(57)【要約】【課題】複数枚のガラス基板の外周または内周の端面全体について同時に検査を実施できるガラス基板の検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】複数枚のガラス基板を支持する支持手段と、  前記複数枚のガラス基板の端面を観察する観察手段と、  回転機構と、を有しており、  前記回転機構は、前記支持手段、または前記観察手段に接続されている、ガラス基板の検査装置を提供する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚のガラス基板を支持する支持手段と、
前記複数枚のガラス基板の端面を観察する観察手段と、
回転機構と、を有しており、
前記回転機構は、前記支持手段、または前記観察手段に接続されている、ガラス基板の検査装置。
【請求項２】
前記複数枚のガラス基板は中央部に開口部が設けられており、
前記支持手段を、前記複数枚のガラス基板の開口部に挿入して支持する請求項１に記載のガラス基板の検査装置。
【請求項３】
前記支持手段は、前記複数枚のガラス基板の外周部を支持する請求項１に記載のガラス基板の検査装置。
【請求項４】
前記回転機構は、前記支持手段に接続されている請求項１乃至３のいずれか一項に記載のガラス基板の検査装置。
【請求項５】
複数枚のガラス基板を支持手段により支持するガラス基板支持工程と、
前記複数枚のガラス基板の端面と対向するように、前記複数枚のガラス基板の端面を観察する観察手段を配置する、観察手段配置工程と、
前記支持手段、または前記観察手段を、前記複数枚のガラス基板の端面と、前記観察手段とが対向した状態を維持しながら回転させる回転工程と、
を有するガラス基板の検査方法。
【請求項６】
前記複数枚のガラス基板は中央部に開口部が設けられており、
前記ガラス基板支持工程において、前記支持手段を前記複数枚のガラス基板の開口部に挿入して支持する請求項５に記載のガラス基板の検査方法。
【請求項７】
前記ガラス基板支持工程において、前記支持手段は前記複数枚のガラス基板の外周部を支持する請求項５に記載のガラス基板の検査方法。
【請求項８】
前記回転工程において、前記支持手段を回転させる請求項５乃至７のいずれか一項に記載のガラス基板の検査方法。
【請求項９】
ガラス基板の端面を検査する検査工程を有しており、
前記検査工程において、請求項５乃至８のいずれか一項に記載のガラス基板の検査方法を用いるガラス基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板の検査装置、ガラス基板の検査方法、ガラス基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク記録装置等に用いられる磁気記録媒体用基板としては、従来、アルミニウム合金基板が使用されてきた。しかしながら、近年、高記録密度化の要求に伴い、アルミニウム合金基板に比べて硬く、平坦性や平滑性に優れるガラス基板が主流となってきている。
【０００３】
磁気記録媒体用ガラス基板は、中央部に同心円状の開口部を有する円板形状を有しており、ガラス素基板から係る形状に加工する工程や、主平面を研磨する工程、端面を研磨する工程等を行うことにより製造される。そして、磁気記録媒体用ガラス基板の表面に磁性膜等を形成することにより磁気記録媒体とすることができる。
【０００４】
ところで磁気記録媒体用ガラス基板を製造する際、端面等の研磨作業中や、取扱い作業中に磁気記録媒体用ガラス基板の端面部分に疵や欠けを生じる場合があった。端面部分に疵や欠けを含む磁気記録媒体用ガラス基板を用いて磁気記録媒体を製造すると、情報の書き込み、読み出し不良等の原因となる恐れがある。このため、端面に疵や欠けを含む磁気記録媒体用ガラス基板を検出するガラス基板の検査装置が従来から検討されてきた。
【０００５】
例えば特許文献１には、被検査のガラスディスクを装着して回転するスピンドル機構と、このスピンドル機構により回転しているガラスディスクの表面に対して、所定の入射角でレーザスポットを投射する投光系、および、前記入射角に対する正反射角の方向を受光角とし表面の欠陥の散乱光を受光する受光系とを具備した欠陥検査装置において、受光系を第１の受光系とし、投光系からの照射光によるガラスディスクの上側の周縁部、またはこの周縁部と外周側面とに跨って存在する外周欠陥の散乱光をそれぞれ受光する位置に設けられた第２の受光系を有することを特徴とするガラスディスクの外周欠陥検出装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平７−１９０９５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に開示されたガラスディスクの外周欠陥検出装置においては、ガラス基板を１枚ずつ検査する必要があり、検査に時間を要し、生産性の観点から課題があった。また、ガラス基板の上側の周縁部、またはこの周縁部と外周側面とに跨って存在する外周欠陥を検出できるのみであった。すなわち、例えばガラス基板の下側の周縁部については欠陥等を検出できず、ガラス基板の外周端面全体について疵等を検出することはできなかった。
【０００８】
そこで、本発明の一側面では上記従来技術が有する問題に鑑み、複数枚のガラス基板の外周または内周の端面全体について同時に検査を実施できるガラス基板の検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため本発明の一態様によれば、複数枚のガラス基板を支持する支持手段と、
前記複数枚のガラス基板の端面を観察する観察手段と、
回転機構と、を有しており、
前記回転機構は、前記支持手段、または前記観察手段に接続されている、ガラス基板の検査装置を提供する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の一態様によれば、複数枚のガラス基板の外周または内周の端面全体について同時に検査を実施できるガラス基板の検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】磁気記録媒体用ガラス基板の斜視断面図。
【図２】本発明の第１の実施形態に係るガラス基板の検査装置の構成例の説明図。
【図３】図２において矢印Ａの方向から見た場合の側面図。
【図４】本発明の第１の実施形態に係る支持手段の構成例の説明図。
【図５】本発明の第１の実施形態に係るガラス基板の検査装置の他の構成例の説明図。
【図６】本発明の第２の実施形態に係るガラス基板の検査装置の構成例の説明図。
【図７】本発明の第３の実施形態に係るガラス基板の検査装置の構成例の説明図。
【図８】図７において矢印Ｃの方向から見た場合の側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明するが、本発明は、下記の実施形態に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、下記の実施形態に種々の変形および置換を加えることができる。
