(57)【要約】【課題】液体供給装置の組み立て作業性を向上する。【解決手段】ポンプ本体１１のシリンダ孔１２内には、流体ピストン２１が往復動自在に収容される駆動側室１５とポンプ側室１６とに区画形成する仕切壁１４が配置される。ポンプ室３１を膨張収縮させる駆動ロッド２５が流体ピストン２１に固定され、駆動ロッド２５は仕切壁１４を貫通してポンプ側室１６に突出している。仕切壁１４に設けられた係合部と外部に開口してポンプ本体１１に横断方向に延びて形成されるスリット６２とにより止具スペースが形成され、仕切壁１４をポンプ本体１１に固定する止具６４が止具スペースに挿入される。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する液体供給装置であって、
ポンプ本体内に形成されるシリンダ孔を駆動側室とポンプ側室とに区画形成し、前記ポンプ本体とは別体に形成される仕切壁と、
前記駆動側室に往復動自在に収容される流体ピストンと、
前記ポンプ本体に設けられた液体吸入ポートおよび液体吐出ポートに連通し、前記ポンプ側室に形成されるポンプ室と、
前記仕切壁に設けられた係合部、および外部に開口して前記ポンプ本体に横断方向に延びて形成されるスリットにより形成される止具スペースと、
前記止具スペースに挿入され、前記仕切壁を前記ポンプ本体に固定する止具と、
を有する液体供給装置。
【請求項２】
請求項１記載の液体供給装置において、前記係合部は前記仕切壁に環状に設けられた係合溝である、液体供給装置。
【請求項３】
請求項１記載の液体供給装置において、前記流体ピストンに固定され、前記仕切壁を貫通して前記ポンプ側室に突出し、前記ポンプ室を膨張収縮させる駆動ロッドを有する液体供給装置。
【請求項４】
請求項１記載の液体供給装置において、前記流体ピストンに固定され、前記仕切壁を貫通して前記ポンプ側室に突出する駆動ロッドと、
前記駆動ロッドの先端部に設けられ、前記ポンプ側室を大気開放室と前記ポンプ室とに区画形成するポンプピストンとを有する液体供給装置。
【請求項５】
請求項１または２記載の液体供給装置において、前記流体ピストンと前記仕切壁との間に形成される第１の流体室に流体を給排する第１の給排ポートと、前記第１の流体室に対して前記流体ピストンの反対側に形成される第２の流体室に流体を給排する第２の給排ポートとを、前記ポンプ本体に設けた、液体供給装置。
【請求項６】
請求項２記載の液体供給装置において、前記スリットは前記ポンプ本体を横断方向に貫通し、前記スリットの幅寸法は前記シリンダ孔の内径寸法よりも大きく、前記止具は前記係合溝に係合するＣ字形状部材である、液体供給装置。
【請求項７】
請求項２記載の液体供給装置において、前記止具は前記係合溝に係合する棒状部材である、液体供給装置。
【請求項８】
請求項２記載の液体供給装置において、前記止具は前記係合溝に係合する円弧面が設けられたブロック部材である、液体供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は流体ピストンの往復動によりポンプ室を膨張収縮させてポンプ動作を行う液体供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
流体ピストンが流体により軸方向に往復駆動され、その流体ピストンによりポンプ動作を行う液体供給装置には、プランジャポンプとピストンポンプとがある。プランジャポンプは、流体ピストンに固定されたピストンロッドがポンプ室を膨張収縮する。ピストンポンプは、流体ピストンにピストンロッドを介して連結されたポンプピストンがポンプ室を膨張収縮する。
【０００３】
特許文献１および２には、流体ピストンとポンプピストンとをポンプ本体に組み込むようにした液体供給装置が記載されている。その液体供給装置においては、仕切壁が、ポンプ本体に形成されたシリンダ孔を、流体ピストンを収容する駆動側室と、ポンプピストンを収容するポンプ側室とに区画形成している。流体ピストンとポンプピストンは、仕切壁に設けられた貫通孔を貫通するロッドにより連結される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】実開昭５２−１６４７０６号公報
