(57)【要約】【課題】高精度な気密検査を行うことができる密閉型ドラム缶の気密検査方法及びそれに用いる気密検査装置を提供する。【解決手段】密閉型のドラム缶（２）を気密なチャンバ（１６）内に収容し、該ドラム缶の気密性を検査する方法であって、この気密検査方法は、前記ドラム缶内及び前記チャンバ内を同時に排気して真空引きする真空引き工程（ステップＳ１）と、前記真空引き工程後に、前記ドラム缶の地板（８）及び天板（１０）を押圧保持する押圧工程（ステップＳ４）と、前記押圧工程後に、前記ドラム缶内にヘリウムガスを大気圧以上になるまで封入する高圧封入工程（ステップＳ７）と、前記高圧封入工程後に、前記ドラム缶から前記チャンバ内へのヘリウムガスの漏れの有無を検査する微小漏れ検査工程（ステップＳ８）とを含む。【選択図】図５
2016080438.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
密閉型のドラム缶を気密なチャンバ内に収容し、該ドラム缶の気密性を検査する方法であって、
前記ドラム缶は、円筒状をなした胴体と、前記胴体の下端開口を下側チャイムの形成により閉塞する地板と、前記胴体の上端開口を上側チャイムの形成により閉塞する天板とを備え、
前記ドラム缶内及び前記チャンバ内を同時に排気して真空引きする真空引き工程と、
前記真空引き工程後に、前記地板及び前記天板を押圧して保持する押圧工程と、
前記押圧工程後に、前記ドラム缶内にヘリウムガスを大気圧以上になるまで封入する高圧封入工程と、
前記高圧封入工程後に、前記ドラム缶から前記チャンバ内へのヘリウムガスの漏れの有無を検査する微小漏れ検査工程と
を含む、密閉型ドラム缶の気密検査方法。
【請求項２】
前記真空引き工程後であって前記押圧工程前に、前記ドラム缶内にヘリウムガスを大気圧未満となる第１設定圧力まで封入する小圧封入工程と、
前記小圧封入工程後であって前記押圧工程前に、前記ドラム缶から前記チャンバ内へのヘリウムガスの漏れの有無を検査する大漏れ検査工程と
を更に含む、請求項１に記載の密閉型ドラム缶の気密検査方法。
【請求項３】
前記押圧工程後であって前記高圧封入工程前に、前記ドラム缶内にヘリウムガスを前記第１設定圧力以上で且つ大気圧未満となる第２設定圧力になるまで封入する中圧封入工程と、
前記中圧封入工程後であって前記高圧封入工程に、前記ドラム缶から前記チャンバ内へのヘリウムガスの漏れの有無を検査する中漏れ検査工程と
を更に含む、請求項２に記載の密閉型ドラム缶の気密検査方法。
【請求項４】
前記押圧工程では、前記チャンバ内において前記地板及び前記天板を押圧保持し、前記小圧封入工程後における前記ドラム缶の前記天板及び前記地板の膨出変形を抑制することにより、前記下側及び上側チャイムの形状を保持し、前記膨出変形に起因した前記下側及び上側チャイムからのヘリウムガスの漏洩を防止する、請求項２又は３に記載の密閉型ドラム缶の気密検査方法。
【請求項５】
密閉型のドラム缶の気密性を検査する装置であって、
前記ドラム缶は、円筒状をなした胴体と、前記胴体の下端開口を下側チャイムの形成により閉塞する地板と、前記胴体の上端開口を上側チャイムの形成により閉塞する天板とを備え、
前記ドラム缶を気密に収容するチャンバと、
前記ドラム缶内及び前記チャンバ内を同時に排気して真空引きする真空引ポンプと、
前記チャンバ内において前記地板及び前記天板を押圧保持する押圧機構と、
前記ドラム缶内にヘリウムガスを大気圧以上になるまで封入可能なヘリウムガス供給ユニットと、
前記チャンバ内の前記ドラム缶外に設けられ、前記ドラム缶から前記チャンバ内へのヘリウムガスの漏れ量を測定するヘリウムリークディテクタと、
前記ヘリウムリークディテクタで測定されたヘリウムガスの漏れ量に基づいて、前記ドラム缶から前記チャンバ内へのヘリウムガスの漏れの有無を検査する制御ユニットと
を備える、密閉型ドラム缶の気密検査装置。
【請求項６】
