(57)【要約】【課題】露光光線の光軸が感光性樹脂の露光面に対して直交する状態でパターン露光ができる直描型露光装置を提供する【解決手段】基材Ｂに保持された膜状の感光性樹脂ＰＰに、露光光線１ｂを直接照射することによりパターン露光を行なう直描型露光装置であって、露光光線１ｂを出力する光源１と、底部２ｂと側壁２ｗとにより形成される凹部２ｓを備える基台２と、側壁２ｗに設置され、露光時における基材Ｂの高さ位置を決める位置決め部材３ａ〜３ｄと、基材Ｂの下面周縁領域を支持し、かつ露光光線１ｂの光軸方向における基材Ｂの位置を変位させるように動作する変位機構５ａ〜５ｄと、を含む。変位機構５ａ〜５ｄにより基材Ｂを変位させて、基材Ｂの上面周縁領域または感光性樹脂ＰＰの上面と、位置決め部材３ａ〜３ｄの下面とを当接させた状態において、基材Ｂは、露光光線１ｂの光軸と基材Ｂの上面とが直交する高さ位置となる。【選択図】図１
2016017974.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の基材に保持された膜状の感光性樹脂に、露光光線を所定のパターンで直接照射することによりパターン露光を行なう直描型露光装置であって、
露光光線を出力する光源と、
底部と側壁とにより形成される凹部を備える基台と、
前記側壁に設置され、露光時における前記基材の高さ位置を決める板状の位置決め部材と、
前記底部に設置される駆動部と、前記駆動部により昇降する駆動軸とを備え、前記基材の下面周縁領域を支持し、かつ前記露光光線の光軸方向における前記基材の位置を変位させるようにそれぞれが独立して動作する複数の変位機構と、を含み、
前記位置決め部材は、前記複数の変位機構により前記基材を変位させて、前記基材の上面周縁領域または前記感光性樹脂の上面と、前記位置決め部材の下面とを当接させた状態において、前記基材が前記露光光線の光軸と前記基材の上面とが直交する高さ位置となるように、前記側壁に設置されていることを特徴とする、直描型露光装置。
【請求項２】
前記駆動軸は、軸方向の応力に対して弾性変形する弾性変形部を有することを特徴とする、請求項１に記載の直描型露光装置。
【請求項３】
前記位置決め部材は、前記露光光線が透過可能であって、前記複数の変位機構により前記基材を変位させたときに、下面が前記感光性樹脂と当接し得る位置に設けられた透光部を含む１枚の板状であり、
前記基台は、加圧ガスを供給する配管をさらに備え、
前記位置決め部材は、前記複数の変位機構により前記基材を変位させ、かつ前記配管から加圧ガスを前記基材に向けて噴射し前記基材を持ち上げることにより、前記感光性樹脂の上面と、前記位置決め部材の透光部の下面とを当接させた状態において、前記基材が前記露光光線の光軸と前記基材の上面とが直交する高さ位置となるように、前記側壁に設置されていることを特徴とする、請求項１または２に記載の直描型露光装置。
【請求項４】
前記基材の下面中央領域を支持する支持部材をさらに備え、
前記支持部材は、前記複数の変位機構により前記基材を変位させて、前記基材の上面周縁領域または前記感光性樹脂の上面と、前記位置決め部材の下面とを当接させた状態において、前記支持部材の上面と前記基材の下面中央領域とが当接するような高さ位置となるように、前記底部に設置され、
前記支持部材の上面は、前記露光光線の光軸と直交していることを特徴とする、請求項１または２に記載の直描型露光装置。
【請求項５】
前記支持部材は、前記支持部材の上面が前記基材の下面中央領域を減圧吸着可能となるように構成されていることを特徴とする、請求項４に記載の直描型露光装置。
【請求項６】
前記支持部材は、昇降可能となるように構成されていることを特徴とする、請求項４または５に記載の直描型露光装置。
【請求項７】
傾斜検知機構と、傾斜調整機構と、制御装置とをさらに備え、
前記制御装置は、前記傾斜検知機構による情報に基づいて、前記基台の傾斜角を調整する動作指令を、前記傾斜調整機構に与えるように制御することを特徴とする、請求項１ないし６のいずれか１項に記載の直描型露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、紫外線領域の波長を有する光線を、マスクを介さず感光性樹脂に直接照射して、所定のパターンを描画することにより、感光性樹脂をパターン露光する直描型露光装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品の製造における配線パターンおよび電極パターンの形成には、スクリーン印刷が利用されることが多い。
【０００３】
スクリーン印刷は、所定の開口パターンを有するように製版された紗と呼ばれる網目の布が枠体に張られてなるスクリーン印刷版を通して、印刷対象物にインクを印刷する技術である。
【０００４】
スクリーン印刷版の製版は、紗に感光性樹脂を塗布し、マスク（原版）を介して紫外線などを照射して露光した後、不要な部分を洗浄除去（現像）して、所定の開口パターンを得ることにより行なわれている。
