(57)【要約】【課題】複数の圧力発生手段の並びに対して片側供給で駆動信号を供給すると供給側に近い側と遠い側とで滴吐出特性にばらつきが生じて画質が低下する。【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル４が配列され、各ノズル４に対応する複数の圧電素子１１が配列され、複数の圧電素子１１は、ノズル配列方向に沿って設けられた第１共通電極電源配線パターン１２１にそれぞれ接続され、第１共通電極電源配線パターン１２１は、ノズル配列方向において、圧電素子１１に与える駆動信号の供給側に近い側と遠い側とがあり、第１共通電極電源配線パターン１２１の駆動信号の供給側に近い側と駆動信号の供給側から遠い側とは第２共通電極電源配線パターン１２２を介して電気的につながれている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する複数のノズルの配列方向に沿って、各ノズルに対応する複数の圧力発生手段が配列され、
前記複数の圧力発生手段に接続される配線パターンがノズル配列方向に沿って設けられたアクチュエータ部材を有し、
前記配線パターンは、前記複数の圧力発生手段が接続される第１配線パターンを有し、
前記第１配線パターンの前記圧力発生手段に与える駆動信号の供給側に近い側と前記駆動信号の供給側から遠い側とが第２配線パターンを介して電気的につながれている
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
液滴を吐出する複数のノズルの配列方向に沿って、各ノズルに対応する複数の圧力発生手段が配列され、
前記複数の圧力発生手段の内の駆動信号を与える前記圧力発生手段を選択する複数の選択手段を含む駆動回路部が実装され、
前記駆動回路部の前記複数の選択手段側に接続される配線パターンがノズル配列方向に沿って設けられたアクチュエータ部材を有し、
前記配線パターンは、前記駆動回路部の複数の選択手段が個々に接続され、又は、前記複数の選択手段に接続される前記複数の選択手段の数より少ない２以上の接続部が接続される第１配線パターンを有し、
前記第１配線パターンの前記圧力発生手段に与える駆動信号の供給側に近い側と前記駆動信号の供給側から遠い側とが第２配線パターンを介して電気的につながれている
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記第２配線パターンの幅は、前記第１配線パターンの幅と同じか又は広い
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
ノズル配列方向において、前記第１配線パターンの前記供給側に最も近い側と前記供給側から最も遠い側との間で、前記第１配線パターンと前記第２配線パターンとを電気的につなぐ架橋配線パターンを有している
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記架橋配線パターンは、ノズル配列方向において、前記第１配線パターンの前記供給側に最も近い側と前記供給側から最も遠い側との間の中間位置よりも前記供給側から遠い側に設けられている
ことを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記第１配線パターンと前記第２配線パターンとは前記アクチュエータ部材の同じ面に設けられている
ことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記アクチュエータ部材には、前記第１配線パターンと前記第２配線パターンとの間に、前記ノズルが通じる個別液室に対する液体を供給する供給口が設けられている
ことを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記アクチュエータ部材の前記供給口の周囲には、前記液体の前記配線パターン側への移動を阻止する障壁が設けられている
ことを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記第１配線パターンと前記第２配線パターンとは前記アクチュエータ部材の異なる面に設けられている
ことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記複数の圧力発生手段のすべてに共通する共通電極を有し、
前記共通電極が前記第１配線パターンを兼ねている
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
液滴を吐出する複数のノズルの配列方向に沿って、各ノズルに対応する複数の圧力発生手段が配列され、
前記複数の圧力発生手段が接続される配線パターンがノズル配列方向に沿って設けられたアクチュエータ部材を有し、
前記配線パターンは、前記複数の圧力発生手段が接続される第１配線パターンを有し、
前記第１配線パターンは、ノズル配列方向の両端部が前記圧力発生手段に与える駆動信号の供給側に接続され、
前記第１配線パターンの両端部は第２配線パターンを介して電気的につながれ、
ノズル配列方向において、前記第１配線パターンの両端部の間で、前記第１配線パターンと前記第２配線パターンとを電気的につなぐ架橋配線パターンを有している
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
液滴を吐出する複数のノズルの配列方向に沿って、各ノズルに対応する複数の圧力発生手段が配列され、
前記複数の圧力発生手段の内の駆動信号を与える前記圧力発生手段を選択する複数の選択手段を含む駆動回路部が実装され、
前記駆動回路部の前記複数の選択手段側に接続される配線パターンがノズル配列方向に沿って設けられたアクチュエータ部材を有し、
前記配線パターンは、前記駆動回路部の複数の選択手段が個々に接続され、又は、前記複数の選択手段に接続される前記複数の選択手段の数より少ない２以上の接続部が接続される第１配線パターンを有し、
前記第１配線パターンは、ノズル配列方向の両端部が前記圧力発生手段に与える駆動信号の供給側に接続され、
前記第１配線パターンの両端部は第２配線パターンを介して電気的につながれ、
ノズル配列方向において、前記第１配線パターンの両端部の間で、前記第１配線パターンと前記第２配線パターンとを電気的につなぐ架橋配線パターンを有している
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
液滴を吐出する複数のノズルの配列方向に沿って、各ノズルに対応する複数の圧力発生手段が配列され、
前記複数の圧力発生手段に共通する共通電極を有し、
前記共通電極のノズル配列方向両端部側がそれぞれ前記圧力発生手段に与える駆動信号の供給側に接続され、
前記共通電極の両端部は連結電極を介して電気的につながれ、
ノズル配列方向において、前記共通電極の両端部の間で、前記共通電極と前記連結電極とを電気的につなぐ架橋電極を有している
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１４】
請求項１ないし１３のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする液体吐出ユニット。
【請求項１５】
前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化した
ことを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ユニット。
【請求項１６】
請求項１ないし１３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項１４若しくは１５に記載の液体吐出ユニットを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
画像形成装置として、例えば液滴を吐出する液体吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）を記録ヘッドに用いた装置、例えばインクジェット記録装置が知られている。
【０００３】
ここで、液体吐出ヘッドとしては、例えば、液滴を吐出する複数のノズルが配列され、各ノズルに対応する複数の圧力発生手段を有するものが知られている。そして、各圧力発生手段の個別電極は、駆動する圧力発生手段を選択するためのスイッチ回路を介して個別電極電源配線（個別電極用配線）に接続され、２以上の圧力発生手段を相互に接続する共通電極は共通電極電源配線（共通電極用配線）に接続される。
【０００４】
