(57)【要約】【課題】案内機構が高負荷で、低摩擦であり、かつ案内精度が高く、減衰性能が高いとともに、状況に応じて特性を変更できる工作機械の提供。【解決手段】工作機械１０には油静圧案内機構およびすべり案内機構を含む案内機構が形成される。油静圧案内機構は、外周をシールされた静圧室と、静圧室に潤滑油を供給する供給経路とを有する。工作機械１０の制御装置２４には、静圧室に供給される潤滑油を調節する油圧調整部７０が設置され、油圧調整部７０には、マニュアル設定部７１、プログラム設定部７２、センシング設定部７３が設置されている。【選択図】図８
2016215304.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに相対移動する２部材を有する工作機械であって、
前記２部材の間には、油静圧案内機構およびすべり案内機構を含む案内機構が形成され、
前記油静圧案内機構は、外周をシールされた密閉式の静圧室と、前記静圧室に潤滑油を供給する供給経路と、を有するとともに、前記油静圧案内機構には、前記静圧室に供給される潤滑油を調節する油圧調整装置が接続されていることを特徴とする工作機械。
【請求項２】
請求項１に記載した工作機械において、
前記油圧調整装置は、操作者が操作可能な操作部と、前記操作部に入力された設定情報に基づいて前記潤滑油の調節を行うマニュアル設定部とを有することを特徴とする工作機械。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載した工作機械において、
前記油圧調整装置は、前記工作機械に適用される動作プログラムを参照し、前記動作プログラムに記述された加工内容に基づいて前記潤滑油の設定情報を設定するプログラム設定部を有することを特徴とする工作機械。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載した工作機械において、
前記油圧調整装置は、前記工作機械が稼働する際の前記案内機構における荷重負荷を取得し、取得された前記荷重負荷に基づいて前記潤滑油の設定情報を設定するセンシング設定部を有することを特徴とする工作機械。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載した工作機械において、
前記油静圧案内機構は、前記静圧室から潤滑油を回収する回収経路を有することを特徴とする工作機械。
【請求項６】
請求項５に記載した工作機械において、
前記供給経路は、前記静圧室の外周側に潤滑油を供給し、
前記回収経路は、前記静圧室の中心部から潤滑油を回収することを特徴とする工作機械。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載した工作機械において、
前記相対移動する２部材として、案内部材と前記案内部材に沿って相対移動可能な移動部材とを有し、
前記案内部材は、平滑な案内面を有し、
前記油静圧案内機構および前記すべり案内機構は、前記案内面との間に形成されて前記案内面を共用していることを特徴とする工作機械。
【請求項８】
請求項７に記載した工作機械において、
前記移動部材は、前記案内面に対向する前記静圧室と、前記静圧室を包囲するシール部とを有し、
前記静圧室と前記案内面とにより前記油静圧案内機構が形成されていることを特徴とする工作機械。
【請求項９】
請求項７または請求項８に記載した工作機械において、
前記移動部材は、前記案内面に対向する摺動面と、前記摺動面に形成された給油溝とを有し、
前記摺動面と前記案内面とにより前記すべり案内機構が形成されることを特徴とする工作機械。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工作機械に関し、とくに移動機構として相対移動する２部材を有する工作機械に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、工作機械には、加工対象であるワークと加工用の工具とを任意の相対位置に移動させるために、様々な移動機構が用いられる。
例えば、ワークを載置するテーブルの支持構造あるいは工具を装着するヘッドの支持構造には、三次元移動を可能とするために、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の各軸に沿った直線移動機構が採用される。また、テーブルあるいはヘッドの向きを変えるために、回転移動機構が採用される。
【０００３】
これらの移動機構は、相対移動する２部材（例えば案内部材とこれに沿って移動する移動部材）を有するとともに、これらの２部材を移動させる駆動機構と、移動方向あるいは移動軸線の精度（案内精度）を確保するための案内機構を有する。
このような案内機構では、案内精度が高いこと、つまり直線運動はなるべく直線に、回転運動はなるべく真円に、という幾何学的精度が求められる。さらに、案内機構においては、高負荷容量で、低摩擦であり、減衰性能（吸振性能）が高いことが求められる。
【０００４】
近年、工作機械の案内機構には、油静圧案内機構が用いられている（特許文献１）。
油静圧案内機構では、一対の摺動面のうち一方に静圧室を形成し、この静圧室に潤滑油を供給し、その静圧により他方の摺動面との間で荷重伝達を行う。つまり、一対の摺動面には潤滑油が介在するだけであり、一対の摺動面どうしは非接触状態となるので、摺動抵抗を大幅に低減できる。
【０００５】
一方、工作機械の案内機構としては、伝統的なすべり案内機構（動圧案内機構）が引き続き多用されている（特許文献２）。
すべり案内機構は、それぞれ平滑に形成された一対の摺動面の間に潤滑油を供給しつつ、各々を摺動させるものである。一対の摺動面は、潤滑油による潤滑がなされるものの、相互に固体接触が維持される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−５８１９２号公報
【特許文献２】特開２００８−２３８３９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前述した油静圧案内機構は、静止時から移動時まで常に油膜が介在するため、高負荷荷重を支持でき、安定して低摩擦化できる。
ただし、油静圧案内機構は、油膜で浮上する構造上、減衰性能には限界がある。また、油膜を形成するための潤滑油を供給する供給装置と、潤滑油を回収する回収装置が必要である。とくに、従来の油静圧案内機構では、潤滑油を用いる関係から、空気を用いる空気静圧軸受のように外気に排出することができない。このため、静圧室に供給された潤滑油が、外周縁から案内機構の外部へ排出される構造とされる。とくに、油静圧案内機構では、排出される潤滑油の量がすべり案内に比べて膨大な量となるため、潤滑油を回収し、供給装置に戻す回収装置が必要である。従って、案内機構に付随する装置構成や配管類が複雑にならざるを得ない。
【０００８】
一方、すべり案内機構は、一対の摺動面どうしのすべり案内であるため、案内精度および減衰性能が高くできるとともに、構造的に簡素という特長がある。しかし、すべり案内機構は、負荷容量が小さく、摩擦係数が大きく、とくに起動時や低速時の摩擦係数が増大するため、動作が円滑でなくなることがあり、位置決め精度に影響することがある。
【０００９】
工作機械の動作の円滑化を図るべく、その案内機構を、従来型のすべり案内機構から、低摩擦性に優れた油静圧案内機構に置換することが考えられる。
しかし、従来のすべり案内機構を、単純に油静圧案内機構に置換しても、前述のような特長の相違により、所期の性能が得られない可能性がある。
【００１０】
そこで、従来型のすべり案内機構と油静圧案内機構との併用ということが考えられている。
すなわち、ひとつの案内機構にすべり案内機構と油静圧案内機構とを設けて併用式とすることで、油静圧案内機構の特長である高負荷荷重および低摩擦性を得るとともに、すべり案内機構の特長である案内精度および減衰性能の高さを得ることができる。
【００１１】
しかし、前述したような、すべり案内機構と油静圧案内機構との併用式の案内機構においては、得られる高負荷荷重、低摩擦性、案内精度の高さ、および減衰性能の高さのうち、全ての特性が常に要求されているわけではない。例えば、工作機械の運転状態や加工する製品によって、その時々に必要な特性が変化する。そして、さほど高負荷荷重でない状況で、油静圧案内機構に潤滑油を送り続けることは無駄が多い。
従って、併用式の案内機構において、状況に応じて特性の変更が行えるようにすることが望まれている。
【００１２】
本発明の目的は、案内機構が高負荷で、低摩擦であり、かつ案内精度が高く、減衰性能が高いとともに、状況に応じて特性を変更できる工作機械を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の工作機械は、互いに相対移動する２部材を有する工作機械であって、前記２部材の間には、油静圧案内機構およびすべり案内機構を含む案内機構が形成され、前記油静圧案内機構は、外周をシールされた密閉式の静圧室と、前記静圧室に潤滑油を供給する供給経路と、を有するとともに、前記油静圧案内機構には、前記静圧室に供給される潤滑油を調節する油圧調整装置が接続されていることを特徴とする。
【００１４】
本発明において、油圧調整装置としては、油静圧案内機構の静圧室に供給される潤滑油を調節できるものであればよい。
静圧室に供給される潤滑油の調節としては、潤滑油の圧力、流量、流速（時間当たり流量）およびこれらの組み合わせが該当する。
【００１５】
静圧室に供給される潤滑油を調節する手段としては、潤滑油供給用のポンプの調節、潤滑油の供給経路に設置した調整弁の調節などが利用できる。あるいは、回収経路が設置されていれば、回収経路に設置した調整弁の調節により、供給側の潤滑油の流れを間接的に調整してもよい。
【００１６】
このような本発明においては、油静圧案内機構では、静圧室内の潤滑油の静圧により、相対移動する２部材の間の荷重支持が行われ、これにより高負荷荷重および低摩擦性が得られる。
また、すべり案内機構では、相対移動する２部材の間の直接的な接触により荷重支持が行われ、これにより高い案内精度および減衰性能が得られる。
従って、すべり案内と油静圧案内との併用式案内機構とすることで、一つの案内機構において、高負荷荷重および低摩擦性と、高い案内精度および減衰性能を、共に得ることができる。
【００１７】
本発明において、油静圧案内機構は、静圧室の外周がシールされた密閉式の油静圧構造とされる。このようなシール式の油静圧案内機構においては、外周縁から外部へと潤滑油が溢れ出すことを防止し、あるいは最小限に抑制することができる。
従って、油静圧案内機構とすべり案内機構とを併設しても、油静圧案内機構から溢れ出した潤滑油が、すべり案内機構に好ましくない影響（異種の潤滑油が混合する等）を及ぼす等の可能性を解消できる。
【００１８】
さらに、本発明では、油圧調整装置により、静圧室に供給される潤滑油を調節することで、油静圧案内機構における２部材の間の荷重支持性能を増減させることができる。
例えば、２部材の間の荷重が大きい場合には、静圧室に供給される潤滑油を増し、油静圧案内機構による高負荷荷重および低摩擦性の確保を優先する。
【００１９】
