(57)【要約】【課題】大面積の被着体であっても確実に剥離させることができる被着体の剥離方法を提供する。【解決手段】接着剤成分と、紫外線を照射することにより気体を発生する気体発生剤とを含有する接着剤組成物を介して接着された被着体を剥離する方法であって、ＬＥＤを光源として照射強度０．３Ｗ／ｃｍ２以上の面状の紫外線を被着体の全面に照射して、前記気体発生剤から気体を発生させて被着体を剥離する被着体の剥離方法。【選択図】    なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着剤成分と、紫外線を照射することにより気体を発生する気体発生剤とを含有する接着剤組成物を介して接着された被着体を剥離する方法であって、
ＬＥＤを光源として照射強度０．３Ｗ／ｃｍ２以上の面状の紫外線を被着体の全面に照射して、前記気体発生剤から気体を発生させて被着体を剥離する
ことを特徴とする被着体の剥離方法。
【請求項２】
紫外線の照射時間が６０秒以下であることを特徴とする請求項１記載の被着体の剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大面積の被着体であっても確実に剥離させることができる被着体の剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
接着剤成分を含有する接着剤組成物は、接着剤、シーリング剤、塗料、コーティング剤等のバインダー剤、接着テープ又は自立テープ等の接着剤等に広く用いられている。
これらの接着剤組成物に求められる性能はその用途により様々であるが、用途によっては、必要な間だけ接着性を示すがその後は容易に剥がせることが要求されることがある。
【０００３】
例えば、半導体チップの製造工程において、高純度なシリコン単結晶等から切り出した厚膜ウエハを所定の厚さにまで研磨して薄膜ウエハとする工程等において、厚膜ウエハを支持板に接着して補強することにより、効率よく作業を進めることが提案されている。また、所定の厚さに研削された薄膜ウエハを個々の半導体チップにダイシングする際にも、ダイシングテープと呼ばれる接着テープが用いられる。このような半導体の製造工程に用いる接着剤組成物には、工程中には強固に接着する一方で、工程終了後には得られた薄膜ウエハや半導体チップ等を損傷することなく剥離できること（以下、「高接着易剥離」ともいう。）が求められる。
【０００４】
高接着易剥離を実現した接着剤組成物として特許文献１には、アゾ化合物等の紫外線により気体を発生する気体発生剤を含有する接着層を有する両面接着テープが記載されている。特許文献１の両面接着テープに紫外線を照射すると、気体発生剤から発生した気体がテープの表面と被着体との界面に放出され、その圧力によって被着体が剥離される。特許文献１の両面接着テープを用いれば、薄膜ウエハや半導体チップ等を損傷することなく、かつ、糊残りもすることなく剥離できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−２３１８７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
例えば、次世代の技術として、複数の半導体チップを積層させてデバイスを飛躍的に高性能化、小型化したＴＳＶ（Ｓｉ貫通ビヤ／Ｔｈｒｏｕｇｈ  Ｓｉ  ｖｉａ）を使った３次元積層技術が注目されている。ＴＳＶは、半導体実装の高密度化が可能であり、アクセススピードが飛躍的に速く、使用中に発生する熱の放出にも優れる。
ＴＳＶの製造方法では、製造効率向上のために、直径が１２インチ程度以上の比較的大面積の厚膜ウエハ上に高アスペクト比を有するＴＳＶを積層した後、ＴＳＶチップを個片化せずに一括して研削工程を行うことが行われる。このような工程では、高接着易剥離性の接着剤組成物を介して厚膜ウエハを支持板に接着して補強した状態で研削工程を行う。しかしながら、このように接着面積が大きい被着体の場合、工程後に接着剤組成物に紫外線を照射して被着体を剥離しようとしても、剥離できないことがあるという問題があった。
【０００７】
本発明は、大面積の被着体であっても確実に剥離させることができる被着体の剥離方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、接着剤成分と、紫外線を照射することにより気体を発生する気体発生剤とを含有する接着剤組成物を介して接着された被着体を剥離する方法であって、ＬＥＤを光源として照射強度０．３Ｗ／ｃｍ２以上の面状の紫外線を被着体の全面に照射して、前記気体発生剤から気体を発生させて被着体を剥離する被着体の剥離方法である。
以下に本発明を詳述する。
【０００９】
本発明者らは、紫外線を照射することにより気体を発生する気体発生剤を含有する接着剤組成物を介して接着した比較的大面積の被着体の剥離に失敗する原因を検討した。
