(57)【要約】【課題】簡単な構成でノズル配列方向における滴吐出特性のバラツキを低減して画像品質を向上できるようにする。【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル４と、複数のノズル４がそれぞれ通じる複数の個別流路５と、複数の個別流路５に液体を供給する共通液室１０とを備え、共通液室１０と個別流路５との間には、個別流路５毎にフィルタ部９が設けられ、共通液室１０は、ノズル配列方向の端部に、フィルタ部９とフィルタ部９に対向する面との距離が端部に向かうに従って徐々に短くなる狭窄部１０Ｚを有し、共通液室１０の狭窄部１０Ｚに対向するフィルタ部９Ｂの流体インダクタンスが、狭窄部１０以外の部分に対向するフィルタ部）Ａの流体インダクタンスよりも大きい。【選択図】図５
2016036984.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する複数のノズルと、
前記複数のノズルがそれぞれ通じる複数の個別流路と、
前記複数の個別流路に液体を供給する共通液室と、を備え、
前記共通液室と前記個別流路との間には、前記個別流路毎にフィルタ部が設けられ、
前記共通液室は、ノズル配列方向の端部に、前記フィルタ部と前記フィルタ部に対向する面との距離が端部に向かうに従って徐々に短くなる狭窄部を有し、
前記共通液室の前記狭窄部に対向する前記フィルタ部の流体インダクタンスが、前記共通液室の前記狭窄部以外の部分に対向する前記フィルタ部の流体インダクタンスよりも大きい
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記フィルタ部には複数のフィルタ孔が設けられ、
前記共通液室の前記狭窄部に対向する前記フィルタ部のフィルタ孔の個数が、前記共通液室の前記狭窄部以外の部分に対向する前記フィルタ部のフィルタ孔の個数よりも少ない
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記フィルタ部には複数のフィルタ孔が設けられ、
前記共通液室の前記狭窄部に対向する前記フィルタ部における１つのフィルタ孔の開口面積が、前記共通液室の前記狭窄部以外の部分に対向する前記フィルタ部における１つのフィルタ孔の開口面積よりも小さい
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
複数の前記フィルタ部が前記共通液室の前記狭窄部に対向し、
前記狭窄部に対向する複数の前記フィルタ部の流体インダクタンスが、前記共通液室のノズル配列方向の最端部に近づくに従って大きくなる
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記共通液室の前記狭窄部の最端部側は、滴吐出に使用しないダミー個別流路に通じている
ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記共通液室の前記狭窄部以外の部分に対向して流体インダクタンスが異なる複数の前記フィルタ部を有している
ことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
液滴を吐出する複数のノズルと、
前記複数のノズルがそれぞれ通じる複数の個別流路と、
前記複数の個別流路に液体を供給する共通液室と、を備え、
前記共通液室と前記個別流路との間には、前記個別流路毎にフィルタ部が設けられ、
前記共通液室は、ノズル配列方向において、前記フィルタ部と前記フィルタ部に対向する面との距離が、外部から液体を供給する液体供給口側よりも端部側が短く、
前記共通液室の端部側に対応する前記フィルタ部の流体インダクタンスが、前記共通液室の前記液体供給口側に対応する前記フィルタ部の流体インダクタンスよりも大きい
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッド及び画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
