(57)【要約】【課題】より簡便で確実に漏れ防止を実現し得る漏れ試験方法、及び漏れ試験に用いる流体供給ヘッドを提供する。【解決手段】本発明の漏れ試験方法は、内部に流路１を有する流体供給ヘッド２を容器３の開口部３ａに差し込む第１工程と、前記容器３内に流体を供給することにより該容器３内を加圧状態とする第２工程と、を少なくとも有する容器３の漏れ試験方法であって、前記流体供給ヘッド２は、厚肉部２ａと、該厚肉部２ａよりも先端側に位置する薄肉部２ｂとを有している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に流路を有する流体供給ヘッドを容器の開口部に差し込む第１工程と、
前記容器内に流体を供給することにより該容器内を加圧状態とする第２工程と、
を少なくとも有する容器の漏れ試験方法であって、
前記流体供給ヘッドは、厚肉部と、該厚肉部よりも先端側に位置する薄肉部とを有していることを特徴とする漏れ試験方法。
【請求項２】
試験対象である容器（以下、「被検容器」と記載する）と、参照容器の両方に流体を供給した後、前記被検容器の内圧と前記参照容器の内圧とを比較する工程を有する請求項１に記載の漏れ試験方法。
【請求項３】
前記第１工程および前記第２工程の後に、前記容器内に流体を供給せずに所定時間放置する第３工程を有する請求項１または２に記載の漏れ試験方法。
【請求項４】
容器の開口部に差し込まれ、該容器内に流体を供給することによる漏れ試験に用いる流体供給ヘッドであって、
該流体供給ヘッドは、内部に流路を含み、厚肉部と、該厚肉部よりも先端側に位置する薄肉部とを有していることを特徴とする流体供給ヘッド。
【請求項５】
前記流体供給ヘッドは、先端側から第１区間および第２区間を有しており、
前記第１区間では、前記流体供給ヘッドの外径は、前記容器の開口部の内径よりも大きく、前記第２区間では、前記流体供給ヘッドの外径は、前記容器の開口部の内径よりも小さい請求項４に記載の流体供給ヘッド。
【請求項６】
前記第２区間は、前記流体供給ヘッドの先端から離れるほど前記流体供給ヘッドの外径が拡がるテーパー形状を有している請求項５に記載の流体供給ヘッド。
【請求項７】
前記流体供給ヘッドは、外側面に突起部を有しており、当該突起部が前記開口部に当接している状態においては、前記薄肉部の全部が前記開口部内に収容されている請求項４〜６のいずれかに記載の流体供給ヘッド。
【請求項８】
前記厚肉部の肉厚は、前記薄肉部の肉厚の４倍〜１５倍である請求項４〜７のいずれかに記載の流体供給ヘッド。
【請求項９】
前記流体供給ヘッドよりも剛性の高い材料で構成されている押圧手段に接続されている請求項４〜８のいずれかに記載の流体供給ヘッド。
【請求項１０】
容器の開口部に差し込まれ、該容器内に流体を供給することによる漏れ試験に用いる流体供給ヘッドであって、  
該流体供給ヘッドは、流体供給ヘッド本体と、該流体供給ヘッド本体の外側に配された筒状弾性部材を有しており、
該流体供給ヘッド本体は、先端側から第４区間、第５区間、および第６区間を有しており、前記第４区間における流体供給ヘッド本体の外径は、前記容器の開口部の内径よりも小さく、前記第５区間における流体供給ヘッド本体の外径は、前記第４区間における流体供給ヘッド本体の外径よりも小さく、前記第６区間における流体供給ヘッド本体の外径は、前記第５区間における流体供給ヘッド本体の外径よりも大きく、
前記第６区間における流体供給ヘッド本体には、前記第５区間内であって前記流体供給ヘッド本体の外側に流体を供給するための流路を有しており、
前記筒状弾性部材は、前記第６区間における流体供給ヘッド本体に固定されており、前記第４区間における流体供給ヘッド本体には固定されていないことを特徴とする流体供給ヘッド。
【請求項１１】
前記第４区間における流体供給ヘッド本体の外径ｄ１（ｍｍ）と前記筒状弾性部材の厚さＴｈ（ｍｍ）と前記容器の開口部の内径Ｄ（ｍｍ）とは、下記（１）式を満たしている請求項１０に記載の流体供給ヘッド。
０．８５×Ｄ＜ｄ１＋２Ｔｈ＜０．９５×Ｄ  ・・・（１）
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、漏れ試験方法、及び当該漏れ試験に用いる流体供給ヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
