(57)【要約】【課題】仮固定を自動で行うことができ、被加工部材を台座に固定した後、分離する前に水によって固定力が低下しない仮固定を実現する。【解決手段】  本発明に係る仮固定用接着シートは、台座の上に被加工部材を仮固定するための接着シートであって、ホットメルト材料によって構成されており、上記ホットメルト材料は、耐水性を有し、かつ、６０℃以上に加熱されて融解するものである。シート状であるがゆえに、接着剤と異なり、被加工部材に塗布する必要が無く取扱いが容易であり、作業性の改善および仮固定工程の自動化が可能となる。また、ホットメルト材料が耐水性を有するので、常温水に接しても接着性を維持することから冷却水を用いた加工工程にも応用できる。さらに６０℃以上の水に浸漬することで容易に脱離することができ、部材へのダメージ、製造コストおよび環境負荷の低減に寄与することができる。【選択図】図１
2016017127.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
台座の上に被加工部材を仮固定するための接着シートであって、
ホットメルト材料によって構成されており、
上記ホットメルト材料は、耐水性を有し、かつ、６０℃以上に加熱されて融解することを特徴とする仮固定用ホットメルト接着シート。
【請求項２】
上記ホットメルト材料が融解した融解物は、水中で浮くことを特徴とする仮固定用ホットメルト接着シート。
【請求項３】
上記ホットメルト材料の少なくとも一部が、補強材に含浸されていることを特徴とする請求項１または２に記載の仮固定用ホットメルト接着シート。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか１項に記載の仮固定用ホットメルト接着シートの少なくとも片面に離型層を備えることを特徴とする積層体。
【請求項５】
台座と被加工部材とを仮固定して加工する被加工部材の加工方法において、
請求項１〜３の何れか１項に記載の仮固定用ホットメルト接着シートを介して、被加工部材を台座に仮固定する仮固定工程と、
上記被加工部材に任意の加工を行う加工工程と、
上記仮固定用ホットメルト接着シートを６０℃以上に加熱して、上記台座と加工済み部材とを分離させる分離工程と、を含むことを特徴とする被加工部材の加工方法。
【請求項６】
上記分離工程において、ホットメルト材料を６０℃以上の温水に接触させることによって、上記ホットメルト材料の加熱を行うことを特徴とする被加工部材の加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、台座の上に被加工部材を仮固定するための仮固定用ホットメルト接着シート、当該仮固定用ホットメルト接着シートを備える積層体、および、被加工部材の加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコンやサファイアといった半導体材料や、チップインダクタやコンデンサといった電子部品材料などに種々の加工を施す場合、台座に被加工部材が動かないように仮固定し、加工後に被加工部材を台座から分離する。
【０００３】
この仮固定では、従来、（１）ＵＶ硬化によって脱離強度が低下する粘着テープや、（２）被加工部材または台座に塗布することでこれらを仮固定する棒状ホットメルト接着剤が使用されてきた。（２）のような接着剤を用いる場合、台座と被加工部材とを分離する際には、接着剤の接着力を弱めるために、接着剤に対して、アルカリ水や有機溶媒が用いられてきた。しかしながら、近年、被加工部材へのダメージ低減、さらには、コスト低減、環境負荷低減が課題となっており、アルカリ水や有機溶媒に替えて、低温条件、または、温水で分離可能な仮固定接着剤が使用されるようになってきた。
【０００４】
具体的には、特許文献１には、融点が５０℃以下であることを特徴とする仮固定用ホットメルト接着剤が開示されている。また、特許文献２には、常温水に溶け難く５０℃以上の温水に溶け易いことを特徴とする仮止め用接着剤、さらには、特許文献３には、９０℃以下の温水に浸漬することで接着剤が膨潤し、被加工部材から脱離することを特徴とする仮固定用組成物が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第３９２１４５７号公報
