(57)【要約】【課題】製造コストを抑え、搭載物の重量に起因するテーブルの寿命の低下を適切に防ぐことができるテーブル装置、位置決め装置、及び精密機械を提供する。【解決手段】テーブル装置１は、基台１０と、基台１０のおもて面１０ａ上に延設された１対の案内レール３１と、案内レール３１に摺動可能に設置された１対のスライダ３２を裏面２０ｂに備えて基台１０に対して直動運動するテーブル２０とを備え、基台１０の裏面１０ｂには固定子４１が設けられ、テーブル２０には、固定子４１に対する磁気吸引力の向きが、テーブル２０に載置された搭載物９０の重力に逆らう向きになるように可動子４２を設置した支持部５０が設けられる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、
前記基台の長手方向に沿っておもて面上に延設された１対の案内レールと、
前記案内レールのそれぞれに対して摺動可能に設置されたスライダを裏面に備えて前記基台に対して直動運動するテーブルとを備え、
前記基台の裏面には、隣り合う磁極の極性が異なるように並べて配設した複数個の永久磁石からなる固定子が設けられ、
前記テーブルには、前記固定子に対向して設けられ、前記固定子の前記永久磁石と共働して移動推進力が付与される複数個の電機子コイルを有する可動子を、前記固定子に対する磁気吸引力の向きが、前記テーブルに載置された搭載物の重力に逆らう向きになるように設置した支持部が設けられることを特徴とするテーブル装置。
【請求項２】
前記基台が、裏面に開のＵ字状の断面形状をなすように天板部と１対の脚部とからなり、
前記固定子を挟むようにして前記テーブルの移動方向に沿って前記天板部の前記案内レール間に第１貫通溝が１対設けられ、
前記可動子をおもて面に設置した基部と、
第１貫通溝を貫通し、前記テーブルの裏面と前記基部とを連結する腕部とから前記支持部が構成される請求項１に記載のテーブル装置。
【請求項３】
前記基台が、裏面に開のＵ字状の断面形状をなすように天板部と１対の脚部とからなり、
前記テーブルの移動方向に沿って前記１対の脚部のそれぞれに第２貫通溝が設けられ、
前記可動子をおもて面に設置し、第２貫通溝を貫通した基部と、
前記１対の直動案内部を挟むようにして、前記テーブルの裏面と前記基部とを連結する腕部とから前記支持部が構成される請求項１に記載のテーブル装置。
【請求項４】
前記テーブルの移動方向に直交する方向の前記基台の端部にリニアスケールが設けられ、
前記リニアスケールに対向するように前記テーブルの移動方向に直交する方向の前記テーブルの端部にエンコーダヘッドが設けられ、
前記リニアスケールと前記エンコーダヘッドとによりリニアエンコーダが構成される請求項１〜３のいずれか１項に記載のテーブル装置。
【請求項５】
前記直動案内部間、又は前記腕部間の前記基台にリニアスケールが設けられ、
前記リニアスケールに対向するように前記直動案内部間、又は前記腕部間の前記テーブルにエンコーダヘッドが設けられ、
前記リニアスケールと前記エンコーダヘッドとによりリニアエンコーダが構成される請求項１〜３のいずれか１項に記載のテーブル装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載のテーブル装置を備えたことを特徴とする位置決め装置。
【請求項７】
請求項１〜５のいずれか１項に記載のテーブル装置を備えたことを特徴とする精密機械。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動コイル型のリニアモータを有するテーブル装置、並びにこのテーブル装置を用いた位置決め装置、及び精密機械に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、この種のテーブル装置に関する技術として、特許文献１に開示された技術が知られている。
図５に示すように、特許文献１に開示されたテーブル装置１００は、基台１１０の上面に、中央にリニアモータ１３０の固定子１３１を固定すると共に、その固定子１３１を挟むようにして左右両サイドに平行に一対の直動案内部（リニアガイド）１４０の案内レール１４１，１４１が固定されている。
【０００３】
それら案内レール１４１，１４１には、案内レール１４１，１４１毎にスライダ１４２，１４２が搭載されている。そして、スライダ１４２，１４２に下面を支持されたテーブル１２０がスライダ１４２，１４２に取り付けてある。
そして、テーブル１２０の下面には、リニアモータ１３０の可動子１３２が、ボルト止めなどの手段で固定して装着されている。
