(57)【要約】【課題】粗研削と仕上げ研削とを行う際に研削ホイールと板状ワークとの位置関係を大きく変更する必要のない研削装置を提供する。【解決手段】研削装置１は、第１の基台１６０に第１の砥石１６１が環状に配設された第１の研削ホイール１６と、第１の砥石１６１の内径よりも小さい外径の第２の基台１７０に第２の砥石１７１が環状に配設された第２の研削ホイール１７とが同心円状にマウント１４を介してスピンドル１１に装着された研削手段１０を備え、マウント１４は第１の装着部１４０と第２の装着部１４１とをチャックテーブル４に対し接近及び離間する方向に移動させる移動機構１４とを備えるため、粗研削と仕上げ研削とを行う際にチャックテーブル４のＹ軸方向における移動距離を小さくでき、各研削ホイールと板状ワークＷとの位置関係を大きく変更する必要がなくなる。よって、研削装置が大型化するのを防止できる。【選択図】図１
2016087748.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状ワークを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルが保持する板状ワークを研削する砥石が環状に配設された第１の研削ホイールと第２の研削ホイールとが同心円状にマウントに装着されて構成される研削手段と、を備える研削装置であって、
該第１の研削ホイールは、環状の第１の基台と、該第１の基台に環状に配設される第１の砥石とを備え、
該第２の研削ホイールは、該第１の砥石の内径より小さい外径を有する第２の基台と、該第２の基台に環状に配設される該第２の砥石とを備え、
該マウントは、該第１の基台を装着する第１の装着部と、該第２の基台を装着する該第２の装着部と、該第１の装着部と該第２の装着部とを相対的に該チャックテーブルに対して接近及び離間する方向に移動させる移動機構と、を備え、
該移動機構によって該第１の装着部または該第２の装着部を移動させることにより、該第２の砥石より該第１の砥石を突出させて位置決めする第１の位置決め部と、該第１の砥石より該第２の砥石を突出させて位置決めする第２の位置決め部と、該移動機構の進行方向を切り換える切換え制御部と、を備える研削装置。
【請求項２】
前記移動機構は、流体の供給によって該チャックテーブルに対して接近及び離間する方向に移動するピストンと、該ピストンを囲繞し該ピストンの移動を案内するシリンダと、を備え、該シリンダには、該シリンダに流体を供給する第１の供給口と第２の供給口とが配設されており、
該切換え制御部は、該流体の供給先を該第１の供給口又は該第２の供給口に切り換えて該ピストンの進行方向を切り換える切換えバルブを備える請求項１記載の研削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状ワークを所望の厚みに研削する研削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
板状ワークに対して研削を行う研削装置は、板状ワークを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された板状ワークに対して砥石で研削加工を行う研削手段とを少なくとも備えている。研削手段は、環状に砥石が配設された研削ホイールをスピンドルの一端に装着させた構成となっており、スピンドルが回転することにより、研削ホイールを回転させながら砥石を板状ワークに接触させて板状ワークを所望の厚みに研削することができる。
【０００３】
