(57)【要約】【課題】絶縁部における放電を抑制することができるイメージ管を提供することである。【解決手段】実施形態に係るイメージ管は、筒状を呈する外囲器と、前記外囲器の一方の端部側に設けられ、入射した放射線を蛍光に変換し、前記蛍光を電子線に変換する入力部と、前記外囲器の内部に設けられ、前記電子線を集束させる複数の集束電極と、前記外囲器の他方の端部に設けられ、絶縁性を有する絶縁部と、前記絶縁部の前記外囲器が設けられる側とは反対側に設けられ、前記電子線を蛍光に変換する出力部と、を備えている。    最も前記出力部側に位置する集束電極は、前記外囲器の内壁と絶縁固定されている。【選択図】図１
2016149339.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状を呈する外囲器と、
前記外囲器の一方の端部側に設けられ、入射した放射線を蛍光に変換し、前記蛍光を電子線に変換する入力部と、
前記外囲器の内部に設けられ、前記電子線を集束させる複数の集束電極と、
前記外囲器の他方の端部に設けられ、絶縁性を有する絶縁部と、
前記絶縁部の前記外囲器が設けられる側とは反対側に設けられ、前記電子線を蛍光に変換する出力部と、
を備え、
最も前記出力部側に位置する集束電極は、前記外囲器の内壁と絶縁固定されているイメージ管。
【請求項２】
前記最も前記出力部側に位置する集束電極は、電極部と、前記電極部の前記外囲器側の面に固定された固定部と、を有し、
前記外囲器の内壁に固定された支持部材と、
前記支持部材と、前記固定部と、の間に設けられ、絶縁性を有する絶縁部材と、をさらに備えた請求項１記載のイメージ管。
【請求項３】
前記最も前記出力部側に位置する集束電極は、前記電子線の前記出力部における照射領域を制御する請求項１または２に記載のイメージ管。
【請求項４】
前記絶縁部は、ガラスを含む請求項１〜３のいずれか１つに記載のイメージ管。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、イメージ管に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線、γ線、中性子線などの放射線による画像情報を光学像に変換するイメージ管がある。  
イメージ管は、いわゆるイメージインテンシファイア（Image Intensifier）として、医療用診断装置や工業用非破壊検査装置などに広く用いられている。  
この様なイメージ管には、外囲器、入力部、集束電極、陽極、絶縁部および出力部などが設けられている。  
絶縁部は、外囲器と出力部との間に設けられている。また、一般的には、最も出力部側に位置する集束電極は、絶縁部の出力部側の内壁に設けられている。  
ここで、集束電極と陽極などには、集束や加速のために電圧が印加されている。例えば、陽極などには３０ｋＶ程度の電圧が印加され、集束電極には３ｋＶ程度の電圧が印加されている。そのため、陽極と集束電極との間には２７ｋＶ程度の電位差が生じる。  
しかしながら、絶縁部は、絶縁材料から形成されているので、２７ｋＶ程度の電位差があっても絶縁部を介した放電は生じ難いと考えられる。  
ところが、電子線が出力部に入射した際に出力部から放出された電子が絶縁部に入射すると、絶縁部からより多くの電子が放出される場合がある。絶縁部からより多くの電子が放出されると、電子が放出された領域が正に帯電する。正に帯電した領域には電子が入射し易くなり、正に帯電した領域が徐々に拡がるおそれがある。正に帯電した領域が拡がり、正に帯電した領域と、最も出力部側に位置する集束電極との間の距離が短くなると、正に帯電した領域と集束電極との間で放電が生じるおそれがある。  
放電が生じると、放電により生じた光が光電変換膜に入射して、意図しない電子線が生じ、出力部から出力される可視光像の品質が劣化するおそれがある。  