可動子１３２のコイルは、その巻線方向が固定子１３１の永久磁石（図示せず）の延長方向に対し直交するようにして、それら永久磁石の面との間に最小必要限のエアギャップを介して配置される。
【０００４】
また、基台１１０の上面、及びテーブル１２０の裏面には、互いに対向して反発するように配置された磁気反発部材（例えば、永久磁石）１５１，１５２が１対ずつ設けられている。この磁気反発部材１５１，１５２が設けられることによって、テーブル１２０に載置される搭載物１９０の重量に起因するテーブル１２０の基台１１０に対する寿命の低下を適切に防ぐことができるとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−２９８９４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に開示された技術は、リニアモータとは別に磁気反発部材を追加して反発力が発生するように構成された結果、高価な磁気反発部材が多数必要となり、低コスト化が困難であるという点で改善の余地があった。
また、多数の強磁性の磁気反発部材が設けられることによって、これら磁気反発部材に、ごみ（特に、磁性体の異物）が付着しやすくなり、その結果、テーブルの寿命が低下する可能性があるという点で改善の余地があった。
【０００７】
さらには、組立調整作業時に、工具等の磁性体が磁気反発部材に吸いつけられる点で安全性に考慮し、カバーを磁気反発部材にカバー等を設けるといった対策を要することがあった。
本発明は上記課題に着目してなされたものであり、製造コストを抑え、搭載物の重量に起因するテーブルの寿命の低下を適切に防ぐことができるテーブル装置、位置決め装置、及び精密機械を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するためのテーブル装置のある態様は、基台と、
上記基台の長手方向に沿っておもて面上に延設された１対の案内レールと、
上記案内レールのそれぞれに対して摺動可能に設置されたスライダを裏面に備えて上記基台に対して直動運動するテーブルとを備え、
上記基台の裏面には、隣り合う磁極の極性が異なるように並べて配設した複数個の永久磁石からなる固定子が設けられ、
上記テーブルには、上記固定子に対向して設けられ、上記固定子の上記永久磁石と共働して移動推進力が付与される複数個の電機子コイルを有する可動子を、上記固定子に対する磁気吸引力の向きが上記テーブルに載置された搭載物の重力に逆らう向きになるように設置した支持部が設けられる。
【０００９】
また、上記テーブル装置においては、上記基台が、裏面に開のＵ字状の断面形状をなすように天板部と１対の脚部とからなり、
上記固定子を挟むようにして上記テーブルの移動方向に沿って上記天板部の上記案内レール間に第１貫通溝が１対設けられ、
上記可動子をおもて面に設置した基部と、
第１貫通溝を貫通し、上記テーブルの裏面と上記基部とを連結する腕部とから上記支持部が構成されることが好ましい。
【００１０】
また、上記テーブル装置においては、上記基台が、裏面に開のＵ字状の断面形状をなすように天板部と１対の脚部とからなり、
上記テーブルの移動方向に沿って上記１対の脚部のそれぞれに第２貫通溝が設けられ、
上記可動子をおもて面に設置し、第２貫通溝を貫通した基部と、
上記１対の直動案内部を挟むようにして、上記テーブルの裏面と上記基部とを連結する腕部とから上記支持部が構成されることが好ましい。
【００１１】
また、上記テーブル装置においては、上記テーブルの移動方向に直交する方向の上記基台の端部にリニアスケールが設けられ、
上記リニアスケールに対向するように上記テーブルの移動方向に直交する方向の上記テーブルの端部にエンコーダヘッドが設けられ、
上記リニアスケールと上記エンコーダヘッドとによりリニアエンコーダが構成されることが好ましい。
【００１２】
また、上記テーブル装置においては、上記直動案内部間、又は上記腕部間の上記基台にリニアスケールが設けられ、
上記リニアスケールに対向するように上記直動案内部間、又は上記腕部間の上記テーブルにエンコーダヘッドが設けられ、
上記リニアスケールと上記エンコーダヘッドとによりリニアエンコーダが構成されることが好ましい。
【００１３】
上記課題を解決するための位置決め装置のある態様は、テーブル装置を備え、
そのテーブル装置は、基台と、
上記基台の長手方向に沿っておもて面上に延設された１対の案内レールと、
上記案内レールのそれぞれに対して摺動可能に設置されたスライダを裏面に備えて上記基台に対して直動運動するテーブルとを備え、
