(57)【要約】      （修正有）【課題】隣接するアライメントマークを基準にして、複数の記録素子基板を支持基板上に配列することで記録幅の長い記録ヘッドを製造する工程において、記録素子基板を配置した記録ヘッド記録幅の変化を低減し、高品位な画像を出力可能な記録ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】配置対象の記録素子基板の直前までに配置された全記録素子基板の各配置位置ずれを積算して、その積算したずれ量で記録素子基板の目標位置を補正する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板が支持基板の上に配置された液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記複数の基板のうち第１の基板が配置された前記支持基板に、前記複数の基板のうち第２の基板を配置する第１配置工程と、
前記第１配置工程で配置した、前記第１の基板の位置に対する前記第２の基板の位置のずれ量を算出する第１算出工程と、
前記第１算出工程で算出したずれ量に基づいて、前記複数の基板のうち第３の基板の位置を決定する第１位置決め工程と、を有していることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記第１位置決め工程では、前記第１の基板に対する前記第２の基板のずれを相殺する方向に補正した位置に前記第３の基板の位置決めを行う請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記支持基板に前記第３の基板を配置する第２配置工程と、
前記第３の基板に続いて前記支持基板に第４の基板を配置する第３配置工程と、
前記第１配置工程で配置した前記第２の基板の位置と、前記第２配置工程で配置した前記第３の基板の位置と、のずれ量を算出する第２算出工程と、を有し、
前記第４の基板の位置を決める第２位置決め工程では、
前記第１算出工程で算出した前記第１の基板の位置に対する前記第２の基板の位置のずれ量と、
前記第２算出工程で算出した前記第２の基板の位置に対する前記第３の基板の位置のずれ量と、を累積したずれ量に基づいて位置決めを行う請求項１または請求項２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記支持基板に前記第３の基板を配置する第２配置工程と、
前記第３の基板に続いて前記支持基板に第４の基板を配置する第３配置工程と、
前記第１配置工程で配置した前記第１の基板の位置に対する前記第２配置工程で配置した前記第３の基板の位置、のずれ量を算出する第３算出工程と、を有し、
前記第４の基板の位置を決める第２位置決め工程では、前記第３算出工程で算出したずれ量に基づいて位置決めが行われる請求項１または請求項２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記基板は、アライメントマークを備えており、前記第２位置決め工程では、前記アライメントマークを基準に位置決めが行われる請求項３または請求項４に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記基板は、アライメントマークを備えており、前記第１位置決め工程では、前記アライメントマークを基準に位置決めが行われる請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記アライメントマークをカメラで検出する検出工程を有している請求項５または請求項６に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記検出工程では、前記基板に備えられた複数のアライメントマークを複数のカメラで検出する請求項７に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記支持基板に複数の前記基板が直線的に配置される請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記基板は、液体を吐出するのに用いるエネルギを発生するエネルギ発生素子を備えている請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
