(57)【要約】【課題】処理液の劣化を防止するとともに簡単な操作で所望のサックバック動作を容易かつ正確に実行する。【解決手段】サックバックバルブ２００において、第１、第２、第３、第４および第５の位置ｐ１，ｐ２，ｐ３，ｐ４，ｐ５が、内部空間ＳＰ１からこの順で軸ＣＡ上に設定される。移動部材２４０は、一の流路ＰＴ１への空気の供給または非供給により第４および第５の位置ｐ４，ｐ５間で移動する。移動部材２４０が第４の位置ｐ４にある場合、他方の流路ＰＴ２への空気の供給または非供給により移動部材２２０は第１および第２の位置ｐ１，ｐ２間で移動する。移動部材２４０が第５の位置ｐ５にある場合、他の流路ＰＴ２への空気の供給または非供給により移動部材２２０は第１および第３の位置ｐ１，ｐ３間で移動する。移動部材２２０にダイヤフラム２２４が取り付けられる。ダイヤフラム２２４の下方の流通空間ＳＰｃをレジスト液が流れる。【選択図】図６
2016111306.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置の処理液供給系に設けられるサックバックバルブであって、
前記処理液供給系を流れる処理液が流通する第１の内部空間を有する本体部と、
前記第１の内部空間内で移動可能に設けられたダイヤフラムと、
第１の位置と第３の位置との間で第２の位置を経由して移動可能に前記本体部に設けられた第１の移動部材と、
第４の位置と第５の位置との間で移動可能に前記本体部に設けられた第２の移動部材と、
前記第１の移動部材を前記第１および第３の位置のうち一方から他方へ向かう第１の方向に付勢する第１の付勢部材と、
前記第１の移動部材が前記第１の付勢部材の付勢力に抗して前記第１の方向と逆の第２の方向に移動するように前記第１の移動部材に第１の流体を供給するための第１の流体供給系と、
前記第２の移動部材を前記第４および第５の位置のうち一方から他方へ向かう第３の方向に付勢する第２の付勢部材と、
前記第２の移動部材が前記第２の付勢部材の付勢力に抗して前記第３の方向と逆の第４の方向に移動するように前記第２の移動部材に第２の流体を供給するための第２の流体供給系とを備え、
前記ダイヤフラムは、前記第１の移動部材とともに移動可能に構成され、
前記第１の移動部材は、前記第２の移動部材が前記第４の位置にあるときに前記第１の位置と前記第２の位置との間で移動可能であり、前記第２の移動部材が前記第５の位置にあるときに前記第１の位置と前記第３の位置との間で移動可能であり、
前記第１および前記第２の移動部材は、前記第１および前記第２の流体の少なくとも一方の供給または非供給により、前記第１の移動部材が前記第１の位置にある第１の状態と、前記第１の移動部材が前記第２の位置にありかつ前記第２の移動部材が前記第４の位置にある第２の状態と、前記第１の移動部材が前記第３の位置にありかつ前記第２の移動部材が前記第５の位置にある第３の状態とに切り替え可能に構成される、サックバックバルブ。
【請求項２】
前記本体部は、第２および第３の内部空間を有し、
前記第１の移動部材は、前記第２の内部空間内において前記第１の位置と前記第３の位置との間で前記第２の位置を経由して移動可能な第１の部分を含み、
前記第２の移動部材は、前記第３の内部空間内において前記第４の位置と前記第５の位置との間で移動可能な第２の部分を含み、
前記第１の付勢部材は、前記第１の部分を前記第１の方向に付勢し、
前記第１の流体供給系は、前記第１の部分が前記第１の付勢部材の付勢力に抗して前記第２の方向に移動するように前記第２の内部空間内に前記第１の流体を導く第１の流路を含み、
前記第２の付勢部材は、前記第２の部分を前記第３の方向に付勢し、
前記第２の流体供給系は、前記第２の部分が前記第２の付勢部材の付勢力に抗して前記第４の方向に移動するように前記第３の内部空間に前記第２の流体を導く第２の流路を含む、請求項１記載のサックバックバルブ。
【請求項３】
前記第１の移動部材は、前記第１の内部空間内に位置する第３の部分を含み、
前記第２の移動部材は、前記第２の内部空間内に位置する第４の部分を含み、
前記ダイヤフラムは、前記第１の移動部材の前記第３の部分に設けられ、
前記第１および第２の移動部材が前記第２の状態にあるときに、前記第１の移動部材の前記第１の部分が前記第２の移動部材の前記第４の部分に接触することにより前記第１の移動部材の前記第３の位置に向かう移動が規制される、請求項２記載のサックバックバルブ。
【請求項４】
前記第１の移動部材および前記第２の移動部材は共通の軸上で移動可能に配置され、
前記第１の位置、前記第２の位置、前記第３の位置、前記第４の位置および前記第５の位置は、前記第１の内部空間から前記軸の方向にこの順に設定され、
前記第１の付勢部材は、前記第１の移動部材を前記第１の位置から前記第３の位置に向かう方向に付勢し、
前記第２の付勢部材は、前記第２の移動部材を前記第４の位置から前記第５の位置に向かう方向に付勢し、
前記第２の内部空間に前記第１の流体が供給されているときに前記第１の移動部材が前記第１の位置にあり、前記第２の内部空間に前記第１の流体が供給されずかつ前記第３の内部空間に前記第２の流体が供給されているときに前記第１の移動部材が前記第２の位置にありかつ前記第２の移動部材が前記第４の位置にあり、前記第２の内部空間に前記第１の流体が供給されずかつ前記第３の内部空間に前記第２の流体が供給されないときに前記第１の移動部材が前記第３の位置にありかつ前記第２の移動部材が前記第５の位置にある、請求項３記載のサックバックバルブ。
【請求項５】
前記本体部は、
前記第１および第２の移動部材が前記第２の状態にあるときに、前記第２の付勢部材の付勢力に抗した前記第２の部分の移動を規制する第１の規制部を含み、
前記第４の位置は、前記軸の方向における前記第１の規制部の位置により定まり、
前記第１の規制部は、前記第１の内部空間に対して前記軸の方向に移動可能に構成された、請求項４記載のサックバックバルブ。
【請求項６】
前記本体部は、
前記第１および第２の移動部材が前記第３の状態にあるときに、前記第２の付勢部材に付勢されることによる前記第２の部分の移動を規制する第２の規制部を含み、
前記第５の位置は、前記軸の方向における前記第２の規制部の位置により定まり、
前記第１および第２の移動部材が前記第３の状態にあるときに、前記第１の移動部材の前記第１の部分は前記第２の移動部材の前記第４の部分に接触し、
前記第２の規制部は、前記第１の内部空間に対して前記軸の方向に移動可能に構成された、請求項４または５記載のサックバックバルブ。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載のサックバックバルブと、
前記サックバックバルブの前記第１の流体供給系に前記第１の流体を導く第３の流路と、
前記サックバックバルブの前記第２の流体供給系に前記第２の流体を導く第４の流路と、
前記第３の流路に設けられる第１の開閉バルブと、
前記第４の流路に設けられる第２の開閉バルブと、
前記第１の開閉バルブの開閉および前記第２の開閉バルブの開閉を制御する制御部とを備える、サックバックバルブシステム。
【請求項８】
基板に処理液を吐出する処理液ノズルと、
前記処理液ノズルに処理液を供給する処理液供給系と、
請求項７記載のサックバックバルブシステムとを備え、
前記サックバックバルブシステムのサックバックバルブは前記処理液供給系に設けられる、基板処理装置。
【請求項９】
前記処理液ノズルの先端部に洗浄用の溶剤を供給する溶剤供給系をさらに備え、
前記第１の位置、前記第２の位置、前記第３の位置、前記第４の位置および前記第５の位置は、前記第１および第２の移動部材が前記第１の状態にあるときに前記第１の内部空間における処理液の流通空間の容積が最小となり、前記第１および第２の移動部材が前記第３の状態にあるときに前記流通空間の容積が最大となるように設定され、
前記制御部は、前記サックバックバルブの前記第１および第２の移動部材が前記第１の状態に維持されつつ前記処理液ノズルへの処理液の供給が停止された後、前記第１および第２の移動部材が前記第１の状態から前記第２の状態に切り替わり、前記第１および第２の移動部材が前記第２の状態に維持されつつ前記処理液ノズルの先端部に溶剤が供給され、さらに前記処理液ノズルの先端部に溶剤が供給された状態で前記第１および第２の移動部材が前記第２の状態から前記第３の状態に切り替わるように、前記処理液供給系、前記第１の開閉バルブ、前記第２の開閉バルブおよび前記溶剤供給系を制御する、請求項８記載の基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、サックバックバルブ、サックバックバルブシステムおよび基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体基板、フォトマスク用ガラス基板、液晶表示装置用ガラス基板、プラズマディスプレイ用ガラス基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板または光磁気ディスク用基板等の基板に種々の処理を行うために、基板処理装置が用いられる。