従来、配線抵抗による滴吐出特性のバラツキを低減するため、例えば、ノズル列を複数のブロックに分けて、各ブロック単位で第１共通配線電極を設け、更に各第１共通配線電極を相互に接続する第２共通配線電極を設けたものが知られている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平０７−１８６３７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述したように、ノズル配列方向に並ぶ複数の圧力発生手段の並び方向に電極電源配線パターンを配置し、片側から駆動波形（駆動信号）を供給又は受給（以下、単に「供給」という。）する場合、同時に駆動するノズル数が多くなると、配線抵抗による電圧降下の影響で、駆動信号の供給側に近い側に圧力発生手段が接続されているノズルと、駆動信号の供給側から遠い側に圧力発生手段が接続されているノズルとでは、吐出する液滴の滴速度、滴体積にばらつきが発生する。
【０００７】
ここで、上記特許文献１に開示されている構成を採用する場合、第１共通配線電極自体の抵抗が大きいと、ブロック毎の滴吐出特性のバラツキが発生し、また、構成が複雑になるという課題がある。
【０００８】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、簡単な構成で、滴吐出特性のバラツキを低減して画像品質を向上できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するため、本発明の請求項１に係る液体吐出ヘッドは、
液滴を吐出する複数のノズルの配列方向に沿って、各ノズルに対応する複数の圧力発生手段が配列され、
前記複数の圧力発生手段に接続される配線パターンがノズル配列方向に沿って設けられたアクチュエータ部材を有し、
前記配線パターンは、前記複数の圧力発生手段が接続される第１配線パターンを有し、
前記第１配線パターンの前記圧力発生手段に与える駆動信号の供給側に近い側と前記駆動信号の供給側から遠い側とが第２配線パターンを介して電気的につながれている
構成とした。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、簡単な構成で、滴吐出特性のバラツキを低減できて画像品質を向上することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係る液体吐出ヘッドの一例の分解斜視説明図である。
【図２】同じくノズル配列方向と直交する方向に沿う要部断面説明図である。
【図３】同じくノズル配列方向に沿う要部断面説明図である。
【図４】本発明の第１実施形態におけるアクチュエータ基板上の配線パターンを説明する平面説明図である。
【図５】同じく各ノズル位置における画像濃度の説明に供する説明図である。
【図６】比較例の配線パターンの説明に供する平面説明図である。
【図７】同じく各ノズル位置における画像濃度の説明に供する説明図である。
【図８】本発明の第２実施形態におけるアクチュエータ基板上の配線パターンを説明する平面説明図である。
【図９】同じく各ノズル位置における画像濃度の説明に供する説明図である。
【図１０】本発明の第３実施形態におけるアクチュエータ基板上の配線パターンを説明する平面説明図である。
【図１１】同じく各ノズル位置における画像濃度の説明に供する説明図である。
【図１２】本発明の第４実施形態におけるアクチュエータ基板上の配線パターンを説明する平面説明図である。
【図１３】同じく各ノズル位置における画像濃度の説明に供する説明図である。
【図１４】本発明の第５実施形態におけるアクチュエータ基板上の配線パターンを説明する平面説明図である。
【図１５】同じく各ノズル位置における画像濃度の説明に供する説明図である。
【図１６】本発明の第６実施形態におけるアクチュエータ基板上の配線パターンを説明する平面説明図である。
【図１７】同じく各ノズル位置における画像濃度の説明に供する説明図である。
【図１８】本発明の第７実施形態におけるアクチュエータ基板上の配線パターンを説明する平面説明図である。
【図１９】本発明の第８実施形態におけるアクチュエータ基板上の配線パターンを説明する平面説明図である。
【図２０】本発明の第９実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う全体断面説明図である。
【図２１】同じくノズル配列方向と直交する方向に沿う要部断面説明図である。
【図２２】同じくノズル配列方向に沿う要部断面説明図である。
【図２３】本発明の第１０実施形態におけるアクチュエータ基板上の配線パターンを説明する平面説明図である。
【図２４】同実施形態における等価回路の説明図である。
【図２５】本発明の第１１実施形態における等価回路の説明図である。
【図２６】本発明の第１２実施形態を説明する略平面説明図である。
【図２７】同実施形態における圧電部材の斜視説明図である。
【図２８】本発明に係る液体を吐出する装置の一例の要部平面説明図である。
【図２９】同装置の要部側面説明図である。
【図３０】本発明に係る液体吐出ユニットの他の例の要部平面説明図である。
【図３１】本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例の正面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。本発明に係る液体吐出ヘッドの一例について図１ないし図３を参照して説明する。図１は同液体吐出ヘッドの分解斜視説明図、図２は同じくノズル配列方向と直交する方向に沿う要部断面説明図、図３は同じくノズル配列方向に沿う要部断面説明図である。
【００１３】
この液体吐出ヘッドは、ノズル板１と、流路板２と、振動板３と、圧力発生手段である圧電素子１１と、保持基板５０と、共通液室部材を兼ねるフレーム部材７０とを備えている。
【００１４】
なお、本実施形態では、流路板２、振動板３及び圧電素子１１で構成される部分を、本発明におけるアクチュエータ部材としての「アクチュエータ基板２０」とする。ただし、アクチュエータ基板２０として独立の部材が形成された後にノズル板１や保持基板５０、フレーム部材７０と接合されることまで意味するものではない。
【００１５】
ノズル板１には、液滴を吐出する複数のノズル４が形成されている。ここでは、ノズル４を配列したノズル列を２列配置した構成としている。
【００１６】
流路板２は、ノズル板１及び振動板３とともに、ノズル４が通じる個別液室６、個別液室６に通じる流体抵抗部７、流体抵抗部７が通じる液導入部（通路）８を形成している。
【００１７】
この液導入部８は振動板３の通路（供給口）９と保持基板５０の共通液室の一部である流路１０Ａを介してフレーム部材７０で形成される図示しない共通液室に通じている。
【００１８】
振動板３は、個別液室６の壁面の一部をなす変形可能な振動領域３０を形成している。そして、この振動板３の振動領域３０の個別液室６と反対側の面には、振動領域３０と一体的に圧電素子１１が設けられ、振動領域３０と圧電素子１１によって圧電アクチュエータ構成している。
【００１９】
圧電素子１１は、振動領域３０側から下部電極１３、圧電層（圧電体）１２及び上部電極１４を順次積層形成して構成している。この圧電素子１１上には層間絶縁膜２１が形成されている。
【００２０】
圧電素子１１の下部電極１３は共通配線を介して接続パッドに引き出されている。上部電極１４は個別配線１６を介して駆動ＩＣ（ドライバＩＣ）５００に接続されている。
【００２１】
ドライバＩＣ５００は、複数の圧力発生手段である圧電素子１１のうちの駆動信号を与える圧電素子を選択する複数の選択手段であるスイッチング素子（スイッチ）を有する駆動回路部である。
【００２２】
このドライバＩＣ５００は、圧電素子１１の列の列間の領域を覆うようにアクチュエータ基板２０にフリップチップボンディングやワイヤボンディングなどの工法により実装されている。
【００２３】
アクチュエータ基板２０に搭載されたドライバＩＣ５００のＩ／Ｏ（入出力端子）、電源端子、駆動波形（駆動信号）の入力端子などからは、図１に示すように、接続端子群１８まで配線が引き出されている。
【００２４】
そして、接続端子群１８の各接続端子にはＦＰＣやＦＦＣなどの配線部材６０に設けられた図示しない配線が、ＡＣＦ接続、半田接続、ワイヤボンディングなどによって電気的に接続されており、配線部材６０の他端側は図示しない制御部に接続されている。
【００２５】
なお、配線部材６０はフレーム部材７０に内包されており、引き出し口７１からヘッド外部に引き出される。また、接続端子群１８の各接続端子はアクチュエータ基板２０の端部に平面的に配置されている。
【００２６】
そして、アクチュエータ基板２０上には圧電素子１１を収容する凹部（振動室）５１を形成する保持基板５０を設けている。
