(57)【要約】【課題】非接触式の軸シール部の破損を低減することが可能な送風機を提供する。【解決手段】本発明の送風機は、ガスを送風するインペラ１を収容するガス送風部２と、インペラ１を回転させるロータ９を収容するモータ部３と、ガス送風部２とモータ部３とを仕切る隔壁部５ａと、を備える。ロータ９の軸方向上端部９ｂが隔壁部５ａを貫通して、ガス送風部２内に在るインペラ１の回転中心部を支持している。ロータ９の軸方向上端部９ｂが貫通する隔壁部５ａの貫通孔には、非接触式の軸シール１３が配置されている。そして、隔壁部５ａの、インペラ１に対向する面には、異物を捕捉する溝２０Ａが形成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガスを送風するインペラ（１）を収容するガス送風部（２）と、
前記インペラ（１）を回転させるロータ（９）を収容するモータ部（３）と、
前記ガス送風部（２）と前記モータ部（３）とを仕切る隔壁部（５ａ）と、を備え、
前記ロータ（９）の一端部（９ｂ）が前記隔壁部（５ａ）を貫通して、前記ガス送風部（２）内に在る前記インペラ（１）の回転中心部を支持しており、
前記一端部（９ｂ）が貫通する前記隔壁部（５ａ）の貫通孔には、非接触式の軸シール（１３）が配置され、
前記隔壁部（５ａ）の、前記インペラ（１）に対向する面には、異物を捕捉する溝が形成されている、送風機。
【請求項２】
前記溝は、前記軸シール（１３）を取囲む環状の溝である、請求項１に記載の送風機。
【請求項３】
前記インペラ（１）の回転軸（Ｘ）と前記環状の溝の外周側側面との間の距離をｒ１、
前記インペラ（１）の回転軸（Ｘ）と前記環状の溝の内周側側面との間の距離をｒ２、
前記インペラ（１）と前記隔壁部（５ａ）との間の距離をｈ１、
前記インペラ（１）の、前記隔壁部（５ａ）に対向する面と、前記環状の溝の底面との間の距離をｈ２、としたとき、
前記環状の溝は、
ｒ２＜ｒ１、  ｈ１＜ｈ２、  および、ｒ１・ｈ１＜ｒ２・ｈ２  の関係式を満たすように形成されている、請求項２に記載の送風機。
【請求項４】
前記隔壁部（５ａ）の前記面には複数の前記溝が形成されている、請求項１または２に記載の送風機。
【請求項５】
前記溝内に粘着剤（２２）が配置されている、請求項１から４のいずれか一項に記載の送風機。
【請求項６】
所定の量の異物が前記溝内に溜まったことを検出する検出装置をさらに備えた、請求項１から５のいずれか一項に記載の送風機。
【請求項７】
前記隔壁部（５ａ）には、前記溝内に溜まった異物を排出する排出路（２６）が形成されている、請求項１から６のいずれか一項に記載の送風機。
【請求項８】
前記隔壁部（５ａ）の、前記溝が形成された前記面は、鉛直方向に対して直交している、請求項１から７のいずれか一項に記載の送風機。
【請求項９】
前記モータ部（３）には、前記モータ部（３）の内部空間を排気する排気口（５ｂ）が形成されている、請求項１から８のいずれか一項に記載の送風機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガスを吸込み、吸込んだガスを昇圧させて、吐出口から吐出する送風機に関し、特に、ガスレーザ発振器内にレーザガスを循環させるためのガスレーザ発振器用送風機に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガスを吸込み、吸込んだガスを昇圧させて、吐出口から吐出する送風機が従前より知られている。そのような送風機は、特許文献１に示されるようにガスレーザ発振器内においてレーザガスを循環させるために使用されている。
【０００３】
図１４は従来の送風機の構成を示す断面図である。ここでは、オイル潤滑方式のガスレーザ発振器用送風機の例を示す。
図１４に示される送風機１００は、インペラ１の回転によりガスを送風するガス送風部２と、インペラ１を回転させるためのモータ部３とを備える。
【０００４】
ガス送風部２のケーシング４はインペラ１を包囲していて、モータ部３のケーシング５と一体形成されている。さらに、ガス送風部２のケーシング４には、ガスを吸込むための一つの吸込口４ａと、ガスを吐出するための吐出口４ｂ、４ｃとが形成されている。インペラ１が中心軸Ｘを中心に回転することにより、ガスが図中の矢印６で示されるように吸込口４ａから吸込まれ、矢印７、８で示されるように吐出口４ｂ、４ｃから吐出されるようになっている。
【０００５】
モータ部３のケーシング５には、インペラ１を回転させるロータ９が収容されている。そして、モータ部３のケーシング５は、ガス送風部２のケーシング４内の空間とモータ部３のケーシング５内の空間とを仕切る隔壁部５ａを備えている。インペラ１の回転中心およびロータ９の回転中心は同じ中心軸Ｘ上に在る。また、モータ部３のケーシング５の内周面にはステータ１０がロータ９を取囲むように設置されており、ロータ９はステータ１０により電磁力を受けて回転可能となっている。
【０００６】
オイル潤滑方式の送風機１００においては、ロータ９は鉛直方向に配置される。そして、モータ部３のケーシング５の内底部には、潤滑オイルを貯留するオイル溜り１４が形成されている。
オイル溜り１４内には、ロータ９の軸方向下端部９ａをオイルに浸漬するようにして回転自在に支持する軸受部１１が配置されている。一方、ロータ９の軸方向上端部９ｂは、隔壁部５ａを貫通してガス送風部２内に突出している。そして、ロータ９の軸方向上端部９ｂは、インペラ１の回転中心部と結合されている。
【０００７】
隔壁部５ａには、ロータ９の軸方向上端部９ｂが貫通する貫通孔が形成されている。その貫通孔には軸受部１２が配置されており、ロータ９の軸方向上端部９ｂは軸受部１２に回転自在に支持されている。
【０００８】
また、ロータ９は、ロータ９の高速回転に伴う遠心力を利用して、オイル溜り１４のオイルの一部を軸受部１２に供給できるようになっている。供給されたオイルは軸受部１２の潤滑に使用され、それから、オイル溜り１４に戻るようになっている。
【０００９】
そして、ロータ９の軸方向上端部９ｂが貫通する隔壁部５ａの貫通孔には、軸シール１３が軸受部１２に隣接して配置されている。それにより、軸受部１２に供給されたオイルがガス送風部２のケーシング４内に浸入し難くしている。
但し、ロータ９の軸方向上端部９ｂは高速に回転する回転軸部であるため、軸シール１３としては、回転軸部の高速回転を妨げないように、非接触式の軸シール、例えばラビリンスシールが採用されている。
