(57)【要約】【課題】露光光線の光軸が感光性樹脂の露光面に対して直交する状態でパターン露光ができる直描型露光装置を提供する【解決手段】基材Ｂに保持された膜状の感光性樹脂ＰＰに、露光光線１ｂを直接照射することによりパターン露光を行なう直描型露光装置であって、露光光線１ｂを出力する光源１と、基台２と、露光時における基材Ｂの高さ位置を決める位置決め部材３ａ〜３ｄと、連動して動作する変位機構５ａ〜５ｄと、基材Ｂを基台２上に支持し、軸方向の応力に対して変形または変位可能である支持軸８ａ〜８ｄとを含む。基材Ｂの上面周縁領域または感光性樹脂ＰＰの上面と、位置決め部材３ａ〜３ｄの下面とを当接させ、かつ当接によって発生した支持軸の軸方向の応力により、支持軸８ａ〜８ｄのうち少なくとも１つを変形または変位させた状態において、基材Ｂが露光光線１ｂの光軸と基材Ｂの上面とが直交する高さ位置となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の基材に保持された膜状の感光性樹脂に、露光光線を所定のパターンで直接照射することによりパターン露光を行なう直描型露光装置であって、
露光光線を出力する光源と、
基台と、
露光時における前記基材の高さ位置を決める板状の位置決め部材と、
前記基台上に設置される駆動部と、前記駆動部により昇降し、かつ前記位置決め部材に接続される駆動軸と、を備え、前記露光光線の光軸方向における前記位置決め部材の位置を変位させるように、連動して動作する複数の変位機構と、
前記基材を前記基台上に支持する複数の支持軸と、を含み、
前記支持軸は、軸方向の応力に対して変形または変位可能に構成されており、
前記位置決め部材は、前記基材の上面周縁領域または前記感光性樹脂の上面と、前記位置決め部材の下面とを当接させ、かつ前記当接によって発生した前記支持軸の軸方向の応力により、前記複数の支持軸のうち少なくとも１つを変形または変位させた状態において、前記基材が前記露光光線の光軸と前記基材の上面とが直交する高さ位置となるように、前記複数の変位機構により変位させられることを特徴とする、直描型露光装置。
【請求項２】
前記支持軸は、剛体部と、軸方向の応力に対して弾性変形する弾性変形部とを含むことを特徴とする、請求項１に記載の直描型露光装置。
【請求項３】
前記支持軸は、剛体部と、軸方向の応力に対して前記剛体部を変位させる機械的または電磁気的な応力緩和機構とを含むことを特徴とする、請求項１に記載の直描型露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、紫外線領域の波長を有する光線を、マスクを介さず感光性樹脂に直接照射して、所定のパターンを描画することにより、感光性樹脂をパターン露光する直描型露光装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品の製造における配線パターンおよび電極パターンの形成には、スクリーン印刷が利用されることが多い。
【０００３】
スクリーン印刷は、所定の開口パターンを有するように製版された紗と呼ばれる網目の布が枠体に張られてなるスクリーン印刷版を通して、印刷対象物にインクを印刷する技術である。
【０００４】
スクリーン印刷版の製版は、紗に感光性樹脂を塗布し、マスク（原版）を介して紫外線などを照射して露光した後、不要な部分を洗浄除去（現像）して、所定の開口パターンを得ることにより行なわれている。
【０００５】
ところで、近年、紫外線領域の波長を有する露光光線を、マスクを介さず感光性樹脂に直接照射して、所定のパターンを描画することにより、感光性樹脂をパターン露光する直描型露光装置が普及し始めている。
【０００６】
そのような直描型露光装置の一例として、例えば特開平１１−３２０９６８号公報（特許文献１）では、空間的光変調器（以下、ＤＭＤと呼称） を用いてパターン露光を行なう直描型露光装置が提案されている。
【０００７】
