(57)【要約】      （修正有）【課題】塗液が高粘度であっても詰まりを防止するとともに、詰まり防止のためのメンテナンス性を向上させる。【解決手段】幅方向に長く塗液を溜める空間からなる第１のマニホールド１１と、当該幅方向に広いスリット１２を経由して当該第１のマニホールド１１と繋がり、塗液を基材に対して吐出する吐出口１８とが形成されたダイ１０と、第１のマニホールド１１に連通している流入部から第１のマニホールド１１に塗液を供給する流入管２１と、スリット１２の第１のマニホールド１１と吐出口１８との間には、幅方向にわたって複数設けられ、第１のマニホールド１１から塗液を流出させる流出量を制御することにより吐出口１８からの塗液の吐出量を調整する調整部３１と、調整部３１から塗液を流出させる流出流路５０と、を備え、流出流路５０の途中に、流出した塗液を自由落下させる開放端７１を設けた。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
幅方向に長く塗液を溜める空間からなる第１のマニホールドと、当該幅方向に広いスリットを経由して当該第１のマニホールドと繋がり、塗液を基材に対して吐出する吐出口とが形成されたダイと、
前記第１のマニホールドに連通している流入部から前記第１のマニホールドに塗液を供給する流入管と、
前記スリットの前記第１のマニホールドと前記吐出口との間には、前記幅方向にわたって複数設けられ、前記第１のマニホールドから塗液を流出させる流出量を制御することにより前記吐出口からの塗液の吐出量を調整する調整部と、
前記調整部から塗液を流出させる流出流路と、を備え、
前記流出流路の途中に、流出した塗液を自由落下させる開放端を設けたことを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
前記流出流路は、前記開放端から自由落下した塗液を受ける樋部を含むことを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
前記流入管に塗液を供給するタンクを備えるとともに、前記樋部で受けた塗液は前記タンクに導かれるように構成したことを特徴とする請求項２に記載の塗布装置。
【請求項４】
前記開放端から自由落下する塗液の流量を撮像する計測部と、この撮像した画像から塗液の流量を算出する制御装置とを備えたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の塗布装置。
【請求項５】
塗液をダイに形成された幅方向に長い第１のマニホールドに供給し、当該塗液を前記幅方向に広いスリットを経由して当該第１のマニホールドと繋がる吐出口から吐出して基材へ塗布するとともに、前記スリットの第１のマニホールドと前記吐出口との間に前記幅方向にわたって複数設けられた調整部で流出量を制御して一部の塗液を流出流路に流出させ、前記流出流路に流出した塗液は前記流出流路の途中に設けた開放端から自由落下させることを特徴とする塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基材に高粘度の塗液を塗布する塗布装置、及びその塗布方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ロールツーロールで送られる基材に、塗液を塗布することが行われている。特開２０１３−６９６４５号公報には、基材上に塗布される塗液をムラなく塗布するために、ダイに複数のバルブを設けて一部の塗液を吸引して、ヒゲ等が生じないように制御されることが記載されている。また、ダイに供給された塗液の一部はタンクに戻されるが、そのリリース配管の内径は、塗料を流れやすくするために送液配管と同等以上とされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許文献：特開２０１３−６９６４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、塗液には固形成分が含まれているものがあり、固形成分は混合され分散されているが、塗液の処方の仕方や組成等により特性が異なり、長時間にわたって分散された状態が続く塗液もあれば、短時間で固形成分が沈殿したり凝集したりする不安定な塗液もある。
