(57)【要約】【課題】ピストンロッドを迅速に戻すようにしてワーク支持装置の操作性を向上する。【解決手段】支持ブロック１３のシリンダ孔１４に往復動自在に収容されたピストン１８にはピストンロッド１９が設けられている。前進用空気圧室２１には前進用流路３１から圧縮空気が供給され、後退用空気圧室２２には後退用流路３２から圧縮空気が供給される。ピストンロッド１９が前進限位置から下降可能位置まで移動すると、後退用空気圧室２２には戻し用流路５１から圧縮空気が供給される。前進限位置となってワークを支持していたピストンロッド１９は、戻し用流路５１からの圧縮空気により下降可能位置まで駆動された後に、後退用流路３２からの圧縮空気により戻される。【選択図】図３
2016119400.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに接触するピストンロッドが先端面に設けられたピストンを軸方向に往復動自在に収容し、前記ピストンの後端面側の前進用空気圧室と先端面側の後退用空気圧室とを形成するシリンダ孔が複数設けられた支持ブロックと、
前記前進用空気圧室に圧縮空気を供給して、前記ピストンに前進方向推力を加える前進用流路と、
前記後退用空気圧室に圧縮空気を供給して、前記ピストンに後退方向推力を加える後退用流路と、
前記ピストンロッドが貫通する貫通孔を有し、前記ピストンの前進限位置から下降可能位置までの間において前記後退用流路と前記後退用空気圧室との連通を遮断し、前記下降可能位置まで前記ピストンロッドが後退移動すると前記後退用流路と前記後退用空気圧室とを連通させる流路開閉部材と、
前記ピストンが前進限位置となったときに、前記流路開閉部材の前記貫通孔と前記ピストンロッドの後端部の括れ部との間に形成される連通孔と、
前記連通孔を介して前記後退用空気圧室に圧縮空気を供給して、前進限位置の前記ピストンに後退方向の戻し推力を加える戻し用流路と、
を有する、ワーク支持装置。
【請求項２】
請求項１記載のワーク支持装置において、前進限位置にある前記ピストンを、前記戻し用流路に供給される圧縮空気によって前記下降可能位置まで後退させ、それに引き続いて、前記後退用流路に供給される圧縮空気と前記戻し用流路に供給される圧縮空気とによって下降可能位置にある前記ピストンを後退移動させる、ワーク支持装置。
【請求項３】
請求項１または２記載のワーク支持装置において、全ての前記ピストンが前進限位置となった状態のもとで、部材の下面に設けられた突起物により、該突起物に対応した前記ピストンロッドを、前記下降可能位置まで後退移動させた後に、前記後退用流路からの圧縮空気により後退限位置まで後退移動させる、ワーク支持装置。
【請求項４】
請求項１または２記載のワーク支持装置において、全ての前記ピストンが前進限位置となった状態のもとで、アクチュエータに設けられた作動ロッドにより該作動ロッドに対応した前記ピストンロッドを下降限位置まで後退移動させる、ワーク支持装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のワーク支持装置において、前記流路開閉部材は、前記ピストンが前進限位置となったときに前記ピストンの先端面に接触するストッパ面と、前記ピストンに設けられたシール部材に、前記ピストンが前進限位置から前記下降可能位置に後退移動するまで接触するシール面とを有する、ワーク支持装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載のワーク支持装置において、前記前進用流路に圧縮空気を供給する前進用の電磁弁と、前記後退用流路に圧縮空気を供給する後退用の電磁弁と、前記戻し用流路に圧縮空気を供給する戻し用の電磁弁と、それぞれの前記電磁弁を制御するバルブ制御部とを有し、前進方向推力、後退方向推力および戻し推力とを前記バルブ制御部からの信号により自動的に供給するようにした、ワーク支持装置。
【請求項７】
請求項１〜５のいずれか１項に記載のワーク支持装置において、隣り合う側面が相互に直角となった４つの側面が設けられた前記支持ブロックにより支持ユニットを形成し、それぞれの前記前進用流路に連通する前進用ポートと、それぞれの前記後退用流路に連通する後退用ポートと、それぞれの戻し用流路に連通する戻し用ポートとを、相互に平行となった縦方向の接続面を形成する２つの前記側面に開口させて設け、前記縦方向の接続面で突き合わせて複数の前記支持ユニットを連結することにより、複数の前記支持ユニットを直線状に配置した、ワーク支持装置。
【請求項８】
請求項７記載のワーク支持装置において、それぞれの前記前進用流路に連通する前進用ポートと、それぞれの前記後退用流路に連通する後退用ポートと、それぞれの戻し用流路に連通する戻し用ポートとを、相互に平行であって前記縦方向の接続面に対して直角方向となった横方向の接続面を形成する２つの前記側面に開口させて設け、前記横方向の接続面で突き合わせて複数の前記支持ユニットを連結し、複数の前記支持ユニットを平面状に配置した、ワーク支持装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載のワーク支持装置において、前記支持ブロックに往復動自在に装着されるロックプレートに、前記ピストンロッドが貫通する貫通孔を設け、前記ピストンロッドに設けられた係合部に係合して前記ピストンロッドを固定するロック部を、前記ロックプレートに設けた、ワーク支持装置。
【請求項１０】
請求項９記載のワーク支持装置において、前記ロック部は、前記ピストンロッドが前進限位置と下降限位置の少なくともいずれか一方の位置となったときに、前記係合部に係合するようにした、ワーク支持装置。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載のワーク支持装置を有し、当該ワーク支持装置を制御してワークを処理する産業用設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のロッドにより板状のワークを支持するワーク支持装置に関し、例えば、ＩＣ等の電子部品が搭載されるプリント基板などをワークとしてこれを支持するために適用されるワーク支持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント基板ないし実装基板にクリームハンダを塗布する際には、ハンダが塗布されるパターンが形成されたマスキング板材を実装基板に取り付けた状態でクリームハンダを塗布するようにしている。また、プリント基板などの実装基板に対してＩＣ，ＬＳＩ、コンデンサおよび抵抗体などの電子部品を搭載する場合には、実装基板をコンベアなどにより搭載ステージにまで搬送し、その搭載ステージにおいて搭載装置などにより自動的に種々の電子部品を実装基板に搭載するようにしている。搭載ステージにおいては、実装基板を所定の位置に位置決めした後に、チップマウンタとも言われる搭載装置の搬送ヘッドによって部品収容部から部品を掴んで搭載したり、部品を真空吸着して実装基板まで搬送して搭載するようにしている。
【０００３】
