(57)【要約】      （修正有）【課題】吐出孔付近における液体の含有成分の固着などが起き難い液体吐出用ヘッド用、およびそれを用いた記録装置を提供する。【解決手段】液体吐出ヘッドは、複数の吐出孔８、複数の加圧室１０、および複数の部分流路７を有する流路部材４と、複数の加圧部３０とを含んでいる液体吐出ヘッドであって、流路部材４は、複数の部分流路７にそれぞれ繋がっている複数の第１搖動流路３２ａ、第１搖動流路３２ａに繋がっている第１液室３２ｂ、流路部材４の外部まで繋がっている第１流路３３、第１液室３２ｂと第１流路３３との間にある第１ダイヤフラム３２ｃ、複数の部分流路７にそれぞれ繋がっている複数の第２搖動流路３４ａ、第２搖動流路３４ａに繋がっている第２液室３４ｂ、流路部材４の外部まで繋がっている第２流路３５、および第２液室３４ｂと第２流路３５との間にある第２ダイヤフラム３４ｃを、さらに有している。【選択図】図７
2016221706.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の吐出孔、複数の加圧室、および前記複数の吐出孔と前記複数の加圧室をそれぞれ繋いでいる複数の部分流路を有する流路部材と、前記複数の加圧室をそれぞれ加圧する複数の加圧部とを含んでいる液体吐出ヘッドであって、
前記流路部材は、前記複数の部分流路にそれぞれ繋がっている複数の第１搖動流路、該第１搖動流路に繋がっている第１液室、前記流路部材の外部まで繋がっている第１流路、一方の面が前記第１液室に面しているとともに他方の面が前記第１流路に面している第１ダイヤフラム、前記複数の部分流路にそれぞれ繋がっている複数の第２搖動流路、該第２搖動流路に繋がっている第２液室、前記流路部材の外部まで繋がっている第２流路、および一方の面が前記第２液室に面しているとともに他方の面が前記第２流路に面している第２ダイヤフラムを、さらに有していることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記流路部材を平面視したとき、
前記第１搖動流路と前記部分流路との接続部は、前記第２搖動流路と前記部分流路との接続部に対して、前記部分流路の反対側に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記第１搖動流路と前記部分流路との接続部、および前記第２搖動流路と前記部分流路との接続部の少なくとも一方は、前記部分流路における、前記加圧室よりも前記吐出孔の近くに配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記流路部材は、前記複数の加圧室に繋がっている共通流路をさらに有しており、
該共通流路と前記第１流路との間の前記流路部材に空隙が配置されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部を備えていることを特徴とする記録装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記第１流路および前記第２流路のいずれか一方に、前記部分流路の圧力よりも大きい圧力を加え、他方に前記部分流路の圧力よりも小さい圧力を加えることを特徴とする請求項５に記載の記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、印刷用ヘッドとして、例えば、液体を記録媒体上に吐出することによって、各種の印刷を行なう液体吐出ヘッドが知られている。液体吐出ヘッドは、例えば、液体を吐出する吐出孔、および吐出孔から液体が吐出されるように液体を加圧する加圧室とを備えているものが知られている。（例えば、特許文献１を参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−３０５８５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されている液体吐出ヘッドでは、例えば、乾燥するのが早いインクなどを吐出する場合に、吐出孔付近のインクが乾燥して、吐出孔が詰まったり、吐出孔が狭くなることで、インクを吐出できなくなったり、吐出量や吐出速度などの吐出特性が変動してしまうことがあった。
【０００５】
したがって、本発明の目的は、吐出孔付近における液体の含有成分の固着などが起き難い液体吐出用ヘッド用、およびそれを用いた記録装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液体吐出ヘッドは、複数の吐出孔、複数の加圧室、および前記複数の吐出孔と前記複数の加圧室をそれぞれ繋いでいる複数の部分流路を有する流路部材と、前記複数の加圧室をそれぞれ加圧する複数の加圧部とを含んでいる液体吐出ヘッドであって、前記流路部材は、前記複数の部分流路にそれぞれ繋がっている複数の第１搖動流路、該第１搖動流路に繋がっている第１液室、前記流路部材の外部まで繋がっている第１流路、一方の面が前記第１液室に面しているとともに他方の面が前記第１流路に面している第１ダイヤフラム、前記複数の部分流路にそれぞれ繋がっている複数の第２搖動流路、該第２搖動流路に繋がっている第２液室、前記流路部材の外部まで繋がっている第２流路、および一方の面が前記第２液室に面しているとともに他方の面が前記第２流路に面している第２ダイヤフラムを、さらに有していることを特徴とする。
【０００７】
本発明の記録装置は、前記液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部を備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の液体吐出ヘッドによれば、吐出孔付近における液体の含有成分の固着などを起き難くできる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】（ａ）は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置の側面図であり、（ｂ）は平面図である。
【図２】図１の液体吐出ヘッドの要部であるヘッド本体の平面図である。
【図３】図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。
【図４】図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。
【図５】図４に示した流路部材を構成しているプレートの１枚の拡大平面図である。
【図６】図４に示した流路部材を構成しているプレートの１枚の拡大平面図である。
【図７】（ａ）は、図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図であり、（ｂ）は、図３の、図４のＸ−Ｘ線に沿った位置における縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１（ａ）は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッド２を含む記録装置であるカラーインクジェットプリンタ１（以下で単にプリンタと言うことがある）の概略の側面図であり、図１（ｂ）は、概略の平面図である。プリンタ１は、記録媒体である印刷用紙Ｐをガイドローラ８２Ａから搬送ローラ８２Ｂへと搬送することにより、印刷用紙Ｐを液体吐出ヘッド２に対して相対的に移動させる。制御部８８は、画像や文字のデータに基づいて、液体吐出ヘッド２を制御して、記録媒体Ｐに向けて液体を吐出させ、印刷用紙Ｐに液滴を着弾させて、印刷用紙Ｐに印刷などの記録を行なう。
