(57)【要約】【課題】反りの発生を抑制できる多数個取り配線基板及び多数個取り配線基板の製造方法を提供すること。【解決手段】本発明に係る多数個取り配線基板は、セラミックからなり、平面視が矩形の複数の配線基板部が縦横に隣接する製品領域と、前記と同じセラミックからなり、平面視が矩形枠状の製品領域の周囲に位置する耳部とを備える多数個取り配線基板であって、耳部には、矩形枠状の耳部の各辺に沿って折り曲げられた折曲部が形成されていることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミックからなり、平面視が矩形の複数の配線基板部が縦横に隣接する製品領域と、前記と同じセラミックからなり、平面視が矩形枠状の前記製品領域の周囲に位置する耳部とを備える多数個取り配線基板であって、
前記耳部には、前記矩形枠状の耳部の各辺に沿って折り曲げられた折曲部が形成されていることを特徴とする多数個取り配線基板。
【請求項２】
前記折曲部は、前記製品領域を囲繞するように前記耳部の各辺に沿って形成されていることを特徴とする請求項１に記載の多数個取り配線基板。
【請求項３】
前記折曲部は、リブ状であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の多数個取り配線基板。
【請求項４】
セラミックからなり、平面視が矩形の複数の配線基板部が縦横に隣接する製品領域と、前記と同じセラミックからなり、平面視が矩形枠状の前記製品領域の周囲に位置する耳部とを備える多数個取り配線基板であって、
前記耳部には、前記矩形枠状の耳部の各辺に沿って金属層が形成されていることを特徴とする多数個取り配線基板。
【請求項５】
前記金属層は、前記製品領域を囲繞するように前記耳部の各辺に沿って形成されていることを特徴とする請求項４に記載の多数個取り配線基板。
【請求項６】
前記金属層は、前記耳部の前記製品領域の側の端部から前記製品領域の側とは反対側の端部まで形成されていることを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の多数個取り配線基板。
【請求項７】
セラミックからなり、平面視が矩形の複数の配線基板部が縦横に隣接する製品領域と、前記と同じセラミックからなり、平面視が矩形枠状の前記製品領域の周囲に位置する耳部とを備える多数個取り配線基板の製造方法であって、
前記多数個取り配線基板となるグリーンシートの前記耳部に対応する領域に、該グリーンシートの各辺に沿って折り曲げた折曲部を形成する工程を有することを特徴とする多数個取り配線基板の製造方法。
【請求項８】
前記折曲部が前記製品領域を囲繞するように、前記グリーンシートを各辺に沿って折り曲げることを特徴とする請求項７に記載の多数個取り配線基板の製造方法。
【請求項９】
前記折曲部がリブ状となるように、前記グリーンシートを折り曲げることを特徴とする請求項７又は請求項８に記載の多数個取り配線基板の製造方法。
【請求項１０】
セラミックからなり、平面視が矩形の複数の配線基板部が縦横に隣接する製品領域と、前記と同じセラミックからなり、平面視が矩形枠状の前記製品領域の周囲に位置する耳部とを備える多数個取り配線基板の製造方法であって、
前記多数個取り配線基板となるグリーンシートの前記耳部に対応する領域に、該グリーンシートの各辺に沿って金属層を形成する工程を有することを特徴とする多数個取り配線基板の製造方法。
【請求項１１】
前記製品領域を囲繞するように、前記グリーンシートの各辺に前記金属層を形成することを特徴とする請求項１０に記載の多数個取り配線基板の製造方法。
【請求項１２】
前記耳部の前記製品領域の側の端部から前記製品領域の側とは反対側の端部まで前記金属層を形成することを特徴とする請求項１０又は請求項１１に記載の多数個取り配線基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多数個取り配線基板及び多数個取り配線基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、セラミック絶縁層を備える配線基板の小型化、薄化が進んでいる。このような配線基板は、通常、セラミック粒子に、ガラス粉末、バインダー樹脂、可塑剤及び溶剤等を加えて得たセラミックスラリーをシート状に成形したもの（いわゆるグリーンシート）を焼成して形成される。
