(57)【要約】【課題】減圧された滅菌室に滅菌剤を投入する場合の滅菌剤の濃度を、温度計を用いて簡易的にモニターすること。【解決手段】所定圧まで滅菌室を減圧する真空ポンプと、減圧された滅菌室内に滅菌剤を投入する投入手段と、滅菌剤を分解する触媒で周囲を被覆し、触媒の分解反応により発生する温度を測定する滅菌室内に設けられた第１の温度測定部と、滅菌室内の内部温度を測定する滅菌室内に設けられた第２の温度測定部と、滅菌室内に滅菌剤が投入された後の測定した発生する温度と内部温度の差に基づいて、滅菌室内の滅菌剤の濃度を換算する換算手段と、を備える滅菌装置が換算した濃度を滅菌室内の滅菌剤の濃度としてモニターする。【選択図】  図６
2016209576.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定圧まで滅菌室を減圧する真空ポンプと、
前記減圧された滅菌室内に滅菌剤を投入する投入手段と、
前記滅菌室内に設けられ、前記滅菌剤を分解する触媒で周囲を被覆し、前記被覆された触媒の分解反応により発生する温度を測定する第１の温度測定部と、
前記滅菌室内に設けられ、前記滅菌室内の内部温度を測定する第２の温度測定部と、
前記滅菌室内に前記滅菌剤が投入された後の前記測定した前記発生する温度と前記内部温度の差に基づいて、前記滅菌室内の滅菌剤の濃度を換算する換算手段と、
を備え、
前記換算した濃度を、前記滅菌室内の滅菌剤の濃度としてモニターすることを特徴とする滅菌装置。
【請求項２】
前記滅菌室内に設けられ、前記滅菌室内の内部圧力を測定する圧力測定部と、
前記換算した濃度を、前記測定した内部圧力に一意に対応する第１の係数で補正する濃度補正手段と、
を更に備え、
前記補正した濃度を、前記滅菌室内の滅菌剤の濃度としてモニターすることを特徴とする請求項１に記載の滅菌装置。
【請求項３】
前記第１の温度測定部が前記滅菌室内で使用された累積時間を取得する取得部と、
前記換算した濃度を、前記取得した累積時間に一意に対応する第２の係数で補正する経年変化補正手段と、
を更に備えることを特徴とする請求項１または２に記載の滅菌装置。
【請求項４】
前記第１の温度測定部の周囲を覆い、当該第１の温度測定部の周囲を被覆する触媒と、前記滅菌剤との分解反応を抑制する抑制部材を備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の滅菌装置。
【請求項５】
前記滅菌室内に前記滅菌剤が投入される前、および前記換算手段により前記滅菌室内の滅菌剤の濃度を換算した後に、前記第１の温度測定部の周囲を前記抑制部材により覆うように制御し、前記滅菌室内に前記滅菌剤が投入されるときに、前記第１の温度測定部の周囲を前記抑制部材により覆わないように制御する制御手段を備えることを特徴とする請求項４に記載の滅菌装置。
【請求項６】
所定圧まで滅菌室を減圧する真空ポンプと、
前記減圧された滅菌室内に滅菌剤を投入する投入手段と、
前記滅菌室内に設けられ、前記滅菌剤を分解する触媒で周囲を被覆し、前記被覆された触媒の分解反応により発生する温度を測定する第１の温度測定部と、
前記滅菌室内に設けられ、前記滅菌室内の内部温度を測定する第２の温度測定部と、
を備える滅菌装置の制御方法であって、
前記滅菌装置の換算手段が、前記滅菌室内に前記滅菌剤が投入された後の前記測定した前記発生する温度と前記内部温度の差に基づいて、前記滅菌室内の滅菌剤の濃度を換算する換算工程を含み、
前記換算した濃度を、前記滅菌室内の滅菌剤の濃度としてモニターすることを特徴とする制御方法。
【請求項７】
所定圧まで滅菌室を減圧する真空ポンプと、
前記減圧された滅菌室内に滅菌剤を投入する投入手段と、
前記滅菌室内に設けられ、前記滅菌剤を分解する触媒で周囲を被覆し、前記被覆された触媒の分解反応により発生する温度を測定する第１の温度測定部と、
前記滅菌室内に設けられ、前記滅菌室内の内部温度を測定する第２の温度測定部と、
を備える滅菌装置で読み取り実行可能なプログラムであって、
前記滅菌装置を、
前記滅菌室内に前記滅菌剤が投入された後の前記測定した前記発生する温度と前記内部温度の差に基づいて、前記滅菌室内の滅菌剤の濃度を換算する換算手段として機能させ、
前記換算した濃度を、前記滅菌室内の滅菌剤の濃度としてモニターすることを特徴とするプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は滅菌装置、およびその制御方法とプログラムに関し、特に、減圧された滅菌室に滅菌剤を投入する場合の滅菌剤の濃度を、温度計を用いて簡易的にモニターする仕組みに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から医療で使用する医療用器具を滅菌する方法として水や過酸化水素の蒸気を用いて滅菌する方法がある。滅菌する被滅菌物が例えばはさみであれば表面を滅菌すればよいが、被滅菌物が内視鏡といった場合には、被滅菌物には複雑な形状の内腔があるため内腔も滅菌する必要がある。
過酸化水素ガスの濃度をする技術や測定した濃度を滅菌処理に利用する技術としては以下のような技術が開示されている。
【０００３】
例えば特許文献１には、過酸化水素分解触媒を収納した触媒ケースに過酸化水素ガスを通過させて、触媒ケースのガス入口側とガス出口側に設けられた温度計の温度差により、過酸化水素ガス濃度を測定する技術が開示されている。
【０００４】
また特許文献２には、少量の滅菌剤を滅菌チャンバ内に導入し、滅菌剤の濃度を測定し、滅菌されるべきロードを決定し、そのロードに基づいて滅菌剤を追加する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−２０８２６号公報
【特許文献２】特開２０００−２１７８９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
滅菌において、マイクロポアと呼ばれるミクロの孔を有する処理物は、滅菌室内の滅菌剤をその孔にファンデルワールス力により抱え込み（スポンジのように吸湿する）、滅菌室内の滅菌剤濃度を低下させる。これは滅菌作用の低下を意味し、滅菌不良の原因となり得る。
また、滅菌剤が低下していた場合や、何かしらの要因により滅菌剤の投入量が少なく滅菌室内の滅菌剤濃度が低かった場合にも同様の問題を起こす。
【０００７】
特許文献１は、過酸化水素流体の内圧と大気圧との差圧によって、分解触媒層を通過させる技術であり、差圧がない場合には分解触媒層を通過しないといった課題があり、過酸化水素濃度を検出するためには差圧を作り出す機構が必要となる。
また、特許文献２は、過酸化水素濃度を分光測定法によって決定される、滅菌剤の濃度をモニターする技術であり、コスト高になってしまう。
【０００８】
本発明は、減圧された滅菌室に滅菌剤を投入する場合の滅菌剤の濃度を、温度計を用いて簡易的にモニターする仕組みを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、所定圧まで滅菌室を減圧する真空ポンプと、前記減圧された滅菌室内に滅菌剤を投入する投入手段と、前記滅菌室内に設けられ、前記滅菌剤を分解する触媒で周囲を被覆し、前記被覆された触媒の分解反応により発生する温度を測定する第１の温度測定部と、前記滅菌室内に設けられ、前記滅菌室内の内部温度を測定する第２の温度測定部と、前記滅菌室内に前記滅菌剤が投入された後の前記測定した前記発生する温度と前記内部温度の差に基づいて、前記滅菌室内の滅菌剤の濃度を換算する換算手段と、前記換算した濃度を、前記滅菌室内の滅菌剤の濃度としてモニターすることを特徴とする。
【００１０】
また、前記滅菌室内に設けられ、前記滅菌室内の内部圧力を測定する圧力測定部と、前記換算した濃度を、前記測定した内部圧力に一意に対応する第１の係数で補正する濃度補正手段と、を更に備え、前記補正した濃度を、前記滅菌室内の滅菌剤の濃度としてモニターすることを特徴とする。
【００１１】
また、前記第１の温度測定部が前記滅菌室内で使用された累積時間を取得する取得部と、前記換算した濃度を、前記取得した累積時間に一意に対応する第２の係数で補正する経年変化補正手段と、を更に備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明により、減圧された滅菌室に滅菌剤を投入する場合の滅菌剤の濃度を、温度計を用いて簡易的にモニターする仕組みを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明に係る滅菌装置のハードウエアの構成の一例を示す図である。
【図２】本発明に係るカートリッジ収容室のハードウエアの構成の一例を示す図である。
【図３】本発明に係る滅菌装置の動作を制御する制御コンピュータのハードウエアの構成を示す図である。
【図４】本発明による滅菌室内部のハードウエアの構成の一例を示す図である。
【図５】本発明による温度センサＡの構造を示す図である。
【図６】本発明による温度センサＢの構造を示す図である。
【図７】本発明による過酸化水素ガス濃度測定時に用いる計算式を示す図である。
【図８】本発明による滅菌プロセスの詳細処理の第１の実施形態を示す図である。
【図９】本発明による滅菌前工程の詳細処理の一例を示す図である。
【図１０】本発明による滅菌工程の詳細処理の第１の実施形態を示す図である。
【図１１】本発明による過酸化水素ガス濃度測定工程の詳細処理の一例を示す図である。
【図１２】本発明による換気工程の詳細処理の一例を示す図である。
【図１３】本発明による滅菌工程の詳細処理の第２の実施形態を示す図である。
【図１４】本発明による滅菌工程の詳細処理の第３の実施形態を示す図である。
【図１５】本発明による滅菌剤追加投入工程の詳細処理の一例を示す図である。
【図１６】本発明による滅菌工程の詳細処理の第４の実施形態を示す図である。
【図１７】本発明による滅菌剤吸い取り工程の詳細処理の一例を示す図である。
【図１８】本発明による滅菌プロセスの詳細処理の第２の実施形態を示す図である。
【図１９】本発明による滅菌物減圧特性判定工程の詳細処理の一例を示す図である。
【図２０】本発明による滅菌工程の詳細処理の第５の実施形態を示す図である。
【図２１】本発明による濃度適格性判定工程の詳細処理の一例を示す図である。
【図２２】本発明による温度センサＢの構造の一例を示す図である。
【図２３】本発明による温度センサＢの構造の一例を示す図である。
【図２４】本発明による温度センサＢの構造の一例を示す図である。
【図２５】本発明による本発明による過酸化水素ガス濃度測定工程の詳細処理の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図面を用いて、本発明の滅菌装置、及び滅菌方法、プログラムについて、説明する。
以下、図面を用いて、本発明に係る滅菌装置における実施の形態について説明する。
＜滅菌装置のハードウエアの具体例＞
次に、図１を用いて、本発明に係る滅菌装置のハードウエアの構成の一例について説明する。
