(57)【要約】【課題】３次元形状の被印刷体に厚い膜厚で配線パターンを形成することができるパッド印刷用の転写パッド、パッド印刷装置およびパッド印刷方法を提供することを目的とする。【解決手段】ステージ１２の保持面１２１にブランケット１１を平坦に保持した状態で転写物４３をスクリーン印刷法によりパターニングする。これにより、ブランケット１１上に厚い膜厚の配線パターンを形成することができる。ブランケット１１とステージ１２との間の空間に流体１４５を供給し、ブランケット１１を膨張変形した状態で被転写体３１に配線パターンである転写物４３を転写することで、被転写体３１が３次元形状であっても精度良く転写することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
転写物を被転写体に転写するパッド印刷用の転写パッドであって、
前記転写物を一方主面に保持する担持体と、
前記担持体の他方主面側を保持する平坦な保持面を有する保持部と、
前記担持体の他方主面と前記保持部の前記保持面との間に形成される隔離された空間に流体を供給する流体供給部と、を備え、
前記担持体の一方主面に前記転写物が形成される時、前記担持体は前記保持面によって平坦に保持され、前記転写物を前記被転写体に転写する時、前記担持体は前記流体供給部によって前記空間に流体が供給され膨張変形していることを特徴とするパッド印刷用の転写パッド。
【請求項２】
請求項１に記載のパッド印刷用の転写パッドであって、
前記空間に供給された前記流体を排出する流体排出部をさらに備え、
前記流体排出部は、前記空間内から前記流体を排出することで前記担持体を前記保持面に平坦に保持することを特徴とするパッド印刷用の転写パッド。
【請求項３】
請求項２に記載のパッド印刷用の転写パッドであって、
前記保持手段の保持面には、複数の開口が形成されており、
前記流体供給部及び前記流体排出部は、前記開口を介して前記空間に前記流体を供給又は前記空間内の前記流体を排出することを特徴とするパッド印刷用の転写パッド。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載のパッド印刷用の転写パッドであって、
前記流体は、液体であることを特徴とするパッド印刷用の転写パッド。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載のパッド印刷用の転写パッドを備えたパッド印刷装置であって、
前記保持部に平坦に保持された前記担持体の一方主面に、前記転写物からなる所定のパターンを形成するパターニング部と、
前記被転写体を保持する被転写体保持部と、を備え、
前記被転写体保持部によって保持された前記被転写体に、前記一方主面に前記パターンが形成された状態で膨張変形している前記担持体が接触し、前記被転写体に前記パターンを印刷することを特徴とするパッド印刷装置。
【請求項６】
請求項５に記載のパッド印刷装置であって、
前記流体排出部は、
前記担持体から前記被転写体に前記パターンが印刷された後、前記被転写体から前記担持体が引き離される時、前記空間内から前記流体を排出することを特徴とするパッド印刷装置。
【請求項７】
請求項５又は請求項６に記載のパッド印刷装置であって、
前記パターニング部は、
スクリーン印刷方式で、前記担持体の一方主面に前記パターンを形成することを特徴とするパッド印刷装置。
【請求項８】
請求項５ないし請求項７のいずれか一項に記載のパッド印刷装置であって、
前記担持体の前記一方主面を撮像する撮像部と、
前記担持体と前記パターニング部とを位置合わせする位置合わせ部と、をさらに備え、
前記担持体は、前記一方主面にアライメントマークを有し、
前記パターニング部はスクリーン印刷版を含み、
前記位置合わせ部は、前記撮像部によって撮像された前記アライメントマークの位置に基づき、前記担持体と前記スクリーン印刷版との位置合わせを行うことを特徴とするパッド印刷装置。
【請求項９】
請求項５ないし請求項８のいずれか一項に記載のパッド印刷装置であって、
前記担持体を洗浄する洗浄部をさらに有し、
前記洗浄部は、
前記担持体の一方主面に残留する転写物を除去する転写物除去部と、
前記担持体に吸収された溶剤成分を除去する溶剤除去部と、を有することを特徴とするパッド印刷装置。
【請求項１０】
平坦な保持面を有する保持部によって平坦に保持された担持体の一方主面に転写物からなる所定のパターンを形成するパターニング工程と、
前記担持体の他方主面と前記保持部の前記保持面との間に形成される隔離された空間に流体を供給し前記担持体を膨張変形する工程と、
