(57)【要約】【課題】本発明は、予備ノズルを備えた構造であってもスジ状のムラの発生を抑制できる液滴吐出方法及び有機半導体素子の製造方法の提供を目的とする。【解決手段】本発明の液滴吐出方法は、複数回の走査の各々において、複数の被吐出領域に対し、複数のノズルのうち当該被吐出領域と相対するノズルから少なくとも一つの対応ノズルを設定するステップと、複数の被吐出領域の一つに対し、各々の走査において設定された全ての対応ノズルからなる対応ノズル群を設定するステップと、を有する対応ノズル設定工程と、予備ノズル設定工程は、複数の被吐出領域に対応するノズル群の中に、他のノズルを補足することが可能な予備ノズルが少なくとも一つ含まれ、かつ前記複数回の走査の各々において、前記予備ノズルが少なくとも一つ以上設定されるように予備ノズルを設定するステップを有する予備ノズル設定工程を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルを有するヘッドと複数の被吐出領域を有する基体とを相対的に移動させる複数回の走査を行いながら、前記複数のノズルから液滴を吐出して前記基体に描画を行う液滴吐出方法であって、
前記液滴吐出方法は、
対応ノズル設定工程と、
予備ノズル設定工程と、を有し、
前記対応ノズル設定工程は、
前記複数回の走査の各々において、前記複数の被吐出領域の一つに対し、前記複数のノズルのうち当該被吐出領域と相対するノズルから少なくとも一つ選ばれる対応ノズルを設定するステップと、
前記対応ノズルを、前記複数の被吐出領域の各々に対して設定するステップと、
前記複数の被吐出領域の一つに対し、各々の前記走査において設定された全ての前記対応ノズルからなる対応ノズル群を設定するステップと、
前記複数の被吐出領域の各々に対し、前記対応ノズル群を設定するステップと、を有し
前記予備ノズル設定工程は、
前記複数の被吐出領域の各々に対応する前記対応ノズル群の中に、他のノズルを補足することが可能な予備ノズルが少なくとも一つ含まれ、かつ前記複数回の走査の各々において、前記予備ノズルが少なくとも一つ以上設定されるように前記予備ノズルを設定するステップを有し、
前記対応ノズル設定工程において前記各被吐出領域に対して設定された前記対応ノズル群と、前記予備ノズル設定工程おいて前記各被吐出領域に対して設定された前記予備ノズルとに基づいて描画を行うことを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項２】
前記予備ノズル設定工程では、
前記複数回の走査の各々において、前記複数の被吐出領域に設定された前記対応ノズルのうちの少なくとも一つのノズルが前記予備ノズルとして設定され、かつ前記複数の被吐出領域の各々に対し、各々の対応ノズル群のうちの少なくとも一つのノズルが前記予備ノズルとして設定されるように、前記予備ノズルを設定することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出方法。
【請求項３】
前記複数の被吐出領域の各々に対し、前記対応ノズル群を構成するノズル数が全ての前記被吐出領域において同じとなるように設定することを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の液滴吐出方法。
【請求項４】
前記複数の走査の各々において、
すべての被吐出領域において設定された対応ノズルの数から、すべての被吐出領域において設定された予備ノズルの数を差し引いたノズル数が略均等であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
【請求項５】
前記複数の走査の各々の間で、
すべての被吐出領域において設定された対応ノズルの数から、すべての被吐出領域において設定された予備ノズルの数を差し引いたノズル数の差が、３ノズル以内であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の液滴吐出方法。
【請求項６】
前記被吐出領域の短手方向に沿って前記走査を行って前記描画する場合において、
前記対応ノズル群のうち、前記被吐出領域の中央に近い位置のノズルを優先的に予備ノズルとして設定することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
【請求項７】
前記被吐出領域の長手方向に沿って前記走査を行って前記描画を行う場合において、
前記対応ノズル群のうち前記被吐出領域の端部に近い位置のノズルを優先的に予備ノズルとして設定することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
【請求項８】
隣接する前記対応ノズル群の最も一端側に配置されるノズル間のピッチｄ１が、
同一の対応ノズル群の中で、同一の前記走査で液滴を吐出するように設定されたノズル間のピッチｄ２の整数倍でないことを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
【請求項９】
前記複数回の走査の各々の間に、前記走査の方向と交差する方向に前記ヘッドと前記基体とを相対的に移動させる副走査を行うことを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
【請求項１０】
前記複数のノズルの吐出状態を調べるノズル検査工程をさらに有し、
前記ノズル検査工程において、
各々の前記対応ノズル群のいずれのノズルも不良ノズルと判定されなかった場合、前記予備ノズルにより液滴を吐出しないで描画を行い、
各々の前記対応ノズル群のいずれかのノズルが不良ノズルと判定された場合、同一の前記対応ノズル群に設定された予備ノズルにより、前記不良ノズルを補足するように液滴を吐出して描画を行うことを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
【請求項１１】
前記ノズル検査工程において、前記複数のノズルのいずれかに少なくとも１つの不良ノズルが有ると判明した場合に、予備ノズルを再設定する予備ノズル再設定工程を、さらに有する請求項１０に記載の液滴吐出方法。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか一項に記載の液滴吐出方法を用いた有機半導体素子の製造方法。
【請求項１３】
複数のノズルを有するヘッドと複数の被吐出領域を有する基体とを相対的に移動させる複数回の走査を行いながら、前記複数のノズルから液滴を吐出して前記基体に描画を行うことをコンピューターに実行させるための制御プログラムであって、
前記制御プログラムは、
対応ノズル設定工程と、
予備ノズル設定工程と、を有し、
前記対応ノズル設定工程は、
前記複数回の走査の各々において、前記複数の被吐出領域の一つに対し、前記複数のノズルのうち当該被吐出領域と相対するノズルから少なくとも一つ選ばれる対応ノズルを設定するステップと、