【００１１】
本実施形態では、液体吐出ヘッド２はプリンタ１に対して固定されており、プリンタ１はいわゆるラインプリンタとなっている。本発明の記録装置の他の実施形態としては、液体吐出ヘッド２を、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に往復させるなどして移動させる動作と、印刷用紙Ｐの搬送を交互に行なう、いわゆるシリアルプリンタが挙げられる。
【００１２】
プリンタ１には、印刷用紙Ｐとほぼ平行となるように平板状のヘッド搭載フレーム７０（以下で単にフレームと言うことがある）が固定されている。フレーム７０には図示しない２０個の孔が設けられており、２０個の液体吐出ヘッド２がそれぞれの孔の部分に搭載されていて、液体吐出ヘッド２の、液体を吐出する部位が印刷用紙Ｐに面するようになっている。液体吐出ヘッド２と印刷用紙Ｐとの間の距離は、例えば０．５〜２０ｍｍ程度とされる。５つの液体吐出ヘッド２は、１つのヘッド群７２を構成しており、プリンタ１は、４つのヘッド群７２を有している。
【００１３】
液体吐出ヘッド２は、図１（ａ）の手前から奥へ向かう方向、図１（ｂ）の上下方向に細長い長尺形状を有している。この長い方向を長手方向と呼ぶことがある。１つのヘッド群７２内において、３つの液体吐出ヘッド２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に沿って並んでおり、他の２つの液体吐出ヘッド２は搬送方向に沿ってずれた位置で、３つの液体吐出ヘッド２の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。液体吐出ヘッド２は、各液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲が、印刷用紙Ｐの幅方向に（印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向に）繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、印刷用紙Ｐの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。
【００１４】
４つのヘッド群７２は、記録用紙Ｐの搬送方向に沿って配置されている。各液体吐出ヘッド２には、図示しない液体タンクから液体、例えば、インクが供給される。１つのヘッド群７２に属する液体吐出ヘッド２には、同じ色のインクが供給されるようになっており、４つのヘッド群７２で４色のインクが印刷できる。各ヘッド群７２から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。このようなインクを、制御部８８で制御して印刷すれば、カラー画像が印刷できる。
【００１５】
プリンタ１に搭載されている液体吐出ヘッド２の個数は、単色で、１つの液体吐出ヘッ
ド２で印刷可能な範囲を印刷するのなら１つでもよい。ヘッド群７２に含まれる液体吐出ヘッド２の個数や、ヘッド群７２の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッド群７２の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数配置して、搬送方向に交互に印刷すれば、同じ性能の液体吐出ヘッド２を使用しても搬送速度を速くできる。これにより、時間当たりの印刷面積を大きくすることができる。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、印刷用紙Ｐの幅方向の解像度を高くしてもよい。
【００１６】
さらに、色の付いたインクを印刷する以外に、印刷用紙Ｐの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を印刷してもよい。
【００１７】
プリンタ１は、記録媒体である印刷用紙Ｐに印刷を行なう。印刷用紙Ｐは、給紙ローラ８０Ａに巻き取られた状態になっており、２つのガイドローラ８２Ａの間を通った後、フレーム７０に搭載されている液体吐出ヘッド２の下側を通り、その後２つの搬送ローラ８２Ｂの間を通り、最終的に回収ローラ８０Ｂに回収される。印刷する際には、搬送ローラ８２Ｂを回転させることで印刷用紙Ｐは、一定速度で搬送され、液体吐出ヘッド２によって印刷される。回収ローラ８０Ｂは、搬送ローラ８２Ｂから送り出された印刷用紙Ｐを巻き取る。搬送速度は、例えば、７５ｍ／分とされる。各ローラは、制御部８８によって制御されてもよいし、人によって手動で操作されてもよい。
【００１８】
記録媒体は、印刷用紙Ｐ以外に、ロール状の布などでもよい。また、プリンタ１は、印刷用紙Ｐを直接搬送する代わりに、搬送ベルトを直接搬送して、記録媒体を搬送ベルトに置いて搬送してもよい。そのようにすれば、枚葉紙や裁断された布、木材、タイルなどを記録媒体にできる。さらに、液体吐出ヘッド２から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。またさらに、液体吐出ヘッド２から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤や化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。
【００１９】
また、プリンタ１に、位置センサ、速度センサ、温度センサなどを取り付けて、制御部８８が、各センサからの情報から分かるプリンタ１各部の状態に応じて、プリンタ１の各部を制御してもよい。例えば、液体吐出ヘッド２の温度や液体タンクの液体の温度、液体タンクの液体が液体吐出ヘッド２に加えている圧力などが、吐出される液体の、吐出量や吐出速度などの吐出特性に影響を与えている場合などに、それらの情報に応じて、液体を吐出させる駆動信号を変えるようにしてもよい。
【００２０】
次に、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッド２について説明する。図２は、図１に示された液体吐出ヘッド２の要部であるヘッド本体２ａを示す平面図である。図３は、図２の一点鎖線で囲まれた領域の拡大平面図であり、ヘッド本体２ａの一部である。図３では、説明のため、一部の流路を省略して描いている。図４は、図３と同じ位置の拡大平面図であり、図３とは別の一部の流路を省略して描いている。図５は、図４に示されている流路部材４を構成している複数のプレートのうちの１枚であるプレート４ｎの拡大平面図である。図６は、流路部材４を構成している他のプレート４ｍの、図５と同じ場所の拡大平面図である。図７（ａ）は、図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。図７（ｂ）は、図３の縦断面図であり、図４に示されたＸ−Ｘ線に沿った位置の縦断面図である。ただし、図７（ｂ）は、図７（ａ）と比較して、図の左右方向に縮小して描いてある。