【００２７】
保持基板５０は共通液室の一部１０Ａも形成している。この保持基板５０は、接着剤によってアクチュエータ基板２０の振動板３側に接合されている。
【００２８】
このように構成したこの液体吐出ヘッドにおいては、ドライバＩＣ５００から圧電素子１１の上部電極１４と下部電極１３の間に電圧を与えることで、圧電層１２が電極積層方向、すなわち電界方向に伸張し、振動領域３０と平行な方向に収縮する。
【００２９】
このとき、下部電極１３側は振動領域３０で拘束されているため、振動領域３０の下部電極１３側に引っ張り応力が発生し、振動領域３０が個別液室６側に撓み、内部の液体を加圧することで、ノズル４から液滴が吐出される。
【００３０】
次に、本発明の第１実施形態について図４及び図５を参照して説明する。図４は同実施形態におけるアクチュエータ基板上の配線パターンを説明する平面説明図、図５は同じく各ノズル位置における画像濃度の説明に供する説明図である。
【００３１】
なお、図４において、圧電素子１１やドライバＩＣ５００に含まれる複数の選択手段であるスイッチ（スイッチング素子）５０１などは等価的に示している（以下同様である）。また、本実施形態では、１列にノズルＮ１〜Ｎｍのｍ個のノズル４が配列され、各ノズルＮ１〜Ｎｍに対応する圧力発生手段である圧電素子１１が配列されている（以下同様である）。
【００３２】
本実施形態において、アクチュエータ基板２０には、配線部材６０の配線６１と接続される個別電極電源配線パターン１０１と、配線部材６０の配線６２と接続される共通電極電源配線パターン１０２とを有している。
【００３３】
個別電極電源配線パターン１０１は、駆動回路部であるドライバＩＣ５００の複数の選択手段であるスイッチ側に接続される配線パターンであり、ノズル配列方向に沿って設けられている。共通電極電源配線パターン１０２は、複数の圧力発生手段である圧電素子１１側に接続される配線パターンであり、ノズル配列方向に沿って設けられている。
【００３４】
個別電極電源配線パターン１０１は接続パッド部１１０で配線部材６０の配線６１と接続される。また、共通電極電源配線パターン１０２は、接続パッド部１２０で配線部材６０の配線６２と接続される。なお、接続パッド部１１０、１２０は前述した接続端子群１８を構成している。
【００３５】
ここで、個別電極電源配線パターン１０１の配線部材６０の配線６１と接続する接続パッド部１１０側が、図示しない制御部から駆動信号が供給される側（以下、「駆動信号の供給側」という。）となる。同様に、共通電極電源配線パターン１０２の配線部材６０の配線６２と接続する接続パッド部１２０側が、駆動信号の供給側となる。
【００３６】
また、本実施形態においては、ｍ個のノズル４（ノズルＮ１〜Ｎｍ）は、駆動信号の供給側に最も近い側のノズル４をノズルＮ１とし、駆動信号の供給側から最も遠い側のノズル４をノズルＮｍとする。
【００３７】
なお、装置本体側の図示しない制御部には、駆動信号を生成出力する駆動波形生成部と、画像データに応じて選択手段であるスイッチ５０１をオン状態にする選択信号を出力する選択制御部とを有している。
【００３８】
そして、配線部材６０を通じてアクチュエータ基板２０の個別電極電源配線パターン１０１と共通電極電源配線パターン１０２との間に駆動信号を供給する。
【００３９】
これにより、選択信号でオン状態にされたスイッチ５０１を介して対応する圧電素子１１に駆動信号が印加されて、ノズル４から液滴が吐出される。
【００４０】
共通電極電源配線パターン１０２は、圧力発生手段の並び方向（これも「ノズル配列方向」という。）に設けられた第１配線パターンである第１共通電極電源配線パターン１２１を有し、第１共通電極電源配線パターン１２１に複数の圧電素子１１の下部電極１３が接続されている。
【００４１】
このとき、本実施形態では、駆動信号を接続パッド部１１０、１２０側から供給する、つまり、第１個別電極電源配線パターン１１１、第１共通電極電源配線パターン１２１のノズル配列方向における両端部のうちの一端部側から供給する片側供給の構成を採用している。
【００４２】
したがって、第１共通電極電源配線パターン１２１は、ノズル配列方向において、圧電素子１１に与える駆動信号の供給側を基点とすると、駆動信号の供給側に近い側と遠い側とがあることになる。
【００４３】
そして、この第１共通電極電源配線パターン１２１の駆動信号の供給側に最も近い側と駆動信号の供給側から最も遠い側とが第２配線パターンである第２共通電極電源配線パターン１２２で電気的につながれている。
【００４４】
これにより、本実施形態では共通電極電源配線パターン１０２はループ状パターンとなる。
【００４５】
ここでは、共通電極電源配線パターン１０２は、アクチュエータ基板２０上に設けられて、ノズル配列方向に沿って圧電素子１１が接続される範囲にわたってスリット１２３が設けられる。
【００４６】
これにより、アクチュエータ基板２０の同じ面に、第１配線パターンである第１共通電極電源配線パターン１２１と第２配線パターンである第２共通電極電源配線パターン１２２を有するループ状パターンが形成されている。
【００４７】
同様に、個別電極電源配線パターン１０１は、ノズル配列方向に設けられた第１配線パターンである第１個別電極電源配線パターン１１１を有し、第１個別電極電源配線パターン１１１に駆動信号を与える圧電素子１１を選択する選択手段であるスイッチ５０１が個々に接続されている。スイッチ５０１の他端は、個別配線１６を介して、圧電素子１１の上部電極１４に接続されている。
【００４８】
ここで、第１個別電極電源配線パターン１１１は、上述したとおり片側供給の構成を採用しているので、ノズル配列方向において、圧電素子１１に与える駆動信号の供給側を基点として、駆動信号の供給側に近い側と遠い側とがある。
【００４９】
そして、第１個別電極電源配線パターン１１１の駆動信号の供給側に近い側と駆動信号の供給側から遠い側とが第２配線パターンである第２個別電極電源配線パターン１１２で電気的につながれている。
【００５０】
これにより、本実施形態では、個別電極電源配線パターン１０１はループ状パターンとなる。
【００５１】
ここでは、個別電極電源配線パターン１０１は、アクチュエータ基板２０上に設けられて、ノズル配列方向に沿ってスイッチ５０１が接続される範囲にわたってスリット１１３が設けられる。
【００５２】
これにより、アクチュエータ基板２０の同じ面に、第１配線パターンである第１個別電極電源配線パターン１１１と第２配線パターンである第２個別電極電源配線パターン１１２とを有するループ状パターンが形成されている。
【００５３】
次に、比較例について図６及び図７を参照して説明する。図６は同比較例の配線パターンの説明に供する平面説明図、図７は同じく各ノズル位置における画像濃度の説明に供する説明図である。
【００５４】
この比較例は、第１実施形態における第２配線パターンを有しない構成としたものである。すなわち、共通電極電源配線パターン１０２は接続パッド部１２０から１本のパターンがノズル配列方向に設けられ、同様に、個別電極電源配線パターン１０１は接続パッド部１１０から１本のパターンがノズル配列方向に設けられている。
【００５５】
この比較例にあっては、駆動信号の供給側から離れるに従って配線抵抗による電圧降下が大きくなり、駆動信号の電圧が低くなる。すなわち、駆動信号の供給側に最も近いノズルＮ１に対応する圧電素子１１に与えられる駆動信号の電圧が相対的に最も高く、駆動信号の供給側から最も遠いノズルＮｍに対応する圧電素子１１に与えられる駆動信号の電圧が相対的に最も低くなる。
【００５６】
このように、駆動信号の供給側から離れるに従って駆動信号の電圧降下が大きくなることで、滴速度が遅くなって着弾位置が所望の位置からずれてしまったり、滴体積が小さくなって画像明度が所望の濃度よりも薄くなったりするという傾向が現れる。
【００５７】
例えば、図７に示すように、駆動信号の供給側に最も近いノズルＮ１の位置における画像濃度と駆動信号の供給側から最も遠いノズルＮｍの位置における画像濃度との間には、画像濃度差ΔＥ３が生じることになる。
【００５８】
このように、１つのヘッド内での画像濃度のバラツキによる画像品質の低下だけでなく、複数のヘッドをつないでライン型ヘッドを構成した場合には、ヘッドのつなぎ目部分で急激な濃度変化となって画像品質が低下することになる。
【００５９】
これに対して、本実施形態に係る液体吐出ヘッドにおいては、第１共通電極電源配線パターン１２１の両側（駆動信号の供給側に最も近い側と最も遠い側）が第２共通電極電源配線パターン１２２で電気的につながれている。
【００６０】
