(57)【要約】【課題】微小な２つの面のなす角度を精度良く測定することができる角度測定方法を提供する。【解決手段】  光の主光線と角度θｔを２等分する仮想線とが平行になるように被検物をホルダ装置６０にセットすると（Ｓ４１５）、２つの被検面が交差する部分に光が照射されるように被検物を移動させる（Ｓ４１７）。基準面Ａに光が垂直に入射するように基準物と被検物を回転させ（Ｓ４１９）、基準物及び被検物で反射された光の受光位置を第１の受光位置として求める（Ｓ４０１）。基準面Ｂに光が垂直に入射するように基準物と被検物を回転させ（Ｓ４０３）、基準物及び被検物で反射された光の受光位置を第２の受光位置として求める（Ｓ４０５）。第１の受光位置と第２の受光位置とに基づいて角度θｔを算出する（Ｓ４０７〜Ｓ４１１）。【選択図】図１４
2016017856.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの基準面のなす角度θｓが既知の基準物に光を照射し反射された光と、２つの被検面のなす角度θｔが未知の被検物に集光した光を照射し反射された光の受光位置に基づいて前記角度θｔを測定する角度測定方法であって、
前記被検物を照射する光の主光線と前記角度θｔを２等分する仮想線とが平行になるように前記被検物をセットする工程と、
前記２つの被検面が交差する部分に光が照射されるように、前記被検物を光の進行方向が含まれる面内で移動させる工程と、
前記２つの基準面の一方に光が垂直に入射するように前記基準物と前記被検物を光の進行方向に直交する軸まわりに回転させる工程と、
前記基準物で反射された光及び前記被検物で反射された光の受光位置を第１の受光位置として求める工程と、
前記２つの基準面の他方に光が垂直に入射するように前記基準物と前記被検物を前記軸まわりに回転させる工程と、
前記基準物で反射された光及び前記被検物で反射された光の受光位置を第２の受光位置として求める工程と、
前記第１の受光位置と前記第２の受光位置とに基づいて前記角度θｔを求める工程とを含む角度測定方法。
【請求項２】
前記被検物を照射する光は収束光であり、
前記２つの基準面の一方に光が垂直に入射されると、前記第１の受光位置を求めるのに先立って、前記２つの被検面の一方に入射する光のビーム径が最小となる位置に、前記被検物を移動させる工程を含むことを特徴とする請求項１に記載の角度測定方法。
【請求項３】
前記被検物を光の進行方向が含まれる面内で移動させる工程では、
前記２つの被検面の一方で反射される光の光量と他方で反射される光の光量とが等しくなるときに、前記２つの被検面が交差する部分に光が照射されていると判断することを特徴とする請求項１又は２に記載の角度測定方法。
【請求項４】
前記被検物を光の進行方向が含まれる面内で移動させる工程では、
前記被検物で反射された光によって、前記２つの被検面が交差する部分の像が形成されるときに、前記２つの被検面が交差する部分に光が照射されていると判断することを特徴とする請求項１又は２に記載の角度測定方法。
【請求項５】
前記被検物を光の進行方向が含まれる面内で移動させる工程では、
前記２つの被検面の一方で反射された光による光スポットと、他方で反射された光による光スポットとが形成され、それら２つの光スポットの大きさが等しいときに、前記２つの被検面が交差する部分に光が照射されていると判断することを特徴とする請求項１又は２に記載の角度測定方法。
【請求項６】
前記被検物を照射する光の主光線上に前記軸が位置していないとき、
前記被検物を光の進行方向が含まれる面内で移動させる工程に先だって、前記主光線上に前記軸を移動する工程を含むことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の角度測定方法。
【請求項７】
前記主光線上に前記軸を移動する工程では、
前記２つの基準面の一方に光が垂直に入射されるときに、前記被検物の頂点と前記主光線との距離ｙ１を求め、前記２つの基準面の他方に光が垂直に入射されるときに、前記被検物の頂点と前記主光線との距離ｙ２を求め、ｙ１＝−ｙ２となるように、前記軸を移動することを特徴とする請求項６に記載の角度測定方法。
【請求項８】
前記主光線上に前記軸が移動すると、前記被検物を照射する光の主光線と前記角度θｔを２等分する仮想線との交点は、前記軸上に位置していることを特徴とする請求項６又は７に記載の角度測定方法。
【請求項９】
２つの基準面のなす角度θｓが既知の基準物と、２つの被検面のなす角度θｔが未知の被検物とに光を照射し、前記角度θｔを測定する角度測定装置であって、
前記基準物に照射される第１の光、及び前記被検物に照射される第２の光を射出する光源装置と、
前記光源装置からの前記第２の光を集光し、前記被検物に照射する集光光学系と、
前記被検物を前記第２の光の進行方向に平行な面内で移動させることができる第１のスライド機構と、
前記基準物と前記第１のスライド機構を前記第２の光の進行方向に直交する軸まわりに同時に回転させることができる回転機構と、
前記回転機構を前記第２の光の進行方向に平行な面内で移動させることができる第２のスライド機構と、
前記基準物で反射された光、及び前記被検物で反射された光を受光し、それぞれの受光位置情報を出力する受光系とを備え、
前記被検物を、前記角度θｔを２等分する仮想線が前記第２の光の主光線に平行で、前記２つの被検面が交差する部分に前記第２の光が照射されるように移動させた後、前記２つの基準面の一方に光が垂直に入射するように前記基準物と前記被検物を回転させたときの前記受光系の出力と、前記２つの基準面の他方に光が垂直に入射するように前記基準物と前記被検物を回転させたときの前記受光系の出力とから前記角度θｔを求める角度測定装置。
【請求項１０】
光学素子を有する装置の製造方法であって、
請求項１〜８のいずれか一項に記載の角度測定方法を用いて前記光学素子における２つの面のなす角度を測定する工程を含む、装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、角度測定方法、角度測定装置及び装置の製造方法に係り、更に詳しくは、２つの面のなす角度を測定する角度測定方法、角度測定装置、及び光学素子を備える装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、特許文献１には、被検体の第１測定面と第２測定面の傾きを求めるオートコリメータが開示されている。
【０００３】
