(57)【要約】【課題】必要なトリミング精度を確保しつつ、回路規模の縮小やトリミング時間の短縮が可能な、液体吐出装置、ヘッドユニット、容量性負荷駆動用集積回路装置、容量性負荷駆動回路及び液体吐出装置の製造方法を提供すること。【解決手段】液体吐出装置１は、源信号に基づいて元駆動信号を生成する元駆動信号生成部（ＤＡＣ５１１）と、元駆動信号に基づいて駆動信号を生成する駆動信号生成部（変調部５１０、ゲートドライバー５２０および出力回路５５０）と、調整信号に基づいて調整された第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶと第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶとを生成し、元駆動信号生成部に供給する基準電圧生成部５８０と、駆動信号が印加されることで変位する圧電素子６０と、内部容積が変化するキャビティ６３１と、キャビティ内の液体を液滴として吐出するノズルと、を備え、第１基準電圧の調整分解能は、第２基準電圧の調整分解能よりも低い。【選択図】図１０
2016107445.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
源信号に基づいて元駆動信号を生成する元駆動信号生成部と、
前記元駆動信号に基づいて駆動信号を生成する駆動信号生成部と、
調整信号に基づいて調整された第１基準電圧と第２基準電圧とを生成し、前記元駆動信号生成部に供給する基準電圧生成部と、
前記駆動信号が印加されることで変位する圧電素子と、
内部に液体が充填され、前記圧電素子の変位により、内部容積が変化するキャビティと、
前記キャビティに連通し、前記キャビティの内部容積の変化に応じて前記キャビティ内の前記液体を液滴として吐出するノズルと、を備え、
前記第１基準電圧の調整分解能は、前記第２基準電圧の調整分解能よりも低い、液体吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液体吐出装置であって、
前記駆動信号生成部は、前記元駆動信号をパルス変調した変調信号を生成する変調部と、前記変調信号に基づいて増幅制御信号を生成するゲートドライバーと、前記増幅制御信号に基づいて前記変調信号が増幅された増幅変調信号を生成するトランジスターと、前記増幅変調信号を復調して前記駆動信号を生成するローパスフィルターと、を有する、液体吐出装置。
【請求項３】
源信号に基づいて元駆動信号を生成する元駆動信号生成部と、
前記元駆動信号に基づいて駆動信号を生成する駆動信号生成部と、
調整信号に基づいて調整された第１基準電圧と第２基準電圧とを生成し、前記元駆動信号生成部に供給する基準電圧生成部と、
前記駆動信号が印加されることで変位する圧電素子と、
内部に液体が充填され、前記圧電素子の変位により、内部容積が変化するキャビティと、
前記キャビティに連通し、前記キャビティの内部容積の変化に応じて前記キャビティ内の前記液体を液滴として吐出するノズルと、を備え、
前記第１基準電圧の調整分解能は、前記第２基準電圧の調整分解能よりも低い、ヘッドユニット。
【請求項４】
源信号に基づいて元駆動信号を生成する元駆動信号生成部と、
前記元駆動信号をパルス変調した変調信号を生成する変調部と、
前記変調信号に基づいて、容量性負荷の駆動信号を生成するための増幅制御信号を生成するゲートドライバーと、
調整信号に基づいて調整された第１基準電圧と第２基準電圧とを生成し、前記元駆動信号生成部に供給する基準電圧生成部と、を備え、
前記第１基準電圧の調整分解能は、前記第２基準電圧の調整分解能よりも低い、容量性負荷駆動用集積回路装置。
【請求項５】
源信号に基づいて元駆動信号を生成する元駆動信号生成部と、
前記元駆動信号に基づいて容量性負荷の駆動信号を生成する駆動信号生成部と、
調整信号に基づいて調整された第１基準電圧と第２基準電圧とを生成し、前記元駆動信号生成部に供給する基準電圧生成部と、を備え、
前記第１基準電圧の調整分解能は、前記第２基準電圧の調整分解能よりも低い、容量性負荷駆動回路。
【請求項６】
源信号に基づいて元駆動信号を生成する元駆動信号生成部と、
前記元駆動信号に基づいて駆動信号を生成する駆動信号生成部と、
前記元駆動信号生成部に第１基準電圧と第２基準電圧とを供給する基準電圧供給部と、
前記駆動信号が印加されることで変位する圧電素子と、
内部に液体が充填され、前記圧電素子の変位により、内部容積が変化するキャビティと、
前記キャビティに連通し、前記キャビティの内部容積の変化に応じて前記キャビティ内の前記液体を液滴として吐出するノズルと、を備えた液体吐出装置の製造方法であって、
前記元駆動信号の出力点から前記駆動信号の出力点までの信号経路における所定の測定点の電圧の値に基づいて、前記第１基準電圧を調整する工程と、
前記所定の測定点の電圧の値に基づいて、前記第２基準電圧を調整する工程と、を含み、
前記第１基準電圧の調整分解能は、前記第２基準電圧の調整分解能よりも低い、液体吐出装置の製造方法。
【請求項７】
請求項６に記載の液体吐出装置の製造方法であって、
前記駆動信号生成部は、前記元駆動信号をパルス変調した変調信号を生成する変調部と、前記変調信号に基づいて増幅制御信号を生成するゲートドライバーと、前記増幅制御信号に基づいて前記変調信号が増幅された増幅変調信号を生成するトランジスターと、前記増幅変調信号を復調して前記駆動信号を生成するローパスフィルターと、を有する、液体吐出装置の製造方法。
【請求項８】
請求項７に記載の液体吐出装置の製造方法であって、
前記所定の測定点は、前記変調信号の出力点であり、
前記変調信号の電圧値の反転に基づいて前記第１基準電圧と前記第２基準電圧とを調整する、液体吐出装置の製造方法。
【請求項９】
請求項７に記載の液体吐出装置の製造方法であって、
前記所定の測定点は、前記増幅制御信号の出力点であり、
前記増幅制御信号の電圧値の反転に基づいて、前記第１基準電圧と前記第２基準電圧とを調整する、液体吐出装置の製造方法。
【請求項１０】
請求項６又は７に記載の液体吐出装置の製造方法であって、
前記所定の測定点は、前記駆動信号の出力点である、液体吐出装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の液体吐出装置の製造方法であって、
前記所定の測定点の電圧の値の最大値と最小値に基づいて、前記第１基準電圧と前記第２基準電圧とを調整する、液体吐出装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出装置、ヘッドユニット、容量性負荷駆動用集積回路装置、容量性負荷駆動回路及び液体吐出装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクを吐出して画像や文書を印刷するインクジェットプリンターなどの液体吐出装置には、圧電素子（例えばピエゾ素子）を用いたものが知られている。圧電素子は、ヘッドユニットにおいて複数のノズルのそれぞれに対応して設けられ、それぞれが駆動信号にしたがって駆動されることにより、ノズルから所定のタイミングで所定量のインク（液体）が吐出されて、ドットが形成される。圧電素子は、電気的にみればコンデンサーのような容量性負荷であるので、各ノズルの圧電素子を動作させるためには十分な電流を供給する必要がある。
【０００３】
このため、上述の液体吐出装置においては、Ｄ／Ａ変換回路に入力された吐出制御用の源信号を増幅回路で増幅した駆動信号をヘッドユニット（インクジェットヘッド）に供給して、圧電素子を駆動する構成となっている。増幅回路としては、増幅前の信号をＡＢ級アンプで電流増幅する方式やＤ級アンプなどで電圧増幅する方式が挙げられるが、エネルギー効率の点でＤ級アンプの方が優れている。
【０００４】
一般に、Ｄ／Ａ変換回路のオフセットや増幅回路に含まれる各アンプのオフセット、抵抗などの製造ばらつきにより、駆動信号の電圧値が所望の値からずれることを回避するために、トリミングを行う必要がある。トリミングの方法としては、駆動信号の電圧値が所望の値となるようにＤ／Ａ変換回路の基準電圧（高電圧側基準電圧及び低電圧側基準電圧）を所定の電圧ステップで調整する方法がある。例えば、特許文献１では、製造ばらつきによるＤ／Ａ変換回路の基準電圧の変動を抑制するためにトリミング回路を用いて基準電圧を調整する方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−２８１７７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１で提案されている調整方法は、圧電素子の特性を考慮したものではないため、圧電素子を用いた液体吐出装置におけるＤ／Ａ変換回路の基準電圧の調整にそのまま適用すると、調整用回路の回路規模や調整時間の不要な増加をもたらすおそれがある。
【０００７】
本発明は、以上のような問題に鑑みてなされたものであり、本発明のいくつかの態様によれば、必要なトリミング精度を確保しつつ、回路規模の縮小やトリミング時間の短縮が可能な、液体吐出装置、ヘッドユニット、容量性負荷駆動用集積回路装置、容量性負荷駆動回路及び液体吐出装置の製造方法を提供することができる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は前述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の態様または適用例として実現することが可能である。
【０００９】
［適用例１］
本適用例に係る液体吐出装置は、源信号に基づいて元駆動信号を生成する元駆動信号生成部と、前記元駆動信号に基づいて駆動信号を生成する駆動信号生成部と、調整信号に基づいて調整された第１基準電圧と第２基準電圧とを生成し、前記元駆動信号生成部に供給する基準電圧生成部と、前記駆動信号が印加されることで変位する圧電素子と、内部に液体が充填され、前記圧電素子の変位により、内部容積が変化するキャビティと、前記キャビティに連通し、前記キャビティの内部容積の変化に応じて前記キャビティ内の前記液体を液滴として吐出するノズルと、を備え、前記第１基準電圧の調整分解能は、前記第２基準電圧の調整分解能よりも低い。
【００１０】
圧電素子の感度（変位量／電圧）が、印加される駆動信号の最大電圧付近の方が最小電圧付近よりも低いという圧電素子の変位特性を考慮すると、駆動信号の最大電圧を決定する第１基準電圧の調整精度は駆動信号の最小電圧を決定する第２基準電圧の調整精度よりも低くてもよい。従って、本適用例に係る液体吐出装置のように、第１基準電圧の調整分解能を第２基準電圧の調整分解能よりも低くしても、元駆動信号生成部のトリミングに必要な精度を確保することができる。そして、必要なトリミング精度を確保できる範囲で、第１基準電圧の調整分解能を第２基準電圧の調整分解能よりも低くすることにより、第１基準電圧の調整に必要な回路面積を削減し、回路規模を縮小することができる。また、第１基準電圧の調整回数を減らし、トリミング時間（検査時間）を短縮することができる。
【００１１】
［適用例２］
上記適用例に係る液体吐出装置において、前記駆動信号生成部は、前記元駆動信号をパルス変調した変調信号を生成する変調部と、前記変調信号に基づいて増幅制御信号を生成するゲートドライバーと、前記増幅制御信号に基づいて前記変調信号が増幅された増幅変調信号を生成するトランジスターと、前記増幅変調信号を復調して前記駆動信号を生成するローパスフィルターと、を有してもよい。
【００１２】
本適用例に係る液体吐出装置によれば、元駆動信号生成部のトリミングにより、デジタル信号増幅により生成された駆動信号の電圧調整が可能である。
【００１３】
［適用例３］
本適用例に係るヘッドユニットは、
源信号に基づいて元駆動信号を生成する元駆動信号生成部と、前記元駆動信号に基づいて駆動信号を生成する駆動信号生成部と、調整信号に基づいて調整された第１基準電圧と第２基準電圧とを生成し、前記元駆動信号生成部に供給する基準電圧生成部と、前記駆動信号が印加されることで変位する圧電素子と、内部に液体が充填され、前記圧電素子の変位により、内部容積が変化するキャビティと、前記キャビティに連通し、前記キャビティの内部容積の変化に応じて前記キャビティ内の前記液体を液滴として吐出するノズルと、を備え、前記第１基準電圧の調整分解能は、前記第２基準電圧の調整分解能よりも低い。
【００１４】
本適用例に係るヘッドユニットによれば、圧電素子の変位特性を考慮し、元駆動信号生成部のトリミングに必要な精度を確保できる範囲で、第１基準電圧の調整分解能を第２基準電圧の調整分解能よりも低くすることにより、第１基準電圧の調整に必要な回路面積を削減し、回路規模を縮小することができる。また、第１基準電圧の調整回数を減らし、トリミング時間（検査時間）を短縮することができる。
【００１５】
［適用例４］
本適用例に係る容量性負荷駆動用集積回路装置は、源信号に基づいて元駆動信号を生成する元駆動信号生成部と、前記元駆動信号をパルス変調した変調信号を生成する変調部と
、前記変調信号に基づいて、容量性負荷の駆動信号を生成するための増幅制御信号を生成するゲートドライバーと、調整信号に基づいて調整された第１基準電圧と第２基準電圧とを生成し、前記元駆動信号生成部に供給する基準電圧生成部と、を備え、前記第１基準電圧の調整分解能は、前記第２基準電圧の調整分解能よりも低い。