これにより、駆動信号は第１共通電極電源配線パターン１２１と第２共通電極電源配線パターン１２２を通じて供給されることになる。したがって、駆動信号の供給側から遠い側の圧電素子１１には接続パッド部１２０から第２共通電極電源配線パターン１２２も通じて駆動信号が供給される。
【００６１】
したがって、駆動信号の供給側から見た場合、第１共通電極電源配線パターン１２１については、駆動信号の供給側から離れるに従って配線抵抗の影響を受ける。しかしながら、第１共通電極電源配線パターン１２１の駆動信号の供給側から最も遠い側には第２共通電極電源配線パターン１２２を介して駆動信号の供給が行われるので、配線抵抗の影響が低減される。
【００６２】
これにより、図５に示すように、駆動信号の供給側に最も近いノズルＮ１の位置から離れるに従って画像濃度は低下していく。しかしながら、ノズルＮ１の位置における画像濃度との差が画像濃度差ΔＥ２ａとなるノズル位置からは、駆動信号の供給側から最も遠いノズルＮｍに近づくに従って（供給側から離れるに従って）画像濃度の低下量が少なくなるように変化する。
【００６３】
そして、駆動信号の供給側に最も近いノズルＮ１と供給側から最も遠いノズルＮｍとの間には、第２共通電極電源配線パターン１２２の配線抵抗分の電位差が生じる。
【００６４】
したがって、駆動信号の供給側のノズルＮ１の位置における画像濃度と駆動信号の供給側から最も遠いノズルＮｍの位置における画像濃度との間には、画像濃度差ΔＥ２ａよりは小さい画像濃度差ΔＥ１ａが生じる（ΔＥ１ａ＜ΔＥ２ａ）。
【００６５】
このようにして、ノズル列の両端部のノズル位置における画像濃度差のバラツキを抑えることができ、複数のヘッドをつなぐ場合におけるつなぎ部分での画像濃度差のバラツキを抑制することができる。
【００６６】
また、本実施形態では、図４に示すように、第１共通電極電源配線パターン１２１の幅（ノズル配列方向と直交する方向の幅）ｔ１と、第２共通電極電源配線パターン１２２の幅ｔ２とは、ほぼ同じ（同じを含む）に形成している。同様に、第１個別電極電源配線パターン１１１及び第２個別電極電源配線パターン１１２の幅についてもほぼ同じにしている。
【００６７】
このように構成することで、第１共通電極電源配線パターン１２１と第２共通電極電源配線パターン１２２の抵抗値がバランスするため、限られた配線面積において、両端のノズル同士の画像濃度差である図５の画像濃度差ΔＥ１を小さくすることができる。
【００６８】
次に、本発明の第２実施形態について図８及び図９を参照して説明する。図８は同実施形態におけるアクチュエータ基板上の配線パターンを説明する平面説明図、図９は同じく各ノズル位置における画像濃度の説明に供する説明図である。
【００６９】
本実施形態では、第１共通電極電源配線パターン１２１の幅ｔ１よりも第２共通電極電源配線パターン１２２の幅ｔ２を広く（ｔ１＜ｔ２の関係）形成している。同様に、第１個別電極電源配線パターン１１１の幅よりも第２個別電極電源配線パターン１１２の幅を広くしている。
【００７０】
このように構成することで、図９に示すように、ノズル列内における最大画像濃度のばらつき（画像濃度差）ΔＥ２ｂは前記第１実施形態の画像濃度差ΔＥ２ａよりも大きくなる。しかしながら、両端部のノズル位置における画像濃度差ΔＥ１ｂは第１実施形態の画像濃度差ΔＥ１ａよりも小さくなる（ΔＥ１ｂ＜ΔＥ１ａ）。
【００７１】
したがって、複数のヘッドをつなぐ場合、つなぎ部分における画像濃度の変化をより低減することができる。
【００７２】
次に、本発明の第３実施形態について図１０及び図１１を参照して説明する。図１０は同実施形態におけるアクチュエータ基板上の配線パターンを説明する平面説明図、図１１は同じく各ノズル位置における画像濃度の説明に供する説明図である。
【００７３】
本実施形態では、共通電極電源配線パターン１０２は、ノズル配列方向において、第１共通電極電源配線パターン１２１の駆動信号の供給側に近い側と供給側から遠い側との間で、第２共通電極電源配線パターン１２２を第１共通電極電源配線パターン１２１につなぐ架橋配線パターンである架橋配線パターン１２４を有している。
【００７４】
これにより、本実施形態では、ノズル配列方向において、第１共通電極電源配線パターン１２１の供給側に近い側と駆動信号の供給側から遠い側とが第２共通電極電源配線パターン１２２で電気的につながれた架橋配線パターン１２４を共用する２つのループ状パターンが形成される。
【００７５】
同様に、個別電極電源配線パターン１０１は、ノズル配列方向において、第１個別配電極電源線パターン１１１の駆動信号の供給側に近い側と供給側から遠い側との間で、第２個別電極電源配線パターン１１２を第１個別電極電源配線パターン１１１につなぐ架橋配線パターンである架橋配線パターン１１４を有している。
【００７６】
これにより、本実施形態では、ノズル配列方向において、第１個別電極電源配線パターン１１１の供給側に近い側と駆動信号の供給側から遠い側とが第２個別配線パターン１１２で電気的につながれた架橋配線パターン１１４を共用する２つのループ状パターンが形成される。
【００７７】
ここでは、共通電極電源配線パターン１０２には、ノズル配列方向に沿って、分割された２つのスリット１２３Ａ、１２３Ｂをそれぞれ形成することで、架橋配線パターン１２４を形成している。また、個別電極電源配線パターン１０１には、ノズル配列方向に沿って、分割された２つのスリット１１３Ａ、１１３Ｂをそれぞれ形成することで、架橋配線パターン１１４を形成している。
【００７８】
このように構成したので、第２共通電極電源配線パターン１２２から架橋配線パターン１２４を通じてノズル配列方向における中間部分のノズル位置に対応する圧電素子１１に駆動信号が供給される。
【００７９】
これにより、図１１に示すように、画像濃度分布で画像濃度が薄くなるノズル配列方向における中ほど付近の濃度が改善される。つまり、両端部のノズル位置における画像濃度差ΔＥ１ｃは第１実施形態の画像濃度差ΔＥ１ａよりも大きくなる（ΔＥ１ｃ＞ΔＥ１ａ）が、ノズル列内における画像濃度の最大画像濃度差ΔＥ２ｃは、第１実施形態の画像濃度差ΔＥ２ａよりも小さくなる（ΔＥ２ｃ＜ΔＥ２ａ）。
【００８０】
次に、本発明の第４実施形態について図１２及び図１３を参照して説明する。図１２は同実施形態におけるアクチュエータ基板上の配線パターンを説明する平面説明図、図１３は同じく各ノズル位置における画像濃度の説明に供する説明図である。
【００８１】
本実施形態では、共通電極電源配線パターン１０２の架橋配線パターン１２４は、駆動信号の供給側から遠い側に偏らせて配置している。ここでは、ノズル配列方向において、第１共通電極電源配線パターン１２１の駆動信号の供給側に最も近い側から距離Ｌ１、最も遠い側から距離Ｌ２の位置とし、かつ、Ｌ１＞Ｌ２としている。
【００８２】
すなわち、少なくとも２つのループ状パターンの境となる架橋配線パターン１２４は、ノズル配列方向において、第１共通電極電源配線パターン１２１の供給側に最も近い側と供給側から最も遠い側との間の中間位置よりも供給側から遠い側に設けられている。
【００８３】
個別電極電源配線パターン１０１の架橋配線パターン１１４を設ける位置も同様である。
【００８４】
このように構成することで、画像濃度が最も低下するノズル位置が、ノズル列の中央位置のよりも駆動信号の供給側から遠い側になるため、最も画像濃度の低い領域の画像濃度が改善される。
【００８５】
これにより、第３実施形態に比べて、ノズル列内の最大画像濃度差ΔＥ２ｄを小さくすることができる（ΔＥ２ｄ＜ΔＥ２ｃ）。
【００８６】
次に、本発明の第５実施形態について図１４及び図１５を参照して説明する。図１４は同実施形態におけるアクチュエータ基板上の配線パターンを説明する平面説明図、図１５は同じく各ノズル位置における画像濃度の説明に供する説明図である。
【００８７】
本実施形態は、前記第３実施形態の構成において、第１共通電極電源配線パターン１２１、第１個別電極電源配線パターン１１１の両側から駆動信号を供給する両側供給の構成としたものである。
【００８８】
このとき、共通電極電源配線パターン１０２において、第２共通電極電源配線パターン１２２は第１共通電極電源配線パターン１２１の両端部を電気的につなぐことになる。そして、ここでは、架橋配線パターン１２４を設けることで、第１共通電極電源配線パターン１２１の両端部と中央部とが第２共通電極電源配線パターン１２２を介してつながれる。
【００８９】
つまり、ノズル配列方向の両端部側が駆動信号の供給側に接続される第１共通電極電源配線パターン１２１を有し、第１共通電極電源配線パターン１２１の両端部は第２共通電極電源配線パターン１２２を介して電気的につながれ、ノズル配列方向において、第１共通電極電源配線パターン１２１の両端部の間で、第１共通電極電源配線パターン１２１と第２共通電極電源配線パターン１２２とを電気的につなぐ架橋配線パターン１２４を有している。
