(57)【要約】【課題】  簡易な構成で簡単かつ確実に流体を吸引および吐出することができ、延いては長期に亘って安定して使用することが可能なダイヤフラムポンプを提供する。【解決手段】ダイヤフラム５の作動によりポンプ本体２が第１のバルブ３から流体を吸引し、第２のバルブ４から流体を吐出するダイヤフラムポンプである。第１のバルブ３は、内部空間Ｓ１と、内部空間Ｓ１の流入側に設けられた流入口３１５と、内部空間Ｓ１の流出側に固定された第１のケージ３３と、内部空間Ｓ１において流入口３１５と第１のケージ３３の間を移動し、かつ第１のケージ３３より径小の第１の弁３４とを備える。第２のバルブ４は、内部空間Ｓ２と、内部空間Ｓ２の流入側に設けられた流入口４２４と、内部空間Ｓ２の流出側に固定された第２のケージ４３と、内部空間Ｓ２において流入口４２４と第２のケージ４３の間を移動し、かつ第２のケージ４３より径小の第２の弁４３とを備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプ本体と、ポンプ本体の流入側に設けられた第１のバルブと、前記ポンプ本体の流出側に設けられた第２のバルブと、ポンプ本体に流体を吸引および吐出するためのダイヤフラムとを備え、ダイヤフラムの作動によりポンプ本体が第１のバルブから流体を吸引するとともに、第２のバルブから流体を吐出するダイヤフラムポンプにおいて、
前記第１のバルブは、第１の内部空間と、該第１の内部空間の流入側に設けられた第１の流入口と、前記第１の内部空間の流出側に固定された第１のケージと、前記第１の内部空間において前記第１の流入口と第１のケージの間を移動可能に設けられ、かつ前記第１のケージより径小の第１の弁とを備え、
前記第２のバルブは、第２の内部空間と、該第２の内部空間の流入側に設けられた第２の流入口と、前記第２の内部空間の流出側に固定された第２のケージと、前記第２の内部空間において前記第２の流入口と第２のケージの間を移動可能に設けられ、かつ第２のケージより径小の第２の弁とを備え、
ダイヤフラムの作動によりポンプ本体が流体を吸引する場合、第１のバルブは、流体の圧力により第１の弁が第１の内部空間を第１のケージの位置まで移動して接した状態となる一方、第２のバルブは、流体の圧力により第２の弁が第２の内部空間を第２の流入口まで移動して閉蓋した状態となり、流体は、外部から第１のバルブの第１の内部空間に流入したあと、第１のケージの周囲から第１のケージを通過してポンプ本体に流入する一方、ポンプ本体から第２のバルブの第２の内部空間に流入することが阻止され、
ダイヤフラムの作動によりポンプ本体が流体を吐出する場合、第１のバルブは、流体の圧力により第１の弁が第１の内部空間を第１の流入口まで移動して閉蓋した状態となる一方、第２のバルブは、流体の圧力により第２の弁が第２の内部空間を第２のケージの位置まで移動して接した状態となり、流体は、ポンプ本体から第２のバルブの第２の内部空間に流入し、第２のケージの周囲から第２のケージを通過して外部に流出する一方、第１のバルブの第１の内部空間からポンプ本体に流入することが阻止されることを特徴とするダイヤフラムポンプ。
【請求項２】
前記第１のバルブおよび前記第２のバルブは、一の固定部材により前記ポンプ本体に向けて同時に押圧される態様で固定される請求項１に記載のダイヤフラムポンプ。
【請求項３】
前記第１のバルブおよび前記第２のバルブは、いずれも径方向外側に突出した突出部を備え、前記固定部材により前記各突出部の上面がポンプ本体に向けて同時に押圧される態様で固定される請求項２に記載のダイヤフラムポンプ。
【請求項４】