また、特許文献２には、被検物における頂角の角度を測定する角度測定装置が開示されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に開示されているオートコリメータ、及び特許文献２に開示されている角度測定装置では、微小な２つの面のなす角度を精度良く測定するのは困難であった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、２つの基準面のなす角度θｓが既知の基準物に光を照射し反射された光と、２つの被検面のなす角度θｔが未知の被検物に集光した光を照射し反射された光の受光位置に基づいて前記角度θｔを測定する角度測定方法であって、前記被検物を照射する光の主光線と前記角度θｔを２等分する仮想線とが平行になるように前記被検物をセットする工程と、前記２つの被検面が交差する部分に光が照射されるように、前記被検物を光の進行方向が含まれる面内で移動させる工程と、前記２つの基準面の一方に光が垂直に入射するように前記基準物と前記被検物を光の進行方向に直交する軸まわりに回転させる工程と、前記基準物で反射された光及び前記被検物で反射された光の受光位置を第１の受光位置として求める工程と、前記２つの基準面の他方に光が垂直に入射するように前記基準物と前記被検物を前記軸まわりに回転させる工程と、前記基準物で反射された光及び前記被検物で反射された光の受光位置を第２の受光位置として求める工程と、前記第１の受光位置と前記第２の受光位置とに基づいて前記角度θｔを求める工程とを含む角度測定方法である。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の角度測定方法によれば、微小な２つの面のなす角度を精度良く測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の一実施形態に係る角度測定装置の概略構成を示す図（その１）である。
【図２】本発明の一実施形態に係る角度測定装置の概略構成を示す図（その２）である。
【図３】本発明の一実施形態に係る角度測定装置の概略構成を示す図（その３）である。
【図４】第１ビームスプリッタを説明するための図である。
【図５】ミラーの作用を説明するための図である。
【図６】第２ビームスプリッタを説明するための図である。
【図７】ホルダ装置を説明するための図である。
【図８】第１のスライド機構を説明するための図である。
【図９】第２のスライド機構を説明するための図である。
【図１０】基準物を照射する光ＬＢ１及び被検物を照射する光ＬＢ２を説明するための図である。
【図１１】基準物で反射された光ＬＢ１の光路を説明するための図である。
【図１２】被検物で反射された光ＬＢ２の光路を説明するための図である。
【図１３】角度測定方法を説明するためのフローチャート（その１）である。
【図１４】角度測定方法を説明するためのフローチャート（その２）である。
【図１５】基準物の一例を説明するための図である。
【図１６】被検物の一例を説明するための図である。
【図１７】図１７（Ａ）は基準物がホルダ装置にセットされた状態を説明するための図であり、図１７（Ｂ）は被検物がホルダ装置にセットされた状態を説明するための図である。
【図１８】ホルダ装置にセットされた被検物と光ＬＢ２との位置関係を説明するための図である。
【図１９】ステップＳ３０３を説明するための図（その１）である。
【図２０】ステップＳ３０３を説明するための図（その２）である。
【図２１】ステップＳ３０５を説明するための図である。
【図２２】基準面Ａに光ＬＢ１が垂直に入射されるときの、被検物と光ＬＢ２との位置関係を説明するための図である。
【図２３】ステップＳ３０７を説明するための図である。
【図２４】ステップＳ３０９を説明するための図である。
【図２５】基準面Ｂに光ＬＢ１が垂直に入射されるときの、被検物と光ＬＢ２との位置関係を説明するための図である。
【図２６】ステップＳ３１１を説明するための図である。
【図２７】ステップＳ３１３を説明するための図である。
【図２８】ステップＳ３１５を説明するための図である。
【図２９】図２９（Ａ）及び図２９（Ｂ）は、それぞれ、角度θｔを２等分する仮想線と光ＬＢ２の主光線を延長した線との交点と、回転機構の回転中心との位置関係を説明するための図である。
【図３０】ステップＳ３１７を説明するための図である。
【図３１】ステップＳ３１９を説明するための図である。
【図３２】ステップＳ４０３を説明するための図である。
【図３３】角度θｓと角度θｔが異なる場合に、被検面Ａで反射された光ＬＢ２の光路、及び被検面Ｂで反射された光ＬＢ２の光路を説明するための図である。
【図３４】図３４（Ａ）は、基準面Ａ及び被検面Ａで反射された光の光検出器での受光位置を説明するための図であり、図３４（Ｂ）は、基準面Ｂ及び被検面Ｂで反射された光の光検出器での受光位置を説明するための図である。
【図３５】ホルダ装置にセットされた新たな被検物と光ＬＢ２との位置関係を説明するための図である。
【図３６】ステップＳ４１７を説明するための図である。
【図３７】基準面Ａに光ＬＢ１が垂直に入射されるときの、新たな被検物と光ＬＢ２との位置関係を説明するための図である。
【図３８】ステップＳ４２１を説明するための図である。
【図３９】被検物の変形例を説明するための図である。
【図４０】変形例の被検物のときのステップＳ３０３を説明するための図（その１）である。
【図４１】図４１（Ａ）及び図４１（Ｂ）は、それぞれ変形例の被検物のときのステップＳ３０３を説明するための図（その２）である。
【図４２】プリントヘッドの構成を説明するための図である。
【図４３】プリントヘッドの光源を説明するための図である。
【図４４】プリントヘッドの結像光学素子の斜視図である。
【図４５】結像光学素子のＸＺ断面図である。
【図４６】プリズム面の作用を説明するための図である。
【図４７】プリズム面の形状を説明するための図（その１）である。
【図４８】プリズム面の形状を説明するための図（その２）である。
【図４９】結像光学素子を通過する光の光路を説明するための図である。
【図５０】カラープリンタの概略構成を説明するための図である。
【図５１】図５１（Ａ）及び図５１（Ｂ）は、それぞれオートコリメータによる角度測定を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
被検物である板状部材の２つの面の角度を測定する装置として、オートコリメータが知られている（例えば、特許文献１参照）。このオートコリメータは、十字線等のパターンを被検物に投影し、被検物の表面で反射された戻り光（十字線等のパターン）と裏面で反射された戻り光（十字線等のパターン）の位置関係に基づいて、被検物の２つの面の角度を測定している。このとき、被検物に照射される光は平行光である。
【０００９】
