(57)【要約】【課題】従来のエアシャワーでは、入退室用のドアからは少なくともエアジェットは吹き出さない構造であることから、入室者または入室物が回転しない限りエアジェットの当らない面が存在するという問題と、ダーティ側のドア開放中に、虫等の飛来物がエアシャワー内に入ってしまうという問題があった。【解決手段】複数のエアジェットノズルおよびファンモータを備えた本体ユニットに加えて、ダーティ側のドアおよびクリーン側のドアにも共に複数のエアジェットノズルおよびファンモータを備え、本体ユニットを対面に配置した場合は、ダーティ側のドアが備えるファンモータおよびクリーン側のドアが備えるファンモータを別制御にして個別にも運転可能とし、本体ユニットを隣り合う面に配置した場合は、本体ユニットそれぞれが備えるファンモータを別制御にして個別にも運転可能とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のエアジェットノズルおよびファンモータを備えた本体ユニットと、
対面に配置した前記本体ユニットを挟む形または隣り合う面に配置した前記本体ユニットに対向する形で設けたダーティ側のドアおよびクリーン側のドアと
を少なくとも有するエアシャワーであって、
前記ダーティ側のドアおよび前記クリーン側のドアは、共に複数のエアジェットノズルおよびファンモータを備え、
前記本体ユニットを対面に配置した場合は、前記ダーティ側のドアが備えるファンモータおよび前記クリーン側のドアが備えるファンモータを別制御にして個別にも運転可能とし、
前記本体ユニットを隣り合う面に配置した場合は、前記本体ユニットそれぞれが備えるファンモータを別制御にして個別にも運転可能とする
ことを特徴とするエアシャワー。
【請求項２】
請求項１に記載のエアシャワーであって、
対面に配置したまたは隣り合う面に配置した前記本体ユニットから成る本体部と前記ダーティ側のドアおよび前記クリーン側のドアから成るドア部とに対して、双方の下部位置に空気の吸込み口を設けると共に、前記複数のエアジェットノズルおよび前記空気の吸込み口を共に同一配列とする
ことを特徴とするエアシャワー。
【請求項３】
請求項１に記載のエアシャワーであって、
対面に配置したまたは隣り合う面に配置した前記本体ユニットから成る本体部と前記ダーティ側のドアおよび前記クリーン側のドアから成るドア部とに対して、空気の吸込み口をどちらか一方の下部位置および残る一方の中央位置周辺にそれぞれ設ける
ことを特徴とするエアシャワー。
【請求項４】
複数のエアジェットノズルおよびファンモータを備えた本体ユニットと、
対面に配置した前記本体ユニットを挟む形または隣り合う面に配置した前記本体ユニットに対向する形で設けたダーティ側のドアおよびクリーン側のドアと
を少なくとも有するエアシャワーであって、
前記ダーティ側のドアおよび前記クリーン側のドアは、共に複数のエアジェットノズルを備え、前記本体ユニットを対面に配置した場合には、対面に配置した前記本体ユニットのどちらか一方から接続部材を介して空気の供給を受け、前記本体ユニットを隣り合う面に配置した場合には、前記本体ユニットそれぞれから接続部材を介して空気の供給を受ける
ことを特徴とするエアシャワー。
【請求項５】
請求項４に記載のエアシャワーであって、
前記接続部材の内側に、前記空気の供給を行う前記本体ユニットから供給される圧縮空気を流す圧縮空気流路を設ける
ことを特徴とするエアシャワー。
【請求項６】
請求項１〜３のいずれかに記載のエアシャワーであって、
前記ダーティ側のドアを開いた時に、前記本体ユニットを対面に配置した場合には該ドアに対向するクリーン側のドアのエアジェットを作動させるか、または前記本体ユニットを隣り合う面に配置した場合には該ドアに対向する本体ユニットのエアジェットを作動させ、前記ダーティ側のドアを閉めた後に、残った未作動の本体ユニットおよびドアの各エアジェットも作動させる
ことを特徴とするエアシャワー。
【請求項７】
請求項１〜５のいずれかに記載のエアシャワーであって、