前記押圧機構は、前記チャンバ内において前記地板及び前記天板を押圧保持する際、前記地板及び前記天板の少なくとも何れか一方に当接して前記チャンバ内に押圧部を形成する弾性体を備え、
前記弾性体は、前記地板及び前記天板の少なくとも何れか一方の近傍から漏洩し、前記押圧部に滞留するヘリウムガスを前記チャンバ内に逃がして拡散させる逃がし部を有する、請求項５に記載の密閉型ドラム缶の気密検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は密閉型ドラム缶の気密検査方法及びそれに用いる気密検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１にはヘリウムリークテスト装置が開示されている。このヘリウムリークテスト装置は、チャンバ内の被試験体にヘリウムガスを導入して封入するためのヘリウムガス導入手段と、チャンバ内を真空排気しその際に被試験体から漏出するヘリウムガスを導いて検出するためのヘリウムリークディテクタとを具備し、前記ヘリウムガス導入手段には、高圧ヘリウムガスを導入する高圧ラインと低圧ヘリウムガスを導入する低圧ラインとが選択切換可能に設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−４６６８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、密閉型のドラム缶は、円筒状をなした胴体と、前記胴体の下端開口を下側チャイムの形成により閉塞する地板と、前記胴体の上端開口を上側チャイムの形成により閉塞する天板とを備えている。下側及び上側チャイムは、前記胴体の下端縁と前記地板の外周縁、及び前記胴体の上端縁と前記天板の外周縁をそれぞれ巻き締めにより相互に結合、或いは巻き締め後に溶接により接合することにより形成される。
【０００５】
また、従来のドラム缶の気密検査には、いわゆる水没試験を行うのが一般的である。水没試験では、密閉した空のドラム缶を所定時間に亘って水没させ、水泡が発生するか否かでドラム缶の気密性を検査する。従って、気密検査後のドラム缶に別の試験を行う場合、ドラム缶が乾くまで待機する必要があるため、試験に時間が掛かるとともに、ドラム缶の漏れレベルを段階的に且つ高精度に判定することができなかった。
【０００６】
そこで、特許文献１において、被試験体を上記密閉型ドラム缶とした場合、高圧ヘリウムガスを導入する高圧ラインを選択することにより、ドラム缶からのヘリウムガスの微小漏れを短時間で検出可能のように思われる。しかし、実際は真空のチャンバ内に収容したドラム缶に高圧の、特に大気圧以上のヘリウムガスを封入すると、ドラム缶の天板及び地板が膨出変形し、ひいては下側及び上側チャイムの巻き締めが解かれ、或いは下側及び上側チャイムの溶接部が破断したりすることにより、下側及び上側チャイムからヘリウムガスが漏れるおそれがある。従って、ドラム缶の微小漏れ（滲み漏れ）レベルの気密検査を高精度に行うことができない。
【０００７】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、高精度な気密検査を行うことができる密閉型ドラム缶の気密検査方法及びそれに用いる気密検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明の密閉型ドラム缶の気密検査方法は、密閉型のドラム缶を気密なチャンバ内に収容し、該ドラム缶の気密性を検査する方法であって、ドラム缶は、円筒状をなした胴体と、胴体の下端開口を下側チャイムの形成により閉塞する地板と、胴体の上端開口を上側チャイムの形成により閉塞する天板とを備え、ドラム缶内及びチャンバ内を同時に排気して真空引きする真空引き工程と、真空引き工程後に、地板及び天板を押圧保持する押圧工程と、押圧工程後に、ドラム缶内にヘリウムガスを大気圧以上になるまで封入する高圧封入工程と、高圧封入工程後に、ドラム缶からチャンバ内へのヘリウムガスの漏れの有無を検査する微小漏れ検査工程とを含むことを特徴とする。
