(57)【要約】【課題】ワイヤとインゴットが短絡した場合に、短絡を短時間で解消することができるマルチワイヤ放電加工装置を提供する。【解決手段】制御手段７０は、判定手段６１２で短絡と判定された場合、高周波パルス電力の印加を所定時間休止させた後、再度判定手段６１２で短絡を検査し、短絡と判定されなくなるまで高周波パルス電力の印加休止と短絡状態の検査を繰り返し実行させる。そして、制御手段７０は、繰り返しを所定回数以上実施しても短絡と判定された場合は、短絡と判定されなくなるまで駆動手段４３によるインゴットＩの加工送りを停止させる、又は短絡と判定されなくなるまで加工送り方向と反対方向にインゴットＩとワイヤＲとを相対移動させる。【選択図】図１
2016163920.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
間隔をおいて隣接する複数のガイドローラに軸方向に間隔をあけて複数回巻き掛けられたワイヤと、並列する該ワイヤにインゴットが切り込むようにインゴットを固定する基台部と該ワイヤとを相対的に切り込み送りさせる駆動手段と、該基台部に固定されたインゴットと該ワイヤとに高周波パルス電力を供給する高周波パルス電源ユニットと、各構成要素を制御する制御手段とを備えるマルチワイヤ放電加工装置であって、
該高周波パルス電源ユニットは、
印加する該高周波パルス電力を調整する電圧調整手段と、
該ワイヤとインゴットに流れた該高周波パルス電力の電圧を測定し、該電圧が閾値に至らない場合にインゴットと該ワイヤとが短絡していると判定する判定手段と、を備え、
該制御手段は、
該判定手段で短絡と判定された場合、該高周波パルス電力の印加を所定時間休止させた後、再度該判定手段で短絡を検査し、短絡と判定されなくなるまで該高周波パルス電力の印加休止と短絡状態の検査を繰り返し実行させ、
該繰り返しを所定回数以上実施しても短絡と判定された場合は、短絡と判定されなくなるまで該駆動手段による加工送りを停止させる、又は短絡と判定されなくなるまで該駆動手段による加工送り方向と反対方向に該基台部と該ワイヤとを相対移動させることを特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マルチワイヤ放電加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、円柱状インゴットからウェーハを切り出す場合等における切断手段として、砥粒を用いたワイヤーソーが知られている。しかし、このようなワイヤーソーでは、加工用砥粒が混合された加工液（スラリー）を同時供給する必要があり、その取扱いは容易でない。また、ワイヤがワークに直接接触するため、特に硬度の高いＳｉＣ（炭化ケイ素）等の場合、加工中にワイヤが断線するおそれがあり、断線が生じた場合には復旧までに長時間を要する不都合があった。
【０００３】
そこで、マルチワイヤ放電加工装置が発案された。放電加工によりワイヤとインゴットは接触していないため、インゴットにかかる負荷が非常に低く、スラリーによるスクラッチ等の傷の発生もないという効果がある。
【０００４】
ところで、放電による被加工物の加工と、ワイヤとインゴットの相対移動速度とが対応しない場合や、ワイヤとインゴットの間に滞留する加工屑によって、ワイヤとインゴットが接続されて短絡することがある。この場合、短絡した箇所に集中して電流が流れ高熱となってワイヤが断線するおそれがある。そこで、装置は、電圧を監視して短絡したか否かを常時監視している。ワイヤとインゴットが短絡した場合、インゴットをワイヤから離間（退避）させて短絡を解消した後、再度放電加工を実施する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−２４０１２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ワイヤとインゴットの間に加工屑が挟まって短絡したとき、ワイヤの走行に伴い加工屑が自然に排出されて短絡が解消する場合があり、インゴットを無駄に退避させ、短絡を解消するまでに時間がかかる課題があった。