【特許文献２】特許第２７６７１９６号公報
【特許文献３】特許第４９３２３００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１〜３のホットメルト接着剤は、固定の際に被加工部材、または台座に塗工する必要があり、作業性が悪く、工程の自動化が難しい。さらに、特許文献２、３には以下の問題もある。すなわち、特許文献２の仮止め用接着剤は、ポリグリセリンの脂肪酸エステル、ポリグリセリンのエチレンオキサイド付加物またはポリグリセリンのプロピレンオキサイド付加物の１種またはこれらの混合物を原料としており、常温水に溶け難いとは言え、冷却水を用いた切削工程などを長時間行った場合、接着剤の一部が溶解または変質し、接着力を維持することが難しいという問題がある。
【０００７】
特許文献３の仮固定用組成物は、（メタ）アクリルモノマー、ポリビニルアルコール等を原料としており、ホットメルト接着剤に比べて接着力が弱く、また特許文献２での問題と同様に、冷却水を用いた切削時に硬化物の親水成分が膨潤して柔軟になるため、接着力の維持が難しく、結果として被加工部材を加工する際の寸法精度が悪くなってしまう。
【０００８】
上記問題に鑑み、本発明では、仮固定を自動で行うことができ、被加工部材を台座に固定した後、分離する前に水によって固定力が低下しない仮固定を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは、仮固定に使用する部材の形状を検討すると共に、部材の材料選定についても鋭意検討することによって、新たな仮固定用ホットメルト接着シートに想到し、上記課題を解決するに至った。
【００１０】
すなわち、本発明に係る仮固定用ホットメルト接着シートは、台座の上に被加工部材を仮固定するための接着シートであって、ホットメルト材料によって構成されており、上記ホットメルト材料は、耐水性を有し、かつ、６０℃以上に加熱されて融解することを特徴とする。
【００１１】
また、上記ホットメルト材料が融解した融解物は、水中で浮くことが好ましい。
【００１２】
上記ホットメルト材料は、上記ホットメルト材料の少なくとも一部が、補強材に含浸されていてもよい。
【００１３】
上記仮固定用ホットメルト接着シートは離型層と積層してもよく、本発明に係る積層体は、上記仮固定用ホットメルト接着シートの少なくとも片面に離型層を備えるものである。
【００１４】
さらに、本発明に係る被加工部材の加工方法は、
台座と被加工部材とを仮固定して加工する被加工部材の加工方法において、
上記仮固定用ホットメルト接着シートを介して、被加工部材を台座に仮固定する仮固定工程と、
上記被加工部材に任意の加工を行う加工工程と、
上記仮固定用ホットメルト接着シートを６０℃以上に加熱して、上記台座と加工済み部材とを分離させる分離工程と、を含む方法である。
【００１５】
また、上記分離工程において、ホットメルト材料を６０℃以上の温水に接触させることによって、上記ホットメルト材料の加熱を行うことが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係る仮固定用ホットメルト接着シートは、シート状であるため、被加工部材と台座との仮固定の際、両者の間に設置すればよく、被加工部材または台座に塗布する必要がなく、仮固定を自動で行うことができる。また、上記仮固定用ホットメルト接着シートを構成するホットメルト材料は、耐水性を有するがゆえに水に溶解しない。このため、被加工部材を台座に仮固定した後、被加工部材への任意の加工において水を使用したとしても、仮固定用ホットメルト接着シートによる接着力は、水により低下しない。
【００１７】
さらに、上記ホットメルト材料は、６０℃以上に加熱されて融解する。融解物は液体であるから台座または被加工部材に残渣として残り難く、容易に除去できるため、部材へのダメージ、製造コスト、環境負荷の低減に寄与することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明に係る仮固定用ホットメルト接着シートを示す断面図である。
【図２】本発明に係る仮固定用ホットメルト接着シートを示す断面図である。
