(57)【要約】【課題】外部からの衝撃により振動腕が厚さ方向に変形したときに、振動腕に加わる衝撃を低減させることができる振動子を提供する。【解決手段】振動子１００は、ベース１２２と、ベース１２２に取り付けられている取付け部１８を含む基部１０と、基部１０から延出している振動腕２０ａ，２０ｂと、基部１０から延出している衝撃緩衝腕３０と、を含み、ベース１２２の主面の衝撃緩衝腕３０と対向している領域および衝撃緩衝腕３０のベース１２２の主面と対向する領域の少なくとも一方には、凸部１５０が設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースと、
前記ベースに取り付けられている取付け部を含む基部と、
前記基部から延出している振動腕と、
前記基部から延出している衝撃緩衝腕と、
を含み、
前記ベースの主面の前記衝撃緩衝腕と対向している領域、および前記衝撃振動腕の前記ベースの主面と対向している領域の少なくとも一方には、凸部が設けられている、振動子。
【請求項２】
請求項１において、
前記凸部の材質は、前記ベースの材質と同じである、振動子。
【請求項３】
請求項１において、
前記凸部の表面は、前記ベースおよび前記衝撃緩衝腕の少なくとも一方よりも柔らかい、振動子。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項において、
前記ベースとともに、前記基部、前記振動腕、および前記衝撃緩衝腕を収容する空間を形成している蓋を含む、振動子。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項に記載の振動子と、
前記振動子と電気的に接続されている発振回路と、
を備えている、発振器。
【請求項６】
請求項１ないし４のいずれか１項に記載の振動子と、
前記振動子と電気的に接続されている発振回路と、
前記発振回路から出力される信号に基づいて、日時データを生成する計時回路と、
を備えている、リアルタイムクロック。
【請求項７】
請求項１ないし４のいずれか１項に記載の振動子を備えている、電子機器。
【請求項８】
請求項１ないし４のいずれか１項に記載の振動子を備えている、移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動子、発振器、リアルタイムクロック、電子機器、および移動体に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）、モバイルコンピューター、あるいはＩＣカード等の小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、またはページングシステム等の移動体通信機器等において、振動子や発振器等の電子デバイスが広く使用されている。近年、電子機器の小型化・薄型化に伴い、振動子のより一層の小型化・薄型化が図られている。このような振動子の小型化・薄型化に伴い、耐衝撃性が問題となっている。
【０００３】
例えば、小型化・薄型化された振動子では、外部からの衝撃により振動腕が厚さ方向に変形したときに、振動腕がパッケージベースに接触して振動腕に大きな衝撃が加わるおそれがある。
【０００４】
この問題を解決するために、例えば、特許文献１に記載の振動子では、ベース部分の実装面が振動腕の自由端部に隣接する部分に形成された凹部を有し、振動腕が実装面に向けて振れたときに振動腕の中間部がその全幅において平面で凹部の角部に接触する。そのため、落下等の衝撃で振動腕が上下に大きく振れた場合に、振動腕を凹部の角部に接触させてその衝撃を振動腕の全幅に分散させて受けることができ、衝撃を緩和させることができる。
【０００５】
また、例えば、特許文献２に記載の振動子では、パッケージの底面の振動腕の先端と対向する領域に凹部が形成されており、凹部はダンパーで埋められている。そのため、落下等の衝撃により振動腕が変形しても、振動腕がダンパーと当接してダンパーに振動腕の運動エネルギーを吸収させることができる。その結果、振動腕が大きく変形することを抑制することができる。
【０００６】
また、例えば、特許文献３に記載の振動子では、振動腕の先端側と対向するベースに樹脂をコアとしたバンプ（緩衝部）が設けられており、落下等により衝撃が加わった場合でも、バンプ（緩衝部）が衝撃を吸収する。
【０００７】
また、例えば、特許文献４に記載の振動子では、振動腕の両側に配置されている保持腕の取付け部（マウント部）が振動腕の重心よりも振動腕の先端側に配置されている。そのため、落下による衝撃が加わった際に振動片の基部側が優先的に変位して、振動腕側がパッケージに衝突することを防ぐことができる。
【０００８】
また、例えば、特許文献５に記載の振動子では、振動腕の両側に配置されている固定用腕が振動片の重心の近傍の位置で基体と接合されているため、接合箇所が振動片の重心の近傍に位置することになり、振動腕の曲げモーメントを接合箇所の両側で分散することができる。その結果、外部からの衝撃が加わった際に、振動腕の先端の変位量を小さくすることができ、パッケージの内側へ衝突することを有効に防止できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１０−１１９１２７号公報
【特許文献２】特開２０１０−１４１３８７号公報
【特許文献３】特開２００９−２１２９０５号公報
【特許文献４】特開２０１０−１１９１２８号公報
【特許文献５】特開２００４−２９７１９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上述した振動子では、振動腕に加わる衝撃を十分に低減できない場合があり、振動腕に加わる衝撃をより低減させることができる振動子が望まれている。
【００１１】
本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、外部からの衝撃により振動腕が厚さ方向に変形したときに、振動腕に加わる衝撃を低減させることができる振動子を提供することにある。また、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、上記振動子を含む発振器、リアルタイムクロック、電子機器、および移動体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は前述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の態様または適用例として実現することができる。
【００１３】
［適用例１］
本適用例に係る振動子は、
ベースと、
前記ベースに取り付けられている取付け部を含む基部と、
前記基部から延出している振動腕と、
前記基部から延出している衝撃緩衝腕と、
を含み、
前記ベースの主面の前記衝撃緩衝腕と対向している領域、および前記衝撃振動腕の前記ベースの主面と対向している領域の少なくとも一方には、凸部が設けられている。
【００１４】
このような振動子では、ベースの主面の衝撃緩衝腕と対向している領域および衝撃振動腕のベースの主面と対向している領域の少なくとも一方には、凸部が設けられているため、外部からの衝撃により振動腕が厚さ方向に変形したときに、振動腕がベースの主面に接触するよりも先に、衝撃緩衝腕により衝撃を吸収することができる。したがって、このような振動子では、外部からの衝撃により振動腕が厚さ方向に変形したときに、衝撃緩衝腕によって衝撃を吸収することができ、振動腕に加わる衝撃を低減させることができる。
【００１５】
［適用例２］
本適用例に係る振動子において、
前記凸部の材質は、前記ベースの材質と同じであってもよい。
【００１６】
このような振動子では、例えば、凸部をベースと一体に形成することができる。
【００１７】
［適用例３］
本適用例に係る振動子において、
前記凸部の表面は、前記ベースおよび前記衝撃緩衝腕の少なくとも一方よりも柔らかくてもよい。
【００１８】
このような振動子では、凸部の表面がベースおよび衝撃緩衝腕の少なくとも一方よりも柔らかいため、衝撃緩衝腕によって衝撃をより吸収することができ、振動腕に加わる衝撃をより低減させることができる。
【００１９】
［適用例４］
本適用例に係る振動子において、
前記ベースとともに、前記基部、前記振動腕、および前記衝撃緩衝腕を収容する空間を形成している蓋を含んでいてもよい。
【００２０】
このような振動子では、基部、振動腕、および衝撃緩衝腕を保護することができる。
【００２１】
［適用例５］
本適用例に係る発振器は、
上記のいずれかの振動子と、
前記振動子と電気的に接続されている発振回路と、
を備えている。
【００２２】
このような発振器では、上記のいずれかの振動子を備えているため、耐衝撃性を向上させることができる。
【００２３】
［適用例６］
本適用例に係るリアルタイムクロックは、
上記のいずれかの振動子と、
前記振動子と電気的に接続されている発振回路と、
前記発振回路から出力される信号に基づいて、日時データを生成する計時回路と、
を備えている。
【００２４】
このようなリアルタイムクロックでは、上記のいずれかの振動子を備えているため、耐衝撃性を向上させることができる。
【００２５】
［適用例７］
本適用例に係る電子機器は、