【特許文献２】特開２００１−１１５９７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の第１図に記載される液体定量供給装置においては、仕切壁がポンプ本体に一体に形成されている。特許文献２に記載される液体充填装置においては、仕切壁はポンプ本体と別部材となっており、仕切壁はボルトによりポンプ本体に固定される。特許文献２に記載されるように、仕切壁をボルトによりポンプ本体に固定するには、仕切壁がポンプ本体内に挿入された状態のもとで、仕切壁のねじ孔をポンプ本体の取付孔に一致させなければならず、ボルトの取付作業を容易に行うことができない。また、ボルト取り付け孔をポンプ本体に設ける必要があり、さらに、ボルトの雄ねじを受ける雌ねじを仕切壁に設ける必要があり、そのスペースが必要となる。従って、液体供給装置の小型化は難しい。
本発明の目的は、液体供給装置を小型化することである。
【０００６】
本発明の他の目的は、駆動側室とポンプ側室とに区画形成する仕切壁のポンプ本体への取付作業を容易に行うようにし、液体供給装置の組み立て作業性を向上することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
液体供給装置は、液体を吐出する液体供給装置であって、ポンプ本体内に形成されるシリンダ孔を駆動側室とポンプ側室とに区画形成し、前記ポンプ本体とは別体に形成される仕切壁と、前記駆動側室に往復動自在に収容される流体ピストンと、前記ポンプ本体に設けられた液体吸入ポートおよび液体吐出ポートに連通し、前記ポンプ側室に形成されるポンプ室と、前記仕切壁に設けられた係合部、および外部に開口して前記ポンプ本体に横断方向に延びて形成されるスリットにより形成される止具スペースと、前記止具スペースに挿入され、前記仕切壁を前記ポンプ本体に固定する止具と、を有する。
【発明の効果】
【０００８】
係合部が仕切壁の外周面に形成され、その係合部に対応するスリットがポンプ本体に設けられ、スリットは外部に開口している。スリットと係合溝により止具スペースが形成され、止具スペースに止具を挿入することにより、仕切壁は止具によりポンプ本体に固定される。このように、係合部を仕切壁の外周面に設け、止具により仕切壁をポンプ本体に固定するので、液体供給装置を小型化することができる。
【０００９】
また、止具をポンプ本体に挿入するだけで、容易に仕切り壁を固定することができる。これにより、液体供給装置の組み立て作業性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】一実施の形態である液体供給装置の外観を示す斜視図である。
【図２】図１の正面図である。
【図３】図２の平面図である。
【図４】図２の底面図である。
【図５】図２の左側面図である。
【図６】図２の右側面図である。
【図７】図３におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図８】図７におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【図９】他の実施の形態である液体供給装置の縦断面図である。
【図１０】さらに他の実施の形態である液体供給装置の正面図である。
【図１１】図１０におけるＣ−Ｃ線断面図である。
【図１２】（Ａ）〜（Ｃ）は、それぞれさらに他の実施の形態である液体供給装置を示す横断面図である。
【図１３】さらに他の実施の形態である液体供給装置の正面図である。
【図１４】図１３におけるＤ-Ｄ線断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。それぞれの図面においては、共通する部材には同一の符号が付されており、重複した説明は省略されている。
【００１２】
液体供給装置１０は、図１〜図７に示されるように、全体的にほぼ直方体形状のポンプ本体１１を有している。図７に示されるように、シリンダ孔１２がポンプ本体１１に形成されている。閉塞壁１３がポンプ本体１１の一端部にポンプ本体１１と一体に設けられ、シリンダ孔１２は閉塞壁１３の内方端面を底面１３ａとする底付き孔である。仕切壁１４がシリンダ孔１２内に配置されており、ポンプ本体１１の一端部側の駆動側室１５と他端部側のポンプ側室１６が、仕切壁１４によりシリンダ孔１２内に区画形成される。仕切壁１４の外周面とシリンダ孔１２の内周面との間は、仕切壁１４に設けられたシール部材１７によりシールされる。
