(57)【要約】【課題】  アルカリ可溶性樹脂およびカラーフィルター用感光性樹脂組成物ならびにその応用において、熱溶剤膜厚変化率および高精度パターンの直線性を向上させる。【解決手段】  前記アルカリ可溶性樹脂は、第１混合物を重合反応させて得られた第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）を含む。前記感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、エチレン性不飽和基を有する化合物（Ｂ）、光開始剤（Ｃ）および有機溶剤（Ｄ）を含む。カラーフィルターの製造方法は、前記カラーフィルター用感光性樹脂組成物を用いて保護膜を形成する工程を有してなる。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１混合物の重合反応物を含む第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）を含むアルカリ可溶性樹脂（Ａ）であって、前記第１混合物が、式（１）で表される少なくとも二つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ−１−１）と、少なくとも一つのカルボキシル基と少なくとも一つのエチレン性不飽和基とを有する化合物（ａ−１−２）とを含む、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）。
【化１】
2016098377.tif 000046
式（１）中、
Ｒ１、Ｒ２およびＲ３は、それぞれ独立に、炭素数１乃至６の分岐または直鎖のアルキレン基または炭素数１乃至６の分岐または直鎖のオキシアルキレン基を表し、かつ
Ｅ１、Ｅ２およびＥ３は、それぞれ独立に、式（２）で表されるエポキシ基含有基、式（３）で表される有機基または水素原子を表し、Ｅ１、Ｅ２およびＥ３のうち、少なくとも二つは、式（２）で表されるエポキシ基含有基を表し、
【化２】
2016098377.tif 000047
【化３】
2016098377.tif 000048
式（２）および式（３）中、Ｒ４は、水素原子またはメチル基を表す。
【請求項２】
Ｒ１、Ｒ２およびＲ３が、炭素数１乃至３のアルキレン基を表す、請求項１に記載のアルカリ可溶性樹脂（Ａ）。
【請求項３】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、
エチレン性不飽和基を有する化合物（Ｂ）と、
光開始剤（Ｃ）と、
有機溶剤（Ｄ）と
を含むカラーフィルター用感光性樹脂組成物であって、
前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）が、第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）を含み、かつ該第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）が、第１混合物の重合反応物を含み、該第１混合物が、式（１）で表される少なくとも二つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ−１−１）と、少なくとも一つのカルボキシル基と少なくとも一つのエチレン性不飽和基とを有する化合物（ａ−１−２）とを含む、カラーフィルター用感光性樹脂組成物。
【化４】
2016098377.tif 000049
式（１）中、
Ｒ１、Ｒ２およびＲ３は、それぞれ独立に、炭素数１乃至６の分岐または直鎖のアルキレン基または炭素数１乃至６の分岐または直鎖のオキシアルキレン基を表し、かつ
Ｅ１、Ｅ２およびＥ３は、それぞれ独立に、式（２）で表されるエポキシ基含有基、式（３）で表される有機基または水素原子を表し、Ｅ１、Ｅ２およびＥ３のうち、少なくとも二つは、式（２）で表されるエポキシ基含有基を表し、
【化５】
2016098377.tif 000050
【化６】
2016098377.tif 000051
式（２）および式（３）中、Ｒ４は、水素原子またはメチル基を表す。
【請求項４】
Ｒ１、Ｒ２およびＲ３が、炭素数１乃至３のアルキレン基を表す、請求項３に記載のカラーフィルター用感光性樹脂組成物。
【請求項５】
前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）が、第２混合物の重合反応物を含む第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）を含み、該第２混合物は、式（４）または式（５）で表される少なくとも二つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ−２−１）と、少なくとも一つのカルボキシル基と少なくとも一つのエチレン性不飽和基とを有する化合物（ａ−２−２）とを含む、請求項３に記載のカラーフィルター用感光性樹脂組成物。
【化７】
2016098377.tif 000052
式（４）中、Ｒ６１、Ｒ６２、Ｒ６３およびＲ６４は、それぞれ同じであるかまたは異なっており、水素原子、ハロゲン原子、Ｃ１〜Ｃ５のアルキル基、Ｃ１〜Ｃ５のアルコキシ基、Ｃ６〜Ｃ１２のアリール基またはＣ６〜Ｃ１２のアラルキル基を表し、
【化８】
2016098377.tif 000053
式（５）中、Ｒ６５〜Ｒ７８は、それぞれ同じであるかまたは異なっており、水素原子、ハロゲン原子、Ｃ１〜Ｃ８のアルキル基またはＣ６〜Ｃ１５のアリール基を表し、かつｎは、０〜１０の整数を表す。
【請求項６】
前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）が、第３混合物の重合反応物を含む第３アルカリ可溶性樹脂（Ａ−３）を含み、該第３混合物が、少なくとも一つのカルボキシル基を有するエチレン性不飽和モノマーと、その他の共重合可能なエチレン性不飽和モノマーとを含む、請求項３に記載のカラーフィルター用感光性樹脂組成物。
【請求項７】
前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の総使用量１００重量部に対して、該第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）の使用量が、１０〜１００重量部である、請求項３に記載のカラーフィルター用感光性樹脂組成物。
【請求項８】
前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の総使用量１００重量部に対して、前記エチレン性不飽和基を有する化合物（Ｂ）の使用量が４０〜４００重量部であり、前記光開始剤（Ｃ）の使用量が１０〜１００重量部であり、かつ前記有機溶剤（Ｄ）の使用量が５００〜５０００重量部である、請求項３に記載のカラーフィルター用感光性樹脂組成物。
【請求項９】
さらに着色剤（Ｅ）を含む、請求項３に記載のカラーフィルター用感光性樹脂組成物。
【請求項１０】
前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の総使用量１００重量部に対して、前記着色剤（Ｅ）の使用量が２０〜２００重量部である、請求項９に記載のカラーフィルター用感光性樹脂組成物。
【請求項１１】
請求項３〜８のいずれか一項に記載のカラーフィルター用感光性樹脂組成物を用いて保護膜を形成する工程を有してなる、カラーフィルターの製造方法。
【請求項１２】
請求項３〜１０のいずれか一項に記載のカラーフィルター用感光性樹脂組成物を用いて画素層を形成する工程を有してなる、カラーフィルターの製造方法。
【請求項１３】
請求項１に記載のアルカリ可溶性樹脂を含む保護膜または画素層を含むカラーフィルター。
【請求項１４】
請求項１３に記載のカラーフィルターを含むことを特徴とする、液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アルカリ可溶性樹脂および液晶表示装置のカラーフィルター用感光性樹脂組成物ならびにそれで形成されたカラーフィルターと液晶表示装置に関するものである。特に良好な熱溶剤膜厚変化率および高精度を有するパターンの直線性が良いカラーフィルター用アルカリ可溶性樹脂および感光性樹脂組成物に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ（liquid crystal display, LCD）は、軽量、薄型、低消費電力等の利点を有するため、ノート型パソコン、携帯情報端末装置（personal digital assistant, PDA）、デジタルカメラ、デスクトップパソコン等の様々な製品に応用されている。しかしながら、この種のＬＣＤは、色再現範囲の高いカラーフィルターを必要とする。
【０００３】
このようなカラーフィルターは、ブラックマトリックス（brack matrix, BM）が形成されたガラスまたはプラスチックシート等の支持体の表面に、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３色の色調をストライプ状またはモザイク状に形成することによって得られる。
【０００４】
今日まで、様々なカラーフィルターの製造方法が提案されており、その中で最もよく知られている方法は、ネガ型感光性着色組成物を使用してカラーフィルターを製造する方法である。このネガ型感光性着色組成物は、染料、アクリル樹脂、光重合開始剤、反応性高分子で構成される。ネガ型感光性着色組成物は、以下のプロセスによって硬化される。紫外線照射によって分解または活性化された光重合開始剤で重合を行い、フリーラジカルを形成する。その後、これらのフリーラジカルによってエチレン性不飽和基を活性化し、ラジカル重合を行う。ネガ型感光性着色組成物を使用してカラーフィルターを製造する時は、一般的に、このネガ型感光性着色組成物を基板の上にコーティングし、マスクを介して紫外線で照射した後、現像してパターンを得る。上記のプロセスによって形成されたパターンを加熱して基板上に固着させて、画素パターンを形成する。必要な色に応じてこのサイクルを繰り返し、着色塗膜のパターンを得ることができる。しかしながら、サイクルの繰り返しによりＢＭおよびＲＧＢ画素の端部に大きな段差が生じるため、この段差によって、色が不均一に表示されてしまう。この段差を抑制するため、透明樹脂層（保護膜）を使用して、カラーフィルターの平坦化処理を行う。
【０００５】
保護膜は、ＲＧＢ着色層の保護、液晶封入時の耐熱性および耐圧力性を発現するための硬度が必要である。硬度を発現するために、高架橋密度（cross linking density）の感光性硬化性樹脂組成物が検討されてきた（特許文献１を参照）。しかしながら、この感光性硬化性樹脂組成物は、硬化プロセスで収縮を起こし、残存応力を生成させる。この残存応力は、高精度パターンの直線性が悪いという欠陥を生じさせやすい。
【０００６】
高精度パターンの直線性における欠陥は、エポキシ化合物を含有する保護膜組成物を使用することによって改善されることが特許文献２において提示されているが、熱溶剤膜厚変化率が悪いという欠陥は、依然として存在する。
【０００７】
さらに、近年、ＰＤＡ装置およびデジタルカメラがより軽量、小型化されるにつれて、カラーフィルターもより軽薄化され、より高い色飽和度を有することが必要になった。そのため、着色組成物における着色剤の濃度を増やすことが必要であるが、着色剤の濃度が増えると、感光性着色組成物中の樹脂は、相対して減少する。樹脂成分は保護膜に対する密着性に役立つが、その樹脂成分が減少すると、画素と保護膜の間の密着性が減少するため、保護膜が画素との界面から容易に剥がれ、その結果、高精度パターンの直線性が悪くなる。
【０００８】
一般的に、上述した使用目的の感光性樹脂組成物には、重合性不飽和結合を有する多官能光硬化性モノマー、アルカリ可溶性樹脂、およびこれらと光重合開始剤との組成物が使用される。例えば、特許文献３および特許文献４において、カラーフィルターに用いる材料の応用が例証されており、カルボキシル基を有する（メタ）アクリル酸または（メタ）アクリレート、マレイン酸無水物、およびその他の重合性モノマーの共重合体をアルカリ可溶性樹脂として使用することが開示されている。しかしながら、ここで開示する共重合体は、ランダム共重合体であるため、光照射部分および光未照射部分の中にアルカリ溶解率の分布を生成し、その結果、現像操作中に優れた高精度パターンの直線性または熱溶剤膜厚変化率を得るのが難しい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平５‐７８４８３号公報
【特許文献２】特開平１０‐１３３３７２号公報
【特許文献３】特開昭６１‐２１３２１３号公報
【特許文献４】特開平１‐１５２４４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
そのため、いかにして熱溶剤膜厚変化率および高精度パターンの直線性を向上させて業界の要求を満たすかが、本発明の技術分野における研究の目標である。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、カラーフィルター用感光性樹脂組成物を製造するための特殊なアルカリ可溶性樹脂を提供することによって、良好な熱溶剤膜厚変化率および高精度を有するパターンの直線性が良いカラーフィルター用感光性樹脂組成物を得ることができる。
【００１２】
そのため、本発明は、第１混合物を重合反応させて得られた第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）を含むアルカリ可溶性樹脂（Ａ）を提供し、該第１混合物は、式（１）で表される少なくとも二つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ−１−１）と、少なくとも一つのカルボキシル基と少なくとも一つのエチレン性不飽和基とを有する化合物（ａ−１−２）とを含む。
【化１】
2016098377.tif 000002
式中、
Ｒ１、Ｒ２、及びＲ３はそれぞれ独立して炭素数１乃至６の分岐又は直鎖のアルキレン基又は炭素数１乃至６の分岐又は直鎖のオキシアルキレン基を表し、かつ
Ｅ１、Ｅ２、及びＥ３はそれぞれ独立して、式（２）で表されるエポキシ基含有基、式（３）で表される有機基又は水素原子を表し、Ｅ１、Ｅ２及びＥ３のうち、少なくとも二つは、式（２）で表されるエポキシ基含有基を表し、
【化２】
2016098377.tif 000003
【化３】
2016098377.tif 000004
式（２）及び式（３）中、Ｒ４は、水素原子又はメチル基を表す。
【００１３】
本発明は、また
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、
エチレン性不飽和基を有する化合物（Ｂ）と、
光開始剤（Ｃ）と、
有機溶剤（Ｄ）と
を含むカラーフィルター用感光性樹脂組成物を提供する。
該アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）を含み、かつ該第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）は、第１混合物を重合反応させて得られ、該第１混合物は、式（１）で表される少なくとも二つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ−１−１）と、少なくとも一つのカルボキシル基と少なくとも一つのエチレン性不飽和基とを有する化合物（ａ−１−２）とを含む。
【化４】
2016098377.tif 000005
式中、
Ｒ１、Ｒ２およびＲ３は、それぞれ独立に、炭素数１乃至６の分岐または直鎖のアルキレン基または炭素数１乃至６の分岐または直鎖のオキシアルキレン基を表し、かつ
Ｅ１、Ｅ２およびＥ３は、それぞれ独立に、式（２）で表されるエポキシ基含有基、式（３）で表される有機基または水素原子を表し、Ｅ１、Ｅ２およびＥ３のうち、少なくとも二つは、式（２）で表されるエポキシ基含有基を表し、
【化５】
2016098377.tif 000006
【化６】
2016098377.tif 000007
式（２）および式（３）中、Ｒ４は、水素原子またはメチル基を表す。
【００１４】
本発明は、さらに、前記感光性樹脂組成物を用いて保護膜を形成するカラーフィルターの製造方法を提供する。
【００１５】
本発明は、又、前記感光性樹脂組成物を用いて画素層を形成するカラーフィルターの製造方法を提供する。
【００１６】
本発明は、又、前記方法により作製されたカラーフィルターを提供する。
【００１７】
本発明は、さらに、前記カラーフィルターを含むことを特徴とする液晶表示装置を提供する。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明は、第１混合物を重合反応させて得られた第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）を含むアルカリ可溶性樹脂を提供し、該第１混合物は、式（１）で表される少なくとも二つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ−１−１）と、少なくとも一つのカルボキシル基と少なくとも一つのエチレン性不飽和基とを有する化合物（ａ−１−２）とを含む。
【化７】
2016098377.tif 000008
式中、
Ｒ１、Ｒ２およびＲ３は、それぞれ独立に、炭素数１乃至６の分岐または直鎖のアルキレン基または炭素数１乃至６の分岐または直鎖のオキシアルキレン基を表し、かつ
Ｅ１、Ｅ２およびＥ３は、それぞれ独立に、式（２）で表されるエポキシ基含有基、式（３）で表される有機基または水素原子を表し、Ｅ１、Ｅ２およびＥ３のうち、少なくとも二つは、式（２）で表されるエポキシ基含有基を表し、
【化８】
2016098377.tif 000009
【化９】
2016098377.tif 000010
式（２）および式（３）中、Ｒ４は、水素原子またはメチル基を表す。
【００１９】
該第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）は、第１混合物を重合反応させて得られ、該第１混合物は、式（１）で表される少なくとも二つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ−１−１）と、少なくとも一つのカルボキシル基と少なくとも一つのエチレン性不飽和基とを有する化合物（ａ−１−２）とを含む。また、該第１混合物は、さらに、カルボン酸無水物化合物（ａ−１−３）またはエポキシ基含有化合物（ａ−１−４）または上記二者の組合せを選択的に含んでもよい。
【化１０】
2016098377.tif 000011
式中、
