(57)【要約】【課題】加工効率を向上できるワイヤーソーを提供する。【解決手段】加工液Ｓを貯留して被加工物Ｗが浸漬される加工槽４と、表面に砥粒２１が固着されたワイヤー２とを備え、ワイヤー２の往復移動により被加工物Ｗを切断するワイヤーソー１において、ワイヤー２に付着した加工屑を加工槽４内で除去する超音波発生装置１０（加工屑除去部）を設けた。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工液を貯留して被加工物が浸漬される加工槽と、表面に砥粒が固着されたワイヤーとを備え、前記ワイヤーの往復移動により被加工物を切断するワイヤーソーにおいて、
前記ワイヤーに付着した加工屑を前記加工槽内で除去する加工屑除去部を設けたことを特徴とするワイヤーソー。
【請求項２】
前記加工屑除去部が前記ワイヤーと被加工物との接触部に向けて超音波を射出する射出部を有することを特徴とする請求項１に記載のワイヤーソー。
【請求項３】
前記加工槽内の加工液を脱気する脱気部を設けたことを特徴とする請求項２に記載のワイヤーソー。
【請求項４】
前記加工屑除去部が、前記加工槽内の加工液を循環させる循環経路と、前記循環経路に接続して前記ワイヤーと被加工物との接触部に向けて加工液の液流を射出する射出部とを有することを特徴とする請求項１に記載のワイヤーソー。
【請求項５】
前記加工槽内の加工屑を濾過する濾過部を前記循環経路内に設けたことを特徴とする請求項４に記載のワイヤーソー。
【請求項６】
前記射出部を複数有し、前記ワイヤーの上方及び下方からそれぞれ前記接触部に向けて配置されることを特徴とする請求項２〜請求項５のいずれかに記載のワイヤーソー。
【請求項７】
前記ワイヤーの上下移動によって被加工物が切断され、前記射出部が前記加工槽内で前記ワイヤーとともに上下移動することを特徴とする請求項２〜請求項６のいずれかに記載のワイヤーソー。
【請求項８】
被加工物の上下移動によって被加工物が切断され、前記射出部が前記加工槽内に固定されることを特徴とする請求項２〜請求項６のいずれかに記載のワイヤーソー。
【請求項９】
加工液を貯留して被加工物が浸漬される加工槽と、表面に砥粒が固着されたワイヤーとを備え、前記ワイヤーの往復移動により被加工物を切断する切断方法において、
超音波または加工液の液流を前記ワイヤーと被加工物との接触部に向けて射出し、前記ワイヤーに付着した加工屑を前記加工槽内で除去することを特徴とする切断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワイヤーの往復運動により被加工物を切断するワイヤーソー及び切断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のワイヤーソーは特許文献１に開示されている。このワイヤーソーは加工液を貯留して被加工物が浸漬される加工槽と、表面に砥粒が固着されたワイヤーとを備える。被加工物に押し当てられたワイヤーの往復運動により被加工物は切断される。この時、被加工物は加工液に浸漬されているため、ワイヤーと被加工物との接触部で生じる摩擦熱による被加工物の温度上昇を低減することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１３９８１０号公報（第４頁、第３図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来のワイヤーソーによると、ワイヤーの砥粒間には隙間があるため、被加工物の加工屑がこの隙間に詰まりやすい。このため、ワイヤーの表面の凹凸が少なくなり、ワイヤーソーの加工効率が低下する問題があった。
【０００５】
本発明は加工効率を向上できるワイヤーソー及び切断方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために本発明は、加工液を貯留して被加工物が浸漬される加工槽と、表面に砥粒が固着されたワイヤーとを備え、前記ワイヤーの往復移動により被加工物を切断するワイヤーソーにおいて、前記ワイヤーに付着した加工屑を前記加工槽内で除去する加工屑除去部を設けたことを特徴としている。
