(57)【要約】      （修正有）【課題】バリア性に優れるとともに柔軟性にも優れた部材を提供する、また、バリア性に優れるとともに柔軟性にも優れた部材を効率よく製造することができる部材の製造方法を提供する。【解決手段】水酸基を有する樹脂製の基材Ｐ１と、バリア膜Ｐ２とを備え、前記水酸基が関与する化学結合により、基材Ｐ１を構成する前記樹脂とバリア膜Ｐ２とが結合しており、バリア膜Ｐ２は、金属酸化物で構成された層を有するものであるのが好ましく、前記金属酸化物で構成された層の厚さは、１０ｎｍ以下であることが好ましい部材Ｐ１００。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水酸基を有する樹脂製の基材と、
バリア膜と、を備え、
前記水酸基が関与する化学結合により、前記基材を構成する前記樹脂と前記バリア膜とが結合している、ことを特徴とする部材。
【請求項２】
前記バリア膜は、金属酸化物で構成された層を有するものである請求項１に記載の部材。
【請求項３】
前記金属酸化物で構成された層の厚さは、１０ｎｍ以下である請求項２に記載の部材。
【請求項４】
前記バリア膜は、前記水酸基が関与する化学結合により前記基材と結合した層に加え、シリコーンレジンで構成された層を有するものである請求項１ないし３のいずれか１項に記載の部材。
【請求項５】
前記シリコーンレジンで構成された層の厚さは、０．１μｍ以上２０μｍ以下である請求項４に記載の部材。
【請求項６】
前記バリア膜は、金属酸化物で構成された層を複数有しており、
前記シリコーンレジンで構成された層は、２つの前記金属酸化物で構成された層の間に配置されている請求項４または５に記載の部材。
【請求項７】
前記バリア膜は、１５０℃以下の成膜温度で形成されたものである請求項１ないし６のいずれか１項に記載の部材。
【請求項８】
水酸基を有する樹脂製の基材に、前記水酸基が関与する化学結合によりバリア膜を形成するバリア膜形成工程を有する、ことを特徴とする部材の製造方法。
【請求項９】
前記バリア膜形成工程では、前記基材上に金属酸化物で構成された第１の層を形成する第１の処理と、シリコーンレジンで構成された第２の層を形成する第２の処理とを行う請求項８に記載の部材の製造方法。
【請求項１０】
前記バリア膜形成工程では、前記基材上に金属酸化物で構成された第１の層を形成する第１の処理と、前記第１の層上にシリコーンレジンで構成された第２の層を形成する第２の処理と、前記第２の層上に金属酸化物で構成された第３の層を形成する第３の処理とを行う請求項８または９に記載の部材の製造方法。
【請求項１１】
前記第３の処理は、前記第２の層の表面に水酸基を導入する表面活性化処理を行った後に行うものである請求項１０に記載の部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部材および部材の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
様々な部材において、例えば、ガスバリア性（例えば、水蒸気や酸素等に対するバリア性）、耐溶剤性等のバリア性を向上させる目的で被膜（バリア膜）が形成されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
しかしながら、従来においては、十分なバリア性を有するバリア膜を設けることにより、バリア膜が形成される基材が樹脂材料で構成されたものであっても、部材全体としての柔軟性が損なわれるという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−２２６６７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、バリア性に優れるとともに柔軟性にも優れた部材を提供すること、また、バリア性に優れるとともに柔軟性にも優れた部材を効率よく製造することができる部材の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の部材は、水酸基を有する樹脂製の基材と、
バリア膜と、を備え、
前記水酸基が関与する化学結合により、前記基材を構成する前記樹脂と前記バリア膜とが結合している、ことを特徴とする。
これにより、バリア性に優れるとともに柔軟性にも優れた部材を提供することができる。
【０００７】
本発明の部材では、前記バリア膜は、金属酸化物で構成された層を有するものであることが好ましい。
これにより、部材のバリア性を優れたものとすることができる。また、バリア膜の膜厚が比較的小さい場合であっても、バリア性を優れたものとすることができる。また、基材への悪影響を防止しつつ、徴密で、均質なバリア膜を容易かつ確実に形成することができる。
【０００８】
本発明の部材では、前記金属酸化物で構成された層の厚さは、１０ｎｍ以下であることが好ましい。
これにより、バリア膜の基材への密着性をより優れたものとすることができる。また、部材の寸法精度をより確実に優れたものとすることができる。
【０００９】
本発明の部材では、前記バリア膜は、前記水酸基が関与する化学結合により前記基材と結合した層に加え、シリコーンレジンで構成された層を有するものであることが好ましい。
これにより、基材とバリア膜との密着性をより優れたものとしつつ、部材のバリア性をより優れたものとすることができる。また、バリア膜の膜厚が比較的小さい場合であっても、バリア性を優れたものとすることができる。
【００１０】
本発明の部材では、前記シリコーンレジンで構成された層の厚さは、０．１μｍ以上２０μｍ以下であることが好ましい。
これにより、部材のバリア性をより優れたものとすることができる。また、バリア膜の基材への密着性をより優れたものとすることができる。また、部材の寸法精度をより確実に優れたものとすることができる。
【００１１】
本発明の部材では、前記バリア膜は、金属酸化物で構成された層を複数有しており、
前記シリコーンレジンで構成された層は、２つの前記金属酸化物で構成された層の間に配置されていることが好ましい。
これにより、基材とバリア膜との密着性をより優れたものとしつつ、部材のバリア性をさらに優れたものとすることができる。また、バリア性の膜厚が比較的小さい場合であっても、バリア性を優れたものとすることができる。
【００１２】
本発明の部材では、前記バリア膜は、１５０℃以下の成膜温度で形成されたものであることが好ましい。
これにより、基材への悪影響をより効果的に防止することができ、部材の信頼性をより優れたものとすることができる。
【００１３】
本発明の部材の製造方法は、水酸基を有する樹脂製の基材に、前記水酸基が関与する化学結合によりバリア膜を形成するバリア膜形成工程を有する、ことを特徴とする。
これにより、バリア性に優れるとともに柔軟性にも優れた部材を効率よく製造することができる部材の製造方法を提供することができる。
【００１４】
本発明の部材の製造方法では、前記バリア膜形成工程では、前記基材上に金属酸化物で構成された第１の層を形成する第１の処理と、シリコーンレジンで構成された第２の層を形成する第２の処理とを行うことが好ましい。
これにより、基材とバリア膜との密着性をより優れたものとしつつ、部材のバリア性をより優れたものとすることができる。また、バリア膜の膜厚が比較的小さい場合であっても、バリア性を優れたものとすることができる。
【００１５】
本発明の部材の製造方法では、前記バリア膜形成工程では、前記基材上に金属酸化物で構成された第１の層を形成する第１の処理と、前記第１の層上にシリコーンレジンで構成された第２の層を形成する第２の処理と、前記第２の層上に金属酸化物で構成された第３の層を形成する第３の処理とを行うことが好ましい。
これにより、基材とバリア膜との密着性をより優れたものとしつつ、部材のバリア性をさらに優れたものとすることができる。また、バリア膜の膜厚が比較的小さい場合であっても、バリア性を優れたものとすることができる。
【００１６】
本発明の部材の製造方法では、前記第３の処理は、前記第２の層の表面に水酸基を導入する表面活性化処理を行った後に行うものであることが好ましい。
これにより、バリア膜の強度を特に優れたものとすることができ、部材の柔軟性、バリア性、耐久性等を特に優れたものとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の部材の好適な実施形態を模式的に示す断面図である。
【図２】本発明の部材の製造方法の好適な実施形態を模式的に示す断面図である。
【図３】原子層堆積法（ＡＬＤ）を用いたバリア膜の形成方法の具体的な一例を説明するための模式図である。
【図４】原子層堆積法（ＡＬＤ）を用いたバリア膜の形成方法の具体的な他の一例を説明するための模式図である。
【図５】原子層堆積法（ＡＬＤ）を用いたバリア膜の形成方法の具体的な他の一例を説明するための模式図である。
【図６】原子層堆積法（ＡＬＤ）を用いたバリア膜の形成方法の具体的な他の一例を説明するための模式図である。
【図７】本発明を適用したインクジェットヘッドの好適な実施形態の分解斜視図である。
【図８】図７に示すインクジェットヘッドが有する流路形成基板の圧電アクチュエーター側の平面図である。
【図９】図８のＡ−Ａ′線に準じたインクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【図１０】図９の要部を拡大した断面図である。
【図１１】図１０のＢ−Ｂ′線断面図である。
【図１２】本発明を適用したインクジェットヘッドの他の好適な実施形態を模式的に示す断面図である。
【図１３】図１２に示すインクジェットヘッドのケースの底面図である。
【図１４】インクパックを収納するカートリッジを使用し得るインクジェット式記録装置の一例を示した上面図である。
【図１５】図１４に示す記録装置におけるインクカートリッジから記録ヘッドに至るインク供給システムを示した模式図である。
【図１６】図１４に示す記録装置で用いられるインクカートリッジの外郭を構成する下ケースの構成を示した斜視図である。
【図１７】図１４に示す記録装置で用いられるインクカートリッジの外郭を構成する上ケースの構成を示した斜視図である。
【図１８】図１６および図１７に示した各ケースの隅角部における拡大図である。
【図１９】図１４に示す記録装置で用いられるインクカートリッジの完成状態を示した一部の断面図である。
【図２０】図１４に示す記録装置で用いられるカートリッジに収納されたインクパックの外観構成を示した斜視図である。
【図２１】図２０に示したインクパックにおけるＣ−Ｃ線から矢印方向に視た状態の拡大断面図である。
【図２２】マイクロポンプの好適な実施形態を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。
【図２３】図２２に示すマイクロポンプが備える駆動部の構成を示す平面図である。
【図２４】図２３のＡ−Ｐ−Ｂ切断面を示す断面図である。
【図２５】図２２に示すマイクロポンプが備える振動体の構成を示す斜視図である。
【図２６】図２２に示すマイクロポンプが備える振動体の作用を模式的に示す部分平面図である。
【図２７】図２２に示すマイクロポンプが備える振動体の突起部の動きを模式的に示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、添付する図面を参照しつつ、本発明の好適な実施形態について詳細な説明をする。
【００１９】
《部材》
まず、本発明の部材について説明する。
【００２０】
図１は、本発明の部材の好適な実施形態を模式的に示す断面図である。
図１に示すように、本実施形態の部材Ｐ１００は、樹脂製の基材Ｐ１と、バリア膜Ｐ２とを有している。
【００２１】
基材Ｐ１は、少なくともバリア膜Ｐ２と接触する部位が、水酸基を有する樹脂材料で構成されたものである。
基材Ｐ１を構成する樹脂材料としては、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）、アラミド樹脂、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等が挙げられる。
【００２２】
また、水酸基は、例えば、基材Ｐ１を構成する樹脂材料がもともと有しているものであってもよいし、樹脂材料に対して、表面活性化処理を施すことにより導入されたものであってもよい。
【００２３】
基材Ｐ１は、少なくともバリア膜Ｐ２と接触する部位が樹脂材料（水酸基を有する樹脂材料）で構成されたものであればよく、樹脂材料以外の材料で構成された部位を有するものであってもよい。
【００２４】
バリア膜Ｐ２は、部材Ｐ１００に、バリア性を付与する機能を有する。
本発明において、バリア性とは、所定の物質を遮蔽する機能のことを言い、具体的には、例えば、ガスバリア性、耐溶剤性等が挙げられる。
【００２５】
バリア膜Ｐ２は、基材Ｐ１を構成する樹脂が有する水酸基が関与する化学結合（共有結合）により、基材Ｐ１を構成する樹脂材料と結合している。
これにより、基材Ｐ１とバリア膜Ｐ２との密着性を優れたものとすることができる。特に、部材Ｐ１００に曲げ等の変形が生じた場合であっても、基材Ｐ１とバリア膜Ｐ２との密着状態を保持することができ、バリア性を確実に発揮することができる。
【００２６】
バリア膜Ｐ２は、その少なくとも一部が、基材Ｐ１を構成する樹脂が有する水酸基が関与する化学結合により、基材Ｐ１を構成する樹脂材料と結合していればよく、本実施形態では、水酸基が関与する化学結合により基材Ｐ１と結合した第１の層Ｐ２１に加え、シリコーンレジンで構成された第２の層Ｐ２２を有している。
これにより、基材Ｐ１とバリア膜Ｐ２との密着性をより優れたものとしつつ、部材Ｐ１００のバリア性をより優れたものとすることができる。また、バリア膜Ｐ２の膜厚が比較的小さい場合であっても、バリア性を優れたものとすることができる。
【００２７】
シリコーンレジンとしては、例えば、メチルシリコーンレジン、フェニルシリコーンレジン、メチルフェニルシリコーンレジン等のストレートシリコーンレジン、アルキッド変性、エポキシ変性、アクリル変性、ポリエステル変性等の変性シリコーンレジン等が挙げられる。
【００２８】
シリコーンレジンで構成された第２の層Ｐ２２の厚さは、特に限定されないが、０．１μｍ以上２０μｍ以下であるのが好ましく、０．２μｍ以上１５μｍ以下であるのがより好ましい。
これにより、部材Ｐ１００のバリア性をより優れたものとすることができる。また、バリア膜Ｐ２の基材Ｐ１への密着性をより優れたものとすることができる。また、部材Ｐ１００の寸法精度をより確実に優れたものとすることができる。
【００２９】
バリア膜の基材と接触する部位（本実施形態では第１の層Ｐ２１）は、水酸基が関与する化学結合により基材を構成する樹脂材料と結合するものであれば、いかなる材料で構成されたものであってもよいが、本実施形態では、金属酸化物で構成されている。
これにより、部材のバリア性を優れたものとすることができる。また、バリア膜の膜厚が比較的小さい場合であっても、バリア性を優れたものとすることができる。また、基材への悪影響を防止しつつ、徴密で、均質なバリア膜を容易かつ確実に形成することができる。
【００３０】
バリア膜Ｐ２の基材Ｐ１と接触する部位（第１の層Ｐ２１）を構成する金属酸化物としては、例えば、酸化アルミニウム、酸化タンタル、酸化ハフニウム、酸化チタン、酸化亜鉛等が挙げられるが、中でも、酸化アルミニウムが好ましい。
これにより、部材Ｐ１００のバリア性を特に優れたものとすることができる。また、バリア膜Ｐ２の膜厚が比較的小さい場合であっても、バリア性を優れたものとすることができる。また、基材Ｐ１への悪影響を防止しつつ、徴密で、均質なバリア膜Ｐ２を容易かつ確実に形成することができる。
