(57)【要約】【課題】使用できる寿命を長くしながら、スクライビングポイントによるスクライブラインのように高精度のスクライブラインを形成することができるスクライブ装置、スクライブ方法、ホルダユニット及びホルダを提供する。【解決手段】スクライビングホイール３１とスクライビングホイールを回転自在に軸支するピン３１とピンを保持するホルダ４０とを有するホルダユニット３０と、ホルダユニットを取り付けるホルダジョイント部とホルダユニットを昇降させる昇降部を有するスクライブヘッドと、脆性材料基板が載置されるテーブルと、を備えるスクライブ装置であって、ホルダの挿入孔４３ａ、４３ｂは上下方向に長く形成されており、ホルダユニットの昇降によりスクライビングホイールが基板に接触すると、スクライビングホイールが上方向へと移動しホルダに形成された回転抑制部６０と当接し、スクライビングホイールの回転が抑制される。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スクライビングホイールと、前記スクライビングホイールを回転自在に軸支するピンと、前記ピンを挿入孔へ挿入することにより前記ピンを保持するホルダと、を有するホルダユニットと、
前記ホルダユニットを取り付けるホルダジョイント部と前記ホルダユニットを昇降させる昇降部を有するスクライブヘッドと、
脆性材料基板が載置されるテーブルと、を備え、
前記スクライビングホイールへ荷重を印加することにより前記テーブルの上に載置された脆性材料基板の表面へスクライブラインを形成するスクライブ装置であって、
前記ホルダの挿入孔は上下方向に長く形成されており、
前記ホルダユニットの昇降により前記スクライビングホイールが前記脆性材料基板に接触すると、前記ピンとともに前記スクライビングホイールが上方向へと移動し、前記ホルダに形成された回転抑制部と当接することによって、前記スクライビングホイールの回転が抑制されることを特徴とするスクライブ装置。
【請求項２】
前記回転抑制部は、前記スクライビングホイールの刃先が嵌る溝からなることを特徴とする請求項２に記載のスクライブ装置。
【請求項３】
前記ホルダの挿入孔は、菱形形状であることを特徴とする請求項１または２に記載のスクライブ装置。
【請求項４】
請求項１から３の何れかに記載のスクライブ装置を用い、
前記スクライビングホイールを前記テーブルの上に載置された脆性材料基板の端部外側から接触させることを特徴とするスクライブ方法。
【請求項５】
スクライブ装置に取り付けられ、脆性材料基板の表面にスクライブラインを形成するために用いられるホルダユニットであって、
前記ホルダユニットは、
スクライビングホイールと、
前記スクライビングホイールを回転自在に軸支するピンと、
前記ピンを上下方向に長くなっている挿入孔へ挿入することにより前記ピンを保持するホルダと、を有しており、
前記スクライビングホイールが上方向へと移動して前記ホルダに備わっている回転抑制部と当接することによって前記スクライビングホイールの回転が抑制されることを特徴とするホルダユニット。
【請求項６】
スクライブ装置に取り付けられ、脆性材料基板の表面にスクライブラインを形成するスクライビングホイールを保持するためのホルダであって、
前記ホルダは、
スクライビングホイールを回転自在に軸支するピンが挿入される、上下方向に長くなっている挿入孔と、
スクライビングホイールの回転を抑制する回転抑制部と、
を有することを特徴とするホルダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板等の脆性材料基板の分断において、脆性材料基板の表面にスクライブラインを形成するためのスクライブ装置、スクライブ方法、ホルダユニット及びホルダに関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板の分断は、通常、スクライビングツールを用いてガラス基板の表面にスクライブラインを形成することにより行われている。このスクライビングツールとしてスクライビングホイールがよく知られている。このスクライビングホイールとしては、例えば特許文献１に記載されているホイールカッターがある。
【０００３】