［第１の実施形態］
（ガラス基板の検査装置）
まず、本実施形態のガラス基板の検査装置の一構成例について説明を行う。
【００１３】
本実施形態のガラス基板の検査装置は、複数枚のガラス基板を支持する支持手段と、複数枚のガラス基板の端面を観察する観察手段と、回転機構と、を有することができる。そして、回転機構は、支持手段、または観察手段に接続することができる。
【００１４】
ここでまず、本実施形態のガラス基板の検査装置で検査を行うガラス基板の構成例について説明する。本実施形態のガラス基板の検査装置では、磁気記録媒体用ガラス基板の端面を好適に検査することができる。このため、ガラス基板の一構成例として磁気記録媒体用ガラス基板について説明する。
【００１５】
図１に磁気記録媒体用ガラス基板の斜視断面図を模式的に示す。図１は磁気記録媒体用ガラス基板１の中心を通り、主平面２Ａと垂直な面における断面を含む斜視断面図となっている。
【００１６】
図１に示すように、磁気記録媒体用ガラス基板１は円板形状をしており、上下の面が主平面２Ａ、２Ｂとなっている。そして、中央部には円形の開口部（中央開口部）３が設けられている。
【００１７】
このため、磁気記録媒体用ガラス基板１は外周に位置する外周端面４と、内周に位置する内周端面７と、を有している。
【００１８】
各端面は主平面２Ａ、２Ｂ側にそれぞれ面取り部が設けられている。具体的には外周端面４は面取り部６を、内周端面７は面取り部９をそれぞれ有している。そして、面取り部間には側面部が形成され、外周端面４は側面部５を、内周端面７は側面部８をそれぞれ有している。このため、外周端面４は側面部５と、面取り部６とを含み、内周端面７は側面部８と面取り部９とを含んでいる。
【００１９】
なお、ここでは磁気記録媒体用ガラス基板を例に説明したが、本実施形態のガラス基板の検査装置が検査するガラス基板は磁気記録媒体用ガラス基板に限定されるものではない。端面部分について検査を要するガラス基板であればあらゆるものを対象とすることができる。
【００２０】
次に、ガラス基板の検査装置の構成について、図２、図３に示した本実施形態のガラス基板の検査装置の具体的な構成例を用いながら説明する。図２は本実施形態のガラス基板の検査装置の構成例を側面方向から見た場合を模式的に示したものである。図３は図２において、ブロック矢印Ａに沿って見た場合の側面図を模式的に示したものである。なお、本実施形態のガラス基板の検査装置２０は複数枚のガラス基板の外周端面について検査を行うことができる。
【００２１】
図２、図３に示すように、本実施形態のガラス基板の検査装置２０は、複数枚のガラス基板２１を支持する支持手段２２を有することができる。また、複数枚のガラス基板２１の端面を観察する観察手段２３を有することができる。
【００２２】
さらに、回転機構２４を有することができ、図２、図３に示した構成例では回転機構２４は支持手段２２に接続されている。
【００２３】
各部材について以下に説明する。
【００２４】
まず支持手段について説明する。
【００２５】
支持手段の構成は特に限定されるものではなく、複数枚のガラス基板を同時に支持することができる手段であれば良い。ただし、支持手段は、複数枚のガラス基板の検査対象となる端面を観察手段により同時に観察することができるように、複数枚のガラス基板を支持できることが好ましい。
【００２６】
具体的には例えば、支持手段は、複数枚のガラス基板を、複数枚のガラス基板を構成するガラス基板の主平面が互いに対向するように支持できることが好ましい。
【００２７】
また、ガラス基板の検査装置は、複数枚のガラス基板の外周端面、または内周端面について周面全体に渡って同時に検査を行うことができる装置である。このため、検査を行う端面、すなわち外周端面、または内周端面のいずれか一方については、少なくとも観察手段の観察領域を覆うことなく支持できる手段であることが好ましい。特に、支持手段は複数枚のガラス基板の検査を行う端面については全てを覆わないように、すなわち検査を行う端面全てを露出するように構成されていることがより好ましい。
【００２８】
本実施形態のガラス基板の検査装置２０は、複数枚のガラス基板の外周端面について検査を行うことができる。このため、支持手段２２は、図２、図３に示したように、複数枚のガラス基板２１の外周端面を、観察手段２３により同時に観察できるように、複数枚のガラス基板２１を、複数枚のガラス基板２１を構成するガラス基板の主平面が互いに対向するよう支持できることが好ましい。
【００２９】
そして、支持手段２２は複数枚のガラス基板２１の外周端面のうち少なくとも観察手段２３の観察領域を覆わないように支持することが好ましい。特に支持手段２２は複数枚のガラス基板２１の外周端面については全てを覆わないように、すなわち外周端面全てを露出するように支持することがより好ましい。
【００３０】
本実施形態のガラス基板の検査装置２０で好適に使用できる支持手段２２としては特に限定されないが、例えば複数枚のガラス基板２１の中央部に開口部が設けられている場合、支持手段２２を、複数枚のガラス基板２１の開口部に挿入して支持することができる。
【００３１】
このように、支持手段２２を複数枚のガラス基板２１の開口部に挿入して複数枚のガラス基板２１を支持することより、複数枚のガラス基板２１の外周端面については支持手段２２により覆われない。このため、複数枚のガラス基板２１の外周端面を検査する場合に好適に用いることができる。
【００３２】
複数枚のガラス基板２１の中央部に開口部（中央開口部）が設けられている場合に、該複数枚のガラス基板２１の中央開口部に挿入して支持することができる支持手段２２の構成例について、図４を用いて説明する。
【００３３】
図４は例えば図２に示したガラス基板の検査装置２０において、複数枚のガラス基板２１を支持手段２２が支持しているところをブロック矢印Ｂに従って見た場合の側面図を模式的に示したものである。
【００３４】
複数枚のガラス基板２１の中央開口部に支持手段２２を挿入して複数枚のガラス基板２１を支持する場合、支持手段２２のガラス基板支持部は、図４に示すように例えば底面が略半円の半円柱形状の棒状体を２本組み合わせた形態を有することができる。この場合、支持手段２２のガラス基板支持部を構成する２本の棒状体２２１と、棒状体２２２とは図４に示した矢印４１に沿って両者の間の距離を変位できるように構成しておくことが好ましい。
【００３５】
例えば図２に示したカセット２５に複数枚のガラス基板２１が収納された状態で、複数枚のガラス基板２１の中央開口部に支持手段２２のガラス基板支持部を挿入する際には、棒状体２２１と棒状体２２２との間の距離を縮め、近接させておくことが好ましい。棒状体２２１と、棒状体２２２との間の距離を縮めておくことにより複数枚のガラス基板２１の中央開口部に挿入する際に、複数枚のガラス基板２１の内周端面に疵や欠けを生じさせることを防止することができる。そして、複数枚のガラス基板２１の中央開口部に挿入後、棒状体２２１と、棒状体２２２との間の距離を拡げ、複数枚のガラス基板２１の内周端面に当接させることにより複数枚のガラス基板２１を支持することが可能になる。
