(57)【要約】【課題】気流を形成することなく対象空間中の浮遊粒子を検出可能な浮遊粒子検出装置、それを用いた光走査デバイス、および浮遊粒子検出方法を提供する。【解決手段】浮遊粒子検出装置１は、支持体と、支持体に支持された可動体３と、駆動部４と、検出部５とを備えている。駆動部４は、駆動信号が印加されることにより、駆動信号の周波数で可動体３を機械的に振動させる。検出部５は、可動体３の機械的な振動に応じた検出信号を出力する。ここで、可動体３は、浮遊粒子の検出対象となる対象空間中で振動する。検出部５は、対象空間中の浮遊粒子が可動体３に付着することによって生じる可動体３の機械的な振動特性の変化が反映された電気信号を、検出信号として出力するように構成されている。【選択図】図１
2016183930.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体と、
前記支持体に支持された可動体と、
駆動信号が印加されることにより前記駆動信号の周波数で前記可動体を機械的に振動させる駆動部と、
前記可動体の機械的な振動に応じた検出信号を出力する検出部とを備え、
前記可動体は、浮遊粒子の検出対象となる対象空間中で振動し、
前記検出部は、前記対象空間中の前記浮遊粒子が前記可動体に付着することによって生じる前記可動体の機械的な振動特性の変化が反映された電気信号を、前記検出信号として出力するように構成されている
ことを特徴とする浮遊粒子検出装置。
【請求項２】
前記駆動部は、前記可動体の共振周波数で前記可動体を振動させるように構成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の浮遊粒子検出装置。
【請求項３】
前記駆動部は圧電素子を有する
ことを特徴とする請求項１または２に記載の浮遊粒子検出装置。
【請求項４】
前記可動体の少なくとも一部は電気絶縁性を有する
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の浮遊粒子検出装置。
【請求項５】
前記検出部から出力される前記検出信号に基づいて、前記対象空間中の前記浮遊粒子を検出する処理回路をさらに備える
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の浮遊粒子検出装置。
【請求項６】
前記処理回路は、前記検出信号の振幅が一定となるように前記検出信号の振幅の変化に応じて前記駆動信号の周波数を変化させ、前記駆動信号の周波数の変化量から前記可動体への前記浮遊粒子の付着量を検出するように構成されている
ことを特徴とする請求項５に記載の浮遊粒子検出装置。
【請求項７】
前記処理回路は、前記検出信号の振幅が一定となるように前記検出信号の振幅の変化に応じて前記駆動信号の振幅を変化させ、前記駆動信号の振幅の変化量から前記可動体への前記浮遊粒子の付着量を検出するように構成されている
ことを特徴とする請求項５に記載の浮遊粒子検出装置。
【請求項８】
前記駆動信号の振幅および周波数は一定であって、
前記処理回路は、前記検出信号の振幅の変化量から前記可動体への前記浮遊粒子の付着量を検出するように構成されている
ことを特徴とする請求項５に記載の浮遊粒子検出装置。
【請求項９】
前記処理回路で検出された前記可動体への前記浮遊粒子の付着量と所定の閾値とを比較し、前記浮遊粒子の付着量が前記閾値を超えているか否かを判定する判定部をさらに備える
ことを特徴とする請求項５〜８のいずれか１項に記載の浮遊粒子検出装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項に記載の浮遊粒子検出装置を備え、
光を反射する反射部を前記可動体に有し、
前記可動体が振動することにより前記反射部の反射光を走査させるように構成されている
ことを特徴とする光走査デバイス。
【請求項１１】
支持体と、前記支持体に支持された可動体と、駆動信号が印加されることにより前記駆動信号の周波数で前記可動体を機械的に振動させる駆動部と、前記可動体の機械的な振動に応じた検出信号を出力する検出部とを備えた振動デバイスを用いて、
前記可動体を、浮遊粒子の検出対象となる対象空間中で振動させ、
前記検出部から出力される前記検出信号に基づいて、前記対象空間中の前記浮遊粒子が前記可動体に付着することによって生じる前記可動体の機械的な振動特性の変化から、前記対象空間中の前記浮遊粒子を検出する
ことを特徴とする浮遊粒子検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般に浮遊粒子検出装置、それを用いた光走査デバイス、および浮遊粒子検出方法に関し、より詳細には、対象空間中の浮遊粒子の検出に用いられる浮遊粒子検出装置、それを用いた光走査デバイス、および浮遊粒子検出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、たとえばクリーンルームなどにおいて、清浄度クラスを維持するため、塵埃センサによって微小粒子の量を測定することが行われている（たとえば特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載の塵埃センサは、弾性変形可能なカンチレバー部を有する検知部を備え、カンチレバー部にはピエゾ抵抗層が形成されている。この塵埃センサは、送風機で流路内に気流を形成し、検知部の受圧部を気体が通過する流路内に突出させた状態で使用される。特許文献１に記載の塵埃センサでは、気流に含まれる浮遊粒子が受圧部に衝突することによりカンチレバー部が弾性変形したときの、ピエゾ抵抗層の抵抗値の変化を測定することで、気流に含まれる浮遊粒子の量を測定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１８１９８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１に記載の塵埃センサでは、気流に含まれる浮遊粒子の衝突によって検知部に作用する力を利用するので、気流を形成するための構成（流路、送風機等）が必要になる。その結果、塵埃センサ自体については小型化および省電力化が図られたとしても、浮遊粒子を検出するための装置全体としては、気流を形成するための構成の分だけ大型化し、かつ消費電力も大きくなる可能性がある。