図１は、本発明に係る滅菌装置のハードウエアの構成の一例を示す図である。
【００１５】
本発明に係る滅菌装置１００は、演算処理部（ＭＰＵ等）２０１と、表示部１０２と、印刷部１０３と、ロック動作制御部２０２と、抽出針動作制御部２０３と、カートリッジ取付用扉１０１と、液センサ２０４と、カートリッジ２０５と、ＲＦ−ＩＤリーダ／ライタ２０６と、液送ロータリーポンプ２０７と、濃縮炉２０８と、気送加圧ポンプ２０９と、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０と、開閉弁（Ｖ１）２１１と、開閉弁（Ｖ３）２１２と、開閉弁（Ｖ４）２１３と、計量管２１４（液溜り部ともいう）と、開閉弁（Ｖ２）２１５と、気化炉２１６と、開閉弁（Ｖ５）２１７と、開閉弁（Ｖ９）２２７と、開閉弁（Ｖ７）２２６と、滅菌室（真空チャンバーとも言う）２１９と、気送真空ポンプ２２０と、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１と、滅菌剤分解装置２２２と、液送ロータリーポンプ２２３と、排気蒸発炉２２４とから構成されている。
【００１６】
さらに、滅菌室２１９は、滅菌室の内部温度が室温以上の所定温度（例えば５０℃）になるように図示しない電熱ヒータ（保温手段）によって保温管理されている。
【００１７】
滅菌装置１００は、滅菌剤が入っているカートリッジ２０５の中から、滅菌剤を取り出して対象物を滅菌する装置である。
【００１８】
演算処理部（ＭＰＵ等）２０１は、演算処理を行い、滅菌装置１００を構成する各ハードウエアを制御する。
【００１９】
表示部１０２は、滅菌開始や滅菌中止を指示するための操作部として用いたり、滅菌処理中に滅菌状態を確認したりすることのできる表示画面である。なお表示部１０２の構成は液晶ディスプレイに限られず、ＣＲＴ他の表示手段であってもよい。
【００２０】
印刷部１０３は、滅菌処理の履歴や滅菌処理の結果を印刷用紙に印刷するためのプリンタである。
【００２１】
カートリッジ取付用扉１０１は、液体の滅菌剤が充填（収容）されたカートリッジ２０５（単に容器とも言う）をカートリッジ収容室に着脱可能するために用いられる開閉可能な扉である。
【００２２】
ロック動作制御部２０２は、カートリッジ取付用扉１０１の施錠、開錠の動作を行う部であり、カートリッジ取付用扉１０１を施錠することにより、カートリッジ取付用扉１０１を開かないようにし、また、カートリッジ取付用扉１０１を開錠することにより、カートリッジ取付用扉１０１を開けることができるようにする。
【００２３】
カートリッジ２０５は、滅菌剤（過酸化水素、又は過酸化水素溶液の液体）が充填され、密閉された容器である。また、カートリッジ２０５の下側にはＲＦ−ＩＤの記憶媒体を備えており、その記憶媒体には、該カートリッジを識別する情報としてのシリアル番号と、該カートリッジの製造年月日、該カートリッジが初めて滅菌装置で使用された日時（初回使用日時）、該カートリッジ内に充填されている滅菌剤の残量が記憶されている。
【００２４】
このＲＦ−ＩＤは、カートリッジ２０５の中の滅菌剤の廃棄に係るデータ（シリアル番号、製造年月、初回使用日時、滅菌剤の残量の全て、またはいずれかのデータ）を記憶した記憶媒体である。
【００２５】
抽出針動作制御部２０３は、カートリッジ内の滅菌剤を吸引するための抽出針（注射針）をカートリッジの上部から刺すために、当該抽出針を動作する部である。
【００２６】
すなわち、カートリッジ内の滅菌剤を吸引するための抽出針（注射針）をカートリッジの上部から刺す場合は、抽出針（注射針）をカートリッジに向けて、該カートリッジの上部から降ろすように動作することで、抽出針（注射針）をカートリッジの上部から刺すことができる。また、抽出針（注射針）をカートリッジから抜く場合は、該カートリッジの上部に抽出針（注射針）を上げるように動作することで、抽出針（注射針）をカートリッジから抜くことができる。
抽出針は、カートリッジ内の滅菌剤を吸引するためのストロー（細い筒）である。
【００２７】
液センサ２０４は、カートリッジ２０５内の液体の滅菌剤が、抽出針（注射針）から液送ロータリーポンプ２０７、液送ロータリーポンプ２２３に導通（連結）している管（導管）を通っているかを検出する装置である。具体的には、該管に赤外線を照射して得られるスペクトルから滅菌剤が該管を通っているかを検出することができる。
【００２８】
ＲＦ−ＩＤリーダ／ライタ２０６は、カートリッジ２０５の下側に備え付けられているＲＦ−ＩＤから、シリアル番号、製造年月、初回使用日時、滅菌剤の残量を読み取ることができる装置である。また、ＲＦ−ＩＤリーダ／ライタ２０６から、カートリッジ２０５の下側に備え付けられているＲＦ−ＩＤに、初回使用日時、滅菌剤の残量を書き込むことができる装置である。また、ＲＦ−ＩＤリーダ／ライタ２０６は、カートリッジ取付用扉１０１の裏にあるカートリッジの取り付け場所の下部に設置されており、カートリッジ２０５の下側に備え付けられているＲＦ−ＩＤを読み取ること、及び初回使用日時、滅菌剤の残量等のデータをＲＦ−ＩＤに書き込むことが可能である。
【００２９】
液送ロータリーポンプ２０７は、濃縮炉２０８と導管により導通して（繋がって）おり、また、液センサ２０４と導管により導通している。液送ロータリーポンプ２０７は、カートリッジ２０５内の液体の滅菌剤をポンプにより吸引して、導管を通して滅菌剤を濃縮炉２０８に送る装置である。また、液送ロータリーポンプ２０７は、液センサ２０４と連携して、カートリッジ２０５から、滅菌剤の所定量を吸引することができる。
【００３０】
濃縮炉２０８は、液送ロータリーポンプ２０７と、気送加圧ポンプ２０９と、計量管２１４と、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１と、それぞれ導管により導通している。濃縮炉２０８は、液送ロータリーポンプ２０７から導管を通じて送り込まれた滅菌剤を、ヒータを用いて加熱し、滅菌剤に含まれる水分などを蒸発（気化）させ滅菌剤を濃縮する。また、気化した水は、気送加圧ポンプ２０９から導管を通して送り込まれる空気により、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１に導通している導管に押し出され、濃縮炉２０８内から排気される。また、計量管２１４と濃縮炉２０８との間の導管の間には開閉弁（１）２１１が設けられている。
【００３１】
気送加圧ポンプ２０９は、それぞれ、濃縮炉２０８と、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０と、導管により導通している。気送加圧ポンプ２０９は、滅菌装置１００の外気（空気）を、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０を介して、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０との導管により導通して濃縮炉２０８に送る装置である。
【００３２】
吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０は、それぞれ、気送加圧ポンプ２０９と、滅菌室２１９と、気化炉２１６と、導管により導通している。吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０は、滅菌装置１００の外の外気（空気）中のちりやほこり、雑菌などを、ＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ  Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ  Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ  Ａｉｒ  Ｆｉｌｔｅｒ）フィルタでフィルタリングして空気を清浄する。そして、その清浄された空気は、気送加圧ポンプ２０９により導管を通して濃縮炉２０８に送られる。また、清浄された空気は、気化炉２１６との導管により導通して気化炉２１６に送り込まれたり、滅菌室２１９との導管により導通して滅菌室２１９に送り込まれる。すなわち、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０は、滅菌装置１００の外の外気（空気）と導通している。そのため、気送加圧ポンプ２０９と吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０との間の導管と、滅菌室２１９と吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０との間の導管と、気化炉２１６と吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０との間の導管は、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０を介して、外気（空気）と導通している。
【００３３】
また、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０と気化炉２１６との間の導管には、開閉弁（Ｖ９）２２７が設けられている。また、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０と滅菌室２１９との間の導管には、開閉弁（Ｖ７）２２６が設けられている。
【００３４】
開閉弁（Ｖ１）２１１は、濃縮炉２０８と計量管２１４との間の導管に設けられた開閉弁であって、開閉弁を開けることで濃縮炉２０８と計量管２１４との間の導管による導通を可能にし、開閉弁を閉めることで濃縮炉２０８と計量管２１４との間の導管による導通を不可能にする開閉弁である。
【００３５】
開閉弁（Ｖ３）２１２は、計量管２１４と滅菌室２１９との間の導管に設けられた開閉弁であって、開閉弁を開けることで計量管２１４と滅菌室２１９との間の導管による導通を可能にし、開閉弁を閉めることで計量管２１４と滅菌室２１９との間の導管による導通を不可能にする開閉弁である。また、この開閉弁は、計量管２１４の近くに設けられており、少なくとも後述する開閉弁（Ｖ４）よりも計量管２１４側の位置に設けられている。
【００３６】
開閉弁（Ｖ４）２１３は、計量管２１４と滅菌室２１９との間の導管に設けられた開閉弁であって、開閉弁を開けることで計量管２１４と滅菌室２１９との間の導管による導通を可能にし、開閉弁を閉めることで計量管２１４と滅菌室２１９との間の導管による導通を不可能にする開閉弁である。また、この開閉弁は、滅菌室２１９の近くに設けられており、少なくとも後述する開閉弁（Ｖ３）よりも滅菌室２１９側の位置に設けられている。
【００３７】
