(57)【要約】【課題】連通部に洗浄水が残ることを抑制する基板収納容器を提供すること。【解決手段】連通部９３は、開口対向壁部９３１と、開口対向壁部９３１に衝突した、フィルタ部８０の通気路８０１からの気体Ｇ１を、気体噴出ノズル部９１へ導く気体導出部９４１と、開口対向壁部９３１と気体導出部９４１とにより形成され、フィルタ部８０の通気路８０１からの気体を気体噴出ノズル部９１へ流通させる連通部流路９４５と、開口対向壁部９３１からフィルタ部８０へ向って延出する流出抑制壁部９３５であって、開口対向壁部９３１に衝突した、フィルタ部８０の通気路８０１からの気体Ｇ１が、連通部流路９４５から漏れ出ることを抑制する流出抑制壁部９３５と、を有する。流出抑制壁部９３５の延出端部と、フィルタ部８０とは離間した位置関係を有し、流出抑制壁部９３５の延出端部とフィルタ部８０との間には、隙間８０６が形成されている。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
前記基板収納空間と前記容器本体の外部の空間とを連通可能な通気路と、前記通気路に配置されたフィルタと、前記通気路を形成するフィルタ部ハウジングと、を有し、前記壁部に配置され、前記フィルタを通して前記容器本体の外部の空間と前記基板収納空間との間で気体が通過可能なフィルタ部と、
前記フィルタ部の前記通気路に流入した気体を、前記基板収納空間に供給する気体噴出ノズル部と、
前記フィルタ部から前記気体噴出ノズル部へ気体を流通可能に連通する連通部と、を備え、
前記通気路は、前記基板収納空間に位置する基板収納空間側開口と、前記容器本体の外部の空間に位置する外部空間側開口と、を有し、
前記連通部は、前記基板収納空間側開口に対向して配置される開口対向壁部と、前記開口対向壁部に衝突した、前記フィルタ部の前記通気路からの気体を、前記気体噴出ノズル部へ導く気体導出部と、前記開口対向壁部と前記気体導出部とにより形成され、前記フィルタ部の前記通気路からの気体を前記気体噴出ノズル部へ流通させる連通部流路と、前記開口対向壁部から前記フィルタ部へ向って延出する流出抑制壁部であって、前記開口対向壁部に衝突した、前記フィルタ部の前記通気路からの気体が、前記連通部流路から漏れ出ることを抑制する流出抑制壁部と、を有し、
前記流出抑制壁部の延出端部と、前記フィルタ部とは離間した位置関係を有し、前記流出抑制壁部の延出端部と前記フィルタ部との間には、隙間が形成されている基板収納容器。
【請求項２】
前記流出抑制壁部の延出端部は、前記開口対向壁部の方向へ窪んだ水抜き切欠きを有する請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記水抜き切欠きは、前記容器本体の一端部と他端部とを結ぶ方向において、最も前記容器本体の一端部寄りの前記流出抑制壁部の部分に位置している請求項２に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記連通部の前記気体導出部は、前記基板収納空間側開口を形成する前記フィルタ部ハウジングの側部に対向する開口側部対向部を有し、
前記開口側部対向部と前記フィルタ部ハウジングの側部とは、離間する位置関係を有し、前記開口側部対向部と前記フィルタ部ハウジングの側部との間には、隙間が形成されている請求項１〜請求項３のいずれかに記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記開口側部対向部と前記フィルタ部ハウジングの側部との間の隙間は、前記容器本体の他端部から一端部へと向う方向に開口している請求項４に記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記開口対向壁部は、前記気体噴出ノズル部に近づくほど、前記フィルタ部から離間するように傾斜している請求項１〜請求項５のいずれかに記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハからなる基板を収納して搬送するための基板収納容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている。
【０００３】
容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。
【０００４】
蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。
【０００５】
また、容器本体には、疎水性のフィルタが設けられている。フィルタを通して、容器本体の外部から基板収納空間へ、窒素等の不活性ガスあるいは水分を除去（１％以下）したドライエア（以下、パージガスという）で、ガスパージが行われる。フィルタの基板収納空間側には、筒状の気体噴出ノズル部が設けられている。気体噴出ノズル部は、フィルタが設けられている容器本体の底壁から、底壁に対向する上壁に向って延びており、複数の噴出口が形成されている。フィルタと気体噴出ノズル部とは、フィルタから気体噴出ノズル部へ気体を流通可能に連通する連通部によって接続されている（特許文献１〜２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第５２４１６０７号公報
【特許文献２】特表２０１１−５１４０１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前述のように連通部は、フィルタから気体噴出ノズル部へ気体を流通可能に連通している。このため連通部は、気体噴出ノズル部へ供給する気体が漏れないようにするため、フィルタ及び気体噴出ノズル部に対して開口する以外に、開口が形成されない構造を有することが理想的である。
【０００８】
しかし、基板収納容器は、フィルタ、連通部、及び、気体噴出ノズル部が容器本体に固定されたままの状態で、基板収納容器の使用前あるいは使用後に洗浄機において、洗浄水（純水）が用いられて洗浄され、乾燥させられる。前述のように、連通部がフィルタ及び気体噴出ノズル部に対して開口する以外に、開口が形成されない構造を有する場合には、フィルタは疎水性であるため、滞留した洗浄水は、容易にフィルタを通過しないため、連通部に洗浄水が大量に残るおそれがある。
