(57)【要約】【課題】吐出口面上の付着物を容易に除去できる技術を提供すること。【解決手段】本発明の液体吐出装置は、吐出口が形成された吐出口面を有し、吐出口によって液体を吐出する吐出動作を行うヘッドと、吐出口面を吸引する吸引動作を行う吸引口と、ヘッド内の圧力を変更する圧力変更手段と、圧力変更手段によってヘッド内の圧力を吐出動作時の圧力よりも正圧の方向へ変更した状態、かつ前記吸引口を前記吐出口面から離間した状態で前記吸引動作を行わせる制御手段と、を有する。【選択図】図１
2016215638.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吐出口が形成された吐出口面を有し、前記吐出口によって液体を吐出する吐出動作を行うヘッドと、
前記吐出口面を吸引する吸引動作を行う吸引口と、を有する液体吐出装置において、
前記ヘッド内の圧力を変更する圧力変更手段と、
前記圧力変更手段によって前記ヘッド内の圧力を前記吐出動作時の圧力よりも正圧の方向へ変更した状態、かつ前記吸引口を前記吐出口面から離間した状態で前記吸引動作を行わせる制御手段と、を有することを特徴とする液体吐出装置。
【請求項２】
前記圧力変更手段によって前記ヘッド内の圧力が、前記吐出口内の前記液体のメニスカスが破壊されない範囲内の最大正圧よりも高い第１圧力に変更され、
前記制御手段は、前記ヘッド内の圧力が前記第１圧力から、前記最大正圧以下且つ大気圧以上の第２圧力に低下した状態で、前記吸引動作を行わせることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記圧力変更手段によって前記ヘッド内の圧力が、前記吐出口内の前記液体のメニスカスが破壊されない範囲内の最大正圧以下且つ大気圧以上の圧力に変更された状態で、前記吸引動作を行わせることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項４】
前記圧力変更手段は、ポンプを備え、
前記圧力変更手段は、前記ポンプによって前記ヘッド内の圧力を変更することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
【請求項５】
前記吸引口の近傍に設けられ、前記吐出口面へ気体を吹き出す吹出口を有することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
【請求項６】
前記ヘッドへ供給される液体を収容する第１タンクと、
前記第１タンクの内部空間を前記液体を収容する第１室と作動液を収容する第２室とに仕切ると共に可撓性を有する可撓部と、
前記第２室と連通し、前記第２室へ供給される前記作動液を収容する第２タンクと、
前記第２タンク内の作動液の液面の位置を調整する液面調整手段と、を有することを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
【請求項７】
前記圧力変更手段は、前記第１圧力を供給する第１圧力供給源と、前記第２圧力を供給する第２圧力供給源と、を備えることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出装置。
【請求項８】
前記ヘッドへ供給される液体を収容する第１タンクと、
前記第１タンクの内部空間を前記液体を収容する第１室と作動液を収容する第２室とに仕切ると共に可撓性を有する可撓部と、
前記第２室と連通し、前記第２室へ供給される前記作動液を収容する第２タンクと、
前記第２タンク内の作動液の液面の位置を調整する液面調整手段と、を有し、
前記第１圧力供給源および第２圧力供給源は、前記第２タンクに接続されていることを特徴とする請求項７に記載の液体吐出装置。
【請求項９】
前記第１圧力供給源および前記第２圧力供給源は、空気圧力源であることを特徴とする請求項８に記載の液体吐出装置。
【請求項１０】
前記第２タンクと前記第２圧力供給源を連通せず、前記第２タンクと前記第１圧力供給源を連通する第１状態と、
前記第２タンクと前記第１圧力供給源を連通せず、前記第２タンクと前記第２圧力供給源を連通する第２状態と、
前記第２タンクが前記第１圧力供給源または前記第２圧力供給源のいずれとも連通しない第３状態と、に切り替える切換手段を備えることを特徴とする請求項９に記載の液体吐出装置。
【請求項１１】
前記圧力変更手段は、前記吐出口内の前記液体のメニスカスが破壊されない範囲内の最大正圧以下且つ大気圧以上の圧力を供給する圧力供給源を備えることを特徴とする請求項３に記載の液体吐出装置。
【請求項１２】
吐出口が形成された吐出口面を有し、前記吐出口によって液体を吐出する吐出動作を行うヘッドと、
前記吐出口面を吸引する吸引動作を行う吸引口と、を有するインプリント装置において、
前記ヘッド内の圧力を変更する圧力変更手段と、
前記圧力変更手段によって前記ヘッド内の圧力を前記吐出動作時の圧力よりも正圧の方向へ変更した状態、かつ前記吸引口を前記吐出口面から離間した状態で前記吸引動作を行わせる制御手段と、
前記ヘッドによって一方の表面に前記液体が吐出された基板の前記一方の表面と、凹凸パターンが形成されたモールドの前記凹凸パターンが形成された表面とを当接させ、前記基板の前記一方の表面において、前記モールドの前記凹凸パターンに対応するパターンを形成する形成手段と、を有することを特徴とするインプリント装置。
【請求項１３】
前記液体は光硬化性を有する液体であって、
前記パターン形成手段は、前記基板に形成された前記パターンに光を照射して当該パターンを硬化させる光照射手段を備えることを特徴とする請求項１２に記載のインプリント装置。
【請求項１４】
吐出口が形成された吐出口面を有し、前記吐出口によって液体を吐出する吐出動作を行うヘッドと、吸引口と、を有するインプリント装置を用いて、基板を備えた部品を製造する部品の製造方法であって、
前記ヘッド内の圧力を前記吐出動作時の圧力よりも正圧の方向へ変更した状態、かつ前記吸引口を前記吐出口面から離間した状態で前記吐出口面を吸引する吸引工程と、
前記吸引工程の後に、前記ヘッドによって液体を基板の表面へ付与する付与工程と、
前記基板の前記液体が付与された表面と、凹凸パターンが形成されたモールドの表面とを当接させ、前記基板の前記表面に前記モールドの前記凹凸パターンに対応するパターンを形成するパターン形成工程と、
前記パターンが形成された前記基板を処理する処理工程と、を有することを特徴とする部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出する液体吐出ヘッドを備えた液体吐出装置、インプリント装置および部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を吐出する吐出口（以下、「ノズル」と称す）を有する液体吐出ヘッド（以下、単に「ヘッド」と称す）を備えた液体吐出装置が知られている。このような液体吐出装置は、近年、多様な分野で利用されており、例えば、インクジェット記録装置などに利用されている。
