(57)【要約】【課題】例えば、検査対象面への光の照射方向を切り替える時間間隔をより短くすることが可能な検査装置を得る。【解決手段】検査装置は、開閉機構を備える。開閉機構は、光源から第一の照射部を経由した検査対象面への光路、および光源から第二の照射部を経由した検査対象面への光路、のうち少なくとも一方に対応し、光路を遮断しない開通位置と光路を遮断する遮断位置との間で移動可能な可動部と、可動部を開通位置と遮断位置との間で動かす駆動部と、を有する。【選択図】図４
2016008857.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送される検査対象物の検査対象面に一方側から光を照射する第一の照射部と、
前記検査対象面に他方側から光を照射する第二の照射部と、
前記検査対象面に前記第一の照射部からの光が照射されるとともに前記第二の照射部からの光が照射されない第一の状態と、前記検査対象面に前記第二の照射部からの光が照射されるとともに前記第一の照射部からの光が照射されない第二の状態と、が交互に切り替わるように制御する切替制御部と、
前記検査対象面を前記第一の状態と前記第二の状態とで交互に撮像する撮像部と、
前記撮像部が撮像した画像の異常を検出する異常検出部と、
光源から前記第一の照射部を経由した前記検査対象面への光路、および光源から前記第二の照射部を経由した前記検査対象面への光路のうち少なくとも一方に対応し、光路を遮断しない開通位置と光路を遮断する遮断位置との間で移動可能な可動部と、前記可動部を前記開通位置と前記遮断位置との間で動かす駆動部と、を有する開閉機構と、
を備え、
前記切替制御部は、前記駆動部を制御することにより、前記検査対象面への前記第一の照射部および前記第二の照射部のうち少なくとも一方からの光の照射と非照射とを切り替える、検査装置。
【請求項２】
前記可動部は、回転体であり、光路を開通する開通部と光路を遮断する遮断部とが回転中心の周方向に沿って交互に設けられた、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
光源と、前記開閉機構と、を有する光学ユニットを備えた、請求項１または２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記開閉機構として、光源から前記第一の照射部を経由した前記検査対象面への光路に対応した第一の開閉機構と、光源から前記第二の照射部を経由した前記検査対象面への光路に対応した第二の開閉機構と、を備えた、請求項１〜３のうちいずれか一つに記載の検査装置。
【請求項５】
前記第一の開閉機構の前記可動部と、前記第二の開閉機構の前記可動部とが、電気的に連動するよう構成された、請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
前記第一の開閉機構の前記可動部と、前記第二の開閉機構の前記可動部とが、機械的に連動するよう構成された、請求項４に記載の検査装置。
【請求項７】
前記可動部は、光源から前記第一の照射部を経由した前記検査対象面への光路を開通するとともに光源から前記第二の照射部を経由した前記検査対象面への光路を遮断する第一の位置と、光源から前記第一の照射部を経由した前記検査対象面への光路を遮断するとともに光源から前記第二の照射部を経由した前記検査対象面への光路を開通する第二の位置と、の間で移動可能に構成された、請求項１〜３のうちいずれか一つに記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、検査対象面を撮像した画像から当該検査対象面の異常を検出する画像検査装置が知られている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−０３７２０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この種の画像検査装置では、検査対象面への光の照射方向を切り替える時間間隔をより短くするのが効果的な場合がある。