上記基台の裏面には、隣り合う磁極の極性が異なるように並べて配設した複数個の永久磁石からなる固定子が設けられ、
上記テーブルには、上記固定子に対向して設けられ、上記固定子の上記永久磁石と共働して移動推進力が付与される複数個の電機子コイルを有する可動子を、上記固定子に対する磁気吸引力の向きが上記テーブルに載置された搭載物の重力に逆らう向きになるように設置した支持部が設けられる。
【００１４】
また、上記位置決め装置においては、上記基台が、裏面に開のＵ字状の断面形状をなすように天板部と１対の脚部とからなり、
上記固定子を挟むようにして上記テーブルの移動方向に沿って上記天板部の上記案内レール間に第１貫通溝が１対設けられ、
上記可動子をおもて面に設置した基部と、
第１貫通溝を貫通し、上記テーブルの裏面と上記基部とを連結する腕部とから上記支持部が構成されることが好ましい。
【００１５】
また、上記位置決め装置においては、上記基台が、裏面に開のＵ字状の断面形状をなすように天板部と１対の脚部とからなり、
上記テーブルの移動方向に沿って上記１対の脚部のそれぞれに第２貫通溝が設けられ、
上記可動子をおもて面に設置し、第２貫通溝を貫通した基部と、
上記１対の直動案内部を挟むようにして、上記テーブルの裏面と上記基部とを連結する腕部とから上記支持部が構成されることが好ましい。
【００１６】
また、上記位置決め装置においては、上記テーブルの移動方向に直交する方向の上記基台の端部にリニアスケールが設けられ、
上記リニアスケールに対向するように上記テーブルの移動方向に直交する方向の上記テーブルの端部にエンコーダヘッドが設けられ、
上記リニアスケールと上記エンコーダヘッドとによりリニアエンコーダが構成されることが好ましい。
【００１７】
また、上記位置決め装置においては、上記直動案内部間、又は上記腕部間の上記基台にリニアスケールが設けられ、
上記リニアスケールに対向するように上記直動案内部間、又は上記腕部間の上記テーブルにエンコーダヘッドが設けられ、
上記リニアスケールと上記エンコーダヘッドとによりリニアエンコーダが構成されることが好ましい。
【００１８】
上記課題を解決するための精密機械のある態様は、テーブル装置を備え、
そのテーブル装置は、基台と、
上記基台の長手方向に沿っておもて面上に延設された１対の案内レールと、
上記案内レールのそれぞれに対して摺動可能に設置されたスライダを裏面に備えて上記基台に対して直動運動するテーブルとを備え、
上記基台の裏面には、隣り合う磁極の極性が異なるように並べて配設した複数個の永久磁石からなる固定子が設けられ、
上記テーブルには、上記固定子に対向して設けられ、上記固定子の上記永久磁石と共働して移動推進力が付与される複数個の電機子コイルを有する可動子を、上記固定子に対する磁気吸引力の向きが上記テーブルに載置された搭載物の重力に逆らう向きになるように設置した支持部が設けられる。
【００１９】
また、上記精密機械においては、上記基台が、裏面に開のＵ字状の断面形状をなすように天板部と１対の脚部とからなり、
上記固定子を挟むようにして上記テーブルの移動方向に沿って上記天板部の上記案内レール間に第１貫通溝が１対設けられ、
上記可動子をおもて面に設置した基部と、
第１貫通溝を貫通し、上記テーブルの裏面と上記基部とを連結する腕部とから上記支持部が構成されることが好ましい。
【００２０】
また、上記精密機械においては、上記基台が、裏面に開のＵ字状の断面形状をなすように天板部と１対の脚部とからなり、
上記テーブルの移動方向に沿って上記１対の脚部のそれぞれに第２貫通溝が設けられ、
上記可動子をおもて面に設置し、第２貫通溝を貫通した基部と、
上記１対の直動案内部を挟むようにして、上記テーブルの裏面と上記基部とを連結する腕部とから上記支持部が構成されることが好ましい。
【００２１】
また、上記精密機械においては、上記テーブルの移動方向に直交する方向の上記基台の端部にリニアスケールが設けられ、
上記リニアスケールに対向するように上記テーブルの移動方向に直交する方向の上記テーブルの端部にエンコーダヘッドが設けられ、
上記リニアスケールと上記エンコーダヘッドとによりリニアエンコーダが構成されることが好ましい。
【００２２】
また、上記精密機械においては、上記直動案内部間、又は上記腕部間の上記基台にリニアスケールが設けられ、
上記リニアスケールに対向するように上記直動案内部間、又は上記腕部間の上記テーブルにエンコーダヘッドが設けられ、