【０００６】
本発明は上記事由に鑑みてなされており、気流を形成することなく対象空間中の浮遊粒子を検出可能な浮遊粒子検出装置、それを用いた光走査デバイス、および浮遊粒子検出方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の形態に係る浮遊粒子検出装置は、支持体と、前記支持体に支持された可動体と、駆動信号が印加されることにより前記駆動信号の周波数で前記可動体を機械的に振動させる駆動部と、前記可動体の機械的な振動に応じた検出信号を出力する検出部とを備え、前記可動体は、浮遊粒子の検出対象となる対象空間中で振動し、前記検出部は、前記対象空間中の前記浮遊粒子が前記可動体に付着することによって生じる前記可動体の機械的な振動特性の変化が反映された電気信号を、前記検出信号として出力するように構成されていることを特徴とする。
【０００８】
第２の形態に係る浮遊粒子検出装置は、第１の形態において、前記駆動部は、前記可動体の共振周波数で前記可動体を振動させるように構成されていることを特徴とする。
【０００９】
第３の形態に係る浮遊粒子検出装置は、第１または２の形態において、前記駆動部は圧電素子を有することを特徴とする。
【００１０】
第４の形態に係る浮遊粒子検出装置は、第１〜３のいずれかの形態において、前記可動体の少なくとも一部は電気絶縁性を有することを特徴とする。
【００１１】
第５の形態に係る浮遊粒子検出装置は、第１〜４のいずれかの形態において、前記検出部から出力される前記検出信号に基づいて、前記対象空間中の前記浮遊粒子を検出する処理回路をさらに備えることを特徴とする。
【００１２】
第６の形態に係る浮遊粒子検出装置は、第５の形態において、前記処理回路は、前記検出信号の振幅が一定となるように前記検出信号の振幅の変化に応じて前記駆動信号の周波数を変化させ、前記駆動信号の周波数の変化量から前記可動体への前記浮遊粒子の付着量を検出するように構成されていることを特徴とする。
【００１３】
第７の形態に係る浮遊粒子検出装置は、第５の形態において、前記処理回路は、前記検出信号の振幅が一定となるように前記検出信号の振幅の変化に応じて前記駆動信号の振幅を変化させ、前記駆動信号の振幅の変化量から前記可動体への前記浮遊粒子の付着量を検出するように構成されていることを特徴とする。
【００１４】
第８の形態に係る浮遊粒子検出装置は、第５の形態において、前記駆動信号の振幅および周波数は一定であって、前記処理回路は、前記検出信号の振幅の変化量から前記可動体への前記浮遊粒子の付着量を検出するように構成されていることを特徴とする。
【００１５】
第９の形態に係る浮遊粒子検出装置は、第５〜８のいずれかの形態において、前記処理回路で検出された前記可動体への前記浮遊粒子の付着量と所定の閾値とを比較し、前記浮遊粒子の付着量が前記閾値を超えているか否かを判定する判定部をさらに備えることを特徴とする。
【００１６】
本発明の光走査デバイスは、第１〜９のいずれかの形態の浮遊粒子検出装置を備え、光を反射する反射部を前記可動体に有し、前記可動体が振動することにより前記反射部の反射光を走査させるように構成されていることを特徴とする。
【００１７】
本発明の浮遊粒子検出方法は、支持体と、前記支持体に支持された可動体と、駆動信号が印加されることにより前記駆動信号の周波数で前記可動体を機械的に振動させる駆動部と、前記可動体の機械的な振動に応じた検出信号を出力する検出部とを備えた振動デバイスを用いて、前記可動体を、浮遊粒子の検出対象となる対象空間中で振動させ、前記検出部から出力される前記検出信号に基づいて、前記対象空間中の前記浮遊粒子が前記可動体に付着することによって生じる前記可動体の機械的な振動特性の変化から、前記対象空間中の前記浮遊粒子を検出することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は、可動体を対象空間中で振動させた場合において、対象空間中の浮遊粒子が可動体に付着することによって生じる可動体の振動特性の変化を利用して、浮遊粒子を検出する。したがって、気流を形成することなく対象空間中の浮遊粒子を検出可能である、という利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】実施形態１に係る浮遊粒子検出装置の構成を示すブロック図である。
【図２】実施形態１に係る浮遊粒子検出装置の振動デバイスの構成を示す斜視図である。
【図３】実施形態１に係る浮遊粒子検出装置の振動デバイスの構成を示す平面図である。
【図４】図４Ａは図３の「Ｆ４」で示す領域の拡大図、図４Ｂは図４ＡのＸ−Ｘ断面図である。
【図５】実施形態１に係る浮遊粒子検出装置における駆動信号の周波数と検出信号の振幅との関係を示すグラフである。
【図６】実施形態１に係る浮遊粒子検出装置における駆動信号の周波数の変化量と浮遊粒子の付着量との関係を示すグラフである。
【図７】実施形態１に係る浮遊粒子検出装置を用いた光走査デバイスの概略構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
（実施形態１）
（１）概要
本実施形態に係る浮遊粒子検出装置１は、図１および図２に示すように、支持体２と、支持体２に支持された可動体３とを備えている。さらに、浮遊粒子検出装置１は、図１に示すように、駆動部４と検出部５とを備えている。
【００２１】
駆動部４は、駆動信号が印加されることにより、駆動信号の周波数で可動体３を機械的に振動させる。検出部５は、可動体３の機械的な振動に応じた検出信号を出力する。ここで、可動体３は、浮遊粒子の検出対象となる対象空間中で振動する。検出部５は、対象空間中の浮遊粒子が可動体３に付着することによって生じる可動体３の機械的な振動特性の変化が反映された電気信号を、検出信号として出力するように構成されている。
【００２２】
要するに、本実施形態の浮遊粒子検出装置１は、可動体３を対象空間中で振動させた場合において、対象空間中の浮遊粒子が可動体３に付着することによって生じる可動体３の振動特性の変化を利用して、浮遊粒子を検出する装置である。ここでいう「浮遊粒子」は、対象空間中に浮遊している可能性がある粒子、たとえば塵埃、花粉、ＰＭ１０やＰＭ２．５などの（微小）粒子状物質などである。浮遊粒子は、固体の粒子に限らず液体の粒子であってもよい。
