(57)【要約】【課題】継手部材を省略することによって、継手部材のためのスペースの増大を解消でき、流路部材に対する流体用機器の取付作業の手間を解消できる流体制御ユニットを提供すること。【解決手段】  流体制御ユニット１０は、流体が流れる流路部２１を予め内部に有する板ユニット２０と、流路部２１を流れる流体に対して動作する流体用機器５０とを有している。流体制御ユニット１０は、外部と流路部２１とに連通した状態で板ユニット２０に配設され、流体用機器５０が流路部２１に接するように流体用機器５０を板ユニット２０に取り付けるために流体用機器５０が挿入される取付孔部７０をさらに有している。【選択図】図１Ｂ
2016148403.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が流れ、形状を予め規定され、複数に分岐された流路部を、予め内部に有する板ユニットと、
前記流路部を流れる前記流体に対して動作する流体用機器と、
外部と前記流路部とに連通した状態で前記板ユニットに配設され、前記流体用機器が前記流路部に接するように前記流体用機器を前記板ユニットに取り付けるために前記流体用機器が挿入される取付孔部と、
を具備することを特徴とする流体制御ユニット。
【請求項２】
前記流体用機器は、最も上流に配置される分岐部分よりも上流と、前記分岐部分よりも下流における各前記流路部と、最も下流に配置される前記分岐部分とに配置されることを特徴とする請求項１に記載の流体制御ユニット。
【請求項３】
前記流体用機器は、最も上流に配置される分岐部分と、前記分岐部分よりも下流における各前記流路部と、最も下流に配置される前記分岐部分よりも下流とに配置されることを特徴とする請求項１に記載の流体制御ユニット。
【請求項４】
前記板ユニットは、  
溝部を有する板部材と、
前記取付孔部を有し、前記取付孔部が前記溝部と連通するように前記板部材に載置されるカバー板部材と、
を有し、
前記流路部は、前記溝部が前記カバー板部材によって密閉されることによって形成されることを特徴とする請求項２または請求項３に記載の流体制御ユニット。
【請求項５】
前記板部材は、複数配設され、
第１板部材には前記カバー板部材が載置され、前記第１板部材は、第２板部材の第２溝部を密閉するように前記第２板部材に載置され、
前記流路部は、前記第１板部材の第１溝部が前記カバー板部材によって密閉されることと前記第２板部材の前記第２溝部が前記第１板部材によって密閉されることとによって形成され、
前記第１板部材の前記第１溝部と前記カバー板部材とによって形成される第１流路部が前記第２溝部と前記第１板部材とによって形成される第２流路部と連通するように、前記第１板部材は、前記第１流路部と前記第２流路部とに連通する第１連通孔部をさらに有することを特徴とする請求項４に記載の流体制御ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、流体制御ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば特許文献１は、流体を制御する流体制御ユニットとして、特別な機器を要することなくかつ比較的簡易な構造で気圧を制御できるエレベータかご内の圧力調整システムを開示している。
【０００３】
一般的な流体制御ユニットは、流路部材と、流路部材を流れる流体に対して動作する流体用機器とを有している。  
流路部材は、フレキシブルチューブや鋼管などを有する。  
流体用機器は、例えば、バルブ、レギュレータ、圧力計測部材、流量計測計、電磁弁等を有している。流体用機器は、例えば、ねじやバンドなどの固定部材によって流路部材に固定されている。流路部材に固定された流体用機器は、流体の圧力や流量を調整し、調整した流体の圧力や流量を計測し、流体の流れを切り替えるといった、流体の制御を実施する流体制御機器として機能する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２６０６０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
流路部材が分岐している場合、流路部材同士を接続する継手部材が必要となる。分岐部分の数が増加するほど、継手部材の数は増加し、継手部材のためのスペースが増大する。そして流体用機器は流路部材毎に取り付ける必要があり、取付作業の手間が増加する。
