(57)【要約】【課題】エピタキシャルシリコンウェーハであって、エピタキシャル欠陥の密度が少なく、ウェーハの径方向全域にわたってゲッタリング能力に優れるエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法を提供する。【解決手段】酸素濃度が９×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3〜１６×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3の範囲にあり、転位クラスターおよびＣＯＰを含まず、かつ酸素析出抑制領域を含むシリコンウェーハに対して、酸素析出物の密度を高くするための熱処理を施す予備熱処理工程と、予備熱処理工程の後、シリコンウェーハの表面上にエピタキシャル層を形成するエピタキシャル層形成工程とを含む、エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。この製造方法は、予備熱処理工程を実施する前のシリコンウェーハの酸素析出抑制領域の割合に基づいて、予備熱処理工程での熱処理条件を決定する熱処理条件決定工程をさらに含む。【選択図】図３
2016018927.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
転位クラスターおよびＣＯＰを含まないシリコンウェーハの表面上にエピタキシャル層を有するエピタキシャルシリコンウェーハであって、
当該エピタキシャルシリコンウェーハに対して、１０００℃で１６時間の熱処理を行う酸素析出物評価熱処理を施して酸素析出物密度を評価した場合に、当該シリコンウェーハの厚み方向中央部での酸素析出物の密度が、当該シリコンウェーハの径方向全域にわたって、５×１０4個／ｃｍ3以上であるエピタキシャルシリコンウェーハ。
【請求項２】
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法であって、
酸素濃度が９×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3〜１６×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3の範囲にあり、転位クラスターおよびＣＯＰを含まず、かつ酸素析出抑制領域を含むシリコンウェーハに対して、酸素析出物の密度を高くするための熱処理を施す予備熱処理工程と、
前記予備熱処理工程の後、前記シリコンウェーハの表面上にエピタキシャル層を形成するエピタキシャル層形成工程とを含み、
前記予備熱処理工程を実施する前の前記シリコンウェーハの酸素析出抑制領域の割合に基づいて、前記予備熱処理工程での熱処理条件を決定する熱処理条件決定工程をさらに含む、エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法であって、
前記熱処理条件決定工程では、前記予備熱処理工程での熱処理の温度（℃）をＴとし、前記シリコンウェーハの半径に対する前記シリコンウェーハ半径方向の酸素析出抑制領域の幅の割合（％）をＸとし、前記シリコンウェーハの酸素濃度(ａｔｏｍｓ／ｃｍ3)をＣｏとすると、下記（１）〜（３）の関係式のいずれかを満足するように前記熱処理条件を決定する、エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。
９×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3≦Ｃｏ＜１１．５×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3の場合：（Ｃｏ×（１００−Ｘ）／５．３×１０51）(-1/11.29)＜Ｔ≦８００  （１）
１１．５×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3≦Ｃｏ＜１３．５×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3の場合：（Ｃｏ×（１００−Ｘ）／５．３×１０51）(-1/11.29)＜Ｔ≦９００−（１３．５×１０17−Ｃｏ）×５×１０-16  （２）
１３．５×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3≦Ｃｏ≦１６×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3の場合：（Ｃｏ×（１００−Ｘ）／５．３×１０51）(-1/11.29)＜Ｔ≦９００  （３）