前記対応ノズルを、前記複数の被吐出領域の各々に対して設定するステップと、
前記複数の被吐出領域の一つに対し、各々の前記走査において設定された全ての前記対応ノズルからなる対応ノズル群を設定するステップと、
前記複数の被吐出領域の各々に対し、前記対応ノズル群を設定するステップと、を有し
前記予備ノズル設定工程は、
前記複数の被吐出領域の各々に対応する前記対応ノズル群の中に、他のノズルを補足することが可能な予備ノズルが少なくとも一つ含まれ、かつ前記複数回の走査の各々において、前記予備ノズルが少なくとも一つ以上設定されるように前記予備ノズルを設定するステップを有し、
前記対応ノズル設定工程において前記各被吐出領域に対して設定された前記対応ノズル群と、前記予備ノズル設定工程おいて前記各被吐出領域に対して設定された前記予備ノズルとに基づいて描画を行うように実行させる制御プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出方法、有機半導体素子の製造方法、制御プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、機能性材料を含む液滴を複数の微小ノズルから基体に対して吐出し、基体上に配置された液滴を固化して薄膜を形成することで、目的の描画像を描画するインクジェット方式を用いた方法が提案されている。この薄膜の代表的な例として、カラーフィルター膜や、有機ＥＬパネルの発光層等を挙げることができる。
【０００３】
特に有機ＥＬパネル等の有機半導体の分野では、従来の蒸着プロセスでは、材料の使用効率が悪くコストがかかるという課題や、蒸着時の高温によりファインメタルマスクがずれ、成膜パターンの精度が低下するという課題を有しており、上述のようなインクジェット技術を利用した印刷方法に注目が集まっている。
【０００４】
一方、インクジェット方式では、複数の微小ノズルのうち１つが何らかの原因により不吐出等の不良となることがある。このような不良が発生すると、描画が続行できなくなるため、不良のノズルを含むヘッドを交換やクリーニング等を行う必要がある。しかしながら、このような回復作業は大掛かりであり、時間や吐出するインクの不要な消費を生み出してしまう。
【０００５】
そこで、ヘッド内の複数のノズル中、いずれかのノズルが不吐出となった場合に、その不吐出分を補足して、代わりに液滴を吐出できる予備ノズルを備えたインクジェット式アレイ描画装置が提案されている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−１８４２２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、基体に対して複数回の走査を行って液滴を吐出することで描画を行う場合において、予備ノズルを特に制限なく設定すると、描画像にスジ状のムラが発生することがあるという問題に、発明者らは気付いた。
【０００８】
そこで本発明は、このような問題点に鑑みなされたものであって、予備ノズルを備えた構造であってもスジ状のムラの発生を抑制できる液滴吐出方法及び有機半導体素子の製造方法の提供を目的とする。また予備ノズルを備えた構造であってもスジ状のムラの発生を抑制できる制御プログラムの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは、鋭意検討の結果、予備ノズルが特定の走査において描画を行うノズルに限定して設定されることで、スジ状のムラが発生していることを見出した。これは、ヘッド中の吐出ノズル数が少なくなることで、構造クロストークによる影響が大きくなるためと考えられる。ここで、構造クロストークとは、ノズルから液滴を吐出するためのピエゾ素子の振動が、他のノズルへ影響を与える現象を意味する。すなわち、吐出ノズル数が変化すると、構造クロストークによる他のノズルへの影響も変化し、ヘッド全体としての液滴吐出の状態が変化してしまう。この液滴吐出状態の変化がスジ状のムラの発生に繋がることを見出した。
本発明は、前記課題を解決する手段として、以下の構成を有する。
【００１０】
本発明の一態様に係る液滴吐出方法は、複数のノズルを有するヘッドと複数の被吐出領域を有する基体とを相対的に移動させる複数回の走査を行いながら、前記複数のノズルから液滴を吐出して前記基体に描画を行う液滴吐出方法であって、前記液滴吐出方法は、対応ノズル設定工程と、予備ノズル設定工程と、を有し、前記対応ノズル設定工程は、前記複数回の走査の各々において、前記複数の被吐出領域の一つに対し、前記複数のノズルのうち当該被吐出領域と相対するノズルから少なくとも一つ選ばれる対応ノズルを設定するステップと、前記対応ノズルを、前記複数の被吐出領域の各々に対して設定するステップと、前記複数の被吐出領域の一つに対し、各々の前記走査において設定された全ての前記対応ノズルからなる対応ノズル群を設定するステップと、前記複数の被吐出領域の各々に対し、前記対応ノズル群を設定するステップと、を有し、前記予備ノズル設定工程は、前記複数の被吐出領域に対応する前記対応ノズル群の中に、他のノズルを補足することが可能な予備ノズルが少なくとも一つ含まれ、かつ前記複数回の走査の各々において、前記予備ノズルが少なくとも一つ以上設定されるように前記予備ノズルを設定するステップを有し、前記対応ノズル設定工程において前記各被吐出領域に対して設定された前記対応ノズル群と、前記予備ノズル設定工程おいて前記各被吐出領域に対して設定された前記予備ノズルとに基づいて描画を行う。
【００１１】
また本発明の一態様に係る液滴吐出方法において、前記予備ノズル設定工程では、前記複数回の走査の各々において、前記複数の被吐出領域に設定された前記対応ノズルのうちの少なくとも一つのノズルが前記予備ノズルとして設定され、かつ前記複数の被吐出領域の各々に対し、各々の対応ノズル群のうちの少なくとも一つのノズルが前記予備ノズルとして設定されるように、前記予備ノズルを設定する工程を有してもよい。
【００１２】
この構成によれば、予備ノズルが複数回の走査の各々に割り当てられる。そのため、各走査における液滴を吐出する吐出ノズルの数の差を少なくすることができる。すなわち、各走査における構造クロストークの影響が小さくなり、スジ状のムラの発生を低減することができる。
【００１３】
また本発明の一態様に係る液滴吐出方法において、前記複数の被吐出領域の各々に対し、前記対応ノズル群を構成するノズル数が全ての前記被吐出領域において同じとなるように設定してもよい
【００１４】
この構成によれば、複数の走査の各々の間で、すべての被吐出領域において設定された対応ノズルの数から、すべての被吐出領域において設定された予備ノズルの数を差し引いたノズル数の差を容易に算出することができる。すなわち、走査毎に設定された予備ノズル数を制御することで、スジ状のムラの発生を抑制することができる。
【００１５】
