(57)【要約】【課題】測定装置で接触不良を検出することのできる測定システムを提供する。【解決手段】デバイスピン１２にケルビンコンタクト方式でフォース端子１３及びセンス端子１４を接触させて、フォース端子１３に所定電圧を出力してデバイス１１の電気的特性を測定するテスター本体２０を備えた測定システム１０であって、フォース端子１３及びセンス端子１４がデバイス１１のデバイスピン１２に接触しているか否かを検知するための第１,第２経路２１,２２を設け、フォース端子１３及びセンス端子１４に発生する電圧を第１,第２経路２１,２２を介して測定することによって、フォース端子１３及びセンス端子１４のいずれか一方が接触していないことを検出する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物の端子にケルビンコンタクト方式でフォース端子及びセンス端子を接触させるとともに、そのフォース端子に所定電圧を出力して前記被測定物の電気的特性を測定する測定装置を備えた測定システムであって、
前記フォース端子及びセンス端子の電圧を測定するための経路を設け、
前記フォース端子及びセンス端子に発生する電圧を前記経路を介して測定することによって、前記フォース端子及びセンス端子のいずれか一方が接触していないことを検出することを特徴とする測定システム。
【請求項２】
前記経路は、前記フォース端子に接続された第１経路と、前記センス端子に接続された第２経路とを有し、
前記測定装置は、第１経路を介してフォース端子の電圧を測定する第１電圧測定手段と、第２経路を介してセンス端子の電圧を測定する第２電圧測定手段とを有し、
第１,第２電圧測定手段は、予め設定された設定電圧と測定した測定電圧との差を求め、この差に基づいて前記フォース端子及びセンス端子のいずれか一方が接触していないことを検出することを特徴とする請求項１に記載の測定システム。
【請求項３】
前記測定装置は、フォース端子に所定電圧を出力する電圧出力手段と前記被測定物の電気的特性を測定する測定手段とを有するテスター本体と、第１,第２経路を有するテスト用治具とから構成されていることを特徴とする請求項２に記載の測定システム。
【請求項４】
前記経路は、前記フォース端子に接続された第１経路と、前記センス端子に接続された第２経路とを有し、
前記測定装置は、第１,第２経路のどちらか一方に切り換える切換スイッチと、この切換スイッチの切り換えにより、前記フォース端子とセンス端子の電圧をそれぞれ測定する電圧測定手段とを有し、この電圧測定手段が測定した電圧に基づいて、前記フォース端子及びセンス端子のいずれか一方が接触していないことを検出することを特徴とする請求項１に記載の測定システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、測定システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ケルビンコンタクト方式で集積回路の電気的特性を測定する測定装置が知られている（特許文献１参照）。
【０００３】
係る測定装置は、ケルビン型ソケットを用いて測定するものである。ケルビン型ソケットは、挿入されるＩＣピンを挟持する一対のコンタクト片を有し、一方のコンタクト片にフォース端子が接続され、他方のコンタクト片にセンス端子が接続される。
【０００４】
この測定装置によって電気的特性の測定を行う前には、ＩＣピンとコンタクト片との接触不良の検査をしており、この検査は、各コンタクト片に対応した位置に金属製のパッドを設けた専用の測定基板を用いて行っている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このように、ＩＣピンとコンタクト片の接触不良の検査は、専用の測定基板によって接触不良を検出するものであり、測定装置側で接触不良を検出することができないという問題がある。
【０００６】
この発明の目的は、測定装置で接触不良を検出することのできる測定システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１の発明は、被測定物の端子にケルビンコンタクト方式でフォース端子及びセンス端子を接触させるとともに、そのフォース端子に所定電圧を出力して前記被測定物の電気的特性を測定する測定装置を備えた測定システムであって、
前記フォース端子及びセンス端子の電圧を測定するための経路を設け、
前記フォース端子及びセンス端子に発生する電圧を前記経路を介して測定することによって、前記フォース端子及びセンス端子のいずれか一方が接触していないことを検出することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
この発明によれば、測定装置で接触不良を検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】この発明に係る測定システムの実施例の構成を示したブロック図である。
【図２】第２実施例の測定システムの構成を示したブロック図である。