上記のいずれかの振動子を備えている。
【００２６】
このような電子機器では、上記のいずれかの振動子を備えているため、耐衝撃性を向上させることができる。
【００２７】
［適用例８］
本適用例に係る移動体は、
上記のいずれかの振動子を備えている。
【００２８】
このような移動体では、上記のいずれかの振動子を備えているため、耐衝撃性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】第１実施形態に係る振動子を模式的に示す平面図。
【図２】第１実施形態に係る振動子を模式的に示す断面図。
【図３】第１実施形態に係る振動子を模式的に示す断面図。
【図４】第１実施形態に係る振動子の凸部の変形例を模式的に示す断面図。
【図５】第１実施形態に係る振動子を模式的に示す断面図。
【図６】第１実施形態の第１変形例に係る振動子を模式的に示す平面図。
【図７】第１実施形態の第１変形例に係る振動子を模式的に示す断面図。
【図８】第１実施形態の第１変形例に係る振動子を模式的に示す断面図。
【図９】第１実施形態の第２変形例に係る振動子を模式的に示す平面図。
【図１０】第１実施形態の第３変形例に係る振動子を模式的に示す平面図。
【図１１】第１実施形態の第３変形例に係る振動子を模式的に示す断面図。
【図１２】第２実施形態に係る振動子を模式的に示す平面図。
【図１３】第２実施形態の第１変形例に係る振動子を模式的に示す平面図。
【図１４】第２実施形態の第２変形例に係る振動子を模式的に示す平面図。
【図１５】第２実施形態の第３変形例に係る振動子を模式的に示す平面図。
【図１６】第３実施形態に係る振動子を模式的に示す平面図。
【図１７】第３実施形態に係る振動子を模式的に示す断面図。
【図１８】基端部と外枠部との接続方法の変形例を説明するための図。
【図１９】基端部と外枠部との接続方法の変形例を説明するための図。
【図２０】第４実施形態に係る発振器を模式的に示す断面図。
【図２１】第５実施形態に係るリアルタイムクロックの機能ブロック図。
【図２２】第６実施形態に係る電子機器を模式的に示す平面図。
【図２３】第６実施形態に係る電子機器を模式的に示す斜視図。
【図２４】第６実施形態に係る電子機器を模式的に示す斜視図。
【図２５】第６実施形態に係る電子機器を模式的に示す斜視図。
【図２６】第７実施形態に係る移動体を模式的に示す平面図。
【図２７】本変形例に係る振動子の一例を模式的に示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００３１】
１．  第１実施形態
１．１．  振動子
まず、第１実施形態に係る振動子について図面を参照しながら説明する。図１は、第１実施形態に係る振動子１００を模式的に示す平面図である。図２は、第１実施形態に係る振動子１００を模式的に示す図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。図３は、第１実施形態に係る振動子１００を模式的に示す図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。図１〜図３および以下に示す図５〜図２０には、互いに直交する軸としてＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸を図示している。
【００３２】
振動子１００は、図１および図２に示すように、振動片１１０と、ベース１２２およびリッド（蓋）１２４を有するパッケージ（容器）１２０と、を含む。なお、図１では、便宜上、リッド１２４の図示を省略している。
【００３３】
（１）振動片
振動片１１０は、基部１０と、振動腕２０ａ，２０ｂと、衝撃緩衝腕３０と、を有している。
【００３４】
基部１０は、略平板状の形状を有している。基部１０は、本体部１２と、連結部１４と、基端部１６と、を有している。本体部１２は、基部１０の−Ｙ軸方向側に位置している。連結部１４は、本体部１２と基端部１６とを接続している。連結部１４のＸ軸方向の長さは、本体部１２および基端部１６のＸ軸方向の長さよりも小さい。これにより、振動腕２０ａ，２０ｂの振動エネルギーが、取付け部を介して外部に漏洩する、所謂振動漏れを低減させることができる。
【００３５】
基端部１６は、基部１０の＋Ｙ軸方向側に位置している。基端部１６は、取付け部（マウント部）１８を有している。取付け部１８は、接合部材１３０ａ，１３０ｂによりベー
ス１２２に取り付けられている。取付け部１８は、平面視で（Ｚ軸方向からみて）、基部１０の、接合部材１３０ａ，１３０ｂと振動片１１０との接触部分と重なる部分である。具体的には、図示の例では、取付け部１８は、基部１０の、電極パッド４０ａ，４０ｂが設けられている部分である。図示の例では、取付け部１８は２つ設けられており、一方は基端部１６の＋Ｘ軸方向側の端部に設けられており、他方は基端部１６の−Ｘ軸方向側の端部に設けられている。なお、取付け部１８の数は特に限定されず、１つであってもよいし、３つ以上であってもよい。
【００３６】
振動腕２０ａ，２０ｂは、互いに並んで、基部１０の本体部１２から−Ｙ軸方向に延出している。図示の例では、衝撃緩衝腕３０の＋Ｘ軸方向側に第１振動腕２０ａが設けられ、衝撃緩衝腕３０の−Ｘ軸方向側に第２振動腕２０ｂが設けられている。振動腕２０ａ，２０ｂは、基部１０の本体部１２に接続された腕部２２と、腕部２２に接続された錘部２４と、を有している。
【００３７】
振動腕２０ａ，２０ｂの腕部２２の、Ｚ軸と直交する主面（互いに表裏の関係にある主面）２２ａ，２２ｂには、有底の溝部２３が設けられている。溝部２３は、平面視で、Ｙ軸に沿って延出している。図示の例では、溝部２３の先端は、腕部２２と錘部２４との境に位置し、溝部２３の基端は、基部１０（本体部１２）に位置している。このように振動腕２０ａ，２０ｂに溝部２３が設けられることにより、屈曲振動によって発生する熱の経路が狭められるため、熱が拡散（熱伝導）することを抑制することができ、断熱的領域において熱弾性損失（屈曲振動する振動片の圧縮部と伸張部との間で発生する熱伝導により生じる振動エネルギーの損失）を低減させることができる。
【００３８】
腕部２２は、図３に示すように、略Ｈ字状の断面形状を有している。溝部２３と、振動腕２０ａ，２０ｂの側面２２ｃ，２２ｄ（内側面２２ｃ，外側面２２ｄ）と、の間の距離Ｗは、６μｍ以下であることが好ましい。さらに、溝部２３の最大の深さをｔ、振動腕２０ａ，２０ｂの厚さ（Ｚ軸に沿った長さ）をＴとしたとき、２ｔ／Ｔで表されるηが０．６以上であることが好ましい。これにより、振動片１１０の等価直列抵抗、ＣＩ（Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｉｍｐｅｄａｎｃｅ）値を小さくすることができ、低消費電力化を図ることができる。なお、溝部２３のＹ軸に沿った長さは特に限定されず、溝部２３は、錘部２４にも設けられていてもよい。
【００３９】
振動腕２０ａ，２０ｂの錘部２４は、略平板状の形状を有している。図示の例では、錘部２４の幅（Ｘ軸に沿った長さ）Ｗ１は、腕部２２の幅Ｗ２よりも大きい。幅Ｗ２に対する幅Ｗ１の比（Ｗ１／Ｗ２）は、２以上１０以下であり、好ましくは５以上７以下である。これにより、熱弾性損失を低減させつつ、錘部２４が捻じれることによる振動漏れを低減させることができる。
【００４０】
なお、錘部２４は、腕部２２よりも単位長さあたりの質量が大きければ、その形状は特に限定されない。例えば、錘部２４は、腕部２２の幅と同じ大きさの幅を有しており、腕部２２よりも厚い形状であってもよい。また、錘部２４は、錘部２４に該当する振動腕２０ａ，２０ｂの表面や、表面に凹部を形成してそこに金などの金属を設けることによって構成されていてもよい。さらに、錘部２４は、腕部２２よりも質量密度の高い物質から構成されていてもよい。すなわち、腕部２２と錘部２４における単位長さ（Ｙ軸方向長さ）当たりの質量を夫々Ｍａ、Ｍｂとした場合、総ての腕部２２、或いは総ての錘部２４においてＭａ＜Ｍｂの関係を満たしていればよい。
【００４１】
振動腕２０ａ，２０ｂのそれぞれには、図示しない一対の励振電極が形成され、基部１０（取付け部１８）には、該励振電極と電気的に接続された一対の電極パッド４０ａ，４０ｂが形成されている。励振電極および電極パッド４０ａ，４０ｂは、例えば、クロム、
ニッケルを下地層とし、その上に金、銀が積層された金属膜である。
【００４２】
衝撃緩衝腕３０は、一対の振動腕２０ａ，２０ｂの間に配置されている。衝撃緩衝腕３０は、基部１０の本体部１２から−Ｙ軸方向に延出している。すなわち、衝撃緩衝腕３０の延出方向は、振動腕２０ａ，２０ｂの延出方向と同じである。衝撃緩衝腕３０のＹ軸に沿った長さ（延出方向の長さ）は、振動腕２０ａ，２０ｂのＹ軸に沿った長さ（延出方向の長さ）よりも小さい。衝撃緩衝腕３０の先端は、平面視で、振動腕２０ａ，２０ｂの先端よりも基部１０（本体部１２側）側に位置している。
【００４３】
振動片１１０の基部１０、振動腕２０ａ，２０ｂ、および衝撃緩衝腕３０（以下、「振動腕２０ａ，２０ｂ等ともいう」）は、一体的に設けられている。具体的には、振動腕２０ａ，２０ｂ等は、水晶の原石（ランバード）から所定の角度で切り出された（例えば、水晶のＺ軸（光軸）を厚さ方向とするＺ板を、Ｘ軸（電気軸）に関して０度から１５度の範囲で回転させたものなど）１枚の水晶ウェハーに、フォトリソグラフィーやエッチングなどの技術を用いて形成される。
