(57)【要約】【課題】上方からのアクセスにより、ワークセットの飛び出し防止のためのロック機構を作動させること。【解決手段】カセット（２）は、ワークセット（Ｗ）を挿入する挿入溝（２０ｂ）が形成された側板と、挿入溝に挿入されたワークセットを飛び出しを防止するロック機構（２６）と、を備え、ロック機構は、挿入溝を連通可能にする第２の挿入溝（２７ｂ）が挿入溝と同一間隔に形成されたロックバー（２７）と、ロックバーを上方向に付勢してロックバーを上面から突出させるスプリング機構（２８）とを有し、ロックバーを下方に押し下げることにより、第２の挿入溝と挿入溝とを上下方向に段違いにして挿入溝を遮断する構成にした。【選択図】図２
2016119354.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リングフレームの中央を封鎖して貼着される粘着テープに板状ワークを貼着させ、該粘着テープを介して該リングフレームと板状ワークとを一体化させたワークセットを収納可能とするカセットであって、
ワークセットを挿入する挿入溝を内面に備え該挿入溝を対面させる側板と、
該側板の下端に連接する底板と、該底板に対面し該側板の上端に連接する天井板と、
該挿入溝にワークセットの挿入および取出しを可能にさせる開口部と、
該開口部から該挿入溝に挿入したワークセットを該挿入溝で留まらせるストッパと、
該ストッパで該挿入溝に留まったワークセットを該開口部から取出し不可とするロック機構と、を備え、
該ロック機構は、該挿入溝の高さに対応し該挿入溝を遮断可能にするロック部と該挿入溝を連通可能にする第２の挿入溝とを交互に備えるロックバーと、該ロックバーを上方向に付勢させ該ロックバーを該天板の上面から突出させるスプリング機構と、を備え、
該スプリング機構で該ロックバーを上方向に付勢し該天井板から該ロックバーを突出させ、該第２の挿入溝と該挿入溝とを一致させ該第２の挿入溝と該挿入溝とを連通させ、該開口部から該挿入溝にワークセットを挿入可能とし、該スプリング機構により該天井板から突出する該ロックバーを押下げ、該第２の挿入溝と該挿入溝とを上下方向に段違いにし、該ロック部で該挿入溝を遮断させ該挿入溝に挿入されたワークセットを取出し不可にするカセット。
【請求項２】
該スプリング機構は、スプリングと、該側板または該底板または該天井板のいずれかに収容させ該スプリングの一方の端を接続するスプリング収容部と、該ロックバーに形成され該スプリングの他方の端とを接続し該ロックバーの上下移動に伴い該スプリング収容部内を上下移動するフランジと、を備える請求項１記載のカセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数枚の板状ワークを収容するカセットに関し、特に、大口径の板状ワークを収容するカセットに関する。
【背景技術】
【０００２】
複数枚の板状ワークを収容するカセットは、複数の収容棚が形成された一対の側板を対向させて、一対の側板の上端同士及び下端同士を天井板及び底板で連結して形成される。カセットの正面は開口されており、粘着テープを介してリングフレームと一体となった板状ワークが、この開口を通じて複数の収容棚に収容される。このようなカセットにおいては、カセットを搬送する際に板状ワークがカセットから飛び出すのを防止するため、ロック機構を備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載のロック機構は、一方の側板にスライド壁を上下動可能に設けて構成されている。スライド壁には、側板の収容棚と同じ間隔で棚板が形成されている。このロック機構は、付勢部材によって下方に付勢されており、カセットの載置状態では、側板の収容棚の棚板とスライド壁の棚板とが一致して、カセットに対して板状ワークを出し入れ可能にしている。また、カセットが持ち上げられると、スライド壁は付勢部材の付勢力によって下動し、側板の棚板とスライド壁の棚板がずれて板状ワークの飛び出しが防止される。
【０００４】
