(57)【要約】【課題】部品点数が少なく、組立が容易な流体用ダイヤフラムポンプを提供する。【解決手段】軸心一方向Ｌ１に開口する３つ又は４つのダイヤフラム50とダイヤフラム50を円周等分配に一体状に連結する軸心直交平面状の横隔膜部54とを有するダイヤフラム集合体５と、モータ９の出力軸91が軸心他方向Ｌ２側から差し込まれるケース部材８と、を備えた流体用ダイヤフラムであって、ケース部材８は、軸心一方向Ｌ１に開口する、３葉又は４葉のクローバ型の収納空間部80を有し、ダイヤフラム集合体５の横隔膜部54を、ケース部材８の収納空間部80が開口する開口端面81で支持するように構成した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸心一方向（Ｌ１）に開口する３つ又は４つのダイヤフラム（50）と該ダイヤフラム（50）を円周等分配に一体状に連結する軸心直交平面状の横隔膜部（54）とを有するダイヤフラム集合体（５）と、モータ（９）の出力軸（91）が軸心他方向（Ｌ２）側から差し込まれるケース部材（８）と、を備えた流体用ダイヤフラムに於て、
上記ケース部材（８）は、上記軸心一方向（Ｌ１）に開口する、３葉又は４葉のクローバ型の収納空間部（80）を有し、
上記ダイヤフラム集合体（５）の上記横隔膜部（54）を、上記ケース部材（８）の上記収納空間部（80）が開口する開口端面（81）で支持するように構成したことを特徴とする流体用ダイヤフラムポンプ。
【請求項２】
上記ダイヤフラム（50）の底壁部（50ｂ）から突出するダイヤフラム駆動軸部（53）を保持してピストン運動させるための駆動体（７）を備え、
上記駆動体（７）は、上記ダイヤフラム駆動軸部（53）を軸心直交状方向から差し込むスリット部（７ｅ）を有する保持孔（７ａ）を備えている請求項１記載の流体用ダイヤフラムポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体用ダイヤフラムポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のダイヤフラムポンプとしては、図７に示すように、軸心一方向Ｌ１に開口する複数のダイヤフラム40と、その複数のダイヤフラム40を円周等分配に一体状に連結する軸心直交平面状の横隔膜部44と、を有するダイヤフラム集合体４を備え、さらに、ダイヤフラム集合体４の横隔膜部44を支持すると共にダイヤフラム40が挿通する貫孔61を有するリテーナ部材６と、リテーナ部材６が取着すると共に、モータ74の出力軸74ａが軸心他方向Ｌ２から差し込まれるケース部材73と、を備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−２３４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、リテーナ部材を用いると、部品点数が多くなるといった問題や、組立作業に手間がかかるといった問題があった。つまり、製造コストが高くなってしまうという問題があった。
【０００５】
そこで、本発明は、部品点数が少なく組立が容易な流体用ダイヤフラムポンプの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の流体用ダイヤフラムポンプは、軸心一方向に開口する３つ又は４つのダイヤフラムと該ダイヤフラムを円周等分配に一体状に連結する軸心直交平面状の横隔膜部とを有するダイヤフラム集合体と、モータの出力軸が軸心他方向側から差し込まれるケース部材と、を備えた流体用ダイヤフラムに於て、上記ケース部材は、上記軸心一方向に開口する、３葉又は４葉のクローバ型の収納空間部を有し、上記ダイヤフラム集合体の上記横隔膜部を、上記ケース部材の上記収納空間部が開口する開口端面で支持するように構成したものである。