容器内に封入された気体の漏れ検査（リークテスト）では、通常、検査対象となる容器（以下、「被検容器」或いは「ワーク」と記載する場合がある）に形成される開孔より、圧縮空気が被検容器内に封入され、被検容器内に圧力低下が発生するか否かで気体漏れの有無が判断される。そのため、被検容器の開孔は、シール部材で封止されたり、圧縮空気の封入口を接続されたりする。シール箇所または封入口の接続部で漏れがあると正確に漏れ試験をすることができないので、接続部は確実に封止されている必要がある。
【０００３】
例えば、特許文献１には、ワークの漏れ試験のために、そのワークの管状口部に係り合うことで、その管状口部の先端開孔を封止する栓が記載されており、栓本体の内部に先細りのテーパー状の窪みが形成された栓が記載されている。圧縮空気の供給を受ける管状口部が栓本体のテーパー状の窪みに押し当てられることにより、管状口部と栓本体が確実に係合するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−１９４００３号公報（図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載されている漏れ試験方法によっても一定の漏れ防止が達成されているが、特許文献１では、栓本体を管状口部に確実に押し当てるための駆動装置（例えばピストン機構）が必要となっていた。そこで本発明は、より簡便で確実に漏れ防止を実現し得る漏れ試験方法、及び漏れ試験に用いる流体供給ヘッドを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決し得た本発明の漏れ試験方法は、内部に流路を有する流体供給ヘッドを容器の開口部に差し込む第１工程と、前記容器内に流体を供給することにより該容器内を加圧状態とする第２工程と、を少なくとも有する容器の漏れ試験方法であって、前記流体供給ヘッドは、厚肉部と、該厚肉部よりも先端側に位置する薄肉部とを有しているものである。本発明では、流路に加圧状態の流体が流れてきたときに、厚肉部は相対的に剛性が高いためにその外形を保持しているが、他方、薄肉部は剛性が低いために、流路の内圧により外側に向かって押し拡げられる。そのため、流体供給ヘッドは、その薄肉部において容器の開口部の内壁に向かって押しつけられ、流体供給ヘッドと開口部とが互いに固定された状態となる。漏れ試験が終了して流路の内圧が下がれば、流体供給ヘッドの薄肉部は元通りに縮径するため、容器の開口部から容易に取り外すことができる。
【０００７】
上記漏れ試験方法において、試験対象である被検容器と、参照容器の両方に流体を供給した後、前記被検容器の内圧と前記参照容器の内圧とを比較する工程を含むことが好ましい。
【０００８】
上記漏れ試験方法において、前記第１工程および前記第２工程の後に、前記容器内に流体を供給せずに所定時間放置する第３工程を備えることが好ましい。
【０００９】
上記課題を解決し得た本発明の流体供給ヘッドは、容器の開口部に差し込まれ、該容器内に流体を供給することによる漏れ試験に用いる流体供給ヘッドであって、該流体供給ヘッドは、内部に流路を含み、厚肉部と、該厚肉部よりも先端側に位置する薄肉部とを有しているものである。
【００１０】
上記流体供給ヘッドは、先端側から第１区間および第２区間を有しており、前記第１区間では、前記流体供給ヘッドの外径は、前記容器の開口部の内径よりも大きく、前記第２区間では、前記流体供給ヘッドの外径は、前記容器の開口部の内径よりも小さいことが好ましい。
【００１１】
上記流体供給ヘッドの前記第２区間は、前記流体供給ヘッドの先端から離れるほど前記流体供給ヘッドの外径が拡がるテーパー形状を有していることが好ましい。
【００１２】
上記流体供給ヘッドは、外側面に突起部を有しており、当該突起部が前記開口部に当接している状態においては、前記薄肉部の全部が前記開口部内に収容されていることが好ましい。
【００１３】
上記流体供給ヘッドにおいて、前記厚肉部の肉厚は、前記薄肉部の肉厚の４倍〜１５倍であることが好ましい。
【００１４】
上記流体供給ヘッドは、該流体供給ヘッドよりも剛性の高い材料で構成されている押圧手段に接続されていることが好ましい。
【００１５】
上記課題を解決し得た本発明の流体供給ヘッドは、容器の開口部に差し込まれ、該容器内に流体を供給することによる漏れ試験に用いる流体供給ヘッドであって、該流体供給ヘッドは、流体供給ヘッド本体と、該流体供給ヘッド本体の外側に配された筒状弾性部材を有しており、該流体供給ヘッド本体は、先端側から第４区間、第５区間、および第６区間を有しており、前記第４区間における流体供給ヘッド本体の外径は、前記容器の開口部の内径よりも小さく、前記第５区間における流体供給ヘッド本体の外径は、前記第４区間における流体供給ヘッド本体の外径よりも小さく、前記第６区間における流体供給ヘッド本体の外径は、前記第５区間における流体供給ヘッド本体の外径よりも大きく、前記第６区間における流体供給ヘッド本体には、前記第５区間内であって前記流体供給ヘッド本体の外側に流体を供給するための流路を有しており、前記筒状弾性部材は、前記第６区間における流体供給ヘッド本体に固定されており、前記第４区間における流体供給ヘッド本体には固定されていないものである。