人に前記エアシャワーを適用する場合には、前記本体ユニットの各エアジェットのみ作動させ、
物品に前記エアシャワーを適用する場合には、前記本体ユニットと前記ダーティ側のドアおよび前記クリーン側のドアの全てのエアジェットを作動させる
ことを特徴とするエアシャワー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ファン等で加圧された空気を用いて塵埃を除去するエアシャワーに関する。
エアシャワーは、半導体および精密機械等の製造、あるいは食品製造・加工を行なうクリーンルームまたは作業室の出入り口に設置され、クリーンルームまたは作業室の通路もしくは前室として使用される。そして、エアシャワーにより、クリーンルームまたは作業室への塵埃の流入・持込が防止される。
【背景技術】
【０００２】
一般的なエアシャワーの機能として、エアシャワー室内の人や物品に対して、天井および側面部に取り付いているエアジェットノズルからエアジェットを吹き出し、人や物品に付着している塵埃を吹き飛ばす。そして、この吹き飛ばされた塵埃は、エアシャワー室の足元部に設けたプレフィルタ（空気の吸込み口に相当）より吸引され、ファンモータで加圧され、ＨＥＰＡフィルタを通して除去される。その後、塵埃が除去された循環エアは、再度エアジェットノズルより吹き出される。
【０００３】
また、エアシャワーの形状としては、直方体の筺体形状のものが一般的であり、その内面は、上下前後左右の６面を持つ形状が多い。この場合、入退室のためのドアを少なくとも１面は設ける必要があることから、エアジェット吹出し面は多くても５面であった。そのため、ドアとして使用する少なくとも１面からのエアジェットが無いことから、エアシャワー室内の人や物品が回転しない限りは、エアジェットの当らない面が生じてしまうという問題があった。そこで、塵埃の除去を遂行させるためには、入室者が自主的にエアシャワー室内で回転するか、ターンテーブルのような回転機構によりエアシャワー室内の人や物品を強制的に回転させる必要があった。
【０００４】
これに対して、特許文献１（特開平１−２０８６３７号公報）には、「エアシャワー室の天井及び内壁面と、入口、出口の各ドアの内面に、それぞれエアジェット吹出口を配し、床に吸込口を設けて成る」「全方位ブロー型エアシャワー」が示されている（「」内は、特許文献１の記載を引用）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１−２０８６３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
図２は、従来のエアシャワーからのエアジェット吹き出しの様子を示す上面断面図である。上側の（ａ）は、手動ドアタイプのエアシャワーの例で、下側の（ｂ）は、自動ドアタイプのエアシャワーの例である。それぞれ、図面上の下側が、エアシャワーから見てダーティ側（以下、単に「ダーティ側」という）で、上側がエアシャワーから見てクリーン側（以下、単に「クリーン側」という）とする。例えば、入室者３１は、ダーティ側のドア１１から入室し、エアシャワー内で本体ユニット２１および２２に備えたエアジェットノズル（ここでは、図示しないが、図３にエアジェットノズル２３を備えた本体ユニット２１または２２を示す）からのエアジェットを一定時間受け、その後クリーン側のドア１２から退室する。
しかし、図示のように、入室者が単に直進して入退室を行っただけでは、人体の左右側面側はエアジェットを受けるが、人体の前後側はエアジェットをほとんど受けないことになる（室内に置いた物品についても同様である）。そのため、入室者に対して入室した際にはエアシャワー内で回転するように求める必要があり、それでなければ、床面にターンテーブルのような回転機能を設け機械的に入室者または入室物を回転させる必要がある。また、入室者によっては、エアジェットの吹出し時にドア１１または１２の脇に立ってエアジェットを避け、それをほとんど受けないようにするケースも散見される。
【０００７】