【０００７】
そこで、本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、ワイヤとインゴットが短絡した場合に、短絡を短時間で解消することができるマルチワイヤ放電加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るマルチワイヤ放電加工装置は、間隔をおいて隣接する複数のガイドローラに軸方向に間隔をあけて複数回巻き掛けられたワイヤと、並列する該ワイヤにインゴットが切り込むようにインゴットを固定する基台部と該ワイヤとを相対的に切り込み送りさせる駆動手段と、該基台部に固定されたインゴットと該ワイヤとに高周波パルス電力を供給する高周波パルス電源ユニットと、各構成要素を制御する制御手段とを備えるマルチワイヤ放電加工装置であって、該高周波パルス電源ユニットは、印加する該高周波パルス電力を調整する電圧調整手段と、該ワイヤとインゴットに流れた該高周波パルス電力の電圧を測定し、該電圧が閾値に至らない場合にインゴットと該ワイヤとが短絡していると判定する判定手段と、を備え、該制御手段は、該判定手段で短絡と判定された場合、該高周波パルス電力の印加を所定時間休止させた後、再度該判定手段で短絡を検査し、短絡と判定されなくなるまで該高周波パルス電力の印加休止と短絡状態の検査を繰り返し実行させ、該繰り返しを所定回数以上実施しても短絡と判定された場合は、短絡と判定されなくなるまで該駆動手段による加工送りを停止させる、又は短絡と判定されなくなるまで該駆動手段による加工送り方向と反対方向に該基台部と該ワイヤとを相対移動させることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のマルチワイヤ放電加工装置は、短絡が判定されたら所定時間印加を休止して再度短絡判定を行い、その繰り返し動作の回数が所定回数を超えたら加工送りを停止したり、逆方向に加工送りさせることで、過剰な加工停止動作を極力行わずに短絡を解消できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、マルチワイヤ放電加工装置の構成例を示す概略図である。
【図２】図２は、マルチワイヤ放電加工装置の動作例を示すフローチャートである。
【図３】図３は、インゴットの放電加工例を示す側面図である。
【図４】図４は、インゴットの放電加工例を示す拡大図である。
【図５】図５は、インゴットとワイヤの短絡例（その１）を示す拡大図である。
【図６】図６は、インゴットとワイヤの短絡例（その２）を示す拡大図である。
【図７】図７は、短絡及び印加休止の電圧例（その１）を示す波形図である。
【図８】図８は、短絡及び印加休止の電圧例（その２）を示す波形図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【００１２】
〔実施形態〕
実施形態に係るマルチワイヤ放電加工装置の構成例について説明する。図１は、マルチワイヤ放電加工装置の構成例を示す概略図である。図１に示すように、マルチワイヤ放電加工装置１は、ワイヤＲによりインゴットＩの放電加工を実施するものであり、繰り出しボビン２０、巻き取りボビン２１及びガイドローラ部３０を備えている。
【００１３】
繰り出しボビン２０には、黄銅などの金属線であるワイヤＲが一定量巻き回されている。繰り出しボビン２０は、ガイドローラ部３０に向けてワイヤＲを繰り出す。ガイドローラ部３０は、繰り出しボビン２０の近傍に配設され、繰り出しボビン２０から繰り出されたワイヤＲを案内する。ガイドローラ部３０は、複数のガイドローラ３０ａ〜３０ｊから構成されている。ガイドローラ３０ａ〜３０ｊは、円柱状に形成され、ワイヤＲが走行する方向に間隔をおいて配設されている。
【００１４】
ガイドローラ３０ａ，３０ｂは、繰り出しボビン２０の近傍に配設され、繰り出しボビン２０により繰り出されたワイヤＲを巻き掛けてワイヤＲをガイドローラ３０ｃ〜３０ｉに向けて送り出す。
【００１５】