また、上記ダイヤフラムの底壁部から突出するダイヤフラム駆動軸部を保持してピストン運動させるための駆動体を備え、上記駆動体は、上記ダイヤフラム駆動軸部を軸心直交状方向から差し込むスリット部を有する保持孔を備えているものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の流体用ダイヤフラムポンプによれば、リテーナ部材を省略でき、部品点数を少なくできると共に組立が容易にできる。部材の製造工数や組立工数を少なくできると共に作業効率が向上し製造コストを大幅に削減できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施の形態を示す分解斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態を示す要部縦断面図である。
【図３】ダイヤフラム集合体と駆動体の一例を示す斜視図である。
【図４】ケース部材の一例を示す正面図である。
【図５】駆動軸部連結工程を示す要部縦断面図であって、（ａ）は連結前の状態を示す要部縦断面図であり、（ｂ）は連結後の状態を示す要部縦断面図である。
【図６】駆動軸部連結工程を示す要部横断面図であって、（ａ）は連結前の状態を示す要部横断面図であり、（ｂ）は連結途中の状態を示す要部横断面図であり、（ｃ）は連結後の状態を示す要部横断面図である。
【図７】従来例を示す分解斜視図である。
【図８】従来の駆動軸部連結工程を示す要部縦断面図であって、（ａ）は連結前の状態を示す要部縦断面図であり、（ｂ）は連結途中の状態を示す要部縦断面図であり、（ｃ）は連結後の切断作業を示す要部縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図示の実施の形態に基づき本発明を詳説する。
本発明の流体用ダイヤフラムポンプは、図１及び図２に示すように、軸心一方向Ｌ１に突出する小円筒状の吸入口部10及び吐出口部15を有する蓋体１と、軸心他方向Ｌ２に突出する短円筒状の吸入弁膜22を３つ有する吸入弁膜集合体２と、軸心一方向Ｌ１に開口する３つの椀型ダイヤフラム50を有するダイヤフラム集合体５と、吸入弁膜集合体２とダイヤフラム集合体５の間に介装される中蓋体３と、ダイヤフラム50の底壁部50ｂから突出するダイヤフラム駆動軸部53を保持してピストン運動させるための駆動体７と、円柱状小型直流用のモータ９と、モータ９の出力軸91に固着すると共に出力軸91から偏心位置に配設される偏心孔72ａを有する回転台72と、駆動体７のボス部７ｂに一端71ａが挿入されて固着すると共に他端71ｂが偏心孔72ａに傾斜状に差し込まれる軸部材71と、モータ９の出力軸91が軸心他方向Ｌ２側から差し込まれると共に回転台72及び出力軸91を収容してモータ９に取着するケース部材８と、を備えている。
【００１０】
ケース部材８内で、出力軸91により回転台72が回転し、回転台72にて偏心位置に他端71ｂが配設された傾斜状の軸部材71が軸心Ｌ廻りに円錐体状の軌跡を描くように回転して（擂粉木状に運動して）駆動体７を揺動させ、駆動体７の揺動によってダイヤフラム駆動軸部53をピストン運動させて、ダイヤフラム50と中蓋体３によって形成されるポンプ室Ｐを圧縮膨張させて、流体を吸入吐出するように構成している。
【００１１】
本発明に於て、流体用ダイヤフラムポンプ全体の中心軸を軸心Ｌと呼ぶ。また、軸心Ｌに沿った矢印Ｌ１方向を軸心一方向Ｌ１と呼ぶ。図２は、説明を容易にするために、軸心Ｌ方向からみて１２０度で折れ曲がった切断面の切り口（図４に一点鎖線で示す切断線Ｓ−Ｓ）で切断した縦断面図である。
【００１２】
図２及び図３に於て、ダイヤフラム集合体５は、ゴム等の弾性材から一体に形成され、椀型のダイヤフラム50の開口縁部を軸心一方向Ｌ１に延設して形成した短円筒状の吐出弁膜部52と、軸心Ｌ廻りの円周方向に１２０度間隔で配設された３つのダイヤフラム50を一体状に連結する軸心直交平面状の横隔膜部54と、を有している。
【００１３】
図１と図４に於て、ケース部材８は、軸心一方向Ｌ１に開口する平面視で３葉のクローバ型の収納空間部80を有し、１つの樹脂成型品から成る。
