(57)【要約】【課題】揮発性有機化合物Ａを吸着塔１１の吸着剤に吸着させた後、脱着用水蒸気Ｆを供給して脱着させて燃焼炉４０で焼却する有機化合物処理装置において、設置面積を小さくしながら、十分な処理能力を保持できるようにする。【解決手段】吸着剤収容部１２は、多孔板を少なくとも二面有し、これら多孔板を斜めであってもよい側面とし、かつ、上記孔を設けない閉塞板からなり斜め方向を向いてもよい底面を下方側に有し、吸着剤収容部１２より下の領域から繋がり側面となる一の多孔板２１と接する下方回込領域２３を有し、吸着剤収容部１２より上の領域から繋がり、別の側面となる他の多孔板２０と接する上方回込領域２４を有し、上方回込領域２４と下方回込領域２３が相対し、下方回込領域２３と上方回込領域２４との間を、両方の多孔板を経由する経路でのみ通過可能とする。【選択図】図１
2016175028.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
揮発性有機化合物を吸着する吸着剤を充填する吸着剤収容部を内部に有し、水蒸気を接触させて上記吸着剤収容部から上記揮発性有機化合物を脱着させる脱着用水蒸気を供給され得る吸着装置であって、
上記吸着剤収容部より上に、揮発性有機化合物含有ガスの導入口と水蒸気供出口とを有し、
上記吸着剤収容部より下に、処理後ガスの排出口と水蒸気供給口とを有し、
上記吸着剤収容部は、ガスを透過し吸着剤を通過させない孔を複数設けた多孔板を少なくとも二面有し、これら多孔板を斜めであってもよい側面とし、かつ、上記孔を設けない閉塞板からなり斜め方向を向いてもよい底面を下方側に有し、
上記吸着剤収容部より下の領域から繋がり、上記吸着剤収容部の側面となる一の多孔板と接する下方回込領域を有し、
上記吸着剤収容部より上の領域から繋がり、上記吸着剤収容部の別の側面となる他の多孔板と接する上方回込領域を有し、
上記上方回込領域と上記下方回込領域が相対し、
上記下方回込領域から上記上方回込領域へ、上記両方の多孔板を経由する経路でガスが通過し、かつ、
上記上方回込領域から上記下方回込領域へ、上記両方の多孔板を経由する経路でガスが通過する
揮発性有機化合物の吸着装置。
【請求項２】
上記側面が傾斜面であり、上記下方回込領域及び上記上方回込領域は先端ほど狭くなっている、請求項１に記載の揮発性有機化合物の吸着装置。
【請求項３】
上記吸着剤収容部が、上記吸着装置の縦断面中心面に対して面対称な２つの部位を有し、
上記部位の上記上方回込領域と接する側の側面である上方側面同士の間隔は、上方が広く下方が狭く、
上記部位の上記下方回込領域と接する側の側面である下方側面は、上記吸着装置の上記縦断面中心線を介して相対する両端の壁面に対して上方ほど近づき、下方ほど離れている
請求項２に記載の揮発性有機化合物の吸着装置。
【請求項４】
上記側面が傾斜面である吸着剤収容部が、上記吸着装置の縦断面において横方向に連設し、それぞれの傾斜面を有する複数の部位を有し、
上記それぞれの部位は、隣接する上記部位と上端または下端で接合し、隣接する上記吸着剤収容部同士は接合線を含む垂直断面である接合部垂直断面に対して面対称となるように傾斜の向きが互い違いになっており、
上記部位の上記上方回込領域は、上方が広く下方が狭く、
上記部位の上記下方回込領域は、下方が広く上方が狭い、
請求項２に記載の揮発性有機化合物の吸着装置。
【請求項５】
上記上方回込領域が、上記吸着装置の中心に配され、下方を頂点とする逆四角錐状であり、
上記吸着剤収容部の上記下方回込領域と接する側の側面である下方側面が、逆四角錐台形である、
請求項２に記載の揮発性有機化合物の吸着装置。
【請求項６】
上記上方回込領域が、上記吸着装置の中心に配され、下方を頂点とする逆円錐状であり、
上記吸着剤収容部の上記下方回込領域と接する側の側面である下方側面が、逆円錐台形である、
請求項２に記載の揮発性有機化合物の吸着装置。
【請求項７】
上記吸着剤収容部の側面となる一の多孔板と他の多孔板とがいずれも鉛直方向に対して垂直な方向を向いて立てられてある
請求項１に記載の揮発性有機化合物の吸着装置。
【請求項８】
上記上方回込領域と接する側の多孔板が、上記下方回込領域の上端よりも上方に突出した上方多孔板延長部を有し、
上記吸着剤収容部は、上記上方多孔板延長部に到達する量の吸着剤を充填した
請求項１乃至７のいずれかに記載の揮発性有機化合物の吸着装置。
【請求項９】
上記吸着剤収容部に収容した上記吸着剤の上面に主蓋を載せた、
請求項８に記載の揮発性有機化合物の吸着装置。
【請求項１０】
上記主蓋は、上記上方回込領域側の縁に、下方へ向いた縁壁を有する
請求項９に記載の揮発性有機化合物の吸着装置。
【請求項１１】
上記主蓋の外縁に、上記主蓋よりも小さい副蓋を載せた、
請求項９又は１０に記載の揮発性有機化合物の吸着装置。
【請求項１２】
請求項１乃至１１のいずれかに記載の揮発性有機化合物の吸着装置と、
脱着した上記揮発性有機化合物を燃料の一部として利用可能な燃焼炉と、
上記燃焼炉で生成した高温ガスと水とを熱交換して上記水蒸気を生成する熱交換器とを有する揮発性有機化合物処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、揮発性有機化合物を含むガスを排出する前に、ガスから揮発性有機化合物を処理する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
