(57)【要約】【課題】ワイヤーの撓み（張力）を効率よく調整し、切断精度を向上させたワイヤーソー加工方法およびワイヤーソーの提供。【解決手段】並行する複数のワイヤーに被加工物を押圧し、ワイヤーを、該ワイヤーの線方向に移動させながら、ワイヤーと被加工物との間にスラリーを供給することによって被加工物の切り込み加工を行うワイヤーソー加工方法であって、ワイヤーと被加工物との押圧位置の前後で、ワイヤーの一本ずつの張力、もしくはワイヤーの複数本ずつの張力を測定し、測定された測定データから求めた調整データに基づいて、ワイヤーの張力を調整することを特徴とするワイヤーソー加工方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
並行する複数のワイヤーに被加工物を押圧し、前記ワイヤーを、前記ワイヤーの線方向に移動させながら、前記ワイヤーと前記被加工物との間にスラリーを供給することによって前記被加工物の切り込み加工を行うワイヤーソーの加工方法であって、
前記ワイヤーと前記被加工物との押圧位置の前記ワイヤーの線方向の前後で、前記ワイヤーの一本ずつの張力、もしくは前記ワイヤーの複数本ずつの張力を測定し、
前記測定されたデータから測定データを求め、前記測定データにより得られた調整データに基づいて、前記ワイヤーの張力を調整することを特徴とするワイヤーソーの加工方法。
【請求項２】
前記調整データは、
前記ワイヤーの一本ずつの前記データ、もしくは前記ワイヤーの複数本ごとの前記データを平均化して得られた前記測定データに基づいて得られていることを特徴とする請求項１に記載のワイヤーソーの加工方法。
【請求項３】
前記押圧位置の前後で測定された前記測定データのうち、
前記押圧位置より前記ワイヤーの送り出し側で測定された前記測定データから求められた前記調整データに基づいて、前記ワイヤーの送り出し側の前記ワイヤーの張力の調整が行われ、
前記押圧位置より前記ワイヤーの巻き取り側で測定された前記測定データから求められた前記調整データに基づいて、前記ワイヤーの巻き取り側の前記ワイヤーの張力の調整が行われることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のワイヤーソーの加工方法。
【請求項４】
前記ワイヤーの張力の調整は、
前記ワイヤーに当接し、前記被加工物を挟んで設けられている進退自在の少なくとも一対のローラーによって行われることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載のワイヤーソーの加工方法。
【請求項５】
前記ワイヤーの張力の調整は、
１本ずつの前記ワイヤーごと、もしくは複数本ずつの前記ワイヤーごとに設けられている前記ローラーによって行うことを特徴とする請求項４に記載のワイヤーソーの加工方法。
【請求項６】
前記被加工物を、前記ワイヤーの線方向に対して所定の角度で傾けて切り込み加工を行う場合に、前記ローラーを前記被加工物の傾きに合わせた角度で、前記ワイヤーの線方向に対して傾けて配置することを特徴とする請求項４または請求項５に記載のワイヤーソーの加工方法。
【請求項７】
被加工物に押圧するように、並行して設けられている複数のワイヤーと、
前記ワイヤーの一本ずつの張力、もしくは前記ワイヤーの複数本ごとの張力を測定するように、前記ワイヤーと前記被加工物との押圧位置の前後に設けられている張力測定部と、
前記張力測定部で測定された測定データから求められた調整データに基づいて、前記ワイヤーの張力を調整する張力調整部と、を備えていることを特徴とするワイヤーソー。
【請求項８】
前記張力調整部は、
前記ワイヤーに当接し、前記被加工物を挟んで設けられている進退自在の少なくとも一対のローラーを備えていることを特徴とする請求項７に記載のワイヤーソー。
【請求項９】
前記ローラーは、張力を測定される１本ずつの前記ワイヤーごと、もしくは複数本で張力を測定される当該複数本のワイヤーごとに設けられていることを特徴とする請求項８に記載のワイヤーソー。
【請求項１０】
前記被加工物が、前記ワイヤーの線方向に対して所定の角度で傾けて配置される場合、
前記ローラーは、前記被加工物の傾きに合わせた角度で、前記ワイヤーの線方向に対して傾けて配置されることを特徴とする請求項８または請求項９に記載のワイヤーソー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワイヤーソーの加工方法、およびワイヤーソーに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば水晶原石、半導体インゴットなどの脆性材料を切断加工し、ウェハーを形成するための加工方法としてワイヤーソーを用いた加工方法、および加工装置としてワイヤーソーが知られている。この加工方法および加工装置は、一定ピッチで並行する複数のワイヤー列に被加工物を押し当て、ワイヤーを線方向に送りながら、被加工物とワイヤーとの間に砥粒を含む加工液（スラリーともいう）を供給することによって研磨切断し、一定の厚さのウェハーを多数同時に形成する。この加工方法および加工装置では、長時間（例えば６〜１０時間）の加工時間を要し、この間、ワイヤーの張力などの切断条件を一定に保つことにより、ウェハーの厚さや切断形状などの切断精度を得ることができる。
【０００３】
しかし、この切断条件を一定に保つことは容易でなく、特にワイヤー張力にばらつきを生じるとワイヤーが撓み、これによりワイヤーが振動したり横振れしたりすることにより、切断されたウェハーの厚さがばらついたり、ウェハーの切断方向がばらついたりしてしまうことがあった。
【０００４】
このような課題に対応するため、特許文献１には、ワイヤーの張力を検出するセンサーローラーと、センサーローラーの検出した張力によってワイヤーの撓み量を検出し、この検出値に基づいてワイヤーの撓み量を調整する撓み調整手段を備えているワイヤーソーが開示されている。具体的にこの装置では、複数の多溝ローラーに一定ピッチで巻き付けられた数十本以上のワイヤー列に被加工物が押圧される。そして、一方（ワイヤー送り出し側）の多溝ローラーと被加工物との間、および他方（ワイヤー巻き取り側）の多溝ローラーと被加工物との間にあって、ワイヤー列に当接してワイヤー列の張力を検出するセンサーローラーと、ワイヤー列に当接してワイヤー列の撓み量を調整する撓み調整手段が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−３２８０５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した特許文献１のワイヤーソー（加工装置）およびワイヤーソーの加工方法では、一定ピッチで巻き付けられた数十本以上のワイヤー列に対して一つのワイヤーの張力を検出するセンサーローラーが当接しており、その検出結果に基づいて、ワイヤー列の撓み量を調整する撓み調整手段がワイヤー列に当接している。したがって、張力の検出や張力の調整が、数十本以上のワイヤーで構成されるワイヤー列全体で行われるため、ワイヤー１本ずつの張力のばらつき、もしくは多溝ローラーに巻かれている位置の違いによるワイヤーの張力のばらつきに対しての調整を行うことができず、数十本以上のワイヤーの張力をより均等に調整することができないという課題を有していた。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００８】