【０００３】
一方、液体吐出装置の液体吐出ヘッドの吐出特性を維持するために、ノズルが形成されたノズル面に付着した付着物（液体または残留物などの異物）を除去する必要がある。例えば、特許文献１（図１０を参照する）には、空気吹出ノズル２０４を用いて、インクジェットヘッド２０１のノズル２０２が形成されたノズル面２０３に付着した付着物を除去する構成が開示されている。
【０００４】
具体的には、図１０に示すように、特許文献１では、移動方向に沿って移動する空気吹出ノズル２０４からノズル面２０３に空気を吹き当てることによって、ノズル面２０３に付着された付着物が移動（除去）される。なお、空気吹出ノズル２０４によって移動された付着物が、さらにノズル面２０３から離れて設けられた空気吸引ノズル２０５により回収される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−１７４８４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に開示された構成では、空気吹出ノズル２０４によってノズル面２０３に沿って付着物を移動させる際、付着物の移動経路上にノズル２０２が配置されている場合がある。
【０００７】
一方、ヘッドからインクが漏れにくい且つ記録動作時にヘッド内に比較的に安定した圧力を維持するために、ヘッド内では一般的に負圧（大気圧より低い圧力）の状態に維持されている。このため、ノズルの開口部におけるメニスカスがノズルの内側へやや凹むような状態になりやすい。
【０００８】
従って、空気吹出ノズル２０４によって付着物を除去する際、付着物がノズル２０２内に混入しやすく、ノズル面２０３から付着物が除去されにくい場合がある。
【０００９】
本発明の目的は、吐出口面上の付着物を容易に除去できる技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る液体吐出装置は、吐出口が形成された吐出口面を有し、前記吐出口によって液体を吐出する吐出動作を行うヘッドと、前記吐出口面を吸引する吸引動作を行う吸引口と、を有する液体吐出装置において、前記ヘッド内の圧力を変更する圧力変更手段と、前記圧力変更手段によって前記ヘッド内の圧力を前記吐出動作時の圧力よりも正圧の方向へ変更した状態、かつ前記吸引口を前記吐出口面から離間した状態で前記吸引動作を行わせる制御手段と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、吐出口面上の付着物を容易に除去できる技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１実施形態に係る液体吐出装置の概念図。
【図２】第１実施形態におけるクリーニング動作を行う際のヘッド内の圧力制御を示す第１例の概念図。
【図３】第１実施形態におけるクリーニング動作を行う際のヘッド内の圧力制御を示す第２例の概念図。
【図４】本発明の第２実施形態に係る液体吐出装置の概念図。
【図５】本発明の第３実施形態に係る液体吐出装置の概念図。
【図６】本発明の第４実施形態に係る液体吐出装置の概念図。
【図７】本発明の第５実施形態に係る液体吐出装置の概念図。
【図８】本発明の第６実施形態に係る液体吐出装置に概念図。
【図９】本発明の第７実施形態に係るインプリント装置の概念図。
【図１０】従来技術のインクジェットヘッドのクリーニング装置の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
［第１実施形態］
以下、図１〜図４を参照して本発明の第１実施形態について説明する。なお、本実施形態では、インクを吐出するインクジェット記録装置（以下、「吐出装置」を称する）を本発明の液体吐出装置の一例として説明する。また、本実施形態の吐出装置に使用される「インク」は、本発明の液体吐出装置に使用される「液体」を構成する一例である。
【００１４】
図１は、本実施形態の吐出装置（液体吐出装置）の概念図である。
【００１５】
図１に示すように、本実施形態では、吐出装置１００は主に、インク（液体）を吐出するヘッド１と、インクを収容する第１タンク２と、作動液を収容する第２タンク３を備えている。また、吐出装置１００は、記録媒体９１を搬送する搬送手段９２や、搬送手段９２を支持する支持部９３などを備えている。なお、記録媒体９１は、吸着手段（図示しない）によって搬送手段９２に吸着して保持される。
【００１６】
なお、本実施形態では、ヘッド１、搬送手段９２、吸着手段などの機構が制御手段（図示しない）によって制御されている。制御手段を、例えばＣＰＵなどで構成することができる。
【００１７】
第１タンク２は、ほぼ密閉した状態の直方体状の筐体２０を備え、筐体２０の底部にはヘッド１が取り付けられている。第１タンク２には大気連通口が設けられていない。なお、ヘッド１は、筐体２０の底面において、吐出口１０１が形成された吐出口面１０を備えている。
【００１８】
筐体２０の内部には、可撓性を有する可撓性膜２３（可撓部）が鉛直方向に設けられており、第１タンク２の内部空間が可撓性膜２３によって第１室２１と第２室２２に仕切られる。第１室２１は、筐体２０の底部に設けられたヘッド１の内部と連通しており、ヘッド１へ供給されるインクを収容している。一方、第２室２２は、後述する圧力調整部８０の一部および流路Ｔ１を通じて第２タンク３と連通しており、第２タンク３から供給される作動液を収容している。
【００１９】
なお、本実施形態では、第１室２１はインクで満たされており、第２室２２は作動液で満たされている。
【００２０】
図１に示すように、第２タンク３の上部には、大気連通路３１および開閉弁３２が設けられており、第２タンク３が大気開放可能にされている。第２タンク３が大気開放された状態で、ヘッド１内に負圧の状態が維持されるように、第２タンク３内の作動液の液面の位置が、ヘッド１の吐出口面１０の位置よりも下方に配置される。
【００２１】
即ち、本実施形態の吐出装置１００では、作動液を収容する第２タンク３内の液面の位置と吐出口面１０の位置の間の高低差（水頭差）によって、ヘッド１内の負圧状態が維持される。ヘッド１の吐出動作は、ヘッド内の圧力が負圧に維持された状態で行われる。
【００２２】
第１タンク２（第１室２１）内のインクが消費されると、毛管力によって第２タンク３から第２室２２へ作動液が供給（補充）される。従って、第２タンク３内の作動液の液面が低下し、吐出出口面の位置と第２タンク３内の液面位置の間の水頭差が変化する。
【００２３】
本実施形態では、第２タンク３内の作動液の液面の位置を調整する液面調整手段（図示しない）を備えている。液面調整手段によって、吐出口面の位置と第２タンク３内の液面の位置の間の水頭差が所定範囲内（Ｈ）に制御される。
