(57)【要約】      （修正有）【課題】高精細な蒸着パターンを形成することができる方法を提供する。【解決手段】蒸着作製するパターンに対応する複数の開口部が設けられた蒸着マスクを用いて、蒸着対象物に蒸着パターンを形成する蒸着パターンの形成方法において、蒸着対象物２００の一方の面側に蒸着マスク１００を配置し、蒸着対象物２００の他方の面側に押し込み部材１３０、及び磁性板１５０をこの順で重ねて配置し、磁性板１５０の磁性を利用して、蒸着対象物２００と蒸着マスク１００を密着させる密着工程と、密着工程後、蒸着源から放出された蒸着材を、開口部２５を通して蒸着対象物２００に付着させ、蒸着対象物２００に蒸着パターンを形成する蒸着パターン形成工程を含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸着作製するパターンに対応する複数の開口部が設けられた蒸着マスクを用いて、蒸着対象物に前記パターンを形成する蒸着パターンの形成方法であって、
前記蒸着マスクは金属を含んでおり、
前記蒸着対象物の一方の面側に前記蒸着マスクを配置し、前記蒸着対象物の他方の面側に押し込み部材、及び磁性板をこの順で重ねて配置し、前記磁性板の磁性を利用して、前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させる密着工程と、
前記密着工程後、蒸着源から放出された蒸着材を、前記開口部を通して前記蒸着対象物に付着させ、前記蒸着対象物に蒸着パターンを形成する蒸着パターン形成工程と、
を含むことを特徴とする蒸着パターンの形成方法。
【請求項２】
蒸着作製するパターンに対応する複数の開口部が設けられた蒸着マスクを用いて、蒸着対象物に前記パターンを形成する蒸着パターンの形成方法であって、
前記蒸着対象物の一方の面側に前記蒸着マスクを配置し、前記蒸着対象物の他方の面側に押しこみ部材を配置し、前記蒸着対象物の他方の面側に配置された前記押し込み部材を前記蒸着マスク側に押し込んで前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させる密着工程と、
前記密着工程後、蒸着源から放出された蒸着材を、前記開口部を通して前記蒸着対象物に付着させ、前記蒸着対象物に蒸着パターンを形成する蒸着パターン形成工程と、
を含むことを特徴とする蒸着パターンの形成方法。
【請求項３】
前記密着工程が、前記蒸着対象物の一方の面側に前記蒸着マスクを配置し、前記蒸着対象物の他方の面側に押しこみ部材を配置し、前記押し込み部材の自重により、前記蒸着対象物を前記蒸着マスク側に押し込んで前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させる工程であることを特徴とする請求項２に記載の蒸着パターンの形成方法。
【請求項４】
前記密着工程で用いられる押し込み部材が、その外周から内側に向かって連続的に、又は非連続的に厚みが変化していく押し込み部材であることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の蒸着パターンの形成方法。
【請求項５】
前記密着工程で用いられる押し込み部材が、その外周から内側に向かって連続的に、又は非連続的に厚みが厚くなっていく押し込み部材であることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の蒸着パターンの形成方法。
【請求項６】
前記密着工程では、前記蒸着対象物の他方の面側に、厚みの異なる複数の前記押し込み部材を配置し、前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させることを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の蒸着パターンの形成方法。
【請求項７】
前記密着工程において、前記蒸着対象物の他方の面側に、厚みの異なる複数の前記押し込み部材を配置する場合において、
前記蒸着対象物の外周から内側に向かうにつれて厚みが厚い押し込み部材を配置し、前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させることを特徴とする請求項６に記載の蒸着パターンの形成方法。
【請求項８】
前記密着工程では、前記押し込み部材の前記蒸着対象物と接しない側の面に、前記押し込み部材の表面を覆うように押さえ板を配置し、前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させることを特徴とする請求項１乃至７の何れか１項に記載の蒸着パターンの形成方法。
【請求項９】
前記密着工程では、前記蒸着対象物の他方の面側に、前記押しこみ部材と前記押さえ板が一体をなしている押さえ板一体型の押し込み部材を配置し、前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させることを特徴とする請求項８に記載の蒸着パターンの形成方法。
【請求項１０】
前記蒸着パターンの形成に用いられる前記蒸着マスクが、
スリットが設けられた金属マスクと当該スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する複数の開口部が設けられた樹脂マスクとが積層されてなる蒸着マスクであることを特徴とする請求項１乃至９の何れか１項に記載の蒸着パターンの形成方法。
【請求項１１】
前記蒸着パターンの形成に用いられる前記蒸着マスクが、
複数のスリットが設けられた金属マスクと複数画面を構成するために必要な開口部が設けられた樹脂マスクとが積層され、各前記スリットが少なくとも１画面全体と重なる位置に設けられている蒸着マスクであることを特徴とする請求項１０に記載の蒸着パターンの形成方法。
【請求項１２】
前記密着工程では、前記蒸着対象物の他方の面側であって、前記スリットと厚み方向で重なる領域の少なくとも一部分に前記押し込み部材を配置し、前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させることを特徴とする請求項１０又は１１に記載の蒸着パターンの形成方法。
【請求項１３】
前記蒸着パターンの形成に用いられる前記蒸着マスクが、
金属フレームに蒸着マスクが固定されてなる金属フレーム付き蒸着マスクであることを特徴とする請求項１乃至１２の何れか１項に記載の蒸着パターンの形成方法。
【請求項１４】
有機半導体素子の製造方法であって、
蒸着マスクを用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する蒸着パターン形成工程を含み、
前記蒸着パターン形成工程では、請求項１乃至１３の何れか１項に記載の蒸着パターンの形成方法が用いられることを特徴とする有機半導体素子の製造方法。
【請求項１５】
押さえ板一体型の押し込み部材であって、
前記押さえ板一体型の押し込み部材は、蒸着対象物の一方の面側に金属を含む蒸着マスクを配置し、前記蒸着対象物の他方の面側に磁性板を配置し、磁性板の磁力を利用して前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させるときに、前記蒸着対象物と前記磁性板との間に配置されるものであり、
押さえ板の同一面上に、１つ又は複数の押し込み部材が設けられていることを特徴とする押さえ板一体型の押し込み部材。
【請求項１６】
押さえ板一体型の押し込み部材であって、
前記押さえ板一体型の押し込み部材は、蒸着対象物の一方の面側に蒸着マスクを配置したときに、前記蒸着対象物の他方の面側に配置され、前記蒸着対象物を前記蒸着マスク側に押し込んで前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させるために用いられるものであり、
押さえ板の同一面上に、１つ又は複数の押し込み部材が設けられていることを特徴とする押さえ板一体型の押し込み部材。
【請求項１７】
押さえ板一体型の押し込み部材であって、
前記押さえ板一体型の押し込み部材は、蒸着対象物の一方の面側に蒸着マスクを配置したときに、前記蒸着対象物の他方の面側に配置され、その自重を利用して、前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させるために用いられるものであり、
押さえ板の同一面上に、１つ又は複数の押し込み部材が設けられていることを特徴とする押さえ板一体型の押し込み部材。
【請求項１８】
押さえ板一体型の押し込み部材が、前記押さえ板と押し込み部材とが同種の材料により一体に形成されたものであることを特徴とする請求項１５乃至１７の何れか１項に記載の押さえ板一体型の押し込み部材。
【請求項１９】
金属を含む蒸着マスクを用いて、蒸着対象物に蒸着パターンを形成するための蒸着装置であって、
前記蒸着装置は、
前記蒸着対象物に蒸着パターンを形成する前の段階において、蒸着対象物と蒸着マスクとを密着させるための密着手段を備えており、
前記密着手段が、前記蒸着対象物の一方の面側に前記蒸着マスクを配置し、前記蒸着対象物の他方の面側に押し込み部材、及び磁性板をこの順で重ねて配置し、前記磁性板の磁性を利用して、前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させる手段であることを特徴とする蒸着装置。
【請求項２０】
蒸着マスクを用いて、蒸着対象物に蒸着パターンを形成するための蒸着装置であって、
前記蒸着装置は、
前記蒸着対象物に蒸着パターンを形成する前の段階において、蒸着対象物と蒸着マスクとを密着させるための密着手段を備えており、
前記密着手段が、前記蒸着対象物の一方の面側に前記蒸着マスクを配置し、前記蒸着対象物の他方の面側に押しこみ部材を配置し、前記押し込み部材を前記蒸着マスク側に押し込んで前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させる手段であることを特徴とする蒸着装置。
【請求項２１】
蒸着マスクを用いて、蒸着対象物に蒸着パターンを形成するための蒸着装置であって、
前記蒸着装置は、
前記蒸着対象物に蒸着パターンを形成する前の段階において、蒸着対象物と蒸着マスクとを密着させるための密着手段を備えており、
前記密着手段が、前記蒸着対象物の一方の面側に前記蒸着マスクを配置し、前記蒸着対象物の他方の面側に押しこみ部材を配置し、前記押し込み部材の自重により、前記蒸着対象物を前記蒸着マスク側に押し込んで前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させる手段であることを特徴とする蒸着装置。
【請求項２２】
前記押し込み部材が、その外周から内側に向かって連続的に、又は非連続的に厚みが変化していく押し込み部材であることを特徴とする請求項１９乃至２１の何れか１項に記載の蒸着装置。
【請求項２３】
前記押し込み部材が、その外周から内側に向かって連続的に、又は非連続的に厚みが厚くなっていく押し込み部材であることを特徴とする請求項１９乃至２１の何れか１項に記載の蒸着装置。
【請求項２４】
前記押し込み部材が、押さえ板の同一面上に、１つ又は複数の押し込み部材が設けられている押さえ板一体型の押し込み部材であることを特徴とする請求項１９乃至２３の何れか１項に記載の蒸着装置。
【請求項２５】
前記押し込み部材が、押さえ板の同一面上に、厚みが異なる複数の押し込み部材が設けられている押さえ板一体型の押し込み部材であることを特徴とする請求項１９乃至２３の何れか１項に記載の蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示の実施形態は、蒸着パターンの形成方法、押さえ板一体型の押し込み部材、蒸着装置及び有機半導体素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
蒸着マスクを用いた蒸着パターンの形成は、通常、蒸着作製するパターンに対応する開口部が設けられた蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させ、蒸着源から放出された蒸着材を、開口部を通して、蒸着対象物に付着させることにより行われる。
【０００３】
上記蒸着パターンの形成時において、蒸着マスクと蒸着対象物との密着が不十分である場合、つまりは、蒸着マスクと蒸着対象物との間に隙間が生じている場合には、蒸着対象物に形成される蒸着パターンの精度の低下を引き起こすこととなる。これは、蒸着対象物に蒸着パターンを形成する際に、蒸着源から放出され開口部を通過した蒸着材が、上記隙間から回り込み、本来であれば、所定の間隔をあけて形成されるべき各蒸着パターン同士が、隙間から回り込んだ蒸着材によって繋がってしまう、或いは、蒸着パターン寸法太り等の問題を引き起こすことによる。
【０００４】
蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させる方法としては、磁力による密着が一般的に知られている。この方法では、蒸着対象物の一方の面側に蒸着マスクを配置し、蒸着対象物の他方の面側に磁石を配置し、磁力によって磁石と蒸着マスクとを引き付けて、蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させている。