【００２３】
すなわち、これらの浮遊粒子が対象空間中に存在する場合に、対象空間内において可動体３を振動させていると、可動体３と浮遊粒子との間にたとえば静電気による吸引力が発生し、可動体３に浮遊粒子が付着することがある。そして、可動体３に浮遊粒子が付着すると、振動する系全体の質量が、付着した浮遊粒子の分だけ増加するため、可動体３の振動特性に変化が生じる。通常は、対象空間中の浮遊粒子の濃度が高い場合ほど、可動体３に浮遊粒子が付着しやすくなるため、振動する系全体の質量の増加分が大きくなって可動体３の振動特性の変化も大きくなる。
【００２４】
したがって、本実施形態の浮遊粒子検出装置１によれば、可動体３の振動特性の変化を反映した検出信号から、対象空間中の浮遊粒子の有無や、対象空間中の浮遊粒子の濃度などを検出することが可能である。
【００２５】
以下、本実施形態に係る浮遊粒子検出装置１、それを用いた光走査デバイス、および浮遊粒子検出方法について詳しく説明する。ただし、以下に説明する構成は、本発明の一例に過ぎず、本発明は、下記実施形態に限定されることはなく、この実施形態以外であっても、本発明に係る技術的思想を逸脱しない範囲であれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。
【００２６】
（２）詳細
本実施形態の浮遊粒子検出装置１は、図１に示すように、振動デバイス１０と、回路ブロック２０とを備えている。振動デバイス１０には、可動体３と駆動部４と検出部５とが含まれている。回路ブロック２０は、処理回路６と、判定部７と、出力部８とを有している。
【００２７】
振動デバイス１０は、電気信号（駆動信号）を可動体３の機械的な振動に変換し、さらに可動体３の機械的な振動を電気信号（検出信号）に変換する機能を有している。回路ブロック２０は、振動デバイス１０に電気的に接続されており、振動デバイス１０に印加する、あるいは振動デバイス１０から出力される電気信号（駆動信号および検出信号）の処理を行う。
【００２８】
（２．１）振動デバイス
本実施形態において、振動デバイス１０は、たとえば光走査デバイスなどに用いられる振動型アクチュエータと、基本的には同様の構成を採用している。したがって、以下では、振動デバイス１０の具体的な構成については、振動デバイス１０の一例を示しながら簡単に説明するにとどめ、詳しい説明は適宜省略する。なお、ここでいう「光走査デバイス」は、光を反射する反射部（ミラー）を振動させることによって反射部の反射光を走査させる装置である。
【００２９】
振動デバイス１０は、図２および図３に示すように、矩形枠状に形成された支持体２を有している。可動体３は、支持体２の内側に配置されており、支持体２によって支持されている。可動体３は、支持体２に対する相対位置が変位するように、支持体２を基準にして振動する。そのため、振動デバイス１０は、たとえば支持体２の少なくとも一部が基準面（たとえば浮遊粒子検出装置１が組み込まれる装置の回路基板の一面など）に固定された状態で使用される。ここでは、振動デバイス１０は、たとえばシリコン基板などの半導体基板を主構成とし、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）の製造技術を用いた半導体製造プロセスにより作成される構造体である。なお、本実施形態において、振動デバイス１０の主構成たるシリコン基板は、たとえばシリコン酸化膜などで覆われることにより、電気的絶縁性を有する絶縁性基板を構成する。
【００３０】
以下では、支持体２の長手方向を左右方向、支持体２の短手方向を前後方向、支持体２の厚み方向を上下方向とし、とくに上下方向については図４Ｂの上方を上方として説明する。ただし、これらの方向は説明のために用いているに過ぎず、使用時における振動デバイス１０の向きを限定する趣旨ではない。また、図２〜４は、模式的な図であり、各構成要素の大きさの比が実際の寸法比を反映しているとは限らない。
【００３１】
可動体３は、矩形板状に形成された可動板３１と、可動板３１と支持体２との間を連結する梁３２とで構成されている。ここで、可動体３の少なくとも一部は電気絶縁性を有することが好ましい。本実施形態では、後述する駆動部４および検出部５の電極、さらに光走査デバイスの反射部を除き、可動体３は、電気絶縁性を有する材料で構成されている。
【００３２】
可動板３１は、可動板３１の左右方向の両側と、可動板３１の前後方向の両側とのそれぞれにおいて、支持体２との間に所定の隙間が生じるように、支持体２で囲まれた領域の略中央部に配置されている。可動板３１は、梁３２を介して支持体２に支持されることにより、支持体２の上面における前後方向の中心を通り左右方向に沿った回転軸３３（図３参照）を中心として、回転可能に支持される。
【００３３】
梁３２は、可動板３１の左右方向の一端縁と支持体２との間、および可動板３１の左右方向の他端縁と支持体２との間をそれぞれ連結するように、一対設けられている。つまり、一対の梁３２は、可動板３１を左右方向の両側から支持するように、可動板３１の左右方向の両側に配置されている。一対の梁３２はそれぞれ、前後方向に沿って延びる複数本（ここでは３本）の縦梁３２１（図４Ａ参照）と、左右方向に沿って延びる複数本（ここでは４本）の横梁３２２（図４Ａ参照）とで、蛇行形状（ミアンダパターン）に形成されている。つまり、複数本の縦梁３２１は、左右方向に一定間隔で並ぶように配置され、複数本の横梁３２２は、隣接する縦梁３２１の端部同士、および縦梁３２１と可動板３１あるいは支持体２との間を連結する。なお、一対の梁３２の厚み（上下方向の寸法）は、支持体２および可動板３１に比べて小さく設定されている。
【００３４】
駆動部４および検出部５は、本実施形態では梁３２に設けられている。そこで、駆動部４および検出部５については、図３の「Ｆ４」の拡大図である図４Ａ、および図４ＡのＸ−Ｘ断面図である図４Ｂを参照して説明する。なお、図４Ａおよび図４Ｂでは、一対の梁３２のうちの一方のみを示しているが、他方の梁３２においても同様の構成が採用されている。
【００３５】