【００２１】
なお、図３〜６において、図面を分かり易くするために、圧電アクチュエータ基板２１の下方にあるなどのために、破線で描くべき加圧室１０、しぼり６および吐出孔８などを実線で描いている。また、図５には、各流路の配置が分かり易いように、プレート４ｎ以
外の他のプレートに配置されている副マニホールド５ａ、隔壁１５、および加圧室１０などの配置を鎖線で示している。なお、加圧室１０は、実際には、図５に示された範囲の全体に亘って多数配置されているが、そのうちの一部を示している。また、図６には、各流路の配置が分かり易いように、プレート４ｍ以外の他のプレートに配置されている副マニホールド５ａ、隔壁１５、第１液室３２ｂ、第２液室３４ｂなどの配置を鎖線で示している。なお、第１液室３２ｂや、第２液室３４ｂは、実際には、図６に示された範囲の全体に亘って多数配置されているが、そのうちの一部を示している。
【００２２】
液体吐出ヘッド２には、ヘッド本体２ａ以外に、ヘッド本体２ａに液体を供給するリザーバや、筐体を含んでいてもよい。また、ヘッド本体２ａは、流路部材４と、加圧部である変位素子３０が作り込まれている圧電アクチュエータ基板２１とを含んでいる。
【００２３】
ヘッド本体２ａを構成する流路部材４は、共通流路であるマニホールド５と、マニホールド５と繋がっている複数の加圧室１０と、複数の加圧室１０とそれぞれ繋がっている複数の吐出孔８とを備えている。加圧室１０は流路部材４の上面に開口しており、流路部材４の上面が加圧室面４−２となっている。また、流路部材４の上面は、マニホールド５と繋がっている開口５ａを有し、この開口５ａより液体が供給されるようになっている。
【００２４】
吐出孔８の近くには、吐出孔８付近の液体を搖動させる第１搖動部３２および第２搖動部３４が配置されている。これらについては、後で詳述する。
【００２５】
また、流路部材４の上面には、変位素子３０を含む圧電アクチュエータ基板２１が接合されており、各変位素子３０が加圧室１０上に位置するように配置されている。また、圧電アクチュエータ基板２１には、各変位素子３０に信号を供給する信号伝達部６０が接続されている。図２には、２つの信号伝達部６０が圧電アクチュエータ基板２１に繋がる状態が分かるように、信号伝達部６０の圧電アクチュエータ基板２１に接続される付近の外形を点線で示した。圧電アクチュエータ基板２１に電気的に接続されている、信号伝達部６０に形成されている電極は、信号伝達部６０の端部に、矩形状に配置されている。２つの信号伝達部６０は、圧電アクチュエータ基板２１の短手方向の中央部にそれぞれの端がくるように接続されている。
【００２６】
ヘッド本体２ａは、平板状の流路部材４と、流路部材４上に接合された変位素子３０を含む圧電アクチュエータ基板２１を１つ有している。圧電アクチュエータ基板２１の平面形状は長方形状であり、その長方形の長辺が流路部材４の長手方向に沿うように流路部材４の上面に配置されている。
【００２７】
流路部材４の内部には２つのマニホールド５が形成されている。マニホールド５は流路部材４の長手方向の一端部側から、他端部側に延びる細長い形状を有しており、その両端部において、流路部材４の上面に開口しているマニホールド５の開口５ａが形成されている。
【００２８】
また、マニホールド５は、少なくとも加圧室１０に繋がっている領域である長手方向における中央部分において、短手方向に間隔を開けて設けられた隔壁１５で仕切られている。隔壁１５は、加圧室１０に繋がっている領域である長手方向の中央部分においては、マニホールド５と同じ高さを有し、マニホールド５を複数の副マニホールド５ｂに完全に仕切っている。このようにすることで、平面視したときに、隔壁１５と重なるように、吐出孔８および吐出孔８から加圧室１０に繋がっている流路を設けることができる。
【００２９】
複数に分けられた部分のマニホールド５を副マニホールド５ｂと呼ぶことがある。本実施形態においては、マニホールド５は独立して２本設けられており、それぞれの両端部に
開口５ａが設けられている。また、１つのマニホールド５には、７つの隔壁１５が設けられており、８つの副マニホールド５ｂに分けられている。副マニホールド５ｂの幅は、隔壁１５の幅より大きくなっており、これにより副マニホールド５ｂに多くの液体を流すことができる。
【００３０】
副マニホールド５ｂの吐出孔面４−１側の壁面は、ダンパ１８となっている。ダンパ１８の一方の面は、副マニホールド５ｂに面しており、他方の面はダンパ室１９に面している。ダンパ室１９があることにより、ダンパ１８は変形可能になっており、変形することで副マニホールド５ｂの体積を変えることができる。液体を吐出させるために加圧室１０内の液体が加圧されると、その圧力の一部は、液体を通じて副マニホールド５ｂに伝わってくる。これにより、副マニホールド５ｂ内の液体が振動し、その振動が、元の加圧室１０や、他の加圧室１０に伝わって、液体の吐出特性を変動させる流体クロストークが生じることがある。ダンパ１８が存在すると、副マニホールド５ｂに伝わってきた液体の振動でダンパ１８が振動し、減衰することで、副マニホールド５ｂ内の液体の振動は持続され難くなるので、流体クロストークの影響を小さくできる。
【００３１】
流路部材４は、複数の加圧室１０が２次元的に広がって形成されている。加圧室１０は、角部にアールが施されたほぼ菱形あるいは楕円形状の平面形状を有する中空の領域である。
【００３２】
加圧室１０は、しぼり６を介して１つの副マニホールド５ｂと繋がっている。１つの副マニホールド５ｂに沿うようにして、この副マニホールド５ｂに繋がっている加圧室１０の行である加圧室行１１が、副マニホールド５ｂの両側に１行ずつ、合計２行設けられている。したがって、１つのマニホールド５に対して、１６行の加圧室１１が設けられており、ヘッド本体２ａ全体では３２行の加圧室行１１が設けられている。各加圧室行１１における加圧室１０の長手方向の間隔は同じであり、例えば、３７．５ｄｐｉの間隔となっている。
【００３３】
各加圧室行１１の端にはダミー加圧室１６の列が１列設けられている。このダミー加圧室列のダミー加圧室１６は、マニホールド５とは繋がっているが、吐出孔８とは繋がっていない。また、３２行の加圧室行１１の外側には、ダミー加圧室１６が直線状に並んだダミー加圧室行が１行設けられている。このダミー加圧室行のダミー加圧室１６は、マニホールド５および吐出孔８のいずれとも繋がっていない。これらのダミー加圧室１６により、端から１つ内側の加圧室１０の周囲の構造が他の加圧室１０の構造と近くなることで、構造に起因する剛性の差も小さくなり、液体吐出特性の差を少なくできる。なお、周囲の構造の差の影響は、距離の近い、長さ方向に隣接する加圧室１０の影響が大きいため、長さ方向には、両端にダミー加圧室を設けてある。幅方向については、影響が比較的小さいため、ヘッド本体２１ａの端に近い方のみに設けている。これにより、ヘッド本体２１ａの幅を小さくできる。
【００３４】
