(57)【要約】【課題】弁閉状態であるか否かを適切に検出することができるパイロットチェック弁を提供する。【解決手段】パイロットチェック弁１０は、流路ボディ１６と、パイロット圧の作用下に軸方向に動作する可動体８５と、可動体８５と一体的に弁閉位置と弁開位置との間を変位可能なリップ部６２を有するパッキン２０と、可動体８５の位置を検出する検出器２５とを備える。パッキン２０は、弁閉位置において、流路ボディ１６の第１ポート１２側から第２ポート１４側への作動流体の流れを許容するとともに、第２ポート１４側から第１ポート１２側への作動流体の流れを阻止し、弁開位置において、第１ポート１２と第２ポート１４とを連通させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１ポート及び第２ポートを有する流路ボディと、
少なくとも一部が前記流路ボディ内に摺動可能に配置され、パイロット圧の作用下に軸方向に動作する可動体と、
前記可動体に取り付けられ、前記可動体と一体的に弁閉位置と弁開位置との間を変位可能であり、径方向に弾性変形可能な傾斜したリップ部を有し、前記リップ部において前記流路ボディの内周面に摺接可能なパッキンと、
前記パッキンを前記弁閉位置に位置させる位置に前記可動体が位置するか否かを検出する検出器と、を備え、
前記パッキンは、前記弁閉位置において、前記第１ポート側から前記第２ポート側への作動流体の流れを許容するとともに、前記第２ポート側から前記第１ポート側への前記作動流体の流れを阻止し、前記弁開位置において、前記第１ポートと前記第２ポートとを連通させる、
ことを特徴とするパイロットチェック弁。
【請求項２】
請求項１記載のパイロットチェック弁において、
前記パッキンの前記リップ部は、前記弁開位置から前記弁閉位置へ向かって移動する際、前記弁閉位置と前記弁開位置との間に位置するシール開始位置で前記流路ボディの前記内周面との接触を開始する、
ことを特徴とするパイロットチェック弁。
【請求項３】
請求項２記載のパイロットチェック弁において、
前記検出器は、前記パッキンが前記弁開位置から前記弁閉位置へ向かって移動する際、前記パッキンが前記シール開始位置を越えてから信号を出力する、
ことを特徴とするパイロットチェック弁。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のパイロットチェック弁において、
前記流路ボディの前記内周面は、前記パッキンが前記弁閉位置に位置するときに前記リップ部に押圧接触するシール領域と、前記パッキンが前記弁開位置に位置するときに前記リップ部から離間する非シール領域とを有し、
前記非シール領域は、前記シール領域よりも内径が大きい、
ことを特徴とするパイロットチェック弁。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のパイロットチェック弁において、
前記パッキンを囲み、前記リップ部の径方向外方への所定以上の変形を防止するパッキン支持部材を備える、
ことを特徴とするパイロットチェック弁。
【請求項６】
請求項５記載のパイロットチェック弁において、
前記パッキン支持部材には、前記第１ポート側から前記リップ部への前記作動流体の流れを許容する通路が設けられる、
ことを特徴とするパイロットチェック弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、作動流体の流れの制御においてパイロット圧を利用するパイロットチェック弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、流体圧シリンダを駆動する流体圧回路において、作動流体の流れを適切に制御するためにパイロットチェック弁を設けることは公知である（例えば、下記特許文献１を参照）。例えば、流体圧シリンダが昇降用のシリンダとして用いられる流体圧回路では、シリンダのヘッド側圧力室とロッド側圧力室とが切換弁を介して圧力供給源に接続され、ロッド側圧力室と切換弁との間の流路にパイロットチェック弁が配置される。
【０００３】
パイロットチェック弁は、バネによって弁座側に弾性的に付勢されたポペット弁体と、ポペット弁体に対向して軸方向に摺動可能に配置され、パイロット圧印加時にポペット弁体を押圧するパイロットピストンとを備える。パイロットチェック弁には、シリンダのヘッド側圧力室への供給圧の印加に伴って、パイロット圧が印加されるようになっている。