このように、オートコリメータを用いると、被検物に照射した光が被検物で反射され、戻るときの角度ずれを求めることができる。これを応用して、オートコリメータを用いて、プリズム等の頂角も測定することができる。このときの測定方法について簡単に説明する。先ず、図５１（Ａ）に示されるように、頂角が既知（例えば９０度）の基準プリズムを被検物とし、オートコリメータで測定する。このときの状態（十字線等のパターンの位置）をリファレンスとする。その後、被検物を、頂角を測定したいプリズムＡに変えて、再度オートコリメータで測定する（図５１（Ｂ）参照）。このプリズムＡの頂角が、基準プリズムの頂角と異なっていれば、戻り光の角度が変化し、スクリーン上での十字線等のパターンの位置がリファレンスに対してずれることとなる。このときのずれ量は、プリズムＡの頂角と基準プリズムの頂角との差に対応するため、該ずれ量に基づいてプリズムＡの頂角を求めることができる。
【００１０】
このように、プリズムの頂角等をオートコリメータで測定するときは、最初に基準となるもの（基準プリズム等）を測定する必要があるため、測定に手間がかかっていた。
【００１１】
さらに、オートコリメータでは、被検物に平行光を照射する必要があるため、例えば１００μｍといった微小領域の角度を測定するには、光を所望の大きさに絞る必要があった。この場合、光量が不足し、微小領域の角度測定が困難であった。
【００１２】
また、プリズムの頂角を測定する際には、図５１（Ａ）及び図５１（Ｂ）に示されるように、プリズムにおける頂角を構成する面以外から光を入射させる必要があるため、例えば、その面に曲面等の何らかの構造があるときには、測定が困難であった。
【００１３】
また、干渉計を利用した角度測定装置が知られている（例えば、特許文献２参照）。しかしながら、干渉計を利用した角度測定装置では、測定可能なレベルの干渉縞が得られるまでの調整が難しく、準備に非常に時間がかかるという不都合があった。
【００１４】
以下、本発明の一実施形態を図１〜図３８に基づいて説明する。図１〜図３には、一実施形態に係る角度測定装置１０００の概略構成が示されている。
【００１５】
この角度測定装置１０００は、光源１０、第１ビームスプリッタ２０、ミラー３０、第２ビームスプリッタ４０、結像光学系５０、ホルダ装置６０、光検出器７０、処理装置１００、及び操作パネル１２１などを有している。
【００１６】
ここでは、ｘｙｚ３次元直交座標系において、光源１０から射出される光の進行方向を＋ｘ方向としている。
【００１７】
操作パネル１２１は、使用者が操作する複数のキーを有し、使用者から入力された各種情報を処理装置１００に通知する。また、操作パネル１２１は、液晶ディスプレイ等の表示部を備え、処理装置１００から指示された各種情報を表示する。
【００１８】
処理装置１００は、ＣＰＵ、該ＣＰＵにて解読可能なコードで記述されたプログラム及び該プログラムを実行する際に用いられる各種データなどが格納されているＲＯＭ、作業用のメモリであるＲＡＭ、アナログ信号をデジタル信号に変換するＡＤ変換器、デジタル信号をアナログ信号に変換するＤＡ変換器、などを有している。
【００１９】
光源１０としては、Ｈｅ−Ｎｅレーザが用いられている。この光源１０から射出される光は平行光である。なお、本明細書では、平行光は、厳密に平行な光だけでなく、わずかに収束する光及びわずかに発散する光を含む。また、光源１０は、Ｈｅ−Ｎｅレーザに限定されるものではなく、例えば、半導体レーザが用いられても良い。但し、この場合は、光源１０から射出される光が発散光であるため、該発散光を平行光にするためのカップリングレンズが光源１０の＋ｘ側に設けられる。
【００２０】
光源１０は、処理装置１００によって点灯及び消灯される。また、操作パネル１２１は、使用者が処理装置１００を介して光源１０を点灯及び消灯するためのキーを有している。
【００２１】
第１ビームスプリッタ２０は、入射光を透過光と反射光とにほぼ１：１で分割する光分割面２１を有し、光源１０の＋ｘ側に配置されている。ここでは、図４に示されるように、第１ビームスプリッタ２０は、光源１０から射出され、光分割面２１で反射された光が、＋ｚ方向に向かうように配置されている。
【００２２】
なお、以下では、便宜上、光分割面２１で＋ｚ方向に反射された光を「光ＬＢ１」ともいい、光分割面２１を透過した光を「光ＬＢ２」ともいう。
【００２３】
ミラー３０は、図５に示されるように、第１ビームスプリッタ２０の＋ｚ側に配置され、第１ビームスプリッタ２０の光分割面２１で反射された光ＬＢ１の光路を＋ｘ方向に曲げる。
【００２４】
第２ビームスプリッタ４０は、入射光を透過光と反射光とにほぼ１：１で分割する光分割面４１を有し、ミラー３０を介した光ＬＢ１及び第１ビームスプリッタ２０の光分割面２１を透過した光ＬＢ２の光路上に配置されている。
【００２５】
ここでは、図６に示されるように、第２ビームスプリッタ４０は、ミラー３０を介した光ＬＢ１及び第１ビームスプリッタ２０の光分割面２１を透過した光ＬＢ２であって、光分割面２１で反射された光が−ｙ方向に向かうように配置されている。
【００２６】
図２に戻り、結像光学系５０は、第２ビームスプリッタ４０の光分割面４１を透過した光ＬＢ２の光路上に配置され、該光ＬＢ２を集光する。なお、結像光学系５０は、１つの光学素子で構成されても良いし、複数の光学素子で構成されても良い。
【００２７】
ホルダ装置６０は、第２ビームスプリッタ４０の光分割面４１を透過した光ＬＢ１及び結像光学系５０を介した光ＬＢ２の光路上に配置され、一例として図７に示されるように、基準物保持部材６１、第１のスライド機構６２、回転機構６３、第２のスライド機構６４などを有している。
【００２８】
基準物保持部材６１は、ｚ軸方向を長手方向とするアーム部と、該アーム部の＋ｚ側端部に取り付けられた載置部とを有している。載置部は、ｚ軸方向に直交する載置面を有し、該載置面上に基準物が載置される。
【００２９】
第１のスライド機構６２は、ｚ軸に直交する面内で移動可能なテーブルを有し、該テーブル上に被検物が載置される。ここで、図８に示されるように、ｚ軸に直交する面内で互いに直交するローカルな２つの軸をａ軸及びｂ軸とする。そして、テーブルは、シャフトａとモータａによってａ軸方向に沿って移動され、シャフトｂとモータｂによってｂ軸方向に沿って移動される。
【００３０】
モータａ及びモータｂは、処理装置１００によって制御される。操作パネル１２１は、使用者が処理装置１００を介して第１のスライド機構６２のテーブルをａ軸方向及びｂ軸方向に沿って個別に移動させるためのキーを有している。
【００３１】
また、モータａ及びモータｂには、シャフトの回転数を検出するためのロータリーエンコーダが内蔵されている。処理装置１００は、モータａのロータリーエンコーダの出力からテーブルのａ軸方向に関する移動量を求めることができ、モータｂのロータリーエンコーダの出力からテーブルのｂ軸方向に関する移動量を求めることができる。