ここで、研削装置としては、板状ワークを粗研削する粗研削手段と、粗研削された板状ワークを仕上げ研削する仕上げ研削手段とを備えるタイプのものがある。このような研削装置においては、研削手段が２つ必要であることから装置が大型化してしまう。そのため、１つのスピンドルに粗研削ホイールと仕上げ研削ホイールとを装着して粗研削と仕上げ研削とを可能にする研削装置が提案されている（例えば、下記の特許文献１を参照）。この研削装置では、粗研削ホイールと粗研削ホイールよりも大径の仕上げ研削ホイールとを同心円状にマウントに配設することで二重の研削ホイールを構成しているため、粗研削ホイールと仕上げ研削ホイールとが並列に配設された研削装置と比較して、装置が大型化するのを防止している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−０４２９５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記した二重の研削ホイールでは、粗研削ホイールと仕上げ研削ホイールとの直径が大きく異なり、粗研削を実施する場合と仕上げ研削を実施する場合とで、各研削ホイールと板状ワークとの位置関係を大きく変更する必要がある。すなわち、チャックテーブルを粗研削ホイールの下方に移動させ、板状ワークの中心を粗研削ホイールの外周に位置づけ粗研削を実施した後、仕上げ研削を実施するときには、仕上げ研削時に粗研削ホイールが板状ワークに接触しないようにチャックテーブルを大きく移動させて板状ワークの中心を仕上げ研削ホイールの外周に位置づける必要がある。
【０００６】
本発明は、上記の事情にかんがみてなされたもので、粗研削と仕上げ研削とをそれぞれ行う際に、研削ホイールと板状ワークとの位置関係を大きく変更することを不要とすることに発明の解決すべき課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、板状ワークを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルが保持する板状ワークを研削する砥石が環状に配設された第１の研削ホイールと第２の研削ホイールとが同心円状にマウントに装着されて構成される研削手段と、を備える研削装置であって、第１の研削ホイールは、環状の第１の基台と、第１の基台に環状に配設される第１の砥石とを備え、第２の研削ホイールは、第１の砥石の内径より小さい外径を有する第２の基台と、第２の基台に環状に配設される第２の砥石とを備え、マウントは、第１の基台を装着する第１の装着部と、第２の基台を装着する第２の装着部と、第１の装着部と第２の装着部とを相対的にチャックテーブルに対して接近及び離間する方向に移動させる移動機構と、を備え、移動機構によって第１の装着部または第２の装着部を移動させることにより、第２の砥石より第１の砥石を突出させて位置決めする第１の位置決め部と、第１の砥石より第２の砥石を突出させて位置決めする第２の位置決め部と、移動機構の進行方向を切り換える切換え制御部と、を備える。
【０００８】
前記移動機構は、流体の供給によって該チャックテーブルに対して接近及び離間する方向に移動するピストンと、ピストンを囲繞しピストンの移動を案内するシリンダと、を備え、シリンダには、シリンダに流体を供給する第１の供給口と第２の供給口とが配設されており、切換え制御部は、流体の供給先を第１の供給口又は第２の供給口に切り換えてピストンの進行方向を切り換える切換えバルブを備える。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る研削装置は、第１の基台に第１の砥石が環状に配設された第１の研削ホイールと、第１の砥石の内径よりも小さい外径の第２の基台に第２の砥石が環状に配設された第２の研削ホイールとを同心円状にマウントに装着した研削手段を備えるため、同一軸を回転軸として異なる研削ホイールによる研削加工を実施することが可能となる上、装置が大型化するのを防止できる。