【図３】本発明に係る仮固定用ホットメルト接着シートを示す断面図である。
【図４】本発明に係る仮固定用ホットメルト接着シートを示す断面図である。
【図５】本発明に係る積層体を示す断面図である。
【図６】本発明に係る加工方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
〔仮固定用ホットメルト接着シート〕
本発明に係る仮固定用ホットメルト接着シートは、台座の上に被加工部材を仮固定するための接着シートであって、ホットメルト材料によって構成されており、上記ホットメルト材料は、耐水性を有し、かつ、６０℃以上に加熱されて融解するものである（以下、「仮固定用ホットメルト接着シート」を適宜「接着シート」と省略する）。
【００２０】
まず、仮固定の対象となる「被加工部材」とは、台座の上に仮固定された状態で任意の加工が施される物であり、加工後、台座から分離される物である。被加工部材の一例として、シリコン（Ｓｉ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、ガリウム砒素（ＧａＡｓ）、窒化ガリウム（ＧａＮ）などの半導体、石英ガラスを含む各種ガラス材料、アルミナ、ジルコニア、窒素アルミ、チタン酸バリウムなどのセラミックス、フェライトやセンダストなどの磁性材料、水晶やガーネット、サファイアなどの結晶材料、チップインダクタやコンデンサ、ＱＦＮパッケージなどの電子部品材料が挙げられる。また、本発明の接着シートは、上述の半導体のような主に工業用途に使用される部材だけでなく、岩石や化石、生物などの標本作りに使用される被加工部材の仮固定にも使用することができる。
【００２１】
上記「台座」とは、上記被加工部材を加工中に接着シートを介して固定するための治具を指し、その形状や材質は被加工部材の表面凹凸状態などの形状、加工の目的に応じて最適なものが採用される。台座の一般的な材質としては、アルミニウムやステンレスなどの金属；無機ガラス、有機ガラスなどのガラス；メラミンやフェノール、エポキシなどの熱硬化樹脂；チタン酸バリウムなどのセラミック；カーボンなどが挙げられるが、後述する本発明の接着シートを加熱する際、台座を介して加熱することが好適であるため、熱伝導性の高い材質が好ましい。
【００２２】
台座には、被加工部材の加工時に変形しないような剛性が求められるため、高弾性率で一定の厚みも必要である。被加工部材を貫通するような穴開け加工や、ワイヤーソーなどによる切削加工では、刃などが台座に接触して破損しないよう、必要に応じて凹凸を台座に形成しておくことも可能である。なお、台座自体は螺子やクランプ、真空吸着などの着脱可能な方式で加工装置に固定される。
【００２３】
本発明でいう「仮固定」とは、一時的な固定を意味し、仮固定後、加工がなされた被加工部材は台座から分離される。仮固定する時間は特に限定されず、被加工部材の加工内容等に応じて適宜変更すればよい。
【００２４】
本発明に係る接着シートは、ホットメルト材料によって構成されている。ホットメルト材料とは、常温ではタックを示さない硬い樹脂状であって、加熱されると軟化または融解して台座と被加工部材との間隙に濡れ拡がって当該隙間を充填し、充填状態にて常温まで冷却されれば台座と被加工部材とを固く接着固定することができる物である。なお、当該明細書において、常温とは２５℃を意味するものとする。
【００２５】
本発明におけるホットメルト材料は、耐水性を有し、かつ、６０℃以上に加熱されて融解する点を特徴とする。ホットメルト材料を加熱する手法は特に限定されず、例えば、台座、空気などを介して加熱してもよいし、ホットメルト材料を直接加熱してもよいが、ホットメルト材料を台座と被加工部材との間隙に濡れ拡げることを考慮すると、台座を介して加熱することが望ましい。
【００２６】
上記ホットメルト材料は耐水性を有するため、水に溶解しない。このため、被加工部材を台座に仮固定した後、被加工部材に対する任意の加工において水を使用したとしても、接着シートによる接着力は水により低下しない。上記「耐水性」とは、水との親和性が低く、水にほとんど溶解しない特性を意味する。したがって、本発明に係るホットメルト材料は水と接触しても、吸水せず、変質しない。また、ホットメルト材料は、耐水性に代えて、疎水性を有する、ということもできる。