前記膨張変形している前記担持体を、被転写体に接触し前記担持体の一方主面に形成された前記転写物からなる前記所定のパターンを前記被転写体に印刷する印刷工程と、を備えることを特徴とするパッド印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パッド印刷用の転写パッド、パッド印刷装置およびパッド印刷方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話やスマートフォン等に内蔵されるアンテナは３次元形状のものが採用されている。このような３次元形状のアンテナを形成する手法として、板金と樹脂を一体成型する手法が取られている。しかし、この手法には高価な金型が必要となる。また、携帯電話やスマートフォンはモデルチェンジのサイクルが短いため、内蔵されるアンテナの形状も頻繁に変更される。そのため、モデルチェンジのたびに新しいアンテナ形状に沿った金型を作成することは、結果的に最終製品の低コスト化を妨げることとなる。
【０００３】
また、金型を使わない３次元形状のアンテナ形成も知られており、例えば、Ｌａｓｅｒ−Ｄｉｒｅｃｔ−Ｓｔｒｕｃｔｕｒｉｎｇ（ＬＤＳ）法と呼ばれる手法により行われている。ＬＤＳ法は、ベースポリマーにフィラー、有機金属を混ぜ合わせた材料を使用し、所望の形状に成型した後、レーザー露光機を使ってアンテナ形状に露光を行い、露光部のみにメッキを析出させることで回路形成（アンテナ形成）を行うものである。高価な金型を用いないという点で利点を有するが、メッキ処理には無電解メッキが用いられるため成膜に時間を要し高スループット化がはかれない問題がある。
【０００４】
また、３次元形状の基板に対してパターンを印刷する技術としてパッド印刷法が知られている（特許文献１）。特許文献１には、柔軟弾性材で作られた転写用パッドを用いて被転写体に転写物を転写することが記載されており、転写用パッドの変形を規制する規制部を設けることで、被転写体の被転写面が段差を有する形状であっても、被転写面の全体に対して正確なパターンを転写することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−１９８９９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ＬＤＳ法では高スループット化がはかれないばかりか、メッキ処理を行うための装置が高価であり結果的に高コスト化に繋がるという問題がある。
【０００７】
一方、特許文献１の手法では、安価な方法で３次元形状の基板に対してパターンを印刷することが可能であるが、例えば印刷材料として金属インクを用いて印刷した場合、印刷膜厚が薄くなるため抵抗値の低い配線パターンを得ることが困難であり、最終製品の品質の低下をまねくおそれがある。
【０００８】
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、印刷技術を用いて３次元構造の被印刷体に、厚い膜厚で印刷を可能とし、当該印刷によって配線パターンを形成するパターン印刷装置、パターン印刷方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
第１の態様にかかる転写パッドは、転写物を被転写体に転写するパッド印刷用の転写パッドであって、前記転写物を一方主面に保持する担持体と、前記担持体の他方主面側を保持する平坦な保持面を有する保持部と、前記担持体の他方主面と前記保持部の前記保持面との間に形成される隔離された空間に流体を供給する流体供給部と、を備え、前記担持体の一方主面に前記転写物が形成される時、前記担持体は前記保持面によって平坦に保持され、前記転写物を前記被転写体に転写する時、前記担持体は前記流体供給部によって前記空間に流体が供給され膨張変形していることを特徴とする。
【００１０】
第２の態様にかかる転写パッドは、第１の態様にかかるパッド印刷用の転写パッドであって、前記空間に供給された前記流体を排出する流体排出部をさらに備え、前記流体排出部は、前記空間内から前記流体を排出することで前記担持体を前記保持面に平坦に保持することを特徴とする。
【００１１】
第３の態様にかかる転写パッドは、第２の態様にかかるパッド印刷用の転写パッドであって、前記保持手段の保持面には、複数の開口が形成されており、前記流体供給部及び前記流体排出部は、前記開口を介して前記空間に前記流体を供給又は前記空間内の前記流体を排出することを特徴とする。
【００１２】
第４の態様にかかる転写パッドは、第１ないし第３の態様のいずれかの態様にかかるパッド印刷用の転写パッドであって、前記流体は、液体であることを特徴とする。