【０００７】
また本発明は、上記構成のワイヤーソーにおいて、前記加工屑除去部が前記ワイヤーと被加工物との接触部に向けて超音波を射出する射出部を有すると好ましい。
【０００８】
また本発明は、上記構成のワイヤーソーにおいて、前記加工槽内の加工液を脱気する脱気部を設けると好ましい。
【０００９】
また本発明は、上記構成のワイヤーソーにおいて、前記加工屑除去部が、前記加工槽内の加工液を循環させる循環経路と、前記循環経路に接続して前記ワイヤーと被加工物との接触部に向けて加工液の液流を射出する射出部とを有すると好ましい。
【００１０】
また本発明は、上記構成のワイヤーソーにおいて、前記加工槽内の加工屑を濾過する濾過部を前記循環経路内に設けると好ましい。
【００１１】
また本発明は、上記構成のワイヤーソーにおいて、前記射出部を複数有し、前記ワイヤーの上方及び下方からそれぞれ前記接触部に向けて配置されると好ましい。
【００１２】
また本発明は、上記構成のワイヤーソーにおいて、前記ワイヤーの上下移動によって被加工物が切断され、前記射出部が前記加工槽内で前記ワイヤーとともに上下移動すると好ましい。
【００１３】
また本発明は、上記構成のワイヤーソーにおいて、被加工物の上下移動によって被加工物が切断され、前記射出部が前記加工槽内に固定されると好ましい。
【００１４】
また本発明は、加工液を貯留して被加工物が浸漬される加工槽と、表面に砥粒が固着されたワイヤーとを備え、前記ワイヤーの往復移動により被加工物を切断する切断方法において、超音波または加工液の液流を前記ワイヤーと被加工物との接触部に向けて射出し、前記ワイヤーに付着した加工屑を前記加工槽内で除去することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のワイヤーソーによると、ワイヤーに付着した加工屑を加工槽内で除去する加工屑除去部を設けている。これにより、ワイヤーの砥粒間の隙間への加工屑の詰まりを防止することができる。したがって、ワイヤーソーの加工効率を向上させることができる。
【００１６】
また本発明の切断方法によると、超音波または加工液の液流をワイヤーと被加工物との接触部に向けて射出し、ワイヤーに付着した加工屑を加工槽内で除去する。これにより、ワイヤーの砥粒間の隙間への加工屑の詰まりを防止することができる。したがって、ワイヤーソーの加工効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１実施形態のワイヤーソーを示す側面断面図
【図２】本発明の第１実施形態のワイヤーソーの超音波ホーン移動部を示す平面図
【図３】本発明の第１実施形態のワイヤーソーの超音波ホーン移動部を示す側面図
【図４】本発明の第１実施形態のワイヤーソーのワイヤーによる被加工物の切断箇所を拡大した斜視図
【図５】本発明の第２実施形態のワイヤーソーの要部を示す側面断面図
【図６】本発明の第３実施形態のワイヤーソーを示す側面断面図
【発明を実施するための形態】
【００１８】
＜第１実施形態＞
以下に本発明の実施形態を図面を参照して説明する。図１は第１実施形態のワイヤーソーの側面断面図を示している。ワイヤーソー１はワイヤー２、ワイヤー往復移動機構３、加工槽４及び超音波発生装置１０（加工屑除去部）を有する。
【００１９】
ワイヤー２は例えば線径０．５ｍｍ以下のピアノ線等から成り、表面に例えばダイヤモンドの砥粒２１（図４参照）が固着されている。ワイヤー２はワイヤー往復移動機構３により矢印Ｒ１で示すように往復移動を行って被加工物Ｗを切断する。なお、ワイヤー２の表面に固着される砥粒はダイヤモンド以外の砥粒でもよい。
【００２０】
ワイヤー往復移動機構３は、ワイヤーリール３１、ガイドローラー３２、ダンサローラー３３及びグルーブローラー３４ａ、３４ｂ、３４ｃを有する。加工槽４を挟む一対のワイヤーリール３１は一本のワイヤー２で接続され、それぞれワイヤー２を巻回している。両方のワイヤーリール３１にはそれぞれモータ３９が接続され、モータ３９の駆動により一方のワイヤーリール３１からワイヤー２が引き出されて他方のワイヤーリール３１に巻き取られる。
【００２１】
