(57)【要約】【課題】深刻なトラブルの発生を予防できる加工装置を提供する。【解決手段】被加工物（１１）を保持するチャックテーブル（１０）と、チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段（８）と、を備える加工装置（２）であって、加工装置付近の所定エリア（Ａ，Ｂ）に入った人物（２１ａ，２１ｂ）を検知する検知手段（２０）と、複数の告知情報を記憶する記憶手段（１８ｂ）と、検知手段で人物が検知された際に、加工装置の状態に応じて自動的に選定された告知情報を音声で報知する報知手段（２２）と、を含む構成とした。【選択図】図１
2016034691.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、を備える加工装置であって、
該加工装置付近の所定エリアに入った人物を検知する検知手段と、
複数の告知情報を記憶する記憶手段と、
該検知手段で該人物が検知された際に、該加工装置の状態に応じて自動的に選定された該告知情報を音声で報知する報知手段と、を備えることを特徴とする加工装置。
【請求項２】
該検知手段は、所定の人物と他の人物とを区別して検知し、
該報知手段は、複数の該告知情報から該所定の人物に対応して選定された該告知情報を報知することを特徴とする請求項１記載の加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等の被加工物を加工する加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハや樹脂基板、光デバイスウェーハ等の被加工物は、切削装置や研削装置、レーザー加工装置等の加工装置で加工される。これらの加工装置は、各部の状態をセンシングするセンサーや、オペレーターの指示を入力する入力インターフェース等を備えており、各種センサーで得られるセンシング情報や、入力インターフェースからの指示情報等に基づいて自動制御される。
【０００３】
上述のように、加工装置は自動制御されているので、通常の加工工程では、カセットや消耗品等の交換作業を除いてオペレーターが加工装置を操作することはない。一方、加工工程において何らかのトラブルが発生した場合には、警告ランプや警告音によってオペレーターが呼び出される（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２１３７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述のような加工装置では、発生したトラブルに対して表面的な対応はできるが根本的な原因を見逃してしまうことも多く、トラブルを深刻化させてしまう可能性があった。
【０００６】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、深刻なトラブルの発生を予防できる加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、を備える加工装置であって、該加工装置付近の所定エリアに入った人物を検知する検知手段と、複数の告知情報を記憶する記憶手段と、該検知手段で該人物が検知された際に、該加工装置の状態に応じて自動的に選定された該告知情報を音声で報知する報知手段と、を備えることを特徴とする加工装置が提供される。
【０００８】
本発明において、該検知手段は、所定の人物と他の人物とを区別して検知し、該報知手段は、複数の該告知情報から該所定の人物に対応して選定された該告知情報を報知することが好ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る加工装置は、検知手段で人物を検知した際に加工装置の状態に応じて自動的に選定された告知情報を音声で報知する報知手段を備えるので、単なる警告のみでは見逃される可能性の高い情報を適切に知らせることができる。
【００１０】
これにより、深刻なトラブルの発生を予防できる。また、トラブルの頻度等を告知情報に含ませておけば、深刻化する恐れのあるトラブルを早期に発見できる。さらに、告知情報に基づいて、その後の作業の準備等を効率的に進めることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本実施形態に係る切削装置の構成例を模式的に示す斜視図である。
