(57)【要約】【課題】作業室と該作業室内で作業する作業装置とを有するアイソレータにおいて、作業装置から作業室内へのコンタミネーションと、作業室を除染する除染ガスによる作業装置内部の腐食とを抑制する。【解決手段】アイソレータ１０は、作業室１４と、作業室１４内に空気を供給する空気供給部３０と、作業室１４内に除染ガスを供給する除染ガス供給部４６と、作業室１４内に連通して作業室内の空気または除染ガスを排気する排気路２０Ｃと、作業室１４内で動作して作業を行う動作部５２を備え、且つ、一部が排気路２０Ｃ内に露出した状態で作業室１４に配置されている作業装置５０と、を有する。作業装置５０が、排気路２０Ｃ内に露出する作業装置５０の部分に設けられて該作業装置５０の内部と該排気路２０Ｃ内とを連通し、排気路２０Ｃ内の気流Ｆｕによって作業装置５０の内部の空気または除染ガスを該排気路２０Ｃ内に誘引するための誘引口５４ｃを備える。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
作業室と、
作業室内に空気を供給する空気供給部と、
作業室内に除染ガスを供給する除染ガス供給部と、
作業室内に連通して作業室内の空気または除染ガスを排気する排気路と、
作業室内で動作して作業を行う動作部を備え、且つ、一部が排気路内に露出した状態で作業室に配置されている作業装置と、を有し、
作業装置が、排気路内に露出する作業装置の部分に設けられて該作業装置の内部と該排気路内とを連通し、排気路内の気流によって作業装置の内部の空気または除染ガスを該排気路内に誘引するための誘引口を備える、アイソレータ。
【請求項２】
誘引口が、排気路内に露出し、且つ、排気流が沿うように流れる作業装置の表面に形成されている、請求項１に記載のアイソレータ。
【請求項３】
作業装置が、作業室内と作業装置内部とを連通する取り込み口を備える、請求項１または２に記載のアイソレータ。
【請求項４】
作業装置の取り込み口を開閉する開閉弁を有する、請求項３に記載のアイソレータ。
【請求項５】
作業装置の誘引口を開閉する第２の開閉弁を有する、請求項１から４のいずれか一項に記載のアイソレータ。
【請求項６】
作業装置の誘引口を横切る排気流の流速を増加させる整流板が、誘引口に間隔をあけて対向するように排気路内に設けられている、請求項１から５のいずれか一項に記載のアイソレータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外部と隔離された状態で作業を行うためのアイソレータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、外部と隔離された状態で、例えば、実験、製造、分析などの作業を行うためにアイソレータが使用されている。
【０００３】
例えば、特許文献１に記載されたアイソレータは、外部と隔離されて作業が行われる作業室と、その作業に使用する作業装置としてのロボットとを有する。
【０００４】
特許文献１に記載されたアイソレータの場合、ロボットが作業室内で作業をしている間は、吸気装置がロボット内部を吸引することによってロボットの内圧が作業室内の圧力に比べて低圧にされる。これにより、シール部などの隙間を介してロボット内部から作業室内に浮遊微粒子（パーティクル）などが流出すること（ロボット内部から作業室内へのコンタミネーション）が抑制される。
【０００５】
また、作業室内が除染ガスによって除染されている間は、送気装置がロボット内部に空気を送ることによってロボットの内圧が作業室内の圧力に比べて高圧にされる。これにより、摺動部などの隙間を介してロボット内部に除染ガスが侵入することが抑制される。その結果、除染ガスによるロボット内部の腐食が抑制される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−３３０３４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、特許文献１に記載されたアイソレータの場合、ロボット内部から作業室へのコンタミネーションを抑制するために、また除染ガスによるロボット内部の腐食を抑制するために、ロボット内部を吸気する吸気装置とロボット内部に空気を供給する送気装置とが必要である。
【０００８】
また、送気装置がロボット内部に空気を送ることにより、シール部などの隙間を介して摺動部の発塵やロボット内部の粉じんなどが作業室内に侵入して残留する可能性がある。
【０００９】
そこで、本発明は、作業室と該作業室内で作業する作業装置とを有するアイソレータにおいて、作業装置内部に対して送吸気する装置を用いることなく、作業装置から作業室内へのコンタミネーションと、作業室を除染する除染ガスによる作業装置内部の腐食とを抑制することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記技術的課題を解決するために、本発明の一態様によれば、
作業室と、
作業室内に空気を供給する空気供給部と、
作業室内に除染ガスを供給する除染ガス供給部と、
作業室内に連通して作業室内の空気または除染ガスを排気する排気路と、
作業室内で動作して作業を行う動作部を備え、且つ、一部が排気路内に露出した状態で作業室に配置されている作業装置と、を有し、
作業装置が、排気路内に露出する作業装置の部分に設けられて該作業装置の内部と該排気路内とを連通し、排気路内の気流によって作業装置の内部の空気または除染ガスを該排気路内に誘引するための誘引口を備える、アイソレータが提供される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、作業室と該作業室内で作業する作業装置とを有するアイソレータにおいて、作業装置内部に対して送吸気する装置を用いることなく、作業装置から作業室内へのコンタミネーションと、作業室を除染する除染ガスによる作業装置内部の腐食とを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施の形態に係るアイソレータの概略的な正面図
