(57)【要約】【課題】高平滑ながらに滑り性（および巻取り性）に優れ、高品位な平滑表面と高耐熱性を両立した離型フィルム用のポリフェニレンスルフィドフィルムを提供すること。【解決手段】フィルムの一方の表面をＡ面、他方の表面をＢ面としたとき、Ａ面、Ｂ面が下記（１）〜（３）の表面物性をすべて満足することを特徴とする。（１）Ａ面の表面粗さ（ＳＲａＡ）がＢ面の表面粗さ（ＳＲａＢ）より小さく、ＳＲａＡが２０ｎｍ以下（２）Ａ面のクルトシス（ＳｋｕＡ）が３以上、７以下（３）Ｂ面のクルトシス（ＳｋｕＢ）が６以上、２５以下。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムの一方の表面をＡ面、他方の表面をＢ面としたとき、Ａ面、Ｂ面が下記（１）〜（３）の表面物性をすべて満足することを特徴とするポリフェニレンスルフィドフィルム。
（１）Ａ面の表面粗さ（ＳＲａＡ）がＢ面の表面粗さ（ＳＲａＢ）より小さく、ＳＲａＡが２０
ｎｍ以下
（２）Ａ面のクルトシス（ＳｋｕＡ）が３以上、７以下
（３）Ｂ面のクルトシス（ＳｋｕＢ）が６以上、２５以下。
【請求項２】
Ａ面の表面に観察される陥没欠点の個数が０〜５個／１ｍｍ２であること特徴とする請求項１に記載のポリフェニレンスルフィドフィルム。
【請求項３】
Ｂ層が平均粒子径の異なる少なくとも２種類の粒子を含有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のポリフェニレンスルフィドフィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポリフェニレンスルフィドフィルムに関するものであり、特に離型用フィルムとして好適なポリフェニレンスルフィドフィルムに関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線板の製造方式の一つに絶縁層と導体層を交互に積み重ねるビルドアップ方式がある。ビルドアップ方式においては、次の（ａ）〜（ｃ）のような手順で回路基板上に絶縁層を形成する方法が知られている。すなわち、（ａ）有機フィルムからなる支持体（離型フィルム）の上に未硬化または半硬化状態の熱硬化性樹脂組成物（絶縁層）を積層したシート材を用意する。（ｂ）そのシート材を絶縁層面が回路基板と接するように回路基板上に積層し、そのまま熱圧着して絶縁層を硬化させる。（ｃ）離型フィルムを剥離除去する。といった手順である。（ｂ）と（ｃ）の間に、必要に応じて離型フィルムの上からレーザーを照射し、ビア加工（孔開け加工）等を行う場合もある。
【０００３】
該手法において、離型フィルムには絶縁層を硬化させる際の加熱に耐え得るだけの耐熱性と、高品位な平滑表面が要求される。加えて、近年、半導体回路の微細化と高集積化が進むにつれて絶縁層の薄膜化のニーズが高まっているが、薄膜化実現のために絶縁層の熱硬化温度が上昇した結果、離型フィルムにもより高い耐熱性が求められるようになってきた（特許文献１）。架橋反応点の多い熱硬化性樹脂組成物や、耐熱性の高い骨格を有する熱硬化性樹脂組成物を用いて高温加熱し、架橋密度を高めることで、絶縁層が高硬度化し、薄膜ながらに高強度な多層基板を形成できるというのが、薄膜化実現のために絶縁層の熱硬化温度が上昇した理由である。具体的には、従来は絶縁層樹脂の熱硬化条件が１３０〜１９０℃で２０〜８０分程度であり、安価で汎用性の高いポリエステルフィルムが離型フィルムとして用いられてきたが、絶縁層薄膜化の結果、熱硬化温度が１６０〜２５０℃で３０〜１００分と変化し、従来のポリエステルフィルムからなる離型フィルムでは耐熱性が不足して熱硬化の間にフィルムが脆化し、剥離時に破れが発生する場合があった。
【０００４】
一方、耐熱性の高いポリフェニレンスルフィドフィルムを離型フィルムとして用いた例は、例えばＣＦＲＰプリプレグの成形用離型フィルム（特許文献２）や、液晶高機能膜用離型フィルム（特許文献３）などが知られているが、従来の製法では、耐熱性は満足するものの、本回路基板用途にて必要とされる高品位な平滑表面を満足するポリフェニレンスルフィドフィルムを得られない場合があった。
【０００５】
なお、ここで高品位な平滑表面とは、面全体の表面粗さ十分に小さいことに加え、陥没欠点などの欠点数が少ない表面のことをさす。離型フィルムの面全体の表面粗さが大きかったり、陥没欠点が多く存在したりすると、その表面性状が絶縁層に転写し、絶縁層の表面性状を悪化させる場合があった。具体的には、ビルドアップ方式による製造方法においては、絶縁層と導体層（回路）の密着強度を高めるために、通常、導体層の形成に先立って絶縁層表面を粗化処理して表面に凹凸を形成するが、このときに絶縁層の表面粗さが大きかったり、離型フィルムの陥没欠点が転写してできた欠点が存在したりすると、均一で緻密な粗化処理ができずに絶縁層表面に粗化斑が発生する場合があった。かかる粗化斑は絶縁層表面における局所的な微細配線形成不良を引き起こすため、低減することが好ましい。特に、近年では回路配線の緻密性を示すＬ／Ｓ（Ｌｉｎｅ  ａｎｄ  Ｓｐａｃｅ）の値が２０／２０μｍ以下の高精細領域に達しており、それに伴って離型フィルムにもより高品位な平滑表面が求められるようになってきた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−１１９４６１号公報
【特許文献２】特開２０１２−８１７４１号公報
【特許文献３】特開２００７−１５２７６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
平滑性の高いポリフェニレンスルフィドフィルムを得ようとした場合、例えばフィルム中に添加する無機粒子等のフィラー量を少なくする方法などが考えられるが、その場合、フィルムの易滑性が不足して長尺フィルムを安定的に巻き取りできなかったり、製膜時や加工時にフィルム表面に擦れ傷が入って品位が低下したりする場合があった。