【００３６】
なお、支持手段２２のガラス基板支持部を構成する棒状体２２１、および棒状体２２２の複数枚のガラス基板２１と当接する部分には複数枚のガラス基板２１の内周端面と接触した場合に、複数枚のガラス基板２１の内周端面に疵等を生じないように緩衝部材等を設けておくこともできる。
【００３７】
ここまで、支持手段２２のガラス基板支持部を２本の棒状体で構成した場合を例に説明したが、係る形態に限定されるものではなく、例えば３本以上の棒状体により構成することもできる。また、１本の円柱形状の棒状体により構成することもできる。
【００３８】
また、支持手段２２が複数枚のガラス基板２１を支持する場合、図２に示すように複数枚のガラス基板２１を構成するガラス基板は、互いに一定の間隔をおいて配置することもできるが、間隔をあけることなく隣接するガラス基板が接触するように配置することもできる。複数枚のガラス基板２１を構成するガラス基板を、一定の間隔をおいて配置する場合、隣接するガラス基板の間にはスペーサー等を配置することもできる。
【００３９】
次に観察手段について説明する。
【００４０】
観察手段の構成についても特に限定されるものではなく、支持手段に支持された複数枚のガラス基板の端面部分を観察し、疵や欠けを検出できる手段であれば良い。具体的には例えばラインカメラや、エリアカメラ、レーザー変位計等を好適に用いることができる。特に、広い範囲に渡って画像を取得することができることからラインカメラをより好適に用いることができる。
【００４１】
観察手段を配置する位置は特に限定されるものではないが、支持手段に支持された複数枚のガラス基板のうち観察の対象、すなわち検査の対象となる端面と対向するように配置されていることが好ましい。
【００４２】
図２、図３に示したガラス基板の検査装置２０の場合、支持手段２２に支持された複数枚のガラス基板２１の外周端面部分について観察、検査を行うことから、複数枚のガラス基板２１の外周端面と対向するように観察手段２３を配置することが好ましい。
【００４３】
例えば観察手段２３を１台設け、観察手段２３を移動させることなく、支持手段２２に支持された複数枚のガラス基板２１を同時に観察することができる。
【００４４】
被検査体である、支持手段に支持された複数枚のガラス基板が配置されている範囲よりも、観察手段２３の視野の方が狭い場合や、撮影する画像の解像度を高める必要がある場合等には、例えば観察手段２３を移動させる観察手段用移動手段を設けることもできる。図２に示したガラス基板の検査装置２０において図示しない観察手段移動用手段を設けた場合、観察手段移動用手段は、例えば複数枚のガラス基板２１の端面と平行に、図中左右に観察手段２３を移動するように構成することができる。観察手段移動用手段は、観察手段２３と、複数枚のガラス基板２１の端面との間の距離を変更できるように構成することもできる。
【００４５】
また、観察手段を複数台設け、複数台の観察手段により、支持手段２２に支持された複数枚のガラス基板２１を観察するように構成することもできる。
【００４６】
観察手段としてラインカメラ、またはエリアカメラを用いた場合には、ガラス基板の端面の疵や欠けが識別しやすいように、投光手段を設けることもできる。
【００４７】
なお、投光手段が照射する光の波長域は特に限定されるものではなく、例えば観察手段が検出できる波長域の光を照射することができる。例えば可視領域の光を照射することが好ましい。
【００４８】
投光手段を配置する位置は特に限定されるものではないが、例えば図３に示した様に、観察手段２３が観察している領域に光を照射できるように投光手段３１を配置することが好ましい。
【００４９】
なお、図３では１台の投光手段３１を設けた例を示しているが、係る形態に限定されるものではなく、必要に応じて複数台の投光手段を設けることもできる。
【００５０】
例えば、疵や欠けの種類によっては、明視野観察により検出し易いものと、暗視野観察により検出し易いものとがある。このため、疵や欠けの種類に応じて適切な光を供給できるよう、配置が異なる複数台の投光手段を設けることもできる。
【００５１】
観察手段は例えば画像処理手段と接続しておくことができ、観察手段が撮影した画像を画像処理手段により画像処理、解析を行うことにより複数枚のガラス基板の端面部分の疵や欠けを検出することができる。
【００５２】
画像処理、解析の具体的な方法は特に限定されるものではなく、任意の方法により行うことができる。
【００５３】
例えば得られた画像についてまず２値化処理、すなわち例えば白黒化処理や、グレイ処理、カラー処理を実施することができる。
【００５４】
そして、２値化処理した画像について端面部分に疵や欠けを含まないガラス基板の画像と対比するパターンマッチングを行うことにより疵や欠けを検出することもできる。
【００５５】
または２値化処理した画像内に局所的に異常値を示す部分を検出し、異常値を示す範囲のサイズ等により疵や欠けとして検出するように構成することもできる。
【００５６】
なお、観察手段としてレーザー変位計を用いた場合には画像処理等を行うことなく、例えば観察手段と、ガラス基板の端面との間の距離が大きく変位した部分について疵、または欠けとして検出することができる。
【００５７】
次に回転機構について説明する。
【００５８】
回転機構は、支持手段、または観察手段と接続することができ、支持手段、または観察手段を回転機構により回転させることにより、支持手段に支持された複数枚のガラス基板の観察対象となる端面を周面全体に渡って観察することができる。
【００５９】
図２、図３に示した本実施形態のガラス基板の検査装置２０では、支持手段２２、または観察手段２３を回転することにより、複数枚のガラス基板２１の外周端面を周面全体について検査ができる。
【００６０】
そして、図２、図３に示したガラス基板の検査装置２０においては、支持手段２２に回転機構２４が接続された例を示している。係る構成によれば、支持手段２２を例えばブロック矢印２２ａに従って回転することができる。これにより、支持手段２２に支持された複数枚のガラス基板２１を回転させ、観察手段２３により複数枚のガラス基板２１の外周端面を周面全体にわたって観察することができる。なお、回転機構２４は、観察手段２３の撮像部（または受光部）と複数枚のガラス基板２１の外周端面との間の距離を一定に保ったまま、複数枚のガラス基板２１を回転することが好ましい。このため、回転機構２４は、複数枚のガラス基板２１を支持している支持手段２２の中心軸を回転軸として複数枚のガラス基板２１を回転させることが好ましい。
【００６１】
