(57)【要約】【課題】簡易に且つ安価に、下部形状の異なる複数種類のカセットを交換してウェハ搬送装置に取り付けることを可能にすると共に、カセットを取り付けた後の適正なウェハ搬送を可能にするカセット設置用アダプタ等を提供する。【解決手段】本発明に係るカセット設置用アダプタ２は、カセットＣが載置される基台２１と、基台上にスライド可能に取り付けられた複数の係合部材２２と、下部形状の異なる複数種類のカセットのうち何れの種類のカセットが設置されるカセット設置用アダプタであるのかを識別するためのアダプタ識別手段２３とを備えている。基台は、カセット支持台１上に取り付けられ、複数の係合部材のそれぞれは、カセットの下部と係合して基台上でのカセットの移動を阻止可能なように、カセットの下部形状に応じて位置決めされている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハを収納したカセットをカセット支持台に載置して該カセットから前記ウェハを取り出して搬送するウェハ搬送装置に取り付けられるカセット設置用アダプタであって、
前記カセットが載置される基台と、
前記基台上にスライド可能に取り付けられた複数の係合部材と、
下部形状の異なる複数種類の前記カセットのうち何れの種類の前記カセットが設置される前記カセット設置用アダプタであるのかを識別するためのアダプタ識別手段とを備え、
前記基台は、前記カセット支持台上に取り付けられ、
前記複数の係合部材のそれぞれは、前記カセットの下部と係合して前記基台上での前記カセットの移動を阻止可能なように、前記カセットの下部形状に応じて位置決めされていることを特徴とするカセット設置用アダプタ。
【請求項２】
前記アダプタ識別手段は、前記基台上で位置決めされた前記係合部材の位置を検出し、該係合部材の位置に応じた信号を出力することを特徴とする請求項１に記載のカセット設置用アダプタ。
【請求項３】
前記アダプタ識別手段は、前記基台に脱着可能に取り付けられた、又は、前記基台に対してスライド可能に取り付けられた識別用部材を具備し、該識別用部材の有無又は取り付け位置に応じた信号を出力することを特徴とする請求項１に記載のカセット設置用アダプタ。
【請求項４】
ウェハを収納したカセットをカセット支持台に載置して該カセットから前記ウェハを取り出して搬送するウェハ搬送装置であって、
請求項１から３の何れかに記載の複数のカセット設置用アダプタと、
前記ウェハを搬送する搬送機構と、
前記搬送機構を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段には、下部形状の異なる複数種類の前記カセットのそれぞれが設置される前記カセット設置用アダプタに応じた制御手順が予め記憶されており、
前記制御手段は、前記アダプタ識別手段からの出力信号に対応する前記カセット設置用アダプタに応じた制御手順を選択し、該選択した手順に従って前記搬送機構を制御することを特徴とするウェハ搬送装置。
【請求項５】
ウェハを収納したカセットをカセット支持台に載置して該カセットから前記ウェハを取り出して搬送するウェハ搬送装置への前記カセットの設置方法であって、
前記カセットが載置される基台と、前記基台上にスライド可能に取り付けられた複数の係合部材と、何れの種類の前記カセットが設置されるカセット設置用アダプタであるのかを識別するためのアダプタ識別手段とを備えたカセット設置用アダプタを、下部形状の異なる複数種類の前記カセットの種類数に応じて複数用意するステップと、
前記複数のカセット設置用アダプタのそれぞれが備える各係合部材をスライドさせて、前記複数種類のカセットのそれぞれを前記複数のカセット設置用アダプタのそれぞれが備える前記基台に載置したときに各係合部材が各カセットのそれぞれの下部と係合して前記基台上での各カセットの移動を阻止可能なように、各カセット設置用アダプタ毎に各係合部材を位置決めするステップと、
前記各係合部材が位置決めされた複数のカセット設置用アダプタのうち、前記ウェハ搬送装置に設置するカセットの種類に応じたカセット設置用アダプタを選択するステップと、
前記選択したカセット設置用アダプタが備える前記基台を前記カセット支持台に取り付け、前記カセット支持台に取り付けられたカセット設置用アダプタが備える各係合部材に前記カセットを係合させるステップと、
を含むことを特徴とするウェハ搬送装置へのカセット設置方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハを収納したカセットをカセット支持台に載置して該カセットから前記ウェハを取り出して搬送するウェハ搬送装置に取り付けられるカセット設置用アダプタ、このカセット設置用アダプタを備えたウェハ搬送装置、及びウェハ搬送装置へのカセット設置方法に関する。特に、本発明は、簡易に且つ安価に、下部形状の異なる複数種類のカセットを交換してウェハ搬送装置に取り付けることを可能にすると共に、カセットを取り付けた後の適正なウェハ搬送を可能にするカセット設置用アダプタ、ウェハ搬送装置、及びウェハ搬送装置へのカセット設置方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウェハにプラズマ処理等の各種処理を施す半導体製造装置が知られている。一般的な半導体製造装置は、ウェハを搬送するためのウェハ搬送装置を備えており、このウェハ搬送装置によって、複数のウェハを収納したカセットからウェハを取り出し、プラズマ処理等の各種処理を施すチャンバにウェハを搬送している。