収納空間部80は、クローバの葉型の小空間部80ａを軸心Ｌ廻りに等間隔に３つ配設して、軸心Ｌ近傍で連通連結している。
収納空間部80内に軸心一方向Ｌ１側から、ダイヤフラム集合体５と連結した駆動体７を収納可能に開口している。
１つの小空間部80ａ内に、ダイヤフラム集合体５のダイヤフラム50及びダイヤフラム駆動軸部53と、駆動体７の保持片部７ｄと、を収納する。また、平面視で、収納空間部80の中央部に、回転台72と軸部材71と駆動体７の中央部（ボス部７ｂ）を収納する。
【００１４】
そして、収納空間部80が開口する開口端面81を、図２に示すように、ダイヤフラム集合体５の横隔膜部54の裏面（軸心他方向Ｌ２側の面）54ｂに直接に当接させて支持するように構成している。
収納空間部80をクローバ型に開口することで、単に１つの大きな円形に開口した場合に比べて、各ダイヤフラム50の周囲の横隔膜部54にＣ字状に当接し、軸心Ｌ廻りに隣り合うダイヤフラム50とダイヤフラム50の間に入り込むように支持し（ダイヤフラム50をＣ字状に包囲し）、ダイヤフラム集合体５が軸心他方向Ｌ２へ撓むのを防止する。
【００１５】
また、図２と図４に示すように、ケース部材８は、底壁部82に、出力軸91に固着された回転台（クランク台）72が挿通可能な貫通孔83を有している。出力軸91に回転台72を固着した後に、ケース部材８の底壁部82を、モータ９の出力軸側の端面92ａ（一端壁部92）に当接させて取着可能としている。
【００１６】
また、ケース部材８は、底壁部82に、モータ９の一端壁部92に形成したケース取着用ネジ孔93に螺着するケース取着用ネジ76が挿通可能な取付孔84を、１つのみ貫設している。
また、取付孔84の周囲に、底壁部82（の表て面82ａ）から軸心一方向Ｌ１に突設させたネジ用座部85を設けて、肉厚にし、ケース取着用ネジ76を強く締付け可能としている。
【００１７】
さらに、ケース部材８は、モータ９の一端壁部92に形成した位置決め用孔部94に差し込まれる位置決め用の差込軸部86を、底壁部82の裏面82ｂよりも軸心他方向Ｌ２に突設している。なお、モータ９の位置決め用孔部94は、図示のような貫通に限らず、ネジ孔や有底孔であっても良い。
【００１８】
図２及び図３に示すように、ダイヤフラム集合体５は、ダイヤフラム50の底壁部50ｂから突出するダイヤフラム駆動軸部53を有している。
ダイヤフラム駆動軸部53は、ダイヤフラム50の底壁部50ｂから突出する短円柱状のヘッド部53ａと、ヘッド部53ａから突出して該ヘッド部53ａよりも小径の中間軸部53ｂと、中間軸部53ｂの軸心他方向Ｌ２側端部から膨出状に設けた引掛部53ｃと、から成る。
【００１９】
駆動体７は、ボス部７ｂの軸心一方向Ｌ１側の端部から、平面視で、軸心直交状方向（ラジアル方向）に、放射状に突設される３つの保持片部７ｄを有している。
保持片部７ｄに、ダイヤフラム駆動軸部53の中間軸部53ｂを軸心直交状方向（横方向）から差し込むスリット部７ｅと、スリット部７ｅと連続する切欠円形状の係止孔部７ｆと、を有する平面視で切欠形状の保持孔７ａを備えている。
【００２０】
図６（ａ）に示すように、係止孔部７ｆの内径寸法ｄを、中間軸部53ｂの外径寸法Ｄよりも僅かに小さく設定している。また、スリット部７ｅの最小スリット幅寸法Ｗを、中間軸部53ｂの外径寸法Ｄ及び係止孔部７ｆの内径寸法ｄよりも小さく形成して、保持孔７ａを、平面視で、あり溝状に形成している。
【００２１】
図２に於て、蓋体１は、樹脂成形品であって、流体を排出するための吐出路16が、軸心Ｌを中心として貫設されている。また、軸心Ｌに対して偏心位置に、流体を吸い込むため吸入路11が貫設されている。吐出口部15に吐出路16の一部が形成されている。吸入口部10に吸入路11の一部が形成されている。また、軸心他方向Ｌ２側に、吸入路11と連通すると共に吐出路16を包囲するように環状に凹設された吸込路12と、吸込路12と吐出路16とを区切る円環状の区切壁部17と、を形成している。吸入弁膜集合体２を軸心一方向Ｌ１側から押さえるように形成している。