複数の基板を支持基板の上に配置する液体吐出ヘッドの製造装置において、
前記複数の基板のうち第１の基板が配置された前記支持基板に、前記複数の基板のうち第２の基板を配置する配置手段と、
前記配置手段が配置した、前記第１の基板の位置に対する前記第２の基板の位置のずれ量を算出する算出手段と、
前記算出手段で算出したずれ量に基づいて、前記複数の基板のうち第３の基板の位置を決定する位置決め手段と、を備え、
前記配置手段は、前記位置決め手段が決定した前記第３の基板の位置に、前記第３の基板を配置することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッドの製造方法および液体吐出ヘッドの製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
記録幅の長い液体吐出ヘッド（以下、記録ヘッドとも称する）を構成する場合、記録ヘッドの一部を構成する記録素子基板も長くする必要がある。しかし、１枚の記録素子基板で長さを長くすると、製造過程において割れ等が生じて歩留まりが低下するという課題がある。
【０００３】
特許文献１には、記録幅の長い光プリントヘッドを製造するにあたり、複数のレンズアレイを直線的に配列することで、長い幅の記録を可能にした光プリントヘッドが記載されている。また特許文献１では、レンズアレイにアライメントマークが転写されている。そして、隣接するレンズアレイにおいて、一方のレンズアレイのアライメントマークを基準にして、他方のレンズアレイのアライメントマークの位置合わせを行うことで、一方のレンズアレイに対する他方のレンズアレイの位置合わせを行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−４８８５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
アライメントマークを基準にして位置合わせを行う方法では、アライメントマークを画像処理装置などにより検出し、隣接するアライメントマークの位置が所望位置となるように位置合わせが行われる。しかし、そのように位置合わせを行っても、実際の位置は僅かにずれた位置に配置されてしまう。そのため、複数の記録素子基板を、隣接するアライメントマークを基準にして配列する場合、誤差が累積されて、最初に配置した記録素子基板と最後に配置した記録素子基板とでは、その相対位置は大きくずれてしまうことがある。
【０００６】
そして、このような方法で記録素子基板を配置した記録ヘッドで記録を行った場合、記録幅が所定幅と異なるものとなり、記録品位が低下してしまうことがある。
【０００７】
そこで本発明は、上記問題点に鑑み、記録幅の変化を低減し、高品位な画像を出力可能な記録ヘッドの製造方法および液体吐出ヘッドの製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明の記録ヘッドの製造方法は、複数の基板が支持基板の上に配置された液体吐出ヘッドの製造方法において、前記複数の基板のうち第１の基板が配置された前記支持基板に、前記複数の基板のうち第２の基板を配置する第１配置工程と、前記第１配置工程で配置した、前記第１の基板の位置に対する前記第２の基板の位置のずれ量を算出する第１算出工程と、前記第１算出工程で算出したずれ量に基づいて、前記複数の基板のうち第３の基板の位置を決定する第１位置決め工程と、を有していることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、記録幅の変化を低減し、高品位な画像を出力可能な記録ヘッドの製造方法を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】記録ヘッドを説明する図である。
【図２】理想的な位置に配列された記録素子基板を示した図である。
【図３】マウンタを示した図である。
