(57)【要約】【課題】導電性に優れており、かつ高い光透過性を有する太陽電池用透明電極を提供する。【解決手段】本発明に係る太陽電池用透明電極は、太陽電池モジュールに用いられ、かつ光透過性を有する透明電極であって、光透過性を有する導電層４と、少なくとも一部が導電層４の内部に配置された金属配線５とを備え、金属配線５が、導電層４よりも高い導電性を有し、導電層４の面方向において、金属配線５が部分的に配置されている、太陽電池用透明電極３。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
太陽電池モジュールに用いられ、かつ光透過性を有する透明電極であって、
光透過性を有する導電層と、少なくとも一部が前記導電層の内部に配置された金属配線とを備え、
前記金属配線が、前記導電層よりも高い導電性を有し、
前記導電層の面方向において、前記金属配線が部分的に配置されている、太陽電池用透明電極。
【請求項２】
前記金属配線が、前記導電層の表面から突出しないように前記導電層の内部に配置されている、請求項１に記載の太陽電池用透明電極。
【請求項３】
前記金属配線と、前記導電層とが一体化されている、請求項１又は２に記載の太陽電池用透明電極。
【請求項４】
前記金属配線の平面形状が、ライン状又は網目状である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の太陽電池用透明電極。
【請求項５】
平面視したときに、前記導電層の面積１００％中、前記金属配線が配置されている部分の占める面積が、０．１％以上、５％以下である、請求項１〜４のいずれか１項に記載の太陽電池用透明電極。
【請求項６】
前記金属配線が露出していない状態で、太陽電池用モジュールに用いられる、請求項１〜５のいずれか１項に記載の太陽電池用透明電極。
【請求項７】
前記金属配線が、露出しないように前記導電層の内部に配置されているか、又は、前記太陽電池用透明電極は、前記金属配線が露出しないように基材フィルムが積層された状態で、太陽電池用モジュールに用いられる、請求項６に記載の太陽電池用透明電極。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の太陽電池用透明電極と、光透過性を有する基材フィルムとを備え、
前記太陽電池用透明電極の表面上に、前記基材フィルムが配置されている、太陽電池用透明電極積層体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池モジュールに用いられ、かつ光透過性を有する太陽電池用透明電極に関する。また、本発明は、上記太陽電池用透明電極を備える太陽電池用透明電極積層体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、高い導電性と可視光領域での高い透過率とを有する透明電極が、太陽電池や液晶表示素子、その他各種受光素子などに利用されている。このような透明電極としては、酸化錫（ＳｎＯ２）系、酸化亜鉛（ＺｎＯ）系又は酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）系などの導電性酸化物からなる薄膜や、金属配線などが知られている。
【０００３】
例えば、下記の特許文献１には、複数の開口部を有する補助金属配線及び上記開口部に充填された透明樹脂を有する補助電極層と、該補助電極層上に形成された導電性樹脂層とを備える透明電極が開示されている。特許文献１では、上記透明樹脂が、上記補助金属配線の少なくとも表面との親和性の低い樹脂であることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１６６７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
太陽電池モジュールに用いられる電極では、他の用途に用いられる電極と比べて、光電変換効率を高めるために、抵抗をかなり低くすることができる電極が望まれている。
【０００６】
また、太陽電池用途においては、支持体や光電変換層に有機材料が用いられている。そのため、支持体や光電変換層を有する太陽電池部材に透明電極を形成する場合には、有機材料が劣化しないように、透明電極を低温で形成する必要がある。しかしながら、導電性酸化物などの透明電極材料を低温で成膜した場合、結晶性が悪くなり電極の抵抗が増大してしまうという問題がある。