【図２】図２（Ａ）は、制御装置の構成例を模式的に示すブロック図であり、図２（Ｂ）は、制御装置の記憶部に記憶されている告知情報の例を示すテーブルである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係る切削装置（加工装置）の構成例を模式的に示す斜視図である。なお、本発明の加工装置は、切削装置に限定されず、レーザー加工装置、研削装置、研磨装置、ウォータージェット加工装置等でも良い。
【００１３】
図１に示すように、切削装置（加工装置）２は、各構造を支持する基台４を備えている。基台４の上方には、基台４を覆う筐体６が設けられている。筐体６の内側には、空間が形成されており、切削ブレードを含む切削ユニット（加工手段）８が収容されている。切削ユニット８は、切削ユニット移動機構（不図示）により前後方向（Ｙ軸方向、割り出し送り方向）に移動する。
【００１４】
切削ユニット８の下方には、被加工物１１を吸引保持するチャックテーブル１０が設けられている。チャックテーブル１０は、チャックテーブル移動機構（不図示）により左右方向（Ｘ軸方向、加工送り方向）に移動し、回転機構（不図示）により鉛直軸（Ｚ軸）の周りに回転する。
【００１５】
基台４の角部には、カセットエレベーター１２が設けられている。カセットエレベーター１２の上面には、複数の被加工物１１を収容可能なカセット１４が載置される。被加工物１１は、例えば、シリコン、サファイア、樹脂等の材料で形成された円形の板状物である。カセットエレベーター１２は、昇降可能に構成されており、この被加工物１１を搬出、搬入できるように、カセット１４の位置を高さ方向（Ｚ軸方向）において調整する。
【００１６】
筐体６の前面６ａには、各種の条件を設定するためのタッチパネル式のモニター１６が設けられている。このモニター１６は、切削装置２の各部を制御する制御装置（制御手段）１８と接続されている。制御装置１８は、モニター１６を通じて設定される条件に基づいて、切削ユニット８、チャックテーブル１０等の動作を制御する。
【００１７】
図２（Ａ）は、制御装置１８の構成例を模式的に示すブロック図である。図２（Ａ）に示すように、制御装置１８は、様々な処理を行う処理部（選定手段）１８ａ、及び、各種の情報を記憶する記憶部１８ｂを含む。制御装置１８には、人感センサー（検知手段）２０及びスピーカー（報知手段）２２が接続されている。
【００１８】
図１に示すように、人感センサー２０は、筐体６の前面６ａ及び側面６ｂにそれぞれ配置されている。前面６ａの人感センサー２０は、例えば、前面６ａ側のエリアＡに入った人物を検知して制御装置１８に通知する。一方、側面６ｂの人感センサー２０は、例えば、側面６ｂ側のエリアＢに入った人物を検知して制御装置１８に通知する。
【００１９】
人感センサー２０は、例えば、温度センサー等を備え、物（無生物）の誤検知を防止できるように構成されている。また、人感センサー２０は、カメラ等を含んでいても良い。この場合、例えば、服装等に応じて人物を識別できる。
【００２０】
各人感センサー２０からの通知を受けた制御装置１８の処理部１８ａは、あらかじめ記憶部１８ｂに記憶されている切削装置２の状態を表す複数の告知情報から、切削装置２の状態に応じて適切な告知情報を選定し、スピーカー２２を通じて人物に音声で報知する。
【００２１】
図２（Ｂ）は、記憶部１８ｂに記憶されている告知情報の例を示すテーブルである。なお、告知情報は、切削装置２の状態を示す具体性の高い情報であることが好ましい。告知情報の具体性を高めておくことで、トラブル等への適切な対処が可能になる。ただし、告知情報の内容や具体性の程度等は特に限定されない。
【００２２】
スピーカー２２は、各人感センサー２０の上方にそれぞれ配置されている。例えば、前面６ａの人感センサー２０でエリアＡの人物を検知した場合、制御装置１８は、前面６ａのスピーカー２２によってエリアＡの人物に告知情報を報知する。一方、側面６ｂの人感センサー２０でエリアＢの人物を検知した場合、制御装置１８は、側面６ａのスピーカー２２によってエリアＢの人物に告知情報を報知する。
【００２３】
次に、上記切削装置２で実施される報知処理について説明する。ここでは、図１に示すように、通常のオペレーターである人物２１ａと、切削装置２の責任者である人物２１ｂとが切削装置２の近傍にいる状況を想定して説明する。なお、通常のオペレーターである人物２１ａと、責任者である人物２１ｂとは、服装によって区別できるものとする。
【００２４】
例えば、人物２１ａがエリアＡに入ると、前面６ａの人感センサー２０は人物２１ａを検知する。このとき、人感センサー２０は、例えば、上着の色（白色）に基づいて、エリアＡに入った人物２１ａを通常のオペレーターであると判定し、その旨を制御装置１８に通知する。
