(57)【要約】【課題】支持部材とガラスフィルムとが無機薄膜を介して積層されたガラスフィルム積層体において、支持部材からガラスフィルムを容易に剥離できるようにして、剥離時にガラスフィルムが割れる等の事態を回避すること。【解決手段】ガラスフィルム積層体１は、ガラスフィルム２と支持部材３とが無機薄膜４を介して積層されている。無機薄膜４は、相対的に膜厚が薄い薄肉部４ａと、膜厚が厚い厚肉部４ｂとで構成されている。無機薄膜４におけるガラスフィルム２と接触する領域のうち、ガラスフィルム２の周縁領域の全領域に接触する第１の領域４ｂ１（厚肉部４ｂにおける薄肉部４ａ側の端縁部）の膜厚が、第１の領域４ｂ１以外のガラスフィルム２に接触する第２の領域（薄肉部４ａ）の膜厚よりも厚い。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラスフィルムと支持部材とが無機薄膜を介して積層されたガラスフィルム積層体において、
前記無機薄膜における前記ガラスフィルムと接触する領域のうち、前記ガラスフィルムの周縁領域の少なくとも一部に接触する第１の領域の膜厚が、前記第１の領域以外の前記ガラスフィルムに接触する第２の領域の膜厚と異なることを特徴とするガラスフィルム積層体。
【請求項２】
前記第１の領域の膜厚が、前記第２の領域の膜厚より厚いことを特徴とする請求項１に記載のガラスフィルム積層体。
【請求項３】
前記第１の領域が、前記ガラスフィルムの前記周縁領域の全領域に接触することを特徴とすることを特徴とする請求項１又は２に記載のガラスフィルム積層体。
【請求項４】
前記第１の領域が、前記第２の領域より表面粗さＲａが大きいことを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のガラスフィルム積層体。
【請求項５】
前記無機薄膜の屈折率が、前記支持部材の屈折率より大きいことを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載のガラスフィルム積層体。
【請求項６】
ガラスフィルムと支持部材とが無機薄膜を介して積層されたガラスフィルム積層体の製造方法において、
前記無機薄膜における前記ガラスフィルムと接触する領域のうち、前記ガラスフィルムの周縁領域の少なくとも一部に接触する第１の領域の膜厚を、前記第１の領域以外の前記ガラスフィルムに接触する第２の領域の膜厚と異ならせることを特徴とするガラスフィルム積層体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラスフィルムと支持部材とが無機薄膜を介して積層されたガラスフィルム積層体及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、近年では、電子機器等の発達に伴って、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ（サーフェイスエミッションディスプレイを含む）およびエレクトロルミネッセンスディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）やセンサの基板、あるいは固体撮像素子やレーザダイオード等の半導体パッケージ用カバー、さらには薄膜化合物太陽電池の基板等の多種に亘るガラス板が使用されている。
【０００３】
そして、様々な種類のガラス板において、薄板化が進められ、例えば３００μｍ以下の板厚を有する所謂ガラスフィルムと呼ばれるガラス板が開発されるに至っている。ガラスフィルムは、その薄さから可撓性を有し、この可撓性が故に取扱いが難しくなる。
【０００４】