上記リニアスケールと上記エンコーダヘッドとによりリニアエンコーダが構成されることが好ましい。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、製造コストを抑え、搭載物の重量に起因するテーブルの寿命の低下を適切に防ぐことができるテーブル装置、位置決め装置、及び精密機械を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】テーブル装置の第１実施形態の構成を示す断面図である。
【図２】テーブル装置の第２実施形態の構成を示す断面図である。
【図３】テーブル装置の第３実施形態の構成を示す断面図である。
【図４】テーブル装置の第４実施形態の構成を示す断面図である。
【図５】テーブル装置の従来の構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明に係るテーブル装置、位置決め装置、及び精密機械の実施形態について図面を参照して説明する。ここで、本発明のテーブル装置としては、例えば、半導体装置、液晶表示装置等の製造、検査等に用いられるテーブル装置等が挙げられる。また、本発明の位置決め装置としては、例えば、上記テーブル装置を用いて数値制御等で位置決めを行う位置決め装置等が挙げられる。さらに、本発明の精密機械としては、例えば、上記テーブル装置を用いた、工作機械、測定機械、精密加工機械、精密検査装置、精密スキャン装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、及び半導体デバイス製造装置等が挙げられる。
【００２６】
以下、テーブル装置を中心に説明する。なお、以下の説明では、各図の「Ｚ方向」の一方の向きに面する各面を「おもて面」、「Ｚ方向」の他方の向きに面する各面を「裏面」として説明する。
（第１実施形態）
図１は、テーブル装置の第１実施形態の構成を示す断面図である。ここで、図１は、基台１０に対するテーブル２０の駆動方向（移動方向）に直交する方向に沿う断面図である。
【００２７】
＜構成＞
図１に示すように、本実施形態のテーブル装置１は、基台１０と、テーブル２０と、直動案内部（リニアガイド）３０と、リニアモータ４０と、支持部５０と、リニアエンコーダ６０とを有する。
［直動案内部］
基台１０のおもて面（上面）１０ａには、基台１０の長手方向（図１中、Ｙ方向）に沿って１対の案内レール３１，３１が延設されている。これら対をなすそれぞれの案内レール３１，３１は、図１中のＸ方向に等間隔を保って基台１０のおもて面１０ａに設けられる。
また、テーブル２０の裏面（下面）２０ｂには、案内レール３１，３１のそれぞれに対して図１中のＹ方向に摺動可能にスライダ３２，３２が設置されている。案内レール３１とスライダ３２とが直動案内部３０を構成し、案内レール３１に対してスライダ３２が摺動することにより、基台１０に対してテーブル２０が図１中のＹ方向に直動運動する。
【００２８】
［リニアモータ］
基台１０の裏面（下面）１０ｂには、隣り合う磁極の極性が異なるように図１中のＹ方向に並べて配設した複数個の永久磁石からなる固定子４１が設けられている。
また、テーブル２０には、後述する支持部５０を介して固定子４１の永久磁石と共働して移動推進力が付与される複数個の電機子コイルを有する可動子４２が設けられる。固定子４１と可動子４２とは図１中のＺ方向で互いに対向するように設けられる。
【００２９】
［支持部］
支持部５０は、固定子４１に対する可動子４２の磁気吸引力ＦＭの向きが、テーブル２０のおもて面（上面）２０ａに載置された搭載物９０の重力Ｆに逆らう向きになるように設置される。すなわち、磁気吸引力ＦＭの向きは、図１中のＺ方向において、重力Ｆの向きと逆向きである。
ここで、基台１０は、裏面１０ｂに開のＵ字状の断面形状をなすように、天板部１０Ａと、その天板部１０ＡのＸ方向の両端部に立設された１対の脚部１０Ｂ，１０Ｂとからなる。
【００３０】
そして、基台１０（天板部１０Ａ）の裏面１０ｂに設置された固定子４１を挟むようにしてテーブル２０の移動方向（図１中、Ｙ方向）に沿って天板部１０Ａの１対の案内レール３１，３１間に第１貫通溝１１，１１が１対設けられている。
これら第１貫通溝１１，１１は、それぞれ、テーブル２０の移動方向（図１中のＹ方向）に沿って、天板部１０Ａを、図１中のＺ方向に貫通する溝状の貫通孔（スリット、開口部）である。
そして、支持部５０は、可動子４２をおもて面（上面）５２ａに設置した基部５２と、第１貫通溝１１，１１を貫通し、テーブル２０の裏面２０ｂと基部５２とを連結する１対の腕部５１，５２とから構成される。
