(57)【要約】【課題】  リニアアクチュエータの駆動時における異音の発生や可動子の振動数のばらつきを抑制する。【解決手段】  本発明に係るリニアアクチュエータ１は、固定軸２０と、固定軸２０に沿って移動される可動子３０と、を備えている。可動子３０は、永久磁石を有してなる本体部３１と、本体部３１の軸方向の各端部に配設された軸受３２と、を有している。各軸受３２には、固定軸２０が挿通される挿通孔ｈ２が形成されている。そして、各軸受３２では、軸受面ｂが形成されている軸受部ｘの内径が、０．４ｍｍ以上、０．８ｍｍ以下の範囲内に形成され、かつ、挿通孔ｈ２の軸方向の両端部のうち少なくとも一方に、軸受部ｘに連続する面取り部ｙが形成されている。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定軸に沿って移動される可動子を有するリニアアクチュエータに配設される焼結含油軸受であって、
前記可動子に配設され、
前記固定軸が挿通される挿通孔を有し、
前記挿通孔のうち前記固定軸に対向する軸受面が形成されている軸受部の内径が、０．４ｍｍ以上、０．８ｍｍ以下の範囲内に形成され、
前記挿通孔の軸方向の両端部のうち少なくとも一方に、前記軸受部に連続する面取り部が形成されていることを特徴とする焼結含油軸受。
【請求項２】
前記面取り部は、プレス加工により形成されていることを特徴とする請求項１に記載の焼結含油軸受。
【請求項３】
前記面取り部の内周面は、Ｒ面であることを特徴とする請求項１又は２に記載の焼結含油軸受。
【請求項４】
前記面取り部の内周面は、テーパー面であり、
前記軸受面に対する前記テーパー面の傾斜角度が、１°以上、４°以下の範囲内に形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の焼結含油軸受。
【請求項５】
請求項１乃至４のうちいずれか一項に記載の焼結含油軸受を備えることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、焼結含油軸受及びこの焼結含油軸受を備えるリニアアクチュエータに関し、特に、駆動時における異音の発生や可動子の振動数のばらつきを抑制することが可能な焼結含油軸受及びリニアアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、スマートフォン、タブレット、携帯電話等の携帯情報端末には、振動を発生させることが可能な振動アクチュエータが配設されており、着信時等に、振動アクチュエータを駆動して振動を発生させることによって着信等を知らせる機能が備えられている。
従来、携帯情報端末に配設される振動アクチュエータとして、直流モータの回転軸に配設された偏心錘を回転させるもの（特許文献１参照）、扇形形状の可動子を回転させるもの（特許文献２参照）、電磁力により可動子を直線的に往復移動させるもの（いわゆる「リニアアクチュエータ」）等が知られている。
特に、近年では、携帯情報端末の小型化・薄型化に伴い、振動アクチュエータの小型化・薄型化が求められている。そして、小型化・薄型化が容易な振動アクチュエータとして、当該振動アクチュエータの設置面に対して可動子を並行に往復移動させるリニアアクチュエータ（いわゆる「水平リニアアクチュエータ」）の開発が進んでいる（特許文献３参照）。
特許文献３に係る水平リニアアクチュエータは、フレーム内に固定された固定軸と、固定軸に沿って移動される駆動子と、を備えている。フレームの内周面には、コイルが配設されている。また、駆動子は、円筒状の永久磁石と、永久磁石の軸方法の各端部に配設された軸受と、を有している。駆動子は、一対の軸受に固定軸が挿通されることによって、固定軸により支持されている。
そして、特許文献３に係るリニアアクチュエータでは、コイルに流す電流を制御することによって、駆動子が固定軸に沿って往復移動（振動）される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−１０７６９９号公報
