(57)【要約】【課題】円筒状フォトマスクの表面に付着した異物を露光装置の運転を停止することなく除去でき、円筒状フォトマスクの表面に付着した異物によって感光層に形成される潜像パターンに欠陥が生じにくい露光方法および露光装置を提供する。【解決手段】円筒状フォトマスク１０の軸方向に直交する方向にワーク１００を移動させながら、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０とを接触させることによって、感光層１０４の表面で円筒状フォトマスク１０を回転させ、円筒状フォトマスク１０の内部に配置された放射線照射手段１２から感光層１０４に放射線を照射しつつ、円筒状フォトマスク１０の表面に接触し、円筒状フォトマスク１０の回転に追随して回転する粘着ロール１６によって、円筒状フォトマスク１０の表面をクリーニングする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材の表面に感光層が形成されたワークの感光層を、感光層に接触する円筒状フォトマスクを介して露光し、円筒状フォトマスクのパターンに対応する潜像パターンを感光層に形成する露光方法であって、
円筒状フォトマスクの軸方向に直交する方向で、かつ互いに逆方向にワークと円筒状フォトマスクとを相対的に移動させながら、感光層と円筒状フォトマスクとを接触させることによって、感光層の表面で円筒状フォトマスクを回転させると同時に、円筒状フォトマスクの内部に配置された放射線照射手段から感光層に放射線を照射しつつ、
円筒状フォトマスクの表面に接触し、円筒状フォトマスクの回転に追随して回転する粘着ロールによって、円筒状フォトマスクの表面をクリーニングする、露光方法。
【請求項２】
円筒状フォトマスクの軸方向から見て、粘着ロールの回転軸が、感光層と円筒状フォトマスクとの接触部の中心と、円筒状フォトマスクの回転軸とを結ぶ線の延長線上にある、請求項１に記載の露光方法。
【請求項３】
円筒状フォトマスクと粘着ロールとの接触圧力を調整する、請求項１または２に記載の露光方法。
【請求項４】
感光層と円筒状フォトマスクとの接触圧力を調整する、請求項１〜３のいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項５】
感光層と円筒状フォトマスクとの接触部の、円筒状フォトマスクの軸方向に直交する方向の幅が、放射線照射手段を覆うように配置され、接触部に向かって放射線が出射されるようにスリットが形成された遮光部材におけるスリットの、円筒状フォトマスクの軸方向に直交する方向の幅よりも大きくなるように、感光層と円筒状フォトマスクとの接触圧力を調整する、請求項４に記載の露光方法。
【請求項６】
円筒状フォトマスクの回転軸と、粘着ロールの回転軸との距離を一定に保持する、請求項１〜５のいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項７】
感光層の表面と円筒状フォトマスクの回転軸との距離を一定に保持する、請求項１〜６のいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項８】
粘着ロールの表面に接触し、粘着ロールの回転に追随して回転する、粘着ロールよりも粘着力が高い強粘着ロールによって、粘着ロールの表面をクリーニングする、請求項１〜７のいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項９】
円筒状フォトマスクの軸方向から見て、強粘着ロールの回転軸が、感光層と円筒状フォトマスクとの接触部の中心と、円筒状フォトマスクの回転軸とを結ぶ線の延長線上にある、請求項８に記載の露光方法。
【請求項１０】
円筒状フォトマスクの表面の材質が、エラストマーである、請求項１〜９のいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項１１】
粘着ロールと接触した後、かつ感光層と接触する前の円筒状フォトマスクの表面を除電する、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項１２】
基材の表面に感光層が形成されたワークの感光層を、感光層に接触する円筒状フォトマスクを介して露光し、円筒状フォトマスクのパターンに対応する潜像パターンを感光層に形成する露光装置であって、
中心軸を回転軸として回転自在とされた円筒状フォトマスクと、
円筒状フォトマスクの内部に配置された放射線照射手段と、
円筒状フォトマスクの表面に接触するように配置され、中心軸を回転軸として回転自在とされた粘着ロールと、
円筒状フォトマスクの軸方向に直交する方向で、かつ互いに逆方向に円筒状フォトマスクとワークとを相対的に移動させる移動手段と、
を備えた、露光装置。
【請求項１３】
円筒状フォトマスクおよび粘着ロールが、フリーロールである、請求項１２に記載の露光装置。
【請求項１４】
円筒状フォトマスクの軸方向から見て、粘着ロールの回転軸が、感光層と円筒状フォトマスクとの接触部の中心と、円筒状フォトマスクの回転軸とを結ぶ線の延長線上にある、請求項１２または１３に記載の露光装置。
【請求項１５】
円筒状フォトマスクと粘着ロールとの接触圧力を調整する圧力調整手段をさらに備えた、請求項１２〜１４のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１６】
感光層と円筒状フォトマスクとの接触圧力を調整する圧力調整手段をさらに備えた、請求項１２〜１５のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１７】
円筒状フォトマスクと粘着ロールとの接触圧力、および感光層と円筒状フォトマスクとの接触圧力を調整する圧力調整手段をさらに備えた、請求項１２〜１４のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１８】
放射線照射手段を覆うように間に配置され、感光層と円筒状フォトマスクとの接触部に向かって放射線が出射されるようにスリットが形成された遮光部材をさらに備え、
圧力調整手段が、接触部の、円筒状フォトマスクの軸方向に直交する方向の幅が、スリットの、円筒状フォトマスクの軸方向に直交する方向の幅よりも大きくなるように、感光層と円筒状フォトマスクとの接触圧力を調整する、請求項１６または１７に記載の露光装置。
【請求項１９】
円筒状フォトマスクの回転軸と、粘着ロールの回転軸との距離を調整する位置調整手段をさらに備えた、請求項１２〜１８のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項２０】
感光層の表面と、円筒状フォトマスクの回転軸との距離を調整する位置調整手段をさらに備えた、請求項１２〜１９のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項２１】
粘着ロールの表面に接触するように配置され、中心軸を回転軸として回転自在とされた、粘着ロールよりも粘着力が高い強粘着ロールをさらに備えた、請求項１２〜２０のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項２２】
円筒状フォトマスクの軸方向から見て、強粘着ロールの回転軸が、感光層と円筒状フォトマスクとの接触部の中心と、円筒状フォトマスクの回転軸とを結ぶ線の延長線上にある、請求項２１に記載の露光装置。
【請求項２３】
円筒状フォトマスクの表面の材質が、エラストマーである、請求項１２〜２２のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項２４】
粘着ロールと接触した後、かつ感光層と接触する前の円筒状フォトマスクの表面を除電する除電手段をさらに備えた、請求項１２〜２３のいずれか一項に記載の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基材の表面に感光層が形成されたワークの感光層を、感光層に接触する円筒状フォトマスクを介して露光し、円筒状フォトマスクのパターンに対応する潜像パターンを感光層に形成する露光方法および露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基材の表面に感光層が形成されたワークを所定方向に移動させながら、感光層に接触する円筒状フォトマスクを感光層の表面で回転させると同時に、円筒状フォトマスクの内部に配置された放射線照射手段から感光層に放射線を照射することによって、感光層を、感光層に接触する円筒状フォトマスクを介して露光し、円筒状フォトマスクのパターンに対応する潜像パターンを感光層に形成する露光方法が提案されている（特許文献１）。
【０００３】
円筒状フォトマスクのパターンを、対応する潜像パターンとして感光層に精度よく転写するためには、（ｉ）感光層と円筒状フォトマスクとの接触部が、円筒状フォトマスクの軸方向に直交する方向にある程度の幅を有する、（ｉｉ）感光層と円筒状フォトマスクとが隙間なく密着する、（ｉｉｉ）円筒状フォトマスクが感光層の表面で滑らない、ことが必要である。そのため、円筒状フォトマスクの表面の材質は、柔軟なエラストマーとされている。
【０００４】
しかし、円筒状フォトマスクの表面の材質がエラストマーである場合、感光層の表面に異物が付着しているワークが搬入されると、感光層と円筒状フォトマスクとを接触させた際に、感光層の表面の異物が、密着性の高い円筒状フォトマスクの表面に移動し、付着する。円筒状フォトマスクの表面に異物が付着すると、異物が放射線照射手段からの放射線を遮光し、感光層に異物の影が転写されてしまうため、感光層に形成される潜像パターンに欠陥が生じる。よって、潜像パターンが形成された感光層を現像して、所望のパターンを有する製品を得た際に、製品のパターンに欠陥が生じ、製品の歩留まりが悪くなる。
【０００５】
そこで、円筒状フォトマスクの表面に異物が付着するたびに、一旦、露光装置の運転を止めて、円筒状フォトマスクの表面をクリーニングする必要がある。しかし、頻繁に露光装置の運転を止めてしまうと、製品の生産性が低下する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特表２０１１−５２６０６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、円筒状フォトマスクの表面に付着した異物を露光装置の運転を停止することなく除去でき、円筒状フォトマスクの表面に付着した異物によって感光層に形成される潜像パターンに欠陥が生じにくい露光方法および露光装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、以下の構成を有する。
