(57)【要約】【課題】被研磨膜の加工精度および生産性を向上させることができる半導体装置の製造方法および半導体製造装置を提供する。【解決手段】本実施形態による半導体装置の製造方法は、被研磨膜の研磨速度を制御するために該被研磨膜へイオンを注入することにより該被研磨膜の表面を改質する。改質された被研磨膜の表面は、ＣＭＰ法を用いて研磨される。【選択図】図１
2016031947.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被研磨膜の研磨速度を制御するために該被研磨膜へイオンを注入することにより該被研磨膜の表面を改質し、
改質された前記被研磨膜の表面を、ＣＭＰ法を用いて研磨することを具備する半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記イオンは、Ｆ、Ｂ、ＰまたはＮを含むイオンであり、該被研磨膜の表面の全面または該被研磨膜の表面の中心部へ注入されることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記イオンは、Ｃ、ＮまたはＳｉを含むイオンであり、該被研磨膜の外縁部へ注入されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記イオンは、前記被研磨膜の深さ方向の濃度プロファイルが複数のピークを有するように注入されることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
被研磨膜の研磨速度を制御するために前記被研磨膜へイオンビームを照射する照射部と、
前記照射部からのイオンビームの一部を遮蔽するために前記被研磨膜を部分的に被覆するイオンビームマスクとを備えた半導体製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明による実施形態は、半導体装置の製造方法および半導体製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から半導体装置のプロセス技術において、ＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing）法は、半導体ウェハを平坦化する技術として用いられている。ＣＭＰ法においては、スループットあるいはコスト等の生産性の向上が要求されており、かつ、半導体ウェハの面内均一性あるいは平坦性等の加工精度も要求されている。
【０００３】
例えば、３次元構造を有する立体型メモリ等では、保護膜等の凹凸が大きく、平坦化すべき段差が大きい。この場合、研磨すべき保護膜等の膜厚が厚くなり、研磨時間が長くなる。その結果、スループットが低下するという問題が生じていた。
【０００４】
これに対して、研磨速度を向上する手段として研磨対象膜にイオン注入する手法が知られている。研磨対象膜の全面へのイオン注入または凸部への選択的イオン注入した後に研磨することで、研磨対象膜のうちイオン注入された箇所の研磨速度を向上させられる。
【０００５】
しかしながら、これら手法では、研磨速度が不十分であったり、研磨後の半導体ウェハの面内均一性が劣化したりするという問題が生じていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−４４２０１号公報
【特許文献２】特開平９−１６２１４４号公報
【特許文献３】特開２０００−１２４９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
被研磨膜の生産性を適切に向上させることができる半導体装置の製造方法および半導体製造装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本実施形態による半導体装置の製造方法は、被研磨膜の研磨速度を制御するために該被研磨膜へイオンを注入することにより該被研磨膜の表面を改質する。改質された被研磨膜の表面は、ＣＭＰ法を用いて研磨される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１の実施形態による半導体装置の製造方法を示す断面図。
【図２】ドーパントと研磨速度との関係を示すグラフ。
【図３】第２の実施形態による半導体装置の製造方法を示す平面図。
【図４】図１（Ｃ）の枠Ｃを拡大した断面図。
【図５】第２の実施形態におけるイオンビームマスクを備えたイオン注入装置１００を示す概略的な構成図。