【００４４】
なお、振動腕２０ａ，２０ｂ等は、水晶ウェハーに限定されず、例えば、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）や、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ２Ｂ４Ｏ７）、ランガサイト（Ｌａ３Ｇａ５ＳｉＯ１４）などの酸化物基板、ガラス基板上に窒化アルミニウムや五酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）などの圧電体材料を積層させて構成された積層圧電体基板、あるいは圧電セラミックス基板から形成されてもよい。また、シリコン半導体材料などを用いて、振動腕２０ａ，２０ｂ等を形成してもよい。
【００４５】
次に、振動片１１０の動作について説明する。
【００４６】
振動片１１０には、外部から電極パッド４０ａ，４０ｂを介して励振電極に印加される駆動信号（交番電圧）により電界が生じる。そして、水晶の逆圧電効果によって、振動腕２０ａ，２０ｂの根元部を支点として図１に示す矢印Ａ方向（振動腕２０ａ，２０ｂが互いに離れる方向）と矢印Ｂ方向（振動腕２０ａ，２０ｂが互いに近づく方向）とに交互に撓むように変位する屈曲振動が発生する（Ｘ軸方向において逆相の屈曲振動モードで振動腕２０ａ，２０ｂが振動する）。
【００４７】
なお、振動片１１０の振動（駆動）方式は、圧電駆動に限定されない。例えば、振動片１１０は、圧電基板を用いた圧電駆動型のもの以外に、静電気力を用いた静電駆動型や、磁力を利用したローレンツ駆動型などの振動片であってもよい。
【００４８】
（２）パッケージ
パッケージ１２０は、ベース１２２と、リッド１２４と、を有している。ベース１２２は、凹部１２１を有している。この凹部１２１の開口を塞ぐように板状のリッド１２４がベース１２２に接合されている。このようなパッケージ１２０は、凹部１２１がリッド１２４にて塞がれることにより形成された収納空間を有しており、該収納空間に、振動片１１０が気密に収納、設置されている。すなわち、パッケージ１２０には、振動片１１０が収容されている。これにより、振動片１１０を保護することができる。
【００４９】
なお、振動片１１０が収容される収納空間（凹部１２１）内は、例えば、減圧状態となっていてもよいし、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが封入されていてもよい。これにより、振動片１１０の振動特性が向上する。
【００５０】
ベース１２２の材質は、例えば、セラミックグリーンシートを成形して積層し焼成した
酸化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体、炭化珪素質焼結体、ガラスセラミックス焼結体などのセラミックス系の絶縁性材料、水晶、ガラス、シリコン（高抵抗シリコン）などである。リッド１２４の材質は、ベース１２２と同じ材料、または、コバール、４２アロイなどの金属である。
【００５１】
ベース１２２とリッド１２４の接合は、ベース１２２上にシールリング１２５を設け、シールリング１２５上にリッド１２４を載置して、例えば抵抗溶接機を用いて、ベース１２２にシールリング１２５を溶接することによって行われる。なお、ベース１２２とリッド１２４の接合は、特に限定されず、接着剤を用いて行われてもよいし、シーム溶接によって行われてもよい。
【００５２】
ベース１２２の主面１２３ａには、振動片１１０の電極パッド４０ａ，４０ｂに対向する位置に、内部端子１４０ａ，１４０ｂが設けられている。図示の例では、ベース１２２の主面１２３ａは、凹部１２１の内底面（内側の底面）であり、振動片１１０が搭載される搭載面である。振動片１１０の電極パッド４０ａは、接合部材１３０ａを介して内部端子１４０ａに接合され、電極パッド４０ｂは、接合部材１３０ｂを介して内部端子１４０ｂに接合されている。
【００５３】
ベース１２２の主面１２３ａと反対側の主面（外底面）１２３ｂには、電極端子１４２ａ，１４２ｂが設けられている。電極端子１４２ａは、図示しない内部配線により内部端子１４０ａと電気的に接続されている。また、電極端子１４２ｂは、図示しない内部配線により内部端子１４０ｂと電気的に接続されている。内部端子１４０ａ，１４０ｂおよび電極端子１４２ａ，１４２ｂは、例えば、タングステン、モリブデンなどのメタライズ層に、ニッケル、金などの被膜がめっきなどにより積層された金属被膜である。
【００５４】
なお、図示はしないが、パッケージ１２０は、平板状のベース１２２と、凹部を有するリッド１２４と、を有していてもよい。また、パッケージ１２０は、ベース１２２およびリッド１２４の両方に凹部が設けられていてもよい。
【００５５】
接合部材１３０ａ，１３０ｂは、ベース１２２に設けられた内部端子１４０ａ，１４０ｂと、振動片１１０の電極パッド４０ａ，４０ｂと、を電気的、機械的に接続している。接合部材１３０ａ，１３０ｂは、例えば、金属フィラーなどの導電性物質が混合された、エポキシ系、シリコーン系、ポリイミド系、アクリル系、ビスマレイミド系などの樹脂を含む導電性接着剤や、金、アルミニウム、半田バンプなどの金属バンプ、金属層や樹脂製のコア上に金属配線を形成した樹脂バンプである。接合部材１３０ａ，１３０ｂが樹脂バンプである場合、接合部材１３０ａ，１３０ｂは、例えば、スクリーン印刷技術によって形成される。スクリーン印刷技術は、位置精度に優れているので、振動腕２０ａ，２０ｂと接合部材１３０ａ，１３０ｂとが接触して、振動が減衰したり短絡したりすることを抑制することができる。
【００５６】
接合部材１３０ａ，１３０ｂと振動腕２０ａ，２０ｂとの間の距離は、例えば、５μｍ以上２００μｍ以下であり、好ましくは２０μｍ以上１００μｍ以下である。当該距離が５μｍより小さいと、振動腕に接合部材が付着してしまい、短絡や振動減衰の可能性がある。当該距離が２００μｍより大きいと、小型化を図ることが困難になる場合がある。
【００５７】
ベース１２２の主面１２３ａには、凸部１５０が設けられている。凸部１５０は、ベース１２２の主面１２３ａから＋Ｚ軸方向に突出している。凸部１５０は、ベース１２２の主面１２３ａの衝撃緩衝腕３０と対向する領域に設けられている。すなわち、平面視で、衝撃緩衝腕３０と凸部１５０とは重なっている。図示の例では、凸部１５０は、衝撃緩衝腕３０の先端側と対向する領域に設けられている。凸部１５０は、振動腕２０ａ，２０ｂ
と対向する領域には設けられていない。すなわち、平面視で、凸部１５０と振動腕２０ａ，２０ｂとは重なっていない。
【００５８】
衝撃緩衝腕３０と凸部１５０との間には、例えば、空隙がある。衝撃緩衝腕３０と凸部１５０との間の距離は、振動腕２０ａ，２０ｂとベース１２２の主面１２３ａとの間の距離よりも小さい。そのため、外部から振動腕２０ａ，２０ｂの厚み方向の衝撃が加わった場合に、図５に示すように、振動腕２０ａ，２０ｂが主面１２３ａに接触するよりも先に、衝撃緩衝腕３０を凸部１５０に接触させることができる。
【００５９】
凸部１５０の高さ（Ｚ軸方向の大きさ）や位置は、外部から振動腕２０ａ，２０ｂの厚み方向の衝撃が加わった場合に、振動腕２０ａ，２０ｂが主面１２３ａに接触するよりも先に、衝撃緩衝腕３０が凸部１５０に接触する高さや位置であれば特に限定されない。例えば、凸部１５０を、衝撃緩衝腕３０の＋Ｙ軸方向の先端と対向する領域を避けて設けてもよい。これにより、凸部１５０に衝撃緩衝腕３０が接触した場合に、衝撃緩衝腕３０の先端を凸部１５０に衝突させないことができ、衝撃緩衝腕３０が欠けるおそれを低減させることができる。
【００６０】
凸部１５０の平面形状は、図示の例では、四角形である。なお、凸部１５０の平面形状は特に限定されず、円、楕円、多角形などであってもよい。また、凸部１５０のＸ軸に沿った長さ（幅）は、図１に示すように、衝撃緩衝腕３０のＸ軸に沿った長さ（幅）よりも大きい。なお、図示はしないが、凸部１５０のＸ軸に沿った長さ（幅）は、衝撃緩衝腕３０のＸ軸に沿った長さ（幅）以下であってもよい。
【００６１】
凸部１５０の材質は、例えば、ベース１２２の材質と同じである。図２に示す例では、凸部１５０は、ベース１２２と一体に構成されている。なお、凸部１５０の構成はこれに限定されない。以下に凸部１５０の変形例について、図面を参照しながら説明する。図４（Ａ）〜図４（Ｄ）は、凸部１５０の変形例を説明するための断面図である。
【００６２】
例えば、図４（Ａ）に示すように、凸部１５０は、ベース１２２と一体に形成された第１部分１５０ａと、第１部分１５０ａ上に設けられた第２部分１５０ｂと、で構成されていてもよい。第２部分１５０ｂは、例えば、ベース１２２および衝撃緩衝腕３０よりも柔らかい。すなわち、第２部分１５０ｂのヤング率は、ベース１２２のヤング率、および衝撃緩衝腕３０のヤング率よりも小さい。第２部分１５０ｂの材質は、エポキシ系、シリコーン系、ポリイミド系、アクリル系、ビスマレイミド系などの樹脂である。なお、第２部分１５０ｂの材質は、樹脂に限定されず、衝撃緩衝腕３０およびベース１２２の少なくとも一方よりも柔らかい材質（すなわちヤング率が小さい材質）であれば特に限定されない。このような凸部１５０では、外部から振動腕２０ａ，２０ｂの厚み方向の衝撃が加わった場合に、衝撃緩衝腕３０が接触する凸部１５０の表面をベース１２２および衝撃緩衝腕３０よりも柔らかくすることができ、衝撃緩衝腕３０が接触したときの衝撃を吸収（緩和）することができる。
