(57)【要約】【課題】歩留り良く液体吐出ヘッドを製造する方法を提供する。【解決手段】液体吐出ヘッドの製造方法であって、（１）第１面に液体吐出エネルギー発生素子を有し、第１面から反対の第２面に貫通する液体供給路を有する基板を準備する工程と、（２）第一の感光性樹脂層と、前記第一の感光性樹脂層よりも軟化点の低い最外層を含む第二の感光性樹脂層を備える２層以上の積層構造体を形成する工程と、  （３）前記基板の第１面上に、前記積層構造体を、前記積層構造体の前記第二の感光性樹脂層の最外層を接触させて接合する工程と、  （４）前記積層構造体を露光し、前記第二の感光性樹脂層に液体流路を規定する第二の層を、前記第一の感光性樹脂層に吐出口を規定する第一の層を、それぞれ形成する工程と、含む。【選択図】図３
2016043516.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体吐出ヘッドの製造方法であって、
（１）第１面に液体吐出エネルギー発生素子を有し、第１面から反対の第２面に貫通する液体供給路を有する基板を準備する工程と、
（２）第一の感光性樹脂層と、前記第一の感光性樹脂層よりも軟化点の低い最外層を含む第二の感光性樹脂層を備える２層以上の積層構造体を形成する工程と、
（３）前記基板の第１面上に、前記積層構造体を、前記積層構造体の前記第二の感光性樹脂層の最外層を接触させて接合する工程と、
（４）前記積層構造体を露光し、前記第二の感光性樹脂層に液体流路を規定する第二の層を、前記第一の感光性樹脂層に吐出口を規定する第一の層を、それぞれ形成する工程と、
を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記（１）から前記（４）の工程をこの順番で行う請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記第一および第二の感光性樹脂層が、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂のいずれか１つ以上のネガ型感光性樹脂を含む請求項１または２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記第一および第二の感光性樹脂層が、感光感度および感光波長の少なくとも一方が異なる感光性を有する材料で形成される請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記（４）の工程を２回以上の異なるパターンと露光条件で行った後、現像が一括で行われる請求項４に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記第一の感光性樹脂層の感光感度は、前記第二の感光性樹脂層の感光感度よりも高い請求項４に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記第一の感光性樹脂層の感光波長は、前記第二の感光性樹脂層の感光波長よりも短い請求項４に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記（３）の工程は、前記第一の感光性樹脂層の軟化点よりも低く、前記第二の感光性樹脂層の最外層の軟化点以上の温度で前記積層構造体を前記基板に接合する請求項１乃至７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記積層構造体と前記基板の接合にローラー方式のラミネート装置を用い、前記基板の温度は第二の感光性樹脂層の最外層の軟化点以上であり、ローラー温度は前記第二の感光性樹脂層の最外層の軟化点よりも低い請求項８に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記第一の感光性樹脂層の厚みは、前記第二の感光性樹脂層の厚み以下である請求項１乃至９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記積層構造体を接合した後、前記第一の感光性樹脂層の露光よりも前に、前記第一の感光性樹脂層の一部を研磨する工程を含む請求項１０に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記第一の感光性樹脂層の厚みは、前記第二の感光性樹脂層の厚み以上に形成し、前記研磨によって前記第二の感光性樹脂層の厚みより薄くする請求項１１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１３】