【００１３】
ヘッドカバー１８がシリンダ孔１２の他端部に固定され、ポンプ側室１６はヘッドカバー１８により閉じられている。ヘッドカバー１８はＣ字形状の止め金具１９によりポンプ本体１１に固定される。ヘッドカバー１８とシリンダ孔１２はシール部材２０によりシールされる。この明細書においては、ポンプ本体１１の一端部を基端部とし、他端部を先端部とする。駆動側室１５はポンプ本体１１の基端部に形成され、ポンプ側室１６はポンプ本体１１の先端部に形成されている。
【００１４】
流体ピストン２１が駆動側室１５内に軸方向に往復動自在に収容される。流体ピストン２１により、駆動側室１５は第１の流体室１５ａと第２の流体室１５ｂとに仕切られる。第１の流体室１５ａは流体ピストン２１と仕切壁１４との間に区画形成され、第２の流体室１５ｂは第１の流体室１５ａに対して流体ピストン２１の反対側に区画形成される。両方の流体室１５ａ，１５ｂの間をシールするために、シール部材２２が流体ピストン２１に装着される。第１の流体室１５ａに連通する第１の給排ポート２３ａと、第２の流体室１５ｂに連通する第２の給排ポート２３ｂとがポンプ本体１１に形成されている。第１の給排ポート２３ａから圧縮空気を第１の流体室１５ａに供給し、第２の給排ポート２３ｂから第２の流体室１５ｂ内の空気を排出すると、流体ピストン２１はポンプ本体１１の基端部に向けて駆動される。逆に、第２の給排ポート２３ｂから圧縮空気を第２の流体室１５ｂに供給し、第１の給排ポート２３ａから第１の流体室１５ａ内の空気を排出すると、流体ピストン２１はポンプ本体１１の先端部に向けて駆動される。
【００１５】
流体ピストン２１が底面１３ａに向かう方向の移動を流体ピストン２１の後退移動とし、流体ピストン２１が仕切壁１４に向かう方向の移動を流体ピストン２１の前進移動とする。ゴムや樹脂からなるダンパ２４が流体ピストン２１の後端面に取り付けられており、流体ピストン２１が後退限位置となると、ダンパ２４が底面１３ａに衝突する。このダンパ２４により流体ピストン２１が底面１３ａに衝突したときの衝撃音の発生が防止される。
【００１６】
駆動ロッド２５がその基端部で流体ピストン２１に固定される。駆動ロッド２５は仕切壁１４に形成された貫通孔２６を貫通しており、駆動ロッド２５の先端部はポンプ側室１６に突出している。貫通孔２６と駆動ロッド２５の間をシールするために、シール部材２７が仕切壁１４に設けられている。ポンプピストン２８が駆動ロッド２５の先端部に設けられ、ポンプ室３１と大気開放室３２がポンプピストン２８によりポンプ側室１６内に区画形成される。ポンプ室３１と大気開放室３２との間をシールするために、ポンプピストン２８にはシール部材２９が設けられている。流体ピストン２１を閉塞壁１３に向けて後退移動させると、駆動ロッド２５と一体となって移動するポンプピストン２８によりポンプ室３１は膨張し、流体ピストン２１を前進移動させると、ポンプピストン２８によりポンプ室３１は収縮する。このように、図１〜図７に示す液体供給装置１０は、ピストンポンプである。
【００１７】
液体吸入ポート３３と液体吐出ポート３４とがポンプ本体１１に形成されている。液体吸入ポート３３と液体吐出ポート３４はそれぞれポンプ室３１に連通する。液体吸入ポート３３は吸入流路３５により液体タンク３６に接続され、液体吐出ポート３４は吐出流路３７により被供給部材３８に接続される。吸入用の逆止弁４１が吸入流路３５に設けられており、この逆止弁４１は液体タンク３６からポンプ室３１に向かう液体の流れを許容し、逆方向の流れを阻止する。吐出用の逆止弁４２が吐出流路３７に設けられており、この逆止弁４２はポンプ室３１から被供給部材３８に向かう流れを許容し、逆方向の流れを阻止する。これら２つの逆止弁により、ポンプ室３１が膨張すると、液体タンク３６内の液体はポンプ室３１内に流入し、ポンプ室３１が収縮すると、ポンプ室３１内に吸入された液体は被供給部材３８に向けて吐出される。
【００１８】