Ｒ１、Ｒ２およびＲ３は、それぞれ独立に、炭素数１乃至６の分岐または直鎖のアルキレン基または炭素数１乃至６の分岐または直鎖のオキシアルキレン基を表し、かつ
Ｅ１、Ｅ２およびＥ３は、それぞれ独立に、式（２）で表されるエポキシ基含有基、式（３）で表される有機基または水素原子を表し、Ｅ１、Ｅ２およびＥ３のうち、少なくとも二つは、式（２）で表されるエポキシ基含有基を表し、
【化１１】
2016098377.tif 000012
【化１２】
2016098377.tif 000013
式（２）および式（３）中、Ｒ４は、水素原子またはメチル基を表す。
【００２０】
アルキレン基としては炭素数１乃至６のアルキレン基が挙げられ、例えばメチレン基、エチレン基、ｎ−プロピレン基、イソプロピレン基、シクロプロピレン基、ｎ−ブチレン基、イソブチレン基、ｓ−ブチレン基、ｔ−ブチレン基、シクロブチレン基、１−メチル−シクロプロピレン基、２−メチル−シクロプロピレン基、ｎ−ペンチレン基、１−メチル−ｎ−ブチレン基、２−メチル−ｎ−ブチレン基、３−メチル−ｎ−ブチレン基、１，１−ジメチル−ｎ−プロピレン基、１，２−ジメチル−ｎ−プロピレン基、２，２−ジメチル−ｎ−プロピレン基、１−エチル−ｎ−プロピレン基、シクロペンチレン基、１−メチル−シクロブチレン基、２−メチル−シクロブチレン基、３−メチル−シクロブチレン基、１，２−ジメチル−シクロプロピレン基、２，３−ジメチル−シクロプロピレン基、１−エチル−シクロプロピレン基、２−エチル−シクロプロピレン基、ｎ−ヘキシレン基、１−メチル−ｎ−ペンチレン基、２−メチル−ｎ−ペンチレン基、３−メチル−ｎ−ペンチレン基、４−メチル−ｎ−ペンチレン基、１，１−ジメチル−ｎ−ブチレン基、１，２−ジメチル−ｎ−ブチレン基、１，３−ジメチル−ｎ−ブチレン基、２，２−ジメチル−ｎ−ブチレン基、２，３−ジメチル−ｎ−ブチレン基、３，３−ジメチル−ｎ−ブチレン基、１−エチル−ｎ−ブチレン基、２−エチル−ｎ−ブチレン基、１，１，２−トリメチル−ｎ−プロピレン基、１，２，２−トリメチル−ｎ−プロピレン基、１−エチル−１−メチル−ｎ−プロピレン基、１−エチル−２−メチル−ｎ−プロピレン基、シクロヘキシレン基、１−メチル−シクロペンチレン基、２−メチル−シクロペンチレン基、３−メチル−シクロペンチレン基、１−エチル−シクロブチレン基、２−エチル−シクロブチレン基、３−エチル−シクロブチレン基、１，２−ジメチル−シクロブチレン基、１，３−ジメチル−シクロブチレン基、２，２−ジメチル−シクロブチレン基、２，３−ジメチル−シクロブチレン基、２，４−ジメチル−シクロブチレン基、３，３−ジメチル−シクロブチレン基、１−ｎ−プロピル−シクロプロピレン基、２−ｎ−プロピル−シクロプロピレン基、１−イソプロピル−シクロプロピレン基、２−イソプロピル−シクロプロピレン基、１，２，２−トリメチル−シクロプロピレン基、１，２，３−トリメチル−シクロプロピレン基、２，２，３−トリメチル−シクロプロピレン基、１−エチル−２−メチル−シクロプロピレン基、２−エチル−１−メチル−シクロプロピレン基、２−エチル−２−メチル−シクロプロピレン基及び２−エチル−３−メチル−シクロプロピレン基等が挙げられる。特に炭素数１乃至３のアルキレン基が好ましい。
【００２１】
オキシアルキレン基としては炭素数１乃至６のオキシアルキレン基が挙げられ、例えばオキシメチレン基、オキシエチレン基、オキシｎ−プロピレン基、オキシイソプロピレン基、オキシシクロプロピレン基、オキシｎ−ブチレン基、オキシイソブチレン基、オキシｓ−ブチレン基、オキシｔ−ブチレン基、オキシシクロブチレン基、オキシ１−メチル−シクロプロピレン基、オキシ２−メチル−シクロプロピレン基、オキシｎ−ペンチレン基、オキシ１−メチル−ｎ−ブチレン基、オキシ２−メチル−ｎ−ブチレン基、オキシ３−メチル−ｎ−ブチレン基、オキシ１，１−ジメチル−ｎ−プロピレン基、オキシ１，２−ジメチル−ｎ−プロピレン基、オキシ２，２−ジメチル−ｎ−プロピレン基、オキシ１−エチル−ｎ−プロピレン基、オキシシクロペンチレン基、オキシ１−メチル−シクロブチレン基、オキシ２−メチル−シクロブチレン基、オキシ３−メチル−シクロブチレン基、オキシ１，２−ジメチル−シクロプロピレン基、オキシ２，３−ジメチル−シクロプロピレン基、オキシ１−エチル−シクロプロピレン基、オキシ２−エチル−シクロプロピレン基、オキシｎ−ヘキシレン基、オキシ１−メチル−ｎ−ペンチレン基、オキシ２−メチル−ｎ−ペンチレン基、オキシ３−メチル−ｎ−ペンチレン基、オキシ４−メチル−ｎ−ペンチレン基、オキシ１，１−ジメチル−ｎ−ブチレン基、オキシ１，２−ジメチル−ｎ−ブチレン基、オキシ１，３−ジメチル−ｎ−ブチレン基、オキシ２，２−ジメチル−ｎ−ブチレン基、オキシ２，３−ジメチル−ｎ−ブチレン基、オキシ３，３−ジメチル−ｎ−ブチレン基、オキシ１−エチル−ｎ−ブチレン基、オキシ２−エチル−ｎ−ブチレン基、オキシ１，１，２−トリメチル−ｎ−プロピレン基、オキシ１，２，２−トリメチル−ｎ−プロピレン基、オキシ１−エチル−１−メチル−ｎ−プロピレン基、オキシ１−エチル−２−メチル−ｎ−プロピレン基、オキシシクロヘキシレン基、オキシ１−メチル−シクロペンチレン基、オキシ２−メチル−シクロペンチレン基、オキシ３−メチル−シクロペンチレン基、オキシ１−エチル−シクロブチレン基、オキシ２−エチル−シクロブチレン基、オキシ３−エチル−シクロブチレン基、オキシ１，２−ジメチル−シクロブチレン基、オキシ１，３−ジメチル−シクロブチレン基、オキシ２，２−ジメチル−シクロブチレン基、オキシ２，３−ジメチル−シクロブチレン基、オキシ２，４−ジメチル−シクロブチレン基、オキシ３，３−ジメチル−シクロブチレン基、オキシ１−ｎ−プロピル−シクロプロピレン基、オキシ２−ｎ−プロピル−シクロプロピレン基、オキシ１−イソプロピル−シクロプロピレン基、オキシ２−イソプロピル−シクロプロピレン基、オキシ１，２，２−トリメチル−シクロプロピレン基、オキシ１，２，３−トリメチル−シクロプロピレン基、オキシ２，２，３−トリメチル−シクロプロピレン基、オキシ１−エチル−２−メチル−シクロプロピレン基、オキシ２−エチル−１−メチル−シクロプロピレン基、オキシ２−エチル−２−メチル−シクロプロピレン基及びオキシ２−エチル−３−メチル−シクロプロピレン基等が挙げられる。特に、オキシエチレン基、オキシイソプロピレン基が好ましく用いられる。
【００２２】
特に、Ｒ１、Ｒ２、及びＲ３が炭素数１乃至３のアルキレン基を表す。
【００２３】
本発明の好ましい具体例は、式(1)で表される少なくとも２つのエポキシ基を有するエポキシ化合物(a-1-1)は、モノアリルジグリシジルイソシアヌレート(monoallyldiglycidyl isocyanurate)、１−アリル−３，５−ビス（２−メチルエポキシプロピル）イソシアヌレート(1-allyl-3,5-bis (2-methyl-epoxy propyl) isocyanurate)、１−（２−メチルプロペニル）−３，５−ジグリシジルイソシアヌレート(1-(2-methyl-propenyl)-3,5-diglycidyl isocyanurate)、１−（２−メチルプロペニル）−３，５−ビス（２−メチルエポキシプロピル）イソシアヌレート(1-(2-methyl-propenyl)-3,5-bis (2-methyl-epoxy propyl) isocyanurate)および式(1-1)〜(1-13)で表されるエポキシ化合物等を含む（ただし、これらに限定されない）
【化１３】
2016098377.tif 000014
【化１４】
2016098377.tif 000015
【化１５】
2016098377.tif 000016
【化１６】
2016098377.tif 000017
【化１７】
2016098377.tif 000018
【化１８】
2016098377.tif 000019
【化１９】
2016098377.tif 000020
【化２０】
2016098377.tif 000021
【化２１】
2016098377.tif 000022
【化２２】
2016098377.tif 000023
【化２３】
2016098377.tif 000024
【化２４】
2016098377.tif 000025
【化２５】
2016098377.tif 000026
【００２４】
本発明に用いられる式（１）で表される少なくとも２つのエポキシ基を有するエポキシ化合物(a-1-1)は、式（１−２）で表される化合物を例とすると以下の方法で得ることができる。
【化２６】
2016098377.tif 000027
【化２７】
2016098377.tif 000028
【化２８】
2016098377.tif 000029
【００２５】
上記反応ではイソシアヌール酸を水酸化ナトリウムでイソシアヌール酸Ｎａ塩に変換する。この反応は、水中で、０乃至１００℃、１乃至１０時間で行うことができる。更にイソシアヌール酸Ｎａ塩とハロゲン化アルケンとを反応させて、アルケン置換イソシアヌール酸を得る。この反応は例えばＤＭＦ（ジメチルホルムアミド）溶媒中で、０乃至１５０℃、１乃至１０時間で行うことができる。式中Ｘはハロゲン原子であり、ハロゲン化アルケンはモノブロモアルケンや、モノクロロアルケンを用いることができる。そしてアルケン置換イソシアヌール酸を過酸で酸化してエポキシ化合物を得ることができる。ここで過酸は例えば、メタクロロ過安息香酸、過酢酸、過酸化水素−タングステン酸等を用いることができる。この反応は塩化メチレン、トルエン等の溶媒中で、０乃至１１０℃、１乃至１０時間で行うことができる。上記式（１−１）、式（１−３）、式（１−６）乃至式（１−８）で表される化合物も同様の方法で合成することができる。
【００２６】
本発明に用いられる式（１）で表される少なくとも２つのエポキシ基を有するエポキシ化合物(a-1-1)は、式（１−４）で表される化合物を例とすると以下の方法で得ることが出来る。
【化２９】
2016098377.tif 000030
【００２７】
上記反応ではヒドロキシアルキルイソシアヌレートとエピハロヒドリン(epihalohydrin)を反応させてトリス（アルキレンオキシグリシジル）イソシアヌレート[tris (alkyleneoxy glycidyl) isocyanurate]が得られる。ヒドロキシアルキルイソシアヌレートの例としては、ヒドロキシエチルイソシアヌレート等が挙げられ、エピハロヒドリンの例としてはエピクロルヒドリン、エピブロモヒドリン等が挙げられる。反応はジオキサン等の溶媒中で、ＢＦ３や塩化錫を触媒として用い、０乃至１００℃で、１乃至１０時間の反応によって行われる。上記式（１−５）、式（１−９）、式（１−１０）で表される化合物も同様の方法で合成することができる。
【００２８】
式（１−１１）乃至式（１−１３）で表される化合物の前駆体、メチル及びアルケニル置換イソシアヌール酸は、イソシアヌール酸をハロゲン化アルケンと反応させることでトリアルケニル置換イソシアヌール酸との混合物として得られる。この反応は例えば、炭酸カリウム存在下、Ｎ，Ｎ−ジメチルイミダゾリジノン(N,N-dimethyl imidazolidinone)中で０乃至１５０℃、１乃至２０時間で行うことができる。無機塩基は他にも、炭酸水素カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウムを使用することができる。この反応では溶剤に使用したＮ，Ｎ−ジメチルイミダゾリジノンのメチル基が部分的にイソシアヌール酸と反応することにより得られたものと考えられる。
【００２９】
そして、メチル及びアルケニル置換イソシアヌール酸を過酸で酸化してエポキシ化合物を得ることができる。ここで過酸は例えば、メタクロロ過安息香酸、過酢酸、過酸化水素−タングステン酸等を用いることができる。この反応は塩化メチレン、トルエン等の溶媒中で０乃至１１０℃、１乃至２０時間で行うことができる。
【００３０】
該少なくとも一つのカルボキシル基および少なくとも一つのエチレン性不飽和基化合物（ａ−１−２）を有する具体例は、下記（１）〜（３）からなる群より選択される：（１）アクリル酸、メタクリル酸、２−メタクリロイルオキシエチルコハク酸（２−ｍｅｔｈａｃｒｙｌｏｙｌｏｘｙｅｔｈｙｌｂｕｔａｎｅｄｉｏｉｃ  ａｃｉｄ）、２−メタクリロイルオキシブチルコハク酸、２−メタクリロイルオキシエチルアジピン酸、２−メタクリロイルオキシブチルアジピン酸、２−メタクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸、２−メタクリロイルオキシエチルマレイン酸、２−メタクリロイルオキシプロピルマレイン酸、２−メタクリロイルオキシブチルマレイン酸、２−メタクリロイルオキシプロピルコハク酸、２−メタクリロイルオキシプロピルアジピン酸、２−メタクリロイルオキシプロピルテトラヒドロフタル酸、２−メタクリロイルオキシプロピルフタル酸、２−メタクリロイルオキシブチルフタル酸または２−メタクリロイルオキシブチルヒドロフタル酸；（２）ヒドロキシル基含有（メタ）アクリレートがアジピン酸、コハク酸、マレイン酸またはフタル酸を含む二価カルボン酸化合物と反応して得た化合物；および（３）（２−ヒドロキシエチル）アクリレート［（２−ｈｙｄｒｏｘｙｅｔｈｙｌ）ａｃｒｙｌａｔｅ］、（２−ヒドロキシエチルメタクリレート［（２−ｈｙｄｒｏｘｙｅｔｈｙｌ）ｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ］、（２−ヒドロキシプロピル）アクリレート［（２−ｈｙｄｒｏｘｙｐｒｏｐｙｌ）ａｃｒｙｌａｔｅ］、（２−ヒドロキシプロピル）メタクリレート［（２−ｈｙｄｒｏｘｙｐｒｏｐｙｌ）ｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ］、（４−ヒドロキシブチル）アクリレート［（４−ｈｙｄｒｏｘｙｂｕｔｙｌ）ａｃｒｙｌａｔｅ］、（４−ヒドロキシブチル）メタクリレート［（４−ｈｙｄｒｏｘｙｂｕｔｙｌ）ｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ］、ペンタエリスリトールトリメタクリレートなどを含むヒドロキシル基含有（メタ）アクリレートが下記カルボン酸無水物化合物（ａ−１−３）と反応して得た半エステル化合物。
【００３１】
該カルボン酸無水物化合物（ａ−１−３）は、下記（１）〜（２）からなる群より選択することができる：（１）ブタン二酸無水物（ｂｕｔａｎｅｄｉｏｉｃ  ａｎｈｙｄｒｉｄｅ）、マイレン酸無水物（ｍａｌｅｉｃ  ａｎｈｙｄｒｉｄｅ）、イタコン酸無水物（ｉｔａｃｏｎｉｃ  ａｎｈｙｄｒｉｄｅ）、フタル酸無水物（ｐｈｔｈａｌｉｃ  ａｎｈｙｄｒｉｄｅ）、テトラヒドロフタル酸無水物（ｔｅｔｒａｈｙｄｒｏｐｈｔｈａｌｉｃ  ａｎｈｙｄｒｉｄｅ）、ヘキサヒドロフタル酸無水物（ｈｅｘａｈｙｄｒｏｐｈｔｈａｌｉｃ  ａｎｈｙｄｒｉｄｅ）、メチルテトラヒド口フタル酸無水物、メチルヘキサヒドロフタル酸無水物、メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸無水物（ｍｅｔｈｙｌ  ｅｎｄｏ−ｍｅｔｈｙｌｅｎｅ  ｔｅｔｒａｈｙｄｒｏｐｈｔｈａｌｉｃ  ａｎｈｙｄｒｉｄｅ）、クロレンド酸無水物（ｃｈｌｏｒｅｎｄｉｃ  ａｎｈｙｄｒｉｄｅ）、グルタル酸無水物、トリメリット酸無水物（１，２，４−ｂｅｎｚｅｎｅｔｒｉｃａｒｂｏｘｙｌｉｃ  ａｎｈｙｄｒｉｄｅ）などの二価カルボン酸無水物化合物；および（２）３， ３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物（３，３’，４，４’−ｂｅｎｚｏｐｈｅｎｏｎｅ  ｔｅｔｒａｃａｒｂｏｘｙｌｉｃ  ｄｉａｎｈｙｄｒｉｄｅ；ＢＴＤＡ）、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物（３，３’，４，４’−ｂｉｐｈｅｎｙｌ ｔｅｔｒａｃａｒｂｏｘｙｌｉｃ  ｄｉａｎｈｙｄｒｉｄｅ）、３，３’，４，４’−オキシジフェニルテトラカルボン酸二無水物（３，３’，４，４’−ｏｘｙ−ｄｉｐｈｅｎｙｌ ｔｅｔｒａｃａｒｂｏｘｙｌｉｃ  ｄｉａｎｈｙｄｒｉｄｅ）などの四価テトラカルボン酸無水物化合物。
【００３２】
該エポキシ基含有化合物（ａ−１−４）は、グリシジルメタクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメタクリレート、不飽和基含有グリシジルエーテル化合物、エポキシ基含有不飽和化合物または上記化合物の組合せから選択することができる。上記不飽和基含有グリシジルエーテル化合物は、長瀬化成工業株式会社製、型番Ｄｅｎａｃｏｌ  ＥＸ−１１１、Ｄｅｎａｃｏｌ  ＥＸ−１２１、Ｄｅｎａｃｏｌ  ＥＸ―１４１、Ｄｅｎａｃｏｌ  ＥＸ−１４５、Ｄｅｎａｃｏｌ  ＥＸ−１４６、Ｄｅｎａｃｏｌ  ＥＸ−１７１またはＤｅｎａｃｏｌ  ＥＸ−１９２などの商品を含む。
【００３３】
本発明の一つの具体例においては、該第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）は、式（１）で表される少なくとも二つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ−１−１）と、少なくとも一つのカルボキシル基および少なくとも一つのエチレン性不飽和基を有する化合物（ａ−１−２）とを重合反応させて形成されたヒドロキシル基含有反応生成物であってもよい。次に、カルボン酸無水物化合物（ａ−１−３）を反応溶液に添加して重合反応させる。上記ヒドロキシル基含有反応生成物のヒドロキシル基の総当量数１当量に対して、カルボン酸無水物化合物（ａ−１−３）に含有された酸無水物基の当量数は、好ましくは０．４〜１当量であり、より好ましくは０．７５〜１当量である。複数のカルボン酸無水物化合物（ａ−１−３）を用いる場合、これらのカルボン酸無水物化合物は反応中で順に添加されてもまたは同時に添加されてもよい。二価カルボン酸無水物化合物および四価カルボン酸無水物化合物をカルボン酸無水物化合物（ａ−１−３）として用いる場合、二価カルボン酸無水物化合物および四価カルボン酸無水物化合物のモル比率は、好ましくは１／９９〜９０／１０であり、より好ましくは５／９５〜８０／２０である。また、上記反応の操作温度は５０〜１３０℃であってもよい。
【００３４】
