(57)【要約】【課題】工作物を一方の端面のみの接触で支持でき、しかも部品点数を少なく、工作物に対して着磁させることがない工作物支持装置を提供する。【解決手段】工作物を支持する工作物支持装置である。工作物における加工面とは反対の面を非接触状態で支持する径方向支持機構を備える。径方向支持機構は、工作物の径方向外方からの流体圧にて、工作物の軸心を所定軸心に一致させた状態とする。工作物の他方の端面側を非接触状態で支持する軸方向支持機構を備える。軸方向支持機構は、工作物の一方の端面側に配設されたバッキングプレートに工作物を流体圧にて押し付ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
工作物を支持する工作物支持装置であって、
工作物の径方向外方からの流体圧にて、工作物の軸心を所定軸心に一致させた状態でかつ工作物における加工面とは反対の面を非接触状態で支持する径方向支持機構と、
工作物の一方の端面側に配設されたバッキングプレートに工作物を流体圧にて押し付けて工作物の他方の端面側を非接触状態で支持する軸方向支持機構とを備えたことを特徴とする工作物支持装置。
【請求項２】
工作物内径面加工時において工作物の外径面を支持する工作物支持装置であって、前記径方向支持機構が、工作物の外径側から工作物の軸心に向かって流体が供給される径方向流体供給機構にて構成されることを特徴とする請求項１に記載の工作物支持装置。
【請求項３】
工作物内径面加工時において工作物の外径面を支持する工作物支持装置であって、前記軸方向支持機構が、工作物の他方の端面に向けて流体が供給される軸方向流体供給機構にて構成されることを特徴とする請求項１に記載の工作物支持装置。
【請求項４】
工作物の廻りに周方向に沿って配設される複数のブロック体を備え、各ブロック体に流体供給機構を構成する流体通路が形成されていることを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の工作物支持装置。
【請求項５】
工作物外径面加工時において工作物の内径面を支持する工作物支持装置であって、外径面に凹凸部からなる抵抗部が形成された嵌入部と、工作物を軸心廻りに回転させる回転機構と、工作物に向けて流体が供給される流体供給機構とで前記径方向支持機構が構成されることを特徴とする請求項１に記載の軸受用保持器。
【請求項６】
工作物外径面加工時において工作物の内径面を支持する工作物支持装置であって、
前記軸方向支持機構が、工作物の他方の端面に向けて流体が供給される軸方向流体供給機構にて構成されることを特徴とする請求項５に記載の工作物支持装置。
【請求項７】
工作物外径面加工時において工作物の内径面を支持する工作物支持装置であって、
外径面に凹凸部からなる抵抗部が形成された嵌入部と、工作物を軸心廻りに回転させる回転機構と、工作物に向けて流体が供給される流体供給機構とで前記径方向支持機構が構成されるとともに、前記軸方向支持機構が、工作物の他方の端面に向けて流体が供給される軸方向流体供給機構にて構成され、径方向支持機構の流体供給機構と軸方向支持機構の軸方向流体供給機構とが共通の機構であることを特徴とする請求項１に記載の工作物支持装置。
【請求項８】
流体供給機構に用いる流体は、油、空気、クーラント又は水のいずれであることを特徴とする請求項２〜請求項７のいずれか１項に記載の工作物支持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工作物支持装置に関し、特に研削加工に用いる工作物支持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
工作物に対して研削加工する場合、その工作物を支持する必要がある。この支持装置として、センタによる芯支持と、工作物がリング状のものにおいて内径面や外径面をチャック等の把持による支持（研削工具主軸と工作物の中心とを一致）、及びシューやロールによる支持等がある。