【００１６】
上記流体供給ヘッドは、前記第４区間における流体供給ヘッド本体の外径ｄ１（ｍｍ）と前記筒状弾性部材の厚さＴｈ（ｍｍ）と前記容器の開口部の内径Ｄ（ｍｍ）とが、下記（１）式を満たしていることが好ましい。
０．８５×Ｄ＜ｄ１＋２Ｔｈ＜０．９５×Ｄ  ・・・（１）
【発明の効果】
【００１７】
本発明では、容器の漏れ試験方法において、流体供給ヘッドが、厚肉部と該厚肉部よりも先端側に位置する薄肉部とを有しているものであるため、流路に加圧状態の流体が流れてきたときに、厚肉部は相対的に剛性が高いためにその外形を保持しているが、薄肉部は流路の内圧により外側に向かって押し拡げられる。そのため、流体供給ヘッドは、その薄肉部において容器の開口部の内壁に向かって押しつけられ、流体供給ヘッドと開口部とが互いに固定された状態となる。したがって、流体供給ヘッドを容器の開口部へと差し込む方向に力を加え続ける必要がなくなる。よって、簡便で確実に漏れ防止を実現し得る漏れ試験方法、及び漏れ試験に用いる流体供給ヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は、本発明の実施の形態１にかかる流体供給ヘッドの断面図である。
【図２】図２は、本発明の実施の形態１にかかる漏れ試験方法の工程断面図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態１にかかる漏れ試験方法の工程断面図である。
【図４】図４は、漏れ試験のシステム構成図であり、（ａ）は、流体漏れがない場合の状態、（ｂ）は、漏れがある状態を示すものである。
【図５】図５は、図４のシステム構成による漏れ試験の経過時間と各部内圧との関係を示す図である。
【図６】図６（ａ）と図６（ｂ）は、本発明の実施の形態２にかかる流体供給ヘッドの断面図である。
【図７】図７は、本発明の実施の形態３にかかる漏れ試験方法の工程断面図である。
【図８】図８（ａ）は、本発明の実施の形態４にかかる流体供給ヘッドの断面図であり、図８（ｂ）は、図８（ａ）におけるＡＡ断面図である。
【図９】図９（ａ）は、本発明の実施の形態５にかかる流体供給ヘッドの断面図であり、図９（ｂ）は、図９（ａ）におけるＡＡ断面図である。
【図１０】図１０は、本発明の実施の形態４にかかる漏れ試験方法の工程断面図である。
【図１１】図１１は、本発明の実施の形態４にかかる漏れ試験方法の工程断面図である。
【図１２】図１２は、本発明の実施の形態４にかかる漏れ試験方法の工程断面図である。
【図１３】図１３は、本発明の実施の形態４にかかる漏れ試験方法の工程断面図である。
【図１４】図１４は、本発明の実施の形態４にかかる漏れ試験方法の工程断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、下記実施の形態に基づき本発明をより具体的に説明するが、本発明はもとより下記実施の形態によって制限を受けるものではなく、前・後記の趣旨に適合し得る範囲で適当に変更を加えて実施することも勿論可能であり、それらはいずれも本発明の技術的範囲に包含される。なお、本発明の特徴を理解に資することを優先しているため、各図面において、便宜上ハッチングや部材符号等を省略する場合もあるし、図面における種々部材の寸法が、実際の寸法とは異なる場合がある。
【００２０】
（実施の形態１）
［流体供給ヘッド］
まず、本発明の実施の形態１にかかる流体供給ヘッドについて図１を用いて説明する。図１は、実施の形態１にかかる流体供給ヘッドの断面図である。図１に示すように、内部に流路１を含む流体供給ヘッド２は、厚肉部２ａと、厚肉部２ａよりも先端側に位置する薄肉部２ｂとを有している。この流体供給ヘッド２は、容器３の開口部３ａに差し込まれ、この容器３内に加圧された流体を供給することによる漏れ試験に用いるものである。流体は、液体でも気体でもよいが、ここでは圧縮空気を用いた例について説明する。なお、上記の「先端側」というのは、開口部３ａ内に先に差し込まれる部分である。
【００２１】