本発明の別の具体例においては、該第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）は、式（１）で表される少なくとも二つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ−１−１）と、少なくとも一つのカルボキシル基および少なくとも一つのエチレン性不飽和基を有する化合物（ａ−１−２）とを反応させて形成されたヒドロキシル基含有反応生成物であってもよい。次に、カルボン酸無水物化合物（ａ−１−３）、エポキシ基含有化合物（ａ−１−４）または上記二者の組合せを反応溶液に添加することによって重合反応させる。式（１）で表される化合物中のエポキシ基の総当量数１当量に対して、上記少なくとも一つのカルボキシル基および少なくとも一つのエチレン性不飽和基を有する化合物（ａ−１−２）の酸価当量数は、好ましくは０．８〜１．５当量であり、より好ましくは０．９〜１．１当量である。上記ヒドロキシル基含有反応生成物のヒドロキシル基の総使用量１００モル％に対して、カルボン酸無水物化合物（ａ−１−３）の使用量は１０〜１００モル％であり、好ましくは２０〜１００モル％であり、より好ましくは３０〜１００モル％である。
【００３５】
上記第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）を製造する際に、反応時間を短縮するために、通常、アルカリ性化合物を反応触媒として反応溶液に添加する。反応触媒は、トリフェニルホスフィン（ｔｒｉｐｈｅｎｙｌ  ｐｈｏｓｐｈｉｎｅ）、トリフェニルアンチモン（ｔｒｉｐｈｅｎｙｌ  ｓｔｉｂｉｎｅ）、トリエチルアミン（ｔｒｉｅｔｈｙｌａｍｉｎｅ）、トリエタノールアミン（ｔｒｉｅｔｈａｎｏｌａｍｉｎｅ）、塩化テトラメチルアンモニウム（ｔｅｔｒａｍｅｔｈｙｌａｍｍｏｎｉｕｍ  ｃｈｌｏｒｉｄｅ）または塩化ベンジルトリエチルアンモニウム（ｂｅｎｚｙｌｔｒｉｅｔｈｙｌａｍｍｏｎｉｕｍ  ｃｈｌｏｒｉｄｅ）などを含む。反応触媒は、単独で使用してもまたは複数を組み合わせて使用してもよい。
【００３６】
上記式（１）で表される少なくとも二つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ−１−１）と、少なくとも一つのカルボキシル基および少なくとも一つのエチレン性不飽和基を有する化合物（ａ−１−２）との総使用量１００重量部に対して、反応触媒の使用量は、好ましくは０．０１〜１０重量部であり、より好ましくは０．３〜５重量部である。
【００３７】
また、重合度を制御するために重合禁止剤（ｐｏｌｙｍｅｒｉｚａｔｉｏｎ  ｉｎｈｉｂｉｔｏｒ）を反応溶液に添加することができる。重合禁止剤は、メトキシフェノール（ｍｅｔｈｏｘｙｐｈｅｎｏｌ）、メチルヒドロキノン（ｍｅｔｈｙｌｈｙｄｒｏｑｕｉｎｏｎｅ）、ヒドロキノン（ｈｙｄｒｏｑｕｉｎｏｎｅ）、２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール（２，６−ｄｉ−ｔ−ｂｕｔｙｌ−ｐ−ｃｒｅｓｏｌ）、フェノチアジン（ｐｈｅｎｏｔｈｉａｚｉｎｅ）などを含む。重合禁止剤は、単独で使用してもまたは複数種を組み合わせて使用してもよい。
【００３８】
上記式（１）で表される少なくとも二つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ−１−１）と、少なくとも一つのカルボキシル基および少なくとも一つのエチレン性不飽和基を有する化合物（ａ−１−２）との総使用量１００重量部に対して、重合禁止剤の使用量は、好ましくは０．０１〜１０重量部であり、より好ましくは０．１〜５重量部である。
【００３９】
第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）を製造する際に、重合反応溶剤は選択的に使用されてもよい。重合反応溶剤は、エタノール、プロパノール、イソプロパノール、ブタノール、イソブタノール、２−ブタノール、ヘキサノール、エチレングリコールなどのアルコール系溶剤；メチルエチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン系溶剤；トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素系溶媒；セロソルブ（ｃｅｌｌｏｓｏｌｖｅ）、ブチルセロソルブ（ｂｕｔｙｌ  ｃｅｌｌｏｓｏｌｖｅ）などのセロソルブ系溶剤；カルビトール（ｃａｒｂｉｔｏｌ）、ブチルカルビトール（ｂｕｔｙｌ  ｃａｒｂｉｔｏｌ）などのカルビトール系溶剤；プロピレングリコールモノメチルエーテル（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ）などのプロピレングリコールアルキルエーテル系溶剤；ジプロピレングリコールモノメチルエーテル［ｄｉ（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ）ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ］などのポリプロピレングリコールアルキルエーテル［ｐｏｌｙ（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ）ａｌｋｙｌ  ｅｔｈｅｒ］系溶剤；酢酸エチル、酢酸ブチル、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート（ｅｔｈｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ  ａｃｅｔａｔｅ）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ  ａｃｅｔａｔｅ）などの酢酸エステル系溶剤；乳酸エチル（ｅｔｈｙｌ  ｌａｃｔａｔｅ）、乳酸ブチル（ｂｕｔｙｌ  ｌａｃｔａｔｅ）などの乳酸アルキル（ａｌｋｙｌ  ｌａｃｔａｔｅ）系溶剤；またはジアルキレングリコールエーテル系溶剤を含む。重合反応溶剤は、単独で使用してもまたは複数種を組み合わせて使用してもよい。また、第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）の酸価は、好ましくは５０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、より好ましくは６０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇである。
【００４０】
本発明においては、第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）の数平均分子量は、通常５００〜５，０００であり、好ましくは６００〜４，８００であり、より好ましくは７００〜４，６００である。
【００４１】
本発明はさらに、
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、
エチレン性不飽和基を有する化合物（Ｂ）と、
光開始剤（Ｃ）と、
有機溶剤（Ｄ）と
を含むカラーフィルター用感光性樹脂組成物を提供する。
該アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）を含み、かつ該第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）は、第１混合物を重合反応させて得られ、該第１混合物は、式（１）で表される少なくとも二つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ−１−１）と、少なくとも一つのカルボキシル基と少なくとも一つのエチレン性不飽和基とを有する化合物（ａ−１−２）とを含む。
【化３０】
2016098377.tif 000031
式中、
Ｒ１、Ｒ２およびＲ３は、それぞれ独立に、炭素数１乃至６の分岐または直鎖のアルキレン基または炭素数１乃至６の分岐または直鎖のオキシアルキレン基を表し、かつ
Ｅ１、Ｅ２およびＥ３は、それぞれ独立に、式（２）で表されるエポキシ基含有基、式（３）で表される有機基または水素原子を表し、Ｅ１、Ｅ２およびＥ３のうち、少なくとも二つは、式（２）で表されるエポキシ基含有基を表し、
【化３１】
2016098377.tif 000032
【化３２】
2016098377.tif 000033
式（２）および式（３）中、Ｒ４は、水素原子またはメチル基を表す。
【００４２】
本発明のアルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）を含む。また、該アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、さらに第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）を含むことができる。また、該アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、さらに第３アルカリ可溶性樹脂（Ａ−３）を含む。
【００４３】
本発明の該第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）は上記で詳細に説明したため、ここでは、さらに説明しない。
【００４４】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の総使用量１００重量部に対して、該第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）の使用量は１０〜１００重量部であり、好ましくは１５〜９０重量部であり、より好ましくは２０〜８０重量部である。アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）を使用しない場合、作製された感光樹脂組成物の高精度パターンの直線性が良くない。
【００４５】
該アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）を含み、かつ該第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）は、第２混合物を重合反応させて得られ、該第２混合物は、式（４）または式（５）で表される少なくとも二つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ−２−１）と、少なくとも一つのカルボキシル基と少なくとも一つのエチレン性不飽和基とを有する化合物（ａ−２−２）とを含む。また、該第２混合物は、さらにカルボン酸無水物化合物（ａ−２−３）またはエポキシ基含有化合物（ａ−２−４）または上記二者の組合せを選択的に含むことができる。
【００４６】
該式（４）または式（５）で表される少なくとも二つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ−２−１）は、式（４）で表される化合物または式（５）で表される化合物または上記二者の組合せを含む。
【００４７】
具体的に言えば、式（４）で表される化合物は下記の通りである：
【化３３】
2016098377.tif 000034
式（４）中、Ｒ６１、Ｒ６２、Ｒ６３およびＲ６４は、それぞれ同じであるかまたは異なり、水素原子、ハロゲン原子、Ｃ１〜Ｃ５のアルキル基、Ｃ１〜Ｃ５のアルコキシ基、Ｃ６〜Ｃ１２のアリール基またはＣ６〜Ｃ１２のアラルキル基を表す。
【００４８】
式（４）で表される化合物は、ビスフェノールフルオレン系化合物（ｂｉｓｐｈｅｎｏｌ  ｆｌｕｏｒｅｎｅ）とエピハロヒドリン（ｅｐｉｈａｌｏｈｙｄｒｉｎ）とを反応させて得ることができる。
【００４９】
詳しく言えば、ビスフェノールフルオレン系化合物の具体例は、９，９−ビス（４−ヒドロキシフェニル）フルオレン（９，９−ｂｉｓ（４−ｈｙｄｒｏｘｙｐｈｅｎｙｌ）ｆｌｕｏｒｅｎｅ）、９，９−ビス（４−ヒドロキシ−３−メチルフェニル）フルオレン（９，９−ｂｉｓ（４−ｈｙｄｒｏｘｙ−３−ｍｅｔｈｙｌｐｈｅｎｙｌ）ｆｌｕｏｒｅｎｅ）、９，９−ビス（４−ヒドロキシ−３−クロロフェニル）フルオレン（９，９−ｂｉｓ（４−ｈｙｄｒｏｘｙ−３−ｃｈｌｏｒｏｐｈｅｎｙｌ）ｆｌｕｏｒｅｎｅ）、９，９−ビス（４−ヒドロキシ−３−ブロモフェニル）フルオレン（９，９−ｂｉｓ（４−ｈｙｄｒｏｘｙ−３−ｂｒｏｍｏｐｈｅｎｙｌ）ｆｌｕｏｒｅｎｅ）、９，９−ビス（４−ヒドロキシ−３−フルオロフェニル）フルオレン（９，９−ｂｉｓ（４−ｈｙｄｒｏｘｙ−３−ｆｌｕｏｒｏｐｈｅｎｙｌ）ｆｌｕｏｒｅｎｅ）、９，９−ビス（４−ヒドロキシ−３−メトキシフェニル）フルオレン（９，９−ｂｉｓ（４−ｈｙｄｒｏｘｙ−３−ｍｅｔｈｏｘｙｐｈｅｎｙｌ）ｆｌｕｏｒｅｎｅ）、９，９−ビス（４−ヒドロキシ−３，５−ジメチルフェニル）フルオレン（９，９−ｂｉｓ（４−ｈｙｄｒｏｘｙ−３，５−ｄｉｍｅｔｈｙｌｐｈｅｎｙｌ）ｆｌｕｏｒｅｎｅ）、９，９−ビス（４−ヒドロキシ−３，５−ジクロロフェニル）フルオレン（９，９−ｂｉｓ（４−ｈｙｄｒｏｘｙ−３，５−ｄｉｃｈｌｏｒｏｐｈｅｎｙｌ）ｆｌｕｏｒｅｎｅ）、９，９−ビス（４−ヒドロキシ−３，５−ジブロモフェニル）フルオレン（９，９−ｂｉｓ（４−ｈｙｄｒｏｘｙ−３，５−ｄｉｂｒｏｍｏｐｈｅｎｙｌ）ｆｌｕｏｒｅｎｅ）またはその類似物、または上記化合物の組合せを含む。
【００５０】
エピハロヒドリン（ｅｐｉｈａｌｏｈｙｄｒｉｎ）の具体例は、３−クロロ−１，２−プロピレンオキシド（ｅｐｉｃｈｌｏｒｏｈｙｄｒｉｎ）、３−ブロモ−１，２−プロピレンオキシド（ｅｐｉｂｒｏｍｏｈｙｄｒｉｎ）またはその類似物、または上記化合物の組合せを含む。
【００５１】
式（４）で表される化合物は、エポキシ基を有するビスフェノールフルオレン系化合物であり、その具体例は、（１）新日鉄化学（Ｎｉｐｐｏｎ  ｓｔｅｅｌ  ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｃｏ．，Ｌｔｄ）製商品：例えばＥＳＦ−３００またはその類似物；（２）大阪ガス（Ｏｓａｋａ  Ｇａｓ  Ｃｏ．，Ｌｔｄ）製商品：例えばＰＧ−１００、ＥＧ−２１０またはその類似物；（３）短信科技（Ｓ．Ｍ．Ｓ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ  Ｃｏ．，Ｌｔｄ）製商品：例えばＳＭＳ−Ｆ９ＰｈＰＧ、ＳＭＳ−Ｆ９ＣｒＧ、ＳＭＳ−Ｆ９１４ＰＧまたはその類似物を含む。
【００５２】
また、具体的に言えば、式（５）で表される化合物は下記の通りである。
【化３４】
2016098377.tif 000035
式（５）中、Ｒ６５〜Ｒ７８は、それぞれ同じであるかまたは異なり、水素原子、ハロゲン原子、Ｃ１〜Ｃ８のアルキル基またはＣ６〜Ｃ１５のアリール基を表し、かつｎは、０〜１０の整数を表す。
【００５３】
式（５）で表される化合物は、アルカリ金属水酸化物の存在下で、式（５−１）で表される化合物を用いてエピハロヒドリンと反応させて得ることができる。
【化３５】
2016098377.tif 000036
式（５−１）中、Ｒ６５〜Ｒ７８およびｎの定義は、それぞれ式（５）におけるＲ６５〜Ｒ７８およびｎの定義と同じであるため、ここでは、さらに説明しない。
【００５４】
式（５）で表される化合物の合成方法は下記の通りである：まず、酸触媒の存在下で、式（５−２）で表される化合物を用いてフェノール（ｐｈｅｎｏｌ）類と縮合反応させて、式（５−１）で表される化合物を成形する。次に、過量のエピハロヒドリンを加え、エピハロヒドリンと式（５−１）で表される化合物とが脱ハロゲン化水素反応（ｄｅｈｙｄｒｏｈａｌｏｇｅｎａｔｉｏｎ）を行うようにして、式（５）で表される化合物を得る。
【化３６】
2016098377.tif 000037
【００５５】
式（５−２）中、Ｒ６７〜Ｒ７０の定義は、式（５）におけるＲ６７〜Ｒ７０の定義と同じであるため、ここでは、さらに説明しない。Ｘ１およびＸ２は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数１乃至６のアルキル基または炭素数１乃至６のアルコキシ基を表す。上記ハロゲン原子は塩素または臭素であってもよい。上記アルキル基は、好ましくはメチル基、エチル基またはｔ−ブチル基である。上記アルコキシ基は、好ましくはメトキシ基またはエトキシである。
【００５６】
フェノール類の具体例は、フェノール（ｐｈｅｎｏｌ）、クレゾール（ｃｒｅｓｏｌ）、エチルフェノール（ｅｔｈｙｌｐｈｅｎｏｌ）、ｎ−プロピルフェノール（ｎ−ｐｒｏｐｙｌｐｈｅｎｏｌ）、イソブチルフェノール（ｉｓｏｂｕｔｙｌｐｈｅｎｏｌ）、ｔ−ブチルフェノール（ｔ−ｂｕｔｙｌｐｈｅｎｏｌ）、オクチルフェノール（ｏｃｔｙｌｐｈｅｎｏｌ）、ノニルフェノール（ｎｏｎｙｌｐｈｅｎｏｌ）、キシレノール（ｘｙｌｅｎｏｌ）、メチルブチルフェノール（ｍｅｔｈｙｌｂｕｔｙｌｐｈｅｎｏｌ）、ジ−ｔ−ブチルフェノール（ｄｉ−ｔ−ｂｕｔｙｌｐｈｅｎｏｌ）、ビニルフェノール（ｖｉｎｙｌｐｈｅｎｏｌ）、プロペニルフェノール（ｐｒｏｐｅｎｙｌｐｈｅｎｏｌ）、エチニルフェノール（ｅｔｈｉｎｙｌｐｈｅｎｏｌ）、シクロペンチルフェノール（ｃｙｃｌｏｐｅｎｔｙｌｐｈｅｎｏｌ）、シクロヘキシルフェノール（ｃｙｃｌｏｈｅｘｙｌｐｈｅｎｏｌ）、シクロヘキシルクレゾール（ｃｙｃｌｏｈｅｘｙｌｃｒｅｓｏｌ）またはその類似物を含む。上記フェノール類は、単独で使用してもまたは複数種を組み合わせて使用してもよい。
【００５７】
上記式（５−２）で表される化合物の使用量１モルに対して、フェノール類の使用量は０．５〜２０モルであり、好ましくは２〜１５モルである。
【００５８】
酸触媒の具体例は、塩酸、硫酸、ｐ−トルエンスルホン酸（ｐ−ｔｏｌｕｅｎｅｓｕｌｆｏｎｉｃ  ａｃｉｄ）、シュウ酸（ｏｘａｌｉｃ  ａｃｉｄ）、三フッ化ホウ素（ｂｏｒｏｎ  ｔｒｉｆｌｕｏｒｉｄｅ）、無水塩化アルミニウム（ａｌｕｍｉｎｉｕｍ  ｃｈｌｏｒｉｄｅ  ａｎｈｙｄｒｏｕｓ）、塩化亜鉛（ｚｉｎｃ  ｃｈｌｏｒｉｄｅ）またはその類似物を含む。酸触媒は、好ましくはｐ−トルエンスルホン酸、硫酸、塩酸または上記化合物の組合せである。酸触媒は、単独で使用してもまたは複数種を組み合わせて使用してもよい。
【００５９】
また、上記酸触媒の使用量は特に限定されないが、上記式（５−２）で表される化合物の使用量１００重量％に対して、酸触媒の使用量は、好ましくは０．１〜３０重量％である。
【００６０】
上記縮合反応は、無溶媒または有機溶媒の存在下で行うことができる。また、上記有機溶剤の具体例は、トルエン（ｔｏｌｕｅｎｅ）、キシレン（ｘｙｌｅｎｅ）、メチルイソブチルケトン（ｍｅｔｈｙｌ  ｉｓｏｂｕｔｙｌ  ｋｅｔｏｎｅ）またはその類似物を含む。上記有機溶剤は、単独で使用してもまたは複数種を組み合わせて使用してもよい。
【００６１】
式（５−２）で表される化合物およびフェノール類の総使用量１００重量％に対して、上記有機溶剤の使用量は５０〜３００重量％であり、好ましくは１００〜２５０重量％である。また、上記縮合反応の操作温度は４０〜１８０℃であり、縮合反応の操作時間は１〜８時間である。
【００６２】