そこで、絶縁部における放電を抑制することができるイメージ管の開発が望まれていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−１２０９４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明が解決しようとする課題は、絶縁部における放電を抑制することができるイメージ管を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態に係るイメージ管は、筒状を呈する外囲器と、前記外囲器の一方の端部側に設けられ、入射した放射線を蛍光に変換し、前記蛍光を電子線に変換する入力部と、前記外囲器の内部に設けられ、前記電子線を集束させる複数の集束電極と、前記外囲器の他方の端部に設けられ、絶縁性を有する絶縁部と、前記絶縁部の前記外囲器が設けられる側とは反対側に設けられ、前記電子線を蛍光に変換する出力部と、を備えている。  
最も前記出力部側に位置する集束電極は、前記外囲器の内壁と絶縁固定されている。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本実施の形態に係るイメージ管１を例示するための模式断面図である。
【図２】集束電極４２の固定を例示するための模式断面図である。
【図３】正に帯電した領域１７の形成を例示するための模式図である。
【図４】比較例に係るイメージ管１０１を例示するための模式断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。  
また、以下においては、一例として、放射線の中の代表的なものとしてＸ線に係る場合を例にとり説明をする。  
したがって、以下の実施形態の「Ｘ線」を「他の放射線」に置き換えることにより、他の放射線にも適用させることができる。
【０００８】
図１は、本実施の形態に係るイメージ管１を例示するための模式断面図である。  
なお、図１中のＬはＸ線を、Ｍは電子線を、Ｎは可視光像を、Ｔは被写体をそれぞれ表している。  
図２は、集束電極４２の固定を例示するための模式断面図である。  
なお、図２は、図１におけるＡ部の模式拡大図である。
図１に示すように、イメージ管１には、外囲器２、入射窓２１、入力部３、電極４、陽極５、出力部６、および絶縁部７が設けられている。
【０００９】
外囲器２は、筒状を呈し、内部の雰囲気を大気圧よりも減圧された状態に維持する。この場合、外囲器２の内部は、高真空（例えば、１０−４Ｐａ程度以下）とされる。  
外囲器２の一方の端部側は、入射窓２１により塞がれている。  
外囲器２の他方の端部側は、出力部６および絶縁部７により塞がれている。  
外囲器２の材料は、例えば、金属とすることができる。
【００１０】
入力部３は、外囲器２の内部であって、入射窓２１の内側に設けられている。  
入力部３は、入射窓２１側に設けられた入射基板と、入射基板の入射窓２１側とは反対側に設けられた入射側蛍光膜と、入射側蛍光膜の入射基板側とは反対側に設けられた光電変換膜とを有する。  
入射基板の入射窓２１側の面は、入射面となっている。入射基板には、放射線であるＸ線Ｌが入射する。また、入射基板は、陰極として機能する。入射基板は、例えば、アルミニウムなどから形成されている。入射基板の厚み寸法は、例えば、１ｍｍ程度とすることができる。
入射側蛍光膜は、入射基板を介して入射したＸ線Ｌを蛍光（可視光）に変換する。  
入射側蛍光膜は、例えば、ヨウ化セシウム（ＣｓＩ）を含む。  
光電変換膜は、外囲器２の内部に面している。  
光電変換膜には、入射側蛍光膜により変換された蛍光が入射する。  
光電変換膜は、入射した蛍光を電子線Ｍに変換する。
【００１１】
電極４は、外囲器２の内部であって、入力部３と陽極５の間に複数設けられている。  
電極４には、電極４０と、集束電極４１と、集束電極４２とが設けられている。  
電極４０、集束電極４１、および集束電極４２は、例えば、金属から形成することができる。  
集束電極４１と集束電極４２は、入力部３から放射された電子線Ｍを集束させる。  
集束電極４１は、入力部３から放射された電子線Ｍの焦点位置を制御する。集束電極４１は、フォーカス用の集束電極である。  
集束電極４２は、複数の集束電極のうち最も出力部６側に位置する。  
集束電極４２は、入力部３から放射された電子線Ｍの出力部６における照射領域を制御する。集束電極４２は、視野可変用の集束電極である。
【００１２】
図１に例示をしたイメージ管１の場合には、１つの電極４０と、１つの集束電極４１と、１つの集束電極４２とが設けられているが、電極４０、集束電極４１および集束電極４２の数は適宜変更することができる。  