前記積層構造体は、ベースフィルムの上に前記第一および第二の感光性樹脂層を含む積層を形成した後、前記基板への接合の前に前記ベースフィルムを剥離して形成される請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１４】
前記第二の感光性樹脂層は、第１層と、前記第１層および前記第一の感光性樹脂層よりも軟化点の低い、前記基板との接触する層となる第２層とを含む請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１５】
前記第二の感光性樹脂層の第１層と第２層は同等の感光感度を有し、前記第二の感光性樹脂層の第１層の軟化点は、前記第一の感光性樹脂層の軟化点以上である請求項１４に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１６】
前記第二の感光性樹脂層の第１層と第２層は同等の感光波長を有し、前記第二の感光性樹脂層の第１層の軟化点は、前記第一の感光性樹脂層の軟化点以上である請求項１４に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本技術は、液体吐出ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液体吐出ヘッドの製造方法としては、ドライフィルムを用いて形成する方法が知られている。例えば、特許文献１に記載の方法では、まず、第１面に液体吐出エネルギー発生素子と配線とを有する基板の上に、感光性樹脂を含有する流路側壁形成層を形成し露光する。流路側壁形成層の上に感光性樹脂を含有する吐出口形成層を形成し、露光、現像することで、流路や吐出口を形成する。最後に第１面と反対の第２面から基板に液体供給路を形成している。各層を形成する際に、ドライフィルムを用いて積層している。
【０００３】
また、特許文献２には、液体流路と吐出口とをそれぞれ異なるフィルムを用いて形成する方法が記載されている。まず、基板上に流路を規定する感光性材料の層と別の感光性材料の接着層とを有する第1フィルム部材を積層し、フォトリソグラフィー技術により一括して流路パターンを形成する。次に第1フィルム部材上に、感光性材料の吐出口を規定する層と感光性かつ撥水性の撥水層を含む第２フィルム部材を積層し、フォトリソグラフィー技術により一括して吐出口パターンを形成している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−０１８２７２号公報
【特許文献２】米国特許８５００２４６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、通常、ドライフィルムは、ベースフィルム上に感光性樹脂（フォトレジスト）層が形成されており、フォトレジスト層を基板に貼り付けた後、ベースフィルムを剥離する必要がある。特許文献１の方法では、基板を貫通する液体供給路を最後に形成するため、ドライフィルムからベースフィルムを剥離する際には何ら問題はない。但し、特許文献１の方法では、基板を貫通する液体供給路は第２面側から形成する必要がある。そのため、多数個取りを行うウエハプロセスにおいては、液体供給路の第１面側開口面積が変動し、オーバーエッチングにより第１面側の液体流路を含む構造にまでエッチングの影響を及ぼす可能性があり、更なる改良が求められる。他方、特許文献２に開示されたように予め液体供給路等を形成した穴あき基板にドライフィルムを貼り付けた後、ベースフィルムを剥離すると、剥離時に、ノズルクラックなどの不良が発生し歩留まりが低下する懸念がある。具体的には、図５（ａ）及び（ｂ）に示すように、第１レジスト５２の単層ドライフィルムまたは第１レジスト５２および第２レジスト５３を有する複層ドライフィルムを液体供給路１１の形成された基板１上に貼り付け、ベースフィルム５１を剥離すると、接着面のない液体供給路１１の部分のレジスト材料がベースフィルム側に付着したまま引き剥がされ、フィルム面の平滑性が損なわれる。また、プロセスによる対応をしても、密着不足等による歩留まり低下が懸念される。さらに特許文献２のように接着層と流路規定層の積層からなる第１フィルム部材を流路パターンにパターニングした後、残存する流路規定層上に吐出口を形成する第２フィルム部材を橋渡しするように貼り合わせるプロセスは、気泡や割れなどが発生しやすいため、歩留りが低下する可能性がある。
【０００６】
そこで、本発明は、歩留り良く液体吐出ヘッドを製造する方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、液体吐出ヘッドの製造方法であって、