上記縮合反応終了後、中和処理または水洗処理を行うことができる。上記中和処理は、反応後の溶液のｐＨ値をｐＨ３〜ｐＨ７に調整し、好ましくはｐＨ５〜ｐＨ７に調整することである。上記水洗処理は、中和剤を使用して行うことができ、この中和剤は、アルカリ性物質であり、具体的には、水酸化ナトリウム（ｓｏｄｉｕｍ  ｈｙｄｒｏｘｉｄｅ）、水酸化カリウム（ｐｏｔａｓｓｉｕｍ  ｈｙｄｒｏｘｉｄｅ）またはその類似物のアルカリ金属水酸化物；水酸化カルシウム（ｃａｌｃｉｕｍ  ｈｙｄｒｏｘｉｄｅ）、水酸化マグネシウム（ｍａｇｎｅｓｉｕｍ  ｈｙｄｒｏｘｉｄｅ）またはその類似物のアルカリ土類金属水酸化物；ジエチレントリアミン（ｄｉｅｔｈｙｌｅｎｅ  ｔｒｉａｍｉｎｅ）、トリエチレンテトラミン（ｔｒｉｅｔｈｙｌｅｎｅｔｅｔｒａｍｉｎｅ）、アニリン（ａｎｉｌｉｎｅ）、フェニレンジアミン（ｐｈｅｎｙｌｅｎｅ  ｄｉａｍｉｎｅ）またはその類似物の有機アミン；アンモニア（ａｍｍｏｎｉａ）、リン酸二水素ナトリウム（ｓｏｄｉｕｍ  ｄｉｈｙｄｒｏｇｅｎ  ｐｈｏｓｐｈａｔｅ）または上記化合物の組合せを含む。上記中和剤は、単独で使用してもまたは複数種を組み合わせて使用してもよい。上記水洗処理は、従来の方法を用いることができ、例えば反応後の溶液に中和剤含有水溶液を加え、かつ繰り返し抽出すればよい。中和処理または水洗処理を経た後、減圧加熱処理を経て未反応のフェノール類および溶剤を留去し、かつ濃縮を行い、このようにすることによって、式（５−１）で表される化合物を得ることができる。
【００６３】
エピハロヒドリンの具体例は、３−クロロ−１，２−プロピレンオキシド、３−ブロモ−１，２−プロピレンオキシドまたは上記化合物の組合せを含む。上記脱ハロゲン化水素反応を行う前に、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどのアルカリ金属水酸化物を、予めまたは反応プロセス中で添加することができる。上記脱ハロゲン化水素反応の操作温度は２０〜１２０℃であり、その操作時間範囲は１〜１０時間である。
【００６４】
一つの実施例において、上記脱ハロゲン化水素反応に添加されたアルカリ金属水酸化物はその水溶液であってもよい。この実施例においては、上記アルカリ金属水酸化物水溶液を、脱ハロゲン化水素反応系に連続的に添加すると同時に、減圧または常圧下で、水およびエピハロヒドリンを連続的に留去することができ、これによって水を分離して除去し、かつエピハロヒドリンを反応系内に連続的に還流することができる。
【００６５】
上記脱ハロゲン化水素反応を行う前に、触媒として、塩化テトラメチルアンモニウム（ｔｅｔｒａｍｅｔｈｙｌ  ａｍｍｏｎｉｕｍ  ｃｈｌｏｒｉｄｅ）、臭化テトラメチルアンモニウム（ｔｅｔｒａｍｅｔｈｙｌ  ａｍｍｏｎｉｕｍ  ｂｒｏｍｉｄｅ）、塩化ベンジルトリメチルアンモニウム（ｔｒｉｍｅｔｈｙｌ  ｂｅｎｚｙｌ  ａｍｍｏｎｉｕｍ  ｃｈｌｏｒｉｄｅ）またはその類似物の第４級アンモニウム塩を添加してもよく、かつ５０〜１５０℃で、１〜５時間反応させた後、アルカリ金属水酸化物またはその水溶液を加える。次に、２０〜１２０℃の温度で、１〜１０時間反応させ、脱ハロゲン化水素反応を行う。
【００６６】
上記式（５−１）で表される化合物中のヒドロキシル基の総当量１当量に対して、上記エピハロヒドリンの使用量は１〜２０当量であり、好ましくは２〜１０当量である。上記式（５−１）構造を有する化合物中のヒドロキシル基の総当量１当量に対して、上記脱ハロゲン化水素反応に添加されたアルカリ金属水酸化物の使用量は０．８〜１５当量であり、好ましくは０．９〜１１当量である。
【００６７】
また、上記脱ハロゲン化水素反応を順調に行うために、メタノール、エタノールまたはその類似物のアルコール類を添加してもよい。この他に、ジメチルスルホン（ｄｉｍｅｔｈｙｌ  ｓｕｌｆｏｎｅ）、ジメチルスルホキシド（ｄｉｍｅｔｈｙｌ  ｓｕｌｆｏｘｉｄｅ）またはその類似物の非プロトン性（ａｐｒｏｔｉｃ）極性溶剤を添加して反応させてもよい。アルコール類を用いる場合、上記エピハロヒドリンの総量１００重量％に対して、アルコール類の使用量は２〜２０重量％であり、好ましくは４〜１５重量％である。非プロトン性極性溶剤を用いる場合、エピハロヒドリンの総量１００重量％に対して、非プロトン性極性溶剤の使用量は５〜１００重量％であり、好ましくは１０〜９０重量％である。
【００６８】
脱ハロゲン化水素反応終了後、水洗処理を選択的に行うことができる。その後、減圧蒸留の方法によって、例えば温度１１０〜２５０℃、圧力１．３ｋＰａ（１０ｍｍ水銀柱（ｍｍＨｇ））以下で、エピハロヒドリン、アルコール系および非プロトン性極性溶剤を除去する。
【００６９】
形成されたエポキシ樹脂が加水分解性ハロゲンを含有することを避けるために、脱ハロゲン化水素反応後の溶液を、トルエン、メチルイソブチルケトン（ｍｅｔｈｙｌ  ｉｓｏｂｕｔｙｌ  ｋｅｔｏｎｅ）などの溶剤および水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどのアルカリ金属水酸化物水溶液に加え、かつ再度脱ハロゲン化水素反応を行うことができる。脱ハロゲン化水素反応中では、上記式（５−１）で表される化合物中のヒドロキシル基の総当量１当量に対して、アルカリ金属水酸化物の使用量は０．０１〜０．３モルであり、好ましくは０．０５〜０．２モルである。また、上記脱ハロゲン化水素反応の操作温度範囲は５０〜１２０℃であり、その操作時間範囲は０．５〜２時間である。
【００７０】
脱ハロゲン化水素反応終了後、濾過および水洗などのステップで塩類を除去する。また、減圧蒸留の方法によりトルエン、メチルイソブチルケトンなどの溶剤を除去すれば、式（５）で表される化合物を得ることができる。上記式（５）で表される化合物の具体例は、商品名がＮＣ−３０００、ＮＣ−３０００Ｈ、ＮＣ−３０００ＳおよびＮＣ−３０００Ｐなどの日本化薬製商品を含む。
【００７１】
該少なくとも一つのカルボキシル基と少なくとも一つのエチレン性不飽和基とを有する化合物（ａ−２−２）は、前記第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）中の、少なくとも一つのカルボキシル基および少なくとも一つのエチレン性不飽和基を有する化合物（ａ−１−２）と同じであるため、ここでは、さらに説明しない。
【００７２】
該カルボン酸無水物化合物（ａ−２−３）は、前記第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）中のカルボン酸無水物化合物（ａ−１−３）と同じであるため、ここでは、さらに説明しない。
【００７３】
該エポキシ基含有化合物（ａ−２−４）は、前記第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）中のエポキシ基含有化合物（ａ−１−４）と同じであるため、ここでは、さらに説明しない。
【００７４】
本発明の一つの具体例においては、該第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）は、式（４）または式（５）で表される少なくとも二つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ−２−１）と、少なくとも一つのカルボキシル基と少なくとも一つのエチレン性不飽和基とを有する化合物（ａ−２−２）とを重合反応させて形成されたヒドロキシル基含有反応生成物であってもよい。次に、カルボン酸無水物化合物（ａ−２−３）を反応溶液に添加して重合反応させる。上記ヒドロキシル基含有反応生成物のヒドロキシル基の総当量数１当量に対して、カルボン酸無水物化合物（ａ−２−３）に含有された酸無水物基の当量数は、好ましくは０．４〜１当量であり、より好ましくは０．７５〜１当量である。複数のカルボン酸無水物化合物（ａ−２−３）を用いる場合、これらのカルボン酸無水物化合物を反応中に順に添加してもまたは同時に添加してもよい。二価カルボン酸無水物化合物および四価カルボン酸無水物化合物をカルボン酸無水物化合物（ａ−２−３）として用いる場合、二価カルボン酸無水物化合物および四価カルボン酸無水物化合物のモル比率は、好ましくは１／９９〜９０／１０であり、より好ましくは５／９５〜８０／２０である。また、上記反応の操作温度は５０Ｃ〜１３０℃であってもよい。
【００７５】
本発明の別の具体例においては、該第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）は、式（４）または式（５）で表される少なくとも二つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ−２−１）と、少なくとも一つのカルボキシル基と少なくとも一つのエチレン性不飽和基とを有する化合物（ａ−２−２）とを反応させて形成されたヒドロキシル基含有反応生成物であってもよい。次に、カルボン酸無水物化合物（ａ−２−３）、エポキシ基含有化合物（ａ−２−４）または上記二者の組合せを反応溶液に添加することによって重合反応させる。式（４）または式（５）で表される少なくとも二つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ−２−１）中のエポキシ基の総当量数１当量に対して、上記少なくとも一つのカルボキシル基と少なくとも一つのエチレン性不飽和基とを有する化合物（ａ−２−２）との酸価当量数は、好ましくは０．８〜１．５当量であり、より好ましくは０．９〜１．１当量である。上記ヒドロキシル基含有反応生成物のヒドロキシル基の総使用量１００モル％に対して、カルボン酸無水物化合物（ａ−２−３）の使用量は１０〜１００モル％であり、好ましくは２０〜１００モル％であり、より好ましくは３０〜１００モル％である。
【００７６】
上記第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）を製造する際に、反応時間を短縮するために、通常、アルカリ性化合物を反応触媒として反応溶液に添加する。該反応触媒は、前記第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）に用いられる反応触媒と同じであるため、ここでは、さらに説明しない。
【００７７】
上記式（４）または式（５）で表される少なくとも二つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ−２−１）と、少なくとも一つのカルボキシル基と少なくとも一つのエチレン性不飽和基とを有する化合物（ａ−２−２）との総使用量１００重量部に対して、反応触媒の使用量は、好ましくは０．０１〜１０重量部であり、より好ましくは０．３〜５重量部である。
【００７８】
また、重合度を制御するために重合禁止剤（ｐｏｌｙｍｅｒｉｚａｔｉｏｎ  ｉｎｈｉｂｉｔｏｒ）を反応溶液に添加することができる。該重合禁止剤は、前記第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）に用いられる重合禁止剤と同じであるため、ここでは、さらに説明しない。
【００７９】
上記式（４）または式（５）で表される少なくとも二つのエポキシ基を有するエポキシ化合物（ａ−２−１）と、少なくとも一つのカルボキシル基と少なくとも一つのエチレン性不飽和基とを有する化合物（ａ−２−２）との総使用量１００重量部に対して、重合禁止剤の使用量は、好ましくは０．０１〜１０重量部であり、より好ましくは０．１〜５重量部である。
【００８０】
第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）を製造する際に、重合反応溶剤は選択的に使用されてもよい。該重合反応溶剤は、前記第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）に用いられる重合反応溶剤と同じであるため、ここでは、さらに説明しない。
【００８１】
また、第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）の酸価は、好ましくは５０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、より好ましくは６０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇである。
【００８２】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の総使用量１００重量部に対して、該第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）の使用量は０〜７５重量部であり、好ましくは５〜６０重量部であり、より好ましくは１０〜５０重量部である。アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）を用いる場合、作製された感光樹脂組成物の熱溶剤膜厚変化率が良い。
【００８３】
第３アルカリ可溶性樹脂（Ａ−３）は第３混合物を重合反応させて得られ、該第３混合物は、少なくとも一つのカルボキシル基を有するエチレン性不飽和モノマー（ａ−３−１）およびその他の共重合可能なエチレン性不飽和モノマー（ａ−３−２）を共重合させてなるものを含み、該少なくとも一つのカルボキシル基を有するエチレン性不飽和モノマー（ａ−３−１）と、該その他の共重合可能なエチレン性不飽和モノマー（ａ−３−２）との総使用量は１００重量部である。
【００８４】
該少なくとも一つのカルボキシル基を有するエチレン性不飽和モノマー（ａ−３−１）の具体例は、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、α−クロロアクリル酸、エタクリル酸、桂皮酸、２−アクリロイルエトキシコハク酸モノエステル、２−メタクリロイルエトキシコハク酸モノエステルなどの不飽和一価カルボン酸化合物；マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸などの不飽和二価カルボン酸（酸無水物）化合物；三価以上の不飽和多価カルボン酸（酸無水物）化合物を含む。上記少なくとも一つのカルボキシル基を有するエチレン性不飽和モノマー（ａ−３−１）は、単独で使用してもまたは複数種を組み合わせて使用してもよい。
【００８５】
該少なくとも一つのカルボキシル基を有するエチレン性不飽和モノマー（ａ−３−１）は、好ましくはアクリル酸、メタクリル酸、２−アクリロイルエトキシサクシネート、２−メタクリロイルエトキシサクシネートまたは上記化合物の組合せである。
【００８６】
該その他の共重合可能なエチレン性不飽和モノマー（ａ−３−２）の具体例は、ジシクロペンタニルアクリレート、ジシクロペンタニルエトキシアクリレート、ジシクロペンテニルアクリレート（ｄｉｃｙｃｌｏｐｅｎｔｅｎｙｌ  ａｃｒｙｌａｔｅ、以下、ＦＡ−５１１Ａと略称する）、ジシクロペンテニルエトキシアクリレート（ｄｉｃｙｃｌｏｐｅｎｔｅｎｙｌｏｘｙｅｔｈｙｌ  ａｃｒｙｌａｔｅ、以下、ＦＡ−５１２Ａと略称する）、ジシクロペンタニルメタクリレート、ジシクロペンタニルエトキシメタクリレート、ジシクロペンテニルメタクリレート、ジシクロペンテニルエトキシメタクリレート、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、ｐ−クロロスチレン、メトキシスチレンなどの芳香族ビニル化合物；Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−ｏ−ヒドロキシフェニルマレイミド、Ｎ−ｍ−ヒドロキシフェニルマレイミド、Ｎ−ｐ−ヒドロキシフェニルマレイミド、Ｎ−ｏ−メチルフェニルマレイミド、Ｎ−ｍ−メチルフェニルマレイミド、Ｎ−ｐ−メチルフェニルマレイミド、Ｎ−ｏ−メトキシフェニルマレイミド、Ｎ−ｍ−メトキシフェニルマレイミド、Ｎ−ｐ−メトキシフェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミドなどのマレイミド化合物；メチルアクリレート、メチルメタクリレート、ベンジルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、ｎ−プロピルアクリレート、ｎ−プロピルメタクリレート、イソプロピルアクリレート、イソプロピルメタクリレート、ｎ−ブチルアクリレート、ｎ−ブチルメタクリレート、イソブチルアクリレート、イソブチルメタクリレート、ｓｅｃ−ブチルアクリレート、ｓｅｃ−ブチルメタクリレート、ｔ−ブチルアクリレート、ｔ−ブチルメタクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、３−ヒドロキシプロピルアクリレート、３−ヒドロキシプロピルメタクリレート、２−ヒドロキシブチルアクリレート、２−ヒドロキシブチルメタクリレート、３−ヒドロキシブチルアクリレート、３−ヒドロキシブチルメタクリレート、４−ヒドロキシブチルアクリレート、４−ヒドロキシブチルメタクリレート、アリルアクリレート、アリルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、フェニルアクリレート、フェニルメタクリレート、メトキシトリエチレングリコールアクリレート（ｍｅｔｈｏｘｙ  ｔｒｉｅｔｈｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ａｃｒｙｌａｔｅ）、メトキシトリエチレングリコールメタクリレート（ｍｅｔｈｏｘｙ  ｔｒｉｅｔｈｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ）、ドデシルメタクリレート（ｌａｕｒｙｌ  ｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ）、テトラデシルメタクリレート（ｔｅｒｔａｄｅｃｙｌ  ｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ）、セチルメタクリレート（ｃｅｔｙｌ  ｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ）、オクタデシルメタクリレート（ｏｃｔａｄｅｃｙｌ  ｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ）、エイコシルメタクリレート（ｅｉｃｏｓｙｌ  ｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ）、ドコシルメタクリレート（ｄｏｃｏｓｙｌ  ｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ）などの不飽和カルボン酸エステル化合物；Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルアクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルメタクリレート、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノプロピルアクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノプロピルメタクリレート、Ｎ，Ｎ−ジブチルアミノプロピルアクリレート、Ｎ−イソブチルアミノエチルメタクリレート、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸グリシジルエステル化合物；酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニルなどのカルボン酸ビニル化合物；ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテル、メチルアリルグリシジルエーテルなどの不飽和エーテル系化合物；アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデンなどのシアン化ビニル化合物；アクリルアミド、メタクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、Ｎ−ヒドロキシエチルアクリルアミド、Ｎ−ヒドロキシエチルメタクリルアミドなどの不飽和アミド化合物；１，３−ブタジエン、イソアミレン、塩化ブタジエンなどの脂肪族共役ジエン化合物または上記化合物の組合せを含む。その他の共重合可能なエチレン性不飽和モノマー（ａ−３−２）の具体例は、単独で使用してもまたは複数種を組み合わせて使用してもよい。