【００１０】
さらに、オイルがモータ部３からガス送風部２内に浸入することを防止するため、モータ部３のケーシング５には排気口５ｂが形成されている。排気口５ｂからモータ部３のケーシング５の内部空間を常時排気することにより、モータ部３内の圧力がガス送風部２内の圧力よりも低くされる。それにより、モータ部３内のオイルがガス送風部２内に浸入してインペラ１によりガスレーザ発振器内に拡散されないようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開平８−３３５７３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
上述したように、従来の送風機１００においては、ロータ９の軸方向上端部９ｂの外周面と、この上端部９ｂが貫通する貫通孔の内周面との間の隙間に非接触式の軸シール１３を配置している。さらに、モータ部３のケーシング５の内部空間を排気している。そのため、ガス送風部２内のガスの一部がモータ部３のケーシング５内に吸込まれるので、ガス送風部２からモータ部３内へのガスの流れ１５が発生する。モータ部３内へのガスの流れ１５が発生すると、このガスの流れ１５により、粒子状の異物が軸シール１３に到達する危険性がある。
【００１３】
図１５は、従来の送風機１００における軸シール１３の周辺の部分断面図であり、異物１６が軸シール１３に到達する様子を模式的に示している。
図１５に示されるように、非接触式の軸シール１３は、ロータ９の回転に伴って回転する回転部１３ａと、回転しない固定部１３ｂとを有し、回転部１３ａと固定部１３ｂとの間には隙間が在る。しかし、その隙間は、オイルシール性を確保するために、可能な限り小さくされる。このため、異物１６が軸シール１３に到達して、軸シール１３に在る隙間に異物１６が挟まってしまい、軸シール１３の焼付きおよび破損が発生する危険性がある。
【００１４】
そこで本発明は、上述したような問題点に鑑み、非接触式の軸シール部の破損を低減することが可能な送風機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の第一態様は、ガスを送風するインペラを収容するガス送風部と、インペラを回転させるロータを収容するモータ部と、ガス送風部とモータ部とを仕切る隔壁部と、を備えた送風機であって、ロータの一端部が隔壁部を貫通して、ガス送風部内に在るインペラの回転中心部を支持している、送風機に係る。
第一態様によれば、そのような送風機であって、一端部が貫通する隔壁部の貫通孔には、非接触式の軸シールが配置され、さらに、隔壁部の、インペラに対向する面には、異物を捕捉する溝が形成されている、送風機が提供される。この第一態様により上述の課題が解決される。しかし、本発明は、第一態様に限られず、以下の第二態様ないし第九態様のいずれかの送風機を提供することもできる。
【００１６】
本発明の第二態様によれば、第一態様の送風機であって、溝は、軸シールを取囲む環状の溝である、送風機が提供される。
【００１７】
本発明の第三態様によれば、第二態様の送風機であって、
インペラの回転軸と環状の溝の外周側側面との間の距離をｒ１、
インペラの回転軸と環状の溝の内周側側面との間の距離をｒ２、
インペラと隔壁部との間の距離をｈ１、
インペラの、隔壁部に対向する面と、環状の溝の底面との間の距離をｈ２、としたとき、
上記環状の溝は、
ｒ２＜ｒ１、  ｈ１＜ｈ２、  および、ｒ１・ｈ１＜ｒ２・ｈ２  の関係式を満たすように形成されている、送風機が提供される。
【００１８】
本発明の第四態様によれば、第一態様または第二態様の送風機であって、上記隔壁部の面には複数の溝が形成されている、送風機が提供される。
【００１９】
本発明の第五態様によれば、第一態様から第四態様のいずれかの送風機であって、溝内に粘着剤が配置されている、送風機が提供される。
【００２０】
本発明の第六態様によれば、第一態様から第五態様のいずれかの送風機であって、所定の量の異物が溝内に溜まったことを検出する検出装置をさらに備えた、送風機が提供される。
【００２１】
本発明の第七態様によれば、第一態様から第六態様のいずれかの送風機であって、隔壁部には、溝内に溜まった異物を排出する排出路が形成されている、送風機が提供される。
【００２２】
本発明の第八態様によれば、第一態様から第七態様のいずれかの送風機であって、隔壁部の、溝が形成された面は、鉛直方向に対して直交している、送風機が提供される。
【００２３】
本発明の第九態様によれば、第一態様から第八態様のいずれかの送風機であって、モータ部には、モータ部の内部空間を排気する排気口が形成されている、送風機が提供される。
【発明の効果】
【００２４】
本発明の第一態様によれば、ロータの一端部が貫通する隔壁部の貫通孔に非接触式の軸シールを配置しているので、ガス送風部内のガスの一部は、非接触式の軸シールに在る隙間を通ってモータ部内に流入する。そのため、ガス送風部内に粒子状の異物が発生したとき、異物はガスの流れに伴い、軸シールに向かって隔壁部とインペラとの間の隙間を移動する場合がある。このとき、隔壁部の、インペラに対向する面に溝が形成されているため、異物を溝により捕捉することができる。それにより、異物が軸シールに在る隙間に侵入する危険性を低減することができる。したがって、送風機において軸シールの信頼性が高まる。
【００２５】
本発明の第二態様によれば、上記のように異物を捕捉できる溝を、軸シールを取囲むように環状に形成することにより、軸シールに向かって移動する異物は必ず溝を横切ることになる。このため、異物が軸シールに在る隙間に侵入する危険性が低減する。
【００２６】
本発明の第三態様によれば、上述した、ｒ２＜ｒ１、  ｈ１＜ｈ２、  および、ｒ１・ｈ１＜ｒ２・ｈ２  の関係式を満たすように環状の溝を形成していることにより、軸シールに向かって移動する異物が溝内に入りやすくなって、軸シールに到達しにくくなる。
【００２７】