ガイドローラ３０ｃ〜３０ｉは、並列ワイヤ部３１０を構成し、ワイヤＲを環状に支持するように配設されている。例えば、並列ワイヤ部３１０のガイドローラ３０ｃ，３０ｄ，３０ｅ，３０ｇ，３０ｈ，３０ｉは、環状のワイヤＲを内側から支持し、ガイドローラ３０ｆは、環状に構成された並列ワイヤ部３１０のワイヤＲに対して外側から支持するように配設されている。並列ワイヤ部３１０は、ガイドローラ３０ａ，３０ｂにより送り出されたワイヤＲを軸方向（Ｙ軸方向）に一定の間隔をおいて複数回巻き掛ける。並列ワイヤ部３１０のワイヤＲは、例えば、軸方向に０．５ｍｍ〜数ｍｍ程度の間隔をあけてガイドローラ３０ｃ〜３０ｉに８周巻き掛けられている。
【００１６】
ここで、Ｙ軸方向は、ガイドローラ３０ａ〜３０ｊの軸方向である。Ｘ軸方向は、Ｙ軸方向と直交する方向である。Ｚ軸方向は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向、本実施形態では、鉛直方向である。
【００１７】
並列ワイヤ部３１０において、ガイドローラ３０ｃは、ガイドローラ３０ｂにより送り出されたワイヤＲを巻き掛けてガイドローラ３０ｄに送り出す。ガイドローラ３０ｄは、ガイドローラ３０ｃにより送り出されたワイヤＲを巻き掛けてガイドローラ３０ｅに送り出す。ガイドローラ３０ｅは、ガイドローラ３０ｄにより送り出されたワイヤＲを巻き掛けてガイドローラ３０ｆに送り出す。ガイドローラ３０ｆは、ガイドローラ３０ｅにより送り出されたワイヤＲを巻き掛けてガイドローラ３０ｇに送り出す。ガイドローラ３０ｇは、ガイドローラ３０ｆにより送り出されたワイヤＲを巻き掛けてガイドローラ３０ｈに送り出す。ガイドローラ３０ｈは、ガイドローラ３０ｇにより送り出されたワイヤＲを巻き掛けてガイドローラ３０ｉに送り出す。ガイドローラ３０ｉは、ガイドローラ３０ｈにより送り出されたワイヤＲを巻き掛けてガイドローラ３０ｃに送り出す。これで、並列ワイヤ部３１０を構成するガイドローラ３０ｃ〜３０ｉに１周巻き掛けられたことになる。ワイヤＲは、軸方向に０．５ｍｍ〜数ｍｍ程度の間隔をあけつつ並列ワイヤ部３１０のガイドローラ３０ｃ〜３０ｉに残り７周巻き掛けられる。並列ワイヤ部３１０は、８周巻き掛けられた最後のワイヤＲをガイドローラ３０ｊに送り出す。
【００１８】
ガイドローラ３０ｊは、巻き取りボビン２１の近傍に配設され、並列ワイヤ部３１０から送り出されたワイヤＲを巻き掛けて巻き取りボビン２１に送り出す。巻き取りボビン２１は、ガイドローラ３０ｊから送り出された使用済みのワイヤＲを巻き取って回収する。
【００１９】
なお、繰り出しボビン２０、巻き取りボビン２１及びガイドローラ３０ａ〜３０ｊは、図示しないモータによって回転駆動される。全てのガイドローラ３０ａ〜３０ｊをモータ駆動とする必要はなく、例えば、並列ワイヤ部３１０を構成しないガイドローラ３０ａ，３０ｂ，３０ｊを従動ローラとしてもよい。ガイドローラ３０ａ〜３０ｊに巻き掛けられたワイヤＲが走行する速度は、０．５m/sec〜１m/sec程度である。
【００２０】
並列ワイヤ部３１０のワイヤＲは、一対のガイドローラ３０ｇ，３０ｈによりＺ軸方向に沿って一定のテンションを有して張設されている。ガイドローラ３０ｇ，３０ｈにより張設されたワイヤＲは、インゴットＩをスライスする切断ワイヤ部３２０を構成する。切断ワイヤ部３２０のワイヤＲは、Ｚ軸方向に沿って上向きへ走行する。
【００２１】
インゴットＩは、円柱形状であり、切断ワイヤ部３２０のワイヤＲの間隔で円板状にスライスされる。インゴットＩは、導電性がある材料であり、ＳｉＣ、単結晶ダイヤ、シリコン、ＧａＮ（窒化ガリウム）等から形成される。
【００２２】
切断ワイヤ部３２０の近傍には、インゴットＩを支持する支持機構４０が設けられている。支持機構４０は、基台部４１と、支持柱４２と、駆動手段４３とを備えている。基台部４１は、インゴットＩを固定するものである。基台部４１は、基台４１ａと、基台４１ａに固定された板状のサブストレート４１ｂとを備えている。サブストレート４１ｂの前面４１ｃには、インゴットＩの側面Ｉａが導電性接着剤Ｂにより接着されて固定される。インゴットＩは、その端面Ｉｅが切断ワイヤ部３２０のワイヤＲが走行するＺ軸方向とほぼ平行になるように基台部４１のサブストレート４１ｂに固定される。
