(57)【要約】【目的】  本発明は、導電経路のピッチ間隔を拡張するための基板を必須としないプローブカードを提供することにある。【構成】  プローブカードＣ１は、複数のプローブＰ１と、固定部Ｃ１１、Ｃ１２とを備えている。プローブＰ１は、本体部１１と、接続部１５とを有している。本体部１１は固定部Ｃ１１、Ｃ１２上に間隔をあけて固定されている。接続部１５は、本体部１１から放射状に延びている。固定部Ｃ１２は、本体部１１よりも広い間隔で配置された複数の導体部Ｃ１２ａを有している。導体部Ｃ１２ａが接続部１５に機械的且つ電気的に接続されている。【選択図】      図１Ａ
2016148566.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のプローブと、
固定部とを備えており、
前記プローブは、前記固定部上に第１方向に間隔をあけて固定された本体部と、
前記本体部から放射状に延びた接続部とを有しており、
前記固定部は、前記本体部よりも広い間隔で配置された複数の導体部を有し、前記導体部が前記接続部に機械的且つ電気的に接続されているプローブカード。
【請求項２】
複数のプローブと、
固定部とを備えており、
前記プローブは、前記固定部上に第１方向に間隔をあけて固定された本体部と、
前記本体部に設けられた接続部とを有しており、
前記プローブのうち前記第１方向で隣に位置するプローブの第２方向の寸法が相違しており、前記第２方向は前記プローブの長手方向であり且つ前記第１方向に交差する方向であり、
前記固定部は、前記第１方向に間隔をあけて配置されており且つ前記接続部に機械的且つ電気的に接続された複数の導体部を有し、
前記導体部のうち前記第１方向で隣に位置する導体部は、当該隣に位置する導体部の前記第２方向の間隔が前記隣に位置するプローブの前記本体部の前記第１方向の間隔よりも大きくなるように前記第２方向に位置ずれしているプローブカード。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のプローブカードにおいて、
前記固定部は、前記第１方向に間隔をあけて配置された複数の第１スリット及び第１固定孔の少なくとも一方を更に有しており、
前記プローブは、前記本体部に設けられた脚部を更に有しており、
前記脚部は、前記第１スリット及び前記第１固定孔の少なくとも一方に着脱可能に固定されており、
前記接続部は、前記導体部に着脱可能に機械的且つ電気的に接続されているプローブカード。
【請求項４】
請求項１〜３の何れかに記載のプローブカードにおいて、
前記固定部は、複数の第２スリット及び第２固定孔の少なくとも一方を更に有しており、
前記固定部の前記導体部は、前記第２スリット及び前記第２固定孔の少なくとも一方内に配置された半田ワイヤーであり、前記導体部が前記プローブの前記接続部に半田接続されることによって、当該導体部が当該接続部に機械的且つ電気的に接続されているプローブカード。
【請求項５】
請求項１〜３の何れかに記載のプローブカードにおいて、
前記固定部は、複数の第２スリット及び第２固定孔の少なくとも一方を更に有しており、
前記固定部の前記導体部は、前記第２スリット及び前記第２固定孔の少なくとも一方内に配置されており、且つ二股部又は凹部を有しており、
前記プローブの前記接続部が前記導体部の前記二股部又は前記凹部に嵌合することによって、当該接続部が当該導体部に機械的且つ電気的に接続されているプローブカード。
【請求項６】
請求項１〜５の何れかに記載のプローブカードにおいて、
前記固定部は、前記導体部の近傍に配置された複数の第３スリット及び第３固定孔の少なくとも一方を更に有しており、
前記プローブの前記接続部が、前記第３スリット及び前記第３固定孔の少なくとも一方に固定されているプローブカード。
【請求項７】
請求項１〜６の何れかに記載のプローブカードにおいて、
前記接続部は、前記本体部に対してプローブの厚み方向及び高さ方向の少なくとも一方に折り曲げ又は湾曲可能であるプローブカード。
【請求項８】
請求項１〜７の何れかに記載のプローブカードにおいて、
前記固定部は、前記プローブの前記本体部が固定された固定板と、
前記固定板が固定された基板とを更に有しており、
前記基板は前記導体部を有しているプローブカード。
【請求項９】
請求項１〜７の何れかに記載のプローブカードにおいて、
前記固定部は、前記導体部を有し且つ前記プローブの前記本体部が固定された固定板と、
前記導体部に電気的に接続された基板とを更に有しているプローブカード。
【請求項１０】
請求項１〜９の何れかに記載のプローブカードにおいて、
前記プローブは、前記本体部から当該プローブの長手方向の一方側に延びたビームと、
前記ビームに設けられており且つ当該プローブカードの検査対象の電極に接触可能な接触部とを更に有しており、
前記接続部は、前記本体部から前記長手方向の他方側に延びているプローブカード。
【請求項１１】
請求項３記載のプローブカードにおいて、
前記第１スリットは、当該第１スリットの長手方向に並ぶ複数の孔を有しており、
前記孔のうち前記第１スリットの長手方向において隣に位置する孔が互いに連通しているプローブカード。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプローブカードに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のプローブカードが下記特許文献１〜３に記載されている。これらのプローブカードは、複数のカンチレバー型プローブと、基板とを有している。プローブが基板の第１面に間接的又は直接的に固定されている。基板は、複数の第１、第２電極と、複数の導電ラインとを有している。第１電極は、プローブと同じピッチ間隔で基板の第１面に設けられている。第１電極がプローブに各々接続されている。第２電極は第１電極のピッチ間隔より広いピッチ間隔で基板の第２面に設けられている。導電ラインが第１、第２電極を各々接続している。このように基板によって、プローブのピッチ間隔がより広い第２電極のピッチ間隔に変換されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−１４２６９１号公報
【特許文献２】特開２００４−１７０１８９号公報
【特許文献３】特開２００５−６９７１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年のプローブカードは、検査対象（半導体ウエハや半導体デバイス）の高集積化に伴って、プローブが狭ピッチ間隔で配置されている。そのため、従来のプローブカードは、上記のような当該プローブカードの複数の導電経路のピッチ間隔を拡張するための基板が必須となっている。
【０００５】
本発明は、上記事情に鑑みて創案されたものであって、その目的とするところは、導電経路のピッチ間隔を拡張するための基板を必須としないプローブカードを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明の第１プローブカードは、複数のプローブと、固定部とを備えている。プローブは、本体部と、接続部とを有している。本体部は固定部上に第１方向に間隔をあけて固定されている。接続部は、本体部から放射状に延びている。固定部は、本体部よりも広い間隔で配置された複数の導体部を有している。導体部が接続部に機械的且つ電気的に接続されている。
【０００７】
このような態様の第１プローブカードは、複数の導電経路のピッチ間隔を拡張するための基板を必須としない。なぜなら、プローブの放射状に延びた接続部が固定部の導体部に接続されているため、当該プローブによって、プローブの本体部のピッチ間隔が固定部の導体部の広いピッチ間隔に変換されるからである。また、仮に、当該プローブカードが、複数の導電経路のピッチ間隔を拡張するための基板を備えたとしても、前述のとおりプローブによって当該プローブカードの複数の導電経路の一部（本体部、接続部及び導体部）のピッチ間隔の拡張がなされているので、当該基板により更に当該プローブカードの導電経路のピッチ間隔の拡張をなすことが可能になる。
【０００８】
本発明の第２プローブカードは、複数のプローブと、固定部とを備えている。プローブは、本体部と、接続部とを有している。本体部は固定部上に第１方向に間隔をあけて固定されている。接続部は、本体部に設けられている。プローブのうち第１方向で隣に位置するプローブの第２方向の寸法が相違している。第２方向はプローブの長手方向であり且つ第１方向に交差する方向である。固定部は、複数の導体部を有している。導体部は、第１方向に間隔をあけて配置されており且つ接続部に機械的且つ電気的に接続されている。導体部のうち第１方向で隣に位置する導体部は、当該隣に位置する導体部の第２方向の間隔が隣に位置するプローブの本体部の第１方向の間隔よりも大きくなるように第２方向に位置ずれしている。
【０００９】
このような態様の第２プローブカードは、複数の導電経路のピッチ間隔を拡張するための基板を必須としない。なぜなら、隣に位置する導体部の第２方向の間隔が隣に位置するプローブの本体部の第１方向の間隔よりも大きくなっている。隣に位置するプローブの第２方向の寸法が相違している。このプローブの接続部が導体部に接続されているため、当該プローブによりプローブの本体部のピッチ間隔が固定部の導体部の広いピッチ間隔に変換される。また、仮に、当該プローブカードが、複数の導電経路のピッチ間隔を拡張するための基板を備えたとしても、前述のとおりプローブによって当該プローブカードの複数の導電経路の一部（本体部、接続部及び導体部）のピッチ間隔の拡張がなされているので、当該基板により更に当該プローブカードの導電経路のピッチ間隔の拡張をなすことが可能になる。
【００１０】
固定部は、第１方向に間隔をあけて配置された複数の第１スリット及び第１固定孔の少なくとも一方を更に有した構成とすることが可能である。プローブは、本体部に設けられた脚部を更に有した構成とすることが可能である。脚部は、第１スリット及び第１固定孔の少なくとも一方に着脱可能に固定された構成とすることが可能である。接続部は、導体部に着脱可能に機械的且つ電気的に接続された構成とすることが可能である。
【００１１】
このような態様の第１、第２プローブカードによる場合、プローブが一本単位で交換可能になる。なぜなら、プローブの脚部が第１スリット及び第１固定孔の少なくとも一方に着脱可能であり、且つプローブの接続部が導体部に着脱可能であるからである。
【００１２】
固定部は、複数の第２スリット及び第２固定孔の少なくとも一方を更に有する構成とすることが可能である。固定部の導体部は、第２スリット及び第２固定孔の少なくとも一方内に配置された半田ワイヤーとすることが可能である。導体部がプローブの接続部に半田接続されることによって、導体部が接続部に機械的且つ電気的に接続された構成とすることが可能である。
【００１３】
このような態様の第１、第２プローブカードによる場合、半田ワイヤーである導体部を接続部に半田接続させることによって、接続部が導体部に簡単に接続される。しかも、半田ワイヤーが第２スリット及び第２固定孔の少なくとも一方内に配置されているので、自動化によって半田接続を行うことが可能になる。
【００１４】
固定部は、複数の第２スリット及び第２固定孔の少なくとも一方を更に有する構成とすることが可能である。固定部の導体部は、第２スリット及び第２固定孔の少なくとも一方内に配置されており、且つ二股部又は凹部を有する構成とすることが可能である。プローブの接続部が導体部の二股部又は凹部に嵌合することによって、接続部が導体部に機械的且つ電気的に接続された構成とすることが可能である。
【００１５】
このような態様の第１、第２プローブカードによる場合、導体部の二股部又は凹部に接続部を嵌合させることによって、接続部が導体部に簡単に接続される。しかも、導体部の二股部又は凹部に接続部に嵌合させるだけであるので、導体部と接続部との接続を自動化することが可能になる。
【００１６】
固定部は、導体部の近傍に配置された複数の第３スリット及び第３固定孔の少なくとも一方を更に有する構成とすることが可能である。プローブの接続部が、第３スリット及び第３固定孔の少なくとも一方に固定された構成とすることが可能である。
【００１７】
このような態様の第１、第２プローブカードによる場合、接続部が、第３スリット及び第３固定孔の少なくとも一方に固定されているので、接続部を導体部に接続し易くなる。
【００１８】