［適用例１］本適用例に係るワイヤーソーの加工方法は、並行する複数のワイヤーに被加工物を押圧し、前記ワイヤーを、前記ワイヤーの線方向に移動させながら、前記ワイヤーと前記被加工物との間にスラリーを供給することによって前記被加工物の切り込み加工を行うワイヤーソー加工方法であって、前記ワイヤーと前記被加工物との押圧位置の前記ワイヤーの線方向の前後で、前記ワイヤーの一本ずつの張力、もしくは前記ワイヤーの複数本ずつの張力を測定し、前記測定されたデータから測定データを求め、前記測定データにより得られた調整データに基づいて、前記ワイヤーの張力を調整することを特徴とする。
【０００９】
本適用例によれば、ワイヤーと被加工物との押圧位置の、ワイヤーの線方向における前後で、ワイヤー１本ずつ、もしくはワイヤー複数本ずつ、ワイヤーの張力を測定する。そして、それぞれ測定されたデータから測定データを求め、測定データにより得られた調整データに基づき、対応する１本ずつのワイヤー、もしくは対応する複数本ずつのワイヤーに対して、ワイヤー張力を調整することができる。したがって、従来のワイヤー列全体の調整とは異なり、ワイヤーの配置されている位置の違いなどによって生じるワイヤーの撓み量（張力）のバラツキに対して、ワイヤー１本ずつや複数本ずつに対応する撓み量（張力）の調整を行うことができる。これにより、切断されたウェハーの厚さがばらついたり、ウェハーの切断方向（切断角度）がばらついたりしてしまうことを            低減することができ、切断精度を向上させることが可能となる。
なお、本明細書中における被加工物の切断とは、被加工物の表面から裏面まで切り込み加工を行うことによっての切断、もしくは被加工物の途中まで切り込み加工を行った後に残っている部分を除去することなどによって行う切断を含んでいる。
【００１０】
［適用例２］上記適用例に記載のワイヤーソーの加工方法において、前記調整データは、前記ワイヤーの一本ずつの前記データ、もしくは前記ワイヤーの複数本ごとの前記データを平均化して得られた前記測定データに基づいて得られていることが好ましい。
【００１１】
本適用例によれば、ワイヤーの撓み量（張力）の調整に用いる調整データを、複数のデータを平均化して測定データを求め、それに対応するワイヤーごとに撓み量（張力）の調整を行うことができる。したがって、撓み量（張力）の調整精度を低下させることなく、撓み量（張力）の調整箇所を減らすことができ、より効率的に撓み量（張力）の調整を行うことができる。
【００１２】
［適用例３］上記適用例に記載のワイヤーソーの加工方法において、前記押圧位置の前後で測定された前記測定データの内、前記押圧位置より前記ワイヤーの送り出し側で測定された前記測定データから求められた前記調整データに基づいて、前記ワイヤーの送り出し側の前記ワイヤーの張力の調整が行われ、前記押圧位置より前記ワイヤーの巻き取り側で測定された前記測定データから求められた前記調整データに基づいて、前記ワイヤーの巻き取り側の前記ワイヤーの張力の調整が行われることが好ましい。
【００１３】
本適用例によれば、ワイヤーが押圧される押圧位置に対してワイヤーの送り出し側に位置するワイヤーは、ワイヤーの送り出し側の調整データによって撓み量（張力）の調整を行うことができ、押圧位置に対してワイヤーの巻き取り側に位置するワイヤーは、ワイヤーの巻き取り側の調整データによって撓み量（張力）の調整を行うことができる。このように、ワイヤーが押圧される押圧位置の前後（ワイヤーの送り出し側、巻き取り側）のそれぞれにおいて、対応するそれぞれの調整データに基づいてワイヤーの撓み量（張力）の調整を行うことができるため、ワイヤーの送り出し側と巻き取り側との異なる撓み量（張力）の調整をそれぞれ行うことができる。これにより、ワイヤーの撓み量（張力）の調整を、さらに精密に行うことができる。
【００１４】
［適用例４］上記適用例に記載のワイヤーソーの加工方法において、前記ワイヤーの張力の調整は、前記ワイヤーに当接し、前記被加工物を挟んで設けられている進退自在の少なくとも一対のローラーによって行われることが好ましい。
【００１５】
本適用例によれば、被加工物を挟んで設けられている進退自在の少なくとも一対のローラーを、調整データに基づいた調整量でワイヤーに当接させることによって、ワイヤーの撓み量を容易に調節することができる。
【００１６】
［適用例５］上記適用例に記載のワイヤーソーの加工方法において、前記ワイヤーの張力の調整は、１本ずつの前記ワイヤーごと、もしくは複数本ずつの前記ワイヤーごとに設けられている前記ローラーによって行うことが好ましい。
【００１７】
本適用例によれば、張力を測定されるワイヤー単位ごとに、対応するローラーで撓み量（張力）を調整することができるため、ワイヤーの撓み量（張力）の調整をより精密に行うことができる。
【００１８】
［適用例６］上記適用例に記載のワイヤーソーの加工方法において、前記被加工物を、前記ワイヤーの線方向に対して所定の角度で傾けて切り込み加工を行う場合に、前記ローラーを前記被加工物の傾きに合わせた角度で、前記ワイヤーの線方向に対して傾けて配置することが好ましい。
【００１９】
本適用例によれば、被加工物とローラーとの間の距離が略同じとなるため、ワイヤーの長さが異なることによる撓み量の違いを減少させることができる。これにより、ワイヤーの張力の測定数やローラーの数を減らすことができ、ワイヤーの撓み量の調整を行い易くすることができる。
【００２０】
［適用例７］本適用例に係るワイヤーソーは、被加工物に押圧するように、並行して設けられている複数のワイヤーと、前記ワイヤーの一本ずつの張力、もしくは前記ワイヤーの複数本ごとの張力を測定するように、前記ワイヤーと前記被加工物との押圧位置の前後に設けられている張力測定部と、前記張力測定部で測定された測定データから求められた調整データに基づいて、前記ワイヤーの張力を調整する張力調整部と、を備えていることを特徴とする。
【００２１】
本適用例によれば、ワイヤーと被加工物との押圧位置の前後に設けられている張力測定部によって測定されたワイヤー１本ずつ、もしくはワイヤー複数本ずつの張力の測定データから調整データが求められる。そして、ワイヤーと被加工物との押圧位置の前後に設けられている張力測定部によって、対応する１本ずつのワイヤー、もしくは対応する複数本ずつのワイヤーに対して、前述の調整データに基づいてワイヤーの撓み量（張力）を調整することができる。このように、ワイヤーの配置されている位置の違いなどによって生じるワイヤーの撓み量（張力）のバラツキに対して、ワイヤー１本ずつや複数本ずつに対応する撓み量（張力）の調整を行うことができる。これにより、切断されたウェハーの厚さがばらついたり、ウェハーの切断方向（切断角度）がばらついたりしてしまうことを低減することができ、切断精度を向上させることが可能となる。