【図２】一例の作業装置が取り付けられた状態を示す、正面側から見たアイソレータの断面図
【図３】一例の作業装置が取り付けられた状態を示す、右側面側から見たアイソレータの断面図
【図４】一例の作業装置が取り付けられた状態を示す、上面側から見たアイソレータの上面図
【図５】アイソレータ内部の気流を示す、正面側から見たアイソレータの断面図
【図６】アイソレータ内部の気流を示す、右側面側から見たアイソレータの断面図
【図７】除染装置が設けられた状態のアイソレータの正面図
【図８】一例の作業装置の内部を示す、アイソレータの右側面側から見た部分断面図
【図９】一例の作業装置の内部を示す、アイソレータの上面側から見た部分断面図
【図１０Ａ】一例の作業装置が取り付けられる前の状態を示す、右側面側から見たアイソレータの断面図
【図１０Ｂ】一例の作業装置が内側ブラケットに取り付けられる様子を示す、右側面側から見たアイソレータの断面図
【図１０Ｃ】外側ブラケットがアイソレータに取り付けられる様子を示す、右側面側から見たアイソレータの断面図
【図１１】内側ブラケットや外側ブラケットに設けられた複数のシール部材を示す、右側面側から見たアイソレータの部分断面図
【図１２】別例の作業装置が取り付けられた状態を示す、正面側から見たアイソレータの断面図
【図１３】別例の作業装置が取り付けられた状態を示す、右側面側から見たアイソレータの断面図
【図１４】別例の作業装置の内部を示す、アイソレータの右側面側から見た部分断面図
【図１５】別例の作業装置の内部を示す、アイソレータの上面側から見た部分断面図
【図１６】誘引口の機能を説明するための流路モデルを示す図
【図１７】二重壁の内部空間における作業装置周辺の気流の流れを示す、アイソレータの正面側から見た図
【図１８】整流板が配置された二重壁の内部空間における作業装置周辺の気流の流れを示す、アイソレータの正面側から見た図
【図１９】作業室の除染の流れの一例を示すフロー図
【図２０】作業室の除染の流れの別例を示すフロー図
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明の一態様のアイソレータは、作業室と、作業室内に空気を供給する空気供給部と、作業室内に除染ガスを供給する除染ガス供給部と、作業室内に連通して作業室内の空気または除染ガスを排気する排気路と、作業室内で動作して作業を行う動作部を備え、且つ、一部が排気路内に露出した状態で作業室に配置されている作業装置と、を有し、作業装置が、排気路内に露出する作業装置の部分に設けられて該作業装置の内部と該排気路内とを連通し、排気路内の気流によって作業装置の内部の空気または除染ガスを該排気路内に誘引するための誘引口を備える。
【００１４】
この態様によれば、作業室と該作業室内で作業する作業装置とを有するアイソレータにおいて、作業装置内部に対して送吸気する装置を用いることなく、作業装置から作業室内へのコンタミネーションと、作業室を除染する除染ガスによる作業装置内部の腐食とを抑制することができる。
【００１５】
誘引口は、排気路内に露出し、且つ、排気流が沿うように流れる作業装置の表面に形成されてもよい。これにより、誘引口を介する作業装置内部の除染ガスの排出を短時間で行うことができる。
【００１６】
作業装置は、作業室内と作業装置内部とを連通する取り込み口を備えてもよい。これにより、作業装置内部に多くの空気を取り込むことができ、その多量の空気によって作業装置内の除染ガスを誘引口を介して外部に短時間で押し流すことができる。
【００１７】
アイソレータは、作業装置の取り込み口を開閉する開閉弁を有してもよい。これにより、作業室に除染ガスが供給されている間、取り込み口を介して作業装置内に除染ガスが流入することが抑制される。
【００１８】
アイソレータは、作業装置の誘引口を開閉する第２の開閉弁を有してもよい。これにより、隙間を介して作業室から作業装置内部に侵入する除染ガスの量を少なく抑制することができる。
【００１９】
作業装置の誘引口を横切る排気流の流速を増加させる整流板を、誘引口に間隔をあけて対向するように排気路内に設けてもよい。これにより、誘引口を介する作業装置内部の除染ガスの排出を短時間で行うことができる。
【００２０】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２１】
図１は、本発明の一実施の形態に係るアイソレータを概略的に示している。なお、図面においてＸ−Ｙ−Ｚ直交座標系が示されているが、これは発明の実施の形態の理解を容易にするためのものであって発明を限定するものではない。また、Ｘ軸方向はアイソレータの奥行方向であって、Ｙ軸方向はアイソレータの幅方向であって、Ｚ軸方向はアイソレータの高さ方向である。
【００２２】
また、図２は、アイソレータ１０の正面側から見た該アイソレータ１０の断面（Ｙ−Ｚ平面と平行な断面）を示している。図３は、アイソレータ１０の右側面側から見た該アイソレータ１０の断面（Ｚ−Ｘ平面と平行な断面図）を示している。そして、図４は、上面側から見たアイソレータ１０の断面（Ｘ−Ｙ平面と平行な断面）を示している。
【００２３】
図１に示すように、アイソレータ１０は、直方体形状の筐体１２と、筐体１２内に設けられた作業室１４とを有する。なお、本実施の形態に係るアイソレータ１０は、無菌操作などの無菌環境下での作業を行うためのアイソレータであって、作業室１４は無菌状態で維持されている。
【００２４】
アイソレータ１０の筐体１２の正面壁１２ａには、作業者が作業室１４内にアクセスするとともに該作業室１４内を視認するための開閉可能なガラス扉１６が設けられている。そのガラス扉１６には、ガラス扉１６を閉じた状態で作業室１４の外部の作業者が作業室１４内で手作業をするためのグローブ１８が設けられている。
【００２５】
