(57)【要約】【課題】帯電物体からの放電電流を検出し表示する。【解決手段】放電電流測定装置１は、電流プローブ部２と検出表示部３、コネクター４からなる。電流プローブ部２は接触針５をコネクター６で接続し、ターミネータ７をコネクター８で接続する。接触針５を帯電物体に接触させ、その放電電流はターミネータ７を経由しＧＮＤへ放電する。放電電流波形は、コネクター４を経由し検出表示部３へ送られ、表示部１０によって、放電電流値が表示される。また、接触針５はコネクター６で取り替えることにより、形状の変更ができ、ターミネータ７はコネクター８で取り替えることにより、抵抗の変更ができる。これらにより即時性と汎用性をもって放電電流の検出が可能である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯電物体へ接触させるための接触針と、この接触針に接続された電流線路と、この電流線路に接続されＧＮＤへ放電させる抵抗を有する放電電流測定装置であって、磁気コアの1次側に放電電流を流す前記電流線路と、磁気コアの2次側の巻線により2次側電流を得る構成のトランスを設け、放電電流波形を計測し、ピーク値や電荷量、エネルギー値を表示する手段を設けたことを特徴とする放電電流測定装置。
【請求項２】
前記放電電流測定装置は、前記接触針から前記電流線路、前記抵抗を有し、前記トランスを設けた電流プローブ部と、放電電流波形を計測し表示する検出表示部により構成され、前記電流プローブ部と前記検出表示部の間は、コネクターで接続されている構成であり、前記コネクターから分離したときには、前記電流プローブ部は独立した電流プローブとしての使用を可能とすることを特徴とする放電電流測定装置。
【請求項３】
前記電流プローブ部は、前記接触針の形状、導電性の材料を交換可能とする接続用のコネクターと、前記抵抗を内蔵するターミネータを交換可能とする接続用のコネクターを設けた構成を特徴とする放電電流測定装置。
【請求項４】
前期放電電流測定装置の形態として、前記電流プローブ部と前記検出表示部を一体型とし、前記電流線路と抵抗を内蔵し、インダクタンスの発生を少なくしたことにより高周波に応答することを可能とし、簡単な取り扱いとコストダウンを可能とする構成を特徴とする放電電流測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電気帯電した物体に接触針を接触させ、そのとき流れる放電電流を測定する装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体や磁気ヘッドなどのデバイスは、集積度が向上し、その検出部が高感度になってくるに伴い、静電気放電（ESD）に対してより敏感で破壊され易くなっている。このようなデバイスの端子部と帯電した金属物が接触するときに、電位差があると、接触に伴う放電が起こる。このような金属間の接触による放電は、接触抵抗が低いため、電位差が小さくても大電流の放電になり易く、デバイスの静電気破壊を引き起こす主な要因となっている。この様なデバイスの接触による静電気破壊は業界においても注目されており、接触放電によるＧＭＲヘッドの静電気破壊についての報告がある（例えば、非特許文献１参照）。また、微小容量間の接触放電とその電流波形についての詳細な報告がある（例えば、非特許文献２参照）。
【０００３】
図８に、デバイスの静電気破壊テストを行うための実験装置の例を示す。実験装置はＧＮＤに接続された測定台５１の上に組み立てられている。帯電した絶縁体または電圧を印加した金属板５２などの上に、測定物となるデバイス５３を置く。このときデバイスは静電界により誘導帯電されている。上方から放電針５４を下ろして行き、デバイスの端子に接触すると、静電気放電により、接触針から導線を通ってGNDへと放電電流５５が流れる。この放電電流の電流波形の測定は、導線の部分を電流プローブ５６に通して、同軸ケーブル５７ａを用いてオシロスコープ５７に接続し、電流波形を観察することによって行われる。
【０００４】
デバイスとして代表的な磁気ヘッド（GMRヘッド）を用い、静電気破壊テストを測定した例を図９に示す。GMRヘッドは抵抗変化で磁界を検出するデバイスである。この図９（ａ）の例は、帯電電圧の印加電圧を上げていき、放電後のヘッド抵抗をプロットしたものである。約５０Ωの初期抵抗であったものが、印加電圧を上げていき６０Vを超えたところで、抵抗が上昇し、素子の一部が破壊されている。このときの電流波形は図９（ｂ）のようなものであった。この放電電流は1ナノ秒以下のパルス波形であり、そのピーク電流値は２００ｍＡに達している。このように、静電気放電の電流は短時間のパルスでかつピーク値が高いため、電流波形の測定にはギガヘルツ以上の帯域を持つ電流測定装置が必要とされる。
【０００５】