［１］基材の表面に感光層が形成されたワークの感光層を、感光層に接触する円筒状フォトマスクを介して露光し、円筒状フォトマスクのパターンに対応する潜像パターンを感光層に形成する露光方法であって、
円筒状フォトマスクの軸方向に直交する方向で、かつ互いに逆方向にワークと円筒状フォトマスクとを相対的に移動させながら、感光層と円筒状フォトマスクとを接触させることによって、感光層の表面で円筒状フォトマスクを回転させると同時に、円筒状フォトマスクの内部に配置された放射線照射手段から感光層に放射線を照射しつつ、
円筒状フォトマスクの表面に接触し、円筒状フォトマスクの回転に追随して回転する粘着ロールによって、円筒状フォトマスクの表面をクリーニングする、露光方法。
［２］円筒状フォトマスクの軸方向から見て、粘着ロールの回転軸が、感光層と円筒状フォトマスクとの接触部の中心と、円筒状フォトマスクの回転軸とを結ぶ線の延長線上にある、［１］の露光方法。
［３］円筒状フォトマスクと粘着ロールとの接触圧力を調整する、［１］または［２］の露光方法。
［４］感光層と円筒状フォトマスクとの接触圧力を調整する、［１］〜［３］のいずれかの露光方法。
［５］感光層と円筒状フォトマスクとの接触部の、円筒状フォトマスクの軸方向に直交する方向の幅が、放射線照射手段を覆うように配置され、接触部に向かって放射線が出射されるようにスリットが形成された遮光部材におけるスリットの、円筒状フォトマスクの軸方向に直交する方向の幅よりも大きくなるように、感光層と円筒状フォトマスクとの接触圧力を調整する、［４］の露光方法。
［６］円筒状フォトマスクの回転軸と、粘着ロールの回転軸との距離を一定に保持する、［１］〜［５］のいずれかの露光方法。
［７］感光層の表面と円筒状フォトマスクの回転軸との距離を一定に保持する、［１］〜［６］のいずれかの露光方法。
［８］粘着ロールの表面に接触し、粘着ロールの回転に追随して回転する、粘着ロールよりも粘着力が高い強粘着ロールによって、粘着ロールの表面をクリーニングする、［１］〜［７］のいずれかの露光方法。
［９］円筒状フォトマスクの軸方向から見て、強粘着ロールの回転軸が、感光層と円筒状フォトマスクとの接触部の中心と、円筒状フォトマスクの回転軸とを結ぶ線の延長線上にある、［８］の露光方法。
［１０］円筒状フォトマスクの表面の材質が、エラストマーである、［１］〜［９］のいずれかの露光方法。
［１１］粘着ロールと接触した後、かつ感光層と接触する前の円筒状フォトマスクの表面を除電する、［１］〜［１０］のいずれかの露光方法。
【０００９】
［１２］基材の表面に感光層が形成されたワークの感光層を、感光層に接触する円筒状フォトマスクを介して露光し、円筒状フォトマスクのパターンに対応する潜像パターンを感光層に形成する露光装置であって、
中心軸を回転軸として回転自在とされた円筒状フォトマスクと、
円筒状フォトマスクの内部に配置された放射線照射手段と、
円筒状フォトマスクの表面に接触するように配置され、中心軸を回転軸として回転自在とされた粘着ロールと、
円筒状フォトマスクの軸方向に直交する方向で、かつ互いに逆方向に円筒状フォトマスクとワークとを相対的に移動させる移動手段と、
を備えた、露光装置。
［１３］円筒状フォトマスクおよび粘着ロールが、フリーロールである、［１２］の露光装置。
［１４］円筒状フォトマスクの軸方向から見て、粘着ロールの回転軸が、感光層と円筒状フォトマスクとの接触部の中心と、円筒状フォトマスクの回転軸とを結ぶ線の延長線上にある、［１２］または［１３］の露光装置。
［１５］円筒状フォトマスクと粘着ロールとの接触圧力を調整する圧力調整手段をさらに備えた、［１２］〜［１４］のいずれかの露光装置。
［１６］感光層と円筒状フォトマスクとの接触圧力を調整する圧力調整手段をさらに備えた、［１２］〜［１５］のいずれかの露光装置。
［１７］円筒状フォトマスクと粘着ロールとの接触圧力、および感光層と円筒状フォトマスクとの接触圧力を調整する圧力調整手段をさらに備えた、［１２］〜［１４］のいずれかの露光装置。
［１８］放射線照射手段を覆うように配置され、感光層と円筒状フォトマスクとの接触部に向かって放射線が出射されるようにスリットが形成された遮光部材をさらに備え、
圧力調整手段が、接触部の、円筒状フォトマスクの軸方向に直交する方向の幅が、スリットの、円筒状フォトマスクの軸方向に直交する方向の幅よりも大きくなるように、感光層と円筒状フォトマスクとの接触圧力を調整する、［１６］または［１７］の露光装置。
［１９］円筒状フォトマスクの回転軸と、粘着ロールの回転軸との距離を調整する位置調整手段をさらに備えた、［１２］〜［１８］のいずれかの露光装置。
［２０］感光層の表面と、円筒状フォトマスクの回転軸との距離を調整する位置調整手段をさらに備えた、［１２］〜［１９］のいずれかの露光装置。
［２１］粘着ロールの表面に接触するように配置され、中心軸を回転軸として回転自在とされた、粘着ロールよりも粘着力が高い強粘着ロールをさらに備えた、［１２］〜［２０］のいずれかの露光装置。
［２２］円筒状フォトマスクの軸方向から見て、強粘着ロールの回転軸が、感光層と円筒状フォトマスクとの接触部の中心と、円筒状フォトマスクの回転軸とを結ぶ線の延長線上にある、［２１］の露光装置。
［２３］円筒状フォトマスクの表面の材質が、エラストマーである、［１２］〜［２２］のいずれかの露光装置。
［２４］粘着ロールと接触した後、かつ感光層と接触する前の円筒状フォトマスクの表面を除電する除電手段をさらに備えた、［１２］〜［２３］のいずれかの露光装置。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の露光方法および露光装置によれば、円筒状フォトマスクの表面に付着した異物を露光装置の運転を停止することなく除去でき、円筒状フォトマスクの表面に付着した異物によって感光層に形成される潜像パターンに欠陥が生じにくい。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る露光装置を示す断面概略図である。
【図２】円筒状フォトマスクおよび各ロールの配置の他の例を示す概略図である。
【図３】本発明の第２の実施形態に係る露光装置を示す概略図である。
【図４】本発明の第３の実施形態に係る露光装置を示す概略図である。
【図５】本発明の第４の実施形態に係る露光装置を示す概略図である。
【図６】本発明の第５の実施形態に係る露光装置を示す概略図である。
【図７】本発明の第６の実施形態に係る露光装置を示す概略図である。
【図８】本発明の第７の実施形態に係る露光装置を示す概略図である。
【図９】本発明の第８の実施形態に係る露光装置におけるワーク、円筒状フォトマスクおよび各ロールの動きを示す概略図である。
【図１０】本発明の第８の実施形態に係る露光装置におけるワーク、円筒状フォトマスクおよび各ロールの動きを示す概略図である。
【図１１】本発明の第８の実施形態に係る露光装置におけるワーク、円筒状フォトマスクおよび各ロールの動きを示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下の用語の定義は、本明細書および特許請求の範囲にわたって適用される。
「フォトマスク」とは、フォトリソグラフィにおけるパターン原版、すなわちこれを介して感光層に放射線を照射した際に、感光層をパターン状に露光し得るものを意味する。
「ワーク」とは、フォトリソグラフィにおいて、露光処理される対象物を意味する。
「潜像パターン」とは、感光層において露光された部分と露光されなかった部分とからなるパターンである。現像処理によって露光された部分および露光されなかった部分のいずれか一方が除去されることによって、所望のパターンが形成される。
「放射線」、「光」とは、紫外線、γ線、Ｘ線、電子線等の総称である。
「フリーロール」とは、ワークの移動、他のロールの回転等に追随して回転する、モータ等の回転駆動源を有しないロールを意味する。
「駆動ロール」とは、モータ等の回転駆動源からの駆動力によって回転駆動可能とされたロールを意味する。
円筒状フォトマスクまたは各ロールの下方に対象物が存在しない、存在する、または到達するとは、円筒状フォトマスクまたは各ロールの回転軸の下方に対象物が存在しない、存在する、または到達することを意味する。
円筒状フォトマスクと各ロールとの距離、または各ロール間の距離とは、回転軸間の距離を意味する。
【００１３】
〔第１の実施形態〕
＜露光装置＞
図１は、本発明の第１の実施形態に係る露光装置を示す断面概略図である。
露光装置１は、基材１０２の表面に感光層１０４が形成されたワーク１００の感光層１０４を、感光層１０４に接触する円筒状フォトマスク１０を介して露光し、円筒状フォトマスク１０のパターンに対応する潜像パターンを感光層１０４に形成するものである。
【００１４】
露光装置１は、中心軸を回転軸として回転自在とされた円筒状フォトマスク１０と；円筒状フォトマスク１０の中心軸が水平方向となるように円筒状フォトマスク１０の回転軸を回転自在に支持する第１の支持手段（図示略）と；円筒状フォトマスク１０の内部に配置された放射線照射手段１２と；放射線照射手段１２を覆うように円筒状フォトマスク１０の内部に配置され、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触部に向かって放射線が出射されるようにスリット１４ａが形成された遮光部材１４と；円筒状フォトマスク１０の表面に接触するように配置され、中心軸を回転軸として回転自在とされた粘着ロール１６と；粘着ロール１６の中心軸が円筒状フォトマスク１０の中心軸と平行となるように粘着ロール１６の回転軸を回転自在に支持する第２の支持手段（図示略）と；粘着ロール１６の表面に接触するように配置され、中心軸を回転軸として回転自在とされた強粘着ロール１８と；強粘着ロール１８の中心軸が粘着ロール１６の中心軸と平行となるように強粘着ロール１８の回転軸を回転自在に支持する第３の支持手段（図示略）と；円筒状フォトマスク１０の軸方向に直交する方向に枚葉のワーク１００を移動させるステージ２０（移動手段）と；粘着ロール１６と接触した後、かつ感光層１０４と接触する前の円筒状フォトマスク１０の表面を除電する除電手段２２とを備える。
【００１５】
露光装置１においては、円筒状フォトマスク１０の軸方向から見て、粘着ロール１６および強粘着ロール１８の回転軸が、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触部の中心と、円筒状フォトマスク１０の回転軸とを結ぶ線の延長線上にある。
各ロールがこのように配置されることによって、各ロールの押し付け力が円筒状フォトマスク１０を介して感光層１０４にも伝わることによって、円筒状フォトマスク１０の自重以上の圧力を感光層１０４にかけることができる。その結果、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触圧力を充分に確保できる。