【０００６】
このため本発明は、上記事情に鑑み、継手部材を省略することによって、継手部材のためのスペースの増大を解消でき、流路部材に対する流体用機器の取付作業の手間を解消できる流体制御ユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の流体制御ユニットの一態様は、流体が流れ、形状を予め規定され、複数に分岐された流路部を、予め内部に有する板ユニットと、前記流路部を流れる前記流体に対して動作する流体用機器と、外部と前記流路部とに連通した状態で前記板ユニットに配設され、前記流体用機器が前記流路部に接するように前記流体用機器を前記板ユニットに取り付けるために前記流体用機器が挿入される取付孔部と、を具備することを特徴とする。
【０００８】
本発明の流体制御ユニットの一態様は、前記流体用機器は、最も上流に配置される分岐部分よりも上流と、前記分岐部分よりも下流における各前記流路部と、最も下流に配置される前記分岐部分とに配置されることを特徴とする上記に記載の流体制御ユニット。
【０００９】
本発明の流体制御ユニットの一態様は、前記流体用機器は、最も上流に配置される分岐部分と、前記分岐部分よりも下流における各前記流路部と、最も下流に配置される前記分岐部分よりも下流とに配置されることを特徴とする上記に記載の流体制御ユニット。
【００１０】
本発明の流体制御ユニットの一態様は、前記板ユニットは、溝部を有する板部材と、前記取付孔部を有し、前記取付孔部が前記溝部と連通するように前記板部材に載置されるカバー板部材と、を有し、前記流路部は、前記溝部が前記カバー板部材によって密閉されることによって形成されることを特徴とする上記に記載の流体制御ユニット。
【００１１】
本発明の流体制御ユニットの一態様は、前記板部材は、複数配設され、第１板部材には前記カバー板部材が載置され、前記第１板部材は、第２板部材の第２溝部を密閉するように前記第２板部材に載置され、前記流路部は、前記第１板部材の第１溝部が前記カバー板部材によって密閉されることと前記第２板部材の前記第２溝部が前記第１板部材によって密閉されることとによって形成され、前記第１板部材の前記第１溝部と前記カバー板部材とによって形成される第１流路部が前記第２溝部と前記第１板部材とによって形成される第２流路部と連通するように、前記第１板部材は、前記第１流路部と前記第２流路部とに連通する第１連通孔部をさらに有することを特徴とする上記に記載の流体制御ユニット。
【００１２】
本発明の流体制御ユニットの一態様は、前記第２板部材は、第３板部材の第３溝部を密閉するように前記第３板部材に載置され、前記流路部は、前記第３板部材の前記第３溝部が前記第２板部材によって密閉されることによってさらに形成され、前記第２流路部が前記第３溝部と前記第２板部材とによって形成される第３流路部と連通するように、前記第２板部材は、前記第２流路部と前記第３流路部とに連通する第２連通孔部をさらに有することを特徴とする上記に記載の流体制御ユニット。
【００１３】
本発明の流体制御ユニットの一態様は、前記連通孔部の周囲に配設され、前記連通孔部の水密を確保する水密確保部材をさらに具備することを特徴とする上記に記載の流体制御ユニット。
【００１４】
本発明の流体制御ユニットの一態様は、前記板ユニットと前記取付孔部とは、３Ｄプリンタによって形成されることを特徴とする上記に記載の流体制御ユニット。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、継手部材を省略することによって、継手部材のためのスペースの増大を解消でき、流路部材に対する流体用機器の取付作業の手間を解消できる流体制御ユニットを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１Ａ】図１Ａは、本発明の第１の実施形態に係る流体制御ユニットの斜視図である。
【図１Ｂ】図１Ｂは、図１Ａに示す流体制御ユニットの分解斜視図である。
【図２Ａ】図２Ａは、本発明の第２の実施形態に係る流体制御ユニットの分解斜視図である。
【図２Ｂ】図２Ｂは、第２の実施形態の変形例に係る流体制御ユニットの分解斜視図である。