【００６３】
また、例えば、図４（Ｂ）に示すように、凸部１５０は、ベース１２２と一体に形成された第１部分１５０ａと、第１部分１５０ａを覆う第２部分１５０ｂと、で構成されていてもよい。
【００６４】
また、例えば、図４（Ｃ）に示すように、凸部１５０の材質は、ベース１２２の材質とは異なっていてもよい。すなわち、凸部１５０は、ベース１２２と一体に設けられなくてもよい。図示の例では、凸部１５０は、ベース１２２の主面１２３ａ上に形成された樹脂突起である。なお、凸部１５０の材質は、樹脂に限定されず、衝撃緩衝腕３０およびベース１２２の少なくとも一方よりも柔らかい材質（すなわちヤング率が小さい材質）であれ
ば特に限定されない。図４（Ｃ）に示す凸部１５０の材質としては、例えば、上述した第２部分１５０ｂの材質として例示したものを用いることができる。
【００６５】
また、例えば、図４（Ｄ）に示すように、凸部１５０の形状は、半球状（ドーム状）であってもよい。
【００６６】
振動子１００では、例えば、電子機器のＩＣチップ内に集積化された発振回路から、電極端子１４２ａ，１４２ｂを介して印加される駆動信号によって、振動片１１０が屈曲振動を励振されて所定の周波数で共振（発振）し、電極端子１４２ａ，１４２ｂから共振信号（発振信号）を出力する。
【００６７】
振動子１００は、例えば、以下の特長を有する。
【００６８】
振動子１００では、ベース１２２の主面１２３ａの衝撃緩衝腕３０と対向している領域には、凸部１５０が設けられている。そのため、外部からの衝撃により振動腕２０ａ，２０ｂが厚さ方向に変形したときに、振動腕２０ａ，２０ｂがベース１２２の主面１２３ａに接触するよりも先に、衝撃緩衝腕３０を凸部１５０に接触させることができる。このように、先に衝撃緩衝腕３０が凸部１５０に接触することにより、衝撃緩衝腕３０によって衝撃を吸収（緩和）することができ、例えば、振動腕２０ａ，２０ｂをベース１２２の主面１２３ａに接触させないことができる。また、先に衝撃緩衝腕３０が凸部１５０に接触することにより、例えば振動腕２０ａ，２０ｂがベース１２２の主面１２３ａに接触した場合でも、振動腕２０ａ，２０ｂが主面１２３ａに接触する際の衝撃を低減させることができる。このように振動子１００では、衝撃緩衝腕３０と対向している領域に凸部１５０が設けられることにより、外部からの衝撃により振動腕２０ａ，２０ｂが厚さ方向に変形したときに、衝撃緩衝腕３０によって衝撃を吸収（緩和）することができ、振動腕２０ａ，２０ｂに加わる衝撃を低減させることができる。
【００６９】
振動子１００では、凸部１５０の材質は、ベース１２２の材質と同じである。そのため、例えば、凸部１５０をベース１２２と一体に形成することができる。したがって、例えば、製造工程を簡略化することができる。
【００７０】
振動子１００では、凸部１５０の表面は、ベース１２２および衝撃緩衝腕３０の少なくとも一方よりも柔らかい。そのため、衝撃緩衝腕３０が凸部１５０に接触したときの衝撃を吸収（緩和）させることができる。したがって、振動子１００では、衝撃緩衝腕３０によって衝撃をより吸収（緩和）することができ、振動腕２０ａ，２０ｂに加わる衝撃をより低減させることができる。
【００７１】
なお、図示はしないが、衝撃緩衝腕３０の凸部１５０と接触する領域にも、ベース１２２および衝撃緩衝腕３０の少なくとも一方よりも柔らかい膜を形成してもよい。これにより、衝撃緩衝腕３０が凸部１５０に接触したときの衝撃をより吸収（緩和）させることができる。
【００７２】
振動子１００では、衝撃緩衝腕３０のＹ軸方向に沿った長さは、振動腕２０ａ，２０ｂのＹ軸に沿った長さよりも小さいため、例えば衝撃緩衝腕３０のＹ軸方向に沿った長さが振動腕２０ａ，２０ｂのＹ軸に沿った長さよりも大きい場合と比べて、装置の小型化を図ることができる。
【００７３】
１．２．  振動子の変形例
次に、第１実施形態に係る振動子の変形例について説明する。以下、第１実施形態の各変形例に係る振動子において、第１実施形態に係る振動子１００の構成部材と同様の機能
を有する部材については同一の符号を伏し、その詳細な説明を省略する。
【００７４】
（１）第１変形例
まず、第１実施形態の第１変形例に係る振動子について、図面を参照しながら説明する。図６は、第１実施形態の第１変形例に係る振動子２００を模式的に示す平面図である。図７は、第１実施形態の第１変形例に係る振動子２００を模式的に示す図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線断面図である。なお、図６では、便宜上、リッド１２４の図示を省略している。
【００７５】
上述した振動子１００では、図１および図２に示すように、衝撃緩衝腕３０のＹ軸に沿った長さは、振動腕２０ａ，２０ｂのＹ軸に沿った長さよりも小さかった。
【００７６】
これに対して、振動子２００では、図６および図７に示すように、衝撃緩衝腕３０のＹ軸方向に沿った長さは、振動腕２０ａ，２０ｂのＹ軸に沿った長さよりも大きい。そのため、振動子２００では、衝撃緩衝腕３０のＹ軸に沿った長さが振動腕２０ａ，２０ｂのＹ軸に沿った長さよりも小さい場合と比べて、外部からの衝撃により振動腕２０ａ，２０ｂが厚さ方向に変形したときに、振動腕２０ａ，２０ｂがベース１２２の主面１２３ａに接触するよりも先に、衝撃緩衝腕３０をベース１２２の主面１２３ａに接触させることができる。
【００７７】
接合部材１３０ａ，１３０ｂの材料が、上述した樹脂のように、振動子２００の振動腕２０ａ，２０ｂ等に比べて十分に柔らかい（ヤング率の比が０.００１以上０.０７以下）場合、外部から衝撃が加わった際の初期的な応答では、振動腕２０ａ，２０ｂ等は大きく変形せずに接合部材１３０ａ，１３０ｂのみが大きく変形するから、振動子２００では、衝撃緩衝腕３０のＹ軸方向に沿った長さは、振動腕２０ａ，２０ｂのＹ軸に沿った長さよりも大きいため、外部からの衝撃により振動腕２０ａ，２０ｂが厚さ方向に変形したときに、図８に示すように、振動腕２０ａ，２０ｂがベース１２２の主面１２３ａに接触するよりも先に、衝撃緩衝腕３０をベース１２２の主面１２３ａに接触させることができる。その結果、振動子２００では、外部からの衝撃により振動腕２０ａ，２０ｂが厚さ方向に変形したときに、衝撃緩衝腕３０によって衝撃を吸収することができ、振動腕２０ａ，２０ｂに加わる衝撃を低減させることができる。ただし、上述した初期的な応答とは、振動子２００に外部から、振動腕２０ａ，２０ｂ等が−Ｚ軸方向へ変位するように衝撃が加わってから、衝撃緩衝腕３０が凸部１５０に最初に当たる迄の間を意味する。
【００７８】
なお、図示はしないが、振動子２００において、衝撃緩衝腕３０のＹ軸方向に沿った長さを振動腕２０ａ，２０ｂのＹ軸に沿った長さよりも大きくするとともに、ベース１２２の主面１２３ａに凸部１５０を設けてもよい。
【００７９】
（２）第２変形例
次に、第１実施形態の第２変形例に係る振動子について、図面を参照しながら説明する。図９は、第１実施形態の第２変形例に係る振動子３００を模式的に示す平面図である。
【００８０】
上述した振動子１００では、図１に示すように、基部１０は、本体部１２と、連結部１４と、基端部１６と、を有していた。
【００８１】
これに対して、振動子３００では、図９に示すように、基部１０は、本体部１２と、接合部２１０と、を有している。
【００８２】
本体部１２は、＋Ｙ軸方向に向かうに従って幅（Ｘ軸方向の大きさ）が連続的、あるいは断続的に漸減する縮幅部１３を有している。これにより、振動漏れを低減させることができ、接合部３１０に漏れ振動が伝わることを抑制することができる。
【００８３】
接合部３１０は、本体部１２から＋Ｙ軸方向に延出している第１部分３１２と、第１部分３１２の＋Ｙ軸方向の端部に接続され−Ｘ軸方向に延出している第２部分３１４と、で構成されている。すなわち、接合部３１０は、平面視で略Ｌ字状に形成されている。接合部３１０の第２部分３１４は、取付け部１８を有している。
【００８４】
振動子３００では、振動片１００に比べて、２つの固定される場所が互いに近接しているため、スプリアスモード（Ｘ軸方向における同相の屈曲振動モード）におけるパッケージ１２０への固定負荷が弱くなるので、スプリアスモードの共振周波数は、メインモード（Ｘ軸方向における逆相の屈曲振動モード）の共振周波数に対して離れるように低下する。これにより、両モードの結合を低減することができるので、振動片３００のメインモードにおける振動漏れを抑制することができる。
【００８５】
（３）第３変形例
次に、第１実施形態の第３変形例に係る振動子について、図面を参照しながら説明する。図１０は、第１実施形態の第３変形例に係る振動子４００を模式的に示す平面図である。図１１は、第１実施形態の第３変形例に係る振動子４００を模式的に示す図１０のＸＩ−ＸＩ線断面図である。
【００８６】
上述した振動子１００では、図１および図２に示すように、凸部１５０は、ベース１２２の主面１２３ａの衝撃緩衝腕３０と対向している領域に設けられていた。
