(57)【要約】【課題】試料中の低濃度の不純物を高感度で検出する定量分析システムを提供する。【解決手段】本発明の定量分析システムは、試料を秤量するための計量器と、秤量した試料に含まれる元素を定量する分析装置とを含むものであって、分析装置は、試料を投入するための試料投入部を有し、定量分析システムは、試料投入部又は計量器のいずれか一方若しくは両方を囲うクリーンブースと、汚染成分及び微粉を除去した気体を、クリーンブース内に供給するクリーンエア供給部とを含むことを特徴とする。【選択図】図１
2016017665.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を秤量するための計量器と、秤量した前記試料に含まれる元素を定量する分析装置とを含む定量分析システムであって、
前記分析装置は、前記試料を投入するための試料投入部を有し、
前記定量分析システムは、
前記試料投入部又は前記計量器のいずれか一方若しくは両方を囲うクリーンブースと、
汚染成分及び微粉を除去した気体を、前記クリーンブース内に供給するクリーンエア供給部と、を含む、定量分析システム。
【請求項２】
前記クリーンエア供給部は、前記試料投入部又は前記計量器のいずれか一方若しくは両方の上部であって、かつ前記クリーンブースの上面に接している、請求項１に記載の定量分析システム。
【請求項３】
前記クリーンブースは、前記試料投入部又は前記計量器の両方を囲うものであり、
前記クリーンエア供給部は、前記試料投入部及び前記計量器の両方の上部であって、かつ前記クリーンブースの上面に接している、請求項１又は２に記載の定量分析システム。
【請求項４】
前記クリーンエア供給部は、汚染成分除去フィルター及び微粉塵除去フィルターを含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載の定量分析システム。
【請求項５】
前記試料投入部に投入される試料は、１０ｍｇ以上１００ｍｇ以下である請求項１〜４のいずれか一項に記載の定量分析システム。
【請求項６】
クリーンエア供給部によって汚染成分及び微粉を除去した気体を、クリーンブース内に供給する第１ステップと、
前記クリーンブース内の計量器で、試料を秤量する第２ステップと、
秤量した前記試料を、前記クリーンブース内の分析装置の試料投入部に投入する第３ステップと、を含む定量分析方法。
【請求項７】
前記第１ステップは、前記第２ステップ及び／又は前記第３ステップを実行中にも実行する請求項６に記載の定量分析方法。
【請求項８】
前記第３ステップにおいて、前記試料投入部に投入される試料は、１０ｍｇ以上１００ｍｇ以下である請求項６又は７に記載の定量分析方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハロゲン・硫黄の定量分析システム及び定量分析方法に関し、試料中のハロゲン・硫黄の濃度を高感度で測定するための定量分析システム及び定量分析方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬに用いられる有機半導体、又は、太陽電池材料においては、材料中に含まれるＦ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉ等のハロゲン元素並びに硫黄等の汚染成分、及び微粉（以下、これらを「不純物」とも記す）が極微量であってもデバイス性能を顕著に低下させてしまう。このため、デバイス品質の向上のためには不純物の混入を低減する必要がある。よって、これら各種用途の材料開発においては、各種の不純物を高感度で検出できる評価技術が必要となっている。
【０００３】
