(57)【要約】【課題】フレキシブル基板に生じたシワを矯正する平坦化矯正機構の提供。【解決手段】被検査回路基板Ｐを吸着保持する回路基板吸着機構２２と、該基板Ｐに対し一対の検査用プローブを各別に移動させて接触させる一対の可動アーム部３４，３７を備えてなる検査用プローブ移動機構３２とを装置本体１２に備え、該検査用プローブ移動機構３２における一方の可動アーム部３４が備える検査ヘッド３５には、基板Ｐに生じた非平坦部位Ｗの位置を検出する変位検出手段４３を、他方の可動アーム部３７が備える検査ヘッド３８における昇降部３８ａには、検出された非平坦部位Ｗに回転接触させて平坦化するローラ４７を備える変位矯正手段４５をそれぞれ配設し、これら変位検出手段４３と変位矯正手段４５とからなる平坦化矯正機構４２を介して基板Ｐにおける非平坦部位Ｗの平坦化を可能とした。【選択図】図３
2016020821.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレキシブルな被検査回路基板を空気引きして吸着保持する回路基板吸着機構と、該回路基板吸着機構を介して吸着保持された前記被検査回路基板に対し一方の検査用プローブと他方の検査用プローブとを各別に移動させて接触させる一対の可動アーム部を備えてなる検査用プローブ移動機構とを装置本体に備え、
該検査用プローブ移動機構における一方の前記可動アーム部が備える検査ヘッドには、前記回路基板吸着機構側に吸着保持させた際に前記被検査回路基板に生じた非平坦部位の位置を検出する変位検出手段を、他方の前記可動アーム部が備える検査ヘッドにおける昇降部には、検出された前記非平坦部位に回転接触させてこれを平坦化するローラを備える変位矯正手段をそれぞれ配設し、
これら変位検出手段と変位矯正手段とからなる平坦化矯正機構を介して前記被検査回路基板における前記非平坦部位の平坦化を可能としたことを特徴とする回路基板検査装置における被検査回路基板の平坦化矯正機構。
【請求項２】
前記変位検出手段は、前記被検査回路基板の平坦化の最終確認をも可能に配設した請求項１に記載の回路基板検査装置における被検査回路基板の平坦化矯正機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フレキシブルな被検査回路基板を吸着検査テーブルに吸着保持させた際に生じがちなシワや撓みなどの非平坦部位を平坦化することができる回路基板検査装置における被検査回路基板の平坦化矯正機構に関する技術である。
【背景技術】
【０００２】
回路基板検査装置には、一方の検査プローブと他方の検査プローブとをそれぞれＸ−Ｙ方向に移動させながら被検査回路基板の所定の検査ポイントに接触させることで、その電気的な特性を測定して該被検査基板の良否の別を判定できるようにしたシステム構成のものもある。
【０００３】
また、被検査回路基板の厚さが薄いフレキシブルなものである場合には、例えば特許文献１に開示されているように回路基板検査装置が備える回路基板吸着機構を介して所定位置に被検査回路基板を吸着保持させた上で、一方の検査プローブと他方の検査プローブとを検査ポイントに接触させて必要な検査が行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−３５０４８４号公報
【０００５】
すなわち、特許文献１に開示されている技術は、回路基板吸着装置および回路基板検査装置に関するものであり、そのうちの回路基板吸着装置は、厚さの薄いフレキシブルな回路基板にシワや浮きなどの非平坦部位を生じさせることなくこれを吸着保持させた上で所定の検査を行おうとするものであり、上面に開口部を有する箱状ケースと、該箱状ケースの前記開口面を覆うように載置される複数の吸気孔付きの載置板を備えた基板載置台と、前記箱状ケース内からの空気引きが自在な吸引手段とを備えてその全体が構成されている。
【０００６】
しかも、特許文献１の回路基板吸着装置は、前記吸気手段による空気引き時に前記吸気孔と前記箱状ケースの内部とを連通させる吸気孔連通機構を備えており、該吸気孔連通機構により一の所定部位に位置する前記吸気孔から順次連通させるようにして構成されている。
【０００７】
