(57)【要約】      （修正有）【課題】ボディと弁座部との突き合わせ部分をボディの外側と内側の両方から溶接できるようにして、腐食を防止できる真空弁を提供すること。【解決手段】第１及び第２ポート１１，１３が弁体収容室１２を介して連通し、筒状の弁孔形成部が弁体収容室１２内に突出するように第１ポート１１と同軸上に設けられ、弁孔形成部に弁座１５が設けられた弁ハウジング１０と、弁座１５に当接又は離間する弁体３と、弁体３に駆動力を付与するアクチュエータ部２を備え、弁ハウジング１０が、筒状のボディ１６と、ボディ１６の一端開口部を塞ぐ状態でボディ１６に溶接される弁座部１７を有する真空弁１において、第１ポート１１を形成され、ボディ１６に溶接されるポート形成部材２１と、筒状に形成されて弁孔形成部と弁座１５を構成する筒部材２２をシール部材３０を介して着脱可能に連結することにより、弁座部１７を構成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１ポートと第２ポートが直交するように設けられて弁体収容室を介して連通しており、筒状の弁孔形成部が前記弁体収容室内に突出するように前記第１ポートに対して同軸上に設けられ、前記弁孔形成部の端面に弁座が設けられた弁ハウジングと、前記弁座に当接又は離間する弁体と、前記弁体に駆動力を付与するアクチュエータ部を備え、
前記弁ハウジングが、両端部に開口部を有する筒状のボディと、前記第１ポート及び前記弁孔形成部を備え、前記ボディの一端開口部を塞ぐ状態で前記ボディに溶接される弁座部を有する真空弁において、
前記弁座部は、前記第１ポートを形成され、前記ボディに溶接されるポート形成部材と、筒状に形成されて前記弁孔形成部と前記弁座を構成する筒部材を、着脱可能に連結したものであること、
環状に形成され、前記筒部材と前記ポート形成部材との間に配置されてシールを行うシール部材を有すること、
を特徴とする真空弁。
【請求項２】
請求項１に記載する真空弁において、
前記弁体が、弁座側に位置する端面に、環状に設けられた弾性シール部材を弾性変形可能に装着されていること、
前記筒部材は、前記弁座が形成される端面と反対側の端面に係合突部が突設されていること、
前記ポート形成部材は、前記係合突部に嵌合して、前記弾性シール部材が前記弁座に当接するように前記筒部材を位置決めする位置決め嵌合部を有すること
を特徴とする真空弁。
【請求項３】
請求項２に記載する真空弁において、
前記筒部材の内径寸法が、前記第１ポートの内径寸法と同一であること
を特徴とする真空弁。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３の何れか一つに記載する真空弁において、
前記筒部材と前記ポート形成部材との間に、前記第１ポートの内周面から外径方向に凹むように凹部が設けられていること
を特徴とする真空弁。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４の何れか一つに記載する真空弁において、
前記シール部材を装着する装着溝を前記筒部材又は前記ポート形成部材に設けていること、
前記装着溝を前記弁体収納室と前記第１ポートに連通させる連通溝を前記筒部材又は前記ポート形成部材に設けていること
を特徴とする真空弁。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５の何れか一つに記載する真空弁において、
前記弁座は、前記弁孔形成部と同心円状に形成された加工線を有すること
を特徴とする真空弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１ポートと第２ポートがＬ字形に設けられ、弁座が第１ポートと同軸上に設けられた弁ハウジングが、第１ポートと弁座を備える弁座部と、第２ポートを備えるボディを溶接することにより構成された真空弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