【０００９】
好ましくは、気密検査方法は、真空引き工程後であって押圧工程前に、ドラム缶内にヘリウムガスを大気圧未満となる第１設定圧力まで封入する小圧封入工程と、小圧封入工程後であって押圧工程前に、ドラム缶からチャンバ内へのヘリウムガスの漏れの有無を検査する大漏れ検査工程とを更に含む。
好ましくは、気密検査方法は、押圧工程後であって高圧封入工程前に、ドラム缶内にヘリウムガスを第１設定圧力以上で且つ大気圧未満となる第２設定圧力になるまで封入する中圧封入工程と、中圧封入工程後であって高圧封入工程に、ドラム缶からチャンバ内へのヘリウムガスの漏れの有無を検査する中漏れ検査工程とを更に含む。
【００１０】
好ましくは、押圧工程では、チャンバ内において地板及び天板を押圧保持し、小圧封入工程後におけるドラム缶の天板及び地板の膨出変形を抑制することにより、下側及び上側チャイムの形状を保持し、膨出変形に起因した下側及び上側チャイムからのヘリウムガスの漏洩を防止する。
一方、本発明の密閉型ドラム缶の気密検査装置は、密閉型のドラム缶の気密性を検査する装置であって、ドラム缶は、円筒状をなした胴体と、胴体の下端開口を下側チャイムの形成により閉塞する地板と、胴体の上端開口を上側チャイムの形成により閉塞する天板とを備え、ドラム缶を気密に収容するチャンバと、ドラム缶内及びチャンバ内を同時に排気して真空引きする真空引きポンプと、チャンバ内において地板及び天板を押圧保持する押圧機構と、ドラム缶内にヘリウムガスを大気圧以上になるまで封入可能なヘリウムガス供給ユニットと、チャンバ内のドラム缶外に設けられ、ドラム缶からチャンバ内へのヘリウムガスの漏れ量を測定するヘリウムリークディテクタと、ヘリウムリークディテクタで測定されたヘリウムガスの漏れ量に基づいて、ドラム缶からチャンバ内へのヘリウムガスの漏れの有無を検査する制御ユニットとを備えることを特徴とする。
【００１１】
好ましくは、押圧機構は、チャンバ内において地板及び天板を押圧保持する際、地板及び天板の少なくとも何れか一方に当接してチャンバ内に押圧部を形成する弾性体を備え、弾性体は、地板及び天板の少なくとも何れか一方の近傍から漏洩し、押圧部に滞留するヘリウムガスをチャンバ内に逃がして拡散させる逃がし部を有する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の密閉型ドラム缶の気密検査方法及びそれに用いる気密検査装置によれば、ドラム缶内及びチャンバ内を同時に排気して真空引きした後に、チャンバ内において地板及び天板を押圧保持することにより、ドラム缶の天板及び地板の膨出変形を抑制することができるため、ドラム缶の気密検査において下側及び上側チャイムの形状を保持することができる。従って、ドラム缶内に大気圧以上のヘリウムガスを封入しても、上記膨出変形に起因した下側及び上側チャイムからのヘリウムガスの漏洩を防止することができ、ドラム缶の微小漏れ（滲み漏れ）レベルの気密検査を高精度に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態に係る密閉型ドラム缶の気密検査装置を示す図である。
【図２】図１の下側及び上側チャイムの詳細を示す縦断面図である。
【図３】図１の下側及び上側チャイムの別の例を示す縦断面図である。
【図４】図２の下側及び上側チャイムに溶接部を形成した例を示す縦断面図である。
【図５】図３の下側及び上側チャイムに溶接部を形成した例を示す縦断面図である。
【図６】図１の気密検査装置においてドラム缶が押圧機構により押圧された状態を示す図である。
【図７】図６の上側パッドの上面図である。
【図８】図１の制御ユニットが実行するドラム缶の気密検査の手順を説明したフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面に基づき本発明の一実施形態について説明する。
