(57)【要約】【課題】流体処理装置の運転を停止することなくフィルタの目詰まりを均一且つ迅速に行うことができ、処理効率の向上及び労力の低減に寄与する流体ろ過装置を提供する。【解決手段】流体ろ過装置としてのフィルタ手段１１３は、管状体１３０と、管状体１３０の内部に軸方向に延びるように配置された円筒状のフィルタ１３２と、フィルタ１３２の内部に配置された洗浄流体吐出部材７０とを有している。洗浄流体吐出部材７０は逆洗用流体が流入する円柱状の本体部７０ａと、軸方向に延びるスリット状の開口を有する吐出口７０ｂとを有している。吐出口７０ｂの先端はフィルタ１３２の内周面に近接しており、フィルタ１３２に付着した固形物１３４を逆洗用流体の噴射によって除去する。洗浄流体吐出部材７０は３６０°回転され、全ての固形物１３４が除去される。【選択図】図１０
2016028804.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部が流路としてなる管状体と、
前記管状体の内部に軸方向に沿って配置された筒状のフィルタと、を備え、
前記フィルタの内側の流路と外側の流路のうちいずれか一方の流路からろ過処理前の流体を流入させ、前記フィルタを通過したろ過処理後の流体を他方の流路から排出してなり、
前記フィルタに付着した付着物を除去するためのフィルタ洗浄手段を備え、
前記フィルタ洗浄手段は、前記フィルタの前記付着物が付着した面と反対側の面に近接する吐出口を有する洗浄流体吐出部材と、前記吐出口が前記フィルタの周面に沿って移動するように前記洗浄流体吐出部材もしくは前記フィルタを駆動する駆動源とを有する流体ろ過装置。
【請求項２】
請求項１に記載の流体ろ過装置において、
前記吐出口は前記軸方向に延びるスリット状に形成され、前記吐出口が前記フィルタの周面に沿って周方向に移動するように前記洗浄流体吐出部材もしくは前記フィルタを駆動する流体ろ過装置。
【請求項３】
請求項１に記載の流体ろ過装置において、
前記吐出口は前記軸方向に延びるスリット状に形成され、前記吐出口が前記フィルタの周面に沿って周方向に移動し、且つ、前記軸方向に移動するように前記洗浄流体吐出部材もしくは前記フィルタを駆動する流体ろ過装置。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の流体ろ過装置において、
前記吐出口は、前記フィルタの径方向において、前記反対側の面に向かって狭くなる形状を有している流体ろ過装置。
【請求項５】
請求項１に記載の流体ろ過装置において、
前記吐出口は前記フィルタの周方向に連なるスリット状に形成され、前記吐出口が前記フィルタの周面に沿って前記軸方向に移動するように前記洗浄流体吐出部材もしくは前記フィルタを駆動する流体ろ過装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１つに記載の流体ろ過装置において、
前記吐出口から吐出する洗浄流体の圧力を検知する洗浄圧検知手段と、
前記洗浄圧検知手段からの検知情報に基づいて前記洗浄流体吐出部材もしくは前記フィルタの駆動を調整する制御手段と、を有する流体ろ過装置。
【請求項７】
請求項６に記載の流体ろ過装置において、
前記制御手段は、洗浄圧が閾値を超える場合には洗浄圧が前記閾値以下になるまで前記フィルタに対する前記吐出口の移動を止める流体ろ過装置。
【請求項８】
処理対象流体と酸化剤との混合流体を加熱及び加圧状態下で前記処理対象流体中の有機物を酸化反応によって分解し、前記処理対象流体を処理するための筒状の反応槽と、
前記反応槽から出た処理済み流体を減圧する減圧手段と、
処理済み流体の搬送方向における前記減圧手段の上流側に設けられ、処理済み流体に含まれる不溶性の固形物を除去するための流体ろ過装置と、
を備え、
前記流体ろ過装置は、請求項１〜７のいずれか１つに記載の流体ろ過装置である流体処理装置。
【請求項９】
請求項８に記載の流体処理装置において、
前記処理済み流体の搬送方向と逆向きに前記フィルタを洗浄するための洗浄流体を前記洗浄流体吐出部材に供給する逆洗手段を有している流体処理装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の流体処理装置において、
流体処理の運転を維持した状態で、前記逆洗手段による前記フィルタの洗浄が可能である流体処理装置。
【請求項１１】
請求項９又は１０に記載の流体処理装置において、
前記洗浄流体として、前記処理済み流体を最終的に気液分離してなる処理液を用いる流体処理装置。
【請求項１２】
請求項９に記載の流体処理装置において、
前記流体ろ過装置が複数並列配置され、
１つの流体ろ過装置の前記フィルタが目詰まりした場合、該流体ろ過装置を通る前記処理済み流体の搬送経路を閉じて他の流体ろ過装置を通る搬送経路に切り替え、
前記目詰まりした流体ろ過装置のフィルタを前記逆洗手段で洗浄する流体処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体中に含まれる固形物を除去するための流体ろ過装置、及び廃液等の処理対象流体と酸化剤とを混合し、高温、高圧の条件下で処理対象流体中の有機物を酸化分解することによって処理対象流体を処理（浄化の概念を含む）する流体処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、し尿、下水、集落廃水、家畜糞尿、食品工場廃水などの有機性廃液を浄化する方法としては、活性汚泥を用いた生物処理を行う方法が一般的に用いられてきた。
しかしながら、この方法では、活性汚泥中の微生物の活動を妨げる高濃度有機溶剤廃液をそのままの濃度で処理したり、生物分解ができないプラスチック微粒子を含む廃液を処理したりすることができなかった。
また、油など、微生物による分解速度が遅い難分解性有機物を多く含む廃液を処理することもできなかった。
【０００３】
近年、廃液と空気等の酸化剤とを加熱及び加圧しながら廃液中の有機物を酸化分解することで、廃液を浄化する廃液浄化装置の開発が行われるようになった。
かかる廃液浄化装置としては、例えば特許文献１に記載のものが知られている。
この廃液浄化装置は、反応槽の中で廃液と空気とを加熱及び加圧して、廃液中の水を超臨界水にする。
超臨界水は、液体と気体との中間の性質を帯びた状態の水であり、その状態は、温度が水の臨界温度を超えるとともに圧力が水の臨界圧力を超えることによって起こる。
反応槽の中においては、超臨界水の中で有機物が一瞬のうちに酸化分解される。
