(57)【要約】【課題】薄肉部のピンホール検査が不十分になる領域が大きくなる。【解決手段】薄層部材２００は、薄肉部２００Ａと、厚肉部２００Ｂとを有し、薄肉部２００Ａを形成する第１の層２０１と、第１の層２０１に積層され、厚肉部２００Ｂとなる部分を形成する第２の層２０２及び第３の層２０３とを有し、第３の層２０３はオーバーハング形状部２０３ａを有し、第３の層２０３のオーバーハング形状部２０３ａの投影領域は第２の層２０２内に含まれ、第２の層２０２は、第１の層２０１側の面がすべて第１の層２０１に密着している。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄肉部と、厚肉部とを有する薄層部材を備え、
前記薄層部材は、
前記薄肉部を形成する第１の層と、
前記第１の層に積層され、前記厚肉部となる部分を形成する第２の層及び第３の層と、を有し、
前記第３の層はオーバーハング形状部を有し、
前記第３の層のオーバーハング形状部の投影領域は前記第２の層内に含まれ、
前記第２の層は、前記第１の層側の面がすべて前記第１の層に密着している
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記第２の層は、前記薄肉部と前記厚肉部との面方向の境界を規定する壁面が、前記第１の層に対してテーパ形状又は垂直形状である
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記第２の層及び前記第３の層の少なくともいずれかは、複数の層で構成されている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記複数の層で構成された前記第２の層又は前記第３の層は、前記第１層から離れる層ほど面積が小さくなる
ことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記第１の層の前記第２の層が積層される面側と反対側の面に、前記厚肉部となる部分を形成する第４の層が積層されている
ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記第４の層はオーバーハング形状部を有し、
前記第４の層のオーバーハング形状部の投影領域は前記第２の層内に含まれる
ことを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
液滴を吐出する複数のノズルが通じる複数の個別液室に液体を供給する共通液室と、
前記共通液室の壁面の一部を形成する変形可能なダンパ部材と、を有し、
前記ダンパ部材は、前記薄層部材で形成され、前記薄肉部が前記変形可能なダンパを形成している
ことを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
液滴を吐出する複数のノズルが通じる複数の個別液室と、
前記個別液室の壁面の一部となる変形可能な領域を形成する振動板部材と、を有し、
前記振動板部材は、前記薄層部材で形成され、前記薄肉部が前記変形可能な領域をけいせいしている
ことを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
液体中の異物をろ過するフィルタ部材を備え、
前記フィルタ部材は、前記薄層部材で形成され、前記薄肉部にフィルタ孔が形成されている
ことを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
変形可能な薄肉部を形成する第１の層と、
前記第１層に積層され、厚肉部となる部分を形成する第２の層及び第３の層と、を有し、
前記第３の層はオーバーハング形状部を有し、
前記第３の層のオーバーハング形状部の投影領域は、少なくとも前記薄肉部に対向する部分が前記第２の層内に位置し、
前記第２の層は、前記第１の層側の面がすべて前記第１の層に密着している
ことを特徴とする薄層部材。
【請求項１１】
請求項１ないし９のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッド、薄層部材及び画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
画像形成装置として、例えば液滴を吐出する液体吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）を画像形成手段に使用するものが知られている。液体吐出ヘッドとして、ダンパ部材、振動板部材、フィルタ部材などの部材として、薄肉部と厚肉部を有する薄層部材を使用するものがある。
【０００３】