【００３２】
テーブルのａ軸方向に関する移動量及びｂ軸方向に関する移動量は、操作パネル１２１の表示部に表示される。
【００３３】
回転機構６３は、回転テーブル、及び該回転テーブルをｚ軸に平行な軸（回転軸）まわりに回転させる駆動部を有している。回転テーブルには、第１のスライド機構６２、及び基準物保持部材６１が固定されている。
【００３４】
駆動部は、処理装置１００によって制御される。操作パネル１２１は、使用者が処理装置１００を介して駆動部をオンオフするためのキーを有している。
【００３５】
また、駆動部には、回転テーブルの回転角を検出するための角度センサが内蔵されている。処理装置１００は、角度センサの出力から回転テーブルの回転角を求めることができる。回転テーブルの回転角は、操作パネル１２１の表示部に表示される。
【００３６】
第２のスライド機構６４は、ｘ軸方向及びｙ軸方向に沿って独立して移動可能なテーブルを有し、該テーブル上に回転機構６３が固定されている。
【００３７】
ここでは、図９に示されるように、テーブルは、シャフトｘとモータｘによってｘ軸方向に沿って移動され、シャフトｙとモータｙによってｙ軸方向に沿って移動される。
【００３８】
モータｘ及びモータｙは、処理装置１００によって制御される。操作パネル１２１は、使用者が処理装置１００を介して第２のスライド機構６４のテーブルをｘ軸方向及びｙ軸方向に沿って個別に移動させるためのキーを有している。
【００３９】
また、モータｘ及びモータｙには、シャフトの回転数を検出するためのロータリーエンコーダが内蔵されている。処理装置１００は、モータｘのロータリーエンコーダの出力からテーブルのｘ軸方向に関する移動量を求めることができ、モータｙのロータリーエンコーダの出力からテーブルのｙ軸方向に関する移動量を求めることができる。
【００４０】
テーブルのｘ軸方向に関する移動量及びｙ軸方向に関する移動量は、操作パネル１２１の表示部に表示される。
【００４１】
そこで、第１のスライド機構６２によって、被検物をｚ軸に直交する面内で移動させることができる。また、回転機構６３によって、基準物保持部材６１及び第１のスライド機構６２を回転軸まわりに回転させることができる。また、第２のスライド機構６４によって、基準物保持部材６１、第１のスライド機構６２、及び回転機構６３をｚ軸に直交する面内で移動させることができる。
【００４２】
そして、ホルダ装置６０は、一例として図１０に示されるように、基準物保持部材６１の載置部に載置された基準物に第２ビームスプリッタ４０の光分割面４１を透過した光ＬＢ１が照射され、第１のスライド機構６２のテーブルに載置された被検物に結像光学系５０を介した光ＬＢ２が集光されるように設定されている。
【００４３】
基準物で反射され第２ビームスプリッタ４０に入射した光ＬＢ１は、一例として図１１に示されるように、ほぼ半分が光分割面４１を透過し、残りが光分割面４１で＋ｙ方向に反射される。
【００４４】
被検物６７で反射され結像光学系５０に入射した光ＬＢ２は、一例として図１２に示されるように、平行光となったのち、第２ビームスプリッタ４０に入射し、ほぼ半分が光分割面４１を透過し、残りが光分割面４１で＋ｙ方向に反射される。
【００４５】
光検出器７０は、第２ビームスプリッタ４０の＋ｙ側に配置され、第２ビームスプリッタ４０の光分割面４１で＋ｙ方向に反射された光ＬＢ１及び光ＬＢ２を受光する。この光検出器７０は、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）を有し、光ＬＢ１及び光ＬＢ２の受光位置に関する情報を処理装置１００に出力する。光ＬＢ１及び光ＬＢ２の受光位置に関する情報は、操作パネル１２１の表示部に表示される。なお、受光位置に関する情報としては、光スポットの重心位置を用いることができる。
【００４６】
次に、角度測定装置１０００を用いて使用者によって行われる角度測定方法について、図１３及び図１４のフローチャートを用いて説明する。
【００４７】
なお、ここでは、基準物は、図１５に示されるように三角柱状の物体であり、基準面Ａと基準面Ｂとのなす角度θｓは既知である。また、被検物は、図１６に示されるように三角柱状の物体であり、被検面Ａと被検面Ｂとのなす角度θｔは不明である。
【００４８】
被検面Ａ及び被検面Ｂは微小な面であり、基準面Ａ及び基準面Ｂは、被検面Ａ及び被検面Ｂに比べて非常に大きい面である。また、角度θｓと角度θｔとの差は１°以下である。なお、被検面Ａと被検面Ｂが交差する部分を「頂点」ともいう。また、角度θｓの値は、既に使用者によって操作パネル１２１を介して処理装置に通知されている。
【００４９】
（１）基準物及び被検物をホルダ装置６０にセットする（ステップＳ３０１）。
【００５０】
ここでは、基準物は、図１７（Ａ）に示されるように、角度θｓを２等分する仮想線がｘ軸と平行になるように載置面に載置され、被検物は、図１７（Ｂ）に示されるように、角度θｔを２等分する仮想線がｘ軸と平行になるように第１のスライド機構６２のテーブルに載置される。このときの、被検物と光ＬＢ２との位置関係の一例が図１８に示されている。
【００５１】
（２）一例として図１９に示されるように、角度θｔを２等分する仮想線が、光ＬＢ２の主光線上に位置するように、第１のスライド機構６２のテーブルをｙ軸方向に沿って移動させる（ステップＳ３０３）。
【００５２】
このとき、一例として図２０に示されるように、２つのスクリーン（スクリーン１、スクリーン２）を、ｙ軸方向に関して光ＬＢ２の主光線から等しい距離ｐにあって、被検面Ａで反射された光の光路上及び被検面Ｂで反射された光の光路上に配置する。そして、２つのスクリーン上に形成される光スポットの大きさ及び明るさが目視でほぼ等しくなると、角度θｔを２等分する仮想線が、光ＬＢ２の主光線上に位置していると判断する。
【００５３】
（３）一例として図２１に示されるように、基準面Ａに光ＬＢ１が垂直に入射するように、回転機構６３を駆動する（ステップＳ３０５）。
【００５４】
具体的には、回転機構６３の回転テーブルをθｓ／２だけ回転させる。このとき、回転機構６３の回転中心が光ＬＢ２の主光線上にないと、一例として図２２に示されるように、被検物では、光ＬＢ２は一部がけられる場合がある。このけられは、測定誤差を招く。
【００５５】
（４）第２のスライド機構６４を駆動させ、ｙ軸方向に関する光ＬＢ２の主光線と被検物の頂点との距離ｙ１（図２３参照）を求める（ステップＳ３０７）。
【００５６】
ここでは、被検物で反射された光の光路上にスクリーンを配置し、第２のスライド機構６４のテーブルをｙ軸方向に沿って移動させながら、スクリーン上に形成される光スポットの形状を目視により観察し、該形状が半円形状になると、被検物の頂点が光ＬＢ２の主光線上に位置していると判断する。このときの、第２のスライド機構６４のテーブルのｙ軸方向に関する移動量が距離ｙ１であり、操作パネル１２１の表示部に表示されている。