【０００４】
廃液を超臨界水にする代わりに、亜臨界水にした状態で空気と混合することにより、廃液中の有機物を酸化分解する廃液浄化装置も知られている。
亜臨界水は、超臨界水よりも液体に近い性質を帯びた状態の水であり、その状態は、水をその臨界圧力よりも低い圧力で加圧しながら加熱することで起こる。
廃液を反応槽の中で亜臨界水にすることによっても、有機物を一瞬のうちに酸化分解することが可能である。
【０００５】
このように、廃液と空気とを高温高圧下でそれぞれ超臨界や亜臨界の状態にして廃液中の有機物を酸化分解する構成では、生物処理では不可能であった高濃度有機溶剤廃液を良好に浄化（処理）することができる。
また、プラスチック微粒子を含有する廃液や難分解性有機物を含有する廃液なども、良好に浄化することができる。
【０００６】
しかしながら、処理済み液（以下、「処理済み流体」ともいう）の中には不溶性の固形物（無機物等）が含まれていることがある。
背圧弁や減圧弁等の減圧手段により処理済み液を減圧する際に、減圧手段の配管等が磨耗するという問題があった。
このため、磨耗の原因となる無機物等が減圧手段へ行くことがないように、減圧手段の上流側にフィルタを設置する方法が用いられている。
しかしながら、不溶性の固形物の量が多い場合には、短時間でフィルタが目詰まりを起こしてしまう。
【０００７】
フィルタが目詰まりすると、フィルタの上流側と下流側とで差圧が発生し、連続運転が困難となる。
フィルタの目詰まりを除去するためには、減圧をした後にフィルタ手段の構成を分解し、フィルタを取り外して洗浄し、洗浄済みのフィルタを取り付けて昇圧させた後に運転を再開する必要がある。
高圧で運転を行う流体処理装置において、フィルタの目詰まりを洗浄してフィルタ機能を回復させる作業は多大な労力を要するとともに、運転停止により処理効率が大幅に低下する。
【０００８】
この問題を解消すべく、予備のフィルタを並列に設置し、使用中のフィルタが目詰まりした際に、予備のフィルタに切り替えて運転を継続する方法が提案されている（特許文献２）。
同文献では、目詰まりを起こしたフィルタに、処理済み液の流れとは逆向きに洗浄用流体を供給してフィルタに付着している固形物を洗浄する方法も開示されている。
この洗浄処理は「逆洗」とも呼ばれている。
例えば、処理済み液を筒状のフィルタの外側から内側に通してろ過する場合、洗浄用流体をフィルタの内側から外側に通過するように供給すれば、フィルタの外側に付着した固形物を洗浄用流体の流動圧で除去することが可能となる。
この方法によれば、運転を停止することなく目詰まりを起こしたフィルタのフィルタ機能を再生することができる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、フィルタの周面に付着する固形物の量は均一ではなく、最も流動抵抗の少ない部分が先に目詰まりが解消される。
洗浄用流体は目詰まりが解消された部分を中心に流出しやすくなるため、他の部位では固形物を除去するに適した流動圧は得られず、フィルタ全体の目詰まりを完全に除去することは困難であった。
洗浄用流体の圧力をモニタすることにより、フィルタの洗浄状況をある程度把握できるが、洗浄用流体の供給時間を増やす等の対策を講じても上記のような洗浄用流体の偏った流出状態を解消することは困難となる。
フィルタの洗浄が部分的に留まる場合には、そのまま使用しても早期に目詰まりが起きるため、分解作業を伴う上記手作業によるフィルタの洗浄を実施する必要がある。
【００１０】
本発明は、このような現状に鑑みてなされたもので、流体処理装置の運転を停止することなくフィルタの目詰まりを均一且つ迅速に行うことができ、処理効率の向上及び労力の低減に寄与する流体ろ過装置の提供を、その主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明の流体ろ過装置は、内部が流路としてなる管状体と、前記管状体の内部に軸方向に沿って配置された筒状のフィルタと、を備え、前記フィルタの内側の流路と外側の流路のうちいずれか一方の流路からろ過処理前の流体を流入させ、前記フィルタを通過したろ過処理後の流体を他方の流路から排出してなり、前記フィルタに付着した付着物を除去するためのフィルタ洗浄手段を備え、前記フィルタ洗浄手段は、前記フィルタの前記付着物が付着した面と反対側の面に近接する吐出口を有する洗浄流体吐出部材と、前記吐出口が前記フィルタの周面に沿って移動するように前記洗浄流体吐出部材もしくは前記フィルタを駆動する駆動源とを有する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、流体処理装置の運転を停止することなくフィルタの目詰まりを均一且つ迅速に行うことができ、処理効率の向上及び労力の低減に寄与できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る流体処理装置の概要構成図である。
【図２】定常運転時の処理済み流体の流れを示す図である。
【図３】差圧発生時の処理済み流体と逆洗用流体の流れを示す図である。
【図４】フィルタ手段切り替え時の処理済み流体の流れを示す図である。
【図５】フィルタ手段切り替え完了時の処理済み流体の流れを示す図である。
【図６】フィルタ手段切り替え完了後の逆洗の状態を示す図である。
【図７】従来の流体ろ過装置を示す概要断面図で、（ａ）は差圧発生時の状態を示す図、（ｂ）は逆洗時の状態を示す図である。
【図８】本実施形態に係る流体ろ過装置を示す図で、（ａ）は概要断面図、（ｂ）は洗浄流体吐出部材の一部断面の斜視図である。
【図９】フィルタ洗浄手段における制御ブロック図である。
【図１０】逆洗時のフィルタ洗浄手段による洗浄状態を段階的に示す概要平面図である。
【図１１】逆洗時の制御動作を示すフローチャートである。
【図１２】第２の実施形態に係る流体ろ過装置を示す図で、（ａ）は概要断面図、（ｂ）は洗浄流体吐出部材の斜視図、（ｃ）は吐出口における洗浄用流体の吐出状態を示す概要平面図である。
【図１３】第２の実施形態における洗浄流体吐出部材の吐出口の変形例を示す要部断面図である。
【図１４】第２の実施形態における逆洗時のフィルタ洗浄手段による洗浄状態を段階的に示す概要平面図である。
【図１５】第２の実施形態における逆洗時の制御動作を示すフローチャートである。
【図１６】第３の実施形態における洗浄流体吐出部材の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態を図を参照して説明する。
