(57)【要約】【課題】テープの貼着に適した位置でウェーハ及び環状フレームを保持できるテープ貼着用保持機構を提供する。【解決手段】ウェーハ（１１）及びウェーハを囲む環状フレーム（１５）に対してテープ（１７）を貼着する際にウェーハと環状フレームとを保持するテープ貼着用保持機構（２）であって、ウェーハを吸引保持可能なウェーハ保持面（８ａ）を有したウェーハ保持部（４）と、ウェーハ保持部を囲んで配設され、環状フレームを保持するフレーム保持面（２２ａ）を有したフレーム保持部（１８）と、ウェーハ保持部を互いに直交しかつ水平な第一方向と第二方向とにそれぞれ移動させる移動手段（３０，４０）と、ウェーハ保持面に対面して配設され、ウェーハ保持面で保持されたウェーハを撮像する撮像手段（２６）と、を備える構成とした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハ及びウェーハを囲む環状フレームに対してテープを貼着する際にウェーハと該環状フレームとを保持するテープ貼着用保持機構であって、
ウェーハを吸引保持可能なウェーハ保持面を有したウェーハ保持部と、
該ウェーハ保持部を囲んで配設され、該環状フレームを保持するフレーム保持面を有したフレーム保持部と、
該ウェーハ保持部を互いに直交しかつ水平な第一方向と第二方向とにそれぞれ移動させる移動手段と、
該ウェーハ保持面に対面して配設され、該ウェーハ保持面で保持されたウェーハを撮像する撮像手段と、を備えたことを特徴とするテープ貼着用保持機構。
【請求項２】
該ウェーハ保持部を該第一方向と該第二方向とに直交する鉛直方向に移動させる鉛直移動手段を更に備えたことを特徴とする請求項１に記載のテープ貼着用保持機構。
【請求項３】
該ウェーハ保持面の下方には、該ウェーハ保持面を加熱する加熱手段が配設されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のテープ貼着用保持機構。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載のテープ貼着用保持機構を用いてウェーハ及びウェーハを囲む該環状フレームに対して該テープを貼着するテープ貼着方法であって、
該ウェーハ保持部でウェーハの表面側を吸引保持するとともに、該フレーム保持部で該環状フレームを保持する保持ステップと、
該保持ステップを実施した後、該撮像手段でウェーハを撮像し、該環状フレームに対するウェーハの位置を検出するウェーハ位置検出ステップと、
該ウェーハ位置検出ステップを実施した後、該移動手段でウェーハを保持した該ウェーハ保持部を移動させ、ウェーハの中心が該環状フレームの中心に一致するよう該ウェーハ保持部を位置付ける位置付けステップと、
該位置付けステップを実施した後、該テープの中央領域をウェーハに貼着し、該中央領域を囲む該テープの外周領域を該環状フレームに貼着するテープ貼着ステップと、を備えたことを特徴とするテープ貼着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハ及びウェーハを囲む環状フレームに対してテープを貼着する際にウェーハ及び環状フレームを保持するテープ貼着用保持機構、並びにこのテープ貼着用保持機構を用いるテープ貼着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
表面にＩＣ等のデバイスが形成されたウェーハは、例えば、円環状の切削ブレードを備える切削装置や、レーザー照射用の加工ヘッドを備えるレーザー加工装置で加工され、各デバイスに対応する複数のチップへと分割される。
【０００３】
ウェーハの加工前には、ウェーハを囲むように環状のフレーム（環状フレーム）を配置して、ウェーハ及び環状フレームにテープを貼着しておく（例えば、特許文献１，２参照）。このように、テープを介してウェーハを環状フレームで支持すれば、加工後におけるチップの分散等を防いでハンドリング性を維持できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１５２０５８号公報