【００３１】
また、本実施形態では、バリア膜Ｐ２は、金属酸化物で構成された層を複数（第１の層Ｐ２１および第３の層Ｐ２３）有しており、シリコーンレジンで構成された第２の層Ｐ２２は、２つの金属酸化物で構成された層（第１の層Ｐ２１および第３の層Ｐ２３）の間に配置されている。
これにより、基材Ｐ１とバリア膜Ｐ２との密着性をより優れたものとしつつ、部材Ｐ１００のバリア性をさらに優れたものとすることができる。また、バリア膜Ｐ２の膜厚が比較的小さい場合であっても、バリア性を優れたものとすることができる。
【００３２】
金属酸化物で構成された層（第１の層Ｐ２１、第３の層Ｐ２３）の厚さは、１０ｎｍ以下であるのが好ましく、１ｎｍ以上９ｎｍ以下であるのがより好ましく、２ｎｍ以上８ｎｍ以下であるのがさらに好ましい。
これにより、バリア膜Ｐ２の基材Ｐ１への密着性をより優れたものとすることができる。また、部材Ｐ１００の寸法精度をより確実に優れたものとすることができる。
【００３３】
バリア膜Ｐ２は、いかなる方法、条件で形成されたものであってもよいが、１５０℃以下の成膜温度で形成されたものであるのが好ましい。
これにより、基材Ｐ１への悪影響をより効果的に防止することができ、部材Ｐ１００の信頼性をより優れたものとすることができる。
バリア膜Ｐ２は、後に詳述するような方法で好適に形成することができる。
【００３４】
《部材の製造方法》
次に、本発明の部材の製造方法について説明する。
【００３５】
図２は、本発明の部材の製造方法の好適な実施形態を模式的に示す断面図、図３は、原子層堆積法（ＡＬＤ）を用いたバリア膜の形成方法の具体的な一例を説明するための模式図、図４は、原子層堆積法（ＡＬＤ）を用いたバリア膜の形成方法の具体的な他の一例を説明するための模式図、図５は、原子層堆積法（ＡＬＤ）を用いたバリア膜の形成方法の具体的な他の一例を説明するための模式図、図６は、原子層堆積法（ＡＬＤ）を用いたバリア膜の形成方法の具体的な他の一例を説明するための模式図である。
【００３６】
図２に示すように、本実施形態の製造方法は、水酸基を有する樹脂製の基材Ｐ１を準備する基材準備工程（１ａ）と、水酸基が関与する化学結合によりバリア膜Ｐ２を形成するバリア膜形成工程（１ｂ、１ｃ、１ｄ）とを有する。
これにより、基材Ｐ１とバリア膜Ｐ２との密着性を優れた部材Ｐ１００を効率よく製造することができる。特に、部材Ｐ１００に曲げ等の変形が生じた場合であっても、基材Ｐ１とバリア膜Ｐ２との密着状態を保持することができ、バリア性を確実に発揮することができる。
【００３７】
例えば、バリア膜形成工程に供される基材Ｐ１を構成する樹脂材料が本来水酸基を有さないものである場合、基材準備工程で準備される基材Ｐ１は、表面活性化処理により、水酸基が導入されたものであってもよい。
基材Ｐ１を構成する樹脂材料に水酸基を導入する表面活性化処理としては、例えば、コロナ放電処理、大気圧プラズマ処理もしくは真空中プラズマ処理、真空紫外線（ＶＵＶ）処理等が挙げられる。
【００３８】
特に、本実施形態では、バリア膜形成工程において、基材Ｐ１上に金属酸化物で構成された第１の層Ｐ２１を形成する第１の処理（１ｂ）と、第１の層Ｐ２１上にシリコーンレジンで構成された第２の層Ｐ２２を形成する第２の処理（１ｃ）と、第２の層Ｐ２２上に金属酸化物で構成された第３の層Ｐ２３を形成する第３の処理（１ｄ）とを行う。
【００３９】
第１の処理に加えて、第２の処理を行うことにより、基材Ｐ１とバリア膜Ｐ２との密着性をより優れたものとしつつ、部材Ｐ１００のバリア性をより優れたものとすることができる。また、バリア膜Ｐ２の膜厚が比較的小さい場合であっても、バリア性を優れたものとすることができる。
【００４０】
また、第１の処理、第２の処理に加えて、第３の処理を行うことにより、基材Ｐ１とバリア膜Ｐ２との密着性をより優れたものとしつつ、部材Ｐ１００のバリア性をさらに優れたものとすることができる。また、バリア膜Ｐ２の膜厚が比較的小さい場合であっても、バリア性を優れたものとすることができる。
【００４１】
第３の処理は、第２の層Ｐ２２の表面（シリコーンレジンで構成された第２の層Ｐ２２の表面）に水酸基を導入する表面活性化処理を行った後に行うものであるのが好ましい。
これにより、バリア膜Ｐ２の強度を特に優れたものとすることができ、部材Ｐ１００の柔軟性、バリア性、耐久性等を特に優れたものとすることができる。
【００４２】
第２の層Ｐ２２の表面に水酸基を導入する表面活性化処理としては、例えば、コロナ放電処理、大気圧プラズマ処理もしくは真空中プラズマ処理、真空紫外線（ＶＵＶ）処理等が挙げられる。
【００４３】
第１の層Ｐ２１、第３の層Ｐ２３は、例えば、原子層堆積法（ＡＬＤ）により好適に形成することができる。
原子層堆積法によれば、均質で欠陥の発生が防止された層（膜）を容易かつ確実に形成することができる。特に、金属酸化物等のバリア性の高い材料で構成された層（膜）を小さな膜厚（例えば、前述したような厚さ）で均質に形成することができる。したがって、バリア性に優れるとともに柔軟性にも優れた部材を好適に製造することができる。
【００４４】
原子成膜法による層形成は、例えば、（１）反応装置（チャンバー）内へのプリカーサー（例えば、トリメチルアンモニウム、ペンタキス−ジメチルアミノタンタル、ｔｅｒｔ−ブチルイミノトリス（エチルメチルアミノ）タンタル、テトラキス（ジメチルアミノ）ハフニウム、テトラキス（エチルメチルアミノ）ハフニウム、テトラエチルメチルアミノチタニウム等の金属化合物）の導入、（２）過剰なプリカーサー（基材Ｐ１上に付着していないプリカーサー）の反応装置内からの排出、（３）反応装置内への酸化剤（例えば、酸素、オゾン、水等）の導入による基材Ｐ１上に付着しているプリカーサーの酸化反応、および、（４）過剰な酸化剤の反応装置内からの排出という一連の処理を順次繰り返し行うことにより、所望の厚さを有する層を好適に形成することができる。
【００４５】
このうち、（２）過剰なプリカーサーの反応装置内からの排出、（４）過剰な酸化剤の反応装置内からの排出は、例えば、反応装置内への窒素ガスや、アルゴンガス、ヘリウムガス等の不活性ガスによるパージにより、好適に行うことができる。
【００４６】
特に、基材Ｐ１が水酸基を有する樹脂材料で構成されたものであることにより、反応容器内に導入されたプリカーサーは、基材Ｐ１と接触することにより基材Ｐ１を構成する樹脂材料が有する水酸基と反応し、強固な共有結合を形成する。その結果、基材Ｐ１とバリア膜Ｐ２との密着性を確実に優れたものとすることができる。
【００４７】
また、原子層を繰り返し形成することにより、第１の層Ｐ２１、第３の層Ｐ２３のうち少なくとも一方の形成を行う場合（上記（１）〜（４）の処理を繰り返し行う場合）、新たに形成される原子層を形成するために上記（１）の処理を行うことにより、導入されたプリカーサーは、その下地となる原子層について上記（３）の処理により導入された水酸基（酸素原子）と反応し、これらの原子層の間でも、酸素原子が介在する強固な共有結合が形成される。
このようなことから、原子成膜法により形成された層（第１の層Ｐ２１、第３の層Ｐ２３）は、層内での結合力も強いものとなる。
【００４８】
また、第３の層Ｐ２３の形成を、第２の層Ｐ２２の表面（シリコーンレジンで構成された第２の層Ｐ２２の表面）に水酸基を導入する表面活性化処理を行った後に行う場合にも、前記と同様な効果が得られ、部材Ｐ１００全体としての柔軟性、耐久性を特に優れたものとすることができる。
【００４９】
原子層堆積法は、一般に、２００℃以上の高温で行うものであるが、部材Ｐ１００の製造（第１の層Ｐ２１、第３の層Ｐ２３の形成）においては、１５０℃以下で行うのが好ましく、７０℃以上１００℃以下で行うのがより好ましい。
これにより、基材Ｐ１への悪影響をより効果的に防止することができ、部材Ｐ１００の信頼性をより優れたものとすることができる。
【００５０】
第２の層Ｐ２２は、いかなる方法で形成するものであってもよいが、例えば、スピンコート、ディップコート、ロールコーター、ドクターブレード、スプレー塗装、刷毛塗り等の各種塗布法、転写法等の各種方法を採用することができる。
第２の層Ｐ２２の形成時における処理温度は、１５０℃以下で行うのが好ましく、５０℃以上１００℃以下で行うのがより好ましい。
これにより、基材Ｐ１への悪影響をさらに効果的に防止することができ、部材Ｐ１００の信頼性をさらに優れたものとすることができる。
【００５１】
第１の層Ｐ２１、第３の層Ｐ２３の形成は、例えば、図３、図４、図５、図６に示すような方法で行うことができる。
【００５２】
例えば、図３に示す構成は、部材Ｐ１００として容器を製造する方法であって、容器の収容部となるべき空間Ｐ１１が、当該空間Ｐ１１の外部に連通した状態で、かつ、蓋体Ｍ１により収容部となるべき空間Ｐ１１への成膜材料の侵入が抑制された状態で、原子層堆積法による成膜を行うものである。
これにより、基材Ｐ１の表目のうち目的とする部位に選択的にバリア膜Ｐ２を形成することができる。特に、部材Ｐ１００が収容物を収容する容器である場合に、収容物とバリア膜Ｐ２とが接触することによる収容物への悪影響（例えば、収容物の変性・劣化、収容物へのバリア膜Ｐ２の構成材料の溶出等）を効果的に防止することができる。
これに対し、例えば、容器の口部（開口部）となるべき部位を封止し、容器の収容部となるべき空間を密閉した状態で原子層堆積法による成膜を行った場合には、原子層堆積法における圧力変動に伴って、柔軟性を有する基材が不本意に変形し、好適に成膜を行うことが困難となる。
【００５３】
特に、図３に示す構成では、チャッキング部材Ｍ２により、基材Ｐ１に蓋体Ｍ１が固定されている。
これにより、成膜時等に、基材Ｐ１と蓋体Ｍ１との相対的な位置関係が不本意に変化することを効果的に防止し、空間Ｐ１１と、当該空間Ｐ１１の外部との連通部Ｍ５の間隔を好適に保持することができる。
【００５４】
空間Ｐ１１と当該空間Ｐ１１の外部との連通部Ｍ５の幅（離間距離）は、１０μｍ以上８０μｍ以下であるのが好ましく、１５μｍ以上７０μｍ以下であるのがより好ましい。
これにより、バリア膜Ｐ２の形成時における基材Ｐ１の不本意な変形を防止しつつ、バリア膜Ｐ２を目的とする部位にさらに高い選択性で形成することができる。その結果、部材Ｐ１００の寸法精度、バリア性をさらに優れたものとしつつ、収容物とバリア膜Ｐ２とが接触することによる収容物への悪影響をさらに効果的に防止することができる。
【００５５】
また、１サイクルあたりのプリカーサー（成膜材料）の供給時間は、０．５秒以上５秒以下であるのが好ましく、０．８秒以上４秒以下であるのがより好ましい。
これにより、バリア膜Ｐ２の形成効率、部材Ｐ１００の生産性をより優れたものとすることができる。
【００５６】
図３に示す構成では、基材Ｐ１は、有底筒状をなすものである。
これにより、部材Ｐ１００としての容器は、収容物をより好適に保持することができる。
なお、部材Ｐ１００としての容器は、収容部を収容することができる形態であればよく、例えば、チューブ状等の他の形態のものであってもよい。
【００５７】
次に、図４に示す構成について、説明する。なお、以下の説明では、先に図３に基づいて説明した構成との違いを中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。
【００５８】
図４に示す構成は、図３に示す構成と同様に、部材Ｐ１００として容器を製造する方法であって、容器の収容部となるべき空間Ｐ１１が、当該空間Ｐ１１の外部に連通した状態で、かつ、蓋体Ｍ１により収容部となるべき空間Ｐ１１への成膜材料の侵入が抑制された状態で、原子層堆積法による成膜を行うものであるが、蓋体Ｍ１として、基材Ｐ１と接触する部位に溝Ｍ１１が設けられたものを用いている。
【００５９】
これにより、成膜時等に、空間Ｐ１１と、当該空間Ｐ１１の外部との連通部Ｍ５の間隔をより好適に保持することができ、バリア膜Ｐ２の形成時における基材Ｐ１の不本意な変形を防止しつつ、バリア膜Ｐ２を目的とする部位にさらに高い選択性で形成することができる。その結果、部材Ｐ１００の寸法精度、バリア性をさらに優れたものとしつつ、収容物への悪影響をさらに効果的に防止することができる。
【００６０】
溝Ｍ１１の深さは、１０μｍ以上８０μｍ以下であるのが好ましく、１５μｍ以上７０μｍ以下であるのがより好ましい。
これにより、前述したような効果がより顕著に発揮される。
【００６１】
なお、図示の構成では、蓋体Ｍ１の基材と接触する部位に溝Ｍ１１が設けられているが、例えば、蓋体Ｍ１の基材Ｐ１と接触する部位に凸部が設けられている場合や、蓋体Ｍ１の基材Ｐ１と接触する部位に粗面化処理が施されている場合、蓋体Ｍ１と基材Ｐ１との間に、前記連通部を確保するためのギャップ部材を配した場合等でも、前記と同様な効果が得られる。ギャップ部材としては、例えば、溝や貫通孔が設けられた部材等を好適に用いることができる。また、ギャップ部材としては、ゴム等の弾性体で構成されたものを用いてもよい。
【００６２】
次に、図５に示す構成について、説明する。なお、以下の説明では、先に図３、図４に基づいて説明した構成との違いを中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。
【００６３】
図５に示す構成は、図３、図４に示す構成と同様に、部材Ｐ１００として容器を製造する方法であって、容器の収容部となるべき空間Ｐ１１が、当該空間Ｐ１１の外部に連通した状態で、かつ、蓋体Ｍ１により収容部となるべき空間Ｐ１１への成膜材料の侵入が抑制された状態で、原子層堆積法による成膜を行うものであるが、ガス供給手段Ｍ３から空間Ｐ１１に供給するように構成されている。
【００６４】
これにより、成膜時において、空間Ｐ１１から空間Ｐ１１の外部へ向かう方向へのガス流が形成されるため、空間Ｐ１１へのプリカーサー（成膜材料）の侵入をより効果的に防止することができ、基材Ｐ１の表目のうち目的とする部位（基材Ｐ１の外表面）に選択的にバリア膜Ｐ２を形成することができ、収容部の内面（壁面）にバリア膜Ｐ２が不本意に形成されてしまうことをより効果的に防止することができる。
【００６５】
ガス供給手段Ｍ３が供給するガスの種類は、特に限定されないが、窒素ガスや、アルゴンガス、ヘリウムガス等の不活性ガス等を好適に用いることができる。また、複数種のガスを併用してもよい。
【００６６】
図５に示すような構成において、空間Ｐ１１と当該空間Ｐ１１の外部との連通部Ｍ５の幅（離間距離）は、１０μｍ以上５００μｍ以下であるのが好ましく、１５μｍ以上３００μｍ以下であるのがより好ましい。
【００６７】
これにより、バリア膜Ｐ２の形成時における基材Ｐ１の不本意な変形を防止しつつ、バリア膜Ｐ２を目的とする部位にさらに高い選択性で形成することができる。その結果、部材Ｐ１００の寸法精度、バリア性をさらに優れたものとしつつ、収容物とバリア膜Ｐ２とが接触することによる収容物への悪影響をさらに効果的に防止することができる。
【００６８】
また、図５に示すような構成において、１サイクルあたりのプリカーサー（成膜材料）の供給時間は、５．０秒以上１０秒以下であるのが好ましく、５．５秒以上９．０秒以下であるのがより好ましい。
これにより、バリア膜Ｐ２の形成効率、部材Ｐ１００の生産性をより優れたものとすることができる。
【００６９】
次に、図６に示す構成について、説明する。なお、以下の説明では、先に図３、図４、図５に基づいて説明した構成との違いを中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。
