(57)【要約】【課題】研磨ブラシに接触した板材が移動してしまいその結果板材を研磨することができなくなることを防止する。【解決手段】板材をブラシで研磨する研磨方法であって、保持面に凸部を有する保持台の前記保持面上に前記板材を前記凸部に近傍して保持し、前記ブラシのブラシ素線を前記凸部の側方から前記凸部に突き当てて前記ブラシ素線を屈曲させ、前記凸部によって屈曲した前記ブラシ素線を前記凸部から前記板材上へ移動させて前記板材の表面に当接させ、前記屈曲したブラシ素線が前記板材表面に当接した状態で前記ブラシを前記板材に対して摺動させて前記ブラシにより前記板材を研磨する。【選択図】図３
2016155206.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板材をブラシで研磨する研磨方法であって、
保持面に凸部を有する保持台の前記保持面上に前記板材を前記凸部に近傍して保持し、
前記ブラシのブラシ素線を前記凸部の側方から前記凸部に突き当てて前記ブラシ素線を屈曲させ、
前記凸部によって屈曲した前記ブラシ素線を前記凸部から前記板材上へ移動させて前記板材の表面に当接させ、
前記屈曲したブラシ素線が前記板材表面に当接した状態で前記ブラシを前記板材に対して摺動させて前記ブラシにより前記板材を研磨する、
研磨方法。
【請求項２】
前記凸部の前記保持面からの高さは、前記凸部によって屈曲した前記ブラシ素線が、屈曲状態を維持したまま前記凸部から前記板材上へ移動するような高さである、請求項１に記載の研磨方法。
【請求項３】
前記凸部の前記保持面からの高さは、前記板材の厚さと等しい又は前記板材の厚さより大きい、請求項１又は請求項２に記載の研磨方法。
【請求項４】
前記凸部は、前記保持台の前記保持面に着脱可能に固定された前記保持台とは別体の治具である、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の研磨方法。
【請求項５】
前記凸部は、前記保持台と一体的に形成された前記保持面上の凸状の段差である、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の研磨方法。
【請求項６】
前記凸部は、前記保持面上に保持される前記板材の周囲を取り囲む形状の枠である、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の研磨方法。
【請求項７】
前記枠は複数の区画を有し、それぞれの区画内に板材を配置可能である、請求項６に記載の研磨方法。
【請求項８】
前記板材は表面に薄膜を有した基板であり、前記研磨によって前記基板から前記薄膜を除去する、請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の研磨方法。
【請求項９】
研磨対象の板材を保持する保持面に凸部を有した保持台と、
前記保持台上に保持された前記板材を研磨するためのブラシと、
を備えた研磨装置であって、
前記ブラシのブラシ素線を前記凸部の側方から前記凸部に突き当てて前記ブラシ素線を屈曲させ、
前記凸部によって屈曲した前記ブラシ素線を前記凸部から前記保持台に保持された前記板材上へ移動させて前記板材の表面に当接させ、
前記屈曲したブラシ素線が前記板材表面に当接した状態で前記ブラシを前記板材に対して摺動させて前記ブラシにより前記板材を研磨する、
研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨方法及び研磨装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、太陽電池に関して、市場に販売されて使用された後に寿命が尽きたものや、製造工程において不良と判断されたものなどを回収し、リサイクルする取り組みが報告されている。例えば、使用済みの太陽電池モジュールをリサイクルする場合は、まず太陽電池モジュールからフレーム（例えばアルミ金属製の保護用枠材）や端子ボックス等を取り外し、次いでフレーム等を取り外した後のモジュールを、太陽電池素子基板と表面保護材（カバーガラス）と裏面保護材（バックシート）に分離する。太陽電池素子基板は、例えばガラス基板上に裏面電極層、光吸収層、及び透明導電膜等からなる薄膜層が形成された構成を有しているので、更に太陽電池素子基板をガラス基板と薄膜層に分離して、ガラスや薄膜の構成材料を再利用する。
