(57)【要約】【課題】ノズルユニットの振動を低減できる。【解決手段】一定方向に延びる吐出口（３）を有するスロットダイ（２）を備え、吐出口（３）が延びる方向と直交する一定方向にスロットダイ（２）を移動させるか、或いは、この一定方向とは逆方向に、ワーク（１）を移動させながら、ワーク（１）の上からワーク（１）に吐出口（３）を向けて吐出口（３）から塗布液を吐出することで、ワーク（１）の一面に塗布液を塗布するダイコーターであって、スロットダイ（２）に、少なくとも１つ以上のダンパー（７）を備えることを特徴とするダイコーター。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一定方向に延びる吐出口を有するスロットダイを備え、吐出口が延びる方向と直交する一定方向にスロットダイを移動させるか、或いは、この一定方向とは逆方向に、ワークを移動させながら、ワークの上からワークに吐出口を向けて吐出口から塗布液を吐出することで、ワークの一面に塗布液を塗布するダイコーターであって、スロットダイに、少なくとも１つ以上のダンパーを備えることを特徴とするダイコーター。
【請求項２】
前記ダンパーが、同調質量ダンパーであることを特徴とする請求項１記載のダイコーター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイコーターに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、図５に示すように、一定方向（図５ではＸ方向）に延びる吐出口３を有するスロットダイ２を備え、吐出口３が延びる方向（図５ではＸ方向）と直交する一定方向（図５ではＹ方向）にスロットダイ２を移動させるか、或いは、この一定方向（図５ではＹ方向）とは逆方向に、ワーク１を移動させながら、ワーク１の上からワーク１に吐出口３を向けて吐出口３から塗布液を吐出することで、ワーク１の一面に塗布液を塗布するダイコーターが知られている。ここで、ワークは、基板等の塗布対象物である。
【０００３】
従来から、薄膜のレジスト塗布に用いられるダイコーターには、スロットダイ２を昇降させる機構として、図６に示すように、Ｚ軸昇降機構４ａ，４ｂを備え、Ｚ軸昇降機構４ａ，４ｂ、それぞれの保持部（図示せず）で、スロットダイ２の吐出口３が延びる方向の両端を保持しているものがある。そして、Ｚ軸昇降機構４ａ，４ｂは、駆動部であるモーターと、そのモーターの状態を検出する検出部であるエンコーダーとを有するサーボモーターを備え、スロットダイ２とともに、ノズルユニット５を構成する。
【０００４】
そして、薄膜のレジスト塗布に用いられるダイコーターは、Ｚ軸昇降機構４ａ，４ｂのサーボモーターのモーターを常に駆動させ、エンコーダーからのモーターの状態のフィードバックを受けて、スロットダイ２の吐出口３とワーク１との距離を計算しながら制御している。
【０００５】
しかしながら、このモーターの駆動や周囲からの外乱（振動や圧力）が、力としてダイコーターの構造物を伝わるため、固有振動数に従ってノズルユニット５を振動させている。
【０００６】
この振動の内、図７に示すような、スロットダイ２の塗布しているワーク１面に対して垂直方向（図５ではＺ方向なので、以後、Ｚ方向とも云う）の振動は、図８に示すように、塗布後の膜厚分布に周期的な厚薄の膜厚変化を与える。ここで、図８において、塗布方向に対する膜厚のグラフの楕円で囲まれている部分は、レジスト膜６の楕円で囲まれている部分の塗布方向に対する膜厚を示している。
【０００７】
また、その膜厚変化量はＺ方向の振幅に依存するため、塗布動作の高速化、サーボモーターの劣化などで振動が増幅すると、膜厚変化の最大、最小幅が大きくなり、周期的な濃淡が視認できるムラとして不良の原因になる。
【０００８】
ところで、特許文献１には、スロットダイを支持する基礎部を備え、前記基礎部は、グランドレベルから５ｍ以下の高さを有するとともに３ｍ２以上の水平方向の平均断面積を有する地上部を有し、前記スロットダイと前記基礎部との間に設置される制振装置または免振装置を更に備えることで、スロットダイの振動を抑制する塗布装置が記載されている。
【０００９】
