(57)【要約】【課題】複数の配置領域のそれぞれに配置される液状体の配置量を予め設定された目標配置量に近づけることができる液状体吐出装置の駆動設定方法を提供する。【解決手段】複数の配置領域から第１の配置領域と第２の配置領域とを選択し、第１の配置領域の対応ノズルである第１のノズルの駆動条件を第１の駆動条件から第２の駆動条件に変更することにより、第１の配置領域における液状体の配置量を第１の配置量から第３の配置量とする。一方、第２の配置領域の対応ノズルである第２のノズルの駆動条件を第２の駆動条件から第１の駆動条件に変更することにより、第２の配置領域における液状体の配置量を第２の配置量から第４の配置量とする。【選択図】図１０
2016185526.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルを有する吐出ヘッドを備えた液状体吐出装置において、前記吐出ヘッドを吐出対象物に対して相対的に移動させる走査を行いながら、前記複数のノズルから液状体を吐出することにより、前記吐出対象物に設けられた複数の配置領域に対して所定量の液状体をそれぞれ配置する際に、前記複数のノズルの各々に対して、複数の駆動条件のうち少なくとも一つを設定する液状体吐出装置の駆動設定方法であって、
前記複数のノズルの各々に対して、前記複数の駆動条件のうち少なくとも一つの駆動条件を設定するＡステップと、
前記複数の配置領域の各々に対して、前記走査において相対し、且つ前記液状体を吐出する少なくとも一つの対応ノズルを、前記複数のノズルから選択して設定するＢステップと、
前記Ａステップにおいて前記複数のノズルの各々に対して設定した前記駆動条件と、前記Ｂステップにおいて前記複数の配置領域の各々に対して設定した前記対応ノズルとに基づき、前記複数の配置領域の各々に配置される前記液状体の配置量を取得するＣステップと、
前記複数の配置領域から第１の配置領域と第２の配置領域とを選択するＤステップと、
前記第１の配置領域の前記対応ノズルである第１のノズルの前記駆動条件を、前記Ａステップにおいて前記第１のノズルに設定された第１の駆動条件から、前記第２の配置領域の対応ノズルである第２のノズルに設定されている第２の駆動条件に変更するＥステップと、
前記第２のノズルの前記駆動条件を、前記Ａステップにおいて前記第２のノズルに設定された第２の駆動条件から、前記第１の駆動条件に変更するＦステップと、を含み、
前記Ｃステップにおいて取得した前記第１の配置領域における前記液状体の配置量を第１の配置量とし、
前記Ｃステップにおいて取得した前記第２の配置領域における前記液状体の配置量を第２の配置量とし、
前記Ｅステップにおいて前記第１のノズルの前記駆動条件を前記第１の駆動条件から前記第２の駆動条件に変更することにより、前記第１の配置領域における前記液状体の配置量を前記第１の配置量から第３の配置量とし、
前記Ｆステップにおいて前記第２のノズルの前記駆動条件を前記第２の駆動条件から前記第１の駆動条件に変更することにより、前記第２の配置領域における前記液状体の配置量を前記第２の配置量から第４の配置量とすることを特徴とする液状体吐出装置の駆動設定方法。
【請求項２】
前記Ｄステップにおいて、
前記第１の配置量が前記複数の配置領域の各々に対して予め設定された目標配置量と異なるように、前記第１の配置領域を選択し、
前記第２の配置量が前記目標配置量と異なるように、前記第２の配置領域を選択することを特徴とする請求項１に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
【請求項３】
前記Ｄステップにおいて、
前記第３の配置量と前記目標配置量との差が前記第１の配置量と前記目標配置量との差より小さくなるように、前記第１の配置領域を選択することを特徴とする請求項２に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
【請求項４】
前記Ｄステップにおいて、
前記第４の配置量と前記目標配置量との差が前記第２の配置量と前記目標配置量との差より小さくなるように、前記第２の配置領域を選択することを特徴とする請求項２又は３に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
【請求項５】
前記Ｄステップにおいて、
前記第１の配置量と前記目標配置量との差が最も大きくなるように、前記第１の配置領域を選択することを特徴とする請求項２〜４の何れか一項に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
【請求項６】
前記Ｄステップにおいて、
前記第１の配置量と前記目標配置量との大小関係と、前記第２の配置量と前記目標配置量との大小関係とが逆となるように、前記第１の配置領域及び前記第２の配置領域を選択することを特徴とする請求項２〜５の何れか一項に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
【請求項７】
前記第１の配置量と前記目標配置量との差よりも前記第４の配置量と前記目標配置量との差の方が大きい場合、前記Ｄステップと、前記Ｅステップと、前記Ｆステップとを、この順で繰り返すことを特徴とする請求項２〜６の何れか一項に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
【請求項８】
前記Ｄステップにおいて、
前記第１の配置領域と前記第２の配置領域とが互いに隣接し、
且つ前記第１の配置量と前記第２の配置量とが異なるように、前記第１の配置領域と前記第２の配置領域とを選択することを特徴とする請求項１に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
【請求項９】
前記Ｄステップにおいて、
前記第１の配置量と前記第２の配置量との差が最も大きくなるように、互いに隣接する前記第１の配置領域と前記第２の配置領域とを選択することを特徴とする請求項８に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
【請求項１０】
前記Ｄステップにおいて、
前記第３の配置量と第４の配置量との差が前記第１の配置量と前記第２の配置量との差に比べ小さくなるように、互いに隣接する前記第１の配置領域と前記第２の配置領域とを選択することを特徴とする請求項８又は９に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
【請求項１１】
前記Ａステップにおいて、
前記複数のノズルを、同じ前記駆動条件が設定されている複数の前記ノズルからなるノズル群を有する複数のグループに分け、
前記複数のグループの各々が有する前記ノズル群の各々のノズルの吐出量の統計値に基づき、前記グループ毎に前記駆動条件を設定することを特徴とする請求項１〜１０の何れか一項に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
【請求項１２】
前記Ｂステップにおいて、
前記複数の配置領域の各々に対して、前記走査において相対し、且つ前記液状体を吐出する複数の対応ノズルを、前記複数のノズルから選択して設定し、
前記Ｃステップにおいて、前記複数の配置領域の各々に配置される前記液状体の配置量として、前記複数の配置領域の各々における前記複数の対応ノズルの各々の吐出量の総和を取得し、
前記第１の配置領域に設定した前記複数の対応ノズルのうちの一つの前記対応ノズルを、前記第１のノズルとして選択し、
前記第２の配置領域に設定した前記複数の対応ノズルのうちの一つの前記対応ノズルを、前記第２のノズルとして選択することを特徴とする請求項１〜１１の何れか一項に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
【請求項１３】
前記第１の配置領域の前記複数の対応ノズルから、最も吐出量の多い前記駆動条件が設定されている対応ノズルを、前記第１のノズルとして選択することを特徴とする請求項１２に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
【請求項１４】
前記第２の配置領域の前記複数の対応ノズルから、最も吐出量の少ない前記駆動条件が設定されている前記対応ノズルを、前記第２のノズルとして選択することを特徴とする請求項１２又は１３に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
【請求項１５】
前記液状体吐出装置は、複数の前記吐出ヘッドを並べて配置した構成を有し、
同一の前記吐出ヘッドが有する前記複数のノズルから、前記第１のノズル及び前記第２のノズルを選択することを特徴とする請求項１〜１４の何れか一項に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法。
【請求項１６】
複数のノズルを有する吐出ヘッドを備えた液状体吐出装置において、前記吐出ヘッドを吐出対象物に対して相対的に移動させる走査を行いながら、前記複数のノズルから液状体を吐出することにより、前記吐出対象物に設けられた複数の配置領域に対して所定量の液状体をそれぞれ配置する際に、前記複数のノズルの各々に対して、複数の駆動条件のうち少なくとも一つを設定する液状体吐出装置の駆動設定プログラムであって、
請求項１〜１５の何れか一項に記載の液状体吐出装置の駆動設定方法を実行することを特徴とする液状体吐出装置の駆動設定プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体吐出装置の駆動設定方法及び駆動設定プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、機能性材料を含む液状体を複数のノズルから吐出対象物である基板に対して吐出し、基板上に設けられた配置領域に所定量の液状体を配置した後、乾燥（固化）して薄膜を形成する方法が提案されている。薄膜の代表的な例としては、液晶表示パネルのカラーフィルタや有機ＥＬパネルの発光層、半導体デバイスの金属配線などが挙げられる。
【０００３】
このような方法では、良質な薄膜を形成するために、各ノズルから吐出される液状体の吐出量がノズル間で均等であることが要求される。ノズル間の吐出量のバラツキは、液状体の配置ムラの原因となり、均質な薄膜を形成するのを阻害するからである。
【０００４】
したがって、ノズル間の吐出量のバラツキを測定し、そのバラツキを補償（補正）するための駆動条件（例えば電圧値）を設定することが必要となる。この場合、ノズル毎に独立した駆動条件を設定できることが理想的である。
【０００５】
しかしながら、複数のノズル（ノズルアレイ）を有する吐出ヘッドや、吐出ヘッドの駆動を制御する制御部の構成によっては、実際に設定できる駆動条件に制約が生じてしまう。また、ノズル間の吐出量のバラツキについては、ノズルアレイや吐出ヘッド毎に様々であるため、各ノズルの駆動条件をノズル毎に一律な方法で適切に設定することは困難である。
【０００６】
そこで、ノズル間の吐出量のバラツキを補償する技術として、複数のノズルの所定の駆動条件に基づく吐出量を求め、各ノズルの吐出量の差（バラツキ）に基づき、各ノズルを複数のグループに分類し、グループ毎に各ノズルの吐出量の差が小さくなる適正条件を求め、この適正条件に基づいて、グループ毎に補正された駆動条件を設定する技術が提案されている（例えば、特許文献１を参照。）。