【００９０】
なお、個別電極電源配線パターン１０１も同様である。
【００９１】
このように構成した場合、図１５に示すように、ノズル列の中央部における圧電素子１１には架橋配線パターン１２４及び第２共通電極電源配線パターン１２２を介して供給側に接続されているので、中央部と両端部との間でノズル位置における画像濃度差ΔＥ２に比べて、中央部のノズル位置における画像濃度差ΔＥ４が小さくなる。
【００９２】
これにより、両側供給であっても、両端部と中間部との間の画像濃度のバラツキを低減することができる。
【００９３】
次に、本発明の第６実施形態について図１６及び図１７を参照して説明する。図１６は同実施形態におけるアクチュエータ基板上の配線パターンを説明する平面説明図、図１７は同じく各ノズル位置における画像濃度の説明に供する説明図である。
【００９４】
本実施形態では、第１共通電極電源配線パターン１２１は駆動信号の供給側に近い側から遠い側に幅が漸次広くなり、第２共通電極電源配線パターン１２２は、駆動信号の供給側に近い側から遠い側に幅が漸次狭くなる形状に形成している。
【００９５】
ここでは、第１共通電極電源配線パターン１２１は駆動信号の供給側に最も近い側の幅ｔ１１から漸次幅を広くして最も遠い側で幅ｔ１２（ｔ１１＜ｔ１２）とし、第２共通電極電源配線パターン１２２は駆動信号の供給側に最も近い側の幅ｔ２１から漸次幅を狭くして最も遠い側で幅ｔ２２（ｔ２２＜ｔ２１）としている。なお、第１個別電極電源配線パターン１１１、第２個別電極電源配線パターン１１２の幅についても同様の関係にしている。
【００９６】
これにより、図１７に示すように、ノズル配列方向における両端部のノズル位置における画像濃度差ΔＥ１ｅとなって濃度ばらつきが低減する。また、ノズル列内における画像濃度の最大画像濃度差ΔＥ２ｅが生じるが、ノズル列中央部付近での濃度勾配を比較的小さくすることができる。
【００９７】
次に、本発明の第７実施形態について図１８を参照して説明する。図１８は同実施形態におけるアクチュエータ基板上の配線パターンを説明する平面説明図である。
【００９８】
本実施形態では、アクチュエータ基板２０に形成した共通電極電源配線パターン１０２の第１共通電極電源配線パターン１２１と第２共通電極電源配線パターン１２２との間のスリット１２３の部分に、図１で示している供給口９を形成している。
【００９９】
また、本実施形態では個別電極電源配線パターン１０１は１つのパターンで形成している。
【０１００】
このように、スリット１２３の部分に供給口９を配置することで、スペースの有効活用を図れ、ヘッドを小型化することができて、低コスト化を図れる。
【０１０１】
次に、本発明の第８実施形態について図１９を参照して説明する。図１９は同実施形態におけるアクチュエータ基板上の配線パターンを説明する平面説明図である。
【０１０２】
本実施形態では、上記第７実施形態の構成において、スリット１２３の周囲部分である第１共通電極電源配線パターン１２１及び第２共通電極電源配線パターン１２２で形成されるループ状パターンの内周側には、配線パターンと液体との接触を防止するため、液体の配線パターン側への移動を阻止するガードリング（障壁）１２６を形成している。
【０１０３】
これにより、供給口９から液体が滲みだしても第１共通電極電源配線パターン１２１あるいは第２共通電極電源配線パターン１２２と接触することが防止される。
【０１０４】
以上の各実施形態においては、個別電極電源配線パターン１０１及び共通電極電源配線パターン１０２のいずれも第１配線パターン及び第２配線パターンを有する例、共通電極電源配線パターン１０２のみ第１配線パターンと第２配線パターンを有する例について説明したが、個別電極電源配線パターンのみ第１配線パターンと第２配線パターンを有する構成とすることもできる。
【０１０５】
また、個別電極電源配線パターン１０１及び共通電極電源配線パターン１０２のいずれも第１配線パターンと第２配線パターンを有する構成とする場合、パターンの幅やスリットの形状などは個別電極電源配線パターン１０１側と共通電極電源配線パターン１０２側で異ならせることができる。
【０１０６】
また、上記各実施形態では、駆動波形生成部によって生成出力する駆動信号を個別電極電源配線パターン１０１側に与えることで、個別電極電源配線パターン１０１側に駆動信号の電流を流し込み、共通電極電源配線パターン１０２側から駆動信号の電流を返す構成としているが、逆にすることもできる。つまり、共通電極電源配線パターン１０２側に駆動信号の電流を流し込み、個別電極電源配線パターン１０１側から駆動信号の電流を返す構成とすることもできる。
【０１０７】
また、上記各実施形態では、第２配線パターンをライン形状としているが、曲線形状とすることもできる。
【０１０８】
また、上記実施形態では、薄膜圧電素子を使用しているが、積層型圧電素子を圧力発生手段に使用する圧電型ヘッド、あるいは、電気熱変換素子を圧力発生手段に使用するサーマル型ヘッドなどにも同様に適用することができる。
【０１０９】
また、上記各実施形態では、第１配線パターンと第２配線パターンをアクチュエータ基板（アクチュエータ部材）の厚み方向で同じ面に形成した状態で説明しているが、第１配線パターンと第２配線パターンとを厚み方向で異なる面（層）で形成することもできる。この場合、第２配線パターンを第１配線パターンにつなぐコンタクトホールは第２配線パターンの一部を構成する。
【０１１０】
次に、本発明の第９実施形態について図２０ないし図２２を参照して説明する。図２０は同実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う全体断面説明図、図２１は同じくノズル配列方向と直交する方向に沿う要部断面説明図、図２２は同じくノズル配列方向に沿う要部断面説明図である。
【０１１１】
この液体吐出ヘッドは、前記液体吐出ヘッドと同様に、ノズル板１と、流路板２と、振動板３と、圧力発生手段である圧電素子１１と、保持基板５０と、共通液室部材を兼ねるフレーム部材７０とを備えている。
【０１１２】
本実施形態でも、流路板２、振動板３及び圧電素子１１で構成される部分を、本発明に係るアクチュエータ部材としての「アクチュエータ基板２０」とする。ただし、アクチュエータ基板２０として独立の部材が形成された後にノズル板１や保持基板５０、フレーム部材７０と接合されることまで意味するものではない。
【０１１３】
ノズル板１には、液滴を吐出する複数のノズル４が形成されている。ここでは、ノズル４を配列したノズル列を４列配置した構成としている。
【０１１４】
流路板２は、ノズル板１及び振動板３とともに、ノズル４が通じる個別液室６、個別液室６に通じる流体抵抗部７、流体抵抗部７が通じる液導入部（通路）８を形成している。
【０１１５】
この液導入部８は振動板３の通路（供給口）９と保持基板５０の共通液室の一部である流路１０Ａを介してフレーム部材７０で形成される共通液室１０に通じている。
【０１１６】
振動板３は、個別液室６の壁面の一部をなす変形可能な振動領域３０を形成している。そして、この振動板３の振動領域３０の個別液室６と反対側の面には、振動領域３０と一体的に圧電素子１１が設けられ、振動領域３０と圧電素子１１によって圧電アクチュエータ構成している。
【０１１７】
圧電素子１１は、振動領域３０側から下部電極１３、圧電層（圧電体）１２及び上部電極１４を順次積層形成して構成している。この圧電素子１１上には絶縁膜２１が形成されている。
【０１１８】
複数の圧電素子１１の共通電極となる下部電極１３は、共通配線１５を介して共通電極電源配線パターン１０２の第１共通電極電源配線パターン１２１に接続されている。
【０１１９】
ここでは、図２２に示すように、下部電極１３は、ノズル配列方向にすべての圧電素子１１に跨って形成された１枚の電極層であるので、ノズル配列方向において、第１共通電極電源配線パターン１２１と少なくとも複数の圧電素子１１の配列領域の全面に亘って接続されている。
【０１２０】
また、図２１に示すように、共通電極電源配線パターン１０２の第１共通電極電源配線パターン１２１は、第２共通電極電源配線パターン１２２によってノズル配列方向の両端部が電気的につながれている。
【０１２１】
そして、図２１に示すように、共通電極電源配線パターン１０２の第１共通電極電源配線パターン１２１と第２共通電極電源配線パターン１２２との間に共通液室１０に通じる供給口９が形成されている。供給口９と第１共通電極電源配線パターン１２１と第２共通電極電源配線パターン１２２との間には液体のパターン側への移動を阻止するガードリング（障壁）１２６が形成されている。
【０１２２】