本実施例では、開閉弁（Ｖ４）２１２、開閉弁（Ｖ３）２１３の開け閉めにより、計量管と滅菌室との間の導管の導通を可能にするか、不可能にするかを行っているが、開閉弁（Ｖ４）２１３、開閉弁（Ｖ３）２１３のどちらか一方の開閉弁の開け閉めにより、計量管と滅菌室との間の導管の導通を可能にするか、不可能にするかを行うようにしてもよい。
【００３８】
すなわち、開閉弁（Ｖ４）２１３、開閉弁（Ｖ３）２１３のどちらか一方の開閉弁のみを設け、そのどちらか一方の開閉弁の開け閉めを行うことにより、計量管と滅菌室との間の導管の導通を可能にするか、不可能にするかを行うようにすることもできる。
計量管２１４は、濃縮炉２０８と、気化炉２１６と、滅菌室２１９のそれぞれとの間の導管により導通している。
【００３９】
計量管２１４は、開閉弁（Ｖ１）２１１を開くことにより、濃縮炉２０８から滅菌剤が流入し、開閉弁（Ｖ３）２１２、及び開閉弁（Ｖ４）２１３を開くことにより、カートリッジ２０５内から吸入した不要な空気、及び／又は、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０から濃縮炉２０８内に流入して濃縮炉２０８内から計量管２１４内に流入した不要な空気を、計量管２１４により取り除く装置である。
【００４０】
開閉弁（Ｖ２）２１５は、計量管２１４と、気化炉２１６との間の導管に設けられた開閉弁であって、開閉弁を開けることで計量管２１４と気化炉２１６との間の導管による導通を可能にし、開閉弁を閉めることで計量管２１４と気化炉２１６との間の導管による導通を不可能にする開閉弁である。
【００４１】
気化炉２１６は、計量管２１４と、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０と、滅菌室２１９とのそれぞれとの間の導管により導通している。気化炉２１６は、本発明の気化室の適用例である。
気化炉２１６は、気送真空ポンプ２２０により減圧されることで、滅菌剤を気化させる装置である。
【００４２】
開閉弁（Ｖ５）２１７は、気化炉２１６と、滅菌室２１９との間の導管に設けられた開閉弁であって、開閉弁を開けることで気化炉２１６と滅菌室２１９との間の導管による導通を可能にし、開閉弁を閉めることで気化炉２１６と滅菌室２１９との間の導管による導通を不可能にする開閉弁である。
【００４３】
開閉弁（Ｖ９）２２７は、気化炉２１６と吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０との間の導管に設けられた開閉弁であって、開閉弁を開けることで気化炉２１６と吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０との間の導管による導通を可能にし、開閉弁を閉めることで気化炉２１６と吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０との間の導管による導通を不可能にする開閉弁である。すなわち、開閉弁（Ｖ９）２２７は、気化炉２１６と外気（大気）との導通を開閉できる開閉弁である。
【００４４】
開閉弁（Ｖ７）２２６は、滅菌室２１９と吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０との間の導管に設けられた開閉弁であって、開閉弁を開けることで滅菌室２１９と吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０との間の導管による導通を可能にし、開閉弁を閉めることで滅菌室２１９と吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０との間の導管による導通を不可能にする開閉弁である。すなわち、開閉弁（Ｖ７）２２６は、滅菌室２１９と外気（大気）との導通を開閉できる開閉弁である。
【００４５】
滅菌室（真空チャンバーとも言う）２１９は、例えば医療用器具などの被滅菌対象物を滅菌する所定の容量の筐体である。滅菌室内の圧力は大気圧から真空圧までの圧力を維持することが可能である。また、滅菌室内の温度は、滅菌処理中において、所定の範囲の温度に維持されている。また、滅菌室２１９内には、圧力センサが備えられており、圧力センサにより滅菌室２１９内の圧力（気圧）を測定することができる。滅菌装置１００は、この圧力センサにより測定された滅菌室２１９内の気圧を用いて、滅菌室２１９内等の圧力（気圧）が所定の気圧になっているかを判定する。
圧力センサは、滅菌室内に設けられており、滅菌室内の内部圧力を測定する圧力測定部として機能する。
【００４６】
気送真空ポンプ２２０は、滅菌室２１９内、気化炉２１６内、計量管２１４内、計量管２１４と気化炉２１６との間の導管内、気化炉２１６と滅菌室２１９との間の導管内、計量管２１４と滅菌室２１９との間の導管内の空間の気体を吸引して、それぞれの空間内を減圧し真空状態（大気圧より低い圧力の気体で満たされた空間内の状態）にする装置である。
気送真空ポンプ２２０は、所定圧（例えば５０Ｐａ等）まで真空引きを継続して、滅菌室の内部圧力を減圧することができる。
気送真空ポンプ２２０は、滅菌室２１９との間で導管により導通されており、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１との間で導管により導通されている。
【００４７】
排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１は、気送真空ポンプ２２０との間で導管により導通されている。また、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１は、排気蒸発炉２２４との間で導管により導通されている。また、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１は、滅菌剤分解装置２２２との間で導管により導通されている。また、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１は、濃縮炉２０８との間で導管により導通されている。
【００４８】
排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１は、気送真空ポンプ２２０により、滅菌室２１９内等から吸引された気体を、気送真空ポンプ２２０との間の導管から送られてきた気体内のちりやほこり、雑菌などを、ＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ  Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ  Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ  Ａｉｒ  Ｆｉｌｔｅｒ）フィルタでフィルタリングして、吸引された気体を清浄する。そして、清浄された気体は、滅菌剤分解装置２２２と排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１との間の導管を通り、滅菌剤分解装置２２２に送られ、滅菌剤分解装置２２２により該気体に含まれる滅菌剤の分子を分解し、分解後の分子を滅菌装置１００の外に放出する。
【００４９】
また、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１は、濃縮炉２０８と排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１との間の導管により濃縮炉２０８から排気される気体を清浄する。この気体は、濃縮炉２０８で、滅菌剤が加熱されて、気化された水であるが、微量の滅菌剤を含むため、滅菌剤分解装置２２２と排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１との間の導管を通り、滅菌剤分解装置２２２に送られる。そして、滅菌剤分解装置２２２により該気体に含まれる滅菌剤の分子を分解し、分解後の分子を滅菌装置１００の外に放出する。
【００５０】
また、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１は、排気蒸発炉２２４から、排気蒸発炉２２４と排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１との間の導管を通り送られてくる気化された滅菌剤を清浄する。そして、その洗浄された滅菌剤（気体）は、滅菌剤分解装置２２２と排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１との間の導管を通り、滅菌剤分解装置２２２に送られ、滅菌剤分解装置２２２により該気体に含まれる滅菌剤の分子を分解し、分解後の分子を滅菌装置１００の外に放出する。
【００５１】
排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１は、導管を通り送られてくる気体を清浄することで、滅菌剤分解装置２２２にほこりやごみが溜まりにくくし、滅菌剤分解装置２２２の製品寿命を延ばすことができる。
【００５２】
滅菌剤分解装置２２２は、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１との間の導管により導通されている。滅菌剤分解装置２２２は、滅菌剤分解装置２２２と排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１との間の導管から送られてくる気体に含まれる滅菌剤の分子を分解して、分解して生成される分子を滅菌装置１００の外に放出する。
【００５３】
滅菌剤分解装置２２２は、滅菌剤を分解する装置であって、例えば、滅菌剤が過酸化水素、又は過酸化水素溶液である場合、気化された過酸化水素を、二酸化マンガンを触媒として用いて、水と酸素に分解することができる装置である。
液送ロータリーポンプ２２３は、排気蒸発炉２２４と導管により導通しており、また、液センサ２０４と導管により導通している。
【００５４】
液送ロータリーポンプ２２３は、カートリッジ２０５内の全ての液体の滅菌剤をポンプにより吸引して、液センサ２０４と液送ロータリーポンプ２２３との間の導管を通して送られるその全ての滅菌剤を、液送ロータリーポンプ２２３と排気蒸発炉２２４との間の導管を通して、排気蒸発炉２２４に送る装置である。
排気蒸発炉２２４は、液送ロータリーポンプ２２３と導管により導通しており、また、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１と導管により導通している。
【００５５】
排気蒸発炉２２４は、液送ロータリーポンプ２２３と排気蒸発炉２２４との間の導管を通して送られる、カートリッジ２０５内の全ての液体の滅菌剤を、排気蒸発炉２２４に備え付けられたヒータにより加熱し、その滅菌剤の全てを気化させる。そして、気化された滅菌剤は、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１と排気蒸発炉２２４との間の導管を通して、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１に送られる。