【０００３】
太陽電池素子基板をガラス基板と薄膜層に分離する方法として、例えば、回転ブラシを備えたブラシ研磨装置に太陽電池素子基板を投入して、回転ブラシによりガラス基板から薄膜層を削り落とす方法が知られている（例えば特許文献１参照）。また、液晶パネルのリサイクルにおいても、回転ブラシを用いて基板から薄膜を剥離する技術は公知である（例えば特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−０５４５９３号公報
【特許文献２】特開２００２−１５９９５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
図５は、基板上に形成された薄膜層を回転ブラシで除去する工程を示す図である。図５（Ａ）に示されるように、基板５１０は薄膜層（不図示）が形成された面５１０ａを上にして保持台５２０上に保持され、基板５１０を保持した保持台５２０が回転ブラシ５３０の方向５９０へ搬送されていく。保持台５２０の搬送により、基板５１０の回転ブラシ５３０側の側面５１０ｂが回転ブラシ５３０のブラシ素線５３２に接触し（図５（Ｂ））、その後更に保持台５２０の搬送を続けると、基板５１０の側面５１０ｂに接触したブラシ素線５３２の毛先部分５３２ａが保持台５２０の搬送につれて次々に基板５１０の上面５１０ａに乗り上げる形に屈曲して、基板５１０が回転ブラシ５３０の下に入り込んでいく（図５（Ｃ）及び（Ｄ））。こうして、基板５１０の上面５１０ａとブラシ素線５３２の屈曲して寝た状態になった毛先部分５３２ａとの摩擦により、基板５１０上の薄膜層が研磨されて除去される。
【０００６】
ここで、図５（Ｂ）から（Ｃ）に示されるように初めは真直ぐ伸びていたブラシ素線５３２の毛先部分５３２ａが基板５１０によって屈曲させられるためには、基板５１０の側面５１０ｂがブラシ素線５３２を搬送方向５９０に押す力が、ブラシ素線５３２が屈曲状態から元の真直ぐの状態に戻ろうとする復元力に打ち勝てるだけの十分大きな力である必要がある。言い換えれば、基板５１０が回転ブラシ５３０の下に入り込もうとする時、基板５１０の側面５１０ｂには、基板５１０がブラシ素線５３２を押す力の反作用として、搬送方向５９０とは反対方向にブラシ素線５３２からの復元力５９５が加わる。そして、もし基板５１０の保持台５２０に対する密着力が基板５１０に加わるブラシ素線５３２からの復元力５９５に比べて十分な大きさでない場合には、基板５１０はその側面５１０ｂで受けたブラシ素線５３２の復元力５９５に負けて搬送方向５９０とは反対の方向へはじき飛ばされてしまい、回転ブラシ５３０の下には入っていくことができない。このように、基板５１０／保持台５２０間の密着力とブラシ素線５３２の復元力（剛性）との関係によっては、基板５１０を研磨することができないという問題がある。
【０００７】
なお、基板５１０と保持台５２０との密着力が十分でないというような状況は、例えば、基板５１０を真空吸着で保持台５２０に固定する構成において吸引圧力が不十分である場合や、特に小サイズの基板（例えばリサイクル処理過程で割れた小片のガラス基板）を取り扱う際に基板面積に対して吸引圧力が不足する場合などに生じ得る。