また、研削装置には、第２の砥石より第１の砥石を突出させて位置決めする第１の位置決め部と、第１の砥石より第２の砥石を突出させて位置決めする第２の位置決め部と、マウントに備える移動機構の移動方向を切り換える切換え制御部とを備えるため、加工条件に応じて、切換え制御部が移動機構の移動方向を切り換えることにより、第１の砥石または第２の砥石のいずれか一方を突出させて研削加工を行えることから、例えば粗研削と仕上げ研削とをそれぞれ行う際に、チャックテーブルの移動距離が少なくても板状ワークの中心を各研削ホイールの外周に位置づけることができ、各研削ホイールと板状ワークとの位置関係を大きく変更する必要がない。よって、チャックテーブルの移動距離が少なくなる分、装置構成をコンパクトにすることができる。
【００１０】
上記移動機構は、流体の供給によって上記チャックテーブルに対して接近及び離間する方向に移動するピストンと、該ピストンを囲繞し該ピストンの移動を案内するシリンダとを備え、上記切換え制御部は、該シリンダ内に流体を供給する第１の供給口と第２の供給口とを切換えて該ピストンの進行方向を切換える切換えバルブを備えるため、加工条件に応じて、該切換えバルブで第１の供給口と第２の供給口とを切換えて該シリンダ内に流体を供給しピストンを昇降させることにより、上記第１の砥石または上記第２の砥石のいずれか一方を突出させることができる。これにより、チャックテーブルの移動が少なくて済むため、各研削ホイールと板状ワークとの位置関係を大きく変更することなく、板状ワークに対して所望の研削加工を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】研削装置の一例の構成を示す斜視図である。
【図２】第１の研削ホイールを用いて板状ワークを粗研削する状態を示す断面図である。
【図３】板状ワークの中心を第１の砥石の外周に位置づけた状態を示す平面図である。
【図４】第２の研削ホイールを用いて板状ワークを仕上げ研削する状態を示す断面図である。
【図５】同心円状に配設された第１の研削ホイールと第２の研削ホイールとの半径の差だけチャックテーブルを移動させ、板状ワークの中心を第２の砥石の外周に位置づけた状態を示す平面図である。
【図６】研削手段の変形例の第１の研削ホイールを用いて板状ワークを粗研削する状態を示す断面図である。
【図７】研削手段の変形例の第２の研削ホイールを用いて板状ワークを仕上げ研削する状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１に示す研削装置１は、被加工物に対して粗研削と仕上げ研削とを行うことができる研削装置である。研削装置１は、Ｙ軸方向にのびる装置ベース２を有し、その上面２ａには、自転可能なチャックテーブル４がＹ軸方向に移動可能に配設されている。チャックテーブル４は、多孔質部材により構成される保持部５を備えており、保持部５の上面が被加工物を保持する保持面５ａとなっている。チャックテーブル４の周囲はカバー６によって覆われており、チャックテーブル４は、蛇腹７の伸縮をともなってＹ軸方向に移動することができる。
【００１３】
装置ベース２の上面２ａのＹ軸方向後部には、Ｚ軸方向にのびるコラム３が立設されており、コラム３の側方に被加工物に対して粗研削及び仕上げ研削を施す研削手段１０が昇降手段３０を介して配設されている。研削手段１０は、Ｚ軸方向の軸心を有するスピンドル１１と、スピンドル１１を回転可能に囲繞するスピンドルハウジング１２と、スピンドル１１の上端に接続されたモータ１３と、スピンドル１１の下端にマウント１４を介して同心円状に装着された第１の研削ホイール１６と第２の研削ホイール１７とを備えている。
【００１４】
昇降手段３０は、Ｚ軸方向にのびるボールネジ３１と、ボールネジ３１の一端に接続されたモータ３２と、ボールネジ３１と平行にのびる一対のガイドレール３３と、内部に備えたナットがボールネジ３１に螺合するとともに側部がガイドレール３３に摺接する昇降部３４とを備えている。昇降手段３０は、モータ３２によって駆動されてボールネジ３１が回動し、一対のガイドレール３３に沿って昇降部３４をＺ軸方向に移動させることにより、昇降部３４を昇降させる。昇降部３４にはホルダ３５が連結され、ホルダ３５は研削手段１０を保持しているため、昇降部３４の昇降により研削手段１０を昇降させることができる。