（１）第１面に液体吐出エネルギー発生素子を有し、第１面から反対の第２面に貫通する液体供給路を有する基板を準備する工程と、
（２）第一の感光性樹脂層と、前記第一の感光性樹脂層よりも軟化点の低い最外層を含む第二の感光性樹脂層を備える２層以上の積層構造体を形成する工程と、
（３）前記基板の第１面上に、前記積層構造体を、前記積層構造体の前記第二の感光性樹脂層の最外層を接触させて接合する工程と、
（４）前記積層構造体を露光し、前記第二の感光性樹脂層に液体流路を規定する第二の層を、前記第一の感光性樹脂層に吐出口を規定する第一の層を、それぞれ形成する工程と、
を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法、が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、歩留まり良く液体吐出ヘッドを製造することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッドの１例を示す斜視模式図である。
【図２】本発明の実施形態に係る積層構造体の製造方法を示す断面模式図である。
【図３】本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッドの製造方法を示す断面模式図である。
【図４】本発明の実施形態に係る積層構造体の他の１例を示す断面模式図である。
【図５】従来の液体吐出ヘッドの製造方法の課題を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１は、本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッドの一例を示す斜視模式図である。図１に示す液体吐出ヘッドは、第１面１Ａ上に液体吐出エネルギー発生素子２が所定のピッチで２列並んで配置されている基板１を有する。液体吐出エネルギー発生素子２の列間には、基板１を第１面１Ａから第２面１Ｂに貫通する液体供給路１１が形成されている。基板１の第１面１Ａ上には、不図示のポリエーテルアミド層等の密着層を介して吐出口形成部材３が形成されている。吐出口形成部材３は、液体流路１２を規定する第二の層１５と、吐出口１３を規定する第一の層１４とを含んで構成されている。液体流路１２は、液体供給路１１から各吐出口１３に連通し、液体供給路１１から液体流路１２内に充填された液体に、液体吐出エネルギー発生素子２によって液体を吐出するエネルギーが与えられると、吐出口１３から液滴を吐出する。この液滴を記録媒体に被着させることによって、記録を行う。
【００１１】
液体を吐出するエネルギーを発生する液体吐出エネルギー発生素子２としては、例えば電気−熱変換体により液体に膜沸騰を生じさせ気泡を形成することで液滴を吐出する形態、電気−機械変換体によって液滴を吐出する形態、静電気を利用して液滴を吐出する形態等がある。液体吐出技術で提案される各種記録方式をいずれも用いることができる。中でも特に高速で高密度の記録の観点からは、液体吐出エネルギー発生素子２として電気−熱変換体を利用したものが好適に用いられる。液体吐出エネルギー発生素子２は、通常、不図示の絶縁膜で保護されている。また、基板１の第一の面１Ａ上には、液体吐出エネルギー発生素子２への電力を供給する配線（不図示）が形成され、さらに、各種回路が形成されていてもよい。
【００１２】
次に、図２、図３を用いて、図１に示す液体吐出ヘッドの製造方法について説明する。図２は本発明に用いることができる積層構造体の製造方法の一例を説明するための図である。図３は本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法の一例を説明するための図であり、図１のＡ−Ａ’における断面を示す図である。
【００１３】
まず、図２（ａ）に示すように、ベースとなるフィルム２１上に吐出口を規定する第一の層１４となる第一の感光性樹脂層１４Ａをスピンコート、スリット塗布等により形成する。ベースとなるフィルム２１は、ポリイミド、ＰＥＴ、ＥＴＦＥ、ＰＶＡ等が挙げられる。第一の感光性樹脂層１４Ａに用いる第一の感光性樹脂としては、ネガ型感光性樹脂が好ましく、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂等が挙げられる。これらの１種または２種以上の組合せを用いることができる。なお、第一の感光性樹脂層１４Ａに用いるネガ型感光性樹脂は、流路を規定する第二の層１５となる第二の感光性樹脂層１５Ａを硬化させずに選択的に吐出口１３を形成できる感光感度、感光波長等を持つ材料を用いることが好ましい。第一の感光性樹脂層１４Ａの厚みは、第二の感光性樹脂層１５Ａの厚み以下の、１μｍ〜５０μｍであることが好ましい。また、第一の感光性樹脂層１４Ａは、第二の感光性樹脂層１５Ａよりも厚く形成し、積層構造体２２の剛性を維持しながら基板１に貼り付けた後、所望の厚みに研磨することで歩留りを向上させる効果が得られる。この場合は研磨後の所望膜厚に１μｍ〜１００μｍを足した厚みが好ましく、研磨プロセスの時間短縮によるコストダウンを考慮すると研磨後の所望膜厚に１μｍ〜３０μｍを足した厚みを研磨前の厚みとすることがさらに好ましい。