【００２２】
［適用例８］上記適用例に記載のワイヤーソーにおいて、前記張力調整部は、前記ワイヤーに当接し、前記被加工物を挟んで設けられている進退自在の少なくとも一対のローラーを備えていることが好ましい。
【００２３】
本適用例によれば、被加工物を挟んで設けられている進退自在の少なくとも一対のローラーを、調整データに基づいた調整量でワイヤーに当接させることによって、ワイヤーの撓み量を容易に調節することができる。
【００２４】
［適用例９］上記適用例に記載のワイヤーソーにおいて、前記ローラーは、張力を測定される１本ずつの前記ワイヤーごと、もしくは複数本で張力を測定される当該複数本のワイヤーごとに設けられていることが好ましい。
【００２５】
本適用例によれば、張力を測定されるワイヤー単位ごとに、対応するローラーで撓み量（張力）を調整することができる。これにより、ワイヤーの撓み量（張力）の調整をより精密に行うことができる。
【００２６】
［適用例１０］上記適用例に記載のワイヤーソーにおいて、前記被加工物が、前記ワイヤーの線方向に対して所定の角度で傾けて配置される場合、前記ローラーは、前記被加工物の傾きに合わせた角度で、前記ワイヤーの線方向に対して傾けて配置されることが好ましい。
【００２７】
本適用例によれば、被加工物が、ワイヤーの線方向に対して所定の角度で傾けて配置される場合であっても、被加工物とローラーとの間の距離を略同じとすることができる。これにより、ワイヤーの長さが異なることによる撓み量の違いを減少させることができ、ワイヤーの張力の測定数やローラーの数を減らすことができる。したがって、ワイヤーの撓み量の調整を簡便な構成で実現することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施形態１に係るワイヤーソーの概略構成を示し、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は（Ａ）のＡ−Ａ視の平面図。
【図２】実施形態１に係るワイヤーソーの張力制御における概略の機能ブロック図。
【図３】従来のワイヤーソーに用いた多溝ローラーの変形状態を示し、（Ａ）〜（Ｃ）はサンプルNo１〜サンプルNo３の変形状態を示すグラフ。
【図４】切断されたウェハーの厚みバラツキを示し、（Ａ）は比較例を示し、（Ｂ）は実施形態１に係るワイヤーソーの加工方法によって切断したウェハーを示すグラフ。
【図５】実施形態２に係るワイヤーソーの概略構成を示す、図１（Ａ）のＡ−Ａ視に相当する平面図。
【図６】実施形態３に係るワイヤーソーの概略構成を示す、図１（Ａ）のＡ−Ａ視に相当する平面図。
【図７】実施形態４に係るワイヤーソーの概略構成を示す、図１（Ａ）のＡ−Ａ視に相当する平面図。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明の実施の形態に係るワイヤーソー加工方法、およびワイヤーソー（切断加工装置）について、添付図面に沿って説明する。
【００３０】
（実施形態１）
先ず、本発明の実施形態１に係るワイヤーソー（切断加工装置）、およびそのワイヤーソーを用いたワイヤーソー加工方法（ワイヤーソー切断方法）について、図１〜図４を用いて説明する。図１は、本発明の実施形態１に係るワイヤーソーの概略構成を示し、図１（Ａ）は正面図であり、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）のＡ−Ａ視の平面図である。なお、図１（Ｂ）では、図示の便宜上、図示を省略している構成部材がある。また、図１（Ｂ）におけるワイヤーｗ１〜ｗ１２の符号（例えばｗ１）は、代表例で記載しているが、ｗ１〜ｗ１２が順次付番されているものとして説明する。図２は、実施形態１に係るワイヤーソーの張力制御における概略の機能ブロック図である。図３は、ワイヤーソーに用いる多溝ローラーの変形状態を示すグラフであり、図３（Ａ）〜図３（Ｃ）はサンプルNo１〜サンプルNo３を示すグラフである。図４は、ワイヤーソー、およびワイヤーソー加工方法によって切断したウェハーの厚みバラツキを示し、図４（Ａ）は比較例として示す従来方法により切断したウェハーの厚みバラツキを示すグラフであり、図４（Ｂ）は本発明の実施形態１に係るワイヤーソー加工方法によって切断したウェハーの厚みバラツキを示すグラフである。
【００３１】
（ワイヤーソーの構成）
実施形態１に係るワイヤーソー（切断加工装置）１０は、被加工物（被切断物）、例えば水晶原石やシリコンインゴットなどの脆性材料を切断し、薄板基材（以下、ウェハーという）に切り出す加工装置である。なお、以下の説明では、被加工物（被切断物）として水晶原石を例示して説明する。また、被加工物の切断とは、被加工物の表面から裏面まで切り込み加工を行うことによっての切断、もしくは被加工物の途中まで切り込み加工を行った後に残っている部分を除去することなどによって行う切断を含んでいる。
【００３２】
図１に示すように、実施形態１に係るワイヤーソー１０は、ワイヤーｗを並行して巻き付ける多溝ローラー１１，１２，１８と、ワイヤーｗの張力を検出する張力測定部Ｃ１〜Ｃ１２，Ｃ２１〜Ｃ３２と、ワイヤーｗの張力を調整する張力調整部３０，３１と、水晶原石１６，１７を載置して固定するフィーダー１５と、ワイヤー巻き取りドラム２１，２２とが備えられている。なお、以下の説明では、ワイヤーｗ（以下に説明するワイヤー列）と水晶原石１６，１７とが当接する位置よりワイヤーｗの始端側を、前側もしくはワイヤーの送り出し側とし、ワイヤーｗ（以下に説明するワイヤー列）と水晶原石１６，１７とが当接する位置よりワイヤーｗの終端側を、後側もしくはワイヤーの巻き取り側として説明する。また、実施形態１に係るワイヤーソー１０は、図２に示すように、張力測定部Ｃ１〜Ｃ１２，Ｃ２１〜Ｃ３２の検出したデータを、調整データとして張力調整部３０，３１に送る制御部２００（図１では不図示）を備えている。
【００３３】
図２に示すように、ワイヤーｗの張力制御（張力調整）の機能を備えた制御部２００には、検出データ収得部１３０と、検出制御部１４０と、演算部１５０と、張力制御部１６０とを備えている。検出データ収得部１３０は、検出制御部１４０の指示に基づいて張力測定部Ｃ１〜Ｃ１２，Ｃ２１〜Ｃ３２の検出したデータを収得し、演算部１５０に送信する。演算部１５０は、検出制御部１４０の指示に基づいて、検出データ収得部１３０から送られた検出データを演算し、張力調整部３０，３１の調整データを作成する。張力制御部１６０では、演算部１５０から送られた調整データに基づいて、張力調整部３０，３１に調整量（押圧量）を指示する。
【００３４】