接続部は、本体部に対してプローブの厚み方向及び高さ方向の少なくとも一方に折り曲げ又は湾曲可能とすることが可能である。このような態様の第１、第２プローブカードによる場合、接続部の導体部に対する接続が容易になる。プローブの本体部を固定部に固定した後に、接続部をプローブの厚み方向及び高さ方向の少なくとも一方に折り曲げ又は湾曲させて接続部と導体部とを位置合わせすることができるからである。
【００１９】
固定部は、プローブの本体部が固定された固定板と、固定板が固定された基板とを更に有する構成とすることが可能である。この基板は、上記導体部を有する構成とすることが可能である。又は、固定部は、上記導体部を有し且つプローブの本体部が固定された固定板と、導体部に電気的に接続された基板とを更に有する構成とすることが可能である。
【００２０】
プローブは、本体部からプローブの長手方向の一方側に延びたビームと、ビームに設けられており且つ第１、第２プローブカードの検査対象の電極に接触可能な接触部とを更に有する構成とすることが可能である。接続部は、本体部から長手方向の他方側に延びた構成とすることが可能である。このような態様の第１、第２プローブカードによる場合、プローブのビームが本体部から長手方向の一方側に延びている。ビームに設けられた接触部が検査対象の電極に接触するときに、荷重が接触部及びビームにかかる。この荷重により、本体部を支点として接続部に固定部から離れようとする力が働く。接続部は、固定部の導体部に機械的に接続されているため、前述の力が働いたとしても、接続部と導体部との接続が解除される可能性を低減することができる。
【００２１】
第１スリットは、当該第１スリットの長手方向に並ぶ複数の孔を有する構成とすることが可能である。前記孔のうち第１スリットの長手方向において隣に位置する孔が互いに連通した構成とすることが可能である。このような態様の第１、第２プローブカードによる場合、微細な第１スリットを固定部に容易に形成することができる。第２、第３スリットも同様の構成とすることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１Ａ】本発明の実施例１に係るプローブカードの概略的底面図である。
【図１Ｂ】前記プローブカードの図１Ａ中の２Ｂ−２Ｂ部分端面図である。
【図１Ｃ】前記プローブカードの固定板及び基板の概略的底面図及び一部拡大図である。
【図２Ａ】本発明の実施例２に係るプローブカードの概略的部分底面図である。
【図２Ｂ】前記プローブカードの図２Ａ中の２Ｂ−２Ｂ部分端面図である。
【図２Ｃ】前記プローブカードの図２Ａ中の２Ｃ−２Ｃ部分端面図である。
【図２Ｄ】前記プローブカードの図２Ａ中の２Ｄ−２Ｄ部分端面図である。
【図２Ｅ】前記プローブカードの図２Ａ中の２Ｅ−２Ｅ部分端面図である。
【図２Ｆ】前記プローブカードの固定板及び基板の概略的部分底面図及び一部拡大図である。
【図３Ａ】本発明の実施例３に係るプローブカードの概略的部分底面図である。
【図３Ｂ】前記プローブカードの図３Ａ中の３Ｂ−３Ｂ部分端面図である。
【図３Ｃ】前記プローブカードの図３Ａ中の３Ｃ−３Ｃ部分端面図である。
【図３Ｄ】前記プローブカードの図３Ａ中の３Ｄ−３Ｄ部分端面図である。
【図３Ｅ】前記プローブカードの図３Ａ中の３Ｅ−３Ｅ部分端面図である。
【図３Ｆ】前記プローブカードの固定板及び基板の概略的部分底面図及び一部拡大図である。
【図４Ａ】本発明の実施例４に係るプローブカードの概略的部分底面図である。
【図４Ｂ】前記プローブカードの図４Ａ中の４Ｂ−４Ｂ部分端面図である。
【図４Ｃ】前記プローブカードの図４Ａ中の４Ｃ−４Ｃ部分端面図である。
【図４Ｄ】前記プローブカードの図４Ａ中の４Ｄ−４Ｄ部分端面図である。
【図４Ｅ】前記プローブカードの図４Ａ中の４Ｅ−４Ｅ部分端面図である。
【図４Ｆ】前記プローブカードの図４Ａ中の４Ｆ−４Ｆ部分端面図である。
【図４Ｇ】前記プローブカードの固定板及び基板の概略的部分底面図及び一部拡大図である。
【図５Ａ】上記プローブカードの固定板のスリットの設計変更例を示す概略的部分底面図である。
【図５Ｂ】上記プローブカードの固定板の図５Ａ−５Ａ部分端面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施例１〜４について説明する。
【実施例１】
【００２４】
以下、本発明の実施例１に係るプローブカードＣ１について図１Ａ〜図１Ｃを参照しつつ説明する。プローブカードＣ１は、複数のカンチレバー型のプローブＰ１と、固定部とを備えている。以下、プローブカードＣ１の各構成要素について詳しく説明する。図１Ａには、Ｙ−Ｙ’方向及びＸ−Ｘ’方向が示されている。Ｙ−Ｙ’方向及びＸ−Ｘ’方向は、固定部の後述する基板Ｃ１２の平面方向に相当する。Ｘ−Ｘ’方向は、Ｙ−Ｙ’方向に直角に交差している。図１Ｂには、Ｙ−Ｙ’方向及びＺ−Ｚ’方向が示されている。Ｚ−Ｚ’方向はプローブカードＣ１の高さ方向及びプローブＰ１の高さ方向に相当する。
【００２５】
固定部は、図１Ｃに最も良く示されているように、固定板Ｃ１１と、基板Ｃ１２とを有している。固定板Ｃ１１は、絶縁板であって、基板Ｃ１２の主面の中央部に固定されている。固定板Ｃ１１は、底面視略Ｏ字状であって、主面と、裏面と、第１〜第４角と、第１〜第４部とを有している。固定板Ｃ１１の裏面は基板Ｃ１２に当接している（図１Ｂ参照）。固定板Ｃ１１の第１、第３角は対角に位置し、第２、第４角は対角に位置している。第１、第３角には、貫通孔である複数の位置決め用の孔Ｃ１１ｄが設けられている。第２、第４角には、貫通孔である複数のネジ孔Ｃ１１ｅが設けられている。孔Ｃ１１ｄにピンが挿入され、当該ピンが基板Ｃ１２の図示しない位置決め用の孔に係合している。ネジ孔Ｃ１１ｅにネジが挿入され、当該ネジが基板Ｃ１２の図示しないネジ孔にネジ止めされている。
【００２６】
固定板Ｃ１１の第１部は、第１角と第２角との間の部分である。固定板Ｃ１１の第２部は、第３角と第４角との間の部分である。固定板Ｃ１１の第３部は、第２角と第３角との間の部分である。固定板Ｃ１１の第４部は、第１角と第４角との間の部分である。
【００２７】
固定板Ｃ１１は、図１Ｂ及び図１Ｃに示されているように、複数組のスリットペアと、複数の凹部Ｃ１１ｃとを更に有している。スリットペアが、固定板Ｃ１１の第１部〜第４部に設けられている。以下、第２部のスリットペアを例に挙げて説明する。第２部のスリットペアは、Ｘ−Ｘ’方向（第１方向（プローブＰ１の配列方向））に間隔をあけて配置されている。第２部の各スリットペアは、Ｙ−Ｙ’方向に間隔をあけて配置された第１スリットＣ１１ａ、Ｃ１１ｂを有している。すなわち、第２部では、第１スリットＣ１１ａが一列でＸ−Ｘ’方向に間隔をあけて配置され、且つ第１スリットＣ１１ｂが第１スリットＣ１１ａよりＹ’方向側でＸ−Ｘ’方向に間隔をあけて一列で配置されている。この第１スリットＣ１１ａ、Ｃ１１ｂはプローブＰ１を固定するためのスリットである。第１部のスリットペアは、第２部のスリットペアに対してＹ−Ｙ’方向に対称に配置されている以外、第２部のスリットペアと同じ構成である。第３部のスリットペアは、第２部のスリットペアに対して図１Ｃの図示左側に９０°回転させた状態で配置されている以外、第２部のスリットペアと同じ構成である。第４部のスリットペアは、第２部のスリットペアに対して図１Ｃの図示右側に９０°回転させた状態で配置されている以外、第２部のスリットペアと同じ構成である。複数の凹部Ｃ１１ｃは、固定板Ｃ１１の第１部の複数のスリットペア（第１スリットＣ１１ａ、Ｃ１１ｂ）に各々連通するように、当該スリットペアの裏側部分に設けられていても良い。同様に、固定板Ｃ１１の第２部〜第４部にも凹部Ｃ１１ｃが各々設けられていると良い。この場合、凹部Ｃ１１ｃとスリットペアとが互いに一つずつ連通している。又は、一つの凹部Ｃ１１ｃが、固定板Ｃ１１の第１部の全てのスリットペア（第１スリットＣ１１ａ、Ｃ１１ｂ）に連通するように、当該スリットペアの裏側部分に設けられていても良い。同様に、固定板Ｃ１１の第２部〜第４部にも複数の凹部Ｃ１１ｃが設けられていると良い。この場合、固定板Ｃ１１の第１部〜第４部毎の全てのスリットペアが、一つの凹部Ｃ１１ｃに各々連通している。
【００２８】
基板Ｃ１２はプリント基板である。基板Ｃ１２の主面の固定板Ｃ１１の周りには、複数の導体部Ｃ１２ａが基板Ｃ１２の周方向に間隔をあけて設けられている。導体部Ｃ１２ａは放射状に延びた電極である。導体部Ｃ１２ａの内側の端部の間隔は、固定板Ｃ１１のスリットペア（すなわち、これに固定されるプローブＰ１の本体部１１）の間隔よりも大きい。基板Ｃ１２の導体部Ｃ１２ａよりも外側部分には、複数のスルーホール電極Ｃ１２ｂが設けられている。スルーホール電極Ｃ１２ｂは、前記周方向に千鳥配置されている。スルーホール電極Ｃ１２ｂのうち前記周方向で隣に位置するスルーホール電極Ｃ１２ｂの間隔は、導体部Ｃ１２ａのうち前記周方向で隣に位置する導体部Ｃ１２ａの間隔よりも大きい。スルーホール電極Ｃ１２ｂは、図示しない基板Ｃ１２の複数の導電ラインによって、導体部Ｃ１２ａに電気的に各々接続されている。
【００２９】
プローブカードＣ１は、基板Ｃ１２のＺ方向側に配置されるメイン基板を更に備えた構成とすることが可能である。この場合、スルーホール電極Ｃ１２ｂは、メイン基板の複数の電極にスプリングプローブや導電ピン等の複数の中継部材を介して電気的に各々接続されている。
【００３０】
プローブＰ１は、図１Ａに示されているように、固定板Ｃ１１の第１〜第４部に間隔をあけて固定されている。以下、第２部にＸ−Ｘ’方向（第１方向（プローブＰ１の配列方向）に間隔をあけて固定されたプローブＰ１を例に挙げて説明する。プローブＰ１は、図１Ｂに最も良く示されているように、導電性材料（例えば、Ｃｕ、Ａｕ、Ｗ、Ｒｈ、ＮｉＣｏ、ＰｄＣｏ、ＡｇＰｄＣｕ、Ｒｕ、Ｉｒ、又はこれらの複合金属材料等）で構成された薄板である。プローブＰ１は、本体部１１と、脚部１２ａ、１２ｂと、ビーム１３と、接触部１４と、接続部１５とを備えている。
【００３１】
本体部１１は矩形状の板である。本体部１１は、Ｙ方向側（プローブＰ１の長手方向の一方側）の第１端部１１１（先端部）と、Ｙ’方向側（長手方向の他方側）の第２端部１１２（後端部）と、Ｚ’方向側（プローブＰ１の高さ方向の一方側）の第３端部１１３と、Ｚ方向側（高さ方向の他方側）の第４端部１１４と、複数の貫通孔とを有している。貫通孔は、本体部１１の中央部をプローブＰ１の厚み方向に貫通している。
【００３２】
脚部１２ａは、本体部１１の第３端部１１３のＹ方向側の部分に一体的に設けられた板であって、第３端部１１３からＺ’方向に延びている。脚部１２ｂは、本体部１１の第３端部１１３のＹ’方向側の部分に一体的に設けられた板であって、第３端部１１３からＺ’方向に延びている。脚部１２ａ、１２ｂは、固定板Ｃ１１の第１スリットＣ１１ａ、Ｃ１１ｂ（図１Ｃ参照）の形に対応した形状又は第１スリットＣ１１ａ、Ｃ１１ｂに挿入可能な形状となっている。脚部１２ａ、１２ｂには、プローブＰ１の厚み方向に貫通する貫通孔が設けられている。
【００３３】
図１Ｂに最も良く示されているように、脚部１２ａが第１スリットＣ１１ａに、脚部１２ｂが第１スリットＣ１１ｂに着脱可能に固定されている。具体的には、脚部１２ａが第１スリットＣ１１ａに、脚部１２ｂが第１スリットＣ１１ｂに着脱可能に嵌合している。又は、脚部１２ａが第１スリットＣ１１ａに挿入され、脚部１２ｂが第１スリットＣ１１ｂに挿入されている。固定板Ｃ１１の凹部Ｃ１１ｃ内に樹脂が塗布され、当該樹脂により脚部１２ａ、１２ｂが固定板Ｃ１１に固定されていても良い。具体的には、複数の凹部Ｃ１１ｃがスリットペア（第１スリットＣ１１ａ、Ｃ１１ｂ）各々連通している場合、各凹部Ｃ１１ｃ内の樹脂は、各スリットペアに嵌合又は挿入された一つのプローブＰ１の脚部１２ａ、１２ｂに塗布され、当該脚部１２ａ、１２ｂを固定板Ｃ１１に固定する。複数の凹部Ｃ１１ｃが複数のスリットペア（第１スリットＣ１１ａ、Ｃ１１ｂ）連通している場合、各凹部Ｃ１１ｃ内の樹脂は、複数のスリットペアに嵌合又は挿入された複数のプローブＰ１の脚部１２ａ、１２ｂに塗布され、当該脚部１２ａ、１２ｂを固定板Ｃ１１に固定する。このように脚部１２ａ、１２ｂが固定板Ｃ１１に固定された状態で、プローブＰ１の本体部１１の第３端部１１３が固定板Ｃ１１に当接し、当該本体部１１が固定板Ｃ１１上に固定されている。固定板Ｃ１１の第２部では、上記スリットペアがＸ−Ｘ’方向に間隔をあけて並んでいるため、複数のプローブＰ１の本体部１１も固定板Ｃ１１の第２部上にＸ−Ｘ’方向に間隔をあけて固定されている。なお、樹脂固定しない場合には、固定板Ｃ１１の凹部Ｃ１１ｃは省略可能である。
【００３４】
ビーム１３は、本体部１１の第１端部１１１に一体的に設けられた板である。ビーム１３は、第１端部１１１からＹ方向に延びている。ビーム１３は、Ｚ−Ｚ’方向に弾性変形可能である。