図８は、第１従来例の真空弁１０１の要部拡大断面図である。真空弁１０１は、例えば、半導体製造装置の真空容器と真空ポンプの間に配置されて、真空容器から真空ポンプへの排気速度を制御する。
【０００３】
真空弁１０１は、第１ポート１０２と第２ポート１０４が直交するように設けられて弁体収容室１０３を介して連通する弁ハウジング１０５を有する。弁ハウジング１０５は、第１ポート１０２が弁体収容室１０３に開口する部分の周りに、弁体１１０が当接又は離間する弁座面１０６が設けられている。弁ハウジング１０５は、両端部が開口し、肉厚の薄いボディ１０７と、第１ポート１０２及び弁座面１０６が設けられ、肉厚の厚い弁座部１０８を有し、弁座部１０８がボディ１０７の一端開口部を塞ぐ状態でボディ１０７に溶接されている。
【０００４】
流体は、流れやすい場所を流れる性質を有する。そのため、真空弁１０１では、図８の矢印Ｆ２に示すように、流体が第１ポート１０２と第２ポート１０４の間を最短距離で流れる。しかし、真空弁１０１は、弁座面１０６が第２ポート１０４より低い位置にあるため、弁体１１０のストロークＳｔに対して、第２ポート１０４の内壁１０４ａと弁体１１０の弁座側に位置する端面１１０ａとの間の間隔Ｓが小さく、コンダクタンスが小さかった。
【０００５】
図９は、第２従来例の真空弁２０１の要部拡大断面図である。そこで、真空弁２０１の弁ハウジング２０５は、弁座部２０８が、第１ポート１０２と同軸上に筒状の弁孔形成部２０９を突設され、弁孔形成部２０９の端面に弁座面２１０を設けてられいる。これにより、弁座面２１０が第２ポート１０４付近に配置されるので、真空弁２０１は、第１ポート１０２と第２ポート１０４の間を流れる流体を弁体１１０のストロークＳｔに応じた流量に制御でき、コンダクタンスを向上させることができる（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平８−２８５１３２号公報
【特許文献２】特開平９−８９１２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の真空弁２０１は、ボディ１０７と弁座部２０８を溶接する場合、図９に示すように、弁孔形成部２０９が弁体収容室１０３に突出しているため、弁孔形成部２０９の外周面２０９ａとボディ１０７の内周面１０７ａとの間の隙間Ｘ２が狭かった。そのため、真空弁２０１は、図１０に示すように、ボディ１０７と弁座部２０８を突き合わせた部分Ｙ２を、ボディ１０７の外側からしか溶接できなかった。
【０００８】
近年、バッチ処理のサイクルタイムを短くして半導体を量産するために、真空弁２０１には、真空容器の排気を数秒で完了させる性能が求められるようになった。この場合、真空弁２０１は、第１及び第２ポート１０２，１０４の口径を大きくして排気流量を増加させることになるが、それに伴って、耐圧性を確保するようにボディ１０７の肉厚が数ｍｍ以上になることがあった。ボディ１０７の肉厚が数ｍｍ以上と厚くなると、図１０に示すように、ボディ１０７の外側からの溶接だけでは、ボディ１０７と弁座部２０８の突き合わせ部分Ｙ２をボディ１０７の内周面１０７ａまで十分に接合させることができなかった（図中斜線部Ｄ３参照）。真空弁２０１は、組立前に、洗浄液で部品を洗浄したり、部品を処理液に浸して表面処理を行う。その工程において、真空弁２０１は、弁体収容室１０３を流れる洗浄液や処理液が突き合わせ部分Ｙ２に入り込み、腐食を発生させる恐れがある。一方、ボディ１０７の外側のみから、突き合わせ部分Ｙ２全体を溶接しようとすると、ボディ１０７や弁座部２０８に歪みが生じ、最悪の場合には、弁座面２１０が弁体１１０に対して傾いた状態となり、流体制御性能を低下させる恐れがある。