従来の技術では、デバイスの静電気環境を評価するには、表面電位計を用いて物体の帯電電圧を測る方法がある。この方法では、電位は測定が可能であるが、その物体に接触したときに流れる放電電流が測定できるわけではなかった。また、金属物体に帯電した電荷量を測る装置として、クーロンメータがある。このクーロンメータは金属物体に蓄積した電荷量を測定することが可能であるが、実際に放電したときの放電電流を測定することはできないという不都合がある。
【０００６】
従来の帯電量を測る装置において、放電電流波形を測る技術がある（例えば、特許文献１参照）。この特許においては、帯電した被測定物体にプローブを接触させ、被測定物体上の電荷を抵抗とコンデンサーからなる積分器で検出するものである。この方法では、電荷を測定することは可能であるが、積分器を用いているため、放電電流は積分器の時定数に応じた速度で流れこむため、実際に金属接触で起こる放電電流を計測することが出来ないという不都合がある。
【０００７】
従来の放電特性を評価する方法において、放電電流波形を測る技術がある（例えば、特許文献２参照）。この特許においては、マット上に配置された環状の電流プローブを用いて、帯電させたコンデンサーに取り付けた金属部材をマットに接触させ、そのときの放電電流を電流プローブで測定するものである。この方法では、マットの導電性を評価するために組み立てられており、接触部材と電流プローブは個別に配置されている、したがってデバイスなどの静電気放電を評価するに適したものではない。また、電流プローブはギガヘルツの周波数特性を目的としたものでもない。
【０００８】
したがって従来は、デバイスからの放電電流を測定するため、前記図８のような装置を作り、オシロスコープ５７と電流プローブ５６を用いて測定する方法で評価していた。ここで用いられる電流プローブには、例えばテクトロ二クス社のＣｔ6電流プローブがある。このような従来の電流プローブは、図１０（ａ）に示すように、電流を通すための貫通孔５６ａが開いている。このような電流プローブを用いるときは図１０（ｂ）に示すように、貫通孔５６aに、電流線５６ｂを通して用いる。この電流線は基板５６ｃ上のパターンを経由し、基板上に実装されたコネクター５６ｄにより外部へ接続される。このような使用形態では、電流線の長さや線径などにより、付加的なインダクタンスLと容量Cが増加するため、電流波形に影響を与えるという不都合がある。
【０００９】
線材のインダクタンスＬは、一般的に下記の数式１で表されることがすでにわかっている。
【００１０】
【数１】
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【００１１】
上記の式で、Ｄは線径、Ｗは長さである。透磁率と円周率は既知の値である。この式よりインダクタンスLを見積もると、直径が0.4ｍｍで長さ10ｍｍの線材は、２．５ｎＨのインダクタンスを持っている。同一直径で、長さを５ｍｍに半減すると、インダクタンスは０．９５ｎＨとなる。ギガヘルツ帯域の電流波形において、線材によるｎＨオーダのインダクタンスが影響を与えることは、一般的に理解できることである。このように従来の測定方法では、電流線の長さによって、線材によるインダクタンスの発生があり、結果として電流プローブを通して観察される電流波形の高周波特性に影響を与えるという不都合がある。
【００１２】
また、磁気ヘッドなどの電流値によって静電気破壊が発生するデバイスでは、オシロスコープの電流波形からピーク値を読取り、静電気破壊に対する指標とする必要があり、波形ごとに分析するという煩雑な作業が必要である。このため生産ラインにおいて静電気破壊の試験をするには、電流プローブとオシロスコープを用いて評価装置を組み立てる必要があり、実用とするには困難である。
【００１３】
また一般的に、静電気の発生し易い、乾燥した冬季などにおいて、人がドアノブなどの金属に接触したときに静電気放電により電撃を感じることがある。このような帯電した人体からデバイスへの放電によって、生産ラインにおいてデバイスの静電気破壊を起こすことがある。このような人体の帯電の危険性について、適切に電流を測定する装置がなく、人体電位計を用いて、その電圧を評価の指針としていた。しかしながら、この方法では、実際の放電電流を評価することができないという不都合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開２００２−３６５３２２号公報
【特許文献２】特開２００５−２０７９２７号公報
【非特許文献】
【００１５】
【非特許文献１】ＲＣＪ信頼性シンポジウム、2009年発表論文集19Ｅ−14、125ページ、“接触放電によるデバイスの静電気破壊‐容量変化と放電‐”
【非特許文献２】“Characterization of Contact Discharge Between Small-Capacitance Devices”, Industry Applications, IEEE Transactions on Volume: 48, Issue: 4, 2012, Page(s): 1189-1194.