また、図２に示すように、集束電極４２は、絶縁部材４４および支持部材４３を介して外囲器２の内壁に固定されている。  
【００１３】
集束電極４２は、固定部４２ａおよび電極部４２ｂを有する。
固定部４２ａは、電極部４２ｂの外囲器２側の面に固定されている。
固定部４２ａの一方の端部側は、電極部４２ｂの外囲器２側の面に溶接されている。固定部４２ａの他方の端部側は、外囲器２の内壁に向けて突出している。  
固定部４２ａおよび電極部４２ｂは、例えば、金属から形成することができる。
【００１４】
支持部材４３は、外囲器２の内壁に固定されている。
支持部材４３の一方の端部側は、外囲器２の内壁に溶接されている。支持部材４３の他方の端部側は、電極部４２ｂに向けて突出している。  
支持部材４３は、例えば、金属から形成することができる。
【００１５】
絶縁部材４４は、固定部４２ａと支持部材４３との間に設けられている。  
絶縁部材４４は、柱状を呈するものとすることができる。絶縁部材４４は、例えば、円柱状を呈するものとすることができる。  
絶縁部材４４は、絶縁性を有する。絶縁部材４４は、絶縁性材料から形成することができる。この場合、外囲器２の内部は高真空となるので、絶縁性材料は高真空中においてガスを放出しない材料とすることが好ましい。絶縁性材料は、例えば、ガラスやセラミックスなどの無機材料とすることが好ましい。
【００１６】
絶縁部材４４と固定部４２ａは、ネジやリベットなどの締結部材４５を用いて固定されている。  
絶縁部材４４と支持部材４３は、ネジやリベットなどの締結部材４５を用いて固定されている。  
例えば、締結部材４５がネジの場合には、ネジに適合する雌ネジを絶縁部材４４に設け、ネジに適合する孔を固定部４２ａおよび支持部材４３に設けることができる。    
また、図示は省略したが、電極４０および集束電極４１も集束電極４２と同様にして外囲器２の内壁に固定することができる。
【００１７】
陽極５は、外囲器２の内部であって、集束電極４２と、出力部６の間に設けられている。
陽極５は、集束電極４１、４２により集束させた電子線Ｍを加速させる。
【００１８】
出力部６は、絶縁部７の外囲器２側とは反対側の端部を塞ぐように設けられている。  
出力部６は、陽極５により加速させた電子線Ｍを蛍光（可視光）に変換し、可視光像Ｎとして出射する。
【００１９】
出力部６は、フェースプレート６ａ、固定板６ｂ、出射側蛍光膜６ｃ、およびメタルバック膜６ｄを有する。  
フェースプレート６ａは、板状を呈し、ガラスなどの光透過性を有する材料から形成されている。  
固定板６ｂは、環状を呈し、内周側がフェースプレート６ａに固定されている。例えば、固定板６ｂの内周側は、フェースプレート６ａに融着されている。  
固定板６ｂの外周側は、絶縁部７に固定されている。例えば、固定板６ｂの外周側は、絶縁部７に融着されている。  
また、固定板６ｂには、陽極５を電気的に接続することができる。  
出射側蛍光膜６ｃは、フェースプレート６ａの入射窓２１側の面に設けられている。  
出射側蛍光膜６ｃは、メタルバック膜６ｄを介して入射した電子線Ｍを蛍光（可視光）に変換し、可視光像Ｎとして出射する。  
出射側蛍光膜６ｃは、例えば、アルミニウム、銅を賦活物質とするＺｎＳ：Ａｌ、Ｃｕからなる緑色蛍光体などを含むものとすることができる。
【００２０】
メタルバック膜６ｄは、出射側蛍光膜６ｃを覆っている。  
メタルバック膜６ｄは、出射側蛍光膜６ｃに残る余剰な電子を固定板６ｂを介して放出する。すなわち、メタルバック膜６ｄは、出射側蛍光膜６ｃにおける帯電を防止する。  
メタルバック膜６ｄは、例えば、アルミニウムやアルミニウム合金などから形成することができる。メタルバック膜６ｄの厚みは、例えば、２００ｎｍ〜３５０ｎｍ程度とすることができる。
【００２１】
絶縁部７は、絶縁性を有し、外囲器２の入射窓２１側とは反対側の端部に固定されている。例えば、絶縁部７の一方の端部には外囲器２の端部が融着されている。  
絶縁部７の他方の端部には固定板６ｂの外周側の端部が固定されている。例えば、絶縁部７の他方の端部には固定板６ｂの外周側の端部が融着されている。  