画像形成装置として、例えば液滴を吐出する液体吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）を記録ヘッドに用いた装置、例えばインクジェット記録装置が知られている。
【０００３】
従来の液体吐出ヘッドとして、複数の個別液室に液体を供給する共通液室にはノズル配列方向の端部に狭窄部を有し、共通液室内に外部からの供給口側と個別液室側を隔て、かつ双方を連通する複数の供給路が形成された供給路形成部材が設けられ、供給路形成部材は、共通液室の狭窄部に対応する長手方向両端部の供給路の開口面積が中央部の供給路の開口面積よりも小さい構成としたものが知られている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−０６６９０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、共通液室のノズル配列方向の端部に狭窄部を有する構成にあっては、個別流路と狭窄部の壁面との距離の差によって液室の固有振動周期（共振周期）にばらつきが発生する。
【０００６】
そのため、狭窄部に対応する個別液室に通じるノズルを含む複数のノズルから同時に液滴を吐出させるとき、狭窄部に対応する個別液室に通じるノズルとそれ以外のノズルとの間で滴速度のばらつきが生じることになる。
【０００７】
ここで、上述した特許文献１に開示の構成にように、狭窄部に対応する端部側の供給路の開口面積を中央部側の供給路の開口面積よりも小さくすることで、ノズル配列方向の端部側の流体インダンクタンスを大きくすることができ、端部側に個別液室の共振周期を長くできる。
【０００８】
しかしながら、特許文献１に開示の構成にあっては、供給路を形成した供給路形成部材と個別液室（個別流路）との間に共通の流路が形成されているために、共通液室のノズル配列方向の端部側に対応する個別液室の共振周期を中央部側に対応する個別液室の共振周期に近づける補正を行うことが難しいという課題がある。
【０００９】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、簡単な構成でノズル配列方向における滴吐出特性のバラツキを低減して画像品質を向上できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するため、本発明の請求項１に係る液体吐出ヘッドは、
液滴を吐出する複数のノズルと、
前記複数のノズルがそれぞれ通じる複数の個別流路と、
前記複数の個別流路に液体を供給する共通液室と、を備え、
前記共通液室と前記個別流路との間には、前記個別流路毎にフィルタ部が設けられ、
前記共通液室は、ノズル配列方向の端部に、前記フィルタ部と前記フィルタ部に対向する面との距離が端部に向かうに従って徐々に短くなる狭窄部を有し、
前記共通液室の前記狭窄部に対向する前記フィルタ部の流体インダクタンスが、前記共通液室の前記狭窄部以外の部分に対向する前記フィルタ部の流体インダクタンスよりも大きい
構成とした。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、簡単な構成で、滴吐出特性のバラツキを低減できて画像品質を向上することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係る液体吐出ヘッドの一例の分解斜視説明図である。
【図２】同じくノズル配列方向と直交する方向に沿う要部断面説明図である。
【図３】同じくノズル配列方向に沿う要部断面説明図である。
【図４】同じくダンパ部材を備えるフレーム部材の斜視説明図である。
【図５】図４のノズル配列方向に沿う斜視断面説明図である。
【図６】本発明の第１実施形態におけるノズル配列方向における共通液室形状の説明に供する説明図である。
【図７】同じく同実施形態の流路部分をノズル側から見た平面説明図である。
【図８】共通液室の端部に狭窄部を有し、本発明を適用しない比較例のノズル配列方向における滴速度のバラツキの説明に供する滴吐出状態の説明図である。
【図９】同じく駆動パルスの一例の説明図である。
【図１０】同じく滴速度のパルス幅特性の一例の説明図である。
【図１１】同じく滴吐出状態の説明図である。