【００１５】
第１の研削ホイール１６は、環状の第１の基台１６０と、第１の基台１６０の下部において環状に配設された粗研削用の第１の砥石１６１とにより構成されている。一方、第２の研削ホイール１７は、第１の砥石１６１の内径よりも小さい外径を有する第２の基台１７０と、第２の基台１７０の下部において環状に配設された仕上げ研削用の第２の砥石１７１とにより構成されている。
【００１６】
マウント１４は、図２に示すように、第１の基台１６０を装着するための第１の装着部１４０と、第２の基台１７０を装着するための第２の装着部１４１と、第１の装着部１４０と第２の装着部１４１とを相対的にチャックテーブル４に対して接近及び離間する方向に移動させる移動機構１５と備えている。
【００１７】
移動機構１５は、第１の装着部１４０の下方に配設されており、チャックテーブル４に対して接近及び離間する方向に移動するピストン１５０と、ピストン１５０を囲繞しピストン１５０の上下方向の移動を案内するシリンダ１５１とを備えている。このピストン１５０には、第２の装着部１４１が接続されている。
【００１８】
第２の装着部１４１は、その外周縁に略直角に折り曲げられた当接部１４１ａが形成されており、該当接部１４１ａには、スピンドル１１の回転にともない回転可能な回転伝達部１４２が連接されている。回転伝達部１４２は、例えばピンによって構成されている。
【００１９】
第１の装着部１４０の下方側には、第２の装着部１４１及び第２の研削ホイール１７を収容できるスペースが形成されており、そのスペースの最外周部分に当接部１４１ａが上下方向に摺動できる溝１８が形成されている。
【００２０】
溝１８の一端（上端）には、第１の位置決め部１９が形成されており、当接部１４１ａが第１の位置決め部１９に当接することで第２の砥石１７１よりも第１の砥石１６１を下方に突出させて第１の研削ホイール１６を所望の位置に位置決めすることができる。一方、溝１８の他端（下端）には、第２の位置決め部２０が形成されており、当接部１４１ａが第２の位置決め部２０に当接することで第１の砥石１６１よりも第２の砥石１７１を下方に突出させて第２の研削ホイール１７を所望の位置に位置決めすることができる。
【００２１】
スピンドル１１及びマウント１４の内部には、エアー供給源２５とシリンダ１５１とを連通させる第１の流路２１と第２の流路２３とが形成されている。第１の流路２１の一端には、シリンダ１５１の側方側からエアーを供給する第１の供給口２２が形成されている。また、第２の流路２３の一端には、シリンダ１５１の上方側からエアーを供給する第２の供給口２４が形成されている。
【００２２】
第１の流路２１及び第２の流路２３とエアー供給源２５との間には、シリンダ１５１内におけるピストン１５０の進行方向を切り換える切換え制御部２６が配設されている。切換え制御部２６は、第１の供給口２２または第２の供給口２４のいずれか一方をエアーの供給先に切り換える切換えバルブ２６０と、回転するスピンドル１１の内部にエアーを供給するためのロータリージョイント２６１とを備えている。そして、切換え制御部２６の制御によって第１の供給口２２にエアーを供給すると、シリンダ１５１内でピストン１５０をチャックテーブル４に対して離間する方向に移動させることができる。また、切換え制御部２６の制御によって第２の供給口２４にエアーを供給すると、シリンダ１５１内でピストン１５０をチャックテーブル４に対して接近する方向に移動させることができる。
【００２３】
次に、研削装置１によって、図２に示す板状ワークＷに粗研削及び仕上げ研削を施す動作例について説明する。板状ワークＷは、被加工物の一例であって、特に材質等が限定されるものではない。
【００２４】