前記特許文献１の「全方位ブロー型エアシャワー」によると、「入室者は、一回転等の動作をせずに単に入室するだけで全身に隈無くエアジェットを浴びることができ」ることになるが（「」内は、特許文献１の記載を引用）、１台のファンによって全方位（天井、内壁面、入口および出口の各ドア）のエアジェットを供給するもので、個別にエアジェットを供給および制御できるものではない。また、床にグレーチング等による排塵用吸込口を設けているので、そのための工事等が必要となる。
【０００８】
また他にも、ダーティ側のドアが開放中に、虫等の飛来物やダーティ側で発生する飛散物がエアシャワー内に入ってしまい、クリーン側のドアが開いた時に、クリーンルームまたは作業室にその飛来物や飛散物が入ってしまうという問題もあった。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るエアシャワーは、複数のエアジェットノズルおよびファンモータを備えた本体ユニットと、対面に配置した本体ユニットを挟む形または隣り合う面に配置した本体ユニットに対向する形で設けたダーティ側のドアおよびクリーン側のドアとを少なくとも有し、ダーティ側のドアおよびクリーン側のドアは、共に複数のエアジェットノズルおよびファンモータを備え、本体ユニットを対面に配置した場合は、ダーティ側のドアが備えるファンモータおよびクリーン側のドアが備えるファンモータを別制御にして個別にも運転可能とし、本体ユニットを隣り合う面に配置した場合は、本体ユニットそれぞれが備えるファンモータを別制御にして個別にも運転可能とすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ドア部にもエアジェットノズルを配置し、そこからもエアジェットが吹き出すことにより、エアシャワー内で入室者または入室物を回転させることなく、全体に隈なくエアジェットを浴びることが可能となり、また、ドア部に設けたファンモータを個別に制御することにより、ダーティ側のドアが開放中に飛来物や飛散物がエアシャワー内に入りそこに留まることを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、実施例１に係るエアシャワーからのエアジェット吹き出しの様子を示す上面断面図である。
【図２】図２は、従来のエアシャワーからのエアジェット吹き出しの様子を示す上面断面図である。
【図３】図３は、エアシャワーのユニット装置である本体ユニットの構成図である。
【図４】図４は、実施例２において、本体ユニットからドア側への空気の送り出しを促進する構造を示す図である。
【図５】図５は、実施例１に係る本体部とドア部に配置するエアジェットノズルおよびプレフィルタのレイアウトを示す第１の例である。
【図６】図６は、実施例１に係る本体部とドア部に配置するエアジェットノズルおよびプレフィルタのレイアウトを示す第２の例である。
【図７】図７は、実施例１に係る本体部とドア部に配置するエアジェットノズルおよびプレフィルタのレイアウトを示す第３の例である。
【図８】図８は、実施例２に係る本体部とドア部に配置するエアジェットノズルおよびプレフィルタのレイアウトの一例を示す図である。
【図９】図９は、実施例３に係り、エアシャワーへ人が入退室する際における動作および運転操作のフローを示す図である。
【図１０】図１０は、実施例４に係り、エアシャワーへ入退室する対象を人と物品に分けて、それぞれの場合における動作および運転操作のフローを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の実施形態の説明に入る前に、エアシャワーのユニット装置の構成について説明する。
図３は、エアシャワーのユニット装置である本体ユニット２１または２２の構成図である。本体ユニット２１または２２は、その下部（足元部）に設けたプレフィルタ２４（空気の吸込み口）から吸引した空気を本体ユニット２１または２２内のファンモータ（図示せず）で加圧し、ＨＥＰＡフィルタ（図示せず）により吸引した空気に含まれる塵埃を除去し、その後に再度エアジェットノズル２３より循環エアとして空気を吹き出す装置である。なお、エアジェットノズル２３の形状、配置位置および配置個数、また、空気の吸込み口であるプレフィルタ２４の形状等は、図示のものに限定されるものではなく、用途や条件等により種々の形態を採用することができるものである。