このように、産業用設備としてのハンダ塗布ステージや搭載ステージには実装基板を支持するために、ワーク支持装置が設けられている。プリント基板を複数本のピストンロッドにより支持するようにしたプリント基板の支持装置が特許文献１に記載されている。この支持装置のように、プリント基板のみならず、プリント基板の下面に搭載された電子部品等の突起物にもピストンロッドに接触させるようにすると、ピストンロッドにより電子部品が損傷する恐れがある。
【０００４】
これに対し、特許文献２に記載されるように、複数本のピストンロッドのうち、プリント基板の下面に搭載された突起物としての電子部品を避けて、プリント基板のみにピストンロッドを接触させるようにしてプリント基板を支持するようにすると、電子部品を損傷させることなく、プリント基板を支持することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平６−８５４９６号公報
【特許文献２】特開２００３−３４７７９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
電子部品が搭載された位置が相違する複数種類のプリント基板を、１台の支持装置によって支持するためには、特許文献２に記載されるように、複数本のピストンロッドのうち、プリント基板つまりワークに直接接触させるピストンロッドのみをワーク支持位置とし、電子部品等の突起物に接触する位置となるピストンロッドを電子部品から離す必要がある。特許文献２に記載されるワーク支持装置においては、支持するプリント基板等のワークの種類が変更されたときには、プリント基板に接触してワークを支持していたピストンロッドを突出限位置から初期位置に戻す操作が行われる。この戻し操作を行うには、前進限位置となった全てのピストンロッドに外力を加えて後退移動する必要がある。従来では、この戻し操作は、作業者の手作業やロボットを用いて行う必要がある。このため、ピストンロッドの戻し操作に時間がかかることになる。
【０００７】
本発明の目的は、ピストンロッドを迅速に戻すようにしてワーク支持装置の操作性を向上することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のワーク支持装置は、ワークに接触するピストンロッドが先端面に設けられたピストンを軸方向に往復動自在に収容し、前記ピストンの後端面側の前進用空気圧室と先端面側の後退用空気圧室とを形成するシリンダ孔が複数設けられた支持ブロックと、前記前進用空気圧室に圧縮空気を供給して、前記ピストンに前進方向推力を加える前進用流路と、前記後退用空気圧室に圧縮空気を供給して、前記ピストンに後退方向推力を加える後退用流路と、前記ピストンロッドが貫通する貫通孔を有し、前記ピストンの前進限位置から下降可能位置までの間において前記後退用流路と前記後退用空気圧室との連通を遮断し、前記下降可能位置まで前記ピストンロッドが後退移動すると前記後退用流路と前記後退用空気圧室とを連通させる流路開閉部材と、前記ピストンが前進限位置となったときに、前記流路開閉部材の前記貫通孔と前記ピストンロッドの後端部の括れ部との間に形成される連通孔と、前記連通孔を介して前記後退用空気圧室に圧縮空気を供給して、前進限位置の前記ピストンに後退方向の戻し推力を加える戻し用流路と、を有する。
【発明の効果】
【０００９】
ワークを支持するために前進限位置となっていたピストンロッドは、戻し用流路からの圧縮空気により自動的に下降可能位置まで後退移動される。下降可能位置となったピストンロッドは、後退用流路からの圧縮空気により後退限位置まで自動的に戻される。このように、ピストンロッドは下降可能位置まで後退移動され、引き続いて後退限位置まで駆動される。これにより、前進限位置のピストンロッドは迅速に戻され、次のワーク支持の準備を短時間で行うことができ、ワーク支持装置の操作性の向上が達成される。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】一実施の形態であるワーク支持装置を示す一部省略平面図である。
【図２】図１に示された１つの支持ユニットを示す拡大平面図である。
【図３】図２における３−３線断面図である。
【図４】図３における４−４線断面図である。
【図５】（Ａ）はピストンロッドが前進限位置となった状態を示す断面図であり、（Ｂ）はピストンロッドが外力により下降可能位置まで押し下げられた状態を示す断面図であり、（Ｃ）はピストンロッドが後退限位置まで駆動された状態を示す断面図である。
【図６】（Ａ）はピストンロッドが前進限位置となった状態を示す断面図であり、（Ｂ）は戻し用流路からの圧縮空気により下降可能位置まで駆動された状態を示す断面図であり、（Ｃ）はピストンロッドが後退限位置まで戻された状態を示す断面図であり、（Ｄ）はピストンロッドが後退限位置から準備位置まで前進駆動された状態を示す断面図である。
【図７】図１における７−７線拡大断面図である。
【図８】図７の左側面図である。
【図９】支持ブロックのポートに接続される空気圧配管を示す空気圧回路である。
【図１０】ピストンロッドの駆動制御のアルゴリズムを示すフローチャートである。
【図１１】（Ａ）〜（Ｅ）はワーク支持装置のピストンロッドを用いたワーク支持作業を示す工程図である。
【図１２】（Ａ）、（Ｂ）は不使用のピストンロッドを下降限位置まで移動する下降ユニットを示す正面図である。
【図１３】他の実施の形態であるワーク支持装置の要部を示す平面図である。
【図１４】図１３における１４−１４線方向の一部切欠き正面図である。
【図１５】図１４における１５−１５線方向の一部切欠き拡大平面図である。
【図１６】図１５の左側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１に示されるように、ワーク支持装置１０は、複数の支持ユニット１１を連結することにより組み立てられる。図１において左右方向をワーク支持装置１０の縦方向とし、上下方向をワーク支持装置の横方向とする。ワーク支持装置１０は、複数の支持ユニット１１を縦方向に直線状に連結して配置して形成されるユニット群１２を、横方向に突き合わせることにより平面上に配置して形成される。このワーク支持装置１０は、クリームハンダの塗布設備、電子部品の搭載設備に適用され、これらの産業用設備はワーク支持装置１０を有する形態となる。
【００１２】
図１においては、符号１１(a1)から１１(n1)で示すｎ個の支持ユニット１１を縦方向に連結して直線状に配置されるユニット群１２(a)のうち３つの支持ユニット１１(a1)，１１(b1)，１１(n1)が示され、横方向にｍ番目に配置されるユニット群１２(m)のうちの３つの支持ユニット１１(am)，１１(bm)，１１(nm)が示されている。例えば、ｎを１０とし、ｍを５とすれば、合計５０個の支持ユニット１１を組み合わせることにより、ワーク支持装置１０が組み立てられる。それぞれの連結台数ｎ，ｍはワークの種類に応じて任意の数に設定することができる。
【００１３】