特許文献１に記載されているホイールカッターは、カッターホルダに保持されるとともに、カッターピンが挿入された回転軸を中心として脆性材料基板上を回転することで、脆性材料基板の表面にスクライブラインを形成していく。
【０００４】
スクライビングホイール以外のスクライビングツールとして、例えば特許文献２や特許文献３に記載されている円柱状や角柱状からなる支持部の先端にダイヤモンドチップ等を取り付け、チップ表面を研磨してスクライビングポイントを形成したものが知られている。
【０００５】
特許文献２や特許文献３に記載されているスクライビングツールは、脆性材料基板に対してスクライビングポイントを圧接し、この状態でケガクように摺動させる。したがって、基板上でスクライビングポイントが引き摺られることになり、その際に脆性材料基板の表面にスクライブラインが形成されていく。この時、特許文献１のようなスクライビングホイールに比べ左右へのブレが生じないため、このスクライビングツールは、高精度のスクライブラインを形成できるという利点を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１３−２４５１３５号公報
【特許文献２】特開２００３−１８３０４０号公報
【特許文献３】特開２００５−０７９５２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、スクライビングツールは、スクライビングポイントが摩耗してしまうとそのスクライビングポイントは使用できないため、使用できる寿命が短いという問題がある。
【０００８】
短寿命という問題を解決するために、特許文献２、特許文献３のように、スクライビングポイントが摩耗してくると、支持部の中心軸を中心に回転（脆性材料基板の表面と平行な方向で回転）させ、他のスクライビングポイントへ代えて使用する方法もあるが、スクライビングポイントを適切な方向に向けて固定することは難しく、またスクライビングポイントの加工も難しい。
【０００９】
本発明は、使用できる寿命を長くしながら、スクライビングポイントによるスクライブラインのように高精度のスクライブラインを形成することができるスクライブ装置、スクライブ方法、ホルダユニット及びホルダを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明のスクライブ装置は、スクライビングホイールと、前記スクライビングホイールを回転自在に軸支するピンと、前記ピンを挿入孔へ挿入することにより前記ピンを保持するホルダと、を有するホルダユニットと、前記ホルダユニットを取り付けるホルダジョイント部と前記ホルダユニットを昇降させる昇降部を有するスクライブヘッドと、脆性材料基板が載置されるテーブルと、を備え、前記スクライビングホイールへ荷重を印加することにより前記テーブルの上に載置された脆性材料基板の表面へスクライブラインを形成するスクライブ装置であって、前記ホルダの挿入孔は上下方向に長く形成されており、前記ホルダユニットの昇降により前記スクライビングホイールが前記脆性材料基板に接触すると、前記ピンとともに前記スクライビングホイールが上方向へと移動し、前記ホルダに形成された回転抑制部と当接することによって、前記スクライビングホイールの回転が抑制されることを特徴とする。
【００１１】
本発明のスクライブ装置によれば、回転自在に保持されているスクライビングホイールが脆性材料基板に接触すると、回転抑制部によってスクライビングホイールの回転が止まるように構成されているため、スクライビングホイールの回転を止めてスクライブラインを形成することで、スクライビングホイールを用いてスクライビングポイントによるスクライブラインのように精度の高いスクライブラインを形成することができる。また、スクライビングホイールへ荷重を印加していない時には、スクライビングホイールは回転自在な状態となっているため、例えば、脆性材料基板への乗り上げを利用してスクライビングホイールの刃先を簡単に回転させることができ、常に同じ刃先位置でスクライブラインを形成することを防ぐことができ、スクライビングホイールを使用できる寿命を長くすることができる。
【００１２】
また、本発明のスクライブ装置は、前記回転抑制部は、前記スクライビングホイールの刃先が嵌る溝からなることを特徴とする。
【００１３】