【０００９】
本発明は、連通部に洗浄水が残ることを抑制する基板収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記基板収納空間と前記容器本体の外部の空間とを連通可能な通気路と、前記通気路に配置されたフィルタと、前記通気路を形成するフィルタ部ハウジングと、を有し、前記壁部に配置され、前記フィルタを通して前記容器本体の外部の空間と前記基板収納空間との間で気体が通過可能なフィルタ部と、前記フィルタ部の前記通気路に流入した気体を、前記基板収納空間に供給する気体噴出ノズル部と、前記フィルタ部から前記気体噴出ノズル部へ気体を流通可能に連通する連通部と、を備え、前記通気路は、前記基板収納空間に位置する基板収納空間側開口と、前記容器本体の外部の空間に位置する外部空間側開口と、を有し、前記連通部は、前記基板収納空間側開口に対向して配置される開口対向壁部と、前記開口対向壁部に衝突した、前記フィルタ部の前記通気路からの気体を、前記気体噴出ノズル部へ導く気体導出部と、前記開口対向壁部と前記気体導出部とにより形成され、前記フィルタ部の前記通気路からの気体を前記気体噴出ノズル部へ流通させる連通部流路と、前記開口対向壁部から前記フィルタ部へ向って延出する流出抑制壁部であって、前記開口対向壁部に衝突した、前記フィルタ部の前記通気路からの気体が、前記連通部流路から漏れ出ることを抑制する流出抑制壁部と、を有し、前記流出抑制壁部の延出端部と、前記フィルタ部とは離間した位置関係を有し、前記流出抑制壁部の延出端部と前記フィルタ部との間には、隙間が形成されている基板収納容器に関する。
【００１１】
また、前記流出抑制壁部の延出端部は、前記開口対向壁部の方向へ窪んだ水抜き切欠きを有することが好ましい。
【００１２】
また、前記水抜き切欠きは、前記容器本体の一端部と他端部とを結ぶ方向において、最も前記容器本体の一端部寄りの前記流出抑制壁部の部分に位置していることが好ましい。
【００１３】
また、前記連通部の前記気体導出部は、前記基板収納空間側開口を形成する前記フィルタ部ハウジングの側部に対向する開口側部対向部を有し、前記開口側部対向部と前記フィルタ部ハウジングの側部とは、離間する位置関係を有し、前記開口側部対向部と前記フィルタ部ハウジングの側部との間には、隙間が形成されていることが好ましい。
【００１４】
また、前記開口側部対向部と前記フィルタ部ハウジングの側部との間の隙間は、前記容器本体の他端部から一端部へと向う方向に開口していることが好ましい。
【００１５】
また、前記開口対向壁部は、前記気体噴出ノズル部に近づくほど、前記フィルタ部から離間するように傾斜していることが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、連通部に洗浄水が残ることを抑制する基板収納容器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係る容器本体２を示す下方斜視図である。
【図３】本発明の実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す斜視図である。
【図４】本発明の実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す断面図である。
【図５】本発明の実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０と、気体噴出ノズル部９１と、連通部９３とを示す上方斜視図である。
【図６】本発明の実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０と、気体噴出ノズル部９１と、連通部９３とを示す断面図である。
【図７】本発明の実施形態に係る基板収納容器１の気体噴出ノズル部９１と、連通部９３とを示す下方斜視図である。
【図８】本発明の実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０と、気体噴出ノズル部９１と、連通部９３とを示す拡大斜視図である。
【図９】本発明の実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０と、気体噴出ノズル部９１と、連通部９３とを示す拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態による基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。図２は、本発明の実施形態に係る容器本体２を示す下方斜視図である。図３は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す斜視図である。図４は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す断面図である。図５は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０と、気体噴出ノズル部９１と、連通部９３とを示す上方斜視図である。
【００１９】
図６は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０と、気体噴出ノズル部９１と、連通部９３とを示す断面図である。図７は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１の気体噴出ノズル部９１と、連通部９３とを示す下方斜視図である。図８は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０と、気体噴出ノズル部９１と、連通部９３とを示す拡大斜視図である。図９は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０と、気体噴出ノズル部９１と、連通部９３とを示す拡大断面図である。
【００２０】
ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらを併せて前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらを併せて上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらを併せて左右方向Ｄ３と定義する。
【００２１】
また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍ〜４５０ｍｍのシリコンウェーハである。
【００２２】
図１に示すように、基板収納容器１は、上述のようなシリコンウェーハからなる基板Ｗを収納して、工場内の工程において搬送する工程内容器として用いられたり、陸運手段、空運手段、海運手段等の輸送手段により基板を輸送するための出荷容器として用いられたりするものであり、容器本体２と、蓋体３と、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、奥側基板支持部６と、蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ（図示せず）とを有している。
【００２３】
容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。
【００２４】
基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部６（図３等参照）が設けられている。
【００２５】
奥側基板支持部６は、基板収納空間２７内においてフロントリテーナ（図示せず）と対をなすように壁部２０に設けられている。奥側基板支持部６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。
【００２６】
蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８（図１等）に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ（図示せず）は、基板収納空間２７の内部において奥側基板支持部６と対をなすように配置されている。
【００２７】
フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部６と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。以下、各部について、詳細に説明する。
【００２８】
基板収納容器１は、プラスチック材等の樹脂で構成されており、特に説明が無い場合には、その材料の樹脂としては、たとえば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が用いられている。これらの成形材料の樹脂に導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電性物質が、これらの成形材料の樹脂に選択的に添加される。また、剛性を上げるために、これらの成形材料の樹脂に、ガラス繊維や炭素繊維等が添加されてもよい。
【００２９】
図１等に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、上述の材料により構成されており、本実施形態では、ポリカーボネートにより一体成形されて構成されている。
【００３０】
第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。
【００３１】
開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。
【００３２】
図１に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。
【００３３】
図１に示すように、上壁２３の外面においては、リブ２３５Ａ、２３５Ｂが、上壁２３と一体成形されて設けられている。リブ２３５Ａ、２３５Ｂは、容器本体２の剛性を高める。また、上壁２３の中央部には、トップフランジ２３６が固定される。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。
【００３４】
図２に示すように、下壁２４の四隅には、２種類の貫通孔２４５、２４６が形成されている。貫通孔２４５、２４６には、図９に示す構成とされたフィルタ部８０が配置されている。
【００３５】
図９に示すようにフィルタ部８０は、フィルタ部ハウジングとしての内側開口形成部８１、第１ハウジング部８２、ノズル部８３、及び、第２ハウジング部８４と、フィルタ８５と、を有している。内側開口形成部８１、第１ハウジング部８２、ノズル部８３、及び、第２ハウジング部８４は、それぞれ別個独立した部品により構成された別体で構成されている。従って、内側開口形成部８１、第１ハウジング部８２、及び、第２ハウジング部８４により構成される内部側フィルタ部ハウジング部は、ノズル部８３とは別体で構成されている。また、内側開口形成部８１、第１ハウジング部８２、ノズル部８３、第２ハウジング部８４により構成されるフィルタ部ハウジングによって、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能な通気路８０１が形成される。上下方向Ｄ２におけるフィルタ部８０の高さは、２９．３ｍｍである。左右方向Ｄ３におけるフィルタ部８０の幅（フィルタ部８０の直径）は３８ｍｍである。
【００３６】
図９等に示す構成とされたフィルタ部８０においては、フィルタ８５を通して容器本体２の外部の空間から基板収納空間２７へ気体としての窒素等の不活性ガスあるいは水分を除去（１％以下）したドライエア（以下、パージガスという）等を通過可能であり、また、フィルタ８５を通して基板収納空間２７から容器本体２の外部の空間へ気体を通過可能である。
【００３７】
内側開口形成部８１は、円盤形状を有している。内側開口形成部８１には、内側開口形成部８１の中心から放射状に、多数の貫通孔８０３が形成されている。多数の貫通孔８０３は、通気路８０１を構成する。多数の貫通孔８０３の上端における開口は、基板収納空間２７に位置し、後述する連通部９３の開口対向壁部９３１に向って開口する基板収納空間側開口８０４を形成する。従って、通気路８０１は、基板収納空間側開口８０４を有している。