【特許文献２】特開平６−２０５５６５号公報
【特許文献３】特開２００３−１１７４８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の水平リニアアクチュエータでは、駆動時において、異音が発生する恐れがあるとともに、駆動子（可動子）の振動数にばらつきが生じる恐れがある。
すなわち、従来の水平リニアアクチュエータでは、永久磁石の軸方向の各端部に配設された軸受の開口部に、微小なバリ（材料を加工する際に発生する突起）が形成される恐れがある。そして、軸受の開口部にバリが形成されると、駆動時において、軸受に形成されたバリが固定軸に接触することによって、異音が発生するとともに、可動子の振動数にばらつきが生じる。
本発明の課題は、リニアアクチュエータの駆動時における異音の発生や可動子の振動数のばらつきを抑制することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、第一の発明に係る焼結含油軸受は、固定軸に沿って移動される可動子を有するリニアアクチュエータに配設される焼結含油軸受であって、前記可動子に配設され、前記固定軸が挿通される挿通孔を有し、前記挿通孔のうち前記固定軸に対向する軸受面が形成されている軸受部の内径が、０．４ｍｍ以上、０．８ｍｍ以下の範囲内に形成され、前記挿通孔の軸方向の両端部のうち少なくとも一方に、前記軸受部に連続する面取り部が形成されていることを特徴とする。
第一の発明に係る焼結含油軸受では、軸受面が形成されている軸受部の内径が、０．４ｍｍ以上、０．８ｍｍ以下の範囲内に形成されている。かつ、挿通孔の両端部のうち少なくとも一方に、軸受部に連続する面取り部が形成されている。
これによって、第一の発明に係る焼結含油軸受では、挿通孔の端部（開口部）に微小なバリが形成された場合であっても、このバリが固定軸に接触することを抑制することができる。
したがって、第一の発明に係る焼結含有軸受によれば、リニアアクチュエータの駆動時における異音の発生や可動子の振動数のばらつきを抑制することが可能となる。
【０００６】
第二の発明に係る焼結含油軸受は、第一の発明に係る焼結含油軸受において、前記面取り部は、プレス加工により形成されていることを特徴とする。
第二の発明に係る焼結含油軸受では、面取り部を容易に構成することが可能となる。
特に、焼結含油軸受において挿通孔が形成された後に、プレス加工により面取り部を形成することで、挿通孔の形成時に発生した微小なバリをプレス加工により除去することが可能となる。
【０００７】
第三の発明に係る焼結含油軸受は、第一又は第二の発明に係る焼結含油軸受において、前記面取り部の内周面は、Ｒ面であることを特徴とする。
第三の発明に係る焼結含油軸受では、軸受部に連続する面取り部の内周面をＲ面とすることによって、軸受部と面取り部との境界に角が形成されることがなく、固定軸に対する可動子の移動の円滑性を向上することが可能となる。
【０００８】
第四の発明に係る焼結含油軸受は、第一又は第二の発明に係る焼結含油軸受において、前記面取り部の内周面は、テーパー面であり、前記軸受面に対する前記テーパー面の傾斜角度が、１°以上、４°以下の範囲内に形成されていることを特徴とする。
第四の発明に係る焼結含油軸受では、面取り部の内周面をＲ面とする場合と比較して、面取り部を容易に形成することが可能となる。
ここで、軸受部の内径が、０．４ｍｍ以上、０．８ｍｍ以下の範囲内に形成され焼結含油軸受では、軸受面に対するテーパー面の傾斜角度が、１°に満たないと、挿通孔の端部（開口部）に形成された微小なバリが、固定軸に接触する恐れがある。
一方、軸受部面に対するテーパー面の傾斜角度が、４°を超えると、焼結含油軸受が割れてしまう恐れがある。
そこで、軸受面に対するテーパー面の傾斜角度を、１°以上、４°以下の範囲内に形成することによって、割れを防止しつつ、リニアアクチュエータの駆動時における異音の発生や可動子の振動数のばらつきを抑制することが可能となる。