【図４】カメラと支持基板に配置する記録素子基板とを示した斜視図である。
【図５】支持基板に記録素子基板を配置する動作を示したフローチャートである。
【図６】カメラと、支持基板および記録素子基板とを示した側面図である。
【図７】カメラで検出したアライメントマークを示した模式図である。
【図８】記録素子基板の位置を調整する様子を示した平面図である。
【図９】支持基板に記録素子基板を配置する動作を示したフローチャートである。
【図１０】配置した記録素子基板と撮影したアライメントマークを示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
（第１の実施形態）
本発明の実施の第１の形態について図面を参照して説明する。  
図１（ａ）は、複数の記録素子基板Ｃ１〜Ｃ９が配列されて接着された支持基板１を示した斜視図であり、図１（ｂ）は、記録素子基板Ｃを示した斜視図である。支持基板１は、絶縁性、熱伝導性、機械的強度を有するアルミナ材料で形成されている。支持基板１の上面には、不図示の接着剤を介して、記録素子基板Ｃ（Ｃ１〜Ｃ９）が直線的に所定ピッチで９枚配置されている。記録素子基板Ｃは、吐出口３から液体を吐出するのに用いるエネルギを発生する不図示のエネルギ発生素子を備えており、列を成した複数の吐出口３による吐出口列が２列形成されている。記録素子基板Ｃの両端部には、円形のアライメントマーク４（４ａおよび４ｂ）が形成されている。吐出口３とアライメントマーク４とは、同一の露光装置を用いてパターニングされるため、両者は高精度の相対位置関係で形成されている。
【００１２】
図２は、理想的な位置に配列された記録素子基板Ｃ１〜Ｃ９を示した図である。記録素子基板Ｃ１〜Ｃ９が理想的な位置に配列された場合、隣接部における記録素子基板Ｃの各アライメントマーク４ｂ−１と４ａ−２とのＸ方向距離（間隔）は、距離ｋであり、Ｙ方向には一直線状に配列した状態となる。
【００１３】
なお、本発明の製造方法では、配置する記録素子基板Ｃの数を９枚に限定するものではなく、また記録素子基板Ｃの形状も長方形に限定せず、平行四辺形や台形などであってもよい。
【００１４】
さらに、吐出口３の数および列数も上記数に限定したものではなく、また、アライメントマーク４の形状も円形に限らず、例えば十字形状であってもよい。
【００１５】
さらに、支持基板１の材料はアルミナに限定されず、樹脂やその他の材料であってもよい。
【００１６】
図３は、記録素子基板Ｃを支持板１に配置する装置（以下、マウンタとも称する）１０を示した図である。図３（ａ）はマウンタ１０の構成概略を示しており、マウンタ１０は基板搬送部２０と、支持基板固定搬送部３０とを備えている。基板搬送部２０は、トレイ５に収納された記録素子基板Ｃを１枚ずつ取り出し、支持基板固定搬送部３０上へ搬送する。基板搬送部２０の先端部２０ａには、図３（ｂ）に示すように、ＸＹＺステージ２１が付けられており、Ｌ字治具２２を介して、記録素子基板Ｃを吸着把持するためのフィンガー２３が備えられている。また、支持基板固定搬送部３０は、図３（ｃ）に示すように、ＸＹ方向に可動するＸＹステージ３１上に、記録素子基板Ｃを配置するための支持基板１を搭載できるようになっている。支持基板１は、位置決め用シリンダー３２を用いて、位置決めピン３３に突き当てられるように固定される。
【００１７】
図４（ａ）、（ｂ）は、２台のカメラ５１、５２と支持基板１に配置する記録素子基板Ｃとを示した斜視図である。図４（ａ）は、記録素子基板Ｃ１を配置する際の例であり、カメラ５１は、記録素子基板Ｃ１のアライメントマーク４ａ−１の周辺を撮影し、カメラ５２は、アライメントマーク４ｂ−１周辺を撮影する。これら２台のカメラ５１および５２は、フォーカス調整が可能なようにＺ方向には可動式であるが、Ｘ方向およびＹ方向は、マウンタ１０に固定されており、マウンタ１０との位置関係は不変である。また、記録素子基板Ｃ２を配置する際は、図４（ｂ）のように記録素子基板Ｃ１のアライメントマーク４ｂ−１と、記録素子基板Ｃ２のアライメントマーク４ａ−２の両マークを同時にカメラ５１にて撮影する。ここで、カメラ５１および５２は、不図示の画像処理装置に接続されており、両カメラに映っているアライメントマーク４ａおよび４ｂの位置を検出することができる。