【００３８】
図９に示すように、第１ハウジング部８２は、筒状部８２１と端部フランジ部８２２と上端壁部８２３とを有している。筒状部８２１は、円筒形状を有している。筒状部８２１の側面（外周面）には、雄ネジ部が螺刻されている。筒状部８２１の側面の部分であって雄ネジ部よりも上方の部分には、小フランジ部８２４が筒状部８２１と一体成形されて設けられている。端部フランジ部８２２は、小フランジ部８２４が存在する筒状部８２１の部分よりも上方の筒状部８２１の上端部に、筒状部８２１と一体成形されて設けられている。
【００３９】
小フランジ部８２４と端部フランジ部８２２との間には、Ｏリング２０１が配置されている。Ｏリング２０１は、第１ハウジング部８２と、貫通孔２４５を形成している下壁２４の部分と、の間に、挟まれるようにして、配置されている。これにより、第１ハウジング部８２と、貫通孔２４５を形成している下壁２４の部分と、の間がシールされている。
【００４０】
端部フランジ部８２２は、上方向Ｄ２１へ延びる突部８２５を有している。突部８２５と内側開口形成部８１の環状周縁部８１１に形成された凹部８１５とは、超音波により溶着され、これにより、端部フランジ部８２２は、環状周縁部８１１に固定されている。この結果、第１ハウジング部８２は、内側開口形成部８１と同軸的な位置関係で、内側開口形成部８１に接続されている。
【００４１】
上端壁部８２３は、筒状部８２１の上端部を塞ぐように筒状部８２１と一体成形され、板状を有している。上端壁部８２３には、貫通孔８２６が形成されており、貫通孔８２６にはパージガスＧ１が流通可能である。
【００４２】
図９に示すように、ノズル部８３は、筒状部８３１と外部突出部８３２とを有している。筒状部８３１は、円筒形状を有している。筒状部８３１の上部の外径は、第１ハウジング部８２の筒状部８２１の内径よりも僅かに小さい。これにより、ノズル部８３の筒状部８３１は、第１ハウジング部８２の筒状部８２１の内周面により形成される空間内に、第１ハウジング部８２の筒状部８２１と同軸的な位置関係で配置されている。
【００４３】
筒状部８３１の外周面の下部は、外径が小さい外径小径部８３３を有している。外径小径部８３３の下端部は、外部突出部８３２を構成する。外部突出部８３２は、外部突出部８３２の半径方向内方へ突出する縮径環状板部８３５を有している。縮径環状板部８３５の中央には、貫通孔が形成されており、貫通孔は、外部空間側開口８０２を構成する。外部空間側開口８０２は、容器本体２の外部の空間に露出しており、容器本体２の外部の空間に接続されている。外部空間側開口８０２は、通気路８０１を構成する。従って、通気路８０１は、外部空間側開口８０２を有している。
【００４４】
図９に示すように、第２ハウジング部８４は、筒状部８４１と、端部内方突出部８４２とを有している。筒状部８４１は、円筒形状を有している。筒状部８４１の内径は、第１ハウジング部８２の筒状部８２１の外径よりも大きい。第１ハウジング部８２は、第２ハウジング部８４の筒状部８４１の内周面により形成される空間内に、第２ハウジング部８４の筒状部８４１と同軸的な位置関係で配置されている。
【００４５】
筒状部８４１の内周面には、雌ネジ部が螺刻されている。雌ネジ部には、第１ハウジング部８２の筒状部８２１の雄ネジ部が螺合する。これにより、第２ハウジング部８４は、第１ハウジング部８２に固定される。端部内方突出部８４２は、筒状部８４１の下端部に一体成形されて設けられている。端部内方突出部８４２は、筒状部８４１の下端部から、筒状部８４１の半径方向内方へ突出しており、筒状部８４１の内周面に沿った環状の板状を有している。
【００４６】
ノズル部８３の部分であって、外部空間側開口８０２の周囲の部分、即ち、外部突出部８３２及び縮径環状板部８３５は、フィルタ外郭ハウジング部の下端部を構成する端部内方突出部８４２の下端部よりも、通気路８０１が外部空間側開口８０２において開口する方向である下方向Ｄ２２に突出している。即ち、ノズル部８３の外部突出部８３２及び縮径環状板部８３５は、フィルタ部８０において、最も下方に突出している。換言すれば、外部突出部８３２及び縮径環状板部８３５は、フィルタ部ハウジングを構成するノズル部８３以外の部材である、内側開口形成部８１、第１ハウジング部８２、及び、第２ハウジング部８４のいずれの部分よりも下方へ突出している。
【００４７】
ノズル部８３には、アウトガス発生量の少ないポリカーボネートを用いた。ポリカーボネート以外には、シクロオレフィンポリマーやポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトンなどの樹脂を用いることができる。また、ノズル部８３には、弾性部材を用いることもできる。弾性部材としては、例えば、ポリブチレンテレフタレートやポリエチレン等の樹脂やポリエチレンエラストマーやポリオレフィンエラストマー等のエラストマー、シリコンゴムやフッ素ゴム等のゴム材を用いることができる。ノズル部８３の外部突出部８３２及び縮径環状板部８３５の下端面は、シボ加工が施されて、粗面化されている。
【００４８】
図９に示すように、第２ハウジング部８４とノズル部８３との間には、Ｏリング８４７が配置されている。Ｏリング８４７は、第２ハウジング部８４の端部内方突出部８４２の上面と、ノズル部８３の筒状部８３１の上部と外径小径部８３３との接続位置に形成された段部と、の間に挟まれるようにして、配置されている。これにより、外径小径部８３３のすぐ上の筒状部８３１の部分は、Ｏリング８４７を介して、第２ハウジング部８４との間でシールされて支持されている。
【００４９】
フィルタ部８０においては、フィルタ部ハウジングを構成する内側開口形成部８１、第１ハウジング部８２、ノズル部８３、及び、第２ハウジング部８４により、通気路８０１が形成されている。より具体的には、通気路８０１は、内側開口形成部８１の貫通孔８０３の基板収納空間側開口８０４から、ノズル部８３の外部空間側開口８０２まで続いている。
【００５０】
