(57)【要約】【課題】被吐出体に吐出される液滴を適切に検査する。【解決手段】液滴検査装置１は、液滴２１を含む検査シート２０上の照射領域２２に紫外線を照射する照射部１０と、液滴２１（又は検査シート２０）が発光した照射領域２２を撮像する撮像部１１と、撮像部１１の光軸上に設けられ、検査シート２０で反射した紫外線３１を遮断する紫外線遮断フィルタ１２と、撮像部１１によって撮像された撮像画像に基づいて、液滴２１の大きさ及び検査シート２０上の液滴２１の位置を計測する計測部１３ａと、を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被吐出体に吐出される液滴を検査する液滴検査装置であって、
前記液滴を含む前記被吐出体上の照射領域に紫外線を照射する照射部と、
前記液滴又は前記前記被吐出体が発光した前記照射領域を撮像する撮像部と、
前記撮像部によって撮像された撮像画像に基づいて、前記液滴の大きさ及び前記被吐出体上の前記液滴の位置を計測する計測部と、を有することを特徴とする、液滴検査装置。
【請求項２】
前記撮像部の光軸上に設けられ、前記被吐出体で反射した紫外線を遮断する紫外線遮断フィルタをさらに有することを特徴とする、請求項１に記載の液滴検査装置。
【請求項３】
前記撮像部は、前記被吐出体の主面に対して当該撮像部の光軸が垂直となる向きに配置され、
前記照射部は、前記液滴に対して斜め上方から紫外線を照射する向きに配置されることを特徴とする、請求項１又は２に記載の液滴検査装置。
【請求項４】
前記撮像部は、前記被吐出体の主面に対して当該撮像部の光軸が垂直となる向きに配置され、
前記照射部は、前記液滴の下方から紫外線を照射する向きに配置されることを特徴とする、請求項１又は２に記載の液滴検査装置。
【請求項５】
前記照射部からの紫外線の光路を前記照射領域に向ける光路変更部をさらに有することを特徴とする、請求項１又は２に記載の液滴検査装置。
【請求項６】
前記液滴検査装置は、インクジェット方式で前記被吐出体に前記液滴を吐出する液滴吐出装置の内部に設けられていることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一項に記載の液滴検査装置。
【請求項７】
前記液滴は、有機ＥＬ層に用いられる有機材料であることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一項に記載の液滴検査装置。
【請求項８】
被吐出体に吐出される液滴を検査する液滴検査方法であって、
前記液滴を含む前記被吐出体上の照射領域に照射部から紫外線を照射して、当該照射領域における前記液滴又は前記被吐出体を発光させ、
前記照射領域を撮像部によって撮像し、
前記撮像部によって撮像された撮像画像に基づいて、前記液滴の大きさ及び前記被吐出体上の前記液滴の位置を計測することを特徴とする、液滴検査方法。
【請求項９】
前記撮像部によって前記被吐出体を撮像する際、当該撮像部の光軸上に設けられた紫外線遮断フィルタによって、前記被吐出体で反射した紫外線を遮断することを特徴とする、請求項８に記載の液滴検査方法。
【請求項１０】
前記液滴の検査は、インクジェット方式で前記被吐出体に前記液滴を吐出する液滴吐出装置の内部で行われることを特徴とする、請求項８又は９に記載の液滴検査方法。
【請求項１１】
前記液滴は、有機ＥＬ層に用いられる有機材料であることを特徴とする、請求項８〜１０のいずれか一項に記載の液滴検査方法。
【請求項１２】
請求項８〜１１のいずれか一項に記載の液滴検査方法を液滴検査装置によって実行させるように、当該液滴検査装置のコンピュータ上で動作するプログラム。
【請求項１３】
請求項１２に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被吐出体に吐出される液滴を検査する液滴検査装置、当該液滴検査装置を用いた液滴検査方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、有機ＥＬ（Electroluminescence）の発光を利用した発光ダイオードである有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ：Organic  Light  Emitting  Diode）が知られている。かかる有機発光ダイオードを用いた有機ＥＬディスプレイは、薄型軽量かつ低消費電力であるうえ、応答速度や視野角、コントラスト比の面で優れているといった利点を有していることから、次世代のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）として近年注目されている。
【０００３】
有機発光ダイオードは、基板上の陽極と陰極の間に有機ＥＬ層を挟んだ構造を有している。有機ＥＬ層は、例えば陽極側から順に、正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層及び電子注入層が積層されて形成される。これらの有機ＥＬ層の各層（特に正孔注入層、正孔輸送層及び発光層）を形成するにあたっては、例えばインクジェット方式で有機材料の液滴を基板上に吐出するといった方法が用いられる。
【０００４】
ところで、有機発光ダイオードは、有機ＥＬ層の各層がそれぞれ数十ｎｍの薄膜にて形成されるため、各層のいずれかにおいて例えば液滴の吐出不良が生じていれば、その影響が製品を動作させた場合に顕著に現れてしまう。このため、かかる液滴の吐出不良を抑制するべく、吐出される液滴を検査することが必要となる。
【０００５】
例えば特許文献１には、上述したインクジェット方式を用いた液滴吐出装置が開示され、当該液滴吐出装置には、液滴吐出ヘッドからの検査吐出を受ける検査シートと、当該検査シートに検査吐出された液滴の着弾ドットを画像認識する認識カメラが設けられている。かかる液滴吐出装置では、認識カメラでの画像認識に基づいて、液滴吐出ヘッドの各吐出ノズルが正常に液滴を吐出しているか否かの検査が行われる。
【０００６】
また、例えば特許文献２には、液滴吐出ヘッドの各吐出ノズルから液滴を吐出して被検出紙に着弾させ、被検出紙に着弾した液滴を撮像装置で撮像し、撮像された画像データに基づいて、液滴のノズル抜けや飛行曲りなどの吐出ノズルの吐出不良を検査することが提案されている。
【０００７】
さらに、例えば特許文献３には、上述したように液滴の着弾ドットを撮像するにあたり、切替式リング照明器（３色に照明光を切り替え可能）を備えた吐出検査カメラを用いることが提案されている。具体的に吐出検査カメラは、液滴の種類（色調）に応じて、切替式リング照明器により適切な色に切り替えた照明光の下で着弾ドットを撮像する。
