(57)【要約】【課題】前述の従来技術に伴う諸欠点を解決することを課題とし、フィルムやパネルなど平面状の被除塵物体（ワーク）に付着した異物を効率よく除去して残留異物を少なくする。【解決手段】移動する被除塵物体の面に付着している異物を被除塵物体の片側から被除塵物体の面に平行方向にエアブローして被除塵物体から除去する。【選択図】  図１
2016036752.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動する被除塵物体の面に付着している異物を被除塵物体の片側から被除塵物体の面に平行方向にエアブローして被除塵物体から除去することを特徴とする除塵装置。
【請求項２】
請求項１記載の除塵装置において、被除塵物体の進行方向に対して横方向ないしやや上流方向に向かってエアブローすることを特徴とする除塵装置。
【請求項３】
請求項１、２記載の除塵装置において、エアブローは除塵装置全域において行うことを特徴とする除塵装置
【請求項４】
請求項１、２、３記載の除塵装置において、被除塵物体の進行方向に対して横方向に除塵された異物を被除塵物体のエアブロー下流側横位置において集塵することを特徴とする除塵装置。
【請求項５】
請求項４記載の除塵装置はエアブローした異物を回収する集塵フードを有し、該フードはエアブロー上流側の断面積が下流側の断面積より小さいことを特徴とする除塵装置。
【請求項６】
請求項１乃至５記載の除塵装置において、被除塵物体の進行方向に対し左右の中央を超えてエアブローし、集塵する側と反対側の先端側エアブロー風が被除塵物体の先端側の端をエアブローしないことを特徴とする除塵装置。
【請求項７】
請求項１乃至６記載の除塵装置において、被除塵物体の表裏面を同時に除塵することを特徴とする除塵装置。
【請求項８】
請求項１乃至７記載の除塵装置において、被除塵物体を進行方向に向かって左右両方向に同時に除塵することを特徴とする除塵装置。
【請求項９】
請求項８記載の除塵装置において、左方向の除塵装置と右方向の除塵装置間に隙間があることを特徴とする除塵装置。
【請求項１０】
請求項１乃至９記載の除塵装置において、除塵装置の上流と下流に空気イオンを満たして被除塵物体の静電気を中和することを特徴とする除塵装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルムやパネルなど平面状のワーク等の被除塵物体（以下、ワークということもある）に付着した異物を除去する横方向除塵装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来はフィルムやパネルなど平面状の被除塵物体に付着した異物を除去するためにエアナイフなどを用い、被除塵物体の斜め上方から鋭角にエアブローしていた。エアブローの方向は被除塵物体の進行方向に対し１８０度すなわち進行方向に対して逆方向にエアブローしていた。エアブローにより被除塵物体から剥離された異物を真空吸引してすくい上げ集塵していた。これらの従来技術を図８〜１３を参照して以下に具体的に説明する。
【０００３】
図８は従来の除塵方式の１つを示し、被除塵物体（ワーク）１０に付着した異物１２を除去するために、エアブロー１４でもって被除塵物体１０を吹き、被除塵物体１０の進行方向に対し１８０度すなわち進行方向と逆方向に異物を押し戻している。
【０００４】
図９は同じく従来の除塵方式の１つを示し、被除塵物体１０に付着した異物１２を除去するために、エアブロー１４でもって斜め上方より鋭角度に被除塵物体１０を吹き、異物１２を剥離して吹き飛ばしている。吹き飛ばした異物１２を集塵機１６ですくい上げて回収している。しかし、このすくい上げがうまく機能しないと言う問題があった。
【０００５】
図１０は図９の異物のすくい上げがうまく機能しない理由を説明する図である。斜め上方よりエアブローすると反射したエア流１８とワーク（被除塵物体）１０の間に渦流ができ負圧が発生する。図１１はこの負圧により、エア流１８はワーク１０に引き寄せられて離れない状況を示す。もしワークにテンションがかかっていない場合は、ワークがエア流に吸い上げられて、同様にエア流はワークから離れない。（図示せず）
【０００６】
図１１に示すように、反射したエア流１８に含まれる（被除塵物体から剥離された）異物１２は、ワーク１０から少ししか浮き上がらないため、集塵機（図１０参照）で吸い上げても回収できずにいくらかは残ってしまう状況を示す。残った異物は上流のワーク上に乗って再度流れて来て、再びエアブローされるが、やはり完全には回収されないため、除塵できなかった残留異物として残ってしまう。
【０００７】
図１２に示すように、異物１２の一部が集塵機１６で集塵されない場合がある。このことを避けるために、図１３に示すように、残留異物を少なくするための集塵器１６をワーク１０に近付け真空吸引した場合、それによりワーク１０と集塵器１６が接触する恐れがある。接触によりワーク１０に傷を付け不良品化する。以上のように、従来例では完全な異物除去は難しく異物が残り易かった。
【０００８】
その他、公開されている従来技術には、パネル体の除塵装置（実録２５６７１９１号明細書）、除塵ヘッド（特開平１１−２３５５５９号公報）、除塵洗浄方法及び装置（特開２０１０−１６２４４５号公報）がある。
【０００９】