不純物の評価技術として、例えば特許文献１は、試料中のハロゲン及び硫黄を分析する技術を開示している。特許文献１では、まず燃焼管式燃焼装置において試料を燃焼させ、次に生成した燃焼ガス中のハロゲン化水素及び二酸化硫黄を吸収液に捕捉させる。この吸収液をイオンクロマトグラフに導入することにより、試料中のハロゲン・硫黄を定量分析している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２７５３２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述のように、従来から試料中の微量不純物を精確に特定したいというニーズがあった。しかも、近年の材料の高純度化技術の高まりも相俟って、材料に含まれる不純物をｐｐｂオーダー（×１０-9）で検出したいというニーズが高まっている。
【０００６】
本発明は、上記現状に鑑みてなされたものであり、その目的は、試料中の低濃度の不純物を高感度で検出する定量分析システム及び定量分析方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、試料中の不純物を定量するために試料を分析したが、不純物含有量の測定結果にバラつきがあり、ｐｐｂオーダーで不純物を検出することができなかった。しかし、分析の回数を重ねるうちに、分析作業中の分析装置周辺の不純物濃度を低くすることにより、試料中の不純物の含有量を高感度で検出し得ることを見出し、以下に示す本発明を完成した。
【０００８】
［１］すなわち、本発明の定量分析システムは、試料を秤量するための計量器と、秤量した前記試料に含まれる元素を定量する分析装置とを含むものであって、前記分析装置は、前記試料を投入するための試料投入部を有し、前記定量分析システムは、前記試料投入部又は前記計量器のいずれか一方若しくは両方を囲うクリーンブースと、汚染成分及び微粉を除去した気体を、前記クリーンブース内に供給するクリーンエア供給部と、を含むことを特徴とする。
［２］前記クリーンエア供給部は、前記試料投入部又は前記計量器のいずれか一方若しくは両方の上部であって、かつ前記クリーンブースの上面に接していてもよい。
［３］前記クリーンブースは、前記試料投入部又は前記計量器の両方を囲うものであり、前記クリーンエア供給部は、前記試料投入部及び前記計量器の両方の上部であって、かつ前記クリーンブースの上面に接していてもよい。
［４］前記クリーンエア供給部は、汚染成分除去フィルター及び微粉塵除去フィルターを含んでもよい。
［５］前記試料投入部に投入される試料は、１０ｍｇ以上１００ｍｇ以下であることが好ましい。
［６］本発明は、クリーンエア供給部によって汚染成分及び微粉を除去した気体を、クリーンブース内に供給する第１ステップと、前記クリーンブース内の計量器で、試料を秤量する第２ステップと、秤量した前記試料を、前記クリーンブース内の分析装置の試料投入部に投入する第３ステップと、を含む定量分析方法でもある。
［７］前記第１ステップは、前記第２ステップ及び／又は前記第３ステップを実行中にも実行してもよい。
［８］前記第３ステップにおいて、試料投入部に投入される試料は、１０ｍｇ以上１００ｍｇ以下であることが好ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の定量分析システムは、上記構成を有することにより、試料中の低濃度の不純物を高感度で検出するという優れた効果を示す。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施形態１の定量分析システムを示す模式的な図である。
【図２】実施形態２の定量分析システムを示す模式的な図である。
【図３】実施形態３の定量分析システムを示す模式的な図である。
【図４】実施形態４の定量分析システムを示す模式的な図である。
【図５】実施形態５の定量分析システムを示す模式的な図である。
【図６】実施形態６の定量分析システムを示す模式的な図である。
【図７】実施形態７の定量分析システムを示す模式的な図である。
【図８】実施形態８の定量分析システムを示す模式的な図である。
【図９】実施形態９の定量分析システムを示す模式的な図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
