(57)【要約】【課題】起歪部に貼付された歪みゲージの抵抗値調整を行う際に、歪みに対する抵抗値変化の割合を増加させることが可能な力変換器を提供する。【解決手段】歪みゲージは、起歪部に生ずる歪みを検出する領域に位置して貼られ、歪みゲージ内に設けられた折り返し往復する配線形状の複数の抵抗パターン部には、所定の間隔で配列された複数の短絡配線で構成される短絡配線部が設けられている。短絡配線部の切断によって生ずる抵抗パターン部の歪み検出領域の延伸方向が、起歪部の歪みの絶対値の減少方向と一致していて、歪みの絶対値が大きい位置にある短絡配線から順次切断されて抵抗値調整が行われる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
力を受けて弾性変形する起歪部と、
ホイートストンブリッジ回路を構成して折り返し往復の形状からなる複数の抵抗パターン部を、前記起歪部に貼着される同一の基板上に一体で形成した歪みゲージと、
を有する力変換器において、
前記抵抗パターン部は、それぞれの前記抵抗パターン部の任意の箇所に所定の間隔を有して前記抵抗パターン部を短絡する配線で構成された複数の短絡配線部を有し、
前記短絡配線部の順次切断によって生ずる前記抵抗パターン部の歪み検出領域の延伸方向が、前記起歪部に生ずる歪みの絶対値の減少方向と一致している、
ことを特徴とする力変換器。
【請求項２】
力を受けて弾性変形する起歪部と、
ホイートストンブリッジ回路を構成して折り返し往復の形状からなる複数の抵抗パターン部を、前記起歪部に貼着される同一の基板上に一体で形成した歪みゲージと、
を有する力変換器の調整方法であって、
前記抵抗パターン部は、それぞれの前記抵抗パターン部の任意の箇所に所定の間隔を有して前記抵抗パターン部を短絡する配線で構成された複数の短絡配線部を有し、
前記起歪部に生ずる歪みの絶対値が大きい位置にある前記短絡配線から順次切断されて、前記抵抗パターン部の抵抗値調整が行われる、
ことを特徴とする力変換器の調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、力を受けて弾性変形する起歪部に貼られる歪みゲージからの出力信号によって力を検出する力変換器と、その調整方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の二対の歪み検出用抵抗体を用いた力変換器に用いられている歪みゲージの一例の平面図を図８に示す。この歪みゲージ５０は図１に示す力変換器１に突出形成された力導入部２の周囲に位置する薄肉の起歪部９の反対面に貼着されている。歪みゲージ５０には、複数の電極部６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ、６ｅ、６ｆが設けられ、各電極部の中間には歪み検出用の抵抗体である折り返し往復の抵抗パターン部が計４箇所存在している。この各抵抗パターン部と複数の電極部６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ、６ｅ、６ｆによってホイートストンブリッジ回路を形成し、印加電圧を加えることで、力導入部２に加わる力によって生じる起歪部９の歪みに比例した電圧が出力される。
【０００３】
各抵抗パターン部と複数の電極部６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ、６ｅ、６ｆを有する歪みゲージ５０の回路形成は、絶縁ベース上に金属箔を積層し、フォトリソグラフィによって行われる。そのためにレジストでマスクし、エッチングにて形成するのが一般的である。実際には、フォトリソグラフィにおける像の歪み、ボケ、レジスト形成時の現像時の薬品の不確定要素、金属箔のエッチング時のサイドエッチングのばらつきより、所望するパターン寸法に対して誤差が生じるため各電極部間の抵抗値がばらつくことになる。したがってホイートストンブリッジ回路の平衡状態をつくりだすために、各電極部６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ、６ｅ、６ｆ間の抵抗値調整が必要となる。実際の調整は例えば調整用パッド８をレーザ光線照射によりトリミングすることで、抵抗値を調整しブリッジバランスを保つようにする手法が用いられてきた。