パネル体の除塵装置は、移動するパネルに進行方向からエアを吐出し、逆方向から集塵する技術である。この技術では、異物の集塵残りは防げない。除塵ヘッドは移動するパネルに進行方向からエアを吐出し、両方向から集塵する技術である。やはり、異物の集塵残りは防げない。除塵洗浄方法および装置は移動するパネルの進行方向と逆方向にエアを中央から吐出し、両方向から直角方向に集塵する。あるいはエアを両側から吐出し、中央で直角方向に集塵する。除塵した塵の集塵残りは防げない。いずれもワークと平行方向に走る異物を垂直方向に吸い上げようとするが、異物、すなわち、エアの流速が早ければ早いほど吸い上げ残りが発生し、集塵残りが発生する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】実録２５６７１９１号明細書
【００１１】
【特許文献２】特開平１１−２３５５５９号公報
【００１２】
【特許文献３】特開２０１０−１６２４４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、前述の従来技術に伴う諸欠点を解決することを課題とし、フィルムやパネルなど平面状の被除塵物体（ワーク）に付着した異物を効率よく除去して残留異物を少なくする除塵装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、移動する被除塵物体の面に付着している異物を被除塵物体の片側から被除塵物体の面に平行方向にエアブローして被除塵物体から除去する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によればフィルムやパネルなど平面状の被除塵物体に付着した異物を効率よく除去して残留異物を少なくできる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施例１を説明するための図である。
【図２】実施例２を説明するための図である。
【図３】実施例３を説明するための図である。
【図４】実施例４を説明するための図である。
【図５】実施例５を説明するための図である。
【図６】実施例６を説明するための図である。
【図７】実施例７を説明するための図である。
【図８】従来の除塵方式を説明するための図である。
【図９】従来の除塵方式を説明するための図である。
【図１０】従来の除塵方式を説明するための図である。
【図１１】従来の除塵方式を説明するための図である。
【図１２】従来の除塵方式を説明するための図である。
【図１３】従来の除塵方式を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
フィルムやパネルなど平面状の被除塵物体に付着した異物を効率よく除去して残留異物を少なくするために被除塵物体の面に平行方向に横方向からやや上流に向かってエアブローし、エアブローは除塵装置全域において行い、エアブロー下流側横位置において集塵する。除塵装置はエアブローした異物を回収する集塵フードを有し、該フードはエアブロー上流側の断面積を下流側の断面積より小さくする。被除塵物体の進行方向に対し左右の中央を超えてエアブローし、集塵する側と反対側の先端側エアブロー風が被除塵物体の先端側の端をエアブローしないようにし、被除塵物体の表裏面を同時に除塵し、被除塵物体を進行方向に向かって左右両方向に同時に除塵し、左方向の除塵装置と右方向の除塵装置間に隙間を設け、除塵装置の上流と下流に空気イオンを満たして被除塵物体の静電気を中和するのが好ましい。
【実施例１】
【００１８】
実施例１を図１を参照して説明する。図１は本発明の除塵方式を説明する図である。フィルムやパネルなど平面状の被除塵物体（ワーク）１０に付着した異物１２を横方向にエアブロー１４して除去する。
【実施例２】
【００１９】
実施例２を図２を参照して説明する。図２ａが正面図であり、図２ｂが側面図である。図２は本発明の被除塵物体に付着した異物をエアブローして除去する方法と装置の構造を示す。ホコリ払い器２０にはエアが供給され、ワーク１０と対峙した面に多くの吹出し孔があり、ワーク１０に向かって至近距離からエアブローする。エアブローはワーク１０の進行方向に対して横方向に行う。ワーク１０に付着して流れてきた異物１２はこのエアブローにより横方向に払われて除去される。
【実施例３】
【００２０】
実施例３を図３を参照して説明する。図３ａが平面図で、図３ｂが側面図である。図３はホコリ払い器と集塵器を表わし、さらにホコリ払い機２０のエアブロー方向の別の案を示す。この場合、ワーク１０の進行方向に対し、右側に集塵装置２２がある。前述の実施例１，２ではワークの進行方向に対して、横方向かつ真下にエアブローしていたが、この実施例３ではワークの進行方向に対し、右方向１２０度かつ下方向１１０度に向かってエアブローしている。この方が異物を実施例１，２よりより上流に戻す作用があるため、より高速に動くワークに対してより効果的かつ安全に異物除去ができる。
【実施例４】
【００２１】
実施例４を図４を参照して説明する。図４ａが正面図であり、図４ｂが側面図である。図４は本案の集塵の方法と構造を示す。ワーク１０の表面側にホコリ払い器２０が対峙し、ワーク１０の進行方向に対して右側に集塵器２２がある。ワーク１０に付着して流れてきた異物１２はホコリ払い器２０でエアブローされて右方向に払われ、集塵器２２により回収される。