工場から発生する排ガスには、そのまま大気中に排出すると問題を起こす揮発性有機化合物が含まれる場合がある。この場合、排ガスを大気中に排出する前に、含有している揮発性有機化合物を処理しなければならない。その方法として、活性炭等の吸着剤を内蔵した吸着塔で、排ガス中に含まれる揮発性有機化合物を吸着剤に吸着させ、ガス中の濃度を低減させて大気へ排出する。その後、吸着塔に水蒸気を導入して吸着剤から揮発性有機化合物を脱着させて吸着塔を再利用可能にするとともに、揮発性有機化合物を処理するという吸脱着方式が一般的である。吸着塔は複数設けて、一方の吸着塔で吸着処理をしている間に、同時に他方の吸着塔では脱着処理を行うことで連続運転を行うことが行われている。また、脱着させた揮発性有機化合物を燃焼させ、その燃焼熱を利用して脱着用水蒸気の生成を補助させることも行われている。
【０００３】
この吸着塔の処理能力は、排ガスの透過方向に対する断面積が大きいほど、吸着工程での吸着効率が向上する。円筒状又は柱状であることが多い吸着塔内において、吸着剤は塔内の上下方向に十分な長さを持つ吸着層として導入される（例えば特許文献１）。このような吸着塔でガスの通過面積を向上させようとすると、吸着塔そのものの設置面積を広げなければならない。しかし設置面積が拡大すると、その分だけ工場において余分な空間を占拠することになる。ゆえに設置面積はできるだけ小さいことが望ましい。
【０００４】
一方、特許文献２のような形状の吸着塔が提案されている。吸着塔を所定の傾斜角で斜めに貫く吸着層ケーシングを配置し、吸着剤を吸着塔外上部から供給し、吸着塔外下部から排出できるようにしたものである。このような傾斜型の吸着層にすると、吸着塔の水平断面積よりもガスの透過方向に対する断面積を広げて処理能力を向上させることができる。また、吸着層内の吸着剤の補充、交換を塔外から容易に行うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−０８６０１８号公報
【特許文献２】特開平１１−４７５３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、吸着剤は吸着と脱着とを繰り返す間に徐々に割れていき、一部は粉状になって吸着層の底側へと落下していく。こうして個々の吸着剤の嵩高さが徐々に減少していくので、吸着剤が詰まった吸着層の見かけの体積は使用を繰り返していくにつれて減少していく。
【０００７】
従来型の傾斜していない垂直型の吸着層を有する吸着塔であれば、多少吸着層の見かけの体積が減少しても吸着能力の減少は無視出来る程度で済む。しかしながら、単純に傾斜した吸着層を有する吸着塔では、吸着層の上端付近で、排ガスや脱着用水蒸気が吸着層を経由することなく通過できる経路（ショートパス）が形成されてしまう。特許文献２の吸着塔はこれを防ぐために、吸着塔外まで吸着層を延長し、かつ塔外から吸着剤を追加することで、吸着層のみかけの体積を保持し続けることができる。しかしながら、特許文献２の吸着層は吸着剤の補給経路が吸着塔外に突出しているため、水平型の吸着層を有する吸着塔よりも大型化してしまうという問題があった。
【０００８】
そこでこの発明は、揮発性有機化合物処理装置の設置面積を抑制させながら、吸着装置の処理能力を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明は、
揮発性有機化合物を吸着する吸着剤を充填する吸着剤収容部を内部に有し、水蒸気を接触させて上記吸着剤収容部から上記揮発性有機化合物を脱着させる脱着用水蒸気を供給され得る吸着装置を、
上記吸着剤収容部より上に、揮発性有機化合物含有ガスの導入口と水蒸気供出口とを有し、
上記吸着剤収容部より下に、処理後ガスの排出口と水蒸気供給口とを有し、
上記吸着剤収容部は、ガスを透過し吸着剤を通過させない孔を複数設けた多孔板を少なくとも二面有し、これら多孔板を斜めであってもよい側面とし、かつ、上記孔を設けない閉塞板からなり斜め方向を向いてもよい底面を下方側に有し、
上記吸着剤収容部より下の領域から繋がり、上記吸着剤収容部の側面となる一の多孔板と接する下方回込領域を有し、
上記吸着剤収容部より上の領域から繋がり、上記吸着剤収容部の別の側面となる他の多孔板と接する上方回込領域を有し、
上記上方回込領域と上記下方回込領域が相対し、
上記下方回込領域から上記上方回込領域へ、上記両方の多孔板を経由する経路でのみガスが通過可能であり、かつ、
上記上方回込領域から上記下方回込領域へ、上記両方の多孔板を経由する経路でのみガスが通過可能であるものとすることで上記の課題を解決したのである。
【００１０】
処理すべき揮発性有機化合物含有ガスが上記吸着装置に上方から供給されると、上記吸着剤収容部より上の領域から上記上方回込領域により上記吸着剤収容部の一方の側面に回り込み、側面を形成する多孔板が処理効率を向上させる広い断面となって吸着処理を効率良く行うことができる。一方で、上記吸着剤収容部はその上面から底面までを吸着装置内に格納しており、外部から吸着剤を交換できないものの、特許文献２のように装置外へ突出しないため、設置面積を小さいままとすることができる。
【００１１】
上記吸着剤収容部を構成する側面の多孔板は鉛直方向に立てられていてもよいが、多孔板に傾斜を付けて取り付けた傾斜面として、上記下方回込領域は上側ほど狭く、上記上方回込領域は下側ほど狭くなるようにすると、上記吸着剤収容部に突入する排ガスや水蒸気の量が上下方向に偏りにくくなるのでより好ましい。
【００１２】
上記吸着剤収容部を傾斜面とした具体的な形態としては、次のような例が挙げられる。
第一の実施形態は、垂直断面形状がＶ字状、すなわち、上記吸着剤収容部が、上記吸着装置の縦断面中心線に対して線対称な２つの部位を有し、上記部位の上記上方回込領域と接する側の側面である上方側面同士の間隔は、上方が広く下方が狭く、上記部位の上記下方回込領域と接する側の側面である下方側面は、上記吸着装置の上記縦断面中心線を介して相対する両端の壁面に対して上方ほど近づき、下方ほど離れている形状である。
