(57)【要約】【課題】  塗布工程で要する時間を短縮することが可能な吸湿部材の塗布装置と吸湿部材の塗布方法を提供する。【解決手段】  封止基板６に吸湿部材７を塗布する吸湿部材７の塗布装置であって、封止基板６に吸湿部材７を塗布する塗布工程時に、前記塗布工程中の封止基板６とは異なる前記塗布工程前の封止基板６の厚みを測定する測定手段１３を備えたものである。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に吸湿部材を塗布する吸湿部材の塗布装置であって、前記基板に前記吸湿部材を塗布する塗布工程時に、前記塗布工程中の基板とは異なる前記塗布工程前の基板の厚みを測定する測定手段を備えたことを特徴とする吸湿部材の塗布装置。
【請求項２】
前記測定手段は、前記基板を載置するキャリアの表面を基準面とし、この基準面から前記基板の厚みを測定することを特徴とする請求項１に記載の吸湿部材の塗布装置。
【請求項３】
基板に吸湿部材を塗布する吸湿部材の塗布方法であって、前記基板に前記吸湿部材を塗布する塗布工程時に、前記塗布工程中の基板とは異なる前記塗布工程前の基板の厚みを測定する測定工程を備えたことを特徴とする吸湿部材の塗布方法。
【請求項４】
前記測定手段は、前記基板を載置するキャリアの表面を基準面とし、この基準面から前記基板の厚みを測定することを特徴とする請求項３に記載の吸湿部材の塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に吸湿部材を塗布する塗布装置及び吸湿部材の塗布方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、自発光素子として少なくとも発光層を有する有機層を一対の電極で挟持した有機ＥＬ素子が知られている。かかる有機ＥＬ素子を用いた有機ＥＬパネルは、支持基板上に形成された有機ＥＬ素子を例えば凹形状の封止基板によって気密的に覆うとともに、前記封止基板の前記有機ＥＬ素子との対向面に水分を吸湿する吸湿部材を配設することが知られている。かかる構成により、前記有機ＥＬ素子が水分や酸素と反応してダークフレームと称される非発光部が発生・成長して前記有機ＥＬ素子の発光寿命が損なわれることを抑制している。
【０００３】
前記吸湿部材は、例えば、フッ素系オイルからなる不活性液体中に固体の吸着剤を所定の割合で混合することによって得られるクリーム状の吸湿部材を前記封止基板の前記有機ＥＬ素子との対向面に薄く均一的に塗布されている。このような前記吸湿部材を塗布する塗布装置としては、粘性を有する吸湿部材をディスペンスポンプによって送り出し、ニードル部に設けられた吐出口から吐出しながら前記ニードル部を前記封止基板の前記対向面に対して平行移動させて、前記吸湿部材を前記対向面に前記有機ＥＬ素子に当接しないように薄く均一的に塗布するものである（特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１６３０７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、前記吸湿部材を塗布するガラスなどからなる前記封止基板の厚みは、公差によるバラツキが存在する。そして、前記吸湿部材の塗布後の形状は、前記封止基板と前記ニードル部との間隔によって左右される。
【０００６】
例えば、前記封止基板と前記ニードル部との間隔が離れた場合、塗布された前記吸湿部材は、その塗布幅は狭いが、塗布された前記吸湿部材の高さが高くなり、前記封止基板を前記支持基板に貼り付けた時に、前記吸湿部材が前記有機ＥＬ素子と接触するという問題が発生する。また、前記封止基板と前記塗布装置のニードル部との間隔が近い場合、塗布された前記吸湿部材は、塗布開始部分で周囲に広がり、塗布幅が大きくなり、仮に、所定の塗布幅を超える虞があった。さらに、塗布された前記吸湿部材の高さが高くなり、前記封止基板を前記支持基板に貼り付ける時に、前記吸湿部材が前記有機ＥＬ素子と接触するという問題が発生する。
【０００７】
よって、従来、前記封止基板の前記吸湿部材を塗布する塗布面までの距離（前記封止基板を載せた台から前記封止基板の塗布面までの厚み）を測定する測定装置を前記塗布装置に設けて、前記吸湿部材を塗布する箇所全ての前記封止基板の塗布面までの距離を塗布工程の前に測定し、測定後、測定値に応じて前記塗布装置のニードル部の高さを補正し塗布していた。
【０００８】
したがって、前記塗布工程で前記封止基板の塗布面までの距離の測定と、前記ニードル部の高さの変更を行うために、前記塗布工程で要する時間が長くなるという問題点があった。
【０００９】
本発明は、前述した問題点に着目し、塗布工程で要する時間を短縮することが可能な吸湿部材の塗布装置と吸湿部材の塗布方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、前記課題を解決するため、吸湿部材の塗布装置は、基板に吸湿部材を塗布する吸湿部材の塗布装置であって、前記基板に前記吸湿部材を塗布する塗布工程時に、前記塗布工程中の基板とは異なる前記塗布工程前の基板の厚みを測定する測定手段を備えたものである。