ガイドローラー３２はワイヤーリール３１から引き出されたワイヤー２をダンサローラー３３及びグルーブローラー３４ａ、３４ｂ、３４ｃに案内する。ダンサローラー３３はダンサ装置３５に接続されている。ダンサ装置３５はモータ３５ａ及び支持アーム３５ｂを有し、支持アーム３５ｂの一端はモータ３５ａに接続されるとともに他端はダンサローラー３３の軸部（不図示）に接続される。モータ３５ａの駆動により支持アーム３５ｂが上下方向で回動してダンサローラー３３が上下方向で回動する。これにより、ワイヤー２の張力が調整される。ダンサローラー３３及びダンサ装置３５により、ワイヤー２の張力を調整する張力調整部が構成される。
【００２２】
グルーブローラー３４ａ、３４ｂ、３４ｃは表面に軸方向（図１において紙面に直交する方向）に所定周期で溝部（不図示）が凹設される。ワイヤー２は各溝部に配され、グルーブローラー３４ａ、３４ｂ、３４ｃ間に螺旋状に巻回されている。これにより、ワイヤーソー１は、グローブローラー３４ｂ、３４ｃ間のワイヤー２がグルーブローラー３４ｂ、３４ｃの軸方向で所定周期で配置されるマルチワイヤーソーになっている。また、グルーブローラー３４ａ、３４ｂ、３４ｃは上下移動機構（不図示）により上下移動できるように構成されている。グルーブローラー３４ａはグルーブローラー３４ｂ、３４ｃよりも上方に配置され、グルーブローラー３４ｂ、３４ｃの間の中央部に所定距離を隔てて対向している。これにより、グルーブローラー３４ａと切断中の被加工物Ｗとの接触を防止することができる。
【００２３】
加工槽４は上面を開口し、加工液Ｓを貯留して被加工物Ｗが浸漬される。加工槽４内の底面には被加工物Ｗを設置する設置部４１が設けられる。設置部４１はワイヤー２が接触すると回転する検知ローラー３８を有する。加工液Ｓとして例えば水、水性の研削液、油性の研削液等を用いることができる。被加工物Ｗに特に限定はないが、例えばシリコンのインゴットや、ガラス等のブロック等をあげることができる。
【００２４】
加工槽４の底壁には吸込口５１が開口し、加工槽４の両側壁にはそれぞれ吹出口５２ａ、５２ｂが開口する。吸込口５１と吹出口５２ａ、５２ｂとは循環経路５により連結される。循環経路５には吸込口５１から吹出口５２ａ、５２ｂに向かって順に濾過部６、ポンプ７、脱気部８が設けられる。循環経路５は脱気部８の下流側で分岐する第１分岐路５ａ及び第２分岐路５ｂを有する。第１分岐路５ａを介して吸込口５１と吹出口５２ａとが連通する。また、第２分岐路５ｂを介して吸込口５１と吹出口５２ｂとが連通する。
【００２５】
濾過部６は例えば循環経路５に対して着脱可能なフィルタ（不図示）を有し、ワイヤー２による被加工物Ｗの切断時に生じる加工屑を加工液Ｓ中から除去する。脱気部８は例えば中空糸膜（不図示）を有し、中空糸膜の中に加工液Ｓを流通させて中空糸膜の外側を例えば真空ポンプ等で減圧する。これにより、中空糸の壁面を介して加工液Ｓ中の溶存気体が減圧側に移動する。これにより、加工液Ｓ中の溶存気体が取り除かれる。
【００２６】
ポンプ７を駆動させると、加工槽４内の加工液Ｓが吸込口５１から循環経路５内に吸い込まれ、吹出口５２ａ、５２ｂから加工槽４内に送出される。これにより、加工槽４内の加工液Ｓが循環経路５を介して循環し、濾過部６により加工屑が除去される。
【００２７】
超音波発生装置１０は駆動部１１と、駆動部１１に接続された複数の超音波ホーン１２（射出部）とを有する。超音波ホーン１２には超音波発生素子（不図示）が内装され、駆動部１１の駆動により超音波発生素子で超音波が発生する。超音波ホーン１２はワイヤー２と被加工物Ｗとの接触部２２（図４参照）に向けて超音波（本実施形態では１５ｋＨｚ〜１ＭＨｚの超音波）を射出する。本実施形態では、超音波ホーン１２を１６個設け、グローブローラー３４ｂ、３４ｃ間のワイヤー２が延びる方向で被加工物Ｗを挟むように配される。この時、８個の超音波ホーン１２はワイヤー２よりも下方に配され、残り８個の超音波ホーン１２はワイヤー２よりも上方に配される。
【００２８】