図５は、特許文献１に記載されている直描型露光装置２００の説明図である。図５（Ａ）は、直描型露光装置２００の概略構成図である。図５（Ｂ）は、直描型露光装置２００に用いられているＤＭＤ２０５のミラー構成を示す模式図である。図５（Ｃ）は、図５（Ｂ）の部分拡大図である。
【０００８】
ＤＭＤ２０５は、正方形の微小ミラーＭが横方向（図５（Ｂ）の左右方向）にｍ個、縦方向（図の上下方向）に６列配置されてなる。微小ミラーＭと隣接する微小ミラーＭとの間には、隙間ｇが設けられている。各列（Ｍ１１〜Ｍ１６）の微小ミラーＭは、隣接する上下の列における微小ミラーＭとそれぞれ所定の距離だけずらせて配置されている。
【０００９】
露光対象物である感光性樹脂ＰＰは、膜状であって、例えば樹脂単体のドライフィルムの状態で、または液状の樹脂を不図示の基材上に塗布後、乾燥させた状態で、テーブル２０３に載置される。テーブル２０３は、ベース２０２上をＹ方向に移動自在である。ＤＭＤ２０５は、横方向が感光性樹脂ＰＰの移動方向と直角になるようにして位置決めされている。
【００１０】
そして、各微小ミラーＭは、一対の端部Ｍａを結ぶ対角線を回転軸として、端部Ｍｂが回転可能となるように構成されている。ＤＭＤ制御装置２０６は、ＤＭＤ２０５の各微小ミラーＭの回転を個別に制御する。
【００１１】
光源２０１から出力された紫外線領域の波長を有する光は、コリメーターレンズ２０４により平行光２０１ａに変換されてＤＭＤ２０５に入射する。そして、平行光２０１ａは、入射した各微小ミラーＭがどのように回転されているかにより、各ミラーＭによる反射光の方向が決められる。
【００１２】
幾つかの微小ミラーＭによる反射光は、微小ミラーＭ毎に設けられたマイクロレンズ２０７により集光されることにより、露光光線２０１ｂとなって感光性樹脂ＰＰの露光面に照射され、露光に寄与する。一方、別の微小ミラーＭによる反射光は、感光性樹脂ＰＰから離れた位置に照射され、露光に寄与しない。
【００１３】
すなわち、直描型露光装置２００では、ＤＭＤ２０５の微小ミラーＭの個別の回転角を制御することにより、感光性樹脂ＰＰをパターン露光することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開平１１−３２０９６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
ここで、図６（Ａ）に示すように、液状の感光性樹脂ＰＰを枠体Ｆに張られた紗Ｓ上に塗布後、乾燥させたスクリーン印刷版を、直描型露光装置２００によりパターン露光することを考える。
【００１６】
上記のスクリーン印刷版において、液状の感光性樹脂ＰＰの紗Ｓ上への塗布は、均一な膜厚で、図上での上面ＰＰｕと下面ＰＰｌとが平行となるように行なわれているが、枠体Ｆの厚みが均一ではなかったとする。
【００１７】
このようなスクリーン印刷版を、上面ＰＰｕを露光面としてテーブル２０３に載置すると、枠体Ｆに張られた紗Ｓは、テーブル２０３の上面に対してわずかに傾斜する。その傾斜角をθとすると、露光光線２０１ｂの光軸２０１ｃと上面ＰＰｕとは直交せず、露光光線２０１ｂの光軸２０１ｃに対して、上面ＰＰｕの法線方向ＰＰｎが角度θだけ傾くことになる。
【００１８】
その状態で露光した後、現像すると、図６（Ｂ）に示すように、上面ＰＰｕの法線方向ＰＰｎに対して角度θだけ傾き、上面ＰＰｕ側と下面ＰＰｌ側とで、開口位置がずれた開口パターンが形成されてしまう。
【００１９】
スクリーン印刷は、図６（Ａ）における感光性樹脂の上面ＰＰｕが印刷対象物に接するようにして行なわれる。一方、印刷対象物との位置合わせは下面ＰＰｌ側から行なう。上面ＰＰｕ側と下面ＰＰｌ側とで開口位置がずれていると、下面ＰＰｌ側の開口位置で位置合わせを行なっても、実際に印刷対象物にインクが印刷されるのは上面ＰＰｕ側の開口位置となり、印刷ずれが生じることになる。
【００２０】
また、図６（Ａ）に示すような場合、紗Ｓの左側では開口位置のずれは比較的小さくて済むが、右側では大きくなる。したがって、紗Ｓの面内における印刷パターンの寸法ばらつきが大きくなる。
【００２１】
