(57)【要約】【課題】光の利用効率を向上させることができる光学モジュール、測定装置、及び電子機器を提供する。【解決手段】光学モジュール１０は、互いに対向する一対の反射膜５４，５５を有し、一対の反射膜５４，５５のギャップ寸法に応じた波長の光を出射する波長可変干渉フィルター５（干渉フィルター）と、波長可変干渉フィルター５が固定され、一対の反射膜５４，５５の法線方向である光軸Ｌ１方向から見た平面視において、一対の反射膜５４，５５と重なる領域に、光を通過させる光入射口６１１（光通過領域）を有する筐体６１０（固定部）と、上記平面視において、光入射口６１１と対向する位置で筐体６１０に固定され、波長可変干渉フィルター５の光軸Ｌ１方向に沿った光軸を有し、当該光軸からの距離に応じて屈折率が変化するラジアル型屈折率分布レンズ７と、を備えた。【選択図】図２
2016031295.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向する一対の反射膜を有し、前記一対の反射膜のギャップ寸法に応じた波長の光を出射する干渉フィルターと、
前記干渉フィルターが固定され、前記一対の反射膜の法線方向である前記干渉フィルターの光軸方向から見た平面視において、前記一対の反射膜と重なる領域に、光を通過させる光通過領域を有する固定部と、
前記平面視において、前記光通過領域と対向する位置で前記固定部に固定され、前記干渉フィルターの光軸方向に沿った光軸を有し、当該光軸からの距離に応じて屈折率が変化するラジアル型屈折率分布レンズと、を備えた
ことを特徴とする光学モジュール。
【請求項２】
請求項１に記載の光学モジュールにおいて、
前記固定部は、前記光通過領域に開口を有し、
前記固定部に接合され、前記開口を覆う透光部材を備え、
前記ラジアル型屈折率分布レンズは、透光性を有する接着剤で、前記透光部材に接合される
ことを特徴とする光学モジュール。
【請求項３】
請求項２に記載の光学モジュールにおいて、
前記接着剤の屈折率は、前記透光部材の屈折率以上、かつ、前記ラジアル型屈折率分布レンズの屈折率の最大値以下である
ことを特徴とする光学モジュール。
【請求項４】
請求項１に記載の光学モジュールにおいて、
前記固定部は、前記光通過領域に開口を有し、
前記ラジアル型屈折率分布レンズは、前記固定部に接合され、前記開口を覆う
ことを特徴とする光学モジュール。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の光学モジュールにおいて、
前記干渉フィルターの光軸方向において、前記干渉フィルターに対して、前記ラジアル型屈折率分布レンズとは反対側に、前記干渉フィルターの光軸方向に沿った光軸を有し、当該光軸からの距離に応じて屈折率が変化する第２のラジアル型屈折率分布レンズを備え、
前記ラジアル型屈折率分布レンズの結像位置が、前記干渉フィルターの配置領域にある
ことを特徴とする光学モジュール。
【請求項６】
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の光学モジュールにおいて、
前記ラジアル型屈折率分布レンズの結像位置に配置され、前記干渉フィルターから出射された光を受光する撮像素子を備えた
ことを特徴とする光学モジュール。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の光学モジュールと、
光源と、
互いに対向する一対の反射膜を有し、前記光源から出射された光から、前記一対の反射膜のギャップ寸法に応じた波長の光を出射する第２の干渉フィルターと、
前記第２の干渉フィルターから出射された光を、前記ラジアル型屈折率分布レンズに導く導光部材と、を備えた
ことを特徴とする測定装置。
【請求項８】
互いに対向する一対の反射膜を有し、前記一対の反射膜のギャップ寸法に応じた波長の光を出射する干渉フィルターと、
前記干渉フィルターが固定され、前記一対の反射膜の法線方向である前記干渉フィルターの光軸方向から見た平面視において、前記一対の反射膜と重なる領域に、光を通過させる光通過領域を有する固定部と、
前記平面視において、前記光通過領域と対向する位置で前記固定部に固定され、前記干渉フィルターの光軸方向に沿った光軸を有し、当該光軸からの距離に応じて屈折率が変化するラジアル型屈折率分布レンズと、
前記干渉フィルターから出射された光に基づく処理を実施する処理部と、を備えた
ことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学モジュール、測定装置、及び電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、一対の反射膜を互いに対向させ、入射光から、一対の反射膜間で多重干渉されて強め合った所定波長の光を透過させるファブリーペロー干渉フィルター（干渉フィルター）が知られている。このような干渉フィルターと、干渉フィルターを透過した光を撮像部で撮像する分光カメラが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記干渉フィルターは、各反射膜に対して垂直に光を入射させることが好ましく、光入射角度が垂直とならない場合、所望の波長に光が取り出されず分解能の低下を招く。このような課題に対して、特許文献１に記載の分光カメラでは、干渉フィルターの光入射側にテレセントリック光学系を配置している。このテレセントリック光学系とは、射出瞳が無限遠にある光学系であり、このテレセントリック光学系から射出された光は、中心光軸に対して主光線が平行となるため、干渉フィルターにおける分解能の低下を抑制できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１７０８６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、テレセントリック光学系は、通常、複数の光学素子（レンズ等）を組み合わせて構成される。このため、干渉フィルターに向かう光の光路上に、屈折率が大きく変化する界面（例えば、石英ガラスと空気との境界面）が複数配置される。この界面を光が通過する際に、光の一部が反射され、光の利用効率が低下するおそれがある。
【０００６】
本発明は、光の利用効率を向上させることができる光学モジュール、測定装置、及び電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一適用例の光学モジュールは、互いに対向する一対の反射膜を有し、前記一対の反射膜のギャップ寸法に応じた波長の光を出射する干渉フィルターと、前記干渉フィルターが固定され、前記一対の反射膜の法線方向である前記干渉フィルターの光軸方向から見た平面視において、前記一対の反射膜と重なる領域に、光を通過させる光通過領域を有する固定部と、前記平面視において、前記光通過領域と対向する位置で前記固定部に固定され、前記干渉フィルターの光軸方向に沿った光軸を有し、当該光軸からの距離に応じて屈折率が変化するラジアル型屈折率分布レンズと、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
ここで、ラジアル型屈折率分布レンズとしては、例えば光軸から離れるにつれて屈折率が低下するレンズ等が例示できる。以下、ラジアル型屈折率分布レンズは、単に、屈折率分布レンズとも称する。
また、光通過領域は、例えば、固定部に設けられた開口や、透光性を有する材料で形成された透光性を有する領域である。
本適用例では、屈折率分布レンズは、干渉フィルターが固定された固定部の光通過領域に対向する位置で、当該固定部に固定されている。このような屈折率分布レンズは、テレセントリック光学系と同様、干渉フィルターの光軸方向に対して出射光の主光線が平行となり、干渉フィルターにおける分解能低下を抑制できる。
これに加え、テレセントリック光学系を用いる場合と比べて、界面の数を減らすことができ、界面における光の反射を抑制できる。したがって、光学モジュールへの入射光の光量に対する、干渉フィルターからの出射光の光量を増大させることができ、光の利用効率を向上させることができる。
【０００９】
本適用例の光学モジュールにおいて、前記固定部は、前記光通過領域に開口を有し、
前記固定部に接合され、前記開口を覆う透光部材を備え、前記ラジアル型屈折率分布レンズは、透光性を有する接着剤で、前記透光部材に接合されることが好ましい。
本適用例では、屈折率分布レンズが、固定部の開口を覆い、光通過領域と重なる位置に配置された透光部材に対して、透光性を有する接着剤を介して固定される。
このような構成では、固定部に固定された透光部材に対して、屈折率分布レンズを固定することにより、干渉フィルターと屈折率分布レンズとの相対的な位置を決めることができる。例えば、屈折率分布レンズの光軸が反射膜に直交するように、屈折率分布レンズを固定することができる。したがって、位置ずれによる分解能の低下や、入射光の角度変化による干渉光の波長シフトを抑制できる。
また、透光性の接着剤で屈折率分布レンズを固定することにより、屈折率分布レンズと透光部材との間に空間が形成されず、透光性の接着剤を充填することができ、屈折率分布レンズ及び透光部材の界面による反射を抑制できる。
【００１０】