前記固定部材は、前記第１のバルブと前記第２のバルブの間において前記ポンプ本体にネジ止めされる請求項２または請求項３に記載のダイヤフラムポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイヤフラムによりポンプ本体の内部に正圧・負圧を発生させて流体を吸引および吐出するダイヤフラムポンプに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、流体を吸い上げ又は移送するため流体に圧力を加える装置としてにポンプが知られている。ポンプには、回転する部品で圧力を加えるものや往復する部品で圧力を加えるものなど種々のものがあるが、往復運動を行うダイヤフラムによりポンプ本体内部に正圧・負圧を発生させて流体を移送するダイヤフラムポンプが知られている。
【０００３】
このダイヤフラムポンプのポンプ本体内部への逆流を阻止するバルブとして、従来からスイングチャッキバルブ、ハンマレスチャッキバルブ、ウエハーチャッキバルブが知られている。
【０００４】
スイングチャッキバルブは、ヒンジを介して取り付けられた弁が、順方向の流れには流体の流れに押されて開き、逆方向の流れには流体の流れに押されて閉じる構造のものである。
【０００５】
ハンマレスチャッキバルブは、特許文献１に示すように、バネを介して取り付けられた弁が、順方向の流れにはバネの付勢力に抗しながら流体の流れに押されて開き、逆方向の流れにはバネの付勢力に押されて閉じるものである。
【０００６】
ウエハーチャッキバルブは、特許文献２に示すように、バネを内蔵したヒンジを介して取り付けられた半円形の２枚の弁が、順方向の流れにはバネの付勢力に抗しながら流体の流れに押されて開き、逆方向の流れにはバネの付勢力に押されて閉じるものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−３６８８９号
【特許文献２】特開平７−１４５８６９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記バルブは、流体の流れによって動作するヒンジやバネを有するものであるため、長期の使用によってヒンジやバネが疲労して、流体を吸引および吐出することができなくなる場合があった。
【０００９】
本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、簡易な構成で簡単かつ確実に流体を吸引および吐出することができ、ひいてはダイヤフラムポンプを長期に亘って安定して使用することが可能なダイヤフラムポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上記目的を達成するために、ポンプ本体と、ポンプ本体の流入側に設けられた第１のバルブと、前記ポンプ本体の流出側に設けられた第２のバルブと、ポンプ本体に流体を吸引および吐出するためのダイヤフラムとを備え、ダイヤフラムの作動によりポンプ本体が第１のバルブから流体を吸引するとともに、第２のバルブから流体を吐出するダイヤフラムポンプに関するものである。
【００１１】
具体的には、前記第１のバルブは、第１の内部空間と、該第１の内部空間の流入側に設けられた第１の流入口と、前記第１の内部空間の流出側に固定された第１のケージと、前記第１の内部空間において前記第１の流入口と第１のケージの間を移動可能に設けられ、かつ前記第１のケージより径小の第１の弁とを備える。一方、前記第２のバルブは、第２の内部空間と、該第２の内部空間の流入側に設けられた第２の流入口と、前記第２の内部空間の流出側に固定された第２のケージと、前記第２の内部空間において前記第２の流入口と第２のケージの間を移動可能に設けられ、かつ第２のケージより径小の第２の弁とを備える。
【００１２】
そして、ダイヤフラムの作動によりポンプ本体が流体を吸引する場合、第１のバルブは、流体の圧力により第１の弁が第１の内部空間を第１のケージの位置まで移動して接した状態となる一方、第２のバルブは、流体の圧力により第２の弁が第２の内部空間を第２の流入口まで移動して閉蓋した状態となる。このとき、流体は、外部から第１のバルブの第１の内部空間に流入したあと、第１のケージの周囲から第１のケージを通過してポンプ本体に流入する一方、ポンプ本体から第２のバルブの第２の内部空間に流入することが阻止される。