また、圧電素子１１の個別電極となる上部電極１４は、個別配線１６を介して駆動ＩＣ（ドライバＩＣ）５００に接続されている。個別配線１６は絶縁膜２２で覆われている。
【０１２３】
ドライバＩＣ５００は、圧電素子列の列間の領域を覆うようにアクチュエータ基板２０にフリップチップボンディングやワイヤボンディングなどの工法により実装されている。
【０１２４】
アクチュエータ基板２０に搭載されたドライバＩＣ５００は、駆動波形（駆動信号）が供給される個別電極電源配線パターン１０１と接続されている。
【０１２５】
配線部材６０に設けられた図示しない配線が、ドライバＩＣ５００、個別電極電源配線パターン１０１、共通電極電源配線パターン１０２と電気的に接続されており、配線部材６０の他端側は図示しない制御部に接続されている。
【０１２６】
そして、アクチュエータ基板２０上には圧電素子１１を収容する凹部（振動室）５１を形成する保持基板５０を設けている。
【０１２７】
保持基板５０は共通液室１０の一部である流路１０Ａも形成している。この保持基板５０は、接着剤によってアクチュエータ基板２０の振動板３側に接合されている。
【０１２８】
このように構成したこの液体吐出ヘッドの滴吐出動作は、前述した図１等で説明した液体吐出ヘッドと同様であるので、説明を省略する。
【０１２９】
本実施形態においても、共通電極電源配線パターンの第１共通電極電源配線パターンの両端部を第２共通電極電源配線パターンで電気的につないでいるので、前述した各実施形態で説明した同様の作用効果を得ることができる。また、第７、第８実施形態で説明した作用効果も得ることができる。
【０１３０】
次に、本発明の第１０実施形態について図２３及び図２４を参照して説明する。図２３は同実施形態におけるアクチュエータ基板上の配線パターンを説明する平面説明図、図２４は同実施形態における等価回路の説明図である。
【０１３１】
アクチュエータ基板２０上には、圧力発生手段である圧電素子１１がノズル配列方向に沿って配列されている。
【０１３２】
圧電素子１１の個別電極である上部電極１４は、個別配線１６を通じてアクチュエータ基板２０上の駆動電源出力端子２３と電気的に接続されている。駆動電源出力端子２３は、ドライバＩＣ５００からの駆動電源（駆動信号）を圧電素子１１に出力する端子である。
【０１３３】
アクチュエータ基板２０上の駆動電源出力端子２３に近傍には、個別電極電源配線パターン１０１が、アクチュエータ基板２０上の駆動電源出力端子２３の列に沿って配置されている。
【０１３４】
個別電極電源配線パターン１０１には、所々に、個別電極電源配線パターン１０１と電気的に繋がっているアクチュエータ基板２０上の駆動電源入力端子２５が複数箇所に設けられている。駆動電源入力端子２５は、駆動電源（駆動信号）をドライバＩＣ５００に入力する端子である。
【０１３５】
すなわち、本実施形態では、図２４に等価回路で示すように、複数の選択手段であるスイッチ５０１は、ドライバＩＣ５００内で内部配線５０２によって相互に接続されている。そして、内部配線５０２にスイッチ５０１の数より少ない引出し配線５０３が設けられ、この引出し配線５０３にドライバＩＣ５００側の駆動電源入力端子５０４が設けられ、この駆動電源入力端子５０４と個別電極電源配線パターン１０１上の駆動電源入力端子２５が接続される。
【０１３６】
アクチュエータ基板２０上の駆動電源出力端子２３と個別電極電源配線パターン１０１を覆うようにドライバＩＣ５００が実装されている。
【０１３７】
このドライバＩＣ５００の駆動電源入力端子２５とアクチュエータ基板２０の駆動電源入力端子２５が重なって電気的に接続され、ドライバＩＣ５００自身の駆動電源出力端子とアクチュエータ基板２０上の駆動電源出力端子２３が重なって電気的に接続されている。
【０１３８】
駆動電源入力端子２５からドライバＩＣ５００の内部デバイスに引き込まれた図示しない配線は、ドライバＩＣ５００内部で、駆動電源出力端子２３と同数以上の図示しないスイッチング素子が並列接続されており、該スイッチング素子の１つ以上を介して駆動電源出力端子２３と電気的に繋がっている。
【０１３９】
個別電極電源配線パターン１０１は、ノズル配列方向において、少なくとも、アクチュエータ基板２０上の一端側の駆動電源出力端子２３から他端側の駆動電源出力端子２３までの範囲に設けられている。
【０１４０】
この個別電極電源配線パターン１０１の一端部側（図で左端側）は、第１引き出し配線２９を介して配線部材６０の配線６１に接続されている。
【０１４１】
なお、個別電極電源配線パターン１０１と第１引き出し配線２９は、アルミ、金、銅、ニッケルなどといった金属箔を同時にパターニングして形成したものであっても良いし、別々の工程でパターニングして互いを電気的に接続したものであっても良い。
【０１４２】
圧電素子１１の共通電極である下部電極１３は、１列に並んだ複数の圧電素子１１に共通する電極である。そして、共通電極電源配線パターン１０２の第１共通電極電源配線パターン１２１が、下部電極１３に沿ってノズル配列方向に、１列に並んだ複数の圧電素子１１の右端から左端まで圧電素子１１と重ならない位置に配置されている。
【０１４３】
共通電極電源配線パターン１０２の第１共通電極電源配線パターン１２１と下部電極１３とは、同一列の圧電素子１１毎に電気的に接続されている。
【０１４４】
共通電極電源配線パターン１０２は、第１共通電極電源配線パターン１２１のノズル配列方向で駆動信号の供給側から近い側と遠い側とを電気的につなぐ第２共通電極電源配線パターン１２２を有している。
【０１４５】
共通電極電源配線パターン１０２の一端部側（図で左端側）は、第２引き出し配線３００を介して配線部材６０に配線６２と接続されている。
【０１４６】
共通電極電源配線パターン１０２の第１共通電極電源配線パターン１２１と第２共通電極電源配線パターン１２２と第２引き出し配線３０を含めて、アルミ、金、銅、ニッケルなどの金属箔を同時にパターニングして形成したものでもよいし、別々の工程でパターニングして互いを電気的に接続したものでも良い。
【０１４７】
なお、共通電極である下部電極１３の電気抵抗が十分小さい場合は、共通電極である下部電極１３をそのまま共通電極電源配線パターン１０２の第１共通電極電源配線パターン１２１とできる。この場合には、下部電極１３のノズル配列方向両端部を第２共通電極電源配線パターン１２２で電気的につなぐ構成とする。
【０１４８】
このように構成することで、共通電極と別に第１共通電極電源配線パターンを設けなくとも、本発明の効果を得ることができ、構成が簡単になる。
【０１４９】
一方、ドライバＩＣ５００は、制御信号入力、電源入力、ＧＮＤ接続を行う端子群３３を備え、配線群３４と電気的に繋がった配線部材６０上の端子群６３と電気的に接続されている。
【０１５０】
そして、ドライバＩＣ５００は、図示しない制御部から配線部材６０を介して転送される制御信号により、内部のスイッチング素子（選択手段）のＯＮ／ＯＦF制御を行い、駆動電源（駆動信号）を供給して駆動する圧電素子１１を選択している。
【０１５１】
第１引き出し配線２９と第２引き出し配線３０と配線群３４は、配線部材６０と接続されている。
【０１５２】
そして、配線６１、６２は図示しない制御部に接続され、第１引き出し配線２９に個別電極側駆動電源を、第２引き出し配線３０に共通電極側駆動電源或いはグランドを、配線群６３は、配線群３４に制御信号やドライバＩＣ５００の電源やグランドなどを供給している。
【０１５３】
以上では、アクチュエータ基板２０の図２３で下半分の構成について説明したが、ノズル列を２列有しているので、図２３で上半分も同じ構成としている。
【０１５４】
本実施形態においても、共通電極電源配線パターンの第１共通電極電源配線パターンの両端部を第２共通電極電源配線パターンで電気的につないでいるので、前述した各実施形態で説明した同様の作用効果を得ることができる。
【０１５５】
なお、ドライバＩＣ５００はワイヤボンディングによって実装される場合、アクチュエータ基板２０上の端子２３と個別電極電源配線パターン１０１の間の領域、又は、隣接する個別電極電源配線パターン１０１間の領域にドライバＩＣ５００を固定したうえで、ドライバＩＣ５００の端子とアクチュエータ基板２０上の端子２３、２５、３３とをボンディングワイヤで接続すると良い。
【０１５６】
また、共通電極電源配線パターン１０２の第１共通電極電源配線パターン１２１と第２共通電極電源配線パターン１２２との間には、前述したように、共通液室から個別液室への供給口９を配置している。
【０１５７】
これにより、スペースを有効に用いることができ、ヘッドを小型化することができる。
【０１５８】
次に、本発明の第１１実施形態について図２５を参照して説明する。図２５は同実施形態における等価回路の説明図である。
