(57)【要約】      （修正有）【課題】撥水性が高く、しかもワイピング耐久性が優れた撥水膜を有するノズルプレートを提供する。【解決手段】金属製のノズル基板８上に、骨格にエーテル結合を有するフッ素樹脂及び紫外線吸収剤を含む、常温で固体のフッ素樹脂層４を有する。ノズル基板８はパンチ加工により、フッ素樹脂層４はエキシマレーザを照射することにより、ノズル孔１を形成する。【選択図】図２
2016097604.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属製のノズル基板上に、骨格にエーテル結合を有するフッ素樹脂及び紫外線吸収剤を含む、常温で固体のフッ素樹脂層を有することを特徴とする、ノズル孔の開いたノズルプレート。
【請求項２】
ノズル孔の開いた金属製のノズル基板に、骨格にエーテル結合を有するフッ素樹脂及び紫外線吸収剤を含む、常温で固体のフッ素樹脂層を設け、他方の面からエキシマレーザーを照射して前記ノズル孔に対応した孔を前記フッ素樹脂層に開けることにより製造されたことを特徴とするノズルプレート。
【請求項３】
前記エーテル結合を有するフッ素樹脂は、パーフルオロアルコキシアルカン及びテトラフルオロエチレンパーフルオロジオキソールコポリマーの少なくともいずれかを含む、請求項１から２のいずれかに記載のノズルプレート。
【請求項４】
前記フッ素樹脂層は、フィルムに成形した後、金属製のノズル基板に接合する、請求項１から３のいずれかに記載のノズルプレート。
【請求項５】
前記フッ素樹脂層は、塗工液として金属製のノズル基板に塗布して形成する、請求項１から３のいずれかに記載のノズルプレート。
【請求項６】
前記フッ素樹脂層は、平均厚みが１μｍ〜１５μｍである、請求項１から５のいずれかに記載のノズルプレート。
【請求項７】
前記フッ素樹脂層の算術平均粗さ（Ｒａ）が、０．１μｍ以下である、請求項１から６のいずれかに記載のノズルプレート。
【請求項８】
請求項１から７のいずれかに記載のノズルプレートの製造方法であって、
ノズル孔の開いた金属製のノズル基板上に、骨格にエーテル結合を有する常温で固体の、フッ素樹脂及び紫外線吸収剤を含むフッ素樹脂層を設ける工程、他方の面からエキシマレーザーを照射して前記ノズル孔に対応した孔を前記フッ素樹脂層に開ける工程を含むことを特徴とする、ノズルプレートの製造方法。
【請求項９】
インクを吐出するノズルプレートと、インクを供給するインク供給源に連通する複数の圧力室とを有する流路ユニットと、前記圧力室の容積を変化させるために配置されたアクチュエータユニットと、前記流路ユニットと前記アクチュエータユニットを支持するフレームとを有するインク吐出ヘッドにおいて、
前記ノズルプレートは、請求項１から７のいずれかに記載のノズルプレートであることを特徴とするインク吐出ヘッド。
【請求項１０】
請求項９に記載のインク吐出ヘッドを搭載したことを特徴とする記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルプレート及びその製造方法、並びに前記ノズルプレートを備えるインク吐出ヘッド、及び前記インク吐出ヘッドを備える記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、又はこれらの複合機等の記録装置として、例えば、インク吐出ヘッドを有するインク吐出記録方式の記録装置が知られている。
【０００３】
前記インク吐出ヘッドは、複数のノズル孔が穿設されたノズルプレートを有し、前記複数のノズル孔からインクを液滴として吐出する。前記ノズルプレートの面のうち、インク液滴が吐出される側の面であるインク吐出面の表面特性が、前記インク液滴の吐出安定性に大きな影響を与える。前記インク吐出面の表面特性を改善するために、前記インク吐出面上に撥水膜を形成することが行われている。形成された前記撥水膜が前記ノズル孔の周縁近傍への前記インクの付着を防止するので、前記インク液滴の吐出安定性が向上する。
【０００４】
前記ノズルプレートの面のうち、前記インク液滴が吐出される側の反対側の面であるインク吐出裏面から感光性樹脂フィルムを圧接し、前記感光性樹脂フィルムの一部をノズル孔内部に押し込ませた後に前記感光性樹脂フィルムを硬化し、テフロン（登録商標）共析メッキを行い、その後前記感光性樹脂フィルムを除去する方法が開示されている（特許文献１参照）。しかしながら、この方法では前記感光性樹脂フィルムの押し込み量を温度で調節するために押し込み量の正確な制御が困難である。さらに、印字解像度を上げるために前記ノズル孔の径を小さくした場合、前記感光性樹脂フィルムの押し込みが難しくなるなど、困難な工程を要し、量産性にも劣る。
【０００５】
一方、前記インク吐出記録方式の記録装置は、前記インク吐出面に付着したインクをブレードでワイピングして除去するクリーニング手段を備えている。
【０００６】
高速印刷を達成するために記録用メディアへの浸透性を高めたインクや、産業用途などに使用されるインクの種類が大きく変化する中、従来用いられていたテフロン（登録商標）（ＰＴＦＥ）は、撥水性が十分ではなく、より撥水性の高い撥水材料が要求されている。このため、前記撥水材料として、より撥水性の高いパーフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）を用いることが提案されている（特許文献２参照）。ところが前記ＰＦＰＥは常温で液状物質であり、その塗膜は非常に薄いので、前記ワイピングにより撥水性がすぐに低下してしまい、ワイピング耐久性に課題があった。
【０００７】
また、撥水性を有する厚みが一定の樹脂シートをノズルプレートのインク吐出面に接着する工程と、ノズル孔に相当する位置に樹脂シートの孔開けをする工程とを有するインクジェットプリンターヘッド用ノズルプレートの製造方法により、前記ノズル孔内の撥水性と親水性の境界位置が均一でメニスカス位置を一定にすることができるノズルプレートの製造方法が提案されている（特許文献３参照）。しかしながら、前記樹脂シートとして例示されている前記ＰＴＦＥを用いても、前記浸透性の高いインクには対応できない。
【０００８】