【００５７】
（５）第２のスライド機構６４を駆動させ、図２２の状態に戻す。
【００５８】
（６）一例として図２４に示されるように、基準面Ｂに光ＬＢ１が垂直に入射するように、回転機構６３を駆動する（ステップＳ３０９）。
【００５９】
具体的には、回転機構６３の回転テーブルをθｓだけ工程（３）の場合とは反対方向に回転させる。このときの、被検物と光ＬＢ２との関係の一例が図２５に示されている。
【００６０】
（７）第２のスライド機構６４を駆動させ、ｙ軸方向に関する光ＬＢ２の主光線と被検物の頂点との距離ｙ２（図２６参照）を求める（ステップＳ３１１）。
【００６１】
ここでは、被検物で反射された光の光路上にスクリーンを配置し、第２のスライド機構６４のテーブルをｙ軸方向に沿って移動させながら、スクリーン上に形成される光スポットの形状を目視により観察し、該形状が半円形状になると、被検物の頂点が光ＬＢ２の主光線上に位置していると判断する。このときの、第２のスライド機構６４のテーブルのｙ軸方向に関する移動量が距離ｙ２であり、操作パネル１２１の表示部に表示されている。
【００６２】
（８）ｙ１＝−ｙ２となるように、第２のスライド機構６４を駆動させる（ステップＳ３１３）。
【００６３】
これにより、回転機構６３の回転中心が光ＬＢ２の主光線上に位置することとなる（図２７参照）。
【００６４】
（９）角度θｔを２等分する仮想線が、光ＬＢ２の主光線上に位置するように（図２８参照）、回転機構６３及び第１のスライド機構６２を駆動する（ステップＳ３１５）。
【００６５】
具体的には、図１９の状態からの回転角及びｚ軸に直交する面内での移動量が分かっているので、容易に、角度θｔを２等分する仮想線が、光ＬＢ２の主光線上に位置するようにすることができる。
【００６６】
これにより、図２９（Ａ）及び図２９（Ｂ）に示されるように、角度θｔを２等分する仮想線と、光ＬＢ２の主光線を延長した線との交点に、回転機構６３の回転中心が位置することとなる。
【００６７】
（１０）基準面Ａに光ＬＢ１が垂直に入射するように、回転機構６３を駆動する（ステップＳ３１７）。
【００６８】
このとき、被検物では、被検面Ａに光ＬＢ２が照射される（図３０参照）。
【００６９】
（１１）光ＬＢ２のビーム径が被検面Ａ上で最も小さくなるように、第２のスライド機構６４を駆動させる（ステップＳ３１９）。一例として、光ＬＢ２の最小ビーム径は約５０μｍである。
【００７０】
ここでは、光検出器７０を外し、第２ビームスプリッタ４０の＋ｙ側の遠い位置にスクリーンを配置し（図４０参照）、第２のスライド機構６４のテーブルをｘ軸方向に沿って移動させながら、スクリーン上に形成される光スポットの大きさを目視により観察し、該大きさが最も小さくなると、光ＬＢ２のビーム径が被検面Ａ上で最も小さくなると判断する。
【００７１】
この場合、光ＬＢ２は、けられることなく、被検面Ａに照射される（図３１参照）。なお、以下では、便宜上、このときの回転機構６３の回転中心の位置を「最適中心位置」ともいう。
【００７２】
（１２）光検出器７０から出力される光ＬＢ１及び光ＬＢ２の受光位置（第１の受光位置）に関する情報を処理装置１００を介して取得する（ステップＳ４０１）。ここで得られた光ＬＢ１の受光位置をｘｓ１、光ＬＢ２の受光位置をｘｔ１とする。
【００７３】
（１３）基準面Ｂに光ＬＢ１が垂直に入射するように、回転機構６３を駆動する（ステップＳ４０３）。
【００７４】
このとき、被検物では、光ＬＢ２がけられることなく被検面Ｂに照射され、光ＬＢ２のビーム径は被検面Ｂ上で最も小さくなる（図３２参照）。
【００７５】
（１４）光検出器７０から出力される光ＬＢ１及び光ＬＢ２の受光位置（第２の受光位置）に関する情報を処理装置１００を介して取得する（ステップＳ４０５）。ここで得られた光ＬＢ１の受光位置をｘｓ２、光ＬＢ２の受光位置をｘｔ２とする。
【００７６】
図３３には、角度θｓと角度θｔが異なるときに、被検面Ａで反射された光ＬＢ２の光路と、被検面Ｂで反射された光ＬＢ２の光路とが示されている。そして、このときに、光検出器７０で受光された光ＬＢ１及び光ＬＢ２の受光位置が図３４（Ａ）及び図３４（Ｂ）に示されている。
【００７７】
（１５）次の（１）式に基づいてΔθｓを算出する（ステップＳ４０７）。ここで、Ｌは、基準面から光検出器７０の受光面までの光ＬＢ１の光路長である。
Δθｓ＝ａｔａｎ（（ｘｓ２−ｘｓ１）／Ｌ）／２  ……（１）
【００７８】
なお、ここでは、光ＬＢ１は、基準面Ａ及び基準面Ｂに垂直に入射しているため、ｘｓ１＝ｘｓ２であり、その結果、Δθｓは０である。
【００７９】
（１６）次の（２）式に基づいてΔθｔを算出する（ステップＳ４０９）。ここで、ｆは、結像光学系５０の焦点距離である。
Δθｔ＝ａｔａｎ（（ｘｔ２−ｘｔ１）／ｆ）／２  ……（２）
【００８０】
（１７）次の（３）式に基づいて角度θｔを算出する（ステップＳ４１１）。
θｔ＝θｓ＋Δθｔ−Δθｓ  ……（３）
【００８１】
次に、続いて上記被検物と同じ種類であって、別の個体の角度θｔを測定する方法について説明する。
【００８２】
（１８）回転機構６３を駆動させ、図２８の状態に戻す。
【００８３】
（１９）第１のスライド機構６２のテーブルに載置されている被検物を新たな被検物と取り替える（ステップＳ４１５）。
【００８４】
この場合も、新たな被検物は、角度θｔを２等分する仮想線がｘ軸と平行になるように第１のスライド機構６２のテーブルに載置される。このときの、被検物と光ＬＢ２との位置関係の一例が図３５に示されている。なお、このとき、回転機構６３の回転中心は最適中心位置にある。
【００８５】
（２０）上記工程（２）と同様にして、角度θｔを２等分する仮想線が、光ＬＢ２の主光線上に位置するように、第１のスライド機構６２のテーブルをｙ軸方向に沿って移動させる（図３６参照）（ステップＳ４１７）。
【００８６】
（２１）基準面Ａに光ＬＢ１が垂直に入射するように、回転機構６３を駆動する（ステップＳ４１９）。このときの、被検物と光ＬＢ２との位置関係の一例が図３７に示されている。
【００８７】
（２２）光ＬＢ２のビーム径が被検面Ａ上で最も小さくなるように、第１のスライド機構６２を駆動させる（図３８参照）（ステップＳ４２１）。このとき、光ＬＢ２は、けられることなく、被検面Ａに照射される。
【００８８】
ここでは、光検出器７０を外し、第２ビームスプリッタ４０の＋ｙ側の遠い位置にスクリーンを配置し（図４０参照）、第１のスライド機構６２のテーブルをａ軸方向に沿って移動させながら、スクリーン上に形成される光スポットの大きさを目視により観察し、該大きさが最も小さくなると、光ＬＢ２のビーム径が被検面Ａ上で最も小さくなると判断する。