【０００４】
この方法によればレーザ光線によるトリミングで所望の抵抗値を簡便に調整できるものの、この調整用パッド８をトリミングして抵抗値の調整を行うと歪み検出の感度が低下するという課題がある。例えば図８において、電極部６ａと電極部６ｃ間の抵抗値が３２７Ωであって、所望の抵抗値が３３０Ωの場合で調整を調整用パッド８で行うとする。この抵抗値３２７Ωのうち３１０Ωが折り返し往復の抵抗パターン部での抵抗値である場合、歪みの検出は殆どが折り返し往復の抵抗パターン部によって行われるため、歪みの検出の感度割合は３１０／３２７＝０．９４８、すなわち９４．８％となる。トリミング後の抵抗値の増加は３Ωであるが、折り返し往復の抵抗パターン部での抵抗値は増加しないので、３１０／３３０＝０．９３９、すなわちトリミング後の感度割合は９３．９％となってトリミング前より低下する。
【０００５】
これに対して、特許文献１で示すように、折り返し往復の抵抗パターン部に短絡配線部１０３ａ、１０３ｂ、１０３ｃを設け、この短絡配線のパターン形状の一部を切断することで抵抗値の調整を行う手法が開示されている（図９参照）。この手法によって３Ωの抵抗値を増加させた場合、折り返し往復の抵抗パターン部の抵抗値が３１３Ωとなり、トリミング後の感度割合は３１３／３３０＝０．９４８、すなわち９４．８％となって感度の低下が抑制される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特公平０６−１０３２１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら特許文献１の発明の実施形態で開示された歪みゲージの配置は（図１０参照）、以下のような課題があった。力Ｆが梁の自由端部近傍に印加され曲げモーメント力となる場合（図１０（ｃ）参照）、梁上面の歪みゲージＺＡと歪みゲージＺＢは引張歪みＴを受ける。そして梁上面の引張歪みＴは自由端側から増加して固定端部近傍で最大となる。
【０００８】
ここで特許文献１の実施形態である図１０（ａ）に示すような向きで歪みゲージＺＡと歪みゲージＺＢを起歪部に貼付すると、歪みゲージＺＡ及び歪みゲージＺＢの短絡配線切断は、折り返し往復のパターン側から電極部方向へ行われるので、切断方向ＣＤＡ、ＣＤＢの向きとなる。よって、歪みゲージＺＢは、引張歪みの大きい位置にある折り返し往復のパターン内の短絡配線から順に切断が行われ、抵抗値の増加と共に歪みを検出する領域が増えることが判る。しかしながら歪みゲージＺＡは引張歪みの小さい位置にある折り返し往復のパターン内の短絡配線から順に切断が行われる。この場合、歪みゲージＺＡでも抵抗値の増加と共に歪みを検出する領域が増えるものの、最初の短絡配線切断によって新たに増える折り返し往復の抵抗パターンは、比較的小さな引張歪みしか発生しない領域に形成されることになる。
【０００９】
したがって、従来では起歪部の歪みの分布と、歪みゲージの抵抗値調整時の短絡配線切断によって新たに増える折り返し往復の抵抗パターンの歪み検出領域との関係について考慮がなされていなかった。
【００１０】
本発明は、力変換器内の起歪部に貼付された歪みゲージの抵抗値調整において、歪みゲージの検出出力の改善による力変換器の高精度化を課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の力変換器は、
力を受けて弾性変形する起歪部と、
ホイートストンブリッジ回路を構成して折り返し往復の形状からなる複数の抵抗パターン部を、起歪部に貼着される同一の基板上に一体で形成した歪みゲージと、
を有する力変換器において、
抵抗パターン部は、それぞれの抵抗パターン部の任意の箇所に所定の間隔を有して抵抗パターン部を短絡する配線で構成された複数の短絡配線部を有し、
短絡配線部の順次切断によって生ずる抵抗パターン部の歪み検出領域の延伸方向が、起歪部に生ずる歪みの絶対値の減少方向と一致していることを特徴とする。
【００１２】
。
また本発明の力変換器の調整方法は、
力を受けて弾性変形する起歪部と、