１つのマニホールド５に繋がっている加圧室１０は、矩形状の圧電アクチュエータ基板２１の各外辺に沿った行および列を成す格子状に配置されている。これにより、圧電アクチュエータ基板２１の外辺から、加圧室１０の上に形成されている個別電極２５が等距離に配置されることになるので、個別電極２５を形成する際に、圧電アクチュエータ基板２１に変形が生じ難くできる。圧電アクチュエータ基板２１と流路部材４とを接合する際に、この変形が大きいと外辺に近い変位素子３０に応力が加わり、変位特性にばらつきが生じるおそれがあるが、変形を少なくすることで、そのばらつきを低減できる。また、もっとも外辺に近い加圧室行１１の外側にダミー加圧室１６のダミー加圧室行が設けられているために、変形の影響をより受け難くできる。加圧室行１１に属する加圧室１０は等間隔で配置されており、加圧室行１１に対応する個別電極２５も等間隔で配置されている。加
圧室行１１は短手方向に等間隔で配置されており、加圧室行１１に対応する個別電極２５の行も短手方向に等間隔で配置されている。これにより、特にクロストークの影響が大きくなる部位をなくすことができる。
【００３５】
本実施形態では、加圧室１０は格子状に配置したが、隣り合う加圧室列１１の加圧室１０が互いの間に位置するように千鳥状に配置してもよい。このようにすると、隣接加圧室行１１に属する加圧室１０の間の距離がより長くなるので、よりクロストークを抑制できる。
【００３６】
加圧室行１１をどのように並べるかによらず、流路部材４を平面視したとき、１つの加圧室行１１に属する加圧室１０が、隣接する加圧室行１１に属する加圧室１０と、液体吐出ヘッド２の長手方向において、重ならないように配置することにより、クロストークを抑制できる。一方、加圧室行１１の間の距離を離すと、液体吐出ヘッド２の幅が大きくなるので、プリンタ１に対する液体吐出ヘッド２の設置角度の精度や、複数の液体吐出ヘッド２を使用する際の、液体吐出ヘッド２の相対位置の精度が印刷結果に与える影響が大きくなる。そこで、隔壁１５の幅を副マニホールド５ｂよりも小さくすることで、それらの精度が印刷結果に与える影響を少なくできる。
【００３７】
１つの副マニホールド５ｂに繋がっている加圧室１０は、２列の加圧室行１１を成しており、１つの加圧室行１１に属する加圧室１０から繋がっている吐出孔８は、１つの吐出孔行９を成している。２行の加圧室行１１に属する加圧室１０に繋がっている吐出孔８はそれぞれ、副マニホールド５ｂの異なる側に開口している。図４では隔壁１５には、２行の吐出孔行９が設けられているが、それぞれの吐出孔行９に属する吐出孔８は、吐出孔８に近い側の副マニホールド５ｂに加圧室１０を介して繋がっている。隣接する副マニホールド５ｂに加圧室行１１を介して繋がっている吐出孔８と液体吐出ヘッド２の長手方向において重ならないように配置されていると、加圧室１０と吐出孔８とを繋ぐ流路間のクロストークが抑制できるので、さらにクロストークを少なくすることができる。加圧室１０と吐出孔８とを繋ぐ流路全体が、液体吐出ヘッド２の長手方向において重ならないように配置されていると、さらにクロストークを少なくすることができる。
【００３８】
１つのマニホールド５に繋がっている複数の加圧室１０により加圧室群が構成されており、マニホールド５が２つあるため、加圧室群は２つある。各加圧室群内における吐出に関わる加圧室１０の配置は同じで、短手方向に平行移動させた位置に配置されている。これらの加圧室１０は、流路部材４の上面における圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域に、加圧室群間などの少し間隔が広くなった部分があるものの、ほぼ全面にわたって配列されている。つまり、これらの加圧室１０によって形成された加圧室群は圧電アクチュエータ基板２１とほぼ同一の形状の領域を占有している。また、各加圧室１０の開口は、流路部材４の上面に圧電アクチュエータ基板２１が接合されることで閉塞されている。
【００３９】
加圧室１０のしぼり６が繋がっている角部と対向する角部からは、流路部材４の下面の吐出孔面４−１に開口している吐出孔８に繋がる流路が伸びている。この流路は、平面視において、加圧室１０から離れる方向に伸びている。より具体的には、加圧室１０の長い対角線に沿う方向に離れつつ、その方向に対して左右にずれながら伸びている。これにより、加圧室１０は各加圧室行１１内での間隔が３７．５ｄｐｉになっている格子状の配置にしつつ、吐出孔８は、全体で１２００ｄｐｉの間隔で配置することができる。
【００４０】
これは別の言い方をすると、流路部材４の長手方向に平行な仮想直線に対して直交するように吐出孔８を投影すると、図４に示した仮想直線のＲの範囲に、各マニホールド５に繋がっている１６個の吐出孔８、全部で３２個の吐出孔８が、１２００ｄｐｉの等間隔となっているということである。これにより、すべてのマニホールド５に同じ色のインクを
供給することで、全体として長手方向に１２００ｄｐｉの解像度で画像が形成可能となる。また、１つのマニホールド５に繋がっている１個の吐出孔８は、仮想直線のＲの範囲で６００ｄｐｉの等間隔になっている。これにより、各マニホールド５に異なる色のインクを供給することで、全体として長手方向に６００ｄｐｉの解像度で２色の画像が形成可能となる。この場合、２つの液体吐出ヘッド２を用いれば、６００ｄｐｉの解像度で４色の画像が形成可能となり、６００ｄｐｉで印刷可能な液体吐出ヘッドを４つ用いるよりも、印刷精度が高くなり、印刷のセッティングも簡単にできる。なお、ヘッド本体２ａの短手方向に並んでいる１列の加圧室列に属する加圧室１０から繋がっている吐出孔８で、仮想直線のＲの範囲がカバーされている。
【００４１】
圧電アクチュエータ基板２１の上面における各加圧室１０に対向する位置には個別電極２５がそれぞれ形成されている。個別電極２５は、加圧室１０より一回り小さく、加圧室１０とほぼ相似な形状を有している個別電極本体２５ａと、個別電極本体２５ａから引き出されている引出電極２５ｂとを含んでおり、個別電極２５は、加圧室１０と同じように、個別電極列および個別電極群を構成している。また、圧電アクチュエータ基板２１の上面には、共通電極用表面電極２８が配置されている。共通電極用表面電極２８と共通電極２４とは、圧電セラミック層２１ｂに配置されている、図示しない貫通導体を通じて、電気的に接続されている。
【００４２】
吐出孔８は、流路部材４の下面側に配置されているマニホールド５と対向する領域を避けた位置に配置されている。さらに、吐出孔８は、流路部材４の下面側における圧電アクチュエータ基板２１と対向する領域内に配置されている。これらの吐出孔８は、１つの群として圧電アクチュエータ基板２１とほぼ同一の形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータ基板２１の変位素子３０を変位させることにより吐出孔８から液滴が吐出できる。
【００４３】