また、本発明の一態様に係る液滴吐出方法は、前記複数の走査の各々において、すべての被吐出領域において設定された対応ノズルの数から、すべての被吐出領域において設定された予備ノズルの数を差し引いたノズル数が略均等としてもよい。さらに本発明の一態様に係る液滴吐出方法は、前記複数の走査の各々の間で、すべての被吐出領域において設定された対応ノズルの数から、すべての被吐出領域において設定された予備ノズルの数を差し引いたノズル数の差が、３ノズル以内としてもよい。
【００１６】
この構成によれば、予備ノズルが複数回の走査の各々に略均等に割り当てられる。そのため、各走査における液滴を吐出する吐出ノズルの数の差を最も少なくすることができる。すなわち、各走査における構造クロストークの影響が最も小さくなり、スジ状のムラの発生をより低減することができる。
【００１７】
また本発明の一態様に係る液滴吐出方法は、前記被吐出領域の短手方向に沿って前記走査を行って前記描画する場合において、前記対応ノズル群のうち、前記被吐出領域の中央に近い位置のノズルを優先的に予備ノズルとして設定もよい。
【００１８】
この構成によれば、一つの被吐出領域の全体に広く液滴を吐出することができ、液滴の濡れ拡がり性を高めることができる。そのため、一つの被吐出領域内での液滴の塗工ムラを抑制することができる。
【００１９】
また本発明の一態様に係る液滴吐出方法は、前記被吐出領域の長手方向に沿って前記走査を行って前記描画を行う場合において、前記対応ノズル群のうち前記被吐出領域の端部に近い位置のノズルを優先的に予備ノズルとして設定してもよい。
【００２０】
この構成によれば、被吐出領域外に液滴が乗り上げてしまうことを抑制することができる。そのため、隣接する被吐出領域間の混色や、被吐出領域外への色にじみ等を抑制することができる。
【００２１】
また本発明の一態様に係る液滴吐出方法は、隣接する前記対応ノズル群の最も一端側に配置されるノズル間のピッチｄ１が、同一の対応ノズル群の中で、同一の前記走査で液滴を吐出するように設定されたノズル間のピッチｄ２の整数倍でないことが好ましい。
【００２２】
この構成によれば、被吐出領域に対応する対応ノズル群のうち、所定の位置のノズルを予備ノズルと設定するだけで、構造上予備ノズルが、複数回の走査の各々に分散して配置される。そのため、予備ノズルの設定が容易となる。
【００２３】
また本発明の一態様に係る液滴吐出方法は、前記複数回の走査の各々の間に、前記走査の方向と交差する方向に前記ヘッドと前記基体とを相対的に移動させる副走査を行ってもよい。
【００２４】
この構成によれば、特定の位置に液滴吐出量が集中することを抑制し、吐出量のばらつきの差（アーチ形状）を緩和することができる。したがって、よりムラの少ない高品位の描画を行うことができる。
【００２５】
また本発明の一態様に係る液滴吐出方法は、前記複数のノズルの吐出状態を調べるノズル検査工程をさらに有し、前記ノズル検査工程において、各々の前記対応ノズル群のいずれのノズルも不良ノズルと判定されなかった場合、前記予備ノズルにより液滴を吐出しないで描画を行い、各々の前記対応ノズル群のいずれかのノズルが不良ノズルと判定された場合、同一の前記対応ノズル群に設定された予備ノズルにより、前記不良ノズルを補足するように液滴を吐出して描画を行ってもよい。
【００２６】
この構成によれば、不良ノズルを使えるようにする回復作業に必要な時間や吐出するインクの不要な消費を避けることができる。
【００２７】
また本発明の一態様に係る液滴吐出方法は、前記ノズル検査工程において、前記複数のノズルのいずれかに少なくとも１つの不良ノズルが有ると判明した場合に、予備ノズルを再設定する予備ノズル再設定工程を、さらに有していてもよい。
【００２８】
この構成によれば、予備ノズルを初期設定した後に、検査工程で不良ノズルが実際に発生しても、複数回の走査の各々で、液滴を吐出する吐出ノズル数差を少なくするように再設定することができる。すなわち、構造クロストークの影響を小さくすることができ、スジ状のムラの発生をより低減することができる。
【００２９】
本発明の一態様に係る有機半導体素子の製造方法は、上述の液滴吐出方法を用いる。そのため、予備ノズルを備えた構造であってもスジ状のムラの発生を抑制できる。
【００３０】
本発明の一態様に係る制御プログラムは、複数のノズルを有するヘッドと複数の被吐出領域を有する基体とを相対的に移動させる複数回の走査を行いながら、前記複数のノズルから液滴を吐出して前記基体に描画を行うことをコンピューターに実行させるための制御プログラムであって、前記制御プログラムは、対応ノズル設定工程と、予備ノズル設定工程と、を有し、前記対応ノズル設定工程は、前記複数回の走査の各々において、前記複数の被吐出領域の一つに対し、前記複数のノズルのうち当該被吐出領域と相対するノズルから少なくとも一つ選ばれる対応ノズルを設定するステップと、前記対応ノズルを、前記複数の被吐出領域の各々に対して設定するステップと、前記複数の被吐出領域の一つに対し、各々の前記走査において設定された全ての前記対応ノズルからなる対応ノズル群を設定するステップと、前記複数の被吐出領域の各々に対し、前記対応ノズル群を設定するステップと、を有し前記予備ノズル設定工程は、前記複数の被吐出領域の各々に対応する前記対応ノズル群の中に、他のノズルを補足することが可能な予備ノズルが少なくとも一つ含まれ、かつ前記複数回の走査の各々において、前記予備ノズルが少なくとも一つ以上設定されるように前記予備ノズルを設定するステップを有し、前記対応ノズル設定工程において前記各被吐出領域に対して設定された前記対応ノズル群と、前記予備ノズル設定工程おいて前記各被吐出領域に対して設定された前記予備ノズルとに基づいて描画を行うように実行させる。この構成によれば、作業者の技量によらず、スジ状のムラの発生を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】液滴吐出装置と基体の全体像の一例を模式的に示した図である。
【図２】液滴吐出装置のヘッドと、基体の被吐出領域との関係を模式的に示した図である。
【図３】ヘッド内の吐出ノズル数の違いに伴い、各吐出ノズルから吐出される吐出液滴重量（ｎｇ）の違いを示したグラフである。
【図４】（ａ）は、被吐出領域に対するヘッドの走査方向を模式的に示した図であり、（ｂ）は、被吐出領域の中央に近い位置の対応ノズルを予備ノズルとして設定した場合の液滴塗布状態を模式的に示した断面模式図であり、（ｃ）は、被吐出領域の端部に近い位置の対応ノズルを予備ノズルとして設定した場合の液滴塗布状態を模式的に示した断面模式図である。
【図５】（ａ）は、被吐出領域に対するヘッドの走査方向を模式的に示した図であり、（ｂ）は、被吐出領域の中央に近い位置の対応ノズルを予備ノズルとして設定した場合の液滴塗布状態を模式的に示した断面模式図であり、（ｃ）は、被吐出領域の端部に近い位置の対応ノズルを予備ノズルとして設定した場合の液滴塗布状態を模式的に示した断面模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本発明を添付図面に示す実施形態に基づいて説明する。