【００１６】
一方、図２に示すように、粘着ロール１６および強粘着ロール１８の回転軸が、前記延長線上からずれてしまうと、各ロールの押し付け力ａの分力ｂが円筒状フォトマスク１０の軸方向に直交する方向にもかかってしまい、円筒状フォトマスク１０が軸方向に直交する方向にずれやすくなる。そのため、円筒状フォトマスク１０が軸方向に直交する方向にずれないような規制手段を別途設ける必要がある。粘着ロール１６および強粘着ロール１８の回転軸が、前記延長線上にあれば、規制手段を別途設ける必要がなく、露光装置１の構成を簡略化できる。
【００１７】
（円筒状フォトマスク）
円筒状フォトマスク１０は、円筒状基体の表面にマスクのパターンが直接形成されたものであってもよく、マスクのパターンが形成されたフィルムを円筒状基体の表面に貼り付けたものであってもよい。
【００１８】
円筒状基体は、光透過性を有する材質からなる。円筒状基体の材質としては、透明樹脂、ガラス、合成石英等が挙げられる。
円筒状フォトマスク１０は、少なくともその表面の材質がエラストマーであることが好ましい。円筒状フォトマスク１０の表面の材質がエラストマーであれば、（ｉ）感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触部が、円筒状フォトマスク１０の軸方向に直交する方向にある程度の幅を有することができる、（ｉｉ）感光層１０４と円筒状フォトマスク１０とが隙間なく密着できる、（ｉｉｉ）円筒状フォトマスク１０が感光層１０４の表面で滑らない。そのため、円筒状フォトマスク１０のパターンを、対応する潜像パターンとして感光層１０４に精度よく転写できる。
エラストマーとしては、シリコーンゴム（ポリジメチルシロキサン等）、フッ素系透明エラストマー（旭硝子社製のアフラス（登録商標）、デュポン社製のカルレッツ（登録商標）＃８００２等）等の紫外線を透過するエラストマーが挙げられる。
【００１９】
フォトマスクの種類は、公知のフォトマスク（たとえば、特許文献１に記載されたフォトマスク）であればよく、特に限定されない。フォトマスクの種類としては、遮光部と光透過部とからなる２階調のバイナリーマスク；光の位相を変化させる部分（位相シフタ）をパターン状に形成したフォトマスクであって、位相シフタを透過して位相が変わった光と、位相シフタを透過せずに位相の変わっていない光との干渉現象を利用して感光層中に干渉パターンを形成する位相シフトマスク；表面プラズモン共鳴を生じる金属ナノ構造体からなるフォトマスク等が挙げられる。
【００２０】
円筒状フォトマスク１０は、フリーロールであってもよく、駆動ロールであってもよい。駆動ロールの場合、モータ等の回転駆動源が別途必要になり、また、ワーク１００の移動速度と円筒状フォトマスク１０の回転速度とを同期させるための速度調整手段が別途必要になる。露光装置１の構成を簡略化できる点から、円筒状フォトマスク１０は、ワーク１００の移動に追随して回転するフリーロールが好ましい。
【００２１】
（放射線照射手段）
放射線照射手段１２は、感光層１０４に放射線を照射し得る公知の放射線照射手段（たとえば、特許文献１に記載された放射線源）であればよく、特に限定されない。たとえば、外部の放射線源から供給された放射線を、レンズ、鏡、光導波路、回折格子およびこれらの組み合わせによって、円筒状フォトマスク１０の内部から外部に向かって放射線を出射できるようにしたものであってもよく；円筒状フォトマスク１０の内部に放射線源を配置したものであってもよい。
放射線照射手段１２は、ワーク１００の移動方向に直交する方向（幅方向）にわたって放射線を照射できる点から、ライン状の放射線照射手段が好ましい。
【００２２】
（粘着ロール）
粘着ロール１６は、表面に粘着性を有するロールであり、円筒状フォトマスク１０の表面に接触することによって、円筒状フォトマスク１０の表面に付着した異物（ゴミ、塵等）を除去するものである。
【００２３】
粘着ロール１６は、その表面の粘着力が円筒状フォトマスク１０の表面の粘着力よりも高くされたものであればよい。粘着ロール１６の粘着力が円筒状フォトマスク１０の粘着力よりも小さい場合、異物を充分に除去できない。一方、粘着ロール１６の粘着力が極端に高い場合、円筒状フォトマスク１０の表面に粘着ロール１６が強く貼り付いてしまうため、円筒状フォトマスク１０の回転を阻害したり、円筒状フォトマスク１０の表面が剥離したりするおそれがある。粘着ロール１６の粘着力は、円筒状フォトマスク１０の表面の材質がポリジメチルシロキサンの場合、３０〜９０ｈＰａが好ましい。
【００２４】
粘着ロール１６としては、少なくともその表面の材質がエラストマーであるものが挙げられる。エラストマーとしては、シリコーンゴム、ブチルゴム、ウレタンゴム、ニトリルゴム、クロロプレンゴム、天然ゴム、エチレン−プロピレンゴム等が挙げられる。
粘着ロール１６の市販品としては、ＴＥＫＮＥＫ社製のクリーナーＸＣＨ、ＣＭ、ＳＬｎ；オサダコーポレーション社製のＦＣフィルムクリーナー、ＳＣシートクリーナー；テクノロール社製のクリーンダッシュＥロール；宮川ローラー社製のミモザロールシリーズ等が挙げられる。
【００２５】
粘着ロール１６の軸方向の長さは、円筒状フォトマスク１０の表面におけるパターンが形成されているエリア（パターンエリア）の、円筒状フォトマスク１０の軸方向の幅以上であることが好ましい。粘着ロール１６の軸方向の長さがパターンエリアの幅よりも短い場合、パターンエリアの全面をクリーニングできないため、ワーク１００において製品として利用できるエリアが小さくなってしまう。
【００２６】
粘着ロール１６は、フリーロールであってもよく、駆動ロールであってもよい。駆動ロールの場合、モータ等の回転駆動源が別途必要になり、また、円筒状フォトマスク１０の回転速度と粘着ロール１６の回転速度とを同期させるための速度調整手段が別途必要になる。露光装置１の構成を簡略化できる点から、粘着ロール１６は、円筒状フォトマスク１０の回転に追随して回転するフリーロールが好ましい。
【００２７】
（強粘着ロール）
強粘着ロール１８は、表面に粘着性を有するロールであり、粘着ロール１６の表面に接触することによって、粘着ロール１６の表面に付着した異物（ゴミ、塵等）を除去するものである。強粘着ロール１８を有することによって、粘着ロール１６による円筒状フォトマスク１０のクリーニングを長時間実施できるため、露光装置１の長時間の運転が可能となり、製品の生産性が向上する。
【００２８】
強粘着ロール１８は、その表面の粘着力が粘着ロール１６の表面の粘着力と同じまたはそれよりも高くされたものであればよい。強粘着ロール１８の粘着力が粘着ロール１６の粘着力よりも小さい場合、異物を充分に除去できない。一方、強粘着ロール１８の粘着力が極端に高い場合、粘着ロール１６の表面に強粘着ロール１８が強く貼り付いてしまうため、粘着ロール１６の回転を阻害したり、粘着ロール１６の表面が剥離したりするおそれがある。強粘着ロール１８の粘着力は、粘着ロール１６の表面の材質がポリジメチルシロキサンの場合、１００〜３００ｈＰａが好ましい。
【００２９】
強粘着ロール１８としては、芯のまわりに粘着フィルムを巻き回した粘着フィルムロール等が挙げられる。強粘着ロール１８の表面の粘着力が低下した場合には、最表面の粘着フィルムを剥がし取ることによって、新しい粘着フィルムの表面を露出させることができる。
【００３０】
強粘着ロール１８の軸方向の長さは、粘着ロール１６の軸方向の長さ以上であることが好ましい。強粘着ロール１８の軸方向の長さが粘着ロール１６の軸方向の長さよりも短い場合、粘着ロール１６の全面をクリーニングできない。
【００３１】
強粘着ロール１８は、フリーロールであってもよく、駆動ロールであってもよい。駆動ロールの場合、モータ等の回転駆動源が別途必要になり、また、粘着ロール１６の回転速度と強粘着ロール１８の回転速度とを同期させるための速度調整手段が別途必要になる。露光装置１の構成を簡略化できる点から、強粘着ロール１８は、粘着ロール１６の回転に追随して回転するフリーロールが好ましい。
【００３２】
（除電手段）
除電手段２２は、互いの粘着力によって強く密着していた粘着ロール１６と円筒状フォトマスク１０とが離れる際に発生し、円筒状フォトマスク１０の表面に帯電した電荷を除去するものである。円筒状フォトマスク１０の表面が帯電した状態にあると、ワーク１００の表面の異物が、円筒状フォトマスク１０の表面にさらに付着しやすくなる。
除電手段２２としては、コロナ放電で生成したイオンを円筒状フォトマスク１０の表面に吹き付けるコロナ除電装置、柔Ｘ線や真空紫外線を利用した光照射式除電装置等が挙げられる。コロナ式除電装置においては、窒素や乾燥空気等の気体の流れを使って、生成したイオンを効率よく帯電部位まで搬送することが好ましい。
【００３３】
＜露光方法＞
本発明の第１の実施形態に係る露光装置１を用いた露光方法は、基材１０２の表面に感光層１０４が形成されたワーク１００の感光層１０４を、感光層１０４に接触する円筒状フォトマスク１０を介して露光し、円筒状フォトマスク１０のパターンに対応する潜像パターンを感光層１０４に形成する方法である。
【００３４】
（ワーク）
ワーク１００は、枚葉の基材１０２と、基材１０２の表面に感光層１０４とを有する。
基材１０２は、目的とする製品の種類に応じて適宜選定すればよく、特に限定されない。基材１０２の材質としては、ガラス、樹脂、金属、シリコン、半導体デバイス等が挙げられる。
感光層１０４は、フォトリソグラフィにおける放射線の照射によって潜像パターンを形成し得るものであればよく、特に限定されない。感光層１０４を形成するための材料としては、フォトレジスト等の公知の放射線感受性材料が挙げられる。
ワーク１００は、円筒状フォトマスク１０と衝突した場合に円筒状フォトマスク１０の表面の破損を抑えるために、稜角が面取りされていることが好ましい。
【００３５】
（露光）
円筒状フォトマスク１０の軸方向に直交する方向に、ワーク１００を載置したステージ２０を移動させながら、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０とを接触させることによって、ワーク１００の移動に追随させて感光層１０４の表面で円筒状フォトマスク１０を回転させる。
この際、円筒状フォトマスク１０の内部に配置された放射線照射手段１２から放射線を出射する。放射線照射手段１２から出射された放射線のほとんどは、遮光部材１４に遮られ、遮光部材１４に形成されたスリット１４ａのみから、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触部に向かって放射線が出射される。スリット１４ａから出射された放射線は、円筒状フォトマスク１０を通過し、感光層１０４に照射される。