また、近年の板状ワークの大口径化に伴い、板状ワークを収容するカセットも大型化している。このようなカセットを人力で搬送するのは困難であるため、カセットを自動搬送する無人搬送システムが提案されている（例えば、特許文献２参照）。特許文献２に記載の無人搬送システムでは、カセットの天井板に設けられた被保持部を搬送手段が把持することにより、カセットを搬送することができる。また、搬送手段で把持したカセットを搬送先の装置に載置するときに、カセットを適切な位置に位置決めする必要がある。このため、装置側にはステージ上に複数の位置決めピンが設けられており、カセットの底板には位置決めピンに係合する係合凹部が形成されている（例えば、特許文献３参照）。特許文献３に記載のカセットでは、位置決めピンに係合凹部を係合させることにより、ステージに対してカセットが位置決めされる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−１５７３８１号公報
【特許文献２】国際公開第２０１２／０４３１１０号
【特許文献３】特表２００９−５２６３７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、特許文献１に記載のロック機構は、カセットが持ち上げられたときに、カセットの下面（底板）からスライド壁の一部が突出するように構成されている。一方、カセットが載置テーブル上に載置されるときには、スライド壁の突出部分が上方に押し込まれることにより、側板の収容棚の棚板とスライド壁の棚板とが一致してカセットに対する板状ワークの出し入れが可能となる。すなわち、特許文献１に記載のカセットは、スライド壁をカセットの下方から突き上げるように構成されている。
【０００７】
この場合、特許文献２、３のようにカセットの底板で位置決め可能な構成にすると、カセットを載置した際にカセットと載置テーブルとの間に隙間が生じるため、カセットの底板から突出したスライド壁は、上方に押し込まれることがない。この結果、常時ロック機構が作動してしまい、カセットから板状ワークを取り出すことができないという問題がある。
【０００８】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、搬送時に飛び出し防止のためのロック機構を作動させ、テーブル載置時にロック機構を適切に解除することができるカセットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のカセットは、リングフレームの中央を封鎖して貼着される粘着テープに板状ワークを貼着させ、粘着テープを介してリングフレームと板状ワークとを一体化させたワークセットを収納可能とするカセットであって、ワークセットを挿入する挿入溝を内面に備え挿入溝を対面させる側板と、側板の下端に連接する底板と、底板に対面し側板の上端に連接する天井板と、挿入溝にワークセットの挿入および取出しを可能にさせる開口部と、開口部から挿入溝に挿入したワークセットを挿入溝で留まらせるストッパと、ストッパで挿入溝に留まったワークセットを開口部から取出し不可とするロック機構と、を備え、ロック機構は、挿入溝の高さに対応し挿入溝を遮断可能にするロック部と挿入溝を連通可能にする第２の挿入溝とを交互に備えるロックバーと、ロックバーを上方向に付勢させロックバーを天板の上面から突出させるスプリング機構と、を備え、スプリング機構でロックバーを上方向に付勢し天井板からロックバーを突出させ、第２の挿入溝と挿入溝とを一致させ第２の挿入溝と挿入溝とを連通させ、開口部から挿入溝にワークセットを挿入可能とし、スプリング機構により天井板から突出するロックバーを押下げ、第２の挿入溝と挿入溝とを上下方向に段違いにし、ロック部で挿入溝を遮断させ挿入溝に挿入されたワークセットを取出し不可にすることを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、カセットの載置状態においては、スプリング機構によりロックバーが天井板から突出されており、挿入溝と第２の挿入溝とが連通されているため、ワークセットの取出しが可能である。一方、カセットを持ち上げる際には、天井板から突出するロックバーを押し下げることにより、挿入溝と第２の挿入溝とが段違いになり、挿入溝が遮断される。このため、カセット内に収容されたワークセットが外に飛び出すのを防止することができる。このように、上方からのアクセスにより、ワークセットの飛び出し防止のためのロック機構を作動させることができる。
【００１１】