このように、ポンプピストン２８が駆動ロッド２５を介して流体ピストン２１により往復動されると、ポンプ室３１が膨張収縮して、液体タンク３６内の液体は被供給部材３８に向けて吐出される。大気開放室３２と外部を連通させるブリードポート４３がポンプ本体１１に形成されている。ポンプピストン２８の往復動による大気開放室３２の膨張収縮時に、大気開放室３２内の空気はブリードポート４３を介して外に給排される。図７に示されるように、ポンプ室３１に連通するポートが２つ設けられ、一方が液体吸入ポート３３となっており、他方が液体吐出ポート３４となっているが、液体吸入ポート３３を液体吐出ポートとし、液体吐出ポート３４を液体吸入ポートとしても良い。
【００１９】
ピストンロッド４４が流体ピストン２１に固定されている。ピストンロッド４４の一端部に設けられた雄ねじ４５が駆動ロッド２５に設けられた雌ねじ４６にねじ結合され、ピストンロッド４４により流体ピストン２１と駆動ロッド２５とが固定される。さらに、流体ピストン２１はピストンロッド４４の段部と駆動ロッド２５の端面との間で挟み付けられている。ピストンロッド４４は閉塞壁１３に形成された貫通孔４７を貫通し、ピストンロッド４４の他端部はポンプ本体１１の基端部の後方に突出している。ピストンロッド４４と貫通孔４７との間をシールするために、シール部材４８がポンプ本体１１の閉塞壁１３に設けられている。
【００２０】
ロッドカバー５１がポンプ本体１１の後端面にねじ部材５２により取り付けられている。ストローク調整用の円筒形状の調整ナット５３が、ピストンロッド４４の後端部つまり突出端部に設けられた雄ねじ５４にねじ結合され、ダンパ５５がロッドカバー５１に対向して調整ナット５３の端面に取り付けられている。流体ピストン２１の前進限位置は、ダンパ５５がロッドカバー５１に当接することにより規制される。調整ナット５３を回転させると、ダンパ５５のピストンロッド４４に対する軸方向位置が変化し、流体ピストン２１の前進限位置は調整ナット５３より調整される。ロックナット５６が雄ねじ５４にねじ結合され、調整ナット５３の回転移動を防止するために、ロックナット５６が雄ねじ５４に締結される。
【００２１】
図７においては、流体ピストン２１が仕切壁１４の後端面に当接し、ダンパ５５がロッドカバー５１に当接した状態を示している。調整ナット５３のピストンロッド４４に対する締結位置を図７に示す位置に設定すると、流体ピストン２１の往復動ストロークつまりポンプ室３１の膨張収縮ストロークは最大ストロークとなる。調整ナット５３のピストンロッド４４に対する締結位置を図７に示す位置よりも右方向に変化させると、流体ピストン２１の往復動ストロークは、最大ストロークよりも小さい任意の往復動ストロークに調整される。したがって、調整ナット５３を回転させてピストンロッド４４に対する調整ナット５３の軸方向位置を変化させると、ポンプピストン２８の往復移動長さが変更される。これにより、ポンプピストン２８が１回往復動したときの、液体供給装置１０の吸入吐出量を変化させることができる。液体の吐出量を変化させない形態の液体供給装置においては、ピストンロッド４４は不要となる。
【００２２】
ポンプ本体１１を図示しない支持台に対して垂直に取り付けるために、図６，図７に示されるように、取付孔５７がポンプ本体１１の先端部に設けられている。ポンプ本体１１を図示しない支持台に沿わせて取り付けるために、取付孔５８がポンプ本体１１の後端部にポンプ本体１１の厚み方向に貫通して設けられている。いずれかの取付孔に取り付けられるねじ部材によりポンプ本体１１は支持台に固定される。
【００２３】
図８に示されるように、ポンプ本体１１の横断面形状は長方形となっており、ポンプ本体１１は、幅寸法の大きい側面１１ａ，１１ｂとこれに対して直角となった幅寸法の小さい側面１１ｃ，１１ｄとを有している。仕切壁１４の外周面には環状の係合溝６１が係合部として設けられている。この係合溝６１に対応させて、ポンプ本体１１にはポンプ本体１１を横断する方向に延びてスリット６２が形成されている。スリット６２は、ポンプ本体１１の図８における左右の側面１１ａ，１１ｂの間を貫通して外部に開口しており、貫通方向に対してほぼ直角方向の幅寸法Ｌは、仕切壁１４の外径つまりシリンダ孔１２の内径寸法Ｄよりも大きく設定されている。これにより、図８に示されるように、ポンプ本体１１には、仕切壁１４の係合溝６１の外側全体を囲むようにスリット６２が形成され、スリット６２と係合溝６１とにより止具スペース６３が形成される。
【００２４】