【図３】図３は、本発明の第３の実施形態に係る流体制御ユニットの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。  
［第１の実施形態］  
［構成］  
図１Ａと図１Ｂとを参照して、第１の実施形態について説明する。
【００１８】
［流体制御ユニット１０］  
図１Ａと図１Ｂとに示すように、流体制御ユニット１０は、流体が流れ、形状を予め規定され、複数に分岐された流路部２１を予め内部に有する板ユニット２０と、流路部２１を流れる流体に対して動作する流体用機器５０とを有している。流体制御ユニット１０は、外部と流路部２１とに連通した状態で板ユニット２０に配設される取付孔部７０をさらに有している。取付孔部７０には、流体用機器５０が流路部２１に接するように流体用機器５０が板ユニット２０に取り付けられるために、流体用機器５０が挿入される。
【００１９】
［板ユニット２０・流路部２１・取付孔部７０］  
図１Ａと図１Ｂとに示すように、板ユニット２０は、溝部３１を有する板部材３０と、取付孔部７０を有し、取付孔部７０が溝部３１と連通するように板部材３０に載置されるカバー板部材４０とを有している。板部材３０とカバー板部材４０とは、例えばステンレスなどの金属材によって形成されている。板部材３０とカバー板部材４０とは、互いに同じ材質の部材によって形成されていることが好ましい。板部材３０は例えば厚板部材であり、カバー板部材４０は薄板部材である。
【００２０】
図１Ｂに示すように、溝部３１は、カバー板部材４０に対向する板部材３０の上面から板部材３０の下面に向かって窪んでいる。溝部３１は、板部材３０の厚み方向において板部材３０を貫通していない。溝部３１は、例えば切削などによって形成される。
【００２１】
図１Ａと図１Ｂとに示すように、流路部２１は、溝部３１がカバー板部材４０によって密閉されることによって形成される。このため板ユニット２０は、流路部材として機能する。密閉性が確保されるように、板部材３０はカバー板部材４０に例えばロウなどによって取り付けられている。本実施形態では、流路部２１の断面形状は溝部３１の断面形状によって予め規定され、流路部２１全体の形状は溝部３１全体の形状によって予め規定され、溝部３１は予め形状を規定されている。流路部２１の断面形状や流路部２１全体の形状は、特に限定されない。
【００２２】
図１Ａと図１Ｂとに示すように、流路部２１（溝部３１）は上流から下流に向かって複数に分岐しており、分岐部分２３が存在する。分岐部分２３の数は、特に限定されない。
【００２３】
図１Ａと図１Ｂとに示すように、流路部２１の上流部は例えば１つ配設され、流路部２１の下流部は分岐部分２３によって例えば複数配設される。上流部には流路部２１に連通した状態で上流側継手部材２５が例えば１つ配設され、各下流部には流路部２１に連通した状態で下流側継手部材２７が配設されている。上流側継手部材２５と下流側継手部材２７とは、例えば口金部材などの筒状部材を有しており、板ユニット２０の外部において板ユニット２０に取り付けられている。上流側継手部材２５は、流体を流路部２１に供給する図示しない供給源を流路部２１に連結する。上流側継手部材２５は、供給源に連結している例えばチューブなどの図示しない流路部材を流路部２１に連結してもよい。下流側継手部材２７は、例えばチューブなどの図示しない流路部材を流路部２１に連結する。この流路部材は、流体の供給先と連結している。
【００２４】
図１Ａと図１Ｂとに示すように、取付孔部７０を有するカバー板部材４０は、流体用機器５０を流路部２１に取り付ける取付板部材である。取付孔部７０は、カバー板部材４０の厚み方向においてカバー板部材４０を貫通している。取付孔部７０は、流路部２１の位置に対応して配設される。言い換えると、取付孔部７０は、カバー板部材４０が板部材３０に取り付けられた際に、流路部２１と連通するようにカバー板部材４０に配設される。取付孔部７０は、流体用機器５０と同数配設されている。
【００２５】
［流体用機器５０］  
図１Ａと図１Ｂとに示すように、流体用機器５０は、流体用機器５０が取付孔部７０に係合することによって、板ユニット２０に取り付けられる。流体用機器５０は、取付孔部７０に対して着脱自在であり、取付孔部７０に対して挿抜可能となっている。
【００２６】