また、図２、図３に示した構成に限定されるものではなく、観察手段２３に回転機構を接続し、観察手段２３を回転させることもできる。この場合も、観察手段２３に接続された回転機構は、複数枚のガラス基板２１の外周端面と、観察手段２３の撮像部（または受光部）との間が一定距離を保つようにして観察手段２３を回転させることが好ましい。具体的には例えば複数枚のガラス基板２１の外周端面と、観察手段２３の撮像部（または受光部）との間の距離が、観察手段２３の焦点距離を保つようにして、観察手段２３を回転させることが好ましい。
【００６２】
なお、回転機構２４を２つ設け、支持手段２２、及び観察手段２３の両方にそれぞれ接続し、両者を回転させることにより複数枚のガラス基板２１の周面全体に渡って観察するように構成することもできる。ただし、機構が複雑になるおそれがあるため、回転機構２４は、支持手段２２、または観察手段２３のいずれか一方に接続することが好ましい。特に機構を簡略化できるため、図２に示した様に回転機構２４は支持手段２２に接続していることが好ましい。
【００６３】
回転機構は、少なくとも複数枚のガラス基板の周面全体にわたって観察手段により観察することができるように、１回の検査において、支持手段、または観察手段を３６０度以上回転するように構成することが好ましい。特に複数枚のガラス基板の周面全体をより確実に観察できるように１回の検査において支持手段、または観察手段を３６０度よりも多く回転するように構成することが好ましい。例えば１回の検査において支持手段、または観察手段を３８０度回転させることもできる。
【００６４】
なお、上述の様に回転機構を２つ設け、支持手段、及び観察手段の両方にそれぞれ接続し、両者を回転させる場合には、両者の回転をあわせて上記範囲を回転させるように構成することが好ましい。
【００６５】
ここまで説明したように、複数枚のガラス基板の端面と、観察手段とが対向するように配置することにより、複数枚のガラス基板の外周端面、すなわち外周の面取り部、及び側面部を同時に観察することができる。そして、回転機構により、支持手段、および／または観察手段を回転させることにより、複数枚のガラス基板の外周端面を周面全体に渡って観察することができる。
【００６６】
本実施形態のガラス基板の検査装置２０はさらに任意の手段を設けることもできる。
【００６７】
通常、複数枚のガラス基板２１はカセット２５内に収納され、工程間を搬送されることが多い。このため、カセット２５から複数枚のガラス基板２１を支持手段２２にセットするための機構を有することができる。
【００６８】
カセット２５には通常、複数枚のガラス基板が、主平面が互いに対向するように収納されている。そして、カセット２５の側面部分から支持手段２２を挿入することにより、カセット２５内に収納された複数枚のガラス基板２１の中央開口部に支持手段２２を挿入することができる。複数枚のガラス基板２１の中央開口部に支持手段２２を挿入した状態で、支持手段２２をカセット２５の上方に移動させることによりカセット２５から複数枚のガラス基板２１を支持手段２２で支持した状態で取り出すことができる。
【００６９】
このため、例えば図２に点線で示すように、カセットに収納された複数枚のガラス基板２１の中央開口部に支持手段２２を挿入するための、支持手段２２のセット位置２２´と、実線で示した複数枚のガラス基板の外周端面を観察する際の支持手段２２の観察位置との間で支持手段２２を移動させる支持手段用移動手段２６を設けることができる。図２に示した様に支持手段２２に回転機構２４が接続されている場合、支持手段用移動手段２６は、回転機構２４もセット位置２４´と、複数枚のガラス基板の外周端面を観察する際の位置との間で移動させることができる。支持手段用移動手段２６は例えば、図中に示した矢印２６ａに沿って、支持手段２２、及び場合によっては回転機構２４を上下方向に移動させることができる。
【００７０】
また、支持手段２２が複数枚のガラス基板２１をセットするためのセット位置２２´に位置する際に、支持手段２２に複数枚のガラス基板２１を供給、セットするため、カセット２５を移動させるカセット移動手段２７を有することもできる。カセット移動手段２７は例えばカセット２５を図２中矢印２７ａに沿って水平方向に移動させることにより、カセット２５の一側面から支持手段２２を挿入させ、カセットにセットされた複数枚のガラス基板２１の中央開口部に支持手段２２のガラス基板支持部を挿入することができる。
【００７１】
また、図２に示したガラス基板の検査装置２０は支持手段２２が片持ち支持されており、図中右側の端部は自由端となっているが、支持手段２２のサイズ等によっては支持手段２２にたわみが生じる場合がある。このため、支持手段２２の一方の端部を支持するための図示しない支持機構を設けることもできる。
【００７２】
また、複数枚のガラス基板２１の表面に水滴等の液体が付着している場合には、水滴等を誤って疵や欠けとして検出する恐れがある。このように液体が付着した状態の複数枚のガラス基板２１について検査を行う場合、複数枚のガラス基板２１を水等の液体中に配置して観察を行うことが好ましい。このため、複数枚のガラス基板２１を水等の液体中に配置するための水槽を設けることもできる。水槽内には例えば複数枚のガラス基板２１や支持手段２２等を配置することができる。そして、水槽の側面部等から観察手段２３により複数枚のガラス基板２１の端面を観察するように構成することができる。
【００７３】
なお、観察手段２３を含めて水槽内に配置するように構成することもできる。
【００７４】
ここで、本実施形態のガラス基板検査装置の変形例について図５を用いて説明する。図５に示したガラス基板の検査装置５０は、支持手段５２が複数枚のガラス基板５１を垂直方向に積層、支持している点で、上述のガラス基板の検査装置２０とは異なっている。
【００７５】
この場合も支持手段５２を複数枚のガラス基板５１の中央部の開口部に挿入して複数枚のガラス基板を支持することができる。なお、支持手段５２のガラス基板支持部は既述のように、２本の棒状体から構成してもよい。また、図５に示したガラス基板の検査装置では、複数枚のガラス基板５１を構成するガラス基板を垂直方向に積層しており、自重により各ガラス基板は動きにくくなっている。このため、ガラス基板支持部は１本の円柱形状の棒状体であってもよい。図５においては複数枚のガラス基板５１を構成するガラス基板を直接積層した例を示しているが、各ガラス基板間にスペーサーを配置することもできる。
【００７６】
そして観察手段５３は、支持手段５２に支持された複数枚のガラス基板５１の外周端面と対向するようにして配置することができる。この場合も、例えば観察手段５３を１台設け、観察手段５３を移動させることなく支持手段５２に支持された複数枚のガラス基板５１を同時に観察することができる。
【００７７】
支持手段５２に支持された複数枚のガラス基板５１が配置されている範囲よりも、観察手段５３の視野の方が狭い場合や、撮影する画像の解像度を高める必要がある場合等には、図示しない観察手段用移動手段を設けることもできる。観察手段用移動手段は、例えば複数枚のガラス基板５１の端面と平行に図中上下方向に観察手段５３を移動できるように構成したり、観察手段５３と複数枚のガラス基板の端面との間の距離を変更できるように構成したりすることができる。