【０００８】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、その目的の１つは、研磨ブラシに接触した板材が移動してしまいその結果板材を研磨することができなくなることを防止することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決するために、本発明の一態様は、板材をブラシで研磨する研磨方法であって、保持面に凸部を有する保持台の前記保持面上に前記板材を前記凸部に近傍して保持し、前記ブラシのブラシ素線を前記凸部の側方から前記凸部に突き当てて前記ブラシ素線を屈曲させ、前記凸部によって屈曲した前記ブラシ素線を前記凸部から前記板材上へ移動させて前記板材の表面に当接させ、前記屈曲したブラシ素線が前記板材表面に当接した状態で前記ブラシを前記板材に対して摺動させて前記ブラシにより前記板材を研磨する、研磨方法である。
【００１０】
また、本発明の他の一態様は、上記一態様において、前記凸部の前記保持面からの高さは、前記凸部によって屈曲した前記ブラシ素線が、屈曲状態を維持したまま前記凸部から前記板材上へ移動するような高さである、研磨方法である。
【００１１】
また、本発明の他の一態様は、上記一態様において、前記凸部の前記保持面からの高さは、前記板材の厚さと等しい又は前記板材の厚さより大きい、研磨方法である。
【００１２】
また、本発明の他の一態様は、上記一態様において、前記凸部は、前記保持台の前記保持面に着脱可能に固定された前記保持台とは別体の治具である、研磨方法である。
【００１３】
また、本発明の他の一態様は、上記一態様において、前記凸部は、前記保持台と一体的に形成された前記保持面上の凸状の段差である、研磨方法である。
【００１４】
また、本発明の他の一態様は、上記一態様において、前記凸部は、前記保持面上に保持される前記板材の周囲を取り囲む形状の枠である、研磨方法である。
【００１５】
また、本発明の他の一態様は、上記一態様において、前記枠は複数の区画を有し、それぞれの区画内に板材を配置可能である、研磨方法である。
【００１６】
また、本発明の他の一態様は、上記一態様において、前記板材は表面に薄膜を有した基板であり、前記研磨によって前記基板から前記薄膜を除去する、研磨方法である。
【００１７】
また、本発明の他の一態様は、研磨対象の板材を保持する保持面に凸部を有した保持台と、前記保持台上に保持された前記板材を研磨するためのブラシと、を備えた研磨装置であって、前記ブラシのブラシ素線を前記凸部の側方から前記凸部に突き当てて前記ブラシ素線を屈曲させ、前記凸部によって屈曲した前記ブラシ素線を前記凸部から前記保持台に保持された前記板材上へ移動させて前記板材の表面に当接させ、前記屈曲したブラシ素線が前記板材表面に当接した状態で前記ブラシを前記板材に対して摺動させて前記ブラシにより前記板材を研磨する、研磨装置である。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、研磨ブラシに接触した板材が移動してしまうことにより板材を研磨することができなくなることを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】太陽電池素子基板１０及び太陽電池モジュール１の断面構成図である。
【図２】太陽電池モジュール１のリサイクル方法の各工程を示した工程図である。
【図３】基板上に形成された薄膜層を回転ブラシで除去する工程を模式的に示す図である。
【図４】凸部２０１の上面形状を示す図である。
【図５】基板上に形成された薄膜層を回転ブラシで除去する工程（従来技術）を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、太陽電池のリサイクルに本発明を適用した場合を例として、図面を参照しながら本発明の実施形態について詳しく説明する。
【００２１】
まず、図１を参照して、リサイクル対象である薄膜太陽電池モジュールの構成を説明する。図１（Ａ）は、基板上に裏面電極層、光吸収層、及び透明導電膜が積層されて形成された太陽電池素子基板の断面構成図であり、図１（Ｂ）は、この太陽電池素子基板に表面保護材や裏面保護材が封止材によって接着されて構成された太陽電池モジュールの断面構成図である。