そこで、この発明の目的は、感光性樹脂を支持する基材の厚みが不均一であったとしても、露光光線の光軸が感光性樹脂の露光面に対して直交する状態でパターン露光ができる直描型露光装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
この発明では、露光光線の光軸が感光性樹脂の露光面に対して直交する状態でパターン露光を行なうことができるようにするため、露光時における感光性樹脂を支持する基材の高さ位置を決める機構についての改良が図られる。
【００２３】
この発明に係る直描型露光装置は、下記の構成により、板状の基材に保持された膜状の感光性樹脂に、露光光線を所定のパターンで直接照射することによりパターン露光を行なう。
【００２４】
この発明に係る直描型露光装置は、露光光線を出力する光源と、基台と、板状の位置決め部材と、基台上に設置される駆動部および駆動部により昇降し、かつ位置決め部材に接続される駆動軸を備える複数の変位機構と、基材を基台上に支持する複数の支持軸と、を含む。
【００２５】
板状の位置決め部材は、露光時における基材の高さ位置を決める。変位機構は、露光光線の光軸方向における位置決め部材を変位させるように、連動して動作する。支持軸は、軸方向の応力に対して変形または変位可能に構成されている。
【００２６】
位置決め部材は、基材の上面周縁領域または感光性樹脂の上面と、位置決め部材の下面とを当接させ、かつその当接によって発生した支持軸の軸方向の応力により、複数の支持軸のうち少なくとも１つを変形または変位させた状態において、基材が露光光線の光軸と基材の上面とが直交する高さ位置となるように、複数の変位機構により変位させられる。
【００２７】
例えば、上記の構成において、仮に剛体の支持軸が基台上に固定されている場合を考える。その支持軸によって支持されている不均一な厚みを有する枠体に張られている紗の上面に、位置決め部材の下面を当接させるとする。位置決め部材が下降してくると、まず枠体の厚い部分に張られている紗に当接する。
【００２８】
しかしながら、支持軸は剛体であり、基台上に固定されているので、当接した位置決め部材はさらに下降することができず、そこで停止する。位置決め部材を下降させる複数の変位機構は連動して動作するので、枠体の薄い部分に張られている紗には、位置決め部材が当接しないままとなる。
【００２９】
一方、上記のように、支持軸が軸方向の応力に対して変形または変位可能に構成されている場合、位置決め部材が先に枠体の厚い部分に張られている紗に当接すると、枠体の厚い部分を支持している支持軸が変形または変位することにより、位置決め部材が枠体の厚い部分を押し下げながらさらに下降することができる。その結果、枠体の薄い部分にもやがて位置決め部材が当接し、全体として位置決め部材の均一な当接が実現できる。
【００３０】
すなわち、上記の直描型露光装置では、支持軸によって支持された基材の上面周縁領域または感光性樹脂の上面と、位置決め部材の下面とを当接させ、かつその当接によって発生した支持軸の軸方向の応力により、複数の支持軸のうち少なくとも１つを変形または変位させた状態において、基材が露光光線の光軸と基材の上面とが直交する高さ位置となるように、変位機構が連動して露光光線の光軸方向における位置決め部材の位置を変位させる。
【００３１】
そのため、露光光線の光軸が感光性樹脂の上面（露光面）に対して直交する状態で、パターン露光を行なうことができる。
【００３２】
したがって、感光性樹脂の上面側と下面（位置合わせ面）側とで、開口パターンの開口位置がずれることがない。すなわち、感光性樹脂をスクリーン印刷版などの印刷版に用いた場合、位置合わせを行なった所望の箇所に、高精度でインクを印刷することができる。また、印刷パターンの寸法ばらつきを小さくすることができる。
【００３３】
この発明に係る直描型露光装置の第１の好ましい実施形態では、支持軸は、剛体部と、軸方向の応力に対して弾性変形する弾性変形部とを含む。
【００３４】