図１は密閉型ドラム缶２とその気密検査装置４を示す。ドラム缶２は、円筒状をなした中空の胴体６と、この胴体６の下端開口を閉塞する円形の地板８と、上端開口を閉塞する円形の天板１０とを備えている。
図２に示すように、胴体６の下端縁と地板８の外周縁とは、充填剤を介在させた状態で巻締機による巻締めにより、図２の場合には胴体６の下端縁と地板８の外周縁とにより５重巻の形態を形成して相互に結合され、下側チャイム１２が形成されている。また、胴体６の上端縁と天板１０の外周縁とも充填剤を介在させた状態で巻締機による巻締めにより相互に結合され、下側チャイム１２と同様の上側チャイム１４が形成されている。
【００１５】
また、図３に示すように、胴体６の下端縁と地板８の外周縁とにより７重巻の形態を形成して巻き締めし、下側及び上側チャイム１２、１４を形成することもある。
一方、図４に示すように、図２に示す５重巻の巻き締め形態を形成した後に下側及び上側チャイム１２、１４と胴体６の外周面とを溶接して接合することにより溶接部１５を形成しても良い。
また、図５に示すように、図３に示す７重巻の巻き締め形態を形成した後に溶接部１５を形成することもある。
【００１６】
装置４は、チャンバ１６、ドラム缶用ポンプ（真空引きポンプ）１８、チャンバ用ポンプ（真空引きポンプ）２０、押圧機構２２、ヘリウムガス供給ユニット２４、ヘリウムリークディテクタ２６、制御ユニット２８から概略構成されている。
チャンバ１６は、ドラム缶２を気密に収容するための収容庫であり、上壁１６ａ、側壁１６ｂ、底壁１６ｃ、及び扉１６ｄを有している。扉１６ｄを開閉することにより、チャンバ１６内にドラム缶２を出し入れすることができる。
【００１７】
チャンバ１６の側壁１６ｂには、チャンバ接続ポート３０とドラム缶接続ポート３２とが設けられている。チャンバ接続ポート３０には、チャンバ１６内とチャンバ用ポンプ２０とを接続する配管が気密に挿通され、これよりチャンバ排気ライン３４が形成される。
一方、ドラム缶接続ポート３２には、ドラム缶２とドラム缶用ポンプ１８とを接続する配管が気密に挿通され、これよりドラム缶排気ライン３６が形成される。また、ドラム缶接続ポート３２には、ドラム缶２とヘリウムガス供給ユニット２４とを接続する配管が気密に挿通され、これよりヘリウムガス供給ライン３８が形成される。
【００１８】
ドラム缶排気ライン３６及びヘリウムガス供給ライン３８を構成するチャンバ１６内の配管は、いわゆるフレキシブル配管であり、チャンバ１６内でのドラム缶２の若干の上下移動を許容する長さ及び柔軟性を有している。
ドラム缶排気ライン３６及びヘリウムガス供給ライン３８のチャンバ１６内における配管の末端は、連結器４０に気密に接続され、連結器４０はドラム缶２の天板１０に設けられた注入口金４２に気密に嵌合されている。
【００１９】
ドラム缶用ポンプ１８は、真空引き可能な排気ポンプであって、ドラム缶用ポンプ１８を作動させることにより、ドラム缶排気ライン３６を介してドラム缶２内を排気することができ、また、ドラム缶２内を真空引きして中真空以下まで減圧することができる。チャンバ用ポンプ２０もドラム缶用ポンプ１８と同様の真空引き可能な排気ポンプであり、チャンバ用ポンプ２０を作動させることにより、チャンバ排気ライン３４を介してチャンバ１６内を排気することができ、また、ドラム缶２内を真空引きして中真空以下まで減圧することができる。
【００２０】
押圧機構２２は、機構本体４４、台座４６、及び複数のロッド４８から概略構成された昇降機である。機構本体４４は、チャンバ１６の下方に設けられ、機構本体４４の内部には何れも図示しないクランク機構や、モータなどの駆動部が配置されている。
一方、台座４６はチャンバ１６内に位置付けられている。機構本体４４と台座４６とは上下方向に延びる各ロッド４８によりチャンバ１６の底壁１６ｃを隔てて連結されている。各ロッド４８はチャンバ１６内の気密性を保持しながら上下移動可能に底壁１６ｃに挿通されている。