【００２５】
制御装置１８の処理部１８ａは、記憶部１８ｂに記憶されている通常のオペレーター向け告知情報から、切削装置２の状態に応じて適切な告知情報を選定し、前面６ａのスピーカー２２で報知する。
【００２６】
具体的には、例えば、切削ブレードの摩耗が進んでいる場合等には、「ブレード交換が近づいています。」という告知情報を選定し、エリアＡの人物２１ａに向けて音声で報知する。人物２１ａは、この告知情報に基づいて、切削ブレードの交換に備えることができる。
【００２７】
また、例えば、加工すべき被加工物１１の残りが僅かとなった場合等には、「ｍ枚中ｎ枚目加工中です。」や「あと１枚で加工完了です。」といった告知情報を選定し、エリアＡの人物２１ａに向けて音声で報知する。人物２１ａは、この告知情報に基づいて、カセットの交換に備えることができる。
【００２８】
一方で、例えば、人物２１ｂがエリアＢに入ると、側面６ｂの人感センサー２０が人物２１ｂを検知する。このとき、側面６ｂの人感センサー２０は、例えば、エリアＢに入った人物２１ａを、上着の色（黒色）に基づいて切削装置２の責任者であると判定し、その旨を制御装置１８に通知する。
【００２９】
制御装置１８の処理部１８ａは、記憶部１８ｂに記憶されている切削装置２の責任者向け告知情報から、切削装置２の状態に応じて適切な告知情報を選定し、前面６ａのスピーカー２２で報知する。
【００３０】
例えば、所定のエラーが頻発している場合には、「エラーａがｔ時から頻発しています。」や「エラーｂがｔ時から頻発しています。」といった告知情報を選定し、エリアＢの人物２１ｂに向けて音声で報知する。人物２１ｂは、この告知情報に基づき、エラーａやエラーｂの頻発する理由を調査できる。
【００３１】
また、例えば、「ｔ時から、ｋＬｏｔ加工完了しました。」という告知情報をエリアＢの人物２１ｂに向けて音声で報知する。人物２１ｂは、この告知情報に基づいて、所望の生産効率（加工効率）が得られているか否かを判定できる。
【００３２】
以上のように、本実施形態に係る切削装置（加工装置）２は、人感センサー（検知手段）２０で人物を検知した際に切削装置２の状態に応じて自動的に選定された告知情報を音声で報知するスピーカー（報知手段）２２を備えるので、単なる警告のみでは見逃される可能性の高い情報を適切に知らせることができる。
【００３３】
これにより、深刻なトラブルの発生を予防できる。また、トラブルの頻度等を告知情報に含ませておけば、深刻化する恐れのあるトラブルを早期に発見できる。さらに、告知情報に基づいて、その後の作業の準備（例えば、切削ブレードやカセットの交換）等を効率的に進めることも可能である。
【００３４】
なお、本発明は上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、人物を検知した際に１つの告知情報のみを選定して報知しているが、例えば、重要度（優先度）等に応じて複数の告知情報を選定して報知するようにしても良い。告知情報の内容についても任意に設定、変更できる。
【００３５】
また、上記実施の形態では、通常のオペレーターと責任者とを、上着の色に基づいて識別しているが、例えば、ＩＣタグ等を用いて識別することもできる。この場合、例えば、筐体６の前面６ａや側面６ｂ等に、ＩＣタグを検出するリーダー（読取機）等を設ければ良い。また、上記実施形態では、通常のオペレーターと責任者とで報知すべき告知情報の種類を分けているが、必ずしもこのような区別は必要ない。
【００３６】
また、上記実施形態では、筐体６の前面６ａ及び側面６ｂに人感センサー（検知手段）２０及びスピーカー（報知手段）２２を設けているが、人感センサー（検知手段）２０及びスピーカー（報知手段）２２の配置、数量等は任意に変更できる。
【００３７】
その他、上記実施形態に係る構成、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００３８】
２  切削装置（加工装置）
４  基台
６  筐体
８  切削ユニット（加工手段）
１０  チャックテーブル
１２  カセットエレベーター
１４  カセット
１６  モニター
１８  制御装置
１８ａ  処理部（選定手段）
１８ｂ  記憶部（記憶手段）
２０  人感センサー（検知手段）
２２  スピーカー（報知手段）
１１  被加工物
２１ａ，２１ｂ  人物
Ａ，Ｂ  エリア
【図１】
2016034691.tif 000003
【図２】
2016034691.tif 000004