【０００５】
ところで、近年、紫外線領域の波長を有する露光光線を、マスクを介さず感光性樹脂に直接照射して、所定のパターンを描画することにより、感光性樹脂をパターン露光する直描型露光装置が普及し始めている。
【０００６】
そのような直描型露光装置の一例として、例えば特開平１１−３２０９６８号公報（特許文献１）では、空間的光変調器（以下、ＤＭＤと呼称） を用いてパターン露光を行なう直描型露光装置が提案されている。
【０００７】
図１０は、特許文献１に記載されている直描型露光装置２００の説明図である。図１０（Ａ）は、直描型露光装置２００の概略構成図である。図１０（Ｂ）は、直描型露光装置２００に用いられているＤＭＤ２０５のミラー構成を示す模式図である。図１０（Ｃ）は、図１０（Ｂ）の部分拡大図である。
【０００８】
ＤＭＤ２０５は、正方形の微小ミラーＭが横方向（図１０（Ｂ）の左右方向）にｍ個、縦方向（図の上下方向）に６列配置されてなる。微小ミラーＭと隣接する微小ミラーＭとの間には、隙間ｇが設けられている。各列（Ｍ１１〜Ｍ１６）の微小ミラーＭは、隣接する上下の列における微小ミラーＭとそれぞれ所定の距離だけずらせて配置されている。
【０００９】
露光対象物である感光性樹脂ＰＰは、膜状であって、例えば樹脂単体のドライフィルムの状態で、または液状の樹脂を不図示の基材上に塗布後、乾燥させた状態で、テーブル２０３に載置される。テーブル２０３は、ベース２０２上をＹ方向に移動自在である。ＤＭＤ２０５は、横方向が感光性樹脂ＰＰの移動方向と直角になるようにして位置決めされている。
【００１０】
そして、各微小ミラーＭは、一対の端部Ｍａを結ぶ対角線を回転軸として、端部Ｍｂが回転可能となるように構成されている。ＤＭＤ制御装置２０６は、ＤＭＤ２０５の各微小ミラーＭの回転を個別に制御する。
【００１１】
光源２０１から出力された紫外線領域の波長を有する光は、コリメーターレンズ２０４により平行光２０１ａに変換されてＤＭＤ２０５に入射する。そして、平行光２０１ａは、入射した各微小ミラーＭがどのように回転されているかにより、各ミラーＭによる反射光の方向が決められる。
【００１２】
幾つかの微小ミラーＭによる反射光は、微小ミラーＭ毎に設けられたマイクロレンズ２０７により集光されることにより、露光光線２０１ｂとなって感光性樹脂ＰＰの露光面に照射され、露光に寄与する。一方、別の微小ミラーＭによる反射光は、感光性樹脂ＰＰから離れた位置に照射され、露光に寄与しない。
【００１３】
すなわち、直描型露光装置２００では、ＤＭＤ２０５の微小ミラーＭの個別の回転角を制御することにより、感光性樹脂ＰＰをパターン露光することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開平１１−３２０９６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
ここで、図１１（Ａ）に示すように、液状の感光性樹脂ＰＰを枠体Ｆに張られた紗Ｓ上に塗布後、乾燥させたスクリーン印刷版を、直描型露光装置２００によりパターン露光することを考える。
【００１６】
上記のスクリーン印刷版において、液状の感光性樹脂ＰＰの紗Ｓ上への塗布は、均一な膜厚で、図上での上面ＰＰｕと下面ＰＰｌとが平行となるように行なわれているが、枠体Ｆの厚みが均一ではなかったとする。
【００１７】
このようなスクリーン印刷版を、上面ＰＰｕを露光面としてテーブル２０３に載置すると、枠体Ｆに張られた紗Ｓは、テーブル２０３の上面に対してわずかに傾斜する。その傾斜角をθとすると、露光光線２０１ｂの光軸２０１ｃと上面ＰＰｕとは直交せず、露光光線２０１ｂの光軸２０１ｃに対して、上面ＰＰｕの法線方向ＰＰｎが角度θだけ傾くことになる。
【００１８】
その状態で露光した後、現像すると、図１１（Ｂ）に示すように、上面ＰＰｕの法線方向ＰＰｎに対して角度θだけ傾き、上面ＰＰｕ側と下面ＰＰｌ側とで、開口位置がずれた開口パターンが形成されてしまう。
【００１９】
スクリーン印刷は、図１１（Ａ）における感光性樹脂の上面ＰＰｕが印刷対象物に接するようにして行なわれる。一方、印刷対象物との位置合わせは下面ＰＰｌ側から行なう。上面ＰＰｕ側と下面ＰＰｌ側とで開口位置がずれていると、下面ＰＰｌ側の開口位置で位置合わせを行なっても、実際に印刷対象物にインクが印刷されるのは上面ＰＰｕ側の開口位置となり、印刷ずれが生じることになる。
【００２０】
また、図１１（Ａ）に示すような場合、紗Ｓの左側では開口位置のずれは比較的小さくて済むが、右側では大きくなる。したがって、紗Ｓの面内における印刷パターンの寸法ばらつきが大きくなる。
【００２１】
そこで、この発明の目的は、感光性樹脂を支持する基材の厚みが不均一であったとしても、露光光線の光軸が感光性樹脂の露光面に対して直交する状態でパターン露光ができる直描型露光装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