図２に示すように、第１の研削ホイール１６を用いて板状ワークＷに対して粗研削を施す。まず、図１に示したチャックテーブル４の保持面５ａに加工前の板状ワークＷを搬送し、図示しない吸引源を作動させて保持面５ａで板状ワークＷを吸引保持する。続いて図３に示すように、チャックテーブル４を例えば矢印Ａ方向に回転させながら、チャックテーブル４をＹ軸方向に移動させ、第１の研削ホイール１６を構成する第１の砥石１６１の軌道に板状ワークＷの中心Ｗｏを位置づける。
【００２５】
次いで、図２に示す切換え制御部２６による制御の下で、切換えバルブ２６０においてエアー供給源２５と第１の供給口２２とを連通させる。これにより、第１の流路２１にエアーが流入して第１の供給口２２からシリンダ１５１の内部にエアーを供給し、シリンダ１５１内に供給されたエアーによってピストン１５０をチャックテーブル４に対して離間する方向に移動させる。ピストン１５０の移動にともない、当接部１４１ａが第１の位置決め部１９に当接するまで第２の装着部１４１が上昇し、第２の砥石１７１よりも第１の砥石１６１を下方に突出させ、板状ワークＷに対して粗研削可能な位置に第１の研削ホイール１６を位置決めする。
【００２６】
その後、研削手段１０は、スピンドル１１を所定の回転速度で例えば矢印Ａ方向に回転させながら、図１に示した昇降手段３０によって研削手段１０を板状ワークＷに接近する方向に降下させ、図３に示すように、回転する第１の砥石１６１が常に板状ワークＷの中心Ｗｏを通過するようにして板状ワークＷを粗研削する。
【００２７】
粗研削を実施した後、図４に示すように、第２の研削ホイール１７を用いて、粗研削された板状ワークＷに対して仕上げ研削を施す。仕上げ研削を行う際は、図５に示すように、チャックテーブル４を例えば矢印Ａ方向に回転させながら、同心円状に配設された研削砥石１６１の軌道の外周の半径と研削砥石１７１の軌道の外周の半径との差Ｌだけチャックテーブル４をＹ軸方向に移動させ、第２の研削ホイール１７の第２の砥石１７１の軌道に板状ワークＷの中心Ｗｏを位置づける。
【００２８】
なお、図示の例では、チャックテーブル４をＹ軸方向に移動させて各研削ホイールの各砥石の外周に板状ワークＷの中心を位置づけたが、研削手段１０自体をＹ軸方向に移動させて各研削ホイールの各砥石の軌道に板状ワークＷの中心を位置づけるようにしてもよい。すなわち、チャックテーブル４と研削手段１０とをＹ軸方向に相対移動させればよい。
【００２９】
仕上げ研削の詳細については、まず、図４に示す切換え制御部２６によって切換えバルブ２６０を動作させてエアー供給源２５と第２の供給口２４とを連通させる。これにより、第２の流路２３にエアーが流入して第２の供給口２４からシリンダ１５１の内部にエアーを供給し、シリンダ１５１内に供給されたエアーによってピストン１５０をチャックテーブル４に対して接近する方向に移動させる。ピストン１５０の移動にともない、第２の装着部１４１を下降させて第２の装着部１４１の当接部１４１ａが第２の位置決め部２０に当接することにより、第１の砥石１６１よりも第２の砥石１７１を下方に突出させ、板状ワークＷに対して仕上げ研削可能な位置に第２の研削ホイール１７を位置決めする。
【００３０】
次いで、研削手段１０は、スピンドル１１を所定の回転速度で例えば矢印Ａ方向に回転させることにより、回転伝達部１４２を通じて第２の研削ホイール１７を回転させる。続いて、図１に示した昇降手段３０によって研削手段１０を板状ワークＷに接近するＺ軸方向に下降させ、図５に示すように、回転する第２の砥石１７１の軌道が常に板状ワークＷの中心Ｗｏを通過するようにして板状ワークＷを仕上げ研削する。そして、板状ワークＷが所望の厚みに仕上がった時点で、研削手段１０を上昇させて仕上げ研削を終了する。
【００３１】
このように、研削装置１に備える研削手段１０が、第１の基台１６０に第１の砥石１６１が環状に配設された第１の研削ホイール１６と、第１の砥石１６１の内径よりも小さい外径を有する第２の基台１７０に第２の砥石１７１が環状に配設された第２の研削ホイール１７とを同心円状にマウント１４を介して１つのスピンドル１１に装着して構成されるため、装置構成を大型化することなく、板状ワークＷに対して粗研削と仕上げ研削とを効率よく実施することができる。
