(57)【要約】【課題】振動型駆動装置において、圧電素子とフレキシブル基板との間に隙間を設けずに、フレキシブル基板を大きくすることによる圧電素子の振動の阻害を抑制する。【解決手段】振動型駆動装置１００は、電気−機械エネルギ変換素子１０３および弾性部材１０２を含む振動体１０９と、電気−機械エネルギ変換素子に固着された固着基板部１０４ｅを含むフレキシブル基板１０４とを有し、電気−機械エネルギ変換素子により弾性部材に振動を励起することで、振動体と弾性部材に接触する接触体１０１とを相対移動させる。固着基板部は、該固着基板部のうち振動の腹１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｃの位置を含む第１の部分の剛性を該第１の部分とは異なる第２の部分の剛性よりも低くする剛性低減部１４０ａ，１４０ｂ，１４０ｃを有する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気−機械エネルギ変換素子および弾性部材を含む振動体と、前記電気−機械エネルギ変換素子に固着された固着基板部を含むフレキシブル基板とを有し、前記電気−機械エネルギ変換素子により前記弾性部材に振動を励起することで、前記振動体と前記弾性部材に接触する接触体とを相対移動させる振動型駆動装置であって、
前記固着基板部は、該固着基板部のうち前記振動の腹の位置を含む第１の部分の剛性を該第１の部分とは異なる第２の部分の剛性よりも低くする剛性低減部を有することを特徴とする振動型駆動装置。
【請求項２】
前記剛性低減部は、前記第１の部分の剛性を前記第２の部分の剛性よりも低くする形状を有することを特徴とする請求項１に記載の振動型駆動装置。
【請求項３】
前記剛性低減部は、凹形状、穴形状または溝形状を有することを特徴とする請求項２に記載の振動型駆動装置。
【請求項４】
前記剛性低減部は、前記第２の部分に比べて厚さが薄いことを特徴とする請求項１または２に記載の振動型駆動装置。
【請求項５】
前記振動は、互いに方向が異なる２つの振動モードを含み、
前記固着基板部は、前記２つの振動モードのうち少なくとも一方に対する前記剛性低減部を有することを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の振動型駆動装置。
【請求項６】
前記振動は、第１の振動モードと、前記第１の振動モードとは方向が異なるとともに該第１の振動モードよりも振幅が大きい第２の振動モードとを含み、
前記固着基板部は、前記第１および第２の振動モードのそれぞれに対する前記剛性低減部を有しており、
前記第２の振動モードに対する前記第１の部分の剛性が、前記第１の振動モードに対する前記第１の部分の剛性よりも低いことを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の振動型駆動装置。
【請求項７】
前記第１の振動モードは１次の振動モードであり、前記第２の振動モードは２次の振動モードであることを特徴とする請求項６に記載の振動型駆動装置。
【請求項８】
前記第２の振動モードに対する前記剛性低減部の面積が、前記第１の振動モードに対する前記剛性低減部の面積よりも大きいことを特徴とする請求項６または７に記載の振動型駆動装置。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか一項に記載の振動型駆動装置と、
該振動型駆動装置からの駆動力により駆動される被駆動部材とを有することを特徴とする装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気−機械エネルギ変換素子により振動が励起される振動体とこれに接触する接触体とが相対移動する振動型駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記のような振動型駆動装置では、電気−機械エネルギ変換素子としての圧電素子を弾性体に固着して振動体を構成し、圧電素子に交番電圧を印加することで振動体に振動を励起する。圧電素子への電圧印加は、圧電素子の電極に固着したフレキシブル基板を通じて行う。