【０００５】
このような塗液をタンクに戻すときには、沈殿や凝集した固形成分が含まれていることが多く、高粘度となっていることがある。
【０００６】
このような高粘度の塗液をタンクに戻す際に、塗液に含まれる固形成分によってリリース配管が詰まることがある。特許文献１には、リリース配管の内径は、塗料を流れやすくするために送液配管と同等以上とすることが記載されているが、どの程度の配管内径とすればよいかの記載はなく不明であるとともに、固形成分が配管内に付着した場合に取り除く等のメンテナンスが必要であるが、配管の内部のメンテナンス性は困難であるという問題を有していた。
【０００７】
本発明は、上記問題点を解決して、基材にムラなく塗液を塗布するために、塗液が高粘度であってもダイからの流出流路内における詰まりを防止するとともに、詰まり防止のためのメンテナンス性を向上させることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するために本発明は、幅方向に長く塗液を溜める空間からなる第１のマニホールドと、当該幅方向に広いスリットを経由して当該第１のマニホールドと繋がり、塗液を基材に対して吐出する吐出口とが形成されたダイと、前記第１のマニホールドに連通している流入部から前記第１のマニホールドに塗液を供給する流入管と、前記スリットの前記第１のマニホールドと前記吐出口との間には、前記幅方向にわたって複数設けられ、前記第１のマニホールドから塗液を流出させる流出量を制御することにより前記吐出口からの塗液の吐出量を調整する調整部と、前記調整部から塗液を流出させる流出流路と、を備え、前記流出流路の途中に、流出した塗液を自由落下させる開放端を設けたことを特徴とする塗布装置を提供するものである。
【０００９】
この構成により、塗液が高粘度であっても流出流路における詰まりを防止してダイの吐出口からの塗液の吐出量を安定化させるとともに、流出流路内のメンテナンス性を向上させることができる。その結果、ダイの吐出口からの塗液の吐出量を安定化できるため、基材にムラなく塗液を塗布することができる。
【００１０】
また、前記流出流路は、前記開放端から自由落下した塗液を受ける樋部を含む構成としてもよい。
【００１１】
この構成により、複数の前記開放端から自由落下する塗液を効率的に受けることができる。
【００１２】
また、前記流入管に塗液を供給するタンクを備えるとともに、前記樋部で受けた塗液は前記タンクに導かれるように構成してもよい。
【００１３】
この構成により、タンクに戻った塗液が再び流入管に供給されて、塗液の再利用を可能とすることができる。
【００１４】
さらに、前記開放端から自由落下する塗液の流量を撮像する計測部と、この撮像した画像から塗液の流量を算出する制御装置とを備えた構成としてもよい。
【００１５】
この構成により、前記調整部での調整が正確になりダイの吐出口からの塗液の吐出量が安定化するため、基材にムラなく塗液を塗布することができる。
【００１６】
また、上記の課題を解決するために本発明は、塗液をダイに形成された幅方向に長い第１のマニホールドに供給し、当該塗液を前記幅方向に広いスリットを経由して当該第１のマニホールドと繋がる吐出口から吐出して基材へ塗布するとともに、前記スリットの第１のマニホールドと前記吐出口との間に前記幅方向にわたって複数設けられた調整部で流出量を制御して一部の塗液を流出流路に流出させ、前記流出流路に流出した塗液は流出流路の途中に設けた開放端から自由落下させることを特徴とする塗布方法を提供するものである。
【００１７】
この構成により、塗液が高粘度であっても流出流路における詰まりを防止するとともに、詰まり防止のためのメンテナンス性を向上させることができる。その結果、ダイの吐出口からの塗液の吐出量を安定化できるため、基材にムラなく塗液を塗布することができる。
【発明の効果】
【００１８】