【００２７】
上記ホットメルト材料は、６０℃以上に加熱されて「融解」し、融解するとは、固体が液体に相変化することを意味する。融解物は液体であるから台座または被加工部材に残渣として残り難く、容易に除去できるため、部材へのダメージ、製造コスト、環境負荷の低減に寄与することができる。
【００２８】
ホットメルト材料の融点は高い、すなわち、常温で融解し難い方が取り扱い易いため、ホットメルト材料の融点は、６０℃以上、１００℃以下であることが好ましい。また、ホットメルト材料は融解し、融解物となった際に水中で浮くことが好ましい。水中で浮くとは、水面で浮いているだけでなく、水中で漂っている状態も含み、水中で懸濁または沈んでいる状態を含まない。ホットメルト材料の融解物が水中で浮く場合、後述するホットメルト材料を温水に接触させることによって、台座と被加工部材とを分離する際に融解物を容易に水中から分離できる点で好ましい。
【００２９】
本発明で使用されるホットメルト材料としては、熱可塑性樹脂やワックスが好ましく用いられる。なお、本発明で使用されるホットメルト材料としては、上述した特性を有するものであれば、熱可塑性樹脂、ワックス以外の材料を使用することも当然可能である。
【００３０】
熱可塑性樹脂として具体例には天然樹脂および合成樹脂があり、天然樹脂として、ロジン及びその誘導体、シェラックなどが挙げられ、合成樹脂として、ポリエチレン、ポリプロピレン、スチレン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリ酢酸ビニル、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂やこれらの変性樹脂；エチレン−酢酸ビニル共重合体、スチレン−アクリル共重合体のような共重合体が挙げられる。これらは単独で、または複数種類を混合して使用することが可能である。
【００３１】
一方、ワックスとは、狭義には高級脂肪酸と高級アルコールとのエステルを指す。具体的には、カルナウバワックスのような植物系ワックス；蜜蝋のような動物系ワックス；モンタンワックスのような鉱物系ワックス；パラフィンワックス、マイクロクリスタリンワックスのような石油系ワックス；各種合成ワックス；及びこれらのワックスや油脂から抽出・変性した高級脂肪酸、高級アルコール、高級脂肪酸エステル、脂肪酸アミド、ケトン・アミン類、水素硬化油、グリセリンやポリグリセリンの高級脂肪酸エステルなどが挙げられ、これらは単独で、または複数種類を混合して使用することができる。
【００３２】
本発明の接着シートは、使用する際に単独のシートとして取り扱うため、適当な可撓性を有することが好ましい。そのために、１種類のホットメルト材料を使用する場合、針入度が５以上、２５以下の材料を選定することが望ましい。複数種類のホットメルト材料を混合する接着シートに使用する場合、針入度が低い材料と針入度が高い材料とを選定し、混合後のホットメルト材料の針入度を調整することもできる。例えば、針入度が１の低針入度材料と、針入度が２０の高針入度材料とを、５０：５０〜７０：３０の質量比で混合する。なお、針入度は、ＪＩＳ  Ｋ２２３５にて規定するものとし、２５℃における値とする。
【００３３】
接着シートには、上述したホットメルト材料以外に添加剤を配合してもよい。一例として、可撓性、軟化性、融解性、溶融粘性、接着性、固体時の固さや洗浄液による洗浄性などを調整するために、フタル酸エステル、リン酸エステル等の可塑剤や、ポリエチレングリコール、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコールなどの水溶性化合物、界面活性剤、各種の有機フィラーまたは無機フィラーなどを配合することができる。さらには、上記ホットメルト材料が軟化または融解し、台座と被加工部材とを貼り合わせるタイミングを目視で確認できるように、適切な変色温度の示温材料を配合することも可能である。
【００３４】
ホットメルト材料と添加剤との質量比は、各材料の種類により異なるため一義的に規定することは困難であるが、例えば、ホットメルト材料／添加剤＝９９．９／０．１〜７０／３０にて接着シートを構成できる。