このようなガラスフィルムの取り扱い性を向上させるために、支持ガラス等の支持部材にガラスフィルムを積層したガラスフィルム積層体の形態でガラスフィルムを取り扱うことが、既に提案されている。例えば、特許文献１では、製造関連処理で加熱を伴う処理を行なった後に、ガラスフィルムを清浄な状態で剥離可能なガラスフィルム積層体として、ガラスフィルムと支持ガラスとが無機薄膜を介して積層されたガラスフィルム積層体が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−１８４２８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に開示されたガラスフィルム積層体では、無機薄膜の膜厚が全領域に亘って同一であるため、次のような事態が発生する場合があった。すなわち、製造関連処理として加熱を伴う処理を行なった後等に、支持ガラスにガラスフィルムの全領域が均一に密着してしまい、支持ガラスからガラスフィルムをその周縁部を起点として剥離することが極めて困難になるばかりでなく、剥離時に周縁部周辺でガラスフィルムが割れてしまうという事態をも招来していた。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑み、支持部材とガラスフィルムとが無機薄膜を介して積層されたガラスフィルム積層体において、支持部材からガラスフィルムを容易に剥離できるようにして、剥離時にガラスフィルムが割れる等の事態を回避することを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するために創案された本発明のガラスフィルム積層体は、ガラスフィルムと支持部材とが無機薄膜を介して積層されたガラスフィルム積層体において、前記無機薄膜における前記ガラスフィルムと接触する領域のうち、前記ガラスフィルムの周縁領域の少なくとも一部に接触する第１の領域の膜厚が、前記第１の領域以外の前記ガラスフィルムに接触する第２の領域の膜厚と異なることを特徴とする。
【０００９】
この構成であれば、無機薄膜の第１の領域と、ガラスフィルムの周縁領域とが剥離阻害を招く程度まで密着することが抑制される。この無機薄膜の第１の領域とガラスフィルムとの密着が抑制されるという効果には、次のような理由が考えられる。すなわち、第１の領域の膜厚が第２の領域の膜厚と異なっているので、第１の領域と第２の領域の境界辺りで、ガラスフィルムが変形し、ガラスフィルムの弾性力により、第１の領域が接触するガラスフィルムに、第１の領域から浮き上がる（剥がれる）ような力が付与されるというものである。
【００１０】
従って、支持部材からガラスフィルムを剥離する際に、第１の領域に接触するガラスフィルムの周縁領域を起点として剥離を開始すれば、ガラスフィルムの全領域に亘って容易に無機薄膜から剥離することが可能である。これにより、支持部材からガラスフィルムを剥離しようとした際に、ガラスフィルムが割れる等の事態を回避することが可能になる。
【００１１】
上記の構成において、前記第１の領域の膜厚が、前記第２の領域の膜厚より厚いことが好ましい。
【００１２】
無機薄膜は、膜厚が厚くなるにしたがって、表面の粗さが粗くなるという特性を有しているのが通例であるため、第１の領域では、第２の領域より表面の粗さが粗くなる。従って、この構成であれば、無機薄膜の第１の領域と、ガラスフィルムの周縁領域とが剥離阻害を招く程度まで密着することが抑制されるという上述の効果をより確実に得ることができる。
【００１３】
上記の何れかの構成において、前記第１の領域が、前記ガラスフィルムの前記周縁領域の全領域に接触することを特徴とすることが好ましい。
【００１４】
この構成であれば、支持部材からガラスフィルムを剥離する際に、ガラスフィルムの周縁領域の何処からでも容易に剥離することが可能である。
【００１５】