＜カートリッジ収容室のハードウエアの具体例＞
図２を説明する。
図２を用いて、本発明に係るカートリッジ収容室２２８のハードウエアの構成の一例について説明する。
図２は、本発明に係るカートリッジ収容室２２８の断面図の一例である。
カートリッジ収容室２２８は、カートリッジ２０５内の滅菌剤を、本体に供給するための取り出しユニットである。
３０３はカートリッジホルダであり、カートリッジ２０５が置かれる位置を固定する。
【００５６】
カートリッジ２０５は、１つのボトルに滅菌処理を複数回行える量の滅菌剤が入ったカートリッジである。カートリッジ２０５には、滅菌剤として用いられる過酸化水素などの液体が格納されている。
滅菌装置１００が、抽出針をカートリッジに向けて、該カートリッジの上部から降ろすように動作することで、蓋の穴、キャップの穴に抽出針が挿入される。
【００５７】
このとき、滅菌装置１００は、抽出針が蓋の穴、キャップの穴を貫通し、容器に下部に抽出針の先端が来るように動作する。なお、抽出針とは、カートリッジ内の滅菌剤を吸引するためのストロー（細い筒）である。
＜制御コンピュータのハードウエアの具体例＞
図３を説明する。
制御コンピュータのハードウエア構成図を示す図である。
【００５８】
図３において、２０１はＭＰＵで、システムバス１００４に接続される各デバイスやコントローラを統括的に制御する。また、ＲＯＭ１００２あるいは外部メモリ１０１１には、ＭＰＵ２０１の制御プログラムであるＢＩＯＳ（Ｂａｓｉｃ  Ｉｎｐｕｔ  ／  Ｏｕｔｐｕｔ  Ｓｙｓｔｅｍ）やオペレーティングシステムプログラム（以下、ＯＳ）や、各サーバ或いは各ＰＣの実行する機能を実現するために必要な後述する各種プログラム等が記憶されている。
【００５９】
１００３はＲＡＭで、ＭＰＵ２０１の主メモリ、ワークエリア等として機能する。ＭＰＵ２０１は、処理の実行に際して必要なプログラム等をＲＯＭ１００２あるいは外部メモリ１０１１からＲＡＭ１００３にロードして、該ロードしたプログラムを実行することで各種動作を実現するものである。
【００６０】
１００５は入力コントローラで、キーボード（ＫＢ）１００９や不図示のマウス等のポインティングデバイス等からの入力を制御する。２５０６はビデオコントローラで、表示部１０２への表示を制御する。なお、表示部１０２はＣＲＴだけでなく、液晶ディスプレイ等の他の表示器であってもよい。これらは必要に応じて管理者が使用するものである。また表示部は指やペン等にてユーザが表示画面内の対象位置を指定するタッチパネル機能を含むものであってもよい。
【００６１】
１００７はメモリコントローラで、ブートプログラム，各種のアプリケーション，フォントデータ，ユーザファイル，編集ファイル，各種データ等を記憶するハードディスク（ＨＤ）や、フレキシブルディスク（ＦＤ）、或いはＰＣＭＣＩＡカードスロットにアダプタを介して接続されるコンパクトフラッシュ（登録商標）メモリ等の外部メモリ１０１１へのアクセスを制御する。
【００６２】
１００８は通信Ｉ／Ｆコントローラで、ネットワーク（通信回線）を介して外部装置と接続・通信するものであり、ネットワークでの通信制御処理を実行する。例えば、ＴＣＰ／ＩＰを用いた通信等が可能である。
【００６３】
なお、ＭＰＵ２０１は、例えばＲＡＭ１００３内の表示情報用領域へアウトラインフォントの展開（ラスタライズ）処理を実行することにより、表示部１０２上での表示を可能としている。また、ＭＰＵ２０１は、表示部１０２上の不図示のマウスカーソル等でのユーザ指示を可能とする。
【００６４】
本発明を実現するための後述する各種プログラムは、外部メモリ１０１１に記録されており、必要に応じてＲＡＭ１００３にロードされることによりＭＰＵ２０１によって実行されるものである。さらに、上記プログラムの実行時に用いられるデータファイル及びデータテーブル等も、外部メモリ１０１１または記憶部に格納されている。
【００６５】
また、本発明におけるプログラムは、フローチャートの処理を制御コンピュータ１０００が実行可能なプログラムであり、本発明の記憶媒体はフローチャートの処理方法を実行可能なプログラムとして記憶している。
（本発明の他の実施形態）
【００６６】
以上のように、前述した実施形態の機能を実現するプログラムを記録した記録媒体を、滅菌装置に供給し、そのシステムあるいは装置内のコンピュータ（またはＣＰＵやＭＰＵ）が記録媒体に格納されたプログラムを読出し実行することによっても、本発明の目的が達成されることは言うまでもない。
【００６７】
この場合、記録媒体から読み出されたプログラム自体が本発明の新規な機能を実現することになり、そのプログラムを記憶した記録媒体は本発明を構成することになる。
【００６８】
プログラムを供給するための記録媒体としては、例えば、フレキシブルディスク，ハードディスク，光ディスク，光磁気ディスク，ＣＤ−ＲＯＭ，ＣＤ−Ｒ，ＤＶＤ−ＲＯＭ，磁気テープ，不揮発性のメモリカード，ＲＯＭ，ＥＥＰＲＯＭ，シリコンディスク等を用
いることができる。
【００６９】
また、読み出したプログラムを実行することにより、前述した実施形態の機能が実現されるだけでなく、そのプログラムの指示に基づき、コンピュータ上で稼働しているＯＳ（オペレーティングシステム）等が実際の処理の一部または全部を行い、その処理によって前述した実施形態の機能が実現される場合も含まれることは言うまでもない。
【００７０】
さらに、記録媒体から読み出されたプログラムが、コンピュータに挿入された機能拡張ボードやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書き込まれた後、そのプログラムコードの指示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるＭＰＵ等が実際の処理の一部または全部を行い、その処理によって前述した実施形態の機能が実現される場合も含まれることは言うまでもない。
【００７１】
また、本発明は、複数の機器から構成されるシステムに適用しても、１つの機器からなる装置に適用してもよい。また、本発明は、システムあるいは装置にプログラムを供給することによって達成される場合にも適応できることは言うまでもない。この場合、本発明を達成するためのプログラムを格納した記録媒体を該システムあるいは装置に読み出すことによって、そのシステムあるいは装置が、本発明の効果を享受することが可能となる。
【００７２】
さらに、本発明を達成するためのプログラムをネットワーク上のサーバ，データベース等から通信プログラムによりダウンロードして読み出すことによって、そのシステムあるいは装置が、本発明の効果を享受することが可能となる。
なお、上述した各実施形態およびその変形例を組み合わせた構成も全て本発明に含まれるものである。
＜過酸化水素ガス濃度測定システムのハードウエアの具体例＞
【００７３】
図４は滅菌室内の過酸化水素ガス濃度を測定するシステムの構成の一例である。
滅菌室に圧力センサ（真空ゲージ）と温度センサＡと温度センサＢが配置され、それらはマイクロコンピュータ（制御コンピュータともいう）に接続されている。
圧力センサは滅菌室内の圧力を測定するものである。
温度センサＡは滅菌室内の温度を測定するものである。その詳細については図５で説明する。
温度センサＢは滅菌室内の温度を測定するものである。その詳細については図６で説明する。
マイクロコンピュータは接続された各センサより、滅菌室内の過酸化水素ガス濃度を計算する。その詳細については図１１および図７で説明する。
【００７４】
本発明では温度計を２つ用意してその差分で濃度を換算する。温度計が２つ必要な理由は、同じ圧力条件の元で、温度差を取得しないと正確に濃度換算ができないからである。例えば、空間中の過酸化水素濃度が例えば６ｍｇ／Ｌであっても、圧力が例えば１５００Ｐａ（ほぼ過酸化水素だけ）と例えば１５０００Ｐａ（過酸化水素に対して約１０倍量のその他のガスが存在している）で比べると、１５０００Ｐａのほうが温度センサＢから検出される温度が低いと考えられるためである。（つまりその他のガスにより、温度センサＢが冷やされると予想される）。ここでｍｇ／Ｌは空間１リットルあたりに６ｍｇの過酸化水素ガスが存在しているという意味である。％やＰＰＭとは異なり、他の異物の多寡で数値が変わらない性質を持つ単位である。
＜温度センサＡのハードウエアの具体例＞
【００７５】
図５は温度センサＡの図の一例である。
温度センサＡには温度測定部５０３と取り付けねじ部５０２と締め付け部５０１と配線５００を有する。
【００７６】
温度計測部と取り付けねじ部と締め付け部は過酸化水素ガスの腐食作用に耐性を有する材質、具体的にはステンレス３０４やアルミニウムで構成される。
【００７７】
温度計測部は内部に熱電対５０６が内蔵されており、この熱電対により滅菌室内の温度が測定部越しに測定される。
【００７８】
温度センサＡは、滅菌室内に設けられており、滅菌室内の内部温度を測定する第２の温度測定部として機能する。
＜温度センサＢのハードウエアの具体例＞
【００７９】
図６は温度センサＢの図の一例である。
温度センサＢには温度測定部６０３と取り付けねじ部６０１と締め付け部６０１と配線６００を有する。
【００８０】
温度測定部６０３と取り付けねじ部と締め付け部は過酸化水素ガスの腐食作用に耐性を有する材質、具体的にはステンレス３０４やアルミニウムで構成され、温度計測部の表面は過酸化水素と触媒反応により熱を発生する金属（具体的には二酸化マンガン）の膜６０６で覆われている。膜の表面積は滅菌室内の体積に対し十分に小さい。
【００８１】
温度計測部は内部に熱電対６０７が内蔵されており、この熱電対により滅菌室内の温度に過酸化水素ガスと二酸化マンガンの反応熱が加わった温度が測定される。
温度計測部は内部に熱電対が内蔵されており、これにより滅菌室内の温度が測定部越しに測定される。
【００８２】
温度センサＢは、滅菌室内に設けられており、滅菌剤を分解する触媒（例えば二酸化マンガン）で周囲を被覆し、被覆された触媒の分解反応により発生する温度を測定する第１の温度測定部として機能する。
＜過酸化水素ガス濃度の計算式の具体例＞
図７は滅菌室内の過酸化水素ガス濃度の計算式の一例である。
【００８３】
センサ係数αは、温度差（温度Ｂ−温度Ａ）過酸化水素ガス濃度に結びつける主要な係数であり、温度センサＢの特に膜部の形状や表面積、膜の厚み等により求まる。
【００８４】
圧力補正係数βは、滅菌室内の圧力値に応じて変化する係数であり、その係数は予め定められたテーブルより取得される。過酸化水素ガスの反応熱により滅菌室内温より上昇した温度センサＢは、滅菌室内の圧力、つまり周囲のガスの密度に応じて熱伝導により放熱するためによる。
【００８５】
経年変化係数θは、温度センサＢの二酸化マンガン膜の経年変化を補正するための係数である。二酸化マンガン膜の過酸化水素の曝露の積分値をシステムにより監視し、予め定められたテーブルより経年変化率を取得し、その逆数を経年変化補正係数として乗算する。