【００８７】
該その他の共重合可能なエチレン性不飽和モノマー（ａ−３−２）は、好ましくはジシクロペンタニルアクリレート、ジシクロペンタニルエトキシアクリレート、ジシクロペンテニルアクリレート、ジシクロペンテニルエトキシアクリレート、ジシクロペンタニルメタクリレート、ジシクロペンタニルエトキシメタクリレート、ジシクロペンテニルメタクリレート、ジシクロペンテニルエトキシメタクリレート、スチレン、Ｎ−フェニルマレイミド、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、ベンジルアクリレートおよびベンジルメタクリレートからなる群より選ばれる。
【００８８】
第３アルカリ可溶性樹脂（Ａ−３）を製造するための溶剤は、エチレングリコールメチルエーテル、エチレングリコールエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルエーテル、ジエチレングリコールｎ−プロピルエーテル、ジエチレングリコールｎ−ブチルエーテル、トリエチレングリコールメチルエーテル、トリエチレングリコールエチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールエチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテル、ジプロピレングリコールエチルエーテル、ジプロピレングリコールｎ−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールｎ−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテル（ｔｒｉｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ）、トリプロピレングリコールエチルエーテル（ｔｒｉｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ）などの（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテル系溶剤；エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテートなどの（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート系溶剤；ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフランなどのその他のエーテル系溶剤；メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノンなどのケトン系溶剤；２−ヒドロキシアクリル酸メチル、２−ヒドロキシアクリル酸エチルなどの乳酸アルキル系溶剤；２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、２−ヒドロキシ−３−メチル酪酸メチル、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルプロピオネート、酢酸エチル、酢酸ｎ−プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、酢酸ｎ−アミル、酢酸イソアミル、プロピオン酸ｎ−ブチル、酪酸エチル、酪酸ｎ−プロピル、酪酸イソプロピル、酪酸ｎ−ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸ｎ−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキシ酪酸エチルなどのその他のエステル系溶剤；トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素化合物溶剤；またはＮ−メチルピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミドなどのカルボン酸アミド溶剤を含む。上記溶剤は、単独で使用してもまたは複数種を組み合わせて使用してもよい。
【００８９】
第３アルカリ可溶性樹脂（Ａ−３）を製造するための溶剤は、好ましくはプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、３−エトキシプロピオン酸エチルまたは上記二者の組合せである。
【００９０】
第３アルカリ可溶性樹脂（Ａ−３）を製造するための開始剤は、通常ラジカル重合開始剤である。ラジカル重合開始剤は、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル（２，２’−ａｚｏｂｉｓｉｓｏｂｕｔｙｒｏｎｉｔｒｉｌｅ）、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）［２，２’−ａｚｏｂｉｓ−（２，４−ｄｉｍｅｔｈｙｌｖａｌｅｒｏｎｉｔｒｉｌｅ）］、２，２’−アゾビス（４−メトキシ−２，４−ジメチルバレロニトリル）［２，２’−ａｚｏｂｉｓ−（４−ｍｅｔｈｏｘｙ−２，４−ｄｉｍｅｔｈｙｌｖａｌｅｒｏｎｉｔｒｉｌｅ）］、２，２’−アゾビス−２−メチルブチロニトリル（２，２’−ａｚｏｂｉｓ−２−ｍｅｔｈｙｌ  ｂｕｔｙｒｏｎｉｔｒｉｌｅ）などのアゾ（ａｚｏ）化合物；過酸化ベンゾイル（ｂｅｎｚｏｙｌｐｅｒｏｘｉｄｅ）などのペルオキシ化合物または上記化合物の組合せを含む。
【００９１】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の総使用量１００重量部に対して、該第３アルカリ可溶性樹脂（Ａ−３）の使用量は０〜５０重量部であり、好ましくは５〜４０重量部であり、より好ましくは１０〜３０重量部である。アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、第３アルカリ可溶性樹脂（Ａ−３）を用いる場合、作製された感光樹脂組成物の熱溶剤膜厚変化率が良い。
【００９２】
第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）および第３アルカリ可溶性樹脂（Ａ−３）を同時に用いる場合、作製された感光樹脂組成物の熱溶剤膜厚変化率はより良い。
【００９３】
本発明のエチレン性不飽和基を有する化合物（Ｂ）は、一つのエチレン性不飽和基を有する化合物または二つ以上（二つを含む）エチレン性不飽和基を有する化合物から選ばれる。
【００９４】
上記一つのエチレン性不飽和基を有する化合物の具体例は、（メタ）アクリルアミド（（ｍｅｔｈ）ａｃｒｙｌａｍｉｄｅ）、（メタ）アクリロイルモルホリン、７−アミノ−３，７−ジメチルオクチル（メタ）アクリレート、イソブトキシメチル（メタ）アクリルアミド、イソボルニルオキシエチル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、エチルジエチレングリコール（メタ）アクリレート、ｔ−オクチル（メタ）アクリルアミド、ジアセトン（メタ）アクリルアミド、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ドデシル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、テトラクロロフェニル（メタ）アクリレート、２−テトラクロロフェノキシエチル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート（ｔｅｔｒａｈｙｄｒｏｆｕｒｆｕｒｙｌ  （ｍｅｔｈ）ａｃｒｙｌａｔｅ）、テトラブロモフェニル（メタ）アクリレート、２−テトラブロモフェノキシエチル（メタ）アクリレート、２−トリクロロフェノキシエチル（メタ）アクリレート、トリブロモフェニル（メタ）アクリレート、２−トリブロモフェノキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−（メタ）アクリル酸エチル、２−ヒドロキシ−（メタ）アクリル酸プロピル、ビニルカプロラクタム、Ｎ−ビニルピロリドン、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、ペンタクロロフェニル（メタ）アクリレート、ペンタブロモフェニル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ボルニル（メタ）アクリレートなどを含む。上記一つのエチレン性不飽和基を有する化合物は、単独で使用してもまたは複数種を組み合わせて使用してもよい。
【００９５】
上記二つ以上（二つを含む）エチレン性不飽和基を有する化合物の具体例は、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌル酸ジ（メタ）アクリレート、トリス（２−ヒドキシエチル）イソシアヌル酸トリ（メタ）アクリレート、カプロラクトンで変性されたトリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌル酸トリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、エチレンオキシド（ｅｔｈｙｌｅｎｅ  ｏｘｉｄｅ，ＥＯ）で変性されたトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシド（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｏｘｉｄｅ，ＰＯ）で変性されたトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ポリエステルジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、カプロラクトンで変性されたジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、カプロラクトンで変性されたジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジ（トリメチロールプロパン）テトラ（メタ）アクリレート（ｄｉ（ｔｒｉｍｅｔｈｙｌｏｌｐｒｏｐａｎｅ）ｔｅｔｒａ（ｍｅｔｈ）ａｃｒｙｌａｔｅ）、エチレンオキシドで変性されたビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシドで変性されたビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、エチレンオキシドで変性された水素化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシドで変性された水素化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシドで変性されたグリセロールトリ（メタ）アクリレート、エチレンオキシドで変性されたビスフェノールＦジ（メタ）アクリレート、ノボラックポリグリシジルエーテル（メタ）アクリレートまたはその類似物、または上記化合物の組合せを含む。上記二つ以上（二つを含む）エチレン性不飽和基を有する化合物は、単独で使用してもまたは複数種を組み合わせて使用してもよい。
【００９６】
該エチレン性不飽和基を有する化合物（Ｂ）の具体例は、トリメチロールプロパントリアクリレート、エチレンオキシドで変性されたトリメチロールプロパントリアクリレート、プロピレンオキシドで変性されたトリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、カプロラクトンで変性されたジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジ（トリメチロールプロパン）テトラアクリレート、プロピレンオキシドで変性されたグリセロールトリアクリレートまたはその類似物、または上記化合物の組合せを含む。
【００９７】
該エチレン性不飽和基を有する化合物（Ｂ）は、好ましくはジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ジ（トリメチロールプロパン）テトラアクリレートまたは上記化合物の組合せである。
【００９８】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の総使用量１００重量部に対して、該エチレン性不飽和基を有する化合物（Ｂ）の使用量は４０〜４００重量部であり、好ましくは６０〜３００重量部であり、より好ましくは８０〜２００重量部である。
【００９９】
本発明の光開始剤（Ｃ）はラジカル光開始剤であってもよく、具体的に言えば、光開始剤（Ｃ）は、例えばＯ−アシルオキシム（ｏｘｉｍｅ）系化合物、トリアジン（ｔｒｉａｚｉｎｅ）系化合物、アセトフェノン（ａｃｅｔｏｐｈｅｎｏｎｅ）系化合物、ビイミダゾール（ｂｉｉｍｉｄａｚｏｌｅ）系化合物またはベンゾフェノン（ｂｅｎｚｏｐｈｅｎｏｎｅ）系化合物などである。
【０１００】
上記Ｏ−アシルオキシム系化合物の具体例は、１−［４−（フェニルチオ）フェニル］−ヘプタン−１，２−ジオン−２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）、１−［４−（フェニルチオ）フェニル］−オクタン−１，２−ジオン−２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）、１−［４−（ベンゾイル）フェニル］−ヘプタン−１，２−ジオン−２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）、１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−エタノン−１−（Ｏ−アセチルオキシム）、１−［９−エチル−６−（３−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−エタノン−１−（Ｏ−アセチルオキシム）、１−［９−エチル−６−ベンゾイル−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−エタノン−１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン−１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロフラニルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン−１−［９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロピラニルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン−１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン−１−［９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン−１−［９−エチル−６−｛２−メチル−４−（２，２−ジメチル−１，３−ジオキソラニル）ベンゾイル｝−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン−１−［９−エチル−６−｛２−メチル−４−（２，２−ジメチル−１，３−ジオキソラニル）メトキシベンゾイル｝−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−１−（Ｏ−アセチルオキシム）または上記化合物の組合せを含む。
【０１０１】
上記トリアジン系化合物の具体例は、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（ｐ−メトキシ）スチリル−ｓ−トリアジン［２，４−ｂｉｓ（ｔｒｉｃｈｌｏｒｏｍｅｔｈｙｌ）−６−（ｐ−ｍｅｔｈｏｘｙ）ｓｔｙｒｙｌ−ｓ−ｔｒｉａｚｉｎｅ］、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（１−ｐ−ジメチルアミノフェニル−１，３−ブタジエニル）−ｓ−トリアジン［２，４−ｂｉｓ（ｔｒｉｃｈｌｏｒｏｍｅｔｈｙｌ）−６−（１−ｐ−ｄｉｍｅｔｈｙｌａｍｉｎｏｐｈｅｎｙｌ−１,３−ｂｕｔａｄｉｅｎｙｌ）−ｓ−ｔｒｉａｚｉｎｅ］、２−トリクロロメチル−４−アミノ−６−ｐ−メトキシスチリル−ｓ−トリアジン［２−ｔｒｉｃｈｌｏｒｏｍｅｔｈｙｌ−４−ａｍｉｎｏ−６−（ｐ−ｍｅｔｈｏｘｙ）ｓｔｙｒｙｌ−ｓ−ｔｒｉａｚｉｎｅ］または上記化合物の組合せを含む。
【０１０２】
アセトフェノン化合物の具体例は、ｐ‐ジメチルアミノ‐アセトフェノン、α，α’‐ジメトキシアゾキシ‐アセトフェノン、２，２’‐ジメチル‐２‐フェニル‐アセトフェノン、ｐ‐メトキシ‐アセトフェノン（、２‐メチル‐１‐（４‐メチルチオフェニル）‐２‐モルホリノ‐１‐プロパノン、および２‐ベンジル‐２‐Ｎ，Ｎ‐ジメチルアミノ‐１‐（４‐モルホリノフェニル）‐１‐ブタノンを含む。
【０１０３】