【００７８】
また、観察手段を複数台設け、複数台の観察手段により、支持手段５２に支持された複数枚のガラス基板５１を同時に観察するように構成することもできる。
【００７９】
そして、図５に示したガラス基板の検査装置では支持手段５２に回転機構５４が接続されており、支持手段５２を矢印５２ａに沿って回転させることにより、支持手段５２に支持された複数枚のガラス基板５１を回転させることができる。なお、既述のように観察手段５３に回転機構を接続し、観察手段５３を回転させることもできる。また、回転機構を２つ設け、支持手段５２、及び観察手段５３にそれぞれ回転機構を接続することもできる。
【００８０】
なお、支持手段５２、観察手段５３、回転機構５４のその他の構成については既述のガラス基板検査装置と同様に構成することができるため、ここでは説明を省略する。
【００８１】
また、図５に示したガラス基板の検査装置においても、必要に応じて図示しない投光手段や、水槽等の任意の手段を設けることもできる。
【００８２】
以上に説明した本実施形態のガラス基板の検査装置によれば、複数枚のガラス基板について同時に、外周端面全体に渡って観察手段により観察することができる。すなわち、複数枚のガラス基板の外周端面全体について同時に検査を実施することができる。このため、生産性よくガラス基板の外周端面について検査を行うことができる。
（ガラス基板の検査方法）
次に本実施形態のガラス基板の検査方法について説明する。
【００８３】
本実施形態のガラス基板の検査方法は以下の工程を有することができる。
【００８４】
複数枚のガラス基板を支持手段により支持するガラス基板支持工程。
【００８５】
複数枚のガラス基板の端面と対向するように、複数枚のガラス基板の端面を観察する観察手段を配置する、観察手段配置工程。
【００８６】
支持手段、または観察手段を、複数枚のガラス基板の端面と、観察手段とが対向した状態を維持しながら回転させる回転工程。
【００８７】
本実施形態のガラス基板の検査方法は、例えば上述したガラス基板の検査装置を好適に用いることができる。このため、上述した各工程における支持手段や、観察手段等、ガラス基板の検査装置の説明において既に説明した事項については一部説明を省略する。
【００８８】
以下、上述の各工程について説明する。
【００８９】
ガラス基板支持工程は、被検査体である複数枚のガラス基板を支持手段により支持する工程である。支持手段の構成については特に限定されるものではなく、複数枚のガラス基板を同時に支持することができる手段であれば良い。ただし、複数枚のガラス基板の検査対象となる端面を観察手段により同時に観察することができるように複数枚のガラス基板を支持できることが好ましい。
【００９０】
具体的には例えば、支持手段は、複数枚のガラス基板を、複数枚のガラス基板を構成するガラス基板の主平面が互いに対向するように支持できることが好ましい。
【００９１】
また、支持手段は検査を行う端面、すなわち外周端面、または内周端面のいずれか一方については、少なくとも観察手段の観察領域を覆うことなく支持できる手段であることが好ましい。特に、支持手段は複数枚のガラス基板の検査を行う端面については全てを覆わないように、すなわち検査を行う端面全てを露出するように構成されていることがより好ましい。
【００９２】
そして、本実施形態のガラス基板の検査方法においては、既述のガラス基板の検査装置を好適に用いることができ、ガラス基板の外周端面について検査を行うことができる。
【００９３】
このため、複数枚のガラス基板の外周端面を観察手段により同時に観察できるように複数枚のガラス基板を、各ガラス基板の互いの主平面が対向するよう支持できることが好ましい。
【００９４】
そして、複数枚のガラス基板の外周端面のうち少なくとも観察手段の観察領域を覆わないように構成されていることが好ましい。特に、複数枚のガラス基板の外周端面全てを覆わないように、すなわち検査を行う外周端面全てを露出するように支持することがより好ましい。
【００９５】
本実施形態のガラス基板の検査方法においては、例えば複数枚のガラス基板は中央部に開口部が設けられており、ガラス基板支持工程において、支持手段は複数枚のガラス基板の開口部に挿入して支持することができる。
【００９６】
次に観察手段配置工程について説明する。観察手段配置工程においては、支持手段により支持された複数枚のガラス基板の端面と対向するように、複数枚のガラス基板の端面を観察する観察手段を配置する工程である。
【００９７】
例えば、本実施形態で説明したガラス基板の検査装置を用いる場合、複数枚のガラス基板の外周端面と、観察手段とが対向する様に観察手段を配置することができる。
【００９８】
この際、観察手段と、複数枚のガラス基板の外周端面との間の距離は特に限定されるものではないが、例えば観察手段としてラインカメラ等の撮像手段を用いる場合には、観察手段と、複数枚のガラス基板の外周端面との間の距離は、該撮像手段の焦点距離と等しくなるように配置されていることが好ましい。
【００９９】
次に回転工程について説明する。
【０１００】
回転工程は支持手段、または観察手段を複数枚のガラス基板の端面と、観察手段とが対向した状態を維持しながら回転させる工程である。なお、支持手段を回転させる場合、支持手段に支持された複数枚のガラス基板が回転することになる。
【０１０１】
回転工程においては複数枚のガラス基板と、複数枚のガラス基板の端面との間の距離を略一定に保った状態で、支持手段または観察手段を回転することが好ましい。
【０１０２】
これは、例えば観察手段として撮像手段を用いた場合には、撮像手段と、複数枚のガラス基板の端面との間の距離が撮像手段の焦点距離に保たれていることが好ましいためである。また、観察手段として、例えばレーザー変位計を用いた場合は、レーザー変位計とガラス基板の端面との間の距離の変化により、疵等を検出するため、この場合もレーザー変位計とガラス基板の端面との間の距離は一定に保たれていることが好ましいためである。
【０１０３】
回転工程においては、支持手段、または観察手段のいずれを回転させてもよい。例えば図２、図３に示したガラス基板の検査装置を用いる場合、回転工程において、支持手段を回転させることができる。また、既述のように回転機構を２つ設け、支持手段、及び観察手段に接続した場合は、支持手段、及び回転機構を回転させてもよい。
【０１０４】
そして、観察手段がラインカメラ等の撮像手段の場合には、観察手段が撮影した画像を画像処理等することにより、複数枚のガラス基板の端面部分の疵や欠けを検出することができる。画像処理の方法等について既述のため説明を省略する。
【０１０５】
また、観察手段としてレーザー変位計を用いた場合には画像処理等を行うことなく、例えば観察手段と、ガラス基板の端面との間の距離が大きく変位した部分について疵、または欠けとして検出することができる。
【０１０６】