実施の形態１にかかる流体供給ヘッド２に用いる材料には、特に制限はないが、好ましくは弾性体、例えば、プラスチック、ゴム、シリコーン樹脂等が用いられる。これにより、特に薄肉部２ｂを曲げやすくなる。流体供給ヘッド２の構成として必須のものではないが、流体供給ヘッド２は、先端部であって、流体供給ヘッド２の外周部に、外側に凸となるリブ５ａが形成されていることが好ましい。この構成により、リブ５ａが開口部３ａの内壁により確実に密着することから、流体供給ヘッド２から導入される空気の漏れが軽減される。
【００２２】
さらに好ましくは、流体供給ヘッド２は先端側から第１区間５および第２区間６を有しており、第１区間５では、流体供給ヘッド２の外径は開口部３ａの内径よりも大きく、かつ、第２区間６では、流体供給ヘッド２の外径は開口部３ａの内径よりも小さいことが好ましい。これにより、第１区間５において流体供給ヘッド２が開口部３ａの内壁に確実に密着することにより流体の漏れが軽減され、かつ、第２区間６では、流体供給ヘッド２の外径が開口部３ａの内径よりも小さいことから、開口部３ａへの流体供給ヘッド２の出し入れに伴う流体供給ヘッド２と開口部３ａとの擦れが軽減され、流体供給ヘッド２の出し入れが円滑となる。これにより、流体供給ヘッド２にも開口部３ａにも傷が付きにくくなり、流体の漏れ防止の観点で、いっそう優れた流体供給ヘッド２を提供することができる。
【００２３】
実施の形態１にかかる流体供給ヘッド２の第２区間６は、流体供給ヘッド２の先端側から離れるほど流体供給ヘッド２の外径が拡がるテーパー形状を有していることが好ましい。流体供給ヘッド２の先端側から離れた部分ほど（すなわち厚肉部２ａに近い部分ほど）、流体の押圧による流体供給ヘッド２の外径拡張の程度が小さいため、かかる部分において流体供給ヘッド２の外径を大きくすることは、開口部３ａの内壁への密着性を高めるうえで有利であるからである。テーパー形状のテーパー角（ヘッド２の軸方向に対する角度）は、例えば、３度〜６度である。
【００２４】
実施の形態１にかかる流体供給ヘッド２において、厚肉部２ａの肉厚は、薄肉部２ｂの肉厚の４倍〜１５倍であることが好ましい。かかる倍率を大きくとることにより、相対的に薄肉部２ｂが薄くなり、薄肉部２ｂの柔軟性が増し、開口部３ａの内壁への密着性を高めるうえで有利であるためである。より好ましくは５倍以上、さらに好ましくは６倍以上である。かかる倍率の上限は特にはないが、薄肉部２ｂの形状の自己保持性の観点からは、より好ましくは１３倍以下、さらに好ましくは１２倍以下である。
【００２５】
実施の形態１にかかる流体供給ヘッド２の大きさに特段の制限はないが、薄肉部２ｂの直径は、例えば、２ｍｍ〜１０ｍｍ、好ましくは３ｍｍ〜７ｍｍである。また、薄肉部２ｂの軸方向の長さは、例えば、３ｍｍ〜１５ｍｍ、好ましくは５ｍｍ〜１２ｍｍである。
また、厚肉部２ａの直径は、例えば、３ｍｍ〜１２ｍｍ、好ましくは４ｍｍ〜９ｍｍである。厚肉部２ａの軸方向の長さは、例えば、２ｍｍ〜１０ｍｍ、好ましくは３ｍｍ〜７ｍｍである。
【００２６】
実施の形態１にかかる開口部３ａは、流体供給ヘッド２を収容するための受け口であり、容器３自体に備わっている開口でも良いし、図１に示すように、容器３自体に備わっている開口とは別の筒状又は管状の部材により構成されたものであってもよい。
【００２７】
実施の形態１にかかる流体供給ヘッド２は、単独で開口部３ａ内に差し込むこともできるが、図１に示すように、流体供給ヘッド２の取り扱い性を向上させるために、流体供給ヘッド２を構成している材料よりも剛性の高い材料の保持体４に接続されていてもよい。この場合において、流体供給ヘッド２の内部に形成されている流路１は、保持体４内にも連通していることが望ましい。保持体４内の流路１は、流体供給源である圧縮空気供給装置（図示せず）に接続されている。
【００２８】
また、流体供給ヘッド２、或いは、流体供給ヘッド２と保持体４との接続体は、いずれも単独で開口部３ａ内に差し込むこともできるが、図１に示すように、開口部３ａ内に効率よく差し込むために、押圧手段である押圧ロッド７、更に把持部８に接続されていてもよい（以下、押圧ロッド７と把持部８とを合わせて「押圧部９」と記載することがある）。押圧ロッド７に用いる材料に特に制限はないが、流体供給ヘッド２の効率の良い差し込みを実現するため、流体供給ヘッド２よりも剛性の高い材料（金属、セラミック、プラスチック等）が用いられることが望ましい。
【００２９】
保持体４と押圧部９の両方を用い、押圧部９を保持体４の後側（流体供給ヘッド２とは反対側）に固定する場合には、保持体４内の流路１は、保持体４の側面を経て外部に導出される構造とすることが好ましい。
【００３０】
［漏れ試験方法］
次に、実施の形態１にかかる漏れ試験方法について図面を用いて説明する。
図２および３は、本発明の実施の形態１にかかる漏れ試験方法の工程断面図であり、より詳細には、図２は、第１工程を示す図であり、図３は、第２工程を示す図である。
