(57)【要約】【課題】光ファイバがねじれた状態を維持することができ、取り扱いが容易な増幅用コイルを備えたファイバレーザ装置を提供する。【解決手段】本発明のファイバレーザ装置は、励起用光源と、光共振器と、を備えている。光共振器は、励起用光源と、コアと非円形クラッドとを含む増幅用光ファイバ２５が巻回された構成の増幅用コイル２１と、第１の反射部と、第２の反射部と、を備えている。増幅用光ファイバ２５は、増幅用光ファイバ２５の中心軸を中心として増幅用光ファイバ２５の周方向にねじられた状態で巻回され、巻回された増幅用光ファイバ２５が固定されて一体化されている。【選択図】図６
2016149432.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
励起用光源と、レーザ光を共振させる光共振器と、を備え、
前記光共振器は、コアと非円形クラッドとを含む増幅用光ファイバが巻回された構成を有する増幅用コイルと、
前記レーザ光を反射させる第１の反射部と、
前記第１の反射部の反射率よりも低い反射率を有し、前記レーザ光を反射させる第２の反射部と、を備え、
前記増幅用光ファイバは、前記増幅用光ファイバの中心軸を中心として前記増幅用光ファイバの周方向にねじられた状態で巻回され、巻回された前記増幅用光ファイバが固定されて一体化されたことを特徴とするファイバレーザ装置。
【請求項２】
隣り合う前記増幅用光ファイバの間に樹脂が充填されたことを特徴とする請求項１に記載のファイバレーザ装置。
【請求項３】
前記増幅用コイルを冷却する冷却用部材をさらに備えたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のファイバレーザ装置。
【請求項４】
前記増幅用光ファイバのねじれ量が、前記第１の反射部側から前記第２の反射部側に向かうにつれて大きくなることを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載のファイバレーザ装置。
【請求項５】
前記増幅用光ファイバのねじれ量が３回転／ｍ以下であることを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載のファイバレーザ装置。
【請求項６】
増幅用光ファイバの一部を基台上に降下させながら前記増幅用光ファイバをコイル状に巻回する工程と、
隣り合う前記増幅用光ファイバの間に樹脂を充填させることにより前記増幅用光ファイバを互いに固定する工程と、を備えたことを特徴とする増幅用コイルの製造方法。
【請求項７】
ボビンから引き出した前記増幅用光ファイバを回転治具に巻き取ることにより前記増幅用光ファイバをコイル状に巻回する工程と、
隣り合う前記増幅用光ファイバの間に樹脂を充填させることにより前記増幅用光ファイバを互いに固定する工程と、を備え、
前記増幅用光ファイバをコイル状に巻回する工程において、前記ボビンの回転軸と前記回転治具の回転軸とを非平行に配置することを特徴とする増幅用コイルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ファイバレーザ装置および増幅用コイルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年のファイバレーザ装置においては、励起用半導体レーザの高輝度化もしくは増幅用ダブルクラッドファイバの商用化により、１ｋＷを超える出力光パワーを達成することができる。このような高出力ファイバレーザは、従来は炭酸ガスレーザが主に使用されてきた材料加工の分野への応用が可能となる。ファイバレーザは、炭酸ガスレーザと比べてビーム品質および集光性に優れている。そのため、高出力ファイバレーザは、加工時間を短縮でき、スループットが向上する、低パワーでも高パワーと同等の加工特性を実現でき、省エネルギー化が図れる、等の優れた特徴を持つ。さらに、空間光学部品が不要なため、耐久性、光学部品のアライメント等の問題がなく、メンテナンスが不要である、等の利点もある。
【０００３】
第１クラッド（インナークラッド）と第２クラッド（アウタークラッド）とを有するダブルクラッドファイバを増幅用光ファイバに採用した場合を想定する。