すなわち、梁３２は、図４Ｂに示すように、絶縁性基板からなる基板３４と、導電性材料からなり基板３４上に形成された共通電極３５と、共通電極３５上に形成された圧電体層３６とを有している。圧電体層３６は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電体にて形成されている。
【００３６】
また、梁３２のうちの縦梁３２１においては、導電性材料からなる駆動電極４１あるいは検出電極５１が圧電体層３６上に形成されている。駆動電極４１は、圧電体層３６上に形成された配線４２を介して、支持体２に設けた駆動用の電極パッドに電気的に接続されている。検出電極５１は、圧電体層３６上に形成された配線５２を介して、支持体２に設けた検出用の電極パッドに電気的に接続されている。配線４２，５２は、駆動電極４１および検出電極５１に比べて幅寸法が小さく形成されているため電極としては機能しない。なお、共通電極３５についても、支持体２に設けた共通の電極パッドと電気的に接続されている。図２および図３においては、駆動電極４１よび検出電極５１を模式的に表しており、配線４２，５２の図示は省略している。
【００３７】
ここで、駆動部４を設けた縦梁３２１と検出部５を設けた縦梁３２１とが左右方向において交互に並ぶように、１本の縦梁３２１に対しては、駆動部（駆動電極４１）４と検出部（検出電極５１）５との一方のみが設けられている。本実施形態では一例として、３本の縦梁３２１のうち両端の縦梁３２１には駆動部４が設けられ、中央の縦梁３２１には検出部５が設けられている。
【００３８】
駆動部４は、駆動電極４１と圧電体層３６と共通電極３５とで構成される圧電素子を有している。この構成により、駆動部４は、駆動電極４１と共通電極３５との間に駆動信号（電圧）が印加されると、逆圧電効果によって圧電体層３６が前後方向に伸縮する。このように駆動信号に応じて圧電体層３６が変形（伸縮）することで、駆動部４を設けた縦梁３２１が撓むように変形する。したがって、たとえば正弦波状の駆動信号が駆動部４に印加されると梁３２が振動し、梁３２の振動（変形）に伴って、可動板３１が回転軸３３（図３参照）を中心として回転方向に振動する。このとき、可動板３１および梁３２の機械的な振動の周波数（振動数）は、駆動信号の周波数と略等しくなる。
【００３９】
要するに、駆動部４は、駆動信号が印加されることにより、駆動信号の周波数で可動体（可動板３１および梁３２）３を機械的に振動させる。言い換えれば、駆動部４は、電気信号（駆動信号）を可動体３の機械的な振動に変換するトランスデューサとして機能する。
【００４０】
ここで、駆動部４は、可動体３の共振周波数（固有振動数）で可動体３を振動させるように構成されている。つまり、駆動部４は、可動体３の共振周波数と同一周波数の駆動信号が印加されることにより、可動体３を共振周波数で振動させる。
【００４１】
なお、可動体３が振動すると、縦梁３２１に設けられている駆動部４および検出部５も可動体３と一緒に振動することになるが、本実施形態では、駆動部４および検出部５の機械的な振動を含めて、可動体３の機械的な振動という。さらに、可動体３に浮遊粒子が付着した状態では、浮遊粒子も可動体３と一緒に振動することになるので、浮遊粒子を含めて可動体３の機械的な振動という。つまり、本実施形態では、可動体３のみに着目した振動ではなく、可動体３を含み実際に振動している系全体の振動を、単に可動体３の機械的な振動という。
【００４２】
同様に、ここでいう可動体３の共振周波数は、可動体３のみではなく、可動体３を含み実際に振動している系全体の共振周波数を意味する。つまり、可動体３だけでなく、可動体３と一緒に振動する駆動部４および検出部５（さらには付着した浮遊粒子）を含む、系全体の共振周波数を可動体３の共振周波数としている。
【００４３】
検出部５は、検出電極５１と圧電体層３６と共通電極３５とで構成される圧電素子を有している。この構成により、検出部５は、検出部５を設けた縦梁３２１に変形が生じると、圧電体層３６に圧力が加わり、圧電効果によって検出電極５１と共通電極３５との間に検出信号（電圧）が発生する。このように検出部５を設けた縦梁３２１が変形することで、検出部５からは縦梁３２１の変形に応じた検出信号が出力される。したがって、可動板３１が回転軸３３（図３参照）を中心として回転方向に振動すると、この振動に伴って梁３２にも振動が発生し、たとえば正弦波状の検出信号が検出部５から出力される。このとき、検出信号の周波数は、可動板３１および梁３２の機械的な振動の周波数（振動数）と略等しくなる。
【００４４】
要するに、検出部５は、可動体（可動板３１および梁３２）３の機械的な振動に応じた検出信号を出力する。言い換えれば、検出部５は、可動体３の機械的な振動を電気信号（検出信号）に変換するトランスデューサとして機能する。なお、本実施形態の構成では、検出部５で発生する検出信号は、駆動部４に印加される駆動信号と逆位相の電気信号となる。
【００４５】
なお、上述した構成の振動デバイス１０を、光走査デバイス用の振動型アクチュエータとして用いる場合には、可動板３１に、光を反射する反射部（ミラー）が形成される。
【００４６】
（２．２）回路ブロック
回路ブロック２０は、振動デバイス１０の支持体２に設けた駆動用、検出用、および共通の各電極パッドに対し、ボンディングワイヤなどを用いて電気的に接続される。以下、本実施形態の回路ブロック２０の構成について図１を参照して説明する。なお、図１では電気信号の流れを破線矢印で表している。
【００４７】
処理回路６は、検出部５から出力される検出信号に基づいて、対象空間中の浮遊粒子を検出する回路である。本実施形態では、処理回路６は、駆動部４に対して駆動信号を印加する駆動回路６１と、検出部５から出力される検出信号の処理を行う検出回路６２とを有している。
【００４８】
駆動回路６１は、振動デバイス１０の駆動部４に電気的に接続されており、駆動部４に対して駆動信号を印加する。具体的には、駆動回路６１は、正弦波状の交流電圧信号を駆動信号として生成する発振回路からなり、駆動電極４１と共通電極３５との間に駆動信号を印加するように構成されている。
【００４９】
ここで、駆動信号の周波数および振幅は、それぞれ予め決められた固定値であってもよいが、本実施形態では駆動信号の周波数については、検出信号に基づいて決定される可変値である。ただし、駆動部４が可動体３の共振周波数、つまり可動体３の固有振動数で可動体３を振動させるように、少なくとも駆動信号の周波数の初期値は、浮遊粒子が付着していない状態での可動体３の共振周波数と同値に設定されている。一例として、駆動信号の周波数の初期値（つまり可動体３の共振周波数）は１〔ｋＨｚ〕以上とする。なお、ここでいう可動体３の共振周波数は、可動体３のみではなく、可動体３を含み実際に振動している系全体の共振周波数を意味する。