１つの支持ユニット１１の基本構造を示すと、図２〜図４の通りである。支持ユニット１１は、図３に示されるように、直方体形状の支持ブロック１３を有し、支持ブロック１３には、シリンダ孔１４が上下方向に貫通して複数設けられている。シリンダ孔１４は、図４に示されるように、相互に所定間隔離れて設けられている。図４において左右方向を縦方向とし、上下方向を横方向とすると、縦方向と横方向にそれぞれ５列となってシリンダ孔１４が支持ブロック１３に設けられている。横方向のシリンダ孔１４の列を、図４において符号１５ａ〜１５ｅで示すシリンダ列とし、縦方向のシリンダ孔１４の列を、符号１６ａ〜１６ｅで示すシリンダ列とする。シリンダ列１５ａ，１５ｅの中央部にはシリンダ孔１４が設けられておらず、シリンダ列１５ｃの両側部にはシリンダ孔１４が設けられていない。シリンダ列１６ａ，１６ｅの中央部にはシリンダ孔１４が設けられておらず、シリンダ列１６ｃの両端部にはシリンダ孔１４が設けられていない。
【００１４】
他のシリンダ列１５ｂ，１５ｄ，１６ｂ，１６ｄは、一定の間隔を隔てて５つのシリンダ孔１４を有している。シリンダ列１５ａ，１５ｅ，１６ａ，１６ｅは、４つのシリンダ孔１４を有し、シリンダ列１５ｃ，１６ｃは、３つのシリンダ孔１４を有している。したがって、図４に示されるように、合計２１個のシリンダ孔１４が支持ブロック１３に設けられている。ただし、１つの支持ブロック１３に設けられるシリンダ孔１４の数は、図示する場合に限られることなく、任意の数とすることができる。
【００１５】
支持ブロック１３は、図４に示されるように、平面が正方形となっており、相互に平行となった２つの側面１７ａ，１７ｂと、これらの側面１７ａ，１７ｂに対してそれぞれ直角方向となって隣り合う２つの側面１７ｃ，１７ｄとを有している。それぞれの側面は接続面となっており、側面同士で他の支持ブロック１３を突き合わせることにより、任意の数の支持ユニット１１を、直線状つまり直線方向に、または平面状つまり平面方向に連結することができる。図４における側面１７ａ，１７ｂを横方向の接続面とし、側面１７ｃ，１７ｄを縦方向の接続面とする。ただし、支持ブロック１３に設けられたシリンダ孔１４は、中心部のシリンダ孔１４を中心として回転対称となって設けられているので、いずれを縦方向または横方向の接続面としても、支持ユニット１１を連結することができる。
【００１６】
それぞれのシリンダ孔１４には、図３に示されるようにピストン１８が軸方向に往復動自在に収容されている。ピストン１８には、図３における上面をピストン１８の先端面として、先端面にはピストンロッド１９が設けられており、ピストンロッド１９はピストン１８と一体となって先端面から突出している。シリンダ孔１４は、ピストン１８によってピストン後端面側の前進用空気圧室２１と、先端面側の後退用空気圧室２２とに区画されている。
【００１７】
支持ブロック１３の上面には、図２および図７に示されるように、複数本のねじ部材２３によりカバー２４が締結される。支持ブロック１３の下面には、図７に示されるように、複数本のねじ部材２５により脚部ブロック２６が締結される。支持ブロック１３にこれを貫通して設けられたシリンダ孔１４は、その上端がカバー２４により閉じられ、下端が脚部ブロック２６により閉じられている。それぞれのピストン１８に設けられたピストンロッド１９は、シリンダ孔１４に対応してカバー２４に設けられた貫通孔を貫通し上方に突出する。
【００１８】
図３に示されるように、支持ブロック１３には前進用空気圧室２１に連通する前進用流路３１が設けられており、この前進用流路３１から前進用空気圧室２１に圧縮空気が供給されると、ピストン１８を介してピストンロッド１９には支持ブロック１３から突出する方向の推力、つまり前進方向推力が加えられる。さらに、支持ブロック１３には後退用空気圧室２２に連通する後退用流路３２が設けられており、この後退用流路３２から後退用空気圧室２２に圧縮空気が供給されると、ピストン１８を介してピストンロッド１９には支持ブロック１３内に入り込む方向の推力、つまり後退方向推力が加えられる。この明細書においては、ピストンロッド１９が支持ブロック１３から突出する方向をピストン１８およびピストンロッド１９の前進方向とし、反対方向を後退方向とする。また、ピストン１８とピストンロッド１９の上端部側を先端部とし、下端部側を基端部つまり後端部とする。
【００１９】
シリンダ孔１４の上端部には、図３に示されるように、流路開閉部材２７が設けられている。流路開閉部材２７は、仕切り壁部２７ａとこれに一体となった円筒部２７ｂとを有し、仕切り壁部２７ａにはピストンロッド１９が貫通する貫通孔２８が設けられている。仕切り壁部２７ａの下側の面は、ピストンロッド１９が上昇限位置つまり前進限位置となったときにピストン１８の先端面に接触するストッパ面２９となっている。ピストン１８がストッパ面２９に接触すると、ピストンロッド１９は前進限位置に位置する。流路開閉部材２７の円筒部２７ｂにはシール面３３が設けられており、ピストン１８の先端部にはシール面３３に接触するシール部材３４が設けられている。シール部材３４がシール面３３に接触すると、ピストン１８の上端面側の後退用空気圧室２２と後退用流路３２との連通が遮断される。ピストン１８の後端部にはシリンダ孔１４の内周面に接触するシール部材３５が設けられており、このシール部材３５により前進用空気圧室２１のピストン１８側がシールされる。それぞれのシール部材３４，３５はＯリングである。
【００２０】
流路開閉部材２７の円筒部２７ｂには、後退用流路３２に対応させて導入孔３６が設けられている。ピストン１８がストッパ面２９に接触したときには、シール部材３４は円筒部２７ｂのシール面３３に接触し、後退用流路３２と後退用空気圧室２２の連通が遮断される。ピストンロッド１９が前進限位置から所定のストロークだけ後退移動する間においては、シール部材３４はシール面３３と接触する。ピストンロッド１９がそれ以上後退移動すると、シール部材３４はシール面３３から離れ、後退用流路３２と後退用空気圧室２２とが連通状態となる。後退用流路３２と後退用空気圧室２２とが連通状態となると、後退用流路３２から圧縮空気を供給することによって、ピストンロッド１９は後退移動する。このように、ピストンロッド１９が前進限位置から所定のストロークＬ1だけ下降移動することにより、後退用流路３２と後退用空気圧室２２とが連通状態となる位置を下降可能位置とする。図３に示された５本のピストンロッド１９には、それぞれカッコ書きでａ〜ｅの符号が付されており、ピストンロッド１９（ｂ）はピストン１８がストッパ面２９に接触した上昇限位置となっている。ピストンロッド１９（ｃ）はシール部材３４がシール面３３から離れた下降可能位置となっている。
【００２１】