第１クラッドの断面形状が例えば正６角形等の回転対称性を有する形状であると、第１クラッド内を伝播する光は、第１クラッドと第２クラッドとの界面において一定の角度で全反射しつつ螺旋状に進行する。このように、一旦コアから外れた励起光は、界面に対する入射角（反射角）が変化することなく第１クラッド内を進行する。そのため、この励起光は、何回反射してもコアに到達することはない。したがって、実質的に励起光として寄与する光は増幅用光ファイバに入射した光の一部に過ぎず、励起光の利用効率が低いという問題がある。
この問題を解決するため、下記の特許文献１に、第１クラッドが２つ以上の直線状の反射面を有し、コアに対する反射面の向きが光伝播方向の任意の箇所で異なるダブルクラッドファイバを備えた光増幅器が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−１３３４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記の特許文献１には、反射面の向きが光伝播方向の任意の箇所で異なるダブルクラッドファイバを得るために、例えばダブルクラッドファイバをねじった状態で系に固定すればよい、と記載されている。しかしながら、ねじれた状態の光ファイバを例えば固定用治具等により装置の一部に固定し、さらに光ファイバがねじれた状態を維持することは難しい。また、光ファイバをコイル状に巻回した後、装置に固定する前段階では、一旦巻回した光ファイバがばらける等の不具合がある。そのため、コイル単体での取り扱いが難しいという問題がある。
【０００６】
本発明の一つの態様は、上記の課題を解決するためになされたものであって、光ファイバがねじれた状態を充分に維持することができ、取り扱いが容易な増幅用コイルを備えたファイバレーザ装置を提供することを目的の一つとする。また、本発明の一つの態様は、光ファイバがねじれた状態を充分に維持することができ、取り扱いが容易な増幅用コイルを容易に製造する方法を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するために、本発明の一つの態様のファイバレーザ装置は、励起用光源と、レーザ光を共振させる光共振器と、を備え、前記光共振器は、コアと非円形クラッドとを含む増幅用光ファイバが巻回された構成を有する増幅用コイルと、前記レーザ光を反射させる第１の反射部と、前記第１の反射部の反射率よりも低い反射率を有し、前記レーザ光を反射させる第２の反射部と、を備え、前記増幅用光ファイバは、前記増幅用光ファイバの中心軸を中心として前記増幅用光ファイバの周方向にねじられた状態で巻回され、巻回された前記増幅用光ファイバが固定されて一体化されたことを特徴とする。
【０００８】
本発明の一つの態様のファイバレーザ装置において、増幅用光ファイバは、増幅用光ファイバの中心軸を中心として周方向にねじられた状態で巻回され、巻回された増幅用光ファイバが固定されて一体化されているため、ファイバがねじれた状態を充分に維持することができる。これにより、励起光の利用効率を高め、出力光量を増やすことができる。また、増幅用コイル単体での取り扱いが容易になる。
【０００９】
本発明の一つの態様のファイバレーザ装置において、隣り合う前記増幅用光ファイバの間に樹脂が充填されていてもよい。
この構成によれば、他の固定用部材を用いることなく、巻回された増幅用光ファイバを樹脂により互いに固定して一体化することができる。
【００１０】
本発明の一つの態様のファイバレーザ装置は、前記増幅用コイルを冷却する冷却用部材をさらに備えていてもよい。
この構成によれば、増幅用コイルを冷却用部材に接触させて増幅用コイルを冷却する場合、例えば増幅用コイルの表面を樹脂によって平坦化することにより増幅用コイルと冷却用部材との接触面積が増える。これにより、増幅用コイルの冷却効率を高めることができる。
【００１１】
本発明の一つの態様のファイバレーザ装置において、前記増幅用光ファイバのねじれ量は、前記第１の反射部側から前記第２の反射部側に向かうにつれて大きくなっていてもよい。
本明細書において、「増幅用光ファイバのねじれ量」は、「増幅用光ファイバの単位長さ当たりの増幅用光ファイバの回転数」と定義する。