【図３】第３実施例の測定システムの構成を示したブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、この発明に係る測定システムの実施の形態である実施例を図面に基づいて説明する。
【実施例】
【００１１】
［第１実施例］
図１は、ケルビンコンタクト方式で例えばデバイス（被測定物）１１の電気的特性を測定する測定システム１０を示す。この測定システム１０は、デバイス１１のデバイスピン（端子）１２にケルビンコンタクト方式で接触させるフォース端子１３及びセンス端子１４と、測定装置であるテスター本体２０とを備えている。
【００１２】
テスター本体２０は、デバイス１１の電気的特性を測定する測定手段３０と、電圧出力回路（電圧出力手段）４０と、第１経路２１と、第２経路２２とを備えている。そして、測定手段３０と電圧出力回路４０とで測定装置が構成される。測定手段３０は、従来と同様にしてデバイス１１の電気的特性を測定するものであるので、その説明は省略する。
［電圧出力回路］
電圧出力回路４０は、デバイス１１の電気的特性を測定するために、フォース端子１３に所望電圧（所定電圧）を出力するものであり、オペアンプ４１と２つのダイオード４２,４３と抵抗Ｒ１,Ｒ２とを有している。抵抗Ｒ１,Ｒ２は、両方とも例えば１０［ｋΩ］である。また、電圧出力回路４０は、原理的には電流バッファと同じ構造をしている。
【００１３】
オペアンプ４１の非反転端子は接地され、反転端子は抵抗Ｒ１を介して端子ＶＥに接続されている。端子ＶＥには、デバイスピン１２に印加する所望の電圧が例えば１[Ｖ]の場合、−１[Ｖ]の電圧を出力する電源回路に接続する。
【００１４】
また、反転端子は抵抗Ｒ２及びダイオード４２,４３を介して出力端子に接続されている。ダイオード４２,４３は並列接続され、ダイオード４２のカソードは抵抗Ｒ２に接続され、ダイオード４２のアノードがオペアンプ４１の出力端子に接続されている。ダイオード４３のカソードはオペアンプ４１の出力端子に接続され、ダイオード４３のアノードは抵抗Ｒ２に接続されている。
【００１５】
オペアンプ４１の出力端子はフォース端子１３に接続され、抵抗Ｒ２はセンス端子１４に接続されている。なお、抵抗Ｒ３はセンス端子１４の接触抵抗や配線抵抗を示したものである。また、ここではダイオード４２,４３の順方向電圧Ｖｆを説明の便宜上、１[Ｖ]と仮定する。
【００１６】
ここで、図１に示すように、センス端子１４のみがデバイスピン１２に接触している場合ついて説明する。
【００１７】
端子ＶＥの電圧が−１[Ｖ]、抵抗Ｒ１が１０[ｋΩ]であるから抵抗Ｒ１に流れる電流は１[ｍＡ]となり、抵抗Ｒ２に流れる電流も１[ｍＡ]となり、抵抗Ｒ２の両端の電圧差は１[Ｖ]となる。オペアンプ４１の非反転端子が接地されているので、反転端子は非反転端子と同じ電圧となることにより０[Ｖ]となり、抵抗Ｒ２の一方の端子（非反転端子側の端子）は０[Ｖ]、抵抗Ｒ２の他方の端子は１[Ｖ]となる。
【００１８】
このため、センス端子１４の電圧は１[Ｖ]となり、ダイオード４２の順方向電圧Ｖｆが１[Ｖ]であることにより、オペアンプ４１の出力端子の電圧が２[Ｖ]となる。これにより、フォース端子１３の電圧が２[Ｖ]となる。
【００１９】
フォース端子１３のみがデバイスピン１２に接触している場合、上記と同様に、センス端子１４の電圧は１[Ｖ]となり、オペアンプ４１の出力端子の電圧が２[Ｖ]となる。これにより、フォース端子１３の電圧が２[Ｖ]となる。
【００２０】
フォース端子１３及びセンス端子１４の両方がデバイスピン１２に接触している場合、センス端子１４の電圧は１[Ｖ]のままであり、フォース端子１３はセンス端子１４に短絡することにより、フォース端子１３の電圧は１[Ｖ]となる。すなわち、フォース端子１３及びセンス端子１４の両方がデバイスピン１２に接触している場合、デバイスピン１２に所望電圧（所定電圧）である１[Ｖ]の電圧が印加されることになる。
［第１,第２経路］
第１経路２１は、フォース端子１３の電圧を測定するためのものであり、テスター測定ピンＰ１に接続されている。
【００２１】
第２経路２２は、センス端子１４の電圧を測定するためのものであり、テスター測定ピンＰ２に接続されている。
【００２２】
これらテスター測定ピンＰ１,Ｐ２に入力した電圧は電圧測定部（第１,第２電圧測定手段）５０,５１によって測定される。電圧測定部５０,５１は、電圧出力回路４０が出力する電圧によりフォース端子１３及びセンス端子１４に発生する電圧を第１,第２経路２１,２２を介して測定するものである。電圧測定部５０,５１は、テスター本体２０が備えている例えばコントローラのテストプログラムのソフトウエアによる処理によって測定するものである。
【００２３】
電圧測定部５０,５１は、予め設定されている設定電圧（例えば１[Ｖ]）と測定電圧との差をソフトウエアの処理によって求めるようになっている。なお、電圧測定部５０,５１のいずれか一方が所定の電圧差を求めたとき、そのデバイス１１が次工程に進まないようにテストプログラムに組み込まれている。
［動  作］
次に、上記のように構成される測定システム１０の動作について説明する。
【００２４】