上記の何れかの構成において、前記第１の領域が、前記第２の領域より表面粗さＲａが大きいことが好ましい。なお、表面粗さＲａは、ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１：２０１３に準拠した算術平均粗さである。また、表面粗さＲａは、原子間力顕微鏡により測定すればよい（以下、同様）。
【００１６】
この構成であれば、第１の領域の方が第２の領域よりも明らかに表面粗さを粗くされているため、第１の領域とガラスフィルムの周縁領域との密着がより確実に抑制される。
【００１７】
上記の何れかの構成において、前記無機薄膜の屈折率が、前記支持部材の屈折率より大きいことが好ましい。
【００１８】
この構成であれば、光の干渉により、第１の領域の色とその他の領域の色が異なって見えるため、第１の領域とその他の領域との境界の識別が容易になる。
【００１９】
前記課題を解決するために創案された本発明の方法は、ガラスフィルムと支持部材とが無機薄膜を介して積層されたガラスフィルム積層体の製造方法において、前記無機薄膜における前記ガラスフィルムと接触する領域のうち、前記ガラスフィルムの周縁領域の少なくとも一部に接触する第１の領域の膜厚を、前記第１の領域以外の前記ガラスフィルムに接触する第２の領域の膜厚と異ならせることを特徴とする。
【００２０】
この構成であれば、冒頭で述べたガラスフィルム積層体と実質的に同様の効果を得ることができる。
【発明の効果】
【００２１】
以上のように、本発明によれば、支持部材とガラスフィルムとが無機薄膜を介して積層されたガラスフィルム積層体において、支持部材からガラスフィルムを容易に剥離可能となり、剥離時にガラスフィルムが割れる等の事態を回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施形態に係るガラスフィルム積層体を示す平面図である。
【図２】図１のＸ−Ｘ線概略矢視断面図である。
【図３】本発明の実施形態に係るガラスフィルム積層体の製造方法を説明するための斜視図である。
【図４】本発明の実施形態に係るガラスフィルム積層体の製造方法を説明するための斜視図である。
【図５】本発明の実施形態に係るガラスフィルム積層体の製造方法を説明するための斜視図である。
【図６】本発明の実施形態に係るガラスフィルム積層体の製造方法を説明するための斜視図である。
【図７】本発明の実施形態に係るガラスフィルム積層体の製造方法を説明するための斜視図である。
【図８】本発明の実施形態に係るガラスフィルム積層体の製造方法を説明するための斜視図である。
【図９】本発明のガラスフィルム積層体の変形例を示す平面図である。
【図１０】本発明のガラスフィルム積層体の変形例を示す平面図である。
【図１１】本発明のガラスフィルム積層体の変形例を示す平面図である。
【図１２】本発明のガラスフィルム積層体の変形例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明を実施するための形態について図面に基づき説明する。
【００２４】
図１は、本発明の実施形態に係るガラスフィルム積層体１を示す平面図であり、図２は、図１のＸ−Ｘ線概略矢視断面図である。このガラスフィルム積層体１では、ガラスフィルム２と支持部材３とが無機薄膜４を介して積層されている。
【００２５】
ガラスフィルム２は、少なくとも支持部材３側の表面２ａの表面粗さＲａが２．０ｎｍ以下である。無機薄膜４は、ガラスフィルム２が積層される支持部材３の表面３ａに、成膜後におけるガラスフィルム２側の表面の表面粗さＲａが２．０ｎｍ以下となるように形成されている。そして、無機薄膜４上にガラスフィルム２が積層されている。
【００２６】