【図６】第３の実施形態による半導体装置の製造方法を示す平面図。
【図７】第３の実施形態におけるイオンビームマスク１２１を備えたイオン注入装置１００を示す概略的な構成図。
【図８】第４の実施形態による半導体装置の製造方法を示すフロー図。
【図９】第５の実施形態による半導体装置の製造方法に従って形成された被研磨膜２０に含まれるドーパントの濃度を示すグラフ。
【図１０】第５の実施形態による半導体装置の製造方法を示す平面図。
【図１１】第５の実施形態におけるイオンビームマスク１２０を備えたイオン注入装置１００を示す概略的な構成図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して本発明に係る参考例および実施形態を説明する。本参考例および本実施形態は、本発明を限定するものではない。
【００１１】
（参考例）
図１（Ａ）〜図１（Ｃ）は、参考例による半導体装置の製造方法を示す断面図である。半導体装置は、特に限定しないが、例えば、半導体メモリ、高速ロジックＬＳＩ、システムＬＳＩ、メモリ・ロジック混載ＬＳＩ等でよい。
【００１２】
まず、半導体基板１０上に半導体素子（図示せず）を形成し、図１（Ａ）に示すように、半導体素子の上方に被研磨膜２０を形成する。被研磨膜２０はシリコン酸化膜からなる層間絶縁膜等の保護膜である。その他の被研磨膜２０の例として、シリコン、タングステン、銅、アルミ等からなる膜であってもよい。
【００１３】
次に、図１（Ｂ）に示すように、被研磨膜２０に第１種類のドーパントをイオン注入する。第１種類のドーパントは、例えば、フッ素（Ｆ）、ボロン（Ｂ、ＢＦ２）、燐（Ｐ）または窒素（Ｎ）等でよい。イオン注入は、約５．００×１０１５／ｃｍ２のドーズ量のドーパントを約５０ＫｅＶの加速電圧で行われる。ドーパントは、被研磨膜２０の全面に注入される。被研磨膜２０のドーパントの濃度は、例えば、１０１９ｃｍ−３以上である。上記ドーパントのイオン注入により、被研磨膜２０の表面領域における結晶結合（例えば、シリコン酸化膜のＳｉとＯとの間の結合）が切断され、被研磨膜２０の表面が改質される。
【００１４】
次に、図１（Ｃ）に示すように、ＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing）法を用いて被研磨膜２０を研磨する。ＣＭＰ装置２００は、研磨パッド２１０と、リテーナリング２２０と、メンブレン２３０と、ヘッド２４０とを備えている。半導体基板１０は、研磨パッド２１０とメンブレン２３０との間に挟まれており、矢印の方向に押圧されている。ヘッド２４０が回転することによって、半導体基板１０を研磨パッド２１０上で回転させる。このとき、半導体基板１０と研磨パッド２１０との間には、セリアスラリ、シリカスラリまたはアルミナスラリ等が供給される。これにより、図１（Ｃ）の半導体基板１０の下面に形成された被研磨膜２０が研磨される。研磨パッドとしては、例えば、発泡性ポリウレタンパットからなる。リテーナリング２２０は、例えば、セラミックからなる。
【００１５】
このとき、被研磨膜２０の表面領域は上述のイオン注入によりダメージを受けているので、その研磨速度は、ダメージを受けていない被研磨膜の研磨速度よりも速くなっている。例えば、図２は、ドーパントと研磨速度との関係を示すグラフである。縦軸が研磨速度である。横軸がドーパントの種類を示す。Ｇｎｏはイオン注入していない被研磨膜２０の研磨速度を示すグラフである。Ｇｆはフッ素をイオン注入した被研磨膜２０の研磨速度を示すグラフである。ＧｎｏとＧｆとを比較すると、フッ素イオンが注入された被研磨膜２０の表面領域の研磨速度は、イオン注入されていない被研磨膜２０の研磨速度よりも約１０％上昇する。これは、フッ素イオンの注入により、被研磨膜２０の表面領域における結晶結合が切断され、被研磨膜２０の表面がダメージを受けたからである。尚、フッ素（Ｆ）のほか、ボロン（Ｂ、ＢＦ２）、燐（Ｐ）または窒素（Ｎ）等の第１の種類のドーパントを被研磨膜２０に注入しても、研磨速度を上昇させることができる。
【００１６】
このように、本参考例によれば、被研磨膜２０の研磨速度を速めるために被研磨膜２０の表面領域へ第１の種類のドーパントをイオン注入し、これにより被研磨膜２０の表面を改質する。そして、改質された被研磨膜２０の表面を、ＣＭＰ法を用いて研磨する。これによって、ＣＭＰ工程の研磨時間を短縮し、生産性を向上させることができる。また、被研磨膜２０の第１種類のドーパント濃度を１０１９ｃｍ−３以上にすることによって研磨速度の促進効果をさらに向上させることができる。