先ず、図１に示すように、測定するデバイス１１のデバイスピン１２にテスター本体２０のフォース端子１３及びセンス端子１４を接触させる。ここでは、フォース端子１３がデバイスピン１２に接触していないとして説明する。
【００２５】
いま、端子ＶＥに−１[Ｖ]の電圧が印加されると、上述したようにフォース端子１３の電圧は２[Ｖ]、センス端子１４の電圧は１[Ｖ]となり、これら電圧が第１,第２経路２１,２２を介してテスター測定ピンＰ１,Ｐ２に入力する。
【００２６】
電圧測定部５０,５１は、テスター測定ピンＰ１,Ｐ２の電圧をテストプログラムのソフトウエアによって測定するとともに、その測定した電圧と設定電圧（１[Ｖ]）との差をソフトウエアによって求める。ここでは、フォース端子１３の電圧が２[Ｖ]であることにより、電圧測定部５０が１[Ｖ]の差を検出する。この差の電圧１[Ｖ]に基づいて、テスター本体２０は、フォース端子１３及びセンス端子１４のどちらか一方がデバイスピン１２に接触していないことを検出する。
【００２７】
フォース端子１３のみがデバイスピン１２に接触している場合、センス端子１４の電圧は１[Ｖ]、オペアンプ４１の出力端子の電圧が２[Ｖ]となるので、上述と同様にして、電圧測定部５０のみが１[Ｖ]の差を検出する。そして、テスター本体２０は、フォース端子１３及びセンス端子１４のどちらか一方がデバイスピン１２に接触していないことを検出することになる。
【００２８】
この場合、デバイスピン１２に２[Ｖ]の電圧、すなわち、所望しない電圧がデバイスピン１２に印加していることも検出することができることになる。
【００２９】
フォース端子１３及びセンス端子１４の両方がデバイスピン１２に接触している場合、フォース端子１３及びセンス端子１４の電圧はそれぞれ１[Ｖ]となるので、電圧測定部５０,５１は１[Ｖ]を測定する。これにより、電圧測定部５０,５１は、設定電圧（１[Ｖ]）との差を検出しないことになり、テスター本体２０のコントローラはフォース端子１３及びセンス端子１４の両方がデバイスピン１２に接触していると判断する。すなわち、テスター本体２０は、フォース端子１３及びセンス端子１４の両方がデバイスピン１２に接触していることを検出することになる。
【００３０】
また、この場合、電圧測定部５０,５１が１[Ｖ]を測定することにより、デバイスピン１２に所望の電圧（１[Ｖ]）が印加されていることが分かることになる。
【００３１】
上述のように、電圧出力回路４０の電圧によってフォース端子１３及びセンス端子１４に発生する電圧を第１,第２経路２１,２２を介して測定するようにしたものである。このため、テスター本体２０で、フォース端子１３及びセンス端子１４のどちらか一方がデバイスピン１２に接触していないことを検出することができることになる。また、従来のように、接触を検出するための専用の測定基板が不要となる。
［第２実施例］
図２に示す測定システム１００は、テスター本体１２０に、測定手段３０と電圧出力回路４０と切換スイッチ１２１と１つの電圧測定部５２とを設けたものである。この測定システム１００は、切換スイッチ１２１の切り換えにより第１,第２経路２１,２２の一方を選択することにより、１つの電圧測定部５２によってフォース端子１３とセンス端子１４の電圧を測定できるようにしたものである。他の構成は第１実施例と同様なのでその説明は省略する。
［第３実施例］
図３は第３実施例の測定システム２００を示す。この測定システム２００は、テスター本体２２０と、テスト用治具２３０とを有している。
【００３２】
テスター本体２２０は、測定手段３０と電圧出力回路４０とを有し、テスト用治具２３０は、第１,第２経路２１,２２を有している。電圧測定部５０,５１は、テスター本体２２０のコントローラのテストプログラムのソフトウエアによる処理によって、フォース端子１３とセンス端子１４の電圧を測定するものである。他は第１実施例と同様なのでその説明は省略する。
【００３３】
この発明は、上記実施例に限られるものではなく、特許請求の範囲の発明の要旨を逸脱しない限り、設計の変更や追加等は許容される。
【符号の説明】
【００３４】
１０          測定システム
１１          デバイス
１２          デバイスピン（端子）
１３          フォース端子
１４          センス端子
２０          テスター本体
２１          第１経路
２２          第２経路
３０          測定手段
４０          電圧出力回路（電圧出力手段）
５０          電圧測定部（第１電圧測定手段）
５１          電圧測定部（第２電圧測定手段）
１００          測定システム
１２０          テスター本体
１２１          切換スイッチ
２２０          テスター本体
２３０          テスト用治具
【先行技術文献】
【特許文献】
【００３５】
【特許文献１】特開昭６２−１８２６７７号公報
【図１】
2016145731.tif 000003
【図２】
2016145731.tif 000004
【図３】
2016145731.tif 000005