【００８９】
（２３）光検出器７０から出力される光ＬＢ１及び光ＬＢ２の受光位置に関する情報を処理装置１００を介して取得する（ステップＳ４０１）。ここで得られた光ＬＢ１の受光位置をｘｓ１、光ＬＢ２の受光位置をｘｔ１とする。
【００９０】
（２４）基準面Ｂに光ＬＢ１が垂直に入射するように、回転機構６３を駆動する（ステップＳ４０３）。
【００９１】
このとき、被検物では、光ＬＢ２がけられることなく被検面Ｂに照射され、光ＬＢ２のビーム径は被検面Ｂ上で最も小さくなる。
【００９２】
（２５）光検出器７０から出力される光ＬＢ１及び光ＬＢ２の受光位置に関する情報を処理装置１００を介して取得する（ステップＳ４０５）。ここで得られた光ＬＢ１の受光位置をｘｓ２、光ＬＢ２の受光位置をｘｔ２とする。
【００９３】
（２６）上記（１）式に基づいてΔθｓを算出する（ステップＳ４０７）。
（２７）上記（２）式に基づいてΔθｔを算出する（ステップＳ４０９）。
（２８）上記（３）式に基づいて角度θｔを算出する（ステップＳ４１１）。
【００９４】
以上の説明から明らかなように、本実施形態に係る角度測定装置１０００では、光源１０と第１ビームスプリッタ２０とミラー３０とによって本発明の光源装置が構成されている。また、光ＬＢ１が本発明の第１の光に対応し、光ＬＢ２が本発明の第２の光に対応している。
【００９５】
以上説明したように、本実施形態に係る角度測定装置１０００は、光源１０、第１ビームスプリッタ２０、ミラー３０、第２ビームスプリッタ４０、結像光学系５０、ホルダ装置６０、光検出器７０、処理装置１００、及び操作パネル１２１などを有している。
【００９６】
光源１０から射出された光は、第１ビームスプリッタ２０で光ＬＢ１と光ＬＢ２に分割される。光ＬＢ１は、ミラー３０で光路が曲げられ、第２ビームスプリッタ４０を介して、ホルダ装置６０に保持されている基準物に照射される。光ＬＢ２は、第２ビームスプリッタ４０を介して結像光学系５０に入射され、ホルダ装置６０に保持されている被検物近傍に集光される。
【００９７】
基準物は、基準面Ａ及び基準面Ｂを有し、基準面Ａと基準面Ｂとのなす角度θｓは既知である。被検物は、被検面Ａ及び被検面Ｂを有し、被検面Ａと被検面Ｂとのなす角度θｔが、角度測定装置１０００によって計測される角度である。
【００９８】
ホルダ装置６０は、基準物及び被検物を保持するとともに、被検物をｚ軸に直交する面内で移動させることができる第１のスライド機構６２、基準物と第１のスライド機構６２をｚ軸まわりに回転させる回転機構６３、回転機構６３をｚ軸に直交する面内で移動させることができる第２のスライド機構６４などを有している。
【００９９】
基準物で反射された光ＬＢ１は、第２ビームスプリッタ４０に入射され、光分割面４１で反射された光ＬＢ１が光検出器７０で受光される。被検物で反射された光ＬＢ２は、結像光学系５０で平行光に変換された後、第２ビームスプリッタ４０に入射され、光分割面４１で反射された光ＬＢ２が光検出器７０で受光される。
【０１００】
使用者は、被検物を照射する光の主光線と角度θｔを２等分する仮想線とが平行になるように被検物をホルダ装置６０にセットすると、２つの被検面が交差する部分に光が照射されるように、第１のスライド機構６２によって被検物を移動させる。そして、使用者は、基準面Ａに光が垂直に入射するように、回転機構６３によって基準物と被検物を回転させ、基準物で反射された光及び被検物で反射された光の受光位置を第１の受光位置として求める。次に、使用者は、基準面Ｂに光が垂直に入射するように、回転機構６３によって基準物と被検物を回転させ、基準物で反射された光及び被検物で反射された光の受光位置を第２の受光位置として求める。そして、使用者は、第１の受光位置と第２の受光位置とに基づいて角度θｔを求める。
【０１０１】
この場合は、２つの被検面が微小であっても、各被検面にけられることなく光を照射することができるため、２つの被検面のなす角度を精度良く測定することができる。
【０１０２】
また、測定の準備を従来よりも簡素化することができる。また、被検面以外の面は光が通過しないため、頂角を構成する面以外の面に曲面等の何らかの構造があっても測定可能である。
【０１０３】
また、従来のオートコリメータ等では測定が難しかった微小ピッチで配列されているプリズムアレイにおける任意のプリズムの頂角を測定することができる。
【０１０４】
また、上記実施形態では、基準面で反射された光ＬＢ１の受光位置と、被検面で反射された光ＬＢ２の受光位置とを同時に測定することができるため、角度測定処理に要する時間を短縮することができる。
【０１０５】
また、上記実施形態では、被検面に照射される光ＬＢ２及び被検面で反射された光ＬＢ２が、いずれも結像光学系５０を介しているため、光学系を簡素化することができ、低コスト化及び小型化を図ることができる。また、角度測定装置における調整対象を結像光学系５０のみとすることができ、調整処理を簡素化することができる。
【０１０６】
また、上記実施形態では、基準面に照射される光ＬＢ１が平行光であるため、基準面における微小な面形状誤差の影響を軽減でき、光ＬＢ１の受光位置を精度良く求めることができる。また、基準面上での光ＬＢ１の大きさと、光検出器での光ＬＢ１の大きさが略等しくなり、光検出器での光ＬＢ１の大きさをさほど大きくさせることなく、基準面に十分な大きさの光を照射できる。
【０１０７】
また、上記実施形態では、受光系として光ＬＢ１を受光する受光領域と光ＬＢ２を受光する受光領域とを有する単一の光検出器７０を用いているため、設置位置の変化等によって測定精度が低下するのを抑制でき、安定した測定が可能となる。
【０１０８】
また、上記実施形態では、光検出器７０に入射する光ＬＢ２を平行光としている。この場合は、光検出器７０で受光される光ＬＢ２のビーム径が大きくなるのを抑制でき、光ＬＢ２の受光位置の測定精度を向上させることができる。
【０１０９】
なお、上記実施形態において、前記光検出器７０に代えて、ＣＣＤカメラを用いても良い。
【０１１０】
また、上記実施形態において、前記光検出器７０に代えて、光ＬＢ１を受光する光検出器と光ＬＢ２を受光する光検出器とを用いても良い。
【０１１１】
また、上記実施形態において、被検面で反射された光ＬＢ２を平行光に変換し、光検出器７０に導光する変換光学系を、前記結像光学系５０とは別に設けても良い。
【０１１２】
また、上記実施形態において、光源１０として、レーザ以外の光源を用いても良い。
【０１１３】