絶縁部７の外囲器２側の断面積は、絶縁部７の出力部６側の断面積よりも大きくなっている。絶縁部７は、段付きの筒状体となっている。  
なお、絶縁部７に関する詳細は後述する。
【００２２】
なお、イメージ管１の外部には、電源８が設けられている。電源８は、例えば、イメージ管１と離隔した位置に設けられ、配線などを介して、電極４、陽極５、メタルバック膜６ｄ、および、陰極である入力部３の入射基板と電気的に接続されている。  
電源８は、電極４、陽極５、およびメタルバック膜６ｄに電圧を印加する。  
なお、電極４に印加される電圧は、集束電圧となる。  
この場合、集束電極４１と集束電極４２には数百Ｖ〜数千Ｖ程度の電圧が印加される。
また、陽極５に印加される電圧は、陽極電圧となる。  
この場合、陽極５には、２５ｋＶ〜３０ｋＶ程度の電圧が印加される。  
メタルバック膜６ｄには、２５ｋＶ〜３０ｋＶ程度の電圧が印加される。  
入力部３の入射基板は、アースであるグランドに接続されている。
【００２３】
図１中のＸ線発生装置１００は、Ｘ線Ｌを発生させ、発生させたＸ線Ｌをイメージ管１の入射窓２１に向けて放射する。  
Ｘ線発生装置１００は、例えば、Ｘ線Ｌを発生させる回転陽極Ｘ線管と、回転陽極Ｘ線管に高電圧を印加する電源を備えたものとすることができる。  
回転陽極Ｘ線管は、印加された高電圧により加速させた電子をターゲットに衝突させることでＸ線Ｌを発生させる。
【００２４】
次に、絶縁部７についてさらに説明する。  
絶縁部７は、絶縁性を有する。  
絶縁部７は、例えば、ガラスを用いて形成することができる。  
絶縁部７は、外囲器２と出力部６との間を絶縁する。すなわち、絶縁部７は、集束電極４２と陽極５との間を絶縁している。
【００２５】
絶縁部７は、絶縁性を有するため、通常は周囲の電場とほぼ同じ電位となる。そのため、絶縁部７の近傍に電子があったとしても、電子が積極的に絶縁部７に入射することはない。
ところが、一定以上のエネルギーで電子が絶縁部７に入射すると、正に帯電した領域が生じて電子が絶縁部７に入射しやすくなる。
【００２６】
図３は、正に帯電した領域１７の形成を例示するための模式図である。  
集束電極４２と陽極５の電界により集束電極４２から電界放出による電子が放出され、放出された電子が陽極５に入射する場合がある。そして、図３に示すように、反射電子（電子１８）が、出力部６の近傍にある絶縁部７の陽極５側の表面に入射することがある。
この場合、一定以上のエネルギーで電子１８が絶縁部７の表面に入射すると、絶縁部７の表面にある電子１９が放出される。この際、入射する１つの電子１８に対して２つの電子１９が放出される。  
すると、電子１８が入射した付近の領域１７が正に帯電する。すなわち、絶縁部７の出力部６側の表面において、正に帯電した領域１７が形成される場合がある。電子１８は、正に帯電した領域１７に引き寄せられるので、周囲にある電子１８がさらに効率よく領域１７に入射することになる。これにより、加速度的に正の帯電が進行し、領域１７が拡大するおそれがある。  
そして、集束電極４２と、正に帯電した領域１７との間の距離が短くなると、放電が生じるおそれがある。
【００２７】
放電により生じた光が入力部３の光電変換膜に入射すると、意図しない電子線Ｍが発生するおそれがある。意図しない電子線Ｍが出力部６に入射すると、得られる可視光像Ｎの品質が劣化するおそれがある。一度放電が生じた後であったとしても、放電は、突発的かつ繰り返し発生するおそれがある。
【００２８】
ここで、集束電極４２の表面などに微小突起部があると放電が生じ易くなる。そのため、集束電極４２の表面を電界研磨などにより滑らかにすれば、集束電極４２と領域１７との間の放電を抑制することができる。  
しかしながら、電界研磨により集束電極４２の表面を加工すれば、製造コストが増大する。また、組立中や組立後に集束電極４２の表面に異物が付着して微小突起部が形成される場合もある。  
そのため、電界研磨により集束電極４２の表面にある微小突起部を除去するだけでは、放電を効果的に抑制するのが難しい。
【００２９】
また、所望の時期に制御された放電を故意に引き起こして微小突起部を溶解させることも考えられる。  
しかしながら、集束電極４２と、絶縁物である絶縁部７との間の放電を生じさせるためには充分な電力を供給する必要があるので、放電により微小突起部を溶解させることは難しい。