このため、特許文献１の開示技術によれば、前記基板載置台上に載置され回路基板における一の所定部位側から順次基板載置台に吸着し、最終的に全面を吸着載置台上に保持させることにより、前記フレキシブル回路基板にシワや浮きを生じさせることなくその平坦性を維持しつつ確実に吸着保持させることができることになる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、上記特許文献１の開示技術による場合には、吸気孔連通機構を構成するエアシリンダ等の駆動手段を介して載置板における下載置板を上載置板に対しを相対的に所定の向きに移動させて第１吸気孔と第２吸気孔とを互いに連通させる必要があることから、そのための煩雑な動きを担保する制御系もそれだけ複雑化してしまう不都合があるばかりでなく、下載置板と上載置板との２枚構成となった載置板を含む独特の吸気孔連通機構が必要になってその構造が複雑化してしまうという不具合もあった。
【０００９】
本発明は、従来技術にみられた上記課題に鑑み、吸着開始当初にフレキシブルな被検査回路基板にシワや浮きなどの非平坦部位が生じることがあっても、簡単な構成のもとで事後的に矯正することができる回路基板検査装置における被検査回路基板の平坦化矯正機構を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上記目的を達成すべくなされたものであり、フレキシブルな被検査回路基板を空気引きして吸着保持する回路基板吸着機構と、該回路基板吸着機構を介して吸着保持された前記被検査回路基板に対し一方の検査用プローブと他方の検査用プローブとを各別に移動させて接触させる一対の可動アーム部を備えてなる検査用プローブ移動機構とを装置本体に備え、該検査用プローブ移動機構における一方の前記可動アーム部が備える検査ヘッドには、前記回路基板吸着機構側に吸着保持させた際に前記被検査回路基板に生じた非平坦部位の位置を検出する変位検出手段を、他方の前記可動アーム部が備える検査ヘッドにおける昇降部には、検出された前記非平坦部位に回転接触させてこれを平坦化するローラを備える変位矯正手段をそれぞれ配設し、これら変位検出手段と変位矯正手段とからなる平坦化矯正機構を介して前記被検査回路基板における前記非平坦部位の平坦化を可能としたことを最も主要な特徴とする。
【００１１】
この場合、前記変位検出手段は、前記被検査回路基板の平坦化の最終確認をも可能に配設するのが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１に係る発明によれば、既設の検出用プローブ移動機構を利用して変位検出手段と変位矯正手段とからなる平坦化矯正機構を配置することができるので、それだけ機構自体を簡素化することができる。
【００１３】
また、検出手段と変位矯正手段とからなる平坦化矯正機構のうち、まず変位検出手段を移動させて回路基板吸着機構側に吸着保持させた際に被検査回路基板に生じた非平坦部位の位置を検出した上で、該非平坦部位の位置へと変位矯正手段を移動させながらローラを回転接触させることで非平坦部位を平坦化することができるので、回路基板検査装置を介してのプロービング検査もそれだけ正確に行うことができる。
【００１４】
請求項２に係る発明によれば、変位検出手段は、被検査回路基板の平坦化の最終確認をも可能に配設されているので、該非平坦部位の平坦化をより確実に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明が適用される回路基板検査装置の概略構成例を示す説明図。
【図２】本発明の具体的な構成例を平面視方向から示す概略説明図。
【図３】変位検出手段と変位矯正手段とで構成される平坦化矯正機構の動きを例示する説明図であり、そのうちの（ａ）は、変位検出手段が被検査回路基板における非平坦部位の位置を検出している状態を、（ｂ）は、検出された非平坦部位の位置に変位矯正手段を移動させて平坦化している状態を、（ｃ）は、平坦化された後の状態を変位検出手段を移動させて最終確認している状態を、（ｄ）は、完全に平坦化された後の平坦化矯正機構の配置状態をそれぞれ示す。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図１は、本発明が適用される回路基板検査装置の概略構成例を示す説明図であり、図２は、本発明の構成例を平面視方向から示す概略説明図である。これらの図によれば、回路基板検査装置１１は、全体を統括制御するための制御部１３と、該制御部１３による演算結果や良品基板から吸収した検査用基準データを一時的に記憶するＲＡＭ１４と、制御部１３の動作プログラムを記憶するＲＯＭ１５と、フレキシブルな被検査回路基板Ｐの吸着保持が可能な回路基板吸着機構２２と、一方の検査プローブ３６と他方の検査プローブ３９との任意方向（Ｘ・Ｙ・Ｚ軸方向）への個別移動が可能な検査用プローブ移動機構３２とを少なくとも装置本体１２に備えて構成されている。