【０００５】
そこで、本発明の目的の一つは、例えば、検査対象面への光の照射方向を切り替える時間間隔をより短くすることが可能な検査装置を得ることである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の実施形態の検査装置は、例えば、搬送される検査対象物の検査対象面に一方側から光を照射する第一の照射部と、前記検査対象面に他方側から光を照射する第二の照射部と、前記検査対象面に前記第一の照射部からの光が照射されるとともに前記第二の照射部からの光が照射されない第一の状態と、前記検査対象面に前記第二の照射部からの光が照射されるとともに前記第一の照射部からの光が照射されない第二の状態と、が交互に切り替わるように制御する切替制御部と、前記検査対象面を前記第一の状態と前記第二の状態とで交互に撮像する撮像部と、前記撮像部が撮像した画像の異常を検出する異常検出部と、光源から前記第一の照射部を経由した前記検査対象面への光路、および光源から前記第二の照射部を経由した前記検査対象面への光路のうち少なくとも一方に対応し、光路を遮断しない開通位置と光路を遮断する遮断位置との間で移動可能な可動部と、前記可動部を前記開通位置と前記遮断位置との間で動かす駆動部と、を有する開閉機構と、を備え、前記切替制御部は、前記駆動部を制御することにより、前記検査対象面への前記第一の照射部および前記第二の照射部のうち少なくとも一方からの光の照射と非照射とを切り替える。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、例えば、検査対象面への光の照射方向を切り替える時間間隔をより短くすることが可能な検査装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、実施形態の検査装置の例示的な概略構成図である。
【図２】図２は、実施形態の検査装置の例示的なブロック図である。
【図３】図３は、実施形態の検査装置の制御部の例示的なブロック図である。
【図４】図４は、実施形態の検査装置の光学ユニットの例示的な断面図である。
【図５】図５は、図４の光学ユニットの開通位置にある可動部と光路との位置関係の例示的な模式図である。
【図６】図６は、図４の光学ユニットの遮断位置にある可動部と光路との位置関係の例示的な模式図である。
【図７】図７は、実施形態の検査装置で用いられる検査対象物の例示的な斜視図である。
【図８】図８は、実施形態の検査装置による画像処理および異常検出の例示的なフローチャートである。
【図９】図９は、実施形態の検査装置の画像取得部で得られたデータの例示的な説明図である。
【図１０】図１０は、実施形態の検査装置の画像分割部および画像補間部で処理されたデータの例示的な説明図である。
【図１１】図１１は、実施形態の検査装置の差分画像取得部で得られたデータの例示的な説明図である。
【図１２】図１２は、第一変形例の検査装置の可動部の例示的な模式図である。
【図１３】図１３は、第二変形例の検査装置の可動部の例示的な模式図である。
【図１４】図１４は、第三変形例の検査装置の開閉機構の例示的な模式図である。
【図１５】図１５は、第四変形例の検査装置の開閉機構の例示的な模式図である。
【図１６】図１６は、第五変形例の検査装置の開閉機構の例示的な模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の例示的な実施形態が開示される。以下に示される実施形態や変形例の構成や制御、ならびに当該構成や制御によってもたらされる作用および結果（効果）は、一例である。本発明は、以下の実施形態や変形例に開示される構成や制御以外によっても実現可能であるとともに、基本的な構成や制御によって得られる種々の効果（派生的な効果も含む）を得ることが可能である。