【００１３】
以下、本発明の実施形態として実施例１〜４について、図１および図４〜図１０を用いて説明する。
図１は、本発明の実施例１および実施例２に係るエアシャワーからのエアジェット吹き出しの様子を示す上面断面図である。上側の（ａ−１）および（ａ−２）は、手動ドアタイプのエアシャワーを示している。下側の（ｂ−１）および（ｂ−２）は、自動ドアタイプのエアシャワーを示している。
実施例１および実施例２に共通した特徴は、エアシャワー室を構成するドア部からもエアジェットが吹き出すようにした点である。
【実施例１】
【００１４】
実施例１は、図１の（ａ−１）および（ｂ−１）に示す構造であって、本体ユニットと同様にドア１３および１４もそれ自体をエアジェットユニットとする構成である。そのために、ドア１３および１４は、エアジェットユニットとして独立したファンモータ（図示せず）を内部に備えている。
これにより、ドア１３および１４それぞれは、本体ユニット２１および２２とは独立して別制御によりファンモータを個別にも運転できるようにして、エアジェットノズル（図示しないが、その構成は図３と同様である）からエアジェットを吹き出すことを可能にする。また、必要に応じて、本体ユニット２１および２２においてもファンモータを別制御により個別に運転できるようにしてもよい。
【００１５】
したがって、入室者または入室物に対して、４方向からエアジェットを当てることが可能となり、入室者または入室物を自ら回転させるような動作の必要性が不要となり、直進するだけの入退室動作により十分な塵埃除去を達成することが可能となる。また、ドア部に設けたファンモータを別制御により個別にも運転できるようにすることで、ダーティ側のドアが開放中に飛来物や飛散物がエアシャワー内に入りそこに留まることを防止することができる。
【００１６】
図５は、実施例１に係る本体部（本体ユニット２１および２２）とドア部（ドア１３および１４）に配置するエアジェットノズル２３およびプレフィルタ２４のレイアウトを示す第１の例である。本レイアウトでは、本体部およびドア部は共に同一配列である。実施例１では、前述のとおりドア部を本体部と同様にファンモータを備えたエアジェットユニットとすることから、エアシャワー内を流れる空気量が、ドア部からエアジェットの吹き出しがない従来タイプの倍になる。そのため、エアシャワー内に浮遊している塵埃を倍の吸引速度で吸引する（換言すれば、吸引時間を半分にする）ことが可能となる。
【００１７】
図６は、実施例１に係る本体部（本体ユニット２１および２２）とドア部（ドア１３および１４）に配置するエアジェットノズル２３およびプレフィルタ２４のレイアウトを示す第２の例である。本レイアウトは、本体部（本体ユニット２１および２２）の下部位置周辺にエアジェットノズル２３を、その中央位置周辺にプレフィルタ２４を設け、他方、ドア部（ドア１３および１４）の下部位置にプレフィルタ２４を、その中央位置周辺にエアジェットノズル２３を設ける。これにより、ドア部（ドア１３および１４）の下部位置に設けたプレフィルタ２４から空気を吸込むことになり、従来のドア下部からエアシャワー外へ流出していた塵埃を吸引することができ、クリーンルームまたは作業室への塵埃流出を低減できることになる。
【００１８】
図７は、実施例１に係る本体部（本体ユニット２１および２２）とドア部（ドア１３および１４）に配置するエアジェットノズル２３およびプレフィルタ２４のレイアウトを示す第３の例である。本レイアウトは、先の図６のレイアウトとは逆の構成であり、本体部（本体ユニット２１および２２）の下部位置にプレフィルタ２４を、その中央位置周辺にエアジェットノズル２３を設け、他方、ドア部（ドア１３および１４）の下部位置周辺にエアジェットノズル２３を、その中央位置周辺にプレフィルタ２４を設ける。これにより、ドア側についてはその下部からエアジェットを吹き出し、本体部（本体ユニット２１および２２）の下部位置に設けたプレフィルタ２４から空気を吸込むことになり、図６の場合と同様に、クリーンルームまたは作業室への塵埃流出を低減できることになる。