【００３１】
（１）第１工程
図２に示すように、押圧部９を図示した矢印の方向（図面左方）に移動させることにより、流体供給ヘッド２を、容器３の開口部３ａ内に差し込む。この場合において、流体供給ヘッド２の先端部にリブ５ａを配置している場合には、先端部においては流体供給ヘッド２が容器３の開口部３ａの内壁に密着する場合があるが、これは本発明の必須の要件ではなく、特にリブ５ａが配置されていない場合には、流体供給ヘッド２と開口部３ａの内壁とは接触せず、隙間が空いていることもある。
【００３２】
（２）第２工程
次に、図３に示すように流路１を経由して、圧縮空気供給装置（図示せず）から容器３内に流体である圧縮空気を供給することにより容器３内を加圧状態とする。これに伴い、容器３に繋がっている開口部３ａ内、及び流体供給ヘッド２内も加圧状態となる。すると、薄肉部２ｂの内壁側から外側に向かって気圧がかかるために、薄肉部２ｂは、開口部３ａの内壁に向かって拡張し、開口部３ａの内壁に密着する。したがって薄肉部２ｂと開口部３ａとの間の隙間がなくなり、流体供給ヘッド２から導入される圧縮空気の漏れが防止又は軽減される。
【００３３】
実施の形態１にかかる流体供給ヘッド２の薄肉部２ｂの第２区間６は、一定の厚みを有することが好ましい。厚みに変化（ムラ）が存在する場合に比べて、一定の厚みを有する場合は、圧縮空気による薄肉部２ｂの変形が均一となり薄肉部２ｂが開口部３ａの内壁に均一に密着しやすくなる。そのため、圧縮空気の漏れを抑制しやすくなる。薄肉部２ｂの第２区間６の厚さは、例えば、０．３ｍｍ〜２．５ｍｍ、好ましくは０．５ｍｍ〜１．５ｍｍである。
【００３４】
なお、漏れ試験が終了して流路の内圧が下がれば、流体供給ヘッド２の薄肉部２ｂは元通りに縮径するため、容器３の開口部３ａから容易に取り外すことができる。
【００３５】
上記第１工程と第２工程との順序に特段の制限はなく、または、両工程が同時に進行してもよい。また、流体供給ヘッド２を開口部３ａ内に差し込む深さについても特に制限はないが、第２工程において流体供給ヘッド２の薄肉部２ｂの外径が増大することから、漏れ試験の途中で流体供給ヘッド２が開口部３ａから外れてしまわないよう、流体供給ヘッド２の薄肉部２ｂの全体を開口部３ａ内に差し込むことが望ましい。また、流体供給ヘッド２の確実な固定をより確実なものとする観点から、より望ましくは、厚肉部２ａを含めて、流体供給ヘッド２の全部を開口部３ａ内に差し込む。
【００３６】
圧縮空気を容器３内に注入するための流体供給ヘッドの形態には、実施の形態１において説明したものの他に種々のバリエーションがあるが、それらを説明する前に、上述の第２工程の後に通常行われる、参照容器を用いた漏れ試験工程について説明する。
【００３７】
［参照容器を用いた漏れ試験］
図４は、漏れ試験のシステム構成図であり、図４（ａ）は、流体漏れがない被検容器３Ａを用いた場合の状態、図４（ｂ）は、流体漏れがある被検容器３Ａを用いた場合をそれぞれ示すものである。図４（ａ）（ｂ）のシステム構成図において、漏れの検査対象となる被検容器３Ａと、比較対象となる参照容器３Ｂ（漏れの無いことが既に確認されている容器）とが、ダイヤフラムと呼ばれている膜が内部に配置されている差圧センサ１６を介して接続されている。被検容器３Ａと参照容器３Ｂとは、開閉バルブを介して外部から圧縮空気を注入できる構成となっている。圧縮空気の注入後、図４（ｂ）に示すように、被検容器３Ａに漏れが存在する場合、被検容器３Ａの内圧は、参照容器３Ｂの内圧よりも相対的に低くなるため、差圧センサ１６内のダイヤフラムは左側（被検容器３Ａ側）に偏る。この偏り幅を検出することにより、被検容器３Ａの内圧と参照容器３Ｂの内圧の相対量を検出することができる。
【００３８】
図５は、図４のシステム構成による漏れ試験の経過時間と各容器（被検容器３Ａと参照容器３Ｂ）の内圧との関係を示す図である。まずは、図４のバルブを「開」とすることにより、図５の左側の領域に「加圧時間」と示しているように、一定の時間、被検容器３Ａと参照容器３Ｂに圧縮空気を注入する。このときに用いる圧縮空気の圧力は、例えば、０．１ＭＰａ〜５ＭＰａ程度である。上述の第２工程に相当する工程である。ここで「一定の時間」というのは、各容器の内部の状態が安定するまでの所定時間である。各容器の内部の安定には、圧縮空気の注入による容器の変形や断熱変化による温度変動等の各要素が勘案される。
【００３９】