【００１０】
また、以下の実施形態や変形例には、同様の構成要素が含まれる。以下では、それら同様の構成要素には共通の符号が付与されるとともに、重複する説明が省略される。
【００１１】
本実施形態では、図１に示される画像検査装置１（検査装置）は、検査対象物１００の検査対象面１０１を撮像した画像に基づいて、検査対象面１０１の検査を行う。検査対象物１００は、例えば、長尺物や環状物等である。検査対象面１０１は、例えば、検査対象物１００の表面（外面、上面、下面、側面等）である。
【００１２】
画像検査装置１は、複数（例えば二つ）の光照射部８２Ｕ，８２Ｄ（８２）を備えている。光照射部８２Ｕ（第一の照射部）は、検査対象面１０１と直交する方向（垂直方向）に対して一方側（図１では左側）に傾斜した第一の方向から、検査対象面１０１の検査対象領域Ａに光を当てる。一方、光照射部８２Ｄ（第二の照射部）は、検査対象面１０１と直交する方向（垂直方向）に対して他方側（図１では右側）に傾斜した第二の方向から、検査対象面１０１の検査対象領域Ａに光を当てる。第一の方向は、例えば、検査対象領域Ａに対して、検査対象面１０１に沿う方向（０°）と検査対象面１０１に直交する方向（９０°）との間の第一の角度（例えば４５°）をなす方向であり、第二の方向は、例えば、検査対象領域Ａに対して、検査対象面１０１に沿う方向（１８０°）ならびに検査対象面１０１と直交する方向（９０°）との間の第二の角度（例えば１３５°）をなす方向である。また、本実施形態では、検査対象面１０１に光照射部８２Ｕからの光が照射されるとともに光照射部８２Ｄからの光が照射されない第一の状態と、検査対象面１０１に光照射部８２Ｄからの光が照射されるとともに光照射部８２Ｕからの光が照射されない第二の状態とが、交互に切り替わる。なお、本実施形態では、第一の方向（第一の角度）と第二の方向（第二の角度）とは、検査対象面１０１と直交する方向に対して対称であるが、対称でなくてもよい。
【００１３】
画像検査装置１は、複数（例えば二つ）の光学ユニット８０Ｕ，８０Ｄ（８０）を備えている。光照射部８２Ｕには、光学ユニット８０Ｕから、光ケーブル８１（光ファイバ）を介して光が供給され、光照射部８２Ｄには、光学ユニット８０Ｄから、光ケーブル８１を介して光が供給される。光照射部８２Ｕ，８２Ｄは、例えば、レンズ等の光学系部品を備えてもよいし、光ケーブル８１の端部であってもよい。光照射部８２Ｕ，８２Ｄからは、光学ユニット８０Ｕ，８０Ｄから供給された光が出射される。制御装置１０は、光学ユニット８０Ｕ，８０Ｄを制御することにより、光照射部８２Ｕ，８２Ｄから検査対象面１０１への光の照射および停止（非照射）を制御する。
【００１４】
撮像部３（撮像装置）は、検査対象面１０１の検査対象領域Ａに対して、検査対象面１０１と交差する方向（直交する方向、図１では上方）に位置され、検査対象領域Ａを撮像する。検査対象領域Ａは、検査対象面１０１に沿い、その位置での検査対象面１０１の幅方向（搬送方向との直交方向、図１の紙面と垂直な方向）に沿った線状（直線状）の領域である。撮像部３は、当該検査対象領域Ａを撮像するラインセンサである。撮像部３は、検査対象面１０１の幅方向（図１の紙面と垂直な方向）に沿って一列に配置された複数の撮像素子（光電変換素子、図示されず）を有する。撮像部３は、検査対象面１０１の幅方向に沿った線状の画像（画像データ、各撮像素子に対応した画素毎の輝度値のデータ、輝度値のデータ列）を取得する。検査対象領域Ａは、線状（線分状）の領域である。撮像部３の各撮像素子は、輝度値のデータを例えば２５６階調で取得する。撮像部３は、撮像される各時刻（タイミング）で、一次元の画像を取得する。なお、モノクロの撮像部３の場合、当該撮像部３は、各撮像素子について一つの画像データを取得し、カラーの撮像部３の場合、当該撮像部３は、各撮像素子について複数（例えば、Ｒ（赤）Ｇ（緑）Ｂ（青）の三つ）の画像データを取得する。