【００１３】
第５の態様にかかるパッド印刷装置は、第１のないし第４の態様のいずれかの態様にかかるパッド印刷用の転写パッドを備えたパッド印刷装置であって、前記保持部に平坦に保持された前記担持体の一方主面に、前記転写物からなる所定のパターンを形成するパターニング部と、前記被転写体を保持する被転写体保持部と、を備え、前記被転写体保持部によって保持された前記被転写体に、前記一方主面に前記パターンが形成された状態で膨張変形している前記担持体が接触し、前記被転写体に前記パターンを印刷することを特徴とする。
【００１４】
第６の態様にかかるパッド印刷装置は、第５の態様かかるパッド印刷装置であって、前記流体排出部は、前記担持体から前記被転写体に前記パターンが印刷された後、前記被転写体から前記担持体が引き離される時、前記空間内から前記流体を排出することを特徴とする。
【００１５】
第７の態様にかかるパッド印刷装置は、第５または第６の態様にかかるパッド印刷装置であって、前記パターニング部は、  スクリーン印刷方式で、前記担持体の一方主面に前記パターンを形成することを特徴とする。
【００１６】
第８の態様にかかるパッド印刷装置は、第５ないし第７のいずれかの態様にかかるパッド印刷装置であって、前記担持体の前記一方主面を撮像する撮像部と、前記担持体と前記パターニング部とを位置合わせする位置合わせ部と、をさらに備え、前記担持体は、前記一方主面にアライメントマークを有し、前記パターニング部はスクリーン印刷版を含み、前記位置合わせ部は、前記撮像部によって撮像された前記アライメントマークの位置に基づき、前記担持体と前記スクリーン印刷版との位置合わせを行うことを特徴とする。
【００１７】
第９の態様にかかるパッド印刷装置は、第５ないし第８のいずれかの態様にかかるパッド印刷装置であって、前記担持体を洗浄する洗浄部をさらに有し、前記洗浄部は、前記担持体の一方主面に残留する転写物を除去する転写物除去部と、前記担持体に吸収された溶剤成分を除去する溶剤除去部と、を有することを特徴とする。
【００１８】
第１０の態様にかかるパッド印刷方法であって、平坦な保持面を有する保持部によって平坦に保持された担持体の一方主面に転写物からなる所定のパターンを形成するパターニング工程と、前記担持体の他方主面と前記保持部の前記保持面との間に形成される隔離された空間に流体を供給し前記担持体を膨張変形する工程と、前記膨張変形している前記担持体を、被転写体に接触し前記担持体の一方主面に形成された前記転写物からなる前記所定のパターンを前記被転写体に印刷する印刷工程と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
第１の態様ないし第１０の態様では、平坦に保持された担持体上に転写物を担持させ、担持体と保持面の間に流体を供給し担持体を膨張変形させることで、担持体に厚い膜厚で転写物を形成することができるとともに、安価な方法で３次元形状の被転写体に対してパターンを転写することができる。その結果、転写物である金属インクの使用量を削減できる。また、抵抗値の低い配線パターンを形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】パッド印刷装置１の概略側面図である。
【図２】スクリーン印刷版４１を説明する図である。
【図３】ステージ１２の上面図である。
【図４】ブランケット１１の上面図である。
【図５】流体供給機構１４について説明する図である。
【図６】パッド印刷処理を説明するフローチャートでる。
【図７】パッド印刷処理における転写パッド１０の動作を説明する図である。
【図８】パッド印刷処理における転写パッド１０の動作を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
＜１．１  パッド印刷装置１の構成＞
図１は、パッド印刷装置１の概略側面図である。図１を参照しつつ本実施形態のパターン転写体を備えたパッド印刷装置１について説明する。パッド印刷装置１は、主たる構成として転写パッド１０、撮像機構２０、被転写体保持部３０、パターニング部４０、制御部５０，転写パッド１０を下方から支持する基台２を備える。また、パッド印刷装置１は各構成を囲うため、四方には立設された側板４と、上方には天板３とが配設されている。
【００２２】
基台２は、転写パッド１０を下方から支持する直方体形状の部材であり、上面は平坦面となっている。
【００２３】
転写パッド１０は、基台２の図面右側から左側に向けて移動可能に配設されている。転写パッド１０は、被転写体である３次元構造を有する基板へアンテナ配線となる転写物を転写するための装置である。詳細な構造については後述する。