【００３５】
本発明の接着シートの具体例を図１に示す。図１は、接着シート１を示す断面図であり、接着シート１は、ホットメルト材料を材料とするホットメルト接着層１１によって構成されている。
【００３６】
本発明の接着シートを製造する手法としては、（１）上述した熱可塑性樹脂、および／またはワックス等を含む原材料を加熱し、軟化または融解したものを、剥離性を有する離型層（脱離フィルム、離型紙等）上に所定の厚さに押出す手法、（２）上記原材料を軟化または溶解したものを、所定のギャップを設けたロール間に通すことでシート化する手法が挙げられる。その他には、（３）原材料を一旦溶剤に溶解して溶液を調製し、当該溶液を離型層に塗工し、乾燥して、シート化することも可能である。
【００３７】
接着シートの厚さは、台座および被加工部材の種類、表面凹凸の状態、被加工部材の加工の種類等に応じて適宜調整すればよいが、１０μｍ以上、５ｍｍ以下であることが好ましく、より好ましくは１００μｍ以上、１ｍｍ以下である。１０μｍ以上であることによって取り扱いが容易であり、５ｍｍ以下であることによって、台座と被加工部材との間にて、加熱（ホットメルト）に要する時間を短縮でき、コスト的に有利となる。
【００３８】
図１の接着シート１は、ホットメルト接着層１１のみによって形成されているが、（１）輸送中やハンドリング時にシートが割れることを防ぐために、または、（２）台座に被加工部材を貼り付けるために圧力を加えた際、接着シートが変形して台座と被加工部材とが局部的に接触し、被加工部材の接着シート側を損傷し難くするために、接着シートの内部に芯材（補強材）を用いることができる。
【００３９】
芯材はホットメルト材料の内部に配置され、ホットメルト材料を補強する。芯材としては、開口および／または凹凸が形成されているものが好適に使用され、ホットメルト材料が含浸し易い多孔質材料が特に好ましい。具体的には、布地、スクリーン印刷に使用するメッシュのような織布、湿式または乾式の不織布、連結孔を有するスポンジなどの多孔質材料を使用可能である。
【００４０】
図２は、内部に芯材を備える接着シート１ａを示す断面図である。芯材はホットメルト接着層の内部に配置可能であり、図２に示すように、接着シート１ａよりも薄い芯材層（芯材）１２を、接着シート１ａの厚み方向に対して垂直な面に沿って、かつ、ホットメルト接着層１１の内部に沿って配置できる。
【００４１】
これに対し、ホットメルト接着層の表面に多孔質層（補強材）が備えられていてもよい。多孔質層はホットメルト接着層の表面に位置し、ホットメルト接着層を補強するものであり、多孔質層にはホットメルト材料が含浸されている。当該構成によれば、外部からの衝撃が緩和されるため、輸送中やハンドリング時に接着シートが割れることを防ぐ目的には非常に有効である。多孔質層としては、各種のスポンジなどの多孔質材料が挙げられる。
【００４２】
多孔質層を備える接着シート１ｂを図３に示す。接着シート１ｂでは、接着シート１ｂよりも薄い２枚の多孔質層１３が、接着シート１ｂの長さと幅方向で規定される面（ｘｙ面）に配置され、接着シート１ｂの両最表面を覆っている。さらに、図４の接着シート１ｃのように、多孔質層１３ａを接着シート１ｃの全厚さ方向に亘って配置してもよい。多孔質層１３ａにはホットメルト材料が含浸されており、ホットメルト接着層１１を兼ねている。
【００４３】
上述の芯材、または多孔質層として、多孔質材料を接着シートの構成部材に含める場合、接着シートの製造過程で泡の混入を抑制することが重要である。泡が混入した場合、被加工部材の台座に対する固定が局部的に不十分となるおそれがあり、特にダイシング加工の場合、ダイシングした被加工部材片が接着シートから脱離する可能性がある。泡の混入を防止するためには、ホットメルト材料を加熱して融解した段階で融解物に対して脱泡を行うと共に、多孔質材料に対して上記融解物を含浸させるなどの工夫を行う必要がある。
【００４４】