【００８６】
Ｓ７１７で滅菌室内に滅菌剤が投入された後に、温度センサＢが測定した発生する温度（Ｔｂ）と、温度センサＡが測定した内部温度（Ｔａ）の温度差を計算し、その計算した温度差に一意に対応する過酸化水素ガス濃度の相関表を用いて滅菌室内の滅菌剤の濃度を換算することができる（換算手段）。温度差と過酸化水素ガス濃度との相関表を予めデータベースに準備することで換算することができる。
【００８７】
さらに、換算した濃度を、Ｓ２００３で圧力センサが測定した滅菌剤の投入によって上昇した後の内部圧力（Ｐ）に、一意に対応する第１の係数（圧力補正係数β）の相関表を用いて補正することができる（濃度補正手段）。圧力補正係数βと滅菌室の内部圧力（Ｐ）との相関表を予めデータベースに準備することで補正することができる。
【００８８】
さらに、換算した濃度を、Ｓ２００４で取得した累積時間に、一意に対応する第２の係数（経年変化補正係数）の相関表を用いて補正することができる（経年変化補正手段）。経年変化補正係数θと使用経過時間Ｔ（累積時間）との相関表を予めデータベースに準備することで補正することができる。
＜滅菌プロセスの第１実施例＞
【００８９】
次に、図８を用いて、滅菌プロセスの詳細処理の一例について説明する。
図８は、滅菌プロセスの詳細処理の一例を示す図である。
図８に示す各工程（処理）は、滅菌装置１００の演算処理部２０１により滅菌装置内の各装置の動作を制御することにより行われる。
【００９０】
すなわち、滅菌装置１００の演算処理部２０１が読み取り実行可能なプログラムを実行することにより、各装置の動作を制御して、図に示す各工程（処理）を実行する。
【００９１】
図８に示すＳ５０１に示す工程を開始する際は、滅菌装置１００の全ての開閉弁（開閉弁（Ｖ１）２１１、開閉弁（Ｖ２）２１５、開閉弁（Ｖ３）２１２、開閉弁（Ｖ４）２１３、開閉弁（Ｖ９）２２７、開閉弁（Ｖ７）２２６）は、閉じている状態である。
【００９２】
まず、滅菌装置１００は、Ｓ５０１において、気送真空ポンプ２２０を動作し、滅菌室２１９の気体を吸引し、滅菌室２１９内の気圧が所定の気圧（例えば、４５パスカル）になるまで減圧する滅菌前工程の処理を行う。滅菌前工程の処理の詳細な処理は、図９を用いて後で説明する。
【００９３】
そして、滅菌装置１００は、Ｓ５０２において、滅菌室２１９に滅菌剤を入れて、被滅菌対象物を滅菌する滅菌工程の処理を行う。滅菌工程の処理の詳細は、図１０（第１の実施例）、図１３（第２の実施例）、図１４（第３の実施例）、図１６（第４の実施例）、図２０（第５の実施例）を用いて説明する。
【００９４】
Ｓ５０３において、滅菌室２１９内及び気化炉２１６内に含まれている滅菌剤を取り除くための換気工程の処理を行う。換気工程の処理の詳細は、図１２を用いて説明する。
＜滅菌前工程の実施例＞
【００９５】
次に、図９を用いて、図８のＳ５０１に示す滅菌前工程の詳細処理の一例について説明する。
図９は、図８のＳ５０１に示す滅菌前工程の詳細処理の一例を示す図である。
図９に示す各工程（処理）は、滅菌装置１００の演算処理部２０１により滅菌装置内の各装置の動作を制御することにより行われる。
【００９６】
すなわち、滅菌装置１００の演算処理部２０１が読み取り実行可能なプログラムを実行することにより、各装置の動作を制御して、図に示す各工程（処理）を実行する。
まず、滅菌装置１００は、気送真空ポンプ２２０を動作し、滅菌室２１９の気体を吸引する処理を開始する（Ｓ６０１）。
【００９７】
そして、滅菌装置１００は、Ｓ６０２において、滅菌室２１９内の圧力（気圧）が、所定の気圧（例えば、４５パスカル）まで減圧されているかを判定する。具体的には、滅菌室２１９内に備えられた圧力センサにより測定されている滅菌室２１９内の圧力（気圧）が、所定の気圧（例えば、４５パスカル）まで減圧されているかを判定する。
【００９８】
Ｓ６０２において、滅菌室２１９内の圧力（気圧）が、所定の気圧（例えば、４５パスカル）まで減圧されていないと判定された場合は（ＮＯ）、気送真空ポンプ２２０を引き続き動作させ、滅菌室２１９の気体を吸引し、滅菌室２１９内の圧力（気圧）を減圧する。
【００９９】
一方、Ｓ６０２において、滅菌室２１９内の圧力（気圧）が、所定の気圧（例えば、４５パスカル）まで減圧されていると判定された場合は（ＹＥＳ）、気送真空ポンプ２２０を引き続き動作させ、滅菌室２１９の気体を吸引し、Ｓ５０２の処理を開始する。
＜滅菌工程の第１実施例＞
【０１００】
次に、図１０を用いて、図８のＳ５０２に示す滅菌工程の詳細処理の一例について説明する。滅菌工程の中で滅菌室内の過酸化水素ガス濃度を測定するシステムを有する場合の一例である。
図１０は、図８のＳ５０２に示す滅菌工程の詳細処理の一例を示す図である。
図１０に示す各工程（処理）は、滅菌装置１００の演算処理部２０１により滅菌装置内の各装置の動作を制御することにより行われる。
【０１０１】
すなわち、滅菌装置１００の演算処理部２０１が読み取り実行可能なプログラムを実行することにより、各装置の動作を制御して、図に示す各工程（処理）を実行する。
【０１０２】
まず、滅菌装置１００は、開閉弁（Ｖ５）２１７を開けて、滅菌室２１９と気化炉２１６との間の導管を導通させる（Ｓ７０１）。これにより、現在、気送真空ポンプ２２０により滅菌室２１９の気体を吸引し減圧しているため、滅菌室２１９内、及び気化炉２１６内の減圧を開始する（Ｓ７０２）。
【０１０３】
そして、滅菌装置１００は、Ｓ１１０で、「滅菌剤を濃縮して滅菌するモード」ボタンと、「滅菌剤を濃縮しないで滅菌するモード」ボタンのどちらが押下されたのかを判定する（Ｓ７０３）。「滅菌剤を濃縮して滅菌するモード」ボタンが押下されたと判定された場合は（ＹＥＳ）、Ｓ７０４の処理を行い、「滅菌剤を濃縮しないで滅菌するモード」ボタンが押下されたと判定された場合は（ＮＯ）、Ｓ７２８の処理を行う。
【０１０４】
ここでは、まず、「滅菌剤を濃縮して滅菌するモード」ボタンが押下された場合（滅菌剤を濃縮して滅菌処理する場合）について、説明する。
【０１０５】
滅菌装置１００は、Ｓ７０４において、液送ロータリーポンプ２０７を動作し、カートリッジ２０５内の滅菌剤を、所定量（例えば、２ミリリットル）吸い取る。そして、吸い取られた所定量の滅菌剤を、濃縮炉２０８に入れる。ここで吸い取る所定量の滅菌剤は、例えば、滅菌室２１９内の空間を滅菌剤で飽和状態にさせることができる量である。
【０１０６】
そして、滅菌装置１００は、Ｓ７０５において、カートリッジの取り付け場所に取り付けられているカートリッジ２０５のＲＦ−ＩＤに、カートリッジ２０５内に残っている滅菌剤の残量を書き込む。具体的には、読み取ったカートリッジ２０５内の滅菌剤の残量から、Ｓ７０４でカートリッジ２０５から吸い取った所定量（例えば、２ミリリットル）を引いた値をＲＦ−ＩＤに記憶する。
【０１０７】
すなわち、読み取ったカートリッジ２０５内の滅菌剤の残量から、Ｓ７０４でカートリッジ２０５から滅菌剤を吸い取った量の累計を引いた値を、Ｓ７０５ではＲＦ−ＩＤに記憶する。
【０１０８】
また、滅菌装置１００は、ＲＦ−ＩＤから読み取られた初回使用日時（カートリッジが滅菌装置で初めて使用された日時）に、日時を示す情報が含まれていない場合は、今回、カートリッジが滅菌装置で初めて使用されたと判定する。すなわち、滅菌装置１００は、ＲＦ−ＩＤから初回使用日時を読み取ることが出来なかった場合には、今回、カートリッジが滅菌装置で初めて使用されたと判定する。
このようにカートリッジが滅菌装置で初めて使用されたと判定された場合のみ、現在の日時情報もＲＦ−ＩＤに書き込む。  
【０１０９】
次に、滅菌装置１００は、滅菌装置１００に電源が入っているときは、常に、濃縮炉２０８に備え付けられたヒータを加熱するため、Ｓ７０４で濃縮炉２０８に入れられた滅菌剤は、そのヒータの熱により、加熱され、濃縮炉２０８内の滅菌剤に含まれる水分を蒸発させる（Ｓ７０６）。
【０１１０】
滅菌装置１００に電源が入っているときに、常に、濃縮炉２０８に備え付けられたヒータを加熱する理由としては、例えば、手術室で、いつでも直ぐに滅菌装置を使用することができるようにするためである。このように、濃縮炉のヒータを加熱するためにかかる時間を無くすことで、いつでも直ぐに滅菌装置を使用することが出来るようになる。
【０１１１】
すなわち、滅菌剤が過酸化水素水（過酸化水素水溶液とも言う）である場合、濃縮炉２０８に備え付けられたヒータを、ここでは、具体的には、例えば、８０度で温める。これにより、主に水分を蒸発（気化）させることができ、滅菌剤を濃縮させることが可能となる。
【０１１２】
次に、滅菌装置１００は、Ｓ７０７において、Ｓ７０４で濃縮炉２０８に滅菌剤を入れてから所定の時間（例えば、６分）が経過したかを判定する。そして、濃縮炉２０８に滅菌剤を入れてから所定の時間が経過したと判定されると（ＹＥＳ）、Ｓ７０８の処理を行う。一方、濃縮炉２０８に滅菌剤を入れてから所定の時間が経過していない場合は（ＮＯ）、引き続き、濃縮炉２０８に滅菌剤を入れたままにしておき、引き続き滅菌剤を濃縮する。
【０１１３】
次に、滅菌装置１００は、Ｓ７０８において、滅菌室２１９内、及び気化炉２１６内の気圧が、所定の気圧（例えば、５００パスカル）まで減圧されたかを判定する。
【０１１４】
そして、滅菌装置１００は、滅菌室２１９内、及び気化炉２１６内の気圧が、所定の気圧まで減圧された場合は（ＹＥＳ）、Ｓ７０９において、開閉弁（Ｖ３）２１２と、開閉弁（Ｖ４）２１３とを所定時間開ける（開閉弁（Ｖ３）２１２と、開閉弁（Ｖ４）２１３とを所定時間（例えば、３秒）開けて開閉弁（Ｖ３）２１２と、開閉弁（Ｖ４）２１３を閉じる）ことで、計量管２１４内を減圧する。一方、滅菌室２１９内、及び気化炉２１６内の気圧が、所定の気圧まで減圧されていない場合は（ＮＯ）、引き続き滅菌剤の濃縮を行う。
【０１１５】
そして、次に、滅菌装置１００は、Ｓ７１０において、Ｓ７０９で、開閉弁（Ｖ３）２１２と開閉弁（Ｖ４）２１３とを所定時間開けて開閉弁（Ｖ３）２１２と開閉弁（Ｖ４）２１３を閉じた後に、開閉弁（Ｖ１）を所定時間（例えば、３秒）開けると、濃縮炉２０８（外部）の気圧よりも計量管２１４内の気圧の方が低いので濃縮炉２０８に入っている滅菌剤が計量管２１４に吸い込まれて入る（Ｓ７１０）。ここでは、開閉弁（Ｖ１）を所定時間開けて閉じることで、濃縮炉２０８に入っている滅菌剤が計量管２１４に吸い込まれて入る。ここでは、滅菌剤だけではなく、濃縮炉２０８内の空気も一緒に計量管２１４内に吸い込まれてくる。
そして、この後も、引き続き、気送真空ポンプ２２０により、滅菌室２１９内が減圧されている。
【０１１６】
そのため、滅菌室２１９内の気圧は、計量管内の気圧よりも低くなる。具体的には、滅菌室２１９内の気圧は、４００Ｐａ位であり、計量管内の気圧は大気圧（１０１３２５Ｐａ）位の値である。計量管内の気圧は大気圧近くまで上がる理由は、滅菌剤だけではなく、濃縮炉２０８内の空気も一緒に計量管２１４内に吸い込まれてくるためである。
