他の横断面形状、例えば略Ｕ字の横断面形状や、後述する図１４または図１５に示す横断面形状であっても良い。
【００４０】
駆動腕５は、第１主面５５１に直交する方向から見た平面視（図１に示す平面視）において、第１溝部５５及び第２溝部５６が、振動腕５が延在するｙ方向と直交する方向であって、かつ、第１主面５１１に平行な方向（ｘ方向、第２方向）にて互いに逆方向に偏移して設けられている（図３参照）。
【００４１】
さらに駆動腕５は、駆動腕５が延在するｙ方向と直交する横断面（図３に示すｘ−ｚ面）において、第１溝部５５の第１側面５１３側の第１開口端ＯＥ１と、第１主面５１１と第１側面５１３とが交わる第１端Ｅ１との間の長さａ１と、第１溝部５５の第２側面５１４側の第２開口端ＯＥ２と、第１主面５１１と第２側面５１４とが交わる第２端Ｅ２との間の長さｂ１よりも長い。つまり、下記の不等式（１）が成立する。
ａ１＞ｂ１…（１）
【００４２】
同様に駆動腕５は、ｘｚ面において、第２溝部５６の第２側面５１４側の第３開口端ＯＥ３と、第２主面５１２と第２側面５１４とが交わる第３端Ｅ３との間の長さａ２は、第２溝部５６の第１側面５１３側の第４開口端ＯＥ４と、第２主面５１２と第１側面５１３とが交わる第４端Ｅ４との間の長さｂ２よりも長い。つまり、下記の式（２）が成立する。
ａ２＞ｂ２…（２）
【００４３】
式（１）（２）を換言すれば、振動腕５が延在する第１方向ｙと直交する方向であって、かつ第１主面５１１に平行な第２方向ｘにおいて、第１開口端ＯＥ１は第４開口端ＯＥ４よりも一方側に位置し、第２開口端ＯＥ２は第３開口端ＯＥ３よりも同じく一方側に位置している。
【００４４】
第１溝部５５と第２溝部５６とは、第１，第２中心軸Ｌ’，Ｌ”の交点である駆動腕５の中心軸Ｏに関して回転対称に形成されている。これにより、駆動腕５の二等分点Ｐの一方側と他方側とで質量および形状をほぼ等しくすることができ、駆動腕５が慣性的、質量的にバランスのとれた形状となる。
【００４５】
このような駆動腕５には、一対の第１駆動電極８１と一対の第２駆動電極８２とが形成されている。具体的には、一対の第１駆動電極８１の一方は、第１溝部５５の面内に形成されており、一対の第１駆動電極８１の他方は、第２溝部５６の内面に形成されている。また、一対の第２駆動電極８２の一方は、第１側面５１３に形成されており、一対の第２駆動電極８２の他方は、第２側面５１４に形成されている。
【００４６】
このような電極配置によれば、図２に示すように交流電源９００を第１、第２駆動電極８１、８２に接続することで、第１、第２駆動電極８１、８２間に発生する電界を駆動腕５に作用させることができる。これにより、駆動腕５を屈曲振動させることができる。
【００４７】
これら第１、第２駆動電極８１、８２の構成としては、特に限定されず、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等の金属材料、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）等の導電材料により形成することができる。
【００４８】
中でも、第１、第２駆動電極８１、８２の構成材料としては、金を主材料とする金属（金、金合金）、白金を用いるのが好ましく、金を主材料とする金属（特に金）を用いるのがより好ましい。Ａｕは、導電性に優れ（電気抵抗が小さく）、酸化に対する耐性に優れているため、電極材料として好適である。また、ＡｕはＰｔに比しエッチングにより容易にパターニングすることができる。
【００４９】
なお、例えば、第１、第２駆動電極８１、８２を金で構成し、圧電体基板を水晶で構成した場合、これらの密着性が低い。そのため、このような場合、第１、第２駆動電極８１、８２と圧電体基板との間には、Ｔｉ、Ｃｒ等で構成された下地層を設けるのが好ましい。これにより、下地層と駆動腕５との密着性、および、下地層と第１、第２駆動電極８１、８２との密着性をそれぞれ優れたものとすることができる。その結果、第１、第２駆動電極８１、８２が駆動腕５から剥離するのを防止し、振動片２の信頼性を優れたものとすることができる。