フィルタ８５は、疎水性の材料により構成されており、円盤形状を有している。フィルタ８５の周縁部は、第１ハウジング部８２の筒状部８２１の上端面に熱溶着により固定されている。これによりフィルタ８５は、通気路８０１に配置されている。フィルタ８５は、内側開口形成部８１の貫通孔８０３をパーティクル等が通過することを阻止する。また、フィルタ８５は、疎水性の材料により構成されており、少量の洗浄水（純水）は、フィルタ８５によって流通が阻害される。
【００５１】
また、基板収納容器１は、気体噴出ノズル部９１と連通部９３とを２つずつ備えている。２つの気体噴出ノズル部９１は、同一形状を有しており、また、２つの連通部９３は、同一形状を有している。このため、一方の気体噴出ノズル部９１、連通部９３のみについて説明し、他方の気体噴出ノズル部９１、連通部９３については、説明を省略する。
【００５２】
気体噴出ノズル部９１は、フィルタ部８０の通気路８０１に流入した気体としてのパージガス等を、基板収納空間２７に供給する。具体的には、気体噴出ノズル部９１は、図５〜図７に示すように、上端部が閉塞され、下端部が開口している略円筒形状のノズル部本体９１１を有している。ノズル部本体９１１の内径は、１４ｍｍ程度である。
【００５３】
ノズル部本体９１１には、気体噴出ノズル部９１の内部と外部とを連通する貫通孔９１２が形成されている。貫通孔９１２は、気体噴出ノズル部９１の上端部近傍の位置から下端部近傍の位置に至るまで、上下方向Ｄ２においては、基板収納容器１に収納可能な基板Ｗの数と同数である２５個形成されている。貫通孔９１２は、気体噴出ノズル部９１の周方向おいては、１つの貫通孔９１２が略４分の１周に相当する円弧形状を有して、略半周分程度の範囲にわたって２つ形成されている。従って、１つの気体噴出ノズル部９１には、上下方向Ｄ１に沿って形成された２５個の貫通孔９１２の組が、気体噴出ノズル部９１の周方向に沿って２組形成されており、計５０個の貫通孔９１２が形成されている。上下方向Ｄ２に沿って形成された２５個の貫通孔９１２のうちの、１番上の貫通孔９１２以外は、全て、上下方向Ｄ２において、基板収納空間２７に収納された２５枚の基板Ｗ同士の間に位置している。１番上の貫通孔９１２は、上下方向Ｄ２において、１番上に収納された基板Ｗと上壁２３との間に位置している。１番下に収納された基板Ｗと下壁２４との間には貫通孔９１２は形成されていないが、この間においては、後述の隙間８０６、８０７、及び、水抜き切欠き９３６から流出するパージガスＧ１によりガスパージが行われる。
【００５４】
気体噴出ノズル部９１の下端部は、被係止部９１３、９１４を有している。被係止部９１４は、気体噴出ノズル部９１の下端部から、気体噴出ノズル部９１の半径方向外方（図９における左方向）へ突出している。被係止部９１３は、気体噴出ノズル部９１の下端部から、階段状に下方向Ｄ２２へ一段下がり、気体噴出ノズル部９１の半径方向外方（図９における右方向）へ突出している。気体噴出ノズル部９１の半径方向外方（図９における右方向）へ突出している被係止部９１３の部分には、貫通孔が形成されている。
【００５５】
連通部９３は、フィルタ部８０から気体噴出ノズル部９１へ気体を流通可能に連通する。具体的には、連通部９３は、開口対向壁部９３１と、気体導出部９４１と、連通部流路９４５と、流出抑制壁部９３５と、を有している。開口対向壁部９３１及び気体導出部９４１は、平面視で長円形状を有している。長円形状の長手方向における一端部寄りの部分は、開口対向壁部９３１により構成されており、開口対向壁部９３１は、フィルタ部８０の基板収納空間側開口８０４に対向して配置されている。長円形状の長手方向における他端部寄りの部分は、気体導出部９４１により構成されており、気体導出部９４１には、上下方向に貫通する貫通口が形成されている。貫通孔の開口には、気体噴出ノズル部９１の下端部の開口が接続されている。
【００５６】
より具体的には、開口対向壁部９３１の一端部近傍の部分（図９における左端部近傍の部分）は、水平な板状の部分を有している。水平な板状の部分よりも他端部寄りの部分（図９における右端部寄りの部分）は、緩やかに他端部へ近づくほど、即ち、気体噴出ノズル部９１の下端部の開口に近づくほど、フィルタ部８０から離間するように傾斜している。具体的には、開口対向壁部９３１は、緩やかな傾斜を有する第１傾斜壁９３１１と、第１傾斜壁９３１１よりも急な傾斜を有する第２傾斜壁９３１２とを有しており、この順で、開口対向壁部９３１の一端部側から他端部側へ順に（図９の左から右へ順に）位置している。この構成により、開口対向壁部９３１は、開口対向壁部９３１に衝突した、フィルタ部８０の通気路８０１からの気体としてのパージガスを、気体噴出ノズル部９１の下端部の開口へ導く。
【００５７】
開口対向壁部９３１の一端部（図９における左端部）と他端部（図９における右端部）とを結ぶ方向における、開口対向壁部９３１の一端部から、第１傾斜壁９３１１と第２傾斜壁９３１２との接続位置までの長さＬ１は２６ｍｍ程度である。また、同方向における、開口対向壁部９３１の一端部から、第２傾斜壁９３１２の図９における右端部までの長さＬ２は、３４ｍｍ程度である。また、同方向に直交する方向における開口対向壁部９３１の幅Ｌ３（図８参照）は、３２ｍｍ程度である。また、前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３に平行な面に対する第１傾斜壁９３１１の傾斜角度Ａ１は、４°程度である。前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３に平行な面に対する第２傾斜壁９３１２の傾斜角度Ａ２は、２８°程度である。
【００５８】
流出抑制壁部９３５は、開口対向壁部９３１の周縁から、フィルタ部８０へ向って延出するとともに、図７に示すように、開口対向壁部９３１の周縁の全体に沿って存在している。図９等に示すように、流出抑制壁部９３５の延出端部（下端部）と、フィルタ部８０の内側開口形成部８１とは離間した位置関係を有している。このため、流出抑制壁部９３５の延出端部とフィルタ部８０の内側開口形成部８１との間には、隙間８０６が形成されている。
【００５９】