この発明では、露光光線の光軸が感光性樹脂の露光面に対して直交する状態でパターン露光を行なうことができるようにするため、露光時における感光性樹脂を支持する基材の高さ位置を決める機構についての改良が図られる。
【００２３】
この発明に係る直描型露光装置は、下記の構成により、板状の基材に保持された膜状の感光性樹脂に、露光光線を所定のパターンで直接照射することによりパターン露光を行なう。
【００２４】
この発明に係る直描型露光装置は、露光光線を出力する光源と、底部と側壁とにより形成される凹部を備える基台と、板状の位置決め部材と、底部に設置される駆動部および駆動部により昇降する駆動軸を備える複数の変位機構とを含む。
【００２５】
板状の位置決め部材は、側壁に設置され、露光時における基材の高さ位置を決める。変位機構は、基材の下面周縁領域を支持し、かつ露光光線の光軸方向における基材の位置を変位させるようにそれぞれが独立して動作する。
【００２６】
位置決め部材は、複数の変位機構により基材を変位させて、基材の上面周縁領域または感光性樹脂の上面と、位置決め部材の下面とを当接させた状態において、基材が露光光線の光軸と基材の上面とが直交する高さ位置となるように、側壁に設置されている。
【００２７】
上記の直描型露光装置では、基材の上面周縁領域または感光性樹脂の上面と、位置決め部材の下面とを当接させた状態において、基材が露光光線の光軸と基材の上面とが直交する高さ位置となるように、位置決め部材の位置が決められている。
【００２８】
そのため、露光光線の光軸が感光性樹脂の上面（露光面）に対して直交する状態で、パターン露光を行なうことができる。
【００２９】
したがって、感光性樹脂の上面側と下面（位置合わせ面）側とで、開口パターンの開口位置がずれることがない。すなわち、感光性樹脂をスクリーン印刷版などの印刷版に用いた場合、位置合わせを行なった所望の箇所に、高精度でインクを印刷することができる。また、印刷パターンの寸法ばらつきを小さくすることができる。
【００３０】
この発明に係る直描型露光装置の第１の好ましい実施形態では、駆動軸が軸方向の応力に対して弾性変形する弾性変形部を有する。
【００３１】
上記の直描型露光装置では、駆動軸にかかる軸方向の応力を、弾性変形部がある程度緩和する。
【００３２】
そのため、基材が変位機構の駆動軸により押し上げられ、基材の上面周縁領域または感光性樹脂の上面と、位置決め部材の下面とが当接する際に、弾性変形部が変形することにより、基材または感光性樹脂に過度な応力がかかることがない。
【００３３】
したがって、柔らかな紗のような基材や、感光性樹脂の損傷を抑えることができる。すなわち、傷などの不具合のない印刷版を得ることができる。
【００３４】
この発明に係る直描型露光装置の第２の好ましい実施形態では、位置決め部材が、露光光線が透過可能であって、複数の変位機構により基材を変位させたときに、その下面が感光性樹脂と当接し得る位置に設けられた透光部を含む１枚の板状である。かつ、基台が加圧ガスを供給する配管をさらに備える。
【００３５】
位置決め部材は、複数の変位機構により基材を変位させ、かつ配管から加圧ガスを基材に向けて噴射し基材を持ち上げることにより、感光性樹脂の上面と、位置決め部材の透光部の下面とを当接させた状態において、基材が露光光線の光軸と基材の上面とが直交する高さ位置となるように、側壁に設置されている。
【００３６】
上記の直描型露光装置では、変位機構により基材を変位させ、かつ配管から加圧ガスを基材に向けて噴射し基材を持ち上げることにより、感光性樹脂の上面が、位置決め部材の透光部の下面に押し当てられ、その状態において、基材が露光光線の光軸と基材の上面とが直交する高さ位置となるように、位置決め部材の位置が決められている。
【００３７】
したがって、基材が柔らかく、基材の自重および感光性樹脂の重量により撓んでしまうような場合であっても、感光性樹脂が透光部の下面に当接することにより、高い平面性を維持することができる。すなわち、その状態で露光することにより、さらに高精度な開口パターンを得ることができる。
【００３８】
この発明に係る直描型露光装置の第３の好ましい実施形態では、基材の下面中央領域を支持する支持部材をさらに備える。
【００３９】
支持部材は、複数の変位機構により基材を変位させて、基材の上面周縁領域または感光性樹脂の上面と、位置決め部材の下面とを当接させた状態において、支持部材の上面と基材の下面中央領域とが当接するような高さ位置となるように、底部に設置される。支持部材の上面は、露光光線の光軸と直交している。
【００４０】
上記の直描型露光装置では、基材の下面中央領域が、上面が露光光線の光軸と直交している支持部材によって支持される。
【００４１】
そのため、感光性樹脂を保持している基材の中央領域が、支持部材の上面に倣った形状となる。
【００４２】
したがって、基材が柔らかく、基材の自重および感光性樹脂の重量により撓んでしまうような場合であっても、支持部材の上面に倣った形状とすることにより、高い平面性を維持することができる。すなわち、その状態で露光することにより、さらに高精度な開口パターンを得ることができる。