【００５０】
検出回路６２は、振動デバイス１０の検出部５に電気的に接続されており、検出部５からの検出信号が入力されるように構成されている。具体的には、検出回路６２は、検出電極５１と共通電極３５との間に発生する正弦波状の交流電圧信号を検出信号として取得し、検出信号について適宜の信号処理を施すように構成されている。検出回路６２は、たとえばマイコン（マイクロコンピュータ）を主構成とし、マイコンのメモリに記録されたプログラムをＣＰＵ（Central Processing Unit）で実行することにより、種々の機能を実現する。プログラムは、予めマイコンのメモリに記録されていてもよいし、メモリカードのような記録媒体に記録されて提供されたり、電気通信回線を通して提供されたりしてもよい。検出回路６２は、少なくとも検出信号の振幅を測定する機能を有している。
【００５１】
ここにおいて、処理回路６は、検出回路６２で測定される検出信号の振幅が規定値となるように、駆動回路６１を制御（フィードバック制御）する。つまり、検出回路６２は、測定した検出信号の振幅が規定値となるように、駆動回路６１に対して、駆動信号の周波数と振幅との少なくとも一方を調整するための制御信号を出力する。検出信号の振幅は、可動体３の機械的な振動の振幅（角振幅）に相当する値であるから、検出信号の振幅が規定値に維持されることにより、可動体３の機械的な振動の振幅も一定値に維持されることになる。ここでは、検出信号の振幅と可動体３の機械的な振動の振幅とは略比例関係にある。
【００５２】
本実施形態では、処理回路６は、検出信号の振幅が一定（規定値）となるように、検出信号の振幅の変化に応じて駆動信号の周波数を変化させるように構成されている。そして、処理回路６は、駆動信号の周波数の変化量から、可動体３への浮遊粒子の付着量を検出するように構成されている。処理回路６による浮遊粒子の付着量の検出処理の詳細については、下記「（２．３）浮遊粒子の検出動作」の欄で説明する。
【００５３】
判定部７は、処理回路６で検出された可動体３への浮遊粒子の付着量と所定の閾値とを比較し、浮遊粒子の付着量が閾値を超えているか否かを判定するように構成されている。本実施形態では、判定部７は、浮遊粒子の付着量が閾値を超えていれば「汚れあり」と判定し、浮遊粒子の付着量が閾値以下であれば「汚れなし」と判定する。ここでいう「汚れあり」との判定結果は、可動体３が汚れている状態、つまり可動体３に規定量を超える浮遊粒子が付着している状態を表している。あるいは、「汚れあり」との判定結果は、対象空間中の空気が汚れている状態、つまり対象空間に規定濃度を超える浮遊粒子が存在している状態を表していてもよい。なお、判定部７は、たとえば検出回路６２と共にマイコンにて実現される。
【００５４】
出力部８は、処理回路６で検出された可動体３への浮遊粒子の付着量と、判定部７の判定結果との少なくとも一方を、検出情報として出力するように構成されている。検出情報の出力方法としては、表示灯やディスプレイでの表示、音声出力、通信による他装置への転送、メモリカード等の記録媒体への書き込みなど、種々の出力方法を出力部８に採用可能である。
【００５５】
（２．３）浮遊粒子の検出動作
上述したように構成される浮遊粒子検出装置１は、少なくとも可動体３の一部が対象空間中にさらされるように振動デバイス１０を設置し、回路ブロック２０から振動デバイス１０に駆動信号を印加して振動デバイス１０を駆動した状態で使用される。この状態において、浮遊粒子検出装置１は、対象空間中の浮遊粒子の検出が可能になる。また、浮遊粒子検出装置１は、振動デバイス１０を継続的に駆動してもよいし、振動デバイス１０を間欠的に駆動してもよい。なお、ここでいう対象空間は、浮遊粒子の検出対象となる空間であればよく、筐体などによって囲まれた空間であってもよいし、開放された空間であってもよい。
【００５６】
上述したような構成の振動デバイス１０において、可動体３が振動した際に可動体３に浮遊粒子が付着する要因の一つとしては、静電気によって可動体３と浮遊粒子との間に生じる吸引力があると考えられる。つまり、可動体３が振動した際に、可動体３の周囲に気流が生じ、空気と可動体３との摩擦や衝突により発生する静電気が、可動体３への浮遊粒子の付着に少なからず影響を与えていると考えられる。そのため、可動体３において、とくに機械的な振動による変位が大きくなる部位、たとえば可動板３１の前後方向の両端部には、浮遊粒子が付着しやすい。なお、可動体３に浮遊粒子が付着する要因は、静電気に限らず、可動体３への浮遊粒子の堆積など、静電気以外の要因も考えられる。
【００５７】
可動体３に付着した浮遊粒子の検出原理を説明するために、以下ではまず、駆動信号の周波数と検出信号の振幅との間の相関関係について説明する。
【００５８】
駆動信号の周波数と検出信号の振幅（可動体３の機械的な振動の振幅に相当）との間には、可動体３の機械的な振動特性により、たとえば図５に示すような相関関係がある。図５では、駆動信号の周波数を横軸、検出信号の振幅を縦軸として、可動体３に浮遊粒子が付着していない状態における相関関係を「Ｘ１」、可動体３に浮遊粒子が付着した状態における相関関係を「Ｘ２」で表している。
【００５９】
すなわち、可動体３に浮遊粒子が付着していない状態では、図５の「Ｘ１」のように、検出信号の振幅は、駆動信号の周波数が第１の周波数ｆ１にあるときの第１の振幅Ｖ１がピーク（最大）となるように、駆動信号の周波数によって変化する。ここで、第１の周波数ｆ１は、浮遊粒子が付着していない状態での可動体３の共振周波数（固有振動数）である。
【００６０】
一方、可動体３に浮遊粒子が付着すると、振動する系全体の質量が、付着した浮遊粒子の分だけ増加するため、可動体３の振動特性に変化が生じる。そのため、図５の「Ｘ２」のように、検出信号の振幅は、駆動信号の周波数が第１の周波数ｆ１より低い第２の周波数ｆ２（＜ｆ１）にあるときにピーク（第１の振幅Ｖ１）となるように、駆動信号の周波数によって変化する。ここで、第２の周波数ｆ２は、浮遊粒子が付着した状態での可動体３の共振周波数（固有振動数）である。