【図１２】本発明の第２実施形態の流路部分をノズル側から見た平面説明図である。
【図１３】本発明の第３実施形態の流路部分をノズル側から見た平面説明図である。
【図１４】本発明の第４実施形態の流路部分をノズル側から見た平面説明図である。
【図１５】本発明の第５実施形態の流路部分をノズル側から見た平面説明図である。
【図１６】本発明の第６実施形態の流路部分をノズル側から見た平面説明図である。
【図１７】本発明に係る画像形成装置の一例の斜視説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。本発明に係る液体吐出ヘッドの一例について図１ないし図３を参照して説明する。図１は同液体吐出ヘッドの分解斜視説明図、図２は同じくノズル配列方向と直交する方向に沿う要部断面説明図、図３は同じくノズル配列方向に沿う要部断面説明図である。
である。
【００１４】
この液体吐出ヘッドは、ノズル板１と、流路板２と、振動板３と、圧力発生手段である圧電素子１１と、保持基板５０と、共通液室部材を兼ねるフレーム部材７０とを備えている。なお、本実施形態では、流路板２、振動板３及び圧電素子１１で構成される部分を「アクチュエータ基板２０」とする。ただし、アクチュエータ基板２０として独立の部材が形成された後にノズル板１や保持基板５０、フレーム部材７０と接合されることまで意味するものではない。
【００１５】
ノズル板１には、液滴を吐出する複数のノズル４が形成されている。ここでは、ノズル４を配列したノズル列を４列配置した構成としている。
【００１６】
流路板２は、ノズル板１及び振動板３とともに、ノズル４が通じる個別液室６、個別液室６に通じる流体抵抗部７、流体抵抗部７が通じる液導入部（通路）８を形成している。これらの個別液室６、流体抵抗部７及び液導入部８を併せて個別流路５とする。
【００１７】
この液導入部８は振動板３に形成されたフィルタ部９を通じて保持基板５０の開口部１０Ａ及びフレーム部材７０で形成される共通液室１０に通じている。開口部１０Ａは後述する共通液室１０の一部である。なお、フィルタ部９は図２に示すように１又は複数のフィルタ孔９１で構成される。
【００１８】
振動板３は、個別液室６の壁面の一部をなす変形可能な振動領域３０を形成している。そして、この振動板３の振動領域３０の個別液室６と反対側の面には、振動領域３０と一体的に圧電素子１１が設けられ、振動領域３０と圧電素子１１によって圧電アクチュエータ構成している。
【００１９】
圧電素子１１は、振動領域３０側から下部電極１３、圧電層（圧電体）１２及び上部電極１４を順次積層形成して構成している。この圧電素子１１上には層間絶縁膜２１が形成されている。
【００２０】
圧電素子１１の下部電極１３は共通配線１５を介して引き出されて接続パッド１７に接続されている。上部電極１４は個別配線１６を介して引き出されて接続パッド１８に接続され、図示しない駆動ＩＣ（ドライバＩＣ）に接続される。
【００２１】
ドライバＩＣは、圧電素子列の列間の領域を覆うようにフリップチップボンディングやワイヤボンディングなどの工法によりアクチュエータ基板２０上に実装されている。
【００２２】
そして、アクチュエータ基板２０上には、パッシベーション層２２を介して圧電素子１１を収容する凹部（振動室）５１及び配線用空間５２を形成する保持基板５０を設けている。
【００２３】
保持基板５０は、上述したように共通液室の一部である開口部１０Ａも形成している。この保持基板５０は、接着剤によってアクチュエータ基板２０の振動板３側に接合されている。
【００２４】
このように構成したこの液体吐出ヘッドにおいては、ドライバＩＣから圧電素子１１の上部電極１４と下部電極１３の間に電圧を与えることで、圧電層１２が電極積層方向、すなわち電界方向に伸張し、振動領域３０と平行な方向に収縮する。
【００２５】
このとき、下部電極１３側は振動領域３０で拘束されているため、振動領域３０の下部電極１３側に引っ張り応力が発生し、振動領域３０が個別液室６側に撓み、内部の液体を加圧することで、ノズル４から液滴が吐出される。
【００２６】