図２〜４に示すように、作業室１４は、ほぼ直方体形状の空間であって、筐体１２内に設けられた、作業室左側壁１４ａ、作業室右側壁１４ｂ、作業室奥側壁１４ｃ、作業室床板１４ｄ、作業室天板１４ｅ、およびガラス扉１６によって画定されている。
【００２６】
図２および図４に示すように、作業室左側壁１４ａは、間隔をあけて筐体１２の左側面壁１２ｂに対向するように該筐体１２内に設けられている。この作業室左側壁１４ａと筐体１２の左側面壁１２ｂとにより、左側の二重壁２０Ａが構成されている。
【００２７】
図２および図４に示すように、作業室右側壁１４ｂは、間隔をあけて筐体１２の右側面壁１２ｃに対向するように該筐体１２内に設けられている。この作業室右側壁１４ｂと筐体１２の右側面壁１２ｃとにより、右側の二重壁２０Ｂが構成されている。
【００２８】
図３および図４に示すように、作業室奥側壁１４ｃは、間隔をあけて筐体１２の背面壁１２ｄに対向するように該筐体１２内に設けられている。この作業室奥側壁１４ｃと筐体１２の背面壁１２ｄとにより、奥側の二重壁２０Ｃが構成されている。
【００２９】
すなわち、作業室１４は、筐体１２の正面側を除いて、二重壁２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃによって外部から隔離されている。
【００３０】
なお、作業室床板１４ｄは、筐体１２の内部を上部空間Ｓ１と下部空間Ｓ２とに分割する隔壁１２ｅに間隔をあけて対向するように該筐体１２内に設けられている。作業室１４を画定する作業室左側壁１４ａ、作業室右側壁１４ｂ、作業室奥側壁１４ｃ、作業室床板１４ｄ、および作業室天板１４ｅは、上部空間Ｓ１内に配置されている。また、隔壁１２ｅと作業室床板１４ｄとにより、二重床２２が構成されている。
【００３１】
図２および図３に示すように、筐体１２の上部空間Ｓ１内であって且つ作業室１４の上方には、すなわち作業室天板１４ｅの上方には、作業室１４内に向かって下方向に空気を送る複数のファン３０が配置されている。複数のファン３０から送風された空気を作業室１４内に流入させるために、作業室天板１４ｅには複数の吸気孔３２が形成されている。
【００３２】
なお、作業室１４内への浮遊微粒子の侵入を抑制するために、複数のファン３０と作業室天板１４ｅとの間にはフィルタ３４が配置されている。フィルタ３４は、例えば、ＨＥＰＡ(High Efficiency Particulate Air)フィルタである。
【００３３】
作業室１４の作業室床板１４ｄには、作業室１４内の空気を排気するための複数の排気孔３６が形成されている。図４に示すように、複数の排気孔３６は、作業室床板１４ｄの外縁に沿って形成されている。
【００３４】
また、図２に示すように、作業室左側壁１４ａ、作業室右側壁１４ｂ、作業室奥側壁１４ｃそれぞれの下部にも複数の排気孔３８が形成されている。
【００３５】
図５および図６に示すように、作業室１４の上方に配置された複数のファン３０から送風された空気は、作業室天板１４ｅの複数の吸気孔３２を通過し、作業室１４内に流入する。その結果、作業室１４内に一様に下降流Ｆｄが発生する。
【００３６】
作業室１４内の空気は、作業室床板１４ｄの複数の排気孔３６と、作業室左側壁１４ａ、作業室右側壁１４ｂ、および作業室奥側壁１４ｃそれぞれの複数の排気孔３８とを介して作業室１４から流出する。そして、作業室１４内の空気は、二重壁２０Ａ、２０Ｂ、および２０Ｃと二重床２２それぞれの内部空間内に進入する。これにより、作業室１４が換気される。
【００３７】
二重壁２０Ａ、２０Ｂ、および２０Ｃと二重床２２それぞれの内部空間に進入した空気は、作業室１４の上方に配置された複数のファン３０によって誘引されて該ファン３０に向かう。これにより、二重壁２０Ａ、２０Ｂ、および２０Ｃそれぞれの内部空間に、上昇流Ｆｕが発生する。最終的には、二重壁２０Ａ、２０Ｂ、および２０Ｃそれぞれの内部空間内の空気は、複数のファン３０に取り込まれ、再び作業室１４内に供給される。このようにして、複数のファン３０により、アイソレータ１０の上部空間Ｓ１内に作業室１４を通過する循環流（一点鎖線）が形成される。すなわち、複数のファン３０が、作業室１４内に空気を供給する空気供給部として機能するとともに、作業室１４内から二重壁２０Ａ、２０Ｂ、および２０Ｃの内部空間に進入する気流を発生させる気流発生部として機能する。また、二重壁２０Ａ、２０Ｂ、および２０Ｃと二重床２２が、作業室１４内から空気を排出するための排気路として機能する。なお、作業室１４内への異物侵入を抑制するために、複数のファン３０は、作業室１４内の圧力を所定の陽圧で維持する回転数で回転する。
【００３８】
なお、図５に示すように、アイソレータ１０の外部の空気（リフレッシュエアー）（その気流をＦｉｎで示す）をアイソレータ１０内に取り込むために、アイソレータ１０の筐体１２の上面１２ｆに取り込み口１２ｇが形成されている。また、アイソレータ１０の内部の空気（その気流をＦｏｕｔで示す）を外部に排出するために、排出口１２ｈがアイソレータ１０の上面１２ｆに形成されている。さらに、アイソレータ１０の内部の空気を排出口１２ｈを介して吸引して該アイソレータ１０の外部に吹き出すファン４０が、アイソレータ１０の上面１２ｆ上に配置されている。
【００３９】
なお、取り込み口１２ｇには、外部からアイソレータ１０内部への塵などの浮遊微粒子の侵入を抑制するためのフィルタ４２が設けられている。また、排出口１２ｈにもフィルタ４４が設けられている。
【００４０】
また、アイソレータ１０の作業室１４内を過酸化水素ガスなどの除染ガスによって除染する場合、図７に示すように、除染装置４６が設けられる。除染装置４６は、アイソレータ１０の筐体１２の取り込み口１２ｇを介してアイソレータ１０内に供給する。また、排出口１２ｈを介してアイソレータ１０内の除染ガスを回収する。アイソレータ１０内に供給された除染ガスは、複数のファン３０によって作業室１４内に向かって送風される。すなわち、除染装置４６が、作業室１４内に除染ガスを供給する除染ガス供給部として機能する。
【００４１】