【００１８】
図５は、支持基板１に記録素子基板Ｃを配置する動作を示したフローチャートであり、図６（ａ）から（ｃ）は、カメラ５１、５２と、支持基板１および記録素子基板Ｃとを示した側面図である。また、図７は、カメラ５１、５２で検出したアライメントマークを示した模式図である。
【００１９】
以下、図５のフローチャートを用いて、支持基板１に記録素子基板Ｃを配置する動作を説明する。支持基板１に記録素子基板Ｃを配置する動作が開始されると、ステップＳ１で、記録素子基板配置箇所に接着剤が塗布された支持基板１を支持基板固定搬送部３０に供給および固定する。その後、ステップＳ２で、図１（ａ）のように直線状に配列される複数の記録素子基板Ｃのうち、一方の端部に位置する記録素子基板Ｃ１を配置する。先ず、支持基板１上の記録素子基板Ｃ１を配置する領域がカメラ５１および５２の下にくるように支持基板固定搬送部３０を動作させ、記録素子基板Ｃ１が支持基板１に設けられた基準位置（不図示）から所定位置となるように配置する。この時、カメラ５１は記録素子基板Ｃ１のアライメントマーク４ａ−１を捉えており、カメラ５２は記録素子基板Ｃ１のアライメントマーク４ｂ−１を捉えている。なお、配置前には記録素子基板Ｃ１の傾きを調整するが、調整方法についてはステップＳ６における傾き調整と同じ方法のため、ステップＳ６における動作説明で説明する。また、本実施形態においては、この記録素子基板Ｃ１を接着する際のずれは考慮せず、記録素子基板Ｃ１以降に接着する記録素子基板の記録素子基板Ｃ１に対するずれを抑制する。
【００２０】
次に、ステップＳ３にて、支持基板固定搬送部３０を１ピッチ分移動させる。１ピッチ分とは、記録素子基板Ｃのアライメントマーク４ａから４ｂまでの長さＬに、図２の間隔ｋを加算した距離Ｌ＋ｋである。この搬送により、カメラ５１および５２の下に、図６（ａ）のように、直前に配置した記録素子基板Ｃ１に隣接して記録素子基板Ｃ２を配置する領域がくる。この時、カメラ５１の撮影画角内には、直前に配置した記録素子基板Ｃ１のアライメントマーク４ｂ−１を捉えている。そして、記録素子基板搬送部２０を動作させてトレイ５上の記録素子基板Ｃをフィンガー２３に吸着把持し、図６（ｂ）のようにカメラ５１および５２の下まで搬送する。なお、図６（ｂ）では、記録素子基板搬送部２０を省略している。
【００２１】
次に、ステップＳ４で、直前に配置した記録素子基板Ｃ１のアライメントマーク４ｂ−１をカメラ５１で撮影してその位置を検出する。ここで、アライメントマーク４ｂ−１を検出した時の状態の一例について図７（ａ）を参照して説明する。この例では、カメラ５１の撮影領域６１の中に記録素子基板Ｃ１のアライメントマーク４ｂ−１が、Ｘ方向は位置７０ｘ、Ｙ方向は位置７０ｙが検出されている。このように検出した位置７０ｘ、位置７０ｙを装置の記憶部で記憶する。なお図７では、記録素子基板Ｃの外周を省略して示している。
【００２２】
次に、ステップＳ５で、次の配置対象の記録素子基板Ｃ２をアライメントする際の目標位置を算出して設定する。図２の説明で述べたように、記録素子基板ＣのＹ方向位置は、各アライメントマークが一直線状にあるのが理想である。また、Ｘ方向については、隣接する記録素子基板のアライメントマーク同士の距離が、距離ｋだけ離れた位置にあるのが理想である。従って、次の配置対象の記録素子基板Ｃ２のアライメントマーク４ａ−２の目標位置は、図７（ｂ）のように、Ｘ方向は位置７０ｘから距離ｋの位置である位置７１ｘ、Ｙ方向はアライメントマーク４ｂ−１と同じ位置７０ｙとなる。
【００２３】
次に、ステップＳ６にて記録素子基板Ｃ２のアライメントを行う。先ず、カメラ５１および５２を上昇させて、配置対象の記録素子基板Ｃ２にフォーカスを合わせる。そして、記録素子基板搬送部２０を動作させて記録素子基板Ｃ２の傾きを調整する。この傾き調整は、図７（ｃ）のように、カメラ５１で撮影した領域６１内のアライメントマーク４ａ−２と、カメラ５２で撮影した領域６２内のアライメントマーク４ｂ−２と、のＹ方向位置が同じになるように記録素子基板搬送部２０で調整する。なお、このとき、アライメントマーク４ａ−２および４ｂ−２のＸ方向の位置はどこであってもよい。このようにして傾き調整を行った後、アライメントマーク４ａ−２をステップＳ５で設定した位置７１ｘおよび位置７０ｙになるようにＸＹＺステージ２１のうちのＸおよびＹステージを動作させて位置を調整する。その後、ステップＳ７にて、Ｚステージを下降させて記録素子基板Ｃ２を支持基板１に配置する。