図２及び図３は超音波ホーン１２を上下移動させる超音波ホーン移動部６０の平面図及び側面図をそれぞれ示している。なお、図２及び図３はグルーブローラー３４ｂ側の超音波ホーン移動部６０を示しているが、グローブローラー３４ｃ側にもグローブローラー３４ｂ側と同様のホーン移動部６０が設けられる。グルーブローラー３４ｂは軸部３４１ｂに軸支されている。ホーン移動部６０は軸部３４１ｂに設けられた支持部７０を有する。支持部７０は第１アーム部７１、第２アーム部７２及び第３アーム部７３を有する。
【００２９】
第１アーム部７１は軸部３４１ｂの両端から被加工物Ｗ側に向かって突出して延びる。第２アーム部７２は第１アーム部７１の先端から上下に向かって延びる。第３アーム部７３は両方の第２アーム部７２の上端を連結する上方連結部７３ａと、両方の第２アーム部７２の下端を連結する下方連結部７３ｂとを有する。上方連結部７３ａ及び下方連結部７３ｂはグルーブローラー３４ｂ、３４ｃ間のワイヤー２に対して上方及び下方にそれぞれ配される。上方連結部７３ａ及び下方連結部７３ｂの軸方向にそれぞれ４個の超音波ホーン１２が並設され、各超音波ホーン１２は上方連結部７３ａ及び下方連結部７３ｂに対して着脱可能になっている。これにより、グルーブローラー３４ａ、３４ｂ、３４ｃが上下移動すると、超音波ホーン１２はワイヤー２の上下移動とともに上下移動することができる。
【００３０】
上記構成のワイヤーソー１において、加工槽４の上面の開口を介して、被加工物Ｗが加工槽４内の設置部４１上に設置して固定される。また、被加工物Ｗは上面まで加工液Ｓ中に浸漬される。その後に、図１の左方のモータ３９を駆動すると、両方のワイヤーリール３１が時計回りに回転し、右方のワイヤーリール３１からワイヤー２が引き出されて左方のワイヤーリール３１に巻き取られる。所定時間経過後に左方のモータ３９を停止して右方のモータ３９を駆動させ、両方のワイヤーリール３１を反時計回りに回転させる。両方のモータ３９を交互に駆動させ、ワイヤーリール３１の回転方向を可変させることにより、ワイヤー２が矢印Ｒ１（図１参照）に示すように往復移動する。この時、ワイヤーリール３１の回転角が左右で異なり、ワイヤー２が徐々に一方のワイヤーリール３１に巻き取られる。
【００３１】
また、グルーブローラー３４ａ、３４ｂ、３４ｃの下降によりグルーブローラー３４ｂ、３４ｃ間のワイヤー２及び超音波ホーン１２が下降し、被加工物Ｗの上面の所定位置にワイヤー２が接触して被加工物Ｗの切断が行われる。この時、被加工物Ｗは加工槽４内の加工液Ｓに浸漬されている。これにより、往復移動するワイヤー２と被加工物Ｗとの間に生じる摩擦熱による被加工物Ｗの温度上昇を低減することができる。
【００３２】
図４は被加工物Ｗの切断箇所を拡大した斜視図を示している。ワイヤー２による被加工物Ｗの切断時に超音波発生装置１０の駆動部１１が駆動され、超音波ホーン１２からワイヤー２と被加工物Ｗとの接触部２２に向けて超音波ＵＷが射出される。これにより、加工溝Ｇ内に堆積する被加工物Ｗの加工屑や、ワイヤー２の砥粒２１間の隙間に詰まった被加工物Ｗの加工屑を除去することができる。したがって、ワイヤー２の表面の凹凸を確実に確保し、ワイヤーソー１の加工効率を向上させることができる。
【００３３】
また、ワイヤー２による被加工物Ｗの切断時にポンプ７が駆動され、加工槽４内の加工液Ｓが吸込口５１を介して循環経路５内に吸い込まれる。循環経路５内に吸い込まれた加工液Ｓ中の加工屑は濾過部６で除去される。その後、脱気部８により加工液Ｓ中の溶存気体は取り除かれる。脱気部８で脱気された加工液Ｓは第１分岐路５ａ及び第２分岐路５ｂを流通し、それぞれ吹出口５２ａ、５２ｂから加工槽４内に送出される。
【００３４】
これにより、加工槽４内の加工液Ｓ中の加工屑を除去することができる。また、加工液Ｓを脱気するため、超音波により加工液Ｓ中に小さな真空の空洞（キャビテ−ション）を容易に発生させることができる。この空洞が押しつぶされるときに発生する衝撃波によりワイヤー２の表面に付着している加工屑を容易に剥離させることができる。したがって、ワイヤーソー１の加工効率を一層向上させることができる。
【００３５】