また、親水性高分子材料からなる基層の表面に撥水膜を有するシートを用いることも提案されている（特許文献４参照）。しかしながら、前記提案の撥水膜は非常に薄いため、ワイピング耐久性に劣る。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、従来における前記諸問題を解決し、以下の目的を達成することを課題とする。即ち、本発明は、撥水性が高く、しかもワイピング耐久性が優れた撥水膜を有するノズルプレートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記課題を解決するための手段としては、以下の通りである。即ち、
金属製のノズル基板上に、骨格にエーテル結合を有するフッ素樹脂及び紫外線吸収剤を含む、常温で固体のフッ素樹脂層を有することを特徴とする、ノズル孔の開いたノズルプレートである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によると、従来における前記諸問題を解決することができ、撥水性が高く、しかもワイピング耐久性が優れた撥水膜を有するノズルプレートを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、本発明のインクジェットプリンターヘッド用ノズルプレートの一例であるノズルプレート２のインク吐出面３を示す説明図である。
【図２】図２は、ノズル孔１の中心軸を通るノズルプレート２の部分断面図である。
【図３】図３は、パンチ２０の中心軸を通るパンチ２０の断面図である。
【図４】図４は、孔開け加工前の金属製平板状部材１０の一断面を示す部分概略図である。
【図５】図５は、図４の金属製平板状部材１０を孔開け加工することにより得られたノズル基板８の一断面を示す部分概略図である。
【図６】図６は、図５のノズル基板８にフッ素樹脂層４が設けられた状態を示す部分概略図である。
【図７】図７は、フッ素樹脂層４が設けられた図６のノズル基板８にエキシマレーザーを照射する状態を示す部分概略図である。
【図８】図８は、本発明のインク吐出ヘッドの一例を示す説明図である。
【図９】図９は、本発明の記録装置の一例である記録装置１０１の斜視図である。
【図１０】図１０は、本発明の記録装置の一例である記録装置１０１の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
（ノズルプレート）
本発明のノズルプレートは、ノズル基板と、フッ素樹脂層とを有し、更に必要に応じて、その他の部材を有してなる。
【００１４】
＜ノズル基板＞
前記ノズル基板は、金属製平板状部材を孔開け加工することにより得られる。前記金属製平板状部材は、例えば長さ２０ｍｍ〜１００ｍｍ、幅１０ｍｍ〜５０ｍｍ、厚み０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍであってもよい。前記金属製平板状部材の材質はステンレス鋼であるのが好ましいが、他の材質、例えばニッケル、ニッケル合金や鉄系合金などでもよい。
【００１５】
＜フッ素樹脂層＞
前記フッ素樹脂層は、骨格にエーテル結合を有するフッ素樹脂及び紫外線吸収剤を含む。前記フッ素樹脂層は、いずれも常温で固体である。
本明細書において、常温とは、１０℃〜３５℃の範囲の温度をいう。
【００１６】
−エーテル結合を有するフッ素樹脂−
前記エーテル結合を有するフッ素樹脂は、パーフルオロアルコキシアルカン及びテトラフルオロエチレンパーフルオロジオキソールコポリマーの少なくともいずれかを含む。
【００１７】
前記パーフルオロアルコキシアルカンは、下記構造式で表される分子構造を有する。
【化１】
2016097604.tif 000003
前記パーフルオロアルコキシアルカンは、その重量平均分子量は、数１０万〜１００万程度であり、その粘度は、３８０℃において１０４ｐｏｉｓｅ〜１０５ｐｏｉｓｅであり、その融点は、３００℃〜３１０℃であり、その最高連続使用温度は、２６０℃である。前記パーフルオロアルコキシアルカンとしては、適宜合成したものを使用してもよいし、市販品を使用してもよい。
前記市販品としては、例えば、商品名ＰＦＡ（潤工社製）などが挙げられる。
【００１８】
前記テトラフルオロエチレンパーフルオロジオキソールコポリマーは、下記構造式で表される分子構造を有する。
【化２】
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前記テトラフルオロエチレンパーフルオロジオキソールコポリマーは完全な非晶性フッ素樹脂（アモルファスフロロポリマー）であり、透明な樹脂である。特定のフッ素系溶媒に可溶なため、金属やガラス、シリコン基材上への薄膜コーティングが可能である。前記テトラフルオロエチレンパーフルオロジオキソールコポリマーとしては、適宜合成したものを使用してもよいし、市販品を使用してもよい。
前記市販品としては、例えば、商品名ＡＦ１６００（デュポン社製）などが挙げられる。
【００１９】
本発明のノズルプレートは、ノズル基板上に設けられたフッ素樹脂層に、前記フッ素樹脂層が設けられた面と反対側の面から、エキシマレーザーを照射して、ノズル基板上に開いたノズル孔に対応する孔を前記フッ素樹脂層に開けることにより製造される。エキシマレーザーの中心波長は２４８ｎｍである。
【００２０】
−紫外線吸収剤−
前記紫外線吸収剤は、前記エキシマレーザーの中心波長を吸収することができれば、特に制限はなく、有機系、無機系を問わず公知の紫外線吸収剤が利用できる。
【００２１】
前記有機系紫外線吸収剤としては、芳香族系紫外線吸収性化合物、例えば、芳香族炭化水素類、芳香族カルボン酸類及びその塩、芳香族アルデヒド類、芳香族アルコール類、芳香族アミン類及びその塩、芳香族スルホン酸類及びその塩、フェノール類などが挙げられる。これらの中でも、芳香族系紫外線吸収性化合物が特に好ましい。
【００２２】