【００１３】
この実施形態に、さらに拡張するように傾斜する側面が互い違いになるように複数の部位からなる上記吸着剤収容部を横方向に複数部、連結させた実施形態でもよい。例えば、３つの部位からなり垂直断面形状が斜体Ｎ字状である実施形態、あるいは４つの部位からなり垂直断面形状がＷ字状である実施形態、さらにはそれらにさらに傾斜する側面を互い違いに連ねた実施形態でもよい。
【００１４】
また別の実施形態は、上記上方回込領域が、上記吸着装置の中心に配され、下方を頂点とする逆四角錐状であり、
上記吸着剤収容部の上記下方回込領域と接する側の側面である下方側面が、逆四角錐台形である形状である。
【００１５】
さらに別の実施形態は、上記上方回込領域が、上記吸着装置の中心に配され、下方を頂点とする円錐状であり、
上記吸着剤収容部の上記下方回込領域と接する側の側面である下方側面が、逆円錐台形である形状である。
【００１６】
ただし、向かい合う側面同士の間をガスが抜けるようにする上記の形態では、上記吸着剤収容部の上部に吸着剤が充填されていない領域が存在すると、一の多孔板から他の多孔板まで、吸着剤と接することなく通過できてしまうショートパスが形成されてしまう場合がある。これに対して、側面が傾斜しているか否かに関わらず、上記上方回込領域と接する側の多孔板が、上記下方回込領域側の多孔板の上端から突出するものとし、上記吸着剤収容部に、十分に多い吸着剤を充填すると、ショートパスが生じてしまうことを抑止できる。
【００１７】
さらに、上記吸着剤収容部に上記吸着剤の上面に主蓋を載せておくと、一の多孔板と他の多孔板との間を排ガスや蒸気が通る際に、上側へ抜けてしまうことを抑制できる。主蓋が上記吸着剤の上面の全面を覆うことが好ましいが、上記吸着剤収容部の水平断面形状は側面の傾斜や、装置壁面への取り付け部分との繋がりによって一定ではないため、吸着剤のみかけの体積が減って上面の位置が下がってくると、一枚の主蓋では全面を覆いきることが難しい場合がある。この場合、上記主蓋に加えて、主蓋の外縁で装置壁面との間の隙間をカバーできる、上記主蓋より小さい副蓋を載せるとよい。さらに、上記主蓋には、少なくとも上方回込領域側の縁に、下方へ向いて吸着剤の上面に食い込む縁壁を有していると、吸着剤の上面に生じる凹凸によって主蓋と吸着剤との間に隙間が生じていても、その縁壁がショートパスを経由してそのまま水蒸気が上方へ抜けることを防止できる。
【発明の効果】
【００１８】
この発明により、設置面積の拡大を抑制しながら、揮発性有機化合物処理装置の処理能力を向上させることが出来る。また、吸着及び脱着の繰り返しで吸着剤の上面に凹凸が生じたりしても、ショートパスを形成することなく、吸着剤による吸着及び脱着の確実性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】この発明にかかる有機化合物吸着装置の構成例図
【図２】（ａ）第一の実施形態にかかる吸着剤収容部が垂直断面Ｖ字状である吸着装置の垂直断面図、（ｂ）（ａ）の装置の上方から見た水平断面図、（ｃ）（ａ）の装置の下方から見た水平断面図
【図３】（ａ）第一の実施形態にかかる吸着装置の蓋体の例を示す構成図
【図４】（ａ）主蓋と副蓋とを配置した上面の平面図、（ｂ）（ａ）から配置をずらした際の平面図
【図５】（ａ）第二の実施形態にかかる吸着剤収容部が逆四角錐状である吸着装置の吸着剤収容部付近の斜視透視図、（ｂ）（ａ）の装置の垂直断面図、（ｃ）（ａ）の装置の上方から見た水平断面図、（ｄ）（ａ）の装置の下方から見た水平断面図
【図６】（ａ）第三の実施形態にかかる吸着剤収容部が逆円錐状である吸着装置の吸着剤収容部付近の斜視透視図、（ｂ）（ａ）の装置の垂直断面図、（ｃ）（ａ）の装置の上方から見た水平断面図、（ｄ）（ａ）の装置の下方から見た水平断面図
【図７】第四の実施形態にかかる垂直形の吸着剤収容部を有する吸着装置の垂直断面図
【図８】第五の実施形態にかかる単独傾斜形の吸着剤収容部を有する吸着装置の垂直断面図
【図９】（ａ）第六の実施形態にかかる吸着剤収容部が垂直断面斜体Ｎ字状である吸着装置の平面図、（ｂ）（ａ）の装置の垂直断面図、（ｃ）（ａ）の装置の底面図
【図１０】（ａ）第七の実施形態にかかる吸着剤収容部が垂直断面Ｗ字状である吸着装置の平面図、（ｂ）（ａ）の装置の垂直断面図、（ｃ）（ａ）の装置の底面図
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、この発明の実施形態を説明する。この発明は、揮発性有機化合物含有ガスの濃度を低減させて大気中へ排出可能とし、その分の揮発性有機化合物を吸着剤に吸着させる有機化合物の吸着装置１１にかかるものである。この吸着装置１１に吸着された揮発性有機化合物は、加熱した水蒸気と接触させることで吸着剤から脱着させて、吸着剤及び吸着装置を繰り返し利用できる。脱着させた揮発性有機化合物は回収して加熱した水蒸気を得るための燃料として使用する。図１はこれらの一連のサイクルを行う揮発性有機化合物処理装置の全体像の例を示す。
【００２１】
この発明にかかる吸着装置及び処理装置で処理する揮発性有機化合物とは、常圧で加熱することで気体になり得る有機化合物であり、特に常温で液体であるものが吸着処理しやすい。例えば、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール等の炭素数が１〜８程度のアルコール、トルエン、ベンゼンなどの芳香族有機化合物などの、炭化水素系の溶剤が挙げられる。
【００２２】