通常、増幅用光ファイバにおいて、励起光は主に入力側（第１の反射部側）でコアに吸収され、出力側（第２の反射部側）に向かうにつれてスキュー光成分が多くなる。その点、上記の構成によれば、増幅用光ファイバのねじれ量が、第１の反射部側から第２の反射部側に向かうにつれて大きくなっているため、スキュー光成分が出力側のコアにより吸収されやすくなる。これにより、局所的な発熱を抑制しつつ、増幅用光ファイバのビーム品質の低下を抑え、かつ、励起光の利用効率を高めることができる。
【００１２】
本発明の一つの態様のファイバレーザ装置において、前記増幅用光ファイバのねじれ量が３回転／ｍ以下であってもよい。
この構成によれば、ビーム品質の指標の一つであるＭ２の上昇量を０．０１以下に抑えることができる。この根拠については後述する。
【００１３】
本発明の一つの態様の増幅用コイルの製造方法は、増幅用光ファイバの一部を基台上に降下させながら前記増幅用光ファイバをコイル状に巻回する工程と、隣り合う前記増幅用光ファイバの間に樹脂を充填させることにより前記増幅用光ファイバを互いに固定する工程と、を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、増幅用光ファイバの一部を基台上に降下させながら増幅用光ファイバをコイル状に巻回すると、増幅用光ファイバは自然にねじれた状態となる。その後、巻回された増幅用光ファイバを樹脂により互いに固定して一体化する。これにより、増幅用コイルを容易に製造することができる。
【００１４】
本発明の一つの態様の増幅用コイルの製造方法は、ボビンから引き出した前記増幅用光ファイバを回転治具に巻き取ることにより前記増幅用光ファイバをコイル状に巻回する工程と、隣り合う前記増幅用光ファイバの間に樹脂を充填させることにより前記増幅用光ファイバを互いに固定する工程と、を備え、前記増幅用光ファイバをコイル状に巻回する工程において、前記ボビンの回転軸と前記回転治具の回転軸とを非平行に配置することを特徴とする。
この構成によれば、ボビンの回転軸と回転治具の回転軸とを非平行に配置した状態で、ボビンから引き出した増幅用光ファイバを回転治具に巻き取ると、増幅用光ファイバはねじれた状態となる。その後、巻回された増幅用光ファイバを樹脂により互いに固定して一体化する。これにより、増幅用コイルを容易に製造することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の一つの態様によれば、増幅用光ファイバがねじれた状態を充分に維持することができ、取り扱いが容易な増幅用コイルを備えたファイバレーザ装置を提供することができる。本発明の一つの態様によれば、増幅用光ファイバがねじれた状態を充分に維持することができ、取り扱いが容易な増幅用コイルを容易に製造する方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１実施形態のファイバレーザ装置の概略構成図である。
【図２】ファイバレーザ装置を構成する光共振器の平面図である。
【図３】光共振器を構成する増幅用コイルの断面図である。
【図４】増幅用コイルを構成する増幅用光ファイバの断面図である。
【図５】（Ａ）〜（Ｅ）第１実施形態の増幅用コイルの製造方法を示す工程図である。
【図６】増幅用コイルの作用を説明するための図である。
【図７】増幅用光ファイバのねじれ量とＭ２増加量との関係を示すグラフである。
【図８】第２実施形態の増幅用コイルの製造方法に用いるコイル自動巻装置を示す斜視図である。
【図９】増幅用コイルの変形例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態について、図１〜図７を用いて説明する。
本実施形態のファイバレーザ装置は、コアと多角形クラッドとを含む増幅用光ファイバが巻回された構成の増幅用コイルを備えたファイバレーザ装置である。
本実施形態のファイバレーザ装置は、例えばレーザ加工等の用途に用いて好適なものである。ただし、用途はレーザ加工に限るものではない。
図１は、本実施形態のファイバレーザ装置の概略構成図である。
以下の各図面においては各構成要素を見やすくするため、構成要素によって寸法の縮尺を異ならせて示すことがある。