【０００９】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、ボディと弁座部との突き合わせ部分をボディの外側と内側の両方から溶接できるようにして、腐食を防止できる真空弁を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一態様は、次のような構成を有している。
（１）第１ポートと第２ポートが直交するように設けられて弁体収容室を介して連通しており、筒状の弁孔形成部が前記弁体収容室内に突出するように前記第１ポートに対して同軸上に設けられ、前記弁孔形成部の端面に弁座が設けられた弁ハウジングと、前記弁座に当接又は離間する弁体と、前記弁体に駆動力を付与するアクチュエータ部を備え、前記弁ハウジングが、両端部に開口部を有する筒状のボディと、前記第１ポート及び前記弁孔形成部を備え、前記ボディの一端開口部を塞ぐ状態で前記ボディに溶接される弁座部を有する真空弁において、前記弁座部は、前記第１ポートを形成され、前記ボディに溶接されるポート形成部材と、筒状に形成されて前記弁孔形成部と前記弁座を構成する筒部材を、着脱可能に連結したものであること、環状に形成され、前記筒部材と前記ポート形成部材との間に配置されてシールを行うシール部材を有すること、を特徴とする。
【００１１】
上記構成では、筒部材を取り外した状態でポート形成部材をボディに突き合わせ、突き合わせ部分を溶接する。このとき、弁孔形成部がボディ内に突出しないため、ボディとポート形成部材との突き合わせ部分を、ボディの外側と内側から溶接することができる。溶接が完了したら、シール部材を介して筒部材をポート形成部材に連結する。これにより、弁座が、第２ポートの近傍に設けられ、コンダクタンスが大きくなる。このようにして製造された弁ハウジングは、ボディとポート形成部材（弁座部）の突き合わせ部分がボディの内側からも溶接されているので、弁ハウジングの洗浄や表面処理を行う際に弁体収容室を流れる洗浄液や処理液が突き合わせ部分に入り込まず、腐食を発生させない。また、筒部材とポート形成部材との間にシール部材を配置しているので、流体は第１ポートと第２ポートの間を流れる際に弁座だけを通過する。
【００１２】
（２）（１）に記載の構成において、好ましくは、前記弁体が、弁座側に位置する端面に、環状に設けられた弾性シール部材を弾性変形可能に装着されていること、前記筒部材は、前記弁座が形成される端面と反対側の端面に係合突部が突設されていること、前記ポート形成部材は、前記係合突部に嵌合して、前記弾性シール部材が前記弁座に当接するように前記筒部材を位置決めする位置決め嵌合部を有することを特徴とする。
【００１３】
上記構成では、筒部材の弁座が形成される端面と反対側の端面に突設された係合突部を、ポート形成部材に設けた位置値決め嵌合部に嵌合することで、弁体に弾性変形可能に装着した弾性シール部材が筒部材に設けた弁座に当接するように筒部材を位置決めする。よって、上記構成によれば、弁座部を筒部材とポート形成部材に分割しても、弁体の弾性シール部材を弁座との間で押し潰す量を制御し、流体を微少流量に制御することができる。
【００１４】
（３）（２）に記載の構成において、好ましくは、前記筒部材の内径寸法が、前記第１ポートの内径寸法と同一であることを特徴とする。
【００１５】
上記構成では、筒部材の内径寸法が第１ポートの内径寸法と同一であるので、筒部材と第１ポートとの間で流量が絞られず、コンダクタンスを大きくできる。
【００１６】
（４）（１）乃至（３）の何れか１つに記載の構成において、好ましくは、前記筒部材と前記ポート形成部材との間に、前記第１ポートの内周面から外径方向に凹むように凹部が設けられていることを特徴とする。
【００１７】
上記構成では、例えば、メンテナンス時には、筒部材とポート形成部材とシール部材とが固着して分離できない場合、筒部材とポート形成部材との間に、第１ポートの内周面から外径方向に凹むように設けられた凹部に工具を入れ、てこの原理を利用して筒部材をポート形成部材から持ち上げれば、筒部材とポート形成部材を簡単に分離させることができる。また、凹部が外径方向に凹むように設けられているので、流体が筒部材とポート形成部材との間で流量を絞られず、コンダクタンスを低下させない。