本適用例の光学モジュールにおいて、前記接着剤の屈折率は、前記透光部材の屈折率以上、かつ、前記ラジアル型屈折率分布レンズの屈折率の最大値以下であることが好ましい。
本適用例では、接着剤の屈折率を、透光部材の屈折率以上、かつ、屈折率分布レンズの屈折率の最大値以下とすることにより、屈折率分布レンズ及び接着剤の間、並びに、接着剤及び透光部材の間のそれぞれの界面における、屈折率差を小さくすることができ、界面における反射をより確実に抑制できる。
【００１１】
本適用例の光学モジュールにおいて、前記固定部は、前記光通過領域に開口を有し、前記ラジアル型屈折率分布レンズは、前記固定部に接合され、前記開口を覆うことが好ましい。
本適用例では、屈折率分布レンズが、開口を覆う位置で、固定部材に直に接合される。
このような構成では、固定部の開口を覆う透光部材を設ける場合と比べて、構造を簡略化することができ、かつ、小型化が可能である。また、透光部材の界面での光損失も抑制でき、光の利用効率を向上させることができる。
【００１２】
本適用例の光学モジュールにおいて、前記干渉フィルターの光軸方向において、前記干渉フィルターに対して、前記ラジアル型屈折率分布レンズとは反対側に、前記干渉フィルターの光軸方向に沿った光軸を有し、当該光軸からの距離に応じて屈折率が変化する第２のラジアル型屈折率分布レンズを備え、前記ラジアル型屈折率分布レンズの結像位置が、前記干渉フィルターの配置領域にあることが好ましい。
本適用例では、干渉フィルターを挟んで一対の屈折率分布レンズを配置し、干渉フィルターの光入射側に配置された屈折率分布レンズの結像位置が、干渉フィルターの配置領域に位置する。また、干渉フィルターの光出射側に配置された第２のラジアル型屈折率透過レンズによって、干渉フィルターからの出射光を所定位置に結像させる。
このような構成では、光入射側に配置された屈折率分布レンズの結像位置近傍では、屈折率分布レンズから出射された光の光束径が小さくなるので、その分、干渉フィルターの一対の反射膜が対向する領域の面積（各反射膜の面積）を小さくすることができる。したがって、光学モジュールの小型化を図ることができる。
【００１３】
本適用例の光学モジュールにおいて、前記ラジアル型屈折率分布レンズの結像位置に配置され、前記干渉フィルターから出射された光を受光する撮像素子を備えたことが好ましい。
本適用例では、干渉フィルターを挟んで屈折率分布レンズの反対側の、当該屈折率分布レンズの結像位置に撮像素子を配置する。
このような構成では、干渉フィルターと撮像素子との間に結合光学系を配置しなくとも、屈折率分布レンズを透過し、干渉フィルターで分光された光を撮像素子で結像させることができる。したがって、レンズ等を含む結像光学系を配置することにより界面が増加し、光の利用効率が低下するという不具合を抑制でき、かつ、光学モジュールの小型化を図ることができる。
【００１４】
本発明の一適用例の測定装置は、上記適用例の光学モジュールと、光源と、互いに対向する一対の反射膜を有し、前記光源から出射された光から、前記一対の反射膜のギャップ寸法に応じた波長の光を出射する第２の干渉フィルターと、前記第２の干渉フィルターから出射された光を、前記ラジアル型屈折率分布レンズに導く導光部材と、を備えたことを特徴とする。
本適用例では、光源から出射され干渉フィルターによって分光された光を導光部材で、光学モジュールが備えるラジアル型屈折率分布レンズに導く。
このような構成では、光源から出射され干渉フィルターで分光された光を対象に照射し、照射された光の波長に応じた反射光が光学モジュールに入射される。２つの干渉フィルターの干渉光の波長を適宜調整することにより、例えば、励起光に応じた蛍光を高分解能で検出することができる。
また、光源から出射され干渉フィルターで分光された光を導光部材で導光することで、複数のレンズやミラー等の光学素子で光を反射や屈折させる場合と比べて、界面における光の反射を抑制でき、光の利用効率を向上させることができる。さらに、上記適用例の光学モジュールと同様に、テレセントリック光学系を用いる場合と比べて、界面における光の反射を抑制でき、光の利用効率を向上させることができる。
【００１５】
本発明の一適用例の電子機器は、互いに対向する一対の反射膜を有し、前記一対の反射膜のギャップ寸法に応じた波長の光を出射する干渉フィルターと、前記干渉フィルターが固定され、前記一対の反射膜の法線方向である前記干渉フィルターの光軸方向から見た平面視において、前記一対の反射膜と重なる領域に、光を通過させる光通過領域を有する固定部と、前記平面視において、前記光通過領域と対向する位置で前記固定部に固定され、前記干渉フィルターの光軸方向に沿った光軸を有し、当該光軸からの距離に応じて屈折率が変化するラジアル型屈折率分布レンズと、前記干渉フィルターから出射された光に基づく処理を実施する処理部と、を備えたことを特徴とする。
本適用例では、上記光学モジュールに係る適用例と同様に、光の利用効率を向上させることができ、このため、入射光量に対して干渉光の光量を増大させることができる。したがって、干渉光の光量の低下による処理制度の低下を抑制でき、当該処理精度を向上可能な電子機器を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】第一実施形態の分光測定装置の概略構成を示すブロック図。
【図２】第一実施形態の光学モジュールにおける、光学フィルターデバイス及び撮像素子の概略構成を示す図。
【図３】第一実施形態の波長可変干渉フィルターの概略構成を示す平面図。
【図４】図３におけるＩＶ−ＩＶ線における断面図。
【図５】第一実施形態の一変形例の光学モジュールにおける、光学フィルターデバイス及び撮像素子の概略構成を示す図。
【図６】第二実施形態の光学モジュールにおける、光学フィルターデバイス及び撮像素子の概略構成を示す図。
【図７】第三実施形態の光学モジュールにおける、光学フィルターデバイス及び撮像素子の概略構成を示す図。
【図８】第三実施形態の一変形例の光学モジュールにおける、光学フィルターデバイス及び撮像素子の概略構成を示す図。
【図９】第三実施形態の他の変形例の光学モジュールにおける、光学フィルターデバイス及び撮像素子の概略構成を示す図。
【図１０】第四実施形態の測定装置の概略構成を示す図。
【図１１】一変形例の光学モジュールにおける、光学フィルターデバイスの配置例を模式的に示す図。
【図１２】一変形例の光学モジュールにおける、光学フィルターデバイスの配置例を模式的に示す平面図。
【図１３】本発明の電子機器の他の一例である測色装置の概略構成を示すブロック図。
【図１４】本発明の電子機器の他の一例であるガス検出装置の概略図。
【図１５】図１４のガス検出装置の制御系を示すブロック図。
【図１６】本発明の電子機器の他の一例である食物分析装置の概略構成を示すブロック図。
【図１７】本発明の電子機器の他の一例である分光カメラの概略構成を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
［第一実施形態］
以下、本発明に係る第一実施形態について、図面に基づいて説明する。
［分光測定装置の構成］
図１は、本発明に係る分光測定装置の概略構成を示すブロック図である。
分光測定装置１は、本発明の電子機器の一例であり、測定対象Ｘで反射した測定対象光における各波長の光強度を分析し、分光スペクトルを測定する装置である。なお、本実施形態では、測定対象Ｘで反射した測定対象光を測定する例を示すが、測定対象Ｘとして、例えば液晶パネル等の発光体を用いる場合、当該発光体から発光された光を測定対象光としてもよい。
そして、この分光測定装置１は、図１に示すように、光学モジュール１０と、光学モジュール１０から出力された信号を処理する本発明の処理部に相当する制御部２０と、を備えている。
【００１８】
［光学モジュールの構成］
光学モジュール１０は、光学フィルターデバイス６００と、撮像素子１１と、Ｉ−Ｖ変換器１２と、アンプ１３と、Ａ／Ｄ変換器１４と、駆動制御部１５と、を備える。
この光学モジュール１０は、測定対象Ｘで反射された測定対象光を、入射光学系（図示略）を通して、波長可変干渉フィルター５に導き、波長可変干渉フィルター５を透過した光を撮像素子１１（受光部）で受光する。そして、撮像素子１１から出力された検出信号は、Ｉ−Ｖ変換器１２、アンプ１３、及びＡ／Ｄ変換器１４を介して制御部２０に出力される。
【００１９】
［光学フィルターデバイスの構成］
図２は、光学モジュール１０における、光学フィルターデバイス６００及び撮像素子１１の概略構成を示す図である。
光学フィルターデバイス６００は、入射した検査対象光から、所定の目的波長の光を取り出して、当該光を撮像素子１１に結像させる装置であり、筐体６１０と、筐体６１０の内部に収納される波長可変干渉フィルター５と、当該光学フィルターデバイス６００の光入射側に配置された第１ラジアル型屈折率分布レンズ７と、当該光学フィルターデバイス６００の光出射側に配置された第２ラジアル型屈折率分布レンズ８と、を備えている。このような光学フィルターデバイス６００は、例えば測色センサー等の光学モジュールや、測色装置やガス分析装置等の電子機器に組み込むことができる。なお、光学フィルターデバイス６００を備えた光学モジュールや電子機器の構成については、後に詳述する。
【００２０】
［波長可変干渉フィルターの構成］
図３は、波長可変干渉フィルターの概略構成を示す平面図である。図４は、図３のＩＶ−ＩＶ線を断面した際の波長可変干渉フィルターの断面図である。