ビイミダゾール化合物の具体例は、２，２’‐ビス（ｏ‐クロロフェニル）‐４，４’，５，５’‐テトラフェニル‐ビイミダゾール、 ２，２’‐ビス（ｏ‐フルオロフェニル）‐４，４’，５，５’‐テトラフェニル‐ビイミダゾール、２，２’‐ビス（ｏ‐メチルフェニル）‐４，４’，５，５’‐テトラフェニル‐ビイミダゾール、２，２’‐ビス（ｏ‐メトキシフェニル）‐４，４’，５，５’‐テトラフェニル‐ビイミダゾール、２，２’‐ビス（ｏ‐エチルフェニル）‐４，４’，５，５’‐テトラフェニル‐ビイミダゾール、２，２’‐ビス（ｐ‐メトキシフェニル）‐４，４’，５，５’‐テトラフェニル‐ビイミダゾール、２，２’‐ビス（２，２’，４，４’‐テトラメトキシフェニル）‐４，４’，５，５’‐テトラフェニル‐ビイミダゾール、２，２’‐ビス（２‐クロロフェニル）‐４，４’，５，５’‐テトラフェニル‐ビイミダゾール、および２，２’‐ビス（２，４‐ジクロロフェニル）‐４，４’，５，５’‐テトラフェニル‐ビイミダゾールを含む。
【０１０４】
上記ベンゾフェノン系化合物の具体例は、チオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、チオキサントン−４−スルホン、ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、または４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンまたは上記化合物の組合せを含む。
【０１０５】
該光開始剤（Ｃ）は、好ましくは２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルホリノ−１−プロパノン、１−［４−（フェニルチオ）フェニル］−オクタン−１，２−ジオン−２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）、１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−エタノン−１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン−１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン−１−［９−エチル−６−｛２−メチル−４−（２，２−ジメチル−１，３−ジオキソラニル）メトキシベンゾイル｝−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−１−（Ｏ−アセチルオキシム）、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（ｐ−メトキシ）スチリル−ｓ−トリアジン、２−ベンジル−２−Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−１−ブタノン、２，２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール［２，２’−ｂｉｓ（２，４−ｄｉｃｈｌｏｒｏｐｈｅｎｙｌ）−４，４’，５，５’−ｔｅｔｒａｐｈｅｎｙｌ−１，２’−ｂｉｉｍｉｄａｚｏｌｅ］、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンまたは上記化合物の組合せである。
【０１０６】
上記光開始剤（Ｃ）は、単独で使用してもまたは複数種を組み合わせて使用してもよい。
【０１０７】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の総使用量１００重量部に対して、該光開始剤（Ｃ）の使用量は１０〜１００重量部であり、好ましくは１５〜８０重量部であり、より好ましくは２０〜６０重量部である。
【０１０８】
また、物性に影響を与えない範囲で、本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、さらに上記光開始剤（Ｃ）以外の開始剤、例えばα−ジケトン（α−ｄｉｋｅｔｏｎｅ）系化合物、アシロイン（ａｃｙｌｏｉｎ）系化合物、アシロインエーテル（ａｃｙｌｏｉｎ  ｅｔｈｅｒ）系化合物、アシルホスフィンオキシド（ａｃｙｌｐｈｏｓｐｈｉｎｅｏｘｉｄｅ）系化合物、キノン（ｑｕｉｎｏｎｅ）系化合物、ハロゲン系含有化合物またはペルオキシドなどを添加してもよい。
【０１０９】
α‐ジケトン（α-diketone）化合物の具体例は、ベンジル（benzil）、アセチル（acetyl）、またはその組合せである。
【０１１０】
アシロイン（acyloin）化合物の具体例は、ベンゾイン（benzoin）、またはその組合せである。
【０１１１】
アシロインエーテル（acyloin ether）化合物の具体例は、ベンゾインメチルエーテル（benzoin methylether）、ベンゾインエチルエーテル（benzoin ethylether）、ベンゾインイソプロピルエーテル（benzoin isopropyl ether）、またはその組合せである。
【０１１２】
アシルホスフィンオキシド（acylphosphineoxide）化合物の具体例は、２，４，６‐トリメチル‐ベンゾイル‐ジフェニル‐ホスフィンオキシド（2,4,6-trimethyl-benzoyl-diphenylphosphineoxide）、ビス‐（２，６‐ジメトキシ‐ベンゾイル）‐２，４，４‐トリメチル‐ベンジル‐ホスフィンオキシド（bis-(2,6-dimethoxy-benzoyl)-2,4,4-trimethyl-benzyl-phosphineoxide）、またはその組合せである。
【０１１３】
キノン（quinone）化合物の具体例は、アントラキノン（anthraquinone）、１，４‐ナフトキノン（1,4-naphthoquinone）、またはその組合せである。
【０１１４】
ハロゲン化合物の具体例は、塩化フェナシル（phenacyl chloride）、トリブロモメチルフェニルスルホン（tribromomethyl-phenylsulfone）、トリス（トリクロロメチル）‐ｓ‐トリアジン（tris(trichloromethyl)-s-triazine）、またはその組合せである。
【０１１５】
過酸化物の具体例は、ジ‐ｔｅｒｔ‐ブチルペルオキシド（di-tert-butyl peroxide）、またはその組合せである。
【０１１６】
本発明の感光性樹脂組成物に含まれる有機溶媒（Ｄ）は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、エチレン性不飽和基含有化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、以下の着色剤（Ｅ）および以下の染料（Ｆ）を溶解し、且つこれらの成分と反応せず、適切な揮発性を有することが要求される。
【０１１７】
また、有機溶剤（Ｄ）は、第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）を製造するための有機溶剤と同じであってもよいため、ここでは、さらに説明しない。有機溶剤（Ｄ）は、好ましくはプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、３−エトキシプロピオン酸エチルまたは上記溶剤の組合せである。
【０１１８】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の総使用量１００重量部に対して、該有機溶剤（Ｄ）の使用量は５００〜５０００重量部であり、好ましくは８００〜４５００重量部であり、より好ましくは１０００〜４０００重量部である。
【０１１９】
本発明の感光性樹脂組成物は、着色剤（Ｅ）を含んでもよい。着色剤（Ｅ）は、有機および無機顔料からなる群より選ばれた少なくとも１つの化合物である。
【０１２０】
無機顔料は、金属酸化物、金属錯塩(metal complex salt)等の金属化合物を含み、例えば、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属酸化物、および上述した金属の複合酸化物を含んでもよい。
【０１２１】
有機顔料の例は、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１、３、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、２０、２４、３１、５３、５５、６０、６１、６５、７１、７３、７４、８１、８３、９３、９５、９７、９８、９９、１００、１０１、１０４、１０６、１０８、１０９、１１０、１１３、１１４、１１６、１１７、１１９、１２０、１２６、１２７、１２８、１２９、１３８、１３９、１５０、１５１、１５２、１５３、１５４、１５５、１５６、１６６、１６７、１６８、１７５；Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１、５、１３、１４、１６、１７、２４、３４、３６、３８、４０、４３、４６、４９、５１、６１、６３、６４、７１、７３；Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１４、１５、１６、１７、１８、１９、２１、２２、２３、３０、３１、３２、３７、３８、４０、４１、４２、４８：１、４８：２、４８：３、４８：４、４９：１、４９：２、５０：１、５２：１、５３：１、５７、５７：１、５７：２、５８：２、５８：４、６０：１、６３：１、６３：２、６４：１、８１：１、８３、８８、９０：１、９７、１０１、１０２、１０４、１０５、１０６、１０８、１１２、１１３、１１４、１２２、１２３、１４４、１４６、１４９、１５０、１５１、１５５、１６６、１６８、１７０、１７１、１７２、１７４、１７５、１７６、１７７、１７８、１７９、１８０、１８５、１８７、１８８、１９０、１９３、１９４、２０２、２０６、２０７、２０８、２０９、２１５、２１６、２２０、２２４、２２６、２４２、２４３、２４５、２５４、２５５、２６４、２６５；Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、１９、２３、２９、３２、３６、３８、３９；Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１、２、１５、１５：３、１５：４、１５：６、１６、２２、６０、６６；Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６、３７；Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、２５、２８；Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、７等を含んでもよい。
【０１２２】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）１００重量部に対し、着色剤（Ｅ）の使用量は、２０重量部〜２００重量部であり、好ましくは、３０重量部〜１６０重量部であり、より好ましくは、４０重量部〜１２０重量部である。
【０１２３】
本発明の好ましい具体例においては、該感光性樹脂組成物はさらに染料（Ｆ）を含む。本発明の染料（Ｆ）は、着色剤（Ｅ）と組み合わせて用いてもよく、当業者は、特定のスペクトルの染料（Ｆ）を選択してもよく、本発明の具体例においては、該染料（Ｆ）は、アゾ染料、アゾ金属錯体染料、アントラキノン染料、インジゴ染料、チオインジゴ染料、フタロシアニン染料、ジフェニルメタン染料、トリフェニルメタン染料、キサンテン染料、チアジン染料、カチオン染料、シアニン染料、ニトロ染料、キノリン染料、ナフトキノン染料、オキサジン染料等である。
【０１２４】
本発明の具体例においては、赤色染料は、Ｃ．Ｉ．アシッドレッド１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８、１９、２０、２２、２３、２４、２５、２５：１、２６、２６：１、２６：２、２７、２９、３０、３１、３２、３３、３４、３５、３６、３７、３９、４０、４１、４２、４３、４４、４５、４７、５０、５２、５３、５４、５５、５６、５７、５９、６０、６２、６４、６５、６６、６７、６８、７０、７１、７３、７４、７６、７６：１、８０、８１、８２、８３、８５、８６、８７、８８、８９、９１、９２、９３、９７、９９、１０２、１０４、１０６、１０７、１０８、１１０、１１１、１１３、１１４、１１５、１１６、１２０、１２３、１２５、１２７、１２８、１３１、１３２、１３３、１３４、１３５、１３７、１３８、１４１、１４２、１４３、１４４、１４８、１５０、１５１、１５２、１５４、１５５、１５７、１５８、１６０、１６１、１６３、１６４、１６７、１７０、１７１、１７２、１７３、１７５、１７６、１７７、１８１、２２９、２３１、２３７、２３９、２４０、２４１、２４２、２４９、２５２、２５３、２５５、２５７、２６０、２６３、２６４、２６６、２６７、２７４、２７６、２８０、２８６、２８９、２９９、３０６、３０９、３１１、３２３、３３３、３２４、３２５、３２６、３３４、３３５、３３６、３３７、３４０、３４３、３４４、３４７、３４８、３５０、３５１、３５３、３５４、３５６、３８８など；および
【０１２５】
Ｃ．Ｉ．ダイレクトレッド１、２、２：１、４、５、６、７、８、１０、１０：１、１３、１４、１５、１６、１７、１８、２１、２２、２３、２４、２６、２６：１、２８、２９、３１、３３、３３：１、３４、３５、３６、３７、３９、４２、４３、４３：１、４４、４６、４９、５２、５３、５４、５５、５６、５７、５８、５９、６０、６１、６２、６７、６７：１、６８、７２、７２：１、７３、７４、７５、７７、７８、７９、８１、８１：１、８５、８６、８８、８９、９０、９７、１００、１０１、１０１：１、１０７、１０８、１１０、１１４、１１６、１１７、１２０、１２１、１２２、１２２：１、１２４、１２５、１２７、１２７：１、１２７：２、１２８、１２９、１３０、１３２、１３４、１３５、１３６、１３７、１３８、１４０、１４１、１４８、１４９、１５０、１５２、１５３、１５４、１５５、１５６、１６９、１７１、１７２、１７３、１７４、１７５、１７６、１７７、１７９、１８０、１８１、１８２、１８５、１８６、１８９、２０４、２１１、２１３、２１４、２１７、２２２、２２４、２２５、２２６、２２７、２２８、２３２、２３６、２３７、２３８などである。
【０１２６】
イエロー染料の具体例は、Ｃ．Ｉ．アシッドイエロー２、３、４、５、６、７、８、９、９：１、１０、１１、１１：１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１７：１、１８、２０、２１、２２、２３、２５、２６、２７、２９、３０、３１、３３、３４、３６、３８、３９、４０、４０：１、４１、４２、４２：１、４３、４４、４６、４８、５１、５３、５５、５６、６０、６３、６５、６６、６７、６８、６９、７２、７６、８２、８３、８４、８６、８７、９０、９４、１０５、１１５、１１７、１２２、１２７、１３１、１３２、１３６、１４１、１４２、１４３、１４４、１４５、１４６、１４９、１５３、１５９、１６６、１６８、１６９、１７２、１７４、１７５、１７８、１８０、１８３、１８７、１８８、１８９、１９０、１９１、１９２、１９９など；および
【０１２７】
Ｃ．Ｉ．ダイレクトイエロー１、２、４、５、１２、１３、１５、２０、２４、２５、２６、３２、３３、３４、３５、４１、４２、４４、４４：１、４５、４６、４８、４９、５０、５１、６１、６６、６７、６９、７０、７１、７２、７３、７４、８１、８４、８６、９０、９１、９２、９５、１０７、１１０、１１７、１１８、１１９、１２０、１２１、１２６、１２７、１２９、１３２、１３３、１３４などである。
【０１２８】
オレンジ染料の具体例は、Ｃ．Ｉ．アシッドオレンジ１、１：１、４、５、６、７、８、９、１０、１２、１４、１６、１７、１８、１９、２０、２０：１、２２、２３、２４、２４：１、２５、２７、２８、２８：１、３０、３１、３３、３５、３６、３７、３８、４１、４５、４９、５０、５１、５４、５５、５６、５９、７９、８３、９４、９５、１０２、１０６、１１６、１１７、１１９、１２８、１３１、１３２、１３４、１３６、１３８など；および
【０１２９】
Ｃ．Ｉ．ダイレクトオレンジ１、２、３、４、５、６、７、８、１０、１３、１７、１９、２０、２１、２４、２５、２６、２９、２９：１、３０、３１、３２、３３、４３、４９、５１、５６、５９、６９、７２、７３、７４、７５、７６、７９、８０、８３、８４、８５、８７、８８、９０、９１、９２、９５、９６、９７、９８、１０１、１０２、１０２：１、１０４、１０８、１１２、１１４などである。
【０１３０】
青色染料の具体例は、Ｃ．Ｉ．アシッドブルー１、２、３、４、５、６、７、８、９、１１、１３、１４、１５、１７、１９、２１、２２、２３、２４、２５、２６、２７、２９、３４、３５、３７、４０、４１、４１：１、４３、４４、４５、４６、４７、４８、４９、５０、５１、５２、５３、５４、５５、５６、５７、５８、６２、６２：１、６３、６４、６５、６８、６９、７０、７３、７５、７８、７９、８０、８１、８３、８４、８５、８６、８８、８９、９０、９０：１、９１、９２、９３、９５、９６、９９、１００、１０３、１０４、１０８、１０９、１１０、１１１、１１２、１１３、１１４、１１６、１１７、１１８、１１９、１２０、１２３、１２４、１２７、１２７：１、１２８、１２９、１３５、１３７、１３８、１４３、１４５、１４７、１５０、１５５、１５９、１６９、１７４、１７５、１７６、１８３、１９８、２０３、２０４、２０５、２０６、２０８、２１３、２２７、２３０、２３１、２３２、２３３、２３５、２３９、２４５、２４７、２５３、２５７、２５８、２６０、２６１、２６２、２６４、２６６、２６９、２７１、２７２、２７３、２７４、２７７、２７８、２８０など；および
【０１３１】
Ｃ．Ｉ．ダイレクトブルー１、２、３、４、６、７、８、８：１、９、１０、１２、１４、１５、１６、１９、２０、２１、２１：１、２２、２３、２５、２７、２９、３１、３５、３６、３７、４０、４２、４５、４８、４９、５０、５３、５４、５５、５８、６０、６１、６４、６５、６７、７９、９６、９７、９８：１、１０１、１０６、１０７、１０８、１０９、１１１、１１６、１２２、１２３、１２４、１２８、１２９、１３０、１３０：１、１３２、１３６、１３８、１４０、１４５、１４６、１４９、１５２、１５３、１５４、１５６、１５８、１５８：１、１６４、１６５、１６６、１６７、１６８、１６９、１７０、１７４、１７７、１８１、１８４、１８５、１８８、１９０、１９２、１９３、２０６、２０７、２０９、２１３、２１５、２２５、２２６、２２９、２３０、２３１、２４２、２４３、２４４、２５３、２５４、２６０、２６３などである。
【０１３２】
紫色染料の具体例は、Ｃ．Ｉ．アシッドバイオレット１、２、３、４、５、５：１、６、７、７：１、９、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１９、２０、２１、２３、２４、２５、２７、２９、３０、３１、３３、３４、３６、３８、３９、４１、４２、４３、４７、４９、５１、６３、６７、７２、７６、９６、９７、１０２、１０６、１０９など；および