【００２２】
図１（Ａ）に示すように、太陽電池素子基板１０は、基板１０１上に、裏面電極層１０２、光吸収層１０３、及び透明導電膜１０４がこの順に積層されて構成されている。基板１０１側から裏面電極層１０２／光吸収層１０３／透明導電膜１０４が順に積層された薄膜太陽電池はサブストレート型薄膜太陽電池と呼ばれ、透明導電膜１０４側が太陽電池の受光面となる。なお、本発明はサブストレート型薄膜太陽電池に限定して適用されるものではなく、基板側から透明導電膜／光吸収層／裏面電極層が順に積層され、基板側が受光面となるスーパーストレート型薄膜太陽電池にも同様に適用することができる。
【００２３】
基板１０１は、例えば、ガラス基板、金属基板、樹脂基板などを用いることができる。サブストレート型の場合、基板１０１と反対側の透明導電膜１０４から太陽光が入射されるため基板１０１の透明性は問われないが、スーパーストレート型の場合には、基板１０１を通して太陽光が入射されるため、基板１０１の材料はガラスや透明な樹脂に限定される。裏面電極層１０２は、例えば、Ｍｏ（モリブデン）などの遷移金属から構成される。光吸収層１０３は、例えば、化合物半導体（ＣＩＳ系やＣＺＴＳ系等）、薄膜シリコン、有機半導体などから構成される。透明導電膜１０４は、例えば、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）などである。
【００２４】
図１（Ｂ）は、図１（Ａ）に示す太陽電池素子基板１０が封止された一般的な太陽電池モジュール１の断面構成を示している。図１（Ｂ）に示すように、太陽電池モジュール１は、太陽電池素子基板１０が表面保護材１１と裏面保護材１２の間に配置され、表面保護材１１と太陽電池素子基板１０との間、及び裏面保護材１２と太陽電池素子基板１０との間が、封止材１３によって封止された構成である。表面保護材１１は、例えば白板強化ガラスからなるカバーガラスや透明樹脂板などの透明な部材であり、太陽電池の受光面を保護する。裏面保護材１２としては、太陽電池モジュール１の内部への水分の浸入を防ぐために、一例としてＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）とアルミ箔を積層してなるバックシートが適用される。封止材１３の具体例は、ＥＶＡ（エチレンビニールアセテート）、ＰＶＢ（ポリビニルブチラール）などである。また、太陽電池モジュール１の端部周囲は、例えばアルミ金属の枠材であるフレーム１４がブチルゴム等の接着剤で接着され、このフレーム１４によって太陽電池モジュール１の端部が保護される。
【００２５】
次に、図２を参照して、上述した薄膜太陽電池モジュールのリサイクル方法を説明する。図２は、一実施形態による薄膜太陽電池モジュールのリサイクル方法の各工程を示した工程図である。
【００２６】
まず、ステップＳ１において、太陽電池モジュール１からフレーム１４を取り外す。フレーム１４を太陽電池モジュール１から取り外す際は、フレーム１４に熱を加えることにより、フレーム１４と太陽電池モジュール１とを接着している接着剤を軟化させる工程を行うことが好適である。太陽電池モジュール１にフレーム１４以外の部材（例えば端子ボックス等）が取り付けられている場合は、これらの部材もステップＳ１で太陽電池モジュール１から取り外す。端子ボックスの取り外しについては、太陽電池モジュール１を１５０〜２００℃に加熱して裏面保護材１２を太陽電池モジュール１から剥がすことにより、端子ボックスを太陽電池モジュール１から取り外すことが可能である。
【００２７】
次に、ステップＳ２において、フレーム１４が取り外された状態の太陽電池モジュールを熱処理炉に投入し、約４５０〜５００℃で熱処理する。この熱処理によって、封止材１３は燃焼又は除去されて、太陽電池素子基板１０と表面保護材１１と裏面保護材１２とを互いに分離することが可能となる。
【００２８】
