(57)【要約】【課題】小さなスペースで試料搬送棒の収納動作を容易に行うことができる試料搬送機構を提供する。【解決手段】試料搬送機構１０は、試料室及び予備試料室４ａ内で試料を左右方向に沿って搬送する試料搬送棒１１と、試料搬送棒１１を支持する支持体２１と、支持体２１を左右方向に直交する回転軸Ｐ周りに回転可能に支持するケース３１と、支持体２１とケース３１との間に配置され、試料室及び予備試料室４ａをシールする第３Ｏリング３６と、を備えている。試料搬送棒１１は、試料を搬送可能な使用状態と、支持体２１の回転により使用状態から上下方向に沿う位置に移動された収納状態と、の間を移行可能となっている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバの内部で試料を所定方向に沿って搬送する試料搬送棒と、
前記試料搬送棒を支持する支持体と、
前記支持体を前記所定方向に直交する回転軸周りに回転可能に支持するケースと、
前記支持体と前記ケースとの間に配置され、前記真空チャンバの内部をシールするシール部材と、
を備え、
前記試料搬送棒は、前記試料を搬送可能な使用状態と、前記支持体の回転により前記使用状態から所定位置に移動された収納状態と、の間を移行可能となっている、
ことを特徴とする試料搬送機構。
【請求項２】
前記試料搬送棒を前記収納状態のまま保持する保持手段を有する、
ことを特徴とする請求項１に記載の試料搬送機構。
【請求項３】
前記保持手段は、
前記試料搬送棒の先端に形成された結合機構と、
前記ケースの内面に形成され、前記収納状態において前記結合機構と結合される凹部と、
を備える、
ことを特徴とする請求項２に記載の試料搬送機構。
【請求項４】
前記ケースの外壁には、
前記回転軸に直交する面方向に沿うように形成され、前記試料搬送棒が挿通されたスリットと、
前記保持手段として、前記スリットと交差するように切り欠かれた切欠部と、
が設けられている、
ことを特徴とする請求項２に記載の試料搬送機構。
【請求項５】
前記支持体は、球状に形成されている、
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の試料搬送機構。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載の試料搬送機構を備えた真空装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料搬送機構及び真空装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、走査型電子顕微鏡や集束イオンビーム装置等の真空装置では、予備試料室から試料室の試料ステージへ試料を搬送する際に、試料搬送棒を用いる。試料搬送棒は、少なくとも予備試料室から試料ステージへ搬送する搬送距離の長さが必要であり、試料搬送時以外には、予備試料室から飛び出した状態となる。このため、予備試料室から飛び出した試料搬送棒に作業者が接触する可能性があった。
【０００３】
そこで、試料搬送時以外に試料搬送棒を収納することが可能な種々の試料搬送機構が提案されている。例えば特許文献１には、予備排気室の端部に試料搬送棒と一体となった回転ユニットを設け、試料交換以外の時には、回転ユニットを所定角度回転させて、試料搬送棒を試料搬送方向と上下左右の任意の方向となるように構成した試料搬送機構が開示されている。特許文献１に記載の試料搬送機構によれば、試料搬送棒が突き出て邪魔にならないようにできるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−４８８０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の試料搬送機構では、回転ユニットの回転軸が試料搬送方向に対して傾斜した状態とされる。このとき、試料搬送棒は、回転ユニットの回転軸を中心軸とする円錐の側面に沿うように移動するため、真空装置の周辺には大きなスペースが必要となる。また、回転ユニットを回転させて試料搬送棒を収納する際には、試料搬送棒の移動軌跡が曲面状となるため、試料搬送棒の移動軌跡が平面状となる場合と比較して、収納動作を容易に行うことができない。したがって、従来の真空装置の試料搬送機構にあっては、小さなスペースで試料搬送棒の収納動作を容易に行うという点で改善の余地がある。