支持部材３の表面３ａに無機薄膜４を形成することから、熱処理等の加熱を伴う処理を行っても、支持部材３とガラスフィルム２とが直接接着するのを防止することができる。また、無機薄膜４の表面粗さＲａが２．０ｎｍ以下であることから、粘着剤等を使用することなく、ガラスフィルム２を接触させた状態で積層して適度に固定することが可能となる。
【００２７】
無機薄膜４は、支持部材３の表面３ａの全面に形成されており、相対的に膜厚が薄い薄肉部４ａと、相対的に膜厚が厚い厚肉部４ｂとで構成されている。本実施形態では、薄肉部４ａは無機薄膜４の中央部に設けられ、厚肉部４ｂは、無機薄膜４の周縁部全域に設けられている。
【００２８】
図２に示すように、無機薄膜４の薄肉部４ａは、支持部材３の表面３ａ上の全面に形成された一つの層（第１層４ｃ）の中央部に形成されている。そして、無機薄膜４の厚肉部４ｂは、第１層４ｃの周縁部全域の上に更に一つの層（第２層４ｄ）を形成して構成され、二層構造となっている。本実施形態では、無機薄膜４の第１層４ｃと第２層４ｄは、同じ材質である。しかし、これに限定されること無く、第１層４ｃと第２層４ｄは、異なる材質であってもよい。
【００２９】
ガラスフィルム２の表面２ａは、無機薄膜４における薄肉部４ａの表面から厚肉部４ｂの表面に亘って接触している。詳述すると、ガラスフィルム２の表面２ａは、薄肉部４ａの表面の全域又は略全域と、厚肉部４ｂの表面における薄肉部４ａ側の端縁部に接触している。従って、無機薄膜４におけるガラスフィルム２と接触する領域のうち、ガラスフィルム２の周縁領域の全領域に接触する第１の領域４ｂ１（厚肉部４ｂにおける薄肉部４ａ側の端縁部）の膜厚が、第１の領域４ｂ１以外のガラスフィルム２に接触する第２の領域（薄肉部４ａ）の膜厚よりも厚い。
【００３０】
厚肉部４ｂ（第２層４ｄ）における支持部材３の中央側の端面と、ガラスフィルム２の端面との距離Ｄは、例えば５ｍｍ〜１５ｍｍが好ましく、６ｍｍ〜１４ｍｍがより好ましく、７ｍｍ〜１３ｍｍが更に好ましく、８ｍｍ〜１２ｍｍが最も好ましい。距離Ｄが、５ｍｍ未満の場合には、厚肉部４ｂとガラスフィルム２との密着を抑制する効果が十分に得られない可能性がある。距離Ｄが１５ｍｍを超える場合、厚肉部４ｂとガラスフィルム２との間にエアーが入ったり、真空に引いた際にガラスフィルム２が割れたりする可能性がある。
【００３１】
ガラスフィルム２は、ケイ酸塩ガラスが用いられ、好ましくはシリカガラス、ホウ珪酸ガラスが用いられ、最も好ましくは無アルカリガラスが用いられる。尚、ここで無アルカリガラスとは、アルカリ成分（アルカリ金属酸化物）が実質的に含まれていないガラスのことであって、具体的には、アルカリが１０００ｐｐｍ以下のガラスのことである。本発明でのアルカリ成分の含有量は、好ましくは５００ｐｐｍ以下であり、より好ましくは３００ｐｐｍ以下である。
【００３２】
ガラスフィルム２の厚みは、好ましくは３００μｍ以下、より好ましくは５μｍ〜２００μｍ、最も好ましくは５０μｍ〜１００μｍである。また、ガラスフィルムの大きさは、例えば、２５０ｍｍ×３４０ｍｍ〜２８３０ｍｍ×３０３０ｍｍである。
【００３３】
支持部材３は、耐熱性を有する材質からなるものが用いられ、セラミックや、ガラスフィルム２と同様、ケイ酸塩ガラス、シリカガラス、ホウ珪酸ガラス、無アルカリガラス等のガラスが用いられる。支持部材３については、ガラスフィルム２との３０〜３８０℃における熱膨張係数の差が、５×１０-7／℃以内のものを使用することが好ましい。
【００３４】
支持部材３の厚みは、４００μｍ以上であることが好ましく、４００μｍ〜７００μｍであることがより好ましく、５００μｍ〜７００μｍであることが最も好ましい。また、支持部材３の大きさは、例えば、２７０ｍｍ×３６０ｍｍ〜２８５０ｍｍ×３０５０ｍｍである。また、支持部材３の大きさは、縦方向、横方向ともに、ガラスフィルム２よりも大きいことが好ましい。