【０００９】
第五の発明に係るリニアアクチュエータは、第一乃至第四のうちいずれか一の発明に係る焼結含油軸受を備えることを特徴とする。
第五の発明に係るリニアアクチュエータによれば、駆動時における異音の発生や可動子の振動数のばらつきを抑制することが可能となる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、リニアアクチュエータの駆動時における異音の発生や可動子の振動数のばらつきを抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施形態に係るリニアアクチュエータ１の概略構成を示す断面図である。
【図２】第１の例に係る軸受の断面図である。
【図３】第２の例に係る軸受の断面図である。
【図４】基油に添加される酸化防止剤の種類と潤滑油の損失率との関係を示す図である。
【図５】基油に添加される極圧剤・油性剤の種類と潤滑油の潤滑性との関係を示す図である。
【図６】従来技術に係る面取り加工方法を示す図である。
【図７】本実施形態に係る面取り加工方法の第１の工程を示す図である。
【図８】本実施形態に係る面取り加工方法の第２の工程を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態に係るリニアアクチュエータ１について、図面を参照しながら説明する。
リニアアクチュエータ１は、スマートフォン、タブレット、携帯電話等の携帯情報端末に配設され、着信時等に駆動されて、振動を発生させる形式のアクチュエータ（いわゆる「振動アクチュエータ」）となっている。
また、リニアアクチュエータ１は、後述する可動子３０が、当該リニアアクチュエータ１の設置面に対して並行して移動される形式のリニアアクチュエータ（いわゆる「水平リニアアクチュエータ」）となっている。
（リニアアクチュエータ１の構成）
図１は、本発明の実施形態に係るリニアアクチュエータ１の概略構成を示す断面図である。図２は、第１の例に係る軸受の断面図である。図３は、第２の例に係る軸受の断面図である。図４は、基油に添加される酸化防止剤の種類と潤滑油の損失率との関係を示す図である。図５は、基油に添加される極圧剤・油性剤の種類と潤滑油の潤滑性との関係を示す図である。
図１に示すリニアアクチュエータ１は、筐体１０と、筐体１０の内部に固定された固定軸２０と、固定軸２０により支持されている可動子３０と、可動子３０を付勢する一対のバネ４０と、筐体１０の内部に配設されたコイル部５０と、を備えている。
筐体１０は、円筒状又は角筒状に形成されている。筐体１０は、鉄等の金属により形成されている。本実施形態では、筐体１０の軸方法（図１に示す左右方向）の寸法（内部の寸法）は、８ｍｍ〜１５ｍｍの範囲内に形成されている。また、筐体１０の高さは、５ｍｍ以下に形成されている。
固定軸２０は、円柱状に形成されている。固定軸２０は、ＳＵＳ４２０Ｊ２、ＳＵＳ３０３、セラミック、コバルト合金、超硬合金等により形成されている。固定軸２０は、筐体１０の軸方向の両側壁の間に配設されている。固定軸２０の各端部は、筐体１０の軸方向の各側壁によって保持されている。本実施形態では、固定軸２０の外径は、０．４ｍｍ〜０．８ｍｍの範囲内に形成されている。
【００１３】
可動子３０は、永久磁石（図示せず）が配設された本体部３１と、本体部３１の軸方向の各端部に配設された軸受３２と、を有している。
本体部３１は、固定軸２０が挿通される挿通孔ｈ１を有し、略円筒状に形成されている。本体部３１には、円筒状に形成された永久磁石が配設されている。永久磁石は、ラジアル方向に同一の極性に着磁されている。具体的には、永久磁石は、内周面側がＳ極及びＮ極のうち一方に着磁され、外周面側がＳ極及びＮ極のうち他方に着磁されている。
ここで、本体部３１では、軸方向に沿って複数の永久磁石が配設されていても構わない。かかる構成とした場合には、隣接する２つの永久磁石の外周面側に、互いに異なる極が着磁される。また、本体部３１には、錘が配設されていても構わない。