ヘッド本体２ａに含まれる流路部材４は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材４の上面から順に、プレート４ａからプレート４ｏまでのプレートが積層されている。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートの厚さは１０〜３００μｍ程度であることにより、孔の形成精度を高くできる。流路部材４の厚さは、５００μｍ〜２ｍｍ程度である。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路１２およびマニホールド５を構成するように、位置合わせして積層されている。ヘッド本体２ａでは、加圧室１０は流路部材４の上面に、マニホールド５は内部の下面側に、吐出孔８は下面にと、個別流路１２を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、加圧室１０を介してマニホールド５と吐出孔８とが繋がる構成を有している。
【００４４】
流路となる孔あるいは溝には、次のようなものがある。第１に、プレート４ａに形成された加圧室１０である。第２に、加圧室１０の一端からマニホールド５へと繋がるしぼり６を構成する連通孔である。この連通孔は、プレート４ｂ（詳細には加圧室１０の入り口）からプレート４ｄ（詳細にはマニホールド５の出口）までの各プレートに形成されている。
【００４５】
第３に、加圧室１０のしぼり６が繋がっている端と反対の他端から吐出孔８へと連通する流路を構成する部分流路であるディセンダ７である。ディセンダ７は、プレート４ｂ（詳細には加圧室１０の出口）からプレート４ｏ（詳細には吐出孔８）までの各プレートに形成されている。
【００４６】
第４に、副マニホールド５ａを構成する連通孔である。この連通孔は、プレート４ｅ〜ｊに形成されている。プレート４ｅ〜ｊには、副マニホールド５ｂを構成するように隔壁
１５となる仕切り部が残るように孔が形成されている。各プレート４ｅ〜ｊにおける仕切り部は、ハーフエッチングした支持部で各プレート４ｅ〜ｊと繋がった状態にされる。なお、支持部は、図では省略してある。
【００４７】
第１〜４の連通孔が相互に繋がり、マニホールド５からの液体の流入口（マニホールド５の出口）から吐出孔８に至る個別流路１２を構成している。マニホールド５に供給された液体は、以下の経路で吐出孔８から吐出される。まず、マニホールド５から上方向に向かって、しぼり６の一端部に至る。次に、しぼり６の延在方向に沿って水平に進み、しぼり６の他端部に至る。そこから上方に向かって、加圧室１０の一端部に至る。さらに、加圧室１０の延在方向に沿って水平に進み、加圧室１０の他端部に至る。加圧室１０からディセンダ７に入った液体は、水平方向にも移動しつつ、主に下方に向かい、下面に開口した吐出孔８に至って、外部に吐出される。
【００４８】
流路となる孔あるいは溝としては、さらに、ディセンンダ７に繋がっている第１搖動部３２の流路および第２搖動部３４の流路がある。
【００４９】
圧電アクチュエータ基板２１は、圧電体である２枚の圧電セラミック層２１ａ、２１ｂからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂはそれぞれ２０μｍ程度の厚さを有している。圧電アクチュエータ基板２１の圧電セラミック層２１ａの下面から圧電セラミック層２１ｂの上面までの厚さは４０μｍ程度である。圧電セラミック層２１ａ、２１ｂのいずれの層も複数の加圧室１０を跨ぐように延在している。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂは、例えば、強誘電性を有する、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系、ＮａＮｂＯ３系、ＢａＴｉＯ３系、（ＢｉＮａ）ＮｂＯ３系、ＢｉＮａＮｂ５Ｏ１５系などのセラミックス材料からなる。なお、圧電セラミック層２１ａは、振動板として働いており、必ずしも圧電体である必要はなく、代わりに、圧電体でない他のセラミック層や金属板を用いてもよい。
【００５０】
圧電アクチュエータ基板２１は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる共通電極２４およびＡｕ系などの金属材料からなる個別電極２５を有している。共通電極２４の厚さは２μｍ程度であり、個別電極２５の厚さは、１μｍ程度である。
【００５１】
個別電極２５は、圧電アクチュエータ基板２１の上面における各加圧室１０に対向する位置に、それぞれ配置されている。個別電極２５は、平面形状が加圧室本体１０ａより一回り小さく、加圧室本体１０ａとほぼ相似な形状を有している個別電極本体２５ａと、個別電極本体２５ａから引き出されている引出電極２５ｂとを含んでいる。引出電極２５ｂの一端の、加圧室１０と対向する領域外に引き出された部分には、接続電極２６が配置されている。接続電極２６は例えば銀粒子などの導電性粒子を含んだ導電性樹脂であり、５〜２００μｍ程度の厚さで形成されている。また、接続電極２６は、信号伝達部６０に設けられた電極と電気的に接合されている。
【００５２】
詳細は後述するが、個別電極２５には、制御部８８から信号伝達部６０を通じて駆動信号が供給される。駆動信号は、印刷媒体Ｐの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。
【００５３】
共通電極２４は、圧電セラミック層２１ｂと圧電セラミック層２１ａとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極２４は、圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域内のすべての加圧室１０を覆うように延在している。共通電極２４は、圧電セラミック層２１ｂ上に個別電極４４からなる電極群を避ける位置に形成されている共通電極用表面電極２８に、圧電セラミック層２１ｂを貫通して形成された貫通導体を介して繋がっている。また、共通電極２４は、共通電極用表面電２８を介して接
地され、グランド電位に保持されている。共通電極用表面電極２８は、個別電極２５と同様に、制御部８８と直接あるいは間接的に接続されている。
【００５４】
圧電セラミック層２１ｂの個別電極２５と共通電極２４とに挟まれている部分は、厚さ方向に分極されており、個別電極２５に電圧を印加すると変位する、ユニモルフ構造の変位素子３０となっている。より具体的には、個別電極２５を共通電極２４と異なる電位にして圧電セラミック層２１ｂに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この構成において、電界と分極とが同方向となるように、制御部８８により個別電極２５を共通電極２４に対して正または負の所定電位にすると、圧電セラミック層２１ｂの電極に挟まれた部分（活性部）が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層２１ａは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層２１ａと圧電セラミック層２１ｂとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層２１ａは加圧室１０側へ凸となるように変形（ユニモルフ変形）する。
【００５５】
