(57)【要約】【課題】はんだを用いて行った、１対の端子を備えた部品と基板との接合の良否を判定するための適切な許容範囲の設定をサポートする。【解決手段】基板上に１対の端子が具備された部品を搭載するための１対のランドに対して印刷されたはんだの形状を示す情報をはんだ情報として取得するはんだ情報取得部２１０と、はんだ情報取得部２１０が取得したはんだ情報に基づいて、１対のランドに対して印刷される１対のはんだの互いの体積差を算出し、算出した体積差を表示する表示部２５０とを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に１対の端子が具備された部品を搭載するための１対のランドに対して印刷されたはんだの形状を示す情報をはんだ情報として取得するはんだ情報取得部と、
前記はんだ情報取得部が取得したはんだ情報に基づいて、前記１対のランドに対して印刷される１対のはんだの互いの体積差を算出し、該算出した体積差を表示する表示部とを有するはんだ検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載のはんだ検査装置において、
前記表示部は、前記体積差として、前記１対のランドに対して印刷される１対のはんだの一方の体積に対する他方の体積の比率を前記体積差として算出するはんだ検査装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のはんだ検査装置において、
前記はんだ情報取得部は、前記はんだ情報として前記はんだの印刷位置を示す情報を取得し、
前記印刷されるはんだの印刷位置の目標となる目標位置と、前記１対のランドの情報とをあらかじめ記憶する記憶部と、
外部からの入力に基づいて、前記はんだの印刷の許容範囲を設定する設定部と、
前記はんだ情報取得部が取得したはんだ情報と、前記記憶部が記憶している目標位置とに基づいて、前記はんだの印刷位置のずれを算出し、該算出したずれが前記許容範囲に含まれるかどうかに基づいて、前記印刷されたはんだの良否を判定する判定部とを有し、
前記表示部は、前記体積差と、前記はんだ情報取得部が取得したはんだ情報とを表示するはんだ検査装置。
【請求項４】
請求項３に記載のはんだ検査装置において、
前記判定部は、前記はんだ情報取得部が取得したはんだ情報が示す前記はんだの形状を示す体積が前記許容範囲に含まれるかどうかに基づいて、前記印刷されたはんだの良否を判定するはんだ検査装置。
【請求項５】
請求項３または請求項４に記載のはんだ検査装置において、
前記表示部は、前記判定部が算出したずれをさらに表示するはんだ検査装置。
【請求項６】
請求項３から５のいずれか１項に記載のはんだ検査装置において、
前記表示部は、前記判定部が判定したはんだの良否を示す情報をさらに表示するはんだ検査装置。
【請求項７】
請求項３から６のいずれか１項に記載のはんだ検査装置において、
前記表示部は、前記設定部が設定した許容範囲をさらに表示するはんだ検査装置。
【請求項８】
基板上に１対の端子が具備された部品を搭載するための１対のランドに対して印刷されたはんだの形状を示す情報をはんだ情報として取得する処理と、
前記取得したはんだ情報に基づいて、前記１対のランドに対して印刷される１対のはんだの互いの体積差を算出する処理と、
前記算出した体積差を表示する処理とを行うはんだ検査方法。
【請求項９】
請求項８に記載のはんだ検査方法において、
前記体積差として、前記１対のランドに対して印刷される１対のはんだの一方の体積に対する他方の体積の比率を前記体積差として算出するはんだ検査方法。
【請求項１０】
請求項８または請求項９に記載のはんだ検査方法において、
前記はんだ情報として前記はんだの印刷位置を示す情報を取得し、
前記印刷されるはんだの印刷位置の目標となる目標位置と、前記１対のランドの情報とをあらかじめ記憶する処理と、
外部からの入力に基づいて、前記はんだの印刷の許容範囲を設定する処理と、
前記取得したはんだ情報と、前記記憶している目標位置とに基づいて、前記はんだの印刷位置のずれを算出する処理と、
前記算出したずれが前記許容範囲に含まれるかどうかに基づいて、前記印刷されたはんだの良否を判定する処理と、
前記体積差と、前記はんだ情報取得部が取得したはんだ情報とを表示する処理とを行うはんだ検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、印刷されたはんだの良否を検査するはんだ検査装置およびはんだ検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的な電子部品の基板実装として、まずは、はんだ印刷装置が基板上に形成されたランドへはんだを印刷し、はんだ印刷検査装置を用いてはんだの状態を検査する。この検査で、はんだの印刷状態に問題がないと判断された場合、部品搭載装置が部品を基板上の指定位置へ搭載し、リフロー炉内ではんだを溶融及び固化させて、基板と部品とを接合する。そして、外観検査装置を用いて基板と部品との接合状態を検査し、問題ないと判断されたら実装終了となる。