次に、共通液室を形成しているフレーム部材の一例について図４及び図５を参照して説明する。図４はダンパ部材を備えるフレーム部材の斜視説明図、図５は図４のノズル配列方向に沿う斜視断面説明図である。
【００２７】
フレーム部材７０は、アクチュエータ基板２０のノズル板１を接合する面とは反対側に接合されて、液滴を吐出する複数のノズル４が通じる複数の個別液室６に液体を供給する共通液室１０を形成する（共通液室１０となる凹部を有する）。
【００２８】
また、フレーム部材７０には、ダンパ部材８０を収容し、ダンパ室となる凹部７５が形成されている。
【００２９】
また、フレーム部材７０には、凹部７５の共通液室長手方向（ノズル配列方向）の中央部に、外部から液体を共通液室１０に供給する供給管部の少なくとも一部を構成する連結管部７６が設けられている。連結管部７６内には液体供給路７１が形成されている（図５参照）。
【００３０】
ダンパ部材８０は、共通液室長手方向において、連結管部７６を構成するフレーム部材７０の壁部と凹部の側壁との間の領域に配置されている。
【００３１】
ダンパ部材８３は、共通液室１０の個別液室側と反対側の壁面の一部を形成する復元可能に変形可能なダンパ８１と、ダンパ８１に接合されてダンパ８１を保持する保持部材８２とを備えている。保持部材８２には、ダンパ８１の変形を許容する開口部８３（ダンパ室の一部となる）が形成されている。
【００３２】
一方、フレーム部材７０の凹部７５の開口部側には流路変換部材９０（図１参照）が接合されている。
【００３３】
フレーム部材７０の連結管部７６と流路変換部材９０の図示しない連結管部とはパッキンを介して連結されている。
【００３４】
次に、本発明の第１実施形態について図６及び図７を参照して説明する。図６は同実施形態におけるノズル配列方向における共通液室形状の説明に供する説明図、図７は同じく同実施形態の流路部分をノズル側から見た平面説明図である。
【００３５】
本実施形態において、共通液室１０と個別流路５との間には、個別流路５毎にフィルタ部９が設けられている。なお、流体抵抗部７は中央隔壁部７ａによって分岐された流路で構成しているが、１つの流体抵抗部とすることもできる。
【００３６】
そして、共通液室１０は、ノズル配列方向の端部に、フィルタ部９とフィルタ部９に対向する面（壁面）１０ａとの距離が端部に向かうに従って徐々に短くなる狭窄部１０Ｚを有している。この狭窄部１０Ｚは、滴吐出を下向きに行う場合には、高さ方向（Ｚ方向）で、壁面１０ａの位置が端部に向かうに従って低くなる。
【００３７】
なお、狭窄部１０Ｚを形成する壁面１０ａは、図６に模式的に示すように直線状に傾斜する面であってもよく、あるいは、図５に示すように湾曲状の面であってもよい。
【００３８】
ここで、共通液室１０の狭窄部１０Ｚ以外の部分に対向するフィルタ部９をフィルタ部９Ａとし、共通液室１０の狭窄部１０Ｚに対向するフィルタ部９をフィルタ部９Ｂとする。
【００３９】
そして、共通液室１０の狭窄部１０Ｚに対向するフィルタ部９Ｂの流体インダクタンスを、共通液室１０の狭窄部１０Ｚ以外の部分に対向するフィルタ部９Ａの流体インダクタンスよりも大きくしている。
【００４０】
本実施形態では、フィルタ部９Ｂのフィルタ孔９１ｂを開口直径（以下、単に「径」という。）φ１とし、フィルタ部９Ａのフィルタ孔９１ａを径φ０としている。なお、実施形態では、開口面積を径で表す。
【００４１】
そして、フィルタ部９Ｂのフィルタ孔９１ｂを径φ１をフィルタ部９Ａのフィルタ孔９１ａの径φ０よりも小さく形成する（φ１＜φ０）ことで、フィルタ部９Ｂの流体インダクタンスをフィルタ部９Ａの流体インダクタンスよりも大きくしている。
【００４２】
これにより、ノズル配列方向における各個別流路５の共振周期を、端部及び中央部でほぼ同じにすることができて、滴吐出速度（滴速度）のばらつきを低減することができ、画像品質を向上できる。
【００４３】
ここで、共通液室１０の端部に狭窄部１０Ｚを有するが、本発明を適用していない比較例のノズル配列方向における滴吐出特性（特に滴速度）のバラツキについて図６ないし図９を参照して説明する。
【００４４】
まず、共通液室１０の端部に狭窄部１０Ｚを有する場合、図６に示すように、ノズル配列方向における端部側のノズルから吐出された滴は中央部側のノズルから吐出される滴よりも滴速度Ｖｊが遅くなる現象が生じる。