【００２４】
例えば、液面調整手段を、第２タンク３に作動液を補充または第２タンク３から作動液を取り出し可能な構成とすることができる。具体的には、液面調整手段は、第２タンクに接続され、作動液を貯留可能な貯留タンク（図示しない）などで構成してもよい。
【００２５】
液面調整手段によって第２タンク３内の液面がほぼ一定の高さ位置に維持されるため、第１室２１内のインクが消費されても、ヘッド１内の圧力（負圧状態）が安定的に維持される。
【００２６】
なお、第２タンク３は、水頭差の調整幅（Ｈ）に応じて容量が設定される。また、水頭差を細かく調整できるように、第２タンク３の水平方向の断面積を大きく設定してもよい。これにより、第２タンク３に作動液を補充または取り出す際に、第２タンク３内の液面の上昇または低下がより緩やかになり、精度よく水頭差を調整することができる。
【００２７】
以下、本実施形態の圧力調整部８０について説明する。
【００２８】
本実施形態では、圧力調整手段８０は、後述するクリーニング手段７によってクリーニング動作を行う際、ヘッド１内の圧力を制御する機構である。また、圧力調整手段８０やクリーニング手段７などの機構は、制御手段によって制御される。なお、本実施形態の圧力調整手段８０は、本発明の圧力変更手段を構成するものである。
【００２９】
具体的には、図１に示すように、圧力調整部８０は、作動液バッファ部８１と、連通流路８２と、シリンジポンプ８３を備えている。また、圧力調整部８０は、作動液バッファ部８１内の圧力を検知する圧力センサ（図示しない）を備えている。なお、上述した通り、本実施形態では、作動液バッファ部８１とヘッド１は互いに圧力伝達可能なように構成されているため、圧力センサを用いて作動液バッファ部８１内の圧力を検知することによってヘッド１内の圧力情報を得ることができる。
【００３０】
作動液バッファ部８１は、連通流路８２を通じて第２室２２に連通されている。また、作動液バッファ部８１は、流路Ｔ１を通じて第２タンク３にも連通されている。なお、第２タンク３に接続する流路Ｔ１の一端（下端）は、第２タンク３内の作動液の液面以下に配置されている。
作動液バッファ部８１は、連通流路８２および流路Ｔ１と同様に、作動液で満たされている。なお、流路Ｔ１には、流路を開状態と閉状態とに切り替え可能な開閉弁８４が設けられている。
【００３１】
シリンジポンプ８３は、作動液バッファ部８１に設けられている。シリンジポンプ８３を作動させることにより、作動液バッファ部８１内の圧力を調整することができる。このため、開閉弁８４を閉じた状態で、シリンジポンプ８３を作動させることによって、ヘッド１内の圧力を調整することができる。なお、シリンジポンプ８３は図示しない駆動手段によって駆動される。
【００３２】
なお、本実施形態では、第２室２２内の作動液として、第１室２１内のインクとほぼ同じ密度の液体を採用している。作動液とインク（吐出される液体）はほぼ同じ密度であるため、ヘッド１内の圧力をより安定的に制御することができる。また、作動液は、非圧縮性を有する物質であり、例えば、水等の液体や、ゲル状物質を作動液として用いることができる。
【００３３】
以下、本実施形態のクリーニング手段７について説明する。
【００３４】
なお、本実施形態では、クリーニング手段７は、吐出装置１００の吐出性能を維持（回復）するために、ヘッド１の吐出口面１０をクリーニングする機構である。
【００３５】
具体的には、図１に示すように、クリーニング手段７は、吸引ノズル７１（吸引口）、吸引ファン７２および液体受け部７３を備えている。また、クリーニング手段７は、さらに、吸引ノズル７１を搬送する搬送手段７０と、搬送手段７０を支持する支持部９３Ａとを備えている。
【００３６】
本実施形態では、吸引ノズル７１は鉛直方向に配置されている。また、吸引ノズル７１は、吸引動作の際、吸引ノズル７１の開口面７１１とヘッド１の吐出口面１０の間に所定の間隔を有するように配置されている。なお、所定の間隔は、例えば０．１〜１．０ｍｍの範囲内にすることができる。また、吸引ノズル７１内における圧力は、例えば、−０．０５ｋＰａ（上限値）から−０．５ｋＰａ（下限値）の範囲内に設定してもよい。
【００３７】
搬送手段７０によって吸引ノズル７１が吐出口面１０に沿って移動することができる。従って、吸引ノズル７１は、移動しつつ吐出口面１０を吸引することができる。これにより、ヘッド１の吐出口面１０に付着された付着物を移動して除去することができる。なお、吸引ノズル７１の移動速度は、例えば１ｍｍ／秒から１０ｍｍ／秒の範囲内に設定してもよい。
【００３８】
このように、吸引ノズル７１を吐出口面１０から離間した状態で吐出口面付近の気体を吸引する吸引動作によって、吐出口面１０上のインクなどの付着物Ｄ１を吸引ノズル７１内に引き込ませて、吐出口面をクリーニングするクリーニング動作を行うことができる。
【００３９】
なお、前述したように、ヘッド１内は負圧状態に維持されているため、吐出口面１０の吐出口１０１の開口部において、インク（吐出される液体）のメニスカスが内部（内側）へやや凹む状態になりやすい。このため、クリーニング動作（吸引動作）の際、吸引ノズル７１によって移動される付着物Ｄ１が吐出口１０１内に進入しやすく、吐出口１０１に進入された付着物が除去されにくい。
【００４０】
本実施形態では、クリーニング動作（吸引動作）を行う前に、ヘッド内の圧力を吐出動作時の圧力よりも正圧の方向へ変更することによって、吐出口面１０におけるインクのメニスカスの状態を「凹状」から「凸状」へ変更することができる。これにより、クリーニング動作（吸引動作）を行う際に、吐出口１０１の内部に付着物Ｄ１の進入が軽減され、より効果的に付着物を除去することができる。
【００４１】
なお、図１に示すように、より効果的に吐出口面上の付着物Ｄ１を除去するために、クリーニング手段７は、さらに圧縮空気を吹き出す吹出ノズル７４（吹出口）および吹出ファン７５を備えてもよい。吹出ノズル７４を吸引ノズル７１の近傍に配置することが好ましい。
【００４２】
例えば、吸引ノズル７１によって吸引動作を行う際、吸引ノズル７１の移動方向の後方となるように吹出ノズル７４を配置してもよい。なお、吹出ノズル７４内における圧力は、例えば、＋０．０１ｋＰａ（下限値）から＋０．５ｋＰａ（上限値）の範囲内に設定してもよい。
【００４３】
以下、図２および図３を用いて、クリーニング動作（吸引動作）時のヘッド１内の圧力制御について説明する。
【００４４】
なお、本実施形態では、圧力調整手段８０（圧力変更手段）によって、ヘッド１内の圧力が記録動作時の状態（負圧の状態）から変更（解消）される。
【００４５】
図２は、クリーニング動作（吸引動作）を行う際のヘッド１内の圧力制御を示す第１例の概念図である。なお、図２の縦軸は、大気圧（１Ａｔｍ）を基準として、ヘッド内の圧力（Ｐ）の相対値を示している。即ち、圧力（Ｐ）が「０」の時では、ヘッド内の圧力が大気圧（１Ａｔｍ）に等しい。一方、ヘッド内の圧力が大気圧より高い場合を正圧（＋）状態と表し、大気圧より低い場合を負圧（−）状態と表する。