一方、２部材の間に案内精度あるいは減衰性能が要求される場合、静圧室に供給される潤滑油を減らすことで、油静圧案内機構よりもすべり案内機構が有効となるようにでき、これによりすべり案内機構による案内精度あるいは減衰性能を確保することができる。
従って、本発明においては、油圧調整装置により、油静圧案内機構とすべり案内機構とのバランス調整を行うことができ、案内機構としての特性を、状況に応じて変更することができる。
【００２０】
このように、本発明では、油圧調整装置によって、案内機構としての特性の変更が可能である。
ただし、油静圧案内機構の静圧室に供給される潤滑油を増加させた場合、とくに油量あるいは油圧を増した場合には、もし従来型の油静圧案内機構を用いていたとすると、静圧室から周囲に潤滑油の漏れ出しが増加し、漏れ出した潤滑油がすべり案内機構や他の周辺部分に好ましくない影響を及ぼす可能性がある。
【００２１】
しかし、前述のように、本発明では、油静圧案内機構にシール式の油静圧構造を用いるため、潤滑油の周囲への漏れ出しを防止することができる。従って、油圧調整装置による油静圧案内機構への潤滑油供給の増減を行っても、周囲に対する不都合を招くことがない。
【００２２】
本発明の工作機械において、前記油圧調整装置は、操作者が操作可能な操作部と、前記操作部に入力された設定情報に基づいて前記潤滑油の調節を行うマニュアル設定部とを有する、としてもよい。
【００２３】
このような本発明では、工作機械のオペレータが、加工するワークの図面や加工指示書を参照し、これらの情報に基づいて、潤滑油の調節に関する設定情報を入力することができる。
また、オペレータが、ワークの段取り時の重量目測、重量測定などでワークの質量を判定し、その結果に基づいて、潤滑油の調節に関する設定情報を入力してもよい。
【００２４】
このような操作部からの設定情報入力は、ＭＤＩ運転（直接操作入力運転）などのモードを用い、Ｍコード等のコマンドを入力することで実現することができる。
あるいは、別途操作盤のスイッチ等で段階的な設定値を入力してもよい。また、連続可変する入力装置（いわゆるボリュームノブなど）により、段階的ないし連続的な設定値を入力してもよい。このような設定では、例えば熟練したオペレータの経験的知識などに基づいて設定してもよい。
【００２５】
このようなマニュアル設定は、例えば同じような荷重負荷の加工が連続する場合に適用することができ、操作および構成が簡単でありながら、所期の効果を得ることができる。
【００２６】
本発明の工作機械において、前記油圧調整装置は、前記工作機械に適用される動作プログラムを参照し、前記動作プログラムに記述された加工内容に基づいて前記潤滑油の設定情報を設定するプログラム設定部を有する、とすることができる。
【００２７】
このような本発明では、プログラム設定部により、動作プログラムに記述された加工指令を解析し、工作機械が実行する加工内容に応じた案内機構における荷重負荷を取得し、取得された荷重負荷から潤滑油の調整に関する設定情報を設定することができ、この設定情報に基づいて潤滑油の調節を行うことができる。
潤滑油の調節にあたっては、例えば、動作プログラムを解析して案内機構の荷重負荷を算出し、算出された荷重負荷に応じて案内機構の設定情報を作成し、この設定情報に基づいて案内機構を制御することができる。
【００２８】
本発明の工作機械において、前記油圧調整装置は、前記工作機械が稼働する際の前記案内機構における荷重負荷を取得し、取得された前記荷重負荷に基づいて前記潤滑油の設定情報を設定するセンシング設定部を有する、とすることができる。
【００２９】
このような本発明では、センシング設定部により、実際に工作機械が稼働する際の案内機構における荷重負荷を取得し、取得された荷重負荷から潤滑油の調整に関する設定情報を設定することができ、この設定情報に基づいて潤滑油の調節を行うことができる。
このため、前述したプログラム設定部のように、稼働前に動作プログラムを参照し、加工内容に応じた荷重負荷を推定する構成よりも、実際に即した調整が行え、より好適な制御を行える場合がある。
【００３０】
なお、案内機構の設定情報に基づく潤滑油の調整動作としては、例えば、プログラム設定部あるいはセンシング設定部で設定した案内機構の設定情報を、前述したマニュアル設定部と同様に、Ｍコード等として工作機械の制御装置に入力してもよい。とくに、動作プログラムに記述された加工内容が、案内機構における荷重負荷の変動幅が狭いものであれば、その動作プログラムによる動作の間、案内機構を一定の設定状態で維持してもよい。
【００３１】
本発明の工作機械において、前記油静圧案内機構は、前記静圧室から潤滑油を回収する回収経路を有する、としてもよい。
本発明において、油静圧案内機構としては、封入式の油静圧構造と、流通式あるいは循環式の油静圧構造と、のいずれかを用いることができる。
【００３２】
封入式の油静圧構造では、静圧室には供給経路だけが接続され、回収経路は接続されない。潤滑油は、供給経路から供給され、所定の圧力で静圧室内に充填される。静圧室内の潤滑油が減った際には、供給経路から潤滑油が補充される。
【００３３】
流通式の油静圧構造では、静圧室に供給経路と回収経路とが接続される。潤滑油は、供給経路から供給され、静圧室内を流通しつつ静圧を発生し、静圧室から回収経路へと回収される。
流通式の油静圧構造において、回収経路から回収された潤滑油を、供給経路に再利用することで、循環式の油静圧構造とすることができる。
【００３４】
本発明において、供給経路および回収経路は、相対移動する２部材自体に形成された通路や、これらに接続された配管を利用することができる。これらの供給経路および回収経路には、それぞれ潤滑油を駆動するポンプ、潤滑油を貯留するタンクなどを接続することができ、その途中に潤滑油の圧力や流量などの状態を検知する計器等を設置してもよい。
なお、回収経路においては、外部から密閉される配管に限らず、外気開放された経路、例えば樋などの従来の油静圧案内機構に利用されていた回収経路を用いることもできる。
【００３５】
本発明において、互いに相対移動する２部材としては、工作機械の案内機構を構成するレールとスライダのセットなど、移動方向に沿って延びる案内部材と、これに沿って相対移動可能な移動部材との組み合わせ等が該当する。
なお、案内部材と移動部材との移動は相対的であり、例えば移動部材が工作機械に固定的に設置され、この移動部材に対して案内部材が移動するものでもよい。
【００３６】
本発明の工作機械において、前記供給経路は、前記静圧室の外周側に潤滑油を供給し、前記回収経路は、前記静圧室の中心部から潤滑油を回収することが望ましい。
このような本発明では、供給経路からの潤滑油が静圧室の外周側に供給され、供給された潤滑油は静圧室を中心向きに流通し、静圧室の中心部に接続された回収経路から回収される。
このような潤滑油の中心回収を行うことで、油静圧案内機構としての潤滑油の流量を低減することができる。
【００３７】
すなわち、従来の油静圧案内機構では、内側の静圧室（いわゆるリセス部）に所期の静圧を生じさせるために、静圧室の外周に沿って圧力保持部（いわゆるランド部）が形成される。そして、静圧室の潤滑油は、外周に沿った圧力保持部を経て外周から排出される。この際、外周に沿った圧力保持部は、その半径に比例して周長が長くなるため、圧力保持部を径方向に通過する際に所定の流速（内側の静圧室で所期の圧力が保持できる流速）を確保しようとすると、全体の流量は相当な大流量にならざるを得ない。
【００３８】
このような大流量を供給するためには、供給装置において大容量が必要であり、配管径の拡大など、装置構成の大規模化が避けられない。
これに対し、本発明では、中心回収を行うために、圧力保持部は回収用の開口周辺に形成すればよく、その周長は格段に短くて済む。このため、潤滑油の流量を大幅に低減させることができ、潤滑油の供給装置、供給経路および回収経路を小型化、簡素化することができる。
【００３９】
本発明の工作機械において、前記相対移動する２部材として、案内部材と前記案内部材に沿って相対移動可能な移動部材とを有し、前記案内部材は、平滑な案内面を有し、前記油静圧案内機構および前記すべり案内機構は、前記案内面との間に形成されて前記案内面を共用していることが望ましい。
【００４０】
このような本発明では、前述した互いに相対移動する２部材の一方である移動部材に、油静圧案内機構およびすべり案内機構の主要な構造（静圧室や給油溝など）がまとめられ、２部材の他方である案内部材には案内面だけが形成されることになる。
つまり、油静圧案内機構およびすべり案内機構が、案内部材の案内面を共用するので、各機構にそれぞれ案内面を準備する構造に比べて簡略化することができ、移動機構全体として小型化することができる。
【００４１】
また、油静圧案内機構およびすべり案内機構の主要な構造（静圧室や給油溝など）を、移動部材に集約させることができ、この点でも構造の簡略化が図れる。さらに、油静圧案内機構およびすべり案内機構を、案内面と対向する移動部材の表面に並べて設置することもでき、各機構による負荷分担も確実にできる。
【００４２】
これらの案内部材および移動部材など、相対移動する２部材の長さは適宜設定すればよく、何れか一方が他方よりも長くてもよいし、同じ長さであってもよい。
本発明において、油静圧案内機構の主要な構造（油静圧構造を形成する静圧室など）およびすべり案内機構の主要な構造（給油溝など）は、基本的に何れも移動部材側に設置すればよい。ただし、これらのうち何れか一方を案内部材側に設置してもよい。
さらに、互いに相対移動する２部材としては、軸受部材とこの軸受部材に軸支されて回転する回転軸と、であってもよい。
【００４３】
相対移動する２部材が、軸受部材と、この軸受部材に軸支されて回転する回転軸とである場合として、例えばスラスト軸受がある。スラスト軸受では、回転軸と軸受部材との間に、軸方向のスラスト荷重を受ける摺動面が形成される。そこで、この摺動面の回転軸側を案内部材とし、摺動面を平滑な案内面として形成し、軸受部材側の摺動面に油静圧案内機構およびすべり案内機構の主要な構造を形成することができる。
同じ構成で、回転軸側に静圧案内機構、すべり案内機構を組み込むこともできる。この場合、軸受側からロータリジョイントを介して回転側に、油静圧案内機構用の潤滑油およびすべり案内機構用の潤滑油を供給する等の構成を採用することができる。
【００４４】
回転軸が固定され、その周囲の軸受部材が回転する構造の場合には、固定的な回転軸の摺動面に油静圧案内機構およびすべり案内機構の主要な構造を形成し、軸受部材側の摺動面を平滑な案内面とすることができる。
なお、本発明はラジアル軸受に適用することもできる。この場合、回転軸の外周面と軸受の内周面との間に、油静圧案内機構およびすべり案内機構を曲面状に形成することになる。
【００４５】
本発明の工作機械において、前記移動部材は、前記案内面に対向する前記静圧室と、前記静圧室を包囲するシール部とを有し、前記静圧室と前記案内面とにより前記油静圧案内機構が形成されていることが望ましい。
【００４６】
このような本発明では、潤滑油が供給経路から静圧室内に供給され、静圧室の内面と案内面との間に油膜を形成し、油静圧案内機構として、案内部材を浮上支持させることができる。
この際、静圧室内の潤滑油は、供給経路から静圧室に供給され、静圧室内において案内部材からの荷重を支持するとともに、静圧室の外周側から内側向きに移動し、中心部の回収経路から全量が回収される。