【０００５】
蒸着マスクとして、金属のみからなる蒸着マスクを用いた場合には、蒸着マスク全体を磁石により引き付けることができ、蒸着マスクと蒸着対象物との間に隙間が生ずることを抑制することができる。しかしながら、金属のみからなる蒸着マスクを用いた場合には、大型化に伴いその質量も増大し、取り扱いに支障をきたすこととなる。また、現在の金属加工技術では、金属板に、蒸着作製するパターンに対応する開口部を精度よく形成することは困難であるといった問題もある。
【０００６】
このような状況下、特許文献１には、スリットが設けられた金属マスクと、金属マスクの表面に位置し蒸着作製するパターンに対応した開口部が縦横に複数列配置された樹脂マスクとが積層されてなる蒸着マスクが提案されている。特許文献１に提案がされている蒸着マスクによれば、大型化した場合でも高精細化と軽量化の双方を満たすことができ、また、高精細な蒸着パターンの形成を行うことができるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許第５２８８０７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１に提案がされているように、樹脂マスクに開口部が設けられている蒸着マスクを用いた場合には、樹脂マスクの開口部近傍の領域を磁石によって引き付けることができず、蒸着マスクと蒸着対象物とを磁石によって密着させたときに、開口部近傍の領域においては、蒸着マスクと蒸着対象物との間に隙間が生じてしまい、高精細な蒸着パターンを形成する際の支障となる。
【０００９】
本開示の実施形態はこのような状況に鑑みてなされたものであり、蒸着マスクと蒸着対象物との密着性を十分に満足させることで、高精細な蒸着パターンを形成することができる蒸着パターンの形成方法を提供すること、上記蒸着パターンの形成に用いられる押さえ板一体型の押し込み部材や、蒸着装置を提供すること、及び、蒸着マスクと蒸着対象物との密着性を十分に満足させることで、有機半導体素子を精度よく製造することができる有機半導体素子の製造方法を提供することを主たる課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本開示の一実施形態は、蒸着作製するパターンに対応する複数の開口部が設けられた蒸着マスクを用いて、蒸着対象物に前記パターンを形成する蒸着パターンの形成方法であって、前記蒸着マスクは金属を含んでおり、前記蒸着対象物の一方の面側に前記蒸着マスクを配置し、前記蒸着対象物の他方の面側に押し込み部材、及び磁性板をこの順で重ねて配置し、前記磁性板の磁性を利用して、前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させる密着工程と、前記密着工程後、蒸着源から放出された蒸着材を、前記開口部を通して前記蒸着対象物に付着させ、前記蒸着対象物に蒸着パターンを形成する蒸着パターン形成工程と、を含む。
【００１１】
また、本開示の一実施形態は、蒸着作製するパターンに対応する複数の開口部が設けられた蒸着マスクを用いて、蒸着対象物に前記パターンを形成する蒸着パターンの形成方法であって、前記蒸着対象物の一方の面側に前記蒸着マスクを配置し、前記蒸着対象物の他方の面側に押しこみ部材を配置し、前記蒸着対象物の他方の面側に配置された前記押し込み部材を前記蒸着マスク側に押し込んで前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させる密着工程と、前記密着工程後、蒸着源から放出された蒸着材を、前記開口部を通して前記蒸着対象物に付着させ、前記蒸着対象物に蒸着パターンを形成する蒸着パターン形成工程と、を含む。
【００１２】
また、上記蒸着パターンの形成方法において、前記密着工程が、前記蒸着対象物の一方の面側に前記蒸着マスクを配置し、前記蒸着対象物の他方の面側に押しこみ部材を配置し、前記押し込み部材の自重により、前記蒸着対象物を前記蒸着マスク側に押し込んで前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させる工程であってもよい。また、上記蒸着パターンの形成方法において、前記密着工程で用いられる押し込み部材が、その外周から内側に向かって連続的に、又は非連続的に厚みが変化していく押し込み部材であってもよい。また、前記密着工程で用いられる押し込み部材が、その外周から内側に向かって連続的に、又は非連続的に厚みが厚くなっていく押し込み部材であってもよい。
【００１３】
また、上記蒸着パターンの形成方法において、前記密着工程では、前記蒸着対象物の他方の面側に、厚みの異なる複数の前記押し込み部材を配置し、前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させてもよい。また、前記密着工程において、前記蒸着対象物の他方の面側に、厚みの異なる複数の前記押し込み部材を配置する場合において、前記蒸着対象物の外周から内側に向かうにつれて厚みが厚い押し込み部材を配置し、前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させてもよい。
【００１４】
また、上記蒸着パターンの形成方法において、前記密着工程では、前記押し込み部材の前記蒸着対象物と接しない側の面に、前記押し込み部材の表面を覆うように押さえ板を配置し、前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させてもよい。また、前記密着工程では、前記蒸着対象物の他方の面側に、前記押しこみ部材と前記押さえ板が一体をなしている押さえ板一体型の押し込み部材を配置し、前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させてもよい。
【００１５】
また、上記蒸着パターンの形成方法において、前記蒸着パターンの形成に用いられる前記蒸着マスクが、スリットが設けられた金属マスクと当該スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する複数の開口部が設けられた樹脂マスクとが積層されてなる蒸着マスクであってもよい。
【００１６】
また、上記蒸着パターンの形成方法において、前記蒸着パターンの形成に用いられる前記蒸着マスクが、複数のスリットが設けられた金属マスクと複数画面を構成するために必要な開口部が設けられた樹脂マスクとが積層され、各前記スリットが少なくとも１画面全体と重なる位置に設けられている蒸着マスクであってもよい。
【００１７】
また、上記蒸着パターンの形成方法において、前記密着工程では、前記蒸着対象物の他方の面側であって、前記スリットと厚み方向で重なる領域の少なくとも一部分に前記押し込み部材を配置し、前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させてもよい。
【００１８】
また、上記蒸着パターンの形成方法において、前記蒸着パターンの形成に用いられる前記蒸着マスクが、金属フレームに蒸着マスクが固定されてなる金属フレーム付き蒸着マスクであってもよい。
【００１９】
また、本開示の一実施形態は、有機半導体素子の製造方法であって、蒸着マスクを用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する蒸着パターン形成工程を含み、前記蒸着パターン形成工程では、上記の蒸着パターンの形成方法が用いられる。
【００２０】
また、本開示の一実施形態は、押さえ板一体型の押し込み部材であって、前記押さえ板一体型の押し込み部材は、蒸着対象物の一方の面側に金属を含む蒸着マスクを配置し、前記蒸着対象物の他方の面側に磁性板を配置し、磁性板の磁力を利用して前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させるときに、前記蒸着対象物と前記磁性板との間に配置されるものであり、押さえ板の同一面上に、１つ又は複数の押し込み部材が設けられている。
【００２１】
また、本開示の一実施形態は、押さえ板一体型の押し込み部材であって、前記押さえ板一体型の押し込み部材は、蒸着対象物の一方の面側に蒸着マスクを配置したときに、前記蒸着対象物の他方の面側に配置され、前記蒸着対象物を前記蒸着マスク側に押し込んで前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させるために用いられるものであり、押さえ板の同一面上に、１つ又は複数の押し込み部材が設けられている。
【００２２】
また、本開示の一実施形態は、押さえ板一体型の押し込み部材であって、前記押さえ板一体型の押し込み部材は、蒸着対象物の一方の面側に蒸着マスクを配置したときに、蒸着マスクの他方の面側に配置され、その自重を利用して、前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させるために用いられるものであり、押さえ板の同一面上に、１つ又は複数の押し込み部材が設けられている。
【００２３】
また、上記押さえ板一体型の押し込み部材における押さえ板一体型の押し込み部材が、前記押さえ板と押し込み部材とが同種の材料により一体に形成されたものであってもよい。
【００２４】
また、本開示の一実施形態は、金属を含む蒸着マスクを用いて、蒸着対象物に蒸着パターンを形成するための蒸着装置であって、前記蒸着装置は、前記蒸着対象物に蒸着パターンを形成する前の段階において、蒸着対象物と蒸着マスクとを密着させるための密着手段を備えており、前記密着手段が、前記蒸着対象物の一方の面側に前記蒸着マスクを配置し、前記蒸着対象物の他方の面側に押し込み部材、及び磁性板をこの順で重ねて配置し、前記磁性板の磁性を利用して、前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させる手段である。
【００２５】
また、本開示の一実施形態は、蒸着マスクを用いて、蒸着対象物に蒸着パターンを形成するための蒸着装置であって、前記蒸着装置は、前記蒸着対象物に蒸着パターンを形成する前の段階において、蒸着対象物と蒸着マスクとを密着させるための密着手段を備えており、前記密着手段が、前記蒸着対象物の一方の面側に前記蒸着マスクを配置し、前記蒸着対象物の他方の面側に押しこみ部材を配置し、前記押し込み部材を前記蒸着マスク側に押し込んで前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させる手段である。
【００２６】
また、本開示の一実施形態は、蒸着マスクを用いて、蒸着対象物に蒸着パターンを形成するための蒸着装置であって、前記蒸着装置は、前記蒸着対象物に蒸着パターンを形成する前の段階において、蒸着対象物と蒸着マスクとを密着させるための密着手段を備えており、前記密着手段が、前記蒸着対象物の一方の面側に前記蒸着マスクを配置し、前記蒸着対象物の他方の面側に押しこみ部材を配置し、前記押し込み部材の自重により、前記蒸着対象物を前記蒸着マスク側に押し込んで前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させる手段である。
【００２７】
また、上記蒸着装置における前記押し込み部材が、その外周から内側に向かって連続的に、又は非連続的に厚みが変化していく押し込み部材であってもよい。また、上記蒸着装置において、前記押し込み部材が、その外周から内側に向かって連続的に、又は非連続的に厚みが厚くなっていく押し込み部材であってもよい。
【００２８】
また、上記蒸着装置における前記押し込み部材が、押さえ板の同一面上に、１つ又は複数の押し込み部材が設けられている押さえ板一体型の押し込み部材であってもよい。
【００２９】
また、上記蒸着装置における前記押し込み部材が、押さえ板の同一面上に、厚みが異なる複数の押し込み部材が設けられている押さえ板一体型の押し込み部材であってもよい。
【発明の効果】
【００３０】
本開示の実施形態の蒸着パターンの形成方法、押さえ板一体型の押し込み部材、及び蒸着装置によれば、蒸着マスクと蒸着対象物との密着性を十分に満足させることができ、これにより、高精細な蒸着パターンを形成することができる。また、本開示の実施形態の有機半導体素子の製造方法によれば、有機半導体素子を精度よく製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】（ａ）は、蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させる前の状態を示す概略断面図であり、（ｂ）は、磁性板の磁性を利用して、蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させたときの状態を示す概略断面図である。