つまり、隔壁部の、インペラに対向する面に溝を形成しているため、隔壁部とインペラとの間の隙間に関しては、溝が形成された所は他の所よりも広くなる。この結果、溝におけるガスの流速は、隔壁部とインペラとの間の隙間を通過するガスの流速よりも遅くなる。したがって、異物が隔壁部とインペラとの間の隙間を移動する際に異物は溝に入りやすい。このような作用を十分に発揮させて異物を軸シールに到達しにくくするには、ガスの流れにおいて上流となる溝外周側において隔壁部とインペラとが形成するガス流路面積（２π・ｒ１・ｈ1）よりも、下流となる溝内周側において溝底面とインペラとが形成するガス流路面積（２π・ｒ２・ｈ２）を大きくする必要がある。このことは、上述した、ｒ２＜ｒ１、  ｈ１＜ｈ２、  および、ｒ１・ｈ１＜ｒ２・ｈ２  の関係式を満たすように環状の溝を形成することにより達成し得る。
【００２８】
本発明の第四態様によれば、上記のように異物を捕捉できる溝を複数形成することにより、異物が軸シールに在る隙間に侵入する危険性を一層低減することができる。
【００２９】
本発明の第五態様によれば、上記のように異物を捕捉できる溝内に粘着剤を配置することにより、粘着剤により異物を確実に捕捉することができる。
【００３０】
本発明の第六態様によれば、所定の量の異物が溝内に溜まったことを検出できるため、溝内の異物の除去を使用者に促すことができる。
【００３１】
本発明の第七態様によれば、溝内に溜まった異物を排出する排出路が隔壁部に形成されているため、溝内に溜まった異物の除去を簡単に行うことができる。また、排出路に排気ポンプを接続すれば、送風機を停止して使用者が溝内の異物を除去する必要も無くなる。
【００３２】
本発明の第八態様によれば、隔壁部の、溝が形成された面を鉛直方向に対して直交させることにより、溝が形成された面上を移動する異物は自重により溝内に落ち込みやすくなる。そのため、溝により異物が捕捉される確率を向上させることができる。
【００３３】
本発明の第九態様によれば、モータ部の内部空間を排気する排気口を形成することにより、モータ部内の圧力をガス送風部内の圧力よりも低くすることができる。それにより、モータ部内のロータの軸受部に潤滑オイルを供給する方式において、オイルがガス送風部内に浸入して拡散されるといった問題が発生しなくなる。
【００３４】
添付図面に示される本発明の典型的な実施形態の詳細な説明から、本発明のこれらの目的、特徴および利点ならびに他の目的、特徴および利点がさらに明確になるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】第１実施形態の送風機を示す断面図である。
【図２】図１中のＡ−Ａ線に沿って見た断面図である。
【図３】第１実施形態の送風機における軸シールの周辺の部分断面図である。
【図４Ａ】第２実施形態の送風機を示す断面図である。
【図４Ｂ】図４Ａ中のＢ−Ｂ線に沿って見た断面図である。
【図５Ａ】第３実施形態の送風機を示す断面図である。
【図５Ｂ】図５Ａ中のＣ−Ｃ線に沿って見た断面図である。
【図６Ａ】第４実施形態の送風機を示す断面図である。
【図６Ｂ】図６Ａ中のＤ−Ｄ線に沿って見た断面図である。
【図７Ａ】第５実施形態の送風機を示す断面図である。
【図７Ｂ】図７Ａ中のＥ−Ｅ線に沿って見た断面図である。
【図８】第６実施形態の送風機を示す断面図である。
【図９】第７実施形態の送風機を示す断面図である。
【図１０】第８実施形態の送風機を示す断面図である。
【図１１】第９実施形態の送風機を示す断面図である。
【図１２】第１０実施形態の送風機を示す断面図である。
【図１３】図１２に示される送風機が適用されたガスレーザ発振器を示す模式図である。
【図１４】従来の送風機の構成を示す断面図である。
【図１５】従来の送風機における軸シールの周辺の部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
次に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。以下の図面において、同様の部材には同様の参照符号が付けられている。理解を容易にするために、これらの図面は縮尺を適宜変更している。また、以下の各実施形態では、図１４に示した従来の送風機と同じ構成部分については同じ符号を付して、重複する説明を割愛することとする。
【００３７】
（第１実施形態）
図１は第１実施形態の送風機１００Ａを示す断面図、図２は図１中のＡ−Ａ線に沿って見た断面図である。
第１実施形態の送風機１００Ａは、インペラ１の回転によりガスを送風するガス送風部２と、インペラ１を回転させるモータ部３とを備える。
【００３８】
ガス送風部２のケーシング４はインペラ１を包囲している。ケーシング４には、矢印６で示されるようにガスを吸込むための一つの吸込口４ａと、矢印７、８で示されるようにガスを吐出するための吐出口４ｂ、４ｃとが形成されている。
【００３９】
モータ部３のケーシング５はロータ９を収容している。さらに、モータ部３のケーシング５は、ガス送風部２のケーシング４内の空間とモータ部３のケーシング５内の空間とを仕切る隔壁部５ａを備えている。また、モータ部３のケーシング５の内周面にはステータ１０が設置され、ロータ９はステータ１０により電磁力を受けて回転可能である。
【００４０】
第１実施形態の送風機１００Ａはオイル潤滑方式の送風機であり、ロータ９は鉛直方向に配置される。
ロータ９の軸方向下端部９ａは、モータ部３のケーシング５の内底部に設置された軸受部１１に回転自在に支持されている。さらに、ロータ９の軸方向下端部９ａは、モータ部３のケーシング５の内底部に在るオイル溜り１４に浸漬されている。
【００４１】
一方、ロータ９の軸方向上端部９ｂは、隔壁部５ａを貫通してガス送風部２のケーシング４内に突出している。そして、ロータ９の軸方向上端部９ｂは、インペラ１の回転中心部と結合されている。さらに、ロータ９の軸方向上端部９ｂが貫通する隔壁部５ａの貫通孔には軸受部１２が配置されている。ロータ９の軸方向上端部９ｂは軸受部１２に回転自在に支持されている。
【００４２】
また、ロータ９の内部には、オイル通路（不図示）がロータ９の軸方向に沿って形成されている。ロータ９の軸方向下端部９ａにはオイル通路の入口（不図示）が形成されている。オイル通路の出口（不図示）は、ロータ９の軸方向上端部９ｂにおける軸受部１２の近傍に形成されている。
このような構成において、ロータ９内のオイル通路に入っているオイルは、ロータ９の高速回転に伴う遠心力によって、オイル通路の内壁面に押し当てられる。このとき、オイルには、オイル通路の内壁面に沿ってオイルを押し上げようとする方向の分力が作用する。その結果、オイルが、ロータ９の軸方向下端部９ａにおけるオイル通路の入口から吸上げられるようになる。さらに、吸上げられたオイルは、ロータ９内のオイル通路を通過してロータ９の軸方向上端部９ｂにおけるオイル通路の出口から放出される。それにより、放出されたオイルの一部が軸受部１２に供給され、軸受部１２の潤滑に使用され、それから、オイル溜り１４に戻るようになっている。