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
電流プローブとオシロスコープを用いた従来の放電電流の測定方法は、静電気破壊に対する影響を評価することができる。しかしながら、この方法では、実際に必要とされる工場のラインなどでは、汎用性が無く測定は困難であった。例えば、ラインの稼働中に、適切な測定箇所に、オシロスコープと電流プローブを配置し、さらにGNDへの放電経路を作成するためには、スペースに制約があったり、また測定に時間が掛かったりするため、実用的な方法ではなかった。
【００１７】
また、ギガヘルツの帯域をもつ静電気放電は、放電経路による付加的なLやCによって電流波形が変化を受ける。特に、GNDへ接続する線材が長くなると、波形の立ち上がりは遅くなり、ピーク値も低いものとなるため、実際の放電に近い条件で測定することは困難であった。
【００１８】
さらに、放電に影響を与える放電抵抗や接触針によって、電流波形が変化しピーク値が変化するため、条件を一定にした信頼性のある測定が困難であった。本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、物体の帯電による静電気放電の危険性を把握するために、放電による電流評価を迅速に、且つ正確に行うことが可能な、放電電流測定装置を提供することを目的としている。
【００１９】
そのために、本装置は、特別な部品を付加することなく、帯電物体に接触することで電流の計測を可能とすることを目的とする。これにより条件の安定した再現性のある評価方法を提供している。
【００２０】
また従来技術では、回路基板上に実装された静電気に弱いデバイスの、破壊検査をすることは困難であった。したがって、実装基板の不良が起こったときには、原因の解明に時間が掛かり、その対策を立てることが困難な場合があった。本発明の電流プローブ部を用い、あらかじめ基板に実装しておく事により、不良に際して、放電実験の解析が可能になるような方法を提供している。
【００２１】
また人体からの放電については、帯電した人が指先などで測定端子へ接触することにより、実際に近い状態で放電電流が計測できるような測定装置を提供している。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
本発明は、上記課題を解決するために、帯電物体からの放電電流を検出する測定方法において、帯電物体に接触し放電電流を計測するための電流プローブ部とその出力を計測し表示する検出表示部とからなる放電電流測定装置を提供する。
前記電流プローブ部は、電流線路と、トランスと巻き線および回路素子からなる電流プローブ本体と、そこにコネクターによって接続される接触針、およびコネクターによって接続されるターミネータからなっている。帯電物体に前記接触針を接触させたときに放電した電流は、前記電流線路により前記トランスを通過したのち前記ターミネータ部に内蔵された抵抗を通りGNDへと放電される。一方、前記トランスの2次側巻き線からの出力は前記回路素子を経由したのち、コネクターによって接続された前記検出表示部へ送られ、計測の後、表示部によって放電電流のピーク値や電荷量、エネルギー値などが表示される。
【００２３】
放電電流の流れる経路は、前記接触針から電流線路を通りターミネータ部の抵抗に至る部分であり、プローブ本体に内蔵されている。これにより実験者による新たな部品の追加を必要としないため、再現性のある安定した測定が提供される。また、測定に必要とされる高周波特性についても、前記電流線路は接触針のコネクターとターミネータ部のコネクターの端子間にあるトランスを通過するのみであり、最小限の長さで設計することができる。したがって、電流線路を形成する線材の長さによる、付加的なインダクタンスLと容量Cの発生を最小限に抑えることができる構造であり、ギガヘルツ帯域の特性が提供される。
【００２４】
放電電流は接触針の形状や劣化によって影響を受ける。本発明では、前記接触針はコネクターに取り付けられており、必要に応じて交換して用いることを提案している。接触針の形状については、針状から棒状のものから円形のものまで対象物に応じて交換することができる。さらにばねを内蔵した衝撃を吸収する構造の接触針を用いることができる。材料については、導電性の金属（銅、タングステン、真鍮、ＳＵＳなど）で信頼性と加工性のある材料が用いられる。また、抵抗性を有した導電性セラミックスなどを用いてもよい。これらにより再現性と信頼性のある測定を提供している。また、放電電流は放電抵抗によって、電流波形やピーク値に影響を受ける。本発明では、前記ターミネータ部の抵抗をコネクターにより交換可能としており、実験の必要に応じて放電抵抗を変化させることが可能であり、放電抵抗の影響を測定できるような環境を提供している。