前記芳香族系紫外線吸収性化合物としては、例えば、ナフタレン、フェナントレン、アントラセン、ナフタセン、ピレン、ペリレン、フルオレノン、フルオランテン、９−アセチルアントラセン、９−メチルアントラセン、アントラキノンカルボン酸、アントラセン−９−メタノール、ビフェニル、安息香酸ナトリウム、フタル酸、ベンズアルデヒド、ベンジルアルコール、フェニルエタノール、ベンゼンスルホン酸、２−ナフタレンスルホン酸、アントラキノン−２−スルホン酸ナトリウム、フェノール、クレゾール、２, ４−ジヒドロキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−ｎ−オクトキシベンゾフェノン、４−ドデシルオキシ−２−ヒドロキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−オクタデシルオキシベンゾフェノン、２, ２’−ジヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン、２, ２’−ジヒドロキシ−４, ４’−ジメトキシベンゾフェノン、２, ２’, ４, ４’−テトラヒドロキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−メトキシ−５−スルホベンゾフェノン、２−ヒドロキシー４−メトキシ−２’−カルボキシベンゾフェノン、２’−ヒドロキシ−４−クロロベンゾフェノン、２(２’−ヒドロキシ−５−メトキシフェニル)ベンゾトリアゾール、２(２’−ヒドロキシ−３’, ５’−ジ−t−ブチルフェニル)ベンゾトリアゾール、２(２’−ヒドロキシ−３’−ｔ−ブチル−５’−メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、２−(２’−ヒドロキシ−３’−ｔｅｒｔ−ブチル−５’−メチルフェニル)−５−クロロベンゾトリアゾール、サリチル酸フェニル、サリチル酸ｐ−オクチルフェニル、サリチル酸ｐ−ｔ−ブチルフェニル、サリチル酸カルボキシフェニル、サリチル酸ストロンチウム、サリチル酸メチル、サリチル酸ドデシル、レゾルシノールモノベンゾエート、２−エチルヘキシル−２−シアノ−３, ３−ジフェニルアクリレート、エチル−２−シアノ−３, ３−ジフェニルアクリレート、Ｎｉ−ビスオクチルフェニルスルフィド、[２, ２’−チオビス(４−t−オクチルフェノラト)]−ｎ−ブチルアミン−Ｎｉなどが挙げられる。これらは、１種単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。
【００２３】
前記無機系紫外線吸収剤としては、例えば、酸化チタン（融点１６４０℃）、酸化セリウム（融点１９５０℃）、酸化亜鉛（融点１９７５℃）、酸化スズ（融点１０８０℃）、酸化鉄（融点１３６０℃）などが挙げられる。これらの中でも、酸化チタン、酸化セリウム、酸化亜鉛が好ましい。
【００２４】
−紫外線吸収剤の含有量−
前記紫外線吸収剤の含有量はフッ素樹脂に対して５質量％〜３０質量％が好ましく、１０質量％〜２０質量％がより好ましい。前記紫外線吸収剤の含有量が５質量％以上であれば、前記エキシマレーザーによる孔開け加工が容易になり、前記紫外線吸収剤の含有量が３０質量％以下であれば、撥水性や耐久性などのフッ素樹脂の特性を損なうことがない。
【００２５】
−フッ素樹脂層の平均厚み−
前記フッ素樹脂層の平均厚みは、１μｍ〜１５μｍが好ましく、１μｍ〜１０μｍがより好ましい。ワイピング耐久性の観点からは、１μｍ以上あれば十分であり、また前記エキシマレーザーによる孔開け加工の観点からは薄い方が望ましい。フッ素樹脂層４の平均厚みを１μｍ〜１５μｍの範囲とすると、前記ワイピング耐久性の観点からも、前記エキシマレーザーによる孔開け加工の観点からも好ましい。前記平均厚みは、例えば断面ＳＥＭにより測定することができる。
【００２６】
−算術平均粗さ（Ｒａ）−
前記フッ素樹脂層の算術平均粗さ（Ｒａ）は、０．１μｍ以下であるのが好ましい。前記Ｒａが０．１μｍ以下であると、ノズル面は極めて平滑になり、ワイピングによるインク残りが少なくなり、耐摩耗性も優れる。前記算術平均粗さ（Ｒａ）は、次のように定義される。長さｌの区間において粗さ曲線からその平均線の方向に基準長さだけを抜き取り、抜き取られた部分の平均線の方向にＸ軸を、縦倍率の方向にＹ軸を取る。粗さ曲線をｙ＝ｆ(ｘ)で表したときに、次の式（１）によって求められる値をマイクロメートル(μｍ)で表したものをいう。
【００２７】
＜式（１）＞
【数１】
2016097604.tif 000005
【００２８】
（ノズルプレートの製造方法）
本発明のノズルプレートの製造方法は、ノズル孔の開いた金属製のノズル基板上に、フッ素樹脂層を設ける工程と、他方の面からエキシマレーザーを照射して前記ノズル孔に対応した孔を前記フッ素樹脂層に開ける工程とを含む。
前記フッ素樹脂層は、骨格にエーテル結合を有する常温で固体の、フッ素樹脂及び紫外線吸収剤を含む。前記製造方法は、更に必要に応じてその他の工程を含んでなる。
【００２９】
（インク吐出ヘッド）
本発明のインク吐出ヘッドは、本発明の前記ノズルプレートと、流路ユニットと、アクチュエータユニットと、フレームとを有し、更に必要に応じてその他のユニットを有してなる。
【００３０】
＜流路ユニット＞
流路ユニットは、インクを供給するインク供給源に連通する複数の圧力室を有する。
【００３１】
＜アクチュエータユニット＞
本発明で用いられるアクチュエータユニットは、前記圧力室の容積を変化させるために配置される。アクチュエータユニットは、インクを吐出するためのエネルギー発生手段であるアクチュエータを備える。
前記アクチュエータは、圧電アクチュエータ、サーマルアクチュエータ、形状記憶合金アクチュエータ、及び静電アクチュエータのいずれかであってもよい。前記圧電アクチュエータは、圧電素子でもよい。前記サーマルアクチュエータは、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いて液体の膜沸騰による相変化を利用するアクチュエータである。前記形状記憶合金アクチュエータは、温度変化による金属相変化を用いるアクチュエータである。前記静電アクチュエータは、静電力を用いるアクチュエータである。
【００３２】
＜フレーム＞