【０００３】
ここで、カセットは、たとえ収納するウェハの寸法が同一であったとしても、カセット製造メーカによって異なる形状を有する場合がある。この場合、ウェハを収納したカセットをウェハ搬送装置のカセット支持台に載置してカセットが移動しないように固定する際、一種類のカセットに適合する固定手段であれば、他の種類のカセットを固定しようとしてもカセットと固定手段との間に隙間が生じたり、固定手段が干渉して固定できないおそれがある。
【０００４】
また、カセット支持台に載置したカセットの種類に応じて、ウェハを搬送する搬送機構の動作を切り替える必要が生じる場合がある。この場合、載置されたカセットの種類をオペレータが視認し、搬送機構を制御する制御手段の設定を手動で切り替えるのであれば、実際に載置されたカセットの種類とは異なる種類のカセットに適合する動作に切り替えてしまい、搬送不良が生じるおそれもある。
【０００５】
上記のような問題を解決するため、例えば、特許文献１に記載のウェハ搬送装置が提案されている。特許文献１に記載のウェハ搬送装置は、「半導体ウェハを収納したカセットを載置して昇降させるエレベータ台が備えられ、前記カセットから前記半導体ウェハを取り出して搬送を行うためのウェハ搬送装置において、前記エレベータ台に位置決めして取り付け可能な複数種類のカセット設置用アダプタが互換可能に備えられ、これら各々のカセット設置用アダプタには、互いに形状の異なる複数種類のカセットを各カセット毎に所定の位置に載置するためのカセット位置決め手段が設けられていることを特徴とする」ものである（特許文献１の請求項１）。また、特許文献１には、「前記エレベータ台に取り付けられた前記カセット設置用アダプタの種類を識別する、アダプタ種類識別手段が備えられている」ことが記載されている（特許文献１の請求項２）。
【０００６】
特許文献１に記載のウェハ搬送装置によれば、載置するカセットの種類に応じてカセット設置用アダプタを交換することで、カセットと固定手段（特許文献１では「カセット位置決め手段」）との間に隙間が生じたり、固定手段が干渉して固定できないおそれを排除することが可能であると考えられる。
また、特許文献１に記載のウェハ搬送装置によれば、アダプタ種類識別手段が備えられているため、オペレータの視認によるカセット種類の識別や手動での搬送機構動作の切り替えではなく、アダプタ種類識別手段によるアダプタ種類の自動識別（これによるカセット種類の自動識別）と識別結果に基づく搬送機構動作の自動切り替えが可能となり、搬送不良が生じるおそれを低減することが可能であると考えられる。
【０００７】
しかしながら、特許文献１の図４を参照すれば明らかなように、特許文献１に記載のウェハ搬送装置が備えるカセット設置用アダプタ４に設けられているカセット位置決め手段（カセットガイド２１）は、載置するカセットの種類に応じて、その形状が異なるものとされている（図４（ａ）に記載のカセットガイド２１Ａと図４（ｂ）に記載のカセットガイド２１Ｂは形状が異なる）。
このため、ウェハ搬送装置に載置するカセットの種類数（少なくとも下部形状の異なるカセットの種類数）に応じた数の異なるカセット設置用アダプタを製作して用意しておかなければならず、製作の手間やコストが掛かるという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００６−１２０７６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上記のような従来技術に鑑みてなされたものであり、簡易に且つ安価に、下部形状の異なる複数種類のカセットを交換してウェハ搬送装置に取り付けることを可能にすると共に、カセットを取り付けた後の適正なウェハ搬送を可能にするカセット設置用アダプタ、ウェハ搬送装置、及びウェハ搬送装置へのカセット設置方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記課題を解決するため、本発明者らは、種々のカセット製造メーカによって提供されているカセットを調査し、その形状について鋭意検討を行った。その結果、前述のように、カセット製造メーカによってカセットが異なる形状を有する場合があるものの、少なくともカセットの下部形状については、カセットの下部と係合してカセットを固定するための係合部材（特許文献１では「カセット位置決め手段」又は「カセットガイド」）の形状をカセットの種類に応じて異なるものとしなくても、カセットの種類に関わりなく同一形状の係合部材をスライドさせてその位置を調整しさえすれば、複数種類のカセットを固定できることを見出した。
【００１１】
本発明は、上記本発明者らの知見に基づき完成したものである。
すなわち、本発明は、ウェハを収納したカセットをカセット支持台に載置して該カセットから前記ウェハを取り出して搬送するウェハ搬送装置に取り付けられるカセット設置用アダプタであって、前記カセットが載置される基台と、前記基台上にスライド可能に取り付けられた複数の係合部材と、下部形状の異なる複数種類の前記カセットのうち何れの種類の前記カセットが設置される前記カセット設置用アダプタであるのかを識別するためのアダプタ識別手段とを備え、前記基台は、前記カセット支持台上に取り付けられ、前記複数の係合部材のそれぞれは、前記カセットの下部と係合して前記基台上での前記カセットの移動を阻止可能なように、前記カセットの下部形状に応じて位置決めされていることを特徴とするカセット設置用アダプタを提供する。