波長可変干渉フィルター５は、本発明の分光フィルターに相当し、波長可変型のファブリーペローエタロンである。この波長可変干渉フィルター５は、例えば矩形板状の光学部材であり、厚み寸法が例えば５００μｍ程度に形成される固定基板５１と、厚み寸法が例えば２００μｍ程度に形成される可動基板５２を備えている。これらの固定基板５１及び可動基板５２は、それぞれ例えば、ソーダガラス、結晶性ガラス、石英ガラス、鉛ガラス、カリウムガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリガラスなどの各種ガラスや、水晶などにより形成されている。そして、これらの固定基板５１及び可動基板５２は、固定基板５１の第一接合部５１３及び可動基板５２の第二接合部５２３が、例えばシロキサンを主成分とするプラズマ重合膜などにより構成された接合膜５３（第一接合膜５３１及び第二接合膜５３２）により接合されることで、一体的に構成されている。
【００２１】
固定基板５１には、固定反射膜５４が設けられ、可動基板５２には、可動反射膜５５が設けられている。これらの固定反射膜５４及び可動反射膜５５は、ギャップＧ１を介して対向配置されている。そして、波長可変干渉フィルター５には、このギャップＧ１の寸法を調整（変更）するのに用いられる静電アクチュエーター５６が設けられている。
また、波長可変干渉フィルター５の光軸Ｌ１（図４参照）方向に、当該波長可変干渉フィルター５を見た図３に示すような平面視（以降、フィルター平面視と称する）において、固定基板５１及び可動基板５２の平面中心点Ｏは、固定反射膜５４及び可動反射膜５５の中心点と一致し、かつ後述する可動部５２１の中心点と一致するものとする。ここで、波長可変干渉フィルター５の光軸Ｌ１方向は、各反射膜５４，５５の法線方向と一致する。
【００２２】
（固定基板の構成）
固定基板５１には、エッチングにより電極配置溝５１１及び反射膜設置部５１２が形成されている。この固定基板５１は、可動基板５２に対して厚み寸法が大きく形成されており、固定電極５６１及び可動電極５６２間に電圧を印加した際の静電引力や、固定電極５６１の内部応力による固定基板５１の撓みはない。
また、固定基板５１の頂点Ｃ１には、切欠部５１４が形成されており、波長可変干渉フィルター５の固定基板５１側に、後述する可動電極パッド５６４Ｐが露出する。
【００２３】
電極配置溝５１１は、フィルター平面視で、固定基板５１の平面中心点Ｏを中心とした環状に形成されている。反射膜設置部５１２は、前記平面視において、電極配置溝５１１の中心部から可動基板５２側に突出して形成されている。この電極配置溝５１１の溝底面は、固定電極５６１が配置される電極設置面５１１Ａとなる。また、反射膜設置部５１２の突出先端面は、反射膜設置面５１２Ａとなる。
また、固定基板５１には、電極配置溝５１１から、固定基板５１の外周縁の頂点Ｃ１，頂点Ｃ２に向かって延出する電極引出溝５１１Ｂが設けられている。
【００２４】
電極配置溝５１１の電極設置面５１１Ａには、固定電極５６１が設けられている。より具体的には、固定電極５６１は、電極設置面５１１Ａのうち、後述する可動部５２１の可動電極５６２に対向する領域に設けられている。また、固定電極５６１上に、固定電極５６１及び可動電極５６２の間の絶縁性を確保するための絶縁膜が積層される構成としてもよい。
そして、固定基板５１には、固定電極５６１の外周縁から、頂点Ｃ２方向に延出する固定引出電極５６３が設けられている。この固定引出電極５６３の延出先端部（固定基板５１の頂点Ｃ２に位置する部分）は、駆動制御部１５に接続される固定電極パッド５６３Ｐを構成する。
なお、本実施形態では、電極設置面５１１Ａに１つの固定電極５６１が設けられる構成を示すが、例えば、平面中心点Ｏを中心とした同心円となる２つの電極が設けられる構成（二重電極構成）などとしてもよい。
【００２５】
反射膜設置部５１２は、上述したように、電極配置溝５１１と同軸上で、電極配置溝５１１よりも小さい径寸法となる略円柱状に形成され、当該反射膜設置部５１２の可動基板５２に対向する反射膜設置面５１２Ａを備えている。
この反射膜設置部５１２には、図３及び図４に示すように、固定反射膜５４が設置されている。この固定反射膜５４としては、例えばＡｇ等の金属膜や、Ａｇ合金等の合金膜を用いることができる。また、例えば高屈折層をＴｉＯ２、低屈折層をＳｉＯ２とした誘電体多層膜を用いてもよい。さらに、誘電体多層膜上に金属膜（又は合金膜）を積層した反射膜や、金属膜（又は合金膜）上に誘電体多層膜を積層した反射膜、単層の屈折層（ＴｉＯ２やＳｉＯ２等）と金属膜（又は合金膜）とを積層した反射膜などを用いてもよい。
【００２６】
そして、固定基板５１の可動基板５２に対向する面のうち、エッチングにより、電極配置溝５１１、反射膜設置部５１２、及び電極引出溝５１１Ｂが形成されない面は、第一接合部５１３を構成する。この第一接合部５１３は、接合膜５３により可動基板５２に接合される。
【００２７】
（可動基板の構成）
可動基板５２は、図３に示すようなフィルター平面視において、平面中心点Ｏを中心とした円形状の可動部５２１と、可動部５２１と同軸であり可動部５２１を保持する保持部５２２と、保持部５２２の外側に設けられた基板外周部５２５と、を備えている。
また、可動基板５２には、図３に示すように、頂点Ｃ２に対応して、切欠部５２４が形成されており、波長可変干渉フィルター５を可動基板５２側から見た際に、固定電極パッド５６３Ｐが露出する。
【００２８】
可動部５２１は、保持部５２２よりも厚み寸法が大きく形成され、例えば、本実施形態では、可動基板５２の厚み寸法と同一寸法に形成されている。この可動部５２１は、フィルター平面視において、少なくとも反射膜設置面５１２Ａの外周縁の径寸法よりも大きい径寸法に形成されている。そして、この可動部５２１には、可動電極５６２及び可動反射膜５５が設けられている。
【００２９】
可動電極５６２は、ギャップＧ２を介して固定電極５６１に対向し、固定電極５６１と同一形状となる環状に形成されている。この可動電極５６２は、固定電極５６１とともに静電アクチュエーター５６を構成する。また、可動基板５２には、可動電極５６２の外周縁から可動基板５２の頂点Ｃ１に向かって延出する可動引出電極５６４を備えている。この可動引出電極５６４の延出先端部（可動基板５２の頂点Ｃ１に位置する部分）は、駆動制御部１５に接続される可動電極パッド５６４Ｐを構成する。
可動反射膜５５は、可動部５２１の可動面５２１Ａの中心部に、固定反射膜５４とギャップＧ１を介して対向して設けられる。この可動反射膜５５としては、上述した固定反射膜５４と同一の構成の反射膜が用いられる。
なお、本実施形態では、上述したように、ギャップＧ２の寸法がギャップＧ１の寸法よりも大きい例を示すがこれに限定されない。例えば、測定対象光として赤外線や遠赤外線を用いる場合等、測定対象光の波長域によっては、ギャップＧ１の寸法が、ギャップＧ２の寸法よりも大きくなる構成としてもよい。
【００３０】
保持部５２２は、可動部５２１の周囲を囲うダイアフラムであり、可動部５２１よりも厚み寸法が小さく形成されている。このような保持部５２２は、可動部５２１よりも撓みやすく、僅かな静電引力により、可動部５２１を固定基板５１側に変位させることが可能となる。この際、可動部５２１が保持部５２２よりも厚み寸法が大きく、剛性が大きくなるため、保持部５２２が静電引力により固定基板５１側に引っ張られた場合でも、可動部５２１の形状変化が起こらない。したがって、可動部５２１に設けられた可動反射膜５５の撓みも生じず、固定反射膜５４及び可動反射膜５５を常に平行状態に維持することが可能となる。
なお、本実施形態では、ダイアフラム状の保持部５２２を例示するが、これに限定されず、例えば、平面中心点Ｏを中心として、等角度間隔で配置された梁状の保持部が設けられる構成などとしてもよい。
【００３１】
基板外周部５２５は、上述したように、フィルター平面視において保持部５２２の外側に設けられている。この基板外周部５２５の固定基板５１に対向する面は、第一接合部５１３に対向し、接合膜５３により固定基板５１に接合される。
【００３２】
［筐体、第１・第２ラジアル型屈折率分布レンズの構成］
筐体６１０は、本発明の固定部に相当し、図２に示すように、内部に波長可変干渉フィルター５が固定され収納される。筐体６１０は、例えば、略直方体状の外形を有し、内部を真空又は減圧状態に維持した状態で波長可変干渉フィルター５を収納することができ、波長可変干渉フィルター５の応答速度を向上させることができる。
本実施形態では、波長可変干渉フィルター５の固定基板５１が、筐体６１０の内面に対して、例えば、エポキシ系、シリコーン系等の各種接着剤により固定されている。そして、波長可変干渉フィルター５の可動基板５２の、固定基板５１とは反対側の面５２Ａから光が入射される（以下、面５２Ａを光入射面５２Ａと称する）。
【００３３】
この筐体６１０には、波長可変干渉フィルター５に入射される光を通過させる光通過領域を形成する光入射口６１１と、波長可変干渉フィルター５から出射される光を通過させる光通過領域を形成する光出射口６１２とが設けられている。光入射口６１１及び光出射口６１２は、波長可変干渉フィルター５の光軸Ｌ１に見たフィルター平面視において、各反射膜５４，５５と重なる反射膜重畳領域に設けられた開口である。なお、本実施形態では、フィルター平面視において、光入射口６１１及び光出射口６１２の外径が、反射膜重畳領域よりも大きい。これにより、各反射膜５４，５５が対向する全領域で干渉光を出射させることができる。