【００４３】
この発明に係る直描型露光装置の第３の好ましい実施形態における、さらに好ましい実施形態では、支持部材が、その上面が基材の下面中央領域を減圧吸着可能となるように構成されている。
【００４４】
上記の直描型露光装置では、支持部材の上面が基材の下面中央領域を減圧吸着することができる。
【００４５】
そのため、基材の下面中央領域が支持部材に吸着固定される。
【００４６】
したがって、露光時において、基材が支持部材の上面に倣った形状から動くことがなく、高い平面性を維持することができる。すなわち、その状態で露光することにより、さらに高精度な開口パターンを得ることができる。
【００４７】
この発明に係る直描型露光装置の第３の好ましい実施形態における、別のさらに好ましい実施形態では、支持部材が昇降可能となるように構成されている。
【００４８】
上記の直描型露光装置では、支持部材が昇降可能であり、支持部材の上面の位置を所望の位置に調整することができる。
【００４９】
そのため、基材の厚みや柔らかさによって、支持部材の上面の位置を変化させることにより、基材に過度な張力がかからないようにすることができる。逆に意図的に張力をかけるようにすることもできる。
【００５０】
したがって、適当な張力で支持部材の上面に倣った形状とすることにより、高い平面性を維持することができる。すなわち、その状態で露光することにより、さらに高精度な開口パターンを得ることができる。
【００５１】
この発明に係る直描型露光装置の第４の好ましい実施形態では、傾斜検知機構と、傾斜調整機構と、制御装置とをさらに備える。制御装置は、傾斜検知機構による情報に基づいて、基台の傾斜角を調整する動作指令を、傾斜調整機構に与えるように制御する。
【００５２】
上記の直描型露光装置では、制御装置は、傾斜検知機構による情報に基づいて傾斜調整機構を動作させることにより、基台の傾斜角を調整している。
【００５３】
位置決め部材は基台の側壁に設置されているので、その傾斜角は、基台の傾斜角を調整することで調整することができる。
【００５４】
そのため、基台の傾斜角を調整することにより、基材の上面周縁領域または感光性樹脂の上面と、位置決め部材の下面とを当接させた状態において、露光光線の光軸と基材の上面との角度が直交となるように調整することができる。
【００５５】
したがって、基台の傾斜角調整を行なうことにより、基材の上面周縁領域または感光性樹脂の上面と、位置決め部材の下面とを当接させた状態において、露光光線の光軸と基材の上面との角度を高精度で直交とすることができる。すなわち、その状態で露光することにより、さらに高精度な開口パターンを得ることができる。
【発明の効果】
【００５６】
この発明に係る直描型露光装置では、基材の上面周縁領域または感光性樹脂の上面と、位置決め部材の下面とを当接させた状態において、基材が露光光線の光軸と基材の上面とが直交する高さ位置となるように、位置決め部材の位置が決められている。
【００５７】
そのため、露光光線の光軸が感光性樹脂の上面（露光面）に対して直交する状態で、パターン露光を行なうことができる。
【００５８】
したがって、感光性樹脂の上面側と下面（位置合わせ面）側とで、開口パターンの開口位置がずれることがない。すなわち、感光性樹脂をスクリーン印刷版などの印刷版に用いた場合、位置合わせを行なった所望の箇所に、高精度でインクを印刷することができる。また、印刷パターンの寸法ばらつきを小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】この発明の第１の実施形態に係る直描型露光装置１００の断面図（図２のＹ１−Ｙ１線を含む面の矢視断面図、以下の断面図は全て左記の矢視断面図に相当）である。
【図２】この発明の第１の実施形態に係る直描型露光装置１００の要部の上面図である。
【図３】この発明の第１の実施形態に係る直描型露光装置１００における第１変形例の要部の上面図である。
【図４】この発明の第１の実施形態に係る直描型露光装置１００における第２変形例の要部の上面図である。
【図５】この発明の第１の実施形態に係る直描型露光装置１００における第３変形例の透視斜視図である。
【図６】この発明の第１の実施形態に係る直描型露光装置１００における第３変形例の要部の上面図である。
【図７】この発明の第２の実施形態に係る直描型露光装置１００の断面図である。
【図８】この発明の第３の実施形態に係る直描型露光装置１００の断面図である。
【図９】この発明の第３の実施形態に係る直描型露光装置１００の変形例の断面図である。
【図１０】背景技術の直描型露光装置２００の説明図である。図１０（Ａ）は、直描型露光装置２００の概略構成図である。図１０（Ｂ）は、直描型露光装置２００に用いられているＤＭＤ２０５のミラー構成を示す模式図である。図１０（Ｃ）は、図１０（Ｂ）の部分拡大図である。