【００１５】
また、撮像部３は、検査対象領域Ａに第一の方向からの光が当てられた第一の状態、および第二の方向からの光が当てられた第二の状態のそれぞれについて、線状の画像を取得する。そのため、本実施形態では、撮像部３の撮像（画像の取得）のタイミングと、光照射部８２Ｕ，８２Ｄからの検査対象面１０１（検査対象領域Ａ）への光の照射のタイミングとは、互いに同期されている。また、検査対象物１００は、検査中、図１の右方向（搬送方向Ｍ）に搬送される。これにより、検査対象領域Ａは、検査対象面１０１上で図１の左方向（搬送方向Ｍとは逆方向）に移動する。そして、本実施形態では、撮像部３の撮像のタイミング、および光照射部８２Ｕ，８２Ｄからの検査対象面１０１への光の照射のタイミングは、検査対象物１００の搬送タイミングにも同期されている。なお、これらのタイミングの同期は必須ではなく、例えば、搬送速度が一定に設定され、撮像部３の撮像および光照射部８２Ｕ，８２Ｄからの光の照射が、一定の時間間隔で行われてもよい。
【００１６】
図２に示されるように、制御装置１０は、制御部２０（例えばＣＰＵ（central  processing  unit）等）や、ＲＯＭ２１（read  only  memory）、ＲＡＭ２２（random  access  memory）、ＨＤＤ２３（hard  disk  drive）、コントローラ２４（光照射コントローラ）、コントローラ２５（撮像コントローラ）、コントローラ２６（搬送コントローラ）、コントローラ２７（出力コントローラ）、コントローラ２８（検出コントローラ、アンプ）、コントローラ２９（開閉コントローラ）等を備えることができる。コントローラ２４は、制御部２０からの制御信号に基づいて、光源２Ｕ，２Ｄの発光（オン、オフ）等を制御する。コントローラ２５は、制御部２０からの制御信号に基づいて、撮像部３による撮像を制御する。コントローラ２６は、制御部２０から受けた制御信号に基づいて、搬送部４を制御し、検査対象物１００の搬送（開始、停止、速度等）を制御する。コントローラ２７は、制御部２０からの制御信号に基づいて、出力部５を制御する。コントローラ２８は、搬送検出部６の検出信号を得て、制御部２０に検出結果（角度、位置）を送る（入力する）。コントローラ２９は、制御部２０からの制御信号に基づいて、開閉機構７（７Ｕ，７Ｄ）を制御し、光源２Ｕ，２Ｄと光照射部８２Ｕ，８２Ｄとの間の光路の開通と遮断とを切り替える。また、制御部２０は、不揮発性の記憶部としてのＲＯＭ２１やＨＤＤ２３等にインストールされたプログラム（アプリケーション）を読み出して実行する。ＲＡＭ２２は、制御部２０がプログラムを実行して種々の演算処理を実行する際に用いられる各種データを一時的に記憶する。なお、図２に示されるハードウエアの構成は一例であって、例えばチップやパッケージ等を含む構成等、種々の変形された実施が可能である。また、各種演算処理は、並列処理することが可能であり、制御部２０等は、並列処理が可能なハードウエア構成とすることも可能である。
【００１７】
また、制御部２０は、ハードウエアとソフトウエア（プログラム）との協働によって、制御装置１０の少なくとも一部として機能（動作）する。すなわち、図３に示されるように、制御部２０は、光照射制御部２０ａや、撮像制御部２０ｂ、搬送制御部２０ｃ、画像取得部２０ｄ、画像分割部２０ｅ、画像補間部２０ｆ、差分画像取得部２０ｇ、異常検出部２０ｈ、出力制御部２０ｉ等として機能する。光照射制御部２０ａは、コントローラ２４、ひいては光源２Ｕ，２Ｄを制御する。また、光照射制御部２０ａは、コントローラ２９、ひいては開閉機構７（７Ｕ，７Ｄ）を制御する。光照射制御部２０ａは、切替制御部の一例である。撮像制御部２０ｂは、コントローラ２５、ひいては撮像部３を制御する。搬送制御部２０ｃは、コントローラ２６、ひいては搬送部４を制御する。出力制御部２０ｉは、コントローラ２７、ひいては出力部５を制御する。なお、画像検査装置１は、出力部として、スピーカ等の音声出力部を有してもよい。