シリンダ孔１４の下端部には、図３に示されるように、流路開閉部材３７が設けられている。流路開閉部材３７は、仕切り壁部３７ａとこれに一体となった円筒部３７ｂとを有している。仕切り壁部３７ａには弁孔３８が設けられ、円筒部３７ｂには、前進用空気圧室２１と前進用流路３１とを連通させる連通孔３９が設けられている。仕切り壁部３７ａの内面は、ピストンロッド１９が後退限位置となったときにピストン１８の後端面に接触するストッパ面４０となっている。ピストン１８がストッパ面４０に接触すると、ピストンロッド１９は後退限位置に位置する。流路開閉部材３７の円筒部３７ｂにはシール面４１が設けられており、ピストン１８の後端部のシール部材３５がシール面４１に接触するようになっている。ピストン１８が後退移動してシール部材３５がシール面４１に接触すると、前進用流路３１と前進用空気圧室２１との連通が遮断される。図３に示されたピストンロッド１９（ｄ）は、後退限位置となっている。
【００２２】
弁孔３８には弁部材４２が軸方向に移動自在に設けられており、弁部材４２には弁孔３８の内周面に接触するシール部材４３が設けられている。流路開閉部材３７に対向してシリンダ孔１４の下端部に設けられたばね受け部材４４と、流路開閉部材３７の仕切り壁部３７ａとの間にはばね部材４５が装着されている。このばね部材４５により、弁部材４２には弁孔３８を遮断する方向のばね力が加えられている。弁部材４２が弁孔３８を遮断した状態のもとでは、弁部材４２の先端部は前進用空気圧室２１内に突出する。したがって、後退用空気圧室２２に圧縮空気を供給することによって、ピストンロッド１９が後退限位置となると、弁部材４２がばね力に抗して後退移動する。このとき、前進用流路３１と前進用空気圧室２１との連通がシール部材３５により遮断される。図３に示したピストンロッド１９（ｄ）は、ピストンロッド１９が後退限位置となっており、前進用流路３１と前進用空気圧室２１との連通が遮断された状態を示す。
【００２３】
一方、後退用空気圧室２２内の圧縮空気が排出されると、ばね部材４５のばね力により弁部材４２が前進用空気圧室２１内に突出してピストンロッド１９を前進移動させる。これにより、前進用流路３１は前進用空気圧室２１に連通する状態となる。この状態のもとでは、前進用流路３１から前進用空気圧室２１に圧縮空気を供給することができる。この状態をピストンロッド１９を前進移動させることができる準備位置とする。ピストンロッド１９の後退限位置と準備位置との間の前進移動ストロークは、弁部材４２に設けられたストッパ４６が仕切り壁部３７ａに接触することにより規制される。弁部材４２がピストン１８によって押し下げられるときに、弁部材４２の後退側の部屋から空気を排出させるために、脚部ブロック２６には排気孔４７が設けられている。図３に示したピストンロッド１９（ａ），（ｅ）は、準備位置となっている。
【００２４】
ピストンロッド１９に後退方向の戻し推力を加えるための戻し用流路５１が、支持ブロック１３に設けられている。ピストン１８が前進限位置となったときに、流路開閉部材２７とシール部材３４により後退用空気圧室２２と後退用流路３２との連通が遮断される。その時に、戻し用流路５１に加圧空気を供給すると、ピストン１８に後退方向の戻し推力が加えられ、ピストン１８とピストンロッド１９が後退移動する。シリンダ孔１４の上端部には、円筒形状のガイド部材５２が設けられており、ガイド部材５２に設けられたガイド孔５３をピストンロッド１９が貫通している。ガイド部材５２には導入孔５４が設けられており、この導入孔５４の一端はガイド孔５３に開口し、他端が戻し用流路５１に開口している。ピストンロッド１９の後端部には括れ部５５が設けられている。この括れ部５５はピストンロッド１９の先端部側の外径よりも小径となっている。括れ部５５が貫通孔２８の位置となると、連通孔５６が貫通孔２８の内周面と括れ部５５の外周面との間で形成される。連通孔５６を介して、戻し用流路５１と後退用空気圧室２２が連通する。このように、括れ部５５と貫通孔２８により連通孔５６を形成すると、仕切り壁部２７ａに連通孔５６を形成する形態に比して、流路開閉部材２７の外径を小さくすることができる。これにより、支持ブロック１３のサイズを大きくすることなく、１台の支持ブロック１３に設けられるピストンロッド１９の数を増加させることができる。
【００２５】
図５および図６は、前進用流路３１と、後退用流路３２と、戻し用流路５１からの圧縮空気の供給によって、ピストンロッド１９が上下方向に移動した状態を示す。図５および図６は、それぞれ１本のピストンロッド１９の移動状態を示すが、全てのピストンロッド１９について同様である。
【００２６】
図５（Ａ）は、ピストンロッド１９が準備位置の状態で前進用流路３１から前進用空気圧室２１に圧縮空気を供給することによって、ピストンロッド１９が前進限位置となった状態を示す。この状態のもとでは、流路開閉部材２７のシール面３３にシール部材３４が接触し、シリンダ孔１４にシール部材３５が接触している。これにより、前進用空気圧室２１内の圧縮空気を外部に排出しても、シール部材３４，３５が密着しているので、ピストンロッド１９が自重で下降移動することはない。このように、前進用空気圧室２１に対する圧縮空気の供給を停止した状態のもとで、図５（Ｂ）に示すように、外部からピストンロッド１９に押し下げ力を加えて、ピストンロッド１９をストロークＬ1だけ下降移動すると、ピストンロッド１９は下降可能位置となる。この下降移動を行う前に、予め、後退用流路３２には圧縮空気が供給される。
【００２７】
したがって、図５（Ａ）に示すように、ピストンロッド１９が上昇限位置となった状態のもとで、下面に電子部品が突起物として搭載されたプリント基板等のワークをピストンロッド１９に押し付けると、突起物に接触するピストンロッド１９は、図５（Ｂ）に示すように、下降可能位置となる。この下降可能位置は、ワークの支持のために使用されない不使用ロッドを選択する選択位置となり、選択位置までピストンロッド１９が下降移動すると、後退用空気圧室２２と後退用流路３２とが連通状態となる。この連通状態のもとで、図５（Ｃ）に示すように、後退用流路３２に供給される圧縮空気により、ピストンロッド１９は後退限位置まで駆動される。これにより、不使用ロッドは下降限位置にまで後退移動される。後退限位置のもとでは、前進用流路３１と前進用空気圧室２１との連通はシール部材３５により遮断される。この状態のもとで、再度、前進用空気圧室２１に圧縮空気を供給すると、突出限位置つまり前進限位置となっているピストンロッド１９は、その位置を保持する。したがって、多数のピストンロッド１９のうち、突起物の位置に対応したピストンロッド１９は押し下げられてワークから離れた状態となり、前進限位置となったピストンロッド１９のみがワークの下面に接触して、ワークを支持することができる。下面が支持されたワークの上面には、電子部品の搭載やクリームハンダの塗布等の作業が行われる。
【００２８】
下面に突起物となった電子部品の位置が変更されない同種のワークについては、特定のピストンロッド１９が前進限位置となった状態で、繰り返してワーク上面に対する作業が行われる。下面に搭載された電子部品の位置が相違するワークに対して作業が行われるときには、前進限位置となったピストンロッド１９を下降限位置まで下降移動して、上述した作業が繰り返される。
【００２９】