【０００７】
下記特許文献１に記載の技術では、上述したグループ毎に補正された駆動条件を設定することで、ノズル毎に独立した駆動条件を設定することなく、複数の配置領域のそれぞれに配置される液状体の配置量を均一化することが可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００８−２７６０８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、上述した配置領域（例えば画素）が小さくなるほど、その配置領域において液状体の吐出が選択されるノズルの数と、各ノズルの吐出回数が少なくなる。この場合、上述した各ノズルを複数のグループに分類し、グループ毎に補正された駆動条件を設定したことによる効果が小さくなることがあった。
【００１０】
すなわち、各配置領域において選択されるノズルの数と、各ノズルの吐出回数が少なくなるほど、各配置領域に配置される液状体の配置量が少なくなる。この場合、各配置領域に配置される液状体の配置量のバラツキが大きくなり、予め設定された目標配置量に近づけることが困難となる。
【００１１】
例えば、１つの配置領域に吐出量が多いノズルが集中した場合、その配置領域に配置される液状体の配置量は、他の配置領域に配置される液状体の配置量よりも多くなる。この場合、複数の配置領域のそれぞれに配置される液状体の配置量を均一化することが困難となり、上述した液状体の配置ムラの原因ともなる。
【００１２】
本発明の一つの態様は、このような従来の事情に鑑みて提案されたものであり、複数の配置領域のそれぞれに配置される液状体の配置量を予め設定された目標配置量に近づけることができる液状体吐出装置の駆動設定方法及び駆動設定プログラムを提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の一つの態様に係る液状体吐出装置の駆動設定方法は、複数のノズルを有する吐出ヘッドを備えた液状体吐出装置において、吐出ヘッドを吐出対象物に対して相対的に移動させる走査を行いながら、複数のノズルから液状体を吐出することにより、吐出対象物に設けられた複数の配置領域に対して所定量の液状体をそれぞれ配置する際に、複数のノズルの各々に対して、複数の駆動条件のうち少なくとも一つを設定する液状体吐出装置の駆動設定方法であって、複数のノズルの各々に対して、複数の駆動条件のうち少なくとも一つの駆動条件を設定するＡステップと、複数の配置領域の各々に対して、走査において相対し、且つ液状体を吐出する少なくとも一つの対応ノズルを、複数のノズルから選択して設定するＢステップと、Ａステップにおいて複数のノズルの各々に対して設定した駆動条件と、Ｂステップにおいて複数の配置領域の各々に対して設定した対応ノズルとに基づき、複数の配置領域の各々に配置される液状体の配置量を取得するＣステップと、複数の配置領域から第１の配置領域と第２の配置領域とを選択するＤステップと、第１の配置領域の対応ノズルである第１のノズルの駆動条件を、Ａステップにおいて第１のノズルに設定された第１の駆動条件から、第２の配置領域の対応ノズルである第２のノズルに設定されている第２の駆動条件に変更するＥステップと、第２のノズルの駆動条件を、Ａステップにおいて第２のノズルに設定された第２の駆動条件から、第１の駆動条件に変更するＦステップと、を含み、Ｃステップにおいて取得した第１の配置領域における液状体の配置量を第１の配置量とし、Ｃステップにおいて取得した第２の配置領域における液状体の配置量を第２の配置量とし、Ｅステップにおいて第１のノズルの駆動条件を第１の駆動条件から第２の駆動条件に変更することにより、第１の配置領域における液状体の配置量を第１の配置量から第３の配置量とし、Ｆステップにおいて第２のノズルの駆動条件を第２の駆動条件から第１の駆動条件に変更することにより、第２の配置領域における液状体の配置量を第２の配置量から第４の配置量とすることを特徴とする。
【００１４】
この方法によれば、複数の配置領域から第１の配置領域と第２の配置領域とを選択する。そして、第１の配置領域の対応ノズルである第１のノズルの駆動条件を第１の駆動条件から第２の駆動条件に変更することにより、第１の配置領域における液状体の配置量を第１の配置量から第３の配置量とする。一方、第２の配置領域の対応ノズルである第２のノズルの駆動条件を第２の駆動条件から第１の駆動条件に変更することにより、第２の配置領域における液状体の配置量を第２の配置量から第４の配置量とする。これにより、複数の配置領域のそれぞれに配置される液状体の配置量を予め設定された目標配置量に近づけることができる。したがって、この方法によれば、液状体の配置量が少なくなる場合でも、複数の配置領域のそれぞれに配置される液状体の配置量を均一化することが可能である。
【００１５】
また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法では、Ｄステップにおいて、第１の配置量が複数の配置領域の各々に対して予め設定された目標配置量と異なるように、第１の配置領域を選択し、第２の配置量が目標配置量と異なるように、第２の配置領域を選択する方法であってもよい。
【００１６】
この方法によれば、複数の配置領域から選択された第１の配置領域と第２の配置領域とのそれぞれに配置される液状体の配置量を目標配置量に効率良く近づけることができる。
【００１７】
また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法では、Ｄステップにおいて、第３の配置量と目標配置量との差が第１の配置量と目標配置量との差より小さくなるように、第１の配置領域を選択する方法であってもよい。
【００１８】
この方法によれば、第１の配置領域に配置される液状体の配置量を目標配置量に近づけることができる。
【００１９】
また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法では、Ｄステップにおいて、第４の配置量と目標配置量との差が第２の配置量と目標配置量との差より小さくなるように、第２の配置領域を選択する方法であってもよい。
【００２０】
この方法によれば、第２の配置領域に配置される液状体の配置量を目標配置量に近づけることができる。
【００２１】
また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法では、Ｄステップにおいて、第１の配置量と目標配置量との差が最も大きくなるように、第１の配置領域を選択する方法であってもよい。
【００２２】
この方法によれば、複数の配置領域から選択された第１の配置領域に配置される液状体の配置量を目標配置量に更に効率良く近づけることができる。
【００２３】
また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法では、Ｄステップにおいて、第１の配置量と目標配置量との大小関係と、第２の配置量と目標配置量との大小関係とが逆となるように、第１の配置領域及び第２の配置領域を選択する方法であってもよい。
【００２４】
この方法によれば、複数の配置領域から選択された第１の配置領域と第２の配置領域とのそれぞれに配置される液状体の配置量を目標配置量に更に効率良く近づけることができる。
【００２５】
また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法では、第１の配置量と目標配置量との差よりも第４の配置量と目標配置量との差の方が大きい場合、Ｄステップと、Ｅステップと、Ｆステップとを、この順で繰り返す方法であってもよい。
【００２６】
この方法によれば、複数の配置領域のそれぞれに配置される液状体の配置量を目標配置量に更に近づけることができる。
【００２７】
また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法では、Ｄステップにおいて、第１の配置領域と第２の配置領域とが互いに隣接し、且つ第１の配置量と第２の配置量とが異なるように、第１の配置領域と第２の配置領域とを選択する方法であってもよい。
【００２８】
この方法によれば、互いに隣接した第１の配置領域と第２の配置領域との間で、それぞれに配置される液状体の配置量を目標配置量に近づけることができる。
【００２９】
また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法では、Ｄステップにおいて、第１の配置量と第２の配置量との差が最も大きくなるように、互いに隣接する第１の配置領域と第２の配置領域とを選択する方法であってもよい。
【００３０】
この方法によれば、互いに隣接する第１の配置領域と第２の配置領域との間で、それぞれに配置される液状体の配置量を効率良く近づけることができる。
【００３１】
また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法では、Ｄステップにおいて、第３の配置量と第４の配置量との差が第１の配置量と第２の配置量との差に比べて小さくなるように、互いに隣接する第１の配置領域と第２の配置領域とを選択する方法であってもよい。
【００３２】
この方法によれば、互いに隣接した第１の配置領域と第２の配置領域との間で、それぞれに配置される液状体の配置量を近づけることができるため、液状体の配置ムラによる影響を抑制することが可能である。
【００３３】
また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法では、Ａステップにおいて、複数のノズルを、同じ駆動条件が設定されている複数のノズルからなるノズル群を有する複数のグループに分け、複数のグループの各々が有するノズル群の各々のノズルの吐出量の統計値に基づき、グループ毎に駆動条件を設定する方法であってもよい。
【００３４】
この方法によれば、グループ毎に駆動条件を設定した場合でも、複数の配置領域のそれぞれに配置される液状体の配置量を予め設定された目標配置量に近づけることができる。
【００３５】
また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法では、Ｂステップにおいて、複数の配置領域の各々に対して、走査において相対し、且つ液状体を吐出する複数の対応ノズルを、複数のノズルから選択して設定し、Ｃステップにおいて、複数の配置領域の各々に配置される液状体の配置量として、複数の配置領域の各々における複数の対応ノズルの各々の吐出量の総和を取得し、第１の配置領域に設定した複数の対応ノズルのうちの一つの対応ノズルを、第１のノズルとして選択し、第２の配置領域に設定した複数の対応ノズルのうちの一つの対応ノズルを、第２のノズルとして選択する方法であってもよい。
【００３６】
この方法によれば、複数の配置領域の各々に対して、複数の対応ノズルを複数のノズルから選択して設定した場合でも、複数の配置領域のそれぞれに配置される液状体の配置量を予め設定された目標配置量に近づけることができる。
【００３７】
また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法では、第１の配置領域の複数の対応ノズルから、最も吐出量の多い駆動条件が設定されている対応ノズルを、第１のノズルとして選択する方法であってもよい。