【００２４】
撮像機構２０は、転写パッド１０の上方であって、天板３に取付部材２３を介して複数のＣＣＤカメラが取り付けられている。本実施形態では、矩形状のブランケット１１及びスクリーン印刷版４１の四方に形成されたアライメントマークを撮像可能とするため、４台のＣＣＤカメラが下方を撮像可能となるように取り付けられている。なお、図１では図示の都合上、ＣＣＤカメラ２１、２２のみ示している。いずれのＣＣＤカメラも構造は同じであり２次元ＣＣＤカメラ等を採用することができる。また、ＣＣＤカメラ２１、２２は転写パッド１０に対して絶対位置を有している。そのため、ＣＣＤカメラで撮像され取得された画像内でのアライメントマークの位置から、転写パッド１０の位置を調整することができる。これにより、スクリーン印刷版４１とブランケット１１との位置合わせが可能となる。
【００２５】
被転写体保持部３０は、図面右側であって基台２の上方に配設されている。被転写体保持部３０は、被転写体３１を水平に保持するための機構である。そのため、保持面は平坦となっており、例えば、被転写体３１を吸着保持するための吸着溝が形成されている。図示の都合上、被転写体保持部３０は天板３に取り付けられているがこのような構造に限定されるものではない。
【００２６】
パターニング部４０は、スクリーン印刷版４１と、ドクターブレード４２とを備え、転写パッド１０が備えるブランケット１１上に転写物４３からなるアンテナの配線パターンを形成するための機構である。このような転写物４３としては金属インクを採用することができる。このような金属インクの一例として有機溶媒や水系溶媒に金属微粒子を混ぜたものを使用することができる。
【００２７】
図２はスクリーン印刷版４１を説明するための図である。スクリーン印刷版４１は、アンテナパターン４４とアライメントマーク４５とが形成されている。アンテナパターン４４はアンテナの配線を形成するためのパターンである。このアンテナパターン４４の深度およびスクリーンメッシュの粗さによって、アンテナを形成するための配線パターンの膜厚を制御することができる。また、一般的にスクリーン印刷は他の印刷手法に比べて厚膜の印刷を行うことが可能である。よって、本実施形態ではスクリーン印刷技術を用いてアンテナの配線パターンを形成することで厚膜の配線を形成することが可能となる。
【００２８】
本実施形態では、アライメントマーク４５はアンテナパターン４４を囲うように四方に形成されているがこれに限定されるものではない。このアライメントマーク４５をＣＣＤカメラによって撮像することでＣＣＤカメラに対する絶対位置が特定され、ブランケット１１に対してスクリーン印刷版４１を位置合わせすることができる。
【００２９】
ブランケット１１に対して位置合わせを行う際は、後述する転写パッド１０が有する移動機構（位置合わせ部に相当）によって位置合わせが行われる。位置合わせが行われた後、スクリーン印刷版４１はブランケット１１上に載置される。その後、図示を省略する転写物供給機構によりスクリーン印刷版４１上に転写物４３が供給され、ドクターブレード４２がスクリーン印刷版４１上を一方側から他方側に向けて走査されることで、ブランケット１１上にスクリーン印刷版４１を介してアンテナパターン４４が形成される。
【００３０】
スクリーン印刷版４１の転写パッド１０への搬入出については図示を省略する搬送機構によってスクリーン印刷版４１の両端を保持してブランケット１１への載置及び取り出しが行われる。
【００３１】
＜１．２  転写パッド１０の構成＞
図１、図３ないし図５を参照しつつ転写パッド１０の構成について説明する。転写パッド１０は基台２上に配設されている。転写パッド１０の主たる構成として、ブランケット１１と、ブランケット１１を保持するステージ１２と、ステージ１２を昇降可能に支持する昇降機構１３と、ステージ１２とブランケット１１との間に形成される隔離された空間に流体を供給する流体供給機構１４とを備える。
【００３２】
図３はステージ１２の上面図である。保持部であるステージ１２は、その上面がブランケット１１の裏面側（他方主面）を保持する保持面である。この保持面１２１は平坦となっている。また、保持面１２１には複数の開口１２２が形成されている。開口１２２は、後述する供給路１４４と接続されており、開口１２２を介して流体１４５が供給される。なお、ステージ１２としては、保持面１２１の平坦性の精度を高くすることができる金属材料で構成される。例えば、ステンレス材等を用いることができる。
【００３３】