本発明の上記カセットにおいて、スプリング機構は、スプリングと、側板または底板または天井板のいずれかに収容させスプリングの一方の端を接続するスプリング収容部と、ロックバーに形成されスプリングの他方の端とを接続しロックバーの上下移動に伴いスプリング収容部内を上下移動するフランジと、を備える。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、上方からのアクセスにより、板状ワークの飛び出し防止のためのロック機構を作動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本実施の形態に係る加工装置の斜視図である。
【図２】本実施の形態に係るカセットの説明図である。
【図３】本実施の形態に係るカセットの動作説明図である。
【図４】本実施の形態に係るカセットの動作説明図である。
【図５】変形例に係るカセットの説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
例えば、３００ｍｍ以上の大口径の板状ワークを収容するカセットは、ＯＨＶ（Overhead Hoist Vehicle）等の搬送装置によって、オペレータによらず自動搬送される。このような大型のカセットにおいては、カセットを搬送装置で搬送するために必要な構成（例えば、カセットをアームで把持するための構成や、カセットを載置する際の位置決め構成）が、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Material International）規格によって規定されている。
【００１５】
従来のカセットは比較的小型であり、オペレータによって加工装置まで搬送されるものであったため、カセットを自動搬送することは想定されていなかった。そこで、本発明者は、カセットの大型化に伴って上記したＳＥＭＩ規格に準拠すると共に、搬送中にカセットから板状ワークが飛び出して板状ワークが破損してしまうのを防ぐことを目的として、本発明に想到した。
【００１６】
以下、本実施の形態に係るカセット及びカセットの搬送先となる加工装置について説明する。図１は、本実施の形態に係る加工装置の斜視図である。図２は、本実施の形態に係るカセットの説明図である。図２Ａ及び図２Ｂは、本実施の形態に係るカセットの断面模式図を示し、図２Ｃは、カセットを後方側から見たときの斜視図であり、図２Ｄは、カセットを前方側から見たときの斜視図である。なお、本実施の形態に係るカセット及び加工装置は、以下に示す構成に限定されず、適宜変更が可能である。本実施の形態では、加工装置として切削装置を例に挙げて説明しているが、これに限定されず、例えば、加工装置として研削装置を適用してもよい。
【００１７】
図１に示すように、加工装置１は、例えば、板状ワークｗを切削加工する切削装置で構成される。加工装置１の正面には、カセット２が載置されるステージ１０が設けられている。ステージ１０の上面には、カセット２の位置決めをする複数の位置決めピン１１（本実施の形態では３つ）が設けられている。また、加工装置１の正面には、オペレータが操作するための操作画面１２やスイッチ１３が設けられている。加工装置１は、板状ワークｗ（後述するワークセットＷ）を搬送する搬送部１４と板状ワークｗを切削加工する加工部１５とに分けられている。
【００１８】
ステージ１０の上方であって搬送部１４の正面には、ステージ１０上に載置されたカセット２に対して板状ワークｗを搬入出可能な搬入出口１６が形成されている。搬入出口１６は、図示しないシャッタ機構によって開閉可能に構成される。搬送部１４では、搬入出口１６が開放されているときに、ステージ１０に載置されたカセット２から板状ワークｗが搬送手段（不図示）によって取り出され、板状ワークｗは加工部１５に搬送される。そして、加工部１５では、加工手段（不図示）によって切削加工が実施される。
【００１９】