【０００８】
なお、このように液滴の着弾ドットを撮像するにあたり、液滴の色調に応じて照明光の色調を変更することは、例えば特許文献４にも開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００８−２３３８３３号公報
【特許文献２】特開２００９−９５７２５号公報
【特許文献３】特開２０１０−８２４９０号公報
【特許文献４】特開２０１０−２１４３１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、有機ＥＬ層を形成する際に用いられる有機材料は、通常、無色透明または無色半透明であるため、液滴と、当該液滴が吐出される被吐出体とのコントラストを付け難い。特に被吐出体も無色透明または無色半透明であると、さらにコントラストを付け難くなる。また、有機材料の吐出量が少量である場合にも、液滴と被吐出体とのコントラストを付け難い。
【００１１】
かかる場合、特許文献１、２に開示された方法を用いても、単に液滴をそのまま撮像するだけでは、当該液滴を適切に撮像することができない。また、特許文献３、４では、液滴の色調に応じて照明光の色調を変更しているが、当該照明光が可視光である以上、やはり液滴を適切に撮像することができない。そうすると、液滴の検査を行うにあたり、当該液滴の大きさや被吐出体上の液滴の位置を計測する際、計測誤差が生じる。したがって、液滴の検査には改善の余地がある。
【００１２】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、被吐出体に吐出される液滴を適切に検査することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記の目的を達成するため、本発明は、被吐出体に吐出される液滴を検査する液滴検査装置であって、前記液滴を含む前記被吐出体上の照射領域に紫外線を照射する照射部と、前記液滴又は前記前記被吐出体が発光した前記照射領域を撮像する撮像部と、前記撮像部によって撮像された撮像画像に基づいて、前記液滴の大きさ及び前記被吐出体上の前記液滴の位置を計測する計測部と、を有することを特徴としている。なお、本発明における液滴には、粒状の液滴に加え、被吐出体に一定量で吐出される液も含まれる。
【００１４】
本発明によれば、照射領域に照射部から紫外線を照射して、当該照射領域における液滴又は被吐出体を発光させ、そして、この照射領域を撮像部によって撮像する。かかる場合、例えば紫外線照射前の液滴が無色透明または無色半透明であったり、あるいは液滴の吐出量が少量であっても、紫外線照射後の液滴又は被吐出体を発光させることで、撮像画像において液滴と被吐出体とのコントラストを高めることができる。その結果、当該撮像画像に基づいて、液滴の大きさ及び被吐出体上の液滴の位置を適切に計測することができ、従来の計測誤差を抑制することができる。そして、被吐出体に吐出される液滴を適切に検査することができる。
【００１５】
前記液滴検査装置は、前記撮像部の光軸上に設けられ、前記被吐出体で反射した紫外線を遮断する紫外線遮断フィルタをさらに有していてもよい。
【００１６】
前記撮像部は、前記被吐出体の主面に対して当該撮像部の光軸が垂直となる向きに配置され、前記照射部は、前記液滴に対して斜め上方から紫外線を照射する向きに配置されてもよい。
【００１７】
また、前記撮像部は、前記被吐出体の主面に対して当該撮像部の光軸が垂直となる向きに配置され、前記照射部は、前記液滴の下方から紫外線を照射する向きに配置されてもよい。
【００１８】
さらに、前記液滴検査装置は、前記照射部からの紫外線の光路を前記照射領域に向ける光路変更部をさらに有していてもよい。
【００１９】
前記液滴検査装置は、インクジェット方式で前記被吐出体に前記液滴を吐出する液滴吐出装置の内部に設けられていてもよい。
【００２０】
前記液滴は、有機ＥＬ層に用いられる有機材料であってもよい。
【００２１】
別な観点による本発明は、被吐出体に吐出される液滴を検査する液滴検査方法であって、前記液滴を含む前記被吐出体上の照射領域に照射部から紫外線を照射して、当該照射領域における前記液滴又は前記被吐出体を発光させ、前記照射領域を撮像部によって撮像し、前記撮像部によって撮像された撮像画像に基づいて、前記液滴の大きさ及び前記被吐出体上の前記液滴の位置を計測することを特徴としている。
【００２２】
前記撮像部によって前記被吐出体を撮像する際、当該撮像部の光軸上に設けられた紫外線遮断フィルタによって、前記被吐出体で反射した紫外線を遮断してもよい。
【００２３】
前記液滴の検査は、インクジェット方式で前記被吐出体に前記液滴を吐出する液滴吐出装置の内部で行われてもよい。
【００２４】
前記液滴は、有機ＥＬ層に用いられる有機材料であってもよい。
【００２５】
また別な観点による本発明によれば、前記液滴検査方法を液滴検査装置によって実行させるように、当該液滴検査装置のコンピュータ上で動作するプログラムが提供される。
【００２６】
さらに別な観点による本発明によれば、前記プログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体が提供される。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、被吐出体に吐出される液滴の大きさ及び被吐出体上の液滴の位置を適切に計測することができ、当該液滴を適切に検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本実施の形態にかかる液滴検査装置の構成の概略を示す模式図である。
【図２】液滴検査装置で撮像される撮像画像の説明図である。
【図３】液滴検査が適切に行われない比較例を示す説明図である。
【図４】他の実施の形態にかかる液滴検査装置の構成の概略を示す模式図である。
【図５】他の実施の形態にかかる液滴検査装置の構成の概略を示す模式図である。
【図６】他の実施の形態にかかる液滴検査装置の構成の概略を示す模式図である。
【図７】液滴検査装置を備えた基板処理システムの構成の概略を示す平面図である。
【図８】有機発光ダイオードの構成の概略を示す側面図である。
【図９】有機発光ダイオードの隔壁の構成の概略を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下に示す実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００３０】