【０００３】
フレキブル基板を圧電素子に固着する際に圧電素子が割れることを防止するためには、フレキブル基板をできるだけ大きくすることが望ましい。ただし、大きなフレキシブル基板を圧電素子に固着すると、圧電素子の振動が阻害される。
【０００４】
特許文献１には、フレキシブル基板による圧電素子の振動の阻害を抑制する方法として、圧電素子のうち振動の振幅が大きい部分とフレキシブル基板と間に隙間を設ける方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−２０１８８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１にて開示された方法では、圧電素子とフレキシブル基板との間に隙間があるために、振動する圧電素子とフレキシブル基板とが衝突して異音が発生する可能性がある。
【０００７】
本発明は、圧電素子とフレキシブル基板との間に隙間を設けずに、フレキシブル基板を大きくすることによる圧電素子の振動の阻害を抑制することができるようにした振動型駆動装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一側面としての振動型駆動装置は、電気−機械エネルギ変換素子および弾性部材を含む振動体と、電気−機械エネルギ変換素子に固着された固着基板部を含むフレキシブル基板とを有し、電気−機械エネルギ変換素子により弾性部材に振動を励起することで、振動体と弾性部材に接触する接触体とを相対移動させる。そして、固着基板部は、該固着基板部のうち振動の腹の位置を含む第１の部分の剛性を該第１の部分とは異なる第２の部分の剛性よりも低くする剛性低減部を有することを特徴とする。
【０００９】
なお、上記振動型駆動装置と、該振動型駆動装置からの駆動力により駆動される被駆動部材とを有する各種装置も、本発明の他の一側面を構成する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、フレキシブル基板の固着基板部に剛性低減部を設けることにより、フレキシブル基板を大きくした場合における振動体の振動の阻害を抑制することができる。さらに、電気−機械エネルギ変換素子と固着基板部との間に隙間を設けないので、振動中（駆動中）における異音の発生を回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施例１である振動型モータのうち振動体の分解斜視図。
【図２】図１に示した振動体の平面図および断面図。
【図３】図１に示した振動体における弾性部材と支持部材とを示す斜視図。
【図４】実施例１の振動型モータのｘｚ断面図およびｙｚ断面図。
【図５】上記振動体の２つの曲げモードでの振動の節と腹の位置を示す図。
【図６】実施例１におけるフレキシブル基板の形状を示す図。
【図７】上記２つの曲げモードでの歪の大きさを示すグラフ図。
【図８】本発明の実施例２におけるフレキシブル基板の形状を示す図。
【図９】本発明の実施例３におけるフレキシブル基板の形状を示す図。
【図１０】本発明の実施例４であるデジタルカメラの構成を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
【実施例１】
【００１３】
図１には、本発明の実施例１である振動型モータ（振動型駆動装置）１００を分解して示している。また、図２（Ａ），（Ｂ）および図４（Ａ），（Ｂ）には、図１に示す各部材を組み立てた状態を示している。さらに、図３には、振動型モータ１００の構成要素の一部を示している。