そして、静圧室の外周においては、静圧室を包囲するシール部により、潤滑油はシール部よりも外側へ漏れ出すことがなく、これにより密閉式の油静圧案内機構を形成することができる。
【００４７】
このような本発明では、前述した通り、静圧室の中心部に接続された回収経路により、潤滑油の中心回収を行うことで、潤滑油の流量を低減させることができ、潤滑油の供給装置、供給経路および回収経路を小型化、簡素化することができる。
【００４８】
本発明において、静圧室としては、移動部材の表面に凹状に形成された所定深さ（数十ミクロン程度）の凹部が利用できる。
静圧室においては、静圧室に同心円状の等圧溝を形成して静圧室を内側と外側とに区画し、内側を圧力保持部（ランド）とし、外側を静圧室本体（リセス）とすることができる。内側の圧力保持部と外側の静圧室本体とが同じ深さでも、これらより深い等圧溝を形成することで、内側の圧力保持部によって静圧室本体における圧力保持効果を生じさせることができる。
これにより、静圧室本体において、潤滑油の静圧による荷重負担を行うことができ、油静圧案内機構としての機能を得ることができる。
【００４９】
静圧室の内周に、回収経路を包囲する深さの浅い圧力保持部（外側の静圧室本体より背の高いランド部）を形成することで、油静圧案内機構としての機能を得るようにしてもよい。
静圧室の平面形状は、例えば円形、楕円形あるいは長円形とすることができ、正方形や長方形などの矩形あるいは他の多角形状としてもよい。矩形や多角形とする場合も、各々の頂点は円弧状などとし、角張った部分を丸めることが望ましい。
【００５０】
シール部としては、静圧室の周囲に沿って形成された静圧室の深さより深いシール溝と、このシール溝内に設置された環状のシール部材との組み合わせなどが利用できる。
シール部材としては、静圧室の底面と対向する案内部材の案内面とにそれぞれ密接することでシール性を確保するものが好ましく、静圧室の深さより高さが大きなエラストマ素材による成形品などが利用できる。例えば、耐油性のＯリング等も利用可能であるが、静圧室内の高圧に対応できかつ潤滑油の漏出を防止できるように、適宜リップシール等を追加することも有効である。
シール部の平面形状は、静圧室の輪郭に沿った形状とすればよく、静圧室に準じた円形、矩形あるいは他の形状とすることができる。
【００５１】
本発明において、回収経路は、静圧室の中心部に連通されていればよく、静圧室の中心部の近傍であれば幾何学的中心でなくてもよい。
供給経路は、静圧室の回収経路よりも外周側に連通されていればよく、静圧室の外周近傍あるいはシール部のシール溝の内側などに連通させてもよい。この際、供給経路はシール溝の任意の位置に連通されていればよいが、周方向にむらができないように、シール部の複数箇所に連通させてもよい。
【００５２】
本発明の工作機械において、前記移動部材は、前記案内面に対向する摺動面と、前記摺動面に形成された給油溝とを有し、前記摺動面と前記案内面とにより前記すべり案内機構が形成されることが望ましい。
【００５３】
このような本発明では、案内面と摺動面とですべり案内機構が形成され、この案内面と摺動面との間には、給油溝により潤滑油を供給することができ、すべり案内機構としての摺動性能を十分に確保することができる。
【００５４】
この際、すべり案内機構の案内面と摺動面との間に供給される潤滑油は、油静圧案内機構に供給される潤滑油と同じ潤滑油であることが望ましい。
このようにすべり案内機構の潤滑油と油静圧案内機構の潤滑油とを同じものとすれば、油静圧案内機構から潤滑油の漏れ出しが生じて互いに混じることがあっても、同じ潤滑油なので問題が生じない。
【００５５】
なお、本発明の工作機械においては、油静圧案内機構の潤滑油とすべり案内機構の潤滑油が別のものであってもよい。この場合でも、基本的に油静圧案内機構は外周をシールされているため、異種の潤滑油の混合の問題を避けることができる。
例えば、外周をシールされているため、油静圧案内機構からの潤滑油の漏れ出しは僅かであり、すべり案内機構における潤滑油の混合の問題は十分許容できる。一方、油静圧案内機構は外周をシールされているため、すべり案内機構から漏れ出した潤滑油が油静圧案内機構の潤滑油に混合することが抑制される。
さらに、油静圧案内機構から油静圧用の潤滑油が漏れ出し、すべり案内機構の潤滑油に混合しても、すべり案内機構から排出される潤滑油は廃棄されることが一般的であり、問題はない。
【００５６】
このように、すべり案内機構と油静圧案内機構とで同じ潤滑油を用いることで、供給経路を一部共用することもできる。ただし、すべり案内機構への潤滑油供給は、間欠的に比較的少量であるのに対し、油静圧案内機構への潤滑油供給は、連続的かつ比較的大流量であるため、実際に共用化できる部分は、潤滑油を貯留しておくタンクおよびその周辺程度に限られる。
なお、油静圧案内機構に供給された大量の潤滑油は回収経路から回収され、例えば供給タンクに戻され、静圧室から外部に漏れ出すことを防止されるが、すべり案内機構に供給された潤滑油は、少量であるため、供給タンクに回収する等はせず、別タンクに回収して廃棄するようにしてよい。
【発明の効果】
【００５７】
本発明の工作機械によれば、油静圧案内機構により高負荷容量および低摩擦性を確保するとともに、すべり案内機構により案内精度および減衰性能を確保することができる。さらに、油静圧案内機構に接続された油圧調整装置により、静圧室に供給される潤滑油を調節することができる。その結果、加工内容などの状況に応じて、油静圧案内機構による高負荷容量および低摩擦性を優先する状態と、すべり案内機構による高い案内精度および減衰性能を優先する状態とを、随時選択することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の第１実施形態の装置全体を示す斜視図。
【図２】前記第１実施形態における移動部材の配置を示す斜視図。
【図３】前記第１実施形態の移動機構を示す分解斜視図。
【図４】前記第１実施形態の移動部材に配置された油静圧案内機構およびすべり案内機構の要部を示す斜視図。
【図５】前記第１実施形態の油静圧案内機構を示す断面図。
【図６】前記第１実施形態のすべり案内機構を示す断面図。
【図７】前記第１実施形態の制御装置を示すブロック図。
【図８】前記第１実施形態の油圧調整部を示すブロック図。
【図９】前記第１実施形態の第１の油圧調整を示すフローチャート。
【図１０】前記第１実施形態の第１の油圧調整を示すフローチャート。
【図１１】前記第１実施形態の第１の油圧調整を示すフローチャート。
【図１２】前記第１実施形態の第１の油圧調整を示すフローチャート。
【図１３】前記第１実施形態の第１の油圧調整を示すフローチャート。
【図１４】前記第１実施形態の第１の油圧調整を示すフローチャート。
【図１５】前記第１実施形態の第２の油圧調整を示すフローチャート。
【図１６】前記第１実施形態の第２の油圧調整を示すフローチャート。
【図１７】前記第１実施形態の第２の油圧調整を示すフローチャート。
【図１８】前記第１実施形態の第２の油圧調整を示すフローチャート。
【図１９】前記第１実施形態の第２の油圧調整を示すフローチャート。
【図２０】前記第１実施形態の第２の油圧調整を示すフローチャート。
【図２１】前記第１実施形態の第２の油圧調整を示すフローチャート。
【図２２】前記第１実施形態の第２の油圧調整を示すフローチャート。
【図２３】前記第１実施形態の第２の油圧調整を示すフローチャート。
【図２４】前記第１実施形態で利用可能な段階的な調整弁を示す模式図。
【図２５】前記第１実施形態で利用可能な連続的な調整弁を示す模式図。
【図２６】本発明の第２実施形態の移動部材に配置された油静圧案内機構およびすべり案内機構の要部を示す斜視図。
【図２７】前記第２実施形態の油静圧案内機構を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００５９】
〔第１実施形態〕
図１から図６には、本発明に基づく第１実施形態が示されている。
図１において、工作機械１０は、Ｘ軸方向に延びる基台１１を有し、基台１１にはテーブル１２が支持されている。基台１１を挟んで両側には一対のコラム１３が設置され、各々の上端にはＹ軸方向に延びるクロスバー１４が設置されている。クロスバー１４にはヘッド１５が支持され、ヘッド１５にはＺ軸方向（鉛直方向）に延びるラム１６が装着されている。
【００６０】
テーブル１２の上面には加工対象であるワーク１９が固定される。ラム１６の下端には主軸１７が露出しており、この主軸１７には加工用のツール１８が装着される。
工作機械１０においては、テーブル１２をＸ軸方向に移動させるとともに、ヘッド１５をＹ軸方向に、ラム１６をＺ軸方向に、それぞれ移動させることで、ワーク１９に対してツール１８を三次元で相対移動させることができ、これによりワーク１９に任意の形状を加工することができる。
【００６１】
このような三次元加工動作を行うために、工作機械１０には、テーブル１２を基台１１に沿って移動させるＸ軸移動機構２１と、ヘッド１５をクロスバー１４に沿って移動させるＹ軸移動機構２２と、ヘッド１５に対してラム１６を移動させるＺ軸移動機構２３と、が設置されている。
さらに、工作機械１０には制御装置２４が接続されている。
【００６２】
制御装置２４は、いわゆるＮＣ装置（数値制御装置）であり、ロードされた動作プログラムに基づいて工作機械１０を制御し、所定の動作を実行させる。例えば、動作プログラムに記述されたコマンドに基づいて、前述したＸ軸移動機構２１、Ｙ軸移動機構２２、Ｚ軸移動機構２３をそれぞれ移動させてツール１８を三次元移動させ、さらに主軸１７の回転を制御することで、ツール１８によるワーク１９の切削を制御し、これにより所定のワーク形状を加工する。
さらに、制御装置２４は、本発明の油圧調整装置を兼ねており、その詳細については後述する。
【００６３】
前述したＸ軸移動機構２１、Ｙ軸移動機構２２、Ｚ軸移動機構２３は、それぞれ移動部分（基台１１に対するテーブル１２など）を移動可能に支持するとともに、これらを所定の移動方向へ案内する案内機構と、移動部分を外部コマンドに基づいて駆動するモータ等を含む駆動機構を備えている。
【００６４】
これらの移動機構２１〜２３のうち、ヘッド１５とクロスバー１４との間のＹ軸移動機構２２には、Ｙ軸方向に延びる複数の案内機構３０（第１〜第６の案内機構３０Ａ〜３０Ｆ、図２参照）が用いられている。
【００６５】
図２にも示すように、クロスバー１４は、ヘッド１５が装着される側の上部に第１のレール１４１を有し、下部に第２のレール１４２を有する。ヘッド１５は、上部に下向きの第１の溝部１５１を有し、下部のクロスバー１４側に第２の溝部１５２を有する。
【００６６】
ヘッド１５に形成された第２の溝部１５２は、クロスバー１４の第２のレール１４２に係合され、Ｚ軸方向の荷重支持が行われるとともに、Ｘ軸方向の位置が規制されている。
ヘッド１５に形成された第１の溝部１５１は、クロスバー１４の第１のレール１４１に係合され、Ｘ軸方向の位置規制とともに、荷重支持する第２のレール１４２を中心としてヘッド１５が自重により傾くことを規制している。
【００６７】
第１の溝部１５１の内側には、第１のレール１４１をＸ軸方向に挟む第１および第２の移動部材３１Ａ，３１Ｂが設置されている。これら第１および第２の移動部材３１Ａ，３１Ｂは、第１のレール１４１を案内部材として、各々の間に本発明に基づく第１および第２の案内機構３０Ａ，３０Ｂを構成する。