【０００３】
図１０は、シューを用いる支持装置を示している。この装置は、例えば、短円筒体で軸受の外輪（工作物２）を研削するのに用いられる。この図１０に示す支持装置では、ドライブプレート１に工作物２の一端面を吸着固定するとともに、一対のシュー（リアシュー３及びフロントシュー４）にて工作物２の外径面を支持するものである。工作物２内に、砥石スピンドル５に装着された砥石６が挿入される。
【０００４】
そして、ドライブプレート１を回転させることによって、工作物２を矢印Ａ方向に回転させるとともに、砥石６を矢印Ｂ方向に回転させることによって、工作物２の内径面を研削するものである。すなわち、図１０に示す支持装置は、シューと電磁力チャックとを用いたものである。図１０において、７はインプロセスゲージである。
【０００５】
また、前記のような一般的なシュ―支持および回転動力伝達の種々改良するものが従来から種々提案されている（特許文献１及び特許文献２等）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】実公平３−５７４１０号公報
【特許文献２】特開平１１−３４７８９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、シュー支持の場合、ドライブプレート中心に対して、工作物の中心を意図的にずらせて、２つのシュー（リアシュー及びフロントシュー）の間に引き込む角度（位置）に配置する必要がある。このため、セッチングが比較的難しかった。
【０００８】
シュー支持の場合、シューチップの先端面を真円（工作物の支持部曲率）に近い凹曲面に仕上げる必要がある。このため、高い加工精度を必要とし、生産性に劣るものであった。しかも、長時間の加工によって、シューチップの先端面表面の摩耗が進み部品（シューチップ）の交換を必要となる。
【０００９】
さらには、シュー支持の場合、加工による工作物支持部の減少に伴って支持の位置がずれるものであり、このような位置ずれが生じれば、ウェービネス（波うち）が発生するおそれがある。
【００１０】
また、鉄系の工作物において回転力の伝達に電磁力を用いた場合、工作物が着磁することになるので、加工後において脱磁する必要があり、作業時間の拡大を招くことになる。さらには、脱落砥粒や切粉によるシュー表面の傷や潤滑不良が原因でキズやシューマークが形成されるおそれもある。
【００１１】
本発明は、上記課題に鑑みて、工作物を一方の端面のみの接触で支持でき、しかも部品点数を少なく、工作物に対して着磁させることがない工作物支持装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の工作物支持装置は、工作物を支持する工作物支持装置であって、工作物の径方向外方からの流体圧にて、工作物の軸心を所定軸心に一致させた状態でかつ工作物における加工面とは反対の面を非接触状態で支持する径方向支持機構と、工作物の一方の端面側に配設されたバッキングプレートに工作物を流体圧にて押し付けて工作物の他方の端面側を非接触状態で支持する軸方向支持機構とを備えたものである。
【００１３】
本発明の工作物支持装置によれば、径方向支持機構にて、工作物を、その軸心を所定軸心に一致された状態に支持することができる。また、軸方向支持機構にて、工作物をバッキングプレートに押し付けることができる。このため、工作物を一方の端面のみの接触で支持できる。
【００１４】
工作物内径面加工時において工作物の外径面を支持する工作物支持装置であって、前記径方向支持機構が、工作物の外径側から工作物の軸心に向かって流体が供給される径方向流体供給機構にて構成されるものがある。
【００１５】
工作物内径面加工時において工作物の外径面を支持する工作物支持装置であって、前記軸方向支持機構が、工作物の他方の端面に向けて流体が供給される軸方向流体供給機構にて構成されるものがある。