【０１１７】
次に、滅菌装置１００は、Ｓ７１１において、開閉弁（Ｖ３）２１２と、開閉弁（Ｖ４）２１３とを所定時間（例えば、３秒）開けて、計量管内の空気（液体の滅菌剤は含まない）を滅菌室２１９に吸い出される。すなわち、ここでは、開閉弁（Ｖ３）２１２と開閉弁（Ｖ４）２１３とを開けて該所定時間が経過すると、開閉弁（Ｖ３）２１２と開閉弁（Ｖ４）２１３とを閉じる。
【０１１８】
次に、滅菌装置１００は、滅菌室２１９内、及び気化炉２１６内の気圧が所定の気圧（例えば、８０Ｐａ）まで減圧されているかを判定し、減圧されていると判定された場合に（Ｓ７１２）、開閉弁（Ｖ５）２１７を閉める（Ｓ７１３）。
【０１１９】
そして、滅菌装置１００は、開閉弁（Ｖ２）２１５を開ける（Ｓ７１４）。これにより、計量管２１４内の滅菌剤は、気化炉２１６に吸い込まれ、気化炉２１６内で気化する。
ここで、滅菌剤は、分子クラスターとして気化炉内で気化する。
【０１２０】
滅菌室内は、気化炉よりも大きい容積であり、気化炉内では、滅菌剤は、分子クラスターとして気化される。これは、気化炉の容積が滅菌室内より小さいため、滅菌室内の滅菌剤の分子間の距離が近く分子間力により、分子クラスターを形成しやすいためである。
【０１２１】
このときも引き続き、気送真空ポンプ２２０は、滅菌室２１９内の気体を吸引し、滅菌室２１９内を減圧している。計量管２１４内の滅菌剤が吸い込まれた気化炉２１６内は、気圧が上昇する。
すなわち、気化炉２１６内の気圧は、滅菌室２１９内の気圧よりも高くなる。
【０１２２】
次に、滅菌装置１００は、滅菌室２１９内の気圧が、所定の気圧（例えば、５０Ｐａ）まで減圧され、かつ、Ｓ７１４で開閉弁（Ｖ２）２１５を開けてから所定時間が経過したかを判定し（Ｓ７１５）、滅菌室２１９内の気圧が、所定の気圧（例えば、５０Ｐａ）まで減圧され、かつ、Ｓ７１４で開閉弁（Ｖ２）２１５を開けてから所定時間が経過した場合は（ＹＥＳ）、気送真空ポンプ２２０による滅菌室２１９内の吸引（真空引き）を停止して（Ｓ７１６）、開閉弁（Ｖ５）２１７を開ける（Ｓ７１７）。これにより、滅菌室２１９内に気化した滅菌剤が拡散し、被滅菌対象物を滅菌することができる。
Ｓ７１７で開閉弁（Ｖ５）２１７を開けたあと、システムはＳ１０００にて滅菌室内の過酸化水素ガス濃度を測定する。この詳細処理は図１１で説明する。
【０１２３】
Ｓ１００１で滅菌室内の過酸化水素ガス濃度が所定未満と判定された場合（ＮＯ）、Ｓ１００２で過酸化水素ガス濃度と時間の積算で求まる曝露量が、所定濃度と所定時間（例えば３３０秒）の積算値とおなじになるように、Ｓ７１８で使用される所定時間（例えば３３０秒）を延長する。
【０１２４】
一例として、滅菌室内の過酸化水素ガス濃度が所定の１／２であり、時間を延長する場合、予め定められた所定時間が３３０秒の場合は２倍の６６０秒に延長する。
滅菌室内の過酸化水素ガス濃度が所定以上と判定された場合（ＹＥＳ）は、所定時間（例えば３３０秒）を延長せずにそのままＳ７１８に処理が進む。
Ｓ７１８で所定時間を経過した場合（ＹＥＳ）、Ｓ７１９に処理が進む。所定時間を経過していない場合（ＮＯ）はＳ１０００へ戻る。
【０１２５】
そして、Ｓ７１７で開閉弁（Ｖ５）２１７を開けてから、所定時間（例えば、３３０秒又は６６０秒）が経過したかを判定し、開閉弁（Ｖ５）２１７を開けてから、所定時間（例えば、３３０秒又は６６０秒）が経過したと判定されると（Ｓ７１８：ＹＥＳ）、開閉弁（Ｖ９）２２７を開ける（Ｓ７１９）。
【０１２６】
Ｓ７１６からＳ７１８までの滅菌装置の動作が、滅菌室を所定圧（例えば、５０Ｐａ）まで減圧にした滅菌室に滅菌剤を投入することで被滅菌物を滅菌する投入手段として好適な動作である。
これは、気化炉２１６内の気圧よりも、滅菌室２１９内の気圧（例えば、５０Ｐａ）の方が、低いため拡散する。
ここで拡散する滅菌剤は、気化炉内の分子クラスターが更に細分化され、より滅菌剤を滅菌室内に拡散させることができ、滅菌作用を高めることが可能となる。
また、被滅菌対象物などの細かい内腔などを効果的に滅菌することが出来るようになる。
【０１２７】
そして、Ｓ７１７で開閉弁（Ｖ５）２１７を開けてから、所定時間（例えば、３３０秒）が経過したかを判定し、開閉弁（Ｖ５）２１７を開けてから、所定時間（例えば、３３０秒）が経過したと判定されると（Ｓ７１８：ＹＥＳ）、開閉弁（Ｖ９）２２７を開ける（Ｓ７１９）。
【０１２８】
これにより、滅菌装置１００の外の気圧よりも気化炉２１６内、及び滅菌室２１９内の気圧の方が低いため、吸気用ＨＥＰＡフィルタで清浄された、滅菌装置１００の外の外気（空気）が、気化炉２１６内に吸い込まれる。そして、気化炉２１６内に送り込まれた空気により、気化炉２１６内に気体として充満している滅菌剤、及び、気化炉２１６の内部の表面に付着した滅菌剤が、滅菌室２１９内に送り込まれ、滅菌室２１９内にある被滅菌対象物に対する滅菌作用が高まる。すなわち、例えば、これにより、被滅菌対象の細いチューブなどの奥などの滅菌し難い部分についての滅菌作用が高まる。
【０１２９】
そして、滅菌装置１００は、Ｓ７１９で、開閉弁（Ｖ９）２２７を開けてから所定の時間（１５秒）が経過すると、開閉弁（Ｖ７）２２６を開けて、更に、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０で清浄された、滅菌装置１００の外の外気（空気）が、滅菌室２１９内に吸い込まれる。これは、滅菌装置１００の外の気圧よりも滅菌室２１９内、気化炉２１６内の気圧の方が低いため、滅菌装置１００の外の外気（空気）が、滅菌室２１９内に吸い込まれる。
これにより、被滅菌対象の細いチューブなどの奥などの滅菌し難い部分（特に内腔部分）についての滅菌作用が高まる。
【０１３０】
次に、滅菌装置１００は、滅菌室２１９内、及び気化炉２１６内が大気圧まで上昇したかを判定し、大気圧まで上昇したと判定した場合に（Ｓ７２１：ＹＥＳ）、開閉弁（Ｖ２）２１５を閉める（Ｓ７２２）。
【０１３１】
次に、滅菌装置１００は、開閉弁（Ｖ７）２２６を閉め（Ｓ７２３）、気送真空ポンプ２２０による滅菌室２１９内の吸引（真空引き）を再開する（Ｓ７２４）。これにより、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０で清浄された、滅菌装置１００の外の外気（空気）が、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０と気化炉２１６とが導通している導管を通じて、気化炉２１６内に吸い込まれる。そして、気化炉２１６内に送り込まれた空気により、気化炉２１６内に気体として充満している滅菌剤、及び、気化炉２１６の内部の表面に付着した滅菌剤が、更に、滅菌室２１９内に送り込まれる。
【０１３２】
これにより、被滅菌対象の細いチューブなどの奥などの滅菌し難い部分（特に内腔部分）についての滅菌作用が高まると共に、気化炉２１６内の滅菌剤を効果的に減少させることが可能となる。
【０１３３】
そして、滅菌装置１００は、Ｓ７２４で、気送真空ポンプ２２０による滅菌室２１９内の吸引（真空引き）を再開してから、所定時間（例えば、１５秒）後に、開閉弁（Ｖ９）２２７を閉める（Ｓ７２５）。
【０１３４】
このときも引き続き、気送真空ポンプ２２０による滅菌室２１９内の吸引（真空引き）を行っており、Ｓ７２５により、滅菌室２１９内、及び気化炉２１６内が密閉され、滅菌室２１９内、及び気化炉２１６内を減圧することとなる（Ｓ７２６）。
【０１３５】
次に滅菌装置１００は、所定回数（例えば、４回）、Ｓ７０２からＳ７２６の処理を実行したかを判定し（Ｓ７２７）、実行したと判定された場合は（ＹＥＳ）、Ｓ５０３の処理を行う。一方、Ｓ７０２からＳ７２６の処理を、所定回数実行していないと判定された場合は、Ｓ７０２以降の処理を再度行う。このように、所定回数、Ｓ７０２からＳ７２６の処理を実行することで、被滅菌対象物に対する滅菌作用の効果が高まり、被滅菌対象物を十分に滅菌することが可能となる。
【０１３６】
次に、Ｓ７０３で、「滅菌剤を濃縮しないで滅菌するモード」ボタンが押下されたと判定された場合（滅菌剤を濃縮しないで滅菌処理する場合）について、説明する。
【０１３７】
滅菌装置１００は、Ｓ７０３で、「滅菌剤を濃縮しないで滅菌するモード」ボタンが押下されたと判定された場合（ＮＯ）、滅菌室２１９内と気化炉２１６内の気圧が所定の気圧（例えば、１０００Ｐａ）にまで減圧されたかを判定する（Ｓ７２８）。
【０１３８】
そして、滅菌装置１００は、滅菌室２１９内と気化炉２１６内の気圧が所定の気圧（例えば、１００Ｐａ）にまで減圧されたと判定された場合に（Ｓ７２８：ＹＥＳ）、液送ロータリーポンプ２０７を動作し、カートリッジ２０５内の滅菌剤を、所定量（例えば、２ミリリットル）吸い取る。そして、吸い取られた所定量の滅菌剤を、濃縮炉２０８に入れる（Ｓ７２９）。
ここで吸い取る所定量の滅菌剤は、例えば、滅菌室２１９内の空間を滅菌剤で飽和状態にさせることができる量である。
【０１３９】
次に、滅菌装置１００は、Ｓ７３０において、カートリッジの取り付け場所に取り付けられているカートリッジ２０５のＲＦ−ＩＤに、カートリッジ２０５内に残っている滅菌剤の残量を書き込む。具体的には、読み取ったカートリッジ２０５内の滅菌剤の残量から、Ｓ７２９でカートリッジ２０５から吸い取った所定量（例えば、２ミリリットル）を引いた値をＲＦ−ＩＤに記憶する。
【０１４０】
また、カートリッジ２０５から滅菌剤を吸い取った１回あたりの所定量が例えば２ミリリットルの場合であり、Ｓ７２７で所定回数実行していない（ＮＯ）と判定され、Ｓ７０２以降の処理を行うことが例えば２回目の場合において、Ｓ７２９でカートリッジ２０５から滅菌剤を吸い取った量の累計は、（２ミリリットル（所定量）×２回目＝）４ミリリットルであるため、読み取ったカートリッジ２０５内の滅菌剤の残量から、Ｓ７２９でカートリッジ２０５から滅菌剤を吸い取った量の累計である４ミリリットルを引いた値を、Ｓ７３０ではＲＦ−ＩＤに記憶する。
【０１４１】
すなわち、読み取ったカートリッジ２０５内の滅菌剤の残量から、Ｓ７２９でカートリッジ２０５から滅菌剤を吸い取った量の累計を引いた値を、Ｓ７３０ではＲＦ−ＩＤに記憶する。
【０１４２】
また、滅菌装置１００は、Ｓ７３０において、ＲＦ−ＩＤから読み取られた初回使用日時（カートリッジが滅菌装置で初めて使用された日時）に、日時を示す情報が含まれていない場合は、今回、カートリッジが滅菌装置で初めて使用されたと判定する。すなわち、滅菌装置１００は、ＲＦ−ＩＤから初回使用日時を読み取ることが出来なかった場合には、今回、カートリッジが滅菌装置で初めて使用されたと判定する。
【０１４３】
このようにカートリッジが滅菌装置で初めて使用されたと判定された場合のみ、現在の日時情報もＲＦ−ＩＤに書き込む。
そして、滅菌装置１００は、Ｓ７３０の処理を行うと、既に説明したＳ７０９以降の処理を行う。
【０１４４】