図６（Ａ）は、前進限位置となったピストンロッド１９を下降移動する際に、前進限位置となったピストンロッド１９の前進用空気圧室２１内の圧縮空気を排気した状態を示す。この状態のもとで、戻し用流路５１に圧縮空気を供給すると、戻し用流路５１から供給される圧縮空気によってピストンロッド１９は下降移動する。図６（Ｂ）はピストンロッド１９がストロークＬ1だけ下降移動した状態を示す。この下降位置は、後退用流路３２と後退用空気圧室２２とが連通する下降可能位置であり、後退用流路３２からの圧縮空気により、ピストンロッド１９は図６（Ｃ）に示す下降限位置まで駆動される。このように、前進限位置のピストンロッド１９は、戻し用流路５１からの圧縮空気により下降可能位置まで駆動される。それに引き続く下降移動は、戻し用流路５１からの圧縮空気と後退用流路３２からの圧縮空気により駆動される。さらに引き続く下降移動は、後退用流路３２からの圧縮空気により駆動される。つまり、前進限位置となってワークを支持していたピストンロッド１９を下降移動する際には、戻し用流路５１からの圧縮空気による下降可能位置までの第１段階の後退移動と、戻し用流路５１からの圧縮空気と後退用流路３２からの圧縮空気による下降限位置までの第２段階の後退移動と、後退用流路３２からの圧縮空気による下降限位置までの第３段階の後退移動との３つの段階に、ピストンロッド１９が駆動される。
【００３０】
第２段階の後退移動の期間は、ピストンロッド１９の後退端に設けられた括れ部５５の軸方向長さによって決まる。括れ部５５の軸方向長さが長ければ第２段階の後退移動の区間は長くなり、その長さが短ければ第２段階の後退移動の区間は短くなる。しかし、括れ部５５の軸方向長さを短くしすぎると、ピストン１８が前進限位置に位置しているときに、戻し用流路５１と後退用空気圧室２２とが連通しないので、支持ユニット１１は動作しなくなる。したがって、ごく僅かでも第２段階の後退移動の区間を設けることにより、確実にピストンロッド１９を戻し移動させることができる。
【００３１】
後退用流路３２から圧縮空気を供給すると、全てのピストンロッド１９は後退限位置となる。後退限位置に駆動された全てのピストンロッド１９は、後退用空気圧室２２内の圧縮空気を排出すると、図６（Ｄ）に示すように、ばね部材４５のばね力により弁部材４２がストロークＬ2だけピストンロッド１９を押し上げて、前進用空気圧室２１と前進用流路３１とが連通状態となる。この状態は、全てのピストンロッド１９を再度上昇移動させる際の準備位置である。図３に示したピストンロッド１９（ａ），（ｅ）は、準備位置となっている。
【００３２】
図４に示されるように、前進用流路３１は全ての前進用空気圧室２１に連通するように支持ブロック１３に設けられている。前進用流路３１は４つの側面１７ａ〜１７ｄにそれぞれ開口する前進用ポート３１ａに連通している。したがって、それぞれの側面１７ａ〜１７ｄに他の支持ブロック１３の側面を接するように連結することにより、連結された支持ブロック１３の前進用流路３１を相互に連通させることができる。同様に、後退用流路３２は全ての後退用空気圧室２２に連通するように支持ブロック１３に設けられている。後退用流路３２は４つの側面１７ａ〜１７ｄにそれぞれ開口する後退用ポート３２ａに連通している。同様に、全ての戻し用流路５１は導入孔５４に連通するように支持ブロック１３に設けられている。戻し用流路５１は４つの側面１７ａ〜１７ｄにそれぞれ開口する戻し用ポート５１ａに連通している。
【００３３】
複数の支持ユニット１１を組み合わせて１台のワーク支持装置１０が組み立てられたときに、ワーク支持装置１０の外面に露出することになる各ポートは、閉塞プラグ５７，５７ａにより閉塞される。図４は、前進用流路３１の断面が示されており、前進用流路３１の前進用ポート３１ａのうち外部に露出される部分に設けられた閉塞プラグ５７，５７ａが示されている。同様に、側面に開口する後退用ポート３２ａ，戻し用ポート５１ａには閉塞プラグ５７，５７ａにより閉塞される。
【００３４】
一方、側面が突き当てられて連結された支持ブロック１３の前進用流路３１、後退用流路３２、および戻し用流路５１を相互に連通させるために、前進用ポート３１ａ，後退用ポート３２ａ，戻し用ポート５１ａには連通プラグ５８が装着される。図７には、それぞれのポートを相互に連通させるために設けられた連通プラグ５８が示されている。さらに、空気圧配管が接続される前進用ポート３１ａには、継手がねじ止めされるねじ孔が設けられる。
【００３５】
図１に示すように、ワーク支持装置１０は複数の支持ユニット１１を連結することにより組み立てられる。組み立てられた全ての支持ユニット１１における前進用流路３１，後退用流路３２および戻し用流路５１は、連通プラグ５８により連通され、外部に露出された側面に開口する前進用ポート３１ａ，後退用ポート３２ａおよび戻し用ポート５１ａは、閉塞プラグ５７，５７ａにより閉塞される。
【００３６】
図１に示すように、複数の支持ユニット１１を平面状に配置して構成されるワーク支持装置１０は、４つの側面に他の支持ユニット１１が連結される支持ユニット１１と、２つの側面が外部に露出される支持ユニット１１と、１つの側面が外部に露出される支持ユニット１１とを有している。これに対し、図１に示したユニット群１２(a)のみにより構成されるワーク支持装置１０においては、それぞれ縦方向の側面で他の支持ユニット１１が連結されることになる。
【００３７】
多数の支持ユニット１１のうち少なくともいずれか１台の支持ユニット１１には、外部から圧縮空気を供給するための空気圧配管が接続される。図７は支持ユニット１１（ａ１）の前進用ポート３１ａと、後退用ポート３２ａと戻し用ポート５１ａに設けられた継手装着部５９ａ〜５９ｃを示す。それぞれの継手装着部５９ａ〜５９ｃはねじ孔であり、ねじ孔には、空気圧配管に設けられた継手部材がねじ結合される。図８はそれぞれの継手装着部５９ａ〜５９ｃを示す。
【００３８】
図９に示されるように、１台のワーク支持装置１０における全ての前進用流路３１に圧縮空気を供給するために、前進用流路３１の継手装着部５９ａには空気圧配管６１が接続される。同様に、全ての後退用流路３２に圧縮空気を供給するために、後退用流路３２の継手装着部５９ｂには空気圧配管６２が接続され、全ての戻し用流路５１に圧縮空気を供給するために、戻し用流路５１の継手装着部５９ｃには空気圧配管６３が接続される。それぞれの空気圧配管６１〜６３は、空気圧源６０に接続される。
【００３９】
空気圧配管６１には第１の電磁弁６４が前進用の電磁弁として設けられている。同様に、空気圧配管６２には第２の電磁弁６５が後退用の電磁弁として設けられ、空気圧配管６３には第３の電磁弁６６が戻し用の電磁弁として設けられている。それぞれの電磁弁は、バルブ制御部６７からの信号により、空気圧源６０からの圧縮空気を流路に供給する状態と、流路内の圧縮空気を外部に排気する状態とに流路切換動作し、それぞれの流路に対する圧縮空気の給排を制御する。バルブ制御部６７には、ワーク搬送制御部６８から信号が送られて、ワークの搬送タイミングに基づいて、それぞれの電磁弁６４〜６６の駆動が制御される。
【００４０】
次に、図１０に示すフローチャートを参照しつつ、ワーク支持装置のピストンロッドを用いたワーク支持作業について、図１１に基づいて説明する。
【００４１】