図１Ａと図１Ｂとに示すような流体用機器５０は、流体に対して開閉、調整、計測、切り換えといった動作を実施し、流体の制御を実施する流体制御機器として機能する。このため流体用機器５０は、流路部２１を開閉するバルブを有する開閉部材５０ａと、流体の圧力及び流量を調整するレギュレータを有する調整部材５０ｂとを有している。流体用機器５０は、流体の圧力を計測する圧力計測部材５０ｃと、流体の流量を計測する流量計測部材５０ｄと、流体の流れを切り替える電磁弁を有する切換部５０ｅとをさらに有している。
【００２７】
図１Ａと図１Ｂとに示すように、開閉部材５０ａと調整部材５０ｂと圧力計測部材５０ｃと流量計測部材５０ｄと切換部５０ｅとは、この順番で、流路部２１の上流（上流側継手部材２５）から下流（下流側継手部材２７）に向かって配置されている。開閉部材５０ａは、最も上流に配置される分岐部分２３よりも上流に配置されている。調整部材５０ｂと圧力計測部材５０ｃと流量計測部材５０ｄとは、最も上流に配置される分岐部分２３よりも下流における各流路部２１に配置されている。切換部５０ｅは、最も下流に配置される分岐部分２３に配置されている。
【００２８】
［作用］  
図１Ａと図１Ｂとに示すように、本実施形態では、板ユニット２０は、形状を予め規定され、複数に分岐された流路部２１（溝部３１）を予め内部に有している。このため、分岐部分２３の数が増加しても、継手部材は不要となる。よって継手部材の増加によって、継手部材のためのスペースの増大は解消される。流体用機器５０は、取付孔部７０に挿し込まれるだけ、簡単に流路部２１に取り付けられる。よって取付作業の手間は解消する。
【００２９】
［効果］  
本実施形態では、板ユニット２０は、形状を予め規定され、複数に分岐された流路部２１（溝部３１）を予め内部に有している。このため、分岐部分２３の数が増加しても、継手部材は不要にできる。よって継手部材の増加によって、継手部材のためのスペースの増大を解消できる。流体用機器５０を、取付孔部７０に挿し込むだけ、簡単に流路部２１に取り付けることができる。よって取付作業の手間を解消できる。
【００３０】
本実施形態では、継手部材は不要のため、継手部材を取り付ける作業スペースの確保を不要にできる。流路部２１は、切削によって形成される溝部３１を用いる。このため、流路部材として機能するチューブや配管などの曲げを考慮する必要がなく、流路部２１自体に対して省スペース化を実施できる。
【００３１】
本実施形態では、流体制御ユニット１０において予め１本の流路部２１が形成されており、流体制御ユニット１０においてチューブや配管など流路部材同士の接続を不要にできる。このため、接続部分において流体がリークすることを防止でき、流体制御ユニット１０に対する品質の信頼性を向上できる。
【００３２】
本実施形態では、継手部材を不要にできるため、継手部材の取付工数や継手部材の配置位置における流体のリークチェック工数を削減できる。
【００３３】
本実施形態では、継手部材を不要にできるため、圧力損失を低減でき、流体の送出エネルギーを削減できる。本実施形態では、流路部２１における流路を短くでき、圧力損失の低減に寄与できる。
【００３４】
本実施形態では、流体制御ユニット１０において、継手部材や流路部材として機能するチューブや配管を不要にでき、流路部２１を少ない部品で構成でき、所望するクリーン度を容易に維持できる。
【００３５】
本実施形態では、板部材３０が厚板部材であるため、溝部３１の深さを予め調整でき、流路部２１における流路面積を事前に可変できる。カバー板部材４０が薄板部材であるため、取付孔部７０を容易に製作でき、流体用機器５０を容易に流路部２１に接せさせることができる。
【００３６】
なお本実施形態では、流体は、上流側継手部材２５から下流側継手部材２７に向かって流れ、上流から下流に分配されているが、これに限定される必要はない。上流と下流とが互いに逆であってもよく、この場合、流体は、下流側継手部材２７から上流側継手部材２５に向かって流れ、上流から下流に向かって集結されることとなる。  
この場合、切換部５０ｅは、最も上流に配置される分岐部分２３に配置される。調整部材５０ｂと圧力計測部材５０ｃと流量計測部材５０ｄとは、最も上流に配置される分岐部分２３よりも下流における各流路部２１に配置されている。開閉部材５０ａは、最も下流に配置される分岐部分２３よりも下流に配置されている。  