上記のように、幅方向に長く塗液を溜める空間からなる第１のマニホールドと、当該幅方向に広いスリットを経由して当該第１のマニホールドと繋がり、塗液を基材に対して吐出する吐出口とが形成されたダイと、前記第１のマニホールドに連通している流入部から前記第１のマニホールドに塗液を供給する流入管と、前記スリットの前記第１のマニホールドと前記吐出口との間には、前記幅方向にわたって複数設けられ、前記第１のマニホールドから塗液を流出させる流出量を制御することにより前記吐出口からの塗液の吐出量を調整する調整部と、前記調整部から塗液を流出させる流出流路と、を備え、前記流出流路の途中に、流出した塗液を自由落下させる開放端を設けたことを特徴とする塗布装置により、塗液が高粘度であっても流出流路における詰まりを防止してダイの吐出口からの塗液の吐出量を安定化させるとともに、流出流路内のメンテナンス性を向上させることができる。そして、ダイの吐出口からの塗液の吐出量を安定化できるため、基材にムラなく塗液を塗布することができる。
【００１９】
また上記のように、塗液をダイに形成された幅方向に長い第１のマニホールドに供給し、当該塗液を前記幅方向に広いスリットを経由して当該第１のマニホールドと繋がる吐出口から吐出して基材へ塗布するとともに、前記スリットの第１のマニホールドと前記吐出口との間に前記幅方向にわたって複数設けられた調整部で流出量を制御して一部の塗液を流出流路に流出させ、前記流出流路に流出した塗液は前記流出流路の途中に設けた開放端から自由落下させることを特徴とする塗布方法により、塗液が高粘度であっても流出流路における詰まりを防止してダイの吐出口からの塗液の吐出量を安定化させるとともに、流出流路内のメンテナンス性を向上させることができる。そして、ダイの吐出口からの塗液の吐出量を安定化できるため、基材にムラなく塗液を塗布することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施例１における塗布装置の概略構成を示す説明図である。
【図２】図１のａ矢視のダイの断面と複数の流出流路を示す図である。
【図３】（Ａ）は、図１のｂ矢視の断面図であり、（Ｂ）は、シム板１５の平面図である。
【図４】本発明の実施例２における塗布装置の概略構成を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００２１】
以下、本発明の実施例１の形態を図面に基づいて説明する。  図１は、実施例１における塗布装置の概略構成を示す説明図である。この塗布装置１は、ロールツーロールで送られる基材２に、固形成分、溶媒等を含む高粘度の塗液３を塗布するための装置である。
【００２２】
この塗布装置１によれば、塗布した塗液３を乾燥させることで基材２上に固形成分を含む層が形成される。塗液３は、基材２の送り方向に沿って均一な厚さ（均一な塗膜量）で塗布することが求められる。なお、基材２の幅方向は、基材２の送り方向に直交する方向であり、図１におけるＹ軸方向がこれに相当する。
【００２３】
塗布装置１は、基材２の幅方向に沿って長く構成されたダイ１０と、このダイ１０に塗液３を供給する供給手段２０とを備えている。ダイ１０において、その長手方向（図１におけるＹ軸方向）を幅方向という。この塗布装置１では、ダイ１０に対向するローラ５が設置されており、ダイ１０の幅方向とローラ５の回転中心線の方向とは平行である。基材２は、このローラ５に案内され、基材２とダイ１０（後述のスリット１２の先端）との間隔（隙間）が一定に保たれ、この状態で塗液３の塗布が行われる。
【００２４】
ダイ１０は、先細り形状である第一リップ１３ａを有する第一分割体１３と、先細り形状である第二リップ１４ａを有する第二分割体１４とを、これらの間にシム板１５を挟んで、組み合わせた構成からなる。図２は、図１のａ矢視のダイ１０の断面と流出流路５０等を含む塗布装置１の概要を示す図である。図３（Ａ）は、図１のｂ矢視の断面図であり、シム板１５を、図３（Ｂ）に示している。ダイ１０は、その内部に、幅方向に長い空間からなる第１のマニホールド１１と、この第１のマニホールド１１と繋がるスリット１２とが形成され、また、第一リップ１３ａと第二リップ１４ａとの間には、スリット１２の解放端である吐出口１８が形成されている。すなわち、第１のマニホールド１１と吐出口１８とは、スリット１２を経由して繋がっている。
【００２５】