【００８７】
これに対して、振動子４００では、図１０および図１１に示すように、凸部１５０は、衝撃緩衝腕３０に設けられている。
【００８８】
凸部１５０は、衝撃緩衝腕３０の、ベース１２２の主面１２３ａに対向する面（図示の例では衝撃緩衝腕３０の−Ｚ軸方向を向く面）に設けられている。衝撃緩衝腕３０に設けられた凸部１５０とベース１２２の主面１２３ａとの間の距離は、振動腕２０ａ，２０ｂとベース１２２の主面１２３ａとの間の距離よりも小さい。そのため、外部から振動腕２０ａ，２０ｂの厚み方向の衝撃が加わった場合に、振動腕２０ａ，２０ｂがベース１２２の主面１２３ａに接触するよりも先に、衝撃緩衝腕３０に設けられた凸部１５０をベース１２２の主面１２３ａに接触させることができる。
【００８９】
凸部１５０は、例えば、その表面が衝撃緩衝腕３０およびベース１２２の主面１２３ａの少なくとも一方よりも柔らかい材質である。例えば、凸部１５０は、樹脂で形成された突起（樹脂突起）である。なお、凸部１５０の材質を衝撃緩衝腕３０の材質と同じにしてもよい。すなわち、凸部１５０と衝撃緩衝腕３０とを一体に形成してもよい。
【００９０】
振動子４００では、凸部１５０が、衝撃緩衝腕３０の、ベース１２２の主面１２３ａに対向する面に設けられている。そのため、振動子４００では、外部から振動腕２０ａ，２０ｂの厚み方向の衝撃が加わった場合に、振動腕２０ａ，２０ｂがベース１２２の主面１２３ａに接触するよりも先に、衝撃緩衝腕３０に設けられた凸部１５０をベース１２２の主面１２３ａに接触させることができる。したがって、振動子４００では、振動子１００と同様に、外部からの衝撃により振動腕２０ａ，２０ｂが厚さ方向に変形したときに、衝撃緩衝腕３０によって衝撃を吸収することができ、振動腕２０ａ，２０ｂに加わる衝撃を低減させることができる。
【００９１】
２．  第２実施形態
２．１．  振動子
次に、第２実施形態に係る振動子について、図面を参照しながら説明する。図１２は、
第２実施形態に係る振動子５００を模式的に示す平面図である。なお、図１２では、便宜上、リッド１２４の図示を省略している。以下、第２実施形態に係る振動子５００において、第１実施形態に係る振動子１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００９２】
上述した振動子１００では、図１に示すように、衝撃緩衝腕３０は、一対の振動腕２０ａ，２０ｂの間に配置されていた。
【００９３】
これに対して、振動子５００は、図１２に示すように、２つの衝撃緩衝腕３０ａ，３０ｂを備え、２つの衝撃緩衝腕３０ａ，３０ｂの間に、一対の振動腕２０ａ，２０ｂが配置されている。
【００９４】
基部１０は、本体部１２と、本体部１２から＋Ｘ軸方向に延出している支持腕５１０と、本体部１２から−Ｘ軸方向に延出している支持腕５１２と、を有している。支持腕５１０，５１２は、本体部１２の＋Ｙ軸方向側の端部から互いに反対方向に延出している。
【００９５】
衝撃緩衝腕３０ａは、支持腕５１０の＋Ｘ軸方向側の端部から−Ｙ軸方向に延出している。衝撃緩衝腕３０ｂは、支持腕５１２の−Ｘ軸方向側の端部から−Ｙ軸方向に延出している。一対の振動腕２０ａ，２０ｂは、それぞれ本体部１２から−Ｙ軸方向に延出している。衝撃緩衝腕３０ａ，３０ｂは、基部１０（本体部１２）よりも−Ｙ軸方向側まで延出している。衝撃緩衝腕３０ａと衝撃緩衝腕３０ｂとの間に、基部１０および振動腕２０ａ，２０ｂの一部が位置している。
【００９６】
基部１０の本体部１２は、取付け部１８を有している。図示の例では、本体部１２は、２つの取付け部１８を有しており、一方の取付け部１８は支持腕５１０の−Ｘ軸方向側の端部の近傍に設けられ、他方の取付け部１８は支持腕５１２の＋Ｘ軸方向側の端部の近傍に設けられている。
【００９７】
衝撃緩衝腕３０ａおよび衝撃緩衝腕３０ｂは、互いにＸ軸に沿った長さ（幅）が同じである。また、衝撃緩衝腕３０ａおよび衝撃緩衝腕３０ｂは、互いにＹ軸に沿った長さが同じである。衝撃緩衝腕３０ａ，３０ｂのＹ軸方向に沿った長さは、振動腕２０ａ，２０ｂのＹ軸に沿った長さよりも小さい。
【００９８】
ベース１２２の主面１２３ａの衝撃緩衝腕３０ａと対向している領域、およびベース１２２の主面１２３ａの衝撃緩衝腕３０ｂと対向している領域には、それぞれ凸部１５０が設けられている。すなわち、振動子５００では、２つの衝撃緩衝腕３０ａ，３０ｂに対応して、２つの凸部１５０が設けられている。
【００９９】
振動子５００は、例えば、以下の特長を有する。
【０１００】
振動子５００では、上述した振動子１００と同様の作用効果を奏することができる。さらに、振動子５００では、衝撃緩衝腕３０ａ，３０ｂは複数設けられているため、例えば、衝撃緩衝腕が１つ設けられている場合と比べて、外部からの衝撃により振動腕２０ａ，２０ｂが厚さ方向に変形したときに、衝撃緩衝腕３０ａ，３０ｂによって衝撃をより吸収することができ、振動腕２０ａ，２０ｂに加わる衝撃をより低減させることができる。
【０１０１】
振動子５００では、衝撃緩衝腕３０ａ，３０ｂのＹ軸方向に沿った長さは、振動腕２０ａ，２０ｂのＹ軸に沿った長さよりも小さいため、例えば衝撃緩衝腕３０ａ，３０ｂのＹ軸方向に沿った長さが振動腕２０ａ，２０ｂのＹ軸に沿った長さよりも大きい場合と比べて、装置の小型化を図ることができる。
【０１０２】
また、支持腕５１０と衝撃緩衝腕３０ａおよび支持腕５１２と衝撃緩衝腕３０ｂのうち、何れか一方のみが形成されている場合においても、上述した振動子１００と同様の作用効果を奏することができ、この場合は支持腕５１０と衝撃緩衝腕３０ａおよび支持腕５１２と衝撃緩衝腕３０ｂの両方が形成されている場合に比べて、Ｘ軸に沿った長さを小さくすることができる。
【０１０３】
２．２．  振動子の変形例
次に、第２実施形態に係る振動子の変形例について説明する。以下、第２実施形態の各変形例に係る振動子において、上述した第１および第２実施形態に係る振動子１００，５００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を伏し、その詳細な説明を省略する。
【０１０４】
（１）第１変形例
まず、第２実施形態の第１変形例に係る振動子について、図面を参照しながら説明する。図１３は、第２実施形態の第１変形例に係る振動子６００を模式的に示す平面図である。なお、図１３では、便宜上、リッド１２４の図示を省略している。
【０１０５】
上述した振動子５００では、図１２に示すように、衝撃緩衝腕３０ａ，３０ｂのＹ軸に沿った長さは、振動腕２０ａ，２０ｂのＹ軸に沿った長さよりも小さい。
【０１０６】
これに対して、振動子６００では、図１３に示すように、衝撃緩衝腕３０ａ，３０ｂのＹ軸方向に沿った長さは、振動腕２０ａ，２０ｂのＹ軸に沿った長さよりも大きい。そのため、振動子６００では、衝撃緩衝腕３０ａ，３０ｂのＹ軸に沿った長さが振動腕２０ａ，２０ｂのＹ軸に沿った長さよりも小さい場合と比べて、外部からの衝撃により振動腕２０ａ，２０ｂが厚さ方向に変形したときに、振動腕２０ａ，２０ｂがベース１２２の主面１２３ａに接触するよりも先に、衝撃緩衝腕３０ａ，３０ｂをベース１２２の主面１２３ａに接触させることができる。
【０１０７】
振動子６００では、基部１０は、本体部１２と、連結部１４と、基端部１６と、支持腕５１０、５１２と、を有している。支持腕５１０は、基端部１６から＋Ｘ軸方向に延出している。支持腕５１２は、基端部１６から−Ｘ軸方向に延出している。支持腕５１０および支持腕５１２は、それぞれ取付け部１８を有している。
【０１０８】
接合部材１３０ａ，１３０ｂの材料が、上述した樹脂のように、振動子６００の振動腕２０ａ，２０ｂ等に比べて十分に柔らかい（ヤング率の比が０.００１以上０.０７以下）場合、外部から衝撃が加わった際の初期的な応答では、振動腕２０ａ，２０ｂ等は大きく変形せずに接合部材１３０ａ，１３０ｂのみが大きく変形するから、振動子６００では、衝撃緩衝腕３０のＹ軸方向に沿った長さは、振動腕２０ａ，２０ｂのＹ軸に沿った長さよりも大きいため、外部からの衝撃により振動腕２０ａ，２０ｂが厚さ方向に変形したときに、振動腕２０ａ，２０ｂがベース１２２の主面１２３ａに接触するよりも先に、衝撃緩衝腕３０ａ，３０ｂをベース１２２の主面１２３ａに接触させることができる。その結果、振動子６００では、外部からの衝撃により振動腕２０ａ，２０ｂが厚さ方向に変形したときに、衝撃緩衝腕３０ａ，３０ｂによって衝撃を吸収することができ、振動腕２０ａ，２０ｂに加わる衝撃を低減させることができる。
【０１０９】
また、支持腕５１０と衝撃緩衝腕３０ａおよび支持腕５１２と衝撃緩衝腕３０ｂのうち、何れか一方のみが形成されている場合においても、上述した振動子２００と同様の作用効果を奏することができ、この場合は支持腕５１０と衝撃緩衝腕３０ａおよび支持腕５１２と衝撃緩衝腕３０ｂの両方が形成されている場合に比べて、Ｘ軸に沿った長さを小さく
することができる。
【０１１０】
（２）第２変形例
次に、第２実施形態の第２変形例に係る振動子について、図面を参照しながら説明する。図１４は、第２実施形態の第２変形例に係る振動子７００を模式的に示す平面図である。なお、図１４では、便宜上、リッド１２４の図示を省略している。
【０１１１】