先ず、本実施の形態に係る液滴検査装置の構成について、図１を参照して説明する。図１は、液滴検査装置１の構成の概略を示す模式図である。なお、各構成要素の寸法は、技術の理解の容易さを優先させるため、必ずしも実際の寸法に対応していない。
【００３１】
液滴検査装置１は、照射部１０と、撮像部１１と、紫外線遮断フィルタ１２と、制御部１３とを有している。液滴検査装置１の内部は、光のない暗所に維持される。そして、液滴検査装置１は、被吐出体としての検査シート２０に吐出される液滴２１の検査を行う。なお、検査対象となる液滴２１は、紫外線を吸収して発光（燐光や蛍光）するものとなる。具体的には、例えば後述するように有機材料などが検査対象となる。
【００３２】
照射部１０は、検査シート２０上の液滴２１に対して斜め上方から紫外線を照射する向きに配置される。照射部１０は紫外線の光源（図示せず）を有し、当該照射部１０から照射される紫外線の波長は例えば３６５ｎｍである。かかる波長の紫外線を用いる場合、液滴検査装置１の内部にオゾンが発生するのを抑制することができる。そして、照射部１０は、検査シート２０に吐出された液滴２１に向けて紫外線を照射する。以下、液滴２１を含め、照射部１０からの紫外線が照射される検査シート２０上の領域を照射領域２２という。
【００３３】
撮像部１１は、検査シート２０の主面に対して当該撮像部１１の光軸が垂直となる向きに配置され、本実施の形態においては液滴２１（照射領域２２）の鉛直上方に配置される。撮像部１１には、種々のカメラを用いることができるが、例えばエリアスキャンカメラが用いられる。そして、撮像部１１は、照射部１０からの紫外線が照射された検査シート２０の照射領域２２を撮像する。撮像部１１で撮像された撮像画像は、後述する制御部１３の計測部１３ａに出力される。
【００３４】
紫外線遮断フィルタ１２は、撮像部１１の光軸上に設けられ、本実施の形態においては撮像部１１のレンズ１１ａに取り付けられる。紫外線遮断フィルタ１２には、上記波長の紫外線の進行を遮断するものであれば、任意のフィルタを用いることができる。そして、検査シート２０の照射領域２２で反射した紫外線は、
紫外線遮断フィルタ１２によって撮像部１１に入光するのを遮断される。
【００３５】
制御部１３は、液滴検査装置１における照射部１０や撮像部１１の動作を制御するほか、撮像部１１によって撮像された撮像画像に基づいて、液滴２１の大きさ及び検査シート２０上の液滴２１の位置（着弾位置）を計測する。制御部１３は計測部１３ａを有し、この計測部１３ａにおいて、上述した液滴２１の大きさ及び位置の計測が行われる。このように液滴２１の大きさを計測することで、液滴２１の重量も計測されることになる。また、検査シート２０上の液滴２１の位置は、撮像部１１の位置が予め判明しているため、当該撮像部１１と検査シート２０の関係から計測できる。なお、計測部１３ａでは、上述したように少なくとも液滴２１の大きさ及び位置が計測されるが、その他の液滴２１の寸法や形状を計測してもよい。
【００３６】
制御部１３は、例えばコンピュータであり、プログラム格納部（図示せず）を有している。プログラム格納部には、照射部１０や撮像部１１の動作を制御するためのプログラムに加えて、撮像画像を画像処理するプログラムや、当該画像処理されたデータに基づいて、液滴２１の大きさ及び検査シート２０上の液滴２１の位置を算出するプログラムなどが格納されている。なお、前記プログラムは、例えばコンピュータ読み取り可能なハードディスク（ＨＤ）、フレキシブルディスク（ＦＤ）、コンパクトディスク（ＣＤ）、マグネットオプティカルデスク（ＭＯ）、メモリーカードなどのコンピュータに読み取り可能な記憶媒体に記録されていたものであって、その記憶媒体から制御部１３にインストールされたものであってもよい。
【００３７】
次に、以上のように構成された液滴検査装置１を用いて行われる液滴２１の検査方法について説明する。
【００３８】
検査シート２０に液滴２１が吐出されると、照射部１０から検査シート２０上の照射領域２２に紫外線が照射される。そうすると、照射領域２２にある液滴２１が紫外線を吸収して発光する。なお、照射領域２２において、液滴２１の周囲にある検査シート２０は、紫外線が照射されても発光しない材料を使うのが好ましい。
【００３９】
そして、撮像部１１によって照射領域２２が撮像される。このとき、照射領域２２で発光した液滴２１の可視光成分３０と照射領域２２で反射した紫外線３１は、鉛直上方に進行するが、上記紫外線３１は紫外線遮断フィルタ１２によって遮断される。
【００４０】
図２は、撮像部１１によって撮像された撮像画像を示す。上述したように照射領域２２において、液滴２１は発光するため、液滴２１と検査シート２０のコントラストを高めることができる。なお、検査シート２０が発光しない場合には、液滴２１と検査シート２０のコントラストをさらに高めることができる。
【００４１】
撮像部１１で撮像された撮像画像は、制御部１３の計測部１３ａに出力される。計測部１３ａでは、撮像画像に基づいて、液滴２１の大きさ及び検査シート２０上の液滴２１の位置が計測される。こうして、液滴２１の検査が行われる。
【００４２】
以上の実施の形態によれば、検査シート２０上の液滴２１に向けて照射部１０から紫外線を照射して、当該液滴２１を発光させ、そして、発光した液滴２１を含む照射領域２２を撮像部１１によって撮像する。かかる場合、例えば紫外線照射前の液滴２１が無色透明または無色半透明であったり、あるいは液滴２１の吐出量が少量であっても、紫外線照射後の液滴２１を発光させることで、撮像画像において液滴２１と検査シート２０とのコントラストを高めることができる。また、撮像部１１で照射領域２２を撮像する際には、紫外線遮断フィルタ１２によって照射領域２２で反射した紫外線３１が遮断されるので、撮像画像における液滴２１と検査シート２０とのコントラストをさらに高めることができる。その結果、制御部１３の計測部１３ａでは、当該撮像画像に基づいて、液滴２１の大きさ及び検査シート２０上の液滴２１の位置を適切に計測することができ、検査シート２０に吐出される液滴２１を適切に検査することができる。
【００４３】
なお、本実施の形態では、液滴２１を検査するにあたり、紫外線照射によって液滴２１を発光させたが、検査シート２０を発光させてもよい。かかる場合、液滴２１を発光させなくても、撮像部１１で撮像される撮像画像において、液滴２１と検査シート２０のコントラストを高めることができる。そして、このように液滴２１を発光させる必要がないため、検査対象の幅が広がり、例えばレジスト、色彩レジスト、ナノメタルインクなどの液滴２１も検査可能となる。