第２の溝部１５２の内側には、第２のレール１４２をＸ軸方向に挟む第３および第４の移動部材３１Ｃ，３１Ｄと、第２のレール１４２をＺ軸方向に挟む第５および第６の移動部材３１Ｅ，３１Ｆが設置されている。これら第３〜第６の移動部材３１Ｃ〜３１Ｆは、第１のレール１４１を案内部材として、各々の間に本発明に基づく第３〜第６の案内機構３０Ｃ〜３０Ｆを構成する。
【００６８】
〔案内機構３０〕
図３において、案内機構３０（第１〜第６の案内機構３０Ａ〜３０Ｆ、図２参照）は、互いに相対移動する移動部材３１（移動部材３１Ａ〜３１Ｆ、図２参照）および案内部材である第１および第２のレール１４１，１４２を有する。
【００６９】
移動部材３１（第１〜第６の移動部材３１Ａ〜３１Ｆ）は、案内機構３０の相対移動方向に延びる部材であり、第１および第２の溝部１５１，１５２に沿ってヘッド１５に固定された板材あるいはヘッド１５の一部を利用して形成される。
移動部材３１の両端には、第１および第２のレール１４１，１４２に対向する側に一段高い部分が形成され、その表面が平滑な平滑面４９および摺動面５１とされている。また、移動部材３１は、自身の厚み方向と直交する方向に一対の側面を有する。
【００７０】
第１および第２のレール１４１，１４２は、案内機構３０の相対移動方向に延びる部材であり、クロスバー１４に沿って固定された別部材あるいはクロスバー１４の一部を利用して形成される。
第１および第２のレール１４１，１４２は、移動部材３１に対向する側の表面が、全長にわたって平滑な案内面３９とされている。
【００７１】
これらの移動部材３１と第１および第２のレール１４１，１４２は、移動部材３１の両端の平滑面４９および摺動面５１が、第１および第２のレール１４１，１４２の案内面３９と密接状態で配置されることで、案内機構３０を構成する。
この際、平滑面４９と案内面３９との間には、油静圧案内機構４０が形成され、摺動面５１と案内面３９との間には、すべり案内機構５０が形成される。
【００７２】
これらの摺動面５１および平滑面４９には、全面にわたって連続して、４フッ化エチレンなどの低摩擦性材料で形成されたシートが貼られている。
なお、油静圧案内機構４０の外側の平滑面４９を、摺動面５１より低く切り下げ、案内面３９に接触しない逃げ面としてもよい。
【００７３】
油静圧案内機構４０は、詳細は後述するが、外部から供給される加圧された潤滑油により、移動部材３１に対して第１および第２のレール１４１，１４２を静圧浮上支持するものである。このための潤滑油を供給および回収するために、油静圧案内機構４０には潤滑油供給装置６０が接続されている。
【００７４】
図３および図４に示すように、潤滑油供給装置６０は、潤滑油を貯留するタンク６１と、タンク６１と油静圧案内機構４０とを接続する供給配管６３および回収配管６４を有する。
供給配管６３の途中には、通過する潤滑油を濾過するフィルタ６５と、同潤滑油を加圧するポンプ６２とが設置されている。
【００７５】
これにより、潤滑油供給装置６０は、タンク６１に貯留されている潤滑油を、供給配管６３から取り出し、フィルタ６５で濾過したのちポンプ６２で圧送し、油静圧案内機構４０へと供給することができる。また、油静圧案内機構４０からの潤滑油を、回収配管６４で回収し、タンク６１に戻すことができる。
【００７６】
潤滑油供給装置６０は、すべり案内機構５０で使用される潤滑油の供給をも行う。
図３および図４において、潤滑油供給装置６０は、潤滑油を貯留するタンク６９と、タンク６９とすべり案内機構５０とを接続する供給配管６６を有する。
供給配管６６の途中には、通過する潤滑油を濾過するフィルタ６８と、同潤滑油を適量ずつ間欠的に圧送するポンプ６７とが設置されている。
【００７７】
なお、すべり案内機構５０に供給された潤滑油の排出経路として、移動部材３１の側面の下方には、すべり案内機構５０から排出された潤滑油を受ける回収樋５５と、回収樋５５で集められた潤滑油を貯留する廃油タンク５６と、が設置される。排出経路には、適宜配管が用いられることもある。
【００７８】
すなわち、本実施形態では、潤滑油供給装置６０により、同じ種類の潤滑油が、油静圧案内機構４０およびすべり案内機構５０の両方に供給される。
ただし、すべり案内機構５０での潤滑油の使用量は、油静圧案内機構４０よりも十分に少なく、かつ供給が間欠的である。このような供給条件の相違に対応するために、すべり案内機構５０への潤滑油供給経路と、油静圧案内機構４０への潤滑油供給経路とは、完全に別系統とされている。
以下、本実施形態の油静圧案内機構４０およびすべり案内機構５０について説明する。
【００７９】
〔油静圧案内機構４０〕
図４および図５にも示すように、本実施形態において、油静圧案内機構４０の平滑面４９とすべり案内機構５０の摺動面５１とは連続した平面である。
すなわち、すべり案内機構５０が形成される摺動面５１の延長部分に、静圧室４１などの構造を形成し、案内部材である第１および第２のレール１４１，１４２を対向させて案内面３９で覆うことで、油静圧案内機構４０が形成される。
【００８０】
図４において、油静圧案内機構４０は、平滑面４９に凹状に形成された円形の静圧室４１と、その周囲を環状に連続して包囲するシール部４２とを有する。
静圧室４１は、図３および図５では凹部として表されているが、案内機構３０として組み立てられた際に、第１および第２のレール１４１，１４２の案内面３９によって覆われて閉じた空間となる。
【００８１】
シール部４２の一部には、供給経路４３の連通孔４３１が連通されている。
供給経路４３には、前述した潤滑油供給装置６０の供給配管６３が接続され、この供給配管６３を通して、加圧された潤滑油が静圧室４１内に供給される。
【００８２】
静圧室４１の中心には、回収経路４４の連通孔４４１が連通されている。
回収経路４４には、前述した潤滑油供給装置６０の回収配管６４が接続され、この回収配管６４を通して静圧室４１からの潤滑油が回収される。
【００８３】
図５にも示すように、静圧室４１の底面には、中央に前述した回収経路４４の連通孔４４１が連通されているとともに、その開口と同心で環状溝４１１が形成されている。
静圧室４１の底面は、環状溝４１１を境に、内側部分４１２と、外側部分４１３とに区画されている。外側部分４１３の一部には、環状溝４１１からシール部４２に至る径方向の連通溝４１４が形成されている。
【００８４】
シール部４２は、静圧室４１の外周に沿って環状のシール溝４２１を有し、このシール溝４２１には耐油ゴム等のエラストマ成型品によるシール部材４２２が配置されている。シール溝４２１の一部には、シール部材４２２よりも内側（静圧室４１側）に、供給経路４３の連通孔４３１が連通されている。
【００８５】
このような油静圧案内機構４０では、加圧された潤滑油が、供給経路４３から供給され、シール溝４２１から静圧室４１内に流入し、静圧室４１内を外側部分４１３から内側部分４１２へと移動し、連通孔４４１から回収経路４４へと回収される。
この際、静圧室４１内の潤滑油は、その静圧により案内面３９を浮上支持し、これにより油静圧案内機構４０としての機能が得られる。
一方、静圧室４１内の潤滑油は、回収経路４４から全量回収される。さらに、静圧室４１の周囲がシール部４２でシールされているため、潤滑油が外部に漏れ出すことが防止される。
【００８６】
本実施形態において、静圧室４１の厚み（内側部分４１２と案内面３９との間隔）、つまり平滑面４９に対する凹みの深さは、シール溝４２１や環状溝４１１に比べてごく浅く（数十ミクロン程度）形成されている。
さらに、内側部分４１２と外側部分４１３とは、同じ高さに設定されている。つまり、内側部分４１２における静圧室４１の深さ（平滑面４９に対する）は、外側部分４１３における深さと同じである。
【００８７】
従って、案内機構３０として組み立てられた状態では、静圧室４１の外側部分４１３における厚み（外側部分４１３と案内面３９との間隔）と、静圧室４１の内側部分４１２における厚み（内側部分４１２と案内面３９との間隔）とが同じとされている。
ただし、内側部分４１２と外側部分４１３との間には、環状溝４１１が形成され、この環状溝４１１は連通溝４１４でシール溝４２１に連通されている。このため、外側部分４１３においては、連通孔４３１を通して供給される供給経路４３からの潤滑油の圧力と同一の圧力に保持される。
【００８８】
このような設定により、静圧室４１の外側部分４１３から内側部分４１２へと潤滑油が流れた際には、内側部分４１２がランド部または圧力保持部として作用する。
つまり、内側部分４１２の外側（環状溝４１１に面した領域）では、外側部分４１３と同じ圧力であるが、内側に向けて流れるに従って漸次圧力が下がり、回収経路４４の連通孔４４１に至ると大気圧程度となる。
【００８９】
このように、内側部分４１２がランド部または圧力保持部として作用することで、リセス部または静圧室本体である外側部分４１３に荷重支持用の静圧を確保することができる。
さらに、静圧室４１内の潤滑油による静圧支持が、外周側にあって静圧室４１のうち主に面積が大きい外側部分４１３で行われることになり、受圧領域面積を拡大できるとともに、流入したての高圧の潤滑油による効率的な静圧支持を行うことができる。
【００９０】
〔すべり案内機構５０〕
図４において、すべり案内機構５０は、平滑な摺動面５１を有する。摺動面５１には、縦横に連続した給油溝５２が形成されている。
図６にも示すように、給油溝５２には連通孔５３１を通して給油経路５３が連通され、給油経路５３には、前述した潤滑油供給装置６０の供給配管６６が接続されている。
【００９１】
すべり案内機構５０では、摺動面５１と案内面３９とを接触させることで、案内部材である第１および第２のレール１４１，１４２を支持するとともに、摺動面５１と案内面３９との摺動により相対移動を許容する。
ここで、すべり案内機構５０では、給油経路５３に供給された潤滑油が、給油溝５２により摺動面５１の各部へと拡散されることで、摺動面５１と案内面３９との間の摺動抵抗および摩耗を軽減することができる。
【００９２】
本実施形態のすべり案内機構５０では、案内面３９と摺動面５１との間に供給される潤滑油は、油静圧案内機構４０に供給される潤滑油と同じ潤滑油である。このため、油静圧案内機構４０から潤滑油の漏れ出しが生じて互いに混じることがあっても、同じ潤滑油なので問題が生じない。
また、すべり案内機構５０と油静圧案内機構４０とで同じ潤滑油を用いるため、別体のタンク６１，６９ではなく、同じタンクを共用することもできる。
【００９３】
〔制御装置２４〕
以上に述べたように、本実施形態においては、Ｙ軸移動機構２２の各案内機構３０（３０Ａ〜３０Ｆ）が、それぞれ油静圧案内機構４０およびすべり案内機構５０を備えた併用式の案内機構とされている。
【００９４】
本実施形態では、各案内機構３０における油静圧案内機構４０およびすべり案内機構５０の荷重負担バランスを調整するために、制御装置２４を用いて油圧調整装置が構成されている。
なお、前述したように、制御装置２４は工作機械１０の各部全般の制御を行うものであり、多様な機能を有するものであるが、以下では各軸移動機構２１〜２３の案内機構に関する部分について説明する。
【００９５】