一連の循環システムからなる揮発性有機化合物処理装置は、この発明にかかる一基又は複数基の吸着装置１１と、燃焼炉４０と、熱交換器４１と、それらを繋ぐ配管とからなる。図１では、２基の吸着装置１１（１１ａ，１１ｂ）を有する構成を例に示す。
【００２３】
個々の吸着装置１１は角形又は円筒形であり、装置内部には、揮発性有機化合物を吸着し、加熱により脱着できる吸着剤を充填させた吸着剤収容部１２を設けてある。この吸着剤としては、粒状活性炭を用いることができる。吸着装置１１の内部を上下方向に通過するためには、必ず吸着剤収容部１２を通過しなければならない。吸着剤収容部１２の底面と上面はどちらも吸着装置１１内に格納されている。
【００２４】
吸着装置１１の吸着剤収容部１２より上端側には、揮発性有機化合物含有ガスＡの導入口１７（１７ａ，１７ｂ）が設けてあり、吸着剤収容部１２より下端側には、揮発性有機化合物が吸着剤に吸着されることでその濃度が低下した処理後ガスＢの排出口１８（１８ａ，１８ｂ）が設けてある。排出口１８は大気中へ放出するものである。
【００２５】
また、吸着装置１１の吸着剤収容部１２の下端よりも下に、脱着用水蒸気Ｆの水蒸気供給口２５（２５ａ，２５ｂ）が設けてある。また、有機化合物を脱着した水蒸気有機化合物同伴ガスＫを抜き出すための水蒸気供出口２６（２６ａ、２６ｂ）が、吸着剤収容部１２の上端よりも上端側に設けてある。この水蒸気供出口２６から燃焼炉４０へと通じる同伴ガス供出路１９を通ってこの水蒸気有機化合物同伴ガスＫが搬送される。
【００２６】
さらに、吸着装置１１の吸着剤収容部１２の下端よりも下の、吸着装置１１の底部近傍に、発生したドレンを抜き出すドレン抜出口２７（２７ａ，２７ｂ）が設けてある。また、ドレン抜出口２７から抜け出たドレンをドレン貯留装置２９に送り込むドレン配管２８が設けてある。
【００２７】
この発明にかかる吸着装置１１の実施形態例を用いて説明する。図１及び図２で示す例は、吸着剤収容部１２の垂直断面図における吸着剤収容部の形状がＶ字状（図２（ａ）の通り）である実施形態である。
【００２８】
個々の吸着剤収容部１２は、水蒸気及び揮発性有機化合物含有ガスを透過し、吸着剤の個々の粒子を通過させない程度の大きさを持った孔を多数設けた多孔板２０，２１を少なくとも二面に有している。この多孔板としては例えばパンチングメタルを用いることができる。この二面は斜めを向いてもよい側面に配されている。また、斜めを向いてもよい下方側の底面２２には、孔を設けておらずガスを透過させない閉塞板を配している。一方、底面２２と相対する上面にも、孔を設けておらずガスを透過させない閉塞板からなる蓋体３０を載せている。
【００２９】
この発明にかかる吸着装置１１は、吸着剤収容部１２より下の領域、すなわち排出口１８や水蒸気供給口２５側から繋がり、吸着剤収容部１２の側面となる一の多孔板２１と接するようにガスが回り込み可能である下方回込領域２３を有する。また、吸着剤収容部１２より上の領域、すなわち導入口１７や水蒸気供出口２６側から繋がり、吸着剤収容部１２の別の側面となる他の多孔板２０と接する上方回込領域２４を有する。下方回込領域２３と上方回込領域２４とは、吸着剤収容部１２を挟んで相対しており、一方から他方へ水蒸気や揮発性有機化合物含有ガスなどのガスが抜けるためには吸着剤収容部１２を通過しなければならない。
【００３０】
このような吸着装置１１の形態は以下に列挙するような様々な形態を取りうる。まず、第一の実施形態を図２とともに説明する。図２（ａ）は垂直断面図を、図２（ｂ）は吸着剤収容部１２よりやや上の断面から見下ろした水平断面図を、図２（ｃ）は吸着剤収容部１２よりやや下の断面から見上げた水平断面図を示す。第一の実施形態では、側面を構成する多孔板２０，２１がいずれも傾斜面である。これにより、下方回込領域２３は先端となる上方ほど狭く、上方回込領域２４は先端となる下方ほど狭くなっている。
【００３１】
吸着剤収容部１２は、吸着装置１１の縦断面中心面Ｐに対して面対称な２つの部位からなる。これら部位の上方回込領域２４と接する側の側面である上方側面の多孔板２０，２０同士の間隔は、上方が広く下方が狭くなっており、底面２２に至る下方の端で接合されている。すなわち、底面２２，２２はその一辺で互いに接している。底面２２はこの接合辺から、吸着装置１１の両端壁面１３に向かって斜め下に向いている。
【００３２】
一方、これら部位の下方回込領域２３と接する側の側面である下方側面の多孔板２１，２１は、上記吸着装置の上記縦断面中心面Ｐを介して相対する両端壁面１３、１３に対して下方ほど離れており、上方ほど近づき、上方の端の上端閉塞部１４で両端壁面１３と接合されている。
【００３３】
これら多孔板２０，２１は底面２２から垂直に立ち上がる。この底面２２の水平面からの傾斜角、及び多孔板２０，２１の鉛直方向からの傾斜角は、４５度以下であるとよい。４５度を超えると広がりすぎて吸着装置１１の設置面積を過剰に広げなければ処理断面積が確保できなくなってしまう。
【００３４】
上記上方側面の多孔板２０の上端は、上記下方側面の多孔板２１が両端壁面１３と接する上端部よりもさらに上方まで延ばされており（上方多孔板延長部３６）、その分だけ吸着剤３１を、上記下方側面の多孔板２１の上端よりも上まで嵩高く充填することができる。これにより、吸着剤３１が吸着及び脱着によりみかけの体積が少々減少したとしても、上方側の領域に上記下方側面の多孔板２１が露出してショートパスが生じることを防止できる。それまでに吸着剤３１を適宜補充するとよい。
【００３５】
この構造は縦断面中心面Ｐに対して直交する縦断面から見ると、図２（ａ）に示すように、断面がＶ字状となる。
【００３６】