【００４４】
次に、照射部１０の配置について説明する。照射部１０の配置は、紫外線３１が照射領域２２に適切に照射されれば、任意に選択できる。例えば図３は、紫外線３１が照射領域２２に適切に照射されない比較例を示したものである。図３に示すように照射部１０から照射された紫外線３１が撮像部１１のレンズ１１ａの内部に照射される場合、当該紫外線３１が紫外線遮断フィルタ１２に遮断されて、検査シート２０の照射領域２２に到達しない。このため、液滴２１又は検査シート２０を発光させることができず、上述した本実施の形態の効果を享受できない。
【００４５】
この点、本実施の形態では、照射部１０を液滴２１に対して斜め上方から紫外線を照射する向きに配置されるので、当該照射部１０から照射領域２２に紫外線３１を適切に照射することができる。しかも、照射領域２２で反射する紫外線３１が強くなり過ぎないので、紫外線遮断フィルタ１２で紫外線３１を確実に遮断することができる。したがって、撮像部１１で撮像される撮像画像において、液滴２１と検査シート２０のコントラストをさらに高めることができる。
【００４６】
また、このように照射部１０を液滴２１に対して斜め上方に配置することにより、拡散光の影響によって撮像画像の品質が低下するのを防止することができる。さらに、撮像画像の品質を高めるうえで、照射部１０と検査シート２０との間に集光レンズ（図示せず）を配置する等の導光手段をとってもよい。
【００４７】
なお、照射部１０の配置は、上記実施の形態のように液滴２１に対して斜め上方に限定されず、上述したように紫外線３１が照射領域２２に適切に照射されれば、任意に選択できる。
【００４８】
例えば図４に示すように、照射部１０は、照射領域２２の鉛直下方に配置されていてもよい。かかる場合、照射部１０から照射領域２２に紫外線３１を適切に照射することができる。しかも、図１に示した液滴検査装置１と同様に、検査シート２０の照射領域２２を透過する紫外線３１を弱めることができ、紫外線遮断フィルタ１２で紫外線３１を確実に遮断できる。その結果、撮像部１１で撮像される撮像画像において、液滴２１と検査シート２０のコントラストを高めることができる。
【００４９】
また、例えば液滴検査装置１には、照射部１０からの紫外線３１の光路を照射領域２２に向ける光路変更部が設けられてもよい。例えば図５に示すように、撮像部１１の下方において、反射鏡などの光路変更部４０が設けられてもよい。あるいは、例えば図６に示すように、撮像部１１のレンズ１１ａの下部において、照射部１０の光源に接続されたドーム型の照明である光路変更部４１が設けられてもよい。いずれの場合でも、照射部１０からの紫外線３１の光路は光路変更部４０、４１によって照射領域２２に向かうように変更される。したがって、照射部１０から照射領域２２に紫外線３１を適切に照射することができ、撮像部１１で撮像される撮像画像において、液滴２１と検査シート２０のコントラストを高めることができる。
【００５０】
次に、以上のように構成された液滴検査装置１の適用例について説明する。図７は、液滴検査装置１を備えた基板処理システム１００の構成の概略を示す説明図である。基板処理システム１００では、有機発光ダイオードの有機ＥＬ層が形成される。
【００５１】
先ず、有機発光ダイオードの構成の概略及びその製造方法について説明する。図８は、有機発光ダイオード５００の構成の概略を示す側面図である。図８に示すように有機発光ダイオード５００は、ガラス基板Ｇ上で、陽極（アノード）５１０及び陰極（カソード）５２０の間に有機ＥＬ層５３０を挟んだ構造を有している。有機ＥＬ層５３０は、陽極５１０側から順に、正孔注入層５３１、正孔輸送層５３２、発光層５３３、電子輸送層５３４及び電子注入層５３５が積層されて形成されている。
【００５２】
有機発光ダイオード５００を製造するに際しては、先ず、ガラス基板Ｇ上に陽極５１０が形成される。陽極５１０は、たとえば蒸着法を用いて形成される。なお、陽極５１０には、たとえばＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）からなる透明電極が用いられる。
【００５３】
その後、陽極５１０上に、図９に示すように隔壁５４０が形成される。隔壁５４０は、例えばフォトリソグラフィー処理やエッチング処理等を行うことによって所定のパターンにパターニングされる。そして隔壁５４０には、スリット状の開口部５４１が行方向（Ｘ方向）と列方向（Ｙ方向）に複数並べて形成されている。この開口部５４１の内部において、後述するように有機ＥＬ層５３０と陰極５２０が積層されて画素が形成される。なお、隔壁５４０には、例えば感光性ポリイミド樹脂が用いられる。
【００５４】
その後、隔壁５４０の開口部５４１内において、陽極５１０上に有機ＥＬ層５３０が形成される。具体的には、陽極５１０上に正孔注入層５３１が形成され、正孔注入層５３１上に正孔輸送層５３２が形成され、正孔輸送層５３２上に発光層５３３が形成され、発光層５３３上に電子輸送層５３４が形成され、電子輸送層５３４上に電子注入層５３５が形成される。
【００５５】
本実施の形態では、正孔注入層５３１、正孔輸送層５３２及び発光層５３３は、それぞれ基板処理システム１００において形成される。すなわち、基板処理システム１００では、インクジェット方式による有機材料の塗布処理、有機材料の減圧乾燥処理、有機材料の焼成処理が順次行われて、これら正孔注入層５３１、正孔輸送層５３２及び発光層５３３が形成される。
【００５６】
また電子輸送層５３４と電子注入層５３５は、それぞれ例えば蒸着法を用いて形成される。
【００５７】
その後、電子注入層５３５上に陰極５２０が形成される。陰極５２０は、例えば蒸着法を用いて形成される。なお、陰極５２０には、例えばアルミニウムが用いられる。
【００５８】
このようにして製造された有機発光ダイオード５００では、陽極５１０と陰極５２０との間に電圧を印可することによって、正孔注入層５３１で注入された所定数量の正孔が正孔輸送層５３２を介して発光層５３３に輸送され、また電子注入層５３５で注入された所定数量の電子が電子輸送層５３４を介して発光層５３３に輸送される。そして、発光層５３３内で正孔と電子が再結合して励起状態の分子を形成し、当該発光層５３３が発光する。
【００５９】
次に、図７に示した基板処理システム１００について説明する。なお、基板処理システム１００で処理されるガラス基板Ｇ上には予め陽極５１０と隔壁５４０が形成されており、当該基板処理システム１００では正孔注入層５３１、正孔輸送層５３２及び発光層５３３が形成される。
【００６０】