【００５０】
（駆動腕６）
駆動腕６は、図２に示すようにｙｚ平面に関して駆動腕５と対称的に形成されている以外は、駆動腕５と同様の構成（形状）である。したがって、駆動腕６の構成については、その説明を省略する。
【００５１】
このような駆動腕６にも、図２に示すように、駆動腕５と同様にして一対の第１駆動電極８１と一対の第２駆動電極８２とが形成されている。具体的には、一対の第１駆動電極８１の一方は、第１側面６１３形成されており、一対の第１駆動電極８１の他方は、第２側面６１４に形成されている。また、一対の第２駆動電極８２の一方は、第１溝部６５の内面に形成されており、一対の第２駆動電極８２の他方は、第２溝部６６の内面に形成されている。
【００５２】
このような電極配置によれば、図２に示すように交流電源９００を第１、第２駆動電極８１、８２に接続することで、第１、第２駆動電極８１、８２間に発生する電界を駆動腕５に作用させることができる。これにより、駆動腕５を屈曲振動させることができる。
【００５３】
（調整腕７）
調整腕７は、その長手方向の全域にわたって、厚さ（ｚ軸方向の長さ）および幅（ｘ軸方向の長さ）が一定となっている。このような調整腕７は、駆動腕５，６の振動に合わせて振動する。
【００５４】
（振動動作）
以上、振動片２の構成について説明した。このような振動片２は、次のようにして駆動する。図２に示す交流電源９００によって、第１、第２駆動電極８１、８２間に交番電圧を印加すると、駆動腕５，６は、それぞれ、中心線Ｌ’、Ｌ”の両線に関して非対称な横断面形状をなしているため、ｘｚ面での面内振動によって、図４に示すように斜め振動する。つまり、第１駆動腕５と第２駆動腕６とは、ｙ軸に対して線対称に配置され、ｘｚ横断面において第１主面５１１と平行なｘ方向に逆相で振動し、ｘｚ横断面において第１主面５１１と直交するｚ方向に同相で振動する。この際、駆動腕５，６のｘ軸方向への屈曲振動が相殺（キャンセル）されるため、調整腕７は、ｘ軸方向には殆ど振動しない。一方、駆動腕５，６のｚ軸方向への屈曲振動は相殺されないため、調整腕７は、駆動腕５，６とのバランスを取るように、ｚ軸方向で駆動腕５，６と互いに逆向きに屈曲振動する。
【００５５】
このような振動においては、駆動腕５，６は、ｙｚ平面に関して対称的に振動するため、駆動腕５の屈曲振動のうちのｘ軸方向成分の振動と、振動腕６の屈曲振動のうちのｘ軸方向成分の振動とが釣り合って相殺（キャンセル）される。そのため、調整腕７には、ｘ軸方向の振動が伝達されず、調整腕７は、ｘ軸方向にほとんど振動しない。また、駆動腕５，６と調整腕７とがｚ軸方向の反対側に屈曲振動するため、駆動腕５，６の屈曲振動のうちのｚ軸方向成分の振動と、調整腕７のｚ軸方向の振動とが釣り合って相殺（キャンセル）される。そのため、振動片２によれば、効果的に、振動漏れを防止することができる。
【００５６】
特に、本実施形態では、斜め振動する２つの駆動腕５，６が基部４の両端部に位置しているため、面外方向および面内方向ともにバランスよく駆動することができるので、より安定して駆動腕５，６および調整腕７を振動させることができる。そのため、振動漏れをより効果的に防止することができる。また、振動片２では、調整腕７を有しているため、駆動腕５，６のｚ軸方向の振動（並進運度）が自動的に相殺されるため、回転モーメントも相殺されて小さくなる。
【００５７】