【００４６】
図２に示すように、クリーニング動作（吸引動作）が開始する前の状態（状態１）では、ヘッド１内の圧力が負圧（−）に維持（制御）されている。即ち、開閉弁３２、８４が開状態であり、ヘッド１内の圧力が吐出口におけるインク（吐出される液体）のメニスカスが破壊されない範囲内の下限圧力Ｂ（臨界負圧値）よりも高い圧力（大気圧と下限圧力Ｂの間の圧力）に制御されている。この状態では、吐出口におけるインクのメニスカスが維持されるため、吐出口を経由して外部からヘッド１内へ空気が進入されることはない。
【００４７】
クリーニング動作を行う指令を制御部（図示しない）もしくはユーザ入力より受信すると、クリーニング動作を開始する準備動作（制御）が行われる。即ち、クリーニング動作を開始する前に、開閉弁３２、８４が開状態から閉状態に切り換えられた状態で、シリンジポンプ８３（圧力調整手段８０）を作動させることにより、ヘッド１内の圧力を上昇させる（状態２）。
【００４８】
状態２では、ヘッド１内の圧力が吐出口におけるインク（吐出される液体）のメニスカスが破壊されない範囲内の上限圧力Ａ（臨界正圧値）よりも高い第１圧力まで加圧される。前述したように、本実施形態では、ヘッド１内の圧力は圧力センサによって検知されるため、ヘッド１内の圧力が第１圧になったとき、シリンジポンプ８３の加圧動作が停止される。なお、ヘッド１内の圧力が上限圧力Ａを超えた時点、メニスカスが破壊されヘッド１からインクが外部へ排出されるため、ヘッド１内の圧力（正圧）の増加（上昇）速度が緩やかになる。
【００４９】
シリンジポンプ８３の加圧動作が停止すると、ヘッド１内の圧力が第１圧力から低下する（状態３）。時間と共にヘッド１内の圧力（正圧）と大気圧の差が縮まり、ヘッド内の圧力が第２圧力になったとき、ヘッド１から外部へ排出するインクの流れも止まる。即ち、ヘッド内の圧力が第２圧力に達したとき、ヘッド内外の圧力バランスが形成され、吐出口におけるインクのメニスカスが再び生成される。
【００５０】
本実施形態では、第２圧力は、上限圧力Ａ以下且つ大気圧以上の圧力（微正圧）である。ヘッド１内の圧力が第２圧力に維持される状態（状態４）では、ヘッド１内が微正圧のため、吐出口におけるメニスカスは吐出口面から内側へ凹むことは少なく、吐出口におけるインクの残滴も成長した状態になる。このように、ヘッド１内の圧力が第２圧力に達した時点で、クリーニング動作を開始するための準備動作が完了する。
【００５１】
本実施形態では、状態４において、クリーニング手段７によってクリーニング動作を行う。即ち、ヘッド１内を第２圧力（微正圧）の状態にした後、吸引ノズル７１を移動しながら吐出口面を吸引する。これにより、クリーニング動作を行う際に、吐出口１０１の内部に付着物の進入（混入）が軽減され、より効果的に吐出口面上のインクの残滴などの付着物を除去することができる。
【００５２】
なお、クリーニング動作が終了した後、開閉弁８４を閉状態から開状態へ切り換えることにより、第２タンク３内の液面と吐出口面の間に水頭差が再び形成され、ヘッド１内の圧力が正圧状態から負圧状態に戻る（状態５）。即ち、状態５において、ヘッド１内の圧力は再びインクのメニスカスが破壊されない範囲内の下限圧力Ｂ（臨界負圧値）よりも高い圧力に制御される。
【００５３】
このように、クリーニング動作時のヘッド１内の圧力を制御する方法の第１例として、圧力調整手段８０によってヘッド内の圧力が、吐出口内の液体（インク）のメニスカスが破壊されない範囲内の上限圧力（最大正圧）Ａよりも高い第１圧力に変更される。そして、制御手段は、ヘッド内の圧力が第１圧力から、最大正圧Ａ以下且つ大気圧以上の第２圧力に変更された（低下した）状態で、クリーニング手段７にクリーニング動作を行わせることができる。
【００５４】
なお、メニスカスが破壊されない範囲内の上限圧力（最大正圧）Ａおよび下限圧力（最大負圧）Ｂは、インク（液体）の種類または吐出口の形状などによって異なる。このため、液体の種類や吐出口の形状などに応じて上限圧力（最大正圧）Ａおよび下限圧力（最大負圧）Ｂを適宜に設定することができる。
【００５５】
また、第１例では、第１圧力は、最大正圧Ａ（下限）を超えている値であればよく、上限を適宜に設けることができる。なお、例えば、クリーニング動作時に所望のインク排出量に応じて、第１圧力の上限を適宜に設けても良い。
【００５６】
また、第２圧力は、上限圧力（最大正圧）Ａ以下且つ大気圧以上の範囲内の値であればよい。なお、第２圧力が上限圧力（最大正圧）Ａを超えた場合、インク排出量（消費量）が増えてしまう。一方、第２圧力が大気圧を下まわる（負圧状態になる）と、メニスカスが再びヘッドの内側へ凹む状態になりやすく、クリーニング動作時の付着物の混入が発生しやすくなる。
【００５７】
図３は、クリーニング動作（吸引動作）を行う際のヘッド１内の圧力制御を示す第２例の概念図である。なお、図３の実線は第２例を示し、点線は前述した第１例を比較対象として示している。
【００５８】
図３に示すように、第２例において、クリーニング動作（吸引動作）が開始する前の状態（状態１）では、ヘッド１内の圧力が負圧（−）に維持（制御）されている。
【００５９】
クリーニング動作を行う指令を受信すると、クリーニング動作を開始する準備動作（制御）が行われる。即ち、開閉弁３２、８４が開状態から閉状態に切り換えられた状態で、シリンジポンプ８３（圧力調整手段８０）を作動させることにより、ヘッド１内の圧力を上昇させる（状態２）。
【００６０】
状態２では、ヘッド１内の圧力が吐出口におけるインク（吐出される液体）のメニスカスが破壊されない範囲内の上限圧力Ａ（臨界正圧値）まで加圧される。即ち、ヘッド１内の圧力が上限圧力Ａになったとき、シリンジポンプ８３の加圧動作が停止される。このとき、ヘッド内の圧力が臨界正圧値Ａを超えていないため、ヘッドからインクが排出されることもない。
【００６１】
また、ヘッド１内の圧力をメニスカスが破壊されない正圧範囲内に維持した状態（状態３または状態４）でクリーニング動作が行われる。これにより、メニスカスがヘッドの内部へ凹むことが少なく、吐出口１０１の内部に付着物の混入が軽減され、より効果的に付着物を除去することができる。
【００６２】
なお、第１例と同様に、クリーニング動作が終了した後、開閉弁３２、８４を閉状態から開状態へ切り換えることにより、第２タンク３内の液面と吐出口面の間に水頭差が再び形成され、ヘッド１内の圧力が正圧状態から負圧状態に戻る（状態５）。
このように、クリーニング動作時のヘッド１内の圧力を制御する方法の第２例として、吐出口内の液体（インク）のメニスカスが破壊されない範囲内の上限圧力（最大正圧）以下且つ大気圧以上の圧力に変更された状態で、クリーニング動作を行うことができる。