本体部３１配設される錘は、タングステン、銅等の金属により形成され、特に、純銅により形成されることが好ましい。
【００１４】
各軸受３２は、焼結含油軸受となっている。各軸受３２は、固定軸２０が挿通される挿通孔ｈ２（図２及び図３参照）を有し、略円筒状に形成されている。挿通孔ｈ２の内径は、本体部３１（永久磁石）の挿通孔ｈ１の内径より小さく形成されている。
図２及び図３に示すように、各軸受３２は、軸方向の各端部に形成された面取り部ｙと、両面取り部ｙの間に形成された軸受部ｘと、を有している。
ここで、各軸受３２では、面取り部ｙを、各軸受３２の軸方向の両端部のうち一方（例えば、各軸受３２の軸方向の両端部のうち本体部３１と逆側の端部）にのみ形成しても構わない。
軸受部ｘの内周面は、固定軸２０の外周面に接触（摺接）する軸受面ｂとなっている。本実施形態では、軸受部ｘの内径は、０．４ｍｍ〜０．８ｍｍ以下の範囲内に形成されている。
各面取り部ｙは、後述するように、プレス加工（面取り加工、面打ち加工）によって形成されている。各面取り部ｙの内周面は、軸受部ｘの軸受面ｂに連続している。各面取り部ｙの内径は、内側（軸受部ｘ側）から外側（軸受部ｘと逆側）に向かって徐々に拡大している。
本実施形態では、図２に示すように、各面取り部ｙの内周面は、Ｒ面となっている。各面取り部ｙ（Ｒ面）の曲率は、Ｒ０．０３ｍｍ〜Ｒ０．７ｍｍの範囲内に形成されることが好ましい。
また、図３に示すように、各面取り部ｙの内周面は、テーパー面としても構わない。この際、軸受部ｘの内径を０．４ｍｍ〜０．８ｍｍ以下の範囲内に形成した場合には、軸受面ｂに対するテーパー面（各面取り部ｙの内周面）の傾斜角度ａが、１°に満たないと、挿通孔ｈ２の端部（開口部）に形成された微小なバリが、固定軸２０に接触する恐れがある。一方、傾斜角度ａが、４°を超えると、テーパー面を形成する際に、又は、駆動時に、軸受３２が割れる恐れがある。そこで、傾斜角度ａは、１°〜４°の範囲内に形成されることが好ましい。
【００１５】
携帯情報端末では、落下時の衝撃に耐えることができる強度が必要となる。このため、一般的に、携帯情報端末の製造時には、所定の落下試験（例えば、携帯情報端末を１８０ｃｍの高さから落下させる試験を１００回行い、強度の検証を行う）が行われる。これに伴い、各軸受３２についても、上記所定の落下試験に耐え得る強度が必要となる。
一方、リニアアクチュエータ１は、携帯情報端末に配設するために、一般的なリニアアクチュエータと比較して、小さい寸法により形成される。これに伴い、各軸受３２についても、一般的な焼結含油軸受と比較して、小さい寸法により形成する必要があり、軸受体積が小さくなる。そして、一般的に、焼結含油軸受では、軸受体積が小さくなるほど、強度が低下する。
そこで、各軸受３２では、一般的な焼結含油軸受と比較して、密度を高くして、含油率を低くすることによって、強度を確保している。具体的には、各軸受３２では、密度を、６．６ｇ／ｃｍ〜７．４ｇ／ｃｍの範囲内に形成し、かつ、含油率を、８ｖｏｌ％〜１５ｖｏｌ％の範囲内に形成している。これによって、各軸受３２において、必要な強度を確保しつつ、潤滑油の不足による摩耗の発生を抑制している。なお、一般的な焼結含油軸受の含油率は、１８ｖｏｌ％以上となっている。
【００１６】
また、各軸受３２では、軸受部ｘの軸方向の寸法が０．２ｍｍ未満となると、強度が不足して、上記所定の落下試験により変形する恐れがある。そこで、各軸受３２では、軸受部ｘの軸方向の寸法を、０．２ｍｍ以上に形成することが好ましい。これに伴い、各軸受部ｘでは、面取り部ｙの寸法を、０．０３ｍｍ〜０．２ｍｍの範囲内に形成することが好ましい。
【００１７】
また、リニアアクチュエータでは、反復使用に耐えることができる耐久性・信頼性が必要となる。このため、一般的に、リニアアクチュエータの製造時には、所定の耐久性試験（例えば、２秒間の作動を１００万回繰り返し、耐久性の検証を行う）が行われる。