【０００３】
基板処理装置の一例として、特許文献１にはレジスト塗布ユニットが記載されている。そのレジスト塗布ユニットにおいては、レジスト供給管からレジストノズルにレジスト液が供給される。レジストノズルに供給されたレジスト液が回転する基板の中心部に吐出される。吐出されたレジスト液が基板の周縁部に向かって広がることにより、基板の表面上にレジスト液が塗布される。
【０００４】
レジスト液の吐出終了後にレジストノズルの先端に残留するレジスト液は、基板の処理不良の要因となる。そこで、上記のレジスト塗布ユニットにおいては、エアオペレーションバルブおよびサックバックバルブにより、レジストノズルにおけるレジスト液の液面がレジストノズルの先端部から引き上げられる。
【０００５】
具体的には、レジスト液の吐出終了時に、エアオペレーションバルブの弁体の開閉速度が調整される。それにより、レジストノズル内のレジスト液の液面が、レジストノズルの先端から第１の高さまで引き上げられる。その後、レジスト液の吐出終了時から所定時間の間に、レジストノズル内のレジスト液の液面が、サックバックバルブによりレジストノズルの先端から第１の高さよりも高い第２の高さまで引き上げられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−２２３４０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に記載されたサックバックバルブにおいては、ハウジング内に設けられる弁体がバネにより支持される。この状態で、ハウジング内に空気が供給される。バネの付勢力に対してハウジング内に供給される空気の圧力が調整されることによりサックバックが実行される。この場合、一定量のレジスト液を正確にサックバックするためには、ハウジング内の圧力を検出しつつハウジング内に供給される空気の量を正確に調整する必要がある。このような操作は難しい。
【０００８】
上記のように、レジスト液の液面を２段階で引き上げる方法によれば、レジストノズルの内部でレジスト液の下流側に気体および液体の層を形成することができる。例えば、１段階目の引き上げ時にレジスト液の下流に空気層を形成した後、２段階目の引き上げ時にレジストノズルから溶剤を吸引することにより空気層の下流に溶剤の層を形成する。それにより、レジスト液が大気中に露出することが防止される。
【０００９】
レジスト液の液面を２段階で引き上げるために、例えばステッピングモータを備えるサックバックバルブを用いる。この場合、ステッピングモータの動作を制御することにより、複数段階のサックバックを行うことが可能になる。しかしながら、ステッピングモータの駆動時には、ステッピングモータが発熱する。サックバックされるレジスト液は、ステッピングモータから発生される熱の影響を受けると劣化する可能性がある。
【００１０】
本発明の目的は、処理液の劣化を防止するとともに簡単な操作で所望のサックバック動作を容易かつ正確に実行可能なサックバックバルブ、サックバックバルブシステムおよび基板処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
（１）第１の発明に係るサックバックバルブは、基板処理装置の処理液供給系に設けられるサックバックバルブであって、処理液供給系を流れる処理液が流通する第１の内部空間を有する本体部と、第１の内部空間内で移動可能に設けられたダイヤフラムと、第１の位置と第３の位置との間で第２の位置を経由して移動可能に本体部に設けられた第１の移動部材と、第４の位置と第５の位置との間で移動可能に本体部に設けられた第２の移動部材と、第１の移動部材を第１および第３の位置のうち一方から他方へ向かう第１の方向に付勢する第１の付勢部材と、第１の移動部材が第１の付勢部材の付勢力に抗して第１の方向と逆の第２の方向に移動するように第１の移動部材に第１の流体を供給するための第１の流体供給系と、第２の移動部材を第４および第５の位置のうち一方から他方へ向かう第３の方向に付勢する第２の付勢部材と、第２の移動部材が第２の付勢部材の付勢力に抗して第３の方向と逆の第４の方向に移動するように第２の移動部材に第２の流体を供給するための第２の流体供給系とを備え、ダイヤフラムは、第１の移動部材とともに移動可能に構成され、第１の移動部材は、第２の移動部材が第４の位置にあるときに第１の位置と第２の位置との間で移動可能であり、第２の移動部材が第５の位置にあるときに第１の位置と第３の位置との間で移動可能であり、第１および第２の移動部材は、第１および第２の流体の少なくとも一方の供給または非供給により、第１の移動部材が第１の位置にある第１の状態と、第１の移動部材が第２の位置にありかつ第２の移動部材が第４の位置にある第２の状態と、第１の移動部材が第３の位置にありかつ第２の移動部材が第５の位置にある第３の状態とに切り替え可能に構成されるものである。
【００１２】
そのサックバックバルブにおいて、第２の移動部材は、第４の位置と第５の位置との間で移動可能である。第２の移動部材は、第２の付勢部材により第４および第５の位置のうち一方から他方に向う第３の方向に付勢される。それにより、第２の流体供給系に第２の流体が供給されないときには、第２の移動部材は、第４および第５の位置のうち他方に位置する。第２の流体供給系に第２の流体が供給されると、第２の移動部材は第２の付勢部材の付勢力に抗して第３の方向と逆の第４の方向に移動する。それにより、第２の移動部材は、第４および第５の位置のうち一方に位置する。
【００１３】
第２の移動部材が第４の位置にあるときには、第１の移動部材は第１の位置と第２の位置との間で移動可能である。第１の移動部材は、第１の付勢部材により第１および第２の位置のうち一方から他方に向う第１の方向に付勢される。それにより、第１の流体供給系に第１の流体が供給されないときには、第１の移動部材は、第１および第２の位置のうち他方に位置する。第１の流体供給系に第１の流体が供給されると、第１の移動部材は第１の付勢部材の付勢力に抗して第１の方向と逆の第２の方向に移動する。それにより、第１の移動部材は、第１および第２の位置のうち一方に位置する。
【００１４】
第２の移動部材が第５の位置にあるときには、第１の移動部材は第１の位置と第３の位置との間で移動可能である。第１の移動部材は、第１の付勢部材により第１および第３の位置のうち一方から他方に向う第１の方向に付勢される。それにより、第１の流体供給系に第１の流体が供給されないときには、第１の移動部材は、第１および第３の位置のうち他方に位置する。第１の流体供給系に第１の流体が供給されると、第１の移動部材は第１の付勢部材の付勢力に抗して第１の方向と逆の第２の方向に移動する。それにより、第１の移動部材は、第１および第３の位置のうち一方に位置する。
【００１５】
したがって、第１および第２の流体の少なくとも一方の供給または非供給により、第１の移動部材が第１の位置にある第１の状態と、第１の移動部材が第２の位置にありかつ第２の移動部材が第４の位置にある第２の状態と、第１の移動部材が第３の位置にありかつ第２の移動部材が第５の位置にある第３の状態とが切り替えられる。ダイヤフラムは、第１の移動部材の第１の位置、第２の位置および第３の位置に応じて、第１の内部空間内で移動する。それにより、第１の内部空間内における処理液の流通空間の容積を第１、第２および第３の位置にそれぞれ対応するように３段階に変化させることができる。
【００１６】
上記の構成によれば、第１の内部空間における処理液の流通空間の容積が順次大きくなるように第１および第２の移動部材の状態が切り替えられることにより、サックバックバルブの下流側の処理液が段階的に第１の内部空間内に吸引される。したがって、２段階のサックバックを容易かつ正確に実行することができる。
【００１７】
また、第１および第２の移動部材をそれぞれ移動させるための構成としてモータ等の発熱源が用いられない。したがって、熱の影響による処理液の劣化が防止される。さらに、２段階のサックバックを行うために複数のサックバックバルブを用いる必要がないので、基板処理装置の大型化が抑制される。
【００１８】
（２）本体部は、第２および第３の内部空間を有し、第１の移動部材は、第２の内部空間内において第１の位置と第３の位置との間で第２の位置を経由して移動可能な第１の部分を含み、第２の移動部材は、第３の内部空間内において第４の位置と第５の位置との間で移動可能な第２の部分を含み、第１の付勢部材は、第１の部分を第１の方向に付勢し、第１の流体供給系は、第１の部分が第１の付勢部材の付勢力に抗して第２の方向に移動するように第２の内部空間内に第１の流体を導く第１の流路を含み、第２の付勢部材は、第２の部分を第３の方向に付勢し、第２の流体供給系は、第２の部分が第２の付勢部材の付勢力に抗して第４の方向に移動するように第３の内部空間に第２の流体を導く第２の流路を含んでもよい。