なお、光入射口６１１及び光出射口６１２の外径を、反射膜重畳領域よりも小さくしてもよく、この場合、光入射口６１１を、反射膜重畳領域において光が入射する範囲を制限するアパーチャーとして機能させることができる。
【００３４】
この光入射口６１１には、低融点ガラス等の接合剤（図示略）により、透光部材６１３が接合される。透光部材６１３は、透光性を有する板状の部材であり、石英ガラス（可視光域における屈折率が約１．４）等により形成されている。
この透光部材６１３の筐体６１０の内部とは反対側の面には、第１ラジアル型屈折率分布レンズ７（以下、第１レンズ７とも称する）が固定されている。
【００３５】
第１レンズ７は、光軸からの距離に応じて屈折率が変化する柱状の光学素子である。第１レンズ７は、光軸が波長可変干渉フィルターの光軸Ｌ１と一致するように配置され、光入射面７Ａから入射した光を光出射面７Ｂから出射する。また、第１レンズ７の結像位置Ｐ１は、波長可変干渉フィルター５の反射膜５４，５５の間に位置する。ここで、本実施形態では、倒立像を結像するように、光軸方向の長さが設定されている。
本実施形態において、第１レンズ７は、光軸から離れるにつれて屈折率が低下し、例えば屈折率が１．７以下の範囲で変化する。このような光学素子として、例えばセルフォック（登録商標）等を使用できる。
【００３６】
本実施形態では、第１レンズ７では、出射された光束の光軸Ｌ１に直交する方向の幅が、各反射膜５４,５５を通過する際に、各反射膜５４，５５よりも小さくなるように、屈折率、及び光軸Ｌ１に直交する方向の幅寸法等が設定されている。これにより、第１レンズ７から出射された光の一部が、各反射膜５４，５５に入射せずに、利用効率が低下したり、結像可能な画角の範囲が低減することを抑制できる。
【００３７】
また、本実施形態では、第１レンズ７の光軸Ｌ１に直交する方向の寸法（面積）は、光入射口６１１と略同寸法で形成されているが、異なる寸法でもよい。しかしながら、第１レンズ７から出射された光束の幅に対して、光入射口６１１の幅寸法が小さいと、第１レンズ７から出射された光の一部が筐体６１０で遮蔽されるおそれがある。したがって、第１レンズ７から出射された光束が、一部遮蔽されず通過するように、光入射口６１１の寸法を設定する。
【００３８】
第１レンズ７の光出射面７Ｂは、透光部材６１３に対して、透光性を有する光学接着剤６１４で接合される。この光学接着剤６１４は、光出射面７Ｂ及び透光部材６１３の間に隙間なく充填されている。したがって、第１レンズ７と透光部材６１３とが、気体の層を介在させずに、光学接着剤６１４によって接合されている。この光学接着剤６１４の屈折率は、透光部材６１３の屈折率以上、かつ、第１レンズ７の屈折率の最大値以下であり、例えば、１．４以上かつ１．７以下の範囲である。
これにより、第１レンズ７の光出射面７Ｂ及び透光部材６１３の表面、すなわち界面における屈折率の変化を小さくすることができ、当該界面における光の反射を抑制できる。
【００３９】
また、光出射口６１２には、光入射口６１１と同様に、透光部材６１５が接合され、さらに、透光部材６１５の筐体６１０の内部とは反対側の面には、第２ラジアル型屈折率分布レンズ８（以下、第２レンズ８とも称する）が、光学接着剤６１６によって固定されている。
光学接着剤６１６は、光学接着剤６１４と同様に、その屈折率が、透光部材６１５の屈折率以上、かつ、第２レンズ８の屈折率の最大値以下である。
【００４０】
第２レンズ８は、第１レンズ７と同様に、光軸からの距離に応じて屈折率が変化する柱状の光学素子であり、光軸が波長可変干渉フィルターの光軸Ｌ１と一致するように配置され、倒立像が結像されるように光軸方向の長さが設定されている。また、第２レンズ８は、波長可変干渉フィルター５から出射し、光入射面８Ａから入射した光を、光出射面８Ｂから出射し、撮像素子１１に結像させる。ここで、第２レンズ８は、第１レンズ７の光入射面７Ａ側に配置された対象からの光を、第１レンズ７及び第２レンズ８を通過することで、正立像を撮像素子１１に結像させることができる。
【００４１】
なお、図２では図示を省略するが、筐体６１０の内部には内部端子が設けられ、当該内部端子が波長可変干渉フィルター５の電極パッド５６３Ｐ，５６４Ｐ（図３参照）に接続される。また、筐体６１０の外部には、内部端子に接続される外部端子が設けられている。波長可変干渉フィルター５は、外部端子を介して駆動制御部１５に接続されている。
【００４２】
［撮像素子、Ｉ−Ｖ変換器、アンプ、Ａ／Ｄ変換器、駆動制御部の構成］
次に、図１に戻り、光学モジュール１０について説明する。
撮像素子１１は、波長可変干渉フィルター５を透過した光を受光（検出）し、受光量に基づいた検出信号をＩ−Ｖ変換器１２に出力する。
Ｉ−Ｖ変換器１２は、撮像素子１１から入力された検出信号を電圧値に変換し、アンプ１３に出力する。
アンプ１３は、Ｉ−Ｖ変換器１２から入力された検出信号に応じた電圧（検出電圧）を増幅する。
Ａ／Ｄ変換器１４は、アンプ１３から入力された検出電圧（アナログ信号）をデジタル信号に変換し、制御部２０に出力する。
【００４３】
駆動制御部１５は、制御部２０の制御に基づいて、波長可変干渉フィルター５の静電アクチュエーター５６に対して駆動電圧を印加する。これにより、静電アクチュエーター５６の固定電極５６１及び可動電極５６２間で静電引力が発生し、可動部５２１が固定基板５１側に変位する。
【００４４】
［制御部の構成］
次に、分光測定装置１の制御部２０について説明する。
制御部２０は、例えばＣＰＵやメモリー等が組み合わされることで構成され、分光測定装置１の全体動作を制御する。この制御部２０は、図１に示すように、波長設定部２１と、光量取得部２２と、分光測定部２３と、を備えている。また、制御部２０のメモリーには、波長可変干渉フィルター５を透過させる光の波長と、当該波長に対応して静電アクチュエーター５６に印加する駆動電圧との関係を示すＶ−λデータが記憶されている。
【００４５】
波長設定部２１は、波長可変干渉フィルター５により取り出す光の目的波長を設定し、Ｖ−λデータに基づいて、設定した目的波長に対応する駆動電圧を静電アクチュエーター５６に印加させる旨の指令信号を駆動制御部１５に出力する。
光量取得部２２は、撮像素子１１により取得された光量に基づいて、波長可変干渉フィルター５を透過した目的波長の光の光量を取得する。
分光測定部２３は、光量取得部２２により取得された光量に基づいて、測定対象光のスペクトル特性を測定する。
【００４６】
［第一実施形態の作用効果］
本実施形態では、第１レンズ７は、波長可変干渉フィルター５が固定された筐体６１０の光通過領域を形成する光入射口６１１に対向する位置で、当該筐体６１０に固定されている。
このような構成では、例えば、複数のレンズ等の光学素子を備え構成されるテレセントリック光学系を用いて、波長可変干渉フィルター５に光を導く場合と比べて、光路に交差する光学素子の表面（界面）の数を減らすことができ、界面における光の反射を抑制できる。したがって、光学モジュール１０への入射光の光量に対する、波長可変干渉フィルター５からの出射光の光量を増大させることができ、光の利用効率を向上させることができる。
また、光量が低下すると、撮像素子１１における受光量が低下し、撮像素子１１の感度によっては十分な光量のデータを取得できないおそれがある。これに対して、本実施形態では、光量の低下による受光光量の低下を抑制でき、分光測定の精度の低下を抑制できる。
【００４７】
本実施形態では、第１レンズ７が、光通過領域を形成する光入射口６１１を覆うように配置された透光部材６１３の、光入射口６１１と重なる位置に、光学接着剤６１４で接合されている。
このような構成では、筐体６１０に固定された透光部材６１３に対して、第１レンズ７を固定することにより、波長可変干渉フィルター５と第１レンズ７との相対的な位置を決めることができる。したがって、第１レンズ７の位置ずれによる分解能の低下や、入射光の角度変化による干渉光の波長シフトを抑制できる。
【００４８】
また、光学接着剤６１４で、第１レンズ７を透光部材６１３に固定することにより、第１レンズ７と透光部材６１３との間に空間が形成されず、光学接着剤６１４を充填することができ、第１レンズ７と透光部材６１３の界面による反射を抑制できる。
なお、第２レンズ８についても、光学接着剤６１６で透光部材６１５に固定することにより、第２レンズ８と透光部材６１５との間に空間が形成されず、界面による反射を抑制できる。
【００４９】
本実施形態では、光学接着剤６１４の屈折率を、透光部材６１３の屈折率以上、かつ、第１レンズ７の屈折率の最大値以下とすることにより、第１レンズ７及び光学接着剤６１４の間、並びに、光学接着剤６１４及び透光部材６１３の間のそれぞれの界面における、屈折率差を小さくすることができ、界面における反射をより確実に抑制できる。
なお、光学接着剤６１６の屈折率についても、透光部材６１５の屈折率以上、かつ、第２レンズ８の屈折率の最大値以下とすることにより、同様に、界面における屈折率差を小さくでき、界面における反射をより確実に抑制できる。
【００５０】