本発明の接着シートの少なくとも片面には離型層が備えられていてもよく、離型層を備えた接着シートを積層体と称する。離型層は接着シートの両面に備えられていてもよい。図５は、離型層１４を備えた積層体２０を示す断面図である。離型層１４としては、積層シートの製造過程で用いた離型層を剥離せずに用いてもよいし、接着シートを製造した後、接着シートに離型層を別途貼合してもよい。離型層を備えることで、積層体をロール状にした際、接着シート同士が接触せず、長尺の接着シートが離型層に保護された状態で保管および輸送できる。
【００４５】
離型層としては、離型フィルムまたは離型紙が例示される。離型フィルムとしては、ポリプロピレンフィルムや、ＰＥＴフィルム（ポリエチレンテレフタラートフィルム）にシリコーン系または非シリコーン系の離型剤を塗布したものが、離型紙としては紙基材にシリコーン系の離型剤を塗布したものなどが例示される。離型層の厚さは特に限定されないが、一例として、２５μｍ以上、１２５μｍ以下とすることができる。
【００４６】
〔被加工部材の加工方法〕
次に、本発明に係る被加工部材の加工方法について説明する（以下、「被加工部材の加工方法」を「加工方法」と適宜省略する）。本発明に係る加工方法は、必須の工程として、仮固定工程、加工工程および分離工程を含み、付随する工程として洗浄工程を含む。図６は、本発明に係る加工方法を示すフローチャートである。各工程について以下に説明する。
【００４７】
（１）仮固定工程（Ｓ１）：
仮固定工程は、本発明に係る接着シートを介して、被加工部材を台座に仮固定する工程である。仮固定工程は、被加工部材と台座とを仮固定できれば特に限定されないが、一例として、下記（１）〜（４）を含む手法が挙げられる。
〔１〕接着シートを台座上に設置する
〔２〕接着シートを台座と被加工部材とで挟む
〔３〕接着シートを加熱して接着シートのホットメルト材料を軟化させ、好ましくは融解させる
〔４〕ホットメルト材料を冷却することで被加工部材を台座に仮固定する
【００４８】
上記手法においては、〔１〕の後、接着シートを加熱してもよく、その場合、〔２〕と〔３〕の順序を入れ替えてもよい。また、離型層を備えた積層体を用いる場合、一例として、下記〔１ａ〕、〔２ａ〕、〔３ａ〕および〔４ａ〕を含む手法が挙げられる。
〔１ａ〕積層体を台座上に設置する
〔２ａ〕積層体から離型層を剥離して、接着シートを台座と被加工部材とで挟む
〔３ａ〕接着シートを加熱して接着シートのホットメルト材料を軟化させ、好ましくは融解させる
〔４ａ〕ホットメルト材料を冷却することで被加工部材を台座に仮固定する
【００４９】
上記手法においては、〔１ａ〕の後、積層体を加熱してもよく、その場合、〔２ａ〕と〔３ａ〕の順序を入れ替えてもよい。その場合、〔３ａ〕の工程にて、積層体を加熱して接着シートのホットメルト材料を軟化させ、好ましくは融解させる。
【００５０】
ホットメルト材料を軟化または融解させる手法としては、特に限定されず、例えば、台座、または空気などを介して加熱してもよいし、ホットメルト材料を直接加熱してもよい。また、ホットメルト材料の加熱温度は、ホットメルト材料が軟化または融解する温度であればよく、ホットメルト材料の種類によって異なるが、概して、６０℃以上、１００℃以下である。ホットメルト材料を冷却する手法は、特に限定されず、ホットメルト材料の加熱を中止し、自然冷却を行ってもよいし、常温未満の温度の低温雰囲気下で冷却を行ってもよい。
【００５１】
（２）加工工程（Ｓ２）：
加工工程は、被加工部材に任意の加工を施して既加工部材を得る工程である。ここで、被加工部材とは任意の加工が施される部材を指し、既加工部材とは、被加工部材に任意の加工を施した部材を指す。
【００５２】
上記加工の内容は特に限定されないが、加工工程前の仮固定工程にて被加工部材は仮固定されているため、仮固定された被加工部材を加工する内容である必要がある。一例として、切断、研削、研磨、穴開けなどの加工が挙げられ、より具体的には、被加工部材である半導体ウェハに対する加工が含まれ、ワイヤーによって半導体ウェハをダイシングして、既加工部材である半導体ウェハ片を得るワイヤーソーダイシングも上記加工に含まれる。
【００５３】
加工工程においては、ワイヤーソーなどの加工工具と、被加工部材との摩擦によって熱が生じ得るため、冷却水を使用してもよい。本発明の接着シートを構成するホットメルト材料は耐水性を有するため、冷却水に接触しても溶解せず、被加工部材の接着強度はほとんど低下しない。