本発明のスクライブ装置によれば、スクライビングホイールが回転する方向に対して回転を抑制するだけでなく、ピンの方向に対するスクライビングホイールの移動も強く規制することができる。
【００１４】
また、本発明のスクライブ装置は、前記ホルダの挿入孔は、菱形形状であることを特徴とする。
【００１５】
本発明のスクライブ装置によれば、挿入孔を菱形形状とすることで上下方向に長い挿入孔を簡単に得ることができ、またピンを上下方向だけでなく前後方向へも移動させることができる。
【００１６】
また、本発明のスクライブ方法は、上記のスクライブ装置を用い、前記スクライビングホイールを前記テーブルの上に載置された脆性材料基板の端部外側から接触させることを特徴とする。
【００１７】
本発明のスクライブ方法によれば、脆性材料基板への乗り上げを利用してスクライビングホイールの刃先を簡単に回転させることができ、常に同じ刃先位置でスクライブラインを形成することを防ぐことができ、スクライビングホイールを使用できる寿命を長くすることができる。
【００１８】
また、本発明のホルダユニットは、スクライブ装置に取り付けられ、脆性材料基板の表面にスクライブラインを形成するために用いられるホルダユニットであって、前記ホルダユニットは、スクライビングホイールと、前記スクライビングホイールを回転自在に軸支するピンと、前記ピンを上下方向に長くなっている挿入孔へ挿入することにより前記ピンを保持するホルダと、を有しており、前記スクライビングホイールが上方向へと移動して前記ホルダに備わっている回転抑制部と当接することによって前記スクライビングホイールの回転が抑制されることを特徴とする。
【００１９】
本発明のホルダユニットによれば、ホルダユニットを交換することにより、既存のスクライブ装置を用いて上記効果を得ることができる。
【００２０】
また、本発明のホルダは、スクライブ装置に取り付けられ、脆性材料基板の表面にスクライブラインを形成するスクライビングホイールを保持するためのホルダであって、前記ホルダは、スクライビングホイールを回転自在に軸支するピンが挿入される、上下方向に長くなっている挿入孔と、スクライビングホイールの回転を抑制する回転抑制部と、を有することを特徴とする。
【００２１】
本発明のホルダによれば、切断対象の脆性材料基板に適したスクライビングホイールを取り付けることにより、既存のスクライブ装置を用いて上記効果を得ることができる
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本実施形態のスクライブ装置の概略図である。
【図２】図２（Ａ）は本実施形態のホルダユニットを構成するホルダの側面図であり、図２（Ｂ）はホルダの正面図であり、図２（Ｃ）はホルダの底面図であり、図２（Ｄ）はホルダの正面断面図である。
【図３】図３（Ａ）はスクライビングホイールへ荷重が印加されていない時のホルダユニットの要部拡大図であり、図３（Ｂ）はスクライビングホイールへ荷重が印加された時のホルダユニットの要部拡大図である。
【図４】本実施形態のスクライブ装置を用いたスクライブ方法を示す概念工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。ただし、以下に示す実施形態は、本発明の技術思想を具体化するための一例を示すものであり、本発明をこの実施形態に特定することを意図するものではない。本発明は、特許請求の範囲に含まれるその他の実施形態にも適応できるものである。
【００２４】
図１は、本発明の実施形態に係るスクライブ装置１の概略図である。スクライブ装置１は、移動台１０を備えている。移動台１０は、ボールネジ１１と螺合されており、モータの駆動によりこのボールネジ１１が回転することで、一対の案内レール１２に沿ってｙ軸方向に移動可能となっている。
【００２５】
移動台１０の上面には、モータ１３が設置されている。モータ１３は、上部に位置するテーブル１４をｘｙ平面で回転させて所定角度に位置決めする。モータ１３により水平回転可能なテーブル１４は、図示しない真空吸着手段を備えており、テーブル１４上に載置された脆性材料基板１５をこの真空吸着手段によって保持する。
【００２６】