本発明で用いられるフレームは、前記流路ユニットと前記アクチュエータユニットを支持するために設けられる。
【００３３】
（記録装置）
本発明の記録装置は、本発明の前記インク吐出ヘッドを搭載する。前記記録装置は、インクジェット記録方式による各種記録装置、例えば、インクジェット記録用プリンタ、ファクシミリ装置、複写装置、プリンタ／ファックス／コピア複合機のいずれかであってもよい。
【００３４】
以下、図面を用いて本発明のインクジェットプリンターヘッド用ノズルプレート及びその製造方法を説明する。
【００３５】
−インクジェットプリンターヘッド用ノズルプレート−
図１は、本発明のインクジェットプリンターヘッド用ノズルプレートの一例であるノズルプレート２のインク吐出面３を示す説明図である。ノズルプレート２は、薄板形状を有する。ノズルプレート２には、複数のノズル孔１が列状に設けられている。
【００３６】
図２は、ノズル孔１の中心軸を通るノズルプレート２の部分断面図である。ノズルプレート２は、ノズル基板８のインク吐出面側１３上に、撥水性を有する厚みが一定のフッ素樹脂層４が設けられた構成を有する。フッ素樹脂層４は、ノズル孔１に相当する位置に、ノズル孔１と同形状の貫通孔を有する。ノズル基板８の材料である金属製平板状部材は、例えば長さ２０ｍｍ〜１００ｍｍ、幅１０ｍｍ〜５０ｍｍ、厚み０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍであってもよい。
【００３７】
図３は、パンチ２０の中心軸を通るパンチ２０の部分断面図である。パンチ２０は、炭化タングステンに代表される超硬材料を用いて製造され、円筒状の先端部分２１と円錐状の後端部分２２を有する。円筒状の先端部分２１は、プレス加工により金属製平板状部材にインク吐出裏面６からノズル孔１を開けるのに好適である形状を有する。円筒状の先端部分２１の長さは、ノズル孔１を開ける金属製平板状部材にあわせて、例えば１０μｍ〜２００μｍとすることができ、直径は、例えば１５μｍ〜２５μｍとすることができる。
【００３８】
−インクジェットプリンターヘッド用ノズルプレートの製造手順−
図４〜図７を参照して本発明のインクジェットプリンターヘッド用ノズルプレートの製造手順を説明する。
図４は、孔開け加工前の金属製平板状部材１０の一断面を示す部分概略図である。金属製平板状部材１０は、例えば長さ３０ｍｍ、幅１５ｍｍ、厚み０．０５ｍｍである。後述の実施例においては、金属製平板状部材１０の材質はステンレス鋼であるが、他の材質、たとえばニッケル、ニッケル合金や鉄系合金などでもよい。
【００３９】
パンチ２０を用いて、金属製平板状部材１０に、インク吐出裏面６側から孔開け加工を行う。孔開け加工に用いるパンチ２０の円筒状の先端部分２１は、例えば長さ１０μｍ、直径は２０μｍとすることが可能である。孔開け加工により金属製平板状部材１０のインク吐出面側１３にバリが生じた場合は、インク吐出面側１３の研磨または化学的なエッチングによりバリを除去するのが好ましい。
【００４０】
図５は、図４の金属製平板状部材１０を孔開け加工することにより得られたノズル基板８の一断面を示す部分概略図である。孔開け加工により、ノズル基板８にはノズル孔１が形成されている。一例において、形成されたノズル孔１は、インク吐出面側１３の直径が２０μｍ、インク吐出裏面６側の直径が４０μｍ、円筒状開口部７の高さが１０μｍである。図５は１つのノズル孔１を例示するが、多数のパンチ２０を直列に並べることにより、多数個のノズル孔１を一度に形成することが可能である。また、パンチ２０による孔開け加工に代えて、電鋳、切削加工、レーザー加工、及び放電加工の少なくともいずれかにより、金属製平板状部材１０を孔開け加工してもよい。
【００４１】
図６は、図５のノズル基板８にフッ素樹脂層４が設けられた状態を示す部分概略図である。フッ素樹脂層４は、ノズル基板８のインク吐出面側１３上に設けられ、その厚みは一定である。
【００４２】
フッ素樹脂層４は撥水性を有するフッ素樹脂を含む。前記フッ素樹脂は、骨格にエーテル結合を有する、パーフルオロアルコキシアルカン（商品名ＰＦＡ、分子量１０万、潤工社製）または、テトラフルオロエチレンパーフルオロジオキソールコポリマー（商品名ＡＦ１６００、デュポン社製）が特に好ましい。
【００４３】
フッ素樹脂層４は、エキシマレーザーの中心波長である２４８ｎｍを吸収する紫外線吸収剤を添加してフィルム化されているのが好ましい。こうすると、後述のエキシマレーザーによる孔開け加工が容易になる。
【００４４】
前記紫外線吸収剤の含有量はフッ素樹脂に対して５質量％〜３０質量％が好ましく、１０質量％〜２０質量％がより好ましい。また、フッ素樹脂層４の平均厚みは、１μｍ〜１５μｍが好ましく、１μｍ〜１０μｍがより好ましい。
【００４５】
さらに、フッ素樹脂層４は、フィルムとして接合してもよく、こうすると、樹脂材料の選択幅が広がるとともに、表面が極めて平滑で厚さが均一な樹脂層を形成することが可能となる。また、フッ素樹脂層４は、塗工液として塗布することにより、簡便な工程により低コストでノズルプレートを作製できる。フッ素樹脂層４をフィルムとして接合する、またはフッ素樹脂層４を塗工液として塗布することにより、フッ素樹脂層４の表面平滑度を示す算術平均粗さ（Ｒａ）が、０．１μｍ以下となり、ノズル面は極めて平滑になる。こうすると、ワイピングによるインク残りが少なくなり、耐摩耗性も優れる。
【００４６】
フッ素樹脂層４は、熱圧着などの接着で設けてもよいし、必要に応じてエポキシ系接着剤を用いることも可能である。また、塗工液をスピンコートするスピンコート法で設けることも可能である。
後述する実施例においては、接着剤薄膜転写装置によりノズル基板に１μｍのエポキシ樹脂接着剤を塗布した後にフッ素樹脂層４を密着させ、５ｋｇ／ｃｍ２の圧力を印加させながら７０℃で１時間放置し、硬化させた。
【００４７】
図７は、フッ素樹脂層４が設けられた図６のノズル基板８にエキシマレーザーを照射する状態を示す部分概略図である。