【００４５】
この点について個別流路の共振周期（固有振動周期）Ｔｃとの関係で説明する。
【００４６】
図７に示すように、個別液室６を膨張される波形要素ａと、膨張状態を保持する波形要素ｂと、膨張状態から個別液室を収縮させる波形要素ｃで構成される駆動パルスを印加して圧電素子１１を駆動するものとする。
【００４７】
この駆動パルスの波形要素ｂの時間（保持時間）をパルス幅Ｐｗとするとき、パルス幅Ｐｗを変化させたときの滴速度Ｖｊは、個別液室６を膨張させた圧力の圧力振動と個別液室６を収縮させる圧力が重畳するタイミングによって、例えば図８に示すように変化する。なお、図８の滴速度Ｖｊはノズル配列方向で中央部に位置するノズルからの吐出滴の数値を示している。
【００４８】
この図８の例では、パルス幅Ｐｗ＝１．２５μｓに滴速度Ｖｊの第１ピークがあり、Ｐｗ＝５．２５μｓ付近に滴速度Ｖｊの第２ピークがある。
【００４９】
一方、図９にはパルス幅Ｐｗを変化させたときのノズル配列方向端部のノズルの吐出状態を示している。ここでは、４ノズル毎に駆動した間引き駆動とすべてのノズルを同時に駆動したマルチ駆動とを示している。
【００５０】
この図９から分かるように、同時駆動ノズル数が少ない間引き駆動では、ノズル配列方向端部のノズルから吐出する滴の滴速度Ｖｊとノズル配列方向中央部のノズルから吐出する滴の滴速度はほぼ同じである。つまり、この間引き駆動では、第１ピークはパルス幅Ｐｗ＝１．２５μｓのとき、第２ピークはパルス幅Ｐｗ＝５．２５μｓのときとなる。
【００５１】
これに対し、同時駆動ノズル数が多いマルチ駆動を行ったときには、特に、ノズル配列方向中央部のノズルから吐出する滴の滴速度Ｖｊの第２ピークであるパルス幅Ｐｗ＝５．２５μｓのとき、ノズル配列方向端部のノズルから吐出する滴の滴速度Ｖｊが遅くなっている。ノズル配列方向中央部のノズルから吐出する滴の滴速度Ｖｊがノズル配列方向中央部のノズルから吐出する滴の滴速度Ｖｊとほぼ同じになるのは、ノズル幅Ｐｗ＝５．２５μｓよりも短いタイミングであるパルス幅Ｐｗ＝４．７５μｓである。
【００５２】
このように、共通液室のノズル配列方向の端部が狭窄していることによって、同時に滴吐出を行うノズル数が多い場合、実質的にパルス幅特性が短くなったと同様な特性を示す。
【００５３】
そのため、液滴の着弾位置精度のバラツキが大きくなり、特に、階調表現に滴数変調をするような複数パルスを連続して吐出する場合には、その影響が重畳されるので、画像劣化が大きく目立つようになる。
【００５４】
そこで、本実施形態では、ノズル配列方向端部のフィルタ部９Ｂの流体インダクタンスを、ノズル配列方向中央部のフィルタ部９Ａの流体インダクタンスよりも大きく設定している。
【００５５】
本実施形態では、フィルタ部９Ｂのフィルタ孔９１ｂを径φ１とし、フィルタ部９Ａのフィルタ孔９１Ａの径φ０よりも小さく（φ１＜φ０）設定している。フィルタ部９Ｂ、９Ａは、フィルタ孔９１の数、及びフィルタ部９を形成する振動板３の厚さが同じであるので、フィルタ部９Ｂの流体インダクタンスが相対的に大きくなる。
【００５６】
ここで、一般に、断面が円形の流路（フィルタ孔９１単体に相当）を集中定数としてＲ、Ｌ、Ｃの回路要素に置換える場合、それぞれの値は、次のように求めることができる。
【００５７】
Ｒｏ＝ｋ１・８・μ・Ｌ０／（π・ｒ４）
Ｌｏ＝ｋ２・ρ・Ｌ０／（π・ｒ２）
Ｃｏ＝（π・ｒ２）・Ｌ０／（ｃ２・ρ）
【００５８】
ただし、ｋ１、ｋ２：補正定数、μ：液体粘度、ρ：液体密度、ｃ：液体音速、Ｌ０：流路長さ、ｒ：流路管径、とする。
【００５９】
複数のフィルタ孔９１で形成されたフィルタ部９は、フィルタ孔９１一つ一つの回路要素が並列に配置接続されていると考えれば良い。
【００６０】
フィルタ部９のフィルタ孔９１の孔数が増えると、インダクタンスＬｏの並列接続であるので、フィルタ部９のインダクタンスＬは小さくなる。
【００６１】
近似的には、各フィルタ孔９１のインダクタンスをＬｏとすると、ｎ個のフィルタ孔９１の並列接続では、フィルタ部９のインダクタンスＬは、Ｌｏ／ｎ、になる。