【００６１】
つまり、可動体３に浮遊粒子が付着すると、可動体３の振動特性が変化して可動体３の共振周波数が低下し、検出信号の振幅がピークとなるときの周波数が低周波数側にシフトするように、駆動信号の周波数と検出信号の振幅との相関関係が変化することになる。そのため、駆動信号の周波数が第１の周波数ｆ１で固定されているとすれば、可動体３に浮遊粒子が付着することによって、検出信号の振幅は第１の振幅Ｖ１から第２の振幅Ｖ２へと低下する。このとき、検出信号の振幅の変化量ΔＶ（＝Ｖ１−Ｖ２）は、可動体３への浮遊粒子の付着量と略比例関係にある。
【００６２】
このような駆動信号の周波数と検出信号の振幅との間の相関関係を利用することで、処理回路６では、駆動信号の周波数の変化量から、可動体３への浮遊粒子の付着量の検出することが可能である。
【００６３】
すなわち、本実施形態では、上述したように、処理回路６は検出信号の振幅が一定となるように、検出信号の振幅の変化に応じて駆動信号の周波数を変化させている。つまり、図５の例であれば、検出信号の振幅がΔＶだけ変化（低下）した場合、処理回路６は、駆動信号の周波数を第１の周波数ｆ１から第２の周波数ｆ２に変化（低下）させることで、検出信号の振幅を一定（第１の振幅Ｖ１）に維持する。
【００６４】
ここで、駆動信号の周波数の変化量Δｆは、検出信号の振幅の変化量ΔＶに応じて決まる値であるから、可動体３への浮遊粒子の付着量との間にも、図６に示すように相関関係がある。図６は、駆動信号の周波数の変化量Δｆと、可動体３への浮遊粒子の付着量との関係の一例を示す図である。図６では、駆動信号の周波数の変化量Δｆ〔Ｈｚ〕を横軸、浮遊粒子の付着量〔μｇ〕を縦軸としている。図６の例では、駆動信号の周波数の変化量Δｆは、浮遊粒子の付着量と比例関係にある。ここでいう周波数の変化量は、変化前の周波数（第１の周波数ｆ１）から、変化後の周波数（第２の周波数ｆ２）を減算した値（ｆ１−ｆ２）、つまり周波数の低下量である。
【００６５】
そこで、本実施形態では、検出回路６２が駆動信号の周波数を駆動回路６１から取得可能に構成されており、処理回路６は、検出回路６２にて、駆動信号の周波数の変化量から可動体３への浮遊粒子の付着量を検出する。処理回路６は、駆動信号の周波数の変化量と可動体３への浮遊粒子の付着量との相関関係を表すテーブルを予め記憶しており、テーブルを参照して浮遊粒子の付着量を求める。また、処理回路６は、可動体３への浮遊粒子の付着量を、たとえば付着した浮遊粒子の質量の形式で求めることとする。
【００６６】
ところで、処理回路６では、いつの時点の駆動信号の周波数を基準として、駆動信号の周波数の変化量を検出してもよい。
【００６７】
一例として、処理回路６は、一定時間間隔で駆動信号の周波数のサンプリングを行い、１つ前のサンプリング点での周波数を基準値とし、最新のサンプリング点での周波数の基準値からの変化量に基づいて、可動体３への浮遊粒子の付着量を検出する。これにより、処理回路６は、一定時間（たとえば１分）当たりの、可動体３への浮遊粒子の付着量を検出することができる。この場合の処理回路６の検出結果は、対象空間中の浮遊粒子の濃度を反映しており、この場合の検出結果からは、たとえば対象空間中の浮遊粒子の濃度の推定などが可能である。
【００６８】
また、他の例として、処理回路６は、駆動信号の周波数の初期値、つまり浮遊粒子が付着していない状態での可動体３の共振周波数を基準値とし、最新の駆動信号の周波数の基準値からの変化量に基づいて、可動体３への浮遊粒子の付着量を検出してもよい。これにより、処理回路６は、浮遊粒子検出装置１の使用が開始した初期状態から現在までの期間に、可動体３に付着した浮遊粒子の総量（総付着量）を検出することができる。この場合の処理回路６の検出結果からは、可動体３の汚れなどが推定可能である。
【００６９】
（２．４）光走査デバイス
上述したような構成の浮遊粒子検出装置１は、たとえば光走査デバイスに適用可能である。図７は、浮遊粒子検出装置１を用いた光走査デバイス９の概略構成を示す。
【００７０】
光走査デバイス９は、浮遊粒子検出装置１を備え、光を反射する反射部９１を可動体３に有し、可動体３が振動することにより反射部９１の反射光を走査させるように構成されている。図７に例示する光走査デバイス９は、反射部９１に向けてレーザ光を出射するレーザ光源９２をさらに備えている。
【００７１】
この光走査デバイス９においては、反射部９１は、可動板３１の一表面（上面）に形成されたアルミニウム等の金属薄膜からなるミラーであって、レーザ光源９２からのレーザ光を反射するように構成されている。可動板３１は、駆動部４によって回転軸３３を中心として回転方向に振動するため、可動板３１に形成された反射部９１に光が照射すると、反射部９１の反射光が一方向に走査される。この種の光走査デバイス９は、たとえばレーザプリンタやスキャナ等に用いることができる。
【００７２】
また、互いに直交する２つの回転軸周りで可動板３１が振動する構成の振動デバイスを用いれば、光走査デバイスは、反射光を二次元方向に走査することができ、たとえば映像投影用のプロジェクタ装置等に用いることができる。
【００７３】
（２．５）浮遊粒子検出方法
上述したような構成の振動デバイス１０を用いれば、以下に説明する浮遊粒子検出方法により、対象空間中の浮遊粒子を検出することが可能である。
【００７４】
すなわち、本実施形態に係る浮遊粒子検出方法は、可動体３を、浮遊粒子の検出対象となる対象空間中で振動させる。そして、この浮遊粒子検出方法は、検出部５から出力される検出信号に基づいて、対象空間中の浮遊粒子が可動体３に付着することによって生じる可動体３の機械的な振動特性の変化から、対象空間中の浮遊粒子を検出する方法である。
【００７５】
なお、本実施形態の浮遊粒子検出装置１は、上述した浮遊粒子検出方法を、回路ブロック２０にて具現化しているのであって、回路ブロック２０に適用可能な機能は、本実施形態の浮遊粒子検出方法にも同様に適用可能である。
【００７６】
（３）効果