【００１２】
本発明に係るカセット設置用アダプタが備える複数の係合部材のそれぞれは、スライド可能であり、カセットの下部と係合して基台上でのカセットの移動を阻止可能（固定可能）なように、カセットの下部形状に応じて位置決めされている。したがって、本発明に係るカセット設置用アダプタによれば、固定するカセットの種類（カセットの下部形状の種類）に応じて各係合部材の形状を異なるものとしなくても、カセットの種類に関わりなく同じ形状とされた各係合部材をスライドさせてその位置を予め調整しておくだけで、複数種類のカセットを固定可能である。すなわち、下部形状の異なるカセットの種類数に応じた数の異なるカセット設置用アダプタを製作して用意しておく必要がなく、同一のカセット設置用アダプタ（同一の基台及び係合部材）を製作して各係合部材の位置のみをスライドして調整しておくだけで良いため、簡易に且つ安価に、複数種類のカセットを交換してウェハ搬送装置に取り付けることが可能である。
【００１３】
また、本発明に係るカセット設置用アダプタは、下部形状の異なる複数種類のカセットのうち何れの種類のカセットが設置されるカセット設置用アダプタであるのかを識別するためのアダプタ識別手段を備えている。このため、カセット支持台に載置したカセットの種類に応じて、ウェハを搬送する搬送機構の動作を切り替える必要が生じる場合、オペレータの視認によるカセット種類の識別や手動での搬送機構動作の切り替えではなく、アダプタ識別手段によるカセット設置用アダプタの種類の自動識別（これによるカセット種類の自動識別）と識別結果に基づく搬送機構動作の自動切り替えが可能となり、適正なウェハ搬送が可能となる。
【００１４】
好ましくは、前記アダプタ識別手段は、前記基台上で位置決めされた前記係合部材の位置を検出し、該係合部材の位置に応じた信号を出力する。
【００１５】
前述の特許文献１では、アダプタ識別手段として、エレベータ台にアダプタ識別センサ３２を設ける一方、カセット設置用アダプタ４に切欠き部を設ける場合（特許文献１の図４（ａ）に示すカセット設置用アダプタ４Ａの切欠き部４ｄ）と、設けない場合（特許文献１の図４（ｂ）に示すカセット設置用アダプタ４Ｂ）とで、カセット設置用アダプタの種類を識別している。すなわち、本発明に係るカセット設置用アダプタの基台に相当する部材での切欠きの有無によって、カセット設置用アダプタの種類を識別している。このため、カセット設置用アダプタの種類に応じて（設置するカセットの種類に応じて）、異なる基台を製作しなければならない。
【００１６】
これに対し、上記の好ましい構成によれば、アダプタ識別手段が、基台上で位置決めされた係合部材の位置を検出し、係合部材の位置に応じた信号を出力する（このようなアダプタ識別手段としては、例えば、係合部材に向けてレーザスポットを照射し、その反射光を検出することによって係合部材までの距離を測定するレーザ距離計を挙げることができる）ため、設置するカセットの種類に応じて基台に切欠き等を設ける必要が無く、同じ基台ひいては同じカセット設置用アダプタを使用することができる。このため、簡易に且つ安価に、複数種類のカセットを交換してウェハ搬送装置に取り付けることが可能である。
【００１７】
あるいは、好ましくは、前記アダプタ識別手段は、前記基台に脱着可能に取り付けられた、又は、前記基台に対してスライド可能に取り付けられた識別用部材を具備し、該識別用部材の有無又は取り付け位置に応じた信号を出力する。
【００１８】
上記の好ましい構成によれば、アダプタ識別手段が、基台に脱着可能に取り付けられた識別用部材（このような識別用部材としては、例えば、基台に設けられたねじ穴に螺合されるビスを備えた部材が挙げられる）を具備している。そして、アダプタ識別手段は、識別用部材の有無に応じた信号を出力する。具体的には、例えば、識別用部材の有無によってマイクロスイッチのオン・オフを切り替えたり、透過型又は反射型の光電センサのオン・オフを切り替える構成が挙げられる。
或いは、上記の好ましい構成によれば、アダプタ識別手段が、基台に対してスライド可能に取り付けられた識別用部材（このような識別用部材としては、例えば、基台に設けられた一軸ステージ上に取り付けられた部材が挙げられる）を具備している。そして、アダプタ識別手段は、識別用部材の取り付け位置（スライド後に停止した位置）に応じた信号を出力する。具体的には、例えば、識別用部材の取り付け位置によってマイクロスイッチのオン・オフを切り替えたり、透過型又は反射型の光電センサのオン・オフを切り替える構成が挙げられる。
上記の好ましい構成によれば、設置するカセットの種類に応じて基台に切欠き等を設ける必要が無く、識別用部材を脱着するか、又は、識別用部材をスライドさせるだけで良いため、同じ基台ひいては同じカセット設置用アダプタを使用することができる。このため、簡易に且つ安価に、複数種類のカセットを交換してウェハ搬送装置に取り付けることが可能である。
【００１９】
また、前記課題を解決するため、本発明は、ウェハを収納したカセットをカセット支持台に載置して該カセットから前記ウェハを取り出して搬送するウェハ搬送装置であって、前記何れかに記載の複数のカセット設置用アダプタと、前記ウェハを搬送する搬送機構と、前記搬送機構を制御する制御手段とを備え、前記制御手段には、下部形状の異なる複数種類の前記カセットのそれぞれが設置される前記カセット設置用アダプタに応じた制御手順が予め記憶されており、前記制御手段は、前記アダプタ識別手段からの出力信号に対応する前記カセット設置用アダプタに応じた制御手順を選択し、該選択した手順に従って前記搬送機構を制御することを特徴とするウェハ搬送装置としても提供される。