【００１７】
（第１の実施形態）
図３は、第１の実施形態による半導体装置の製造方法を示す平面図である。第１の実施形態では、被研磨膜２０の表面領域のうち、半導体基板１０の外周部Ｐｅｘを除く領域（以下、中心部Ｐｉｎともいう）に上記第１種類のドーパントを選択的に注入する。
【００１８】
ＣＭＰ法において、半導体基板１０の外周部Ｐｅｘにおける被研磨膜２０に当たる研磨パッド２１０は、リテーナリング２２０の圧力に対するリバウンドによって起伏する。例えば、図４は、図１（Ｃ）の枠Ｃを拡大した断面図である。図４の矢印の向きおよび大きさは、それぞれ半導体基板１０と研磨パッド２１０との間の圧力の向きおよび圧力の大きさを示す。起伏した研磨パッド２１０は半導体基板１０の中心部Ｐｉｎよりも外周部Ｐｅｘにおいて強く押し付けられるので、半導体基板１０の中心部Ｐｉｎよりも外周部Ｐｅｘにおいて研磨速度が上昇する。これにより、研磨後の被研磨膜２０の表面の平坦性が損なわれる場合がある。
【００１９】
そこで、第１の実施形態では、半導体基板１０の外周部Ｐｅｘを除く中心部Ｐｉｎにおける被研磨膜２０に第１種類のドーパントを選択的にイオン注入する。半導体基板１０の外周部Ｐｅｘは、リテーナリング２２０の圧力によって研磨パッド２１０が起伏する領域を含んでいればよい。従って、例えば、半導体基板１０が３００ｍｍの直径を有する半導体ウェハである場合、半導体基板１０の外周部Ｐｅｘは、例えば、約１ｍｍ〜３０ｍｍの幅を有する外縁側の領域となる。半導体基板１０の中心部Ｐｉｎは、上記外周部Ｐｅｘ以外の約２９９ｍｍ〜２７０ｍｍの直径を有する中心側の領域となる。
【００２０】
このように、半導体基板１０の中心部Ｐｉｎにおける被研磨膜２０に第１種類のドーパントを選択的にイオン注入することにより、半導体基板１０の中心部Ｐｉｎにおける被研磨膜２０の研磨速度をその外周部Ｐｅｘにおける被研磨膜２０の研磨速度に接近させ、あるいは、略等しくすることができる。その結果、研磨後の被研磨膜２０の表面の平坦性が向上する。
【００２１】
半導体基板１０の中心部Ｐｉｎに選択的にイオン注入するためには、イオン注入工程の前にリソグラフィ技術を用いて被研磨膜２０の外周部Ｐｅｘ上を覆うようにレジストマスクを形成すればよい。あるいは、イオン注入工程において、ドーパントを阻止するイオンビームマスクを被研磨膜２０の外周部Ｐｅｘ上方に配置してもよい。
【００２２】
図５は、第１の実施形態におけるイオンビームマスク１２０を備えたイオン注入装置１００を示す概略的な構成図である。
【００２３】
イオン注入装置１００は、イオンソース１１０と、引出電極１１１と、加速部１１５と、質量分離部１１６と、スキャナ１１７と、イオンビームマスク１２０と、基板ホルダ（サセプタ）１３０と、マスク搬送部（図示せず）と、を備える。イオンソース１１０は、ドーパントをイオン化する。引出電極１１１は、イオンソース１１０からイオン化されたドーパントを引き出す。加速部１１５は、イオン化されたドーパントを加速してイオンビームにし、基板ホルダ１３０に向かってイオンビームを照射する。即ち、イオンソース１１０および加速部１１５は、イオンビームの照射部として機能する。質量分離部１１６は、質量の相違によって所望のイオン種を選択し半導体基板１０へ照射するために設けられている。質量分離部１１６または加速部１１５は、質量分析マグネットや質量分析スリットを含んでいてもよい。スキャナ１１７は、イオンビームの照射方向を調節する。基板ホルダ１３０は、半導体基板１０を搭載する。
【００２４】
イオンビームマスク１２０は、半導体基板１０（被研磨膜２０の表面）の外周部Ｐｅｘへ照射されるイオンビームを阻止するように円環状に形成されている。例えば、半導体基板１０が３００ｍｍの直径を有する半導体ウェハである場合、イオンビームマスク１２０は、約２６０ｍｍの直径の開口を有し、約２０ｍｍの幅を有する円環状のマスクでよい。このようなイオンビームマスク１２０を用いることによって、イオンビームは、半導体基板１０の中心部Ｐｉｎにおける被研磨膜２０の表面に選択的に照射される。これにより、ドーパントは、半導体基板１０の中心部Ｐｉｎにおける被研磨膜２０に外周部Ｐｅｘへイオン注入される。尚、イオンビームマスク１２０は、例えば、半導体材料、グラファイト、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）、Ｓｉ、ＳｉＣ等の非金属材料からなる。イオンビームマスク１２０として半導体ウェハ（例えば、シリコンウェハ）を利用してもよい。このように、第１の実施形態に用いられるイオン注入装置１００は、被研磨膜２０の研磨速度を促進するために被研磨膜２０へイオンビームを照射する。このとき、イオンビームマスク１２０は、イオンビームの一部を遮蔽するために被研磨膜２０を部分的に被覆する。これにより、リソグラフィ技術を経ることなく、半導体基板１０の中心部Ｐｉｎにおける被研磨膜２０に第１種類のドーパントを選択的にイオン注入することができる。