【００１１】
また、吸湿部材の塗布方法は、基板に吸湿部材を塗布する吸湿部材の塗布方法であって、前記基板に前記吸湿部材を塗布する塗布工程時に、前記塗布工程中の基板とは異なる前記塗布工程前の基板の厚みを測定する測定工程を備えたものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明は、所期の目的を達成することができ、塗布工程で要する時間を短縮することが可能な吸湿部材の塗布装置と吸湿部材の塗布方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態における有機ＥＬパネルの要部断面図。
【図２】同上実施形態の塗布装置を示す構成図。
【図３】同上実施形態の吸湿部材供給機構を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【００１５】
図１及び図２を用いて有機ＥＬパネルの構造について説明する。有機ＥＬパネル１は、支持基板２と、第一電極３と、有機層４と、第二電極５と、封止基板６と、吸湿部材７と、を備えている。
【００１６】
支持基板２は、長方形形状からなり、透光性のガラス基板によって形成されている。
【００１７】
第一電極３は、有機層４に正孔を注入する陽極となるものであり、支持基板１上にインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）やインジウム亜鉛酸化物（ＩＺＯ）あるいは酸化亜鉛（ＺｎＯ）等の透光性導電材料をスパッタリング法等の手段によって層状に形成してなり、フォトエッチング等の手段によって所定の形状にパターニングされる。
【００１８】
有機層４は、少なくとも正孔及び電子の再結合によって光を発する発光層を有するものであれば良いが、本発明の実施形態においては正孔注入層，正孔輸送層，発光層及び電子輸送層を順次積層して形成してなるものである。
【００１９】
第二電極５は、有機層４に電子を注入する陰極となるものであり、有機層４上に例えばＡｌ等の低抵抗の導電材料を蒸着法等の手段によって層状に形成してなる反射電極である。
【００２０】
以上のように、支持基板２上に前述した第一電極３と有機層４と第二電極５とを順次積層し積層体を形成することによって有機ＥＬ素子が設けられる。
【００２１】
封止基板６は、ガラス材料から構成されるもので、本実施形態においては凹形状となるように形成される。封止基板６は、前記有機ＥＬ素子との対向面６ａに吸湿部材７が塗布されている。また、封止基板６は、周辺部６ｂが紫外線硬化型の接着剤８を介して支持基板２と接着固定され、前記有機ＥＬ素子を気密的に収納する収納空間を構成する。
【００２２】
吸湿部材７は、支持基板２上に配設された封止基板６の前記有機ＥＬ素子との対向面６ａに配設され、前記収納空間内及び前記有機ＥＬ素子に含まれる水分を吸着するものである。吸湿部材７としては、たとえば活性アルミナ，モレキュラーシーブス，酸化カルシウム及び酸化バリウムなどの物理的あるいは化学的に水分を吸着する吸着剤と、耐熱温度が１５０℃以上で含水率が０．５％以下のシリコーンゴムからなりその平均粒径が５μｍ程度の球体からなる樹脂微粒子と、をフッ素系オイルからなる不活性液体中に混合してなるものが用いられ、吸着剤が流動しない程度の粘性（例えば５０，０００ｃｐ）を有するクリーム状部材であることが好ましい。吸湿部材７は、封止基板６を支持基板２上に配設した際に対向面６ａに塗布される吸湿部材７が前記有機ＥＬ素子に当接しないように薄く均一的に形成される。
【００２３】
次に、封止基板６に吸湿部材７を塗布する塗布装置１０と、有機ＥＬパネル１の製造方法における吸湿部材７の塗布方法と、について図２から図３を用いて説明する。塗布装置１０は、図２に示すように吸湿部材供給機構（ディスペンスポンプ）１１と、測定手段１３と、制御装置１４及びキャリアである台１５とを備える。
【００２４】
吸湿部材供給機構１１は、ニードル部１２を備え、封止基板６の対向面６ａに吸湿部材７を所定量吐出するものである。また、吸湿部材供給機構１１は、図示しないアクチュエータやサーボモータなどから構成されるＸ−Ｙ−Ｚ移動手段によって横（Ｘ），縦（Ｙ）及び高さ（Ｚ）方向に移動できるように構成されている。
【００２５】
ニードル部１２は、吸湿部材供給機構１１から供給される吸湿部材７を封止基板６に向けて吐出する吐出口１２ａを有する。
【００２６】
測定手段１３は、レーザを用いた非接触式の測定センサであり、封止基板６の対向面６ａまでの距離を測定する。なお、測定手段１３は、基準面である台１５の表面までの距離も測定する。測定手段１３は制御装置１４と接続されている。測定手段１３で測定した測定値は、制御装置１４に送られる。
【００２７】
制御装置１４は、マイクロコンピュータなどの図示しない制御部や、この制御部を制御するプログラムや演算に使用するデータを記憶する図示しない記憶部などを備えている。この制御装置１４は、測定手段１３が測定した封止基板６の対向面６ａまでの距離を測定した前記測定値や台１５までの距離を測定した前記測定値を前記記憶部に記憶する。