図１乃至図１１に第１の実施形態を示す。
まず、図１に基づいて、本実施形態に係る流体処理装置（処理システム）の全体構成の概要を説明する。
流体処理装置１は、処理対象流体供給部２と、酸化剤供給部３と、反応槽４と、熱交換部５と、固形分離部６と、気液分離部７と、制御手段８等を備えている。
反応槽４は、処理対象流体と酸化剤との混合流体を加熱及び加圧状態下で処理対象流体中の有機物を酸化反応によって分解し、処理対象流体を処理するためのものである。
以下、各構成について具体的に説明する。
【００１５】
処理対象流体供給部２は、原水タンク９を有しており、原水タンク９には、有機物を含む処理対象流体Ｗが未処理の状態で貯留されている。
処理対象流体は攪拌機１０で撹拌されることで、処理対象流体中に含まれる浮遊物質ＳＳ（Suspended solids）が均等に分散せしめられ、有機物濃度の均一化が図られる。
撹拌された処理対象流体は、三方弁１１を経て原水供給ポンプ１２によって反応槽４に向けて圧送される。
処理対象流体は圧送される過程で、原水圧力計１３で圧力を検知されるとともに、原水流量計１４で流量を検知される。
【００１６】
処理対象流体は原水入口弁１５で流量を調整可能となっている。
原水入口弁１５は、逆止弁の役割を担っており、原水供給ポンプ１２から送り出される処理対象流体について、原水供給ポンプ１２側から反応槽４側への流れを許容する一方で、逆方向の流れを阻止する。
原水入口弁１５を通過した処理対象流体は、処理対象流体の流路を囲むように配置された原水予備加熱器１６によって予備加熱される。
原水タンク９の近傍には水タンク１７が配置されており、三方弁１１を介して処理対象流体の流路に水を供給できるようになっている。
【００１７】
酸化剤供給部３は、コンプレッサーからなる酸化剤圧送ポンプ１８を有している。
酸化剤圧送ポンプ１８は、酸化剤として取り込んだ空気Ａを、処理対象流体の圧力と同程度の圧力まで圧縮しながら、反応槽４に向けて送り出す。
空気は圧送される過程で、酸化剤圧力計１９で圧力を検知されるとともに、酸化剤流量計２０で流量を検知される。符号３８は流量調節器を示している。
酸化剤入口弁２１は、逆止弁の役割を担っており、酸化剤圧送ポンプ１８から圧送されてくる空気について、酸化剤圧送ポンプ１８側から反応槽４側への流れを許容する一方で、逆方向の流れを阻止する。
酸化剤入口弁２１を通過した空気は、空気の流路を囲むように配置された酸化剤予備加熱器２２によって予備加熱される。
【００１８】
原水予備加熱器１６によって予備加熱された処理対象流体と、酸化剤予備加熱器２２によって予備加熱された空気は個別に反応槽４内に導入され、反応槽内で合流する。
予備加熱された処理対象流体の温度は処理対象流体温度センサ２３で検知され、予備加熱された空気の温度は酸化剤温度センサ２４で検知される。これらの温度の検知情報は制御手段８へ入力される。
本実施形態では、処理対象流体と空気とが反応槽内で合流する構成としたが、反応槽に入る前に合流するようにしてもよい。
処理対象流体の圧送圧力や、空気の圧送圧力は、反応槽４内の圧力とほぼ同じになるように調整される。
【００１９】
酸化剤圧送ポンプ１８の駆動による空気の圧送量は、処理対象流体中の有機物を完全に酸化させるのに必要となる化学量論的な酸素量に基づいて決定されている。
より詳しくは、処理対象流体のＣＯＤ（Chemical Oxygen Demand）、全窒素（ＴＮ）、全リン（ＴＰ）など、処理対象流体や高濃度有機性スラリー中の有機物濃度、窒素濃度、リン濃度などに基づいて、有機物の完全酸化に必要な酸素量が算出される。
算出結果に基づいて、空気の圧送量が設定されている。
具体的には、有機物の完全酸化に必要な酸素量の１．０倍〜３．０倍の酸素量が投入されるように設定される。
酸化剤としては、空気の他、酸素、液体酸素、オゾン、過酸化水素水のうちの何れか１つ、あるいは、それらの２種類以上を混合したものを用いることができる。
【００２０】
反応槽４内の混合流体に加える圧力としては、０．５〜３０ＭＰａ（望ましくは５〜１５ＭＰａ）の範囲を例示することができる。
反応槽４内の圧力は、後述する背圧弁としての出口弁５３によって調整される。出口弁５３は、反応槽４内の圧力が閾値よりも高くなると、自動で弁を開いて反応槽４内の混合流体を外部に排出することで、反応槽４内の圧力を閾値付近に維持する。
【００２１】
反応槽４内の混合流体は、有機物が酸化分解されることによる発熱によって昇温する。
処理対象流体が有機物を高濃度に含むものである場合、多量の有機物が酸化分解される際の多量の発熱だけで、混合流体が所望の温度まで昇温することもある。
この場合、装置の立ち上げ時のみ、原水予備加熱器１６及び酸化剤予備加熱器２２による加熱を行い、酸化分解が開始された後は、これらへの通電をオフにすることができる。
【００２２】
反応槽４内の混合流体の温度としては、１００〜７００℃（望ましくは２００〜５５０℃）を例示することができる。
温度の調整は、原水予備加熱器１６、酸化剤予備加熱器２２の出力調整によって行われる。
【００２３】
温度及び圧力の条件として、温度＝３７４．２℃以上、且つ、圧力＝２２．１ＭＰａ以上を採用した場合、水の臨界温度や臨界圧力をそれぞれ超え、且つ空気の臨界温度や臨界圧力もそれぞれ超える状態である。
このため、混合流体が液体と気体との中間的な性質を帯びる超臨界流体になる。
超臨界流体中では、有機物が良好に超臨界流体に溶解するとともに、空気に良好に接触することから、有機物の酸化分解が急激に進行する。
温度及び圧力の条件として、温度＝２００℃以上（望ましくは３７４．２℃以上）、且つ、圧力＝２２．１ＭＰａ未満（望ましくは１０ＭＰａ以上）且つ、飽和蒸気以下の温度、圧力の比較的高圧を採用して、反応槽４内で混合流体中の処理対象流体を過熱水蒸気にしてもよい。
【００２４】
反応槽４においては、混合流体を高温且つ高圧の状態にすることで、混合流体中の有機物やアンモニア態窒素の酸化分解を促す。
反応槽４内で、流体搬送方向（流体移動方向）における触媒層２５の端部まで移動した混合流体は、有機物がほぼ完全に酸化分解された状態になっている。
【００２５】
反応槽４から出た処理済み流体は、熱交換部５の熱交換器２６に流入する。
熱交換部５には図示しない熱媒体タンクが設けられており、熱媒体タンクには熱交換流体が貯留されている。
熱交換流体は熱交換ポンプ２７で熱交換器２６に供給される。