本実施形態の振動片２によれば、特許文献１の振動片と対比して、さらに以下の特徴を有することができる。上述した斜め振動の際、第２溝部５６と対向する領域での第２主面５１２側の振動片の壁厚ａ１と、第１溝部５５と対向する領域での第２主面５１２側の振動片２の壁厚ａ２とを厚肉に確保できるので、機械的強度が高められる。それにより、振動片２の剛性高まり、捩り振動等の不要な振動が加わることを抑制できる。
【００５８】
（振動片の細部構造）
先ず、本実施形態では、第１主面５１１と第２主面５１２との間の距離を二等分する第１中心線Ｌ”に沿って、ｘｚ横断面の最大幅に亘って駆動腕５の肉部を連続して形成することができる。こうすると、第１，第２溝部５５，５６に挟まれる第１中心線Ｌ”上では、ｘｚ横断面の最大幅に亘って振動腕５を連続して形成できるので、第１中心線Ｌ”を挟んだ第１，第２溝部５５，５６側の部位間に捩れが生ずることをより抑制することができる。駆動腕６でも同様に捩り振動を抑制することができる。
【００５９】
次に、本実施形態では、第１溝部５５は、第１側面５１３と第２側面５１４との間の最大幅を二等分する第２中心線Ｌ’と第２側面５１４との間で第１主面５１１に開口して形成され、第２溝部５６は、第２中心線Ｌ’と第１側面５１３との間で第２主面５１２に開口して形成することができる。
【００６０】
こうすると、第２溝部５６と対向する領域での第１主面５１１側の駆動腕５の壁厚ａ１と、第１溝部５５と対向する領域での第２主面５１２側の駆動腕５の壁厚ａ２とをより厚肉にすることができる。それにより、振動片２の剛性はさらに高まり、捩り振動等の不要な振動が加わることをより低減できる。駆動腕６でも同様に捩り振動を抑制することができる。
【００６１】
（振動部の変形例）
図５は、図３に示す駆動腕５の変形例を示す断面図である。図５では、図３とは異なり、第１溝部５５および第２溝部５６は、第２中心線Ｌ’の両側で開口している。つまり、第１主面５１１に直交する方向から見た平面視において、第１溝部５５の一部と第２溝部５６の一部とが重なっている。
【００６２】
図５の変形例では、第１溝部５５および第２溝部５６の開口幅を図３よりも大きくすることができ、それにより駆動腕５のインピーダンスを低下させることができる。駆動腕６でも同様にインピーダンスを低下させることができる。なお、図５でも第１中心線Ｌ”に沿って、ｘｚ横断面の最大幅に亘って駆動腕５の肉部を連続して形成することができるので、駆動腕５，６の捩り剛性等の機械的強度を確保することができる。
【００６３】
（振動部の形状に関する数値限定）
以下、駆動腕５の形状に関する数値限定を説明するが、駆動腕６についても同様に適用できる。図３および図５のいずれの実施形態でも、好ましくは式（３）、さらに好ましくは（４）を満たして、特許文献１よりも壁厚ａ１，ａ２を厚肉に確保することができる。
ａ１＞２×ｂ１でかつａ２＞２×ｂ２…（３）
ａ１＞３×ｂ１でかつａ２＞３×ｂ２…（４）
【００６４】
図３及び図５のいずれの実施形態でも、第１溝部５５の深さｄ１と、第２溝部５６の深さｄ２とは、第１主面５１１と第２主面５１２との間の距離をｔとしたとき、以下の式（５）を満たすことができる。
ｄ１＋ｄ２＜ｔ…（５）
【００６５】
つまり、第１，第２溝部５５，５６の深さの和ｄ１＋ｄ２は、駆動腕５の厚さｔよりも小さい。この場合、好ましくは式（６）、さらに好ましくは式（７）、さらに好ましくは式（８）を満たすことができる。ここで、第１，第２溝部５５，５６の深さｄ１，ｄ２は、深いほど駆動腕５のインピーダンスは下がるが、加工は困難である。第１，第２溝部５５，５６の深さｄ１，ｄ２は浅いほど加工し易く、しかも第１，第２溝部５５，５６の間の領域に最大幅の厚肉部を残して機械的強度を高めることができる。
０．３ｔ≦ｄ１＋ｄ２≦０．９５ｔ…（６）
０．４ｔ≦ｄ１＋ｄ２＜０．９ｔ  …（７）
０．５ｔ≦ｄ１＋ｄ２≦０．８ｔ  …（８）
【００６６】
図３及び図５のいずれの実施形態でも、第１溝部５５の深さｄ１と、第２溝部の深さｄ２とは、第１主面５１１と第２主面５１２との間の距離をｔとしたとき、以下の式（９）を満たすことができる。