なお、この実施形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。
【００３３】
（液滴吐出装置の機械的構成及び機械的動作）
まず、本発明の一態様に係る液滴吐出方法を用いて液滴を吐出できる液滴吐出装置の機械的構成及び機械的動作について説明する。
図１は、液滴吐出装置と基体の全体像の一例を模式的に示した図である。
図１に示すように、液滴吐出装置１００は、基体２００に対して、図示Ｘ方向及びＹ方向に、相対的に走査することができる。ここで、図示Ｘ方向は、基体２００の長手方向であり、図示Ｙ方向は、基体２００の短手方向である。また図示Ｚ方向は、紙面手前方向であり、基体２００から液滴吐出装置１００へ向かう鉛直方向である。
基体２００には、複数の被吐出領域２０が配置されている。被吐出領域２０は、図示一部のみを記載したが、基体２００全面に配置されている。この被吐出領域２０内に、液滴吐出装置１００のヘッド群１０から吐出される液滴が着弾し、乾燥固化することによって基体２００に対して描画が行われる。ヘッド群１０は、赤色液滴吐出用ヘッド１Ｒと、緑色液滴吐出用ヘッド１Ｇと、青色液滴吐出用ヘッド１Ｂを備える。赤色液滴吐出用ヘッド１Ｒと、緑色液滴吐出用ヘッド１Ｇと、青色液滴吐出用ヘッド１Ｂのそれぞれは、赤色液供給手段２Ｒ、緑色液供給手段２Ｇ、青色液供給手段２Ｂに接続され、各色の液滴をヘッドに供給できる構成となっている。例えば、基体２００が有機ＥＬディスプレイの場合、ヘッド群１０が上記３色の液滴を吐出できるヘッドを有することで、ＲＧＢ全被吐出領域において発光層を形成することができる。
【００３４】
図１では、液滴吐出装置１００がヘッド群１０を４つ有する場合の構成を模式的に示している。液滴吐出装置１００は、当該構成に限られず、ヘッド群１０が４より少ない場合及び多い場合のいずれの構成をとることができる。
図１の構成の液滴吐出装置１００では、２つのヘッド群１０が、Ｙ方向から見て、同色の吐出ヘッドによる吐出領域が重ならないようにＸ方向に位置をずらして２列で配置されている。またＸ方向に一定の距離を置いて、さらに２つのヘッド群１０が同様に配置されている。そのため、液滴吐出装置１００をＹ方向に相対的に移動（以下、「主走査」という。）させながら液滴を吐出することで、基体２００の端部から２列分のヘッド群の幅を、一定の距離をあけて描画することができる。次いで、液滴吐出装置１００をＸ方向に、ヘッド２列分移動（以下、「副走査」という。）した後、再度主走査を行うことで、さらに２列分のヘッド群の幅を描画することができる。Ｙ方向への主走査と、Ｘ方向への副走査を繰り返すことで、基体２００全面に液滴を吐出することができる。
【００３５】
基体２００への描画は、１回の描画では精度の高い描画が難しいため、上述の工程を複数回繰り返すのが一般的である。例えば、図１においては、３回の主走査と２回の副走査により基体２００全面の１回目の描画が行われる。この３回の主走査と２回の副走査を併せて「走査」とする。この走査を複数回繰り返すことで、基体２００への描画を完成させる。例えば、４回の走査で、基体２００への描画を完了させる。このとき、一つヘッドにより描画される被吐出領域２０に注目した場合、各被吐出領域２０は４回の主走査により描画される。
本実施形態では、３回の主走査と２回の副走査を１走査としたが、この数に限定されなくてもよい。例えば、２回の主走査と１回の副走査を１走査とする、あるいは１回の主走査を１走査としてもよい。
【００３６】
図２は、液滴吐出装置のヘッドと、基体の被吐出領域との関係を模式的に示した図である。液滴吐出装置のヘッドは、上述のように赤色液滴吐出用ヘッド１Ｒ、緑色液滴吐出用ヘッド１Ｇ及び青色液滴吐出用ヘッド１Ｂの３つがあるが、いずれも同様の構成を有しているため、以下ではヘッド１として表記する。また図２では、ヘッド１の一部のみを拡大して図示している。
ヘッド１は、複数のノズルｎを有する。例えば、一つのヘッド１に対して１００〜２００程度のノズルｎが設けられる。図２では、ノズルｎを一列で図示したが、当該構成には限られず、例えば、２列で千鳥配置等にしてもよい。液滴は、これら複数のノズルｎから吐出される。より具体的には、各ノズルｎに設けられたピエゾ素子（図視略）が振動することより液滴が、基体２００に配置された複数の被吐出領域２０に吐出される。
【００３７】
（液滴吐出方法）
本発明の一態様に係る液滴吐出方法は、上述のように、複数のノズルｎを有するヘッド１と基体２００を相対的に移動させながら、ノズルｎから液滴を複数回の走査に分けて基体２００の所定の被吐出領域２０に吐出する液滴吐出方法である。
この液滴吐出方法は、対応ノズル設定工程と、予備ノズル設定工程を有する。
対応ノズル設定工程は、複数回の走査の各々において、複数の被吐出領域２０の一つに対し、複数のノズルｎのうち当該被吐出領域２０と相対するノズルｎから少なくとも一つの対応ノズルを設定するステップと、対応ノズルを複数の被吐出領域２０の各々に対して設定するステップと、複数の被吐出領域２０の一つに対し、各々の走査において設定された全ての対応ノズルからなる対応ノズル群を設定するステップと、複数の被吐出領域２０の各々に対し、対応ノズル群を設定するステップと、を有する。
また予備ノズル設定工程は、複数の被吐出領域２０に対応するノズル群の中に、他のノズルを補足することが可能な予備ノズルが少なくとも一つ含まれ、かつ複数回の走査の各々において、予備ノズルが少なくとも一つ以上設定されるように予備ノズルを設定するステップを有する。
【００３８】
（対応ノズル設定工程）
まず、対応ノズル設定工程について説明する。
図２に示すように、ヘッド１は複数のノズルｎを有する。これに対し、液滴は所定の被吐出領域２０が形成された位置にのみ吐出される必要がある。そのため、複数のノズルｎの中から各被吐出領域２０に対して液滴を吐出するように設定される対応ノズルと、この対応ノズルの集合体である対応ノズル群１１を設定する。
ここで、「対応ノズル」とは、実際の液滴吐出段階において、複数回の走査の各々で、被吐出領域２０に対して液滴を吐出するように設定されたノズルを意味する。すなわち、「対応ノズル」は、一つの吐出領域２０に対して、複数回の走査のいずれにおいて液滴を吐出するかという情報まで有している。また「対応ノズル群」とは、各被吐出領域２０に対して、各々の走査において設定された対応ノズルの集合体を意味する。
また、「被吐出領域２０に対応する位置」とは、被吐出領域２０とヘッド１が平面視した際に重なる位置と言う意味ではなく、ヘッド１のノズルｎから吐出した液滴が被吐出領域２０の範囲内に収まることができる位置と言う意味である。すなわち、より正確に記載すると、「液滴が被吐出領域２０に着弾した際に濡れ広がる略円の半径分だけ、被吐出領域２０の外周から内側の領域と、ヘッド１が平面視した際に重なる位置」と換言することができる。そのため、図２に示すように、被吐出領域２０が平面視で重なる位置に配置されたノズルｎでも、描画ノズル群１１には入らない場合もある。これら描画ノズル群１１として設定されなかったノズルは、当該被吐出領域２０に対しては不吐出のノズルとなる。