次に、ステップＳ３において、上記ステップＳ２で分離された太陽電池素子基板１０をブラシ研磨装置に投入して、ブラシ研磨装置の回転ブラシで太陽電池素子基板１０の基板表面を研磨することにより基板１０１から薄膜層（裏面電極層１０２、光吸収層１０３、及び透明導電膜１０４）を削り落とす。これにより、薄膜層が除去された基板１０１を得ることができる。この工程の詳細については、図３を参照して後述する。なお、本実施形態のように、裏面電極層１０２にＭｏ等の遷移金属を適用した例においては、基板１０１と裏面電極層１０２の密着強度が大きいため、光吸収層１０３と透明導電膜１０４の削り落としをブラシ研磨装置で行い、基板１０１から裏面電極層１０２を除去する工程は、他の方法（例えば、レーザーによる膜除去や溶液を使った除去）でもよいし、別途、裏面電極層１０２のみを除去するブラシ研磨工程を設けてもよい。
【００２９】
次に、ステップＳ４において、各材料をリサイクルする。例えば、基板１０１としてガラス基板が用いられている場合、ステップＳ３で薄膜層が除去されたガラス基板を、破砕してガラスカレットに加工した後、改めてガラス基板やガラスファイバ等の様々なものにリサイクルすることが可能である。また、ステップＳ３で研磨により削り落とされた薄膜の各材料を材料ごとに分別して回収し、再利用してもよい。更に、表面保護材１１、裏面保護材１２、フレーム１４等も必要に応じて適宜再利用することができる。
【００３０】
次に、図３を参照して、上述したステップＳ３の詳細を説明する。図３は、基板上に形成された薄膜層を回転ブラシで除去する工程を模式的に示す図である。
【００３１】
まず、図３（Ａ）に示されるように、モジュールから分離された太陽電池素子基板１０を、裏面電極層１０２、光吸収層１０３、及び透明導電膜１０４よりなる薄膜層（不図示）が形成された面１０ａを上にして保持台２０上に保持する。保持台２０の保持面２０ａには、凸部２０１が設けられている。凸部２０１は、保持面２０ａの一部を部分的に嵩上げする構造物であり、保持台２０の保持面２０ａは凸部２０１のところで他の部分よりも盛り上がって高くなっている。凸部２０１を設ける位置は、太陽電池素子基板１０と回転ブラシ３０との間である。これは、後述するように、研磨の際に回転ブラシ３０が最初に太陽電池素子基板１０ではなく凸部２０１に当たるようにするためである。即ち、凸部２０１は、回転ブラシ３０とぶつかった時の衝撃を受け止め、保持面２０ａに保持された太陽電池素子基板１０に伝わる回転ブラシ３０からの衝撃を緩和する役割を果たす。このように凸部２０１によって、回転ブラシ３０が太陽電池素子基板１０を横方向にはじき飛ばす力が弱められるので、太陽電池素子基板１０と保持台２０との密着力が十分に大きくない場合であっても太陽電池素子基板１０の研磨を行うことが可能となる。
【００３２】
凸部２０１の断面形状は任意である。図３では凸部２０１は垂直な２つの側面と水平な上面とを有した形状に描かれているが、これに限定されるものではない。例えば、凸部２０１の上面は、図示されるような水平な平面ではなく、上に凸の曲面であってもよい。また、凸部２０１の２つの側面を傾斜面として、凸部２０１の断面が台形となるようにしてもよい。更に、凸部２０１の断面形状は三角形であってもよい。
【００３３】
凸部２０１は、例えば、保持台２０と一体的に形成することができる。即ち、保持面２０ａの一部に、凸状の段差として凸部２０１を作り込むことができる。また例えば、凸部２０１は、保持台２０とは別体の治具であってもよい。即ち、保持台２０とは別に作製した治具を後から保持台２０の保持面２０ａに着脱可能に取り付けて固定し、これを凸部２０１として用いるようにしてもよい。着脱可能な治具を凸部２０１として用いる構成においては、研磨対象が保持台２０との密着力が十分大きい基板である場合はこの治具（凸部２０１）を取り外して研磨処理を行えばよい。これにより、保持台２０との密着力が小さい基板と大きい基板の両方に対応することができる。