図７において、制御装置２４は、操作部２４１１および表示部２４１２を有する操作盤２４１と、各軸移動機構２１〜２３の油静圧を調整する油圧調整部７０とを有する。
【００９６】
操作部２４１１は、入力操作用のタッチパネル、キーボードやボタン、その他のポインティングデバイス等を備え、工作機械１０のオペレータの操作によりコマンド等を入力することができる。
表示部２４１２は、グラフィックディスプレイ等の表示画面で構成され、操作部２４１１による操作内容を表示するとともに、工作機械１０の動作状態あるいは測定結果を表示する。
【００９７】
〔油圧調整部７０〕
油圧調整部７０は、ＮＣ・主制御部２４２と、ＰＣ・シーケンス制御部２４３とを有する。
これらのＮＣ・主制御部２４２およびＰＣ・シーケンス制御部２４３は、工作機械１０の制御装置２４として基本的な構成である。
ただし、本実施形態においては、制御装置２４が制御する各軸移動機構２１〜２３の案内機構（図２に示すＹ軸移動機構２２の各案内機構３０Ａ〜３０Ｆなど）における、油静圧案内機構４０とすべり案内機構５０との荷重負担バランスを調整する機能を、制御装置２４に追加するための油圧調整部７０を構成するものとされている。
【００９８】
ＮＣ・主制御部２４２は、プログラム制御部２４４と、モータ制御部２４５とを有する。
プログラム制御部２４４は、外部からロードされた動作プログラム（Ｍコード）を解析し、ＮＣ・主制御部２４２の各部を制御する。
モータ制御部２４５は、プログラム制御部２４４の制御のもとで、工作機械１０の各軸モータ２１１〜２３１（Ｘ軸移動機構２１のＸ軸モータ２１１，Ｙ軸移動機構２２のＹ軸モータ２２１，Ｚ軸移動機構２３のＺ軸モータ２３１）の動作を制御する。
【００９９】
ＰＣ・シーケンス制御部２４３は、シーケンスプログラム制御部２４６と、動作指令部２４７と、入出力制御部２４８とを有する。
シーケンスプログラム制御部２４６は、外部からロードされた動作プログラム（Ｍコード）を解析し、ＰＣ・シーケンス制御部２４３の各部を制御する。
【０１００】
動作指令部２４７は、操作盤２４１からの外部操作に基づき、シーケンスプログラム制御部２４６、入出力制御部２４８およびＮＣ・主制御部２４２へのマニュアル指令および設定変更を行う。
入出力制御部２４８は、シーケンスプログラム制御部２４６の制御のもとで、工作機械１０の各部センサ１０１（各部に設置された温度センサや油圧センサなど）の出力信号を処理するとともに、各軸移動機構２１〜２３の油静圧案内機構４０の油圧制御を行う。
【０１０１】
図８に示すように、油圧調整部７０には、油静圧案内機構４０とすべり案内機構５０との荷重負担バランスを調整する機能を追加する構成として、プログラム制御部２４４にはプログラム設定部７２およびセンシング設定部７３（センサ検出値に対応するセンシング設定部７３Ｂ）が設置され、シーケンスプログラム制御部２４６にはマニュアル設定部７１およびセンシング設定部７３（センサ検出値に対応するセンシング設定部７３Ｂ）が設置されている。
これらの、マニュアル設定部７１、プログラム設定部７２、センシング設定部７３は、それぞれ異なる手法で潤滑油の調整に関する設定情報を作成するものである。
【０１０２】
マニュアル設定部７１は、動作指令部２４７を介して操作部２４１１に接続され、操作部２４１１へのオペレータの入力操作に基づいて、潤滑油の調整に関する設定情報を作成する。
【０１０３】
プログラム設定部７２は、プログラム制御部２４４で実行される動作プログラムを解析する。そして、この動作プログラムに記述されている加工動作の各段階において、各部の案内機構における適切な荷重負荷バランスを計算し、その結果から各動作段階における設定情報を作成する。
【０１０４】
センシング設定部７３は、動作プログラムに基づいて工作機械１０を実際に動作させ、その際の各部の案内機構における負荷状態をモニタし、その結果に基づいて各動作段階における各部の案内機構での適切な荷重負荷バランスを計算し、設定情報として作成する。
このために、プログラム制御部２４４側のセンシング設定部７３Ａは、実際の加工動作時に各軸モータ２１１〜２３１からモータ制御部２４５にフィードバックされる荷重負荷トルクを検出し、その値に基づいて適切な荷重負荷バランスを計算し、その結果から各動作段階における設定情報を作成する。
【０１０５】
また、シーケンスプログラム制御部２４６側のセンシング設定部７３Ｂは、実際の加工動作時に各部センサ１０１からの検出値を、入出力制御部２４８を介して受け取り、その値に基づいて適切な荷重負荷バランスを計算し、その結果から各動作段階における設定情報を作成する。
なお、シーケンスプログラム制御部２４６には、センシング設定部７３での設定情報の作成の際に参照される判定用データ７４が格納されている。
【０１０６】
これらのマニュアル設定部７１、プログラム設定部７２、センシング設定部７３（７３Ａ，７３Ｂ）により作成された設定情報に基づき、入出力制御部２４８から油静圧案内機構４０に対して油圧調整が行われる。
【０１０７】
なお、油圧調整部７０による設定情報、および油静圧案内機構４０に対する油圧調整動作については、後に詳述する。
油圧調整部７０において、潤滑油の設定情報は、動作プログラムの作成時に、プログラマが予め組み込んでおいてもよい。
例えば、大荷重の加工を行うステップの前に、案内機構３０の油静圧案内機構４０の分担を増す設定情報を指示するステップを組み込んでおく等とすることができる。
【０１０８】
また、油圧調整部７０において、潤滑油の設定情報は、動作プログラムに書き込まれるものに限らず、直接各部の案内機構に設定されるようにしてもよい。
例えば、工作機械１０をマニュアルモードで運転する場合など、マニュアル設定部７１からの設定情報を、入出力制御部２４８を介してＹ軸移動機構２２の案内機構３０に送り、現在の静圧室４１における潤滑油の調整を行ってもよい。
【０１０９】
〔油圧調整部７０における設定情報〕
油圧調整部７０における設定情報としては、例えば、静圧室４１に供給される潤滑油の「断続」、「段階的な増減」、「連続的な増減」などが採用できる。
【０１１０】
潤滑油の「断続」とする場合、例えば「静圧入り」と「静圧無し」との選択が可能である。
「静圧入り」の状態では、油静圧案内機構４０が有効とされ、案内機構３０は油静圧案内機構４０とすべり案内機構５０との併用状態となる。
「静圧無し」の状態では、油静圧案内機構４０が機能停止され、案内機構３０ではすべり案内機構５０だけが有効となる。
【０１１１】
潤滑油の「段階的な増減」とする場合、例えば「高荷重」、「低荷重」および「静圧無し」の選択とすることができる。
「高荷重」の状態では、油静圧案内機構４０に十分な潤滑油が供給され、案内機構３０は油静圧案内機構４０とすべり案内機構５０とが併用され、かつ油静圧案内機構４０が優勢な状態となる。
【０１１２】
「低荷重」の状態では、油静圧案内機構４０への潤滑油が抑制され、案内機構３０は油静圧案内機構４０とすべり案内機構５０とが併用されるが、油静圧案内機構４０よりもすべり案内機構５０が優勢な状態となる。
「静圧無し」の状態では、油静圧案内機構４０が機能停止され、案内機構３０ではすべり案内機構５０だけが有効となる。
【０１１３】
潤滑油の「連続的な増減」とする場合、例えば「油静圧の荷重負荷５．３トン」等の指定を行う。ここで指定できる荷重負荷の範囲は、各案内機構３０の油静圧案内機構４０に依存する。
【０１１４】
〔マニュアル設定部７１による設定〕
マニュアル設定部７１による設定は、潤滑油の「断続」、「段階的な増減」、「連続的な増減」の何れに対しても可能である。
【０１１５】
設定情報が「断続」あるいは「段階的」である場合、操作部２４１１のボタン操作やスイッチ操作で設定することができ、「連続的」な場合には操作部２４１１のボリューム操作等で設定することができる。
【０１１６】
さらに、操作部２４１１にＭＤＩ機能（マニュアル数値入力機能）があれば、これを利用してＭコード等のコマンドでの指定も可能である。
例えば、「断続」である場合、「Ｍ１００」で静圧無し、「Ｍ１０１」で静圧入り、と規定しておくことができる。
【０１１７】
「段階的」である場合、「Ｍ１００」で静圧無し、「Ｍ１０１」で低荷重、「Ｍ１０２」で高荷重、と規定しておくことができる。
「連続的」とする場合、例えば「油静圧の荷重負荷５．３トン」を指定するのに、「Ｍ１００Ａ５．３」等の記述が利用できる。
【０１１８】
〔プログラム設定部７２による設定〕
プログラム設定部７２による設定は、潤滑油の「断続」、「段階的な増減」、「連続的な増減」の何れに対しても可能である。
【０１１９】
プログラム設定部７２による設定では、動作プログラムの解析に基づき自動的に行われ、かつ動作プログラムに書き込まれる関係上、動作プログラムを記述するＭコード等のコマンドによる指定が好適である。
このようなＭコード等のコマンドによる指定については、前述したマニュアル設定部７１の説明で述べた通りであるので、重複する説明は省略する。
【０１２０】
〔センシング設定部７３による設定〕
センシング設定部７３による設定は、潤滑油の「断続」、「段階的な増減」、「連続的な増減」の何れに対しても可能である。
【０１２１】
センシング設定部７３による設定では、工作機械１０を実際に動作させた際の各部の負荷状態から設定情報を作成する。この点で、プログラム解析を行うプログラム設定部７２と同様、動作プログラムを記述するＭコード等のコマンドによる指定が好適である。
【０１２２】
設定情報に基づく潤滑油の調整は、以下に述べる第１の調整動作もしくは第２の調整動作によって行うことができる。
【０１２３】
〔第１の調整動作〕
工作機械１０の加工動作時、設定情報に基づく潤滑油の調整は、図９〜図１４に示す第１の調整動作により行うことができる。
図９は、第１の調整動作における主処理であり、図１１〜図１４の処理は図９から分岐するルーチンであり、図１０は図１１〜図１４の処理で共用される指令入力の処理である。
【０１２４】
図９において、油圧調整部７０は、先ず、油静圧案内機構４０に潤滑油を供給するソレノイドバルブ（静圧用ＳＶ）を閉じ（処理Ｓ９１）、油静圧案内機構４０（静圧部）への指令入力を待機する（処理Ｓ９２）。
【０１２５】
静圧部への指令入力があったら、油圧調整部７０は、その指令方式を判定する（処理Ｓ９３）、指令方式に応じて処理を分岐させ（分岐Ａ〜分岐Ｄ）、各々の油圧調整により加工動作を行う（処理Ｓ１１０〜Ｓ１４０）。
指令方式に応じた加工動作が終了したら、油圧調整部７０は、再び静圧用ＳＶをＯＦＦにし（処理Ｓ９４）、処理を完了する。
【０１２６】
〔第１の調整動作／指令入力〕
図１０には、図１１〜図１４の処理で共用される指令入力の処理Ｓ１００の詳細が示されている。
指令方式の判定においては、油圧調整部７０は、先ず、操作部２４１１からの指令入力を受け付け（処理Ｓ１０１）、入力方式が「Ｍコード」か「スイッチ」か、を判定する（処理Ｓ１０２）。
【０１２７】
入力方式が「Ｍコード」の場合、油圧調整部７０は、ＮＣ・主制御部２４２のプログラム設定部７２（図８参照）でＭコード解析を行い（処理Ｓ１０３）、解析したＭコードに基づく指令をＰＣ・シーケンス制御部２４３のシーケンスプログラム制御部２４６に送り（処理Ｓ１０４）、図９の処理Ｓ９３に戻る。
入力方式が「スイッチ」の場合、油圧調整部７０は、操作部２４１１におけるスイッチ操作に基づく指令を、ＰＣ・シーケンス制御部２４３のシーケンスプログラム制御部２４６に送り（処理Ｓ１０５）、処理Ｓ１００を呼び出した各処理Ｓ１１０〜Ｓ１４０に戻る。