従来の個片化した半導体ウエハ等の比較的小面積の被着体の場合、スポット紫外線照射機を用いて高照度の紫外線を照射することにより、確実に剥離を行うことができた。しかしながら、比較的大面積の被着体にスポット紫外線照射機を用いて紫外線を照射した場合、被着体の一部にのみ紫外線が照射され、該紫外線が照射された部分から気体が発生する。発生した気体は、被着体の一部を剥離して外側に排出される。続いて紫外線を照射すると、該紫外線が照射された部分からも気体が発生するが、発生した気体は被着体を剥離するのではなく、先に発生した気体が排出された経路を通って外側に排出される傾向にあった。即ち、比較的大面積の被着体にスポット紫外線照射機を用いて紫外線を照射すると、時間差で排出される気体の一部が、先に発生した気体が排出された経路を通って外側に排出されてしまって被着体の剥離に供されないため、剥離しない部分が残ってしまい、被着体全体としては充分には接着力が低下しない。
本発明者らは、大面積の被着体の全面に均一に紫外線を照射することも検討した。しかしながら、この場合もスポット紫外線照射機を用いた場合と同様に、被着体全体としては充分には接着力が低下しなかった。これは、従来の紫外線照射機では紫外線の照射強度が低く、照射開始から気体の発生までに時間を要することが原因であった。即ち、長時間照射によって徐々に気体が発生するため、気体の発生に時間差が生じ、スポット紫外線照射機を用いた場合と同様に、先に発生した気体によって気体排出経路が形成されてしまうものと考えられた。
本発明者らは、更に鋭意検討の結果、最近開発されたＬＥＤを光源とすることにより、大面積の被着体でもってもその全面に均一に高い照射強度の紫外線を照射可能であること、この際の照射強度を一定以上とすることにより、大面積の被着体であっても確実に剥離させることができることを見出し、本発明を完成した。
【００１０】
本発明の被着体の剥離方法では、接着剤組成物を介して接着された被着体を剥離する。
上記被着体は、接着剤組成物により接着可能なものであれば特に限定されず、例えば、ガラス、金属、樹脂、木材、これらの複合材料等からなるものが挙げられる。また、異種の材料が接着されたものであってもよい。
上記被着体の大きさは特に限定されないが、接着面の面積が４００ｍｍ２以上、特に１００００ｍｍ２以上の比較的大面積の被着体である場合に、本発明の被着体の剥離方法は有効である。
【００１１】
上記接着剤組成物は、接着剤成分と、紫外線を照射することにより気体を発生する気体発生剤とを含有する。
上記接着剤成分は特に限定されず、非硬化型の接着剤、硬化型の接着剤のいずれを含有するものであってもよい。具体的には例えば、ゴム系接着剤、アクリル系接着剤、ビニルアルキルエーテル系接着剤、シリコーン系接着剤、ポリエステル系接着剤、ポリアミド系接着剤、ウレタン系接着剤、スチレン・ジエンブロック共重合体系接着剤等が挙げられる。なかでも、接着力の調整が容易であることからアクリル系接着剤が好適である。
【００１２】
上記アクリル系接着剤としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、イソブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、イソオクチル基、ノニル基、イソノニル基、デカニル基、イソデカニル基等のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルや、該アルキル基の一部をヒドロキシル基等で置換した置換（メタ）アクリル酸アルキルエステル等の（メタ）アクリル系モノマーを重合してなる共重合体からなるアクリル系接着剤が挙げられる。
【００１３】
上記アクリル系接着剤を構成する共重合体は、上記（メタ）アクリル系モノマーと共重合可能な他のモノマーに由来する成分を含有してもよい。
上記他のモノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸、酢酸ビニル、スチレン、（メタ）アクリロニトリル、（メタ）アクリル酸のグリシジルエステル等が挙げられる。なかでも、（メタ）アクリル酸を用いた場合には、被着体に対する接着力を向上させることができる。
【００１４】
上記アクリル系接着剤は、上記（メタ）アクリル系モノマーや他のモノマーと重合開始剤とを含有し、溶剤を含有しない、無溶剤系のアクリル系接着剤であってもよい。
【００１５】
上記気体発生剤としては、例えば、アゾ化合物、アジド化合物、カルボン酸化合物又はその塩、テトラゾール化合物又はその塩等の従来公知の気体発生剤を用いることができる。
【００１６】