図１に戻り説明する。互いに同様な構成の多溝ローラー１１，１２，１８は、軸を互いに平行にして配置され、概円筒形のローラーの表面に一定ピッチで設けられているリング状溝１３，１４（多溝ローラー１８では図示を省略）を有し、このリング状溝１３，１４（多溝ローラー１８では図示を省略）に、ワイヤーｗが巻き付けられている。多溝ローラー１１，１２，１８は、図示しない回転機構により連続回転される。なお、多溝ローラー１１，１２，１８に巻き付けられるワイヤーｗは、１本または複数本であってもよく、本数は問わない。なお、本形態では、送り出された１本のワイヤーｗが、隣のリング状溝１３，１４（多溝ローラー１８では図示を省略）に順次巻き付けられ、ワイヤーｗ１，ｗ２，ｗ３，・・・，ｗ１２の１２本のワイヤーｗが、各多溝ローラー１１，１２，１８間に巻き付けられ、並行するように配置されたワイヤー列が構成されている。
【００３５】
ワイヤーｗの始端側（ＩＮ側）は、張力調整部３０を介してワイヤー巻き取りドラム２１に巻き取られている。ワイヤー巻き取りドラム２１は、例えばトルクモーター（図示せず）に印加される電圧によってワイヤーｗの巻き取り力を調整させるとともに、ワイヤーｗを往復走行させることができる。多溝ローラー１１とワイヤー巻き取りドラム２１との間、および多溝ローラー１１と多溝ローラー１８との間におけるワイヤーｗの張力は、ワイヤー巻き取りドラム２１のトルクモーターによる巻き取り力、および張力調整部３０によって調整され、一定に保たれる。
【００３６】
同様に、ワイヤーの終端側（ＯＵＴ側）は、張力調整部３１を介してワイヤー巻き取りドラム２２に巻き取られている。ワイヤー巻き取りドラム２２は、例えばトルクモーター（図示せず）に印加される電圧によってワイヤーｗの巻き取り力を調整させるとともに、ワイヤーｗを往復走行させることができる。多溝ローラー１２とワイヤー巻き取りドラム２２との間、および多溝ローラー１２と多溝ローラー１８との間におけるワイヤーｗの張力は、ワイヤー巻き取りドラム２２のトルクモーターによる巻き取り力、および張力調整部３１によって調整され、一定に保たれる。
【００３７】
ワイヤーｗ１〜ｗ１２が、多溝ローラー１１，１２間に平行に配置されたワイヤー列と対向する、図１（Ａ）中の下方（多溝ローラー１１，１２，１８の設けられている側と反対側）には、該ワイヤー列の配置方向に直交する方向（図１（Ａ）中の上下方向）に沿って移動可能なフィーダー１５が設けられている。フィーダー１５の上面には、被加工物（被切断物）として水晶原石１６，１７が固着されている。そして、送り出されるワイヤーｗと水晶原石１６，１７との間にスラリー（図示せず）を供給しながら、水晶原石１６，１７をワイヤー列に押し付けることにより、水晶原石１６，１７が切断されて、水晶ウェハーが形成される。なお、前述のスラリーとは、研削砥粒が溶液中に懸濁している流動体（泥状物）ことをいう。
【００３８】
多溝ローラー１１側に位置する水晶原石１６と多溝ローラー１１との間には、各ワイヤーｗ１〜ｗ１２に個別に当接し、送り出し側のワイヤーｗ１〜ｗ１２ごとの張力を測定するローラー張力センサー（図示せず）を含む張力測定部Ｃ１〜Ｃ１２が設けられている。また、同様に、多溝ローラー１２側に位置する水晶原石１７と多溝ローラー１２との間には、各ワイヤーｗ１〜ｗ１２に個別に当接し、巻き取り側のワイヤーｗ１〜ｗ１２ごとの張力を測定する張力センサー（図示せず）を含む張力測定部Ｃ２１〜Ｃ３２が設けられている。張力測定部Ｃ１〜Ｃ１２および張力測定部Ｃ２１〜Ｃ３２は、図示しないが、例えば、前述のローラー張力センサーと、このローラー張力センサーが取り付けられ、このローラー張力センサーを介してワイヤーｗ１〜ｗ１２の押圧力を検出して、ワイヤーｗ１〜ｗ１２ごとの張力（撓み量）を測定するロードセンサーを備えている。
【００３９】
多溝ローラー１１に対して、張力測定部Ｃ１〜Ｃ１２の配置されている側と反対側には、張力調整部３０が設けられている。張力調整部３０には、多溝ローラー１１に対峙し、軸を互いに平行にして配置されているガイドローラー１９と、多溝ローラー１１とガイドローラー１９との間に配置されている進退自在のローラーとしての調整ローラーＲ１〜Ｒ１２とが設けられている。進退自在の調整ローラーＲ１〜Ｒ１２は、送り出し側の各ワイヤーｗ１〜ｗ１２に個別に当接し、送り出し側のワイヤーｗ１〜ｗ１２ごとの張力を、各ワイヤーｗ１〜ｗ１２に相当する張力測定部Ｃ１〜Ｃ１２の検出結果に基づいて調整することができる。詳細には、例えば、ワイヤーｗ１の張力を測定する張力測定部Ｃ１の検出結果（データおよび測定データ）から求められた調整データに基づいて、調整ローラーＲ１を移動させ、ワイヤーｗ１を押圧することによって送り出し側のワイヤーｗ１の張力を調整する。同様に、ワイヤーｗ２には、対応する張力測定部Ｃ２、および調整ローラーＲ２を移動させ、送り出し側のワイヤーｗ２の張力を調整する。以降、ワイヤーｗ３〜ワイヤーｗ１２までワイヤーごとに対応する張力測定部Ｃ３〜張力測定部Ｃ１２、および調整ローラーＲ３〜調整ローラーＲ１２によって、送り出し側のワイヤーｗ３〜ワイヤーｗ１２の張力を調整する。
【００４０】
同様に、多溝ローラー１２に対して、張力測定部Ｃ２１〜Ｃ３２の配置されている側と反対側には、張力調整部３１が設けられている。張力調整部３１には、多溝ローラー１２に対峙し、軸を互いに平行にして配置されているガイドローラー２０と、多溝ローラー１２とガイドローラー２０との間に配置されている進退自在のローラーとしての調整ローラーＲ２１〜Ｒ３２とが設けられている。
【００４１】
上述の構成を換言すれば、ワイヤーｗ１〜ｗ１２が水晶原石１６，１７と当接する押圧位置の前後に、張力測定部Ｃ１〜Ｃ１２と張力測定部Ｃ２１〜Ｃ３２、および張力調整部３０の調整ローラーＲ１〜Ｒ１２と張力調整部３１の調整ローラーＲ２１〜Ｒ３２とが、それぞれ一対ずつ配置されている。なお、張力調整部３０の調整ローラーＲ１〜Ｒ１２と張力調整部３１の調整ローラーＲ２１〜Ｒ３２とは、少なくとも一対で配置されていればよく、他の構成、例えば二対以上、もしくは、一方（例えば前側）に一つ、他方（例えば後ろ側）に複数が配置された構成であってもよい。
【００４２】
進退自在の調整ローラーＲ２１〜Ｒ３２は、巻き取り側の各ワイヤーｗ１〜ｗ１２に個別に当接し、巻き取り側のワイヤーｗ１〜ｗ１２ごとの張力を、各ワイヤーｗ１〜ｗ１２に相当する張力測定部Ｃ２１〜Ｃ３２の検出結果に基づいて調整することができる。詳細には、例えば、ワイヤーｗ１の張力を測定する張力測定部Ｃ２１の検出結果（データおよび測定データ）から求められた調整データに基づいて調整ローラーＲ２１を移動させ、ワイヤーｗ１を押圧することによって巻き取り側のワイヤーｗ１の張力を調整する。同様に、ワイヤーｗ２には、対応する張力測定部Ｃ２２、および調整ローラーＲ２２を移動させ、巻き取り側のワイヤーｗ２の張力を調整する。以降、ワイヤーｗ３〜ワイヤーｗ１２までワイヤーごとに対応する張力測定部Ｃ２３〜張力測定部Ｃ３２、および調整ローラーＲ２３〜調整ローラーＲ３２によって、巻き取り側のワイヤーｗ３〜ワイヤーｗ１２の張力を調整する。