【００２０】
本発明に係るウェハ搬送装置によれば、ウェハを搬送する搬送機構を制御する制御手段に、下部形状の異なる複数種類のカセットのそれぞれが設置されるカセット設置用アダプタに応じた制御手順が予め記憶される。そして、制御手段が、アダプタ識別手段からの出力信号に対応するカセット設置用アダプタに応じた制御手順を選択し、選択した手順に従って搬送機構を制御する。すなわち、カセット設置用アダプタの種類がアダプタ識別手段によって自動的に識別（これによりカセットの種類も自動的に識別）され、識別結果に基づいて制御手段により搬送機構の制御手順が自動的に切り替わる（これにより搬送機構の動作が自動的に切り替わる）ため、適正なウェハ搬送が可能となる。
【００２１】
さらに、前記課題を解決するため、本発明は、ウェハを収納したカセットをカセット支持台に載置して該カセットから前記ウェハを取り出して搬送するウェハ搬送装置への前記カセットの設置方法であって、前記カセットが載置される基台と、前記基台上にスライド可能に取り付けられた複数の係合部材と、何れの種類の前記カセットが設置されるカセット設置用アダプタであるのかを識別するためのアダプタ識別手段とを備えたカセット設置用アダプタを、下部形状の異なる複数種類の前記カセットの種類数に応じて複数用意するステップと、前記複数のカセット設置用アダプタのそれぞれが備える各係合部材をスライドさせて、前記複数種類のカセットのそれぞれを前記複数のカセット設置用アダプタのそれぞれが備える前記基台に載置したときに各係合部材が各カセットのそれぞれの下部と係合して前記基台上での各カセットの移動を阻止可能なように、各カセット設置用アダプタ毎に各係合部材を位置決めするステップと、前記各係合部材が位置決めされた複数のカセット設置用アダプタのうち、前記ウェハ搬送装置に設置するカセットの種類に応じたカセット設置用アダプタを選択するステップと、前記選択したカセット設置用アダプタが備える前記基台を前記カセット支持台に取り付け、前記カセット支持台に取り付けられたカセット設置用アダプタが備える各係合部材に前記カセットを係合させるステップと、を含むことを特徴とするウェハ搬送装置へのカセット設置方法としても提供される。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、簡易に且つ安価に、下部形状の異なる複数種類のカセットを交換してウェハ搬送装置に取り付けることが可能であると共に、カセットを取り付けた後の適正なウェハ搬送が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係るウェハ搬送装置の概略構成図である。
【図２】図２は、図１に示すカセット設置用アダプタを拡大して示す概略構成図である。
【図３】図３は、図１に示すカセット設置用アダプタが具備するアダプタ識別手段の変形例を示す概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、添付図面を適宜参照しつつ、本発明の一実施形態について説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るウェハ搬送装置の概略構成図である。なお、図１において、制御手段４以外は平面図である。また、図１では、便宜上、アダプタ識別手段２３の図示を省略している。図２は、図１に示すカセット設置用アダプタ２を拡大して示す概略構成図であり、図２(ａ）は平面図を、図２（ｂ）は正面図を示す。なお、図２（ａ）においては、カセット設置用アダプタ２とカセットＣとの関係が理解し易くなるように、カセットＣの下面の形状を破線で図示している。また、図２（ｂ）においても、カセット設置用アダプタ２とカセットＣとの関係が理解し易くなるように、カセットＣの下部のみを併せて図示している。また、図２（ｂ）では、便宜上、アダプタ識別手段２３の図示を省略している。
【００２５】
図１に示すように、本実施形態に係るウェハ搬送装置１００は、ウェハＷを収納したカセットＣをカセット支持台１に載置してカセットＣからウェハＷを取り出して搬送する装置である。ウェハ搬送装置１００は、上記のカセット支持台１に加えて、複数（図１に示す例では２つ）のカセット設置用アダプタ２と、ウェハＷを搬送する搬送機構３と、搬送機構３を制御する制御手段４とを備えている。
【００２６】
図１又は図２に示すように、カセット設置用アダプタ２は、カセットＣが載置される基台２１と、基台２１上にスライド可能に取り付けられた複数（図１、図２に示す例では４つ）の係合部材２２（２２ａ〜２２ｄ）と、下部形状の異なる複数種類のカセットＣのうち何れの種類のカセットＣが設置されるカセット設置用アダプタ２であるのかを識別するためのアダプタ識別手段２３とを備えている。
【００２７】
基台２１は、カセット支持台１上の所定位置にビス留め等によって取り付けられている。各基台２１の形状は、載置されるカセットＣの種類（カセットＣの下部形状の種類）に関わりなく同じ形状とされている。
【００２８】
各係合部材２２は、前述のように基台２１上にスライド可能に取り付けられている。そして、各係合部材２２の形状も、基台２１と同様に、載置されるカセットＣの種類（カセットＣの下部形状の種類）に関わりなく同じ形状とされている。係合部材２２ａ、２２ｂは互いに同一形状又は左右を反転した形状（図２に示す例では左右反転形状）とされ、係合部材２２ｃ、２２ｄは互いに同一形状又は左右を反転した形状（図２に示す例では同一形状）とされている。