従来、薄層部材を電鋳膜で形成し、薄肉部を形成する層を第１の層とするとき、第１の層に対していずれもオーバーハング形状部を有する第２の層及び第３の層を順次積層し、第３の層のオーバーハング形状部の投影領域は、第２の層内に含まれる構成としたものが知られている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−１７９８１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述したように薄肉部を形成する第１の層上にオーバーハング形状部を有する第２の層及び第３の層を順次積層した構造にあっては、第１の層のピンホール検査を行うときに、第２の層あるいは第３の層のオーバーハング形状部の投影領域と重なる第１の層の領域の検査が不十分になるという課題がある。
【０００６】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、薄肉部のピンホール検査が不十分になる領域を低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
薄肉部と、厚肉部とを有する薄層部材を備え、
前記薄層部材は、
前記薄肉部を形成する第１の層と、
前記第１の層に積層され、前記厚肉部となる部分を形成する第２の層及び第３の層と、を有し、
前記第３の層はオーバーハング形状部を有し、
前記第３の層のオーバーハング形状部の投影領域は前記第２の層内に含まれ、
前記第２の層は、前記第１の層側の面がすべて前記第１の層に密着している
構成とした。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、薄肉部のピンホール検査が不十分になる領域を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向に沿う断面説明図である。
【図２】同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の流路部材部分の拡大断面説明図である。
【図３】ダンパ部材の説明に供する共通液室短手方向（ノズル配列方向と直交する方向）の断面説明図である。
【図４】同ダンパ部材の分解斜視説明図である。
【図５】薄層部材の断面説明図である。
【図６】薄層部材のピンホール検査の説明に供する断面説明図である。
【図７】本発明の第２実施形態における薄層部材の断面説明図である。
【図８】本発明の第３実施形態における薄層部材の断面説明図である。
【図９】本発明の第４実施形態における薄層部材の断面説明図である。
【図１０】本発明の第５実施形態における薄層部材の断面説明図である。
【図１１】本発明の第６実施形態における薄層部材の断面説明図である。
【図１２】薄層部材のフレーム部材に対する接合の向きの説明に供する各実施形態の共通液室短手方向の断面説明図である。
【図１３】同じく比較例１の共通液室短手方向の断面説明図である。
【図１４】各実施形態において薄層部材とフレーム部材との間で位置ずれが生じた状態の断面説明図である。
【図１５】比較例２において薄層部材とフレーム部材との間で位置ずれが生じた状態の断面説明図である。
【図１６】本発明の第７実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）の断面説明図である。
【図１７】ノズル配列方向（液室短手方向）の断面説明図である。
【図１８】本発明に係る液体吐出装置の一例の平面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図１及び図２を参照して説明する。図１は同ヘッドのノズル配列方向に沿う断面説明図、図２は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の流路部材部分の拡大断面説明図である。
【００１１】
この液体吐出ヘッドは、圧力発生手段を含む流路部材１０１と、流路部材１０１を保持しヘッドのフレームを構成するフレーム部材１０２とを備えている。
【００１２】
流路部材１０１は、図２に示すように、ノズル板１と、流路板２と、振動板部材３と、圧力発生手段としての圧電素子４と、保持基板５とで構成されている。なお、流路部材１０１は、各部材を一体化した独立の部材（ユニット）とした後、フレーム部材１０２と接合されるものに限定されない。
【００１３】
ノズル板１には、液滴を吐出する複数のノズル１１が形成されている。ここでは、複数のノズル１１が配列されたノズル列を複数列（図２では２列のみ図示）有している。
【００１４】
流路板２は、ノズル板１及び振動板部材３とともに、ノズル１１が通じる個別液室１２、個別液室１２に通じる流体抵抗部１３、流体抵抗部１３が通じる液導入部（通路）１４を形成している。液導入部１４は通路（供給口）１５と保持基板５の流路５ａを介してフレーム部材１０２で形成される共通液室２０に通じている。
【００１５】
振動板部材３は、個別液室１２の壁面の一部をなす変形可能な振動領域（これを「振動板」という。）３０を形成する壁面部材である。