本発明は、前記事情に鑑みてなされたものであり、高平滑ながらに滑り性（および巻取り性）に優れ、高品位な平滑表面と高耐熱性を両立した離型フィルムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のポリフェニレンスルフィドフィルムは、上記課題を解決するために次のような構成を有する。すなわち、フィルムの一方の表面をＡ面、他方の表面をＢ面としたとき、Ａ面、Ｂ面が下記式（１）〜（３）を満足することを特徴とする。
（１）  ＳＲａＡ≦２０ｎｍ  （ＳＲａＡ＜ＳＲａＢ）
（２）  ３≦ＳｋｕＡ≦７
（３）  ６≦ＳｋｕＢ≦２５
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、高平滑ながらに滑り性に優れ、高品位な平滑表面と高耐熱性を両立したプリント配線板用離型フィルムを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】電子顕微鏡による陥没欠点の観察画像。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明について説明する。本発明の発明者らは、前記課題、つまり、高平滑性と滑り性とを兼ね備えたポリフェニレンスルフィドフィルムについて鋭意検討した結果、フィルムの表面物性を一定の範囲に制御することによって、高平滑性と滑り性の両立が可能であることを見出したものである。
本発明のポリフェニレンスルフィドフィルムは、フィルムの一方の表面をＡ面、他方の表面をＢ面としたとき、Ａ面、Ｂ面が下記（１）〜（３）の表面物性をすべて満足することが重要である。
（１）Ａ面の表面粗さ（ＳＲａＡ）がＢ面の表面粗さ（ＳＲａＢ）より小さく、ＳＲａＡが２０
ｎｍ以下である。
（２）Ａ面のクルトシス（ＳｋｕＡ）が３以上、７以下の範囲である。
（３）Ｂ面のクルトシス（ＳｋｕＢ）が６以上、２５以下の範囲である。
まず、物性（１）では、フィルムの一方の表面をＡ面、他方の表面をＢ面としたときＡ面の表面粗さ（ＳＲａＡ）がＢ面の表面粗さ（ＳＲａＢ）より小さく、ＳＲａＡが２０ｎｍ以下であることが重要である。より好ましくはＳＲａＡが１５ｎｍ以下である。ＳＲａＡが２０ｎｍを超えると、フィルム上に積層される熱硬化性樹脂組成物の表面にフィルムの凹凸が転写し、微細な回路形成に適した粗化斑のない平滑表面を有する絶縁層を形成することが困難となる場合がある。ＳＲａＡの下限値は特に制限されないが、ＳＲａの測定に用いる装置の測定限界を考えると、実質的に１ｎｍ程度が下限値である。
【００１２】
なお、ＳＲａとは３次元表面粗さのパラメータで、表面粗さ曲線をサインカーブで近似した際の中心面における平均粗さを意味し、中心面平均粗さと定義する。中心面平均粗さは、ＪＩＳ−Ｂ０６０１−１９９４に記載されている２次元粗さパラメータの中心線平均粗さ（Ｒａ）を３次元に拡張したもので、表面形状曲面と中心面で囲まれた部分の体積を測定面積で割ったものである。中心面をＸＹ面、縦方向をＺ軸とし、測定された表面形状曲線をｆ（ｘ、ｙ）とする時、下記（式１）によって定義される。ここで、ＬｘはＸ方向測定長、ＬｙはＹ方向測定長である。   
【００１３】
【数１】
2016097518.tif 000002
【００１４】
かかるＳＲａを達成するための方法としては、例えば、後述するようにＡ層に含有させる粒子の一次粒子径や形状、添加濃度などを好ましい範囲に制御したり、Ａ層とＢ層の積層比を最適範囲に制御したりすることなどが挙げられる。
【００１５】
物性（２）では、Ａ面のクルトシス（ＳｋｕＡ）が３以上、７以下の範囲であることが平滑性向上の観点から重要である。より好ましくは３以上、６以下である。ＳｋｕＡが７を超えると、フィルム上に積層される絶縁層の表面に、尖った突起が突き刺さることで局所的な凹みを形成しやすくなり、絶縁層を粗化して回路形成を行う際に絶縁層の粗化斑に起因する回路の欠損が生じる場合がある。ＳｋｕＡが３未満であると、フィルムの易滑性が不足して長尺フィルムを安定的に巻き取りできなかったり、製膜時や加工時にフィルム表面に擦れ傷が入って品位が低下したりする場合がある。
【００１６】
物性（３）では、Ｂ面のクルトシス（ＳｋｕＢ）が６以上、２５以下の範囲であることがフィルムの滑り性を改善して製膜時や加工時の走行性を向上させたり、巻取り性を向上させたりするために重要である。より好ましくは６以上、２０以下である。ＳｋｕＢが２５を超える場合や、６未満である場合には、フィルムの易滑性が不足して長尺フィルムを安定的に巻き取りできなかったり、製膜時や加工時にフィルム表面に擦れ傷が入って品位が低下したりする場合がある。
【００１７】
なお、クルトシス（Ｓｋｕ）とは、表面の鋭さの尺度である尖度のことを指し、下記（式２）によって定義される。  
【００１８】
【数２】
2016097518.tif 000003
【００１９】
式１中のＳｑは、統計学での標準偏差を表すパラメータであり、平均面をｘｙ面、縦方向をＺ軸とし、測定された表面形状曲線をＺ（ｘ，ｙ）とし、測定面積をＡとする時、下記（式３）で定義される値である。
【００２０】
【数３】
2016097518.tif 000004
【００２１】
かかるＳｋｕの値を達成するための方法としては、例えば、後述するように、Ａ層およびＢ層に添加される粒子の粒子径や添加量を好ましい範囲に制御したり、Ｂ層に粒子径の異なる２種類の粒子を添加したりすることなどが挙げられる。
【００２２】
本発明のポリフェニレンスルフィドフィルム（以下、ＰＰＳフィルムということがある）は、ポリフェニレンスルフィドを主成分とする樹脂組成物を、２層以上の複合構成となるように溶融成形してシート状とし、二軸延伸、熱処理してなるフィルムである。
【００２３】
