(57)【要約】【課題】  粘性部材を塗布する距離が長い場合でも、前記粘性部材を所定の形状で塗布することが可能な粘性部材の塗布装置と粘性部材の塗布方法を提供する。【解決手段】  基板６に粘性を有する吸湿部材７を塗布する供給部１１を備えた塗布装置１０において、基板６と供給部１１との距離を計測する測定部１３と、測定部１３で計測した距離に基づいて基板６に対する供給部１１の上下動を制御する制御部１４とを備え、制御部１４は、基板６の吸湿部材７を塗布する部分およびその近傍部分に対して複数箇所の基板６との距離を計測するものである。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に粘性部材を塗布する供給部を備えた粘性部材の塗布装置において、前記基板と前記供給部との距離を計測する測定部と、前記測定部で計測した距離に基づいて前記基板に対する前記供給部の上下動を制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記基板の前記粘性部材を塗布する部分およびその近傍部分に対して複数箇所の前記基板との距離を計測することを特徴とする粘性部材の塗布装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記粘性部材の塗布時に、前記粘性部材を分断して塗布したことを特徴とする請求項１に記載の粘性部材の塗布装置。
【請求項３】
前記測定部は、前記基板と接触する接触子を備えたことを特徴とする請求項１に記載の粘性部材の塗布装置。
【請求項４】
前記供給部を少なくとも２つ以上設けたことを特徴とする請求項１に記載の粘性部材の塗布装置。
【請求項５】
前記測定部は、前記基板との距離の測定を連続して行うことを特徴とする請求項１に記載の粘性部材の塗布装置。
【請求項６】
基板に粘性部材を供給部で塗布する粘性部材の塗布方法において、前記基板と前記供給部との距離を計測する測定部と、前記測定部で計測した距離に基づいて前記基板に対する前記供給部の上下動を制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記基板の前記粘性部材を塗布する部分およびその近傍部分に対して複数箇所の前記基板との距離を計測することを特徴とする粘性部材の塗布方法。
【請求項７】
前記制御部は、前記粘性部材の塗布時に、前記粘性部材を分断して塗布したことを特徴とする請求項６に記載の粘性部材の塗布方法。
【請求項８】
前記測定部は、接触子が前記基板と接触することで前記基板との距離を計測することを特徴とする請求項６に記載の粘性部材の塗布方法。
【請求項９】
少なくとも２つ以上設けた前記供給部で前記粘性部材を塗布することを特徴とする請求項６に記載の粘性部材の塗布方法。
【請求項１０】
前記測定部は、前記基板との距離の測定を連続して行うことを特徴とする請求項６に記載の粘性部材の塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に粘性部材を塗布する塗布装置及び粘性部材の塗布方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、自発光素子として少なくとも発光層を有する有機層を一対の電極で挟持した有機ＥＬ素子が知られている。かかる有機ＥＬ素子を用いた有機ＥＬパネルは、支持基板上に形成された有機ＥＬ素子を例えば凹形状の封止基板によって気密的に覆うとともに、前記封止基板の前記有機ＥＬ素子との対向面に水分を吸湿する吸湿部材を配設することが知られている。かかる構成により、前記有機ＥＬ素子が水分や酸素と反応してダークフレームと称される非発光部が発生・成長して前記有機ＥＬ素子の発光寿命が損なわれることを抑制している。
【０００３】
前記吸湿部材は、例えば、フッ素系オイルからなる不活性液体中に固体の吸着剤を所定の割合で混合することによって得られる粘性を有するクリーム状であり、前記吸湿部材は、前記封止基板の前記有機ＥＬ素子との対向面に薄く均一に塗布されている。このような前記吸湿部材を塗布する塗布装置としては、前記吸湿部材をディスペンスポンプによって送り出し、ニードル部に設けられた吐出口から吐出しながら前記ニードル部を前記封止基板の前記対向面に対して平行移動させて、前記吸湿部材を前記対向面に前記有機ＥＬ素子に接触しないように薄く均一に塗布するものである（特許文献１を参照）。
【０００４】