【０１５９】
本実施形態では、上記第１０実施形態における個別電極電源配線パターン１０１を、第１個別電極電源配線パターン１１１と、第１個別電極電源配線パターン１１１のノズル配列方向両端部を電気的につなぐ第２個別電極電源配線パターン１１２とで構成したものである。
【０１６０】
そして、第１個別電極電源配線パターン１１１に複数の選択手段であるスイッチ５０１の数より少ない２以上の駆動電源入力端子５０４が設けられている。
【０１６１】
一方、上記第１１実施形態で説明したように、複数の選択手段であるスイッチ５０１は、ドライバＩＣ５００内で内部配線５０２によって相互に接続されている。そして、内部配線５０２に引出し配線５０３が設けられ、この引出し配線５０３にドライバＩＣ５００側の駆動電源入力端子５０４が設けられている。
【０１６２】
そこで、ドライバＩＣ５００の駆動電源入力端子５０４と第１個別電極電源配線パターン１１１の駆動電源入力端子２５が接続される。
【０１６３】
ここでは、ドライバＩＣ５００の引出し配線５０３及びと接続する駆動電源入力端子５０４及び第１個別電極電源配線パターン１１１の駆動電源入力端子２５によって、複数の選択手段であるスイッチ５０１の数よりも少ない２以上の接続部を構成している。
【０１６４】
本実施形態においても、個別電極電源配線パターンの第１個別電極電源配線パターンの両端部を第２個別電極電源配線パターンで電気的につないでいるので、前述した各実施形態で説明した同様の作用効果を得ることができる。
【０１６５】
次に、本発明の第１２実施形態について図２６及び図２７を参照して説明する。図２６は同実施形態を説明する略平面説明図、図２７は同実施形態における図１６の裏面から見た圧電部材の斜視説明図である。
【０１６６】
本実施形態では、アクチュエータ部材としての圧電部材３２０を有している。この圧電部材３２０には、ハーフカットダイシングなどによって櫛歯状に複数の柱状の圧電素子（これを「圧電柱」という。）３１１を形成している。個々の圧電柱３１１は、前記各実施形態における圧電素子１１に相当するものであり、ノズルが通じる個別液室の壁面を形成している振動板の振動領域に接合されている。
【０１６７】
圧電部材３２０は、圧電膜と内部電極とを交互に積層した積層型圧電部材であり、内部電極を交互に異なる端面に引き出している。そして、一方の内部電極はノズル配列方向（圧電柱配列方向）と直交する方向の一端面に設けられた共通電極である共通外部電極３１３に接続され、他方の内部電極は他端面に設けられたに個別外部電極３１４に接続されている。
【０１６８】
ここで、ノズル配列方向両端部の圧電柱３２０ａ、３２０ａの少なくとも一部の内部電極は両端面に引き出されており、共通外部電極３１３は当該内部電極を通じて個別外部電極３１４側の端面に設けられた共通引出し電極３１５に接続されている。
【０１６９】
そして、共通引出し電極３１５、３１５には、ＦＰＣ、ＣＯＦ、ＴＣＰなどのフィルム状配線部材３７０に設けられた共通電極電源配線である第２配線３７２、３７２が接続されている。配線部材３７０の第２配線３７２は、配線部材６０の配線６２に接続されている。
【０１７０】
これにより、共通外部電極３１３のノズル配列方向両端部側は、圧電柱３１１に与える駆動信号の供給側に接続されている。
【０１７１】
この共通外部電極３１３の両端部は連結電極３２２を介して電気的につながれ、ノズル配列方向において、共通外部電極３１３の両端部の間で、共通外部電極３１３と連結電極３２２とを電気的につなぐ架橋電極３２４を有している。
【０１７２】
ここでは、圧電部材３２０の一端面に形成した電極パターンにノズル配列方向に沿う２つのスリット３２１を入れることで、共通外部電極３１３、連結電極３２２及び架橋電極３２４を形成している。
【０１７３】
配線部材３７０には、個別配線３１６が設けられて、先端部側は圧電部材３２０の圧電柱３１１の個別外部電極３１４に半田接合、ＡＣF接合、導電性ペースト接着などで電気的に接続されている。個別配線３１６の基部側の配線部材３７０上の端子３２３に接続されている。
【０１７４】
また、配線部材３７０の端子３２３の近傍には第１配線３７１が端子３２３の列に沿って設けられ、第１配線３７１上には、複数の端子３２５が設けられている。
【０１７５】
配線部材３７０の端子３２３と第１配線３７１を覆うようにドライバＩＣ５００が実装されている。そして、ドライバＩＣ５００の駆動電源入力端子と配線部材３７０の端子３２５が重なって電気的に接続されている。また、ドライバＩＣ５００の駆動電源出力端子と配線部材３７０の端子３２３が重なって電気的に接続されている。
【０１７６】
第１配線３７１の端子３２５からドライバＩＣ５００の内部デバイスに引き込まれた図示しない配線は、ドライバＩＣ５００内部で、駆動電源出力端子３２３と同数以上の図示しないスイッチング素子（選択手段）が並列接続されており、該スイッチング素子の１つ以上を介して駆動電源出力端子３２３と電気的に繋がっている。
【０１７７】
第１配線３７１の両端部から第１引き出し配線３２９が引き出されている。そして、第１配線３７１は、第１引出し配線３２９を介して配線部材６０の配線６１に接続されている。
【０１７８】
なお、第１配線３７１と第１引き出し配線３２９は同時にパターニングして形成したものであっても良いし、別々の工程でパターニングして互いを電気的に接続したものであっても良い。
【０１７９】
第１配線３７１は、第１引出し配線３２９を介して配線部材６０の配線６１に接続されている。
【０１８０】
一方、ドライバＩＣ５００は、制御信号入力、電源入力、ＧＮＤ接続を行う端子群３３３を備え、配線群３３４と電気的に繋がった配線部材６０上の端子群６３と電気的に接続されている。
【０１８１】
そして、ドライバＩＣ５００は、図示しない制御部から配線部材６０を介して転送される制御信号により、内部のスイッチング素子（選択手段）のＯＮ／ＯＦF制御を行い、駆動電源（駆動信号）を供給して駆動する圧電柱３１１を選択している。
【０１８２】
そして、配線６１、６２は図示しない制御部に接続され、第１配線３７１に個別電極側駆動電源を、第２配線３７２に共通電極側駆動電源或いはグランドを、配線群６３は、配線群３３４に制御信号やドライバＩＣ５００の電源やグランドなどを供給している。
【０１８３】
すなわち、本実施形態では、共通電極のノズル配列方向両端部側から駆動信号を供給する両側供給を行っている。そして、共通電極を前記各実施形態における第１配線パターンに相当するものとし、共通電極のノズル最列方向両端部を同じく第２配線パターンに相当する連結電極で電気的につないでいる。さらに、ノズル配列方向において、中間部に架橋電極を設けて共通電極と連結電極とを接続している。
【０１８４】
このように構成することで、前述した各実施形態で説明した同様の作用効果を得ることができる。
【０１８５】
なお、上記各実施形態は矛盾しない範囲で相互に組み合わせることができる。
【０１８６】
次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図２８及び図２９を参照して説明する。図２８は同装置の要部平面説明図、図２９は同装置の要部側面説明図である。
【０１８７】
この装置は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。
【０１８８】
このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド４０４及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド４０４は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド４０４は、複数のノズル１１からなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。
【０１８９】
液体吐出ヘッド４０４の外部に貯留されている液体を液体吐出ヘッド４０４に供給するための供給機構４９４により、ヘッドタンク４４１には、液体カートリッジ４５０に貯留されている液体が供給される。
【０１９０】
供給機構４９４は、液体カートリッジ４５０を装着する充填部であるカートリッジホルダ４５１、チューブ４５６、送液ポンプを含む送液ユニット４５２等で構成される。液体カートリッジ４５０はカートリッジホルダ４５１に着脱可能に装着される。ヘッドタンク４４１には、チューブ４５６を介して送液ユニット４５２によって、液体カートリッジ４５０から液体が送液される。
【０１９１】
この装置は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。
【０１９２】
搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド４０４に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。
【０１９３】
そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。
【０１９４】
さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド４０４の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。
【０１９５】
維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド４０４のノズル面（ノズル１１が形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。
【０１９６】
主走査移動機構４９３、供給機構４９４、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。
【０１９７】
このように構成したこの装置においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。
【０１９８】
そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド４０４を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成する。
【０１９９】
このように、この装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。
【０２００】
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図３０を参照して説明する。図３０は同ユニットの要部平面説明図である。
【０２０１】
この液体吐出ユニットは、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド４０４で構成されている。
【０２０２】
なお、この液体吐出ユニットの例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０、及び供給機構４９４の少なくともいずれかを更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。
【０２０３】
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図３１を参照して説明する。図３１は同ユニットの正面説明図である。
【０２０４】
この液体吐出ユニットは、流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド４０４と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。
【０２０５】
なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド４０４と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。
【０２０６】
本願において、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて、液体を吐出させる装置である。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。
【０２０７】
この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。
【０２０８】
例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。
【０２０９】
また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。
【０２１０】
上記「液体が付着可能もの」とは液体が一時的にでも付着可能なものを意味する。「液体が付着するもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。
【０２１１】
また、「液体」は、インク、処理液、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、結着剤、造形液なども含まれる。
【０２１２】
また、「液体を吐出する装置」には、特に限定しない限り、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置のいずれも含まれる。
【０２１３】
また、「液体を吐出する装置」としては他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液をノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。
【０２１４】
「液体吐出ユニット」とは、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体である。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。
【０２１５】
ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。
【０２１６】
例えば、液体吐出ユニットとして、図２９で示した液体吐出ユニット４４０のように、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。
【０２１７】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。
【０２１８】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、図３０で示したように、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。
【０２１９】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。
【０２２０】
また、液体吐出ユニットとして、図３１で示したように、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。
【０２２１】
主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。
【０２２２】
また、「液体吐出ヘッド」は、使用する圧力発生手段が限定されるものではない。例えば、上記実施形態で説明したような圧電アクチュエータ（積層型圧電素子を使用するものでもよい。）以外にも、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものでもよい。
【０２２３】
また、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。
【符号の説明】
【０２２４】
１  ノズル板
２  流路板
３  振動板
４  ノズル
６  個別液室
９  供給口
１０  共通液室
１１  圧電素子
１２  圧電膜
１３  下部電極
１４  上部電極
２０  アクチュエータ基板
５０  保持基板
６０  配線部材
７０  フレーム部材
１０１  個別電極電源配線パターン
１０２  共通電極電源配線パターン
１１０  接続パッド部
１１１  第１個別電極電源配線パターン
１１２  第２個別電極電源配線パターン
１１３、１１３Ａ、１１３Ｂ  スリット
１１４  架橋配線パターン
１２０  接続パッド部
１２１  第１共通電極電源配線パターン
１２２  第２共通電極電源配線パターン
１２３、１２３Ａ、１２３Ｂ  スリット
１２４  架橋配線パターン
１２６  ガードリング（障壁）
３２０  圧電部材
３１１  圧電柱
３１３  共通外部電極（共通電極）
３１４  個別外部電極
３２２  連結電極
３２１  スリット
３２４  架橋電極
３７０  配線部材
３７１  第１配線
３７２  第２配線
４０３  キャリッジ
４０４  液体吐出ヘッド
４４０  液体吐出ユニット
５００  ドライバＩＣ
５０１  スイッチ（選択手段）
５０２  内部配線
５０３  引出し配線
５０４  駆動電源入力端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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