また、研削装置１では、粗研削時には、切換え制御部２６によって第１の供給口２２にエアーを供給してピストン１５０とともに第２の装着部１４１を上昇させて第２の砥石１７１よりも第１の砥石１６１を突出させることができる一方で、仕上げ研削時には、切換え制御部２６によって第２の供給口２４にエアーを供給してピストン１５０とともに第２の装着部１４１を降下させて第１の砥石１６１よりも第２の砥石１７１を突出させることができる。そのため、チャックテーブル４のＹ軸方向の移動距離が少なくても各研削ホイールの各砥石の外周に板状ワークＷの中心Ｗｏを位置づけることができ、チャックテーブル４の移動距離が少なくなる分、装置構成をコンパクトにすることが可能となる。
【００３２】
図６に示す研削手段１０ａは、被加工物に対して粗研削及び仕上げ研削を施す研削手段の変形例であって、第１の研削ホイール１６が上下方向に可動する構成となっている。具体的には、研削手段１０ａは、スピンドル１１の下端に第１の研削ホイール１６及び第２の研削ホイール１７を支持するマウント４０を備えている。マウント４０は、第１の基台１６０が装着される第１の装着部４００と、第２の基台１７０が装着される第２の装着部４０１と、第１の装着部４００と第２の装着部４０１とを相対的にチャックテーブル４に対して接近及び離間する方向に移動させる移動機構４１と備えている。
【００３３】
第２の装着部４０１の上部には、第１の位置決め部４３が形成されており、第１の装着部４００の下面４００ａが第１の位置決め部４３に接触することにより、第２の砥石１７１よりも第１の砥石１６１を下方に突出させて位置決めすることが可能となっている。一方、スピンドル１１の下端には、第２の位置決め部４４が形成されており、第１の装着部４００の上面４００ｂが第２の位置決め部４４に接触することにより、第１の砥石１６１よりも第２の砥石１７１を突出させて位置決めすることが可能となっている。
【００３４】
移動機構４１は、第２の装着部４０１の内部に配設されており、エアー供給源２５ａから送られるエアーによってチャックテーブル４に対して接近及び離間する方向に移動するピストン４１０と、ピストン４１０を囲繞しピストン４１０の上下方向の移動を案内するシリンダ４１１とを備えている。ピストン４１０には、スピンドル１１の回転にともなって回転可能であるとともに第１の装着部４００を支持する回転伝達部４２が連結されている。シリンダ４１１内でピストン４１０が上下方向に移動することにより、回転伝達部４２が第２の装着部４０１に形成された貫通孔４０２を貫通して第１の研削ホイール１６を昇降させることができる。
【００３５】
スピンドル１１及びマウント４０の内部には、エアー供給源２５ａとシリンダ４１１とを連通させる第１の流路２１ａと第２の流路２３ａとが形成されている。第１の流路２１ａの一端には、シリンダ４１１の下方側からエアーを供給する第１の供給口２２ａが形成されている。また、第２の流路２３ａの一端には、シリンダ４１１の上方側からエアーを供給する第２の供給口２４ａが形成されている。第１の流路２１ａ及び第２の流路２３ａとエアー供給源２５ａとの間には、研削手段１０と同様に、シリンダ４１１内でピストン４１０の進行方向を切り換える切換え制御部２６ａが配設されている。
【００３６】
第１の研削ホイール１６を用いて板状ワークＷに対して粗研削を行う際には、図６に示すように、切換え制御部２６ａが切換えバルブ２６０を動作させてエアー供給源２５ａと第２の供給口２４ａとを連通させる。これにより、第２の流路２３ａにエアーが流入して第２の供給口２４ａからシリンダ４１１の内部にエアーを供給し、シリンダ４１１内に供給されたエアーによってピストン４１０をチャックテーブル４に対して接近する方向に移動させる。ピストン４１０の移動にともない、第１の装着部４００の下面４００ａが第１の位置決め部４３に接触するまで回転伝達部４２とともに第１の装着部４００を降下させることにより、第２の砥石１７１よりも第１の砥石１６１を下方に突出させ、板状ワークＷに対して粗研削可能な位置に第１の研削ホイール１６を位置決めする。その後、研削手段１０ａは、上記した研削手段１０と同様の動作によって板状ワークＷを粗研削する。