【００６２】
本実施形態では、上述したように、フィルタ部９Ｂのフィルタ孔９１ｂを径φ１とし、フィルタ部９Ａのフィルタ孔９１ａの径φ０よりも小さく（φ１＜φ０）設定している。  
【００６３】
これにより、フィルタ部９Ｂのフィルタ孔９１ｂは、上式「Ｌ＝ｋ２・ρ・Ｌ０／（π・ｒ２）」における流路管径ｒが、フィルタ部９Ａのフィルタ孔９１ａより小さく、流路管路長（振動板３の厚み）は同じであるので、フィルタ部９Ｂの各フィルタ孔９１ｂのインダクタンスＬがフィルタ部９Ａの各フィルタ孔９１ａのインダクタンスＬより大きくなる。
【００６４】
そして、フィルタ部９Ａ、９Ｂのフィルタ孔９１ａ、９１ｂの数は同じであるので、フィルタ部９Ｂの流体インダクタンスがフィルタ部９Ａの流体インダクタンスより大きくなる。
【００６５】
個別流路５の共振周期（固有振動周期）Ｔｃは、フィルタ部９を含んだ個別流路５全体のインダクタンスＬと、コンプライアンスＣから、「Ｔｃ∝√（ＬＣ）」、で表される。
【００６６】
ここで、フィルタ部９の各フィルタ孔９１のコンプライアンスＣｏは、振動板のコンプライアンスに比べて非常に小さいので、フィルタ部９の各フィルタ孔９１のインダクタンスＬｏが共振周期Ｔｃに対して作用する。
【００６７】
したがって、フィルタ部９の流体インダクタンスＬが大きくなれば、個別流路５と個別のフィルタ部９とは直列接続であるので、流路全体のインダクタンスは大きくなる。
【００６８】
これにより、フィルタ部９まで含めた圧力共振（共振周期）を考えた場合、フィルタ部９の流体インダクタンスが大きくなるので、圧力の共振周期Ｔｃは長くなることになる。
【００６９】
ここで、共通液室１０の狭窄部１０Ｚでは、前述したように、圧力共振周期が短くなったような挙動を示すので、狭窄部１０Ｚに対応する個別流路５の圧力共振周期を少し長めに設定することで、マルチ駆動で滴吐出を行ったときに、狭窄部１０Ｚに対応するノズルからの滴の滴速度Ｖｊが低下することを防止できる。
【００７０】
図４及び図５に戻って、本実施形態では、画像形成用の液滴を吐出させるノズル４を含む複数の個別流路５のノズル配列方向の両側には、画像形成に使用しない複数（１つでもよい）のダミー個別流路１０５を配置している。
【００７１】
ダミー個別流路１０５は、共通液室１０の狭窄部１０Ｚの最端部側に対応している。
【００７２】
ここでは、共通液室１０の狭窄部１０Ｚの最端側から２つのダミー個別流路１０５は、流体抵抗部を設けないで個別液室幅と同じ幅の形状とし、フィルタ部に対応する部分は単なる大きな開口部９０としている。また、個別流路５に隣り合うダミー個別流路１０５は、流体抵抗部を設け、フィルタ部に対応する部分は単なる大きな開口部９０としている。
【００７３】
これにより、ダミー個別流路１０５及び開口部９０全体の流体抵抗値が小さくなり、ノズルから液体を吸引排出するメンテナンスを行うときにダミー個別流路１０５の流速を上げることができ、気泡排出性が向上する。
【００７４】
なお、ダミー個別流路１０５は個別流路５と同じ（流体抵抗部を形成する隔壁部を除く）流路形状とすることが好ましい。これにより、構造体としての剛性を確保すると共に、ノズル配列方向端部の個別液室６の滴吐出特性のバラツキを抑えることができる。また、流路をエッチングで形成するとき、パターン変化でエッチングムラが発生するので、ダミー個別流路を形成することで端部特有のエッチングムラを防止することができる。
【００７５】
次に、本発明の第２実施形態について図１０を参照して説明する。図１０は同実施形態の流路部分をノズル側から見た平面説明図である。
【００７６】
本実施形態では、狭窄部１０Ｚに対応するフィルタ部９Ｂと狭窄部１０Ｚ以外の部分に対応するフィルタ部９Ａには、同じ径、例えば径φ０のフィルタ孔９１ａを形成している。
【００７７】
そして、フィルタ部９Ｂのフィルタ孔９１ａの数をフィルタ部９Ａのフィルタ孔９１ａの数よりも少なくして、ノズル配列方向端部のフィルタ部９Ｂの流体インダクタンスを、ノズル配列方向中央部のフィルタ部９Ａの流体インダクタンスよりも大きく設定している。
【００７８】