【０００３】
ここで、従来の多数個取り配線基板は、焼結された第１のセラミック材料からなり、分割されると個基板になる部分を含む個基板領域と、個基板領域に隣接する周辺領域とに区画される第１の絶縁層と、焼結された第２のセラミック材料からなり、第１の絶縁層の周辺領域のみに積層される第２の絶縁層とを備える。個基板領域の第１の絶縁層よりも、第１及び第２の絶縁層が積層された積層方向の少なくとも片側に突出する突起部が第２の絶縁層によって形成されていることを特徴とするものがある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１４３５０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
配線基板の薄化に伴い、焼成により配線基板が反るという問題が生じている。特に、多数個の配線基板を一括して焼成する多数個取り配線基板の場合、面積が広くなるため生じる反りも顕著となる。
【０００６】
ここで、特許文献１に開示される配線基板では、上記構成により、焼成後の反りやワレ、クラックなどの破損の発生を防ぐことができるとしている。また、特許文献１に開示される配線基板は、突起部に、積層方向の厚みが減少する厚み減少部が形成されている。該厚み減少部は、積層方向から見ると分割されると個基板になる部分の境界線の延長線に重なっていることを特徴としている。配線基板を個基板に分割する際に、分割しやすくなる。
【０００７】
しかしながら、配線基板の小型化に伴い個基板も小型化している。個基板が小型化すると、個基板になる部分の境界線の延長線に重なるように突起部に厚み減少部を形成することが困難となる。その結果、配線基板を個基板に分割する際に、却ってワレやクラックなどの破損が発生する虞がある。
【０００８】
本発明は、上記の事情に対処してなされたものであり、反りの発生を抑制できる多数個取り配線基板及び多数個取り配線基板の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成すべく、本発明の多数個取り配線基板は、セラミックからなり、平面視が矩形の複数の配線基板部が縦横に隣接する製品領域と、前記と同じセラミックからなり、平面視が矩形枠状の前記製品領域の周囲に位置する耳部とを備える多数個取り配線基板であって、前記耳部には、前記矩形枠状の耳部の各辺に沿って折り曲げられた折曲部が形成されていることを特徴とする。
【００１０】
本発明の多数個取り配線基板によれば、矩形枠状の耳部の各辺に沿って折り曲げられた折曲部が形成されているので、多数個取り配線基板に反りが発生するのを抑制することができる。また、反りによるワレ、クラックなどの破損の発生を抑制することができる。
【００１１】
本発明の多数個取り配線基板の折曲部は、製品領域を囲繞するように耳部の各辺に沿って形成されていることを特徴とする。このため、多数個取り配線基板に反りが発生するのを効果的に抑制することができる。また、反りによるワレ、クラックなどの破損の発生を効果的に抑制することができる。
【００１２】
本発明の多数個取り配線基板の折曲部は、リブ状であることを特徴とする。このため、多数個取り配線基板に反りが発生するのをより効果的に抑制することができる。また、反りによるワレ、クラックなどの破損の発生をより効果的に抑制することができる。さらに、多数個取り配線基板の高さを抑制することができる。
【００１３】
本発明の多数個取り配線基板は、セラミックからなり、平面視が矩形の複数の配線基板部が縦横に隣接する製品領域と、前記と同じセラミックからなり、平面視が矩形枠状の前記製品領域の周囲に位置する耳部とを備える多数個取り配線基板であって、前記耳部には、前記矩形枠状の耳部の各辺に沿って金属層が形成されていることを特徴とする。
【００１４】
本発明の多数個取り配線基板によれば、矩形枠状の耳部の各辺に沿って金属層が形成されているので、多数個取り配線基板に反りが発生するのを抑制することができる。また、反りによるワレ、クラックなどの破損の発生を抑制することができる。
【００１５】