【００２８】
キャリアである台１５は、封止基板６を搬送可能な台である。なお、台１５に載せられている封止基板６は、母材であるガラス基板を分割して複数の封止基板６とすることができる。
【００２９】
以上の構成において、測定手段１３によって、台１５の表面に対する距離の測定を行い、制御装置１４に測定値を送る。次いで、前記塗布工程前の封止基板６の対向面６ａである塗布面に対する距離の測定を行い、制御装置１４に測定値を送る。制御装置１４では、台１５の表面に対する距離と、封止基板６の塗布面に対する距離とから封止基板６の厚みを求める。なお、封止基板６の塗布面に対する距離の測定は、吸湿部材７を塗布する箇所全てで行い、測定した箇所すべてにおいて、封止基板６の厚みを求める。
【００３０】
この測定手段１３が、封止基板６の塗布面の測定を行っているときに、塗布装置１０は、既に測定手段１３による測定が完了した、異なる封止基板６への吸湿部材７の塗布を行っている。なお、封止基板６は、台１５によって、図２中の右から左へと搬送されており、図２中の右側で測定の工程を行い、左側で塗布の工程を行う。
【００３１】
塗布装置１０による塗布工程は、まず、制御装置１４の前記記憶部から塗布する封止基板６の厚みを読み出し、ニードル部１２と対向面６ａとの距離が所定間隔となるように、吸湿部材供給機構１１を前記Ｘ−Ｙ−Ｚ移動手段によって封止基板６の前記有機ＥＬ素子との対向面６ａ側に下降させ、ニードル部１２の吐出口１２ａを近接配置させる（図３中Ｙ１参照）。次に、ニードル部１２内への吸湿部材７の供給動作を開始して吐出口１２ａから吸湿部材７を吐出させ、さらに、吸湿部材７の供給動作を維持したままニードル部１２を前記Ｘ−Ｙ−Ｚ移動手段によって封止基板６の対向面６ａに対して一定の高さを確保（間隔を維持）しつつ、かつ一定速度にて所定距離平行移動させて吸湿部材７を塗布する（図３中Ｘ１参照）。所定距離平行移動後、ニードル部１２の吐出口１２ａを対向面６ａから離れる方向に移動させる（図３中Ｙ２参照）。また、ニードル部１２を塗布開始位置に移動させる（図３中Ｘ２参照）。
【００３２】
以上のように、封止基板６に（粘性を有する）吸湿部材７を塗布する吸湿部材７の塗布装置であって、封止基板６に吸湿部材７を塗布する塗布工程時に、前記塗布工程中の封止基板６とは異なる前記塗布工程前の封止基板６の厚みを測定する測定手段１３を備えた
ことによって、塗布工程で要する時間を短縮することが可能な吸湿部材の塗布装置を提供することができる。
【００３３】
また、測定手段１３は、封止基板６を載置するキャリア１５の表面を基準面とし、この基準面から封止基板６の厚みを測定することによって、正確な封止基板６の厚みを測定することが可能な吸湿部材の塗布装置を提供することができる。
【００３４】
また、封止基板６に（粘性を有する）吸湿部材７を塗布する吸湿部材７の塗布方法であって、封止基板６に吸湿部材７を塗布する塗布工程時に、前記塗布工程中の封止基板６とは異なる前記塗布工程前の封止基板６の厚みを測定する測定工程を備えたことによって、塗布工程で要する時間を短縮することが可能な吸湿部材の塗布方法を提供することができる。
【００３５】
また、測定手段１３は、封止基板６を載置するキャリア１５の表面を基準面とし、この基準面から封止基板６の厚みを測定することによって、正確な封止基板６の厚みを測定することが可能な吸湿部材の塗布方法を提供することができる。
【００３６】
以上、本発明者によってなされた発明を実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
【００３７】
例えば、測定手段１３は、レーザを用いた非接触式であったが、封止基板６の塗布面６ａに接触し、測定するものであってもよい。
【００３８】
また、本実施形態における封止基板６は凹部形状をなすものであったが、平板状の封止基板を用いるものであっても良い。
【００３９】
また、本実施形態では、制御装置１４は、吸湿部材供給機構１１と測定手段１３とを制御していたが、それぞれ個別に制御装置を設けたものであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明は、基板に吸湿部材を塗布する塗布装置及び吸湿部材の塗布方法に好適である。
【符号の説明】
【００４１】
１    有機ＥＬパネル
２    支持基板
３    第一電極
４    有機層
５    第二電極
６    封止基板
６ａ  対向面
６ｂ  周辺部
７    吸湿部材
８    接着剤
１０    塗布装置
１１    吸湿部材供給機構
１２    ニードル部
１２ａ  吐出口
１３    測定手段
１４    制御装置
１５    台（キャリア）
【図１】
2016072108.tif 000003
【図２】
2016072108.tif 000004
【図３】
2016072108.tif 000005