このように、複数のファン３０がアイソレータ１０の上部に配置されることにより、具体的には作業室１４の上方に配置されることにより、作業室１４の下方にスペース、すなわち下部空間Ｓ２が形成される。下部空間Ｓ２は、例えば作業室１４内で使用される器具などの収納場所して利用可能である。また、詳細は後述するが、下部空間Ｓ２は、作業装置の一部を配置するための空間として使用される。
【００４２】
図３および図４に示すように、作業者は、グローブ１８を介して作業室１４内で、例えば検査などの作業を行う。その作業室内での作業に使用される作業装置が、アイソレータ１０に設けられている。
【００４３】
アイソレータ１０には、図２〜図４に示すように、遠心分離機５０などの作業装置が交換可能に選択的に取り付けられる。すなわち、アイソレータ１０が、異なる複数の作業装置を交換可能に且つ選択的に取り付け可能に構成されている。
【００４４】
また、図２〜４に示すように、遠心分離機５０などの作業装置は、二重壁を貫通するように該二重壁に取り付けられる。本実施の形態の場合、作業装置は、作業室奥側壁１４ｃと筐体１２の背面壁１２ｄとから構成される二重壁２０Ｃを貫通するように該二重壁２０Ｃに取り付けられている。
【００４５】
遠心分離機５０などの作業装置は、作業室１４内で動作して作業を行う動作部と、動作部を支持する本体部とを備え、その本体部の少なくとも一部が二重壁２０Ｃの内部空間内に配置されている。
【００４６】
例えば、遠心分離機５０は、図２〜図４に示すように、作業室１４内で動作して作業を行う動作部として、試料が収納された遠沈管Ｗ（遠心分離に使用する蓋付きの試験管）を保持した状態で回転する回転テーブル５２を備える。例えば、作業者がグローブ１８を介して遠心分離機５０の回転テーブル５２に遠沈管Ｗをセットする。
【００４７】
遠心分離機５０の本体部５４は、図８〜９に示すように、回転テーブル５２を回転させるモータ５６をその内部に有する。具体的には、回転テーブル５２に取り付けられたシャフト５８が、本体部５４内の軸受６０によって支持されている。また、シャフト５８がモータ５６に連結されている。
【００４８】
また、遠心分離機５０の本体部５４は、二重壁２０Ｃ、すなわち作業室奥側壁１４ｃと筐体１２の背面壁１２ｄとによって支持されている。さらに、本体部５４は、その一部分が二重壁２０Ｃの内部空間内に存在し（作業室奥側壁１４ｃと筐体１２の背面壁１２ｄとの間に存在し）、残りの部分がアイソレータ１０の外部に存在する。
【００４９】
遠心分離機５０の本体部５４におけるアイソレータ１０の外部に位置する部分は、遠心分離機５０を作業者が操作するための制御ボックス（外部装置）６２に対してケーブル６４を介して接続されている。なお、その制御ボックス６２は、アイソレータ１０の下部空間Ｓ２内、すなわち作業室１４の下方に配置されている。そのため、アイソレータ１０の設置面積を拡大することなく、遠心分離機５０の制御ボックス６２を配置することができる。
【００５０】
図１０Ａは、作業装置、具体的には遠心分離機５０が取り付けられる前の状態のアイソレータ１０を示している。
【００５１】
図１０Ａに示すように、作業室１４の作業室奥側壁１４ｃには、貫通穴１４ｆが形成されている。また、その貫通穴１４ｆに対向するように、筐体１２の背面壁１２ｄにも貫通穴１２ｊが形成されている。本実施の形態の場合、遠心分離機５０の回転テーブル５２などの作業装置の動作部は、筐体１２の背面側から、筐体１２の貫通穴１２ｊおよび作業室奥側壁１４ｃの貫通穴１４ｆを通過して作業室１４内に配置される。
【００５２】
遠心分離機５０などの作業装置の大きさはそれぞれ異なる。そのため、作業装置それぞれについて、作業装置と作業室奥側壁１４ｃの貫通穴１４ｆとの間の隙間の大きさおよび作業装置と筐体１２の背面壁１２ｄの貫通穴１２ｊとの間の隙間の大きさが異なる。
【００５３】
したがって、これらの隙間を塞ぐために、且つ、作業装置を二重壁２０Ｃ（作業室奥側壁１４ｃと背面壁１２ｄ）によって支持するために、作業装置それぞれについて、内側ブラケットおよび外側ブラケットが用意されている。すなわち、アイソレータ１０は、複数の作業装置を有するとともに、その作業装置それぞれに対応する内側ブラケットと外側ブラケットとを有する。
【００５４】
例えば、図３〜図４に示すように、アイソレータ１０は、遠心分離機５０に対して内側ブラケット（第１の作業室側壁）６６および外側ブラケット６８を有する。
【００５５】
遠心分離機５０用の内側ブラケット６６は、図１０Ｂに示すように、作業室１４の作業室奥側壁１４ｃの貫通穴１４ｆに挿入可能な形状である。内側ブラケット６６は、貫通穴１４ｆに挿入されることによって該貫通穴１４ｆを塞ぎ、作業室奥側壁１４ｃの一部として機能する。なお、内側ブラケット６６は、例えばボルト（図示せず）によって作業室奥側壁１４ｃに固定される。
【００５６】
内側ブラケット６６はまた、図１０Ｂに示すように、遠心分離機５０の回転テーブル５２が通過可能な貫通穴６６ａを備える。この貫通穴６６ａにより、遠心分離機５０の回転テーブル５２を、筐体１２の背面壁１２ｄ側から作業室１４内に配置することができる。
【００５７】
図１０Ｃに示すように、内側ブラケット６６の貫通穴６６ａを覆って塞ぐために、また内側ブラケット６６に遠心分離機５０を取り付けるために、遠心分離機５０の本体部５４は、フランジ部５４ａを備える。遠心分離機５０のフランジ部５４ａは、例えば、ボルト（図示せず）によって内側ブラケット６６に固定され、遠心分離機５０と内側ブラケット６６の貫通穴６６ａとの間の隙間を覆って塞ぐ。
【００５８】
このような内側ブラケット６６により、遠心分離機５０は、作業室奥側壁１４ｃを実質的に貫通するとともに、その作業室奥側壁１４ｃによって支持される。
【００５９】
一方、遠心分離機５０用の外側ブラケット６８は、図１０Ｃに示すように、遠心分離機５０の本体部５４に外挿可能なスリーブ状であって、また、筐体１２の背面壁１２ｄに固定されるフランジ部６８ａを備える。
【００６０】