【００１３】
一方、ダイヤフラムの作動によりポンプ本体が流体を吐出する場合、第１のバルブは、流体の圧力により第１の弁が第１の内部空間を第１の流入口まで移動して閉蓋した状態となる一方、第２のバルブは、流体の圧力により第２の弁が第２の内部空間を第２のケージの位置まで移動して接した状態となる。このとき、流体は、ポンプ本体から第２のバルブの第２の内部空間に流入し、第２のケージの周囲から第２のケージを通過して外部に流出する一方、第１のバルブの第１の内部空間からポンプ本体に流入することが阻止される。
【００１４】
これによれば、上述の流体の吸引と吐出を交互に繰り返すことにより、簡易な構成で簡単かつ確実に流体を吸引および吐出することができ、ひいてはダイヤフラムポンプを長期に亘って安定して使用することが可能となる。
【００１５】
また、前記第１のバルブおよび前記第２のバルブは、一の固定部材により前記ポンプ本体に向けて同時に押圧される態様で固定されるのが好ましい。これによれば、第１のバルブおよび第２のバルブは、一の固定部材によりポンプ本体に向けて同時に押圧されるため、簡素な構成によりポンプ本体との接続部における気密性を簡単かつ確実に確保することができる。
【００１６】
また、前記第１のバルブおよび前記第２のバルブは、いずれも径方向外側に突出した突出部を備え、前記固定部材により前記各突出部の上面がポンプ本体に向けて同時に押圧される態様で固定されるのが好ましい。これによれば、前記第１のバルブおよび前記第２のバルブは、固定部材に押圧される突出部を備えるため、ポンプ本体に向けて簡単かつ確実に押圧される。
【００１７】
また、前記固定部材は、前記第１のバルブと前記第２のバルブの間において前記ポンプ本体にネジ止めされるのが好ましい。これによれば、固定部材が第１のバルブと第２のバルブの間においてポンプ本体にネジ止めされるため、第１のバルブおよび第２のバルブはポンプ本体に向けて均等に押圧される。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、ダイヤフラムの作動によりポンプ本体が流体を吸引する場合、流体は、外部から第１のバルブの内部空間に流入したあと、第１のケージの周囲から第１のケージを通過してポンプ本体に流入する一方、ポンプ本体から第２のバルブの内部空間に流入することが阻止される。一方、ダイヤフラムの作動によりポンプ本体が流体を吐出する場合、流体は、ポンプ本体から第２のバルブの内部空間に流入し、第２のケージの周囲から第２のケージを通過して外部に流出する一方、第１のバルブの内部空間からポンプ本体に流入することが阻止される。
【００１９】
このため、流体の吸引と吐出を交互に繰り返すことにより、簡易な構成で簡単かつ確実に流体を吸引および吐出することができ、ひいてはダイヤフラムポンプを長期に亘って安定して使用することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】ダイヤフラムポンプの斜視図である。
【図２】ダイヤフラムポンプの分解図である。
【図３】吸引時のダイヤフラムポンプの動作を示す断面図である。
【図４】吐出時のダイヤフラムポンプの動作を示す断面図である。
【図５】第１のバルブの拡大断面図である。
【図６】第２のバルブの拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
次に、本発明に係るダイヤフラムポンプの実施形態について図１〜図６を参照しつつ説明する。  
【００２２】
このダイヤフラムポンプ１は、図１に示すように、ポンプ本体２と、ポンプ本体２の流入側に設けられた第１のバルブ３と、ポンプ本体２の流出側に設けられた第２のバルブ４と、ポンプ本体２に流体を吸引および吐出するためのダイヤフラム５と、ダイヤフラム５を作動させるための作動機構６とを備えている。