【００１６】
工作物の廻りに周方向に沿って配設される複数のブロック体を備え、各ブロック体に流体供給機構を構成する流体通路が形成されているのが好ましい。
【００１７】
工作物外径面加工時において工作物の内径面を支持する工作物支持装置であって、外径面に凹凸部からなる抵抗部が形成された嵌入部と、工作物を軸心廻りに回転させる回転機構と、工作物に向けて流体が供給される流体供給機構とで前記径方向支持機構が構成されるものがある。
【００１８】
嵌入部を有するものでは、回転機構を介して、工作物が回転すれば、流体供給機構からの流体が、嵌入部と工作物との間に引きずられる。この場合、嵌入部の外径面に凹凸部からなる抵抗部が形成されているので、凹凸部からなる抵抗部が抵抗となり、流体の圧力を高める。その動圧効果によって、工作物を、工作物の軸心を所定軸心に一致させた状態でかつ工作物における加工面とは反対の面を非接触状態で支持することができる。
【００１９】
前記動圧効果は回転に伴う相対運動によって発生するため、回転数が小さいときには、その動圧がほとんど発生せず、負荷容量および剛性が無いため、回転数が低い状態でも非接触に支持するためには、静圧機構を組み合わせるのが好ましい。
【００２０】
工作物外径面加工時において工作物の内径面を支持する工作物支持装置であって、外径面に凹凸部からなる抵抗部が形成された嵌入部と、工作物を軸心廻りに回転させる回転機構と、工作物に向けて流体が供給される流体供給機構とで、前記径方向支持機構が構成されるとともに、前記軸方向支持機構が、工作物の他方の端面に向けて流体が供給される軸方向流体供給機構にて構成され、径方向支持機構の流体供給機構と軸方向支持機構の軸方向流体供給機構とが共通の機構であるものがある。
【００２１】
流体供給機構に用いる流体は、油、空気、水溶性クーラント、不水溶性クーラント、又は水のいずれである。
【発明の効果】
【００２２】
本発明では、シューを使用せずに済み、シューを用いたことによる問題点が生じない。しかも、工作物が鉄系であっても着磁することがないので、加工後の脱磁する必要がないとともに、工作物が鉄鋼材以外の例えば、セラミックスのような非磁性体材料についての加工も可能である。
【００２３】
径方向支持機構が、工作物の外径側から工作物の軸心に向かって流体が供給される径方向流体供給機構にて構成されるものであれば、安定して工作物の軸心を所定軸心に一致させた状態とできる。軸方向支持機構が、工作物の他方の端面に向けて流体が供給される軸方向流体供給機構にて構成されるものであれば、安定して工作物をバッキングプレートに押し付けることができる。
【００２４】
工作物の廻りに周方向に沿って配設される複数のブロック体を備え、各ブロック体に流体供給機構を構成する流体通路が形成されているものでは、ブロック体の数を増減させることによって、種々の工作物の径に合わせることができる。
【００２５】
径面に凹凸部からなる抵抗部が形成された嵌入部を有するものでは、動圧効果によって、安定して工作物の軸心を所定軸心に一致させた状態とできる。
【００２６】
流体供給機構の流体として、種々の流体を用いることができるので、工作物の材質等に応じて使いわけることができ、工作物に対して安定した加工（例えば、研削加工）を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の支持装置の第１の実施形態を示す要部断面図である。
【図２】前記図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】本発明の支持装置の第２の実施形態を示す要部断面図である。
【図４】前記図３のＢ−Ｂ線断面図である。
【図５】シューを用いた支持している状態における接線抵抗力を示す簡略図である。
【図６】シュー支持による加工力の測定結果を示すグラフ図である。
【図７】リング材幅面の静圧軸受効果による負荷容量計算結果を示すグラフ図である。