【００２３】
支持柱４２は、棒状に形成されており、Ｚ軸方向に立設されている。支持柱４２は、一端に基台部４１が固定され、他端に駆動手段４３が固定されている。駆動手段４３は、インゴットＩとワイヤＲとをＸ軸方向に相対移動させるものである。例えば、駆動手段４３は、Ｘ軸方向に沿って延在される図示しないボールねじと、パルスモータ等で構成される駆動源とを有する。駆動手段４３は、ボールねじのナットに固定された支持柱４２をＸ軸方向に沿って移動させ、支持柱４２に固定された基台部４１のインゴットＩを切断ワイヤ部３２０のワイヤＲに切り込ませる。例えば、駆動手段４３は、パルスモータが正回転されると、インゴットＩをワイヤＲに切り込ませる加工送り方向へ移動させる。また、駆動手段４３は、パルスモータが逆回転されると加工送り方向と反対方向、すなわちインゴットＩがワイヤＲから離反する方向へインゴットＩを移動させる。
【００２４】
マルチワイヤ放電加工は、誘電体である水や油などの加工液Ｆの中で実施される。切断ワイヤ部３２０は、加工液Ｆが貯留された加工槽５０の中に浸漬されている。加工槽５０の中で、加工液Ｆに浸漬された切断ワイヤ部３２０のワイヤＲがインゴットＩを加工する。
【００２５】
加工槽５０の前面５１には、基台部４１を取り付けるための円形の開口穴５２が設けられている。加工槽５０の開口穴５２に基台部４１が差し込まれ、図示しないゴムパッキン等のシール部材により開口穴５２と基台部４１との隙間が密閉されている。開口穴５２と基台部４１との隙間は、シール部材により密閉されているので、加工液Ｆが加工槽５０の開口穴５２から漏れ出すことなく、基台部４１は、加工槽５０に対してＸ軸方向に往復移動が可能となる。
【００２６】
加工槽５０は、その上面に開口部５３を有しており、ガイドローラ３０ｆにより送り出されたワイヤＲは、開口部５３から加工槽５０の内部に進入する。加工槽５０の内部に進入したワイヤＲは、加工槽５０内に配設されたガイドローラ３０ｇにより開口部５３から加工槽５０の外部に送り出される。
【００２７】
マルチワイヤ放電加工装置１は、ワイヤＲとインゴットＩに給電する給電機構６０を備えている。給電機構６０は、高周波パルス電源ユニット６１と、ワイヤ用電極６２と、図示しない基台用電極とを備えている。
【００２８】
高周波パルス電源ユニット６１は、ワイヤＲと、基台部４１に固定されたインゴットＩとに高周波パルス電力を供給する。例えば、高周波パルス電源ユニット６１は、ワイヤ用電極６２に接続され、ワイヤ用電極６２を介して高周波パルス電力をワイヤＲに供給する。ワイヤ用電極６２は、棒状に形成され、ガイドローラ３０ｈとガイドローラ３０ｉとの間に張設されるワイヤＲに当接されている。また、高周波パルス電源ユニット６１は、基台部４１に固定される図示しない基台用電極に接続され、基台部４１を介して高周波パルス電力をインゴットＩに供給する。
【００２９】
高周波パルス電源ユニット６１から高周波パルス電力を供給して、ワイヤＲとインゴットＩとの極間に電圧を印加すると、ワイヤＲは、正面に配置されたインゴットＩに対して放電を行う。例えば、加工液Ｆ中で絶縁状態にあるインゴットＩとワイヤＲの間隔が数十μｍ位まで近づくと、両者の絶縁が破壊されて放電が発生する。この放電によってインゴットＩが加熱されて溶融され、さらに液体の温度が急激に上昇することにより液体が気化し、体積膨張によって溶融箇所を飛散させる。このように、高周波パルス電力を切断ワイヤ部３２０のワイヤＲに供給することで、インゴットＩを溶融すると共に飛散させる処理を断続的に行ってインゴットＩの放電加工を実施する。
【００３０】
高周波パルス電源ユニット６１は、電圧調整手段６１０と、パルス調整手段６１１と、判定手段６１２とを備えている。電圧調整手段６１０は、高周波パルス電力の電圧を調整するものである。電圧調整手段６１０は、例えば１５０Ｖの電圧を印加する。