【００３１】
［リニアエンコーダ］
テーブル装置１には、固定子４１の永久磁石と可動子４２との相対位置を検出する位置検出手段としてリニアエンコーダ６０が設けられている。具体的には、図１に示すように、リニアエンコーダ６０は、リニアスケール６１とエンコーダヘッド６２とにより構成される。リニアスケール６１は、テーブル２０の移動方向に直交する方向の基台１０の端部に設けられる。リニアスケール６１は、直動案内部３０の案内レール３１と平行に基台１０のおもて面１０ａに図１中のＹ方向に延設して固定されている。一方、リニアスケール６１に対向するようにテーブル２０の移動方向に直交する方向のテーブル２０の端部にエンコーダヘッド６２が図１中のＹ方向に延設されている。
リニアエンコーダ６０は、このような構成をなすことにより、可動子４２の現在位置情報を得て、モータ駆動用ドライバ（図示せず）を経てコイルへの通電をフィードバック制御することで、テーブル２０を自在に移動させると共に、任意に位置決めして停止させることができる。
【００３２】
＜動作＞
次に、本実施形態のテーブル装置１の動作について説明する。可動子４２のコイルに駆動電流を流すと、その電流と固定子４１の永久磁石の磁束との相互作用により、可動子４２と固定子４１との間に相対的な推力が働き、可動子４２が図１中のＹ方向に動き出す。これに伴って、テーブル２０が直動案内部３０のスライダ３２を介して案内レール３１に案内されつつ図１中のＹ方向における順の向きに移動する。一方、可動子４２のコイルに逆方向の電流を流すと、可動子４２には上記とは逆の向きの駆動力が作用するので、可動子４２が図１中のＹ方向における逆の向きに動き出す。このようにして、可動子４２のコイルへの電流の強さ及びその電流の向きを適宜に選択すれば、可動子４２、すなわちテーブル２０を図１中のＹ方向の所定位置に自在に移動させることができる。
【００３３】
以上説明したように、本実施形態のテーブル装置１では、支持部５０によってリニアモータ４０の固定子４１と可動子４２との配置を変えて、リニアモータ４０の磁気吸引力が、搭載物９０の重力の向きとは反対の向きに働くように構成した。その結果、リニアモータ４０の磁気吸引力がテーブル２０を裏面２０ｂからおもて面２０ａの向きに押し上げる力に転換されるので、高価な磁気反発部材等を別途設ける必要がなく、製造コストを抑えることができる。また、搭載物９０の重力によるテーブル２０の負荷（捻れ、歪みなど）を相殺し、直動案内部３０の運動性能を大幅に軽減するため、直動案内部３０の本来有する性能を十分に発揮させることができるという効果を奏する。
【００３４】
また、支持部５０によってリニアモータ４０の固定子４１と可動子４２との配置を変えた構成としたので、基台１０がカバーの役目も担い、改めてカバーを設ける必要性が少なくなるという効果を奏する。
このように、本実施形態のテーブル装置１によれば、テーブル２０における搭載物９０の重力の向きの負荷が軽減されるので、直動案内部３０の長寿命化が可能となる。
【００３５】
また、搭載物９０の重量によってテーブル２０が大きな変形をせず、リニアモータ４０を構成する固定子４１と可動子４２とのギャップが安定するため、テーブル２０の駆動推力の安定や、搭載物９０の変形等の影響が軽減される。
したがって、本実施形態のテーブル装置１は、製造コストを抑え、搭載物９０の重量に起因するテーブル２０の寿命の低下を適切に防ぐことができる。
また、このようなテーブル装置を用いた位置決め装置及び精密機械についても、製造コストが抑えられ、寿命の低下を適切に防ぐことができる。
【００３６】
（第２実施形態）
図２は、本発明に係るテーブル装置の第２実施形態の構成を示す長手方向に直交する方向に沿う断面図である。なお、本実施形態のテーブル装置は、リニアエンコーダの設置態様が上述した第１実施形態と異なるだけであるため、第１実施形態と重複又は相当する部材等については図に同一符号を付して説明を省略する。
図２に示すように、本実施形態のテーブル装置１は、腕部５１，５１間、すなわち、第１貫通溝１１，１１間の基台１０のおもて面１０ａに図２中のＹ方向に沿ってリニアスケール６１が設けられている。また、リニアスケール６１に対向するように、腕部５１，５１間のテーブル２０の裏面２０ｂにエンコーダヘッド６１が図２中のＹ方向に沿って設けられている。
【００３７】