この止具スペース６３には、止具６４がポンプ本体１１を横断する方向に挿入される。この止具６４が係合溝６１とスリット６２に入り込んで、仕切壁１４がポンプ本体１１に固定される。止具６４は、図８に示されるように、中心部６５から係合溝６１に沿って円周方向に延びる脚部６６を有し、Ｃ字形状部材となっている。Ｃ字形状の止具６４は、ばね鋼材等のばね部材により形成されており、径方向に弾性変形自在となっている。それぞれの脚部６６の先端には、係合溝６１に噛み合う突起部６７が設けられている。止具６４が止具スペース６３に挿入されると、突起部６７は仕切壁１４の中心よりも側面１１ｂ側となるので、止具６４は脱落しない。
【００２５】
Ｃ字形状の止具６４により仕切壁１４をポンプ本体１１に固定するには、係合溝６１をスリット６２の位置に合致させるように仕切壁１４を位置決めした状態のもとで、止具６４を側面１１ａ，１１ｂの一方側からスリット６２に押し込む。このときには、係合溝６１がスリット６２の位置となっているか否かを外部から容易に目視することができる。図８に示されるように、スリット６２がポンプ本体１１に貫通して形成されているので、係合溝６１がスリット６２の位置となっているか否かを、ポンプ本体１１の両側から目視することができる。止具６４をスリット６２内に押し込むと、脚部６６の突起部６７が係合溝６１の底面に接触して、それぞれの脚部６６が離れる方向に止具６４が径方向に弾性変形し、止具６４は止具スペース６３に挿入される。これにより、止具６４の内周部が係合溝６１に係合して、仕切壁１４はポンプ本体１１に固定される。固定された状態のもとでは、止具６４の中心部６５の内周面と、突起部６７の内周面とが係合溝６１の底面に接触する。このように、ポンプ本体１１を横断する方向に、止具６４を止具スペース６３に挿入する操作により、容易に仕切壁１４をポンプ本体１１に固定することができ、液体供給装置１０の組立性を向上させることができる。
【００２６】
図９は他の実施の形態である液体供給装置を示す縦断面図である。図９に示される液体供給装置１０は、プランジャ型であり、駆動ロッド２５の先端部には図７に示したポンプピストン２８は設けられていない。このタイプの液体供給装置１０においては、ポンプ側室１６の全体がポンプ室３１となっており、駆動ロッド２５がポンプ室３１内に突出している。プランジャ型の液体供給装置１０においては、ポンプピストン２８が設けられていないので、ポンプ本体１１の全長を上述したピストン型よりも短くすることができる。
【００２７】
図１０はさらに他の実施の形態である液体供給装置１０を示す正面図であり、図１１は図１０におけるＣ−Ｃ線拡大断面図である。
【００２８】
図１１に示されるように、環状の係合溝６１が、図８に示したものと同様に、仕切壁１４の外周面に設けられている。２つの貫通孔がポンプ本体１１の側面１１ａ，１１ｂの間を貫通してポンプ本体１１に設けられており、それぞれの貫通孔によりスリット６２ａ，６２ｂが形成される。スリット６２ａ，６２ｂと係合溝６１とにより、２つの止具スペース６３が形成される。それぞれのスリット６２ａ，６２ｂは、ポンプ本体１１の横断方向に延びる噛み合い面６８を有している。噛み合い面６８は係合溝６１の底面の接線を含んでいる。但し、噛み合い面６８は係合溝６１の底面の接線を含まなくても良い。両方の噛み合い面６８は仕切壁１４の円周方向にほぼ１８０度ずれている。スリット６２ａ，６２ｂは、噛み合い面６８に対向する案内面６９と、ポンプ本体１１にその長手方向に相互に対向して形成された対向面とにより、断面が四辺形の貫通孔となっている。
【００２９】
それぞれの止具スペース６３には、止具６４ａ，６４ｂが挿入される。止具６４ａ，６４ｂの横断面形状は、スリット６２ａ，６２ｂの横断面形状に対応し、止具６４ａ，６４ｂは棒状部材からなる。止具６４ａ，６４ｂが挿入されると、それぞれの止具６４ａ，６４ｂは係合溝６１の底面と案内面６９との間で挟み付けられる。このように、止具６４ａ，６４ｂを、ポンプ本体１１を横断する方向に挿入する操作により、容易に仕切壁１４をポンプ本体１１に固定することができ、液体供給装置１０の組立性を向上させることができる。なお、止具スペースを１つとして、１つの止具により仕切壁１４をポンプ本体１１に固定することも可能である。
【００３０】
図１２（Ａ）〜図１２（Ｃ）は、それぞれさらに他の実施の形態である液体供給装置１０を示す断面図であり、図８と同様の部分を示す。