熱交換器２６を通過して熱せられた熱交換流体は、図示しないパイプを通って熱エネルギー利用設備に送られる。
符号２８は熱交換器２６を出た熱交換流体の温度を検知する温度センサを示している。
【００２６】
熱交換器２６の下流直後には、処理済み流体の温度を検知する熱交換器出口温度計２９が設けられているとともに、熱交換器出口圧力計３０が設けられている。
熱交換器出口温度計２９による検知結果が所定の数値範囲内に維持されるように、熱交換ポンプ２７の駆動が制御される。
具体的には、熱交換器出口温度計２９による検知結果が所定の上限温度に達したときには、熱交換ポンプ２７の駆動量を増加して熱交換器２６への熱交換流体の供給量を増やし、熱交換器２６による冷却機能を高める。
熱交換器出口温度計２９による検知結果が所定の下限温度に達したときには、熱交換ポンプ２７の駆動量を減少させて熱交換器２６への熱交換流体の供給量を減らし、熱交換器２６による冷却機能を低下させる。
【００２７】
このように制御することで、熱交換量を適切に調整して処理済み流体の温度を一定範囲に維持することができる。
熱交換器２６は、反応槽４に直接取り付けてもよい。
【００２８】
熱エネルギー利用設備の一例として、発電機を例示することができる。
発電機では、熱せられたことによって圧力が高まっている熱交換流体を液体から気体の状態にするときに発生する気流によってタービンを回転させることで発電が行われる。
なお、熱交換器２６を通過した熱交換流体の一部を分岐パイプによって送液し、処理対象流体や空気の予備加熱に利用してもよい。
【００２９】
処理済み流体は熱交換器２６で熱を奪われるため、その水分が冷却されて超臨界状態、あるいは過熱水蒸気状態から液体状態に態様が変化し、液体状態で固形分離部６に入る。
一方、混合流体中の酸素や窒素は、超臨界状態から気体状態に態様が変化する。
【００３０】
熱交換器２６を出た処理済み流体は熱交換器出口温度計２９によって温度を検知され、熱交換器出口圧力計３０によって圧力を検知された後、固形分離部６に入る。
固形分離部６の具体的構成については後述する。
【００３１】
気液分離部７は、出口弁５３や気液分離器３２等を有している。
固形分離部６を通り過ぎた処理済み流体は、最終的に気液分離器３２によって処理液としての処理水とガスとに分離される。処理水は処理水タンク３３に貯留される。
気液分離器３２によって分離された気体は、その組成が図示しないガスクロマトグラフによって検知される。
【００３２】
ガスクロマトグラフにより、未分解の物質が検出された場合、ガスクロマトグラフから出力信号を受け、制御手段８により警報が発せられる。
気液分離器３２によって分離された液体は、そのＴＯＣ（全有機炭素：Total Organic Carbon）濃度がＴＯＣ分析装置３４（図２参照）によって検知される。
ＴＯＣ分析装置３４により、閾値を超える濃度の全有機炭素が検出された場合には、ＴＯＣ分析装置３４からの出力信号を受け、制御手段８により警報が発せられる。
【００３３】
処理水タンク３３に貯留される処理水は、活性汚泥による生物処理では除去し切れないごく低分子の有機物もほぼ完全に酸化分解されたものであるため、浮遊物質や有機物は殆ど含まれていない。
そのままの状態でも、用途によっては工業用水として再利用することが可能である。
また、限外濾過膜による濾過処理を施せば、ＬＳＩ洗浄液などに転用することも可能である。
気液分離器３２によって分離されたガスは、二酸化炭素、窒素ガス、及び酸素を主成分とするものである。
【００３４】
処理対象流体中の有機物濃度が比較的高い場合には、有機物の酸化分解によって多量の熱が発生する。
このため、運転初期には原水予備加熱器１６及び酸化剤予備加熱器２２を作動させるものの、有機物の酸化分解が開始された後には、有機物の酸化分解によって発生する熱を利用した制御とする。
すなわち、有機物の酸化分解によって発生する熱により、処理対象流体と空気との混合流体の温度が、所望の温度まで自然に昇温する場合もある。
制御手段８は、反応槽４の温度を検知する反応槽温度計３５による検知結果が、所定の温度よりも高くなった場合には、原水予備加熱器１６、酸化剤予備加熱器２２の出力を調整する。
これにより、無駄なエネルギーの消費を抑えることができる。
【００３５】
反応槽ヒータ３６で反応槽を加熱することにより、反応槽内で生じる酸化反応熱の反応槽を介した熱移動、ひいては熱交換部における熱交換率の低下を抑制することができる。
【００３６】
制御手段８には、原水流量計１４、処理対象流体温度センサ２３、酸化剤温度センサ２４、反応槽温度計３５からの検知情報が入力される。
制御手段８はこれらの情報に基づいて、原水供給ポンプ１２、原水予備加熱器１６、酸化剤予備加熱器２２、反応槽ヒータ３６を制御する。
制御手段８には、さらに操作・表示用機器として図示しないタッチパネルが備えられ、温度、圧力、流量などの状態、異常発生時の警告や故障内容の表示と、設定値等の入力・変更が可能になっている。
異常発生時には、ポンプの駆動、ヒータの通電をオフにするなどして、また入口弁を閉じるなどして、インターロック制御される。
異常内容としては、機器の故障、流路での詰り、漏れなどがあり、異常圧力、異常温度を制御部で判断し、タッチパネルで監視できるようになっている。
反応槽内（入口弁〜出口弁まで）の圧力は、出口弁５３（背圧弁）で調節される。
【００３７】
反応槽４は外筒と、これの内側に密着して収納される内筒とによる２重構造になっている。
処理対象流体の種類によっては、有機塩化物のクロロ基に由来する塩酸や、アミノ酸等のスルホニル基に由来する硫酸が発生して、内筒の内壁を強い酸性下におくことがある。
このため、内筒には、耐食性に優れたチタンからなる筒が採用されている。
チタンからなるものに代えて、Ｔａ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｉｒ、Ｒｈ、又はＰｄからなるものを用いてもよい。
また、Ｔｉ、Ｔａ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｉｒ、Ｒｈ、及びＰｄのうち、少なくとも何れか１つを含む合金からなるものを用いてもよい。
【００３８】
これに対し、外筒は、ステンレス（ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６）、インコネル６２５など、強度に優れた金属材からなる筒である。
反応槽４の内部の圧力は、５〜３０ＭＰａという高圧に制御される。このような高圧に耐え得るように、外筒の厚みは肉厚になっている。