また、一般的に、携帯情報端末に対するリニアアクチュエータの取り付は、高温となるリフロー炉内での半田付け処理により行われる。このため、半田付け処理が行われる際に、焼結含油軸受に含浸された潤滑油が損失（蒸発）する恐れがあり、潤滑油が損失すると、リニアアクチュエータの耐久性・信頼性が低下する。
そこで、各軸受３２では、含浸される潤滑油に酸化防止剤を含めることによって、潤滑剤の損失（蒸発）を抑制し、リニアアクチュエータ１の耐久性・信頼性を向上している。
具体的には、各軸受３２に含浸される潤滑油は、基油と、添加剤と、から構成される。基油としては、ポリαオレフィン系の基油を用いることが好ましい。そして、添加剤として、酸化防止剤を含める。
酸化防止剤としては、フェーノール系、アミン系、Ｚｎ−ＤＴＰ（ジアルキルジチオリン酸亜鉛）、硫黄系のうち少なくとも一のものを含むものを用いることができる。
図４に示すように、酸化防止剤として、アミン系、Ｚｎ−ＤＴＰ、硫黄系のものを用いることによって、潤滑油の損失率を低減することができ、特に、芳香族アミン系のものを用いると、潤滑油の損失率を低減する効果が高くなる。
【００１８】
また、リニアアクチュエータ１では、各軸受３２に対して固定軸２０が回転することがないため、固定軸２０の外周面と各軸受３２の軸受面ｂとの間に油膜が形成されず、油膜の形成による潤滑特性（耐摩耗性及び低摩擦）の向上が望めない。
そこで、各軸受３２では、含浸される潤滑油に極圧剤・油性剤を含めることによって、潤滑特性を向上している。
具体的には、上記添加剤として、極圧剤・油性剤を含める。極圧剤・油性剤としては、Ｍｏ−ＤＴＰ（ジアルキルジチオリン酸モリブデン）、Ｚｎ−ＤＴＰ（ジアルキルジチオリン酸亜鉛）、塩素化パラフィン、硫化油脂、脂肪族リン酸エステル、芳香族リン酸エステルのうち少なくとも一のものを含むものを用いることができる。
特に、図５に示すように、極圧剤・油性剤として、脂肪族リン酸エステルを用いることによって、摩擦係数を低減することができ、摩耗量を低減することが可能となる。
【００１９】
各軸受３２は、本体部３１の軸方向の各端面に配設されている。本体部３１の挿通孔ｈ１の中心軸と各軸受３２の挿通孔ｈ１の中心軸とは、一直線上に配置されている。そして、可動子３０は、連続する挿通孔ｈ１及び挿通孔ｈ２に固定軸２０が挿通された状態で、配設される。これによって、可動子３０は、固定軸２０に沿って移動させることが可能となるように、固定軸２０に支持される。なお、可動子３０では、各軸受２０の軸受面ｂが固定軸２０の外周面に接触（摺接）し、他の部分が固定軸２０に接触することはない。
【００２０】
各バネ４０は、圧縮コイルバネとなっている。各バネ４０は、筐体１０の軸方向の各側壁の内面と各軸受３２の外側の端面との間に配設されている。一方側の側壁に配設されているバネ４０は、可動子３０を、他方側の側壁に向かって付勢する。これによって、コイル５０に電流が流れていない状態では、可動子３０は、筐体１０内における軸方向の略中央部に配置される。
コイル部５０（固定子）は、筐体１０の内周面に配設されている。コイル部５０は、複数のコイルから形成されている。複数のコイルは、筐体１０の軸方向に沿って配列されている。各コイルは、筐体１０の内周面に沿って巻回された巻線からなる。そして、隣接する２つのコイルでは、巻線が巻回される向きが互いに逆向きとなっており、周方向において逆向きの電流が流れるように構成されている。
【００２１】
リニアアクチュエータ１は、携帯情報端末の所定の設置面に設置される。この際、固定軸２０が、設置面に並行に設置される。これによって、可動子３０の移動方向が、設置面に対して並行となる。
そして、リニアアクチュエータ１は、コイル部５０の各コイルに電流を流すことによって駆動される。具体的には、各コイルに流す電流の向きを所定周期で切り換えることによって、可動子３０を固定軸２０に沿って往復移動（振動）させることが可能となっている。本実施形態では、リニアアクチュエータ１の駆動時には、可動子３０が、１００Ｈｚ〜２００Ｈｚの範囲内にある所定の周波数で振動されるように設定されている。