基板処理システム１００は、複数のガラス基板Ｇをカセット単位で外部から基板処理システム１００に搬入し、カセットＣから処理前のガラス基板Ｇを取り出す搬入ステーション１０１と、ガラス基板Ｇに対して所定の処理を施す複数の処理装置を備えた処理ステーション１０２と、処理後のガラス基板ＧをカセットＣ内に収納し、複数のガラス基板Ｇをカセット単位で基板処理システム１００から外部に搬出する搬出ステーション１０３とを一体に接続した構成を有している。搬入ステーション１０１、処理ステーション１０２、搬出ステーション１０３は、Ｘ方向にこの順で並べて配置されている。
【００６１】
搬入ステーション１０１には、カセット載置台１１０が設けられている。カセット載置台１１０は、複数のカセットＣをＹ方向に一列に載置自在になっている。すなわち、搬入ステーション１０１は、複数のガラス基板Ｇを保有可能に構成されている。
【００６２】
搬入ステーション１０１には、Ｙ方向に延伸する搬送路１１１上を移動可能な基板搬送体１１２が設けられている。基板搬送体１１２は、鉛直方向及び鉛直周りにも移動自在であり、カセットＣと処理ステーション１０２との間でガラス基板Ｇを搬送できる。なお、基板搬送体１１２は、例えばガラス基板Ｇを吸着保持して搬送する。
【００６３】
処理ステーション１０２には、正孔注入層５３１を形成する正孔注入層形成部１２０と、正孔輸送層５３２を形成する正孔輸送層形成部１２１と、発光層５３３を形成する発光層形成部１２２とが、搬入ステーション１０１側からＸ方向にこの順で並べて配置されている。
【００６４】
正孔注入層形成部１２０には、第１の基板搬送領域１３０と、第２の基板搬送領域１３１と、第３の基板搬送領域１３２とが、搬入ステーション１０１側からＸ方向にこの順で並べて配置されている。各基板搬送領域１３０、１３１、１３２はＸ方向に延伸して設けられ、当該基板搬送領域１３０、１３１、１３２にはガラス基板Ｇを搬送する基板搬送装置（図示せず）が設けられている。基板搬送装置は、水平方向、鉛直方向及び鉛直周りにも移動自在であり、これら基板搬送領域１３０、１３１、１３２に隣接して設けられる各装置にガラス基板Ｇを搬送できる。
【００６５】
搬入ステーション１０１と第１の基板搬送領域１３０との間には、ガラス基板Ｇを受け渡すためのトランジション装置１３３が設けられている。同様に第１の基板搬送領域１３０と第２の基板搬送領域１３１との間、及び第２の基板搬送領域１３１と第３の基板搬送領域１３２との間にも、それぞれトランジション装置１３４、１３５が設けられている。
【００６６】
第１の基板搬送領域１３０のＹ方向正方向側には、ガラス基板Ｇ（陽極５１０）上に正孔注入層５３１を形成するための有機材料を塗布する、液滴吐出装置としての塗布装置１４０が設けられている。塗布装置１４０では、インクジェット方式でガラス基板Ｇ上の所定の位置、すなわち隔壁５４０の開口部５４１の内部に有機材料が塗布される。なお、本実施の形態の有機材料は、正孔注入層５３１を形成するための所定の材料を有機溶媒に溶解させた溶液である。
【００６７】
上記実施の形態の液滴検査装置１は、塗布装置１４０の内部に配置され、液滴吐出ヘッド（図示せず）からインクジェット方式で吐出される液滴２１の検査を行う。なお、塗布装置１４０における液滴検査装置１の配置は任意に設定できる。
【００６８】
第１の基板搬送領域１３０のＹ方向負方向側には、複数のガラス基板Ｇを一時的に収容するバッファ装置１４１が設けられている。
【００６９】
第２の基板搬送領域１３１のＹ方向正方向側とＹ方向負方向側には、塗布装置１４０で塗布された有機材料を減圧乾燥する減圧乾燥装置１４２が複数積層されて、全部で例えば５つ設けられている。減圧乾燥装置１４２は、例えばターボ分子ポンプ（図示せず）を有し、当該ターボ分子ポンプによって内部雰囲気を例えば１Ｐａ以下まで減圧して、有機材料を乾燥するように構成されている。
【００７０】
第３の基板搬送領域１３２のＹ方向正方向側には、減圧乾燥装置１４２で乾燥された有機材料を熱処理して焼成する熱処理装置１４３が複数、例えば２０段に積層されて設けられている。熱処理装置１４３は、その内部にガラス基板Ｇを載置する熱板（図示せず）を有し、当該熱板によって有機材料を焼成するように構成されている。
【００７１】
第３の基板搬送領域１３２のＹ方向負方向側には、熱処理装置１４３で熱処理されたガラス基板Ｇを所定の温度、例えば常温に調節する温度調節装置１４４が複数設けられている。
【００７２】
なお、正孔注入層形成部１２０において、これら塗布装置１４０、バッファ装置１４１、減圧乾燥装置１４２、熱処理装置１４３及び温度調節装置１４４の数や配置は、任意に選択できる。
【００７３】
正孔輸送層形成部１２１には、第１の基板搬送領域１５０と、第２の基板搬送領域１５１と、第３の基板搬送領域１５２とが、正孔注入層形成部１２０側からＸ方向にこの順で並べて配置されている。各基板搬送領域１５０、１５１、１５２はＸ方向に延伸して設けられ、当該基板搬送領域１５０、１５１、１５２には、ガラス基板Ｇを搬送する基板搬送装置（図示せず）が設けられている。基板搬送装置は、水平方向、鉛直方向及び鉛直周りにも移動自在であり、これら基板搬送領域１５０、１５１、１５２に隣接して設けられる各装置にガラス基板Ｇを搬送できる。
【００７４】
なお、第３の基板搬送領域１５２には後述する熱処理装置１６３及び温度調節装置１６４が隣接されて設けられており、これら各装置１６３、１６４の内部は低酸素且つ低露点雰囲気に維持される。このため、第３の基板搬送領域１５２においても、その内部が低酸素且つ低露点雰囲気に維持されている。以下の説明において、低酸素雰囲気とは大気よりも酸素濃度が低い雰囲気、例えば酸素濃度が１０ｐｐｍ以下の雰囲気をいい、また低露点雰囲気とは大気よりも露点温度が低い雰囲気、例えば露点温度が−１０℃以下の雰囲気をいう。そして、かかる低酸素且つ低露点雰囲気として、例えば窒素ガス等の不活性ガスが用いられる。
【００７５】
正孔注入層形成部１２０と第１の基板搬送領域１５０との間、及び第１の基板搬送領域１５０と第２の基板搬送領域１５１との間には、それぞれガラス基板Ｇを受け渡すためのトランジション装置１５３、１５４が設けられている。第２の基板搬送領域１５１と第３の基板搬送領域１５２の間には、ガラス基板Ｇを一時的に収容可能なロードロック装置１５５が設けられている。ロードロック装置１５５は、内部雰囲気を切り替え可能、すなわち大気雰囲気と低酸素且つ低露点雰囲気に切り替え可能に構成されている。
【００７６】