チタンのみでも耐圧構造にすることは可能であるが、高価な材料であるために非常にコスト高になってしまう。
【００３９】
次に、流体処理装置１の運転開始操作のフローについて説明する。
起動時は温度が十分上昇しておらず、廃液を流すと未分解の状態で排出されてしまうため、水タンク１７から水を供給し、温度が上昇しきった段階で廃液（処理対象流体）に切り替える。
【００４０】
(1)昇圧
・酸化剤圧送ポンプ１８を起動する
・流量調節器３８で初期設定流量にする
・酸化剤入口弁２１を開く
・水タンク１７の水を圧送するポンプ（不図示）を駆動する
・出口弁５３を調節する
(2)昇温
・酸化剤予備加熱器２２を出口温度が設定温度になるように加熱する
・並行して原水予備加熱器１６を出口温度が設定温度になるように加熱する
・反応槽外周の反応槽ヒータ３６を設定温度になるように加熱する
(3)運転開始
・水タンク１７からの水を処理対象流体Ｗに切替える
・反応槽内の温度を検知し、反応槽の温度が上昇開始したら、処理対象流体中の有機物が酸化分解し始めたと判断する
(4)自動運転モードへの切り替え
・酸化剤予備加熱器２２のヒータ温度を下げるように変更する、もしくはオフにする
・原水予備加熱器１６のヒータ温度を下げるように変更する、もしくはオフにする
・反応槽ヒータ３６のヒータ温度を下げるように変更する、もしくはオフにする
【００４１】
図２に基づいて、固形分離部６の構成及び動作を詳細に説明する。
図２において、符号５９、６４、６９、１１０、１１６、１１９、２１０、２１６、２１９はバルブを、５３、６５、１２２、２２２は背圧弁を、５２、６２、１１２、２１２は圧力計を示している。
符号６１は逆洗用ポンプを、６６は圧力調整用タンクを、６７は逆洗液タンクを、１２３、２２３は逆洗済み液タンクを示している。
また、符号１１３、２１３は、流体ろ過装置としてのフィルタ手段を示している。
各バルブにおいて、白抜きは開状態を示し、黒塗りは閉状態を示している（他の図において同じ）。
【００４２】
図２は、定常運転時の状態を示している。
熱交換器２６を出た処理済み流体は、間隔の狭い太い破線で示すように、フィルタ手段１１３を通り、出口弁５３から排出されて気液分離器３２に入る。
このとき、熱交換器出口圧力計３０、フィルタ手段１１３の上流側の圧力計１１２、フィルタ手段１１３の下流側の圧力計５２は、同じ圧力（例えば１０ＭＰａ）を示す。
【００４３】
図３はフィルタ手段１１３の前後で差圧が発生した際の説明図である。
フィルタ手段１１３のフィルタ（後述）が目詰まりを起こしていくと、圧力計１１２の値が出口弁５３の上流側にある圧力計５２の値よりも高くなっていく。
例えば、圧力計５２の値が１０ＭＰａであるのに対し、圧力計１１２では１２ＭＰａとなる。
安全に処理を続けるためには予備のフィルタ手段２１３へ切り替える必要がある。
切り替え操作を以下に説明する。
【００４４】
逆洗用ポンプ６１を起動し、間隔の広い太い破線で示すように、処理水タンク３３から洗浄用流体としての処理水を処理済み流体とは逆向きに供給する。
背圧弁６５を調整し、圧力計２１２と圧力計１１２とが同圧（１２ＭＰａ）になるよう調節する。
すなわち、フィルタ手段２１３の圧力が反応槽の圧力と等しくなるように逆洗液または処理水で昇圧する。ここでは、処理水を使用している。
同圧になったら逆洗用ポンプ６１を停止し、バルブ６４を閉じる。
この操作は、フィルタ手段２１３へ切り替えた場合に、フィルタ手段２１３の前後で圧力差が生じないようにするためのものである。
【００４５】
図４は、フィルタ手段１１３からフィルタ手段２１３への切り替えの説明図である。
バルブ２１０を開け、バルブ１１０及びバルブ１１６を閉じ、処理済み流体がフィルタ手段２１３へ流れるようにバルブを開閉する。
すなわち、フィルタ手段１１３への搬送経路を閉じ、フィルタ手段２１３への搬送経路を開く。
この際、差圧によって定常運転時よりも高い圧力（１２Ｍｐａ）となっている状態を適正な圧力（１０ＭＰａ）に戻すため、圧力計５２と圧力計６２とが同圧になるように背圧弁６５を調整する。
圧力調整中、処理済み流体は圧力調整用タンク６６に導入される。
【００４６】
図５は、フィルタ手段２１３への切り替えが完了した状態を示している。
バルブ２１６を開け、バルブ２１９を閉じ、通常の処理済み流体を排出する配管へ切り替える。すなわち、気液分離側へ流れるようにバルブを切り替える。
このように、フィルタ手段１１３からフィルタ手段２１３へ、処理運転を継続したまま、切り替えることが可能である。
【００４７】
図６は、フィルタ手段１１３を逆洗するときの説明図である。
図５に示す状態からバルブ６４を開け、逆洗用ポンプ６１を起動する。バルブ１１９を開け、背圧弁６５を調整し降圧する。
圧力計１１２の値が１２ＭＰａから１０ＭＰａに下がったら、バルブ１２２を開ける。逆洗用ポンプ６１を起動している状態で背圧弁６５を閉じ、逆洗を開始する。
【００４８】
図７は、従来の逆洗の模式図である。
フィルタ手段３１３は、内部が流路としてなる円筒状の管状体１３０と、管状体１３０の内部にその軸方向に沿って配置された円筒状のフィルタ１３２とを備えている。
熱交換器２６を出た処理済み流体（ろ過処理前の流体）はバルブ１１０を経由してフィルタ１３２の外側の流路（一方の流路）からフィルタ手段３１３に流入する。
フィルタ１３２でろ過されたろ過処理後の流体はフィルタ１３２の内側の流路（他方の流路）を通り、バルブ１１６を経由して下流側に排出される。
図７（ａ）に示すように、フィルタ１３２によるろ過が進行すると、フィルタ１３２の外周面には不溶性の固形物１３４が付着して粘土状の層が形成され、目詰まりが起きる。
目詰まりが起きると差圧が発生するため、逆洗によるフィルタ１３２の洗浄が行われる。
【００４９】
逆洗では、図７（ｂ）に示すように、バルブ１１０、１１６を閉じた状態でバルブ１１９、１２２が開かれ、逆洗用流体（洗浄流体）がフィルタ１３２の内側流路に流入し、外側流路を通って排出される。
フィルタ１３２の内側から外側に向かって流れる逆洗用流体で、原理上はフィルタ１３２の外周面に付着した固形物１３４は押し剥がされて下流側に排出される。
しかしながら、目詰まりや汚れが最初に取れた部分１３６では、他の部分に比べて、逆洗の抵抗が少なくなるため、ここから逆洗用流体が集中的に多量に流出し、他の部分の洗浄の効率が落ちてしまう。