【００３５】
支持部材３上に形成される無機薄膜４の表面粗さＲａは、１．０ｎｍ以下であることが好ましく、０．５ｎｍ以下であることがより好ましく、０．２ｎｍ以下であることが最も好ましい。
【００３６】
無機薄膜４を、支持部材３上に表面粗さＲａが２．０ｎｍ以下に形成することができれば、支持部材３の表面粗さＲａは特に限定されない。しかし、支持部材３の表面が粗いと、表面の凹凸が形成後の無機薄膜４に影響を及ぼすため、無機薄膜４の表面粗さＲａを２．０ｎｍ以下に形成し難くなるおそれがある。従って、支持部材３の表面粗さＲａは、２．０ｎｍ以下であることが好ましく、１．０ｎｍ以下であることがより好ましく、０．５ｎｍ以下であることがさらに好ましく、０．２ｎｍ以下であることが最も好ましい。このような表面粗さＲａの値を得るために、支持部材３の材質としてガラスが好ましく、オーバーフローダウンドロー法により形成されたガラスがより好ましい。
【００３７】
無機薄膜４の薄肉部４ａの膜厚（第１層４ｃの厚さ）は、１ｎｍ〜２００ｎｍが好ましく、５〜１００ｎｍがより好ましく、１０〜６０ｎｍが更に好ましく、２０〜５０ｎｍが最も好ましい。薄肉部４ａの膜厚が、１ｎｍ未満の場合には、薄肉部４ａとガラスフィルム２とが密着し、ガラスフィルム２が支持部材３から剥離できなくなる可能性がある。薄肉部４ａの膜厚が、２００ｎｍを超える場合には、薄肉部４ａとガラスフィルム２とが密着せず、ガラスフィルム２が支持部材３から剥離して脱落する可能性がある。
【００３８】
無機薄膜４の厚肉部４ｂと薄肉部４ａの膜厚の差（第２層４ｄの厚さ）は、１０ｎｍ〜６０ｎｍであることが好ましく、１５ｎｍ〜５０ｎｍであることがより好ましく、２０ｎｍ〜４０ｎｍであることが更に好ましく、２５ｎｍ〜３５ｎｍであることが最も好ましい。厚肉部４ｂと薄肉部４ａの膜厚の差が１０ｎｍより小さい場合、厚肉部４ｂとガラスフィルム２との密着を抑制する効果が十分に得られない可能性がある。厚肉部４ｂと薄肉部４ａの膜厚の差が６０ｎｍより大きい場合、厚肉部４ｂとガラスフィルム２との密着が抑制され過ぎて、ガラスフィルム２が支持部材３から剥離して脱落する可能性がある。
【００３９】
無機薄膜４は、ＩＴＯ、ＦＴＯ、ＡＴＯ、Ｔｉ、Ｓｉ、Ａｕ、Ａｇ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｍｇ、Ｔｉ、ＳｉＯ、ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、ＭｇＯ、Ｙ2Ｏ3、Ｌａ2Ｏ3、Ｐｒ6Ｏ11、Ｓｃ2Ｏ3、ＷＯ3、ＨｆＯ2、Ｉｎ2Ｏ3、ＺｒＯ2、Ｎｄ2Ｏ3、Ｔａ2Ｏ5、ＣｅＯ2、Ｎｂ2Ｏ5、ＴｉＯ、ＴｉＯ2、Ｔｉ3Ｏ5、ＮｉＯ、ＺｎＯから選択される１種又は２種以上で形成されていることが好ましい。特に、結晶化したＩＴＯ膜であれば、ガラスフィルム２を積層した場合に適度な固定力が得られ、また、製造関連処理でＩＴＯ膜をガラスフィルム２に作製する製造設備の環境において、汚染物質となる可能性が低い。
【００４０】
無機薄膜４は、酸化物薄膜であることがより好ましい。酸化物薄膜は熱的に安定である。そのため、支持部材３に酸化物薄膜を設けることで、ガラスフィルム積層体１に対して加熱を伴う処理を行っても、薄膜付支持部材３を繰り返し使用することが可能となる。酸化物薄膜として、ＩＴＯ、ＦＴＯ、ＡＴＯ、ＳｉＯ、ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、ＭｇＯ、Ｙ2Ｏ3、Ｌａ2Ｏ3、Ｐｒ6Ｏ11、Ｓｃ2Ｏ3、ＷＯ3、ＨｆＯ2、Ｉｎ2Ｏ3、ＺｒＯ2、Ｎｄ2Ｏ3、Ｔａ2Ｏ5、ＣｅＯ2、Ｎｂ2Ｏ5、ＴｉＯ、ＴｉＯ2、Ｔｉ3Ｏ5、ＮｉＯ、ＺｎＯ及びそれらの組み合わせを使用することが好ましい。
【００４１】
