(57)【要約】【課題】吸水性に優れたシリコンウェハ用吸水体およびそれを用いた、乾燥工程の短縮化が図られるシリコンウェハの乾燥方法を提供することを目的とする。【解決手段】シリコンウェハ表面に接触させてシリコンウェハ表面の水分を吸収除去するために用いられるシリコンウェハ用吸水体であって、上記吸水体がポリビニルアルコール系樹脂製不織布である。そして、洗浄液を用いて洗浄してなるシリコンウェハ表面を乾燥する方法であって、シリコンウェハ表面に上記シリコンウェハ用吸水体を接触させてシリコンウェハ表面の水分を吸収除去する工程を備えることを特徴とする。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコンウェハ表面に接触させてシリコンウェハ表面の水分を吸収除去するために用いられるシリコンウェハ用吸水体であって、上記吸水体がポリビニルアルコール系樹脂製不織布であることを特徴とするシリコンウェハ用吸水体。
【請求項２】
請求項１記載のシリコンウェハ用吸水体が、略円筒状芯材にポリビニルアルコール系樹脂製不織布が巻回されたロール形状に形成されている請求項１記載のシリコンウェハ用吸水体。
【請求項３】
巻回されてなるポリビニルアルコール系樹脂製不織布の総厚みが１０〜２００ｍｍである請求項２記載のシリコンウェハ用吸水体。
【請求項４】
洗浄液を用いて洗浄してなるシリコンウェハ表面を乾燥する方法であって、シリコンウェハ表面に請求項１〜３のいずれか一項に記載のシリコンウェハ用吸水体を接触させてシリコンウェハ表面の水分を吸収除去する工程を備えることを特徴とするシリコンウェハの乾燥方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄液を用いて洗浄してなるシリコンウェハ表面の水分を吸収除去する際に用いられるシリコンウェハ用吸水体およびそれを用いたシリコンウェハの乾燥方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体チップ等の形成材料として用いられるシリコンウェハは、シリコンからなる単結晶のインゴットをスライスし、粗研磨工程、エッチング工程、研磨工程を順次経由することにより製造される。従来から、上記製造工程の各工程間や２度目の研磨の後に、シリコンウェハの表面を、水をベースとしたアルカリ性混合液や酸性の混合洗浄液を用いて洗浄が行なわれている。従って、上記洗浄後、シリコンウェハが次の工程に進むためには、シリコンウェハ表面に残存する洗浄液等の水分を除去する必要がある。
【０００３】
上記シリコンウェハ表面に残存する水分を除去する方法として、例えば、シリコンウェハを乾燥容器に入れて、ガスを吸引しつつ、加熱ヒーターにより加熱して上記水分を乾燥除去する加熱乾燥方法が従来から提案されている（特許文献１）。さらに、シリコンウェハ自体を高速回転させ遠心力によりその表面に付着した水分を飛ばして外部に排出する機構を備えたスピン乾燥装置を用いてシリコンウェハを乾燥する方法が提案されている（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−２４７３４８号公報
【特許文献２】特開２００８−２８８５０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１の乾燥方法では、乾燥工程そのものに時間を要し、上記特許文献２の乾燥方法では、高速回転時（スピン時）についた洗浄液の筋や水滴の跡が残ることがあるため、上記乾燥方法に供する前に予め物理的にシリコンウェハ表面の水分を除去することが検討されている。しかしながら、物理的にシリコンウェハ表面の水分を除去する手段として水分除去性能に関して充分満足のいくものが未だ得られてはおらず、その開発が望まれている。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みなされたものであって、吸水性に優れたシリコンウェハ用吸水体およびそれを用いた、乾燥工程の短縮化が図られるシリコンウェハの乾燥方法の提供を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、シリコンウェハ表面の水分を効果的に吸収除去することのできる部材を得るべく鋭意検討を重ねた。