この実施形態にかかる吸着装置１１で揮発性有機化合物含有ガスＡを処理するときのガスの流れは次のようになる。上方の導入口１７から導入された揮発性有機化合物含有ガスＡは、吸着剤収容部１２の上面を覆う蓋体３０に阻まれて、上方回込領域２４に集中する。この上方回込領域２４を伝って上方側面である多孔板２０を経由し、吸着剤収容部１２へ導入される。上方回込領域２４に接する多孔板２０のどこから進入しても、吸着剤収容部１２の圧力損失はほぼ変わらないため、多孔板２０の全域から揮発有機化合物含有ガスＡを導入させることができる。このとき、吸着剤による吸着の処理能力が依存する断面積は、多孔板２０、２０の二枚分の面積となる。従って、吸着剤収容部１２が十分な高さを有すると、吸着装置１１の水平断面積よりも十分に広い断面積で吸着処理を実行させることができることになる。相対する多孔板２０，２１の間の間隔は、揮発性有機化合物含有ガスＡが十分な量の吸着剤と接触できるだけ確保しておく。揮発性有機化合物が吸着剤に吸着された後の処理後ガスＢは下方側面となる多孔板２１を経由して下方回込領域２３へ抜け、排出口１８から排出される。
【００３７】
吸着の後に脱着する際の脱着用水蒸気Ｆの流れは次のようになる。下方の水蒸気供給口２５から供給された脱着用水蒸気Ｆは、底面２２からは吸着剤収容部１２に突入できないため、図２における左右に分かれて、下方回込領域２３から下方側面である多孔板２１から吸着剤収容部１２に突入する。この下方回込領域２３についても、これに接する多孔板２１のどこから進入しても、吸着剤収容部１２の圧力損失はほぼ変わらないため、多孔板２１の全域から脱着用水蒸気Ｆを供給することができる。脱着用水蒸気Ｆは吸着剤に吸着された揮発性有機化合物を脱着させて、揮発性有機化合物を同伴する水蒸気となる。吸着剤収容部１２の上面が蓋体３０に遮られており、底面２２も傾斜しているため、脱着は全体的に満遍なく進行する。この水蒸気有機化合物同伴ガスＫは上方側面である多孔板２０を経由して上方回込領域２４へ抜け、水蒸気供出口２６から排出される。
【００３８】
上記の蓋体３０付近での脱着用水蒸気Ｆの挙動について説明する。吸着剤収容部１２の上面付近の垂直断面図を図３に示す。吸着剤収容部１２には吸着剤３１である粒状活性炭を充填し、上面が略水平となるように均した上に蓋体３０が載せられる。この蓋体３０は、吸着剤収容部１２の上面とほぼ同形状でほぼ同じ大きさの板からなる主蓋３２を主な構成要素とし、後述する副蓋３４，３５を備えていてもよい。この吸着剤３１による上面は略水平に均して運用するが、どれほど均しても細かい凹凸が生じることが避けられない。従って、吸着剤３１の上面と主蓋３２との間には、どうしても隙間が生じる。脱着用水蒸気Ｆは暖かく上方へ向かう性質があるため、主蓋３２まで水蒸気が到達しやすく、この隙間によって、吸着剤とほとんど触れずに脱着用水蒸気Ｆが領域内を通過してしまうショートパスＳを形成してしまう。そこで、主蓋３２の少なくとも上方側面の多孔板２０側の縁に、下方へ延び吸着剤３１の上面に食い込む縁壁３３を設ける。これにより、上方に抜けようとする脱着用水蒸気Ｆは遮られ、吸着剤３１を通過せざるを得なくなり、脱着が進行しやすくなる。この縁壁３３は主蓋３２の少なくとも一つの縁に設けてあると望ましく、三方の縁に設けてあるとより望ましく、四方の縁に設けてあるとさらに望ましい。
【００３９】
ところで、上方側面の多孔板２０が傾斜を有し、下方側面の多孔板２１の上端の上端閉塞部１４よりも高い位置まで延長されている上方多孔板延長部３６を有していることで、吸着装置１１の両端壁面１３との間に形成される吸着剤収容部１２の上面の面積は、上端閉塞部１４の高さ位置に至るまで下るほどに広がっていく。吸着剤が減少して主蓋３２が傾いたりずれたりしても、副蓋３４と第二副蓋３５とが主蓋３２の縁と周囲との間の隙間をカバーするように、主蓋３２の縁と吸着装置１１の壁面との間をカバーする副蓋３４、３５を図４（ａ）に示すように設置する。なお、副蓋３４と第二副蓋３５は、図４（ｂ）のように主蓋３２とずらして配置してもよい。
【００４０】
次に、この発明にかかる吸着装置の第二の実施形態について図５を用いて説明する。図５（ａ）が斜視透視図、図５（ｂ）が垂直断面図、図５（ｃ）が吸着剤収容部７２よりやや上の断面から見下ろした水平断面図、図５（ｄ）が吸着剤収容部７２よりやや下の断面から見上げた水平断面図である。なお、これらの図では、装置の上端及び下端にある揮発性有機化合物含有ガスの導入口１７、処理後ガスの排出口１８、水蒸気供給口２５、水蒸気供出口２６、ドレン抜出口２７などは略記しているが、実際の実施形態では図２に示す形態と同様にこれらが設けられている。以下の他の実施形態でも同様である。
【００４１】
この吸着装置７１は角形であり、水平断面が正方形である。吸着剤収容部７２は逆四角錐台の中心が逆四角錐によってくり抜かれた形状をしている。すなわち、４枚の傾斜した三角形状の多孔板７３が、吸着剤収容部７２の上方側面となり、吸着剤収容部７２より上の領域から繋がり、吸着装置７１の中心に配され下方を頂点とする逆四角錐状の上方回込領域７６を形成する。これら多孔板７３は、他方の多孔板７４の上端よりも上方に突き出た上方多孔板延長部８３を有している。一方、４枚の傾斜した台形からなる多孔板７４が、四方の装置壁面７８から装置の下方中心に向かって傾斜する、逆四角錐台形である吸着剤収容部７２の下方側面となり、吸着剤収容部７２より下の領域から繋がり、四方に分かれて装置壁面７８との間に下方回込領域７７を形成する。底面７５は孔の空いていない三角形の閉塞板を組み合わせた三角錐状であり、多孔板７４の底辺と接合されている。
【００４２】