また、前記吸湿部材を塗布する形は、前記封止基板の形状によって、直線状や前記封止基板の形状にならった形状であった（特許文献２、３を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１６３０７６号公報
【特許文献２】特開２００４−２３５０７７号公報
【特許文献３】特開２００９−３７８８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、前記吸湿部材を塗布する距離が長い場合、前記封止部材を載置する台座の傾きによる影響を受けて、前記吸湿部材を塗布する工程中に、前記封止基板と前記ニードル部との間隔が変化し、前記吸湿部材の塗布後の形状が、所定の形状とは異なる形状となるおそれがあった。本発明では、所定の形状とは異なる形状とは、前記吸湿部材の幅や高さが、所定の数値を超える大きさとなることである。
【０００７】
例えば、前記封止基板と前記ニードル部との間隔が離れた場合、塗布された前記吸湿部材は、その塗布幅は狭いが、塗布された前記吸湿部材の高さが高くなり、前記封止基板を前記支持基板に貼り付けた時に、前記吸湿部材が前記有機ＥＬ素子と接触するという問題が発生する。また、前記封止基板と前記塗布装置のニードル部との間隔が近い場合、塗布された前記吸湿部材は、塗布幅が大きくなり、所定の塗布幅を超える虞があった。
【０００８】
そこで、本発明は、前述した問題点に着目し、粘性部材を塗布する距離が長い場合でも、前記粘性部材を所定の形状で塗布することが可能な粘性部材の塗布装置と粘性部材の塗布方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、前記課題を解決するため、粘性部材の塗布装置は、基板に粘性部材を塗布する供給部を備えた粘性部材の塗布装置において、前記基板と前記供給部との距離を計測する測定部と、前記測定部で計測した距離に基づいて前記基板に対する前記供給部の上下動を制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記基板の前記粘性部材を塗布する部分およびその近傍部分に対して複数箇所の前記基板との距離を計測するものである。
【００１０】
また、粘性部材の塗布方法は、基板に粘性部材を供給部で塗布する粘性部材の塗布方法において、前記基板と前記供給部との距離を計測する測定部と、前記測定部で計測した距離に基づいて前記基板に対する前記供給部の上下動を制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記基板の前記粘性部材を塗布する部分およびその近傍部分に対して複数箇所の前記基板との距離を計測するものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明は、所期の目的を達成することができ、粘性部材を塗布する距離が長い場合でも、前記粘性部材を所定の形状で塗布することが可能な粘性部材の塗布装置と粘性部材の塗布方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態における有機ＥＬパネルの要部断面図。
【図２】同上実施形態の塗布装置を示す構成図。
【図３】同上実施形態の供給部を示す図。
【図４】同上実施形態の封止基板の背面図。
【図５】同上実施形態の封止基板の母材の背面図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【００１４】
図１を用いて有機ＥＬパネルの構造について説明する。有機ＥＬパネル１は、支持基板２と、第一電極３と、有機層４と、第二電極５と、封止基板６と、吸湿部材７と、を備えている。
【００１５】
支持基板２は、長方形形状からなり、透光性のガラス基板によって形成されている。
【００１６】
第一電極３は、有機層４に正孔を注入する陽極となるものであり、支持基板１上にインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）やインジウム亜鉛酸化物（ＩＺＯ）あるいは酸化亜鉛（ＺｎＯ）等の透光性導電材料をスパッタリング法等の手段によって層状に形成してなり、フォトエッチング等の手段によって所定の形状にパターニングされる。
【００１７】
有機層４は、少なくとも正孔及び電子の再結合によって光を発する発光層を有するものであれば良いが、本発明の実施形態においては正孔注入層，正孔輸送層，発光層及び電子輸送層を順次積層して形成してなるものである。