【０００４】
このように構成される流体圧回路において、圧力供給源から切換弁を介してパイロットチェック弁へと作動流体を供給すると、作動流体に基づく圧力作用下にポペット弁体がバネの弾発力に抗して弁座から離間し、これにより作動流体はシリンダのロッド側圧力室へと流入し、シリンダのピストンを押し上げる。そして、ピストンが上昇端に到達すると、ポペット弁体の前後の圧力差がなくなるため、ポペット弁体はバネの弾発力の作用下に弁座に着座する。これにより、圧力供給源からの供給圧を停止しても、ポペット弁体は閉じたままであるため、シリンダの落下を防止することができる。
【０００５】
一方、圧力供給源から切換弁を介してシリンダのヘッド側圧力室へと作動流体を供給すると、パイロット圧によって進出動作するパイロットピストンがポペット弁体を押すことにより、ポペット弁体が弁座から離間する。これにより、シリンダのロッド側圧力室の流体は、パイロットチェック弁を介して切換弁から排出され、これに伴ってシリンダが下降動作する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】実開平３−２５０８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、従来のパイロットチェック弁が適用された流体圧回路において、シリンダの落下を防止するためには、弁が閉じた状態になってから供給圧を解除する必要がある。しかしながら、従来のパイロットチェック弁では、弁が閉じたことを検出する機能が設けられていなかった。また、ポペット弁体とパイロットピストンとは分離した構成であり、パイロットピストンの位置とポペット弁体の状態とが常に対応するとは限らないため、仮にパイロットピストンの位置を検出しても、ポペット弁体が着座しているか否かを検出することにはならない。このため、従来のパイロットチェック弁では、弁閉状態であるか否かを適切に検出することができなかった。
【０００８】
本発明はこのような課題を考慮してなされたものであり、弁閉状態であるか否かを適切に検出することができるパイロットチェック弁を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するため、本発明は、第１ポート及び第２ポートを有する流路ボディと、少なくとも一部が前記流路ボディ内に摺動可能に配置され、パイロット圧の作用下に軸方向に動作する可動体と、前記可動体に取り付けられ、前記可動体と一体的に弁閉位置と弁開位置との間を変位可能であり、径方向に弾性変形可能な傾斜したリップ部を有し、前記リップ部において前記流路ボディの内周面に摺接可能なパッキンと、前記パッキンを前記弁閉位置に位置させる位置に前記可動体が位置するか否かを検出する検出器と、を備え、前記パッキンは、前記弁閉位置において、前記第１ポート側から前記第２ポート側への作動流体の流れを許容するとともに、前記第２ポート側から前記第１ポート側への前記作動流体の流れを阻止し、前記弁開位置において、前記第１ポートと前記第２ポートとを連通させる、ことを特徴とする。
【００１０】
上記のように構成されたパイロットチェック弁によれば、可動体とパッキンとは一体的に軸方向に変位するため、可動体の位置を検出することで、弁閉状態かどうか（パッキンが弁閉位置に位置しているかどうか）を適切に検出することができる。また、パッキンは、弁閉位置にあるとき、第１ポート側から第２ポート側への作動流体の流れを許容する一方、第２ポート側から第１ポート側への作動流体の流れを阻止するので、パイロット圧が解除されている状態でも、チェック弁機能を有効に発揮することができる。
【００１１】
上記のパイロットチェック弁において、前記パッキンの前記リップ部は、前記弁開位置から前記弁閉位置へ向かって移動する際、前記弁閉位置と前記弁開位置との間に位置するシール開始位置で前記流路ボディの前記内周面との接触を開始することが好ましい。この場合、前記検出器は、前記パッキンが前記弁開位置から前記弁閉位置へ向かって移動する際、前記パッキンが前記シール開始位置を越えてから信号を出力することが好ましい。
【００１２】