【００２５】
イオン注入装置１００がリボン状イオンビームまたはスポット状イオンビームを射出する場合、イオンビームマスク１２０およびウェハホルダ１３０は、イオンビームの照射方向に対して垂直方向（縦方向または横方向のいずれでもよい）に互いに同期して移動すればよい。これにより、リボン状イオンビームまたはスポット状イオンビームを用いたとしても、イオン注入装置１００は、中心部Ｐｉｎの被研磨膜２０に第１種類のドーパントを略均一にイオン注入することができる。
【００２６】
代替的に、イオンビームの走査技術を用いて被研磨膜２０の中心部Ｐｉｎに選択的にドーパントをイオン注入してもよい。この場合、イオン注入装置は、イオンビームの濃度を変化させながら該イオンビームを半導体基板１０上に走査させる。さらに、イオン注入装置は、半導体基板を回転させ、再度、イオンビームの濃度を変化させながら該イオンビームを半導体基板１０上に走査させる。これにより、イオン注入装置は、イオンビームマスク１２０を用いること無く、半導体基板１０の中心部Ｐｉｎにおける被研磨膜２０を選択的に改質することができる。
【００２７】
尚、第１の実施形態において、イオンビームマスク１２０によって被覆されている外周部Ｐｅｘには、ある程度ドーパントが導入されていてもよい。この場合、中心部Ｐｉｎにより多くの第１種類のドーパントがイオン注入され、中心部Ｐｉｎにおけるドーパントの濃度は、外周部Ｐｅｘにおけるそれよりも１０１９ｃｍ−３以上高ければよい。これにより、半導体基板１０の中心部Ｐｉｎにおける被研磨膜２０の研磨速度をその外周部Ｐｅｘにおける被研磨膜２０の研磨速度に接近させることができるからである。
【００２８】
（第２の実施形態）
図６は、第２の実施形態による半導体装置の製造方法を示す平面図である。第２の実施形態では、被研磨膜２０の表面領域のうち、半導体基板１０の外周部Ｐｅｘに第２種類のドーパントを選択的に注入する。第２種類のドーパントは、例えば、炭素（Ｃ）、窒素（Ｎ）またはシリコン（Ｓｉ）等でよい。イオン注入は、約１〜５．００×１０１５／ｃｍ２のドーズ量のドーパントを約５０ＫｅＶの加速電圧で行われる。第２種類のドーパントは、スラリと被研磨膜２０との反応を抑制する元素である。従って、第２種類のドーパントは、半導体基板１０の外周部Ｐｅｘにおける被研磨膜２０の研磨速度を低下させるためにイオン注入される。
【００２９】
次に、被研磨膜２０を熱処理して、イオン注入による結晶欠陥を修復する。熱処理は、ＲＴＡ（Rapid Thermal Anneal）、炉アニール、マイクロ波アニール等でよい。例えば、電気炉、ホットプレートあるいはランプ（例えば、ハロゲンランプなどを用いた場合には９００℃以上の温度で熱処理することによって、イオン注入による結晶欠陥を修復させる。また、５．８ＧＨｚのマイクロ波照射を用いた場合には、８００℃以下でもイオン注入による結晶欠陥を修復させることができる。この熱処理により、イオン注入によって切断された被研磨膜２０の結晶結合を再結合させる。即ち、イオン注入によってダメージを受けた被研磨膜２０を回復させる。被研磨膜２０の膜質が回復するため、第２種類のドーパントによる研磨速度の低下は顕著になる。例えば、図２を再度参照する。Ｇｓｉは、シリコンをイオン注入した後に熱処理した被研磨膜２０の研磨速度である。Ｇｃは、炭素をイオン注入した後に熱処理した被研磨膜２０の研磨速度である。ＧｎｏとＧｓｉ（またはＧｃ）とを比較すると、シリコンまたは炭素が注入された被研磨膜２０の表面領域の研磨速度は、イオン注入されていない被研磨膜２０の研磨速度よりも低下する。これは、シリコンまたは炭素が、ＣＭＰ工程において被研磨膜２０とスラリとの反応を抑制し、被研磨膜２０の研磨速度を抑制しているからである。尚、窒素（Ｎ）は、第１の種類のドーパントおよび第２の種類のドーパントとして用いることができる。これは、以下の理由による。