次に、図５の中央の領域に「平衡時間」と示しているように、図４のバルブを「閉」とすることにより圧縮空気の注入を止めて、一定の時間放置する第３の工程を設けることが好ましい。ここで「一定の時間」というのは、各容器の内部の状態が安定するまでの時間であり、主に、バルブの「閉」動作を原因とする容器内圧力の変動が落ち着くまでの時間である。この時間は、漏れ試験に用いる装置構成にもよるが、例えば、５秒〜３０秒程度である。このように、被検容器３Ａと参照容器３Ｂの両方に流体を供給した後であって、次に説明する被検容器３Ａの内圧と参照容器３Ｂの内圧とを比較する工程の前に、被検容器３Ａ内にも参照容器３Ｂ内にも流体を供給せずに所定時間放置する第３工程を設けることが好ましい。
【００４０】
更に、図５の「平衡時間」の右隣の領域に「検出時間」と示している間、差圧センサ１６の動きを検出する。例えば、被検容器３Ａに空気漏れがある場合には、内圧（ＰＡ）は、降下する。一方、参照容器３Ｂの内圧（ＰＢ）は基本的に降下しない。したがって、被検容器３Ａの内圧（ＰＡ）と参照容器３Ｂの内圧（ＰＢ）とを比較することにより、被検容器３Ａの漏れの程度を把握することができる。ＰＡとＰＢとを比較することには、ＰＢ−ＰＡの値を求めることも含む。差圧（ＰＢ−ＰＡ）が、被検容器３Ａの空気漏れに相当する圧力降下量である。その圧力降下量を定量的に把握することもできるし、その圧力降下量が、例えば一定の閾値を超えた場合に、被検容器３Ａには空気が漏れ「ある」と判定することもできる。
【００４１】
（実施の形態２）
次に、本発明の実施の形態２にかかる流体供給ヘッドについて図６（ａ）及び図６（ｂ）を用いて説明する。なお、説明の重複を避けるため、本発明の実施の形態１にかかる流体供給ヘッドと同じ構成には、同一の符号を付してその説明を省略する。図６（ａ）及び図６（ｂ）は、実施の形態２にかかる流体供給ヘッドの断面図である。本発明の漏れ試験では、上述のように、第２工程において流体供給ヘッド２の薄肉部２ｂの外径が増大することから、漏れ試験の途中で流体供給ヘッド２が開口部３ａから外れてしまわないよう、流体供給ヘッド２の所定部分（例えば薄肉部２ｂの全体）を開口部３ａ内に差し込むことが望ましい。一方、流体供給ヘッド２を差し込み過ぎると、例えば、流体供給ヘッド２が変形してしまうことにより正確な内圧測定ができなくなることや安定した内圧測定ができなくなること、或いは、開口部３ａの形状によっては開口部３ａと流体供給ヘッド２との間に不測の隙間を発生させるおそれがある。したがって、流体供給ヘッド２の差し込みを所定の位置で止めるための構造が流体供給ヘッド２或いは保持体４に備わっていることが望ましい。
【００４２】
そのような構造の一例として、図６（ａ）に示すように、流体供給ヘッド２（特に好ましくは厚肉部２ａ）は、外側面に突起部２ｃを有している。このような構成とすることにより、突起部２ｃが開口部３ａに当接するところまで流体供給ヘッド２を差し込めば、薄肉部２ｂの一部又は全部が開口部３ａ内に確実に収容されている状態となり、薄肉部２ｂが拡径した際にも流体供給ヘッド２は開口部３ａから抜けずに確実に固定された状態となり、また、流体供給ヘッド２の差し込み深さが一定となるため安定した内圧測定が可能となる。
【００４３】
また、他の構造の一例として、図６（ｂ）に示すように、流体供給ヘッド２が接続される保持体４は、流体供給ヘッド２の少なくとも一部に嵌合する凹部４ａを有していることが好ましい。このような構成とすることにより、保持体４は、流体供給ヘッド２の外周よりも外側に延出する部位を有することとなり、かかる部位は、突起部２ｃと同様の働きを担う。すなわち、図６（ａ）の場合と同様に、保持体４の一部が開口部３ａに当接するところまで流体供給ヘッド２を差し込めば、薄肉部２ｂの一部又は全部が開口部３ａ内に確実に収容されている状態となり、薄肉部２ｂが拡径した際にも流体供給ヘッド２は開口部３ａから抜けずに確実に固定された状態となり、安定した内圧測定が可能となる。また、流体供給ヘッド２の差し込み深さが一定となるため安定した内圧測定が可能となる。なお、薄肉部２ｂの全部を開口部３ａ内に収容させる観点からは、凹部４ａの深さは、厚肉部２ａの長さ（流体供給ヘッド２の差し込み方向の長さ）と同じとするか、厚肉部２ａの長さよりも浅くすることが好ましい。他方、厚肉部２ａを凹部４ａ内に確実に固定する観点からは、凹部４ａの深さは、厚肉部２ａの長さと同じとするか、厚肉部２ａの長さよりも深くすることが好ましい。
【００４４】
（実施の形態３）