【０００７】
また、特許文献１のように、金属配線を太陽電池の電極材料として用いた場合、電極の抵抗を低下させることができる。しかしながら、特許文献１では、上記金属配線の開口部には、上記金属配線と親和性の低い樹脂が充填されている。そのため、金属配線の開口部に充填された樹脂によって、電極の抵抗が十分に低下しないことがある。
【０００８】
本発明の目的は、導電性に優れており、かつ高い光透過性を有する太陽電池用透明電極を提供すること、並びに該太陽電池用透明電極を用いた太陽電池用透明電極積層体を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の広い局面によれば、太陽電池モジュールに用いられ、かつ光透過性を有する透明電極であって、光透過性を有する導電層と、少なくとも一部が前記導電層の内部に配置された金属配線とを備え、前記金属配線が、前記導電層よりも高い導電性を有し、前記導電層の面方向において、前記金属配線が部分的に配置されている、太陽電池用透明電極が提供される。
【００１０】
本発明に係る太陽電池用透明電極のある特定の局面では、前記金属配線が、前記導電層の表面から突出しないように前記導電層の内部に配置されている。
【００１１】
本発明に係る太陽電池用透明電極のある特定の局面では、前記金属配線と、前記導電層とが一体化されている。
【００１２】
本発明に係る太陽電池用透明電極のある特定の局面では、前記金属配線の平面形状が、ライン状又は網目状である。
【００１３】
本発明に係る太陽電池用透明電極のある特定の局面では、平面視したときに、前記導電層の面積１００％中、前記金属配線が配置されている部分の占める面積が、０．１％以上、５％以下である。
【００１４】
本発明に係る太陽電池用透明電極のある特定の局面では、前記太陽電池用透明電極は、前記金属配線が露出していない状態で、太陽電池用モジュールに用いられる。好ましくは、前記金属配線が、露出しないように前記導電層の内部に配置されているか、又は、前記太陽電池用透明電極は、前記金属配線が露出しないように基材フィルムが積層された状態で、太陽電池用モジュールに用いられる。
【００１５】
本発明に係る太陽電池用透明電極積層体は、本発明によって構成される太陽電池用透明電極と、光透過性を有する基材フィルムとを備え、前記太陽電池用透明電極の表面上に、前記基材フィルムが配置されている。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係る太陽電池用透明電極は、光透過性を有する導電層と、少なくとも一部が該導電層の内部に配置された金属配線とを備える。また、上記金属配線は、上記導電層よりも高い導電性を有し、上記導電層の面方向において、上記金属配線が部分的に配置されている。従って、本発明の太陽電池用透明電極は、導電性に優れており、かつ高い光透過性を有している。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係る太陽電池用透明電極積層体の模式的平面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ’線に沿う模式的正面断面図である。
【図２】図２は、本発明の第１の実施形態に係る太陽電池用透明電極積層体の第１の変形例を示す模式的正面断面図である。
【図３】図３は、本発明の第１の実施形態に係る太陽電池用透明電極積層体の第２の変形例を示す模式的正面断面図である。
【図４】図４（ａ）は、本発明の第２の実施形態に係る太陽電池用透明電極積層体の模式的平面図であり、図４（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ’線に沿う模式的正面断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００１９】
（第１の実施形態）
図１（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係る太陽電池用透明電極積層体の模式的平面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ’線に沿う模式的正面断面図である。なお、図１において、各層及び金属配線の長さ、幅、厚み及び形状は、図示の便宜上、実際の大きさ及び形状から適宜変更している。