上記の直描型露光装置では、支持軸の軸方向にかかる応力に対して、弾性変形部が変形することにより、前述の均一な位置決め部材の当接を実現している。
【００３５】
例えばゴムやばねのような弾性変形部は、支持軸に容易に取り付けられ、かつ安価である。また、取り付けた後でも、保守や交換などの管理が容易である。
【００３６】
したがって、直描型露光装置の製造を容易にし、かつ製造コストを低減することができる。さらに、製造後の直描型露光装置の管理を容易に行なうことができる。すなわち、高精度な開口パターンを有するスクリーン印刷版を、安価に、かつ安定して得ることができる。
【００３７】
この発明に係る直描型露光装置の第２の好ましい実施形態では、支持軸は、剛体部と、軸方向の応力に対して支持軸を変位させる機械的または電磁気的な応力緩和機構とを含む。
【００３８】
上記の直描型露光装置では、支持軸の軸方向にかかる応力に対して、機械的または電磁気的な応力緩和機構が剛体部を変位させることにより、前述の均一な位置決め部材の当接を実現している。
【００３９】
機械的または電磁気的な応力緩和機構としては、エアダンパー、オイルダンパーおよびマグネットダンパーなどのダンピング装置を用いることができる。これらのダンピング装置は、支持軸の軸方向にかかる応力に対して、小さな抵抗力で支持軸を変位させることができるため、基材の高さ位置を高精度に制御できる。また、長寿命であって交換がほとんど不要である。
【００４０】
したがって、露光光線の光軸と感光性樹脂の上面とを、高精度に直交させた状態で、パターン露光を行なうことができる。また、製造後の直描型露光装置の管理を容易に行なうことができる。すなわち、高精度な開口パターンを有するスクリーン印刷版を、安定して得ることができる。
【発明の効果】
【００４１】
この発明に係る直描型露光装置では、支持軸によって支持された基材の上面周縁領域または感光性樹脂の上面と、位置決め部材の下面とを当接させ、かつその当接によって発生した支持軸の軸方向の応力により、複数の支持軸のうち少なくとも１つを変形または変位させた状態において、基材が露光光線の光軸と基材の上面とが直交する高さ位置となるように、変位機構が連動して露光光線の光軸方向における位置決め部材の位置を変位させる。
【００４２】
そのため、露光光線の光軸が感光性樹脂の上面（露光面）に対して直交する状態で、パターン露光を行なうことができる。
【００４３】
したがって、感光性樹脂の上面側と下面（位置合わせ面）側とで、開口パターンの開口位置がずれることがない。すなわち、感光性樹脂をスクリーン印刷版などの印刷版に用いた場合、位置合わせを行なった所望の箇所に、高精度でインクを印刷することができる。また、印刷パターンの寸法ばらつきを小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】この発明の第１の実施形態に係る直描型露光装置１００の断面図（図２のＹ１−Ｙ１線を含む面の矢視断面図、以下の断面図は全て左記の矢視断面図に相当）である。
【図２】この発明の第１の実施形態に係る直描型露光装置１００の要部の上面図である。
【図３】この発明の第２の実施形態に係る直描型露光装置１００の断面図である。
【図４】この発明の第２の実施形態に係る直描型露光装置１００の要部の上面図である。
【図５】背景技術の直描型露光装置２００の説明図である。図５（Ａ）は、直描型露光装置２００の概略構成図である。図５（Ｂ）は、直描型露光装置２００に用いられているＤＭＤ２０５のミラー構成を示す模式図である。図５（Ｃ）は、図５（Ｂ）の部分拡大図である。
【図６】均一ではない厚みを有する枠体Ｆに張られた紗Ｓ上の感光性樹脂ＰＰを、図６に示した背景技術の直描型露光装置２００を用いてパターン露光する場合の、直描型露光装置２００の要部を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４５】
以下にこの発明の実施形態を示して、本発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。