【００６３】
なお、第２例では、ヘッド内の圧力が上限圧力（最大正圧）Ａの状態（状態３または状態４）でクリーニング動作を行う例を説明したが、ヘッド内の圧力を上限圧力（最大正圧）Ａ以下且つ大気圧以上の範囲内に維持した状態でクリーニング動作を行っても良い。即ち、クリーニング動作を行う際に、ヘッド内の圧力が上限圧力（最大正圧）Ａの状態に維持されたままにする必要はなく、上記した範囲内であればよい。
【００６４】
本実施形態の吐出装置によれば、クリーニング動作の直前に、ヘッド内の圧力を負圧から正圧へ変更する。これによって、一度吐出口から排出されたインク（液滴）が再び吐出口内に引き込まれることが少なく、クリーニング動作によって吐出口内へ付着物の混入も少ない。
【００６５】
なお、本実施形態では、第１タンク２内（第１室２１および第２室２２）が密度の近いインクと作動液で満たされているため、筐体２０に衝撃があっても振動が有効に抑制され、ヘッド１内が安定した負圧状態に維持される。
【００６６】
また、本実施形態では、可撓性膜２３は、筐体の上面、下面および側面と接続することにより筐体を第１室２１、第２室２２に仕切って形成する例を説明したが、他の配置形態も可能である。例えば、インクを収容する第１室２１が作動液を収容する第２室２２にほぼ包囲されるように可撓性膜２３を筐体２０内に取り付けてもよい。即ち、インクを収容する第１室２１（空間）が可撓性膜２３で包まれるように可撓性膜２３を筐体２０に取り付けても良い。
【００６７】
また、本実施形態に使用される可撓性膜２３は、接液性等の観点から、インク（第１室に収容される液体）の特性に適した部材を選定することが好ましい。
【００６８】
また、本実施形態では、第１タンク２の筐体２０の下部にヘッド１を取り付けて一体化した構成を説明したが、ヘッド１と第１タンク２を別々に構成し、接続チューブを用いてヘッド１と第１タンク２（第１室２１）を接続してもよい。
【００６９】
また、本実施形態において、第１タンク（第２室２２）と第２タンク３との間の流路（連通流路８２または流路Ｔ１）にジョイント部を設けて、第１タンク２と第２タンク３を分離（着脱）可能なように構成してもよい。
【００７０】
また、本実施形態では、ポンプが非作動時でも流路（８２、Ｔ１）が遮断されない状態（即ち、開状態）になるように、シリンジポンプ８３を例として説明したが、チューブポンプやダイヤフラム方式のポンプなどを採用してもよい。なお、使用されるポンプの容量や流量に制限がないが、動作時における脈動の小さいポンプが好ましい。
【００７１】
また、本実施形態では、可撓性膜２３を用いて第１タンクを（インクを収容する）第１室２１と（作動液を収容する）第２室２２に分割し、作動液を介してインクの圧力を間接的に制御する例を説明したが、インクの圧力を直接制御してもよい。即ち、第１タンク内の可撓性膜２３を廃止し、第１タンク内のインクの圧力を直接変更する構成であってもよい。
【００７２】
また、本実施形態において、ヘッド１内の圧力を負圧から正圧側へ変更する際、加圧動作を連続して行っても良く、複数回に分けて行っても良い。また、流路（８２、Ｔ１）内の開閉弁８４の数（有無）や、シリンジポンプ８３の配置位置などを適宜に変更してもよい。
【００７３】
また、本実施形態では、インクを吐出するインクジェット記録装置を例として、液体吐出装置を説明したが、例えば、導電性液体またはＵＶ硬化性液体などの液体を吐出する液体吐出装置に本発明を適宜に変更して適用することができる。
【００７４】
［第２実施形態］
以下、図４を用いて本発明の第２実施形態について説明する。
【００７５】
なお、本実施形態では、第１実施形態と同様に、インクジェット記録装置（以下、「吐出装置」を称する）を液体吐出装置の一例として説明する。
【００７６】
図４は、本実施形態に係る液体吐出装置の概念図を示す。図４に示すように、本実施形態の吐出装置１００は、基本的に第１実施形態と同様であり、ヘッド１内の圧力を調整（制御）する機構について異なる。
【００７７】
即ち、第１実施形態では、ヘッド１内の圧力制御（調整）は、圧力調整部８０および液面調整手段（図示しない）によって行われる。一方、本実施形態では、ヘッド１内の圧力制御（調整）は、第２タンク３を鉛直方向へ移動可能なジャッキ３３（高さ調整手段）によって行われる。本実施形態のジャッキ３３は、本発明の圧力変更手段を構成するものである。また、後述するように、本実施形態では、ジャッキ３３は、本発明の液面調整手段としても機能する。
【００７８】
具体的には、ジャッキ３３の昇降によって、吐出口面１０に対する第２タンク３内の液面位置（相対位置）を変更することができる。即ち、ジャッキ３３によって、第２タンク内の液面位置が吐出口面１０よりも下方に位置した場合、水頭差によってヘッド内を負圧状態にすることができる。一方、第２タンク内の液面位置が吐出口面１０よりも上方に位置した場合、水頭差によってヘッド内を正圧状態にすることができる。
【００７９】
このように、ジャッキ３３を作動させることにより、ヘッド内の圧力を適宜に変更することができる。従って、記録動作時などの場合、ジャッキ３３によってヘッド内の圧力を負圧状態に維持することができる。一方、クリーニング動作の場合、ジャッキ３３によって予めヘッド内の圧力を正圧状態に変更することもできる。
【００８０】
クリーニング動作時のヘッド１内の圧力の制御方法は、基本的に前述した第１実施形態の第１例または第２例と同様である。
【００８１】
以下、ジャッキ３３の昇降動作および開閉弁８５の開閉動作に基づき、クリーニング動作時のヘッド１内の圧力の制御手順について説明する。なお、本実施形態では、第１タンク２と第２タンク３の間の流路上に、作動液バッファ部８１および連通流路８２が設けられている。また、連通流路８２には、開閉弁８５が設けられている。
【００８２】
クリーニング動作が開始する前の状態では、ヘッド１内の圧力が負圧（−）に維持（制御）されている。即ち、開閉弁３２、８５が開状態であり、ジャッキ３３によって、ヘッド１内に負圧が形成できる高さ位置へ第２タンク３の配置位置が調整される。
【００８３】
クリーニング動作を開始する前に、開閉弁８５が閉状態に切り換えられた状態で、ジャッキ３３を上昇させることによって、ヘッド１内に上限圧力（最大正圧）Ａ以上の正圧（第１圧力）を形成できる高さ位置へ第２タンク３の配置位置が調整される。そして、開閉弁８５を開くと、ヘッド１内に第１圧力の正圧が掛かる。
【００８４】
ヘッド１内の圧力（第１圧力）が上限圧力（最大正圧）Ａを超えているため、メニスカスが破壊されヘッド１からインクが排出される。インクが排出されている状態で開閉弁８５を再び閉じる。インクの排出に連れてヘッド１内の圧力（正圧）が第１圧力から低下していく。
【００８５】