本発明において、ポリフェニレンスルフィドを主成分とする樹脂組成物（以下、ＰＰＳ樹脂組成物ということがある）とは、ポリマーの主要構成単位として下記式（Ａ）で示されるｐ−フェニレンスルフィド単位を好ましくは７０モル％以上、より好ましくは８０モル％以上含有する樹脂をマトリックス樹脂とする樹脂組成物である。マトリックス樹脂の主要構成単位としてｐ−フェニレンスルフィド単位が７０モル％未満であると、ポリマーの結晶性や熱転移温度などが低く、ポリフェニレンスルフィドフィルムの特徴である耐熱性、寸法安定性、機械特性などを損なうことがある。マトリックス樹脂はｐ−フェニレンスルフィド単位をポリマーの主要構成単位とする限り、下記の式（Ｂ）〜式（Ｍ）などで表される共重合成分や、式（Ｎ）〜式（Ｑ）などで表される少量の分岐単位または架橋単位を含むことができる。共重合成分はｐ−フェニレンスルフィド単位１モルに対して０〜２０モル％の範囲であることが好ましく、分岐単位または架橋単位はｐ−フェニレンスルフィド単位１モルに対して０〜１モル％の範囲であることが好ましい。
【００２４】
【化１】
2016097518.tif 000005
【００２５】
【化２】
2016097518.tif 000006
【００２６】
【化３】
2016097518.tif 000007
【００２７】
本発明において、ＰＰＳ樹脂組成物の溶融粘度としては、温度３１０℃、剪断速度１，０００（１／ｓｅｃ）のもとで、１００〜２，０００Ｐａ・ｓの範囲であることがフィルムの製膜性の観点から好ましく、さらに好ましくは２００〜１，０００Ｐａ・ｓの範囲である。
【００２８】
本発明のＰＰＳフィルムは、無機粒子の添加処方の異なる表裏２層を有し、フィルム全体が少なくとも２層以上の層によって構成された多層複合フィルムであることが好ましい。フィルムを構成する全層数は２層以上であれば特に限定されないが、層数が増えるほど製膜に用いる押出機や口金の構成が複雑となり、量産時の工程管理が複雑となるため、Ａ層／Ｂ層の２層、あるいはＡ層／Ｃ層／Ｂ層の３層が好ましく、より好ましくはＡ層／Ｂ層の２層である。
【００２９】
本発明のＰＰＳフィルムのＡ層／Ｂ層の積層界面（ＰＰＳフィルムが２層構成からなる場合）やＡ層／Ｃ層およびＣ層／Ｂ層の積層界面（ＰＰＳフィルムが３層構成からなる場合）は、以下の方法によって判別することができる。まずフィルムサンプルを面方向に対して垂直な向き（厚み方向）にミクロトームで切断して断面を作製し、断面を走査型電子顕微鏡にて１０００〜５０００倍に拡大して観察し、観察画像を撮影する。次に、観察したフィルムを、厚み２μｍ刻みの薄膜層の積層体と仮定し、観察した断面画像を２μｍ刻みの疑似層に分割した後、各層中に観察される粒子の個数と粒子径をイメージアナライザー等の画像解析ソフトを用いて測定する。観察範囲は、すべての疑似層について最低でも１００個以上の粒子を抽出できるように、適宜範囲を調整し、範囲を変更した場合は全ての疑似層について同じ観察範囲で粒子個数と粒子径を測定する。得られた粒子個数と粒子径のデータをもとに２μｍ刻みの疑似層の平均粒子径を平均値の算出式（平均粒子径＝ある層内で観察された全粒子の粒子径の総和÷観察した全粒子の個数）によって層毎に算出する。なお、添加した粒子の形が不定形な場合、観察画像で最も長い部分の径をその粒子の粒子径とする。
こうして得られた疑似層の平均粒子径の値を、フィルムの厚み方向に対して積層順に並べたとき、ある疑似層（Ｘ層）の平均粒子径Ｄｘと、Ｘ層と隣接する疑似層（Ｘ＋１層）の平均粒子径Ｄｘ＋１とが、下記（式４）を満たす場合には、Ｘ層とＸ＋１層は同一粒子径の粒子によって形成されているとみなす。
（Ｄｘ−Ｄｘ＋１）／Ｄｘ≦０．１  （ただし、Ｄｘ＞Ｄｘ＋１）          （式４）。
【００３０】
また、同様に、Ｘ層中の粒子個数Ｎｘと、Ｘ＋１層中の粒子個数Ｎｘ＋１とが、下記（式５）を満たす場合には、Ｘ層とＸ＋１層は同一の粒子数を有するとみなす。
（Ｎｘ−Ｎｘ＋１）／Ｎｘ≦０．１  （ただし、Ｎｘ＞Ｎｘ＋１）          （式５）。
【００３１】
上記式４および式５をともに満たす場合、すなわち、Ｘ層とＸ＋１層が同一粒子径の粒子によって形成されるとともに同一の粒子数を有する場合、Ｘ層とＸ＋１層は同一の粒子処方からなる単一層であるとみなし、Ｘ層とＸ＋１層の間に積層界面は存在しないと判定する。逆に、上記式４および式５のいずれか一方でも満足しない場合、Ｘ層とＸ＋１層は異なる粒子処方からなる層であるとみなし、Ｘ層とＸ＋１層の間に積層界面が存在すると判定する。この作業を全ての隣接する疑似層対の界面について実施することで、本発明のＰＰＳフィルムのＡ層／Ｂ層の積層界面（ＰＰＳフィルムが２層構成からなる場合）やＡ層／Ｃ層およびＣ層／Ｂ層の積層界面（ＰＰＳフィルムが３層構成からなる場合）を定義することができ、本発明のＰＰＳフィルムの積層構成を判別することができる。
【００３２】
本発明のＰＰＳフィルムは、フィルムの一方の表面をＡ面、他方の表面をＢ面としたとき、Ａ面を有する層（Ａ層）およびＢ面を有する層（Ｂ層）がそれぞれ下記の通り構成されていることが前記の表面物性を有する面を形成するために好ましい。
【００３３】
まずＡ層は、無機粒子を０．０１質量％以上、０．３質量％以下の範囲で含有することが前記の表面物性（１）および（２）を有する面を形成するために好ましく、粒子の添加量はより好ましくは０．０３質量％以上、０．２質量％以下である。無機粒子の添加量が０．０１％未満の場合、フィルムの延伸時に起点となる核が存在しないために、表層樹脂が外部刺激によって流動しやすくなり、わずかな摩擦によっても傷が入り、品位が低下する場合がある。また、無機粒子の添加量が０．３質量％を超えると、フィルムの平滑性が損なわれ、フィルム上に積層される熱硬化性樹脂組成物の表面に、フィルムの凹凸が転写し、微細な回路形成に適した平滑な表面を有する絶縁層を形成することが困難となる場合がある。無機粒子は、例えば、炭酸カルシウム、シリカ、酸化チタン、アルミナ、カオリン、リン酸カルシウム、硫酸バリウム、タルク、酸化亜鉛、金属ナノ粒子などがあげられ、これらＡ層の無機粒子は１種が単独で使用されてもよく、また２種以上が併用されても良い。