図４はブランケット１１の上面図である。転写物４３を担持する担持体であるブランケット１１の表面（一方主面）にはアライメントマーク１１０が形成されている。このアライメントマーク１１０を撮像機構２０で撮像することで、撮像機構２０とブランケット１１との絶対位置を特定することができる。これにより、ブランケット１１とスクリーン印刷版４１、被転写体３１とのアライメントを行うことができる。
【００３４】
ブランケット１１はその表面に転写物４３を担持する柔軟性を有する部材であり、被転写体３１に転写物４３を転写可能とするため、転写物４３である金属インクに対して溌液性を有する。具体的には接触角として３０度以上であることが好ましい。このような素材のブランケット１１を採用することで、ブランケット１１から被転写体３１への転写物４３の転写残りが減少し、転写物４３の使用量を抑えることができる。
【００３５】
ブランケット１１は、その寸法がステージ１２よりも大きく、ステージ１２を包み込むことが可能となっている。そして、ステージ１２に図示を省略するシール部材によって取り付けられている。具体的には、ブランケット１１の端部がステージ１２の裏面側でシール部材を介して取り付けられている。そのため、ブランケット１１の他方主面とステージ１２の保持面１２１との間には隔離された空間を形成することができる。また、ブランケット１１はステージ１２に対してその寸法が大きいため図４（ｂ）に示されるようにブランケット１１が弛んだバッファ１１１を備える。このバッファ１１１により、ブランケット１１とステージ１２との間に形成される空間に流体１４５が供給された際、ブランケット１１を凸形状に膨張変形することができる。このようなバッファ１１１として、ブランケット１１の両端にバッファ１１１を設けているがこれに限られるものではない。例えば、一方側にのみバッファ１１１を形成する構成としてもよい。
【００３６】
また、ブランケット１１はステージ１２の平坦な保持面１２１を保持されることで平坦形状となる。つまり、ブランケット１１はステージ１２上で平坦形状と凸形状に膨張した膨張形状との間で形状を変移可能となっている。
【００３７】
昇降機構１３は、公知の昇降装置を採用することができる。例えば、ガイドレールとボールネジ、モータ等によって構成することができる。このような昇降機構１３を備えることで、被転写体３１に対してブランケット１１を近接または押圧し、ブランケット１１上に担持された転写物４３を被転写体３１に印刷することができる。なお、昇降機構１３の代わりに被転写体３１を保持する部材に昇降機構を設けても良い。つまり、ブランケット１１と被転写体３１との間の距離を相対的に変化させることが出来る機構であればよい。
【００３８】
図５を参照しつつ流体供給機構１４について説明する。流体供給機構１４は、ステージ１２に流体１４５を供給するための機構である。具体的には、流体１４５を供給するための流体供給源１４１と、流体供給源からステージ１２に形成される供給路１４４に連通接続された配管１４３と、配管１４３の途中に配設されたポンプ１４２とを備える。
【００３９】
流体１４５としては、気体や液体を採用することができる。しかしながら、好ましくは液体であり、転写物４３とブランケット１１と被転写体３１との濡れ性によって液体の粘度が決定される。得られた知見から、好ましくは１０００ｃｐから５００００ｃｐの範囲の粘度となるように調整された液体が使用される。
【００４０】
ポンプ１４２は、流体供給源１４１から供給される流体１４５をステージ１２の開口１２２へ送出、及びブランケット１１とステージ１２との間に形成された空間に供給された流体１４５を吸引するための機能を有する。
【００４１】
ポンプ１４２が流体１４５を供給する時、ポンプ１４２から送出された流体１４５は配管１４３を介して、ステージ１２内に形成された供給路１４４を通り、開口１２２から吐出される。この時のポンプ１４２の吐出速度は、設定した速度に対して１０％以内の精度で動作することが好ましい。これにより、被転写体３１へ転写物４３を転写する際の位置再現性を向上させることができる。
【００４２】
また、ポンプ１４２を送出時とは逆回転させることで、ブランケット１１とステージ１２との間に形成された空間内に充填された流体１４５を吸引することができる。これにより、流体１４５の供給によって膨張変形したブランケット１１を再びステージ１２の保持面１２１に対して平坦に保持させることができる。このようなポンプ１４２を用いて実施する場合、ステージ１２上に形成された開口１２２は供給口及び吸引口として機能する。
【００４３】