そして、従来から、シリコンウェハの洗浄工程に使用されているポリビニルアセタール系多孔質体、いわゆるポリビニルアルコール系樹脂（以下、「ＰＶＡ」という）製スポンジを用い、シリコンウェハ表面の水分を吸収除去することを想起した。しかしながら、上記ＰＶＡ製スポンジは乾燥状態では硬く、シリコンウェハ表面を傷つける可能性があり、また吸水性そのものもあまり良くなく、これをそのままシリコンウェハの乾燥工程に用いることは困難であるとの知見を得た。この知見に基づき、さらに各種材料の特性等を中心に検討を重ねた結果、吸水性に優れたＰＶＡ製不織布を用いることを想起した。すなわち、ＰＶＡ製不織布は、乾燥状態であっても上記ＰＶＡ製スポンジのように硬いものではなく柔軟性に富んでおり、また吸水速度も速いことから、ＰＶＡ製不織布をシリコンウェハ表面の水分の拭取りに適用可能であることを突き止め、本発明に到達したのである。
【０００８】
《本発明の要旨》
すなわち、本発明は、シリコンウェハ表面に接触させてシリコンウェハ表面の水分を吸収除去するために用いられるシリコンウェハ用吸水体であって、上記吸水体がＰＶＡ製不織布であるシリコンウェハ用吸水体を第１の要旨とする。
【０００９】
そして、本発明は、洗浄液を用いて洗浄してなるシリコンウェハ表面を乾燥する方法であって、シリコンウェハ表面に上記第１の要旨のシリコンウェハ用吸水体を接触させてシリコンウェハ表面の水分を吸収除去する工程を備えるシリコンウェハの乾燥方法を第２の要旨とする。
【発明の効果】
【００１０】
このように、本発明は、シリコンウェハ表面に接触させてシリコンウェハ表面の水分を吸収除去するために用いられるシリコンウェハ用吸水体としてＰＶＡ製不織布を用いる。このため、シリコンウェハ表面の水分を素早く吸収除去することが可能となり、シリコンウェハの乾燥工程の短縮化が実現する。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に記載する構成要件の説明は、本発明の実施態様の一例（代表例）であり、これらの内容に限定されるものではない。
以下、本発明について詳細に説明する。
【００１２】
本発明のシリコンウェハ用吸水体は、シリコンウェハ表面に接触させてシリコンウェハ表面の水分を吸収除去するために用いられるものであって、ＰＶＡ製不織布が用いられる。
【００１３】
＜ＰＶＡ製不織布＞
上記ＰＶＡ製不織布の原料となるＰＶＡは、通常、ビニルエステル系モノマーの重合体であるポリビニルエステル系樹脂をケン化することにより得られる。
【００１４】
このようなＰＶＡにおけるケン化度は、通常７０〜１００モル％、特に好ましくは８０〜９９．９モル％、さらに好ましくは９５〜９９．８モル％である。ＰＶＡのケン化度が低すぎると、水に対する溶解性が低下する傾向がみられ好ましくない。
【００１５】
また、上記ＰＶＡの平均重合度（ＪＩＳ  Ｋ６７２６に準拠）は、通常３００〜３０００、特に好ましくは５００〜２５００、さらに好ましくは６００〜２０００である。平均重合度が低すぎると、繊維強度が低下する傾向がみられ、高すぎると、粘度が上昇し、不織布を製造することが困難となる傾向がみられる。
【００１６】
上記ビニルエステル系モノマーとしては、例えば、ギ酸ビニル、酢酸ビニル、トリフルオロ酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、カプリン酸ビニル、ラウリル酸ビニル、バーサティック酸ビニル、パルミチン酸ビニル、ステアリン酸ビニル、ピバリン酸等があげられる。これらは単独でもしくは２種以上併せて用いられる。中でも、実用上は経済性の点から酢酸ビニルが好ましく用いられる。
【００１７】
また、変性ＰＶＡを用いることもできる。上記変性ＰＶＡは、上記ビニルエステル系モノマーとこのビニルエステル系モノマーと共重合性を有する他の不飽和単量体との共重合体をケン化することより製造することができる。あるいは、上記ＰＶＡを後変性することにより製造することができる。