続いて、液体の吐出動作について、説明する。制御部８８からの制御でドライバＩＣなどを介して、個別電極２５に供給される駆動信号により、変位素子３０が駆動（変位）させられる。本実施形態では、様々な駆動信号で液体を吐出させることができるが、ここでは、いわゆる引き打ち駆動方法について説明する。
【００５６】
あらかじめ個別電極２５を共通電極２４より高い電位（以下高電位と称す）にしておき、吐出要求がある毎に個別電極２５を共通電極２４と一旦同じ電位（以下低電位と称す）とし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極２５が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層２１ａ、２１ｂが元の（平らな）形状に戻り（始め）、加圧室１０の容積が初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加する。これにより、加圧室１０内の液体に負圧が与えられる。そうすると、加圧室１０内の液体が固有振動周期で振動し始める。具体的には、最初、加圧室１０の体積が増加し始め、負圧は徐々に小さくなっていく。次いで加圧室１０の体積は最大になり、圧力はほぼゼロとなる。次いで加圧室１０の体積は減少し始め、圧力は高くなっていく。その後、圧力がほぼ最大になるタイミングで、個別電極２５を高電位にする。そうすると最初に加えた振動と、次に加えた振動とが重なり、より大きい圧力が液体に加わる。この圧力がディセンダ７内を伝搬し、吐出孔８から液体を吐出させる。
【００５７】
つまり、高電位を基準として、一定期間低電位とするパルスの駆動信号を個別電極２５に供給することで、液滴を吐出できる。このパルス幅は、加圧室１０の液体の固有振動周期の半分の時間であるＡＬ（Acoustic Length）とすると、原理的には、液体の吐出速度
および吐出量を最大にできる。加圧室１０の液体の固有振動周期は、液体の物性、加圧室１０の形状の影響が大きいが、それ以外に、圧電アクチュエータ基板２１の物性や、加圧室１０に繋がっている流路の特性からの影響も受ける。
【００５８】
なお、パルス幅は、吐出される液滴を１つにまとめるようにするなど、他に考慮する要因もあるため、実際は、０．５ＡＬ〜１．５ＡＬ程度の値にされる。また、パルス幅は、ＡＬから外れた値にすることで、吐出量を少なくすることができるため、吐出量を少なくするためにＡＬから外れた値にされる。
【００５９】
本実施形態のヘッド本体２ａでは、各ディセンダ７には、それぞれ第１搖動部３２および第２搖動部３４が繋がっている。第１搖動部３２は、ディセンダ７に繋がっている第１搖動流路３２ａと、第１搖動流路３２ａに繋がっている第１液室３２ｂと、流路部材４の外部まで繋がっている第１流路３３と、一方の面が第１液室３２ｂに面していて、他方の面が第１流路３３に面している第１ダイヤフラム３２ｃとを含んでいる。第２搖動部３４
は、ディセンダ７に繋がっている第２搖動流路３４ａと、第２搖動流路３４ａに繋がっている第２液室３４ｂと、流路部材４の外部まで繋がっている第２流路３５と、一方の面が第２液室３４ｂに面していて、他方の面が第２流路３５に面している第２ダイヤフラム３４ｃとを含んでいる。
【００６０】
第１流路３３は、流路部材４の加圧面４−２に開口している開口３３ａと繋がっており、外部から圧力が加えられるようになっている。第２流路３５は、流路部材４の加圧面４−２に開口している開口３５ａと繋がっており、外部から圧力が加えられるようになっている。第１流路３３と第２流路３５とは繋がっておらず、異なる値の圧力が加えられるようになっている。第１流路３３および第２流路３５には、基本的には空気などの気体が入れられ、気体を介して圧力が加えられる。気体を使わずに液体を用いてもよいが、気体を用いた方が、第１流路３３の流路抵抗が小さくなるので、各第１液室３２ｂに加わる圧力の差が小さくできる。また、第２流路３５の流路抵抗が小さくなるので、各第２液室３４ｂに加わる圧力の差を小さくできる。また、液体を用いると、第１流路３３や第２流路３５の一部に気泡が残ったり、用いる液体から気泡が発生することがある。そのような気泡が存在すると、一部に圧力が伝わり難くなることがあるが、気体を用いることで、そのようなことを起き難くすることができる。
【００６１】
第１流路３３に、ディセンダ７付近の液体よりも大きい圧力を加えれば、第１ダイヤフラム３２ｃは第１液室３２ｂ側に撓んで、第１搖動流路３２ａを通じて、ディセンダ７に液体が送り込まれる。第１流路３３に、ディセンダ７付近の液体よりも小さい圧力を加えれば、第１ダイヤフラム３２ｃは第１流路３３側に撓んで、ディセンダ７の液体が第１搖動流路３２ａに引き込まれる。同様に、第２流路３５に、圧力を加えることで、ディセンダ７と第２搖動流路３４ａとの間に液体の流動が生じる。なお、ここで言う圧力を加えるには、負圧を加える場合も含まれている。また、第１流路３３および第２流路３５に加える圧力に関しては、ディセンダ７内の液体の圧力に対して、それよりも大きい圧力を正圧、小さい圧力を負圧と言う。
【００６２】
吐出孔８付近の液体に搖動を加えることにより、液体に含まれる構成成分が固着したり、粘度の高くなった液体が吐出され難い状態で滞留すること（以下でこれらのような状態を総称して固着等と言うことがある）が抑制できる。静止している場合と比較して、搖動が加えられて、動いている液体は、固着等が生じ難くなる。固着等をより生じ難くするのに、搖動を大きくすることが考えられるが、ディセンダ７に加わる圧力の絶対値が大きくなると、正圧であれば、吐出孔８から液体があふれるおそれがあり、負圧であれば、液体が吐出孔８から引き込まれ、流路部材４内に外部の空気が入り込むおそれがある。
【００６３】
そこで、ディセンダ７に、搖動を生じさせる搖動部を２つ以上繋げて、一方の搖動部に正圧を加え、他方の搖動部に負圧を加える。このようにすることで、ディセンダ７に加わる圧力の変動を小さい状態に保ちつつ、ディセンダ７内の液体の流動量を大きくすることができる。流動量を大きくすると、単に搖動を加える場合と比較して、周囲の液体と混合されるので、乾燥して低くなっていた液体成分の割合が、元の割合に近づくことになるので好ましい。また、ディセンダ７内の液体の流動が吐出孔８の付近で起きるようにすれば、吐出孔８に面する液体が入れ替わり易くなるので、より好ましい。
【００６４】
搖動部は、３つ以上繋げてもよいが、２つあれば、それぞれに正圧と負圧とを加えることができ、配置するのに必要な空間も小さくできるので、２つ繋げるのが好ましい。本実施形態では、第１搖動部３２および第２搖動部３４の２つの搖動部がディセンダ７に繋がっている。ディセンダ７に繋がっている第１搖動流路３２ａおよび第２搖動流路３４ａは、ディセンダ７の吐出孔８側の断面積が小さくなっている部分であるノズル部よりも、流路抵抗が大きくなっている。これにより、吐出する際の圧力が、第１搖動流路３２ａおよ