本発明の多数個取り配線基板の金属層は、前記製品領域を囲繞するように前記耳部の各辺に沿って形成されていることを特徴とする。このため、多数個取り配線基板に反りが発生するのを効果的に抑制することができる。また、反りによるワレ、クラックなどの破損の発生を効果的に抑制することができる。
【００１６】
本発明の多数個取り配線基板の金属層は、前記耳部の前記製品領域の側の端部から前記製品領域の側とは反対側の端部まで形成されていることを特徴とする。このため、多数個取り配線基板に反りが発生するのをより効果的に抑制することができる。また、反りによるワレ、クラックなどの破損の発生をより効果的に抑制することができる。
【００１７】
本発明の多数個取り配線基板の製造方法は、セラミックからなり、平面視が矩形の複数の配線基板部が縦横に隣接する製品領域と、前記と同じセラミックからなり、平面視が矩形枠状の前記製品領域の周囲に位置する耳部とを備える多数個取り配線基板の製造方法であって、前記多数個取り配線基板となるグリーンシートの前記耳部に対応する領域に、該グリーンシートの各辺に沿って折り曲げた折曲部を形成する工程を有することを特徴とする。
【００１８】
本発明の多数個取り配線基板の製造方法によれば、多数個取り配線基板となるグリーンシートの耳部に対応する領域に、該グリーンシートの各辺に沿って折り曲げた折曲部を形成する工程を有するので、多数個取り配線基板に反りが発生するのを抑制することができる。また、反りによるワレ、クラックなどの破損の発生を抑制することができる。
【００１９】
本発明の多数個取り配線基板の製造方法は、折曲部が製品領域を囲繞するように、グリーンシートを各辺に沿って折り曲げることを特徴とする。このため、多数個取り配線基板に反りが発生するのを効果的に抑制することができる。また、反りによるワレ、クラックなどの破損の発生を効果的に抑制することができる。
【００２０】
本発明の多数個取り配線基板の製造方法は、折曲部がリブ状となるように、グリーンシートを折り曲げることを特徴とする。このため、多数個取り配線基板に反りが発生するのをより効果的に抑制することができる。また、反りによるワレ、クラックなどの破損の発生をより効果的に抑制することができる。
【００２１】
本発明の多数個取り配線基板の製造方法は、セラミックからなり、平面視が矩形の複数の配線基板部が縦横に隣接する製品領域と、前記と同じセラミックからなり、平面視が矩形枠状の前記製品領域の周囲に位置する耳部とを備える多数個取り配線基板の製造方法であって、前記多数個取り配線基板となるグリーンシートの前記耳部に対応する領域に、該グリーンシートの各辺に沿って金属層を形成する工程を有することを特徴とする。
【００２２】
本発明の多数個取り配線基板の製造方法によれば、多数個取り配線基板となるグリーンシートの耳部に対応する領域に、該グリーンシートの各辺に沿って金属層を形成する工程を有するので、多数個取り配線基板に反りが発生するのを抑制することができる。また、反りによるワレ、クラックなどの破損の発生を抑制することができる。
【００２３】
本発明の多数個取り配線基板の製造方法は、製品領域を囲繞するように、グリーンシートの各辺に金属層を形成することを特徴とする。このため、多数個取り配線基板に反りが発生するのを効果的に抑制することができる。また、反りによるワレ、クラックなどの破損の発生を効果的に抑制することができる。
【００２４】
本発明の多数個取り配線基板の製造方法は、耳部の製品領域の側の端部から製品領域の側とは反対側の端部まで金属層を形成することを特徴とする。このため、多数個取り配線基板に反りが発生するのをより効果的に抑制することができる。また、反りによるワレ、クラックなどの破損の発生をより効果的に抑制することができる。
【発明の効果】
【００２５】
以上説明したように、本発明によれば、反りの発生を抑制できる多数個取り配線基板及び多数個取り配線基板の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】第１の実施形態に係る多数個取り配線基板の平面図。
【図２】第１の実施形態に係る多数個取り配線基板のＸ−Ｘ線における断面図。
【図３】第１の実施形態に係る多数個取り配線基板の製造方法を示す図。
【図４】第１の実施形態に係る多数個取り配線基板の効果を示す図。
【図５】第１の実施形態の変形例に係る多数個取り配線基板の平面図。