【図２】磁性板の磁性を利用して、蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させたときの状態を示す比較の例の概略断面図である。
【図３】蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させる前の状態の一例を示す概略断面図である。
【図４】（ａ）〜（ｃ）は、磁性板を平面視したときの正面図である。
【図５】蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させる前の状態の一例を示す概略断面図である。
【図６】（ａ）、（ｂ）は、蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させる前の状態の一例を示す概略断面図である。
【図７】一実施形態の蒸着パターンの形成に用いられる蒸着マスクの一例を示す図であり、（ａ）は、金属マスク側から平面視したときの正面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ概略断面図である。
【図８】一実施形態の蒸着パターンの形成に用いられる一例の蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの正面図である。
【図９】隙間の大きさをレベル分けした状態を示す図である。
【図１０】（ａ）、（ｂ）は、押さえ板一体型の押し込み部材の一例を示す斜視図である。
【図１１】（ａ）は、蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させる前の状態を示す概略断面図であり、（ｂ）は、蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させたときの状態を示す概略断面図である。
【図１２】スリットによって区画されている領域における隙間の大きさをレベル分けした状態を示す部分拡大図である。
【図１３】押し込み部材の一例を示す斜視図である。
【図１４】実施形態（Ａ）の蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの正面図である。
【図１５】実施形態（Ａ）の蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの正面図である。
【図１６】実施形態（Ａ）の蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの正面図である。
【図１７】（ａ）、（ｂ）はともに実施形態（Ａ）の蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの正面図である。
【図１８】実施形態（Ｂ）の蒸着マスクを金属マスク側から平面視したとき正面図である。
【図１９】実施形態（Ｂ）の蒸着マスクを金属マスク側から平面視したとき正面図である。
【図２０】金属フレーム付き蒸着マスクの一例を示す正面図である。
【図２１】金属フレーム付き蒸着マスクの一例を示す正面図である。
【図２２】（ａ）〜（ｃ）は金属フレームの一例を示す正面図である。
【図２３】押し込み部材の自重を利用して、蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させたときの状態を示す概略断面図である。
【図２４】押さえ板一体型の押し込み部材の自重を利用して、蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させたときの状態を示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本開示の一実施形態の蒸着パターンの形成方法について図面を用いて具体的に説明する。
【００３３】
＜＜蒸着パターンの形成方法＞＞
本開示の一実施形態の蒸着パターンの形成方法（以下、一実施形態の蒸着パターンの形成方法と言う）は、蒸着作製するパターンに対応する複数の開口部が設けられた蒸着マスクを用いて、蒸着対象物に蒸着パターンを形成する方法であって、図１（ａ）、（ｂ）に示すように、蒸着対象物２００の一方の面側（図示する形態では、下面側）に蒸着マスク１００を配置し、蒸着対象物２００の他方の面側（図示する形態では上面側）に磁性板１５０を配置し、磁性板１５０の磁性を利用して、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００とを密着させる密着工程と、密着工程後、蒸着源から放出された蒸着材を、開口部２５を通して蒸着対象物２００に付着させ、蒸着対象物２００に蒸着パターンを形成する蒸着パターン形成工程を含み、密着工程では、蒸着対象物２００と磁性板１５０との間に押し込み部材１３０を配置し、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００とを密着させることを特徴としている。なお、図１（ａ）は、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００とを密着させる前の状態を示す概略断面図であり、図１（ｂ）は、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００とを密着させたときの状態を示す概略断面図である。
【００３４】
＜密着工程＞
密着工程は、図１（ａ）に示すように、蒸着対象物２００の一方の面側に金属を含む蒸着マスク１００を配置し、蒸着対象物２００の他方の面側に磁性板１５０を配置し、磁性板１５０の磁性を利用して、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００とを密着させる工程である。そして、一実施形態の蒸着パターンの形成方法は、密着工程において、蒸着対象物２００と磁性板１５０との間に押し込み部材１３０を配置し、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００とを密着させていることを特徴としている。換言すれば、蒸着対象物の他方の面側に、押し込み部材１３０、及び磁性板１５０をこの順で重ねることにより、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００とを密着させていることを特徴としている。
【００３５】
上記特徴の密着工程を含む一実施形態の蒸着パターンの形成方法によれば、蒸着対象物２００と磁性板１５０との間に、押し込み部材１３０を適宜配置することにより、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００とを隙間なく密着させることができ、高精細な蒸着パターンの形成を行うことが可能となる。
【００３６】
以下、磁性板１５０の磁性を利用して、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００とを密着させたときの蒸着マスク１００と蒸着対象物２００との密着性について、押し込み部材１３０を配置しない場合の例と比較しつつ、一実施形態の蒸着パターンの形成方法の優位性について説明する。なお、一実施形態の蒸着パターンの形成方法の優位性を説明するにあたり、蒸着マスク１００の一例として、スリット１５が設けられた金属マスク１０と当該スリット１５と重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する複数の開口部２５が設けられた樹脂マスク２０とが積層されてなる蒸着マスク１００を挙げて説明する。
【００３７】
密着工程では、蒸着対象物２００の一方の面側に蒸着マスク１００を配置し、蒸着対象物２００の他方の面側に磁性板１５０を配置し、磁性板１５０の磁性を利用して、磁性板１５０と蒸着マスク１００を引き付け、これにより、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００とを密着させている。蒸着マスク１００の領域のうち、磁性板１５０によって引き付けることが可能な領域は、金属材料から構成されている部分と厚み方向において重なる領域、つまりは、金属マスク１０のスリット非形成領域である金属部分（以下、金属マスク１０のスリット非形成領域である金属部分のことを、単に「金属部分」と言う場合がある。）と厚み方向において重なる領域であり、厚み方向において、樹脂材料から構成される樹脂マスク２０と磁性板１５０のみが重なる領域においては、蒸着マスク１００と磁性板１５０とを引き付けることはできない。
【００３８】
図２は、一実施形態の蒸着パターンの形成方法の密着工程の条件を満たさない比較の例であり、蒸着対象物２００と磁性板１５０との間に押し込み部材１３０を配置せずに、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００とを密着させたときの状態を示す概略断面図である。上記のように、スリット１５が設けられた金属マスク１０と当該スリット１５と重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する複数の開口部２５が設けられた樹脂マスク２０とが積層されてなる蒸着マスク１００と磁性板１５０とは、厚み方向において蒸着マスクの金属部分と磁性板１５０とが重なる領域（図２中の符号Ｘで示される領域と厚み方向において重なる領域）において引き付けることができ、厚み方向において、樹脂材料から構成されている樹脂マスク２０とのみ重なる領域は、磁性板１５０によって引き付けることはできない。したがって、磁性板１５０と引き付けることができない領域、つまりは、金属マスク１０のスリット１５と蒸着対象物２００とが厚み方向において重なる部分においては、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００との間に隙間が生じやすくなる。
【００３９】
そこで、一実施形態の蒸着パターンの形成方法では、磁性板１５０によって引き付けることができない蒸着マスク１００の領域と厚み方向で重なる位置において、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００との間に隙間が生ずることを抑制すべく、密着工程において、蒸着対象物２００と磁性板１５０との間に、押し込み部材１３０を配置し、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００とを密着させている点を特徴としている。
【００４０】
上記特徴を有する密着工程によれば、図１（ｂ）に示すように、磁性板１５０の磁性を利用して、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００とを密着させたときに、蒸着対象物２００と磁性板１５０との間に配置されている押し込み部材１３０によって、蒸着対象物２００を蒸着マスク１００側に押し込むことができる。蒸着マスク１００側に押し込まれた蒸着対象物２００は、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００との隙間を埋める役割を果たし、これにより、押し込み部材１３０と厚み方向で重なる領域において、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００との間に隙間が生ずることを抑制することができる。つまり、高い密着性をもって、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００とを密着させることができる。なお、図１（ｂ）は、押し込み部材１３０によって蒸着対象物２００を押し込んだ状態を示す模式的断面図である。図１に示す形態では、押し込み部材１３０によって押し込まれている部分の蒸着対象物２００の厚み方向断面形状は台形状となっているが、蒸着対象物２００や押し込み部材１３０の材料、押し込み部材１３０の形状により、押し込み部材１３０の形状通りに蒸着対象物２００を押し込むこともできる（後述の図１１参照）。また、押し込み部材１３０によって押し込まれている部分の蒸着対象物２００の厚み方向断面形状が円弧状となるように蒸着対象物２００を押し込むこともできる（図示しない）。
【００４１】
上記では、蒸着マスク１００として、スリット１５が設けられた金属マスク１０と当該スリット１５と重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する複数の開口部２５が設けられた樹脂マスク２０とが積層されてなる蒸着マスク１００を一例として挙げて説明を行っているが、一実施形態の蒸着パターンの形成方法に用いられる蒸着マスク１００の形態、及び蒸着マスク１００の構成部材についていかなる限定もされることはない。例えば、一実施形態の蒸着パターンの形成方法では、蒸着マスク１００として、金属材料のみから構成される蒸着マスクを用いることもできる。金属材料のみから構成される蒸着マスク１００を用いた場合には、蒸着マスク１００の全領域において磁性板１５０と引き付けることができ、樹脂材料を構成部材として含む蒸着マスク１００と比較して、蒸着マスク１００と磁性板１５０とを引き付けたときの、蒸着マスク１００と蒸着対象物との密着性を高くすることができる。しかしながら、金属材料のみからなる蒸着マスク１００においても、金属部分が占める割合や、金属の材料によっては、蒸着マスク１００と磁性板１５０を十分に引き付けることができない場合があり、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００との間に隙間が生ずる場合があるためである。