【００１９】
この場合、第２の移動部材の第２の部分は第２の付勢部材により第３の方向に付勢される。それにより、第２の流路に第２の流体が供給されないときには、第２の移動部材の第２の部分は第４および第５の位置のうち他方に位置する。第２の流路に第２の流体が供給されると、第２の移動部材の第２の部分は第２の付勢部材の付勢力に抗して第４の方向に移動する。それにより、第２の移動部材の第２の部分は第４および第５の位置のうち一方に位置する。
【００２０】
第２の移動部材の第２の部分が第４の位置にあるときには、第１の移動部材の第１の部分は、第１の位置と第２の位置との間で移動可能である。第１の移動部材の第１の部分は第１の付勢部材により第１の方向に付勢される。それにより、第１の流路に第１の流体が供給されないときには、第１の移動部材の第１の部分は第１および第２の位置のうち他方に位置する。第１の流路に第１の流体が供給されると、第１の移動部材の第１の部分は第１の付勢部材の付勢力に抗して第２の方向に移動する。それにより、第１の移動部材の第１の部分は第１および第２の位置のうち一方に位置する。
【００２１】
第２の移動部材の第２の部分が第５の位置にあるときには、第１の移動部材の第１の部分は、第１の位置と第３の位置との間で移動可能である。第１の移動部材の第１の部分は第１の付勢部材により第１の方向に付勢される。それにより、第１の流路に第１の流体が供給されないときには、第１の移動部材の第１の部分は第１および第３の位置のうち他方に位置する。第１の流路に第１の流体が供給されると、第１の移動部材の第１の部分は第１の付勢部材の付勢力に抗して第２の方向に移動する。それにより、第１の移動部材の第１の部分は第１および第３の位置のうち一方に位置する。
【００２２】
上記の構成によれば、第２の流路に第２の流体を供給することにより、簡単な操作で第２の移動部材を第２の付勢部材の付勢力に抗して第４の方向に移動させることができる。また、第１の流路に第１の流体を供給することにより、簡単な操作で第１の移動部材を第１の付勢部材の付勢力に抗して第２の方向に移動させることができる。
【００２３】
（３）第１の移動部材は、第１の内部空間内に位置する第３の部分を含み、第２の移動部材は、第２の内部空間内に位置する第４の部分を含み、ダイヤフラムは、第１の移動部材の第３の部分に設けられ、第１および第２の移動部材が第２の状態にあるときに、第１の移動部材の第１の部分が第２の移動部材の第４の部分に接触することにより第１の移動部材の第３の位置に向かう移動が規制されてもよい。
【００２４】
上記の構成によれば、第１および第２の移動部材が第２の状態にある場合に、第２の移動部材は第４の位置にある。このとき、第１の移動部材の第１の部分が第２の移動部材の第４の部分に接触することにより、第１の移動部材が第２の位置を経由して第３の位置に移動することが防止される。
【００２５】
一方、第１および第２の移動部材が第３の状態にある場合には、第２の移動部材は第５の位置にある。このとき、第１の移動部材の第１の部分は第２の移動部材の第４の部分に接触しないことにより、第１の移動部材が第２の位置を経由して第３の位置に移動することが許容される。
【００２６】
したがって、第２の流体の供給または非供給という容易な操作で、第１の移動部材を第２または第３の位置に選択的に移動させることができる。
【００２７】
（４）第１の移動部材および第２の移動部材は共通の軸上で移動可能に配置され、第１の位置、第２の位置、第３の位置、第４の位置および第５の位置は、第１の内部空間から軸の方向にこの順に設定され、第１の付勢部材は、第１の移動部材を第１の位置から第３の位置に向かう方向に付勢し、第２の付勢部材は、第２の移動部材を第４の位置から第５の位置に向かう方向に付勢し、第２の内部空間に第１の流体が供給されているときに第１の移動部材が第１の位置にあり、第２の内部空間に第１の流体が供給されずかつ第３の内部空間に第２の流体が供給されているときに第１の移動部材が第２の位置にありかつ第２の移動部材が第４の位置にあり、第２の内部空間に第１の流体が供給されずかつ第３の内部空間に第２の流体が供給されないときに第１の移動部材が第３の位置にありかつ第２の移動部材が第５の位置にあってもよい。
【００２８】
この場合、第１および第２の移動部材は、共通の軸上を移動することにより第１、第２および第３の状態に切り替わる。それにより、共通の軸に交差する方向に第１および第２の移動部材の移動スペースを設ける必要がない。したがって、サックバックバルブが共通の軸に交差する方向に大型化することが抑制される。
【００２９】
また、上記の構成によれば、第１の流体の供給により、第１および第２の移動部材を第１の状態に切り替えることができる。また、第１の流体の非供給および第２の流体の供給により、第１および第２の移動部材を第２の状態に切り替えることができる。さらに、第１の流体の非供給および第２の流体の非供給により、第１および第２の移動部材を第３の状態に切り替えることができる。
【００３０】
（５）本体部は、第１および第２の移動部材が第２の状態にあるときに、第２の付勢部材の付勢力に抗した第２の部分の移動を規制する第１の規制部を含み、第４の位置は、軸の方向における第１の規制部の位置により定まり、第１の規制部は、第１の内部空間に対して軸の方向に移動可能に構成されてもよい。
【００３１】
第１および第２の移動部材が第２の状態にある場合、第２の移動部材は第４の位置にある。このとき、第１の移動部材は、第２の移動部材に接触した状態で第２の位置に保持される。そのため、第２の位置は、第２の移動部材の第４の位置により定まる。上記の構成によれば、使用者は、第１の規制部を第１の内部空間に対して移動させることにより第４の位置を移動させることができるので、第１の内部空間に対する第２の位置を容易に変更することができる。
【００３２】
それにより、第１および第２の移動部材が第１の状態から第２の状態に切り替わるときの処理液のサックバック量を容易に調整することができる。
【００３３】
（６）本体部は、第１および第２の移動部材が第３の状態にあるときに、第２の付勢部材に付勢されることによる第２の部分の移動を規制する第２の規制部を含み、第５の位置は、軸の方向における第２の規制部の位置により定まり、第１および第２の移動部材が第３の状態にあるときに、第１の移動部材の第１の部分は第２の移動部材の第４の部分に接触し、第２の規制部は、第１の内部空間に対して軸の方向に移動可能に構成されてもよい。
【００３４】
第１および第２の移動部材が第３の状態にある場合、第２の移動部材は第５の位置にある。このとき、第１の移動部材は、第２の移動部材に接触した状態で第３の位置に保持される。そのため、第３の位置は、第２の移動部材の第５の位置により定まる。上記の構成によれば、使用者は、第３の規制部を第１の内部空間に対して移動させることにより第５の位置を移動させることができるので、第１の内部空間に対する第３の位置を容易に変更することができる。
【００３５】
それにより、第１および第２の移動部材が第１または第２の状態から第３の状態に切り替わるときの処理液のサックバック量を容易に調整することができる。
【００３６】
（７）第２の発明に係るサックバックバルブシステムは、上記のサックバックバルブと、サックバックバルブの第１の流体供給系に第１の流体を導く第３の流路と、サックバックバルブの第２の流体供給系に第２の流体を導く第４の流路と、第３の流路に設けられる第１の開閉バルブと、第４の流路に設けられる第２の開閉バルブと、第１の開閉バルブの開閉および第２の開閉バルブの開閉を制御する制御部とを備えるものである。
【００３７】
そのサックバックバルブシステムにおいては、上記のサックバックバルブが用いられる。したがって、第１および第２の開閉バルブの開閉を制御することにより、２段階のサックバックを容易かつ正確に実行することができる。また、第１および第２の移動部材をそれぞれ移動させるための構成としてモータ等の発熱源が用いられない。したがって、熱の影響による処理液の劣化が防止される。さらに、２段階のサックバックを行うために複数のサックバックバルブを用いる必要がないのでサックバックバルブシステムの大型化が抑制される。
【００３８】
（８）第３の発明に係る基板処理装置は、基板に処理液を吐出する処理液ノズルと、処理液ノズルに処理液を供給する処理液供給系と、上記のサックバックバルブシステムとを備え、サックバックバルブシステムのサックバックバルブは処理液供給系に設けられるものである。
【００３９】
その基板処理装置においては、処理液供給系を通して処理液ノズルに処理液が供給される。処理液ノズルに供給された処理液が基板に吐出され、基板に処理が施される。
【００４０】
処理液供給系に上記のサックバックバルブシステムのサックバックバルブが設けられているので、処理液ノズルから基板への処理液の吐出が停止された後、２段階のサックバックを容易かつ正確に実行することができる。それにより、処理液ノズルから基板への処理液の吐出後にサックバックを行うことにより、処理液ノズルの先端部に処理液が残留することに起因する基板の処理不良の発生が低減される。