この脆性材料基板１５は、ガラス基板、低温焼成セラミックスや高温焼成セラミックスからなるセラミック基板、シリコン基板、化合物半導体基板、サファイア基板、石英基板等である。また、脆性材料基板１５は、基板の表面又は内部に薄膜或いは半導体材料を付着させたり、含ませたりしたものであってもよい。また、脆性材料基板１５は、その表面に脆性材料に該当しない薄膜等が付着されていても構わない。
【００２７】
スクライブ装置１は、テーブル１４に載置された脆性材料基板１５の上方に、この脆性材料基板１５の表面に形成されたアライメントマークを撮像する二台のＣＣＤカメラ１６を備えている。移動台１０とその上部のテーブル１４とを跨ぐように、ブリッジ１７が支柱１８ａ、１８ｂに架設されている。
【００２８】
ブリッジ１７にはガイド１９が取り付けられており、スクライブヘッド２０はこのガイド１９に案内されてｘ軸方向に移動するように設置されている。スクライブヘッド２０には、ホルダジョイント部２１を介して後述するホルダユニット３０が取り付けられている。
【００２９】
スクライブヘッド２０は下端にホルダジョイント部２１を有している。ホルダジョイント部２１は、スクライブヘッド２０において回転可能に支持されている。また、スクライブヘッド２０は、図示しない昇降部を備えており、この昇降部によってホルダユニット３０が昇降する。そして、ホルダユニット３０の昇降によって後述するスクライビングホイール３１が基板に当接し、荷重が印加されることになり、スクライビングホイール３１は、テーブル１４に載置された脆性材料基板１５表面へ圧接しスクライブラインを形成する。
【００３０】
次にホルダユニット３０の詳細について説明する。図２（Ａ）はホルダユニット３０を構成するホルダ４０の側面図であり、図２（Ｂ）はホルダ４０の正面図であり、図２（Ｃ）はホルダ４０の底面図であり、図２（Ｄ）はホルダ４０の正面断面図である。ホルダユニット３０は、スクライビングホイール３１と、ピン３２と、ホルダ４０と、を備えている。
【００３１】
スクライビングホイール３１は特許文献１に記載されているホイールカッターを用いることができるが、より具体的には特開２０１３−１４１２９号公報に記載されているような円板状のスクライビングホイール基材の円周部に設けられた傾斜面及び稜線の表面にダイヤモンド膜を成膜したものが好適である。表面にダイヤモンド膜が形成されることより、スクライビングホイール３１の表面の粗さが抑えられ、後述するスクライブ方法によりスクライブラインを形成する際に、スクライビングホイール３１は脆性材料基板１５上で滑りやすくなる。したがって、脆性材料基板１５上でのスクライビングホイール３１の回転を抑えることができ、予期せぬ回転によるチッピングの発生も抑えることができ、脆性材料基板１５を分断した時の端面強度も強くなる。また、スクライビングホイール３１にはピン３２が貫通するための貫通孔が円板側面の中心に形成されている。本実施形態のスクライビングホイール３１は、厚さが約０．６５ｍｍであり、外径が約２．０ｍｍ、貫通孔４１の径が約０．８ｍｍ、刃４３の刃先角が約１２０°である。なお、スクライビングホイール３１は、焼結ダイヤモンドや超硬合金で形成されたものの他に、単結晶ダイヤモンドや多結晶ダイヤモンドからなるものでも構わない。
【００３２】
ピン３２は、例えば焼結ダイヤモンドや超硬合金等で形成された、円柱状の部材であり、一端が尖頭形状の尖頭部になっている。ピン３２をスクライビングホイール３１の貫通孔へ挿入されることで、スクライビングホイール３１が回転自在に軸支される。
【００３３】
ホルダ４０は金属製の部材からなる。ホルダ４０は、図２（Ａ）に示すように上部側は矩形状からなり、下部側は下方に向かって幅が狭くなる台形状となっている。ホルダ４０は、下部側の台形状部分の一部が切削されており、一対の保持部４１ａ、４１ｂと、保持部４１ａ、４１ｂの間に位置する保持溝４２が形成されている。
【００３４】
保持部４１ａ、４１ｂには、焼結ダイヤモンドや超硬合金からなる円柱体４６ａ、４６ｂがロウ付けによってそれぞれ同軸位置で固定されている。そして、スクライビングホイール３１の円板側面とは、保持部４１ａ側の円柱体４６ａからなる保持壁４７ａと、保持部４１ｂ側の円柱体４６ｂからなる保持壁４７ｂとが対向することになる。なお、図２（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）において円柱体４６ａ、４６ｂは斜線で示している。