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エピタキシャルシリコンウェーハおよびその製造方法に関し、より詳しくは、転位クラスターおよびＣＯＰを含まないシリコンウェーハを用いたエピタキシャルシリコンウェーハおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコンウェーハ中の酸素析出物（ＢＭＤ；Bulk Micro Defect）は、半導体デバイスプロセスで不純物を捕獲するために有用である。この酸素析出物は、たとえば、ウェーハの素材であるシリコン単結晶の育成段階で形成される。しかし、エピタキシャルシリコンウェーハについては、エピタキシャル成長処理時に、ウェーハが高温にさらされることにより、ウェーハ内部の酸素析出物が消失してしまい、不純物捕獲（ＩＧ）能が低くなることが知られている。このため、不純物捕獲能に優れたエピタキシャルウェーハの提供が希求されている。
【０００３】
このようなエピタキシャルシリコンウェーハを得るため、エピタキシャル成長処理前に６００℃以上の温度でウェーハの熱処理を行う技術（プレアニール技術）が知られている（たとえば、特許文献１参照）。この熱処理により、エピタキシャル成長処理後に十分な密度で酸素析出物が残るように、予め、ウェーハ内部の酸素析出物密度が高くされ、これにより、エピタキシャル成長後のウェーハの不純物捕獲能が高められる。
【０００４】
一方、高品質の半導体デバイスを製造するには、基板となるエピタキシャルシリコンウェーハのエピタキシャル層に欠陥が導入されないようにすることが重要である。しかし、エピタキシャル層の薄膜化が進んでおり、エピタキシャル層が形成されるシリコンウェーハの表層部に欠陥が存在すると、この欠陥に起因する積層欠陥等のエピタキシャル欠陥が、エピタキシャル層に発生してしまうおそれがある。
【０００５】
シリコンウェーハに含まれる欠陥でエピタキシャル欠陥の原因となるものには、転位クラスターおよびＣＯＰ（Crystal Originated Particle）がある。転位クラスターは、格子間に過剰に取り込まれた格子間シリコンの凝集体であり、サイズが、たとえば１０μｍ程度と大きな欠陥（転位ループ）である。ＣＯＰは、結晶格子を構成すべき原子の欠けた空孔の凝集体（空孔凝集空洞欠陥）である。エピタキシャル欠陥が生じないようにするためには、転位クラスターおよびＣＯＰが存在しないウェーハを用いることが有用である。
【０００６】
シリコンウェーハにおいて、ＣＯＰおよび転位クラスターが存在しない領域として、酸素析出促進領域（以下、「Ｐｖ領域」ともいう。）、および酸素析出抑制領域（以下、「Ｐｉ領域」ともいう。）がある。Ｐｖ領域は、空孔型点欠陥が優勢な無欠陥領域であり、Ｐｉ領域は、格子間シリコン型点欠陥が優勢な無欠陥領域である。
【０００７】
シリコン単結晶の引き上げ速度をＶ、引き上げ直後の単結晶内の成長方向の温度勾配をＧとすると、ＣＯＰが現れるか、転位クラスター現れるか、これらのいずれも現れないかは、Ｖ／Ｇに依存する。シリコン単結晶の中心軸からの距離が同じであれば、Ｖ／Ｇが大きくなるに従って、転位クラスターを含む領域、Ｐｉ領域、Ｐｖ領域、およびＣＯＰを含む領域が順に現れる。ウェーハに複数種類の領域が混在するとき、各領域は、ウェーハの中心に対して同心状に分布する。
【０００８】
ＣＯＰおよび転位クラスターが存在しない領域からなるシリコンウェーハは、エピタキシャル成長用の基板ウェーハとして有用である。ただし、ウェーハの全域にわたって同種の結晶領域（たとえば、Ｐｖ領域およびＰｉ領域の一方のみ）となるようにシリコン単結晶を育成することは、非常に困難である。これは、制御プロセスマージン幅、具体的には、許容されるＶ／Ｇの範囲が狭いためである。Ｐｖ領域およびＰｉ領域の双方が得られる育成条件の範囲で単結晶を育成することを許容すると、制御プロセスマージン幅が広がり、転位クラスターおよびＣＯＰを含まない結晶を安定的に生産することが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】国際公開第２００３／００９３６５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところが、ウェーハが加熱されると、Ｐｖ領域では、酸素が析出しやすい一方、Ｐｉ領域では、酸素が析出しにくい。Ｐｖ領域およびＰｉ領域が混在するウェーハでは、これらの領域は、ウェーハの径方向に関して異なる領域に存在している。このため、このようなウェーハをエピタキシャル成長用基板として用いると、ウェーハ径方向で酸素析出物密度が大きくばらつくことになり、エピタキシャル成長処理でウェーハが加熱されると、得られたエピタキシャルシリコンウェーハにおいて、径方向に関してゲッタリング能力が異なってしまうという問題がある。特許文献１では、Ｐｖ領域およびＰｉ領域が混在するウェーハについては考慮されていない。