【００４１】
また、第１および第２の移動部材をそれぞれ移動させるための構成としてモータ等の発熱源が用いられない。したがって、熱の影響による処理液の劣化が防止される。さらに、２段階のサックバックを行うために複数のサックバックバルブを用いる必要がないので、基板処理装置の大型化が抑制される。
【００４２】
（９）基板処理装置は、処理液ノズルの先端部に洗浄用の溶剤を供給する溶剤供給系をさらに備え、第１の位置、第２の位置、第３の位置、第４の位置および第５の位置は、第１および第２の移動部材が第１の状態にあるときに第１の内部空間における処理液の流通空間の容積が最小となり、第１および第２の移動部材が第３の状態にあるときに流通空間の容積が最大となるように設定され、制御部は、サックバックバルブの第１および第２の移動部材が第１の状態に維持されつつ処理液ノズルへの処理液の供給が停止された後、第１および第２の移動部材が第１の状態から第２の状態に切り替わり、第１および第２の移動部材が第２の状態に維持されつつ処理液ノズルの先端部に溶剤が供給され、さらに処理液ノズルの先端部に溶剤が供給された状態で第１および第２の移動部材が第２の状態から第３の状態に切り替わるように、処理液供給系、第１の開閉バルブ、第２の開閉バルブおよび溶剤供給系を制御してもよい。
【００４３】
この場合、サックバックバルブの第１および第２の移動部材が第１の状態に維持されつつ処理液ノズルへの処理液の供給が停止された後、第１および第２の移動部材が第１の状態から第２の状態に切り替わり、流通空間の容積が一定量大きくなる。このとき、サックバックバルブの下流側の処理液が流通空間に吸引され、処理液ノズル内の処理液が先端部から一定の高さ分上昇する。それにより、処理液が処理液ノズルの先端部から落下しにくくなる。
【００４４】
その後、処理液ノズルの先端部に溶剤が供給され、処理液ノズルの先端部が洗浄される。処理液ノズルの先端部の洗浄中に第１および第２の移動部材が第２の状態から第３の状態に切り替わり、流通空間の容積がさらに一定量大きくなる。このとき、サックバックバルブの下流側の処理液が流通空間に吸引される。また、処理液ノズルの先端部に供給される溶剤の一部が処理液ノズルの内部に引き込まれる。このとき、処理液ノズルの内部では、処理液の液面の下流に空気の層を挟んで溶剤の層が形成される。それにより、処理液の液面が大気中に露出することが防止されるとともに、処理液の液面が溶剤に接触することが防止される。その結果、処理液ノズル内で処理液が変質することが防止される。
【発明の効果】
【００４５】
本発明によれば、処理液の劣化を防止するとともに簡単な操作で所望のサックバック動作を容易かつ正確に実行することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の一実施の形態に係るレジスト塗布装置の概略構成図である。
【図２】図１のレジスト塗布装置に用いられる処理部を示す平面図である。
【図３】図１のサックバックバルブの縦断面図である。
【図４】図３のサックバックバルブの動作を説明するための縦断面図である。
【図５】図３のサックバックバルブの動作を説明するための縦断面図である。
【図６】図３のサックバックバルブの動作を説明するための縦断面図である。
【図７】図１の待機ポットの縦断面図である。
【図８】図１のレジスト塗布装置の一制御例を示すタイムチャートである。
【図９】他の実施の形態に係るサックバックバルブの縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４７】
以下、本発明の一実施の形態に係るサックバックバルブ、サックバックバルブシステムおよび基板処理装置について図面を参照しつつ説明する。以下の説明において、基板とは、半導体ウェハ、液晶表示装置用ガラス基板、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等をいう。また、処理液には、レジスト液、現像液、洗浄液およびリンス液等が含まれる。
【００４８】
（１）レジスト塗布装置の構成
基板処理装置の一例として、基板の表面（主面）に処理液としてレジスト液を供給するレジスト塗布装置を説明する。図１は本発明の一実施の形態に係るレジスト塗布装置の概略構成図であり、図２は図１のレジスト塗布装置に用いられる処理部を示す平面図である。
【００４９】
図１に示すように、レジスト塗布装置１００は、処理部１、流体供給系４および制御部５を含む。処理部１は、スピンチャック１０、スピンモータ１１および処理カップ１３を含む。スピンモータ１１は、回転軸１２が鉛直方向において上方に延びるように配置される。スピンチャック１０は、スピンモータ１１の回転軸１２の上端部に固定される。
【００５０】
スピンチャック１０を取り囲むように、処理カップ１３が設けられる。処理カップ１３の底部には、基板Ｗの処理に用いられる処理液を排出するための配管１４が接続されている。スピンチャック１０により基板Ｗが保持された状態で、スピンモータ１１が動作する。それにより、基板Ｗが鉛直軸の周りで回転する。
【００５１】
図２に示すように、処理部１は、複数のノズルブロック５０、複数の待機ポット２およびノズル搬送機構３をさらに含む。複数の待機ポット２は、処理カップ１３の側方の位置で一列に並ぶように配置される。
【００５２】
図１に示すように、各待機ポット２は、ノズルブロック５０を支持可能に構成される。各ノズルブロック５０には、下方に向かって延びるようにノズル５１が取り付けられている。待機ポット２の詳細は後述する。流体供給系４は、サックバックバルブシステム４００、レジスト液供給装置４１０、溶剤供給装置４２０、開閉バルブＶ１，Ｖ２および配管４１１，４２１を含む。サックバックバルブシステム４００は、空気供給装置４３０、サックバックバルブ２００、開閉バルブＶ３，Ｖ４および配管４３１を含む。
【００５３】
レジスト液供給装置４１０は、配管４１１を介して処理部１の各ノズルブロック５０に接続される。配管４１１には、レジスト液供給装置４１０から処理部１に向かって開閉バルブＶ１およびサックバックバルブ２００がこの順で介挿される。レジスト液供給装置４１０は図示しないレジスト液タンクおよびポンプを含む。開閉バルブＶ１が開くと、レジスト液タンクに貯留されたレジスト液が配管４１１およびサックバックバルブ２００を通してノズルブロック５０に供給される。ノズルブロック５０に供給されたレジスト液は、ノズル５１から下方に向かって吐出される。開閉バルブＶ１が閉じると、レジスト液はノズルブロック５０に供給されない。
【００５４】
サックバックバルブ２００は、ノズル５１からのレジスト液の吐出が停止された後、ノズル５１の先端部に残留するレジスト液を吸引することにより、残留するレジスト液の液面をノズル５１の先端部から一定高さ分上昇させる（サックバックする）。サックバックバルブ２００の詳細は後述する。
【００５５】
溶剤供給装置４２０は、配管４２１を介して処理部１の各待機ポット２に接続される。各配管４２１には、開閉バルブＶ２が介挿される。溶剤供給装置４２０は図示しない溶剤タンクおよびポンプを含む。開閉バルブＶ２が開くと、溶剤タンクに貯留された溶剤が配管４２１を通して待機ポット２に供給される。開閉バルブＶ２が閉じると、溶剤は待機ポット２に供給されない。溶剤としてシンナーが用いられる。なお、溶剤として、アセトン、ヘキサンまたはアルコール等を用いることもできる。
【００５６】
空気供給装置４３０は、配管４３１を介してサックバックバルブ２００に接続される。具体的には、サックバックバルブ２００は、流路ＰＴ１，ＰＴ２を有する。また、配管４３１は、１本の主管４３１ａおよび２本の枝管４３１ｂ，４３１ｃから構成される。枝管４３１ｂの一端部および枝管４３１ｃの一端部が主管４３１ａの一端部に接続されている。
【００５７】
主管４３１ａの他端部が空気供給装置４３０に接続される。また、一方の枝管４３１ｂの他端部が、サックバックバルブ２００の１つの流路ＰＴ２に接続される。他方の枝管４３１ｃの他端部が、他の流路ＰＴ１に接続される。枝管４３１ｂに開閉バルブＶ３が介挿され、枝管４３１ｃに開閉バルブＶ４が介挿される。空気供給装置４３０は図示しないポンプを含む。開閉バルブＶ３が開くと、流路ＰＴ２に空気が供給される。開閉バルブＶ４が開くと、流路ＰＴ１に空気が供給される。
【００５８】
図１の制御部５は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）およびメモリ、またはマイクロコンピュータにより構成される。制御部５は、スピンモータ１１、ノズル搬送機構３、レジスト液供給装置４１０、溶剤供給装置４２０、空気供給装置４３０および開閉バルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４を制御する。制御部５による各構成要素の制御例については後述する。