これにより、前記第１実施形態と同様に、ノズル配列方向端部におけるフィルタ部９及び個別流路５の共振周期を長く設定して、狭窄部１０Ｚによる共通液室の圧力干渉によって共振周期が実質的に短くなる現象を緩和して、滴速度のバラツキを抑制できる。
【００７９】
次に、本発明の第３実施形態について図１１を参照して説明する。図１１は同実施形態の流路部分をノズル側から見た平面説明図である。
【００８０】
本実施形態では、狭窄部１０Ｚに対応するフィルタ部９Ｂとして、ノズル配列方向において、端部側から中央部側（フィルタ部９Ａに隣接する側）に向かってフィルタ部９Ｂ１及びフィルタ部９Ｂ２を配置している。
【００８１】
そして、フィルタ部９Ｂ１には９個の径φ１のフィルタ孔９１ｂを設け、フィルタ部９Ｂ２には１０個の径φ１のフィルタ孔９１ｂを設けている。なお、フィルタ部９Ａには１０個の径φ０（φ０＞φ１）のフィルタ孔９１ａを設けている。
【００８２】
すなわち、端部側に対応するフィルタ部９Ｂには、中央部側に対応するフィルタ部９Ａのフィルタ孔９１ａより径が小さいフィルタ孔９１ｂを、フィルタ部９Ａのフィルタ孔９１ａの個数より少ない個数だけ設けている。
【００８３】
これにより、ノズル配列方向中央部側から端部側に向かうに従ってフィルタ部９Ｂの流体インダクタンスが段階的（連続的にすることもできる）に大きくなる。
【００８４】
したがって、前記第１、第２実施形態と同様に、ノズル配列方向端部におけるフィルタ部９及び個別流路５の共振周期を長く設定して、狭窄部１０Ｚによる共通液室の圧力干渉によって共振周期が実質的に短くなる現象を緩和して、滴速度のバラツキを抑制できる。
【００８５】
なお、フィルタ孔の数は一例であって、上記の数に限定されるものではない（以下の実施形態でも同様である。）。
【００８６】
次に、本発明の第４実施形態について図１２を参照して説明する。図１２は同実施形態の流路部分をノズル側から見た平面説明図である。
【００８７】
本実施形態では、狭窄部１０Ｚに対応するフィルタ部９Ｂとして、端部側から中央部側（フィルタ部９Ａに隣接する側）に向かってフィルタ部９Ｂ３及びフィルタ部９Ｂ２を配置している。
【００８８】
そして、フィルタ部９Ｂ３には１０個の径φ２（φ２＜φ１）のフィルタ孔９１ｃを設けている。なお、フィルタ部９Ｂ２には１０個の径φ１のフィルタ孔９１ｂを設けている。また、フィルタ部９Ａには１０個の径φ０（φ０＞φ１）のフィルタ孔９１ａを設けている。
【００８９】
これにより、ノズル配列方向中央部側から端部側に向かうに従ってフィルタ部９Ｂの流体インダクタンスが段階的（連続的にすることもできる）に大きくなる。
【００９０】
したがって、前記第１、第２実施形態と同様に、ノズル配列方向端部におけるフィルタ部９及び個別流路５の共振周期を長く設定して、狭窄部１０Ｚによる共通液室の圧力干渉によって共振周期が実質的に短くなる現象を緩和して、滴速度のバラツキを抑制できる。
【００９１】
次に、本発明の第５実施形態について図１３を参照して説明する。図１３は同実施形態の流路部分をノズル側から見た平面説明図である。
【００９２】
本実施形態では、狭窄部１０Ｚ以外の部分に対応するフィルタ部９Ａの一部に、径φ３のフィルタ孔９１ｄを有するフィルタ部９Ａ２を設けている。
【００９３】
フィルタ孔９１ｄの径φ３は、前述したフィルタ部９Ｂ、９Ｃのフィルタ孔９１ｂ、９１ｃの径φ１、φ２より大きく、フィルタ部９Ａのフィルタ孔９１ａの径φ０より小さい（φ２＜φ１＜φ３＜φ０）。
【００９４】
これにより、中央部側における共通液室の圧力重畳を、フィルタ部まで含めた共振周期を少しずつ変えることで、重畳圧力のピークが高くなるのを防止でき、共通液室の圧力共振による滴速度のばらつき分布を小さくすることができる。
【００９５】
次に、本発明の第６実施形態について図１４を参照して説明する。図１４は同実施形態の流路部分をノズル側から見た平面説明図である。
【００９６】
本実施形態では、ノズル配列方向最端部以外の一部のダミー個別流路１０５のフィルタ部に相当する部分はダンパ部９５としている。なお、少なくともノズル配列方向最端部のダミー個別流路１０５には気泡排出性を確保するためダンパ部とはしない。
【００９７】