【００７０】
図６に示す構成では、表面が疎水性の樹脂材料（例えば、メチル基等の有機基を有するシリコーン等）で構成された基材Ｐ１に（２ａ）、マスクを用いた露光によりエネルギー線を照射し部分的に水酸基を導入し、親水性部Ｐ１７を形成する処理を行い（２ｂ）、その後、原子層堆積法により第１の層Ｐ２１を形成する（２ｃ）。言い換えると、基材Ｐ１の疎水性の表面である疎水性部Ｐ１６について、部分的にエネルギー線を照射することにより、基材Ｐ１の表面に、疎水性部Ｐ１６と親水性部Ｐ１７とが混在する状態としたうえで、原子層堆積法を行うことにより、水酸基を有する親水性部Ｐ１７に選択的に第１の層Ｐ２１を形成する。
【００７１】
このような構成であることにより、半導体装置の製造等で広く用いられている露光技術を用いることにより、容易かつ確実に、所望の部位に選択的に第１の層Ｐ２１（バリア膜Ｐ２）を形成することができる。特に、特殊な装置や部材を用いたり、基材へのマスクの形成、マスクの除去等の処理を行うことなく、好適に所望のパターンのバリア膜Ｐ２を形成することができる。したがって、所望のパターンのバリア膜Ｐ２を有する部材Ｐ１００を特に優れた生産性を製造することができる。また、本来水酸基を有していない樹脂材料で構成された基材Ｐ１に対しても、好適にバリア膜Ｐ２を形成することができる。
【００７２】
親水性部Ｐ１７を形成するために照射するエネルギー線としては、例えば、コロナ放電処理、大気圧プラズマ処理もしくは真空中プラズマ処理、真空紫外線（ＶＵＶ）処理等が挙げられる。
親水性部Ｐ１７を形成する露光は、例えば、コンタクト露光のほか、プロキシミティー露光、プロジェクション露光等の非接触露光であってもよい。
【００７３】
図６では、疎水性の表面を有する基材Ｐ１に対して、所望の部位に選択的に第１の層Ｐ２１（バリア膜Ｐ２）を形成する場合について説明したが、例えば、親水性の表面（水酸基を有する樹脂材料で構成された表面）を有する基材に対して、バリア膜を形成すべきでない部位に予め疎水化処理を施し疎水性部とし、疎水性部以外の親水性の表面（親水性部）に対し、選択的にバリア膜の形成を行ってもよい。
【００７４】
なお、上記では、基材Ｐ１の表面に第１の層Ｐ２１を形成する場合について中心的に説明したが、例えば、第２の層Ｐ２２の表面への第３の層Ｐ２３の形成も、同様にして行うことができる。
【００７５】
《部材の具体例》
次に、本発明の部材の具体例について説明する。
【００７６】
本発明の部材は、水酸基を有する樹脂製の基材と、バリア膜とを備え、前記水酸基が関与する化学結合により、前記基材を構成する前記樹脂と前記バリア膜とが結合しているものであればいかなるものであってもよいが、本発明の部材の具体例としては、以下のようなものが挙げられる。
すなわち、本発明の部材としては、例えば、反応容器（例えば、ＰＣＲの反応容器、マイクロリアクター等）、遠心管等の各種容器（袋状、チューブ状のもの等を含む）；コンプライアンスシート（パッキン部材）等のインクジェットヘッドの構成部材やインク供給チューブ、インクバック等の記録装置の構成部材；マイクロポンプ（例えば、投薬ポンプ）等の各種ポンプの構成部材；プロジェクターの構成部材；フレキシブルディスプレイの封止材等が挙げられる。
【００７７】
また、本発明の部材は、例えば、接着剤の硬化物を基材とするものであってもよい。
これにより、例えば、接着剤の硬化物による接合部のバリア性（耐水性、耐溶剤性等）を優れたものとすることができ、溶剤を吸収すること等による接合部の膨潤等に起因する接着性の低下を長期間にわたって効果的に防止することができる。その結果、接合部の信頼性を特に優れたものとすることができる。また、接着剤の硬化物が吸湿性の高いものである場合に、接着剤の硬化物が湿気を吸収して接合された部品の位置関係が変化してしまう問題が発生しやすいが、本発明では、優れたバリア性を有することにより、吸湿による上記のような問題の発生も効果的に防止することができる。
【００７８】
接着剤の硬化物を基材とする部材の具体例としては、例えば、インクジェットヘッドのケースヘッドと連通板との接合部等が挙げられる。
また、接着剤の硬化物を基材とする部材としては、例えば、温度変化の大きい反射型のライトバルブを有するプロジェクターにおいてガラス製の部品（例えば、プリズム等）と金属製の部品（例えば、スペーサー等）のように線膨張係数が大きく異なる部品を接合する接合部が挙げられる。このような接合部には、熱応力を緩和する目的で柔軟な接着剤の硬化物が用いられているが、その一方で、このような硬化物は、湿気を吸収して固定した部品の位置関係にずれを生じるという問題が生じ易かった。これに対し、本発明では、このような接着剤の硬化物において、十分な柔軟性を確保しつつ、防湿性（水蒸気バリア性）を特に優れたものとすることができ、上記のような問題の発生を効果的に防止することができる。
【００７９】
以下、本発明をインクジェットに適用した具体例を挙げて、詳細に説明する。
図７は、本発明を適用したインクジェットヘッドの好適な実施形態の分解斜視図、図８は、図７に示すインクジェットヘッドが有する流路形成基板の圧電アクチュエーター側の平面図、図９は、図８のＡ−Ａ′線に準じたインクジェット式記録ヘッドの断面図、図１０は、図９の要部を拡大した断面図、図１１は図１０のＢ−Ｂ′線断面図、図１２は、本発明を適用したインクジェットヘッドの他の好適な実施形態を模式的に示す断面図、図１３は、図１２に示すインクジェットヘッドのケースの底面図、図１４は、インクパックを収納するカートリッジを使用し得るインクジェット式記録装置の一例を示した上面図、図１５は、図１４に示す記録装置におけるインクカートリッジから記録ヘッドに至るインク供給システムを示した模式図、図１６は、図１４に示す記録装置で用いられるインクカートリッジの外郭を構成する下ケースの構成を示した斜視図、図１７は、図１４に示す記録装置で用いられるインクカートリッジの外郭を構成する上ケースの構成を示した斜視図、図１８は、図１６および図１７に示した各ケースの隅角部における拡大図、図１９は、図１４に示す記録装置で用いられるインクカートリッジの完成状態を示した一部の断面図、図２０は、図１４に示す記録装置で用いられるカートリッジに収納されたインクパックの外観構成を示した斜視図、図２１は、図２０に示したインクパックにおけるＣ−Ｃ線から矢印方向に視た状態の拡大断面図である。
【００８０】
図７〜図１１に示すインクジェットヘッドＩ１００は、ヘッド本体Ｉ９、ケース部材Ｉ４０等の複数の部材を備え、これら複数の部材が接着剤等によって接合されている。本実施形態では、ヘッド本体Ｉ９は、流路形成基板Ｉ１０と、連通板Ｉ１５と、ノズルプレートＩ２０と、保護基板Ｉ３０と、コンプライアンス基板Ｉ４５と、を具備する。
【００８１】
ヘッド本体Ｉ９を構成する流路形成基板Ｉ１０は、ステンレス鋼やＮｉ等の金属、ＺｒＯ２あるいはＡｌ２Ｏ３を代表とするセラミック材料、ガラスセラミック材料、ＭｇＯ、ＬａＡｌＯ３のような酸化物等を用いることができる。本実施形態では、流路形成基板Ｉ１０は、結晶面方位が（１１０）のシリコン単結晶基板からなる。この流路形成基板Ｉ１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室Ｉ１２がインクを吐出する複数のノズル開口Ｉ２１が並設される方向に沿って並設されている。以降、この方向を圧力発生室Ｉ１２の並設方向、または第１の方向Ｘと称する。また、流路形成基板Ｉ１０には、圧力発生室Ｉ１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室Ｉ１２が第１の方向Ｘに沿って形成された圧力発生室Ｉ１２の列が複数列設された列設方向を、以降、第２の方向Ｙと称する。
【００８２】
なお、流路形成基板Ｉ１０には、圧力発生室Ｉ１２の一端部側に、当該圧力発生室Ｉ１２よりも断面積が狭く、圧力発生室Ｉ１２に流入するインクの流路抵抗を付与する供給路等が設けられていてもよい。
【００８３】
また、このような流路形成基板Ｉ１０の一方面側には、振動板Ｉ５０が設けられており、圧力発生室Ｉ１２等の流路は、振動板Ｉ５０によって封止されている。
また、流路形成基板Ｉ１０の他方面側（振動板Ｉ５０とは反対側）には、連通板Ｉ１５が接合されている。また、連通板Ｉ１５には、各圧力発生室Ｉ１２に連通する複数のノズル開口Ｉ２１が穿設されたノズルプレートＩ２０が接着剤を介して接着されている。
【００８４】
連通板Ｉ１５には、圧力発生室Ｉ１２とノズル開口Ｉ２１とを繋ぐノズル連通路Ｉ１６が設けられている。連通板Ｉ１５は、流路形成基板Ｉ１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレートＩ２０は流路形成基板Ｉ１０よりも小さい面積を有する。このようにノズルプレートＩ２０の面積を比較的小さくすることでコストの削減を図ることができる。なお、本実施形態では、ノズルプレートＩ２０のノズル開口Ｉ２１が開口されて、インク滴が吐出される面を液体噴射面と称する。
【００８５】
また、連通板Ｉ１５には、マニホールドＩ４００の一部を構成する第１マニホールド部Ｉ１７と、第２マニホールド部Ｉ１８とが設けられている。
第１マニホールド部Ｉ１７は、連通板Ｉ１５を厚さ方向（連通板Ｉ１５と流路形成基板Ｉ１０との積層方向）に貫通して設けられている。
【００８６】
また、第２マニホールド部Ｉ１８は、連通板Ｉ１５を厚さ方向に貫通することなく、連通板Ｉ１５のノズルプレートＩ２０側に開口して設けられている。
さらに、連通板Ｉ１５には、圧力発生室Ｉ１２の第２の方向Ｙの一端部に連通する供給連通路Ｉ１９が、各圧力発生室Ｉ１２毎に独立して設けられている。この供給連通路Ｉ１９は、第２マニホールド部Ｉ１８と圧力発生室Ｉ１２とを連通する。
【００８７】
このような連通板Ｉ１５としては、ステンレスやＮｉ等の金属、またはジルコニウム等のセラミック等を用いることができる。なお、連通板Ｉ１５は、流路形成基板Ｉ１０と線膨張係数が同等の材料が好ましい。すなわち、連通板Ｉ１５として流路形成基板Ｉ１０と線膨張係数が大きく異なる材料を用いた場合、加熱や冷却されることで、流路形成基板Ｉ１０と連通板Ｉ１５との線膨張係数の違いにより反りが生じてしまう。本実施形態では、連通板Ｉ１５として流路形成基板Ｉ１０と同じ材料、すなわち、シリコン単結晶基板を用いることで、熱による反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。
【００８８】
また、ノズルプレートＩ２０には、各圧力発生室Ｉ１２とノズル連通路Ｉ１６を介して連通するノズル開口Ｉ２１が形成されている。すなわち、ノズル開口Ｉ２１は、第１の方向Ｘに並設された列が、第２の方向Ｙに複数列、本実施形態では、２列形成されている。
【００８９】
このようなノズルプレートＩ２０としては、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属、ポリイミド樹脂のような有機物、またはシリコン単結晶基板等を用いることができる。なお、ノズルプレートＩ２０としてシリコン単結晶基板を用いることで、ノズルプレートＩ２０と連通板Ｉ１５との線膨張係数を同等として、加熱や冷却されることによる反りや熱によるクラック、剥離の発生を抑制することができる。
【００９０】
一方、流路形成基板Ｉ１０の連通板Ｉ１５とは反対面側には、振動板Ｉ５０が形成されている。本実施形態では、振動板Ｉ５０として、流路形成基板Ｉ１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜Ｉ５１と、弾性膜Ｉ５１上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜Ｉ５２と、を設けるようにした。なお、圧力発生室Ｉ１２等の液体流路は、流路形成基板Ｉ１０を一方面側（ノズルプレートＩ２０が接合された面側）から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力発生室Ｉ１２等の液体流路の他方面は、弾性膜Ｉ５１によって画成されている。
【００９１】
ここで、振動板Ｉ５０（積層膜の場合、電極形成側）は絶縁体であること、かつ圧電体層Ｉ７０の形成時の温度（一般に５００℃以上）に耐えうることが必須であるほか、シリコンウェハーを流路形成基板Ｉ１０に用いて、且つ圧力発生室Ｉ１２等の流路を形成する際に、ＫＯＨ（水酸化カリウム）による異方性エッチングを用いる場合、振動板（積層の場合、シリコンウェハー側）はエッチングストップ層として機能することが必要である。また、振動板Ｉ５０の一部に二酸化シリコンを使用した場合、圧電体層Ｉ７０に含まれる鉛やビスマス等が二酸化シリコンに拡散すると、二酸化シリコンが変質し、上層の電極や圧電体層Ｉ７０が剥離する。このため、二酸化シリコンへの拡散防止層も必要となる。
【００９２】
二酸化シリコンと酸化ジルコニウムとを積層した振動板Ｉ５０は、それぞれの材料が圧電体層Ｉ７０を形成する際の温度に耐えて且つ、二酸化シリコンが絶縁層とエッチングストップ層を、酸化ジルコニウムが絶縁層と拡散防止層として機能するため、最も好適である。本実施形態では、この弾性膜Ｉ５１および絶縁体膜Ｉ５２によって振動板Ｉ５０が形成されるが、振動板Ｉ５０として、弾性膜Ｉ５１および絶縁体膜Ｉ５２の何れか一方のみを設けるようにしてもよい。
また、振動板Ｉ５０上には、第１電極Ｉ６０と、圧電体層Ｉ７０と、第２電極Ｉ８０とを有する圧電アクチュエーターＩ３００が形成されている。
【００９３】
図１０および図１１に示すように、圧電アクチュエーターＩ３００を構成する第１電極Ｉ６０は、圧力発生室Ｉ１２毎に切り分けられ、圧電アクチュエーターＩ３００毎に独立する個別電極を構成する。そして第１電極Ｉ６０は、圧力発生室Ｉ１２の第１の方向Ｘにおいては、圧力発生室Ｉ１２の幅よりも狭い幅で形成されている。すなわち圧力発生室Ｉ１２の第１の方向Ｘにおいて、第１電極Ｉ６０の端部は、圧力発生室Ｉ１２に対向する領域の内側に位置している。圧力発生室Ｉ１２の第２の方向Ｙでは、第１電極Ｉ６０の両端部は、それぞれ圧力発生室Ｉ１２の外側まで延設されている。なお、第１電極Ｉ６０の材料は、金属材料であれば特に限定されないが、例えば、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）等が好適に用いられる。
【００９４】
圧電体層Ｉ７０は、第２の方向Ｙが所定の幅となるように第１の方向Ｘにわたって連続して設けられている。圧電体層Ｉ７０の第２の方向Ｙの幅は、圧力発生室Ｉ１２の第２の方向Ｙの長さよりも広い。このため、圧力発生室Ｉ１２の第２の方向Ｙでは、圧電体層Ｉ７０は圧力発生室Ｉ１２の外側まで設けられている。
【００９５】
圧力発生室Ｉ１２の第２の方向Ｙの一端部側（マニホールドＩ４００側）における圧電体層Ｉ７０の端部は、第１電極Ｉ６０の端部よりも外側に位置している。すなわち、第１電極Ｉ６０の端部は圧電体層Ｉ７０によって覆われている。圧力発生室Ｉ１２の第２の方向Ｙの他端側における圧電体層Ｉ７０の端部は、第１電極Ｉ６０の端部よりも内側（圧力発生室Ｉ１２側）に位置している。
【００９６】
なお、圧電体層Ｉ７０の外側まで延設された第１電極Ｉ６０には、例えば、金（Ａｕ）等からなる個別リード電極Ｉ９１が接続されている。図示は省略するが、この個別リード電極Ｉ９１には、駆動回路Ｉ２１０等が実装された配線基板Ｉ２１１が接続される。
【００９７】