【００５９】
制御部５は、サックバックバルブシステム４００に設けられてもよい。また、サックバックバルブシステム４００には、制御部５とは別に空気供給装置４３０および開閉バルブＶ３，Ｖ４を制御する他の制御部が設けられてもよい。この場合、制御部５および他の制御部により空気供給装置４３０および開閉バルブＶ３，Ｖ４が制御される。
【００６０】
ここで、待機ポット２に支持される各ノズルブロック５０の位置を待機位置ＰＮ１と呼び、スピンチャック１０により保持される基板Ｗの上方でノズル５１が基板Ｗの中心部に対向するときのノズルブロック５０の位置を処理位置ＰＮ２と呼ぶ。
【００６１】
図２に示すように、ノズル搬送機構３は、１つの把持部３１、１つの第１のガイドレール３２、２つの第２のガイドレール３３、２つのシリンダ３５および２つのシリンダ支持ブロック３６を含む。２つの第２のガイドレール３３は、処理カップ１３および複数の待機ポット２を挟み込むようにかつ互いに平行となるように水平姿勢で配置される。各第２のガイドレール３３上にシリンダ支持ブロック３６が設けられる。この状態で、シリンダ支持ブロック３６は、第２のガイドレール３３に沿って移動可能である。シリンダ支持ブロック３６上には、鉛直方向に伸縮可能にシリンダ３５が設けられる。
【００６２】
２つの第２のガイドレール３３に対して直交するように２つのシリンダ３５上に第１のガイドレール３２が水平姿勢で設けられる。第１のガイドレール３２上に把持部３１が設けられる。この状態で、把持部３１は第１のガイドレール３２に沿って移動可能である。把持部３１は、ノズルブロック５０を把持可能に構成される。
【００６３】
各第２のガイドレール３３には、シリンダ支持ブロック３６を第２のガイドレール３３に沿って移動させるための図示しない駆動装置が設けられる。また、各シリンダ３５には、第１のガイドレール３２を鉛直方向に移動させるための図示しない駆動装置が設けられる。また、第１のガイドレール３２には、把持部３１を第１のガイドレール３２に沿って移動させるための図示しない駆動装置が設けられる。さらに、把持部３１には、ノズルブロック５０を把持および解放するための図示しない駆動装置が設けられる。これらの駆動装置が、図１の制御部５により制御される。それにより、複数のノズルブロック５０がそれぞれ待機位置ＰＮ１と処理位置ＰＮ２との間でノズル搬送機構３により搬送される。
【００６４】
（２）サックバックバルブの構成および動作
図３は、図１のサックバックバルブ２００の縦断面図である。図３に示すように、サックバックバルブ２００は、上下方向に延びる本体部２１０を有する。本体部２１０には、円柱形状の２つの内部空間ＳＰ１，ＳＰ２が形成される。内部空間ＳＰ２は内部空間ＳＰ１の上方に位置する。また、本体部２１０には、内部空間ＳＰ２から上方に延びる円柱状の貫通孔ｈ１が形成される。貫通孔ｈ１は、本体部２１０の上面で開口する。さらに、本体部２１０には、内部空間ＳＰ１と内部空間ＳＰ２とをつなぐ円柱状の貫通孔ｈ２が上下方向に延びるように形成される。内部空間ＳＰ２の内径は内部空間ＳＰ１の内径よりも大きく、貫通孔ｈ１の内径は内部空間ＳＰ２の内径よりも小さく、貫通孔ｈ２の内径は内部空間ＳＰ１の内径よりも小さい。また、内部空間ＳＰ２の内径は、貫通孔ｈ２の内径よりも大きい。それにより、内部空間ＳＰ２と貫通孔ｈ２との間に環状水平面からなる段差ｓｔ１が形成される。
【００６５】
内部空間ＳＰ２および貫通孔ｈ２内には、移動部材２２０が設けられる。移動部材２２０は、円柱状の移動軸２２１の上端に円板状のフランジ２２２が一体的に形成された構造を有する。本例では、フランジ２２２の外周部は上方に突出する環状の突縁を有する。移動軸２２１の外径は貫通孔ｈ２の内径にほぼ等しく、フランジ２２２の外径は内部空間ＳＰ２の内径にほぼ等しい。移動軸２２１およびフランジ２２２は、それぞれ貫通孔ｈ２および内部空間ＳＰ２内で上下に摺動可能である。フランジ２２２は、内部空間ＳＰ２を上部空間ＳＰａと下部空間ＳＰｂとに区画する。内部空間ＳＰ２の底部とフランジ２２２の下面との間には金属製のスプリングＳ１が設けられる。移動部材２２０のフランジ２２２はスプリングＳ１により上方に付勢される。移動軸２２１の下端部２２３は、内部空間ＳＰ１内に位置する。
【００６６】
内部空間ＳＰ１内には、円板状のダイヤフラム２２４が配置される。ダイヤフラム２２４の外径は内部空間ＳＰ１の内径とほぼ等しい。ダイヤフラム２２４は移動軸２２１の下端部２２３に取り付けられ、移動部材２２０の上下動に伴って内部空間ＳＰ１内で上下に摺動する。それにより、内部空間ＳＰ１のダイヤフラム２２４の下方の空間（以下、流通空間ＳＰｃと呼ぶ。）の容積が変化する。内部空間ＳＰ１を挟むように、本体部２１０に液ポート２１１ａ，２１１ｂが形成される。液ポート２１１ａ，２１１ｂは流通空間ＳＰｃに連通する。液ポート２１１ａ，２１１ｂに図１の配管４１１が接続される。
【００６７】
本体部２１０の貫通孔ｈ１には、上下方向に延びる円柱状の支持部材２３０が挿入される。支持部材２３０の上端には、フランジが設けられる。支持部材２３０のフランジが本体部２１０の上面に支持される。支持部材２３０には、互いに連通する円柱状の貫通孔ｈ３，ｈ４が形成される。貫通孔ｈ３は、貫通孔ｈ４の上方に位置する。貫通孔ｈ３の内径は貫通孔ｈ４の内径よりも大きい。それにより、貫通孔ｈ３，ｈ４間に環状水平面からなる段差ｓｔ２が形成される。貫通孔ｈ４内で支持部材２３０の下端よりも上方の位置に底部２３１が形成される。底部２３１は円形の孔を有する。
【００６８】
貫通孔ｈ３，ｈ４および内部空間ＳＰ２内には、移動部材２４０が設けられる。移動部材２４０は、円柱状の移動軸２４１の上端および下端にそれぞれ円板状のフランジ２４２，２４３が一体的に形成された構造を有する。
【００６９】
移動部材２４０の移動軸２４１は、支持部材２３０の底部２３１の孔に上下方向に移動可能に挿入される。移動軸２４１の上端のフランジ２４２は貫通孔ｈ３内に位置し、移動軸２４１の下端のフランジ２４３は底部２３１の下方に位置する。また、フランジ２４３の下面は、内部空間ＳＰ２内に位置する。フランジ２４２の外径は貫通孔ｈ４の内径よりも大きい。フランジ２４２の下面と底部２３１との間には、金属製のスプリングＳ２が設けられる。スプリングＳ２はフランジ２４２を上方に付勢する。
【００７０】
貫通孔ｈ３には、円筒状のスペーサ２５０が装着される。スペーサ２５０内には、円柱状の支持部材２６０が挿入される。支持部材２６０には、上下に貫通する流路ＰＴ１が形成される。流路ＰＴ１に図１の枝管４３１ｃが接続される。本体部２１０、支持部材２３０、スペーサ２５０および支持部材２６０は互いに固定されている。貫通孔ｈ３，ｈ４には、内部空間ＳＰ３が形成される。
【００７１】
本体部２１０、支持部材２３０、スペーサ２５０および支持部材２６０の中心軸は、共通の軸ＣＡ上に位置する。移動部材２２０，２４０は、共通の軸ＣＡ上で移動可能に配置される。
【００７２】
本体部２１０には、上部空間ＳＰａを外部空間に連通させる流路ＰＴ２および下部空間ＳＰｂを外部空間に連通させる流路ＰＴ３が形成される。流路ＰＴ２に図１の枝管４３１ｂが接続される。また、本体部２１０および支持部材２３０には、内部空間ＳＰ３を外部空間に連通させる流路ＰＴ４が形成される。
【００７３】
上記のサックバックバルブ２００は、流路ＰＴ１，ＰＴ２の少なくとも一方において、空気が供給される状態と空気が供給されない状態とが切り替えられることにより動作する。図４〜図６は、図３のサックバックバルブ２００の動作を説明するための縦断面図である。初期状態では、サックバックバルブ２００の流路ＰＴ１，ＰＴ２には空気が供給されていないものとする。この場合、図３に示すように、内部空間ＳＰ２内で、移動部材２２０のフランジ２２２の上面と移動部材２４０のフランジ２４３の下面とが接触する。また、内部空間ＳＰ３内で、移動部材２４０のフランジ２４２の上面と支持部材２６０の下端とが接触する。このときの移動部材２２０の軸ＣＡ上の位置を第３の位置ｐ３と呼び、移動部材２４０の軸ＣＡ上の位置を第５の位置ｐ５と呼ぶ。
【００７４】
図４に白抜きの矢印Ａ１で示すように、流路ＰＴ２に空気が供給される。この場合、上部空間ＳＰａの圧力が上昇し、上部空間ＳＰａの圧力により、移動部材２２０のフランジ２２２が下方に付勢される。上部空間ＳＰａの圧力によりフランジ２２２に作用する付勢力がスプリングＳ１によりフランジ２２２に作用する付勢力を越えると、移動部材２２０はスプリングＳ１の付勢力に抗して下方に移動する。このとき、下部空間ＳＰｂ内の空気は流路ＰＴ３から外部空間に排出される。その後、フランジ２２２の下面が段差ｓｔ１に接触することにより、移動部材２２０の下方への移動が規制される。このときの移動部材２２０の軸ＣＡ上の位置を第１の位置ｐ１と呼ぶ。
【００７５】