図１０Ｃに示すように、作業室奥側壁１４ｃに固定された内側ブラケット６６に遠心分離機５０（そのフランジ部５４ａ）が固定された後、その遠心分離機５０の本体部５４に外側ブラケット６８が外挿される。そして、外側ブラケット６８のフランジ部６８ａは、貫通穴１２ｊと遠心分離機５０の本体部５４との間の隙間を覆って塞ぎ、筐体１２の背面壁１２ｄの一部として機能する。また、外側ブラケット６８のフランジ部６８ａは、例えばボルト（図示せず）によって筐体１２の背面壁１２ｄに固定される。
【００６１】
このような外側ブラケット６８により、遠心分離機５０は、筐体１２の背面壁１２ｄを実質的に貫通するとともに、その背面壁１２ｄによって支持される。
【００６２】
したがって、遠心分離機５０は、二重壁２０Ｃを貫通して該二重壁２０Ｃに支持される。
【００６３】
なお、図１１に示すように、作業室１４の貫通穴１４ｆに挿入された内側ブラケット６６とその貫通穴１４ｆの内周面との間から空気が漏れないように、これらの間にはシール部材７０が設けられている。例えば、シール部材７０は、内側ブラケット６６に形成された溝に収容されている。
【００６４】
同様に、遠心分離機５０の本体部５４のフランジ部５４ａと内側ブラケット６６との間、外側ブラケット６８と遠心分離機５０の本体部５４との間、および外側ブラケット６８と筐体１２の背面壁１２ｄとの間それぞれにも、シール部材７２、７４、および７６が設けられている。
【００６５】
図１２および図１３は、遠心分離機５０に代わってアイソレータ１０に交換可能に取り付けられた別例の作業装置として、搬送装置９０が示されている。
【００６６】
搬送装置９０は、図１２および図１３に示すように、作業室１４内で動作して作業を行う動作部として、遠沈管Ｗを保持した状態で幅方向（Ｙ軸方向）にスライドするスライドテーブル９２を備える。
【００６７】
搬送装置９０の本体部９４は、図１２および図１３に示すように、二重壁２０Ｃを貫通するように該二重壁２０Ｃに支持されている。また、本体部９４の内部は、図１４および図１５に示すように、２つの空間９４ａ、９４ｂに区分されている。これらの作業空間９４ａ、９４ｂは、貫通穴９４ｅを介して連通している。作業室１４側の空間９４ａには、アイソレータ１０の幅方向（Ｙ軸方向）に延在するボールねじ９６と、ボールねじ９６に係合する可動ブロック９８と、ボールねじ９６の一端に連結されたプーリー１００とが収容されている。可動ブロック９８には、空間９４ａ内から開口９４ｃを介して作業室１４内に向かって延在し、スライドテーブル９２を支持するアーム１０２が設けられている。なお、開口９４ｃを塞ぐために、鉛直方向（Ｚ軸方向）に対向し合う一対のシール１０４Ａ、１０４Ｂが設けられている。アーム１０２は、この一対のシール１０４Ａ、１０４Ｂとの間を通過する。
【００６８】
一方、搬送装置９０の本体部９４の外部側の空間９４ｂには、プーリー１００とベルト１０６を介して駆動連結されたモータ１０８が収容されている。
【００６９】
モータ１０４がベルト１０６を介してプーリー１００を回転させることよってボールねじ９６が回転し、それにより可動ブロック９８がアイソレータ１０の幅方向（Ｙ軸方向）に移動する。その結果、可動ブロック９８にアーム１０２を介して取り付けられているスライドテーブル９２が移動する。
【００７０】
遠心分離機５０と同様に、搬送装置９０に対しても、図１３に示すように、内側ブラケット１１０と外側ブラケット１１２とが用意されている。この内側ブラケット１１０と外側ブラケット１１２とにより、搬送装置９０は、二重壁２０Ｃを貫通するように該二重壁２０Ｃに支持される。
【００７１】
上述したように、アイソレータ１０の作業室１４内は、所定の陽圧で維持されている（そのような回転数で複数のファン３０が回転する）。これにより、作業室１４内への異物の侵入を抑制する。
【００７２】
作業室１４内への浮遊微粒子の侵入の一例として、例えば作業装置からの侵入が挙げられる。
【００７３】
例えば、遠心分離機５０の場合、図８および図９に示すように、回転テーブル５２に取り付けられたシャフト５８を支持する軸受６０が本体部５４内に配置されている。また、本体部５４内にはモータ５６が配置されている。すなわち、遠心分離機５０は、その本体部５４内に、複数の摺動部を備える。このような摺動部からは摩耗粉などの浮遊微粒子が発生する。
【００７４】
遠心分離機５０内で発生した浮遊微粒子は、隙間を介して本体部５４内から作業室１４内に移動する可能性がある。例えば、シャフト５８と該シャフト５８が通過する本体部５４に形成された貫通穴５４ｂとの隙間を介して、浮遊微粒子が本体部５４内から作業室１４内に移動する可能性がある。
【００７５】
また、搬送装置９０の場合、図１５に示すように、例えば、ボールねじ９６と可動ブロック９８との間の摺動部から摩耗粉などの浮遊微粒子が発生する。
【００７６】
搬送装置９０の本体部９４内で発生した浮遊微粒子は、一対のシール１０４Ａ、１０４Ｂの間の隙間、特に、図１４に示すようにアーム１０２近傍の一対のシール１０４Ａ、１０４Ｂの部分の隙間を介して、本体部９４内から作業室１４内に移動する可能性がある。
【００７７】
このように、作業装置は作業室１４内で動作を行う動作部を備えるため、作業装置の内部と作業室１４内とを連通する隙間が潜在的に且つ蓋然的に存在する。
【００７８】
このような潜在的に且つ蓋然的な隙間を介して浮遊微粒子が作業装置内から作業室１４内に移動しないように、作業室１４内が所定の陽圧で維持されている。すなわち、作業室１４内の圧力が、作業装置の内部圧力に比べて高圧であるように維持されている。これにより、作業装置内から作業室１４内に向かう空気の流れの発生が抑制され、その結果として、作業装置内から作業室１４内への浮遊微粒子の移動、すなわちコンタミネーションが抑制される。
【００７９】
その一方、上述したようにおよび図７に示すように、除染装置４６から除染ガスが作業室１４内に供給される。その除染ガスの一部が、潜在的な且つ蓋然的な隙間を介して作業装置内に侵入する。作業装置内に侵入した除染ガスが長時間とどまると、作業装置の内部が除染ガスによって腐食される。