また、制御された放電を生じさせるためには、微小突起部に印加される電力量を制御する必要がある。そのため、微小突起部に流れる電流、電圧、および時間を制御する必要がある。金属からなる部材間であれば、微小突起部の溶解に必要な電力量となるように電流、電圧、および時間を制御することができる。しかしながら、金属からなる部材と絶縁物との間の放電では放電のエネルギーを制御することができないため、微小突起部の溶解に必要な電力量となるように電流、電圧、および時間を制御することは難しい。
【００３０】
また、入力部３の光電変換膜は、一般的には、外囲器２の内部のガスを排気した後に、アルカリ金属蒸気を用いて成膜される。アルカリ金属蒸気は、光電変換膜の形成後も外囲器２の内部に滞留し、アルカリ金属が絶縁部７の表面や集束電極４２の表面に付着する。  アルカリ金属が付着した領域の仕事関数は、金属の仕事関数よりも低くなる。例えば、鉄の仕事関数は４ｅＶ以上であるが、アルカリ金属であるカリウムの仕事関数は２ｅＶ以下となる。仕事関数は、電子放出のしやすさの目安となり、低くなるほど電子が放出し易くなる。そのため、アルカリ金属が付着した領域に微小突起部があると、電子がさらに放出しやすくなり、ひいては放電が生じ易くなる。  
この場合、制御された放電により微小突起部の近傍にあるアルカリ金属が除去されると、電子が放出され易い状態が解消される。ところが、外囲器２の内部にはアルカリ金属蒸気が滞留しているので、制御された放電によりアルカリ金属が除去された領域に再度アルカリ金属が付着して、再び電子が放出され易い状態に戻ってしまう。
【００３１】
またさらに、制御された放電により微小突起部を溶解させた際に、新たな微小突起部を形成してしまうおそれもある。  
以上に説明したように、制御された放電を故意に引き起こして微小突起部を溶解させることは難しい。また、制御された放電を故意に引き起こして微小突起部を溶解させたとしても、放電を効果的に抑制するのは難しい。
【００３２】
また、正に帯電した領域１７の形成を抑制することができれば、放電を抑制することができる。  
しかしながら、正に帯電した領域１７は、電子線Ｍがわずかに陽極５に入射した際に陽極５から放出された電子や、集束電極４２における電界放出による電子が陽極５に入射して陽極５から放出された電子などが絶縁部７に入射することで形成される。  
この様な電子の発生は無くすことができないので、正に帯電した領域１７が形成されないようにすることは難しい。
【００３３】
そこで、本実施の形態に係るイメージ管１においては、放電を抑制するために、集束電極４２の固定部４２ａと、正に帯電した領域１７との間の距離が長くなるようにしている。
図４は、比較例に係るイメージ管１０１を例示するための模式断面図である。  
図４に示すように、イメージ管１０１には、外囲器２、入射窓２１、入力部３、電極４、陽極５、出力部６、および絶縁部１０７が設けられている。  
なお、電源８は、イメージ管１０１の外部に設けられている。
【００３４】
絶縁部１０７は、絶縁性を有する。  
絶縁部１０７は、例えば、ガラスを用いて形成することができる。  
絶縁部１０７は、外囲器２と出力部６との間を絶縁する。すなわち、絶縁部１０７は、集束電極１４２と陽極５との間を絶縁している。
絶縁部１０７の一方の端部には外囲器２の入射窓２１側とは反対側の端部が固定されている。  
絶縁部１０７の他方の端部には固定板６ｂの外周側の端部が固定されている。  
集束電極１４２は、絶縁部１０７の両端部間に固定されている。この場合、集束電極１４２は、陽極５の近傍に設けられるため、集束電極１４２は、絶縁部１０７の出力部６側に固定されている。
【００３５】
前述したように、絶縁部１０７の出力部６側には正に帯電した領域１７が形成されやすい。そのため、集束電極１４２の固定部１４２ａの近傍に正に帯電した領域１７が形成されることになる。その結果、集束電極１４２の固定部１４２ａと、正に帯電した領域１７との間の距離が短くなり、集束電極１４２と正に帯電した領域１７との間において放電が生じ易くなる。
【００３６】
これに対して、本実施の形態に係るイメージ管１においては、絶縁部７の一方の端部に外囲器２を固定し、外囲器２に絶縁部材４４および支持部材４３を介して集束電極４２を固定するようにしている。  