【００３４】
Ａ層の無機粒子は、数平均粒子径が０．１μｍ以上、０．５μｍ以下であることが前記の表面物性（１）および（２）を有する面を形成するために好ましく、より好ましくは、０．２μｍ以上、０．４μｍ以下である。数平均粒子径が０．１μｍ未満であると、粒子が凝集しやすいためにフィルム中での分散不良が発生し、粒子の凝集体が粗大突起などを形成して平滑性を損ねる場合がある。また、数平均粒子径が０．５μｍを超えると、フィルムの平滑性が損なわれ、フィルム上に積層される熱硬化性樹脂組成物の表面に、フィルムの凹凸が転写し、微細な回路形成に適した平滑な表面を有する絶縁層を形成することが困難となる場合がある。無機粒子の一次粒子の形状は、球状、直方体状、立方体状、不定形状などの粒子を用いることができるが、球状粒子を用いることがフィルム表面の陥没欠点数を減らし、平滑性の品位を高めるために好ましい。また、無機粒子をポリフェニレンスルフィド樹脂中に混練分散させる際には、予めエチレングリコール等の分散媒中に分散させた無機粒子のスラリーを用い、混練の際に分散媒を揮発除去しながら混練することが、粒子の分散性を高めるために好ましい。
【００３５】
次にＢ層は、Ｂ層全体の質量を基準として、無機粒子を０．３質量％以上、５質量％以下の範囲で含有することが前記の表面物性（３）を有する面を形成するために好ましく、無機粒子の添加量はより好ましくは０．５質量％以上、３質量％以下である。無機粒子の添加量が０．３％未満の場合、フィルムの易滑性が不足して長尺フィルムを安定的に巻き取りできなかったり、製膜時や加工時にフィルム表面に擦れ傷が入って品位が低下したりする場合がある。また、無機粒子の添加量が５質量％を超えると、巻取り時にフィルムのＡ面とＢ面との間で発生する摩擦力によってＢ面に含有された粒子が脱落しやすくなり、脱落した粒子によってＡ面に擦れ傷の欠点が発生する場合がある。無機粒子は、例えば、炭酸カルシウム、シリカ、酸化チタン、アルミナ、カオリン、リン酸カルシウム、硫酸バリウム、タルク、酸化亜鉛、金属ナノ粒子などがあげられ、これらのＢ層の無機粒子は１種が単独で使用されてもよく、また２種以上が併用されても良い。
【００３６】
本発明のＰＰＳフィルムは、Ｂ面を有する層（Ｂ層）が平均粒子径の異なる少なくとも２種類の粒子を含有している事が好ましい。具体的には、Ｂ層に含まれる粒子の粒度分布を、横軸を粒子径、縦軸を各粒子径を有する粒子の存在比率とするグラフとして描いた際に、存在比率が３％を超えるピーク高さのピークが少なくとも２つ以上観察され、かつ、観察されるピークを高さ順にＰ１、Ｐ２、Ｐ３・・・とする時、Ｐ１の頂点位置が粒子径０．７μｍ以上、２μｍ以下の範囲にあり、Ｐ２の頂点位置が粒子径０．１μｍ以上、０．５μｍ以下の範囲にあることが前記の表面物性（３）を有する面を形成するために好ましい。さらに、ピーク高さはＰ１が２０％以上、Ｐ２が７％以上であることがフィルムの易滑性を高めるために好ましい。
【００３７】
本発明のＰＰＳフィルムは、厚みが１０μｍ以上、８０μｍ以下であることが絶縁層を塗布する際やビア加工を行う際の取り扱い性の観点から好ましい。厚みが１０μｍ未満であると、支持体として必要な腰が不足するために、絶縁層を塗布する際に皺が入ったり、塗布斑が発生したりする場合がある。厚みが８０μｍを超えると、ビア加工を行う際に、高出力なレーザーが必要となって加工精度が低下したり、加工時間が増えて生産性が低下したりする場合がある。
本発明のＰＰＳフィルムは、１６０℃におけるＴＤ方向の熱収縮率が−１．０〜１．０％の範囲であることが好ましく、より好ましくは−０．８〜０．８％、である。熱収縮率が−１．０％未満であったり、１．０％を超えたりすると、絶縁層の熱硬化性樹脂組成物を溶剤に溶かしてフィルム上に塗布した後、溶剤を乾燥させる際にフィルムに皺が入る場合がある。
【００３８】
本発明のＰＰＳフィルムは、フィルム全体厚み（μｍ）に占めるＡ面を形成する層（Ａ層）の厚み（μｍ）の比率が８％以上、８０％以下であることが好ましく、より好ましくは、１０％以上、７０％以下である。Ａ層の厚み比率が８０％を超えると、フィルムの延伸性が低下するため、高倍率延伸してフィルムの平滑性を高めようとした際に、延伸破れが発生する場合がある。Ａ層の厚み比率が８％未満であると、Ａ層内の無機粒子や、Ａ層に接する他の層に含まれる無機粒子の影響によりＡ面の表面粗さが大きくなり、Ａ面の平滑性が損なわれる場合がある。
【００３９】
本発明のＰＰＳフィルムは、Ａ面の表面に観察される陥没欠点の個数が０〜５個／１ｍｍ２であることが好ましく、より好ましくは０〜３個／１ｍｍ２である。陥没欠点とは、図１に電子顕微鏡の観察画像を示したとおり、５ｍｍ角サイズのサンプルのＡ面に白金蒸着をし、走査型電子顕微鏡によって倍率１０００〜１００００倍で観察したときに観察される表面平面部のクレーター状の凹みである。真上から観察したときにリング状、あるいはＵ字型の影が観察されることを特徴としており、陥没欠点数は電子顕微鏡を走査しながら１ｍｍ２の範囲を観察し、観察された陥没欠点の総数を数える。陥没欠点数が５個／１ｍｍ２を超えると、離型フィルムとして用いた際に絶縁層に突起状欠点が増え、絶縁層表面に無電解メッキによって銅層を積層する前の薬液による粗化処理の際に、粗化斑が発生して高精細な回路を形成できなくなる場合がある。かかる陥没欠点数を達成するための方法としては、例えば、後述するように添加される粒子の形状や添加量を好ましい範囲に制御したり、延伸後にフィルムのＡ面が接触するロールにストッキング布を巻き付けたりすることなどが挙げられる。
【００４０】