【００２０】
図１（ａ）及び（ｂ）に示す太陽電池用透明電極積層体１は、基材フィルム２及び太陽電池用透明電極３を備える。太陽電池用透明電極３は、太陽電池モジュールに用いられる電極である。
【００２１】
基材フィルム２は、高い光透過性を有している。基材フィルム２は、太陽電池用透明電極積層体１が太陽電池モジュールに搭載された後、そのまま太陽電池モジュールの一部として使用されてもよいし、太陽電池モジュールから剥離して分離されてもよい。基材フィルム２は、導電性材料により形成されていなくてもよい。
【００２２】
太陽電池用透明電極３は、高い光透過性を有している。太陽電池用透明電極３は、導電層４と、金属配線５とを備える。
【００２３】
導電層４は、第１の主面４ａ（表面）及び第２の主面４ｂ（表面）を有する。第１の主面４ａと、第２の主面４ｂとは、互いに対向している。第１の主面４ａは、基材フィルム２に接している。第１の主面４ａは、基材フィルム２が配置される表面である。第２の主面４ｂは、太陽電池モジュール内に搭載される搭載面である。導電層４は、導電性が高く、かつ光透過性の高い材料により形成されている。
【００２４】
導電層４の面方向において、金属配線５は部分的に配置されている。平面視したときに、太陽電池用透明電極３は、金属配線５が配置されている部分と、金属配線５が配置されていない部分とを有する。
【００２５】
金属配線５の少なくとも一部が、導電層４の内部に配置されている。具体的には、本実施形態では、金属配線５の全部が、導電層４の内部に配置されている。金属配線５は、導電層４の内部に埋め込まれるように設けられており、導電層４と一体化されている。また、金属配線５は、導電層４の第１の主面４ａから突出しないように導電層４の内部に配置されている。金属配線５は、導電層４の第１の主面４ａから突出した突出部を有さない。太陽電池用透明電極３の一方の表面において、金属配線５の表面と導電層４の第１の主面４ａとが連なっている。この場合に、金属配線５の全部が、導電層４の内部に配置されていることとする。金属配線の表面が、導電層の表面と連なっているか、又は金属配線の表面が、導電層の表面よりも内側に位置する場合には、金属配線の全部が、導電層の内部に配置されていることとする。
【００２６】
太陽電池用透明電極３に基材フィルム２が積層されていない場合には、金属配線５は、露出するように導電層４の内部に配置されている。太陽電池用透明電極３に基材フィルム２が積層されていない場合には、金属配線５の表面は露出する。本実施形態では、太陽電池用透明電極３に基材フィルム２が積層されているので、金属配線５の表面は露出していない。太陽電池用透明電極３は、金属配線５が露出していない状態で、太陽電池用モジュールに用いられることが好ましい。太陽電池用透明電極３は、金属配線５が露出しないように基材フィルム２が積層された状態で、太陽電池用モジュールに用いられることが好ましい。これらの場合には、金属配線５の腐食を抑えることができ、高い光電変換効率を長期間に渡り維持できる太陽電池モジュールが得られる。
【００２７】
図１（ａ）に平面図で示すように、金属配線５は、ｘ方向（第１の方向）に延びる複数の金属配線と、ｙ方向（第２の方向）に延びる複数の金属配線とを有する。金属配線５は複数の方向に延びている。上記ｙ方向は、上記ｘ方向と直交する方向である。太陽電池用透明電極１では、上記ｘ方向に延びる複数の金属配線及び上記ｙ方向に延びる複数の金属配線が一体的に形成されており、平面形状が網目状の金属配線５が形成されている。網目状の金属配線５は、本実施形態では、格子状である。
【００２８】
金属配線５は、導電層４より光透過性が低い材料により形成されている。但し、金属配線４は、平面形状が網目状であるために開口部を有するので、開口部において光が遮断されない。このため、太陽電池用透明電極積層体１及び太陽電池用透明電極３は全体として、光透過性を有する。従って、太陽電池用透明電極３では、導電層４より光透過性が低い金属配線５を用いているにも関わらず、太陽電池モジュール内に光を十分に導くことができる。
【００２９】