【００４３】
さらに、ロータ９の軸方向上端部９ｂが貫通する隔壁部５ａの貫通孔には、軸シール１３が軸受部１２に隣接して配置されている。それにより、軸受部１２に供給されたオイルがガス送風部２のケーシング４内に浸入し難くしている。軸シール１３としては、ロータ９の高速回転を妨げないように、非接触式の軸シール、例えばラビリンスシールが採用されている。
【００４４】
非接触式の軸シール１３は、ロータ９の回転に伴って回転する回転部１３ａと、回転しない固定部１３ｂとを有し、回転部１３ａと固定部１３ｂとの間には隙間が在る(図３参照）。つまり、軸シール１３は、ガス送風部２とモータ部３との間のガスの連通作用を完全に遮断しているものではない。
そのため、モータ部３のケーシング５に排気口５ｂを形成し、インペラ１の回転中、排気口５ｂからモータ部３のケーシング５の内部空間を常時排気している。その結果、モータ部３内の圧力はガス送風部２内の圧力よりも低く維持されている。それにより、モータ部３内のオイルがガス送風部２内に浸入してインペラ１によりガスレーザ発振器内に拡散されるといった問題が発生しないものとなっている。
【００４５】
しかし、モータ部３内の圧力がガス送風部２内の圧力よりも低くなるようにモータ部３の内部空間を排気していることにより、ガス送風部２からモータ部３内へ向かうガスの流れ１５が発生する。特に、ガス送風部２内のガスの一部が、隔壁部５ａとインペラ１との間の隙間を流通して、軸シール１３に在る隙間からモータ部３内へ流入する。このとき、ガス送風部２内に粒子状の異物１６が発生した場合、そのようなガスの流れ１５によって異物１６が軸シール１３の隙間に到達してしまう（図１５参照）。軸シール１３の隙間は例えば約０．１ｍｍであり、軸シール１３に在る隙間はオイルシール性の観点から狭いほど好ましい。この結果、異物１６が軸シール１３に在る隙間に挟まってしまい、軸シール１３が破損してしまうことが考えられる。
【００４６】
そのため、第１実施形態においては、隔壁部５ａの、インペラ１に対向する面に溝２０Ａが形成されている。さらに、図２に示すように、溝２０Ａは軸シール１３を取囲む環状の溝である。
【００４７】
ここで、溝２０Ａの作用について説明する。
図３は、第１実施形態の送風機１００Ａにおける軸シール１３の周辺の部分断面図であり、ガス送風部２からモータ部３内へ向かうガスの流れ１５と、異物１６の挙動とを模式的に示している。
【００４８】
モータ部３のケーシング５内の圧力がガス送風部２のケーシング４内の圧力よりも低い場合、図３に示されるようなガスの流れ１５が発生する。それにより、ガス送風部２内のガスの一部は、軸シール１３に向かって隔壁部５ａとインペラ１との間の隙間を通過する。そして、ガス送風部２内に粒子状の異物１６が発生した場合には、異物１６もまた、軸シール１３に向かって隔壁部５ａとインペラ１との間の隙間を移動する。
このとき、隔壁部５ａの、インペラ１に対向する面には、異物１６の移動経路を横切るように溝２０Ａが存在しているため、異物１６を溝２０Ａにより捕捉することができる。特に、第１実施形態においては溝２０Ａを環状に形成していることにより、軸シール１３に向かって移動する異物１６は必ず溝２０Ａを横切ることになる。このため、異物１６が軸シール１３に在る隙間に侵入する危険性を低減することができる。その結果、送風機１００Ａにおいて軸シール１３の信頼性が高まる。
【００４９】
なお、溝２０Ａが形成された隔壁部５ａの面を鉛直方向に対して直交させることが、より好ましい。このように構成することにより、異物１６が自重により溝２０Ａ内に落ち込みやすくなるので、溝２０Ａにより異物１６が捕捉される確率を向上させることができる。このような構成は、以降に説明する第２実施形態から第１０実施形態に対しても有効である。
【００５０】
（第２実施形態）
次に、第２実施形態について説明する。ここでは、第１実施形態に対して異なる点のみを説明することとする。
図４Ａは第２実施形態の送風機１００Ｂを示す断面図、図４Ｂは図４Ａ中のＢ−Ｂ線に沿って見た断面図である。
第２実施形態においては、図４Ａおよび図４Ｂに示すように、隔壁部５ａの、インペラ１に対向する面に複数の溝２０Ａ、２０Ｂが形成されている。複数の溝２０Ａ、２０Ｂは軸シール１３を取囲む環状の溝である。さらに、各溝２０Ａ、２０Ｂは中心軸Ｘを中心として同心円状に形成されている。
その他の構成については第１実施形態と同じである。
なお、図４Ｂにおいては２本の環状の溝２０Ａ、２０Ｂを示しているが、本発明はこれに限定されない。溝２０Ａ、２０Ｂの他に、少なくとも一つの環状の溝が軸シール１３を取囲むように形成されていてもよい。
【００５１】
第２実施形態においても、モータ部３内の圧力がガス送風部２内の圧力よりも低くなるようにモータ部３の内部空間を排気している。その結果、ガス送風部２内のガスの一部が、隔壁部５ａとインペラ１との間の隙間を流通して、軸シール１３に在る隙間からモータ部３内へ流入する。そして、ガス送風部２内に粒子状の異物が発生した場合には、異物は、軸シール１３に向かって隔壁部５ａとインペラ１との間の隙間を移動することがある。
このとき、隔壁部５ａの、インペラ１に対向する面には複数の溝２０Ａ、２０Ｂが異物１６の移動経路を横切るように存在しているため、異物は複数の溝２０Ａ、２０Ｂにより捕捉される。
第１実施形態に対して、溝２０Ｂを追加したため、異物が軸シール１３に在る隙間に侵入する危険性を一層低減することができる。その結果、第１実施形態よりも軸シール１３の信頼性が高まる。
【００５２】
（第３実施形態）
次に、第３実施形態について説明する。ここでは、第１実施形態に対して異なる点のみを説明することとする。
図５Ａは第３実施形態の送風機１００Ｃを示す断面図、図５Ｂは図５Ａ中のＣ−Ｃ線に沿って見た断面図である。
第３実施形態においては、図５Ａおよび図５Ｂに示すように、隔壁部５ａの、インペラ１に対向する面に複数の溝２０Ｃ、２０Ｄが形成されている。第３実施形態の溝２０Ｃ、２０Ｄは、第２実施形態に示される環状の溝２０Ａ、２０Ｂの各々をいくつかの溝部に分割したような形態からなる。