【００１８】
上記他の不飽和単量体としては、例えば、エチレン、プロピレン、イソブチレン、α−オクテン、α−ドデセン、α−オクタデセン等のオレフィン類があげられ、その含有量は本発明の効果を損なわない程度に導入され、具体的には通常１０モル％以下、好ましくは５モル％以下、特には３モル％以下である。また、他の単量体としては、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、マレイン酸、無水マレイン酸、イタコン酸等の不飽和酸類あるいはその塩あるいはモノ又はジアルキルエステル等、アクリロニトリル、メタアクリロニトリル等のニトリル類、アクリルアミド、メタクリルアミド等のアミド類、エチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、メタアリルスルホン酸等のオレフィンスルホン酸あるいはその塩、アルキルビニルエーテル類、Ｎ−アクリルアミドメチルトリメチルアンモニウムクロライド、アリルトリメチルアンモニウムクロライド、ジメチルアリルビニルケトン、Ｎ−ビニルピロリドン、塩化ビニル、塩化ビニリデン、ポリオキシエチレン（メタ）アリルエーテル、ポリオキシプロピレン（メタ）アリルエーテル等のポリオキシアルキレン（メタ）アリルエーテル、ポリオキシエチレン（メタ）アクリレート、ポリオキシプロピレン（メタ）アクリレート等のポリオキシアルキレン（メタ）アクリレート、ポリオキシエチレン（メタ）アクリルアミド、ポリオキシプロピレン（メタ）アクリルアミド等のポリオキシアルキレン（メタ）アクリルアミド、ポリオキシエチレン（１−（メタ）アクリルアミド−１，１−ジメチルプロピル）エステル、ポリオキシエチレンビニルエーテル、ポリオキシプロピレンビニルエーテル、ポリオキシエチレンアリルアミン、ポリオキシプロピレンアリルアミン、ポリオキシエチレンビニルアミン、ポリオキシプロピレンビニルアミン等があげられるが、これらは耐水性の点から含有量は、通常１モル％未満である。これらは単独でもしくは２種以上併せて用いられる。
【００１９】
また、上記後変性の方法としては、ＰＶＡをアセト酢酸エステル化、アセタール化、ウレタン化、エーテル化、グラフト化、リン酸エステル化、オキシアルキレン化する方法等があげられる。
【００２０】
中でも、アセタール化してなるＰＶＡ（アセタール化ＰＶＡ）を用いることが耐水性の付与ができることから好ましい。
【００２１】
上記アセタール化してなるＰＶＡは、通常、ホルムアルデヒドやグリオキザール等のアルデヒド化合物とＰＶＡを反応させ、ＰＶＡの１，３−ジオール結合部分がホルマール化し、環状の１，３−ジオキサン構造となり、製造される。また、上記アセタール化反応は、ＰＶＡを用い繊維化した後で行なってもよいし、不織布に形成した後に行なってもよい。
【００２２】
上記アセタール化ＰＶＡのアセタール化度は、通常１０〜９０モル％、好ましくは３０〜８０モル％、特に好ましくは５０〜７０モル％である。上記アセタール化度が低すぎると耐水性が低下する傾向がみられ、高過ぎると吸水性が低下する傾向がみられる。
【００２３】
上記ＰＶＡ製不織布の形成材料となるＰＶＡには、本発明の効果を阻害しない範囲内において、例えば、可塑剤、滑剤、顔料分散剤、増粘剤、膠着防止剤、流動性改良剤、界面活性剤、消泡剤、離型剤、浸透剤、染料、顔料、蛍光増白剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、防腐剤、防黴剤、紙力増強剤、架橋剤等の従来公知の各種添加剤を適宜配合することができる。
【００２４】
本発明のＰＶＡ製不織布において、これを構成するＰＶＡ製繊維の繊維径は、通常５〜１００μｍ、好ましくは５〜５０μｍ、特に好ましくは５〜３０μｍである。上記ＰＶＡ製繊維の繊維径が大きすぎる（太すぎる）と、柔軟性が低下する傾向があり、小さすぎる（細すぎる）と、繊維強度が低下する傾向がある。
【００２５】