【００３４】
太陽電池素子基板１０を保持台２０に保持する方法としては、例えば、保持台２０の保持面２０ａに設けた多数の孔を介して太陽電池素子基板１０を保持面２０ａに真空吸着させる方法を用いることができる。この場合、太陽電池素子基板１０の大きさ、真空吸着用の孔の数、分布、密度、及び真空吸着の吸引圧力などによっては、太陽電池素子基板１０の保持台２０に対する密着力が十分でないことがある。本発明は特にこのような状況においても、保持台２０に設けた凸部２０１の存在により太陽電池素子基板１０の研磨を可能とするものである。なお、真空吸着以外の方法として、例えば粘着シートや粘着剤を用いるなど他の方法を適用してもよい。
【００３５】
太陽電池素子基板１０の固定に真空吸着を用いる場合、上述した着脱可能な治具（凸部２０１）も同様に真空吸着によって保持台２０の保持面２０ａに取り付けるようにすることが可能である。ここで、治具が保持面２０ａと接する接触面積が太陽電池素子基板１０の面積よりも大きければ、この治具は太陽電池素子基板１０よりも強い密着力で保持台２０に保持され、回転ブラシ３０と当たった時にはじき飛ばされてしまうことがない。
【００３６】
次に、上記のように太陽電池素子基板１０が保持された保持台２０を、回転ブラシ３０の方向９０へ搬送する。保持台２０を搬送するのではなく、回転ブラシ３０を保持台２０の方へ近付けていってもよい。また、保持台２０と回転ブラシ３０の両者を、互いの相対距離が短くなるように移動させるようにしてもよい。
【００３７】
保持台２０を搬送方向９０へ搬送していくと、図３（Ｂ）に示されるように、保持台２０上に設けられた凸部２０１が、回転ブラシ３０を構成するブラシ素線３２の毛先部分３２ａに横から突き当たる。この時、ブラシ素線３２の毛先部分３２ａは突き当たった凸部２０１から、図の左方向（保持台２０の搬送方向９０）への押圧力を受け、その反作用として、保持台２０上の凸部２０１はブラシ素線３２から、搬送方向９０とは反対方向即ち図の右方向への力を受ける。この凸部２０１がブラシ素線３２から受ける力は、凸部２０１に押されて屈曲されようとしているブラシ素線３２がその剛性で元の真直ぐの状態に戻ろうとする復元力によるものである。
【００３８】
上述したように、凸部２０１は、保持台２０の保持面２０ａに強固に固定されて設けられている。例えば、凸部２０１が保持台２０と一体的に形成されている場合、凸部２０１はブラシ素線３２に当たっても動くことはない。また、凸部２０１が着脱可能な治具であり真空吸着で保持台２０に取り付けられている場合も、治具と保持面２０ａとの接触面積が十分大きければ、保持面２０ａに対する凸部２０１の十分な密着力を確保することができ、凸部２０１はブラシ素線３２に当たってもブラシ素線３２からの力（復元力）ではじき飛ばされることはない。このように、凸部２０１は回転ブラシ３０のブラシ素線３２に突き当たった時にその衝撃に耐えることができる。
【００３９】
したがって、保持台２０の搬送を続けると、図３（Ｃ）に示されるように、凸部２０１に突き当たったブラシ素線３２の毛先部分３２ａが、凸部２０１からの押圧力により、保持台２０の搬送につれて凸部２０１の上に乗り上げる形に屈曲して、凸部２０１が回転ブラシ３０の下へと入り込む。
【００４０】
そして更に保持台２０を搬送していくと、図３（Ｄ）に示されるように、凸部２０１が次々と新たなブラシ素線３２を屈曲させながら回転ブラシ３０の下を図の左方向（搬送方向９０）へ前進していくと共に、それまで凸部２０１の上に乗り上げていたブラシ素線３２の毛先部分３２ａが、凸部２０１の上から太陽電池素子基板１０の上面１０ａへと順次乗り移っていき、これにより、太陽電池素子基板１０が回転ブラシ３０の下へと入っていく。そして、太陽電池素子基板１０の上面１０ａへ乗り移ったブラシ素線３２の毛先部分３２ａが太陽電池素子基板１０の上面１０ａを摺動することで、太陽電池素子基板１０の前述した薄膜層が研磨され、除去される。