その他の構成については第１実施形態と同じである。
【００５３】
第３実施形態においても、モータ部３内の圧力がガス送風部２内の圧力よりも低くなるようにモータ部３の内部空間を排気している。その結果、ガス送風部２内のガスの一部が、隔壁部５ａとインペラ１との間の隙間を流通して、軸シール１３に在る隙間からモータ部３内へ流入する。そして、ガス送風部２内に粒子状の異物が発生した場合には、異物は、軸シール１３に向かって隔壁部５ａとインペラ１との間の隙間を移動することがある。
このとき、隔壁部５ａの、インペラ１に対向する面には複数の溝２０Ｃ、２０Ｄが異物の移動経路を横切るように存在しているため、異物は複数の溝２０Ｃ、２０Ｄにより捕捉される。
第１実施形態に対して、異物を捕捉する溝が多いため、異物が軸シール１３に在る隙間に侵入する危険性を一層低減することができる。その結果、第１実施形態よりも軸シール１３の信頼性が高まる。また、第１実施形態のように環状の溝２０Ａ、２０Ｂを隔壁部５ａに形成した構造よりも強度が高い。
【００５４】
なお、図５Ｂに示されるように、複数の溝２０Ｃは、中心軸Ｘを中心とした第１の仮想円の円周方向に等間隔に形成されている。複数の溝２０Ｄは、中心軸Ｘを中心とした、第１の仮想円よりも大きい第２の仮想円の円周方向に等間隔に形成されている。さらに、中心軸Ｘから径方向に見て、隣合う溝２０Ｄと溝２０Ｄとの間を補間するように、複数の溝２０Ｃが形成されている。このように複数の溝２０Ｃ、２０Ｄを形成することにより、異物が、隣合う溝２０Ｄと溝２０Ｄとの間を通過しても、その異物を溝２０Ｃにより捕捉することができる。
【００５５】
（第４実施形態）
次に、第４実施形態について説明する。ここでは、第１実施形態に対して異なる点のみを説明することとする。
図６Ａは第４実施形態の送風機１００Ｄを示す断面図、図６Ｂは図６Ａ中のＤ−Ｄ線に沿って見た断面図である。
第４実施形態においては、図６Ａおよび図６Ｂに示すように、隔壁部５ａの、インペラ１に対向する面に多数の溝２０Ｅが形成されている。さらに、溝２０Ｅは円形の凹部であり、中心軸Ｘを中心とした複数の仮想円の各円周方向に等間隔に形成されている。各仮想円の間隔も等しく設定されている。
その他の構成については第１実施形態と同じである。
【００５６】
第４実施形態においても、モータ部３内の圧力がガス送風部２内の圧力よりも低くなるようにモータ部３の内部空間を排気している。その結果、ガス送風部２内のガスの一部が、隔壁部５ａとインペラ１との間の隙間を流通して、軸シール１３に在る隙間からモータ部３内へ流入する。そして、ガス送風部２内に粒子状の異物が発生した場合には、異物は、軸シール１３に向かって隔壁部５ａとインペラ１との間の隙間を移動することがある。
このとき、隔壁部５ａの、インペラ１に対向する面には多数の溝２０Ｅが異物の移動経路に対して一様に散在しているため、異物は多数の溝２０Ｅにより捕捉される。
第１実施形態に対して、異物を捕捉する溝が多いため、異物が軸シール１３に在る隙間に侵入する危険性を一層低減することができる。その結果、第１実施形態よりも軸シール１３の信頼性が高まる。
【００５７】
（第５実施形態）
次に、第５実施形態について説明する。ここでは、第１実施形態に対して異なる点のみを説明することとする。
図７Ａは第５実施形態の送風機１００Ｅを示す断面図、図７Ｂは図７Ａ中のＥ−Ｅ線に沿って見た断面図である。
第５実施形態においては、図７Ａおよび図７Ｂに示すように、隔壁部５ａの、インペラ１に対向する面にグリッド部２１が配置されている。さらに、隔壁部５ａの、インペラ１に対向する面には、グリッド部２１を保持するための一つの溝２０Ｆが形成されている。溝２０Ｆは中心軸Ｘを中心として環状に形成されている。その他の構成については第１実施形態と同じである。
【００５８】
第５実施形態においても、モータ部３内の圧力がガス送風部２内の圧力よりも低くなるようにモータ部３の内部空間を排気している。その結果、ガス送風部２内のガスの一部が、隔壁部５ａとインペラ１との間の隙間を流通して、軸シール１３に在る隙間からモータ部３内へ流入する。そして、ガス送風部２内に粒子状の異物が発生した場合には、異物は、軸シール１３に向かって隔壁部５ａとインペラ１との間の隙間を移動することがある。
このとき、隔壁部５ａの、インペラ１に対向する面にはグリッド部２１を保持する溝２０Ｆが存在しているため、異物は、グリッド部２１の多数の網目により捕捉される。
第１実施形態に対して、多数の網目により異物を捕捉できるため、異物が軸シール１３に在る隙間に侵入する危険性を一層低減することができる。その結果、第１実施形態よりも軸シール１３の信頼性が高まる。なお、溝２０Ｆが隔壁部５ａに形成されておらず、グリッド部２１がインペラ１と隔壁部５ａとの間に配置されていてもよい。
【００５９】
（第６実施形態）
次に、第６実施形態について説明する。ここでは、第１実施形態に対して異なる点のみを説明することとする。
図８は第６実施形態の送風機１００Ｆを示す断面図である。
第６実施形態においては、図８に示すように、隔壁部５ａの、インペラ１に対向する面に溝２０Ｇが形成されている。溝２０Ｇは第１実施形態と同様に、軸シール１３を取囲む環状の溝である。さらに、溝２０Ｇは第１実施形態と同様に、中心軸Ｘを中心として同心円状に形成されている（図２参照）。
【００６０】
さらに、第６実施形態においては、溝２０Ｇが、
ｒ２＜ｒ１、  ｈ１＜ｈ２、  ｒ１・ｈ１＜ｒ２・ｈ２  の関係式を満たすように形成されている。
ここで、ｒ１は、回転軸Ｘと環状の溝２０Ｇの外周側側面との間の距離である。ｒ２は、回転軸Ｘと環状の溝２０Ｇの内周側側面との間の距離である。ｈ１は、インペラ１と隔壁部５ａとの間の距離である。そして、ｈ２は、インペラ１の、隔壁部５ａに対向する面と、溝２０Ｇの底面との間の距離である。
その他の構成については第１実施形態と同じである。
【００６１】
第６実施形態においても、モータ部３内の圧力がガス送風部２内の圧力よりも低くなるようにモータ部３の内部空間を排気している。その結果、ガス送風部２内のガスの一部が、隔壁部５ａとインペラ１との間の隙間を流通して、軸シール１３に在る隙間からモータ部３内へ流入する。そして、ガス送風部２内に粒子状の異物が発生した場合には、異物は、軸シール１３に向かって隔壁部５ａとインペラ１との間の隙間を移動することがある。