また、圧電体層Ｉ７０には、各隔壁Ｉ１１に対向する凹部が形成されている。この凹部の第１の方向Ｘの幅は、各隔壁Ｉ１１の第１の方向Ｘの幅と略同一、もしくはそれよりも広くなっている。これにより、振動板Ｉ５０の圧力発生室Ｉ１２の幅方向端部に対向する部分（いわゆる振動板Ｉ５０の腕部）の剛性が抑えられるため、圧電アクチュエーターＩ３００を良好に変位させることができる。
【００９８】
圧電体層Ｉ７０は、第１電極Ｉ６０上に形成される分極構造を有する酸化物の圧電材料からなり、例えば、一般式ＡＢＯ３で示されるペロブスカイト構造の結晶膜（ペロブスカイト方結晶）からなることができ、Ａは、鉛を含み、Ｂは、ジルコニウムおよびチタンのうちの少なくとも一方を含むことができる。前記Ｂは、例えば、さらに、ニオブを含むことができる。具体的には、圧電体層Ｉ７０としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３：ＰＺＴ）、シリコンを含むニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ，Ｎｂ）Ｏ３：ＰＺＴＮＳ）等を用いることができる。
【００９９】
また、圧電体層Ｉ７０は、鉛を含まない非鉛系圧電材料、例えば、鉄酸ビスマスや鉄酸マンガン酸ビスマスと、チタン酸バリウムやチタン酸ビスマスカリウムとを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物等としてもよい。
【０１００】
第２電極Ｉ８０は、圧力発生室Ｉ１２の第１の方向Ｘにおいて、圧電体層Ｉ７０上に連続して設けられ、後述する複数の能動部Ｉ３１０に共通する共通電極を構成する。圧力発生室Ｉ１２の第２の方向Ｙの一端側における第２電極Ｉ８０の端部は、圧電体層Ｉ７０の端部よりも外側に位置している。つまり圧電体層Ｉ７０の端部は第２電極Ｉ８０によって覆われている。また、圧力発生室Ｉ１２の第２の方向Ｙの他端側における第２電極Ｉ８０の端部は、圧電体層Ｉ７０の端部よりも内側（圧力発生室Ｉ１２側）に位置している。このような第２電極Ｉ８０の材料は、金属材料であれば特に限定されないが、例えば、イリジウム（Ｉｒ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、金（Ａｕ）等の金属材料を用いることができる。また、第２電極Ｉ８０は、金属材料の単一材料であっても、複数の材料が混合した複数材料であってもよい。
【０１０１】
このような第２電極Ｉ８０は、本実施形態では、圧電体層Ｉ７０の第１電極Ｉ６０とは反対面上と、圧電体層Ｉ７０の側面上と、第１電極Ｉ６０上と、にわたって連続して設けられている。ちなみに、第１電極Ｉ６０上の第２電極Ｉ８０と、圧電体層Ｉ７０の主要部（詳しくは後述する能動部Ｉ３１０）の第２電極Ｉ８０とは、除去部Ｉ８３を介して電気的に切断されている。すなわち、第１電極Ｉ６０上の第２電極Ｉ８０と、圧電体層Ｉ７０の主要部に設けられた第２電極Ｉ８０とは、同一層からなるが電気的に不連続となるように形成されている。ここで、除去部Ｉ８３は、圧電体層Ｉ７０上のノズル開口Ｉ２１側に設けられており、第２電極Ｉ８０を厚さ方向（圧電体層Ｉ７０と第２電極Ｉ８０の積層方向）に貫通して電気的に切断するものである。このような除去部Ｉ８３は、第１の方向Ｘにわたって連続して設けられている。
【０１０２】
このような構成の圧電アクチュエーターＩ３００は、第１電極Ｉ６０と第２電極Ｉ８０との間に電圧を印加することで変位が生じる。すなわち両電極の間に電圧を印加することで、第１電極Ｉ６０と第２電極Ｉ８０とで挟まれている圧電体層Ｉ７０に圧電歪みが生じる。そして、両電極に電圧を印加した際に、圧電体層Ｉ７０に圧電歪みが生じる部分を能動部Ｉ３１０と称する。これに対して、圧電体層Ｉ７０に圧電歪みが生じない部分を非能動部と称する。また、圧電体層Ｉ７０に圧電歪みが生じる能動部Ｉ３１０において、圧力発生室Ｉ１２に対向する部分を可撓部と称し、圧力発生室Ｉ１２の外側の部分を非可撓部と称する。
【０１０３】
本実施形態では、第１電極Ｉ６０、圧電体層Ｉ７０および第２電極Ｉ８０の全てが圧力発生室Ｉ１２の第２の方向Ｙにおいて圧力発生室Ｉ１２の外側まで連続的に設けられている。すなわち能動部Ｉ３１０が圧力発生室Ｉ１２の外側まで連続的に設けられている。このため、能動部Ｉ３１０のうち圧電アクチュエーターＩ３００の圧力発生室Ｉ１２に対向する部分が可撓部となり、圧力発生室Ｉ１２の外側の部分が非可撓部となっている。
すなわち、本実施形態では、図１０に示すように、能動部Ｉ３１０の第２の方向Ｙの端部は、第２電極Ｉ８０によって規定されている。
【０１０４】
また、能動部Ｉ３１０の第１の方向Ｘの端部は、第１電極Ｉ６０によって規定されている。そして、第１電極Ｉ６０の第１の方向Ｘの端部は、圧力発生室Ｉ１２に相対向する領域内に設けられている。したがって、能動部Ｉ３１０の第１の方向Ｘの端部は、可撓部に設けられていることになり、第１の方向Ｘにおいて、能動部Ｉ３１０と非能動部との境界における応力が振動板の変形によって開放される。このため、能動部Ｉ３１０の第１の方向Ｘの端部における応力集中に起因する焼損やクラック等の破壊を抑制することができる。
【０１０５】
このような圧電アクチュエーターＩ３００では、第２電極Ｉ８０が、圧電体層Ｉ７０を覆っているため、第１電極Ｉ６０と第２電極Ｉ８０との間で電流がリークすることがなく、圧電アクチュエーターＩ３００の破壊を抑制することができる。ちなみに、第１電極Ｉ６０と第２電極Ｉ８０とが近接した状態で露出されていると、圧電体層Ｉ７０の表面を電流がリークし、圧電体層Ｉ７０が破壊されてしまう。ちなみに、第１電極Ｉ６０と第２電極Ｉ８０とが露出されていても距離が近くなければ、電流のリークは発生しない。
【０１０６】
このような圧電アクチュエーターＩ３００の第１電極Ｉ６０と、第２電極Ｉ８０とには、本実施形態の配線層である個別リード電極Ｉ９１と、共通リード電極Ｉ９２とが接続されている。個別リード電極Ｉ９１および共通リード電極Ｉ９２は、導電性を有する材料であれば特に限定されず、例えば、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）等を用いることができる。また、個別リード電極Ｉ９１および共通リード電極Ｉ９２は、第１電極Ｉ６０および第２電極Ｉ８０や振動板Ｉ５０との密着性を向上する密着層を有してもよい。
ここで、個別リード電極Ｉ９１は、圧電体層Ｉ７０の外側まで延設された各第１電極Ｉ６０上から振動板Ｉ５０上にまで引き出されている。
【０１０７】
共通リード電極Ｉ９２は、第２電極Ｉ８０上（圧電体層Ｉ７０上の第２電極Ｉ８０上）から振動板Ｉ５０上にまで引き出されている。また、共通リード電極Ｉ９２は、流路形成基板Ｉ１０の第１の方向Ｘの両端部に、第２の方向Ｙに連続するように設けられている。
【０１０８】
また、共通リード電極Ｉ９２は、第２の方向Ｙにおいて、圧力発生室Ｉ１２の壁面上に、すなわち、可撓部と非可撓部との境界部分に跨って設けられた延設部Ｉ９３を有する。延設部Ｉ９３は、複数の能動部Ｉ３１０の第１の方向Ｘにわたって連続して設けられており、第１の方向Ｘの両端部で共通リード電極Ｉ９２に連続する。すなわち、延設部Ｉ９３を有する共通リード電極Ｉ９２は、保護基板Ｉ３０側から平面視した際に、能動部Ｉ３１０の周囲を囲むように連続して配置されている。本実施形態では、第２電極Ｉ８０上に形成された共通リード電極Ｉ９２と延設部Ｉ９３とが配線となる。つまり、流路形成基板Ｉ１０上に配線が設けられているとは、その流路形成基板Ｉ１０の直上も、間に他の部材が介在した状態（上方）も含むものである。
【０１０９】
このように、延設部Ｉ９３を設けることで、可撓部と非可撓部との境界の剛性を向上して、可撓部と非可撓部との境界の応力集中における圧電体層Ｉ７０の破壊を抑制することができる。また、共通リード電極Ｉ９２が可撓部上には実質的に形成されていないため、能動部Ｉ３１０の変位低下を抑えることができる。
【０１１０】
さらに、延設部Ｉ９３は、能動部Ｉ３１０の並設方向で、第２電極Ｉ８０と電気的に接続されて設けられている。このため、複数の能動部Ｉ３１０の共通電極である第２電極Ｉ８０に、電圧（バイアス電圧）等を印加する際に、能動部Ｉ３１０の並設方向で、電圧低下による不具合を抑制することができる。つまり、能動部Ｉ３１０は、第１の方向Ｘに並設されており、第２電極Ｉ８０を薄く形成すると、電気抵抗値が上がってしまい、第１の方向Ｘにおいて、両端部側の能動部Ｉ３１０と、中央部の能動部Ｉ３１０とに印加される電圧に差が生じてしまう。このため、複数の能動部Ｉ３１０を同じ電圧で駆動することができず、変位量にばらつきが生じて、インク滴の吐出特性のばらつきによる印刷不具合が生じてしまう。これに対して、第２電極Ｉ８０の電気抵抗値を下げるために、第２電極Ｉ８０の厚さを厚くすると、第２電極Ｉ８０が能動部Ｉ３１０の変位を阻害し、能動部Ｉ３１０の変位量の低下が生じてしまう。
【０１１１】
本実施形態では、延設部Ｉ９３と、詳しくは後述するが、この延設部Ｉ９３に接続される補助配線Ｉ９５を設けることで、延設部Ｉ９３および配線層の電気抵抗値を下げて、第２電極Ｉ８０に印加する電圧の低下を抑制することができる。したがって、第２電極Ｉ８０を厚く形成する必要がなく、能動部Ｉ３１０の変位低下を抑制することができるとともに、能動部Ｉ３１０の駆動時の特性ばらつき、特に変位量のばらつきを抑制して、インク滴の吐出特性のばらつきを低減し、印刷品質を向上することができる。
【０１１２】
このような圧電アクチュエーターＩ３００が形成された流路形成基板Ｉ１０上には、圧電アクチュエーターＩ３００を保護する保護基板Ｉ３０が接合されている。
保護基板Ｉ３０には、第２電極Ｉ８０上に形成された共通リード電極Ｉ９２および延設部Ｉ９３からなる配線に相対向する位置に設けられた補助配線Ｉ９５を有する。つまり、補助配線Ｉ９５は、複数の能動部Ｉ３１０を囲むように保護基板Ｉ３０の圧電アクチュエーターＩ３００側の面に形成されている。
【０１１３】
このような補助配線としては、導電性の高い材料であれば特に限定されず、例えば、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）等を用いることができる。
【０１１４】
そして、配線（共通リード電極Ｉ９２の一部および延設部Ｉ９３）と補助配線Ｉ９５とは、電気的および機械的に接続されている。ここで、配線と補助配線Ｉ９５との接続方法は特に限定されず、例えば、ハンダ付けやろう付け等のろう接や、共晶接合、溶接、導電性粒子を含む導電性接着剤（ＡＣＰ、ＡＣＦ）等であってもよいが、例えば、配線と補助配線Ｉ９５とに同じ材料、特に金（Ａｕ）や銅（Ｃｕ）を用いた場合には、間に接着剤を介在させずに直接接着するいわゆる金（Ａｕ）−金（Ａｕ）接合や、銅（Ｃｕ）−銅（Ｃｕ）接合等の熱圧着を用いるのが好ましい。このように配線と補助配線Ｉ９５との接合に熱圧着を用いることで、接着剤が圧電アクチュエーターＩ３００（能動部Ｉ３１０）側に流れ出して、接着剤によって能動部Ｉ３１０の変位が阻害されることがない。また、配線と補助配線Ｉ９５との接合に熱圧着を用いることで、他の材料（接着剤）等が不要となって、接合工程が簡略化されることにより、コストを低減することができる。さらに、配線と補助配線Ｉ９５との接続抵抗を低減することができることによって、配線抵抗を低減することができる。
【０１１５】
このように、配線と補助配線Ｉ９５とを電気的に接続することで、配線の厚さおよび設置面積（保護基板Ｉ３０側から平面視した際の面積）が増大するのを抑制して、配線および補助配線の電気抵抗を下げることができる。つまり、配線（共通リード電極Ｉ９２および延設部Ｉ９３）のみを設ける場合、配線の電気抵抗値を下げるためには、配線の厚く形成するか、平面視した際の配線の面積（特に幅）を広く形成する必要がある。配線を厚く形成すると、エッチングによりパターニングする際に、サイドエッチが大量に発生し、所望の形状に形成するのが困難である。また、配線の幅を広くすると、設置面積が必要になり、インクジェットヘッドＩ１００が大型化してしまう。本実施形態では、保護基板Ｉ３０に補助配線Ｉ９５を設け、補助配線Ｉ９５と配線とを能動部Ｉ３１０の並設方向（第１の方向Ｘ）の端部とその間とで電気的に接続することで、配線および補助配線Ｉ９５の厚さを薄く、幅を狭くしても、電気抵抗値を下げることができる。このため、配線および補助配線Ｉ９５のパターニングが容易となるとともにインクジェットヘッドＩ１００を小型化することができる。
【０１１６】
また、個別リード電極Ｉ９１は、本実施形態では、共通リード電極Ｉ９２と同一層からなるが、電気的に連続することなく形成されている。したがって、共通リード電極Ｉ９２を含む配線を薄く形成することによって、個別リード電極Ｉ９１も薄く形成される。このため、個別リード電極Ｉ９１のサイドエッチング量が低減されて、個別リード電極Ｉ９１の配線間隔を狭くすることができ、圧電アクチュエーターＩ３００（能動部Ｉ３１０）を高密度に配置することができ、記録ヘッドの高密度化を図ることができる。
【０１１７】
また、配線と補助配線Ｉ９５とを機械的に接続することで、流路形成基板Ｉ１０と保護基板Ｉ３０との間には、能動部Ｉ３１０を収容する封止空間である保持部Ｉ３１が形成される。つまり、平板状の保護基板Ｉ３０に凹部を形成することなく、能動部Ｉ３１０を収納する空間である保持部Ｉ３１を画成することができ、保持部Ｉ３１を封止する別工程が不要となってコストを低減することができる。ちなみに、保持部Ｉ３１は、能動部Ｉ３１０が変形するための空間である。
【０１１８】
このように、保護基板Ｉ３０に凹部を形成することなく、保持部Ｉ３１を形成することができるため、保護基板Ｉ３０に複雑な加工（深さの異なるエッチング等）が不要となって、製造工程を簡略化してコストを低減することができる。
【０１１９】
また保護基板Ｉ３０には、保護基板Ｉ３０を厚さ方向に貫通する貫通孔Ｉ３２が設けられている。各能動部Ｉ３１０の第１電極Ｉ６０に接続された個別リード電極Ｉ９１や第２電極Ｉ８０に接続された共通リード電極Ｉ９２は、この貫通孔Ｉ３２内に露出している。貫通孔Ｉ３２内に露出された個別リード電極Ｉ９１および共通リード電極Ｉ９２には、図示しない駆動回路Ｉ２１０が実装された配線基板Ｉ２１１の端子（図示なし）が接続されている。
このような保護基板Ｉ３０の材料は、保護基板Ｉ３０が固定される流路形成基板Ｉ１０と線膨張係数が同等の材料が好ましく、本実施形態では、シリコン単結晶基板を用いた。
【０１２０】
また、このような構成のヘッド本体Ｉ９には、複数の圧力発生室Ｉ１２に連通するマニホールドＩ４００をヘッド本体Ｉ９とともに画成するケース部材Ｉ４０が固定されている。ケース部材Ｉ４０は、平面視において上述した連通板Ｉ１５と略同一形状を有し、保護基板Ｉ３０に接着剤によって固定されるとともに、上述した連通板Ｉ１５にも接着剤によって固定されている。具体的には、ケース部材Ｉ４０は、保護基板Ｉ３０側に流路形成基板Ｉ１０および保護基板Ｉ３０が収容される深さの凹部Ｉ４１を有する。この凹部Ｉ４１は、保護基板Ｉ３０の流路形成基板Ｉ１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部Ｉ４１に流路形成基板Ｉ１０等が収容された状態で凹部Ｉ４１のノズルプレートＩ２０側の開口面が連通板Ｉ１５によって封止されている。これにより、流路形成基板Ｉ１０の外周部には、ケース部材Ｉ４０とヘッド本体Ｉ９とによって第３マニホールド部Ｉ４２が画成されている。そして、連通板Ｉ１５に設けられた第１マニホールド部Ｉ１７および第２マニホールド部Ｉ１８と、ケース部材Ｉ４０と流路形成基板Ｉ１０とによって画成された第３マニホールド部Ｉ４２とによって本実施形態のマニホールドＩ４００が構成されている。