【図１１】均一ではない厚みを有する枠体Ｆに張られた紗Ｓ上の感光性樹脂ＰＰを、図１０に示した背景技術の直描型露光装置２００を用いてパターン露光する場合の、直描型露光装置２００の要部を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００６０】
以下にこの発明の実施形態を示して、本発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。
【００６１】
−第１の実施形態−
この発明の第１の実施形態に係る直描型露光装置１００について、図１および図２を用いて説明する。
【００６２】
図１は、この発明の第１の実施形態に係る直描型露光装置１００の断面図である。図２は、この発明の第１の実施形態に係る直描型露光装置１００の要部の上面図である。図１は、図２のＹ１−Ｙ１線を含む面の矢視断面図となっている。
【００６３】
この発明の第１の実施形態に係る直描型露光装置１００に係る直描型露光装置は、下記の構成により、板状の基材Ｂに保持された膜状の感光性樹脂ＰＰに、露光光線１ｂを所定のパターンで直接照射することによりパターン露光を行なう。
【００６４】
図１では、基材Ｂとして、前述のように紗Ｓと呼ばれる網目の布が枠体Ｆに張られてなるものが用いられている。基材Ｂには、任意の材質の板状部材など、所望のものを用いることができる。感光性樹脂ＰＰも、前述のように、膜状であって、例えば樹脂単体のドライフィルムの状態のものや、液状の樹脂を紗Ｓ上に塗布後、乾燥させた状態のものなど、所望のものを用いることができる。
【００６５】
なお、感光性樹脂ＰＰの厚みの不均一は無視できるものとし、上面ＰＰｕ（露光面）は、基材Ｂ（紗Ｓ）の上面と実質的に平行となっているとする。
【００６６】
直描型露光装置１００は、光源１と、基台２と、板状の位置決め部材３ａ〜３ｄと、変位機構５ａ〜５ｄとを含む。
【００６７】
光源１は、露光光線１ｂを出力する。露光光線１ｂは、感光性樹脂ＰＰに化学変化を生じさせる波長を有する光線である。そのための光源１の発光体としては、例えば紫外線レーザー、超高圧水銀ランプ、またはＬＥＤなど、紫外線領域の波長を有する光を発するものを用いることができる。光源１は、コリメーターレンズや集光レンズなどのレンズ系をさらに含んでもよい。
【００６８】
図１では、光源１は、水平移動機構１ｈと上下移動機構１ｖにより、水平方向および上下方向に移動可能となっている。すなわち、図１では、基台２を動かさず、水平移動機構１ｈにより光源１を水平移動させてパターン露光を行なう。また、上下移動機構１ｖにより光源１を上下移動させて焦点位置の調節を行なう。
【００６９】
なお、パターン露光を行なうためには、光源１を移動させずに、特許文献１に記載のＤＭＤや、ガルバノミラーなどの反射鏡を用いることにより、露光光線の照射位置を変えるようにしてもよい。また、別途設けた水平移動機構および上下移動機構により、基台２を水平移動および垂直移動させてパターン露光を行なうようにしてもよい。
【００７０】
基台２は、底部２ｂと側壁２ｗとにより形成される凹部２ｓを備える。第１の実施形態に係る直描型露光装置１００では、後述の変位機構５ａ〜５ｄの駆動部６ａ〜６ｄは、底部２ｂに設けられた収納部４ａ〜４ｄ内にそれぞれ設置される。なお、駆動部６ａ〜６ｄは、収納部４ａ〜４ｄの設けられていない平板状の底部２ｂに設置されるようにしてもよい。
【００７１】
板状の位置決め部材３ａ〜３ｄは、側壁２ｗに設置され、露光時における基材Ｂの高さ位置を決める。図２では、４枚の矩形の位置決め部材３ａ〜３ｄが、枠状の側壁２ｗの上面であって、枠の各辺の中央部に、凹部２ｓにその一部が張り出すようにしてそれぞれ設置されている。
【００７２】
図１および図２において、位置決め部材３ａ〜３ｄの張り出し長さは、張り出した部分の下面と、基材Ｂの上面周縁領域とが当接することができるように設定されている。なお、感光性樹脂ＰＰの面積によっては、感光性樹脂ＰＰの上面が、張り出した部分の下面と当接するように設定されてもよい。
【００７３】
また、板状の位置決め部材３ａ〜３ｄは、それぞれの下面が、露光光線１ｂの光軸と直交する同一平面上にあるように、側壁２ｗの上面に設置されている。
【００７４】
なお、位置決め部材の数、形状および設置位置はこれに限られるものではなく、後述の変形例を含め、この発明における機能を奏することができる数、形状および設置位置であればよい。
【００７５】
変位機構５ａ〜５ｄは、それぞれ駆動部６ａ〜６ｄと、駆動部６ａ〜６ｄによりそれぞれ昇降する駆動軸７ａ〜７ｄとを備える。駆動部６ａ〜６ｄは、前述のように底部２ｂに設けられた収納部４ａ〜４ｄ内にそれぞれ設置されている。変位機構５ａ〜５ｄは、駆動軸７ａ〜７ｄにより基材Ｂの下面周縁領域を支持する。さらに、駆動軸７ａ〜７ｄを駆動部６ａ〜６ｄにより駆動させ、基材Ｂを上昇させることにより、基材Ｂの上面周縁領域と、位置決め部材３ａ〜３ｄの下面を当接させることができる。
【００７６】