また、ＰＶＡ製繊維の平均繊維長は、一般に３００ｍｍ未満の短繊維、３００ｍｍ以上の長繊維に大別される。上記短繊維のＰＶＡ製繊維からなるＰＶＡ製不織布は、ＰＶＡを用いて紡糸、切断等により作製された短繊維を、例えば、繊維束を高速で上下するニードル（針）で繰り返し突き刺し、ニードルに刻まれたバーブという突起により繊維を絡ませることによりＰＶＡ製不織布を作製したり、後述のように水流噴射方式等によって得られるものである。そして、必要に応じて、上記短繊維または短繊維からなるＰＶＡ製不織布に対して、さらに熱処理、延伸、その他適宜水不溶化処理等の処理が施される。
【００２６】
＜短繊維不織布の作製＞
上記ＰＶＡ製繊維が短繊維の場合におけるＰＶＡ製不織布の製造方法について、以下に述べる。
（ｉ）原液調製工程
ＰＶＡを所定濃度（通常３〜３０重量％）になるように、溶解機中で１〜１０時間、８０℃以上で加温溶解を行なうことにより、ＰＶＡ溶解液を調製する。ＰＶＡ溶解液の濃度が低すぎると、ＰＶＡ製繊維の形成が不良となる傾向がみられ、逆に、濃度が高すぎると、紡糸を効率良く行なうことが困難となり、実用できない傾向がみられる。また、この工程中に、後工程の紡糸に差し支えない程度に、架橋剤、染料、着色防止剤、中和剤等の任意の添加剤を適宜添加してもよい。
【００２７】
（ii）紡糸工程
上記得られたＰＶＡ溶解液（原液）を、１０〜６０℃の凝固液中へ紡糸ノズルを通して押し出す。この凝固液中に配合される凝固剤としては、例えば、芒硝、硫酸アンモニウム、リン酸ナトリウム等の塩類および水酸化ナトリウム等のアルカリ性化合物が使用できるが、工業的には、凝固能と経済性の点から、芒硝水溶液が主として使用される。また、上記紡糸工程における着色を防止するために、凝固液中に硫酸亜鉛や硫酸マグネシウムあるいは少量の硫酸を添加したり、銅やマンガン等の微量の重金属の塩類を加えたりしてもよい。
【００２８】
上記紡糸ノズルに関しては、円、角等の任意の形状のノズルが用いられ、十字線型、放射線型、星型等の配列が適宜採用される。ノズルの直径は、通常０．０１〜１．０ｍｍであることが好ましい。この紡糸工程において凝固された糸状物は、凝固液から取り出された後、必要に応じて延伸される。上記延伸条件は、通常１２０〜２２０℃程度で行われ、延伸倍率は通常５〜２０倍程度であることが好ましい。ついで、この糸状物を、繊維長が通常１．５〜３００ｍｍ、特には２〜７５ｍｍ、単繊維繊度が通常０．０１〜１００デニール、特には０．１〜１５デニールの短繊維に切断することにより、不織布用の原料として使用される。
【００２９】
（iii）不織布製造工程
上記のようにして得られるＰＶＡ製の短繊維を、ベルトコンベア等の平面上に積層してウェブを形成させる。このウェブに高圧の水流を上方から噴射して繊維間に結合を生起させることにより不織布を製造する（水流噴射方式）。この水流噴射方式により、従来ＰＶＡ製不織布では不可能とされていた、風合いを保持しながら体温程度の水には耐水性を付与することが可能となる。この水流噴射方式を行なうための装置については特に制限はなく、いわゆるスパンレース法用不織布製造装置等が使用可能である。
【００３０】
上記水流噴射方式における水圧は、通常２０〜４００ｋｇ／ｃｍ2、特に７０〜１５０ｋｇ／ｃｍ2であることが好ましい。水圧が低すぎると、充分な強度を有する不織布の製造が困難となる傾向がみられ、逆に、水圧が高すぎると、経済的に好ましくない傾向にある。また、上記水流は水柱状流が実用的であるが、散水流でも差し支えない。そして、上記得られた不織布を用いて、続いて、この不織布に含まれる水を、脱水，乾燥等することにより、目的とする短繊維不織布が得られる。なお、上記脱水，乾燥工程は、まず、圧力ロール等により脱水、続いて６０〜２００℃程度の温度で乾燥することが好ましい。
【００３１】
＜長繊維不織布の作製＞
つぎに、上記ＰＶＡ製繊維が長繊維の場合におけるＰＶＡ製不織布の製造方法について述べる。
【００３２】
ＰＶＡ製繊維が長繊維の場合におけるＰＶＡ製不織布の製造方法としては、例えば、スパンボンド法やメルトブローン法等があげられる。なかでも、原料となるＰＶＡから直接製造することができ、長繊維であるため強度に優れた不織布が得られるという点から、スパンボンド法が好ましく用いられる。