【００３５】
接触部１４は、ビーム１３の先端に一体的に設けられている。接触部１４は、ビーム１３の先端からＺ方向に延びている。接触部１４の先端は、本体部１１の第４端部１１４よりもＺ方向側に位置している。接触部１４が、プローブカードＣ１の図示しない検査対象（半導体デバイス又は半導体ウエハ）の電極に接触可能な部分である。この接触時に、接触部１４が検査対象の電極から荷重を受けることによって、ビーム１３がＺ’方向に弾性変形する。
【００３６】
接続部１５は、本体部１１の第２端部１１２に一体的に設けられており且つ第２端部１１２からＹ’方向に延びた板状のアームである。接続部１５は、Ｚ−Ｚ’方向及びＸ−Ｘ’方向（プローブＰ１の厚み方向）に折り曲げ又は湾曲可能である。接続部１５の先端部（Ｙ方向側の端部）は、接続部１５の先端部以外の部分よりもＺ−Ｚ’方向の寸法が小さくなっている。これにより、接続部１５を折り曲げ又は湾曲させることが容易になっている。接続部１５は、基板Ｃ１２の導体部Ｃ１２ａに着脱可能に機械的且つ電気的に接続されている。例えば、接続部１５は、導体部Ｃ１２ａに半田接続、導電接着剤、ワイヤーボンディング又は溶接等によって着脱可能に機械的且つ電気的に接続可能である。図１Ａ及び図１Ｂでは、接続部１５の後端部が、導体部Ｃ１２ａに各々半田Ｓによって接続されている。この接続状態で、接続部１５の先端部が折り曲げ又は湾曲し、当該接続部１５が放射状に延びている。
【００３７】
なお、第１部のプローブＰ１は、第２部のプローブＰ１に対してＹ−Ｙ’方向に対称に配置されている以外、第２部のプローブＰ１と同じ構成である。第３部のプローブＰ１は、第２部のプローブＰ１に対して図１Ａの図示左側に９０°回転させて配置されている以外、第２部のプローブＰ１と略同じ構成である。第４部のプローブＰ１は、第２部のプローブＰ１に対して図１Ａの図示右側に９０°回転させた状態で配置されている以外、第２部のプローブＰ１と略同じ構成である。
【００３８】
以上のような構成のプローブＰ１は、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）技術を用いて作成される。まず、基板上に銅等からなる導電性を有する犠牲層を形成する。その後、犠牲層上に感光性有機物質からなるフォトレジストを塗布する。その後、フォトレジストにマスクを用いて露光及び現像を行い、プローブＰ１の一部の形状に応じたパターンを形成する。その後、犠牲層に対して電気めっきを行い、パターン内に導電性材料を充填する。フォトレジストの塗布、パターンの形成及び電気めっきを繰り返し、プローブＰ１を形成する。その後、所定の溶液を用いてフォトレジストを除去する。その後、銅を選択的に除去するエッチング溶液を用いて犠牲層を除去する。このようにして板状のプローブＰ１が得られる。
【００３９】
以下、上記した構成のプローブカードＣ１の組み立て手順について詳しく説明する。複数のプローブＰ１及び固定板Ｃ１１を用意する。各プローブＰ１の脚部１２ａを固定板Ｃ１１の第１スリットＣ１１ａに嵌合させると共に、当該プローブＰ１の脚部１２ｂを固定板Ｃ１１の第１スリットＣ１１ｂに嵌合させる。固定板Ｃ１１の凹部Ｃ１１ｃ内に樹脂を塗布し、嵌合した脚部１２ａ、１２ｂを樹脂で固定板Ｃ１１に固定しても良い。又は、各プローブＰ１の脚部１２ａを固定板Ｃ１１の第１スリットＣ１１ａに挿入させると共に、当該プローブＰ１の脚部１２ｂを固定板Ｃ１１の第１スリットＣ１１ｂに挿入させる。固定板Ｃ１１の凹部Ｃ１１ｃ内に樹脂を塗布し、挿入された脚部１２ａ、１２ｂを樹脂で固定板Ｃ１１に固定する。このようにしてプローブＰ１が固定板Ｃ１１の主面上に上記配列方向に間隔をあけて固定される。なお、プローブＰ１を上記の通り固定板Ｃ１１に固定する際に、プローブＰ１の貫通孔に治具などを挿入して、脚部１２ａ、１２ｂを第１スリットＣ１１ａ、Ｃ１１ｂに嵌合又は挿入させると良い。
【００４０】
その後、基板Ｃ１２を用意する。基板Ｃ１２の主面に固定板Ｃ１１を当接させる。このとき、基板Ｃ１２の位置決め用の孔に固定板Ｃ１１の位置決め用の孔Ｃ１１ｄを連通させ、且つ基板Ｃ１２のネジ孔に固定板Ｃ１１のネジ孔Ｃ１１ｅを連通させる。その後、ピンを固定板Ｃ１１の位置決め用の孔Ｃ１１ｄに挿入し、基板Ｃ１２の位置決め用の孔に係合させる。ネジを固定板Ｃ１１のネジ孔Ｃ１１ｅに挿入し、基板Ｃ１２のネジ孔Ｃ１１ｅにネジ止めさせる。このようにして固定板Ｃ１１が基板Ｃ１２に固定される。
【００４１】
その後、各プローブＰ１の接続部１５を対応する導体部Ｃ１２ａの内側の端部上に配置する。このとき、各プローブＰ１の接続部１５の先端部が折り曲げ又は湾曲させられ、Ｙ’方向に下り傾斜すると共に、放射状に延びるように配置される。各プローブＰ１の接続部１５の後端部を導体部Ｃ１２ａに半田付けする。以上のようにプローブカードＣ１が組み立てられる。
【００４２】
以上のようなプローブカードＣ１は、以下の技術的特徴及び効果を奏する。第１に、プローブカードＣ１は、複数の導電経路のピッチ間隔を拡張するためのＳＴ基板（配線基板）を必須としない。その理由は以下の通りである。導体部Ｃ１２ａの間隔が、プローブＰ１の本体部１１の間隔よりも大きい。プローブＰ１の接続部１５が放射状に延び、導体部Ｃ１２ａに接続されている。このため、プローブＰ１によりプローブＰ１の本体部１１のピッチ間隔が導体部Ｃ１２ａの広いピッチ間隔に変換されるので、ＳＴ基板を必須としない。また、仮に、プローブカードＣ１がＳＴ基板を備えたとしても、前述のとおりプローブＰ１によって当該プローブカードＣ１の複数の導電経路の一部（プローブＰ１から導体部Ｃ１２ａまでの経路）のピッチ間隔の拡張がなされているので、当該ＳＴ基板により更に当該プローブカードＣ１の導電経路のピッチ間隔の拡張をなすことができる。
【００４３】
なお、プローブカードＣ１がＳＴ基板を備える場合、基板Ｃ１２をＳＴ基板として使用することが可能である。また、プローブカードＣ１は、ＳＴ基板及びメイン基板を更に備えた構成とすることが可能である。この場合、ＳＴ基板は基板Ｃ１２とメイン基板との間に配置される。基板Ｃ１２のスルーホール電極Ｃ１２ｂは、ＳＴ基板の複数の第１電極に電気的に各々接続される。ＳＴ基板の複数の第２電極がメイン基板の複数の電極にスプリングプローブや導電ピン等の複数の中継部材を介して電気的に各々接続される。ＳＴ基板の第１電極と第２電極は、ＳＴ基板の導電ラインにより各々接続される。第２電極のピッチ間隔は、第１電極のピッチ間隔よりも大きい。
【００４４】
第２に、以下の工程だけで、プローブＰ１を個別且つ簡単に交換することができる。まず、接続部１５と導体部Ｃ１２ａとの半田接続を解除する。脚部１２ａ、１２ｂを第１スリットＣ１１ａ、Ｃ１１ｂから引き抜く。その後、新たなプローブＰ１の脚部１２ａ、１２ｂを固定板Ｃ１１の第１スリットＣ１１ａ、Ｃ１１ｂに固定させる。新たなプローブＰ１の接続部１５を基板Ｃ１２の導体部Ｃ１２ａに半田接続させる。なお、脚部１２ａ、１２ｂが固定板Ｃ１１に樹脂で固定されている場合、樹脂を除去し、上記の通り、プローブＰ１を交換した後、再度樹脂を凹部Ｃ１１ｃ内に塗布すると良い。
【００４５】
第３に、接続部１５と導体部Ｃ１２ａとの接続および接続の解除を容易に行うことができる。導体部Ｃ１２ａの間隔が、固定板Ｃ１１の第１スリットＣ１１ａの間隔よりも大きいので、プローブＰ１毎に接続部１５と導体部Ｃ１２ａとの半田付けおよび半田の除去を容易に行うことができる。しかも、接続部１５がプローブＰ１の厚み方向及び高さ方向に折り曲げ又は湾曲可能であるので、プローブＰ１の本体部１１を固定板Ｃ１１に固定した後、接続部１５を折り曲げ又は湾曲させて接続部１５と導体部Ｃ１２ａとの位置合わせを容易に行うことができる。
【００４６】
第４に、接続部１５と導体部Ｃ１２ａとの接続が不意に解除される可能性を低減することができ且つ接続の信頼性を向上させることができる。プローブＰ１のビーム１３は、第１端部１１１からプローブＰ１の長手方向の一方側に延びている一方、接続部１５は第１端部１１１からプローブＰ１の長手方向の他方側に延びている。このため、ビーム１３の先端の接触部１４が上記検査対象の電極に接触するときに、荷重が接触部１４及びビーム１３にかかる。この荷重により、本体部１１を支点として接続部１５に導体部Ｃ１２ａから離れようとする力が働く。接続部１５は、導体部Ｃ１２ａに機械的に接続されているため、前述の力が働いたとしても、接続部１５と導体部Ｃ１２ａとの接続が不意に解除される可能性を低減することができ且つ接続の信頼性を向上させることができる。
【実施例２】
【００４７】
以下、本発明の実施例２に係るプローブカードＣ２について図２Ａ〜図２Ｆを参照しつつ説明する。プローブカードＣ２は、複数のカンチレバー型のプローブＰ２〜Ｐ５と、固定部とを備えている。以下、プローブカードＣ２の各構成要素について詳しく説明する。図２Ａには、Ｙ−Ｙ’方向及びＸ−Ｘ’方向が示されている。Ｙ−Ｙ’方向及びＸ−Ｘ’方向は、プローブカードＣ２の基板Ｃ２２の平面方向に相当する。Ｘ−Ｘ’方向は、Ｙ−Ｙ’方向に直角に交差している。図２Ｂ〜図２Ｅには、Ｙ−Ｙ’方向及びＺ−Ｚ’方向が示されている。Ｚ−Ｚ’方向はプローブカードＣ２の高さ方向及びプローブＰ２〜Ｐ５の高さ方向に相当する。
【００４８】
固定部は、図２Ｆに最も良く示されているように、固定板Ｃ２１と、基板Ｃ２２とを備えている。固定板Ｃ２１は、以下の相違点を除き、実施例１の固定板Ｃ１１と同様の構成である。よって、固定板Ｃ２１の説明のうち、固定板Ｃ１１と重複する説明は省略する。なお、図２Ｆに示されるＣ２１ｅは位置決め用の孔であり、Ｃ２１ｆはネジ孔である。
【００４９】
相違点１は、固定板Ｃ２１の複数組のスリットペアの配置が固定板Ｃ１１の複数組のスリットペアの配置と相違していることである。相違点２は、固定板Ｃ２１は、凹部Ｃ１１ｃを有していないことである。相違点３は、固定板Ｃ２１が複数の第１固定孔Ｃ２１ａ２、Ｃ２１ｂ２と、複数の第２固定孔Ｃ２１ｃ１と、複数の第２固定孔Ｃ２１ｃ２と、複数の第２固定孔Ｃ２１ｃ３と、複数の第２固定孔Ｃ２１ｃ４と、複数の導体部Ｃ２１ｄを更に有していることである。
【００５０】
固定板Ｃ２１のスリットペア、第１固定孔Ｃ２１ａ２、Ｃ２１ｂ２、第２固定孔Ｃ２１ｃ１〜４及び導体部Ｃ２１ｄは、固定板Ｃ２１の第１部〜第４部に設けられている。以下、固定板Ｃ２１の第２部のスリットペア、第１固定孔Ｃ２１ａ２、Ｃ２１ｂ２、第２固定孔Ｃ２１ｃ１〜４及び導体部Ｃ２１ｄを例に挙げて説明する。スリットペアは、Ｘ−Ｘ’方向（プローブＰ２〜Ｐ５の配列方向）に間隔をあけ且つ千鳥配置されるように固定板Ｃ２１の第２部に設けられている。各スリットペアは、Ｙ−Ｙ’方向に間隔をあけて配置された第１スリットＣ２１ａ１、Ｃ２１ｂ１を有している。第１固定孔Ｃ２１ａ２は、第１スリットＣ２１ａ１のＹ方向（プローブＰ２〜Ｐ５の長手方向の一方側）の端部に連通するように固定板Ｃ２１の第２部に各々設けられている。第１固定孔Ｃ２１ｂ２は、第１スリットＣ２１ｂ１のＹ’方向（プローブＰ２〜Ｐ５の長手方向の他方側）の端部に連通するように固定板Ｃ２１の第２部に各々設けられている。
【００５１】
第２固定孔は、図２Ｆに最も良く示されているように、固定板Ｃ２１の第１固定孔Ｃ２１ｂ２よりＹ’方向の部分にＣ２１ｃ１、Ｃ２１ｃ２、Ｃ２１ｃ３、Ｃ２１ｃ４の順でＸ−Ｘ’方向に間隔をあけて繰り返し設けられている。第２固定孔Ｃ２１ｃ１、Ｃ２１ｃ２、Ｃ２１ｃ３、Ｃ２１ｃ４は、プローブＰ２、Ｐ５、Ｐ３、Ｐ４の後述する接続部の後端部の位置に対応するようにＸ−Ｘ’方向にジグザグに配置されている。Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置する第２固定孔Ｃ２１ｃ１及び第２固定孔Ｃ２１ｃ２は、Ｙ−Ｙ’方向に位置ずれしている。Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置する第２固定孔Ｃ２１ｃ２及び第２固定孔Ｃ２１ｃ３は、Ｙ−Ｙ’方向に位置ずれしている。Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置する第２固定孔Ｃ２１ｃ３及び第２固定孔Ｃ２１ｃ４は、Ｙ−Ｙ’方向に位置ずれしている。Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置する第２固定孔Ｃ２１ｃ４及び第２固定孔Ｃ２１ｃ１は、Ｙ−Ｙ’方向に位置ずれしている。第２固定孔Ｃ２１ｃ１及び第２固定孔Ｃ２１ｃ２のＹ−Ｙ’方向の間隔は、第２固定孔Ｃ２１ｃ２及び第２固定孔Ｃ２１ｃ３のＹ−Ｙ’方向の間隔と相違している（前者が後者よりも大きい）。第２固定孔Ｃ２１ｃ２及び第２固定孔Ｃ２１ｃ３のＹ−Ｙ’方向の間隔は、第２固定孔Ｃ２１ｃ３及び第２固定孔Ｃ２１ｃ４のＹ−Ｙ’方向の間隔と相違している（前者が後者よりも大きい）。第２固定孔Ｃ２１ｃ３及び第２固定孔Ｃ２１ｃ４のＹ−Ｙ’方向の間隔は、第２固定孔Ｃ２１ｃ４及び第２固定孔Ｃ２１ｃ１と相違している（前者が後者よりも小さい）。上記したＸ−Ｘ’方向で隣に位置する第２固定孔のＹ−Ｙ’方向の間隔は、Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置するプローブＰ２、Ｐ５の後述する本体部のＸ−Ｘ’方向の間隔、Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置するプローブＰ５、Ｐ３の後述する本体部のＸ−Ｘ’方向の間隔、Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置するプローブＰ３、Ｐ４の後述する本体部のＸ−Ｘ’方向の間隔、及びＸ−Ｘ’方向で隣に位置するプローブＰ４、Ｐ２の後述する本体部のＸ−Ｘ’方向の間隔よりも大きい。