図１及び図２に示すように、搬送装置３は、天井吊り下げ式の自動搬送装置であり、鉛直方向に延びる軸部３０の下端にカセット２を把持する把持手段３１を設けて構成される。把持手段３１は、上面視正方形状のプレート３２と、プレート３２において対向する一対の端部に揺動可能に連結される一対の保持爪３３とを備えている。保持爪３３は、プレート３２の端部に連結される連結部３４と側面視略Ｌ字状の爪部３５とを有している。連結部３４は、一端がプレート３２の端部に揺動可能に連結されて他端側がプレート３２の外側に向かって延びる板形状を有している。爪部３５は、連結部３４の先端（他端）から連結部３４の延在方向に対して垂直に下方に向かって延び、先端を直角で内向きに屈曲させて略Ｌ字状に形成される。一対の保持爪３３は、図示しない駆動モータによってプレート３２の端部を支点に揺動される。
【００２０】
板状ワークｗは、円板状に形成されており、表面が格子状に配列された分割予定ライン（不図示）によって複数のデバイス領域に区画されている。各デバイス領域には、デバイスＤが形成されている。なお、板状ワークｗは、シリコン、ガリウムヒ素等の半導体基板でもよいし、セラミック、ガラス、サファイア等の無機材料基板でもよいし、さらに半導体製品のパッケージ基板等でもよい。板状ワークｗの裏面には粘着テープＴが貼着されており、この粘着テープＴの外周にはリングフレームＦが貼着されている。このように、リングフレームＦの中央を封鎖して貼着される粘着テープＴに板状ワークｗを貼着させ、粘着テープＴを介してリングフレームＦと板状ワークｗとを一体化させることにより、ワークセットＷが構成される。
【００２１】
図２に示すように、本実施の形態に係るカセット２は、前後が開口された箱型に形成されている。カセット２は、鉛直方向に延びる一対の側板２０と、一対の側板２０の下端に連接される底板２１と、底板２１に対向（対面）し、一対の側板２０の上端に連接される天井板２２とを備えている。カセット２の正面側には、ワークセットＷの挿入及び取出しを可能にする開口部２３が形成され、カセット２の背面側には、ワークセットＷをリングフレームＦで支持し、ワークセットＷをカセット２内に留まらせるストッパ２４が設けられている。
【００２２】
天井板２２の上面中央には、カセット２を把持手段３１で把持する際の被保持部２５が形成されている。被保持部２５は、天井板２２より小さい上面視正方形状のプレート部２５ａと、プレート部２５ａを天井板２２に連結する軸部２５ｂとを有している。また、底板２１の下面には、ステージ１０に設けられた位置決めピン１１に係合する係合凹部（不図示）が、複数の位置決めピン１１に対応する位置に形成されている。
【００２３】
側板２０の内側面には、水平方向に延びる複数の棚板２０ａが等間隔に設けられており、隣接する棚板２０ａ間には、ワークセットＷを挿入するための挿入溝２０ｂが形成されている。このとき、一対の側板２０の内面が対向されているため、棚板２０ａ及び挿入溝２０ｂによって、ワークセットＷを収容する複数の収容棚が形成される。
【００２４】
また、一方の側板２０において、開口部２３の近傍の内側面には、上下方向に延びるスライド溝２０ｃが形成されている。スライド溝２０ｃは、側板２０の上端から側板の下端の底板２１まで形成されている。このスライド溝２０ｃには、カセット２に収容されたワークセットＷの取出しを不可にするロック機構２６が設けられている。ロック機構２６は、上下方向に延びた長尺形状を有するロックバー２７と、ロックバー２７を上方向に付勢するスプリング機構２８とを備えている。ロックバー２７は、スライド溝２０ｃに沿ってスライド可能に構成される。
【００２５】
ロックバー２７の側面には、側板２０と同一ピッチで複数の棚板２７ａが設けられており、隣接する棚板２７ａ間には、ワークセットＷの挿入を可能にする第２の挿入溝２７ｂが設けられている。すなわち、ロックバー２７は、複数の棚板２７ａと第２の挿入溝２７ｂとを交互に備えている。詳細は後述するが、ロックバー２７が上下にスライドして第２の挿入溝２７ｂが挿入溝２０ｂに連通した場合にのみ、カセット２に対するワークセットＷの出し入れが可能になる。
【００２６】
スプリング機構２８は、ロックバー２７を上方に付勢するスプリング２８ａと、スプリング２８ａを収容するスプリング収容部２８ｂと、スプリング収容部２８ｂ内を上下移動するフランジ２８ｃとを備えている（図２Ｂ参照）。スプリング２８ａは、例えば、圧縮コイルバネで構成される。スプリング収容部２８ｂは、一方の側板２０上端の天井板２２内に形成されている。スプリング収容部２８ｂは、略直方体形状の空間を有しており、スライド溝２０ｃに連通している。また、スプリング収容部２８ｂの前後方向の幅は、スライド溝２０ｃの前後方向の幅より大きく形成されている。