この構成により、パッキンのリップ部は、弁開位置から弁閉位置へ向かって移動する際、軸方向の所定範囲にわたって流路ボディの内周面に摺接する。このように、リップ部と内周面との接触によるシール機構は、軸方向のオーバーラップ領域を有しており、このオーバーラップ領域によって検出器の検出誤差やヒステリシスの影響を排除できるので、完全に弁が閉じていない状態で検出器が信号を出力することを防止することができる。すなわち、検出器が信号を出力したときには、必ず弁が完全に閉じている状態にあるため、位置検出機能の信頼性を高めることができる。
【００１３】
上記のパイロットチェック弁において、前記流路ボディの前記内周面は、前記パッキンが前記弁閉位置に位置するときに前記リップ部に押圧接触するシール領域と、前記パッキンが前記弁開位置に位置するときに前記リップ部から離間する非シール領域とを有し、前記非シール領域は、前記シール領域よりも内径が大きいことが好ましい。
【００１４】
この構成により、流路ボディ内でのパッキンの軸方向位置によって、第１ポートと第２ポートとの連通状態と非連通状態を簡便且つ確実に切り換えることができる。
【００１５】
上記のパイロットチェック弁において、前記パッキンを囲み、前記リップ部の径方向外方への所定以上の変形を防止するパッキン支持部材を備えることが好ましい。
【００１６】
この構成により、リップ部の過剰変形を防止し、パッキンの耐久性を向上させることができる。
【００１７】
上記のパイロットチェック弁において、前記パッキン支持部材には、前記第１ポート側から前記リップ部への前記作動流体の流れを許容する通路が設けられることが好ましい。
【００１８】
この構成により、パッキンのチェック弁機能を阻害することなくリップ部を保護する機能を好適に発揮することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のパイロットチェック弁によれば、弁閉状態であるか否かを適切に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施形態に係るパイロットチェック弁の弁閉状態の断面図である。
【図２】図１に示すパイロットチェック弁の中間状態の断面図である。
【図３】図１に示すパイロットチェック弁の弁開状態の断面図である。
【図４】パッキン支持部材の斜視図である。
【図５】図１に示すパイロットチェック弁を適用した流体圧回路の一例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明に係るパイロットチェック弁について好適な実施形態を挙げ、添付の図面を参照しながら説明する。
【００２２】
図１は、本発明の一実施形態に係るパイロットチェック弁１０の弁閉状態の断面図であり、図３は、このパイロットチェック弁１０の弁開状態の断面図である。このパイロットチェック弁１０は、第１ポート１２及び第２ポート１４を有する流路ボディ１６と、流路ボディ１６内に軸方向（矢印Ｘ方向）に摺動可能に配置された作動ロッド１８と、作動ロッド１８に取り付けられたパッキン２０と、作動ロッド１８に取り付けられたパッキン支持部材２２と、流路ボディ１６に連結されたパイロット機構部２４と、パイロット機構部２４に設けられた検出器２５とを備える。
【００２３】
流路ボディ１６は、作動流体（例えば、空気）の流路を形成する部材である。本実施形態において流路ボディ１６は、第１ポート１２を有する中空状の第１ボディ２６と、第２ポート１４を有する中空状の第２ボディ２８とを備える。第１ボディ２６は、第１ポート１２とは反対側に、第２ボディ２８が挿入される挿入部３０を有し、挿入部３０において第２ボディ２８を囲む。挿入部３０と第２ボディ２８との間には、第１ポート１２と連通する環状空間３２が形成される。
【００２４】
第２ボディ２８は、パイロット機構部２４と結合する結合部３４と、結合部３４からパイロット機構部２４とは反対方向に突出した中空円筒状のスリーブ部３６とを有する。結合部３４は、例えば、横断面が六角形状のナットの形態とすることができる。スリーブ部３６は、上述した第１ボディ２６の挿入部３０に挿入される部分である。
【００２５】
スリーブ部３６の外周部には、軸方向に間隔を置いて環状のシール部材３８、４０（例えば、Ｏリング）が配置される。一方のシール部材３８は、スリーブ部３６と挿入部３０との間に配置される。挿入部３０とスリーブ部３６との間には中空円筒状のスペーサ部材４２が配置され、他方のシール部材４０は、スリーブ部３６とスペーサ部材４２との間に配置される。また、スペーサ部材４２と挿入部３０との間には、さらに別のシール部材４４が配置される。