次に、本発明の実施の形態３にかかる漏れ試験方法について図７を用いて説明する。図７は、実施の形態３にかかる漏れ試験方法を示す一部工程断面図である。なお、説明の重複を避けるため、本発明の実施の形態１の図３で既に説明した構成には、同一の符号を付してその説明を省略する。図７に示す漏れ試験方法が図３に示した漏れ試験方法と異なる点は、図３において用いられている開口部３ａは、内径が一定であるのに対して、図７において用いられている開口部３ａは、内径が、開口部３ａの先端（図面右側）に向かうほど小さくなっているテーパー部３ａａを有している点である。このような構成にすることにより、薄肉部２ｂの内壁側から外側に向かって気圧がかかった際に薄肉部２ｂからテーパー部３ａａの内壁に向かってかかる応力は、図７中の矢印で示したように斜め向きであり、流体供給ヘッド２の差し込み方向の成分を有している。そのため、流体供給ヘッド２がテーパー部３ａａの内壁から受ける抗力（反作用）は、流体供給ヘッド２が開口部３ａから抜けにくくなる方向（差し込まれる方向）の成分を含むこととなる。したがって、実施の形態３にかかる漏れ試験方法は、実施の形態１にかかる漏れ試験方法が奏する効果に加えて、流体供給ヘッド２が開口部３ａに差し込まれる方向の抗力を受けるという有用な効果を更に有するものである。
【００４５】
（実施の形態４）
次に、本発明の実施の形態４にかかる流体供給ヘッドについて図面を用いて説明する。図８（ａ）は、本発明の実施の形態４にかかる流体供給ヘッドの断面図であり、図８（ｂ）は、図８（ａ）におけるＡＡ断面図である。なお、説明の重複を避けるため、実施の形態１にかかる流体供給ヘッドと同じ構成には、同一の符号を付してその説明を省略する場合がある。
【００４６】
図８に示すように、実施の形態４にかかる流体供給ヘッドは、内部に流路１を含む流体供給ヘッド本体１５と、流体供給ヘッド本体１５の外側に配された筒状弾性部材１３を有している。また、流体供給ヘッド本体１５は、その先端側から順に第４区間１０、第５区間１１、および第６区間１２を有している。ここで「先端側」というのは、開口部３ａ内に先に差し込まれる部分である。
【００４７】
第４区間１０における流体供給ヘッド本体１５Ａの外径は、容器３の開口部３ａの内径よりも小さく、第５区間１１における流体供給ヘッド本体１５Ｂの外径は、第４区間１５Ａにおける流体供給ヘッド本体１５の外径よりも小さく、第６区間１２における流体供給ヘッド本体１５Ｃの外径は、第５区間１１における流体供給ヘッド本体１５Ｂの外径よりも大きく、第６区間１２における流体供給ヘッド本体１５Ｃには、第５区間１１内であって流体供給ヘッド本体１５Ｂの外側（空間１４）へ流体を供給するための流路１を有している。そして、筒状弾性部材１３は、第６区間１２における流体供給ヘッド本体１５Ｃの外面１５ｃに固定されているが、第４区間１０における流体供給ヘッド本体１５Ａの外面１５ａには固定されていない（非固定である）。このような構成にすることにより、詳細は後述するが、流路１への圧縮空気等の流体の注入に起因する筒状弾性部材１３の動きにより、より安定した漏れ試験を効率よく行うことができる。
【００４８】
流体供給ヘッド本体１５は、容器３の開口部３ａに差し込まれ、この容器３内に流体を供給することによる漏れ試験に用いるものである。流体供給ヘッド本体１５に用いる材料に特に制限はないが、筒状弾性部材１３を有効に保持する観点からは、ある程度剛性のある材料であることが好ましく、例えば、金属、セラミック、プラスチックが用いられる。
【００４９】
以下、流体供給ヘッド本体１５に圧縮空気を注入した際の筒状弾性部材１３の動きについて、図１０〜図１４を用いて詳しく説明する。図１０〜図１４は、本発明の実施の形態４にかかる流体供給ヘッド本体１５を用いた漏れ試験方法の工程断面図である。
【００５０】
まず、図１０に示すように、流体供給ヘッド本体１５を開口部３ａに差し込む。流体供給ヘッド本体１５を開口部３ａよりも小さめに形成していれば、開口部３ａへの差し込みが円滑となる。開口部３ａと筒状弾性部材１３との間の隙間は、例えば、０．０２ｍｍ〜２ｍｍ、好ましくは０．０５ｍｍ〜１ｍｍ、より好ましくは０．１ｍｍ〜０．５ｍｍとする。筒状弾性部材１３の厚みは、例えば、０．３ｍｍ〜２．５ｍｍ、好ましくは０．５ｍｍ〜１．５ｍｍ、より好ましくは０．８ｍｍ〜１．２ｍｍである。
【００５１】
次に、図１１に示すように、流路１を通じて圧縮空気を注入する。この圧縮空気は、流体供給ヘッド本体１５Ｃ内の流路１を通じて、空間１４（第５区間１１内であって流体供給ヘッド本体１５Ｂの外側）に導入される。すると、空間１４の内圧が上がるため、筒状弾性部材１３が開口部３ａの内壁側に持ち上げられ、内壁に強力に密着する。これにより、流体供給ヘッド本体１５が開口部３ａに確実に固定されることとなる。
【００５２】