また、上記実施形態において、使用者によって行われる処理の一部を処理装置１００が行っても良い。例えば、処理装置１００が、被検物を、角度θｔを２等分する仮想線が光ＬＢ２の主光線に平行で、２つの被検面が交差する部分に光ＬＢ２が照射されるように移動させた後、基準面Ａに光ＬＢ１が垂直に入射するように基準物と被検物を回転させたときの光検出器７０の出力と、基準面Ｂに光ＬＢ１が垂直に入射するように基準物と被検物を回転させたときの光検出器７０の出力とから角度θｔを求めても良い。
【０１１４】
なお、上記説明では、被検面Ａと被検面Ｂとによって凸部が形成される被検物について説明したが、これに限定されるものではなく、一例として図３９に示されるように、被検面Ａと被検面Ｂとによって凹部が形成される被検物であっても良い。
【０１１５】
この場合に、上記工程（２）では、一例として図４０に示されるように、光検出器７０を外し、第２ビームスプリッタ４０の＋ｙ側の遠い位置にスクリーンを配置する。そして、該スクリーン上に、被検面Ａと被検面Ｂとによって形成される稜線の像（図４１（Ａ）参照）が観察されたり、あるいは大きさ及び明るさの等しい２つの光スポット（図４１（Ｂ）参照）が形成されると、角度θｔを２等分する仮想線が、光ＬＢ２の主光線上に位置していると判断する。
【０１１６】
ところで、図４２には、プリントヘッド３が示されている。このプリントヘッド３は、光源３１０、及び結像光学素子３２０などを有している。
【０１１７】
光源３１０は、発光部材３１１、駆動装置３１２、基板３１３を有している。基板３１３は、Ｙ軸方向を長手方向とする長方形状の板状部材である。発光部材３１１及び駆動装置３１２は、基板３１３の＋Ｘ側の面に実装されている。
【０１１８】
発光部材３１１は、一例として図４３に示されるように、複数のＬＥＤアレイを有している。該複数のＬＥＤアレイは、Ｙ軸方向に沿って配列されている。そして、各ＬＥＤアレイは、Ｙ軸方向に沿って配列された複数のＬＥＤ素子を有している。すなわち、発光部材３１１は、Ｙ軸方向に沿って基板３１３上に配列された複数の発光部を有している。各ＬＥＤ素子は、＋Ｘ方向に光を射出する。
【０１１９】
駆動装置３１２は、複数のＬＥＤアレイに対応して複数の駆動用ＩＣチップを有している。該複数の駆動用ＩＣチップは、Ｙ軸方向に沿って配列されている。各駆動用ＩＣチップには、複数の駆動用トランジスタが集積されており、ＬＥＤ素子ひとつに駆動用トランジスタひとつが対応している。
【０１２０】
図４２に戻り、結像光学素子３２０は、光源３１０の＋Ｘ側に配置されている。この結像光学素子３２０の斜視図が図４４に示され、ＸＺ断面図が図４５に示されている。結像光学素子３２０は、樹脂成型品である。
【０１２１】
結像光学素子３２０は、−Ｘ側に入射面を有している。この入射面は、Ｙ軸方向に沿って所定のピッチ（以下では、「入射面ピッチ」ともいう。）で形成された複数の入射光学面を有している。ここでは、入射面ピッチは０．８ｍｍである。
【０１２２】
また、結像光学素子３２０は、＋Ｚ側に射出面を有している。この射出面は、Ｙ軸方向に沿って所定のピッチ（以下では、「射出面ピッチ」ともいう。）で形成された複数の射出光学面を有している。ここでは、射出面ピッチは０．８ｍｍである。
【０１２３】
入射面の複数の入射光学面と、射出面の複数の射出光学面は、Ｙ軸方向に関してずれ（位相ずれ）がないように形成されている。すなわち、Ｙ軸方向に関して同じ位置にある一の入射光学面と一の射出光学面は対となっている。
【０１２４】
また、結像光学素子３２０は、入射面を介した光の光路を射出面に向かう方向に折り曲げるためのプリズム面を有している（図４６参照）。なお、ＸＺ面内で、プリズム面に平行な軸方向をα軸方向とし、該α軸方向に直交する軸方向をβ軸方向とする（図４６参照）。
【０１２５】
β軸方向からみたプリズム面が図４７に示され、α軸方向からみたプリズム面が図４８に示されている。
【０１２６】
プリズム面は、ＹＺ面及びＸＹ面のいずれに対しても４５°傾斜した面である。また、プリズム面は、α軸方向に延びるＶ字形状の溝が所定のピッチ（以下では、「プリズム面ピッチ」ともいう。）で形成されている。すなわち、Ｙ軸方向に沿って複数のプリズムが配置されているのと同等である。ここでは、プリズム面ピッチは０．１ｍｍである。
【０１２７】
そこで、光源３１０から射出された光は、結像光学素子３２０の入射面、プリズム面、及び射出面を介して感光体ドラム１の表面に照射される（図４９参照）。
【０１２８】
プリズム面におけるプリズムの頂角は、プリントヘッド３の製造工程あるいはプリントヘッド３が搭載される装置の製造工程で、上述した角度測定装置及び角度測定方法を用いて測定される。そして、該頂角がほぼ９０°であることが確認されている。
【０１２９】
図５０には、光学素子を備える装置としてのカラープリンタ２０００の概略構成が示されている。
【０１３０】
このカラープリンタ２０００は、４色（ブラック、シアン、マゼンタ、イエロー）を重ね合わせてフルカラーの画像を形成するタンデム方式の多色カラープリンタであり、４つの感光体ドラム（１Ｋ、１Ｃ、１Ｍ、１Ｙ）、４つの帯電器（２Ｋ、２Ｃ、２Ｍ、２Ｙ）、４つのプリントヘッド（３Ｋ、３Ｃ、３Ｍ、３Ｙ）、４つの現像器（４Ｋ、４Ｃ、４Ｍ、４Ｙ）、４つの転写ローラ（５Ｋ、５Ｃ、５Ｍ、５Ｙ）、４つのクリーニングユニット（６Ｋ、６Ｃ、６Ｍ、６Ｙ）、中間転写ベルト２０１、搬送ベルト２０２、２次転写ローラ２０３、定着器２０４、給紙トレイ２０５、給紙コロ２０６、通信制御装置２０８、上記各部を統括的に制御するプリンタ制御装置２０９、及びそれらが収容されているプリンタ筐体２１０などを備えている。
【０１３１】
通信制御装置２０８は、ネットワークなどを介した上位装置（例えばパソコン）との双方向の通信を制御する。
【０１３２】
プリンタ制御装置２０９は、ＣＰＵ、該ＣＰＵにて解読可能なコードで記述されたプログラム及び該プログラムを実行する際に用いられる各種データが格納されているＲＯＭ、作業用のメモリであるＲＡＭ、アナログ信号をデジタル信号に変換するＡＤ変換回路などを有している。
【０１３３】
感光体ドラム１Ｋ、帯電器２Ｋ、プリントヘッド３Ｋ、現像器４Ｋ、転写ローラ５Ｋ、及びクリーニングユニット６Ｋは、組として使用され、ブラックの画像を形成する画像形成ステーション（以下では、便宜上「Ｋステーション」ともいう）を構成する。
【０１３４】
感光体ドラム１Ｃ、帯電器２Ｃ、プリントヘッド３Ｃ、現像器４Ｃ、転写ローラ５Ｃ、及びクリーニングユニット６Ｃは、組として使用され、シアンの画像を形成する画像形成ステーション（以下では、便宜上「Ｃステーション」ともいう）を構成する。
【０１３５】
感光体ドラム１Ｍ、帯電器２Ｍ、プリントヘッド３Ｍ、現像器４Ｍ、転写ローラ５Ｍ、及びクリーニングユニット６Ｍは、組として使用され、マゼンタの画像を形成する画像形成ステーション（以下では、便宜上「Ｍステーション」ともいう）を構成する。