【００２２】
（各軸受３２の製造方法）
次に、各軸受３２の製造方法について説明する。
図６は、従来技術に係る面取り加工方法を示す図である。図７は、本実施形態に係る面取り加工方法の第１の工程を示す図である。図８は、本実施形態に係る面取り加工方法の第２の工程を示す図である。
軸受３２の製造においては、まず、原料となる金属粉末に金型潤滑剤を加え、攪拌混合する。ここで、金属粉末としては、銅粉、青銅粉、黄銅粉、洋白粉、鉄粉、銅ニッケル合金粉、銅被覆鉄粉、ステンレス粉、錫粉、黒鉛粉、これらの混合粉等を用いることができる。
また、金型潤滑剤は、ステアリン酸亜鉛、ステアリン酸リチウムなどに代表される金属石鹸の粉末や、エチレンビスステアリン酸アミドなどの脂肪酸アミドの粉末、もしくはポリエチレンなどのワックス系潤滑剤の粉末を用いることができる。
なお、原料となる金属粉末と固体潤滑成分、金型潤滑剤は、これらに限定したものではない。
【００２３】
次に、攪拌混合した原料粉を、１００〜５００ＭＰａ程度の圧力で、金型内でプレス成形し、圧粉体を形成する。
本実施形態では、圧粉体の形成時において、圧粉体（軸受３２）の軸方向の各端面と挿通孔ｈ２の内周面との角部ｃに、Ｃ面が形成される（Ｃ面取り）。具体的には、原料粉を金型内でプレス加工することによって、各角部ｃにおいて、Ｃ面が形成される。
さらに、圧粉体を、所定の雰囲気及び所定の温度条件で焼結し、焼結体を形成する。圧粉体を焼結することにより、隣接する金属粒子が拡散接合され、金属粒子が結合して、多孔質の焼結体が形成される。
上記所定の雰囲気は、真空中、還元性ガス中（アンモニア分解ガス、水素ガス、エンドサーミックガスなど）、不活性ガス中（窒素ガス、アルゴンガスなど）及びこれら還元性ガスと不活性ガスの混合ガス等で、原料組成によって適宜選択する。
上記焼結に係る所定の温度は、６００〜１２００℃程度が実用的であり、例えば青銅（Ｃｕ-Ｓｎ）の場合で６００〜８００℃程度、鉄を主体とする材料は７００〜１２００℃程度で、こちらも原料組成によって適宜選択される。
また、焼結体に、金型内でサイジング（再圧縮）を施して、圧縮成形体（以下、「焼結体」とする）を形成する。焼結体にサイジングを施すことにより、寸法精度を向上でき、表面粗さも改善することができる。
【００２４】
そして、焼結体において、面取り部ｙを形成する。
面取り部ｙは、プレス加工（面取り加工、面打ち加工）によって形成される。具体的には、面取り部ｙは、加工ピンｐ（図６から図８参照）を、焼結体（軸受３２）の軸方向の各端面と挿通孔ｈ２の内周面との角部ｃ（Ｃ面が形成されている角部ｃ）に押し当てることによって、角部ｃが圧縮変形されて形成される。
ここで、図６に示すように、従来の面取り加工方法では、加工ピンｐを角部ｃに押し当てた際に、焼結体の内部に生じる応力によって、焼結体において、外径方向への変形や軸方向の圧縮が発生し、これによって、焼結体が割れる恐れがあった。なお、図６では、焼結体の内部に生じる応力を、破線矢印により示している。
そこで、本実施形態に係る面取り加工方法では、図７及び図８に示すプレス加工装置１００を用いることによって、焼結体が割れることを抑制している。
具体的には、プレス加工装置１００は、ベース１１０と、圧縮コイルバネ１２０を介してベース１１０に取り付けられた金型１３０と、上下方向に沿って移動させることが可能な加工ピンｐと、を備えている。
金型１３０は、金属により形成されている。金型１３０には、焼結体（軸受３２）を載置することが可能な載置部が形成されている。載置部の内径は、焼結体（軸受３２）の外径（目標とする外径）と略一致している。
加工ピンｐの先端部には、角部ｃにおいて形成する面（Ｒ面又はテーパー面）に対応する転写面が形成されている。
【００２５】
そして、本実施形態に係る面取り加工方法では、まず、焼結体（軸受３２）の両角部ｃのうち一方の角部ｃ（軸方向の両端部のうち一方の端部に存在する角部ｃ）に、面取り加工を施す。