このように、本実施形態では、リニアスケール６１とエンコーダヘッド６２とによって構成されるリニアエンコーダ６０が図２中のＸ方向における腕部５１，５１間に設置されている。そのため、テーブル装置１の幅方向（テーブル２０の移動方向に直交する方向（図２中のＸ方向）））の寸法を小さくし、省スペース化を実現することができる。また、リニアエンコーダ６０が、基台１０と、テーブル２０と、直動案内部３０とに囲まれて設置されるので、リニアエンコーダ６０に異物が介在することも少なくなる。その結果、リニアエンコーダ６０の位置検出精度が向上し、リニアモータ４０の制御性も良好になるという効果を奏する。
【００３８】
（第３実施形態）
図３は、本発明に係るテーブル装置の第３実施形態の構成を示す長手方向に直交する方向に沿う断面図である。なお、本実施形態のテーブル装置は、支持部の構成が上述した第１実施形態と異なるだけであるため、第１実施形態と重複又は相当する部材等については図に同一符号を付して説明を省略する。
図３に示すように、本実施形態のテーブル装置１は、第１実施形態と同様に、基台１０が、その裏面１０ｂに開のＵ字状の断面形状をなすように天板部１０Ａと１対の脚部１０Ｂとからなる。
【００３９】
そして、本実施形態では、テーブル２０の移動方向に沿って、１対の脚部１０Ｂ，１０Ｂのそれぞれに第２貫通溝１２，１２が設けられている。
これら第２貫通溝１２，１２は、それぞれ、テーブル２０の移動方向（図３中のＹ方向）に沿って、１対の脚部１０Ｂ，１０Ｂのそれぞれを、図３中のＸ方向に貫通する溝状の貫通孔（スリット、開口部）である。
これら第２貫通溝１２，１２には、支持部５０の基部５２が図３中のＸ方向に貫通して設置されている。基部５２のおもて面５２ａには、固定子４１に対向するようにして可動子４２が設置される。
さらに、図３中のＸ方向において、１対の直動案内部３０，３０、及びリニアエンコーダ６０を挟むようにして、テーブル２０の裏面２０ａと基部５２とを腕部５１，５１が連結している。
【００４０】
（第４実施形態）
図４は、本発明に係るテーブル装置の第４実施形態の構成を示す長手方向に直交する方向に沿う断面図である。なお、本実施形態のテーブル装置は、リニアエンコーダの設置態様が上述した第３実施形態と異なるだけであるため、第３実施形態と重複又は相当する部材等については図に同一符号を付して説明を省略する。
図４に示すように、本実施形態のテーブル装置１は、図４中のＸ方向における腕部５１，５１間（直動案内部３０，３０間）の基台１０のおもて面１０ａにリニアスケール６１が設けられている。また、リニアスケール６１に対向するように、図４中のＸ方向における腕部５１，５１間（直動案内部３０，３０間）のテーブル２０の裏面２０ｂにエンコーダヘッド６１が設けられている。
【００４１】
このように、本実施形態では、リニアスケール６１とエンコーダヘッド６２とによって構成されるリニアエンコーダ６０が図４中のＸ方向における直動案内部３０，３０間に設置されている。そのため、テーブル装置１の幅方向（テーブル２０の移動方向に直交する方向(図４中のＸ方向））の寸法を小さくし、省スペース化を実現することができる。また、リニアエンコーダ６０が、基台１０と、テーブル２０と、直動案内部３０とに囲まれて設置されるので、リニアエンコーダ６０に異物が介在することも少なくなる。その結果、リニアエンコーダ６０の位置検出精度が向上し、リニアモータ４０の制御性も良好になるという効果を奏する。
以上、テーブル装置、位置決め装置、及び精密機械の実施形態について説明したが、本発明に係るテーブル装置、位置決め装置、及び精密機械は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しなければ種々の変形が可能である。
【符号の説明】
【００４２】
１  テーブル装置
１０  基台
１０ａ  おもて面
１０ｂ  裏面
１１  第１貫通溝
１２  第２貫通溝
２０  テーブル
２０ａ  おもて面
２０ｂ  裏面
３０  直動案内部
３１  案内レール
３２  スライダ
４０  リニアモータ
４１  固定子
４２  可動子
５０  支持部
５１  腕部
５２  基部
６０  リニアエンコーダ
６１  リニアスケール
６２  エンコーダヘッド
９０  搭載物
【図１】
2016036228.tif 000003
【図２】
2016036228.tif 000004
【図３】
2016036228.tif 000005
【図４】
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【図５】
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