はんだ印刷検査装置は、基板に印刷されたはんだの位置・面積・高さ・体積等を計測する。はんだの印刷位置がランドの位置から大きくずれていたり、はんだの量が不足していたりしていると、部品とランドとの接合が不十分になってしまうおそれがある。また、印刷されたはんだの量が過多になると、溶融した際に余分な量のはんだが隣接するランドまで流れてショートを生じたり、固化した際にはんだボールと呼ばれる塊となってショートの原因になったりするおそれがある。このため、はんだ印刷検査装置は、各ランドで計測した値があらかじめ設定した許容範囲に含まれない場合、基板と部品とを接合する際に不良となるおそれがあるとして、ブザーなどを用いて警告を行う。
【０００３】
また、基板に印刷されたはんだの位置・面積・高さ・体積等が各々の許容範囲の値であっても、これらの組み合わせによっては接合時に不良となるおそれがある。例えば、部品は複数の電極（端子）を有するものがほとんどであり、部品を基板に搭載してはんだを溶融させた際に各端子へ働く界面張力が端子間で大きく異なると、部品が界面張力の大きな端子の方に引き寄せられるなどして、接合時に不良となるおそれがある。このように、各ランドにおいてはんだの位置・面積・高さ・体積等について個別に判定を行うだけでは、過剰に不良と判定（過検出）したり、不良になる可能性があるものを良品と判定（誤判定）したりするおそれがある。
【０００４】
図１７は、基板上に形成された１対のランドへはんだを印刷した状態の一例を示す図である。
図１７に示すように、基板５０１上に形成された１組のランド５１ａとランド５１ｂとのそれぞれに、はんだ５１１ａとはんだ５１１ｂとが印刷されている。はんだ５１１ａはランド５１ａに対して図の左側にずれており、体積が小さくなっているが、その印刷位置および体積は許容範囲内である。同様に、はんだ５１１ｂはランド５１ｂに対して図の左側にずれており、体積が大きくなっているが、その印刷位置および体積は許容範囲内である。
【０００５】
図１８は、図１７に示した基板５０１に部品を搭載した状態の一例を示す図である。
通常、部品５２の両端に設けられた端子それぞれがランド５１ａとランド５１ｂとへ均等に接触する位置へ搭載されるよう設計されており、図１８に示した例では、部品５２は設計上の正しい位置へ搭載されている。このとき、ランド５１ａ，５１ｂの位置に対してはんだ５１１ａ，５１１ｂの印刷位置がずれているため、部品５２とはんだ５１１ｂとが十分に接触している一方、部品５２とはんだ５１１ａとはほとんど接触していない。これにより、リフロー炉ではんだ５１１ａ，５１１ｂを溶融させた際に部品５２の左右へ働くはんだの界面張力に大きな差が生じるてしまうため、接合時に不良となるおそれがあると考えられる。
【０００６】
そこで、印刷されたはんだの位置・体積・面積等の計測値から統計的に算出した標準偏差と、その良否判定を行う閾値とに基づいて、はんだ印刷の工程能力指数を算出して表示することで、利用者の閾値設定を支援する技術が考えられている（例えば、特許文献１参照。）。
また、基板と部品との接合状態判定に関し、接合部の特性を示す値を２つ以上抽出し、その値の組み合わせに基づいて接合部の状態を判定する手法が提案されている（例えば、特許文献２参照。）。この手法をはんだ印刷後の検査に適用した場合、はんだの印刷位置・体積・面積等を組み合わせることにより、はんだの印刷位置・体積・面積等を個々に判定する方式に比べて、誤判定あるいは過検出の可能性を低くすることができると考えられる。
また、リード付き部品のはんだ付け部をクリンチ部と逆クリンチ部とに分け、各々の形状を示す特徴量を算出し、算出した特徴量の互いの差を基準値と比較して良否を判定する技術が考えられている（例えば、特許文献３参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許第５４１１４３９号
【特許文献２】特許第５６５９３９６号
【特許文献３】特開２０００−３３７８６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１に記載されたような技術においては、はんだの面積や体積等を個別に判定している点は一般的な技術と変わらないため、問題の改善は限定的であると考えられる。また、統計的に算出した値に基づいて良否判定の閾値を設定するため、はんだの補充などで材料の状態が変化したり、品種の切り替えなどで生産条件を変更したりした場合、一時的に過検出や誤判定が増加するおそれがある。
また、特許文献２に記載されたような手法では、１つのランドから得られる複数の特性を用いているため、１対のランドへ印刷されたそれぞれのはんだの界面張力の互いの差によって発生する不良に対しては誤判定あるいは過検出となるおそれがある。
また、特許文献３に記載されたような技術においては、はんだ付け部を個々に比較・判定するのみであり、同一部品を接合する別のはんだ付け部との間で特徴量を比較する構成を有していない。そのため、１対のランドに印刷されたはんだの良否を判定することは困難である。