この吸着装置７１で用いる蓋体７９は、上面の四方のそれぞれをカバーする四枚の矩形板からなり、吸着剤の上面の傾きや拡大に合わせて適宜ずらせるものであるとよい。
【００４３】
さらに次に、この発明にかかる吸着装置の第三の実施形態について図６を用いて説明する。図６（ａ）が斜視透視図、図６（ｂ）が垂直断面図、図６（ｃ）が吸着剤収容部９２よりやや上の断面から見下ろした水平断面図、図６（ｄ）が吸着剤収容部９２よりやや下の断面から見上げた水平断面図である。
【００４４】
この吸着装置９１は円筒形であり、水平断面が円形である。吸着剤収容部９２は、逆円錐台の中心が逆円錐によってくり抜かれた形状をしている。すなわち、一体の円錐側面状の多孔板９３が、吸着剤収容部９２の上方側面となり、吸着剤収容部９２より上の領域から繋がり、吸着装置９１の中心に配され下方を頂点とする逆円錐状の上方回込領域９６を形成する。この多孔板９３は、他方の多孔板９４の上端よりも上方に突き出た上方多孔板延長部１０３を有している。一方、逆円錐台側面状の多孔板９４が、円筒形の装置壁面９８から装置の下方中心に向かって傾斜する、逆円錐台形である吸着剤収容部９２の下側側面となり、吸着剤収容部９２より下の領域から繋がり、装置壁面９８との間に下方回込領域９７を形成する。また、底面９５は上向きの円錐周面となっている。
【００４５】
この吸着装置９１で用いる蓋体９９は、特に限定されないが、全周に亘る円環状のものや、扇形のパーツを円周方向に複数枚、互いに重なるように並べたものを用いることができる。
【００４６】
さらにまた次に、この発明にかかる吸着装置の第四の実施形態について図７の垂直断面図により説明する。この実施形態にかかる吸着装置１１１は、吸着剤収容部１１２の側面となる多孔板１１３，１１４は傾斜を有しておらず、鉛直方向に立てられている。底面１１５は水平である。吸着剤収容部１１２より上の領域と繋がる上方回込領域１１６は、底面１１５から装置壁面１１８へ延びた下方壁面固定部１２２まで同じ間隔で続いている。一方、吸着剤収容部１１２より下の領域と繋がる下方回込領域１１７は、多孔板１１４の上端から装置壁面１１８まで延びた上方壁面固定部１２１まで同じ間隔で続いている。上方回込領域１１６側の多孔板１１４は、他方の多孔板１１４の上端よりも上方に突き出た上方多孔板延長部１２３を有している。吸着剤収容部１１２の上面には多孔板１１４の上端にまで跨る蓋体１１９が載せられ、ショートパスの形成を防止する。
【００４７】
さらにまた次に、この発明にかかる吸着装置の第五の実施形態について、図８の垂直断面図により説明する。この実施形態にかかる吸着装置１３１は、第一の実施形態にかかる断面Ｖ字状で対になる吸着剤収容部１３２の片側だけに対応する。すなわち、第一の実施形態にかかる吸着装置１１よりもさらに設置面積の小さい装置として用いることができる。吸着剤収容部１３２は傾斜した箱状の一体のみである。吸着剤収容部１３２より上方の領域と繋がる上方回込領域１３６は下方ほど狭くなり、装置壁面１３８へ延びる下方壁面固定部１４２に行き着く。下方壁面固定部１４２は傾斜した底面１３５と上方側面である多孔板１３３との接合部と接合されている。この上方回込領域１３６を形成する上方側面である多孔板１３３は、他方の多孔板１３４の上端よりも上方に突き出た上方多孔板延長部１４３を有している。一方、吸着剤収容部１３２より下方の領域と繋がる下方回込領域１３７は上方ほどせまくなり、装置壁面１３８から延びる上方壁面固定部１４１に行き着く。上方壁面固定部１４１は、下方側面である多孔板１３４の上端と接合されている。また、吸着剤収容部１３２に載せる蓋体１３９は、第一の実施形態と同様の構造である。
【００４８】
さらにまた次に、この発明にかかる吸着装置の第六の実施形態について、図９（ａ）の平面図及び図９（ｂ）の垂直断面図、図９（ｃ）の底面図により説明する。この実施形態にかかる吸着装置１５１は、上記吸着剤収容部１５２が３つの部位からなる。垂直断面の形状が斜体Ｎ字状となるように、３つの部位である吸着剤収容部１５２ａ，１５２ｂ，１５３ｃが横方向に連接するように組み合わさっている。吸着剤収容部１５２ａと吸着剤収容部１５２ｂとは上方の隣接する端部で連結し、吸着剤収容部１５２ｂと吸着剤収容部１５２ｃとは下方の隣接する端部で連結している。すなわち、それぞれの吸着剤収容部１５２を構成する傾斜面は、隣接する吸着剤収容部１５２の傾斜面と、傾斜の向きが互い違いになっている。いわば、連接する接合線を含む垂直断面である接合部垂直断面Ｑに対して、個々の吸着剤収容部１５２の対（１５２ａと１５２ｂ、１５２ｂと１５２ｃ）は面対称となるように配置される。吸着剤収容部１５２ａの下方側端部は、下方壁面固定部１６２として装置壁面１５８に固定されている。吸着剤収容部１５２ｃの上方側端部は、上方壁面固定部１６１として装置壁面１５８に固定されている。この他、必要に応じて吸着剤収容部１５２ａ〜ｃの傾斜した多孔板１５３ａ〜ｃ、底面１５５ａ〜ｃを図９（ｃ）の、装置壁面１５８と接する周縁部全周を装置壁面１５８と固定する。ただし、壁面と固定する箇所は、上下方向にガスが通過可能な隙間を生じないように溶接すると好ましい。
【００４９】
吸着剤収容部１５２ａ〜ｃはいずれも上方側面が傾斜した多孔板１５３ａ〜ｃからなり、下方側面が傾斜した多孔板１５４ａ〜ｃからなる。底面１５５ａ〜１５５ｃは第一の実施形態と同様に閉塞板である。
【００５０】
吸着剤収容部１５２ａと吸着剤収容部１５２ｂとは多孔板１５４ａと多孔板１５４ｂとの接合部分より上で一体に繋がっていてもよい。いずれの吸着剤収容部１５２ａ〜ｃも、充填した吸着剤の上面は蓋体１５９ａ〜ｃで覆われている。図では略記しているが、それぞれの蓋体には副蓋が備えてあると望ましい。なお、吸着剤収容部１５２ａと吸着剤収容部１５２ｂとに載せる蓋体１５９ａ，１５９ｂとは主蓋同士が互いに一部が重なるように載せてもよい。なお、吸着剤収容部１５２ａと吸着剤収容部１５２ｂに亘って覆う、１枚の蓋体を載せてもよい。