このように流体用機器５０は、最も上流に配置される分岐部分２３と、最も上流に配置される分岐部分２３よりも下流における各流路部２１と、最も下流に配置される分岐部分２３よりも下流とに配置されることとなる。
【００３７】
［第２の実施形態］  
［構成］  
図２Ａを参照して、第２の実施形態について説明する。本実施形態では、第１の実施形態とは異なる点のみ記載する。本実施形態の板ユニット２０及び流路部２１の構成は、第１の実施形態の板ユニット２０及び流路部２１の構成とは異なる。
【００３８】
本実施形態では、板部材３０は、複数（例えば２枚）配設されている。  
以下において、便宜上、第１板部材３０ａ、第２板部材３０ｂと称する。  
第１板部材３０ａに配設される流路部２１と分岐部分２３と溝部３１とを、第１流路部２１ａと第１分岐部分２３ａと第１溝部３１ａと称する。  
第２板部材３０ｂに配設される流路部２１と分岐部分２３と溝部３１とを、第２流路部２１ｂと第２分岐部分２３ｂと第２溝部３１ｂと称する。
【００３９】
図２Ａに示すように、第１板部材３０ａにはカバー板部材４０が載置され、第１板部材３０ａは、第２板部材３０ｂの第２溝部３１ｂを密閉するように第２板部材３０ｂに載置される。第１板部材３０ａと第２板部材３０ｂとは、例えばステンレスなどの金属材によって形成されている。第１板部材３０ａと第２板部材３０ｂとは、互いに同じ材質の部材によって形成されていることが好ましい。第１板部材３０ａと第２板部材３０ｂとは、厚板部材である。
【００４０】
図２Ａに示すように、流路部２１において、第１流路部２１ａは第１板部材３０ａの第１溝部３１ａがカバー板部材４０によって密閉されることによって形成され、第２流路部２１ｂは第２板部材３０ｂの第２溝部３１ｂが第１板部材３０ａによって密閉されることとによって形成される。第１板部材３０ａの第１溝部３１ａとカバー板部材４０とによって形成される第１流路部２１ａは、第２溝部３１ｂと第１板部材３０ａとによって形成される第２流路部２１ｂとは板ユニット２０の厚み方向において異なる位置に配設されており、第２流路部２１ｂとは別体である。第１流路部２１ａの密閉性が確保されるように、第１板部材３０ａはカバー板部材４０に例えばロウなどによって取り付けられる。第２流路部２１ｂの密閉性が確保されるように、第１板部材３０ａは第２板部材３０ｂに例えばロウなどによって取り付けられる。
【００４１】
図２Ａに示すように、第１流路部２１ａは上流から下流に向かって複数に分岐しており、第１分岐部分２３ａが存在する。第２流路部２１ｂは上流から下流に向かって複数に分岐しており、第２分岐部分２３ｂが存在する。第１分岐部分２３ａの位置は、第２分岐部分２３ｂの位置に対してずれて配設されていてもよい。
【００４２】
図２Ａに示すように、第１流路部２１ａの上流部と第２流路部２１ｂの上流部とは、互いに別体であり１つ配設されている。これら上流部には、各流路部２１に連通した状態で上流側継手部材２５が例えば１つ配設されている。また各上流部の位置は、板ユニット２０の平面方向においてずれて配設されていてもよい。
【００４３】
図２Ａに示すように、第１流路部２１ａの下流部と第２流路部２１ｂの下流部とは、互いに別体であり複数配設されている。
【００４４】
図２Ａに示すように、本実施形態では、第１板部材３０ａの第１溝部３１ａとカバー板部材４０とによって形成される第１流路部２１ａが第２溝部３１ｂと第１板部材３０ａとによって形成される第２流路部２１ｂと連通するように、第１板部材３０ａは、第１流路部２１ａと第２流路部２１ｂとに連通する第１連通孔部３２ａをさらに有している。第１連通孔部３２ａは、第１板部材３０ａの厚み方向において第１板部材３０ａを貫通し、第１流路部２１ａと第２流路部２１ｂとに連通している。第１連通孔部３２ａは、例えば、最も下流に配置される分岐部分２３ａ付近における第１流路部２１ａと第２流路部２１ｂの下流部とに連通する。
【００４５】
図２Ａに示すように、流体制御ユニット１０は、第１連通孔部３２ａの周囲に配設され、第１連通孔部３２ａの水密を確保するＯリングなどの第１水密確保部材９０ａをさらに有している。本実施形態では、第１水密確保部材９０ａは、第１連通孔部３２ａと第２流路部２１ｂの下流部との接続部分に配設されており、第１板部材３０ａと第２板部材３０ｂとの間に配設されている。第１流路部２１ａの各下流部には、各流路部２１に連通した状態で下流側継手部材２７が配設されている。