また、金属配線５は、導電層４より導電性が高い材料により形成されている。そのため、金属配線５は、導電層４よりも高い導電性を有する。太陽電池用透明電極３では、高い導電性を有する金属配線５と、導電層４とが一体化されることにより形成されている。そのため、太陽電池用透明電極３全体で、高い導電性が発現する。従って、太陽電池用透明電極３では、高い導電性と高い光透過性との双方を高いレベルで両立することができる。
【００３０】
図２は、本発明の第１の実施形態に係る太陽電池用透明電極積層体の第１の変形例を示す模式的正面断面図である。図２に示すように、第１の変形例の太陽電池用透明電極積層体１Ａ及び太陽電池用透明電極３Ａでは、金属配線５が、露出しないように導電層４Ａの内部に配置されている。金属配線５は、導電層４Ａの内部に、金属配線５が露出しないように埋め込まれている。太陽電池用透明電極３Ａに基材フィルム２が積層されていない場合にも、金属配線５は、露出しないように導電層４Ａの内部に配置されている。
【００３１】
金属配線５は、導電層４Ａの内部において、導電層４Ａの厚み方向の中央部に設けられている。従って、金属配線５は、導電層４Ａの第１及び第２の主面４ａ，４ｂ側のいずれにおいても露出していない。なお、金属配線５は、導電層４Ａの内部において、厚み方向の中央部に設けられていてもよく、厚み方向の第１の主面４ａ側に設けられていてもよく、厚み方向の第２の主面４ｂ側に設けられていてもよい。
【００３２】
図３は、本発明の第１の実施形態に係る太陽電池用透明電極積層体の第２の変形例を示す模式的正面断面図である。図３に示すように、第２の変形例の太陽電池用透明電極積層体１Ｂ及び太陽電池用透明電極３Ｂでは、金属配線５の一部が導電層４Ｂの内部に埋め込まれるように配置されている。太陽電池用透明電極３Ｂに基材フィルム２が積層されていない場合には、金属配線５が、露出するように導電層４Ｂの内部に配置されている。太陽電池用透明電極３Ｂにおいて、金属配線５は、一部が露出し、一部が露出していない状態で導電層４Ｂの内部に設けられている。
【００３３】
図１〜図３に示すように、本発明においては、金属配線５の少なくとも一部が、導電層４，４Ａ，４Ｂの内部に配置されていればよい。それによって、高い導電性と高い光透過性との双方を高いレベルで両立することができる。また、導電層４，４Ａ，４Ｂと、金属配線５との剥離が生じ難くなり、太陽電池モジュールの信頼性を高めることができる。
【００３４】
なお、金属配線５の酸化を防止する観点からは、第１の変形例で示すように、太陽電池用透明電極３Ａにおいて、金属配線５が導電層４Ａの内部に、金属配線５が露出しないように埋め込まれていることが好ましい。
【００３５】
また、第２の変形例のように、金属配線５の一部が露出している場合には、太陽電池用透明電極３Ｂは、金属配線５が露出しないように基材フィルム２が積層された状態で、太陽電池用モジュールに用いられることが好ましい。太陽電池用透明電極３Ｂにおける金属配線５の露出部分に基材フィルム２が積層されていることが好ましい。この場合には、金属配線５が導電層４内に完全に埋め込まれていなくても、金属配線５の腐食を防止することができる。
【００３６】
太陽電池用透明電極は、金属配線が、露出しないように上記導電層の内部に配置されているか、又は、上記太陽電池用透明電極は、上記金属配線が露出しないように基材フィルムが積層された状態で、太陽電池用モジュールに用いられることが好ましい。
【００３７】
（第２の実施形態）
図４（ａ）は、本発明の第２の実施形態に係る太陽電池用透明電極積層体の模式的平面図であり、図４（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ’線に沿う模式的正面断面図である。なお、図４において、各層及び金属配線の長さ、幅、厚み及び形状は、図示の便宜上、実際の大きさ及び形状から適宜変更している。
【００３８】
図４（ａ）及び（ｂ）に示すように、太陽電池用透明電極積層体２１は、基材フィルム２と、太陽電池用透明電極２３とを備える。太陽電池用透明電極２３は、導電層２４と、金属配線２５とを備える。導電層２４は、第１の主面２４ａ（表面）及び第２の主面２４ｂ（表面）を有する。
【００３９】
太陽電池用透明電極２３では、金属配線２５がｙ方向に延びる複数の金属配線のみにより形成されており、ｘ方向に延びる複数の金属配線が設けられていない。すなわち、太陽電池用透明電極２３では、上記ｙ方向に延びる複数の金属配線により、平面形状がライン状の金属配線２５が形成されている。金属配線２５の金属配線５との形状の相違に伴って、導電層２４の形状も、導電層４の形状と異なる。その他の点は、第１の実施形態と同様である。