Ｓ７２８では、滅菌室２１９内が所定の気圧（例えば、１０００Ｐａ）になったら、Ｓ７２９で滅菌剤を吸い始め、Ｓ７２９で滅菌剤を吸い終わる頃には５００Ｐａを下回るため、効率的にＳ７０９へ移行することができる。
【０１４５】
このように、滅菌室２１９内、及び気化炉２１６内の気圧が、計量管２１４内の減圧を開始する所定の気圧（例えば、１０００パスカル）まで減圧された後に、吸い取られた所定量の滅菌剤を濃縮炉２０８に入れ、直ぐにＳ７０９で計量管２１４内を減圧することができ、その後、Ｓ７１０で濃縮炉２０８内の滅菌剤を計量管に入れるので、濃縮炉２０８から、計量管２１４に直ぐに滅菌剤を入れることが可能となる。すなわち、滅菌剤が濃縮炉２０８でほぼ濃縮されることなく、計量管２１４に入れることが可能となる。
＜過酸化水素ガス濃度測定工程の実施例＞
図１１は滅菌室内の過酸化水素ガス濃度を測定する工程の一例である。
【０１４６】
マイクロコンピュータははじめに温度センサＡの温度Ｔａ（℃）を測定（Ｓ２００１）し、続いて温度センサＢの温度Ｔｂ（℃）を測定（Ｓ２００２）し、同じ続いて真空ゲージにより滅菌室内の圧力Ｐ（パスカル）を測定（Ｓ２００３）し、温度センサＢの使用経過時間Ｔ（累積時間）を計算（Ｓ２００４）する。
【０１４７】
ここでは、予め定められた基準時刻から、温度を測定した最新の測定時刻までの経過時間を算出することによって、温度センサＢ（第１の温度測定部）が滅菌室内で使用された累積時間を取得する（取得部）。
【０１４８】
Ｔａ（℃）とＴｂ（℃）とＰ（パスカル）とＴ（累積時間）をあらかじめ用意された計算式へ代入することで、滅菌室内の過酸化水素ガス濃度が求まる（Ｓ２００５）。この時の計算式の詳細は図７に示す。
【０１４９】
このように、図１０、図１３、図１４、図１６、図２０のＳ１０００において、Ｔａ（℃）とＴｂ（℃）とＰ（パスカル）とＴ（累積時間）を用いて換算した濃度を、滅菌室内の滅菌剤の濃度としてモニターしている。
＜換気工程の実施例＞
【０１５０】
図１２を用いて、図８のＳ５０３に示す換気工程の詳細処理の一例について説明する。
図１２は、Ｓ５０３に示す換気工程の詳細処理の一例を示す図である。
図１２に示す各工程（処理）は、滅菌装置１００の演算処理部２０１により滅菌装置内の各装置の動作を制御することにより行われる。
【０１５１】
すなわち、滅菌装置１００の演算処理部２０１が読み取り実行可能なプログラムを実行することにより、各装置の動作を制御して、図に示す各工程（処理）を実行する。
滅菌装置１００は、開閉弁Ｖ（７）２２６を開ける（Ｓ８０１）。
滅菌装置１００は、気送真空ポンプ２２０による滅菌室２１９内の吸引（真空引き）を引き続き行う（Ｓ８０２）。
【０１５２】
Ｓ８０１で開閉弁Ｖ（７）２２６を開けてから、Ｓ８０２で気送真空ポンプ２２０による滅菌室２１９内の吸引（真空引き）を行い、所定時間が経過すると（Ｓ８０３：ＹＥＳ）、開閉弁Ｖ（７）２２６を閉めて（Ｓ８０４）、気送真空ポンプ２２０による滅菌室２１９内の吸引（真空引き）を引き続き行う。これにより滅菌室２１９内が減圧される。
【０１５３】
次に、滅菌装置１００は、滅菌室２１９内の圧力が所定気圧（５０Ｐａ）まで減圧されると（Ｓ８０６：ＹＥＳ）開閉弁Ｖ（７）２２６を開ける（Ｓ８０７）。これにより、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０で清浄された滅菌装置１００の外の外気（大気）が滅菌室２１９内に吸い込まれる。これは、滅菌装置１００の外の気圧よりも滅菌室２１９内の圧力の方が低いため、滅菌装置１００の外の外気（大気）が滅菌室２１９内に吸い込まれる。
【０１５４】
滅菌装置１００は、滅菌室２１９内の圧力が大気圧まで上昇したかを判定し、滅菌室２１９内の圧力が大気圧まで上昇したと判定された場合（Ｓ８０８：ＹＥＳ）、Ｓ８０４からＳ８０８の処理を所定回数（例えば、４回）行ったかを判定し（Ｓ８０９）、Ｓ８０４からＳ８０８の処理を所定回数（例えば、４回）行った場合は（ＹＥＳ）、開閉弁Ｖ（７）２２６を閉めて（Ｓ８１０）換気工程を終了する。
一方、Ｓ８０４からＳ８０８の処理を所定回数（例えば、４回）行っていない場合は（ＮＯ）、再度、Ｓ８０４の処理から行う。
【０１５５】
これにより、滅菌室２１９内の表面に付着している滅菌剤及び滅菌室２１９内に気体として残っている滅菌剤を気送真空ポンプ２２０により吸引される。ここで吸引された気体（滅菌剤を含む）は、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１を通り、滅菌剤分解装置２２２で滅菌剤は分解され、分解後の分子が外部に放出される。
＜滅菌工程の第２の実施例＞
図１３はＳ５０２に示す滅菌工程において、滅菌室内の過酸化水素ガス濃度を測定するシステムを有する場合の詳細処理の変形例である。
なお図１０で説明したステップと重複しているステップの説明は省略する。
【０１５６】
Ｓ７２３で開閉弁（Ｖ７）２２６を閉めたあと、開閉弁（Ｖ９）２２７を閉める（Ｓ２２２３）。次にＳ１０００にて滅菌室内の過酸化水素ガス濃度を測定する。この詳細は図１１で説明したとおりである。
【０１５７】
Ｓ１００１で滅菌室内の過酸化水素ガス濃度が所定未満と判定された場合（ＮＯ）、過酸化水素ガス濃度と時間の積算で求まる曝露量が、所定濃度と所定時間（例えば３３０秒）の積算値とおなじになるように、Ｓ１００２では使用される所定時間（例えば３３０秒）を２倍の６６０秒に延長する。
一例として、滅菌室内の過酸化水素ガス濃度が所定の１／２であり、時間を延長する場合、予め定められた時間が３３０秒の場合は６６０秒となる。
滅菌室内の過酸化水素ガス濃度が所定以上と判定された場合（ＹＥＳ）は、Ｓ２２２３−５に処理が進む。
【０１５８】
Ｓ２２２３−５で所定時間を経過した場合（ＹＥＳ）、Ｓ７２４に処理が進む。所定時間を経過していない場合（ＮＯ）はＳ１０００へ戻る。
Ｓ７２１では滅菌室内が大気圧まで上昇するまで繰り返しているが、大気圧より低い圧力（例えば０．６気圧）の場合もある。
＜滅菌工程の第３の実施例＞
【０１５９】
図１４はＳ５０２に示す滅菌工程において、滅菌室内の過酸化水素ガス濃度を測定するシステムを有する場合の詳細処理の変形例である。
なお図１０で説明したステップと重複しているステップの説明は省略する。
【０１６０】
Ｓ７１７で開閉弁（Ｖ５）２１７を開けたあと、システムはＳ１０００にて滅菌室内の過酸化水素ガス濃度を測定する。この詳細は図１１で説明したとおりである。
滅菌室内の過酸化水素ガス濃度が所定未満と判定された場合（ＮＯ）、Ｓ１００３にて滅菌剤の追加投入を行う。この詳細は図１５に示す。
＜滅菌剤追加投工程の実施例＞
図１５は滅菌室内に滅菌剤を追加投入する工程の一例である。
【０１６１】
はじめに、滅菌装置１００は滅菌室内の過酸化水素ガス濃度の低さに応じて、液送ロータリーポンプ２０７を動作させ、滅菌剤をカートリッジ２０５から吸い取り、濃縮炉２０８に入れる。（Ｓ２６０１）
【０１６２】
例えば、滅菌室内の過酸化水素ガス濃度が所定値の１／２だった場合は、２倍量の滅菌剤を吸い取り、濃縮炉に入れる。
【０１６３】
次に、カートリッジ２０５のＲＦＩＤに、カートリッジ２０５内に残っている滅菌剤の残量を書き込む。（Ｓ２６０２）具体的には、既にＲＦＩＤに書き込まれている滅菌剤の残量を読み取り、Ｓ２６０１にて吸い取った量を引いた量をＲＦＩＤに書き込む。
次に、滅菌剤を濃縮するモードの場合（Ｓ２６０３−ＹＥＳ）、濃縮炉２０８に入れられた滅菌剤を濃縮する（Ｓ２６０４およびＳ２６０５）。
【０１６４】
具体的には、加熱された濃縮炉２０８に入れられた滅菌剤、つまりこの場合、過酸化水素水溶液の成分である水と過酸化水素の沸点の違いを利用した加熱濃縮を行う。所定時間（例えば６分）の加熱濃縮後、次のステップ（Ｓ２６０６）へ進む。
【０１６５】
滅菌剤を濃縮しないモードの場合（Ｓ２６０３−ＮＯ）は、速やかに次のステップ（Ｓ２６０６）へ進む。この時、速やかに（例えば１秒）次のステップへ進み、滅菌剤が濃縮炉２０８から吸い取られるため、滅菌剤は加熱濃縮されない。
【０１６６】
次に、濃縮炉２０８の滅菌剤を滅菌室２１９へ投下する（Ｓ２６０６からＳ２６１０）。
具体的な処理は次の通り。
【０１６７】
滅菌装置１００は開閉弁（Ｖ３）２１２と開閉弁（Ｖ４）２１３とを所定時間（例えば３秒）開ける。これにより計量管２１４は滅菌室２１９と同じ圧力、つまり真空になる。（Ｓ２６０６）
次に、開閉弁（Ｖ３）２１２と開閉弁（Ｖ４）２１３を閉じる。（Ｓ２６０７）
【０１６８】
次に、開閉弁（Ｖ１）を所定時間（例えば３秒）開ける。これにより、大気圧である濃縮炉２０８と真空の計量管２１４の間に圧力差が生じ、濃縮炉２０８に入っている滅菌剤が計量管２１４に吸い取られる。この時、滅菌剤と共に大気も計量管２１４に流れ込むため、計量管２１４は大気圧もしくは大気圧に近い圧力になる。（Ｓ２６０８）
次に、開閉弁（Ｖ１）を閉じる。（Ｓ２６０９）
【０１６９】
最後に、Ｓ２６１０で開閉弁（Ｖ２）２１５を開ける。これにより、大気圧もしくは大気圧に近い圧力である計量管２１４と気化炉２１６に圧力差が生じ、計量管２１４に入っている滅菌剤が気化炉２１６に吸い込まれる。気化炉２１６に吸い込まれた滅菌剤は気化し、この時開いている開閉弁（Ｖ５）２１７を通じて滅菌室２１９へ滅菌剤が投下される。
＜滅菌工程の第４の実施例＞
【０１７０】
図１６はＳ５０２に示す滅菌工程において、滅菌室内の過酸化水素ガス濃度を測定するシステムを有する場合の詳細処理の変形例である。
なお図１０で説明したステップと重複しているステップの説明は省略する。
【０１７１】
図１０のステップＳ７０４およびステップＳ７２９では予め決められた量の滅菌剤をポンプで吸い取り濃縮炉へ入れているが、図１６ではＳ１００４−１およびＳ１００４−２にて滅菌室内の過酸化水素ガス濃度に応じて滅菌剤の吸い取り量を増減している。この詳細は図１７に示す。
【０１７２】
また、滅菌室内の過酸化水素ガス濃度を測定する工程として、Ｓ１０００−１がステップＳ７１８とステップＳ７１９の間に、ステップＳ１０００−２がステップＳ７２１とステップＳ７２２の間に追加されている。
＜滅菌剤吸い取り工程の実施例＞
図１７は滅菌室内の過酸化水素ガス濃度に応じて滅菌剤を増減するＳ１００４−１又はＳ１００４−２の一例である。
【０１７３】
滅菌１回目の場合（ＹＥＳ）は、Ｓ１７０１で予め定められた量（例えば２ｍＬ）の滅菌剤を、液送ロータリーポンプ２０７を動作させ、カートリッジ２０５から吸い取り、濃縮炉２０８に入れる。
【０１７４】
滅菌１回目ではない場合（ＮＯ）で、先に測定した滅菌室内の過酸化水素ガス濃度が規定値よりも低かった場合（ＹＥＳ）、Ｓ１７０２で滅菌室内の過酸化水素ガス濃度を規定値まで上げるために、滅菌室内の過酸化水素ガス濃度の低さに応じて増量した（例えば４ｍＬ）の滅菌剤を、液送ロータリーポンプ２０７を動作させ、カートリッジ２０５から吸い取り、濃縮炉２０８に入れる。
【０１７５】