【００４１】
ここで、例えば、凸部２０１と太陽電池素子基板１０との間に隙間が存在しなければ、即ち保持台２０上で凸部２０１と太陽電池素子基板１０が互いにぴったりくっついて保持されていれば、凸部２０１の上に毛先部分３２ａが屈曲した状態で乗っていたブラシ素線３２は、屈曲したそのままの状態で太陽電池素子基板１０の上面１０ａへと乗り移る。また、図３に描かれているように凸部２０１と太陽電池素子基板１０との間に隙間が存在する場合であっても、その隙間が狭ければ、凸部２０１上に乗っている屈曲したブラシ素線３２は、一旦隙間に落ち込んで真直ぐの素線に戻ってしまうことなく、やはり屈曲したそのままの状態で凸部２０１の上から太陽電池素子基板１０の上面１０ａへと乗り移る。
【００４２】
したがって、回転ブラシ３０の下へ入り込んだ太陽電池素子基板１０は、その上面１０ａにおいてのみ、ブラシ素線３２の屈曲した毛先部分３２ａと接触することになる。よって太陽電池素子基板１０がブラシ素線３２から受ける力は、ブラシ素線３２の屈曲して寝た状態の毛先部分３２ａが太陽電池素子基板１０の上面１０ａを擦る力だけである。この摩擦力は、当該屈曲した毛先部分３２ａが太陽電池素子基板１０の上面１０ａを摺動した時に太陽電池素子基板１０の薄膜層を研磨し除去するのには十分な大きさであるが、図５に示した基板５１０の側面５１０ｂが受けるブラシ素線５３２からの反作用に比べれば小さい力である。そのため、太陽電池素子基板１０は、保持台２０に強固に密着されていない場合であっても、回転ブラシ３０のブラシ素線３２からの力によってはじき飛ばされにくくなっている。このように、保持台２０に設けられた凸部２０１により回転ブラシ３０のブラシ素線３２からの力が弱められて太陽電池素子基板１０に伝わることで、太陽電池素子基板１０を保持台２０にしっかりと安定的に保持し、研磨を行うことが可能である。
【００４３】
凸部２０１の上に屈曲した状態で乗っているブラシ素線３２が屈曲状態を維持したまま太陽電池素子基板１０の上面１０ａへ乗り移るようにするためには、凸部２０１の高さ及び凸部２０１と太陽電池素子基板１０との間の隙間の大きさを適宜に定めればよい。例えば、凸部２０１の高さ（保持台２０の保持面２０ａからの突出高さ）を太陽電池素子基板１０の厚さと同じ又はそれよりも大きい高さに設定すると共に、凸部２０１と太陽電池素子基板１０との間の隙間を、ブラシ素線３２が凸部２０１から太陽電池素子基板１０へ移動する際に一旦その隙間に落ち込んで真直ぐの状態に戻ってしまわない程度に十分狭くしておけばよい。このような条件を満たす凸部２０１／太陽電池素子基板１０間の隙間の大きさは、例えば、ブラシ素線３２の剛性（屈曲状態から元の真直ぐの状態への戻りやすさ）や保持台２０の搬送速度（ブラシ素線３２が隙間を通り過ぎる速さ）などに応じて適宜設定することができる。
【００４４】
なお、凸部２０１の高さは、太陽電池素子基板１０の厚さより小さくてもよい。この場合、回転ブラシ３０の下へ入った太陽電池素子基板１０（図３（Ｄ）参照）は、その上面１０ａだけでなく側面１０ｂでもブラシ素線３２と接触し、ブラシ素線３２からの押圧力を側面１０ｂで受けることになるが、凸部２０１の存在によりブラシ素線３２の毛先部分３２ａは多少なりとも屈曲しているため、この屈曲したブラシ素線３２が太陽電池素子基板１０の側面１０ｂを押す力は、図５に示した基板５１０の側面５１０ｂが真直ぐに伸びたブラシ素線５３２から受ける押圧力よりも弱い力である。そのため、凸部２０１の高さが太陽電池素子基板１０の厚さより小さくても、太陽電池素子基板１０は回転ブラシ３０のブラシ素線３２からの力ではじき飛ばされにくく、保持台２０にしっかりと保持しておくことができる。
【００４５】