【００２１】
押圧機構２２は、更に下側パッド５０及び上側パッド５２を備えている。下側パッド５０は、樹脂等の弾性体から形成され、台座４６の上面に固定されている。ドラム缶２は下側パッド５０を介して台座に載置される。下側パッド５０は地板８よりも小さな外形寸法を有する略円柱形状（真円柱形状を含む）をなし、下側パッド５０の外周縁が下側チャイム１２に接触しないように配置されている。
一方、上側パッド５２は、下側パッド５０と同様の材質から形成され、ドラム缶２の天板１０に載置されている。上側パッド５２は天板１０よりも小さな外形寸法を有する略円柱形状（真円柱形状を含む）をなし、上側パッド５２の外周縁が上側チャイム１４に接触しないように配置されている。
【００２２】
ヘリウムガス供給ユニット２４は、ヘリウムガス供給ライン３８介してドラム缶２内に大気圧以上になるまでヘリウムガスを段階的に供給することができるように構成されている。
ヘリウムリークディテクタ２６は、チャンバ１６内のドラム缶２外に設けられ、ドラム缶２からチャンバ１６内へのヘリウムガスの漏れ量を高精度に測定できるように構成されている。
【００２３】
制御ユニット２８には、ドラム缶用ポンプ１８、チャンバ用ポンプ２０、押圧機構２２、ヘリウムガス供給ユニット２４の各駆動部、及びヘリウムリークディテクタ２６の信号出力部が電気的に接続されている。制御ユニット２８からの指令により、押圧機構２２が作動されると、各ロッド４８はチャンバ１６内の気密性を保持しながら上下移動可能であり、これに伴い台座４６、ひいてはドラム缶２も上下移動可能である。
【００２４】
詳しくは図３に示すように、押圧機構２２の作動によりドラム缶２が図１の状態から上方向に移動されると、台座４６が底壁１６ｃから離間するとともに、上側パッド５２がチャンバ１６の上壁１６ａに当接し、押圧されて、上側パッド５２による押圧部５３が形成される。この際、上側パッド５２は自身の弾性力によってドラム缶２の天板１０をチャンバ１６内において図３の矢印で示すＡ方向、すなわち下方向に押圧する。一方、下側パッド５０は台座４６に押し上げられてドラム缶２の地板８をチャンバ１６内において図３の矢印で示すＢ方向、すなわち上方向に押圧している。
【００２５】
下側パッド５０によって地板８に作用する押圧力、及び上側パッド５２によって天板１０に作用する押圧力は、これらの押圧力によって地板８及び天板１０が変形しない程度の所定の大きさに予め設定されている。
図４に示すように、上側パッド５２の上面５２ａには、上側パッド５２の略円柱形状（真円柱形状を含む）の高さ方向に貫通したガス抜き孔５４が上面５２ａの略同心円となる位置に４つ開口されている。
【００２６】
各ガス抜き孔５４の周囲には、それぞれ有底のザグリ穴５６が加工されている。また、上面５２ａの中央には有底穴５８が加工されている。更に、上側パッド５２には、その外周縁を上側パッド５２の高さ方向全域に亘って内方に切り欠いた切り欠き６０が加工されている。切り欠き６０は、上側パッド５２を天板１０に載置したとき、上側パッド５２が注入口金４２、及び注入口金４２に嵌合された連結器４０に干渉せず、ひいては連結器４０に接続されたドラム缶排気ライン３６及びヘリウムガス供給ライン３８に干渉しない位置に形成されている。
【００２７】
また、上面５２ａには、各ザグリ穴５６及び切り欠き６０を環状に連通する環状溝６２が加工されている。また、上面５２ａには、切り欠き６０から有底穴５８、環状溝６２を経て上側パッド５２の外周縁に開口する直線溝６４が加工されている。
図３に示すように、上側パッド５２によって天板１０を押圧中に、ドラム缶２内に封入されたヘリウムガスが天板１０近傍から漏れた場合、押圧部５３に形成された上側パッド５２の上面５２ａと上壁１６ａとの隙間に、ヘリウムガスが溜まる可能性がある。チャンバ１６内の限られた領域にヘリウムガスが滞留すると、ヘリウムリークディテクタ２６によるヘリウムガスの検出を高精度に行えない。