【００１４】
本実施例では、後述する振動体１０９に発生する楕円運動によって振動体１０９と後述する接触体としての摩擦部材１０１とが相対移動する方向をｘ方向と定義する。また、後述するバネ部材１０７による振動体１０９の摩擦部材１０１に対する圧接方向をｚ方向と定義する。ｚ方向において、振動体１０９が摩擦部材１０１に向かう方向を−ｚ方向とし、その反対方向を＋ｚ方向と定義する。さらに、ｘ方向とｚ方向のそれぞれに直交する方向をｙ方向と定義する。図２（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ、振動型モータ１００を＋ｚ方向と−ｙ方向から見て示している。また、図４（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ、振動型モータ１００のｘｚ断面とｙｚ断面を示している。
【００１５】
なお、本実施例では、カメラのレンズ鏡筒や交換レンズ等の光学機器においてレンズ駆動用アクチュエータとして用いられる振動型モータを例に説明するが、同様の構成を他の用途の振動型モータに適用してもよい。また、本実施例では、後述する可動部をリニアに駆動するリニアタイプの振動型モータについて説明するが、同様の構成を可動部を回転させるリングタイプ等、他のタイプの振動型モータに適用してもよい。
【００１６】
１１０は固定台であり、振動型モータ１００のユニット全体を保持する。摩擦部材１０１は、所定の表面粗さを有する接触面１０１ａを有する。摩擦部材１０１は、ｘ方向に延びる角柱形状の部材であり、その両端が２本の固定ビス１１１で固定台１１０に固定されている。
【００１７】
１０２は弾性体（弾性部材）であり、図３に摩擦部材１０１側（−ｚ方向）から見て示すように、そのｘ方向における２箇所に摩擦部材１０１の接触面１０１ａに加圧接触する接触部１０２ｂを有する。
【００１８】
１０３は弾性体１０２に接着剤等の固着手段を用いて固着されている電気−機械エネルギ変換素子としての圧電素子である。圧電素子１０３は、複数の圧電素子膜を積層して一体化したものである。本実施例では、この積層タイプの圧電素子１０３に２つの交番電圧を印加することで、互いに方向が異なる２つのモード（振動モード）の曲げ振動を発生させ、圧電素子１０３が固着された弾性体１０２にこれら２つのモードの曲げ振動を励起する。このとき２つのモードの曲げ振動の位相に所定の位相差を与えることで、弾性体１０２の接触部１０２ｂには、図３に矢印で示すように楕円運動が発生する。なお、圧電素子１０３への交番電圧の印加は、圧電素子１０３に固着された後述するフレキシブル基板を通じて行われる。
【００１９】
弾性体１０２と圧電素子１０３とで振動体１０９が構成される。また、摩擦部材１０１を除く振動体１０９のみで振動型モータを構成してもよい。
【００２０】
１１５は圧電素子１０３の振動が他の部品に伝わらないように遮断する振動遮断部材であり、特に圧電素子１０３の振動を減衰させることなく、後述する小基台１０４への振動の伝播を防ぐ機能を有する。振動遮断部材１１５は、フェルト生地等により形成されて圧電素子１０３に面接触する。
【００２１】
小基台１０４は、その下面１０４ａにて振動遮断部材１１５に接触する。小基台１０４の上側中央には、当接部１０４ｂが設けられている。当接部１０４ｂは、図４（Ａ）のｘｚ断面に示す円弧がｙ方向に連なる形状を有する。
【００２２】
１０６は加圧部材であり、後述する加圧受け部材１０８の貫通穴部１０８ａに嵌合して、摩擦部材１０１の接触面１０１ａに対してほぼ垂直な方向にのみ移動可能に保持される。加圧部材１０６の下端面１０６ａは平面であり、小基台１０４の当接部１０４ｂに対してｙ方向に線接触している。このため、ｘｚ断面において、小基台１０４は傾くことができる。仮に製造時の寸法誤差や組み立て誤差また外乱によって弾性体１０２に傾きが生じても、小基台１０４の傾きよって弾性体１０２の接触部１０２ｂと摩擦部材１０１の接触面１０１ａとの良好な加圧接触状態を保つことができる。