本実施形態では、波長可変干渉フィルター５を挟んで各レンズ７,８を配置し、波長可変干渉フィルター５の光入射面５２Ａ側に配置された第１レンズ７の結像位置Ｐ１が、波長可変干渉フィルター５の配置領域（例えば、一対の反射膜間の位置）に位置する。
このような構成では、第１レンズ７からの光が、波長可変干渉フィルター５の配置領域で結像される。このため、結像位置近傍では、第１レンズ７から出射された光の光束径が小さくなるので、その分、一対の反射膜５４,５５の対向する領域のサイズを小さくすることができ、光学モジュール１０の小型化を図ることができる。
【００５１】
［第一実施形態の変形例］
上記第一実施形態の光学モジュール１０の光学フィルターデバイス６００では、波長可変干渉フィルター５が本発明の固定部の一例である筐体６１０の内部に収納され、筐体６１０に設けられた透光部材６１３に固定されていたが、本発明はこれに限定されない。例えば、ガラスキャップを、可動基板５２を覆う位置で波長可変干渉フィルター５に接合し、当該ガラスキャップに対して第１レンズ７を固定してもよい。
【００５２】
図５は、一変形例の光学モジュールにおける光学フィルターデバイス及び撮像素子の概略構成を示す図である。なお、第一実施形態の光学モジュール１０と同様の構成については、同一の符号を付し、説明を省略又は簡略化する。
図５に示すように、本変形例の光学モジュール１０Ａにおいて、光学フィルターデバイス６００Ａは、波長可変干渉フィルター５の可動基板５２の光入射面５２Ａ側に固定され、当該光入射面５２Ａを覆うガラスキャップ６２０を備える。
ガラスキャップ６２０は、可動基板５２の外周部に固定される壁部６２０Ａと、光入射面５２Ａに対向する対向部６２０Ｂとを有する。壁部６２０Ａと可動基板５２の外周部とは、低融点ガラス等の接合剤（不図示）により接合される。なお、ガラスキャップ６２０は、石英ガラス等の透光性を有する材料で形成されており、フィルター平面視における対向部６２０Ｂの反射膜重畳領域が、光通過領域となる。
【００５３】
第１レンズ７は、波長可変干渉フィルター５の光軸Ｌ１に見た平面視において、ガラスキャップ６２０の波長可変干渉フィルター５とは反対側の面の、各反射膜５４，５５と重なる位置で、光学接着剤６２１によって固定されている。この光学接着剤６２１は、光学接着剤６１４と同様に、その屈折率が、ガラスキャップ６２０の屈折率以上、かつ、第１レンズ７の屈折率の最大値以下である。
また、フィルター平面視において、固定基板５１の可動基板５２とは反対側の面の、各反射膜５４，５５と重なる位置に、第２レンズ８が、光学接着剤６２２によって固定されている。この光学接着剤６２２は、光学接着剤６１４と同様に、その屈折率が、固定基板５１の屈折率以上、かつ、第２レンズ８の屈折率の最大値以下である。
【００５４】
このような構成では、波長可変干渉フィルター５を収納する筐体６１０を設けず、ガラスキャップ６２０に第１レンズ７を、固定基板５１に第２レンズ８を接合することにより、光学モジュール１０Ａの構成の簡略化や、小型化が可能である。
【００５５】
［第二実施形態］
上記第一実施形態の光学モジュール１０では、第１レンズ７が透光部材６１３に、第２レンズ８が透光部材６１５に、それぞれ固定されていた。これに対して、第二実施形態では、第１レンズ７及び第２レンズ８が、筐体６１０に直に固定される点で相違する。
なお、以下の説明では、第一実施形態と同様の構成については、同一の符号を付し、説明を省略又は簡略化する。
【００５６】
図６は、第二実施形態の光学モジュールにおける、光学フィルターデバイス及び撮像素子の概略構成を示す図である。
図６に示すように、光学モジュール１０Ｂの光学フィルターデバイス６００Ｂでは、第１レンズ７が、接合部材６１７によって、光入射口６１１を覆う位置で、筐体６１０に直に接合されている。
また、第２レンズ８が、接合部材６１８によって、光出射口６１２を覆う位置で、筐体６１０に直に接合されている。
本実施形態でも、波長可変干渉フィルター５、第１レンズ７、及び第２レンズ８の光軸が一致している。また、第１レンズ７の結像位置Ｐ１が、波長可変干渉フィルター５の一対の反射膜５４，５５間に位置する。
【００５７】
本実施形態においても、第１レンズ７から出射された光束の光軸Ｌ１に直交する方向の幅が、各反射膜５４,５５を通過する際に、各反射膜５４，５５よりも小さくなるように、当該第１レンズ７の屈折率、及び光軸Ｌ１に直交する方向の幅寸法等が設定されている。これにより、光の利用効率の低下や、結像可能な画角範囲の低減を抑制できる。
【００５８】
なお、本実施形態では、第１レンズ７の光軸Ｌ１に直交する方向の寸法（面積）は、光入射口６１１よりも大きく形成されている。このような構成においても、第１レンズ７から出射された光束の幅に対して、光入射口６１１の幅寸法が小さいと、第１レンズ７から出射された光の一部が筐体６１０で遮蔽されることがないように、第１レンズ７から出射された光束が、一部遮蔽されず通過するように、第１レンズ７の画角や屈折率、及び光入射口６１１の寸法を設定する。
【００５９】
［第二実施形態の作用効果］
本実施形態では、第１レンズ７が、光入射口６１１を覆う位置で、接合部材６１７によって筐体６１０に直に接合されている。
このような構成では、上記第一実施形態のように、透光部材６１３，６１５（図２参照）を設ける場合と比べて、光学モジュール１０Ｂの構造を簡略化でき、かつ、小型化ができる。また、透光部材６１３，６１５の界面での光損失も抑制でき、光の利用効率を向上させることができる。
なお、本実施形態では、第２レンズ８も、光入射口６１１を覆う位置で、それぞれ接合部材６１７によって筐体６１０に直に接合されており、同様に、光学モジュール１０Ｂの構造の簡略化、及び小型化ができる。
【００６０】
［第三実施形態］
上記第一実施形態の光学モジュール１０では、２つのラジアル型屈折率分布レンズ７，８を備えていた。これに対して、第三実施形態では、波長可変干渉フィルター５の光入射側のみにラジアル型屈折率分布レンズを備える点で相違する。
なお、以下の説明では、第一実施形態と同様の構成については、同一の符号を付し、説明を省略又は簡略化する。
【００６１】
図７は、第三実施形態の光学モジュールにおける、光学フィルターデバイス及び撮像素子の概略構成を示す図である。
図７に示すように、光学モジュール１０Ｃの光学フィルターデバイス６００Ｃは、筐体６１０と、光入射口６１１を覆うように接合された透光部材６１３と、光出射口６１２を覆うように接合された透光部材６１５と、ラジアル型屈折率分布レンズ９（以下、レンズ９とも称する）と、を備える。そして、この光学フィルターデバイス６００Ｃの透光部材６１５には、光学接着剤６１６Ａにより撮像素子１１が接合されている。
【００６２】
レンズ９は、第１レンズ７と同様に、透光部材６１３に対して、光学接着剤６１４で接合される。なお、光学接着剤６１４の屈折率は、透光部材６１３の屈折率以上、かつ、レンズ９の屈折率の最大値以下である。
そして、レンズ９の結像位置Ｐ２は、撮像素子１１の撮像面に位置し、撮像素子１１に倒立像を結像させる。
【００６３】
［第三実施形態の作用効果］
本実施形態では、波長可変干渉フィルター５の光入射面５２Ａ側にレンズ９を配置し、光入射面５２Ａの反対側で、かつ、レンズ９の結像位置Ｐ２に撮像素子１１を配置する。
このような構成では、波長可変干渉フィルター５と撮像素子１１との間に結合光学系を配置しなくとも、レンズ９を透過し、波長可変干渉フィルター５で分光された光を、撮像素子１１で結像させることができる。したがって、レンズ等を含む結像光学系を配置することによる界面の増加を抑制でき、当該界面の増加による光の利用効率の低下を抑制できる。また、結合光学系等を配置することがないため、光学モジュール１０Ｃの小型化を図ることができる。
【００６４】
［第三実施形態の変形例］
上記第三実施形態の光学フィルターデバイス６００Ｃでは、波長可変干渉フィルター５が本発明の固定部の一例である筐体６１０の内部に収納され、筐体６１０に設けられた透光部材６１３に固定されていたが、本発明はこれに限定されない。
図８は、第三実施形態の一変形例の光学モジュールにおける、光学フィルターデバイス及び撮像素子の概略構成を示す図である。
図８に示すように、光学モジュール１０Ｄの光学フィルターデバイス６００Ｄでは、図５に示す第一実施形態の変形例に係る光学フィルターデバイス６００Ａと同様に、光入射面５２Ａを覆って、波長可変干渉フィルター５に固定されるガラスキャップ６２０を備える。そして、レンズ９が、光学接着剤６２１によって、ガラスキャップ６２０に固定される。また、フィルター平面視において、固定基板５１の可動基板５２とは反対側の面の、各反射膜５４，５５と重なる位置に、光学接着剤６２２Ａにより撮像素子１１が接合されている。
このような構成では、第一実施形態の変形例に係る光学フィルターデバイス６００Ａと同様に、波長可変干渉フィルター５を収納する筐体６１０を設けず、ガラスキャップ６２０に第１レンズ７を、固定基板５１に第２レンズ８を接合することにより、構成の簡略化や小型化が可能である。
【００６５】
また、図９は、第三実施形態の他の変形例の光学モジュールにおける、光学フィルターデバイス及び撮像素子の概略構成を示す図である。
図９に示すように、光学モジュール１０Ｅの光学フィルターデバイス６００Ｅでは、図６に示す第二実施形態に係る光学フィルターデバイス６００Ｂと同様に、レンズ９が、接合部材６１７によって、光入射口６１１を覆うように筐体６１０に直に接合される。