【００１８】
図４に例示される光学ユニット８０は、筐体８０ａを備えている。筐体８０ａ内には、室８０ｂが形成され、この室８０ｂ内に、光源２と、開閉機構７と、が収容されている。開閉機構７は、光源２から光照射部８２を経由した検査対象面１０１への光路の遮断および開通（すなわち開閉）を切り替え、これにより、光照射部８２から検査対象面１０１に光が照射される照射状態と、光照射部８２から検査対象面１０１に光が照射されない非照射状態（照射停止状態）とを、切り替える。本実施形態では、開閉機構７は、例えば、光源２と光ケーブル８１の入り口（端部）との間の光路の遮断と開通とを切り替える（開閉する）。ただし、開閉機構７によって光路を開閉する位置は、この位置には限定されず、光源２から検査対象面１０１までの間の他の位置であってもよい。
【００１９】
開閉機構７は、可動部７４と、可動部７４を動かす駆動部７１と、を備える。可動部７４は、回転中心Ａｘ回りに回転可能に設けられた回転体である。駆動部７１は、回転中心Ａｘ回りに、シャフト７３とシャフト７３に固定された可動部７４とを回転させる。駆動部７１は、例えばモータである。駆動部７１（可動部７４）の回転は、回転検出部７２（検出部）によって検出される。回転検出部７２は、例えば、ロータリエンコーダである。制御部２０の光照射制御部２０ａは（図３参照）、回転検出部７２の検出結果により可動部７４の位置（回転位置）を取得し、各タイミングで可動部７４が所期の位置（角度）となるよう、駆動部７１を制御する。
【００２０】
図４〜６に示されるように、可動部７４は、回転中心Ａｘと交差して（直交して）広がった円板状に構成されている。可動部７４には、回転中心Ａｘの周方向に沿って１８０°にわたる円弧状（半円弧状、Ｃ字状）の開口部７４ａ（例えば貫通孔）が設けられている。一方、筐体８０ａには、光源２からの光を通過させる開口部８０ｃ（例えば貫通孔）が設けられている。この開口部８０ｃは、可動部７４の回転に伴って当該可動部７４の開口部７４ａと回転中心Ａｘに沿う方向に重なることができるように、設けられている。可動部７４は、３６０°の可動部７４の回転において、１８０°の角度範囲で開通位置Ｐ１に位置されている。可動部７４の残りの１８０°の角度範囲は、遮断部７４ｂである。遮断部７４ｂは、図５，６に示される回転中心Ａｘに沿う方向からの視線で、開口部７４ａが沿う仮想円（図示されず）上に位置され、開口部７４ａと回転中心Ａｘの周方向に隣接している。すなわち、可動部７４には、開口部７４ａ（開通部）と遮断部７４ｂとが、周方向に沿って交互に設けられている。よって、可動部７４の回転に伴って、図５に示されるように開口部７４ａと開口部８０ｃとが重なって光路Ｐが開通された状態と、図６に示されるように開口部７４ａと遮断部７４ｂとが重なって光路Ｐが遮断された状態とが、交互に切り替わる。図５の可動部７４の位置は、開通位置Ｐ１であり、図６の可動部７４の位置は、遮断位置Ｐ２である。開口部７４ａは、開通部の一例である。なお、開口部７４ａ，８０ａは、光が透過可能な部分（透過部）であれば良く、必ずしも空間である必要は無い。
【００２１】
また、本実施形態では、図１に示されるように、光照射部８２Ｕに対応した光学ユニット８０Ｕと、光照射部８２Ｄに対応した光学ユニット８０Ｄとが設けられている。これら光学ユニット８０Ｕ，８０Ｄは、いずれも、図４〜６に示された構成を備えている。ただし、上述したように、本実施形態では、検査対象面１０１に光照射部８２Ｕからの光が照射されるとともに光照射部８２Ｄからの光が照射されない第一の状態と、検査対象面１０１に光照射部８２Ｄからの光が照射されるとともに光照射部８２Ｕからの光が照射されない第二の状態とが、交互に切り替わる。よって、可動部７４が開通位置Ｐ１に位置されている図５の状態は、第一の状態での光学ユニット８０Ｕの状態Ｓ１Ｕであるとともに、第二の状態での光学ユニット８０Ｄの状態Ｓ２Ｄである。また、可動部７４が遮断位置Ｐ２に位置されている図６の状態は、第二の状態での光学ユニット８０Ｄの状態Ｓ１Ｄであるとともに、第二の状態での光学ユニット８０Ｕの状態Ｓ２Ｕである。なお、本実施形態では、光学ユニット８０Ｕ，８０Ｄは、回転検出部７２の検出結果に基づく制御部２０の制御により、電気的に連動している。