【００１７】
これらのうち、制御部１３は、回路基板吸着機構２２の動作制御のほか、検査用プローブ移動機構３２を構成する一方の可動アーム部３４と他方の可動アーム部３７とが各別に備える検査用プローブＰを使用しての検査処理を実行する。
【００１８】
回路基板吸着機構２２は、吸着検査テーブル２３と、該吸着検査テーブル２３に空気引き可能に連結されるエアポンプ２６とで構成され、吸着検査テーブ２３上に載置された被検査用回路基板Ｐを空気引きして所定位置に吸着保持する。
【００１９】
この場合、吸着検査テーブル２３は、上面に開口部（図示せず）を備えるケーシング２４と、例えばマトリックス状に穿設するなどして形成された図示しない吸気孔を有して開口部を覆うように配置される載置板２５と、該載置板２５の上面に貼付される多孔性絶縁シート（図示せず）とで構成されている。
【００２０】
検査用プローブ移動機構３２は、図２にも示されているように装置本体１２に所定間隔をおいて並行に固定配置される一対のガイドレール３３，３３と、これらのガイドレール３３，３３に対しその長さ方向（例えばＸ軸方向）に沿わせての移動を自在に各別に支持される一対の可動アーム部３４，３７とで構成されている。
【００２１】
そして、一方の可動アーム部３４は、吸着検査テーブル２３の面方向（例えばＺ軸方向）に対し一方の検査用プローブ３６の昇降保持が可能な昇降部３５ａが付設された検査ヘッド３５を備え、該検査ヘッド３５は可動アーム部３４の長さ方向（例えばＹ軸方向）に沿わせての移動を自在に支持されている。
【００２２】
また、他方の可動アーム部３７は、一方の可動アーム部３４と同様に、吸着検査テーブル２３の面方向（例えばＺ軸方向）に対し他方の検査用プローブ３９の昇降保持が可能な昇降部３８ａが付設された検査ヘッド３８を備え、該検査ヘッド３８は可動アーム部３７の長さ方向（例えばＹ軸方向）に沿わせての移動を自在に支持されている。
【００２３】
しかも、一方の検査ヘッド３５には、吸着検査テーブル２３に吸着保持させた際の被検査回路基板Ｐに生じたシワや浮きなどからなる非平坦部位Ｗの位置を検出する変位検出手段４３が、他方の検査ヘッド３８における昇降部３８ａには、検出された非平坦部位Ｗを平坦化する変位矯正手段４５がそれぞれ取り付けられており、これら変位検出手段４３と変位矯正手段４５とで平坦化矯正機構４２を構成している。
【００２４】
これらのうち、一方の検査ヘッド３５に取り付けられる変位検出手段４３としては、例えばレーザ光を被検査回路基板Ｐに照射してその反射光の位置により変位の有無を検出するレーザ変位計を好適に用いることができる。
【００２５】
また、他方の検査ヘッド３８に付設された昇降部３８ａに取り付けられる変位矯正手段４５としては、昇降部３８ａに例えばＹ軸方向を軸長さ方向として位置固定された支軸部４６にローラ４７が回転自在に取り付けられているハンディタイプのローラ構造のものを好適に用いることができる。この場合、ローラ４７は、被検査回路基板Ｐに回転接触した際の密着性が高い円柱状を呈する軟質なシリコーンゴムやスポンジなどにより形成されているものを用いるのが望ましい。
【００２６】
そして、変位検出手段４３が検出した被検査回路基板Ｐにおける非平坦部位Ｗの位置情報は、制御部１３を経てＲＡＭ１４に記憶され、該ＲＡＭ１４から読み出された位置情報に基づいて制御部１３が他方の可動アーム部３７と検査ヘッド３８と昇降部３８ａとの動作を制御することで、ローラ４７を被検査回路基板Ｐにおける非平坦部位Ｗに回転接触させることで、非平坦部位Ｗを平坦化することができることになる。この場合、変位検出手段４３には、制御部１３からの動作指令に基づき被検査回路基板Ｐの平坦化の最終確認をも担わせることができる。
【００２７】
次に、本発明の作用効果を図示例に基づいて以下に説明すれば、被検査回路基板Ｐは、 回路基板吸着機構２２を構成する吸着検査テーブル２３上の所定位置に載置された後、エアポンプ２６により空気引きされて図１および図２に示すように吸着保持される。
【００２８】
また、平坦化矯正機構４２を構成する変位検出手段４３と変位矯正手段４５とは、検査用プローブ移動機構３２を構成する一対の可動アーム部３４，３７およびそれぞれの検査ヘッド３５，３８を介して例えば図２に示すような適宜の位置関係のもとで平坦化処理の待機状態に置かれる。
【００２９】
次いで、例えばレーザ変位計からなる変位検出手段４３は、ガイドレール３３，３３に対し一方の可動アーム部３４をその長さ方向（Ｘ軸方向）に沿わせて移動させながら検査ヘッド３５を可動アーム部３４の長さ方向（Ｙ軸方向）に沿わせて移動させることで、定置された被検査回路基板Ｐの全面を走査することができる。