【００５４】
（３）分離工程（Ｓ３）：
分離工程は、上記接着シートを６０℃以上に加熱して、上記台座と加工済み部材とを分離させる工程である。本発明の接着シートを構成するホットメルト材料は、耐水性を有し、かつ、６０℃以上に加熱されて融解する。ホットメルト材料が融解した時点で接着シートの接着力は喪失し、その後、台座と既加工部材とを分離する。
【００５５】
分離方法は種々の物理的または化学的方法を用いればよく、スクレイパー（へら）などを用いて物理的に分離させてもよいし、加熱によるホットメルト接着層の再流動化により分離させてもよいが、特に、接着シートを６０℃以上の温水と接触させる手法が好ましい。当該手法により、ホットメルト材料は融解して融解物となり、当該融解物は温水に溶解せず、温水と層分離する。ホットメルト材料が融解することで、接着シートによる仮固定は解かれ、台座と既加工部材とを容易に分離される。さらに、融解物が温水と層分離するため、融解物を回収し易いという点でも優れている。ここで、融解物が水中に浮く場合、台座と被加工部材とを分離する際に融解物を容易に水中から分離できる点で好ましい。
【００５６】
（４）洗浄工程（Ｓ４）：
洗浄工程は、必要に応じて分離工程の後になされる工程であり、分離した既加工部材を洗浄液で洗浄した後、乾燥する。洗浄工程を行うことで、既加工部材にホットメルト材料が残存していたとしても、ホットメルト材料の残存率を低減できる。
【００５７】
洗浄方法としては、洗浄液を既加工部材に接触させればよく、既加工部材に対して、洗浄液を注ぐ、洗浄液を噴霧するなどの手法が挙げられ、接着シートを洗浄液に浸漬させてもよい。洗浄液としては、ホットメルト材料を被加工部材から容易に除去可能なものが使用されるが、作業の安全性や、自然環境への影響を考慮すると、トリクロルエチレンのようなハロゲン系溶剤や、強酸や強アルカリ液、強酸化性液体などではなく、エチルアルコール、イソプロピルアルコールなどのアルコール系溶剤、アセトンやメチルエチルケトンのようなケトン系溶剤、ノナン、デカン及びトリデカン等の脂肪族系溶剤、環状脂肪族のナフテン系溶剤、トルエン及びキシレン等のアルキルベンゼン系溶剤、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテルなどのグリコールエーテル系溶剤が好適な例として挙げられる。また、苛性ソーダや苛性カリなどの無機アルカリ、アルカノールアミンやアミノアルコールなどの水溶性アミンなどの水溶液も使用できる。更に、洗浄効率を向上するために、上記洗浄液を昇温して使用することも可能である。
【００５８】
洗浄後に行う既加工部材の乾燥は、公知の手法によって行えばよく、常温で行ってもよいし、例えば、６０℃以上の高温乾燥雰囲気下で行ってもよい。
【００５９】
本発明の加工方法によれば、被加工部材を仮固定し、任意の加工を施した後、接着シートを容易に除去し、台座と被加工部材とを容易に分離することが可能である。ホットメルト材料が耐水性を有するため、特に、温水を使用した場合、非常に容易な分離が実現できる。
【実施例】
【００６０】
以下、実施例を用いて本発明を説明するが、本発明は当該実施例に限定されるものではない。なお、得られた接着シートに対して下記測定を行った。
【００６１】
〔耐水性（疎水性）〕
得られた接着シートを２５℃の水に２時間浸漬させ、ピンセットで採取し、下記質量維持率を測定し、耐水性を判断した。
質量維持率＝２時間経過後の接着シートの質量Ｗ１／浸漬前の接着シートの質量Ｗ０×１００（％）
【００６２】
〔融解性〕
得られた接着シートを６０℃の温水に浸漬させ、接着シートを構成するホットメルト材料の融解性を目視で確認した。
【００６３】
〔実施例１：接着シートＡ〕
７０質量部のステアリン酸ステアリル（針入度：１）に３０質量部のマイクロクリスタリンワックス（日本精鑞株式会社、Ｈｉ−Ｍｉｃ１０７０、針入度：２０）を１００℃で加熱溶融して攪拌し、これを５００μｍ厚みのスペーサーを配置した板の間に挟み、常温で冷却して接着シートＡを得た。接着シートＡの質量維持率は９９．９％であり、耐水性があると判断した。
【００６４】
〔実施例２：接着シートＢ〕