このとき、隔壁部５ａとインペラ１との間の隙間に関しては、溝２０Ｇが形成された所は他の所よりも広くなっている。この結果、溝２０Ｇにおけるガスの流速は、隔壁部５ａとインペラ１との間の隙間を通過するガスの流速よりも遅くなる。したがって、異物１６が隔壁部５ａとインペラ１との間の隙間を移動する際に異物１６は溝２０Ｇ内に入りやすい。
【００６２】
以上の作用を十分に発揮させて異物１６を軸シール１３に到達しにくくするには、ガスの流れにおいて上流となる溝外周側において隔壁部とインペラとが形成するガス流路面積（２π・ｒ１・ｈ1）よりも、下流となる溝内周側において溝底面とインペラとが形成するガス流路面積（２π・ｒ２・ｈ２）を大きくすることが望ましい。
そのため、溝２０Ｇは、
ｒ２＜ｒ１、  ｈ１＜ｈ２、  および  ｒ１・ｈ１＜ｒ２・ｈ２  の関係式を満たすように形成されているとよい。
【００６３】
なお、第６実施形態においては、第１実施形態と同様に形成された溝２０Ｇに上記の関係式を適用する例を示した。しかし、上記の関係式は、第２実施形態および第３実施形態において説明した少なくとも一つの溝においても適用可能である。
【００６４】
（第７実施形態）
次に、第７実施形態について説明する。ここでは、第１実施形態に対して異なる点のみを説明することとする。
図９は第７実施形態の送風機１００Ｇを示す断面図である。
第７実施形態においては、図９に示すように、隔壁部５ａの、インペラ１に対向する面に溝２０Ｈが形成されている。溝２０Ｈは第１実施形態と同様に形成されている。つまり、溝２０Ｈは軸シール１３を取囲む環状の溝である。
さらに、第７実施形態においては、溝２０Ｈの内壁面に粘着剤２２が配置されている。その他の構成については第１実施形態と同じである。
【００６５】
第７実施形態においても、モータ部３内の圧力がガス送風部２内の圧力よりも低くなるようにモータ部３の内部空間を排気している。その結果、ガス送風部２内のガスの一部が、隔壁部５ａとインペラ１との間の隙間を流通して、軸シール１３に在る隙間からモータ部３内へ流入する。そして、ガス送風部２内に粒子状の異物が発生した場合には、異物は、軸シール１３に向かって隔壁部５ａとインペラ１との間の隙間を移動することがある。
このとき、隔壁部５ａの、インペラ１に対向する面には異物の移動経路を横切るように溝２０Ｈが存在しているため、異物は溝２０Ｈ内に入る。さらに、溝２０Ｈの内壁面には粘着剤２２が配置されているため、溝２０Ｈ内に入った異物は粘着剤２２によって確実に捕捉される。
このように異物が粘着剤２２により確実に捕捉されるため、第１実施形態に対して、異物が軸シール１３に在る隙間に侵入する危険性を一層低減することができる。その結果、第１実施形態よりも軸シール１３の信頼性が高まる。
【００６６】
なお、第７実施形態においては、第１実施形態と同様に形成された溝２０Ｈに粘着剤２２を適用した例を示した。しかし、粘着剤２２は、第２実施形態から第６実施形態において説明した溝の内壁面に配置されてもよい。
【００６７】
（第８実施形態）
次に、第８実施形態について説明する。ここでは、第１実施形態に対して異なる点のみを説明することとする。
図１０は第８実施形態の送風機１００Ｈを示す断面図である。
第８実施形態においては、図１０に示すように、隔壁部５ａの、インペラ１に対向する面に溝２０Ｉが形成されている。溝２０Ｉは第１実施形態と同様に形成されている。つまり、溝２０Ｉは軸シール１３を取囲む環状の溝である。
さらに、第８実施形態においては、溝２０Ｉ内に透過式のフォトカプラ２３が配置されている。送風機１００Ｈは、透過式のフォトカプラ２３から出力される信号に基づいて送風機１００Ｈの動作を制御する制御装置２４を備えている。
【００６８】
透過式のフォトカプラ２３は、発光部２３ａと、発光部２３ａからの光Ｌを受光する受光部２３ｂとを備える。フォトカプラ２３の発光部２３ａは溝２０Ｉの一側に固定され、フォトカプラ２３の受光部２３ｂは溝２０Ｉの他側に固定されている。図１０に示されるような発光部２３ａから受光部２３ｂへ向かう光Ｌが遮断されたとき、フォトカプラ２３は制御装置２４に信号を送信するようにされている。さらに、フォトカプラ２３の発光部２３ａおよび受光部２３ｂは、溝２０Ｉの底面を基準とした所定の高さに配置されている。その他の構成については第１実施形態と同じである。
【００６９】
第８実施形態においても、モータ部３内の圧力がガス送風部２内の圧力よりも低くなるようにモータ部３の内部空間を排気している。その結果、ガス送風部２内のガスの一部が、隔壁部５ａとインペラ１との間の隙間を流通して、軸シール１３に在る隙間からモータ部３内へ流入する。そして、ガス送風部２内に粒子状の異物が発生した場合には、異物は、軸シール１３に向かって隔壁部５ａとインペラ１との間の隙間を移動することがある。
このとき、隔壁部５ａの、インペラ１に対向する面には異物の移動経路を横切るように溝２０Ｉが存在しているため、異物は溝２０Ｉ内に入る。
そして、溝２０Ｉ内に複数の異物が堆積して所定の量または高さに達したとき、フォトカプラ２３の光Ｌが遮断されて、フォトカプラ２３は制御装置２４に信号を送信する。それにより、例えば、制御装置２４は、ロータ９の回転を停止させて、異物の除去を使用者に促すアラームを出力する。
【００７０】
このように所定の量の異物が溝２０Ｉ内に溜まったことを検出できるため、第１実施形態に対して、異物が軸シール１３に在る隙間に侵入する危険性を一層低減することができる。その結果、第１実施形態よりも軸シール１３の信頼性が高まる。
【００７１】
なお、第８実施形態においては、第１実施形態と同様に形成された溝２０Ｉに透過式のフォトカプラ２３を適用した例を示した。しかし、透過式のフォトカプラ２３は、第２実施形態から第７実施形態において説明した溝のいずれかに適用されてもよい。
【００７２】
（第９実施形態）
次に、第９実施形態について説明する。ここでは、第１実施形態に対して異なる点のみを説明することとする。
図１１は第９実施形態の送風機１００Ｉを示す断面図である。
第９実施形態においては、図１１に示すように、隔壁部５ａの、インペラ１に対向する面に溝２０Ｊが形成されている。溝２０Ｊは第１実施形態と同様に形成されている。つまり、溝２０Ｊは軸シール１３を取囲む環状の溝である。
さらに、第９実施形態においては、溝２０Ｊの底部に反射式のフォトカプラ２５が配置されている。送風機１００Ｉは、反射式のフォトカプラ２５から出力される信号に基づいて送風機１００Ｈの動作を制御する制御装置２４を備えている。