【００３９】
以下、対応ノズル設定工程について具体的に説明する。
まず、一つの被吐出領域２０に着目する。上述のように、一つの被吐出領域２０への液滴の吐出は複数回に分けて行われる。例えば４回の走査で基体２００への吐出を完了させる場合、一つの被吐出領域２０に対する液滴の吐出も４回行われることになる。そのため、４回の走査毎にいずれのノズルｎが被吐出領域２０に対して液滴を吐出することになるかをまず設定する。
【００４０】
以下、４回の走査により描画を完成させる場合を例に具体的に説明する。図２に示すように、一つの被吐出領域２０上を通過するノズルｎは複数ある。これらのノズルｎは、被吐出領域２０上を通過する度に全てのノズルｎから液滴を吐出する訳ではない。すなわち、各走査で吐出するノズルを変更しながら一つの被吐出領域２０に対する描画を完成させる。
したがって、まず１回目の走査において液滴を吐出するように設定する対応ノズル（以下、「第１走査対応ノズルｎ１」という。）を設定する。第１走査対応ノズルｎ１は、一つの被吐出領域２０上を通過するノズルｎの中から１つ以上のノズルｎを設定する。図２の最も図示右側の被吐出領域２０では、最も右側のノズル及び右から５番目のノズルを、第１回目の走査で液滴を吐出するように設定した第１走査対応ノズルｎ１とした。走査は４回行われるため、各走査において液滴を吐出するように設定する対応ノズル（以下、「第ｍ走査対応ノズルｎｍ（ｍは走査回数）」という。）を設定する。図２の最も図示右側の被吐出領域２０に対しては、右から２番目及び６番目のノズルを第２回目の走査で液滴を吐出するように設定された第２走査対応吐出ノズルｎ２とし、右から３番目のノズルを第３回目の走査で液滴を吐出するように設定された第３走査対応ノズルｎ３とし、右から４番目のノズルを第４回目の走査で液滴を吐出するように設定された第４走査対応ノズルｎ４と設定する。
【００４１】
上述の手順で、一つの被吐出領域２０に対する対応ノズルの設定がされた。次いで、基体２００内に複数存在する各被吐出領域２０に対して、同様の手順で対応ノズルを設定する。この手順に従うことで、基体２００内に存在する全ての被吐出領域２０に対して対応ノズルｎ１〜ｎ４が設定される。
【００４２】
ここで、被吐出領域２０上を通過するノズルｎの中から、どのノズルｎを第ｍ走査対応ノズルｎｍとするかの設定は、以下のような手順で行うことが好ましい。まず走査回数を決定する。次いで、ヘッド１の端部から順に番号を割り振る。この割り振りは、１〜走査回数までの数を端部から順に繰り返しながら割り振る。その後、被吐出領域２０の着弾可能な領域上を通過するノズルｎに対して振られた番号を、第ｍ回目の走査で液滴を吐出する回数として設定する。
例えば、図２のように４回の走査で描画を完成させる場合は、図示最も右端から１〜４の番号を繰り返して、番号を割り振る。そして、この番号をそのまま、当該ノズルが液滴を吐出する際の走査回数として用いることで、第１走査対応ノズルｎ１〜第４走査対応ノズルｎ４が設定される。
このように設定することで、ヘッド１内での液滴の吐出量ばらつきを抑えることができる。
【００４３】
次いで、基体２００上の複数の被吐出領域２０の各々に対し、各走査で設定された対応ノズルの集合体を対応ノズル群１１として設定する。すなわち、図２の４回の走査で描画を完成させる場合は、対応ノズル群１１は第１走査対応ノズルｎ１〜第４走査対応ノズルｎ４からなる。
【００４４】
ここで、一つのヘッド内に設定される各対応ノズル群を構成するノズル数は、同じであることが好ましい。一つのヘッド１のノズルｎからは、同一の色の液滴を吐出することが通常である。例えば、図１では、赤色の液滴の吐出は赤色液滴吐出用ヘッド１Ｒ、緑色の液滴の吐出は緑色液滴吐出用ヘッド１Ｇ、青色の液滴の吐出は青色液滴吐出用ヘッド１Ｂとなっている。したがって、「１つのヘッド内に設定される各対応ノズル群」は、「同色の被吐出領域２０に対応する各対応ノズル群」と同義である。ここで、同色の被吐出領域２０内に吐出される吐出量は同一であることが好ましい。同色の被吐出領域２０内に吐出される吐出量が同一であれば、面内の描画像のムラは少なくできるためである。
すなわち、一つのヘッド内に設定される各対応ノズル群を構成するノズル数が同じであれば、同色の被吐出領域２０内に吐出される吐出量が同一とすることができ、面内の描画像のムラは少なくすることができる。
【００４５】
（予備ノズル設定工程）
次いで、対応ノズル群１１におけるいずれか一つの対応ノズルが不良ノズルとなった際に、液滴を代わりに吐出して補足することが可能な予備ノズルを、各対応ノズル群１１に少なくとも一つ含まれるように設定する。
これは、既に上述のように、インクジェット方式では、複数の微小ノズルのうち１つが何らかの原因により不吐出となる、目的の吐出量を吐出できない、所定の方向に液滴を飛ばせない等の不良ノズルとなることがある。このような不良が発生すると、描画が続行できなくなるため、不良ノズルを含むヘッドを交換やクリーニング等を行う必要がある。このようなヘッドの交換やクリーニング等は時間を要するため、生産性を低下させてしまう。
【００４６】
例えば図２の構成の場合、対応ノズル群１１の中にある６つの対応ノズルのいずれか一つを予備ノズルとして設定する。一つの被吐出領域に対して、多くの液滴を吐出するカラーフィルター等の作製では、最終走査時に液滴を吐出する対応ノズルを予備ノズルとして設定することが一般的であった。すなわち、図２の構成の場合、４回目の走査時に液滴を吐出する第４走査対応ノズルｎ４を予備ノズルとして設定していた。
これは、最終走査時に被吐出領域内に多量のインクを吐出すると、液面の振動が大きくなり、隣接する被吐出領域間の液面が互いに接触してしまい、混色が発生する可能性があるためである。
【００４７】
そのため、近年の技術発展に伴い、吐出液滴数の低減された現在でも、同様に最終走査時の対応ノズルを予備ノズルとして設定することが技術常識とされていた。
しかしながら、本発明者らの鋭意検討の結果、吐出液滴数が低減された結果、混色の発生はほとんど生じないことに気が付いた。特に、有機ＥＬディスプレイの有機発光層等の有機薄膜を作製する場合、一つの被吐出領域に対して吐出する液滴量は１０滴程度と非常に少なく、混色の問題は生じないことを見出した。
一方、吐出液滴数が少ないため、１走査毎の液滴吐出量をより精密に制御する必要が生じている。そのため、最終走査時の対応ノズルを予備ノズルとするように設定を集中させると、同一電圧を印加しても吐出量が少なくなったり、アーチ形状が変化してしまい、スジ状のムラが発生するという新たな問題に気付いた。
そして、この問題は、予備ノズルが特定の走査において描画を行うノズルに限定して設定されることで、特定の走査時においてヘッド中の吐出ノズル数が少なくなり、構造クロストークによる影響が大きくなることに起因することを見出した。