図１１（Ａ）はワーク支持装置１０における全てのピストンロッド１９が準備位置となった状態を示す。この準備位置では、図６（Ｄ）に示すように、ピストンロッド１９は弁部材４２により下降限位置よりもストロークＬ2だけ上昇移動し、前進用流路３１は前進用空気圧室２１と連通している。この準備位置のもとで、全てのピストンロッド１９を前進限位置に向けて前進移動させるための信号がワーク搬送制御部６８から送られると（ステップＳ１）、ステップＳ２が実行されて第１の電磁弁６４がオンとなる。これにより、空気圧源６０から吐出される圧縮空気が前進用流路３１を介して前進用空気圧室２１に供給され、ピストンロッド１９は図５（Ａ）に示すように前進限位置まで移動する。図１１（Ｂ）は、全てのピストンロッド１９が前進限位置となった状態を示す。ピストンロッド１９が前進限位置となると、後退用流路３２と後退用空気圧室２２との連通が遮断される。ピストンロッド１９の前進移動終了は、例えば、電磁弁６４のオン時間を計測したり、ピストンロッド１９の位置をセンサにより検出したりすること等により確認できる。
【００４２】
ピストンロッド１９の前進移動終了が確認されると、第１の電磁弁６４をオフし、第２の電磁弁６５をオンする（ステップＳ３〜Ｓ５）。第１の電磁弁６４のオフにより、全てのピストンロッド１９には前進方向推力の供給が停止される。第２の電磁弁６５のオンにより後退用流路３２に圧縮空気が供給されるが、シール部材３４がシール面３３に、シール部材３５がシリンダ孔１４に、それぞれ密着していて、圧縮空気により受ける力は逆方向で同じである。したがって、後退用流路３２に供給された圧縮空気により、ピストン１８が動くことはない。この状態のもとで、ワークの支持に使用されない不使用ロッドの選択と押し下げ操作が実行される。この操作を行うために、図１１（Ｃ）に示されるように、下面に電子部品等の突起物Ｐが搭載されたプリント基板等のワークＷが二点鎖線で示されるようにワーク支持装置１０の上方に搬送される。搬送されたワークＷをワーク支持位置まで下降移動させると、図１１（Ｃ）に実線で示すように、突起物Ｐに対応する位置のピストンロッド１９は突起物Ｐにより押し下げられる。図５（Ｂ）は、外力により押し下げられた不使用のピストンロッド１９を示す。この下降可能位置にまで不使用のピストンロッド１９が下降すると、後退用流路３２は後退用空気圧室２２に連通し、後退用空気圧室２２に供給される圧縮空気により不使用のピストンロッド１９は、図１１（Ｄ）に示されるように、下降限位置まで駆動される。図５（Ｃ）は不使用のピストンロッド１９が下降限位置まで駆動された状態を示す。
【００４３】
図１１（Ｃ）に示すように、突起物Ｐにより不使用のピストンロッド１９を押し下げる動作は、ピストンロッド１９を支持ユニット１１に対して相対的に下降移動させるようにすれば良い。つまり、支持ユニット１１を上昇移動させることにより、突起物Ｐを不使用のピストンロッド１９に突き当ててピストンロッド１９を支持ユニット１１に対して相対的に下降移動させるようにしても良い。
【００４４】
また、外力による不使用のピストンロッド１９の押し下げ動作を、ロボットアーム、ロボットアームに設けられた空気圧シリンダのピストンロッド、または突起物Ｐに対応した擬似的なブロックが設けられたダミー基板等の部材を用いて行うようにしても良い。このように実際の基板と相違したダミー基板等の部材を用いると、実際の製品基板に設けられた電子部品が傷つけられることを防止できる。
【００４５】
不使用のピストンロッド１９が下降限位置まで駆動されて後退移動の終了が確認されると、第１の電磁弁６４がオンされる（ステップＳ６〜Ｓ８）。このように、ワークＷの支持に使用されない不使用のピストンロッド１９が下降限位置となった状態のもとで、ワークＷの上面に対するクリームハンダの塗布や電子部品の組み付け等のように、ワークＷの上面側から押し付け力が加えられる処理作業が行われる（ステップＳ９）。処理作業が行われるときには、前進用空気圧室２１に供給される圧縮空気によって、上昇限位置に保持されたピストンロッドによりワークＷは支持された状態となる。
【００４６】
ワークＷの上面に対する処理作業は、同種のワークＷについて順次行われる。同種のワークに対する処理作業が終了し、突起物Ｐの搭載位置が相違した他の種類のワークＷに対する処理が行われるときには、ワーク搬送制御部６８から支持位置変更の信号に基づいて、バルブ制御部６７においては支持作業終了が判定される（ステップＳ１０）。このステップＳ１０において支持作業の終了が判定されると、前進限位置のピストンロッド１９を後退移動させるために、第１の電磁弁６４がオフされ、第３の電磁弁６６がオンされる（ステップＳ１１，Ｓ１２）。
【００４７】
第３の電磁弁６６がオンされて戻し用流路５１から連通孔５６を介して後退用空気圧室２２に圧縮空気が供給されると、ピストンロッド１９は、図６（Ｂ）に示すように、ストロークＬ1駆動されて、下降移動可能位置まで移動する。この下降移動可能位置まで移動する過程では、後退用流路３２は後退用空気圧室２２には連通していない。ピストンロッド１９が、図６（Ｂ）に示されるように、下降移動可能位置まで駆動されると、後退用流路３２から後退用空気圧室２２に圧縮空気が供給される。これにより、ピストンロッド１９は、図１１（Ｅ）に示すように、下降限位置となる。図６（Ｃ）は下降限位置となったピストンロッド１９を示す。下降移動可能位置までピストンロッド１９が移動したことが確認されたら、第３の電磁弁６６と第２の電磁弁６５をオフする（Ｓ１３〜Ｓ１５）。これにより、ピストンロッド１９の戻し操作が終了し、ピストンロッド１９は準備位置となり、この状態のもとで新たなワークＷについて、上述した制御が行われる。
【００４８】
このように、前進限位置となったピストンロッド１９を戻し用流路５１からの圧縮空気により自動的に下降可能位置まで後退移動させた後に、後退用流路３２からの圧縮空気によりピストンロッド１９を後退限位置まで自動的に後退移動させるようにし、下降可能位置までの第１段階の後退移動と後退限位置までの第２段階の後退移動とを空気圧により行うようしたので、ピストンロッド１９の戻し操作を迅速に行うことができ、ワーク支持装置１０の操作性の向上が達成される。
【００４９】
全てのピストンロッド１９が前進限位置となった状態のもとで、ワークの支持に使用されない不使用のピストンロッド１９を下降移動させるための形態としては、不使用のピストンロッド１９を外力により下降可能位置まで下降移動させた後に、圧縮空気により引き続いて下降移動させる形態と、不使用のピストンロッド１９を一気に外力により下降移動させる形態とがある。上述のように、不使用のピストンロッド１９を外力により下降可能位置まで下降移動させる形態においては、下面に電子部品が搭載された実際のプリント基板や、電子部品に対応した位置に突起物Ｐが設けられたダミー基板等の部材を用いて、不使用のピストンロッド１９を下降可能位置まで下降移動させる。これに対し、不使用のピストンロッドを外力により一気に下降限位置まで移動するには、空気圧シリンダ等からなるアクチュエータが用いられる。
【００５０】