【００１６】
そして、この振動板３０の個別液室１２と反対側の面には、振動板３０と一体的に圧電素子４が設けられ、振動板３０と圧電素子４によってユニモルフ型圧電アクチュエータ構成し、各圧電素子４を駆動する駆動ＩＣ４１が２列の圧電素子列の間に配置されている。
【００１７】
なお、圧力発生手段は、圧電アクチュエータに限定されるものではなく、静電型アクチュエータやサーマルアクチュエータなども使用することができる。
【００１８】
保持基板５には、振動板３０に対応する領域に凹部５１が形成されている。この凹部５１で圧電素子４を保護する空間を形成している。
【００１９】
ここで、ノズル板１は、例えば、ＳＵＳ板にプレス加工と研磨加工によってノズル１１を形成しているが、これに限るものではない。例えば、ニッケル（Ｎｉ）の金属プレートをエレクトロフォーミング法（電鋳）で製造したもの、その他の金属部材、樹脂部材、樹脂層と金属層の積層部材などを用いることができる。また、ノズル板１の液滴吐出側面（吐出方向の表面：吐出面）には撥液層を設けている。
【００２０】
流路板２は、シリコン基板上のシリコン酸化膜を介してシリコンが貼り合された基板を用いて、シリコン酸化膜をエッチングストップ層としてエッチングし、個別液室１２、流体抵抗部１３、液導入部１４などを構成する溝部及び貫通穴を形成している。流路板２の材料はこれに限るものではない。例えば、シリコン以外のガラス、セラミックスなどの無機材料、ＳＵＳなどの合金材料、樹脂などで形成することができる。
【００２１】
振動板部材３の振動板３０上に圧電素子４を形成することで、前述したようにユニモルフ型圧電アクチュエータが構成される。振動板３０は、上述したようにエッチングでシリコン酸化膜をエッチングストップ層として流路を形成するときに、残存するシリコン酸化膜とシリコンの部分で形成されるが、これに限定されるものではない。
【００２２】
また、振動板３０は流路板２と一体に形成されるものに限定されない。振動板部材３としては、例えば、半導体、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物で形成することができる。半導体としては、多結晶Ｓｉ、アモルファスＳｉ，Ｇｅなどを挙げることができ、金属酸化物や金属窒化物は一般的なセラミックスに用いられるＳｉ化合物、Ａｌ化合物、Ｚｒ化合物、Ｔｉ化合物、Ｙ化合物、Ｔａ化合物、Ｓｎ化合物、Ｉｎ化合物などが挙げられる。
【００２３】
振動板部材３は、単一膜でも多層膜のいずれでもよい。また、シリコン基板にＣＶＤやスパッタリングなどの気相法によって、振動板３０を形成するエッチングストップ層となる振動板部材３を成膜して、シリコン基板をエッチングして流路と振動板３０を同時に形成することもできる。
【００２４】
圧電素子４は振動板３０側から下部電極、圧電層、上部電極となる層をエッチングするなどして形成している。上部電極及び下部電極の材料としては、例えば、Ａｇ，Ａｕ，Ｐｔ，Ｉｒ，Ｐｄ，Ｗ，Ｔａなどの高融点金属が好ましい。
【００２５】
また、上部電極及び下部電極と圧電層との界面、下部電極と振動板３０の界面には、相互拡散を防止するために、耐熱性が高く、電極材料と相互拡散しづらい化学的安定性の高い材料を用いることが好ましい。例えば、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物などが利用でき、さらにこれらの複合化合物を用いることもできる。また、導電性をもつ化合物を用いることで電極としての機能を持たせても良い。
【００２６】
圧電層を形成する圧電材料としては、公知の材料を用いることができる。圧電材料としては、高い圧電定数と安定した温度特性をもつチタン酸ジルコン酸鉛を用いることが好ましい。
【００２７】
保持基板５は、振動板３０を含む流路板２の厚みが薄いことから、剛性を確保するために、流路板２のノズル板１と反対側に接合している。保持基板５は、剛性を高めるため、例えばガラス、シリコン、ＳｉＯ２、ＺｒＯ２、Ａｌ２Ｏ３等のセラミクス材料とすることが好ましい。
【００２８】
また、保持基板５は、ノズル配列方向においては、個別液室１２毎に独立した凹部５１を形成し、個別液室１２間の隔壁部分に対向する位置に接合することが好ましい。この保持基板５の流路５ａは、ノズル配列方向で連続して形成した場合には共通液室２０の一部を形成することになる。
【００２９】
図１に戻って、フレーム部材１０２は、流路部材１０１のノズル板１を接合する面とは反対側の面に接合されて、液滴を吐出する複数のノズル１１が通じる複数の個別液室１２に液体を供給する共通液室２０を形成する。
【００３０】
また、フレーム部材１０２には、ダンパ部材１０３を収容し、ダンパ室１０４となる凹部１２１が形成されている。つまり、フレーム部材１０２は、共通液室２０と、ダンパ１３１を挟んで共通液室２０と反対側に配置されるダンパ室１０４とを形成している。