エキシマレーザーは、図７に示すように、インク吐出裏面６側から照射される。前記エキシマレーザーは、ノズル基板８のノズル孔１を通ってフッ素樹脂層４にも照射され、フッ素樹脂層４にノズル孔１と同形状の貫通孔を開ける。この結果、図１に示すインク吐出ヘッド用のノズルプレート２が完成する。ノズルプレート２の撥水性と親水性の境界位置は、ノズル基板８のインク吐出面側１３の面上にある。
フッ素樹脂層４の平均厚みを１μｍ〜１５μｍとすると、ワイピングに対する耐久性を確保しつつも、レーザー照射による穿孔の際のエネルギーが少なくなり生産コストを抑制できる。
【００４８】
上記の工程によって得られる本発明のノズルプレート２及びノズルプレート２を備えたインク吐出ヘッドは、骨格にエーテル結合を有する常温で固体のフッ素樹脂層４を撥水面に用いている。これにより、前記ＰＴＦＥをはじめとする他の撥水材料と比べて極めて撥水性が高く、記録用メディアへの浸透性を高めたぬれ性の高いインクに対しても良好な撥水性を有する。また、インク吐出面３と、ノズル孔１側面のうち、インク吐出面３からフッ素樹脂層４の厚みに相当する深さの部分までが撥水性を示し、これより深い箇所においては金属製平板状部材１０の地肌が露出している。一般に、金属表面には自然酸化膜が形成されることにより親水性を呈することから、ノズル孔１側面の金属製平板状部材１０の地肌が露出している部分は親水性となる。したがって、インク吐出面３からフッ素樹脂層４の厚みに相当するノズル孔１側面の位置を撥水性と親水性の境界位置とするノズルプレート２が完成する。このことにより、吐出する液体のメニスカス位置が一定であり、良好な吐出性能を有するヘッドを製造することが可能となる。
また、フッ素樹脂層４は常温で固体の樹脂であることから、ワイピングに対する耐摩耗性が高く、撥水性能を長期にわたり維持することが可能である。
【００４９】
−インク吐出ヘッド−
次に、本発明のインク吐出ヘッドの一例について図８を参照して説明する。図８は、本発明のインク吐出ヘッドの一例を示す説明図である。
流路ユニット３１と、アクチュエータユニット３２とをフレーム３３を介して一体に固定して構成されている。流路ユニット３１は、ノズルプレート２、チャンバープレート３５、及び振動板３６を積層し、アクチュエータユニット３２の圧力発生手段である個々の圧電振動子３７の伸縮により圧力室３８を縮小、膨張させてインク液滴を吐出するように構成されている。
【００５０】
ノズルプレート２には圧力室３８に連通する複数のノズル孔１が穿設されており、またチャンバープレート３５には圧力室３８、流体抵抗部３４が形成されている。
振動板３６は、圧電振動子３７の先端に当接する凸部４２と、弾性変形可能な第１のダイヤフラム部４３と各圧力室３８に対向するように設けられている。また、フレーム３３に設けられた共通液室４１からの液体供給口４５が形成されている。また、共通液室４１に面する領域にも上述の第１のダイヤフラム部４３と同様の第２のダイヤフラム部４４が構成されている。流路ユニット３１は、ステンレス製チャンバープレート３５とノズルプレート２と振動板３６を接合したものである。
【００５１】
振動板３６は、圧延製金属板４８に、圧電振動子３７の変位により弾性変形が可能で、インクに対する耐蝕性を備えた例えば、ポリイミド（ＰＩ）やポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）樹脂等の高分子フィルム４９を積層して構成されている。要所に貫通孔からなる位置決め孔が穿設されており、第１のダイヤフラム部４３、第２のダイヤフラム部４４を形成すべき領域をエッチングして圧延製金属板４８により凸部４２を形成されている。
【００５２】
ノズル孔１は、圧力室３８に対応して直径１０μｍ〜３０μｍの大きさで形成されている。また、ノズルプレート２のインク吐出面には、液体との撥水性を確保するため、撥水膜を形成している。そして、振動板３６の面外側（圧力室３８と反対面側）に各圧力室３８に対応して圧力発生手段としての圧電振動子３７を接合している。これらの振動板３６と圧力振動子３７によって振動板３６の可動部分である第１のダイヤフラム部４３を変形させる圧電型アクチュエータを構成している。
【００５３】
前記インク吐出ヘッドでは、圧電振動子３７を溝加工（スリット加工）によって分断することなく形成する。また、圧電振動子３７の一端面には各圧電振動子３７に駆動波形を与えるためのＦＰＣケーブル５０を接続している。
なお、圧電振動子３７の圧電方向としてｄ３３方向（電極面に垂直方向）の変位を用いて圧力室３８内の液体を加圧する構成とすることもできる。また、圧電振動子３７の圧電方向としてｄ３１方向（電極面に垂直方向）の変位を用いて圧力室内の液体を加圧する構成とすることもできる。本実施形態ではｄ３３方向の変位を用いた構成をとっている。
【００５４】
ベース部材５１は金属材料で形成することが好ましい。ベース部材５１の材質（材料）が金属であれば、圧電振動子３７の自己発熱による蓄熱を防止することができる。圧電振動子３７とベース部材５１は接着剤により接着接合しているが、チャンネル数が増えると、圧電振動子３７の自己発熱により１００℃近くまで温度が上昇し、接合強度が著しく低下することになる。また、自己発熱によりヘッド内部の温度上昇が発生し、液体温度が上昇するが、液体の温度が上昇すると、液体粘度が低下し、噴射特性に大きな影響を与える。したがって、ベース部材５１を金属材料で形成して圧電振動子３７の自己発熱による蓄熱を防止することで、これらの接合強度の低下、液体粘度の低下による噴射特性の劣化を防止することができる。
【００５５】
また、ＦＰＣケーブル５０には各チャンネル（各圧力室３８に対応する）を駆動する駆動波形（電気信号）を印加するためのドライバＩＣ  ５２を複数搭載している。
更に、振動板３６の周囲にはフレーム３３を接着剤で接合している。そして、このフレーム３３には、ドライバＩＣ  ５２と少なくともベース部材５１を挟んで反対側に配置されるように、圧力室３８に外部から液体を供給するための共通液室４１を形成している。この共通液室４１は、振動板３６の液体供給口４５を介して流体抵抗部３４及び圧力室３８に連通している。
共通液室４１には、第２のダイヤフラム部４４によってダンパー室５３が形成され、液体吐出によって共通液室４１内に発生する圧力波を減衰させ、液体吐出を安定させる。