【００３３】
上記スパンボンド法とは、例えば、溶融押出機によりＰＶＡを溶融混練して、溶融したＰＶＡを紡糸ヘッドに導いてノズル孔から吐出させ（溶融紡糸）、この吐出糸状物を冷却装置により冷却した後、エアジェットノズル等の吸引装置を用いて、目的の繊度となるように高速気流で牽引する。その後、開繊しながら移動式の捕集面の上に堆積させてウェブを形成させ、このウェブを加熱等により部分圧着して巻き取ることによって長繊維不織布を得る方法である。
【００３４】
上記溶融紡糸の方法としては、特に限定されないが、公知の溶融紡糸機を用い、単一ノズルまたは複合ノズルから溶融紡糸される。紡糸温度は、ＰＶＡが溶融し、かつ変質しない温度で実施され、通常１２０〜２３０℃、特には１４０〜２２５℃、さらには１５０〜２２０℃の範囲で行なわれることが好ましい。
【００３５】
＜不織布の特性＞
このようにして得られるＰＶＡ製不織布の目付けは、その用途に応じて適宜設定されるが、通常５〜５００ｇ／ｍ2、特には１０〜１００ｇ／ｍ2、さらには２０〜８０ｇ／ｍ2であることが好ましい。目付けが小さすぎると、ＰＶＡ製繊維の絶対量が少ないため強度が不充分となり、形状を保持することが困難となる傾向がみられ、逆に、目付けが大きすぎると、通気性が失われ、乾燥に時間を要する傾向がみられる。
【００３６】
また、ＰＶＡ製不織布の厚みは、特に制限されるものではないが、通常１０〜１０００μｍ、特には２０〜８００μｍ、さらには３０〜６００μｍであることが好ましい。不織布の厚みが厚すぎると、不織布自体の柔軟性が低下し、また通気性に劣る傾向がみられ、逆に、厚みが薄すぎると、強度が低下し、かつ吸水性が低下する傾向がみられる。
【００３７】
本発明のシリコンウェハ用吸水体は、このようして得られるＰＶＡ製不織布を用いて得られるものであって、具体的には、略円筒状芯材に上記ＰＶＡ製不織布を巻回しロール形状として使用される。すなわち、略円筒状芯材に上記ＰＶＡ製不織布を巻回しロール形状に作製する方法としては、例えば、予め不織布の先頭端部を芯管表面にてテープで仮止めした後、円筒状芯管を所定の巻き取り速度となるように回転させる方法がある。
【００３８】
上記略円筒状芯材に対するＰＶＡ製不織布の巻回数は、巻回されるＰＶＡ製不織布の厚み等によって適宜に設定されるが、通常、１００〜２０００回、特には２００〜１５００回程度に設定される。そして、上記略円筒状芯材に巻回されてなるＰＶＡ製不織布の総厚みは、通常、１０〜２００ｍｍであることが好ましく、特に好ましくは２０〜１００ｍｍである。また、ＰＶＡ製不織布を巻きつけた際の不織布の密度は、通常、１０〜１０００ｋｇ／ｍ3、好ましくは５０〜５００ｋｇ／ｍ3であり、かかる密度が小さすぎると吸収性が低下する傾向があり、大きすぎると重量があり、扱いが困難になる傾向がある。
【００３９】
また、上記不織布が巻回される略円筒状芯材の形成材料としては、ステンレス，アルミニウム等の金属材料、各種熱硬化性樹脂等からなるプラスチック材料等があげられる。中でも、熱可塑性樹脂を用いることが好ましく、特にはポリ塩化ビニルを用いることが好ましい。また、上記略円筒状芯材の大きさは、設置する装置等に応じて適宜設定されるが、通常、外径１０〜２００ｍｍ×長さ２００〜２０００ｍｍであり、好ましくは外径２０〜１００ｍｍ×長さ４００〜１０００ｍｍである。
【００４０】
＜シリコンウェハの乾燥方法＞
本発明のシリコンウェハ用吸水体を用いてなるシリコンウェハの乾燥方法は、具体的には、つぎのようにして行なわれる。すなわち、先に述べたように、水をベースとしたアルカリ性混合液や酸性の混合洗浄液を用いてシリコンウェハ表面を洗浄した後、上部ロールが本発明のシリコンウェハ用吸水体を芯材に巻回してなるロールであり、下部ロールがＰＶＡ製スポンジシートを芯材に巻回してなるロールである、両ロールが上下に対峙してなる一対のロール間に、上記洗浄後のシリコンウェハをベルトコンペア等にて順次供給し通過させることによりシリコンウェハ表面に残存する水分をＰＶＡ製不織布に吸水させ除去する。
【００４１】