【００３１】
また、フレーム部材１０２には、凹部１２１の共通液室長手方向（ノズル配列方向）の中央部に、外部から液体を共通液室２０に供給する供給管部の少なくとも一部を構成する連結管部２４が設けられている。
【００３２】
そして、ダンパ部材１０３は、共通液室長手方向において、連結管部２４を構成するフレーム部材１０２の壁部と凹部１２１の側壁との間の領域に配置されている・
【００３３】
一方、フレーム部材１０２の凹部１２１の開口部側には流路変換部材１０５が接合されている。
【００３４】
流路変換部材１０５には、ダンパ室１０４を大気に通じる蛇行した流路（スネークライン）１５１が形成されている。また、流路変換部材１０５には、内部に液体供給路が形成された供給管部の一部を形成する連結管部１５４が設けられ、フレーム部材１０２の連結管部２４とパッキン１０６を介して連結されている。
【００３５】
次に、ダンパ部材１０３について図３及び図４を参照して説明する。図３は同ダンパ部材の説明に供する共通液室短手方向（ノズル配列方向と直交する方向）の断面説明図、図４は同ダンパ部材の分解斜視説明図である。
【００３６】
ダンパ部材１０３は、本発明における薄層部材２００と、薄層部材２００を保持する保持部材１４０とを備えている。
【００３７】
薄層部材２００は、共通液室２０の個別液室側と反対側の壁面を形成する復元可能に変形可能なダンパ１３１を後述する薄肉部２００Ａで形成する。保持部材１４０には、薄層部材２００で形成されるダンパ１３１の部分の変形を許容する開口部１４１（上述したダンパ室１０４の一部となる）が形成されている。
【００３８】
そして、フレーム部材１０２の凹部１２１の共通液室側底部には、ダンパ部材１０３のダンパ１３１が臨む開口部１２２と、開口部１２２の周囲を形成してダンパ部材１０３を支持する支持部１２３が設けられている。
【００３９】
ダンパ部材１０３は、ダンパ１３１が開口部１２２に臨む位置で、フレーム部材１０２の支持部１２３のダンパ室１０４側の壁面に接合されている。
【００４０】
次に、薄層部材２００について図５を参照して説明する。図５は同薄層部材の断面説明図である。
【００４１】
薄層部材２００は、復元可能に変形可能な薄肉部２００Ａを形成する第１の層２０１と、第１の層２０１に積層され、第１の層２０１とともに厚肉部２００Ｂとなる部分を形成する第２の層２０２及び第３の層２０３を有している。なお、厚肉部２００Ｂは、図５に示すように、薄肉部２００Ａよりも相対的に厚みの厚い部分を意味し、厚みが一定であることまで意味しない。
【００４２】
ここで、第１の層２０１、第２の層２０２及び第３の層２０３は、電鋳膜で形成している。
【００４３】
第３の層２０３は、オーバーハング形状部２０３ａを有している。なお、「オーバーハング形状部」とは、ひさしのように突き出した部分を意味する。ここでは、オーバーハング形状部２０３ａは、第２の層２０２と連結された部分よりも薄肉部２００Ａ側に張り出している部分である。
【００４４】
この第３の層２０３のオーバーハング形状部２０３ａの投影領域は第２の層２０２内に含まれ、薄肉部２００Ａに直接対向していない。
【００４５】
つまり、第３の層２０３のオーバーハング形状部２０３ａの面方向（面に沿う方向）における先端部は、薄肉部２００Ａと厚肉部２００Ｂ側との面方向における境界よりも厚肉部２００Ｂに位置している。
【００４６】
第２の層２０２は、平板形状であって、第１の層２０１側の面がすべて第１の層２０１に密着して設けられている。
【００４７】
また、第２の層２０２は、薄肉部２００Ａと厚肉部２００Ｂとの面方向における境界を規定する壁面２０２ａが、第１の層２０１に対してテーパ形状に形成されている。第２の層２０２の壁面２０２ａの傾きは、第１の層２０１との界面から離れるに従って第３の層２０３のオーバーハング形状部２０３ａから離れる方向である。
【００４８】
つまり、第２の層２０２には、薄肉部２００Ａと厚肉部２００Ｂとの面方向における境界よりも薄肉部２００Ａ側に張り出しているオーバーハング形状部２０２ｂを有することになる。
【００４９】
このように構成したので、図６に示すように、薄層部材２００の第１の層２０１のピンホール検査を行うとき、第３の層２０３側から検査光を照射し、検査光を照射側と第１の層２０１を介して配置した光検出器で検査光を検出する。
【００５０】
これにより、薄肉部２００Ａにピンホールが存在している場合には、ピンホールを介して検査光が光検出側に漏れることから、ピンホールの有無を検出できる。
【００５１】
このピンホール検査を行うとき、薄肉部２００Ａに第３の層２０３のオーバーハング形状部２０３ａが投影されないので、オーバーハング形状部２０３ａによる検査不能領域がなくなる。
【００５２】