【０００９】
このように、上述した技術においては、はんだを用いて行った、１対の端子を備えた部品と基板との接合の良否を判定するための適切な許容範囲の設定をサポートすることはできないという問題点がある。
【００１０】
本発明の目的は、上述した課題を解決するはんだ検査装置およびはんだ検査方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明のはんだ検査装置は、
基板上に１対の端子が具備された部品を搭載するための１対のランドに対して印刷されたはんだの形状を示す情報をはんだ情報として取得するはんだ情報取得部と、
前記はんだ情報取得部が取得したはんだ情報に基づいて、前記１対のランドに対して印刷される１対のはんだの互いの体積差を算出し、該算出した体積差を表示する表示部とを有する。
また、本発明のはんだ検査方法は、
基板上に１対の端子が具備された部品を搭載するための１対のランドに対して印刷されたはんだの形状を示す情報をはんだ情報として取得する処理と、
前記取得したはんだ情報に基づいて、前記１対のランドに対して印刷される１対のはんだの互いの体積差を算出する処理と、
前記算出した体積差を表示する処理とを行う。
【発明の効果】
【００１２】
以上説明したように、本発明においては、はんだを用いて行った、１対の端子を備えた部品と基板との接合の良否を判定するための適切な許容範囲の設定をサポートすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明のはんだ検査装置の第１の実施の形態を示す図である。
【図２】図１に示したはんだ検査装置におけるはんだ検査方法を説明するためのフローチャートである。
【図３】本発明のはんだ検査装置の第２の実施の形態を示す図である。
【図４】図３に示したはんだ検査装置におけるはんだ検査方法を説明するためのフローチャートである。
【図５】基板上に形成されたランドの一例を示す図である。
【図６】図４に示したランド上にはんだを印刷した状態の一例を示す図である。
【図７】図４に示したランド上にはんだを印刷した状態の一例を示す図である。
【図８】図３に示した表示部が表示する情報の一例を示す図である。
【図９】図３に示した表示部が表示する情報の他の例を示す図である。
【図１０】図３に示した表示部が表示する情報の他の例を示す図である。
【図１１】図３に示したはんだ取得部がある期間において計測した複数のはんだについての情報を、表示部が表示した表示の一例を示す図である。
【図１２】図１１に示したはんだ体積の割合の下限Ｖｔｈ１および位置ズレ（Ｘ方向成分）の上限Ｘｔｈ１を修正したときの表示の一例を示す図である。
【図１３】図３に示した表示部が、図１１に示した表示において、さらに良品範囲と誤判定範囲および過検出範囲とを表示した一例を示す図である。
【図１４】図１３に示したはんだ体積の割合の下限Ｖｔｈ１および位置ズレ（Ｘ方向成分）の上限Ｘｔｈ１を修正したときの表示の一例を示す図である。
【図１５】はんだの体積差を１とした場合に、図３に示した表示部が良品範囲と誤判定範囲とを表示した一例を示す図である。
【図１６】図１５に示したはんだ体積の割合の下限Ｖｔｈ２および位置ズレ（Ｘ方向成分）の上限Ｘｔｈ２を修正したときの表示の一例を示す図である。
【図１７】基板上に形成された１対のランドへはんだを印刷した状態の一例を示す図である。
【図１８】図１７に示した基板に部品を搭載した状態の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
（第１の実施の形態）
【００１５】
図１は、本発明のはんだ検査装置の第１の実施の形態を示す図である。
本形態におけるはんだ検査装置２００は図１に示すように、はんだ情報取得部２１０と、表示部２５０とを有している。
【００１６】
はんだ情報取得部２１０は、基板上に１対の端子が具備された部品を搭載するための１対のランドに対して印刷されたはんだの形状を計測して、計測した形状を示す情報をはんだ情報として取得する。
表示部２５０は、はんだ情報取得部２１０が取得したはんだの形状に基づいて、１対のランドに対して印刷される１対のはんだの互いの体積差を算出する。また、表示部２５０は、算出した体積差を表示する。
【００１７】
以下に、本形態におけるはんだ検査方法について説明する。
図２は、図１に示したはんだ検査装置２００におけるはんだ検査方法を説明するためのフローチャートである。
【００１８】
まず、はんだ情報取得部２１０が、基板上に１対の端子が具備された部品を搭載するための１対のランドに対して印刷されたはんだの形状（体積）を計測して、計測した形状（体積）を示す情報をはんだ情報として取得する（ステップＳ１）。
すると、表示部２５０は、はんだ情報取得部２１０が取得したはんだの形状（体積）に基づいて、１対のランドに対して印刷される１対のはんだの互いの体積差を算出する（ステップＳ２）。続いて、表示部２５０は、算出した体積差を表示する（ステップＳ３）。