【００２３】
前記ポンプ本体２は、第１のバルブ３から流体を吸引するとともに、第２のバルブ４から流体を吐出するステンレス製の装置である。このポンプ本体２は、図１および図２に示すように、円柱状の外観を呈しており、ポンプヘッド２１と、ポンプヘッド２１の下側に設けられたヘッドガスケット２２と、ヘッドガスケット２２の下側に設けられたヘッドホルダ２３により構成されている。
【００２４】
前記ポンプヘッド２１は、下面に横断面円形の凹部２１１が設けられている。このポンプヘッド２１は、後述するように、下側にダイヤフラム５が設けられ、凹部２１１を天壁および側壁とし、かつダイヤフラム５を底とするポンプ室Ｃが形成される。また、ポンプヘッド２１は、上面において凹部２１１に貫通する孔２１２、２１３が設けられている。
【００２５】
前記ヘッドガスケット２２は、ポンプヘッド２１とヘッドホルダ２３に挟まれる態様でポンプヘッド２１とヘッドホルダ２３の周縁部を封止する環状の封止材であって、柔軟な合成樹脂により構成されている。
【００２６】
前記ヘッドホルダ２３は、円柱状の部材であって、ポンプヘッド２１とダイヤフラム５を固定する固定部材である。ヘッドホルダ２３は、上面の周縁部にネジ溝が設けられ、ネジ２３１がポンプヘッド２１とダイヤフラム５を貫通する態様で該ネジ溝に螺入されることにより、ポンプヘッド２１とダイヤフラム５を固定している。
【００２７】
前記第１のバルブ３は、ポンプ本体２に流体を流入させるパイプ状のステンレス製バルブであって、図３に示すように、上側に設けられた上側パイプ３１と、下側に設けられた下側パイプ３２とを備えている。この第１のバルブ３は、上側パイプ３１と下側パイプ３２が長さ方向に接続されることにより第１の内部空間Ｓ１が形成される。
【００２８】
具体的には、上側パイプ３１は、図５に示すように、径小の径小部３１１と、径小部３１１の下側に径小部３１１の径方向に突出した突出部３１２を備えている。この突出部３１２は、下面に下側パイプ３２が嵌り込む嵌合凹部３１３が設けられている。この嵌合凹部３１３は、上面に径小の凹部３１４が設けられている。一方、下側パイプ３２は、径小の径小部３２１と、径小部３２１の上側に径小部３２１の径方向に突出した突出部３２２を備えている。突出部３２２は、上面に凹部３２３が設けられている。而して、下側パイプ３２の上部が上側パイプ３１の嵌合凹部３１３に嵌り込み、凹部３１４、嵌合凹部３１３、凹部３２３で構成される第１の内部空間Ｓ１が形成される。
【００２９】
この第１の内部空間Ｓ１は、上流側である凹部３１４の上面に第１の流入口３１５が設けられ、下流側に第１のケージ３３が設けられている。この第１のケージ３３は、流体が通過可能なメッシュ板状に形成されたものであり、嵌合凹部３１３の上面と下側パイプ３２の上面に挟まれる態様で固定されている。また、第１の内部空間Ｓ１は、第１の流入口３１５と第１のケージ３３の間に第１の弁３４が設けられている。この第１の弁３４は、第１のケージ３３より径小の板状に形成されたものであり、第１の流入口３１５と第１のケージ３３の間を流体の流れ方向に移動することができるようになっている。
【００３０】
また、第１のバルブ３は、フッ素樹脂製のＯリング３５を介して、下側パイプ３２の下端部がポンプ本体２の孔２１２に挿入されている。このため、第１のバルブ３は、下端がポンプヘッド２１の凹部２１１に向かって開放され、ポンプ本体２のポンプ室Ｃに流体を流入させることができる。
【００３１】
而して、ポンプ本体２が流体を吸引する場合、図３（図５の実線）に示すように、第１のバルブ３は、流体の圧力により第１の弁３４が第１の内部空間Ｓ１をケージ３３の位置まで移動して接した状態となる。このため、流体は、外部から第１のバルブ３の第１の内部空間Ｓ１に流入したあと、第１のケージ３３の周囲から第１のケージ３３を通過してポンプ本体２に流入する。