上述した振動子５００では、図１２に示すように、基部１０の本体部１２が、取付け部１８を有していた。
【０１１２】
これに対して、振動子７００では、図１４に示すように、基部１０の本体部１２から延出している支持腕７１０が、取付け部１８を有している。また、振動子７００では、支持腕７１０のＹ軸に沿った長さは、振動腕２０ａ，２０ｂのＹ軸に沿った長さよりも大きい。
【０１１３】
振動子７００では、基部１０は、本体部１２と、連結部１４と、基端部１６と、支持腕５１０、５１２と、支持腕７１０を有している。支持腕７１０は、本体部１２から延出している。支持腕７１０は、一対の振動腕２０ａ，２０ｂの間を基部１０から−Ｙ軸方向に延出している第１延出部７１２と、第１延出部７１２の−Ｙ軸方向の端部に接続され、第１延出部７１２と直交する第２延出部７１４と、を有している。第１延出部７１２のＹ軸に沿った長さは、振動腕２０ａ，２０ｂのＹ軸に沿った長さよりも大きい。第２延出部７１４は、第１延出部７１２との接続部から＋Ｘ軸方向に延出している部分と、当該接続部から−Ｘ軸方向に延出している部分と、を有している。そのため、支持腕７１０は、平面視で、略Ｔ字状に形成されている。第２延出部７１４の＋Ｘ軸方向側の端部、および第２延出部７１４の−Ｘ軸方向側の端部には、それぞれ取付け部１８が設けられている。
【０１１４】
振動子７００では、支持腕７１０に取付け部１８が設けられているため、取付け部１８と振動腕２０ａ，２０ｂとの間の振動の伝搬経路を長くすることができ、取付け部１８において振動腕２０ａ，２０ｂの振動を十分に減衰させることができる。そのため、振動子７００では、外部への振動漏れを低減させることができる。また、振動子７００では、上述した振動子５００と同様の作用効果を奏することができる。
【０１１５】
また、支持腕５１０と衝撃緩衝腕３０ａおよび支持腕５１２と衝撃緩衝腕３０ｂのうち、何れか一方のみが形成されている場合においても、上述した振動子５００と同様の作用効果を奏することができ、この場合は支持腕５１０と衝撃緩衝腕３０ａおよび支持腕５１２と衝撃緩衝腕３０ｂの両方が形成されている場合に比べて、Ｘ軸に沿った長さを小さくすることができる。
【０１１６】
（３）第３変形例
次に、第２実施形態の第３変形例に係る振動子について、図面を参照しながら説明する。図１５は、第２実施形態の第３変形例に係る振動子８００を模式的に示す平面図である。なお、図１５では、便宜上、リッド１２４の図示を省略している。
【０１１７】
上述した振動子５００では、図１２に示すように、基部１０の本体部１２が、取付け部１８を有していた。
【０１１８】
これに対して、振動子８００では、図１５に示すように、基部１０の本体部１２から延出している支持腕８１０が、取付け部１８を有している。また、振動子８００では、支持腕８１０のＹ軸に沿った長さは、振動腕２０ａ，２０ｂのＹ軸に沿った長さよりも小さい。
【０１１９】
振動子８００では、基部１０は、本体部１２と、連結部１４と、基端部１６と、支持腕５１０、５１２と、支持腕８１０と、を有している。支持腕８１０は、本体部１２から−Ｙ軸方向に延出している。支持腕８１０は、一対の振動腕２０ａ，２０ｂの間に配置されている。
【０１２０】
支持腕８１０は、例えば、本体部１２側の根元に設けられた括れ部８１２と、括れ部８１２に接続され平板状の形状を有する幅広部８１４と、を有している。括れ部８１２は、本体部１２と幅広部８１４との間に設けられ、幅広部８１４の幅の大きさより小さい幅を有する部分である。これにより、振動腕２０ａ，２０ｂの振動により発生した振動漏れを低減させることができる。幅広部８１４は、取付け部１８を有している。取付け部１８は、Ｙ軸に沿って２つ設けられている。
【０１２１】
振動子８００では、上述した振動子５００と同様の作用効果を奏することができる。また、支持腕５１０と衝撃緩衝腕３０ａおよび支持腕５１２と衝撃緩衝腕３０ｂのうち、何れか一方のみが形成されている場合においても、上述した振動子５００と同様の作用効果を奏することができ、この場合は支持腕５１０と衝撃緩衝腕３０ａおよび支持腕５１２と衝撃緩衝腕３０ｂの両方が形成されている場合に比べて、Ｘ軸に沿った長さを小さくすることができる。
【０１２２】
３．  第３実施形態
次に、第３実施形態に係る振動子について、図面を参照しながら説明する。図１６は、第３実施形態に係る振動子９００を模式的に示す平面図である。図１７は、第３実施形態に係る振動子９００を模式的に示す図１６のＸＶＩＩ−ＸＶＩＩ線断面図である。なお、便宜上、図１６では、リッド１２４および接合部材９３０を省略して図示している。以下、第３実施形態に係る振動子９００において、第１実施形態に係る振動子１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０１２３】
上述した振動子１００は、図１および図２に示すように、ベース１２２の主面１２３ａに設けられた１つの凸部１５０を有していた。
【０１２４】
これに対して、振動子９００は、図１６および図１７に示すように、ベース１２２の主面１２３ａに設けられた凸部１５０（以下「第１凸部１５０」ともいう）と、リッド１２４の主面１２６に設けられた第２凸部１５２と、を有している。
【０１２５】
リッド１２４は、凹部１２７を有している。パッケージ１２０では、ベース１２２の凹部１２１とリッド１２４の凹部１２７により収納空間が形成されている。
【０１２６】
リッド１２４の主面１２６には、第２凸部１５２が設けられている。図示の例では、リッド１２４の主面１２６は、凹部１２７の内底面（内側の底面）であり、振動片１１０側を向く面である。ベース１２２の主面１２３ａとリッド１２４の主面１２６とは互いに向かい合っている（対向している）。第２凸部１５２は、リッド１２４の主面１２６の衝撃緩衝腕３０と対向する領域に設けられている。すなわち、平面視で、衝撃緩衝腕３０と第２凸部１５２とは重なっている。第１凸部１５０と第２凸部１５２とは、平面視で、重なっていてもよい。
【０１２７】
衝撃緩衝腕３０と第２凸部１５２との間には、例えば、空隙がある。衝撃緩衝腕３０と第２凸部１５２との間の距離は、振動腕２０ａ，２０ｂとリッド１２４の主面１２６との間の距離よりも小さい。そのため、外部から振動腕２０ａ，２０ｂの厚み方向の衝撃が加わった場合に、振動腕２０ａ，２０ｂがリッド１２４の主面１２６に接触するよりも先に
、衝撃緩衝腕３０を第２凸部１５２に接触させることができる。
【０１２８】
第２凸部１５２の高さ（Ｚ軸方向の大きさ）や位置は、外部から振動腕２０ａ，２０ｂの厚み方向の衝撃が加わった場合に、振動腕２０ａ，２０ｂが主面１２６に接触するよりも先に、衝撃緩衝腕３０が第２凸部１５２に接触する高さや位置であれば特に限定されない。例えば、第２凸部１５２を、衝撃緩衝腕３０の＋Ｙ軸方向の先端と対向する領域を避けて設けてもよい。これにより、第２凸部１５２に衝撃緩衝腕３０が接触した場合に、衝撃緩衝腕３０の先端を第２凸部１５２に衝突させないことができ、衝撃緩衝腕３０が欠けるおそれを低減させることができる。
【０１２９】
第２凸部１５２の平面形状は、図示の例では、四角形である。なお、第２凸部１５２の平面形状は特に限定されず、円、楕円、多角形などであってもよい。
【０１３０】
第２凸部１５２の材質は、例えば、リッド１２４の材質と同じである。リッド１２４の材質としては、例えば、ベース１２２の材質として例示したものを用いることができる。図１７に示す例では、第２凸部１５２は、リッド１２４と一体に構成されている。なお、第２凸部１５２の構成はこれに限定されず、例えば第１凸部１５０の構成として例示したものを用いることができる。
【０１３１】
振動片１１０の基部１０は、本体部１２と、連結部１４と、基端部１６と、支持腕９１０ａ，９１０ｂと、外枠部９２０と、を有している。
【０１３２】
支持腕９１０ａは、基端部１６から＋Ｘ軸方向に延出している。支持腕９１０ｂは、基端部１６から−Ｘ軸方向に延出している。支持腕９１０ａ，９１０ｂは、基端部１６と外枠部９２０とを接続している。
【０１３３】
このように図１６に示す例では、基端部１６と外枠部９２０とが、基端部１６から互いに反対方向に延出している一対の支持腕９１０ａ，９１０ｂによって接続されているが、例えば、図１８に示すように、基端部１６が直接、外枠部９２０に接続されていてもよい。
【０１３４】
また、図１６に示す例では、支持腕９１０ａ，９１０ｂは、直線状に設けられていたが、図１９に示すように、支持腕９１０ａ，９１０ｂは折れ曲がっていてもよい。図１９に示す例では、支持腕９１０ａは、基端部１６から＋Ｘ軸方向に延出している第１梁部９１１ａと、第１梁部９１１ａの＋Ｘ軸方向の端部から−Ｙ軸方向に延出している第２梁部９１２ａと、第２梁部９１２ａの−Ｙ軸方向の端部から＋Ｘ軸方向に延出して外枠部９２０に接続されている第３梁部９１３ａと、で構成されている。また、支持腕９１０ｂは、基端部１６から−Ｘ軸方向に延出している第１梁部９１１ｂと、第１梁部９１１ｂの−Ｘ軸方向の端部から−Ｙ軸方向に延出している第２梁部９１２ｂと、第２梁部９１２ｂの−Ｙ軸方向の端部から−Ｘ軸方向に延出して外枠部９２０に接続されている第３梁部９１３ｂと、で構成されている。これにより、外部への振動漏れを低減させることができ、また外部の温度変化、または衝撃の影響を振動腕２０ａ，２０ｂに伝えにくくすることができる。