このようにして、感光層１０４が円筒状フォトマスク１０を介して露光され、円筒状フォトマスク１０のパターンに対応する潜像パターンが感光層１０４に形成される。
【００３６】
（クリーニング）
少なくとも感光層１０４と円筒状フォトマスク１０とを接触させている間は、粘着ロール１６を円筒状フォトマスク１０の表面に接触させることによって、円筒状フォトマスク１０の回転に追随して回転させ、円筒状フォトマスク１０の表面をクリーニングする。
この際、強粘着ロール１８を粘着ロール１６の表面に接触させることによって、粘着ロール１６の回転に追随して回転させ、粘着ロール１６の表面をさらにクリーニングする。
【００３７】
（除電）
互いの粘着力によって強く密着していた粘着ロール１６と円筒状フォトマスク１０とが離れる際には、円筒状フォトマスク１０の表面に電荷が発生し、帯電する。
よって、粘着ロール１６と接触した後、かつ感光層１０４と接触する前の円筒状フォトマスク１０の表面に、除電手段２２のノズルからイオンを含む気体を吹き付けることによって、円筒状フォトマスク１０の表面を除電する。
【００３８】
＜作用機序＞
以上説明した本発明の第１の実施形態にあっては、ワーク１００を移動させながら、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０とを接触させることによって、感光層１０４の表面で円筒状フォトマスク１０を回転させると同時に、放射線照射手段１２から感光層１０４に放射線を照射しつつ、円筒状フォトマスク１０の表面に接触して回転する粘着ロール１６によって、円筒状フォトマスク１０の表面をクリーニングしている。そのため、円筒状フォトマスク１０の表面に付着した異物を露光装置１の運転を停止することなく除去できる。また、円筒状フォトマスク１０の表面に付着した異物が常に除去された状態となるため、感光層１０４に形成される潜像パターンに、円筒状フォトマスク１０の表面に付着した異物に由来する欠陥が生じにくい。
【００３９】
また、以上説明した本発明の第１の実施形態にあっては、粘着ロール１６の表面に接触して回転する強粘着ロール１８によって、粘着ロール１６の表面をクリーニングしているため、粘着ロール１６による円筒状フォトマスク１０のクリーニングを長時間実施できる。そのため、露光装置１の長時間の運転が可能となり、製品の生産性が向上する。
【００４０】
また、以上説明した本発明の第１の実施形態にあっては、円筒状フォトマスク１０の軸方向から見て、粘着ロール１６および強粘着ロール１８の回転軸が、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触部の中心と、円筒状フォトマスク１０の回転軸とを結ぶ線の延長線上にあるため、各ロールの押し付け力が円筒状フォトマスク１０を介して感光層１０４にも伝わる。そのため、円筒状フォトマスク１０の自重以上の圧力を感光層１０４にかけることができる。その結果、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触圧力を充分に確保できる。また、円筒状フォトマスク１０が軸方向に直交する方向にずれないような規制手段を別途設ける必要がなく、露光装置１の構成を簡略化できる。
【００４１】
また、以上説明した本発明の第１の実施形態にあっては、粘着ロール１６と接触した後、かつ感光層１０４と接触する前の円筒状フォトマスク１０の表面を除電手段２２によって除電しているため、ワーク１００の表面の異物が、円筒状フォトマスク１０の表面にさらに付着しにくくなる。
【００４２】
〔第２の実施形態〕
＜露光装置＞
図３は、本発明の第２の実施形態に係る露光装置を示す概略図である。
露光装置２は、基材１０２の表面に感光層１０４が形成されたワーク１００の感光層１０４を、感光層１０４に接触する円筒状フォトマスク１０を介して露光し、円筒状フォトマスク１０のパターンに対応する潜像パターンを感光層１０４に形成するものである。
【００４３】
露光装置２は、中心軸を回転軸として回転自在とされた円筒状フォトマスク１０と；円筒状フォトマスク１０の中心軸が水平方向となるように円筒状フォトマスク１０の回転軸を回転自在に支持する第１の支持手段（図示略）と；円筒状フォトマスク１０の内部に配置された放射線照射手段（図示略）と；放射線照射手段を覆うように円筒状フォトマスク１０の内部に配置され、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触部に向かって放射線が出射されるようにスリットが形成された遮光部材（図示略）と；円筒状フォトマスク１０の表面に接触するように配置され、中心軸を回転軸として回転自在とされた粘着ロール１６と；粘着ロール１６の中心軸が円筒状フォトマスク１０の中心軸と平行となるように粘着ロール１６の回転軸を回転自在に支持する第２の支持手段（図示略）と；円筒状フォトマスク１０と粘着ロール１６との接触圧力を調整する第１の圧力調整手段３０と；円筒状フォトマスク１０の軸方向に直交する方向に枚葉のワーク１００を移動させるステージ２０（移動手段）とを備える。
以下、第１の実施形態に係る露光装置と同じ構成のものについては、図示されている場合には同じ符号を付す。また、第１の実施形態に係る露光装置と同じ構成のものについては、詳しい説明を省略する。
【００４４】
（第１の圧力調整手段）
第１の圧力調整手段３０は、圧力調整部３２と；圧力調整部３２と円筒状フォトマスク１０の回転軸とを接続するアーム部３４と；圧力調整部３２と粘着ロール１６の回転軸とを接続するアーム部３６とを有する。
圧力調整部３２は、アーム部３４とアーム部３６との間の圧力を感知し、アーム部３４とアーム部３６との間の圧力を所定の圧力に調整するものである。圧力調整部３２において圧力を調整する機構としては、バネ機構、ガス圧機構、油圧機構等が挙げられる。
【００４５】
＜露光方法＞
本発明の第２の実施形態に係る露光装置２を用いた露光方法は、基材１０２の表面に感光層１０４が形成されたワーク１００の感光層１０４を、感光層１０４に接触する円筒状フォトマスク１０を介して露光し、円筒状フォトマスク１０のパターンに対応する潜像パターンを感光層１０４に形成する方法である。
以下、第１の実施形態に係る露光方法と同じ動作については、詳しい説明を省略する。
【００４６】
（圧力調整）
円筒状フォトマスク１０と粘着ロール１６とが接触している間は、第１の圧力調整手段３０によって、アーム部３４とアーム部３６との間の圧力を感知し、アーム部３４とアーム部３６との間の圧力を所定の圧力に調整する。これによって、各アーム部が接続する円筒状フォトマスク１０と粘着ロール１６との接触圧力を調整する。
【００４７】
＜作用機序＞
以上説明した本発明の第２の実施形態にあっては、第１の実施形態と同じ構成を有し、第１の実施形態と同じ動作をする場合には、第１の実施形態と同じ作用機序を発揮する。
また、以上説明した本発明の第２の実施形態にあっては、第１の圧力調整手段３０によって円筒状フォトマスク１０と粘着ロール１６との接触圧力を調整しているため、円筒状フォトマスク１０の厚さ偏差や回転偏差を緩衝して、常に所定の押し付け力で粘着ロール１６によって円筒状フォトマスク１０をクリーニングできる。また、円筒状フォトマスク１０と粘着ロール１６との接触圧力を任意に設定できるため、充分なクリーニング効果を維持でき、かつ加圧接触による円筒状フォトマスク１０の変形を低減できる範囲に圧力を調整できる。
【００４８】
〔第３の実施形態〕
＜露光装置＞
図４は、本発明の第３の実施形態に係る露光装置を示す概略図である。
露光装置３は、基材１０２の表面に感光層１０４が形成されたワーク１００の感光層１０４を、感光層１０４に接触する円筒状フォトマスク１０を介して露光し、円筒状フォトマスク１０のパターンに対応する潜像パターンを感光層１０４に形成するものである。
【００４９】
露光装置３は、中心軸を回転軸として回転自在とされた円筒状フォトマスク１０と；円筒状フォトマスク１０の中心軸が水平方向となるように円筒状フォトマスク１０の回転軸を回転自在に支持する第１の支持手段（図示略）と；円筒状フォトマスク１０の内部に配置された放射線照射手段（図示略）と；放射線照射手段を覆うように円筒状フォトマスク１０の内部に配置され、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触部に向かって放射線が出射されるようにスリットが形成された遮光部材（図示略）と；円筒状フォトマスク１０の表面に接触するように配置され、中心軸を回転軸として回転自在とされた粘着ロール１６と；粘着ロール１６の中心軸が円筒状フォトマスク１０の中心軸と平行となるように粘着ロール１６の回転軸を回転自在に支持する第２の支持手段（図示略）と；円筒状フォトマスク１０と粘着ロール１６との接触圧力、および感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触圧力を調整する第２の圧力調整手段４０と；円筒状フォトマスク１０の軸方向に直交する方向に枚葉のワーク１００を移動させるステージ２０（移動手段）とを備える。
以下、第１の実施形態に係る露光装置と同じ構成のものについては、図示されている場合には同じ符号を付す。また、第１の実施形態に係る露光装置と同じ構成のものについては、詳しい説明を省略する。
【００５０】
（第２の圧力調整手段）
第２の圧力調整手段４０は、圧力調整部４２と；圧力調整部４２と装置本体２４とを接続するアーム部４４と；圧力調整部４２と粘着ロール１６の回転軸とを接続するアーム部４６とを有する。
圧力調整部４２は、アーム部４４とアーム部４６との間の圧力を感知し、アーム部４４とアーム部４６との間の圧力を所定の圧力に調整するものである。圧力調整部４２において圧力を調整する機構としては、バネ機構、ガス圧機構、油圧機構等が挙げられる。
【００５１】
第２の圧力調整手段４０は、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触部の、円筒状フォトマスク１０の軸方向に直交する方向の幅が、遮光部材のスリット（図示略、図１における符号１４ａ）の、円筒状フォトマスク１０の軸方向に直交する方向の幅よりも大きくなるように、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触圧力を調整するものであることが好ましい。
【００５２】
＜露光方法＞
本発明の第３の実施形態に係る露光装置３を用いた露光方法は、基材１０２の表面に感光層１０４が形成されたワーク１００の感光層１０４を、感光層１０４に接触する円筒状フォトマスク１０を介して露光し、円筒状フォトマスク１０のパターンに対応する潜像パターンを感光層１０４に形成する方法である。
以下、第１の実施形態に係る露光方法と同じ動作については、詳しい説明を省略する。
【００５３】
（圧力調整）