このような構成では、第二実施形態と同様に、上記第一実施形態のように透光部材６１３（図２参照）を設ける場合と比べて、光学モジュール１０Ｅの構成の簡略化や小型化が可能である。
【００６６】
［第四実施形態］
以下、本発明の測定装置に係る一実施形態について、図面に基づいて説明する。
［分光測定装置の構成］
図１０は、本発明に係る第四実施形態の測定装置の概略構成を示す図である。
図１０に示す測定装置１Ａは、測定対象に所定の第１波長の光（例えば励起光）を照射し、照明された測定対象からの反射光（上記所定の第１波長に対応する第２波長の光であり、例えば蛍光）を撮像して分光画像を取得する。
この測定装置１Ａは、図１０に示すように、第一実施形態に係る光学フィルターデバイス６００（図２参照）と、撮像素子１１と、照明部３０と、を備える。なお、本実施形態では、第一実施形態の光学フィルターデバイス６００を備える構成を例示するが、第二及び第三実施形態の光学フィルターデバイスの構成を採用してもよい。
【００６７】
照明部３０は、所定の第１波長の光を照射する。
この照明部３０は、光源３１と、筐体６１０に収納された第２の波長可変干渉フィルター５Ａと、ファイバーコネクター３２と、光ファイバー３３と、第３のラジアル型屈折率分布レンズ３４（以下、第３レンズ３４とも称する）と、を備えている。なお、第２の波長可変干渉フィルター５Ａは、光学フィルターデバイス６００が備える波長可変干渉フィルター５と同様に構成される。
【００６８】
光源３１は、筐体６１０の光入射口６１１（図２参照）に対向する位置が設けられ、第２の波長可変干渉フィルター５Ａに向かう方向に光を照射する。光源３１から出射される光は、所定の第１波長の光（例えば蛍光を発するための励起光）を含む。例えば、光源３１は、３８０ｎｍ〜７００ｎｍの可視光から近赤外光を含む白色光を出力する、ＬＥＤ等の白色光源である。
【００６９】
ファイバーコネクター３２は、筐体６１０の光出射口６１２（図２参照）に対向する位置に設けられ、波長可変干渉フィルター５から出射された第１波長の光を、光ファイバー３３に導く。
光ファイバー３３は、第１レンズ７の光入射面７Ａに、光学接着剤３５で接合され、第１波長の光を光学フィルターデバイス６００の第１レンズ７に導く。なお、本発明の導光部は、ファイバーコネクター３２及び光ファイバー３３を含み構成される。
第３レンズ３４は、第１レンズ７と光軸が一致するように、光入射面７Ａに光学接着剤３５で接合され、第１波長の光を、測定対象に結像させる。なお、第３レンズ３４の測定対象側の端面３４Ａから結像位置までの距離は、第３レンズ３４の屈折率分布や光軸方向の長さで適宜設定することができる。例えば、端面３４Ａの位置で結像させることにより、測定対象に対して第３レンズ３４を密着させることができる。したがって、測定対象で反射された光が、第３レンズ３４に入射されず、光利用効率が低下することを抑制できる。
【００７０】
撮像素子１１は、光学フィルターデバイス６００の第２レンズ８の光出射面８Ｂに、光学接着剤６１９で接合されている。なお、光学フィルターデバイス６００の第２レンズ８は、波長可変干渉フィルター５から出射された光が、撮像素子１１の撮像面に結像するように、設計されている。
なお、図１０では図示しながら、各波長可変干渉フィルター５，５Ａは、制御部２０の指令に基づいて、駆動制御部１５によって駆動制御される。
【００７１】
［測定装置の作用］
このように構成された測定装置１Ａでは、光源３１から出射された光は、第２の波長可変干渉フィルター５Ａに入射する。この第２の波長可変干渉フィルター５Ａは、第１波長の光を透過するようにギャップＧ１の寸法が制御されている。このため、第２の波長可変干渉フィルター５Ａから第１波長の光が出射され、ファイバーコネクター３２及び光ファイバー３３によって導光され、第１レンズ７の光入射面７Ａに入射される。
【００７２】
その後、第１波長の光は、第１レンズ７によって波長可変干渉フィルター５に集光される。この波長可変干渉フィルター５は、第１波長に対応する第２波長の光を透過するようにギャップＧ１の寸法が制御されている。このため、第２の波長可変干渉フィルター５Ａに集光された第１波長の光は反射される。反射された第１波長の光は、第１レンズ７及び第３レンズ３４を透過し、端面３４Ａから出射され測定対象に照射される。そして、第１波長の光が照射された測定対象から、第１波長に対応する第２波長の光を含む光が反射される。
【００７３】
この反射された光が、再び第３レンズ３４に入射され、第３レンズ３４及び第１レンズ７を透過して、波長可変干渉フィルター５に集光される。この集光された光のうち、第２波長の光が、波長可変干渉フィルター５から出射され、第２レンズ８によって撮像素子１１に結像される。このようにして、第１波長に対応する第２波長、例えば、所定波長の励起光に対応する蛍光の分光画像が取得される。
なお、各波長可変干渉フィルター５，５ＡのギャップＧ１の寸法を適宜設定することによって、複数の第２波長のそれぞれで分光画像を取得することができる。
【００７４】
［第四実施形態の作用効果］
本実施形態では、光源３１から出射され、第２の波長可変干渉フィルター５Ａによって分光された光を導光部材である、ファイバーコネクター３２及び光ファイバー３３によって、光学モジュール１０の光学フィルターデバイス６００が備える第１レンズ７に導く。
このような構成では、上述のように、２つの波長可変干渉フィルター５，５Ａの干渉光の波長（第１波長及び第２波長）を適宜調整することにより、第１波長に応じた第２波長（例えば、励起光に応じた蛍光）を高分解能で検出することができる。
【００７５】
また、本実施形態では、光源３１から出射され第２の波長可変干渉フィルター５Ａで分光された光を、ファイバーコネクター３２及び光ファイバー３３（導光部材）で導光することで、複数のレンズやミラー等の光学素子で光を反射や屈折させる場合と比べて、界面における光の反射を抑制でき、光の利用効率を向上させることができる。
【００７６】
また、本実施形態では、第２レンズ８が、光学接着剤６１６によって撮像素子１１に接合され、第２レンズ８の結像位置が撮像素子１１の撮像面に位置する。このような構成では、第２レンズ８及び撮像素子１１の間に光学接着剤６１６が充填されており、界面における反射を抑制でき、光の利用効率を向上させることができる。
【００７７】
［実施形態の変形］
なお、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
上記各実施形態では、光学モジュールは、１つの光学フィルターデバイス及び撮像素子を備える構成を例示したが、本発明は、これに限定されず、複数の光学フィルターデバイス及び撮像素子を備える構成を採用してもよい。
図１１は、本発明の一変形例の光学モジュールの要部の概略構成を示す図である。
図１１に示すように、光学モジュール１０Ｆは、複数の光学フィルターデバイス６００と、各光学フィルターデバイス６００の第２レンズ８の結像位置に配置された撮像素子１１と、を備える。各光学フィルターデバイス６００は、支持基板１６に設けられた開口１６Ａに挿入された状態で、当該支持基板１６に筐体６１０が固定されている。
【００７８】
図１２は、図１１に示す一変形例の光学モジュール１０Ｆを、第１レンズ７側から光軸方向に見た際の概略構成を示す平面図である。
図１２に示すように、複数の光学フィルターデバイス６００がＸ方向に配列され、このような列の複数がＸ方向と直交するＹ方向に、互いに平行となるように配置されている（図１２では２列）。また、複数の列は、Ｘにおいてオフセットして配置されている。具体的には、光学フィルターデバイス６００は、Ｘ方向において、隣の列に含まれる隣接する二つの光学フィルターデバイス６００の間に配置されている。
【００７９】
また、図１２に一点鎖線で示す、各第１レンズ７の撮像可能範囲Ｒ１（図１１の撮像面Ｓ１における撮像可能範囲）が、光軸方向における平面視で隣り合う光学フィルターデバイス６００と重複する。これにより、広範囲に亘る分光画像を一度に取得することができる。
【００８０】
上記第一実施形態では、ラジアル型屈折率分布レンズと、透光部材とを接合する光学接着剤の屈折率が、透光部材の屈折率以上、かつ、ラジアル型屈折率分布レンズの屈折率の最大値以下である構成を例示したが、本発明はこれに限定されず、透光性を有する接着剤であれば屈折率が上記範囲以外のものを用いてもよい。
【００８１】
上記各実施形態では、波長可変干渉フィルター５の可動基板５２が筐体６１０に固定されている構成を例示したが、本発明はこれに限定されず、固定基板５１を固定する構成としてもよい。
【００８２】
上記各実施形態では、ギャップ変更部として、固定電極５６１、及び可動電極５６２に電圧を印加することで、静電引力により反射膜間ギャップＧ１の大きさを変更する静電アクチュエーター５６を備える構成を例示したが、これに限定されない。
例えば、ギャップ変更部として、誘導アクチュエーターを用いてもよい。この場合、固定電極５６１の代わりに、第一誘導コイルを配置し、可動電極５６２の代わりに第二誘導コイル又は永久磁石を配置する構成を例示できる。
さらに、ギャップ変更部として、圧電アクチュエーターを用いてもよい。この場合、保持部５２２に下部電極層、圧電膜、及び上部電極層を積層配置させ、下部電極層及び上部電極層の間に印加する電圧を入力値として可変させることで、圧電膜を伸縮させて保持部５２２を撓ませる構成を例示できる。