＜実施形態１＞
本実施形態の定量分析システム２０は、図１に示されるように、試料を秤量するための計量器１３と、秤量した試料に含まれる元素を定量する分析装置１７とを含む。当該分析装置１７は、試料を投入するための試料投入部１２を有する。そして、本発明の定量分析システムは、試料投入部１２又は計量器１３の両方を囲うクリーンブース１５と、汚染成分及び微粉（不純物）を除去した気体を、クリーンブース１５内に供給するクリーンエア供給部１４とを含むことを特徴とする。また、分析装置１７は、試料を分析するためのクロマトグラフ１１を有してもよいし、投入した試料を燃焼させる燃焼炉１６を有していてもよい。
【００１２】
従来の定量分析システムは、クリーンエア供給部１４及びクリーンブース１５がなかったため、大気中の不純物が試料に混入しやすかった。かかる不純物は、ｐｐｂオーダー以上で混入することもあったため、ブランク測定ですらｐｐｂを上回る測定値が検出されることがあった。したがって、試料中のｐｐｂオーダーの不純物を検出しようとしても、大気中の不純物の混入量が上回り、本来測定すべき試料中の不純物の測定値を得ることができないことがあった。
【００１３】
本実施形態の定量分析システム２０は、大気中の不純物の混入を遮断するためのクリーンブース１５を設け、当該クリーンブース１５内で試料を秤量し、その試料を分析装置１７の試料投入部１２に投入するため、大気中の不純物を混入しにくくすることができ、試料中の不純物のみを高感度で検出することができる。よって、試料中の不純物をｐｐｂオーダーで検出することができる。
【００１４】
（定量分析方法）
図１の定量分析システムを用いた定量分析方法は、まず、クリーンエア供給部１４によって汚染成分及び微粉（不純物）を除去した気体を、クリーンブース１５内に供給する（第１ステップ）。これによりクリーンブース１５中の不純物の濃度を低下させる。次に、クリーンブース１５内の不純物濃度を低下させた状態で、クリーンブース１５内の計量器１３で試料を秤量し（第２ステップ）、秤量した試料を、分析装置１７の試料投入部１２に投入する（第３ステップ）。このように試料を秤量してから分析装置１７に試料を投入することにより、試料に不純物が混入し難くなり、試料中の不純物のみを高感度で検出することができる。
【００１５】
上記第１ステップは、第２ステップ及び／又は第３ステップを実行中にも実行することが好ましい。試料の秤量中及び試料の分析装置への投入中に、クリーンエア供給部１４から気体を供給することにより、試料に不純物が混入されにくくなる。
【００１６】
第１ステップは、１０秒以上３０分以下実行し続けることが好ましい。クリーンブース内の不純物の減少が安定してから第２ステップ以降を実行することにより、分析の再現性を高めることができるからである。１０秒未満であると、クリーンブース内の不純物の減少が十分でなく、分析結果が不安定になる可能性もある。
【００１７】
第３ステップにおいて、試料投入部に投入される試料は、１０ｍｇ以上１００ｍｇ以下であることが好ましく、より好ましくは３０ｍｇ以上８０ｍｇ以下である。従来の試料中の不純物の定量分析方法は、その感度向上のために試料投入量を増やす必要があった。それにより主成分やその他内因成分の影響を大きく受け、高感度分析を達成できない場合も多くあったが、本発明の定量分析方法は、少量の試料でも高感度で検出することができるため、投入する試料の量を上記数値範囲に設定することが可能となる。以下に本発明の定量分析システムを構成する各部を説明する。
【００１８】
（クリーンエア供給部）
本実施形態において、クリーンエア供給部１４は、大気中の不純物（汚染成分及び微粉）を除去した気体をクリーンブース１５内に供給するために設けられる。クリーンエア供給部１４は、汚染成分を除去するために汚染成分除去フィルターを含むことが好ましく、微粉塵を除去するために微粉塵除去フィルターを含むことが好ましい。ここで、「汚染成分」とは、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ及びＩのようなハロゲン元素及びそれを含む化合物並びに硫黄及びそれを含む化合物を意味し、「微粉塵」とは、３００ｎｍ以上の直径の粉塵を意味する。