図１２は、このように、不使用のピストンロッド１９をアクチュエータにより下降限位置まで移動するようにした下降ユニット７０を示す正面図である。下降ユニット７０は、支持台７１の下面に取り付けられたアクチュエータ７２を有しており、アクチュエータ７２は空気圧シリンダ等により形成されている。アクチュエータ７２は、上下動する作動ロッド７３を有しており、図示しないロボットや搬送装置により支持ユニット１１の上方に搬送される。
【００５１】
図１２（Ａ）に示すように、作動ロッド７３が後退限位置となった状態から突出限位置までストロークＭ0移動すると、ピストンロッド１９は前進限位置から後退限位置にまで一気に後退移動される。アクチュエータ７２には図示しないセンサが設けられており、作動ロッド７３が後退限位置となったこと、および前進限位置となったことがセンサにより検出される。このように、アクチュエータ７２により不使用のピストンロッド１９を後退移動させるようにした形態においては、図１２（Ｂ）に示されるように、万一、先端部が折れ曲がったピストンロッド１９ａが存在すると、作動ロッド７３は所定のストロークＭ0突出移動することができない。図１２（Ｂ）においては、ストロークＭ1だけ突出移動した状態のもとで、折れ曲がったピストンロッド１９ａが停止した状態が示されている。この場合には、作動ロッド７３が突出限位置となったことは、センサにより検出されないので、折れ曲がったピストンロッド１９ａが後退限位置となっていないことが検出される。
【００５２】
これに対して、アクチュエータ７２によりピストンロッド１９が後退限位置まで押し込まれた場合には、支持ユニット１１が正常な状態であることを確認することができる。不使用のピストンロッド１９が所定の位置まで後退したことを、１本ずつセンサで確認するには、時間がかかるが、図１２に示すように、アクチュエータ７２に設けられたセンサによりピストンロッド１９の押し込み動作と同時にピストンロッド１９が所定の位置まで後退したことを検出することができる。
【００５３】
下降ユニット７０に設けられるアクチュエータ７２の数は、１つでも複数でも良く、支持ユニット１１に設けられた全てのピストンロッド１９に対応させた数のアクチュエータ７２を下降ユニット７０に設けるようにしても良い。アクチュエータ７２としては、空圧シリンダに限られることなく、電動モータを用いるようにしても良い。また、図１２は、１台の支持ユニット１１に対応した下降ユニット７０を示すが、１台のワーク支持装置１０に対応させて、下降ユニット７０を配置するようにしても良い。
【００５４】
図１のワーク支持装置１０では、全ての支持ユニット１１の流路（前進用流路３１、後退用流路３２、戻し用流路５１）が相互に連通している。従って、図９に示すように第１の電磁弁６４、第２の電磁弁６５、第３の電磁弁６６はそれぞれ１つずつ、合計３個の電磁弁でワーク支持装置１０が制御される。
【００５５】
しかし、支持ユニット１１はこのような使い方に限定されず、以下のような使い方もできる。
【００５６】
例えば、図１において左右方向に一列に配置される３つの支持ユニット１１と、これに平行に配置される３つの支持ユニット１１との６つの支持ユニット１１により第１の支持ユニット群を形成する。同様に配置された６つの支持ユニット１１により第２の支持ユニット群を形成し、両方の支持ユニット群を側面で突き当てた状態とする。第１の支持ユニット群における前進用流路３１，後退用流路３２および戻し用流路５１を相互に連通させる。同様に、第２の支持ユニット群における前進用流路３１，後退用流路３２および戻し用流路５１を相互に連通させる。ただし、第１の支持ユニット群と第２の支持ユニット群の各流路は、相互に連通させることなく、独立させる。したがって、第１の支持ユニット群における各流路には、図９に示す空気圧配管６１〜６３が接続される。同様に第２の支持ユニット群における各流路にも空気圧配管６１〜６３が接続される。これにより、第１の支持ユニット群と第２の支持ユニット群は独立して制御される。
【００５７】
このように、第１の支持ユニット群と第２の支持ユニット群とを分割して制御すると、例えば、第１の支持ユニット群ではＡ４サイズのプリント基板に対応し、第１の支持ユニット群と第２の支持ユニット群の２つの支持ユニット群によってＡ３サイズのプリント基板に対応する、という運用が可能となる。この場合には、例えば、Ａ３サイズのプリント基板を支持していた作業が終了した後に、Ａ４サイズのプリント基板に対する作業に切り換えられるときには、ステップＳ１０でＡ３サイズのプリント基板に対する作業終了が判定されると、Ａ３サイズのプリント基板を支持するための支持ユニット群の第１の電磁弁６４をオンにして、ステップＳ２からの工程が開始される。これに対し、他の支持ユニット群については、ステップＳ１１以降の工程が開始される。このように、２つの支持ユニット群を独立して制御することにより、さらに迅速な段取りが可能となる。
【００５８】
上記の例では第１の支持ユニット群と第２の支持ユニット群の２つの群を図示して説明したが、さらに多くの群から構成し、様々なサイズのプリント基板に対応することも可能である。
【００５９】
図１３〜図１６は、他の実施の形態であるワーク支持装置１０ａを示す。これらの図においては、上述したワーク支持装置１０を構成する部材と共通する部材には同一の符号を付して、重複した説明を省略する。
【００６０】
ワーク支持装置１０ａは、図１に示した場合と同様に、ユニット群１２(a)を構成するｎ個の支持ユニット１１を有している。図１３および図１４においては、ｎ個の支持ユニット１１のうち、ユニット群１２(a)の両端部に配置される２つの支持ユニット１１(a1)，１１(n1)が示されている。このワーク支持装置１０ａにおいても、上述したワーク支持装置１０と同様に、複数の支持ユニット１１を縦方向に連結して構成される１つのユニット群のみでワーク支持装置１０ａを形成するようにしても良く、複数のユニット群を並列に配置してワーク支持装置１０ａを形成するようにしても良い。
【００６１】
図１４に示されるように、支持ブロック１３とカバー２４の間には、中間プレート７５とロックプレート７６が配置される。中間プレート７５は支持ブロック１３の上面に固定され、ロックプレート７６は中間プレート７５の上面に、支持ブロック１３の上面に沿って往復動自在に装着される。中間プレート７５には、ロックプレート７６を摺動自在に支持する案内部材７７が取り付けられている。この案内部材７７はロックプレート７６との接触面の摩擦抵抗が小さい部材からなり、ロックプレート７６を駆動するときには、ロックプレート７６に大きな摺動抵抗が加わることがなく、ロックプレート７６を円滑に駆動することができる。支持ブロック１３の上面には、図１５に示されるように、スペーサ７８が設けられ、スペーサ７８は図１３に示すねじ部材７９により支持ブロック１３に固定されている。スペーサ７８によりカバー２４と支持ブロック１３との間の摺動隙間が形成される。
【００６２】