【００５１】
この形態では、上方と下方との回込領域が二箇所に分かれている。すなわち、上方の回込領域は、吸着剤収容部１５２より上方の領域と繋がる上方回込領域１５６ａ，ｂからなる。上方回込領域１５６ａは、装置壁面１５８と、吸着剤収容部１５２ａの上方側面となる傾斜した多孔板１５３ａとに挟まれた領域である。上方回込領域１５６ｂは、吸着剤収容部１５２ｂの上方側面となる傾斜した多孔板１５３ｂと、吸着剤収容部１５２ｃの上方側面となる傾斜した多孔板１５３ｃとに挟まれた領域である。いずれも下方ほど狭くなっているが、多孔板１５３の全面から揮発性有機化合物含有ガスＡが吸着剤へと導入可能である。
【００５２】
一方、下方の回込領域は、吸着剤収容部１５２より下方の領域と繋がる下方回込領域１５７ａ，１５７ｂからなる。下方回込領域１５７ａは、吸着剤収容部１５２ａの下方側面となる傾斜した多孔板１５４ａと、吸着剤収容部１５２ｂの下方側面となる傾斜した多孔板１５４ｂとに挟まれた領域である。下方回込領域１５７ｂは、吸着剤収容部１５２ｃの下方側面となる傾斜した多孔板１５４ｃと装置壁面１５８とに挟まれた領域である。いずれも上方ほど狭くなっているが、多孔板１５４の全面から脱着用水蒸気Ｆが吸着剤へと導入可能である。
【００５３】
さらにまた次に、この発明にかかる吸着装置の第七の実施形態について、図１０（ａ）の平面図及び図１０（ｂ）の垂直断面図、図１０（ｃ）の底面図により説明する。この実施形態にかかる吸着装置１７１は、上記吸着剤収容部１７２が４つの部位からなる。垂直断面の形状がＷ字状となるように、４つの部位である吸着剤収容部１７２ａ，１７２ｂ，１７２ｃ、１７２ｄが横方向に連接するように組み合わさっている。吸着剤収容部１７２ａと吸着剤収容部１７２ｂとは下方の隣接する端部で連結し、吸着剤収容部１７２ｂと吸着剤収容部１７２ｃとは上方の隣接する端部で連結し、吸着剤収容部１７２ｃと吸着剤収容部１７２ｄとは下方の隣接する端部で連結している。すなわち、それぞれの吸着剤収容部１７２を構成する傾斜面は、隣接する吸着剤収容部１７２の傾斜面と、傾斜の向きが互い違いになっている。いわば、連接する接合線を含む垂直断面である接合部垂直断面Ｑに対して、個々の吸着剤収容部１７２の対（１７２ａと１７２ｂ、１７２ｂと１７２ｃ、１７２ｃと１７２ｄ）は面対称となるように配置される。吸着剤収容部１７２ａの上方側端部は、上方壁面固定部１８１ａとして装置壁面１７８に固定されている。吸着剤収容部１７２ｄの上方側端部は、上方壁面固定部１８１ｂとして装置壁面１５８に固定されている。この他、必要に応じて吸着剤収容部１７２ａ〜ｄの傾斜した多孔板１７３ａ〜ｄ、底面１７５ａ〜ｄを図１０（ｃ）の、装置壁面１５８と接する周縁部全周を装置壁面１５８と固定する。ただし、壁面と固定する箇所は、上下方向にガスが通過可能な隙間を生じないように溶接すると好ましい。
【００５４】
吸着剤収容部１７２ａ〜ｄはいずれも上方側面が傾斜した多孔板１７３ａ〜ｄからなり、下方側面が傾斜した多孔板１７４ａ〜ｄからなる。底面１７５ａ〜１７５ｄは第一の実施形態と同様に閉塞板である。
【００５５】
吸着剤収容部１７２ｂと吸着剤収容部１７２ｃとは多孔板１７４ｂと多孔板１７４ｃとの接合部分より上で一体となっていてもよい。いずれの吸着剤収容部１７２ａ〜ｄも、充填した吸着剤の上面は蓋体１７９ａ〜ｄで覆われている。図では略記しているが、それぞれの蓋体には副蓋が備えてあると望ましい。なお、吸着剤収容部１７２ｂと吸着剤収容部１７２ｃとに載せる蓋体１７９ｂ，１７９ｃとは主蓋同士が互いに一部が重なるように載せるとよい。なお、吸着剤収容部１７２ｂと吸着剤収容部１７２ｃに亘って覆う、１枚の蓋体を載せてもよい。
【００５６】
この形態では、上方回込領域が二箇所に、下方回込領域が三箇所に分かれている。すなわち、上方の回込領域は、吸着剤収容部１７２より上方の領域と繋がる上方回込領域１７６ａ，ｂからなる。上方回込領域１７６ａは、吸着剤収容部１７２ａの上方側面となる傾斜した多孔板１７３ａと、吸着剤収容部１７２ｂの上方側面となる傾斜した多孔板１７３ｂとに挟まれた領域である。上方回込領域１７６ｂは、吸着剤収容部１７２ｃの上方側面となる傾斜した多孔板１７３ｃと、吸着剤収容部１７２ｄの上方側面となる傾斜した多孔板１７３ｄとに挟まれた領域である。いずれも下方ほど狭くなっているが、多孔板１７３の全面から揮発性有機化合物含有ガスＡが吸着剤へと導入可能である。
【００５７】
一方、下方の回込領域は、吸着剤収容部１７２より下方の領域と繋がる下方回込領域１７７ａ，１７７ｂ、１７７ｃからなる。下方回込領域１７７ａは、装置壁面１７８と、吸着剤収容部１７２ａの下方側面となる傾斜した多孔板１７４ａとに挟まれた領域である。下方回込領域１７７ｂは、吸着剤収容部１７２ｂの下方側面となる傾斜した多孔板１７４ｂと、吸着剤収容部１７２ｃの下方側面となる傾斜した多孔板１７４ｃとに挟まれた領域である。下方回込領域１７７ｃは、吸着剤収容部１７２ｄの下方側面となる傾斜した多孔板１７４ｄと装置壁面１７８とに挟まれた領域である。いずれも上方ほど狭くなっているが、多孔板１７４の全面から脱着用水蒸気Ｆが吸着剤へと導入可能である。
【００５８】
なお、この形態の応用例として、傾斜面と接合部の位置が逆になった、逆Ｗ字状の断面を有する実施形態でもよい。また、さらに別の形態として、断面Ｖ字状に繋がった２つの吸着剤収容部がさらに１対、又は複数対分、図９及び図１０における横方向（接合部垂直断面Ｑに対して垂直な方向）に連なる形態でもよい。また、隣接する吸着剤収容部同士は、若干の隙間を左右方向に開け、金属板等を介して接合してもよい。この場合、吸着剤収容部同士の隙間は、接合に用いた金属板等で塞がれ、吸着剤収容部を経由しない上下方向へのガスの通過を防ぐ。