図４は、上述した凸部の上面形状を示す図である。図４（Ａ）に示されるように、凸部２０１は、太陽電池素子基板１０と回転ブラシ３０との間に配置された矩形ブロックの形状とすることができる。同図において凸部２０１は、保持台２０の搬送方向９０と直角な方向の寸法が太陽電池素子基板１０よりも大きく描かれているが、凸部２０１の当該方向の寸法は、太陽電池素子基板１０より小さくてもよい。そのような小さい凸部２０１であっても、太陽電池素子基板１０に対する回転ブラシ３０のブラシ素線３２からの押圧力をある程度は弱める効果があり、凸部２０１を全く設けない場合に比べて、太陽電池素子基板１０が回転ブラシ３０にはじき飛ばされにくくすることができる。
【００４６】
また、図４（Ｂ）に示されるように、凸部２０１は、太陽電池素子基板１０を取り囲む枠形の形状とすることもできる。凸部２０１を枠形の形状とすることで、回転ブラシ３０が太陽電池素子基板１０に対してどちらの方向から近付いてきた場合であっても、太陽電池素子基板１０より先に枠（凸部２０１）のいずれかの部分が回転ブラシ３０のブラシ素線３２に当たって、ブラシ素線３２が太陽電池素子基板１０に与える押圧力を弱めることができる。なお、枠の形は矩形に限られず、任意の形（例えば円形等）であってよい。また、枠の中に複数の太陽電池素子基板１０を配置するようにしてもよい。
【００４７】
また、図４（Ｃ）に示されるように、凸部２０１は、複数の区画２０１１を有する枠により構成してもよい。太陽電池素子基板１０（基板１０１）が例えばガラス基板からなる場合、リサイクルの処理過程でガラス基板が割れて小片化することがあるが、そのように小片化した太陽電池素子基板１０を各区画２０１１内に複数敷き詰めて配置することで、一括して研磨を行うことが可能である。このとき、太陽電池素子基板１０は小片化しているため保持台２０に対する密着力が小さくなっているが、凸部２０１によってブラシ素線３２からの押圧力が弱められるため、小片化した太陽電池素子基板１０をはじき飛ばすことなく、研磨することができる。なお、１つの区画２０１１内にできるだけ多くの小片化した太陽電池素子基板１０を敷き詰めて、凸部２０１と太陽電池素子基板１０との間の隙間が狭くなるようにすることが、ブラシ素線３２を屈曲したまま凸部２０１から太陽電池素子基板１０の上に移動させる観点から好ましいことである。
【００４８】
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明はこれに限定されず、その要旨を逸脱しない範囲内において様々な変更が可能である。
【００４９】
例えば、上述の実施形態では太陽電池素子基板１０から薄膜層を研磨して除去することについて説明したが、本発明の適用対象は太陽電池に限定されることはなく、太陽電池以外にも例えば、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどの基板から薄膜層を研磨して除去する場合にも本発明は適用可能である。更に、本発明は、基板上に形成された薄膜層を除去すること以外にも、単に板状の部材を研磨する場合にも適用することが可能である。
【００５０】
また、遷移金属等の基板に対して密着強度が大きい薄膜層が基板上に製膜されている場合は、この薄膜層をブラシ研磨で基板から除去する際、ブラシを押し付ける力は強くなる。このように、ブラシを押し付ける力が強くなるほど、基板がブラシによって弾き飛ばされやすくなるため、本発明の有用性は大きくなる。
【００５１】
また、図３に示したような回転ブラシ３０に代えて、円筒の側面にブラシ素線が植毛されたロールブラシを適用してもよい。
【符号の説明】
【００５２】
１      太陽電池モジュール
１０    太陽電池素子基板
１１    表面保護材
１２    裏面保護材
１３    封止材
１４    フレーム
１０１  基板
１０２  裏面電極層
１０３  光吸収層
１０４  透明導電膜
２０    保持台
２０１  凸部
３０    回転ブラシ
３２    ブラシ素線
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図１】
2016155206.tif 000007