本発明のＰＰＳフィルムは、プリント配線板の製造用の離型フィルムとして用いることが好ましいが、その場合、Ａ面を離型面として用いることが離型フィルムと接触する絶縁層の表面平滑性を高めるために好ましい。また、必要に応じて、本発明のＰＰＳフィルムのＡ面に各種離型剤を塗布した後に、離型フィルムとして使用することもできる。離型剤は、シリコーン系離型剤、変性シリコーン系離型剤、アルキド系離型剤、変性アルキド系離型剤、長鎖アルキル系離型剤などの一般的な離型剤を用いることができる。
【００４１】
本発明のＰＰＳフィルムの製造方法について、一例を説明するが、本発明はかかる例に限定して解釈されるものではない。
【００４２】
（１）ポリフェニレンスルフィドの重合方法
硫化ナトリウムとジクロロベンゼンをＮ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）などのアミド系極性溶媒中で、高温高圧下で反応させる。必要に応じて、トリハロベンゼンなどの共重合成分を含ませることも可能である。重合度調整剤として苛性カリやカルボン酸アルカリ金属塩などを添加し２３０〜２８０℃で重合反応させる。重合後にポリマーを冷却し、ポリマーを水スラリーとしてフィルタで濾過後、粒状ポリマーを得る。アミド系極性溶媒を加えて３０〜１００℃の温度で攪拌処理して洗浄し、イオン交換水にて３０〜８０℃で数回洗浄し、酢酸カルシウムなどの金属塩水溶液で数回洗浄した後、乾燥してＰＰＳ粉粒体を得る。
【００４３】
（２）ＰＰＳ樹脂組成物の製造
上述のようにして得られたＰＰＳ粉粒体と、数平均粒子径が０．１〜２μｍの炭酸カルシウム粒子のスラリー（分散媒エチレングリコール、固形分濃度２０〜５０％）とを、混練後の炭酸カルシウム粒子の添加量が０質量％以上２０質量％未満となるように調整しながら２５０〜３５０℃に設定した真空ベント付の二軸押出機に供給し、１００〜６００回転／分のスクリュー回転数にて溶融混練を行う。混練後は径が２〜５ｍｍの口金穴からストランド形状に押し出し、カッターで切断してペレット化し、ＰＰＳ樹脂組成物からなるペレットを得る。なお、こうして得られたＰＰＳ樹脂組成物は、例えば炭酸カルシウム粒子の添加量が０質量％のＰＰＳ樹脂組成物のペレットと、炭酸カルシウム粒子の添加量が１０質量％のＰＰＳ樹脂組成物のペレットをそれぞれ用意し、使用時にこれらのペレットを適宜ブレンドする事で、粒子の濃度を任意に調整して使用することもできる。粒子の混練の際には、樹脂中への粒子の分散性を高める目的で、粒子の表面を脂肪酸や界面活性剤、カップリング剤などで処理した後に混練してもよい。
【００４４】
（３）ポリフェニレンスルフィドフィルムの製造
上述のようにして得られたＰＰＳ樹脂組成物のペレットを減圧下で乾燥した後、押出機の溶融部が２５０〜３５０℃の温度、好ましくは２７０〜３４０℃に加熱された２台の押出機に投入する。この時、一方の押出機（押出機Ａ）には、数平均粒子径０．１〜０．５μｍの炭酸カルシウム粒子が濃度０．０１〜０．３質量％の範囲で存在するように原料を調製して投入する。もう一方の押出機（押出機Ｂ）には、粒子径の異なる２種類の炭酸カルシウム粒子、すなわち、数平均粒子径０．１〜０．５μｍの炭酸カルシウム粒子と、数平均粒子径０．７〜２μｍの炭酸カルシウム粒子とが、合計で０．３〜５質量％の範囲で存在するように原料を調製して投入する。この時、２種類の炭酸カルシウム粒子の添加量は、調整後の原料に含まれる全粒子について横軸を粒子径、縦軸を各粒子径を有する粒子の存在比率とする粒度分布のグラフを描いた際に、数平均粒子径０．１〜０．５μｍの範囲に存在するピークの高さが７％以上であり、数平均粒子径０．７〜２μｍの範囲に存在するピークの高さが２０％以上であることが好ましい。
【００４５】
２台の押出機から投入された原料は、それぞれ溶融した状態でフィルタ濾材を通して濾過する。押出機Ａから投入した原料は、濾過精度３〜８μｍのフィルタ濾材にて濾過することが好ましく、押出機Ｂから投入した原料は、濾過精度５〜１５μｍのフィルタ濾材にて濾過することが好ましい。ここで、濾過精度とはフィルタに直径が均一に定まったラテックスビーズを１回通過した時に９５％以上捕集した粒径のことを指し、より直径の小さいラテックスビーズを９５％以上捕集したフィルタほど濾過精度が高いフィルタである。
【００４６】
続いて、フィルタ濾材を通して濾過した原料を溶融した状態のままで積層装置に導いて２層に積層したのち、Ｔダイ型口金から吐出し、２０〜７０℃の冷却ドラム上に静電荷を印加させながら密着急冷固化し、未延伸フィルムを得る。積層の際は、押出機Ｂから投入された原料が冷却ドラム面上に接するように積層の順番を定める。
【００４７】
次に、この未延伸フィルムを二軸延伸し、二軸配向させる。延伸方法としては、逐次二軸延伸法（長手方向に延伸した後に長手方向と直交する方向に延伸を行う方法などの一方向ずつの延伸を組み合わせた延伸法）、同時二軸延伸法（長手方向と長手方向と直交する方向とを同時に延伸する方法）、またはそれらを組み合わせた方法を用いることができるが、ここでは逐次二軸延伸法を用いた例で説明する。
【００４８】
未延伸ポリフェニレンスルフィドフィルムを加熱ロール群で加熱した後、長手方向に３．４〜４．５倍、好ましくは３．７〜４．４倍に１段もしくは２段以上の多段で延伸する。延伸温度は７０〜１３０℃が好ましく、より好ましくは８０〜１１０℃である。その後２０〜５０℃の冷却ロール群で冷却する。長手方向と直交する方向の延伸方法としては、例えば、テンターを用いる方法が一般的である。長手方向に延伸した後のフィルムの両端部をクリップで把持して、テンターに導き、長手方向と直交する方向の延伸を行う。延伸温度は７０〜１３０℃が好ましく、より好ましくは８０〜１１０℃である。延伸倍率は３．４〜４．５倍、好ましくは３．７〜４．４倍の範囲である。
【００４９】