【００４２】
一実施形態の蒸着パターンの形成方法は、その構成部材に樹脂材料が含まれる蒸着マスク１００を用いる場合に好適である。具体的には、蒸着マスク１００と磁性板１５０とを引き付けたときに、磁性板１５０と引き付けることができない領域を有する蒸着マスク１００、つまりは、樹脂材料のみからなる蒸着マスク１００や、上記のように、樹脂マスク２０と金属マスク１０とが積層されてなる蒸着マスク１００を用いる場合に好適である。なお、樹脂材料のみからなる蒸着マスク１００とする場合には、当該蒸着マスク１００に磁性板１５０と引き付けることができる領域が存在せず、このままの状態で、蒸着マスク１００と磁性板１５０とを引き付けることはできない。この場合には、金属フレームに樹脂材料のみからなる蒸着マスクを固定してなる金属フレーム付き蒸着マスクとすることで、金属フレームの枠体部分と磁性板１５０とを引き付けることができる。金属フレームについては後述する。
【００４３】
押し込み部材１３０の配置位置について特に限定はなく、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００とを密着させたときに、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００との密着性が不十分となる領域と重なる位置に配置すればよい。例えば、上記の蒸着マスク１００においては、蒸着対象物２００と磁性板１５０との間であって、金属マスク１０のスリット１５と重なる位置に配置することが好ましい。
【００４４】
蒸着対象物２００と磁性板１５０との間には、図１（ａ）に示すように、複数の押し込み部材１３０を配置してもよく、図３に示すように、１つの押し込み部材１３０を配置してもよい。
【００４５】
押し込み部材１３０の材料についていかなる限定もされることはなく、金属材料、樹脂材料、セラミックス材料、ガラス材料或いはこれ以外のいかなる材料であってもよい。中でも、樹脂材料は、金属材料と比較して、押し込み部材１３０と接している蒸着対象物を均一に押し込むことができ、且つ十分な押し込み効果を得ることができる点で好ましい。樹脂材料としては、例えば、ポリイミド樹脂等を挙げることができる。
【００４６】
また、押し込み部材１３０の蒸着対象物２００と接する側の形状はＲ形状、換言すれば、接する側の形状が曲率を有する形状となっていてもよい（図示しない）。曲率の向きに制限はなく、押し込み部材１３０の長手方向に曲率を有していてもよく、短手方向に有していてもよい。あるいは、半球状のように曲率を有していてもよい。蒸着対象物２００と接する側の押し込み部材１３０の形状を、曲率を有する形状とすることで、押し込み部材１３０による蒸着対象物の押し込み効果を高めることができる。
【００４７】
また、蒸着対象物の他方の面側を平面視したときの、蒸着マスク１００と厚み方向で重なる蒸着対象物の他方の面側の面積を１００％とすると、押し込み部材１３０と蒸着対象物とが接している部分の合計面積は、１０％以上であることが好ましく、２５％以上であることがより好ましく、８５％以上であることが特に好ましい。押し込み部材と蒸着対象物とが接している部分の面積を１０％以上とすることで、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００との密着性の更なる向上を図ることができる。
【００４８】
なお、複数の押し込み部材１３０を用いる場合において、１つの押し込み部材１３０と、当該１つの押し込み部材１３０と接する蒸着対象物２００とが接している部分の面積は、２００ｍｍ2以上であることが好ましい。１つの押し込み部材１３０と接する蒸着対象物２００とが接している部分の面積を上記好ましい範囲とすることで、１つの押し込み部材１３０と接している蒸着対象物２００の領域に応力が集中的にかかることを抑制することができる。換言すれば、磁性板１５０によって蒸着マスク１００と蒸着対象物２００とを引き付けたときに、１つの押し込み部材１３０と接している蒸着対象物２００の領域にかかる応力を十分に分散することができる。
【００４９】
押し込み部材１３０の厚みについても特に限定はなく、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００との間に生じ得る隙間の大きさを考慮して適宜設定することができる。一例としての押し込み部材１３０の厚みは、０．０１ｍｍ〜２ｍｍ、０．０５ｍｍ〜１ｍｍ、０．１ｍｍ〜０．７ｍｍ程度である。
【００５０】
押し込み部材１３０上、或いは後述する押さえ板１３５上に配置される磁性板１５０は、磁性材料により形成された板片であり、金属材料と引き付けることができる従来公知の材料、例えば、金属マスク１０を備える蒸着マスク１００等を用いる場合には、金属マスク１０の金属部分、また、蒸着マスク１００を金属フレームに固定してなる金属フレーム付き蒸着マスクを用いる場合には、金属フレームの枠部分と引き付けることができる従来公知の材料を適宜選択して用いることができる。磁性板１５０の一例としては、磁石（マグネット）や、合成ゴムに磁性材料を混ぜてなるマグネットシートなどを挙げることができる。
【００５１】
磁性板１５０の配置位置について特に限定はないが、一実施形態の蒸着パターンの形成方法では、押し込み部材１３０の表面の少なくとも一部、或いは後述する押さえ板１３５の表面の少なくとも一部を覆い、且つ蒸着マスクの金属部分と磁性板１５０の有効部分とが厚み方向において重なるように磁性板１５０を配置している。或いは、押し込み部材１３０の表面の少なくとも一部、或いは後述する押さえ板１３５の表面の少なくとも一部を覆い、且つ金属フレーム付き蒸着マスクを構成する金属フレームの枠体部分と磁性板１５０の有効部分とが厚み方向において重なるように磁性板１５０を配置している。後者の場合には、蒸着マスクの金属部分、及び金属フレームの枠体部分と、磁性板１５０の有効部分とが厚み方向において重なるように磁性板１５０を配置することもできる。蒸着マスクの金属部分、或いは金属フレームの枠体部分と、磁性板１５０の有効部分とが厚み方向において重なるように磁性板を配置しているのは、金属部分や金属フレームの枠体部分と、磁性板１５０の有効部分とが厚み方向において重ならない場合には、磁性板の磁力を利用して、蒸着マスク１００と磁性板１５０とを引き付けることができないためである。
【００５２】
上記のように、蒸着対象物２００上に、押さえ板１３５を介して、磁性板１５０を配置したときに、蒸着マスクの金属部分、或いは金属フレームの枠体部分と、磁性板１５０の有効部分とが厚み方向において重なることができる形状となっていれば、磁性板１５０の形状について特に限定はない。例えば、磁性板１５０を平面視したときの形状は、図４（ａ）、（ｂ）に示すように、一部に磁性板の有効部分を残すように貫通孔が設けられた形状、図４（ｃ）に示すように、貫通孔を設けずに、全領域を磁性板の有効部分とする形状等、任意の形状とすることができる。また、図示する形態では、磁性板１５０を平面視したときの外形は、矩形状となっているが、例えば、ひし形等の多角形状であってもよく、円や、楕円等の曲率を有する形状であってもよい。
【００５３】
磁性板１５０の厚みは、磁性板１５０が有する磁力等を考慮して決定すればよく、特に限定はないが、一例としては、１ｍｍ〜３０ｍｍ、好ましくは、１０ｍｍ〜２５ｍｍ程度である。
【００５４】
また、蒸着対象物の他方の面上に複数の押し込み部材１３０を配置する場合には、上記の条件を満たせば、複数の押し込み部材１３０の表面を一括して覆うように１つの大型の磁性板１５０（図１参照）を配置してもよく、図５に示すように押し込み部材１３０毎に磁性板１５０を配置してもよい。
【００５５】
なお、図４（ａ）、（ｂ）に示すように、貫通孔が設けられている磁性板１５０を用いる場合には、磁性板１５０に設けられている貫通孔の位置によっては、磁性板１５０の有効部分と押し込み部材１３０の表面とが厚み方向において重ならず、磁性板１５０と蒸着マスク１００とを引き付けたときに、蒸着対象物２００を蒸着マスク１００側に押し込むことができない場合が生じ得る。例えば、押さえ板の表面の全体が、厚み方向において貫通孔と重なる場合には、磁性板１５０と蒸着マスク１００とを引き付けたときに、蒸着対象物２００を蒸着マスク１００側に押し込むことができない。
【００５６】
したがって、このような場合には、図６（ａ）に示すように、押し込み部材１３０の表面の少なくとも一部、及び磁性板１５０の有効部分と厚み方向において重なるような押さえ板１３５を、押し込み部材１３０と磁性板１５０との間に配置し、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００とを密着させることが好ましい。このような押さえ板１３５を配置することで、磁性板１５０の形状、例えば、磁性板１５０を平面視したときの形状が、図４（ａ）、（ｂ）に示すような形状であっても、押さえ板１３５によって、押し込み部材１３０を蒸着対象物２００側に押し込むことができる。つまりは、磁性板１５０の形状にかかわらず、押し込み部材１３０を蒸着対象物２００側に押し込むことができる。また、磁性板１５０を平面視したときの形状が、図４（ｃ）に示すような形状である場合においても、図６（ｂ）に示すように、押し込み部材１３０と磁性板１５０との間に、押さえ板１３５を配置してもよい。
【００５７】
また、押さえ板１３５に、１つ或いは複数の押し込み部材１３０が固定してなる（図示する形態では、押さえ板１３５に複数の押し込み部材１３０が固定されている）押さえ板一体型の押し込み部材１４０を用いることもできる。例えば、押さえ板１３５に複数の押し込み部材１３０が固定されてなる押さえ板一体型の押し込み部材１４０によれば、一度の作業で、蒸着対象物２００上に複数の押し込み部材１３０を配置することができ、蒸着対象物２００上に複数の押し込み部材１３０を個別に配置していくよりも生産性の向上を図ることができる。また、蒸着対象物２００上に複数の押し込み部材１３０を個別に配置していった場合には、その後、複数の押し込み部材１３０上に、押さえ板１３５、或いは磁性板１５０を配置したときに、それぞれの押し込み部材１３０が、配置した位置からずれやすくなる傾向にある。一方、押さえ板一体型の押し込み部材１４０によれば、各押し込み部材１３０は押さえ板１３５と一体をなしていることから、複数の押し込み部材１３０を個別に配置していくよりも、押し込み部材１３０がずれにくいといった利点を有する。
【００５８】
押し込み部材１３０の厚みにもよるが、押し込み部材１３０と磁性板１５０との間に押さえ板１３５を配置したときに、或いは、蒸着対象物２００と磁性板１５０との間に、押さえ板一体型の押し込み部材１４０を配置したときに、押さえ板１３５は、蒸着対象物２００と直接的に接しにくく、また、押さえ板１３５と蒸着対象物２００とが接している場合であっても、当該押さえ板１３５自体が、蒸着対象物２００を蒸着マスク１００側に押し込む強さは弱い。つまり、押さえ板１３５は、押し込み部材１３０による蒸着対象物の押し込みに直接的に作用するものではなく、或いはその作用の程度は小さい。したがって、押さえ板１３５の材料について特に限定はないが、磁性板１５０の磁力を妨げない材料であることが好ましい。例えば、非磁性体の材料から構成される押さえ板であることが好ましい。非磁性体の材料としては、アルミニウム、カーボン、ガラス等を挙げることができる。
【００５９】
特に、アルミニウム等の熱伝導性の高い材料から構成される押さえ板１３５とした場合には、一実施形態の蒸着パターンの形成方法を用いた蒸着時において、蒸着マスク１００にかかる熱を逃がす、換言すれば蒸着マスクを冷却するクーリングプレートとしての役割を果たし、蒸着時の熱により、蒸着マスク１００が膨張等してしまうことを抑制することができる。
【００６０】
押さえ板１３５の厚みについても特に限定はないが、一例としては、１ｍｍ〜３０ｍｍ程度である。押さえ板１３５に固定される押し込み部材１３０は、上記で説明したものを適宜選択して用いることができ、ここでの詳細な説明は省略する。
【００６１】
以下、一実施形態の蒸着パターンの形成方法に用いられる蒸着マスク１００を例に挙げて、押し込み部材１３０の好ましい形態について説明する。
【００６２】
（一実施形態の蒸着パターンの形成方法に用いられる蒸着マスクの一例）
一実施形態の蒸着パターンの形成方法に用いられる一例としての蒸着マスク（以下、一実施形態の蒸着マスクと言う）は、図７に示すように、スリット１５が形成された金属マスク１０と当該スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する開口部２５が形成された樹脂マスク２０とが積層されてなる構成をとる。