また、上記各実施形態では、ギャップ変更部としての静電アクチュエーター５６を一対の基板の一方のみに設けた構成を例示したが、本発明はこれに限定されず、ギャップ変更部を両方の基板に設けてもよい。
【００８３】
上記各実施形態では、反射膜間ギャップＧ１を変更可能に構成された波長可変干渉フィルター５を例示したが、これに限定されず、反射膜間ギャップＧ１の大きさが固定された干渉フィルターであってもよい。
また、上記各実施形態では、波長可変干渉フィルター５として、一対の基板５１，５２と、各基板５１，５２のそれぞれに設けられた一対の反射膜５４，５５を備える構成を例示したが、これに限定されない。例えば、可動基板５２が設けられない構成とし、固定基板５１を筐体６１０に固定する構成としてもよい。この場合、例えば、基板（固定基板）の一面に第一反射膜、ギャップスペーサ、及び第二反射膜を積層形成し、第一反射膜と第二反射膜とがギャップを介して対向する構成とする。当該構成では、一枚の基板からなる構成となり、分光素子をより薄型化することができる。
【００８４】
上記各実施形態では、本発明の電子機器として、上記各実施形態では、分光測定装置１を例示したが、その他、様々な分野により本発明の光学モジュール、及び電子機器を適用することができる。なお、下記電子機器の変形例では、第一実施形態の光学フィルターデバイス６００を備える構成を例示するが、本発明は、これに限定されず、第二及び第三実施形態の光学フィルターデバイスを用いることもできる。
【００８５】
例えば、図１３に示すように、本発明の電子機器を、色を測定するための測色装置に適用することもできる。
図１３は、波長可変干渉フィルターを備えた測色装置４００の一例を示すブロック図である。
この測色装置４００は、図１３に示すように、測定対象Ｘに光を射出する光源装置４１０と、測色センサー４２０（光学モジュール）と、測色装置４００の全体動作を制御する制御装置４３０と、を備える。そして、この測色装置４００は、光源装置４１０から射出される光を測定対象Ｘにて反射させ、反射された検査対象光を測色センサー４２０にて受光させ、測色センサー４２０から出力される検出信号に基づいて、検査対象光の色度、すなわち測定対象Ｘの色を分析して測定する装置である。
【００８６】
光源装置４１０、光源４１１、複数のレンズ４１２（図１３には１つのみ記載）を備え、測定対象Ｘに対して例えば基準光（例えば、白色光）を射出する。また、複数のレンズ４１２には、コリメーターレンズが含まれてもよく、この場合、光源装置４１０は、光源４１１から射出された基準光をコリメーターレンズにより平行光とし、図示しない投射レンズから測定対象Ｘに向かって射出する。なお、本実施形態では、光源装置４１０を備える測色装置４００を例示するが、例えば測定対象Ｘが液晶パネルなどの発光部材である場合、光源装置４１０が設けられない構成としてもよい。
【００８７】
測色センサー４２０は、本発明の光学モジュールであり、図１３に示すように、光学フィルターデバイス６００と、光学フィルターデバイス６００を透過する光を受光する撮像素子１１と、光学フィルターデバイス６００で透過させる光の波長を可変する駆動制御部１５と、を備える。そして、この測色センサー４２０は、光学フィルターデバイス６００の波長可変干渉フィルター５（図２参照）により、検査対象光のうち所定波長の光を分光し、分光した光を撮像素子１１にて受光する。
【００８８】
制御装置４３０は、測色装置４００の全体動作を制御する。
この制御装置４３０としては、例えば汎用パーソナルコンピューターや、携帯情報端末、その他、測色専用コンピューターなどを用いることができる。そして、制御装置４３０は、図１３に示すように、光源制御部４３１、測色センサー制御部４３２、及び測色処理部４３３などを備えて構成されている。
光源制御部４３１は、光源装置４１０に接続され、例えば利用者の設定入力に基づいて、光源装置４１０に所定の制御信号を出力して、所定の明るさの白色光を射出させる。
測色センサー制御部４３２は、測色センサー４２０に接続され、例えば利用者の設定入力に基づいて、測色センサー４２０にて受光させる光の波長を設定し、この波長の光の受光量を検出する旨の制御信号を測色センサー４２０に出力する。これにより、測色センサー４２０の駆動制御部１５は、制御信号に基づいて、静電アクチュエーター５６に電圧を印加し、波長可変干渉フィルター５を駆動させる。
測色処理部４３３は、撮像素子１１により検出された受光量から、測定対象Ｘの色度を分析する。
【００８９】
また、本発明の電子機器の他の例として、特定物質の存在を検出するための光ベースのシステムが挙げられる。このようなシステムとしては、例えば、本発明の光学モジュールを用いた分光計測方式を採用して特定ガスを高感度検出する車載用ガス漏れ検出器や、呼気検査用の光音響希ガス検出器等のガス検出装置を例示できる。
このようなガス検出装置の一例を以下に図面に基づいて説明する。
【００９０】
図１４は、本発明の光学モジュールを備えたガス検出装置の一例を示す概略図である。
図１５は、図１４のガス検出装置の制御系の構成を示すブロック図である。
このガス検出装置１００は、図１４に示すように、センサーチップ１１０と、吸引口１２０Ａ、吸引流路１２０Ｂ、排出流路１２０Ｃ、及び排出口１２０Ｄを備えた流路１２０と、本体部１３０と、を備えて構成されている。
本体部１３０は、流路１２０を着脱可能な開口を有するセンサー部カバー１３１、排出手段１３３、筐体１３４、光学部１３５、フィルター１３６、光学フィルターデバイス６００、及び受光素子１３７（受光部）等を含む検出装置（光学モジュール）と、受光素子１３７で受光された光に応じて出力された信号の処理や検出装置や光源部の制御を実施する制御部１３８（処理部）、電力を供給する電力供給部１３９等から構成されている。また、光学部１３５は、光を射出する光源１３５Ａと、光源１３５Ａから入射された光をセンサーチップ１１０側に反射し、センサーチップ側から入射された光を受光素子１３７側に透過するビームスプリッター１３５Ｂと、レンズ１３５Ｃ，１３５Ｄ，１３５Ｅと、により構成されている。
また、図１４に示すように、ガス検出装置１００の表面には、操作パネル１４０、表示部１４１、外部とのインターフェイスのための接続部１４２、電力供給部１３９が設けられている。電力供給部１３９が二次電池の場合には、充電のための接続部１４３を備えてもよい。
さらに、ガス検出装置１００の制御部１３８は、図１５に示すように、ＣＰＵ等により構成された信号処理部１４４、光源１３５Ａを制御するための光源ドライバー回路１４５、波長可変干渉フィルター５を制御するための駆動制御部１５、受光素子１３７からの信号を受信する受光回路１４７、センサーチップ１１０のコードを読み取り、センサーチップ１１０の有無を検出するセンサーチップ検出器１４８からの信号を受信するセンサーチップ検出回路１４９、及び排出手段１３３を制御する排出ドライバー回路１５０などを備えている。
【００９１】
次に、上記のようなガス検出装置１００の動作について、以下に説明する。
本体部１３０の上部のセンサー部カバー１３１の内部には、センサーチップ検出器１４８が設けられており、このセンサーチップ検出器１４８でセンサーチップ１１０の有無が検出される。信号処理部１４４は、センサーチップ検出器１４８からの検出信号を検出すると、センサーチップ１１０が装着された状態であると判断し、表示部１４１へ検出動作を実施可能な旨を表示させる表示信号を出す。
【００９２】
そして、例えば利用者により操作パネル１４０が操作され、操作パネル１４０から検出処理を開始する旨の指示信号が信号処理部１４４へ出力されると、まず、信号処理部１４４は、光源ドライバー回路１４５に光源作動の信号を出力して光源１３５Ａを作動させる。光源１３５Ａが駆動されると、光源１３５Ａから単一波長で直線偏光の安定したレーザー光が射出される。また、光源１３５Ａには、温度センサーや光量センサーが内蔵されており、その情報が信号処理部１４４へ出力される。そして、信号処理部１４４は、光源１３５Ａから入力された温度や光量に基づいて、光源１３５Ａが安定動作していると判断すると、排出ドライバー回路１５０を制御して排出手段１３３を作動させる。これにより、検出すべき標的物質（ガス分子）を含んだ気体試料が、吸引口１２０Ａから、吸引流路１２０Ｂ、センサーチップ１１０内、排出流路１２０Ｃ、排出口１２０Ｄへと誘導される。なお、吸引口１２０Ａには、除塵フィルター１２０Ａ１が設けられ、比較的大きい粉塵や一部の水蒸気などが除去される。
【００９３】
また、センサーチップ１１０は、金属ナノ構造体が複数組み込まれ、局在表面プラズモン共鳴を利用したセンサーである。このようなセンサーチップ１１０では、レーザー光により金属ナノ構造体間で増強電場が形成され、この増強電場内にガス分子が入り込むと、分子振動の情報を含んだラマン散乱光、及びレイリー散乱光が発生する。