【００４３】
このように、ワイヤー列（ワイヤーｗ１〜ｗ１２）と被加工物である水晶原石１６，１７との押圧位置の前後に、張力測定部Ｃ１〜Ｃ１２または張力測定部Ｃ２１〜Ｃ３２が設けられ、ワイヤーｗ１〜ｗ１２の張力を１本ずつ測定する。そして、張力測定部Ｃ１〜Ｃ１２または張力測定部Ｃ２１〜Ｃ３２によって、それぞれ測定されたデータから求められた測定データから得られた調整データに基づき、対応する調整ローラーＲ１〜Ｒ１２または調整ローラーＲ２１〜Ｒ３２によって１本ずつのワイヤーｗ１〜ｗ１２の張力を調整することができる。したがって、ワイヤーｗ１〜ｗ１２の配置されている位置の違いなどによってワイヤーｗ１〜ｗ１２の撓み量（張力）のバラツキが生じても、ワイヤーｗ１〜ｗ１２の１本ずつに対応する撓み量（張力）の調整を行うことができ、切断されたウェハーの厚さがばらついたり、ウェハーの切断方向（切断角度）がばらついたりしてしまうことを低減することができる。即ち、水晶ウェハーの切断精度を向上させることが可能となる。特に、水晶ウェハーでは、切断された厚みに共振周波数が依存することや切断角度に共振周波数の温度による変化量（周波数温度特性）が依存することから、この切断制度のバラツキを小さく抑えることが非常に重要である、したがって、上述のような構成のワイヤーソー１０を用い形成された水晶ウェハーを用いることによって、水晶素子の特性を安定、向上させることができる。
【００４４】
（ワイヤーソーの加工方法）
次に、上述したワイヤーソー１０を用いたワイヤーソーの加工方法（被加工物の切断方法）について説明する。なお、ワイヤーソー１０の構成については、上述と同じ図面を参照しながら同符号を用いて説明する。また、被加工物についても上述と同様に、被加工物（被切断物）として水晶原石１６，１７を用いた例を示す。
【００４５】
多溝ローラー１１，１２間の、ワイヤーｗ１〜ｗ１２が平行に配列されたワイヤー列と対向する位置に、該ワイヤー列の配置方向に直交する方向に沿って移動可能なフィーダー１５の上面に固着された、被加工物（被切断物）として水晶原石１６，１７を配置する。そして、送り出されるワイヤーｗと水晶原石１６，１７との間にスラリー（図示せず）を供給しながらフィーダー１５を移動（上昇）させ、スラリーを介して水晶原石１６，１７をワイヤー列に押し付ける。このとき、始端側のワイヤー巻き取りドラム２１からは、始端側のワイヤー巻き取りドラム２１と、終端側のワイヤー巻き取りドラム２２との巻き取り力の調整によって、ワイヤーｗが順次送り出され、ワイヤー列を介して終端側のワイヤー巻き取りドラム２２に巻き取られる。したがって、水晶原石１６，１７と当接する部分におけるワイヤーにおいても、順次送られながら水晶原石１６，１７に押し当てられる。
【００４６】
送り出し側の各ワイヤーｗ１〜ｗ１２は、水晶原石１６，１７に押し当てられる抵抗を受けながら送り出されるため、水晶原石１６，１７に押し当てられる抵抗の変化などにより、多溝ローラー１１と水晶原石１６との間に撓み（張力の低下）を生じ易くなる。また、同様に、巻き取り側の各ワイヤーｗ１〜ｗ１２は、水晶原石１６，１７に押し当てられる抵抗の変化などにより、多溝ローラー１２と水晶原石１７との間に撓み（張力の低下）を生じ易くなる。このような各ワイヤーｗ１〜ｗ１２の撓み（張力の低下）を生じると、各ワイヤーｗ１〜ｗ１２が線方向（移動方向）のみでなく、線方向（移動方向）に直交する方向（例えば、ワイヤーｗ１〜ｗ１２の配列方向）に振れるようになってしまう。このような、ワイヤーｗ１〜ｗ１２の振れにより、切断代が大きくなってしまったり、多溝ローラー１１，１２のリング状溝１３，１４が異方向に切削されてしまい、結果的にワイヤーの配列位置がばらついてしまったりするなどの不具合を生じ、切断精度の低下を招いてしまうことになる。
【００４７】
ここで、ワイヤーｗの撓み（張力）の変化によって生じる多溝ローラー１１，１２のリング状溝１３，１４の形状変化について、図３を参照して説明する。図３は、従来のワイヤーソーに用いた多溝ローラー（多溝ローラー１１，１２に相当する）におけるリング状溝の変形状態を示し、図３（Ａ）〜図３（Ｃ）はサンプルNo１からサンプルNo３の変形状態を示すグラフである。なお、同図では、使用前の状態を２点鎖線で示し、使用後を実線で示している。また、同図では、縦軸に溝の深さを示し、横軸に多溝ローラーの端からの距離を示し、そこに設けられている溝の形状を概略的に表している。
【００４８】
図３（Ａ）に示すサンプルNo１の多溝ローラーでは、図中Ｄ１の範囲に位置する複数の溝に、他の溝と変形状態の異なる著しい変形が見られる。また、図３（Ｃ）に示すサンプルNo３の多溝ローラーでは、図中Ｄ２の範囲に位置する溝と、図中Ｄ３の範囲に位置する複数の溝とに、他の溝と変形状態の異なる変形が見られる。なお、図３（Ｂ）に示すサンプルNo２の多溝ローラーでは、それぞれの溝の変形が揃っており、好ましい変形状態を示している。このように、多溝ローラーのリング状溝は、ワイヤーソー加工を行うことにより、多溝ローラーそれぞれに異なる変形状態であったり、並列するリング状溝によって変形状態が異なったりすることが分かる。
【００４９】
このような、ワイヤーｗ１〜ｗ１２の撓み（張力の低下）を低減するため、本加工方法では、送り出し側のワイヤーｗ１〜ｗ１２ごとに個別の撓み（張力）を、送り出し側で検出する張力測定部Ｃ１〜Ｃ１２の検出結果に基づいて、個別に進退自在の一対のローラーの一方としての調整ローラーＲ１〜Ｒ１２によって、ワイヤーｗ１〜ｗ１２ごとの撓み（張力）を調整する。また、巻き取り側のワイヤーｗ１〜ｗ１２ごとに個別の撓み（張力）を、送り出し側で検出する張力測定部Ｃ２１〜Ｃ３２の検出結果に基づいて、個別に進退自在の一対のローラーの他方としての調整ローラーＲ２１〜Ｒ３２によって、ワイヤーｗ１〜ｗ１２ごとの撓み（張力）を調整する。
【００５０】
詳細には、例えば、ワイヤーｗ１の張力を測定する張力測定部Ｃ１の検出結果（データおよび測定データ）から求められた調整データに基づいて、調整ローラーＲ１を移動させ、ワイヤーｗ１を押圧することによって送り出し側のワイヤーｗ１の張力を調整する。同様に、隣のワイヤーｗ２には、対応する張力測定部Ｃ２、および調整ローラーＲ２を移動させ、送り出し側のワイヤーｗ２の張力を調整する。以降、ワイヤーｗ３〜ワイヤーｗ１２までワイヤーごとに対応する張力測定部Ｃ３〜Ｃ１２、および調整ローラーＲ３〜Ｒ１２によって、送り出し側のワイヤーｗ３〜ｗ１２の張力を調整する。
【００５１】
また同様に、例えば、ワイヤーｗ１の張力を測定する張力測定部Ｃ２１の検出結果（データおよび測定データ）から求められた調整データに基づいて、調整ローラーＲ２１を移動させ、ワイヤーｗ１を押圧することによって巻き取り側のワイヤーｗ１の張力を調整する。同様に、隣のワイヤーｗ２には、対応する張力測定部Ｃ２２、および調整ローラーＲ２２を移動させ、巻き取り側のワイヤーｗ２の張力を調整する。以降、ワイヤーｗ３〜ワイヤーｗ１２までワイヤーごとに対応する張力測定部Ｃ２３〜Ｃ３２、および調整ローラーＲ２３〜Ｒ３２によって、巻き取り側のワイヤーｗ３〜ｗ１２の張力を調整する。