【００１１】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、エピタキシャルシリコンウェーハであって、ウェーハの全面にわたってゲッタリング能力に優れるウェーハおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、下記（Ｉ）のエピタキシャルシリコンウェーハ、および下記（ＩＩ）のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法を要旨とする。
【００１３】
（Ｉ）転位クラスターおよびＣＯＰを含まないシリコンウェーハの表面上にエピタキシャル層を有するエピタキシャルシリコンウェーハであって、
当該エピタキシャルシリコンウェーハに対して、１０００℃で１６時間の熱処理を行う酸素析出物評価熱処理を施して酸素析出物密度を評価した場合に、当該シリコンウェーハの厚み方向中央部での酸素析出物の密度が、当該シリコンウェーハの径方向全域にわたって、５×１０4個／ｃｍ3以上であるエピタキシャルシリコンウェーハ。
【００１４】
（ＩＩ）エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法であって、
酸素濃度が９×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3〜１６×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3の範囲にあり、転位クラスターおよびＣＯＰを含まず、かつ酸素析出抑制領域を含むシリコンウェーハに対して、酸素析出物の密度を高くするための熱処理を施す予備熱処理工程と、
前記予備熱処理工程の後、前記シリコンウェーハの表面上にエピタキシャル層を形成するエピタキシャル層形成工程とを含み、
前記予備熱処理工程を実施する前の前記シリコンウェーハの酸素析出抑制領域の割合に基づいて、前記予備熱処理工程での熱処理条件を決定する熱処理条件決定工程をさらに含む、エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。
【００１５】
前記（ＩＩ）のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法において、前記熱処理条件決定工程では、前記予備熱処理工程での熱処理の温度（℃）をＴとし、前記シリコンウェーハの半径に対する前記シリコンウェーハ半径方向の酸素析出抑制領域の幅の割合（％）をＸとし、前記シリコンウェーハの酸素濃度(ａｔｏｍｓ／ｃｍ3)をＣｏとすると、下記（１）〜（３）の関係式のいずれかを満足するように前記熱処理条件を決定することが好ましい。
９×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3≦Ｃｏ＜１１．５×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3の場合：（Ｃｏ×（１００−Ｘ）／５．３×１０51）(-1/11.29)＜Ｔ≦８００  （１）
１１．５×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3≦Ｃｏ＜１３．５×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3の場合：（Ｃｏ×（１００−Ｘ）／５．３×１０51）(-1/11.29)＜Ｔ≦９００−（１３．５×１０17−Ｃｏ）×５×１０-16  （２）
１３．５×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3≦Ｃｏ≦１６×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3の場合：（Ｃｏ×（１００−Ｘ）／５．３×１０51）(-1/11.29)＜Ｔ≦９００  （３）
【発明の効果】
【００１６】
本発明のエピタキシャルシリコンウェーハは、厚み方向中央部で径方向全域にわたって５×１０4個／ｃｍ3以上の酸素析出物密度を有するようにできる。このような酸素析出物密度を有するエピタキシャルシリコンウェーハは、ウェーハの全面にわたってゲッタリング能力に優れる。