上記のように本発明により、放電電流の検出に際して、接触針と抵抗の条件を選択することができ、より現実に即した条件での測定を提案する。
【００２５】
また、本発明では、前記電流プローブ部を前記検出表示部からコネクターの部分より分離し、ケーブルを用いてオシロスコープへ接続することで、電流波形の観察ができるようになっている。この方法により、正確な電流波形の測定が必要となったときには、コネクター部より分離することで、直ちに対応できるような測定環境を提供している。
【００２６】
本発明の、前記電流プローブ部はコネクターを用いて、回路基板上に実装しておくことが可能である。回路基板の実使用において、静電気問題が発生したときには、このあらかじめ実装しておいた電流プローブ部にオシロスコープを接続することにより、放電による電流を観察することができる。この方法を用いることにより、回路基板を変更することなく、問題となった静電気不良の解析を進めることを可能としている。
【００２７】
また人体からの放電電流を検出するときには、前記電流プローブ部の接触針の形状を、人の指先などで接触し易いような円形形状などに取替え変更することができる。これにより、安定した接触を可能とし、再現性のある人体放電の測定装置を提供する。
【発明の効果】
【００２８】
以上説明したように、本発明の放電電流測定装置を用いると、帯電した導電性の物体に接触することにより、放電電流を測定することが可能となる。これにより、帯電したデバイスからの放電を電流値によって評価することができ、デバイスの静電気破壊についての詳細な情報を得ることができる。また一方、帯電したドライバーなどの治工具類からの放電を電流値により評価することにより、治工具がデバイスに接触するときの危険性を予測することができる。さらに本発明品は小型で取り扱いも容易であるため、専門的な知識を必要とせず、一般の人による汎用的な使用を可能としている。
【００２９】
また、電流プローブ部を独立して使用し、オシロスコープで電流波形を観察することができるため、帯電物体と静電気放電に伴う電流波形に関する詳細な情報が得られ、デバイスなどの破壊現象をより詳しく評価することが可能となる。さらにターミネータを取り替えることで放電抵抗が変更できるため、デバイス内の抵抗や接触抵抗などの影響を定量的に評価することを可能としている。
【００３０】
また、本発明品の放電針は取替え可能となっており、人体などからの放電電流の測定に際しては、人体接触に適した形状とすることにより、人体放電を適切に評価することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】放電電流測定装置の全体構成を示す外観図である。
【図２】本発明の装置を使用する例を示す図である。
【図３】本発明の電流プローブ部の内部を示す構成図である。（a）は側面から見た内部断面図であり、（b）は上部からみた内部断面図である。
【図４】本発明の回路構成を示す図である。
【図５】本発明の電流プローブ部を用いて放電電流波形を測定するときの構成図である。
【図６】本発明の電流プローブ部を基板実装し、電流波形を測定するときの構成図である。
【図７】本発明の一体型放電電流測定装置の外形図である。
【図８】従来の帯電した物体から放電電流波形を観察するときの測定例を示す図である。
【図９】放電によるGMRヘッドの抵抗変化のグラフと放電電流波形例を示す図である。
【図１０】従来の電流プローブと電流測定の使用例を示す図である。（ａ）は、従来の電流プローブの外観図である。（ｂ）は、従来の電流プローブを使用するときの使用例である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。
図１は、本発明の実施の形態例である放電電流測定装置の全体構成を示す外観図である。
図１に示す放電電流測定装置１は、帯電物体に接触し静電気放電を発生させ、その時の電流ピーク値、電荷量、エネルギー値を測定するための装置であり、本実施の形態では、放電電流測定装置１は電流プローブ部２、検出表示部３とからなり、コネクター４により接続されている。この電流プローブ部２は、接触針５とコネクター６及びターミネータ７とコネクター８によって構成される。検出表示部３は、電源SW９、表示部１０とGND端子１１によって構成される。
【００３３】