変位機構５ａ〜５ｄは、それぞれが独立して動作することができるように構成されている。なお、変位機構５ａ〜５ｄの駆動部６ａ〜６ｄは、所定の値以上の負荷を検知した場合、駆動軸７ａ〜７ｄの駆動を停止し、その状態を維持する（ホールド状態）ように設定されている。
【００７７】
図１では、駆動軸７ａ〜７ｄは、それぞれ軸方向の応力に対して弾性変形する弾性変形部７ａｅ〜７ｄｅを有している。この場合、弾性変形部７ａｅ〜７ｄｅが変形することにより、基材Ｂが変位機構の駆動軸により押し上げられ、基材Ｂの上面周縁領域と、位置決め部材３ａ〜３ｄの下面とが当接する際に、基材Ｂに過度な応力がかかることがない。
【００７８】
次に、板状の位置決め部材３ａ〜３ｄによる、露光時における基材Ｂの高さ位置の位置決めについて、以下に説明する。
【００７９】
具体例として、基材Ｂが枠Ｆとそれに張られた紗Ｓを含むスクリーン印刷版であって、枠Ｆの厚みが不均一な場合を考える。説明を簡略化するため、位置決め部材３ａおよび３ｂに基づく基材Ｂの高さ位置の位置決めについて説明する。すなわち、図１において、枠Ｆの変位機構５ａで押し上げられる箇所の厚み（Ｆａ）が、変位機構５ｂで押し上げられる箇所の厚み（Ｆｂ）より厚かったとする（図１１（Ａ）も参照）。
【００８０】
この場合、枠Ｆの変位機構５ａで押し上げられる箇所に張られている紗Ｓの上面が、位置決め部材３ａの下面に、ＦａとＦｂとの厚みの差の分だけ先に当接する。そして、変位機構５ａがホールド状態になることにより、当接した位置に維持される。この時点では、枠Ｆの変位機構５ｂで押し上げられる箇所の紗Ｓの上面は、位置決め部材３ｂの下面にまだ当接していない。
【００８１】
変位機構５ａおよび５ｂはそれぞれ独立して動作するので、変位機構５ａがホールド状態になった後も、変位機構５ｂは枠Ｆをさらに押し上げる。やがて、枠Ｆの変位機構５ｂで押し上げられる箇所に張られている紗Ｓの上面が、位置決め部材３ｂの下面に当接する。すなわち、位置決め部材３ａおよび３ｂの下面と、紗Ｓの上面との均一な当接が実現できる。そして、変位機構５ｂがホールド状態になることにより、当接した位置に維持される。
【００８２】
位置決め部材３ａおよび３ｂは、前述のように、それぞれの下面が露光光線１ｂの光軸と直交する同一平面上にあるように、側壁２ｗの上面に設置されているので、位置決め部材３ａおよび３ｂの下面に共に当接している紗Ｓの上面は、露光光線１ｂの光軸と直交する高さ位置となる。
【００８３】
上記の具体例から分かるように、基材Ｂの厚みが不均一であっても、上記の基材Ｂと位置決め部材３ａ〜３ｄとの当接状態において、露光光線１ｂの光軸と基材Ｂの上面とは、確実に直交することになる。このことは、感光性樹脂ＰＰと位置決め部材３ａ〜３ｄとが当接する場合においても同様である。
【００８４】
そのため、露光光線１ｂの光軸が感光性樹脂ＰＰの上面ＰＰｕ（露光面）に対して直交する状態で、パターン露光を行なうことができる。
【００８５】
したがって、感光性樹脂ＰＰの上面ＰＰｕ側と下面ＰＰｌ側とで、開口パターンの開口位置がずれることがない。すなわち、感光性樹脂ＰＰをスクリーン印刷版などの印刷版に用いた場合、位置合わせを行なった所望の箇所に、高精度でインクを印刷することができる。また、印刷パターンの寸法ばらつきを小さくすることができる。
【００８６】
＜第１の実施形態の第１および第２変形例＞
この発明の第１の実施形態に係る直描型露光装置１００の変形例について、図３および図４を用いて説明する。
【００８７】
図３は、この発明の第１の実施形態に係る直描型露光装置１００の第１変形例の要部の上面図である。図４は、この発明の第１の実施形態に係る直描型露光装置１００の第２変形例の要部の上面図である。第１および第２変形例は、いずれも位置決め部材の形態の変形例である。したがって、その他の部分については、第１の実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【００８８】
第１変形例では、第１の実施形態における４枚の位置決め部材３ａ〜３ｄが、枠状部材によって繋げられ、１枚の位置決め部材３となっている。この場合、露光光線１ｂの光軸に対し、位置決め部材３ａ〜３ｄの下面の高さ位置をそれぞれ調整する煩雑さがなく、露光光線１ｂの光軸と、１枚の位置決め部材３との位置関係を調整して側壁２ｗに設置するだけでよい。
【００８９】
第２変形例では、位置決め部材３が１枚の単なる枠状となっている。この場合、加工が容易であり、かつ第１変形例の場合と同様の効果を奏する。
【００９０】
＜第１の実施形態の第３変形例＞
この発明の第１の実施形態に係る直描型露光装置１００の第３変形例について、図５および図６を用いて説明する。
【００９１】
図５は、第１の実施形態に係る直描型露光装置１００の第３変形例において、簡略化した基台２を透視した透視斜視図である。図６は、第１の実施形態に係る直描型露光装置１００の第３変形例における要部の上面図である。第３変形例は、基台２について、何らかの理由で発生した傾斜を調整する機構を追加したものである。したがって、その他の部分については、第１の実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【００９２】