【００１４】
次に、図２（ｂ）に示すように、第二の感光性樹脂層１５Ａをスピンコート、スリット塗布等により形成する。第二の感光性樹脂層１５Ａの厚みは５μｍ〜２００μｍが好ましい。第二の感光性樹脂層１５Ａに用いる第二の感光性樹脂としては、ネガ型感光性樹脂が好ましく、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂等が挙げられる。これらの１種または２種以上の組合せを用いることができる。第一の感光性樹脂層１４Ａに用いる第一の感光性樹脂に対し、第二の感光性樹脂には軟化点が低い感光性樹脂を使用する。接合時の加熱の際に、第一の感光性樹脂層１４Ａを維持し、第二の感光性樹脂層１５Ａを軟化させ、密着性を良化させるために、第一の感光性樹脂と、第二の感光性樹脂の軟化点は１０℃以上離れていることが好ましい。第一の感光性樹脂は軟化点４０℃〜９０℃、第二の感光性樹脂層は軟化点３０℃〜８０℃であることが好ましい。流路を形成する際、第二の感光性樹脂層１５Ａは、第一の感光性樹脂層１４Ａを硬化させずに選択的に流路を形成できる感光感度、感光波長等を持つ材料を用いることが好ましい。第二の感光性樹脂の軟化点を低くすることで、接合の際に、第一の感光性樹脂層１４Ａを維持し、基板１との密着性等を維持することが可能となる。
【００１５】
それぞれの層を形成する感光性組成物には、上記の感光性樹脂以外に光重合開始剤等を含むことができる。本明細書において、光重合開始剤は、重合反応を促進する材料のみならず、架橋反応を促進する材料も含む概念である。光重合開始剤としては、例えば、オニウム塩やジアゾニウム塩などの光酸発生剤、またはチタノセン化合物やｐ−ニトロベンジル芳香族スルホネート等のラジカル重合開始剤等を挙げることができる。第一および第二の感光性樹脂層の感光感度、感光波長等の調整は、それぞれの層を形成する感光性組成物中の成分、例えば、感光波長の異なる感光性樹脂の選択、光重合開始剤の種類や添加量により適宜実施できる。これにより、第一および第二の感光性樹脂層は、樹脂の軟化点以外にも、感光感度および感光波長の少なくとも一方が異なる感光性を有する材料で形成されることとなる。第一の感光性樹脂層１４Ａは焦点深度の浅い短波長の露光光（例えば、ｉ線：３６５ｎｍ）で硬化できる材料を、第二の感光性樹脂層１５Ａは焦点深度の深い長波長の露光光（例えば、ｇｈ線：４０５、４３６ｎｍ）で硬化できる材料を選択することが好ましい。また、それぞれの露光量は、例えば、第一の感光性樹脂層１４Ａには５００Ｊ／ｍ２〜２０００Ｊ／ｍ２、第二の感光性樹脂層１５Ａには５０００Ｊ／ｍ２〜１００００Ｊ／ｍ２とすることができる。したがって、第一の感光性樹脂層１４Ａの感光感度は、第二の感光性樹脂層１５Ａの感光感度よりも高いことが好ましい。
【００１６】
次に図２（ｃ）に示すように、形成した第一の感光性樹脂層１４Ａ、第二の感光性樹脂層１５Ａ等の積層膜から、ベースとなるフィルム２１を除去し積層構造体２２を形成する。フィルム２１と積層構造体２２を機械的に剥がすことも可能である。また、フィルム２１にＰＶＡ等を用いることで、積層構造体２２を溶解させない純水でフィルム２１を溶解除去することも可能である。この場合は機械的に剥がす場合に比べて容易に歩留まりが向上する効果がある。
【００１７】
積層構造体２２の製造方法は図２に示したものに限定されず、フィルム２１を除去することなく、吐出口形成部材の材料の一部として用いることもできる。また、積層構造体２２は、溶融押出成型法、共押出法、カレンダー法、ラミネート法、延伸等の公知のフィルム形成方法を組み合わせて製造しても良い。この場合は、ベースとなるフィルム２１を用いずに第一および第二の感光性樹脂の積層構造体を形成することが可能であり、ベースとなるフィルム２１を除去する工程が削減され更に歩留まりが向上する効果が得られる。さらに、積層構造体２２には第二の感光性樹脂層１５Ａの基板１との密着性を良化する密着層が部分的に形成されてもよく、また、第一の感光性樹脂層１４Ａの上に撥水層が形成されていても良い。積層構造体２２の一部に無機材料を用いることもできる。