以上に説明した本実施形態のガラス基板の検査方法によれば、複数枚のガラス基板について同時に外周端面全体にわたって観察手段により観察することができる。すなわち、複数枚のガラス基板の外周端面全体について同時に検査を実施することができる。このため、生産性よくガラス基板の外周端面について検査を行うことができる。
（ガラス基板の製造方法）
次に、ガラス基板の端面を検査する検査工程を有しており、検査工程において、上述のガラス基板の検査方法を用いるガラス基板の製造方法について説明する。ここでは磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法を例に説明する。
【０１０７】
磁気記録媒体用ガラス基板は例えば以下の工程１〜４を含む製造方法により、製造できる。
（工程１）ガラス素基板から、中央部に開口部を有する円板形状のガラス基板に加工した後、内周端面と外周端面を面取り加工する形状付与工程。
（工程２）ガラス基板の端面（内周端面及び外周端面）を研磨する端面研磨工程。
（工程３）ガラス基板の主平面を研磨する主平面研磨工程。
（工程４）ガラス基板を精密洗浄して乾燥する洗浄工程。
【０１０８】
上記工程は記載した順番に行う必要はなく、例えば、形状付与工程の前に主平面研磨工程を行ってもよい。また、各工程は１回ずつに限定されるものではなく、要求されるガラス基板の仕様等に応じて任意の回数実施することができる。例えば、形状付与工程後に端面研磨工程、および１回目の主平面研磨工程を行った後、再度２回目の主平面研磨工程を実施することもできる。
【０１０９】
ここで、（工程１）の形状付与工程は、フロート法、フュージョン法、プレス成形法、ダウンドロー法またはリドロー法で成形されたガラス素基板を、中央部に開口部を有する円板形状のガラス基板に加工する工程である。なお、用いるガラス素基板は、アモルファスガラスでもよく、結晶化ガラスでもよく、ガラス基板の表層に強化層を有する強化ガラスでもよい。また、本工程で、ガラス基板の内周、外周の端面部分の面取りを行うこともできる。
【０１１０】
（工程２）の端面研磨工程は、ガラス基板の端面（側面部と面取り部）を端面研磨する工程である。
【０１１１】
（工程３）の主平面研磨工程は、ガラス基板の主平面を研磨する工程であり、例えば両面研磨装置を用いて、ガラス基板の主平面を研磨することができる。研磨条件は特に限定されるものではなく、要求される平坦度や、表面粗さの程度に応じて任意に選択することができる。
【０１１２】
主平面研磨工程は、１回のみでもよいが、複数回実施することもできる。
【０１１３】
（工程４）の洗浄工程は、研磨後のガラス基板を精密洗浄し、乾燥する工程である。具体的な方法は特に限定されるものではない。例えば、洗剤を用いたスクラブ洗浄、洗剤溶液に浸漬した状態での超音波洗浄、純水に浸漬した状態での超音波洗浄等により洗浄を行うことができる。また、乾燥方法についても特に限定されるものではなく、例えば、イソプロピルアルコール蒸気にて乾燥することができる。
【０１１４】
さらに、上記各工程間にガラス基板の洗浄（工程間洗浄）やガラス基板表面のエッチング（工程間エッチング）を実施してもよい。また、ガラス基板に高い機械的強度が求められる場合、ガラス基板の表層に強化層を形成する強化工程（例えば、化学強化工程）を工程２、３で挙げた研磨工程前、または研磨工程後、あるいは研磨工程間で実施してもよい。
【０１１５】
ガラス基板の端面を検査する検査工程を実施するタイミングは特に限定されるものではなく、任意のタイミングで実施することができる。例えば、工程１の形状付与工程を実施した後、工程２の端面研磨工程を実施した後などに実施することができる。なお、検査を行う際には研磨砥粒を疵等と誤って検出しないように、被検査体である複数枚のガラス基板を予め洗浄工程に供することが好ましい。
【０１１６】
上記各工程を含む製造方法により得られたガラス基板はその表面に磁性膜などの薄膜を形成する工程をさらに行うことによって、磁気記録媒体とすることができる。
【０１１７】
以上に説明した本実施形態のガラス基板の製造方法によれば、生産性よく複数枚のガラス基板の外周端面について検査を行うことができる。このため、ガラス基板を生産性よく製造することが可能になる。また、本実施形態のガラス基板の製造方法においては、精度良く外周端面部分の疵等を検出できる。疵等が検出された場合、必要に応じて外周端面を研磨し製品とすることができるため、ガラス基板の歩留まりを向上させることができる。
［第２の実施形態］
（ガラス基板の検査装置）
次にガラス基板の検査装置の他の構成例について図６を用いて説明する。
【０１１８】
本実施形態のガラス基板の検査装置は、複数枚のガラス基板をカセットに収納した状態で検査を実施することができる。
【０１１９】
本実施形態のガラス基板の検査装置６０は、カセット６５に複数枚のガラス基板６１が収納されている。なお、複数枚のガラス基板６１は、各ガラス基板の主平面が互いに対向する様にして配置、収納されている。
【０１２０】
そして、通常複数枚のガラス基板を保持するカセット６５の下端部６５ａ、及び上端部６５ｂには開口部が設けられている。
【０１２１】
そこで、本実施形態のガラス基板の検査装置６０においては、カセットの下端部６５ａから、支持手段６２を挿入し、ガラス基板の外周端面と接触させることで、支持手段６２が複数枚のガラス基板６１の外周部を支持するように構成することができる。この場合支持手段６２は例えば紙面と中心軸が垂直なローラー形状を有していることが好ましい。そして、支持手段６２は、カセット６５に収納された複数枚のガラス基板６１と接触、支持できることが好ましい。支持手段６２は、カセット６５の下端部６５ａから挿入し複数枚のガラス基板６１と接触させることにより、複数枚のガラス基板６１とカセット６５の間に隙間を形成することができる。
【０１２２】
そして、複数枚のガラス基板６１と支持手段６２とを接触させ、カセット６５との間に隙間を形成した状態で、支持手段６２に接続された回転機構６４を回転させることができる。これにより、支持手段６２に接触している複数枚のガラス基板６１を回転させることができる。
【０１２３】
この際、カセット６５の上端部６５ｂの開口部から観察手段６３により、複数枚のガラス基板６１の外周端面を観察することにより、複数枚のガラス基板の外周端面を周面全体について検査ができる。観察手段６３については第１の実施形態で説明したガラス基板の検査装置の場合と同様に構成することができるため、ここでは説明を省略する。なお、本実施形態のガラス基板の検査装置においても、例えば観察手段６３を１台設け、観察手段６３を移動させることなく、支持手段６２に支持された複数枚のガラス基板６１を同時に観察するように構成することもできる。また、観察手段６３の視野等に応じて観察手段６３を例えば紙面と垂直方向に移動させたり、観察手段６３と複数枚のガラス基板６１との間の距離を変更できるように、図示しない観察手段用移動手段を設けることもできる。また、観察手段を複数台設け、複数台の観察手段により、支持手段６２に支持された複数枚のガラス基板６１を同時に観察するように構成することもできる。