【００６３】
「樹脂マスク」
図７に示すように、樹脂マスク２０には、複数の開口部２５が設けられている。図７（ａ）は、一実施形態のフレーム付き蒸着マスクの製造方法に用いられる蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの正面図であり、図７（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ概略断面図である。
【００６４】
図示する形態では、開口部２５の開口形状は、矩形状を呈しているが、開口形状について特に限定はなく、蒸着作製するパターンに対応する形状であれば、いかなる形状であってもよい。例えば、開口部２５の開口形状は、ひし形、多角形状であってもよく、円や、楕円等の曲率を有する形状であってもよい。なお、矩形や、多角形状の開口形状は、円や楕円等の曲率を有する開口形状と比較して発光面積を大きくとれる点で、好ましい開口部２５の開口形状であるといえる。
【００６５】
樹脂マスク２０の材料について限定はなく、例えば、レーザー加工等によって高精細な開口部２５の形成が可能であり、熱や経時での寸法変化率や吸湿率が小さく、軽量な材料を用いることが好ましい。このような材料としては、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、エチレン酢酸ビニル共重合体樹脂、エチレン−ビニルアルコール共重合体樹脂、エチレン−メタクリル酸共重合体樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、セロファン、アイオノマー樹脂等を挙げることができる。上記に例示した材料の中でも、その熱膨張係数が１６ｐｐｍ／℃以下である樹脂材料が好ましく、吸湿率が１．０％以下である樹脂材料が好ましく、この双方の条件を備える樹脂材料が特に好ましい。この樹脂材料を用いた樹脂マスクとすることで、開口部２５の寸法精度を向上させることができ、かつ熱や経時での寸法変化率や吸湿率を小さくすることができる。
【００６６】
樹脂マスク２０の厚みについて特に限定はないが、シャドウの発生の抑制効果をさらに向上せしめる場合には、樹脂マスク２０の厚みは、２５μｍ以下であることが好ましく、１０μｍ未満であることがより好ましい。下限値の好ましい範囲について特に限定はないが、樹脂マスク２０の厚みが３μｍ未満である場合には、ピンホール等の欠陥が生じやすく、また変形等のリスクが高まる。特に、樹脂マスク２０の厚みを、３μｍ以上１０μｍ未満、より好ましくは４μｍ以上８μｍ以下とすることで、４００ｐｐｉを超える高精細パターンを形成する際のシャドウの影響をより効果的に防止することができる。また、樹脂マスク２０と後述する金属マスク１０とは、直接的に接合されていてもよく、粘着剤層を介して接合されていてもよいが、粘着剤層を介して樹脂マスク２０と金属マスク１０とが接合される場合には、樹脂マスク２０と粘着剤層との合計の厚みが上記好ましい厚みの範囲内であることが好ましい。なお、シャドウとは、蒸着源から放出された蒸着材の一部が、金属マスクのスリットや、樹脂マスクの開口部の内壁面に衝突して蒸着対象物へ到達しないことにより、目的とする蒸着膜厚よりも薄い膜厚となる未蒸着部分が生ずる現象のことをいう。
【００６７】
開口部２５の断面形状についても特に限定はなく、開口部２５を形成する樹脂マスクの向かいあう端面同士が略平行であってもよいが、図７（ｂ）に示すように、開口部２５はその断面形状が、蒸着源に向かって広がりをもつような形状であることが好ましい。換言すれば、金属マスク１０側に向かって広がりをもつテーパー面を有していることが好ましい。テーパー角については、樹脂マスク２０の厚み等を考慮して適宜設定することができるが、樹脂マスクの開口部における下底先端と、同じく樹脂マスクの開口部における上底先端とを結んだ直線と、樹脂マスクの底面とのなす角、換言すれば、樹脂マスク２０の開口部２５を構成する内壁面の厚み方向断面において、開口部２５の内壁面と樹脂マスク２０の金属マスク１０と接しない側の面（図示する形態では、樹脂マスクの下面）とのなす角度は、５°〜８５°の範囲内であることが好ましく、１５°〜７５°の範囲内であることがより好ましく、２５°〜６５°の範囲内であることがさらに好ましい。特には、この範囲内の中でも、使用する蒸着機の蒸着角度よりも小さい角度であることが好ましい。また、図示する形態では、開口部２５を形成する端面は直線形状を呈しているが、これに限定されることはなく、外に凸の湾曲形状となっている、つまり開口部２５の全体の形状がお椀形状となっていてもよい。
【００６８】
「金属マスク」
図７（ｂ）に示すように、樹脂マスク２０の一方の面上には、金属マスク１０が積層されている。金属マスク１０は、金属から構成され、縦方向或いは横方向に延びるスリット１５が配置されている。スリット１５は開口と同義である。スリットの配置例について特に限定はなく、縦方向、及び横方向に延びるスリットが、縦方向、及び横方向に複数列配置されていてもよく、縦方向に延びるスリットが、横方向に複数列配置されていてもよく、横方向に延びるスリットが縦方向に複数列配置されていてもよい。また、縦方向、或いは横方向に１列のみ配置されていてもよい。なお、本願明細書で言う「縦方向」、「横方向」とは、図面の上下方向、左右方向をさし、蒸着マスク、樹脂マスク、金属マスクの長手方向、幅方向のいずれの方向であってもよい。例えば、蒸着マスク、樹脂マスク、金属マスクの長手方向を「縦方向」としてもよく、幅方向を「縦方向」としてもよい。また、本願明細書では、蒸着マスクを平面視したときの形状が矩形状である場合を例に挙げて説明しているが、これ以外の形状、例えば、円形状や、ひし形状等の多角形状としてもよい。この場合、対角線の長手方向や、径方向、或いは、任意の方向を「長手方向」とし、この「長手方向」に直交する方向を、「幅方向（短手方向と言う場合もある）」とすればよい。
【００６９】
金属マスク１０の材料について特に限定はなく、蒸着マスクの分野で従来公知のものを適宜選択して用いることができ、例えば、ステンレス鋼、鉄ニッケル合金、アルミニウム合金などの金属材料を挙げることができる。中でも、鉄ニッケル合金であるインバー材は熱による変形が少ないので好適に用いることができる。
【００７０】
金属マスク１０の厚みについても特に限定はないが、シャドウの発生をより効果的に防止するためには、１００μｍ以下であることが好ましく、５０μｍ以下であることがより好ましく、３５μｍ以下であることが特に好ましい。なお、５μｍより薄くした場合、破断や変形のリスクが高まるとともにハンドリングが困難となる傾向にある。
【００７１】
また、図７（ａ）に示す形態では、スリット１５の開口を平面視したときの形状は、矩形状を呈しているが、開口形状について特に限定はなく、スリット１５の開口形状は、台形状、円形状等いかなる形状であってもよい。
【００７２】
金属マスク１０に形成されるスリット１５の断面形状についても特に限定されることはないが、図７（ｂ）に示すように蒸着源に向かって広がりをもつような形状であることが好ましい。より具体的には、金属マスク１０のスリット１５における下底先端と、同じく金属マスク１０のスリット１５における上底先端とを結んだ直線と、金属マスク１０の底面とのなす角度、換言すれば、金属マスク１０のスリット１５を構成する内壁面の厚み方向断面において、スリット１５の内壁面と金属マスク１０の樹脂マスク２０と接する側の面（図示する形態では、金属マスクの下面）とのなす角度は、５°〜８５°の範囲内であることが好ましく、１５°〜８０°の範囲内であることがより好ましく、２５°〜６５°の範囲内であることがさらに好ましい。特には、この範囲内の中でも、使用する蒸着機の蒸着角度よりも小さい角度であることが好ましい。
【００７３】
樹脂マスク上に金属マスク１０を積層する方法について特に限定はなく、樹脂マスク２０と金属マスク１０とを各種粘着剤を用いて貼り合わせてもよく、自己粘着性を有する樹脂マスクを用いてもよい。樹脂マスク２０と金属マスク１０の大きさは同一であってもよく、異なる大きさであってもよい。なお、この後に任意で行われるフレームへの固定を考慮して、樹脂マスク２０の大きさを金属マスク１０よりも小さくし、金属マスク１０の外周部分が露出された状態としておくと、金属マスク１０とフレームとの固定が容易となり好ましい。
【００７４】
金属マスク１０は、金属板を加工して形成されたものであってもよく、メッキ法等を用いて形成されたものであってもよい。また、これ以外の方法で形成されたものであってもよい。
【００７５】
次に、密着工程において、蒸着対象物２００の一方の面に、図８に示す蒸着マスクを配置し、蒸着対象物２００の他方の面に磁性板１５０を配置し、磁性板１５０の磁性を利用して、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００とを密着させたときに、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００との間に生じ得る隙間の大きさについて、好ましい押し込み部材１３０の形態とともに説明する。
【００７６】
図８に示す蒸着マスクは、金属マスク１０に複数のスリット１５（「１８」のスリット）が設けられており、樹脂マスク２０に設けられている複数の開口部２５は、当該複数のスリット１５によって区画されている。なお、図８は、蒸着マスク１００を金属マスク側から平面視したときの正面図である。
【００７７】
図８に示す蒸着マスクを用いたときに、当該蒸着マスク１００と蒸着対象物２００との間に生じ得る隙間に着目すると、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００との間に生ずる隙間の大きさは、蒸着マスク１００の外周から内側に向かうにつれて、換言すれば、蒸着対象物２００の外周から内側に向かうにつれ大きくなり、特に、蒸着マスク１００を大型化していくに伴いこの傾向は大きくなる。要約すれば、蒸着マスク１００を平面視したときの蒸着マスク中央近傍において隙間が大きくなる傾向にある。これは、蒸着マスク１００の自重によるものと考えられる。図９は、図８に示す蒸着マスクを金属マスク１０側から平面視した状態を示す図であり、各スリット１５と重なる領域毎に、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００との間に生じ得る隙間の大きさを、「Ａ」、「Ｂ」、「Ｃ」でレベル分けしている。なお、隙間の大きさは、「Ａ」、「Ｂ」、「Ｃ」の順で大きくなっている。
【００７８】
蒸着対象物２００と磁性板１５０との間に、押し込み部材１３０を配置するにあたっては、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００との間に生じ得る隙間の大きさを考慮して、適宜厚みの異なる押し込み部材１３０（「好ましい押し込み部材の形態Ａ」）を配置することが好ましい。具体的には、図１０（ａ）に示すように、蒸着対象物２００の外周から内側に向かうにつれて厚みが厚い押し込み部材１３０を配置することが好ましい。より具体的には、上記「Ｃ」に対応する領域に厚みの厚い押し込み部材１３０を配置し、「Ｂ」、「Ａ」と連続的に、或いは非連続的に厚みを薄くした押し込み部材１３０を配置していくことが好ましい。なお、ここで言う押し込み部材１３０の厚みとは、押し込み部材１０の底面から最も遠い位置にある押し込み部材の頂点、或いは頂面までの高さを意味する。図１０（ａ）は、押さえ板一体型の押し込み部材１４０の一例を示す斜視図であり、その外周から内側に向かうにつれて厚みが厚い押し込み部材が位置するように、押さえ板１３５上に、厚みの異なる複数の押し込み部材１３０が固定されている。
【００７９】
なお、上記は厚みを異ならせた複数の押し込み部材１３０を配置するときの一例であり、隙間の大きさ等に併せて、適宜、厚みを異ならせた複数の押し込み部材１３０を配置することができる。例えば、蒸着対象物２００の外周から内側に向かうにつれて厚みが薄い押し込み部材を配置してもよく、厚みが異なる複数の押し込み部材１３０をランダムに配置してもよい。また、図１０（ｂ）に示すように、複数の押し込み部材の厚みを一定とすることもできる。
【００８０】
図１２は、スリットによって区画されている領域の１つについて着目し、区画されている領域と厚み方向で重なる位置において、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００との間に生ずる隙間の大きさを、「Ａ'」、「Ｂ'」、「Ｃ'」でレベル分けをした部分概略図である。なお、隙間の大きさは、「Ａ'」、「Ｂ'」、「Ｃ'」の順で大きくなっている。同図に示すように、スリット１５によって区画されている領域において、蒸着マスク１００と蒸着対象物との間に生ずる隙間の大きさは、金属マスク１０の金属部分に近いほど小さく、金属部分から遠ざかるにつれて隙間は大きくなっていく傾向にある。具体的には、蒸着マスク１００と磁性板１５０とは、金属マスク１０のスリット非形成領域である金属部分において引き付けられていることから、蒸着マスク１００と磁性板１５０とが直接的に引き付けられている金属部分の近傍においては、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００との間に隙間は生じない、或いは隙間は小さく、蒸着マスク１００と磁性板１５０とが直接的に引き付けられている金属部分から遠くなるにつれ、隙間は大きくなっていく傾向にある。