【００２９】
具体的には、図２に示すように、係合部材２２ａ、２２ｂは、基台２１上に設けられた一軸ステージ２４に取り付けられ、それぞれ一軸ステージ２４上を一軸ステージ２４の延びる方向（図２（ａ）に示すＸ方向）に移動可能とされている。一方、基台２１には、一軸ステージ２４の延びる方向（Ｘ方向）と直交する方向（図２（ａ）に示すＹ方向）に一対の長穴２５が形成されている。一軸ステージ２４は、長穴２５を貫通するボルト（図示せず）及びナット（図示せず）によって取り付けられており、このナットを緩めることにより、長穴２５に沿ってＹ方向に移動可能であり、移動後にナットを締めることでその位置に固定される。一軸ステージ２４がＹ方向に移動することにより、一軸ステージ２４に取り付けられた係合部材２２ａ、２２ｂも一体としてＹ方向に移動可能である。
また、基台２１には、Ｘ方向に延びる一対の長穴２６が形成されている。係合部材２２ｃは、長穴２６を貫通するボルトＢ及びナット（図示せず）によって取り付けられており、このナットを緩めることにより、長穴２６に沿ってＸ方向に移動可能であり、移動後にナットを締めることでその位置に固定される。
さらに、基台２１には、Ｘ方向に延びる一対の長穴２７が形成されている。係合部材２２ｄは、長穴２７を貫通するボルトＢ及びナット（図示せず）によって取り付けられており、このナットを緩めることにより、長穴２７に沿ってＸ方向に移動可能であり、移動後にナットを締めることでその位置に固定される。
【００３０】
上記のようにしてスライド可能な各係合部材２２は、図２（ａ）で破線で示すカセットＣの下部と係合して基台２１上でのカセットＣの移動を阻止可能なように、カセットＣの下部形状に応じて位置決めされている。
具体的には、カセットＣの中心に向かう側を内側、カセットＣの中心から離れる側を外側とすると、係合部材２２ａ、２２ｂは、カセットＣの下部とＸ方向の内側から外側に向けて係合（当接）すると共に、カセットＣの下部とＹ方向の外側から内側に向けて係合（当接）する位置に位置決めされている。また、係合部材２２ｃ、２２ｄは、カセットＣの下部とＸ方向の外側から内側に向けて係合（当接）する位置に位置決めされている。
この各係合部材２２の位置は、基台２１に載置するカセットＣの下部形状に応じて決定すればよい。
【００３１】
図２（ａ）に示すように、本実施形態のアダプタ識別手段２３は、基台２１上で位置決めされた係合部材２２の位置を検出し、係合部材２２の位置に応じた信号を出力するものとされている。具体的には、アダプタ識別手段２３は、係合部材２に向けてレーザスポットを照射し、その反射光を検出することによって係合部材２までの距離を測定するレーザ距離計２３ａ〜２３ｃとされている。
本実施形態では、アダプタ識別手段２３として、制御手段４に電気的に接続された３つのレーザ距離計２３ａ〜２３ｃが設けられている。レーザ距離計２３ａは、係合部材２２ａのＸ方向の位置を検出し、レーザ距離計２３ｂは、係合部材２２ａのＹ方向の位置を検出し、レーザ距離計２３ｃは、係合部材２２ｃのＸ方向の位置を検出している。各レーザ距離計２３ａ〜２３ｃの出力信号（検出した距離情報）は、制御手段４に送信される。
【００３２】
係合部材２２ｂのＸ方向の位置を検出するレーザ距離計、係合部材２２ｂのＹ方向の位置を検出するレーザ距離計及び係合部材２２ｄのＸ方向の位置を検出するレーザ距離計を設けることも可能である。しかしながら、基台２１に載置するカセットＣの下部形状は、平面視でほぼ線対称（図２の紙面において左右対称）であるため、カセットＣの下部と係合する各係合部材２２の配置も左右対称になると考えられる。このため、本実施形態のように、左右何れか一方に配置された係合部材２２の位置を検出しさえすれば、カセット設置用アダプタ２の種類を識別可能である。
本実施形態では、図２（ａ）に示すように、アダプタ識別手段２３としてのレーザ距離計２３ａ〜２３ｃが全て基台２１上に設置されている。しかしながら、本発明はこれに限るものではなく、レーザ距離計２３ａ〜２３ｃをカセット支持台１上に設置することも可能である。カセット支持台１上にレーザ距離計２３ａ〜２３ｃを設置することにより、同じ位置に設置される基台２１毎にレーザ距離計２３ａ〜２３ｃを設ける必要がなくなりコストを低減できるという利点が得られる。
【００３３】
なお、本実施形態のカセット設置用アダプタ２の基台２１には、Ｙ方向に延びる長穴２８が形成されている。そして、制御手段４に電気的に接続され、カセット支持台１に設けられたリミットスイッチ（図示せず）の可動部１１が、長穴２８を通じて上方に（図２（ａ）の紙面に垂直な方向の手前側に）突出している。カセットＣが基台２１に載置されていない場合には、可動部１１は上方に突出したままであり、リミットスイッチはオフの状態である。一方、カセットＣが基台２１に載置されると、カセットＣの下面によって可動部１１が下方に（図２（ａ）の紙面に垂直な方向の奥側に）押し下げられ、リミットスイッチはオンの状態になる。これにより、カセットＣが基台２１に載置されたことを制御手段４は認識可能である。
【００３４】
図１に示すように、本実施形態の搬送機構３は、いわゆる３軸円筒座標系の搬送ロボットであって、カセットＣに収納されたウェハＷをウェハ保持部３１によって取り出し、チャンバ（図示せず）等に搬送するものである。