【００２４】
記録素子基板Ｃ２を配置後、ステップＳ８にて、カメラ５１および５２を下降させて配置した記録素子基板Ｃ２にフォーカスを合わせ、実際の配置位置を検出する。図７（ｄ）は、配置後にカメラ５１で撮影し、検出したアライメントマーク４ａ−２、４ｂ−１を示している。この例では、配置した記録素子基板Ｃ２のアライメントマーク４ａ−２の位置が、Ｘ方向は位置７２ｘ、Ｙ方向は位置７２ｙとなり、目標位置の位置７１ｘおよび位置７０ｙに対してずれている。このようにアライメント目標位置に対してずれてしまう原因としては、画像処理検出時の検出誤差や、支持基板１や記録素子基板Ｃの平面度および平行度による配置時の位置ずれなどによるものがある。
【００２５】
図８（ａ）〜（ｄ）は、記録素子基板の位置を調整する様子を示した平面図である。以下、ここからは、図５のフローチャートに基づきつつ、具体的なアライメントの方法を説明する。図８（ａ）は、記録素子基板Ｃ２を接着し検出した時点（ステップＳ８）での配置状態を表しており、記録素子基板Ｃ２のＸ方向は理想的なアライメントマーク間の間隔ｋに対して、距離ｘ１離れた（プラス方向にずれた）位置に配置されている。また、Ｙ方向はプラス方向に距離ｙ１ずれた位置に配置されている。
【００２６】
次に、ステップＳ９にて、これまでの累積誤差を算出する。記録素子基板Ｃ２を配置した時点では、累積誤差は記録素子基板Ｃ２の位置ずれ分のみであるため、Ｘ方向の累積誤差は距離ｘ１、Ｙ方向の累積誤差は距離ｙ１である。その後、ステップＳ１０で、全ての記録素子基板を配置したか確認する。全ての記録素子基板を配置していなければ、ステップＳ３に戻る。全ての記録素子基板を配置していれば、ステップＳ１１に移行する。ステップＳ１１以降の説明は後述する。
【００２７】
ステップＳ３に戻った場合、支持基板固定搬送部３０を１ピッチ分動作させ、次の記録素子基板Ｃ３を記録素子基板搬送部２０にてカメラ５１および５２の下まで搬送する（図６（ｃ））。ステップＳ４は、記録素子基板Ｃ２の場合と同様のため、説明を省略する。次に、ステップＳ５のアライメント目標位置の算出では、これまでに配置した記録素子基板Ｃの累積的な位置ずれ分を相殺する位置を算出する。先述したように、記録素子基板Ｃ２の配置位置は、Ｘ方向がプラス方向にｘ１、Ｙ方向がプラス方向にｙ１だけずれた位置となっている。したがって、記録素子基板Ｃ３のアライメント目標位置は、図８（ｂ）に示すように、Ｘ方向がｋ-ｘ１、Ｙ方向がマイナス方向にｙ１となる位置に設定する。
【００２８】
続くステップＳ６およびステップＳ７は、記録素子基板Ｃ２の場合と同様である。次のステップＳ８で、記録素子基板Ｃ２に対する記録素子基板Ｃ３の実際の配置位置を検出する。検出結果の一例を図８（ｃ）に示す。記録素子基板Ｃ３の配置位置は、記録素子基板Ｃ２に対して、目標位置からずれて配置され、Ｘ方向は（ｋ−ｘ２）、Ｙ方向はマイナス方向にｙ２の位置となっている。次のステップＳ９の累積誤差を計算は、配置が記録素子基板Ｃ３まで完了しているため、記録素子基板Ｃ１と記録素子基板Ｃ２との誤差および記録素子基板Ｃ２と記録素子基板Ｃ３との誤差を累積する。したがって、Ｘ方向は（ｘ１−ｘ２）、Ｙ方向は（ｙ１−ｙ２）となる。
【００２９】
以降、全ての記録素子基板が配置されるまでステップＳ３からステップＳ９を繰り返す。なお、記録素子基板Ｃ４のアライメント目標位置算出（ステップＳ５）は、図８（ｄ）のように、Ｘ方向がｋ−（ｘ１−ｘ２）、Ｙ方向が−（ｙ１−ｙ２）となる。
【００３０】
記録素子基板Ｃ９まで配置が完了したら、ステップＳ１０からステップＳ１１に移行して、ステップＳ１１にて、支持基板１を支持基板固定搬送部３０から排出して、支持基板１に記録素子基板Ｃを配置する動作が終了となる。
【００３１】