このとき、第２の層２０２の壁面２０２ａの傾きによって検査光が制限される領域は極めて少なく、検査不能領域を低減することができる。
【００５３】
このように、第３の層はオーバーハング形状部の投影領域は薄肉部に対向する部分が第２の層内に位置し、第２の層は第１の層側の面がすべて第１の層に密着している構成とすることで、薄肉部のピンホール検査が不十分になる領域を低減することができる。
【００５４】
次に、本発明の第２実施形態について図７を参照して説明する。図７は同実施形態における薄層部材の断面説明図である。
【００５５】
本実施形態の薄層部材２００は、第２の層２０２の薄肉部２００Ａと厚肉部２００Ｂとの面方向における境界を規定する壁面２０２ａが、第１の層２０１に対して垂直形状に形成されている。
【００５６】
このように構成することで、第２の層２０２のオーバーハング形状がなくなり、検査光が遮られる薄肉部２００Ａの領域が前記第１実施形態よりも少なくなる。
【００５７】
次に、本発明の第３実施形態について図８を参照して説明する。図８は同実施形態における薄層部材の断面説明図である。
【００５８】
本実施形態の薄層部材２００は、第２の層２０２の薄肉部２００Ａと厚肉部２００Ｂとの面方向における境界を規定する壁面２０２ａが、第１の層２０１に対してテーパ形状に形成されている。第２の層２０２の壁面２０２ａの傾きは、第１の層２０１との界面から離れるに従って第３の層２０３のオーバーハング形状部２０３ａに近づくである。
【００５９】
このように構成することで、第２実施形態と同様に、第２の層２０２のオーバーハング形状がなくなり、検査光が遮られる薄肉部２００Ａの領域が前記第１実施形態よりも少なくなる。
【００６０】
次に、本発明の第４実施形態について図９を参照して説明する。図９は同実施形態における薄層部材の断面説明図である。
【００６１】
本実施形態の薄層部材２００は、第３の層２０３を第２の層２０２側から順次積層した複数の層２０３Ａ、２０３Ｂで形成している。層２０３Ａ、２０３Ｂは、いずれもオーバーハング形状部２０３ａを有し、層２０３Ａのオーバーハング形状部２０３ａの投影領域は第２の層２０２内に含まれ、層２０３Ｂのオーバーハング形状部２０３ａの投影領域は層２０３Ａ内に含まれる。
【００６２】
このように構成することで、厚肉部２００Ｂの剛性をより高めることができる。
【００６３】
次に、本発明の第５実施形態について図１０を参照して説明する。図１０は同実施形態における薄層部材の断面説明図である。
【００６４】
本実施形態の薄層部材２００は、第２の層２０２を複数の層２０２Ａ、２０２Ａで形成している。
【００６５】
このように構成することで、厚肉部２００Ｂの剛性をより高めることができる。
【００６６】
次に、本発明の第６実施形態について図１１を参照して説明する。図１１は同実施形態における薄層部材の断面説明図である。
【００６７】
本実施形態の薄層部材２００は、第１の層２０１の第２の層２０２が積層される面側と反対側の面に、厚肉部２００Ｂとなる部分を形成する第４の層２０４が積層されている。
【００６８】
第４の層２０４はオーバーハング形状部２０４ａを有し、第４の層２０４のオーバーハング形状部２０４ａの投影領域は第２の層２０２内に含まれ、薄肉部２００Ａに直接対向しない。
【００６９】
このように構成することで、厚肉部２００Ｂの剛性をより高めることができる。
【００７０】
次に、薄層部材２００のフレーム部材１０２に対する接合の向きについて図１２及び図１３を参照して説明する。図１２は同説明に供する実施形態の共通液室短手方向の断面説明図、図１３は同じく比較例１の共通液室短手方向の断面説明図である。
【００７１】
上述した各実施形態においては、図１２に示すように、ダンパ部材１０３は、薄層部材２００の第１の層２０１の第２の層２０２及び第３の層２０３と反対側の面に、保持部材１４０を接合して構成し、薄層部材２００の第３の層２０３をフレーム部材１０２に接着剤５００で接合している。
【００７２】
このとき、第３の層２０３の薄肉部２００Ａ側は第２の層２０２の壁面２０２ａよりも後退して段差となっているので、接着剤５００の余剰分はその段差部分で吸収され、ダンパ１３１（薄肉部２００Ａ）の部分まで流れ出さない。
【００７３】
これにより、ダンパ１３１の安定した変位が可能になる。
【００７４】
これに対し、比較例１では、図１３に示すように、ダンパ部材１０３は、薄層部材２００の第３の層２０３に保持部材１４０を接合して構成し、薄層部材２００の第１の層２０１をフレーム部材１０２に接着剤５００で接合している。
【００７５】
そのため、接着剤５００の余剰分がダンパ１３１の部分まで流れ出して、ダンパ１３１の機能が低下するという不都合がある。
【００７６】