【００５２】
上述のように、ワイヤー列（ワイヤーｗ１〜ｗ１２）と被加工物である水晶原石１６，１７との押圧位置の前後に、張力測定部Ｃ１〜Ｃ１２または張力測定部Ｃ２１〜Ｃ３２が設けられ、ワイヤーｗ１〜ｗ１２の張力を１本ずつ測定したデータから求められた測定データから得られた調整データに基づき、張力測定部Ｃ１〜Ｃ１２または張力測定部Ｃ２１〜Ｃ３２によって、対応する１本ずつのワイヤーｗ１〜ｗ１２の張力を調整することができる。
【００５３】
また、被加工物としての水晶原石１６，１７を、ワイヤーｗ１〜ｗ１２の線方向（移動方向）に挟んで設けられている進退自在の少なくとも一対のローラーとしての調整ローラーＲ１〜Ｒ１２および調整ローラーＲ２１〜Ｒ３２を、調整データに基づいた調整量でワイヤーｗ１〜ｗ１２に当接させることによって、ワイヤーｗ１〜ｗ１２の撓み量を容易に調節することができる。
【００５４】
このように、ワイヤーｗ１〜ｗ１２が水晶原石１６，１７に押圧される押圧位置の前後のそれぞれにおいて、対応するそれぞれの調整データに基づいてワイヤーｗ１〜ｗ１２の撓み量（張力）の調整を行うことができるため、ワイヤーｗ１〜ｗ１２の送り出し側と巻き取り側との異なる撓み量（張力）の調整をそれぞれ行うことができる。これにより、ワイヤーｗ１〜ｗ１２の撓み量（張力）の調整を、さらに精密に行うことができる。
【００５５】
このように、ワイヤーｗ１〜ｗ１２の撓み（張力の低下）を低減しながら、水晶原石１６，１７を切断することにより、各ワイヤーｗ１〜ｗ１２の撓み（張力の低下）によって生じるワイヤーｗ１〜ｗ１２の振れに起因する不具合を低減することができる。具体的には、ワイヤーｗ１〜ｗ１２の振れによって、切断代が大きくなってしまったり、多溝ローラー１１，１２のリング状溝１３，１４が異方向に切削されてしまい、結果的にワイヤーの配列位置がばらついてしまったりするなどの不具合を低減することができる。
【００５６】
ここで、向上する切断精度の一指標として示すことができる、切断された水晶ウェハーの厚みバラツキの測定結果について、図４を参照して説明する。図４は、切断された水晶ウェハーの厚みバラツキを示し、図４（Ａ）は比較例としての従来の方法による結果を示し、図４（Ｂ）は実施形態１に係るワイヤーソーの加工方法によって切断したウェハーを示すグラフである。図４（Ａ）には、比較例として、二つの水晶ウェハーにおける厚み（ＴＨ）のバラツキを示している。また、図４（Ｂ）には、実施形態１に係るワイヤーソーの加工方法によって切断した四つの水晶ウェハーにおける厚み（ＴＨ）のバラツキを示している。
【００５７】
図４（Ａ）に示されているように、比較例における水晶ウェハーの厚みの測定結果は、厚みの最小値と最大値のとの差が大きく、また厚みのバラツキも大きいことが分かる。これに対し、図４（Ｂ）に示されているように、実施形態１に係るワイヤーソーの加工方法によって切断された水晶ウェハーの厚みの測定結果は、厚みの最小値と最大値のとの差が小さく、また厚みのバラツキも小さく纏まっていることが分かる。このように、実施形態１に係るワイヤーソーの加工方法によって切断された水晶ウェハーの厚みのバラツキが小さいことが分かる。
【００５８】
このように、本実施形態１に係るワイヤーソー１０を用いたワイヤーソー加工方法（被加工物の切断方法）によれば、ワイヤーｗ１〜ｗ１２の配置されている位置の違いなどによってワイヤーｗ１〜ｗ１２の撓み量（張力）のバラツキが生じても、ワイヤーｗ１〜ｗ１２の１本ずつに対応する撓み量（張力）の調整を行うことができ、切断されたウェハーの厚さがばらついたり、ウェハーの切断方向（切断角度）がばらついたりしてしまうことを低減することができる。即ち、水晶ウェハーの切断精度を向上させることが可能となる。特に、水晶ウェハーでは、切断された厚みに共振周波数が依存することや切断角度に共振周波数の温度による変化量（周波数温度特性）が依存することから、この切断制度のバラツキを小さく抑えることが非常に重要である、したがって、上述のような構成のワイヤーソー１０を用い形成された水晶ウェハーを用いることによって、水晶素子の特性を安定、向上させることができる。
【００５９】
なお、調整ローラーＲ１〜Ｒ１２、および調整ローラーＲ２１〜Ｒ３２を移動させる調整データは、上述のように張力測定部Ｃ１〜Ｃ１２および張力測定部Ｃ２１〜Ｃ３２のワイヤーｗ１〜ｗ１２ごとのデータを測定データとしてそのまま用いてもよいし、ワイヤーｗ１〜ｗ１２ごとのデータを複数用いた平均値を算出し、測定データとして用いることもできる。
【００６０】
このように、複数のデータを平均化して求めた測定データによって得られた調整データに基づいて、対応するワイヤーｗ１〜ｗ１２の撓み量（張力）の調整を行うことによれば、撓み量（張力）の調整精度を低下させることなく、撓み量（張力）の調整箇所を減らすことができ、より効率的に撓み量（張力）の調整を行うことができる。
【００６１】
（実施形態２）
次に、実施形態２に係るワイヤーソーの構成について図５を参照しながら説明する。図５は、本発明の実施形態２に係るワイヤーソーの概略構成を示し、図１（Ａ）のＡ−Ａ視に相当する平面図である。なお、図５におけるワイヤーｗ１〜ｗ１２の符号（例えばｗ１）は、代表例で記載しているが、ｗ１〜ｗ１２が順次付番されているものとして説明する。また、実施形態２に係るワイヤーソーの構成、およびワイヤーソーによるワイヤーソー加工方法において、前述の実施形態１と同様な構成については同符号を付して説明を省略し、ワイヤーソー加工方法の同様な部分については説明を省略し、異なる部分を中心に説明する。
【００６２】
図５に示すように、実施形態２に係るワイヤーソー５０は、実施形態１の張力測定部Ｃ１〜Ｃ１２，Ｃ２１〜Ｃ３２、および張力調整部３０，３１の構成が異なる。実施形態２に係るワイヤーソー５０における張力測定部Ｃ５１〜Ｃ５４は、実施形態１と同様に、多溝ローラー１１側に位置する水晶原石１６と多溝ローラー１１との間に設けられている。張力測定部Ｃ５１〜Ｃ５４のそれぞれは、例えば送り出し側のワイヤーｗ１〜ｗ３に当接し、送り出し側のワイヤー３本ずつの張力を測定するローラー張力センサーを含んでいる。詳細には、例えば張力測定部Ｃ５１は、ワイヤーｗ１〜ｗ３に当接し、例えば張力測定部Ｃ５４は、ワイヤーｗ１０〜ｗ１２に当接している。
【００６３】
また、同様に、多溝ローラー１２側に位置する水晶原石１７と多溝ローラー１２との間には、例えば巻き取り側のワイヤーｗ１〜ｗ３に当接し、巻き取り側のワイヤー３本ずつの張力を測定する張力センサーを含む張力測定部Ｃ７１〜Ｃ７４が設けられている。詳細には、例えば張力測定部Ｃ７１は、ワイヤーｗ１〜ｗ３に当接し、例えば張力測定部Ｃ７４は、ワイヤーｗ１０〜ｗ１２に当接している。
【００６４】