上記上下一対のロール間に洗浄後のシリコンウェハを通過させ上部ロールに吸水させる際のロールの回転速度としては、通常２０〜２００ｒｐｍ、好ましくは３０〜１８０ｒｐｍである。また、ロール間の圧力は、通常１〜１０Ｐａ、好ましくは３〜８Ｐａである。さらに、吸水させる際の温度は５〜８０℃、好ましくは１０〜６０℃である。そして、湿度は低いほうが良い。
【００４２】
上記ＰＶＡ製不織布に吸水させ除去した後、上記シリコンウェハを、従来から採用されている加熱乾燥装置、あるいはスピン乾燥装置等の公知の乾燥工程に投入することにより乾燥させても良い。具体的には、上記加熱乾燥装置としては、Ｘ６ＰＨシリーズ（フィンテック東京社製）等のような公知の加熱乾燥装置、上記スピン乾燥装置としては、スピンドライヤー（ダルトル社製）等のような公知の装置があげられる。
【００４３】
本発明のシリコンウェハの乾燥方法では、上記各種乾燥装置に投入する前に、予めシリコンウェハ表面をシリコンウェハ用吸水体にて拭き取り、その表面に残存する水分を効果的に吸水除去するため、上記乾燥装置における乾燥温度条件等を従来に比べて緩やかな条件設定にすることが可能となり、また乾燥時間を短時間にすることが可能となる。
【実施例】
【００４４】
以下、実施例をあげて本発明を更に具体的に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り以下の実施例に限定されるものではない。
【００４５】
［実施例１］
〈ＰＶＡ製不織布の製造〉
ＰＶＡ（ケン化度９９．８モル％、平均重合度１５７０）を原料とし、下記の製法に従って目付け６０ｇ/ｍ2、厚み０．５ｍｍのＰＶＡ製不織布を作製した。
【００４６】
上記のＰＶＡを９０℃の水に溶解し樹脂濃度１５重量％の紡糸原液を調製した。この紡糸原液を、孔径０．５ｍｍ、孔数１０００の口金より飽和芒硝浴へ単繊維繊度が１．５デニールになるように吐出させ、糸絛を形成せしめた。しかる後、１４０〜２００℃で８倍延伸し乾燥後、繊維長４５ｍｍに切断した。
【００４７】
上記繊維を平板上にウェブ状に積層し、ノズル孔０．１ｍｍのノズルから圧力１００ｋｇ／ｃｍ2の水を水柱状流に噴射させ、圧力ロールで脱水、１００℃で乾燥して目付６０ｇ／ｍ2のＰＶＡ製不織布を製造した。
【００４８】
［比較例１］
実施例１において、ＰＶＡ製不織布に代えてＰＶＡ製スポンジ（アイオン社製、ベルクリン  Ｅ−２）を用いた。
【００４９】
上記実施例１のＰＶＡ製不織布および比較例１のＰＶＡ製スポンジを、下記の評価試験に供した。その結果を後記の表１に併せて示す。
【００５０】
[吸水性試験]
ＪＩＳ  Ｌ  １９０７に準拠して吸水性試験を行なった。すなわち、上記ＰＶＡ製不織布およびＰＶＡ製スポンジをそれぞれ２００ｍｍ×２５ｍｍの短冊状に切断して試験片を作製した。そして、上記試験片が垂直になるように上端部を固定するとともに下端部から幅１ｃｍの部分を水に浸漬させ、１０分間放置した。その後、水が試験片内を上昇した高さ（ｃｍ）を測定した。
【００５１】
[乾燥試験]
上記で吸水させた試験片を、常温（２５℃）で湿度２５％ＲＨの環境下２４時間かけて乾燥させ、試験片の形状の変化を目視観察した。
【００５２】
【表１】
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【００５３】
上記結果から、ＰＶＡ製スポンジである比較例１に比べてＰＶＡ製不織布である実施例１の方が吸水性に優れていることがわかる。さらに、実施例１のＰＶＡ製不織布は乾燥後に変形も生じなかったことから、例えば、このＰＶＡ製不織布を芯材に巻回してなる拭き取りロールをシリコンウェハの乾燥工程に供した場合、拭き取り装置のメンテナンス時等にて乾燥させても、その後の使用に影響が生じず、有用である。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明のシリコンウェハ用吸水体は、洗浄液を用いて洗浄してなるシリコンウェハ表面の水分を効果的に吸収除去することができ、ロール形状として供することによりシリコンウェハの乾燥工程において非常に有用である。