【０１２４】
本実施形態のガラス基板の検査装置６０においては、図６に示す様にさらに任意の構成を設けることもできる。
【０１２５】
例えば、カセット６５の上端部６５ｂから複数枚のガラス基板６１を支持するための補助ローラー６６や、カセット６５の下端部６５ａ側についても上述の支持手段６２以外にも複数枚のガラス基板６１を支持するための補助ローラー６７等を設けることもできる。
【０１２６】
また、第１の実施形態でも説明した様に、必要に応じて図示しない投光手段や、水槽等の任意の手段を設けることもできる。
【０１２７】
以上に説明した本実施形態のガラス基板の検査装置によれば、複数枚のガラス基板について同時に、外周端面全体に渡って観察手段により観察することができる。すなわち、複数枚のガラス基板の外周端面全体について同時に検査を実施することができる。このため、生産性よくガラス基板の外周端面について検査を行うことができる。
【０１２８】
また、本実施形態のガラス基板の検査装置によれば、複数枚のガラス基板をカセットに収納したまま複数枚のガラス基板の外周端面を周面全体について検査を実施できる。
（ガラス基板の検査方法）
次に本実施形態のガラス基板の検査方法について説明する。
【０１２９】
本実施形態のガラス基板の検査方法は、例えば上述した本実施形態のガラス基板の検査装置を用いて好適に実施することができる。
【０１３０】
このため、ガラス基板支持工程において、支持手段は複数枚のガラス基板の外周部を支持することが好ましい点を除いては、第１の実施形態で説明したガラス基板の検査方法と同様にして実施することができる。
【０１３１】
従って、その他の点については第１の実施形態で説明したガラス基板の検査方法と同様に構成することができるため、説明を省略する。
【０１３２】
本実施形態のガラス基板の検査方法によれば、複数枚のガラス基板について同時に外周端面全体にわたって観察手段により観察することができる。すなわち、複数枚のガラス基板の外周端面全体について同時に検査を実施することができる。このため、生産性よくガラス基板の外周端面について検査を行うことができる。
【０１３３】
また、本実施形態のガラス基板の検査方法によれば、複数枚のガラス基板をカセットに収納したまま複数枚のガラス基板の外周端面を周面全体について検査を実施できる。
（ガラス基板の製造方法）
次に、ガラス基板の端面を検査する検査工程を有しており、検査工程において、上述のガラス基板の検査方法を用いるガラス基板の製造方法について説明する。
【０１３４】
本実施形態のガラス基板の製造方法においては、上述の本実施形態のガラス基板の検査方法を用いることができる点を除いては第１の実施形態で説明したガラス基板の製造方法と同様にして実施することができるため、説明を省略する。
【０１３５】
本実施形態のガラス基板の製造方法によれば、生産性よく複数枚のガラス基板の外周端面について検査を行うことができる。このため、ガラス基板を生産性よく製造することが可能になる。また、本実施形態の製造方法においては、精度良く外周端面部分の疵等を検出できる。疵等が検出された場合、必要に応じて外周端面を研磨し製品とすることができるため、ガラス基板の歩留まりを向上させることができる。
［第３の実施形態］
（ガラス基板の検査装置）
ガラス基板の検査装置の他の構成例について図７、図８を用いて説明する。
【０１３６】
図７は本実施形態のガラス基板の検査装置の側面図を示しており、図８は図７においてブロック矢印Ｃに沿って見た場合の図を示している。
【０１３７】
第１の実施形態、第２の実施形態では、複数枚のガラス基板の外周端面について検査を行うことができるガラス基板の検査装置について説明したが、本実施形態のガラス基板の検査装置においては複数枚のガラス基板の内周端面について検査を行うことができる。
【０１３８】
図７に示すように、本実施形態のガラス基板の検査装置７０は、複数枚のガラス基板７１を支持する支持手段７２を有することができる。また、複数枚のガラス基板７１の内周端面を観察する観察手段７３を有することができる。
【０１３９】
さらに、回転機構７４を有することができ、図７に示した構成例では回転機構７４は支持手段７２に接続されている。
【０１４０】
各部材について以下に説明する。
【０１４１】
本実施形態のガラス基板の検査装置７０で用いる支持手段７２の構成は特に限定されるものではなく、複数枚のガラス基板を同時に支持することができる手段であれば良い。ただし、支持手段７２により複数枚のガラス基板７１を支持し、該複数枚のガラス基板７１の内周端面を観察手段７３により観察することができるように、複数枚のガラス基板７１は互いの主平面が対向するように支持できることが好ましい。また、後述するように複数枚のガラス基板７１の中央開口部に観察手段７３を挿入し、複数枚のガラス基板７１の内周端面の観察を行うことから、複数枚のガラス基板７１の中央開口部が連通するように配置されていることが好ましい。
【０１４２】
そして、本実施形態のガラス基板の検査装置７０は、複数枚のガラス基板７１の内周端面について周面全体に渡って同時に検査を行うことができる装置である。このため、支持手段７２は、内周端面のうち少なくとも観察手段７３の観察領域を覆わないように複数枚のガラス基板７１を支持できることが好ましい。特に支持手段７２は内周端面全てを覆わないように複数枚のガラス基板７１を支持できることがより好ましい。
【０１４３】
本実施形態のガラス基板の検査装置７０において、支持手段７２は例えば図７に示す様に複数枚のガラス基板７１の外周部に接触し、支持することで、複数枚のガラス基板７１を支持できるように構成することができる。
【０１４４】
なお、複数枚のガラス基板７１を支持手段７２のみで支持できない場合には、図７、図８に示す様に第１の補助支持手段７５、第２の補助支持手段７６等を設けることもできる。図８に示す様にガラス基板の検査装置７０では支持手段７２と、第１の補助支持手段７５と、第２の補助支持手段７６と、の３点で複数枚のガラス基板７１が支持されている。なお、補助支持手段を設ける場合、その数は限定されるものではなく必要に応じて任意の数設けることができる。
【０１４５】
支持手段７２の形状は特に限定されるものではなく、任意の形状とすることができる。図７に示したガラス基板の検査装置７０においては、支持手段７２がその中心軸を回転軸として回転することにより、支持手段７２に接触する複数枚のガラス基板７１を回転させる構成例を示している。このため、複数枚のガラス基板７１を回転させることができるように支持手段７２がローラー形状を有する例を示している。この場合、第１の補助支持手段７５、第２の補助支持手段７６についても複数枚のガラス基板７１の回転を阻害しない様にローラー形状を有することが好ましい。
【０１４６】