【００４８】
まず、予備ノズルが特定の走査において描画を行うノズルに限定して設定されると、特定の走査時においてヘッド中の吐出ノズル数が少なくなる理由について説明する。
予備ノズルは、対応ノズル群１１内に不良ノズルが発生しない場合、吐出を行うことは無い。不良ノズルは、それほど頻繁に発生するものではないので、予備ノズルが不吐出となることが多い。すなわち、予備ノズルを特定の走査において描画を行うノズルに限定して設定されると、その走査においてヘッドから液滴を吐出する吐出ノズル数は、その他のパスと比較して著しく少ないものとなる。
例えば、図２の構成を用いて具体的に説明する。図２では、ヘッド１の一部のみを図示しているため、ヘッド１は図示両端に続いている。例えば、ヘッド１内に、対応ノズル群１１が５グループあった場合、第１走査対応ノズルｎ１に設定されるノズルは８ノズル、第２走査対応ノズルｎ２に設定されるノズルは８ノズル、第３走査対応ノズルｎ３に設定されるノズルは７ノズル、第４走査対応ノズルｎ４に設定されるノズルは７ノズルである。この際、第４走査対応ノズルｎ４を予備ノズルとして設定すると、第１走査で液滴を吐出するノズル数は８ノズル、第２走査で液滴を吐出するノズル数は８ノズル、第３走査で液滴を吐出するノズル数は７ノズル、第４走査で液滴を吐出するノズル数は７−５＝２ノズルとなる。すなわち、第４走査で液滴を吐出する吐出ノズル数のみが著しく少なくなる。
【００４９】
次いで、吐出ノズル数が少なくなり、スジ状のムラが生じることについて説明する。
図３は、ヘッド内の吐出ノズル数の違いによる、各吐出ノズルから吐出される吐出液滴重量（ｎｇ）の違いを示したグラフである。図３の横軸は、ノズルＮｏ．であり、縦軸は、吐出液滴重量である。すなわち、一つのヘッドの各ノズルに同一の電圧を印加し液滴を吐出した際に、各ノズルで吐出される吐出液滴重量を示している。
吐出ノズル数が多い場合は、一つのヘッド内の各ノズルから吐出される液滴重量が多く、ヘッド内での吐出量差も少ない。これに対し、吐出ノズル数が少ない場合は、一つのヘッド内の各ノズルから吐出される液滴重量も少なく、ヘッド内での吐出量差が多い。そのため、図３に示すように、山谷の大きなアーチ形状となる。この大きなアーチ形状が、描画後の基体２００にスジ状のムラを残す原因となる。そのため、描画品位を高めるためにこのムラを抑制する必要がある。
【００５０】
本発明の一態様に係る液滴吐出方法の予備ノズル設定工程では、予備ノズルが複数回の走査の各々において少なくとも一つ以上設定されるように設定する。すなわち、予備ノズルとして設定する対応ノズルとして、第１対応ノズル〜第ｍ対応ノズルがそれぞれ一回以上選択されるように、各対応ノズル群１１において予備ノズルの設定を行う。このように予備ノズルを設定することで、特定の走査時においてヘッド中の吐出ノズル数が少なくなることを抑制し、スジ状のムラの発生を低減することができる。
【００５１】
また予備ノズルの設定は、複数回の走査の各々において、複数の被吐出領域２０に設定された対応ノズルのうちの少なくとも一つのノズルが予備ノズルとして設定され、かつ複数の被吐出領域２０の各々に対し、各々の対応ノズル群１１のうちの少なくとも一つのノズルが予備ノズルとして設定されるように、行ってもよい。このように設定することで、設定される予備ノズルがより一義的に、各走査に分散される。すなわち、特定の走査時においてヘッド中の吐出ノズルが少なくなることを抑制できる。
【００５２】
またこの際、上述した対応ノズル設定工程における対応ノズル群を設定するステップにおいて、複数の被吐出領域２０の各々に対し、対応ノズル群１１を構成するノズル数が全ての被吐出領域２０において同じとなるように設定することが好ましい。このように設定することで、複数の走査の各々の間で、すべての被吐出領域において設定された対応ノズルの数から、すべての被吐出領域において設定された予備ノズルの数を差し引いたノズル数の差を容易に算出することができる。すなわち、走査毎に設定された予備ノズル数を制御することで、スジ状のムラの発生を抑制することができる。
【００５３】
複数の走査の各々において、すべての被吐出領域において設定された対応ノズルの数から、すべての被吐出領域において設定された予備ノズルの数を差し引いたノズル数が略均等となることが好ましい。このように設定することで、スジ状のムラの発生をより低減することができる。ここで、「略均等」とは、一つのヘッド内で各走査に割り当てられた予備ノズル数の差が、最も少なくなるようにすることを意味する。例えば、図２の構成の場合、右側の対応ノズル群１１から順に、第１走査対応ノズルｎ１、第２走査対応ノズルｎ２、第３走査対応ノズルｎ３、第４走査対応ノズルｎ４を予備ノズルとして設定する。
また複数の走査の各々の間で、すべての被吐出領域において設定された対応ノズルの数から、すべての被吐出領域において設定された予備ノズルの数を差し引いたノズル数の差が、３ノズル以内であることが好ましい。上述のように、このノズル数の差を３ノズル以内にすれば、ヘッド内の吐出量差に伴う、吐出量のアーチ形状の影響が描画品位に影響を及ぼすことを十分低減することができる。すなわち、よりスジ状のムラが描画像に現れることを抑制することができる。例えば、図２の構成において、上記の予備ノズル設定を行った場合、第１走査から第４走査で液滴を吐出する吐出ノズル数は、すべて５ノズルである。すなわち、３ノズル以内であり、スジ状のムラは発生しない。
【００５４】
また図２に示すように、隣接する対応ノズル群１１の最も一端側に配置されるノズル間のピッチｄ１が、同一対応ノズル群１１の中で、同一の走査で液滴を吐出するように設定されたノズル間のピッチｄ２の整数倍でないことが好ましい。隣接する対応ノズル群１１の最も一端側に配置されるノズル間のピッチｄ１が、同一対応ノズル群１１の中で同一の走査で液滴を吐出するように設定されたノズル間のピッチｄ２の整数倍の場合、各対応ノズル群１１において同一走査で液滴を吐出するように設定されたノズルの配置が同一となる。換言すると、隣接する対応ノズル群１１の最も一端側に配置されるノズル間のピッチｄ１が、同一対応ノズル群の中で、同一のパスで液滴を吐出するように設定されたノズル間のピッチｄ２の整数倍でなければ、隣接する対応ノズル群１１において同一走査で液滴を吐出するノズルの配置は異なる。すなわち、対応ノズル群１１の所定の位置のノズルを予備ノズルとするように設定するだけで、構造上、自然と走査毎に配置される予備ノズル数が略均等となる。したがって、複雑なプログラム等を設定する必要が無く、容易に予備ノズルの設定を行うことができる。
【００５５】
さらに、複数回の走査の各々の間に、走査の方向と交差する方向にヘッド１と基体２００とを相対的に移動させる副走査を行うことが好ましい。例えば、図１におけるヘッド１の初期位置を１走査毎にＸ方向にずらすことが好ましい。ここで、ずらす程度は、ノズルから吐出される液滴が被吐出領域外にはみ出さない程度であることが好ましい。ヘッドの初期位置をずらすということは、図３に吐出量のばらつきの凹凸形状が左右にずれることになる。すなわち、特定の位置に液滴吐出量が集中することを抑制し、図３の吐出量のばらつきの差（アーチ形状）を緩和することができる。したがって、よりムラの少ない高品位の描画を行うことができる。