【００２３】
１０５は保持部材であり、振動体１０９周りの部品を保持する。保持部材１０５は、後述するバネ部材１０７からの押圧力を小基台１０４および振動遮断部材１１５を介して振動体１０９に伝え、振動体１０９の弾性体１０２を摩擦部材１０１の接触面１０１ａに加圧接触させる。保持部材１０５のｘ方向における２箇所には穴部１０５ａが設けられており、これらの穴部１０５ａには、小基台１０４のｘ方向における２箇所に設けられた軸部１０４ｃが嵌合している。穴部１０５ａはｙ方向の幅よりもｘ方向の幅が大きい長穴形状を有している。これにより、小基台１０４はｘｚ断面においてある程度傾くことができる。
【００２４】
バネ部材１０７は、圧縮コイルバネであり、その一方の端部は加圧受け部材１０８によって固定され、他方の端部は加圧部材１０６に押圧力を伝える。加圧部材１０６とバネ部材１０７により加圧手段が構成される。
【００２５】
加圧受け部材１０８は、その中央に丸穴である上述した貫通穴部１０８ａが形成された円板形状を有し、その外周側面に形成されたネジ部が保持部材１０５のネジ部１０５ｂにねじ込まれることで固定される。
【００２６】
上述した保持部材１０５には雌ネジ部１０５ｂが形成されており、加圧受け部材１０８の外周側面に設けられた雄ネジ部１０８ｂがねじ込まれる。ねじ込み量を部品ばらつきに合わせて変えることで加圧力の調整を行うことができる。加圧受け部材１０８の中央に形成された嵌合穴部１０８ａには、加圧部材１０６の軸部１０６ｂが嵌合する。これにより、加圧部材１０６は保持部材１０５に対してｚ方向にのみ移動可能である。
【００２７】
１１４は図３に示すように摩擦部材１０１に接触する弾性体１０２を保持し、保持部材１０５に固定される支持部材である。支持部材１１４は、枠形状の薄板により形成されており、ｘ方向よりもｚ方向での剛性が低い。このため、支持部材１１４の変形により、保持部材１０５に対する弾性体１０２のｚ方向への自由な動きを許容する一方、ｘ方向での弾性体１０２の位置を固定する機能を有する。
【００２８】
１１３は押さえ板である。支持部材１１４は、押さえ板１１３とともに２本の固定ビス１１２で保持部材１０５に共締め固定される。また、押さえ板１１３は、振動体１０９と所定量の隙間を設けて配置されている。このため、振動体１０９が−ｚ方向に所定量以上移動すると、振動体１０９は押さえ板１１３に当接して、それ以上の移動が阻止される。すなわち、押さえ板１１３は、振動体１０９が−ｚ方向に所定量以上移動するのを制限する機能を有する。
【００２９】
天板１１７は、４つのビス１１８により固定台１１０に固定されている。天板１１７は、バネ部材１０７のバネ力で弾性体１０２の接触部１０２ｂを摩擦部材１０１の接触面１０１ａに対して−ｚ方向に加圧接触させたときに保持部材１０５から受ける＋ｚ方向の反力を受ける役割を有する。
【００３０】
１１６はボールである。ボール１１６は、振動体１０９を保持した保持部材１０５に形成された溝部１０５ｄと天板１１７に形成された溝部１１７ａとの間に配置されている。ボール１１６は、両溝部１０５ｄ，１１７ａ内で転動することで天板１１７に対して保持部材１０５をこれら溝部１０５ｄ，１１７ａが延びる方向に移動可能に支持する。これにより、保持部材１０５は、ｚ方向の加圧力の反力を受けながらも、天板１１７に対して小さい摩擦抵抗によりｘ方向に移動することが可能である。また、両溝部１０５ｄ，１１７ａに対してｙ方向においてボール１１６が係合することで、保持部材１０５の天板１１７に対するｙ方向の位置が決まる。本実施例では、ｘｙ面内において４つのボール１１６を配置することで、保持部材１０５が天板１１７に対して傾くことなくｘ方向に移動可能に支持される。