【図６】第１の実施形態の変形例に係る多数個取り配線基板のＹ−Ｙ線における断面図。
【図７】第１の実施形態の変形例に係る多数個取り配線基板を製造する際に使用する治具の構成図。
【図８】第１の実施形態の変形例に係る多数個取り配線基板を製造する際に使用する治具の他の構成図。
【図９】第２の実施形態に係る多数個取り配線基板の平面図。
【図１０】第２の実施形態に係る多数個取り配線基板のＺ−Ｚ線における断面図。
【図１１】実施例における反りの測定方法の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下の説明では、厚みが薄いために、特に反りが生じやすいセラミック絶縁層が１層（単層）の配線基板について説明する。しかし、以下に説明する実施形態に係る配線基板は、あくまでも例示であって、セラミック絶縁層を備える多数個取りの配線基板であれば特に限定されるものではない。例えば、複数のセラミック絶縁層が積層された多層配線基板であってもよい。
【００２８】
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係る多数個取り配線基板１００（以下、単に配線基板１００と記載する）の断面図である。図２は、図１に示す配線基板１００のＸ−Ｘ線における断面図である。第１の実施形態に係る配線基板１００は、セラミックからなり、平面視が矩形の複数の配線基板部１０３が縦横に隣接する製品領域１０１と、製品領域１０１と同じセラミックからなり、平面視が矩形枠状の製品領域１０１の周囲に位置する耳部１０２とを備える多数個取り配線基板である。なお、配線基板１００の厚みは、約０．１ｍｍである。
【００２９】
配線基板１００は、隣接する配線基板部１０３同士の境界と製品領域１０１と耳部１０２との境界に沿って格子状に形成された分割溝１０４を有する。分割溝１０４に沿って配線基板１００を割ることで、製品領域１０１と耳部１０２とを分離するとともに、製品領域１０１の配線基板部１０３を個片化することができる。
【００３０】
また、配線基板１００の耳部１０２には、矩形枠状の耳部１０２の各辺１０５〜１０８に沿って折り曲げられた折曲部１０９〜１１２が形成されている。この折曲部１０９〜１１２は、製品領域１０１を囲繞するように耳部１０２の各辺１０５〜１０８に沿って形成されている。つまり、折曲部１０９〜１１２は、隣接する端部同士が互いに接続するように耳部１０２の各辺１０５〜１０８に沿って形成されている。
【００３１】
なお、図２に示すように、本実施形態では折曲部１０９〜１１２において、耳部１０２の周縁部が紙面上方向に折り曲げられているが、折り曲げる向きは上方向又は下方向のどちらの向きでも構わない。
【００３２】
次に、配線基板１００の製造方法について図１〜図３を参照して説明する。
はじめに、セラミック粒子に、ガラス粉末、バインダー樹脂、可塑剤及び溶剤等を加えて得たセラミックスラリーをシート状に成形した、いわゆるグリーンシートを用意する。次に、必要に応じてグリーンシートに打ち抜き加工を行いビアホールや分割溝１０４を形成した後、印刷法等により金属ペーストを塗布して配線パターンやビア導体を形成する。該工程により、グリーンシートの製品領域１０１に対応する領域２０１に配線基板部１０３となる複数の前駆体２０３が形成される（図３（ａ）参照）。
【００３３】
次に、配線基板１００となるグリーンシートの耳部１０２に対応する領域２０２に、該グリーンシートの各辺１０５〜１０８に沿って折り曲げた折曲部１０９〜１１２を形成する（図３（ｂ）参照）。なお、この工程の際は、折曲部１０９〜１１２が製品領域１０１に対応する領域２０１を囲繞するように、つまり、隣接する端部同士が互いに接続するように耳部１０２の各辺１０５〜１０８に沿って折り曲げて折曲部１０９〜１１２を形成する。
【００３４】
次に、折曲部１０９〜１１２を形成したグリーンシートを所定の温度及び時間で焼成し、図１に示す配線基板１００を得る。なお、必要に応じて、配線パターンにめっき加工を施したり、メタライズ層を形成してもよい。
【００３５】