また、図４に白抜きの矢印Ａ２で示すように、支持部材２６０の流路ＰＴ１に空気が供給される。この場合、流路ＰＴ１の圧力が上昇し、流路ＰＴ１の圧力により、移動部材２４０のフランジ２４２が下方に付勢される。流路ＰＴ１の圧力によりフランジ２４２に作用する付勢力がスプリングＳ２によりフランジ２４２に作用する付勢力を越えると、移動部材２４０はスプリングＳ２の付勢力に抗して下方に移動する。このとき、内部空間ＳＰ３内の空気は流路ＰＴ４から外部空間に排出される。その後、フランジ２４２の下面が段差ｓｔ２に接触することにより、移動部材２４０の下方への移動が規制される。このときの移動部材２４０の軸ＣＡ上の位置を第４の位置ｐ４と呼ぶ。
【００７６】
本例では、移動部材２２０，２４０の下方への移動が規制された状態で、移動部材２２０のフランジ２２２の上面と移動部材２４０のフランジ２４３の下面との間に隙間が形成される。上記のように、移動部材２２０が第１の位置ｐ１にあるときの移動部材２２０，２４０の状態を第１の状態と呼ぶ。
【００７７】
続いて、図５に白抜きの矢印Ａ２，Ａ３で示すように、流路ＰＴ１に空気が供給された状態で流路ＰＴ２への空気の供給が停止され、上部空間ＳＰａ内の空気が流路ＰＴ２から排出される。この場合、上部空間ＳＰａの圧力が低下する。上部空間ＳＰａの圧力によりフランジ２２２に作用する付勢力がスプリングＳ１によりフランジ２２２に作用する付勢力よりも小さくなると、移動部材２２０は上方に移動する。このとき、外部空間の空気が流路ＰＴ３から下部空間ＳＰｂ内に流入する。その後、フランジ２２２の上面が移動部材２４０のフランジ２４３の下面に接触することにより、移動部材２２０の上方への移動が規制される。このときの移動部材２２０の軸ＣＡ上の位置を第２の位置ｐ２と呼ぶ。このように、移動部材２２０が第２の位置ｐ２にあるときの移動部材２２０，２４０の状態を第２の状態と呼ぶ。
【００７８】
最後に、図６に白抜きの矢印Ａ４で示すように、流路ＰＴ１への空気の供給が停止され、流路ＰＴ１内の空気が排出される。この場合、流路ＰＴ１の圧力が低下する。流路ＰＴ１の圧力によりフランジ２４２に作用する付勢力がスプリングＳ２によりフランジ２４２に作用する付勢力よりも小さくなると、移動部材２４０は上方に移動する。このとき、外部空間の空気が流路ＰＴ４から内部空間ＳＰ３内に流入する。
【００７９】
移動部材２４０が上方に移動する際には、図６に白抜きの矢印Ａ３で示すように、上部空間ＳＰａ内の空気が流路ＰＴ２から排出される。それにより、移動部材２２０は移動部材２４０とともに上方に移動する。その後、移動部材２４０のフランジ２４２の上面が支持部材２６０の下端に接触するとともに移動部材２２０のフランジ２２２と移動部材２４０のフランジ２４３とが接触する状態で、移動部材２２０，２４０の上方への移動が規制される。このとき、移動部材２２０，２４０は、それぞれ第３の位置ｐ３および第５の位置ｐ５にある。このように、移動部材２２０が第３の位置ｐ３にあるときの移動部材２２０，２４０の状態を第３の状態と呼ぶ。
【００８０】
上記の第１の位置ｐ１、第２の位置ｐ２、第３の位置ｐ３、第４の位置ｐ４および第５の位置ｐ５は、内部空間ＳＰ１からこの順で遠ざかるように軸ＣＡ上に設定されている。
【００８１】
本例のサックバックバルブ２００においては、流路ＰＴ２に空気が供給されることにより、移動部材２２０，２４０が第１の状態に切り替わる。それにより、移動部材２２０が内部空間ＳＰ１に最も近い第１の位置ｐ１で保持されるので、ダイヤフラム２２４が内部空間ＳＰ１の底部に近づく。
【００８２】
また、流路ＰＴ２に空気が供給されずかつ流路ＰＴ１に空気が供給されることにより、移動部材２２０，２４０が第２の状態に切り替わる。それにより、移動部材２２０が第１の位置ｐ１よりも内部空間ＳＰ１から離れた第２の位置ｐ２で保持されるので、移動部材２２０，２４０が第１の状態にある場合に比べて、ダイヤフラム２２４が内部空間ＳＰ１の底部から一定距離離間する。
【００８３】
さらに、流路ＰＴ１，ＰＴ２に空気が供給されないことにより、移動部材２２０，２４０が第３の状態に切り替わる。それにより、移動部材２２０が第２の位置ｐ２よりも内部空間ＳＰ１から離れた第３の位置ｐ３で保持されるので、移動部材２２０，２４０が第２の状態にある場合に比べて、ダイヤフラム２２４が内部空間ＳＰ１の底部からさらに一定距離離間する。
【００８４】
上記の構成によれば、流路ＰＴ１，ＰＴ２の少なくとも一方において空気が供給される状態と空気が供給されない状態とを選択的に切り替えることにより、ダイヤフラム２２４の軸ＣＡ上の位置を３段階に変化させることができる。それにより、ダイヤフラム２２４の下方の流通空間ＳＰｃの容積を３段階に変化させることができる。したがって、２段階のサックバックを容易かつ正確に実行することが可能となる。
【００８５】
（３）待機ポットの構成
図７は、図１の待機ポット２の縦断面図である。図７では、溶剤がドットパターンで示される。図７に示すように、待機ポット２は、溶剤供給容器７１、回収容器８１およびノズル収納容器９１を含む。
【００８６】
溶剤供給容器７１は、回収容器８１上に設けられる。溶剤供給容器７１には、上下方向の貫通孔７２が形成されている。貫通孔７２の上半部の内径は、貫通孔７２の下半部の内径よりも大きい。それにより、貫通孔７２の内周面には段差が形成されている。
【００８７】
溶剤供給容器７１の貫通孔７２の上半部にノズル収納容器９１が収容され、段差により支持される。ノズル収納容器９１には、上下に貫通するノズル収容孔９４が形成されている。ノズル収容孔９４は、上端から下端に漸次小さくなる内径を有する。溶剤供給容器７１およびノズル収納容器９１には、図１の配管４２１から供給される溶剤をノズル収容孔９４に導く流路９８，９９が形成されている。
【００８８】
回収容器８１は、貫通孔７２に連通する貯留部８２を有する。また、回収容器８１には、貯留部８２内の溶剤を配管２９に導く流路８５が形成されている。配管２９は工場の廃棄ラインに接続される。
【００８９】
ノズルブロック５０が溶剤供給容器７１の上面に支持された状態でノズル５１がノズル収納容器９１のノズル収容孔９４内に挿入される。この状態で、図１の溶剤供給装置４２０から配管４２１および流路９８，９９を通してノズル収容孔９４内に溶剤が供給される。溶剤は、ノズル５１の先端を洗い流し、回収容器８１の貯留部８２内に貯留される。貯留部８２内の溶剤は、流路８５および配管２９を通して工場の廃棄ラインに導かれる。
【００９０】
（４）レジスト塗布装置の制御
図８は、図１のレジスト塗布装置１００の一制御例を示すタイムチャートである。図８では、最上段に図１のノズル５１へのレジスト液の供給状態が示される。２段目に図１の待機ポット２への溶剤の供給状態が示される。３段目に図３のサックバックバルブ２００の流路ＰＴ２への空気の供給状態が示される。４段目に図３のサックバックバルブ２００の流路ＰＴ１への空気の供給状態が示される。５段目に図１のノズル搬送機構３によるノズルブロック５０の搬送状態が示される。最下段にノズル５１の状態が縦断面図により示される。
【００９１】
初期状態では、図１のスピンチャック１０により保持された基板Ｗが回転するとともに、図１のノズルブロック５０が処理位置ＰＮ２に配置されている。また、レジスト液ｆｒの供給、溶剤ｓｏの供給、流路ＰＴ１，ＰＴ２への空気の供給が全て停止されている。
【００９２】
時点ｔ１で図１の開閉バルブＶ１，Ｖ３，Ｖ４が開かれる。それにより、レジスト液ｆｒの供給が開始され、ノズル５１から基板Ｗの中心部にレジスト液ｆｒが吐出される。また、サックバックバルブ２００の流路ＰＴ１，ＰＴ２への空気の供給が開始される。この場合、サックバックバルブ２００においては、図４に示すように、移動部材２２０，２４０が第１の状態に切り替わる。それにより、ダイヤフラム２２４が軸ＣＡ上で内部空間ＳＰ１の底部に最も近づく。したがって、流通空間ＳＰｃの容積が最小となる。
【００９３】
続いて、時点ｔ２で図１の開閉バルブＶ１が閉じられる。それにより、レジスト液ｆｒの供給が停止される。このとき、ノズル５１では、図７の最下段に示すように、レジスト液ｆｒの液面がノズル５１の先端部と同じレベルで保持される。
【００９４】
続いて、時点ｔ３で図１の開閉バルブＶ３が閉じられ、サックバックバルブ２００の流路ＰＴ２への空気の供給が停止される。この場合、サックバックバルブ２００においては、図５に示すように、上部空間ＳＰａ内の空気が流路ＰＴ２から排出され、移動部材２２０，２４０が第２の状態に切り替わる。それにより、移動部材２２０，２４０が第１の状態にある場合に比べて、ダイヤフラム２２４が内部空間ＳＰ１の底部から一定距離離間する。したがって、レジスト液ｆｒの供給停止時（時点ｔ２）に比べて流通空間ＳＰｃの容積が一定量大きくなる。
【００９５】
流通空間ＳＰｃの容積が大きくなると、サックバックバルブ２００の下流側のレジスト液ｆｒの一部が流通空間ＳＰｃ内に吸引される（１段階目のサックバック）。ノズル５１では、図７の最下段に示すように、レジスト液ｆｒの液面がノズル５１の先端部から一定の高さ分上昇する。それにより、ノズル５１の内部に残留するレジスト液ｆｒがノズル５１の先端部から落下しにくくなる。