このような場合には、フィルタ１３２の洗浄度合いを逆洗の圧力で正確に把握できず、例えば所定の逆洗時間が経過したことを基準にして洗浄完了と判断し、フィルタ手段１１３を再使用すると早期に目詰まりが起きることになる。
このようにフィルタ１３２内に逆洗用流体を流してその流動圧で固形物を除去する方式では、フィルタの周面に付着する固形物の付着状態が均一ではないため、周面全体に亘って均一な洗浄を行うことは困難である。
【００５０】
この問題を解決するために、本実施形態では、図８（ａ）に示すように、フィルタ１３２に付着した付着物（固形物ないし固形分）を除去するための洗浄流体吐出部材７０をフィルタ１３２の内部に配置している。
洗浄流体吐出部材７０は、図８（ｂ）に示すように、バルブ１１９に接続される逆洗用の配管に接続される筒状の本体部７０ａと、該本体部７０ａからフィルタ１３２の径方向に延び、軸方向にスリット状に開口する吐出口７０ｂとから構成されている。
洗浄流体吐出部材７０は、管状体１３０の上面に配置された図示しないモータ等の駆動源７４（図９参照）により図示しない減速ギヤを介してフィルタ１３２の軸心回りに回転駆動される。
本実施形態では、洗浄流体吐出部材７０を回転させて吐出口７０ｂがフィルタ１３２の内周面に沿って移動する構成としたが、洗浄流体吐出部材７０を固定し、フィルタ１３２を回転させる構成としてもよい。
【００５１】
吐出口７０ｂは、フィルタ１３２の径方向において、フィルタ１３２の内周面に向かって徐々に狭くなる形状を有し、吐出口７０ｂの先端はフィルタ１３２の内周面に近接している。
すなわち、吐出口７０ｂの先端はフィルタ１３２の付着物が付着した面と反対側の面に近接している。
洗浄流体吐出部材７０は、通常運転時には処理済み流体の流れを阻害する要因となるので、できるだけ阻害しないように、本体部７０ａは適量の逆洗流体を流入させるに必要な最小限の大きさとしている。
【００５２】
図９に示すように、制御手段８は圧力計６２の計測値に基づいて、駆動源７４を制御する。本実施形態における駆動源７４はステッピングモータである。
制御手段８の図示しないメモリには、固形物が付着していない状態でのフィルタ１３２において逆洗をしたときの圧力を基準とした、固形物が除去されたと判断するための閾値が記憶されている。
洗浄流体吐出部材７０、駆動源７４及び制御手段８により、本実施形態におけるフィルタ洗浄手段が構成されている。
洗浄流体吐出部材７０に逆洗用流体を供給するための処理水タンク３３や逆洗用ポンプ６１、バルブ６４等により逆洗手段が構成されている。
【００５３】
フィルタ洗浄手段による逆洗の動作を図１０に基づいて説明する。
図１０（ａ）は逆洗開始前の状態を示している。
逆洗時には、図１０（ｂ）に示すように、本体部７０ａに流入した逆洗用流体は、吐出口７０ｂから高速で噴射し、フィルタ１３２のスリットに面した部分が選択的に洗浄される。
制御手段８は圧力計６２の値をモニタしながら上記閾値と比較し、閾値より下がった場合には当該部位の洗浄ができたと判断する。
そして駆動源７４を制御して、洗浄流体吐出部材７０を僅かに回転させて洗浄部位を変更する。
図１０（ｃ）、（ｄ）に示すように、洗浄流体吐出部材７０の回転が進むにつれて、フィルタ１３２の周面全体に亘って固形物の除去が確実になされる。
洗浄流体吐出部材７０を３６０度回転させ、最終部位の逆洗の圧力が閾値より下がった場合には洗浄完了と判断して逆洗を終了する。
【００５４】
このように、フィルタ１３２の周面を局所的且つ確実に洗浄しながら吐出口７０ｂを周面に沿って周方向に移動させることにより、逆洗用流体の使用量を無駄に多くすることなく短時間に効率的に逆洗を行うことが可能である。
【００５５】
逆洗に要する時間と逆洗用流体の使用量をさらに抑制できる制御例を図１１に示す。
逆洗が開始されると（Ｓ１）、制御手段８は洗浄流体吐出部材７０を所定の角度（単位時間当たりの角度）ずつ３６０度回転させ、逆洗時の圧力を記録ないし記憶する（Ｓ２）。
すなわち、一定の速さで吐出口７０ｂを移動させる。
一周の逆洗が完了したら、逆洗を停止し（Ｓ３）、今まで行った逆洗の回数が規定回数Ｎ以内か否かを判断する（Ｓ４）。
規定回数を超えている場合には、逆洗では対応できないと判断し、フィルタ交換の指示を出す（Ｓ１０）。フィルタ交換の指示は、液晶パネルでの文字表示や音声、あるいはアラーム等により行う。
【００５６】
Ｓ４で規定の回数を超えていない場合には、記録された全周範囲の圧力の中で、基準圧力（閾値）を超えている箇所があるか否かを判断する（Ｓ５）。
全ての範囲で圧力が基準圧力を超えていない場合には、逆洗終了とする（Ｓ１１）。
Ｓ５で基準圧力を超える箇所がある場合には、制御手段８は洗浄流体吐出部材７０を回転させて吐出口７０ｂを逆洗不十分の箇所へ対向させる（Ｓ６）。
吐出口７０ｂが逆洗不十分の箇所へ対向したら、逆洗を開始し（Ｓ７）、該逆洗時の圧力を記録する。
逆洗開始後、圧力が基準圧力以下になったか否かを判断し（Ｓ８）、基準圧力以下になったら逆洗を停止する（Ｓ３）。
【００５７】
Ｓ８で圧力が基準圧力以下にならない場合には、所定時間まで逆洗を行う。
次に、所定時間が経過したか否かを判断し（Ｓ９）、所定時間経過したら、逆洗を停止する（Ｓ３）。
このように、基準圧力を超える箇所を選択的に規定回数まで繰り返し逆洗を行うことで、逆洗に要する時間と逆洗液（逆洗用流体）の排出量を抑えることができる。
Ｓ７の逆洗では、Ｓ１の逆洗よりも逆洗液の流量を増やすなど、より強力に洗浄できる条件に変更してもよい。
【００５８】
上記のように、本制御例では、３６０度一周の逆洗を一定の旋回速度で行い、汚れている場所がないかを記憶された圧力データから判定する。
汚れている場所がない場合には逆洗終了とし、汚れている場所があればその汚れている場所へ洗浄流体吐出部材７０の吐出口７０ｂを移動して逆洗を行う。
これにより、無駄なく効率的に逆洗を行うことができる。
また、逆洗を規定回数行っても汚れが取れない場合には、フィルタ交換の指示を出すようにすることで、結果的に逆洗ができない箇所に無駄に時間をかけることを回避することができる。
【００５９】
吐出口７０ｂは、例えば径方向に対向して２つ設けるなど、複数形成してもよいが、逆洗圧をモニタしながら確実に洗浄するためには、単一の吐出口７０ｂを３６０°回転させる方式が望ましい。
吐出口７０ｂの移動速度を一定とし、逆洗圧が高かった部分だけを再度洗浄する制御としてもよい。
【００６０】
本実施形態では、逆洗用流体として処理水タンク３３の処理水を用いたが、処理水とは別途に用意された逆洗液タンク６７の逆洗液（逆洗専用液）を用いてもよい。