これらのレイリー散乱光やラマン散乱光は、光学部１３５を通ってフィルター１３６に入射し、フィルター１３６によりレイリー散乱光が分離され、ラマン散乱光が光学フィルターデバイス６００に入射する。そして、信号処理部１４４は、駆動制御部１５に対して制御信号を出力する。これにより、駆動制御部１５は、上記第一実施形態と同様にして波長可変干渉フィルター５の静電アクチュエーター５６を駆動させ、検出対象となるガス分子に対応したラマン散乱光を波長可変干渉フィルター５で分光させる。この後、分光した光が受光素子１３７で受光されると、受光量に応じた受光信号が受光回路１４７を介して信号処理部１４４に出力される。この場合、波長可変干渉フィルター５から目的とするラマン散乱光を精度よく取り出すことができる。
信号処理部１４４は、上記のようにして得られた検出対象となるガス分子に対応したラマン散乱光のスペクトルデータと、ＲＯＭに格納されているデータとを比較し、目的のガス分子か否かを判定し、物質の特定をする。また、信号処理部１４４は、表示部１４１にその結果情報を表示させたり、接続部１４２から外部へ出力したりする。
【００９４】
なお、上記図１４及び図１５において、ラマン散乱光を波長可変干渉フィルター５により分光して分光されたラマン散乱光からガス検出を行うガス検出装置１００を例示したが、ガス検出装置として、ガス固有の吸光度を検出することでガス種別を特定するガス検出装置として用いてもよい。この場合、センサー内部にガスを流入させ、入射光のうちガスにて吸収された光を検出するガスセンサーを本発明の光学モジュールとして用いる。そして、このようなガスセンサーによりセンサー内に流入されたガスを分析、判別するガス検出装置を本発明の電子機器とする。このような構成でも、波長可変干渉フィルターを用いてガスの成分を検出することができる。
【００９５】
また、特定物質の存在を検出するためのシステムとして、上記のようなガスの検出に限られず、近赤外線分光による糖類の非侵襲的測定装置や、食物や生体、鉱物等の情報の非侵襲的測定装置等の、物質成分分析装置を例示できる。
以下に、上記物質成分分析装置の一例として、食物分析装置を説明する。
【００９６】
図１６は、本発明の光学モジュールを利用した電子機器の一例である食物分析装置の概略構成を示す図である。
この食物分析装置２００は、図１６に示すように、検出器２１０（光学モジュール）と、制御部２２０と、表示部２３０と、を備えている。検出器２１０は、光を射出する光源２１１と、測定対象物からの光を分光する波長可変干渉フィルター５を含む光学フィルターデバイス６００（図２参照）と、分光された光を検出する撮像部２１２と、を備えている。
また、制御部２２０は、光源２１１の点灯・消灯制御、点灯時の明るさ制御を実施する光源制御部２２１と、波長可変干渉フィルター５を制御する駆動制御部１５と、撮像部２１２を制御し、撮像部２１２で撮像された分光画像を取得する検出制御部２２３と、信号処理部２２４と、記憶部２２５と、を備えている。
【００９７】
この食物分析装置２００は、システムを駆動させると、光源制御部２２１により光源２１１が制御されて、光源２１１から測定対象物に光が照射される。そして、測定対象物で反射された光は、光学フィルターデバイス６００の波長可変干渉フィルター５に入射する。波長可変干渉フィルター５は駆動制御部１５の制御により、上記第一実施形態に示すような駆動方法で駆動される。これにより、波長可変干渉フィルター５から精度よく目的波長の光を取り出すことができる。そして、取り出された光は、例えばＣＣＤカメラ等により構成される撮像部２１２で撮像される。また、撮像された光は分光画像として、記憶部２２５に蓄積される。また、信号処理部２２４は、駆動制御部１５を制御して波長可変干渉フィルター５に印加する電圧値を変化させ、各波長に対する分光画像を取得する。
【００９８】
そして、信号処理部２２４は、記憶部２２５に蓄積された各画像における各画素のデータを演算処理し、各画素におけるスペクトルを求める。また、記憶部２２５には、例えばスペクトルに対する食物の成分に関する情報が記憶されており、信号処理部２２４は、求めたスペクトルのデータを、記憶部２２５に記憶された食物に関する情報を基に分析し、検出対象に含まれる食物成分、及びその含有量を求める。また、得られた食物成分及び含有量から、食物カロリーや鮮度等をも算出することができる。さらに、画像内のスペクトル分布を分析することで、検査対象の食物の中で鮮度が低下している部分の抽出等をも実施することができ、さらには、食物内に含まれる異物等の検出をも実施することができる。
そして、信号処理部２２４は、上述のようにして得られた検査対象の食物の成分や含有量、カロリーや鮮度等の情報を表示部２３０に表示させる処理をする。
【００９９】
また、図１６において、食物分析装置２００の例を示すが、略同様の構成により、上述したようなその他の情報の非侵襲的測定装置としても利用することができる。例えば、血液等の体液成分の測定、分析等、生体成分を分析する生体分析装置として用いることができる。このような生体分析装置としては、例えば血液等の体液成分を測定する装置として、エチルアルコールを検知する装置とすれば、運転者の飲酒状態を検出する酒気帯び運転防止装置として用いることができる。また、このような生体分析装置を備えた電子内視鏡システムとしても用いることができる。
さらには、鉱物の成分分析を実施する鉱物分析装置としても用いることができる。
【０１００】
さらには、本発明の光学モジュール、電子機器としては、以下のような装置に適用することができる。
例えば、各波長の光の強度を経時的に変化させることで、各波長の光でデータを伝送させることも可能であり、この場合、光学モジュールに設けられた波長可変干渉フィルターにより特定波長の光を分光し、受光部で受光させることで、特定波長の光により伝送されるデータを抽出することができ、このようなデータ抽出用光学モジュールを備えた電子機器により、各波長の光のデータを処理することで、光通信を実施することもできる。
【０１０１】
また、電子機器としては、本発明の光学モジュールにより光を分光することで、分光画像を撮像する分光カメラ、分光分析機などにも適用できる。このような分光カメラの一例として、波長可変干渉フィルターを内蔵した赤外線カメラが挙げられる。
図１７は、分光カメラの概略構成を示す模式図である。分光カメラ３００は、図１７に示すように、カメラ本体３１０と、光学フィルターデバイス６００と、撮像部３２０と、を備えている。
カメラ本体３１０は、利用者により把持、操作される部分である。
光学フィルターデバイス６００は、カメラ本体３１０に設けられ、入射した画像光を撮像部３２０に導光する。
撮像部３２０は、受光素子により構成され、光学フィルターデバイス６００により導光された画像光を撮像する。
このような分光カメラ３００では、光学フィルターデバイス６００の波長可変干渉フィルター５（図２参照）により撮像対象となる波長の光を透過させることで、所望波長の光の分光画像を撮像することができる。
【０１０２】
さらには、本発明の光学モジュールをバンドパスフィルターとして用いてもよく、例えば、発光素子が射出する所定波長域の光のうち、所定の波長を中心とした狭帯域の光のみを波長可変干渉フィルターで分光して透過させる光学式レーザー装置としても用いることができる。
また、本発明の光学モジュールを生体認証装置として用いてもよく、例えば、近赤外領域や可視領域の光を用いた、血管や指紋、網膜、虹彩などの認証装置にも適用できる。
【０１０３】
さらには、光学モジュール及び電子機器を、濃度検出装置として用いることができる。この場合、波長可変干渉フィルターにより、物質から射出された赤外エネルギー（赤外光）を分光して分析し、サンプル中の被検体濃度を測定する。
【０１０４】
上記のように、本発明の光学モジュール、及び電子機器は、入射光から所定の光を分光するいかなる装置にも適用することができる。そして、本発明の光学モジュールは、上述のように、１デバイスで複数の波長を分光させることができるため、複数の波長のスペクトルの測定、複数の成分に対する検出を精度よく実施することができる。したがって、複数デバイスにより所望の波長を取り出す従来の装置に比べて、光学モジュールや電子機器の小型化を促進でき、例えば、携帯用や車載用の光学デバイスとして好適に用いることができる。
【０１０５】
その他、本発明の実施の際の具体的な構造は、本発明の目的を達成できる範囲で上記各実施形態及び変形例を適宜組み合わせることで構成してもよく、また他の構造等に適宜変更してもよい。
【符号の説明】
【０１０６】
１…分光測定装置（電子機器）、５…波長可変干渉フィルター（干渉フィルター）、５Ａ…第２の波長可変干渉フィルター（第２の干渉フィルター）、７…第１のラジアル型屈折率分布レンズ、８…第２のラジアル型屈折率分布レンズ、１０…光学モジュール、１１…撮像素子、２０…制御部（処理部）、３１…光源、３２…ファイバーコネクター（導光部材）、光ファイバー（導光部材）、５１…固定基板（基板）、５４…固定反射膜（第一反射膜）、５５…可動反射膜（第二反射膜）、１００…ガス検出装置、１３７…受光素子、１３８…制御部、２００…食物分析装置、２１０…検出器、２２０…制御部、３００…分光カメラ、３２０…撮像部、４００…測色装置、４２０…測色センサー、４３０…制御装置（処理部）、６００…光学フィルターデバイス、６１０…筐体（固定部）、６１１…光入射口（開口）、６１３…透光部材、６１４，６２１…光学接着剤。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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