【図８】リング材幅面の静圧軸受効果による剛性計算結果を示すグラフ図である。
【図９】リング材外径面の静圧軸受効果による剛性計算結果を示すグラフ図である。
【図１０】シュー支持と電磁力チャックとを用いた一般的な支持装置の簡略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下本発明の実施の形態を図１〜図９に基づいて説明する。図１は本発明に係る支持装置の要部断面図を示し、この支持装置は、例えば、軸受の外輪や内輪のリング体等の工作物Ｗを研削加工等の加工を行う際に支持するものである。
【００２９】
支持装置は、工作物Ｗの軸心Ｌを所定軸心Ｌ１に一致させた状態でかつ工作物Ｗにおける加工面とは反対の面を非接触状態で支持する径方向支持機構Ｍ１と、工作物Ｗの一方の端面１１側に配設されたバッキングプレート１２に工作物Ｗを流体圧にて押し付けて工作物Ｗの他方の端面１３側を非接触状態で支持する軸方向支持機構Ｍ２とを備えたものである。このため、前記所定軸心Ｌ１は、バッキングプレート１２の軸心である。
【００３０】
図１では、工作物Ｗが玉軸受の外輪であって、その内径面３１を研削する際に用いるものである。支持装置は、径方向支持機構Ｍ１及び軸方向支持機構Ｍ２を構成するための支持本体部材１５を備える。この支持本体部材１５は、第１リング部１６と第２リング部１７とからなり、工作物Ｗが遊嵌状に嵌入される嵌合部２３が形成される。
【００３１】
第１リング部１６には、工作物Ｗの径方向に延びる流体通路１８が、周方向に沿って所定ピッチで設けられている。また、第２リング部１７には、工作物Ｗの軸心Ｌと平行な軸線に沿って延びる流体通路１９が、周方向に沿って所定ピッチで設けられている。
【００３２】
第１リング部１６及び第２リング部１７は、周方向に沿って配設されるブロック体２０からなり、各ブロック体２０には、第１リング部１６を構成する第１部２１と、第２リング部１７を構成する第２部２２とを有するものである。そして、各ブロック体２０の各第１部２１及び第２部２２には、それぞれ１個ずつの流体通路１８、１９が設けられている。
【００３３】
流体通路１８、１９は、それぞれ、流体流出側の小径部（ノズル部）１８ａ、１９ａと、流体供給側の大径部１８ｂ、１９ｂと、大径部１８ｂ、１９ｂと小径部１８ａ、１９ｂとを連結するテーパ部１８ｃ、１９ｃとからなる。
【００３４】
流体通路１８、１９には、図示省略の流体供給源が接続されている。ところで、流体通路１８，１９に供給される流体としては、油や水やクーラント等の液体、空気や各種のガス等の気体を採用することができる。このため、流体供給源として、コンプレッサや油圧ポンプ等で構成することができる。
【００３５】
バッキングプレート１２は、工作物Ｗの一方の端面１１側に配設され、この端面１１を先端面２５ａで受けるリング部２５と、このリング部２５が連設された本体部２６とを備えたものである。また、バッキングプレート１２は図示省略の回転駆動手段にて、その軸心廻りに回転する。回転駆動手段としては、駆動用モータと、この駆動用モータの駆動力を支持部材４４に伝達するベルト機構やギヤ機構等の伝達機構等にて構成できる。
【００３６】
次に、前記のように構成された支持装置にて工作物Ｗを支持する方法を説明する。まず、工作物Ｗを、支持本体部材１５の嵌合部２３に嵌入するとともに、バッキングプレート１２を工作物Ｗの一方の端面１１側に配置する。この状態で、支持本体部材１５の各流体通路１８、１９に流体を供給して、各ノズル部１８ａ、１９ａから流体を嵌合部２３に流入させる。
【００３７】
ノズル部１８ａから嵌合部２３に流入した流体は、工作物Ｗの外径面３０に向けて、周方向等ピッチで複数個所から噴射されることになり、工作物Ｗを、工作物Ｗの軸心Ｌを所定軸心、つまりに支持本体部材１５の軸心Ｌ１に一致させた状態とすることができる。
【００３８】