無機薄膜４は、窒化物薄膜であってもよい。窒化物薄膜として、ＳｉＮ、Ｓｉ3Ｎ4、ＮｂＮ、ＡＩＮ、ＢＮ及びそれらの組み合わせを使用することが好ましい。
【００４２】
無機薄膜４の屈折率は、例えば、支持部材３の屈折率より大きいことが好ましく、支持部材３の屈折率より０．１以上大きいことが更に好ましく、０．２より大きいことが最も好ましい。このような無機薄膜４の材質としては、例えば、ＩＴＯ、ＦＴＯ、ＺｒＯ2、Ｎｂ2Ｏ5、ＴｉＯ2が挙げられる。
【００４３】
既述のように、ガラスフィルム２の表面粗さＲａは、２．０ｎｍ以下であることが好ましいが、１．０ｎｍ以下であることがより好ましく、０．５ｎｍ以下であることが更に好ましく、０．２ｎｍ以下であることが最も好ましい。
【００４４】
無機薄膜４において、第１の領域４ｂ１の表面粗さＲａが、第２の領域４ａの表面粗さＲａより大きい。第１の領域４ｂ１の表面粗さＲａと第２の領域４ａの表面粗さＲａの差は、例えば、０．１ｎｍ以上、より好ましくは０．３ｎｍ以上である。
【００４５】
ガラスフィルム２の支持部材３側の表面２ａ及び支持部材３上の無機薄膜４の表面のＧＩ値は、それぞれ１０００ｐｃｓ／ｍ2以下であることが好ましく、５００ｐｃｓ／ｍ2以下であることがより好ましく、１００ｐｃｓ／ｍ2以下であることが最も好ましい。本明細書においてＧＩ値とは、１ｍ2の領域内に存在する長径１μｍ以上の不純粒子の個数（ｐｃｓ）のことである。
【００４６】
本発明に使用されるガラスフィルム２及び支持部材３は、ダウンドロー法、特にオーバーフローダウンドロー法によって成形されていることが好ましい。
【００４７】
次に、図３〜図８に基づいて本実施形態のガラスフィルム積層体１の製造方法について説明する。
【００４８】
最初に、図３に示す支持部材３の表面３ａの全面に、無機薄膜４の第１層４ｃを形成することで、図４に示す状態とする。第１層４ｃの形成方法としては、公知の方法を使用することができ、スパッタ法、蒸着法、イオンビーム照射法、ＣＶＤ法、ゾルゲル法、スクリーン印刷法等を使用することができる。
【００４９】
次に、図５に示すように、第１層４ｃの表面上の中央領域に、マスク用ガラス板５を配置する。マスク用ガラス板５の厚さは、例えば０．３ｍｍ〜０．７ｍｍである。そして、この状態で、上方から、マスク用ガラス板５の表面と第１層４ｃの表面に、第２層４ｄを形成することで、図６に示す状態とする。なお、第２層４ｄの形成には、第１層４ｃの形成方法と同様の方法を使用することができる。
【００５０】
図６に示す状態から、図７に示すように、マスク用ガラス板５を除去すると、厚肉部４ｂと薄肉部４ａとを有する無機薄膜４が支持部材３上に形成された状態となる。この無機薄膜４が形成された支持部材３上にガラスフィルム２を配置すると、図８に示すように、ガラスフィルム積層体１が完成する。
【００５１】
以上のように構成されたガラスフィルム積層体１では、厚肉部４ｂとガラスフィルム２の周縁領域とが剥離阻害を招く程度まで密着することが抑制される。また、厚肉部４ｂが、ガラスフィルム２の周縁領域の全領域に接触している。従って、支持部材３からガラスフィルム２を剥離する際に、厚肉部４ｂが接触するガラスフィルム２の周縁領域の何処から剥離しても、容易に剥離することが可能である。これにより、支持部材３からガラスフィルム２を剥離しようとした際に、ガラスフィルム２が割れる事態を回避することが可能になる。
【００５２】
次に、図９〜図１２に基づきガラスフィルム積層体１の変形例を説明する。
【００５３】
図９に示すガラスフィルム積層体１は、支持部材３上の無機薄膜４の態様が、上記実施形態と同様であるが、ガラスフィルム２が複数配置されている。この場合、各ガラスフィルム２の周縁領域の一部が、厚肉部４ｂに接触している。
【００５４】