【００３８】
この方法によれば、第１の配置領域に配置される液状体の配置量を目標配置量に効率良く近づけることができる。
【００３９】
また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法では、第２の配置領域の複数の対応ノズルから、最も吐出量の少ない駆動条件が設定されている対応ノズルを、第２のノズルとして選択する方法であってもよい。
【００４０】
この方法によれば、第２の配置領域に配置される液状体の配置量を目標配置量に効率良く近づけることができる。
【００４１】
また、上記液状体吐出装置の駆動設定方法において、液状体吐出装置は、複数の前記吐出ヘッドを並べて配置した構成を有し、同一の吐出ヘッドが有する複数のノズルから、第１のノズル及び前記第２のノズルを選択する方法であってもよい。
【００４２】
この方法によれば、吐出ヘッド毎に複数のノズルから吐出される液状体の吐出量を安定させた状態で、複数の配置領域のそれぞれに配置される液状体の配置量を目標配置量に近づけることができる。
【００４３】
また、本発明の一つの態様に係る液状体吐出装置の駆動設定プログラムは、複数のノズルを有する吐出ヘッドを備えた液状体吐出装置において、吐出ヘッドを吐出対象物に対して相対的に移動させる走査を行いながら、複数のノズルから液状体を吐出することにより、吐出対象物に設けられた複数の配置領域に対して所定量の液状体をそれぞれ配置する際に、複数のノズルの各々に対して、複数の駆動条件のうち少なくとも一つを設定する液状体吐出装置の駆動設定プログラムであって、上記何れかの液状体吐出装置の駆動設定方法を実行することを特徴とする。
【００４４】
このプログラムによれば、複数の配置領域のそれぞれに配置される液状体の配置量を予め設定された目標配置量に近づけることができる液状体吐出装置の駆動設定方法を実行することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の一実施形態に係る液状体吐出装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】ヘッドユニットを構成する各吐出ヘッドの配置構成を示す平面図である。
【図３】吐出ヘッドが備えるノズルの走査軌跡と基板との位置関係を示す平面図である。
【図４】液状体吐出装置が備える電気回路の概略構成を示す回路図である。
【図５】吐出ヘッドを駆動する際の駆動信号及び制御信号のタイミングチャートを示すグラフである。
【図６】本発明の一実施形態に係る液状体吐出装置の駆動設定方法を説明するためのフローチャートである。
【図７】吐出量測定システムの概略構成を示すブロック図である。
【図８】ＣＯＭの設定手順を示すフローチャートである。
【図９】ノズル毎の吐出量の分布とグループの分類との関係を示すグラフである。
【図１０】本発明による液状体吐出装置の駆動設定方法を説明するためのフローチャートである。
【図１１】吐出ヘッドが備えるノズルと、基板上に設けられた配置領域との位置関係を示す模式図である。
【図１２】実施例における画素内液量の変化を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００４６】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
なお、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施することができる。また、以下の説明で用いる図面では、各構成要素を見やすくするため、構成要素を模式的に示している場合があり、構成要素によっては寸法の縮尺を異ならせて示すこともある。
【００４７】
（液状体吐出装置）
先ず、本発明の一実施形態として、例えば図１に示す液状体吐出装置２００の具体的な構成及びその動作について説明する。なお、図１は、液状体吐出装置２００の概略構成を示す斜視図である。
【００４８】
液状体吐出装置２００は、図１に示すように、直線的に設けられた一対のガイドレール２０１と、ガイドレール２０１の内部に設けられたエアスライダ及びリニアモータ（共に図示せず。）により主走査方向に移動する主走査移動台２０３とを備えている。また、液状体吐出装置２００は、ガイドレール２０１の上方において、ガイドレール２０１に直交するように直線的に設けられた一対のガイドレール２０２と、ガイドレール２０２の内部に設けられたエアスライダ及びリニアモータ（共に図示せず。）により副走査方向に沿って移動する副走査移動台２０４とを備えている。
【００４９】
主走査移動台２０３上には、吐出対象物としての基板Ｐを載置するためのステージ２０５が設けられている。ステージ２０５は、基板Ｐを吸着した状態で固定する構成となっている。また、ステージ２０５と主走査移動台２０３との間に設けられた回転機構２０７によって、基板Ｐ内の基準軸を主走査方向と副走査方向とに正確に合わせることが可能となっている。
【００５０】
副走査移動台２０４は、回転機構２０８を介して吊り下げ式に取り付けられたキャリッジ２０９を備えている。キャリッジ２０９は、後述する液状体を吐出する複数の吐出ヘッド１１，１２（図１において図示せず。）を備えるヘッドユニット１０と、各吐出ヘッド１１，１２の駆動を制御する制御回路基板３０（図１において図示せず。）とを備えている。また、各吐出ヘッド１１，１２は、液状体を供給する液状体供給機構（図示せず。）と接続されている。
【００５１】
図２は、ヘッドユニット１０を構成する各吐出ヘッド１１，１２の配置構成を示す平面図である。ヘッドユニット１０を構成する各吐出ヘッド１１，１２は、図２に示すように、液状体を吐出する複数のノズルｎを有している。
【００５２】
本実施形態では、有機ＥＬパネルの発光層を形成する場合を例示している。このため、各吐出ヘッド１１，１２は、それぞれ赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各色発光層に対応する有機ＥＬ発光材料を含む液状体を吐出する。また、一方の吐出ヘッド１１と他方の吐出ヘッド１２とは、互いに副走査方向に位置をずらして配置されており、互いに吐出可能範囲を補完する関係にある。
【００５３】
各吐出ヘッド１１，１２における複数（本実施形態では６０個）のノズルｎは、所定のピッチ（例えば１８０ｄｐｉ）でライン状に配列されたノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂを構成している。ノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂを構成するノズルｎの並び方向は、副走査方向に一致している。また、ノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂを構成するノズルｎは、互いに千鳥状に配列されている。
【００５４】
吐出ヘッド１１，１２には、各ノズルｎにそれぞれ連通する液室としてのキャビティ（図示せず。）が設けられている。各キャビティには、その可動壁を駆動して容積を可変するための駆動素子としての圧電素子１６（図２において図示せず。）が設けられている。吐出ヘッド１１，１２では、圧電素子１６に駆動信号（駆動電圧）を供給してキャビティ内の液圧を制御することによって、ノズルｎから液滴（液状体）を吐出させることが可能となっている。
【００５５】
ここで、液状体吐出装置２００が備える吐出ヘッド１１，１２の動作の一例として、有機ＥＬパネルの発光層を形成する際の動作について図３を参照して説明する。なお、図３は、吐出ヘッド１１，１２が備えるノズルｎの走査軌跡と、基板Ｐとの位置関係を示す平面図である。
【００５６】
各ノズルｎは、図３に示すように、吐出ヘッド１１，１２を基板Ｐに対して主走査方向に走査させると、基板Ｐに対して連続した所定ピッチ（例えば３６０ｄｐｉ）の走査軌跡を描く。
【００５７】
このとき、ノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂの端部の数個分（本実施形態では３個）のノズルｎは、その特性の特異性に鑑みて使用しないダミーノズル（塗り潰して図示する。）とされている。一方の吐出ヘッド１１が備えるダミーノズルに掛かる走査領域は、他方の吐出ヘッド１２が備えるノズルｎで補完される関係となっている。また、他方の吐出ヘッド１２が備えるダミーノズルに掛かる走査領域は、一方の吐出ヘッド１１のノズルｎで補完される関係となっている。
【００５８】
基板Ｐには、有機ＥＬパネルの各画素に対応する配置領域５０を規定するバンク５１が、感光性樹脂等を用いて予め形成されている。この場合、走査軌跡に関して、配置領域５０に掛かり得るノズルｎと掛かり得ないノズルｎとが存在するが、配置領域５０への液状体の配置は、配置領域５０に掛かり得るノズルｎからの液状体の吐出によって選択的に行われる。
【００５９】
ここで、図３では、一方の吐出ヘッド１１が備えるノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂと、他方の吐出ヘッド１２が備えるノズルアレイ２１Ａ，ノズルアレイ２１Ｂとを構成する各ノズルｎに、それぞれノズル番号Ａ１〜Ａ５，Ｂ１〜Ｂ５と、ノズル番号Ｃ４９〜Ｃ５４，Ｄ４９〜Ｄ５４とを付している。
【００６０】
このノズル番号は、各ノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂの並び方向におけるノズルｎの配列順を示した通し番号のことである。本実施形態では、１つのノズルアレイにつき、ダミーノズルを除いた１〜５４つのノズル番号を付すことができる。
【００６１】
図３において、ノズル番号Ｄ５３，Ｃ５４，Ｄ５４，Ａ１，Ｂ１のノズルｎは、走査中のそれぞれ適切な期間において、同一の配置領域５０に対して液状体を吐出することができる。また、ノズル番号Ｃ５０，Ｃ５３，Ａ２，Ａ５のノズルｎは、走査軌跡がバンク５１に掛かっているため、当該走査中の全期間において液状体の吐出を行わない。このようなノズルｎごとの吐出／非吐出の制御は、後述する各ノズルｎに対応した圧電素子１６への駆動信号の供給のスイッチングによって行われる。
【００６２】
なお、液状体吐出装置２００の構成については、上記実施形態のものに限定されるものではない。例えば、ノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂの配列方向を副走査方向から傾けて、ノズルｎの走査軌跡のピッチがノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂ内におけるノズルｎ間のピッチに対して狭くなるように構成することもできる。また、ヘッドユニット１０における吐出ヘッド１１，１２の数やその配置構成なども適宜変更することができる。また、吐出ヘッド１１，１２の駆動方式としては、例えば、キャビティに加熱素子を備えたいわゆるサーマル方式などを採用することもできる。
【００６３】
次に、上記液状体吐出装置２００が備える具体的な電気回路の構成及びその動作について、図４及び図５を参照して説明する。なお、図４は、液状体吐出装置２００が備える電気回路の概略構成を示す回路図である。図５は、吐出ヘッド１１，１２を駆動する際の駆動信号及び制御信号のタイミングチャートを示すグラフである。