圧縮空気の注入をさらに続けることにより、図１２の矢印にて示すように、圧縮空気が、互いに非固定の関係にある流体供給ヘッド本体１５Ａ（第４区間１０）と筒状弾性部材１３との間を押し分けて開口部３ａ内に流れ込む。このとき、流体供給ヘッド本体１５Ｃ（第６区間）の外面１５ｃと筒状弾性部材１３とは固定された関係にあるので、流体供給ヘッド本体１５Ｃと筒状弾性部材１３との間から圧縮空気が漏れる心配はない。
【００５３】
実施の形態１において示した図５の経時変化と同様に、所定時間、圧縮空気を注入し続けて圧力の状態が安定した後、圧縮空気の注入を停止する。このとき、図１３に示すように、圧縮空気の注入による筒状弾性部材１３の強制的な押し拡げが止まるため、筒状弾性部材１３が径方向に収縮し、流体供給ヘッド本体１５Ａ（第４区間１０）の外面１５ａと筒状弾性部材１３とが再び接した状態となる。
【００５４】
被検容器３Ａから空気の漏れが特に発生しなければ、図１３の状態で保たれるため、空気の流動もなく差圧センサ１６に変動はないのであるが、被検容器３Ａにおいて空気の漏れが発生すれば、空間１４の気圧に対して開口部３ａ内の気圧が相対的に低くなってくる。この場合は、図１４の矢印にて示すように、圧縮空気が、流体供給ヘッド本体１５Ａと筒状弾性部材１３との間を再び押し分けて開口部３ａ内に流れ込む。差圧センサ１６は、この流動を検知することができる。
【００５５】
なお、図１０〜図１４に示した各状況を、開口部３ａ内の気圧（Ｐｖ）、流路１内の気圧（Ｐｉ）、大気圧（Ｐｏ）に分けて整理してみると、下記表１のようになる。
【００５６】
【表１】
2016008858.tif 000003
【００５７】
実施の形態４にかかる流体供給ヘッド１５は、第１区間１０における流体供給ヘッド本体１５Ａの外径ｄ１（ｍｍ）と筒状弾性部材１３の厚さＴｈ（ｍｍ）と容器３の開口部３ａの内径Ｄ（ｍｍ）とが、下記（１）式を満たしていることが好ましい。
０．８５×Ｄ＜ｄ１＋２Ｔｈ＜０．９５×Ｄ  ・・・（１）
【００５８】
上記式（１）において「０．８５×Ｄ＜ｄ１＋２Ｔｈ」としたのは、かかる条件が満たされない場合、筒状弾性部材１３の可動幅が少なくなり、容器３の開口部３ａ内に圧縮空気を送り込みにくくなるからである。また、上記式（１）において「ｄ１＋２Ｔｈ＜０．９５×Ｄ」としたのは、かかる条件が満たされない場合、ポンプから圧力の高い圧縮空気を送り込んで筒状弾性部材１３を拡径しても、図１１〜図１４に示すように筒状弾性部材１３が開口部３ａの内壁に届かないため、流体供給ヘッドの気密状態を作り出すことが難しくなるためである。より好ましくは、０．８８×Ｄ＜ｄ１＋２Ｔｈ＜０．９２×Ｄである。
【００５９】
（実施の形態５）
次に、本発明の実施の形態５にかかる流体供給ヘッドについて図面を用いて説明する。図９（ａ）は、実施の形態５にかかる流体供給ヘッドの断面図であり、図９（ｂ）は、図９（ａ）におけるＡＡ断面図である。説明の重複を避けるため、実施の形態４にかかる流体供給ヘッドと同じ構成には、同一の符号を付してその説明を省略する。
【００６０】
実施の形態５にかかる流体供給ヘッドが実施の形態４にかかる流体供給ヘッドと異なる点は、流路１の出口の構成にある。実施の形態４にかかる流体供給ヘッドでは、流体供給ヘッド本体１５Ｂに流路１、および空間１４への出口が存在しているが、実施の形態５では、流体供給ヘッド本体１５Ｂには流路１は存在せず、流体供給ヘッド本体１５Ｃに流路１、および空間１４への出口が存在している。いずれの場合にも流路１の出口は空間１４に面している。そのため、圧縮気体は空間１４に流し込まれ、その圧力により筒状弾性部材１３が拡径する仕組みとなっている。
【符号の説明】
【００６１】
１  流路
２  流体供給ヘッド
２ａ  厚肉部
２ｂ  薄肉部
２ｃ  突起部
３  容器
３ａ  開口部
３ａａ  テーパー部
３Ａ  被検容器
３Ｂ  参照容器
４  保持体
４ａ  凹部
５  第１区間
５ａ  リブ
６  第２区間
７  押圧ロッド（押圧手段）
８  把持部
９  押圧部
１０  第４区間
１１  第５区間
１２  第６区間
１３  筒状弾性部材
１４  空間
１５、１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃ  流体供給ヘッド本体
１５ａ、１５ｃ  外面
１６  差圧センサ
【図１】
2016008858.tif 000004
【図２】
2016008858.tif 000005
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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