【００１９】
このように、はんだ検査装置２００は、印刷されたはんだの形状（体積）に基づいて、１対のランドに対して印刷される１対のはんだの互いの体積差を算出して表示する。これにより、１対の端子を備えた部品と基板との接合の良否を判定するための適切な許容範囲の設定をサポートすることができる。
（第２の実施の形態）
【００２０】
図３は、本発明のはんだ検査装置の第２の実施の形態を示す図である。
本形態におけるはんだ検査装置２０１は図３に示すように、はんだ情報取得部２１１と、記憶部２２１と、設定部２３１と、判定部２４１と、表示部２５１とを有している。
はんだ情報取得部２１１は、基板上に印刷されたはんだの位置および形状（体積）を計測して、計測した位置および形状（体積）を示す情報をはんだ情報として取得する。ここで、はんだ情報取得部２１１は、基板上におけるはんだのＸ方向およびＹ方向の長さならびに高さを計測し、計測したはんだのＸ方向およびＹ方向の長さならびに高さに基づいて、はんだの体積を算出して取得するものであっても良い。
記憶部２２１は、１対の端子が具備された部品を搭載するための１対のランドに対して印刷されるはんだの印刷位置の目標となる目標位置および目標形状と、１対のランドの情報とをあらかじめ記憶する。
設定部２３１は、はんだの位置および形状の許容範囲を設定する。この許容範囲は、記憶部２２１に記憶されている目標位置から印刷されたはんだの印刷位置までの距離（ずれ）における所定の範囲や、印刷されたはんだの体積における所定の範囲である。
判定部２４１は、はんだ情報取得部２１１が取得したはんだ情報として取得したはんだの印刷位置および形状と、記憶部２２１が記憶している目標位置および目標形状と、設定部２３１が設定した許容範囲とに基づいて、印刷されたはんだの良否、つまり、はんだを用いた基板と部品との接合の良否を判定する。このとき、判定部２４１は、はんだ情報取得部２１１が取得したはんだ情報に含まれる印刷されたはんだの位置と記憶部２２１が記憶している目標位置とに基づいて、印刷されたはんだの目標位置からのずれを算出し、算出したずれが許容範囲に含まれているかどうかに基づいて、印刷されたはんだの良否を判定するものであっても良い。また、判定部２４１は、はんだ情報取得部２１１がはんだ情報に含まれる印刷されたはんだの体積が許容範囲に含まれているかどうかに基づいて、印刷されたはんだの良否を判定するものであっても良い。
表示部２５１は、はんだ情報取得部２１１が取得したはんだの形状（体積）に基づいて、１対のランドに対して印刷される１対のはんだの互いの体積差を算出し、算出した体積差と、はんだ情報取得部２１１が取得したはんだ情報とを表示する。また、表示部２５１は、体積差として、１対のランドに対して印刷される１対のはんだの一方の体積に対する他方の体積の比率を算出し、算出した比率を表示する。また、表示部２５１は、判定部２４１が算出した、印刷されたはんだの目標位置からのずれを表示する。また、表示部２５１は、判定部２４１が判定したはんだの良否を表示する。また、表示部２５１は、設定部２３１が設定した許容範囲をさらに表示する。また、表示部２５１は、はんだ情報取得部２１１が取得したはんだの形状である体積を示す情報を表示する。
【００２１】
以下に、本形態におけるはんだ検査方法について説明する。
図４は、図３に示したはんだ検査装置２０１におけるはんだ検査方法を説明するためのフローチャートである。
前提として、記憶部２２１が、基板上に搭載される、１対の端子が具備された部品を搭載するための１対のランドに対して印刷されるはんだの印刷位置の目標となる目標位置をあらかじめ記憶している。また、記憶部２２１は、同一チップ部品を接合する１対のランドの情報をあらかじめ記憶している。また、チップ部品を基板へ実装する際は、図示していないはんだ印刷手段が、基板上に設けられたランド上へはんだを印刷する。このはんだ印刷の方法として、メタルマスクと呼ばれる基板上のはんだ印刷位置に合わせた開口を持つ金属板を用いて、基板とメタルマスクとの位置を合わせて近接した状態でメタルマスクの開口にはんだを充填し、その後に基板とメタルマスクとを離間することが行われている。
【００２２】
まず、はんだ情報取得部２１１が、基板上に印刷されたはんだの位置および形状（体積）を計測して、計測した位置および形状（体積）を示す情報をはんだ情報として取得する（ステップＳ１１）。はんだ情報取得部２１１は、取得したはんだ情報を判定部２４１および表示部２５１へ出力する。また、利用者がはんだ検査装置２０１を操作して入力した情報に基づいて、設定部２３１がはんだの印刷の許容範囲を設定する（ステップＳ１２）。この入力は、例えば、表示部２５１が許容範囲の入力を促す画面を表示し、利用者がその画面に従って許容範囲を入力する操作方法を用いるものであっても良く、ここでは特に規定しない。また、入力が行われない場合は、設定部２３１はあらかじめ設定されている初期値を設定するものであっても良い。また、判定部２４１が、記憶部１２１から目標位置を読み出す（ステップＳ１３）。また、表示部２５１は、記憶部１２１から１対のランドの情報を読み出す（ステップＳ１４）。