【００６４】
吐出ヘッド１１，１２は、図４に示すように、各ノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂのノズルｎ（図４において図示せず。）毎に設けられた圧電素子１６と、各圧電素子１６への駆動信号（ＣＯＭ）の供給／非供給の切り替えを行うためのスイッチング回路１７と、各圧電素子１６への供給に係る駆動信号の供給ライン（以下、ＣＯＭラインという。）ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４を選択するための駆動信号選択回路１８とを備えている。また、吐出ヘッド１１，１２は、制御部を構成する制御回路基板３０と電気的に接続されている。
【００６５】
制御回路基板３０は、それぞれ独立した駆動信号（ＣＯＭ）を生成するＤ／Ａコンバータ（ＤＡＣ）３１Ａ〜３１Ｄと、Ｄ／Ａコンバータ３１Ａ〜３１Ｄが生成する駆動信号（ＣＯＭ）のスルーレートデータ（以下、波形データという。）ＷＤ１〜ＷＤ４の格納メモリを内部に有する波形データ選択回路３２と、外部から受信される吐出制御データを格納するためのデータメモリ３３とを備えている。制御回路基板３０における各ＣＯＭラインＣＯＭ１〜ＣＯＭ４には、Ｄ／Ａコンバータ３１Ａ〜３１Ｄで生成された駆動信号がそれぞれ出力されるようになっている。
【００６６】
各ノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂにおいて、圧電素子１６の一方の電極１６ｃは、Ｄ／Ａコンバータ３１Ａ〜３１ＤのグランドラインＧＮＤに接続されている。また、圧電素子１６の他方の電極（以下、セグメント電極という。）１６ｓは、スイッチング回路１７及び駆動信号選択回路１８を介して、ＣＯＭラインＣＯＭ１〜ＣＯＭ４に接続されている。また、スイッチング回路１７、駆動信号選択回路１８及び波形データ選択回路３２には、それぞれクロック信号ＣＬＫや、各吐出タイミングに対応したラッチ信号ＬＡＴが入力されるようになっている。
【００６７】
データメモリ３３には、吐出ヘッド１１，１２の走査位置に応じて周期的に設定される吐出タイミング毎に、次のデータが格納されている。すなわち、各圧電素子１６への駆動信号（ＣＯＭ）の供給／非供給（ＯＮ／ＯＦＦ）の切り替えを規定する吐出データ（ＳＩＡ）と、各圧電素子１６に対応したＣＯＭラインＣＯＭ１〜ＣＯＭ４を規定する駆動信号選択データ（ＳＩＢ）と、Ｄ／Ａコンバータ３１Ａ〜３１Ｄに入力される波形データＷＤ１〜ＷＤ４の種別を規定する波形番号データ（ＷＮ）である。
【００６８】
本実施形態では、吐出データ（ＳＩＡ）は、１ノズル当たり１ビット（０，１）で構成され、駆動信号選択データ（ＳＩＢ）は、１ノズル当たり２ビット（０，１，２，３）で構成され、波形番号データ（ＷＮ）は、１Ｄ／Ａコンバータ当たり７ビット（０〜１２７）で構成されている。なお、これらのデータ構成については適宜変更が可能である。
【００６９】
吐出ヘッド１１，１２では、図５に示すタイミングチャートに従って各ノズルｎに対する駆動制御が行われる。具体的には、先ず、図５に示すタイミングｔ１〜ｔ２の期間において、吐出データ（ＳＩＡ）、駆動信号選択データ（ＳＩＢ）、波形番号データ（ＷＮ）が、それぞれシリアル信号化されて、スイッチング回路１７、駆動信号選択回路１８及び波形データ選択回路３２に送信される。
【００７０】
そして、タイミングｔ２において各データがラッチされることで、吐出（ＯＮ）に係る各圧電素子１６のセグメント電極１６ｓが、駆動信号選択データ（ＳＩＢ）で指定された各ＣＯＭラインＣＯＭ１〜ＣＯＭ４に接続された状態となる。例えば、駆動信号選択データ（ＳＩＢ）が０，１，２，３である場合、対応する圧電素子１６のセグメント電極１６ｓはそれぞれのＣＯＭラインＣＯＭ１，ＣＯＭ２，ＣＯＭ３，ＣＯＭ４に接続される。また、Ｄ／Ａコンバータ３１Ａ〜３１Ｄの生成に係る駆動信号の波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）が設定される。
【００７１】
次に、図５に示すタイミングｔ３〜ｔ４、ｔ４〜ｔ５、ｔ５〜ｔ６の各期間において、タイミングｔ２で設定された波形データに従い、それぞれ電位上昇、電位保持、電位降下の一連のステップで駆動信号（ＣＯＭ）が生成される。そして、各ＣＯＭラインＣＯＭ１〜ＣＯＭ４とそれぞれ接続された状態にある圧電素子１６に、生成された駆動信号が供給され、ノズルに連通するキャビティの容積（圧力）制御が行われる。
【００７２】
ここで、タイミングｔ３〜ｔ４における電位上昇成分はキャビティを膨張させ、液状体をノズルｎの内方に引き込む役割を果たしている。また、タイミングｔ５〜ｔ６における電位降下成分は、キャビティを収縮させ、液状体をノズルｎの外に押し出して吐出させる役割を果たしている。
【００７３】
駆動信号（ＣＯＭ）における電位上昇、電位保持、電位降下に係る時間成分と、電圧成分とは、その供給によって吐出される液状体の吐出量に密接に依存している。特に、圧電方式を採用した吐出ヘッド１１，１２では、電圧成分の変化に対して吐出量が良好な線形性を示すため、タイミングｔ３〜ｔ６における電圧差を駆動電圧Ｖｈとして規定し、これを吐出量制御の条件として利用することができる。
【００７４】
すなわち、この駆動電圧Ｖｈは、各ノズルｎからの吐出量を制御する際の「駆動条件」に対応するものである。なお、生成する駆動信号（ＣＯＭ）は、本実施形態で示すような単純な台形波に限られるものではなく、公知の様々な形状のものを適宜採用することも可能である。また、異なる駆動方式（例えばサーマル方式）を採用する場合などにおいて、駆動信号のパルス幅（時間成分）を吐出量制御の駆動条件として利用することも可能である。
【００７５】
本実施形態では、駆動電圧Ｖｈを段階的に異ならせた複数種の波形データを用意し、Ｄ／Ａコンバータ３１Ａ〜３１Ｄにそれぞれ独立した波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）を入力することにより、各ＣＯＭラインＣＯＭ１〜ＣＯＭ４にそれぞれ異なる駆動電圧Ｖｈの駆動信号（ＣＯＭ）を出力することが可能である。また、用意できる波形データの種類は、波形番号データ（ＷＮ）の情報量（７ビット）に相当する１２８種類であり、例えばこれを０．１Ｖ刻みの駆動電圧Ｖｈに対応させている。
【００７６】
以上のようして、本実施形態の液状体吐出装置２００では、各圧電素子１６（ノズルｎ）とＣＯＭラインＣＯＭ１〜ＣＯＭ４との対応関係を規定する駆動信号選択データ（ＳＩＢ）と、各ＣＯＭラインＣＯＭ１〜ＣＯＭ４と駆動信号の種類（駆動電圧Ｖｈ）との対応関係を規定する波形番号データ（ＷＮ）とを適切に設定することにより、適切な吐出量で液状体を吐出することが可能である。
【００７７】
したがって、駆動信号選択データ（ＳＩＢ）と波形番号データ（ＷＮ）との関係で定まる各ノズルｎの駆動信号の設定を適切に行うことが、各ノズルｎの吐出量を管理するための重要事項となる。
【００７８】
なお、本実施形態の液状体吐出装置２００では、吐出タイミング毎に駆動信号選択データ（ＳＩＢ）と波形番号データ（ＷＮ）を更新可能な構成となっているため、吐出データ（ＳＩＡ）の変化に対応させて駆動信号を精細に設定することも可能である。
【００７９】
（駆動設定方法）
次に、上記液状体吐出装置２００の具体的な駆動設定方法について説明する。
本実施形態の駆動設定方法では、図６に示すフローチャートに従って、吐出ヘッド１１，１２が備える複数のノズルｎの駆動条件、すなわち各ノズルｎの駆動信号（ＣＯＭ）の適正条件（駆動電圧Ｖｈ）を設定する。
【００８０】
具体的には、先ず、図６に示すステップＳ１０１において、複数のノズルｎの所定の駆動条件に基づく吐出量を求め、複数の配置領域５０のそれぞれにおいて液状体の吐出が選択された各ノズルｎの吐出量の差に基づき、選択された各ノズルｎを複数のグループに分類する。そして、グループ毎に選択された各ノズルｎの吐出量の差が小さくなる適正条件を求め、この適正条件に基づいて、グループ毎に補正された駆動条件を設定する（以下、ＣＯＭの設定という。）。
【００８１】
ここで、上記吐出ヘッド１１，１２の各ノズルｎから吐出された液状体の吐出量を測定するための図７に示す吐出量測定システム３００について説明する。なお、図７は、吐出量測定システム３００の概略構成を示すブロック図である。
【００８２】
吐出量測定システム３００は、図７に示すように、吐出ヘッド１１，１２の各ノズルｎに液状体を供給するための液状体供給装置３０１と、吐出ヘッド１１，１２を駆動するための制御回路基板３０２とを備えている。
【００８３】
また、吐出量測定システム３００は、吐出ヘッド１１，１２の各ノズルｎから吐出された液状体を受けてこれを収容するための液状体受容容器３０３と、液状体受容容器３０３の重量を計量するための重量計量装置３０４とを備えている。
【００８４】
また、吐出量測定システム３００は、吐出ヘッド１１，１２の各ノズルｎから吐出された液状体を受ける液状体受容基板３０５と、液状体受容基板３０５を当該基板の面方向に移動させるための基板移動装置３０６と、液状体受容基板３０５上に配置された液状体の体積を測定するための体積測定装置３０７とを備えている。
【００８５】
また、吐出量測定システム３００は、制御回路基板３０２を介して吐出ヘッド１１，１２の駆動を制御し、基板移動装置３０６の駆動を制御し、重量計量装置３０４及び体積測定装置３０７の計量動作を制御し、計量結果を基に演算を行うためのパーソナルコンピュータ（ＰＣ）３０８を備えている。
【００８６】
制御回路基板３０２は、上記制御回路基板３０と同じ構成である。また、液状体受容容器３０３は、液状体に侵食されない材質のものであれば何でもよいが、開口部にスポンジ等の多孔質部材を配置するなどして、液状体の揮発を抑える構成となっていることが好ましい。また、重量計量装置３０４には、一般的な電子天秤を用いることができる。また、体積測定装置３０７には、白色干渉法を用いた三次元形状測定装置などを用いることができる。
【００８７】
以上のような構成を有する吐出量測定システム３００では、重量計量装置３０４と体積測定装置３０７との２種類の計測装置を用いて、各ノズルｎの吐出量を重量又は体積として測定することができる。このうち、重量計量装置３０４は、ノズルアレイ１０の全体における平均的な吐出量を高速且つ高精度に測定するのに適している。一方、体積測定装置３０７は、各ノズルｎの個々における吐出量を測定するのに適している。
【００８８】
次に、上記吐出量測定システム３００を用いて、各ノズルｎから吐出された液状体の吐出量を測定した後に、各ノズルｎを複数のグループに分類し、グループ毎に補正された駆動条件（適正駆動電圧）を設定する手順（ＣＯＭの設定手順）について、図８に示すフローチャートに従って説明する。
【００８９】
ＣＯＭを設定する際は、先ず、図８に示すステップＳ２０１において、吐出ヘッド１１，１２を上記吐出量測定システム３００に取り付けた状態において、ノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂ内の全ノズル（ダミーノズルを除く。）ｎにおける吐出量の平均値を測定する。具体的には、各ノズルｎについてまとまった回数（例えば１０万回）の吐出を行い、その総重量を重量計量装置３０４で計量し、計量結果を除算して測定する。この測定は、２条件の駆動電圧Ｖｈ（例えば、２０Ｖと３０Ｖ）の下でそれぞれ行う。