電流プローブ部２は、帯電物体に接触し静電気放電を発生させ、その放電電流をトランスにより変換し、周波数特性と感度を調整した後、検出表示部に送る装置である。接触針５は、測定対象物に接触させ放電させるための接触針であり、コネクター６によって前記電流プローブ部２に取り付けられる。したがって、接触針の形状を変更するときや劣化による交換の時にはコネクター６によって行う。ターミネータ７は、接触針５から入ってきた放電電流をGNDへ流すときの抵抗７aを内蔵しており、コネクター８によって前記電流プローブ部２に取り付けられる。したがって、放電時における放電抵抗を変更するときには、コネクター８によって交換する。ここで例えば、抵抗値は、０Ωのときは接触抵抗が無いときを表し、デバイスの抵抗値に設定するとデバイスに接触放電したときの放電電流を試験することができる。
【００３４】
検出表示部３は、前記電流プローブ部２からコネクター４を経由して送られた信号からピーク値を検出し表示する装置である。SW９は、本体の電源をON、OFFする。表示部１０は、ピーク値を表示する、同時に放電の極性＋、−と、電流の単位mAなどを表示する。GND端子１１は、本装置全体のGNDを取るために、ケーブルの端子を外部のGNDへ接続させる構成となっている。
ここで、表示部は、放電電流の電荷量を表示してもよい。そのときには、電荷の単位Ｃ（クーロン）、ｎＣ（ナノクーロン）などを表示する。また、放電電流のエネルギー値を表示してもよい。そのときには、エネルギーの単位Ｊ（ジュール）、ｎＪ（ナノジュール）などを表示する。
電源のＳＷ９は、表示の内容である、電荷量、エネルギー値を切り替えるために、兼用することも可能である。
【００３５】
前記コネクター４，６と８は、それぞれオス・メスの一対からなっており、２つの部品を接続するために用いる。例えば、接触針においては、ＳＭＡコネクターのメス側を本体に用い、オス側に接触針を取り付けて用いている。ここに用いるコネクターの種類については、伝送周波数帯域とサイズおよび使い易さなどの観点から選択することが可能である。
【００３６】
この測定装置を使用した基本的な測定例を図２に示す。測定台５１は、GNDに接続されており測定の基準となっている。測定台５１上に、配置された帯電体５２がある。この帯電した物体の上に、測定物となるデバイス５３が置かれている。このような配置においては、帯電物体からの静電界により、測定物は誘導帯電している。この状態の測定物に、本発明である放電電流測定装置１の接触針５を近付け接触させると、接触の瞬間に放電電流がながれ、ターミネータ７に内蔵された抵抗７aを経由してGND端子１１へと流れる。この流れた放電電流のピーク値が表示部１０に表示される。
【００３７】
ここで例えば、測定物５３は、導電性の物体であり電荷を貯めるものであればよい。さらには、測定物は人体であってもよい。また、接触針５の形状は針状でなく、物体に接触し易い形状の棒状や円形でもよい、さらには、人体の接触に安全な任意の形状でもよい。接触針５の材料は、導電性の金属（銅、タングステン、真鍮、ＳＵＳなど）や導電性セラミックスなどを用いる。また、接触針５の構造に、ばねなどを内蔵し弾性を持たせたものでもよい。また、測定物の置かれている環境は、帯電した物体の上に限定しない、例えば、生産のラインにおける任意の場所に配置されていたり、吊るされていたりしてもよい。
【００３８】
図３に電流プローブ部２の構成を示す。図３（a）は側面から見た内部断面図であり、図３（b）は上部からみた内部断面図である。接触針５から入った放電電流は、電流線路２２を通り、ターミネータ７に内蔵された抵抗7aを経由してGNDへ流れる。電流線路２２は、円筒状の磁気コア２１の中心孔を通過しており、放電電流は磁気結合により磁気コア中に磁束を発生させる。磁気コア２１には、2次側巻線２３が巻かれており、磁気結合により、巻数に対応した電流を発生させる。補正回路２４により、２次側電流の周波数特性と感度が調整された後、コネクター４により、検出表示部３へ送られる。
電流プローブ部２のケース２aは、金属でできており、電流プローブ内部へのシールド効果を有し、またコネクターのＧＮＤとなっている。
ここで、電流線路２２は磁気コア２１に対して、任意のターン数を巻いてもよい。また、磁気コアは、円筒でなく多角形の形状でもよい。
また、補正回路２４は、検出表示部３の内部にあってもよい。
【００３９】