【００１８】
［ファイバレーザ装置の構成］
図１に示すように、ファイバレーザ装置１は、励起用光源２と、光コンバイナー３と、光共振器４と、入力側光ファイバ５と、出力側光ファイバ６と、を備えている。光共振器４は、増幅用光ファイバ２５で構成される増幅用コイル２１と、第１の反射部２２と、第２の反射部２３と、を備えている。増幅用光ファイバ２５の一端に入力側光ファイバ５が接続され、増幅用光ファイバ２５の他端に出力側光ファイバ６が接続されている。第１の反射部２２は入力側光ファイバ５に設けられ、第２の反射部２３は出力側光ファイバ６に設けられている。
【００１９】
励起用光源２は、複数のレーザダイオード１１で構成され、励起光を射出する。レーザダイオード１１としては、例えばＧａＡｓ系半導体を材料とするファブリペロー型半導体レーザが用いられる。レーザダイオード１１は、光ファイバ１２に接続され、レーザダイオード１１から射出される励起光は、光ファイバ１２を例えばマルチモード光として伝播する。光コンバイナー３は、複数のレーザダイオード１１から射出される複数の励起光を結合し、１つの励起光を生成する。
【００２０】
［光共振器の構成］
図２は、ファイバレーザ装置１を構成する光共振器４の平面図である。
図２に示すように、光共振器４は、増幅用コイル２１と、第１の反射部２２と、第２の反射部２３と、水冷板２４と、を備えている。増幅用コイル２１は、励起光を伝播させるコアと非円形クラッドとを含む増幅用光ファイバ２５が巻回された構成を有する。本実施形態の増幅用光ファイバ２５は、２層のクラッドを有するダブルクラッドファイバで構成されている。
【００２１】
第１の反射部２２は、増幅用コイル２１に接続された入力側光ファイバ５の一部に設けられている。入力側光ファイバ５は、増幅用コイル２１の外側端部に接続されている。第１の反射部２２は、増幅用光ファイバ２５を伝播するレーザ光を反射させる。第２の反射部２３は、増幅用コイル２１に接続された出力側光ファイバ６の一部に設けられている。出力側光ファイバ６は、増幅用コイル２１の内側端部に接続されている。第２の反射部２３は、増幅用光ファイバ２５を伝播するレーザ光の一部を反射させる。レーザ光は、第１の反射部２２と第２の反射部２３との間で共振し、増幅される。
【００２２】
第１の反射部２２および第２の反射部２３は、ファイバブラッググレーティング（ＦＢＧ：Fiber Bragg Grating）で構成されている。ＦＢＧは、コアの長手方向（光伝播方向）に周期的に屈折率が変化する部位（グレーティング）を形成した反射器である。これにより、ＦＢＧは、グレーティング周期に対応した特定の波長の光のみを反射させる。第２の反射部２３の反射率は、第１の反射部２２の反射率よりも低い。具体的な反射率の一例として、第２の反射部２３の反射率は、９０％以上であることが好ましく、９９％以上であることがより好ましい。例えば第１の反射部２２の反射率は、５〜５０％であることが好ましく、５〜１０％であることがより好ましい。
【００２３】
水冷板２４は、内部に冷却水を流すための流路（図示略）を有し、流路内に冷却水が導入されることにより水冷板２４自身が冷却される。増幅用コイル２１、第１の反射部２２および第２の反射部２３は、水冷板２４の表面に接触するように実装され、水冷板２４により冷却される。なお、水冷板２４には、例えばレーザダイオード１１（図２では図示略）等の部品も実装され、これらの部品も水冷板２４により冷却される。
本実施形態の水冷板２４は、特許請求の範囲の冷却用部材に対応する。
【００２４】
［増幅用コイルの構成］
図３は、光共振器１３を構成する増幅用コイル２１の断面図である。
図３に示すように、増幅用コイル２１は、増幅用光ファイバ２５が平面状に巻回された構成を有する。すなわち、増幅用コイル２１は、１層の増幅用光ファイバ２５から構成されている。増幅用光ファイバ２５は、増幅用コイル２１の径方向と垂直な方向に複数層積み重ねられていない。したがって、増幅用コイル２１を構成する増幅用光ファイバ２５は、全ての長さにわたって水冷板２４に接触する。
【００２５】