【００２７】
フランジ２８ｃは、ロックバー２７の上端側に設けられており、スプリング収容部２８ｂ内でロックバー２７の側面から前後方向にスプリング収容部２８ｂの前後方向の幅と略同一の幅で延びている。スプリング２８ａの上端はフランジ２８ｃの下面に接続され、スプリング２８ａの下端がスプリング収容部２８ｂの底壁部分に接続されている。これにより、ロックバー２７は、スプリング２８ａによって常時上方向に付勢され、カセット２の載置状態においては、ロックバー２７の上端部分が天井板２２から突出した状態になっている。
【００２８】
このように構成されるカセット２は、内部に複数枚のワークセットＷが収容された状態で搬送装置３によって加工装置１に搬送され、ステージ１０上の所定位置に載置される。
【００２９】
次に、図３及び図４を参照して、本実施の形態に係るカセットを加工装置から搬出するときの動作について説明する。図３及び図４は、本実施の形態に係るカセットの動作説明図である。図３Ａはカセットの上面図を示し、図３Ｂ及び図３Ｃは、図３ＡのＤ−Ｄ線に沿う断面図であって、カセットの動作を示す図である。図３においては、説明の便宜上、搬送装置（把持手段）を省略している。また、図４Ａ及び図４Ｂは、図３ＡのＥ−Ｅ線に沿う断面図であって、カセットの動作を示す図である。なお、図３及び図４においては、加工装置からカセットを搬出する動作について説明するが、これに限定されず、加工装置にカセットを搬入する場合においても適用可能である。
【００３０】
図３及び図４に示すように、カセット２内の各挿入溝２０ｂには、ワークセットＷが収容されており、カセット２は、位置決めピン１１によって位置決めされた状態で、ステージ１０上に載置されている。図３Ｂ及び図４Ａに示すように、搬送装置３がカセット２を把持していない状態、すなわち、カセットがステージ１０に載置された状態においては、ロックバー２７は、スプリング２８ａによって上方向に付勢されている。
【００３１】
このとき、フランジ２８ｃがスプリング収容部２８ｂの上壁部分に当接しており、ロックバー２７は、上端が天井板２２から突出した状態で保持されている。また、側板２０の棚板２０ａとロックバー２７の棚板２７ａとが同一の高さに位置付けられ、挿入溝２０ｂと第２の挿入溝２７ｂとが連通されている。このため、挿入溝２０ｂと第２の挿入溝２７ｂとが連通され、ワークセットＷを開口部２３から取り出すことが可能になっている。このように、カセット２の載置状態において、ロックバー２７は、スプリング機構２８により、カセット２に対してワークセットＷを取出し可能な開位置に位置付けられている。
【００３２】
ステージ１０からカセット２を搬出する場合、図４Ａに示すように、把持手段３１は、カセット２の上方に位置付けられ、一対の保持爪３３を開いた状態で下降する。そして、把持手段３１は所定高さまで下降した後、一対の保持爪３３を閉じる。このとき、一方の保持爪３３の先端がロックバー２７の上端に当接し、当該保持爪３３は、スプリング２８ａの付勢力に抗してロックバー２７を下方に押し下げながらプレート３２との連結部分を支点に回転する。
【００３３】
ロックバー２７は、スライド溝２０ｃに沿って下方にスライドし、ロックバー２７の上面と天井板２２の上面とが面一になる（図３Ｃ及び図４Ｂ参照）。このとき、棚板２０ａと棚板２７ａとが互い違いに位置付けられる。すなわち、挿入溝２０ｂと第２の挿入溝２７ｂとが上下方向に段違いになる。この結果、挿入溝２０ｂが棚板２７ａによって遮断され、挿入溝２０ｂ内に留まったワークセットＷを開口部２３から取り出すことができなくなる。すなわち、棚板２７ａは、ワークセットの取出しを不可にするロック部としての機能を有する。このように、カセット２の搬送状態において、ロックバー２７は、保持爪３３により、カセット２に対してワークセットＷを取出し不可能な閉位置に位置付けられている。よって、カセット２の搬送中においては、装置の振動等によって、ワークセットＷがカセット２から飛び出すのを防止することができる。
【００３４】