すると、判定部２４１が、はんだ情報取得部２１１から出力されてきたはんだ情報と、記憶部２２１から読み出した目標位置とに基づいて、はんだの印刷位置のずれを算出する（ステップＳ１５）。判定部２４１は、算出したはんだの印刷位置のずれが、設定部２３１が設定した許容範囲に含まれるかどうかに基づいて、はんだを用いた基板と部品との接合の良否を判定する（ステップＳ１６）。つまり、判定部２４１は、はんだ情報取得部２１１が計測した計測値と記憶部２２１から読み出した目標位置との差分、あるいは目標位置に対する計測値の割合を算出し、算出した差分あるいは割合が、設定部２３１が設定した許容範囲に含まれない場合、部品の接合後に不良となるおそれがあると判定する。また、判定部２４１は、はんだ情報取得部２１１から出力されてきたはんだ情報が示すはんだの体積が、設定部２３１が設定した許容範囲に含まれているかどうかについても、良否の判定の基準としても良い。
また、表示部２５１は、はんだ情報取得部２１１が取得したはんだの形状（体積）に基づいて、１対のランドに対して印刷される１対のはんだの互いの体積差を算出する（ステップＳ１７）。続いて、表示部２５１は、はんだ情報取得部２１１から出力されてきたはんだ情報（例えば、はんだの形状である体積を示す情報）、算出した体積差および判定部２４１が算出したはんだの印刷位置のずれを表示する（ステップＳ１８）。このとき、表示部２５１は、判定部２４１が行ったはんだの良否や、設定部２３１が設定した許容範囲を表示するものであっても良い。
【００２３】
以下、具体的な例を挙げて、動作について詳細に説明する。
図５は、基板上に形成されたランドの一例を示す図である。
図５に示したランド１ａおよびランド１ｂは、同一部品を接合する１対のランドである。また、ランド２ａおよびランド２ｂは、同一部品を接合する１対のランドである。また、ランド１ａおよびランド１ｂの中心位置はそれぞれ（Ｘ１ａ，Ｙ１ａ）および（Ｘ１ｂ，Ｙ１ｂ）であり、ランド２ａおよびランド２ｂの中心位置はそれぞれ（Ｘ２ａ，Ｙ２ａ）および（Ｘ２ｂ，Ｙ２ｂ）である。
【００２４】
図６は、図４に示したランド１ａおよびランド１ｂ上にはんだを印刷した状態の一例を示す図である。
図６に示した例では、基板１０１上に印刷されたはんだ１１ａおよびはんだ１１ｂの中心位置はそれぞれ（Ｘ１１ａ，Ｙ１１ａ）および（Ｘ１１ｂ，Ｙ１１ｂ）であり、ランド１ａおよびランド１ｂに対して図の左側へずれている。また、体積の目標値をＶｐとすると、はんだ１１ａの体積は目標値の半分（０．５Ｖｐ）であり、はんだ１１ｂの体積は目標値の１．５倍（１．５Ｖｐ）となっている。
【００２５】
図７は、図４に示したランド２ａおよびランド２ｂ上にはんだを印刷した状態の一例を示す図である。
図７に示した例では、基板１０１上に印刷されたはんだ１２ａおよびはんだ１２ｂの中心位置はそれぞれ（Ｘ１２ａ，Ｙ１２ａ）および（Ｘ１２ｂ，Ｙ１２ｂ）であり、ランド２ａおよびランド２ｂに対して図の左側へずれている。ただし、このずれは図６に示した例におけるずれよりも小さい。また、はんだ１２ａおよびはんだ１２ｂの体積は目標値Ｖｐと等しい。
【００２６】
はんだ情報取得部２１１は、はんだ１１ａ，１１ｂおよびはんだ１２ａ，１２ｂの情報をはんだ情報として取得して、判定部２４１および表示部２５１へ出力する。はんだ情報としては、はんだの印刷されている位置、基板上におけるはんだのＸ方向およびＹ方向の長さ、はんだの高さ、基板１０１の上方から見たはんだの面積、はんだの体積などが考えられる。図６および図７に示した例において、はんだ情報取得部２１１は、はんだ１１ａ、はんだ１１ｂ、はんだ１２ａおよびはんだ１２ｂそれぞれについて、はんだ情報として、中心位置（Ｘ１１ａ，Ｙ１１ａ）、（Ｘ１１ｂ，Ｙ１１ｂ）、（Ｘ１２ａ，Ｙ１２ａ）、（Ｘ１２ｂ，Ｙ１２ｂ）と、体積０．５Ｖｐ、１．５Ｖｐ、Ｖｐ、Ｖｐとを取得し、判定部２４１および表示部２５１へ出力する。
【００２７】
記憶部２２１は、はんだをランド１ａ、ランド１ｂ、ランド２ａおよびランド２ｂに印刷する際の目標値を記憶する。目標値としては、はんだの中心位置、基板上におけるはんだのＸ方向およびＹ方向の長さ、はんだの高さ、はんだの体積などが考えられる。図６および図７に示した例において、記憶部２２１は、はんだ１１ａ、はんだ１１ｂ、はんだ１２ａおよびはんだ１２ｂの中心位置として、それぞれランド１ａ、ランド１ｂ、ランド２ａ、ランド２ｂそれぞれの中心位置を記憶する。また、記憶部２２１は、はんだの体積として、ランド１ａ、ランド１ｂ、ランド２ａおよびランド２ｂで目標値Ｖｐを記憶する。判定部２４１および表示部２５１は、はんだ情報取得部２１１がはんだ情報を判定部２４１へ出力するのに合わせて、目標値を記憶部２２１から読み出すものであっても良い。