第１の基板搬送領域１５０のＹ方向正方向側には、ガラス基板Ｇ（正孔注入層５３１）上に正孔輸送層５３２を形成するための有機材料を塗布する、液滴吐出装置としての塗布装置１６０が設けられている。塗布装置１６０では、インクジェット方式でガラス基板Ｇ上の所定の位置、すなわち隔壁５４０の開口部５４１の内部に有機材料が塗布される。なお、本実施の形態の有機材料は、正孔輸送層５３２を形成するための所定の材料を有機溶媒に溶解させた溶液である。
【００７７】
上記実施の形態の液滴検査装置１は、塗布装置１６０の内部に配置され、液滴吐出ヘッド（図示せず）からインクジェット方式で吐出される液滴２１の検査を行う。なお、塗布装置１６０における液滴検査装置１の配置は任意に設定できる。
【００７８】
第１の基板搬送領域１５０のＹ方向負方向側には、複数のガラス基板Ｇを一時的に収容するバッファ装置１６１が設けられている。
【００７９】
第２の基板搬送領域１５１のＹ方向正方向側とＹ方向負方向側には、塗布装置１６０で塗布された有機材料を減圧乾燥する減圧乾燥装置１６２が複数積層されて、全部で例えば５つ設けられている。減圧乾燥装置１６２は、例えばターボ分子ポンプ（図示せず）を有し、その内部雰囲気を例えば１Ｐａ以下まで減圧して、有機材料を乾燥するように構成されている。
【００８０】
第３の基板搬送領域１５２のＹ方向正方向側には、減圧乾燥装置１６２で乾燥された有機材料を熱処理して焼成する熱処理装置１６３が複数、例えば２０段に積層されて設けられている。熱処理装置１６３は、その内部にガラス基板Ｇを載置する熱板（図示せず）を有し、当該熱板によって有機材料を焼成するように構成されている。また、熱処理装置１６３の内部は、低酸素且つ低露点雰囲気に維持されている。
【００８１】
第３の基板搬送領域１５２のＹ方向負方向側には、熱処理装置１６３で熱処理されたガラス基板Ｇを所定の温度、例えば常温に調節する温度調節装置１６４が複数設けられている。温度調節装置１６４の内部は、低酸素且つ低露点雰囲気に維持されている。
【００８２】
なお、正孔輸送層形成部１２１において、これら塗布装置１６０、バッファ装置１６１、減圧乾燥装置１６２、熱処理装置１６３及び温度調節装置１６４の数や配置は、任意に選択できる。
【００８３】
発光層形成部１２２には、第１の基板搬送領域１７０と、第２の基板搬送領域１７１と、第３の基板搬送領域１７２とが、正孔輸送層形成部１２１側からＸ方向にこの順で並べて配置されている。各基板搬送領域１７０、１７１、１７２はＸ方向に延伸して設けられ、当該基板搬送領域１７０、１７１、１７２には、ガラス基板Ｇを搬送する基板搬送装置（図示せず）が設けられている。基板搬送装置は、水平方向、鉛直方向及び鉛直周りにも移動自在であり、これら基板搬送領域１７０、１７１、１７２に隣接して設けられる各装置にガラス基板Ｇを搬送できる。
【００８４】
なお、第３の基板搬送領域１７２には後述する熱処理装置１８３及び温度調節装置１８４が隣接されて設けられており、これら各装置１８３、１８４の内部は低酸素且つ低露点雰囲気に維持される。このため、第３の基板搬送領域１７２においても、その内部が低酸素且つ低露点雰囲気に維持されている。
【００８５】
正孔輸送層形成部１２１と第１の基板搬送領域１７０との間、及び第１の基板搬送領域１７０と第２の基板搬送領域１７１との間には、それぞれガラス基板Ｇを受け渡すためのトランジション装置１７３、１７４が設けられている。第２の基板搬送領域１７１と第３の基板搬送領域１７２の間、及び第３の基板搬送領域１７２と搬出ステーション１０３との間には、それぞれガラス基板Ｇを一時的に収容可能なロードロック装置１７５、１７６が設けられている。ロードロック装置１７５、１７６は、内部雰囲気を切り替え可能、すなわち大気雰囲気と低酸素且つ低露点雰囲気に切り替え可能に構成されている。
【００８６】
第１の基板搬送領域１７０のＹ方向正方向側には、ガラス基板Ｇ（正孔輸送層５３２）上に発光層５３３を形成するための有機材料を塗布する、液滴吐出装置としての塗布装置１８０が例えば２つ設けられている。塗布装置１８０では、インクジェット方式でガラス基板Ｇ上の所定の位置、すなわち隔壁５４０の開口部５４１の内部に有機材料が塗布される。なお、本実施の形態の有機材料は、発光層５３３を形成するための所定の材料を有機溶媒に溶解させた溶液である。
【００８７】
上記実施の形態の液滴検査装置１は、塗布装置１８０の内部に配置され、液滴吐出ヘッド（図示せず）からインクジェット方式で吐出される液滴２１の検査を行う。なお、塗布装置１８０における液滴検査装置１の配置は任意に設定できる。
【００８８】
第１の基板搬送領域１７０のＹ方向負方向側には、複数のガラス基板Ｇを一時的に収容するバッファ装置１８１が設けられている。
【００８９】
第２の基板搬送領域１７１のＹ方向正方向側とＹ方向負方向側には、塗布装置１８０で塗布された有機材料を減圧乾燥する減圧乾燥装置１８２が複数積層されて、全部で例えば５つ設けられている。減圧乾燥装置１８２は、例えばターボ分子ポンプ（図示せず）を有し、その内部雰囲気を例えば１Ｐａ以下まで減圧して、有機材料を乾燥するように構成されている。
【００９０】
第３の基板搬送領域１７２のＹ方向正方向側には、減圧乾燥装置１８２で乾燥された有機材料を熱処理して焼成する熱処理装置１８３が複数、例えば２０段に積層されて設けられている。熱処理装置１８３は、その内部にガラス基板Ｇを載置する熱板（図示せず）を有し、当該熱板によって有機材料を焼成するように構成されている。また、熱処理装置１８３の内部は、低酸素且つ低露点雰囲気に維持されている。
【００９１】
第３の基板搬送領域１７２のＹ方向負方向側には、熱処理装置１８３で熱処理されたガラス基板Ｇを所定の温度、例えば常温に調節する温度調節装置１８４が複数設けられている。温度調節装置１８４の内部は、低酸素且つ低露点雰囲気に維持されている。
【００９２】
なお、発光層形成部１２２において、これら塗布装置１８０、バッファ装置１８１、減圧乾燥装置１８２、熱処理装置１８３及び温度調節装置１８４の数や配置は、任意に選択できる。
【００９３】
搬出ステーション１０３には、カセット載置台１９０が設けられている。カセット載置台１９０は、複数のカセットＣをＹ方向に一列に載置自在になっている。すなわち、搬出ステーション１０３は、複数のガラス基板Ｇを保有可能に構成されている。
【００９４】
搬出ステーション１０３には、Ｙ方向に延伸する搬送路１９１上を移動可能な基板搬送体１９２が設けられている。基板搬送体１９２は、鉛直方向及び鉛直周りにも移動自在であり、カセットＣと処理ステーション１０２との間でガラス基板Ｇを搬送できる。なお、基板搬送体１９２は、例えばガラス基板Ｇを吸着保持して搬送する。
【００９５】