【０１３３】
Ｃ．Ｉ．ダイレクトバイオレット１、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４、１６、１７、１８、２１、２２、２５、２６、２７、２８、２９、３０、３１、３２、３４、３５、３６、３７、３８、３９、４０、４１、４２、４３、４５、５１、５２、５４、５７、５８、６１、６２、６３、６４、７１、７２、７７、７８、７９、８０、８１、８２、８３、８５、８６、８７、８８、９３、９７などである。
【０１３４】
緑色染料の具体例は、Ｃ．Ｉ．アシッドグリーン２、３、５、６、７、８、９、１０、１１、１３、１４、１５、１６、１７、１８、１９、２０、２２、２５、２５：１、２７、３４、３６、３７、３８、４０、４１、４２、４４、５４、５５、５９、６６、６９、７０、７１、８１、８４、９４、９５など；および
【０１３５】
Ｃ．Ｉ．ダイレクトグリーン１１、１３、１４、２４、３０、３４、３８、４２、４９、５５、５６、５７、６０、７８、７９、８０などである。
【０１３６】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の総使用量１００重量部に対して、該染料（Ｆ）の使用量は３〜３０重量部であり、好ましくは４〜２５重量部であり、より好ましくは５〜２０重量部である。
【０１３７】
本発明の機能効果に影響を与えないことを前提として、本発明の感光性樹脂組成物は、添加剤（Ｇ）をさらに選択的に添加することができる。添加剤（Ｇ）の具体例は、充填剤、ポリマー（上記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）以外のポリマーを意味する）、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤または凝集防止剤を含む。
【０１３８】
充填剤の具体例は、ガラスまたはアルミニウムなどを含む。
【０１３９】
ポリマーの具体例は、ポリビニルアルコール、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフルオロアルキルアクリレートまたは上記ポリマーの組合せを含む。
【０１４０】
密着促進剤の具体例は、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メチルプロペニルオキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシランまたは上記化合物の組合せを含む。
【０１４１】
酸化防止剤の具体例は、２，２−チオビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノールまたは上記化合物の組合せを含む。
【０１４２】
紫外線吸収剤の具体例は、２−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５−クロロフェニルアジド、アルコキシフェノン（ａｌｋｏｘｙ  ｐｈｅｎｏｎｅ）または上記化合物の組合せを含む。
【０１４３】
凝集防止剤の具体例は、ポリアクリル酸ナトリウム（ｓｏｄｉｕｍ  ｐｏｌｙａｃｒｙｌａｔｅ）などを含む。
【０１４４】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の総使用量１００重量部に対して、該添加剤（Ｇ）の使用量は１〜１０重量部であり、好ましくは１．５〜９重量部であり、より好ましくは２〜８重量部である。
【０１４５】
本発明はさらに、前記カラーフィルター用感光性樹脂組成物を用いて保護膜を形成するカラーフィルターの製造方法を提供する。
【０１４６】
本発明はさらに、前記カラーフィルター用感光性樹脂組成物を用いて画素層を形成するカラーフィルターの製造方法を提供する。
【０１４７】
本発明は、また、前記方法により作製されたカラーフィルターを提供する。
【０１４８】
好ましくは、該カラーフィルターは画素層を含み、かつ該画素層は前記カラーフィルター用感光性樹脂組成物により形成される。
【０１４９】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、エチレン性不飽和基含有化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）および有機溶媒（Ｄ）を攪拌器の中で攪拌し、混合物を均等に混合して溶液状態にする。そして、必要であれば、着色剤（Ｅ）、染料（Ｆ）または添加剤（Ｇ）を添加してもよい。上述した成分を均等に混合した後、溶液状態の感光性樹脂組成物を得ることができる。
【０１５０】
本発明は、透明の感光性樹脂組成物の製造方法に限定する意図はなく、例えば、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の一部およびエチレン性不飽和基含有化合物（Ｂ）の一部を有機溶媒（Ｄ）の媒体の一部に分散させて分散液を形成してから、その中に残りのアルカリ可溶性樹脂（Ａ）、残りのエチレン性不飽和基含有化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）および有機溶媒（Ｄ）を混合して感光性樹脂組成物を取得してもよい。
【０１５１】
本発明は、カラーの感光性樹脂組成物の製造方法に限定する意図はなく、例えば、カラー感光性樹脂組成物は、着色剤（Ｅ）をカラーフィルターの感光性樹脂組成物の中に直接添加して分散させることによって製造するか、あるいは、着色剤（Ｅ）の一部をアルカリ可溶性樹脂（Ａ）および有機溶媒（Ｄ）の一部に分散させて着色剤分散液を形成してから、その中に残りのアルカリ可溶性樹脂（Ａ）、エチレン性不飽和基含有化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）および有機溶媒（Ｄ）を混合することによって製造することができる。着色剤（Ｅ）の分散プロセスは、ビーズミル（beads mill）やロールミル（roll mill）等のミキサーを使用することによって、上述した成分を混合することができる。
【０１５２】
スピンコーティング、流延コーティング、ロールコーティング等を行って、基板の上に本発明の溶液状態の感光性樹脂組成物溶液をコーティングする。基板の例は、無アルカリガラス、ソーダライムガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、石英ガラス、透明導電膜を付着したこれらのガラス等の液晶ディスプレイ用ガラス；光電変換装置（例えば、固体撮像デバイス）用の基板（例えば、シリコン基板）；赤、緑、青等の画素着色層を隔離することのできる遮光用ブラックマトリックス（black matrix）が形成された基板を含んでもよい。
【０１５３】
コーティングプロセスの後、減圧乾燥プロセスにより感光性樹脂組成物溶液に含まれる有機溶媒の大部分を除去してから、プリベーク（pre-bake）処理により残りの有機溶媒を完全に除去し、プリベークコーティング膜を形成する。プロセスの間、減圧乾燥プロセスおよびプリベーク処理の操作条件は、各成分の種類と配合率によって変わる。一般的に、減圧乾燥プロセスは、０ｍｍＨｇ〜２００ｍｍＨｇの圧力で１秒〜６０秒間行われ、プリベーク処理は、７０℃〜１００℃の温度で１分〜１５分間行われる。
【０１５４】
プリベーク処理の後、所定のパターンを有するフォトマスクを使用してプリベークコーティング膜に対し、露光プロセスを行う。露光プロセスに使用する光は、好ましくは、ｇ線、ｈ線、ｉ線等の紫外（ＵＶ）線であり、紫外線を出射する装置の例は、（超）高圧水銀ランプおよびメタルハライドランプである。
【０１５５】
露光プロセスの後、２３±２℃の温度で約１５秒〜５分間、プリベークコーティング膜を現像液中に浸し、プリベークコーティング膜の不必要な部分を除去して、基板上に所定のパターンを形成する。現像液は、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウムメチル、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、水酸化テトラエチルアンモニウム、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８‐ジアザビシクロ［５，４，０］‐７‐ウンデセン等のアルカリ水溶液含有アルカリ化合物であってもよく、濃度は、０．００１ｗｔ％〜１０ｗｔ％であり、好ましくは、０．００５ｗｔ％〜５ｗｔ％であり、より好ましくは、０．０１ｗｔ％〜１ｗｔ％である。
【０１５６】
そして、基板上のパターンを水で洗った後、圧縮空気または窒素を用いてパターンを乾燥させる。最後に、ホットプレートやオーブン等の加熱装置を使用して、パターンをポストベーク（post-bake）する。加熱温度は、１５０℃〜２５０℃の範囲に設定する。ホットプレートを使用する時の加熱時間は、５分〜６０分であり、オーブンを使用する時の加熱時間は、１５分〜１５０分である。それにより、パターンが固定され、画素着色層が形成される。上述したステップを繰り返すことにより、赤、緑、青色画素層等の画素着色層を基板の上に順番に形成することができる。
【０１５７】
本発明の保護膜の形成方法は、赤、緑、青色画素層等の画素着色層が形成された基板の上に上述した透明感光性樹脂組成物をコーティングした後、プリベーク処理等の加熱プロセスを行って中の溶媒を除去し、カラーフィルター層の保護膜を形成する方法である。
【０１５８】
上述したコーティング方法の例は、スプレーコーティング（spray coating）法、ロールコーティング（roller coating）法、スピンコーティング（spin coating）法、バーコーティング（bar coating）法、インクジェット（ink jet）法等を含む。 これらのコーティング法において、コーティングプロセスは、スピンコータ（spin coater）、スピンレスコーティング装置（spin-less coating machine）, スリットダイコーティング装置（slit-die coating machine）等を使用して行うのが好ましい。
【０１５９】
上述したプリベーク処理の条件は、各成分の種類と配合率によって変わる。一般的に、プリベーク処理は、７０℃〜９０℃の温度で１分〜１５分間行う。プリベーク処理を行った後、プリベークコーティング膜の厚さは、０．１５μｍ〜８．５μｍであり、好ましくは、０．１５μｍ〜６．５μｍであり、最も好ましくは、０．１５μｍ〜４．５μｍである。理解すべきこととして、プリベークコーティング膜の厚さは、溶媒が除去された後の厚さを指す。
【０１６０】
プリベークコーティング膜を形成した後、ホットプレートやオーブン等の加熱装置を使用して、加熱プロセスを行う。加熱プロセスは、一般的に、１５０℃〜２５０℃の温度で行い、ホットプレートを使用する時の加熱時間は、５分〜３０分であり、オーブンを使用する時の加熱時間は、３０分〜９０分である。
【０１６１】
上述した硬化型樹脂組成物に光重合開始剤を使用する時、必要であれば、硬化型樹脂組成物を基板の表面にコーティングし、プリベーク処理により溶媒を除去してプリベークコーティング膜を形成した後、プリベークコーティング膜を露光してもよい。
【０１６２】
露光プロセスに使用する光は、可視光、紫外線、遠紫外線、電子ビーム（electron beam）、Ｘ線等を含んでもよく、好ましくは、１９０ｎｍ〜４５０ｎｍの波長を有する紫外線である。
【０１６３】
露光プロセスの露光量は、好ましくは、１００Ｊ／ｍ2〜２０，０００Ｊ／ｍ2であり、より好ましくは、１５０Ｊ／ｍ2〜１０，０００Ｊ／ｍ2である。
【０１６４】
上述した露光プロセスの後、ホットプレートやオーブン等の加熱装置を使用して、加熱プロセスを選択的に行うことができる。加熱プロセスの温度は、通常、１５０℃〜２５０℃であり、ホットプレートを使用する時の加熱時間は、５分〜３０分であり、オーブンを使用する時の加熱時間は、３０分〜９０分である。
【０１６５】
赤、緑、青色画素層等の画素着色層および保護膜を形成した後、温度が２２０℃〜２５０℃の真空環境で保護膜の表面にスパッタリングを行い、ＩＴＯ保護膜を形成する。必要であれば、ＩＴＯ保護膜に対し、エッチングおよび配線を行ってもよい。そして、ＩＴＯ保護膜の表面に配向膜を配置する。それにより、本発明の感光性樹脂組成物を硬化させた硬化物を含むカラーフィルターを製造することができる。
【０１６６】
本発明は、さらに、液晶表示装置を提供する。その製造方法は、以下の通りである。
【０１６７】
上述したカラーフィルターの製造方法により形成されたカラーフィルターを有する基板と薄膜トランジスタ（thin film transistor, TFT）を設置した駆動基板を、セルギャップ（cell gap）を開けて対向配置する。封止剤で２つの基板の周辺部を接着して、基板の表面と封止剤によって定義されたセルギャップに液晶を充填し、注入孔を密封して液晶セル（cell）を形成する。その後、液晶セルの外側、つまり、各基板の液晶側と反対側の表面に偏光板を付着させて、液晶表示装置を製造する。本発明は、ここで説明した液晶および配向膜に限定する意図はなく、本分野において周知の任意の種類の液晶および配向膜を使用してもよい。
【実施例】
【０１６８】
以下、実施例を挙げて本発明を説明するが、本発明はこれらの実施形態の内容に限定されるものではない。
製造例１
【０１６９】
反応器においては、イソシアヌル酸１０６ｇと水４２０ｍＬとが添加されたスラリー（ｓｌｕｒｒｙ）に、さらに４８％水酸化ナトリウム溶液２０６ｇを滴下し、温度６０〜７０℃で２時間反応させ、その後に水を除去し、メタノールで洗浄し、乾燥後にイソシアヌル酸ナトリウム白色結晶１５７．５ｇを得た。次に、撹拌機、凝縮器が取り付けられた反応器に、溶剤としてジメチルホルムアミド４００ｍＬを加え、イソシアヌル酸ナトリウム１５７．５ｇと３−ブロモ−１−プロペン２９０．４ｇとを温度１２０〜１２５℃で６時間反応させ、その後に濾過して無機塩を除去し、トルエンを抽出し、水洗、乾燥および溶剤蒸発を経た後、トリアリルイソシアヌレート（Ｍｗ＝２４９．３）のライトブラウン油状物１５４．６ｇを得た。ジクロロメタン８７００ｍＬを取って溶剤とし、上記トリアリルイソシアヌレート（Ｍｗ＝２４９．３）１５４．６ｇとｍ−クロロ過安息香酸５３５ｇ（３０℃以下）とをゆっくりと冷却器に加えて撹拌し、温度２５℃で４時間反応させた。反応終了後、２０℃以下で１０％亜硫酸水素ナトリウム水溶液３０００ｍＬをゆっくりと加え、濾過して不溶物を除去し、クロロホルムを加えて抽出し、１０％亜硫酸水素ナトリウム溶液、飽和炭酸水素ナトリウム溶液で充分に洗浄し、乾燥、蒸留して溶剤を除去した後、エポキシ化合物を得ることができる。前記生成物をカラムクロマトグラフィーにより精製して透明油状物１１８ｇを得ることができる。得られたエポキシ化合物はすなわちモノアリルジグリシジルイソシアヌレート（ｍｏｎｏａｌｌｙｌｄｉｇｌｙｃｉｄｙｌ  ｉｓｏｃｙａｎｕｒａｔｅ，Ｍｗ＝２８１）であった。
【０１７０】
上記製造されたエポキシ化合物１００重量部、アクリル酸５０重量部、塩化ベンジルトリエチルアンモニウム０．５重量部、２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール０．２重量部およびプロピレングリコールメチルエーテルアセテート１３０重量部を取って連続的に５００ｍＬの四つ口フラスコに添加し、送り速度を２５重量部／分に制御し、かつ温度を１００〜１１０℃の範囲に維持して、１５時間反応させた後、ヒドロキシル基含有化合物（S１）を得ることができる。
製造例２
【０１７１】
撹拌機、凝縮器が取り付けられた反応器に、溶剤としてジメチルホルムアミド４００ｍＬを加え、上記製造例１におけるイソシアヌル酸ナトリウム１５７．５ｇを３−ブロモ−１−プロペン９６．８ｇおよび３−ブロモ−２−メチルプロペン２１６ｇと温度１２０〜１２５℃で６時間反応させ、その後に濾過して無機塩を除去し、トルエンを抽出し、水洗、乾燥および溶剤蒸発を経た後、１−（アリル）−３，５−（２−メチルプロペニル）イソシアヌレート（Ｍｗ＝２７７）のライトブラウン油状物１７１．７ｇを得た。ジクロロメタン８７００ｍＬを取って溶剤とし、１−（アリル）−３，５−（２−メチルプロペニル）イソシアヌレート１７１．７ｇとｍ−クロロ過安息香酸５３５ｇ（３０℃以下）とをゆっくりと冷却器に加えて撹拌し、温度２５℃で４時間反応させた。反応終了後、２０℃以下で１０％亜硫酸水素ナトリウム水溶液３０００ｍＬをゆっくりと加え、濾過して不溶物を除去し、クロロホルムを加えて抽出し、１０％亜硫酸水素ナトリウム溶液、飽和炭酸水素ナトリウム溶液で充分に洗浄し、乾燥、蒸留して溶剤を除去した後、エポキシ化合物を得ることができる。前記生成物はカラムクロマトグラフィーにより精製して透明油状物１２９．８ｇを得ることができる。得られたエポキシ化合物はすなわち１−アリル−３，５−ビス（２−メチル−エポキシプロピル）イソシアヌレート（１−ａｌｌｙｌ−３，５−ｂｉｓ（２−ｍｅｔｈｙｌ−ｅｐｏｘｙ  ｐｒｏｐｙｌ）ｉｓｏｃｙａｎｕｒａｔｅ，Ｍｗ＝３０９）であった。
【０１７２】
上記製造されたエポキシ化合物１００重量部、メタクリル酸５５重量部、塩化ベンジルトリエチルアンモニウム０．５重量部、２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール０．２重量部およびプロピレングリコールメチルエーテルアセテート１３０重量部を取って連続的に５００ｍＬの四つ口フラスコに添加し、送り速度を２５重量部／分に制御し、かつ温度を１００〜１１０℃の範囲に維持して、１５時間反応させた後、ヒドロキシル基含有化合物（S２）を得ることができる。
製造例３
【０１７３】
撹拌機、凝縮器が取り付けられた反応器に、溶剤としてジメチルホルムアミド４００ｍＬを加え、上記製造例１におけるイソシアヌル酸ナトリウム１５７．５ｇを３−ブロモ−１−プロペン１９３．６ｇおよび３−ブロモ−２−メチルプロペン１０８ｇと温度１２０〜１２５℃で６時間反応させ、その後に濾過して無機塩を除去し、トルエンを抽出し、水洗、乾燥および溶剤蒸発を経た後、１−（２−メチルプロペニル）−３，５−（３−プロペニル）イソシアヌレート（Ｍｗ＝２６３．３）のライトブラウン油状物１６３．２ｇを得た。ジクロロメタン８７００ｍＬを取って溶剤とし、１−（２−メチルプロペニル）−３，５−（３−プロペニル）イソシアヌレート１６３．２ｇとｍ−クロロ過安息香酸５３５ｇ（３０℃以下）とをゆっくりと冷却器に加えて撹拌し、温度２５℃で４時間反応させた。反応終了後、２０℃以下で１０％亜硫酸水素ナトリウム水溶液３０００ｍＬをゆっくりと加え、濾過して不溶物を除去し、クロロホルムを加えて抽出し、１０％亜硫酸水素ナトリウム溶液、飽和炭酸水素ナトリウム溶液で充分に洗浄し、乾燥、蒸留して溶剤を除去した後、エポキシ化合物を得ることができる。前記生成物はカラムクロマトグラフィーにより精製して透明油状物１２３．９ｇを得ることができる。得られたエポキシ化合物はすなわち１−（２−メチルプロペニル）−３，５−ジグリシジルイソシアヌレート（１−（２−ｍｅｔｈｙｌ−ｐｒｏｐｅｎｙｌ）−３，５−ｄｉｇｌｙｃｉｄｙｌ  ｉｓｏｃｙａｎｕｒａｔｅ，Ｍｗ＝２９５）であった。