【００５２】
導体部Ｃ２１ｄは、第２固定孔Ｃ２１ｃ１、Ｃ２１ｃ２、Ｃ２１ｃ３、Ｃ２１ｃ４内に各々配置された半田ワイヤーである。第２固定孔Ｃ２１ｃ１、Ｃ２１ｃ２、Ｃ２１ｃ３、Ｃ２１ｃ４が前述のとおり配置されているので、プローブＰ２、Ｐ５、Ｐ３、Ｐ４の後述する接続部の後端部の位置に対応するようにＸ−Ｘ’方向にジグザグに配置されている。Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置する導体部Ｃ２１ｄがＹ−Ｙ’方向に位置ずれしている。第２固定孔Ｃ２１ｃ１内の導体部Ｃ２１ｄ及び第２固定孔Ｃ２１ｃ２内の導体部Ｃ２１ｄのＹ−Ｙ’方向の間隔は、第２固定孔Ｃ２１ｃ２内の導体部Ｃ２１ｄ及び第２固定孔Ｃ２１ｃ３内の導体部Ｃ２１ｄのＹ−Ｙ’方向の間隔と相違している（前者が後者よりも大きい）。第２固定孔Ｃ２１ｃ２内の導体部Ｃ２１ｄ及び第２固定孔Ｃ２１ｃ３内の導体部Ｃ２１ｄのＹ−Ｙ’方向の間隔は、第２固定孔Ｃ２１ｃ３内の導体部Ｃ２１ｄ及び第２固定孔Ｃ２１ｃ４内の導体部Ｃ２１ｄのＹ−Ｙ’方向の間隔と相違している（前者が後者よりも大きい）。第２固定孔Ｃ２１ｃ３内の導体部Ｃ２１ｄ及び第２固定孔Ｃ２１ｃ４内の導体部Ｃ２１ｄのＹ−Ｙ’方向の間隔は、第２固定孔Ｃ２１ｃ４内の導体部Ｃ２１ｄ及び第２固定孔Ｃ２１ｃ１内の導体部Ｃ２１ｄと相違している（前者が後者よりも小さい）。上記したＸ−Ｘ’方向で隣に位置する導体部Ｃ２１ｄのＹ−Ｙ’方向の間隔は、Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置するプローブＰ２、Ｐ５の後述する本体部のＸ−Ｘ’方向の間隔、Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置するプローブＰ５、Ｐ３の後述する本体部のＸ−Ｘ’方向の間隔、Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置するプローブＰ３、Ｐ４の後述する本体部のＸ−Ｘ’方向の間隔、及びＸ−Ｘ’方向で隣に位置するプローブＰ４、Ｐ２の後述する本体部のＸ−Ｘ’方向の間隔よりも大きい。
【００５３】
基板Ｃ２２はプリント基板である。基板Ｃ２２の主面上には、固定板Ｃ２１の第２固定孔Ｃ２１ｃ１〜４に対応する位置に複数の第１電極Ｃ２２ａが設けられている。第１電極Ｃ２２ａは導体部Ｃ２１ｄに各々電気的に接続されている。基板Ｃ２２の裏面上には、図示しない複数の第２電極が設けられている。第２電極は、図示しない基板Ｃ２２の複数の導電ラインによって、第１電極に電気的に接続されている。
【００５４】
プローブＰ２〜Ｐ５は、図２Ａに示されるように、導電性材料（例えば、Ｃｕ、Ａｕ、Ｗ、Ｒｈ、ＮｉＣｏ、ＰｄＣｏ、ＡｇＰｄＣｕ、Ｒｕ、Ｉｒ、又はこれらの複合金属材料等）で構成された薄板である。プローブＰ２〜Ｐ５のＹ−Ｙ’方向（第２方向）の寸法が相違している。具体的には、プローブＰ３のＹ−Ｙ’方向の寸法がプローブＰ２のＹ−Ｙ’方向の寸法よりも大きい。プローブＰ４のＹ−Ｙ’方向の寸法がプローブＰ３のＹ−Ｙ’方向の寸法よりも大きい。プローブＰ５のＹ−Ｙ’方向の寸法がプローブＰ４のＹ−Ｙ’方向の寸法よりも大きい。本実施例２では、プローブがＰ２、Ｐ５、Ｐ３、Ｐ４の順で繰り返し並ぶように、プローブＰ２〜Ｐ５の本体部が固定板Ｃ２１の第１〜第４部上に固定されている。以下、第２部にＸ−Ｘ’方向（第１方向（プローブＰ２〜Ｐ５の配列方向））に間隔をあけて固定されたプローブＰ２〜Ｐ５を例に挙げて説明する。
【００５５】
プローブＰ２は、図２Ｂに最も良く示されているように、本体部２１と、脚部２２ａ、２２ｂと、ビーム２３ａ、２３ｂと、接触部２４と、接続部２５とを備えている。
【００５６】
本体部２１は側面視略台形状の板である。本体部２１は、Ｙ方向側（プローブＰ２の長手方向の一方側）の第１端部２１１（先端部）と、Ｙ’方向側（プローブＰ２の長手方向の他方側）の第２端部２１２（後端部）と、Ｚ’方向側（プローブＰ２の高さ方向の一方側）の第３端部２１３と、Ｚ方向側（プローブＰ２の高さ方向の他方側）の第４端部２１４と、貫通孔とを有している。貫通孔は、本体部２１の中央部をＸ−Ｘ’方向に貫通している。第３端部２１３が固定板Ｃ２１に当接している。
【００５７】
脚部２２ａは、本体部２１の第３端部２１３のＹ方向の端部に一体的に設けられた板である。脚部２２ａは、幹部２２ａ１と、枝部２２ａ２とを有している。幹部２２ａ１は、本体部２１の第３端部２１３のＹ方向の端部に一体的に設けられた矩形状の板であって、Ｙ−Ｙ’方向に延びている。幹部２２ａ１は、固定板Ｃ２１の対応する第１スリットＣ２１ａ１の形に対応した形状となっている。幹部２２ａ１は、対応する第１スリットＣ２１ａ１に着脱可能に嵌合している。枝部２２ａ２は、幹部２２ａ１からＺ’方向に延びた二股状の板である。枝部２２ａ２のＹ−Ｙ’方向の寸法は、幹部２２ａ１のＹ−Ｙ’方向の寸法よりも小さい。枝部２２ａ２は、固定板Ｃ２１の対応する第１固定孔Ｃ２１ａ２の形に対応した形状となっている。枝部２２ａ２が、対応する第１固定孔Ｃ２１ａ２に着脱可能に嵌合している。
【００５８】
脚部２２ｂは、本体部２１の第３端部２１３のＹ’方向の端部に一体的に設けられた板である。脚部２２ｂは、幹部２２ｂ１と、枝部２２ｂ２とを有している。幹部２２ｂ１は、以下の点を除き、脚部２２ａの幹部２２ａ１と略同じ構成である。第１は、本体部２１の第３端部２１３のＹ’方向の端部に一体的に設けられていることである。第２は、幹部２２ｂ１は、固定板Ｃ２１の対応する第１スリットＣ２１ｂ１の形に対応した形状となっている。幹部２２ｂ１は、対応する第１スリットＣ２１ｂ１に着脱可能に嵌合している。枝部２２ｂ２は、以下の点を除き、枝部２２ａ２と略同じ構成である。それは、枝部２２ｂ２が固定板Ｃ２１の対応する第１固定孔Ｃ２１ｂ２の形に対応した形状となっていることである。枝部２２ｂ２が、対応する第１固定孔Ｃ２１ｂ２に着脱可能に嵌合している。
【００５９】
ビーム２３ａは、本体部２１の第１端部２１１に一体的に設けられた板である。ビーム２３ｂは、本体部２１の第１端部２１１のビーム２３ａよりもＺ’方向の部分に一体的に設けられた板である。ビーム２３ａ、２３ｂは、第１端部２１１からＹ方向に各々延びている。ビーム２３ａ、２３ｂは、Ｚ−Ｚ’方向に弾性変形可能である。
【００６０】
接触部２４は、ビーム２３ａ、２３ｂのＹ方向の端（先端）に一体的に設けられている。接触部２４は、ビーム２３ｂの先端からＺ方向に延びている。接触部２４のＺ方向の端（先端）は、本体部２１の第４端部２１４よりもＺ方向に位置している。接触部２４が、プローブカードＣ２の図示しない検査対象（半導体デバイス又は半導体ウエハ）の電極に接触可能な部分である。この接触時に、接触部２４が検査対象の電極から荷重を受けることによって、ビーム２３ａ、２３ｂがＺ’方向に弾性変形する。
【００６１】
接続部２５は、本体部２１の第２端部２１２に一体的に設けられており且つ第２端部２１２からＹ’方向に延びた板状のアームである。接続部２５は、Ｚ’方向に下り傾斜している。接続部２５のＹ’方向の端部（後端部）には、Ｘ−Ｘ’方向に貫通する貫通孔が設けられている。接続部２５の後端部は、固定板Ｃ２１の第２固定孔Ｃ２１ｃ１内の導体部Ｃ２１ｄに着脱可能に機械的且つ電気的に接続されている。例えば、接続部２５の後端部は、導体部Ｃ２１ｄに半田接続、導電接着剤、ワイヤーボンディング又は溶接等によって機械的且つ電気的に接続されている。
【００６２】
プローブＰ３は、図２Ｃに最も良く示されているように、プローブＰ３の接続部２５’の構成がプローブＰ２の接続部２５の構成と相違する以外、プローブＰ２と略同じ構成である。したがって、プローブＰ３の説明のうち、プローブＰ２と重複する説明は省略する。
【００６３】
接続部２５’は、アーム２５１’と、垂下部２５２’とを有している。アーム２５１’は本体部２１の第２端部２１２からＺ’方向に下り傾斜しつつＹ’方向に延びた板である。アーム２５１’のＹ−Ｙ’方向の寸法は、プローブＰ２の接続部２５のＹ−Ｙ’方向の寸法よりも大きい。垂下部２５２’は、アーム２５１’のＹ’方向の端部からＺ’方向に延びた板である。このような構成により、プローブＰ３の接触部２４から接続部２５’までの長さ（プローブＰ３のＹ−Ｙ’方向の寸法）は、プローブＰ２の接触部２４から接続部２５の後端までの長さ（プローブＰ２のＹ−Ｙ’方向の寸法）よりも長い（大きい）。垂下部２５２’には、当該垂下部２５２’をＸ−Ｘ’方向に貫通する貫通孔が設けられている。垂下部２５２’は、固定板Ｃ２１の第２固定孔Ｃ２１ｃ３内の導体部Ｃ２１ｄに機械的且つ電気的に接続されている。例えば、垂下部２５２’は、導体部Ｃ２１ｄに半田接続、導電接着剤、ワイヤーボンディング又は溶接等によって機械的且つ電気的に接続されている。
【００６４】
プローブＰ４は、図２Ｄに最も良く示されているように、プローブＰ４の本体部２１’の構成がプローブＰ３の本体部２１の構成と相違する以外、プローブＰ３と略同じ構成である。したがって、プローブＰ４の説明のうち、プローブＰ３と重複する説明は省略する。
【００６５】
プローブＰ４の本体部２１’のＹ−Ｙ’方向の寸法は、プローブＰ３の本体部２１のＹ−Ｙ’方向の寸法よりも大きい。このような構成により、プローブＰ４の接触部２４から接続部２５’までの長さ（プローブＰ４のＹ−Ｙ’方向の寸法）は、プローブＰ３の接触部２４から接続部２５’までの長さ（プローブＰ３のＹ−Ｙ’方向の寸法）よりも長い（大きい）。本体部２１’には、当該本体部２１’をＸ−Ｘ’方向に貫通する二つの貫通孔が設けられている。図２Ｄ中の２１１’は本体部２１’のＹ方向の第１端部、２１２’は本体部２１’のＹ’方向の第２端部、２１３’は本体部２１’のＺ’方向の第３端部、２１４’は本体部２１’のＺ方向の第４端部である。プローブＰ４の接続部２５’の垂下部２５２’は、固定板Ｃ２１の第２固定孔Ｃ２１ｃ４内の導体部Ｃ２１ｄに機械的且つ電気的に接続されている。
【００６６】
プローブＰ５は、図２Ｅに最も良く示されているように、プローブＰ５の接続部２５’’のアーム２５１’’のＹ−Ｙ’方向の寸法がプローブＰ４の接続部２５’のアーム２５１’のＹ−Ｙ’方向の寸法よりも大きい点で相違する以外、プローブＰ４と略同じ構成である。したがって、プローブＰ５の説明のうち、プローブＰ４と重複する説明は省略する。前述の構成により、プローブＰ５の接触部２４から接続部２５’’（プローブＰ５のＹ−Ｙ’方向の寸法）までの長さは、プローブＰ４の接触部２４から接続部２５’までの長さ（プローブＰ４のＹ−Ｙ’方向の寸法）よりも長い（大きい）。プローブＰ５の接続部２５’’の垂下部２５２’は、固定板Ｃ２１の第２固定孔Ｃ２１ｃ２内の導体部Ｃ２１ｄに機械的且つ電気的に接続されている。
【００６７】
上記したプローブＰ２〜Ｐ５は、プローブＰ１と同様に、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）技術を用いて作成される。
【００６８】
以下、上記した構成のプローブカードＣ２の組み立て手順について詳しく説明する。固定板Ｃ２１を用意する。この固定板Ｃ２１の第２固定孔Ｃ２１ｃ１〜４に導体部Ｃ２１ｄを各々挿入する。この導体部Ｃ２１ｄは、第２固定孔Ｃ２１ｃ１〜４から各々Ｚ方向に突出している。
【００６９】