【実施例５】
【００２２】
実施例５を図５を参照して説明する。図５ａが平面図で、図５ｂが正面図で、図５ｃが側面断面図である。図５はワークの表面と裏面で同時にエアブローする構造を示す。ホコリ払い器２０が表裏両面にあり、ワーク１０の進行方向に対し右側に集塵器２２がある。ワーク１０の表裏を同時にエアブローすることにより、ワーク１０を支持するロールなど機構物が不要になり、完全非接触な除塵動作が可能になる。
【００２３】
上下のホコリ払い器２０はそれぞれフード２０ａを有し、払ったホコリを辺りに飛散させることなく回収する。このフード２０ａの断面積は集塵機側が先端側より大きい。それは集塵器側の方が先端側より中を通る風量が大きいからである。またホコリ払い器２０ないしフード２０ａの上流と下流に除電器２４を配置してワーク１０にイオン３０をふりかけ静電気を除去することが好ましい。
【実施例６】
【００２４】
実施例６を図６を参照して説明する。図６は左右両方向のホコリ払いを同時に行う方式を示す。これによりワークの端の除塵を完全に行えるため異物残留を防ぐ。さらにワーク１０が片方向のエアブローにより片側へ斜行するのを防止する。
【実施例７】
【００２５】
実施例７を図７を参照して説明する。図７は平面図である。図７は左右両方向のホコリ払いを同時に行う方式を表わす。左右どちらかの片側のみのエアブローをするとワーク１０は片側へ斜行するため、左右両方向同時にエアブローするのが好ましい。またエアブローはワーク１０の進行方向に対し（１）ワークの左右中央を超えて行い、（２）エアブロー風がワーク先端を超えないことが好ましい。（１）の条件を満たさない場合、即ち左右中央を超えない場合には中央に異物が残る。（２）の条件を満たさない場合には、ワーク先端にエアブロー風が吹くとワーク１０がバタつきホコリ払い器２０と接触事故を起こす。また左右のホコリ払い器２０（フードを含む）間の間隔が十分にある事が好ましい。近すぎると両者の間に渦気流が発生するため、払った異物が回収できなくて残留する可能性がある。
【符号の説明】
【００２６】
１０  被除塵物体（ワーク）
１２  異物
１４  エアブロー
２０  ホコリ払い器
２２  集塵器
２４  イオナイザー
３０  イオン
【図１】
2016036752.tif 000003
【図２】
2016036752.tif 000004
【図３】
2016036752.tif 000005
【図４】
2016036752.tif 000006
【図５】
2016036752.tif 000007
【図６】
2016036752.tif 000008
【図７】
2016036752.tif 000009
【図８】
2016036752.tif 000010
【図９】
2016036752.tif 000011
【図１０】
2016036752.tif 000012
【図１１】
2016036752.tif 000013
【図１２】
2016036752.tif 000014
【図１３】
2016036752.tif 000015
【手続補正書】
【提出日】平成27年1月19日(2015.1.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動する被除塵物体の面に付着している異物を被除塵物体の片側から斜め上方から吹いて被除塵物体の面に平行方向にエアブローして被除塵物体から除去することを特徴とする除塵装置。
【請求項２】
請求項１記載の除塵装置において、被除塵物体の進行方向に対して横方向ないしやや上流方向に向かってエアブローすることを特徴とする除塵装置。
【請求項３】
請求項１、２記載の除塵装置において、エアブローは除塵装置全域において行うことを特徴とする除塵装置
【請求項４】
請求項１、２、３記載の除塵装置において、被除塵物体の進行方向に対して横方向に除塵された異物を被除塵物体のエアブロー下流側横位置において集塵することを特徴とする除塵装置。
【請求項５】
請求項４記載の除塵装置はエアブローした異物を回収する集塵フードを有し、該フードはエアブロー上流側の断面積が下流側の断面積より小さいことを特徴とする除塵装置。
【請求項６】
請求項１乃至５記載の除塵装置において、被除塵物体の進行方向に対し左右の中央を超えてエアブローし、集塵する側と反対側の先端側エアブロー風が被除塵物体の先端側の端をエアブローしないことを特徴とする除塵装置。
【請求項７】
請求項１乃至６記載の除塵装置において、被除塵物体の表裏面を同時に除塵することを特徴とする除塵装置。
【請求項８】
請求項１乃至７記載の除塵装置において、被除塵物体を進行方向に向かって左右両方向に同時に除塵することを特徴とする除塵装置。
【請求項９】
請求項８記載の除塵装置において、左方向の除塵装置と右方向の除塵装置間に隙間があることを特徴とする除塵装置。
【請求項１０】
請求項１乃至９記載の除塵装置において、除塵装置の上流と下流に空気イオンを満たして被除塵物体の静電気を中和することを特徴とする除塵装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明は、移動する被除塵物体の面に付着している異物を被除塵物体の片側から斜め上方から吹いて被除塵物体の面に平行方向にエアブローして被除塵物体から除去する。