【０１２８】
〔第１の調整動作／直接指令〕
図１１には、図９における指令方式が「直接指令」である場合（分岐Ａ、処理Ｓ１１０）の詳細が示されている。
「直接指令」の処理では、油圧調整部７０は、先ず、指令入力を待機する（処理Ｓ１１１）。
静圧用ＳＶをＯＮとする指令入力があったら（処理Ｓ１１２）、静圧用ＳＶをＯＮとし（処理Ｓ１１３）、さらに指令入力を待機する（処理Ｓ１１４）。処理Ｓ１１４の指令入力の待機では、前述した図１０の処理Ｓ１００を呼び出して実行する。
移動終了の指令入力があったら（処理Ｓ１１５）、静圧用ＳＶをＯＦＦにし（処理Ｓ１１３）、図９に戻って処理Ｓ９４に進む。
【０１２９】
このような「直接設定」方式では、処理Ｓ１１４において直接指令を受け付けることで、マニュアル設定による油圧調整を行うことができる。
【０１３０】
〔第１の調整動作／直接指令＋センシング〕
図１２には、図９における指令方式が「直接指令＋センシング」である場合（分岐Ｂ、処理Ｓ１２０）の詳細が示されている。
「直接指令＋センシング」の処理では、油圧調整部７０は、先ず、指令入力を待機する（処理Ｓ１２１）。処理Ｓ１２１の指令入力の待機では、前述した図１０の処理Ｓ１００を呼び出して実行する。
【０１３１】
センシングをＯＮとする指令入力があったら（処理Ｓ１２２）、センシング動作をＯＮとし（処理Ｓ１２３）、センシング動作の終了を待機する（処理Ｓ１２４）。
センシング動作の終了状態に達したら、センシング動作をＯＦＦにし（処理Ｓ１２５）、測定結果（センシングによる設定情報）を表示部２４１２に表示し（処理Ｓ１２６）、図１１の処理Ｓ１１０（分岐Ａ）を実行し、こののち図９に戻って処理Ｓ９４に進む。
【０１３２】
このような「直接指令＋センシング」方式では、処理Ｓ１２２〜Ｓ１２４により、各軸移動機構２１〜２３での実際の移動に対するセンシングを行い、その測定結果を参照して、前述した「直接指令（マニュアル設定）」を行うことで実際に即した油圧調整を行うことができる。
【０１３３】
〔第１の調整動作／センシング自動調整（１回のみ）〕
図１３には、図９における指令方式が「センシング自動調整（１回のみ）」である場合（分岐Ｃ、処理Ｓ１３０）の詳細が示されている。
「センシング自動調整（１回のみ）」の処理では、油圧調整部７０は、先ず、指令入力を待機する（処理Ｓ１３１）。処理Ｓ１３１の指令入力の待機では、前述した図１０の処理Ｓ１００を呼び出して実行する。
センシングをＯＮとする指令入力があったら（処理Ｓ１３２）、センシング動作をＯＮとし（処理Ｓ１３３）、センシング動作の終了を待機する（処理Ｓ１３４）。
【０１３４】
センシング動作の終了状態に達したら、センシング動作をＯＦＦにし（処理Ｓ１３５）、測定結果（センシングによる設定情報）をＰＣ・シーケンス制御部２４３に送る（処理Ｓ１３６）。
ＰＣ・シーケンス制御部２４３は、受領した測定結果と、判定用データ７４とを照合し（処理Ｓ１３７）、判定結果に基づく指令を出力する（処理Ｓ１３８）。
このような出力に従って静圧用ＳＶがＯＮとされ、油静圧案内機構４０の油圧が調整された状態で各軸移動機構２１〜２３での移動が行われる（処理Ｓ１３９）。
【０１３５】
油圧調整部７０は、各軸移動機構２１〜２３での移動終了を待機する（処理Ｓ１３Ａ）。前述した油圧の調整は、移動が終了するまで維持される。
移動が終了したら、静圧用ＳＶを０ＦＦにし（処理Ｓ１３Ｂ）、図９に戻って処理Ｓ９４に進む。
【０１３６】
このような「第１の調整動作／センシング自動調整（１回のみ）」方式では、処理Ｓ１３３〜Ｓ１３５において、各軸移動機構２１〜２３での実際の移動に対するセンシングを行い、その測定結果を用いて、続く処理Ｓ１３６〜Ｓ１３８で油圧調整を行うことで、処理Ｓ１３９〜Ｓ１３Ａにおいて自動調整された状態での移動を行うことができる。
【０１３７】
〔第１の調整動作／センシング自動調整（ループ）〕
図１４には、図９における指令方式が「センシング自動調整（ループ）」である場合（分岐Ｄ、処理Ｓ１４０）の詳細が示されている。
【０１３８】
「センシング自動調整（ループ）」の処理では、油圧調整部７０は、先ず、指令入力を待機する（処理Ｓ１４１）。処理Ｓ１４１の指令入力の待機では、前述した図１０の処理Ｓ１００を呼び出して実行する。
センシングをＯＮとする指令入力があったら（処理Ｓ１４２）、センシング動作をＯＮとし（処理Ｓ１４３）、センシングにより油圧調整を行いつつ実際の移動を行う（処理Ｓ１４４〜Ｓ１４８）。
【０１３９】
油圧調整部７０は、先ず各軸移動機構２１〜２３でのセンシングによる測定結果をＰＣ・シーケンス制御部２４３に送る（処理Ｓ１４４）。
ＰＣ・シーケンス制御部２４３は、受領した測定結果と、判定用データ７４とを照合し（処理Ｓ１４５）、判定結果に基づく指令を出力する（処理Ｓ１４６）。
このような出力に従って静圧用ＳＶがＯＮとされ、油静圧案内機構４０の油圧が調整された状態で各軸移動機構２１〜２３での移動が行われる（処理Ｓ１４７）。
【０１４０】
油圧調整部７０は、処理Ｓ１４８により、移動が終了する状態になるまで前述した処理Ｓ１４４〜Ｓ１４７を繰り返す。
そして、処理Ｓ１４８で移動終了と判定されたら、センシング動作をＯＦＦにし（処理Ｓ１４９）、静圧用ＳＶを０ＦＦにし（処理Ｓ１４Ａ）、図９に戻って処理Ｓ９４に進む。
【０１４１】
このような「第１の調整動作／センシング自動調整（ループ）」方式では、処理Ｓ１４３〜Ｓ１４８において、各軸移動機構２１〜２３での実際の移動を行いつつ、その間にセンシングを行い、その測定結果を用いて自動的な油圧調整を行うことができる。
つまり、前述した図１３の「第１の調整動作／センシング自動調整（１回のみ）」が、実際の移動を１回行い、その間のセンシングの結果から自動調整を行ってから、調整された状態で実際の移動を繰り返すのに対し、「第１の調整動作／センシング自動調整（ループ）」は、実際の移動を繰り返す間に、常時センシングによる自動調整を行うことができる。そしてこのような繰り返し（ループ）により、移動の間の各時点での状況に応じた油圧調整が実行される。
【０１４２】
〔第２の調整動作〕
工作機械１０の加工動作時、設定情報に基づく潤滑油の調整は、図１５〜図２３に示す第２の調整動作により行うこともできる。
図１５は、第２の調整動作における主処理であり、図１６〜図２３の処理は図１５から分岐するルーチンである。
第２の調整動作の処理は、前述した第１の調整動作における「直接指令」、「直接指令＋センシング」、「第１の調整動作／センシング自動調整（１回のみ）」、「第１の調整動作／センシング自動調整（ループ）」に類似した処理であるが、各々についてＭコードによる指令か、操作部２２４１のスイッチによる指令か、に応じて分岐するルーチンとされている。
【０１４３】
図１５において、油圧調整部７０は、先ず、油静圧案内機構４０に潤滑油を供給するソレノイドバルブ（静圧用ＳＶ）を閉じ（処理Ｓ１５１）、油静圧案内機構４０（静圧部）への指令入力を待機する（処理Ｓ１５２）。
操作部２４１１から静圧部への指令入力があったら、入力方式が「Ｍコード」か「スイッチ」か、を判定する（処理Ｓ１５３）。
【０１４４】
入力方式が「Ｍコード」の場合、油圧調整部７０は、指令内容を判定し（処理Ｓ１５４）、指令内容に応じて処理を分岐させ（指令内容１Ａ〜４Ａ）、各々の油圧調整により加工動作を行う（処理Ｓ１６０〜Ｓ１９０）。
入力方式が「スイッチ」の場合、油圧調整部７０は、指令内容を判定し（処理Ｓ１５５）、指令内容に応じて処理を分岐させ（指令内容１Ｂ〜４Ｂ）、各々の油圧調整により加工動作を行う（処理Ｓ２００〜Ｓ２３０）。
各分岐での処理Ｓ１６０〜Ｓ２３０から戻ったら、油圧調整部７０は、再び静圧用ＳＶをＯＦＦにし（処理Ｓ１５６）、処理を完了する。
【０１４５】
〔第２の調整動作／直接指令（Ｍコード）〕
図１６には、図１５における「指令内容１Ａ」つまり「直接指令（Ｍコード）」の場合（処理Ｓ１６０）の詳細が示されている。
指令内容１Ａの処理では、油圧調整部７０は、先ず、ＮＣ・主制御部２４２のプログラム設定部７２で、動作プログラムのＭコードを解析し（処理Ｓ１６１）、ＰＣ・シーケンス制御部２４３に送り（処理Ｓ１６２）、静圧用ＳＶのＯＮ指令を待機する（処理Ｓ１６３）。
Ｍコードに基づく指令が静圧用ＳＶのＯＮ指令でなければ、処理Ｓ１６１に戻り、ＯＮ指令であれば、静圧用ＳＶをＯＮにして移動を開始する（処理Ｓ１６４）。
【０１４６】
操作部２４１１から加工終了の入力（Ｍコード）を受け取ったら（処理Ｓ１６５）、油圧調整部７０は、ＮＣ・主制御部２４２でＭコードを解析し（処理Ｓ１６６）、ＰＣ・シーケンス制御部２４３にＭコードに応じた動作を実行させる（処理Ｓ１６７）。
この状態で、移動を継続しつつ、油圧調整部７０は、移動終了指令の入力を待機し（処理Ｓ１６８）、入力がない間は処理Ｓ１６５〜Ｓ１６７を繰り返し、移動終了指令の入力があったら図１５に戻って処理Ｓ１５６に進む。
【０１４７】
〔第２の調整動作／センシング＋直接指令（Ｍコード）〕
図１７には、図１５における「指令内容２Ａ」つまり「センシング＋直接指令（Ｍコード）」の場合（処理Ｓ１７０）の詳細が示されている。
指令内容２Ａの処理では、油圧調整部７０は、先ず、ＮＣ・主制御部２４２のプログラム設定部７２で、動作プログラムのＭコードを解析し（処理Ｓ１７１）、ＰＣ・シーケンス制御部２４３に送り（処理Ｓ１７２）、センシングＯＮ指令を待機する（処理Ｓ１７３）。
【０１４８】
センシングＯＮ指令でなければ、処理Ｓ１７１に戻り、ＯＮ指令であれば、センシング動作をＯＮにして移動を開始する（処理Ｓ１７４）。
そして、センシングの終了を待機し（処理Ｓ１７５）、センシングの終了状態に達したら、センシング動作をＯＦＦにし（処理Ｓ１７６）、測定結果（センシングによる設定情報）を表示部２４１２に表示し（処理Ｓ１７７）、図１５に戻って処理Ｓ１５６に進む。
【０１４９】
〔第２の調整動作／センシング自動調整１回のみ（Ｍコード）〕
図１８には、図１５における「指令内容３Ａ」つまり「センシング自動調整１回のみ（Ｍコード）」の場合（処理Ｓ１８０）の詳細が示されている。
指令内容３Ａの処理では、油圧調整部７０は、先ず、ＮＣ・主制御部２４２のプログラム設定部７２で、動作プログラムのＭコードを解析し（処理Ｓ１８１）、ＰＣ・シーケンス制御部２４３に送り（処理Ｓ１８２）、センシングＯＮ指令を待機する（処理Ｓ１８３）。
センシングＯＮ指令でなければ、処理Ｓ１８１に戻り、ＯＮ指令であれば、センシング動作をＯＮにして移動を開始する（処理Ｓ１８４）。
【０１５０】
そして、センシングの終了を待機し（処理Ｓ１８５）、センシングの終了状態に達したら、センシング動作をＯＦＦにし（処理Ｓ１８６）、測定結果（センシングによる設定情報）をＰＣ・シーケンス制御部２４３に送る（処理Ｓ１８７）。
ＰＣ・シーケンス制御部２４３は、受領した測定結果と、判定用データ７４とを照合し（処理Ｓ１８８）、判定結果に基づく指令を出力する（処理Ｓ１８９）。
【０１５１】
このような出力に従って静圧用ＳＶがＯＮとされ、油静圧案内機構４０の油圧が調整された状態で各軸移動機構２１〜２３での移動が行われる（処理Ｓ１８Ａ）。
油圧調整部７０は、各軸移動機構２１〜２３での移動終了を待機する（処理Ｓ１８Ｂ）。前述した油圧の調整は、移動が終了するまで維持される。