【０１３５】
外枠部９２０は、図１６に示すように、平面視で振動腕２０ａ，２０ｂおよび衝撃緩衝腕３０を囲むように形成されている。外枠部９２０は、ベース１２２に接合されている。すなわち、外枠部９２０は、ベース１２２に取り付けられている取付け部１８を有している。図示の例では、外枠部９２０の全体が、取付け部１８である。外枠部９２０は、さらに、リッド１２４に接合されている。すなわち、外枠部９２０は、ベース１２２とリッド１２４とで挟まれている。ベース１２２と外枠部９２０の接合、およびリッド１２４と外
枠部９２０の接合は、図示の例では、接着剤等の接合部材９３０を用いて接合されているが、陽極接合等を用いて接合してもよい。
【０１３６】
振動子９００では、振動子１００と同様に、ベース１２２の主面１２３ａの衝撃緩衝腕３０と対向している領域には、第１凸部１５０が設けられているため、外部からの衝撃により振動腕２０ａ，２０ｂが厚さ方向に変形したときに、振動腕２０ａ，２０ｂがベース１２２の主面１２３ａに接触するよりも先に、衝撃緩衝腕３０を第１凸部１５０に接触させることができる。
【０１３７】
さらに、振動子９００では、リッド１２４の主面１２６の衝撃緩衝腕３０と対向している領域には、第２凸部１５２が設けられている。そのため、振動子９００では、外部からの衝撃により振動腕２０ａ，２０ｂが厚さ方向に変形したときに、振動腕２０ａ，２０ｂがリッド１２４の主面１２６に接触するよりも先に、衝撃緩衝腕３０を第２凸部１５２に接触させることができる。したがって、振動子９００では、外部からの衝撃により振動腕２０ａ，２０ｂが厚さ方向に変形したときに、衝撃緩衝腕３０によって衝撃を吸収することができ、振動腕２０ａ，２０ｂに加わる衝撃を低減させることができる。
【０１３８】
４．  第４実施形態
次に、第４実施形態に係る発振器について、図面を参照しながら説明する。図２０は、第４実施形態に係る発振器１０００を模式的に示す断面図である。
【０１３９】
以下、本実施形態に係る発振器１０００において、上述した振動子１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０１４０】
発振器１０００は、本発明に係る振動子を備えている。以下では、本発明に係る振動子として、振動子１００を備えている発振器１０００について説明する。発振器１０００は、図２０に示すように、振動子１００と、ＩＣチップ１０１０と、を備えている。
【０１４１】
ベース１２２の主面１２３ａには、凹状に形成された収容部１０１２が設けられている。ＩＣチップ１０１０は、収容部１０１２に収容されている。ＩＣチップ１０１０は、発振回路を内蔵している。ＩＣチップ１０１０は、収容部１０１２の底面に、図示しない接着剤などによって固定されている。
【０１４２】
ＩＣチップ１０１０は、金やアルミニウムなどのワイヤー１０１４によって、収容部１０１２の底面に設けられた内部接続端子１０１６ａ，１０１６ｂと接続されている。内部接続端子１０１６ａ，１０１６ｂは、例えば、タングステン、モリブデンなどのメタライズ層に、ニッケル、金などの被膜がめっきなどにより積層された金属被膜である。内部接続端子１０１６ａ，１０１６ｂは、図示しない内部配線を介して、電極端子１４２ａ，１４２ｂや内部端子１４０ａ，１４０ｂに接続されている。すなわち、ＩＣチップ（発振回路）１０１０は、振動片１１０と電気的に接続されている。
【０１４３】
なお、図示はしないが、ＩＣチップ１０１０と内部接続端子１０１６ａ，１０１６ｂとの接続には、ワイヤー１０１４を用いたワイヤーボンディングによる接続方向以外に、ＩＣチップ１０１０を反転させてフリップチップ実装による接続方法などを用いてもよい。また、ＩＣチップ１０１０は、ベース１２２の外底面１２３ｂに設けられた凹部内に実装され、モールド材により封止されていてもよい。
【０１４４】
発振器１０００では、ＩＣチップ１０１０から内部接続端子１０１６ａ，１０１６ｂ、内部端子１４０ａ，１４０ｂなどを介して印加される駆動信号によって、振動片１１０が屈曲振動を励振されて所定の周波数で共振（発振）する。そして、発振器１０００は、こ
の発振に伴って生じる発振信号をＩＣチップ１０１０、電極端子１４２ａ，１４２ｂなどを介して外部に出力する。
【０１４５】
発振器１０００では、振動子１００を備えているため、耐衝撃性を向上させることができる。
【０１４６】
５．  第５実施形態
次に、第５実施形態に係るリアルタイムクロックについて、図面を参照しながら説明する。図２１は、第５実施形態に係るリアルタイムクロック１１００の機能ブロック図である。
【０１４７】
リアルタイムクロック１１００は、本発明に係る発振器を備えている。以下では、本発明に係る発振器として、発振器１０００を備えているリアルタイムクロック１１００について説明する。リアルタイムクロック１１００は、図２１に示すように、発振器１０００と、計時回路１１１０と、イベント検出回路１１２０と、メモリー１１３０と、制御回路１１４０と、を備えている。
【０１４８】
発振器１０００は、振動子１００と、振動子１００と電気的に接続されている発振回路（ＩＣチップ）１０１０と、を有しており、振動子１００は、発振回路１０１０を介して電気信号が入力されることにより所定の周波数で振動する。そして、発振回路１０１０は、振動子１００から出力された信号を増幅して出力する。
【０１４９】
計時回路１１１０には、発振器１０００が接続されており、発振器１０００から出力された信号を分周して１[Ｈｚ]の周波数を得ると、この１[Ｈｚ]の信号を利用して年、月、日、時、分、および秒の計時を各計時レジスタ（図示せず）で行っている。すなわち、計時回路１１１０は、発振器１０００の発振回路１０１０から出力される信号に基づいて、日時データを生成する。このような計時回路１１１０を持つことにより、時刻データを得ることができ、イベントが生じた際（イベント検出周期毎）の日時等をメモリー１１３０に記録することが可能となる。なお計時回路１１１０は設定により、上記年、月、日、時、分、および秒の他に、曜日についてのデータも記憶させるようにすることができる。
【０１５０】
イベント検出回路１１２０は、リアルタイムクロック１１００の外部端子であるイベント入力端子１１２２に接続されている。イベント検出回路１１２０は、イベント入力端子１１２２に対してイベントが発生した旨の電気信号が入力されると、イベント発生フラグを立てるように構成されている。このように、イベントの発生をフラグにより示すことで、当該フラグに基づいてイベントの有無を判断することができる。
【０１５１】
メモリー１１３０は、上述した時刻データやイベント発生に関するデータを記録する記憶手段である。
【０１５２】
制御回路１１４０には、上述した計時回路１１１０、イベント検出回路１１２０、メモリー１１３０、および外部端子としての割り込み出力端子１１４２が接続されている。制御回路１１４０は、イベント検出回路１１２０から入力されたフラグ情報に基づいて、フラグが立てられている事を検出した時刻データを計時回路１１１０から読み出すことが可能に構成されている。
【０１５３】
なお、割り込み出力端子１１４２は、任意のイベント入力の発生時に、時刻データやイベント発生に関するデータの記録と同時に、ＣＰＵに対して信号を割り込み出力させる役割を担う。
【０１５４】
リアルタイムクロック１１００では、振動子１００を備えているため、耐衝撃性を向上させることができる。
【０１５５】
６．  第６実施形態
次に、第６実施形態に係る電子機器について、図面を参照しながら説明する。第６実施形態に係る電子機器は、本発明に係る振動子を備える。以下では、本発明に係る振動子として、振動子１００を備える電子機器について、説明する。
【０１５６】
図２２は、第６実施形態に係る電子機器として、スマートフォン１３００を模式的に示す平面図である。スマートフォン１３００は、図２２に示すように、振動子１００を有する発振器１０００を備えている。
【０１５７】
スマートフォン１３００は、発振器１０００を、例えば、基準クロック発振源などのタイミングデバイスとして用いる。スマートフォン１３００は、さらに、表示部（液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等）１３１０、操作部１３２０、および音出力部１３３０（マイクロフォン等）を有することができる。スマートフォン１３００は、表示部１３１０に対する接触検出機構を設けることで表示部１３１０を操作部として兼用してもよい。
【０１５８】
なお、スマートフォン１３００に代表される電子機器は、振動子１００を駆動する発振回路と、振動子１００の温度変化に伴う周波数変動を補正する温度補償回路と、を備えていることが好ましい。
【０１５９】
これによれば、スマートフォン１３００に代表される電子機器は、振動子１００を駆動する発振回路と共に、振動子１００の温度変化に伴う周波数変動を補正する温度補償回路を備えていることから、発振回路が発振する共振周波数を温度補償することができ、温度特性に優れた電子機器を提供することができる。
【０１６０】