次に、この二軸延伸フィルムを緊張下で熱処理する。熱処理温度は１６０〜２８０℃の範囲が好ましく、１段もしくは２段以上の多段で行う。この際、該熱処理温度で長手方向と直交する方向に５〜１５％の範囲で弛緩処理することが熱的寸法安定性の点で好ましい。２段の熱処理を行う場合、１段目の熱処理温度を１６０〜２２０℃の範囲とし、２段目の熱処理温度を２３０〜２８０℃の範囲で１段目の温度よりも高い温度とすることが、フィルムの平面性向上や安定した製膜のために好ましい。熱処理後はフィルムを室温まで冷却する。
【００５０】
次にフィルムはエッジ部分をトリミングカッターによりトリミングした後、巻き取り機にて巻き取られる。巻き取り機には、巻き取りの前に皺を伸ばすためのエクスパンダーロールが用いられる事が好ましい。そして、前記の陥没欠点数を低減するためには、延伸後の搬送工程においてＡ面が接触する搬送ロールに熱可塑性樹脂からなる繊維で縫製されたストッキング布を巻き付けることが好ましい。ストッキング布の目付は、１０〜７０ｇ／ｍ２が好ましく、より好ましくは２０〜６０ｇ／ｍ２である。繊維が熱可塑性樹脂からなるものでない場合、繊維の硬度が硬すぎるなどの理由によりフィルム表面に擦れ傷が発生する場合がある。また、目付が１０ｇ／ｍ２未満のストッキング布は耐久性が不足するために使用時に繊維落ちが発生する頻度が多くなり、一方、目付が７０ｇ／ｍ２を超えるストッキング布はフィルムの搬送性を低下させ、フィルムに皺が発生する場合がある。
【実施例】
【００５１】
物性値の測定方法ならびに効果の評価方法は次の通りである。
【００５２】
（１）樹脂の融点
ＪＩＳ  Ｋ７１２１−１９８７に準じ、示差走査熱量計としてセイコーインスツルメンツ社製ＤＳＣ（ＲＤＣ２２０）、データ解析装置として同社製ディスクステーション（ＳＳＣ／５２００）を用いて測定した。試料３ｍｇをアルミニウム製受皿上で室温から３４０℃まで昇温速度２０℃／分で昇温し、そのとき、観測される融解の吸熱ピークのピーク温度を融点（℃）とした。
【００５３】
（２）フィルムの総厚み
先端が平坦なダイヤルゲージ厚み計（ミツトヨ社製）を用いて面内を２０点測定し、平均値を求めて厚み（μｍ）とした。
【００５４】
（３）積層構成
積層構成は、以下の方法によって判別した。まずフィルムサンプルを面方向に対して垂直な向き（厚み方向）にミクロトームで切断して断面を作製し、断面を走査型電子顕微鏡にて１０００〜５０００倍に拡大して観察し、観察画像を撮影した。次に、観察したフィルムを、厚み２μｍ刻みの薄膜層の積層体と仮定し、観察した断面画像を２μｍ刻みの疑似層に分割した後、各層中に観察される粒子の個数と粒子径をイメージアナライザー等の画像解析ソフトを用いて測定した。観察範囲は、すべての疑似層について最低でも１００個以上の粒子を抽出できるように、適宜範囲を調整し、範囲を変更した場合は全ての疑似層について同じ観察範囲で粒子個数と粒子径を測定した。得られた粒子個数と粒子径のデータをもとに、２μｍ刻みの疑似層の平均粒子径を平均値の算出式（平均粒子径＝ある層内で観察された全粒子の粒子径の総和÷観察した全粒子の個数）によって層毎に算出した。なお、添加した粒子の形が不定形な場合、観察画像で最も長い部分の径をその粒子の粒子径とした。
【００５５】
こうして得られた疑似層の平均粒子径の値を、フィルムの厚み方向に対して積層順に並べたとき、ある疑似層（Ｘ層）の平均粒子径Ｄｘと、Ｘ層と隣接する疑似層（Ｘ＋１層）の平均粒子径Ｄｘ＋１とが、下記（式４）を満たす場合には、Ｘ層とＸ＋１層は同一粒子径の粒子によって形成されているとみなした。
（Ｄｘ−Ｄｘ＋１）／Ｄｘ≦０．１  （ただし、Ｄｘ＞Ｄｘ＋１）          （式４）。
【００５６】
また、同様に、Ｘ層中の粒子個数Ｎｘと、Ｘ＋１層中の粒子個数Ｎｘ＋１とが、下記（式５）を満たす場合には、Ｘ層とＸ＋１層は同一の粒子数を有するとみなした。
（Ｎｘ−Ｎｘ＋１）／Ｎｘ≦０．１  （ただし、Ｎｘ＞Ｎｘ＋１）          （式５）。
【００５７】
上記式４および式５をともに満たす場合、すなわち、Ｘ層とＸ＋１層が同一粒子径の粒子によって形成されるとともに、同一の粒子数を有する場合、Ｘ層とＸ＋１層は同一の粒子処方からなる単一層であるとみなし、Ｘ層とＸ＋１層の間に積層界面は存在しないと判定した。逆に、上記式４および式５のいずれか一方でも満足しない場合、Ｘ層とＸ＋１層は異なる粒子処方からなる層であるとみなし、Ｘ層とＸ＋１層の間に積層界面が存在すると判定した。この作業を全ての隣接する疑似層対の界面について実施することで、フィルム全体の積層構成を判別した。
【００５８】
（４）Ｂ層の粒子種数，ピークの頂点位置
前記方法でフィルムの積層構成を判別した後、Ｂ面を有する層（Ｂ層）に含有されている粒子の粒度分布を、横軸を粒子径、縦軸を各粒子径を有する粒子の存在比率とするグラフとして描いた。次いで、存在比率が３％を超えるピークの数を数え、それをＢ層の粒子種数とした。
観察されるピークを高さ順にＰ１、Ｐ２、Ｐ３・・・とし、グラフからＰ１およびＰ２の頂点位置（横軸上）をそれぞれ読み取った。
【００５９】
（５）表面性状パラメータ（ＳＲａ、Ｓｑ、Ｓｋｕ）
小坂研究所（株）製の微細形状測定機（ＳＵＲＦ ＣＯＲＤＥＲ ＥＴ ４０００Ａ）を用いて以下の測定条件にて測定した。
触針形状：０．５μｍＲ（円錐形）
カットオフ：０．２５ｍｍ
フィルタ：位相補償フィルタ（ガウシアンフィルタ）
レベリング：全領域
Ｘ測定長さ：０．５ｍｍ
Ｙ方向長さ：０．５ｍｍ
測定間隔：５μｍ
測定速度：０．１ｍｍ／ｓｅｃ
走査回数：８０回。
なお、同じサンプルについて同様の測定を任意に場所を変えて５回行い、得られた５つの値の平均値を用いた。
【００６０】
（６）陥没欠点数
５ｍｍ角サイズのサンプルのＡ面に白金蒸着をし、走査型電子顕微鏡によって倍率１０００〜１００００倍で１ｍｍ２の範囲をくまなく観察し、Ａ面の表面平面部に観察されるクレーター状の凹み（真上から観察したときにリング状、あるいはＵ字型の影が観察される）の数を数えた。
【００６１】
（７）粗化斑
＜粗化処理試験体の作製＞