【００２２】
吸入弁膜集合体２は、ゴム等の弾性材から一体に形成され、軸心直交平面状の平板部24と、軸心Ｌを中心として平板部24に形成した吐出孔26と、吐出孔26に対応して設けた舌片状の吐出用逆止弁27と、軸心Ｌ廻りの円周方向に１２０度間隔で平板部24に貫設された３つの吸入孔21と、吸入孔21の開口縁部から軸心他方向Ｌ２に延設される短円筒状の吸入弁膜22と、を有している。
【００２３】
中蓋体３は、短円柱状の樹脂成形品であって、軸心Ｌを中心として排出孔36を貫設している。排出孔36の周囲（近傍）から軸心Ｌ廻りに複数の支柱部33を軸心他方向Ｌ２へ突設させている。また、各支柱部33の軸心他方向Ｌ２側端部（突出先端部）に連結して支持される押さえ部37を設けている。押さえ部37は、組立状態に於て、軸心一方向Ｌ１側からダイヤフラム集合体５の横隔膜部54の中央部54ｋに当接して、軸心一方向Ｌ１への撓みを防止し、横隔膜部54を平板状に保持する。流体は複数の支柱部33の間を通過して排出孔36から蓋体１側へ流れる。
【００２４】
また、中蓋体３は、軸心他方向Ｌ２側の面に排出孔36と連通する円形状窪部の排出路39を設けている。排出路39には、軸心Ｌ廻りの円周方向に１２０度間隔で配設されると共に、軸心一方向Ｌ１に開口する３つの有底円筒部30が突設されている。有底円筒部30の円筒壁部を、吐出弁膜部52が密着分離自在に接触する吐出弁座部35としている。
また、有底円筒部30の底壁部30ｂから、軸心一方向Ｌ１に突出すると共に、横断面の外形状が円形状の突出部31を設けている。この突出部31の周壁部を、吸入弁膜22が密着分離自在に接触する吸入弁座部32としている。また、この突出部31の周壁部（吸入弁座部32）を、軸心一方向Ｌ１へ向かって縮径するテーパ状に形成している。また、吸入弁座部32は縦溝32ａを有している。
吐出弁座部35と同心状に吸入弁座部32を配設して、軸心一方向Ｌ１に開口する円環状凹溝34を形成している。また、有底円筒部30の底壁部30ｂに、円環状凹溝34に連通する貫孔38を設けている。吸入弁膜集合体２を軸心他方向Ｌ２側から支持すると共に、ダイヤフラム集合体５の横隔膜部54を軸心一方向Ｌ１側から押さえるように構成している。
【００２５】
上述した本発明の流体用ダイヤフラムポンプの作用を組立工程と共に説明する。
駆動体７と、ダイヤフラム集合体５を連結する駆動軸部連結工程を行う。
図５（ａ）及び図６（ａ）に示すように、駆動体７のスリット部７ｅと、ダイヤフラム集合体５の中間軸部53ｂを、軸心直交状方向に相互に接近させる。図６（ｂ）に示すように、スリット部７ｅに、中間軸部53ｂが弾性変形しつつ、差し込まれる。そして、図６（ｃ）に示すように、係止孔部７ｆに中間軸部53ｂが弾性変形して縮径し、その弾性復元力によって、中間軸部53ｂが係止孔部７ｆの内周面に圧接する。
さらに、図５（ｂ）に示すように、ダイヤフラム駆動軸部53は、ヘッド部53ａによって、軸心他方向Ｌ２への抜けが防止されると共に、引掛部53ｃによって、軸心一方向Ｌ１への抜けが防止される。また、スリット部７ｅの最小スリット幅寸法Ｗを、中間軸部53ｂの外径寸法Ｄ及び係止孔部７ｆの内径寸法ｄよりも小さく形成しているので、ダイヤフラム駆動軸部53がポンプ使用中にスリット部７ｅから軸心直交状方向へ抜けるのを防止する。
【００２６】
ここで、図７及び図８に示す従来例では、駆動軸部連結工程において、リテーナ部材６の貫孔61に、従来のダイヤフラム集合体４のダイヤフラム40及びダイヤフラム駆動軸部43を挿通させ、リテーナ部材６の軸心一方向Ｌ１側の面を横隔膜部44に当接させて支持させた後に、従来の駆動体70との連結を開始していた。
さらに、従来の駆動体70の保持孔70ａは、円形孔であるため（スリット部７ｅを有していないため）、図８（ａ）に示すように、駆動体70の保持孔70ａと、ダイヤフラム駆動軸部43を、軸心方向に相互に接近させる。