なお、本実施形態では、記録素子基板がアライメントマークを備えている構成を説明したがこれに限定するものではなく、記録素子基板がアライメントマークを備えてなくてもよい。その場合は、例えば記録素子基板のコーナー部等を検出して、同様の処理を行う。
【００３２】
なお、本実施形態では、記録素子基板について説明を行ったが、これに限定するものではなく、単なる基板であってもよい。
【００３３】
このように本実施形態では、配置対象の記録素子基板の直前までに配置された全記録素子基板の各配置位置ずれを積算して、その積算したずれ量で記録素子基板の目標位置を補正する。これにより、記録幅の変化を低減し、高品位な画像を出力可能な液体吐出ヘッドの製造方法および液体吐出ヘッドの製造装置を実現することができる。
【００３４】
（第２の実施形態）
以下、図面を参照して本発明の第２の実施形態を説明する。なお、本実施形態の基本的な構成は第１の実施形態と同様であるため、以下では特徴的な構成についてのみ説明する。なお、第１の実施形態と同じものには同じ符号を用いる。
【００３５】
図９は、本実施形態における支持基板１に記録素子基板Ｃを配置する動作を示したフローチャートであり、図１０は、各状態において、カメラ５１および５２で撮影されたアライメントマーク４ａおよび４ｂを画像処理により検出した模式図である。なお、図１０の検出状態は、記録素子基板Ｃの外周を省略して示している。
【００３６】
本実施形態では、記録素子基板のアライメント目標位置を、最初に配置した記録素子基板Ｃ１と、配置対象の記録素子基板の直前に配置された記録素子基板とのアライメントマークの位置ずれを補正するように決定する。以下、図９のフローチャートを用いて本実施形態における支持基板１に記録素子基板Ｃを配置する動作を説明する。
【００３７】
支持基板１に記録素子基板Ｃを配置する動作が開始されると、ステップＳ２１で支持基板供給およびステップＳ２２で１番目の記録素子基板Ｃ１の配置を行う。このステップＳ２１とステップＳ２２は、第１の実施形態のステップＳ１およびステップＳ２と同様のため、説明を省略する。
【００３８】
ステップＳ２３では、配置直後の記録素子基板Ｃ１のアライメントマーク４ｂ−１をカメラ５２で撮影および検出し、その位置を記憶する。このステップＳ２３でのアライメントマーク４ｂ−１の検出について図１０（ａ）を参照して説明する。ステップＳ２２が完了した時点では、記録素子基板Ｃ１の両アライメントマーク４ａ−１および４ｂ−１は、それぞれカメラ５１および５２の撮影領域内に位置している。アライメントマーク４ｂ−１は、カメラ５２の撮影領域６２内で検出され、その位置は、Ｘ方向は位置８１ｘ、Ｙ方向は位置８１ｙが検出されている。ステップＳ２３では、この位置８１ｘおよび位置８１ｙを記憶する。
【００３９】
その後、ステップＳ２４では、直前に配置した記録素子基板Ｃのアライメントマーク４ｂをカメラ５２で撮影および検出して記憶する。なお、配置対象の（次に配置する）記録素子基板が記録素子基板Ｃ２の場合のみ、このステップＳ２４は、ステップＳ２３で記憶した位置と同じになる。つまり、記録素子基板Ｃ２を配置する際の目標位置は、位置８１ｘおよび位置８１ｙ（記録素子基板Ｃ１の位置ずれは無し）となる。記録素子基板Ｃ２を配置する場合、ステップＳ２５は、記録素子基板Ｃ１の位置ずれが無いため省略する。その後、ステップＳ２６で、記録素子基板Ｃ２を目標位置まで搬送する。その後のステップＳ２７も記録素子基板Ｃ２を配置する場合、既に目標位置が決まっているため省略する。ステップＳ２８では、第１の実施形態と同様の方法でアライメントを行い、ステップＳ２９で、記録素子基板Ｃ２を目標位置に配置する。その後ステップＳ３０で、全ての基板を配置したかどうかを確認して、記録素子基板Ｃ２を配置した段階では、全ての基板を配置していないので、ステップＳ２４に戻る。
【００４０】
ここまでは、ずれを考慮していない記録素子基板Ｃ１の後に配置される記録素子基板Ｃ２を配置する工程を説明した。記録素子基板Ｃ２の配置は、記録素子基板Ｃ１のずれが考慮されていないため他の記録素子基板の配置とは異なる工程となっている。ここからは一般的な（直前に配置した記録素子基板のずれを考慮した）配置工程である、配置対象が記録素子基板Ｃ３の場合について説明する。