ホイートストンブリッジ回路を構成して折り返し往復の形状からなる複数の抵抗パターン部を、起歪部に貼着される同一の基板上に一体で形成した歪みゲージと、
を有する力変換器の調整方法であって、
抵抗パターン部は、それぞれの抵抗パターン部の任意の箇所に所定の間隔を有して抵抗パターン部を短絡する配線で構成された複数の短絡配線部を有し、
起歪部に生ずる歪みの絶対値が大きい位置にある短絡配線から順次切断されて、抵抗パターン部の抵抗値調整が行われることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、歪みゲージの抵抗値調整のための短絡配線を、起歪部の歪みが大きい位置にあるものから順に切断することで、歪みに対する抵抗値変化の割合を増加させることができるため、高精度な力変換器を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施形態に係る力変換器の外観斜視図である。
【図２】実施形態に係る力変換器の底面開口図である。
【図３】実施形態に係る力変換器に用いられる歪みゲージの平面図である。
【図４】（ａ）は実施形態に係る力変換器に用いられる歪みゲージの抵抗パターン部１１の平面拡大詳細図である。（ｂ）は実施形態に係る力変換器に用いられる歪みゲージの抵抗パターン部１２の平面拡大詳細図である。
【図５】（ａ）は実施形態に係る力変換器に用いられる歪みゲージの調整後の抵抗パターン部１１の平面拡大詳細図である。（ｂ）は実施形態に係る力変換器に用いられる歪みゲージの調整後の抵抗パターン部１２の平面拡大詳細図である。
【図６】実施形態に係る歪みゲージを含んだ回路構成を等価的に示すホイートストンブリッジ回路図である。
【図７】（ａ）は実施形態に係る力変換器のＡＡ断面図。（ｂ）は実施形態に係る力変換器の起歪部の歪み線分布図。（ｃ）は実施形態に係る力変換器に用いられる歪みゲージを示した図である。
【図８】従来の力変換器に用いられる歪みゲージの平面図である。
【図９】従来の歪みゲージ単独の平面図である。
【図１０】（ａ）は従来の力変換器の起歪部と歪みゲージの配置を示す上面図である。（ｂ）は従来の力変換器の起歪部と歪みゲージの配置を示す側面図である。（ｃ）は従来の力変換器に曲げモーメントが加わった際にこれを誇張して表した模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、添付の図面を参照して、本発明の力変換器について説明する。ただし、本発明が以下の実施形態に限定される訳ではない。
【００１６】
図１は、本発明の実施形態に係る力変換器１の外観斜視図である。力導入部２は突起した形状であってこの天面に力が印加されるようになっている。力導入部２を取り囲んだ部分が薄肉円板状の起歪部９となっていて、力導入部２に力が印加された際には起歪部９は弾性変形して歪みが生じる。力支持部３は力導入部２及び起歪部９を支持して、剛性が高く規定内の力が印加された場合は歪みが生じない構造となっている。
【００１７】
図２は本発明の実施形態に係る力変換器１を底面方向から見て底部を開口して表したものである。歪みゲージ５は外形が円形状で、力導入部２の反対側にあって起歪部９の平面部に貼着されている。したがって、力導入部２に力が印加された際には起歪部９は弾性変形して歪みが生じ、起歪部９に貼られた歪みゲージ５の抵抗値変化から歪みを電気信号に変換することができる。ケーブル４は変換された電気信号を外部に取り出すと共に、歪みゲージ５を含むホイートストンブリッジ回路へ電源の供給を行うためのものである。なお力変換器１の構造を、図２におけるＡ−Ａにて切断して、図７（ａ）にＡ−Ａ断面図として示している。
【００１８】
図３は、本発明の実施形態に係る力変換器１の歪みゲージ５の平面図である。電極部は６ａ〜６ｆ迄、計６個あって、主となる抵抗成分であってかつ歪みに対する受感部である折り返し往復の形状をした抵抗パターン部に繋がっている。すなわち、電極部６ａと電極部６ｃと繋がってその間に抵抗パターン部１１があって、電極部６ｃと電極部６ｄと繋がってその間に抵抗パターン部１２がある。また電極部６ｅと電極部６ｆと繋がってその間に抵抗パターン部１３があって、電極部６ｆと電極部６ｂと繋がってその間に抵抗パターン部１４がある。歪みゲージ５は外形が円形であって、電極部及び抵抗パターン部の配置は回転対称形である。なお、折り返し往復の形状をした各抵抗パターン部の最大感度方向は、それぞれこの円形の歪みゲージ５の半径方向である。そしてこれら複数の抵抗パターン部は同一の基板上に一体で形成されたものである。