次に、図１及び図４を参照して、配線基板１００の効果について説明する。初めに、折曲部１０９〜１１２が形成されていない配線基板について説明する。折曲部１０９〜１１２が形成されていない配線基板では、図４（ａ）に示すように、グリーンシートを焼成して配線基板とする際に、配線基板全体が丸くなるようにして反りが生じる。一方、本実施形態に係る配線基板１００では、各辺１０５〜１０８に沿って折曲部１０９〜１１２が形成されているので、配線基板に反りが生じるのを抑制することができる。
【００３６】
具体的には、図１の矢印αの方向に対しては、矢印αに平行する辺１０６，１０８に沿って形成されている折曲部１１０，１１２により反りが抑制される。また、図１の矢印βの方向に対しては、矢印βに平行する辺１０５，１０７に沿って形成されている折曲部１０９，１１１により反りが抑制される。
【００３７】
以上のように、本実施形態に係る配線基板１００によれば、矩形枠状の耳部１０２の各辺１０５〜１０８に沿って折り曲げられた折曲部１０９〜１１２が形成されているので、配線基板１００に反りが発生するのを抑制することができる。また、反りによるワレ、クラックなどの破損の発生を抑制することができる。
【００３８】
さらに、本実施形態に係る配線基板１００の折曲部１０９〜１１２は、製品領域１０１を囲繞するように耳部１０２の各辺１０５〜１０８に沿って形成されている。このため、配線基板１００に反りが発生するのを効果的に抑制することができる。また、反りによるワレ、クラックなどの破損の発生を効果的に抑制することができる。
【００３９】
（第１の実施形態の変形例）
図５は、第１の実施形態の変形例に係る多数個取り配線基板３００（以下、単に配線基板３００と記載する）の平面図である。図６は、図５に示す配線基板３００のＹ−Ｙ線における断面図である。以下、図５及び図６を参照して、配線基板３００について説明するが、図１〜図４で説明した構成と同一の構成には、同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００４０】
配線基板３００は、矩形枠状の耳部１０２の各辺１０５〜１０８に沿って折り曲げられた折曲部３０９〜３１２が製品領域１０１を囲繞するように形成されている点は、配線基板１００と同じであるが、各折曲部３０９〜３１２が、リブ状である点が配線基板１００と異なる。
【００４１】
なお、図６に示すように、本実施形態では折曲部３０９〜３１２において、リブの突出方向が紙面上方向となっているが、突出させる向きは上方向又は下方向のどちらの向きでも構わない。
【００４２】
図７は、配線基板３００を製造する際に使用する治具４００の構成図である。治具４００は、下型４１０と上型４２０とに分かれている。下型４１０には、直線状にＶ字溝４１１が形成されている。また、上型４２０には、下型４１０のＶ字溝４１１と勘合する断面がＶ字形状の突起部４２１が直線状に形成されている。治具４００を構成する下型４１０と上型４２０との間に配線基板３００の耳部１０２を挟んでプレスすることで、リブ状の折曲部３０９〜３１２を簡単に形成することができる。
【００４３】
なお、下型４１０に断面がＶ字形状の突起部を形成し、上型４２０にＶ字溝を形成するようにしてもよい。また、Ｖ字溝４１１の角度は、鋭角であることが好ましい。Ｖ字溝４１１の角度が広いと、折曲部３０９〜３１２をリブ状に形成することが難しいためである。また、Ｖ字溝４１１及び突起部４２１の断面形状をＶ字状以外の形状、例えば、Ｕ字状としてもよい。
【００４４】
図８は、配線基板３００を製造する際に使用する治具５００の構成図である。図７に示す治具４００では、矩形枠状の耳部１０２の各辺１０５〜１０８毎にプレスを行いリブ状の折曲部３０９〜３１２を形成する必要がある。一方、図８に示す治具５００は、平面視で矩形状の下型５１０の辺毎にＶ字溝５１１が形成されており、平面視で矩形状の上型５２０には、下型５１０のＶ字溝５１１と勘合する断面がＶ字形状の突起部５２１が形成されている。このため、治具５００を構成する下型５１０と上型５２０との間に配線基板３００の耳部１０２を挟んでプレスすることで、リブ状の折曲部３０９〜３１２を一括して形成することができる。
【００４５】
なお、下型５１０に断面がＶ字形状の突起部５２１を形成し、上型５２０にＶ字溝を形成するようにしてもよい。また、Ｖ字溝５１１の角度は、鋭角であることが好ましい。Ｖ字溝５１１の角度が広いと、折曲部３０９〜３１２をリブ状に形成することが難しいためである。また、Ｖ字溝５１１及び突起部５２１の断面形状をＶ字状以外の形状、例えば、Ｕ字状としてもよい。
