(57)【要約】【課題】プローブユニットの第１プローブに与えるダメージを低減しつつ第１プローブを確実にクリーニングする。【解決手段】プローブユニット３１を基板１００の下面１００ａに接離する第１の方向に移動させる第１移動機構１１と、基板１００の上面１００ｂに平行な第２の方向および上面１００ｂに接離する第３の方向に第２プローブ４２を移動させる第２移動機構１２と、第１移動機構１１および第２移動機構１２を制御する制御部１８と、プローブユニット３１の第１プローブ４１および第２プローブ４２を介して入出力する電気信号に基づいて基板１００を検査する検査部１４と、第２移動機構１２によって移動させられるブラシ１３とを備え、制御部１８は、第２移動機構１２を制御して、クリーニング対象プローブ５１にブラシ１３を接触させた状態で移動させてクリーニング対象プローブ５１をクリーニングさせるクリーニング処理を実行する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の第１プローブが配設されたプローブユニットを基板の一面に接離する第１の方向に移動させて当該一面に対する当該各第１プローブのプロービングを行う第１移動機構と、前記基板の他面に平行な第２の方向および当該他面に接離する第３の方向に第２プローブを移動させて当該他面に対する当該第２プローブのプロービングを行う第２移動機構と、前記第１移動機構および前記第２移動機構を制御する制御部と、前記第１プローブおよび前記第２プローブを介して入出力する電気信号に基づいて前記基板を検査する検査部とを備えた基板検査装置であって、
前記第２移動機構によって前記第２の方向および前記第３の方向に移動させられるクリーニング部材を備え、
前記制御部は、前記第２移動機構を制御して、前記各第１プローブのうちのクリーニングが必要なプローブとしてのクリーニング対象プローブに対して前記クリーニング部材を接触させた状態で当該クリーニング部材を移動させて当該クリーニング対象プローブをクリーニングさせるクリーニング処理を実行する基板検査装置。
【請求項２】
前記第２プローブおよび前記クリーニング部材は、前記クリーニング処理の際に当該第２プローブが前記プローブユニットに接触しない位置関係で前記第２移動機構の取付部に取り付けられた状態で当該第２移動機構によって共に移動させられる請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記検査部による検査結果に基づいて前記クリーニング対象プローブを特定する処理を実行する処理部を備え、
前記制御部は、前記処理部によって特定された前記クリーニング対象プローブに対して前記クリーニング処理を実行する請求項１または２記載の基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の一面および他面にそれぞれプロービングさせた第１プローブおよび第２プローブを介して入出力する電気信号に基づいて基板を検査する基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板検査装置として、下記特許文献１に開示された検査装置が知られている。この検査装置は、回転テーブル、検査ピンボードおよび検査回路を備えて構成されている。この検査装置では、回転テーブルに設けられているピンによって支持されたＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）が回転テーブルの回転によって検査ピンボードの配置位置に搬送される。次いで、検査ピンボードのプローブがＦＰＣの表面にプロービングさせられ、その状態で検査回路によってＦＰＣの不良の有無が検査される。次いで、検査が終了したときには、回転テーブルの回転によってＦＰＣが搬出位置に搬送される。また、回転テーブルには、ブラシが設けられており、回転テーブルの回転に伴ってブラシが検査ピンボードのプローブをこすり、これによってプローブに付着している異物を除去することが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開平２−１２６７５号公報（第５−１０頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記した従来の検査装置には、以下の問題点がある。