【００２２】
仮に、光源２Ｕ，２Ｄの点滅（照射および非照射（停止）の切り替え）によって第一の状態と第二の状態とが切り替えられる構成では、光源２Ｕ，２Ｄの点滅の応答性によって、第一の状態と第二の状態との切替の周波数、ひいては、画像検査の処理速度が、制限される。この点、本実施形態によれば、光源２Ｕ，２Ｄの点滅の応答性によらず、第一の状態と第二の状態との切り替えの周波数、ひいては、画像検査の処理速度が、より高まりやすい。
【００２３】
次に、図７〜１１が参照されながら、画像処理および異常検出の手順の一例が説明される。図７には、検査対象物１００の一例が示され、図８には、処理のフローチャートの一例が示され、図９〜１１には、図７のサンプルに対する画像処理の一例が示される。図７の例では、検査対象物１００の検査対象面１０１上に、正常なパターンＰＴと異常な突起ＥＲとが含まれている。光照射部８２Ｕ，８２Ｄから検査対象面１０１上への光の照射により、検査対象面１０１には、当該検査対象面１０１上の凹凸形状に応じた影ができる。影は、光が検査対象領域Ａに到来する方向とは反対側にできる。したがって、第一の状態と第二の状態とで、影は互いに反対側にできる。本実施形態では、影の影響を軽減した画像検査が行われる。
【００２４】
図８に示されるように、制御部２０は、例えば、光照射制御部２０ａ、撮像制御部２０ｂ、および画像取得部２０ｄとして機能し、光学ユニット８０Ｕ，８０Ｄおよび撮像部３を制御して、図９に示されるような、一次元のデータＤ１，Ｄ２，Ｄ３，・・・を取得する（Ｓ１）。
【００２５】
次に、制御部２０は、画像分割部２０ｅとして機能し、図１０の上段に示されるように、取得された順に交互にデータを分割する。すなわち、順次取得されたデータＤ１，Ｄ２，Ｄ３，・・・を、奇数列のデータＤ１，Ｄ３，Ｄ５，・・・と、偶数列のデータＤ２，Ｄ４，Ｄ６，・・・と、に分割する（Ｓ２）。このＳ２により、第一の状態で取得されたデータ群と、第二の状態で取得されたデータ群とを、分離することができる。なお、ここでは、奇数および偶数の二つのデータ群のうちいずれかが第一の状態で取得されたデータ群であればよい。
【００２６】
次に、制御部２０は、画像補間部２０ｆとして機能し、図１０の下段に示されるように、奇数列のデータＤ１，Ｄ３，Ｄ５，・・・については偶数列のデータＤｉ２，Ｄｉ４，Ｄｉ６，・・・を補間し、偶数列のデータＤ２，Ｄ４，Ｄ６，・・・については奇数列のデータＤｉ３，Ｄｉ５，Ｄｉ７，・・・を補間する（Ｓ３）。このＳ３では、例えば、各画素の輝度値を、隣接する２列の画素の平均値（平均輝度値）として算出する。
【００２７】
次に、制御部２０は、差分画像取得部２０ｇとして機能し、図１０の下段に示される二つのデータ列（画像ＩｍＵ，ＩｍＤ）の、対応する画素の輝度値の差のデータ列（画像Ｉｍ）を取得する（Ｓ４）。図１０の下段から明らかとなるように、正常なパターンＰＴについては、二つのデータ列間で輝度値の差は小さく、異常な突起ＥＲについては、二つのデータ列間で輝度値の差が大きい。よって、Ｓ１〜Ｓ４の手順によって、図１１に示されるように、Ｓ４の結果としての全体の画像Ｉｍ中に、異常な突起ＥＲに対応した画像ＩｍＥが現れる。
【００２８】
次に、制御部２０は、異常検出部２０ｈとして機能し、画像ＩｍＥが所期の条件を満たす場合、例えば、大きさや輝度値の設定された閾値を上回った場合、当該画像ＩｍＥを、異常（箇所）として検出する（Ｓ５）。次に、制御部２０は、出力制御部２０ｉとして機能し、異常の有無を出力（例えば表示）する（Ｓ６）。