【００４６】
各折曲部３０９〜３１２をリブ状とすることにより、配線基板３００に反りが発生するのをより効果的に抑制することができる。また、反りによるワレ、クラックなどの破損の発生をより効果的に抑制することができる。さらに、配線基板３００の高さを抑制することができる。
【００４７】
（第２の実施形態）
図９は、第２の実施形態に係る多数個取り配線基板６００（以下、単に配線基板６００と記載する）の平面図である。図１０は、図９に示す配線基板６００のＺ−Ｚ線における断面図である。以下、図９及び図１０を参照して、配線基板６００について説明するが、図１〜図４で説明した構成と同一の構成には、同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００４８】
配線基板６００は、矩形枠状の耳部１０２の各辺１０５〜１０８に沿って金属層６０９〜６１２が形成されている。ここで、金属層６０９〜６１２は、製品領域１０１を囲繞するように耳部１０２の各辺１０５〜１０８に沿って形成されている。つまり、金属層６０９〜６１２は、隣接する端部同士が互いに接続するように耳部１０２の各辺１０５〜１０８に沿って形成されている。さらに、金属層６０９〜６１２は、耳部１０２の製品領域１０１の側の端部Ｔ１から製品領域１０１の側とは反対側の端部Ｔ２まで形成されている。
【００４９】
次に、配線基板６００の製造方法について図９及び図１０を参照して説明する。
はじめに、セラミック粒子に、ガラス粉末、バインダー樹脂、可塑剤及び溶剤等を加えて得たセラミックスラリーをシート状に成形した、いわゆるグリーンシートを用意する。次に、必要に応じてグリーンシートに打ち抜き加工を行いビアホールや分割溝１０４を形成した後、印刷法等により金属ペーストを塗布して配線パターンやビア導体を形成する。該工程により、グリーンシートの製品領域１０１に対応する領域に配線基板部１０３となる複数の前駆体が形成される。
【００５０】
次に、配線基板６００となるグリーンシートの耳部に対応する領域に、該グリーンシートの各辺１０５〜１０８に沿って金属層６０９〜６１２を形成する。なお、金属層６０９〜６１２は、製品領域１０１に対応する領域を囲繞し、かつ、耳部１０２の製品領域１０１の側の端部Ｔ１から製品領域１０１の側とは反対側の端部Ｔ２まで形成する。
【００５１】
次に、金属層６０９〜６１２を形成したグリーンシートを所定の温度及び時間で焼成し、図９に示す配線基板６００を得る。なお、必要に応じて、配線パターンにめっき加工を施したり、メタライズ層を形成してもよい。
【００５２】
以上のように、本実施形態に係る配線基板６００によれば、矩形枠状の耳部１０２の各辺１０５〜１０８に沿って金属層６０９〜６１２が形成されているので、配線基板６００に反りが発生するのを抑制することができる。また、反りによるワレ、クラックなどの破損の発生を抑制することができる。
【００５３】
また、本実施形態に係る配線基板６００の金属層６０９〜６１２は、製品領域１０１を囲繞するように耳部１０２の各辺１０５〜１０８に沿って形成されている。このため、配線基板６００に反りが発生するのを効果的に抑制することができる。また、反りによるワレ、クラックなどの破損の発生を効果的に抑制することができる。
【００５４】
さらに、本実施形態に係る配線基板６００の金属層は、耳部１０２の製品領域１０１の側の端部Ｔ１から製品領域１０１の側とは反対側の端部Ｔ２まで形成されている。このため、配線基板６００に反りが発生するのをより効果的に抑制することができる。また、反りによるワレ、クラックなどの破損の発生をより効果的に抑制することができる。
【実施例】
【００５５】
次に実施例について説明する。
（概要）
発明者らは、以下の３種類の多数個取り配線基板（以下、単に配線基板と記載）を作製した後、図１１のＬ１〜Ｌ３に示すように、左下から右上（Ｌ１）、左上から右下（Ｌ２）、中央下から中央上（Ｌ３）の向きにそれぞれ高さ測定を行い、各配線基板の反りを評価した。
【００５６】
なお反りの測定には、レーザー反り測定装置Ｖ４．１７（Ａｎｒｉｔｓｕ社製）を用いた。また、測定条件は、以下の通りである。
始点: X=1.5mm, Y=1.5mm
範囲：X=49.63mm, Y=45.58mm