圧電振動子３７は、圧電層（圧電材料層）５４と、内部電極５５Ａ及び内部電極５５Ｂとを交互に積層した構成を有する。さらに、圧電振動子３７は、両端面に共通側外部電極５６と個別側外部電極５７とを設けた状態で、スリット加工（溝加工）を施して溝を入れることにより、複数の圧電振動子を形成している。
【００５６】
このように構成したインク吐出ヘッドにおいては、圧電振動子３７の駆動部に対して選択的に２０Ｖ〜５０Ｖの駆動パルス電圧を印加することによって、パルス電圧が印加された駆動部が積層方向に伸びてダイヤフラム部をノズル方向に変形させる。その結果、圧力室３８の容積又は体積変化によって圧力室３８内の液体が加圧され、ノズル孔１からインク液滴が吐出（噴射）される。
【００５７】
−記録装置−
本発明のノズルプレート２は、インクジェット記録方式による各種記録装置、例えば、インクジェット記録用プリンタ、ファクシミリ装置、複写装置、プリンタ／ファックス／コピア複合機などに好適に使用することができる。
【００５８】
以下、後述する実施例でも用いたインクジェット記録装置について図９及び図１０を参照して説明する。図９は、本発明の記録装置の一例である記録装置１０１の斜視図である。図１０は、本発明の記録装置の一例である記録装置１０１の断面図である。
図９に示す記録装置１０１は、給紙トレイ１０２と、排紙トレイ１０３と、インクカートリッジ装填部１０４とを有する。給紙トレイ１０２は、記録装置１０１に装着され、用紙が装填される。排紙トレイ１０３は、記録装置１０１に装着され、画像が記録（形成）された用紙をストックする。インクカートリッジ装填部１０４の上面には、操作キーや表示器などの操作部１０５が配置されている。インクカートリッジ装填部１０４は、インクカートリッジ２００の脱着を行うための開閉可能な前カバー１１５を有している。１１１は上カバー、１１２は前カバーの前面である。
【００５９】
記録装置１０１内には、図１０に示すように、左右の側板（不図示）に横架したガイド部材であるガイドロッド１３１とステー１３２とで、キャリッジ１３３を主走査方向に摺動自在に保持し、主走査モータ（不図示）によって移動走査する。
【００６０】
キャリッジ１３３には、記録ヘッド１３４の複数のインク吐出口を、主走査方向と交叉する方向に配列し、インク液滴吐出方向を下方に向けて装着している。記録ヘッド１３４は、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク液滴を吐出する４個のインクジェット記録用ヘッドからなる。
【００６１】
記録ヘッド１３４を構成するインクジェット記録用ヘッドとしては、圧電アクチュエータ、サーマルアクチュエータ、形状記憶合金アクチュエータ、静電アクチュエータなどを、インクを吐出するためのエネルギー発生手段として備えたものなどが使用できる。圧電アクチュエータは、圧電素子でもよい。サーマルアクチュエータは、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いて液体の膜沸騰による相変化を利用するアクチュエータである。形状記憶合金アクチュエータは、温度変化による金属相変化を用いるアクチュエータである。静電アクチュエータは、静電力を用いるアクチュエータである。
【００６２】
また、キャリッジ１３３には、記録ヘッド１３４に各色のインクを供給するための各色のサブタンク１３５を搭載している。サブタンク１３５には、インク供給チューブ（不図示）を介して、インクカートリッジ装填部１０４に装填された本発明のインクカートリッジ２００から、本発明のインクセットに係るインクが供給されて補充される。
【００６３】
一方、給紙トレイ１０２の用紙積載部（圧板）１４１上に積載した用紙１４２を給紙するための給紙部として、給紙コロ１４３（半月コロ）及び分離パッド１４４を備える。給紙コロ１４３は、用紙積載部１４１から用紙１４２を１枚づつ分離給送する。分離パッド１４４は、給紙コロ１４３に対向して設けられ、摩擦係数の大きな材質からなる。この分離パッド１４４は給紙コロ１４３側に付勢されている。
【００６４】
この給紙部から給紙された用紙１４２を記録ヘッド１３４の下方側で搬送するための搬送部は、搬送ベルト１５１と、カウンタローラ１５２と、搬送ガイド１５３と、押さえ部材１５４と、先端加圧コロ１５５とを備える。搬送ベルト１５１は、用紙１４２を静電吸着して搬送する。カウンタローラ１５２は、給紙部からガイド１４５を介して送られる用紙１４２を搬送ベルト１５１との間で挟んで搬送する。搬送ガイド１５３は、略鉛直上方に送られる用紙１４２を略９０°方向転換させて搬送ベルト１５１上に倣わせる。押さえ部材１５４は、先端加圧コロ１５５を搬送ベルト１５１側に付勢する。また、搬送ベルト１５１表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ１５６が備えられている。
【００６５】
搬送ベルト１５１は無端状ベルトであり、搬送ローラ１５７とテンションローラ１５８との間に張架されて、ベルト搬送方向に周回可能である。搬送ベルト１５１の表層は、例えば、抵抗制御を行っていない厚さ４０μｍ程度の樹脂材、例えば、テトラフルオロエチレンとエチレンの共重合体（ＥＴＦＥ）で形成した用紙吸着面である。搬送ベルト１５１の裏層は、表層と同材質でカーボンによる抵抗制御を行う中抵抗層及びアース層を有している。搬送ベルト１５１の裏側には、記録ヘッド１３４による印写領域に対応してガイド部材１６１が配置されている。なお、記録ヘッド１３４で記録された用紙１４２を排紙するための排紙部として、分離爪１７１と、排紙ローラ１７２と、排紙コロ１７３とが備えられている。分離爪１７１は、搬送ベルト１５１から用紙１４２を分離する。排紙ローラ１７２の下方に排紙トレイ１０３が配されている。
【００６６】
記録装置１０１の背面部には、両面給紙ユニット１８１が着脱自在に装着されている。両面給紙ユニット１８１は、搬送ベルト１５１の逆方向回転で戻される用紙１４２を取り込んで反転させて再度、カウンタローラ１５２と搬送ベルト１５１との間に給紙する。なお、両面給紙ユニット１８１の上面には手差し給紙部１８２が設けられている。