【００１７】
また、本発明の製造方法で用いるシリコンウェーハは、転位クラスターおよびＣＯＰを含まないので、エピタキシャル層には、転位クラスターまたはＣＯＰを起点とした積層欠陥等のエピタキシャル欠陥が導入されることが、防止または抑制される。
【００１８】
本発明のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法では、酸素析出抑制領域の割合に基づいて、予備熱処理工程での熱処理（酸素析出物の密度を高めるための熱処理）の条件が決定される。酸素析出抑制領域の割合は、ウェーハ全体としての酸素析出物の発生および成長のし難さの指標となる。したがって、酸素析出抑制領域の割合に基づいて予備熱処理工程での熱処理の条件を決定することにより、径方向全体にわたって酸素析出物密度が高いエピタキシャルシリコンウェーハを得ることができる。このようなエピタキシャルシリコンウェーハは、適切な条件での熱処理により、酸素析出物を成長させて、優れたゲッタリング能力を有するものとすることができる。本発明の製造方法により、本発明のエピタキシャルシリコンウェーハを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、酸素濃度が９×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3のウェーハの特性を示す図である。
【図２】図２は、酸素濃度が１１．５×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3のウェーハの特性を示す図である。
【図３】図３は、酸素濃度が１２．５×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3のウェーハの特性を示す図である。
【図４】図４は、酸素濃度が１３．５×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3のウェーハの特性を示す図である。
【図５】図５は、酸素濃度が１６×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3のウェーハの特性を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
ＣＯＰの存否は、以下の評価方法により判断することができる。チョクラルスキー（ＣＺ）法により、シリコン単結晶を育成し、この単結晶インゴットから、シリコンウェーハを切り出す。この単結晶インゴットから切り出したシリコンウェーハに対して、ＳＣ−１（アンモニア水と過酸化水素水と超純水とを１：１：１５（体積比）で混合した混合液）による洗浄を行う。洗浄後のシリコンウェーハ表面を、表面欠陥検査装置として、ＫＬＡ−Ｔｅｎｃｈｏｒ社製のＳｕｒｆｓｃａｎ  ＳＰ−２を用いて観察評価し、表面に形成されたピット（凹部）と推定される輝点欠陥（ＬＰＤ：Light Point Defect）を特定する。その際、観察モードはＯｂｌｉｑｕｅモード（斜め入射モード）とし、輝点欠陥がピットであるか否かの推定を、Ｗｉｄｅ  Ｎａｒｒｏｗチャンネルの検出サイズ比に基づいて行う。こうして特定されたＬＰＤに対して、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ：Atomic Force Microscope）を用いて、ＣＯＰであるか否かを評価する。その際、ピットの形状が八面体の一部をなす場合は、そのピットはＣＯＰであると判断する。この観察評価により、ＣＯＰの存否を判断することができる。したがって、「ＣＯＰを含まない」シリコンウェーハであるか否かは、上記の評価方法により特定することができる。
【００２１】
シリコンウェーハが「転位クラスターを含まない」とは、セコエッチングなどのエッチング処理またはＣｕデコレーションにより顕在化して目視レベルで認識できる欠陥を含まないことをいうものとする。
【００２２】
ＣＯＰおよび転位クラスターを含まないシリコンウェーハは、酸素析出抑制領域（Ｐｉ領域）および酸素析出促進領域（Ｐｖ領域）を含む。これらのうち、Ｐｉ領域は、酸化性ガス雰囲気中で、シリコンウェーハを、１０００℃で１６時間加熱する熱処理（以下、「酸素析出物評価熱処理」という。）を行い、その後、厚み方向に沿う断面が見えるようにへき開し、Wrightエッチング（クロム酸を使用）により、当該断面の表層部を厚さ２μｍ分除去した場合に、光学顕微鏡により厚み方向中心に観察される酸素析出物の密度が１×１０4個／ｃｍ2未満である結晶領域をいうものとする。