【００１９】
上記汚染成分除去フィルターは、それを通過する陰イオン（Ｃｌ-、Ｆ-、Ｂｒ-等）及び有機物を吸着する性質を有するものであれば、厚み及び材質は特に限定されない。汚染成分除去フィルターの一例として、市販の汚染成分除去フィルターを用いることができる。また、微粉塵除去フィルターは、３００ｎｍ以上の直径の粉塵の通過を防止し得るものであれば、その材質及び厚みは特に限定されない。微粉塵除去フィルターの一例として、市販の粉塵フィルターを適宜用いることができる。
【００２０】
クリーンブース１５内に供給される気体は、クリーンエア供給部１４から試料投入部１２及び／又は計量器１３に向けて放出されることが好ましい。試料投入部１２及び／又は計量器１３の周囲の不純物濃度を局所的に低下させるためである。気体を常時供給することにより、クリーンブース内からクリーンブース外への気流ができるため、クリーンブースの側面を開放した場合にも、大気中の不純物がクリーンブース内に入り難くなる。これにより試料及び試料投入部１２に不純物が混入されにくくなる。
【００２１】
クリーンエア供給部１４は、計量器１３及び試料投入部１２のいずれか一方若しくは両方の上部に設けることが好ましく、クリーンブース１５の上面に接していることがより好ましい。このような配置で、クリーンエア供給部１４から気体を供給することにより、試料に不純物が混入しにくくなり、分析装置の分析精度を高めることができる。図１に示すように、クリーンエア供給部１４は、計量器１３及び試料投入部１２の両方の上部に設けることがより好ましい。
【００２２】
本実施形態においては、計量器１３及び試料投入部１２の上部にそれぞれ１つずつ合計２つのクリーンエア供給部１４を設けた形態を示しているが、後述するように、計量器１３の上部のみにクリーンエア供給部１４を設けてもよいし（実施形態２、図２）、試料投入部１２の上部のみにクリーンエア供給部１４を設けてもよい（実施形態３、図３）。また、計量器１３及び試料投入部１２の両方の上部に位置するように１つの大型のクリーンエア供給部１４を設けてもよいし（実施形態４、図４）、計量器１３及び試料投入部１２の中間にクリーンエア供給部１４を設けてもよい（実施形態５、図５）。さらに、クリーンブース１５が計量器１３のみを囲い、当該計量器１３の上部のみにクリーンエア供給部１４を設けてもよいし（実施形態６、図６）、クリーンブース１５が試料投入部１２のみを囲い、当該試料投入部１２の上部のみにクリーンエア供給部１４を設けてもよい（実施形態７、図７）。また、別の実施形態として、試料投入部１２のクリーンブースと、計量器１３のクリーンブースとが仕切り１８によって区切られていてもよいし（実施形態８、図８）、クリーンブース１５が試料投入部１２及び計量器１３を囲うのみならず、クロマトグラフ１１及び燃焼炉１６をも囲うものであってもよい（実施形態９、図９）。さらなる別の実施形態として、図示していないが、クリーンブース１５の側面にクリーンエア供給部１４を設けてもよい。その場合、クリーンブース１５の側面から計量器１３及び試料投入部１２に向けて気体を供給することが好ましい。
【００２３】
（クリーンブース）
本実施形態において、クリーンブース１５は、試料投入部１２及び計量器１３を外部から隔離するように囲うものである。ここで、「外部から隔離する」とは、クリーンブース１５内に、外部とは別個独立の系を形成し得ることを意味するが、クリーンブース内外は完全に別個独立の系である必要はなく、クリーンブース１５内に、不純物濃度が低い系を形成し得る程度であってもよい。このようにクリーンブース１５で囲うことにより、外部よりも不純物濃度が低い系内で、試料の秤量及び試料投入の作業が可能となるため、試料に不純物が混入し難くなるという優れた効果を示す。