【００３１】
天板１１７の中央には長方形開口１１７ａが形成されており、天板１１７の四隅は４本の固定ビス１１８によりで固定台１１０に固定されている。天板１１７からは、長方形開口１１７ａを通った保持部材１０５の突出部１０５ｃが＋ｚ方向に突出している。
【００３２】
以上のように構成された振動型モータ１００では、固定台１１０、摩擦部材１０１、固定ビス１１１、天板１１７および固定ビス１１８が固定部となる。一方、振動体１０９、振動遮断部材１１５、小基台１０４、固定ネジ１１２、押さえ板１１３、支持部材１１４、加圧部材１０６、バネ部材１０７、加圧押さえ１０８およびこれらを保持する保持部材１０５が可動部となる。つまり本実施例の振動型モータ１００は、楕円運動によって駆動力を発生する振動体１０９自体が移動する自走式モータである。
【００３３】
なお、本実施例の振動型モータ１００が光学機器にレンズ駆動用アクチュエータとして組み込まれる場合には、保持部材１０５をフォーカス機構やズーム機構に連結する。
【００３４】
次に、図３を用いて、支持部材１１４による弾性体１０２の保持構造を詳しく説明する。上述したように、図３は弾性体１０２および支持部材１１４を摩擦部材１０１側（−ｚ方向）から見て示している。
【００３５】
弾性体１０２の中央に設けられた接合部１０２ａにおける摩擦部材１０１側の２箇所には、突起部１０２ｅが形成されている。さらに各突起部１０２ｅの上端には突起部１０２ｅよりも小径の凸部である接触部１０２ｂが形成されている。接触部１０２ｂの上面が摩擦部材１０１の接触面１０１ａと当接する。これら２つの接触部１０２ｂは、同一平面（ｘｙ面）上に形成され、摩擦部材１０１の接触面１０１ａとの当接状態を良好にするため、製造工程において研磨等の仕上げ処理により平坦面とされる。
【００３６】
接合部１０２ａの裏面（突起部１０２ｅ側とは反対側の面）には圧電素子１０３が接着によって固着されている。ただし、接合部１０２ａの裏面と圧電素子１０３の固着を接着以外の方法で行ってもよい。
【００３７】
弾性体１０２の両端には、支持部材１１４のｘ方向両側に＋ｚ方向に突出するように形成された段差部１１４ａと接着または溶接により接合される接合部１０２ｃが形成されている。ただし、接合部１０２ｃと段差部１１４ａの接合方法は、接着および溶接以外の方法であってもよい。接合部１０２ｃと各接合部１０２ａとの間には２本の腕部１０２ｄが形成され、この腕部１０２ｄを介して、圧電素子１０３が固着された接合部１０２ａが支持部材１１４に対して固定される。腕部１０２ｄは、接合部１０２ａに発生する振動を接合部１０２ｃに伝達しにくくするために、接合部１０２ａや接合部１０２ｃに対して細い形状を有する。逆に言い換えると、支持部材１１４が接合部１０２ａに発生する振動を阻害しないような連結の構成を腕部１０２ｄによって実現している。
【００３８】
このようにして弾性体１０２を保持した支持部材１１４が保持部材１０５に固定されることで、前述したように、保持部材１０５に対する弾性体１０２のｚ方向への自由な動きが許容され、ｘ方向での弾性体１０２の位置が固定される。これにより、弾性体１０２の摩擦部材１０１に対する−ｚ方向への加圧を可能とするとともに、フォーカス機構やズーム機構に連結した保持部材１０５をｘ方向において精度良く駆動することができる。
【００３９】