ピッチ：0.3mm
ソフトフィルタ：3回
カットオフ：0um
ゲイン：10
【００５７】
（実施例１）
実施例１では、図５及び図６を参照して説明した第１の実施形態の変形例に係る配線基板３００と同様に、矩形枠状の耳部１０２の各辺１０５〜１０８に沿って折り曲げられた折曲部１０９〜１１２をリブ状とした配線基板を作製した。
【００５８】
（実施例２）
実施例２では、図９及び図１０を参照して説明した第２の実施形態に係る配線基板６００と同様に、矩形枠状の耳部１０２の各辺１０５〜１０８に沿って金属層６０９〜６１２が形成されている配線基板を作製した。
【００５９】
（比較例１）
比較例１では、矩形枠状の耳部１０２に折曲部や金属層を形成していない配線基板を作製した。
【００６０】
次に、測定結果について説明する。
（実施例１の測定結果）
実施例１の配線基板を左下から右上に向かって引いた直線（図１１のＬ１に対応）における反りを測定した（Ｒ１）。実施例１の配線基板を左上から右下に向かって引いた直線（図１１のＬ２に対応）における反りを測定した（Ｒ２）。また、実施例１の配線基板を中央下から中央上に向かって引いた直線（図１１のＬ３に対応）における反りを測定した（Ｒ３）。
【００６１】
ここで、Ｒ１〜Ｒ３は、それぞれ製品領域及び耳部を含んだ測定結果であり、製品領域だけの測定結果（Ｓ１〜Ｓ３）も確認した。Ｒ１〜Ｒ３及びＳ１〜Ｓ３の測定結果からは、実施例１の配線基板では、耳部の反りの量と比較して、製品領域（Ｓ１〜Ｓ３）での反りは非常に抑制されていることがわかった。
【００６２】
（実施例２の測定結果）
実施例２の配線基板を左下から右上に向かって引いた直線（図１１のＬ１に対応）における反りを測定した（Ｒ４）。実施例２の配線基板を左上から右下に向かって引いた直線（図１１のＬ２に対応）における反りを測定した（Ｒ５）。また、実施例２の配線基板を中央下から中央上に向かって引いた直線（図１１のＬ３に対応）における反りを測定した（Ｒ６）。
【００６３】
ここで、Ｒ４〜Ｒ６は、それぞれ製品領域及び耳部を含んだ測定結果であり、製品領域だけの測定結果（Ｓ４〜Ｓ６）も確認した。Ｒ４〜Ｒ６及びＳ４〜Ｓ６の測定結果からは、実施例２の配線基板でも、耳部の反りの量と比較して、製品領域（Ｓ４〜Ｓ６）での反りは抑制されていることがわかった。
【００６４】
（比較例１の測定結果）
比較例１の配線基板を左下から右上に向かって引いた直線（図１１のＬ１に対応）における反りを測定した（Ｒ７）。比較例１の配線基板を左上から右下に向かって引いた直線（図１１のＬ２に対応）における反りを測定した（Ｒ８）。また、比較例１の配線基板を中央下から中央上に向かって引いた直線（図１１のＬ３に対応）における反りを測定した（Ｒ９）。
【００６５】
ここで、領域Ｒ７〜Ｒ９は、それぞれ製品領域及び耳部を含んだ測定結果であり、製品領域だけの測定結果（Ｓ７〜Ｓ９）も確認した。Ｒ７〜Ｒ９及びＳ７〜Ｓ９の測定結果からは、比較例１の配線基板では、耳部よりも製品領域での反りが大きく、製品領域（Ｓ７〜Ｓ９）での反りは抑制されていないことがわかった。
【００６６】
実施例１，２及び比較例１の製品領域の測定結果からは、耳部の各辺に沿って折り曲げられた折曲部又は金属層を設けることで、配線基板に反りが発生するのを効果的に抑制できることがわかった。このため、反りによるワレ、クラックなどの破損の発生を効果的に抑制することができることがわかった。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
本発明に係る多数個取り配線基板及び多数個取り配線基板の製造方法は、反りの発生を抑制できるため、特に面積が広く、薄型の配線基板に好適に使用できる。
【符号の説明】
【００６８】
１００，６００  配線基板
１０１  製品領域
１０２  耳部
１０３  配線基板部
１０４  分割溝
１０５〜１０８  辺
１０９〜１１２  折曲部
２００，３００  配線基板
３０９〜３１２  リブ状の折曲部
４００，５００  治具
６０９〜６１２  金属層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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