【００１８】
次に図３（ａ）に示される基板１の第１面上には、液体吐出エネルギー発生素子（不図示）が複数配置され、第１面から反対の第２面に貫通する液体供給路１１が形成されている。なお、基板１は、基材としてシリコンウエハを用いて、１枚のシリコンウエハ上に多数の液体吐出ヘッドを同時に形成する。予め基板１を貫通する液体供給路１１を形成するため、オーバーエッチングが可能となり、ウエハ面内での開口不良等を抑制することができる。
【００１９】
次に図３（ｂ）に示すように、積層構造体２２を基板１の第１面上に第二の感光性樹脂層１５が接触するようにローラー方式のラミネート装置により接合していく。この時、操作方向３２に向かってローラー３１を第一の感光性樹脂層１４Ａ上に押し当てていく。接合の条件としてはローラー３１と接する第一の感光性樹脂層１４Ａの軟化点より低い温度を上限とし、９０℃未満が好ましく、下限として、第二の感光性樹脂層１５Ａの軟化点以上の３０℃以上の温度が好ましい。特に、３０℃〜７０℃の温度範囲が好ましい。また、第一の感光性樹脂層１４Ａを第二の感光性樹脂層１５Ａよりも厚く形成する際、貼り合わせた後、所望の厚さまで機械的な研磨（ＣＭＰ）やドライエッチング等により薄くすることもできる。また、基板温度を第二の感光性樹脂層１５Ａの軟化点より高く設定し、ローラー温度を、第二の感光性樹脂層１５Ａの軟化点よりも低くすることで、基板外の余分な領域に膜が形成されることを防ぐ効果がある。
【００２０】
次に図３（ｃ）に示すように、流路１２のパターンを有する第一のマスク３３を用いて、第一の露光光３４にて露光する第１露光工程を実施する。第１露光工程では、第一の感光性樹脂層１４Ａを硬化させずに、第二の感光性樹脂層１５Ａを選択的に露光して第二の層１５を形成する。なお、第１露光工程では、第一の感光性樹脂層１４Ａが硬化しても、その部分は、液体流路１２の壁部を構成する第二の層１５と第一の層１４との接合部となるため、特に問題はない。
【００２１】
次に図３（ｄ）に示すように、吐出口１３のパターンを有する第二のマスク３５を用いて、第二の露光光３６にて露光する第２露光工程を実施する。この時、未硬化の第二の感光性樹脂層１５Ａを硬化させず、第一の感光性樹脂層１４Ａを選択的に露光して第一の層１４を形成する。このようにして、第二の感光性樹脂層１５Ａを第二の層１５に、第一の感光性樹脂層１４Ａを第一の層１４に、それぞれ形成する。
【００２２】
次に図３（ｅ）に示すように、各層の未硬化領域を現像することで流路１２と吐出口１３が形成され、液体吐出ヘッド構造が形成される。なお、各層を一括で現像することが好ましい。さらに、現像後に、第一の層１４および第二の層１５をさらに硬化させるための熱処理を施しても良い。
【００２３】
以上の工程を経た後、ウエハをダイシングソー等によって、切断分離して個々の液体吐出ヘッドにチップ化する。液体吐出エネルギー発生素子２を駆動させる電気配線を行った後、液体供給用のチップタンク部材を接合することで、液体吐出ヘッドが完成する。
【００２４】
積層構造体は、第一の感光性樹脂層と、前記第一の感光性樹脂層よりも軟化点の低い最外層を含む第二の感光性樹脂層を備える２層以上の構成である。図４に示すように、積層構造体は、第一の感光性樹脂層１４Ａ側に軟化点の高い第二の感光性樹脂層（第１層）１６と、基板１と接触させる接触層となる軟化点の低い第二の感光性樹脂層（第２層）１７との複数の層を含む第二の感光性樹脂層１５Ａを有しても良い。この場合、第２層１７が最外層となる。第１層１６は、第一の感光性樹脂層１４Ａの軟化点以上の軟化点を有しても良い。第一の感光性樹脂層１４Ａと、第１層１６で、剛性を維持することが可能となり、同時に第２層１７と、基板１との密着等も維持することが出来る。この場合、剛性を高めることで歩留りが向上する効果が得られる。また、吐出口１３を規定する第一の層１４を薄く形成することが容易となり、液体吐出特性が向上する効果が得られる。また、第１層１６と第２層１７は、１回の露光で第二の層１５に硬化させても良く、複数回の露光で硬化させても良い。１回の露光で第二の層１５に硬化させる場合、第１層１６と第２層１７は同等の感光感度を有するか、同等の感光波長を有する材料で構成されることが好ましい。例えば同種の感光性樹脂で形成した２つの層は、同等の感光感度を有する。また、同等の感光波長を有する。また、複数回の露光では、異なる液体流路パターン、例えば、第２層１７に第一の液体流路パターンを形成し、第１層１６に第一の液体流路パターンより幅を狭くした第二の液体流路パターンを形成しても良い。また、複数回の露光では、それぞれ異なる波長、露光量にて露光することが可能であり、それに適した材料を適宜選択して用いれば良い。したがって、リソグラフィー工程を２回以上の異なるパターンと露光条件で行うことができるが、現像はこの場合も一括して行うことが好ましい。