【００３７】
第２の研削ホイール１７を用いて、粗研削された板状ワークＷに対して仕上げ研削を行う際には、研削手段１０と同様に、図５に示した研削砥石１６１の軌道の外周の半径と研削砥石１７１の軌道の外周の半径との差Ｌだけチャックテーブル４をＹ軸方向に移動させ、第２の研削ホイール１７の第２の砥石１７１の外周に板状ワークＷの中心Ｗｏを位置づける。
【００３８】
次いで、図７に示すように、切換え制御部２６ａが切換えバルブ２６０を動作させてエアー供給源２５ａと第１の供給口２２ａとを連通させる。これにより、第１の流路２１ａにエアーが流入して第１の供給口２２ａからシリンダ４１１の内部にエアーを供給し、シリンダ４１１内に供給されたエアーによってピストン４１０をチャックテーブル４に対して離間する方向に移動させる。ピストン４１０の移動にともない、第１の装着部４００の上面４００ｂが第２の位置決め部４４に接触するまで回転伝達部４２とともに第１の装着部４００を上昇させることにより、第１の砥石１６１よりも第２の砥石１７１を下方に突出させ、板状ワークＷに対して仕上げ研削可能な位置に第２の研削ホイール１７を位置決めする。その後、研削手段１０ａは、上記した研削手段１０と同様の動作によって板状ワークＷを仕上げ研削する。
【００３９】
上記実施形態に示した研削手段１０及び研削手段１０ａは、粗研削用の第１の研削ホイール１６が仕上げ研削用の第２の研削ホイール１７よりも外側に配設された構成となっているが、この構成に限定されるものではない。例えば、粗研削用の第１の研削ホイールよりも大径に形成された仕上げ研削用の第２の研削ホイールを第１の研削ホイールよりも外側に同心円状に配設するようにしてもよい。また、同種類の２つの研削ホイールを同心円状に配設するようにしてもよい。
【００４０】
なお、第１の研削ホイール１６は第１の装着部１４０，４００に装着され、第２の研削ホイール１７は第２の装着部１４１，４０１に装着されて使用されていることから、第１の砥石１６１または第２の砥石１７１が消耗した場合は、各研削ホイールを個別に交換することが可能となっている。
【符号の説明】
【００４１】
１：研削装置  ２：装置ベース  ２ａ：上面  ３：コラム
４：チャックテーブル  ５：保持部  ５ａ：保持面  ６：移動基台  ７：蛇腹
１０：研削手段  １１：スピンドル  １２：スピンドルハウジング  １３：モータ
１４：マウント  １４０：第１の装着部  １４１：第２の装着部
１４１ａ：当接部  １４２：回転伝達部
１５：移動機構  １５０：ピストン  １５１：シリンダ
１６：第１の研削ホイール  １６０：第１の基台  １６１：第１の砥石
１７：第２の研削ホイール  １７０：第２の基台  １７１：第２の砥石
１８：溝  １９：第１の位置決め部  ２０：第２の位置決め部
２１，２１ａ：第１の流路  ２２，２２ａ：第１の供給口  ２３，２３ａ：第２の流路
２４，２４ａ：第２の供給口
２５，２５ａ：エアー供給源  ２６：切換え制御部  ２６０：切換えバルブ
２６１：ロータリージョイント
３０：昇降手段  ３１：ボールネジ  ３２：モータ  ３３：ガイドレール
３４：昇降部
４０：マウント  ４００：第１の装着部  ４００ａ：下面  ４００ｂ：上面
４０１：第２の装着部  ４０２：貫通孔
４１：移動機構  ４１０：ピストン  ４１１：シリンダ
４２：回転伝達部  ４３：第１の位置決め部  ４４：第２の位置決め部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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