そして、搬送先においてカセット２を載置した後、把持手段３１による被保持部２５の把持が解除されると、ロックバー２７は、スプリング２８ａの付勢力を受けてスライド溝２０ｃに沿って上方にスライドする。この結果、ロックバー２７は再び開位置に位置付けられ、ロック機構２６のロックが解除される。これにより、ワークセットＷを開口部２３から取り出すことが可能になる。
【００３５】
以上のように、本実施の形態に係るカセット２によれば、カセット２の載置状態においては、スプリング機構２８によりロックバー２７が天井板２２から突出されており、挿入溝２０ｂと第２の挿入溝２７ｂとが連通されているため、ワークセットＷの取出しが可能である。一方、カセット２を持ち上げる際には、天井板２２から突出するロックバー２７を押し下げることにより、挿入溝２０ｂと第２の挿入溝２７ｂとが段違いになり、挿入溝２０ｂが遮断される。このため、カセット２内に収容されたワークセットＷが外に飛び出すのを防止することができる。このように、上方からのアクセスによりワークセットＷの飛び出しを防止するためのロック機構２６を作動させることができる。
【００３６】
次に、図５を参照して、変形例に係るカセットについて説明する。図５は、変形例に係るカセットの説明図である。変形例においては、スプリングが底板内に収容される点で、本実施の形態と相違する。
【００３７】
図５に示すように、変形例に係るカセット４は、前後が開口された箱型に形成されており、鉛直方向に延びる一対の側板４０と、一対の側板４０の下端に連接される底板４１と、底板４１に対向（対面）し、一対の側板４０の上端に連接される天井板４２とを備えている。カセット４の正面側には、ワークセットＷの挿入及び取出しを可能にする開口部４３が形成され、カセット４の背面側には、ワークセットＷをリングフレームＦの背部で支持するストッパ４４が設けられている。
【００３８】
天井板４２の上面中央には、カセット４を把持手段３１で把持する際の被保持部４５が形成されている。被保持部４５は、天井板４２より小さい上面視正方形状のプレート部４５ａと、プレート部４５ａを天井板４２に連結する軸部４５ｂとを有している。また、底板４１の下面には、ステージ１０に設けられた位置決めピン１１に係合する係合凹部（不図示）が、複数の位置決めピン１１に対応する位置に形成されている。
【００３９】
側板４０の内側面には、水平方向に延びる複数の棚板４０ａが等間隔に設けられており、隣接する棚板４０ａ間には、ワークセットＷを挿入するための挿入溝４０ｂが形成されている。このとき、一対の側板４０の内面が対向されているため、棚板４０ａ及び挿入溝４０ｂによって、ワークセットＷを収容する複数の収容棚が形成される。
【００４０】
また、一方の側板４０において、開口部４３の近傍の内側面には、上下方向に延びるスライド溝４０ｃが形成されている。スライド溝４０ｃは、側板４０の上端から側板の下端の底板４１まで形成されている。このスライド溝４０ｃには、カセット４に収容されたワークセットＷの取出しを不可にするロック機構４６が設けられている。ロック機構４６は、上下方向に延びた長尺形状を有するロックバー４７と、ロックバー４７を上方向に付勢するスプリング機構４８とを備えている。ロックバー４７の側面には、側板４０と同一ピッチで複数の棚板４７ａが設けられており、隣接する棚板４７ａ間には、ワークセットＷの挿入を可能にする第２の挿入溝４７ｂが設けられている。
【００４１】
スプリング機構４８は、ロックバー４７を上方に付勢するスプリング４８ａと、スプリング４８ａを収容するスプリング収容部４８ｂと、スプリング収容部４８ｂ内を上下移動するフランジ４８ｃとを備えている。スプリング４８ａは、例えば、圧縮コイルバネで構成される。スプリング収容部４８ｂは、一方の側板４０下端の底板４１内に形成されている。スプリング収容部４８ｂは、略直方体形状の空間を有しており、スライド溝４０ｃに連通している。また、スプリング収容部４８ｂの前後方向の幅は、スライド溝４０ｃの前後方向の幅より大きく形成されている。
【００４２】
フランジ４８ｃは、ロックバー４７の下端に設けられており、スプリング収容部４８ｂ内でロックバー４７の側面から前後方向にスプリング収容部４８ｂの前後方向の幅と略同一の幅で延びている。スプリング４８ａの上端はフランジ４８ｃの下面に接続され、スプリング４８ａの下端がスプリング収容部４８ｂの底壁部分に接続されている。これにより、ロックバー４７は、スプリング４８ａによって常時上方向に付勢され、カセット４の載置状態においては、ロックバー４７の上端部分が天井板４２から突出した状態になっている。