なお、支持手段７２は図７、図８に示した構成に限定されるものではない。例えば観察手段７３に回転機構７４が接続されている場合には、支持手段７２は複数枚のガラス基板７１を同時に支持できるように構成されていればよく、その形状は限定されるものではない。例えば第２の実施形態で説明したカセットを支持手段とすることもできる。
【０１４７】
次に観察手段７３について説明する。
【０１４８】
観察手段７３については、第１の実施形態、第２の実施形態の場合と同様に、その構成についても特に限定されるものではなく、支持手段７２に支持された複数枚のガラス基板７１の端面部分を観察し、疵や欠けを検出できる手段であれば良い。具体的には例えばラインカメラや、エリアカメラ、レーザー変位計等を好適に用いることができる。特にラインカメラをより好適に用いることができる。
【０１４９】
ただし、本実施形態のガラス基板の検査装置７０においては、観察手段７３は複数枚のガラス基板７１の中央開口部に挿入されることになるため、観察手段７３は複数枚のガラス基板の中央開口部内に収まるようにサイズが調整されていることが好ましい。
【０１５０】
なお、複数枚のガラス基板７１の中央開口部に挿入できるように、また場合によっては観察手段７３の視野等に応じて観察手段７３を移動させることができるように、図示しない観察手段用移動手段を設けることができる。観察手段用移動手段は、例えば図中矢印７３ａに沿って観察手段を移動させることができる。
【０１５１】
観察手段７３についてその他の構成は第１の実施形態で説明した場合と同様に構成することができるため、ここでは説明を省略する。
【０１５２】
次に回転機構７４について説明する。図７、図８に示したガラス基板の検査装置７０においては支持手段７２に接続した例を示しており、この場合、上述の様に複数枚のガラス基板７１の外周に接した支持手段７２がその中心軸を回転軸として回転することにより複数枚のガラス基板７１を回転させることができる。これにより、観察手段７３は複数枚のガラス基板７１の内周端面の周面全体について検査をすることができる。
【０１５３】
ただし、係る形態に限定されるものではなく、回転機構７４は例えば観察手段７３に接続することもできる。また、回転機構を２つ設け、支持手段７２、および観察手段７３にそれぞれ接続し、両者を回転させることにより複数枚のガラス基板７１の内周端面の周面全体について検査することもできる。
【０１５４】
また、本実施形態のガラス基板の検査装置７０においては、さらに必要に応じて各種手段を設けることもできる。例えば第１の実施形態や、第２の実施形態で説明した外周端面を観察するための観察手段をさらに設けることもできる。この場合、複数枚のガラス基板の内周端面と、外周端面とを同時に検査することが可能になる。
【０１５５】
さらに、第１の実施形態でも説明した様に、必要に応じて図示しない投光手段や、水槽等任意の手段を設けることもできる。なお、投光手段を設ける場合、投光手段は観察手段７３の観察している領域に光を照らせるように、複数枚のガラス基板７１の中央開口部に挿入されることが好ましい。
【０１５６】
ここまで、図７、図８に示した内周端面の検査を行うことができるガラス基板の検査装置７０の構成例について説明したが、内周端面の検査を行うためのガラス基板の検査装置の構成は、係る形態に限定されるものではない。
【０１５７】
例えば、第２の実施形態で説明した図６に示したガラス基板の検査装置６０において、観察手段６３に代えて、複数枚のガラス基板６１の中央開口部に挿入可能な観察手段を設け、内周端面を検査するガラス基板の検査装置とすることもできる。なお、第２の実施形態で説明した図６に示したガラス基板の検査装置６０において、観察手段６３に加えて、上述の複数枚のガラス基板６１の中央開口部に挿入可能な観察手段を設けた構成とすることもできる。この場合、複数枚のガラス基板６１の内周端面、および外周断面を同時に検査できるガラス基板の検査装置とすることもできる。
【０１５８】
以上に説明した本実施形態のガラス基板の検査装置によれば、複数枚のガラス基板について同時に、内周端面全体に渡って観察手段により観察することができる。すなわち、複数枚のガラス基板の内周端面全体について同時に検査を実施することができる。このため、生産性よくガラス基板の内周端面について検査を行うことができる。
（ガラス基板の検査方法）
次に本実施形態のガラス基板の検査方法について説明する。
【０１５９】
本実施形態のガラス基板の検査方法は、例えば上述した本実施形態のガラス基板の検査装置を用いて好適に実施することができる。
【０１６０】
このため、ガラス基板支持工程において、支持手段は複数枚のガラス基板の外周部を支持することが好ましい。
【０１６１】
また、観察手段配置構成においては、複数枚のガラス基板の内周端面と、観察手段とが対向するように配置することができる。
【０１６２】
以上の点を除いては、第１の実施形態で説明したガラス基板の検査方法と同様に構成することができる。
【０１６３】
従って、その他の点については第１の実施形態で説明したガラス基板の検査方法と同様に構成することができるため、説明を省略する。
【０１６４】
本実施形態のガラス基板の検査方法によれば、複数枚のガラス基板について同時に内周端面全体にわたって観察手段により観察することができる。すなわち、複数枚のガラス基板の内周端面全体について同時に検査を実施することができる。このため、生産性よくガラス基板の内周端面について検査を行うことができる。
（ガラス基板の製造方法）
次に、ガラス基板の端面を検査する検査工程を有しており、検査工程において、上述のガラス基板の検査方法を用いるガラス基板の製造方法について説明する。
【０１６５】
本実施形態のガラス基板の製造方法においては、上述の本実施形態のガラス基板の検査方法を用いることができる点を除いては第１の実施形態で説明したガラス基板の製造方法と同様に構成することができるため、説明を省略する。
【０１６６】
本実施形態のガラス基板の製造方法によれば、生産性よく複数枚のガラス基板の内周端面について検査を行うことができる。このため、ガラス基板を生産性よく製造することが可能になる。また、本実施形態の製造方法においては、精度良く内周端面部分の疵等を検出できる。疵等が検出された場合、必要に応じて端面を研磨し製品とすることができるため、ガラス基板の歩留まりを向上させることができる。
【符号の説明】
【０１６７】
２０、５０、６０、７０      ガラス基板の検査装置
１、２１、５１、６１、７１  ガラス基板
２２、５２、６２、７２      支持手段
２３、５３、６３、７３      観察手段
２４、５４、６４、７４      回転機構
【図１】
2016053539.tif 000003
【図２】
2016053539.tif 000004
【図３】
2016053539.tif 000005
【図４】
2016053539.tif 000006
【図５】
2016053539.tif 000007
【図６】
2016053539.tif 000008
【図７】
2016053539.tif 000009
【図８】
2016053539.tif 000010