【００３１】
パルス調整手段６１１は、高周波パルス電力の周波数を所定の周波数に調整するものである。パルス調整手段６１１は、例えば６００ｋＨｚ程度の周波数で、１パルス幅が６usec程度の高周波パルス電力を出力する。
【００３２】
判定手段６１２は、インゴットＩとワイヤＲとの短絡を判定するものである。例えば、判定手段６１２は、ワイヤＲとインゴットＩに印加した高周波パルス電力の電圧を測定し、電圧が短絡判定用の閾値に至らない場合にインゴットＩとワイヤＲとが短絡していると判定する。例えば、放電加工時の高周波パルス電力の電圧は、１２０Ｖ程度であり、短絡判定用の閾値は、８０Ｖである。放電加工時の高周波パルス電力の電圧（１２０Ｖ程度）が、閾値（８０Ｖ）に至らない場合に、インゴットＩとワイヤＲとが短絡していると判定する。
【００３３】
マルチワイヤ放電加工装置１は、繰り出しボビン２０、巻き取りボビン２１、ガイドローラ３０ａ〜３０ｊ、駆動手段４３及び高周波パルス電源ユニット６１を制御する制御手段７０を備えている。制御手段７０は、繰り出しボビン２０、巻き取りボビン２１及びガイドローラ３０ａ〜３０ｊにモータ駆動信号を出力し、ワイヤＲの繰り出しや巻き取り、ワイヤＲの案内をするように制御する。また、制御手段７０は、駆動手段４３にモータ駆動信号を出力してインゴットＩを切断ワイヤ部３２０のワイヤＲに切り込ませるように制御する。また、制御手段７０は、高周波パルス電源ユニット６１に制御信号を出力して高周波パルス電力の出力時間などを制御する。
【００３４】
次に、マルチワイヤ放電加工装置１の動作例について説明する。図２は、マルチワイヤ放電加工装置の動作例を示すフローチャートである。図３は、インゴットの放電加工例を示す側面図である。図４は、インゴットの放電加工例を示す拡大図であり、円形部分Ｋを拡大した図である。図５は、インゴットとワイヤの短絡例（その１）を示す拡大図であり、円形部分Ｋを拡大した図である。図６は、インゴットとワイヤの短絡例（その２）を示す拡大図であり、円形部分Ｋを拡大した図である。図７は、短絡及び印加休止の電圧例（その１）を示す波形図である。図８は、短絡及び印加休止の電圧例（その２）を示す波形図である。
【００３５】
先ず、制御手段７０は、高周波パルス電源ユニット６１を制御し、インゴットＩ及びワイヤＲに電圧を印加する（ステップＳ１）。次に、制御手段７０は、駆動手段４３を制御し、切断ワイヤ部３２０のワイヤＲに対してインゴットＩを加工送りし、図３に示すように、切断ワイヤ部３２０のワイヤＲにインゴットＩを切り込ませる（ステップＳ２）。例えば、図４に示すように、インゴットＩとワイヤＲとが接近すると放電Ｊが発生し、インゴットＩが溶融されて飛散される処理が断続的に行われ、インゴットＩが放電加工される。このとき、インゴットＩとワイヤＲとの間には一定の間隔、すなわち、放電ギャップＧを有している。インゴットＩが放電加工されることにより加工屑Ｕが発生し、インゴットＩの加工溝ＤとワイヤＲとの間には、加工屑Ｕが滞留する。
【００３６】
次に、制御手段７０は、図示しないカウンターのカウント値を初期化する（ステップＳ３）。例えば、制御手段７０は、カウンターのカウント値をゼロに設定する。
【００３７】
次に、判定手段６１２は、インゴットＩとワイヤＲとが短絡しているか否かを判定する（ステップＳ４）。例えば、図５に示すように、インゴットＩとワイヤＲとが接触した場合や、図６に示すように、インゴットＩとワイヤＲと間に滞留した加工屑Ｕを介してインゴットＩとワイヤＲとが接続された場合に、判定手段６１２は、ワイヤＲとインゴットＩに流れる電流の電圧が低下することを検出することにより、短絡を判定する。例えば、判定手段６１２は、図７に示すように、ワイヤＲとインゴットＩに流れる電流の電圧を測定した測定電圧Ｖと、短絡判定用の閾値Ｔｈとを比較し、測定電圧Ｖが短絡判定用の閾値Ｔｈに至らない場合に、インゴットＩとワイヤＲとが短絡していると判定する。例えば、放電加工時の測定電圧Ｖ１（１２０Ｖ程度）は、閾値Ｔｈ（８０Ｖ）に至っている、すなわち、測定電圧Ｖ１が閾値Ｔｈを超えているので、判定手段６１２は、インゴットＩとワイヤＲとが短絡していないと判定する。