【００９０】
次に、図８に示すステップＳ２０３において、測定した２条件における駆動電圧Ｖｈと吐出量の平均値との関係を線形補完して、基準吐出量（仕様に応じた設計値）の吐出量の平均値を得るための基準駆動電圧Ｖｓを算出する。また、図８に示すステップＳ２０３において、駆動電圧Ｖｈに対する吐出量の平均値の変化率を、吐出量を駆動電圧Ｖｈによって補正する際の相関係数αとして算出する。
【００９１】
次に、図８に示すステップＳ２０４において、ノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂの全圧電素子に駆動電圧Ｖｈ＝Ｖｓの駆動信号を供給して、液状体受容基板３０５に対し液状体の吐出を行い、その吐出量を測定する。
【００９２】
液状体受容基板３０５の表面には撥液処理がされているため、各ノズルｎから吐出された液状体は、それぞれ基板Ｐ上において独立した半球状の液滴を形成する。そして、この液滴の三次元形状を体積測定装置３０７で測定し、パーソナルコンピュータ３０８で測定データを解析することで、吐出量が得られる。なお、各ノズルｎの１回当たりの吐出量は極めて小さいため、液滴の体積測定（吐出量測定）の精度を上げるべく、各ノズルｎの吐出は、基板Ｐ上の同一箇所に重ねて複数回（例えば３回）行うようにしている。
【００９３】
ここで、上記ステップＳ２０４において測定された各ノズルｎの吐出量をノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂの並び方向での空間分布として示すと、図９に示すようなグラフとなる。なお、図９中に示すグラフでは、各ノズルｎの吐出量を基準吐出量に対する相対比（％）で表している。
【００９４】
図９に示すように、吐出ヘッド１１，１２では、ノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂの端部付近にあるノズルｎの吐出量が相対的に多く、ノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂの中央付近にあるノズルｎで吐出量が相対的に少ない傾向がある。
【００９５】
次に、図８に示すステップＳ２０５において、上記ステップＳ２０４での測定に基づき、各ノズルｎのグループ設定を行う。本実施形態では、測定した各ノズルｎの吐出量の順序（吐出量の多い方を上位、吐出量の少ない方を下位とする）に従い、最下位から順に１４個のノズルをグループＡ、グループＡのさらに上位の１４個のノズルをグループＢ、グループＢのさらに上位の１３個のノズルをグループＣ、グループＣのさらに上位の１３個のノズルをグループＤとしてそれぞれ分類する。
【００９６】
次に、図８に示すステップＳ２０６において、グループＡ〜Ｄ毎に各ノズルｎの吐出量の差が小さくなる適正条件、すなわち各グループＡ〜Ｄに対応する適正な駆動電圧Ｖｈ（以下、適正駆動電圧ＶｈＡ，ＶｈＢ，ＶｈＣ，ＶｈＤという。）を算出する。
【００９７】
各グループＡ〜Ｄの適正条件については、自由に設定することが可能である。本実施形態では、グループＡ〜Ｄに係る吐出量の統計値をそれぞれ基準吐出量に一致させるための適正駆動電圧ＶｈＡ〜ＶｈＤを、上記ステップＳ２０４における吐出量の測定値、相関係数α、及び基準駆動電圧Ｖｓを基に算出する。
【００９８】
ここで、グループＡ〜Ｄに係る吐出量の統計値とは、各グループに含まれる複数のノズルｎの吐出量の統計から得られる数値のことを言う。本実施形態では、各グループＡ〜Ｄに含まれるノズルｎの吐出量の平均値を採用している。これにより、グループＡ〜Ｄのノズルｎからそれぞれ平均的に滴量（基準吐出量）の液状体を吐出させるための段階的な適正駆動電圧ＶｈＡ〜ＶｈＤが得られる。
【００９９】
なお、本実施形態では、上述した各グループＡ〜Ｄに含まれるノズルｎの吐出量の平均値の他にも、各グループＡ〜Ｄに含まれるノズルｎの吐出量の中央値をグループに係る吐出量の統計値として採用してもよい。
【０１００】
本実施形態における適正駆動電圧ＶｈＡ，ＶｈＢ，ＶｈＣ，ＶｈＤは、基準駆動電圧Ｖｓに対する相対比として設定される。例えば、適正駆動電圧ＶｈＡ，ＶｈＢ，ＶｈＣ，ＶｈＤは、それぞれ１０１．８％、１００．７％、９９．４％、９７．９％として設定される。このように、適正駆動電圧ＶｈＡ，ＶｈＢ，ＶｈＣ，ＶｈＤを相対比で規定することによって、例えば、液状体の粘度が変化して吐出量が一様に変化するような事態が起こった場合に、ノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂ全体の吐出量の平均値を測定して、基準駆動電圧Ｖｓを再設定すれば済むという利点がある。
【０１０１】
次に、図８に示すステップＳ２０７において、各ノズルｎに対応させるべき駆動電圧を適正駆動電圧ＶｈＡ，ＶｈＢ，ＶｈＣ，ＶｈＤの中からグループＡ〜Ｄ毎に選択して設定する。なお、適正駆動電圧ＶｈＡ，ＶｈＢ，ＶｈＣ，ＶｈＤは、上述した制御部である制御回路基板３０において、４つのＣＯＭラインＣＯＭ１〜ＣＯＭ４にそれぞれ供給される駆動信号（ＣＯＭ）に対応させることができる。
【０１０２】
なお、各ノズルｎの駆動信号（ＣＯＭ）の適正条件（駆動電圧Ｖｈ）を設定する場合、グループＡ〜Ｄ毎に当該グループに対応する適正駆動電圧をまとめて設定する方法も考えられる。しかしながら、グループＢやグループＤのように、吐出量の分布の範囲（レンジ）が比較的広いグループには、統計値から大きく離れた吐出量のノズルｎが含まれており、このようなノズルｎについて当該グループの統計値を基礎とした適正駆動電圧を設定することは、必ずしも好ましい方法とは言えない。
【０１０３】
そこで、本実施形態では、ノズルｎ毎に、各グループＡ〜Ｄに対応する４つの適正駆動電圧うち、当該ノズルの吐出量に最も近い統計値に係るグループに対応するものを選択して設定するようにしている。これにより、ノズルｎの特性に応じた駆動信号を、より高精度に設定することができる。
【０１０４】
例えば、図９に示すグラフでは、グループＡ内のノズルについては、全て適正駆動電圧ＶｈＡが設定される。また、グループＢのノズルの場合、多くのノズルについて適正駆動電圧ＶｈＢが設定されるが、例えば、ノズル番号８のノズルについて適正駆動電圧ＶｈＣが、ノズル番号１５のノズルについて適正駆動電圧ＶｈＡが設定される。このように、吐出量の分布の範囲（レンジ）が比較的広いグループでは、前後の序列に係るグループとの境界近くのノズルについて、当該前後の序列に係るグループに対応する適正駆動電圧が設定されることがある。
【０１０５】
なお、グループの分類の方法、特に、各グループを構成するノズルの数は、必ずしも上記実施形態のものに限定されるものではない。しかしながら、駆動電圧Ｖｈはグループ単位に準じて設定されるものであるため、各グループを構成するノズルの数をほぼ均等にすることが好ましい。これにより、各適正駆動電圧ＶｈＡ，ＶｈＢ，ＶｈＣ，ＶｈＤ、すなわち各ＣＯＭラインＣＯＭ１〜ＣＯＭ４に対応するノズルｎの数の不均衡を生じにくくすることができる。すなわち、ＣＯＭラインＣＯＭ１〜ＣＯＭ４におけるノズルｎの対応数は、駆動信号（ＣＯＭ）の歪み（エレキクロストーク）等に影響しているので、なるべくＣＯＭラインＣＯＭ１〜ＣＯＭ４間の不均衡が生じないように、各グループＡ〜Ｄを構成するノズルｎの数を均等にすることが好ましい。
【０１０６】
図６に示すステップＳ１０１（ＣＯＭの設定）では、上記吐出ヘッド１１，１２のノズルアレイ２１Ａ，２１Ｂを構成する全てのノズルｎに対してグループＡ〜Ｄの分類を行うわけではなく、上述した複数の配置領域５０のそれぞれにおいて液状体の吐出が選択されたノズルｎに対してグループＡ〜Ｄの分類を行う。すなわち、グループＡ〜Ｄの分類の対象となるノズルｎは、駆動信号（ＣＯＭ）の供給が行われるノズルｎであり、ダミーノズルや非吐出のノズルｎについては対象外となる。
【０１０７】
次に、ＣＯＭの設定後に、図６に示すステップＳ１０２〜Ｓ１０５の手順に従って、ＣＯＭ入替を行う。具体的には、先ず、図６に示すステップＳ１０２において、上記ステップＳ１０１で選択された各ノズルｎの補正された駆動条件（適正駆動電圧ＶｈＡ，ＶｈＢ，ＶｈＣ，ＶｈＤ）に基づく吐出量から、複数の配置領域５０のそれぞれに配置される液状体の配置量を求める。そして、この配置量が目標値から最も外れた一の配置領域を特定する。
【０１０８】
次に、図６に示すステップＳ１０３において、一の配置領域における液状体の配置量が目標値に最も近くなる適正条件を求め、この適正条件に基づいて、一の配置領域において液状体の吐出が選択されたノズルｎのうち、一のノズル（以下、ＣＯＭ入替ノズルという。）が属する一のグループを他のグループに変更する。（以下、一のＣＯＭ入替という。）
【０１０９】
次に、図６に示すステップＳ１０４において、他のグループに属する他のノズル（以下、ＣＯＭ入替補完ノズルという。）を一のグループに変更したときに、液状体の配置量が目標値に最も近くなる他の配置領域を特定する。
【０１１０】
次に、図６に示すステップＳ１０５において、他の配置領域において液状体の吐出が選択されたノズルのうち、他のグループに属するＣＯＭ入替補完ノズルを一のグループに変更する。（以下、他のＣＯＭ入替という。）
【０１１１】
上述したように、配置領域５０が小さくなるほど、その配置領域５０において液状体の吐出が選択されるノズルｎの数と、各ノズルｎの吐出回数が少なくなる。この場合、上述した各ノズルｎを複数のグループＡ〜Ｄに分類し、グループＡ〜Ｄ毎に補正された駆動条件（適正駆動電圧ＶｈＡ，ＶｈＢ，ＶｈＣ，ＶｈＤ）を設定したことによる効果が小さくなる場合がある。
【０１１２】
すなわち、各配置領域５０において選択されるノズルｎの数と、各ノズルｎの吐出回数が少なくなるほど、各配置領域５０に配置される液状体の配置量が少なくなる。この場合、各配置領域５０に配置される液状体の配置量のバラツキが大きくなる。
【０１１３】
例えば、１つの配置領域５０に吐出量が多いノズルｎが集中した場合、その配置領域５０に配置される液状体の配置量は、他の配置領域に配置される液状体の配置量よりも多くなる。この場合、複数の配置領域５０のそれぞれに配置される液状体の配置量を均一化することが困難となり、上述した液状体の配置ムラの原因ともなる。
【０１１４】
これに対して、本実施形態の駆動設定方法では、複数の配置領域５０のそれぞれにおいて液状体の吐出が選択された各ノズルｎを複数のグループＡ〜Ｄに分類し、グループＡ〜Ｄ毎に補正された駆動条件（適正駆動電圧ＶｈＡ，ＶｈＢ，ＶｈＣ，ＶｈＤ）を設定した後に、液状体の配置量が目標値から最も外れた一の配置領域を特定し、その一の配置領域における液状体の配置量が目標値に最も近くなる適正条件を求め、この適正条件に基づいて、ＣＯＭ入替ノズルが属する一のグループを他のグループに変更する。
【０１１５】
これにより、一の配置領域における液状体の配置量を目標値に近づけることができる。したがって、この方法によれば、液状体の配置量が少なくなる場合でも、複数の配置領域５０のそれぞれに配置される液状体の配置量を均一化することが可能である。
【０１１６】