即ち、被研磨膜２０がシリコン酸化膜である場合、窒素がイオン注入された被研磨膜２０は、シリコン酸化膜を構成するＳｉとＯとの結合が窒素イオンの注入によって分断されている。このようなシリコン酸化膜は、ＣＭＰ工程の期間中にＣＭＰの溶液中のイオンと反応しやすい状態、すなわちエッチングされやすい状態となっている。一方、窒素イオンを注入した後に、上述の熱処理を行うと、被研磨膜２０において結合欠陥が修復される。これにより、ＳｉとＯとの結合よりも結合エネルギーの大きなＳｉとＮとの結合が被研磨膜２０中に形成される。このため、ＣＭＰ工程の期間中に、被研磨膜２０は、ＣＭＰの溶液中のイオンと反応しにくい状態、すなわちエッチングされにくい状態となっている。以上のような理由で、窒素（Ｎ）は、第１の種類のドーパントおよび第２の種類のドーパントとして用いることができる。
【００３０】
第２の実施形態では、半導体基板１０の外周部Ｐｅｘにおける被研磨膜２０に第２種類のドーパントを選択的にイオン注入する。これにより、半導体基板１０の外周部Ｐｅｘにおける被研磨膜の研磨速度を半導体基板１０の中心部Ｐｉｎにおける被研磨膜の研磨速度に接近させ、あるいは、略等しくすることができる。その結果、研磨後の被研磨膜２０の表面の平坦性が向上する。また、被研磨膜２０の第２種類のドーパント濃度を１０１９ｃｍ−３以上にすることによって研磨速度の抑制効果をさらに向上させることができる。
【００３１】
半導体基板１０の外縁部に選択的にイオン注入するためには、イオン注入工程の前にリソグラフィ技術を用いて被研磨膜２０上の中心部Ｐｉｎ上を覆うようにレジストマスクを形成すればよい。あるいは、イオン注入工程において、ドーパントを阻止するイオンビームマスクを被研磨膜２０の中心部Ｐｉｎ上方に配置してもよい。
【００３２】
第２の実施形態によるイオン注入を実現するためには、図４に示すイオン注入装置１００のイオンビームマスク１２０の形状を変更すればよい。例えば、図７は、第２の実施形態におけるイオンビームマスク１２１を備えたイオン注入装置１００を示す概略的な構成図である。図７のイオン注入装置１００は、イオンビームマスク１２１の形状において、図５のイオン注入装置１００と異なる。図７のイオン注入装置１００の他の構成は、図５のイオン注入装置１００の対応する構成と同様でよい。ここで、イオンビームマスク１２１は、半導体基板１０（被研磨膜２０の表面）の中心部Ｐｉｎへ照射されるイオンビームを阻止するような形状に形成されている。例えば、半導体基板１０が３００ｍｍの直径を有する半導体ウェハである場合、イオンビームマスク１２１は、例えば、直径約２６０ｍｍの円形状のマスクでよい。このようなイオンビームマスク１２１を用いることによって、イオンビームは、半導体基板１０の外周部Ｐｅｘにおける被研磨膜２０の表面に選択的に照射される。これにより、第２種類のドーパントは、半導体基板１０の外周部Ｐｅｘにおける被研磨膜２０へイオン注入される。尚、イオンビームマスク１２１は、イオンビームマスク１２０と同じ材料を用いて形成されていてよい。イオンビームマスク１２１として半導体ウェハ（例えば、シリコンウェハ）を利用してもよい。
【００３３】
このように、第２の実施形態に用いられるイオン注入装置１００は、被研磨膜２０の研磨速度を抑制するために被研磨膜２０へイオンビームを照射する。このとき、イオンビームマスク１２１は、イオンビームの一部を遮蔽するために被研磨膜２０を部分的に被覆する。これにより、リソグラフィ技術を経ることなく、半導体基板１０の外周部Ｐｅｘにおける被研磨膜２０に第２種類のドーパントを選択的にイオン注入することができる。
【００３４】
イオン注入装置１００がリボン状イオンビームを射出する場合、イオンビームマスク１２１およびウェハホルダ１３０は、イオンビームの照射方向に対して垂直方向（縦方向または横方向のいずれでもよい）に互いに同期して移動すればよい。これにより、リボン状イオンビームを用いたとしても、イオン注入装置１００は、外周部Ｐｅｘの被研磨膜２０に第２種類のドーパントを略均一にイオン注入することができる。
【００３５】
代替的に、第１の実施形態と同様に、第２の実施形態によるイオン注入装置は、イオンビームの走査技術を用いて被研磨膜２０の中心部Ｐｉｎに選択的にドーパントをイオン注入してもよい。これにより、イオン注入装置は、イオンビームマスクを用いること無く、半導体基板１０の外周部Ｐｅｘにおける被研磨膜２０を選択的に改質することができる。
【００３６】