また、インゴットＩとワイヤＲとが接触又は接続された時の測定電圧Ｖ２は、閾値Ｔｈに至っていない、すなわち、閾値Ｔｈを超えていないので、判定手段６１２は、インゴットＩとワイヤＲとが短絡したと判定する。インゴットＩとワイヤＲとが短絡したと判定した場合（ステップＳ４：ＹＥＳ）、制御手段７０は、カウンターのカウント値をアップする（ステップＳ５）。例えば、制御手段７０は、初期化されたカウンターのカウント値に「１」を加算する。なお、図５及び図６では、インゴットＩとワイヤＲとが短絡したときに、火花などの電気的現象Ｍが発生している。
【００３８】
次に、制御手段７０は、カウンターのカウント値が基準値未満、例えば「５」未満であるか否かを判定する（ステップＳ６）。制御手段７０は、カウンターのカウント値が「５」未満であると判定した場合（ステップＳ６：ＹＥＳ）、インゴットＩを加工送りさせながら、所定パルス数だけ高周波パルス電力の電圧の印加を休止するように、パルス調整手段６１１を制御する（ステップＳ７）。例えば、制御手段７０は、５パルスだけ電圧の印加を休止するように、パルス調整手段６１１を制御する。パルス調整手段６１１は、図７に示すように、短絡（測定電圧Ｖ２）が検出された直後から５パルス分、すなわち、パルスＰ１〜Ｐ５の間隔だけ電圧の印加を休止する。ここで、一定時間電圧の印加を休止させる理由は、短絡の原因によっては、電圧の印加を休止している間に短絡が解消する可能性があるからである。例えば、図６に示すように、インゴットＩとワイヤＲと間に滞留する加工屑Ｕを介してインゴットＩとワイヤＲとが接続された場合、ワイヤＲが０．５m/sec〜１m/sec程度の速い速度で走行しているので、ワイヤＲの走行により、インゴットＩの加工溝ＤとワイヤＲと間に滞留する加工屑Ｕが加工溝Ｄから排出されて短絡が解消する可能性がある。パルス調整手段６１１は、電圧の印加を休止後、高周波パルス電力の電圧の印加を再開させる（ステップＳ８）。
【００３９】
次に、判定手段６１２は、図７に示すように、電圧の印加再開後に、ワイヤＲとインゴットＩの電圧を測定した測定電圧Ｖ３と、短絡判定用の閾値Ｔｈとを比較する（ステップＳ４）。判定手段６１２は、測定電圧Ｖ３が短絡判定用の閾値Ｔｈを超えている場合、インゴットＩとワイヤＲとの短絡が解消したと判定し（ステップＳ４：ＮＯ）、制御手段７０は、カウンターのカウント値「１」をリセット、すなわち「０」に設定する（ステップＳ１６，Ｓ１７）。なお、カウンターのカウント値が「０」の場合、カウンターのカウント値をリセットする処理（ステップＳ１７）は、行わない。
【００４０】
次に、制御手段７０は、インゴットＩの加工送りの停止、又は、加工送り方向と反対方向にインゴットＩを移動させているかを判定し（ステップＳ１８）、加工送りの停止も反対方向への移動もさせていない場合（ステップＳ１８：ＮＯ）、制御手段７０は、インゴットＩを完全にスライスしたか否かを判定する（ステップＳ２０）。例えば、制御手段７０は、インゴットＩが完全にスライスされ、ワイヤＲとインゴットＩに流れる電流が変化することによって、インゴットＩが完全にスライスされたと判断する。また、インゴットＩの加工量、すなわち、Ｘ軸方向におけるインゴットＩの移動距離に基づいてインゴットＩが完全にスライスされたことを判断してもよい。制御手段７０は、インゴットＩが完全にスライスされたと判定すれば（ステップＳ２０：ＹＥＳ）、ウェーハが形成されたと判定し、放電加工を終了させる。また、制御手段７０は、インゴットＩが完全にスライスされていないと判定すれば（ステップＳ２０：ＮＯ）、再度短絡判定を行う（ステップＳ４）。
【００４１】
また、上述のステップＳ６で、制御手段７０は、カウンターのカウント値が「５」未満でない、すなわち、電圧の印加休止を５回繰り返して短絡判定を行っても短絡が解消しなかったと判定した場合（ステップＳ６：ＮＯ）、カウンターのカウント値が「２０」未満であるか否かを判定する（ステップＳ９）。なお、電圧の印加を休止して短絡判定を行っても短絡が解消しない場合、図８に示すように、電圧の印加休止（Ｐ１〜Ｐ５）の後に短絡判定用の閾値Ｔｈを超えない測定電圧Ｖ２が検出される。