【００２４】
クリーンブース１５は、必ずしも密閉状態（別個の系）を保持し得る必要はなく、例えば、クリーンブース１５の側面の一面又は両面が開閉可能な引き戸であってもよい。開閉可能な引き戸を用いることにより、試料を秤量しやすくなるし、試料を分析装置に投入しやすくなる。クリーンブース１５は、外部から内部の様子を視認できる材料で形成されていることが好ましく、例えばプラスチック又はガラス等の材料で構成されていることが好ましい。
【００２５】
（計量器）
計量器１３は、分析装置１７に投入する試料を秤量するために設けられる。計量器１３は、デジタル計量器が好ましいが、試料を秤量できるものであれば特に限定されない。
【００２６】
（分析装置）
分析装置１７は、試料を構成する各組成の割合を特定するものであれば限定されず、例えばクロマトグラフが挙げられる。中でも、イオンクロマトグラフが好ましい。
【００２７】
分析装置１７は、試料を投入するための試料投入部１２を少なくとも有する。分析装置１７は、図１に示すように投入した試料を燃焼させる燃焼炉１６を有していてもよい。
【００２８】
＜実施形態２＞
本実施形態の定量分析システムは、図２に示すように、計量器１３の上部のみにクリーンエア供給部１４を設けたことが異なる他は、実施形態１と同様の定量分析システムである。このように計量器１３の上部のみにクリーンエア供給部１４を設けるだけでも、試料に不純物が混入するのを抑制することができる。
【００２９】
＜実施形態３＞
本実施形態の定量分析システムは、図３に示すように、試料投入部１２の上部のみにクリーンエア供給部１４を設けたことが異なる他は、実施形態１と同様の定量分析システムである。このように、試料投入部１２の上部のみにクリーンエア供給部１４を設けるだけでも、試料及び試料投入部１２に不純物が混入するのを抑制することができる。
【００３０】
＜実施形態４＞
本実施形態の定量分析システムは、図４に示すように、試料投入部１２及び計量器１３の両方の上部に１つの大型のクリーンエア供給部１４を設けたことが異なる他は、実施形態１と同様の定量分析システムである。このように大型のクリーンエア供給部１４を設けることにより、クリーンブース内の気体をより迅速に清浄化することができる。
【００３１】
＜実施形態５＞
本実施形態の定量分析システムは、図５に示すように、試料投入部１２及び計量器１３の両方の中央に１つのクリーンエア供給部１４を設けたことが異なる他は、実施形態１と同様の定量分析システムである。この位置にクリーンエア供給部１４を設けた場合、試料投入部１２及び計量器１３のそれぞれにエアを送風できるようにクリーンエア供給部１４の送風方向を調整することが好ましい。これにより試料及び試料投入部１２に不純物を混入しにくくすることができる。
【００３２】
＜実施形態６＞
本実施形態の定量分析システムは、図６に示すように、クリーンブース１５が計量器１３のみを囲い、当該計量器１３の上部であって、かつクリーンブース１５に接するクリーンエア供給部１４を設けたことが異なる他は、実施形態１と同様の定量分析システムである。このようにクリーンブース１５及びクリーンエア供給部１４を設けることにより、試料を秤量するときの不純物の混入を効果的に抑制することができる。
【００３３】
＜実施形態７＞
本実施形態の定量分析システムは、図７に示すように、クリーンブース１５が試料投入部１２のみを囲い、当該試料投入部１２の上部であって、かつクリーンブース１５に接するクリーンエア供給部１４を設けたことが異なる他は、実施形態１と同様の定量分析システムである。このようにクリーンブース１５及びクリーンエア供給部１４を設けることにより、分析装置に試料を投入するときの不純物の混入を効果的に抑制することができる。
【００３４】
＜実施形態８＞
本実施形態の定量分析システムは、図８に示すように、クリーンブース１５が試料投入部１２と計量器１３の間で仕切り１８によって区切られていることが異なる他は、実施形態１と同一のものである。このように仕切り１８によって区切られていることにより、クリーンブース１５内の空気を別個独立に制御することができる。