さらに、記憶部２２１は、同一チップ部品を接合する１対のランドの情報を記憶する。図６および図７に示した例において、ランド１ａとランド１ｂとが１対のランドであること、およびランド２ａとランド２ｂとが１対のランドであることを記憶する。表示部２５１は、はんだ情報取得部２１１がはんだ情報を表示部２５１へ出力するのに合わせて、１対のランドを示す情報を記憶部２２１から読み出すものであっても良い。
【００２８】
判定部２４１は、はんだ情報取得部２１１から出力されてきたはんだ情報と記憶部２２１から読み出した目標値との差分、または目標値に対するはんだ情報の割合を算出する。この差分や割合は、はんだ情報取得部２１１から出力されてきたはんだ情報に含まれるはんだの印刷位置と、記憶部２２１から読み出した目標値に含まれるはんだの目標位置との差分（ずれ）や割合、または、このはんだ情報に含まれるはんだの体積と、この目標値に含まれるはんだの体積との差分や割合であっても良い。判定部２４１は、算出した差分または割合が、設定部２３１が設定した許容範囲に含まれない場合、部品の接合後に不良となる可能性があると判定する。また、判定部２４１は、はんだ情報に含まれるはんだの体積が許容範囲に含まれない場合、部品の接合後に不良となる可能性があると判定する。
【００２９】
表示部２５１は、はんだ情報取得部２１１から出力されてきたはんだ情報に含まれるはんだの体積と、記憶部２２１から読み出した同一チップ部品を接合する１対のランドの情報とに基づいて、１対のランドの間でのはんだの互いの体積差を算出する。この体積差として、体積の差分や体積の比率を用いる。図６および図７に示した例にて、体積差として１対のはんだの互いの体積の比率を用いると、はんだ１１ｂに対するはんだ１１ａの体積差は１／３となり、はんだ１２ｂに対するはんだ１２ａの体積差は１となる。表示部２５１は、はんだの体積差を算出した後、はんだ情報取得部２１１から出力されてきたはんだの情報のうち、あらかじめ選択した１つ以上の情報を、算出したはんだの体積差とともに表示する。表示部２５１は、はんだ情報取得部２１１から出力されてきたはんだの情報をそのまま表示するものであっても良いし、はんだの情報と記憶部２２１から読み出した目標値とに基づいて、目標値に対する比率や差分を算出した値を表示するものであっても良い。図６および図７に示した例においては、表示部２５１は、記憶部２２１から読み出した目標値に対する、はんだ情報取得部２１１から出力されてきたはんだの体積の割合と、記憶部２２１から読み出した目標値に対する、はんだ情報取得部２１１から出力されてきたはんだの印刷位置（以下、位置ズレと称する）のＸ方向成分とを表示する。
【００３０】
図８は、図３に示した表示部２５１が表示する情報の一例を示す図である。
図８には、表示部２５１がはんだ１１ａおよびはんだ１２ａの情報を表示する例が示されている。図８に示すように、表示部２５１は、はんだの体積差と、はんだの体積の割合と、はんだの位置ズレ（Ｘ方向成分）とをそれぞれ軸とした空間上に、各はんだについてはんだ情報取得部２１１から出力されてきた値を用いて算出した値を表示している。
【００３１】
また、はんだの体積差として特定の値または範囲を指定して、その指定に合致するはんだについて、はんだの体積の割合と、はんだの位置ズレ（Ｘ方向成分）とをそれぞれ軸とした平面上に値を表示する方法が考えられる。
【００３２】
図９は、図３に示した表示部２５１が表示する情報の他の例を示す図である。
図９には、表示部２５１が、はんだの体積差を１／３として、はんだの体積の割合と、はんだの位置ズレ（Ｘ方向成分）とをそれぞれ軸とした平面上に、はんだ１１ａの情報を表示する例が示されている。図８に示した表示においては、多くの情報を表示可能であるのに対し、図９に示した表示においては、視覚的に分かりやすい表示となっている。このため、表示部２５１は、必要に応じて表示を変更することが好ましい。
【００３３】
以下、図９に示すような、はんだの体積の割合と、はんだの位置ズレ（Ｘ方向成分）とをそれぞれ軸とした平面上への表示を基本として、他の表示について説明する。さらに、表示部２５１は、平面上に、設定部２３１が設定したはんだの体積の割合およびはんだの位置ズレ（Ｘ方向成分）の許容範囲を表示する。
【００３４】
図１０は、図３に示した表示部２５１が表示する情報の他の例を示す図である。
図１０には、表示部２５１がさらに、はんだの体積差＝１／３として、はんだ１１ａと、はんだの体積の割合の下限Ｖｔｈ１と、はんだの位置ズレ（Ｘ方向成分）の上限Ｘｔｈ１とを表示する例が示されている。はんだの体積差は、値が最も多く分布している値または範囲を指定する方法や、誤判定または過検出が多い値または範囲を指定する方法が考えられる。
【００３５】
図１１は、図３に示したはんだ情報取得部２１１がある期間において計測した複数のはんだについての情報を、表示部２５１が表示した表示の一例を示す図である。