【００３５】
また、円柱体４６ａ、４６ｂには、ピン３２が挿通される挿入孔４３ａ、４３ｂが同軸位置にそれぞれ形成されている。この挿入孔４３ａ、４３ｂは、挿通されたピン３２が上下方向及び前後方向へ移動できるよう、ピン３２の径よりも十分に大きな上下方向に長い孔となっている。より具体的には図２（Ａ）に示すように挿入孔４３ａ、４３ｂは、菱形形状となっている。
【００３６】
また、保持溝４２における円柱体４６ａ、４６ｂの上部にそれぞれ凸部６１ａ、６１ｂが形成されている。この凸部６１ａ、６１ｂは、ピン３２の上方向への移動に伴って上方向へ移動したスクライビングホイール３１が当接するために形成されている。そして、ピン３２によって回転自在に保持されているスクライビングホイール３１が凸部６１ａ、６１ｂに当接することによって、回転自在のスクライビングホイール３１の回転が抑制される。したがって、凸部６１ａ、６１ｂは、スクライビングホイール３１の回転を抑制する回転抑制部６０を構成することになり、ホルダ４０は回転抑制部６０を備えることになる。
【００３７】
ここで、円柱体４６ａ、４６ｂと挿入孔４３ａ、４３ｂの製造方法について説明する。まず、円柱体４６ａ、４６ｂを取り付けるための取付孔と保持溝４２が形成されているホルダ４０の基材に対して円柱状の部材をロウ付けにより固定する。次に、ホルダ４０の基材の下方を図２（Ａ）のような台形状に切断し、この時スリットＳを形成して挿入孔４３ａ、４３ｂも同時に切断し形成していく。次に、円柱状の部材の中間位置を、スクライビングホイール３１の刃先の幅に合わせてダイヤモンドカッター等で切除し幅狭の隙間を形成する。そして、幅狭隙間を形成した円柱状の部材に対して、スクライビングホイール３１の幅に合わせてダイヤモンドカッターや放電加工等で切除して、幅広の隙間を形成し、保持壁４７ａ、４７ｂと凸部６１ａ、６１ｂが形成される。なお、なお、円柱体４６ａ、４６ｂと挿入孔４３ａ、４３ｂの製造方法について、より具体的には特開２０１１−２４０５４１号公報に記載されている工程を採用することができる。
【００３８】
また、ホルダ４０は、ホルダジョイント部２１へネジ止めするためのジョイント取付孔５４が形成されている。そして、ホルダ４０は、ジョイント取付孔５４とホルダジョイント部２１へ形成されているネジ孔とを介して、図示していないネジによりホルダジョイント部２１へ取り付けられる。また、ホルダ４０には止め金取付孔５６が形成されている。そして、止め金取付孔５６にネジ５７ａ、５７ｂを介して止め金５８ａ、５８ｂを固定する。この止め金５８ａ、５８ｂは、挿入孔４３ａ、４３ｂを閉塞するためのものである。
【００３９】
そして、ホルダユニット３０は、スクライビングホイール３１をホルダ４０の保持溝４２に配置し、ピン３２をスクライビングホイール３１の貫通孔及び挿入孔４３ａ、４３ｂへ通すことで、ピン３２を回転自在に保持するとともにスクライビングホイール３１を保持壁４７ａ、４７ｂの間で保持する。また、ホルダユニット３０は、ホルダ４０の挿入孔４３ａ、４３ｂを縦長の菱形形状に形成しているため、ピン３２とともにスクライビングホイール３１が上下方向及び前後方向に自由に移動できるように保持する。
【００４０】
以上のようなホルダユニット３０におけるスクライビングホイール３１の動きについて図面を用いて説明する。図３（Ａ）はスクライビングホイール３１へ荷重が印加されていない時のホルダユニット３０の要部拡大図であり、図３（Ｂ）はスクライビングホイール３１へ荷重が印加された時のホルダユニット３０の要部拡大図である。
【００４１】
スクライビングホイール３１を回転自在に軸支するピン３２を、上下方向に長く形成された挿入孔４３ａ、４３ｂで保持するホルダ４０を備えるホルダユニット３０では、通常図３（Ａ）に示すように、挿入孔４３ａ、４３ｂの下方にピン３２が位置することになる。そのためスクライビングホイール３１と回転抑制部６０とは当接せず、ホルダユニット３０はスクライビングホイール３１を回転自在に保持している。
【００４２】