【００３５】
＜実施形態９＞
本実施形態の定量分析システムは、図９に示すように、クリーンブース１５が試料投入部１２及び計量器１３に加えて、クロマトグラフ１１及び燃焼炉１６をも囲うことが異なる他は、実施形態１と同一のものである。このようにクロマトグラフ１１及び燃焼炉１６を覆うことにより、不純物が混入され難くなるし、試料を扱いやすくなるというメリットもある。
【実施例】
【００３６】
＜ブランク測定値比較＞
（実施例１）
ジクロロメタンを使用している実験室に，図１に示す定量分析システムを準備した。クリーンブースは、高さ５１ｃｍ、奥行き６５ｃｍ、横幅１７６ｃｍのアクリル製で、手前側側面は、左右に動作可能な引き戸とした。実験室内の室温は２５℃に調整した。そして、試料投入部１２及び計量器１３を覆うクリーンブースを設けた。クリーンブースは、高さ５１ｃｍ、奥行き６５ｃｍ、横幅１７６ｃｍのアクリル製で、手前側側面は、左右に動作可能な引き戸とした。実験室内の室温は２５℃に調整した。
【００３７】
クリーンエア供給部１４には、下側から順に、厚み７５ｍｍの微粉塵除去フィルター、厚み２５ｍｍの酸性ガス除去フィルターと、２５ｍｍの有機ガス除去フィルターとを用いた。またクリーンエア供給部１４は、外部の大気をクリーンブース内に取り込む送風機能を有するものを用いた。
【００３８】
次に、クリーンエア供給部１４を通じて外部の大気をクリーンブース１５内に取り込んだ。この取り込み作業を３０分行なった後に、燃焼イオンクロマトグラフィーに試料を投入せず（つまりブランクで）、測定を４回行なった。下記の表１に、実施例１の分析装置で１００ｍｇ秤量を想定したときのブランクＣｌ濃度（μｇ／ｇ）の各測定値及びその平均値を示す。
【００３９】
（比較例１）
クリーンエア供給部１４及びクリーンブース１５を用いなかったことが異なる他は、実施例１と同様の方法でブランク測定を行なった。下記の表１に、比較例１の分析装置で１００ｍｇ秤量を想定したときのブランクＣｌ濃度（μｇ／ｇ）の各測定値及びその平均値を示す。
【００４０】
【表１】
2016017665.tif 000003
【００４１】
上記実施例１及び比較例１はいずれもブランク測定である。表１に示すように、実施例１は、比較例１に比して、Ｃｌの測定値が約２０分の１程度に低下した点で優れている。この結果から、実施例１のように、クリーンブース１５及びクリーンエア供給部１４を設けたことにより、大気中のＣｌ混入による測定誤差を減らし得ることが明らかとなり、本発明の効果が示された。
【００４２】
＜試料測定値比較＞
（実施例２）
実施例１の定量分析システムを用いて、クリーンエア供給部１４を通じて外部の大気をクリーンブース１５内に３０分間取り込んだ。その後、クリーンブースの側面の引き戸の計量器側を開けて、計量器１３を用いて測定対象の試料を秤量した。秤量した試料は、１００ｍｇであり、０．２０μｇ／ｇのＢｒを含有するものであった。この秤量作業中も、クリーンエア供給部によって外部の大気の取り込みを継続した。
【００４３】
そして、クリーンブースの側面の引き戸の試料投入部側を開けて、秤量した試料をイオンクロマトグラフの試料投入部１２に投入した。この投入作業中も、クリーンエア供給部によって外部の大気の取り込みを継続した。そしてイオンクロマトグラフにより試料のＢｒ含有量を測定した。測定結果を下記の表２に示す。なお、当該測定結果は、Ｂｒの濃度が０．２０μｇ／ｇに近いほど測定精度が優れることを示す。
【００４４】
（比較例２）
クリーンエア供給部及びクリーンブースを用いなかったことが異なる他は、実施例２と同様の方法で試料測定を行なった。つまり、０．２０μｇ／ｇのＢｒを含有する試料を燃焼イオンクロマトグラフに投入し、当該イオンクロマトグラフにより試料のＢｒ含有量を測定した。測定結果を下記の表２に示す。
【００４５】
【表２】