すなわち、従来の検査装置では、回転テーブルに設けられているブラシを回転テーブルの回転によってピンボードのプローブにこすりつけることでプローブから異物を除去している。この場合、各プローブは、長さ（ピンボードの基体部からの突出長）が僅かずつ異なることがある。このため、ピンボードまでの距離が一定の（変化しない）状態で各プローブにブラシをこすりつける従来の検査装置では、例えば、短いプローブに付着している異物の除去が困難なことがある。また、一般的に、異物は、各プローブのうちの一部のプローブにだけ付着する。しかしながら、従来の検査装置では、一部のプローブにだけ異物が付着している場合においても、回転テーブルの回転によって各プローブの全てに対してブラシをこすりつけるため、ブラシのこすりつけによって各プローブがダメージを受ける頻度が高く、プローブの耐久性が低下するおそれがある。また、従来の検査装置では、プローブに異物が付着しているか否かに拘わらず、回転テーブルが回転する度に、ブラシがプローブをこすりつけるため、各プローブがダメージを受ける頻度がさらに高く、プローブの耐久性がさらに低下するおそれがある。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、プローブユニットの第１プローブに与えるダメージを低減しつつ第１プローブを確実にクリーニングし得る基板検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の基板検査装置は、複数の第１プローブが配設されたプローブユニットを基板の一面に接離する第１の方向に移動させて当該一面に対する当該各第１プローブのプロービングを行う第１移動機構と、前記基板の他面に平行な第２の方向および当該他面に接離する第３の方向に第２プローブを移動させて当該他面に対する当該第２プローブのプロービングを行う第２移動機構と、前記第１移動機構および前記第２移動機構を制御する制御部と、前記第１プローブおよび前記第２プローブを介して入出力する電気信号に基づいて前記基板を検査する検査部とを備えた基板検査装置であって、前記第２移動機構によって前記第２の方向および前記第３の方向に移動させられるクリーニング部材を備え、前記制御部は、前記第２移動機構を制御して、前記各第１プローブのうちのクリーニングが必要なプローブとしてのクリーニング対象プローブに対して前記クリーニング部材を接触させた状態で当該クリーニング部材を移動させて当該クリーニング対象プローブをクリーニングさせるクリーニング処理を実行する。
【０００７】
また、請求項２記載の基板検査装置は、請求項１記載の基板検査装置において、前記第２プローブおよび前記クリーニング部材は、前記クリーニング処理の際に当該第２プローブが前記プローブユニットに接触しない位置関係で前記第２移動機構の取付部に取り付けられた状態で当該第２移動機構によって共に移動させられる。
【０００８】
また、請求項３記載の基板検査装置は、請求項１または２記載の基板検査装置において、前記検査部による検査結果に基づいて前記クリーニング対象プローブを特定する処理を実行する処理部を備え、前記制御部は、前記処理部によって特定された前記クリーニング対象プローブに対して前記クリーニング処理を実行する。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１記載の基板検査装置では、第２移動機構によって第２の方向および第３の方向に移動させられるクリーニング部材を備え、制御部が第２移動機構を制御してプローブユニットのクリーニング対象プローブに対してクリーニング部材を接触させた状態でクリーニング部材を移動させてクリーニング対象プローブをクリーニングさせるクリーニング処理を実行する。このため、この基板検査装置では、第２移動機構を制御して、例えば、クリーニング対象プローブの先端部よりも下側にクリーニング部材が位置するように、クリーニング部材を移動させることで、クリーニング部材をクリーニング対象プローブの先端部に確実に接触させた状態でクリーニング処理を行うことができる。