【００３０】
このとき、変位検出手段４３は、例えばレーザ光を被検査回路基板Ｐに照射してその反射光の位置により変位の有無を検出し、図３（ａ）に示すように変位（非平坦部位Ｗ）が検出されれば非平坦部位Ｗの領域に対応させた位置座標データとしてＲＡＭ１４に記憶する。
【００３１】
変位検出手段４３による非平坦部位Ｂの検出を終えた後は、ＲＡＭ１４に記憶させた位置座標データに基づく制御部１３からの制御信号を受けてガイドレール３３，３３に対し他方の可動アーム部３７を左方向（Ｘ軸方向）に沿わせて移動させながら検査ヘッド３８を可動アーム部３７の長さ方向（Ｙ軸方向）に沿わせてやや上方向に移動させる。
【００３２】
変位矯正手段４５は、検査ヘッド３８をこのように移動させることで、を図３（ｂ）に示すように被検査回路基板Ｐの非平坦部位Ｗの上方位置へと到達させることができる。
【００３３】
次いで、吸着検査テーブル２３上に吸引保持されている被検査回路基板Ｐは、無吸引状態もしくはその吸引力が弱められた状態にした上で、変位矯正手段４５を構成するローラ４７が被検査回路基板Ｐの非平坦部位Ｗに接触するに至るまで検査ヘッド３８に付設されている昇降部３８ａを制御部１３からの制御信号に基づいて下降（Ｚ軸方向）させる。
【００３４】
ローラ４７を被検査回路基板Ｐの非平坦部位Ｗに接触させた後は、制御部１３からの制御信号に基づいて他方の可動アーム部３７を左右方向に移動させることでローラ４７を非平坦部位Ｗに回転接触させることができ、これにより非平坦部位Ｗを平坦化することができることになる。
【００３５】
変位矯正手段４５を介しての平坦化処理を終え、再び被検査回路基板Ｐを吸着保持させた後は、図３（ｃ）に示すように再度、変位検出手段４３をかって変位（非平坦部位Ｗ）が検出された座標位置へと制御部１３からの制御信号に基づいて移動させて変位の有無が検出され、変位が検出されなければ平坦化処理を終え、変位が検出されれば変位矯正手段４５を介して平坦化処理がさらに行われることになる。なお、平坦化矯正機構４２を介して全ての平坦化処理を終えた後は、変位検出手段４３と変位矯正手段４５を例えば図３（ｄ）に示す位置にて待機させておくことになる。
【００３６】
つまり、回路基板装置１１による被検査回路基板Ｐに対するプロービング検査は、平坦化矯正機構４２を介して行われるこのような平坦化処理を経た後に、一方の検査ヘッド３５に付設された昇降部３５ａに取り付けられている検査用プローブ３６と、他方の検査ヘッド３８に付設された昇降部３８ａに取り付けられている検査用プローブ３９とを検査ポイントに各別に接触させることで行われる。
【００３７】
このため、本発明によれば、既設の検出用プローブ移動機構３２を構成する一対の可動アーム部３４，３７が各別に備えるそれぞれの検査ヘッド３５，３７を利用して変位検出手段４３と変位矯正手段４５とからなる平坦化矯正機構４２を配置することができるので、それだけ機構自体を簡素化することができる。
【００３８】
また、変位検出手段４３と変位矯正手段４５とからなる平坦化矯正機構４２のうち、まず変位検出手段４３を移動させて吸着検査テーブル２３に吸着保持させた被検査回路基板Ｐに生じた非平坦部位Ｗの位置を検出した上で、変位矯正手段４５を移動させながらローラ４７を回転接触させることで非平坦部位Ｂを平坦化することができるので、回路基板検査装置１１を介しての検査を正確に行うことができることになる。
【００３９】
また、変位検出手段４３が被検査回路基板Ｐの平坦化の最終確認をも可能に配設されている場合には、被検査回路基板Ｐに生じた非平坦部位Ｗの平坦化をより確実に行うことができることになる。
【符号の説明】
【００４０】
１１  回路基板検査装置
１２  装置本体
１３  制御部
１４  ＲＡＭ
１５  ＲＯＭ
２２  回路基板吸着機構
２３  吸着検査テーブル
２４  ケーシング
２５  載置板
２６  エアポンプ
３２  検査用プローブ移動機構
３３  ガイドレール
３４  可動アーム部
３５  検査ヘッド
３５ａ  昇降部
３６  検査用プローブ
３７  可動アーム部
３８  検査ヘッド
３８ａ  昇降部
３９  検査用プローブ
４２  平坦化矯正機構
４３  変位検出手段
４５  変位矯正手段
４６  支軸部
４７  ローラ
Ｐ  被検査回路基板
Ｗ  非平坦部位
【図１】
2016020821.tif 000003
【図２】
2016020821.tif 000004
【図３】
2016020821.tif 000005