ヘッド内の圧力が第１圧力から第２圧力に低下したとき、ヘッド内外の圧力バランスが形成され、吐出口におけるインクのメニスカスが再び生成される。ヘッド１内の圧力が第２圧力（微正圧）に維持された状態でクリーニング動作が行われる。これにより、クリーニング動作を行う際に、吐出口１０１の内部に付着物の進入が軽減され、より効果的に吐出口面上の付着物を除去することができる。
【００８６】
なお、クリーニング動作が終了した後、ジャッキ３３を下降させることにより、ヘッド１内の圧力が正圧状態から負圧状態に戻る。
【００８７】
上記したように、ジャッキ３３および開閉弁８５の動作によって、ヘッド１内の圧力を変更することができる。なお、クリーニング動作の際、ヘッド１内に正圧が維持できる構成であれば、開閉弁８５の開閉タイミングを適宜に変更してもよい。
【００８８】
また、本実施形態では、ジャッキ３３によって第２タンク３が昇降されるため、流路Ｔ１は可撓性を有することが好ましい。
【００８９】
また、ジャッキ３３は、昇降操作の際、ヘッドのゼロ点（基準点）および水頭高さが検知できる赤外線センサなどを備えてもよい。
【００９０】
［第３実施形態］
以下、図５を用いて本発明の第３実施形態について説明する。
【００９１】
なお、本実施形態では、第１実施形態と同様に、インクジェット記録装置（以下、「吐出装置」を称する）を液体吐出装置の一例として説明する。
【００９２】
図５は、本実施形態に係る液体吐出装置の概念図を示す。図５に示すように、本実施形態の吐出装置１００は、基本的に第１実施形態と同様であり、ヘッド１内の圧力を調整（制御）する機構について異なる。
【００９３】
具体的には、本実施形態では、第１実施形態と同様に、作動液バッファ部８１と、連通流路８２と、シリンジポンプ８３を含む圧力調整部８０を備えている。一方、第２実施形態と同様に、第２タンク３を昇降可能なジャッキ３３も備えている。即ち、本実施形態では、圧力調整部８０およびジャッキ３３の両方によって、ヘッド１内の圧力が制御される。
【００９４】
より具体的には、記録動作時などの場合、ジャッキ３３（液面調整手段）によってヘッド内の圧力が負圧状態に維持（制御）される。一方、クリーニング動作の場合、圧力調整部８０によって予めヘッド内の圧力が負圧状態から正圧状態へ変更（制御）される。本実施形態では、圧力調整部８０は、本発明の圧力変更手段を構成するものである。
このように、クリーニング動作を行う際、ヘッド１内を正圧状態にすることにより、吐出口１０１の内部に付着物の進入が軽減され、より効果的に吐出口面上の付着物を除去することができる。
【００９５】
［第４実施形態］
以下、図６を用いて本発明の第４実施形態について説明する。
【００９６】
なお、本実施形態では、第１実施形態と同様に、インクジェット記録装置（以下、「吐出装置」を称する）を液体吐出装置の一例として説明する。
【００９７】
図６は、本実施形態に係る液体吐出装置の概念図を示す。図６に示すように、本実施形態の吐出装置１００は、基本的に第１実施形態と同様であり、ヘッド１内の圧力を調整（制御）する機構について異なる。
【００９８】
具体的には、本実施形態では、圧力調整部８０は、作動液バッファ部８１と、連通流路８２を備えている。一方、連通流路８２の途中では、第２バッファ部８６が設けられている。なお、第２バッファ部８６は、本発明の圧力変更手段を構成するものである。
【００９９】
第２バッファ部８６は、内部に作動液が収容されており、作動液の液面が吐出口面１０より上方に配置されている。また、第２バッファ部８６は、大気連通口８８によって大気連通可能なように構成されている。
【０１００】
流路Ｔ１に設けられた開閉弁８４を閉じた状態で、大気連通口８８の開閉を制御することにより、水頭差Ｈ１によってヘッド１の圧力を負圧状態から正圧状態へ変更することができる。
【０１０１】
このように、クリーニング動作を行う際、ヘッド１内を正圧状態にすることにより、吐出口１０１の内部に付着物の進入が軽減され、より効果的に吐出口面上の付着物を除去することができる。
【０１０２】
［第５実施形態］
以下、図７を用いて本発明の第５実施形態について説明する。
【０１０３】
なお、本実施形態では、第１実施形態と同様に、インクジェット記録装置（以下、「吐出装置」を称する）を液体吐出装置の一例として説明する。
【０１０４】
図７は、本実施形態に係る液体吐出装置の概念図を示す。図７に示すように、本実施形態の吐出装置１００は、基本的に第１実施形態と同様であり、ヘッド１内の圧力を調整（制御）する機構について異なる。
【０１０５】
具体的には、本実施形態では、第２室２２内の作動液の圧力を制御することが可能な圧力印加部８００を備えている。圧力印加部８００によって、ヘッド１内の圧力を正圧または負圧に制御することができる。
【０１０６】
即ち、記録動作の際に、圧力印加部８００によってヘッド１内の圧力が負圧に制御されている。一方、クリーニング動作の際に、圧力印加部８００によってヘッド１内の圧力が正圧に制御される。
【０１０７】
なお、圧力印加部８００は、第１実施形態の圧力調整部８０と同じ構成であってもよく、異なる構成であってもよい。また、図７に示すように、本実施形態では、圧力印加部８００やヘッド１などの構成部は、制御部（ＣＰＵ）によって制御される。
【０１０８】
本実施形態によれば、圧力印加部８００によって、記録動作の際にヘッド１内の圧力を負圧に制御することができるため、第１実施形態のような第２タンク３を設ける必要がなくなる。
【０１０９】
［第６実施形態］
以下、図８を用いて本発明の第６実施形態について、説明する。
【０１１０】
なお、本実施形態では、第１実施形態と同様に、インクジェット記録装置（以下、「吐出装置」を称する）を液体吐出装置の一例として説明する。
【０１１１】
図８は、本実施形態に係る液体吐出装置の概念図を示す。図８に示すように、本実施形態の吐出装置１００は、基本的に第１実施形態と同様であり、ヘッド１内の圧力を調整（制御）する機構について異なる。
【０１１２】
具体的には、本実施形態では、圧力調整部８０（圧力変更手段）は、主に第１圧力（図２を参照）を供給する第１圧力供給源８１２と、第２圧力（図２を参照）を供給する第２圧力供給源８２２から構成されている。また、本実施形態では、第１圧力供給源８１２および第２圧力供給源８２２は、共に空気圧力源であり、定圧の空気圧を供給することができる。なお、その他のガスまたは液体を圧力源とすることもできる。
【０１１３】
より具体的には、第１圧力供給源８１２は、空気流路８００、８１０を通じて第２タンク３の上部に接続されている。空気流路８１０には開閉弁８１１が設けられており、開閉弁８１１が閉状態から開状態に切り換えたとき、第１圧力供給源８１２によってヘッド１内に第１圧力が印加される。即ち、空気流路８１０、８００、第２のタンク３、流路８２、第２室２２、第１室２１内の流体（空気または液体）などを介在して、第１圧力供給源８１２の圧力がヘッド１側に伝達される。
【０１１４】