円筒状フォトマスク１０と粘着ロール１６とが接触し、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０とが接触している間は、第２の圧力調整手段４０によって、アーム部４４とアーム部４６との間の圧力を感知し、アーム部４４とアーム部４６との間の圧力を所定の圧力に調整する。これによって、各アーム部が接続する装置本体２４と粘着ロール１６との間にある、円筒状フォトマスク１０と粘着ロール１６との接触圧力、および感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触圧力を調整する。
【００５４】
具体的には、第２の圧力調整手段４０によって、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触部の、円筒状フォトマスク１０の軸方向に直交する方向の幅が、遮光部材のスリット（図示略、図１における符号１４ａ）の、円筒状フォトマスク１０の軸方向に直交する方向の幅よりも大きくなるように、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触圧力を調整することが好ましい。
【００５５】
＜作用機序＞
以上説明した本発明の第３の実施形態にあっては、第１の実施形態と同じ構成を有し、第１の実施形態と同じ動作をする場合には、第１の実施形態と同じ作用機序を発揮する。
また、以上説明した本発明の第３の実施形態にあっては、第２の圧力調整手段４０によって円筒状フォトマスク１０と粘着ロール１６との接触圧力、および感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触圧力を調整しているため、粘着ロール１６によって円筒状フォトマスク１０をクリーニングしながら、同時に感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触圧力を調整できる。また、ワーク１００厚さ偏差ならびに円筒状フォトマスク１０の厚さ偏差や回転偏差を緩衝して、円筒状フォトマスク１０と粘着ロール１６との接触圧力、および感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触圧力を所定の圧力に保持できる。また、円筒状フォトマスク１０と粘着ロール１６との接触圧力を任意に設定できるため、充分なクリーニング効果を維持でき、かつ加圧接触による円筒状フォトマスク１０の変形を低減できる範囲に圧力を調整できる。
【００５６】
また、以上説明した本発明の第３の実施形態にあっては、第２の圧力調整手段４０によって、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触部の、円筒状フォトマスク１０の軸方向に直交する方向の幅が、遮光部材のスリット（図示略、図１における符号１４ａ）の、円筒状フォトマスク１０の軸方向に直交する方向の幅よりも大きくなるように、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触圧力を調整しているため、円筒状フォトマスク１０のパターンを、対応する潜像パターンとして感光層１０４に精度よく転写できる。
【００５７】
〔第４の実施形態〕
＜露光装置＞
図５は、本発明の第４の実施形態に係る露光装置を示す概略図である。
露光装置４は、基材１０２の表面に感光層１０４が形成されたワーク１００の感光層１０４を、感光層１０４に接触する円筒状フォトマスク１０を介して露光し、円筒状フォトマスク１０のパターンに対応する潜像パターンを感光層１０４に形成するものである。
【００５８】
露光装置４は、中心軸を回転軸として回転自在とされた円筒状フォトマスク１０と；円筒状フォトマスク１０の中心軸が水平方向となるように円筒状フォトマスク１０の回転軸を回転自在に支持する第１の支持手段（図示略）と；円筒状フォトマスク１０の内部に配置された放射線照射手段（図示略）と；放射線照射手段を覆うように円筒状フォトマスク１０の内部に配置され、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触部に向かって放射線が出射されるようにスリットが形成された遮光部材（図示略）と；円筒状フォトマスク１０の表面に接触するように配置され、中心軸を回転軸として回転自在とされた粘着ロール１６と；粘着ロール１６の中心軸が円筒状フォトマスク１０の中心軸と平行となるように粘着ロール１６の回転軸を回転自在に支持する第２の支持手段（図示略）と；円筒状フォトマスク１０と粘着ロール１６との接触圧力を調整する第１の圧力調整手段３０と；感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触圧力を調整する第３の圧力調整手段５０と；円筒状フォトマスク１０の軸方向に直交する方向に枚葉のワーク１００を移動させるステージ２０（移動手段）とを備える。
以下、第１、２の実施形態に係る露光装置と同じ構成のものについては、図示されている場合には同じ符号を付す。また、第１、２の実施形態に係る露光装置と同じ構成のものについては、詳しい説明を省略する。
【００５９】
（第３の圧力調整手段）
第３の圧力調整手段５０は、圧力調整部５２と；圧力調整部５２と装置本体２４とを接続するアーム部５４と；圧力調整部５２と粘着ロール１６の回転軸とを接続するアーム部５６とを有する。
圧力調整部５２は、アーム部５４とアーム部５６との間の圧力を感知し、アーム部５４とアーム部５６との間の圧力を所定の圧力に調整するものである。圧力調整部５２において圧力を調整する機構としては、バネ機構、ガス圧機構、油圧機構等が挙げられる。
【００６０】
第３の圧力調整手段５０は、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触部の、円筒状フォトマスク１０の軸方向に直交する方向の幅が、遮光部材のスリット（図示略、図１における符号１４ａ）の、円筒状フォトマスク１０の軸方向に直交する方向の幅よりも大きくなるように、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触圧力を調整するものであることが好ましい。
【００６１】
＜露光方法＞
本発明の第４の実施形態に係る露光装置４を用いた露光方法は、基材１０２の表面に感光層１０４が形成されたワーク１００の感光層１０４を、感光層１０４に接触する円筒状フォトマスク１０を介して露光し、円筒状フォトマスク１０のパターンに対応する潜像パターンを感光層１０４に形成する方法である。
以下、第１、２の実施形態に係る露光方法と同じ動作については、詳しい説明を省略する。
【００６２】
（圧力調整）
感光層１０４と円筒状フォトマスク１０とが接触している間は、第３の圧力調整手段５０によって、アーム部５４とアーム部５６との間の圧力を感知し、アーム部５４とアーム部５６との間の圧力を所定の圧力に調整する。これによって、各アーム部が接続する装置本体２４と円筒状フォトマスク１０との間にある、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触圧力を調整する。
【００６３】
具体的には、第３の圧力調整手段５０によって、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触部の、円筒状フォトマスク１０の軸方向に直交する方向の幅が、遮光部材のスリット（図示略、図１における符号１４ａ）の、円筒状フォトマスク１０の軸方向に直交する方向の幅よりも大きくなるように、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触圧力を調整することが好ましい。
【００６４】
＜作用機序＞
以上説明した本発明の第４の実施形態にあっては、第１、２の実施形態と同じ構成を有し、第１、２の実施形態と同じ動作をする場合には、第１、２の実施形態と同じ作用機序を発揮する。
また、以上説明した本発明の第４の実施形態にあっては、第３の圧力調整手段５０によって感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触圧力を調整しているため、ワーク１００厚さ偏差ならびに円筒状フォトマスク１０の厚さ偏差や回転偏差を緩衝して、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触圧力を所定の圧力に保つことができる。
また、以上説明した本発明の第４の実施形態にあっては、第１の圧力調整手段３０によって円筒状フォトマスク１０と粘着ロール１６との接触圧力を調整し、第３の圧力調整手段５０によって感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触圧力を調整しているため、円筒状フォトマスク１０と粘着ロール１６との接触圧力、および感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触圧力をそれぞれ独立して調整できる。
【００６５】
また、以上説明した本発明の第４の実施形態にあっては、第３の圧力調整手段５０によって、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触部の、円筒状フォトマスク１０の軸方向に直交する方向の幅が、遮光部材のスリット（図示略、図１における符号１４ａ）の、円筒状フォトマスク１０の軸方向に直交する方向の幅よりも大きくなるように、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触圧力を調整しているため、円筒状フォトマスク１０のパターンを、対応する潜像パターンとして感光層１０４に精度よく転写できる。
【００６６】
〔第５の実施形態〕
＜露光装置＞
図６は、本発明の第５の実施形態に係る露光装置を示す概略図である。
露光装置５は、基材１０２の表面に感光層１０４が形成されたワーク１００の感光層１０４を、感光層１０４に接触する円筒状フォトマスク１０を介して露光し、円筒状フォトマスク１０のパターンに対応する潜像パターンを感光層１０４に形成するものである。
【００６７】
露光装置５は、中心軸を回転軸として回転自在とされた円筒状フォトマスク１０と；円筒状フォトマスク１０の中心軸が水平方向となるように円筒状フォトマスク１０の回転軸を回転自在に支持する第１の支持手段（図示略）と；円筒状フォトマスク１０の内部に配置された放射線照射手段（図示略）と；放射線照射手段を覆うように円筒状フォトマスク１０の内部に配置され、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触部に向かって放射線が出射されるようにスリットが形成された遮光部材（図示略）と；円筒状フォトマスク１０の表面に接触するように配置され、中心軸を回転軸として回転自在とされた粘着ロール１６と；粘着ロール１６の中心軸が円筒状フォトマスク１０の中心軸と平行となるように粘着ロール１６の回転軸を回転自在に支持する第２の支持手段（図示略）と；円筒状フォトマスク１０の回転軸と粘着ロール１６の回転軸との距離を調整する第１の位置調整手段６０と；円筒状フォトマスク１０の軸方向に直交する方向に枚葉のワーク１００を移動させるステージ２０（移動手段）とを備える。