この構成により、供給手段２０により供給された塗液３は、先ず第１のマニホールド１１に溜められ、次に、スリット１２を経由して吐出口１８から吐出される。  スリット１２は、第１のマニホールド１１と同様に幅方向に長く形成されており、スリット１２の幅方向寸法は、後述するシム板１５の内寸Ｗ（図３（Ｂ）参照）によって決定され、スリット１２の幅方向寸法と略同一の幅方向寸法の塗液３を、基材２上に塗布することができる。スリット１２の隙間寸法（高さ寸法）は、例えば０．４〜１．５ｍｍである。本実施形態では、スリット１２の隙間方向が上下方向であり、幅方向が水平方向となる姿勢でダイ１０は設置されている。つまり、第１のマニホールド１１とスリット１２とが水平方向に並んで配置される姿勢でダイ１０は設置されている。したがって、第１のマニホールド１１に溜められている塗液３をスリット１２および吐出口１８を通じて基材２へと流す方向は水平方向となる。
【００２６】
なお、シム板１５の厚さを変更することにより、第１のマニホールド１１内部の圧力（塗布圧力）を調整することができ、この調整によって、様々な特性を有する塗液３で均一な膜厚の塗布を行うことが可能となる。
【００２７】
ダイ１０の幅方向の中央部には、流入部１６が設けられており、この流入部１６は、ダイ１０の外部から第１のマニホールド１１へ繋がる貫通孔（流入口）からなる。供給手段２０は、この流入部１６に一端部が接続されている流入管２１と、塗液３を貯留しているタンク２２と、このタンク２２内の塗液３を、流入管２１を通じてダイ１０へ供給するためのポンプ２３とを有している。以上より、供給手段２０は、第１のマニホールド１１に流入部１６から塗液３を供給することができる。なお、本実施形態では、図１に示すように、流入部１６は、第１のマニホールド１１の底部１７と繋がっており、この底部１７から塗液３を流入させる構成としている。
【００２８】
そして、第１のマニホールド１１は、供給手段２０から供給された塗液３を溜めることができ、第１のマニホールド１１に溜められている塗液３を、スリット１２を通って吐出口１８からロールツーロールで送られる基材２に対して吐出し、この基材２に対して塗液３を連続的に塗布することができる。スリット１２の隙間寸法はその幅方向に一定であり、基材２上に塗布される塗液３の厚さは幅方向に一定となる。
【００２９】
また、ダイ１０には圧力センサ（図示せず）が設けられており、この圧力センサは、第１のマニホールド１１の塗液３の内圧を計測する。そして、この計測結果に基づいて供給手段２０による塗液３の供給が制御され、第１のマニホールド１１の塗液３の内圧を一定に保つ。第１のマニホールド１１で内圧が一定とされる塗液３は、スリット１２から幅方向全長にわたって均等の量で吐出され、また、前記圧力センサの計測結果に基づいて、スリット１２から吐出される塗液３の量が変動しないように制御され、基材２上に塗布される塗液３の送り方向の厚さを一定とする。また、図示しないが、流入管２１の途中には塗液３用のフィルタが設けられている。
【００３０】
そして、スリット１２には、第１のマニホールド１１の塗液３を吐出口１８以外からダイ１０の外部へ流出させる調整部３１，３２，３３，３４が設けられている。スリット１２の幅方向の両端部１２ａ，１２ｂに、第１と第２の調整部３１，３２が設けられ、この両端部１２ａ，１２ｂの間の途中部１２ｃ，１２ｄに、第３と第４の調整部３３，３４が設けられている。
【００３１】
調整部３１，３２，３３，３４は、スリット１２と、ダイ１０の外部とを繋ぐ貫通孔と、バルブ６１、６２、６３、６４と、貫通孔とバルブ６１、６２、６３、６４の入力端とを接続するパイプ５１、５２、５３、５４とからなる。
【００３２】
調整部３１，３２，３３，３４のバルブ６１、６２、６３、６４の出力端は、流出流路５０の一端に接続されている。流出流路５０は、流出管４１、４２、４３、４４、樋部８１及びパイプ８２とからなる。流出流路の他端はタンク２２に繋がれており、調整部３１，３２，３３，３４から流出した塗液３は、タンク２２へ戻される。なお、流出流路５０の途中に、図示しないがフィルタが設けられているのが好ましい。
【００３３】
この調整部３１，３２，３３，３４それぞれには、スリット１２から流出させる塗液３の流量の調整を行うバルブ６１，６２，６３，６４が設けられている。具体的に説明すると、図２に示すように、パイプ５１，５２，５３，５４それぞれに、バルブ６１，６２，６３，６４が接続されている。