【００４６】
−第１の実施形態−
この発明の第１の実施形態に係る直描型露光装置１００について、図１および図２を用いて説明する。
【００４７】
図１は、この発明の第１の実施形態に係る直描型露光装置１００の断面図である。図２は、この発明の第１の実施形態に係る直描型露光装置１００の要部の上面図である。図１は、図２のＹ１−Ｙ１線を含む面の矢視断面図となっている。
【００４８】
この発明の第１の実施形態に係る直描型露光装置１００に係る直描型露光装置は、下記の構成により、板状の基材Ｂに保持された膜状の感光性樹脂ＰＰに、露光光線１ｂを所定のパターンで直接照射することによりパターン露光を行なう。
【００４９】
図１では、基材Ｂとして、前述のように紗Ｓと呼ばれる網目の布が枠体Ｆに張られてなるものが用いられている。基材Ｂには、任意の材質の板状部材など、所望のものを用いることができる。感光性樹脂ＰＰも、前述のように、膜状であって、例えば樹脂単体のドライフィルムの状態のものや、液状の樹脂を紗Ｓ上に塗布後、乾燥させた状態のものなど、所望のものを用いることができる。
【００５０】
なお、感光性樹脂ＰＰの厚みの不均一は無視できるものとし、上面ＰＰｕ（露光面）は、基材Ｂ（紗Ｓ）の上面と実質的に平行となっているとする。
【００５１】
直描型露光装置１００は、光源１と、基台２と、板状の位置決め部材３ａ〜３ｄと、変位機構５ａ〜５ｄと、支持軸８ａ〜８ｄとを含む。
【００５２】
光源１は、露光光線１ｂを出力する。露光光線１ｂは、感光性樹脂ＰＰに化学変化を生じさせる波長を有する光線である。そのための光源１の発光体としては、例えば紫外線レーザー、超高圧水銀ランプ、またはＬＥＤなど、紫外線領域の波長を有する光を発するものを用いることができる。光源１は、コリメーターレンズや集光レンズなどのレンズ系をさらに含んでもよい。
【００５３】
図１では、光源１は、水平移動機構１ｈと上下移動機構１ｖにより、水平方向および上下方向に移動可能となっている。すなわち、図１では、基台２を動かさず、水平移動機構１ｈにより光源１を水平移動させてパターン露光を行なう。また、上下移動機構１ｖにより光源１を上下移動させて焦点位置の調節を行なう。
【００５４】
なお、パターン露光を行なうためには、光源１を移動させずに、特許文献１に記載のＤＭＤや、ガルバノミラーなどの反射鏡を用いることにより、露光光線の照射位置を変えるようにしてもよい。また、別途設けた水平移動機構および上下移動機構により、基台２を水平移動および垂直移動させてパターン露光を行なうようにしてもよい。
【００５５】
基台２は、特に形状の限定はなく、平板状のものであっても、底部と側壁とにより形成される凹部を備えるものであってもよい。第１の実施形態に係る直描型露光装置１００では、後述の変位機構５ａ〜５ｄの駆動部６ａ〜６ｄは、基台２の上面に設けられた収納部４ａ〜４ｄ内にそれぞれ設置される。なお、駆動部６ａ〜６ｄは、収納部４ａ〜４ｄの設けられていない平板状の基台２の上面に設置されるようにしてもよい。
【００５６】
板状の位置決め部材３ａ〜３ｄは、後述の変位機構５ａ〜５ｄの駆動軸７ａ〜７ｄに接続され、露光時における基材Ｂの高さ位置を決める。図２では、４枚の矩形の位置決め部材３ａ〜３ｄが、その一端側近傍の下面に駆動軸７ａ〜７ｄがそれぞれ接続され、他端側が基台２の中央部を向くように配置されている。
【００５７】
図１および図２において、位置決め部材３ａ〜３ｄは、他端側近傍の下面と、基材Ｂの上面周縁領域とが当接することができるように設定されている。なお、感光性樹脂ＰＰの面積によっては、感光性樹脂ＰＰの上面が、位置決め部材３ａ〜３ｄの他端側近傍の下面と当接するように設定されてもよい。
【００５８】
また、板状の位置決め部材３ａ〜３ｄは、初期位置（変位機構５ａ〜５ｄが動作する前の位置）として、それぞれの下面が露光光線１ｂの光軸と直交する同一平面上にあるように、駆動軸７ａ〜７ｄにそれぞれ接続される。そして、変位機構５ａ〜５ｄが連動して動作することにより、それぞれの下面が、露光光線１ｂの光軸と直交する同一平面上にある状態を保ちながら、露光光線１ｂの光軸方向において昇降する。