したがって、この基板検査装置によれば、クリーニング部材からプローブユニットまでの距離が一定の状態で各第１プローブにクリーニング部材をこすりつける従来の検査装置とは異なり、クリーニング対象プローブの長さにばらつきがある場合においても、クリーニング対象プローブを確実にクリーニングすることができる。また、この基板検査装置では、クリーニング処理の際のクリーニング部材の移動距離を短く規定することで、クリーニング対象プローブの位置を中心とした限られた範囲に存在する第１プローブに対してのみクリーニング部材を接触させることができる。さらに、この基板検査装置では、クリーニング対象プローブが存在するときにのみクリーニング処理を実行させることができる。したがって、この基板検査装置によれば、クリーニング部材の接触による各第１プローブに与えるダメージを十分に低減することができる。
【００１０】
また、請求項２記載の基板検査装置では、クリーニング処理の際に第２プローブがプローブユニットに接触しない位置関係で、第２プローブおよびクリーニング部材が第２移動機構の取付部に取り付けられている。このため、この基板検査装置によれば、クリーニング処理の際に取付部から第２プローブを取り外す作業を行うことなく（第２プローブを取付部に取り付けたまま）クリーニング処理を実行させることができる。したがって、この基板検査装置によれば、クリーニング処理の効率を十分に向上させることができる。
【００１１】
また、請求項３記載の基板検査装置によれば、制御部が、検査部による検査結果に基づいてクリーニング対象プローブを特定することにより、目視では困難なクリーニング対象プローブの特定を自動的に行うことができるため、クリーニング処理の効率をさらに向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】基板検査装置１の動作を説明する第１の説明図である。
【図３】基板検査装置１の動作を説明する第２の説明図である。
【図４】基板検査装置１の動作を説明する第３の説明図である。
【図５】基板検査装置１の動作を説明する第４の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、基板検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１４】
最初に、基板検査装置の一例としての図１に示す基板検査装置１の構成について説明する。基板検査装置１は、同図に示すように、基板固定部１０、第１移動機構１１、第２移動機構１２、ブラシ１３、検査部１４、記憶部１５、表示部１６、操作部１７および制御部１８を備えて、基板１００を検査可能に構成されている。
【００１５】
基板固定部１０は、図１に示すように、基台２１および複数（例えば、２つ）のクランプ２２を備えて、基板１００を固定可能に構成されている。基台２１は、板状に形成されている。また、基台２１の中央部には、基板１００の下面１００ａに対する後述するプローブユニット３１の第１プローブ４１（同図参照）のプロービングを可能とするための開口部２１ａが形成されている。各クランプ２２は、同図に示すように、基台２１の開口部２１ａにおける互いに対向する縁部の近傍に配設されて、基板１００の縁部をクランプ（挟持）する。
【００１６】
また、基板固定部１０は、図２，３に示す検査位置Ｐ１と、図４，５に示すクリーニング位置Ｐ２との間を、図外の移動部によって移動せられる。この場合、検査位置Ｐ１は、固定している基板１００に対してプローブユニット３１の第１プローブ４１をプロービングさせて検査処理を実行する位置であって、図２，３に示すように、基板固定部１０がこの検査位置Ｐ１に位置しているときには、固定している基板１００がプローブユニット３１に対向する。また、クリーニング位置Ｐ２は、ブラシ１３を用いてプローブユニット３１の第１プローブ４１をクリーニングする位置であって、図４，５に示すように、基板固定部１０がこのクリーニング位置Ｐ２に位置しているときには、基板固定部１０が第１プローブ４１に対向しない（基板固定部１０が第１プローブ４１の上方に位置しない）状態となる。
【００１７】