【００２５】
上述のように、本発明では、（１）基板を準備する工程と、（２）積層構造体を形成する工程と、（３）積層構造体を接合する工程と、（４）積層構造体を露光し、第二層と第一の層とを形成する工程と、を有する。この（１）から（４）の工程は、この順番で行うことが好ましい。
【実施例】
【００２６】
実施例１
図２、図３を用いて本実施例に係る液体吐出ヘッドの製造方法について説明する。図２は本発明の積層構造体の製造方法の一例を説明するための図であり、図３は本発明の液体吐出ヘッド用の製造方法の一例を説明するための図であり、図１のＡ−Ａ’における断面を示す図である。
【００２７】
まず、図２（ａ）に示すように、ベースとなるフィルム２１上に第一の感光性樹脂層１４Ａをスピンコート塗布により形成した。第一の感光性樹脂層１４Ａの厚みは２０μｍにて形成した。第一の感光性樹脂層１４Ａに用いる第一の感光性樹脂としては、感光波長（３６５ｎｍ）のクレゾール型エポキシ樹脂を使用した。また、軟化点は７０℃であった。
【００２８】
次に、図２（ｂ）に示すように、第二の感光性樹脂層１５をスピンコート塗布により形成した。第二の感光性樹脂層１５の厚みは４０μｍで形成した。第二の感光性樹脂としては、感光波長（４０５、４３６ｎｍ）で、第一の感光性樹脂よりも軟化点の低いビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（軟化点：４０℃）を使用した。
【００２９】
次に図２（ｃ）に示すように、形成した第一の感光性樹脂層１４Ａ、第二の感光性樹脂層１５Ａの積層膜から、ベースとなるフィルム２１を剥離テープにより剥離し、積層構造体２２を形成した。
【００３０】
次に図３（ａ）に示される基板１上には、液体吐出エネルギー発生素子（不図示）が複数配置され、液体供給路１１が形成されている基板を準備した。
【００３１】
次に図３（ｂ）に示すように、積層構造体２２を基板１上に流路を形成する感光性樹脂からなる層１５が接するように真空接合装置により５０℃にて貼付けを行った。
【００３２】
次に図３（ｃ）に示すように、第一の感光性樹脂層１４Ａを硬化させずに選択的に第二の感光性樹脂層１５Ａを硬化できる第一の露光光３４として、波長（４０５、４３６ｎｍ）の光を６０００Ｊ／ｍ２にて照射し、第二の層１５を形成した。
【００３３】
次に図３（ｄ）に示すように、未露光の第二の感光性樹脂層１５Ａを硬化させずに選択的に吐出口１３となる部分を除く第一の感光性樹脂層１４Ａを硬化できる第二の露光光３６として、波長（３６５ｎｍ）の光を１０００Ｊ／ｍ２にて照射し、第一の層１４を形成した。
【００３４】
次に図３（ｅ）に示すように、各層を枚葉式現像装置にて一括現像することで流路１２と吐出口１３を形成した。
【００３５】
その他、チップ化、配線等の所要の工程を経て、液体吐出ヘッドが完成する。この液体吐出ヘッドを観察し、図５に示すようなベースフィルム剥離時に発生していたノズルクラックなどの不良がないことを確認した。
【００３６】
比較として、積層構造体２２を軟化点が同じで感光波長のみが異なる２種類の感光性樹脂で形成すると、基板１上に貼付けの際に密着不足により、歩留まりが低下した。
【００３７】
更に、積層構造体２２の軟化点を逆にし、軟化点の低い感光性樹脂で第一の感光性樹脂層を形成し、軟化点の高い感光性樹脂で第二の感光性樹脂層の形成を行うと、基板１上に積層構造体を貼りつける際に密着不足により、歩留まりが低下した。また、接合時の温度を上げると装置内のローラー等に貼付き不良となり歩留まりが低下した。
【符号の説明】
【００３８】
１：基板
２：液体吐出エネルギー発生素子
３：吐出口形成部材
１１：液体供給路
１２：液体流路
１３：液体吐出口
１４：第一の層
１４Ａ：第一の感光性樹脂層
１５：第二の層
１５Ａ：第二の感光性樹脂層
１６：軟化点の高い第二の感光性樹脂層
１７：軟化点の低い第二の感光性樹脂層
２１：ベースフィルム
２２：積層構造体
３１：ローラー
３２：ローラー操作方向
３３：第一のマスク
３４：第一の露光光
３５：第二のマスク
３６：第二の露光光
【図１】
2016043516.tif 000003
【図２】
2016043516.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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