往復移動するワイヤー２が検知ローラー３８に接触すると、検知ローラー３８が回転する。検知ローラー３８の回転が検出されると、モータ３９が停止する。これにより、ワイヤー２の往復移動が停止される。この時、上下移動機構、ポンプ７、脱気部８の真空ポンプ、超音波発生装置１０の駆動も停止される。これにより、ワイヤーソー１による被加工物Ｗの切断が終了する。
【００３６】
本実施形態によると、ワイヤー２に付着した加工屑を加工槽４内で除去する超音波発生装置１０（加工屑除去部）を設けている。これにより、ワイヤー２上の砥粒２１間の隙間への加工屑の目詰まりを防止することができる。したがって、ワイヤーソー１の加工効率を向上させることができる。
【００３７】
また、ワイヤー２と被加工物Ｗとの接触部２２に向けて超音波を射出する超音波ホーン１２（射出部）を有する。これにより、接触部２２に確実に超音波を到達させることができ、ワイヤーソー１の加工効率を一層向上させることができる。また、複数の超音波ホーン１２を備えているため、グルーブローラー３４ｂ、３４ｃ間の複数列のワイヤー２に付着した加工屑を容易に除去することができる。
【００３８】
また、加工槽４内の加工液Ｓを脱気する脱気部８を設けている。これにより、キャビテ−ションを発生させてワイヤー２に付着した加工屑を一層容易に除去することができる。
【００３９】
また、超音波ホーン１２を複数有し、ワイヤー２の上方及び下方からそれぞれ接触部２２に向けて配置される。これにより、ワイヤー２の上方の超音波ホーン１２によって加工溝Ｇに堆積する加工屑を容易に除去することができる。また、ワイヤー２の下方の超音波ホーン１２によって加工溝Ｇの底面上を摺動するワイヤー２の表面に向けて超音波を射出し、砥粒２１間の加工屑を確実に除去することができる。
【００４０】
また、ワイヤー２の上下移動によって被加工物Ｗが切断され、超音波ホーン１２が加工槽４内でワイヤー２とともに上下移動する。これにより、接触部２２に向けて超音波を確実に射出することができる。
【００４１】
＜第２実施形態＞
次に本発明の第２実施形態について説明する。図５は第２実施形態のワイヤーソー１の要部の側面断面図を示している。説明の便宜上、図１〜図４に示す第１実施形態と同様の部分には同一の符号を付している。本実施形態では、グルーブローラー３４ａ、３４ｂ、３４ｃを上下移動させずに（グルーブローラー３４ｂ、３４ｃ間のワイヤー２を上下移動させずに）、被加工物Ｗを上下移動させている点で第１実施形態とは異なっている。その他の部分は第１実施形態と同様である。
【００４２】
ワイヤーソー１は被加工物Ｗは昇降させる昇降装置２００を有する。昇降装置２００は被加工物Ｗを設置する設置部２０１と、設置部２０１に連結されて上下に延びるアーム部材２０２と、アーム部材２０２のラック（不図示）に連結されるピニオン（不図示）とを有する。ピニオンの回転によりアーム部材２０２が上下移動し、設置部２０１に設置される被加工物Ｗが上下移動する。この時、超音波ホーン１２はワイヤー２の上方及び下方からそれぞれ接触部２２に向けて加工槽４内に固定される。本実施形態でも第１実施形態と同様に、ワイヤーソー１の加工効率を向上させることができる。
【００４３】
＜第３実施形態＞
次に本発明の第３実施形態について説明する。図６は第３実施形態のワイヤーソーの側面断面図を示している。説明の便宜上、図１〜図４に示す第１実施形態と同様の部分には同一の符号を付している。本実施形態では超音波発生装置１０及び脱気部８を省き、超音波ホーン１２に替えて複数の射出ノズル５３を設けている点で第１実施形態とは異なっている。その他の部分は第１実施形態と同様である。
【００４４】
循環経路５の吹出口５２ａ、５２ｂには伸縮可能な可撓性のホース５４を介して射出ノズル５３（射出部）が接続されている。なお、上方の射出ノズル５３についてはホース５４の図示を省略している。射出ノズル５３は円錐台形状等の先端が絞られた形状で形成され、循環経路５を流通する加工液Ｓの液流をワイヤー２と被加工物Ｗとの接触部２２に向けて射出する。射出ノズル５３は第１実施形態の超音波ホーン１２と同様にグループローラー３４ｂ、３４ｃに支持され、グループローラー３４ｂ、３４ｃと一体に上下移動する。循環経路５及び射出ノズル５３により、ワイヤー２に付着した加工屑を加工槽４内で除去する加工屑除去部が構成される。