図１１に示すような表示においては、部品を接合した際にその接合が良好であったかどうかが分かるような表示とすることが望ましい。図１１に示す例では、部品を接合した際に良品と判定されたはんだに関しては●印、不良と判定されたはんだに関しては×印として表示している。部品を接合した際の良否については、図示していない外観検査装置から得る方法が考えられる。
図１１に示した表示から、計測値１０３およびはんだ１１ａは部品を接合した際に不良と判定されたが、はんだ体積の割合および位置ズレ（Ｘ方向成分）は許容範囲を満たしており、判定部２４１が行った判定が誤判定であったことが分かる。また、計測値１０２は位置ズレ（Ｘ方向成分）が許容範囲上限Ｘｔｈ１を上回っており、判定部２４１では不良と判定される。しかし、部品を接合した際には良品となっており、判定部２４１が行った判定が過検出であったことが分かる。
【００３６】
利用者は、図１１に示した表示を参照して、図示していない入力手段を用いて許容範囲を修正する。
図１２は、図１１に示したはんだ体積の割合の下限Ｖｔｈ１および位置ズレ（Ｘ方向成分）の上限Ｘｔｈ１を修正したときの表示の一例を示す図である。
図１２に示すように、誤判定となった計測値１０３およびはんだ１１ａと、過検出となった計測値１０２とが正しく判定されるように、はんだ体積の割合の下限Ｖｔｈ１をＶｔｈ１’（Ｖｔｈ１＜Ｖｔｈ１’）に、位置ズレ（Ｘ方向成分）の上限Ｘｔｈ１をＸｔｈ１’（Ｘｔｈ１＜Ｘｔｈ１’）に修正して設定している。また、下限Ｖｔｈ１’および上限Ｘｔｈ１’は、最近の計測値のばらつきを考慮して設定しても良い。設定された許容範囲は、設定部２３１によって設定され、設定部２３１から判定部２４１および表示部２５１へ出力される。
【００３７】
表示部２５１が表示する情報として、はんだ情報および許容範囲の他に、部品接合後に良品と判定される範囲の目安を示す情報を表示することが考えられる。この範囲を示す情報を得るには、設計値に基づいて範囲を算出する方法や、過去の生産履歴に基づいて範囲を決定する方法を用いることが考えられる。さらに、表示部２５１は、良品と判定される範囲と許容範囲とに基づいて、誤判定となる範囲および過検出となる範囲を示すことが考えられる。
【００３８】
図１３は、図３に示した表示部２５１が、図１１に示した表示において、さらに良品範囲と誤判定範囲および過検出範囲とを表示した一例を示す図である。
図１３に示すように、表示部２５１は、部品接合後に良品となる範囲の目安である良品範囲１１０と、良品範囲１１０と許容範囲とに基づいて決定される誤判定範囲１１１および過検出範囲１１２とをさらに表示する。誤判定範囲１１１は、はんだ体積の割合が下限Ｖｔｈ１以上であり、位置ズレ（Ｘ方向成分）が上限Ｘｔｈ１以下である領域であるが、部品接合後に不良と判定したはんだが分布する領域である。過検出範囲１１２は、部品接合後に良品と判定したはんだが分布する領域であるが、位置ズレ（Ｘ方向成分）が上限Ｘｔｈ１よりも大きな、あるいははんだ体積の割合が下限Ｖｔｈ１未満の領域である。
【００３９】
利用者は、図１３に示した表示を参照して、図示していない入力手段を用いて許容範囲を修正する。
図１４は、図１３に示したはんだ体積の割合の下限Ｖｔｈ１および位置ズレ（Ｘ方向成分）の上限Ｘｔｈ１を修正したときの表示の一例を示す図である。
図１４に示すように、誤判定範囲１１３が図１３に示した誤判定範囲１１１よりも狭くなり、最近の計測値が誤判定範囲１１３または過検出範囲１１４，１１５に入らないようにするために、はんだ体積の割合の下限Ｖｔｈ１をＶｔｈ１’（Ｖｔｈ１＜Ｖｔｈ１’）に、位置ズレ（Ｘ方向成分）の上限Ｘｔｈ１をＸｔｈ１’（Ｘｔｈ１＜Ｘｔｈ１’）に修正して設定している。また、下限Ｖｔｈ１および上限Ｘｔｈ１は、新たな誤判定範囲１１３と、新たな過検出範囲１１４と新たな過検出範囲１１５とを合わせた範囲とが等しくなるように許容範囲を設定しても良い。
【００４０】
図１５は、はんだの体積差を１とした場合に、図３に示した表示部２５１が良品範囲と誤判定範囲とを表示した一例を示す図である。
図１５に示すように、はんだの体積の割合の下限をＶｔｈ２、はんだの位置ズレ（Ｘ方向成分）の上限をＸｔｈ２としている。また、最近の計測では全て接合後に良品と判定されている。図１５に示した例では、最近の計測で誤判定範囲１１６に含まれるような誤判定および過検出範囲１１７に含まれるような過検出が発生していないため、許容範囲を変更せずに計測を続けても良いし、さらに、はんだの体積の割合の下限Ｖｔｈ２およびはんだの位置ズレ（Ｘ方向成分）の上限Ｘｔｈ２を修正しても良い。
【００４１】
図１６は、図１５に示したはんだ体積の割合の下限Ｖｔｈ２および位置ズレ（Ｘ方向成分）の上限Ｘｔｈ２を修正したときの表示の一例を示す図である。
図１６に示すように、図１５に示した誤判定範囲１１６が生じないようはんだの体積の割合の下限をＶｔｈ２’（Ｖｔｈ２＜Ｖｔｈ２’）、はんだの位置ズレ（Ｘ方向成分）の上限はＸｔｈ２’（Ｘｔｈ２＞Ｘｔｈ２’）と設定しても良い。
【００４２】