上下方向Ｄ２における隙間８０６の幅Ｄ１は、０．１ｍｍ〜０．５ｍｍであることが好ましい。幅Ｄ１が０．１ｍｍ未満では、洗浄水の表面張力により、洗浄水が隙間８０６を通過しにくくなるからである。また、幅Ｄ１が０．１ｍｍ未満では、製品のバラツキで流出抑制壁部９３５の下部が内側開口形成部８１に当接して乗り上げてしまい、正常に基板収納容器１を組み立てることが出来なくなるためである。また、幅Ｄ１が０．５ｍｍを超えると、フィルタ部８０の通気路８０１から流通してくる気体であるパージガスが、隙間８０６から大量に漏れ出てしまい、気体噴出ノズル部９１の貫通孔９１２から十分な量のパージガスを噴出することができなくなるためである。また、流出抑制壁部９３５の一端部（図９の左端部）における、開口対向壁部９３１から延出端（下端）までの高さＬ４は、略１．５ｍｍ程度である。流出抑制壁部９３５は、開口対向壁部９３１に衝突した、フィルタ部８０の通気路８０１からの気体であるパージガスが、連通部流路９４５から隙間８０６を通して漏れ出ることを抑制する。
【００６０】
流出抑制壁部９３５の延出端部（下端部）は、開口対向壁部９３１の方向へ窪んだ水抜き切欠き９３６を有している。水抜き切欠き９３６は、図７等に示すように、矩形を有しており、開口対向壁部９３１に至るまで窪んでいる。水抜き切欠き９３６は、開口対向壁部９３１の一端部の弧状の部分において、弧状の両端と中央とにそれぞれ位置している。開口対向壁部９３１の一端部の弧状の両端のうちのいずれか一方の水抜き切欠き９３６は、図４等に示すように、容器本体２の一端部と他端部とを結ぶ方向である前後方向Ｄ１において、開口対向壁部９３１の最も容器本体２の一端部寄り（前端部寄り）の部分に位置している。
【００６１】
気体導出部９４１は、開口側部対向部９４２を有している。開口側部対向部９４２は、基板収納空間側開口８０４を形成するフィルタ部ハウジングとしての内側開口形成部８１の側部に対向する。より具体的には、開口側部対向部９４２は、図７等に示すように、気体噴出ノズル部９１の下端部の後側の部分を下方向へ延長させるような、底面視で略Ｕ字状を有する壁部により構成されている。開口対向壁部９３１の一端部（図７における開口対向壁部９３１の左上方の端部）に向かうにつれて、開口側部対向部９４２の略Ｕ字状の一対の先端部は、互いに離間するように広がる形状を有しており、略Ｕ字状の一対の先端部の上部は、流出抑制壁部９３５に一体成形されて接続されている。気体導出部９４１の後端部（図９の右端部）の内面は、図９に示すように、後部傾斜面９４１１により構成されている。後部傾斜面９４１１と、前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３に平行な面とのなす角Ａ３は、１２０°程度である。また、後部傾斜面９４１１の下端からノズル部８３の軸心までの距離Ｌ５は、３０ｍｍ程度である。また、後部傾斜面９４１１の下端から開口対向壁部９３１の一端部までの距離Ｌ６は、４８ｍｍ程度である。
【００６２】
また、内側開口形成部８１の側部に最も近接して対向する開口側部対向部９４２の前方向Ｄ１１寄りの端部と、内側開口形成部８１の側部とは、離間する位置関係を有しており、これらの間には、図８に示すように、隙間８０７が形成されている。隙間８０７は、図８に示す手前側と向こう側との両方に形成されているが、そのうちの一方は、図４に示すように、容器本体２の他端部から一端部へと向う方向（前方向Ｄ１１）に向けて開口している。前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３に平行な平面に沿った方向における。
【００６３】
気体導出部９４１の下部は、容器本体２の下壁２４の貫通孔２４５に隣接して形成された、下方向Ｄ２２へ窪んだ位置決め凹部に挿入されており、気体導出部９４１の下端部は、当該凹部の底面２４７に当接している。この当接により、開口対向壁部９３１及び気体導出部９４１は、下壁２４に支持されており、流出抑制壁部９３５の延出端部とフィルタ部８０の内側開口形成部８１との間の隙間８０６が確保される。また、気体導出部９４１の下端部は、当該凹部（図示せず）の底面２４７に当接して位置決めされることにより、開口対向壁部９３１及び気体導出部９４１により構成される一対の長円形状は、図３、図４に示すように、略「ハ」の字状をなす位置関係で、下壁２４に固定されている。
【００６４】
気体導出部９４１の上端部には、係止部９４３と、フック部９４４とが設けられている。係止部９４３は、ノズル部本体９１１の半径方向外方へ気体導出部９４１から離間するように延び、上方向２１へ延び、更に、ノズル部本体９１１の半径方向外方へ気体導出部９４１から離間するように延びている。被係止部９１３の貫通孔に係止部９４３が挿通され、被係止部９１４がフック部９４４に掛けられることにより、気体噴出ノズル部９１の下端部が、気体導出部９４１の上端部に固定される。これにより、開口対向壁部９３１と気体導出部９４１とによって、フィルタ部８０の通気路８０１からの気体としてのパージガスを気体噴出ノズル部９１へ流通させる連通部流路９４５が形成される。連通部流路９４５は、基板収納空間側開口８０４と、気体噴出ノズル部９１の内部空間とを連通する。
【００６５】
図１等に示すように、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部２８のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面２８１）に対向する面には、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等により構成されている。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。
【００６６】
蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４は、シール面２８１と蓋体３の内面とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。
【００６７】
蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂと、蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部（図示せず）と、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部は、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。