上記気体発生剤の含有量は、上記接着剤成分１００重量部に対する好ましい下限が３重量部、好ましい上限が１００重量部である。上記気体発生剤の含有量が３重量部未満であると、紫外線を照射しても気体の発生が不十分で充分な剥離を行うことができないことがあり、１００重量部を超えると、被着体を接着させる際の接着強度が低下し、被着力から剥離してしまうことがある。上記接着剤成分１００重量部に対する上記気体発生剤の含有量のより好ましい下限は５重量部、より好ましい上限は７０重量部、更に好ましい上限は３０重量部である。
【００１７】
上記接着剤組成物は、光増感剤を含有してもよい。
上記光増感剤は、上記気体発生剤への光による刺激を増幅する効果を有することから、より少ない光の照射により気体を放出させることができる。また、より広い波長領域の光により気体を放出させることができる。
【００１８】
上記光増感剤は特に限定されず、公知の光増感剤を使用することができる。上記光増感剤としては、具体的には例えば、チオキサントン化合物、フェノチアジン化合物、アントラセン化合物及びアクリドン化合物等が挙げられる。
上記チオキサントン化合物の具体例としては、チオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、及び２，４−ジエチルチオキサントン等が挙げられる。
上記フェノチアジン化合物の具体例としては、フェノチアジン、２−クロロフェノチアジン、２−メチルチオフェノチアジン、２−メトキシフェノチアジン、及び２−（トリフルオロメチル）フェノチアジン等が挙げられる。
【００１９】
上記光増感剤としては、例えば、アルコキシ基を少なくとも１つ以上有する多環芳香族化合物等の従来公知の光増感剤を用いることができる。なかでも、一部がグリシジル基又は水酸基で置換されたアルコキシ基を有する置換アルコキシ多環芳香族化合物は、耐昇華性が高く、上記接着剤成分への溶解性が高いことから好適である。
【００２０】
上記多環芳香族化合物は、アントラセン誘導体が好ましい。上記アルコキシ基は、炭素数１〜１８のものが好ましく、炭素数１〜８のものがより好ましい。
【００２１】
上記アルコキシ基を少なくとも１つ以上有する多環芳香族化合物は、例えば、９，１０−ジメトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、２−ｔブチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、９−メトキシ−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジエトキシアントラセン、２−ｔブチル−９，１０−ジエトキシアントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジエトキシアントラセン、９−エトキシ−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジプロポキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジプロポキシアントラセン、２−ｔブチル−９，１０−ジプロポキシアントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジプロポキシアントラセン、９−イソプロポキシ−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジブトキシアントラセン、９，１０−ジベンジルオキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジベンジルオキシアントラセン、２−ｔブチル−９，１０−ジベンジルオキシアントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジベンジルオキシアントラセン、９−ベンジルオキシ−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジ−α−メチルベンジルオキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジ−α−メチルベンジルオキシアントラセン、２−ｔブチル−９，１０−ジ−α−メチルベンジルオキシアントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジ−α−メチルベンジルオキシアントラセン、９−（α−メチルベンジルオキシ）−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシエトキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ジ（２−カルボキシエトキシ）アントラセン等のアントラセン誘導体等が挙げられる。
【００２２】