【００１６】
本適用例に係る容量性負荷駆動用集積回路装置によれば、容量性負荷の特性を考慮し、元駆動信号生成部のトリミングに必要な精度を確保できる範囲で、第１基準電圧の調整分解能を第２基準電圧の調整分解能よりも低くすることにより、第１基準電圧の調整に必要な回路面積を削減し、回路規模を縮小することができる。また、第１基準電圧の調整回数を減らし、トリミング時間（検査時間）を短縮することができる。
【００１７】
また、容量性負荷を駆動する駆動回路を、その一部を本適用例に係る容量性負荷駆動用集積回路装置で構成することにより、小型化することができる。
【００１８】
［適用例５］
本適用例に係る容量性負荷駆動回路は、源信号に基づいて元駆動信号を生成する元駆動信号生成部と、前記元駆動信号に基づいて容量性負荷の駆動信号を生成する駆動信号生成部と、調整信号に基づいて調整された第１基準電圧と第２基準電圧とを生成し、前記元駆動信号生成部に供給する基準電圧生成部と、を備え、前記第１基準電圧の調整分解能は、前記第２基準電圧の調整分解能よりも低い。
【００１９】
本適用例に係る容量性負荷駆動回路によれば、容量性負荷の特性を考慮し、元駆動信号生成部のトリミングに必要な精度を確保できる範囲で、第１基準電圧の調整分解能を第２基準電圧の調整分解能よりも低くすることにより、第１基準電圧の調整に必要な回路面積を削減し、回路規模を縮小することができる。また、第１基準電圧の調整回数を減らし、トリミング時間（検査時間）を短縮することができる。
【００２０】
［適用例６］
本適用例に係る液体吐出装置の製造方法は、源信号に基づいて元駆動信号を生成する元駆動信号生成部と、前記元駆動信号に基づいて駆動信号を生成する駆動信号生成部と、前記元駆動信号生成部に第１基準電圧と第２基準電圧とを供給する基準電圧供給部と、前記駆動信号が印加されることで変位する圧電素子と、内部に液体が充填され、前記圧電素子の変位により、内部容積が変化するキャビティと、前記キャビティに連通し、前記キャビティの内部容積の変化に応じて前記キャビティ内の前記液体を液滴として吐出するノズルと、を備えた液体吐出装置の製造方法であって、前記元駆動信号の出力点から前記駆動信号の出力点までの信号経路における所定の測定点の電圧の値に基づいて、前記第１基準電圧を調整する工程と、前記所定の測定点の電圧の値に基づいて、前記第２基準電圧を調整する工程と、を含み、前記第１基準電圧の調整分解能は、前記第２基準電圧の調整分解能よりも低い。
【００２１】
本適用例に係る液体吐出装置の製造方法によれば、圧電素子の変位特性を考慮し、元駆動信号生成部のトリミングに必要な精度を確保できる範囲で、第１基準電圧の調整分解能を第２基準電圧の調整分解能よりも低くすることにより、第１基準電圧の調整回数を減らしてトリミング時間（検査時間）を短縮し、駆動信号の電圧が調整された液体吐出装置を製造することができる。また、液体吐出装置にトリミング用の回路を設ける場合には、第１基準電圧の調整に必要な回路面積を削減し、回路規模を縮小した液体吐出装置を製造することができる。
【００２２】
［適用例７］
上記適用例に係る液体吐出装置の製造方法において、前記駆動信号生成部は、前記元駆
動信号をパルス変調した変調信号を生成する変調部と、前記変調信号に基づいて増幅制御信号を生成するゲートドライバーと、前記増幅制御信号に基づいて前記変調信号が増幅された増幅変調信号を生成するトランジスターと、前記増幅変調信号を復調して前記駆動信号を生成するローパスフィルターと、を有してもよい。
【００２３】
本適用例に係る液体吐出装置の製造方法によれば、元駆動信号生成部のトリミングにより、デジタル信号増幅により生成された駆動信号の電圧が調整された液体吐出装置を製造することができる。
【００２４】
［適用例８］
上記適用例に係る液体吐出装置の製造方法において、前記所定の測定点は、前記変調信号の出力点であり、前記変調信号の電圧値の反転に基づいて前記第１基準電圧と前記第２基準電圧とを調整してもよい。
【００２５】
本適用例に係る液体吐出装置の製造方法によれば、元駆動信号生成部または変調部に含まれる回路素子の製造ばらつきの影響を加味して、元駆動信号生成部のトリミングを行うことができるので、トリミング精度を向上させることができる。
【００２６】
［適用例９］
上記適用例に係る液体吐出装置の製造方法において、前記所定の測定点は、前記増幅制御信号の出力点であり、前記増幅制御信号の電圧値の反転に基づいて、前記第１基準電圧と前記第２基準電圧とを調整してもよい。
【００２７】
本適用例に係る液体吐出装置の製造方法によれば、元駆動信号生成部、変調部またはゲートドライバーに含まれる回路素子の製造ばらつきの影響を加味して、元駆動信号生成部のトリミングを行うことができるので、トリミング精度を向上させることができる。
【００２８】
［適用例１０］
上記適用例に係る液体吐出装置の製造方法において、前記所定の測定点は、前記駆動信号の出力点であってもよい。
【００２９】
本適用例に係る液体吐出装置の製造方法によれば、圧電素子に印加される駆動信号そのものに基づいて、元駆動信号生成部のトリミングを高精度に行うことができる。
【００３０】
［適用例１１］
上記適用例に係る液体吐出装置の製造方法において、前記所定の測定点の電圧の値の最大値と最小値に基づいて、前記第１基準電圧と前記第２基準電圧とを調整してもよい。
【００３１】
本適用例に係る液体吐出装置の製造方法によれば、圧電素子に印加される駆動信号の電圧範囲を決定する最大値と最小値に基づいて、元駆動信号生成部のトリミングを高精度に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】液体吐出装置の概略構成を示す図である。
【図２】液体吐出装置の構成を示すブロック図である。
【図３】ヘッドユニットにおける吐出部の構成を示す図である。
【図４】ヘッドユニットにおけるノズル配列を示す図である。
【図５】ヘッドユニットにおける選択制御部の動作を説明するための図である。
【図６】ヘッドユニットにおける選択制御部の構成を示す図である。
【図７】ヘッドユニットにおけるデコーダーのデコード内容を示す図である。
【図８】ヘッドユニットにおける選択部の構成を示す図である。
【図９】選択部により選択される駆動信号を示す図である。
【図１０】駆動回路（容量性負荷駆動回路）の回路構成を示す図である。
【図１１】駆動回路の動作を説明するための図である。
【図１２】基準電圧生成部の回路構成を示す図である。
【図１３】圧電素子の電圧−変位特性の一例を示す図である。
【図１４】液体吐出装置の製造方法の一例を示すフローチャート図である。
【図１５】ＤＡＣのトリミングを行うためのシステム構成図である。
【図１６】ＤＡＣのトリミング工程のフローチャートの一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。用いる図面は説明の便宜上のものである。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００３４】
１．液体吐出装置の概要
本実施形態に係る液体吐出装置の一例としての印刷装置は、外部のホストコンピューターから供給された画像データに応じてインクを吐出させることによって、紙などの印刷媒体にインクドット群を形成し、これにより、当該画像データに応じた画像（文字、図形等を含む）を印刷するインクジェットプリンターである。
【００３５】
なお、液体吐出装置としては、例えば、プリンター等の印刷装置、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材吐出装置、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料吐出装置、バイオチップ製造に用いられる生体有機物吐出装置等を挙げることができる。
【００３６】
図１は、液体吐出装置１の内部の概略構成を示す斜視図である。図１に示されるように、液体吐出装置１は、移動体２を、主走査方向に移動（往復動）させる移動機構３を備える。
【００３７】
移動機構３は、移動体２の駆動源となるキャリッジモーター３１と、両端が固定されたキャリッジガイド軸３２と、キャリッジガイド軸３２とほぼ平行に延在し、キャリッジモーター３１により駆動されるタイミングベルト３３と、を有している。
【００３８】
移動体２のキャリッジ２４は、キャリッジガイド軸３２に往復動自在に支持されるとともに、タイミングベルト３３の一部に固定されている。そのため、キャリッジモーター３１によりタイミングベルト３３を正逆走行させると、移動体２がキャリッジガイド軸３２に案内されて往復動する。
【００３９】
また、移動体２のうち、印刷媒体Ｐと対向する部分にはヘッドユニット２０が設けられる。このヘッドユニット２０は、後述するように、多数のノズルからインク滴（液滴）を吐出させるためのものであり、フレキシブルケーブル１９０を介して各種の制御信号等が供給される構成となっている。
【００４０】
液体吐出装置１は、印刷媒体Ｐを、副走査方向にプラテン４０上で搬送させる搬送機構４を備える。搬送機構４は、駆動源である搬送モーター４１と、搬送モーター４１により回転して、印刷媒体Ｐを副走査方向に搬送する搬送ローラー４２と、を備える。
【００４１】
印刷媒体Ｐが搬送機構４によって搬送されたタイミングで、ヘッドユニット２０が当該
印刷媒体Ｐにインク滴を吐出することによって、印刷媒体Ｐの表面に画像が形成される。
【００４２】
図２は、液体吐出装置１の電気的な構成を示すブロック図である。
【００４３】
この図に示されるように、液体吐出装置１では、制御ユニット１０とヘッドユニット２０とがフレキシブルケーブル１９０を介して接続される。
【００４４】
制御ユニット１０は、制御部１００と、キャリッジモーター３１と、キャリッジモータードライバー３５と、搬送モーター４１と、搬送モータードライバー４５と、駆動回路５０−ａ、駆動回路５０−ｂと、を有する。このうち、制御部１００は、ホストコンピューターから画像データが供給されたときに、各部を制御するための各種の制御信号等を出力する。
【００４５】
詳細には、第１に、制御部１００は、キャリッジモータードライバー３５に対して制御信号Ｃｔｒ１を供給し、キャリッジモータードライバー３５は、当該制御信号Ｃｔｒ１にしたがってキャリッジモーター３１を駆動する。これにより、キャリッジ２４における主走査方向の移動が制御される。
【００４６】
第２に、制御部１００は、搬送モータードライバー４５に対して制御信号Ｃｔｒ２を供給し、搬送モータードライバー４５は、当該制御信号Ｃｔｒ２にしたがって搬送モーター４１を駆動する。これにより、搬送機構４による副走査方向の移動が制御される。
【００４７】
第３に、制御部１００は、２つの駆動回路５０−ａ、５０−ｂのうち、一方の駆動回路５０−ａにデジタルのデータｄＡを供給し、他方の駆動回路５０−ｂにデジタルのデータｄＢを供給する。ここで、データｄＡは、ヘッドユニット２０に供給する駆動信号のうち、駆動信号ＣＯＭ−Ａの波形を規定し、データｄＢは、駆動信号ＣＯＭ−Ｂの波形を規定する。
【００４８】
なお、詳細については後述するが、駆動回路５０−ａは、データｄＡをアナログ変換した後に、Ｄ級増幅した駆動信号ＣＯＭ−Ａをヘッドユニット２０に供給する。同様に、駆動回路５０−ｂは、データｄＢをアナログ変換した後に、Ｄ級増幅した駆動信号ＣＯＭ−Ｂをヘッドユニット２０に供給する。また、駆動回路５０−ａ、５０−ｂについては、入力するデータ、および、出力する駆動信号が異なるのみであり、後述するように回路的な構成は同一である。このため、駆動回路５０−ａ、５０−ｂについて特に区別する必要がない場合（例えば後述する図１０を説明する場合）には、「−（ハイフン）」以下を省略し、単に符号を「５０」として説明する。
【００４９】
第４に、制御部１００は、ヘッドユニット２０に、クロック信号Ｓｃｋ、データ信号Ｄａｔａ、制御信号ＬＡＴ、ＣＨを供給する。
【００５０】
ヘッドユニット２０には、選択制御部２１０と、選択部２３０および圧電素子（ピエゾ素子）６０の複数組とが設けられる。なお、ヘッドユニット２０が駆動回路５０−ａ、５０−ｂを備えていてもよい。
【００５１】
選択制御部２１０は、選択部２３０のそれぞれに対して駆動信号ＣＯＭ−Ａ、ＣＯＭ−Ｂのいずれかを選択すべきか（または、いずれも非選択とすべきか）を、制御部１００から供給される制御信号等によって指示し、選択部２３０は、選択制御部２１０の指示にしたがって、駆動信号ＣＯＭ−Ａ、ＣＯＭ−Ｂを選択し、圧電素子６０の一端にそれぞれに駆動信号として供給する。なお、図２では、この駆動信号の電圧をＶｏｕｔと表記している。圧電素子６０のそれぞれにおける他端は、電圧ＶＢＳが共通に印加されている。
【００５２】
圧電素子６０は、駆動信号が印加されることで変位する。圧電素子６０は、ヘッドユニット２０における複数のノズルのそれぞれに対応して設けられる。そして、圧電素子６０は、選択部２３０により選択された駆動信号の電圧Ｖｏｕｔと電圧ＶＢＳとの差に応じて変位してインクを吐出させる。そこで次に、圧電素子６０への駆動によってインクを吐出させるための構成について簡単に説明する。
【００５３】