【００９６】
また、時点ｔ３では、図１のノズル搬送機構３が制御されることにより、ノズルブロック５０の処理位置ＰＮ２から待機位置ＰＮ１への搬送動作が開始される。その後、時点ｔ４でノズルブロック５０が待機位置ＰＮ１に到達し、ノズルブロック５０の搬送動作が停止される。このとき、ノズル５１は、図７の待機ポット２の貫通孔９４内に収容される。また、時点ｔ４では、図１の開閉バルブＶ２が開かれる。それにより、図１の待機ポット２への溶剤ｓｏの供給が開始され、ノズル５１の先端が溶剤ｓｏにより洗浄される。
【００９７】
続いて、時点ｔ５で図１の開閉バルブＶ４が閉じられ、サックバックバルブ２００の流路ＰＴ１への空気の供給が停止される。この場合、サックバックバルブ２００においては、図６に示すように、内部空間ＳＰ３および上部空間ＳＰａ内の空気が流路ＰＴ１，ＰＴ２からそれぞれ排出され、移動部材２２０，２４０が第３の状態に切り替わる。それにより、移動部材２２０，２４０が第２の状態にある場合に比べて、ダイヤフラム２２４が内部空間ＳＰ１の底部からさらに一定距離離間する。したがって、サックバックバルブ２００の流路ＰＴ２への空気の供給停止時（時点ｔ３）に比べて流通空間ＳＰｃの容積がさらに一定量大きくなる。
【００９８】
それにより、サックバックバルブ２００の下流側のレジスト液ｆｒの一部がさらに流通空間ＳＰｃ内に吸引される（２段階目のサックバック）。ノズル５１では、図７の最下段に示すように、レジスト液ｆｒの液面がノズル５１の先端部からさらに一定の高さ分上昇する。
【００９９】
２段階目のサックバック時には、ノズル５１の先端部を伝って流れる溶剤ｓｏがノズル５１内に吸引される。それにより、ノズル５１内部の先端部分に溶剤ｓｏが保持される。この場合、レジスト液ｆｒが大気中に露出しないので、レジスト液ｆｒが大気中にさらされることによるレジスト液ｆｒの劣化が防止される。
【０１００】
また、この場合、ノズル５１内では、レジスト液ｆｒの液面と溶剤ｓｏとの間に１段階目のサックバック時に吸引された空気の層が形成される。それにより、ノズル５１内でレジスト液ｆｒと溶剤ｓｏとが直接接触することが防止され、溶剤ｓｏに起因するレジスト液ｆｒの変質が防止される。
【０１０１】
最後に、時点ｔ６で図１の開閉バルブＶ２が閉じられ、図１の待機ポット２への溶剤ｓｏの供給が停止される。
【０１０２】
（５）効果
上記のサックバックバルブ２００において、移動部材２４０は、第４の位置ｐ４と第５の位置ｐ５との間で移動可能である。移動部材２４０は、スプリングＳ２により上方に付勢される。流路ＰＴ１に空気が供給されないときには、移動部材２４０のフランジ２４２が支持部材２６０の下端に接触した状態で移動部材２４０の上方への移動が規制される。それにより、移動部材２４０が第５の位置ｐ５に保持される（図６参照）。流路ＰＴ１に空気が供給されると、移動部材２４０はスプリングＳ２の付勢力に抗して下方に移動する。また、フランジ２４２が段差ｓｔ２に接触した状態で移動部材２４０の下方への移動が規制される。それにより、移動部材２４０が第４の位置ｐ４に保持される（図４および図５参照）。
【０１０３】
移動部材２４０が第４の位置ｐ４にあるときには、移動部材２２０は第１の位置ｐ１と第２の位置ｐ２との間で移動可能である。移動部材２２０は、スプリングＳ１により上方に付勢される。流路ＰＴ２に空気が供給されないときには、フランジ２２２が移動部材２４０のフランジ２４３に接触した状態で移動部材２２０の上方への移動が規制される。それにより、移動部材２２０が第２の位置ｐ２に保持される（図５参照）。流路ＰＴ２に空気が供給されると、移動部材２２０はスプリングＳ１の付勢力に抗して下方に移動する。また、フランジ２２２が段差ｓｔ１に接触した状態で移動部材２２０の下方への移動が規制される。それにより、移動部材２２０が第１の位置ｐ１に保持される（図４参照）。
【０１０４】
移動部材２４０が第５の位置ｐ５にあるときには、移動部材２２０は第１の位置ｐ１と第３の位置ｐ３との間で移動可能である。流路ＰＴ２に空気が供給されないときには、フランジ２２２が移動部材２４０のフランジ２４３に接触した状態で移動部材２２０の上方への移動が規制される。それにより、移動部材２２０が第３の位置ｐ３に保持される（図６参照）。流路ＰＴ２に空気が供給されると、移動部材２２０は下方に移動し、フランジ２２２が段差ｓｔ１に接触した状態で第１の位置ｐ１に保持される（図４参照）。
【０１０５】
したがって、サックバックバルブ２００の流路ＰＴ１，ＰＴ２の少なくとも一方への空気の供給または非供給により、移動部材２２０が第１の位置ｐ１にある第１の状態と、移動部材２２０が第２の位置ｐ２にありかつ移動部材２４０が第４の位置ｐ４にある第２の状態と、移動部材２２０が第３の位置ｐ３にありかつ移動部材２４０が第５の位置ｐ５にある第３の状態とが切り替えられる。
【０１０６】
ダイヤフラム２２４は、移動部材２２０の第１の位置ｐ１、第２の位置ｐ２および第３の位置ｐ３に応じて、内部空間ＳＰ１内で移動する。それにより、内部空間ＳＰ１内におけるレジスト液の流通空間ＳＰｃの容積を第１、第２および第３の位置ｐ１，ｐ２，ｐ３にそれぞれ対応するように３段階に変化させることができる。
【０１０７】
流通空間ＳＰｃの容積が順次大きくなるようにサックバックバルブ２００が第１、第２および第３の状態に段階的に切り替えられることにより、サックバックバルブ２００の下流側のレジスト液が段階的に流通空間ＳＰｃに吸引される。したがって、２段階のサックバックを容易かつ正確に実行することができる。
【０１０８】
また、サックバックバルブ２００を第１、第２および第３の状態に切り替えるための構成としてモータ等の発熱源が用いられない。したがって、熱の影響によるレジスト液の劣化が防止される。さらに、２段階のサックバックを行うために複数のサックバックバルブを用いる必要がないので、レジスト塗布装置１００の大型化が抑制される。
【０１０９】
（６）他の実施の形態
（６−１）上記のサックバックバルブ２００においては、本体部２１０、支持部材２３０、スペーサ２５０および支持部材２６０は互いに固定されているが、本発明は上記の例に限られない。サックバックバルブ２００は、本体部２１０、支持部材２３０、スペーサ２５０および支持部材２６０の相対的な位置を変更可能に構成されてもよい。
【０１１０】
図９は、他の実施の形態に係るサックバックバルブ２００の縦断面図である。図９のサックバックバルブ２００においては、太い白抜きの矢印Ａ１１で示すように、支持部材２６０の外周面およびスペーサ２５０の内周面に、それぞれねじ切り加工が施される。この場合、スペーサ２５０に対して支持部材２６０が回転されることにより、図９に太い点線の矢印で示すように支持部材２６０を本体部２１０に対して上下方向に移動させることができる。
【０１１１】
移動部材２４０のフランジ２４２の上面が支持部材２６０の下端に接触した状態で移動部材２４０の上方への移動が規制されることにより、移動部材２４０が第５の位置ｐ５に保持される。そのため、使用者は、支持部材２６０の位置を上下に移動させることにより、第５の位置ｐ５を所望の位置に調整することができる。
【０１１２】
第３の状態では、移動部材２２０のフランジ２２２と第５の位置ｐ５にある移動部材２４０のフランジ２４３とが接触した状態で移動部材２２０の上方への移動が規制されることにより、移動部材２２０が第３の位置ｐ３に保持される。したがって、第３の位置ｐ３は第５の位置ｐ５により定まる。
【０１１３】
それにより、使用者は、支持部材２６０を上下方向に移動させることにより、第５の位置ｐ５とともに第３の位置ｐ３を容易に調整することができる。その結果、ダイヤフラム２２４の移動可能な範囲が調整され、サックバック量が調整される。
【０１１４】
また、図９のサックバックバルブ２００においては、太い白抜きの矢印Ａ１２で示すように、支持部材２３０の外周面および本体部２１０の貫通孔ｈ１の内周面に、それぞれねじ切り加工が施される。この場合、本体部２１０に対して支持部材２３０が回転されることにより、図９に太い実線の矢印で示すように支持部材２３０を本体部２１０に対して上下方向に移動させることができる。
【０１１５】
移動部材２４０のフランジ２４２の下面が支持部材２３０の段差ｓｔ２に接触した状態で移動部材２４０の下方への移動が規制されることにより、移動部材２４０が第４の位置ｐ４に保持される。そのため、使用者は、支持部材２３０の位置を上下に移動させることにより、第４の位置ｐ４を所望の位置に調整することができる。
【０１１６】
第２の状態では、移動部材２２０のフランジ２２２と第４の位置ｐ４にある移動部材２４０のフランジ２４３とが接触した状態で移動部材２２０の上方への移動が規制されることにより、移動部材２２０が第２の位置ｐ２に保持される。したがって、第２の位置ｐ２は第４の位置ｐ４により定まる。