【特許文献２】特開２０１１−２３６０２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述した切削装置やレーザー加工装置等では、環状フレームを基準にウェーハを搬送するので、環状フレームに対してウェーハがずれた状態でテープを貼着してしまうと、ウェーハを適切な位置に搬送できなくなる。この場合、切削ブレードや加工ヘッド等とウェーハとの位置関係を調整するアライメントに不具合が発生し易くなる。
【０００６】
また、例えば、切削ブレードや加工ヘッド等の可動範囲外にウェーハが位置付けられてしまうと、そもそも、ウェーハの全体を加工できない。本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、テープの貼着に適した位置でウェーハ及び環状フレームを保持できるテープ貼着用保持機構、並びにこのテープ貼着用保持機構を用いるテープ貼着方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、ウェーハ及びウェーハを囲む環状フレームに対してテープを貼着する際にウェーハと該環状フレームとを保持するテープ貼着用保持機構であって、ウェーハを吸引保持可能なウェーハ保持面を有したウェーハ保持部と、該ウェーハ保持部を囲んで配設され、該環状フレームを保持するフレーム保持面を有したフレーム保持部と、該ウェーハ保持部を互いに直交しかつ水平な第一方向と第二方向とにそれぞれ移動させる移動手段と、該ウェーハ保持面に対面して配設され、該ウェーハ保持面で保持されたウェーハを撮像する撮像手段と、を備えたことを特徴とするテープ貼着用保持機構が提供される。
【０００８】
本発明のテープ貼着用保持機構において、該ウェーハ保持部を該第一方向と該第二方向とに直交する鉛直方向に移動させる鉛直移動手段を更に備えたことが好ましい。
【０００９】
また、本発明のテープ貼着用保持機構において、該ウェーハ保持面の下方には、該ウェーハ保持面を加熱する加熱手段が配設されていることが好ましい。
【００１０】
また、本発明によれば、前記テープ貼着用保持機構を用いてウェーハ及びウェーハを囲む該環状フレームに対して該テープを貼着するテープ貼着方法であって、該ウェーハ保持部でウェーハの表面側を吸引保持するとともに、該フレーム保持部で該環状フレームを保持する保持ステップと、該保持ステップを実施した後、該撮像手段でウェーハを撮像し、該環状フレームに対するウェーハの位置を検出するウェーハ位置検出ステップと、該ウェーハ位置検出ステップを実施した後、該移動手段でウェーハを保持した該ウェーハ保持部を移動させ、ウェーハの中心が該環状フレームの中心に一致するよう該ウェーハ保持部を位置付ける位置付けステップと、該位置付けステップを実施した後、該テープの中央領域をウェーハに貼着し、該中央領域を囲む該テープの外周領域を該環状フレームに貼着するテープ貼着ステップと、を備えたことを特徴とするテープ貼着方法が提供される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のテープ貼着用保持機構は、互いに直交しかつ水平な第一方向と第二方向とにそれぞれウェーハ保持部を移動させる移動手段と、ウェーハ保持面で保持されたウェーハを撮像する撮像手段と、を備えている。
【００１２】
そのため、環状フレームに対するウェーハの位置を撮像手段で検出し、ウェーハの中心を環状フレームの中心に一致させるようウェーハ保持部を位置付けることで、ウェーハ及び環状フレームを、テープの貼着に適した位置で保持できる。
【００１３】
このように、本発明によれば、テープの貼着に適した位置でウェーハ及び環状フレームを保持できるテープ貼着用保持機構、並びにこのテープ貼着用保持機構を用いるテープ貼着方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】テープ貼着用保持機構の外観を模式的に示す斜視図である。
【図２】テープ貼着用保持機構の内部構造を模式的に示す斜視図である。