具体的には、本実施形態の搬送機構３は、ウェハ保持部３１の他、第１アーム３２と、第２アーム３３と、第３アーム３４と、第１シャフト（図示せず）と、第２シャフト（図示せず）と、第３シャフト（図示せず）と、上下動駆動部（図示せず）とを備えている。第１アーム３２、第２アーム３３及び第３アーム３４は、水平方向に延びている。そして、第１アーム３２の一端部に結合されたウェハ保持部３１でウェハＷを保持し、第１アーム３２の他端部に上下方向（図１の紙面に垂直な方向）に延びる第１シャフトが結合されている。第１アーム３２の他端部は、第１シャフトを介して第２アーム３３の一端部に連結されている。具体的には、第１アーム３２が第２アーム３３に対して第１シャフトの中心軸回りに回動可能なように、第１アーム３２の他端部は第２アーム３３の一端部に連結されている。
第２アーム３３の他端部には上下方向に延びる第２シャフトが結合されている。第２アーム３３の他端部は、第２シャフトを介して第３アーム３４の一端部に連結されている。具体的には、第２アーム３３が第３アーム３４に対して第２シャフトの中心軸回りに回動可能なように、第２アーム３３の他端部は第３アーム３４の一端部に連結されている。
第３アーム３４の他端部には上下方向に延びる第３シャフトが結合されている。第３アーム３４の他端部は、第３シャフトを介して上下動駆動部に連結されていると共に、第３アーム３４は、第３シャフトの中心軸回りに回動可能である。
制御手段４から送信される制御信号により、第１アーム３２、第２アーム３３及び第３アーム３４は回動すると共に、上下動駆動部が上下動して第１アーム３２〜第３アーム３４も上下動することになる。これにより、第１アーム３２の一端部に結合されたウェハ保持部３１は、３軸円筒座標系の所定範囲内で制御信号に応じた動作を行うことになる。
なお、本発明の搬送機構は、図１に示すものに何ら限られるものではなく、４つ以上のアームを備えるなど、カセットＣに収納されたウェハＷをウェハ保持部３１によって取り出して搬送可能である限りにおいて任意の構成とすることが可能である。
【００３５】
制御手段４は、搬送機構４を制御するためのプログラム（制御手順）等が記憶された汎用のパーソナルコンピュータ等から構成されている。本実施形態の制御手段４には、下部形状の異なる複数種類のカセットＣのそれぞれが設置されるカセット設置用アダプタ２に応じた制御手順が予め記憶されている。
例えば、カセット設置用アダプタ２に応じて記憶される制御手順としては、所定の上下方向位置にある第３アーム３４の他端部の回動中心（第３シャフトの中心軸）を原点とする３軸円筒座標系（Ｒ，θ，Ｚ）（Ｒは径方向の座標、θは回転方向の座標、Ｚは上下方向の座標）におけるウェハ保持部３１の動作手順・動作速度や、カセット設置用アダプタ２の種類に応じて（載置されるカセットＣの種類に応じて）決まるウェハＷの強度や裏面にデバイスが設けられているか否か等に応じたウェハ保持部３１での真空吸着要否（例えば、ウェハＷの強度が小さかったり、裏面にデバイスが設けられている場合には真空吸着せず、それ以外の場合には真空吸着する等）などが考えられる。
そして、制御手段４は、前述したリミットスイッチがオンになった（可動部１１が下方に押し下げられた）ことを検知すると、予め記憶された制御手順の中から、アダプタ識別手段２３からの出力信号に対応するカセット設置用アダプタ２に応じた制御手順を選択し、該選択した手順に従って搬送機構３を制御する。
なお、本実施形態では、２つのカセット設置用アダプタ２を備えているため、制御手段４は、各カセット設置用アダプタ２に応じた制御手順を順次選択して搬送機構３を制御することになる。
【００３６】
図３は、図１に示すカセット設置用アダプタが具備するアダプタ識別手段の変形例を示す概略構成図である。図３（ａ）は変形例のアダプタ識別手段が設けられる基台２１を示す平面図であり、図３（ｂ）は第１変形例のアダプタ識別手段２３ｄを示す図３（ａ）のＡＡ断面図であり、図３（ｃ）は第２変形例のアダプタ識別手段２３ｅを示す図３（ａ）のＡＡ断面図であり、図３（ｄ）は第３変形例のアダプタ識別手段２３ｆを示す図３（ａ）のＡＡ断面図である。以下、各変形例について順次説明する。
【００３７】
図３（ｂ）に示すように、第１変形例のアダプタ識別手段２３ｄは、基台２１の下面及び支持台１の上面の間に形成された凹所２９に設けられている。アダプタ識別手段２３ｄは、基台２１に脱着可能に取り付けられた識別用部材３０を具備する。具体的には、凹所２９が設けられた位置にある基台２１の下面にはねじ穴３１（図３（ｂ）に示す例では４つのねじ穴３１）が形成され、識別用部材３０は、ねじ穴３１に螺合するビス３２と、ビス３２をねじ穴３１に螺合することによって基台２１の下面に取り付けられるブロック３３とを具備している。
また、アダプタ識別手段２３ｄは、凹所２９が設けられた位置にある支持台１の上面に取り付けられたマイクロスイッチ３４を具備する。マイクロスイッチ３４の出力信号（オン・オフ信号）は、制御手段４に送信される。識別用部材３０が取り付けられた位置にあるマイクロスイッチ３４（図３（ｂ）に示す例では左側のマイクロスイッチ３４）は、識別用部材３０のブロック３３によってマイクロスイッチ３４の可動部が押し下げられ、マイクロスイッチ３４がオンの状態になる。一方、識別用部材３０が取り外された位置にあるマイクロスイッチ３４（図３（ｂ）に示す例では右側のマイクロスイッチ３４）は、マイクロスイッチ３４の可動部が上がったままであり、マイクロスイッチ３４がオフの状態になる。図３（ｂ）に示す例では、左右の識別用部材３０の脱着の組み合わせにより、左右のマイクロスイッチ３４のオン・オフの状態が４つのパターンに切り替え可能となる。換言すれば、左右の識別用部材３０の脱着の組み合わせにより、制御手段４は４種類のカセット設置用アダプタ２を識別可能である。