図１０に示すガラスフィルム積層体１は、支持部材３上の無機薄膜４が、薄肉部４ａを複数有しており、それぞれの薄肉部４ａを覆うように、１枚ずつガラスフィルム２が配置されている。この場合、各ガラスフィルム２の周縁領域の全領域が、厚肉部４ｂに接触している。
【００５５】
図１１に示すガラスフィルム積層体１は、支持部材３上の無機薄膜４が、薄肉部４ａを複数有しており、全ての薄肉部４ａを覆うように、１枚のガラスフィルム２が配置されている。この場合、ガラスフィルム２の周縁領域の全領域が、厚肉部４ｂに接触している。このガラスフィルム積層体１は、ガラスフィルム２に製造関連処理が実施された後に、二点鎖線に沿って切断され、その後に、ガラスフィルム２を剥離する。
【００５６】
図１２に示すガラスフィルム積層体１では、図２で説明したガラスフィルム積層体１に対して第１層４ｃ上の第２層４ｄの形成位置が異なる。すなわち、第１層４ｃ上における中央部の上に第２層４ｄが形成され、この第１層４ｃと第２層４ｄが重なった部位で、無機薄膜４の厚肉部４ｅが構成されている。そして、第１層４ｃと第２層４ｄが重なっていない部位、つまり、第１層４ｃの周縁部で無機薄膜４の薄肉部４ｆが構成されている。この変形例では、薄肉部４ｆの表面粗さＲａは、厚肉部４ｅの表面粗さＲａより大きい。このような表面粗さの状態の無機薄膜４を得るためには、例えば、第２層４ｄを形成した後に、第２層４ｄ（厚肉部４ｅ）をマスクし、薄肉部４ｆにブラスト等の研磨処理を実施すればよい。
【００５７】
ガラスフィルム２の表面２ａは、無機薄膜４における厚肉部４ｅの表面から薄肉部４ｆの表面に亘って接触している。詳述すると、ガラスフィルム２の表面２ａは、厚肉部４ｅの表面の全域と、薄肉部４ｆの表面における厚肉部４ｅ側の領域に接触している。従って、無機薄膜４におけるガラスフィルム２と接触する領域のうち、ガラスフィルム２の周縁領域の全領域に接触する第１の領域４ｆ１（薄肉部４ｆにおける厚肉部４ｅ側の領域）の膜厚が、第１の領域４ｆ１以外のガラスフィルム２に接触する第２の領域（厚肉部４ｅ）の膜厚よりも薄い。
【００５８】
本発明は、以上の説明に限定されず、その技術的思想の範囲で様々な変形が可能である。例えば、上記実施形態では、無機薄膜４の薄肉部４ａを１層のみで形成しているが、複数の層で構成しても良い。また、無機薄膜４の厚肉部４ｂを２層で形成しているが、１層のみで形成しても良く、また、３層以上で構成しても良い。いずれの場合も、最外層（ガラスフィルム２と接触する層）は、酸化物薄膜であることが好ましい。前述の通り、酸化物薄膜は熱的に安定であるからである。
【００５９】
また、上記実施形態では、ガラスフィルム２が積層される支持部材３の表面３ａにのみ無機薄膜４を形成しているが、支持部材３の両面を使用可能とするために、上記表面３ａと反対側の表面にも無機薄膜４を形成しても良い。また、無機薄膜４を支持部材３の表面３ａの一部のみに形成しても良い。
【符号の説明】
【００６０】
１      ガラスフィルム積層体
２      ガラスフィルム
３      支持部材
４      無機薄膜
４ａ    薄肉部（第２の領域）
４ｂ    厚肉部
４ｂ１  第１の領域
４ｅ    厚肉部（第２の領域）
４ｆ    薄肉部
４ｆ１  第１の領域
【図１】
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【図２】
2016034736.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2016034736.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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