なお、供給経路と吸引経路の２つの経路を有する構成としてもよい。このような場合は、供給口として機能する開口１２２と、吸引口として機能する開口１２２とにそれぞれ供給経路と吸引経路を接続し、供給用のポンプと、吸引用のポンプをそれぞれ用いればよい。このような吸引経路を備える構成が流体排出部として機能する。つまり、流体排出部は、送出及び吸引を行うことができるポンプであっても良く、また、送出用と吸引用のポンプをそれぞれ設けても実現することができる。
【００４４】
転写パッド１０は、図示を省略するＹ方向移動機構によって図１のＹ方向に沿って移動可能となっている。言い換えると図面上の左側であるパターニング位置ＰＰと、右側である印刷位置ＩＰとの間で移動可能となっている。また、転写パッド１０はスクリーン印刷版４１とブランケット１１とのアライメント、ブランケット１１と被転写体３１とのアライメントを行うため、Ｘ方向に沿って移動可能とするＸ方向移動機構も備える。
【００４５】
制御部５０は、転写パッド１０を制御するため公知のコンピュータを採用することができる。制御部５０は、上述したポンプ１４２や昇降機構１３等の動作を制御することができる。また、装置全体であるパッド印刷装置１を制御するように構成しても良い。このような場合、さらに撮像機構２０等で撮像された画像からアライメントを行う。したがって、アライメント処理を行うための画像処理用のプログラム等も備える。言うまでもないが、制御部５０は転写パッド１０のみを制御し、パッド印刷装置１を含めた全体を制御するための別の制御機能を備える構成としてもよい。
【００４６】
＜２．  パッド印刷装置１の動作について＞
図６ないし図８を参照しつつパッド印刷装置１の動作について説明する。図６はパッド印刷装置１によるパッド印刷処理を説明するフローチャートであり、図７、図８はパッド印刷処理における転写パッド１０の動作を説明するための図である。
【００４７】
パッド印刷装置１が備える転写パッド１０は、ステージ１２の平坦な保持面１２１にブランケット１１を平坦に保持する（ステップＳ１１）。つまり、ブランケット１１とステージ１２の保持面１２１との間に形成される隔離された空間ＳＰ（図８参照）に流体１４５が流入していない状態である（図７（ａ））。言い換えると、ブランケット１１の他方主面とステージ１２の保持面１２１とが当接した状態であり、この時点では空間ＳＰは形成されていない。このような状態でブランケット１１が保持されるため、ステップＳ１２でのパターニング処理時において精度良くブランケット１１にパターニングすることができる。また、あわせて撮像機構２０によりブランケット１１のアライメントマーク１１０が撮像され制御部５０によりブランケット１１の位置が特定される。
【００４８】
平坦に保持されたブランケット１１の一方主面上にスクリーン印刷版４１が載置される。スクリーン印刷版４１は図示を省略する搬送機構により、両端部を保持されつつブランケット１１の上方に搬送され、搬送機構が下降しブランケット１１上に載置される。この時、スクリーン印刷版４１に形成されたアライメントマーク４５を撮像機構２０が撮像しスクリーン印刷版４１の位置が特定される。ステップＳ１１で検出したブランケット１１の位置と、スクリーン印刷版４１の位置とに基づきブランケット１１とスクリーン印刷版４１のアライメントが行われる。
【００４９】
そして、載置されたスクリーン印刷版４１上に図示を省略する転写物４３が供給される（図７（ｂ））。ドクターブレード４２がスクリーン印刷版４１上を矢印の方向に移動することで、スクリーン印刷版４１に形成されたメッシュに転写物４３が導入される（図７（ｃ））。なお、スキージをさらに備えることでドクターブレード４２による転写物４３の導入後にスキージにより余分な転写物４３を除去する工程を行なっても良い。
【００５０】
ドクターブレード４２によるスクリーン印刷版４１上の走査が完了すると、搬送機構によりスクリーン印刷版４１がブランケット１１から剥離される。スクリーン印刷版４１がブランケット１１上から剥離されると、ブランケット１１の一方主面には転写物４３で形成されたアンテナの配線パターンが形成される（図７（ｄ））。スクリーン印刷版４１によってブランケット１１の一方主面に配線パターンを形成するパターニング処理が行われる（ステップＳ１２）。
【００５１】
次に、転写パッド１０はパターニング位置ＰＰから印刷位置ＩＰに移動する。移動した後、制御部５０は流体供給機構１４を動作させポンプ１４２によって流体１４５が空間ＳＰに供給される（図８（ａ））。空間ＳＰに流体１４５が供給されることで、ステージ１２と当接していたブランケット１１がバッファ１１１の分だけ上昇する。言い換えると、ブランケット１１は流体１４５によって凸形状に膨張変形する（ステップＳ１３）。
【００５２】