なお、ケース部材Ｉ４０の材料としては、例えば、樹脂や金属等を用いることができる。
【０１２１】
また、連通板Ｉ１５の第１マニホールド部Ｉ１７および第２マニホールド部Ｉ１８が開口する面には、コンプライアンス基板Ｉ４５が設けられている。このコンプライアンス基板Ｉ４５が、第１マニホールド部Ｉ１７と第２マニホールド部Ｉ１８の開口を封止している。
【０１２２】
このようなコンプライアンス基板Ｉ４５は、本実施形態では、封止膜Ｉ４６と、固定基板Ｉ４７と、を具備する。封止膜Ｉ４６は、インクの圧力変動を吸収するコンプライアンスシートとして機能するものである。
このような封止膜（コンプライアンスシート）Ｉ４６には、柔軟性が求められるとともに、耐溶剤性も求められる。コンプライアンスシートの構成材料としては、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）等の樹脂材料が一般に用いられているが、特に、インクとして、Ｎ−メチルピロリドン（ＮＹ）等の非プロトン性極性溶媒を含むものを用いた場合に、コンプライアンスシートがインクにより膨潤し、液滴の吐出安定性が低下するという問題が起こる可能性があった。これに対し、コンプライアンスシートとして、前述したような本発明の部材を適用することにより、このような問題の発生を効果的に防止することができる。
【０１２３】
固定基板Ｉ４７は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板Ｉ４７のマニホールドＩ４００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部Ｉ４８となっているため、マニホールドＩ４００の一方面は可撓性を有する封止膜Ｉ４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部となっている。
【０１２４】
なお、ケース部材Ｉ４０には、マニホールドＩ４００に連通して各マニホールドＩ４００にインクを供給するための導入路Ｉ４４が設けられている。また、ケース部材Ｉ４０には、保護基板Ｉ３０の貫通孔Ｉ３２に連通して配線基板Ｉ２１１が挿通される接続口Ｉ４３が設けられている。
【０１２５】
このような構成のインクジェットヘッドＩ１００では、インクを噴射する際に、カートリッジ等のインク貯留手段から導入路Ｉ４４を介してインクを取り込み、マニホールドＩ４００からノズル開口Ｉ２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路Ｉ２１０からの信号に従い、圧力発生室Ｉ１２に対応する各圧電アクチュエーターＩ３００に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーターＩ３００とともに弾性膜Ｉ５１および絶縁体膜Ｉ５２をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室Ｉ１２内の圧力が高まり所定のノズル開口Ｉ２１からインク滴が噴射される。
【０１２６】
このように、本実施形態では、配線として延設部Ｉ９３を設けるとともに、延設部Ｉ９３に電気的に接続される補助配線Ｉ９５を保護基板Ｉ３０に設けるようにしたため、延設部Ｉ９３の断面積を増やすことなく、延設部Ｉ９３の電気抵抗値を下げることができる。したがって、複数の能動部Ｉ３１０の変位特性にばらつきが生じるのを抑制することができるとともに、インクジェットヘッドＩ１００の小型化を図ることができる。
【０１２７】
また、保護基板Ｉ３０と流路形成基板Ｉ１０との接合に、配線と補助配線Ｉ９５との金属接合を用いるようにした。特に、配線と補助配線Ｉ９５とを接着剤を用いずに直接接合することで、接着剤が能動部Ｉ３１０に流れ出すことにより能動部Ｉ３１０の変位低下を抑制することができる。
【０１２８】
また、図１２、図１３に示すインクジェットヘッド１００は、圧力発生室１１を有する流路形成基板１０と、各圧力発生室１１に連通する複数のノズル２１が穿設されたノズルプレート２０と、流路形成基板１０のノズルプレート２０とは反対側の面に接合された振動部材１５とを備えている。また、本実施形態のインクジェットヘッド１００は、振動部材１５上の各圧力発生室１１に対応する領域に設けられる圧電素子３５を複数有する圧電素子ユニット３０と、振動部材１５を介して流路形成基板１０の一方面に接合されたケース４０とを備えている。また、本実施形態では、流路形成基板１０に各圧力発生室１１の共通液室となるリザーバー１３が形成されており、流路形成基板１０がリザーバー形成基板にもなっている。
【０１２９】
流路形成基板１０には、その一方面側の表層部分に、圧力発生室１１が隔壁によって区画されてその幅方向で複数並設されている。なお、本実施形態では並設された複数の圧力発生室１１からなる列が２列形成されている。また各圧力発生室１１の列の外側には、ケース４０の液体導入路であるインク導入路４１を介してインクが供給されるリザーバー１３が、流路形成基板１０を厚さ方向に貫通してそれぞれ１つずつ設けられている。
【０１３０】
また、リザーバー１３と各圧力発生室１１とは、インク供給路１２を介して連通されており、各圧力発生室１１には、インク導入路４１、リザーバー１３およびインク供給路１２を介してインクが供給される。インク供給路１２は、本実施形態では、圧力発生室１１よりも狭い幅で形成されており、リザーバー１３から圧力発生室１１に流入するインクの流路抵抗を一定に保持する役割を果たしている。
【０１３１】
さらに、圧力発生室１１のリザーバー１３とは反対の端部側には、流路形成基板１０を貫通するノズル連通孔１４が形成されている。すなわち、本実施形態では、流路形成基板１０に液体流路として、リザーバー１３、インク供給路１２、圧力発生室１１およびノズル連通孔１４が設けられている。このような流路形成基板１０は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、流路形成基板１０に設けられる上記圧力発生室１１やリザーバー１３等は、流路形成基板１０をエッチングすることによって形成されている。
【０１３２】
この流路形成基板１０の一方面にはインクを吐出するノズル２１が複数穿設されたノズルプレート２０が接合され、各ノズル２１は、流路形成基板１０に設けられたノズル連通孔１４を介して各圧力発生室１１と連通している。
【０１３３】
また、流路形成基板１０の他方面、すなわち圧力発生室１１の開口面には、振動部材１５が接着層１７で接合されており、各圧力発生室１１はこの振動部材１５によって封止されている。なお、振動部材１５は、図示するように流路形成基板１０の他方面の面積と同程度の面積を備えており、流路形成基板１０の他方面全体を覆うように接合されている。
【０１３４】
この振動部材１５は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる弾性膜１５ａと、この弾性膜１５ａを支持する、例えば、金属材料等からなる支持板１５ｂとの複合板で形成されており、弾性膜１５ａ側が流路形成基板１０に接合されている。弾性膜１５ａは、コンプライアンスシートとして機能するものであり、前述したような本発明の部材を好適に適用することができる。また、支持板１５ｂは、厚さが数十μｍ程度のステンレス鋼板（ＳＵＳ）からなる。
【０１３５】
また、この振動部材１５の各圧力発生室１１の周縁部に対向する領域は、支持板１５ｂが除去されて実質的に弾性膜１５ａのみで構成された薄肉部１５ｄとなっている。この薄肉部１５ｄは、圧力発生室１１の一方面を画成している。また、この薄肉部１５ｄの内側には、各圧電素子３５の先端が当接する支持板１５ｂの一部からなる島部１５ｃがそれぞれ設けられている。また、振動部材１５のリザーバー１３に対向する領域は、支持板１５ｂが除去されて弾性膜１５ａのみで構成される振動部１６となっている。この振動部１６は、リザーバー１３内の圧力変化が生じた時に、変形することによって圧力変化を吸収する役割を果たす。そして、かかる振動部材１５上に、ケース４０が接着層１８で接合されている。つまり、本実施形態のケース４０は、振動部材１５を介して流路形成基板１０に接合されている。
【０１３６】
ケース４０には、図１２に示すように、振動部１６に対向する位置に、凹部からなる空間部４２が設けられている。空間部４２は、振動部１６の変形を阻害しない程度の高さを備えており、ケース４０を貫通する大気開放孔であるケース貫通孔４４によって外部空間に連通されている。これにより、空間部４２内の圧力は常に外部空間と一定に保たれている。また、ケース４０には、薄肉部１５ｄに対向する位置に、かかるケース４０を貫通する貫通部からなる圧電素子収容部４３が設けられている。また、圧電素子収容部４３のインク導入路４１側には、段差部４５が設けられており、後述する圧電素子ユニット３０の固定基板３６がこの段差部４５に接合される。
【０１３７】
また、ケース４０の流路形成基板１０側とは反対側の面には、後述するフレキシブルプリント基板５０の各配線層５１がそれぞれ接続される複数の導電パッド７１が設けられた配線基板７０が固定されている。配線基板７０には、ケース４０の圧電素子収容部４３に対向する領域にスリット状の開口部７２が形成されており、圧電素子収容部４３は、かかる開口部７２により外部空間に連通されている。そして、かかる圧電素子収容部４３内に、圧電素子３５を備える圧電素子ユニット３０が収容されている。
【０１３８】
圧電素子ユニット３０は、各圧力発生室１１に対向して設けられ、圧力発生室１１とリザーバー１３とを含む液体流路内の圧力を変動させる複数の圧電素子３５と、かかる圧電素子３５をケース４０に取り付ける固定基板３６とで構成されている。
【０１３９】
各圧電素子３５は、本実施形態では一つの圧電素子ユニット３０において一体的に形成されている。すなわち、圧電材料３１と電極形成材料３２，３３とを縦に交互にサンドイッチ状に挟んで積層した圧電素子形成部材３４を形成し、この圧電素子形成部材３４を各圧力発生室１１に対応して櫛歯状に切り分けることによって各圧電素子３５が形成されている。つまり、本実施形態では、複数の圧電素子３５が一体的に形成されている。そして圧電素子３５は、先端部が振動部材１５の島部１５ｃに接着剤（接合材料）で接合されるとともに、振動に寄与しない不活性領域となっている基端部側で固定基板３６に固着されている。このように圧電素子３５が固着された固定基板３６は、圧電素子収容部４３の段差部４５でケース４０に接合されている。これにより圧電素子ユニット３０は、ケース４０の圧電素子収容部４３に収容されて固定されている。
【０１４０】
なお、固定基板３６は、上述のように圧電素子３５と一体的に設けられることで、圧電素子ユニット３０を構成し、圧電素子ユニット３０はケース４０に位置決め固定される。このとき、圧電素子３５の振動部材１５（島部１５ｃ）に対する位置合わせは、固定基板３６の外周面とケース４０の圧電素子収容部４３の内面とによって行われる。これにより、脆性材料である圧電素子３５を直接把持して位置合わせするのに比べて容易にかつ高精度に位置合わせを行うことができる。
【０１４１】
固定基板３６を構成する材料は特に限定されるものではないが、例えば、アルミニウム、銅、鉄およびステンレス鋼等で好適に構成することができる。そして、かかる圧電素子ユニット３０の圧電素子３５の基端部近傍には、固定基板３６とは反対側の面に、各圧電素子３５を駆動するための信号を供給する配線層５１を有するフレキシブルプリント基板５０が接続されている。
【０１４２】
フレキシブルプリント基板５０は、フレキシブルプリンティングサーキット（ＦＰＣ）や、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）等からなる。詳しくは、フレキシブルプリント基板５０は、例えば、ポリイミド等のベースフィルム５２の表面に銅薄等で所定のパターンの配線層５１を形成し、配線層５１の圧電素子３５と接続される端子部等の他の配線と接続される領域以外の領域をレジスト等の絶縁材料で覆ったものである。
【０１４３】
このような、フレキシブルプリント基板５０の配線層５１は、その基端部側で、例えば、半田、異方性導電材等によって圧電素子３５を構成する電極形成材料３２，３３に接続されている。
【０１４４】
一方、先端部側では、各配線層５１はケース４０上に設けられた配線基板７０の導電パッド７１と電気的に接続されている。フレキシブルプリント基板５０はこの配線基板７０の開口部７２から圧電素子収容部４３の外側に引き出されて、引き出された領域が屈曲されて導電パッド７１と接続されている。
【０１４５】
そして本実施形態のインクジェットヘッド１００では、図１３に示すように、圧電素子収容部４３と空間部４２とが連通路４６によって連通されている。
【０１４６】
連通路４６は、圧電素子収容部４３と空間部４２とを連通する通路であって、本実施形態では、ケース４０の流路形成基板１０側の面の一部を除去することでケース４０の底面に形成されている。
【０１４７】
また、本実施形態の連通路４６は、流路形成基板１０、振動部材１５およびケース４０の積層方向において、圧力発生室１１を含む流路と重ならない位置に設けられている。具体的には連通路４６は、各圧力発生室１１の並設方向において、空間部４２および圧電素子収容部４３の両端部よりも外側の領域に設けられている。
【０１４８】
また、連通路４６は、空間部４２に連続し空間部４２の長手方向端部から圧力発生室１１の並設方向に沿って外側に延びる第１の連通部４６ａと、第１の連通部４６ａに連続し圧力発生室１１の長手方向に沿って延びる第２の連通部４６ｂと、第２の連通部４６ｂに連続し圧力発生室１１の並設方向に沿って内側に延び圧電素子収容部４３に連続する第３の連通部４６ｃとで構成されている。このような連通路４６により、圧電素子収容部４３および空間部４２は連通されている。本実施形態では、連通路４６はケース４０の流路形成基板１０側の面に形成されている。すなわち、連通路４６は、ケース４０の流路形成基板１０側の面に凹部として設けられている。
【０１４９】
このような連通路４６が設けられていることで、圧電素子収容部４３および空間部４２が空気の流れる流路を構成することになり、空間部４２内の揮発ガスが比較的容易に外部空間に排出される。
【０１５０】
このようなインクジェットヘッド１００では、圧電素子３５および振動部材１５の変形によって各圧力発生室１１の容積を変化させることで、各ノズル２１からインク滴を吐出させている。具体的には、図示しない液体貯留手段から液体導入路であるインク導入路４１を介してリザーバー１３にインクが供給されると、インク供給路１２を介して各圧力発生室１１にインクが分配される。そして、図示しない駆動回路からの駆動信号によって所定の圧電素子３５に電圧を印加および解除することによって、圧電素子３５を収縮および伸張させて圧力発生室１１に圧力変化を生じさせ、ノズル２１からインクを吐出させる。
【０１５１】
以下、図１４〜図２１を参照しつつ、インクパックおよび当該インクパックを備えたインクカートリッジ、インクジェット式記録装置について説明する。
【０１５２】
図１４において符号Ｘ１はキャリッジを示し、このキャリッジＸ１はキャリッジモーターＸ２によって駆動されるタイミングベルトＸ３を介し、走査ガイド部材Ｘ４に案内されて紙送り部材Ｘ５の長手方向、すなわち記録用紙の幅方向である主走査方向に往復移動されるように構成されている。そして、図１４には示されていないが、キャリッジＸ１の紙送り部材Ｘ５に対向する面には、インクジェット式記録ヘッドＸ６が搭載されている。