【実施例２】
【００１９】
実施例２は、図１の（ａ−２）および（ｂ−２）に示す構造であって、本体ユニット２５からドア１５および１６に対して空気を送り出し、それをドア１５および１６に設けたエアジェットノズル（図示しないが、その構成は図３と同様である）から吹き出す構成を有する。そのために、ドア１５および１６と本体ユニット２５との間にゴムチューブもしくはダクト等で構成する接続流路５１を設ける。
【００２０】
この構成では、ドア１５および１６にファンモータが不要であるため、ドア部の薄型化および軽量化を図ることができる。反面、本体ユニット２５のファンモータを単独使用の本体ユニット２１と比べて強力なものにする必要があり、また、ドア１５および１６のエアジェット吹き出しは本体ユニット２５のエアジェット吹き出しと連動することになり、本体ユニット２５から独立してエアジェット吹き出しを制御することができない。しかし、入室者（または入室物）に対しては、前述した実施例１と同様の効果を奏することが可能となる。
なお、接続流路５１をダクトにより構成する場合、ドア１５および１６が開閉することに対応して相当の可塑性または伸縮性を設ける必要がある（この点はゴムチューブで構成する場合も同様である）。
【００２１】
図４は、実施例２において、本体ユニットからドア側への空気の送り出しを促進する構造を示す図である。実施例２に係る図１の（ａ−２）および（ｂ−２）の場合、本体ユニット２５からドア１５および１６へは、ゴムチューブもしくはダクト等による接続流路５１を介して空気を流す構造であるところ、空気の流量が大きい場合には流れによる圧力損失が大きくなってしまう。そこで、接続流路５１の内側に、更にゴムチューブもしくはダクト等による圧縮空気流路５２を設け、圧縮空気を本体ユニット２５からドア１５および１６側に送り出すようにする。これにより、本体ユニット２５からドア１５および１６への空気の流れを促進し、圧力損失を抑えることが可能となる。
なお、ドア１５および１６に関しては、ドアとしての形態を保ち空気が流れる構造であれば、その材質、寸法および形状等を特に問うものではない。
【００２２】
図８は、実施例２に係る本体部（本体ユニット２１および２５）とドア部（ドア１５および１６）に配置するエアジェットノズル２３およびプレフィルタ２４のレイアウトの一例を示す図である。前述のとおり、実施例２のドア部（ドア１５および１６）は、ファンモータを搭載していないので、空気の吸込み口であるプレフィルタ２４を設けず、本体部（本体ユニット２１および２５）にのみプレフィルタ２４を設ける構造となる。
【００２３】
次に、実施例１または実施例２に係るエアシャワーによる運転方法の実施例について説明する。
【実施例３】
【００２４】
実施例３は、エアシャワーへ人または物品が入退室する際に負担を強いることなく信頼性の高い運転方法を提供するものある。図９は、エアシャワーへ人が入退室する際における動作および運転操作のフローを示す図であり、エアシャワーの構成として実施例１に係る図１の（а−１）のタイプを併せて示す。エアシャワーの構成としては、ドア部のファンモータを個別に制御できることが必要で、実施例１に係る図１の（ｂ−１）のタイプであってもよい。
【００２５】
以下に、そのフローに沿って動作および運転操作を説明する。ただし、ドアの開閉等の操作は入室者が行う場合を想定する。また、以下のフローは、人の入退室に替えて物品の受け渡し時にも適用できることは云うまでもない（その場合には、ドアの開閉等の操作は作業従事者が行うことになる）。
１０１で、入室者はエアシャワー内に入室するためにダーティ側のドア１３を開く。
１０２で、クリーン側のドア１４のエアジェットを、入室者等による操作またはソフトウェア（ドア１３の開を検知して実行）によって作動させる。これにより、ダーティ側から虫等の飛来物が侵入したとしても、それをエアシャワー室内から吹き飛ばすことができる。