しかしながら、特許文献１の塗布装置は、スロットダイがワークの横から塗布を行うもので、スロットダイを昇降させる機構は一切ない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００７−２６８３８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、このような事情を考慮してなされたもので、ノズルユニットの振動を低減できることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明において上記課題を解決するために、まず請求項１の発明では、一定方向に延びる吐出口を有するスロットダイを備え、吐出口が延びる方向と直交する一定方向にスロットダイを移動させるか、或いは、この一定方向とは逆方向に、ワークを移動させながら、ワークの上からワークに吐出口を向けて吐出口から塗布液を吐出することで、ワークの一面に塗布液を塗布するダイコーターであって、スロットダイに、少なくとも１つ以上のダンパーを備えることを特徴とするダイコーターとしたものである。
【００１３】
また請求項２の発明では、前記ダンパーが、同調質量ダンパーであることを特徴とする請求項１記載のダイコーターとしたものである。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１の発明は、スロットダイに、少なくとも１つ以上のダンパーを備えるので、ダンパーが、スロットダイと、このスロットダイを昇降させるＺ軸昇降機構とで構成されるノズルユニットの振動を減衰させて、ノズルユニットの振動を低減できるという効果がある。
【００１５】
請求項２の発明は、前記ダンパーが、同調質量ダンパーであるので、同調質量ダンパーの揺動可能に支持された重錘の固有振動数を調節して、スロットダイと、このスロットダイを昇降させるＺ軸昇降機構とで構成されるノズルユニットの固有振動数と同じにすれば、ノズルユニットの振動を低減できるという効果がある。
【００１６】
以上、本発明は、ノズルユニットの振動を低減できるという効果がある。
【００１７】
また、本発明は、ノズルユニットのＺ方向の振動を低減できるので、塗布後の膜厚分布に周期的な厚薄の膜厚変化がなくなって、塗布後の膜厚分布の平坦性が向上するという効果がある。
【００１８】
また、本発明は、塗布後の膜厚分布に周期的な厚薄の膜厚変化がなくなるので、周期的な濃淡が視認できるムラによる不良が発生しないという効果がある。
【００１９】
さらに、本発明は、塗布速度を大きくしても、ダンパーが、ノズルユニットの振動を減衰させて、ノズルユニットの振動を低減できるので、塗布速度の高速化が可能になるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明のダイコーターの説明図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の平面図のＡＡで切断したときの正面図、（ｃ）は側面図である。
【図２】本発明のダイコーターのＺ軸昇降機構とノズルユニットを説明する側面図。
【図３】本発明のダイコーターでのノズルユニットのＺ方向の振動の例を示すグラフ。
【図４】本発明のダイコーターでの膜厚分布を説明する説明図。
【図５】一般のダイコーターの説明図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の平面図のＡＡで切断したときの正面図、（ｃ）は側面図である。
【図６】従来の薄膜のレジスト塗布に用いられるダイコーターの側面図。
【図７】従来の薄膜のレジスト塗布に用いられるダイコーターでのノズルユニットのＺ方向の振動の例を示すグラフ。
【図８】従来の薄膜のレジスト塗布に用いられるダイコーターでの膜厚分布を説明する説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下に、本発明の一実施形態を説明する。
【００２２】