【００６８】
蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂ、下側ラッチ部（図示せず）を蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂが蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部（図示せず）が蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。
【００６９】
蓋体３の内側においては、基板収納空間２７の外方へ窪んだ凹部（図示せず）が形成されている。凹部（図示せず）及び凹部の外側の蓋体３の部分には、フロントリテーナ（図示せず）が固定されて設けられている。
【００７０】
フロントリテーナ（図示せず）は、フロントリテーナ基板受け部（図示せず）を有している。フロントリテーナ基板受け部（図示せず）は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられている。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、フロントリテーナ基板受け部は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。
【００７１】
上述のような基板収納容器１において、パージガスによるガスパージは以下のとおりに行われる。先ず、図６に示すように、外部空間側開口８０２（図９参照）へ気体を供給する気体供給装置の給気ノズルＮの気体供給口開口部に、ノズル部８３（図９参照）の外部突出部８３２及び縮径環状板部８３５を当接させる。次に、気体供給装置の給気ノズルＮの気体供給口開口部から、外部空間側開口８０２へパージガスＧ１を供給する。これによりパージガスＧ１は、図９に示すように、通気路８０１に流入し、貫通孔８０３や基板収納空間側開口８０４を流れ、開口対向壁部９３１に衝突する。このとき、連通部流路９４５において、流出抑制壁部９３５により、パージガスＧ１が連通部流路９４５の外部に漏れ出ることが抑えられ、パージガスＧ１は、開口対向壁部９３１の第１傾斜壁９３１１及び第２傾斜壁９３１２に沿って開口側部対向部９４２の方へ流通する。そして、パージガスＧ１は、気体噴出ノズル部９１の内部空間に流入し、貫通孔９１２から基板収納空間２７へ噴出される。
【００７２】
次に、基板収納容器１の洗浄水による洗浄は、以下のとおりに行われる。先ず、基板収納容器１を洗浄機により洗浄水を用いて洗浄する。具体的には、基板収納容器１は、フィルタ部８０、連通部９３、及び、気体噴出ノズル部９１が容器本体２に固定されたままの状態で、基板収納容器１の使用前あるいは使用後に、洗浄機において洗浄水が用いられて洗浄される。このときフィルタ８５は疎水性を有しているため、連通部流路９４５内に洗浄水が残留する。
【００７３】
次に、奥壁２２を容器本体開口部２１に対して鉛直上側とした位置関係で、基板収納容器１は配置される。すると、隙間８０６が鉛直下方に開口する位置関係となる。また、３つの水抜き切欠き９３６のうちの１つの水抜き切欠き９３６、及び、２つの隙間８０７のうちの１つの隙間８０７が鉛直下方に向かって開口する位置関係となる。このため、連通部流路９４５内に残留していた洗浄水は、隙間８０６から排出されると共に、水抜き切欠き９３６、及び、隙間８０７を通して、図４において、矢印Ｆ１、Ｆ２に示すように、連通部流路９４５外に排出される。更に、熱風が容器本体２に吹き付けられる。これにより、洗浄水が乾燥させられる。
【００７４】
また、洗浄機による基板収納容器１の洗浄後に、奥壁２２を容器本体開口部２１に対して鉛直上側として配置する代わりに、第１側壁２５を第２側壁２６に対して鉛直下方に位置させるように、基板収納容器１を配置させる。そして、奥壁２２よりも後方に配置された回転軸を中心として基板収納容器１を旋回させる。このとき、隙間８０６、３つの水抜き切欠き９３６のうちの１つの水抜き切欠き９３６、及び、２つの隙間８０７のうちの１つの隙間８０７は、回転軸の半径方向外方へ向って開口している。即ち、隙間８０６、３つの水抜き切欠き９３６のうちの１つの水抜き切欠き９３６、及び、２つの隙間８０７のうちの１つの隙間８０７は、遠心力の働く方向における下流側に向かって開口する位置関係となる。このため、連通部流路９４５内に残留していた洗浄水は、隙間８０６から排出されると共に、水抜き切欠き９３６、及び、隙間８０７を通して、図４において、矢印Ｆ１、Ｆ２に示すように、連通部流路９４５外に排出される。更に、熱風が容器本体２に吹き付けられる。これにより、洗浄水が乾燥させられる。
【００７５】
上記構成の本実施形態に係る基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。上述のように、基板収納容器１は一端部に容器本体開口部２１が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部２０を備え、壁部２０の内面によって、複数の基板Ｗを収納可能であり容器本体開口部２１に連通する基板収納空間２７が形成された容器本体２と、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３と、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能な通気路８０１と、通気路８０１に配置されたフィルタ８５と、通気路８０１を形成するフィルタ部ハウジングと、を有し、壁部２０に配置され、フィルタ８５を通して容器本体２の外部の空間と基板収納空間２７との間で気体としてのパージガスＧ１が通過可能なフィルタ部８０と、フィルタ部８０の通気路８０１に流入した気体を、基板収納空間２７に供給する気体噴出ノズル部９１と、フィルタ部８０から気体噴出ノズル部９１へ気体を流通可能に連通する連通部９３と、を備える。
【００７６】