【０００６】
そこで本発明は、小さなスペースで試料搬送棒の収納動作を容易に行うことができる試料搬送機構及びこの試料搬送機構を備えた真空装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の試料搬送機構は、真空チャンバの内部で試料を所定方向に沿って搬送する試料搬送棒と、前記試料搬送棒を支持する支持体と、前記支持体を前記所定方向に直交する回転軸周りに回転可能に支持するケースと、前記支持体と前記ケースとの間に配置され、前記真空チャンバの内部をシールするシール部材と、を備え、前記試料搬送棒は、前記試料を搬送可能な使用状態と、前記支持体の回転により前記使用状態から所定位置に移動された収納状態と、の間を移行可能となっている、ことを特徴とする。
本発明によれば、試料搬送棒がシール部材を間に挟んだ支持体とケースとにより回転可能とされるため、試料搬送時以外には、真空チャンバの内部の真空状態を維持したまま試料搬送棒を収納することができる。しかも、試料が搬送される所定方向に対して回転軸が直交しているため、試料搬送棒は、回転軸に直交する平面に沿って移動するように回転する。これにより、試料が搬送される方向に対して回転軸が傾斜している場合と比較して、試料搬送棒の収納動作時におけるスペースを小さくできるとともに、試料搬送棒の移動軌跡が平面状となるため、収納動作を容易に行うことができる。したがって、小さなスペースで試料搬送棒の収納動作を容易に行うことができる試料搬送機構が得られる。
【０００８】
上記の試料搬送機構において、前記試料搬送棒を前記収納状態のまま保持する保持手段を有する、ことが望ましい。
真空チャンバの内部が真空状態となっている場合、試料搬送棒に負圧が作用する。このため、試料搬送棒には、真空チャンバの内部に向かって引き込まれる力が作用する。本発明によれば、試料搬送機構は、試料搬送棒を収納状態のまま保持する保持手段を有するため、試料搬送棒が真空チャンバの内部の負圧により引き込まれてしまう不具合を防止できる。
【０００９】
上記の試料搬送機構において、前記保持手段は、前記試料搬送棒の先端に形成された結合機構と、前記ケースの内面に形成され、前記収納状態において前記結合機構と結合される凹部と、を備える、ことが望ましい。
本発明によれば、保持手段は、試料搬送棒の先端に形成された例えば雄ネジ等の結合機構と、ケースの内面に形成された例えば雌ネジ等の凹部と、を有するため、簡素な構成で試料搬送棒を収納状態のまま保持することができる。
【００１０】
上記の試料搬送機構において、前記ケースの外壁には、前記回転軸に直交する面方向に沿うように形成され、前記試料搬送棒が挿通されたスリットと、前記保持手段として、前記スリットと交差するように切り欠かれた切欠部と、が設けられている、ことが望ましい。
本発明によれば、ケースの外壁には、スリットと交差するように切り欠かれた切欠部が設けられているので、試料搬送棒を切欠部に配置して係止することにより、スリット内における試料搬送棒の移動を防止できる。したがって、簡素な構成で試料搬送棒を収納状態のまま保持することができる。
【００１１】
上記の試料搬送機構において、前記支持体は、球状に形成されている、ことが望ましい。
本発明によれば、支持体が球状に形成されているため、支持体がケースに対して回転可能に支持されるとともに、支持体とケースとの間に配置されるシール部材によってシールを容易に行うことができる。
【００１２】
本発明の真空装置は、上記の試料搬送機構を備えたことを特徴とする。