隣り合う増幅用光ファイバ２５の間には樹脂２６が充填されている。図３においては、隣り合う増幅用光ファイバ２５が互いに接触する構成を図示したが、この構成に代えて、隣り合う増幅用光ファイバ２５の間に隙間があってもよい。樹脂としては、例えば紫外線硬化型の樹脂、シリコーンゴム系の樹脂等が用いられる。隣り合う増幅用光ファイバ２５の間には樹脂２６が充填されたことにより、巻回された増幅用光ファイバ２５同士が互いに固定されて一体化されている。このように一体化された増幅用光ファイバ２５が増幅用コイル２１を構成する。図２に示すように、増幅用コイル２１を平面視したとき、樹脂２６は、増幅用コイル２１の全周にわたって設けられている。
【００２６】
図４は、増幅用コイル２１を構成する増幅用光ファイバ２５の断面図である。
増幅用光ファイバ２５は、コア２８と、コア２８の外側を覆う第１クラッド２９と、第１クラッド２９の外側を覆う第２クラッド３０と、を有するダブルクラッドファイバで構成されている。第１クラッド２９は、増幅用光ファイバ２５の中心軸に垂直な断面形状が正７角形の多角形クラッド（非円形クラッド）である。
【００２７】
増幅用光ファイバ２５は、希土類元素が添加されたコア２８の外側に、同心円状に第１クラッド２９が設けられ、第１クラッド２９の外側に断面形状が正７角形をなす第２クラッド３０が設けられ、第２クラッド３０の外側に保護被覆（図示略）が設けられた構成を有する。コア２８には、屈折率を高める添加剤の他に、希土類元素が添加されている。コア２８の全体に希土類元素が添加される場合もあり、コア２８の一部に希土類元素が添加される場合もある。さらに、コア２８に加えて、第１クラッド２９の一部に希土類元素が添加される場合もある。コア２８の屈折率を第１クラッド２９の屈折率よりも高めることによって導波構造が得られる。発振したレーザ光は、導波構造によって導波される。屈折率を高める添加剤としては、Ｇｅ、Ａｌ、Ｐなどが挙げられる。また、これらの元素の共添加、もしくは、これらの元素とＦやＢ等との共添加もあり得る。
【００２８】
コア２８に添加する希土類元素は、励起波長、増幅波長、発振波長に応じて決定される。例えば材料加工で用いられる１０６０ｎｍの波長の光を得るためにはＹｂが用いられる。他に、Ｔｍ，Ｂｉ，Ｃｒ，Ｃｅ，Ｎｄ，Ｅｕなどが添加されることがある。また、アップコンバージョンを避けるため、もしくは、共添加増感作用を得るため、単独の希土類元素だけではなく、複数の希土類元素の共添加もなされることが多い。同様に、屈折率制御用のドーパントとしては、Ｇｅ，Ａｌ，Ｐ，Ｆ，Ｂ等、およびこれらの共添加が一般的である。他に、Ｔｉ，Ｂｉ，Ｃｌ等も考えられる。また、希土類元素の分散剤も同時に添加されることもある。分散剤として、上記の他に、Ｃｒ，Ｇａ，ｌｎ，Ａｓ，Ｓｂ等が挙げられる。
【００２９】
コア２８の屈折率分布は、一般的には一定の屈折率を持つ、ステップ型と呼ばれるものが多い。しかしながら、コア２８の屈折率分布により決定されるコア２８の光学特性への要求によっては、デュアルシェイプ型、セグメントコア型、リング型等、様々な屈折率分布が採用されることがある。本実施形態では、コア２８、第１クラッド２９および第２クラッド３０がシリカガラス系材料からなるファイバを例示するが、本発明はこれに限定されない。
【００３０】
本実施形態の増幅用光ファイバ２５は、第１クラッド２９の外形、すなわち第１クラッド２９と第２クラッド３０との境界の形状が２回軸対称でない正７角形であるため、クラッドを導波してコアに到達せず、励起光として寄与しない光、いわゆるスキュー光を抑制することができる。しかしながら、第１クラッド２９の断面形状を多角形にしただけでは、依然としてスキュー光が残り、励起光の利用効率をより向上させることができない。そこで、スキュー光をさらに低減し、励起光の利用効率をさらに向上させるため、本実施形態では、増幅用光ファイバ２５は、増幅用光ファイバ２５の中心軸を中心として周方向にねじられた状態で巻回されている。
【００３１】
増幅用光ファイバ２５のねじれ量は、増幅用コイル２１の全体にわたって一定であってもよい。もしくは、増幅用光ファイバ２５のねじれ量は、第１の反射部２２側から第２の反射部２３側に向かうにつれて大きくなっていてもよい。また、増幅用光ファイバ２５のねじれ量は、３回転／ｍ以下であることが望ましい。