図８（ｂ）に示すように、引掛部43ｃから突設した細い棒状のガイド軸部43ｄを、保持孔70ａに挿通させ、ペンチやニッパー等の把持工具にて掴持し、軸心他方向Ｌ２へ引っ張る。引掛部43ｃを大きく弾性変形させつつ保持孔70ａを通過させ、中間軸部43ｂを挿通させ、ヘッド部43ａで係止させていた。
その後、図８（ｃ）に示すように、ガイド軸部43ｄを、カッターやニッパー等の切断工具にて切断していた。
【００２７】
つまり、図８に示した従来の駆動軸部連結工程では、保持孔70ａに引掛部43ｃを通過させることが、困難で、手間と時間がかかると共に、従来のダイヤフラム集合体４が損傷する虞れがあった。また、ダイヤフラム駆動軸部43に把持工具にて掴持するためのガイド軸部43ｄを設ける必要があった。また、ガイド軸部43ｄを切断すると、切断屑が発生し、従来のケース部材73内に入って、故障の原因となる虞れがあった。また、切断バリが、時間の経過と共に、粉粒状のゴミとなり故障の原因となる虞れもあった。また、ガイド軸部43ｄの切断作業忘れがあると、回転台72等に接触して、動作が安定しなくなることや故障する虞れがあった。また、把持工具や切断工具、押さえ治具等が必要であった。
しかし、本発明は、保持孔７ａがスリット部７ｅを有しているため、ガイド軸部43ｄを設ける必要がなく、無理な引っ張りや、切断作業も必要無く、容易かつ迅速に連結できると共に、製造工程が原因の故障の発生が抑えられ、品質が安定する。
【００２８】
次に、図１及び図２に於て、ケース部材８とモータ９を取着するための収納部組立工程は、先ず、モータ９の出力軸91を回転台72の中心孔72ｂ（図２参照）に差し込んで固着する。その後、ケース部材８の底壁部82の貫通孔83に、回転台72及び出力軸91を軸心他方向Ｌ２側から挿通させる。そして、ケース部材８の差込軸部86を、モータ９の位置決め用孔部94に差し込んで、位置決めを行う。収納空間部80内からケース取着用ネジ76を取付孔84に挿通させると共にモータ９のケース取着用ネジ孔93に螺着して、ケース部材８とモータ９を固着する。
つまり、回転台72を、開放された広い空間で、容易に出力軸91に固着できる。また、ケース取着用ネジ76を１本だけ螺着すれば良いので、部品点数を減少できると共に組立工数を減少させることができ、作業効率を向上できる。
【００２９】
そして、駆動軸部連結工程及び収納部組立工程が終了した後、ケース部材８の収納空間部80内で、駆動体７に固着している軸部材71の他端71ｂを回転台72の偏心孔72ａに差し込む。さらに、駆動体７と連結しているダイヤフラム集合体５の横隔膜部54の裏面54ｂを、ケース部材８の開口端面81に当接させて、ケース部材８によって直接に、ダイヤフラム集合体５を支持して、駆動機構組立工程を終了する。
【００３０】
駆動機構組立工程を終了後に、ダイヤフラム集合体５の横隔膜部54の軸心一方向Ｌ１側の面（表て面）54ａに、中蓋体３と、吸入弁膜集合体２と、蓋体１と、を順次積層状に配設して、蓋取着用のネジ75を蓋体１と中蓋体３とに挿通させた後、ケース部材８に螺着して、組立工程を終了する。
図２に示すように、ダイヤフラム50と中蓋体３に囲まれた３つのポンプ室Ｐが形成される。また、吸入路11、吸込路12、吸入孔21、円環状凹溝34、貫孔38、から成る吸入流路が形成されると共に、吸入弁膜22と吸入弁座部32とから成る吸入弁が吸入流路に介設される。また、吐出路16、吐出孔26、排出孔36、排出路39、から成る吐出流路が形成されると共に、吐出弁膜部52と吐出弁座部35とから成る吐出弁が吐出流路に介設される。
また、３つの円環状凹溝34は互いに連通しておらず、吸入弁を介して吸込路12と連通可能である。また、円環状凹溝34は、貫孔38を介して対応するポンプ室Ｐと連通している。
また、出力軸91の回転により駆動体７が揺動し、ダイヤフラム駆動軸部53をピストン運動させ、ダイヤフラム50を圧縮・膨張可能となる。
【００３１】