【００１８】
（５）（１）乃至（４）の何れか１つに記載の構成において、好ましくは、前記シール部材を装着する装着溝を前記筒部材又は前記ポート形成部材に設けていること、前記装着溝を前記弁体収納室と前記第１ポートに連通させる連通溝を前記筒部材又は前記ポート形成部材に設けていることを特徴とする。
【００１９】
筒部材とポート形成部材が当接する面から、シール部材を装着された装着溝に流体が入り込んで滞留部を形成すると、弁体収容室や第１ポートを高真空にするのに時間がかかる。しかし、上記構成では、装着溝に入り込んだ流体が連通溝を介して弁体収容室又は第１ポートに抜けるので、流体が装着溝内で滞留せず、弁体収容室や第１ポート内を素早く高真空にすることができる。
【００２０】
（６）（１）乃至（５）の何れか１つに記載の構成において、好ましくは、前記弁座は、前記弁孔形成部と同心円状に形成された加工線を有することを特徴とする。
【００２１】
上記構成では、弁座に形成される加工線が弁孔形成部と同心円状に形成されているので、弁閉時に、流体が弁体と弁座の間から加工線を介して漏れることを防止できる。
【発明の効果】
【００２２】
従って、上記構成の真空弁によれば、ボディと弁座部との突き合わせ部分をボディの外側と内側の両方から溶接できるようにして、腐食を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の実施形態に係る真空弁の部分断面図であって、弁閉状態を示す。
【図２】本発明の実施形態に係る真空弁の部分断面図であって、弁開状態を示す。
【図３】図１に示す筒部材の下面図である。
【図４】ポート形成部材と筒部材を突き合わせた部分の部分拡大断面図である。
【図５】弁ハウジングの製造方法を説明する図であって、溶接工程を示す。
【図６】図５のＡ部を拡大した図であって、溶接領域を概念的に示す図である。
【図７】弁ハウジングの製造方法を説明する図であって、筒部材組付工程を示す。
【図８】第１従来例の真空弁の要部拡大断面図である。
【図９】第２従来例の真空弁の要部拡大断面図である。
【図１０】図９のＢ部を拡大した図であって、溶接領域を概念的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下に、本発明に係る真空弁の実施形態について図面に基づいて説明する。
【００２５】
図１は、本発明の実施形態に係る真空弁１の部分断面図であって、弁閉状態を示す。図２は、真空弁１の部分断面図であって、弁開状態を示す。図３は、筒部材２２の下面図である。図４は、ポート形成部材２１と筒部材２２を突き合わせた部分Ｙ１（以下、単に「突き合わせ部分Ｙ１」ともいう。）の部分拡大断面図である。図５は、弁ハウジング１０の製造方法を説明する図であって、溶接工程を示す。図６は、図５のＡ部を拡大した図であって、溶接領域Ｄ１，Ｄ２を概念的に示す図である。ここで、図６は、溶接領域Ｄ２，Ｄ３を分かりやすく記載するために、部品のハッチングを省略している。図７は、弁ハウジング１０の製造方法を説明する図であって、筒部材組付工程を示す。
【００２６】
図１及び図２に示す真空弁１は、例えば、半導体製造装置の真空容器と真空ポンプの間に配置され、排気速度を制御するのに使用される。真空弁１は、アクチュエータ部２を弁ハウジング１０に連結することにより、外観が構成されている。
【００２７】
弁ハウジング１０は、アクチュエータ部２から駆動力を付与されて直線往復運動する弁体３を収容している。弁体３は、環状に形成された弾性シール部材４が装着されている。弁ハウジング１０は、弾性シール部材４が当接又は離間する弁座面１５（弁座の一例）を設けられている。真空弁１は、アクチュエータ部２により、弁座面１５と弁体３との間で弾性シール部材４を押し潰す量を制御することで流体漏れをコントロールし、流体を微少流量に制御する。一方、真空弁１は、アクチュエータ部２により、弁体３を弁座面１５から離間させる量を制御し、小流量から大流量まで流体を制御する。