以下、第１の実施形態に係る露光装置と同じ構成のものについては、図示されている場合には同じ符号を付す。また、第１の実施形態に係る露光装置と同じ構成のものについては、詳しい説明を省略する。
【００６８】
（第１の位置調整手段）
第１の位置調整手段６０は、位置調整部６２と；位置調整部６２と円筒状フォトマスク１０の回転軸とを接続するアーム部６４と；位置調整部６２と粘着ロール１６の回転軸とを接続するアーム部６６とを有する。
位置調整部６２は、アーム部６４とアーム部６６との間の距離を感知し、アーム部６４とアーム部６６との間の距離を一定に保持するものである。位置調整部６２において距離を調整する機構としては、マイクロゲージ等が挙げられる。
【００６９】
＜露光方法＞
本発明の第５の実施形態に係る露光装置５を用いた露光方法は、基材１０２の表面に感光層１０４が形成されたワーク１００の感光層１０４を、感光層１０４に接触する円筒状フォトマスク１０を介して露光し、円筒状フォトマスク１０のパターンに対応する潜像パターンを感光層１０４に形成する方法である。
以下、第１の実施形態に係る露光方法と同じ動作については、詳しい説明を省略する。
【００７０】
（位置調整）
円筒状フォトマスク１０と粘着ロール１６とが接触している間は、第１の位置調整手段６０によって、アーム部６４とアーム部６６との間の距離を感知し、アーム部６４とアーム部６６との間の距離を一定に保持する。これによって、各アーム部が接続する円筒状フォトマスク１０の回転軸と粘着ロール１６の回転軸との距離を一定に保持する。
【００７１】
＜作用機序＞
以上説明した本発明の第５の実施形態にあっては、第１の実施形態と同じ構成を有し、第１の実施形態と同じ動作をする場合には、第１の実施形態と同じ作用機序を発揮する。
また、以上説明した本発明の第５の実施形態にあっては、第１の位置調整手段６０によって円筒状フォトマスク１０の回転軸と粘着ロール１６の回転軸との距離を一定に保持しているため、常に所定の押し付け力で粘着ロール１６によって円筒状フォトマスク１０をクリーニングできる。また、円筒状フォトマスク１０と粘着ロール１６との接触圧力を任意に設定できるため、充分なクリーニング効果を維持でき、かつ加圧接触による円筒状フォトマスク１０の変形を低減できる範囲に圧力を調整できる。
【００７２】
〔第６の実施形態〕
＜露光装置＞
図７は、本発明の第６の実施形態に係る露光装置を示す概略図である。
露光装置６は、基材１０２の表面に感光層１０４が形成されたワーク１００の感光層１０４を、感光層１０４に接触する円筒状フォトマスク１０を介して露光し、円筒状フォトマスク１０のパターンに対応する潜像パターンを感光層１０４に形成するものである。
【００７３】
露光装置６は、中心軸を回転軸として回転自在とされた円筒状フォトマスク１０と；円筒状フォトマスク１０の中心軸が水平方向となるように円筒状フォトマスク１０の回転軸を回転自在に支持する第１の支持手段（図示略）と；円筒状フォトマスク１０の内部に配置された放射線照射手段（図示略）と；放射線照射手段を覆うように円筒状フォトマスク１０の内部に配置され、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触部に向かって放射線が出射されるようにスリットが形成された遮光部材（図示略）と；円筒状フォトマスク１０の表面に接触するように配置され、中心軸を回転軸として回転自在とされた粘着ロール１６と；粘着ロール１６の中心軸が円筒状フォトマスク１０の中心軸と平行となるように粘着ロール１６の回転軸を回転自在に支持する第２の支持手段（図示略）と；円筒状フォトマスク１０の回転軸と粘着ロール１６の回転軸との距離、および感光層１０４の表面と円筒状フォトマスク１０の回転軸との距離を調整する第２の位置調整手段７０と；円筒状フォトマスク１０の軸方向に直交する方向に枚葉のワーク１００を移動させるステージ２０（移動手段）とを備える。
以下、第１の実施形態に係る露光装置と同じ構成のものについては、図示されている場合には同じ符号を付す。また、第１の実施形態に係る露光装置と同じ構成のものについては、詳しい説明を省略する。
【００７４】
（第２の位置調整手段）
第２の位置調整手段７０は、位置調整部７２と；位置調整部７２と装置本体２４とを接続するアーム部７４と；位置調整部７２と粘着ロール１６の回転軸とを接続するアーム部７６とを有する。
位置調整部７２は、アーム部７４とアーム部７６との間の距離を感知し、アーム部７４とアーム部７６との間の距離を一定に保持するものである。位置調整部７２において位置を調整する機構としては、マイクロゲージ等が挙げられる。
【００７５】
＜露光方法＞
本発明の第６の実施形態に係る露光装置６を用いた露光方法は、基材１０２の表面に感光層１０４が形成されたワーク１００の感光層１０４を、感光層１０４に接触する円筒状フォトマスク１０を介して露光し、円筒状フォトマスク１０のパターンに対応する潜像パターンを感光層１０４に形成する方法である。
以下、第１の実施形態に係る露光方法と同じ動作については、詳しい説明を省略する。
【００７６】
（位置調整）
円筒状フォトマスク１０と粘着ロール１６とが接触し、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０とが接触している間は、第２の位置調整手段７０によって、アーム部７４とアーム部７６との間の距離を感知し、アーム部７４とアーム部７６との間の距離を一定に保持する。これによって、各アーム部が接続する装置本体２４と粘着ロール１６との間にある、円筒状フォトマスク１０の回転軸と粘着ロール１６の回転軸との距離、および感光層１０４の表面と円筒状フォトマスク１０の回転軸との距離を一定に保持する。
【００７７】
＜作用機序＞
以上説明した本発明の第６の実施形態にあっては、第１の実施形態と同じ構成を有し、第１の実施形態と同じ動作をする場合には、第１の実施形態と同じ作用機序を発揮する。
また、以上説明した本発明の第６の実施形態にあっては、第２の位置調整手段７０によって円筒状フォトマスク１０の回転軸と粘着ロール１６の回転軸との距離、および感光層１０４の表面と円筒状フォトマスク１０の回転軸との距離を一定に保持しているため、粘着ロール１６によって円筒状フォトマスク１０をクリーニングしながら、同時に感光層１０４の表面と円筒状フォトマスク１０の回転軸との距離を一定に保持できる。また、円筒状フォトマスク１０と粘着ロール１６との接触圧力、および感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触圧力を所定の圧力に保持できる。また、円筒状フォトマスク１０と粘着ロール１６との接触圧力を任意に設定できるため、充分なクリーニング効果を維持でき、かつ加圧接触による円筒状フォトマスク１０の変形を低減できる範囲に圧力を調整できる。
【００７８】
〔第７の実施形態〕
＜露光装置＞
図８は、本発明の第７の実施形態に係る露光装置を示す概略図である。
露光装置７は、基材１０２の表面に感光層１０４が形成されたワーク１００の感光層１０４を、感光層１０４に接触する円筒状フォトマスク１０を介して露光し、円筒状フォトマスク１０のパターンに対応する潜像パターンを感光層１０４に形成するものである。
【００７９】
露光装置７は、中心軸を回転軸として回転自在とされた円筒状フォトマスク１０と；円筒状フォトマスク１０の中心軸が水平方向となるように円筒状フォトマスク１０の回転軸を回転自在に支持する第１の支持手段（図示略）と；円筒状フォトマスク１０の内部に配置された放射線照射手段（図示略）と；放射線照射手段を覆うように円筒状フォトマスク１０の内部に配置され、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触部に向かって放射線が出射されるようにスリットが形成された遮光部材（図示略）と；円筒状フォトマスク１０の表面に接触するように配置され、中心軸を回転軸として回転自在とされた粘着ロール１６と；粘着ロール１６の中心軸が円筒状フォトマスク１０の中心軸と平行となるように粘着ロール１６の回転軸を回転自在に支持する第２の支持手段（図示略）と；円筒状フォトマスク１０の回転軸と粘着ロール１６の回転軸との距離を調整する第１の位置調整手段６０と；感光層１０４の表面と円筒状フォトマスク１０の回転軸との距離を調整する第３の位置調整手段８０と；円筒状フォトマスク１０の軸方向に直交する方向に枚葉のワーク１００を移動させるステージ２０（移動手段）とを備える。
以下、第１、５の実施形態に係る露光装置と同じ構成のものについては、図示されている場合には同じ符号を付す。また、第１、５の実施形態に係る露光装置と同じ構成のものについては、詳しい説明を省略する。
【００８０】
（第３の位置調整手段）
第３の位置調整手段８０は、位置調整部８２と；位置調整部８２と装置本体２４とを接続するアーム部８４と；位置調整部８２と粘着ロール１６の回転軸とを接続するアーム部８６とを有する。
位置調整部８２は、アーム部８４とアーム部８６との間の距離を感知し、アーム部８４とアーム部８６との間の距離を一定に保持するものである。位置調整部８２において距離を調整する機構としては、マイクロゲージ等が挙げられる。
【００８１】
＜露光方法＞
本発明の第７の実施形態に係る露光装置７を用いた露光方法は、基材１０２の表面に感光層１０４が形成されたワーク１００の感光層１０４を、感光層１０４に接触する円筒状フォトマスク１０を介して露光し、円筒状フォトマスク１０のパターンに対応する潜像パターンを感光層１０４に形成する方法である。
以下、第１、５の実施形態に係る露光方法と同じ動作については、詳しい説明を省略する。
【００８２】
（位置調整）
感光層１０４と円筒状フォトマスク１０とが接触している間は、第３の位置調整手段８０によって、アーム部８４とアーム部８６との間の距離を感知し、アーム部８４とアーム部８６との間の距離を一定に保持する。これによって、各アーム部が接続する装置本体２４と円筒状フォトマスク１０との間にある、感光層１０４の表面と円筒状フォトマスク１０の回転軸との距離を一定に保持する。
【００８３】
＜作用機序＞
以上説明した本発明の第７の実施形態にあっては、第１、５の実施形態と同じ構成を有し、第１、５の実施形態と同じ動作をする場合には、第１、５の実施形態と同じ作用機序を発揮する。