パラフィン系ワックス１００質量部（日本精鑞株式会社、ＰａｒａｆｆｉｎｅＷａｘ１５５、針入度：１２））を１００℃で加熱溶融して攪拌し、溶融物を２枚の離型ＰＥＴ（１２５Ｃ、リンテック社製）の間に流し、５００μｍのギャップに設定したアプリケーターを用いて塗り広げ、常温で冷却して接着シートＢを得た。接着シートＢの質量維持率は９９．６％であり、耐水性があると判断した。
【００６５】
〔実施例３：接着シートＣ〕
パラフィン系ワックスとＥＶＡ樹脂の混合物１００重量部（日本精鑞株式会社、ＰＡＬＶＡＸ１２３０、針入度：７）を１００℃で加熱溶融して攪拌し、溶融物を実施例２と同様に加工して接着シートＣを得た。接着シートＢの質量維持率は９９．９％であり、耐水性があると判断した。
【００６６】
〔比較例１：接着シートＤ〕
温水溶解性ワックス１００重量部を実施例２と同様に加工して接着シートＤを得た。接着シートＤの耐水性を評価したところ、ほとんどが水中に溶解してしまい、ピンセットにて採取できなかった。接着シートＤは水によって変質したため、耐水性なしと判断した。
【００６７】
〔比較例２：接着シートＦ〕
グリセリン脂肪酸エステル１００重量部（阪本薬品工業株式会社、ＳＹグリスターＭＳ−５Ｓ）を実施例２と同様に加工して接着シートＥを得た。接着シートＥの耐水性を評価したところ、水中にて膨潤・溶解してしまい、ピンセットにて採取できなかった。接着シートＦは水によって変質したため、耐水性なしと判断した。
【００６８】
〔実施例４：被加工部材の加工〕
９０℃に加熱したホットプレート上に台座（アルミ冶具、５ｃｍ角、厚さ１ｃｍ）／上記接着シートＡ／被加工部材（ガラス板、長さ３ｃｍ、幅１ｃｍ、厚さ１ｍｍ）からなる積層サンプルを乗せ、接着シートを加熱後、冷却して台座と被加工部材とを仮固定し、被加工部材を多機能型ダイヤモンドワイヤーソー（ＤＷＳ３２４２、メイワフォーシス株式会社製、ワイヤー径φ１００μｍ、ダイヤモンド径２０μｍ）にて冷却水を浴びせながら切削し、加工片が固定されていることを確認した。
【００６９】
その後、上記切削加工後の加工片を、６０℃で加熱しながらスクレイパーにて分離し、被加工部材を回収した。
【００７０】
〔実施例５：被加工部材の加工〕
切削加工後の加工片をスクレイパーにて分離する手法に替えて、切削加工後の加工片を６０℃の温水に浸漬する手法を用いたこと以外は実施例４と同様にして、台座から加工片を分離し、回収できることを確認した。また、上記浸漬を行った後には、ホットメルト材料の融解物が温水の水面に浮いたことが目視で確認できた。
【００７１】
〔実施例６：被加工部材の加工〕
接着シートＡを接着シートＢまたはＣに変更した以外は、実施例４（スクレイパーを使用）と同様にして、台座から切削加工後の加工片を分離し、回収できることを確認した。
【００７２】
〔実施例７：被加工部材の加工〕
接着シートＡを接着シートＢまたはＣに変更した以外は、実施例５（温水による浸漬）と同様にして、台座から切削加工後の加工片を分離し、回収できることを確認した。また、上記浸漬を行った後には、ホットメルト材料の融解物が温水の水面に浮いたことが目視で確認できた。
【産業上の利用可能性】
【００７３】
本発明の接着シートを使用することで、従来なされていた、仮固定接着剤の手塗り工程を省略することが可能となり、作業時間の減少、さらには工程の自動化が可能となる。また、接着シートに耐水性を持たせたことで、冷却水を使用する工程であっても仮固定を可能とし、広範な分野で利用可能である。さらに、６０℃以上の加熱による融解性を持たせたことで経済面および環境面への負荷を低減させることが可能となる。当該接着シートは、チップコンデンサやチップ抵抗器、チップインダクタ、ＩＣ、ＬＳＩ、ＱＦＮ等の製造分野において有用である。
【符号の説明】
【００７４】
１、１ａ、１ｂ、１ｃ      接着シート（仮固定用ホットメルト接着シート）
１１    ホットメルト接着層
１２    芯材（補強材）
１３    多孔質層（補強材）
１３ａ  多孔質層（補強材）
１４    離型層
２０    積層体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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