【００４６】
本実施形態では、取付孔部７０は、第１流路部２１ａの位置に対応して配設される。
【００４７】
本実施形態では、第２流路部２１ｂは、第１連通孔部３２ａを介して第１流路部２１ａと一体となる。
【００４８】
［効果］  
本実施形態では、第１流路部２１ａと第２流路部２１ｂとが配設されていても、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また板部材３０が複数配設されていても、第１水密確保部材９０によって、板部材３０同士における水密を確実に確保できる。
【００４９】
なお本実施形態では、流体は、上流側継手部材２５から下流側継手部材２７に向かって流れ、上流から下流に分配されているが、これに限定される必要はない。上流と下流とが互いに逆であってもよく、この場合、流体は、下流側継手部材２７から上流側継手部材２５に向かって流れ、上流から下流に向かって集結されることとなる。
【００５０】
［変形例］  
本実施形態では、板部材３０は２枚配設されているが、これに限定される必要はない。図２Ｂに示すように、板部材３０は３枚配設されていてもよく、各板部材３０に流路部２１が形成されていればよい。  
以下において、便宜上、第１板部材３０ａ、第２板部材３０ｂと称する。  
第１板部材３０ａに配設される流路部２１と分岐部分２３と溝部３１とを、第１流路部２１ａと第１分岐部分２３ａと第１溝部３１ａと称する。  
第２板部材３０ｂに配設される流路部２１と分岐部分２３と溝部３１とを、第２流路部２１ｂと第２分岐部分２３ｂと第２溝部３１ｂと称する。  
第３板部材３０ｃに配設される流路部２１と分岐部分２３と溝部３１とを、第３流路部２１ｃと第３分岐部分２３ｃと第３溝部３１ｃと称する。
【００５１】
図２Ｂに示すように、第２板部材３０ｂは、第３板部材３０ｃの第３溝部３１ｃを密閉するように第３板部材３０ｃに載置される。第３流路部２１ｃは、第３板部材３０ｃの第３溝部３１ｃが第２板部材３０ｂによって密閉されることによって形成される。第２流路部２１ｂが第３溝部３１ｃと第２板部材３０ｂとによって形成される第３流路部２１ｃと連通するように、第２板部材３０ｂは、第２流路部２１ｂと第３流路部２１ｃとに連通する第２連通孔部３２ｂをさらに有する。第１水密確保部材９０ａと同様に、第２水密確保部材９０ｂは、第２連通孔部３２ｂ周辺に配設される。
【００５２】
［第３の実施形態］  
［構成］  
図３を参照して、第３の実施形態について説明する。本実施形態では、第１の実施形態とは異なる点のみ記載する。本実施形態の板ユニット２０は、第１の実施形態の板ユニット２０の構成とは異なる。
【００５３】
板ユニット２０は、非金属材料、例えば樹脂材によって形成される。この場合、板ユニット２０と取付孔部７０とは、流路部２１と分岐部分２３とが形成されるように、例えば３Ｄプリンタなどで形成されていてもよい。
【００５４】
［効果］  
本実施形態では、カバー板部材４０を板部材３０にロウなどによって取り付ける必要がなく、流路部２１が予め形成されるため流路部２１における漏れを防止でき、簡単に流体制御ユニット１０を製造できる。
【００５５】
なお本実施形態では、流体は、上流側継手部材２５から下流側継手部材２７に向かって流れ、上流から下流に分配されているが、これに限定される必要はない。上流と下流とが互いに逆であってもよく、この場合、流体は、下流側継手部材２７から上流側継手部材２５に向かって流れ、上流から下流に向かって集結されることとなる。
【００５６】
この発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。
【符号の説明】
【００５７】
１０…流体制御ユニット、２０…板ユニット、２１…流路部、３０…板部材、３１…溝部、４０…カバー板部材、５０…流体用機器、７０…取付孔部。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３】
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