図３は、ヘッドユニット２０において、ノズル１個分に対応した概略構成を示す図である。
【００５４】
図３に示されるように、ヘッドユニット２０は、圧電素子６０と振動板６２１とキャビティ（圧力室）６３１とリザーバー６４１とノズル６５１とを含む。このうち、振動板６２１は、図において上面に設けられた圧電素子６０によって変位（屈曲振動）し、インクが充填されるキャビティ６３１の内部容積を拡大／縮小させるダイヤフラムとして機能する。ノズル６５１は、ノズルプレート６３２に設けられるとともに、キャビティ６３１に連通する開孔部である。キャビティ６３１は、内部に液体（例えば、インク）が充填され、圧電素子６０の変位により、内部容積が変化する。ノズル６５１は、キャビティ６３１に連通し、キャビティ６３１の内部容積の変化に応じてキャビティ６３１内の液体を液滴として吐出する。
【００５５】
図３で示される圧電素子６０は、圧電体６０１を一対の電極６１１、６１２で挟んだ構造である。この構造の圧電体６０１にあっては、電極６１１、６１２により印加された電圧に応じて、電極６１１、６１２、振動板６２１とともに図３において中央部分が両端部分に対して上下方向に撓む。具体的には、圧電素子６０は、駆動信号の電圧Ｖｏｕｔが高くなると、上方向に撓む一方、電圧Ｖｏｕｔが低くなると、下方向に撓む構成となっている。この構成において、上方向に撓めば、キャビティ６３１の内部容積が拡大するので、インクがリザーバー６４１から引き込まれる一方、下方向に撓めば、キャビティ６３１の内部容積が縮小するので、縮小の程度によっては、インクがノズル６５１から吐出される。
【００５６】
なお、圧電素子６０は、図示した構造に限られず、圧電素子６０を変形させてインクのような液体を吐出させることができる型であればよい。また、圧電素子６０は、屈曲振動に限られず、いわゆる縦振動を用いる構成でもよい。
【００５７】
また、圧電素子６０は、ヘッドユニット２０においてキャビティ６３１とノズル６５１とに対応して設けられ、当該圧電素子６０は、図１において、選択部２３０にも対応して設けられる。このため、圧電素子６０、キャビティ６３１、ノズル６５１および選択部２３０のセットは、ノズル６５１毎に設けられることになる。
【００５８】
図４（ａ）は、ノズル６５１の配列の一例を示す図である。
【００５９】
図４（ａ）に示されるように、ノズル６５１は、例えば２列で次のように配列している。詳細には、１列分でみたとき、複数個のノズル６５１が副走査方向に沿ってピッチＰｖで配置する一方、２列同士では、主走査方向にピッチＰｈだけ離間して、かつ、副走査方向にピッチＰｖの半分だけシフトした関係となっている。
【００６０】
なお、ノズル６５１は、カラー印刷する場合には、Ｃ（シアン）、Ｍ（マゼンタ）、Ｙ（イエロー）、Ｋ（ブラック）などの各色に対応したパターンが例えば主走査方向に沿って設けられるが、以下の説明では、簡略化するために、単色で階調を表現する場合について説明する。
【００６１】
図４（ｂ）は、図４（ａ）に示したノズル配列による画像形成の基本解像度を説明するための図である。なお、この図は、説明を簡易化するために、ノズル６５１からインク滴を１回吐出させて、１つのドットを形成する方法（第１方法）の例であり、黒塗りの丸印がインク滴の着弾により形成されるドットを示している。
【００６２】
ヘッドユニット２０が、主走査方向に速度ｖで移動するとき、同図に示されるように、インク滴の着弾によって形成されるドットの（主走査方向の）間隔Ｄと、当該速度ｖとは、次のような関係にある。
【００６３】
すなわち、１回のインク滴の吐出で１ドットが形成される場合、ドット間隔Ｄは、速度ｖを、インクの吐出周波数ｆで除した値（＝ｖ／ｆ）、換言すれば、インク滴が繰り返し吐出される周期（１／ｆ）においてヘッドユニット２０が移動する距離で示される。
【００６４】
なお、図４（ａ）および図４（ｂ）の例では、ピッチＰｈがドット間隔Ｄに対して係数ｎで比例する関係にして、２列のノズル６５１から吐出されるインク滴が、印刷媒体Ｐにおいて同一列で揃うように着弾させている。このため、図４（ｂ）に示されるように、副走査方向のドット間隔が、主走査方向のドット間隔の半分となっている。ドットの配列は、図示の例に限られないことは言うまでもない。
【００６５】
ところで、高速印刷を実現するためには、単純には、ヘッドユニット２０が主走査方向に移動する速度ｖを高めればよい。ただし、単に速度ｖを高めるだけでは、ドットの間隔Ｄが長くなってしまう。このため、ある程度の解像度を確保した上で、高速印刷を実現するためには、インクの吐出周波数ｆを高めて、単位時間当たりに形成されるドット数を増やす必要がある。
【００６６】
また、印刷速度とは別に、解像度を高めるためには、単位面積当たりで形成されるドット数を増やせばよい。ただし、ドット数を増やす場合に、インクを少量にしないと、隣り合うドット同士が結合してしまうだけでなく、インクの吐出周波数ｆを高めないと、印刷速度が低下する。
【００６７】
このように、高速印刷および高解像度印刷を実現するためには、インクの吐出周波数ｆを高める必要があるのは、上述した通りである。
【００６８】
一方、印刷媒体Ｐにドットを形成する方法としては、インク滴を１回吐出させて、１つのドットを形成する方法のほかに、単位期間にインク滴を２回以上吐出可能として、単位期間において吐出された１以上のインク滴を着弾させ、当該着弾した１以上のインク滴を結合させることで、１つのドットを形成する方法（第２方法）や、これら２以上のインク滴を結合させることなく、２以上のドットを形成する方法（第３方法）がある。以降の説明では、ドットを上記第２方法によって形成する場合について説明する。
【００６９】
本実施形態では、第２方法について、次のような例を想定して説明する。すなわち、本実施形態において、１つのドットについては、インクを最多で２回吐出させることで、大ドット、中ドット、小ドットおよび非記録の４階調を表現させる。この４階調を表現するために、本実施形態では、２種類の駆動信号ＣＯＭ−Ａ、ＣＯＭ−Ｂを用意して、それぞれにおいて、１周期に前半パターンと後半パターンとを持たせている。１周期のうち、前半・後半において駆動信号ＣＯＭ−Ａ、ＣＯＭ−Ｂを、表現すべき階調に応じて選択して（または選択しないで）、圧電素子６０に供給する構成となっている。
【００７０】
そこで、駆動信号ＣＯＭ−Ａ、ＣＯＭ−Ｂについて説明し、この後、駆動信号ＣＯＭ−
Ａ、ＣＯＭ−Ｂを選択するための構成について説明する。なお、駆動信号ＣＯＭ−Ａ、ＣＯＭ−Ｂについては、それぞれ駆動回路５０によって生成されるが、駆動回路５０については、便宜的に、駆動信号ＣＯＭ−Ａ、ＣＯＭ−Ｂを選択するための構成の後に説明する。
【００７１】
図５は、駆動信号ＣＯＭ−Ａ、ＣＯＭ−Ｂの波形等を示す図である。
【００７２】
図５に示されるように、駆動信号ＣＯＭ−Ａは、印刷周期Ｔａのうち、制御信号ＬＡＴが出力されて（立ち上がって）から制御信号ＣＨが出力されるまでの期間Ｔ１に配置された台形波形Ａｄｐ１と、印刷周期Ｔａのうち、制御信号ＣＨが出力されてから次の制御信号ＬＡＴが出力されるまでの期間Ｔ２に配置された台形波形Ａｄｐ２とを連続させた波形となっている。
【００７３】
本実施形態において台形波形Ａｄｐ１、Ａｄｐ２とは、互いにほぼ同一の波形であり、仮にそれぞれが圧電素子６０の一端に供給されたとしたならば、当該圧電素子６０に対応するノズル６５１から所定量、具体的には中程度の量のインクをそれぞれ吐出させる波形である。
【００７４】
駆動信号ＣＯＭ−Ｂは、期間Ｔ１に配置された台形波形Ｂｄｐ１と、期間Ｔ２に配置された台形波形Ｂｄｐ２とを連続させた波形となっている。本実施形態において台形波形Ｂｄｐ１、Ｂｄｐ２とは、互いに異なる波形である。このうち、台形波形Ｂｄｐ１は、ノズル６５１の開孔部付近のインクを微振動させてインクの粘度の増大を防止するための波である。このため、仮に台形波形Ｂｄｐ１が圧電素子６０の一端に供給されたとしても、当該圧電素子６０に対応するノズル６５１からインク滴が吐出されない。また、台形波形Ｂｄｐ２は、台形波形Ａｄｐ１（Ａｄｐ２）とは異なる波形となっている。仮に台形波形Ｂｄｐ２が圧電素子６０の一端に供給されたとしたならば、当該圧電素子６０に対応するノズル６５１から上記所定量よりも少ない量のインクを吐出させる波形である。
【００７５】
なお、台形波形Ａｄｐ１、Ａｄｐ２、Ｂｄｐ１、Ｂｄｐ２の開始タイミングでの電圧と、終了タイミングでの電圧とは、いずれも電圧Ｖｃで共通である。すなわち、台形波形Ａｄｐ１、Ａｄｐ２、Ｂｄｐ１、Ｂｄｐ２は、それぞれ電圧Ｖｃで開始し、電圧Ｖｃで終了する波形となっている。
【００７６】
図６は、図２における選択制御部２１０の構成を示す図である。
【００７７】
図６に示されるように、選択制御部２１０には、クロック信号Ｓｃｋ、データ信号Ｄａｔａ、制御信号ＬＡＴ、ＣＨが制御ユニット１０から供給される。選択制御部２１０では、シフトレジスター（Ｓ／Ｒ）２１２とラッチ回路２１４とデコーダー２１６との組が、圧電素子６０（ノズル６５１）のそれぞれに対応して設けられている。
【００７８】
データ信号Ｄａｔａは、画像の１ドットを形成するにあたって、当該ドットのサイズを規定する。本実施形態では、非記録、小ドット、中ドットおよび大ドットの４階調を表現するために、データ信号Ｄａｔａは、上位ビット（ＭＳＢ）および下位ビット（ＬＳＢ）の２ビットで構成される。
【００７９】
データ信号Ｄａｔａは、クロック信号Ｓｃｋに同期してノズルごとに、ヘッドユニット２０の主走査に合わせて制御部１００からシリアルで供給される。シリアルで供給されたデータ信号Ｄａｔａを、ノズルに対応して２ビット分、一旦保持するための構成がシフトレジスター２１２である。
【００８０】
詳細には、圧電素子６０（ノズル）に対応した段数のシフトレジスター２１２が互いに縦続接続されるとともに、シリアルで供給されたデータ信号Ｄａｔａが、クロック信号Ｓｃｋにしたがって順次後段に転送される構成となっている。
【００８１】
なお、圧電素子６０の個数をｍ（ｍは複数）としたときに、シフトレジスター２１２を区別するために、データ信号Ｄａｔａが供給される上流側から順番に１段、２段、…、ｍ段と表記している。
【００８２】
ラッチ回路２１４は、シフトレジスター２１２で保持されたデータ信号Ｄａｔａを制御信号ＬＡＴの立ち上がりでラッチする。
【００８３】
デコーダー２１６は、ラッチ回路２１４によってラッチされた２ビットのデータ信号Ｄａｔａをデコードして、制御信号ＬＡＴと制御信号ＣＨとで規定される期間Ｔ１、Ｔ２ごとに、選択信号Ｓａ、Ｓｂを出力して、選択部２３０での選択を規定する。
【００８４】
図７は、デコーダー２１６におけるデコード内容を示す図である。
【００８５】
図７において、ラッチされた２ビットのデータ信号Ｄａｔａについては（ＭＳＢ、ＬＳＢ）と表記している。デコーダー２１６は、例えばラッチされたデータ信号Ｄａｔａが（０，１）であれば、選択信号Ｓａ、Ｓｂの論理レベルを、期間Ｔ１ではそれぞれＨ、Ｌレベルとし、期間Ｔ２ではそれぞれＬ、Ｈレベルとして、出力するということを意味している。
【００８６】
なお、選択信号Ｓａ、Ｓｂの論理レベルについては、クロック信号Ｓｃｋ、データ信号Ｄａｔａ、制御信号ＬＡＴ、ＣＨの論理レベルよりも、レベルシフター（図示省略）によって、高振幅論理にレベルシフトされる。
【００８７】
図８は、図２における圧電素子６０（ノズル６５１）の１個分に対応する選択部２３０の構成を示す図である。
【００８８】
図８に示されるように、選択部２３０は、インバーター（ＮＯＴ回路）２３２ａ、２３２ｂと、トランスファーゲート２３４ａ、２３４ｂとを有する。
【００８９】
デコーダー２１６からの選択信号Ｓａは、トランスファーゲート２３４ａにおいて丸印が付されていない正制御端に供給される一方で、インバーター２３２ａによって論理反転されて、トランスファーゲート２３４ａにおいて丸印が付された負制御端に供給される。同様に、選択信号Ｓｂは、トランスファーゲート２３４ｂの正制御端に供給される一方で、インバーター２３２ｂによって論理反転されて、トランスファーゲート２３４ｂの負制御端に供給される。
【００９０】
トランスファーゲート２３４ａの入力端には、駆動信号ＣＯＭ−Ａが供給され、トランスファーゲート２３４ｂの入力端には、駆動信号ＣＯＭ−Ｂが供給される。トランスファーゲート２３４ａ、２３４ｂの出力端同士は、共通接続されるとともに、対応する圧電素子６０の一端に接続される。
【００９１】
トランスファーゲート２３４ａは、選択信号ＳａがＨレベルであれば、入力端および出力端の間を導通（オン）させ、選択信号ＳａがＬレベルであれば、入力端と出力端との間を非導通（オフ）させる。トランスファーゲート２３４ｂについても同様に選択信号Ｓｂに応じて、入力端および出力端の間をオンオフさせる。
【００９２】
次に、選択制御部２１０と選択部２３０との動作について図５を参照して説明する。
【００９３】
データ信号Ｄａｔａが、制御部１００からノズル毎に、クロック信号Ｓｃｋに同期してシリアルで供給されて、ノズルに対応するシフトレジスター２１２において順次転送される。そして、制御部１００がクロック信号Ｓｃｋの供給を停止させると、シフトレジスター２１２のそれぞれには、ノズルに対応したデータ信号Ｄａｔａが保持された状態になる。なお、データ信号Ｄａｔａは、シフトレジスター２２２における最終ｍ段、…、２段、１段のノズルに対応した順番で供給される。