【図３】図３（Ａ）は、ウェーハ及び環状フレームを保持する前のテープ貼着用保持機構を模式的に示す平面図であり、図３（Ｂ）は、ウェーハ及び環状フレームを保持したテープ貼着用保持機構を模式的に示す平面図である。
【図４】図４（Ａ）は、ウェーハ及び環状フレームを保持したテープ貼着用保持機構を模式的に示す断面図であり、図４（Ｂ）は、ウェーハ及び環状フレームを撮像する様子を模式的に示す断面図である。
【図５】図５（Ａ）は、ウェーハの中心と環状フレームの中心との位置関係を模式的に示す平面図であり、図５（Ｂ）は、ウェーハの中心と環状フレームの中心とを平面視で重ねるようにウェーハ保持テーブルを移動させた様子を模式的に示す平面図である。
【図６】ウェーハ及び環状フレームにテープを貼着する様子を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係るテープ貼着用保持機構の外観を模式的に示す斜視図であり、図２は、テープ貼着用保持機構の内部構造を模式的に示す斜視図である。図１に示すように、本実施形態のテープ貼着用保持機構２は、円盤状のウェーハ１１（図３（Ｂ）参照）を保持するウェーハ保持テーブル（ウェーハ保持部）４を備えている。
【００１６】
ウェーハ保持テーブル４は、ステンレス等の金属材料でなる円盤状のテーブル枠体６と、テーブル枠体６の上面中央部に設けられた多孔質部材８とを含む。多孔質部材８の上面は、ウェーハ１１を吸引保持するウェーハ保持面８ａとなっており、テーブル枠体６の内部に形成された吸引路６ａ（図４（Ａ）参照）等を通じて作用する吸引源（不図示）の負圧でウェーハ１１を吸引保持する。
【００１７】
多孔質部材８の下方には、ウェーハ保持面８ａを加熱する加熱ユニット（加熱手段）１０（図４（Ａ）参照）が設けられている。加熱ユニット１０は、平板状のプレートヒータ１２と、プレートヒータ１２の上面に配置されアルミニウム等の材料でなる熱伝導材１４と、プレートヒータ１２の下面に配置された断熱材１６とを含む。
【００１８】
この加熱ユニット１０によって、ウェーハ保持面８ａを均等に加熱できる。例えば、ウェーハ１１に対してダイアタッチフィルム（DAF：Die Attach Film）付きのテープを貼着する場合には、加熱ユニット１０でダイアタッチフィルムを加熱することで、ウェーハ１１に対する密着力を高めることができる。
【００１９】
ウェーハ保持テーブル４の周囲には、ウェーハ保持テーブル４を囲むフレーム保持具（フレーム保持部）１８が配置されている。フレーム保持具１８は、ステンレス等の金属材料でなる円筒状の保持具枠体２０と、保持具枠体２０の上面（フレーム保持面）２０ａの一部に設けられた多孔質部材２２とを含む。
【００２０】
多孔質部材２２の上面は、環状フレーム１５（図４（Ｂ）参照）を吸引保持するフレーム保持面２２ａとなっており、保持具枠体２０の内部に形成された吸引路２０ｂ（図４（Ａ）参照）等を通じて作用する吸引源（不図示）の負圧で環状フレーム１５を吸引保持する。保持具枠体２０の上面２０ａには、環状フレーム１５の載置位置を決定する２本のフレーム位置決めピン２４が配置されている。
【００２１】
ウェーハ保持テーブル４の上方には、ウェーハ保持面８ａと対面するようにカメラ（撮像手段）２６が配置されている。カメラ２６は、ウェーハ保持面８ａに吸引保持されたウェーハ１１、及びフレーム保持面２２ａに吸引保持された環状フレーム１５を撮像し、撮像画像を形成する。
【００２２】
カメラ２６は、制御装置（不図示）に接続されている。この制御装置は、例えば、カメラ２６で形成された撮像画像を処理してウェーハ１１の外周縁及び環状フレーム１５の内周縁を抽出し、この外周縁及び内周縁の位置からウェーハ１１及び環状フレーム１５の中心の位置を算出する。算出された中心の位置は、ウェーハ保持テーブル４の位置調節に用いられる。
【００２３】
図２に示すように、ウェーハ保持テーブル４の下方には、ウェーハ保持テーブル４を移動させる移動機構２８が設けられている。この移動機構２８は、フレーム保持具１８の内側に配置されている。
【００２４】
移動機構２８は、水平（ウェーハ保持面８ａに対して平行）な第１方向にウェーハ保持テーブル４を移動させる第１移動ユニット（移動手段）３０を含む。第１移動ユニット３０は、第１方向と平行な一対の第１ガイドレール３２を備え、この第１ガイドレール３２には、第１移動テーブル３４がスライド可能に設置されている。