【００２３】
Ｐｖ領域は、上記Ｐｉ領域の定義に従って結晶領域がＰｉ領域であるか否かを評価するときと同様の観察を行った場合に、酸素析出物の密度が１×１０4個／ｃｍ2以上である結晶領域をいうものとする。この要件を満たす限り、ＯＳＦ(Oxidation induced Stacking Fault)領域（１０００〜１２００℃でＯＳＦとして顕在化する板状酸素析出物（ＯＳＦ核）をａｓ−ｇｒｏｗｎ状態で含む領域）も、Ｐｖ領域に含まれるものとする。
【００２４】
上述のように、本発明のエピタキシャルシリコンウェーハは、転位クラスターおよびＣＯＰを含まないシリコンウェーハの表面上にエピタキシャル層を有する。当該エピタキシャルシリコンウェーハに対して、１０００℃で１６時間の酸素析出物評価熱処理を施して酸素析出物密度を評価した場合に、当該シリコンウェーハの厚み方向中央部での酸素析出物の密度が、当該シリコンウェーハの径方向全域にわたって、５×１０4個／ｃｍ3以上である。
【００２５】
本発明のエピタキシャルシリコンウェーハは、厚み方向中央部で径方向全域にわたって５×１０4個／ｃｍ3以上の酸素析出物密度を有するようにすることができる。このような密度の酸素析出物を有するエピタキシャルシリコンウェーハは、その全面にわたってゲッタリング能力に優れる。
【００２６】
上述のように、本発明のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法は、酸素濃度が９×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3〜１６×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3の範囲にあり、転位クラスターおよびＣＯＰを含まず、かつ酸素析出抑制領域を含むシリコンウェーハに対して、酸素析出物の密度を高くするための熱処理を施す予備熱処理工程と、前記予備熱処理工程の後、前記シリコンウェーハの表面上にエピタキシャル層を形成するエピタキシャル層形成工程とを含む。この製造方法は、前記予備熱処理工程を実施する前の前記シリコンウェーハの酸素析出抑制領域の割合に基づいて、前記予備熱処理工程での熱処理条件を決定する熱処理条件決定工程をさらに含む。
【００２７】
シリコンウェーハについて、「酸素濃度」とは、ＡＳＴＭ  Ｆ１２１−１９７９によるものとする。
予備熱処理工程で熱処理をするシリコンウェーハは、酸素析出抑制領域と酸素析出促進領域とが混在したものであってもよい。このため、シリコンウェーハを切り出すべきシリコン単結晶の製造時に、制御プロセスマージン幅を広くすることができる。予備熱処理工程で熱処理をするシリコンウェーハは、酸素析出抑制領域のみからなるものであってもよい。
【００２８】
予備熱処理工程を実施する前のシリコンウェーハの酸素濃度が９×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3以上であれば、酸素析出促進領域のみならず、酸素析出抑制領域においても、予備熱処理により、酸素析出物の密度を高くすることができる。予備熱処理工程を実施する前のシリコンウェーハの酸素濃度が１６×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3より高いと、酸素析出過多となって、エピタキシャル層が形成されるウェーハ表面側にまで酸素析出物が形成され、酸素析出物に起因したエピタキシャル欠陥が発生するおそれがある。
【００２９】
本発明の要件に従って予備熱処理工程での熱処理が施されたシリコンウェーハは、エピタキシャル層形成工程で加熱されても、酸素析出物は消失せず、エピタキシャル層形成工程実施後に適切な条件で加熱することにより、ウェーハの厚み方向中央部で径方向全域にわたって５×１０4個／ｃｍ3以上の密度で酸素析出物が形成される。したがって、本発明の方法により、全面にわたってゲッタリング能力に優れるエピタキシャルシリコンウェーハを製造することができる。
【００３０】
予備熱処理工程での熱処理の時間（所定の熱処理温度に維持する時間；以下、「予備熱処理保持時間」という。）は、目的とする酸素析出物密度に応じて、概ね０．５〜１６時間の範囲で設定すればよい。予備熱処理保持時間として、この範囲の時間が好ましい理由は、以下の通りである。予備熱処理保持時間が０．５時間未満では、酸素析出抑制領域における酸素析出物の成長が不十分となり、エピタキシャル層形成工程での高温熱処理により、酸素析出物が消失してしまう。また、予備熱処理保持時間が１６時間を越えると、酸素析出過多になり、ウェーハ表面に存在する酸素析出物を起点としたエピタキシャル欠陥(積層欠陥)が発生しやすくなってしまう。