上記一部がグリシジル基又は水酸基で置換されたアルコキシ基を有する置換アルコキシ多環芳香族化合物は、例えば、９，１０−ジ（グリシジルオキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ジ（グリシジルオキシ）アントラセン、２−ｔブチル−９，１０−ジ（グリシジルオキシ）アントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジ（グリシジルオキシ）アントラセン、９−（グリシジルオキシ）−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジ（２−ビニルオキシエトキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ジ（２−ビニルオキシエトキシ）アントラセン、２−ｔブチル−９，１０−ジ（２−ビニルオキシエトキシ）アントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジ（２−ビニルオキシエトキシ）アントラセン、９−（２−ビニルオキシエトキシ）−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジ（３−メチル−３−オキセタニルメトキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ジ（３−メチル−３−オキセタニルメメトキシ）アントラセン、２−ｔブチル−９，１０−ジ（３−メチル−３−オキセタニルメメトキシ）アントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジ（３−メチル−３−オキセタニルメメトキシ）アントラセン、９−（３−メチル−３−オキセタニルメメトキシ）−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジ（ｐ−エポキシフェニルメトキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ジ（ｐ−エポキシフェニルメトキシ）アントラセン、２−ｔブチル−９，１０−ジ（ｐ−エポキシフェニルメトキシ）アントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジ（ｐ−エポキシフェニルメトキシ）アントラセン、９−（ｐ−エポキシフェニルメトキシ）−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジ（ｐ−ビニルフェニルメトキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ジ（ｐ−ビニルフェニルメトキシ）アントラセン、２−ｔブチル−９，１−ジ（ｐ−ビニルフェニルメトキシ）アントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジ（ｐ−ビニルフェニルメトキシ）アントラセン、９−（ｐ−ビニルフェニルメトキシ）−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシエトキシ）アントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシプロポキシ）アントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシブトキシ）アントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシ−３−ブトキシプロポキシ）アントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシ−３−（２−エチルヘキシルオキシ）プロポキシ）アントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシ−３−アリロキシプロポキシ）アントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロポキシ）アントラセン、９，１０−ジ（２，３−ジヒドロキシプロポキシ）アントラセン等が挙げられる。
【００２３】
上記光増感剤の含有量は、上記接着剤成分１００重量部に対する好ましい下限が０．０３重量部、好ましい上限が５重量部である。上記光増感剤の含有量が０．０３重量部未満であると、充分な増感効果が得られないことがあり、５重量部を超えると、被着体を接着させる際の低照射強度の紫外線照射によって気体発生剤の一部から気体が発生して、気泡が生じることがある。上記接着剤成分１００重量部に対する上記光増感剤の含有量のより好ましい下限は０．０５重量部、より好ましい上限は３重量部である。
【００２４】
上記接着剤組成物は、接着剤としての凝集力の調節を図る目的で、所望によりイソシアネート化合物、メラミン化合物、エポキシ化合物等の一般の接着剤に配合される各種の多官能性化合物を適宜含有してもよい。
上記接着剤組成物は、可塑剤、樹脂、界面活性剤、ワックス、微粒子充填剤等の公知の添加剤を含有してもよい。