【００２９】
以上、説明したように、本実施形態の画像検査装置１（検査装置）は、開閉機構７を備える。開閉機構７は、光源２Ｕから光照射部８２Ｕ（第一の照射部）を経由した検査対象面１０１への光路、および光源２Ｄから光照射部８２Ｄ（第二の照射部）を経由した検査対象面１０１への光路のうち少なくとも一方に対応し、光路を遮断しない開通位置Ｐ１と光路を遮断する遮断位置Ｐ２との間で移動可能な可動部７４と、可動部７４を開通位置Ｐ１と遮断位置Ｐ２との間で動かす駆動部７１と、を有する。仮に、光源２Ｕ，２Ｄの点滅によって第一の状態と第二の状態とが切り替えられる構成では、光源２Ｕ，２Ｄの点滅の応答性によって、第一の状態と第二の状態との切替の周波数、ひいては、画像検査の処理速度が制限される。この点、本実施形態によれば、例えば、光源２Ｕ，２Ｄの点滅の応答性によらず、第一の状態と第二の状態との切り替えの周波数、ひいては、画像検査の処理速度が、より高まりやすい。
【００３０】
また、本実施形態では、可動部７４は、回転体であり、光路Ｐを開通する開口部７４ａ（開通部）と光路Ｐを遮断する遮断部７４ｂとが回転中心Ａｘの周方向に沿って交互に設けられている。また、本実施形態では、画像検査装置１は、光源２Ｕから光照射部８２Ｕ（第一の照射部）を経由した検査対象面１０１への光路に対応した開閉機構７Ｕ（第一の開閉機構）と、光源２Ｄから光照射部８２Ｄ（第二の照射部）を経由した検査対象面１０１への光路に対応した開閉機構７Ｄ（第二の開閉機構）と、を備える。また、本実施形態では、光照射部８２Ｕに対応した開閉機構７Ｕ（第一の開閉機構）の可動部７４と、光照射部８２Ｄに対応した開閉機構７Ｄ（第二の開閉機構）の可動部７４とが、電気的に連動するよう構成されている。よって、本実施形態によれば、上記それぞれの技術的特徴によって、例えば、第一の状態と第二の状態とがより高速に切り替えられる画像検査装置１が、比較的簡素に構成されうる。
【００３１】
また、本実施形態では、画像検査装置１は、光源２と開閉機構７とを有する光学ユニット８０を備える。よって、本実施形態によれば、例えば、光源２と開閉機構７とが別個に構成された場合に比べて、画像検査装置１がより小型にあるいはより軽量に構成されうる。
【００３２】
＜可動部の変形例＞
図１２の第一変形例の可動部７４Ａには、回転中心Ａｘ回りの９０°おきに開口部７４ａ（開通部）と遮断部７４ｂとが設けられている。また、図１３の第二変形例の可動部７４Ｂには、回転中心Ａｘ回りの４５°おきに開口部７４ａ（開通部）と遮断部７４ｂとが設けられている。このような可動部７４Ａ，７４Ｂによっても、上記実施形態と同様の効果（結果）が得られる。また、開口部７４ａおよび遮断部７４ｂのスペック（例えば配置や数等）は、種々に変更して実施することができる。また、開口部７４ａの形状は、長穴状では無く、他の形状（例えば円形孔）であってもよい。また、開口部７４ａの端部の形状は、角を有した形状では無く、他の形状（例えば湾曲形状）であってもよい。また、開口部７４ａは、貫通孔では無く、周縁部に設けられ回転中心Ａｘに向けて凹んだ切り欠きであってもよい。また、遮断部７４ｂがアーム状に設けられるとともに、開口部７４ａが遮断部７４ｂに周方向に隣接した空間であってもよい。
【００３３】
＜開閉機構の変形例＞
図１４の第三変形例の開閉機構７Ｃは、駆動部７１として電磁ソレノイドを有した直動式（往復式）の可動部７４Ｃを有している。可動部７４Ｃは、光路Ｐを開通する開通位置Ｐ１と、光路Ｐを遮断する遮断位置Ｐ２との間で往復動可能である。このような開閉機構７Ｃによっても、上記実施形態や変形例と同様の効果（結果）が得られる。
【００３４】