そして、制御部５０は昇降機構１３を動作させ、膨張変形したブランケット１１を被転写体３１に接触させ押圧する（図８（ｂ））。この時、被転写体３１である基板が立体形状を有していても、ブランケット１１は流体１４５によって膨張変形しているため、３次元形状の表面に沿って変形する。これにより、ブランケット１１は被転写体３１が３次元形状を有する場合であっても、精度よく被転写体３１に当接することができる。また、ブランケット１１の一方主面は溌液性を有しているため、転写物４３は被転写体３１に転写される。言い換えると、アンテナの配線パターン状に形成された転写物４３が被転写体３１に転写されることで、被転写体３１に配線パターンが印刷される（ステップＳ１４）。
【００５３】
制御部５０は、昇降機構１３によってステージ１２を上昇させブランケット１１を被転写体３１に押圧した後、再び昇降機構１３を下降させ、ブランケット１１を被転写体３１から引き離す（ステップＳ１５）。この時、空間ＳＰに供給された流体１４５を排出させつつ引き離すことが好ましい（図８（ｃ））。これにより、転写物４３のブランケット１１から被転写体３１への転写性が悪い場合であっても良好に転写することができる。なお、ブランケット１１を被転写体３１から引き離した後、空間ＳＰに供給された流体１４５を排出させても良い。
【００５４】
本実施形態におけるパッド印刷装置１では、転写パッド１０にアンテナの配線パターンを形成する際、ブランケット１１をステージ１２に平坦保持した状態で配線パターンを形成する。そのため、精度良くブランケット１１に配線パターンを形成することができる。
【００５５】
また、ブランケット１１上への配線パターンの形成時にはスクリーン印刷法により形成することで、膜厚を厚くした配線パターンを形成することができる。これにより、抵抗値の高い配線パターンを得ることができる。
【００５６】
また、ブランケット１１を流体１４５により膨張変形させることで、被転写体３１が３次元形状の場合であっても、形状に沿って転写物４３を転写することができる。
【００５７】
よって、本実施形態によるパッド印刷装置１を用いることで高価な金型を不要するとともに、３次元形状の被印刷体に厚い膜厚で配線パターンを印刷することができるため、低コストでありながら、品質の低下を抑えた配線パターンを形成することができる。
【００５８】
＜３．  変形例＞
以上、本発明の実施の携帯について説明したが、この発明はその趣旨を逸脱しない限りにおいて、上述したもの以外に種々の変更を行う事が可能である。
【００５９】
上記の実施形態において、ブランケット１１の表面に転写物４３が残留するような場合、例えば、クリーニングローラや溶剤洗浄によって残留する転写物４３を除去する転写除去部を設けてもよい。これにより、ブランケット１１の表面状態を一定に保つことができ転写処理の再現性を確保することができる。また、ブランケット１１に吸収された溶剤成分を除去する溶剤除去部をさらに備えても良い。これにより、転写物４３含まれる溶剤成分がブランケット１１から除去され、ブランケット１１の長寿命化を図ることができる。
【００６０】
また、上記実施形態では、膨張変形したブランケット１１を被転写体３１に接触させ押圧することで転写物４３を被転写体３１に転写を行っていたがこれに限定されるものではない。例えば、昇降機構１３によりブランケット１１を被転写体３１の近傍まで上昇させた後、ブランケット１１に流体１４５を供給し、膨張変形する力でブランケット１１の一方主面を被転写体３１に接触させ転写物４３を転写する構成としてもよい。言い換えると、膨張変形させながら転写する構成としてもよい。
【００６１】
また、上記実施形態ではパターニング処理はスクリーン印刷法により行った、例えば、凸版印刷法や凹版印刷法、オフセット印刷法等を用いることが可能である。
【００６２】
また、転写パッド１０にＺ軸周りに回転可能とする機構を設けても良い。これにより、ＸＹ平面に対して精度良くアライメントを行うことができる。
【符号の説明】
【００６３】
１    パッド印刷装置
１０    転写パッド
１１    ブランケット
１２    ステージ
１３    昇降機構
１４    流体供給機構
２０    撮像機構
３０    被転写体保持部
３１    被転写体
４０    パターニング部
４１    スクリーン印刷版
４３    転写物
１２１    保持面
ＳＰ    空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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