【００３１】
エピタキシャル層形成工程で形成するエピタキシャル層としては、シリコンエピタキシャル層が挙げられる。エピタキシャル層を形成する方法は、特に限定されず、たとえば、ＣＶＤ法などにより一般的な条件で形成することができる。たとえば、水素ガスをキャリアガスとして、ジクロロシラン、トリクロロシランなどのソースガスを、シリコンウェーハが収容されたチャンバー内に導入し、概ね１０００〜１２００℃の範囲の温度（成長温度）でＣＶＤ法によりシリコンウェーハ上にシリコンエピタキシャル層を成長させることができる。成長温度は、使用するソースガスの種類によっても異なる。エピタキシャルの厚みは、０．５〜１５μｍの範囲内とすることが好ましい。
【００３２】
好適には、熱処理条件決定工程では、下記（１）〜（３）の関係式のいずれかを満足するように、予備熱処理工程での熱処理条件を決定する。
９×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3≦Ｃｏ＜１１．５×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3の場合：（Ｃｏ×（１００−Ｘ）／５．３×１０51）(-1/11.29)＜Ｔ≦８００  （１）
１１．５×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3≦Ｃｏ＜１３．５×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3の場合：（Ｃｏ×（１００−Ｘ）／５．３×１０51）(-1/11.29)＜Ｔ≦９００−（１３．５×１０17−Ｃｏ）×５×１０-16  （２）
１３．５×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3≦Ｃｏ≦１６×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3の場合：（Ｃｏ×（１００−Ｘ）／５．３×１０51）(-1/11.29)＜Ｔ≦９００  （３）
上記（１）〜（３）の関係式において、Ｔ、ＸおよびＣｏの意味は、以下の通りである。
Ｔ：予備熱処理工程での熱処理の温度（℃）
Ｘ：シリコンウェーハの半径に対するシリコンウェーハ半径方向の酸素析出抑制領域の幅の割合（％）
Ｃｏ：シリコンウェーハの酸素濃度（ａｔｏｍｓ／ｃｍ3）
【実施例】
【００３３】
本発明の効果を確認するために、以下の試験および評価を行った。
チョクラルスキー法により、ＣＯＰおよび転位クラスターを含まない、直径が約３００ｍｍの複数のシリコン単結晶を製造し、これらのシリコン単結晶の各部位から、シリコンウェーハを切り出した。シリコン単結晶の育成に際しては、酸素濃度および酸素析出抑制領域の割合が種々異なるように育成条件を変更した。
【００３４】
表１に、得られたシリコンウェーハの酸素濃度、および酸素析出抑制領域の割合を示す。酸素析出抑制領域の割合は、シリコンウェーハの半径に対するシリコンウェーハ半径方向の酸素析出抑制領域の幅の割合（％；以下、「Ｐｉ割合」という。）で示す。このように、得られたシリコンウェーハでは、酸素濃度は５水準あり、Ｐｉ割合は４水準あり、酸素濃度とＰｉ割合との組み合わせは２０水準あった。いずれのシリコンウェーハも、酸素析出抑制領域を含む（Ｐｉ割合が０ではない）ものであった。
【００３５】
【表１】
2016018927.tif 000003
【００３６】
これらのシリコンウェーハに対して、温度を変えて、１６時間、熱処理（予備熱処理）をした。熱処理の温度を、表１に示す。その後、各シリコンウェーハを枚葉式エピタキシャル成長装置（アプライドマテリアルズ社製）内に搬送し、装置内で１１２０℃の温度で３０秒の水素ベーク処理を施した後、水素をキャリアガス、トリクロロシランをソースガスとして、１１５０℃でＣＶＤ法により、シリコンウェーハ上に厚み４μｍのシリコンエピタキシャル層を成長させ、エピタキシャルシリコンウェーハを得た。
【００３７】
続いて、これらのエピタキシャルシリコンウェーハに対して、１０００℃で１６時間の酸素析出物評価熱処理を行った。その後、これらのエピタキシャルシリコンウェーハを、ウェーハの厚み方向にウェーハの中心を含む面でへき開して、このへき開面をライトエッチング液で２μｍエッチングし、このエッチング面に顕在化したピットの密度を、倍率が５００倍の光学顕微鏡にて測定し、酸素析出物密度とした。酸素析出物密度の測定は、ウェーハの径方向に沿う複数の部位で行った。