移動が終了したら、図１５に戻って処理Ｓ１５６に進む。
【０１５２】
〔第２の調整動作／センシング自動調整ループ（Ｍコード）〕
図１９には、図１５における「指令内容４Ａ」つまり「センシング自動調整ループ（Ｍコード）」の場合（処理Ｓ１９０）の詳細が示されている。
指令内容４Ａの処理では、油圧調整部７０は、先ず、ＮＣ・主制御部２４２のプログラム設定部７２で、動作プログラムのＭコードを解析し（処理Ｓ１９１）、ＰＣ・シーケンス制御部２４３に送り（処理Ｓ１９２）、センシングＯＮ指令を待機する（処理Ｓ１９３）。
センシングＯＮ指令でなければ、処理Ｓ１９１に戻り、ＯＮ指令であれば、センシング動作をＯＮにして移動を開始する（処理Ｓ１９４）。
【０１５３】
油圧調整部７０は、先ず各軸移動機構２１〜２３でのセンシングによる測定結果をＰＣ・シーケンス制御部２４３に送る（処理Ｓ１９５）。
ＰＣ・シーケンス制御部２４３は、受領した測定結果と、判定用データ７４とを照合し（処理Ｓ１９６）、判定結果に基づく指令を出力する（処理Ｓ１９７）。
このような出力に従って静圧用ＳＶがＯＮとされ、油静圧案内機構４０の油圧が調整された状態で各軸移動機構２１〜２３での移動が行われる（処理Ｓ１９８）。
【０１５４】
油圧調整部７０は、処理Ｓ１９９により、移動が終了する状態になるまで前述した処理Ｓ１９５〜Ｓ１９８を繰り返す。
そして、処理Ｓ１９９で移動終了と判定されたら、センシング動作をＯＦＦにし（処理Ｓ１９Ａ）、図１５に戻って処理Ｓ１５６に進む。
【０１５５】
〔第２の調整動作／直接指令（スイッチ）〕
図２０には、図１５における「指令内容１Ｂ」つまり「直接指令（スイッチ）」の場合（処理Ｓ２００）の詳細が示されている。
指令内容１Ｂの処理では、油圧調整部７０は、ＰＣ・シーケンス制御部２４３において操作部２４１１からの指令入力を受け取り（処理Ｓ２０１）、指令入力が静圧用ＳＶのＯＮ指令か否かを判定する（処理Ｓ２０２）。
指令入力が静圧用ＳＶのＯＮ指令でなければ、処理Ｓ２０１に戻り、ＯＮ指令であれば、静圧用ＳＶをＯＮにして移動を開始する（処理Ｓ２０３）。
【０１５６】
操作部２４１１から加工終了の入力（スイッチ）を受け取ったら（処理Ｓ２０４）、油圧調整部７０は、ＰＣ・シーケンス制御部２４３にスイッチに応じた動作を実行させる（処理Ｓ２０５）。
この状態で、移動を継続しつつ、油圧調整部７０は、移動終了指令の入力を待機し（処理Ｓ２０６）、入力がない間は処理Ｓ２０４〜Ｓ２０６を繰り返し、移動終了指令の入力があったら図１５に戻って処理Ｓ１５６に進む。
【０１５７】
〔第２の調整動作／センシング＋直接指令（スイッチ）〕
図２１には、図１５における「指令内容２Ｂ」つまり「センシング＋直接指令（スイッチ）」の場合（処理Ｓ２１０）の詳細が示されている。
指令内容２Ｂの処理では、油圧調整部７０は、ＰＣ・シーケンス制御部２４３において操作部２４１１からの指令入力を受け取り（処理Ｓ２１１）、指令入力がセンシングＯＮ指令か否かを判定する（処理Ｓ２１２）。
【０１５８】
指令入力がセンシングＯＮ指令でなければ、処理Ｓ２１１に戻り、ＯＮ指令であれば、センシング動作をＯＮにして移動を開始する（処理Ｓ２１３）。
そして、センシングの終了を待機し（処理Ｓ２１４）、センシングの終了状態に達したら、センシング動作をＯＦＦにし（処理Ｓ２１５）、測定結果（センシングによる設定情報）を表示部２４１２に表示し（処理Ｓ２１６）、図１５に戻って処理Ｓ１５６に進む。
【０１５９】
〔第２の調整動作／センシング自動調整１回のみ（スイッチ）〕
図２２には、図１５における「指令内容３Ｂ」つまり「センシング自動調整１回のみ（スイッチ）」の場合（処理Ｓ２２０）の詳細が示されている。
指令内容３Ｂの処理では、油圧調整部７０は、ＰＣ・シーケンス制御部２４３において操作部２４１１からの指令入力を受け取り（処理Ｓ２２１）、指令入力がセンシングＯＮ指令か否かを判定する（処理Ｓ２２２）。
【０１６０】
指令入力がセンシングＯＮ指令でなければ、処理Ｓ２２１に戻り、ＯＮ指令であれば、センシング動作をＯＮにして移動を開始する（処理Ｓ２２３）。
そして、センシングの終了を待機し（処理Ｓ２２４）、センシングの終了状態に達したら、センシング動作をＯＦＦにし（処理Ｓ２２５）、測定結果（センシングによる設定情報）をＰＣ・シーケンス制御部２４３に送る（処理Ｓ２２６）。
ＰＣ・シーケンス制御部２４３は、受領した測定結果と、判定用データ７４とを照合し（処理Ｓ２２７）、判定結果に基づく指令を出力する（処理Ｓ２２８）。
【０１６１】
このような出力に従って静圧用ＳＶがＯＮとされ、油静圧案内機構４０の油圧が調整された状態で各軸移動機構２１〜２３での移動が行われる（処理Ｓ２２９）。
油圧調整部７０は、各軸移動機構２１〜２３での移動終了を待機する（処理Ｓ２２Ａ）。前述した油圧の調整は、移動が終了するまで維持される。
移動が終了したら、図１５に戻って処理Ｓ１５６に進む。
【０１６２】
〔第２の調整動作／センシング自動調整ループ（スイッチ）〕
図２３には、図１５における「指令内容４Ｂ」つまり「センシング自動調整ループ（スイッチ）」の場合（処理Ｓ２３０）の詳細が示されている。
指令内容４Ａの処理では、油圧調整部７０は、ＰＣ・シーケンス制御部２４３において操作部２４１１からの指令入力を受け取り（処理Ｓ２３１）、指令入力がセンシングＯＮ指令か否かを判定する（処理Ｓ２３２）。
センシングＯＮ指令でなければ、処理Ｓ２３１に戻り、ＯＮ指令であれば、センシング動作をＯＮにして移動を開始する（処理Ｓ２３３）。
【０１６３】
油圧調整部７０は、先ず各軸移動機構２１〜２３でのセンシングによる測定結果をＰＣ・シーケンス制御部２４３に送る（処理Ｓ２３４）。
ＰＣ・シーケンス制御部２４３は、受領した測定結果と、判定用データ７４とを照合し（処理Ｓ２３５）、判定結果に基づく指令を出力する（処理Ｓ２３６）。
このような出力に従って静圧用ＳＶがＯＮとされ、油静圧案内機構４０の油圧が調整された状態で各軸移動機構２１〜２３での移動が行われる（処理Ｓ２３７）。
【０１６４】
油圧調整部７０は、処理Ｓ２３８により、移動が終了する状態になるまで前述した処理Ｓ２３４〜Ｓ２３７を繰り返す。
そして、処理Ｓ２３８で移動終了と判定されたら、センシング動作をＯＦＦにし（処理Ｓ２３９）、図１５に戻って処理Ｓ１５６に進む。
相違点は、図２２では移動終了の待機（処理Ｓ２２Ａ）が単なる待機であったのに対し、図２３では移動終了までの間に、処理Ｓ２２３〜Ｓ２３９のセンシングによる油圧調整を繰り返すことである。
このような繰り返し（ループ）により、移動の間の各時点での状況に応じた油圧調整が実行される。
【０１６５】
〔潤滑油の調整を行う機構〕
なお、工作機械１０の加工動作時、各案内機構における設定情報に基づく潤滑油の調整は、例えば潤滑油供給装置６０のポンプ６２（図３，図４参照）の動作制御により行うことができる。
潤滑油の調整をポンプ６２の動作制御により行う場合、前述した「断続」、「段階的」および「連続的」の何れにも対応することができる。
【０１６６】
設定情報が「断続」である場合、ポンプ６２の動作または停止を切り替えることで、潤滑油を断続することができる。
設定情報が「段階的」である場合、ポンプ６２の動作回転数を最大速度から停止までの間で段階的に切り替えることで、潤滑油を段階的に調整することができる。
設定情報が「連続的」である場合、ポンプ６２の動作回転数を最大速度から停止までの間で連続的に切り替えることで、潤滑油を段階的に調整することができる。
【０１６７】
設定情報に基づく潤滑油の調整は、ポンプ６２の動作制御に限らず、例えば供給配管６３に制御装置２４で制御可能な調整弁を設け、潤滑油の流通を絞る等してもよい。
【０１６８】
図２４において、供給配管６３には減圧弁６３１が設置され、この減圧弁６３１のパイロットにはリリーフ弁６３２が接続されている。
この構成では、減圧弁６３１をソレノイドで断続することで、供給配管６３を断続することができる。また、リリーフ弁６３２により、減圧弁６３１を中間開度に設定することができる。
【０１６９】
従って、減圧弁６３１を遮断することで「静圧無し」、減圧弁６３１およびリリーフ弁６３２を開いて供給配管６３を全開にすることで「高荷重」、減圧弁６３１を開きかつリリーフ弁６３２を絞って供給配管６３を絞ることで「低荷重」とすることができ、これにより「断続」および「段階的」な調整を行うことができる。
【０１７０】
図２５において、供給配管６３には減圧弁６３１が設置され、この減圧弁６３１のパイロットには比例制御弁６３３が接続されている。
この構成では、減圧弁６３１をソレノイドで断続することで、供給配管６３を断続することができる。また、比例制御弁６３３により、減圧弁６３１を中間開度に設定することができる。
比例制御弁６３３は、入力信号の電圧（例えば０〜５Ｖ）に比例して、開度を連続的に変化させることができる。
【０１７１】
従って、減圧弁６３１を遮断することで「静圧無し」にできるとともに、減圧弁６３１を開くことで、供給配管６３を比例制御弁６３３の開度に応じて連続的に絞ることができる。これにより、供給配管６３を全開から全閉までの間の任意の状態とすることができ、これにより「連続的」な調整を行うことができる。
【０１７２】
なお、図２４あるいは図２５では供給配管６３に減圧弁６３１を設け、静圧室４１に供給される潤滑油を直接的に調整するようにしたが、同様の減圧弁を回収配管６４に設置し、回収側の背圧調整により静圧室４１に供給される潤滑油を調節してもよい。
【０１７３】
〔第１実施形態の効果〕
このような第１実施形態によれば、以下のような効果が得られる。
本実施形態において、油静圧案内機構４０では、静圧室４１内の潤滑油の静圧により、高負荷荷重および低摩擦性が得られる。また、すべり案内機構５０では、高い案内精度および減衰性能が得られる。
従って、案内機構３０を、すべり案内と油静圧案内との併用式案内機構とすることができ、一つの案内機構において、高負荷荷重および低摩擦性と、高い案内精度および減衰性能を、共に得ることができる。
【０１７４】
本実施形態において、油静圧案内機構４０は、静圧室４１の外周がシールされた密閉式の油静圧構造とされる。このようなシール式の油静圧案内機構４０においては、外周縁から外部へと潤滑油が溢れ出すことを防止し、あるいは最小限に抑制することができる。
従って、油静圧案内機構４０とすべり案内機構５０とを併設しても、油静圧案内機構４０から溢れ出した潤滑油が、すべり案内機構５０に好ましくない影響（異種の潤滑油が混合する等）を及ぼす等の可能性を解消できる。
【０１７５】
さらに、本実施形態では、制御装置２４の油圧調整部７０により、静圧室４１に供給される潤滑油を調節することで、油静圧案内機構４０における荷重支持性能を増減させることができる。
例えば、案内機構３０の荷重負荷が大きい場合には、静圧室４１に供給される潤滑油を増し、油静圧案内機構４０による高負荷荷重および低摩擦性の確保を優先することができる。
【０１７６】
一方、案内機構３０に案内精度あるいは減衰性能が要求される場合、静圧室４１に供給される潤滑油を減らすことで、油静圧案内機構４０よりもすべり案内機構５０が有効となるようにできる。これにより、すべり案内機構５０による案内精度あるいは減衰性能を確保することができる。