図４に回路構成を示す。接触針５から入った放電電流Ｉ１（２５）は電流線路２２をとおりターミネータ７の抵抗７aをとおりＧＮＤへ流れる。ここで電流線路２２と磁気コア２１および巻線２３は、磁気結合によりトランス２０を形成している。電流線路２２に流れた放電電流は、磁気結合により電流値に応じた2次電流を巻き線２３に発生させる。電流線路２２のターン数をｎ１、巻線２３のターン数をｎ２とすると、ｎ１×Ｉ１＝ｎ２×Ｉ２の関係により２次側巻線２３に電流Ｉ２（２６）を生じる。この電流Ｉ２は、補正回路中にある負荷抵抗Ｒ２４aによって電圧出力となり検出表示部３へ送られる。ここで補正回路は、インダクタンス、抵抗とコンデンサーからなる回路網であり（図示せず）、電流プローブの周波数特性を平坦に補正し、使用帯域を決定するための回路となっており、この回路網による負荷抵抗Ｒ２４aが入力の電流に比例した電圧出力を与える。
【００４０】
検出表示部では、電流プローブ部より送られてきた電圧出力の波形からピーク検出３１を行い、その出力はＡＤ変換/ＣＰＵ３２に送られる。ＡＤ変換/ＣＰＵ３２によって、デジタル化したのち計測し入力電流値に変換されたのち、極性の＋、―及び単位ｍＡとともに入力電流のピーク値を表示部１０によって表示する。ここで、ピーク検出回路をバイパスし、ＡＤ変換/ＣＰＵ３２によって、電流波形から電流値を時間積分することにより、放電した総電荷量を計算し表示することが可能である。さらには、ターミネータ７の抵抗７aと電流波形から、ＡＤ変換/ＣＰＵ３２により、Ｉ２Ｒの時間積分を行い、発生した放電エネルギー量を計算し表示することが可能である。
【００４１】
図５に、本発明である電流プローブ部２を独立した放電電流プローブとして使用する例を示す。電流プローブ部２から出力した信号は、コネクター４に接続された同軸ケーブル５７aによりオシロスコープ５７へ接続されている。このような接続をすることにより、帯電物体へ放電針５を接触させることで、その時に発生した放電電流の波形をオシロスコープにより観察することができる。
【００４２】
また、図６には、電流プローブ部２を基板実装し電流プローブとして用いるときの構成を示す。回路基板５８の中において、電流を測定したい部分にあらかじめコネクターにより電流プローブ部を実装しておく。この場合には、電流の測定端子としてコネクター６と８を用いて回路基板に実装する。回路基板からコネクター６により電流プローブに入った電流は、コネクター８から回路基板へ出て行く。出力は、コネクター４に接続した同軸ケーブル５７aを経由してオシロスコープ５７により観察する。このような目的で使用するときには、オシロスコープを接続していないときには、例えば同軸ケーブルの特性インピーダンスとオシロスコープの終端抵抗である50Ωに対応して、コネクター４に50Ωターミネータをあらかじめ接続しておくことにより、観察によるインピーダンスの変化が無く正確な測定が可能となる。
【００４３】
図７に、本発明の一体型放電電流測定装置の外観を示す。ここでは、電流プローブ部と検出表示部が一体となっており、接触針５によって帯電物体から入った電流は、電流経路を経て、内蔵された抵抗を通してＧＮＤへ流れる。電流プローブ部のトランスによって変換された後、検出回路で計算され、表示部によってピーク電流値が表示される。この様な構成によって、電流線路とトランス、抵抗は内蔵され、且つコネクターとの接続が不要となり、電流線路を短く設計することができる。これによりインダクタンスの発生を少なくし、良好な高周波特性を得ることが可能である。また本発明は、一体型にすることにより、簡単な取り扱いとコストダウンを可能としている。
【符号の説明】
【００４４】
１……放電電流測定装置、２……電流プローブ部、２a……電流プローブ部ケース、３……検出表示部、４……コネクター、５……接触針、６……コネクター、７……ターミネータ、７a……抵抗、８……コネクター、９……SW、１０……表示部、１１……GND端子、１２……電源、２０……トランス、２１……磁気コア、２２……電流線路、２３……巻線、２４……補正回路、２４a……負荷抵抗Ｒ、２５……放電電流I1、２６……2次側電流I2、３１……ピーク検出、３２……AD変換/CPU、３３……表示器回路、５１……測定台、５２……帯電体、５３……デバイス、５４……放電針、５５……放電電流、５６……電流プローブ、５６a……貫通孔、５６ｂ……電流線、５６ｃ……基板、５６ｄ……コネクター、５７……オシロスコープ、５７a……同軸ケーブル、５８……回路基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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