本発明によれば、上記の試料搬送機構を備えることで、小さなスペースで試料搬送棒の収納動作を容易に行うことができる真空装置が得られる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、試料搬送棒がシール部材を間に挟んだ支持体とケースとにより回転可能とされるため、試料搬送時以外には、真空チャンバの内部の真空状態を維持したまま試料搬送棒を収納することができる。しかも、試料が搬送される所定方向に対して回転軸が直交しているため、試料搬送棒は、回転軸に直交する平面に沿って移動するように回転する。これにより、試料が搬送される方向に対して回転軸が傾斜している場合と比較して、試料搬送棒の収納動作時におけるスペースを小さくできるとともに、試料搬送棒の移動軌跡が平面状となるため、収納動作を容易に行うことができる。したがって、小さなスペースで試料搬送棒の収納動作を容易に行うことができる試料搬送機構が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】第１実施形態の真空装置の構成図である。
【図２】図１のＡ部における平面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面図である。
【図４】図１のＡ部における右側面図である。
【図５】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面図である。
【図６】第２実施形態の試料搬送機構の説明図であって、図１のＡ部に相当する部分における平面図である。
【図７】第２実施形態の試料搬送機構の説明図であって、図１のＡ部に相当する部分における右側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
［第１実施形態］
最初に、第１実施形態の真空装置１について説明する。なお、本実施形態では、真空装置１として、集束イオンビーム装置を例に挙げて説明する。
【００１６】
図１は、第１実施形態の真空装置の構成図である。なお、真空装置１は水平面に設置された状態で使用される。図中において、鉛直上方を矢印ＵＰで示し、前方を矢印ＦＲで示し、左方を矢印ＬＨで示す。
図１に示すように、真空装置１は、第１真空チャンバ３と、第２真空チャンバ４と、試料搬送機構１０と、を備えている。真空装置１は、防振台２に載置されている。
【００１７】
第１真空チャンバ３は、例えば金属材料により中空の直方体状に形成され、内部に試料室３ａが形成されている。試料室３ａ内には、不図示の試料ステージが配置されている。試料ステージは、試料Ｓが固定された試料ホルダ９をセット可能とされている。第１真空チャンバ３の右側壁には、左右方向に貫通する開口３ｂが形成されている。
【００１８】
第１真空チャンバ３には、不図示の第１排気ポンプが接続されている。第１排気ポンプは、試料室３ａを減圧して真空状態とする。また、第１真空チャンバ３の上部には、イオンビーム鏡筒６と、検出部８と、が配置されている。イオンビーム鏡筒６は、試料ステージにセットされる試料Ｓに向けてイオンビームを照射可能に配置されている。検出部８は、イオンビームを試料Ｓに照射した際に試料Ｓから生じる二次電子を検出する二次電子検出器等を備えている。
【００１９】
第１真空チャンバ３の右側面には、第２真空チャンバ４がゲートバルブ５を介して取り付けられている。第２真空チャンバ４は、例えば金属材料により中空の直方体状に形成され、内部に予備試料室４ａが形成されている。予備試料室４ａは、その空間体積が試料室３ａの空間体積と比べて十分に小さくなるように形成されている。第２真空チャンバ４の左側壁には、左右方向に貫通する第１開口４ｂが、左右方向から見て第１真空チャンバ３の開口３ｂと重なるように形成されている。第１開口４ｂは、ゲートバルブ５が開いた状態において、第１真空チャンバ３の開口３ｂを通じて、試料室３ａと予備試料室４ａとを連通させている。また、第２真空チャンバ４の右側壁には、左右方向に貫通する第２開口４ｃが、左右方向から見て第１開口４ｂと重なるように形成されている。
【００２０】
第２真空チャンバ４には、第１真空チャンバ３と同様に不図示の第２排気ポンプが接続されている。第２排気ポンプは、予備試料室４ａを減圧して真空状態とする。また、第２真空チャンバ４には、予備試料室４ａを開放する扉（不図示）が設けられ、予備試料室４ａ内で試料Ｓを交換することが可能となっている。
【００２１】
次に、試料搬送機構１０について説明する。