以上説明した本実施形態の浮遊粒子検出装置１によれば、可動体３を対象空間中で振動させた場合において、対象空間中の浮遊粒子が可動体３に付着することによって生じる可動体３の振動特性の変化を利用して、浮遊粒子を検出することができる。したがって、気流を形成することなく対象空間中の浮遊粒子を検出可能になる、という利点がある。その結果、本実施形態の浮遊粒子検出装置１は、浮遊粒子を検出するための装置全体として、小型化し、かつ低消費電力化を図りやすくなる。
【００７７】
また、本実施形態のように、駆動部４は、可動体３の共振周波数で可動体３を振動させることが好ましい。この構成によれば、駆動信号のエネルギを比較的小さく抑えながらも、可動体３の振幅を比較的大きく確保することができる。可動体３の振幅が大きくなるほど可動体３に浮遊粒子が付着しやすいので、結果的に、浮遊粒子の検出感度の向上が期待できる。とくに、本実施形態のように１〔ｋＨｚ〕以上の駆動信号を用いた場合、数十〔Ｈｚ〕程度の駆動信号を用いる場合に比べて高速で可動体３を機械的に振動させることができる。そして、大振幅かつ高速で可動体３が振動することで、浮遊粒子の検出感度のさらなる向上が期待できる。
【００７８】
また、本実施形態のように、駆動部４は、圧電素子を有することが好ましい。この構成によれば、駆動部４は、圧電方式で可動体３を振動させるので、電磁駆動方式や静電駆動方式などの他の駆動方式に比べて、可動体３の周囲の浮遊粒子に電磁界などの影響が生じにくいという利点がある。そのため、浮遊粒子の検出感度の向上が期待できる。
【００７９】
また、本実施形態のように、可動体３の少なくとも一部は電気絶縁性を有することが好ましい。この構成によれば、可動体３が振動したときに、可動体３のうちの電気絶縁性を有する部位には静電気による帯電が生じやすく、浮遊粒子が付着しやすいので、結果的に、浮遊粒子の検出感度の向上が期待できる。
【００８０】
また、本実施形態のように、浮遊粒子検出装置１は、処理回路６を備えることが好ましい。この構成によれば、検出部５から出力される検出信号に基づいて、処理回路６が対象空間中の浮遊粒子を検出するので、浮遊粒子の検出処理を浮遊粒子検出装置１内で完結することができる。
【００８１】
ここにおいて、本実施形態では、処理回路６は、検出信号の振幅が一定となるように検出信号の振幅の変化に応じて駆動信号の周波数を変化させ、駆動信号の周波数の変化量から可動体３への浮遊粒子の付着量を検出するように構成されている。この構成によれば、検出信号の振幅、つまり可動体３の機械的な振動の振幅が一定に維持されるので、略一定の条件で可動体３に浮遊粒子を付着させることができ、同一条件下での浮遊粒子の検出が継続可能になる。さらに、たとえば振動デバイス１０が光走査デバイス９に兼用されるような場合には、可動体３の振幅が一定に維持されることで、反射光の走査範囲を一定に維持することができる。
【００８２】
また、本実施形態のように、浮遊粒子検出装置１は、判定部７を備えることが好ましい。この構成によれば、浮遊粒子の付着量が閾値を超えているか否かを判定部７が判定するので、浮遊粒子検出装置１では、可動体３の汚れや、対象空間中の空気の汚れを判定することができる。可動体３が汚れていると判定された場合には、振動デバイス１０のメンテナンス時期の判断に用いることができる。ここでいう振動デバイス１０のメンテナンスには、たとえば振動デバイス１０の交換、あるいは可動体３に付着した浮遊粒子の除去などが含まれる。可動体３に付着した浮遊粒子の除去方法としては、浮遊粒子の拭き取りや、駆動信号よりも高周波（たとえば数百〔ｋＨｚ〕）の電気信号を駆動部４に印加し可動体３を高周波振動させる方法などがある。
【００８３】
さらに、浮遊粒子検出装置１は、上述したように光走査デバイス９に用いられてもよい。これにより、浮遊粒子の検出のための可動体３の振動を、光走査デバイス９における反射光の走査用に兼用でき、可動体３を振動させるための駆動信号のエネルギを有効に利用できる、という利点がある。しかも、可動体３に設けられた反射部９１に浮遊粒子が付着したことを、浮遊粒子検出装置１にて検出することができ、その検出結果を、光走査デバイス９のメンテナンス時期の判断に用いることができる。
【００８４】
また、本実施形態の浮遊粒子検出方法によれば、可動体３を対象空間中で振動させた場合において、対象空間中の浮遊粒子が可動体３に付着することによって生じる可動体３の振動特性の変化を利用して、浮遊粒子を検出することができる。したがって、気流を形成することなく対象空間中の浮遊粒子を検出可能になる、という利点がある。しかも、この浮遊粒子検出方法では、専用の浮遊粒子検出装置１が必要なく、振動デバイス１０さえあれば浮遊粒子の検出が可能である。
【００８５】
（４）変形例
処理回路６は、駆動回路６１と検出回路６２とで構成されることは必須ではなく、たとえば１つの回路、あるいは３つ以上の回路で構成されていてもよい。
【００８６】
また、回路ブロック（処理回路６および判定部７を含む）２０は浮遊粒子検出装置１に必須の構成ではなく、適宜省略可能である。回路ブロック２０が省略されている場合でも、浮遊粒子検出装置１からは、対象空間中の浮遊粒子が可動体３に付着することによって生じる可動体３の機械的な振動特性の変化が反映された電気信号を、検出信号として取り出すことができる。したがって、この浮遊粒子検出装置１によれば、対象空間中の浮遊粒子を検出することが可能である。
【００８７】
また、処理回路６は、可動体３への浮遊粒子の付着量を、可動体３に付着した浮遊粒子の質量の形式で求める構成に限らず、たとえば可動体３に付着した浮遊粒子の個数や粒径などの形式で、可動体３への浮遊粒子の付着量を求めてもよい。
【００８８】
また、処理回路６は、本実施形態では、駆動信号の周波数の変化量と可動体３への浮遊粒子の付着量との相関関係を表すテーブルを参照して、浮遊粒子の付着量を求めているが、この構成に限らない。たとえば、処理回路６は、駆動信号の周波数の変化量と可動体３への浮遊粒子の付着量との相関関係を表す関数を予め記憶し、関数を用いて駆動信号の周波数の変化量から浮遊粒子の付着量を求めてもよい。
【００８９】
また、駆動部４は、圧電素子を用いた圧電方式に限らず、電磁駆動方式や静電駆動方式などの他の駆動方式で可動体３を振動させる構成であってもよい。たとえば電磁駆動方式であれば、駆動部４は、支持体２に設けた励磁コイルで可動体３を磁気的に吸引することにより、可動体３を振動させる。また、静電駆動方式であれば、駆動部４は、支持体２と可動体３とに設けた一対の電極間に電圧を印加し、一対の電極間に生じる静電力により可動体３を振動させる。