図２３は、第６実施形態に係る電子機器として、モバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューター１４００を模式的に示す斜視図である。パーソナルコンピューター１４００は、図２３に示すように、キーボード１４０２を備えた本体部１４０４と、表示部１４０５を備えた表示ユニット１４０６と、により構成され、表示ユニット１４０６は、本体部１４０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１４００には、フィルター、共振器、基準クロック等として機能する振動子１００が内蔵されている。
【０１６１】
図２４は、第６実施形態に係る電子機器として、携帯電話機（ＰＨＳも含む）１５００を模式的に示す斜視図である。携帯電話機１５００は、複数の操作ボタン１５０２、受話口１５０４および送話口１５０６を備え、操作ボタン１５０２と受話口１５０４との間には、表示部１５０８が配置されている。このような携帯電話機１５００には、フィルター、共振器等として機能する振動子１００が内蔵されている。
【０１６２】
図２５は、第６実施形態に係る電子機器として、デジタルスチルカメラ１６００を模式的に示す斜視図である。なお、図２５には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチルカメラ１６００は、被写体の光像をＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【０１６３】
デジタルスチルカメラ１６００におけるケース（ボディー）１６０２の背面には、表示
部１６０３が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１６０３は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１６０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１６０４が設けられている。
【０１６４】
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１６０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１６０８に転送・格納される。また、デジタルスチルカメラ１６００においては、ケース１６０２の側面に、ビデオ信号出力端子１６１２と、データ通信用の入出力端子１６１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１６１２にはテレビモニター１６３０が、データ通信用の入出力端子１６１４にはパーソナルコンピューター１６４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１６０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１６３０や、パーソナルコンピューター１６４０に出力される構成になっている。このようなデジタルスチルカメラ１６００には、フィルター、共振器等として機能する振動子１００が内蔵されている。
【０１６５】
電子機器１３００，１４００，１５００，１６００は、振動子１００を備えているため、耐衝撃性を向上させることができる。
【０１６６】
なお、本発明の振動子を備えている電子機器は、上記の例に限定されず、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレーター等に適用することができる。
【０１６７】
７．  第７実施形態
次に、第７実施形態に係る移動体について、図面を参照しながら説明する。図２６は、第７実施形態に係る移動体１７００として、自動車を模式的に示す斜視図である。
【０１６８】
第７実施形態に係る移動体は、本発明に係る振動子を備えている。以下では、本発明に係る振動子として、振動子１００を備えている移動体について、説明する。
【０１６９】
第７実施形態に係る移動体１７００は、さらに、エンジンシステム、ブレーキシステム、キーレスエントリーシステム等の各種の制御を行うコントローラー１７２０、コントローラー１７３０、コントローラー１７４０、バッテリー１７５０、およびバックアップ用バッテリー１７６０を含んで構成されている。なお、第７実施形態に係る移動体１７００は、図２６に示される構成要素（各部）の一部を省略または変更してもよいし、他の構成要素を付加した構成としてもよい。
【０１７０】
このような移動体１７００としては種々の移動体が考えられ、例えば、自動車（電気自動車も含む）、ジェット機やヘリコプター等の航空機、船舶、ロケット、人工衛星等が挙げられる。
【０１７１】
移動体１７００は、振動子１００を備えているため、耐衝撃性を向上させることができる。
【０１７２】
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実
施が可能である。
【０１７３】
例えば、上述した各実施形態では、各振動腕の主面には、１つの溝部が設けられていたが、溝の数は特に限定されず、２本以上であってもよい。例えば、各主面に、Ｘ軸方向に沿って並ぶ２つ以上の溝が設けられていてもよい。
【０１７４】
図２７は、本変形例に係る振動子の一例を模式的に示す断面図であって、図２と同じ断面を示している。以下、本変形例に係る振動子において、第１実施形態に係る振動子１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０１７５】
本変形例に係る振動子では、図２７に示すように、振動腕２０ａの主面２２ａ，２２ｂおよび振動腕２０ｂの主面２２ａ，２２ｂには、それぞれＸ軸方向に沿って並ぶ２つの溝部２３が設けられている。本変形例に係る振動子は、各振動腕２０ａ，２０ｂの各主面２２ａ，２２ｂに設けられている溝部２３の数が異なる以外は上述した第１実施形態に係る振動子１００と同様である。このような溝部２３の構成においても、熱弾性損失を低減させることができる。
【０１７６】
上述した実施形態及び変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば各実施形態及び各変形例は、適宜組み合わせることが可能である。
【０１７７】
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【０１７８】
１０…基部、１２…本体部、１４…連結部、１６…基端部、１８…取付け部、２０ａ…第１振動腕、２０ｂ…第２振動腕、２２…腕部、２２ａ，２２ｂ…主面、２２ｃ…内側面、２２ｄ…外側面、２３…溝部、２４…錘部、３０，３０ａ，３０ｂ…衝撃緩衝腕、４０ａ，４０ｂ…電極パッド、１００…振動子、１１０…振動片、１２０…パッケージ、１２１…凹部、１２２…ベース、１２３ａ…主面、１２３ｂ…外底面、１２４…リッド、１２５…シールリング、１２６…主面、１２７…凹部、１３０ａ，１３０ｂ…接合部材、１４０ａ，１４０ｂ…内部端子、１４２ａ，１４２ｂ…電極端子、１５０…凸部、１５０ａ…第１部分、１５０ｂ…第２部分、１５２…第２凸部、２００…振動子、２１０…接合部、２１２…第１部分、２１４…第２部分、３００，４００，５００…振動子、５１０…支持腕、５１２…支持腕、６００，７００…振動子、７１０…支持腕、７１２…第１延出部、７１４…第２延出部、８００…振動子、８１０…支持腕、８１２…括れ部、８１４…幅広部、９００…振動子、９１０ａ，９１０ｂ…支持腕、９１１ａ，９１１ｂ…第１梁部、９１２ａ，９１２ｂ…第２梁部、９１３ａ，９１３ｂ…第３梁部、９２０…外枠部、９３０…接合部材、１０００…発振器、１０１０…ＩＣチップ、１０１２…収容部、１０１４…ワイヤー、１０１６ａ，１０１６ｂ…内部接続端子、１１００…リアルタイムクロック、１１１０…計時回路、１１２０…イベント検出回路、１１２２…イベント入力端子、１１３０…メモリー、１１４０…制御回路、１１４２…割り込み出力端子、１３００…スマートフォン、１３１０…表示部、１３２０…操作部、１３３０…音出力部、１４００…パーソナルコンピューター、１４０２…キーボード、１４０４…本体部、１４０５…表示部、１４０６…表示ユニット、１５００…携帯電話機、１５０２…操作ボタン、１５０４…受話口、１５０６…送話口、１５０８…表示部、１６００…デジタルスチルカメラ、１６０２
…ケース、１６０３…表示部、１６０４…受光ユニット、１６０６…シャッターボタン、１６０８…メモリー、１６１２…ビデオ信号出力端子、１６１４…入出力端子、１６３０…テレビモニター、１６４０…パーソナルコンピューター、１７００…移動体、１７２０…コントローラー、１７３０…コントローラー、１７４０…コントローラー、１７５０…バッテリー、１７６０…バックアップ用バッテリー
【図１】
2016149599.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2016149599.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
2016149599.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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