(57)【要約】【課題】ＲＦプローブを製品のＲＦパッドに押し付ける荷重を一定に保ち、製品のＲＦパッド及びＲＦプローブの破損を防ぎ、高周波特性の安定的な測定を実現することができるＲＦ検査治具を得る。【解決手段】保持部品３にばね４を介してＲＦプローブ５が吊り下げられている。ＲＦプローブ５は上下方向に動くことができ、製品１のＲＦパッド７に接触して製品１にＲＦ信号を供給する。ばね４の力でＲＦプローブ５を製品１のＲＦパッド７に押し付ける荷重を一定に保つことができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
保持部品と、
前記保持部品にばねを介して吊り下げられて上下方向に動くことができ、製品のＲＦパッドに接触して前記製品にＲＦ信号を供給するＲＦプローブとを備えることを特徴とするＲＦ検査治具。
【請求項２】
前記ＲＦプローブが上下方向に動かないように固定するストッパを更に備えることを特徴とする請求項１に記載のＲＦ検査治具。
【請求項３】
前記ＲＦプローブに接続され、前記ＲＦプローブに前記ＲＦ信号を供給するフレキシブル基板を更に備えることを特徴とする請求項１又は２に記載のＲＦ検査治具。
【請求項４】
上面に凹部を有する治具本体と、
前記凹部内にばねを介して配置されて上下方向に動くことができる可動部と、
前記可動部に載せられた製品のＲＦパッドに接触して前記製品にＲＦ信号を供給するＲＦプローブとを備えることを特徴とするＲＦ検査治具。
【請求項５】
前記可動部が上下方向に動かないように固定するストッパを更に備えることを特徴とする請求項４に記載のＲＦ検査治具。
【請求項６】
前記可動部の上面が凸型となっていることを特徴とする請求項４又は５に記載のＲＦ検査治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体レーザチップなどの製品の高周波特性を測定するＲＦ検査治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＲＦ検査治具では、位置を調整できる微動台にＲＦプローブが装着されている。この微動台を手動で操作して製品のＲＦパッドにＲＦプローブを接触させて製品の高周波特性を測定する。なお、ＲＦ基板上に載せられた製品のリードピンを測定電極に押し付ける絶縁ピンの荷重を一定に保つ技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平２−９４５３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のＲＦ検査治具ではＲＦプローブの荷重を制御できないため、荷重が強過ぎた場合は製品のＲＦパッドを傷つけるか又はＲＦプローブ自体が破損し、荷重が低過ぎた場合は接触不良となり正しく測定できないという問題があった。なお、特許文献１は製品に押し付けるＲＦプローブの荷重を一定に保つものではない。
【０００５】
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的はＲＦプローブを製品のＲＦパッドに押し付ける荷重を一定に保ち、製品のＲＦパッド及びＲＦプローブの破損を防ぎ、高周波特性の安定的な測定を実現することができるＲＦ検査治具を得るものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るＲＦ検査治具は、保持部品と、前記保持部品にばねを介して吊り下げられて上下方向に動くことができ、製品のＲＦパッドに接触して前記製品にＲＦ信号を供給するＲＦプローブとを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明ではＲＦプローブが保持部品にばねを介して吊り下げられている。このばねの力でＲＦプローブを製品のＲＦパッドに押し付ける荷重を一定に保つことができる。この結果、製品のＲＦパッド及びＲＦプローブの破損を防ぎ、高周波特性の安定的な測定を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施の形態１に係るＲＦ検査治具を示す平面図である。
【図２】図１のＩ−ＩＩに沿った断面図である。
【図３】図１のＩ−ＩＩに沿った断面図である。
【図４】比較例に係るＲＦ検査治具を示す平面図である。
【図５】本発明の実施の形態２に係るＲＦ検査治具を示す平面図である。
【図６】図５のＩ−ＩＩに沿った断面図である。
【図７】図５のＩ−ＩＩに沿った断面図である。
【図８】本発明の実施の形態３に係るＲＦ検査治具を示す平面図である。
【図９】図８のＩ−ＩＩに沿った断面図である。
【図１０】図８のＩ−ＩＩに沿った断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明の実施の形態に係るＲＦ検査治具について図面を参照して説明する。同じ又は対応する構成要素には同じ符号を付し、説明の繰り返しを省略する場合がある。