複数のプローブＰ２〜Ｐ５を用意する。プローブがＰ２、Ｐ５、Ｐ３、Ｐ４の順で上記配列方向に繰り返し並ぶように、プローブＰ２〜Ｐ５の本体部を固定板Ｃ２１上に固定する。具体的には、プローブＰ２〜Ｐ５の脚部２２ａの幹部２２ａ１を固定板Ｃ２１の第１スリットＣ２１ａ１に各々嵌合させ、プローブＰ２〜Ｐ５の脚部２２ａの枝部２２ａ２を固定板Ｃ２１の第１固定孔Ｃ２１ａ２に各々嵌合させる。これと共に、プローブＰ２〜Ｐ５の脚部２２ｂの幹部２２ｂ１を固定板Ｃ２１の第１スリットＣ２１ｂ１に各々嵌合させ、プローブＰ２〜Ｐ５の脚部２２ｂの枝部２２ｂ２を第１固定孔Ｃ２１ｂ２に各々嵌合させる。これにより、プローブＰ２〜Ｐ５の接続部の後端部が導体部Ｃ２１ｄの近傍に配置される。その後、導体部Ｃ２１ｄをプローブＰ２〜Ｐ５の接続部の後端部に各々半田付けする。なお、プローブＰ２〜Ｐ５を上記の通り固定板Ｃ２１に固定する際に、プローブＰ２〜Ｐ５の貫通孔に治具などを挿入して、プローブＰ２〜Ｐ５の脚部２２ａを第１スリットＣ２１ａ１及び第１固定孔Ｃ２１ａ２に嵌合させ、且つプローブＰ２〜Ｐ５の脚部２２ｂを第１スリットＣ２１ｂ１及び第１固定孔Ｃ２１ｂ２に嵌合させると良い。
【００７０】
プローブＰ２〜Ｐ５の本体部を固定板Ｃ２１上に固定した後、実施例１と同様に固定板Ｃ２１を基板Ｃ２２に固定する。このとき、固定板Ｃ２１の導体部Ｃ２１ｄが基板Ｃ２２の第１電極Ｃ２２ａに接触し、電気的に接続される。以上のようにプローブカードＣ２が組み立てられる。
【００７１】
以上のようなプローブカードＣ２は、以下の技術的特徴及び効果を奏する。第１に、プローブカードＣ２は、複数の導電経路のピッチ間隔を拡張するためのＳＴ基板（配線基板）を必須としない。その理由は以下の通りである。Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置する導体部Ｃ２１ｄのＹ−Ｙ’方向の間隔は、Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置するプローブＰ２〜Ｐ５の本体部のＸ−Ｘ’方向の間隔よりも大きい。Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置するプローブＰ２〜Ｐ５のＹ−Ｙ’方向の寸法が相違している。導体部Ｃ２１ｄがプローブＰ２〜Ｐ５の接続部の後端部に各々半田接続されている。このため、プローブＰ２〜Ｐ５により、プローブカードＣ２のプローブＰ２〜Ｐ５の本体部のピッチ間隔が導体部Ｃ２１ｄの広いピッチ間隔に変換されるので、ＳＴ基板を必須としない。また、仮に、プローブカードＣ２がＳＴ基板を備えたとしても、前述のとおりプローブＰ２〜Ｐ５によって当該プローブカードＣ２の複数の導電経路の一部（プローブＰ２〜Ｐ５から導体部Ｃ２１ｄまでの経路）のピッチ間隔の拡張がなされているので、当該ＳＴ基板により更に当該プローブカードＣ２の導電経路のピッチ間隔の拡張をなすことができる。
【００７２】
なお、プローブカードＣ２がＳＴ基板を備える場合、基板Ｃ２２をＳＴ基板として使用することが可能である。また、プローブカードＣ２は、ＳＴ基板及びメイン基板を更に備えた構成とすることが可能である。この場合、ＳＴ基板は基板Ｃ２２とメイン基板との間に配置される。基板Ｃ２２の第２電極は、ＳＴ基板の複数の第１電極に電気的に各々接続される。ＳＴ基板の複数の第２電極がメイン基板の複数の電極にスプリングプローブや導電ピン等の複数の中継部材を介して電気的に各々接続される。ＳＴ基板の第１電極と第２電極は、ＳＴ基板の導電ラインにより各々接続される。ＳＴ基板の第２電極のピッチ間隔は、ＳＴ基板の第１電極のピッチ間隔よりも大きい。
【００７３】
第２に、以下の工程だけで、プローブカードＣ２のプローブＰ２〜Ｐ５を個別且つ簡単に交換することができる。プローブＰ２〜Ｐ５のうち交換すべきプローブの接続部と導体部Ｃ２１ｄとの半田接続を解除する。その後、当該プローブの脚部２２ａを第１スリットＣ２１ａ１及び第１固定孔Ｃ２１ａ２から引き抜くと共に、当該プローブの脚部２２ｂを固定板Ｃ２１の第１スリットＣ２１ｂ１及び第１固定孔Ｃ２１ｂ２から引き抜く。その後、新たなプローブの脚部２２ａを第１スリットＣ２１ａ１及び第１固定孔Ｃ２１ａ２に嵌合させ、当該新たなプローブの脚部２２ｂを固定板Ｃ２１の第１スリットＣ２１ｂ１及び第１固定孔Ｃ２１ｂ２に嵌合させる。その後、新たなプローブの接続部を導体部Ｃ２１ｄに半田接続させる。
【００７４】
第３に、プローブＰ２〜Ｐ５の接続部と導体部Ｃ２１ｄとの接続および接続の解除を容易に行うことができる。Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置する導体部Ｃ２１ｄのＹ−Ｙ’方向の間隔は、Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置するプローブＰ２〜Ｐ５の本体部のＸ−Ｘ’方向の間隔よりも大きいので、プローブＰ２〜Ｐ５毎に接続部と導体部Ｃ２１ｄとの半田付けおよび半田の除去を容易に行うことができる。しかも、半田接続時に、導体部Ｃ２１ｄが第２固定孔Ｃ２１ｃ１〜４から突出しているので、導体部Ｃ２１ｄの突出した部分をプローブＰ２〜Ｐ５の接続部に容易に半田付けすることができる。
【００７５】
第４に、プローブカードＣ２はプローブカードＣ１の第４の技術的特徴及び効果を奏する。プローブＰ２〜Ｐ５の接続部と導体部Ｃ２１ｄとが機械的に接続されているためである。
【００７６】
第５に、導体部Ｃ２１ｄが第２固定孔Ｃ２１ｃ１、Ｃ２１ｃ２、Ｃ２１ｃ３、Ｃ２１ｃ４内に各々配置された半田ワイヤーであるので、導体部Ｃ２１ｄとプローブＰ２〜Ｐ５の接続部との半田接続を装置により自動化することが可能になる。
【実施例３】
【００７７】
以下、本発明の実施例３に係るプローブカードＣ３について図３Ａ〜図３Ｆを参照しつつ説明する。プローブカードＣ３は、複数のカンチレバー型のプローブＰ６〜Ｐ９と、固定部とを備えている。以下、プローブカードＣ３の各構成要素について詳しく説明する。図３Ａには、Ｙ−Ｙ’方向及びＸ−Ｘ’方向が示されている。Ｙ−Ｙ’方向及びＸ−Ｘ’方向は、プローブカードＣ３の基板Ｃ２２の平面方向に相当する。Ｘ−Ｘ’方向は、Ｙ−Ｙ’方向に直角に交差している。図３Ｂ〜図３Ｅには、Ｙ−Ｙ’方向及びＺ−Ｚ’方向が示されている。Ｚ−Ｚ’方向はプローブカードＣ３の高さ方向及びプローブＰ６〜Ｐ９の高さ方向に相当する。
【００７８】
固定部は、図３Ｆに最も良く示されているように、固定板Ｃ３１と、基板Ｃ２２とを備えている。固定板Ｃ３１は、以下の相違点を除き、実施例２の固定板Ｃ２１と同様の構成である。よって、固定板Ｃ３１の説明のうち、固定板Ｃ２１と重複する説明は省略する。なお、図３Ｆに示されるＣ３１ｆは位置決め用の孔であり、Ｃ３１ｇはネジ孔である。
【００７９】
固定板Ｃ３１の第１部〜第４部には、複数の第１スリットＣ２１ａ１、Ｃ２１ｂ１、複数の第１固定孔Ｃ２１ａ２、Ｃ２１ｂ２、複数の第２固定孔Ｃ２１ｃ１〜４及び複数の導体部Ｃ２１ｄに代えて、複数の第１スリットＣ３１ａ、複数の第１固定孔Ｃ３１ｂ、複数の第２固定孔Ｃ３１ｃ１〜４、複数の導体部Ｃ３１ｄ及び複数の第３固定孔Ｃ３１ｅが設けられている。
【００８０】
以下、固定板Ｃ３１の第２部の第１スリットＣ３１ａ、第１固定孔Ｃ３１ｂ、第２固定孔Ｃ３１ｃ１〜４、導体部Ｃ３１ｄ及び第３固定孔Ｃ３１ｅを例に挙げて説明する。第１スリットＣ３１ａは、Ｘ−Ｘ’方向（プローブＰ６〜Ｐ９の配列方向）に間隔をあけ且つ千鳥配置されるように固定板Ｃ３１の第２部に設けられている。第１固定孔Ｃ３１ｂは、第１スリットＣ３１ａのＹ方向（プローブＰ６〜Ｐ９の長手方向の一方側）の端部に連通するように固定板Ｃ３１の第２部に各々設けられている。
【００８１】
第２固定孔は、図３Ｆに最も良く示されているように、固定板Ｃ３１の第１スリットＣ３１ａよりＹ’方向の部分にＣ３１ｃ１、Ｃ３１ｃ２、Ｃ３１ｃ３、Ｃ３１ｃ４の順でＸ−Ｘ’方向に間隔をあけて繰り返し設けられている。第２固定孔Ｃ３１ｃ１、Ｃ３１ｃ２、Ｃ３１ｃ３、Ｃ３１ｃ４は、プローブＰ６、Ｐ９、Ｐ７、Ｐ８の後述する接続部の後端部の位置に対応するようにＸ−Ｘ’方向にジグザグに配置されている以外、実施例２の固定板Ｃ２１の第２固定孔Ｃ２１ｃ１、Ｃ２１ｃ２、Ｃ２１ｃ３、Ｃ２１ｃ４と同様の構成である。Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置する第２固定孔のＹ−Ｙ’方向の間隔は、Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置するプローブＰ６、Ｐ９の後述する本体部のＸ−Ｘ’方向の間隔、Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置するプローブＰ９、Ｐ７の後述する本体部のＸ−Ｘ’方向の間隔、Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置するプローブＰ７、Ｐ８の後述する本体部のＸ−Ｘ’方向の間隔、及びＸ−Ｘ’方向で隣に位置するプローブＰ８、Ｐ６の後述する本体部のＸ−Ｘ’方向の間隔よりも大きい。
【００８２】
導体部Ｃ３１ｄは、第２固定孔Ｃ３１ｃ１、Ｃ３１ｃ２、Ｃ３１ｃ３、Ｃ３１ｃ４内に各々配置されている以外、実施例２の固定板Ｃ２１の導体部Ｃ２１ｄと同じ構成である。Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置する導体部Ｃ３１ｄのＹ−Ｙ’方向の間隔は、Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置するプローブＰ６、Ｐ９の後述する本体部のＸ−Ｘ’方向の間隔、Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置するプローブＰ９、Ｐ７の後述する本体部のＸ−Ｘ’方向の間隔、Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置するプローブＰ７、Ｐ８の後述する本体部のＸ−Ｘ’方向の間隔、及びＸ−Ｘ’方向で隣に位置するプローブＰ８、Ｐ６の後述する本体部のＸ−Ｘ’方向の間隔よりも大きい。
【００８３】
第３固定孔Ｃ３１ｅは、第１スリットＣ３１ａと第２固定孔Ｃ３１ｃ１、Ｃ３１ｃ２、Ｃ３１ｃ３、Ｃ３１ｃ４との間で、第２固定孔Ｃ３１ｃ１、Ｃ３１ｃ２、Ｃ３１ｃ３、Ｃ３１ｃ４の近傍に位置するように固定板Ｃ３１の第２部に各々設けられている。第３固定孔Ｃ３１ｅは、プローブＰ６〜Ｐ９の後述する接続部の枝部の位置に対応する位置に配置されている。
【００８４】
プローブＰ６〜Ｐ９は、図３Ａに示されるように、導電性材料（例えば、Ｃｕ、Ａｕ、Ｗ、Ｒｈ、ＮｉＣｏ、ＰｄＣｏ、ＡｇＰｄＣｕ、Ｒｕ、Ｉｒ、又はこれらの複合金属材料等）で構成された薄板である。プローブＰ６〜Ｐ９のＹ−Ｙ’方向（第２方向）の寸法は、相違している。具体的には、プローブＰ７のＹ−Ｙ’方向の寸法がプローブＰ６のＹ−Ｙ’方向の寸法よりも大きい。プローブＰ８のＹ−Ｙ’方向の寸法がプローブＰ７のＹ−Ｙ’方向の寸法よりも大きい。プローブＰ９のＹ−Ｙ’方向の寸法がプローブＰ８のＹ−Ｙ’方向の寸法よりも大きい。本実施例３では、プローブがＰ６、Ｐ９、Ｐ７、Ｐ８の順で繰り返し並ぶように、プローブＰ６〜Ｐ９の本体部が固定板Ｃ３１の第１〜第４部上に固定されている。以下、第２部にＸ−Ｘ’方向（第１方向（プローブＰ６〜Ｐ９の配列方向））に間隔をあけて固定されたプローブＰ６〜Ｐ９を例に挙げて説明する。
【００８５】
プローブＰ６は、図３Ｂに最も良く示されているように、本体部３１と、脚部３２と、ビーム３３ａ、３３ｂと、接触部３４と、接続部３５とを備えている。
【００８６】
本体部３１は側面視略台形状の板である。本体部３１は、Ｙ方向側（プローブＰ６の長手方向の一方側）の第１端部３１１（先端部）と、Ｙ’方向側（プローブＰ６の長手方向の他方側）の第２端部３１２（後端部）と、Ｚ’方向側（プローブＰ６の高さ方向の一方側）の第３端部３１３と、Ｚ方向側（プローブＰ６の高さ方向の他方側）の第４端部３１４と、貫通孔とを有している。貫通孔は、本体部３１の中央部をＸ−Ｘ’方向に貫通している。第３端部３１３が固定板Ｃ３１に当接している。
【００８７】
脚部３２は、本体部３１の第３端部３１３のＹ方向の端部に一体的に設けられた板である。脚部３２は、実施例２のプローブＰ２の脚部２２ａと同様の構成である。脚部３２は、幹部３２１と、枝部３２２とを有している。幹部３２１は、固定板Ｃ３１の対応する第１スリットＣ３１ａの形に対応した形状となっている。幹部３２１は、対応する第１スリットＣ３１ａに着脱可能に嵌合している。枝部３２２は、固定板Ｃ３１の対応する第１固定孔Ｃ３１ｂの形に対応した形状となっている。枝部３２２が、対応する第１固定孔Ｃ３１ｂに着脱可能に嵌合している。
【００８８】