【００１８】
第二電極５は、有機層４に電子を注入する陰極となるものであり、有機層４上に例えばＡｌ等の低抵抗の導電材料を蒸着法等の手段によって層状に形成してなる反射電極である。
【００１９】
以上のように、支持基板２上に前述した第一電極３と有機層４と第二電極５とを順次積層し積層体を形成することによって有機ＥＬ素子が設けられる。
【００２０】
封止基板６は、ガラスまたは金属から構成されるもので、本実施形態においては凹部６ｃが形成されている。封止基板６は、凹部６ｃの前記有機ＥＬ素子との対向面６ａに吸湿部材７が塗布されている。この対向面６ａは、吸湿部材７が良好に付着可能となるように、微細な凹凸加工が施されている。また、封止基板６は、周辺部６ｂが紫外線硬化型の接着剤８を介して支持基板２と接着固定され、前記有機ＥＬ素子を気密的に収納する収納空間を構成する。
【００２１】
吸湿部材７は、支持基板２上に配設された封止基板６の前記有機ＥＬ素子との対向面６ａに配設され、前記収納空間内及び前記有機ＥＬ素子に含まれる水分を吸着するものである。吸湿部材７としては、たとえば活性アルミナ，モレキュラーシーブス，酸化カルシウム及び酸化バリウムなどの物理的あるいは化学的に水分を吸着する吸着剤と、耐熱温度が１５０℃以上で含水率が０．５％以下のシリコーンゴムからなりその平均粒径が５μｍ程度の球体からなる樹脂微粒子と、をフッ素系オイルからなる不活性液体中に混合してなるものが用いられ、吸着剤が流動しない程度の粘性（例えば５０，０００ｃｐ）を有するクリーム状部材であることが好ましい。吸湿部材７は、封止基板６を支持基板２上に配設した際に対向面６ａに塗布される吸湿部材７が前記有機ＥＬ素子に当接しないように薄く均一に形成される。
【００２２】
次に、封止基板６に粘性を有する吸湿部材７を塗布する塗布装置１０と、有機ＥＬパネル１の製造方法における吸湿部材７の塗布方法と、について図２から図３を用いて説明する。塗布装置１０は、図２に示すように吸湿部材を供給する供給部（ディスペンスポンプ）１１と、測定部１３と、制御部１４及び封止基板６を載置し搬送する載置部１５とを備える。
【００２３】
供給部１１は、ニードル部１２を備え、封止基板６の対向面６ａに吸湿部材７を所定量吐出するものである。また、供給部１１は、図示しないアクチュエータやサーボモータなどから構成されるＸ−Ｙ−Ｚ移動手段によって、図２で示すように、Ｘ−Ｙ−Ｚ方向は、それぞれ、Ｘ方向が図２の横方向、Ｙ方向が図２の法線方向、及び、Ｚ方向が図２の縦方向に移動できるように構成されている。
【００２４】
ニードル部１２は、供給部１１から供給される吸湿部材７を封止基板６に向けて吐出する吐出口１２ａを有する。
【００２５】
測定部１３は、封止基板６に接触する接触子１３ａを備えた接触式の測定センサであり、封止基板６の対向面６ａまでの距離を測定する。測定部１３は、制御部１４と接続されている。測定部１３で測定した測定値は、制御部１４に送られる。
【００２６】
制御部１４は、マイクロコンピュータなどの図示しない制御手段や、この制御手段を制御するプログラムや演算に使用するデータを記憶する図示しない記憶部などを備えている。この制御部１４は、測定部１３が測定した封止基板６の対向面６ａまでの距離を測定した前記測定値を前記記憶部に記憶する。
【００２７】
封止基板６を搬送するキャリアである載置部１５は、封止基板６を搬送するものである。なお、載置部１５に載せられている封止基板６は、母材と呼ばれるガラス基板に複数の封止基板６を作成し、吸湿部材７を塗布した後に、分割することで、複数の封止基板６とすることができる。
【００２８】
次に、塗布装置１０の動作について、説明する。
【００２９】
複数の封止基板６となるガラス基板の母材には、複数の凹部６ｃが形成されている。本実施形態では、有機ＥＬパネル１は、画像形成装置に用いられるものであり、封止基板６は、細長い形状である。
【００３０】
制御部１４は、測定部１３を移動させて、凹部６ｃ毎に、封止基板６の吸湿部材７を塗布する部分およびその近傍部分に対して複数箇所の封止基板６との距離を計測する。図４で示すように、測定点Ｓは、点で示してあり、吸湿部材７を塗布する部分の封止基板６との距離を計測している。計測は、測定点Ｓ毎に、測定部１３の測定子１３ａを上下動させて、測定子１３ａを封止基板６と接触させて行う。
【００３１】
そして、制御部１４は、封止基板６の凹部６ｃ毎に、計測と塗布を交互に繰り返して行う。本実施形態では、一つの凹部６ｃにおいて、吸湿部材７を分断して塗布するものである。