【００１９】
図６はこの結線回路含んだホイートストンブリッジ回路を示したものである。したがって図６における抵抗Ｒ１が抵抗パターン部１１、抵抗Ｒ２が抵抗パターン部１２、抵抗Ｒ３が抵抗パターン部１３、抵抗Ｒ４が抵抗パターン部１４にそれぞれ主として対応するものである。電極部６ｃと電極部６ｆには電源７により直流電圧が印加され、電極部６ａ、６ｂ、６ｄ、６ｅからは各抵抗パターン部に加わった歪みによって変化した抵抗値によって変化する電圧が電気信号として出力される。前述のように、ケーブル４は各電極部と接続されて、この電圧出力信号及び電源７の配線を行っている。
【００２０】
図３において、各抵抗パターン部には折り返し往復のパターンを短絡して、電極部間の抵抗値を低くしている短絡配線部がそれぞれ２箇所配置されている。すなわち抵抗パターン部１１には短絡配線部ＳＰ１１と短絡配線部ＳＰ１２が、抵抗パターン部１２には短絡配線部ＳＰ２１と短絡配線部ＳＰ２２が、抵抗パターン部１３には短絡配線部ＳＰ３１と短絡配線部ＳＰ３２が、抵抗パターン部１４には短絡配線部ＳＰ４１と短絡配線部ＳＰ４２が、それぞれ設けられている。
【００２１】
図４（ａ）と図４（ｂ）はそれぞれ抵抗パターン部１１と抵抗パターン部１２を拡大した詳細図である。抵抗パターン部１１には短絡配線部ＳＰ１１と短絡配線部ＳＰ１２が設けられている。短絡配線部ＳＰ１１と短絡配線部ＳＰ１２にはそれぞれ複数の短絡配線があって、短絡配線はそれぞれ折り返し往復のパターン長手方向すなわち最大感度方向ＭＳ１１、ＭＳ１２に垂直な形状である。したがって短絡配線部ＳＰ１１と短絡配線部ＳＰ１２は梯子状の形状となっていて、各短絡配線の配列方向は最大感度方向ＭＳ１１、ＭＳ１２に平行な方向となっている。
【００２２】
短絡配線部ＳＰ１１には、所定のピッチＰ１にて各短絡配線が配列されており、抵抗値調整を行う際には切断方向ＣＤ１１に沿ってレーザトリミングにより順次切断を行うことができて、抵抗値が順次増加するようになっている。短絡配線部ＳＰ１１も各短絡配線の間隔ピッチがＰ１なる等間隔で配置されており、抵抗値調整を行う際には切断方向ＣＤ１２に沿って順次切断を行うことができて、抵抗値が順次増加するようになっているが、短絡配線部ＳＰ１１とはピッチＰ１の１／２だけ半径方向でずれて配列されている。また短絡配線部ＳＰ１１、ＳＰ１２の切断前には、短絡配線部ＳＰ１１、ＳＰ１２は短絡されていることから、歪みを検出する感度は有しない。なお本実施形態では、各短絡配線部はそれぞれ折り返し往復のパターン長手方向すなわち最大感度方向に垂直な梯子状の形状であるが、レーザトリミング等によって容易に切断できるものであればこれに限定されるものではない。
【００２３】
短絡配線部ＳＰ２１には、所定のピッチＰ２にて各短絡配線が配列されており、抵抗値調整を行う際には切断方向ＣＤ２１に沿って順次切断を行うことができて、抵抗値が順次増加するようになっている。短絡配線部ＳＰ２２も各短絡配線の間隔ピッチがＰ２なる等間隔で配列されており、抵抗値調整を行う際には切断方向ＣＤ２２に沿って順次切断を行うことができて、抵抗値が順次増加するようになっているが、短絡配線部ＳＰ２１とはピッチＰ２の１／２だけ半径方向でずれて配列されている。前述の短絡配線部ＳＰ１１、ＳＰ１２と同様に、短絡配線部ＳＰ２１、ＳＰ２２の切断前には、短絡配線部ＳＰ２１、ＳＰ２２は短絡されていることから、歪みを検出する感度は有しない。なお抵抗パターン部１３、抵抗パターン部１４に関しては、それぞれ抵抗パターン部１２、抵抗パターン部１１と回転対称形であって同形状であるため説明は省略する。
【００２４】