通気路８０１は、基板収納空間２７に位置する基板収納空間側開口８０４と、容器本体２の外部の空間に位置する外部空間側開口と、を有する。連通部９３は、基板収納空間側開口８０４に対向して配置される開口対向壁部９３１と、開口対向壁部９３１に衝突した、フィルタ部８０の通気路８０１からの気体としてのパージガスＧ１を、気体噴出ノズル部９１へ導く気体導出部９４１と、開口対向壁部９３１と気体導出部９４１とにより形成され、フィルタ部８０の通気路８０１からの気体を気体噴出ノズル部９１へ流通させる連通部流路９４５と、開口対向壁部９３１からフィルタ部８０へ向って延出する流出抑制壁部９３５であって、開口対向壁部９３１に衝突した、フィルタ部８０の通気路８０１からの気体としてのパージガスＧ１が、連通部流路９４５から漏れ出ることを抑制する流出抑制壁部９３５と、を有する。流出抑制壁部９３５の延出端部と、フィルタ部８０とは離間した位置関係を有し、流出抑制壁部９３５の延出端部とフィルタ部８０との間には、隙間８０６が形成されている。
【００７７】
上記構成により、流出抑制壁部９３５の延出端部と、フィルタ部８０とは離間した位置関係を有し、流出抑制壁部９３５の延出端部とフィルタ部８０との間には、隙間８０６が形成されているため、基板収納容器１を洗浄水によって洗浄した後に、隙間８０６を通して洗浄水を連通部流路９４５から排出させることができる。このため、洗浄水が連通部９３に滞留することを抑えることができる。この結果、基板収納容器１の乾燥にかかる時間を短縮することができる。
【００７８】
また、流出抑制壁部９３５の延出端部は、開口対向壁部９３１の方向へ窪んだ水抜き切欠き９３６を有する。この構成により、隙間８０６を通して洗浄水を連通部流路９４５から排出させることに加え、水抜き切欠き９３６を通して、洗浄水を連通部流路９４５から排出させることができる。このため、より確実に、洗浄水が連通部９３や流出抑制壁部９３５に滞留することを抑えることができる。
【００７９】
また、水抜き切欠き９３６は、容器本体２の一端部と他端部とを結ぶ方向において、最も容器本体２の一端部寄りの流出抑制壁部９３５の部分に位置している。この構成により、この位置が流出抑制壁部９３５において最も下方に配置されるように、基板収納容器１が配置されて、基板収納容器１の乾燥が行われたり、この位置が流出抑制壁部９３５において最も遠心力が作用する下流側に配置されるように、基板収納容器１が配置されて基板収納容器１が回転させられて、基板収納容器１の乾燥が行われたりすることで、流出抑制壁部９３５の内側の連通部流路９４５内の滞留した洗浄水を、容易に連通部流路９４５外部へ排出することができる。
【００８０】
また、連通部９３の気体導出部９４１は、基板収納空間側開口８０４を形成するフィルタ部ハウジングの側部に対向する開口側部対向部９４２を有し、開口側部対向部９４２とフィルタ部ハウジングの側部とは、離間する位置関係を有し、開口側部対向部９４２とフィルタ部ハウジングの側部との間には、隙間８０７が形成されている。
【００８１】
上記構成により、隙間８０６、水抜き切欠き９３６を通して、連通部流路９４５の上部に滞留している洗浄水を連通部流路９４５から排出させることに加え、隙間８０７から、連通部流路９４５の下部に滞留している洗浄水を連通部流路９４５から排出させることができる。このため、洗浄水が連通部９３の上部及び下部において、滞留することをより確実に抑えることができる。
【００８２】
また、開口側部対向部９４２とフィルタ部ハウジングの側部との間の隙間８０７は、容器本体２の他端部から一端部へと向う方向に開口している。この構成により、隙間８０７が、下方に向って開口する位置関係とされるように、基板収納容器１が配置されて、基板収納容器１の乾燥が行われたり、隙間８０７が、遠心力が作用する下流側に向って開口する位置関係とされるように、基板収納容器１が配置されて基板収納容器１が回転させられて、基板収納容器１の乾燥が行われたりすることで、流出抑制壁部９３５の内側の連通部流路９４５内の滞留した洗浄水を、容易に連通部流路９４５外部へ排出することができる。
【００８３】
また、開口対向壁部９３１は、気体噴出ノズル部９１に近づくほど、フィルタ部８０から離間するように傾斜している。この構成により、フィルタ部８０の通気路８０１からの気体である不活性ガス（パージガス）が、スムーズに気体噴出ノズル部９１へ流通することができるように、パージガスの流れを調整することができる。このため、隙間８０６、隙間８０７、水抜き切欠き９３６からパージガスを漏れにくくすることができる。
【００８４】
本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。例えば、容器本体及び蓋体の形状や、容器本体に収納可能な基板の枚数、寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状や、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数、寸法に限定されない。また、フィルタ部、気体噴出ノズル部、連通部等の構成は、本実施形態におけるフィルタ部８０、気体噴出ノズル部９１、連通部９３等の構成に限定されない。例えは、フィルタ部８０は、逆止弁等を有する構成であってもよい。
【符号の説明】
【００８５】
１    基板収納容器
２    容器本体
３    蓋体
２０    壁部
２１    容器本体開口部
２７    基板収納空間
８０    フィルタ部
８１    内側開口形成部（フィルタ部ハウジング部）
８２    第１ハウジング部（フィルタ部ハウジング部）
８３    ノズル部（フィルタ部ハウジング部）
８５    フィルタ
８０１    通気路
８０２    外部空間側開口
８０４    収容空間側収容室開口
８０６、８０７    隙間
９３５    流出抑制壁部
９３６    水抜き切欠き
９４１    気体導出部
９４２    開口側部対向部
９４５    連通部流路
Ｗ    基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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