本発明は、図１に示すように、一定方向（図１ではＸ方向）に延びる吐出口３を有するスロットダイ２を備え、吐出口３が延びる方向（図１ではＸ方向）と直交する一定方向（図１ではＹ方向）にスロットダイ２を移動させるか、或いは、この一定方向（図１ではＹ方向）とは逆方向に、ワーク１を移動させながら、ワーク１の上からワーク１に吐出口３を向けて吐出口３から塗布液を吐出することで、ワーク１の一面に塗布液を塗布するダイコーターであって、スロットダイ２の上に、少なくとも１つ以上のダンパー（図１では、７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ，７ｅ）を備えるダイコーターである。ここで、ワークは、基板等の塗布対象物である。
【００２３】
そして、本発明のダイコーターは、スロットダイ２を昇降させる機構として、図２に示すように、Ｚ軸昇降機構４ａ，４ｂを備え、Ｚ軸昇降機構４ａ，４ｂ、それぞれの保持部（図示せず）で、スロットダイ２の吐出口３が延びる方向の両端を保持しており、Ｚ軸昇降機構４ａ，４ｂは、駆動部であるモーターと、そのモーターの状態を検出する検出部であるエンコーダーとを有するサーボモーターを備え、スロットダイ２とともに、ノズルユニット５を構成する。
【００２４】
そして、本発明のダイコーターは、Ｚ軸昇降機構４ａ，４ｂのサーボモーターのモーターを常に駆動させ、エンコーダーからのモーターの状態のフィードバックを受けて、スロットダイ２の吐出口３とワーク１との距離を計算しながら制御している。
【００２５】
ダンパーは、ショックアブソーバーとも呼ばれ、取り付けた物体の振動を減衰させる装置であって、本発明のダイコーターのスロットダイ２は、その上に複数のダンパー（図１では、７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ，７ｅ）を装着可能である。
【００２６】
ダンパーには、例えば、同調質量ダンパー（Ｔｕｎｅｄ  Ｍａｓｓ  Ｄａｍｐｅｒ）がある。同調質量ダンパーは、揺動可能に支持された重錘を有し、この重錘の固有振動数を調節可能な装置であって、この重錘の固有振動数と等しい固有振動数を有する物体の上部に取り付け、この物体が、この物体の固有振動数で揺れると、この重錘が共振することにより、この物体の揺れと逆方向の力が作用して、この物体の揺れを低減させる装置である。
【００２７】
本発明のダイコーターは、スロットダイ２の上に、少なくとも１つ以上のダンパー（図
１では、７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ，７ｅ）を備えるので、ダンパーが、スロットダイ２とＺ軸昇降機構４ａ，４ｂとで構成されるノズルユニット５の振動を減衰させて、ノズルユニット５の振動を低減できるという効果がある。
【００２８】
本発明のダイコーターでのノズルユニットのＺ方向の振動の例を示す図３のグラフと、従来の薄膜のレジスト塗布に用いられるダイコーターでのノズルユニットのＺ方向の振動の例を示す図７のグラフとを比較すると、本発明のダイコーターは、従来の薄膜のレジスト塗布に用いられるダイコーターよりも、ノズルユニット５のＺ方向の振動が低減している。
【００２９】
そして、本発明のダイコーターは、ノズルユニット５のＺ方向の振動を低減できるので、図４に示すように、塗布後の膜厚分布に周期的な厚薄の膜厚変化がなくなって、塗布後の膜厚分布の平坦性が向上するという効果がある。ここで、図４において、塗布方向に対する膜厚のグラフの楕円で囲まれている部分は、レジスト膜６の楕円で囲まれている部分の塗布方向に対する膜厚を示している。
【００３０】
そして、本発明のダイコーターは、塗布後の膜厚分布に周期的な厚薄の膜厚変化がなくなるので、周期的な濃淡が視認できるムラによる不良が発生しないという効果がある。
【００３１】
そして、本発明のダイコーターは、塗布速度を大きくしても、ダンパーが、ノズルユニット５の振動を減衰させて、ノズルユニット５の振動を低減できるので、塗布速度の高速化が可能になるという効果がある。
【符号の説明】
【００３２】
１…ワーク
２…スロットダイ
３…吐出口
４ａ…Ｚ軸昇降機構
４ｂ…Ｚ軸昇降機構
５…ノズルユニット
６…レジスト膜
７ａ…ダンパー
７ｂ…ダンパー
７ｃ…ダンパー
７ｄ…ダンパー
７ｅ…ダンパー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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