【０１５３】
また、キャリッジＸ１にはインクジェット式記録ヘッド（インクジェットヘッド）Ｘ６にインクを供給するためのサブタンクＸ７ａ〜Ｘ７ｄが搭載されている。このサブタンクＸ７ａ〜Ｘ７ｄは、この実施の形態においては、その内部において各インクを一時的に貯留するために、それぞれのインクに対応して４個具備されている。そして、この各サブタンクＸ７ａ〜Ｘ７ｄには、装置本体に配置されたカートリッジホルダーＸ８に装填されたインクカートリッジとしてのメインタンクＸ９ａ〜Ｘ９ｄから、可撓性のインク補給チューブＸ１０，Ｘ１０，……をそれぞれ介して、ブラック、イエロー、マゼンタおよびシアンの各インクが供給されるように構成されている。なお、各メインタンク（インクカートリッジ）Ｘ９ａ〜Ｘ９ｄは、後述するようにその外郭構成が偏平状に形成されており、カートリッジホルダーＸ８において、偏平状の面がそれぞれ垂直方向に向くようにして装着されている。
【０１５４】
一方、キャリッジＸ１の移動経路上における非印字領域（ホームポジョン）には、インクジェット式記録ヘッドＸ６のノズル形成面を封止することができるキャッピング手段Ｘ１１が配置されており、さらにこのキャッピング手段Ｘ１１の上面には、インクジェット式記録ヘッドＸ６のノズル形成面を封止し得るゴム等の可撓性素材により形成されたキャップ部材Ｘ１１ａが配置されている。そして、キャリッジＸ１がホームポジョンに移動したときに、キャップ部材Ｘ１１ａによって、インクジェット式記録ヘッドＸ６のノズル形成面が封止されるように構成されている。
【０１５５】
このキャップ部材Ｘ１１ａは、記録装置の休止期間中においてインクジェット式記録ヘッドＸ６のノズル形成面を封止し、ノズル開口の乾燥を防止する蓋体として機能する。また、このキャップ部材Ｘ１１ａには、図には示されていないが、吸引ポンプ（チューブポンプ）におけるチューブの一端が接続され、吸引ポンプによる負圧をインクジェット式記録ヘッドＸ６に作用させて、インクジェット式記録ヘッドＸ６からインクを吸引排出させるクリーニング動作が実行されるように構成されている。そして、キャッピング手段Ｘ１１の印字領域側には、ゴムなどの弾性素材によるワイピング部材Ｘ１２が配置されていて、必要に応じてインクジェット式記録ヘッドＸ６のノズル形成面を払拭して清掃することができるように構成されている。
【０１５６】
図１４および図１５において、符号Ｘ２１は加圧ユニットを構成する空気加圧ポンプを示しており、この空気加圧ポンプＸ２１により加圧された空気は、圧力調整弁Ｘ２２に供給され、さらに圧力検出器Ｘ２３を介して各メインタンクＸ９ａ〜Ｘ９ｄ（図１５においては代表して符号Ｘ９として示しており、以下において代表して単に符号Ｘ９として説明する場合もある。）にそれぞれ供給されるように構成されている。なお、圧力調整弁Ｘ２２は、空気加圧ポンプＸ２１によって加圧された空気圧が所定以上に達した時に、圧力を開放して各メインタンクＸ９ａ〜Ｘ９ｄに加わる空気圧を所定の範囲に維持させる機能を有している。
【０１５７】
さらに、圧力検出器Ｘ２３は、空気加圧ポンプＸ２１によって加圧された空気圧を検知し、空気加圧ポンプＸ２１の駆動を制御するように機能する。すなわち、空気加圧ポンプＸ２１によって加圧された空気圧が所定の圧力に達したことを検出した場合には、空気加圧ポンプＸ２１の駆動を停止させるとともに、圧力検出器Ｘ２３によって空気圧が定められた圧力以下となったことを検出した場合には、空気加圧ポンプＸ２１を駆動させるように制御し、この繰り返しによって各メインタンクＸ９ａ〜Ｘ９ｄに加わる空気圧が所定の範囲に維持されるように機能する。
【０１５８】
メインタンク（インクカートリッジ）Ｘ９の詳細な構成については後述するが、その概略構成は図１５に示すように、その外郭ケースが気密状態に形成されており、その内部にはインクを封入した可撓性素材により形成されたインクパックＸ２４が収納されている。そして、メインタンクＸ９とインクパックＸ２４とで形成される空間が圧力室Ｘ２５を構成しており、この圧力室Ｘ２５内に、圧力検出器Ｘ２３を介した加圧空気が供給されるように構成されている。
【０１５９】
この構成により、各メインタンクＸ９ａ〜Ｘ９ｄに収納された各インクパックＸ２４は、それぞれ加圧空気による加圧を受け、各メインタンクＸ９ａ〜Ｘ９ｄから各サブタンクＸ７ａ〜Ｘ７ｄに対して所定の圧力によるインク流が発生されるように構成されている。
【０１６０】
各メインタンクＸ９ａ〜Ｘ９ｄにおいて加圧されたインクは、それぞれ各インク補給バルブＸ２６，Ｘ２６……および各インク補給チューブＸ１０，Ｘ１０，……をそれぞれ介して、キャリッジＸ１に搭載された各サブタンクＸ７ａ〜Ｘ７ｄ（図１５においては代表して符号Ｘ７として示しており、以下において代表して単に符号Ｘ７として説明する場合もある。）に供給されるように構成されている。
【０１６１】
図１５に示すように、サブタンクには内部にフロート部材Ｘ３１が配置されており、そのフロート部材Ｘ３１の一部には永久磁石Ｘ３２が取り付けられている。そしてホール素子に代表される磁電変換素子Ｘ３３ａ，Ｘ３３ｂが基板Ｘ３４に装着されて、サブタンクＸ７の側壁に添接されている。この構成により、フロート部材Ｘ３１に配置された永久磁石Ｘ３２と、フロート部材の浮上位置にしたがった永久磁石Ｘ３２による磁力線量に応じて、磁電変換素子（ホール素子）Ｘ３３ａ，Ｘ３３ｂにより電気的出力が発生されるインク量検出手段を構成している。
【０１６２】
したがって、例えばサブタンクＸ７内のインク量が少なくなった場合には、サブタンクＸ７内に収納されたフロート部材Ｘ３１の位置が重力方向に移動し、これに伴い永久磁石Ｘ３２の位置も重力方向に移動する。それゆえ、永久磁石Ｘ３２の移動によるホール素子Ｘ３３ａ，Ｘ３３ｂの電気的出力は、サブタンクＸ７内のインク量として感知することができ、ホール素子Ｘ３３ａ，Ｘ３３ｂにより得られた電気的出力によって、インク補給バルブＸ２６が開弁される。
【０１６３】
これにより、メインタンクＸ９内で加圧されているインクは、インク量が低下したそれぞれのサブタンクＸ７内に個別に送出される。そして、当該サブタンクＸ７内におけるインク量が所定の容量に達した場合には、前述したホール素子Ｘ３３ａ，Ｘ３３ｂの電気的出力に基づいてインク補給バルブＸ２６が閉弁される。このような繰り返しにより、メインタンクからサブタンクに対して断続的にインクが補給されるように作用し、各サブタンクには常にほぼ一定の範囲のインクが貯留されるようになされる。
【０１６４】
そして、各サブタンクＸ７からはバルブＸ３５およびこれに接続されたチューブＸ３６を介してインクジェット式記録ヘッドＸ６に対してインクが供給されるように構成されており、インクジェット式記録ヘッドＸ６の図示せぬアクチェータに供給される印刷データに基づいて、インクジェット式記録ヘッドＸ６のノズル形成面に形成されたノズル開口Ｘ６ａより、インク滴が吐出されるように作用する。なお、図１５において符号Ｘ１１は、前述したキャッピング手段を示しており、このキャッピング手段Ｘ１１に接続されたチューブは図示せぬ吸引ポンプ（チューブポンプ）に接続されている。
【０１６５】
図１６に示すように、下ケースＸ４１は偏平状の函型形状になされており、上面が開放されてその内部にはインクを封入した状態のインクパックＸ２４が収納されるように構成されている。
【０１６６】
この下ケースの周縁には、周縁の全周に沿って一連の被溶着面Ｘ４２がほぼ面一状に形成されている。また、下ケースの周縁には、一連の被溶着面Ｘ４２のさらに外周に沿って、立上り部Ｘ４３が一体に形成されている。なお、図１８（Ｂ）には、図１６におけるＢで示す隅角部が拡大して示されている。
【０１６７】
この立上り部Ｘ４３は、後述するように第２の外郭構成部材としての上ケースを下ケースに対して振動溶着させる場合において、上ケースに形成されたダイレクター（溶着子）が摩擦によって削りかすとなって生じ、これが飛散するのを防止するために形成されている。また、下ケースＸ４１の下底面、すなわち圧力室Ｘ２５を形成する面には、空気圧を受けて下ケースが変形するのを阻止する井桁状の補強リブＸ４４が形成されている。この補強リブＸ４４は、下ケースＸ４１を例えばインジェクション成型する場合において予め一体に形成されており、後述するように上ケースが気密状態となるように接合されて、内部に圧力室が形成された場合において、内部に加わる空気圧による面に直交する方向のたわみの発生を、この井桁状の補強リブＸ４４によって抑制するように作用する。
【０１６８】
換言すれば、前述したように井桁状の補強リブＸ４４を形成させることによって、面に直交する方向における強度を増大させることができ、したがって、下ケースを形成する際の合成樹脂材料の使用量も少なくさせることにも寄与できる。この場合、補強リブＸ４４はケースの外側に形成させても同様の補強効果を得ることができるが、ケースの外側に図１６に示したような井桁状の補強リブＸ４４を形成させた場合には、カートリッジの商品名や識別を示すマークなどを示したラベルの貼着が困難となる不都合があり、したがって補強リブＸ４４は図１６に示すように下ケースの下底面に施すことが望ましい。
【０１６９】
なお、図１６に示すように下ケースＸ４１の長手方向の端部には、一対のガイド孔Ｘ４５が形成されており、このガイド孔Ｘ４５は後述する上ケースとともにインクカートリッジが構成された場合において、記録装置のカートリッジホルダーに配置された一対のガイドピンに嵌合して位置決めされるように作用する。
【０１７０】
図１７に示すように、上ケースＸ５１は偏平状にしてその中央部が若干くぼんだ函型形状になされており、下ケースＸ４１に対して蓋体として機能するように構成されている。この上ケースの周縁には、下ケースＸ４１の周縁に形成された一連の被溶着面Ｘ４２に当接して摩擦溶着される一連のダイレクター（溶着子）Ｘ５２が面一状に形成されている。なお、図１８（Ａ）には、図１７におけるＡで示す隅角部が拡大して示されている。
【０１７１】
そして、上ケースＸ５１の天井下面、すなわち圧力室Ｘ２５を形成する面には、下ケースと同様に空気圧による変形を阻止する井桁状の補強リブＸ５３が形成されている。この補強リブＸ５３は、上ケースＸ５１を例えばインジェクション成型する場合において予め一体に形成されており、下ケースに対して気密状態となるように接合されて、内部に圧力室が形成された場合において、内部に加わる空気圧による面に直交する方向のたわみの発生を、この井桁状の補強リブＸ５３によって抑制するように作用する。このように、上ケースＸ５１においても、あえてその天井下面に補強リブＸ５３を形成させることで、前述したと同様にカートリッジの表面に商品名や識別を示すマークなどを示したラベルの貼着に支障が発生しないように配慮されている。
【０１７２】
そして、前述した下ケースＸ４１内に予めインクを封入したインクパックＸ２４を収納し、上ケースＸ５１を振動溶着によって接合させることで、インクカートリッジの完成品を得ることができる。なお、図１９は、インクカートリッジの完成品におけるインク導出部分を断面図によって示したものであり、この図１９とともにインクカートリッジの組み立て工程について説明する。まず、下ケースＸ４１内に予めインクを封入したインクパックＸ２４が収納される。この場合、下ケースＸ４１の側端部に形成された開口部Ｘ４６を介して、インクパックＸ２４を封止してインク導出口を構成する栓体Ｘ２４ａを、下ケースＸ４１から外部に導出させる。
【０１７３】
この状態で、開口部Ｘ４６にＯリングＸ５６を充てるとともに、下ケースＸ４１の外部から環状の係合部材Ｘ５７を押し込むことで、インクパックＸ２４の栓体Ｘ２４ａを下ケースＸ４１の開口部Ｘ４６に取り付けることができる。このように、環状の係合部材Ｘ５７によって開口部Ｘ４６に充てられたＯリングを圧縮するようにしてインクパックＸ２４の栓体Ｘ２４ａを取り付けるので、下ケースＸ４１に形成された開口部Ｘ４６と、インクパックＸ２４の栓体Ｘ２４ａとの間は気密状態とされる。このようにして、インクパックＸ２４を下ケースＸ４１内に装填した後に、下ケースＸ４１に対して上ケースＸ５１を重合し、振動溶着が実行される。
【０１７４】
そして、振動溶着を実行する場合には、下ケースＸ４１の周縁部は、図示せぬ振動溶着治具によってその下方向から支えられ、下ケースＸ４１の被溶着面Ｘ４２に対して上ケースＸ５１のダイレクターＸ５２が接するように載置される。そして上ケースＸ５１の周縁部は、図示せぬ他方の振動溶着治具によって上方向から押さえられ、重力方向に荷重を加えるとともに、上ケースＸ５１を押さえる振動溶着治具が水平方向に振動動作を与えるように動作する。この動作によって、上ケースＸ５１に形成されたダイレクターＸ５２は、下ケースＸ４１の被溶着面Ｘ４２に対して荷重が加えられつつ摺動される。
【０１７５】
したがって、その両者間において発生する摩擦熱により、上ケースＸ５１に形成されたダイレクターＸ５２、および下ケースＸ４１の被溶着面Ｘ４２の一部がそれぞれ溶融される。そして、荷重を加えた状態で可動側の振動溶着治具における水平方向の振動動作を停止させることで、下ケースＸ４１に対して上ケースＸ５１が気密状態に接合される。このようにして構成されたインクカートリッジとしての外郭は、両者間における樹脂溶融により気密状態に接合させることができ、前述したようにインクカートリッジとしてのメインタンク内に空気圧を導入する構成のインクジェット式記録装置に好適に採用することができる。なお、図１９において符号Ｘ４７は、前述した空気加圧ポンプによって生成される空気圧が供給される空気導入口を示している。
【０１７６】
インクパックＸ２４は、矩形状に形成された２枚の可撓性素材で構成されている。インクパックＸ２４は、後述するように、インクの消費によりサブタンクＸ７に対して順次インクが補給されることに伴い、変形するものである。このため、インクパックＸ２４を構成する可撓性素材には優れた柔軟性が求められる。それとともに、インクパックＸ２４に収納されたインクの継時的な変性・劣化を防止するために、ガスバリア性（特に、酸素や水蒸気のバリア性）等のバリア性が求められる。したがって、インクパックＸ２４を構成する可撓性素材には、前述した本発明の部材を適用することができる。より具体的には、例えば、ポリエチレン等の柔軟性に優れる樹脂材料で構成された基材にバリア膜が設けられたものを用いることができる。
【０１７７】
インクパックＸ２４を構成する２枚の可撓性素材は、栓体Ｘ２４ａが配置される側端部と長手方向の側端部の三辺が、熱溶着によって接合される。なお、符号Ｘ２４ｂは前記三辺に施された熱溶着部分を示す。
前記のようにして袋状に形成されたインクパックＸ２４における残りの一辺における開口を利用して、インクパックＸ２４内にインクが導入される。そして、最後に残りの一辺が熱溶着によって接合されて、インクパック内にインクが封入された状態となる。なお、符号Ｘ２４ｃは前記残りの一辺に施された熱溶着部分を示す。
【０１７８】
図２０に示すように、インクパックＸ２４内には、インクパックの両内面の密着を防止するための無垢の素材により形成された密着防止部材Ｘ６１が収納されている。この密着防止部材Ｘ６１は、図２０に示された実施の形態においては１本の棒状部材により構成されており、これは例えばピアノ線などの金属製のロッド部材、或いはいわゆる針金等を利用することができる。
【０１７９】
そして、密着防止部材Ｘ６１は、インクパックを構成する一方のシートの内面に予め熱溶着により固定され、前述したインクパックを形成する際の熱溶着によって、その内面に収納されるようになされる。そして、偏平状のインクパックＸ２４における面方向が、垂直方向に向くようにして記録装置に装填された場合、密着防止部材Ｘ６１は、インクパックＸ２４内における重力方向の下方に位置するように配置されている。