ビーム３３ａ、３３ｂは、実施例２のプローブＰ２のビーム２３ａ、２３ｂと同様の構成である。接触部３４は、実施例２のプローブＰ２の接触部２４と同様の構成である。
【００８９】
接続部３５は、本体部３１の第２端部３１２に一体的に設けられている。接続部３５は、幹部３５１と、枝部３５２とを有している。幹部３５１は、本体部３１の第２端部３１２に一体的に設けられており且つＹ’方向に延びた板である。幹部３５１のＺ’方向の端部には、貫通孔が設けられている。幹部３５１が固定板Ｃ３１の第２固定孔Ｃ３１ｃ１内の導体部Ｃ３１ｄに着脱可能に機械的且つ電気的に接続されている。例えば、幹部３５１は、導体部Ｃ３１ｄに半田接続、導電接着剤、ワイヤーボンディング又は溶接等によって機械的且つ電気的に接続されている。枝部３５２は、幹部３５１からＺ’方向に延びた二股状の板である。枝部３５２は、固定板Ｃ３１の第２固定孔Ｃ３１ｃ１近傍の第３固定孔Ｃ３１ｅの形に対応した形状となっている。枝部３５２が第３固定孔Ｃ３１ｅに着脱可能に嵌合している。
【００９０】
プローブＰ７は、図３Ｃに最も良く示されているように、プローブＰ７の接続部３５’の構成がプローブＰ６の接続部３５の構成と相違する以外、プローブＰ６と略同じ構成である。したがって、プローブＰ７の説明のうち、プローブＰ６と重複する説明は省略する。
【００９１】
接続部３５’は、幹部３５１に代えて、アーム３５１’を有している。アーム３５１’は本体部３１の第２端部３１２からＹ’方向に延びた後、Ｚ’方向に延びた略Ｌ字状の板である。アーム３５１’のＺ’方向の端部には貫通孔が設けられている。接続部３５’の枝部３５２は、幹部３５１ではなく、アーム３５１’のＺ’方向の端部からＺ’方向に延びている。このような構成により、プローブＰ７の接触部３４から接続部３５’までの長さ（プローブＰ７のＹ−Ｙ’方向の寸法）は、プローブＰ６の接触部３４から接続部３５までの長さ（プローブＰ６のＹ−Ｙ’方向の寸法）よりも長い（大きい）。アーム３５１’のＺ’方向の端部は、固定板Ｃ３１の第２固定孔Ｃ３１ｃ３内の導体部Ｃ３１ｄに機械的且つ電気的に接続されている。例えば、アーム３５１’は、導体部Ｃ３１ｄに半田接続、導電接着剤、ワイヤーボンディング又は溶接等によって機械的且つ電気的に接続されている。
【００９２】
プローブＰ８は、図３Ｄに最も良く示されているように、以下の相違点を除き、プローブＰ７と略同じ構成である。したがって、プローブＰ８の説明のうち、プローブＰ７と重複する説明は省略する。相違点１は、プローブＰ８の脚部３２が本体部３１の第３端部３１３のＹ方向の端部ではなく、第３端部３１３の中央部に設けられていることである。相違点２は、プローブＰ８の接続部３５’’のアーム３５１’’のＹ−Ｙ’方向の寸法がプローブＰ７の接続部３５’のアーム３５１’のＹ−Ｙ’方向の寸法よりも大きいことである。このような構成により、プローブＰ８の接触部３４から接続部３５’’までの長さ（プローブＰ８のＹ−Ｙ’方向の寸法）は、プローブＰ７の接触部３４から接続部３５’までの長さ（プローブＰ７のＹ−Ｙ’方向の寸法）よりも長い（大きい）。アーム３５１’’のＺ’方向の端部は、固定板Ｃ３１の第２固定孔Ｃ３１ｃ４内の導体部Ｃ３１ｄに機械的且つ電気的に接続されている。例えば、アーム３５１’’は、導体部Ｃ３１ｄに半田接続、導電接着剤、ワイヤーボンディング又は溶接等によって機械的且つ電気的に接続されている。
【００９３】
プローブＰ９は、図３Ｅに最も良く示されているように、以下の相違点を除き、プローブＰ８と略同じ構成である。したがって、プローブＰ９の説明のうち、プローブＰ８と重複する説明は省略する。相違点は、プローブＰ９の接続部３５’’’のアーム３５１’’’のＹ−Ｙ’方向の寸法がプローブＰ８の接続部３５’’のアーム３５１’’のＹ−Ｙ’方向の寸法よりも大きいことである。このような構成により、プローブＰ９の接触部３４から接続部３５’’’までの長さ（プローブＰ９のＹ−Ｙ’方向の寸法）は、プローブＰ８の接触部３４から接続部３５’’までの長さ（プローブＰ８のＹ−Ｙ’方向の寸法）よりも長い（大きい）。アーム３５１’’’のＺ’方向の端部は、固定板Ｃ３１の第２固定孔Ｃ３１ｃ２内の導体部Ｃ３１ｄに機械的且つ電気的に接続されている。例えば、アーム３５１’’’は、導体部Ｃ３１ｄに半田接続、導電接着剤、ワイヤーボンディング又は溶接等によって機械的且つ電気的に接続されている。
【００９４】
上記したプローブＰ６〜Ｐ９は、プローブＰ１と同様に、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）技術を用いて作成される。
【００９５】
以下、上記した構成のプローブカードＣ３の組み立て手順について詳しく説明する。固定板Ｃ３１を用意する。この固定板Ｃ３１の第２固定孔Ｃ３１ｃ１〜４に導体部Ｃ３１ｄを各々挿入する。この導体部Ｃ３１ｄは、第２固定孔Ｃ３１ｃ１〜４から各々Ｚ方向に突出している。
【００９６】
複数のプローブＰ６〜Ｐ９を用意する。プローブがＰ６、Ｐ９、Ｐ７、Ｐ８の順でプローブＰ６〜９の厚み方向に繰り返し並ぶように、プローブＰ６〜Ｐ９の本体部を固定板Ｃ３１上に固定する。具体的には、プローブＰ６〜Ｐ９の脚部３２の幹部３２１を固定板Ｃ３１の第１スリットＣ３１ａに各々嵌合させ、プローブＰ６〜Ｐ９の脚部３２の枝部３２２を固定板Ｃ３１の第１固定孔Ｃ３１ｂに各々嵌合させる。これと共に、プローブＰ６〜Ｐ９の接続部の枝部３５２を第３固定孔Ｃ３１ｅに各々嵌合させる。これにより、プローブＰ６〜Ｐ９の接続部が導体部Ｃ３１ｄの近傍に配置される。その後、導体部Ｃ３１ｄをプローブＰ６〜Ｐ９の接続部に各々半田付けする。なお、プローブＰ６〜Ｐ９を上記の通り固定板Ｃ３１に固定する際に、プローブＰ６〜Ｐ９の貫通孔に治具などを挿入して、プローブＰ６〜Ｐ９の脚部３２を第１スリットＣ３１ａ及び第１固定孔Ｃ３１ｂに嵌合させ、且つプローブＰ６〜Ｐ９の接続部を第３固定孔Ｃ３１ｅに嵌合させると良い。
【００９７】
プローブＰ６〜Ｐ９の本体部を固定板Ｃ３１上に固定した後、実施例２と同様に固定板Ｃ３１を基板Ｃ２２に固定する。このとき、固定板Ｃ３１の導体部Ｃ３１ｄが基板Ｃ２２の第１電極Ｃ２２ａに接触し、電気的に接続される。以上のようにプローブカードＣ３が組み立てられる。
【００９８】
以上のようなプローブカードＣ３は、プローブカードＣ２の第１及び第３〜第５技術的特徴及びその効果を奏する。加えて、プローブカードＣ３は、以下の工程だけで、プローブＰ６〜Ｐ９を個別且つ簡単に交換することができる。プローブＰ６〜Ｐ９のうち交換すべきプローブの接続部と導体部Ｃ３１ｄとの半田接続を解除する。当該プローブの脚部３２を第１スリットＣ３１ａ及び第１固定孔Ｃ３１ｂから引き抜くと共に、プローブの接続部の枝部３５２を固定板Ｃ３１の第３固定孔Ｃ３１ｅから引き抜く。その後、新たなプローブの脚部３２を第１スリットＣ３１ａ及び第１固定孔Ｃ３１ｂに嵌合させると共に、当該新たなプローブの接続部の枝部３５２を固定板Ｃ３１の第３固定孔Ｃ３１ｅに嵌合させる。その後、新たなプローブの接続部を導体部Ｃ３１ｄに半田接続させる。
【００９９】
なお、プローブカードＣ３がＳＴ基板を備える場合も、プローブカードＣ２と同様の構成とすることが可能である。
【実施例４】
【０１００】
以下、本発明の実施例４に係るプローブカードＣ４について図４Ａ〜図４Ｇを参照しつつ説明する。プローブカードＣ４は、複数のカンチレバー型のプローブＰ１０〜Ｐ１３と、固定部とを備えている。以下、プローブカードＣ４の各構成要素について詳しく説明する。図４Ａには、Ｙ−Ｙ’方向及びＸ−Ｘ’方向が示されている。Ｙ−Ｙ’方向及びＸ−Ｘ’方向は、プローブカードＣ４の基板Ｃ２２の平面方向に相当する。Ｘ−Ｘ’方向は、Ｙ−Ｙ’方向に直角に交差している。図４Ｂ〜図４Ｅには、Ｙ−Ｙ’方向及びＺ−Ｚ’方向が示されている。Ｚ−Ｚ’方向はプローブカードＣ４の高さ方向及びプローブＰ１０〜Ｐ１３の高さ方向に相当する。
【０１０１】
固定部は、図４Ｇに最も良く示されているように、固定板Ｃ４１と、基板Ｃ２２とを備えている。固定板Ｃ４１は、以下の相違点を除き、実施例２の固定板Ｃ２１と同様の構成である。よって、固定板Ｃ４１の説明のうち、固定板Ｃ２１と重複する説明は省略する。なお、図４Ｇに示されるＣ４１ｆは位置決め用の孔であり、Ｃ４１ｇはネジ孔である。
【０１０２】
固定板Ｃ４１の第１部〜第４部には、複数の第１スリットＣ２１ａ１、Ｃ２１ｂ１、複数の第１固定孔Ｃ２１ａ２、Ｃ２１ｂ２、複数の第２固定孔Ｃ２１ｃ１〜４及び複数の導体部Ｃ２１ｄに代えて、複数の第１スリットＣ４１ａ１、複数の第１固定孔Ｃ４１ａ２、複数の第１固定孔Ｃ４１ｂ、複数の第２固定孔Ｃ４１ｃ１〜４及び複数の導体部Ｃ４１ｄが設けられている。
【０１０３】
以下、固定板Ｃ４１の第２部の第１スリットＣ４１ａ１、第１固定孔Ｃ４１ａ２、Ｃ４１ｂ、第２固定孔Ｃ４１ｃ１〜４及び導体部Ｃ４１ｄを例に挙げて説明する。第１スリットＣ４１ａ１は、Ｘ−Ｘ’方向（第１方向（プローブＰ１０〜Ｐ１３の配列方向））に間隔をあけ且つ千鳥配置されるように固定板Ｃ４１の第２部に設けられている。第１固定孔Ｃ４１ａ２は、第１スリットＣ４１ａ１のＹ方向（プローブＰ１０〜Ｐ１３の長手方向の一方側）の端部に連通するように固定板Ｃ４１の第２部に各々設けられている。第１固定孔Ｃ４１ｂは、固定板Ｃ４１の第１スリットＣ４１ａ１よりＹ’方向の部分にＸ−Ｘ’方向に間隔をあけ且つ千鳥配置されるように固定板Ｃ４１の第２部に設けられている。
【０１０４】
第２固定孔は、図４Ｇに最も良く示されているように、固定板Ｃ４１の第１固定孔Ｃ４１ｂよりＹ’方向の部分にＣ４１ｃ１、Ｃ４１ｃ２、Ｃ４１ｃ３、Ｃ４１ｃ４の順でＸ−Ｘ’方向に間隔をあけて繰り返し設けられている。第２固定孔Ｃ４１ｃ１、Ｃ４１ｃ２、Ｃ４１ｃ３、Ｃ４１ｃ４は、プローブＰ１０、Ｐ１３、Ｐ１１、Ｐ１２の後述する接続部の垂下部４５２の位置に対応するようにＸ−Ｘ’方向にジグザグに配置されている以外、実施例２の固定板Ｃ２１の第２固定孔Ｃ２１ｃ１、Ｃ２１ｃ２、Ｃ２１ｃ３、Ｃ２１ｃ４と同様の構成である。Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置する第２固定孔のＹ−Ｙ’方向の間隔は、Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置するプローブＰ１０、Ｐ１３の後述する本体部のＸ−Ｘ’方向の間隔、Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置するプローブＰ１３、Ｐ１１の後述する本体部のＸ−Ｘ’方向の間隔、Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置するプローブＰ１１、Ｐ１２の後述する本体部のＸ−Ｘ’方向の間隔、及びＸ−Ｘ’方向で隣に位置するプローブＰ１２、Ｐ１０の後述する本体部のＸ−Ｘ’方向の間隔よりも大きい。
【０１０５】
導体部Ｃ４１ｄは、図４Ｆに最も良く示されているように、第２固定孔Ｃ４１ｃ１、Ｃ４１ｃ２、Ｃ４１ｃ３、Ｃ４１ｃ４内に各々配置された導電ピンである。導体部Ｃ４１ｄは、第２固定孔Ｃ４１ｃ１、Ｃ４１ｃ２、Ｃ４１ｃ３、Ｃ４１ｃ４に固定されている。導体部Ｃ４１ｄのＺ方向の端部には二股部Ｃ４１ｄ１が設けられている。導体部Ｃ４１ｄのＺ’方向の端部が基板Ｃ２２の第１電極Ｃ２２ａに電気的に接続されている。Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置する導体部Ｃ４１ｄのＹ−Ｙ’方向の間隔は、Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置するプローブＰ１０、Ｐ１３の後述する本体部のＸ−Ｘ’方向の間隔、Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置するプローブＰ１３、Ｐ１１の後述する本体部のＸ−Ｘ’方向の間隔、Ｘ−Ｘ’方向で隣に位置するプローブＰ１１、Ｐ１２の後述する本体部のＸ−Ｘ’方向の間隔、及びＸ−Ｘ’方向で隣に位置するプローブＰ１２、Ｐ１０の後述する本体部のＸ−Ｘ’方向の間隔よりも大きい。
【０１０６】
プローブＰ１０〜Ｐ１３は、図４Ａに示されるように、導電性材料（例えば、Ｃｕ、Ａｕ、Ｗ、Ｒｈ、ＮｉＣｏ、ＰｄＣｏ、ＡｇＰｄＣｕ、Ｒｕ、Ｉｒ、又はこれらの複合金属材料等）で構成された薄板である。プローブＰ１０〜Ｐ１３のＹ−Ｙ’方向（第２方向）の寸法は、相違している。具体的には、プローブＰ１１のＹ−Ｙ’方向の寸法がプローブＰ１０のＹ−Ｙ’方向の寸法よりも大きい。プローブＰ１２のＹ−Ｙ’方向の寸法がプローブＰ１１のＹ−Ｙ’方向の寸法よりも大きい。プローブＰ１３のＹ−Ｙ’方向の寸法がプローブＰ１２のＹ−Ｙ’方向の寸法よりも大きい。本実施例４では、プローブがＰ１０、Ｐ１３、Ｐ１１、Ｐ１２の順で繰り返し並ぶように、プローブＰ１０〜Ｐ１３の本体部が固定板Ｃ４１の第１〜第４部上に固定されている。以下、第２部にＸ−Ｘ’方向（第１方向（プローブＰ１０〜Ｐ１３の配列方向））に間隔をあけて固定されたプローブＰ１０〜Ｐ１３を例に挙げて説明する。