また、以上説明した本発明の第７の実施形態にあっては、第３の位置調整手段８０によって感光層１０４の表面と円筒状フォトマスク１０の回転軸との距離を一定に保持しているため、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触圧力を所定の圧力に保持できる。
また、以上説明した本発明の第７の実施形態にあっては、第１の位置調整手段６０によって円筒状フォトマスク１０の回転軸と粘着ロール１６の回転軸との距離を調整し、第３の位置調整手段８０によって感光層１０４の表面と円筒状フォトマスク１０の回転軸との距離を調整しているため、円筒状フォトマスク１０と粘着ロール１６との接触圧力、および感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触圧力をそれぞれ独立して調整できる。
【００８４】
〔第８の実施形態〕
＜露光装置＞
図９は、本発明の第８の実施形態に係る露光装置を示す概略図である。
露光装置８は、基材１０２の表面に感光層１０４が形成されたワーク１００の感光層１０４を、感光層１０４に接触する円筒状フォトマスク１０を介して露光し、円筒状フォトマスク１０のパターンに対応する潜像パターンを感光層１０４に形成するものである。
露光装置８においては、枚葉のワーク１００の、円筒状フォトマスク１０と最初に接触する側の前方に、枚葉の第１のダミー基材１０６を隣接して配置し、枚葉のワーク１００の、円筒状フォトマスク１０と最後に接触する側の後方に、枚葉の第２のダミー基材１０８を隣接して配置する。
【００８５】
露光装置８は、ステージ２０（移動手段）へのワーク１００の載置およびステージ２０（移動手段）からのワーク１００の取り外しを行う作業室９０と；ワーク１００の感光層１０４を円筒状フォトマスク１０を介して露光する露光室９２と；作業室９０と露光室９２とを仕切る仕切り板９４と；露光室９２の給気口に取り付けられたクリーンエア供給装置９６と；作業室９０へのワーク１００の搬入および作業室９０からのワークの搬出を行う作業扉９８と；円筒状フォトマスク１０およびワーク用粘着ロール２６の軸方向に直交する方向に、かつ作業室９０と露光室９２との間で枚葉のワーク１００を移動させるステージ２０（移動手段）とを備える。
【００８６】
露光装置８の露光室９２には、中心軸を回転軸として回転自在とされた円筒状フォトマスク１０と；円筒状フォトマスク１０の中心軸が水平方向となるように円筒状フォトマスク１０の回転軸を回転自在に支持する第１の支持手段（図示略）と；円筒状フォトマスク１０の内部に配置された放射線照射手段（図示略）と；放射線照射手段を覆うように円筒状フォトマスク１０の内部に配置され、感光層１０４と円筒状フォトマスク１０との接触部に向かって放射線が出射されるようにスリットが形成された遮光部材（図示略）と；円筒状フォトマスク１０の表面に接触するように配置され、中心軸を回転軸として回転自在とされた粘着ロール１６と；粘着ロール１６の中心軸が円筒状フォトマスク１０の中心軸と平行となるように粘着ロール１６の回転軸を回転自在に支持する第２の支持手段（図示略）と；粘着ロール１６の表面に接触するように配置され、中心軸を回転軸として回転自在とされた強粘着ロール１８と；強粘着ロール１８の中心軸が粘着ロール１６の中心軸と平行となるように強粘着ロール１８の回転軸を回転自在に支持する第３の支持手段（図示略）と；円筒状フォトマスク１０が接触するよりも前に感光層１０４の表面に接触できる位置に、かつ円筒状フォトマスク１０との距離がワーク１００の長さおよび第１のダミー基材１０６長さよりも短い距離となるように配置され、中心軸を回転軸として回転自在とされたワーク用粘着ロール２６と；ワーク用粘着ロール２６の中心軸が水平方向となるようにワーク用粘着ロール２６の回転軸を回転自在に支持する第４の支持手段（図示略）と；ワーク用粘着ロール２６の表面に接触するように配置され、中心軸を回転軸として回転自在とされたワーク用強粘着ロール２８と；ワーク用強粘着ロール２８の中心軸がワーク用粘着ロール２６の中心軸と平行となるようにワーク用強粘着ロール２８の回転軸を回転自在に支持する第５の支持手段（図示略）と；円筒状フォトマスク１０、粘着ロール１６および強粘着ロール１８を昇降させる第１の昇降手段（図示略）と；ワーク用粘着ロール２６およびワーク用強粘着ロール２８を昇降させる第２の昇降手段（図示略）と；第１の昇降手段および第２の昇降手段を制御する制御手段（図示略）とを備える。
以下、第１の実施形態に係る露光装置と同じ構成のものについては、図示されている場合には同じ符号を付す。また、第１の実施形態に係る露光装置と同じ構成のものについては、詳しい説明を省略する。
【００８７】
（作業室、露光室）
露光装置８は、仕切り板９４によって作業室９０と露光室９２とに分けられている。仕切り板９４を設けることによって、ステージ２０へのワーク１００の載置およびステージ２０からのワーク１００の取り外しを行う際に、円筒状フォトマスク１０に異物が付着することを防止する。
露光室９２の給気口にクリーンエア供給装置９６（ヘパフィルター空気清浄機等）を取り付けることによって、露光室９２のクリーンブース化を行う。また、露光室９２を陽圧にすることによって、作業室９０から露光室９２に異物を含むエアが流れ込みにくくする。
【００８８】
（ワーク用粘着ロール、ワーク用強粘着ロール）
ワーク用粘着ロール２６としては、粘着ロール１６と同様のものを用いればよい。
ワーク用強粘着ロール２８としては、強粘着ロール１８と同様のものを用いればよい。
【００８９】
（制御手段）
制御手段は、第１の昇降手段および第２の昇降手段を制御するものであり、各昇降手段に下記の動作を行わせるものである。
（Ｉ）ワーク１００、第１のダミー基材１０６および第２のダミー基材１０８が円筒状フォトマスク１０の下方に存在しないときには、円筒状フォトマスク１０、粘着ロール１６および強粘着ロール１８、ならびにワーク用粘着ロール２６およびワーク用強粘着ロール２８を上昇させて、円筒状フォトマスク１０およびワーク用粘着ロール２６を感光層１０４の表面よりも高い位置に退避させる。
（ＩＩ）第１のダミー基材１０６が円筒状フォトマスク１０の下方に存在するときに、円筒状フォトマスク１０、粘着ロール１６および強粘着ロール１８、ならびにワーク用粘着ロール２６およびワーク用強粘着ロール２８を下降させて、円筒状フォトマスク１０およびワーク用粘着ロール２６を第１のダミー基材１０６の表面に接触させる。
（ＩＩＩ）円筒状フォトマスク１０およびワーク用粘着ロール２６を第１のダミー基材１０６の表面に接触させた後、引き続きワーク１００の感光層１０４と円筒状フォトマスク１０およびワーク用粘着ロール２６とを接触させる。
（ＩＶ）第２のダミー基材１０８が円筒状フォトマスク１０の下方に存在するときに、円筒状フォトマスク１０、粘着ロール１６および強粘着ロール１８、ならびにワーク用粘着ロール２６およびワーク用強粘着ロール２８を上昇させて、円筒状フォトマスク１０およびワーク用粘着ロール２６を第２のダミー基材１０８の表面から離間させる。
【００９０】
制御手段は、処理部（図示略）とインターフェイス部（図示略）と記憶部（図示略）とを備える。
インターフェイス部は、第１の昇降手段、第２の昇降手段、ステージ２０等と、処理部との間を電気的に接続するものである。
処理部は、記憶部に記憶された設定（ワーク１００の大きさ、厚さ、設置位置、各ダミー基材の大きさ等）、ステージ２０の位置等に基づいて各昇降手段を制御するものである。
【００９１】
なお、該処理部は専用のハードウエアにより実現されるものであってもよく、また、該処理部はメモリおよび中央演算装置（ＣＰＵ）によって構成され、処理部の機能を実現するためのプログラムをメモリにロードして実行することによりその機能を実現させるものであってもよい。
また、制御手段には、周辺機器として、入力装置、表示装置等が接続されるものとする。ここで、入力装置とは、ディスプレイタッチパネル、スイッチパネル、キーボード等の入力デバイスのことをいい、表示装置とは、ＣＲＴ、液晶表示装置等のことをいう。
【００９２】
＜露光方法＞
本発明の第８の実施形態に係る露光装置８を用いた露光方法は、基材１０２の表面に感光層１０４が形成されたワーク１００の感光層１０４を、感光層１０４に接触する円筒状フォトマスク１０を介して露光し、円筒状フォトマスク１０のパターンに対応する潜像パターンを感光層１０４に形成する方法である。
露光装置８を用いた露光方法においては、枚葉のワーク１００の、円筒状フォトマスク１０と最初に接触する側の前方に、枚葉の第１のダミー基材１０６を隣接して配置し、枚葉のワーク１００の、円筒状フォトマスク１０と最後に接触する側の後方に、枚葉の第２のダミー基材１０８を隣接して配置する。
以下、第１の実施形態に係る露光方法と同じ動作については、詳しい説明を省略する。
【００９３】
（ダミー基材）
第１のダミー基材１０６および第２のダミー基材１０８の厚さは、ワーク１００の厚さと同じである。
第１のダミー基材１０６および第２のダミー基材１０８の材質は、基材１０２と同じものが好ましい。
【００９４】
（クリーニング、露光）
円筒状フォトマスク１０およびワーク用粘着ロール２６の軸方向に直交する方向に、かつ作業室９０から露光室９２に向かって、ワーク１００、第１のダミー基材１０６および第２のダミー基材１０８を載置したステージ２０を移動させる。
（Ｉ）図９に示すように、ワーク１００、第１のダミー基材１０６および第２のダミー基材１０８が円筒状フォトマスク１０の下方に存在しないときには、円筒状フォトマスク１０、粘着ロール１６および強粘着ロール１８、ならびにワーク用粘着ロール２６およびワーク用強粘着ロール２８を上昇させて、円筒状フォトマスク１０およびワーク用粘着ロール２６を感光層１０４の表面よりも高い位置に退避させる。
【００９５】
（ＩＩ）図１０に示すように、第１のダミー基材１０６の先頭が円筒状フォトマスク１０の下方に到達したときに、円筒状フォトマスク１０、粘着ロール１６および強粘着ロール１８、ならびにワーク用粘着ロール２６およびワーク用強粘着ロール２８を下降させて、円筒状フォトマスク１０およびワーク用粘着ロール２６を第１のダミー基材１０６の表面に接触させる。
ワーク１００を移動させながら、第１のダミー基材１０６の表面とワーク用粘着ロール２６とを接触させることによって、第１のダミー基材１０６の表面でワーク用粘着ロール１６を回転させてワーク用粘着ロール１６で第１のダミー基材１０６の表面をクリーニングする。
【００９６】
（ＩＩＩ）引き続き、ワーク１００を移動させながら、感光層１０４の表面とワーク用粘着ロール２６とを接触させることによって、感光層１０４の表面でワーク用粘着ロール１６を回転させてワーク用粘着ロール１６で感光層１０４の表面をクリーニングする。