また、本実施形態の駆動設定方法では、ＣＯＭ入替ノズルが属する一のグループと、ＣＯＭ入替補完ノズルが属する他のグループとを互いに入れ替えること（ＣＯＭ入替）によって、各グループＡ〜Ｄに属するノズルｎの総数を変更することなく、一の配置領域における液状体の配置量を目標値に近づけると共に、他の配置領域における液状体の配置量を目標値に近づけることができる。
【０１１７】
これにより、各グループＡ〜Ｄを構成するノズルｎの数を均等としながら、各ノズルｎから吐出される液状体の吐出量を安定させた状態で、複数の配置領域５０のそれぞれに配置される液状体の配置量をより均一化することが可能である。
【０１１８】
また、本実施形態の駆動設定方法では、図６に示すステップＳ１０６において、一のＣＯＭ入替（上記ステップＳ１０３）前に一の配置領域に配置される液状体の配置量（一のＣＯＭ入替前配置量という。）と、他のＣＯＭ入替（上記ステップＳ１０５）後に他の配置領域に配置される液状体の配置量（他のＣＯＭ入替後配置量という。）とを比較する。そして、一のＣＯＭ入替前配置量が他のＣＯＭ入替後配置量よりも目標値から外れた場合には、再びＣＯＭ入替を行う、すなわち上記ステップＳ１０２〜Ｓ１０５を、この順で繰り返すことが望ましい。
【０１１９】
これにより、ＣＯＭ入替ノズルが属する一のグループと、ＣＯＭ入替補完ノズルが属する他のグループとを互いに入れ替えることによる効果が得られる範囲で、複数の配置領域５０のそれぞれに配置される液状体の配置量を更に均一化することが可能である。
【０１２０】
一方、他のＣＯＭ入替後配置量が一のＣＯＭ入替前配置量よりも目標値から外れた場合には、ＣＯＭ入替による効果が得られないため、ＣＯＭ入替（上記ステップＳ１０２〜Ｓ１０５）を行わずに、各ノズルｎの駆動信号（ＣＯＭ）の設定を終了する。なお、一のＣＯＭ入替後配置量と他のＣＯＭ入替前配置量とが同じとなる場合も、ＣＯＭ入替による効果がないため、ＣＯＭ入替を行わずに、各ノズルｎの駆動信号（ＣＯＭ）の設定を終了するものとする。
【０１２１】
また、本実施形態の駆動設定方法では、上記ステップＳ１０２及び上記ステップＳ１０４において、互いに隣接した配置領域５０の中から、一のＣＯＭ入替（上記ステップＳ１０３）前に一の配置領域に配置される液状体の配置量（一のＣＯＭ入替前配置量）と、他のＣＯＭ入替（上記ステップＳ１０５）前に他の配置領域に配置される液状体の配置量（他のＣＯＭ入替前配置量という。）とを比較し、一のＣＯＭ入替前配置量と他のＣＯＭ入替前配置量との差が最も大きくなる一の配置領域と他の配置領域とを特定する方法であってもよい。
【０１２２】
この駆動設定方法では、互いに隣接した配置領域５０の間で、ＣＯＭ入替ノズルが属する一のグループと、ＣＯＭ入替補完ノズルが属する他のグループとを互いに入れ替えることで、互いに隣接した配置領域５０の間で配置量の差を小さくすることができる。これにより、液状体の配置ムラによる影響を抑制することが可能である。
【０１２３】
また、本実施形態の駆動設定方法では、上記ステップＳ１０２及び上記ステップＳ１０４において、ＣＯＭ入替ノズルとＣＯＭ入替補完ノズルとを互いに同一の吐出ヘッド１１，１２の中から選択する方法であってもよい。
【０１２４】
この駆動設定方法によれば、各ノズルｎから吐出される液状体の吐出量を安定させた状態で、複数の配置領域５０のそれぞれに配置される液状体の配置量をより均一化することが可能である。
【０１２５】
（駆動設定プログラム）
次に、上記液状体吐出装置２００の具体的な駆動設定プログラムについて説明する。
本実施形態の駆動設定プログラムは、上記本実施形態の駆動設定方法を実行するための制御プログラムであり、各吐出ヘッド１１，１２の駆動を制御する制御回路基板（制御部）３０において、各ノズルｎの駆動信号（ＣＯＭ）の適正条件（駆動電圧Ｖｈ）を設定する。
【０１２６】
制御回路基板３０は、コンピュータ（ＣＰＵ等）を含み、内部のメモリ（記憶手段）に記憶された制御プログラム（本発明の駆動設定プログラム）に従って、上述した本実施形態の駆動設定方法を実行する。また、この駆動設定プログラムは、制御回路基板３０のメモリに記憶（格納）されたものに限らず、外部の記憶装置や記録媒体等に記録することも可能である。
【０１２７】
本実施形態の駆動設定プログラムによれば、液状体の配置量が少なくなる場合でも、複数の配置領域のそれぞれに配置される液状体の配置量を均一化することが可能な複数のノズルｎの駆動条件を設定し、液状体吐出装置２００の制御回路基板３０に対して実行させることが可能である。
【０１２８】
なお、本発明は、上記実施形態のものに必ずしも限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【０１２９】
すなわち、本発明は、上記実施形態のようにＣＯＭ設定の後にＣＯＭ入替を行う場合に限らず、複数のノズルを有する吐出ヘッドを備えた液状体吐出装置において、吐出ヘッドを吐出対象物に対して相対的に移動させる走査を行いながら、複数のノズルから液状体を吐出することにより、吐出対象物に設けられた複数の配置領域に対して所定量の液状体をそれぞれ配置する際に、複数のノズルの各々に対して、複数の駆動条件のうち少なくとも一つを設定する場合に適用可能である。
【０１３０】
ここで、本発明による液状体吐出装置の駆動条件設定方法について、図１０に示すフローチャートに従って説明する。
本発明による液状体吐出装置の駆動条件設定方法では、先ず、図１０に示すステップＳ３０１（Ａステップ）において、複数の駆動条件のうち少なくとも一つの駆動条件を設定する。
【０１３１】
次に、図１０に示すステップＳ３０２（Ｂステップ）において、複数の配置領域の各々に対して、走査において相対し、且つ液状体を吐出する少なくとも一つの対応ノズルを、複数のノズルから選択して設定する。
【０１３２】
次に、図１０に示すステップＳ３０３（Ｃステップ）において、上記Ａステップにおいて複数のノズルの各々に対して設定した駆動条件と、上記Ｂステップにおいて複数の配置領域の各々に対して設定した対応ノズルとに基づき、複数の配置領域の各々に配置される液状体の配置量を取得する。
【０１３３】
次に、図１０に示すステップＳ３０４（Ｄステップ）において、複数の配置領域から第１の配置領域と第２の配置領域とを選択する。
【０１３４】
次に、図１０に示すステップＳ３０５（Ｅステップ）において、第１の配置領域の対応ノズルである第１のノズルの駆動条件を、上記Ａステップにおいて第１のノズルに設定された第１の駆動条件から、第２の配置領域の対応ノズルである第２のノズルに設定されている第２の駆動条件に変更する。
【０１３５】
次に、図１０に示すステップＳ３０６（Ｆステップ）において、第２のノズルの駆動条件を、上記Ａステップにおいて第２のノズルに設定された第２の駆動条件から、第１の駆動条件に変更する。
【０１３６】
次に、図１０に示すステップＳ３０７において、第１の配置量と目標配置量との差よりも第４の配置量と目標配置量との差の方が大きい場合は、入れ替えの効果があると判断して、Ｄステップと、Ｅステップと、Ｆステップとを、この順で繰り返す。
【０１３７】
一方、第１の配置量と目標配置量との差よりも第４の配置量と目標配置量との差の方が小さい場合は、入れ替えの効果がないと判断して、入れ替えを終了する。なお、第１の配置量と目標配置量との差と第４の配置量と目標配置量との差が同じとなる場合も、入れ替えの効果がないと判断して、入れ替えを終了する。
【０１３８】
本発明による液状体吐出装置の駆動条件設定方法では、上記Ｃステップにおいて取得した第１の配置領域における液状体の配置量を第１の配置量とし、上記Ｃステップにおいて取得した第２の配置領域における液状体の配置量を第２の配置量とする。
【０１３９】
そして、上記Ｅステップにおいて第１のノズルの駆動条件を第１の駆動条件から第２の駆動条件に変更することにより、第１の配置領域における液状体の配置量を第１の配置量から第３の配置量とする。一方、上記Ｆステップにおいて第２のノズルの駆動条件を第２の駆動条件から第１の駆動条件に変更することにより、第２の配置領域における液状体の配置量を第２の配置量から第４の配置量とする。これにより、複数の配置領域のそれぞれに配置される液状体の配置量を予め設定された目標配置量に近づけることが可能である。
【０１４０】
なお、上記実施形態における「ステップＳ１０１（ＣＯＭの設定）」が本発明における「Ａ〜Ｃステップ」に相当し、上記実施形態における「ステップＳ１０２」及び「ステップＳ１０４」が本発明における「Ｄステップ」に相当し、上記実施形態における「ステップＳ１０３（一のＣＯＭ入替）」が本発明における「Ｅステップ」に相当し、上記実施形態における「ステップＳ１０５（他のＣＯＭ入替）」が本発明における「Ｆステップ」に相当する。
【０１４１】
また、上記実施形態における「ＣＯＭ入替ノズル」が本発明における「第１のノズル」に相当し、上記実施形態における「ＣＯＭ入替補完ノズル」が本発明における「第２のノズル」に相当する。また、上記実施形態における「一のグループ」が本発明における「第１の駆動条件」に相当し、上記実施形態における「他のグループ」が本発明における「第２の駆動条件」に相当する。また、上記実施形態における「一の配置領域」が本発明における「第１の配置領域」に相当し、上記実施形態における「他の配置領域」が本発明における「第２の配置領域」に相当する。
【０１４２】
また、上記実施形態における「一のＣＯＭ入替前配置量」が本発明における「第１の配置量」に相当し、上記実施形態における「一のＣＯＭ入替後配置量」が本発明における「第３の配置量」に相当し、上記実施形態における「他のＣＯＭ入替後配置量」が本発明における「第４の配置量」に相当する。
【０１４３】
また、上記Ｄステップにおいては、第１の配置量が複数の配置領域の各々に対して予め設定された目標配置量と異なるように、第１の配置領域を選択し、第２の配置量が目標配置量と異なるように、第２の配置領域を選択することが好ましい。
【０１４４】
この場合、第１の配置量と目標配置量との差と、第２の配置量と目標配置量との差とがそれぞれ大きいほど、入れ替えの効果が大きくなる。これにより、複数の配置領域から選択された第１の配置領域と第２の配置領域とのそれぞれに配置される液状体の配置量を目標配置量に効率良く近づけることができる。
【０１４５】
また、上記Ｄステップにおいては、第３の配置量と目標配置量との差が第１の配置量と目標配置量との差より小さくなるように、第１の配置領域を選択することが好ましい。
【０１４６】
この場合、第３の配置量と目標配置量との差が第１の配置量と目標配置量との差より小さくなることで、第１の配置領域に配置される液状体の配置量を目標配置量に近づけることができる。
【０１４７】
また、上記Ｄステップにおいては、第４の配置量と目標配置量との差が第２の配置量と目標配置量との差より小さくなるように、第２の配置領域を選択することが好ましい。
【０１４８】
この場合、第４の配置量と目標配置量との差が第２の配置量と目標配置量との差より小さくなることで、第２の配置領域に配置される液状体の配置量を目標配置量に近づけることができる。
【０１４９】
また、上記Ｄステップにおいては、第１の配置量と目標配置量との差が最も大きくなるように、第１の配置領域を選択することがより好ましい。
【０１５０】