【００９４】
ここで、制御信号ＬＡＴが立ち上がると、ラッチ回路２１４のそれぞれは、シフトレジスター２１２に保持されたデータ信号Ｄａｔａを一斉にラッチする。図５において、Ｌ１、Ｌ２、…、Ｌｍは、データ信号Ｄａｔａが、１段、２段、…、ｍ段のシフトレジスター２１２に対応するラッチ回路２１４によってラッチされたデータ信号Ｄａｔａを示している。
【００９５】
デコーダー２１６は、ラッチされたデータ信号Ｄａｔａで規定されるドットのサイズに応じて、期間Ｔ１、Ｔ２のそれぞれにおいて、選択信号Ｓａ、Ｓａの論理レベルを図７に示されるような内容で出力する。
【００９６】
すなわち、第１に、デコーダー２１６は、当該データ信号Ｄａｔａが（１，１）であって、大ドットのサイズを規定する場合、選択信号Ｓａ、Ｓｂを、期間Ｔ１においてＨ、Ｌレベルとし、期間Ｔ２においてもＨ、Ｌレベルとする。第２に、デコーダー２１６は、当該データ信号Ｄａｔａが（０，１）であって、中ドットのサイズを規定する場合、選択信号Ｓａ、Ｓｂを、期間Ｔ１においてＨ、Ｌレベルとし、期間Ｔ２においてＬ、Ｈレベルとする。第３に、デコーダー２１６は、当該データ信号Ｄａｔａが（１，０）であって、小ドットのサイズを規定する場合、選択信号Ｓａ、Ｓｂを、期間Ｔ１においてＬ、Ｌレベルとし、期間Ｔ２においてＬ、Ｈレベルとする。第４に、デコーダー２１６は、当該データ信号Ｄａｔａが（０，０）であって、非記録を規定する場合、選択信号Ｓａ、Ｓｂを、期間Ｔ１においてＬ、Ｈレベルとし、期間Ｔ２においてＬ、Ｌレベルとする。
【００９７】
図９は、データ信号Ｄａｔａに応じて選択されて、圧電素子６０の一端に供給される駆動信号の電圧波形を示す図である。
【００９８】
データ信号Ｄａｔａが（１，１）であるとき、選択信号Ｓａ、Ｓｂは、期間Ｔ１においてＨ、Ｌレベルとなるので、トランスファーゲート２３４ａがオンし、トランスファーゲート２３４ｂがオフする。このため、期間Ｔ１において駆動信号ＣＯＭ−Ａの台形波形Ａｄｐ１が選択される。選択信号Ｓａ、Ｓｂは期間Ｔ２においてもＨ、Ｌレベルとなるので、選択部２３０は、駆動信号ＣＯＭ−Ａの台形波形Ａｄｐ２を選択する。
【００９９】
このように期間Ｔ１において台形波形Ａｄｐ１が選択され、期間Ｔ２において台形波形Ａｄｐ２が選択されて、駆動信号として圧電素子６０の一端に供給されると、当該圧電素子６０に対応したノズル６５１から、中程度の量のインクが２回にわけて吐出される。このため、印刷媒体Ｐにはそれぞれのインクが着弾し合体して、結果的に、データ信号Ｄａｔａで規定される通りの大ドットが形成されることになる。
【０１００】
データ信号Ｄａｔａが（０，１）であるとき、選択信号Ｓａ、Ｓｂは、期間Ｔ１においてＨ、Ｌレベルとなるので、トランスファーゲート２３４ａがオンし、トランスファーゲート２３４ｂはオフする。このため、期間Ｔ１において駆動信号ＣＯＭ−Ａの台形波形Ａｄｐ１が選択される。次に、選択信号Ｓａ、Ｓｂは期間Ｔ２においてＬ、Ｈレベルとなるので、駆動信号ＣＯＭ−Ｂの台形波形Ｂｄｐ２が選択される。
【０１０１】
したがって、ノズルから、中程度および小程度の量のインクが２回にわけて吐出される。このため、印刷媒体Ｐには、それぞれのインクが着弾して合体して、結果的に、データ信号Ｄａｔａで規定された通りの中ドットが形成されることになる。
【０１０２】
データ信号Ｄａｔａが（１，０）であるとき、選択信号Ｓａ、Ｓｂは、期間Ｔ１においてともにＬレベルとなるので、トランスファーゲート２３４ａ、２３４ｂがオフする。このため、期間Ｔ１において台形波形Ａｄｐ１、Ｂｄｐ１のいずれも選択されない。トランスファーゲート２３４ａ、２３４ｂがともにオフする場合、当該トランスファーゲート２３４ａ、２３４ｂの出力端同士の接続点から圧電素子６０の一端までの経路は、電気的にどの部分にも接続されないハイ・インピーダンス状態になる。ただし、圧電素子６０は、自己が有する容量性によって、トランスファーゲート２３４ａ、２３４ｂがオフする直前の電圧（Ｖｃ−ＶＢＳ）を保持する。
【０１０３】
次に、選択信号Ｓａ、Ｓｂは期間Ｔ２においてＬ、Ｈレベルとなるので、駆動信号ＣＯＭ−Ｂの台形波形Ｂｄｐ２が選択される。このため、ノズル６５１から、期間Ｔ２においてのみ小程度の量のインクが吐出されるので、印刷媒体Ｐには、データ信号Ｄａｔａで規定された通りの小ドットが形成されることになる。
【０１０４】
データ信号Ｄａｔａが（０，０）であるとき、選択信号Ｓａ、Ｓｂは、期間Ｔ１においてＬ、Ｈレベルとなるので、トランスファーゲート２３４ａがオフし、トランスファーゲート２３４ｂがオンする。このため、期間Ｔ１において駆動信号ＣＯＭ−Ｂの台形波形Ｂｄｐ１が選択される。次に、選択信号Ｓａ、Ｓｂは期間Ｔ２においてともにＬレベルとなるので、台形波形Ａｄｐ２、Ｂｄｐ２のいずれも選択されない。
【０１０５】
このため、期間Ｔ１においてノズル６５１の開孔部付近のインクが微振動するのみであり、インクは吐出されないので、結果的に、ドットが形成されない、すなわち、データ信号Ｄａｔａで規定された通りの非記録になる。
【０１０６】
このように、選択部２３０は、選択制御部２１０による指示にしたがって駆動信号ＣＯＭ−Ａ、ＣＯＭ−Ｂを選択し（または選択しないで）、圧電素子６０の一端に供給する。このため、各圧電素子６０は、データ信号Ｄａｔａで規定されるドットのサイズに応じて駆動されることになる。
【０１０７】
なお、図５に示した駆動信号ＣＯＭ−Ａ、ＣＯＭ−Ｂはあくまでも一例である。実際には、ヘッドユニット２０の移動速度や印刷媒体Ｐの性質などに応じて、予め用意された様々な波形の組み合わせが用いられる。
【０１０８】
また、ここでは、圧電素子６０が、電圧の上昇に伴って上方向に撓む例で説明したが、電極６１１、６１２に供給する電圧を逆転させると、圧電素子６０は、電圧の上昇に伴って下方向に撓むことになる。このため、圧電素子６０が、電圧の上昇に伴って下方向に撓む構成では、図９に例示した駆動信号ＣＯＭ−Ａ、ＣＯＭ−Ｂが、電圧Ｖｃを基準に反転した波形となる。
【０１０９】
このように本実施形態において、印刷媒体Ｐに対して１ドットは単位期間である周期Ｔａを単位として形成される。このため、周期Ｔａにおいて（最多で）２回のインク滴の吐出により１ドットを形成する本実施形態では、インクの吐出周波数ｆは２／Ｔａとなり、ドット間隔Ｄは、ヘッドユニット２０が移動する速度ｖを、インクの吐出周波数ｆ（＝２／Ｔａ）で除した値となる。
【０１１０】
一般に、単位期間Ｔにおいてインク滴がＱ（Ｑは２以上の整数）回吐出可能であって、当該Ｑ回のインク滴の吐出で１ドットが形成される場合、インクの吐出周波数ｆはＱ／Ｔと表すことができる。
【０１１１】
本実施形態のように、印刷媒体Ｐに異なるサイズのドットを形成する場合の方が、１回のインク滴の吐出で１ドットを形成する場合と比較して、１ドットを形成するために要する時間（周期）が同じでも、１回のインク滴を１回吐出するため時間を短くする必要がある。
【０１１２】
なお、２以上のインク滴を結合させないで２以上のドットを形成する第３方法については、特段の説明は要しないであろう。
【０１１３】
２．駆動回路の回路構成
続いて、駆動回路５０−ａ、５０−ｂについて説明する。このうち、一方の駆動回路５０−ａについて概略すると、次のようにして駆動信号ＣＯＭ−Ａを生成する。すなわち、駆動回路５０−ａは、第１に、制御部１００から供給されるデータｄＡをアナログ変換し、第２に、出力の駆動信号ＣＯＭ−Ａを帰還するとともに、当該駆動信号ＣＯＭ−Ａに基づく信号（減衰信号）と目標信号との偏差を、当該駆動信号ＣＯＭ−Ａの高周波成分で補正して、当該補正した信号にしたがって変調信号を生成し、第３に、当該変調信号にしたがってトランジスターをスイッチングすることによって増幅変調信号を生成し、第４に、当該増幅変調信号をローパスフィルターで平滑化（復調）して、当該平滑化した信号を駆動信号ＣＯＭ−Ａとして出力する。
【０１１４】
他方の駆動回路５０−ｂについても同様な構成であり、データｄＢから駆動信号ＣＯＭ−Ｂを出力する点についてのみ異なる。そこで以下の図１０においては、駆動回路５０−ａ、５０−ｂについて区別しないで、駆動回路５０として説明する。
【０１１５】
ただし、入力されるデータや出力される駆動信号については、ｄＡ（ｄＢ）、ＣＯＭ−Ａ（ＣＯＭ−Ｂ）などと表記して、駆動回路５０−ａの場合には、データｄＡを入力して駆動信号ＣＯＭ−Ａを出力し、駆動回路５０−ｂの場合には、データｄＢを入力して駆動信号ＣＯＭ−Ｂを出力する、ということを表すことにする。
【０１１６】
図１０は、駆動回路（容量性負荷駆動回路）５０の回路構成を示す図である。
【０１１７】
なお、図１０では、駆動信号ＣＯＭ−Ａを出力するための構成を示しているが、集積回路装置５００については、実際には、２系統の駆動信号ＣＯＭ−ＡおよびＣＯＭ−Ｂの双方を生成するための回路が１個にパッケージ化されている。
【０１１８】
図１０に示されるように、駆動回路５０は、集積回路装置（容量性負荷駆動用集積回路装置）５００や、出力回路５５０のほか、抵抗やコンデンサーなどの各種素子から構成される。
【０１１９】
本実施形態における駆動回路５０は、源信号に基づいて元駆動信号を生成する元駆動信号生成部（ＤＡＣ（Digital to Analog Converter）５１１）と、元駆動信号に基づいて駆動信号を生成する駆動信号生成部（変調部５１０、ゲートドライバー５２０および出力回路５５０）と、基準電圧生成部５８０と、を備えている。変調部５１０は、元駆動信号をパルス変調した変調信号を生成する。ゲートドライバー５２０は、変調信号に基づいて、増幅制御信号を生成する。出力回路５５０は、増幅制御信号に基づいて、変調信号が増幅された増幅変調信号を生成するトランジスター（第１トランジスターＭ１および第２トランジスターＭ２）と、増幅変調信号を復調して駆動信号を生成するローパスフィルター
５６０と、を備えている。また、駆動回路５０は、駆動信号を変調部５１０に帰還する帰還回路（第１帰還回路５７０および第２帰還回路５７２）や、圧電素子６０の駆動信号が印加される端子と異なる端子に信号を印加する第１電源部５３０を備えていてもよい。
【０１２０】
本実施形態における集積回路装置５００は、変調部５１０と、ゲートドライバー５２０と、を備えている。
【０１２１】
集積回路装置５００は、制御部１００から端子Ｄ０〜Ｄ９を介して入力した１０ビットのデータｄＡ（源信号）に基づいて、第１トランジスターＭ１および第２トランジスターＭ２のそれぞれにゲート信号（増幅制御信号）を出力するものである。このため、集積回路装置５００は、ＤＡＣ５１１と、加算器５１２、加算器５１３と、コンパレーター５１４と、積分減衰器５１６、減衰器５１７と、インバーター５１５と、第１ゲートドライバー５２１、第２ゲートドライバー５２２と、第１電源部５３０と、昇圧回路５４０と、基準電圧生成部５８０と、を含む。
【０１２２】
基準電圧生成部５８０は、調整信号に基づいて調整された第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶ（高電圧側基準電圧）と第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶ（低電圧側基準電圧）とを生成し、ＤＡＣ５１１に供給する。
【０１２３】
ＤＡＣ５１１は、駆動信号ＣＯＭ−Ａの波形を規定するデータｄＡを、第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶと第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶとの間の電圧の元駆動信号Ａａに変換し、加算器５１２の入力端（＋）に供給する。なお、この元駆動信号Ａａの電圧振幅は、その最大値および最小値がそれぞれ第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶおよび第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶで決まり（例えば１〜２Ｖ程度）、この電圧を増幅したものが、駆動信号ＣＯＭ−Ａとなる。つまり、元駆動信号Ａａは、駆動信号ＣＯＭ−Ａの増幅前の目標となる信号である。
【０１２４】
積分減衰器５１６は、端子Ｖｆｂを介して入力した端子Ｏｕｔの電圧、すなわち、駆動信号ＣＯＭ−Ａを減衰するとともに、積分して、加算器５１２の入力端（−）に供給する。
【０１２５】
加算器５１２は、入力端（＋）の電圧から入力端（−）の電圧を差し引いて積分した電圧の信号Ａｂを加算器５１３の入力端（＋）に供給する。
【０１２６】
なお、ＤＡＣ５１１からインバーター５１５までに至る回路の電源電圧は、低振幅の３．３Ｖ（電源端子Ｖｄｄから供給される電圧Ｖｄｄ）である。このため、元駆動信号Ａａの電圧が最大でも２Ｖ程度であるのに対し、駆動信号ＣＯＭ−Ａの電圧が最大で４０Ｖを超える場合があるので、偏差を求めるにあたって両電圧の振幅範囲を合わせるため、駆動信号ＣＯＭ−Ａの電圧を積分減衰器５１６によって減衰させている。
【０１２７】
減衰器５１７は、端子Ｉｆｂを介して入力した駆動信号ＣＯＭ−Ａの高周波成分を減衰して、加算器５１３の入力端（−）に供給する。加算器５１３は、入力端（＋）の電圧から入力端（−）の電圧を減算した電圧の信号Ａｓを、コンパレーター５１４に供給する。減衰器５１７による減衰は、積分減衰器５１６と同様に、駆動信号ＣＯＭ−Ａを帰還するにあたって、振幅を合わせるためである。