【００４３】
変形例に係るカセット４においても、カセット４がステージ１０に載置された状態においては、図５Ａに示すように、ロックバー４７が、スプリング４８ａによって上方向に付勢されている。このため、フランジ４８ｃがスプリング収容部４８ｂの上壁部分に当接しており、ロックバー４７は、上端が天井板４２から突出した状態で保持されている。このとき、側板４０の棚板４０ａとロックバー４７の棚板４７ａとが同一の高さに位置付けられ、挿入溝４０ｂと第２の挿入溝４７ｂとが一致されている。よって、挿入溝４０ｂと第２の挿入溝４７ｂとが連通され、ワークセットＷを開口部４３から取り出すことが可能になっている。
【００４４】
ステージ１０からカセット４を搬出する場合、把持手段３１（図４参照）は、カセット４の上方に把持手段３１が位置付けられ、一対の保持爪３３を開いた状態で下降する。そして、図５Ｂに示すように、把持手段３１は所定高さまで下降した後、一対の保持爪３３を閉じてカセット４の被保持部４５を把持する。一対の保持爪３３が閉じられる動作に伴い、ロックバー４７は、保持爪３３により、スプリング４８ａの付勢力に抗して下方に押し下げられる。ロックバー４７は、スライド溝４０ｃに沿って下方にスライドし、ロックバー４７の上面と天井板４２の上面とが面一になる。このとき、棚板４０ａと棚板４７ａとが互い違いに位置付けられる。すなわち、挿入溝４０ｂと第２の挿入溝４７ｂとが上下方向に段違いになる。この結果、挿入溝４０ｂが棚板４７ａによって遮断され、ワークセットＷを開口部４３から取り出すことができなくなる。
【００４５】
このように、変形例に係るカセット４においても、天井板４２の上面から突出したロックバー４７を押し下げることにより、ロックバー４７をカセット４に対してワークセットＷを取出し可能な開位置からカセット４に対してワークセットＷを取出し不可能な閉位置に移動させることができる。よって、上方からのアクセスによりワークセットＷの飛び出し防止のためのロック機構４６を作動させることができる。
【００４６】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。
【００４７】
例えば、上記した実施の形態において、カセット２には、板状ワークｗが粘着テープＴを介してリングフレームＦに支持されたワークセットＷを収容する構成としたが、この構成に限定されない。ワークセットＷではなく、板状ワークｗが直接カセット内に収容されてもよい。
【００４８】
また、上記した実施の形態においては、ロック機構２６、４６は一方の側板２０、４０にのみ設けられる構成としたが、この構成に限定されない。ロック機構２６、４６は、両方の側板２０、４０に設けられてもよい。
【００４９】
また、上記した実施の形態においては、スプリング２８ａ、４８ａを圧縮コイルバネで構成したが、この構成に限定されない。スプリング２８ａ、４８ａは、例えば、板バネで構成されてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
以上説明したように、本発明は、上方からのアクセスにより、板状ワークの飛び出し防止のためのロック機構を作動させることができるという効果を有し、特に、大口径の板状ワークを収容するカセットに有用である。
【符号の説明】
【００５１】
Ｆ  リングフレーム
Ｔ  貼着テープ
ｗ  板状ワーク
Ｗ  ワークセット
２、４  カセット
２０、４０  側板
２０ａ、４０ａ  棚板
２０ｂ、４０ｂ  挿入溝
２１、４１  底板
２２、４２  天井板
２３、４３  開口部
２４、４４  ストッパ
２６、４６  ロック機構
２７、４７  ロックバー
２７ａ、４７ａ  棚板（ロック部）
２７ｂ、４７ｂ  第２の挿入溝
２８、４８  スプリング機構
２８ａ、４８ａ  スプリング
２８ｂ、４８ｂ  スプリング収容部
２８ｃ、４８ｃ  フランジ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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