【００３４】
これらバルブ６１，６２，６３，６４それぞれは、調整部３１，３２，３３，３４それぞれから流出する塗液３の流量を調整する機能を有している。なお、バルブ６１，６２，６３，６４それぞれは、調整部３１，３２，３３，３４それぞれから流出する塗液３の圧力を調整してもよい。または、調整部３１，３２，３３，３４とタンク２２とを繋ぐ流出流路５０の途中に、塗液３の流量管理（流出量調整）を行う機器（例えば、ポンプ）が設けられていてもよく、この場合、この機器が、スリット１２から流出させる塗液３の排出調整を行う制御装置として機能する。
【００３５】
また、図１、図２に示すように、流出流路５０の途中には、開放端７１、７２、７３、７４が設けられていて、その開放端７１、７２、７３、７４から塗液３が自由落下する構成とされている。具体的に説明すると、流出流路５０の流出管４１、４２、４３、４４の一端はバルブ６１，６２，６３，６４に接続され、流出管４１、４２、４３、４４の他端は開放端７１、７２、７３、７４となっている。
【００３６】
開放端７１、７２、７３、７４はできるだけダイ１０の直近（すなわちバルブ６１、６２、６３、６４の直近）に設けられ、流出管４１、４２、４３、４４内で塗液の固形成分が付着したり詰まったりする可能性を少なくしている。流出管４１、４２、４３、４４の開放端７１、７２、７３、７４の開放面は水平方向を向いており、この開放端７１、７２、７３、７４の開放面から塗液３が自由落下又は滴下する構成とされている。
【００３７】
なお、実施例１において、開放端７１、７２、７３、７４の開放面は水平方向を向いているが、必ずしもこれに限定されず、鉛直方向の下を向いている構成でもよい。
【００３８】
流出管４１、４２、４３、４４のそれぞれに流れる塗液３の流量は、流入管２１に流れる塗液３の流量より少なく、また流出管４１、４２、４３、４４は調整部３１、３２、３３、３４に合わせてダイ１０の幅方向に複数並べる必要がある。このため、流出管４１、４２、４３、４４のそれぞれの径は流入管２１の径より細くしており、流出管４１、４２、４３、４４それぞれの方が流入管２１よりも塗液３の固形成分が詰まりやすい。また、高粘度であればさらに詰まりやすい。
【００３９】
このため上記の構成とすることにより、塗液３が高粘度であっても流出管４１、４２、４３、４４内に固形成分等が詰まることを防ぐようにしている。また、仮に流出管４１、４２、４３、４４内に固形成分等が詰まったとしても、それらの詰まりを取り除くことが容易で、優れたメンテナンス性を有する。
【００４０】
そして上記のように、流出管４１、４２、４３、４４は、極力短くして、開放端７１、７２、７３、７４をダイ１０の直近に設けるようにすることで、さらに流出管４１、４２、４３、４４内の詰まりを防止できるとともに、メンテナンス性が向上する。
【００４１】
開放端７１、７２、７３、７４から自由落下した塗液３は、樋部８１で受けて集められて、パイプ８２を経由してタンク２２に戻される。樋部８１は、上面が開放されており。ほぼ直線状に配置された
開放端７１、７２、７３、７４に沿って長く構成されている。また塗液３を集めやすくするために樋部８１の両端は、樋部８１の長さ方向の中央部を最下部としてわずかに傾斜していている。そして、パイプ８２は樋部８１の最下部である中央部の底部に一端が接続され、他端はタンク２２に接続されている。
【００４２】
なお、実施例１において、樋部８１の最下部は長さ方向の中央部としているが、必ずしもこれに限定されるものではなく、長さ方向のいずれかの端部を最下部としてもよいし、端部と中央部との間の任意場所を最下部としてもよい。そして、最下部にパイプ８２の一端が接続される。
【００４３】
そして、開放端７１、７２、７３、７４から自由落下する塗液３を樋部８１で集めてパイプ８２に導くことにより、効率的に塗液３をタンク２２に戻すことができる。
【００４４】
このように、ダイ１０のスリット１２には、第１のマニホールド１１の塗液３を吐出口１８以外からダイ１０の外部へ流出させる調整部３１，３２，３３，３４が、スリット１２の幅方向に設けられていることから、たとえばマニホールド１１の両端部において塗液３が流れ難くなる（滞留する）ことによってマニホールド１１からスリット１２に流入する塗液３の量が幅方向に不均一になったとしても、調整部３１，３２，３３，３４によって吐出口１８へ流出する塗液３の量を調節することにより、吐出口１８から吐出される塗液３の量が幅方向に不均一になることを防ぐことができる。