【０１２８】
加算器５１３から出力される信号Ａｓの電圧は、元駆動信号Ａａの電圧から、端子Ｖｆｂに供給された信号の減衰電圧を差し引いて、端子Ｉｆｂに供給された信号の減衰電圧を減算した電圧である。このため、加算器５１３による信号Ａｓの電圧は、目標である元駆動信号Ａａの電圧から、端子Ｏｕｔから出力される駆動信号ＣＯＭ−Ａの減衰電圧を指し引いた偏差を、当該駆動信号ＣＯＭ−Ａの高周波成分で補正した信号ということができる
。
【０１２９】
コンパレーター５１４は、加算器５１３による減算電圧に基づいて、次のようにパルス変調した変調信号Ｍｓを出力する。詳細には、コンパレーター５１４は、加算器５１３から出力される信号Ａｓが電圧上昇時であれば、電圧閾値Ｖｔｈ１以上になったときにＨレベルとなり、信号Ａｓが電圧下降時であれば、電圧閾値Ｖｔｈ２を下回ったときにＬレベルとなる変調信号Ｍｓを出力する。なお、後述するように、電圧閾値は、
Ｖｔｈ１＞Ｖｔｈ２
という関係に設定されている。
【０１３０】
コンパレーター５１４による変調信号Ｍｓは、インバーター５１５による論理反転を経て、第２ゲートドライバー５２２に供給される。一方、第１ゲートドライバー５２１には、論理反転を経ることなく変調信号Ｍｓが供給される。このため、第１ゲートドライバー５２１と第２ゲートドライバー５２２に供給される論理レベルは互いに排他的な関係にある。
【０１３１】
第１ゲートドライバー５２１および第２ゲートドライバー５２２に供給される論理レベルは、実際には、同時にＨレベルとはならないように（第１トランジスターＭ１および第２トランジスターＭ２が同時にオンしないように）、タイミング制御してもよい。このため、ここでいう排他的とは、厳密にいえば、同時にＨレベルになることがない（第１トランジスターＭ１および第２トランジスターＭ２が同時にオンすることがない）、という意味である。
【０１３２】
ところで、ここでいう変調信号は、狭義には、変調信号Ｍｓであるが、元駆動信号Ａａに応じてパルス変調したものと考えれば、変調信号Ｍｓの否定信号も変調信号に含まれる。すなわち、元駆動信号Ａａに応じてパルス変調した変調信号には、変調信号Ｍｓのみならず、当該変調信号Ｍｓの論理レベルを反転させたものや、タイミング制御されたものが含まれる。
【０１３３】
なお、コンパレーター５１４が変調信号Ｍｓを出力するので、当該コンパレーター５１４またはインバーター５１５にいたるまでの回路、すなわち、加算器５１２、加算器５１３と、コンパレーター５１４と、インバーター５１５と、積分減衰器５１６と、減衰器５１７と、が変調信号を生成する変調部５１０に相当する。
【０１３４】
第１ゲートドライバー５２１は、コンパレーター５１４の出力信号である低論理振幅を高論理振幅にレベルシフトして、端子Ｈｄｒから出力する。第１ゲートドライバー５２１の電源電圧のうち、高位側は、端子Ｂｓｔを介して印加される電圧であり、低位側は、端子Ｓｗを介して印加される電圧である。端子Ｂｓｔは、コンデンサーＣ５の一端および逆流防止用のダイオードＤ１０のカソード電極に接続される。端子Ｓｗは、第１トランジスターＭ１におけるソース電極、第２トランジスターＭ２におけるドレイン電極、コンデンサーＣ５の他端、および、インダクターＬ１の一端に接続される。ダイオードＤ１０のアノード電極は、端子Ｇｖｄに接続され、昇圧回路３４０が出力する電圧Ｖｍ（例えば７．５Ｖ）が印加される。したがって、端子Ｂｓｔと端子Ｓｗとの電位差は、コンデンサーＣ５の両端の電位差、すなわち電圧Ｖｍ（例えば７．５Ｖ）におよそ等しい。
【０１３５】
第２ゲートドライバー５２２は、第１ゲートドライバー５２１よりも低電位側で動作する。第２ゲートドライバー５２２は、インバーター５１５の出力信号である低論理振幅（Ｌレベル：０Ｖ、Ｈレベル：３．３Ｖ）を高論理振幅（例えばＬレベル：０Ｖ、Ｈレベル：７．５Ｖ）にレベルシフトして、端子Ｌｄｒから出力する。第２ゲートドライバー５２２の電源電圧のうち、高位側として、電圧Ｖｍ（例えば７．５Ｖ）が印加され、低位側と
して、グラウンド端子Ｇｎｄを介して電圧ゼロが印加される、すなわちグラウンド端子Ｇｎｄはグラウンドに接地される。また、端子Ｇｖｄは、ダイオードＤ１０のアノード電極に接続される。
【０１３６】
第１トランジスターＭ１および第２トランジスターＭ２は、例えばＮチャンネル型のＦＥＴ（Field Effect Transistor）である。このうち、ハイサイドの第１トランジスターＭ１において、ドレイン電極には、電圧Ｖｈ（例えば４２Ｖ）が印加され、ゲート電極が、抵抗Ｒ１を介して端子Ｈｄｒに接続される。ローサイドの第２トランジスターＭ２については、ゲート電極が、抵抗Ｒ２を介して端子Ｌｄｒに接続され、ソース電極が、グラウンドに接地されている。
【０１３７】
したがって、第１トランジスターＭ１がオフ、第２トランジスターＭ２がオンの時は、端子Ｓｗの電圧は０Ｖとなり、端子Ｂｓｔには電圧Ｖｍ（例えば７．５Ｖ）が印加される。一方、第１トランジスターＭ１がオン、第２トランジスターＭ２がオフの時は、端子ＳｗにはＶｈ（例えば４２Ｖ）が印加され、端子ＢｓｔにはＶｈ＋Ｖｍ（例えば４９．５Ｖ）が印加される。
【０１３８】
すなわち、第１ゲートドライバー５２１は、コンデンサーＣ５をフローティング電源として、第１トランジスターＭ１および第２トランジスターＭ２の動作に応じて、基準電位（端子Ｓｗの電位）が０Ｖ又はＶｈ（例えば４２Ｖ）に変化するので、Ｌレベルが０ＶかつＨレベルがＶｍ（例えば７．５Ｖ）またはＬレベルがＶｈ（例えば４２Ｖ）かつＨレベルがＶｈ＋Ｖｍ（例えば４９．５Ｖ）の増幅制御信号を出力する。これに対して、第２ゲートドライバー５２２は、第１トランジスターＭ１および第２トランジスターＭ２の動作に関係なく、基準電位（端子Ｇｎｄの電位）が０Ｖに固定されるので、Ｌレベルが０ＶかつＨレベルがＶｍ（例えば７．５Ｖ）の増幅制御信号を出力する。
【０１３９】
インダクターＬ１の他端は、この駆動回路５０で出力となる端子Ｏｕｔであり、当該端子Ｏｕｔから駆動信号ＣＯＭ−Ａが、ヘッドユニット２０に、フレキシブルケーブル１９０（図１および図２参照）を介して供給される。
【０１４０】
端子Ｏｕｔは、コンデンサーＣ１の一端と、コンデンサーＣ２の一端と、抵抗Ｒ３の一端と、にそれぞれ接続される。このうち、コンデンサーＣ１の他端は、グラウンドに接地されている。このため、インダクターＬ１とコンデンサーＣ１とは、第１トランジスターＭ１と第２トランジスターＭ２との接続点に現れる増幅変調信号を平滑化するローパスフィルター（Low Pass Filter）として機能する。
【０１４１】
抵抗Ｒ３の他端は、端子Ｖｆｂおよび抵抗Ｒ４の一端に接続され、当該抵抗Ｒ４の他端には電圧Ｖｈが印加される。これにより、端子Ｖｆｂには、端子Ｏｕｔから第１帰還回路５７０（抵抗Ｒ３、抵抗Ｒ４で構成される回路）を通過した駆動信号ＣＯＭ−Ａがプルアップされて帰還されることになる。
【０１４２】
一方、コンデンサーＣ２の他端は、抵抗Ｒ５の一端と抵抗Ｒ６の一端とに接続される。このうち、抵抗Ｒ５の他端はグラウンドに接地される。このため、コンデンサーＣ２と抵抗Ｒ５とは、端子Ｏｕｔからの駆動信号ＣＯＭ−Ａのうち、カットオフ周波数以上の高周波成分を通過させるハイパスフィルター（High Pass Filter）として機能する。なお、ハイパスフィルターのカットオフ周波数は、例えば約９ＭＨｚに設定される。
【０１４３】
また、抵抗Ｒ６の他端は、コンデンサーＣ４の一端とコンデンサーＣ３の一端とに接続される。このうち、コンデンサーＣ３の他端はグラウンドに接地される。このため、抵抗Ｒ６とコンデンサーＣ３とは、上記ハイパスフィルターを通過した信号成分のうち、カッ
トオフ周波数以下の低周波成分を通過させるローパスフィルター（Low Pass Filter）として機能する。なお、ＬＰＦのカットオフ周波数は、例えば約１６０ＭＨｚに設定される。
【０１４４】
上記ハイパスフィルターのカットオフ周波数は、上記ローパスフィルターのカットオフ周波数よりも低く設定されているので、ハイパスフィルターとローパスフィルターとは、駆動信号ＣＯＭ−Ａのうち、所定の周波数域の高周波成分を通過させるバンドパスフィルター（Band Pass Filter）として機能する。
【０１４５】
コンデンサーＣ４の他端は、集積回路装置５００の端子Ｉｆｂに接続される。これにより、端子Ｉｆｂには、上記バンドパスフィルターとして機能する第２帰還回路５７２（コンデンサーＣ２、抵抗Ｒ５、抵抗Ｒ６、コンデンサーＣ３およびコンデンサーＣ４で構成される回路）を通過した駆動信号ＣＯＭ−Ａの高周波成分のうち、直流成分がカットされて帰還されることになる。
【０１４６】
ところで、端子Ｏｕｔから出力される駆動信号ＣＯＭ−Ａは、第１トランジスターＭ１と第２トランジスターＭ２との接続点（端子Ｓｗ）における増幅変調信号を、インダクターＬ１およびコンデンサーＣ１からなるローパスフィルターによって平滑化した信号である。この駆動信号ＣＯＭ−Ａは、端子Ｖｆｂを介して積分・減算された上で、加算器５１２に帰還されるので、帰還の遅延（インダクターＬ１およびコンデンサーＣ１の平滑化による遅延と、積分減衰器５１６による遅延と、の和）と、帰還の伝達関数で定まる周波数で自励発振することになる。
【０１４７】
ただし、端子Ｖｆｂを介した帰還経路の遅延量が大であるために、当該端子Ｖｆｂを介した帰還のみでは、自励発振の周波数を、駆動信号ＣＯＭ−Ａの精度を十分に確保できるほど高くすることができない場合がある。
【０１４８】
そこで、本実施形態では、端子Ｖｆｂを介した経路とは別に、端子Ｉｆｂを介して、駆動信号ＣＯＭ−Ａの高周波成分を帰還する経路を設けることによって、回路全体でみたときの遅延を小さくしている。このため、信号Ａｂに、駆動信号ＣＯＭ−Ａの高周波成分を加算した信号Ａｓの周波数は、端子Ｉｆｂを介した経路が存在しない場合と比較して、駆動信号ＣＯＭ−Ａの精度を十分に確保できるほど高くなる。
【０１４９】
図１１は、信号Ａｓと変調信号Ｍｓとの波形を、元駆動信号Ａａとの波形と関連付けて示す図である。
【０１５０】
この図に示されるように、信号Ａｓは三角波であり、その発振周波数は、元駆動信号Ａａの電圧（入力電圧）に応じて変動する。具体的には、入力電圧が中間値である場合に最も高くなり、入力電圧が中間値から高くなるにつれて、または、低くなるにつれて低くなる。
【０１５１】
また、信号Ａｓにおいて三角波の傾斜は、入力電圧が中間値付近であれば、上り（電圧の上昇）と下り（電圧の下降）とでほぼ等しくなる。このため、信号Ａｓをコンパレーター５１４によって電圧閾値Ｖｔｈ１、Ｖｔｈ２と比較した結果である変調信号Ｍｓのデューティー比は、ほぼ５０％となる。入力電圧が中間値から高くなると、信号Ａｓの下りの傾斜が緩くなる。このため、変調信号ＭｓがＨレベルとなる期間が相対的に長くなって、デューティー比が大きくなる。一方、入力電圧が中間値から低くなるにつれて、信号Ａｓの上りの傾斜が緩くなる。このため、変調信号ＭｓがＨレベルとなる期間が相対的に短くなって、デューティー比が小さくなる。
【０１５２】
このため、変調信号Ｍｓは、次のようなパルス密度変調信号となる。すなわち、変調信号Ｍｓのデューティー比は、入力電圧の中間値でほぼ５０％であり、入力電圧が中間値よりも高くなるにつれて大きくなり、入力電圧が中間値よりも低くなるにつれて小さくなる。
【０１５３】
第１ゲートドライバー５２１は、変調信号Ｍｓに基づいて第１トランジスターＭ１をオン／オフさせる。すなわち、第１ゲートドライバー５２１は、第１トランジスターＭ１を、変調信号ＭｓがＨレベルであればオンさせ、変調信号ＭｓがＬレベルであればオフさせる。第２ゲートドライバー５２２は、変調信号Ｍｓの論理反転信号に基づいて第２トランジスターＭ２をオン／オフさせる。すなわち、第２ゲートドライバー５２２は、第２トランジスターＭ２を、変調信号ＭｓがＨレベルであればオフさせ、変調信号ＭｓがＬレベルであればオンさせる。
【０１５４】
したがって、第１トランジスターＭ１と第２トランジスターＭ２の接続点における増幅変調信号をインダクターＬ１およびコンデンサーＣ１で平滑化した駆動信号ＣＯＭ−Ａの電圧は、変調信号Ｍｓのデューティー比が大きくなるにつれて高くなり、デューティー比が小さくなるにつれて低くなるので、結果的に、駆動信号ＣＯＭ−Ａは、元駆動信号Ａａの電圧を拡大した信号となるように制御されて、出力されることになる。
【０１５５】
この駆動回路５０は、パルス密度変調を用いているので、変調周波数が固定のパルス幅変調と比較して、デューティー比の変化幅を大きく取れる、という利点がある。
【０１５６】
すなわち、回路全体で扱うことができる最小の正パルス幅と負パルス幅はその回路特性で制約されるので、周波数固定のパルス幅変調では、デューティー比の変化幅として所定の範囲（例えば１０％から９０％までの範囲）しか確保できない。これに対し、パルス密度変調では、入力電圧が中間値から離れるにつれて、発振周波数が低くなるため、入力電圧が高い領域においては、デューティー比をより大きくすることができ、また、入力電圧が低い領域においては、デューティー比をより小さくすることができる。このため、自励発振型パルス密度変調では、デューティー比の変化幅として、より広い範囲（例えば５％から９５％までの範囲）を確保することができるのである。