【００２８】
しかし、上述した加工を上側パッド５２の上面５２ａに施すことにより、上面５２ａと上壁１６ａとの隙間に滞留したヘリウムガスを各ガス抜き孔５４、各ザグリ穴５６、環状溝６２、有底穴５８及び直線溝６４を順に経て上記隙間から逃がし、チャンバ１６内に拡散させることができる。すなわち、上記各ガス抜き孔５４、各ザグリ穴５６、環状溝６２、有底穴５８及び直線溝６４を押圧部５３に滞留するヘリウムガスをチャンバ１６内に逃がして拡散させる逃がし部６６として機能させることができる。
【００２９】
したがって、ヘリウムリークディテクタ２６によるヘリウムガス検出精度を高精度に保持することができるとともに、装置４の信頼性を高めることができる。なお、図示しないが、下側パッド５０にも上側パッド５２と同様の加工を施し、下側パッド５０の押圧に伴い発生する押圧部に滞留するヘリウムガスをチャンバ１６内に逃がして拡散させる逃がし部を形成しても良い。
【００３０】
以下、図５を参照して、制御ユニット２８からの指令により実行するドラム缶２の気密検査について説明する。制御ユニット２８には各種パターンの試験モードのプログラムが格納可能であり、本実施形態ではその一例を説明する。
図５に示す試験モードの各ステップを実行する前に、制御ユニット２８は装置４を起動するための立上モード、ヘリウムリークディテクタ２６の精度を確保するための校正モードを順次実行する。
【００３１】
次に、チャンバ１６の扉１６ｄを開けて検査対象のドラム缶２をチャンバ１６内にセットした状態で上記試験モードに移行し、ドラム缶２の気密検査が開始される。
制御ユニット２８は、先ずドラム缶用ポンプ１８及びチャンバ用ポンプ２０を作動し、ドラム缶２内及びチャンバ１６内を同時に排気して真空引きしする真空引き工程を行う＜ステップＳ１＞。ステップＳ１では、ドラム缶２内及びチャンバ１６内を双方とも中真空以下（０．１Ｐａ〜１００Ｐａ）に減圧して保持する。なお、ステップＳ１の所要時間は３００秒未満である。
【００３２】
次に、制御ユニット２８はヘリウムガス供給ユニット２４を作動し、ドラム缶２内にヘリウムガスを大気圧未満となる第１設定圧力まで封入する小圧封入工程を行う＜ステップＳ２＞。ステップＳ２において、ヘリウムガス供給ユニット２４はドラム缶２内に第１設定圧力（０．１ｋＰａ〜２０ｋＰａ）になるまでヘリウムガスを封入した後、ヘリウムガスの封入を中止して保持する。なお、チャンバ１６内は中真空以下に保持されている。
【００３３】
次に、制御ユニット２８はヘリウムリークディテクタ２６の出力信号を読み込み、ドラム缶２からチャンバ１６内へのヘリウムガスの漏れの有無を検査する大漏れ検査工程を行う＜ステップＳ３＞。ステップＳ３においてヘリウムガス漏れ有り（ＹＥＳ）と判定された場合には、制御ユニット２８の表示パネル等に大漏れ検査不合格である旨表示し、後述するステップＳ９の排気工程に移行した後に気密検査を終了する。なお、ステップＳ２及びステップＳ３の合計所要時間は６０秒未満である。
【００３４】
一方、ステップＳ３においてヘリウムガス漏れ無し（ＮＯ）と判定された場合には、制御ユニット２８は、押圧機構２２を作動することによりドラム缶２を図１の状態から図３の状態まで上方向に移動し、下側パッド５０により地板８を押圧するとともに上側パッド５２により天板１０を押圧して保持する＜ステップＳ４＞。
次に、制御ユニット２８はヘリウムガス供給ユニット２４を作動し、ドラム缶２内にヘリウムガスを第１設定圧力以上で且つ大気圧未満となる第２設定圧力になるまで封入する中圧封入工程を行う＜ステップＳ５＞。ステップＳ５において、ヘリウムガス供給ユニット２４はドラム缶２内に第２設定圧力（２０ｋＰａ〜１００ｋＰａ）になるまでヘリウムガスを封入した後、ヘリウムガスの封入を中止して保持する。なお、チャンバ１６内は中真空以下に保持されている。