【００２６】
スリーブ部３６において、シール部材３８とシール部材４０との間には、１以上（図示例では２つ）の側孔４６が設けられる。第１ボディ２６の中空部と第２ボディ２８の中空部とは、側孔４６を介して連通する。また、スリーブ部３６において、側孔４６よりも第２ポート１４側、すなわち側孔４６と第２ポート１４との間の内周面には、拡径部４８が設けられる。拡径部４８は、スリーブ部３６における側孔４６と拡径部４８との間の部分（以下、「縮径部５０」という）の内径よりも大きい。縮径部５０は軸方向に沿って内径が一定である。
【００２７】
作動ロッド１８は、第２ボディ２８のスリーブ部３６内で軸方向（Ｘ方向）に摺動可能に配置される。具体的には、作動ロッド１８の軸方向の中間部には、径方向外方に突出した環状突出部５２が設けられ、当該環状突出部５２に設けられたシール装着溝５４にシール部材５６が装着される。当該シール部材５６により、第２ボディ２８内からパイロット機構部２４側への流体の漏出が防止される。
【００２８】
作動ロッド１８の先端側（パイロット機構部２４とは反対側；Ｘ１方向側）の端部には、パッキン２０と、パッキン支持部材２２とが取り付けられる。具体的には、作動ロッド１８の先端部にブッシュ５８が固定（図示例では、螺合）されることにより、パッキン２０とパッキン支持部材２２とが作動ロッド１８の先端部に固定されている。従って、作動ロッド１８が軸方向に移動する際、パッキン２０及びパッキン支持部材２２も作動ロッド１８と一体的に軸方向に移動する。
【００２９】
パッキン２０は、ゴム等（例えば、ブチルゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、シリコーンゴム等）の弾性体からなり、全体として中空円筒状であり、具体的には、軸方向に平行な筒状基部６０と、この筒状基部６０の外周部から傾斜して突出し且つ径方向に弾性変形可能な環状のリップ部６２とを有する。
【００３０】
パッキン２０は、図１に示す弁閉位置において、第１ポート１２側から第２ポート１４側への作動流体の流れを許容する一方、第２ポート１４側から第１ポート１２側への作動流体の流れを阻止する。また、パッキン２０は、図３に示す弁開位置において、第１ポート１２と第２ポート１４とを連通させる。
【００３１】
リップ部６２は、作動ロッド１８の先端方向（Ｘ１方向）に向かって傾斜している。リップ部６２は、筒状基部６０の外周部において周方向に一周延在する。リップ部６２の先端部内面は筒状基部６０の外周面に対向して離間している。リップ部６２と筒状基部６０との間には、Ｘ２方向側に凹む環状溝６３が形成される。自然状態のリップ部６２の外径は、スリーブ部３６の縮径部５０の内径よりも大きく、且つ拡径部４８の内径よりも小さい。
【００３２】
図１に示すように、パッキン２０は縮径部５０内に位置しているとき、リップ部６２は径方向内方に若干だけ弾性圧縮変形した状態（自然状態よりも若干縮径した状態）でスリーブ部３６の内周面に全周にわたって接触する。このように、縮径部５０は、パッキン２０が弁閉位置に位置するときにリップ部６２に押圧接触するシール領域を形成する。
【００３３】
一方、図３に示すように、パッキン２０が拡径部４８内に位置しているとき、リップ部６２はスリーブ部３６の内周面から離間するため、パッキン２０によるシール機能は営まれない。このように、拡径部４８は、パッキン２０が弁開位置に位置するときにリップ部６２から離間する非シール領域を形成する。
【００３４】
パッキン支持部材２２は、パッキン２０を囲み、リップ部６２の径方向外方への所定以上の変形を防止する部材である。パッキン支持部材２２は、パッキン２０よりも高い剛性をもつように、例えば、硬質樹脂、金属等により構成される。パッキン支持部材２２の外径は、スリーブ部３６の内周面の内径（具体的には、縮径部５０の内径）と略同じか、僅かに小さい。
【００３５】
図４に示すように、パッキン支持部材２２は、孔部６４が形成された基部６６と、基部６６の外周部から基部６６の厚さ方向（図１等でＸ１方向）に突出した複数の支持片６８とを有する。複数の支持片６８は、周方向に間隔を置いて配置されており、隣接する支持片６８の間に、軸方向の通路７０が形成される。各支持片６８の突出端側（先端側）の内面には、突出端側に向かって拡径するテーパ部７２が形成される。
【００３６】