【００８０】
例えば、遠心分離機５０の場合、図８および図９に示すように、本体部５４内に配置されたシャフト５８や軸受６０などが除染ガスによって腐食され（錆び）、その結果として劣化する。
【００８１】
また例えば、搬送装置９０の場合、図１４および図１５に示すように、ボールねじ９６や可動ブロック９８などが除染ガスによって腐食される。
【００８２】
この対処として、作業室１４内に除染ガスを供給している間、作業装置の内部圧力を作業室の内部圧力に比べて高圧にすることにより、作業装置内への除染ガスの侵入を抑制することが考えられる。しかし、その場合、作業装置内に対して送吸気する装置が必要である。
【００８３】
また、本実施の形態のアイソレータ１０は、上述したように、遠心分離機５０、搬送装置９０などの異なる複数の作業装置を交換可能に且つ選択的に取り付けることが可能に構成されている。そのため、複数の作業装置それぞれの内部に対して送吸気する装置を設けることは、アイソレータ１０の複雑化を招く。
【００８４】
そこで、発明者は、作業装置の内部への除染ガスの侵入を抑制するのではなく、作業装置内に侵入した除染ガスを速やかに該作業装置の外部に排出することを考えた。具体的には、発明者は、排気路（すなわち、二重壁２０Ａ、２０Ｂ、および２０Ｃの内部空間）内に露出する作業装置の部分に、作業装置の内部と該排気路内とを連通し、且つ、排気路内の気流によって作業装置の内部の空気または除染ガスを該排気路内に誘引するための誘引口を設けることを考えた。
【００８５】
例えば、本実施の形態の場合、遠心分離機５０においては、図３および図６に示すように二重壁２０Ｃの内部空間（すなわち作業室奥側壁１４ｃと背面壁１２ｄとの間の空間）に位置する本体部５４の部分であって、且つ、アイソレータ１０の幅方向（Ｙ軸方向）両側の側面それぞれに誘引口５４ｃが形成されている。
【００８６】
また、例えば、搬送装置９０においては、図１３に示すように、二重壁２０Ｃの内部空間に位置する本体部９４の部分であって、且つ、アイソレータ１０の幅方向（Ｙ軸方向）両側の側面それぞれに誘引口９４ｄが形成されている。
【００８７】
このような誘引口の機能について、図１６に示す単純な流路モデルを例に挙げて説明する。図１６は、図５および図６に示す気流の流れを概略的且つ概念的に示したものである。
【００８８】
図５および図１６に示すように、作業室１４内には、複数のファン３０から空気が供給されて流速Ｖ１の気流Ｆｄが発生している。一方、図６および図１６に示すように、二重壁２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃの内部空間には、流速Ｖ２の気流Ｆｕが発生している。また、図１６に示すように、二重壁２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃの内部空間の流路断面積Ａ２が作業室１４の流路断面積Ａ１に比べて小さい。すなわち、図４に示すように、アイソレータ１０を上方から見た場合の面積が、二重壁２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃの内部空間の方が作業室１４に比べて小さい。
【００８９】
そのため、二重壁２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃの内部空間の気流Ｆｕの流速Ｖ２は、作業室１４内の気流Ｆｄの流速Ｖ１に比べて高速である。この高速な気流Ｆｕに誘引されることにより、遠心分離機５０の本体部５４の内部空間５４ｄの空気が、二重壁２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃの内部空間に誘引口５４ｃを介して排出される。すなわち、本体部５４の内部空間５４ｄから二重壁２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃの内部空間に向かう気流Ｆａ１が発生する。
【００９０】
気流Ｆａ１が発生すると、遠心分離機５０の本体部５４の内部空間５４ｄと作業室１４とを連通する隙間を介して、作業室１４内の空気の一部が本体部５４の内部空間５４ｄに侵入する。すなわち、作業室１４内から本体部５４の内部空間５４ｄ内に向かう気流Ｆａ２が発生する。
【００９１】
このように二重壁２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃの内部空間を流れる気流Ｆｕに誘引されて発生する気流Ｆａ１、Ｆａ２により、遠心分離機５０の本体部５４内の空気が外部に押し流される（排出される）。
【００９２】
したがって、除染ガスによる作業室１４の除染中において、隙間を介して作業室１４から遠心分離機５０の本体部５４内に侵入した除染ガスの一部は、誘引口５４ｃを介して二重壁２０Ｃの内部空間に排出される。本体部５４内に残る除染ガスは、作業室１４の除染終了後に作業室１４内に供給される空気が隙間を介して本体部５４内に侵入することにより、本体部５４内から二重壁２０Ｃの内部空間に押し流される。その結果、本体部５４内に収容されているシャフト５８や軸受６０などの除染ガスによる腐食が抑制される。
【００９３】
このような誘引口を介する作業装置内部の除染ガスの排出を短時間で行うために、誘引口は、二重壁２０Ｃの内部空間に露出し、且つ、排気流（気流Ｆｕ）が沿うように流れる作業装置の表面に形成されるのが好ましい。
【００９４】
例えば、図１７に示すように、二重壁２０Ｃの内部空間において、遠心分離機５０の本体部５４の周辺には、下から上に向かう鉛直方向（Ｚ軸方向）の気流Ｆｕが発生している。この気流Ｆｕの流れ方向に平行な表面５４ｅを、遠心分離機５０の本体部５４は備える。そのような遠心分離機５０の表面５４ｅに誘引口５４ｃが形成されている。これにより、気流Ｆｕの流れ方向とほぼ直交する表面に誘引口５４ｃを形成する場合に比べて、本体部５４内の除染ガスを、単位時間あたりより多く外部に排出することができる。その結果、遠心分離機５０の本体部５４内に侵入した除染ガスを短時間で外部に排出することができる。