【００２８】
弁ハウジング１０は、第１ポート１１と第２ポート１３が直交方向に設けられて弁体収容室１２を介して連通し、流体がＬ字状に流れる。第１及び第２ポート１１，１３の開口部外周面には、外部配管に接続するための第１フランジ２３と第２フランジ３５が設けられている。
【００２９】
弁ハウジング１０には、筒状の弁孔形成部１４が弁体収容室１２内に突出するように第１ポート１１に対して同軸上に設けられている。弁孔形成部１４は、アクチュエータ部２側の端面に弁座面１５が設けられている。図２に示すように、弁座面１５は、第２ポート１３の底壁１３ａ（アクチュエータ部２と反対側の内壁）より高い位置（アクチュエータ部２に近い位置）に配置されている。そのため、真空弁１は、流れＦ１に示すように、弁体３のストロークに応じて流体が流れ、コンダクタンスが大きい。尚、弁座面１５は、底壁１３ａと同じ高さに配置したり、或いは、コンダクタンスに影響を与えない程度であれば底壁１３ａより若干低くして配置しても良い。
【００３０】
図１及び図２に示すように、弁ハウジング１０は、耐圧性を確保するために、ステンレスで形成されている。弁ハウジング１０は、両端部に開口部を有する筒状のボディ１６と、第１ポート１１及び弁孔形成部１４を備え、ボディ１６の一端開口部を塞ぐ状態でボディ１６に溶接される弁座部１７を有する。弁孔形成部１４は、弁閉時にアクチュエータ部２から荷重を受けるため、肉厚を厚くする必要がある。一方、ボディ１６は、流体圧力が作用するが、アクチュエータ部２から直接荷重を受けないため、弁座部１７ほど肉厚を厚くする必要がない。よって、弁ハウジング１０は、肉厚の薄いボディ１６と肉厚の厚い弁座部１７を別個に製造して溶接することにより、材料費を減らしてコストダウンを図っている。
【００３１】
弁座部１７は、ポート形成部材２１と筒部材２２に分割されている。ポート形成部材２１と筒部材２２は、ねじ３１（固定部の一例）を用いて着脱可能に連結されている。ポート形成部材２１と筒部材２２の間には、環状に形成されたシール部材３０が配置され、ポート形成部材２１と筒部材２２の間を介して第１ポート１１と弁体収容室１２が連通しないようにしている。
【００３２】
ポート形成部材２１は、筒状をなし、第１ポート１１を形成する。ポート形成部材２１は、アクチュエータ部２と反対側に位置する端面（図１の下端面）に第１フランジ２３が一体的に設けられている。ポート形成部材２１は、アクチュエータ部２側に位置する端面（図１の上端面）の外周面から外径方向に延設され、ボディ１６の開口部を塞ぐようにボディ１６に溶接されるリングプレート部２４が設けられている。
【００３３】
筒部材２２は、弁孔形成部１４を構成するものであって、筒状をなす。筒部材２２は、アクチュエータ部２と反対側に位置する端面（図１中の下端面）に係合突部３２が環状に突設されている。ポート形成部材２１は、アクチュエータ部２側に位置する端面（図１中の上端面）に、係合突部３２に隙間なく嵌合する位置決め嵌合部３３が、第１ポート１１と同軸となるように環状に形成されている。
【００３４】
筒部材２２は、アクチュエータ部２側に位置する端面（図１中の上端面）とアクチュエータ部２と反対側に位置する端面（図１中の下端面）が、筒部材２２の軸線に対して直交する平坦面になるように切削加工等により加工され、平行度を出されている。一方、ポート形成部材２１は、アクチュエータ部２側に位置する端面が、ポート形成部材２１の軸線に対して直交する平坦面になるように切削加工等により加工されている。よって、筒部材２２とポート形成部材２１は、係合突部３２を位置決め嵌合部３３に嵌め合わせて端面同士を当接させると、同軸上に位置決めされる。