ｄ１＜０．５ｔ、かつｄ２＜０．５ｔ…（９）
【００６７】
この数値限定により、第１，第２溝部５５，５６に挟まれる第１中心線Ｌ”上では、ｘｚ横断面の最大幅に亘って振動腕５を連続して形成できるので、第１中心線Ｌ”を挟んだ第１，第２溝部５５，５６側の部位間に捩れが生ずることをより抑制することができる。この場合、好ましくは式（１０）、さらに好ましくは式（１１）、さらに好ましくは式（１２）を満たすことができる。上述の通り、第１，第２溝部５５，５６の深さｄ１，ｄ２は、深いほど駆動腕５のインピーダンスは下がるが、加工は困難である。第１，第２溝部５５，５６の深さｄ１，ｄ２は浅いほど加工し易く、しかも第１，第２溝部５５，５６の間の第１中心線Ｌ”上の領域に最大幅の厚肉部を残して機械的強度を高めることができる。
０．１５ｔ≦ｄ１≦０．４７５ｔ、かつ０．１５ｔ≦ｄ２≦０．４７５ｔ…（１０）
０．２ｔ≦ｄ１≦０．４５ｔ、かつ０．２ｔ≦ｄ２≦０．４５ｔ        …（１１）
０．２５ｔ≦ｄ１≦０．４ｔ、かつ０．２５ｔ≦ｄ２≦０．４ｔ        …（１２）
【００６８】
図５に示す実施形態において、ｘｚ横断面において、第１側面５１３と第２側面５１４との間の最大幅をＷとし、第１溝部５５の開口幅及び第２溝部５６の開口幅をＭとしたとき、好ましくは式（１３）、さらに好ましくは式（１４）、さらに好ましくは式（１５）を満たすことができる。第１溝部及び第２溝部の開口幅Ｍは、広いほどインピーダンスＣＩが下がり、斜め振動成分が多く、加工し易い。ただし、開口幅Ｍが広いほど駆動腕５の機械的強度が下がる。なお、図３の実施形態の場合には、０．１Ｗ≦Ｍ＜０．５Ｗを満たすことができる。
０．１Ｗ≦Ｍ≦０．８Ｗ  …（１３）
０．２Ｗ≦Ｍ≦０．７Ｗ  …（１４）
０．３５Ｗ≦Ｍ≦０．６Ｗ  …（１５）
【００６９】
［パッケージ］
次に、振動片２を収容・固定するパッケージ９について説明する。
図６に示すように、パッケージ９は、板状のベース基板９１と、枠状の枠部材９２と、板状の蓋部材９３とを有している。ベース基板９１、枠部材９２および蓋部材９３は、下側から上側へこの順で積層されている。ベース基板９１と枠部材９２とは、後述のセラミック材料等で形成されており、互いに一体に焼成されることで接合されている。枠部材９２と蓋部材９３は、接着剤あるいはろう材等により接合されている。そして、パッケージ９は、ベース基板９１、枠部材９２および蓋部材９３で画成された内部空間Ｓに、振動片２を収納している。なお、パッケージ９内には、振動片２の他、振動片２を駆動する電子部品（発振回路）等を収納することもできる。
【００７０】
なお、ベース基板９１の構成材料としては、絶縁性（非導電性）を有しているものが好ましく、例えば、各種ガラス、酸化物セラミックス、窒化物セラミックス、炭化物系セラミックス等の各種セラミックス材料、ポリイミド等の各種樹脂材料などを用いることができる。また、枠部材９２および蓋部材９３の構成材料としては、例えば、ベース基板９１と同様の構成材料、Ａｌ、Ｃｕのような各種金属材料、各種ガラス材料等を用いることができる。
【００７１】
このベース基板９１の上面には、固定材９６を介して、前述した振動片２が固定されている。この固定材９６は、例えば、エポキシ系、ポリイミド系、シリコン系等の接着剤で構成されている。このような固定材９６は、未硬化（未固化）の接着剤をベース基板９１上に塗布し、さらに、この接着剤上に振動片２を載置した後、その接着剤を硬化または固化させることにより形成される。これにより、振動片２がベース基板９１に確実に固定される。
なお、この固定は、導電性粒子を含有するエポキシ系、ポリイミド系、シリコン系等の導電性接着剤を用いて行ってもよい。