第１移動機構１１は、基板固定部１０によって固定されている基板１００の下面１００ａ（一面）に接離する方向（第１の方向に相当し、図２に示すＺ方向）にプローブユニット３１を移動させて下面１００ａに対するプローブユニット３１の第１プローブ４１のプロービングを行う（プロービング処理の実行）。この場合、プローブユニット３１は、同図に示すように、基板１００の下面１００ａにおいて予め規定されている複数のプロービング対象部位にそれぞれ接触（プロービング）可能な複数の第１プローブ４１を備えて治具型に構成されている。
【００１８】
第２移動機構１２は、基板固定部１０によって固定されている基板１００の上面１００ｂ（他面）に平行な方向（第２の方向に相当し、図２に示すＸ方向、およびＸ方向に直交するＹ方向：以下両者を併せて「ＸＹ方向」ともいう）並びに上面１００ｂに接離する方向（第３の方向に相当し、同図に示すＺ方向（つまり、この例では、第１の方向と第３の方向とが同じ方向））に第２プローブ４２を移動させて上面１００ｂに対する第２プローブ４２のプロービングを行う（プロービング処理の実行）。この場合、第２プローブ４２は、同図に示すように、第２移動機構１２の取付部３２に取り付けられている。
【００１９】
ブラシ１３は、プローブユニット３１の第１プローブ４１をクリーニングするクリーニング処理の際に用いるクリーニング部材の一例であって、例えば、樹脂製の毛が基体部に植設されて構成されている。また、ブラシ１３は、図２に示すように、第２プローブ４２と共に第２移動機構１２の取付部３２に取り付けられた状態で第２移動機構１２によって第２プローブ４２と共に上記したＸＹ方向およびＺ方向に移動させられる。この場合、第２プローブ４２およびブラシ１３は、図５に示すように、クリーニング処理の際に第２プローブ４２がプローブユニット３１に接触しない位置関係で取付部３２に取り付けられている。
【００２０】
検査部１４は、第１プローブ４１および第２プローブ４２を介して入出力する電気信号に基づいて基板１００を検査して、検査結果を示す検査結果データＤｔを出力する検査処理を実行する。記憶部１５は、第１移動機構１１および第２移動機構１２によって実行されるプロービング処理において用いられるデータであって、基板１００のプロービング対象部位を示す情報を含んだ基板データＤｂを記憶する。また、記憶部１５は、検査部１４から出力される検査結果データＤｔを記憶する。また、記憶部１５は、制御部１８によって生成されるデータであって、プローブユニット３１における各第１プローブ４１のうちのクリーニングが必要なプローブとして指定された第１プローブ４１（以下、「クリーニング対象プローブ５１」ともいう）の位置を示す位置データＤｐを記憶する。
【００２１】
表示部１６は、制御部１８の制御に従い、検査部１４によって実行される検査処理の結果等の各種の情報を表示する。操作部１７は、各種の操作ボタンを備え、操作ボタンが操作されたときに操作信号を出力する。
【００２２】
制御部１８は、操作部１７から出力される操作信号に従って基板検査装置１を構成する各構成要素を制御する。具体的には、制御部１８は、第１移動機構１１および第２移動機構１２を制御して、プロービング処理を実行させる。また、制御部１８は、検査部１４を制御して、検査処理を実行させる。また、制御部１８は、第１移動機構１１および第２移動機構１２を制御して、プローブユニット３１のクリーニング対象プローブ５１をクリーニングさせるクリーニング処理を実行する。
【００２３】
また、制御部１８は、処理部として機能し、プローブユニット３１におけるクリーニング対象プローブ５１（クリーニングが必要な第１プローブ４１）を検査部１４による検査結果（検査結果データＤｔ）に基づいて特定（指定）する特定処理を実行する。この場合、制御部１８は、クリーニング対象プローブ５１を特定したときには、クリーニング対象プローブ５１の位置を特定する位置データＤｐを生成して記憶部１５に記憶させる。
【００２４】
次に、基板検査装置１を用いて基板１００を検査する方法、およびその際の基板検査装置１の動作について、添付図面を参照して説明する。なお、初期状態において、基板固定部１０が検査位置Ｐ１に位置しているものとする（図２参照）。
【００２５】
まず、図１に示すように、基台２１の開口部２１ａにおける互いに対向する縁部の近傍に配設された各クランプ２２で検査対象の基板１００における対向する２つの縁部をクランプして、基板１００を基板固定部１０に固定する。
【００２６】