図２は、図１のＡ部における平面図である。図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面図である。
図３に示すように、第２真空チャンバ４の右側面には、試料搬送機構１０が配置されている。試料搬送機構１０は、試料搬送棒１１と、試料搬送棒１１を支持する支持体２１と、支持体２１を支持するケース３１と、を有している。
【００２２】
試料搬送棒１１は、試料室３ａと予備試料室４ａとの間で試料Ｓ（試料ホルダ９）を左右方向（請求項の「所定方向」に相当。）に沿って搬送する。試料搬送棒１１は、例えば金属材料により形成された円柱状の棒部材である。試料搬送棒１１は、一様に延在する本体部１２と、本体部１２の一端部から段差部１３により拡径形成された拡径部１４と、を有する。拡径部１４の先端には、試料ホルダ９に設けられた結合部（不図示）と結合される結合機構１８（本実施形態では雄ネジ）が突設されている。なお、結合機構１８は、雄ネジに限定されず、例えば試料ホルダ９の結合部に係止されるフック等であってもよい。
【００２３】
支持体２１は、例えば金属材料により、球状に形成されている。支持体２１には、断面円形状の貫通孔２２が形成されている。貫通孔２２の中心軸は、支持体２１の中心を通っている。貫通孔２２には、大径部２３と小径部２４とが段差面２５を挟んで同軸となるように形成されている。大径部２３の深さは、試料搬送棒１１の長さ方向における段差部１３から結合機構１８の先端までの距離よりも深くなっている。大径部２３の内径は、試料搬送棒１１の拡径部１４の直径よりも大きくなっている。小径部２４の内径は、試料搬送棒１１の本体部１２の直径よりも僅かに大きくなっている。小径部２４の内周面には、溝部２６が小径部２４の周方向に沿って形成されている。溝部２６には、第１Ｏリング２７が嵌め込まれている。
【００２４】
支持体２１の貫通孔２２には、試料搬送棒１１が挿通されている。このとき、試料搬送棒１１の本体部１２が小径部２４内に位置するとともに、拡径部１４が大径部２３内に位置している。これにより、試料搬送棒１１の段差部１３は、支持体２１の段差面２５に当接可能となり、試料搬送棒１１の貫通孔２２からの脱落を防止している。また、第１Ｏリング２７は、支持体２１の溝部２６の底部と、試料搬送棒１１の本体部１２の外周面と、に接触している。これにより、第１Ｏリング２７は、貫通孔２２の小径部２４と試料搬送棒１１の本体部１２との隙間をシールしている。
【００２５】
ケース３１は、第２Ｏリング３９を挟んだ状態で、第２真空チャンバ４の右側面に取り付けられている。ケース３１は、例えば金属材料により、中空の直方体状に形成されている。ケース３１の内側には、球面状の内面３２により球状の支持体収容部３３が形成されている。支持体２１は、支持体収容部３３の中心Ｃ周りに回転可能に支持されている。支持体収容部３３の内径は、支持体収容部３３において支持体２１が回転できる程度に、支持体２１の外径よりも僅かに大きくなっている。
【００２６】
支持体収容部３３の内面３２には、溝部３４が形成されている。溝部３４は、前方から見て支持体収容部３３の中心Ｃを通るとともに水平面に対して時計回りに４５°回転した仮想平面に沿うように形成されている。溝部３４には、第３Ｏリング３６（請求項の「シール部材」に相当。）が嵌め込まれている。第３Ｏリング３６は、支持体２１の外周面とケース３１の内面３２とに接触しており、後述する開口３１ａを通じて連通する予備試料室４ａ及び試料室３ａと、ケース３１の外部と、の間をシールしている。
支持体収容部３３の下部には、試料搬送棒１１の結合機構１８と結合される凹部３５（本実施形態では雌ネジ）が形成されている。凹部３５は、上下方向から見て支持体収容部３３の中心Ｃと重なるように形成されている。
【００２７】
ケース３１の左側壁には、左右方向に貫通する開口３１ａが形成されている。開口３１ａは、左右方向から見て支持体収容部３３の中心Ｃと重なるように、かつ左右方向から見て第２真空チャンバ４の第２開口４ｃと重なるように形成されている。開口３１ａは、第２真空チャンバ４の第２開口４ｃを通じて、予備試料室４ａと連通している。開口３１ａの左右方向の開口寸法及び上下方向の開口寸法は、試料搬送棒１１の拡径部１４の直径よりも大きくなっている。