また、搬出ステーション１０３の内部は、低酸素且つ低露点雰囲気に維持されているのが好ましい。
【００９６】
以上の基板処理システム１００には、上述した制御部１３が設けられている。したがって、塗布装置１４０、１６０、１８０の内部に設けられた液滴検査装置１は、制御部１３によって制御される。但し、この制御部１３のプログラム格納部（図示せず）には、液滴検査装置１を制御するためのプログラムに加えて、基板処理システム１００におけるガラス基板Ｇの処理を制御するプログラムも格納されている。
【００９７】
また、制御部１３は、データ格納部（図示せず）も有している。データ格納部には、例えば塗布装置１４０、１６０、１８０で吐出される液滴の大きさ及位置の正常データ、すなわち所望の大きさ及び位置に適合する描画データ（ビットマップデータ）が予め格納されている。
【００９８】
次に、以上のように構成された基板処理システム１００を用いて行われるガラス基板Ｇの処理方法について説明する。
【００９９】
先ず、複数のガラス基板Ｇを収容したカセットＣが、搬入ステーション１０１に搬入され、カセット載置台１１０上に載置される。その後、基板搬送体１１２によって、カセット載置台１１０上のカセットＣからガラス基板Ｇが順次取り出される。
【０１００】
カセットＣから取り出されたガラス基板Ｇは、基板搬送体１１２によって正孔注入層形成部１２０のトランジション装置１３３に搬送され、さらに第１の基板搬送領域１３０を介して塗布装置１４０に搬送される。そして塗布装置１４０では、インクジェット方式でガラス基板Ｇ（陽極５１０）上の所定の位置、すなわち隔壁５４０の開口部５４１の内部に、正孔注入層５３１用の有機材料が塗布される。
【０１０１】
ここで、塗布装置１４０では、ガラス基板Ｇに対する塗布処理が終了すると、液滴検査装置１によって、液滴吐出ヘッド（図示せず）から吐出される液滴２１の検査が行われる。具体的には、液滴吐出ヘッドの下方に検査シート２０が配置され、当該液滴吐出ヘッドから検査シート２０に対して検査用として液滴２１が吐出される。この液滴２１が吐出された直後に、照射部１０から照射領域２２に紫外線を照射して液滴２１を発光させ、そして、発光した液滴２１を含む照射領域２２を撮像部１１によって撮像する。撮像された撮像画像は制御部１３の計測部１３ａに出力され、当該計測部１３ａでは、撮像画像に基づいて、液滴２１の大きさ及び検査シート２０上の液滴２１の位置が計測される。こうして、液滴２１の検査が行われる。
【０１０２】
なお、液滴２１の検査は、当該液滴２１が継時的に乾燥して大きさが変化するのを回避するため、上述したように液滴２１が吐出された直後に行われるのが好ましい。ここで、例えば塗布装置１４０に液滴吐出ヘッドが複数設けられている場合、最初の液滴吐出ヘッドから液滴２１が吐出されてから、最後の液滴吐出ヘッドから液滴２１が吐出されるまでに時間差があり、この間に吐出された液滴２１が継時的に乾燥して大きさが変化する場合がある。この点、上述したように塗布直後の液滴２１を検査するためには、例えば複数の撮像部１１を設けてもよいし、撮像部１１を移動自在に構成してもよい。かかる構成をとることで、液滴吐出ヘッドから液滴２１が吐出される毎に、当該液滴２１の検査を行うことができる。
【０１０３】
計測部１３ａで液滴２１の大きさ及び位置が計測されると、続いて制御部１３では、液滴２１の大きさ及び位置の計測データと、予め格納された液滴の大きさ及び位置の正常データとの比較を行う。そして、計測データが正常データからずれている場合には、塗布装置１４０の液滴吐出ヘッドが正常な液滴２１を吐出するようにフィードバック制御される。なお、この液滴２１の検査と液滴吐出ヘッドに対するフィードバック制御は、１枚のガラス基板Ｇ毎に行ってもよいし、所定枚数のガラス基板Ｇ毎に行ってもよい。
【０１０４】
一方、塗布装置１４０での塗布処理が終了したガラス基板Ｇは、第１の基板搬送領域１３０を介してトランジション装置１３４に搬送され、さらに第２の基板搬送領域１３１を介して減圧乾燥装置１４２に搬送される。そして減圧乾燥装置１４２では、その内部雰囲気が減圧され、ガラス基板Ｇ上に塗布された有機材料が乾燥される。
【０１０５】
次にガラス基板Ｇは、第２の基板搬送領域１３１を介してトランジション装置１３５に搬送され、さらに第３の基板搬送領域１３２を介して熱処理装置１４３に搬送される。そして熱処理装置１４３では、熱板上に載置されたガラス基板Ｇが所定の温度、例えば１８０℃に加熱され、当該ガラス基板Ｇの有機材料が焼成される。
【０１０６】
次にガラス基板Ｇは、第３の基板搬送領域１３２を介して温度調節装置１４４に搬送される。そして温度調節装置１４４では、ガラス基板Ｇが所定の温度、例えば常温に温度調節される。こうして、ガラス基板Ｇ（陽極５１０）上に正孔注入層５３１が形成される。
【０１０７】
次にガラス基板Ｇは、第３の基板搬送領域１３２を介して正孔輸送層形成部１２１のトランジション装置１５３に搬送され、さらに第１の基板搬送領域１５０を介して塗布装置１６０に搬送される。そして塗布装置１６０では、インクジェット方式でガラス基板Ｇ（正孔注入層５３１）上に、正孔輸送層５３２用の有機材料が塗布される。ここで、塗布装置１６０におけるガラス基板Ｇへの塗布処理が終了すると、液滴検査装置１による液滴２１の検査と、液滴吐出ヘッドに対するフィードバック制御が行われる。これら液滴２１の検査と液滴吐出ヘッドに対するフィードバック制御は、上記塗布装置１４０で行われるものと同様であるので説明を省略する。
【０１０８】
次にガラス基板Ｇは、第１の基板搬送領域１５０を介してトランジション装置１５４に搬送され、さらに第２の基板搬送領域１５１を介して減圧乾燥装置１６２に搬送される。そして減圧乾燥装置１６２では、その内部雰囲気が減圧され、ガラス基板Ｇ上に塗布された有機材料が乾燥される。
【０１０９】
次にガラス基板Ｇは、第２の基板搬送領域１５１を介してロードロック装置１５５に搬送される。ロードロック装置１５５にガラス基板Ｇが搬入されると、その内部が低酸素且つ低露点雰囲気に切り替えられる。その後、ロードロック装置１５５の内部と、同様に低酸素且つ低露点雰囲気に維持された第３の基板搬送領域１５２の内部とが連通させられる。
【０１１０】
次にガラス基板Ｇは、第３の基板搬送領域１５２を介して熱処理装置１６３に搬送される。この熱処理装置１６３の内部も低酸素且つ低露点雰囲気に維持されている。そして熱処理装置１６３では、熱板上に載置されたガラス基板Ｇが所定の温度、例えば２００℃に加熱され、当該ガラス基板Ｇの有機材料が焼成される。
【０１１１】