本実施形態のように、逆洗用流体として処理水タンク３３の処理水を用いるようにすれば、逆洗液タンク６７が不要となり、装置のコンパクト化に寄与できる。
フィルタ手段１１３から流出した処理水を用いることにより、高圧のままフィルタ手段２１３の逆洗に用いることも可能である。
本実施形態では、吐出口７０ｂを軸方向に開口が連なったスリット状としたが、軸方向に複数のノズルが配置された構成としてもよい。
【００６１】
図１２乃至図１５に第２の実施形態を示す。上記実施形態と同一部分は同一符号で示し、既にした構成上及び機能上の説明は適宜省略する。
上記実施形態では洗浄流体吐出部材７０の吐出口７０ｂは、フィルタ１３２の軸方向に延びる形状であるため、フィルタ１３２の軸方向の長さが長くなるほど、吐出口７０ｂの開口面積が大きくなる。
吐出口７０ｂの開口面積が大きくなると吐出圧が低下し、フィルタ１３２の対向部分を軸方向全体に亘って均一に洗浄できなくなる虞がある。すなわち、洗浄用流体の偏った流出状態を来たす虞があり、その場合、フィルタの目詰まりを均一且つ迅速に行うことができなくなる。
本実施形態では、この問題を解消することを目的としている。
【００６２】
本実施形態では、図１２（ａ）に示すように、フィルタ１３２に付着した付着物を除去するための洗浄流体吐出部材７６をフィルタ１３２の内部に配置している。
洗浄流体吐出部材７６は、図１２（ｂ）に示すように、バルブ１１９に接続される逆洗用の配管に接続される筒状の本体部７８と、該本体部７８の下端部（洗浄用流体の導入方向先端部）に設けられた吐出部８０とから構成されている。
吐出部８０は、本体部７８に軸方向に隙間をおいて固定された一対の円板状のスリット形成部材８０ａ、８０ｂを有している。
スリット形成部材８０ａ、８０ｂ間の隙間は、フィルタ１３２の周方向に連なるスリット状の吐出口８０ｃとしてなる。
スリット形成部材８０ａ、８０ｂ間における本体部７８には、ノズル７８ａが開口している。
【００６３】
ノズル７８ａから噴出した洗浄用流体は、図１２（ｃ）に示すように、吐出口８０ｃ内で拡散し、吐出口８０ｃからフィルタ１３２の周方向全体に亘って均一に吐出される。ノズル７８ａは複数形成してもよい。
本実施形態では、スリット形成部材８０ａ、８０ｂを厚肉の円板状としているが、強度が保たれる範囲で薄肉の円板状としてもよい。
図１３に示すように、スリット形成部材８０ａ、８０ｂの少なくとも一方の対向面を凹状に形成して圧力空間を形成し、外周のスリット間隙を限りなく狭くする構成としてもよい。
【００６４】
洗浄流体吐出部材７６は、管状体１３０の上面に配置されたモータ等の駆動源７４（図９参照）により減速ギヤを介してフィルタ１３２の軸方向に駆動される。
本実施形態では、洗浄流体吐出部材７６を移動させて吐出口８０ｃがフィルタ１３２の内周面に沿って軸方向に移動する構成としたが、洗浄流体吐出部材７６を固定し、フィルタ１３２を移動させる構成としてもよい。
【００６５】
洗浄流体吐出部材７６の吐出口８０ｃはフィルタ１３２の付着物が付着した面と反対側の面に近接している。
洗浄流体吐出部材７６は、通常運転時には処理済み流体の流れを阻害する要因となるので、できるだけ阻害しないように、本体部７８は適量の逆洗流体を流入させるに必要な最小限の大きさとしている。
【００６６】
図９に示すように、制御手段８は圧力計６２の計測値に基づいて、駆動源７４を制御する。本実施形態における駆動源７４はステッピングモータである。
制御手段８のメモリには、固形物が付着していない状態でのフィルタ１３２において逆洗をしたときの圧力を基準とした、固形物が除去されたと判断するための閾値が記憶されている。
洗浄流体吐出部材７６、駆動源７４及び制御手段８により、本実施形態におけるフィルタ洗浄手段が構成されている。
洗浄流体吐出部材７６に逆洗用流体を供給するための処理水タンク３３や逆洗用ポンプ６１、バルブ６４等により逆洗手段が構成されている。
【００６７】
フィルタ洗浄手段による逆洗の動作を図１４に基づいて説明する。
図１４（ａ）は逆洗開始前の状態を示している。
逆洗時には、図１４（ｂ）に示すように、本体部７８に流入した逆洗用流体は、吐出口８０ｃから高速で噴射し、フィルタ１３２の吐出口８０ｃに対向した部分が周方向全体に亘って選択的に且つ一挙的に洗浄される。
制御手段８は圧力計６２の値をモニタしながら上記閾値と比較し、閾値より下がった場合には当該部位の洗浄ができたと判断する。
制御手段８は駆動源７４を制御して、洗浄流体吐出部材７６を僅かに軸方向に移動させて洗浄部位を変更する。断続的に移動する場合の移動量は、吐出口８０ｃの軸方向の開口幅以内である。
【００６８】
図１４（ｃ）、（ｄ）に示すように、洗浄流体吐出部材７６の軸方向への移動が進むにつれて、フィルタ１３２の周面全体に亘って固形物の除去が確実になされる。
洗浄流体吐出部材７６をフィルタ１３２の軸方向の端から端まで移動させ、最終部位の逆洗の圧力が閾値より下がった場合には洗浄完了と判断して逆洗を終了する。
【００６９】
このように、フィルタ１３２の周面を局所的且つ確実に洗浄しながら、吐出口８０ｃをフィルタ１３２の周面に沿って軸方向に移動させることにより、逆洗用流体の使用量を無駄に多くすることなく短時間に効率的に逆洗を行うことが可能である。
【００７０】
逆洗に要する時間と逆洗用流体の使用量をさらに抑制できる制御例を図１５に示す。
逆洗が開始されると（Ｓ１）、制御手段８は洗浄流体吐出部材７６を所定の幅（単位時間当たりの幅）ずつ軸方向に移動させ、逆洗時の圧力を記録ないし記憶する（Ｓ２）。
すなわち、一定の速さで吐出口８０ｃを移動させる。
フィルタ１３２の軸方向全体に亘る逆洗が完了したら、逆洗を停止し（Ｓ３）、今まで行った逆洗の回数が規定回数Ｎ以内か否かを判断する（Ｓ４）。
規定回数を超えている場合には、逆洗では対応できないと判断し、フィルタ交換の指示を出す（Ｓ１０）。フィルタ交換の指示は、液晶パネルでの文字表示や音声、あるいはアラーム等により行う。
【００７１】
Ｓ４で規定の回数を超えていない場合には、記録された全面の圧力の中で、基準圧力（閾値）を超えている箇所があるか否かを判断する（Ｓ５）。
全ての範囲で圧力が基準圧力を超えていない場合には、逆洗終了とする（Ｓ１１）。
Ｓ５で基準圧力を超える箇所がある場合には、制御手段８は洗浄流体吐出部材７６を移動させて吐出口８０ｃを逆洗不十分の箇所へ対向させる（Ｓ６）。
吐出口８０ｃが逆洗不十分の箇所へ対向したら、逆洗を開始し（Ｓ７）、該逆洗時の圧力を記録する。