【０１５７】
また、駆動回路５０は、自励発振であり、他励発振のように高い周波数の搬送波を生成する回路が不要である。このため、高電圧を扱う回路以外の、すなわち集積回路装置５００の部分の、集積化が容易である、という利点がある。
【０１５８】
加えて、駆動回路５０では、駆動信号ＣＯＭ−Ａの帰還経路として、端子Ｖｆｂを介した経路だけでなく、端子Ｉｆｂを介して高周波成分を帰還する経路があるので、回路全体でみたときの遅延が小さくなる。このため、自励発振の周波数が高くなるので、駆動回路５０は、駆動信号ＣＯＭ−Ａを精度良く生成することが可能になる。
【０１５９】
図１０に戻り、図１０に示される例では、抵抗Ｒ１、抵抗Ｒ２、第１トランジスターＭ１、第２トランジスターＭ２、コンデンサーＣ５、ダイオードＤ１０およびローパスフィルター５６０は、変調信号に基づいて増幅制御信号を生成し、増幅制御信号に基づいて駆動信号を生成して容量性負荷（圧電素子６０）に出力する出力回路５５０として構成されている。
【０１６０】
第１電源部５３０は、圧電素子６０の駆動信号が印加される端子と異なる端子に信号を印加する。第１電源部５３０は、例えば、バンドギャップ・リファレンス回路のような定電圧回路で構成される。第１電源部５３０は、電圧ＶＢＳを端子ＶＢＳから出力する。図１０に示される例では、第１電源部５３０は、グラウンド端子Ｇｎｄのグラウンド電位を
基準として電圧ＶＢＳを生成する。
【０１６１】
昇圧回路５４０は、ゲートドライバー５２０に電源供給する。図１０に示される例では、昇圧回路５４０は、グラウンド端子Ｇｎｄのグラウンド電位を基準として電源端子Ｖｄｄから供給される電圧Ｖｄｄを昇圧し、第２ゲートドライバー５２２の高電位側の電源電圧となる電圧Ｖｍを生成する。昇圧回路５４０は、チャージポンプ回路やスイッチングレギュレーターなどで構成することができるが、チャージポンプ回路で構成した方が、スイッチングレギュレーターで構成する場合に比べて、ノイズの発生を抑制できる。そのため、駆動回路５０は、駆動信号ＣＯＭ−Ａをより精度良く生成することが可能になり、圧電素子６０に印加される電圧を高精度に制御できるので、液体の吐出精度を向上させることができる。また、ゲートドライバー５２０の電源生成部をチャージポンプ回路で構成することで小型化したため集積回路装置５００に搭載可能となり、ゲートドライバー５２０の電源生成部を集積回路装置５００の外部に構成した場合と比較して、駆動回路５０の回路面積を全体として大幅に削減することができる。
【０１６２】
図１２は、基準電圧生成部５８０の回路構成を示す図である。図１２に示されるように、基準電圧生成部５８０は、抵抗５８１Ａと、２Ｎ個の抵抗５８１Ｈと、抵抗５８１Ｂと、２Ｍ個の抵抗５８１Ｌと、抵抗５８１Ｃと、２Ｎ個のスイッチ５８２Ｈと、２Ｍ個のスイッチ５８２Ｌと、オペアンプ５８３Ｈと、オペアンプ５８３Ｌと、デコーダー５８４と、モード設定部５８５と、レジスターブロック５８６と、ヒューズ回路５８７とを備えている。
【０１６３】
図１２に示されるように、一定電圧ＶＲＥＦとグラウンドとの間に、ＶＲＥＦ側から順に、抵抗５８１Ａ、２Ｎ個の抵抗５８１Ｈ、抵抗５８１Ｂ、２Ｍ個の抵抗５８１Ｌ、抵抗５８１Ｃが、直列に接続されている。
【０１６４】
２Ｎ個の抵抗５８１Ｈの抵抗値は同じであり、２Ｎ個の抵抗５８１Ｈの各々の両端には抵抗分割された同じ電圧Ｖ１が発生する。同様に、２Ｍ個の抵抗５８１Ｌの抵抗値は同じであり、２Ｍ個の抵抗５８１Ｌの各々の両端には抵抗分割された同じ電圧Ｖ２が発生する。
【０１６５】
抵抗５８１Ａは、２Ｎ個の抵抗５８１ＨのうちＶＲＥＦ側に最も近い抵抗５８１Ｈの高電位側の電位ＨＶｍａｘを決定するための抵抗である。抵抗５８１Ｂは、２Ｎ個の抵抗５８１Ｈのうちグラウンド側に最も近い抵抗５８１Ｈの高電位側の電位ＨＶｍｉｎおよび２Ｍ個の抵抗５８１ＬのうちＶＲＥＦ側に最も近い抵抗５８１Ｌの低電位側の電位ＬＶｍａｘを決定するための抵抗である。抵抗５８１Ｃは、２Ｍ個の抵抗５８１Ｌのうちグラウンド側に最も近い抵抗５８１Ｌの低電位側の電位ＬＶｍｉｎを決定するための抵抗である。
【０１６６】
２Ｎ個の抵抗５８１Ｈの各々の高電位側の端子には、２Ｎ個のスイッチ５８２Ｈの各々の一端が接続されており、２Ｎ個のスイッチ５８２Ｈの各々の他端は、オペアンプ５８３Ｈの非反転入力端子（＋）に接続されている。また、オペアンプ５８３Ｈの反転入力端子（−）と出力端子とが接続されており、オペアンプ５８３Ｈは、非反転入力端子（＋）に入力された信号を出力端子から出力するボルテージフォロワーとして機能する。このオペアンプ５８３Ｈの出力電圧は、第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶとしてＤＡＣ５１１に供給される。
【０１６７】
２Ｍ個の抵抗５８１Ｌの各々の低電位側の端子には、２Ｍ個のスイッチ５８２Ｌの各々の一端が接続されており、２Ｍ個のスイッチ５８２Ｌの各々の他端は、オペアンプ５８３Ｌの非反転入力端子（＋）に接続されている。また、オペアンプ５８３Ｌの反転入力端子（−）と出力端子とが接続されており、オペアンプ５８３Ｌは、非反転入力端子（＋）に
入力された信号を出力端子から出力するボルテージフォロワーとして機能する。このオペアンプ５８３Ｌの出力電圧は、第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶとしてＤＡＣ５１１に供給される。
【０１６８】
デコーダー５８４は、Ｎビットの調整信号ＴＲＩＭ＿ＨＶをデコードし、２Ｎ個のスイッチ５８２Ｈのいずれか１つをオンしてその他をオフする２Ｎ本の制御信号を出力する。したがって、オペアンプ５８３Ｈの非反転入力端子（＋）は、Ｎビットの調整信号ＴＲＩＭ＿ＨＶに応じて、２Ｎ個の抵抗５８１Ｈのいずれか１つの高電位側の端子と接続される。すなわち、Ｎビットの調整信号ＴＲＩＭ＿ＨＶの設定を変えることで、第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶとして、ＨＶｍｉｎ〜ＨＶｍａｘの範囲でＶ１間隔の電圧を選択可能となる。
【０１６９】
同様に、デコーダー５８４は、Ｍビットの調整信号ＴＲＩＭ＿ＬＶをデコードし、２Ｍ個のスイッチ５８２Ｌのいずれか１つをオンしてその他をオフする２Ｍ本の制御信号を出力する。したがって、オペアンプ５８３Ｌの非反転入力端子（＋）は、Ｍビットの調整信号ＴＲＩＭ＿ＬＶに応じて、２Ｍ個の抵抗５８１Ｌのいずれか１つの低電位側の端子と接続される。すなわち、Ｍビットの調整信号ＴＲＩＭ＿ＬＶの設定を変えることで、第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶとして、ＬＶｍｉｎ〜ＬＶｍａｘの範囲でＶ２間隔の電圧を選択可能となる。
【０１７０】
モード設定部５８５は、通常動作モードおよびトリミングモードを含む複数の動作モードのうちのいずれかを設定し、Ｎビットの調整信号ＴＲＩＭ＿ＨＶとして、トリミングモード設定時はレジスターブロック５８６に含まれるＮビットのＤＡＣ＿ＨＶ調整用レジスター（不図示）の設定値を出力し、通常モードを含むその他の動作モードを設定した時はヒューズ回路５８７が出力するＮビットのＤＡＣ＿ＨＶ設定信号を出力する。同様に、モード設定部５８５は、Ｍビットの調整信号ＴＲＩＭ＿ＬＶとして、トリミングモード設定時はレジスターブロック５８６に含まれるＭビットのＤＡＣ＿ＬＶ調整用レジスター（不図示）の設定値を出力し、通常モードを含むその他の動作モードを設定した時はヒューズ回路５８７が出力するＭビットのＤＡＣ＿ＬＶ設定信号を出力する。モード設定部５８５は、集積回路装置５００の外部からの信号に基づいて動作モードを設定してもよい。
【０１７１】
レジスターブロック５８６に含まれる各レジスターは、集積回路装置５００の外部からの信号によって設定値の変更が可能になっている。
【０１７２】
ヒューズ回路５８７は、ＤＡＣ＿ＨＶ設定信号の各ビットを変更可能とするためのＮ個のヒューズ（不図示）と、ＤＡＣ＿ＬＶ設定信号の各ビットを変更可能とするためのＭ個のヒューズ（不図示）とを備えている。各ヒューズを切断することにより、対応するビット信号の論理が反転する。
【０１７３】
このように構成された基準電圧生成部５８０により、例えば、集積回路装置５００の検査工程等において、検査装置が、集積回路装置５００をトリミングモードに設定し、外部からＤＡＣ＿ＨＶ調整用レジスターの設定値を書き換えながら、第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶを１／Ｖ１の分解能で調整することができる。同様に、検査装置は、外部からＤＡＣ＿ＬＶ調整用レジスターの設定値を書き換えながら、第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶを１／Ｖ２の分解能で調整することができる。そして、調整結果に応じたヒューズ回路５８７のヒューズが切断され、その後は、集積回路装置５００に電源が供給されると通常動作モードにおいて、ヒューズ回路５８７からＤＡＣ＿ＨＶ設定信号とＤＡＣ＿ＬＶ設定信号がデコーダー５８４に供給され、調整された第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶおよび第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶがＤＡＣ５１１に供給される。
【０１７４】
ところで、第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶの調整分解能１／Ｖ１や第２基準電圧ＤＡＣ＿Ｌ
Ｖの調整分解能１／Ｖ２が低いほど、ＤＡＣ５１１が出力する元駆動信号の電圧精度が低下し、その結果、駆動信号の波形精度（すなわち吐出精度）が低下する。一方、調整分解能１／Ｖ１や調整分解能１／Ｖ２が高いほど、トリミングに要する時間が長くなり、かつ、基準電圧生成部５８０が有する抵抗５８１Ｈ、抵抗５８１Ｌ、スイッチ５８２Ｈ、スイッチ５８２Ｌの数が増加するため、コストアップにつながる。したがって、調整分解能１／Ｖ１や調整分解能１／Ｖ２を適切に選択することが重要になるが、従来は、主に、駆動信号の波形精度の低下を回避する観点から調整分解能１／Ｖ１や調整分解能１／Ｖ２が選択されており、かつ、１／Ｖ１＝１／Ｖ２（すなわちＶ１＝Ｖ２）であった。しかしながら、圧電素子６０の変位特性を考慮するとＶ１＝Ｖ２とすることが最適とは言えない。
【０１７５】
図１３に、圧電素子６０に印加される電圧Ｖｏｕｔ（駆動信号の電圧）と変位量Ｘとの関係（電圧−変位特性）の一例を示す。図１３において、ＶＨは、ＤＡＣ５１１の入力データｄＡ（ｄＢ）が最大値１０２３（Ｄ０〜Ｄ９がすべて１）の時に要求される駆動信号ＣＯＭ＿Ａ（ＣＯＭ＿Ｂ）の電圧Ｖｏｕｔの値であり、ＶＬは、ＤＡＣ５１１の入力データｄＡ（ｄＢ）が最小値０（Ｄ０〜Ｄ９がすべて０）の時に要求される駆動信号ＣＯＭ＿Ａ（ＣＯＭ＿Ｂ）の電圧Ｖｏｕｔの値である。なお、圧電素子６０の両端の電位差はＶｏｕｔ−ＶＢＳである。
【０１７６】
図１３に示されるように、Ｖｏｕｔ＝ＶＨにおける接線ＹＨの傾き（感度）は、Ｖｏｕｔ＝ＶＬにおける接線ＹＬの傾き（感度）よりも小さい。したがって、ＶＨ付近では、ＶＬ付近と比較して電圧Ｖｏｕｔの変化に対して圧電素子６０の変位量の変化が小さく、ＶＨの誤差の許容範囲は、ＶＬの誤差の許容範囲よりも大きいと言える。そして、ＶＨは第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶで決まり（第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶと一致し）、ＶＬは第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶで決まる（第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶと一致する）ので、第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶの調整分解能１／Ｖ１は第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶの調整分解能１／Ｖ２よりも低くてもよいことを意味する。
【０１７７】
そこで、本実施形態では、圧電素子６０の変位特性を考慮し、第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶの調整分解能１／Ｖ１は第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶの調整分解能１／Ｖ２よりも低くなっている。したがって、例えば、第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶの調整可能な範囲（ＨＶｍｉｎ〜ＨＶｍａｘ）と第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶの調整可能な範囲（ＬＶｍｉｎ〜ＬＶｍａｘ）とが同じであるものと仮定し、調整分解能１／Ｖ１を調整分解能１／Ｖ２の１／２（すなわち、Ｖ１＝２×Ｖ２）とすると、調整信号ＴＲＩＭ＿ＬＨのビット数Ｎは調整信号ＴＲＩＭ＿ＬＶのビット数Ｍの１／２でよい。このことは、従来のようにＶ１＝Ｖ２（すなわちＮ＝Ｍ）とした場合と比較して、吐出精度を維持しながら、２Ｎ個のスイッチ５８２Ｈ、ＤＡＣ＿ＨＶ調整用レジスターおよびＮ個のヒューズに必要な回路面積を削減可能であるとともに、第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶの調整時間を短縮可能であることを意味する。