【００２８】
図４は、図１のＡ部における右側面図である。
図２及び図４に示すように、ケース３１の右側壁及び上壁には、スリット３７が形成されている。スリット３７には、支持体２１に支持された試料搬送棒１１の本体部１２が挿通される。スリット３７は、ケース３１の右側壁の中央部から上壁の中央部に亘って、支持体収容部３３の中心Ｃを通るとともに前後方向に直交する面方向に沿って形成されている。スリット３７の幅は、試料搬送棒１１の本体部１２の直径よりも僅かに大きく、かつ支持体２１の外径よりも小さくなっている。
【００２９】
図３に示すように、スリット３７の下端３７ａ（ケース３１の右側壁に形成された一端部）は、試料搬送棒１１を左右方向に沿った状態で配置できるように、左右方向から見てＵ字状に形成されている。また、スリット３７の左端３７ｂ（ケース３１の上壁に形成された他端部）は、試料搬送棒１１を上下方向に沿った状態で配置できるように、上下方向から見てＵ字状に形成されている。試料搬送棒１１及び支持体２１は、支持体収容部３３の中心Ｃを通るとともに前後方向に沿う回転軸Ｐ周りに回転可能となっている。試料搬送棒１１は、試料Ｓ（試料ホルダ９）を搬送可能な使用状態（図３における実線で示す状態）と、支持体２１の回転により使用状態から上下方向に沿う位置（請求項の「所定位置」に相当。）に移動された収納状態（図３における２点鎖線で示す状態）と、の間を移行可能となっている。
【００３０】
以下、本実施形態の試料搬送機構１０の作用について述べる。なお、以下の説明における各構成部品の符号については、図１及び図３を参照されたい。
まず、真空装置１における試料交換時の試料搬送動作について述べる。なお、試料Ｓが固定された試料ホルダ９は、試料交換時の初期状態において試料室３ａ内の試料ステージにセットされているものとする。
試料Ｓを交換する際は、試料搬送棒１１を左右方向に沿うように配置した使用状態へ移行させる。使用状態において、試料搬送棒１１を左方に向かって押し込むと、試料搬送棒１１の先端（拡径部１４）は、ケース３１の開口３１ａ、及び第２真空チャンバ４の第２開口４ｃを通過する。さらに試料搬送棒１１を押し込むと、試料搬送棒１１の先端は、第２真空チャンバ４の第１開口４ｂ、及び第１真空チャンバ３の開口３ｂを通過する。
【００３１】
試料搬送棒１１の先端を試料室３ａの試料ステージ付近まで移動させた後、試料搬送棒１１を回転させ、試料ステージにセットされた試料ホルダ９の結合部に試料搬送棒１１の先端の結合機構１８を結合させる。次いで、試料搬送棒１１を右方に引き出して、試料ホルダ９を試料室３ａの試料ステージから予備試料室４ａへ搬送し、ゲートバルブ５を閉じる。次いで、試料室３ａの真空度を維持したまま、予備試料室４ａに空気や窒素等のガスを導入して予備試料室４ａ内の圧力を大気圧まで昇圧させ、第２真空チャンバ４の扉を開放する。これにより、試料ホルダ９に固定された試料Ｓを交換することが可能となる。
【００３２】
試料ホルダ９に固定された試料Ｓを交換した後、第２真空チャンバ４の扉を閉めて、予備試料室４ａを第２排気ポンプにより排気する。予備試料室４ａの真空度が試料室３ａの真空度と略等しくなった段階でゲートバルブ５を開き、試料搬送棒１１を押し込んで、試料ホルダ９を予備試料室４ａから試料室３ａの試料ステージへ搬送する。次いで、試料搬送棒１１を回転させ、試料ホルダ９の結合部と試料搬送棒１１の結合機構１８との結合を解除する。以上により、試料Ｓの交換作業が終了する。
このように、真空装置１を試料交換の際に試料室３ａよりも空間体積の小さい予備試料室４ａのみ大気開放する構成とすることで、試料交換に伴う真空チャンバ内の排気時間の短縮を図っている。
【００３３】
次に、試料搬送棒１１の収納動作について説明する。
図５は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面図である。図５では、試料搬送棒１１の結合機構１８がケース３１の凹部３５に結合された状態を示している。