次いで図３及び図５を参照して抵抗値調整方法について説明する。歪みゲージ５を起歪部９に貼着した後、例えば電極部６ａと電極部６ｃ間の抵抗値調整は、短絡配線部ＳＰ１１と短絡配線部ＳＰ１２によって行われる。すなわち、電極部６ａと電極部６ｃそれぞれにリード線をハンダ付けして電極部間の抵抗値を測定する。この方法で他の電極部も同様に、電極部６ｃと電極部６ｄ間は短絡配線部ＳＰ２１と短絡配線部ＳＰ２２、電極部６ｅと電極部６ｆ間は短絡配線部ＳＰ３１と短絡配線部ＳＰ３２、電極部６ｆと電極部６ｂ間は短絡配線部ＳＰ４１と短絡配線部ＳＰ４２にて抵抗値調整を行うことができる。
【００２５】
図５（ａ）において、抵抗パターン部１１の短絡配線部ＳＰ１１は切断方向ＣＤ１１に沿って３段分だけ短絡が切断され、これが切断ラインＴＬ１１で表されている。本実施形態ではピッチＰ１では１段分が約２Ωの抵抗値増加となるので、短絡配線部ＳＰ１１では６Ωの増加となる。一方短絡配線部ＳＰ１２は切断方向ＣＤ１２に沿って２段分だけ短絡が切断され、これが切断ラインＴＬ１２で表されている。本実施形態ではピッチＰ１で１段分が２Ωの抵抗値増加となるが第１段目は、（Ｐ１）／２だけ受感部が長いため、第１段目では３Ωの増加、２段目では２Ωの増加となって、短絡配線部ＳＰ１２では５Ωの増加となる。よって短絡配線部ＳＰ１１と短絡配線部ＳＰ１２合計で１１Ωの抵抗値が増加する。短絡配線部ＳＰ１１と短絡配線部ＳＰ１２とで、短絡の半径方向の位置を半ピッチ分ずらすことで、細かい調整が容易となる。
【００２６】
また切断ラインＴＬ１１によって、短絡配線部ＳＰ１１の歪み検出部が有効長ＡＬ１１となって増加する。一方切断ラインＴＬ１２によって、短絡配線部ＳＰ１２の歪み検出部が有効長ＡＬ１２となって増加する。この有効長ＡＬ１１と有効長ＡＬ１２の部分が新たに歪みの検出に有効となって、抵抗値が増加しても歪の感度の低下の抑制に寄与できることになる。
【００２７】
抵抗パターン部１２も図５（ｂ）に示すように同様に行うことができる。短絡配線部ＳＰ２１は切断方向ＣＤ２１に沿って８段分だけ短絡が切断され、これが切断ラインＴＬ２１で表されている。本実施形態ではピッチＰ２では１段分が２Ωの抵抗値増加となるので、短絡配線部ＳＰ２１では１６Ωの増加となる。一方短絡配線部ＳＰ２２は切断方向ＣＤ２２に沿って７段分だけ短絡が切断され、これが切断ラインＴＬ２２で表されている。本実施形態ではピッチＰ２で１段分が２Ωの抵抗値増加となるが第１段目は、（Ｐ２）／２だけ受感部が長いため、第１段目では３Ωの増加となって、短絡配線部ＳＰ２２では１５Ωの増加となる。よって短絡配線部ＳＰ２１と短絡配線部ＳＰ２２合計で３１Ωの抵抗値が増加する。短絡配線部ＳＰ２１と短絡配線部ＳＰ２２とで、短絡の半径方向の位置を半ピッチ分ずらすことで、細かい調整が容易となる。
【００２８】
また切断ラインＴＬ２１によって、短絡配線部ＳＰ２１の歪み検出部が有効長ＡＬ２１となって増加する。一方切断ラインＴＬ２２によって、短絡配線部ＳＰ２２の歪み検出部が有効長ＡＬ２２となって増加する。この有効長ＡＬ２１と有効長ＡＬ２２の部分が新たに歪みの検出に有効となって、抵抗値が増加しても歪の感度の低下の抑制に寄与できることになる。
【００２９】
図７（ａ）は図２のＡ−Ａ断面で切断した力変換器１の断面図であって、図７（ｂ）は起歪部９の歪み線図、図７（ｃ）はこれに対応した歪みゲージ５の位置関係を示すものである。力導入部２に力Ｆが印加されると、歪みゲージ５が貼られた起歪部９に歪みが生じて、歪みゲージ５によってこの歪を検出して電気信号に変換される。
【００３０】
図７（ｂ）は起歪部９の図２におけるＡ−Ａ断面線に沿った歪み線図である。
横軸Ｘは力導入部２の中心からの距離であって、縦軸の正の領域は引張歪みＴ、縦軸の負の領域は圧縮歪みＣを示している。Ｘ＝０付近では力導入部２の中心があって起歪部９の肉厚が大きいためそれほど大きな引張歪みは発生しないが、Ｘが増加するにしたがって引張歪みが増加して、力導入部２の外周境界部付近で最大となる。さらにＸが増加すなわち起歪部９の外周へ行くにつれて引張歪みは減少し、圧縮歪み側へ移行し、力支持部３に到達する付近で圧縮歪みの絶対値は最大となる。
【００３１】
なお起歪部９は円板状であるため、この歪み線図はＡ−Ａ断面を、円筒軸を中心として３６０度回転させてどこの断面を切っても同じものとみなすことができる。
【００３２】