そして、ポンプ室Ｐが圧縮状態から膨張した場合は、ポンプ室Ｐ内が負圧となって、負圧によって引き寄せられる流体が吸入弁膜22を吸入弁座部32から分離させ、吸込路12とポンプ室Ｐとを開通状態にする。負圧作用により流体は吸入流路を流れポンプ室Ｐに流入する。また、吐出弁膜部52は、負圧により吐出弁座部35に吸い寄せられ圧接する。排出路39からポンプ室Ｐへの流体の浸入を防止する。
【００３２】
ポンプ室Ｐが圧縮した場合は、ポンプ室Ｐ内の流体が、吐出弁膜部52を、押圧して吐出弁座部35から離間させ、排出路39とポンプ室Ｐが開通状態となりポンプ室Ｐ内の流体が吐出路16から排出される。また、ポンプ室Ｐの圧縮により、円環状凹溝34内の流体が、吸入弁膜22を吸入弁座部32に圧接させる。吸入弁は吸入流路を遮断状態とし流体が吸込路12へ流出するのを防止する。
【００３３】
次に、図示省略するが、他の実施形態は、４つのダイヤフラム50を円周方向に９０度等間隔で配設してダイヤフラム集合体５を形成し、ケース部材８の収納空間部80を、４葉のクローバ型に形成する。つまり、ダイヤフラム50の数に対応するように、ケース部材８にクローバの葉型の小空間部80ａを４つ設ける。そして、駆動体４の保持片部７ｄを放射状に４つ設け、さらに、吸入弁膜集合体２の吸入弁膜22と、中蓋体３の吸入弁座部32及び吐出弁座部35と、を夫々４つ設ける。他の構成及び作用効果は図１乃至図６の実施形態と同様である。
【００３４】
なお、本発明は設計変更可能であって、蓋体１と吸入弁膜集合体２と中蓋体３の構成や、吐出流路と吸入流路の構造や、吸入弁及び吸入弁座部の構造や、吐出弁及び吐出弁座部の構造は、自由である。例えば、ダイヤフラム集合体５の吐出弁膜部52及び吸入弁膜集合体２の吸入弁膜22は円筒状に限らず、舌片状とするも良い。吸入弁膜集合体２を省略して、ダイヤフラム集合体５に、吸入弁部を形成したものであっても良い。
【００３５】
以上のように、本発明は、軸心一方向Ｌ１に開口する３つ又は４つのダイヤフラム50とダイヤフラム50を円周等分配に一体状に連結する軸心直交平面状の横隔膜部54とを有するダイヤフラム集合体５と、モータ９の出力軸91が軸心他方向Ｌ２側から差し込まれるケース部材８と、を備えた流体用ダイヤフラムに於て、ケース部材８は、軸心一方向Ｌ１に開口する、３葉又は４葉のクローバ型の収納空間部80を有し、ダイヤフラム集合体５の横隔膜部54を、ケース部材８の収納空間部80が開口する開口端面81で支持するように構成したので、部品点数を少なくできると共に組立が容易にできる。部材の製造工数や組立工数を少なくできると共に作業効率が向上し製造コストを大幅に削減できる。収納空間部80を単に１つの大きな円形に開口した場合に比べて、軸心Ｌ廻りに（周方向に）隣り合うダイヤフラム50とダイヤフラム50の間に入り込むように支持でき、ダイヤフラム集合体５が軸心他方向Ｌ２へ撓むのを確実に防止できる。
【００３６】
また、ダイヤフラム50の底壁部50ｂから突出するダイヤフラム駆動軸部53を保持してピストン運動させるための駆動体７を備え、駆動体７は、ダイヤフラム駆動軸部53を軸心直交状方向から差し込むスリット部７ｅを有する保持孔７ａを備えているので、ダイヤフラム集合体５と駆動体７の連結を容易かつ迅速にできる。組立工数が減少し、作業効率が向上して製造コストを削減できる。組立工程が原因の不具合品の発生を抑制できる。
【符号の説明】
【００３７】
５  ダイヤフラム集合体
７  駆動体
７ａ  保持孔
７ｅ  スリット部
８  ケース部材
９  モータ
50  ダイヤフラム
50ｂ  底壁部
53  ダイヤフラム駆動軸部
54  横隔膜部
80  収納空間部
81  開口端面
91  出力軸
Ｌ１  軸心一方向
Ｌ２  軸心他方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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