図１等に示すように、パッキン２０は、パッキン支持部材２２の複数の支持片６８の内側に配置されるとともに、ブッシュ５８のフランジ５８ａと、作動ロッド１８に設けられた係止用凸部８４との間に保持される。パッキン支持部材２２の複数の支持片６８は、リップ部６２の先端部よりも作動ロッド１８の基端部側（Ｘ２方向側）に位置するとともに、リップ部６２を外側から支持する。また、パッキン支持部材２２は、パッキン２０と係止用凸部８４との間に保持されるとともに、ブッシュ５８の端面と係止用凸部８４との間に保持される。
【００３７】
パイロット機構部２４は、摺動孔７４が形成されたシリンダボディ７６と、摺動孔７４内で軸方向に摺動可能であり外周部にピストン用パッキン７７が装着されたピストン７８と、ピストン７８が連結された駆動ロッド８０と、位置検出用のマグネット８２とを有する。この駆動ロッド８０の流路ボディ１６側の端部に作動ロッド１８が例えば螺合により連結される。ピストン７８、マグネット８２、駆動ロッド８０及び作動ロッド１８は、一体的に軸方向に変位可能である。駆動ロッド８０と作動ロッド１８とにより可動体８５が構成される。
【００３８】
摺動孔７４内は、ピストン７８によって、ピストン７８側の第１圧力室９２ａと駆動ロッド８０側の第２圧力室９２ｂとに仕切られている。シリンダボディ７６には、第１圧力室９２ａと連通するパイロットポート８６と、第２圧力室９２ｂと大気側とを連通する大気ポート８８とが設けられる。大気ポート８８には、例えば、通気性を有するフィルタ９０が配置されるとよい。
【００３９】
マグネット８２は、駆動ロッド８０及びピストン７８が軸方向に変位する際、これらと一体的に軸方向に変位する。具体的には、駆動ロッド８０には、ピストン７８に隣接する位置にマグネットホルダ９５が固定されており、このマグネットホルダ９５とピストン７８との間にマグネット８２が保持される。なお、マグネット８２はピストン７８に装着されてもよい。
【００４０】
ピストン７８は、シリンダボディ７６内に配置された弾性付勢手段としてのスプリング９４により、流路ボディ１６とは反対側に付勢される。図示例では、スプリング９４の一端（Ｘ１側の端部）は、シリンダボディ７６の流路ボディ１６側の端部に結合されたロッド側カバー９６に当接し、スプリング９４の他端（Ｘ２側の端部）は、マグネットホルダ９５に設けられた外方凸部９７に当接する。
【００４１】
上記のように構成されたパイロット機構部２４において、パイロットポート８６を介して第１圧力室９２ａにパイロット圧が印加されると、ピストン７８は、当該パイロット圧の作用下にスプリング９４の弾発力に抗してＸ１方向へと移動させられ、図３に示す位置で停止する。その際、第２圧力室９２ｂ内の流体は、大気ポート８８を介して大気側へと排出される。一方、パイロット圧が解除されると、ピストン７８は、スプリング９４の弾発力の作用下にＸ２方向へと移動させられ、図１に示す位置に復帰する。
【００４２】
検出器２５は、パッキン２０を弁閉位置に位置させる位置に可動体８５が位置しているか否かを検出するものであり、例えば、シリンダボディ７６の側部に設けられた取付溝１００に取り付けられる。本実施形態において、検出器２５は、パッキン２０が図１に示す弁閉位置（全閉位置）に到達することに伴ってマグネット８２が所定位置に到達したときに、マグネット８２の磁場を検知して信号を出力する。すなわち、検出器２５は、パイロットチェック弁１０が弁閉状態のときにオンとなり、弁閉状態以外のときにオフとなるスイッチとして構成されている。
【００４３】
パッキン２０のリップ部６２は、弁開位置（図３）から弁閉位置（図１）へ向かって移動する際、図２に示すように、弁閉位置と弁開位置との間の位置で流路ボディ１６の内周面との接触（シール）を開始する。以下、図２に示すパッキン２０の位置を「シール開始位置」という。この構成では、リップ部６２は、弁開位置から弁閉位置へ向かって移動する際、軸方向の所定範囲（シール開始位置から弁閉位置までの範囲）にわたって流路ボディ１６の内周面に摺接する。このように、リップ部６２と内周面との接触によるシール機構は、軸方向のオーバーラップ領域を有する。
【００４４】