【００５９】
なお、位置決め部材の数および形状はこれに限られるものではなく、この発明における機能を奏することができる数および形状であればよい。
【００６０】
変位機構５ａ〜５ｄは、それぞれ駆動部６ａ〜６ｄと、駆動部６ａ〜６ｄによりそれぞれ昇降する駆動軸７ａ〜７ｄとを備える。駆動部６ａ〜６ｄは、前述のように基台２の上面に設けられた収納部４ａ〜４ｄ内にそれぞれ設置されている。変位機構５ａ〜５ｄは、駆動軸７ａ〜７ｄを駆動部６ａ〜６ｄによりそれぞれ駆動させることにより、駆動軸７ａ〜７ｄに接続された位置決め部材３ａ〜３ｄを、露光光線１ｂの光軸方向においてそれぞれ昇降させる。
【００６１】
すなわち、変位機構５ａ〜５ｄを動作させて位置決め部材３ａ〜３ｄを下降させることにより、後述の支持軸８ａ〜８ｄ上により基台２上に支持された基材Ｂの上面周縁領域の上面と、位置決め部材３ａ〜３ｄの下面とを当接させることができる。
【００６２】
変位機構５ａ〜５ｄは、前述のように連動して動作することができるように構成されている。なお、変位機構５ａ〜５ｄの駆動部６ａ〜６ｄは、所定の値以上の負荷を検知した場合、駆動軸７ａ〜７ｄの駆動を停止し、その状態を維持する（ホールド状態）ように設定されている。
【００６３】
支持軸８ａ〜８ｄは、基材Ｂを基台２上に支持する。支持軸８ａ〜８ｄは、それぞれ剛体部８ａｓ〜８ｄｓと、軸方向の応力に対して弾性変形する弾性変形部８ａｅ〜８ｄｅとを含んでなる。支持軸８ａ〜８ｄは、基台２上で直立するように基台２上に配置されている。
【００６４】
第１の実施形態に係る直描型露光装置１００では、支持軸８ａ〜８ｄの軸方向にかかる応力に対して、弾性変形部８ａｅ〜８ｄｅの少なくとも１つが変形することにより、位置決め部材３ａ〜３ｄと基材Ｂとの均一な当接を実現している。弾性変形部８ａｅ〜８ｄｅとしては、例えばゴムやばねを用いることができる。
【００６５】
次に、板状の位置決め部材３ａ〜３ｄによる、露光時における基材Ｂの高さ位置の位置決めについて、以下に説明する。
【００６６】
具体例として、基材Ｂが枠Ｆとそれに張られた紗Ｓを含むスクリーン印刷版であって、枠Ｆの厚みが不均一な場合を考える。説明を簡略化するため、位置決め部材３ａおよび３ｂに基づく基材Ｂの高さ位置の位置決めについて説明する。すなわち、図１において、枠Ｆの支持軸８ａにより基台２上に支持されている箇所の厚み（Ｆａ）が、支持軸８ｂにより基台２上に支持されている箇所の厚み（Ｆｂ）より厚かったとする（図６（Ａ）も参照）。
【００６７】
この場合、変位機構５ａにより降下させられている位置決め部材３ａの下面が、枠Ｆの支持軸８ａにより基台２上に支持されている箇所に張られている紗Ｓの上面に、ＦａとＦｂとの厚みの差の分だけ先に当接する。この時点では、位置決め部材３ａと連動して下降している位置決め部材３ｂの下面は、枠Ｆの支持軸８ｂにより基台２上に支持されている箇所に張られている紗Ｓの上面にまだ当接していない。
【００６８】
しかしながら、当接によって発生した軸方向の応力により、支持軸８ａの弾性変形部８ａｅが弾性変形するため、位置決め部材３ａは、当接した位置で停止することなく、枠Ｆの支持軸８ａにより支持されている箇所を押し下げながらさらに下降する。
【００６９】
変位機構５ａおよび５ｂは連動して動作し、位置決め部材３ａおよび３ｂは、前述のように、その下面が露光光線１ｂの光軸と直交する同一平面上にある状態を保ちながら下降する。やがて、位置決め部材３ｂの下面が、枠Ｆの支持軸８ｂにより基台２上に支持されている箇所に張られている紗Ｓの上面に当接する。すなわち、位置決め部材３ａおよび３ｂの下面と、紗Ｓの上面との均一な当接が実現できる。
【００７０】
位置決め部材３ａおよび３ｂはさらに若干下降することもあるが、先に弾性変形していた弾性変形部３ａの弾性変形が限界となって、駆動部６ａに所定の値以上の負荷が発生すると、変位機構７ａがホールド状態になり、その位置に維持される。