図７（ｂ）と図７（ｃ）において、Ｘ軸でｘ１ｂ≦Ｘ≦ｘ１ａの範囲に抵抗パターン部１１があって、外周側から内側へ、すなわちＸ＝ｘ１ａからＸ＝ｘ１ｂへ向かうにしたがって圧縮歪みＣの絶対値が減少している。そして短絡配線の切断によって増加する歪み検出領域の有効長ＡＬ１１及びＡＬ１２の延伸方向は圧縮歪みＣの絶対値の減少方向と一致している。故に短絡配線部ＳＰ１１及び短絡配線部ＳＰ１２は外周側の短絡配線から順次切断が行われるため、圧縮歪みＣが大きく発生する場所を始点として歪みゲージ５の歪み検出領域が増えることになって、歪みに対する抵抗値変化の割合を増加させることができるため、高精度な力変換器１を実現できる。
【００３３】
一方、Ｘ軸でｘ２ｂ≦Ｘ≦ｘ２ａの範囲に抵抗パターン部１２があって、内側から外周側へ、すなわちＸ＝ｘ２ａからＸ＝ｘ２ｂへ向かうにしたがって引張歪みＴの絶対値が減少している。そして短絡配線の切断によって増加する歪み検出領域の有効長ＡＬ２１及びＡＬ２２の延伸方向は引張歪みＴの絶対値の減少方向と一致している。故に短絡配線部ＳＰ２１及び短絡配線部ＳＰ２２は内側の短絡配線から順次切断が行われるため、引張歪みＴが大きく発生する場所を始点として歪みゲージ５の歪み検出領域が増えることになって、歪みに対する抵抗値変化の割合を増加させることができるため、高精度な力変換器１を実現できる。
【００３４】
以上Ｘが正の領域での説明であったが、歪みゲージ５は回転対称形であって、Ｘ軸が負の領域でも同じであるため、Ｘ軸が負の領域での説明は省略する。
【００３５】
また本実施形態では、２つの短絡配線部は隣り合って配置されているが、各抵抗パターン内で任意の箇所に配置して構わないのは明らかである。
【００３６】
さらに本実施形態における抵抗値調整は、例えば電極部６ａと電極部６ｃ間を短絡配線部ＳＰ１１のみで行うのではなく、短絡配線部ＳＰ１２とペアとして両方を交互に使って行えば、歪みが大きく発生する場所での歪みゲージ５の歪み検出領域が増え、歪みに対する抵抗値変化の割合を増加させることができるため、高精度な力変換器１を実現できる。
【００３７】
以上説明したように、本発明によれば、短絡配線部を切断して抵抗値調整を行った際に、起歪部の歪みを検出できる領域が増えることで、歪みに対する抵抗値変化の割合を増加させることができるため、高精度な力変換器を実現できる。
【００３８】
なお、本発明は、上述及び図面に示した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内において種々の変形にて実施することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明は、歪みゲージを使用したロードセルや圧力測定器に適用することができる。
【符号の説明】
【００４０】
１  力変換器
２  力導入部
３  力支持部
４  ケーブル
５  歪みゲージ
６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ、６ｅ、６ｆ  電極部
７  電源
８  調整用パッド
９  起歪部
１１、１２、１３、１４  抵抗パターン部
１０１  電極部
１０３ａ、１０３ｂ、１０３ｃ  短絡配線部
ＡＬ１１、ＡＬ１２、ＡＬ２１、ＡＬ２２  有効長
ＣＤ１１、ＣＤ１２、ＣＤ２１、ＣＤ２２、ＣＤＡ、ＣＤＢ  切断方向
ＭＳ１１、ＭＳ１２、ＭＳ２１、ＭＳ２２、ＭＳ３１、ＭＳ３２、ＭＳ４１、ＭＳ４２  最大感度方向
ＳＰ１１、ＳＰ１２、ＳＰ２１、ＳＰ２２、ＳＰ３１、ＳＰ３２、ＳＰ４１、ＳＰ４２  短絡配線部
ＴＬ１１、ＴＬ１２、ＴＬ２１、ＴＬ２２  切断ライン
【図１】
2016161539.tif 000003
【図２】
2016161539.tif 000004
【図３】
2016161539.tif 000005
【図４】
2016161539.tif 000006
【図５】
2016161539.tif 000007
【図６】
2016161539.tif 000008
【図７】
2016161539.tif 000009
【図８】
2016161539.tif 000010
【図９】
2016161539.tif 000011
【図１０】
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