【００５６】
また、１つの対応ノズル群１１内で、複数のノズルが予備ノズルとなりうる場合がある。例えば、図２の最も右側の対応ノズル群１１において、第２走査対応ノズルｎ２を予備ノズルとして設定する場合は、対応ノズル群１１内の右から２番目のノズルと、最も左側のノズルのいずれかも予備ノズルとして設定することができる。このように、複数のノズルが予備ノズルとなりうる場合に以下のルールに従い、予備ノズルを設定することが好ましい。
【００５７】
まず、図４（ａ）で示すように、被吐出領域２０の短手方向にヘッド１を走査して描画を行う場合について説明する。この場合、被吐出領域２０の中央に近い位置の対応ノズルを優先して予備ノズルとして設定することが好ましい。一つの被吐出領域２０の全体に広く液滴を吐出することができ、液滴の濡れ拡がり性を高めることができるためである。そのため、一つの被吐出領域２０内での液滴の塗工ムラを抑制することができる。
【００５８】
図４（ｂ）は、予備ノズル１２を、被吐出領域２０の中央に近い位置の対応ノズルとして設定した場合の液滴塗布状態を模式的に示した断面模式図であり、図４（ｃ）は、予備ノズル１２を、被吐出領域２０の端部に近い位置の対応ノズルとして設定した場合の液滴塗布状態を模式的に示した断面模式図である。図４（ｃ）に示すように、被吐出領域２０の端部に近い位置の対応ノズルを予備ノズル１２として設定すると、不良ノズルが発生しない限り、この予備ノズル１２からは液滴が吐出されない。そのため、このような構成では、被吐出領域２０内で、液滴塗布状態にムラがあり、この液を乾燥させた後に、液量が多かった部分と液量が少なかった部分で色ムラが生じる恐れがある。これに対し、図４（ｂ）のように、被吐出領域の中央に近い位置の対応ノズルを予備ノズル１２として設定すると、一つの被吐出領域全体への液滴の濡れ拡がり性が高まり、一つの被吐出領域内での液量の差を小さくすることができる。すなわち、被吐出領域内の液量差に伴うムラの発生を抑制することができる。
【００５９】
次いで、図５（ａ）で示すように、被吐出領域２０の長手方向に沿ってヘッド１を走査して描画を行う場合について説明する。この場合、被吐出領域２０の端部に近い位置の対応ノズルを優先して予備ノズルとして設定することが好ましい。被吐出領域外に液滴が乗り上げてしまうことを抑制することができる。そのため、隣接する被吐出領域間の混色や、被吐出領域外への色にじみ等を抑制することができる。
【００６０】
図５（ｂ）は、予備ノズル１２を、被吐出領域２０の中央に近い位置の対応ノズルとして設定した場合の液滴塗布状態を模式的に示した断面模式図であり、図５（ｃ）は、予備ノズル１２を、被吐出領域２０の端部に近い位置の対応ノズルとして設定した場合の液滴塗布状態を模式的に示した断面模式図である。図５（ｂ）及び図５（ｃ）に示すように、ヘッド１の主走査方向と垂直な方向の被吐出領域２０の幅は狭い。そのため、液滴を吐出した際に、被吐出領域２０外に液滴が乗り上げる可能性が高い。
そのため、図５（ｂ）に示すように、被吐出領域２０の中央に近い位置の対応ノズルを予備ノズル１２として設定すると、被吐出領域２０の両端部の液量が多くなり、液滴が被吐出領域２０外部に乗り上げてしまう可能性が高まる。一方、図５（ｃ）に示すように、被吐出領域の端部に近い位置の対応ノズルを予備ノズル１２として設定すると、被吐出領域２０外への液滴の乗り上げを抑制することができる。またヘッド１の走査方向と垂直な方向の被吐出領域２０の幅が狭いため、被吐出領域２０の幅方向への液滴の濡れ拡がりが容易であり、一つの被吐出領域内での液量の差に伴うムラの影響は小さい。
【００６１】
上述のような予備ノズルの設定を行った後に、複数のノズルの吐出状態を調べるノズル検査工程を有していてもよい。
【００６２】
（検査工程）
予備ノズルを設定したヘッドの全てのノズルから検査用基板上に液滴を吐出する。このとき検査用基板としては、例えば透明なフィルム等を用いることができる。検査はカメラを用いて不吐出のノズルの有無を確認する。またこの他にも、吐出量及び飛程方向等を同時に検査してもよい。
【００６３】
この検査工程の結果によって、実際の液滴吐出手順が変化する。
各々の前記対応ノズル群のいずれのノズルも不良ノズルと判定されなかった場合、予備ノズルにより液滴を吐出しないで描画を行う。
これに対し、各々の対応ノズル群のいずれかのノズルが不良ノズルと判定された場合、同一の対応ノズル群に設定された予備ノズルにより、不良ノズルを補足するように液滴を吐出して描画を行う。なお、このとき予備ノズルからの液滴の吐出は、不良ノズルに当初割り当てられていた走査時に行うのではなく、予備ノズルに当初割り当てられていた走査時に行う。
【００６４】
（予備ノズル再設定工程）
ノズル検査工程において、複数のノズルのいずれかに少なくとも１つの不良ノズルが有ると判明した場合に、予備ノズルを再設定する予備ノズル再設定工程を、さらに有していてもよい。
これは、予備ノズルが対応ノズルの補足を行うことで、走査毎の吐出ノズル数を略均等になるように設定していた初期設定が崩れてしまうことがある。この場合、予備ノズルを再設定し直すことで、走査毎に吐出する吐出ノズル数を略均等に、設定し直すことができる。例えば、初期設定で特定の走査時に吐出するように割り当てられていた予備ノズルを、異なる走査時に吐出するように割り当てられているノズルに変更することで、吐出ノズル数の調整を行うことができる。
【００６５】
本発明の液滴吐出方法では、上述の対応ノズル設定工程において各被吐出領域に対して設定された対応ノズル群と、予備ノズル設定工程おいて各被吐出領域に対して設定された予備ノズルとに基づいて描画を行う。そのため、スジ状のムラの無い高品位の描画を行うことができる。
【００６６】
また上述のような液滴吐出方法を用いて、例えば、有機ＥＬディスプレイ等をインクジェット方式で作製すると、描画ムラが抑制された高品位のディスプレイを作製することができる。また有機ＥＬディスプレイの他にも、有機ＴＦＴ等の有機半導体デバイスを作製することができる。
【００６７】
また上記のような手順で、対応ノズル群及び予備ノズルを設定するプログラムを、コンピューターを介して液滴吐出装置に入力し、実効させることで、自動で適切な予備ノズルの設定を行うことができる。そのため、この制御プログラムを用いることで、より精度の高い液滴吐出を実現することができる。
【実施例】
【００６８】
以下、実施例により本発明をより具体的に説明するが、本発明は、これらの例によってなんら限定されるものではない。
【００６９】
（実施例１）