図１４に示されるように、ピストンロッド１９には、ピストンロッド１９が下降限位置となったときに、ロックプレート７６に対応する位置に第１の係合部８１が設けられ、ピストンロッド１９が前進限位置となったときに、ロックプレート７６に対応する位置に第２の係合部８２が設けられている。それぞれの係合部８１，８２は、括れ部５５と同様に、ピストンロッド１９の最外径よりも小径となった括れ部により形成されている。
【００６３】
図１５に示されるように、支持ブロック１３に設けられたピストンロッド１９が貫通する貫通孔８３がロックプレート７６に設けられている。貫通孔８３の内径は、ピストンロッド１９の外径よりもやや大径となっている。貫通孔８３の中心がピストンロッド１９の中心と一致したときには、ピストンロッド１９の上下動が許容される。それぞれの貫通孔８３に連なって、ロック部８４がロックプレート７６に設けられている。ロック部８４は、幅寸法がピストンロッド１９の最外径よりも小さく設定されるとともに、括れ部により形成される係合部８１，８２の径よりもやや大きく設定されている。
【００６４】
したがって、図１５に示されるように、貫通孔８３の中心とピストンロッド１９の中心とが一致する位置に、ロックプレート７６を位置決めすると、ロックプレート７６は移動許容位置となる。これにり、ピストンロッド１９は自由に上下動することができる。これに対し、ロックプレート７６を、図１５に示す位置から右方向に移動させることにより、一方の係合部８１（または８２）にロック部８４を係合させると、ロックプレート７６は固定位置となる。これにより、ピストンロッド１９は固定され、ピストンロッド１９の上下動が規制される。
【００６５】
ピストンロッド１９が下降限位置となったときに、ロック部８４を係合部８１に係合させると、ピストンロッド１９の前進移動がロックプレート７６とピストンロッド１９との噛み合いにより防止される。一方、ピストンロッド１９が前進限位置となったときに、ロック部８４を係合部８２に係合させると、ピストンロッド１９の下降移動がロックプレート７６とピストンロッド１９との噛み合いにより防止される。ピストンロッド１９の前進移動のみを防止するときには、ピストンロッド１９には係合部８１のみが設けられる。一方、ピストンロッド１９の下降移動のみを防止するときには、ピストンロッド１９には係合部８２のみが設けられる。このように、ピストンロッド１９に係合部を設けることにより、ピストンロッド１９が前進限位置と、下降限位置の少なくともいずれか一方の位置となったときに、ピストンロッド１９の移動を機械的に防止することができる。
【００６６】
ロックプレート７６を移動許容位置と締結位置とに駆動するために、ユニット群１２の両端部に配置される２つの支持ユニット１１の中間プレート７５には、プレート駆動用のシリンダ８５が設けられている。それぞれのシリンダ８５は直方体形状となっており、中間プレート７５に一体に設けられている。シリンダ８５の内部にはピストン８６が往復動自在に組み込まれており、ピストン８６に設けられたピストンロッド８７はロックプレート７６の端面に突き当てられている。それぞれのシリンダ８５にはポートプラグ８８がねじ部材８９により取り付けられている。ポートプラグ８８の給排ポート８８ａに接続される配管によりピストン８６に空気圧を加えると、ピストンロッド８７が突出方向に駆動される。
【００６７】
図１３に示されるように、ユニット群１２の左端部の支持ユニット１１(a1)に設けられたシリンダ８５のピストンロッド８７を突出させると、ユニット群１２を構成する全ての支持ユニット１１のロックプレート７６は、移動許容位置から締結位置に駆動される。一方、ユニット群１２の右端部の支持ユニット１１(n1)に設けられたシリンダ８５のピストンロッド８７を突出させると、全ての支持ユニット１１のロックプレート７６は、締結位置から移動許容位置に駆動される。
【００６８】
図１５に示されるように、ロックプレート７６には両端部に切欠き部９０ａ，９０ｂが設けられており、ユニット群１２の左端部に配置されるロックプレート７６の切欠き部９０ａにはシリンダ８５が入り込む。一方、ユニット群１２の右端部に配置されるロックプレート７６の切欠き部９０ｂにはシリンダ８５が入り込む。他の支持ユニット１１の中間プレート７５にはシリンダ８５が設けられず、ロックプレート７６にはシリンダ８５は組み込まれない。なお、図１３に示すように、カバー２４には４つのガイドピン９１が取り付けられており、ガイドピン９１は図１５に示すように長孔９２を貫通している。ロックプレート７６の移動は、ガイドピン９１により案内される。
【００６９】
図１３〜図１６に示したワーク支持装置１０ａは、ピストンロッド１９を機械的にロックする構造以外は、上述したワーク支持装置１０と同様である。ワーク支持装置１０ａによるワーク支持作業は、図１０に示した手順と同様である。不使用ロッドの後退移動の終了が図１０に示したステップＳ７で判定されたときには、ロックプレート７６は移動許容位置から締結位置に駆動される。これにより、下降限位置となったピストンロッド１９および前進限位置となったピストンロッド１９はロックプレート７６により固定される。一方、ワーク支持作業の終了が図１０に示したステップＳ１０で判定されたときには、ロックプレート７６は移動許容位置に駆動される。
【００７０】
本発明はそれぞれの前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。例えば、下面に電子部品が搭載されたプリント基板をワークとしているが、ワークとしては、下面に突起物Ｐが設けられた部材であれば、プリント基板に限られることはない。また、図示したワーク支持装置は、実装基板にクリームハンダを塗布する塗布設備や、電子部品の搭載設備に適用されるだけでなく、ワークに対して処理を施す産業用設備であって、ワークを複数のピストンロッドにより支持するようにした設備であれば、どのような産業用設備にも適用することができる。
【符号の説明】
【００７１】
１０    ワーク支持装置
１１    支持ユニット
１３    支持ブロック
１４    シリンダ孔
１７ａ〜１７ｄ    側面
１８    ピストン
１９    ピストンロッド
２１    前進用空気圧室
２２    後退用空気圧室
２７    流路開閉部材
２８    貫通孔
２９    ストッパ面
３１    前進用流路
３２    後退用流路
３４，３５    シール部材
３７    流路開閉部材
４２    弁部材
４５    ばね部材
５１    戻し用流路
５５    括れ部
５６    連通孔
６４    第１の電磁弁（前進用）
６５    第２の電磁弁（後退用）
６６    第３の電磁弁（戻し用）
７２    アクチュエータ
７６    ロックプレート
８１，８２    係合部
８３    貫通孔
８４    ロック部
８５    シリンダ
【図１】
2016119400.tif 000003
【図２】
2016119400.tif 000004
【図３】
2016119400.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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