【０１１７】
それにより、使用者は、支持部材２３０を上下方向に移動させることにより、第４の位置ｐ４とともに第２の位置ｐ２を容易に調整することができる。その結果、ダイヤフラム２２４の移動可能な範囲が調整され、サックバック量が調整される。
【０１１８】
なお、本例では、支持部材２３０が本体部２１０に対して上下方向に移動した場合でも、上記の流路ＰＴ４が確保されるように、支持部材２３０に軸ＣＡが延びる方向に平行に複数（本例では２つ）の流路用貫通孔ＰＴＨが形成されている。
【０１１９】
図９の例では、支持部材２３０および支持部材２６０がそれぞれ本体部２１０に対して相対的に移動可能に構成される。上記の例に限らず、支持部材２３０および支持部材２６０のうちの一方のみが本体部２１０に対して相対的に移動可能に構成されてもよい。
【０１２０】
（６−２）上記のサックバックバルブ２００においては、本体部２１０、支持部材２３０、スペーサ２５０および支持部材２６０は互いに別体で構成されるが、本発明は上記の例に限られない。本体部２１０、支持部材２３０、スペーサ２５０および支持部材２６０のうちの一部または全部が一体成型により作製されてもよい。
【０１２１】
（６−３）上記の実施の形態では、サックバックバルブ２００の流路ＰＴ１，ＰＴ２の少なくとも一方に選択的に空気が供給されることまたは空気が供給されないことにより、サックバックバルブ２００の動作が制御される。サックバックバルブ２００の流路ＰＴ１，ＰＴ２には、空気に代えて不活性ガス、水、オイル等の他の流体を供給してもよい。この場合、流路ＰＴ１，ＰＴ２に供給された流体によりサックバックバルブ２００の動作が制御される。
【０１２２】
（６−４）上記の実施の形態では、移動部材２２０，２４０を上方に付勢する部材として、金属製のスプリングＳ１，Ｓ２が用いられる。本発明は上記の例に限定されない。移動部材２２０，２４０を上方に付勢する部材としては、金属製のスプリングＳ１，Ｓ２に代えてゴムまたは弾性樹脂からなる部材が用いられてもよいし、エアシリンダまたはオイルシリンダ等が用いられてもよい。または、磁力により移動部材２２０，２４０を上方に付勢する部材が用いられてもよい。
【０１２３】
（６−５）上記の実施の形態においては、スプリングＳ１は、移動部材２２０を上方に付勢する。本発明は、上記の例に限られない。スプリングＳ１は、移動部材２２０を下方に付勢するように構成されてもよい。また、図１の枝管４３１ｂは、サックバックバルブ２００の流路ＰＴ３に接続されてもよい。
【０１２４】
この場合、流路ＰＴ３に空気が供給されないと、移動部材２２０がスプリングＳ１により下方に付勢される。それにより、移動部材２２０は、図４に示すように、第１の位置ｐ１に保持される。一方、流路ＰＴ３に空気が供給されると、下部空間ＳＰｂの圧力が上昇し、移動部材２２０がスプリングＳ１の付勢力に抗して上昇する。それにより、移動部材２２０は、図５または図６に示すように、第２または第３の位置ｐ２，ｐ３のいずれか一方に保持される。
【０１２５】
（６−６）上記の実施の形態においては、スプリングＳ２は、移動部材２４０を上方に付勢する。本発明は、上記の例に限られない。スプリングＳ２は、移動部材２４０を下方に付勢するように構成されてもよい。また、図１の枝管４３１ｃは、サックバックバルブ２００の流路ＰＴ４に接続されてもよい。
【０１２６】
この場合、流路ＰＴ４に空気が供給されないと、移動部材２４０がスプリングＳ２により下方に付勢される。それにより、移動部材２４０のフランジ２４２の下面が段差ｓｔ２に当接する。一方、流路ＰＴ４に空気が供給されると、流路ＰＴ４の圧力が上昇し、移動部材２４０がスプリングＳ２の付勢力に抗して上昇する。それにより、移動部材２４０のフランジ２４２の上面が支持部材２６０の下端に接触する。
【０１２７】
（７）請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応関係
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各構成要素との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
【０１２８】
上記実施の形態においては、レジスト塗布装置１００が基板処理装置の例であり、レジスト液供給装置４１０、配管４１１および開閉バルブＶ１が処理液供給系の例であり、サックバックバルブ２００がサックバックバルブの例であり、レジスト液ｆｒが処理液の例であり、内部空間ＳＰ１が第１の内部空間の例であり、本体部２１０、支持部材２３０，２６０およびスペーサ２５０が本体部の例である。
【０１２９】
また、ダイヤフラム２２４がダイヤフラムの例であり、第１の位置ｐ１が第１の位置の例であり、第３の位置ｐ３が第３の位置の例であり、第２の位置ｐ２が第２の位置の例であり、移動部材２２０が第１の移動部材の例であり、第４の位置ｐ４が第４の位置の例であり、第５の位置ｐ５が第５の位置の例であり、移動部材２４０が第２の移動部材の例である。
【０１３０】
また、スプリングＳ１が第１の付勢部材の例であり、空気が第１および第２の流体の例であり、流路ＰＴ２が第１の流体供給系および第１の流路の例であり、スプリングＳ１が第２の付勢部材の例であり、流路ＰＴ１が第２の流体供給系および第２の流路の例であり、内部空間ＳＰ２が第２の内部空間の例であり、内部空間ＳＰ３が第３の内部空間の例であり、フランジ２２２が第１の部分の例であり、フランジ２４２が第２の部分の例であり、下端部２２３が第３の部分の例であり、フランジ２４３が第４の部分の例である。
【０１３１】
また、軸ＣＡが共通の軸の例であり、段差ｓｔ２が第１の規制部の例であり、支持部材２６０の下端部が第２の規制部の例であり、枝管４３１ｂが第３の流路の例であり、枝管４３１ｃが第４の流路の例であり、開閉バルブＶ３が第１の開閉バルブの例であり、開閉バルブＶ４が第２の開閉バルブの例であり、制御部５が制御部の例である。
【０１３２】
また、サックバックバルブシステム４００がサックバックバルブシステムの例であり、ノズル５１が処理液ノズルの例であり、溶剤供給装置４２０、配管４２１および開閉バルブＶ２が溶剤供給系の例である。
【０１３３】
請求項の各構成要素として、請求項に記載されている構成または機能を有する他の種々の構成要素を用いることもできる。
【産業上の利用可能性】
【０１３４】
本発明は、基板の処理に有効に利用することができる。
【符号の説明】
【０１３５】
１  処理部
２  待機ポット
３  ノズル搬送機構
４  流体供給系
５  制御部
１０  スピンチャック
１１  スピンモータ
１２  回転軸
１３  処理カップ
１４，２９，４１１，４２１，４３１  配管
３１  把持部
３２  第１のガイドレール
３３  第２のガイドレール
３５  シリンダ
３６  シリンダ支持ブロック
５０  ノズルブロック
５１  ノズル
７１  溶剤供給容器
７２，ｈ１，ｈ２，ｈ３，ｈ４  貫通孔
８１  回収容器
８２  貯留部
８５，９８，９９，ＰＴ１，ＰＴ２，ＰＴ３，ＰＴ４  流路
９１  ノズル収納容器
９４  ノズル収容孔
１００  レジスト塗布装置
２００  サックバックバルブ
２１０  本体部
２１１ａ，２１１ｂ  液ポート
２２０，２４０  移動部材
２２１，２４１  移動軸
２２２，２４２，２４３  フランジ
２２３  下端部
２２４  ダイヤフラム
２３０，２６０  支持部材
２３１  底部
２５０  スペーサ
４００  サックバックバルブシステム
４１０  レジスト液供給装置
４２０  溶剤供給装置
４３０  空気供給装置
４３１ａ  主管
４３１ｂ，４３１ｃ  枝管
ＣＡ  軸
ｆｒ  レジスト液
ｐ１  第１の位置
ｐ２  第２の位置
ｐ３  第３の位置
ｐ４  第４の位置
ｐ５  第５の位置
ＰＮ１  待機位置
ＰＮ２  処理位置
ＰＴＨ  流路用貫通孔
Ｓ１，Ｓ２  スプリング
ｓｏ  溶剤
ＳＰ１，ＳＰ２，ＳＰ３  内部空間
ＳＰａ  上部空間
ＳＰｂ  下部空間
ＳＰｃ  流通空間
ｓｔ１，ｓｔ２  段差
ｔ１，ｔ２，ｔ３，ｔ４，ｔ５，ｔ６  時点
Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４  開閉バルブ
Ｗ  基板
【図１】
2016111306.tif 000003
【図２】
2016111306.tif 000004
【図３】
2016111306.tif 000005
【図４】
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【図５】
2016111306.tif 000007
【図６】
2016111306.tif 000008
【図７】
2016111306.tif 000009
【図８】
2016111306.tif 000010
【図９】
2016111306.tif 000011