【００９５】
さらに短時間で作業装置内部の除染ガスの排出を行うために、二重壁２０Ｃの内部空間に整流板を設けるのが好ましい。
【００９６】
例えば、さらに短時間で遠心分離機５０の本体部５４内から除染ガスを排出するために、図１８に示すように、二重壁２０Ｃの内部空間に整流板１４０が設けられる。整流板１４０は、誘引口５４ｃに間隔をあけて対向するように配置される。これにより、整流板１４０と遠心分離機５０の本体部５４との間を通過して誘引口５４ｃを横切る気流Ｆｕの流速が、整流板１４０がない場合に比べて高速化される。その結果、整流板１４０がない場合に比べて、本体部５４内の除染ガスを、単位時間あたりより多く外部に排出することができる。すなわち、遠心分離機５０の本体部５４内に侵入した除染ガスを短時間で外部に排出することができる。
【００９７】
よりさらに短時間で作業装置内部の除染ガスの排出を行うために、作業装置は、作業室１４内と作業装置内部とを連通する取り込み口を備えるのが好ましい。
【００９８】
例えば、図８に示すように、遠心分離機５０の本体部５４は、作業室１４とその内部空間５４ｄとを連通する取り込み口５４ｆを備える。
【００９９】
この取り込み口５４ｆにより、作業室１４内から遠心分離機５０の本体部５４内に流入する空気の量は増加する。すなわち、作業室１４内の空気の一部は、隙間に加えて、この取り込み口５４ｆを介して本体部５４内に流入する。
【０１００】
そのため、除染ガスによる作業室１４の除染終了後に該作業室１４内に空気を供給すると、取り込み口５４ｆがない場合に比べて、より多くの空気が遠心分離機５０の本体部５４内に流入する。その多量の空気により、本体部５４内に残る除染ガスを外部に短時間で押し流すことができる。
【０１０１】
なお、図１２〜図１５に示すように、搬送装置９０は、遠心分離機５０と異なり、取り込み口を備えていない。その理由は、取り込み口がなくても、一対のシール１０４Ａ、１０４Ｂの間から多くの空気が搬送装置９０の本体部９４内に流入することができるからである。
【０１０２】
取り込み口を備える場合、且つ、除染ガスによる作業室１４の除染が長時間にわたって実行される場合、取り込み口を開閉する弁（バルブ）を設けるのが好ましい。例えば、図８に示すように、遠心分離機５０は、取り込み口５４ｆを開閉するバルブ８０を備える。
【０１０３】
このバルブ８０の開閉タイミングを、図１９に示すフローを用いて説明する。
【０１０４】
まず、除染ガスによる作業室１４内の除染が開始される前、すなわち作業室１４内に空気が供給されている間、このバルブ８０は、取り込み口５４ｆを閉じている（取り込み口５４ｆはクローズ状態にされている）。
【０１０５】
作業室１４内の除染が開始されると、ステップＳ１０において、除染装置４６がアイソレータ１０内への除染ガスの供給を開始する。アイソレータ１０内に供給された除染ガスは、複数のファン３０によって作業室１４内に供給される。
【０１０６】
作業室１４内の除染が完了すると、ステップＳ１２において、除染装置４６がアイソレータ１０への除染ガスの供給を停止する。
【０１０７】
アイソレータ１０内の除染ガスを外部に排出するために、ステップＳ１４において、エアレーションが開始される。ここで言う「エアレーション」は、取り込み口１２ｇを介して外部からリフレッシュエアーをアイソレーション１０内部に取り込み、その取り込んだリフレッシュエアーによってアイソレーション１０内部の除染ガスを排出口１２ｈを介して外部に排出（パージ）することである。すなわち、アイソレーション１０内部の除染ガスを空気に入れ替えることである。
【０１０８】
エアレーションが開始されると、ステップＳ１６において、バルブ８０によって取り込み口５４ｆが開いた状態（オープン状態）にされる。それにより、作業室１４内の空気が取り込み口５４ｆを介して遠心分離機５０の本体部５４内に流入する。その結果、作業室１４への除染ガスの供給中において隙間を介して作業室１４から遠心分離機５０の本体部５４内に侵入した除染ガスが、誘引口５４ｃを介して二重壁２０Ｃの内部空間に排出され始める。
【０１０９】
所定の時間経過後、すなわち遠心分離機５０の本体部５４内から除染ガスが排出された後、ステップＳ１８において、バルブ８０は、取り込み口５４ｆをクローズ状態にする。
【０１１０】
バルブ８０が取り込み口５４ｆをクローズ状態にした後、ステップＳ２０において、エアレーションが停止される。
【０１１１】
このようなバルブ８０が取り込み口５４ｆをクローズすることにより、作業室１４に除染ガスが供給されている間において、遠心分離機５０の本体部５４内への除染ガスの流入が抑制される。また、作業室１４への除染ガスの供給が終了した後にバルブ８０が取り込み口５４ｆをオープン状態にする。それにより、取り込み口５４ｆを介して遠心分離機５０の本体部５４内に空気が取り込まれ、その空気によって本体部５４内の除染ガスが誘引口５４ｃを介して外部に短時間で排出される。
【０１１２】
作業装置において、誘引口を開閉する弁（バルブ）を設けてもよい。
【０１１３】
例えば、図９に示すように、遠心分離機５０は、誘引口５４ｃを開閉するバルブ８２を備える。また例えば、図１５に示すように、搬送装置９０は、誘引口９４ｄを開閉するバルブ１１４を備える。
【０１１４】
誘引口を開閉するバルブの開閉タイミングについて、図２０に示すフローを用いて説明する。また、遠心分離機５０を例に挙げて説明する。
【０１１５】
まず、除染ガスによる作業室１４内の除染が開始される前、すなわち作業室１４内に空気が供給されている間、バルブ８０によって取り込み口５４ｆはクローズ状態であって、バルブ８２によって誘引口５４ｃはオープン状態である。
【０１１６】