【００４０】
第２の実施形態では、金属配線２５の平面形状がライン状であるため、金属配線２５により、光が遮断され難い。従って、太陽電池用透明電極２３では、導電層２４より光透過性が低い金属配線２５を用いているにも関わらず、太陽電池セル内に光を十分に導くことができる。
【００４１】
また、第２の実施形態においても、高い導電性を有する金属配線２５と、導電層２４とが一体化されることにより太陽電池用透明電極２３が形成されているため、太陽電池用透明電極２３全体で、高い導電性を発現することができる。
【００４２】
太陽電池用透明電極積層体１や、太陽電池用透明電極積層体２１などの本発明に係る太陽電池用透明電極積層体は、上記の構成を備えているため、高い導電性と、高い光透過性の双方を高いレベルで両立することができる。従って、本発明に係る太陽電池用透明電極積層体は、太陽電池用途に好適に用いることができる。
【００４３】
（基材フィルム）
基材フィルムは、高い光透過性を有することが好ましい。従って、基材フィルムの材料としては、特に限定されないが、例えば、ポリオレフィン、ポリエーテルサルフォン、ポリスルホン、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、シクロオレフィンコポリマー、ポリアリレート、ポリアミド、ポリイミド、ポリメチルメタクリレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、トリアセチルセルロース、セルロースナノファイバー等が挙げられる。基材フィルムは、樹脂により形成されていることが好ましい。これらは、単独で用いてもよく、複数を併用してもよい。
【００４４】
基材フィルムは、上述したように太陽電池用透明電極積層体が太陽電池モジュールに搭載された後、そのまま太陽電池モジュールの一部として使用されてもよいし、太陽電池モジュールから剥離して分離されてもよい。
【００４５】
基材フィルムの厚みは、特に限定されないが、５μｍ以上であることが好ましく、２０μｍ以上であることがより好ましく、１０００μｍ以下であることが好ましく、２５０μｍ以下であることがより好ましい。基材フィルムの厚みが上記上限以下及び上記下限以上である場合、太陽電池用透明電極積層体の光透過性をより一層高めることができ、より一層薄型化を図ることができる。
【００４６】
また、基材フィルムの光透過率は、波長３８０〜７８０ｎｍの可視光領域における平均透過率が８５％以上であることが好ましく、９０％以上であることがより好ましい。
【００４７】
また、基材フィルムには、各種安定剤、紫外線吸収剤、可塑剤、滑剤又は着色剤が含まれていてもよい。
【００４８】
（導電層）
導電層は、光透過性を有する導電性材料により形成されている。金属配線が、導電層よりも高い導電性を有するように、導電層の材料は適宜選択される。なお、導電性の高低は、表面抵抗計（ＭＩＴＳＵＢＩＳＨＩ  ＣＨＥＭＩＣＡＬ  ＡＮＡＬＹＴＥＣＨ社製、商品名：Ｌｏｒｅｓｔａ−ＥＰ）を用いて、４端子法によって評価することができる。
【００４９】
上記導電性材料としては、特に限定されないが、例えば、ＩＺＯ（インジウム亜鉛酸化物）や、ＩＴＯ（インジウムスズ酸化物）などのＩｎ系酸化物、ＳｎＯ２、ＦＴＯ（フッ素ドープ酸化スズ）などのＳｎ系酸化物、ＡＺＯ（アルミニウム亜鉛酸化物）、ＧＺＯ（ガリウム亜鉛酸化物）などのＺｎ系酸化物、ナトリウム、ナトリウム−カリウム合金、リチウム、マグネシウム、アルミニウム、マグネシウム−銀混合物、マグネシウム−インジウム混合物、アルミニウム−リチウム合金、Ａｌ／Ａｌ２Ｏ３混合物、Ａｌ／ＬｉＦ混合物、金等の金属、ＣｕＩ、Ａｇナノワイヤー（ＡｇＮＷ）、カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）又は導電性透明ポリマーなどが挙げられる。これらは単独で用いてもよく、複数を併用してもよい。
【００５０】
導電性をより一層高め、光透過性をより一層高める観点から、上記導電性材料は、ＩＺＯ（インジウム亜鉛酸化物）や、ＩＴＯ（インジウムスズ酸化物）などのＩｎ系酸化物、ＳｎＯ２、ＦＴＯ（フッ素ドープ酸化スズ）などのＳｎ系酸化物、ＡＺＯ（アルミニウム亜鉛酸化物）、ＧＺＯ（ガリウム亜鉛酸化物）などのＺｎ系酸化物であることが好ましく、ＩＴＯ（インジウムスズ酸化物）であることがより好ましい。