【００４２】
制御手段７０は、カウンターのカウント値が「２０」未満であると判定した場合（ステップＳ９：ＹＥＳ）、所定パルス数、例えば５パルスだけ高周波パルス電力の電圧の印加を休止するように、パルス調整手段６１１を制御する（ステップＳ１０）。パルス調整手段６１１は、５パルス分だけ電圧の印加を休止する。
【００４３】
次に、加工送りを停止しているか否かを判定する（ステップＳ１１）。例えば、制御手段７０は、インゴットＩを加工送りする駆動手段４３を停止しているか否かを判定する。制御手段７０は、駆動手段４３を停止していないと判定すると（ステップＳ１１：ＹＥＳ）、駆動手段４３のパルスモータを停止させて、インゴットＩの加工送りを停止させる（ステップＳ１２）。また、制御手段７０は、駆動手段４３が既に停止していると判定すると（ステップＳ１１：ＮＯ）、ステップＳ１２の処理はスキップする。ここで、上述のステップＳ１２でインゴットＩの加工送りを停止させる理由は、例えば、インゴットＩとワイヤＲとが接触して短絡した場合にインゴットＩの加工送りを継続すると、ワイヤＲにインゴットＩを押し当てることになり、ワイヤＲに負荷がかかって断線のおそれがあるからである。
【００４４】
次に、パルス調整手段６１１は、高周波パルス電力の電圧の印加を再開させ（ステップＳ８）、インゴットＩの加工送りが停止した状態で、判定手段６１２は、インゴットＩとワイヤＲとが短絡しているか否かを判定する（ステップＳ４）。判定手段６１２は、インゴットＩとワイヤＲとの短絡が解消したと判定した場合（ステップＳ４：ＮＯ）、制御手段７０は、カウンターのカウント値をリセット、すなわち「０」に設定する（ステップＳ１６，Ｓ１７）。次に、制御手段７０は、インゴットＩの加工送りの停止、又は、加工送り方向と反対方向にインゴットＩを移動させているかを判定する（ステップＳ１８）。制御手段７０は、インゴットＩの加工送りが停止していると判定した場合（ステップＳ１８：ＹＥＳ）、駆動手段４３を制御し、インゴットＩの加工送りを再開させる（ステップＳ１９）。
【００４５】
次に、制御手段７０は、インゴットＩが完全にスライスされたか否かを判定し（ステップＳ２０）、インゴットＩが完全にスライスされていないと判定した場合、ステップＳ４に戻って判定手段６１２に短絡の判定をさせる。また、制御手段７０は、インゴットＩが完全にスライスされたと判定した場合、放電加工の処理を終了させる。
【００４６】
また、上述のステップＳ９において、制御手段７０は、カウンターのカウント値が「２０」未満でない、すなわち、加工送り状態で電圧の印加休止を５回繰り返した後、加工送りを停止して電圧の印加休止を１５回繰り返して短絡判定を行っても短絡が解消しなかったと判定した場合（ステップＳ９：ＮＯ）、所定パルス数、例えば５パルスだけ高周波パルス電力の電圧の印加を休止するように、パルス調整手段６１１を制御する（ステップＳ１３）。パルス調整手段６１１は、５パルス分だけ電圧の印加を休止する。
【００４７】
次に、反対方向への加工送りをしているか否かを判定する（ステップＳ１４）。例えば、制御手段７０は、インゴットＩを加工送りする駆動手段４３のパルスモータが逆回転しているか否かを判定する。制御手段７０は、駆動手段４３のパルスモータが逆回転していないと判定すると（ステップＳ１４：ＹＥＳ）、回転が停止されている駆動手段４３のパルスモータを逆回転させて反対方向への加工送り、すなわち、インゴットＩがワイヤＲから離反する方向へインゴットＩを移動させる（ステップＳ１５）。また、制御手段７０は、駆動手段４３のパルスモータが逆回転していると判定すると（ステップＳ１４：ＮＯ）、ステップＳ１５の処理はスキップする。
【００４８】