【０１０７】
プローブＰ１０は、図４Ｂに最も良く示されているように、本体部４１と、脚部４２ａ、４２ｂと、ビーム４３ａ、４３ｂと、接触部４４と、接続部４５とを備えている。
【０１０８】
本体部４１は側面視略台形状の板である。本体部４１は、Ｙ方向側（プローブＰ１０の長手方向の一方側）の第１端部４１１（先端部）と、Ｙ’方向側（プローブＰ１０の長手方向の他方側）の第２端部４１２（後端部）と、Ｚ’方向側（プローブＰ１０の高さ方向の一方側）の第３端部４１３と、Ｚ方向側（プローブＰ１０の高さ方向の他方側）の第４端部４１４と、貫通孔とを有している。貫通孔は、本体部４１の中央部をＸ−Ｘ’方向に貫通している。第３端部４１３が固定板Ｃ４１に当接している。
【０１０９】
脚部４２ａは、本体部４１の第３端部４１３のＹ方向の端部に一体的に設けられた板である。脚部４２ａは、実施例２のプローブＰ２の脚部２２ａと同様の構成である。脚部４２ａは、幹部４２ａ１と、枝部４２ａ２とを有している。幹部４２ａ１は、固定板Ｃ４１の対応する第１スリットＣ４１ａ１の形に対応した形状となっている。幹部４２ａ１は、対応する第１スリットＣ４１ａ１に着脱可能に嵌合している。枝部４２ａ２は、固定板Ｃ４１の対応する第１固定孔Ｃ４１ａ２の形に対応した形状となっている。枝部４２ａ２が、対応する第１固定孔Ｃ４１ａ２に着脱可能に嵌合している。
【０１１０】
脚部４２ｂは、本体部４１の第３端部４１３のＹ’方向の端部に一体的に設けられており且つ第３端部４１３からＺ’方向に延びた二股状の板である。脚部４２ｂは、固定板Ｃ４１の対応する第１固定孔Ｃ４１ｂの形に対応した形状となっている。脚部４２ｂは、対応する第１固定孔Ｃ４１ｂに着脱可能に嵌合している。
【０１１１】
ビーム４３ａ、４３ｂは、実施例２のプローブＰ２のビーム２３ａ、２３ｂと同様の構成である。接触部４４は、実施例２のプローブＰ２の接触部２４と同様の構成である。
【０１１２】
接続部４５は、本体部４１の第２端部４１２に一体的に設けられている。接続部４５は、アーム４５１と、垂下部４５２とを有している。アーム４５１は、本体部４１の第２端部４１２に一体的に設けられており且つＹ’方向に延びた板である。垂下部４５２は、アーム４５１のＹ’方向の端部からＺ’方向に延びた板である。垂下部４５２には、貫通孔が設けられている。垂下部４５２は固定板Ｃ４１の第２固定孔Ｃ４１ｃ１内に挿入可能な形状となっている。垂下部４５２が第２固定孔Ｃ４１ｃ１に挿入され、第２固定孔Ｃ４１ｃ１内の導体部Ｃ４１ｄに着脱可能に機械的且つ電気的に接続されている。具体的には、垂下部４５２は、導体部Ｃ４１ｄの二股部Ｃ４１ｄ１に着脱可能に嵌合している。
【０１１３】
プローブＰ１１は、図４Ｃに最も良く示されているように、プローブＰ１１の接続部４５’の構成がプローブＰ１０の接続部４５の構成と相違する以外、プローブＰ１０と略同じ構成である。したがって、プローブＰ１１の説明のうち、プローブＰ１０と重複する説明は省略する。接続部４５’の接続部４５’のアーム４５１’のＹ−Ｙ’方向の寸法はプローブＰ１０の接続部４５のアーム４５１のＹ−Ｙ’方向の寸法よりも大きい。このような構成により、プローブＰ１１の接触部４４から接続部４５’までの長さ（プローブＰ１１のＹ−Ｙ’方向の寸法）は、プローブＰ１０の接触部４４から接続部４５までの長さ（プローブＰ１０のＹ−Ｙ’方向の寸法）よりも長い（大きい）。垂下部４５２は、第２固定孔Ｃ４１ｃ３に挿入され、第２固定孔Ｃ４１ｃ３内の導体部Ｃ４１ｄの二股部Ｃ４１ｄ１に着脱可能に嵌合している。
【０１１４】
プローブＰ１２は、図４Ｄに最も良く示されているように、以下の相違点を除き、プローブＰ１１と略同じ構成である。したがって、プローブＰ１２の説明のうち、プローブＰ１１と重複する説明は省略する。相違点１は、プローブＰ１２の本体部４１’のＹ−Ｙ’方向の寸法がプローブＰ１１の本体部４１のＹ−Ｙ’方向の寸法よりも小さいことである。図４Ｄ中の４１１’は本体部４１’のＹ方向の第１端部、４１２’は本体部４１’のＹ’方向の第２端部、４１３’は本体部４１’のＺ’方向の第３端部、４１４’は本体部４１’のＺ方向の第４端部である。相違点２は、プローブＰ１２の脚部４２ａが本体部４１’の中央部に設けられていることである。相違点３は、プローブＰ１２の接続部４５’’のアーム４５１’’のＹ−Ｙ’方向の寸法がプローブＰ１１の接続部４５’のアーム４５１’のＹ−Ｙ’方向の寸法よりも大きいことである。このような構成により、プローブＰ１２の接触部４４から接続部４５’’までの長さ（プローブＰ１２のＹ−Ｙ’方向の寸法）は、プローブＰ１１の接触部４４から接続部４５’までの長さ（プローブＰ１１のＹ−Ｙ’方向の寸法）よりも長い（大きい）。接続部４５’’の垂下部４５２は、第２固定孔Ｃ４１ｃ４に挿入され、第２固定孔Ｃ４１ｃ４内の導体部Ｃ４１ｄの二股部Ｃ４１ｄ１に着脱可能に嵌合している。
【０１１５】
プローブＰ１３は、図４Ｅに最も良く示されているように、以下の相違点を除き、プローブＰ１２と略同じ構成である。したがって、プローブＰ１３の説明のうち、プローブＰ１２と重複する説明は省略する。相違点１は、プローブＰ１３の本体部４１’’のＹ−Ｙ’方向の寸法がプローブＰ１２の本体部４１’のＹ−Ｙ’方向の寸法よりも大きいことである。図４Ｅ中の４１１’’は本体部４１’’のＹ方向の第１端部、４１２’’は本体部４１’’のＹ’方向の第２端部、４１３’’は本体部４１’’のＺ’方向の第３端部、４１４’’は本体部４１’’のＺ方向の第４端部である。相違点２は、プローブＰ１３の接続部４５’’’のアーム４５１’’’のＹ−Ｙ’方向の寸法がプローブＰ１２の接続部４５’’のアーム４５１’’のＹ−Ｙ’方向の寸法よりも大きいことである。このような構成により、プローブＰ１３の接触部４４から接続部４５’’’までの長さ（プローブＰ１３のＹ−Ｙ’方向の寸法）は、プローブＰ１２の接触部４４から接続部４５’’までの長さ（プローブＰ１３のＹ−Ｙ’方向の寸法）よりも長い（大きい）。プローブＰ１３の接続部４５’’’の垂下部４５２は、第２固定孔Ｃ４１ｃ２に挿入され、第２固定孔Ｃ４１ｃ２内の導体部Ｃ４１ｄの二股部Ｃ４１ｄ１に着脱可能に嵌合している。
【０１１６】
上記したプローブＰ１０〜Ｐ１３は、プローブＰ１と同様に、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）技術を用いて作成される。
【０１１７】
以下、上記した構成のプローブカードＣ４の組み立て手順について詳しく説明する。固定板Ｃ４１を用意する。この固定板Ｃ４１の第２固定孔Ｃ４１ｃ１〜４に導体部Ｃ４１ｄを各々挿入する。
【０１１８】
複数のプローブＰ１０〜Ｐ１３を用意する。プローブがＰ１０、Ｐ１３、Ｐ１１、Ｐ１２の順で上記配列方向に繰り返し並ぶように、プローブＰ１０〜Ｐ１３の本体部を固定板Ｃ４１上に固定する。具体的には、以下の通りである。１）プローブＰ１０〜Ｐ１３の脚部４２ａの幹部４２ａ１を固定板Ｃ４１の第１スリットＣ４１ａ１に各々嵌合させ、プローブＰ１０〜Ｐ１３の脚部４２ａの枝部４２ａ２を固定板Ｃ４１の第１固定孔Ｃ４１ａ２に各々嵌合させる。２）プローブＰ１０〜Ｐ１３の脚部４２ｂを固定板Ｃ４１の第１固定孔Ｃ４１ｂに各々嵌合させる。３）プローブＰ１０、Ｐ１３、Ｐ１１、Ｐ１２の接続部の垂下部４５２が、固定板Ｃ４１の第２固定孔Ｃ４１ｃ１、Ｃ４１ｃ２、Ｃ４１ｃ３、Ｃ４１ｃ４内に挿入され、導体部Ｃ４１ｄの二股部Ｃ４１ｄ１に嵌合させる。なお、プローブＰ１０〜Ｐ１３を固定板Ｃ４１に固定する際に、プローブＰ１０〜Ｐ１３の貫通孔に治具などを挿入して、プローブＰ１０〜Ｐ１３の脚部４２ａを第１スリットＣ４１ａ１及び第１固定孔Ｃ４１ａ２に嵌合させ、プローブＰ１０〜Ｐ１３の脚部４２ｂを第１固定孔Ｃ４１ｂに嵌合させ、且つプローブＰ１０〜Ｐ１３の接続部を導体部Ｃ４１ｄの二股部Ｃ４１ｄ１に嵌合させると良い。
【０１１９】
プローブＰ１０〜Ｐ１３の本体部を固定板Ｃ４１上に固定した後、実施例２と同様に固定板Ｃ４１を基板Ｃ２２に固定する。このとき、固定板Ｃ４１の導体部Ｃ４１ｄが基板Ｃ２２の第１電極Ｃ２２ａに接触し、電気的に接続される。以上のようにプローブカードＣ４が組み立てられる。
【０１２０】
以上のようなプローブカードＣ４は、プローブカードＣ２の第１、第３及び第４技術的特徴及びその効果を奏する。加えて、プローブカードＣ４は、以下の工程だけで、プローブＰ１０〜Ｐ１３を個別且つ簡単に交換することができる。まず、プローブＰ１０〜Ｐ１３のうち交換すべきプローブを固定板Ｃ４１から次の通り取り外す。１）交換すべきプローブの接続部を導体部Ｃ４１ｄの二股部Ｃ４１ｄ１から引き抜く。２）当該プローブの脚部４２ａを第１スリットＣ４１ａ１及び第１固定孔Ｃ４１ａ２から引き抜く。３）脚部４２ｂを第１固定孔Ｃ４１ｂから引き抜く。その後、新たなプローブを次の通り固定板Ｃ４１に取り付ける。３）新たなプローブの脚部４２ａを第１スリットＣ４１ａ１及び第１固定孔Ｃ４１ａ２に嵌合させる。４）当該プローブの脚部４２ｂを第１固定孔Ｃ４１ｂに嵌合させる。５）当該プローブの接続部の垂下部４５２を固定板Ｃ４１の導体部Ｃ４１ｄの二股部Ｃ４１ｄ１に嵌合させる。
【０１２１】
更に、導体部Ｃ４１ｄの二股部Ｃ４１ｄ１にプローブＰ１０〜Ｐ１３が嵌合しているので、導体部Ｃ２１ｄとプローブＰ１０〜Ｐ１３の接続部との接続を装置により自動化することが可能になる。
【０１２２】
なお、プローブカードＣ４がＳＴ基板を備える場合も、プローブカードＣ２と同様の構成とすることが可能である。
【０１２３】
なお、上記したプローブカードは、上記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載範囲において任意に設計変更することが可能である。以下、詳しく述べる。
【０１２４】
本発明の第１プローブカードは、上記実施例又は後述する複数のプローブ及び固定部を少なくとも備えていれば良い。第１プローブカードのプローブは、固定部上に第１方向に間隔をあけて固定された本体部と、この本体部から放射状に延びた接続部とを有していれば良い。例えば、プローブの複数のビームが、本体部から当該プローブの長手方向の一方側に延びた構成とすることが可能である。また、プローブのビームは、本体部の任意の部分に設けることが可能である。プローブのビームを省略し、接触部が本体部の第４端部に設けることも可能である。プローブの脚部を省略し、本体部を固定部に直接固定しても良い。プローブの接続部は、本体部に対して折り曲げ又は湾曲不能な構成としても良い。また、プローブの接続部は、本体部に対してプローブの厚み方向及び高さ方向の少なくとも一方に折り曲げ又は湾曲可能な構成としても良い。
【０１２５】
第１プローブカードの固定部は、次の構成を備えている限り任意に設計変更することが可能である。１）第１プローブカードの上記した何れかの態様のプローブの本体部が固定部上に第１方向に間隔をあけて固定されている。２）固定部の複数の導体部が第１プローブカードの上記した何れかの態様のプローブの本体部よりも広い間隔で配置され、この導体部が前記プローブの接続部に機械的且つ電気的に接続されている。
【０１２６】
例えば、第１プローブカードの上記した何れかの態様の固定部は、第１方向に間隔をあけて配置された複数の第１スリット及び第１固定孔の少なくとも一方を有する構成とすることが可能である。この第１スリット及び第１固定孔の少なくとも一方に第１プローブカードの上記した何れかの態様のプローブの脚部が着脱可能に固定されていると良い。
【０１２７】
第１プローブカードの上記した何れかの態様の固定部は、複数の第２スリット及び第２固定孔の少なくとも一方を有する構成とすることが可能である。この第２スリット及び第２固定孔の少なくとも一方内には導体部が配置されていると良い。この導体部は、半田ワイヤー又は中継部材（例えば、導電ピン、プローブ又はスプリングプローブ等）とすることが可能である。半田ワイヤーは、第１プローブカードの上記した何れかの態様のプローブの接続部に半田接続される。中継部材は、第１プローブカードの上記した何れかの態様のプローブの接続部が着脱可能に嵌合する二股部又は凹部を有していると良い。また、上記した何れかの態様の導体部は、固定部に設けられたスルーホール電極等とすることが可能である。この場合、第２スリット及び第２固定孔は省略される。