【００６７】
このインクジェット記録装置においては、給紙部から用紙１４２が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙１４２は、ガイド１４５で案内され、搬送ベルト１５１とカウンタローラ１５２との間に挟まれて搬送される。更に先端を搬送ガイド１５３で案内されて先端加圧コロ１５５で搬送ベルト１５１に押し付けられ、略９０°搬送方向を転換される。
【００６８】
このとき、帯電ローラ１５６によって搬送ローラ１５７が帯電されており、用紙１４２は、搬送ベルト１５１に静電吸着されて搬送される。そこで、キャリッジ１３３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド１３４を駆動することにより、停止している用紙１４２にインク液滴を吐出して１行分を記録し、用紙１４２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙１４２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙１４２を排紙トレイ１０３に排紙する。
【００６９】
そして、サブタンク１３５内のインクの残量ニアーエンドが検知されると、インクカートリッジ２００から所要量のインクがサブタンク１３５に補給される。
【００７０】
このインクジェット記録装置においては、インクカートリッジ２００中のインクを使い切ったときには、インクカートリッジ２００における筐体を分解して内部のインク袋だけを交換することができる。また、インクカートリッジ２００は、縦置きで前面装填構成としても、安定したインクの供給を行うことができる。したがって、記録装置１０１の上方が塞がって設置されているような場合、例えば、ラック内に収納したり、あるいは記録装置１０１の上面に物が置かれているような場合でも、インクカートリッジ２００の交換を容易に行うことができる。
【００７１】
なお、ここでは、キャリッジが走査するシリアル型（シャトル型）インクジェット記録装置に適用した例で説明したが、ライン型ヘッドを備えたライン型インクジェット記録装置にも同様に適用することができる。
【実施例】
【００７２】
以下、本発明の実施例を説明するが、本発明はこれらの実施例に何ら制限されるものではない。
【００７３】
＜実施例１＞
長さ３０ｍｍ、幅１５ｍｍ、厚み０．０５ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌからなる金属製平板状部材１０に対し、インク吐出裏面６側より、図３に示したパンチ２０によって孔開け加工を行った。孔開け加工に用いたパンチ２０の円筒状の先端部分２１は、長さ１０μｍ、直径２０μｍであった。インク吐出面側１３に生じたバリは、研磨により除去した。
上記の工程により、図５に示すように、インク吐出面側１３の直径が２０μｍ、インク吐出裏面６側の直径が４０μｍ、円筒状開口部７の高さが１０μｍのノズル孔１を３８４個形成した。このようにして、３８４個のノズル孔１を有するノズル基板８を得た。
このノズル基板８上に、テトラフルオロエチレンパーフルオロジオキソールコポリマーに紫外線吸収剤を１０質量％添加した塗工液をスピンコートし、フッ素樹脂層４を成膜した。前記テトラフルオロエチレンパーフルオロジオキソールコポリマーとしては、テフロン（登録商標）ＡＦ（ＡＦ１６００；デュポン社製）の６質量％溶液（溶剤はバートレルスープリオン；デュポン社製）を用いた。前記紫外線吸収剤としては、２−(２’−ヒドロキシ−３’−ｔｅｒｔ−ブチル−５’−メチルフェニル)−５−クロロベンゾトリアゾール（城北化学社製、ＪＦ−７９）を用いた。フッ素樹脂層４の平均厚みは７μｍであり、表面の算術平均粗さ（Ｒａ）は０．１μｍであった。
【００７４】
前記ノズル基板８上に設けられたフッ素樹脂層４に、ノズル基板８のインク吐出裏面６側から、ＫｒＦガスを使用したエキシマレーザー（波長２４８ｎｍ）を照射し、フッ素樹脂層４にノズル孔を形成した。このようにして、表１に示す構成を有する実施例１のノズルプレート２を得た。
【００７５】
＜実施例２＞
実施例１において、紫外線吸収剤を１０質量％添加したテフロン（登録商標）ＡＦの溶液をスピンコートする代わりに、紫外線吸収剤を１０質量％添加したパーフルオロアルコキシアルカン樹脂を１５μｍ厚にフィルム化したものを、ノズル基板８上に接着した。フッ素樹脂層４をこのように成膜した点以外は、実施例１と同様にして表１に示す構成を有する実施例２のノズルプレートを作製した。
前記紫外線吸収剤として、２−(２’−ヒドロキシ−３’−ｔｅｒｔ−ブチル−５’−メチルフェニル)−５−クロロベンゾトリアゾール（城北化学社製、ＪＦ−７９）を用いた。前記パーフルオロアルコキシアルカン樹脂は、商品名ＰＦＡ、分子量１０万、潤工社製を用いた。フッ素樹脂層４の平均厚みは１５μｍであり、表面の算術平均粗さ（Ｒａ）は０．１μｍであった。
【００７６】
＜比較例１＞
実施例２において、フッ素樹脂層を設ける際、紫外線吸収剤を１０質量％添加したＰＴＦＥを２０μｍ厚にフィルム化したものを用いる点以外は、実施例２と同様にして、表１に示す構成を有する比較例１のノズルプレートを得た。前記紫外線吸収剤としては、２−(２’−ヒドロキシ−３’−ｔｅｒｔ−ブチル−５’−メチルフェニル)−５−クロロベンゾトリアゾール（城北化学社製、ＪＦ−７９）を用いた。
【００７７】
＜比較例２＞
実施例１において、紫外線吸収剤を１０質量％添加したテフロン（登録商標）ＡＦの溶液をスピンコートしてフッ素樹脂層４を成膜する代わりに、ＰＦＰＥであるオプツールＤＳＸ（ダイキン工業社製）を成膜した。この点以外は、実施例１と同様にして表１に示す構成を有する比較例２のノズルプレートを作製した。前記オプツールＤＳＸの成膜は、オプツールＤＳＸ原液をロータリーポンプにより１０−１Ｐａ程度まで減圧し、その状態で室温から徐々に約４５０℃まで昇温させてオプツールＤＳＸを蒸着した後、およそ７０℃で１０分間加熱乾燥処理を施すことにより行われた。
【００７８】
＜評価＞