【００１０】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係るＲＦ検査治具を示す平面図である。図２及び図３は図１のＩ−ＩＩに沿った断面図である。半導体レーザチップなどの製品１が接地用の金属ブロック２上に載せられる。
【００１１】
保持部品３にばね４を介してＲＦプローブ５が吊り下げられている。保持部品３は、ＸＹＺの３方向に調整できる微動台６に装着されている。
【００１２】
ＲＦプローブ５は保持部品３に対して上下方向に動くことができ、製品１のＲＦパッド７に接触して製品１にＲＦ信号を供給する。ストッパ８は、ＲＦプローブ５を製品１のＲＦパッド７に近づける位置調整を行う際に、ＲＦプローブ５が上下方向に動かないように固定する。
【００１３】
ＲＦプローブ５を製品１のＲＦパッド７に近づける位置調整を行う際には図２に示すように、ＲＦプローブ５が上下方向に動かないように固定する。そして、図３に示すようにストッパ８を外した後に、ＲＦプローブ５を製品１のＲＦパッド７に接触させる。その状態でＲＦプローブ５から製品１にＲＦ信号を供給して製品１の高周波特性を測定する。
【００１４】
続いて、本実施の効果を比較例と比較して説明する。図４は、比較例に係るＲＦ検査治具を示す平面図である。ＲＦプローブ５が微動台６上に設置されている。この微動台６を手動で操作して製品１のＲＦパッド７にＲＦプローブ５を接触させる。しかし、ＲＦプローブ５の荷重を制御できないため、荷重が強過ぎた場合は製品１のＲＦパッド７を傷つけるか又はＲＦプローブ５自体が破損し、荷重が低過ぎた場合は接触不良となり正しく測定できない。
【００１５】
これに対して、本実施の形態ではＲＦプローブ５が保持部品３にばね４を介して吊り下げられているため、このばね４の力でＲＦプローブ５を製品１のＲＦパッド７に押し付ける荷重を一定に保つことができる。この結果、製品１のＲＦパッド７及びＲＦプローブ５の破損を防ぎ、高周波特性の安定的な測定を実現することができる。
【００１６】
また、ストッパ８を設けたことにより、ＲＦプローブ５を製品１のＲＦパッド７に近づける位置調整を行う際に、ＲＦプローブ５が上下方向に動かないように固定することができる。
【００１７】
また、ＲＦプローブ５にＲＦケーブルを接続すると、ＲＦケーブルの重さによりＲＦプローブ５を吊り下げているばねが斜めに動き、製品１に対して垂直に荷重がかからない場合がある。そこで、軽量なフレキシブル基板９をＲＦプローブ５に接続し、フレキシブル基板９によりＲＦプローブ５にＲＦ信号を供給する。これにより、ＲＦプローブ５を吊り下げているばね４が横方向に引っ張られないため、製品１に対して垂直に荷重をかけることができる。
【００１８】
実施の形態２．
図５は、本発明の実施の形態２に係るＲＦ検査治具を示す平面図である。図６及び図７は図５のＩ−ＩＩに沿った断面図である。治具本体１０の上面に凹部１１が設けられている。可動部１２は凹部１１内にばね１３を介して配置されて上下方向に動くことができる。ＲＦプローブ５はＸＹＺの３方向に調整可能な微動台の上に設置され、可動部１２に載せられた製品１のＲＦパッド７に接触して製品１にＲＦ信号を供給する。可動部１２が上下方向に動かないように固定するためにストッパ１４が設けられている。
【００１９】
製品１を可動部１２に載せる際には図６に示すように、ストッパ１４により可動部１２が沈まないように固定する。そして、図７に示すようにストッパ１４を外した後に、ＲＦプローブ５を動かして製品１のＲＦパッド７に接触させる。
【００２０】
本実施の形態では可動部１２が治具本体１０の凹部１１内にばね１３を介して配置されているため、可動部１２に載せられた製品１のＲＦパッド７にＲＦプローブ５を接触させると可動部１２が沈んでＲＦプローブ５を製品１のＲＦパッド７に押し付ける荷重を一定に保つことができる。この結果、製品１のＲＦパッド７及びＲＦプローブ５の破損を防ぎ、高周波特性の安定的な測定を実現することができる。
【００２１】
また、ストッパ１４を設けたことにより、製品１を可動部１２に載せるか又はＲＦプローブ５を製品１のＲＦパッド７に近づける位置調整を行う際に、可動部１２が沈まないように固定することができる。
【００２２】
実施の形態３．
図８は、本発明の実施の形態３に係るＲＦ検査治具を示す平面図である。図９及び図１０は図８のＩ−ＩＩに沿った断面図である。本実施の形態では可動部１２の上面が凸型となっている。これにより、可動部１２が沈んだ場合でも、半導体レーザチップなどの発光する製品１から出る光を遮断しないようにすることができる。この他の構成及び効果は実施の形態１と同様である。
【符号の説明】
【００２３】
１  製品、３  保持部品、４，１３  ばね、５  ＲＦプローブ、７  ＲＦパッド、８，１４  ストッパ、１０  治具本体、１１  凹部、１２  可動部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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