【００４５】
なお、第１のマニホールド１１の両端部において、塗液３の固形成分が沈殿や凝集し易くなる理由は、これら両端部には、第１のマニホールド１１の幅方向端面を構成する壁が存在していることから、第１のマニホールド１１の中央部から供給され幅方向両側へ広がる塗液３は、両端部において流速が低下しやすく、塗液３が滞留しやすいためである。特に、高粘度の塗液３は両端部において滞留しやすく固形成分が沈殿又は凝集しやすい。
【００４６】
また、このような高粘度の塗液３は、調整部３１、３２、３３、３４から流出される流出流路５０においても固形成分が沈殿又は凝集しやすく詰まりやすい。そして詰まることにより、流出流路５０の塗液３が流れにくくなる。  本発明の実施例１における塗布装置１においては、流出流路５０の途中に塗液３が自由落下する開放端７１、７２、７３、７４を備えていることから、流出流路５０での詰まりが防げる。そのため、ダイ１０から吐出される塗液３として、粘度が数千から数万ｃＰ（剪断速度＝１の場合）のものを採用することができる。
【００４７】
ここで、実施例１において、調整部３１，３２，３３，３４は第１のマニホールドではなく、スリット１２に設けられている。これは、第１のマニホールド１１は流入部１６から流入した塗液３を第１のマニホールド１１全体に行き渡らせるために幅方向の断面積を大きく、すなわち容積を大きく形成されているためであり、仮に第１のマニホールドに調整部３１，３２，３３，３４を設けた場合、各調整部による局所的な塗液量の調整を行っても、感度が悪く十分に調整の効果が得られにくい。
【００４８】
これに対し、第１のマニホールド１１よりも幅方向の断面積が十分に小さいスリット１２に調整部３１，３２，３３，３４を設けることにより、各調整部における調整を感度良く吐出口１８からの吐出量に反映させることが可能である。
【００４９】
また塗布装置１は、基材２上へ塗布した塗液３の膜厚を測定するセンサ３６を備えている（図１参照）。センサ３６は、幅方向に沿って複数設けられていてもよい。センサ３６は、非接触式であり、基材２上の塗液３の膜厚を、幅方向に沿って複数カ所、又は、幅方向の全長にわたって計測可能であり、計測結果は、塗布装置１が備えている制御装置（コンピュータ）３７に出力される。制御装置３７はセンサ３６からの計測結果に基づくフィードバック制御を行い、バルブ６１，６２，６３，６４の開度を調整する。つまり、塗液３の膜厚の計測結果に応じて、制御装置３７は、バルブ６１，６２，６３，６４それぞれに対して制御信号を出力し、バルブ６１，６２，６３，６４それぞれの開度を調整する。これにより、塗液３の膜厚を幅方向に一定に保つことが可能となる。
【００５０】
なお、センサ３６の代わりに制御装置３７が有するタイマ機能により、バルブ６１，６２，６３，６４の開度を制御してもよい。つまり、塗布開始からある時間が経過すると塗液３の固形成分の沈殿や凝集が問題となることから、この時間が経過する前の所定時間をタイマで計測し、その所定時間が経過すると、制御装置３７はバルブ６１，６２，６３，６４の開度を大きくする制御を行ってもよい。
【００５１】
さらに、スリット１２の両端部１２ａ，１２ｂの間の途中部１２ｃ，１２ｄにも、調整部３３，３４が設けられており、両端部１２ａ，１２ｂのみで塗液３の流量が多くなることを抑えている。そして、この途中部１２ｃ，１２ｄに接続されているバルブ６３，６４の開度を調整することで、塗液３の吐出作業を長時間継続して行っていても、基材２上に形成される塗液３の膜厚を均一にすることが可能となる。
【００５２】
以上の制御によれば、調整部３１，３２，３３，３４を通じてスリット１２から流出させる塗液３の流量を調整することにより、吐出口１８から吐出させる塗液３の量が変更される。このため、塗液３を吐出口１８から幅方向の全長にわたって均等に吐出させるためのより厳密な制御が可能となり、基材２上に形成される塗液３の膜厚を、幅方向及び送り方向について、均一にすることが可能となる。