【００３２】
一方、ポンプ本体２が流体を吐出する場合、図４（図５の点線）に示すように、第１のバルブ３は、流体の圧力により第１の弁３４が第１の内部空間Ｓ１を第１の流入口３１５まで移動して閉蓋した状態となる。このため、流体は、第１のバルブ３の第１の内部空間Ｓ１からポンプ本体２に流入することが阻止される。
【００３３】
前記第２のバルブ４は、ポンプ本体２から流体を流出させるパイプ状のステンレス製バルブであって、図３に示すように、上側に設けられた上側パイプ４１と、下側に設けられた下側パイプ４２とを備えている。第２のバルブ４は、上側パイプ４１と下側パイプ４２が長さ方向に接続して第２の内部空間Ｓ２が形成される。
【００３４】
具体的には、上側パイプ４１は、図６に示すように、径小の径小部４１１と、径小部４１１の下側に径小部４１１の径方向に突出した突出部４１２を備えている。この突出部４１２は、下面に下側パイプ４２が嵌り込む嵌合凹部４１３が設けられている。この嵌合凹部４１３は、上面に径小の凹部４１４が設けられている。一方、下側パイプ４２は、径小の径小部４２１と、径小部４２１の上側に径小部４２１の径方向に突出した突出部４２２を備えている。突出部４２２は、上面に凹部４２３が設けられている。而して、下側パイプ４２の上部が上側パイプ４１の嵌合凹部４１３に嵌り込み、凹部４１４、嵌合凹部４１３、凹部４２３で構成される第２の内部空間Ｓ２が形成される。
【００３５】
この第２の内部空間Ｓ２は、上流側である凹部４２３の下面に第２の流入口４２４を有し、下流側に第２のケージ４３が設けられている。この第２のケージ４３は、流体が通過可能なメッシュ板状に形成されたものであり、嵌合凹部４１３の上面と下側パイプ４２の上面に挟まれる態様で固定されている。また、第２の内部空間Ｓ２は、第２の流入口４２４と第２のケージ４３の間に第２の弁４４が設けられている。この第２の弁４４は、第２のケージ４３より径小の板状に形成されたものであり、第２の流入口４２４と第２のケージ４３の間を流体の流れ方向に移動することができるようになっている。
【００３６】
また、第２のバルブ４は、フッ素樹脂製のＯリング４５を介して、下側パイプ４２の下端部がポンプ本体２の孔２１３に挿入されている。このため、第２のバルブ４は、下端がポンプヘッド２１の凹部２１１に向かって開放され、ポンプ本体２のポンプ室Ｃから流体を流出させることができる。
【００３７】
而して、ポンプ本体２が流体を吸引する場合、図３（図６の実線）に示すように、第２のバルブ４は、流体の圧力により第２の弁４４が第２の内部空間Ｓ２を第２の流入口４２４まで移動して閉蓋した状態となる。このため、流体は、ポンプ本体２から第２のバルブ４の第２の内部空間Ｓ２に流入することが阻止される。
【００３８】
一方、ポンプ本体２が流体を吐出する場合、図４（図６の点線）に示すように、第２のバルブは、流体の圧力により第２の弁４４が第２の内部空間Ｓ２を第２のケージ４３の位置まで移動して接した状態となる。このため、流体は、ポンプ本体２から第２のバルブ４の第２の内部空間Ｓ２に流入し、第２のケージ４３の周囲から第２のケージ４３を通過して外部に流出する。
【００３９】
また、第１のバルブ３と第２のバルブ４は、図２に示すように、一の固定部材７によりポンプ本体２に向けて同時に押圧される態様で固定されている。具体的には、固定部材７は、板状の部材であって、上側パイプ３１、４１が挿通されるパイプ挿通孔７１、７２が長さ方向に間隔を隔てて設けられ、パイプ挿通孔７１、７２の中間位置にネジ挿通孔７３が設けられている。また、ポンプ本体２は、ポンプヘッド２１の上面の中央に突出部２１４が設けられており、突出部２１４の上面にネジ溝が設けられている。第１のバルブ３と第２のバルブ４は、上側パイプ３１、４１が固定部材７のパイプ挿通孔７１、７２に挿通され、ネジ挿通孔７３に挿通されポンプ本体２の突出部２１４の上面に設けられたネジ溝に螺入されたネジ８でネジ止めされることにより、固定部材７により第１のバルブ３の突出部３１２の上面と第２のバルブ４の突出部４１２の上面がポンプ本体２に向けて同時に押圧される態様で固定されている。