【００８１】
したがって、スリットで区画されている領域毎に、押し込み部材１３０を配置する場合にあっては、当該区画されている領域内における隙間の大きさを考慮して、外周から内側に向かって連続的に、或いは非連続的に厚みが変化していく押し込み部材１３０（「好ましい押し込み部材の形態Ｂ」）を用いることが好ましい。具体的には、図１３に示すように、その外周から内側に向かって連続的に、或いは非連続的に厚みが厚くなっていく押し込み部材１３０を用いることが好ましい。なお、連続的に厚みが変化していく押し込み部材としては、上記で説明した蒸着対象物２００と接する側の形状がＲ形状となっている、換言すれば、接する側の形状が曲率を有する形状となっている押し込み部材を挙げることができる。また、非連続的に厚みが変化していく押し込み部材としては、図１３に示すように、厚みが段階的に変化していく押し込み部材を挙げることができる。
【００８２】
図１１（ａ）は、蒸着マスク１００と磁性板１５０とを引き付ける前の状態を示す概略断面図であり、図１１（ｂ）は、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００とを密着させたときの状態を示す概略断面図である。同図に示す形態では、蒸着対象物２００と磁性板１５０との間に、外周から内側に向かって連続的に、或いは非連続的に厚みが変化していく押し込み部材１３０（図１３に示す形態では非連続的に厚みが変化していく押し込み部材１３０）が配置されている。図１１（ｂ）に示すように、外周から内側に向かって連続的に、或いは非連続的に厚みが変化していく押し込み部材１３０を用いることで、蒸着マスク１００と磁性板１５０とを引き付けたときに、押し込み部材１３０によって押し込まれる蒸着対象物の押し込み量を変化させることができる。具体的には、隙間が大きく生じやすい領域においては、蒸着対象物の押し込み量を多くし、一方で、生じ得る隙間が小さい領域においては、蒸着対象物の押し込み量を小さくする、つまりは、隙間の大きさに対応して押し込み量を変化させていくことで、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００とを十分に密着させることができる。このことは、上記「好ましい押し込み部材の形態Ａ」とした場合についても同様である。
【００８３】
なお、上記好ましい形態の押し込み部材１３０は、スリット１５で区画されている領域内において図１２に示すように、隙間の大きさが変化していく場合に、スリット１５で区画されている領域と重なる位置に配置する場合の一例であり、スリット１５で区画されている領域内における隙間の大きさを考慮して、スリット１５で区画されている領域と重なる位置に、適宜、連続的に、或いは非連続的に厚みが変化していく押し込み部材１３０を配置することができる。例えば、蒸着対象物２００の外周から内側に向かうにつれて連続的に、或いは非連続的に厚みが薄くなる押し込み部材を配置してもよく、厚みがランダムに変化する押し込み部材１３０を配置してもよい。
【００８４】
上記で説明した、「好ましい押し込み部材の形態Ａ」、「好ましい押し込み部材の形態Ｂ」を組合せることもできる。なお、図１０では押さえ板一体型の押し込み部材１４０としているが、押し込み部材１３０の表面の一部と、磁性板１５０とが厚み方向において重なる場合には、押さえ板１３５を用いずに、スリット１５で区画されている領域と厚み方向で重なる位置に、押し込み部材１３０を個別に配置してもよい。
【００８５】
また、図示する形態では、スリット１５で区画されている領域と厚み方向で重なる位置に、それぞれ１つの押し込み部材１３０を配置しているが、スリット１５で区画されている領域と厚み方向で重なる位置に、複数の押し込み部材１３０を配置することもできる（図示しない）。また、上記で説明したように、スリット１５で区画されている領域のうち、金属部分に近い部分において、蒸着マスク１００と蒸着対象物１５０との密着性が十分である場合には、スリット１５で区画されている領域全体と重なる位置に押し込み部材を配置する必要はなく、スリット１５で区画されている領域のうち、隙間が生じ得る箇所と厚み方向で重なる位置に押し込み部材１３０を配置してもよい。一例としては、平面視したときの押し込み部材の辺長が、区画されている領域の各辺長の５０％以上、好ましくは７０％以上となるような押し込み部材１３０を用い、平面視したときに押し込み部材の中心が、スリットで区画されている領域の中心と重なるように配置することが好ましい。
【００８６】
以下、一実施形態の蒸着パターンの形成方法に用いられるより好ましい蒸着マスクの形態について実施形態（Ａ）、及び実施形態（Ｂ）を例に挙げ説明する。
【００８７】
＜実施形態（Ａ）の蒸着マスク＞
図１４に示すように、実施形態（Ａ）の蒸着マスク１００は、複数画面分の蒸着パターンを同時に形成するための蒸着マスクであって、樹脂マスク２０の一方の面上に、複数のスリット１５が設けられた金属マスク１０が積層されてなり、樹脂マスク２０には、複数画面を構成するために必要な開口部２５が設けられ、各スリット１５が、少なくとも１画面全体と重なる位置に設けられていることを特徴とする。
【００８８】
実施形態（Ａ）の蒸着マスク１００は、複数画面分の蒸着パターンを同時に形成するために用いられる蒸着マスクであり、１つの蒸着マスク１００で、複数の製品に対応する蒸着パターンを同時に形成することができる。実施形態（Ａ）の蒸着マスクで言う「開口部」とは、実施形態（Ａ）の蒸着マスク１００を用いて作製しようとするパターンを意味し、例えば、当該蒸着マスクを有機ＥＬディスプレイにおける有機層の形成に用いる場合には、開口部２５の形状は当該有機層の形状となる。また、「１画面」とは、１つの製品に対応する開口部２５の集合体からなり、当該１つの製品が有機ＥＬディスプレイである場合には、１つの有機ＥＬディスプレイを形成するのに必要な有機層の集合体、つまり、有機層となる開口部２５の集合体が「１画面」となる。そして、実施形態（Ａ）の蒸着マスク１００は、複数画面分の蒸着パターンを同時に形成すべく、樹脂マスク２０には、上記「１画面」が、所定の間隔をあけて複数画面分配置されている。すなわち、樹脂マスク２０には、複数画面を構成するために必要な開口部２５が設けられている。
【００８９】
実施形態（Ａ）の蒸着マスクは、樹脂マスクの一方の面上に、複数のスリット１５が設けられた金属マスク１０が設けられ、各スリットは、それぞれ少なくとも１画面全体と重なる位置に設けられている点を特徴とする。換言すれば、１画面を構成するのに必要な開口部２５間において、横方向に隣接する開口部２５間に、スリット１５の縦方向の長さと同じ長さであって、金属マスク１０と同じ厚みを有する金属線部分や、縦方向に隣接する開口部間２５に、スリット１５の横方向の長さと同じ長さであって、金属マスク１０と同じ厚みを有する金属線部分が存在していないことを特徴とする。以下、スリット１５の縦方向の長さと同じ長さであって、金属マスク１０と同じ厚みを有する金属線部分や、スリット１５の横方向の長さと同じ長さであって、金属マスク１０と同じ厚みを有する金属線部分のことを総称して、単に金属線部分と言う場合がある。
【００９０】
実施形態（Ａ）の蒸着マスク１００によれば、１画面を構成するのに必要な開口部２５の大きさや、１画面を構成する開口部２５間のピッチを狭くした場合、例えば、４００ｐｐｉを超える画面の形成を行うべく、開口部２５の大きさや、開口部２５間のピッチを極めて微小とした場合であっても、金属線部分による干渉を防止することができ、高精細な画像の形成が可能となる。なお、１画面が、複数のスリットによって分割されている場合、換言すれば、１画面を構成する開口部２５間に金属マスク１０と同じ厚みを有する金属線部分が存在している場合には、１画面を構成する開口部２５間のピッチが狭くなっていくことにともない、開口部２５間に存在する金属線部分が蒸着対象物へ蒸着パターンを形成する際の支障となり高精細な蒸着パターンの形成が困難となる。換言すれば、１画面を構成する開口部２５間に金属マスク１０と同じ厚みを有する金属線部分が存在している場合には、フレーム付き蒸着マスクとしたときに当該金属線部分が、シャドウの発生を引き起こし高精細な画面の形成が困難となる。
【００９１】
次に、図１４〜図１７を参照して、１画面を構成する開口部２５の一例について説明する。なお、図示する形態において破線で閉じられた領域が１画面となっている。図示する形態では、説明の便宜上少数の開口部２５の集合体を１画面としているが、この形態に限定されるものではなく、例えば、１つの開口部２５を１画素としたときに、１画面に数百万画素の開口部２５が存在していてもよい。
【００９２】
図１４に示す形態では、縦方向、横方向に複数の開口部２５が設けられてなる開口部２５の集合体によって１画面が構成されている。図１５に示す形態では、横方向に複数の開口部２５が設けられてなる開口部２５の集合体によって１画面が構成されている。また、図１６に示す形態では、縦方向に複数の開口部２５が設けられてなる開口部２５の集合体によって１画面が構成されている。そして、図１４〜図１６では、１画面全体と重なる位置にスリット１５が設けられている。
【００９３】
上記で説明したように、スリット１５は、１画面のみと重なる位置に設けられていてもよく、図１７（ａ）、（ｂ）に示すように、２以上の画面全体と重なる位置に設けられていてもよい。図１７（ａ）では、図１４に示す蒸着マスク１００において、横方向に連続する２画面全体と重なる位置にスリット１５が設けられている。図１７（ｂ）では、縦方向に連続する３画面全体と重なる位置にスリット１５が設けられている。
【００９４】
次に、図１４に示す形態を例に挙げて、１画面を構成する開口部２５間のピッチ、画面間のピッチについて説明する。１画面を構成する開口部２５間のピッチや、開口部２５の大きさについて特に限定はなく、蒸着作製するパターンに応じて適宜設定することができる。例えば、４００ｐｐｉの高精細な蒸着パターンの形成を行う場合には、１画面を構成する開口部２５において隣接する開口部２５の横方向のピッチ（Ｐ１）、縦方向のピッチ（Ｐ２）は６０μｍ程度となる。また、開口部の大きさは、５００μｍ2〜１０００μｍ2程度となる。また、１つの開口部２５は、１画素に対応していることに限定されることはなく、例えば、画素配列によっては、複数画素を纏めて１つの開口部２５とすることもできる。
【００９５】
画面間の横方向ピッチ（Ｐ３）、縦方向ピッチ（Ｐ４）についても特に限定はないが、図１４に示すように、１つのスリット１５が、１画面全体と重なる位置に設けられる場合には、各画面間に金属線部分が存在することとなる。したがって、各画面間の縦方向ピッチ（Ｐ４）、横方向のピッチ（Ｐ３）が、１画面内に設けられている開口部２５の縦方向ピッチ（Ｐ２）、横方向ピッチ（Ｐ１）よりも小さい場合、或いは略同等である場合には、各画面間に存在している金属線部分が断線しやすくなる。したがって、この点を考慮すると、画面間のピッチ（Ｐ３、Ｐ４）は、１画面を構成する開口部２５間のピッチ（Ｐ１、Ｐ２）よりも広いことが好ましい。画面間のピッチ（Ｐ３、Ｐ４）の一例としては、１ｍｍ〜１００ｍｍ程度である。なお、画面間のピッチとは、１の画面と、当該１の画面と隣接する他の画面とにおいて、隣接している開口部間のピッチを意味する。このことは、後述する実施形態（Ｂ）の蒸着マスクにおける開口部間の２５のピッチ、画面間のピッチについても同様である。
【００９６】
なお、図１７に示すように、１つのスリット１５が、２つ以上の画面全体と重なる位置に設けられる場合には、１つのスリット１５内に設けられている複数の画面間には、スリットの内壁面を構成する金属線部分が存在しないこととなる。したがって、この場合、１つのスリット１５と重なる位置に設けられている２つ以上の画面間のピッチは、１画面を構成する開口部２５間のピッチと略同等であってもよい。
【００９７】
また、樹脂マスク２０には、樹脂マスク２０の縦方向、或いは横方向にのびる溝（図示しない）が形成されていてもよい。蒸着時に熱が加わった場合、樹脂マスク２０が熱膨張し、これにより開口部２５の寸法や位置に変化が生じる可能性があるが、溝を形成することで樹脂マスクの膨張を吸収することができ、樹脂マスクの各所で生じる熱膨張が累積することにより樹脂マスク２０が全体として所定の方向に膨張して開口部２５の寸法や位置が変化することを防止することができる。溝の形成位置について限定はなく、１画面を構成する開口部２５間や、開口部２５と重なる位置に設けられていてもよいが、画面間に設けられていることが好ましい。また、溝は、樹脂マスクの一方の面、例えば、金属マスクと接する側の面のみに設けられていてもよく、金属マスクと接しない側の面のみに設けられていてもよい。或いは、樹脂マスク２０の両面に設けられていてもよい。