【０１２８】
第１プローブカードの上記した何れかの態様の固定部は、上記した何れかの態様の導体部の近傍に配置された複数の第３スリット及び第３固定孔の少なくとも一方を有していても良い。この第３スリット及び第３固定孔の少なくとも一方に、第１プローブカードの上記した何れかの態様のプローブの接続部が着脱可能に固定される。
【０１２９】
上記した何れかの態様の第１プローブカードの上記した何れかの態様の固定部は、単一の絶縁板で構成されていても良いし、複数の絶縁板で構成されていても良い。例えば、上記した固定部は、第１プローブカードの上記した何れかの態様のプローブの本体部が固定された絶縁性を有する固定板と、基板とを有する構成とすることが可能である。この場合、固定板が上記した何れかの態様の導体部を有する構成とすることが可能である。この導体部が第１プローブカードの上記した何れかの態様のプローブの接続部に機械的且つ電気的に接続される。基板が導体部に電気的に接続される。
【０１３０】
本発明の第２プローブカードは、上記実施例又は後述する複数のプローブ及び固定部を少なくとも備えている限り任意に設計変更することが可能である。第２プローブカードの複数のプローブは、次の構成を有する限り任意に設計変更することが可能である。１）プローブの本体部が上記実施例又は後述する固定部上に第１方向に間隔をあけて固定されている。２）第１方向で隣に位置するプローブの第２方向の寸法が相違しており、第２方向はプローブの長手方向であり且つ第１方向に交差する方向である。３）プローブの接続部が、本体部に設けられ、上記実施例又は後述する固定部の導体部に機械的且つ電気的に接続されている。例えば、プローブの一又は複数のビームが、本体部から当該プローブの長手方向の一方側に延びた構成とすることが可能である。また、プローブのビームは、本体部の任意の部分に設けることが可能である。プローブのビームを省略し、接触部が本体部の第４端部に設けることも可能である。プローブの脚部を省略し、本体部を固定部に直接固定しても良い。プローブの接続部は、本体部に対してプローブの厚み方向及び高さ方向の少なくとも一方に折り曲げ又は湾曲可能な構成としても良い。
【０１３１】
第２プローブカードの固定部は、次の構成を備えている限り任意に設計変更することが可能である。１）第２プローブカードの上記した何れかの態様のプローブの本体部が固定部上に第１方向に間隔をあけて固定されている。２）固定部の複数の導体部が第１方向に間隔をあけて配置されており且つ前記接続部に機械的且つ電気的に接続されている。３）第１方向で隣に位置する導体部は、当該隣に位置する導体部の第２方向の間隔が隣に位置するプローブの本体部の第１方向の間隔よりも大きくなるように第２方向に位置ずれしている。
【０１３２】
例えば、第２プローブカードの上記した何れかの態様の固定部は、第１方向に間隔をあけて配置された複数の第１スリット及び第１固定孔の少なくとも一方を有する構成とすることが可能である。この第１スリット及び第１固定孔の少なくとも一方に第２プローブカードの上記した何れかの態様のプローブの脚部が着脱可能に固定されていると良い。また、第２プローブカードの上記した何れかの態様の固定部の第１スリット及び第１固定孔の少なくとも一方の裏側部分に、実施例１と同様に凹部が設けられていてもよい。この凹部内に樹脂が塗布され、第１スリット及び第１固定孔の少なくとも一方に勘合又は挿入されたプローブの脚部が樹脂で固定されていても良い。
【０１３３】
第２プローブカードの上記した何れかの態様の固定部は、複数の第２スリット及び第２固定孔の少なくとも一方を有する構成とすることが可能である。この第２スリット及び第２固定孔の少なくとも一方内には導体部が配置されていると良い。この導体部は、半田ワイヤー又は中継部材（例えば、導電ピン、プローブ又はスプリングプローブ等）とすることが可能である。半田ワイヤーは、第２プローブカードの上記した何れかの態様のプローブの接続部に半田接続される。中継部材は、第２プローブカードの上記した何れかの態様のプローブの接続部が着脱可能に嵌合する二股部又は凹部を有していると良い。また、上記した何れかの態様の導体部は、固定部に設けられた表面電極やスルーホール電極等とすることが可能である。この場合、第２スリット及び第２固定孔は省略される。
【０１３４】
第２プローブカードの上記した何れかの態様の固定部は、上記した何れかの態様の導体部の近傍に配置された複数の第３スリット及び第３固定孔の少なくとも一方を有していても良い。この第３スリット及び第３固定孔の少なくとも一方に、第２プローブカードの上記した何れかの態様のプローブの接続部が着脱可能に固定される。第２プローブカードの上記した何れかの態様の固定部は、単一の絶縁板で構成されていても良いし、複数の絶縁板で構成されていても良い。例えば、固定部は、第２プローブカードの上記した何れかの態様のプローブの本体部が固定された絶縁性を有する固定板と、この固定板が固定された基板とを有する構成とすることが可能である。この場合、基板が表面電極又はスルーホール電極等の導体部を有する構成とすることが可能である。この導体部が第２プローブカードの上記した何れかの態様のプローブの接続部に機械的且つ電気的に接続される。第２プローブカードの上記した何れかの態様の導体部は、プローブの配列方向にプローブの本体部よりも広い間隔で配置されていると良い。この場合、上記した何れかの態様のプローブの接続部は、放射状に延びていると良い。
【０１３５】
上記した何れかの態様の第１スリット、第２スリット又は第３スリットは、当該スリットの長手方向に並ぶ複数の孔を有し、前記孔のうち前記長手方向において隣に位置する孔が互いに連通する構成とすることが可能である。例えば、図５Ａ及び図５Ｂに示される第１スリットＨは、複数の孔Ｈ１を有している。この孔Ｈ１が第１スリットＨの長手方向に並んでおり且つ長手方向で隣り合う孔Ｈ１が互いに連通している。上記した何れかの態様のプローブの微細化によって、上記した何れかの態様の第１スリットも微細化される。前述の通り、第１スリットが複数の孔で構成することによって、微細な第１スリットを固定部に容易に作成することができる。この第１スリットは上記した何れかの態様のプローブの脚部が着脱可能に嵌合又は挿入されると良い。
【０１３６】
なお、上記実施例及び設計変形例における上記したプローブカードの各構成要素を構成する素材、形状、寸法、数及び配置等はその一例を説明したものであって、同様の機能を実現し得る限り任意に設計変更することが可能である。上記した実施例及び設計変更例は、互いに矛盾しない限り、相互に組み合わせることが可能である。本発明の第１方向は、上記した何れかの態様のプローブの配列方向である限り任意に設計変更することが可能である。本発明の第２方向は、上記した何れかの態様のプローブの長手方向であり且つ第１方向に交差している限り任意に設計変更することが可能である。本発明のＺ−Ｚ’方向（第３方向）は、上記した何れかの態様のプローブの高さ方向であり且つ第１、第２方向に交差している限り任意に設計変更することが可能である。
【符号の説明】
【０１３７】
Ｃ１：プローブカード
Ｐ１：プローブ
１１：本体部
１１１：第１端部
１１２：第２端部
１１３：第３端部
１１４：第４端部
１２ａ：脚部
１２ｂ：脚部
１３：ビーム
１４：接触部
１５：接続部
Ｃ１１：固定板（固定部の一部）
Ｃ１１ａ：第１スリット
Ｃ１１ｂ：第１スリット
Ｃ１１ｃ：凹部
Ｃ１１ｄ：位置決め用の孔
Ｃ１１ｅ：ネジ孔
Ｃ１２：基板（固定部の一部）
Ｃ１２ａ：導体部
Ｃ１２ｂ：スルーホール電極
Ｓ：半田
Ｃ２：プローブカード
Ｐ２：プローブ
２１：本体部
２１１：第１端部
２１２：第２端部
２１３：第３端部
２１４：第４端部
２２ａ：脚部
２２ｂ：脚部
２３ａ：ビーム
２３ｂ：ビーム
２４：接触部
２５：接続部
Ｐ３：プローブ
２１：本体部
２１１：第１端部
２１２：第２端部
２１３：第３端部
２１４：第４端部
２２ａ：脚部
２２ｂ：脚部
２３ａ：ビーム
２３ｂ：ビーム
２４：接触部
２５’：接続部
Ｐ４：プローブ
２１’：本体部
２１１’：第１端部
２１２’：第２端部
２１３’：第３端部
２１４’：第４端部
２２ａ：脚部
２２ｂ：脚部
２３ａ：ビーム
２３ｂ：ビーム
２４：接触部
２５’：接続部
Ｐ５：プローブ
２１’：本体部
２１１’：第１端部
２１２’：第２端部
２１３’：第３端部
２１４’：第４端部
２２ａ：脚部
２２ｂ：脚部
２３ａ：ビーム
２３ｂ：ビーム
２５’’：接続部
Ｃ２１：固定板（固定部の一部）
Ｃ２１ａ１：第１スリット
Ｃ２１ｂ１：第１スリット
Ｃ２１ａ２：第１固定孔
Ｃ２１ｂ２：第１固定孔
Ｃ２１ｃ１〜４：第２固定孔
Ｃ２１ｄ：導体部
Ｃ２１ｅ：位置決め用の孔
Ｃ２１ｆ：ネジ孔
Ｃ２２：基板（固定部の一部）
Ｃ２２ａ：第１電極
Ｃ３：プローブカード
Ｐ６：プローブ
３１：本体部
３１１：第１端部
３１２：第２端部
３１３：第３端部
３１４：第４端部
３２：脚部
３３ａ：ビーム
３３ｂ：ビーム
３４：接触部
３５：接続部
Ｐ７：プローブ
３１：本体部
３１１：第１端部
３１２：第２端部
３１３：第３端部
３１４：第４端部
３２：脚部
３３ａ：ビーム
３３ｂ：ビーム
３４：接触部
３５’：接続部
Ｐ８：プローブ
３１：本体部
３１１：第１端部
３１２：第２端部
３１３：第３端部
３１４：第４端部
３２：脚部
３３ａ：ビーム
３３ｂ：ビーム
３４：接触部
３５’’：接続部
Ｐ９：プローブ
３１：本体部
３１１：第１端部
３１２：第２端部
３１３：第３端部
３１４：第４端部
３２：脚部
３３ａ：ビーム
３３ｂ：ビーム
３４：接触部
３５’’’：接続部
Ｃ３１：固定板（固定部の一部）
Ｃ３１ａ：第１スリット
Ｃ３１ｂ：第１固定孔
Ｃ３１ｃ１〜４：第２固定孔
Ｃ３１ｄ：導体部
Ｃ３１ｅ：第３固定孔
Ｃ３１ｆ：位置決め用の孔
Ｃ３１ｇ：ネジ孔
Ｃ２２：基板（固定部の一部）
Ｃ２２ａ：第１電極
Ｃ４：プローブカード
Ｐ１０：プローブ
４１：本体部
４１１：第１端部
４１２：第２端部
４１３：第３端部
４１４：第４端部
４２：脚部
４３ａ：ビーム
４３ｂ：ビーム
４４：接触部
４５：接続部
Ｐ１１：プローブ
４１：本体部
４１１：第１端部
４１２：第２端部
４１３：第３端部
４１４：第４端部
４２：脚部
４３ａ：ビーム
４３ｂ：ビーム
４４：接触部
４５’：接続部
Ｐ１２：プローブ
４１’：本体部
４１１’：第１端部
４１２’：第２端部
４１３’：第３端部
４１４’：第４端部
４２：脚部
４３ａ：ビーム
４３ｂ：ビーム
４４：接触部
４５’’：接続部
Ｐ１３：プローブ
４１’’：本体部
４１１’’：第１端部
４１２’’：第２端部
４１３’’：第３端部
４１４’’：第４端部
４２：脚部
４３ａ：ビーム
４３ｂ：ビーム
４４：接触部
４５’’：接続部
Ｃ４１：固定板（固定部の一部）
Ｃ４１ａ１：第１スリット
Ｃ４１ａ２：第１固定孔
Ｃ４１ｂ：第１固定孔
Ｃ４１ｃ１〜４：第２固定孔
Ｃ４１ｄ：導体部
Ｃ４１ｅ：位置決め用の孔
Ｃ４１ｆ：ネジ孔
Ｃ２２：基板（固定部の一部）
Ｃ２２ａ：第１電極
【図１Ａ】
2016148566.tif 000003
【図１Ｂ】
2016148566.tif 000004
【図１Ｃ】
2016148566.tif 000005
【図２Ａ】
2016148566.tif 000006
【図２Ｂ】
2016148566.tif 000007
【図２Ｃ】
2016148566.tif 000008
【図２Ｄ】
2016148566.tif 000009
【図２Ｅ】
2016148566.tif 000010
【図２Ｆ】
2016148566.tif 000011
【図３Ａ】
2016148566.tif 000012
【図３Ｂ】
2016148566.tif 000013
【図３Ｃ】
2016148566.tif 000014
【図３Ｄ】
2016148566.tif 000015
【図３Ｅ】
2016148566.tif 000016
【図３Ｆ】
2016148566.tif 000017
【図４Ａ】
2016148566.tif 000018
【図４Ｂ】
2016148566.tif 000019
【図４Ｃ】
2016148566.tif 000020
【図４Ｄ】
2016148566.tif 000021
【図４Ｅ】
2016148566.tif 000022
【図４Ｆ】
2016148566.tif 000023
【図４Ｇ】
2016148566.tif 000024
【図５Ａ】
2016148566.tif 000025
【図５Ｂ】
2016148566.tif 000026