この場合、第１の配置量と目標配置量との差が最も大きくなる第１の配置領域を選択することで、この第１の配置領域に配置される液状体の配置量を目標配置量に更に効率良く近づけることができる。
【０１５１】
また、上記Ｄステップにおいては、第１の配置量と目標配置量との大小関係と、第２の配置量と目標配置量との大小関係とが逆となるように、第１の配置領域及び第２の配置領域を選択することが好ましい。
【０１５２】
この場合、第１の配置領域と第２の配置領域と間で第１の駆動条件と第２の駆動条件とを入れ替える効果が大きくなる。これにより、複数の配置領域から選択された第１の配置領域と第２の配置領域とのそれぞれに配置される液状体の配置量を目標配置量に効率良く近づけることができる。
【０１５３】
また、本発明による液状体吐出装置の駆動設定方法では、第１の配置領域と第２の配置領域とが互いに隣接する場合において、それぞれに配置される液状体の配置量を目標配置量に近づけることによって、液状体の配置ムラによる影響を抑制することが可能である。
【０１５４】
すなわち、第１の配置領域と第２の配置領域とが互いに隣接する場合、上記Ｄステップにおいて、第１の配置量と第２の配置量とが異なるように、第１の配置領域と第２の配置領域とを選択することが好ましい。
【０１５５】
この場合、第１の配置量と第２の配置量とが異なるほど、入れ替えの効果が大きくなる。これにより、複数の配置領域から選択された第１の配置領域と第２の配置領域とのそれぞれに配置される液状体の配置量を目標配置量に近づけることができる。
【０１５６】
さらに、上記Ｄステップにおいては、第１の配置量と第２の配置量との差が最も大きくなるように、互いに隣接する第１の配置領域と第２の配置領域とを選択することが好ましい。
【０１５７】
この場合、互いに隣接する第１の配置領域と第２の配置領域との間で、それぞれに配置される液状体の配置量を効率良く近づけることができる。
【０１５８】
さらに、上記Ｄステップにおいては、第３の配置量と第４の配置量との差が第１の配置量と第２の配置量との差に比べて小さくなるように、互いに隣接する第１の配置領域と第２の配置領域とを選択する方法であってもよい。
【０１５９】
この場合、互いに隣接する第１の配置領域と第２の配置領域との間で、それぞれに配置される液状体の配置量を近づけることができるため、液状体の配置ムラによる影響を抑制することが可能である。
【０１６０】
また、上記Ａステップにおいては、複数のノズルを、同じ駆動条件が設定されている複数のノズルからなるノズル群を有する複数のグループに分け、複数のグループの各々が有するノズル群の各々のノズルの吐出量の統計値に基づき、グループ毎に駆動条件を設定してもよい。
【０１６１】
この場合、グループ毎に駆動条件を設定した場合でも、複数の配置領域のそれぞれに配置される液状体の配置量を予め設定された目標配置量に近づけることができる。
【０１６２】
また、上記Ｂステップにおいては、複数の配置領域の各々に対して、走査において相対し、且つ液状体を吐出する複数の対応ノズルを、複数のノズルから選択して設定し、Ｃステップにおいて、複数の配置領域の各々に配置される液状体の配置量として、複数の配置領域の各々における複数の対応ノズルの各々の吐出量の総和を取得し、第１の配置領域に設定した複数の対応ノズルのうちの一つの対応ノズルを、第１のノズルとして選択し、第２の配置領域に設定した複数の対応ノズルのうちの一つの対応ノズルを、第２のノズルとして選択してもよい。
【０１６３】
この場合、複数の配置領域の各々に対して、複数の対応ノズルを複数のノズルから選択して設定した場合でも、複数の配置領域のそれぞれに配置される液状体の配置量を予め設定された目標配置量に近づけることができる。
【０１６４】
さらに、グループ毎に駆動条件を設定した場合には、第１の配置領域の複数の対応ノズルから、最も吐出量の多い駆動条件が設定されている対応ノズルを、第１のノズルとして選択することが好ましい。
【０１６５】
この場合、第１の配置領域に配置される液状体の配置量を目標配置量に効率良く近づけることができる。
【０１６６】
さらに、グループ毎に駆動条件を設定した場合には、第２の配置領域の複数の対応ノズルから、最も吐出量の少ない駆動条件が設定されている対応ノズルを、第２のノズルとして選択することが好ましい。
【０１６７】
この場合、第２の配置領域に配置される液状体の配置量を目標配置量に効率良く近づけることができる。
【０１６８】
また、本発明による液状体吐出装置の駆動設定方法において、液状体吐出装置は、複数の前記吐出ヘッドを並べて配置した構成を有し、同一の吐出ヘッドが有する複数のノズルから、第１のノズル及び前記第２のノズルを選択することが好ましい。
【０１６９】
この場合、吐出ヘッド毎に複数のノズルから吐出される液状体の吐出量を安定させた状態で、複数の配置領域のそれぞれに配置される液状体の配置量を目標配置量に近づけることができる。
【０１７０】
なお、上記液状体吐出装置による液状体の配置例としては、上述した有機ＥＬパネル（ディスプレイ）の発光層（素子膜）を形成する場合を挙げて説明したが、有機ＥＬディスプレイにおける素子膜の形成の他にも、例えば、液晶ディスプレイにおけるカラーフィルタの形成や、プラズマディスプレイ装置における蛍光膜の形成、電気回路における導電配線や抵抗素子の形成などが挙げられる。特に、上述した配置領域（例えば画素）５０が小さくなるほど、その配置領域５０において液状体の吐出が選択されるノズルｎの数と、各ノズルｎの吐出回数が少なくなる。このような場合に本発明を好適に用いることが可能である。
【実施例】
【０１７１】
以下、実施例により本発明の効果をより明らかなものとする。なお、本発明は、以下の実施例に限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施することができる。
【０１７２】
本実施例では、例えば図１１に示すように、１つのノズルアレイ内に１８０個のノズルｎが配列された吐出ヘッドを走査し、基板上に所定のピッチで並んで設けられた２３個の画素（配置領域５０）に対して、所定量（目標値として４０ｎｇ）の液状体をそれぞれ配置する場合において、上記本実施形態の駆動設定方法を用いて、実際に各ノズルｎの吐出量及び各配置領域５０における液状体の配置量（画素内液量）の補正を行った。
【０１７３】
本実施例では、１８０個のノズルｎのうち、ノズルアレイの両端にそれぞれ配置された１０個のノズルｎをダミーノズルとする。また、吐出ヘッドの１回の走査（スキャン）で１つの画素（配置領域５０）に対して４個のノズルｎが選択され、選択された各ノズルｎから１回の走査で４滴の液状体（液滴）ｉを吐出（描画）する。
【０１７４】
なお、複数の配置領域５０に所定量の液状体を配置する際の上記液状体吐出装置２００における実際の動作では、吐出ヘッド１１，１２を複数回走査するだけでなく、複数の配置領域５０のそれぞれにおいて液状体の吐出が選択されるノズルｎや吐出ヘッド１１，１２も走査毎に入れ替わることがある。このため、実際の駆動設定方法はより複雑となるが、本実施例では、説明をわかり易くするため、１つの吐出ヘッドにより１回の走査を行う場合を例に挙げて説明する。
【０１７５】
本実施例では、先ず、上記吐出量測定システム３００を用いて、各ノズルから吐出された液状体の吐出量を測定した後に、各画素のそれぞれにおいて液状体の吐出が選択された９２個のノズルについて、それぞれの吐出量（以下、補正前吐出量という。）の差に基づき、４つのグループ（以下、ＣＯＭ番号１〜４とする。）に分類した。そして、グループ毎に補正前吐出量［ｎｇ］に対する補正量［ｎｇ］を設定した。
【０１７６】
以下、ダミーノズルを除く１６０個のノズル（ノズル番号１１〜１７０）について、各ノズルの吐出量と、吐出の有無と、吐出が選択されたノズルの補正前吐出量［ｎｇ］と、２３個の画素（画素番号１〜２３）について、補正前の画素内液量［ｎｇ］とをまとめたものを表１Ａ〜１Ｄに示す。また、ＣＯＭ番号１〜４に対するノズルの数（Ｃｏｕｎｔ）と、その補正量［ｎｇ］を表２に示す。
【０１７７】
なお、表１Ａ〜１Ｄでは、小数点第４位までの値で計算を行い、それを四捨五入して小数点第２位までの値を表示している。また、以下に示す表３Ａ〜３Ｄ、表４Ａ〜４Ｄ、表５Ａ〜５Ｄについても同様である。
【０１７８】
【表１Ａ】
2016185526.tif 000003
【０１７９】
【表１Ｂ】
2016185526.tif 000004
【０１８０】
【表１Ｃ】
2016185526.tif 000005
【０１８１】
【表１Ｄ】
2016185526.tif 000006
【０１８２】
【表２】
2016185526.tif 000007
【０１８３】
また、吐出が選択された各ノズルの基準吐出量（１０ｎｇ）に対する差分［ｎｇ］と、ＣＯＭ番号１〜４と、ＣＯＭ番号１〜４に対応する差分［ｎｇ］と、ＣＯＭ番号１〜４の補正量［ｎｇ］と、補正後の吐出量［ｎｇ］と、各画素（画素番号１〜２３）の補正後の画素内液量［ｎｇ］とをまとめたものを表３Ａ〜３Ｄに示す。
【０１８４】
【表３Ａ】
2016185526.tif 000008
【０１８５】
【表３Ｂ】
2016185526.tif 000009
【０１８６】
【表３Ｃ】
2016185526.tif 000010
【０１８７】
【表３Ｄ】
2016185526.tif 000011
【０１８８】
次に、１回目のＣＯＭ入替を行った。この１回目のＣＯＭ入替後において、画素（画素番号１〜２３）の目標値（４０ｎｇ）との画素内液量の差分［ｎｇ］と、吐出が選択された各ノズルのＣＯＭ入替後のＣＯＭ番号１〜４に対応する吐出量の変化量［ｎｇ］と、ＣＯＭ入替後のＣＯＭ番号１〜４と、ＣＯＭ番号１〜４の補正量［ｎｇ］と、補正後の吐出量［ｎｇ］と、各画素（画素番号１〜２３）のＣＯＭ入替後の画素内液量［ｎｇ］とをまとめたものを表４Ａ〜４Ｄに示す。
【０１８９】
【表４Ａ】
2016185526.tif 000012
【０１９０】
【表４Ｂ】
2016185526.tif 000013
【０１９１】
【表４Ｃ】
2016185526.tif 000014
【０１９２】
【表４Ｄ】
2016185526.tif 000015
【０１９３】
１回目のＣＯＭ入替では、表４Ａ〜４Ｄに示すように、目標値から最も外れた画素（一の配置領域）は、１３番目の画素であり、その画素内液量は４０．２４ｎｇ、その目標値との差分は０．２４ｎｇである。１３番目の画素では、９５〜９８番目のノズルが選択されている。この中で、目標値との差分を０に近づけるためには、９６番目のノズルをＣＯＭ番号１からＣＯＭ番号４に入れ替えると、吐出量が−０．２９ｎｇに変化し、ＣＯＭ入替後の画素内液量が３９．９５（＝４０．２４−０．２９）ｎｇとなることから、９６番目のノズルをＣＯＭ入替ノズルとして選択した。
【０１９４】
一方、９６番目のノズルをＣＯＭ番号１からＣＯＭ番号４に入れ替えたことにより、それ以外のＣＯＭ番号４が割り当てられたノズルの中から、ＣＯＭ番号１に入れ替えるＣＯＭ入替補完ノズルを選択する必要がある。この中で、ＣＯＭ番号１に入れ替えることによって、画素内液量が目標値に最も近くなる画素（他の配置領域）は、１２番目のノズルを含む１番目の画素である。１２番目のノズルをＣＯＭ番号４からＣＯＭ番号１に入れ替えると、吐出量が＋０．２９ｎｇに変化し、ＣＯＭ入替後の画素内液量が４０．１９（＝３９．９０＋０．２９）ｎｇとなることから、１２番目のノズルをＣＯＭ入替補完ノズルとして選択した。