【００３２】
吸湿部材７を分断して塗布する方法は、制御部１４は、測定部１３で計測し、前記記憶部にて記憶した測定点Ｓ毎の距離に基づいて、供給部１１のニードル部１２を封止基板６に近接させる（矢印Ｚ１）。次に、ニードル部１２から吸湿部材７を供給するとともに、ニードル部１２を図３の右方向に移動させる（矢印Ｘ１）。そして、次の測定点Ｓの手前で、吸湿部材７の供給を停止するとともに、ニードル部１２を若干引き上げつつ、次の測定点Ｓまで右方向に移動させる（矢印Ｘ２Ｚ２）。そして、次の測定点Ｓの位置で、供給部１１を引き上げる（Ｚ３）。以降、上記の計測と塗布動作を繰り返す。本実施形態では、凹部６ｃ毎に、吸湿部材７を５つに分断して塗布する。
【００３３】
以上のように、複数箇所の前記基板との距離を計測することによって、吸湿部材７を塗布する距離が長い場合でも、吸湿部材７を供給する供給部１１のニードル部１２と封止基板６との間に距離の変化を小さくすることができ、吸湿部材７を所定の形状で塗布することが可能となる。
【００３４】
また、吸湿部材７を分断して塗布することによって、測定点Ｓ毎に供給部１１（ニードル部１２）を上下動させることによって、吸湿部材７を所定の形状とは、異なる形状、例えば、幅や高さが異なることを防止することができる。
【００３５】
また、本実施形態の封止基板６の対向面６ａは、吸湿部材７が良好に付着するように、微細な凹凸加工を施されているために、光学式の測定部よりも接触子１３ａを備えた接触式の測定部１３のほうが確実に距離を測定することができる。
【００３６】
また、本実施形態では、測定部１３は、供給部１１に取り付けられていたが、供給部１１と測定部１３とを独立して移動可能とするとともに、測定部１３は、封止基板６との距離の測定を連続して行うことにより、測定と塗布を交互に繰り返す工程よりも、測定と塗布の工程を並列して行うことができ、作業時間を短縮することができる。
【００３７】
また、本実施形態では、供給部１１は、単一であったが、２つ以上設けることによって、塗布工程に要する時間を短縮することができる。
【００３８】
また、本実施形態における封止基板６は凹部形状をなすものであったが、平板状の封止基板を用いるものであっても良い。
【００３９】
また、本実施形態では、粘性部材は、吸湿部材７であったが、粘性部材は、吸湿部材７に限定されるものではなく、接着剤などに用いても良い。
【００４０】
また、本実施形態では、封止基板６の吸湿部材７を塗布する部分に対して封止基板６との距離を計測していた、すなわち、計測点Ｓは、吸湿部材７が塗布される部分であったが、本実施形態に限定されるものではなく、例えば、吸湿部材７を塗布する部分の近傍部分に対する封止基板６との距離を計測するものであってもよい。これは、本実施形態のように、測定部１３を供給部１１に対して吸湿部材７を塗布する側に設けた場合、吸湿部材７を塗布する部分の封止基板６との距離を計測することとなるが、測定部１３を供給部１１に対して吸湿部材７を塗布する側とは反対側に設けた場合、吸湿部材７を塗布しない部分の封止基板６との距離を計測することとなるためである。この場合においても、封止基板６との距離を計測することに支障はない。
【００４１】
また、本実施形態では、計測と塗布を交互に繰り返していたが、凹部６ｃ毎に、複数箇所の封止基板６との距離を連続して計測した後に塗布しても良い。この場合も、測定部１３は、測定点Ｓ毎に、測定子１３ａを上下動させるものである。また、母材に設けた凹部６ｃをすべて計測した後に、吸湿部材７を塗布するものであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明は、粘性部材を塗布する塗布装置及び塗布方法に好適である。
【符号の説明】
【００４３】
１    有機ＥＬパネル
２    支持基板
３    第一電極
４    有機層
５    第二電極
６    封止基板
６ａ  対向面
６ｂ  周辺部
６ｃ  凹部
７    吸湿部材
８    接着剤
１０    塗布装置
１１    供給部
１２    ニードル部
１２ａ  吐出口
１３    測定部
１４    制御部
１５    載置部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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