2016017665.tif 000004
【００４６】
表２中の「＜１」は、１μｇ／ｇ未満であったため試料中のＢｒ含有量を特定できなかったことを示している。表２から明らかなように、実施例２では、Ｂｒ含有量を特定できたのに対し、比較例２では、Ｂｒ含有量が１μｇ／ｇ未満であることが明確になるだけに留まり、具体的な測定値を得ることができなかった。この理由は、実施例２では、クリーンブース及びクリーンエア供給部を用いていたため、測定時にＢｒの混入を少なくすることができたのに対し、比較例２では、クリーンブース及びクリーンエア供給部を用いなかったため、測定時のＢｒの混入が多くなり、この混入が試料中のＢｒの含有量の特定を阻害したことによるものと考えられる。
【００４７】
（実施例３及び比較例３）
実施例３及び比較例３はそれぞれ、０．４０μｇ／ｇのＢｒを含有する試料を用いたことが異なる他は、実施例２及び比較例２と同様の方法によって試料を分析した。分析結果を下記の表３に示す。なお、当該測定値はＢｒ含有量が０．４０μｇ／ｇに近いほど測定精度が優れることを示す。
【００４８】
【表３】
2016017665.tif 000005
【００４９】
表３から明らかなように、実施例３では、Ｂｒ含有量を特定できたのに対し、比較例３では、Ｂｒ含有量が１μｇ／ｇ未満であることが明確になるだけに留まり、具体的な測定値を得ることができなかった。この理由は、実施例３では、クリーンブース及びクリーンエア供給部を用いていたため、測定時にＢｒの混入を少なくすることができたのに対し、比較例３では、クリーンブース及びクリーンエア供給部を用いなかったため、測定時のＢｒの混入が多くなり、この混入が試料中のＢｒの含有量の特定を阻害したことによるものと考えられる。
【００５０】
（参考例）
本発明の定量分析システムは、測定の再現性及び信憑性が重要であるため、これらの性能を明確にすべく、実施例１の定量分析システムのブランク測定値の日間変動及び添加回収率を測定した。以下にその結果を示す。
【００５１】
＜ブランク日間変動＞
実施例１と同様の方法でブランク測定を８日間行なった。ブランク測定の結果を表４に示す。
【００５２】
【表４】
2016017665.tif 000006
【００５３】
表４に示されるように、標準偏差（σ）が０．００６〜０．０１４μｇ／ｇであることから、ｐｐｂオーダー（×１０-9）での測定の再現性が高いことが示された。
【００５４】
＜添加回収率＞
実施例１と同様の定量分析システムを用いて、ブランク試料及び添加試料を測定し、試料中の不純物の回収率を算出した。添加試料は、ブランク試料に０．１μｇ／ｇのＣｌ、０．１μｇ／ｇのＢｒ、０．１μｇ／ｇのＳを添加したものを用いた。
【００５５】
【表５】
2016017665.tif 000007
【００５６】
表５中の「添加回収率」は、（添加試料含量―ブランク試料含量）/添加濃度×１００によって算出した値である。
【００５７】
表５に示されるように、Ｃｌ、Ｂｒ及びＳの添加回収率（％）は、従来の燃焼イオンクロマトグラフのそれとほぼ同等の結果であった。よって、実施例１の定量分析システムは、従来のそれと同等の分析データの信憑性が高いことが示された。
【符号の説明】
【００５８】
１１  クロマトグラフ
１２  試料投入部
１３  計量器
１４  クリーンエア供給部
１５  クリーンブース
１６  燃焼部
１７  分析装置
１８  仕切り
２０  定量分析システム
【図１】
2016017665.tif 000008
【図２】
2016017665.tif 000009
【図３】
2016017665.tif 000010
【図４】
2016017665.tif 000011
【図５】
2016017665.tif 000012
【図６】
2016017665.tif 000013
【図７】
2016017665.tif 000014
【図８】
2016017665.tif 000015
【図９】
2016017665.tif 000016