この変形例では、直描型露光装置１００は、傾斜調整機構１０ａ〜１０ｃと、傾斜検知機構１３ａ〜１３ｃと、制御装置１５とをさらに備える。
【００９３】
傾斜調整機構１０ａ〜１０ｃは、台座９の上面に設置されており、それぞれ駆動部１１ａ〜１１ｃと、駆動部１１ａ〜１１ｃによりそれぞれ昇降する駆動軸１２ａ〜１２ｃとを備える。駆動軸１２ａ〜１２ｃは、それぞれ基台２の下面に設けられた収納部８ａ〜８ｃに挿入され、収納部８ａ〜８ｃ内の天面に当接することにより、基台２を支持している。なお、図６においては、駆動部１１ａ〜１１ｃの図示を省略している。
【００９４】
傾斜検知機構１３ａ〜１３ｃは、例えばレーザー変位計などを用いることができる。傾斜検知機構１３ａ〜１３ｃのそれぞれは、基材２上の所定の検知スポット１４ａ〜１４ｃにレーザー光を照射して、傾斜基台２と傾斜検知機構１３ａ〜１３ｃとの間の距離を測定する。
【００９５】
制御装置１５は、傾斜検知機構１３ａ〜１３ｃにより得られた３点の距離を相互に比較することによって基台２の傾きを検知する。そして、基台２の傾斜角を調整する動作指令を、傾斜調整機構１０ａ〜１０ｃに与えるように制御する。
【００９６】
図５では、簡略化した基台２を透視して傾斜調整機構１０ａ〜１０ｃを示し、傾斜調整機構１０ａ〜１０ｃと傾斜検知機構１３ａ〜１３ｃとの位置関係を示している。例えば、傾斜検知機構１３ａと検知スポット１４ａと傾斜調整機構１０ａは、同一の軸線上にあるように構成されている。その他の位置における傾斜検知機構と検知スポットと傾斜調整機構の配置関係も同様である。
【００９７】
制御装置１５は、傾斜検知機構１３ａ〜１３ｃによる情報に基づいて、傾斜調整機構１０ａ〜１０ｃを動作させることにより、基台２の傾斜角を調整している。位置決め部材３ａ〜３ｄは基台２の側壁２ｗに設置されているので、その傾斜角は、基台２の傾斜角を調整することで調整することができる。
【００９８】
すなわち、この変形例では、上記の構成により、基台２の傾斜角を調整して、基材Ｂの上面周縁領域と、位置決め部材３ａ〜３ｄの下面とを当接させた状態において、露光光線１ｂの光軸と基材Ｂの上面との角度が直交となるように調整することができる。
【００９９】
したがって、基台２の傾斜角調整を行なうことにより、基材Ｂの上面周縁領域と位置決め部材３ａ〜３ｄの下面とを当接させた状態において、露光光線１ｂの光軸と基材Ｂの上面との角度を高精度で直交とすることができる。
【０１００】
−第２の実施形態−
この発明の第２の実施形態に係る直描型露光装置１００について、図７を用いて説明する。
【０１０１】
図７は、この発明の第２の実施形態に係る直描型露光装置１００の断面図である。なお、図７は、図２のＹ１−Ｙ１線を含む面の矢視断面図に相当する。
【０１０２】
この発明の第２の実施形態に係る直描型露光装置１００は、第１の実施形態で説明した各構成要素のうち、位置決め部材３ａ〜３ｄと、基台２とが第１の実施形態と異なっている。その他の部分については、第１の実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【０１０３】
第２の実施形態に係る直描型露光装置１００では、位置決め部材３が、第１の実施形態の位置決め部材３ａ〜３ｄと、露光光線が透過可能な透光部３ｔとを含む１枚の板状となっている。位置決め部材３において、透光部３ｔは、その下面が変位機構５ａ〜５ｄにより基材Ｂを変位させたときに感光性樹脂ＰＰと当接し得る位置に設けられている。基台２は、凹部２ｓ内に加圧ガスを供給する配管１６をさらに備える。
【０１０４】
位置決め部材は、変位機構５ａ〜５ｄにより基材Ｂを変位させ、かつ配管１６から加圧ガスを基材Ｂに向けて噴射し、基材Ｂを持ち上げることにより、感光性樹脂ＰＰの上面が、位置決め部材３の透光部３ｔの下面に押し当てられ、その状態において、基材Ｂが露光光線１ｂの光軸と基材Ｂの上面とが直交する高さ位置となるように、側壁２ｗに設置されている。
【０１０５】
第２の実施形態に係る直描型露光装置１００では、上記の構成を有するため、配管１６から加圧ガスを基材Ｂに向けて噴射し基材Ｂを持ち上げることにより、感光性樹脂ＰＰの上面が、位置決め部材３の透光部３ｔの下面に押し当てられるようにして当接する。
【０１０６】
したがって、基材Ｂが柔らかく、基材Ｂの自重および感光性樹脂ＰＰの重量により撓んでしまうような場合であっても、感光性樹脂ＰＰの平面性を高い状態に維持することができる。
【０１０７】
−第３の実施形態−
この発明の第３の実施形態に係る直描型露光装置１００について、図８を用いて説明する。
【０１０８】
図８は、この発明の第３の実施形態に係る直描型露光装置１００の断面図である。なお、図８は、図２のＹ１−Ｙ１線を含む面の矢視断面図に相当する。
【０１０９】