【００４５】
本実施形態によると、循環経路５に接続してワイヤー２と被加工物Ｗとの接触部２２に向けて加工液Ｓの液流を射出する射出ノズル５３（射出部）を有する。これにより、ワイヤー２の砥粒２１間の隙間への加工屑の詰まりを防止することができる。また、射出ノズル５３から射出された加工液Ｓの液流で被加工物Ｗの切断箇所から加工屑を吹き飛ばすことができる。したがって、加工屑の被加工物Ｗの切断箇所での滞留を一層容易に防止することができる。
【００４６】
また、加工槽４内の加工屑を濾過する濾過部６を循環経路５内に設けている。これにより、加工液Ｓ中の加工屑を容易に除去することができる。また、新たに加工液Ｓを供給することなく加工槽４内の加工液Ｓを用いながら、加工屑量が少ない液流を射出ノズル５３から射出することができる。
【００４７】
なお、第２実施形態において、さらに第１実施形態と同様の超音波発生装置１０を設けてもよい。これにより、超音波でワイヤー２に付着した加工屑を剥離させ、剥離した加工屑を射出ノズル５３から射出された加工液Ｓの液流で吹き飛ばすことができる。したがって、ワイヤーソー１の加工効率を一層向上させることができる。この場合、射出ノズル５３をワイヤー２の上方から接触部２２に向けて配置し、超音波ホーン１２をワイヤー２の下方から接触部２２に向けて配置してもよい。これにより、ワイヤー２により被加工物Ｗ上に形成された加工溝Ｇ（図４参照）に沿って加工液Ｓの液流を吹きかけることができ、切断箇所での加工屑の滞留を一層容易に防止することができる。
【００４８】
この場合、循環経路５内に脱気部８を設けてもよい。これにより、加工液Ｓ中にキャビテ−ションを発生させてワイヤー２上の砥粒２１間の隙間に詰まった加工屑を容易に除去することができる。
【００４９】
また、本実施形態において、被加工物Ｗが上下移動して切断を行い、射出ノズル５３を加工槽４内に固定してもよい。
【００５０】
なお、第１実施形態及び第２実施形態では、グローブローラー３４ｂ、３４ｃ間のワイヤー２がグルーブローラー３４ｂ、３４ｃの軸方向で所定周期で配置されるマルチワイヤーソーを例に説明したが、マルチワイヤーソーに替えて、グローブローラー３４ｂ、３４ｃ間のワイヤー２が１本になっているシングルワイヤーソーを用いてもよい。
【００５１】
また、第１、第２実施形態において、被加工物Ｗの上方から下方に向けてワイヤー２を移動させて被加工物Ｗを切断しているが、被加工物Ｗの下方から上方に向けてワイヤー２を移動させて被加工物Ｗを切断してもよい。また、被加工物Ｗを移動させる場合にも被加工物Ｗを上方から下方に向けて移動させて被加工物Ｗを切断してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明は、ワイヤーの往復運動により被加工物を切断するワイヤーソー及び切断方法に利用することができる。
【符号の説明】
【００５３】
１    ワイヤーソー
２    ワイヤー
３    ワイヤー往復移動機構
４    加工槽
５    循環経路
５ａ    第１分岐路
５ｂ    第２分岐路
６    濾過部
７    ポンプ
８    脱気部
１０    超音波発生装置（加工屑除去部）
１１    駆動部
１２    超音波ホーン（射出部）
２１    砥粒
２２    接触部
３１    ワイヤーリール
３２    ガイドローラー
３３    ダンサローラー
３４    グルーブローラー
４１    設置部
５１    吸込口
５２ａ、５２ｂ    吹出口
５３    射出ノズル（射出部）
Ｓ    加工液
Ｗ    被加工物
【図１】
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【図２】
2016155197.tif 000004
【図３】
2016155197.tif 000005
【図４】
2016155197.tif 000006
【図５】
2016155197.tif 000007
【図６】
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