一方、スクライビングホイール３１が脆性材料基板１５の表面上に位置するような時、スクライブヘッド２０の昇降部によってホルダユニット３０が降下するとスクライビングホイール３１へ荷重が印加されることになり、上下方向及び前後方向に移動できるように保持されているピン３２の上方への動きによってスクライビングホイール３１は上方向へと移動することになる。そのため凸部６１ａ、６１ｂからなる回転抑制部６０とスクライビングホイール３１とは当接し、スクライビングホイール３１の回転が抑制されることになる。そして、スクライビングホイール３１へ印加される荷重が大きくなると、ホルダユニット３０はスクライビングホイール３１を回転自在な状態から固定状態で保持することになる。
【００４３】
つまり、ホルダユニット３０は、回転自在に保持されているスクライビングホイール３１に対して荷重が印加されると、回転抑制部６０によってスクライビングホイール３１の回転を止めるように構成されている。
【００４４】
このような構成のホルダユニット３０及びホルダユニット３０を備えるスクライブ装置１を用いて脆性材料基板１５に対してスクライブラインを形成することによる効果について、図面を用いて説明する。図４はスクライブ装置１を用いたスクライブ方法を示す概念工程図である。なお、図４においては分かり易くするためにスクライブ装置１を構成するホルダユニット３０の一部と、脆性材料基板１５のみを図示している。また、スクライビングホイール３１の状態を分かり易くするために、ホルダユニット３０を断面図で示している。
【００４５】
ここで、本実施形態における脆性材料基板１５に対するスクライブラインの形成は、所謂外切りというスクライブ方法にて行われる。外切りとは脆性材料基板１５の外側から外側までをスクライブするスクライブ方法であり、脆性材料基板１５の端部より少し外側のポイントにおいて、スクライビングホイール３１の最下端を脆性材料基板１５の上面よりも僅かに下方まで降下させる。そしてスクライビングホイール３１に対して所定の荷重をかけた状態で進行方向に水平移動させることで脆性材料基板１５の縁からスクライブを開始し、脆性材料基板１５の他方の縁までスクライブするものである。
【００４６】
まず、スクライブ装置１は、脆性材料基板１５の端部より外側のポイントにおいて、スクライビングホイール３１の最下端が脆性材料基板１５の上面よりもわずかに下方となる位置まで降下させておく（ステップ１）。この時、スクライビングホイール３１は、回転抑制部６０と当接していなため、回転自在な状態となっている。
【００４７】
つぎに、スクライブ装置１は、スクライブヘッド２０を動かすことによりホルダユニット３０を進行方向Ｄに水平移動させる。この時、スクライビングホイール３１は、回転自在な状態となっているため、脆性材料基板１５の外縁と接触しクラックを形成するとともに基板表面へ乗り上げることなるが、この瞬間に矢印Ｒの方向に少しだけ回転する（ステップ２）。またこの時、上下方向及び前後方向に移動可能に保持されているピン３２は、脆性材料基板１５の基板表面への乗り上げにより上方向に向かって動くことになる。
【００４８】
そして、スクライブ装置１は、脆性材料基板１５の表面にスクライビングホイール３１の刃先が食い込んだ状態で、ホルダユニット３０を進行方向Ｄに水平移動させてスクライブを行う（ステップ３）。この時、スクライビングホイール３１には所定の荷重が印加されているため、ピン３２の上方への動きによってスクライビングホイール３１は回転抑制部６０と強く当接し、ステップ１の回転自在な状態から固定状態になる。
【００４９】
また、スクライブ装置１は、回転抑止部６０をスクライビングホイール３１の刃先が嵌るような溝形状となるよう、凸部６１ａ、６１ｂで構成している。そのため、図３（Ｂ）のように凸部６１ａと凸部６１ｂとの間の溝にスクライビングホイール３１の刃先が入り込むことになる。したがって、スクライビングホイール３１は、矢印Ｒの方向に対する回転だけでなく、ピン３２の方向に対する移動も強く規制されることになる。また、スクライブの際に基板に接触するスクライビングホイール３１の稜線周辺は凸部６１ａ、６１ｂと接触することなく、スクライブの際に基板に接触しない傾斜面が凸部６１ａ、６１ｂと接触するように凸部６１ａと凸部６１ｂとの間の溝が形成されている。このため、刃先部分が回転抑制部６０に当接し荷重を受けることがなく、より刃先の寿命を長くすることができる。溝幅は、例えば０．２ｍｍとされている。
【００５０】