【００２５】
上記接着剤組成物による被着体の接着は、接着剤組成物により直接接着してもよいし、少なくとも一方の面に上記接着剤組成物からなる接着剤層を有する両面接着テープを用いて接着してもよい。
上記両面接着テープは、基材の両面に接着剤層を有するサポートテープであってもよく、基材を有しないノンサポートテープであってもよい。
上記両面接着テープがサポートテープである場合、上記基材は、例えば、アクリル、オレフィン、ポリカーボネート、塩化ビニル、ＡＢＳ、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ナイロン、ウレタン、ポリイミド等の透明な樹脂からなるシート、網目状の構造を有するシート、孔が開けられたシート等が挙げられる。
【００２６】
本発明の被着体の剥離方法では、ＬＥＤを光源として面状の紫外線を被着体の全面に照射する。被着体の全面に高照射強度の紫外線を照射することにより、被着体の全面で時間差が生じることなく気体を発生させることができる。これにより、先に発生した気体によって気体排出経路が形成されてしまうことがなく、発生した気体を効率よく被着体の剥離に供することができ、大面積の被着体であっても確実に剥離させることができる。
【００２７】
本発明の被着体の剥離方法では、紫外線照射の光源としてＬＥＤを用いる。
ＬＥＤは、出力が高いことに加えて、複数のチップを並列させることにより大面積の面状の紫外線を照射することができる。更に、発熱量が小さいことから、被着体に近接した状態での照射も可能となる。ＬＥＤを光源とすることにより、はじめて照射強度０．３Ｗ／ｃｍ２以上の面状の紫外線を被着体の全面に照射することが可能となる。
【００２８】
本発明の被着体の剥離方法では、照射強度０．３Ｗ／ｃｍ２以上の面状の紫外線を被着体の全面に照射する。照射強度０．３Ｗ／ｃｍ２以上で照射することにより、被着体の全面で時間差が生じることなく一気に気体を発生させることができる。好ましくは照射強度０．５Ｗ／ｃｍ２以上、より好ましくは照射強度０．７Ｗ／ｃｍ２以上で照射する。
【００２９】
上記紫外線の照射時間は、１００秒以下であることが好ましい。照射時間を１００秒以下とすることにより、被着体の全面で時間差が生じることなく気体を発生させることができる。より好ましくは６０秒以下、更に好ましくは４５秒以下である。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、大面積の被着体であっても確実に剥離させることができる被着体の剥離方法を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下に実施例を挙げて本発明の態様を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例にのみ限定されるものではない。
【００３２】
（実験例１）
（１）接着剤組成物及び被着体の調製
接着成分としてＳＫ−１６０４Ｎ（綜研化学社製、ブチルアクリレート：アクリル酸＝９６：４の分子量８０の共重合体を接着剤成分とする固形分濃度３０重量％の酢酸エチル溶液）３３３重量部（接着成分量は１００重量部）に対して、気体発生剤としてＶａｍ−１１０（和光純薬工業社製、２，２’−Ａｚｏｂｉｓ（Ｎ−ｂｕｔｙｌ−２−ｍｅｔｈｙｌｐｒｏｐｉｏｎａｍｉｄｅ））５重量部とＶ−５９（和光純薬工業社製、２，２’−Ａｚｏｂｉｓ（２−ｍｅｔｈｙｌｂｕｔｙｒｏｎｉｔｒｉｌｅ））５重量部、架橋剤としてＥ−ＡＸ（綜研化学社製）０．５重量部、及び、増感剤として２ＥＴＸＳ（日本化薬社製）１重量部を加え、混合して接着剤組成物を得た。
【００３３】
得られた接着剤組成物を、周囲に高さ０．５ｍｍの堰を設けた縦８０ｍｍ、横１２０ｍｍ、厚さ０．３ｍｍのガラス板上に流し込み、縦８０ｍｍ、横１２０ｍｍ、厚さ１ｍｍのガラス板と貼りあわせた後、ＵＶ照射機（オーク製作所社製ＪＬ−２３００）を用いて３０ｃｍの距離から照射強度１７ｍＷ／ｃｍ２で３０秒間紫外線を照射して接着を行い、被着体を得た。なお、接着後の接着剤組成物の厚みは約１００μｍであった。また、目視により観察したところ、被着体中の接着剤組成物に気泡の発生は認められなかった。
【００３４】
（２）剥離試験
被着体の厚さ１ｍｍのガラス板側から、以下の照射条件１〜５にて紫外線を照射した。
（照射条件１）
ナイトライドセミコンダクター社製、ＬＥＤ照射機（中心波長３８５ｎｍ、４チップタイプを用い、ガラス板から１０ｍｍの距離から紫外線を照射した（照射強度１．３Ｗ／ｃｍ２）。
（照射条件２）
ナイトライドセミコンダクター社製、ＬＥＤ照射機（中心波長３８５ｎｍ、１チップタイプ）を９６個（８個×１２個）並べたものを用い、ガラス板から１０ｍｍの距離から紫外線を照射した（照射強度０．５Ｗ／ｃｍ２）。
（照射条件３）