図５（Ａ），（Ｂ）には、前述した２つのモードの曲げ振動の節と腹の位置を示している。図５（Ａ）は、ｘ方向に３つの節と２つの腹を有する曲げ２次モード（第２の振動モード、２次の振動モード）の曲げ振動における節と腹の位置を示している。圧電素子１０３に高周波の交番電圧を印加することで、振動体１０９に曲げ２次モードの曲げ振動を励起する。１２１ａ，１２１ｂ，１２１ｃは曲げ２次モードの曲げ振動の節である。また、１２２ａ，１２２ｂは曲げ２次モードの曲げ振動の腹である。節１２１ａ，１２１ｂ，１２１ｃでは、ｚ方向の振幅は非常に小さい。弾性体１０２の接触部１０２ｂは、節１２１ａと節１２１ｂに対応した位置に設けられているため、曲げ２次モードの曲げ振動によってｚ方向には振動しないが、ｘ方向には振動する。このような位置に接触部１０２ｂを設けることで、ｘ方向における曲げ２次モードの曲げ振動（以下、ｘ方向の２次曲げ振動という）により接触部１０２ｂにｘ方向の振動を励起する。
【００４０】
図５（Ｂ）は、ｙ方向に２つの節と１つの腹を有する曲げ１次モード（第１の振動モード、１次の振動モード）の曲げ振動の節と腹の位置を示している。１２１ｄ，１２１ｅは１次曲げモードの曲げ振動の節である。１２２ｃは１次曲げモードの曲げ振動の腹である。節１２１ｄ，１２１ｅでは、曲げ１次モードの曲げ振動によるｚ方向の振幅は非常に小さい。一方、腹１２２ｃでは、曲げ１次モードの曲げ振動によるｚ方向の振幅は大きく。弾性体１０２の接触部１０２ｂは腹１２２ｃに対応する位置に設けられているため、曲げ１次モードの曲げ振動によってｘ方向には振動しないが、ｚ方向には振動する。このような位置に接触部１０２ｂを設けることで、ｙ方向における曲げ１次モードの曲げ振動（以下、ｙ方向の１次曲げ振動という）により、接触部１０２ｂにｚ方向の振動を励起する。
【００４１】
図５（Ａ）に示したｘ方向の２次曲げ振動によるｚ方向の振幅が大きい腹１２２ａ，１２２ｂの位置に振動を阻害するものがあると、この２次曲げ振動が減衰する。同様に、図５（Ｂ）に示したｙ方向の１次曲げ振動によってｚ方向に大きく振動する腹１２２ｃの位置に振動を阻害するようなものがあると、この１次曲げ振動が減衰する。このため、本実施例では、以下に説明するように、圧電素子１０３に固着されるフレキシブル基板の形状を上記各曲げ振動を減衰させないように設定している。
【００４２】
図６には、圧電素子１０３に固着されて該圧電素子１０３に対する交番電圧の印加を可能とするフレキシブル基板１４０の形状を圧電素子１０３の裏面側から見て示している。フレキシブル基板１４０のうち固着基板部１４０ｅが圧電素子１０３に固着される。固着基板部１４０ｅからは、交番信号を出力する不図示の駆動回路に接続される接続基板部１４０ｄが延びている。
【００４３】
１４０ａ，１４０ｂはそれぞれ、固着基板部１４０ｅのうちｘ方向の２次曲げ振動の腹１２２ａ，１２２ｂに対応する位置を含む部分（第１の部分）に設けられた剛性低減部である。本実施例では、腹１２２ａに対してｙ方向に離間した一対の剛性低減部１４０ａを設けているとともに、腹１２２ｂに対してｙ方向に離間した一対の剛性低減部１４０ｂを設けている。また、１４０ｃは、固着基板部１４０ｅのうちｙ方向の１次曲げ振動の腹１２２ｃに対応した位置を含む部分（第１の部分）に設けられた剛性低減部である。本実施例では、腹１２２ｃに対してｘ方向に離間した一対の剛性低減部１４０ｃを設けている。
【００４４】
各剛性低減部は、固着基板部１４０ｅのうち振動の腹の位置を含む第１の部分の剛性を該第１の部分とは異なる第２の部分の剛性よりも低くする役割を有する。本実施例では、剛性低減部は、Ｕ字形の凹形状部（切り欠き部）として形成されている。
【００４５】