試料搬送棒１１を収納する際には、試料搬送棒１１を引き出し、段差部１３を支持体２１の段差面２５に当接させる。このとき、大径部２３の深さが試料搬送棒１１の段差部１３から結合機構１８の先端までの距離よりも深くなっているため、試料搬送棒１１の先端は、支持体２１の貫通孔２２内に収容された状態となる。次いで、試料搬送棒１１を、前方から見て回転軸Ｐを中心として反時計回りに９０°回転させて、試料搬送棒１１を使用状態から収納状態へと移行させる。試料搬送棒１１が収納状態へ移行したら、試料搬送棒１１を下方に向かって押し込み、試料搬送棒１１の先端の結合機構１８を支持体収容部３３の凹部３５に結合させる（図５参照）。これにより、試料搬送棒１１は、右方に向かって倒れる等により、収納状態から使用状態へ移行することが防止される。換言すると、試料搬送棒１１の結合機構１８及びケース３１の凹部３５は、試料搬送棒１１を収納状態のまま保持する保持手段４０として機能する。そして、試料搬送棒１１が上下方向に沿う位置に固定されるため、試料搬送時以外において、真空装置１が占有するスペースを小さくすることができる。
【００３４】
このように、本実施形態の試料搬送機構１０は、試料室３ａ及び予備試料室４ａ内で試料を左右方向に沿って搬送する試料搬送棒１１と、試料搬送棒１１を支持する支持体２１と、支持体２１を左右方向に直交する回転軸Ｐ周りに回転可能に支持するケース３１と、支持体２１とケース３１との間に配置され、試料室３ａ及び予備試料室４ａをシールする第３Ｏリング３６と、を備えている。試料搬送棒１１は、試料Ｓを搬送可能な使用状態と、支持体２１の回転により使用状態から上下方向に沿う位置に移動された収納状態と、の間を移行可能となっている。
この構成によれば、試料搬送棒１１が第３Ｏリング３６を間に挟んだ支持体２１とケース３１とにより回転可能とされるため、試料搬送時以外には、試料室３ａ及び予備試料室４ａの真空状態を維持したまま試料搬送棒１１を収納することができる。しかも、試料Ｓが搬送される方向である左右方向に対して回転軸Ｐが直交しているため、試料搬送棒１１は、回転軸Ｐに直交する平面に沿って移動するように回転する。これにより、試料が搬送される方向に対して回転軸が傾斜している場合と比較して、試料搬送棒１１の収納動作時におけるスペースを小さくできるとともに、試料搬送棒１１の移動軌跡が平面状となるため、試料搬送棒１１の収納動作を容易に行うことができる。
【００３５】
また、試料搬送機構１０は、試料搬送棒１１を支持体２１とケース３１とにより回転させて収納させるため、例えば試料搬送棒に継ぎ目を設ける等、試料搬送棒を複雑な形状とすることなく収納可能としている。このため、試料搬送棒１１を一様な棒部材とすることができ、試料室３ａ及び予備試料室４ａの真空状態を確実に保持することができる。
【００３６】
また、予備試料室４ａが真空状態となっている場合、試料搬送棒１１に負圧が作用する。このため、使用状態にある試料搬送棒１１には、予備試料室４ａに向かって引き込まれる力が作用する。本実施形態の試料搬送機構１０は、試料搬送棒１１を収納状態のまま保持する保持手段４０を有するため、試料搬送棒１１が予備試料室４ａの負圧により引き込まれてしまう不具合を防止できる。
【００３７】
さらに、保持手段４０は、試料搬送棒１１の先端に形成された結合機構１８と、ケース３１の内面３２に形成された凹部３５と、を有するため、簡素な構成で試料搬送棒１１を収納状態のまま保持することができる。
特に本実施形態では、結合機構１８は試料ホルダ９の搬送に用いられるため、別途凹部３５を設けるだけで保持手段４０を構成させることができる。したがって、試料搬送機構１０を簡素な構成とすることができる。
【００３８】
また、支持体２１は球状に形成されているため、支持体２１がケース３１に対して回転可能に支持されるとともに、支持体２１とケース３１との間に配置される第３Ｏリング３６によってシールを容易に行うことができる。
【００３９】
また、本実施形態の真空装置１は、試料搬送機構１０を備えることで、小さなスペースで試料搬送棒１１の収納動作を容易に行うこと可能とされている。
【００４０】
［第２実施形態］
次に、第２実施形態の試料搬送機構１１０について説明する。