次に、フレーム部材と接合する層を断面キノコ形状のオーバーハング形状部を有する層にした場合と断面キノコ形状のオーバーハング形状部を有しない層にした場合の作用効果の違いについて図１４及び図１５を参照して説明する。図１４は実施形態において薄層部材とフレーム部材との間で位置ずれが生じた状態の断面説明図、図１５は比較例２において薄層部材とフレーム部材との間で位置ずれが生じた状態の断面説明図である。
【００７７】
まず、図１５に示す比較例２のように、断面キノコ形状のオーバーハング形状部を有しない複数の層を積層して厚肉部を形成する場合には、一層の厚みが薄くなるので、実施形態と同様な厚みを得るためには、積層数を増やす必要がある。図１５の例では４つの層２１１ないし２１４を積層している。
【００７８】
そのため、フレーム部材１０２と接合する層となる層２１４の幅が狭くなり（面積が小さくなり）、図１５（ａ）に示すように、接合位置精度を高めなければならない。図１５（ｂ）に示すように、フレーム部材１０２と層２１４の面方向の位置ずれが生じると、簡単に接合不良が発生するようになる。
【００７９】
これに対し、上記の各実施子形態では、フレーム部材１０２と接合する層である第３の層２０３は断面キノコ形状のオーバーハング形状部２０３ａを有している。
【００８０】
そのため、フレーム部材１０２と接合する層となる第３の層２０３の幅が広くなり（面積が大きくなり）、図１４（ａ）に示すように、接合位置に余裕を持たせることができる。これにより、図１４（ｂ）に示すように、フレーム部材１０２と第３の層２０３との間で面方向の位置ずれが生じても、接合強度を確保することができる。
【００８１】
次に、本発明の第７実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図１６及び図１７を参照して説明する。図１６は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）の断面説明図、図１７は同じくノズル配列方向（液室短手方向）の断面説明図である。
【００８２】
なお、第１実施形態と対応する各部には同じ符号を付して説明を簡略化する。
【００８３】
この液体吐出ヘッドは、ノズル板１と、流路板（液室基板）２と、本発明における薄層部材としての振動板部材３とを積層接合している。そして、振動板部材３を変位させる圧電アクチュエータ１１１と、共通液室部材としてフレーム部材１０２とを備えている。
【００８４】
そして、フレーム部材１０２の共通液室２０から、振動板部材３と一体に形成した本発明における薄層部材である液体中の異物をろ過するフィルタ部（フィルタ部材）９を通じて、液導入部８、液体供給路７を経て、複数の個別液室６に液体を供給する。
【００８５】
振動板部材３は、振動板部材３の個別液室６とは反対側に、振動板部材３の振動板（振動領域）３０を変形させる駆動手段（アクチュエータ手段、圧力発生手段）としての電気機械変換素子を含む圧電アクチュエータ１１１を配置している。
【００８６】
この圧電アクチュエータ１１１は、ベース部材１１３上に接着剤接合した複数の積層型圧電部材１１２を有し、圧電部材１１２にはハーフカットダイシングによって溝加工して１つの圧電部材１１２に対して所要数の圧電柱１１２Ａ、１１２Ｂを所定の間隔で櫛歯状に形成している。
【００８７】
圧電部材１１２の圧電柱１１２Ａ、１１２Ｂは、同じものであるが、駆動波形を与えて駆動させる圧電柱を駆動圧電柱（駆動柱）１１２Ａ、駆動波形を与えないで単なる支柱として使用する圧電柱を非駆動圧電柱（非駆動柱）１１２Ｂとして区別している。
【００８８】
そして、駆動柱１２Ａを振動板部材３の振動板３０に形成した島状の凸部３ａに接合している。また、非駆動柱１２Ｂを振動板部材３の凸部３ｂに接合している。
【００８９】
ここで、振動板部材３は前述した薄層部材２００で形成し、凸部３ａ、凸部３ｂは、いずれも薄層部材２００の厚肉部であり、薄肉部である振動領域３０を形成する第１の層２０１に積層した第２の層２０３及び第３の層２０３によって形成している。
【００９０】
また、フィルタ部９は、第１の層２０１に複数のフィルタ孔９１が形成されている。そして、フィルタ部９の周縁部を形成している厚肉部は、第１の層２０１に積層した第２の層２０３及び第３の層２０３によって形成している。
【００９１】
なお、本実施形態の振動板部材（フィルタ部材を兼ねる）は前記第１実施形態の薄層部材の構成で説明しているが、第２ないし第６実施形態の構成を採用することもできる。
【００９２】
次に、本発明に係る画像形成装置の一例について図１８を参照して説明する。図１８は同画像形成装置の平面説明図である。
【００９３】
この画像形成装置は、シリアル型画像形成装置であり、図示しない左右の側板に横架した主ガイド部材４０１及び図示しない従ガイド部材でキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して主走査方向（キャリッジ移動方向）に往復移動する。