腹１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｃに対応する位置に、振動を阻害するものとして振動の減衰性が高いフレキシブル基板１４０（固着基板部１４０ｅ）が固着されることは好ましくない。また、このフレキシブル基板１４０を圧電素子１０３に固着するために接着剤を用いた場合には、硬化した接着剤も振動を減衰させる。そこで、本実施例では、固着基板部１４０ｅのうち振幅が大きい腹１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｃに対応する位置を含むように剛性低減部１４０ａ，１４０ｂ，１４０ｃを設けている。すなわち、圧電素子１０３における腹１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｃに対応する位置を含む部分に固着基板部１４０ｅが固着されないようにしている。これにより、固着基板部１４０ｅが圧電素子１０３に固着されることによる振動の阻害を回避または軽減することができる。
【００４６】
なお、本実施例では、剛性低減部を凹形状を有する部分とした場合について説明したが、剛性低減部を後述する実施例のように穴形状を有する部分としたり、溝形状を有する部分としたりしてもよい。また、剛性低減部を固着基板部における他の部分よりも厚みが薄い部分として形成してもよい。
【００４７】
また、剛性低減部１４０ａ，１４０ｂ，１４０ｃを設けて振動の阻害を軽減することで、固着基板部１４０ｅの外形の大きさを圧電素子１０３の大きさに近づける（ほぼ同じにする）ことができる。これにより、フレキブル基板１４０を圧電素子１０３に固着する際の加圧面積を十分に確保することができ、圧電素子１０３の割れが生じる可能性を低減することができる。さらに、固着基板部１４０ｅはその全面において圧電素子１０３に固着されており、圧電素子１０３との間に隙間はない。このため、圧電素子１０３の曲げ振動によって圧電素子１０３と固着基板部１４０ｅとが衝突して異音が発生することもない。
【００４８】
さらに、図７（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ、ｘ方向の２次曲げ振動におけるｘ方向の各位置での歪（振幅）の大きさおよびｙ方向の１次曲げ振動におけるｙ方向の各位置での歪の大きさを示している。これらの図において、横軸はｘ方向またはｙ方向での位置であり、縦軸は歪の大きさを示している。図７（Ａ）において、ｘ方向の２次曲げ振動の腹１２２ａでは歪が最大値ｓｔｒ１となり、腹位置１２２ｂでは歪が最小値−ｓｔｒ１となる。節１２１ａ，１２１ｂ，１２１ｃでは、歪は零（またはほぼ零）となる。一方、図７（Ｂ）において、ｙ方向の１次曲げ振動の腹１２２ｃでは歪は最大値ｓｔｒ２となる。節１２１ｄ，１２１ｅでは、歪は零（またはほぼ零）となる。
【００４９】
図７（Ａ），（Ｂ）にそれぞれ示すｘ方向の２次曲げ振動の腹１２２ａ，１２２ｂの位置で発生する圧電素子１０３の歪ｓｔｒ１（−ｓｔｒ１）とｙ方向の１次曲げ振動の腹１２２ｃの位置で発生する歪ｓｔｒ２とを比べると、ｘ方向の２次曲げ振動の方が歪が大きい。  すなわち、２次曲げ振動の方が１次曲げ振動の曲げの次数が大きいため、ｓｔｒ１（−ｓｔｒ１）とｓｔｒ２の関係は、以下のようになる。
【００５０】
ｓｔｒ１＞ｓｔｒ２
このため、ｙ方向の１次曲げ振動に比べて、ｘ方向の２次曲げ振動の方がフレキシブル基板１４０が圧電素子１０３に固着されることによる振動阻害の影響が大きい。
【００５１】
そこで本実施例では、ｙ方向に設けた一対の剛性低減部１４０ｃを合わせた面積よりも、ｘ方向に設けられた二対の剛性低減部１４０ａ，１４０ｂを合わせた面積を大きく設定している。これにより、固着基板部１４０ｅの外形の大きさを圧電素子１０３の大きさとほぼ同じとしながらも、フレキシブル基板１４０が圧電素子１０３に固着されることによる振動阻害を軽減することができる。
【実施例２】
【００５２】
図８には、本発明の実施例２を示している。なお、本実施例において実施例１と共通する構成要素には実施例１と同符号を付して説明に代える。
【００５３】
実施例１ではｙ方向の１次曲げ振動の腹１２２ｃに対して固着基板部１４０ｅのｘ方向の両端に凹形状部としての一対の剛性低減部１４０ｃを設けたが、本実施例では固着基板部１４０ｅ′のｘ方向の中央に穴形状部としての剛性低減部１４０ｆを設けている。