１０３で、入室者はエアシャワー内に入室する。
１０４で、入室者はダーティ側のドア１３を閉める。
１０５で、クリーン側のドア１４のエアジェットの運転を継続したままで、残るエアジェット（ダーティ側のドア１３と本体ユニット２１および３１のエアジェット）を、入室者等による操作またはソフトウェア（ドア１３の閉を検知して実行）によって作動させる。
１０６で、全エアジェットは一定時間経過するまで運転を継続する。
１０７で、一定時間経過後、全エアジェット（ドア１３および１４と本体ユニット２１および３１のエアジェット）の運転が終了する。
１０８で、入室者はエアシャワー内から退室するためにクリーン側のドア１４を開く。
１０９で、入室者はエアシャワー内から退室する。
１１０で、入室者はクリーン側のドア１４を閉める。
【００２６】
以上のフローにより、入室者はエアシャワー内で回転することなく直進と停止するだけの動作で、全身隈なくエアジェットを浴び、塵埃を取り除くことが可能となる。併せて、ダーティ側のドアが開放中に、エアシャワー内に侵入する飛来物や飛散物がそのままエアシャワー内に留まることを防ぐことができる。このように、入室者や作業従事者に負担を強いることなく信頼性の高い運転方法を提供することができる。
【実施例４】
【００２７】
実施例４は、エアシャワーへ入退室する対象に応じて効率的で信頼性の高い運転方法を提供するものである。図１０は、エアシャワーへ入退室する対象を人と物品に分けて、それぞれの場合における動作および運転操作のフローを示す図であり、エアシャワーの構成として実施例１に係る図１の（а−１）のタイプを併せて示す。図１０の左側には、人がエアシャワー内に入室する場合（人の入室時）を、図１０の右側には、エアシャワー内に受け渡す物品を置く場合（物品受け渡し時）を、それぞれ示す。エアシャワーの構成としては、実施例１に係る図１の（ｂ−１）、実施例２に係る図１の（ａ−２）および（ａ−２）のいずれのタイプであってもよい。
【００２８】
まず、左図に示す、人がエアシャワー内に入室する場合（人の入室時）について説明する。ただし、入室者がドアの開閉およびスイッチ等の操作を行う場合を想定する。
２０１で、入室者はエアシャワー内に入室するためにダーティ側のドア１３を開く。
２０２で、入室者はエアシャワー内に入室する。
２０３で、入室者はダーティ側のドア１３を閉める。
２０４で、入室者はエアシャワーの室内にある操作スイッチを押下する。
２０５で、操作スイッチの押下により、本体ユニット２１および２２のエアジェットが作動する（なお、操作スイッチに替えて、ソフトウェアにより作動させてもよい）。
２０６で、本体ユニット２１および２２のエアジェットは一定時間経過するまで運転を継続する。ここでは、ドア側のエアジェットを運転させないため、一定時間経過するまでの運転中に、入室者は室内で自ら回転する動作が必要となる。
２０７で、一定時間経過後、本体ユニット２１および２２のエアジェット）の運転が終了する。
２０８で、入室者はエアシャワー内から退室するためにクリーン側のドア１４を開く。
２０９で、入室者はエアシャワー内から退室する。
２１０で、入室者はクリーン側のドア１４を閉める。
【００２９】
以上のフローにより、入室者は全身にエアジェットを浴び、塵埃を取り除くことが可能となり、加えて、本体ユニットのみの運転により省電力化を達成することができる。そのために、本フローは、人であれば自ら回転することは可能であるから、ドア側のエアジェットを運転させないことにして省電力化を前提とした運転方法である。なお、入室者の状態または状況に応じて、ドア側のエアジェットも併せて運転するなど、柔軟な対応が可能であることは勿論である。
【００３０】
次に、右図に示す、エアシャワー内に受け渡す物品を置く場合（物品受け渡し時）について説明する。ただし、作業従事者が物品の受け渡しおよびスイッチ等の操作に関与する場合を想定する。