そして、絶縁部７の他方の端部に出力部６を固定するようにしている。  
正に帯電した領域１７は、絶縁部７の出力部６側に形成されやすいので、集束電極４２を外囲器２の内壁に固定すれば、集束電極４２の固定部４２ａと、正に帯電した領域１７との間の距離が長くなるようにすることができる。  
そのため、集束電極４２と正に帯電した領域１７との間における放電が生じ難くなるようにすることができる。
【００３７】
またさらに、絶縁部１０７には、外囲器２、出力部６の固定板６ｂ、および集束電極１４２の固定部１４２ａが固定されている。また、絶縁部１０７は、金属よりも割れやすいガラスなどから形成されている。
ここで、搬送中にイメージ管１０１を落下させるなどした場合には、イメージ管１０１に衝撃荷重が加わることになる。  
本発明者らの得た知見によれば、イメージ管１０１に衝撃荷重が加わると、絶縁部１０７の、固定部１４２ａが固定されている部分に破損が生じ易いことが判明した。
【００３８】
このことは、以下のように考えることができる。  
イメージ管１０１を搬送する際には、外囲器２と絶縁部１０７は、管容器などの梱包材により支持されている。  
そのため、イメージ管１０１に衝撃荷重が加わった際に、絶縁部１０７の、外囲器２が固定されている部分に発生する応力が比較的小さなものとなる。  
その結果、絶縁部１０７の、外囲器２が固定されている部分に破損が生じるのを抑制することができる。
出力部６は、比較的小さなものであるため、質量も比較的小さなものとなる。また、出力部６の絶縁部１０７からの突出寸法も比較的短くなる。  
そのため、イメージ管１０１に衝撃荷重が加わった際に、絶縁部１０７の、固定板６ｂが固定されている部分に発生する応力も比較的小さなものとなる。  
その結果、絶縁部１０７の、固定板６ｂが固定されている部分に破損が生じるのを抑制することができる。
【００３９】
これらに対して、集束電極１４２は金属から形成されるため、質量が出力部６に比べて大きくなる。また、集束電極１４２の絶縁部１０７からの突出寸法も比較的長くなる。  
そのため、イメージ管１０１に衝撃荷重が加わった際に、絶縁部１０７の、固定部１４２ａが固定されている部分に発生する応力が比較的大きなものとなる。  
その結果、絶縁部１０７の、固定部１４２ａが固定されている部分に破損が生じ易くなる。
【００４０】
前述したように、本実施の形態に係るイメージ管１においては、集束電極４２は、絶縁部材４４および支持部材４３を介して外囲器２の内壁に固定されている。  
そのため、イメージ管１に衝撃荷重が加わった際に、集束電極４２による応力が絶縁部７に加わることがない。
その結果、絶縁部７に破損が生じるのを抑制することができる。
【００４１】
この場合、金属よりも割れやすいガラスなどから形成されている絶縁部材４４に破損が生じるのも抑制することができる。  
このことは、以下のように考えることができる。  
絶縁部材４４は比較的小さなものとすることができるので、絶縁部材４４の剛性を高めることができる。  
また、固定部４２ａと支持部材４３は、金属（弾性部材）から形成されている。そのため、固定部４２ａの撓み、支持部材４３の撓みなどにより衝撃エネルギーの一部を吸収することもできる。  
そのため、イメージ管１に衝撃荷重が加わった際に、集束電極４２による応力により、絶縁部材４４に破損が生じるのを抑制することができる。
【００４２】
以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。
【符号の説明】
【００４３】
１  イメージ管、２  外囲器、３  入力部、４  電極、５  陽極、６  出力部、７  絶縁部、８  電源、２１  入射窓、４０  電極、４１  集束電極、４２  集束電極、４２ａ  固定部、４２ｂ  電極部、４３  支持部材、４４  絶縁部材、４５  締結部材
【図１】
2016149339.tif 000003
【図２】
2016149339.tif 000004
【図３】
2016149339.tif 000005
【図４】
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