【００３５】
次に、制御ユニット２８はヘリウムリークディテクタ２６の出力信号を読み込み、ドラム缶２からチャンバ１６内へのヘリウムガスの漏れの有無を検査する中漏れ検査工程を行う＜ステップＳ６＞。ステップＳ６においてヘリウムガス漏れ有り（ＹＥＳ）と判定された場合には、制御ユニット２８の表示パネル等に中漏れ検査不合格である旨表示し、後述するステップＳ９の排気工程に移行した後に気密検査を終了する。なお、ステップＳ４、ステップＳ５、及びステップＳ６の合計所要時間は６０秒未満である。
【００３６】
一方、ステップＳ６においてヘリウムガス漏れ無し（ＮＯ）と判定された場合には、制御ユニット２８はヘリウムガス供給ユニット２４を作動し、ドラム缶２内にヘリウムガスを第３設定圧力になるまで封入する高圧封入工程が行われる＜ステップＳ７＞。ステップＳ７において、ヘリウムガス供給ユニット２４はドラム缶２内に第３設定圧力(１００ｋＰａ(大気圧)以上）になるまでヘリウムガスを封入した後、ヘリウムガスの封入を中止して保持する。なお、チャンバ１６内は中真空以下に保持されており、ステップＳ７の所要時間は６０秒未満である。
【００３７】
次に、制御ユニット２８はヘリウムリークディテクタ２６の出力信号を読み込み、ドラム缶２からチャンバ１６内へのヘリウムガスの漏れの有無を検査する微小漏れ検査工程を行う＜ステップＳ８＞。ステップＳ８においてヘリウムガス漏れ有り（ＹＥＳ）と判定された場合には、制御ユニット２８の表示パネル等に微小漏れ検査不合格である旨表示し、後述するステップＳ９の排気工程に移行した後に気密検査を終了する。
【００３８】
一方、ステップＳ８においてヘリウムガス漏れ無し（ＮＯ）と判定された場合には、制御ユニット２８の表示パネル等に微小漏れ検査合格である旨表示する。なお、ステップＳ８の所要時間は、気密検査したい漏れレベルに応じて設定可能である。
次に、制御ユニット２８はドラム缶用ポンプ１８を作動し、ドラム缶２内のヘリウムガスをチャンバ１６の外部に排気する排気工程を行う＜ステップＳ９＞。ステップＳ９では、チャンバ用ポンプ２０を作動することにより、チャンバ１６内の中真空状態を解除するとともに、チャンバ１６内の排気が行われる。また、前述したように、ステップＳ３及びステップＳ６の判定でヘリウムガス漏れ有りとなって不合格とされた場合にもステップＳ９の工程を行う。そして、ステップＳ９を実行した後、気密検査を終了する。
【００３９】
以上のように本実施形態では、真空引き工程（ステップＳ１）を経た後に、押圧工程（ステップＳ４）によりドラム缶２の天板１０及び地板８の膨出変形を抑制することができるため、ドラム缶２の気密検査において下側及び上側チャイム１２、１４の巻き締めが解かれたり、或いは下側及び上側チャイム１２、１４の溶接部が破断したりするのを防止し、下側及び上側チャイム１２、１４の形状を保持することができる。従って、高圧封入工程（ステップＳ７）及び微小漏れ検査工程（ステップＳ８）の過程においてドラム缶２内に大気圧以上のヘリウムガスを封入しても、上記膨出変形に起因した下側及び上側チャイム１２、１４からのヘリウムガスの漏洩を防止することができる。また、ドラム缶２の微小漏れ（滲み漏れ）レベルの気密検査を高精度に行うことができる。
【００４０】
また、真空引き工程（ステップＳ１）後であって押圧工程（ステップＳ４）前に、大気圧未満の第１設定圧力となるようにヘリウムガスをドラム缶２内に封入する小圧封入工程（ステップＳ２）を行うことにより、大漏れ検査工程（ステップＳ３）において、小圧にも拘わらずドラム缶２からヘリウムガスが大量に漏れる、ドラム缶２のいわゆる大漏れ状態を微小漏れ検査工程（ステップＳ８）前に検知することができる。従って、大漏れ検査工程（ステップＳ３）で不合格となった場合、大漏れ検査工程（ステップＳ３）以降の不要なステップを行うことなく気密検査を終了し、当該ドラム缶２を気密検査のラインから排除することができるため、気密検査の検査効率を大幅に向上することができる。