次いで、操作部１７を操作して、検査の開始を指示する。この際に、操作部１７が操作信号を出力し、続いて、制御部１８が、操作信号に従って処理を開始する。この場合、制御部１８は、まず、記憶部１５から基板データＤｂを読み出し、次いで、基板データＤｂに基づいて基板１００のプロービング対象部位を特定する。続いて、制御部１８は、第１移動機構１１および第２移動機構１２を制御してプロービング処理を実行させる。この際に、第１移動機構１１は、プロービング処理において、図２，３に示すように、プローブユニット３１をＺ方向に移動させて、基板１００の下面１００ａにおける各プロービング対象部位にプローブユニット３１の各第１プローブ４１をそれぞれプロービング（接触）させる。また、第２移動機構１２は、プロービング処理において、両図に示すように、第２プローブ４２をＸＹ方向およびＺ方向に移動させて、基板１００の上面１００ｂにおけるプロービング対象部位に第２プローブ４２をプロービング（接触）させる。
【００２７】
次いで、制御部１８は、検査部１４を制御して検査処理を実行させる。この検査処理では、検査部１４は、第１プローブ４１および第２プローブ４２を介して入出力した電気信号に基づいて基板１００を検査して、検査結果を示す検査結果データＤｔを出力する。続いて、制御部１８は、検査結果データＤｔを記憶部１５に記憶させる。
【００２８】
次いで、制御部１８は、基板１００の上面１００ｂにおけるプロービング対象部位が複数存在するときには、第２移動機構１２を制御して、次のプロービング対象部位に第２プローブ４２をプロービングさせ、検査部１４に検査処理を実行させる。続いて、制御部１８は、全てのプロービング対象部位に第２プローブ４２をプロービングさせてそれぞれ実行させた各検査検査処理が終了したときには、検査結果データＤｔに基づく基板１００の検査結果を表示部１６に表示させる。次いで、制御部１８は、第１移動機構１１を制御して、プローブユニット３１の第１プローブ４１を基板１００の下面１００ａから離間させる（初期位置に移動させる）と共に、第２移動機構１２を制御して、第２プローブ４２を基板１００の上面１００ｂから離間させる（初期位置に移動させる）。続いて、基板１００を基板固定部１０から取り外す。以上により基板１００の検査が終了する
【００２９】
次いで、次の検査対象の基板１００を基板固定部１０に固定し、検査の開始を指示する。これに応じて、制御部１８が、第１移動機構１１および第２移動機構１２を制御してプロービング処理を実行させ、検査部１４を制御して検査処理を実行させる。続いて、制御部１８は、基板１００の検査結果を表示部１６に表示させる。次いで、基板１００を基板固定部１０から取り外す。以下、他の基板１００を検査する際には、上記した各工程（処理）を繰り返して実行する。
【００３０】
ここで、例えば、多数のプロービング対象部位が狭い間隔で並んでいる基板１００を検査するプローブユニット３１では、プロービング対象部位に対応して、多数の第１プローブ４１が狭い間隔で並んで配設されている。このようなプローブユニット３１では、第１プローブ４１に埃やゴミ等の異物が付着し易いため、このような異物の付着によって正確な検査が困難となるおそれがある。この基板検査装置１では、このような事態を防止するため、第１プローブ４１をクリーニングする機能が備えられている。
【００３１】
この機能を用いて第１プローブ４１のクリーニングを行う際には、操作部１７を捜査して、クリーニングの実行を指示する。この際に、操作部１７が操作信号を出力し、続いて、制御部１８が、操作信号に従って処理を開始する。この場合、制御部１８は、まず、記憶部１５から検査結果データＤｔを読み出し、次いで、検査結果データＤｔに基づき、プローブユニット３１におけるクリーニングが必要なクリーニング対象プローブ５１の位置を特定する特定処理を実行する。
【００３２】
この場合、例えば、プローブユニット３１の第１プローブ４１に異物が付着しているときには、その第１プローブ４１を介した電気信号の入出力が阻害される。このため、この状態のプローブユニット３１を用いて複数の基板１００を検査したときには、異物が付着している第１プローブ４１がプロービングされているプロービング対象についての検査結果が各基板１００において連続して不良となることがある。制御部１８は、検査結果がこのような状態のときには、そのプロービング対象にプロービングさせられる第１プローブ４１をクリーニング対象プローブ５１として特定し、その位置を示す位置データＤｐを生成して、記憶部１５に記憶させる。