【００３５】
筒部材２２は、アクチュエータ部２側に位置する端面に、弁座面１５が形成されている。そのため、弁座面１５は、係合突部３２を位置決め嵌合部３３に嵌め合わせた場合に、ボディ１６の軸線に対して直交するように配置され、弁体３の弾性シール部材４が円周方向に均等な圧力で当接するように位置決めされる。弁座面１５には、筒部材２２の平行度を出す場合に形成された加工線が、筒部材２２と同心円状に形成されている。そのため、第１ポート１１と弁体収容室１２は、弁閉時に、弁座面１５に形成された加工線を介して連通しない。
【００３６】
筒部材２２の内径寸法と、ポート形成部材２１の内径寸法（第１ポート１１の内径寸法）は、同一にされている。そのため、位置決めされた筒部材２２とポート形成部材２１は、第１ポート１１と弁座面１５との間に内側へ突出する部分がない。よって、第１ポート１１と弁座面１５の間を流れる流体は、流量を絞られず、コンダクタンスを大きくできる。
【００３７】
ここで、係合突部３２の軸線方向の高さ寸法は、位置決め嵌合部３３の軸線方向の深さ寸法より小さい。そのため、係合突部３２を位置決め嵌合部３３に嵌め合わせた場合に、係合突部３２の先端部と位置決め嵌合部３３の底壁との間には、凹部３４が環状に形成される。凹部３４は、第１ポート１１の内周面１１ａから外径方向に凹むように形成されているので、流体は、ポート形成部材２１と筒部材２２との間で流量を絞られない。また、凹部３４は、ポート形成部材２１と筒部材２２の間に形成されているので、ポート形成部材２１と筒部材２２とシール部材３０が固着した場合に、マイナスドライバ等の工具を凹部３４に差し入れて、筒部材２２とポート形成部材２１を引き離すことができる。
【００３８】
筒部材２２は、図１及び図３に示すように、アクチュエータ部２と反対側に位置する端面（下端面）であって、弁座面１５の真下の位置に、シール部材３０を装着するための装着溝２６が環状に形成されている。筒部材２２は、アクチュエータ部２と反対側に位置する端面（下端面）の外周面から外径方向へ延設された延設部２７を有する。図３に示すように、延設部２７には、ねじ３１が挿通される複数の貫通孔２８が円周方向に等間隔に形成されている。
【００３９】
図３に示すように、筒部材２２は、アクチュエータ部２と反対側に位置する端面（下端面）に、装着溝２６を横切るように連通溝２９が放射線状に形成されている。連通溝２９は、図４に示すように、装着溝２６を第１ポート１１に常時連通させる第１ガス抜きポート２９ａと、装着溝２６を弁体収容室１２に常時連通させる第２ガス抜きポート２９ｂを含む。これにより、ポート形成部材２１と筒部材２２の間から装着溝２６へ入り込んだ流体が連通溝２９を介して装着溝２６から抜け、装着溝２６内に滞留しないため、弁体収容室１２や第１ポート１１内を素早く高真空にすることが可能になる。
【００４０】
続いて、真空弁１の製造方法について説明する。弁ハウジング１０は、ボディ１６とポート形成部材２１を溶接した後、ポート形成部材２１に筒部材２２を固定することで、形成される。
【００４１】
具体的には、図５に示すように、ボディ１６の下端面開口部にポート形成部材２１のリングプレート部２４を突き合わせて当接させる。ポート形成部材２１には、筒部材２２が取り付けられていないので、ボディ１６内に突出物がない。そこで、ボディ１６とリングプレート部２４の突き合わせ部分Ｙ１を、ボディ１６の外周面１６ａ側から溶接すると共に、ボディ１６の内周面１６ｂ側から溶接する。ボディ１６の内側と外側の両方から溶接できるので、ボディ１６の肉厚が数ｍｍを超える場合でも、突き合わせ部分Ｙ１は、ボディ１６の外周面１６ａ側から内周面１６ｂ側までの全体を歪みなく接合される（図６の斜線部に示す領域Ｄ１，Ｄ２参照）。
【００４２】