【０１９５】
その結果、１回目のＣＯＭ入替では、１３番目の画素のＣＯＭ入替前の画素内液量（一のＣＯＭ入替前配置量）が４０．２４ｎｇ（差分＋０．２４ｎｇ）であるのに対し、１番目の画素のＣＯＭ入替後の画素内液量（他のＣＯＭ入替後配置量）が４０．１９ｎｇ（差分＋０．１９ｎｇ）であるため、ＣＯＭ入替による効果が得られた。
【０１９６】
そこで、２回目のＣＯＭ入替を行った。この２回目のＣＯＭ入替後において、画素（画素番号１〜２３）の目標値（４０ｎｇ）との画素内液量の差分［ｎｇ］と、吐出が選択された各ノズルのＣＯＭ入替後のＣＯＭ番号１〜４に対応する吐出量の変化量［ｎｇ］と、ＣＯＭ入替後のＣＯＭ番号１〜４と、ＣＯＭ番号１〜４の補正量［ｎｇ］と、補正後の吐出量［ｎｇ］と、各画素（画素番号１〜２３）のＣＯＭ入替後の画素内液量［ｎｇ］とをまとめたものを表５Ａ〜５Ｄに示す。
【０１９７】
【表５Ａ】
2016185526.tif 000016
【０１９８】
【表５Ｂ】
2016185526.tif 000017
【０１９９】
【表５Ｃ】
2016185526.tif 000018
【０２００】
【表５Ｄ】
2016185526.tif 000019
【０２０１】
２回目のＣＯＭ入替では、表５Ａ〜５Ｄに示すように、目標値から最も外れた画素（一の配置領域）は、１０番目の画素であり、その画素内液量は３９．９１ｎｇ、その目標値との差分は−０．０９ｎｇである。１０番目の画素では、７４〜７７番目のノズルが選択されている。この中で、目標値との差分を０に近づけるためには、７４番目のノズルをＣＯＭ番号３からＣＯＭ番号１に入れ替えると、吐出量が＋０．１９ｎｇに変化し、ＣＯＭ入替後の画素内液量が４０．１０（＝３９．９１＋０．１９）ｎｇとなることから、７４番目のノズルをＣＯＭ入替ノズルとして選択した。
【０２０２】
なお、本実施例のように、同一画素内で同一のＣＯＭ番号のノズルが存在する場合は、何れのノズルを選択してもよい。したがって、本実施例では、７４番目のノズルと同じＣＯＭ番号３である７５，７７番目のノズルの何れかをＣＯＭ入替ノズルとして選択することが可能である。
【０２０３】
一方、７４番目のノズルをＣＯＭ番号３からＣＯＭ番号１に入れ替えたことにより、それ以外のＣＯＭ番号１が割り当てられたノズルの中から、ＣＯＭ番号３に入れ替えるＣＯＭ入替補完ノズルを選択する。この中で、ＣＯＭ番号３に入れ替えることによって、画素内液量が目標値に最も近くなる画素（他の配置領域）は、１３番目のノズルを含む１番目の画素である。１３番目のノズルをＣＯＭ番号１からＣＯＭ番号３に入れ替えると、吐出量が−０．１９ｎｇに変化し、ＣＯＭ入替後の画素内液量が４０．００（＝４０．１９−０．１９）ｎｇとなることから、１３番目のノズルをＣＯＭ入替補完ノズルとして選択した。
【０２０４】
その結果、２回目のＣＯＭ入替では、１０番目の画素のＣＯＭ入替前の画素内液量（一のＣＯＭ入替前配置量）が３９．９１ｎｇ（差分−０．０９ｎｇ）であるのに対し、１番目の画素のＣＯＭ入替後の画素内液量（他のＣＯＭ入替後配置量）が４０．００ｎｇ（差分±０．００ｎｇ）であるため、ＣＯＭ入替による効果が得られた。
【０２０５】
そこで、３回目のＣＯＭ入替を行った。この３回目のＣＯＭ入替後において、画素（画素番号１〜２３）の目標値（４０ｎｇ）との画素内液量の差分［ｎｇ］と、吐出が選択された各ノズルのＣＯＭ入替後のＣＯＭ番号１〜４に対応する吐出量の変化量［ｎｇ］と、ＣＯＭ入替後のＣＯＭ番号１〜４と、ＣＯＭ番号１〜４の補正量［ｎｇ］と、補正後の吐出量［ｎｇ］と、各画素（画素番号１〜２３）のＣＯＭ入替後の画素内液量［ｎｇ］とをまとめたものを表６Ａ〜６Ｄに示す。
【０２０６】
【表６Ａ】
2016185526.tif 000020
【０２０７】
【表６Ｂ】
2016185526.tif 000021
【０２０８】
【表６Ｃ】
2016185526.tif 000022
【０２０９】
【表６Ｄ】
2016185526.tif 000023
【０２１０】
３回目のＣＯＭ入替では、表６Ａ〜６Ｄに示すように、目標値から最も外れた画素（一の配置領域）は、２２番目の画素であり、その画素内液量は３９．８１ｎｇ、その目標値との差分は−０．１９ｎｇである。２２番目の画素では、１５８〜１６１番目のノズルが選択されている。この中で、目標値との差分を０に近づけるためには、１５８番目のノズルをＣＯＭ番号２からＣＯＭ番号１に入れ替えると、吐出量が＋０．１０ｎｇに変化し、ＣＯＭ入替後の画素内液量が３９．９１（＝３９．８１＋０．１０）ｎｇとなることから、７４番目のノズルをＣＯＭ入替ノズルとして選択した。
【０２１１】
一方、１５８番目のノズルをＣＯＭ番号１からＣＯＭ番号２に入れ替えたことにより、それ以外のＣＯＭ番号２が割り当てられたノズルの中から、ＣＯＭ番号１に入れ替えるＣＯＭ入替補完ノズルを選択する。この中で、ＣＯＭ番号１に入れ替えることによって、画素内液量が目標値に最も近くなる画素（他の配置領域）は、７４番目のノズルを含む１０番目の画素である。７４番目のノズルをＣＯＭ番号１からＣＯＭ番号２に入れ替えると、吐出量が−０．１０ｎｇに変化し、ＣＯＭ入替後の画素内液量が４０．００（＝４０．１０−０．１０）ｎｇとなることから、７４番目のノズルをＣＯＭ入替補完ノズルとして選択した。
【０２１２】
その結果、３回目のＣＯＭ入替では、２２番目の画素のＣＯＭ入替前の画素内液量（一のＣＯＭ入替前配置量）が３９．８１ｎｇ（差分−０．１９ｎｇ）であるのに対し、１０番目の画素のＣＯＭ入替後の画素内液量（他のＣＯＭ入替後配置量）が４０．００ｎｇ（差分±０．００ｎｇ）であるため、ＣＯＭ入替による効果が得られた。
【０２１３】
そこで、４回目のＣＯＭ入替を行った。この４回目のＣＯＭ入替後において、画素（画素番号１〜２３）の目標値（４０ｎｇ）との画素内液量の差分［ｎｇ］と、吐出が選択された各ノズルのＣＯＭ入替後のＣＯＭ番号１〜４に対応する吐出量の変化量［ｎｇ］と、ＣＯＭ入替後のＣＯＭ番号１〜４と、ＣＯＭ番号１〜４の補正量［ｎｇ］と、補正後の吐出量［ｎｇ］と、各画素（画素番号１〜２３）のＣＯＭ入替後の画素内液量［ｎｇ］とをまとめたものを表７Ａ〜７Ｄに示す。
【０２１４】
【表７Ａ】
2016185526.tif 000024
【０２１５】
【表７Ｂ】
2016185526.tif 000025
【０２１６】
【表７Ｃ】
2016185526.tif 000026
【０２１７】
【表７Ｄ】
2016185526.tif 000027
【０２１８】
４回目のＣＯＭ入替では、表７Ａ〜７Ｄに示すように、目標値から最も外れた画素（一の配置領域）は、１５番目の画素であり、その画素内液量は４０．１５ｎｇ、その目標値との差分は＋０．１５ｎｇである。１５番目の画素では、９５〜９８番目のノズルが選択されている。この中で、目標値との差分を０に近づけるためには、９８番目のノズルをＣＯＭ番号３からＣＯＭ番号４に入れ替えると、吐出量が−０．０９ｎｇに変化し、ＣＯＭ入替後の画素内液量が４０．０６（＝４０．１５−０．０９）ｎｇとなることから、９８番目のノズルをＣＯＭ入替ノズルとして選択した。
【０２１９】
一方、９８番目のノズルをＣＯＭ番号３からＣＯＭ番号４に入れ替えたことにより、それ以外のＣＯＭ番号４が割り当てられたノズルの中から、ＣＯＭ番号３に入れ替えるＣＯＭ入替補完ノズルを選択する。この中で、ＣＯＭ番号３に入れ替えることによって、画素内液量が目標値に最も近くなる画素（他の配置領域）は、９７番目のノズルを含む１３番目の画素である。９７番目のノズルをＣＯＭ番号４からＣＯＭ番号３に入れ替えると、吐出量が＋０．１０ｎｇに変化し、ＣＯＭ入替後の画素内液量が４０．０５（＝３９．９５＋０．１０）ｎｇとなることから、９７番目のノズルをＣＯＭ入替補完ノズルとして選択した。
【０２２０】
その結果、４回目のＣＯＭ入替では、１５番目の画素のＣＯＭ入替前の画素内液量（一のＣＯＭ入替前配置量）が４０．１５ｎｇ（差分＋０．１５ｎｇ）であるのに対し、１３番目の画素のＣＯＭ入替後の画素内液量（他のＣＯＭ入替後配置量）が４０．０５ｎｇ（差分＋０．０５ｎｇ）であるため、ＣＯＭ入替による効果が得られた。
【０２２１】
そこで、５回目のＣＯＭ入替を行った。この５回目のＣＯＭ入替後において、画素（画素番号１〜２３）の目標値（４０ｎｇ）との画素内液量の差分［ｎｇ］と、吐出が選択された各ノズルのＣＯＭ入替後のＣＯＭ番号１〜４に対応する吐出量の変化量［ｎｇ］と、ＣＯＭ入替後のＣＯＭ番号１〜４と、ＣＯＭ番号１〜４の補正量［ｎｇ］と、補正後の吐出量［ｎｇ］と、各画素（画素番号１〜２３）のＣＯＭ入替後の画素内液量［ｎｇ］とをまとめたものを表８Ａ〜８Ｄに示す。
【０２２２】
【表８Ａ】
2016185526.tif 000028
【０２２３】
【表８Ｂ】
2016185526.tif 000029
【０２２４】
【表８Ｃ】
2016185526.tif 000030
【０２２５】
【表８Ｄ】
2016185526.tif 000031
【０２２６】
５回目のＣＯＭ入替では、表８Ａ〜８Ｄに示すように、目標値から最も外れた画素（一の配置領域）は、１９番目の画素であり、その画素内液量は３９．８６ｎｇ、その目標値との差分は−０．１４ｎｇである。１９番目の画素では、１３７〜１４０番目のノズルが選択されている。ここで、１３７〜１４０番目のノズルは、何れもＣＯＭ番号１であり、何れのノズルのＣＯＭ番号を入れ替えても、目標値との差分を０に近づけることはできない。このため、ＣＯＭ入替による効果が得られない場合は、５回目のＣＯＭ入替を行わず、各ノズルの吐出量の補正の設定を終了する。
【０２２７】
以下、各画素の補正前の画素内液量と、補正後の画素内液量と、ＣＯＭ入替後の画素内液量とをまとめたものを表９に示す。また、表９をグラフ化したものを図１２に示す。
【０２２８】
【表９】
2016185526.tif 000032
【０２２９】
表９及び図１２に示すように、本実施例によれば、上述したＣＯＭ入替を繰り返し行うことで、各画素のそれぞれに配置される液状体の配置量（画素内液量）をより目標値（４０ｎｇ）に近づけることが可能である。
【符号の説明】
【０２３０】
２００…液状体吐出装置  １０…ヘッドユニット  １１，１２…吐出ヘッド  ２１Ａ，２１Ｂ…ノズルアレイ  ３０…制御回路基板（制御部）  ５０…配置領域  ｎ…ノズル  Ｐ…基板（吐出対象物）
【図１】
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【図２】
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【図３】
2016185526.tif 000035
【図４】
2016185526.tif 000036
【図５】
2016185526.tif 000037
【図６】
2016185526.tif 000038
【図７】
2016185526.tif 000039
【図８】
2016185526.tif 000040
【図９】
2016185526.tif 000041
【図１０】
2016185526.tif 000042
【図１１】
2016185526.tif 000043
【図１２】
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