【００３１】
図１２（Ａ）に示す液体供給装置１０の止具６４ａ，６４ｂは、図１１に示した液体供給装置１０の止具６４ａ，６４ｂが噛み合い面６８に接触しているのに対し、噛み合い面６８には接触していない。つまり、止具６４ａ，６４ｂの幅寸法は、案内面６９と噛み合い面６８との間の幅寸法よりも小さくなっている。図示するように、それぞれの止具６４ａ，６４ｂは係合溝６１の底面と案内面６９との間に挟み込まれている。
【００３２】
図１２（Ｂ）に示す液体供給装置１０においては、スリット６２ｃが一方の側面１１ａに開口してポンプ本体１１に形成されており、スリット６２ｃはポンプ本体１１を貫通していない。スリット６２ｃと係合溝６１とにより止具スペース６３が形成され、止具スペース６３内に取り付けられる止具６４ｃは、係合溝６１の底面に接触する円弧面７１が設けられたブロック部材により形成されている。止具６４ｃを止具スペース６３に挿入すると、円弧面７１は係合溝６１の底面に接する。スリット６２ｃの図１２（Ｂ）における上下方向の幅寸法をＬとし、止具６４ｃの幅寸法をＰとし、シリンダ孔１２の内径をＤとすると、これらの寸法は、Ｐ≦Ｌ≦Ｄ  に設定されている。
【００３３】
図１２（Ｃ）に示す液体供給装置１０のポンプ本体１１には、図８に示した液体供給装置１０と同様のスリット６２が形成されており、スリット６２は、仕切壁１４の係合溝６１の外側全体を囲んでいる。止具スペース６３内に取り付けられる止具６４ｄは、図１２（Ｂ）に示した止具６４ｃと同様に、円弧面７１が設けられたブロック部材により形成されている。この止具６４ｄはポンプ本体１１を横断する方向に延びる脚部７２を有している。脚部７２の先端が側面１１ｂの位置となるように、脚部７２の長さを図１２（Ｃ）に示す場合よりも長くしても良い。また、図１２（Ｃ）においては、脚部７２の先端は側面１１ｂよりポンプ本体１１の内側に引っ込んでいる。従って、ポンプ本体１１のうち、脚部７２の先端面よりも図１２（Ｃ）において左側の部分には、スリット６２を設けないようにしても良い。
【００３４】
図１３は他の実施の形態である液体供給装置を示す正面図であり、図１４は図１３におけるＤ−Ｄ線拡大断面図である。図１３および図１４に示す液体供給装置１０は、図１０および図１１に示した液体供給装置１０の止具６４ａ，６４ｂが断面四角形であるのに対し、止具６４ａ，６４ｂの断面形状は円形となっている。
【００３５】
図７に示されるように、流体ピストン２１の両側に流体室１５ａ，１５ｂが設けられているが、一方のみを流体室とし他方に圧縮コイルばね等のばね部材を組み込むようにすると、流体ピストン２１は単動型となる。例えば、流体室１５ａをばね収容室としてこの中に圧縮コイルばねを組み込むと、駆動ロッド２５を後退移動させてポンプ室３１を膨張させるときには、圧縮コイルばねにより駆動ロッド２５は駆動される形態となる。
【００３６】
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。図７および図９に示されるように、ポンプ本体１１に閉塞壁１３が一体に設けられており、ヘッドカバー１８がポンプ本体１１に取り付けられているが、閉塞壁１３を別部材としてポンプ本体１１に取り付けるようにし、ヘッドカバー１８をポンプ本体１１に一体に形成するようにしても良い。
【符号の説明】
【００３７】
１０    液体供給装置
１１    ポンプ本体
１２    シリンダ孔
１３    閉塞壁
１４    仕切壁
１５    駆動側室
１６    ポンプ側室
２１    流体ピストン
２５    駆動ロッド
２８    ポンプピストン
３１    ポンプ室
３２    大気開放室
３３    液体吸入ポート
３４    液体吐出ポート
４４    ピストンロッド
５１    ロッドカバー
５３    調整ナット
６１    係合溝
６２，６２ａ〜６２ｃ    スリット
６３    止具スペース
６４，６４ａ〜６４ｄ    止具
【図１】
2016098792.tif 000003
【図２】
2016098792.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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