張力測定部Ｃ５１〜Ｃ５４および張力測定部Ｃ７１〜Ｃ７４は、図示しないが、例えば、前述のローラー張力センサーと、このローラー張力センサーが取り付けられ、このローラー張力センサーを介してワイヤー３本ずつの押圧力を検出して、ワイヤー３本ずつの張力（撓み量）を測定するロードセンサーを備えている。
【００６５】
前述の実施形態１と同様に、多溝ローラー１１に対して、張力測定部Ｃ５１〜Ｃ５４の配置されている側と反対側には、張力調整部３０が設けられている。張力調整部３０には、多溝ローラー１１に対峙して配置されているガイドローラー１９（図５では不図示、図１参照））と、多溝ローラー１１とガイドローラー１９との間に配置されている進退自在の調整ローラーＲ５１〜Ｒ５４とが設けられている。進退自在の調整ローラーＲ５１〜Ｒ５４には、送り出し側のワイヤーｗ１〜ｗ１２の、それぞれ３本ずつが当接し、対応するワイヤー３本ずつの張力測定部Ｃ５１〜Ｃ５４における検出結果に基づいて張力を調整することができる。
【００６６】
詳細には、例えば、送り出し側のワイヤーｗ１〜ｗ３の３本の張力を測定する張力測定部Ｃ５１の検出結果（データおよび測定データ）から求められた調整データに基づいて、調整ローラーＲ５１を移動させ、送り出し側のワイヤーｗ１〜ｗ３を押圧することによって、送り出し側のワイヤーｗ１〜ｗ３の張力を調整する。同様に、例えば、送り出し側のワイヤーｗ１０〜ｗ１２には、対応する張力測定部Ｃ５４、および調整ローラーＲ５４を移動させ、送り出し側のワイヤーｗ１０〜ｗ１２の張力を調整する。同様に、送り出し側のワイヤーｗ４〜ｗ９についても、対応する張力測定部Ｃ５２，５３の検出結果に基づき、３本ずつ対応する調整ローラーＲ５２，Ｒ５３によって、送り出し側のワイヤーｗ４〜ｗ６，ワイヤーｗ７〜ｗ９ごとの張力を調整する。
【００６７】
同様に、多溝ローラー１２に対して、張力測定部Ｃ７１〜Ｃ７４の配置されている側と反対側には、張力調整部３１が設けられている。張力調整部３１には、多溝ローラー１２に対峙して配置されているガイドローラー２０（図５では不図示、図１参照））と、多溝ローラー１２とガイドローラー２０との間に配置されている進退自在の調整ローラーＲ７１〜Ｒ７４とが設けられている。進退自在の調整ローラーＲ７１〜Ｒ７４には、巻き取り側のワイヤーｗ１〜ｗ１２の、それぞれ３本ずつが当接し、対応するワイヤー３本ずつの張力測定部Ｃ７１〜Ｃ７４における検出結果に基づいて張力を調整することができる。
【００６８】
詳細には、例えば、巻き取り側のワイヤーｗ１〜ｗ３の３本の張力を測定する張力測定部Ｃ７１の検出結果（データおよび測定データ）から求められた調整データに基づいて、調整ローラーＲ７１を移動させ、巻き取り側のワイヤーｗ１〜ｗ３を押圧することによって、巻き取り側のワイヤーｗ１〜ｗ３の張力を調整する。同様に、例えば、巻き取り側のワイヤーｗ１０〜ｗ１２には、対応する張力測定部Ｃ７４、および調整ローラーＲ７４を移動させ、巻き取り側のワイヤーｗ１０〜ｗ１２の張力を調整する。同様に、巻き取り側のワイヤーｗ４〜ｗ９についても、対応する張力測定部Ｃ７２，７３の検出結果に基づき、３本ずつ対応する調整ローラーＲ７２，Ｒ７３によって、巻き取り側のワイヤーｗ４〜ｗ６，ワイヤーｗ７〜ｗ９ごとの張力を調整する。
【００６９】
このように、ワイヤー列（ワイヤーｗ１〜ｗ１２）と被加工物である水晶原石１６，１７との押圧位置の前後に、張力測定部Ｃ５１〜Ｃ５４または張力測定部Ｃ７１〜Ｃ７４が設けられ、ワイヤーｗ１〜ｗ１２の張力を３本ずつ測定する。そして、張力測定部Ｃ５１〜Ｃ５４または張力測定部Ｃ７１〜Ｃ７４によって、それぞれ測定された測定データから求めた調整データに基づき、対応する３本ずつのワイヤーｗ１〜ｗ１２の張力を調整することができる。したがって、実施形態１と同様に、切断されたウェハーの厚さがばらついたり、ウェハーの切断方向（切断角度）がばらついたりしてしまうことを低減することができる。即ち、水晶ウェハーの切断精度を向上させることが可能となる。
【００７０】
また、撓み量（張力）の調整精度を低下させることなく、撓み量（張力）の調整する張力測定部の配置数を減らすことができ、より効率的に撓み量（張力）の調整を行うことができる。
【００７１】
（実施形態３）
次に、実施形態３に係るワイヤーソーの構成について図６を参照しながら説明する。図６は、本発明の実施形態３に係るワイヤーソーの概略構成を示し、図１（Ａ）のＡ−Ａ視に相当する平面図である。なお、図６におけるワイヤーｗ１〜ｗ１２の符号（例えばｗ１）は、代表例で記載しているが、ｗ１〜ｗ１２が順次付番されているものとして説明する。また、実施形態３に係るワイヤーソーの構成、およびワイヤーソーによるワイヤーソー加工方法において、前述の実施形態１と同様な構成については同符号を付して説明を省略し、ワイヤーソー加工方法の同様な部分については説明を省略し、異なる部分を中心に説明する。
【００７２】
図６に示すように、実施形態３に係るワイヤーソー８０は、実施形態１と張力調整部３０，３１の構成が異なる。実施形態３に係るワイヤーソー８０における送り出し側の張力測定部Ｃ１〜Ｃ１２、および巻き取り側の張力測定部Ｃ２１〜Ｃ３２は、実施形態１と同様であるので、詳細な説明を省略するが、張力測定部Ｃ１〜Ｃ１２、および張力測定部Ｃ２１〜Ｃ３２は、各ワイヤーｗ１〜ｗ１２に個別に当接し、ワイヤーｗ１〜ｗ１２ごとの張力を測定する。
【００７３】
前述の実施形態１と同様に、多溝ローラー１１に対して、張力測定部Ｃ１〜Ｃ１２の配置されている側と反対側には、張力調整部３０が設けられている。張力調整部３０には、多溝ローラー１１に対峙して配置されているガイドローラー１９（図６では不図示、図１参照））と、多溝ローラー１１とガイドローラー１９との間に配置されている進退自在の調整ローラーＲ５１〜Ｒ５４とが設けられている。
【００７４】
進退自在の調整ローラーＲ５１〜Ｒ５４は、送り出し側のワイヤーｗ１〜ｗ１２の、それぞれ３本ずつに当接し、対応するワイヤー３本ずつの張力測定部Ｃ１〜Ｃ１２における検出結果（ワイヤー３本のデータ）を平均化して求めた測定データによる調整データに基づいて調整することができる。詳細には、例えば、送り出し側のワイヤーｗ１〜ｗ３のそれぞれに当接する張力測定部Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３によって検出された三つの検出結果（データ）を平均化した測定データから得られた調整データに基づいて、調整ローラーＲ５１を移動させ、送り出し側のワイヤーｗ１〜ｗ３を押圧することによって、送り出し側のワイヤーｗ１〜ｗ３の張力を調整する。
【００７５】
同様に、例えば、送り出し側のワイヤーｗ１０〜ｗ１２には、対応する張力測定部Ｃ１０，Ｃ１１，Ｃ１２の検出した三つの検出結果（データ）を平均化した測定データから得られた調整データに基づいて、調整ローラーＲ５４を移動させ、送り出し側のワイヤーｗ１０〜ｗ１２の張力を調整する。同様に、送り出し側のワイヤーｗ４〜ｗ９についても、対応する張力測定部Ｃ４〜Ｃ９の検出結果に基づき、３本ずつ対応する調整ローラーＲ５２，Ｒ５３によって、送り出し側のワイヤーｗ４〜ｗ６，ワイヤーｗ７〜ｗ９ごとの張力を調整することができる。