【０１７８】
３．液体吐出装置の製造方法
続いて、液体吐出装置１の製造方法について説明する。図１４は、液体吐出装置１の製造方法の一例を示すフローチャート図である。
【０１７９】
図１４に示されるように、まず、集積回路装置５００を用意する（Ｓ１）。例えば、集積回路装置５００を製造してもよいし、既存の集積回路装置５００を購入する等して用意してもよい。集積回路装置５００はウェハー上に形成されたものでもよいし、パッケージ化されたものでもよい。
【０１８０】
次に、集積回路装置５００を検査装置に接続し、ＤＡＣ５１１のトリミングを行う（Ｓ２）。なお、ステップＳ１において、集積回路装置５００を製造した場合などは、工程Ｓ
２の前あるいは後に、集積回路装置５００に対して、ＤＡＣ５１１のトリミング以外の各種検査を行ってもよい。
【０１８１】
次に、プリント基板上で、集積回路装置５００と外付け部品（抵抗Ｒ１〜Ｒ６、コンデンサーＣ１〜Ｃ５、インダクターＬ１、ダイオードＤ１０、トランジスターＭ１，Ｍ２など）とを接続し、駆動回路５０を実装する（Ｓ３）。なお、工程Ｓ３の後に、工程Ｓ３で実装した駆動回路５０の各種検査を行ってもよい。
【０１８２】
次に、上述した制御ユニット１０とヘッドユニット２０を組み立てる（Ｓ４）。なお、工程Ｓ４の後に、工程Ｓ４で組み立てた制御ユニット１０やヘッドユニット２０の各種検査を行ってもよい。
【０１８３】
最後に、液体吐出装置１を組み立てる（Ｓ５）。なお、工程Ｓ５の後に、工程Ｓ５で組み立てた液体吐出装置１の各種検査を行ってもよい。
【０１８４】
次に、図１４の工程Ｓ３で行うＤＡＣ５１１のトリミングの方法（第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶ及び第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶの調整方法）について説明する。図１５は、ＤＡＣ５１１のトリミングを行うためのシステム構成図であり、図１５に示されるように、集積回路装置５００にＩＣテスター７００（検査装置）が接続されている。
【０１８５】
ＩＣテスター７００は、集積回路装置５００のモード設定用の所定の端子（図１０では不図示）にモード設定データを供給する。このモード設定データは、通常動作モードおよびトリミングモードを含む複数の動作モードのうちのいずれかのモードに設定するためのデータであり、集積回路装置５００は、当該所定の端子からモード設定データが入力されると、基準電圧生成部５８０のモード設定部５８５が指定された動作モードを設定する。
【０１８６】
また、ＩＣテスター７００は、集積回路装置５００のレジスター設定用の所定の端子（図１０では不図示）にレジスター設定データを供給する。このレジスター設定データは、ＤＡＣ＿ＬＶ調整用レジスターの設定データまたはＤＡＣ＿ＨＶ調整用レジスターの設定データであり、集積回路装置５００は、当該所定の端子からレジスター設定データが入力されると、基準電圧生成部５８０のレジスターブロック５８６に含まれるＤＡＣ＿ＬＶ調整用レジスターまたはＤＡＣ＿ＨＶ調整用レジスターに指定された値を設定する。
【０１８７】
また、ＩＣテスター７００は、集積回路装置５００のＤ０〜Ｄ９端子に入力データｄＡ（ｄＢ）を供給し、かつ、集積回路装置５００Ｖｆｂ端子に、駆動回路５０が実装された場合に入力データｄＡ（ｄＢ）に対してフィードバックされて入力されるべき所望の電圧を供給する。ＩＣテスター７００は、データｄＡ（ｄＢ）として任意の値を供給してもよいが、本実施形態では、データｄＡ（ｄＢ）の最小値（０）又は最大値（１０２３）を供給する。したがって、ＩＣテスター７００は、データｄＡ（ｄＢ）の最小値（０）を供給する時は、端子Ｖｆｂには所望の電圧ＶＬ（図１３のＶＬ）を供給する。また、ＩＣテスター７００は、データｄＡ（ｄＢ）の最大値（１０２３）を供給する時は、端子Ｖｆｂには所望の電圧ＶＨ（図１３のＶＨ）を供給する。
【０１８８】
また、ＩＣテスター７００は、集積回路装置５００の所定の端子（図１０では不図示）から出力される変調信号Ｍｓの電圧をモニターする。図１０では説明を省略したが、半導体集積回路装置５００には、トリミングモードに設定された場合に変調信号Ｍｓが所定の端子から出力されるようにするテスト回路が設けられている。
【０１８９】
そして、ＩＣテスター７００は、ＤＡＣ＿ＬＶ調整用レジスターの設定データやＤＡＣ＿ＨＶ調整用レジスターの設定データを変更し、変調信号Ｍｓの反転に基づいて、第２基
準電圧ＤＡＣ＿ＬＶや第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶを調整する。
【０１９０】
ＩＣテスター７００は、例えば、内蔵の検査プログラムに従って上記の動作を行う。
【０１９１】
図１６に、ＤＡＣ１１１のトリミング工程（図１４の工程Ｓ３）のフローチャートの一例を示す。なお、図１６のフローチャートに先立ち、集積回路装置５００の電源端子Ｖｄｄには電源電圧Ｖｄｄ（例えば３．３Ｖ）が供給され、グラウンド端子Ｇｎｄにはグラウンド電位（０Ｖ）が供給される。
【０１９２】
図１６に示されるように、まず、ＩＣテスター７００が、集積回路装置５００をトリミングモードに設定する（Ｓ１０）。これは、ＩＣテスター７００が、集積回路装置５００のモード設定用の所定の端子にトリミングモードの設定を指定するモード設定データを供給することで行われる。
【０１９３】
次に、ＩＣテスター７００が、集積回路装置５００のＤ０〜Ｄ９端子に０を入力し、かつ、端子Ｖｆｂに電圧ＶＬを入力する（Ｓ１２）。
【０１９４】
次に、ＩＣテスター７００が、集積回路装置５００における基準電圧生成部５８０のＭビットの調整信号ＴＲＩＭ＿ＬＶを０（すべてのビットが０）に設定する（Ｓ１４）。これは、ＩＣテスター７００が、集積回路装置５００のレジスター設定用の所定の端子からＤＡＣ＿ＬＶ調整用レジスターに０を書き込むことで行われる。
【０１９５】
次に、ＩＣテスター７００が、変調信号ＭｓがＬレベルか否かを判定し（Ｓ１６）、変調信号ＭｓがＬレベルであれば（Ｓ１６のＮ）、Ｍビットの調整信号ＴＲＩＭ＿ＬＶの設定値を１だけ増やし（Ｓ１８）、再び変調信号ＭｓがＬレベルか否かを判定する（Ｓ１６）。このＳ１８の処理は、ＩＣテスター７００が、集積回路装置５００のレジスター設定用の所定の端子からＤＡＣ＿ＬＶ調整用レジスターに現在値＋１を書き込むことで行われる。
【０１９６】
また、変調信号ＭｓがＨレベルであれば（Ｓ１６のＹ）、ＩＣテスター７００が、Ｍビットの調整信号ＴＲＩＭ＿ＬＶの設定値を第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶのトリミング値として記憶する（Ｓ２０）。これは、ＩＣテスター７００が、現在のＤＡＣ＿ＬＶ調整用レジスターの設定値を記憶することで行われる。
【０１９７】
Ｓ１４において、調整信号ＴＲＩＭ＿ＬＶが０に設定されると、第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶは調整可能範囲の最小値であるＬＶｍｉｎになるため、必ず、第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶとして要求される所望の電圧よりも低い。そのため、変調信号Ｍｓは必ずＬレベルである。逆に、調整信号ＴＲＩＭ＿ＬＶが２Ｍ−１の時、第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶは調整可能範囲の最大値であるＬＶｍａｘになるため、必ず、第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶとして要求される所望の電圧よりも高い。そのため、変調信号Ｍｓは必ずＨレベルである。そして、Ｓ１６およびＳ１８を繰り返して調整信号ＴＲＩＭ＿ＬＶを０から１ずつ増やしていくと、それに応じて第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶが電圧Ｖ２ずつ増加するので、第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶが所望の電圧と一致する付近で変調信号ＭｓがＬレベルからＨレベルに反転する。したがって、Ｓ２０では、第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶが所望の電圧と一致する付近の調整信号ＴＲＩＭ＿ＬＶの設定値（ＤＡＣ＿ＬＶ調整用レジスターの設定値）をトリミング値として記憶することになる。
【０１９８】
次に、ＩＣテスター７００が、集積回路装置５００のＤ０〜Ｄ９端子に１０２３を入力し、かつ、端子Ｖｆｂに電圧ＶＨを入力する（Ｓ２２）。
【０１９９】
次に、ＩＣテスター７００が、集積回路装置５００における基準電圧生成部５８０のＮビットの調整信号ＴＲＩＭ＿ＨＶを０（すべてのビットが０）に設定する（Ｓ２４）。これは、ＩＣテスター７００が、集積回路装置５００のレジスター設定用の所定の端子からＤＡＣ＿ＨＶ調整用レジスターに０を書き込むことで行われる。
【０２００】
次に、ＩＣテスター７００が、変調信号ＭｓがＬレベルか否かを判定し（Ｓ２６）、変調信号ＭｓがＬレベルであれば（Ｓ２６のＮ）、Ｎビットの調整信号ＴＲＩＭ＿ＨＶの設定値を１だけ増やし（Ｓ２８）、再び変調信号ＭｓがＬレベルか否かを判定する（Ｓ２６）。このＳ２８の処理は、ＩＣテスター７００が、集積回路装置５００のレジスター設定用の所定の端子からＤＡＣ＿ＨＶ調整用レジスターに現在値＋１を書き込むことで行われる。
【０２０１】
また、変調信号ＭｓがＨレベルであれば（Ｓ２６のＹ）、ＩＣテスター７００が、Ｎビットの調整信号ＴＲＩＭ＿ＨＶの設定値を第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶのトリミング値として記憶する（Ｓ３０）。これは、ＩＣテスター７００が、現在のＤＡＣ＿ＨＶ調整用レジスターの設定値を記憶することで行われる。
【０２０２】
Ｓ２４において、調整信号ＴＲＩＭ＿ＨＶが０に設定されると、第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶは調整可能範囲の最小値であるＨＶｍｉｎになるため、必ず、第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶとして要求される所望の電圧よりも低い。そのため、変調信号Ｍｓは必ずＬレベルである。逆に、調整信号ＴＲＩＭ＿ＨＶが２Ｎ−１の時、第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶは調整可能範囲の最大値であるＨＶｍａｘになるため、必ず、第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶとして要求される所望の電圧よりも高い。そのため、変調信号Ｍｓは必ずＨレベルである。そして、Ｓ２６およびＳ２８を繰り返して調整信号ＴＲＩＭ＿ＨＶを０から１ずつ増やしていくと、それに応じて第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶが電圧Ｖ１ずつ増加するので、第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶが所望の電圧と一致する付近で変調信号ＭｓがＬレベルからＨレベルに反転する。したがって、Ｓ３では、第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶが所望の電圧と一致する付近の調整信号ＴＲＩＭ＿ＨＶの設定値（ＤＡＣ＿ＨＶ調整用レジスターの設定値）をトリミング値として記憶することになる。
【０２０３】
最後に、Ｓ２０で記憶した第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶのトリミング値およびＳ３０で記憶した第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶのトリミング値に応じて、半導体集積回路装置５００におけるヒューズ回路５８７のヒューズをカットする（Ｓ３２）。これは、例えば、ＩＣテスター７００が２つのトリミング値の情報を、レーザー装置（図１５では不図示）に供給し、当該レーザー装置が、２つのトリミング値に応じた所望の２つのヒューズにレーザービームを照射し、当該ヒューズを切断することで行われる。
【０２０４】
なお、図１６のフローチャートにおいて、Ｓ１２〜Ｓ２０とＳ２２〜Ｓ３０の順番を入れ替えてもよい。また、工程Ｓ３２の後に、ＩＣテスター７００が、半導体集積回路装置５００を通常動作モードに設定し、半導体集積回路装置５００の所定の端子（図１０では不図示）からＤＡＣ５１１の出力信号（元駆動信号）をモニターしながらＤＡＣ５１１の特性検査を行ってもよい。