また、本実施形態においては、凸部６１ａ、凸部６１ｂの下端とスクライビングホイール３１とがそれぞれ点接触するように凸部６１ａと凸部６１ｂが形成されている。スクライビングホイールの刃先角度が凸部６１ａの下端と凸部６１ｂの下端がなす角度よりも小さい場合には、回転抑制部とスクライビングホイールが点接触することとなる。これにより、刃先角度が異なるスクライビングホイール３１を取り付けた場合であっても、ピン３２が上方向移動することで同様に回転抑制部とスクライビングホイール３１とが点接触するため、種々の刃先角度のスクライビングホイールに対して同一のホルダを使用することができる。
【００５１】
したがって、ステップ３におけるスクライブ時、スクライブ装置１は、スクライビングホイール３１を用いて常に同じ刃先位置で脆性材料基板１５のスクライブを行うことになる。つまり、スクライブ装置１は、特許文献２や特許文献３に記載されているスクライビングツールのように、固定された状態のスクライビングホイール３１の刃先をスクライビングポイントとして脆性材料基板１５に圧接し、この状態でケガクように摺動させてスクライブラインを形成する。
【００５２】
また、スクライブ装置１は、脆性材料基板１５の他方の縁までスクライブを行うと、また外切りにてスクライブラインを形成することになるので、ステップ２の時にスクライビングホイール３１を少しだけ回転させることができ、次にスクライブラインを形成する刃先位置を変えることができる。
【００５３】
このように本実施形態のスクライブ装置１は、外切りにてスクライブラインを形成すると、特許文献２や特許文献３のようなスクライビングポイントによるスクライブラインのように精度の高いスクライブラインを形成することができる。またスクライビングホイール３１自体は、特許文献１のホイールカッターのようにスクライブラインを形成する際に従来から多用されているものであるため製造等が容易である。
【００５４】
また、スクライブ装置１は、脆性材料基板１５表面へ乗り上げる際にスクライビングホイール３１の刃先を回転させることができるため、常に同じ刃先位置でスクライブラインを形成することを防ぐことができ、スクライビングホイール３１を使用できる寿命を長くすることができる。また、この時のスクライビングホイール３１の回転量についても比較的簡単に制御することができるので、スクライビングホイール３１におけるスクライビングポイントの位置管理も容易に行うことができる。
【００５５】
また、スクライブ装置１は、スクライビングホイール３１とピン３２とホルダ４０という少ない部品点数でホルダユニット３０を構成することができる。
【００５６】
なお、本実施形態においては、上下方向に長く形成している挿入孔４３ａ、４３ｂを作り易さの点で菱形形状にしているが、挿入孔４３ａ、４３ｂは楕円形状等他の形状でも構わない。また、ホルダ４０にはロウ付けされた円柱体４６ａ、４６ｂが形成されているが、ホルダユニット３０はホルダ４０に円柱体４６ａ、４６ｂを形成しない構成でも構わない。この場合、例えば保持溝４２の頂部によって回転抑制部６０を実現することができる。
【００５７】
また、本実施形態においては、スクライブ装置１は、外切りによってスクライビングホイール３１の回転を行っているが、手動等他の方法によって回転させても構わない。
【符号の説明】
【００５８】
１…スクライブ装置
１０…移動台
１１…ボールネジ
１２…案内レール
１３…モータ
１４…テーブル
１５…脆性材料基板
１６…ＣＣＤカメラ
１７…ブリッジ
１８ａ、１８ｂ…支柱
１９…ガイド
２０…スクライブヘッド
２１…ホルダジョイント部
３０…ホルダユニット
３１…スクライビングホイール
３２…ピン
４０…ホルダ
４１ａ、４１ｂ…保持部
４２…保持溝
４３ａ、４３ｂ…挿入孔
４６ａ、４６ｂ…円柱体
４７ａ、４７ｂ…保持壁
５４…ジョイント取付孔
５６…止め金取付孔
５７ａ、５７ｂ…ネジ
５８…止め金
６０…回転抑制部
６１ａ、６１ｂ…凸部
【図１】
2016056074.tif 000003
【図２】
2016056074.tif 000004
【図３】
2016056074.tif 000005
【図４】
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