【００５３】
なお、スリット１２の途中であり、調整部３１，３２，３３，３４が設けられた部分と吐出口１８との間に第２のマニホールドが設けられていても良い。  第２のマニホールドは、幅方向の長さは第１のマニホールド１１およびスリット１２と同等であり、幅方向の断面積は第１のマニホールド１１よりも小さい。
【００５４】
このような第２のマニホールドが調整部３１，３２，３３，３４を設けられた部分と吐出口１８との間に設けられることにより、第１のマニホールド１１で生じていた塗液３の流量のばらつきを各調整部において軽減し、さらに第２のマニホールドで流量を平準化することにより、吐出口１８からの塗液３の吐出量を幅方向にわたって所定の量に維持することが可能である。
【００５５】
また、スリット１２の途中（第１のマニホールド１１と吐出口１８の間）に第２のマニホールドが設けられ、この第２のマニホールドに調整部３１，３２，３３，３４が設けられていても良い。
【００５６】
この構成においても、上記の通り、第２のマニホールドは、幅方向の長さは第１のマニホールド１１およびスリット１２と同等であり、幅方向の断面積は第１のマニホールド１１よりも小さい。  このような第２のマニホールドに調整部３１，３２，３３，３４が設けられることにより、スリット１２に直接調整部３１，３２，３３，３４を設ければ調整の感度が良すぎて吐出口１８からの塗液３の吐出量の制御が困難であるときに、適度に調整感度を緩めて塗液３の吐出量の制御を容易にすることができる。
【００５７】
また、本発明の実施例１における塗布装置１は、上記の形態に限らず本発明の範囲内において他の形態のものであってもよい。例えば、実施例１（図１参照）では、流入部１６は、第１のマニホールド１１の底部１７と繋がっており、この底部１７から塗液３を流入させる構成としているが、流入部１６は、第１のマニホールド１１の側部（高さ方向の中間部）と繋がった構成であってもよい。
【００５８】
また、実施例１では、第１のマニホールド１１の塗液３がスリット１２を通じて吐出口１８から基材２へと流れる方向が水平方向となるようにダイ１０が設置されている場合について説明したが、ダイ１０の設置姿勢はこれ以外であってもよい。例えば、第１のマニホールド１１とスリット１２とが鉛直方向に並んで配置される姿勢でダイ１０は設置されていてもよく、この場合において、第１のマニホールド１１の塗液３がスリット１２を通じて吐出口１８から基材２へと流れる方向が鉛直方向上向きとなるようにダイ１０が設置されていてもよい。
【００５９】
さらに、実施例１では、両端部１２ａ，１２ｂの間において、二カ所の途中部１２ｃ，１２ｄに調整部３３，３４が設けられている場合について説明したが、途中部に設ける調整部の数はこれ以外であってもよく、調整部は、両端部１２ａ，１２ｂの間の途中部に少なくとも一カ所設けられていればよい。
【００６０】
また、シム板１５の形状（図３（Ｂ）参照）は、図示した以外のものであってもよい。シム板１５の形状によりスリット１２（塗液３の流路）の形状が決定されることから、シム板１５の形状によって塗液３の固形成分が沈殿等発生しやすい途中部に、調整部を設ければよい。
【００６１】
上記の構成により実施例１においては、塗液３が高粘度であっても流出流路５０の流出管４１、４２、４３、４４に固形成分が詰まることを防ぐことができ、ダイ１０の吐出口１８からの吐出量を一定に保つように制御できるため、基材２上に形成される塗液３の膜厚を均一にすることが可能となる。また、仮に流出流路５０の流出管４１、４２、４３、４４に固形成分が詰まったとしても、それらの詰まりを取り除くことが容易で、メンテナンス性に優れたものとすることができる。
【００６２】
なお、本発明の塗布装置１は、塗布する塗布液が高粘度の塗液である場合に有効であり、高粘度の塗液を塗布して製品（例えば、光学フィルムや電池の電極）を製造する場合に適用してもよい。
【実施例２】
【００６３】
本発明の実施例２について、図４を参考にして説明する。実施例２は、流出流路５０の流出管４１、４２、４３、４４に設けた開放端７１、７２、７３、７４から自由落下する塗液３の流量を計測する計測部９１を設けた点で実施例１と異なっている。
【００６４】