【００７２】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の振動片の第２実施形態について説明する。
図７は、本発明の第２実施形態に係る振動片が備える振動片の振動腕の断面図である。以下、第２実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図７に示すジャイロセンサー（角速度センサー）３は、ｚ軸まわりの角速度ωｚと、ｙ軸まわりの角速度ωｙとを検出することのできるジャイロセンサーである。ｘｙ平面に拡がりを有し、ｚ軸方向に厚みを有するジャイロセンサー３は、基部４と、第１検出腕７Ａと、第２検出腕７Ｂと、第１駆動腕５Ａ、第２駆動腕６Ａ、第３駆動腕５Ｂ、第４駆動腕６Ｂとを有している。基部４は、基部本体４Ａと、基部本体４Ａと連結された第１連結腕４Ｂ及び第２連結腕４Ｃとを含む。
【００７３】
第３駆動腕５Ｂは、基部４からｙ方向に沿って第１駆動腕５Ａとは逆方向に延在する。第４駆動腕６Ｂは、基部４からｙ方向に沿って第２駆動腕６Ａとは逆方向に延在する。第１，第３駆動腕５Ａ，５Ｂは例えば図２に示す第１駆動腕５と同一の形状を有し、第２，第４駆動腕６Ａ，６Ｂは例えば図２に示す第２駆動腕６と同一の形状を有する。
【００７４】
ジャイロセンサー３にｚ軸まわりの角速度ωｚが加わると、図８に示すように、コリオリ力Ａが作用し、このコリオリ力Ａを駆動力として矢印Ｂで示す振動（ｚ軸回り角速度検出振動モード）が励振される。このとき、第１、第２検出腕７Ａ、７Ｂに生じる変形は、ｘ軸に関して逆方向である。また、この検出振動モードは、駆動周波数の±１０％以内の周波数であることが好ましい。なお、この第１、第２検出腕７Ａ、７Ｂの振動方向に関しては、第１、第２検出腕７Ａ、７Ｂがｚ軸回りに関して同じ回転方向に振動していると言い換えることができる。これは、第１〜第４駆動腕５Ａ，６Ａ，５Ｂ，６Ｂがコリオリ力Ａの作用によって図８のように振動し、なおかつ第１、第２検出腕７Ａ、７Ｂは、基部４を挟んで上側と下側にそれぞれ延出しているため、第１検出腕７Ａは、第１、第２駆動腕５Ａ、６Ａに対応した変形をし、第２検出腕７Ｂは、第３、第４駆動腕５Ｂ，６Ｂに対応した変形をするためである。
【００７５】
一方、ジャイロセンサー３にｙ軸まわりの角速度ωｙが加わると、図９に示すように、コリオリ力Ａが作用し、このコリオリ力Ａを駆動力として、矢印Ｂで示す振動（ｙ軸回り角速度検出振動モード）が励振される。この時、第１、第２検出腕７Ａ、７Ｂに生じる変形は、ｘ軸に関して同方向である。また、この検出振動モードは、駆動周波数の±１０％以内の周波数であることが好ましい。なお、この第１、第２検出腕７Ａ、７Ｂの振動方向に関しては、第１、第２検出腕７Ａ、７Ｂがｘ軸に関して同方向に振動していると言い換えることができる。これは、コリオリ力Ａの作用によって第１〜第４駆動振動腕４６〜４９が図９のように振動し、さらに第１、第２検出腕７Ａ、７Ｂにｘ軸に関して同方向かつ第１〜第４駆動腕５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂと逆方向のコリオリ力が働くためｘ軸方向に関しては同方向に振動するためである。
【００７６】
ここで、ｙ軸まわりの角速度ωｙの検出感度は、第１〜第４駆動腕５Ａ，６Ａ，５Ｂ，６Ｂの駆動時の斜め振動に起因して第１、第２検出腕７Ａ、７Ｂに生ずるｚ方向の振幅に依存する。図１０は、第１，第２駆動腕５Ａ，６Ａの斜め振動ベクトルＳＶ１，ＳＶ２のｚ成分と釣り合う第１検出腕７Ａのｚ方向の振動ベクトルＳＶ３を示している。斜め振動の角度θが大きいほど、振動ベクトルＳＶ３は大きくなることが分かる。上述した図３または図４の第１駆動腕５の構造により斜め振動の角度θが大きくすることができる。それにより、第１、第２検出腕７Ａ、７Ｂに生ずるｚ方向の振幅が大きくなり、ｙ軸まわりの角速度ωｙの検出感度を高めることができる。また、上述した図３または図５の第１駆動腕５の構造により、斜め振動以外の振動を抑制することができる。それにより、ノイズを抑制し、温度特性が向上して、角速度信号を安定して検出することができる。