一方、第２圧力供給源８２２は、空気流路８００、８２０を通じて第２タンク３の上部に接続されている。空気流路８２０には開閉弁８２１が設けられており、開閉弁８１１が閉じた状態で開閉弁８２１を閉状態から開状態に切り換えたとき、第２圧力供給源８１２によってヘッド１内に第２圧力が印加される。即ち、空気流路８２０、８００、第２のタンク３、流路８２、第２室２２、第１室２１内の流体（空気または液体）などを介在して、第２圧力供給源８２２の圧力がヘッド１側に伝達される。
【０１１５】
以下、本実施形態の開閉弁８１１、８１２の開閉動作によるヘッド１内の圧力変更（圧力制御）について説明する。なお、本実施形態のヘッド内の圧力制御は、基本的に第１実施形態の圧力制御の第１例（図２）と同様である。図２を参照して詳細に説明する。
【０１１６】
図２に示すように、クリーニング動作（吸引動作）が開始する前の状態（状態１）では、ヘッド１内の圧力が負圧（−）に維持（制御）されている。
【０１１７】
クリーニング動作を開始する前に、開閉弁３２、８４が開状態から閉状態に切り換えられる。この状態で、開閉弁８１２を閉状態から開状態に切り替えることにより、ヘッド１内の圧力が上昇する（状態２）。即ち、第１圧力供給源により、ヘッド１内の圧力が吐出口におけるインク（吐出される液体）のメニスカスが破壊される範囲内の最大正圧Ａ（臨界正圧値）を超えた第１圧力まで加圧される。
【０１１８】
また、圧力センサによってヘッド１内の圧力が第１圧力になったと検知されたとき、開閉弁８１１を開状態から閉状態へ、開閉弁８２１を閉状態から開状態へ切り換える。即ち、ヘッド１は、第１圧力供給源と連通する状態から、第２圧力供給源と連通する状態に切り替えられる。これにより、ヘッド１内の圧力が第１圧力から低下する（状態３）。
【０１１９】
なお、ヘッド内の圧力が第２圧力（微正圧）になったとき、吐出口におけるインクのメニスカスが再び生成される。ヘッド１内の圧力が第２圧力（微正圧）に維持される状態（状態４）で、クリーニング動作を開始することができる。
【０１２０】
クリーニング動作が終了した後、開閉弁８２１を閉じた状態で、開閉弁８４、３２を開くことによって、第２タンク３内の液面と吐出口面の間に水頭差が再び形成され、ヘッド１内の圧力が正圧状態から負圧状態に戻る（状態５）。
【０１２１】
このように、開閉弁８１１、８２１の開閉動作（状態）を制御することにより、ヘッド１内の圧力を第１、第２圧力に変更することができる。これにより、クリーニング動作を行う際、ヘッド１内を正圧状態にすることができ、吐出口１０１の内部に付着物の進入が軽減され、より効果的に吐出口面上の付着物を除去することができる。
【０１２２】
なお、本実施形態では、開閉弁８１１および開閉弁８２１を用いる例について説明したが、二つの弁ではなく、３方向弁によって空気流路の切換えを行っても良い。例えば、空気流路８００、８１０、８２０の接続部において３方向弁を配置することができる。これにより、第２タンク３と第１圧力供給源を連通する状態と、第２タンク３と第２圧力供給源を連通する状態と、第２タンク３が第１、第２圧力供給源のいずれとも連通しない状態とに切り替えることができる。
【０１２３】
また、空気流路８１０、８２０は、空気流路８００を経由せず、それぞれ直接第２タンク３に接続するように構成してもよい。
【０１２４】
本実施形態でも、圧力調整部８０（圧力変更手段）を「吐出口内の液体のメニスカスが破壊されない範囲内の最大正圧以下且つ大気圧以上の圧力」（図３を参照する）を供給する定圧圧力供給源（図示なし）で構成することもできる。例えば、開閉弁を介して定圧圧力供給源を第２タンク３に接続してもよい。
【０１２５】
この場合、クリーニング動作を行う際の圧力制御は、基本的に前述した第１実施形態の第２例（図３）と同様である。
【０１２６】
即ち、図３に示すように、クリーニング動作（吸引動作）が開始する前の状態（状態１）では、ヘッド１内の圧力が負圧（−）に維持（制御）されている。
【０１２７】
クリーニング動作を行う指令を受信すると、クリーニング動作を開始する準備動作（制御）が行われる。即ち、開閉弁３２が開状態から閉状態に切り換えられた状態で、定圧圧力供給源側の開閉弁を閉状態から開状態に切り替えることにより、定圧圧力供給源の圧力が間接的にヘッド１側に印加され、ヘッド１内の圧力が負圧から正圧へ上昇する（状態２）。
【０１２８】
状態２では、ヘッド１内の圧力が吐出口におけるインク（吐出される液体）のメニスカスが破壊されない範囲内の上限圧力Ａ（臨界正圧値）に加圧される。それ以後（状態３、４）、ヘッド内の圧力が臨界正圧値Ａを超えないため、ヘッドからインクが排出されることもない。
【０１２９】
ヘッド１内の圧力が吐出口におけるインク（吐出される液体）のメニスカスが破壊されない範囲内の上限圧力Ａ（臨界正圧値）に維持される状態（状態３、４）で、クリーニング動作を開始することができる。
【０１３０】
クリーニング動作が終了した後、定圧圧力供給源側の開閉弁を閉じた状態で、開閉弁３２を開くことによって、第２タンク３内の液面と吐出口面の間に水頭差が再び形成され、ヘッド１内の圧力が正圧状態から負圧状態に戻る（状態５）。
【０１３１】
このように、定圧圧力供給源側の開閉弁の開閉動作（状態）を制御することにより、ヘッド１内の圧力を所定の圧力に変更することができる。これにより、クリーニング動作を行う際、ヘッド１内を正圧状態にすることができ、吐出口１０１の内部に付着物の進入が軽減され、より効果的に吐出口面上の付着物を除去することができる。
【０１３２】
［第７実施形態］
以下、図９を用いて本発明の第７実施形態について説明する。なお、図９は、本実施形態に係るインプリント装置の概念図である。
【０１３３】
図９に示すように、本発明のインプリント装置２００は、主に液体吐出装置１００Ａと、パターン形成部（パターン形成手段）９００とを備えている。
【０１３４】
なお、液体吐出装置１００Ａは、基本的に第１実施形態の吐出装置１００（図１を参照）と同じ構成である。なお、本実施形態では、第１タンク２の第１室２１には、光硬化性のレジストが収容されており、第１室２１に連通されるヘッド１から、後述するウェハー基板９１Ａ（基板）へレジストが吐出される。一方、第２室２２には、レジストと密度の近い作動液が充填されている。
【０１３５】
なお、本実施形態では、レジストは、光硬化性を有する樹脂で構成されているが、他の光硬化性を有する物質（液体）で構成されてもよい。また、本実施形態では、可撓性膜２３として厚みが１０μｍ〜２００μｍの単層または多層フィルムが使用される。なお、可撓性膜２３は、耐レジスト薬品性を有することが望ましく、例えば、フッ素樹脂製のＰＦＡフィルムを使用することができる。また、可撓性膜２３には、液体または気体の透過を防ぐための機能層を更に有しても良い。これにより、第１室２１内のレジストまたは第２室２２内の作動液の変質を軽減することができる。このように、レジストに対して耐薬品性（安定性）を有し、かつ液体および気体が透過しにくい特性を有するフィルムは、可撓部として好適である。