【００５１】
導電層の厚みは、特に限定されないが、１５ｎｍ以上であることが好ましく、２０ｎｍ以上であることがより好ましく、２００ｎｍ以下であることが好ましく、１００ｎｍ以下であることがより好ましい。
【００５２】
導電層の厚みが上記下限以上である場合、太陽電池用透明電極の導電性をより一層高めることができる。導電層の厚みが上記上限以下である場合、太陽電池用透明電極の光透過性をより一層高めることができ、より一層薄型化を図ることができる。
【００５３】
また、導電層の光透過率は、可視光領域における平均透過率が８５％以上であることが好ましく、９０％以上であることがより好ましい。
【００５４】
（金属配線）
金属配線の材料としては、導電性材料である限り、特に限定されない。但し、金属配線が、導電層よりも高い導電性を有するように、金属配線の材料は適宜選択される。
【００５５】
上記金属配線の導電性材料としては、例えば、金、白金、鉄、銅、銀、アルミニウム、クロム、コバルト、ステンレス鋼又はそれらの合金等が挙げられ、なかでも銅、銀、アルミニウム、金等の低抵抗金属が好ましい。上記金属配線を構成する導電性材料としては、製造コストと材料コストが低く、かつ酸化されにくいので、銀又は銅がより好ましく、銅がさらに好ましい。
【００５６】
金属配線の平面形状としては、特に限定されないが、ライン状、正方形、長方形、菱形等の開口部を複数有する網目状、ハニカム、及び曲線等が挙げられ、これらの平面形状の組合せであってもよい。導電性と光透過性とをより一層高める観点から、金属配線の平面形状は、正方形、長方形、菱形等の開口部を複数有する網目状であることが好ましい。格子状は網目状に含まれる。
【００５７】
金属配線の面積としては、特に限定されないが、平面視したときに、上記導電層の面積１００％中、上記金属配線が配置されている部分の占める面積が、０．１％以上であることが好ましく、０．２％以上であることがより好ましく、５％以下であることが好ましく、１％以下であることがより好ましい。金属配線の面積が上記下限以上である場合、導電性をより一層高めることができる。金属配線の面積が上記上限以下である場合、高い光線透過率をより一層高めることができる。上記導電層の面積１００％は、金属配線が配置されている部分と、金属配線が配置されていない部分との合計を示す。なお、金属配線が、露出しないように導電層の内部に配置されている場合には、平面視において、導電層を透過して、金属配線が配置されている部分を認識する。
【００５８】
金属配線の幅としては、特に限定されないが、０．１μｍ以上であることが好ましく、０．５μｍ以上であることがより好ましく、５０μｍ以下であることが好ましく、１０μｍ以下であることがより好ましい。
【００５９】
金属配線の幅が上記下限以上である場合、太陽電池用透明電極の導電性をより一層高めることができる。金属配線の幅が上記上限以下である場合、より一層光透過性を高めることができる。
【００６０】
金属配線の厚みとしては、特に限定されないが、５ｎｍ以上であることが好ましく、１０ｎｍ以上であることがより好ましく、２００ｎｍ以下であることが好ましく、１００ｎｍ以下であることがより好ましい。
【００６１】
金属配線の厚みが上記下限以上である場合、太陽電池用透明電極の導電性をより一層高めることができる。金属配線の厚みが上記上限以下である場合、より一層の薄型化を図ることができる。
【００６２】
金属配線がライン状又は格子状である場合、隣り合う金属配線間の間隔は、１ｍｍ以上であることが好ましく、５ｍｍ以上であることが好ましく、８ｍｍ以上であることがより好ましく、５０ｍｍ以下であることが好ましく、２０ｍｍ以下であることがより好ましい。
【００６３】
（製造方法）
太陽電池用透明電極積層体の製造方法は、特に限定されない。太陽電池用透明電極積層体の製造方法として、例えば、以下のような方法が挙げられる。
【００６４】
まず、基材フィルム上に、金属配線を形成する。金属配線の形成方法としては、特に限定されない。例えば、蒸着又はスパッタにより形成した金属膜をエッチングする方法や、スクリーン印刷又はインクジェット印刷などの各種印刷方法、並びにレジストを用いたフォトリソグラフィー法等の公知のパターニング方法等を用いることができる。このようなパターニング方法により、平面形状が、ライン状や、網目状などの金属配線を形成することができる。