このように、狭窄部１０Ｚに対応する部分にダンパ部９５を形成することで、共通液室１０の圧力重畳の圧力ピークを小さく抑えることができ、フィルタ部９の流体インダクタンスを大きくして共振周期をシフトさせることに加えて、圧力ピークを小さくすることで、ノズル配列方向端部側のノズルにおける滴速度のバラツキを小さく抑えることができる。
【００９８】
おな、上記各実施形態では、共通液室のノズル配列方向の中央に液体供給口を有し、ノズル配列方向両端部に向かって液体が流れる中央供給の構成で説明したが、共通液室のノズル配列方向の一端部に液体供給口を有し、ノズル配列方向他端部に向かって液体が流れる片側供給の構成とすることもできる。
【００９９】
また、上記各実施形態では、共通液室のノズル配列方向の端部部分に狭窄部を有する構成で説明したが、液体供給口側から漸次傾斜する壁面を有して端部部分に狭窄部が形成される構成の共通液室であってもよい。この場合でも、共通液室は、ノズル配列方向において、フィルタ部とフィルタ部に対向する面との距離が、液体供給口側よりも端部側が短くなり、前述したように端部側に向かうほど実質的に共振周期が長くなったと同様な現象が生じる。
【０１００】
次に、本発明に係る画像形成装置の一例について図１５を参照して説明する。図１５は同画像形成装置の斜視説明図である。
【０１０１】
この画像形成装置はシリアル型画像形成装置であり、ガイド部材４０１にキャリッジ４０３が移動可能に支持され、モータ４０６によってベルト４０７を介して移動走査される。
【０１０２】
キャリッジ４０３には、液滴を吐出する本発明に係る液体吐出ヘッドである記録ヘッド４１１が搭載されている。
【０１０３】
一方、記録ヘッド４１１に対向して媒体４１０を搬送する搬送ローラ４１２を備えている。この搬送ローラ４１２はモータ４１３によって回転駆動され、搬送される媒体４１０は搬送ガイド部材４１４によって案内支持される。
【０１０４】
この画像形成装置では、搬送ローラ４１２によって媒体４１０を所定量ずつ間欠的に搬送し、停止している媒体４１０に対してキャリッジ４０３を移動走査しながら記録ヘッド４１１から液滴を吐出させて画像を形成する。
【０１０５】
また、待機時には、キャリッジ４０３をメンテナンス装置４２０側に移動させる。
【０１０６】
メンテナンス装置４２０は、記録ヘッド４１１のノズル面をキャッピングするキャップ、ノズル面を払拭する払拭部材などを備えている。
【０１０７】
そして、メンテナンス装置４２０では、キャップでノズル面をキャッピングして吸引ポンプでノズルから増粘したインクを吸引排出する維持回復動作を行い、また、ノズル面をキャッピングしてインクの乾燥を防止する。
【０１０８】
この画像形成装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので画像濃度のバラツキが低減して、高画質画像を形成できる。
【０１０９】
なお、「画像」とは平面的なものに限らず、立体的に形成されたものに付与された画像、また立体自体を三次元的に造形して形成された像も含まれる。
【０１１０】
また、画像形成装置には、特に限定しない限り、シリアル型画像形成装置及びライン型画像形成装置のいずれも含まれる。
【符号の説明】
【０１１１】
１  ノズル板
２  流路板
３  振動板
４  ノズル
６  個別液室
９、９Ａ、９Ａ１、９Ｂ、９Ｂ１、９Ｂ２、９Ｂ３  フィルタ部
１１  圧電素子
２０  アクチュエータ基板
５０  保持基板
７０  フレーム部材
９１、９１ａ、９１ｂ、９１ｃ、９１ｄ  フィルタ孔
４１１  記録ヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図９】
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【図１０】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図８】
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【図１１】
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