【００７３】
反射式のフォトカプラ２５は、溝２０Ｊの底部からインペラ１の方に向けて光Ｌを発光する発光部２５ａと、光Ｌを受光する受光部２５ｂとを備える。図１１に示されるような発光部２５ａから受光部２５ｂへ戻る光Ｌを受光部が検知できなくなったとき、フォトカプラ２５は制御装置２４に信号を送信するようにされている。
【００７４】
さらに、反射式のフォトカプラ２５においては、受光部の感度、すなわち、受光部が検知できる光Ｌの光量を調節することができる。溝２０Ｊの底部上に堆積する異物の量が増加するほど、発光部２５ａから受光部２５ｂに戻る光Ｌの光量は減少する。したがって、受光部が検知できる光Ｌの光量を設定することにより、溝２０Ｊ内の異物が所定の量または高さに達したか否かを検知することができる。
その他の構成については第１実施形態と同じである。
【００７５】
第９実施形態においても、モータ部３内の圧力がガス送風部２内の圧力よりも低くなるようにモータ部３の内部空間を排気している。その結果、ガス送風部２内のガスの一部が、隔壁部５ａとインペラ１との間の隙間を流通して、軸シール１３に在る隙間からモータ部３内へ流入する。そして、ガス送風部２内に粒子状の異物が発生した場合には、異物は、軸シール１３に向かって隔壁部５ａとインペラ１との間の隙間を移動することがある。
このとき、隔壁部５ａの、インペラ１に対向する面には異物の移動経路を横切るように溝２０Ｊが存在しているため、異物は溝２０Ｊ内に入る。
そして、溝２０Ｊ内に複数の異物が堆積して所定の量または高さに達したとき、フォトカプラ２５の発光部２５ａから受光部２５ｂへ戻る光Ｌを受光部が検知できなくなり、フォトカプラ２５は制御装置２４に信号を送信する。それにより、例えば、制御装置２４は、ロータ９の回転を停止させて、異物の除去を使用者に促すアラームを出力する。
【００７６】
このように所定の量の異物が溝２０Ｊ内に溜まったことを検出できるため、第１実施形態に対して、異物が軸シール１３に在る隙間に侵入する危険性を一層低減することができる。その結果、第１実施形態よりも軸シール１３の信頼性が高まる。
【００７７】
なお、第９実施形態においては、第１実施形態と同様に形成された溝２０Ｊに反射式のフォトカプラ２５を適用した例を示した。しかし、反射式のフォトカプラ２５は、第２実施形態から第７実施形態において説明した溝のいずれかに適用されてもよい。
【００７８】
（第１０実施形態）
次に、第１０実施形態について説明する。ここでは、第１実施形態に対して異なる点のみを説明することとする。
図１２は第１０実施形態の送風機１００Ｊを示す断面図である。
第１０実施形態は、第８実施形態（図１０参照）において説明した溝２０Ｉに対して、溝２０Ｉ内から異物１６を排出する異物排出構造を備えている。この異物排出構造は、図１２に示されるように、溝２０Ｉ内の異物１６を送風機１００Ｊ外に排出する排出路２６を有する。排出路２６は、溝２０Ｉの底部から送風機１００Ｊ外へ、ガス送風部２とモータ部３とを仕切る隔壁部５ａの内部を通るようにして形成されている。さらに、排出路２６の出口には排気装置、例えば排気ポンプ（不図示）が接続されている。
【００７９】
第１０実施形態においても、モータ部３内の圧力がガス送風部２内の圧力よりも低くなるようにモータ部３の内部空間を排気している。その結果、ガス送風部２内のガスの一部が、隔壁部５ａとインペラ１との間の隙間を流通して、軸シール１３に在る隙間からモータ部３内へ流入する。そして、ガス送風部２内に粒子状の異物が発生した場合には、異物１６は、軸シール１３に向かって隔壁部５ａとインペラ１との間の隙間を移動することがある。
このとき、隔壁部５ａの、インペラ１に対向する面には異物１６の移動経路を横切るように溝２０Ｉが存在しているため、異物は溝２０Ｉ内に入る。
そして、溝２０Ｉ内に複数の異物が堆積して所定の量または高さに達したとき、フォトカプラ２３の光Ｌが遮断されて、フォトカプラ２３は制御装置２４に信号を送信する。それにより、制御装置２４は、排気ポンプ（不図示）を作動させる。排気ポンプにより排出路２６内の空気が排出されるため、溝２０Ｉ内に在る異物１６も排出路２６を通って送風機１００Ｊ外へ排出される。
【００８０】
このように所定の量の異物１６が溝２０Ｉ内に溜まったことを検出し、溝２０Ｉ内の異物を送風機１００Ｊ外へ排出できるため、第１実施形態に対して、異物が軸シール１３に在る隙間に侵入する危険性を一層低減することができる。その結果、第１実施形態よりも軸シール１３の信頼性が高まる。
さらに、第８実施形態に対して、溝２０Ｉ内に溜まった異物１６の除去を簡単に行うことができる。また、排出路２６に排気ポンプを接続することにより、送風機１００Ｊを停止して使用者が溝２０Ｉ内の異物を除去する必要が無くなる。
【００８１】
なお、第１０実施形態においては、第８実施形態と同様に形成された溝２０Ｉに異物排出構造を適用した例を示した。しかし、異物排出構造は、第１実施形態から第７実施形態および第９実施形態において説明した溝のいずれかに適用されてもよい。
【００８２】
次に、第１０実施形態の送風機１００Ｊを適用したガスレーザ発振器について説明する。図１３は、図１２に示される送風機１００Ｊが適用されたガスレーザ発振器を示す模式図である。
図１３に示されるガスレーザ発振器は、出力すべきレーザ光を共振させるための共振器部３０を備える。共振器部３０は、レーザガスを収容し、放電によってレーザガスを励起してレーザ光を放出する軸形の放電部３１を有する。レーザガスは、例えば、おもに二酸化炭素と窒素とヘリウムとからなる混合気体である。この放電部３１は、例えば、２本の放電管３１ａ、３１ｂを直列に接続して構成されている。
【００８３】
放電部３１の軸方向の両端となる位置にそれぞれ出力鏡（半反射鏡）３２とリア鏡（全反射鏡）３３とが配置されている。出力鏡３２およびリア鏡３３は高精度に位置決めされている。
放電管３１ａ、３１ｂにはそれぞれ高周波電源３４ａ、３４ｂが接続されている。高周波電源３４ａ、３４ｂにより高周波の電力を各放電管３１ａ、３１ｂ内の電極間に印加することにより、各放電管３１ａ、３１ｂ内の電極間のレーザガスを放電させる。レーザガスを放電により励起すると、各放電管３１ａ、３１ｂの長軸方向にレーザ光が放出される。このレーザ光が出力鏡３２とリア鏡３３との間で反射を繰返して増幅されるとともに、出力鏡３２を透過して共振器部３０の外へ出力される。出力されたレーザ光は金属加工や樹脂加工などに利用される。