【００７７】
ジャイロセンサー３では、前述のｚ軸まわりの角速度ωｚが加わったときと、ｙ軸まわりの角速度ωｙが加わったときの検出腕７Ａ、７Ｂの振動方向の異なりを利用して、角速度ωｚおよび角速度ωｙをそれぞれ独立して検出することができる。具体的に説明すると、角速度ωｚが加わったときに、第１検出腕７Ａから取り出される信号（電圧）Ｖ１は、角速度ωｚに起因した信号（電圧）＋Ｖｚであり、第２検出腕７Ｂから取り出される信号（電圧）Ｖ２は、角速度ωｚに起因した信号（電圧）−Ｖｚである。すなわち、Ｖ１＝＋Ｖｚ、Ｖ２＝−Ｖｚである。
【００７８】
一方、角速度ωｙが加わったときに、第１検出腕７Ａから取り出される信号Ｖ１は、角速度ωｙに起因した信号＋Ｖｙであり、第２検出腕７Ｂから取り出される信号Ｖ２は、角速度ωＹに起因した信号＋Ｖｙである。すなわち、Ｖ１＝＋Ｖｙ、Ｖ２＝＋Ｖｙである。なお、信号Ｖ１、Ｖ２の間で符号が同じなのは、ｚ軸回りの角速度に対し異符号の信号を生じるように構成されているためである。
【００７９】
そのため、ジャイロセンサー３に、ｙ軸方向およびｚ軸方向の両方向成分を有する軸（すなわち、ｙ軸およびｚ軸の両軸に対して傾斜した軸）まわりの角速度ωｙｚが加わると、第１検出腕７Ａから取り出される信号Ｖ１は、（＋Ｖｙ）＋（＋Ｖｚ）であり、第２検出腕７Ｂから取り出される信号Ｖ２は、（＋Ｖｙ）＋（−Ｖｚ）である。すなわち、Ｖ１＝Ｖｙ＋Ｖｚ、Ｖ２＝Ｖｙ−Ｖｚである。
【００８０】
このようにして得られた信号Ｖ１、Ｖ２を検出回路にて加算または減算することにより、角速度ωｙｚのｙ軸まわりの角速度ωｙと、ｚ軸まわりの角速度ωｚとを分離することができ、角速度ωｙおよび角速度ωｚをそれぞれ独立して検出することができる。具体的には、Ｖ１＋Ｖ２＝２Ｖｙとなり、角速度ωｚに起因する信号Ｖｚを排除することができる。これにより、ｙ軸まわりの角速度ωｙが求まる。反対に、Ｖ１−Ｖ２＝２Ｖｚとなり、角速度ωｙに起因する信号Ｖｙを排除することができる。これにより、ｚ軸まわりの角速度ωｚが求まる。ジャイロセンサー３によれば、簡単に、ｙ軸まわりの角速度ωｙおよびｚ軸まわりの角速度ωｚをそれぞれ独立して検出することができる。このような計算は、ジャイロセンサー３に接続された図示しないＩＣチップ等の検出回路により行うことができる。
【００８１】
なお、上述した信号「Ｖｚ」、「Ｖｙ」の符号は、配線の構成によっては符号が逆となる。すなわち、上記「＋Ｖｚ」が「−Ｖｚ」、「−Ｖｚ」が「＋Ｖｚ」となるとともに、「＋Ｖｙ」が「−Ｖｙ」、「−Ｖｙ」が「＋Ｖｙ」となる場合もある。
【００８２】
［電子機器］
図１１は電子機器の一具体例として携帯電話機例えばスマートフォン１０１を概略的に示す。スマートフォン１０１には振動片２を有するジャイロセンサー１０００が組み込まれる。ジャイロセンサー１０００はスマートフォン１０１の姿勢を検出することができる。いわゆるモーションセンシングが実施される。ジャイロセンサー１０００の検出信号は例えばマイクロコンピューターチップ（ＭＰＵ）１０２に供給することができる。ＭＰＵ１０２はモーションセンシングに応じて様々な処理を実行することができる。その他、モーションセンシングは、携帯電話機、携帯型ゲーム機、ゲームコントローラー、カーナビゲーションシステム、ポインティングデバイス、ヘッドマウンティングディスプレイ、タブレットパソコン等の各種電子機器で利用されることができる。
【００８３】