【００３８】
図１〜図５に、各酸素濃度のウェーハ毎の特性を示す。いずれの図でも、予備熱処理の温度Ｔの逆数（１／Ｔ（／℃））、および１００−Ｐｉ割合と、酸素析出物評価熱処理後の酸素析出物密度が、ウェーハ全面にわたって、５×１０4個／ｃｍ2以上であるか否かとの関係を示す。図１〜図５の各々で、横軸に１／Ｔをとり（併せて、Ｔの値（「℃」を付した数値）を示す）、縦軸に１００−Ｐｉ割合、すなわち、Ｐｉ領域ではない領域の割合をとっている。また、図１〜図５の各々において、酸素析出物密度がウェーハ全面にわたって５×１０4個／ｃｍ2以上である条件領域に、ハッチングを付している。
【００３９】
各図において、酸素析出物密度がウェーハ全面にわたって５×１０4個／ｃｍ2以上である条件領域（以下、「高ＢＭＤ濃度条件領域」という。）は、右上がりの曲線より高温側（各図において左側）、かつ、横軸に垂直な直線より低温側（各図において右側）である。すなわち、これらの線の少なくとも一部は、高ＢＭＤ濃度条件領域と、それ以外の領域との境界をなす。
【００４０】
予備熱処理の温度Ｔ（℃）であって、酸素析出物評価熱処理後の酸素析出物密度が、ウェーハ全面にわたって、５×１０4個／ｃｍ2以上となる温度範囲は、以下の通りである。以下の式で、ＸはＰｉ割合である。
【００４１】
ウェーハの酸素濃度Ｃｏが、９×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3以上、かつ１１．５×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3未満の場合（図１参照）は、
（Ｃｏ×（１００−Ｘ）／５．３×１０51）(-1/11.29)＜Ｔ≦８００  （１）
である。
【００４２】
ウェーハの酸素濃度Ｃｏが、１１．５×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3以上、かつ１３．５×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3未満の場合（図２および図３参照）は、
（Ｃｏ×（１００−Ｘ）／５．３×１０51）(-1/11.29)＜Ｔ≦９００−（１３．５×１０17−Ｃｏ）×５×１０-16  （２）
である。
【００４３】
ウェーハの酸素濃度Ｃｏが１３．５×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3以上、かつ１６×１０17ａｔｏｍｓ／ｃｍ3以下の場合（図４および図５参照）は、
（Ｃｏ×（１００−Ｘ）／５．３×１０51）(-1/11.29)＜Ｔ≦９００  （３）
である。
【００４４】
以上のように、ウェーハの酸素濃度Ｃｏ、およびＰｉ割合Ｘによって、上記（１）〜（３）のいずれかの式に従って、エピタキシャル層形成前の熱処理の温度Ｔを決定することにより、ウェーハの全面にわたって、酸素析出物評価熱処理後の酸素析出物密度が５×１０4個／ｃｍ2以上のエピタキシャルシリコンウェーハを作製できることが判明した。このようなエピタキシャルシリコンウェーハは、ゲッタリング能力が高い。
【００４５】
また、表１に示す各水準それぞれで作製したエピタキシャルシリコンウェーハについて、エピタキシャル層の表面で観察されるＬＰＤの密度を測定した。具体的には、各エピタキシャルシリコンウェーハのエピタキシャル層表面について、ＬＰＤ評価装置として、ＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ社製のＳｕｒｆｓｃａｎ  ＳＰ１を用いて、Ｎｏｒｍａｌモードにて、ＬＰＤの測定を行い、９０ｎｍ以上のＬＰＤとしてカウントされるもののうち、ＬＰＤ−Ｎとしてカウントされるものをエピタキシャル欠陥として検出した。その結果、いずれのエピタキシャルシリコンウェーハのエピタキシャル欠陥も、ウェーハ１枚あたり１０個以下であり、エピタキシャル欠陥の少ないことが確認された。
【図１】
2016018927.tif 000004
【図２】
2016018927.tif 000005
【図３】
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【図４】
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【図５】
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