【００４１】
また、押圧工程（ステップＳ４）後であって高圧封入工程（ステップＳ７）前に、第１設定圧力以上で且つ大気圧未満の第２設定圧力となるようにヘリウムガスをドラム缶２内に封入する中圧封入工程（ステップＳ５）を行うことにより、中漏れ検査工程（ステップＳ６）において、ドラム缶２から中圧のヘリウムガスが漏れる、ドラム缶２のいわゆる中漏れ状態を微小漏れ検査工程（ステップＳ８）前に検知することができる。従って、中漏れ検査工程（ステップＳ６）で不合格となった場合、中漏れ検査工程（ステップＳ６）以降の不要なステップを行うことなく気密検査を終了し、当該ドラム缶２を気密検査のラインから排除することができるため、気密検査の検査効率を大幅に向上することができる。
【００４２】
しかも、中圧封入工程（ステップＳ５）は小圧封入工程（ステップＳ２）と異なり押圧工程（ステップＳ４）後に行うため、第２設定圧力を大気圧未満といえども大気圧に近い比較的高圧に設定することもできる。従って、幅広い設定圧力でのドラム缶２の気密検査を段階的に行うことができる。
更には、微小漏れ検査工程（ステップＳ８）前に、大漏れ検査工程（ステップＳ３）、ひいては中漏れ検査工程（ステップＳ６）を事前に行う３段階の気密検査工程を行うことにより、ドラム缶２の漏れレベルを段階的に検査することができるため、ドラム缶２の漏れ原因の詳細を特定するのに好適である。
【００４３】
本発明は上記実施形態に制約されるものではなく、種々の変形が可能である。
具体的には、上記実施形態では３段階のドラム缶２の気密検査を行うが、これに限らず、必要に応じ４段階以上の気密検査を行うようにしても良い。この場合には、より一層幅広い設定圧力でのドラム缶２の気密検査を段階的に行うことができるため、より正確にドラム缶２の漏れレベルや漏れ原因を把握することができる。
【００４４】
また、真空引き工程（ステップＳ１）、押圧工程（ステップＳ４）、高圧封入工程（ステップＳ７）及び微小漏れ検査工程（ステップＳ８）のみを行う１段階の気密検査でも良い。この場合であっても、ドラム缶２の変形を抑制しながら、高精度な気密検査を行うことができる。
また、上記実施形態では押圧機構２２はチャンバ１６内のドラム缶２を上方向に移動して天板１０及び地板８を押圧するための昇降機として具現化されている。しかし、これに限らず、チャンバ１６内のドラム缶２を下方向に移動して天板１０及び地板８を押圧するようにしても良い。
【００４５】
また、天板１０及び地板８の膨出変形を抑制し、下側及び上側チャイム１２、１４の巻き締めが解かれたり、或いは下側及び上側チャイム１２、１４の溶接部が破断したりするのを防止することができるのであれば、昇降機に限らず種々の押圧機構が想定可能であることは勿論である。また、押圧機構によって天板１０及び地板８に作用させる押圧力を異なる段階の気密検査毎に変えるようにしても良い。この場合には、より効果的に天板１０及び地板８の膨出変形を抑制することができる。
【符号の説明】
【００４６】
２    密閉型ドラム缶
４    気密検査装置
６    胴体
８    地板
１０    天板
１２    下側チャイム
１４    上側チャイム
１６    チャンバ
１８    ドラム缶用ポンプ（真空引きポンプ）
２０    チャンバ用ポンプ（真空引きポンプ）
２２    押圧機構
２４    ヘリウムガス供給ユニット
２６    ヘリウムリークディテクタ
２８    制御ユニット
５０    下側パッド（弾性体）
５２    上側パッド（弾性体）
５３    押圧部
６６    逃がし部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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