【０１８０】
前述した構成において、インクの消費によりサブタンクＸ７に対して順次インクが補給され、インクパックＸ２４内のインクの残量が少なくなった場合においては、加圧空気に押されてインクパックＸ２４の両内面は密着するような作用を受ける。この場合、インクパック内には、インクパックの両内面の密着を防止する密着防止部材Ｘ６１が収納されているので、この密着防止部材の存在によって、インクパックがたとえ空気による加圧力を受けても、例えばインクパックの中央部分が密着して閉塞してしまうという問題を回避することができる。
【０１８１】
図２１に示したようにインクパック内のインク残量が低減した場合においては、密着防止部材Ｘ６１が収納された部分には空隙が形成され、この空隙により密着防止部材Ｘ６１に沿ってインク流路Ｘ６２が形成される。図２０に示した実施の形態においては、密着防止部材Ｘ６１はインクパックの長手方向に沿って配置されているので、インクパックの各部における残留インクは、密着防止部材Ｘ６１に沿ったインク流路Ｘ６２を介して栓体（インク導出栓体）Ｘ２４ａ側に誘導することができる。
【０１８２】
そして、インクパックにおける面方向が垂直方向に向くようにして記録装置に装填され、しかも密着防止部材Ｘ６１はインクパック内における重力方向の下方に位置するように配置されているので、インクパック内の残りのインクは、重力にしたがって密着防止部材Ｘ６１の付近に集合し、前述した作用により密着防止部材Ｘ６１に沿ったインク流路Ｘ６２を介して、インク導出栓体Ｘ２４ａ側に誘導される。したがって、カートリッジのインクの使用効率を一層向上させることができる。
【０１８３】
上記の説明では、インクパックＸ２４を構成する可撓性素材に、本発明の部材が適用されているものとして説明したが、本発明の部材は、その他の部材に適用されていてもよい。例えば、インクと接触しうる部材（例えば、インク補給チューブＸ１０、チューブＸ３６、ＯリングＸ５６、密着防止部材Ｘ６１等）に適用されていてもよい。これにより、上記と同様な効果が得られる。
【０１８４】
なお、本発明の部材をインクと接触しうる部材に適用する場合、バリア膜は、インクと接触しうる部位に設けられていてよいし、インクと接触しうる部位以外の部位（例えば、インクと接触しうる面とは反対側の面等）に設けられていてもよい。
【０１８５】
以下、本発明をマイクロポンプに適用した具体例を挙げて、詳細に説明する。
【０１８６】
図２２は、マイクロポンプの好適な実施形態を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。図２３は、図２２に示すマイクロポンプが備える駆動部の構成を示す平面図、図２４は、図２３のＡ−Ｐ−Ｂ切断面を示す断面図、図２５は、図２２に示すマイクロポンプが備える振動体の構成を示す斜視図、図２６は、図２２に示すマイクロポンプが備える振動体の作用を模式的に示す部分平面図、図２７は、図２２に示すマイクロポンプが備える振動体の突起部の動きを模式的に示す説明図である。なお、図２３は、第２機枠Ｙ１６の図示を省略して表している。
【０１８７】
図２２に示すように、マイクロポンプＹ１は、駆動部Ｙ１０と液体を収容するリザーバーＹ１１とを備えている。
【０１８８】
駆動部Ｙ１０は、第１機枠Ｙ１４とチューブ案内枠Ｙ１５と第２機枠Ｙ１６とが積層装着され構成されている。図示は省略するが、これらによって構成される内部の空間には、カム、ローター、振動体、複数のフィンガー、弾性を有するチューブ、制御回路部、電源部としての小型ボタン電池（以降、単に電池と表す）が備えられている。
【０１８９】
第１機枠Ｙ１４とチューブ案内枠Ｙ１５と第２機枠Ｙ１６とは、固定螺子Ｙ９１によって積層され密着固定される。したがって、前述した空間内は密閉され防水性が確保されている。
【０１９０】
また、第２機枠Ｙ１６の上部には電池蓋Ｙ１７が設けられており、電池蓋Ｙ１７と第２機枠Ｙ１６とは羅着固定されている。したがって、電池蓋Ｙ１７を回転して外し内部から電池を取り出したり、装着することが可能である。
【０１９１】
リザーバーＹ１１は、第１機枠Ｙ１４の上面側に設けられる凹部内に載置され、チューブＹ５０によって駆動部Ｙ１０と接続されている。なお、リザーバーＹ１１は、柔軟性を有する材料から構成されており、内部の液体が流出する際に外部の大気圧により変形し、リザーバーＹ１１の内部圧力が一定に保たれる。
【０１９２】
リザーバーＹ１１に収容されている液体は、駆動部Ｙ１０の蠕動運動によりチューブＹ５０を圧閉と開放を繰り返すことにより流出口部Ｙ５３から吐出される。
【０１９３】
続いて、駆動部Ｙ１０の構成について図面を参照して説明する。
【０１９４】
まず、図２３を参照して平面構成について説明する。
本実施形態において、駆動部Ｙ１０は、一部が平面視して円弧形状に配設される弾性を有するチューブＹ５０と、チューブＹ５０の円弧形状の中心と回転軸Ｐが略一致するカムＹ２０と、チューブＹ５０の円弧形状部分とカムＹ２０の間に介設されるとともに、回転軸Ｐから放射状にそれぞれ等間隔に配設される複数のフィンガーＹ４０〜Ｙ４６と、カムＹ２０に回転力を伝達する円盤形状のローターＹ７０、ローターＹ７０の外周部に突起部Ｙ８１ａが当接するよう配設される振動体Ｙ８０と、制御回路部Ｙ６０と、電池Ｙ６１とから構成されている。
【０１９５】
カムＹ２０とローターＹ７０とはカム軸Ｙ７５に軸止されている。したがって、カムＹ２０とローターＹ７０は、回転軸を同一として一体で回転するよう構成される。
【０１９６】
なお、制御回路部Ｙ６０と電池Ｙ６１と振動体Ｙ８０のそれぞれは、チューブＹ５０、カムＹ２０およびフィンガーＹ４０〜Ｙ４６と平面的に重ならない位置に分散配設されている。
【０１９７】
カムＹ２０は、外周方向に凹凸を有し、最外周部にフィンガー押圧面Ｙ２１ａ〜Ｙ２１ｄが形成されている。フィンガー押圧面Ｙ２１ａ〜Ｙ２１ｄは、回転軸Ｐから等距離の同心円上に形成される。
【０１９８】
また、フィンガー押圧面Ｙ２１ａとフィンガー押圧面Ｙ２１ｂ、フィンガー押圧面Ｙ２１ｂとフィンガー押圧面Ｙ２１ｃ、フィンガー押圧面Ｙ２１ｃとフィンガー押圧面Ｙ２１ｄ、およびフィンガー押圧面Ｙ２１ｄとフィンガー押圧面Ｙ２１ａ、の周方向ピッチと外形形状は等しく形成されている。また、各フィンガー押圧面間のピッチは等しい。
【０１９９】
フィンガー押圧面Ｙ２１ａ〜Ｙ２１ｄそれぞれは、フィンガー押圧斜面Ｙ２２と回転軸Ｐとを中心とする同心円上の円弧部Ｙ２３とが連続して形成されている。この円弧部Ｙ２３は、フィンガーＹ４０〜Ｙ４６を押圧しない位置に設けられる。
また、フィンガー押圧面Ｙ２１ａ，Ｙ２１ｂ，Ｙ２１ｃ，Ｙ２１ｄそれぞれの一方の端部と円弧部Ｙ２３とは、回転軸Ｐから延長した直線部Ｙ２４で結ばれている。
【０２００】
チューブＹ５０は、チューブ案内枠Ｙ１５に形成されたチューブ案内溝Ｙ１５ｃ内に装着され、一方の端部は、液体を外部に吐出する流出口部Ｙ５３であり、マイクロポンプＹ１の外部に突出している。他方の端部は液体を流入する流入口部Ｙ５２であり、液体を収容するリザーバーＹ１１に接続され、液体流動部Ｙ５１がリザーバーＹ１１内に連通されている。
【０２０１】
チューブＹ５０は、フィンガーＹ４０〜Ｙ４６によって押圧される範囲が、回転軸Ｐに対して同心円となるように形成されたチューブ案内溝Ｙ１５ｃ内に装着されている。なお、フィンガーＹ４０〜Ｙ４６は、それぞれ同じ形状で形成されているのでフィンガーＹ４１を例示して説明する。フィンガーＹ４１は、円柱状の軸部Ｙ４１ａと、軸部Ｙ４１ａの一方の端部に設けられる鍔形状のチューブ押圧部Ｙ４１ｃと、他方の端部が半球状に丸められたカム当接部Ｙ４１ｂとから構成されている。
【０２０２】
フィンガーＹ４０〜Ｙ４６は、フィンガー案内溝Ｙ１５ｂに沿って進退可能であり、カムＹ２０によって外側方向に押圧され、チューブＹ５０を圧閉して液体流動部Ｙ５１を閉塞する。なお、フィンガーＹ４０〜Ｙ４６の断面方向の中心位置は、チューブＹ５０の中心とほぼ一致している。
【０２０３】
次に、図２４を参照して駆動部Ｙ１０の断面構成について説明する。第１機枠Ｙ１４とチューブ案内枠Ｙ１５と第２機枠Ｙ１６は、互いに積層されて周縁部を複数の固定螺子Ｙ９１（図示は省略）によって密着固定されている。
【０２０４】
第１機枠Ｙ１４とチューブ案内枠Ｙ１５と第２機枠Ｙ１６とが固定された状態で、内部に空間Ｙ３０が形成され、この空間Ｙ３０内にカムＹ２０、ローターＹ７０、振動体Ｙ８０、制御回路部Ｙ６０、電池Ｙ６１が配設されている。
【０２０５】
カムＹ２０とローターＹ７０とは、カム軸Ｙ７５に重ねて軸止されている。したがって、カムＹ２０とローターＹ７０とはカム軸Ｙ７５を回転軸として一体で回転可能である。また、カム軸Ｙ７５は両端部に軸部Ｙ７５ａ，Ｙ７５ｂを有している。
【０２０６】
軸部Ｙ７５ａは第２機枠Ｙ１６に設けられる軸受Ｙ９２の軸穴Ｙ９２ａに挿入され、軸部Ｙ７５ｂは第１機枠Ｙ１４に設けられる軸受Ｙ９３の軸穴Ｙ９３ａに挿入され、軸受Ｙ９２，Ｙ９３によって軸支されている。軸穴Ｙ９２ａ，Ｙ９３ａは貫通していない。
【０２０７】
ローターＹ７０の外周部には回転方向に沿って溝Ｙ７１が形成されており、溝Ｙ７１の内部側面が、振動体Ｙ８０との当接面Ｙ７２である。
【０２０８】
振動体Ｙ８０は、ローターＹ７０の溝Ｙ７１の断面方向のほぼ中央に配設されるとともに、振動体固定軸Ｙ９０に固定螺子Ｙ９８によって固定されている。なお、振動体Ｙ８０については、図２５〜図２７を参照して後述する。
【０２０９】
第１機枠Ｙ１４の内面には回路基板Ｙ６３が設けられており、電池Ｙ６１の下面から振動体Ｙ８０の下方まで延在され、その表面には接続パターンが形成されている。回路基板Ｙ６３の上面には制御回路部Ｙ６０と電池Ｙ６１とが載置または接続されている。
【０２１０】
制御回路部Ｙ６０には電源回路や発振回路等（ともに図示せず）が含まれる。電源回路は電池Ｙ６１の電極と接続され、発振回路は振動体Ｙ８０の複数の電極と接続されている。
【０２１１】
電池Ｙ６１は、下方がマイナス電極であり、側面がプラス電極であって、マイナス電極が回路パターンと直接に接触接続される。また、プラス電極は電池端子Ｙ６２を介して対応する回路パターンに接続される。
【０２１２】
電池Ｙ６１は、外周の２／３程度がチューブ案内枠Ｙ１５によって案内されて保持されている。一方、電池Ｙ６１の上方には電池蓋Ｙ１７が設けられている。電池蓋Ｙ１７には雄螺子Ｙ１８が形成されており、第２機枠Ｙ１６に形成される雌螺子と羅着される。
【０２１３】
電池蓋Ｙ１７の上面には開閉溝Ｙ１７ａが形成されており、この開閉溝Ｙ１７ａにドライバやコイン等を挿入して回転することで電池蓋Ｙ１７を開閉することが可能である。つまり、電池蓋Ｙ１７を外して電池Ｙ６１を取り出し、電池Ｙ６１を装着して電池蓋Ｙ１７を締め付けることにより、電池Ｙ６１を回路基板Ｙ６３に圧設する。この際、電池蓋Ｙ１７と第２機枠Ｙ１６との間は密着され、この部分も空間Ｙ３０を密閉している。
【０２１４】
なお、電池蓋Ｙ１７の開閉構造としては、螺着固定の他にバヨネット構造、圧入構造、固定螺子による構造等から選択することが可能である。
【０２１５】
また、チューブＹ５０およびフィンガーＹ４０〜Ｙ４６は、それぞれチューブ案内枠Ｙ１５に設けられる断面形状が略Ｕ字型のフィンガー案内溝Ｙ１５ｂおよびチューブ案内溝Ｙ１５ｃに挿着した後、開放面を第２機枠Ｙ１６で蓋をすることにより保持される。
【０２１６】
チューブ案内溝Ｙ１５ｃの外側方向にはチューブ案内壁Ｙ１５ｄが設けられ、フィンガーＹ４０〜Ｙ４６によるチューブ圧閉の際にチューブＹ５０の移動を規制する。
【０２１７】
続いて、振動体Ｙ８０について図面を参照して説明する。
図２５は振動体の構成を示す斜視図である。振動体Ｙ８０は、図２５に示すように、ほぼ長方形の薄板形状をしている。振動体Ｙ８０は、補強板Ｙ８１の表面に板状の圧電素子Ｙ８２、圧電素子Ｙ８２の表面に電極Ｙ８４を積層し、裏面に板状の圧電素子Ｙ８３、圧電素子Ｙ８３の表面に電極Ｙ８５が積層されて構成されている。
【０２１８】
圧電素子Ｙ８２，Ｙ８３はそれぞれ長方形をなし、交流電圧を印加することにより、長手方向に伸張・収縮する。圧電素子Ｙ８２，Ｙ８３の材料としては特に限定されず、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、水晶、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛、ポリ弗化ビニリデン、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等を用いることができる。
【０２１９】
補強板Ｙ８１は、振動体Ｙ８０の全体を補強する機能を有しており、振動体Ｙ８０が過振幅または外力等によって損傷することを防止する。補強板Ｙ８１の材料としては特に限定されないが、例えば、ステンレス鋼、アルミニウムまたはアルミニウム合金、チタンまたはチタン合金、銅または銅系合金等の金属材料であることが望ましい。
【０２２０】
圧電素子Ｙ８２，Ｙ８３は、補強板Ｙ８１よりも厚さが薄いものであることが好ましい。これにより、振動体Ｙ８０をより高い効率で振動させることができる。
【０２２１】
補強板Ｙ８１は、圧電素子Ｙ８２，Ｙ８３に対する共通の電極としての機能をも有している。すなわち、圧電素子Ｙ８２には電極Ｙ８４と補強板Ｙ８１とによって交流電圧が印加され、圧電素子Ｙ８３には電極Ｙ８５と補強板Ｙ８１とによって交流電圧が印加される。
【０２２２】
圧電素子Ｙ８２，Ｙ８３は、交流電圧が印加されると長手方向に繰り返し伸縮し、これに伴って、補強板Ｙ８１も長手方向に繰り返し伸縮する。すなわち、圧電素子Ｙ８２，Ｙ８３に交流電圧を印加すると、振動体Ｙ８０は図２５の矢印で示すように長手方向に微小な振幅で振動する。
【０２２３】
補強板Ｙ８１の両端部には、それぞれ突起部Ｙ８１ａ，Ｙ８１ｂが一体的に形成されている。図２３および図２４に示すように、振動体Ｙ８０は突起部Ｙ８１ａがローターＹ７０の外周側面（当接面Ｙ７２）に当接するように配設されている。
【０２２４】
次に、振動体Ｙ８０の作用について図面を参照して説明する。
図２６において、突起部Ｙ８１ａは、補強板Ｙ８１の中央部（中心線Ｇ）からずれた位置（図示の構成では角部）に設けられている。
【０２２５】
また、図示の構成では、反対側の角部に突起部Ｙ８１ａとは対称的に同様な突起部Ｙ８１ｂが設けられているが、本実施形態で使用されていない。
【０２２６】
また、補強板Ｙ８１の長手方向のほぼ中央からは、腕部Ｙ８１ｃが突設されている。この腕部Ｙ８１ｃの先端部には固定用孔Ｙ８１ｄが開設されており、この固定用孔Ｙ８１ｄに固定螺子Ｙ９８（図２４参照）が挿通される。
【０２２７】
図２４に示すように、振動体Ｙ８０は、腕部Ｙ８１ｃにおいて第１機枠Ｙ１４に植立される振動体固定軸Ｙ９０に固定螺子Ｙ９８により固定される。つまり、振動体Ｙ８０は、腕部Ｙ８１ｃによって支持されている。これにより、振動体Ｙ８０は自由に振動することができ、比較的大きい振幅で振動する。
【０２２８】
なお、振動体Ｙ８０は腕部Ｙ８１ｃの弾性によって、突起部Ｙ８１ａがローターＹ７０の外周側面の当接面Ｙ７２に圧接された状態で配設されている。
【０２２９】
また、振動体Ｙ８０は、ローターＹ７０と断面方向においてほぼ平行な姿勢で配設されるとともに、ローターＹ７０の厚さよりも薄い。また、振動体Ｙ８０の厚さは、ローターＹ７０の外周面に形成される溝Ｙ７１の断面方向の幅よりも薄くすることがより好ましい。
【０２３０】