図６は、第２実施形態の試料搬送機構の説明図であって、図１のＡ部に相当する部分における平面図である。図７は、第２実施形態の試料搬送機構の説明図であって、図１のＡ部に相当する部分における右側面図である。なお、図６では、試料搬送棒１１が使用状態にある状態を示している。また、図７では、試料搬送棒１１が収納状態に保持された状態を示している。
図６に示す第２実施形態では、スリット３７の左端３７ｂに切欠部１３８が形成されている点で、図２に示す第１実施形態と異なっている。なお、図２に示す第１実施形態と同様の構成については、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
【００４１】
図６に示すように、ケース１３１の上壁には、スリット３７と交差するように切り欠かれた切欠部１３８が設けられている。切欠部１３８は、スリット３７の左端３７ｂから、後方に向かって形成されている。切欠部１３８の左右方向における幅は、試料搬送棒１１の本体部１２の直径よりも僅かに大きくなっている。
【００４２】
ここで、図７に示すように、使用状態から上下方向に沿うように移動された試料搬送棒１１を後方に向かって倒すことで、試料搬送棒１１は切欠部１３８に入り込む。これにより、切欠部１３８に入り込んだ試料搬送棒１１は、自重により切欠部１３８に入り込んだ収納状態で保持される。このため、試料搬送棒１１は、右方に向かって倒れる等により、収納状態から使用状態へ移行することを防止される。また、切欠部１３８は、試料搬送棒１１が収納状態から使用状態へ移行することを防止する保持手段１４０として機能する。
【００４３】
このように、本実施形態の試料搬送機構１１０のケース１３１には、試料搬送棒１１が挿通されたスリット３７と、保持手段１４０としてスリット３７と交差するように切り欠かれた切欠部１３８と、が設けられている。
この構成によれば、ケース３１の上壁には、スリット３７と交差するように切り欠かれた切欠部１３８が設けられているので、試料搬送棒１１を切欠部１３８に配置して係止することにより、スリット３７内における試料搬送棒１１の移動を防止できる。したがって、簡素な構成で試料搬送棒１１を収納状態のまま保持することができる。
【００４４】
なお、本発明は、図面を参照して説明した上述の実施形態に限定されるものではなく、その技術的範囲において様々な変形例が考えられる。
例えば、上記実施形態においては、支持体２１は球状に形成されているが、これに限定されず、例えば長球状に形成されてもよい。
【００４５】
また、上記実施形態においては、試料搬送棒１１は、回転軸Ｐ周りに９０°回転可能とされていたが、これに限定されない。例えば、試料搬送棒１１は、左右方向に沿う使用状態から回転軸Ｐ周りに９０°以上回転可能とすることで、自重により収納状態を保持することができる。
【００４６】
また、ケース３１を±９０°または１８０°回転させることで、試料搬送棒１１は左右または下向きにも折り曲げることができ、例えば、車いすのオペレータの操作も可能にすることができる。
【００４７】
また、本実施形態では、真空装置の例として集束イオンビーム装置を挙げ説明したが、走査型電子顕微鏡などの荷電粒子ビーム装置、オージェ電子分光や二次イオン質量分析などの分析装置、成膜装置、スパッタ装置等の装置に用いることができる。その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施の形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能である。
【符号の説明】
【００４８】
１…真空装置  ３…第１真空チャンバ（真空チャンバ）  ４…第２真空チャンバ（真空チャンバ）  １０，１１０…試料搬送機構  １１…試料搬送棒  １８…結合機構（保持手段）  ２１…支持体  ３１，１３１…ケース  ３２…ケースの内面  ３５…凹部（保持手段）  ３６…第３Ｏリング（シール部材）  ３７…スリット  ４０，１４０…保持手段  １３８…切欠部（保持手段）  Ｐ…回転軸  Ｓ…試料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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