３０１で、作業従事者は、エアシャワー内に受け渡す物品を置くために、ダーティ側のドア１３を開く。
３０２で、作業従事者はエアシャワー内に物品を搬入する。
３０３で、作業従事者はダーティ側のドア１３を閉める。
３０４で、作業従事者がエアシャワーの室外にある操作スイッチを押下する。
３０５で、操作スイッチの押下により、エアシャワーの本体ユニット２１および２２とドア１３および１４の全てのエアジェットが作動する（なお、操作スイッチに替えて、ソフトウェアにより作動させてもよい）。
３０６で、全てのエアジェットは一定時間経過するまで運転を継続する。ここでは、物品を自ら回転させることができないため、人の場合とは違い、エアシャワーの本体ユニット２１および２２とドア１３および１４の全てのエアジェットを運転させる。
３０７で、一定時間経過後、本体ユニット２１および２２とドア１３および１４の全てのエアジェットの運転は終了する。
３０８で、作業従事者はクリーン側からクリーン側のドア１４を開ける。
３０９で、作業従事者はエアシャワー内から物品を取り出す。
３１０で、作業従事者はクリーン側のドア１４を閉める。
【００３１】
以上のフローにより、物品全体にエアジェットを浴びせ、塵埃を取り除くことが可能となり、例えば作業従事者がエアシャワー内で物品を携えて回転する手間などを省くことが可能となる。
このようにして、エアシャワーへ入退室する対象に合わせて動作および運転操作を変更することにより、より効率的で信頼性の高い運転方法を提供することが可能となる。
【００３２】
また、以上においては、対面に配置した本体ユニットを挟む形でダーティ側のドアおよびクリーン側のドアを設けた（換言すれば、両方のドアを平行に設けた）、いわゆる直進進入タイプのエアシャワーについて言及したが、隣り合う面に配置した本体ユニットに対向する形でダーティ側のドアおよびクリーン側のドアを設けた（換言すれば、両方のドアを直角に設けた）、いわゆる直角進入タイプのエアシャワーについても本発明を適用できることは云うに及ばない。
【００３３】
ただし、直角進入タイプのエアシャワーでは、実施例１〜３について以下の変更を要することになる（なお、実施例４については、原則変更はない）。
実施例１については、ダーティ側のドアが備えるファンモータおよびクリーン側のドアが備えるファンモータを個別に制御することに替えてまたはそれに加えて、本体ユニットそれぞれが備えるファンモータを個別に制御する。
【００３４】
実施例２については、ダーティ側のドアおよびクリーン側のドアへの空気の供給を、本体ユニットのどちらか一方から接続部材を介して行うことに替えて、本体ユニットそれぞれから隣接するドアに対して接続部材を介して行う。
【００３５】
実施例３については、ダーティ側のドアを開いた後に、クリーン側のドアのエアジェットを作動させ（１０２）、ダーティ側のドアを閉めた後に、クリーン側のドアのエアジェットの運転を継続したままで、残るエアジェット（ダーティ側のドアおよび両本体ユニットの各エアジェット）も作動させる（１０５）ことに替えて、ダーティ側のドアを開いた後に、ダーティ側のドアに対向する本体ユニットのエアジェットを作動させ、ダーティ側のドアを閉めた後に、対向する本体ユニットのエアジェットの運転を継続したままで、残るエアジェット（残る本体ユニットとダーティ側のドアおよびクリーン側のドアの各エアジェット）も作動させる。
【符号の説明】
【００３６】
１１および１２  ドア（ダーティ側およびクリーン側）、１３および１４  ドア（ダーティ側およびクリーン側、ファンモータおよびエアジェットノズル有り）、１５および１６  ドア（ダーティ側およびクリーン側、エアジェットノズル有り）、２１、２２および２５  本体ユニット、２３  エアジェットノズル、２４  プレフィルタ、３１  入室者（または入室物）、５１  接続流路、５２  圧縮空気用流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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