尚、第２の実施形態において、イオンビームマスク１２１によって被覆されている中心部Ｐｉｎには、ある程度ドーパントが導入されていてもよい。この場合、外周部Ｐｅｘにより多くの第２種類のドーパントがイオン注入され、外周部Ｐｅｘにおけるドーパントの濃度は、中心部Ｐｉｎにおけるそれよりも１０１９ｃｍ−３以上高ければよい。これにより、半導体基板１０の外周部Ｐｅｘにおける被研磨膜２０の研磨速度をその中心部Ｐｉｎにおける被研磨膜２０の研磨速度に接近させることができるからである。
【００３７】
さらに、第２の実施形態における熱処理は、イオン注入と同時に実行してもよい。例えば、イオン注入は、４５０℃〜５００℃の高温状況のもとで実行してもよい。これにより、イオン注入工程および熱処理工程が短縮され得る。尚、イオン注入中に加熱する場合、イオンによる加熱を考慮して、イオン注入後に加熱する場合よりも、１００〜４００℃程度低い温度で加熱してよい。このようにしても、被研磨膜２０の結晶結合は修復され得る。
【００３８】
（第３の実施形態）
図８は、第３の実施形態による半導体装置の製造方法を示すフロー図である。第３の実施形態は、第２および第２の実施形態の組み合わせである。即ち、被研磨膜２０の表面領域のうち、半導体基板１０の中心部Ｐｉｎに第１種類のドーパントを選択的に注入し、尚且つ、半導体基板１０の外周部Ｐｅｘに第２種類のドーパントを選択的に注入する。
【００３９】
半導体基板１０の中心部Ｐｉｎにおける被研磨膜２０に第１種類のドーパントを選択的にイオン注入することにより、半導体基板１０の中心部Ｐｉｎにおける被研磨膜の研磨速度をその外周部Ｐｅｘにおける被研磨膜の研磨速度に接近させることができる。さらに、半導体基板１０の外周部Ｐｅｘにおける被研磨膜２０に第２種類のドーパントを選択的にイオン注入することにより、半導体基板１０の外周部Ｐｅｘにおける被研磨膜の研磨速度を半導体基板１０の中心部Ｐｉｎにおける被研磨膜２０の研磨速度にさらに接近させることができる。その結果、被研磨膜２０の研磨速度が被研磨膜２０の表面において略均一にすることができ、研磨後の被研磨膜２０の表面の平坦性が向上する。
【００４０】
第１種類のドーパントのイオン注入工程および第２種類のドーパントのイオン注入工程は、第１の実施形態および第２の実施形態のそれらを組み合わせればよい。ただし、第１の実施形態では、第１種類のドーパントのイオン注入後、被研磨膜２０を熱処理しない。一方、第２の実施形態では、第２種類のドーパントのイオン注入後、被研磨膜２０を熱処理する。従って、第３の実施形態では、第２種類のドーパントのイオン注入工程、熱処理工程および第１種類のドーパントのイオン注入工程の順番で実行する。これにより、第２および第２の実施形態を組み合わせることができる。
【００４１】
例えば、イオン注入装置１００を用いる場合、イオン注入装置１００は、イオンビームマスク１２１および１２０の両方を備えており、それらを用いて第２種類のドーパントおよび第１種類のドーパントの両方をイオン注入する。
【００４２】
まず、半導体基板１０の外周部Ｐｅｘに第２種類のドーパントを選択的にイオン注入するために、イオン注入装置１００は、イオンビームマスク１２１を用いて被研磨膜２０の中心部Ｐｉｎを被覆してイオンビームの一部を遮蔽する。これにより、イオン注入装置１００は、半導体基板１０の中心部Ｐｉｎにイオンを注入することなく、半導体基板１０の外周部Ｐｅｘにおける被研磨膜２０に第２種類のドーパントを選択的にイオン注入する（Ｓ１０）。
【００４３】
次に、被研磨膜２０を熱処理する（Ｓ２０）。この熱処理により、イオン注入によってダメージを受けた被研磨膜２０を回復させる。
【００４４】
次に、半導体基板１０の中心部Ｐｉｎに選択的に第１種類のドーパントをイオン注入するために、イオン注入装置１００は、イオンビームマスク１２０を用いて被研磨膜２０の外周部Ｐｅｘを被覆してイオンビームの一部を遮蔽する。これにより、イオン注入装置１００は、半導体基板１０の外周部Ｐｅｘにイオンを注入することなく、半導体基板１０の中心部Ｐｉｎにおける被研磨膜２０に第１種類のドーパントを選択的にイオン注入する（Ｓ３０）。
【００４５】
これにより、半導体基板１０の外周部Ｐｅｘにおける被研磨膜の研磨速度を抑制し、尚且つ、半導体基板１０の中心部Ｐｉｎにおける被研磨膜２０の研磨速度を促進させることができる。これにより、被研磨膜２０の全面における研磨速度を略均一にすることができ、研磨後の被研磨膜２０の表面の平坦性を向上させることができる。
【００４６】
（第４の実施形態）