浜松ホトニクス社製、ＬＥＤ照射機Ｌ１１４０３−２１０４−００１（中心波長３９５ｎｍ）を用い、ガラス板から１０ｍｍの距離から紫外線を照射した（照射強度０．３Ｗ／ｃｍ２）。
（照射条件４）
オーク製作所社製、高圧水銀ランプＪＬ−２３００（中心波長３６５ｎｍ、入力２００Ｖ×２５Ａ、出力２ｋＶ）を用い、ガラス板から３００ｍｍの距離から紫外線を照射した（照射強度０．０１７Ｗ／ｃｍ２）。
（照射条件５）
オーク製作所社製、高圧水銀ランプＪＬ−２３００（中心波長３６５ｎｍ、入力２００Ｖ×２５Ａ、出力２ｋＶ）を用い、ガラス板から１００ｍｍの距離から紫外線を照射した（照射強度０．１２２Ｗ／ｃｍ２）。
【００３５】
（２−１）剥離試験Ａ
紫外線照射後、２枚のガラス板の剥離を行い、その剥離性について以下の基準で評価した。
◎：一方のガラス板を持ち上げただけで自然に剥離した。
〇：わずかな力を加えただけで剥離することができた。
×：剥離には強い力を要した。
【００３６】
（２−２）剥離試験Ｂ
剥離試験Ａにて一方のガラス板を剥離した後の、他方のガラス板上に残った接着剤を剥離して、その剥離性について以下の基準で評価した。
◎：接着剤の端部をつまんで引っ張ることにより容易に剥離して、ガラス板上に接着剤が残ることもなかった。
〇：接着剤の端部をつまんで引っ張ることにより容易に剥離して、接着剤の一部がガラス板上に残存した。
△：接着剤の端部をつまんで、ガラス板が破損しないように慎重に引っ張ることにより、何とか剥離は可能であった。
×：接着剤の端部をつまんで引っ張っても剥離できず、無理に剥離しようとするとガラス板が破損した。
【００３７】
（実験例２〜６）
接着剤組成物の組成を表１に示したようにした以外は実験例１と同様にして被着体を作製し、剥離試験を行った。結果を表１に示した。
なお、用いた成分を以下に示した。
ＳＫ−１３１０（綜研化学社製、ブチルアクリレート：アクリル酸＝９０：１０の分子量８０の共重合体を接着剤成分とする固形分濃度３０重量％の酢酸エチル溶液）
ＳＫ−２００３Ｅ（綜研化学社製、ブチルアクリレート：アクリル酸＝９６：４の分子量１６０の共重合体を接着剤成分とする固形分濃度３０重量％の酢酸エチル溶液）
ＧＡＰ−４００６（日油社製、グリシジルアジドポリマー）
【００３８】
【表１】
2016053115.tif 000002
【００３９】
（実験例７）
ブチルアクリレート８０重量部、２−エチルヘキシルアクリレート１５重量部、アクリル酸５重量部からなるモノマー混合物に対して、気体発生剤としてＶａｍ−１１０（和光純薬工業社製、２，２’−Ａｚｏｂｉｓ（Ｎ−ｂｕｔｙｌ−２−ｍｅｔｈｙｌｐｒｏｐｉｏｎａｍｉｄｅ））５重量部とＶ−５９（和光純薬工業社製、２，２’−Ａｚｏｂｉｓ（２−ｍｅｔｈｙｌｂｕｔｙｒｏｎｉｔｒｉｌｅ））５重量部、光重合開始剤としてイルガキュア−９０７（ＢＡＳＦ社製）１重量部、架橋剤としてＥ−ＡＸ（綜研化学社製）０．５重量部、及び、増感剤として２ＥＴＸＳ（日本化薬社製）１重量部を加え、混合して接着剤組成物を得た。
【００４０】
得られた接着剤組成物を、周囲に高さ０．５ｍｍの堰を設けた縦８０ｍｍ、横１２０ｍｍ、厚さ０．３ｍｍのガラス板上に流し込み、縦８０ｍｍ、横１２０ｍｍ、厚さ１ｍｍのガラス板と貼りあわせた後、ＵＶ照射機（オーク製作所社製ＪＬ−２３００）を用いて３０ｃｍの距離から照射強度１７ｍＷ／ｃｍ２で３０秒間紫外線を照射して接着を行い、被着体を得た。なお、接着後の接着剤組成物の厚みは約５００μｍであった。また、目視にて観察したところ、被着体中の接着剤組成物に気泡の発生は認められなかった。
得られた被着体について、実験例１と同様にして剥離試験を行った。結果を表２に示した。
【００４１】
（実験例８〜１５）
接着剤組成物の組成を表２に示したようにした以外は実験例７と同様にして被着体を作製し、剥離試験を行った。結果を表２に示した。
なお、用いた成分を以下に示した。
トリシクロデカンジメタノール（ダイセルサイテック社製）
エポライト８０ＭＦアクリル酸付加物（共栄社製）
イソボルニルアクリレート（ダイセルサイテック社製）
エベクリル３７０８（変性エポキシアクリレート  ダイセルサイテック社製）
エベクリル３７００（ビスフェノールＡタイプエポキシアクリレート、ダイセルサイテック社製）
Ａ−ＴＭＭＴ（テトラメチロールメタントリアクリレート  新中村化学製）
Ｖ−６５（和光純薬工業社製、２，２’−Ａｚｏｂｉｓ（４−ｍｅｔｈｏｘｙ−２．４−ｄｉｍｅｔｈｙｌｖａｌｅｒｏｎｉｔｒｉｌｅ））
ＶＦ−０９６（和光純薬工業社製、２，２’−Ａｚｏｂｉｓ［Ｎ−（２−ｐｒｏｐｅｎｙｌ）−２−ｍｅｔｈｙｌｐｒｏｐｉｏｎａｍｉｄｅ］）
【００４２】
【表２】
2016053115.tif 000003
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明によれば、大面積の被着体であっても確実に剥離させることができる被着体の剥離方法を提供することができる。