逆洗開始後、圧力が基準圧力以下になったか否かを判断し（Ｓ８）、基準圧力以下になったら逆洗を停止する（Ｓ３）。
【００７２】
Ｓ８で圧力が基準圧力以下にならない場合には、所定時間まで逆洗を行う。
次に、所定時間が経過したか否かを判断し（Ｓ９）、所定時間経過したら、逆洗を停止する（Ｓ３）。
このように、基準圧力を超える箇所を選択的に規定回数まで繰り返し逆洗を行うことで、逆洗に要する時間と逆洗液（逆洗用流体）の排出量を抑えることができる。
Ｓ７の逆洗では、Ｓ１の逆洗よりも逆洗液の流量を増やすなど、より強力に洗浄できる条件に変更してもよい。
【００７３】
上記のように、本制御例では、フィルタ１３２の全面の逆洗を一定の移動速度行い、汚れている場所がないかを記憶された圧力データから判定する。
汚れている場所がない場合には逆洗終了とし、汚れている場所があればその汚れている場所へ洗浄流体吐出部材７６の吐出口８０ｃを移動して逆洗を行う。
これにより、無駄なく効率的に逆洗を行うことができる。
また、逆洗を規定回数行っても汚れが取れない場合には、フィルタ交換の指示を出すようにすることで、結果的に逆洗ができない箇所に無駄に時間をかけることを回避することができる。
【００７４】
吐出口８０ｃは、例えば軸方向に２つ設けるなど複数形成してもよいが、逆洗圧をモニタしながら確実に洗浄するためには、単一のスリットを移動させる方式が望ましい。吐出口８０ｃのスリットの軸方向の幅は狭い方が吐出圧を大きくできるので望ましい。
洗浄流体吐出部材７６の移動速度を一定とし、逆洗圧が高かった部分だけを再度洗浄する制御としてもよい。
【００７５】
図１６に示すように、本体部７８と同様の本体部８２と、本体部８２の下端部に設けられ、フィルタ１３２の周方向及び軸方向の一部のみに対向する吐出部８４とからなる洗浄流体吐出部材８６としてもよい（第３の実施形態）。
吐出部８４は第１の実施形態における洗浄流体吐出部材７０と同様の断面形状を有し、軸方向の一部分に開口するスリット状の吐出口８４ａを備えている。
すなわち、第１の実施形態と第２の実施形態と混合構成である。本実施形態では、洗浄流体吐出部材８６を回転させながら軸方向に移動させる制御となる。
【００７６】
第１の実施形態における回転方式の洗浄流体吐出部材７０は、構造がシンプルであり、径が大きく軸方向の長さが短いフィルタに適している。
第２の実施形態における移動方式の洗浄流体吐出部材７６は、径が小さく軸方向の長さが長いフィルタに適している。
第３の実施形態における回転＋移動の組み合わせ方式の洗浄流体吐出部材８６は、フィルタにおける汚れの付着具合のバラツキが大きい場合や、局所的に酷く汚れている場合に適している。
【００７７】
第１の実施形態における軸方向に開口する吐出口７０ｂのスリットの面積と、第２の実施形態における吐出口８０ｃのスリットの面積とを比較した場合、より少ない面積のスリットを形成できるタイプを用いる方が無駄なく効率的に逆洗を行うことができる。
スリットの幅が同一の場合、フィルタ１３２の内面の半径をｒ、フィルタ１３２の内面の軸方向の長さをＬとすると、Ｌがｒの約６．３倍以上になるときは、移動方式の洗浄流体吐出部材７６の方がより少ない面積となり、集中して逆洗することができる。
各タイプにおける吐出口の概算面積Ｐは以下の式で算出される。
Ｐ＝Ｌ×スリット幅（回転方式）
Ｐ＝２πｒ×スリット幅（移動方式）
【００７８】
回転方式では、フィルタ１３２の内面の軸方向の長さＬと同じ長さの吐出口を用いないと、フィルタ１３２の全面を逆洗することができない。
回転＋移動の組み合わせ方式では、軸方向への吐出口の長さを短くしても、フィルタ１３２の全面を逆洗することができ、最も少ない面積のスリットで逆洗することができる。
但し、軸方向への吐出口の長さを短くするほど、全面を逆洗するために必要な回転数が多くなり、結果的に回転方式や移動方式に比べて時間がかかる可能性がある。
フィルタの形状や汚れの付着具合のバラツキ等を考慮して、適した方式を採用することができる。
【００７９】
上記各実施形態では、洗浄流体吐出部材７０、７６、８６をフィルタ１３２の内側に配置する構成としたが、本発明はこれに限定されない。
熱交換器２６から出た処理済み流体がフィルタ１３２の内側に流入して外側から排出される構成においては、洗浄流体吐出部材７０、７６、８６は吐出口７０ｂ、８０ｃ、８４ａがフィルタ１３２の外周面に近接するように配置され、フィルタ１３２の外周面に沿って旋回移動するように駆動される。
【００８０】
上記実施形態ではフィルタ手段を２つ並列に配置する構成としたが、３つ以上のフィルタ手段を複数並列配置してそれぞれのフィルタ手段を逆洗できる構成としてもよい。
また、予備のフィルタ手段を設けずにフィルタ手段１１３のみを配置した構成とし、熱交換器２６を出た処理済み流体を逆洗済み液タンク１２３に導入しながら、フィルタ手段１１３を逆洗するようにしてもよい。
このようにしても、運転を停止せずに逆洗を行う、いわゆるオンライン逆洗が可能である。運転を停止して逆洗を実施するようにしてもよい。
上記実施形態では流体ろ過装置を高圧の流体処理装置へ適用した場合を例示したが、本発明に係る流体ろ過装置は、大気圧下での処理装置にも同様に適用できる。
【００８１】
以上、本発明の好ましい実施の形態について説明したが、本発明はかかる特定の実施形態に限定されるものではなく、上述の説明で特に限定しない限り、特許請求の範囲に記載された本発明の趣旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
本発明の実施の形態に記載された効果は、本発明から生じる最も好適な効果を例示したに過ぎず、本発明による効果は、本発明の実施の形態に記載されたものに限定されるものではない。
【符号の説明】
【００８２】
８  制御手段
５３  減圧手段としての出口弁
６２  洗浄圧検知手段としての圧力計
７０、７６、８６  洗浄流体吐出部材
７０ａ、８０ｃ、８４ａ  吐出口
７４  駆動源
１１３、１１３’、２１３  流体ろ過装置としてのフィルタ手段
１３０  管状体
１３２  フィルタ
１３４  付着物としての固形物
【先行技術文献】
【特許文献】
【００８３】
【特許文献１】特開２００１−９４８２号公報
【特許文献２】特許第３０３６０７７号公報
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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