【００９０】
また、駆動部４は、可動体３の共振周波数で可動体３を振動させる構成に限らず、可動体３の共振周波数以外の周波数で、可動体３を振動させてもよい。
【００９１】
また、振動デバイス１０は、ガラスやセラミックスなどの電気絶縁材料で形成されていてもよい。ただし、可動体３が電気絶縁性を有することは浮遊粒子検出装置１に必須の構成ではなく、たとえば可動体３の全体が導電性を有していてもよい。
【００９２】
さらに、光走査デバイス９は浮遊粒子検出装置１の用途の一例に過ぎず、浮遊粒子検出装置１は、たとえば空気清浄機、掃除機、冷蔵庫など、種々の装置に応用可能である。
【００９３】
（実施形態２）
本実施形態の浮遊粒子検出装置１は、検出信号の振幅が一定となるように検出信号の振幅の変化に応じて駆動信号の振幅を変化させるように処理回路６が構成されている点で、実施形態１の浮遊粒子検出装置１と相違する。以下、実施形態１と同様の構成については、共通の符号を付して適宜説明を省略する。
【００９４】
要するに、本実施形態の浮遊粒子検出装置１は、検出信号の振幅が規定値に維持して、可動体３の機械的な振動の振幅を一定値に維持するための手段が、実施形態１とは相違する。つまり、本実施形態では、処理回路６は検出信号の振幅が一定（規定値）となるように、検出信号の振幅の変化に応じて駆動信号の周波数ではなく振幅を変化させる。駆動信号の振幅と可動体３の機械的な振動の振幅とは略比例関係にあるため、駆動信号の振幅が大きくなれば、可動体３の機械的な振動の振幅も大きくなる。さらに、本実施形態では、処理回路６は、駆動信号の振幅の変化量から可動体３への浮遊粒子の付着量を検出するように構成されている。
【００９５】
すなわち、可動体３に浮遊粒子が付着すると、可動体３の振動特性が変化して可動体３の共振周波数が低下し、検出信号の振幅のピークが低周波数側にシフトするように、駆動信号の周波数と検出信号の振幅との相関関係が変化することになる。そのため、図５の例において、駆動信号の周波数が第１の周波数ｆ１で固定されているとすれば、可動体３に浮遊粒子が付着することによって、検出信号の振幅は第１の振幅Ｖ１から第２の振幅Ｖ２へと低下する。検出信号の振幅がΔＶ（＝Ｖ１−Ｖ２）だけ変化（低下）した場合、処理回路６は、駆動信号の振幅を変化（増加）させることで、検出信号の振幅を一定（第１の振幅Ｖ１）に維持する。
【００９６】
ここで、駆動信号の振幅の変化量は、検出信号の振幅の変化量ΔＶに応じて決まる値であるから、可動体３への浮遊粒子の付着量との間にも、相関関係がある。ここでいう駆動信号の振幅の変化量は、変化後の振幅から、変化前の振幅を減算した値、つまり振幅の増加量である。本実施形態では、検出回路６２が駆動信号の振幅を駆動回路６１から取得可能に構成されており、処理回路６は、検出回路６２にて、駆動信号の振幅の変化量から可動体３への浮遊粒子の付着量を検出する。処理回路６は、駆動信号の振幅の変化量と可動体３への浮遊粒子の付着量との相関関係を表すテーブルを予め記憶しており、テーブルを参照して浮遊粒子の付着量を求める。
【００９７】
以上説明した本実施形態の浮遊粒子検出装置１によれば、検出信号の振幅、つまり可動体３の機械的な振動の振幅が一定に維持されるので、略一定の条件で可動体３に浮遊粒子を付着させることができ、同一条件下での浮遊粒子の検出が継続可能になる。さらに、たとえば振動デバイス１０が光走査デバイス９に兼用されるような場合には、可動体３の振幅が一定に維持されることで、反射光の走査範囲を一定に維持することができる。
【００９８】
その他の構成および機能は実施形態１（変形例を含む）と同様である。
【００９９】
（実施形態３）
本実施形態の浮遊粒子検出装置１は、駆動信号の振幅および周波数が一定であって、処理回路６が、検出信号の振幅の変化量から可動体３への浮遊粒子の付着量を検出するように構成されている点で、実施形態１の浮遊粒子検出装置１と相違する。以下、実施形態１と同様の構成については、共通の符号を付して適宜説明を省略する。
【０１００】
要するに、本実施形態では、駆動信号の振幅および周波数が一定であるため、検出信号の振幅については、一定ではなく、可動体３に浮遊粒子が付着することによって変化する。つまり、本実施形態では、駆動回路６１はフィードバック制御ではなく、オープンループ制御されている。そして、処理回路６は、検出信号の振幅の変化量から可動体３への浮遊粒子の付着量を検出する。
【０１０１】
すなわち、可動体３に浮遊粒子が付着すると、可動体３の振動特性が変化して可動体３の共振周波数が低下し、検出信号の振幅のピークが低周波数側にシフトするように、駆動信号の周波数と検出信号の振幅との相関関係が変化することになる。そのため、図５の例において、駆動信号の周波数が第１の周波数ｆ１で固定されているとすれば、可動体３に浮遊粒子が付着することによって、検出信号の振幅は第１の振幅Ｖ１から第２の振幅Ｖ２へと低下する。
【０１０２】
この場合、処理回路６は、検出回路６２にて検出信号の振幅の変化量ΔＶ（＝Ｖ１−Ｖ２）を検出し、この変化量ΔＶから可動体３への浮遊粒子の付着量を検出する。ここでいう検出信号の振幅の変化量は、変化前の振幅から、変化後の振幅を減算した値、つまり振幅の低下量である。処理回路６は、検出信号の振幅の変化量と可動体３への浮遊粒子の付着量との相関関係を表すテーブルを予め記憶しており、テーブルを参照して浮遊粒子の付着量を求める。
【０１０３】
以上説明した本実施形態の浮遊粒子検出装置１によれば、駆動回路６１のフィードバック制御が不要であるから、比較的簡易な制御で実現可能である、という利点がある。
【０１０４】
その他の構成および機能は実施形態１（変形例を含む）と同様である。
【符号の説明】
【０１０５】
１  浮遊粒子検出装置
２  支持体
３  可動体
４  駆動部
５  検出部
６  処理回路
７  判定部
９  光走査デバイス
９１  反射部
【図１】
2016183930.tif 000003
【図２】
2016183930.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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