【００３８】
図３（ｃ）に示すように、第２変形例のアダプタ識別手段２３ｅも、基台２１の下面及び支持台１の上面の間に形成された凹所２９に設けられている。アダプタ識別手段２３ｅも、基台２１に脱着可能に取り付けられた識別用部材３０を具備する。識別用部材３０の具体的構成は、第１変形例のアダプタ識別手段２３ｄと同様である。
また、アダプタ識別手段２３ｅは、凹所２９が設けられた位置にある支持台１の上面に取り付けられた反射型の光電スイッチ３５を具備する。光電スイッチ３５の出力信号（オン・オフ信号）は、制御手段４に送信される。識別用部材３０が取り付けられた位置にある光電スイッチ３５（図３（ｃ）に示す例では左側の光電スイッチ３５）は、光電スイッチ３５の投光部から投光されたレーザ光が識別用部材３０のブロック３３によって反射し、光電スイッチ３５の受光部で受光されて、光電スイッチ３５がオンの状態になる。一方、識別用部材３０が取り外された位置にある光電スイッチ３５（図３（ｃ）に示す例では右側の光電スイッチ３５）は、投光されたレーザ光の反射光が受光されず、光電スイッチ３５がオフの状態になる。図３（ｃ）に示す例でも、左右の識別用部材３０の脱着の組み合わせにより、左右の光電スイッチ３５のオン・オフの状態が４つのパターンに切り替え可能となる。換言すれば、左右の識別用部材３０の脱着の組み合わせにより、制御手段４は４種類のカセット設置用アダプタ２を識別可能である。
【００３９】
図３（ｄ）に示すように、第３変形例のアダプタ識別手段２３ｆも、基台２１の下面及び支持台１の上面の間に形成された凹所２９に設けられている。アダプタ識別手段２３ｆは、基台２１に脱着可能に取り付けられた識別用部材３０Ａを具備する。具体的には、凹所２９が設けられた位置にある基台２１の下面にはねじ穴３１（図３（ｄ）に示す例では２つのねじ穴３１）が形成され、識別用部材３０Ａは、ねじ穴３１に螺合するビス３２と、ビス３２をねじ穴３１に螺合することによって基台２１の下面に取り付けられる遮蔽板３６とを具備している。
また、アダプタ識別手段２３ｆは、凹所２９が設けられた位置にある支持台１の上面に取り付けられた透過型の光電スイッチ３７を具備する。光電スイッチ３７の出力信号（オン・オフ信号）は、制御手段４に送信される。識別用部材３０Ａが取り付けられた位置にある光電スイッチ３７（図３（ｄ）に示す例では左側の光電スイッチ３７）は、光電スイッチ３７の投光部から投光されたレーザ光が識別用部材３０の遮蔽板３６によって遮蔽され、光電スイッチ３７の受光部で受光されず、光電スイッチ３７がオンの状態になる。一方、識別用部材３０Ａが取り外された位置にある光電スイッチ３７（図３（ｄ）に示す例では右側の光電スイッチ３７）は、投光されたレーザ光が受光され、光電スイッチ３７がオフの状態になる。図３（ｄ）に示す例では、左右の識別用部材３０Ａの脱着の組み合わせにより、左右の光電スイッチ３７のオン・オフの状態が４つのパターンに切り替え可能となる。換言すれば、左右の識別用部材３０Ａの脱着の組み合わせにより、制御手段４は４種類のカセット設置用アダプタ２を識別可能である。
【００４０】
第１〜第３変形例のアダプタ識別手段２３ｄ〜２３ｆによっても、アダプタ識別手段２３と同様に、カセット設置用アダプタ２の種類を識別可能であり、制御手段４は、識別されたカセット設置用アダプタ２に応じた制御手順を選択し、該選択した手順に従って搬送機構３を制御することが可能である。
なお、上述した第１〜第３変形例のアダプタ識別手段２３ｄ〜２３ｆでは４種類のカセット設置用アダプタ２を識別可能であるが、脱着可能に取り付けられる識別用部材３０、３０Ａの数を増やすと共に、これに応じて、マイクロスイッチ３４、光電スイッチ３５、３７の数を増やせば、より多くの種類のカセット設置用アダプタを識別可能である。
また、第１変形例では、マイクロスイッチ３４の可動部が押し下げられたときにマイクロスイッチ３４がオンの状態となり、可動部が上がったままのときにオフの状態となる場合について説明したが、オン・オフの論理を反転（すなわち、マイクロスイッチ３４の可動部が押し下げられたときにマイクロスイッチ３４がオフの状態となり、可動部が上がったままのときにオンの状態となる）させることも無論可能である。第２及び第３変形例についても同様である。
【００４１】
また、第１〜第３変形例では、基台２１に脱着可能に取り付けられた識別用部材３０、３０Ａを具備する構成について説明したが、本発明はこれに限るものではなく、識別用部材３０が具備するブロック３３や識別用部材３０Ａが具備する遮蔽板３６を基台２１に設けた一軸ステージ上に取り付け、スライド可能にすることも可能である。或いは、ブロック３３や遮蔽板３６にビス３２を挿通する長穴を形成し、ブロック３３や遮蔽板３６をその長穴に沿ってスライド可能にすることも可能である。そして、ブロック３３や遮蔽板３６の取り付け位置（スライド後に停止した位置）に応じて、マイクロスイッチ３４のオン・オフが切り替わったり、光電スイッチ３５、３７のオン・オフが切り替わるようにすればよい。