【００２５】
第１移動テーブル３４の下面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、第１ガイドレール３２と平行な第１ボールネジ３６が螺合されている。第１ボールネジ３６の一端側には、第１パルスモータ３８が連結されている。第１パルスモータ３８で第１ボールネジ３６を回転させることで、第１移動テーブル３４は第１ガイドレール３２に沿って第１方向に移動する。
【００２６】
第１移動テーブル３４の上面側には、第１方向に直交しかつ水平な第２方向にウェーハ保持テーブル４を移動させる第２移動ユニット（移動手段）４０が設けられている。第２移動ユニット４０は、第１移動テーブル３４の上面に固定され第２方向に平行な一対の第２ガイドレール４２を含み、この第２ガイドレール４２には、第２移動テーブル４４がスライド可能に設置されている。
【００２７】
第２移動テーブル４４の下面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、第２ガイドレール４２と平行な第２ボールネジ４６が螺合されている。第２ボールネジ４６の一端側には、第２パルスモータ４８が連結されている。第２パルスモータ４８で第２ボールネジ４６を回転させることで、第２移動テーブル４４は第２ガイドレール４２に沿って第２方向に移動する。
【００２８】
第２移動テーブル４４の上面後端部には、第１方向と第２方向とに直交する鉛直方向に伸びる支持構造５０が立設されている。支持構造５０の前面側には、ウェーハ保持テーブル４を鉛直方向に移動させる第３移動ユニット（鉛直移動手段）５２が設けられている。第３移動ユニット５２は、支持構造５０の前面に固定され鉛直方向に伸びる一対の第３ガイドレール５４を含み、この第３ガイドレール５４には、第３移動テーブル５６がスライド可能に設置されている。
【００２９】
第３移動テーブル５６の後面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、第３ガイドレール５４と平行な第３ボールネジ５８が螺合されている。第３ボールネジ５８の上端側には、第３パルスモータ６０が連結されている。第３パルスモータ６０で第３ボールネジ５８を回転させることで、第３移動テーブル５６は第３ガイドレール５４に沿って鉛直方向に移動する。
【００３０】
第３移動テーブル５６の上面には、テーブル支持脚６２が立設されており、テーブル支持脚６２の上端にはウェーハ保持テーブル４が固定されている。ウェーハ保持テーブル４は、第１移動ユニット３０及び第２移動ユニット４０で水平面と平行な方向に移動し、第３移動ユニット５２で鉛直方向に移動する。
【００３１】
移動機構２８は、上述した制御装置に接続されている。制御装置は、例えば、ウェーハ１１の中心と環状フレーム１５の中心とが平面視で重なる（一致する）ように、ウェーハ保持テーブル４を第１方向及び第２方向に移動させる。これにより、テープ１７（図６参照）の貼着に適した位置でウェーハ１１及び環状フレーム１５を保持できる。なお、ウェーハ保持面８ａの高さは、ウェーハ１１の厚み等に応じて第３移動ユニット５２で調節される。
【００３２】
次に、テープ貼着用保持機構２を用いるテープ貼着方法について説明する。本実施形態のテープ貼着方法では、まず、ウェーハ保持テーブル４及びフレーム保持具１８で、ウェーハ１１及び環状フレーム１５をそれぞれ保持する保持ステップを実施する。
【００３３】
図３（Ａ）は、ウェーハ１１及び環状フレーム１５を保持する前のテープ貼着用保持機構２を模式的に示す平面図であり、図３（Ｂ）は、ウェーハ１１及び環状フレーム１５を保持したテープ貼着用保持機構２を模式的に示す平面図であり、図４（Ａ）は、ウェーハ１１及び環状フレーム１５を保持したテープ貼着用保持機構２を模式的に示す断面図である。
【００３４】