上述したように、圧電素子Ｙ８２，Ｙ８３に交流電圧を印加すると振動体Ｙ８０が伸縮し、突起部Ｙ８１ａは、図２７の矢印ｒに示すような楕円運動を繰り返す。
【０２３１】
そこで、突起部Ｙ８１ａがローターＹ７０の当接面Ｙ７２に当接された状態で、圧電素子Ｙ８２，Ｙ８３に交流電圧を印加して振動体Ｙ８０を振動させると、振動体Ｙ８０が伸張するときに突起部Ｙ８１ａから摩擦力（押圧力）を受け、この押圧力の繰り返しでローターＹ７０が時計周り方向（矢印Ｒ）方向に回転する。
【０２３２】
圧電素子Ｙ８２，Ｙ８３に印加する周波数は特に限定されないが、振動体Ｙ８０の振動（縦振動）の共振周波数とほぼ同程度であることが好ましい。これにより、振動体Ｙ８０の振幅が大きくなり、高い効率でローターＹ７０を回転駆動することができる。
【０２３３】
なお、振動体Ｙ８０は、主に長手方向に縦振動するが、縦振動と屈曲振動とを共振させ、突起部Ｙ８１ａを楕円振動させることがより好ましい。これにより、より高い効率でローターＹ７０を回転駆動させることができる。以下、この点について説明する。
【０２３４】
図２６に示すように、振動体Ｙ８０がローターＹ７０を回転駆動するとき、突起部Ｙ８１ａは、ローターＹ７０から図２６中の矢印で表す反力ｆを受ける。本実施形態では、突起部Ｙ８１ａが振動体Ｙ８０の中心線Ｇからずれた位置に設けられている。したがって、振動体Ｙ８０は、この反力ｆによって図２６に示すように面内方向に屈曲するように変形、振動する。なお、図２６では、振動体Ｙ８０の変形を誇張して表している。
【０２３５】
印加電圧の周波数、振動体Ｙ８０の形状・大きさ・突起部Ｙ８１ａの位置等を適宜選択することで、この屈曲振動の周波数と縦振動の周波数とが共振し、振幅が大きくなるとともに、突起部Ｙ８１ａは、図２７中の矢印ｒにて表すように、ほぼ楕円に沿って変位（楕円振動）する。
【０２３６】
これにより、振動体Ｙ８０の１回の振幅において、突起部Ｙ８１ａがローターＹ７０を回転方向に送るときには、突起部Ｙ８１ａがローターＹ７０により強い力で圧接され、突起部Ｙ８１ａが戻るときには、ローターＹ７０との摩擦力を低減または消滅させることができるため、振動体Ｙ８０の振動をローターＹ７０の回転より高い効率で変換することができる。
【０２３７】
続いて、本実施形態による液体の輸送に係る作用について図２３を参照して説明する。カムＹ２０は、振動体Ｙ８０からローターＹ７０を介して回転される（図示、矢印Ｒ方向）。カムＹ２０のフィンガー押圧面Ｙ２１ｄでフィンガーＹ４４を押圧する。
【０２３８】
フィンガーＹ４５はフィンガー押圧面Ｙ２１ｄとフィンガー押圧斜面Ｙ２２との接合部に当接しており、チューブＹ５０を圧閉している。また、フィンガーＹ４６はフィンガー押圧斜面Ｙ２２上でチューブＹ５０を押圧しているが、フィンガーＹ４６はフィンガーＹ４４の押圧量より小さく、チューブＹ５０を完全には圧閉していない。
【０２３９】
フィンガーＹ４１〜Ｙ４３は、カムＹ２０の円弧部Ｙ２３の範囲にあり、押圧しない初期位置にある。また、フィンガーＹ４０はカムＹ２０のフィンガー押圧斜面Ｙ２２に当接しているが、この位置では、まだチューブＹ５０を圧閉していない。
【０２４０】
この位置から、さらにカムＹ２０を矢印Ｒ方向に回転すると、カムＹ２０のフィンガー押圧面Ｙ２１ｄによって、フィンガーＹ４５，Ｙ４６の順で押圧してチューブＹ５０を圧閉していく。フィンガーＹ４４はフィンガー押圧面Ｙ２１ｄから解除されチューブＹ５０は開放される。チューブＹ５０のフィンガーから圧閉が開放される位置または、まだ圧閉されていない位置には、液体流動部Ｙ５１に液体が流入している。
【０２４１】
カムＹ２０を振動体Ｙ８０によりさらに回転すると、フィンガー押圧斜面Ｙ２２が、フィンガーＹ４０，Ｙ４１，Ｙ４２，Ｙ４３の順に順次押圧していき、フィンガー押圧面Ｙ２１ｃに達したときにチューブＹ５０を圧閉する。
【０２４２】
このような動作を繰り返すことにより、液体を流入口部Ｙ５２側から流出口部Ｙ５３側に向けて流動し、流出口部Ｙ５３から吐出する。
【０２４３】
この際、カムＹ２０のフィンガー押圧面には、複数のフィンガーのうちの２本が当接し、次のフィンガーを押圧する位置に移動するときには、フィンガーのうちの１本を押圧する。このように、フィンガーを２本押圧する状態と、１本を押圧する状態と、を繰り返すことにより、少なくとも１本のフィンガーがチューブＹ５０を常時圧閉している状態を形成する。このような複数のフィンガーの運動によるマイクロポンプの構造は蠕動駆動方式と呼ばれる。
【０２４４】
上述した本実施形態のマイクロポンプＹ１は、平板状の振動体Ｙ８０を用いてローターＹ７０を回転し、カムＹ２０を回転する構造であり、摩擦力（押圧力）によってローターＹ７０を駆動することから、ステップモーターのように磁力で駆動する場合と異なり、駆動力が高い。したがって、従来技術のように減速ギヤ機構を必要とせず、また、モーターモジュールとポンプモジュールとの連結機構も不要となり構造が簡単になるとともに、小型、かつ薄型のマイクロポンプを実現できる。
【０２４５】
また、振動体Ｙ８０の面内振動をローターＹ７０の回転に直接変換すること、ローターＹ７０の回転軸に対して垂直方向に回転力を加えることにより、エネルギーロスが小さく、ローターＹ７０を高い効率で回転駆動することができる。
【０２４６】
また、ローターＹ７０とカムＹ２０の回転軸が一致していることから連結機構が不要となり、より一層小型のマイクロポンプを実現できる。
【０２４７】
また、ローターＹ７０には、回転方向に沿った溝Ｙ７１が設けられ、振動体Ｙ８０の突起部Ｙ８１ａが、溝Ｙ７１の内側側面（当接面Ｙ７２）に当接するよう配設することにより、薄板状の振動体Ｙ８０が外部からの振動、衝撃等により当接面Ｙ７２から外れてしまうことを防止することができる。
【０２４８】
また、本実施形態では、制御回路部Ｙ６０と、制御回路部Ｙ６０に電力を供給する電池Ｙ６１が、さらに備えられているために、これらを別に備えるよりも、例えば、マイクロポンプＹ１を生体内または生体表面に装着することがより容易に行えるという効果がある。
【０２４９】
また、制御回路部Ｙ６０、電池Ｙ６１および振動体Ｙ８０のそれぞれが、チューブＹ５０、カムＹ２０およびフィンガーＹ４０〜Ｙ４６と平面的に重ならない位置に分散配設することにより、マイクロポンプをより薄型化することができ、さらに組立性が向上する。
【０２５０】
さらに、駆動源として圧電素子Ｙ８２，Ｙ８３を含む振動体Ｙ８０を用いている。圧電素子Ｙ８２，Ｙ８３は駆動による劣化がほとんどないことにより、耐久性に優れ長時間にわたって使用することを可能にする。しかしその際、小型ボタン型電池を用いる場合に使用期間途中で電池容量が不足することが予想される。そこで、電池Ｙ６１を単独で容易に交換できる構成とすれば長時間にわたってマイクロポンプＹ１を継続使用することができる。
【０２５１】
また、マイクロポンプを分解して電池を交換する煩わしさを排除するとともに、交換時に電池周辺の他の部材に傷をつけてしまうというような問題を排除できる。
【０２５２】
マイクロポンプＹ１において、本発明の部材は、液体と接触しうる部材（例えば、リザーバーＹ１１、チューブＹ５０等）に適用されることが好ましい。
これにより、例えば、液体が、外部のガス（例えば、酸素や水蒸気等）により悪影響を受けることを長期間にわたって安定的に防止することができる。
【０２５３】
なお、本発明の部材を液体と接触しうる部材に適用する場合、バリア膜は、液体と接触しうる部位に設けられていてよいし、液体と接触しうる部位以外の部位（例えば、液体と接触しうる面とは反対側の面等）に設けられていてもよい。
【０２５４】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は、これらに限定されるものではない。
【０２５５】
例えば、前述した実施形態では、本発明の部材が、水酸基を有する柔軟性を有する樹脂製の基材と、バリア膜とからなるものである場合について代表的に説明したが、本発明の部材は、他の構成をさらに備えるものであってもよい。
【０２５６】
また、前述した実施形態では、バリア膜が基材の一方の面のみに設けられた場合について説明したが、バリア膜は基材の２つ以上の面に設けられていてもよい。
また、前述した実施形態では、バリア膜が一方の面全体に設けられている場合について代表的に説明したが、バリア膜は、任意の面について、部分的に設けられていてもよい。
【０２５７】
また、前述した実施形態では、バリア膜が３層の積層体である場合について中心的に説明したが、１層のみで構成されるものであってもよいし、２層の積層体、４層以上の積層体であってもよい。また、バリア膜は、層数等の条件が異なる部位を有するものであってもよい。
【０２５８】
また、前述した実施形態では、本発明の部材を、インクジェット式の記録装置の構成部品、マイクロポンプの構成部品に適用する場合について中心的に説明したが、本発明の部材は、いかなる用途のものに適用されるものであってもよい。
【０２５９】
また、本発明の部材は、前述したような方法で製造されたものに限定されず、いかなる方法で製造されたものであってもよい。
【０２６０】
また、本発明の部材の製造方法においては、必要に応じて、前処理工程、中間処理工程、後処理工程を行ってもよい。
【符号の説明】
【０２６１】
Ｐ１００…部材
Ｐ１…基材
Ｐ１１…空間
Ｐ１６…疎水性部
Ｐ１７…親水性部
Ｐ２…バリア膜
Ｐ２１…第１の層
Ｐ２２…第２の層
Ｐ２３…第３の層
Ｍ１…蓋体
Ｍ１１…溝
Ｍ２…チャッキング部材
Ｍ３…ガス供給手段
Ｍ５…連通部
１００…インクジェットヘッド
１０…流路形成基板
１１…圧力発生室
１２…インク供給路
１３…リザーバー
１４…ノズル連通孔
１５…振動部材
１５ａ…弾性膜
１５ｂ…支持板
１５ｃ…島部
１５ｄ…薄肉部
１６…振動部
１７…接着層
１８…接着層
２０…ノズルプレート
２１…ノズル
３０…圧電素子ユニット
３１…圧電材料
３２…電極形成材料
３３…電極形成材料
３４…圧電素子形成部材
３５…圧電素子
３６…固定基板
４０…ケース
４１…インク導入路
４２…空間部
４３…圧電素子収容部
４４…ケース貫通孔
４５…段差部
４６…連通路
４６ａ…第１の連通部
４６ｂ…第２の連通部
４６ｃ…第３の連通部
５０…フレキシブルプリント基板
５１…配線層
５２…ベースフィルム
７０…配線基板
７１…導電パッド
７２…開口部
Ｉ１００…インクジェットヘッド
Ｉ９…ヘッド本体
Ｉ１０…流路形成基板
Ｉ１１…隔壁
Ｉ１２…圧力発生室
Ｉ１５…連通板
Ｉ１６…連通路
Ｉ１７…第１マニホールド部
Ｉ１８…第２マニホールド部
Ｉ１９…供給連通路
Ｉ２０…ノズルプレート
Ｉ２１…ノズル開口
Ｉ３０…保護基板
Ｉ３１…保持部
Ｉ３２…貫通孔
Ｉ４０…ケース部材
Ｉ４１…凹部
Ｉ４２…第３マニホールド部
Ｉ４３…接続口
Ｉ４４…導入路
Ｉ４５…コンプライアンス基板
Ｉ４６…封止膜（コンプライアンスシート）
Ｉ４７…固定基板
Ｉ４８…開口部
Ｉ５０…振動板
Ｉ５１…弾性膜
Ｉ５２…絶縁体膜
Ｉ６０…第１電極
Ｉ７０…圧電体層
Ｉ８０…第２電極
Ｉ８３…除去部
Ｉ９１…個別リード電極
Ｉ９２…共通リード電極
Ｉ９３…延設部
Ｉ９５…補助配線
Ｉ２１０…駆動回路
Ｉ２１１…配線基板
Ｉ３００…圧電アクチュエーター
Ｉ３１０…能動部
Ｉ４００…マニホールド
Ｘ１…キャリッジ
Ｘ２…キャリッジモーター
Ｘ３…タイミングベルト
Ｘ４…走査ガイド部材
Ｘ５…紙送り部材
Ｘ６…インクジェット式記録ヘッド（インクジェットヘッド）
Ｘ６ａ…ノズル開口
Ｘ７、Ｘ７ａ、Ｘ７ｂ、Ｘ７ｃ、Ｘ７ｄ…サブタンク
Ｘ８…カートリッジホルダー
Ｘ９、Ｘ９ａ、Ｘ９ｂ、Ｘ９ｃ、Ｘ９ｄ…メインタンク（インクカートリッジ）
Ｘ１０…インク補給チューブ
Ｘ１１…キャッピング手段
Ｘ１１ａ…キャップ部材
Ｘ１２…ワイピング部材
Ｘ２１…空気加圧ポンプ
Ｘ２２…圧力調整弁
Ｘ２３…圧力検出器
Ｘ２４…インクパック
Ｘ２４ａ…栓体（インク導出栓体）
Ｘ２４ｂ…熱溶着部分
Ｘ２４ｃ…熱溶着部分
Ｘ２５…圧力室
Ｘ２６…インク補給バルブ
Ｘ３１…フロート部材
Ｘ３２…永久磁石
Ｘ３３ａ、Ｘ３３ｂ…磁電変換素子（ホール素子）
Ｘ３４…基板
Ｘ３５…バルブ
Ｘ３６…チューブ
Ｘ４１…下ケース
Ｘ４２…被溶着面
Ｘ４３…立上り部
Ｘ４４…補強リブ
Ｘ４５…ガイド孔
Ｘ４６…開口部
Ｘ４７…空気導入口
Ｘ５１…上ケース
Ｘ５２…ダイレクター（溶着子）
Ｘ５３…補強リブ
Ｘ５６…Ｏリング
Ｘ５７…係合部材
Ｘ６１…密着防止部材
Ｘ６２…インク流路
Ａ…隅角部
Ｂ…隅角部
Ｙ１…マイクロポンプ
Ｙ１０…駆動部
Ｙ１１…リザーバー
Ｙ１４…第１機枠
Ｙ１５…チューブ案内枠
Ｙ１５ｂ…フィンガー案内溝
Ｙ１５ｃ…チューブ案内溝
Ｙ１５ｄ…チューブ案内壁
Ｙ１６…第２機枠
Ｙ１７…電池蓋
Ｙ１７ａ…開閉溝
Ｙ１８…雄螺子
Ｙ２０…カム
Ｙ２１ａ、Ｙ２１ｂ、Ｙ２１ｃ、Ｙ２１ｄ…フィンガー押圧面
Ｙ２２…フィンガー押圧斜面
Ｙ２３…円弧部
Ｙ２４…直線部
Ｙ３０…空間
Ｙ４０…フィンガー
Ｙ４１…フィンガー
Ｙ４１ａ…軸部
Ｙ４１ｂ…カム当接部
Ｙ４１ｃ…チューブ押圧部
Ｙ４２…フィンガー
Ｙ４３…フィンガー
Ｙ４４…フィンガー
Ｙ４５…フィンガー
Ｙ４６…フィンガー
Ｙ５０…チューブ
Ｙ５１…液体流動部
Ｙ５２…流入口部
Ｙ５３…流出口部
Ｙ６０…制御回路部
Ｙ６１…電池
Ｙ６２…電池端子
Ｙ６３…回路基板
Ｙ７０…ローター
Ｙ７１…溝
Ｙ７２…当接面
Ｙ７５…カム軸
Ｙ７５ａ…軸部
Ｙ７５ｂ…軸部
Ｙ８０…振動体
Ｙ８１…補強板
Ｙ８１ａ…突起部
Ｙ８１ｂ…突起部
Ｙ８１ｃ…腕部
Ｙ８１ｄ…固定用孔
Ｙ８２…圧電素子
Ｙ８３…圧電素子
Ｙ８４…電極
Ｙ８５…電極
Ｙ９０…振動体固定軸
Ｙ９１…固定螺子
Ｙ９２…軸受
Ｙ９２ａ…軸穴
Ｙ９３…軸受
Ｙ９３ａ…軸穴
Ｙ９８…固定螺子
Ｒ…矢印
Ｐ…回転軸
ｒ…矢印
ｆ…反力
Ｇ…中心線
【図１】
2016159570.tif 000003
【図２】
2016159570.tif 000004
【図３】
2016159570.tif 000005
【図４】
2016159570.tif 000006
【図５】
2016159570.tif 000007
【図６】
2016159570.tif 000008
【図７】
2016159570.tif 000009
【図８】
2016159570.tif 000010
【図９】
2016159570.tif 000011
【図１０】
2016159570.tif 000012
【図１１】
2016159570.tif 000013
【図１２】
2016159570.tif 000014
【図１３】
2016159570.tif 000015
【図１４】
2016159570.tif 000016
【図１５】
2016159570.tif 000017
【図１６】
2016159570.tif 000018
【図１７】
2016159570.tif 000019
【図１８】
2016159570.tif 000020
【図１９】
2016159570.tif 000021
【図２０】
2016159570.tif 000022
【図２１】
2016159570.tif 000023
【図２２】
2016159570.tif 000024
【図２３】
2016159570.tif 000025
【図２４】
2016159570.tif 000026
【図２５】
2016159570.tif 000027
【図２６】
2016159570.tif 000028
【図２７】
2016159570.tif 000029