【００３２】
［増幅用コイルの製造方法］
以下、上記構成の増幅用コイル２１の製造方法の一例を、図５（Ａ）〜（Ｅ）を用いて説明する。
図５（Ａ）に示すように、円形の凹部３２ｈを有する基台３２を準備する。増幅用光ファイバ２５を任意の治具もしくは装置（図示略）により支持し、増幅用光ファイバ２５の一端を基台３２の凹部３２ｈの上方に位置させる。この状態で、増幅用光ファイバ２５の一端を凹部３２ｈの底面上に降下させる。以降、治具等により支持した増幅用光ファイバ２５の位置は、常に凹部３２ｈの略中心の上方とする。
【００３３】
増幅用光ファイバ２５をさらに降下させると、図５（Ｂ）に示すように、増幅用光ファイバ２５の先端２５ｓが凹部３２ｈの底面に接した後、凹部３２ｈの外側に移動していく。
増幅用光ファイバ２５をさらに降下させると、図５（Ｃ）に示すように、増幅用光ファイバ２５の先端２５ｓが凹部３２ｈの側壁に沿って移動し、増幅用光ファイバ２５が円形に巻回されていく。
【００３４】
増幅用光ファイバ２５をさらに降下させると、図５（Ｄ）に示すように、増幅用光ファイバ２５の巻きが１周目から２周目に入る。このとき、増幅用光ファイバ２５の先端２５は最外の１周目の増幅用光ファイバ２５とぶつかるが、凹部３２ｈの上方からぶら下がった増幅用光ファイバ２５が丸みを帯びて曲がっているため、増幅用光ファイバ２５の先端２５ｓが最外の１周目の増幅用光ファイバ２５の内側に入り、２周目となる。この動きを続けることにより、増幅用光ファイバ２５をコイル状に巻回していく。このようにすると、増幅用光ファイバ２５は、中心軸を中心として自ずと円周方向にねじられた状態となる。
この後、増幅用光ファイバ２５が巻回され、かつ、周方向にねじられた状態を保持するため、テープ等を用いて増幅用光ファイバ２５を仮固定してもよい。
【００３５】
次に、図５（Ｅ）に示すように、コイル状に巻回された増幅用光ファイバ２５の上方から液状の樹脂２６を塗布し、隣り合う増幅用光ファイバの間に樹脂２６を充填させる。例えば紫外線硬化樹脂を用いた場合、樹脂２６を塗布した後、樹脂２６に紫外線を照射することにより樹脂２６を硬化させる。これにより、巻回した増幅用光ファイバ２５を互いに固定し、一体化する。
以上の工程により、本実施形態の増幅用コイル２１が完成する。
【００３６】
図６は、本実施形態の増幅用コイル２１の作用を説明するための図であり、増幅用コイル２１の異なる３箇所において励起光が進行する様子を示している。
仮に増幅用光ファイバがねじられていなかったとすると、スキュー光は、第１クラッドと第２クラッドとの界面に対する入射角（反射角）が変化することなく、第１クラッド内を進行する。したがって、スキュー光は、どこまで進んでもスキュー光のままである。
【００３７】
これに対して、本実施形態では、増幅用光ファイバ２５がねじられているため、第１クラッド２９の外形形状である正７角形の向きが増幅用光ファイバ２５の場所によって異なる。そのため、図６に示すように、スキュー光Ｌの入射角θ１，θ２，θ３（反射角）は、場所によって変化する。すなわち、θ１≠θ２≠θ３である。この入射角および反射角の変化により、スキュー光Ｌは、第１クラッド２９内を進むうちにコア２８を通るようになり、励起光として寄与する。これにより、励起光の利用効率を上げることができ、出力光のパワーを高めることができる。
【００３８】
さらに本実施形態の場合、図３に示すように、隣り合う増幅用光ファイバ２５の間が樹脂２６で埋め込まれることで増幅用コイル２１の表面が平坦化されている。これにより、隣り合う増幅用光ファイバの間が樹脂で埋め込まれていない場合と比べて、増幅用コイル２１と水冷板２４との接触面積が増加している。その結果、レーザ発振時に温度が上昇しやすい増幅用コイル２１が充分に冷却され、温度ドリフトによる特性変動を抑制することができる。このように、本実施形態の増幅用コイル２１によれば、増幅用光ファイバ２５を樹脂２６で一体化したことにより、増幅用光ファイバ２５がばらけることなく取り扱いが容易になることに加えて、特性面においても優れたものとなる。
【００３９】