【００４１】
図１０（ｂ）は、ステップＳ２４で直前に配置した記録素子基板Ｃ２と、カメラ５１、５２で記録素子基板Ｃ２のアライメントマークを検出した状態を示している（カメラ５１には記録素子基板Ｃ１のアライメントマーク４ｂ−１も映りこんでいる）。ここで、記録素子基板Ｃ２のアライメントマーク４ｂ−２を検出しているカメラ５２に注目する。この時点における支持基板１の位置は、ステップＳ２３で記録素子基板Ｃ１のアライメントマーク４ｂ−１を検出した際の位置から１ピッチ分動いた位置である。したがって、記録素子基板Ｃ２の配置位置が理想通りであるならば、記録素子基板Ｃ２のアライメントマーク４ｂの検出位置は、８１ｘおよび８１ｙとなる。ところが実際に検出された位置は、図１０（ｂ）のように、Ｘ方向が８２ｘ、Ｙ方向が８２ｙとなっている。これは、記録素子基板Ｃ２が理想とは異なる位置に配置されている、すなわち位置ずれが生じていることを表している。
【００４２】
その後、ステップＳ２５にて、記録素子基板Ｃ１に対して、直前に配置された記録素子基板（この場合は記録素子基板Ｃ２）の位置がずれている量を算出する。記録素子基板Ｃ２のＸ方向位置ずれ量は、ずれ量８２ｘ−８１ｘ、Ｙ方向位置ずれ量は、ずれ量８２ｙ−８１ｙとなり、この各位置ずれ量を記憶する。
【００４３】
次のステップＳ２６では支持基板１および記録素子基板Ｃ３の搬送を行う。この搬送は第１の実施形態と同様であり、図１０（ｃ）のように、支持基板１がさらに１ピッチ分搬送され、次に配置する記録素子基板Ｃ３がカメラ５１および５２の下に搬送される。そしてステップＳ２７にて、配置対象の記録素子基板Ｃ３のアライメントマーク４ｂ−３のアライメント目標位置を算出する。ここでは、カメラ５１にて記録素子基板Ｃ２のアライメントマーク４ｂ−２を撮影および検出する。ステップＳ２４で、カメラ５２による記録素子基板Ｃ２のアライメントマーク４ｂ−２の検出を行ったが、ステップＳ２７では、改めてカメラ５１による記録素子基板Ｃ２のアライメントマーク４ｂ−２の検出を行う。これは、検出するカメラが異なることによって検出位置も変わるからである。
【００４４】
図１０（ｃ）に、その検出状態を示している。カメラ５１の撮影領域６１内に映された記録素子基板Ｃ２のアライメントマーク４ｂ−２が、Ｘ方向は８３ｘ、Ｙ方向は８３ｙの位置に検出されている。記録素子基板Ｃ３のアライメント目標位置は、ここで検出した位置（８３ｘおよび８３ｙ）に、ステップＳ２５で算出および記憶した記録素子基板Ｃ２のずれ量を加味して算出する。このようにして算出した記録素子基板Ｃ３のアライメントマーク４ａ−３の目標位置は、図１０（ｃ）に示した通り、Ｘ方向の目標位置８４ｘは、８３ｘ＋ｋ−（８２ｘ−８１ｘ）となり、Ｙ方向の目標位置８４ｙは、８３ｙ−（８２ｙ−８１ｙ）となる。
【００４５】
続くステップＳ２８のアライメント、および、ステップＳ２９の配置は、第１の実施形態と同様のため、説明を省略する。その後、全ての記録素子基板を配置するまで、ステップＳ２４からステップＳ２９を繰り返し、全ての記録素子基板Ｃを配置したら、ステップＳ３１で、記録素子基板Ｃが配置された支持基板１を排出して、支持基板１に記録素子基板Ｃを配置する動作が終了となる。
【００４６】
このように本実施形態では、各記録素子基板のアライメント目標位置を、最初に配置した記録素子基板Ｃ１と、配置対象の記録素子基板の直前に配置された記録素子基板のアライメントマーク位置と、のずれを考慮して算出する。これにより、記録幅の変化を低減し、高品位な画像を出力可能な液体吐出ヘッドの製造方法および液体吐出ヘッドの製造装置を実現することができる。
【符号の説明】
【００４７】
１  支持基板
４ａ  アライメントマーク
４ｂ  アライメントマーク
１０  マウンタ
５１  カメラ
５２  カメラ
Ｃ１〜Ｃ９  記録素子基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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