この発明の第３の実施形態に係る直描型露光装置１００は、第１の実施形態で説明した各構成要素のうち、基台２が第１の実施形態と異なっている。その他の部分については、第１の実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【０１１０】
この発明に係る直描型露光装置１００の第３の実施形態では、基材Ｂの下面中央領域を支持する支持部材１７をさらに備える。
【０１１１】
支持部材１７は、変位機構５ａ〜５ｄにより基材Ｂを変位させて、基材Ｂの上面周縁領域と、位置決め部材３ａ〜３ｄの下面とを当接させた状態において、支持部材１７の上面と基材Ｂの下面中央領域とが当接するような高さ位置となるように、配管１８により底部２ｂに設置される。なお、支持部材１７の上面は、露光光線１ｂの光軸と直交している。
【０１１２】
また、支持部材１７は、その上面に開口する配管１９をその内部に有している。この配管１９は、配管１８を通じて不図示の減圧機構に連通している。このような構成により、支持部材１７の上面は、基材Ｂの下面中央領域を減圧吸着可能となっている。
【０１１３】
第３の実施形態に係る直描型露光装置１００では、上記の構成を有するため、基材Ｂの下面中央領域が、支持部材１７によって支持され、かつ吸着固定される。そのため、感光性樹脂ＰＰを保持している基材Ｂの中央領域が、支持部材１７の上面に倣った形状となる。
【０１１４】
したがって、基材Ｂが柔らかく、基材Ｂの自重および感光性樹脂ＰＰの重量により撓んでしまうような場合であっても、支持部材１７の上面に倣った形状とすることにより、感光性樹脂ＰＰの平面性を高い状態に維持することができる。
【０１１５】
＜第３の実施形態の変形例＞
この発明の第３の実施形態に係る直描型露光装置１００の変形例について、図９を用いて説明する。
【０１１６】
図９は、この発明の第３の実施形態に係る直描型露光装置１００の変形例の断面図である。なお、図９は、図２のＹ１−Ｙ１線を含む面の矢視断面図に相当する。
【０１１７】
この変形例では、支持部材１７が変位機構２０ａ〜２０ｄ（２０ｃおよび２０ｄは不図示）により昇降可能となるように構成されている。そのため、配管１８は、底部２ｂに固定されておらず、支持部材１７の昇降に従動するように構成されている。
【０１１８】
変位機構２０ａ〜２０ｄは、それぞれ駆動部２１ａ〜２１ｄと、駆動部２１ａ〜２１ｄによりそれぞれ昇降する駆動軸２２ａ〜２２ｄとを備える。変位機構２０ａ〜２０ｄの駆動部２１ａ〜２１ｄは、平面状の底部２ｂにそれぞれ設置される。なお、駆動部２１ａ〜２１ｄは、底部２ｂに設けられた収納部にそれぞれ設置されるようにしてもよい。
【０１１９】
この変形例では、上記の構成を有するため、支持部材１７が昇降可能であり、支持部材１７の上面の位置を所望の位置に調整することができる。
【０１２０】
そのため、基材Ｂの厚みや柔らかさによって、支持部材１７の上面の位置を変化させることにより、基材Ｂにかかる張力を調整することができる。
【０１２１】
したがって、適当な張力で支持部材１７の上面に倣った形状とすることにより、感光性樹脂ＰＰの平面性を高い状態に維持することができる。
【０１２２】
図９では、支持部材１７は変位機構２０ａ〜２０ｄによって昇降するようになっているが、変位機構２０ａ〜２０ｄを用いずに、配管１８を駆動部により昇降させるようにしてもよい。
【０１２３】
なお、この発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、この発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
【０１２４】
例えば、第１の実施形態の第１ないし第３の変形例を、第２または第３の実施形態に適用してもよい。
【符号の説明】
【０１２５】
１００  直描型露光装置
１    光源
１ｂ    露光光線
２    基台
２ｂ    底部
２ｗ    側壁
２ｓ    凹部
３ａ〜３ｄ    位置決め部材
３ｔ    透光部
５ａ〜５ｄ    変位機構
６ａ〜６ｄ    駆動部
７ａ〜７ｄ    駆動軸
７ａｅ〜７ｄｅ    弾性変形部
１０ａ〜１０ｃ    傾斜調整機構
１３ａ〜１３ｃ    傾斜検知機構
１５  制御装置
１６、１８、１９    配管
１７    支持部材
Ｂ  基材
ＰＰ  感光性樹脂
【図１】
2016017974.tif 000003
【図２】
2016017974.tif 000004
【図３】
2016017974.tif 000005
【図４】
2016017974.tif 000006
【図５】
2016017974.tif 000007
【図６】
2016017974.tif 000008
【図７】
2016017974.tif 000009
【図８】
2016017974.tif 000010
【図９】
2016017974.tif 000011
【図１０】
2016017974.tif 000012
【図１１】
2016017974.tif 000013