また、増幅用光ファイバ２５のねじれ量は多ければ良いというわけではなく、増幅用光ファイバ２５のねじれ量が多すぎると、ビーム品質が低下するという問題が生じる。その点、本実施形態では、増幅用光ファイバ２５のねじれ量が３回転／ｍ以下に制限されていることにより、ビーム品質の劣化、具体的にはＭ２値の上昇を抑えることができる。Ｍ２値は、ガウスビームからのずれを定量的に示す指標であり、回折限界の何倍までビームを絞ることができるかを示す。
【００４０】
本発明者は、増幅用光ファイバのねじれ量とＭ２値の変化との関係を調べた。その結果を以下に示す。
図７は、増幅用光ファイバのねじれ量とＭ２増加量との関係を示すグラフである。図７の横軸は増幅用光ファイバ１ｍあたりのねじれ量（増幅用光ファイバの中心軸に垂直な断面における円周方向の回転数）であり、図７の縦軸は増幅用光ファイバがねじれていないときのＭ２値に対するＭ２増加量である。
【００４１】
図７に示す通り、増幅用光ファイバ１ｍあたりのねじれ量が多くなるにつれて、Ｍ２増加量は急激に増加する傾向を示す。このグラフから、増幅用光ファイバ１ｍあたりのねじれ量が３回転以下であれば、Ｍ２増加量は０．０１以下となる。Ｍ２値の理想値は１であるため、Ｍ２増加量が０．０１以下であれば、理想値に対する割合としてＭ２値の増加分が１％以下となり、ビーム品質として安定していると判断することができる。
【００４２】
上述したように、増幅用光ファイバ２５のねじれ量が一定でなく、増幅用光ファイバ２５の第２の反射部２３に近い部位のねじれ量が、増幅用光ファイバ２５の第１の反射部２２に近い部位のねじれ量よりも大きくてもよい。すなわち、増幅用光ファイバ２５の出力側のねじれ量が、増幅用光ファイバ２５の入力側のねじれ量よりも大きくてもよい。通常、増幅用光ファイバにおいて、励起光は主に入力側（第１の反射部側）でコアに多く吸収され、出力側（第２の反射部側）に向かうにつれて多くのスキュー光成分が発生する傾向にある。その点、上記の構成によれば、増幅用光ファイバ２５のねじれ量が、第１の反射部２２側から第２の反射部２３側に向かうにつれて大きくなっているため、スキュー光成分が出力側のコアにより吸収されやすくなる。これにより、局所的な発熱を抑制しつつ、増幅用光ファイバ２５のビーム品質の低下を抑え、かつ、励起光の利用効率を高めることができる。
【００４３】
［第２実施形態］
以下、本発明の第２実施形態について、図８を用いて説明する。
第２実施形態のファイバレーザ装置の構成は第１実施形態のファイバレーザ装置と同様であり、増幅用コイルの製造方法が第１実施形態と異なる。したがって、本実施形態では、増幅用コイルの他の製造方法について説明する。
【００４４】
図８は、本実施形態の増幅用コイルの製造方法に用いるコイル自動巻装置を示す斜視図である。
図８において、ボビンと回転治具とが配列された方向をｘ軸方向とし、ボビンと回転治具の配列方向に直交する方向をｙ軸方向とし、コイル自動巻装置の高さ方向（鉛直方向）をｚ軸方向とする。
【００４５】
図８に示すように、コイル自動巻装置４１は、基台４２と、ボビン４３と、回転治具４４と、第１ファイバガイドコロ４５と、第２ファイバガイドコロ４６と、を備えている。基台４２は、ボビン４３、回転治具４４、第１ファイバガイドコロ４５および第２ファイバガイドコロ４６等の部材を支持する。ボビン４３は、増幅用コイル２１を製作する前の増幅用光ファイバ２５が巻回されたものである。回転治具４４は、ボビン４３から引き出された増幅用光ファイバ２５を巻き取って増幅用コイル２１を製作するものである。第１ファイバガイドコロ４５および第２ファイバガイドコロ４６は、ボビン４３と回転治具４４との間で増幅用光ファイバ２５を支持するものである。
【００４６】
ボビン４３と回転治具４４とは、モーター等の駆動源（図示略）により自動的に回転する構成となっている。また、ボビン４３の回転軸Ｃｂと回転治具４４の回転軸Ｃｊとは、これら２本の回転軸Ｃｂ，Ｃｊの配列方向と直交する平面内（ｙｚ平面内）においてねじれた位置関係にあり、非平行に配置されている。
【００４７】
最初に、増幅用光ファイバ２５が巻回されたボビン４３をコイル自動巻装置４１にセットする。
次に、増幅用光ファイバ２５の先端を引き出し、第１ファイバガイドコロ４５および第２ファイバガイドコロ４６を介して回転治具４４に接続する。