次に、パルス調整手段６１１は、高周波パルス電力の電圧の印加を再開させ（ステップＳ８）、インゴットＩが反対方向へ加工送りされている状態で、判定手段６１２は、インゴットＩとワイヤＲとが短絡しているか否かを判定する（ステップＳ４）。判定手段６１２は、インゴットＩとワイヤＲとの短絡が解消したと判定した場合（ステップＳ４：ＮＯ）、制御手段７０は、カウンターのカウント値をリセット、すなわち「０」に設定する（ステップＳ１６，Ｓ１７）。制御手段７０は、インゴットＩの加工送りの停止、又は、加工送り方向と反対方向にインゴットＩを移動させているかを判定する（ステップＳ１８）。制御手段７０は、加工送り方向と反対方向にインゴットＩを移動させていると判定した場合（ステップＳ１８：ＹＥＳ）、駆動手段４３のパルスモータを正回転させ、インゴットＩをワイヤＲに切り込ませる（ステップＳ１９）。
【００４９】
次に、制御手段７０は、インゴットＩが完全にスライスされたか否かを判定し（ステップＳ２０）、インゴットＩが完全にスライスされていないと判定した場合、ステップＳ４に戻って判定手段６１２に短絡の判定をさせる。また、制御手段７０は、インゴットＩが完全にスライスされたと判定した場合、放電加工の処理を終了させる。
【００５０】
以上のように、実施形態に係るマルチワイヤ放電加工装置によれば、制御手段７０は、判定手段６１２で短絡と判定された場合、高周波パルス電力の印加を所定時間休止させた後、再度判定手段６１２で短絡を検査し、短絡と判定されなくなるまで高周波パルス電力の印加休止と短絡状態の検査を繰り返し実行させる。そして、制御手段７０は、繰り返しを所定回数以上実施しても短絡と判定された場合は、短絡と判定されなくなるまで駆動手段４３による加工送りを停止させる、又は短絡と判定されなくなるまで加工送り方向と反対方向にインゴットＩとワイヤＲとを相対移動させる。
【００５１】
これにより、インゴットＩの加工溝ＤとワイヤＲと間に滞留する加工屑Ｕを介してインゴットＩとワイヤＲとが接続された場合には、電圧の印加を休止して放電加工を停止しただけで、ワイヤＲの走行に伴って加工屑Ｕが自然に加工溝Ｄから排出され、短絡が解消されることが期待できる。
【００５２】
また、加工屑Ｕを介してインゴットＩとワイヤＲとが接続された場合に、インゴットＩを加工送りした状態で所定時間印加を休止しても短絡が解消されないとき、インゴットＩの加工送りを停止して、ワイヤＲの走行に伴って加工屑Ｕを自然に加工溝Ｄから排出することで、短絡が解消することが期待できる。このとき、インゴットＩの加工送りを停止しているので、インゴットＩとワイヤＲとが接触して短絡していた場合に、ワイヤＲにインゴットＩを押し当てることがない。これにより、ワイヤＲに対する負荷が軽減され、断線を抑制できる。
【００５３】
また、ワイヤＲの走行に伴って加工屑Ｕが自然に加工溝Ｄから排出されて短絡が解消することが期待できない場合、すなわち、インゴットＩとワイヤＲとが接触して短絡した場合に、インゴットＩを反対方向に加工送りしてインゴットＩとワイヤＲを非接触状態とすることで、確実に短絡を解消できる。
【００５４】
このように、従来のように、短絡発生時に、直ぐにインゴットＩを反対方向に加工送りしてワイヤＲと離間させるようなことは行わずに、先ずはワイヤＲの走行により自然に短絡を解消させる動作を行うので、反対方向へ加工送りするような過剰な加工停止動作を極力行わずに短絡を解消できる。これにより、短時間で短絡を解消することができ、短絡による発熱が誘発するワイヤの断線を自動的に抑制でき、加工送りが自動的に調整され、適切な加工送りを実施することができる。
【符号の説明】
【００５５】
１  マルチワイヤ放電加工装置
２０  繰り出しボビン
２１  巻き取りボビン
３０ａ〜３０ｊ  ガイドローラ
３２０  切断ワイヤ部
４１  基台部
４３  駆動手段
５０  加工槽
６１  高周波パルス電源ユニット
Ｄ  加工溝
Ｆ  加工液
Ｇ  放電ギャップ
Ｉ  インゴット
Ｊ  放電
Ｕ  加工屑
Ｖ  測定電圧
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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