保持ステップでは、図３（Ａ）、図３（Ｂ）、及び図４（Ａ）に示すように、ウェーハ１１の表面１１ａ側に保護部材１３を貼着した上で、ウェーハ１１をウェーハ保持テーブル４上に載置する。具体的には、平面視においてウェーハ保持面８ａと重なる位置にウェーハ１１を位置付け、表面１１ａ側に貼着された保護部材１３をウェーハ保持面８ａに接触させる。この状態で吸引源の負圧をウェーハ保持面８ａに作用させれば、ウェーハ１１の表面１１ａ側をウェーハ保持テーブル４で吸引保持できる。
【００３５】
また、環状フレーム１５をフレーム保持具１８上に載置する。具体的には、環状フレーム１５を上面２０ａ及びフレーム保持面２２ａに接触させて、フレーム位置決めピン２４を外周縁の切り欠き１５ａに係合させる。この状態で吸引源の負圧をフレーム保持面２２ａに作用させれば、環状フレーム１５をフレーム保持具１８で吸引保持できる。
【００３６】
保持ステップの後には、カメラ２６でウェーハ１１及び環状フレーム１５を撮像し、環状フレーム１５に対するウェーハ１１の位置を検出するウェーハ位置検出ステップを実施する。図４（Ｂ）は、ウェーハ及び環状フレームを撮像する様子を模式的に示す断面図であり、図５（Ａ）は、ウェーハ１１の中心と環状フレーム１５の中心との位置関係を模式的に示す平面図である。
【００３７】
ウェーハ位置検出ステップでは、まず、ウェーハ保持テーブル４の上方に配置されたカメラ２６で、ウェーハ保持面８ａに吸引保持されたウェーハ１１、及びフレーム保持面２２ａに吸引保持された環状フレーム１５を撮像し、撮像画像を形成する。形成された撮像画像は、制御装置へと送られる。
【００３８】
制御装置は、例えば、カメラ２６から送られた撮像画像を処理して、ウェーハ１１の外周縁及び環状フレーム１５の内周縁を抽出する。また、制御装置は、ウェーハ１１の外周縁の３点の座標（位置）から、ウェーハ１１の中心Ｏ１の座標（位置）を算出し、環状フレーム１５の内周縁の３点の座標（位置）から、環状フレーム１５の中心Ｏ２の座標（位置）を算出する。
【００３９】
図５（Ａ）に示すように、中心Ｏ１と中心Ｏ２とがずれている場合には、中心Ｏ１と中心Ｏ２とを平面視で重ねる（一致させる）ようにウェーハ保持テーブル４を位置付ける位置付けステップを実施する。図５（Ｂ）は、ウェーハ１１の中心Ｏ１と環状フレーム１５の中心Ｏ２とを平面視で重ねるようにウェーハ保持テーブル４を移動させた様子を模式的に示す平面図である。
【００４０】
位置付けステップでは、まず、制御装置で中心Ｏ１と中心Ｏ２とのずれ量を算出する。次に、制御装置は、算出したずれ量をゼロにするように、第１移動ユニット３０及び第２移動ユニット４０でウェーハ保持テーブル４を水平に移動させる。このように、中心Ｏ１と中心Ｏ２とを平面視で重ねるようにウェーハ保持テーブル４を位置付けることで、環状フレーム１５に対するウェーハ１１の位置関係を、適切に変更できる。
【００４１】
すなわち、テープ１７の貼着に適した位置でウェーハ１１及び環状フレーム１５を保持できる。なお、中心Ｏ１と中心Ｏ２とのずれが無視できる範囲内にあれば、この位置付けステップを省略しても良い。
【００４２】
位置付けステップの後（位置付けステップを実施しない場合には、ウェーハ位置検出ステップの後）には、テープ１７の中央領域をウェーハ１１に貼着し、テープ１７の外周領域を環状フレーム１５に貼着するテープ貼着ステップを実施する。図６は、ウェーハ１１及び環状フレーム１５にテープ１７を貼着する様子を模式的に示す断面図である。
【００４３】
テープ貼着ステップでは、例えば、テープ１７の位置を調節してから、ウェーハ１１の裏面１１ｂ及び環状フレーム１５にテープ１７の接着面を接触させて、図６に示すように、ローラー７０等で上方から押圧する。これにより、ウェーハ１１及び環状フレーム１５にテープ１７を貼着できる。
【００４４】
なお、テープ１７としては、あらかじめ環状フレーム１５に対応する大きさにカットされたもの（プリカットテープ）を用いても良いし、未カットのものを用いても良い。未カットのテープ１７を用いる場合には、ウェーハ１１及び環状フレーム１５にテープ１７を貼着した後、環状フレーム１５に合わせてテープ１７をカットすれば良い。
【００４５】