【０１３６】
パターン形成部９００は、主にモールド９４と露光ユニット（光照射手段）９５を備えている。また、パターン形成部９００には、モールド９４を上下に移動させる移動手段９６が備えられている。
【０１３７】
なお、モールド９４は、移動手段９６を介して第１保持部９７に保持されている。また、露光ユニット９５は、第２保持部（図示しない）に保持されている。
【０１３８】
モールド９４は、光透過性を有する石英材質で構成されており、一方の表面（下面）側に溝状の微細パターン（凹凸パターン）が形成されている。露光ユニット９５は、モールド９４の上方に配置されており、モールド９４を隔てて、後述するウェハー基板９１Ａ上のレジストＲ（パターン）を照射して硬化させることができる。
【０１３９】
以下、本実施形態のインプリント装置２００を用いてウェハー基板９１Ａの表面にパターンＲを形成する形成工程について説明する。なお、ウェハー基板９１Ａの表面にパターンを形成する前に、前述した各実施形態のように、ヘッド１の吐出口面１０を予めクリーニングしておくことが好ましい。これにより、吐出口面上に付着する付着物によるパターン形成時の形成精度の低下や付着物の落下による部品品質の低下（不良品の発生）などの問題を軽減することができる。
【０１４０】
本実施形態では、液体吐出装置１００Ａよって、レジストＲが吐出（付与）されたウェハー基板９１Ａの上面と、凹凸パターンが形成されたモールド９４の下面とを当接させる。これにより、ウェハー基板９１Ａの上面において、モールドの下面にある凹凸パターンに対応するパターンが形成される。
【０１４１】
具体的には、液体吐出装置１００Ａのヘッド１から、ウェハー基板９１Ａの上面に所定のパターンとなるようにレジストが吐出（付与）される（付与工程）。
【０１４２】
その後、レジスト（パターン）が付与（形成）されたウェハー基板９１Ａが、搬送手段９２によってモールド９４の下方に搬送される。
【０１４３】
移動手段９６によって、モールド９４を下方へ下降させ、ウェハー基板９１Ａの上面に形成されたレジストＲ（パターン）にモールド９４の下面を押し当てる。これにより、モールド９４の下面にある凹凸パターンを構成する溝状の微細パターンにレジストが押し込まれて充填される（パターン形成工程）。
【０１４４】
レジストが微細パターンに充填された状態で、光透過性のモールド９４を隔てて露光ユニット９５から紫外線をレジストＲへ照射することにより、ウェハー基板９１Ａの表面にレジストからなるパターンが形成される（処理工程）。
【０１４５】
パターンが形成された後、移動手段９６によってモールド９４を上昇させ、ウェハー基板９１Ａに形成されたパターンとモールド９４が分離される。ウェハー基板９１Ａ上のパターン形成工程が終了する。
【０１４６】
第１実施形態と同様に、本実施形態では、第２タンク３内の液面を吐出口面１０よりも下方に配置させ、さらに液面調整手段（図示しない）によって第２タンク内の液面を所定の範囲（Ｈ）内に調整することができる。これにより、安定的にヘッド１内の圧力を所定の範囲（負圧）に制御することができる。また、ヘッド１からレジスト（液体）の漏れを有効に抑制することができ、ヘッド１からレジストを安定的に吐出することもできる。
【０１４７】
一方、クリーニング動作を行う際に、圧力調整部８０（圧力変更手段）によって、ヘッド１内の圧力を正圧へ変更することにより、より有効に吐出口面上に付着された付着物を除去することができる。これにより、部品製造時の良品率を向上させることができる。
【０１４８】
本実施形態では、第１タンク２内の空間が密度の近いレジストと作動液で満たされているため、筐体２０に衝撃があっても振動が有効に抑制される。従って、振動によるヘッド１内の圧力への影響が小さく、ヘッド１内を安定した負圧状態に維持することができる。
【０１４９】
また、本実施形態では、第２室２２に充填される作動液は、気体に比べて、環境温度および圧力の変化からの影響を受けにくい。したがって、インプリント装置２００の周辺の気温または気圧が変化しても、作動液の体積はほとんど変動しないため、第１室２１に連通するヘッド１内のレジストの圧力の変動が確実に抑制されている。
【０１５０】
本実施形態のインプリント装置を、例えば、半導体集積回路素子や液晶表示素子、ＭＥＭＳなどのデバイスを製造する半導体製造装置やナノインプリント装置などに適用することができる。また、ウェハー基板９１Ａ以外では、ガラスプレート、フィルム状基板なども基板として使用可能である。
【０１５１】
本実施形態のインプリント装置を用いて部品を製造することができる。
【０１５２】
部品の製造方法としては、インプリント装置（ヘッド）を用いて、基板（ウェハー、ガラスプレート、フィルム状基板など）にレジストを吐出（付与）する工程（付与工程）を有してもよい。
【０１５３】
また、基板のレジストが吐出（付与）された表面と、凹凸パターンが形成されたモールドの表面とを当接させ、基板の表面にモールドの凹凸パターンに対応するパターンを形成するパターン形成工程を有してもよい。
【０１５４】
また、パターンが形成された基板を処理する処理工程を有してもよい。なお、基板を処理する処理工程として、基板をエッチングするエッチング処理工程を有してもよい。
【０１５５】
なお、パターンドメディア（記録媒体）や光学素子などのデバイス（部品）を製造する場合は、エッチング処理以外の加工処理が好ましい。
【０１５６】
このような部品の製造方法によれば、従来の部品製造方法に比べ、部品の性能、品質または生産性が向上し、生産コストを削減することもできる。
【０１５７】
また、本実施形態のインプリント装置は、半導体製造装置、液晶製造装置などの産業機器にも適用できる。また、本実施形態では、露光ユニット９５には、例えば、ｉ線、ｇ線を含む紫外線を発するハロゲンランプ等の光源を使用できるが、他のエネルギー（例えば、熱）を発する発生装置を使用してもよい。本実施形態によれば、吐出口面上の付着物をより容易に除去することができる。
【符号の説明】
【０１５８】
１  ヘッド、７１  吸引ノズル、８０  圧力調整部、１００  吐出装置
【図１】
2016215638.tif 000003
【図２】
2016215638.tif 000004
【図３】
2016215638.tif 000005
【図４】
2016215638.tif 000006
【図５】
2016215638.tif 000007
【図６】
2016215638.tif 000008
【図７】
2016215638.tif 000009
【図８】
2016215638.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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