また、ワーク１００を移動させながら、表面がクリーニングされた感光層１０４と円筒状フォトマスク１０とを接触させることによって、感光層１０４の表面で円筒状フォトマスク１０を回転させると同時に、円筒状フォトマスク１０の内部に配置された放射線照射手段から感光層１０４に放射線を照射する。
このようにして、表面がクリーニングされた感光層１０４が円筒状フォトマスク１０を介して露光され、円筒状フォトマスク１０のパターンに対応する潜像パターンが感光層１０４に形成される。
【００９７】
少なくとも感光層１０４と円筒状フォトマスク１０とを接触させている間は、粘着ロール１６を円筒状フォトマスク１０の表面に接触させることによって、円筒状フォトマスク１０の回転に追随して回転させ、円筒状フォトマスク１０の表面をクリーニングする。
この際、強粘着ロール１８を粘着ロール１６の表面に接触させることによって、粘着ロール１６の回転に追随して回転させ、粘着ロール１６の表面をさらにクリーニングする。
【００９８】
（ＩＶ）図１１に示すように、第２のダミー基材１０８の先頭が円筒状フォトマスク１０の下方に到達したときに、円筒状フォトマスク１０、粘着ロール１６および強粘着ロール１８、ならびにワーク用粘着ロール２６およびワーク用強粘着ロール２８を上昇させて、円筒状フォトマスク１０およびワーク用粘着ロール２６を第２のダミー基材１０８の表面から離間させる。
その後、円筒状フォトマスク１０およびワーク用粘着ロール２６の軸方向に直交する方向に、かつ露光室９２から作業室９０に向かってワーク１００を載置したステージ２０を移動させる。この際、円筒状フォトマスク１０およびワーク用粘着ロール２６を感光層１０４の表面よりも高い位置に退避させたままとする。
【００９９】
＜作用機序＞
以上説明した本発明の第８の実施形態にあっては、第１の実施形態と同じ構成を有し、第１の実施形態と同じ動作をする場合には、第１の実施形態と同じ作用機序を発揮する。
また、以上説明した本発明の第８の実施形態にあっては、ワーク１００を移動させながら、感光層１０４とワーク用粘着ロール２６とを接触させることによって、感光層１０４の表面でワーク用粘着ロール２６を回転させてワーク用粘着ロール２６で感光層１０４の表面をクリーニングしているため、円筒状フォトマスク１０の表面への異物の付着を抑えることができる。そのため、感光層１０４に形成される潜像パターンに、円筒状フォトマスク１０の表面に付着した異物に由来する欠陥がさらに生じにくい。
【０１００】
また、以上説明した本発明の第８の実施形態にあっては、ワーク用粘着ロール２６の表面に接触して回転するワーク用強粘着ロール２８によって、ワーク用粘着ロール２６の表面をクリーニングしているため、ワーク用粘着ロール２６による感光層１０４のクリーニングを長時間実施できる。そのため、露光装置８の長時間の運転が可能となり、製品の生産性が向上する。
【０１０１】
また、以上説明した本発明の第８の実施形態にあっては、枚葉のワーク１００が円筒状フォトマスク１０の下方に存在しないときには、円筒状フォトマスク１０を感光層１０４の表面よりも高い位置に退避させ、枚葉のワーク１００が円筒状フォトマスク１０の下方に存在するときには、円筒状フォトマスク１０を感光層１０４の表面に接触させているため、枚葉のワーク１００の先頭が円筒状フォトマスク１０に側方から衝突することがない。そのため、円筒状フォトマスク１０の表面がワーク１００の衝突によって破損することがない。
【０１０２】
また、以上説明した本発明の第８の実施形態にあっては、枚葉のワーク１００がワーク用粘着ロール２６の下方に存在しないときには、ワーク用粘着ロール２６を感光層１０４の表面よりも高い位置に退避させ、枚葉のワーク１００がワーク用粘着ロール２６の下方に存在するときには、ワーク用粘着ロール２６を感光層１０４の表面に接触させているため、枚葉のワーク１００の先頭がワーク用粘着ロール２６に側方から衝突することがない。そのため、ワーク用粘着ロール２６の表面がワーク１００の衝突によって破損することがない。
【０１０３】
また、以上説明した本発明の第８の実施形態にあっては、枚葉のワーク１００の、円筒状フォトマスク１０と最初に接触する側の前方に、枚葉の第１のダミー基材１０６を隣接して配置し、枚葉のワーク１００の、円筒状フォトマスク１０と最後に接触する側の後方に、枚葉の第２のダミー基材１０８を隣接して配置しているため、ワーク１００の先頭および最後尾にワーク用粘着ロール２６が確実に接触できる。そのため、感光層１０４の全面を確実にクリーニングできる。また、円筒状フォトマスク１０を下降させた際、円筒状フォトマスク１０が第１のダミー基材１０６の表面に上方から衝突することになる。そのため、円筒状フォトマスク１０が感光層１０４の表面に上方から衝突することがなく、感光層１０４の変形を防止できる。また、ワーク１００を停止して円筒状フォトマスク１０およびワーク用粘着ロール２６を昇降させる必要がないため、感光層１０４の表面全体を均一にクリーニング、露光処理できる。
【０１０４】
また、以上説明した本発明の第８の実施形態にあっては、円筒状フォトマスク１０およびワーク用粘着ロール２６を同時に昇降させているため、第１の昇降手段および第２の昇降手段を１つの昇降手段にまとめることができる。そのため、露光装置８の構成を簡略化できる。
【０１０５】
また、以上説明した本発明の第８の実施形態にあっては、第１の粘着ロール１６と円筒状フォトマスク１０との距離がワーク１００の長さよりも短い距離とされているため、感光層１０４クリーニングと露光とを短い移動距離で連続して行うことができ、露光処理の時間を短縮できる。
【０１０６】
なお、本発明の第８の実施形態においては、第１のダミー基材１０６の一部は、ワーク用粘着ロール２６によってクリーニングされずに円筒状フォトマスク１０に接触することになる。よって、ワーク１００の設置や取り外し時に、第１のダミー基材１０６のクリーニングされない部分を囲ってクリーン度を局所的に上げ、オペレータが近づいた場合においても第１のダミー基材１０６に異物が付着しないようにしたり、円筒状フォトマスク１０よりも粘着性の高い表面を有する第１のダミー基材１０６を用いたりして、第１のダミー基材１０６から円筒状フォトマスク１０への異物の転移を抑えることが好ましい。
【０１０７】
〔他の実施形態〕
本発明の露光方法および露光装置は、円筒状フォトマスクの表面に接触し、円筒状フォトマスクの回転に追随して回転する粘着ロールによって、円筒状フォトマスクの表面をクリーニングする露光方法および露光装置であればよく、第１〜８の実施形態に限定されない。
たとえば、第１〜８の実施形態のうち、２つ以上の実施形態を組み合わせてもよい。
また、強粘着ロール、除電手段、圧力調整手段、位置調整手段、各昇降手段は、必ずしも設けなくてもよい。
また、移動手段は、図示例のような移動可能なステージに限定されない。移動手段は、ワークを移動させない場合は、円筒状フォトマスクを移動させる移動手段であってもよい。また、ワークがロールｔｏロールのウエブ状のフィルムの場合は、巻取ロールを回転駆動させるモータ等の回転駆動源であってもよい。また、ワークが枚葉の場合は、ベルトコンベアであってもよい。
【実施例】
【０１０８】
以下に、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの例によって限定されない。
例１は実施例であり、例２は比較例である。
【０１０９】
（例１）
図１に示す露光装置１を用意した。
円筒状フォトマスク１０、粘着ロール１６、強粘着ロール１８、除電手段２２を除く装置本体としては、ＳＵＳＳ社製、ＲＭＬ−２を用意した。
円筒状フォトマスク１０としては、フィルム状の位相シフトマスク（材質：ポリジメチルシロキサン）を円筒状基体（材質：合成石英、長さ：３０ｃｍ、外径：１６ｃｍ、内径１３ｃｍ、重さ：３ｋｇ）の表面に貼り付けたものを用意した。
粘着ロール１６および強粘着ロール１８としては、市販の粘着ロール（ＴＥＫＮＥＫ社製、ＳＬ３００、粘着力：４０ｈＰａ）を用意した。
除電手段２２としては、エアノズル付きのコロナ除電装置（Ｋｅｙｅｎｃｅ社製、超高速シースセンシングイオナイザＳＪ−Ｈ０３６、コロナ放電方式、パルスＡＣ：７０００Ｖ、エア供給：０．４ＭＰａ）を用意した。
ワーク１００としては、基材（材質：ソーダライムガラス、縦：３０ｃｍ、横：３０ｃｍ、厚さ：２ｍｍ）の表面に、フォトレジスト（ＡＺエレクトロニクス社製、ＡＺ７９０４）を塗布し、乾燥させて感光層１０４（厚さ：４５０ｎｍ）を形成されたものを用意した。
【０１１０】
ステージ２０上にワーク１００を載置し、移動速度：９ｃｍ／分で移動させながら、感光層１０４の表面に接触する円筒状フォトマスク１０を介して感光層１０４に紫外線を照射し、露光処理を行った。その後、現像処理を行い、基材の表面にレジストパターンを形成した。
５０枚のワーク１００について露光処理および現像処理を行い、レジストパターンにおける欠陥の有無を確認したところ、すべてのワーク１００において欠陥は見られなかった。
【０１１１】
（例２）
粘着ロール１６、強粘着ロール１８および除電手段２２を設けない以外は、例１と同様にして、５０枚のワーク１００について露光処理および現像処理を行った。レジストパターンにおける欠陥の有無を確認したところ、３５枚のワーク１００において欠陥が見られた。
【産業上の利用可能性】
【０１１２】
本発明の露光方法および露光装置は、基材の表面に感光層が形成されたワークの感光層を、感光層に接触するフォトマスクを介して露光し、フォトマスクのパターンに対応する潜像パターンを感光層に形成する露光方法および露光装置として有用である。
【符号の説明】
【０１１３】
１〜８  露光装置
１０  円筒状フォトマスク
１２  放射線照射手段
１４  遮光部材
１４ａ  スリット
１６  粘着ロール
１８  強粘着ロール
２０  ステージ
２２  除電手段
２４  装置本体
２６  ワーク用粘着ロール
２８  ワーク用強粘着ロール
３０  第１の圧力調整手段
３２  圧力調整部
３４、３６  アーム部
４０  第２の圧力調整手段
４２  圧力調整部
４４、４６  アーム部
５０  第３の圧力調整手段
５２  圧力調整部
５４、５６  アーム部
６０  第１の位置調整手段
６２  位置調整部
６４、６６  アーム部
７０  第２の位置調整手段
７２  位置調整部
７４、７６  アーム部
８０  第３の位置調整手段
８２  位置調整部
８４、８６  アーム部
９０  作業室
９２  露光室
９４  仕切り板
９６  クリーンエア供給装置
９８  作業扉
１００  ワーク
１０２  基材
１０４  感光層
１０６  第１のダミー基材
１０８  第２のダミー基材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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