【００７６】
同様に、多溝ローラー１２に対して、張力測定部Ｃ２１〜Ｃ３２の配置されている側と反対側には、張力調整部３１が設けられている。張力調整部３１には、多溝ローラー１２に対峙して配置されているガイドローラー２０（図６では不図示、図１参照））と、多溝ローラー１２とガイドローラー２０との間に配置されている進退自在の調整ローラーＲ７１〜Ｒ７４とが設けられている。
【００７７】
進退自在の調整ローラーＲ７１〜Ｒ７４は、巻き取り側のワイヤーｗ１〜ｗ１２の、それぞれ３本ずつに当接し、対応するワイヤー３本ずつの張力測定部Ｃ２１〜Ｃ３２における検出結果（ワイヤー３本のデータ）を平均化した測定データから得られた調整データに基づいて調整することができる。詳細には、例えば、巻き取り側のワイヤーｗ１〜ｗ３のそれぞれに当接する張力測定部Ｃ２１，Ｃ２２，Ｃ２３によって検出された三つの検出結果（データ）を平均化した測定データから得られた調整データに基づいて、調整ローラーＲ７１を移動させ、巻き取り側のワイヤーｗ１〜ｗ３を押圧することによって、巻き取り側のワイヤーｗ１〜ｗ３の張力を調整する。
【００７８】
同様に、例えば、巻き取り側のワイヤーｗ１０〜ｗ１２には、対応する張力測定部Ｃ３０，Ｃ３１，Ｃ３２の検出した三つの検出結果（データ）を平均化した測定データから得られた調整データに基づいて、調整ローラーＲ７４を移動させ、巻き取り側のワイヤーｗ１０〜ｗ１２の張力を調整する。同様に、巻き取り側のワイヤーｗ４〜ｗ９についても、対応する張力測定部Ｃ２４〜Ｃ２９の検出結果に基づき、３本ずつ対応する調整ローラーＲ７２，Ｒ７３によって、巻き取り側のワイヤーｗ４〜ｗ６，ワイヤーｗ７〜ｗ９ごとの張力を調整することができる。
【００７９】
このように、ワイヤー列（ワイヤーｗ１〜ｗ１２）と被加工物である水晶原石１６，１７との押圧位置の前後に、張力測定部Ｃ１〜Ｃ１２または張力測定部Ｃ２１〜Ｃ３２が設けられ、ワイヤーｗ１〜ｗ１２ごとの張力を測定する。そして、張力測定部Ｃ１〜Ｃ１２または張力測定部Ｃ２１〜Ｃ３２によって、それぞれ測定されたデータを、複数のワイヤーごと（本形態では３本ずつ）に平均化した測定データから得られた調整データに基づき、対応する３本ずつのワイヤーｗ１〜ｗ１２の張力を、対応する調整ローラーＲ５１〜Ｒ５４または調整ローラーＲ７１〜７４によって調整することができる。したがって、実施形態１と同様に、切断されたウェハーの厚さがばらついたり、ウェハーの切断方向（切断角度）がばらついたりしてしまうことを低減することができる。即ち、水晶ウェハーの切断精度を向上させることが可能となる。
【００８０】
また、ワイヤーｗ１〜ｗ１２の撓み量（張力）の調整に用いる調整データを、複数のデータを平均化して求めた測定データから取得し、それに対応するワイヤーｗ１〜ｗ１２ごとに撓み量（張力）の調整を行うため、撓み量（張力）の調整精度を低下させることなく、撓み量（張力）の調整箇所を減らすことができ、より効率的に撓み量（張力）の調整を行うことができる。
【００８１】
（実施形態４）
次に、実施形態４に係るワイヤーソーの構成について図７を参照しながら説明する。図７は、本発明の実施形態４に係るワイヤーソーの概略構成を示し、図１（Ａ）のＡ−Ａ視に相当する平面図である。なお、図７におけるワイヤーｗ１〜ｗ１２の符号（例えばｗ１）は、代表例で記載しているが、ｗ１〜ｗ１２が順次付番されているものとして説明する。また、実施形態４に係るワイヤーソーの構成、およびワイヤーソーによるワイヤーソー加工方法において、前述の実施形態１と同様な構成については同符号を付して説明を省略し、ワイヤーソー加工方法の同様な部分については説明を省略し、異なる部分を中心に説明する。
【００８２】
図７に示すように、実施形態４に係るワイヤーソー１２０の基本的な構成は、実施形態１と同様である。実施形態４に係るワイヤーソー１２０では、被加工物である水晶原石１６ａ，１７ａが、ワイヤー列を構成するワイヤーｗ１〜ｗ１２の線方向（移動方向）に対して所定の傾斜角θ１を有して傾けて配置し、水晶原石１６ａ，１７ａを切断する。これに伴って、ワイヤーソー１２０は、張力測定部Ｃ８１〜Ｃ９２，Ｃ１０１〜Ｃ１１２、および張力調整部３０，３１を構成する調整ローラーＲ８１〜Ｒ９２，Ｒ１０１〜Ｒ１１２を、傾斜角θ１で傾いた水晶原石１６ａ，１７ａの傾き方向と同方向に、傾斜角θ１と同じ角度の傾斜角θ２，θ３を有して傾けて配置していることが実施形態１と異なる。
【００８３】
このように、被加工物である水晶原石１６ａ，１７ａが、ワイヤーの線方向に対して所定の傾斜角θ１で傾けて配置されて切断される場合に、水晶原石１６ａ，１７ａと、それぞれ対応する張力測定部Ｃ８１〜Ｃ９２，Ｃ１０１〜Ｃ１１２との間の距離Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４を略同じにすることができる。また、張力測定部Ｃ８１〜Ｃ９２，Ｃ１０１〜Ｃ１１２と、それぞれ対応する調整ローラーＲ８１〜Ｒ９２，Ｒ１０１〜Ｒ１１２との間の距離Ｌ５，Ｌ６，Ｌ７，Ｌ８を略同じにすることができる。したがって、水晶原石１６ａ，１７ａの切断位置と、それぞれ対応する調整ローラーＲ８１〜Ｒ９２，Ｒ１０１〜Ｒ１１２との間の距離を略同じにすることができる。これにより、水晶原石１６ａ，１７ａの切断位置と、それぞれ対応する調整ローラーＲ８１〜Ｒ９２，Ｒ１０１〜Ｒ１１２との間のワイヤーｗ１からｗ１２の長さが異なることによる撓み量（張力）の違いを減少させることができ、張力の調整精度を向上させることができる。
【００８４】
また、上述のように、ワイヤーｗ１からｗ１２の長さが異なることによる撓み量（張力）の違いを減少させることができることから、本形態では、ワイヤーｗ１〜ｗ１２ごとに設けられている張力測定部Ｃ８１〜Ｃ９２，Ｃ１０１〜Ｃ１１２や調整ローラーＲ８１〜Ｒ９２，Ｒ１０１〜Ｒ１１２を減らした構成とすることが可能となる。したがって、ワイヤーｗ１〜ｗ１２の撓み量（張力）の調整を簡便な構成で実現することが可能となり、装置のコスト低減に寄与することができる。
【符号の説明】
【００８５】
１０，５０，８０，１２０…ワイヤーソー、１１，１２，１８…多溝ローラー、１３，１４…リング状溝、１５…フィーダー、１６，１７…被加工物としての水晶原石、１９，２０…ガイドローラー、２１，２２…ワイヤー巻き取りドラム、３０，３１…張力調整部、１３０…検出データ収得部、１４０…検出制御部、１５０…演算部、１６０…張力制御部、２００…制御部、Ｃ１〜Ｃ１２…張力測定部、Ｃ２１〜Ｃ３２…張力測定部、Ｒ１〜Ｒ１２…ローラーとしての調整ローラー、Ｒ２１〜Ｒ３２…ローラーとしての調整ローラー、ｗ（ｗ１〜ｗ１２）…ワイヤー。
【図１】
2016165761.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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