【０２０５】
以上に説明したように、本実施形態によれば、感度（変位量／電圧）が、駆動信号ＣＯＭ−Ａ（ＣＯＭ−Ｂ）の最大電圧ＶＨ付近の方が最小電圧ＶＬ付近よりも低いという圧電素子６０の変位特性を考慮すると、最大電圧ＶＨを決定する第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶの調整精度を、最小電圧ＶＬを決定する第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶの調整精度よりも低くしてもよいことに着目し、第１基準電圧の調整分解能を第２基準電圧の調整分解能よりも低くしている。このようにしても、ＤＡＣ５１１のトリミングに必要な精度を確保することができる。そして、必要なトリミング精度を確保できる範囲で、第１基準電圧ＤＡＣ＿Ｈ
Ｖの調整分解能を第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶの調整分解能よりも低くすることにより、第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶの調整に必要な回路面積を削減し、回路規模を縮小することができる。また、第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶの調整回数を減らし、ＤＡＣ５１１のトリミング時間（検査時間）を短縮することができる。
【０２０６】
また、本実施形態によれば、ＤＡＣ５１１および変調部５１０を経由して生成される変調信号Ｍｓの電圧値の反転（論理レベルの反転）に基づいて第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶおよび第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶを調整するので、ＤＡＣ５１１や変調部５１０に含まれるアンプや抵抗などの回路素子の製造ばらつきの影響を加味して、ＤＡＣ５１１のトリミングを行うことができるので、トリミング精度を向上させることができる。
【０２０７】
なお、本実施形態において、変調信号の発振周波数は、１ＭＨｚ以上８ＭＨｚ以下であってもよい。
【０２０８】
上述の液体吐出装置１では、増幅変調信号を平滑化して駆動信号を生成し、駆動信号が印加されることによって圧電素子６０が変位して、ノズル６５１から液体を吐出させる。ここで、液体吐出装置１が例えば小ドットを吐出するための駆動信号の波形を周波数スペクトル解析すると、５０ｋＨｚ以上の周波数成分が含まれていることが判っている。このような５０ｋＨｚ以上の周波数成分を含む駆動信号を生成するためには、変調信号の周波数（自励発振の周波数）を１ＭＨｚ以上とする必要がある。
【０２０９】
もし、当該周波数を１ＭＨｚよりも低くしてしまうと、再現される駆動信号の波形のエッジが鈍って丸くなってしまう。換言すれば、角が取れて波形が鈍ってしまう。駆動信号の波形が鈍ると、波形の立ち上がり、立ち下がりエッジに応じて動作する圧電素子６０の変位が緩慢になり、吐出時の尾引きや、吐出不良などを発生させて、印刷の品質を低下させてしまう。
【０２１０】
一方、自励発振の周波数を８ＭＨｚよりも高くすれば、駆動信号の波形の分解能は高まる。ただし、トランジスターにおけるスイッチング周波数が上昇することによって、スイッチング損失が大きくなり、ＡＢ級アンプなどのリニア増幅と比べて、優位性を有する省電力性、省発熱性が損なわれてしまう。
【０２１１】
このため、上述の液体吐出装置１、ヘッドユニット２０、容量性負荷駆動用集積回路装置５００および容量性負荷駆動回路５０において、変調信号の周波数は、１ＭＨｚ以上８ＭＨｚ以下であることが好ましい。
【０２１２】
また、本実施形態では、半導体集積回路装置５００は、トリミングモードに設定された場合に所定の端子から変調信号Ｍｓを出力するものとしたが、所定の端子からインバーター５１５の出力信号（変調信号Ｍｓの論理反転信号）が出力されるものとしてもよい。この場合、図１６のフローチャートを、Ｓ１６およびＳ２６の判定において、変調信号Ｍｓの論理反転信号がＨｉｇｈか否かを判定するように変更すればよい。
【０２１３】
また、ＤＡＣ５１１の出力点（元駆動信号の出力点）からローパスフィルター５６０の出力点（駆動信号ＣＯＭ−Ａ（ＣＯＭ−Ｂ）の出力点）までの信号経路における所定の測定点の電圧の値に基づいて、第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶおよび第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶを調整すればよく、所定の測定点は、変調部５１０の出力点（変調信号Ｍｓまたはその論理反転信号の出力点）に限られない。
【０２１４】
例えば、所定の測定点は、第１ゲートドライバー５２１の出力点（増幅制御信号の出力点）であってもよいし、第２ゲートドライバー５２２の出力点（増幅制御信号の出力点）
であってもよい。第１ゲートドライバー５２１の出力点を測定点とする場合、端子Ｂｓｔと端子Ｓｗにそれぞれ所望の電源電圧と基準電圧が供給され、ＩＣテスター７００は、端子Ｈｄｒの電圧をモニターし、上記と同様に、電圧の論理レベルの反転に基づいて第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶおよび第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶを調整すればよい。また、第２ゲートドライバー５２２の出力点を測定点とする場合、端子Ｇｖｄに所望の電圧Ｖｍが供給され、あるいは、昇圧回路５４０が昇圧動作を行って電圧Ｖｍを発生させ、ＩＣテスター７００は、端子Ｌｄｒの電圧をモニターし、上記と同様に、電圧の論理レベルの反転に基づいて第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶおよび第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶを調整すればよい。いずれの場合も、ＤＡＣ５１１、変調部５１０またはゲートドライバー５２０に含まれる抵抗やオペアンプなどの回路素子の製造ばらつきの影響を加味して、ＤＡＣ５１１のトリミングを行うことができるので、トリミング精度を向上させることができる。
【０２１５】
また、例えば、所定の測定点は、ローパスフィルター５６０の出力点（駆動信号ＣＯＭ−Ａ（ＣＯＭ−Ｂ）の出力点）であってもよい。この場合、所定の測定点（ローパスフィルター５６０の出力点（駆動信号ＣＯＭ−Ａ（ＣＯＭ−Ｂ）の出力点））の電圧の値の最大値ＶＨと最小値ＶＬに基づいて、第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶと第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶとを調整してもよい。例えば、集積回路装置５００の後段に出力回路５５０に相当する回路を接続し、端子Ｂｓｔ、端子Ｓｗおよび端子Ｇｖｄにそれぞれ所望の電圧が供給され、ＩＣテスター７００は、駆動信号ＣＯＭ−Ａ（ＣＯＭ−Ｂ）の電圧をモニターし、最大値ＶＨおよび最大値ＶＬに最も近づくようにそれぞれ第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶおよび第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶを調整してもよい。あるいは、図１５の液体吐出装置のフローチャートにおいて、工程Ｓ２に代えて、工程Ｓ３とＳ４の間に、駆動回路５０に検査装置を接続してＤＡＣ５１１のトリミングを行う工程を追加してもよい。このトリミング工程においても同様に、検査装置は、駆動信号ＣＯＭ−Ａ（ＣＯＭ−Ｂ）の電圧をモニターし、最大値ＶＨおよび最大値ＶＬに最も近づくようにそれぞれ第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶおよび第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶを調整すればよい。このようにすれば、ＤＡＣ５１１、変調部５１０、ゲートドライバー５２０または出力回路５５０に含まれる抵抗やオペアンプなどの回路素子の製造ばらつきの影響を加味しながら、圧電素子６０に印加される駆動信号ＣＯＭ−Ａ（ＣＯＭ−Ｂ）の電圧範囲を決定する最大値ＶＨと最小値ＶＬに基づいて、ＤＡＣ５１１のトリミングを高精度に行うことができる。
【０２１６】
また、以上の説明では、駆動回路５０は、Ｄ級アンプで電圧増幅して駆動信号を生成しているが、バイポーラ―トランジスターを用いたＡＢ級アンプなどで電流増幅して駆動信号を生成する構成であってもよい。この場合、所定の測定点は、例えば、駆動信号の出力点であるものとして、所定の測定点（駆動信号の出力点）の電圧の値の最大値ＶＨと最小値ＶＬに基づいて、第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶと第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶとを調整してもよい。例えば、上記と同様に、検査装置は、駆動信号の出力点の電圧をモニターし、最大値ＶＨおよび最大値ＶＬに最も近づくようにそれぞれ第１基準電圧ＤＡＣ＿ＨＶおよび第２基準電圧ＤＡＣ＿ＬＶを調整すればよい。
【０２１７】
また、以上の説明では、ＤＡＣ＿ＨＶを第１基準電圧、ＤＡＣ＿ＬＶを第２基準電圧として、第１基準電圧の調整分解能が第２基準電圧の調整分解能よりも低いものとしているが、これは、ＤＡＣ５１１の出力電圧が高いほど駆動信号の電圧が高くなることを前提として圧電素子６０の変位特性を考慮しているからである。駆動回路５０は、ＤＡＣ５１１の出力電圧が高いほど駆動信号の電圧が低くなるように構成されてもよく、この場合は、ＤＡＣ＿ＬＶを第１基準電圧、ＤＡＣ＿ＨＶを第２基準電圧として、第１基準電圧の調整分解能が第２基準電圧の調整分解能よりも低いものとすればよい。
【０２１８】
以上、本実施形態あるいは変形例について説明したが、本発明はこれら本実施形態あるいは変形例に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実
施することが可能である。
【０２１９】
本発明は、実施形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的および効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成または同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【０２２０】
１…液体吐出装置、２…移動体、３…移動機構、４…搬送機構、１０…制御ユニット、２０…ヘッドユニット、２４…キャリッジ、３１…キャリッジモーター、３２…キャリッジガイド軸、３３…タイミングベルト、３５…キャリッジモータードライバー、４０…プラテン、４１…搬送モーター、４２…搬送ローラー、４５…搬送モータードライバー、５０，５０−ａ，５０−ｂ…駆動回路、６０…圧電素子、１００…制御部、１９０…フレキシブルケーブル、２１０…選択制御部、２１２…シフトレジスター、２１４…ラッチ回路、２１６…デコーダー、２３０…選択部、２３２ａ，２３２ｂ…インバーター、２３４ａ，２３４ｂ…トランスファーゲート、５００…集積回路装置、５１０…変調部、５１１…ＤＡＣ、５１２，５１３…加算器、５１４…コンパレーター、５１５…インバーター、５１６…積分減衰器、５１７…減衰器、５２０…ゲートドライバー、５２１…第１ゲートドライバー、５２２…第２ゲートドライバー、５３０…第１電源部、５４０…昇圧回路、５５０…出力回路、５６０…ローパスフィルター、５７０…第１帰還回路、５７２…第２帰還回路、５８０…基準電圧生成部、５８１Ａ，５８１Ｂ，５８１Ｃ，５８１Ｈ，５８１Ｌ…抵抗、５８２Ｈ，５８２Ｌ…スイッチ、５８３Ｈ，５８３Ｌ…オペアンプ、５８４…デコーダー、５８５…モード設定部、５８６…レジスターブロック、５８７…ヒューズ回路、６００…吐出部、６０１…圧電体、６１１，６１２…電極、６２１…振動板、６３１…キャビティ、６３２…ノズルプレート、６４１…リザーバー、６５１…ノズル、７００…ＩＣテスター、Ｌ１…インダクター、Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５…コンデンサー、Ｄ１０…ダイオード、Ｍ１…第１トランジスター、Ｍ２…第２トランジスター、Ｐ…印刷媒体、Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４，Ｒ５…抵抗
【図１】
2016107445.tif 000003
【図２】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図３】
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