また、ノズル部１９ａから嵌合部２３に流入した流体は、工作物Ｗの他方の端面１３に向けて、周方向等複数個所から噴射されることになり、工作物Ｗをバッキングプレート１２側に押圧することができる。これによって、工作物Ｗをバッキングプレート１２に押し付けることができる。
【００３９】
これらによって、工作物Ｗを、工作物Ｗの軸心Ｌを所定軸心Ｌ１に一致させた状態でかつ工作物Ｗにおける加工面とは反対の面（つまり外径面３０）を非接触状態で支持するとともに、工作物Ｗの一方の端面１１側に配設されたバッキングプレート１２に工作物Ｗを流体圧にて押し付けて工作物Ｗの他方の端面１２側を非接触状態で支持することができる。
【００４０】
このため、流体通路１８を有する支持本体部材１５の第１リング部１６と、この流体通路１８に流体を供給する図示省略の流体供給源とで、前記径方向支持機構Ｍ１を構成するための流体供給機構Ｋ１を形成することになる。また、流体通路１９を有する支持本体部材１５の第２リング部１７と、この流体通路１９に流体を供給する図示省略の流体供給源とで、前記軸方向支持機構Ｍ２を構成するための流体供給機構Ｋ２を形成することになる。
【００４１】
図１に示すように、この支持装置にて支持されている工作物Ｗに対して、砥石スピンドルに装着された砥石を挿入し、バッキングプレートを回転させることによって、工作物２を回転させるとともに、砥石を回転させれば、工作物Ｗの内径面３１を研削することができる。
【００４２】
本発明の工作物支持装置によれば、径方向支持機構Ｍ１にて、工作物Ｗを、その軸心Ｌを所定軸心Ｌ１に一致された状態に支持することができる。また、軸方向支持機構Ｍ２にて、工作物Ｗをバッキングプレート１２に押し付けることができる。このため、工作物Ｗを一方の端面１２のみの接触で支持できる。シューを使用せずに済み、シューを用いたことによる問題点が生じない。しかも、工作物Ｗが鉄系であっても着磁することがないので、加工後の脱磁する必要がないとともに、工作物Ｗが鉄鋼材以外の例えば、セラミックスのような非磁性体材料についての加工も可能である。
【００４３】
径方向支持機構Ｍ１が、工作物Ｗの外径側から工作物Ｗの軸心Ｌに向かって流体が供給される径方向流体供給機構Ｋ１にて構成されるものあるので、安定して工作物Ｗの軸心Ｌを所定軸心Ｌ１に一致させた状態とできる。軸方向支持機構Ｍ２が、工作物Ｗの他方の端面１１に向けて流体が供給される軸方向流体供給機構Ｋ２にて構成されるものであるので、安定して工作物Ｗをバッキングプレート１２に押し付けることができる。
【００４４】
また、工作物Ｗの廻りに周方向に沿って配設される複数のブロック体２０を備え、各ブロック体２０に流体供給機構Ｋ１を構成する流体通路１８が形成されているので、ブロック体２０の数を増減させることによって、種々の工作物Ｗの径に合わせることができる。流体供給機構Ｋ１，Ｋ２の流体として、種々の流体を用いることができるので、工作物Ｗの材質等に応じて使いわけることができ、工作物Ｗに対して安定した加工（例えば、研削加工）を行うことができる。
【００４５】
次に、図３と図４は他の支持装置を示し、この場合、工作物外径面加工時において工作物の内径面を支持する工作物支持装置である。この場合の支持装置は、外径面に凹凸部からなる抵抗部４０が形成された嵌入部４１と、嵌入部４１と工作物Ｗとを軸心廻りに相対的に回転させる回転機構（図示省略）とを備える。
【００４６】
すなわち、この場合の工作物支持装置は、流体通路４２が形成された支持本体４３と、この支持本体４３に連設された前記嵌入部４１とからなる支持部材４４を備える。嵌入部４１には、一対の周方向凸部４５，４５が設けられ、これによって、嵌入部４１の外径面に、凹凸部からなる抵抗部４０が形成される。また、嵌入部４１の付け根部には、周方向凹溝４６が形成されている。
【００４７】