また、図１５の第四変形例の開閉機構７Ｅでは、光照射部８２Ｕ（第一の照射部）に対応した可動部７４Ｕと、光照射部８２Ｄ（第二の照射部）に対応した可動部７４Ｄとが、機械的に連動する。具体的に、開閉機構７Ｅは、駆動部７１の回転中心Ａｘ１回りに回転するギヤ７６と、ギヤ７６と噛み合って可動部７４Ｕ，７４Ｄの回転中心Ａｘ回りに回転するギヤ７５Ｕ，７５Ｄと、を有する。駆動部７１によって回転されたギヤ７６の回転がギヤ７５Ｕに伝達され、ギヤ７５Ｕによって可動部７４Ｕが回転する。また、ギヤ７６の回転がギヤ７５Ｄに伝達され、ギヤ７５Ｄによって可動部７４Ｄが回転する。ギヤ７６，７５Ｕ，７５Ｄならびに可動部７４Ｕ，７４Ｄは、光源２Ｕから光照射部８２Ｕを経由した検査対象面１０１への光路ＰＵの開閉と、光源２Ｄから光照射部８２Ｄを経由した検査対象面１０１への光路ＰＤの開閉とが機械的に連動し、第一の状態と第二の状態とが交互に得られるよう、設定される。本変形例によれば、例えば、光学ユニット８０の数が減り、開閉機構７Ｅひいては画像検査装置１が、より小型にあるいはより軽量に構成されうる。なお、複数の可動部は、ギヤ以外の機構（例えば、ベルト等）によって機械的に連動するよう、構成されてもよい。
【００３５】
また、図１６の第五変形例の開閉機構７Ｆでは、光源２Ｕから光照射部８２Ｕ（第一の照射部）を経由した検査対象面１０１への光路ＰＵと、光源２Ｄから光照射部８２Ｄ（第二の照射部）を経由した検査対象面１０１への光路ＰＤとで、可動部７４が共用されている。すなわち、本変形例では、可動部７４は、光路ＰＵを開通するとともに光路ＰＤを遮断する位置Ｐ１１（第一の位置）と、光路ＰＵを遮断するとともに光路ＰＤを開通する位置（位置Ｐ１１から１８０°回転した位置、第二の位置、図示されず）と、の間で移動可能に構成されている。光路ＰＵが設けられる位置と光路ＰＤが設けられる位置との角度差は１８０°である。ただし、光路ＰＵおよび光路ＰＤのうち一方が開通されるとともに、他方が遮断される配置であれば、これには限定されない。また、本変形例では、図１６の可動部７４には限られず、図１６の光路ＰＵ，ＰＤに対応して、図１２，１３に示される可動部７４Ａ，７４Ｂ等を、用いることができる。本変形例によれば、例えば、可動部７４、ひいては光学ユニット８０の数が減り、開閉機構７Ｆひいては画像検査装置１が、より小型にあるいはより軽量に構成されうる。
【００３６】
以上、本発明の実施形態を例示したが、上記実施形態は一例である。実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、組み合わせ、変更を行うことができる。また、実施形態の構成や形状は、部分的に他の構成や形状と入れ替えて実施することも可能である。また、各構成や形状等のスペック（構造や、種類、方向、角度、形状、大きさ、長さ、幅、厚さ、高さ、数、配置、位置、材質等）は、適宜に変更して実施することができる。例えば、可動部および光路を構成する部材は、開通部が所定の位置範囲で光路と重なって光路が開通し、遮断部が所定の位置範囲で光路と重なって光路が遮断される構成であればよく、上記例示された構成には限定されない。また、一つの光源から複数の光路に光を分配する光学系が設けられてもよい。
【符号の説明】
【００３７】
１…画像検査装置（検査装置）、２，２Ｕ，２Ｄ…光源、３…撮像部、７，７Ｕ，７Ｄ，７Ｃ，７Ｅ，７Ｆ…開閉機構、７Ｕ…第一の開閉機構、７Ｄ…第二の開閉機構、２０ａ…光照射制御部（切替制御部）、２０ｈ…異常検出部、７１…駆動部、７４，７４Ｕ，７４Ｄ，７４Ａ，７４Ｂ，７４Ｃ…可動部、７４ａ…開口部（開通部）、７４ｂ…遮断部、８２Ｕ…光照射部（第一の照射部）、８２Ｄ…光照射部（第二の照射部）、１００…検査対象物、１０１…検査対象面、Ａｘ…回転中心、Ｐ，ＰＵ，ＰＤ…光路、Ｐ１１…第一の位置、Ｐ１２…第二の位置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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