【０１７４】
上記製造されたエポキシ化合物１００重量部、２−メタクリロイルオキシエチルコハク酸（Ｍｗ＝２３０）１５５重量部、メトキシフェノール（ｍｅｔｈｏｘｙｐｈｅｎｏｌ）０．３重量部、トリフェニルホスフィン０．２重量部およびプロピレングリコールメチルエーテルアセテート１３０重量部を取って反応フラスコに入れ、温度を９５℃に維持して、９時間反応させた後、ヒドロキシル基含有化合物（S３）を得ることができる。
製造例４
【０１７５】
撹拌機、凝縮器が取り付けられた反応器に、溶剤としてジメチルホルムアミド４００ｍＬを加え、上記製造例１におけるイソシアヌル酸ナトリウム１５７．５ｇと３−ブロモ−２−メチルプロペン３２４ｇとを温度１２０〜１２５℃で６時間反応させ、その後に濾過して無機塩を除去し、トルエンを抽出し、水洗、乾燥および溶剤蒸発を経た後、トリス（２−メチルプロペニル）イソシアヌレート（Ｍｗ＝２９１）のライトブラウン油状物１８０．４ｇを得た。ジクロロメタン８７００ｍＬを取って溶剤とし、トリス（２−メチルプロペニル）イソシアヌレート１８０．４ｇとｍ−クロロ過安息香酸５３５ｇ（３０℃以下）とをゆっくりと冷却器に加えて撹拌し、温度２５℃で４時間反応させた。反応終了後、２０℃以下で１０％亜硫酸水素ナトリウム水溶液３０００ｍＬをゆっくりと加え、濾過して不溶物を除去し、クロロホルムを加えて抽出し、１０％亜硫酸水素ナトリウム溶液、飽和炭酸水素ナトリウム溶液で充分に洗浄し、乾燥、蒸留して溶剤を除去した後、エポキシ化合物を得ることができる。前記生成物はカラムクロマトグラフィーにより精製して透明油状物１３５．７ｇを得ることができる。得られたエポキシ化合物はすなわち１−（２−メチルプロペニル）−３，５−ビス（２−メチル−エポキシプロピル）イソシアヌレート（１−（２−ｍｅｔｈｙｌ−ｐｒｏｐｅｎｙｌ）−３，５−ｂｉｓ（２−ｍｅｔｈｙｌ−ｅｐｏｘｙ  ｐｒｏｐｙｌ）ｉｓｏｃｙａｎｕｒａｔｅ，Ｍｗ＝３２３）であった。
【０１７６】
上記製造されたエポキシ化合物１００重量部、２−メタクリロイルオキシブチルコハク酸（Ｍｗ＝２３０）１４０重量部、塩化ベンジルトリエチルアンモニウム０．４重量部、２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール０．１重量部およびプロピレングリコールメチルエーテルアセテート１３０重量部を取って連続的に５００ｍＬの四つ口フラスコに添加し、送り速度を２５重量部／分に制御し、かつ温度を１００〜１１０℃の範囲に維持して、１５時間反応させた後、ヒドロキシル基含有化合物（S４）を得ることができる。
製造例５
【０１７７】
反応器において、イソシアヌル酸１０６ｇと水４２０ｍＬとが添加されたスラリー（ｓｌｕｒｒｙ）に、さらに４８％水酸化ナトリウム溶液２０６ｇを滴下し、温度６０〜７０℃で２時間反応させ、その後に水を除去し、メタノールで洗浄し、乾燥後にイソシアヌル酸ナトリウム白色結晶１５７．５ｇを得た。次に、撹拌機、凝縮器が取り付けられた反応器に、溶剤としてジメチルホルムアミド４００ｍＬを加え、イソシアヌル酸ナトリウム１５７．５ｇと５−ブロモ−１−ペンテン３６１．４ｇとを温度１２０〜１２５℃で６時間反応させ、その後に濾過して無機塩を除去し、トルエンを抽出し、水洗、乾燥および溶剤蒸発を経た後、トリス（５−ペンテニル）イソシアヌレートのライトブラウン油状物２０５ｇを得た。ジクロロメタン８７００ｍＬを取って溶剤とし、トリス（５−ペンテニル）イソシアヌレート（Ｍｗ＝３３３）２０５ｇとｍ−クロロ過安息香酸８１５ｇ（３０℃以下）をゆっくりと冷却器に加えて撹拌し、温度２５℃で４時間反応させた。反応終了後、２０℃以下で１０％亜硫酸水素ナトリウム水溶液３０００ｍＬをゆっくりと加え、濾過して不溶物を除去し、クロロホルムを加えて抽出し、１０％亜硫酸水素ナトリウム溶液、飽和炭酸水素ナトリウム溶液で充分に洗浄し、乾燥、蒸留して溶剤を除去した後、エポキシ化合物を得ることができる。前記生成物はカラムクロマトグラフィーにより精製して透明油状物１６１．７ｇを得ることができる。得られたエポキシ化合物は式（１−２）の通りであり、すなわちトリス（４，５−エポキシペンチル）イソシアヌレート（Ｍｗ＝３８１）であった。
【０１７８】
上記製造されたエポキシ化合物１００重量部、アクリル酸６０重量部、塩化ベンジルトリエチルアンモニウム０．６重量部、２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール０．２重量部およびプロピレングリコールメチルエーテルアセテート１３０重量部を取って連続的に５００ｍＬの四つ口フラスコに添加し、送り速度を２５重量部／分に制御し、かつ温度を１００〜１１０℃の範囲に維持して、１５時間反応させた後、ヒドロキシル基含有化合物（S５）を得ることができる。
合成例：第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）の合成例
【０１７９】
表１に示すように、以下、第１アルカリ可溶性樹脂（Ａ−１）の合成例Ａ−１−１から合成例Ａ−１−８を説明する。
合成例Ａ−１−１
【０１８０】
上記製造例１のヒドロキシル基含有化合物（S１）１．０モル、塩化ベンジルトリエチルアンモニウム１．３ｇ、２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール０．４ｇを、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート５００ｇに溶解し、３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物０．２モルおよびコハク酸無水物１．６モルを同時に添加し、１１０℃に加熱して、２時間反応させると（同時に添加する方法）、酸価が１７０ｍｇＫＯＨ／ｇ、数平均分子量が７１７のアルカリ可溶性樹脂（以下、Ａ−１−１と略称する）を得ることができる。
合成例Ａ−１−２
【０１８１】
上記製造例２のヒドロキシル基含有化合物（S２）１．０モル、塩化ベンジルトリエチルアンモニウム１．４ｇ、２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール０．５ｇを、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート６００ｇに溶解し、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物０．３モルを添加し、９０℃で２時間反応させた後、次に、フタル酸無水物１．４モルを添加し、さらに９０℃で４時間反応させると（分けて添加する方法）、酸価が１４０ｍｇＫＯＨ／ｇ、数平均分子量が１２０５のアルカリ可溶性樹脂（以下、Ａ−１−２と略称する）を得ることができる。
合成例Ａ−１−３〜合成例Ａ−１−８
【０１８２】
合成例Ａ−１−３および合成例Ａ−１−８の第１アルカリ可溶性樹脂は合成例Ａ−１−１および合成例Ａ−１−２と同じステップで製造され、第１アルカリ可溶性樹脂の成分の種類およびその使用量、反応時間、反応温度ならびに反応物の添加時間（表１に示される）を変えた所がそれらと異なる。
【表１】
2016098377.tif 000038
合成例：第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）の合成例
【０１８３】
以下、第２アルカリ可溶性樹脂（Ａ−２）の合成例Ａ−２−１〜合成例Ａ−２−３を説明する。
合成例Ａ−２−１
【０１８４】
まず、フルオレンエポキシ化合物（型番ＥＳＦ−３００、新日鉄化学製、エポキシ当量２３１）１００重量部、アクリル酸３０重量部、塩化ベンジルトリエチルアンモニウム０．３重量部、２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール０．１重量部およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１３０重量部を、連続的に添加する方法で５００ｍＬの四つ口フラスコに加えた。送り速度を２５重量部／分に制御し、かつ反応プロセスの温度を１００〜１１０℃に維持して、１５時間反応させた後、固体成分が５０重量％の淡黄色透明混合液を得ることができる。
【０１８５】
次に、上記混合液１００重量部をエチレングリコールエチルエーテルアセテート２５重量部に添加し、同時にテトラヒドロフタル酸無水物６重量部および３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物１３重量部を添加し、１１０〜１１５℃に加熱した。２時間反応させた後、酸価が９８ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量が３１０３の第２アルカリ可溶性樹脂Ａ−２−１を得ることができる。
合成例Ａ−２−２
【０１８６】
フルオレンエポキシ化合物（新日鉄化学製、型番ＥＳＦ−３００、エポキシ当量為２３１）１００重量部、アクリル酸３０重量部、塩化ベンジルトリエチルアンモニウム０．３重量部、２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール０．１重量部およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１３０重量部を連続的に５００ｍＬの四つ口フラスコに添加した。送り速度を２５重量部／分に制御し、かつ反応プロセスの温度を１００〜１１０℃に維持して、１５時間反応させた後、固体成分濃度が５０重量％の淡黄色透明混合液を得ることができる。
【０１８７】
次に、上記混合液１００重量部をエチレングリコールエチルエーテルアセテート２５重量部に溶解し、同時に３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物１３重量部を添加し、９０〜９５℃に加熱した。２時間反応させた後、テトラヒドロフタル酸無水物６重量部を加え、かつ９０〜９５℃で４時間反応させると、酸価が９９．０ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量が４６２４の第２アルカリ可溶性樹脂Ａ−２−２を得ることができる。
合成例Ａ−２−３
【０１８８】
エポキシ化合物（日本化薬（株）製、型番ＮＣ−３０００、エポキシ当量２８８）４００重量部、アクリル酸１０２重量部、メトキシフェノール（ｍｅｔｈｏｘｙｐｈｅｎｏｌ）０．３重量部、トリフェニルホスフィン５重量部およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２６４重量部を反応フラスコに加え、温度を９５℃に維持した。９時間反応させた後、酸価が２．２ｍｇＫＯＨ／ｇの中間生成物を得ることができる。次に、テトラヒドロフタル酸無水物（ｔｅｔｒａｈｙｄｒｏｐｈｔｈａｌｉｃ  ａｎｈｙｄｒｉｄｅ）１５１重量部を加え、９５℃で４時間反応させると、酸価が１０２ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量が５２１０の第２アルカリ可溶性樹脂Ａ−２−３を得ることができる。
合成例：第３アルカリ可溶性樹脂（Ａ−３）の合成例
【０１８９】
表２に示すように、以下、第３アルカリ可溶性樹脂（Ａ−３）の合成例Ａ−３−１〜合成例Ａ−３−４を説明する。
合成例Ａ−３−１
【０１９０】
容積１０００ｍＬの四つ口フラスコに窒素ガス入口、撹拌器、加熱器、凝縮管および温度計を設置し、窒素ガスを導入した。その後、２−メタクリロイルエトキシサクシネート（以下、ＨＯＭＳと略称する）５重量部、ジシクロペンテニルアクリレート（ｄｉｃｙｃｌｏｐｅｎｔｅｎｙ  ａｃｒｙｌａｔｅ、以下、ＦＡ−５１１Ａと略称する）５重量部、スチレンモノマー（以下、ＳＭと略称する）４０重量部およびメチルメタクリレート（以下、ＭＭＡと略称する）５０重量部を３−エトキシプロピオン酸エチル（以下、ＥＥＰと略称する）２００重量部に溶解し、モノマー混合物の供給方法は連続的に添加する方式である。
【０１９１】
均一に撹拌した後、油浴の温度を１００℃に上げた。その後、重合開始剤２，２’−アゾビス（２−メチルブチロニトリル）（以下、ＡＭＢＮと略称する）６重量部をＥＥＰに溶解し、５等分の分量を１時間内に間隔を置いて四首フラスコに添加した。
【０１９２】
重合プロセスの反応温度を１００℃に維持した。６時間が経ってから、重合生成物を四首フラスコから取り出し、溶剤を揮発して除去すると、第３アルカリ可溶性樹脂Ａ−３−１を作製することができる。
合成例Ａ−３−２〜合成例Ａ−３−４
【０１９３】
合成例Ａ−３−２〜合成例Ａ−３−４の第３アルカリ可溶性樹脂は合成例Ａ−３−１と同じステップで製造され、第３アルカリ可溶性樹脂の成分の種類およびその使用量、反応時間、反応温度ならびに反応物の添加時間を変えた所がそれと異なり（表２に示される）、表２における標記番号に対応する化合物は下記の通りである。また、表２においては、「連続添加」とは、共重合用モノマーを連続的に反応器に供給し、持続的に反応させて連続的に取り出すことを意味する。「一括添加」とは、共重合用モノマーを反応器に一括供給し、反応が終了した後に一括して取り出すことを意味する。
実施例１
【０１９４】
第１アルカリ可溶性樹脂Ａ−１−１（以下、Ａ−１−１と略称する）１００重量部、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート（以下、Ｂ−３と略称する）４０重量部、２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルホリノ−１−プロパノン（以下、Ｃ−１と略称する）３重量部、２，２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−ビイミダゾール（以下、Ｃ−２と略称する）５重量部、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（以下、Ｃ−３と略称する）２重量部、重量部比が８０／２０のＣ．Ｉ．ピグメントレッド２５４とＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９との混合物（以下、Ｅ−１と略称する）２０重量部、Ｃ．Ｉ．ダイレクトレッド１２７（以下、Ｆ−１と略称する）３重量部および３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン（以下、Ｇ−１と略称する）１重量部を３−エトキシプロピオン酸エチル（以下、Ｄ−１と略称する）５００重量部に加え、かつ揺動式撹拌器（ｓｈａｋｉｎｇ  ｔｙｐｅ  ｓｔｉｒｒｅｒ）で均一に撹拌した後、実施例１の感光性樹脂組成物を作製することができる。作製された感光性樹脂組成物を後述の各評価方法で評価し、その結果を表３に示す。
実施例２〜１４および比較例１〜比較例６
【０１９５】
実施例２〜１４および比較例１〜６は、感光性樹脂組成物中の原料の種類および使用量を変えたこと以外は、実施例１の感光性樹脂組成物の作製方法と同じであり、その配合方法および評価結果をそれぞれ表３および表４に示し、ここでは、さらに説明しない。
【表２】
2016098377.tif 000039
【表３−１】
2016098377.tif 000040
【表３−２】
2016098377.tif 000041
【表４−１】
2016098377.tif 000042
【表４−２】
2016098377.tif 000043
2016098377.tif 000044
評価方法
高精度パターンの直線性
【０１９６】
上記各実施例および比較例の感光性樹脂組成物をスピンコーティングの方法で長さ、幅がともに１００ｍｍのガラス基板上にコーティングする。その後、約１００ｍｍ水銀柱（ｍｍＨｇ）の圧力下で約３０秒間減圧乾燥する。次に、上記ガラス基板を８０℃で３分間プリベークして、膜厚が２．５μｍのプリベークコーティング膜を形成する。次に、幅２５μｍ（ピッチ（ｐｉｔｃｈ）５０μｍ）のストライプ状パターンを有するフォトマスクを介して、上記プリベークコーティング膜を、露光機（Ｃａｎｏｎ製、型番ＰＬＡ−５０１Ｆ）により３００ミリジュール／平方センチメートル（ｍＪ／ｃｍ２）の紫外光で照射する。紫外光により照射した後、プリベークコーティング膜を２３℃の現像液に２分間浸漬する。その後に、上記プリベークコーティング膜を純水で洗浄し、２００℃でプリベークコーティング膜を８０分間ベークすると、ガラス基板上に膜厚が２．０μｍの感光性樹脂層を形成することができる。
【０１９７】
上記方法で形成されたストライプ状パターンを光学顕微鏡により観察し、下記基準に基づいて高精度パターンの直線性を評価する。
◎：９５％以上のストライプ状パターンの直線性が良好である。
○：９０％以上、９５％未満のストライプ状パターンの直線性が良好である。
△：８０％以上、９０％未満のストライプ状パターンの直線性が良好である。
×：８０％未満のストライプ状パターンの直線性が良好である。
熱溶剤膜厚変化率
【０１９８】
溶液状のカラーフィルター用感光性樹脂組成物を、スピンコーティングの方法で寸法が１００ｍｍ×１００ｍｍのガラス基板上にコーティングし、約１００ｍｍＨｇの圧力下で約３０秒間減圧乾燥する。その後、温度８０℃で２分間プリベークして、膜厚が２．５μｍのプリベークコーティング膜を形成する。次に、該プリベークコーティング膜をエネルギー６０ｍＪ／ｃｍ２の紫外光で照射する。その後に、露光後のプリベークコーティング膜を２３℃の現像液に浸漬する。１分が経ったら、純水で洗浄し、２３０℃でポストベーク処理を行う。ポストベーク処理を行った後、薄膜の厚み（Ｔｉ）を測定し、薄膜を６０℃のプロピレングリコールメチルエーテルアセテート溶剤に浸漬する。６分が経ったら、薄膜の厚み（Ｔｆ）を測定し、下記式（Ｉ）で膜厚変化率を計算して、下記基準に基づいて評価する：
【数１】
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☆：膜厚変化率＜１％；
◎：１％≦膜厚変化率＜２％；
○：２％≦膜厚変化率＜３％；
△：３％≦膜厚変化率＜４％；
×：４％≦膜厚変化率。
【０１９９】
上記実施例は、本発明の原理およびその機能効果を説明するためだけのものであり、本発明を制限するものではない。当業者が上記実施例に対して行う修正や変化は依然として本発明の主旨に背かない。本発明の権利範囲は後述の特許請求の範囲に示されるべきである。