そして、図７に示すように、シール部材３０を装着溝２６に装着し、係合突部３２を位置決め嵌合部３３に嵌め合わせた後、ねじ３１を筒部材２２の貫通孔２８に貫き通し、ポート形成部材２１に形成したねじ孔２５に螺合する。これにより、筒部材２２がポート形成部材２１に固定される。このとき、シール部材３０は、装着溝２６の内壁とリングプレート部２４の間で押し潰されてシールを行う。ポート形成部材２１は、リングプレート部２４の端面を軸線に対して直交するように切削加工等により加工されている。そのため、シール部材３０は、リングプレート部２４の加工線に倣って変形することとなり、流体漏れを防ぎやすい。
【００４３】
このように形成された弁ハウジング１０に対してアクチュエータ部２を取り付け、真空弁１を組み上げる。
【００４４】
ここで、弁ハウジング１０は、筒部材２２がポート形成部材２１と別個に設けられているので、筒部材２２の長さによって、弁座面１５の位置を任意に調節できる。よって、真空弁１は、ボディ１６とポート形成部材２１を共通化しつつ、全長の異なる筒部材２２を用いることで、安価にコンダクタンスを設定又は変更することができる。
【００４５】
次に、真空弁１の動作について説明する。真空弁１は、例えば、半導体製造装置の真空容器と真空ポンプを接続する配管が第１及び第２フランジ２３，３５に接続される。真空弁１は、アクチュエータ部２により弁体３を上下動させることにより、真空ポンプが真空容器内のガスを排気する排気速度を制御する。
【００４６】
真空弁１は、弁孔形成部１４（筒部材２２）が弁体収容室１２に突出しているため、弁孔形成部１４の外周面とボディ１６の内周面１６ｂとの間の隙間Ｘ１が狭い。しかし、真空弁１は、筒部材２２を取り外した状態で、ボディ１６とポート形成部材２１の突き合わせ部分Ｙ１をボディ１６の外側と内側の両方から溶接することで、突き合わせ部分Ｙ１全体を接合し、その溶接後に、筒部材２２をポート形成部材２１に連結して弁座面１５を配置している。そのため、真空弁１を組み立てる前に、弁ハウジング１０を洗浄液で洗浄したり、弁ハウジング１０を処理液に浸して表面処理を行う際に、弁体収容室１２を流れる洗浄液や処理液が、突き合わせ部分Ｙ１に入り込まない。よって、真空弁１は、突き合わせ部分Ｙ１から腐食を発生させない。
【００４７】
真空弁１は、弁座部１７がポート形成部材２１と筒部材２２に分割され、ねじ３１を用いてポート形成部材２１と筒部材２２を着脱可能に連結しているが、ポート形成部材２１と筒部材２２の間にシール部材３０を配置しているので、流体が弁座面１５のみを通って第１ポート１１と弁体収容室１２の間を流れる。よって、真空弁１は、弁座部１７をポート形成部材２１と筒部材２２により構成しても、流体制御性能が低下しない。
【００４８】
真空弁１は、係合突部３２を位置決め嵌合部３３に嵌合することで、弁座面１５に弾性シール部材４が当接するように筒部材２２をボディ１６に対して位置決めしている。この位置決めにより、弁座面１５は、弁体３の往復直線運動する方向に対して直交するように設けられている。そのため、真空弁１は、弁閉時及び微少流量制御時に、弾性シール部材４が弁座面１５に円周方向に均等な圧力で当接する。また、真空弁１は、弁座面１５の加工線が筒部材２２と同心円状に形成されているので、加工線を介して第１ポート１１と弁体収容室１２が連通しない。よって、真空弁１は、弁閉時の流体漏れを防止できると共に、流体を微少流量に精度よく制御できる。
【００４９】
真空弁１は、ポート形成部材２１の内径寸法と筒部材２２の内径寸法が同一であるため、第１ポート１１と弁座面１５の間に流量を絞る場所がなく、コンダクタンスを大きくできる。
【００５０】
真空弁１は、ポート形成部材２１と筒部材２２を連結して弁座部１７を設けているので、ガスが、ポート形成部材２１と筒部材２２の間から装着溝２６に入り込む。この場合に、図４に示すように、シールポイントＰ１，Ｐ２を挟んでシール部材３０の径方向内側と径方向外側の空間Ｃ１，Ｃ２にガス溜まりができると、弁体収容室１２や第１ポート１１内を高真空にするのに時間がかかる。また、これを放置すると、ガスが空間Ｃ１，Ｃ２内で固化して不純物を生成したり、変質する恐れがある。