図１２は電子機器の他の具体例としてのデジタルスチルカメラ（以下「カメラ」という）１０３を概略的に示す。カメラ１０３には振動片２を有するジャイロセンサー１０００が組み込まれる。ジャイロセンサー１０００はカメラ１０３の姿勢を検出することができる。ジャイロセンサー１０００の検出信号は手ぶれ補正装置１０４に供給することができる。手ぶれ補正装置１０４はジャイロセンサー１０００の検出信号に応じて例えばレンズセット１０５内の特定のレンズを移動させることができる。こうして手ぶれを補正することができる。その他、手ぶれ補正はデジタルビデオカメラで利用されることができる。
【００８４】
なお、本発明の振動片を備える電子機器は、図１１の携帯電話機、図１２のデジタルスチルカメラの他にも、例えば、パーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレーター等に適用することができる。
【００８５】
［移動体］
図１３は移動体の一具体例としての自動車１０６を概略的に示す。自動車１０６には振動片２を有するジャイロセンサー１０００が組み込まれる。ジャイロセンサー１０００は車体１０７の姿勢を検出することができる。ジャイロセンサー１０００の検出信号は車体姿勢制御装置１０８に供給することができる。車体姿勢制御装置１０８は例えば車体１０７の姿勢に応じてサスペンションの硬軟を制御し、個々の車輪１０９のブレーキを制御することができる。その他、姿勢制御は二足歩行ロボットや航空機、ヘリコプター等の各種移動体で利用することができる。
【００８６】
以上、本発明の振動片、振動片および電子機器を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
また、各振動腕の先端部には、必要に応じて、基端部よりも横断面積が大きい質量部（ハンマーヘッド）を設けてもよい。これにより、振動片をより小型なものとしたり、振動腕の屈曲振動の周波数をより低めたりすることができる。
【００８７】
また、本発明の振動片（振動片）は、水晶発振器（ＳＰＸＯ）、電圧制御水晶発振器（ＶＣＸＯ）、温度補償水晶発振器（ＴＣＸＯ）、恒温槽付水晶発振器（ＯＣＸＯ）等の圧電発振器等にも適用することができる。
【００８８】
振動部５，６に形成される溝部５５，５６の形状は、図１４または図１５に示す断面形状とすることができる。つまり、溝部５５，５６の断面形状はエッチング特性に応じて形成することができる。特に、振動片２を異方性を有する水晶で形成した場合であって、水晶をウェットエッチングすると、図１４または図１５に示すような形状にエッチング加工することができる。なお、図１５に示すように、振動部５，６の四隅は面取りされていても良い。この場合でも、ａ１＞ｂ１でかつａ２＞ｂ２を満たすことができる上、第１中心線Ｌ”上で振動部が連続した最大幅を有することができる。
【符号の説明】
【００８９】
２……振動片  ３……ジャイロセンサー（角速度センサー）  ４……基部  ５……振動腕（駆動腕）  ５１１……第１主面  ５１２……第２主面  ５１３……第１側面  、５１４……第２側面  ５５……第１溝部  ５６……第２溝部  ６……振動腕（駆動腕）  ６５……第１溝部  ６６……第２溝部    ６１３……第１側面  、６１４……第２側面  ７……振動腕（検出腕）  ８１……第１駆動電極  ８２……第２駆動電極  ９……パッケージ  ９１……ベース基板  ９２……枠部材  ９３……蓋部材  ９６……固定材  ９００……電源  １０１‥‥スマートフォン（電子機器）  １０３……デジタルスチルカメラ（電子機器）  １０６  自動車（移動体）  １０００  ジャイロセンサー  Ｐ‥‥二等分点  Ｓ‥‥内部空間  Ｌ’ ……第２中心線、Ｌ”……第１中心線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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