以上のように、本実施形態のテープ貼着用保持機構２は、ウェーハ保持テーブル（ウェーハ保持部）４を互いに直交しかつ水平な第一方向と第二方向とにそれぞれ移動させる第１移動ユニット（移動手段）３０及び第２移動ユニット（移動手段）４０と、ウェーハ保持面８ａで保持されたウェーハ１１を撮像するカメラ（撮像手段）２６と、を備えている。
【００４６】
そのため、環状フレーム１５に対するウェーハ１１の位置をカメラ２６で検出し、ウェーハ１１の中心Ｏ１を環状フレーム１５の中心Ｏ２に一致させるようウェーハ保持テーブル４を位置付けることで、ウェーハ１１及び環状フレーム１５を、テープ１７の貼着に適した位置で保持できる。
【００４７】
なお、本発明は上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施できる。上記実施形態では、ウェーハ１１と環状フレーム１５とをカメラ（撮像手段）２６で撮像しているが、例えば、環状フレーム１５の位置精度が高い状況では、ウェーハ１１のみを撮像しても良い。
【００４８】
また、上記実施形態では、ウェーハ位置検出ステップにおいて、ウェーハ１１の中心Ｏ１の座標（位置）と環状フレーム１５の中心Ｏ２の座標（位置）とを算出しているが、ウェーハ１１の外周縁と環状フレーム１５の内周縁との距離を複数の位置で算出しても良い。この場合には、位置付けステップにおいて、例えば、ウェーハ１１の外周縁と環状フレーム１５の内周縁との距離が複数の位置で一定になるようにウェーハ保持テーブル（ウェーハ保持部）４を移動させれば良い。
【００４９】
また、上記実施形態において、ウェーハ保持テーブル（ウェーハ保持部）４は、多孔質部材８を通じて作用する負圧でウェーハ１１を吸引保持できるように構成されているが、多孔質部材８を用いずに、例えば、複数の吸引口でウェーハ１１を吸引保持できるように構成されても良い。
【００５０】
また、上記実施形態において、フレーム保持具（フレーム保持部）１８は、多孔質部材２２を通じて作用する負圧で環状フレーム１５を吸引保持できるように構成されているが、多孔質部材２２を用いずに、例えば、磁石（電磁石）、クランプ等で環状フレーム１５を保持できるように構成されても良い。
【００５１】
その他、上記実施形態に係る構成、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００５２】
２  テープ貼着用保持機構
４  ウェーハ保持テーブル（ウェーハ保持部）
６  テーブル枠体
６ａ  吸引路
８  多孔質部材
８ａ  ウェーハ保持面
１０  加熱ユニット（加熱手段）
１２  プレートヒータ
１４  熱伝導材
１６  断熱材
１８  フレーム保持具（フレーム保持部）
２０  保持具枠体
２０ａ  上面（フレーム保持面）
２０ｂ  吸引路
２２  多孔質部材
２２ａ  フレーム保持面
２４  フレーム位置決めピン
２６  カメラ
２８  移動機構
３０  第１移動ユニット（移動手段）
３２  第１ガイドレール
３４  第１移動テーブル
３６  第１ボールネジ
３８  第１パルスモータ
４０  第２移動ユニット（移動手段）
４２  第２ガイドレール
４４  第２移動テーブル
４６  第２ボールネジ
４８  第２パルスモータ
５０  支持構造
５２  第３移動ユニット（鉛直移動手段）
５４  第３ガイドレール
５６  第３移動テーブル
５８  第３ボールネジ
６０  第３パルスモータ
６２  テーブル支持脚
７０  ローラー
１１  ウェーハ
１１ａ  表面
１１ｂ  裏面
１３  保護部材
１５  環状フレーム
１５ａ  切り欠き
１７  テープ
Ｏ１，Ｏ２  中心
【図１】
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【図２】
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【図３】
2016009812.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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