【００５１】
これに対して、真空弁１は、空間Ｃ１が連通溝２９を構成する第１ガス抜きポート２９ａを介して第１ポート１１に常時連通し、空間Ｃ２が連通溝２９を構成する第２ガス抜きポート２９ｂを介して弁体収容室１２に常時連通している。そのため、ポート形成部材２１と筒部材２２との間から空間Ｃ１，Ｃ２に入り込んだガスは、第１及び第２ガス抜きポート２９ａ，２９ｂを介して弁体収容室１２と第１ポート１１へ抜け、空間Ｃ１，Ｃ２内に滞留しない。よって、真空弁１は、弁体収容室１２や第１ポート１１内を素早く高真空にすることができる。また、空間Ｃ１，Ｃ２には、ガスが滞留せず、不純物を生成したり、ガスが変質することがない。
【００５２】
真空弁１を使用し続けていると、弁座面１５に不純物が固着することがある。これを放置していると、弁閉時に流体漏れが発生したり、微少流量制御時にガスの流量を精度良く制御できなくなったり、不純物が弁座面１５から剥離してパーティクルを発生させる恐れがある。この場合、真空弁１は、アクチュエータ部２から弁ハウジング１０を分離させ、ねじ３１を取り外して筒部材２２をポート形成部材２１から取り外し、新しい筒部材２２を既存のポート形成部材２１に取り付ければ、簡単且つ安価に弁座面１５を取り替えることができる。
【００５３】
もっとも、この交換時には、シール部材３０がリングプレート部２４と装着溝２６の内壁に固着し、筒部材２２をポート形成部材２１から取り外せなくなることが考えられる。このような場合には、マイナスドライバ等の工具をポート形成部材２１と筒部材２２との間の凹部３４に差し込み、てこの原理を利用して筒部材２２をポート形成部材２１から引き上げれば、筒部材２２をポート形成部材２１から簡単に取り外すことができる。
【００５４】
尚、本発明は、上記実施形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
【００５５】
（１）例えば、上記実施形態では、真空弁１を真空容器からの排気速度を制御するものに使用したが、使用方法はこれに限定されない。
【００５６】
（２）例えば、上記実施形態では、係合突部３２と位置決め嵌合部３３を環状に設けたが、係合突部３２をピン状に設け、位置決め嵌合部３３をピン孔で構成するなど、突部３３と位置決め嵌合部３３は位置決め可能な形状であれば良い。
【００５７】
（３）例えば、上記実施形態では、凹部３４を環状に設けたが、凹部を部分的に設けても良い。
【００５８】
（４）例えば、上記実施形態では、筒部材２２に装着溝２６と連通溝２９を形成し、筒部材２２とポート形成部材２１の間にシール部材３０を配置した。これに対して、ポート形成部材２１に装着溝２６と連通溝２９を形成したり、或いは、筒部材２２とポート形成部材２１の一方に装着溝２６を設け、他方に連通溝２９を形成することで、筒部材２２とポート形成部材２１の間にシール部材３０を配置しても良い。
【００５９】
（５）例えば、上記実施形態では、第１及び第２ガス抜きポート２９ａ、２９ｂは、同一直線上に形成しなくても、ずれていても良い。
【符号の説明】
【００６０】
１  真空弁
２  アクチュエータ部
３  弁体
４  弾性シール部材
１１  第１ポート
１２  弁体収容室
１３  第２ポート
１４  弁孔形成部
１５  弁座面（弁座の一例）
１６  ボディ
１７  弁座部
２１  ポート形成部材
２２  筒部材
２６  装着溝
２９  連通溝
３０  シール部材
３１  ねじ
３２  係合突部
３３  位置決め嵌合部
３４  凹部
Ｙ１  突き合わせ部分
Ｄ１，Ｄ２  溶接領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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