１６０個のノズルを有するヘッドを準備し、このヘッドを用いて３回の主走査と２回の副走査を１回の走査とし、この走査を４回行うことで基体全面に液滴を吐出した。いずれのノズルが、いずれの走査時に吐出するかは、ヘッドの一端側から順に、第１走査対応ノズル、第２走査対応ノズル、第３走査対応ノズル、第４走査対応ノズルとし、この順で繰り返し配置した。
次いで、基体上の被吐出領域に対応する対応ノズル群を設定した。一つの対応ノズル群には、６つの対応ノズルが配置され、隣接する対応ノズル群における最も一端側に配置されるノズル同士の間には１１個のノズルが配置されている。また、各対応ノズル群のヘッド一端側から４番目のノズルを予備ノズルとして設定した。ここで、隣接する対応ノズル群の最も一端側に配置されるノズル間のピッチｄ１が、同一のパスで液滴を吐出するノズル間のピッチｄ２の整数倍となっていないため、隣接する対応ノズル群で予備ノズルに割り当てられている走査番号は異なるものとなっている。
上記のような、手順で予備ノズルを割り当てた結果、第１走査時に液滴を吐出する吐出ノズル数は１９ノズル、第２走査時に液滴を吐出する吐出ノズル数は１８ノズル、第３走査時に液滴を吐出する吐出ノズル数は１７ノズル、第４走査時に液滴を吐出する吐出ノズル数は１７ノズルであった。そのため、走査毎の吐出ノズル数の差は、最大で２ノズルであった。この条件を表１にまとめた。なお、表１では、ノズルＮｏ．５７〜ノズルＮｏ．１４６の記載は省略している。
表１中、ノズルＮｏ．はヘッド内のノズルナンバーであり、ヘッドの一端から他端に向けて１〜１６０の番号を割り振っている。また表１中、走査割当とは当該ノズルが何回目の走査で液滴を吐出するかを示している。さらに、対応ノズル群は、液滴を吐出する被吐出領域に対応し、各走査で対応ノズルとして設定されたノズルに○を付し模式的に一列に並べたものである。また、当該列中のトラック状の領域は、対応する被吐出領域を模式的に示している。また予備ノズルの列は、予備ノズルに設定されたノズルに●を付している。さらに、吐出ノズルの列は４回の走査のいずれかで吐出するノズルに○を付しており、具体的にどの走査時に吐出が行われたかは、さらに、１走査目〜４走査目の列に○をつけて表記した。また対応ノズルの中で予備ノズルとして設定されたものを●で表記した。
【００７０】
【表１】
2016155062.tif 000003
【００７１】
（比較例１）
予備ノズルの割り当てを変更した以外は、実施例１と同一とした。比較例１では、第４走査時に液滴を吐出するノズルのうち、対応ノズル群の中央側に位置するノズルを予備ノズルとして設定している。この手順で予備ノズルを割り当てた結果、第１走査時に液滴を吐出する吐出ノズル数は２２ノズル、第２走査時に液滴を吐出する吐出ノズル数は２１ノズル、第３走査時液滴を吐出する吐出ノズル数は２１ノズル、第４走査時に液滴を吐出する吐出ノズル数は８ノズルであった。走査毎の吐出ノズル数の差は、最大で１４ノズルであった。この際の吐出ノズル及び予備ノズルの配置を表２にまとめた。表２は、表１と同様の表記を行っている。なお、表２では、ノズルＮｏ．５７〜ノズルＮｏ．１４６の記載は省略している。
【００７２】
【表２】
2016155062.tif 000004
【００７３】
（実施例２）
実施例１の予備ノズルの設定を初期配置として行った後、検査工程を行った。その結果、ノズルＮｏ．４０のノズルが実際に不良ノズルとして検出された。その際の、予備ノズル、吐出ノズルの配置を表３に示す。表３は、表１と同様の表記を行っている。なお、表３では、ノズルＮｏ．５７〜ノズルＮｏ．１４６の記載は省略している。
【００７４】
【表３】
2016155062.tif 000005
【００７５】
表３のノズルＮｏ．４１のノズルの１走査目の列には、○が表記され、このノズルが吐出を行ったことが示されている。これは、ノズルＮｏ．４０のノズルが不良ノズルとなったことに伴い、初期設定で予備ノズルとして設定していたノズルＮｏ．４１のノズルが代わりに吐出を行った為である。その結果、第１走査時に液滴を吐出する吐出ノズル数は２０ノズル、第２走査時に液滴を吐出する吐出ノズル数は１８ノズル、第３走査時に液滴を吐出する吐出ノズル数は１７ノズル、第４走査時に液滴を吐出する吐出ノズル数は１７ノズルであった。走査毎の吐出ノズル数の差は、最大で３ノズルであった。
【００７６】
（実施例３）
実施例１の予備ノズルの設定を初期配置として行った後、検査工程を行った。その結果、ノズルＮｏ．４０のノズルが実際に不良ノズルとして検出された。その後、各走査で吐出する吐出ノズル数差が小さくなるように予備ノズルの再設定を行った。
具体的には、ノズルＮｏ．１６〜ノズルＮｏ．２１で構成される対応ノズル群において、初期設定では予備ノズルとして設定されていたノズルＮｏ．１９のノズルを吐出ノズルとし、ノズルＮｏ．１７のノズルを予備ノズルに再設定した。同様に、ノズルＮｏ．４９〜ノズルＮｏ．５４で構成される対応ノズル群において、初期設定では予備ノズルとして設定されていたノズルＮｏ．５２のノズルを吐出ノズルとし、ノズルＮｏ．５３のノズルを予備ノズルに再設定した。その結果、第１走査時に液滴を吐出する吐出ノズル数は１８ノズル、第２走査時に液滴を吐出する吐出ノズル数は１８ノズル、第３走査時に液滴を吐出する吐出ノズル数は１８ノズル、第４走査時に液滴を吐出する吐出ノズル数は１８ノズルであった。走査毎の吐出ノズル数の差は、最大で０ノズルであった。
その際の、予備ノズル、吐出ノズルの配置を表４に示す。表４は、表１と同様の表記を行っている。なお、表４では、ノズルＮｏ．５７〜ノズルＮｏ．１４６の記載は省略している。
【００７７】
【表４】
2016155062.tif 000006
【００７８】
実施例１〜３及び比較例１の各走査で吐出する吐出ノズル数と、吐出量を表５にまとめた。また上記の条件で描画を行ったところ、実施例１〜３の設定では描画ムラは確認されなかった。これに対し、比較例１の設定では、描画像にスジ状のムラが確認された。
【００７９】
【表５】
2016155062.tif 000007
【００８０】
表５に示すように、比較例１では走査毎に１つのノズルから吐出する吐出量が大きく異なっていることがわかる。これに対し、走査毎の吐出ノズル数の差が３ノズル以下である実施例１〜３は、走査毎の吐出量の差が少なく、安定的に吐出できていることがわかる。
【符号の説明】
【００８１】
１００…液滴吐出装置、２００…基体、１…ヘッド、１Ｒ…赤色液滴吐出用ヘッド、１Ｇ…緑色液滴吐出用ヘッド、１Ｂ…青色液滴吐出用ヘッド、２Ｒ…赤色液供給手段、２Ｇ…緑色液供給手段、２Ｂ…青色液供給手段、１０…ヘッド群、１１…対応ノズル群、１２…予備ノズル、２０…被吐出領域、ｎ…ノズル、ｎ１…第１走査対応ノズル、ｎ２…第２走査対応ノズル、ｎ３…第３走査対応ノズル、ｎ４…第４走査対応ノズル、
【図１】
2016155062.tif 000008
【図２】
2016155062.tif 000009
【図３】
2016155062.tif 000010
【図４】
2016155062.tif 000011
【図５】
2016155062.tif 000012