【００３３】
続いて、制御部１８は、クリーニング処理を実行する。このクリーニング処理では、制御部１８は、基板固定部１０における図外の移動部を制御して、図４に示すように、基板固定部１０を検査位置Ｐ１からクリーニング位置Ｐ２（同図に示す矢印Ｘ１の向き）に移動させる。この際に、基板固定部１０が第１プローブ４１に対向しない（基板固定部１０が第１プローブ４１の上方に位置しない）状態となる。
【００３４】
次いで、制御部１８は、第１移動機構１１を制御して、図４，５に示すように、プローブユニット３１の第１プローブ４１を基板１００の下面１００ａにプロービングさせるときの高さと同じ高さまでプローブユニット３１をＺ方向に移動させる。続いて、制御部１８は、記憶部１５から位置データＤｐを読み出して、クリーニング対象プローブ５１の位置を特定する。次いで、制御部１８は、第２移動機構１２を制御して、図４に示すように、ブラシ１３をＸＹ方向およびＺ方向に移動させて、図５に示すように、クリーニング対象プローブ５１の位置にブラシ１３を位置させる。この場合、ブラシ１３のＸＹ方向の中心部（つまり、ブラシ１３を平面視した状態の中心部）にクリーニング対象プローブ５１の先端部が位置し、かつブラシ１３の毛の部分の先端部がクリーニング対象プローブ５１の先端部よりも下側に位置するように（ブラシ１３の毛の部分がクリーニング対象プローブ５１の先端部に確実に接触可能となるように）ブラシ１３を移動させる。
【００３５】
続いて、制御部１８は、図５に示すように、第２移動機構１２を制御して、ブラシ１３がクリーニング対象プローブ５１に接触している状態で、ブラシ１３をＸＹ方向に移動（例えば、Ｘ方向に往復移動）させる。この場合、ブラシ１３の移動距離を、例えば、ブラシ１３のＸ方向の長さの１／２倍〜２倍程度に規定する。
【００３６】
上記したように、この基板検査装置１では、クリーニング処理において、クリーニング対象プローブ５１の位置を特定して第２移動機構１２を制御してその位置にブラシ１３を位置させ、クリーニング対象プローブ５１に対してブラシ１３を接触させた状態でブラシ１３を移動させてクリーニング対象プローブ５１をクリーニングさせる。このため、クリーニング対象プローブ５１に付着している異物がブラシ１３によって確実に除去される。
【００３７】
次いで、制御部１８は、第２移動機構１２を制御してブラシ１３の往復移動を停止させ、続いて、ブラシ１３を初期位置に移動させる。また、制御部１８は、第１移動機構１１を制御して、プローブユニット３１を初期位置に移動させる。次いで、制御部１８は、基板固定部１０を制御して、クリーニング位置Ｐ２から検査位置Ｐ１に基板固定部１０を移動させる。以上により、第１プローブ４１のクリーニングが終了する。
【００３８】
このように、この基板検査装置１では、第２移動機構１２によってＸＹ方向およびＺ方向に移動させられるブラシ１３を備え、制御部１８が第２移動機構１２を制御してプローブユニット３１のクリーニング対象プローブ５１に対してブラシ１３を接触させた状態で移動させてクリーニング対象プローブ５１をクリーニングさせるクリーニング処理を実行する。このため、この基板検査装置１では、第２移動機構１２を制御して、例えば、クリーニング対象プローブ５１の先端部よりも下側にブラシ１３が位置するように、ブラシ１３を移動させることで、ブラシ１３をクリーニング対象プローブ５１の先端部に確実に接触させた状態でクリーニング処理を行うことができる。したがって、この基板検査装置１によれば、ブラシ１３からプローブユニット３１までの距離が一定の状態で各第１プローブ４１にブラシ１３をこすりつける従来の検査装置とは異なり、クリーニング対象プローブ５１の長さにばらつきがある場合においても、クリーニング対象プローブ５１を確実にクリーニング（付着した異物を確実に除去）することができる。また、この基板検査装置１では、クリーニング処理の際のブラシ１３の移動距離を短く規定することで、クリーニング対象プローブ５１の位置を中心とした限られた範囲に存在する第１プローブ４１に対してのみブラシ１３を接触させることができる。さらに、この基板検査装置１では、クリーニング対象プローブ５１が存在するときにのみクリーニング処理を実行させることができる。したがって、この基板検査装置１によれば、ブラシ１３の接触による各第１プローブ４１に与えるダメージを十分に低減することができる。