【００６５】
次に、得られた金属配線の少なくとも一部を埋め込むように、導電層を形成する。それによって、金属配線と導電層とが一体化した太陽電池用透明電極を得る。上記導電層は、上記金属配線より導電性が低い材料により形成し、好ましくは上記金属配線より光透過性が高い材料により形成する。
【００６６】
上記導電層の形成方法としては、特に限定されないが、例えば、スパッタリング法、蒸着法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ法、ＡＬＤ法、スプレーＣＶＤ法、ミストＣＶＤ法、ＰＬＤ法などが挙げられ、スパッタリング法又は蒸着法が好ましく、スパッタリング法がより好ましい。
【００６７】
金属配線上に、蒸着法やスパッタリング法により導電層を形成する場合、金属配線と導電層を一体化することができ、得られた太陽電池用透明電極の導電性をより一層高めることができる。
【００６８】
導電層の厚みが上記下限以上である場合、太陽電池用透明電極の導電性をより一層高めることができる。導電層の厚みが上記上限以下である場合、太陽電池用透明電極の光透過性をより一層高めることができる。
【００６９】
以下、実施例を挙げて、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例のみに限定されない。
【００７０】
（実施例１）
蒸着法により、５０μｍのＰＥＴフィルム上にＣｕ層を１０ｎｍ堆積させて、Ｃｕ−ＰＥＴフィルムを得た。得られたＣｕ−ＰＥＴフィルムに、ドライフィルムレジストを貼り、線幅１０μｍ、線間隔２０ｍｍの格子状となるように露光、現像を行った。続いて、エッチング、剥離、洗浄、乾燥の各工程をこの順に行い、配線太さ１０μｍ、配線間隔２０ｍｍの格子状パターンのＣｕ配線（金属配線）を有するフィルムを得た。得られたフィルム上に、ＤＣスパッタリング法により、ＩＴＯ（ＳｎＯ２含有率７％）層（透明導電層）を２０ｎｍ積層させて本発明の太陽電池用透明電極を得た。
【００７１】
（実施例２〜４）
配線間隔を下記の表１に示すように変更したこと以外は、実施例１と同様にして、太陽電池用透明電極を得た。
【００７２】
（実施例５〜６）
透明導電層の厚みを下記の表１に示すように変更したこと以外は、実施例１と同様にして、太陽電池用透明電極を得た。
【００７３】
（実施例７）
金属配線の材質をＡｇに変更したこと以外は、実施例１と同様にして、太陽電池用透明電極を得た。
【００７４】
（実施例８）
透明導電層の材質をＡＺＯ（Ａｌ２Ｏ３含有率５％）にしたこと以外は、実施例１と同様にして、太陽電池用透明電極を得た。
【００７５】
＜評価＞
実施例１〜８で得られた太陽電池用透明電極について、下記の評価を行った。結果を下記の表１に示す。
【００７６】
（１）透明性の評価（全光線透過率の測定）
得られた太陽電池用透明電極について、ヘーズメーター（村上色彩技術研究所社製、品番：ＨＭ−１５０）を用いて全光線透過率（％）を測定した。なお、測定はＪＩＳ  Ｋ  ７３６１−１に従い、透明電極を縦５０ｍｍ、横５０ｍｍの大きさに切り出した試験片を用いて行った。試験片は、３個使用した。３回の測定値の平均値から、全光線透過率を求めた。
【００７７】
（２）導電性の評価（表面抵抗の測定）
得られた太陽電池用透明電極について、抵抗率計（三菱化学アナリテック社製、品番：Ｌｏｒｅｓｔａ  ＡＸ  ＭＣＰ−Ｔ３７０）を用いて４探針法により表面抵抗（Ω／ｓｑ）を測定した。
【００７８】
【表１】
2016178117.tif 000003
【００７９】
表１から明らかなように、実施例１〜８では、抵抗値が低く、かつ高い全光線透過率を有する太陽電池用透明電極が得られていることが確認できた。
【符号の説明】
【００８０】
１，１Ａ，１Ｂ，２１…太陽電池用透明電極積層体
２…基材フィルム
３，３Ａ，３Ｂ，２３…太陽電池用透明電極
４，４Ａ，４Ｂ，２４…導電層
４ａ…第１の主面
４ｂ…第２の主面
５，２５…金属配線
【図１】
2016178117.tif 000004
【図２】
2016178117.tif 000005
【図３】
2016178117.tif 000006
【図４】
2016178117.tif 000007