【００９８】
また、隣接する画面間に縦方向に延びる溝としてもよく、隣接する画面間に横方向に延びる溝を形成してもよい。さらには、これらを組み合わせた態様で溝を形成することも可能である。
【００９９】
溝の深さやその幅については特に限定はないが、溝の深さが深すぎる場合や、幅が広すぎる場合には、樹脂マスク２０の剛性が低下する傾向にあることから、この点を考慮して設定することが必要である。また、溝の断面形状についても特に限定されることはなくＵ字形状やＶ字形状など、加工方法などを考慮して任意に選択すればよい。実施形態（Ｂ）の蒸着マスクについても同様である。
【０１００】
上記実施形態（Ａ）の蒸着マスクを用いて、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００とを密着させる場合に用いられる押し込み部材１３０としては、上記で説明した各種の形態の押し込み部材１３０を適宜選択して用いることができるが、上記「好ましい押し込み部材の形態Ａ」、「好ましい押し込み部材の形態Ｂ」となるように、１画面と厚み方向で重なる位置に、押し込み部材１３０を配置することが好ましい。
【０１０１】
＜実施形態（Ｂ）の蒸着マスク＞
次に、実施形態（Ｂ）の蒸着マスクについて説明する。図１８に示すように、実施形態（Ｂ）の蒸着マスクは、蒸着作製するパターンに対応した開口部２５が複数設けられた樹脂マスク２０の一方の面上に、１つのスリット（１つの孔１６）が設けられた金属マスク１０が積層されてなり、当該複数の開口部２５の全てが、金属マスク１０に設けられた１つの孔１６と重なる位置に設けられている点を特徴とする。
【０１０２】
実施形態（Ｂ）の蒸着マスクで言う開口部２５とは、蒸着対象物に蒸着パターンを形成するために必要な開口部を意味し、蒸着対象物に蒸着パターンを形成するために必要ではない開口部は、１つの孔１６と重ならない位置に設けられていてもよい。なお、図１８は、実施形態（Ｂ）の蒸着マスクの一例を示す蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの正面図である。
【０１０３】
実施形態（Ｂ）の蒸着マスク１００は、複数の開口部２５を有する樹脂マスク２０上に、１つの孔１６を有する金属マスク１０が設けられており、かつ、複数の開口部２５の全ては、当該１つの孔１６と重なる位置に設けられている。この構成を有する実施形態（Ｂ）の蒸着マスク１００では、開口部２５間に、金属マスクの厚みと同じ厚み、或いは、金属マスクの厚みより厚い金属線部分が存在していないことから、上記実施形態（Ａ）の蒸着マスクで説明したように、金属線部分による干渉を受けることなく樹脂マスク２０に設けられている開口部２５の寸法通りに高精細な蒸着パターンを形成することが可能となる。
【０１０４】
また、実施形態（Ｂ）の蒸着マスクによれば、金属マスク１０の厚みを厚くしていった場合であっても、シャドウの影響を殆ど受けることがないことから、金属マスク１０の厚みを、耐久性や、ハンドリング性を十分に満足させることができるまで厚くすることができ、高精細な蒸着パターンの形成を可能としつつも、耐久性や、ハンドリング性を向上させることができる。
【０１０５】
実施形態（Ｂ）の蒸着マスクにおける樹脂マスク２０は、樹脂から構成され、図１８に示すように、１つの孔１６と重なる位置に蒸着作製するパターンに対応した開口部２５が複数設けられている。開口部２５は、蒸着作製するパターンに対応しており、蒸着源から放出された蒸着材が開口部２５を通過することで、蒸着対象物には、開口部２５に対応する蒸着パターンが形成される。なお、図示する形態では、開口部が縦横に複数列配置された例を挙げて説明をしているが、縦方向、或いは横方向にのみ配置されていてもよい。
【０１０６】
実施形態（Ｂ）の蒸着マスク１００における「１画面」とは、１つの製品に対応する開口部２５の集合体を意味し、当該１つの製品が有機ＥＬディスプレイである場合には、１つの有機ＥＬディスプレイを形成するのに必要な有機層の集合体、つまり、有機層となる開口部２５の集合体が「１画面」となる。実施形態（Ｂ）の蒸着マスクは、「１画面」のみからなるものであってもよく、当該「１画面」が複数画面分配置されたものであってもよいが、「１画面」が複数画面分配置される場合には、画面単位毎に所定の間隔をあけて開口部２５が設けられていることが好ましい（実施形態（Ａ）の蒸着マスクの図１４参照）。「１画面」の形態について特に限定はなく、例えば、１つの開口部２５を１画素としたときに、数百万個の開口部２５によって１画面を構成することもできる。
【０１０７】
実施形態（Ｂ）の蒸着マスク１００における金属マスク１０は、金属から構成され１つの孔１６を有している。また、当該１つの孔１６は、金属マスク１０の正面からみたときに、全ての開口部２５と重なる位置、換言すれば、樹脂マスク２０に配置された全ての開口部２５がみえる位置に配置されている。
【０１０８】
金属マスク１０を構成する金属部分、すなわち１つの孔１６以外の部分は、図１８に示すように蒸着マスク１００の外縁に沿って設けられていてもよく、図１９に示すように金属マスク１０の大きさを樹脂マスク２０よりも小さくし、樹脂マスク２０の外周部分を露出させてもよい。また、金属マスク１０の大きさを樹脂マスク２０よりも大きくして、金属部分の一部を、樹脂マスクの横方向外方、或いは縦方向外方に突出させてもよい。なお、いずれの場合であっても、１つの孔１６の大きさは、樹脂マスク２０の大きさよりも小さく構成されている。
【０１０９】
図１８に示される金属マスク１０の１つの孔１６の壁面をなす金属部分の横方向の幅（Ｗ１）や、縦方向の幅（Ｗ２）について特に限定はないが、Ｗ１、Ｗ２の幅が狭くなっていくに従い、耐久性や、ハンドリング性が低下していく傾向にある。したがって、Ｗ１、Ｗ２は、耐久性や、ハンドリング性を十分に満足させることができる幅とすることが好ましい。金属マスク１０の厚みに応じて適切な幅を適宜設定することができるが、好ましい幅の一例としては、実施形態（Ａ）の蒸着マスクの金属マスクと同様、Ｗ１、Ｗ２ともに１ｍｍ〜１００ｍｍ程度である。
【０１１０】
上記実施形態（Ｂ）の蒸着マスクは、金属マスク１０が１つの孔１６を有していることから、実施形態（Ｂ）の蒸着マスクと磁性板１５０とは、金属マスク１０の外周に存在する金属部分とのみ引き付けられることから、上記実施形態（Ａ）の蒸着マスクと比較すると、蒸着マスク１００の内側に向かって、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００との間に生ずる隙間は大きくなる傾向にある。したがって、実施形態（Ｂ）の蒸着マスクを用いる場合には、厚みが比較的厚い押し込み部材１３０を用いることが好ましい。実施形態（Ｂ）の蒸着マスクと組合せて用いられる押し込み部材１３０としては、上記「好ましい押し込み部材の形態Ａ」となるように、複数の独立した押し込み部材１３０、或いは押さえ板１３５に複数の押し込み部材１３０が固定されてなる押さえ板一体型の押し込み部材１４０を配置する、又は、上記「好ましい押し込み部材の形態Ｂ」となる大型の押し込み部材を配置することが好ましい。
【０１１１】
（金属フレーム付き蒸着マスクの一例）
一実施形態の蒸着パターンの形成方法に用いられる蒸着マスクとして、金属フレームに上記で説明した各種の形態の蒸着マスクが固定されてなる金属フレーム付き蒸着マスクを用いることもできる。金属フレーム付き蒸着マスクを用いることで、金属フレームの枠部分においても、蒸着マスク１００と磁性板１５０とを引き付けることができ、上記で説明した押し込み部材１３０による効果と相まって、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００との密着性をより高めることができる。
【０１１２】
一実施形態の蒸着パターンの形成方法に用いられる金属フレーム付き蒸着マスク２００は、図２０に示すように、金属フレーム６０に、１つの蒸着マスク１００が固定されたものであってもよく、図２１に示すように、金属フレーム６０に、複数の蒸着マスク１００が固定されたものであってもよい。
【０１１３】
金属フレーム６０は、略矩形形状の枠部材であり、最終的に固定される蒸着マスク１００の樹脂マスク２０に設けられた開口部２５を蒸着源側に露出させるための貫通孔を有する。なお、蒸着マスクの金属マスク１０の金属部分により蒸着マスク１０と磁性板１５０とを引き付けることができる場合には、金属材料以外の材料から構成されるフレーム、例えば、セラミック材料から構成されるフレーム等を用いることもできる。
【０１１４】
金属フレームの厚みについても特に限定はないが、剛性等の点から１０ｍｍ〜３０ｍｍ程度であることが好ましい。金属フレームの開口の内周端面と、金属フレームの外周端面間の幅は、当該金属フレームと、蒸着マスクの金属マスクとを固定することができる幅であれば特に限定はなく、例えば、１０ｍｍ〜７０ｍｍ程度の幅を例示することができる。
【０１１５】
また、図２２（ａ）〜（ｃ）に示すように、蒸着マスク１００を構成する樹脂マスク２０の開口部２５の露出を妨げない範囲で、金属フレームの貫通孔の領域に補強フレーム６５等が設けられた金属フレーム６０を用いてもよい。換言すれば、金属フレーム６０が有する開口が、補強フレーム等によって分割された構成を有していてもよい。補強フレーム６５を設けることで、当該補強フレーム６５を利用して、金属フレーム６０と蒸着マスク１００とを固定することができる。具体的には、上記で説明した蒸着マスク１００を縦方向、及び横方向に複数並べて固定するときに、当該補強フレームと蒸着マスクが重なる位置においても、金属フレーム６０に蒸着マスク１００を固定することができる。
【０１１６】
さらに、補強フレーム６５を金属材料から構成することで、金属フレームの枠体部分、及び補強フレーム６５を利用して、金属フレーム付き蒸着マスクと磁性板１５０とを十分に引き付けることができ、押し込み部材１３０と相まって、金属フレーム付き蒸着マスクと蒸着対象物２００とを隙間なく十分に密着させることができる。
【０１１７】
以上、一実施形態の蒸着パターンの形成方法について、スリット１５が設けられた金属マスク１０と当該スリット１５と重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する複数の開口部２５が設けられた樹脂マスク２０とが積層されてなる蒸着マスク１００を用いる場合を例に挙げて説明を行ったが、これ以外の蒸着マスク、例えば、上記で説明した樹脂マスク２０の有効領域の一部に、金属マスク１０を配置した蒸着マスクを用いることもできる。一例としては、上記で説明した樹脂マスク２０の有効領域に、複数の金属マスクを設けた蒸着マスクや、剛性が求められる領域にのみ金属マスクを配置した蒸着マスクを挙げることができる。また、金属マスクとしてスリットを有しないものを用いることもできる。なお、ここで言う有効領域とは、樹脂マスク２０に設けられた開口部２５と重ならない領域や、蒸着マスクをフレームに固定した際にフレームと重ならない領域等を挙げることができる。一実施形態の蒸着パターンの形成方法は、蒸着対象物２００の一方の面側に金属を含む蒸着マスク１００を配置し、蒸着対象物２００の他方の面側に磁性板１５０を配置し、磁性板１５０の磁性を利用して、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００とを密着させている点を特徴とするものであり、上記で説明した蒸着マスクに限定されるものではない。つまり、金属を含む蒸着マスクであれば、いかなる蒸着マスクであってもよい。金属を含む蒸着マスクとしては、上記蒸着作製するパターンに対応する複数の開口部２５が設けられた樹脂マスク２０の材料を金属材料に置き換えた蒸着マスクや、蒸着作製するパターンに対応する複数の開口部が設けられた金属マスクのみからなる蒸着マスク等を挙げることができる。これ以外にも、上記蒸着作製するパターンに対応する複数の開口部２５が設けられた樹脂マスク２０のみからなる蒸着マスクに磁性を付与すべく、樹脂マスクに金属材料を含ませることで、金属を含む蒸着マスクとすることもできる。
【０１１８】
＜蒸着パターン形成工程＞
蒸着パターン形成工程は、上記密着工程後に、蒸着源から放出された蒸着材を、蒸着マスク１００に設けられた開口部２５を通して蒸着対象物の被蒸着面に付着させ、蒸着対象物の被蒸着面に蒸着パターンを形成する工程である。
【０１１９】
一実施形態の蒸着パターン形成方法で使用可能な蒸着方法については、特に限定はなく、例えば、反応性スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング、電子ビーム蒸着法等の物理的気相成長法（Ｐｈｙｓｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、熱ＣＶＤ、プラズマＣＶＤ、光ＣＶＤ法等の化学気相成長法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）等を挙げることができる。また、蒸着パターンの形成は、従来公知の真空蒸着装置などを用いて行うことができる。