除染ガスによる作業室１４内の除染が開始されると、ステップＳ３０において、バルブ９２によって誘引口５４ｃがクローズ状態にされる。
【０１１７】
誘引口５４ｃがクローズ状態にされた後、ステップＳ３２において、除染装置４６がアイソレータ１０内に除染ガスの供給を開始する。アイソレータ１０内に供給された除染ガスは、複数のファン３０によって作業室１４内に供給される。
【０１１８】
除染ガスが作業室１４内に供給されているとき、誘引口５４ｃはバルブ８２によって閉じている。したがって、誘引口５４ｃが開いている場合に比べて、隙間を介して作業室１４から遠心分離機５０の本体部５４内に侵入する除染ガスの量が少なく抑制される。その結果、除染ガスのよる遠心分離機５０の本体部５４内の腐食が抑制される。
【０１１９】
作業室１４内の除染が完了すると、ステップＳ３４において、除染装置４６がアイソレータ１０への除染ガスの供給を停止する。
【０１２０】
アイソレータ１０内の除染ガスを外部に排出するために、ステップＳ３６において、エアレーションが開始される。
【０１２１】
エアレーションが開始されると、ステップＳ３８において、バルブ８２によって誘引口５４ｃがオープン状態にされ、続くステップＳ４０において、バルブ８０によって取り込み口５４ｆがオープン状態にされる。それにより、作業室１４内の空気が取り込み口５４ｆを介して遠心分離機５０の本体部５４内に流入する。その結果、作業室１４への除染ガスの供給中において隙間を介して作業室１４から遠心分離機５０の本体部５４内に侵入した除染ガスが、誘引口５４ｃを介して二重壁２０Ｃの内部空間に排出され始める。
【０１２２】
所定の時間経過後、すなわち遠心分離機５０の本体部５４内から除染ガスが排出された後、ステップＳ４２において、バルブ８０は、取り込み口５４ｆをクローズ状態にする。
【０１２３】
バルブ８０が取り込み口５４ｆをクローズ状態にした後、ステップＳ４４において、エアレーションが停止される。
【０１２４】
このようなバルブ８２が作業室１４の除染中に誘引口５４ｃをクローズ状態にすることにより、遠心分離機５０の本体部５４内に侵入する除染ガスの量が少なくなる（除染中に誘引口５４ｃがオープン状態である場合に比べて）。また、遠心分離機５０の本体部５４内に侵入する除染ガスの量が少ないため、その本体部５４から外部への除染ガスの排出に必要な時間が短縮される。
【０１２５】
以上のような本実施の形態によれば、作業室１４と該作業室１４内で作業する遠心分離機５０、搬送装置９０などの作業装置とを有するアイソレータ１０において、作業装置内部に対して送吸気する装置を用いることなく、作業装置から作業室１４内へのコンタミネーションと、作業室１４を除染する除染ガスによる作業装置内部の腐食とを抑制することができる。
【０１２６】
以上、上述の実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明の実施の形態はこれに限らない。
【０１２７】
例えば、上述の実施の形態の場合、例えば図５や図６に示すように作業室１４内の空気または除染ガスは二重壁２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃの内部空間内に排出され、作業装置は、その内部と二重壁の内部空間とを連通する誘引口（例えば、図９に示す遠心分離機５０の誘引口５４ｃや図１５に示す搬送装置９０の誘引口９４ｄ）を備える。しかしながら、本発明の実施の形態はこれに限らない。本発明に係る誘引口は、広義には、作業室内に連通して作業室内の空気または除染ガスを排気する排気路と作業装置内部とを連通する。
【０１２８】
また、上述の実施の形態の場合、図７に示す除染装置４６によってアイソレータ１０内に供給された除染ガスは、複数のファン３０に取り込まれて該ファン３０によって作業室１４内に供給される。これに代わって、ファン３０が停止状態であっても除染ガスを作業室１４内に供給できるように除染装置４６を構成してもよい。例えば、除染装置４６は、アイソレータ１０の作業室１４に向かって除染ガスを送出するポンプ（図示せず）を備えてもよい。
【産業上の利用可能性】
【０１２９】
本発明は、作業室と該作業室内で作業する作業装置とを有し、その作業室が除染ガスによって除染されるアイソレータに適用可能である。
【符号の説明】
【０１３０】
１０    アイソレータ
１４    作業室
２０Ｃ  排気路（二重壁）
３０    空気供給部（ファン）
５０    作業装置（遠心分離機）
５２    動作部（回転テーブル）
５４ｃ  誘引口
Ｆｕ    気流
【図１】
2016185585.tif 000003
【図２】
2016185585.tif 000004
【図３】
2016185585.tif 000005
【図４】
2016185585.tif 000006
【図５】
2016185585.tif 000007
【図６】
2016185585.tif 000008
【図７】
2016185585.tif 000009
【図８】
2016185585.tif 000010
【図９】
2016185585.tif 000011
【図１０Ａ】
2016185585.tif 000012
【図１０Ｂ】
2016185585.tif 000013
【図１０Ｃ】
2016185585.tif 000014
【図１１】
2016185585.tif 000015
【図１２】
2016185585.tif 000016
【図１３】
2016185585.tif 000017
【図１４】
2016185585.tif 000018
【図１５】
2016185585.tif 000019
【図１６】
2016185585.tif 000020
【図１７】
2016185585.tif 000021
【図１８】
2016185585.tif 000022
【図１９】
2016185585.tif 000023
【図２０】
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