【００９４】
このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド及び液体タンクを含む記録ヘッド４０４を搭載している。記録ヘッド４０４は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色のインク滴を吐出する４列のノズル列４０４ｎを有している。また、記録ヘッド４０４は、複数のノズルからなるノズル列４０４ｎを主走査方向と直交する副走査方向に配置し、滴吐出方向を下方に向けて装着している。
【００９５】
一方、用紙４１０を搬送するために、用紙を静電吸着して記録ヘッド４０４に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト４１２を備えている。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３とテンションローラ４１４との間に掛け渡されている。
【００９６】
そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。この搬送ベルト４１２は、周回移動しながら図示しない帯電ローラによって帯電（電荷付与）される。
【００９７】
さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に記録ヘッド４０４の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。
【００９８】
維持回復機構４２０は、例えば記録ヘッド４０４のノズル面（ノズルが形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。
【００９９】
また、キャリッジ４０３の主走査方向に沿って両側板間に、所定のパターンを形成したエンコーダスケール４２３を張装し、キャリッジ４０３にはエンコーダスケール４２３のパターンを読取る透過型フォトセンサからなるエンコーダセンサ４２４を設けている。これらのエンコーダスケール４２３とエンコーダセンサ４２４によってキャリッジ４０３の移動を検知するリニアエンコーダ（主走査エンコーダ）を構成している。
【０１００】
また、搬送ローラ４１３の軸にはコードホイール４２５を取り付け、このコードホイール４２５に形成したパターンを検出する透過型フォトセンサからなるエンコーダセンサ４２６を設けている。これらのコードホイール４２５とエンコーダセンサ４２６によって搬送ベルト４１２の移動量及び移動位置を検出するロータリエンコーダ（副走査エンコーダ）を構成している。
【０１０１】
このように構成したこの画像形成装置においては、図示しない給紙トレイから用紙４１０が帯電された搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。
【０１０２】
そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド４０４を駆動することにより、停止している用紙４１０にインク滴を吐出して１行分を記録する。そして、用紙４１０を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙４１０の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙４１０を図示しない排紙トレイに排紙する。
【０１０３】
このように、この画像形成装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。
【０１０４】
なお、本願において、用紙とは材質を紙に限定するものではなく、被記録媒体、記録媒体、記録紙、記録用紙などと称されるものを含む。また、画像形成、記録、印字、印写、印刷はいずれも同義語とする。
【０１０５】
また、「画像」とは平面的なものに限らず、立体的に形成されたものに付与された画像、また立体自体を三次元的に造形して形成された像も含まれる。
【０１０６】
また、液体吐出装置には画像形成装置が含まれ、特に限定しない限り、シリアル型画像形成装置及びライン型画像形成装置のいずれも含まれる。
【符号の説明】
【０１０７】
１  ノズル板
２  流路板
３  振動板部材
４  圧電素子
５  保持基板
１１  ノズル
１２  個別液室
２０  共通液室
１０１  流路部材
１０２  フレーム部材
１０３  ダンパ部材
２００  薄層部材
２００Ａ  薄肉部
２００Ｂ  厚肉部
２０１  第１の層
２０２  第２の層
２０３  第３の層
４０４  記録ヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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