【０１２０】
蒸着パターン形成工程、蒸着対象物の被蒸着面に蒸着パターンが形成される。一実施形態の蒸着パターンの形成方法では、密着工程によって、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００との密着性を高め、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００との間に隙間が生ずることを抑制することができる。したがって、一実施形態の蒸着パターンの形成方法によれば、蒸着パターン形成工程において、蒸着源から放出された蒸着材が開口部を通過したときに、隙間から回り込んだ蒸着材によって、所定の間隔をあけて形成されるべき各蒸着パターン同士が繋がってしまう、或いは、蒸着パターン寸法太り等の問題が生ずることを抑制することができ、高精細な蒸着パターンを形成することができる。
【０１２１】
＜他の実施形態の蒸着パターン形成方法＞
他の実施形態の蒸着パターンの形成方法は、蒸着作製するパターンに対応する複数の開口部が設けられた蒸着マスクを用いて、蒸着対象物に蒸着パターンを形成する蒸着パターンの形成方法であって、図２３、図２４に示すように、蒸着対象物２００の一方の面側（図示する形態では、下面側）に蒸着マスク１００を配置し、蒸着対象物２００の他方の面側（図示する形態では上面側）に押し込み部材１３０を配置し、押し込み部材１３０の自重により、蒸着対象物２００を蒸着マスク側１００に押し込んで、蒸着マスク１００と蒸着対象物２００とを密着させる密着工程と、密着工程後、蒸着源から放出された蒸着材を、開口部２５を通して蒸着対象物２００に付着させ、蒸着対象物２００に蒸着パターンを形成する蒸着パターン形成工程を含むことを特徴としている。図２３、図２４は、押し込み部材１３０、或いは押さえ板一体型の押し込み部材１４０を用いて、その自重によって蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させた状態を示す概略断面図である。
【０１２２】
他の実施形態の蒸着パターンの形成方法は、磁性板１５０を必須の構成要件としていない点で、上記一実施形態の蒸着パターンの形成方法と相違する。
【０１２３】
具体的には、他の実施形態の蒸着パターンの形成方法は、
（ｉ）磁性板を必須の構成要件としていない点。
（ｉｉ）磁性板を用いずに押し込み部材を押し込んでいる点。
においてのみ、上記一実施形態の蒸着パターンの形成方法と相違し、この相違点以外は、上記一実施形態の蒸着パターンの形成方法と共通する。したがって、他の実施形態の蒸着パターンの形成方法においては、相違点を除いて、上記一実施形態の蒸着パターンの形成方法で説明した各種の態様を適宜選択して用いることができる。例えば、押し込み部材の形態や、配置位置等は、上記一実施形態の蒸着パターンの形成方法と共通する。
【０１２４】
他の実施形態の蒸着パターンの形成方法では、磁性板を必須の構成要件とせず、蒸着対象物２００の他方の面側（図示する形態では上面側）に押し込み部材１３０を配置し、適宜の手段により、押し込み部材１３０を蒸着マスク側１００に押し込んで、蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させている。したがって、他の実施形態の蒸着パターンの形成方法では、金属を含まない蒸着マスク、例えば、蒸着作成するパターンに対応する開口部２５が設けられた樹脂マスク２０のみからなる蒸着マスクを用いることもできる。なお、他の実施形態の蒸着パターンの形成方法においても、上記で一実施形態の蒸着パターンの形成方法で説明した蒸着マスクをそのまま用いることもできる。また、これ以外の従来公知の蒸着マスクを適宜選択して用いることもできる。
【０１２５】
他の実施形態の蒸着パターンの形成方法において、蒸着対象物２００の他方の面側に配置される押し込み部材１３０を蒸着マスク１００側に押し込む方法について特に限定はなく、例えば、押し込み部材１３０の自重によって、押し込み部材１３０を蒸着マスク１００側に押し込む方法や、押し込み部材１３０を駆動手段で保持し、押し込み部材を保持している駆動手段を駆動させることで、押し込み部材１３０を蒸着マスク１００側に押し込む方法等を挙げることができる。また、押し込み部材１３０を駆動手段で保持する方法にかえて、駆動手段を押し込み部材１３０に接触させ、押し込み部材１３０に接触させた駆動手段を蒸着マスク１００側に向かって駆動させることで、押し込み部材１３０を蒸着マスク１００側に押し込むこともできる。また、本願明細書で言う押し込み部材１３０を蒸着マスク側に押し込むとは、押し込み部材１３０を蒸着マスク１００側に向かって押し込む形態に加え、蒸着マスク１００を押し込み部材１３０側に向かって押し込む形態も含まれる。例えば、蒸着マスク１００を駆動手段で保持し、或いは蒸着マスク１００と駆動手段とを接触させ、当該駆動手段を押し込み部材１３０側に向かって駆動させてもよい。
【０１２６】
押し込み部材の自重によって、押し込み部材１３０を蒸着マスク１００側に押し込む方法を用いる場合における、押し込み部材１３０の質量や、大きさについて特に限定はないが、少なくとも、その自重によって、蒸着対象物２００を蒸着マスク１００側に押し込むことができるも質量や、大きさとなっていればよい。押し込み部材１３０の質量や、大きさは、蒸着対象物２００の材質や、蒸着対象物２００の厚み等によって適宜設定することができる。押し込み部材１３０の材料としては、例えば、単位体積当たりの質量が、２．０ｇ／ｃｍ3以上の材料を用いることが好ましく、２．５ｇ／ｃｍ3以上の材料を用いることがより好ましい。
【０１２７】
また、図２３に示すように、蒸着対象物２００の他方の面側に、押し込み部材１３０を個別に配置していく場合にあっては、各押し込み部材１３０の質量は、５０ｇ以上であることが好ましく、１００ｇ以上であることがより好ましい。
【０１２８】
なお、図２４に示すように、押さえ板１３５に、１つ或いは複数の押し込み部材１３０が固定してなる（図示する形態では、押さえ板１３５に複数の押し込み部材１３０が固定されている）押さえ板一体型の押し込み部材１４０を用いる場合には、全体の質量を大きくすることができる点で好ましい。また、蒸着対象物２００の他方の面側に、押し込み部材１３０を正確に配置することができる。
【０１２９】
また、押し込み部材１３０によって蒸着対象物２００を蒸着マスク１００側に押し込む力が弱い場合等には、押し込み部材１３０、押さえ板１３５、或いは押さえ板一体型の押し込み部材１４０上に、錘（図示しない）を載せて、押し込む力を強くすることもできる。
【０１３０】
また、駆動機構を利用して、蒸着対象物２００の他方の面側に配置される押し込み部材１３０を蒸着マスク側に押し込むこともできる。駆動機構は、押し込み部材１３０を保持することができ、当該保持した押し込み部材１３０を任意の方向に移動させることができる機能を有していればよい。
【０１３１】
＜＜押さえ板一体型の押し込み部材＞＞
次に、本開示の一実施形態の押さえ板一体型の押し込み部材（以下、一実施形態の押さえ板一体型の押し込み部材と言う。）について説明する。一実施形態の押さえ板一体型の押し込み部材は、（１）蒸着対象物の一方の面側に蒸着マスクを配置し、蒸着対象物の他方の面側に磁性板を配置し、磁性板の磁力を利用して蒸着対象物と蒸着マスクを密着させるときに、蒸着対象物と磁性板との間に配置されるものであるか、又は（２）蒸着対象物の一方の面側に蒸着マスクを配置したときに、蒸着マスクの他方の面側に配置され、その自重を利用して、蒸着対象物と蒸着マスクを密着させるために用いられるものであり、押さえ板１３５の表面に、１つ又は複数の押し込み部材１３０が設けられている押さえ板一体型の押し込み部材１４０であることを特徴としている。一実施形態の押さえ板一体型の押し込み部材によれば、当該押さえ板一体型の押し込み部材を、蒸着対象物と磁性板との間に配置して、蒸着マスク１００と蒸着マスク２００とを密着させることで、蒸着マスクと蒸着対象物との間に隙間が発生することを抑制することができる。また、磁性板を用いることなく、蒸着対象物２００の他方の面側に配置された押さえ板一体型の押し込み部材１４０を、その自重を利用して、或いは押さえ板一体型の押し込み部材を保持する駆動機構を駆動させて、押さえ板一体型の押し込み部材１４０を蒸着マスク１００側に押し込むことで蒸着マスク１００と蒸着対象物２００とを隙間なく密着させることができる。
【０１３２】
一実施形態の押さえ板一体型の押し込み部材は、上記蒸着パターンの形成方法で説明した押さえ板一体型の押し込み部材１４０をそのまま用いることができ、ここでの詳細な説明は省略する。
【０１３３】
押さえ板一体型の押し込み部材１４０を構成する、押し込み部材１３０、押さえ板１３５は、それぞれ異なる材料であってもよく、同種の材料であってもよい。また、押し込み部材１３０と押さえ板１３５は、同種の材料からなり一体形成されたものであってもよい。
【０１３４】
＜＜蒸着装置＞＞
次に、本開示の一実施形態の蒸着装置（以下、一実施形態の蒸着装置と言う。）について説明する。一実施形態の蒸着装置は、蒸着対象物に蒸着パターンを形成するための蒸着装置であって、蒸着対象物に蒸着パターンを形成する前の段階において、蒸着対象物と蒸着マスクとを密着させるための密着手段を備えており、この密着手段が、（１）蒸着対象物の一方の面側に蒸着マスクを配置し、蒸着対象物の他方の面側に押し込み部材、及び磁性板をこの順で重ねて配置し、磁性板の磁性を利用して、蒸着対象物と蒸着マスクを密着させる手段であるか、又は（２）蒸着対象物の一方の面側に蒸着マスクを配置し、蒸着対象物の他方の面側に押しこみ部材を配置し、押し込み部材を蒸着マスク側に押し込んで蒸着対象物と蒸着マスクを密着させる手段である点に特徴を有している。（２）では、例えば、押し込み部材の自重や、押し込み部材を保持する駆動手段を駆動させることで、蒸着対象物の他方の面側に押しこみ部材を配置し、押し込み部材を蒸着マスク側に押し込むことができる。
【０１３５】
つまり、上記蒸着装置は、上記一実施形態、及び他の実施形態の蒸着パターンの形成方法で説明した密着工程を行うための機構を備えていることを特徴としている。密着手段以外の部分については、従来公知の蒸着マスク製造装置の各構成を適宜選択して用いればよい。一実施形態の蒸着装置によれば、蒸着対象物に蒸着パターンを形成する前の段階で、蒸着マスクと蒸着対象物とを隙間なく密着させることができ、高精細な蒸着パターンを形成することができる。
【０１３６】
＜＜有機半導体素子の製造方法＞＞
次に、本開示の一実施形態の有機半導体素子の製造方法（以下、一実施形態の有機半導体素子の製造方法と言う。）について説明する。一実施形態の有機半導体素子の製造方法は、蒸着マスクを用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する工程を含み、蒸着パターンを形成する工程において、上記で説明した一実施形態の蒸着パターンの形成方法や、上記で説明した一実施形態の蒸着装置が用いられることを特徴としている。
【０１３７】
蒸着マスクを用いた蒸着法により蒸着パターンを形成する工程について特に限定はなく、基板上に電極を形成する電極形成工程、有機層形成工程、対向電極形成工程、封止層形成工程等を有し、各任意の工程において、上記で説明した一実施形態の蒸着パターン形成方法を用いて、蒸着パターンが形成される。例えば、有機ＥＬデバイスのＲ（レッド）、Ｇ（グリーン）、Ｂ（ブルー）各色の発光層形成工程に、上記で説明した一実施形態の蒸着パターン形成方法をそれぞれ適用する場合には、基板上に各色発光層の蒸着パターンが形成される。なお、一実施形態の有機半導体素子の製造方法は、これらの工程に限定されるものではなく、従来公知の有機半導体素子の製造における任意の工程に適用可能である。
【０１３８】
以上説明した一実施形態の有機半導体素子の製造方法によれば、蒸着マスクと蒸着対象物とを隙間なく密着させた状態で、有機半導体素子を形成する蒸着を行うことができ、高精細な有機半導体素子を製造することができる。一実施形態の有機半導体素子の製造方法で製造される有機半導体素子としては、例えば、有機ＥＬ素子の有機層、発光層や、カソード電極等を挙げることができる。特に、一実施形態の有機半導体素子の製造方法は、高精細なパターン精度が要求される有機ＥＬ素子のＲ（レッド）、Ｇ（グリーン）、Ｂ（ブルー）発光層の製造に好適に用いることができる。また、一実施形態の有機半導体素子の製造方法を用いて形成される有機半導体素子を用いて、有機半導体デバイスを製造することもできる。
【符号の説明】
【０１３９】
１０…金属マスク
１５…スリット
２０…樹脂マスク
２５…開口部
６０…金属フレーム
１００…蒸着マスク
１３０…押し込み部材
１３５…押さえ板
１４０…押さえ板一体型の押し込み部材
１５０…磁性板
２００…蒸着対象物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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