計測部９１はＴＶカメラからなり、開放端７１、７２、７３、７４から自由落下する塗液３をＴＶカメラで撮像する。計測部は制御装置３７に接続されており、撮像画像は制御装置３７に送られて、塗液３の面積等を計測する。
【００６５】
制御装置３７は、事前にこの塗液３の面積と流量との関係を記憶しておいて、計測した塗液３の面積等から自由落下する塗液３の流量を算出する。ＴＶカメラは１台で開放端７１、７２、７３、７４から自由落下する塗液３すべてを撮像してもよいし、開放端７１、７２、７３、７４毎にＴＶカメラを設け、それぞれのＴＶカメラで塗液３を撮像してもよい。
【００６６】
上記の実施例１では、基材２上へ塗布した塗液３の膜厚をセンサ３６が計測し、制御装置３７はセンサ３６からの計測結果に基づくフィードバック制御を行い、バルブ６１，６２，６３，６４の開度を調整していた。本実施例２においては、センサ３６に代わり、又はセンサ３６を補完する目的で計測部９１を設けてられている。
【００６７】
すなわち、開放端７１、７２、７３、７４から自由落下する塗液３を計測部９１が撮像し制御装置３７がその流量を算出してフィードバックしバルブ６１，６２，６３，６４の開度を調整する。つまり、ダイ１０における第１のマニホールドの幅方向両端部１２ａ，１２ｂの塗液３の流量が多くなり過ぎればバルブ６１、６２を閉めるように開度を調整し、又はダイ１０における第１のマニホールドの幅方向両端部１２ａ，１２ｂの塗液３の流量が少なくなり過ぎればバルブ６１、６２を開けるように開度を調整して、ダイ１０の吐出口１８からの塗液３吐出量を制御して基材２上に形成される塗液３の膜厚を均一にすることが可能となる。
【００６８】
または、上記に限らず、開放端７１、７２、７３、７４から自由落下する塗液３を計測部９１が撮像し制御装置３７がその流量を算出してフィードバックしバルブ６１、６２の開度を調整することに加えて、バルブ６３、６４の開度も調整するようにしてもよい。
【００６９】
または、制御装置３７はセンサ３６が計測した塗液３の膜厚に加えて、計測部９１が撮像した開放端７１、７２、７３、７４からの塗液３に基づいて、バルブ６１，６２，６３，６４の開度を調整するようにしてもよい。この
構成により、正確にバルブ６１，６２，６３，６４の調整が可能となり、基材２に塗布される塗液３の膜厚がさらに均一に保たれることになる。
【００７０】
上記の構成により実施例２においても、塗液３が高粘度であっても流出流路５０の流出管４１、４２、４３、４４に固形成分が詰まることを防ぐことができ、ダイ１０の吐出口１８からの吐出量を一定に保つように制御できるため、基材２上に形成される塗液３の膜厚を均一にすることが可能となる。また、仮に流出流路５０の流出管４１、４２、４３、４４に固形成分が詰まったとしても、それらの詰まりを取り除くことが容易で、メンテナンス性に優れたものとすることができる。
【００７１】
また、開放端７１、７２、７３、７４から自由落下する塗液３を計測部９１が撮像し制御装置３７がその流量を算出することにより、より正確にダイ１０の吐出口１８からの吐出量を一定に保つように制御することができる。
【符号の説明】
【００７２】
１：塗布装置    ２：基材    ３：塗液  １０：ダイ    １１：第１のマニホールド      １２：スリット  １６：流入部    １７：底部    １８：吐出口    ２０：供給手段  ２１：流入管    ２２：タンク  ２３：ポンプ  ３１：調整部    ３２：調整部    ３３：調整部    ３４：調整部  ３６：センサ    ３７：制御装置  ４１：流出管    ４２：流出管    ４３：流出管    ４４：流出管  ５０：流出流路  ５１：パイプ  ５２：パイプ  ５３：パイプ  ５４：パイプ６１：バルブ    ６２：バルブ    ６３：バルブ    ６４：バルブ  ７１：開放端    ７２：開放端    ７３：開放端    ７４：開放端  ８１：樋部      ８２：パイプ  ９１：計測部
【図１】
2016175003.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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