【００３９】
また、この基板検査装置１では、クリーニング処理の際に第２プローブ４２がプローブユニット３１に接触しない位置関係で、第２プローブ４２およびブラシ１３が第２移動機構１２の取付部３２に取り付けられている。このため、この基板検査装置１によれば、クリーニング処理の際に取付部３２から第２プローブ４２を取り外す作業を行うことなく（第２プローブ４２を取付部３２に取り付けたまま）クリーニング処理を実行させることができる。したがって、この基板検査装置１によれば、クリーニング処理の効率を十分に向上させることができる。
【００４０】
また、この基板検査装置１によれば、制御部１８が、検査部１４による検査結果に基づいてクリーニング対象プローブ５１を特定することにより、目視では困難なクリーニング対象プローブ５１の特定を自動的に行うことができるため、クリーニング処理の効率をさらに向上させることができる。
【００４１】
なお、基板検査装置の構成は上記した構成に限定されない。例えば、クリーニング部材としてブラシ１３を用いる例について上記したが、第１プローブ４１の形態（剛性や形状）に応じて不織布や発泡樹脂等のブラシ１３以外の部材をクリーニング部材として用いる構成を採用することができる。
【００４２】
また、第２移動機構１２が１つの第２プローブ４２を移動させる（第２プローブ４２を１つだけ用いる）例について上記したが、第２移動機構１２が複数（例えば２つ）の第２プローブ４２を移動させる構成を採用することもできる。また、複数（例えば２つ）の第２移動機構１２を備えて、各第２移動機構１２が１または複数の第２プローブ４２を移動させる構成を採用することもできる。この場合、複数の第２移動機構１２を備える構成では、各第２移動機構１２の各々がブラシ１３（クリーニング部材）をＸＹ方向およびＺ方向に移動させて第１プローブ４１のクリーニングを行うこともできる。
【００４３】
また、制御部１８が特定処理を実行してクリーニング対象プローブ５１を特定する例について上記したが、例えば、基板検査装置１の使用者がクリーニング対象プローブ５１を特定し、そのクリーニング対象プローブ５１の位置を操作部１７から入力して制御部１８にクリーニング処理を実行させる構成を採用することもできる。
【００４４】
また、操作部１７を操作してクリーニングの処理の開始を指示したときに、制御部１８がクリーニング対象プローブ５１を特定する特定処理を実行する例について上記したが、基板１００に対する検査の実行中または検査の終了時に制御部１８が特定処理を実行し、クリーニング対象プローブ５１が存在しているときには、その旨を表示部１６に表示する構成を採用することもできる。また、制御部１８が、特定処理を実行してクリーニング対象プローブ５１が存在している判別したときに、クリーニング処理を自動的に実行する構成を採用することもできる。
【００４５】
また、プローブユニット３１の第１プローブ４１を基板１００の下面１００ａにプロービングさせると共に、第２プローブ４２を基板１００の上面１００ｂにプロービングさせる構成例について上記したが、これとは逆に、第１プローブ４１を上面１００ｂ（一面）にプロービングさせると共に、第２プローブ４２を下面１００ａ（他面）にプロービングさせる構成を採用することもできる。
【符号の説明】
【００４６】
１  基板検査装置
１１  第１移動機構
１２  第２移動機構
１３  ブラシ
１４  検査部
１８  制御部
３１  プローブユニット
３２  取付部
４１  第１プローブ
５１  クリーニング対象プローブ
１００  基板
１００ａ  下面
１００ｂ  上面
【図１】
2016148548.tif 000003
【図２】
2016148548.tif 000004
【図３】
2016148548.tif 000005
【図４】
2016148548.tif 000006
【図５】
2016148548.tif 000007