さらに、第１〜第３変形例では、アダプタ識別手段２３ｄ〜２３ｆが基台２１の下面及び支持台１の上面の間に形成された凹所２９に設けられる構成について説明したが、本発明はこれに限るものではなく、基台２１の側面に凹所を設け、この凹所にアダプタ識別手段２３ｄ〜２３ｆを設ける構成とすることも可能である。
【００４２】
以上に説明した構成を有するウェハ搬送装置１００にカセットＣを設置するには、まず最初に、カセット設置用アダプタ２を下部形状の異なる複数種類のカセットＣの種類数に応じて複数用意する。用意する複数のカセット設置用アダプタ２の各基台２１の形状は、カセットＣの種類に関わりなく同じ形状である。そして、複数のカセット設置用アダプタ２のそれぞれが備える各係合部材２２をスライドさせて、複数種類のカセットＣのそれぞれを複数のカセット設置用アダプタ２のそれぞれが備える基台２１に載置したときに各係合部材２２が各カセットＣのそれぞれの下部と係合して基台２１上での各カセットＣの移動を阻止可能なように、各カセット設置用アダプタ２毎に各係合部材２２を位置決めしておけばよい。
次に、アダプタ識別手段として、第１〜第３変形例のアダプタ識別手段２３ｄ〜２３ｆを用いる場合には、カセット設置用アダプタ２に設置するカセットＣの種類に応じて、カセット設置用アダプタ２を識別可能なように、識別用部材３０、３０Ａの脱着や取り付け位置を手動で調整する。アダプタ識別手段としてアダプタ識別手段２３を用いる場合には、このような調整は不要である。
最後に、各係合部材２２が位置決めされた複数のカセット設置用アダプタ２のうち、ウェハ搬送装置１００に設置するカセットＣの種類に応じたカセット設置用アダプタ２を選択する。そして、選択したカセット設置用アダプタ２が備える基台２１をカセット支持台１に取り付け、カセット支持台１に取り付けられたカセット設置用アダプタ２が備える各係合部材２２にカセットＣを係合させればよい。各係合部材２２は、前述のように予め位置決めされているため、各係合部材２２にカセットＣを係合させる際、各係合部材２２の位置調整は不要である。
【００４３】
本実施形態に係るカセット設置用アダプタ２によれば、カセット設置用アダプタ２が備える複数の係合部材２２のそれぞれは、スライド可能であり、カセットＣの下部と係合して基台２１上でのカセットＣの移動を阻止可能（固定可能）なように、カセットＣの下部形状に応じて位置決めされている。したがって、固定するカセットＣの種類（カセットＣの下部形状の種類）に応じて各係合部材２２の形状を異なるものとしなくても、カセットＣの種類に関わりなく同じ形状とされた各係合部材２２をスライドさせてその位置を予め調整しておくだけで、複数種類のカセットＣを固定可能である。すなわち、下部形状の異なるカセットＣの種類数に応じた数の異なるカセット設置用アダプタ２を製作して用意しておく必要がなく、同一のカセット設置用アダプタ２（同一の基台２１及び係合部材２２）を製作して各係合部材２２の位置のみをスライドして調整しておくだけで良いため、簡易に且つ安価に、複数種類のカセットＣを交換してウェハ搬送装置１００に取り付けることが可能である。
【００４４】
また、本実施形態に係るカセット設置用アダプタ２は、下部形状の異なる複数種類のカセットＣのうち何れの種類のカセットＣが設置されるカセット設置用アダプタ２であるのかを識別するためのアダプタ識別手段２３（又は、アダプタ識別手段２３ｄ〜２３ｆのいずれか）を備えている。このため、カセット支持台１に載置したカセットＣの種類に応じて、ウェハＷを搬送する搬送機構３の動作を切り替える必要が生じる場合、オペレータの視認によるカセットＣの種類の識別や手動での搬送機構３の動作の切り替えではなく、アダプタ識別手段２３（又は、アダプタ識別手段２３ｄ〜２３ｆのいずれか）によるカセット設置用アダプタ２の種類の自動識別（これによるカセットＣの種類の自動識別）と識別結果に基づく搬送機構３の動作の自動切り替えが可能となり、適正なウェハＷの搬送が可能となる。
【００４５】
さらに、本実施形態に係るウェハ搬送装置１００によれば、ウェハＷを搬送する搬送機構３を制御する制御手段４に、下部形状の異なる複数種類のカセットＣのそれぞれが設置されるカセット設置用アダプタ２に応じた制御手順が予め記憶される。そして、制御手段４が、アダプタ識別手段２３（又は、アダプタ識別手段２３ｄ〜２３ｆのいずれか）からの出力信号に対応するカセット設置用アダプタ２に応じた制御手順を選択し、選択した手順に従って搬送機構３を制御する。すなわち、カセット設置用アダプタ２の種類がアダプタ識別手段２３（又は、アダプタ識別手段２３ｄ〜２３ｆのいずれか）によって自動的に識別（これによりカセットＣの種類も自動的に識別）され、識別結果に基づいて制御手段４により搬送機構３の制御手順が自動的に切り替わる（これにより搬送機構３の動作が自動的に切り替わる）ため、適正なウェハＷの搬送が可能となる。
【符号の説明】
【００４６】
１・・・カセット支持台
２・・・カセット設置用アダプタ
３・・・搬送機構
４・・・制御手段
２１・・・基台
２２・・・係合部材
２３、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆ・・・アダプタ識別手段
１００・・・ウェハ搬送装置
Ｃ・・・カセット
Ｗ・・・ウェハ
【図１】
2016149436.tif 000003
【図２】
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【図３】
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