び第２搖動流路３４ａに逃げ難くなり、吐出量が少なくなったり、吐出速度が小さくなったりし難くできる。第１搖動流路３２ａおよび第２搖動流路３４ａの流路抵抗を合わせた合成抵抗も、ノズル部の流路抵抗よりも大きいのが好ましい。これにより、吐出する際の圧力が、第１搖動流路３２ａおよび第２搖動流路３４ａに逃げ難くなり、吐出量が少なくなったり、吐出速度が小さくなったりし難くできる。３つ以上の搖動部が繋がっている場合も、ディセンダ７に繋がっている搖動流路の合成抵抗は、ノズル部の流路抵抗よりも大きいのが好ましい。各第１搖動流路３２ａの流路抵抗は、製造精度の範囲内で同じにするのが好ましい。各第２搖動流路３４ａの流路抵抗は、製造精度の範囲内で同じにするのが好ましい。また、第１搖動流路３２ａの流路抵抗と第２搖動流路３４ａの流路抵抗とをほぼ同じにしておけば、第１流路３３および第２流路３５に加える圧力を、絶対値がほぼ同じで、正負が逆の圧力にすることができ、ディセンダ７に加わる圧力を小さくできるので、制御を簡単にできる。
【００６５】
第１搖動流路３２ａおよび第２搖動流路３４ａの少なくとも一方は、ディセンダ７において、加圧室１０よりも吐出孔８に近い位置に繋がっているのが好ましい。そのようになっていれば、吐出孔８に近い位置の液体に搖動を与えることができる。第１搖動流路３２ａおよび第２搖動流路３４ａの少なくとも一方は、吐出孔８から、ディセンダ７の長さの１／４以下の位置に繋がっているのが好ましく、１／８以下の位置に繋がっているのがより好ましい。また、第１搖動流路３２ａおよび第２搖動流路３４ａの両方が、吐出孔８に近い位置で繋がっているのが好ましい。第１搖動流路３２ａおよび第２搖動流路３４ａの両方の開口が、吐出孔８が開口しているプレート４ｏに面して配置されているのが、特に好ましい。
【００６６】
流路部材４を平面視したとき、ディセンダ７と第１搖動流路３２ａとが接続している第１接続部は、ディセンダ７と第２搖動流路３４ａとが接続している第２接続部に対して、ディセンダ７の反対側に配置されているのが好ましい。具体的には、吐出孔８と第１接続部とを結んだ線と、吐出孔８と第２接続部とを結んだ線との成す角度は、１２０度以上であるのが好ましく、１５０度以上であるのがより好ましい。このような配置にすることで、吐出孔８の上に位置する液体に搖動が加わり易く、また、吐出孔８の上に位置する液体を入れ替わり易くできる。
【００６７】
第１液室３２ｂは、第１搖動流路３２ａよりも幅が広くなっていることにより、第１ダイヤフラム３２ｃが撓みやすくなっている。各ディセンダ７には、それぞれ第１搖動流路３２ａが繋がっているが、第１液室３２ｂには、複数の第１搖動流路３２ａが繋がっていてもよい。第１液室３２ｂが複数の第１搖動流路３２ａに繋がっていれば、第１流路３３に加える圧力が同じでも、第１ダイヤフラム３２ｃの変形量を大きくできる。各第１搖動流路３２ａに流れる液体の量は、繋がっている第１搖動流路３２ａに分けた量になるが、個別に第１液室３２ｂを設けるよりも大きくできる。
【００６８】
第１搖動流路３２ａの流路抵抗が高いことにより、吐出の圧力は第１液室３２ｂに伝わり難くなっているが、圧力の一部は伝わっている。各第１搖動流路３２ａに、それぞれ第１液室３２ｂを設ければ、吐出の圧力が伝わって、吐出特性が変動する流体クロストークを抑制できる。しかし、第１液室３２ｂが、一つの第１搖動流路３２ａとしか繋がっていない、ほぼ閉じた空間であると、第１搖動流路３２ａに液体を導入するのが難しくなる。
【００６９】
そこで、隣り合っている第１液室３２ｂを、第１液室３２ｂよりも流路抵抗の高い第１接続流路３２ｄで繋げる。第１接続流路３２ｄの流路抵抗が高いことにより、流体クロストークが抑制でき、第１接続流路３２ｄで繋がっていることにより、液体の導入を容易にできる。第１接続流路３２ｄを介して繋がった第１液室３２ｂは、さらに、副マニホールド５ｂなどに繋がることで液体が導入される。本実施形態では、第１液室３２ｂと繋がっ
ている流路は、開口３６で、マニホールド５と繋がっている（図３参照）。開口３６は、マニホールド５における加圧室１０が繋がっている範囲よりも外側に配置されているので、開口３６からマニホールド５に伝わった圧力による流体クロストークが起き難くできる。
【００７０】
以上については、第２搖動流路３４ａに繋がっている第２液室３４ｂについても同様である。また、開口３６は、第２液室３２ｂとも繋がっており、第２液室３２ｂに液体を導入する。
【００７１】
第１液室３２ｂは、平面形状が六角形状をしており（図５参照）、第１ダイヤフラムの３２ｃも同様の六角形状である。複数ある第１ダイヤフラム３２ｃは、第１流路３３に面している。流路部材４内にある第１流路３３は、全て繋がっており、開口３３ａで流路部材４の外部に繋がっている。同様に、第２液室３４ｂは、平面形状が六角形状をしており（図５参照）、第２ダイヤフラムの３４ｃも同様の六角形状である。複数ある第２ダイヤフラム３４ｃは、第２流路３５に面している。流路部材４内にある第２流路３５は、全て繋がっており、開口３５ａで流路部材４の外部に繋がっている。
【００７２】
ディセンダ７に繋がっている、第１搖動流路３２ａおよび第２搖動流路３４ａを延ばして、流路部材４の外部から液体を通じて、搖動を加えることも可能であるが、そのような流路は断面の狭いものになるため、加える圧力を大きくする必要があり、内圧で液体吐出ヘッド２が破損するおそれがある。また、外部から加わった圧力は、圧力損失があるため、各ディセンダ７に同程度の圧力を加えるのは難しくなる。第１搖動部３２および第２搖動部３４を各ディセンダ７の近くに配置し、各搖動部への圧力の供給を気体で行なうことにより、各ディセンダ７に加わる正圧と負圧との差を小さくし、第１流路３３および第２流路３５に加える圧力を小さくすることができる。
【００７３】
第１流路３３の平面形状は、六角形状をしている第１液室３２ｂの一辺同士を繋げた形状をしており、ヘッド本体２ａの長手方向に伸びている。各第１流路３３は、加圧室１０が配置されていない領域まで伸びており、図７の図示した部分よりも右側、図２の上側で、全てが繋がっている。各第１流路３３が繋がった流路は、流路部材４内を加圧室面４−２側に向かい、開口３３ａで外部と繋がっている。各第１流路３３は、図７の図示した部分よりも左側、図２の下側では、繋がっていてもよいし、繋がっていなくてもよい。
【００７４】
第２流路３５の平面形状は、六角形状をしている第２液室３４ｂの一辺同士を繋げた形状をしており、ヘッド本体２ａの長手方向に伸びている。各第２流路３５は、加圧室１０が配置されていない領域まで伸びており、図７の図示した部分よりも左側、図２の下側で、全てが繋がっている。各第２流路３５が繋がった流路は、流路部材４内を加圧室面４−２側に向かい、開口３５ａで外部と繋がっている。各第２流路３５は、図７の図示した部分よりも右側、図２の上側では、繋がっていてもよいし、繋がっていなくてもよい。
【００７５】
第１搖動部３２および第２搖動部３４は、吐出孔８付近のディセンダ７に繋がっているのが好ましいので、流路部材４内部に空間効率を高く配置するためには、マニホールド５と重なるように配置するのが好ましい。また、第１搖動部３２および第２搖動部３４は、ディセンダ７の吐出孔８の近くに配置するのが好ましいので、第１搖動部３２および第２搖動部３４は、マニホールド５の吐出孔面４−１側に配置するのが好ましい。そのように配置すると、第１流路３３と第２流路３５の一部は、マニホールド５と重なることになる。第１流路３３および第２流路３５に圧力を加えた場合、マニホールド５にも圧力の一部が伝わるおそれがあるが、１つのマニホールド５（本実施形態では１つの副マニホールド５ｂ）に、第１流路３３および第２流路３５の両方が重なるように配置すれば、それらには基本的に正負逆の圧力が加わり相殺するので、マニホールド５に伝わる圧力を小さくで