ＰＰＳフィルムのＡ面に、アルキド系樹脂（日立化成ポリマー社製、テスファイン３０３）１００質量部と、ｐ−トルエンスルホン酸の溶液（日立化成ポリマー社製、ドライヤー９００）２．５質量部と、４−ジメチルアミノピリジン溶液（固形分５質量％のトルエン溶液）１０質量部の混合物（アルキド系樹脂／４−ジメチルアミノピリジンの質量比は１００／１）を、トルエン／イソプロピルアルコール＝４：１混合液にて固形分濃度１．５質量％に希釈した溶液を、乾燥後の厚さが０．１μｍとなるように塗布し、１５０℃で１分間乾燥させて離型層を設けた。
【００６２】
次いで、ナフタレン型エポキシ樹脂（ＤＩＣ（株）製「ＥＸＡ４０３２ＳＳ」）８質量部と、ビキシレノール型エポキシ樹脂（三菱化学（株）製「ＹＸ４０００ＨＫ」）１１質量部、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂（新日鐵化学（株）製「ＥＳＮ４７５Ｖ」）９質量部を、ソルベントナフサ３２質量部に撹拌しながら加熱溶解させた後、室温にまで冷却した。そこへ、活性エステル系硬化剤（ＤＩＣ（株）製「ＨＰＣ−８０００−６５Ｔ」）３０質量部、フェノキシ樹脂（三菱化学（株）製「ＹＬ７５５３」）５質量部、硬化促進剤として４−ジメチルアミノピリジンの１０質量％ＭＥＫ溶液１質量部、ＭＥＫ７質量部を混合し、回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを調製した。調製した樹脂ワニスは、上記で得られた離型層を設けたフィルムの離型層上にダイコーターにて均一に塗布し、９５℃で５分間乾燥して、厚さ４０μｍの絶縁層を設けた。
【００６３】
離型層と絶縁層を設けた前記フィルムをガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板（松下電工（株）製「Ｒ５７１５ＥＳ」）にラミネート積層した後、１００℃で３０分間、次いで２００℃で６０分間加熱し、絶縁層を熱硬化させ、その後ＰＰＳフィルムを剥離して絶縁層を露出させた。
【００６４】
＜粗化処理＞
上記で露出させた絶縁層を有する内層回路基板を、膨潤液（アトテックジャパン（株）製「スエリングディップ・セキュリガントＰ」、ジエチレングリコールモノブチルエーテル及び水酸化ナトリウムの水溶液）に６０℃で１０分間、次いで酸化剤溶液（アトテックジャパン（株）製「コンセントレート・コンパクトＰ」、過マンガン酸カリウム濃度約６％、水酸化ナトリウム濃度約４％の水溶液）に８０℃で２０分間、最後に中和液（アトテックジャパン（株）製「リダクションショリューシン・セキュリガントＰ」、硫酸水溶液）に４０℃で５分間、浸漬して、絶縁層の表面を粗化処理した。８０℃で３０分間乾燥した後、得られた絶縁層の粗化面について粗化斑の評価を行った。
＜粗化斑の評価＞
絶縁層の粗化面をデジタルマイクロスコープ（ＫＥＹＥＮＣＥ製ＶＨ−５５００シリーズ、レンズＶＨ−Ｚ２０Ｒ）を用いて倍率１００倍にて観察し、粗化面の光沢の斑の有無について調べた。そして、粗化面の光沢に斑があるサンプルに関しては、粗化面の任意の１ｃｍ角内で低光沢領域と高光沢領域のそれぞれについてＳＲａを測定した。各領域について５点ずつ測定し、その平均値をそれぞれ低光沢領域のＳＲａ値（ＳＲａ１）、高光沢領域のＳＲａ値（Ｒａ２）とし、以下の通り判定した。
【００６５】
粗化斑
Ａ：粗化面の光沢の斑が視認されない。
Ｂ：粗化面の光沢の斑が視認されるが、（Ｒａ１−Ｒａ２）値が８０ｎｍ未満。
Ｃ：粗化面の光沢の斑が視認され、（Ｒａ１−Ｒａ２）値が８０ｎｍを超える。
【００６６】
（８）動摩擦係数
東洋精機（株）製スリップテスターを用いて、ＪＩＳ  Ｋ  ７１２５（１９９９年）に準じ、フィルムサンプルの表面と裏面を接触させるよう摩擦させ、５秒間以上動かした際に収束する抵抗値から動摩擦係数を算出した。動摩擦係数０．２２以下が合格である。
【００６７】
（参考例１）ＰＰＳ樹脂の作製
オートクレーブに、４７％水硫化ナトリウム９．４４ｋｇ（８０モル）、９６％水酸化ナトリウム３．４３ｋｇ（８２．４モル）、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）１３．０ｋｇ（１３１モル）、酢酸ナトリウム２．８６ｋｇ（３４．９モル）、及びイオン交換水１２ｋｇを仕込み、常圧で窒素を通じながら２３５℃まで３時間かけて徐々に加熱し、水１７．０ｋｇおよびＮＭＰ０．３ｋｇ（３．２３モル）を留出したのち、反応容器を１６０℃に冷却した。次に、主要モノマーとしてｐ−ジクロロベンゼン（ｐ−ＤＣＢ）１１．５ｋｇ（７８．４モル）、副成分モノマーとして１，２，４−トリクロロベンゼン  ０．００７ｋｇ（０．０４モル）、を加え、ＮＭＰ２２．２ｋｇ（２２３モル）を追添加して反応容器を窒素ガス下に密封し、４００ｒｐｍで撹拌しながら、２００℃から２７０℃まで０．６℃／分の速度で昇温した。２７０℃で３０分経過後、水１．１１ｋｇ（６１．６モル）を１０分かけて系内に注入し、２７０℃で更に反応を１００分間継続した。その後、水１．６０ｋｇ（８８．８モル）を系内に再度注入し、２４０℃まで冷却した後、２１０℃まで０．４℃／分の速度で冷却し、その後室温近傍まで急冷した。内容物を取り出し、３２リットルのＮＭＰで希釈後、溶剤と固形物をふるい（８０ｍｅｓｈ）で濾別した。得られた粒子を再度３８リットルのＮＭＰにより８５℃で洗浄した。その後６７リットルの温水で５回洗浄、濾別し、０．０５質量％酢酸カルシウム水溶液７０，０００ｇで５回洗浄、濾別した。得られた粒子を６０℃で熱風乾燥し、１２０℃で２０時間減圧乾燥することによって白色のポリフェニレンスルフィド樹脂の粉粒体を得た。得られたＰＰＳ樹脂の粉粒体は、融点が２８０℃であった。
【００６８】
（参考例２）ＰＰＳ樹脂組成物１の作製
参考例１で得たＰＰＳ粉粒体と、数平均粒子径が０．３μｍの炭酸カルシウム粒子のスラリー（分散媒エチレングリコール、固形分濃度５０％）とを、混練後の炭酸カルシウム粒子の添加量が７質量％となるように調整しながら３２０℃に加熱された真空ベント付の二軸押出機に供給し、３００回転／分のスクリュー回転数にて溶融混練を行った。混練後、ストランド形状に押し出してカッターで切断、ペレット化し、ＰＰＳ樹脂組成物１を得た。