流体通路４２は、前記流体通路１８，１９と同様、流体流出側の小径部（ノズル部）４２ａと、流体供給側の大径部４２ｂと、大径部４２ｂと小径部４２ａとを連結するテーパ部４２ｃとからなる。流体通路４２は、周方向に沿って所定ピッチ（等ピッチ）で複数外接されている。また、流体通路４２は、前記流体通路１８，１９と同様、流体供給源が接続される。なお、この場合も使用する流体としては、油や水やクーラント等の液体、空気や各種のガス等の気体を採用することができる。
【００４８】
この場合も、バッキングプレート４７が工作物Ｗの一方の端面５１側に配設される。バッキングプレート４７は、端面５１を先端面４８ａで受けるリング部４８と、このリング部４８が連設された本体部４９とを備えたものである。
【００４９】
回転機構としては、工作物Ｗをその軸心廻りに回転させるものである。この工作物Ｗをその軸心廻り回転駆動させる駆動手段としては、バッキングプレート４７と、このバッキングプレート４７を回転駆動させる駆動機構とで構成できる。
【００５０】
次に、この図３と図４に示す支持装置を用いて工作物Ｗ（この場合、玉軸受の内輪）を支持する方法を説明する。まず、図３に示すように、工作物Ｗに、支持部材４４の嵌入部４１を嵌入するとともに、バッキングプレート４７を工作物Ｗの一方の端面５１側に配設する。
【００５１】
そして、工作物Ｗをその軸心廻りに回転駆動させるともに、支持部材４４の流体通路４２から工作物Ｗの他方の端面５２に向けて流出させる。この流体は、工作物Ｗをその軸心廻りに回転によって、嵌入部４１と工作物Ｗの内径面３８との間の隙間に引きずられる。この場合、嵌入部４１の外径面に凹凸部からなる抵抗部４０が形成されているので、抵抗部４０が抵抗となり、流体の圧力を高める。その動圧効果によって、工作物Ｗを、工作物Ｗの軸心Ｌを所定軸心Ｌ１に一致させた状態でかつ工作物Ｗにおける加工面とは反対の面を非接触状態で支持することができる。
【００５２】
また、支持部材４４の流体通路４２から工作物Ｗの他方の端面５２に向けて流出させることによって、工作物Ｗの一方の端面５１をバッキングプレート４７の先端面４８ａに押し付けることができ、工作物の他方の端面側を非接触状態で支持することができる。
【００５３】
このため、流体通路４２と、この流体通路４２に流体を供給する図示省略の流体供給源とで、径方向流体供給機構Ｋ１を構成し、この径方向流体供給機構Ｋ１と、工作物Ｗを回転駆動させる駆動機構とで、工作物Ｗへの流体圧にて、工作物の軸心を所定軸心に一致させた状態でかつ工作物における加工面とは反対の面を非接触状態で支持する径方向支持機構Ｍ１を形成することになる。また、流体通路４２と、この流体通路４２に流体を供給する図示省略の流体供給源とで、バッキングプレートに工作物を流体圧にて押し付けて工作物の他方の端面側を非接触状態で支持する軸方向支持機構Ｍ２を構成する流体供給機構Ｋ２を形成することになる。このため、この実施形態では、流体供給機構Ｋ１と流体供給機構Ｋ２とは共通の流体供給機構である。
【００５４】
図３に示すように、この支持装置にて支持されている工作物Ｗに対して、砥石を工作物Ｗの外径面３９に接触させて、バッキングプレートを回転させることによって、工作物２を回転させるとともに、砥石を回転させれば、工作物Ｗの外径面を研削することができる。
【００５５】
図３と図４に示す支持装置を用いても、径方向支持機構Ｍ１にて、工作物Ｗを、その軸心Ｌを所定軸心Ｌ１に一致された状態に支持することができる。また、軸方向支持機構Ｍ２にて、工作物Ｗをバッキングプレート４７に押し付けることができる。このため、工作物Ｗを一方の端面５１のみの接触で支持できる。このため、図３と図４に示す支持装置であっても、前記図１と図２に示す支持装置と同様の作用効果を奏することができる。
【００５６】
前記動圧効果は回転に伴う相対運動によって発生するため、回転数が小さいときには、その動圧がほとんど発生せず、負荷容量および剛性が無いため、回転数が低い状態でも非接触に支持するためには、図３と図４に示す支持装置のように、静圧機構を組み合わせるのが好ましい。
【００５７】