図９は、第４の実施形態による半導体装置の製造方法に従って形成された被研磨膜２０に含まれるドーパントの濃度を示すグラフである。尚、縦軸は、ドーパントの濃度を示し、横軸は、被研磨膜２０の表面からの深さを示す。
【００４７】
第４の実施形態では、研磨速度の促進効果または研磨速度の抑制効果を向上させるために、イオン注入装置１００がドーパントのイオンを、互いに異なる複数の加速度エネルギーで被研磨膜２０へ複数回注入（多段イオン注入）する。第４の実施形態においてイオン注入されるドーパントは、第１種類のドーパントおよび／または第２種類のドーパントである。従って、第４の実施形態は、上記第１〜第３の実施形態のいずれにも適用することができる。
【００４８】
例えば、イオン注入装置１００は、第１種類のドーパントを１０ｋｅＶ、３０ｋｅＶ、５０ｋｅＶの加速度エネルギーでイオン注入する。これにより、図９に示すように、ドーパントの濃度は、被研磨膜２０内において深さ方向に３つのピークＰ１〜Ｐ３を有する。Ｐ１は、加速度エネルギーが１０ｋｅＶであるときのドーパントの濃度ピークを示す。Ｐ２は、加速度エネルギーが３０ｋｅＶであるときのドーパントの濃度ピークを示す。Ｐ３は、加速度エネルギーが５０ｋｅＶであるときのドーパントの濃度ピークを示す。グラフのＰ１とＰ２との間では、加速度エネルギーが１０ｋｅＶおよび３０ｋｅＶであるときのドーパントが重複する。グラフのＰ２とＰ３との間では、加速度エネルギーが３０ｋｅＶおよび５０ｋｅＶであるときのドーパントが重複する。従って、ドーパントを１０ｋｅＶ、３０ｋｅＶ、５０ｋｅＶの加速度エネルギーでイオン注入することによって、図９の実線Ｌｔｏｔａｌのように深さＤ１〜Ｄ３の全体において、第１種類のドーパントの濃度が高濃度（例えば、１０１９ｃｍ−３以上）になる。即ち、被研磨膜２０の表面からの深さがＤ１〜Ｄ３の範囲において、第１種類のドーパントの濃度プロファイルが、所謂、ボックス型の平坦なプロファイルとなる。これにより、被研磨膜２０のＤ１〜Ｄ３の範囲において、研磨速度を促進させることができる。即ち、第４の実施形態によれば、被研磨膜２０の深さ方向の広い範囲（Ｄ１〜Ｄ３）において研磨速度が促進されるので、ＣＭＰ工程における研磨時間が短縮され得る。また、第１種類のドーパントをイオン注入する場合、第４の実施形態は、上記参考例および第１の実施形態の効果も得ることができる。尚、被研磨膜２０の表面から研磨速度を促進させるためには、Ｄ１＝０となるように、イオン注入装置１００の加速度エネルギーを調整すればよい。
【００４９】
同様に、第２種類のドーパントのイオンを互いに異なる複数の加速度エネルギーで被研磨膜２０へ複数回注入すれば、被研磨膜２０のＤ１〜Ｄ３の範囲において、第２種類のドーパントの濃度プロファイルが、所謂、ボックス型の平坦なプロファイルとなる。これにより、被研磨膜２０の研磨速度をさらに効果的に抑制させることができる。この場合、第４の実施形態は、第２の実施形態の効果も得ることができる。
【００５０】
第３の実施形態における第１種類および第２種類のドーパントの両方の濃度プロファイルをボックス型の平坦なプロファイルとしてもよい。これにより、第３の実施形態の効果をさらに向上させることができる。
【００５１】
尚、多段イオン注入における加速度エネルギーは、３段階に限定されず、２段階でもよく、あるいは、４段階以上であってもよい。さらに、加速度エネルギーは、例えば、１〜６０ｋｅＶの範囲で連続的に変化させてもよい。また、ドーパントの濃度が被研磨膜２０の深さ方向にボックス型の平坦なプロファイルとなるように、ドーズ量は、４．００×１０１４／ｃｍ２〜１．００×１０１６／ｃｍ２の範囲で調節してもよい。
【００５２】
(第５の実施形態)
図１０は、第５の実施形態による半導体装置の製造方法を示す平面図である。図１０に示す半導体基板１０の面内において、リソグラフィ工程におけるショットが実線の枠ＳＨｄまたはＳＨｎｄで示されている。枠内に×が示されているショット領域ＳＨｎｄは、パターン（ダミーパターン）が形成されていない領域である。枠内に×が示されていないショット領域ＳＨｄは、パターン（またはダミーパターン）が形成されている領域である。また、半導体基板１０の太枠線Ｂ内に製品チップＣＨが形成される。製品チップＣＨは破線の枠で示されている。太線枠Ｂの外側の半導体基板１０には、製品チップＣＨは形成されない。従って、太線枠Ｂの外側のショット領域ＳＨｄには、ダミーパターンが形成される。太線枠Ｂの外側のうちショット領域ＳＨｎｄには、パターン（ダミーパターン）は形成されない。