【００８４】
各放電管３１ａ、３１ｂにはそれぞれレーザガス流路３５ａ、３５ｂが接続されている。レーザガス流路３５ａは、放電管３１ａ、３１ｂ間を連通する連通部３６から第１熱交換器３７、送風機１００Ｊ、および第２熱交換器３８を順次経由して放電部３１の一端部３９に至る流路である。一方、レーザガス流路３５ｂは、放電管３１ａ、３１ｂ間の連通部３６から第１熱交換器３７、送風機１００Ｊ、および第２熱交換器３８を順次経由して放電部３１の他端部３０に至る流路である。なお、図１３では、レーザガスが流れる方向の理解を容易にするため、レーザガス流路３５ａ、３５ｂ内に白抜き矢印Ｑを描いてある。
【００８５】
また、レーザガス流路３５ｂには、レーザガスが充填されたガスボンベ４１が接続されている。ガスボンベ４１とレーザ流路３５ｂとを連通する流路には止め弁４２および流量調整弁４３が設けられている。これに対し、レーザガス流路３５ａには、排気ポンプ４４が接続されている。排気ポンプ４４とレーザ流路３５ａとを連通する流路には止め弁４５および流量調整弁４６が設けられている。
【００８６】
レーザガス流路３５ａ、３５ｂにおいて、送風機１００Ｊを作動させることにより、各放電管３１ａ、３１ｂ内のレーザガスは各放電管３１ａ、３１ｂから排出され、第１熱交換器３７により冷却される。さらに、第１熱交換器３７を通過したレーザガスは、送風機１００Ｊにより各放電管３１ａ、３１ｂ内に還流する。送風機１００Ｊを通過するときにレーザガスは圧縮されて該レーザガスの温度が上昇する。このため、送風機１００Ｊを通過したレーザガスを第２熱交換器３８により冷却している。以上の構成により、各放電管３１ａ、３１ｂ内のレーザガスをレーザガス流路３５ｂ、３５ｂにより循環させながら、レーザガスを冷却している。
【００８７】
さらに、送風機１００Ｊのモータ部３の内部空間を排気するための排気口５ｂは、前述の排気ポンプ４４に接続されている。排気口５ｂと排気ポンプ４４とを連通する流路には、固定オリフィスからなる流量制御弁４７が設けられている。流量制御弁４７は、モータ部３内の潤滑オイルが排気口５ｂより排出されないように、排気流量を制御している。
【００８８】
異物を排出する排出路２６もまた、排気ポンプ４４に接続されている。そして、排気路２６と排気ポンプ４４とを連通する流路には止め弁４８およびフィルタ４９が設けられている。フィルタ４９により、排出路２６から排出された異物が排気ポンプ４４に侵入することを防止している。
【００８９】
なお、図１３に示したガスレーザ発振器においては、第１実施形態から第９実施形態において説明した送風機のいずれかを、第１０実施形態の送風機１００Ｊの代わりに適用してもよい。
【００９０】
以上、ガスレーザ発振器に適用可能な送風機を例にして本発明を説明したが、本発明の送風機はガスレーザ発振器への適用に限定されず、圧縮機、ガスタービン、あるいは真空ポンプにも適用できる。
また、上述した各実施形態では、モータ部３内の圧力がガス送風部２内の圧力よりも低くなるようにモータ部３の内部空間を排気している送風機を例にしているが、本発明は、モータ部３内の排気を必要とするものに限定されない。つまり、本発明は、回転軸部と、回転軸部が貫通する貫通孔が形成された壁部との間に非接触式の軸シールを配置する構造を備え、そのような構造により、当該軸シールの隙間にガスが流通する可能性が有るものすべてに適用できる。
【００９１】
また、以上では典型的な実施形態を示したが、本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の思想を逸脱しない範囲で上述の実施形態を様々な形、構造や材料などに変更可能である。
【符号の説明】
【００９２】
１００Ａ〜１００Ｊ    送風機
１    インペラ
２    ガス送風部
３    モータ部
４    ガス送風部のケーシング
４ａ    吸込口
４ｂ、４ｃ    吐出口
５    モータ部のケーシング
５ａ    隔壁部
５ｂ    排気口
９    ロータ
９ａ    ロータの軸方向下端部
９ｂ    ロータの軸方向上端部
１０    ステータ
１１、１２    軸受部
１３    軸シール
１４    オイル溜り
１６    異物
２０Ａ〜２０Ｊ    溝
２１    グリッド部
２２    粘着剤
２３    透過式のフォトカプラ
２３ａ、２５ａ    発光部
２３ｂ、２５ｂ    受光部
２４    制御装置
２５    反射式のフォトカプラ
２６    排出路
３０    共振器部
３１    放電部
３１ａ、３１ｂ    放電管
３２    出力鏡
３３    リア鏡
３４ａ、３４ｂ    高周波電源
３５ａ、３５ｂ    レーザガス流路
３６    放電管間の連通部
３７    第１熱交換器
３８    第２熱交換器
３９    放電部の一端部
４０    放電部の他端部
４１    ガスボンベ
４２、４５、４８    止め弁
４３、４６    流量調整弁
４４    排気ポンプ
４７    流量制御弁
４９    フィルタ
【図１】
2016183578.tif 000003
【図２】
2016183578.tif 000004
【図３】
2016183578.tif 000005
【図４Ａ】
2016183578.tif 000006
【図４Ｂ】
2016183578.tif 000007
【図５Ａ】
2016183578.tif 000008
【図５Ｂ】
2016183578.tif 000009
【図６Ａ】
2016183578.tif 000010
【図６Ｂ】
2016183578.tif 000011
【図７Ａ】
2016183578.tif 000012
【図７Ｂ】
2016183578.tif 000013
【図８】
2016183578.tif 000014
【図９】
2016183578.tif 000015
【図１０】
2016183578.tif 000016
【図１１】
2016183578.tif 000017
【図１２】
2016183578.tif 000018
【図１３】
2016183578.tif 000019
【図１４】
2016183578.tif 000020
【図１５】
2016183578.tif 000021