以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、周方向に沿って配設される複数のブロック体２０を備えたものである場合、ブロック体２０の数の増減は任意であり、また、各ブロック体２０に形成される流体通路１８、１９としても１個に限るものではない。複数のブロック体２０を用いることなく、工作物Ｗの周囲に配設される１個のリング体を用いるものであってもよい。
【００５８】
図３と図４に示すように、外径面に凹凸部からなる抵抗部が形成された嵌入部４０を用いる場合、凹凸部の形状としては、図例のものに限るものではなく、凹部及び凸部の数、凹部の深さ、凸部の高さ等の任意に変更できる。
【実施例１】
【００５９】
図５に示すように、一対のシュー（リアシュー６１とフロントシュー６２）を用いた支持力と、バッキングプレートに工作物を流体圧にて押し付けて工作物の他方の端面側を非接触状態で支持する軸方向支持機構との支持力を比較する実験を行った。
【００６０】
この場合、工作物（ワーク）Ｗとして、直径が８８ｍｍで、内径が７８ｍｍで、幅面が２０ｍｍのリング材を用いた。そして、砥石６３を工作物Ｗの外径面に接触させて、この砥石６３を回転ささせることによって、工作物Ｗの外径面を研削するようにした。
【００６１】
この際、フロントシュー６２にはこのフロントシュー６２に作用する荷重を検出するセンサ（ロードセル等の荷重センサ）６４が付設されている。図５において、Ａｘは法線方向の荷重を示し、Ａｙは接線方向の荷重を示している。
【００６２】
図６は、図５に示すシュー支持による加工力の回転数を変化させた場合の測定結果を示している。この場合、加工効率１ｍｍ2／ｓｅｃ加工を行った場合、加工点で働く接線抵抗力は３３Ｎとなった。
【００６３】
これに対して、バッキングプレートに工作物を流体圧にて押し付けて工作物の他方の端面側を非接触状態で支持する軸方向支持機構を用いて、リング材の幅面の静圧軸受効果による負荷容量計算を行った。その結果を、図７に示す。すきまが２μｍで７００Ｎ以上の負荷容量があり、前記接線抵抗力と比較しても、十分な押し付け力を発揮することがわかる。このため、バッキングプレートを介して回転走力が工作物Ｗへ伝わり、安定した駆動力を得ることができることがわかる。
【００６４】
また、無次元剛性の計算も行った、図８はリング材幅面の静圧軸受効果による剛性計算結果を示し、図９はリング材の外径面の静圧軸受効果による剛性計算結果を示している。なお、図９のリング材の外径面の静圧軸受効果は、工作物の径方向からの流体圧にて、工作物の軸心を所定軸心に一致させた状態でかつ工作物における加工面とは反対の面を非接触状態で支持する径方向支持機構を用いることになる。
【００６５】
無次元化することによって、工作物の大きさが変わった場合にも、安定した駆動力を得ることができることがわかる。
【符号の説明】
【００６６】
１１、１３    端面
１２、４７    バッキングプレート
１８、１９、４２     流体通路
２０   ブロック体
４０   抵抗部
４１   嵌入部
Ｋ１   流体供給機構
Ｋ２   流体供給機構
Ｌ、Ｌ１      軸心
Ｍ１   径方向支持機構
Ｍ２   軸方向支持機構
Ｗ     工作物
【図１】
2016068179.tif 000003
【図２】
2016068179.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2016068179.tif 000007
【図６】
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【図７】
2016068179.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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