【００５４】
剛性低減部１４０ｆを固着基板部１４０ｅ′の中央に設けたことで、固着基板部１４０ｅ′の外縁の切り欠き部の数を実施例１に比べて少なくしている。これにより、固着基板部１４０ｅ′を圧電素子１０３に固着する際に、固着基板部１４０ｅ′の外縁が折れ曲がる等、組立作業性が低下することを回避することができる。
【実施例３】
【００５５】
図９には、本発明の実施例３を示している。なお、本実施例において実施例１と共通する構成要素には実施例１と同符号を付して説明に代える。
【００５６】
実施例１，２では、ｘ方向の２次曲げ振動の腹位置１２２ａ，１２２ｂに対してそれぞれ、固着基板部１４０ｅのｙ方向の両端に、凹形状部としての一対の剛性低減部１４０ａと同形状の一対の剛性低減部１４０ｂを設けた。これに対して本実施例では、固着基板部１４０ｅ″に、ｘ方向の２次曲げ振動の腹１２２ａ，１２２ｂに対しては剛性低減部を設けず、ｙ方向の１次曲げ振動の腹１２２ｃに対してのみ剛性低減部１４０ｇを設けている。しかも、剛性低減部１４０ｇは、実施例２と同様に、固着基板部１４０ｅ″のｘ方向の中央に穴形状部として設けられている。
【００５７】
本実施例によれば、固着基板部１４０ｅ″の外縁の切り欠き部をなくすることができる。これにより、固着基板部１４０ｅ″を圧電素子１０３に固着する際に、固着基板部１４０ｅ″の外縁が折れ曲がる等、組立作業性が低下することを実施例２よりも効果的に回避することができる。
【００５８】
上記各実施例によれば、フレキシブル基板（固着基板部）に剛性低減部を設けることにより、フレキシブル基板を圧電素子に固着する際の圧電素子の割れを防止するために大きくした場合の圧電素子の振動の阻害を抑制することができる。しかも、圧電素子と固着基板部との間に隙間を設けないので、振動時の異音の発生を回避することができる。
【００５９】
なお、図９に示す固着基板部のうち腹１２２ａ，１２２ｂの位置を示す一点鎖線と腹１２２ｃの位置を示す一点鎖線との２つの交点にそれぞれ穴形状部（剛性低減部）を設けてもよい。
【実施例４】
【００６０】
図１０には、実施例１〜３にて説明した振動型モータ１００をレンズ駆動用アクチュエータとして用いた装置としてのデジタルカメラ（光学機器）を示している。２００はカメラ本体であり、その内部にはＣＣＤセンサやＣＭＯＳセンサ等により構成される撮像素子２０３が配置されている。
【００６１】
２０２はレンズ鏡筒（または交換レンズ）であり、その内部には光軸方向に移動して焦点調節を行うフォーカスレンズ（被駆動部材）２０１が収容されている。フォーカスレンズ２０２は、振動型モータ１００により光軸方向に駆動される。
【００６２】
なお、振動型モータ１００を、フォーカスレンズ２０２以外のレンズ（変倍レンズ等）の駆動用のアクチュエータとして用いてもよい。
【００６３】
さらに、実施例１〜３にて説明した振動型モータ１００を、デジタルカメラ以外の各種装置における被駆動部材の駆動用アクチュエータとして用いてもよい。
【００６４】
以上説明した各実施例は代表的な例にすぎず、本発明の実施に際しては、各実施例に対して種々の変形や変更が可能である。
【符号の説明】
【００６５】
１０１  摩擦部材
１０２  弾性体
１０３  圧電素子
１０９  振動体
１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｃ  腹
１４０  フレキシブル基板
１４０ｅ  固着基板部
１４０ａ，１４０ｂ，１４０ｃ  剛性低減部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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