すなわち、図７に示すように、焼結体を、その軸方法の両端面のうち一方の端面を上に向けた状態で、金型１３０の載置部に設置する。そして、加工ピンｐを下降させて、加工ピンｐの先端部を、所定の強さで、金型１３０の載置部に載置されている焼結体に押し当てる。
この際、金型１３０により焼結体の外周面が支持されているため、焼結体の外径方向への変形が防止される。また、圧縮コイルバネ１２０によって、焼結体の内部に生じた応力のうち下方に向く成分が吸収されるため、焼結体の軸方向の圧縮が抑制される。これによって、焼結体の割れが抑制される。
そして、焼結体の両角部ｃのうち一方の角部ｃに対する面取り加工が終了後、他方の角部ｃ（軸方向の両端部のうち他方の端部に存在する角部ｃ）に面取り加工を施す。
すなわち、図８に示すように、焼結体を、その軸方法の両端面のうち他方の端面を上に向けた状態で、金型１３０の載置部に設置して、加工ピンｐを下降させて、加工ピンｐの先端部を、所定の強さで、金型１３０の載置部に載置されている焼結体に押し当てる。
以上により、焼結体（軸受３２）において、面取り部ｙが形成される。
なお、本実施形態では、サイジング（再圧縮）後の焼結体（圧縮成形体）に対して面取り部ｙを形成している。しかしながら、サイジング前の焼結体に対して面取り部ｙを形成しても構わない。
【００２６】
そして、面取り部ｙが形成された焼結体（サイジング後の焼結体）に洗浄処理を施して、各種加工によって生じた金属屑や、サイジング用潤滑油等を除去する。
その後、洗浄された焼結体に潤滑油を含浸させることによって、軸受３２が完成する。ここで、焼結体への潤滑油の含浸は、真空油浸釜内にて潤滑油の含浸を行う方法（真空油浸）によって行われる。
【００２７】
（各軸受３２及びリニアアクチュエータ１の作用・効果）
各軸受３２では、軸受面ｂが形成されている軸受部ｘの内径が、０．４ｍｍ以上、０．８ｍｍ以下の範囲内に形成されている。かつ、挿通孔ｈ２の両端部のうち少なくとも一方に、軸受部ｘに連続する面取り部ｙが形成されている。
これによって、各軸受３２では、挿通孔ｈ２の端部（開口部）に微小なバリが形成された場合であっても、このバリが固定軸２０に接触することを抑制することができる。
したがって、リニアアクチュエータ１では、駆動時における異音の発生や可動子３０の振動数のばらつきを抑制することが可能となる。
また、リニアアクチュエータ１では、面取り部ｙが、プレス加工により形成される。
これによって、面取り部ｙを容易に構成することが可能となる。
特に、リニアアクチュエータ１では、焼結体において挿通孔ｈ２が形成された後に、プレス加工により面取り部ｙが形成される。
これによって、挿通孔ｈ２の形成時に発生した微小なバリをプレス加工により除去することが可能となる。
また、各軸受３２では、軸受部ｘに連続する面取り部ｙの内周面をＲ面とすることによって、軸受部ｘと面取り部ｙとの境界に角が形成されることがなく、固定軸２０に対する可動子３０の移動の円滑性を向上することが可能となる。
一方、各軸受３２では、軸受部ｘに連続する面取り部ｙの内周面をテーパー面とした場合には、軸受面ｂに対するテーパー面の傾斜角度を、１°以上、４°以下の範囲内に形成することによって、割れを防止しつつ、リニアアクチュエータの駆動時における異音の発生や可動子の振動数のばらつきを抑制することが可能となる。
【符号の説明】
【００２８】
１      リニアアクチュエータ
１０    筐体
２０    固定軸
３０    可動子
３１    本体部
３２    軸受
ｈ１    挿通孔
ｈ２    挿通孔
ｘ      軸受部
ｙ      両面取り部
４０    バネ
５０    コイル部
１００  プレス加工装置
１１０  ベース
１２０  圧縮コイルバネ
１３０  金型
ｐ      加工ピン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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