【００７１】
位置決め部材３ａおよび３ｂは、それぞれの下面が、露光光線１ｂの光軸と直交する同一平面上にあるので、位置決め部材３ａおよび３ｂの下面に共に当接している紗Ｓの上面は、露光光線１ｂの光軸と直交する高さ位置となっている。
【００７２】
上記の具体例から分かるように、基材Ｂの厚みが不均一であっても、上記の基材Ｂと位置決め部材３ａ〜３ｄとの当接状態において、露光光線１ｂの光軸と基材Ｂの上面とは、確実に直交することになる。このことは、感光性樹脂ＰＰと位置決め部材３ａ〜３ｄとが当接する場合においても同様である。
【００７３】
そのため、露光光線１ｂの光軸が感光性樹脂ＰＰの上面ＰＰｕ（露光面）に対して直交する状態で、パターン露光を行なうことができる。
【００７４】
したがって、感光性樹脂ＰＰの上面ＰＰｕ側と下面ＰＰｌ側とで、開口パターンの開口位置がずれることがない。すなわち、感光性樹脂ＰＰをスクリーン印刷版などの印刷版に用いた場合、位置合わせを行なった所望の箇所に、高精度でインクを印刷することができる。また、印刷パターンの寸法ばらつきを小さくすることができる。
【００７５】
−第２の実施形態−
この発明の第２の実施形態に係る直描型露光装置１００について、図３および図４を用いて説明する。
【００７６】
図３は、この発明の第２の実施形態に係る直描型露光装置１００の断面図である。なお、図４は、図２のＹ１−Ｙ１線を含む面の矢視断面図に相当する。
【００７７】
この発明の第２の実施形態に係る直描型露光装置１００は、第１の実施形態で説明した各構成要素のうち、支持軸８ａ〜８ｄの構成が第１の実施形態と異なっている。その他の部分については、第１の実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【００７８】
第２の実施形態では、支持軸８ａ〜８ｄは、それぞれ剛体部８ａｓ〜８ｄｓと、軸方向の応力に対して剛体部８ａｓ〜８ｄｓをそれぞれ変位させる機械的または電磁気的な応力緩和機構１０ａ〜１０ｄとを含んでなる。
【００７９】
支持軸８ａ〜８ｄにおいて、剛体部８ａｓ〜８ｄｓは、応力緩和機構１０ａ〜１０ｄに機械的または電磁気的に接続されている。
【００８０】
第２の実施形態に係る直描型露光装置１００では、応力緩和機構１０ａ〜１０ｄは、剛体部８ａｓ〜８ｄｓが基台２の上面に対して直立するように、基台２の上面に設けられた収納部９ａ〜９ｄ内にそれぞれ設置されている。なお、応力緩和機構１０ａ〜１０ｄは、収納部９ａ〜９ｄの設けられていない平板状の基台２の上面に設置されるようにしてもよい。
【００８１】
上記の直描型露光装置では、支持軸８ａ〜８ｄの軸方向にかかる応力に対して、応力緩和機構１０ａ〜１０ｄが剛体部８ａｓ〜８ｄｓをそれぞれ変位させることにより、位置決め部材３ａおよび３ｂの下面と、紗Ｓの上面との均一な当接が実現できる。
【００８２】
応力緩和機構１０ａ〜１０ｄとしては、エアダンパーおよびオイルダンパーなどの機械的なダンピング装置や、マグネットダンパーなどの電磁気的なダンピング装置を用いることができる。
【００８３】
なお、この発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、この発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
【符号の説明】
【００８４】
１００  直描型露光装置
１    光源
１ｂ    露光光線
２    基台
３ａ〜３ｄ    位置決め部材
５ａ〜５ｄ    変位機構
６ａ〜６ｄ    駆動部
７ａ〜７ｄ    駆動軸
８ａ〜８ｄ    支持軸
８ａｅ〜８ｄｅ    弾性変形部
１０ａ〜１０ｄ    応力緩和機構
Ｂ  基材
ＰＰ  感光性樹脂
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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