インクジェットプリンタとして、株式会社リコー製ＩＰＳｉＯ  Ｇ５１５を用い、実施例及び比較例のノズルプレートを搭載し、評価に用いた。
インクとして、浸透性が高いインクである株式会社リコー製ＧＸカートリッジブラック  ＧＣ２１Ｋを装着し、初期の画像品質と、ワイピング１万回乃至３万回実施した後の、画像品質とノズル面のインク付着状態とを目視観察した。結果を表１に示した。画像品質の評価は、印刷されたノズルチェックパターンを目視観察することにより行った。なお、インクジェットプリンタが寿命を迎えるまでのワイピング回数は通常１万回未満であるので、ワイピング１万回を実施して評価結果が○であれば、実使用上問題ない。
【００７９】
【表１】
2016097604.tif 000006
【００８０】
表１より明らかなように、実施例１及び２では、３万回ワイピング後においても、インク吐出状態が良好で問題の無い画像品質が得られたのに対し、比較例１においては、初期よりノズル面へのインク付着があり、吐出曲がりが発生した。また、比較例２では初期はインク吐出状態が良好であったものの、１万回ワイピング後に吐出曲がりが発生してきた。
【００８１】
＜実施例３〜５＞
実施例１で用いたテフロン（登録商標）ＡＦを用い、表２に示すように成膜条件を変えて平均厚み及び表面の算術平均粗さ（Ｒａ）を変化させたフッ素樹脂層４を作製し、実施例３〜５のノズルプレート２を得た。これらをヘッドに搭載し、実施例１と同様にして画像品質及びノズル面のインク付着状態を調べた。評価結果を表２に示す。
【００８２】
【表２】
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【００８３】
実施例３において、フッ素樹脂層４の平均厚みを１μｍにしたが、３万回ワイピング後においても問題が無かった。実施例４では、フッ素樹脂層４の平均厚みをさらに薄い０．５μｍとしたところ、１万回ワイピング後において画像品質は問題なかったもののノズル面にインク付着が若干見られ、３万回ワイピング後には、吐出曲がり、インク付着が見られた。プリンタが寿命を迎えるまでのワイピング回数は通常１万回未満であるので、ノズルプレートの耐久性に問題ないが、ノズル面の乾燥や異物付着等のロバスト性を考慮すると、３万回までの耐久性が望まれる場合がある。このことからフッ素樹脂層４の平均厚みは１μｍ以上が望ましいことがわかった。フッ素樹脂層４が厚くても吐出性能に問題は生じないが、エキシマレーザーによる穿孔効率を考えると、フッ素樹脂層４の平均厚みは１５μｍ以下とするのが経済的に望ましい。
【００８４】
実施例５についても、同様に画像品質テストを行ったところ、画像品質に問題は無かったものの、初期よりノズル面にわずかにインク付着がみられた。また、１万回ワイピング後は吐出曲がりが発生し、ノズル面に付着したインクが増加した。
【００８５】
本発明の態様は、例えば、以下のとおりである。
＜１＞  金属製のノズル基板上に、骨格にエーテル結合を有するフッ素樹脂及び紫外線吸収剤を含む、常温で固体のフッ素樹脂層を有することを特徴とする、ノズル孔の開いたノズルプレートである。
＜２＞  ノズル孔の開いた金属製のノズル基板に、骨格にエーテル結合を有するフッ素樹脂及び紫外線吸収剤を含む、常温で固体のフッ素樹脂層を設け、他方の面からエキシマレーザーを照射して前記ノズル孔に対応した孔を前記フッ素樹脂層に開けることにより製造されたことを特徴とするノズルプレートである。
＜３＞  前記エーテル結合を有するフッ素樹脂は、パーフルオロアルコキシアルカン及びテトラフルオロエチレンパーフルオロジオキソールコポリマーの少なくともいずれかを含む、前記＜１＞から＜２＞のいずれかに記載のノズルプレートである。
＜４＞  前記フッ素樹脂層は、フィルムに成形した後、金属製のノズル基板に接合する、前記＜１＞から＜３＞のいずれかに記載のノズルプレートである。
＜５＞  前記フッ素樹脂層は、塗工液として金属製のノズル基板に塗布して形成する、前記＜１＞から＜３＞のいずれかに記載のノズルプレートである。
＜６＞  前記フッ素樹脂層は、平均厚みが１μｍ〜１５μｍである、前記＜１＞から＜５＞のいずれかに記載のノズルプレートである。
＜７＞  前記フッ素樹脂層の算術平均粗さ（Ｒａ）が、０．１μｍ以下である、前記＜１＞から＜６＞のいずれかに記載のノズルプレートである。
＜８＞  前記＜１＞から＜７＞のいずれかに記載のノズルプレートの製造方法であって、
ノズル孔の開いた金属製のノズル基板上に、骨格にエーテル結合を有する常温で固体の、フッ素樹脂及び紫外線吸収剤を含むフッ素樹脂層を設ける工程、他方の面からエキシマレーザーを照射して前記ノズル孔に対応した孔を前記フッ素樹脂層に開ける工程を含むことを特徴とする、ノズルプレートの製造方法である。
＜９＞  インクを吐出するノズルプレートと、インクを供給するインク供給源に連通する複数の圧力室とを有する流路ユニットと、前記圧力室の容積を変化させるために配置されたアクチュエータユニットと、前記流路ユニットと前記アクチュエータユニットを支持するフレームとを有するインク吐出ヘッドにおいて、
前記ノズルプレートは、前記＜１＞から＜７＞のいずれかに記載のノズルプレートであることを特徴とするインク吐出ヘッドである。
＜１０＞  前記＜９＞に記載のインク吐出ヘッドを搭載したことを特徴とする記録装置である。
【符号の説明】
【００８６】
１  ノズル孔
２  ノズルプレート
３  インク吐出面
４  フッ素樹脂層
８  ノズル基板
１０  金属製平板状部材
１３  インク吐出面側
３１  流路ユニット
３２  アクチュエータユニット
３３  フレーム
１０１  記録装置
【先行技術文献】
【特許文献】
【００８７】
【特許文献１】特開平７−１２５２２０号公報
【特許文献２】特開２００３−１９８０３号公報
【特許文献３】特開平１０−３０５５８４号公報
【特許文献４】特開２００７−３３１３４６号公報
【特許文献５】特許第５４７１６４６号公報
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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