【００６９】
（参考例３）ＰＰＳ樹脂組成物２の作製
参考例１で得たＰＰＳ粉粒体と、数平均粒子径が１．２μｍの炭酸カルシウム粒子のスラリー（分散媒エチレングリコール、固形分濃度５０％）とを、混練後の炭酸カルシウム粒子の添加量が７質量％となるように調整しながら３２０℃に加熱された設定した真空ベント付の二軸押出機に供給し、３００回転／分のスクリュー回転数にて溶融混練を行った。混練後、ストランド形状に押し出してカッターで切断、ペレット化し、ＰＰＳ樹脂組成物２を得た。
【００７０】
（参考例４）ＰＰＳ樹脂組成物３の作製
参考例１で得たＰＰＳ粉粒体を３２０℃に加熱された真空ベント付の二軸押出機に供給し、３００回転／分のスクリュー回転数にて溶融混練を行った。混練後、ストランド形状に押し出してカッターで切断、ペレット化し、ＰＰＳ樹脂組成物３を得た。
【００７１】
（実施例１）
参考例２〜４で得られた３種類のＰＰＳ樹脂組成物のペレットを減圧下で乾燥した後、３２０℃に加熱された２台の押出機に投入した。この時、一方の押出機（押出機Ａ）には、参考例２で用いた炭酸カルシウム粒子が０．１質量％存在するように樹脂組成物１と樹脂組成物３の投入量を調整して投入した。もう一方の押出機（押出機Ｂ）には、樹脂組成物１中の炭酸カルシウム粒子が０．２質量％、樹脂組成物２中の炭酸カルシウム粒子が、０．６質量％存在するように樹脂組成物１〜３の投入量を調整して投入した。２台の押出機から投入された原料は、押出機Ａから投入した原料は濾過精度５μｍのフィルタ濾材を、押出機Ｂから投入した原料は濾過精度１０μｍのフィルタ濾材を、それぞれ通過させて濾過し、濾過した原料を溶融した状態のままで積層装置に導いて２層に積層したのち、Ｔダイ型口金から吐出し、表面温度２５℃の冷却ドラム上に静電荷を印加させながら密着急冷固化し、未延伸フィルムを得た。積層の際は、押出機Ｂから投入された原料が冷却ドラム面上に接するように積層の順番を定め、積層比は押出機Ａから吐出されるＡ層と、押出機Ｂから吐出されるＢ層の比がＡ層：Ｂ層＝１：２．８となるようにした。
【００７２】
次いで、得られた未延伸シートを、表面温度９５℃の複数の加熱ロールに接触走行させ、加熱ロールの次に設けられた周速の異なる３０℃の冷却ロールとの間で長手方向に３．９倍延伸した。このようにして得られた１軸延伸シートを、テンターを用いて長手方向と直交する方向に１００℃の温度で３．７倍に延伸し、続いて温度２００℃で１段目熱処理を行い、続いて２６５℃で２段目熱処理を行い、引き続き、２６０℃の弛緩処理ゾーンで横方向に５％弛緩処理を行った後、室温まで冷却し、ついでフィルムエッジを除去することで、厚み３８μｍ（Ａ層１０μｍ，Ｂ層２８μｍ）の二軸配向ＰＰＳフィルムを得た。なお、フィルムを延伸後に搬送する際には、Ａ面が接触する側の搬送ロールに目付３０ｇ／ｍ２のポリウレタン糸とナイロン糸からなるストッキングを巻き付けた。
【００７３】
（実施例２）
延伸後にフィルムを搬送する際に、ロールにストッキングを巻かなかった以外は、実施例１と同様にして二軸配向ＰＰＳフィルムを得た。
【００７４】
（実施例３）
押出機Ｂに、樹脂組成物１中の炭酸カルシウム粒子が０．１質量％、樹脂組成物２中の炭酸カルシウム粒子が０．３質量％存在するように樹脂組成物１〜３の投入量を調整して投入した以外は、実施例１と同様にしてＰＰＳフィルムを得た。
【００７５】
（実施例４）
押出機Ａから投入した原料が通過するフィルタ濾材を濾過精度が８μｍのフィルタ濾材に変更した以外は、実施例１と同様にしてＰＰＳフィルムを得た。
【００７６】
（比較例１）
押出機Ｂに、樹脂組成物２中の炭酸カルシウム粒子が０．６質量％存在するように樹脂組成物２および樹脂組成物３の投入量を調整して投入した以外は、実施例１と同様にしてＰＰＳフィルムを得た。
【００７７】
（比較例２）
押出機Ａに、樹脂組成物３のみを投入した以外は、実施例１と同様にしてＰＰＳフィルムを得た。
【００７８】
（比較例３）
押出機Ａに、押出機Ｂと同じ組成の原料を投入した以外は、実施例２と同様にしてＰＰＳフィルムを得た。
【００７９】
（比較例４）
押出機Ａから吐出されるＡ層と押出機Ｂから吐出されるＢ層の比がＡ層：Ｂ層＝１：１８となるように変更した以外は、実施例２と同様にして厚み３８μｍ（Ａ層２μｍ，Ｂ層３６μｍ）のＰＰＳフィルムを得た。
【００８０】
（比較例５）
押出機Ａに、樹脂組成物１中の炭酸カルシウム粒子が０．６質量％存在するように樹脂組成物１および樹脂組成物３の投入量を調整して投入した以外は、実施例２と同様にしてＰＰＳフィルムを得た。  
【００８１】
（比較例６）
実施例１で作成したフィルムのＡ面を、レーヨン製の布で摩擦処理した以外は、実施例１と同様にしてＰＰＳフィルムを得た。
【００８２】
（比較例７）
押出機Ｂに、樹脂組成物１中の炭酸カルシウム粒子が０．６質量％、樹脂組成物２中の炭酸カルシウム粒子が、０．２質量％存在するように樹脂組成物１〜３の投入量を調整して投入した以外は、実施例１と同様にしてＰＰＳフィルムを得た。
【００８３】
（比較例８）
押出機Ａから投入した原料が通過するフィルタ濾材を濾過精度が１５μｍのフィルタ濾材に変更した以外は、実施例１と同様にしてＰＰＳフィルムを得た。
【００８４】
【表１】
2016097518.tif 000008
【産業上の利用可能性】
【００８５】
本発明のＰＰＳフィルムは、プリント配線板製造用の離型フィルムとして好適である。また、プリント配線板製造用に限らず、耐熱性、高品位な平滑性が求められる各種離型用途の離型フィルムとしても利用可能である。
【図１】
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