次にガラス基板Ｇは、第３の基板搬送領域１５２を介して温度調節装置１６４に搬送される。この温度調節装置１６４の内部も低酸素且つ低露点雰囲気に維持されている。そして温度調節装置１６４では、ガラス基板Ｇが所定の温度、例えば常温に温度調節される。こうして、ガラス基板Ｇ（正孔注入層５３１）上に正孔輸送層５３２が形成される。
【０１１２】
次にガラス基板Ｇは、第３の基板搬送領域１５２を介して発光層形成部１２２のトランジション装置１７３に搬送され、さらに第１の基板搬送領域１７０を介して塗布装置１８０に搬送される。そして塗布装置１８０では、インクジェット方式でガラス基板Ｇ（正孔輸送層５３２）上に、発光層５３３用の有機材料が塗布される。ここで、塗布装置１８０におけるガラス基板Ｇへの塗布処理が終了すると、液滴検査装置１による液滴２１の検査と、液滴吐出ヘッドに対するフィードバック制御が行われる。これら液滴２１の検査と液滴吐出ヘッドに対するフィードバック制御は、上記塗布装置１４０で行われるものと同様であるので説明を省略する。
【０１１３】
次にガラス基板Ｇは、第１の基板搬送領域１７０を介してトランジション装置１７４に搬送され、さらに第２の基板搬送領域１７１を介して減圧乾燥装置１８２に搬送される。そして減圧乾燥装置１８２では、その内部雰囲気が減圧され、ガラス基板Ｇ上に塗布された有機材料が乾燥される。
【０１１４】
次にガラス基板Ｇは、第２の基板搬送領域１７１を介してロードロック装置１７５に搬送される。ロードロック装置１７５にガラス基板Ｇが搬入されると、その内部が低酸素且つ低露点雰囲気に切り替えられる。その後、ロードロック装置１７５の内部と、同様に低酸素且つ低露点雰囲気に維持された第３の基板搬送領域１７２の内部とが連通させられる。
【０１１５】
次にガラス基板Ｇは、第３の基板搬送領域１７２を介して熱処理装置１８３に搬送される。この熱処理装置１８３の内部も低酸素且つ低露点雰囲気に維持されている。そして熱処理装置１８３では、熱板上に載置されたガラス基板Ｇが所定の温度、例えば１６０℃に加熱され、当該ガラス基板Ｇの有機材料が焼成される。
【０１１６】
次にガラス基板Ｇは、第３の基板搬送領域１７２を介して温度調節装置１８４に搬送される。この温度調節装置１８４の内部も低酸素且つ低露点雰囲気に維持されている。そして温度調節装置１８４では、ガラス基板Ｇが所定の温度、例えば常温に温度調節される。こうして、ガラス基板Ｇ（正孔輸送層５３２）上に発光層５３３が形成される。
【０１１７】
次にガラス基板Ｇは、第３の基板搬送領域１７２を介してロードロック装置１７６に搬送される。このロードロック装置１７６の内部は、低酸素且つ低露点雰囲気に維持されている。そして、ロードロック装置１７６の内部と、同様に低酸素且つ低露点雰囲気に維持された搬出ステーション１０３の内部とが連通させられる。
【０１１８】
次にガラス基板Ｇは、搬出ステーション１０３の基板搬送体１９２によってカセット載置台１９０上の所定のカセットＣに搬送される。こうして、基板処理システム１００における一連のガラス基板Ｇの処理が終了する。
【０１１９】
以上の実施の形態によれば、塗布装置１４０、１６０、１８０の内部に液滴検査装置１を設けているので、当該塗布装置１４０、１６０、１８０の液滴吐出ヘッドから吐出される液滴２１を検査し、さらに液滴吐出ヘッドをフィードバック制御することができる。したがって、塗布装置１４０、１６０、１８０における液滴２１の吐出不良を抑制し、液滴２１の大きさ（すなわち、液滴２１の重量）及びガラス基板Ｇに吐出される液滴２１の位置を適切に制御して、ガラス基板Ｇに有機材料を適切に塗布することができる。
【０１２０】
なお、以上の実施の形態の基板処理システム１００のレイアウトは、図７に示したレイアウトに限定されず、任意に設定できる。
【０１２１】
また、以上の実施の形態の基板処理システム１００では、正孔注入層５３１、正孔輸送層５３２及び発光層５３３を形成したが、同様に有機発光ダイオード５００の他の電子輸送層５３４と電子注入層５３５も形成するようにしてもよい。すなわち、電子輸送層５３４と電子注入層５３５に用いられる有機材料に応じて、当該電子輸送層５３４と電子注入層５３５は、それぞれインクジェット方式による有機材料の塗布処理、有機材料の減圧乾燥処理、有機材料の焼成処理を行ってガラス基板Ｇ上に形成される。そして、これら電子輸送層５３４と電子注入層５３５の塗布処理においても、液滴検査装置１による液滴２１の検査を行ってもよい。
【０１２２】
また、液滴検査装置１の適用例として、有機発光ダイオード５００の有機ＥＬ層５３０を形成する基板処理システム１００を説明したが、液滴検査装置１の適用例はこれに限定されない。例えばカラーレジストを塗布する基板処理システムなどに液滴検査装置１を適用してもよい。
【０１２３】
さらに、液滴検査装置１の適用例として、インクジェット方式の塗布装置１４０、１６０、１８０を説明したが、液滴検査装置１の適用例はこれに限定されない。インクジェット方式のように液滴を吐出する場合に限定されず、例えば一定量の塗布液を連続して吐出する塗布装置に液滴検査装置１を適用し、当該塗布液を検査してもよい。かかる場合、液滴検査装置１では、被吐出体に吐出された塗布液の大きさ（重量）及び被吐出体上の塗布液の位置を計測する。なお、本実施の形態では、この一定量の塗布液が本発明の液滴を構成する。
【０１２４】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【符号の説明】
【０１２５】
１      液滴検査装置
１０    照射部
１１    撮像部
１２    紫外線遮断フィルタ
１３    制御部
１３ａ  計測部
２０    検査シート
２１    液滴
２２    照射領域
３０    可視光成分
３１    紫外線
４０、４１  光路変更部
１００  基板処理システム
１４０、１６０、１８０  塗布装置
５００  有機発光ダイオード
５３０  有機ＥＬ層
５３１  正孔注入層
５３２  正孔輸送層
５３３  発光層
５３４  電子輸送層
５３５  電子注入層
Ｇ      ガラス基板
【図１】
2016080474.tif 000003
【図２】
2016080474.tif 000004
【図３】
2016080474.tif 000005
【図４】
2016080474.tif 000006
【図５】
2016080474.tif 000007
【図６】
2016080474.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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