このように、同一部品を接合する１対のランドの間ではんだの体積差を含む複数のはんだの情報と、はんだの情報の許容範囲を表示することで、利用者がはんだの良否判定を行う許容範囲の設定をより適切に設定することが可能となる。
【００４３】
上記の実施の形態の一部または全部は、以下の付記のようにも記載され得るが、以下には限られない。
（付記１）基板上に１対の端子が具備された部品を搭載するための１対のランドに対して印刷されたはんだの形状を示す情報をはんだ情報として取得するはんだ情報取得部と、
前記はんだ情報取得部が取得したはんだ情報に基づいて、前記１対のランドに対して印刷される１対のはんだの互いの体積差を算出し、該算出した体積差を表示する表示部とを有するはんだ検査装置。
（付記２）前記表示部は、前記体積差として、前記１対のランドに対して印刷される１対のはんだの一方の体積に対する他方の体積の比率を前記体積差として算出する、付記１に記載のはんだ検査装置。
（付記３）前記はんだ情報取得部は、前記はんだ情報として前記はんだの印刷位置を示す情報を取得し、
前記印刷されるはんだの印刷位置の目標となる目標位置と、前記１対のランドの情報とをあらかじめ記憶する記憶部と、
外部からの入力に基づいて、前記はんだの印刷の許容範囲を設定する設定部と、
前記はんだ情報取得部が取得したはんだ情報と、前記記憶部が記憶している目標位置とに基づいて、前記はんだの印刷位置のずれを算出し、該算出したずれが前記許容範囲に含まれるかどうかに基づいて、前記印刷されたはんだの良否を判定する判定部とを有し、
前記表示部は、前記体積差と、前記はんだ情報取得部が取得したはんだ情報とを表示する、付記１または付記２に記載のはんだ検査装置。
（付記４）前記判定部は、前記はんだ情報取得部が取得したはんだ情報が示す前記はんだの形状を示す体積が前記許容範囲に含まれるかどうかに基づいて、前記印刷されたはんだの良否を判定する、付記３に記載のはんだ検査装置。
（付記５）前記表示部は、前記判定部が算出したずれをさらに表示する、付記３または付記４に記載のはんだ検査装置。
（付記６）前記表示部は、前記判定部が判定したはんだの良否を示す情報をさらに表示する、付記３から５のいずれか１項に記載のはんだ検査装置。
（付記７）前記表示部は、前記設定部が設定した許容範囲をさらに表示する、付記３から６のいずれか１項に記載のはんだ検査装置。
（付記８）基板上に１対の端子が具備された部品を搭載するための１対のランドに対して印刷されたはんだの形状を示す情報をはんだ情報として取得する処理と、
前記取得したはんだ情報に基づいて、前記１対のランドに対して印刷される１対のはんだの互いの体積差を算出する処理と、
前記算出した体積差を表示する処理とを行うはんだ検査方法。
（付記９）前記体積差として、前記１対のランドに対して印刷される１対のはんだの一方の体積に対する他方の体積の比率を前記体積差として算出する、付記８に記載のはんだ検査方法。
（付記１０）前記はんだ情報として前記はんだの印刷位置を示す情報を取得し、
前記印刷されるはんだの印刷位置の目標となる目標位置と、前記１対のランドの情報とをあらかじめ記憶する処理と、
外部からの入力に基づいて、前記はんだの印刷の許容範囲を設定する処理と、
前記取得したはんだ情報と、前記記憶している目標位置とに基づいて、前記はんだの印刷位置のずれを算出する処理と、
前記算出したずれが前記許容範囲に含まれるかどうかに基づいて、前記印刷されたはんだの良否を判定する処理と、
前記体積差と、前記はんだ情報取得部が取得したはんだ情報とを表示する処理とを行う、付記８または付記９に記載のはんだ検査方法。
（付記１１）前記取得したはんだ情報が示す前記はんだの形状を示す体積が前記許容範囲に含まれるかどうかに基づいて、前記印刷されたはんだの良否を判定する処理を行う、付記１０に記載のはんだ検査方法。
（付記１２）前記算出したずれをさらに表示する処理を行う、付記１０または付記１１に記載のはんだ検査方法。
（付記１３）前記判定したはんだの良否を示す情報をさらに表示する処理を行う、付記１０から１２のいずれか１項に記載のはんだ検査方法。
（付記１４）前記設定した許容範囲をさらに表示する処理を行う、付記１０から１３のいずれか１項に記載のはんだ検査方法。
【符号の説明】
【００４４】
１ａ，１ｂ，２ａ，２ｂ    ランド
１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ    はんだ
１０１    基板
１０２，１０３    計測値
１１０    良品範囲
１１１，１１３，１１６    誤判定範囲
１１２，１１４，１１５，１１７    過検出範囲
２００，２０１    はんだ検査装置
２１０，２１１    はんだ情報取得部
２２１    記憶部
２３１    設定部
２４１    判定部
２５０，２５１    表示部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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