従って、本実施形態では、油圧調整部７０により、油静圧案内機構４０とすべり案内機構５０とのバランス調整を行うことができ、案内機構３０としての特性を、状況に応じて変更することができる。
【０１７７】
このように、本実施形態では、油圧調整部７０によって、案内機構３０としての特性の変更が可能である。
さらに、本実施形態では、油静圧案内機構４０にシール式の油静圧構造を用いるため、潤滑油の周囲への漏れ出しを防止することができる。従って、油圧調整部７０による油静圧案内機構４０への潤滑油供給の増減を行っても、周囲に対する不都合を招くことがない。
【０１７８】
本実施形態では、油圧調整部７０に、マニュアル設定部７１を設けた。
このため、工作機械１０のオペレータが、加工するワークの図面や加工指示書を参照し、あるいはワーク１９の段取り時の重量目測、重量測定などでワーク１９の質量を判定し、その結果に基づいて、潤滑油の調節に関する設定情報を入力することもできる。
【０１７９】
本実施形態では、油圧調整部７０に、プログラム設定部７２を設けた。
このため、工作機械１０の実稼働に先立って動作プログラムを解析し、加工内容に応じた案内機構３０の潤滑油の調整を行うことができる。
【０１８０】
本実施形態では、油圧調整部７０に、センシング設定部７３を設けた。
このため、実際に工作機械１０が稼働する際の案内機構３０における荷重負荷に基づいて、潤滑油の調整を行うことができる。これにより、工作機械１０の実際の加工動作に即した調整が行え、より好適な制御を行うことができる。
【０１８１】
〔第２実施形態〕
図２６および図２７には、本発明に基づく第２実施形態が示されている。
本実施形態は、前述した第１実施形態と同様な工作機械１０に、本発明に基づく案内機構３０を設置したものである。
本実施形態において、工作機械１０、油圧調整部７０を含む制御装置２４、案内機構３０、油静圧案内機構４０およびすべり案内機構５０の基本構成は共通であり、重複する説明は省略するとともに、相違する構成について、以下に説明する。
【０１８２】
前述した第１実施形態では、油静圧案内機構４０の静圧室４１が、環状溝４１１、内側部分４１２、外側部分４１３、連通溝４１４を有していた。そして、内側部分４１２および外側部分４１３が同じ深さでありながら、環状溝４１１および連通溝４１４がシール溝４２１に連通されることで、内側部分４１２が圧力保持部（ランド部）として機能し、外側部分４１３が静圧室本体（リセス部）として機能するようにしていた。
【０１８３】
本実施形態においては、環状溝４１１および連通溝４１４を省略し、外側部分４１３の深さを内側部分４１２よりも深く形成することにより、実際に内側部分４１２をランド（圧力保持部）とし、かつ外側部分４１３をリセス（静圧室本体）としている。
なお、本実施形態において、内側部分４１２の深さは前述した第１実施形態と同様な数十ミクロン程度であり、外側部分４１３の深さは、内側部分４１２よりも深い。
【０１８４】
前述した第１実施形態では、潤滑油供給装置６０として、油静圧案内機構４０に潤滑油を供給する経路および排出された潤滑油を回収する経路を設けるとともに、これとは別個に、すべり案内機構５０に潤滑油を供給する経路を設けていた。
これに対し、本実施形態では、タンク６１が共用され、油静圧案内機構４０への供給配管６３およびすべり案内機構５０への供給配管６６は同じタンク６１に接続されている。
【０１８５】
このような本実施形態によれば、工作機械１０、案内機構３０、油静圧案内機構４０およびすべり案内機構５０の基本構成が前述した第１実施形態と共通であるため、これらによる効果は同様に得られる。
【０１８６】
さらに、本実施形態では、環状溝４１１および連通溝４１４が省略されているが、内側部分４１２および外側部分４１３の深さ設定により、前述した第１実施形態と同様に静圧荷重支持を行うことができ、油静圧案内機構４０としての機能を得ることができる。
【０１８７】
さらに、潤滑油供給装置６０では、油静圧案内機構４０への潤滑油供給およびすべり案内機構５０への潤滑油供給に同じタンク６１を用いることで、装置構成を簡略化できる。このような場合でも、油静圧案内機構４０およびすべり案内機構５０で用いる潤滑油が同一であるため、機能的に不都合は生じない。
【０１８８】
〔他の実施形態〕
なお、本発明は、前述した実施形態の構成に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形等は本発明に含まれる。
【０１８９】
前記実施形態では、制御装置２４に油圧調整部７０を追加して油圧調整装置を構成したが、別体の油圧調整装置を制御装置２４に外部接続してもよく、あるいは制御装置２４を介さずに各案内機構３０の潤滑油を調整するような構成でもよい。
【０１９０】
油圧調整部７０は、マニュアル設定部７１、プログラム設定部７２およびセンシング設定部７３を有する構成に限らない。
例えば、潤滑油の調整に関する設定情報を設定する手段としては、マニュアル設定部７１、プログラム設定部７２、センシング設定部７３のいずれか１つあるいは２つであってもよい。
【０１９１】
また、動作プログラムと同期して動作する案内機構調整装置を用い、先に設定しておいた設定情報を適宜なタイミングで案内機構に出力することで、案内機構の負荷調整を行うようにしてもよい。
さらに、潤滑油の調整に関する設定情報として、各種の形式や動作形態が利用できることは、油圧調整部７０の説明で述べた通りであり、本発明は多様な実施形態に対応することができる。
【０１９２】
前記実施形態では、潤滑油供給装置６０として、油静圧案内機構４０に潤滑油を供給する経路および排出された潤滑油を回収する経路を設けるとともに、すべり案内機構５０に潤滑油を供給する経路を設けていた。
ただし、すべり案内機構５０として潤滑油の供給が必要なければ、このようなすべり案内機構５０への給油機能を省略してもよい。例えば、油静圧案内機構４０から漏れ出す潤滑油の量が、すべり案内機構５０で必要な潤滑油量に相当する場合、油静圧案内機構４０のシール部４２の一部から潤滑油を流出させ、これをすべり案内機構５０に供給するようにしてもよい。
【０１９３】
すべり案内機構５０は、潤滑用および摩耗防止用に油静圧案内機構４０と同じ潤滑油を用いるものに限らず、他の油脂類を利用し、あるいは摺動面５１に固体潤滑材料を用いるものであってもよい。このような場合でも、シール部４２により油静圧案内機構４０からの潤滑油の漏出を防止できるため、漏出した潤滑油によりすべり案内機構５０に不都合が生じることはない。
【０１９４】
前述した実施形態では、移動部材３１の両端の表面に連続して摺動面５１および平滑面４９を設け、油静圧案内機構４０およびすべり案内機構５０を隣接して設置した。しかし、油静圧案内機構４０およびすべり案内機構５０は離隔して設置してもよく、あるいは一連の移動部材３１とは別体の部材に形成される油静圧案内機構４０およびすべり案内機構５０としてもよい。
【０１９５】
前述した実施形態では、案内部材である第１および第２のレール１４１，１４２に案内面３９を設け、この案内面３９を移動部材３１の油静圧案内機構４０およびすべり案内機構５０で共用した。しかし、案内面３９の共用は本発明に必須ではなく、案内部材に２列の案内面３９を設け、それぞれを油静圧案内機構４０用およびすべり案内機構５０用として用いてもよい。
【０１９６】
あるいは、移動部材３１に油静圧案内機構４０およびすべり案内機構５０をまとめることは必須ではなく、移動部材３１に油静圧案内機構４０と案内面（すべり案内用）とを設け、案内部材にすべり案内機構５０と案内面（油静圧案内用）とを設けるようにしてもよい。
【０１９７】
前述した実施形態の油静圧案内機構４０では、供給経路４３から静圧室４１へと潤滑油を供給し、静圧室４１から排出された潤滑油を回収経路４４から回収し、タンク６１に戻す循環式の油静圧構造を採用した。ただし、循環式に限らず、単なる流通式の油静圧構造としてもよい。例えば、回収経路４４から回収した潤滑油をタンク６１に戻さず、供給経路４３から静圧室４１に潤滑油を供給し、静圧室４１で静圧を発生させた後、回収経路４４で回収するだけとしてもよい。
【０１９８】
さらに、油静圧案内機構４０としては、静圧室４１に貯められた潤滑油の静圧を利用する封入式の油静圧構造としてもよい。この場合でも、静圧室４１内の潤滑油の量および圧力を所定値に維持するために、供給経路４３は設置することが必要であるが、回収経路４４については省略することができる。
【０１９９】
前述した実施形態では、一対のコラム１３とクロスバー１４による門型の支持構造を有する工作機械１０において、クロスバー１４とヘッド１５とを相対移動させるＹ軸移動機構２２の案内機構３０Ａ〜３０Ｆに本発明を適用した例を説明した。しかし、本発明はこのような部位に限定されるものではなく、工作機械１０の他の相対移動部分、例えばヘッド１５とラム１６とを相対移動させるＺ軸移動機構２３の案内機構、あるいは基台１１とテーブル１２とを相対移動させるＸ軸移動機構２１の案内機構に適用してもよい。
【０２００】
さらには、直線移動に限らず、例えばロータリーテーブルの回転支持機構など、回転する部分の案内機構に適用してもよい。
本発明が適用される工作機械は、前述した工作機械１０に限らず、本発明は、相対移動する２部材を有する様々な工作機械に適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【０２０１】
本発明は、加工対象であるワークと加工用の工具とを任意の相対位置に移動させる様々な工作機械に利用できる。
【符号の説明】
【０２０２】
１０…工作機械、１０１…各部センサ、１１…基台、１２…テーブル、１３…コラム、１４…クロスバー、１４１，１４２…案内部材である第１および第２のレール、１５…ヘッド、１５１，１５２…溝部、１６…ラム、１７…主軸、１８…ツール、１９…ワーク、２１…Ｘ軸移動機構、２１１…Ｘ軸モータ、２２…Ｙ軸移動機構、２２１…Ｙ軸モータ、２３…Ｚ軸移動機構、２３１…Ｚ軸モータ、２４…制御装置、２４１…操作盤、２４１１…操作部、２４１２…表示部、２４２…ＮＣ・主制御部、２４３…ＰＣ・シーケンス制御部、２４４…プログラム制御部、２４５…モータ制御部、２４６…シーケンスプログラム制御部、２４７…動作指令部、２４８…入出力制御部、３０，３０Ａ〜３０Ｆ…第１〜第６の案内機構、３１，３１Ａ〜３１Ｆ…移動部材、３９…案内面、４０…油静圧案内機構、４１…静圧室、４１１…環状溝、４１２…内側部分、４１３…外側部分、４１４…連通溝、４２…シール部、４２１…シール溝、４２２…シール部材、４３…供給経路、４３１…連通孔、４４…回収経路、４４１…連通孔、４９…平滑面、５０…すべり案内機構、５１…摺動面、５２…給油溝、５３…給油経路、５３１…連通孔、５５…回収樋、５６…廃油タンク、６０…潤滑油供給装置、６１，６９…タンク、６２…ポンプ、６３，６６…供給配管、６３１…減圧弁、６３２…リリーフ弁、６３３…比例調整弁、６４…回収配管、６５，６８…フィルタ、６７…ポンプ、７０…油圧調整装置である油圧調整部、７１…マニュアル設定部、７２…プログラム設定部、７３…センシング設定部、７４…プログラム編集部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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