パッキン２０が弁開位置から弁閉位置へ向かって移動する際、検出器２５は、パッキン２０がシール開始位置を越えてから、マグネット８２の磁場を検出して、信号を出力する。すなわち、パッキン２０が弁開位置から弁閉位置へ向かって移動する際、パッキン２０がシール開始位置に到達しただけでは検出器２５はマグネット８２の磁場を検出せず、信号を出力しない。従って、このパイロットチェック弁１０では、検出器２５が信号を出力しているときは、弁が完全に閉じた状態になっている（パッキン２０が弁閉位置にある）という構造が構築されている。
【００４５】
上記のように構成されるパイロットチェック弁１０は、例えば、図５に示すような流体圧回路１０２に適用すると、シリンダ１０４の落下を防止することができる。
【００４６】
この流体圧回路１０２は、重量物Ｗを昇降させるシリンダ１０４と、シリンダ１０４のヘッド室１０５とロッド室１０６にそれぞれ接続された第１及び第２給排流路１０８、１１０と、第１給排流路１０８上に設けられた第１スピードコントローラ１１２と、第２給排流路１１０上に設けられた第２スピードコントローラ１１４と、第１給排流路１０８上に設けられたパイロットチェック弁１０とを備える。
【００４７】
流体圧回路１０２は、さらに、第１及び第２給排流路１０８、１１０に接続された電磁切換弁１１６と、電磁切換弁１１６に接続された圧力供給源１１８と、第２給排流路１１０から分岐してパイロットチェック弁１０のパイロットポート８６に接続されたパイロット流路１２０とを備える。この場合、パイロットチェック弁１０の第１ポート１２は電磁切換弁１１６側に接続され、第２ポート１４はシリンダ１０４のロッド室１０６側に接続される。
【００４８】
このように構成される流体圧回路１０２において、図５に示すように第１給排流路１０８と圧力供給源１１８とを連通するように電磁切換弁１１６を作動させると、圧力供給源１１８からの作動流体はパイロットチェック弁１０の第１ポート１２を介して流路ボディ１６内に流入する。この場合、パイロットチェック弁１０にはパイロット圧が印加されていないため、図１のように、スプリング９４の弾発力の作用下に、パッキン２０は弁閉位置に位置している。
【００４９】
一方、作動流体は、第２ボディ２８のスリーブ部３６に設けられた側孔４６を介して第２ボディ２８内へと流入するとともに、パッキン２０を径方向内方に撓ませて、パッキン２０を通過する。すなわち、作動流体の作用下にリップ部６２を径方向内方に押圧することにより、リップ部６２がスリーブ部３６の内周面（縮径部５０）から離間して隙間が形成され、当該隙間を介して作動流体が第２ポート１４側へと流れる。この場合、パッキン支持部材２２の外周部には、軸方向の通路７０（図４参照）が形成されているため、第１ポート１２側から第２ポート１４側への作動流体の流れが阻害されることがない。
【００５０】
そして、図５において、第２ポート１４から出た作動流体は、シリンダ１０４のロッド室１０６へと流入し、シリンダ１０４のヘッド室１０５の流体は第２給排流路１１０及び電磁切換弁１１６を介して大気側へと排出され、これに伴ってシリンダ１０４は上昇動作する。シリンダ１０４が上昇端に到達すると、パッキン２０の前後差圧（第１ポート１２側と第２ポート１４側との差圧）がなくなるため、リップ部６２はスリーブ部３６の内周面に再び接触し密着する。この状態では、弁閉位置に位置するパッキン２０により、第２ポート１４側から第１ポート１２側への作動流体の流れが阻止されるため、シリンダ１０４の位置は保持される。従って、シリンダ１０４の落下を防止することができる。
【００５１】
一方、第２給排流路１１０と圧力供給源１１８とを連通するように電磁切換弁１１６を作動させると、圧力供給源１１８からの作動流体は、第２給排流路１１０を介してシリンダ１０４のヘッド室１０５に供給されるとともに、パイロット流路１２０を介して、パイロットチェック弁１０の第１圧力室９２ａに導入される。これにより、ピストン７８がパイロット圧に基づく作用力を受けて、ピストン７８に連結された駆動ロッド８０と、この駆動ロッド８０に連結された作動ロッド１８を軸方向（Ｘ１方向）に移動させる。
【００５２】
この作動ロッド１８の移動に伴って、図３に示すようにパッキン２０は弁開位置に移動させられ、第１ポート１２と第２ポート１４とが連通するに至る。従って、第２ポート１４から第１ポート１２への流れが許容された状態となるため、シリンダ１０４のロッド室１０６の流体が第１給排流路１０８及び電磁切換弁１１６を介して大気側に排出され、これに伴ってシリンダ１０４は下降動作する。この場合、第２ポート１４側から第１ポート１２側へ流れる流体の動圧がパッキン２０のリップ部６２に作用するが、リップ部６２はパッキン支持部材２２の支持片６８によって外側から支持されているため、リップ部６２に過剰変形（反り返り）が生じることが防止される。