【０１３６】
感光体ドラム１Ｙ、帯電器２Ｙ、プリントヘッド３Ｙ、現像器４Ｙ、転写ローラ５Ｙ、及びクリーニングユニット６Ｙは、組として使用され、イエローの画像を形成する画像形成ステーション（以下では、便宜上「Ｙステーション」ともいう）を構成する。
【０１３７】
各感光体ドラムはいずれも、その表面に感光層が形成されている。各感光体ドラムの表面がそれぞれ被露光面である。各感光体ドラムは、不図示の回転機構により、図１における面内で矢印方向に回転する。
【０１３８】
各帯電器は、対応する感光体ドラムの表面をそれぞれ均一に帯電させる。
【０１３９】
各プリントヘッドは、プリントヘッド３と同等のプリントヘッドであり、プリンタ制御装置２０９によって制御され、対応する帯電された感光体ドラムの表面に、対応する色の画像情報に基づいて変調された光を照射する。これにより、画像情報に対応した潜像が各感光体ドラムの表面にそれぞれ形成される。ここで形成された潜像は、感光体ドラムの回転に伴って対応する現像器の方向に移動する。
【０１４０】
各現像器は、対応する感光体ドラムの表面に形成された潜像にトナーを付着させて顕像化させる。ここでトナーが付着した像（トナー画像）は、感光体ドラムの回転に伴って対応する転写ローラの方向に移動する。
【０１４１】
各転写ローラは、トナー画像を中間転写ベルト２０１に転写する。イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの各トナー画像は、中間転写ベルト２０１上で重ね合わされてカラー画像が形成される。
【０１４２】
給紙トレイ２０５には記録紙が格納されている。この給紙トレイ２０５の近傍には給紙コロ２０６が配置されており、該給紙コロ２０６は、記録紙を給紙トレイ２０５から１枚ずつ取り出し、所定のタイミングで搬送ベルト２０２に向けて送り出す。
【０１４３】
搬送ベルト２０２上の記録紙は、中間転写ベルト２０１に向かって移動し、２次転写ローラ２０３によって、中間転写ベルト２０１上のカラー画像が転写される。カラー画像が転写された記録紙は、定着器２０４に送られる。
【０１４４】
定着器２０４では、熱と圧力とが記録紙に加えられ、これによってトナーが記録紙上に定着される。トナーが定着された記録紙は、排紙ローラ（図示省略）を介して排紙トレイ（図示省略）に送られ、該排紙トレイ上に順次積み重ねられる。
【０１４５】
各クリーニングユニットは、対応する感光体ドラムの表面に残ったトナー（残留トナー）を除去する。残留トナーが除去された感光体ドラムの表面は、再度対応する帯電器に対向する位置に戻る。
【０１４６】
そして、各プリントヘッドは、プリズムの頂角が角度測定装置１０００で測定され、該頂角が所望の範囲内にあることが確認された結像光学素子３２０を備えているため、高品質の潜像を形成することができる。その結果、カラープリンタ２０００は、高品質の画像を形成することができる。
【０１４７】
なお、ここでは、光学装置として、４色（ブラック、シアン、マゼンタ、イエロー）を重ね合わせてフルカラーの画像を形成するタンデム方式の多色カラープリンタの場合について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、更に補助色を用いる多色カラープリンタであっても良いし、単色の画像を形成するプリンタであっても良い。
【符号の説明】
【０１４８】
１０…光源（光源装置の一部）２０…第１ビームスプリッタ（光源装置の一部）、３０…ミラー（光源装置の一部）、４０…第２ビームスプリッタ、５０…結像光学系（集光光学系）、６０…ホルダ装置、６２…第１のスライド機構、６３…回転機構、６４…第２のスライド機構、７０…光検出器（受光系）、１００…処理装置、１２１…操作パネル、２０１…中間転写ベルト、２０２…搬送ベルト、２０３…２次転写ローラ、２０４…定着器、２０９…プリンタ制御装置、３１０…光源、３１１…発光部材、３１２…駆動装置、３１３…基板、３２０…結像光学素子、１０００…角度測定装置、２０００…カラープリンタ（光学素子を備える装置）、１Ｋ，１Ｃ，１Ｍ，１Ｙ…感光体ドラム、２Ｋ，２Ｃ，２Ｍ，２Ｙ…帯電器、３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙ…プリントヘッド、４Ｋ，４Ｃ，４Ｍ，４Ｙ…現像器、５Ｋ，５Ｃ，５Ｍ，５Ｙ…転写ローラ、６Ｋ，６Ｃ，６Ｍ，６Ｙ…クリーニングユニット。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０１４９】
【特許文献１】特開２００８−２７５４９２号公報
【特許文献２】特開２００１−２２７９２９号公報
【図１】
2016017856.tif 000003
【図２】
2016017856.tif 000004
【図３】
2016017856.tif 000005
【図４】
2016017856.tif 000006
【図５】
2016017856.tif 000007
【図６】
2016017856.tif 000008
【図７】
2016017856.tif 000009
【図８】
2016017856.tif 000010
【図９】
2016017856.tif 000011
【図１０】
2016017856.tif 000012
【図１１】
2016017856.tif 000013
【図１２】
2016017856.tif 000014
【図１３】
2016017856.tif 000015
【図１４】
2016017856.tif 000016
【図１５】
2016017856.tif 000017
【図１６】
2016017856.tif 000018
【図１７】
2016017856.tif 000019
【図１８】
2016017856.tif 000020
【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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【図４９】
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【図５０】
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【図５１】
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【図３４】
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【図４４】
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