【００４０】
これによれば、第１のバルブ３および第２のバルブ４は、一の固定部材７によりポンプ本体２に向けて同時に押圧されるため、簡素な構成によりポンプ本体２との接続部における気密性を簡単かつ確実に確保することができる。また、第１のバルブ３および第２のバルブ４は、固定部材７に押圧される突出部３１２、４１２を備えるため、ポンプ本体２に向けて簡単かつ確実に押圧されることができる。さらに、固定部材７が第１のバルブ３と第２のバルブ４の間においてポンプ本体２にネジ止めされるため、第１のバルブ３および第２のバルブ４は、ポンプ本体２に向けて均等に押圧されることができる。
【００４１】
また、第１のバルブ３と第２のバルブ４は、弁３４、４４の位置がゲージ３３、４３の上下のいずれであるかの差異以外は構造が同一であるため、一方のバルブ３（４）を分解し、弁３４（４４）のケージ３３（４３）に対する位置を変更することにより、他方のバルブ４（３）に簡単に切り替えることができる。
【００４２】
ダイヤフラム５は、図２に示すように、フッ素樹脂で形成された円形膜である膜体５１と、膜体５１の上面中央部に設けられたステンレス製のトッププレート５２と、膜体５１の下面中央部に設けられたステンレス製のボトムプレート５３とを備えている。ダイヤフラム５は、上述のように周縁部がポンプ本体２のポンプヘッド２１とヘッドガスケット２２に挟まれる態様で、ポンプ本体２に取り付けられている。
【００４３】
また、ダイヤフラム５は、中央部５４に膜体５１とトッププレート５２とボトムプレート５３を厚み方向に貫通する態様で孔５５が設けられている。そして、ダイヤフラム５は、孔５５に上方からステンレス製の止めネジ５６が挿入され、止めネジ５６が作動機構６のコネクティングロッド６３の小端部６３２に螺入されることにより、中央部５４がボトムガスケット５７を介して下方に設けられたコネクティングロッド６３に接続されている。
【００４４】
而して、ポンプ本体２が流体を吸引する場合、図３に示すように、ダイヤフラム５は、中央部５４がコネクティングロッド６３により下側に引っ張られ下側方向に撓むことにより、ダイヤフラム５を底とするポンプ室Ｃ内の容積を増大させポンプ室Ｃ内に負圧を発生させて、流体にポンプ本体２側への圧力を生じさせる。
【００４５】
一方、ポンプ本体２が流体を吐出する場合、図４に示すように、ダイヤフラム５は、中央部５４がコネクティングロッド６３により上側に押し上げられ上側方向に撓むことにより、ダイヤフラム５を底とするポンプ室Ｃ内の容積を減少させポンプ室Ｃ内に正圧を発生させて、流体にポンプ本体２側からの圧力を生じさせる。
【００４６】
作動機構６は、図１および図２に示すように、回転軸６１１を有するモータ６１と、モータ６１の回転軸６１１に取り付けられた偏芯部材６２と、偏芯部材６２に設けられ、ダイヤフラム５に接続されたコネクティングロッド６３と、モータ６１とポンプ本体２を固定する取付足６４とを備えている。偏芯部材６２は、円筒状の部材であり、中心からずれた位置において回転軸６１１に取り付けられている。コネクティングロッド６３は、下方端である大端部６３１と、上方端である小端部６３２と、大端部６３１と小端部６３２を連結するステム部６３３とを備えている。大端部６３１は、中央に設けられた孔に偏芯部材６２がベアリングメタルを介して挿入されており、小端部６３２は、上面に設けられたネジ穴に止めネジ５６が螺入されることによってダイヤフラム５の中央部５４に接続されている。コネクティングロッド６３は、偏芯部材６２が回転することにより、小端部６３２が上端に位置する姿勢を維持しながら、大端部６３１の中心が円運動を行うため、小端部６３２は円運動の上下方向に対応した上下運動を行う。
【００４７】