きる。
【００７６】
また、マニホールド５と、第１流路３３および第２流路３５との間に、空隙であるダンパ室１９を配置することにより、マニホールド５に伝わる圧力を小さくできる。さらに、第１流路３３および第２流路３５と、マニホールド５との間に配置されるプレートの中実部の厚みの合計を、第１ダイヤフラム３２ｃおよび第２ダイヤフラム３４ｃの厚さよりも厚くすることで、第１液室３２ｂおよび第２液室３４ｂに圧力が加わり易くするとともに、マニホールド５に伝わる圧力を小さくできる。
【００７７】
図５の上側に描かれている副マニホール５ｂは、もっとも端に位置している副マニホールド５ｂである。そのため、図５における、その副マニホールド５ｂの上には、吐出孔行９は１行しか配置されておらず、ディセンダ７も１行分しか配置されていない。各隔壁１５には、２行の吐出孔行９が配置されていて、それに対応したディセンダ７も２行分配置されている。つまり、もっとも端に位置している副マニホールド５ｂの周囲は、他の副マニホールド５ｂと設計が異なる。
【００７８】
そこで、もっとも端に位置している副マニホールド５ｂの周囲には、ダミー第１液室３２ｂ１、ダミー第２液室３２ｂ１、およびダミー第１液室３２ｂ１とダミー第２液室３２ｂ１とを繋いでいるダミー搖動流路３２ａ１を含んだダミー搖動部を配置する。ダミー搖動流路３２ａ１は、ディセンダ７とは繋がっていない。ダミー第１液室３２ｂ１は、隣り合っている第１液室３２ｂと繋がっており、ダミー第２液室３４ｂ１は、隣り合っている第２液室３４ｂと繋がっている。これにより、第１液室３２ｂおよび第２液室３４ｂにスムーズに液体が導入できるようになる。ダミー第１液室３２ｂ１およびダミー第２液室３４ｂ１は、周囲の第１液室３２ｂおよび第２液室３２ｂと同様の配置になるよう配置される。これにより、もっとも端に位置している副マニホールド５ｂの周囲の構造が、他の副マニホールド５ｂの周囲の構造に近くなり、剛性の差などに起因する吐出特性の変動を生じ難くできる。
【００７９】
ダミー第１液室３２ｂ１は、第１ダイヤフラム３２ｃを介して第１流路３３から圧力を受けるようになっており、ダミー第２液室３４ｂ１は、第２ダイヤフラム３４ｃを介して第２流路３５から圧力を受けるようになっている。これにより、ダミー第１液室３２ｂ１およびダミー第２液室３４ｂ１の周囲に位置する第１液室３２ｂおよび第２液室３４ｂに加わる圧力と、他の位置にある第１液室３２ｂおよび第２液室３４ｂに加わる圧力との差を小さくできる。ダミー搖動流路３２ａ１で、ダミー第１液室３２ｂ１とダミー第２液室３２ｂ１とを繋げば、ダミー搖動流路３２ａ１に実際に搖動が発生するので、上述の圧力差をより小さくすることができる。
【００８０】
また、ダミー第１液室３２ｂ１およびダミー第２液室３２ｂ１を配置し、それらに面するように第１流路３３および第２流路３５を配置することにより、もっとも端に配置されている副マニホールド５ｂにおいても、第１流路３３の圧力と第２流路３５との圧力と相殺のバランスが良くなり、副マニホールド５ｂに加わる圧力をより小さくできる。
【００８１】
第１搖動部３２に加わる圧力と、第２搖動部３４に加わる圧力とを、ディセンダ７内の液体の圧力を基準にして、絶対値が同じで正負が逆の圧力にすれば、ディセンダ７に加わる実質的な圧力を小さくできる。しかし、搖動によりディセンダ７内に流れが生じることでディセンダ７内の圧力はわずかに小さくなる。これを抑制するためには、正圧の絶対値を、負圧の絶対値よりも大きくすればよい。
【００８２】
続いて、液体の導入と、印刷の際の搖動について説明する。液体の導入は、ヘッド本体２ａの開口５ａから行なう。開口５ａから入った液体は、マニホールド５に入る。マニホ
ールド５に入った液体の一部は、開口３６を通って、第１液室３２ｂおよび第２液室３４ｂに入る。第１液室３２ｂおよび第２液室３４ｂに入った液体は、第１搖動流路３２ａおよび第２搖動流路３４ａを通ってディセンダ７に入り、吐出孔８から排出されて、第１搖動部３２および第２搖動部３４に液体が導入できる。
【００８３】
搖動は、印刷自体を止めている際に行なってもよい。また、搖動は、印刷を行なっている際に、吐出と吐出との間に行なってもよい。第１搖動部３２および第２搖動部３４に、正圧および負圧を加えて搖動するため、ディセンダ７内の圧力の変動を小さくできるので、次の吐出に影響を与え難い。
【００８４】
搖動は、制御部８８が、プリンタ１に備えられたエアポンプを制御し、第１流路３３および第２流路３５に圧力を加えることで行なう。制御部８８は、第１搖動部３２および第２搖動部３４のどちらかに一方に正圧を加え、他方に負圧を加える制御を一回行ない、搖動を加える。制御部８８は、第１搖動部３２および第２搖動部３４に加える圧力の正負を逆にすることを繰り返して、搖動を複数回加えてもよい。
【符号の説明】
【００８５】
１・・・カラーインクジェットプリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
２ａ・・・ヘッド本体
４・・・流路部材
４ａ〜ｏ・・・（流路部材の）プレート
４−１・・・吐出孔面
４−２・・・加圧室面
５・・・マニホールド
５ａ・・・（マニホールドの）開口
５ｂ・・・副マニホールド（共通流路）
６・・・しぼり
７・・・ディセンダ（部分流路）
８・・・吐出孔
９・・・吐出孔行
１０・・・加圧室
１１・・・加圧室行
１２・・・個別流路
１５・・・隔壁
１６・・・ダミー加圧室
１８・・・ダンパ
１９・・・ダンパ室
２１・・・圧電アクチュエータ基板
２１ａ・・・圧電セラミック層（振動板）
２１ｂ・・・圧電セラミック層
２４・・・共通電極
２５・・・個別電極
２５ａ・・・個別電極本体
２５ｂ・・・引出電極
２６・・・接続電極
２８・・・共通電極用表面電極
３０・・・変位素子
３２・・・第１搖動部
３２ａ・・・第１搖動流路
３２ａ１・・・ダミー搖動流路
３２ｂ・・・第１液室
３２ｂ１・・・ダミー第１液室
３２ｃ・・・第１ダイヤフラム
３２ｄ・・・第１接続流路
３３・・・第１流路
３３ａ・・・（第１流路に繋がっている）開口
３４・・・第２搖動部
３４ａ・・・第２搖動流路
３４ｂ・・・第２液室
３４ｂ１・・・ダミー第２液室
３４ｃ・・・第２ダイヤフラム
３４ｄ・・・第２接続流路
３５・・・第２流路
３５ａ・・・（第２流路に繋がっている）開口
３６・・・（第１液室および第２液室に繋がっている）開口
６０・・・信号伝達部
７０・・・ヘッド搭載フレーム
７２・・・ヘッド群
８０Ａ・・・給紙ローラ
８０Ｂ・・・回収ローラ
８２Ａ・・・ガイドローラ
８２Ｂ・・・搬送ローラ
８８・・・制御部
Ｐ・・・印刷用紙
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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