【００５９】
上記のいずれの実施形態であっても、この発明にかかる吸着装置１１、７１，９１，１１１，１３１、１５１，１７１を用いて揮発性有機化合物の処理を実行する処理装置１０を構成できる。その構成例について、図１のように吸着装置１１を用いた例により説明する。もちろん、他の実施形態にかかる吸着装置でも同じように用いることができる。
【００６０】
燃焼炉４０は、上記脱着用水蒸気Ｆを生成するための熱を発生させるものであり、燃料Ｄを供給する燃料供給口４２と、吸着装置１１の水蒸気供出口２６から送られてきた水蒸気有機化合物同伴ガスＫを供給する含有ガス供給口４３、バーナ（図示せず）、煙突６０、内部温度を測定する燃焼炉温度センサ４４を有する。この燃焼炉４０で発生した熱が、発生した高温ガスＬとして、高温ガス供出路４５を通り、熱交換器４１へ供給される。
【００６１】
熱交換器４１は、水蒸気の元となる水Ｅを供給する水供給口５８を備え、高温ガスＬが有する熱により水Ｅを加熱して得られた脱着用水蒸気Ｆを吸着装置１１の水蒸気供給口２５へ供給する、脱着用水蒸気供給路５２と、内部温度を測定する水蒸気温度センサ５６とを有する。なお、水供給口５８は、熱交換器４１内に水Ｅを噴霧する機能を有している。高温ガスＬが水Ｅに熱を渡して冷却された後の排ガスＭは、排ガス供出路４６を通って大気に排出される。
【００６２】
熱交換器４１で生じた脱着用水蒸気Ｆが抜き出される脱着用水蒸気供給路５２は、途中で分岐（循環経路分岐点５３）しており、一方は熱交換器４１へと戻る水蒸気生成循環経路５４へ、他方は吸着装置１１へと繋がる水蒸気供給経路５５へと分かれている。水蒸気生成循環経路５４の途中には、熱交換器４１へ向かって吹き上げるブロワ６１が設けられて循環する気流を生じさせている。
【００６３】
吸着装置１１へと通じる水蒸気供給経路５５も途中で分岐（大気開放路分岐点５７）しており、一方は大気への開放口５９に繋がり、他方は吸着装置１１の水蒸気供給口２５へと繋がっている。
【００６４】
水蒸気供給口２５（２５ａ，２５ｂ）にはそれぞれ弁（バルブ）が設けられている。これらの水蒸気供給口２５の弁は、それぞれの吸着装置１１（１１ａ，１１ｂ）への脱着開始時に開放する。その後当然に、脱着工程の完了時には当該吸着装置１１の水蒸気供給口２５の弁は完全に締める。
【符号の説明】
【００６５】
１１，１１ａ，１１ｂ  吸着装置
１２，１２ａ，１２ｂ  吸着剤収容部
１３  両端壁面
１４  上端閉塞部
１５  壁面
１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃ  導入口（揮発性有機化合物含有ガス）
１８，１８ａ，１８ｂ，１８ｃ  排出口（処理後ガス）
１９  同伴ガス供出路
２０，２０ａ，２０ｂ  多孔板（上方側面）
２１，２１ａ，２１ｂ  多孔板（下方側面）
２２  底面
２３，２３ａ，２３ｂ  下方回込領域
２４，２４ａ，２４ｂ  上方回込領域
２５，２５ａ，２５ｂ  水蒸気供給口
２６，２６ａ，２６ｂ  水蒸気供出口（水蒸気有機化合物同伴ガス）
２７，２７ａ，２７ｂ，２７ｃ  ドレン抜出口
２８  ドレン配管
２９  ドレン貯留装置
３０，３０ａ，３０ｂ  蓋体
３１  吸着剤
３２  主蓋
３３  縁壁
３４  副蓋
３５  第二副蓋
３６  上方多孔板延長部
４０  燃焼炉
４１  熱交換器
４２  燃料供給口
４３  含有ガス供給口
４４  燃焼炉温度センサ
４５  高温ガス供出路
４６  排ガス供出路
５２  脱着用水蒸気供給路
５３  循環経路分岐点
５４  水蒸気生成循環経路
５５  水蒸気供給経路
５６  水蒸気温度センサ
５７  大気開放路分岐点
５８  水供給口
５９  開放口
６０  煙突
６１  ブロワ
７１、９１、１１１，１３１、１５１、１７１  吸着装置
７２、９２、１１２，１３２，１５２ａ，１５２ｂ，１５２ｃ，１７２ａ，１７２ｂ，１７２ｃ，１７２ｄ  吸着剤収容部
７３、９３、１１３、１３３，１５３ａ，１５３ｂ，１５３ｃ，１７３ａ，１７３ｂ，１７３ｃ，１７３ｄ  多孔板（上方側面）
７４、９４、１１４、１３４，１５４ａ，１５４ｂ，１５４ｃ，１７４ａ，１７４ｂ，１７４ｃ，１７４ｄ  多孔板（下方側面）
７５、９５、１１５，１３５，１５５ａ，１５５ｂ，１５５ｃ，１７５ａ，１７５ｂ，１７５ｃ，１７５ｄ  底面
７６、９６、１１６，１３６，１５６ａ，１５６ｂ，１７６ａ，１７６ｂ  上方回込領域
７７、９７、１１７，１３７、１５７ａ、１５７ｂ，１７７ａ，１７７ｂ，１７７ｃ  下方回込領域
７８、９８、１１８，１３８、１５８、１７８  装置壁面
７９、９９、１１９，１３９、１５９ａ、１５９ｂ，１５９ｃ，１７９ａ，１７９ｂ，１７９ｃ，１７９ｄ  蓋体
８３，１０３、１２３，１４３  上方多孔板延長部
１２１，１４１、１６１，１８１ａ，１８１ｂ  上方壁面固定部
１２２，１４２、１６２  下方壁面固定部
Ａ  揮発性有機化合物含有ガス
Ｂ  処理後ガス
Ｄ  燃料
Ｅ  水
Ｆ  脱着用水蒸気
Ｇ  ドレン
Ｋ  水蒸気有機化合物同伴ガス
Ｌ  高温ガス
Ｍ  排ガス
Ｐ  縦断面中心面
Ｑ  接合部垂直断面
Ｓ  ショートパス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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