而して、ポンプ本体２が流体を吸引する場合、コネクティングロッド６３は、下側方向に運動することにより、ダイヤフラム５の中央部５４を下側方向に引っ張る。
【００４８】
一方、ポンプ本体２が流体を吐出する場合、コネクティングロッド６３は、上側方向に運動することにより、ダイヤフラム５の中央部５４を上側方向に押し上げる。
【００４９】
次に、ダイヤフラムポンプ１の動作について図３〜図６を参照して説明する。
【００５０】
ポンプ本体２が流体を吸引する場合、図３に示すように、コネクティングロッド６３は、下側方向に運動することにより、ダイヤフラム５の中央部５４を下側方向に引っ張る。
【００５１】
すると、ダイヤフラム５は、中央部５４がコネクティングロッド６３により下側に引っ張られ下側方向に撓むことにより、ダイヤフラム５を底とするポンプ室Ｃ内の容積を増大させポンプ室Ｃ内に負圧を発生させて、流体にポンプ本体２側への圧力を生じさせる。
【００５２】
このとき、第１のバルブ３は、図５の実線で示すように、流体の圧力により第１の弁３４が第１の内部空間Ｓ１をケージ３３の位置まで移動して接した状態となる。このため、流体は、外部から第１のバルブ３の第１の内部空間Ｓ１に流入したあと、第１のケージ３３の周囲から第１のケージ３３を通過してポンプ本体２に流入する。
【００５３】
また、第２のバルブ４は、図６の実線で示すように、流体の圧力により第２の弁４４が第２の内部空間Ｓ２を第２の流入口４２４まで移動して閉蓋した状態となり、流体は、ポンプ本体２から第２のバルブ４の第２の内部空間Ｓ２に流入することが阻止される。
【００５４】
一方、ポンプ本体２が流体を吐出する場合、図４に示すように、コネクティングロッド６３は、上側方向に運動することにより、ダイヤフラム５の中央部５４を上側方向に押し上げる。
【００５５】
すると、ダイヤフラム５は、中央部５４がコネクティングロッド６３により上側に押し上げられ上側方向に撓むことにより、ダイヤフラム５を底とするポンプ室Ｃ内の容積を減少させポンプ室Ｃ内に正圧を発生させて、流体にポンプ本体２側からの圧力を生じさせる。
【００５６】
このとき、第１のバルブ３は、図５の点線で示すように、流体の圧力により第１の弁３４が第１の内部空間Ｓ１を第１の流入口３１５まで移動して閉蓋した状態となる。このため、流体は、第１のバルブ３の第１の内部空間Ｓ１からポンプ本体２に流入することが阻止される。
【００５７】
また、第２のバルブは、図６の点線で示すように、流体の圧力により第２の弁４４が第２の内部空間Ｓ２を第２のケージ４３の位置まで移動して接した状態となる。このため、流体は、ポンプ本体２から第２のバルブ４の第２の内部空間Ｓ２に流入し、第２のケージ４３の周囲から第２のケージ４３を通過して外部に流出する。
【００５８】
これにより流体の吸引と吐出を交互に繰り返すことにより、簡易な構成で簡単かつ確実に流体を吸引および吐出することができ、ひいてはダイヤフラムポンプを長期に亘って安定して使用することが可能となる。
【００５９】
以上、図面を参照して本発明の実施形態を説明したが、本発明は、図示した実施形態のものに限定されない。図示された実施形態に対して、本発明と同一の範囲内において、あるいは均等の範囲内において、種々の修正や変形を加えることが可能である。
【符号の説明】
【００６０】
１…ダイヤフラムポンプ
２…ポンプ本体
３…第１のバルブ
３１２…突出部
３１５…第１の流入口
３３…第１のケージ
３４…第１の弁
４…第２のバルブ
４１２…突出部
４２４…第２の流入口
４３…第２のケージ
４４…第２の弁
５…ダイヤフラム
６…作動機構
７…固定部材
８…ネジ
Ｓ１…第１の内部空間
Ｓ２…第２の内部空間
Ｃ…ポンプ室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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