【００５３】
一般に、図１０に示すように半導体基板１０には、製品チップのパターンを形成しない外周部がある。リソグラフィ工程のスループットを短縮するために、この製品チップを形成しない外周部には、フォトリソグラフィのショットを行わない場合がある。この場合、半導体基板１０の外周部では、ショットが行われパターン（あるいはダミーパターン）のある領域ＳＨｄと、ショットが行われずパターン（あるいはダミーパターン）の無い領域ＳＨｎｄとが混在することになる。このような状態において、半導体基板１０をＣＭＰ法で研磨すると、領域ＳＨｄと領域ＳＨｎｄとで研磨速度が異なってしまう。ショット領域ＳＨｎｄでは、パターン（あるいはダミーパターン）が形成されていないので、材料層がそのまま残存している。従って、ショット領域ＳＨｎｄでは、膜残りが発生することを抑制するために、研磨速度を速くすることが好ましい。一方、領域ＳＨｄでは、パターン（あるいはダミーパターン）が形成されているので、領域ＳＨｎｄに比べて研磨されやすい。従って、研磨速度を速めると、領域ＳＨｄにおいて過研磨のおそれがある。
【００５４】
ＣＭＰ法では、研磨パッド上で半導体ウェハを回転することにより、研磨を進行させるので、研磨速度のプロファイルは、半導体基板１０の面内において同心円状となる。しかし、半導体基板１０の外周部においては、このようなパターン（ダミーパターン）の有無に依存して研磨速度は変化してしまう。
【００５５】
そこで、第５の実施形態では、半導体基板１０上の被研磨膜２０の表面領域のうち、ショット領域ＳＨｎｄに第１種類のドーパントを選択的に注入する。ショット領域ＳＨｄにはドーパントを注入しない。これにより、ショット領域ＳＨｎｄの研磨速度を上昇させ、ショット領域ＳＨｎｄの研磨速度をショット領域ＳＨｄの研磨速度に接近させる。
【００５６】
図１１は、第５の実施形態におけるイオンビームマスク１２０を備えたイオン注入装置１００を示す概略的な構成図である。イオン注入装置１００は、第１の実施形態のそれと基本的に同一であるが、イオンビームマスク１２０の形状が異なる。従って、イオンソース１１０、引出電極１１１、加速部１１５と、質量分離部１１６、スキャナ１１７等については、図１１では省略している。
【００５７】
イオンビームマスク１２０は、半導体基板１０のチップＣＨおよびショット領域ＳＨｄに照射されるイオンビームを阻止し、ショット領域ＳＨｎｄに照射されるイオンビームを通過させるように形成されている。これにより、ドーパントは、パターン（ダミーパターン）のないショット領域ＳＨｎｄにイオン注入される。図１１では、半導体基板１０の斜線部にドーパントがイオン注入される。尚、イオンビームマスク１２０の材質は、第１の実施形態のそれと同様でよい。
【００５８】
これにより、ショット領域ＳＨｎｄにおける研磨速度を速め、ショット領域ＳＨｄにおける研磨速度に近づける、あるいは、等しくすることができる。これにより、半導体基板１０のエッジ部のうち、ショット領域ＳＨｄの被研磨膜２０は過度に研磨されず、かつ、ショット領域ＳＨｎｄの被研磨膜２０は充分に除去され得る。これにより、半導体基板１０のエッジ部の膜厚（膜減り）のばらつきを抑制することができる。
【００５９】
また、半導体基板１０の面内における製品チップＣＨの占有率に応じて、ショット領域ＳＨｎｄに注入されるドーパントの種類およびドーズ量を変えてもよい。また、製品チップＣＨ内の凸部（または凹部）の占有率に応じて、ショット領域ＳＨｎｄに注入されるドーパントの種類またはドーズ量を変えてもよい。これにより、様々な半導体製品において、ショット領域ＳＨｎｄの研磨速度をショット領域ＳＨｄの研磨速度と同様に制御することができる。
【００６０】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００６１】
１０・・・半導体基板、２０・・・被研磨膜、Ｐｅｘ・・・外周部、Ｐｉｎ・・・中心部、１００・・・イオン注入装置、１１０・・・イオンソース、１１５・・・加速部、１２０、１２１・・・イオンビームマスク、１３０・・・基板ホルダ、２００・・・ＣＭＰ装置、２１０・・・研磨パッド、２２０・・・リテーナリング、２３０・・・メンブレン、２４０・・・ヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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