【００５３】
以上説明したように、本実施形態に係るパイロットチェック弁１０によれば、弁閉状態となっているかどうか（パッキン２０が弁閉位置に位置しているかどうか）を検出器２５が信号を出力しているか否かにより検出することができる。すなわち、弁閉状態になっているときは、検出器２５がマグネット８２の磁場に反応してオンとなり信号を出力する。従って、流体圧回路１０２では、シリンダ１０４が上昇端に到達した後、検出器２５から信号が出力されている状態で、第１ポート１２への供給圧を解除することにより、シリンダ１０４の落下を防止することができる。
【００５４】
また、パッキン２０は、弁閉位置にあるとき、第１ポート１２側から第２ポート１４側への作動流体の流れを許容する一方、第２ポート１４側から第１ポート１２側への作動流体の流れを阻止するので、パイロットチェック弁１０に対してパイロット圧が印加されていない状態でも、チェック弁機能を有効に発揮することができる。
【００５５】
本実施形態の場合、パッキン２０のリップ部６２は、パッキン２０が弁開位置から弁閉位置へ向かって移動する際、弁閉位置と弁開位置との間の位置（シール開始位置）で流路ボディ１６の内周面との接触を開始する。この構成により、パッキン２０のリップ部６２は、弁開位置から弁閉位置へ向かって移動する際、軸方向の所定範囲にわたって流路ボディ１６の内周面に摺接する。
【００５６】
このように、リップ部６２と内周面との接触によるシール機構は、軸方向のオーバーラップ領域を有しており、このオーバーラップ領域によって検出器２５の検出誤差やヒステリシスの影響を排除できるので、完全に弁が閉じていない状態で検出器２５が信号を出力することを防止することができる。すなわち、検出器２５が信号を出力しているときは、必ず弁が完全に閉じている状態であることが保障されるため、位置検出機能の信頼性を高めることができる。
【００５７】
また、本実施形態に係るパイロットチェック弁１０の場合、パッキン２０を囲み、リップ部６２の径方向外方への所定以上の変形を防止するパッキン支持部材２２を備えるので、第２ポート１４側から第１ポート１２側へ流体が流れる際のリップ部６２の過剰変形を防止し、パッキン２０の耐久性を向上させることができる。
【００５８】
しかも、パッキン支持部材２２には、第１ポート１２側からリップ部６２への作動流体の流れを許容する通路７０が設けられるので、パッキン２０のチェック弁機能を阻害することなくリップ部６２を保護する機能を好適に発揮することができる。
【００５９】
なお、本発明の適用範囲は、図５に示したような流体圧回路１０２に限られない。例えば、シリンダのヘッド室側とロッド室側とに個別にパイロットチェック弁１０が接続され、非常停止時には２つのパイロットチェック弁１０のチェック弁機能によりシリンダの位置を固定保持する（すなわちシリンダの動作を拘束する）ように構成された流体圧回路に適用されてもよい。
【００６０】
上記において、本発明について好適な実施形態を挙げて説明したが、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々の改変が可能なことは言うまでもない。
【符号の説明】
【００６１】
１０…パイロットチェック弁            １２…第１ポート
１４…第２ポート                      １６…流路ボディ
１８…作動ロッド                      ２０…パッキン
２２…パッキン支持部材                ２４…パイロット機構部
２５…検出器                          ２６…第１ボディ
２８…第２ボディ                      ６２…リップ部
７０…通路                            ７６…シリンダボディ
７８…ピストン                        ８０…駆動ロッド
８５…可動体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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