次に、コイル自動巻装置４１の電源スイッチをＯＮとする。これにより、ボビン４３と回転治具４４とが自動的に回転し、増幅用光ファイバ２５は回転治具４４の内側から外側に向けて巻回されていく。このとき、ボビン４３の回転軸Ｃｂと回転治具４４の回転軸Ｃｊとがねじれた位置関係にあるため、増幅用光ファイバ２５は、自身の中心軸を中心として周方向にねじれつつ回転治具４４に巻回される。
【００４８】
次に、増幅用光ファイバ２５がねじられて巻回された状態を保持するため、テープを用いて増幅用光ファイバ２５同士を仮固定する。
次に、巻回された状態の増幅用光ファイバ２５から回転治具４４を取り外す。
【００４９】
次に、巻回された増幅用光ファイバ２５にシリコーンゴム系の樹脂を塗布し、隣り合う増幅用光ファイバ２５の間に樹脂を充填させる。樹脂を塗布した後、所定時間放置して樹脂を硬化させる。これにより、巻回した増幅用光ファイバ２５を互いに固定し、一体化する。
以上の工程により、増幅用コイル２１が完成する。
【００５０】
本実施形態においても、取り扱いが容易であり、かつ、特性に優れた増幅用コイルを備えたファイバレーザ装置を提供できる、という第１実施形態と同様の効果が得られる。さらに本実施形態の場合、コイル自動巻装置４１を用いて増幅用コイル２１を製作するため、ボビン４３の回転軸Ｃｂと回転治具４４の回転軸Ｃｊとのねじれ角を調整することにより増幅用光ファイバ２５のねじれ量を制御できる、という効果が得られる。例えば、ボビン４３の回転軸Ｃｂと回転治具４４の回転軸Ｃｊとのねじれ角を、巻き取り開始時から徐々に大きくしていくと、内側から外側に向けて増幅用光ファイバ２５のねじれ量が徐々に大きくなるコイルを製作できる。この場合、コイルの内側を第１の反射部側（入力側）、コイルの外側を第２の反射部側（出力側）に接続すればよい。
【００５１】
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば上記実施形態では、平面状に巻回された１層の増幅用光ファイバからなる増幅用コイルの例を示した。この構成に代えて、コイルの放熱性は劣るものの、例えば図９に示すように、増幅用光ファイバ２５が径方向と垂直な方向に複数層積み重ねられた増幅用コイル５１が用いられてもよい。
【００５２】
上記実施形態では、樹脂が増幅用コイルの全周にわたって設けられている構成の一例を示した。この構成に代えて、樹脂は、必ずしも増幅用コイルの全周にわたって設けられていなくてもよく、増幅用コイルを周方向に分割した一部の領域のみに設けられていてもよい。この構成は、例えば、巻回された増幅用光ファイバをテープで仮固定し、テープで覆われた領域以外の領域に樹脂を塗布し、硬化させた後、テープを剥離するプロセスによって実現が可能である。
【００５３】
また、上記実施形態では、樹脂を用いて、隣り合う増幅用光ファイバを互いに固定して一体化した例を挙げたが、この構成に代えて、例えばコイル状の溝が設けられた治具を用い、治具の溝に増幅用光ファイバを嵌め込むことにより、増幅用光ファイバを固定して一体化してもよい。すなわち、隣り合う増幅用光ファイバは、他の部材を介して固定されていてもよく、必ずしも増幅用光ファイバ同士が互いに固定されて一体化されていなくてもよい。
その他、ファイバレーザ装置の各構成要素の形状、寸法、配置、材料等に関する具体的な記載は、上記実施形態に限らず、適宜変更が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明は、例えば材料加工等に用いるファイバレーザ装置、および増幅用コイルの製造方法に利用が可能である。
【符号の説明】
【００５５】
１…ファイバレーザ装置、１１…励起用レーザダイオード（励起用光源）、１３…光共振器、２１，５１…増幅用コイル、２２…第１の反射部、２３…第２の反射部、２４…水冷板（冷却用部材）２５…増幅用光ファイバ、２６…樹脂、２８…コア、２９…第１クラッド、３０…第２クラッド、４１…コイル自動巻装置、４３…ボビン、４４…回転治具。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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