滅菌１回目ではない場合（ＮＯ）で、先に測定した滅菌室内の過酸化水素ガス濃度が規定値よりも高かった場合（ＹＥＳ）、Ｓ１７０３で滅菌室内の過酸化水素ガス濃度を規定値まで下げるために、滅菌室内の過酸化水素ガス濃度の高さに応じて減量した（例えば１ｍＬ）の滅菌剤を、液送ロータリーポンプ２０７を動作させ、カートリッジ２０５から吸い取り、濃縮炉２０８に入れる。
【０１７６】
滅菌１回目ではない場合（ＮＯ）で、先に測定した滅菌室内の過酸化水素ガス濃度が規定の範囲内だった場合、Ｓ１７０４で前回と同量（例えば２ｍＬ）の滅菌剤を、液送ロータリーポンプ２０７を動作させ、カートリッジ２０５から吸い取り、濃縮炉２０８に入れる。
＜滅菌プロセス工程の第２の実施例＞
図１８は、滅菌物減圧特性確認工程の前後の処理の一例を示す図である。
【０１７７】
なお、図１８の処理を実行する前に、ユーザが滅菌室の扉１０４を開け、滅菌室２１９内に滅菌物減圧特性確認を行いたい機材、もしくは、滅菌物減圧特性確認後に滅菌を行いたい機材を設置し、滅菌室の扉１０４を閉じた状態であるものとする。
【０１７８】
Ｓ１５０１において、滅菌装置１００は、ユーザにより滅菌物減圧特性確認を開始するためのボタン（図示しない）が押下されたか否かを判定する。ユーザにより滅菌物減圧特性確認を開始するためのボタン（図示しない）が押下された場合には、Ｓ１５０２に進む。
Ｓ１５０２において、滅菌装置１００は、すべての開閉弁を閉じ、気送真空ポンプ２２０を作動させ、滅菌室の減圧を開始し、経過時間のカウント始める。
【０１７９】
Ｓ１５０３、Ｓ１５０４において、滅菌装置１００は、滅菌室の圧力と経過時間とを、表示部１０２に表示する。なお、滅菌室の圧力と経過時間は常に表示部１０２に表示される。また、滅菌装置１００は、真空ゲージ（ブロック図には不図示）より出力される圧力値をモニターしつづける。
【０１８０】
Ｓ１５０５において、滅菌装置１００は、所定の圧力（今回は滅菌サイクルでの減圧値と同じ５０Ｐａしている）まで減圧されたか否かを判断する。所定の圧力まで減圧されていればＳ１５０４にすすみ、所定の圧力まで減圧されていない場合は、所定の圧力に減圧されるまで、減圧を繰り返す。
【０１８１】
Ｓ１５０６において、滅菌装置１００は、所定の圧力まで減圧されるまでに経過した時間により滅菌物減圧特性の判定処理を行う。Ｓ１５０５の処理の詳細は、図１９を用いて説明する。
Ｓ１５０７において、滅菌装置１００は、Ｓ１５０５で行った滅菌物減圧特性の判定処理の結果を表示部１０２に表示する。
【０１８２】
Ｓ１５０８において、滅菌装置１００は、図１８の処理を実行する際にユーザが滅菌室内に投入した機材を滅菌するのに要すると予測される時間（予測滅菌処理時間）を、表示部１０２に表示する。
Ｓ１５０９において、滅菌装置１００は、Ｓ１５０５で行った滅菌物減圧特性の判定結果に応じたメッセージ（アドバイス）を表示部１０２に表示する。
【０１８３】
なお、Ｓ１５０７で表示部１０２に表示される判定結果と、Ｓ１５０８で表示部１０２に表示される予測滅菌処理時間と、Ｓ１５０９で表示部１０２に表示されるアドバイスは、印刷部１０３で印刷することも可能である。
【０１８４】
Ｓ１５１０において、滅菌装置１００は、滅菌の自動開始を行う設定をユーザが行ったか否かを判断する。滅菌の自動開始を行う設定をユーザが行っていれば、Ｓ１５１１に進み、滅菌の自動開始を行う設定をユーザが行っていなけれ、Ｓ１５１５に進む。
Ｓ１５１５において、滅菌装置１００は、滅菌室の減圧を停止する。
Ｓ１５１６において、滅菌装置１００は、滅菌室に大気を導入し、滅菌室内を大気圧に戻す。そして、図１５の処理を終了する。
Ｓ１５１１において、滅菌装置１００は、Ｓ１５０６で判定した結果が、ユーザが設定した滅菌の自動開始条件を満たす判定結果であるかを判定する。
【０１８５】
Ｓ１５０６で判定した結果が、ユーザが設定した滅菌の自動開始条件を満たす判定結果である場合には、Ｓ１５１２へ進み、Ｓ１５０６で判定した結果が、ユーザが設定した滅菌の自動開始条件を満たす判定結果でない場合には、Ｓ１５１５へ進む。
【０１８６】
より具体的な例としては、ユーザが設定した滅菌の自動開始を許可する条件が「判定Ｃ」であれば、Ｓ１５０６で判定した結果が「判定Ａ」、「判定Ｂ」、「判定Ｃ」の場合に、Ｓ１５１２に進む。
【０１８７】
Ｓ１５１２において、滅菌装置１００は、滅菌前工程を省略する設定をユーザが行ったか否かを判断する。滅菌前工程を省略する設定をユーザが行っていれば、Ｓ５０２に進み、滅菌前工程を省略する設定をユーザが行っていなけれ、Ｓ１５１３に進む。
Ｓ１５１３において、滅菌装置１００は、滅菌室の減圧を停止する。
Ｓ１５１４において、滅菌装置１００は、滅菌室に大気を導入し、滅菌室内を大気圧に戻す。
Ｓ５０１において、滅菌装置１００は、滅菌前工程を開始する。
Ｓ５０２において、滅菌装置１００は、滅菌工程を開始する。
【０１８８】
このように、滅菌の自動開始を行う設定で、かつ、自動開始の判定以上の場合で、かつ、滅菌前工程を省略する設定の場合に、滅菌前工程を省略することにより、滅菌処理に要する時間が短縮され（約３分）、使用者の利便性が向上する。
Ｓ５０３において、滅菌装置１００は、換気工程を行い、図１５の処理を終了する。
＜滅菌物減圧特性確認工程の実施例＞
【０１８９】
図１９は、Ｓ１５０６の滅菌物減圧特性確認工程の一例を示す図である。
なお、本実施例では、判定Ａを最も良い判定結果とし、判定Ｅを最も悪い判定結果とする。
【０１９０】
より具体的な例としては、判定Ａおよび判定Ｂは滅菌処理物の量が少ないため、このまま滅菌開始しても良いし、滅菌処理物の追加も可能とする判定である。判定Ｃは滅菌処理物の量が十分であるため、これ以上の滅菌処理物の増加は好ましくなく、このまま滅菌開始することが良いとする判定である。判定Ｄは滅菌処理物の量が多いため、滅菌処理物の量を減らした上で滅菌開始したほうが好ましい判定である。判定Ｅは滅菌処理物が過多であり、滅菌処理物の量を相当量減らした上で滅菌開始する必要がある判定である。判定Ｅの状態のまま滅菌開始した場合、は所定の滅菌処理時間に完了しない、もしくは、エラーとなる可能性が高い。
Ｓ１６０１において、滅菌装置１００は、Ｓ１５０５で、所定の圧力まで減圧されたと判定されるまでに経過した時間が３分００秒以内か否かを判断する。
【０１９１】
Ｓ１５０５で、所定の圧力まで減圧されたと判定されるまでに経過した時間が３分００秒以内であれば、判定Ａと判定し（Ｓ１６０２）、図１９の処理を終了する。Ｓ１５０５で、所定の圧力まで減圧されたと判定されるまでに経過した時間が３分００秒よりも時間が経過している場合には、Ｓ１６０３に進む。
【０１９２】
Ｓ１６０３において、滅菌装置１００は、Ｓ１５０５で、所定の圧力まで減圧されたと判定されるまでに経過した時間が３分０１秒〜３分３０秒以内か否かを判断する。
【０１９３】
Ｓ１５０５で、所定の圧力まで減圧されたと判定されるまでに経過した時間が３分０１秒〜３分３０秒以内であれば、判定Ｂと判定し（Ｓ１６０４）、図１９の処理を終了する。Ｓ１５０５で、所定の圧力まで減圧されたと判定されるまでに経過した時間が３分３０秒よりも時間が経過している場合には、Ｓ１６０５に進む。
【０１９４】
Ｓ１６０５において、滅菌装置１００は、Ｓ１５０５で、所定の圧力まで減圧されたと判定されるまでに経過した時間が３分３１秒〜４分００秒以内か否かを判断する。
【０１９５】
Ｓ１５０５で、所定の圧力まで減圧されたと判定されるまでに経過した時間が３分３１秒〜４分００秒以内であれば、滅菌装置１００は、判定Ｃと判定し（Ｓ１６０６）、図１９の処理を終了する。Ｓ１５０５で、所定の圧力まで減圧されたと判定されるまでに経過した時間が４分００秒よりも時間が経過している場合には、滅菌装置１００は、Ｓ１６０７に処理を移行する。
【０１９６】
Ｓ１６０７において、滅菌装置１００は、Ｓ１５０５で、所定の圧力まで減圧されたと判定されるまでに経過した時間が４分０１秒〜５分００秒以内か否かを判断する。
【０１９７】
Ｓ１５０５で、所定の圧力まで減圧されたと判定されるまでに経過した時間が４分０１秒〜５分００秒以内であれば、滅菌装置１００は、判定Ｄと判定し（Ｓ１６０８）、図１９の処理を終了する。Ｓ１５０５で、所定の圧力まで減圧されたと判定されるまでに経過した時間が５分００秒よりも時間が経過している場合には、滅菌装置１００は、判定Ｅと判定し、（Ｓ１６０９）、図１９の処理を終了する。
＜滅菌工程の第５の実施例＞
【０１９８】
図２０はＳ５０２に示す滅菌工程において、滅菌室内の過酸化水素ガス濃度を測定し、濃度の適格性を滅菌物減圧特性判定結果と照らし合わして適格性を判断し、異常な場合は滅菌工程をエラー終了する仕組みを有する場合の一例である。
なお、図１０で説明したステップと重複しているステップの説明は省略する。
【０１９９】
滅菌室内の過酸化水素ガス濃度の測定を行う（Ｓ１０００）。この具体例は図２０に示す。
次に、Ｓ１００５で測定した滅菌室内の過酸化水素ガス濃度の適格性を判定する。この具体例は図２１に示す。
【０２００】
次に、Ｓ１００６で判定結果により条件分岐する。判定結果が異常だった場合（Ｓ１００６−ＹＥＳ）は速やかに滅菌工程を終了する。判定結果が適格だった場合（Ｓ１００６−ＮＯ）は次のステップ（Ｓ７１８）へ進み、滅菌工程を継続する。
図２１は、Ｓ１００５で判定する条件をまとめたデータテーブルである。
【０２０１】
先述のとおり、滅菌物の吸着性が高いと滅菌室の滅菌剤の濃度は低くなり反比例の関係にある。そのため、滅菌前に吸着特性チェック（吸着性の高低）を実施し、その判定（ＡからＥ）と、滅菌中の滅菌ガス濃度（工程）の結果が一致しない場合は、「滅菌剤の劣化（過酸化水素濃度の低下）」や「装置のエラー」と判定することができ、エラーを通知することができる。
【０２０２】
例えば吸着特性チェックの結果がＡの場合は滅菌物の吸着性は低く滅菌剤も吸着しないので、滅菌剤を投入しても濃度は８０％以上であると考えられるが、滅菌剤の濃度は８０％を下回った場合、滅菌物の吸着性以外の異常であることも考えられる。
また、吸着特性チェックの結果のレベルに応じて、滅菌物の吸着性以外の異常であるかを判断する滅菌剤の濃度の閾値を変えている。
【０２０３】
例えば吸着特性チェックの結果がＥの場合は滅菌物の吸着性は高く滅菌剤も吸着するので、滅菌剤を投入しても濃度は２５％以上であると考えられるが、滅菌剤の濃度は２５％を下回った場合、滅菌物の吸着性以外の異常であることも考えられる。
【０２０４】
次に図２２〜図２３を用いて、温度センサＢの周囲に設けられるカバーについて説明し、図２４を用いて、温度センサＢの周囲に設けられるシャッターについて説明する。先に述べたとおり、本発明の実施形態では、滅菌室内の過酸化水素ガス濃度を求めるために、温度センサＢの温度測定部６０３の表面が二酸化マンガン膜６０６で覆われた温度センサＢを用いているが、図１０のＳ１０００で過酸化水素ガス濃度を測定後も二酸化マンガン膜６０６を露出させたままにすると、二酸化マンガンと滅菌処理中の滅菌剤が反応することにより、滅菌処理中の滅菌剤が分解され、滅菌効果が低下したり、温度センサＢの温度測定部６０３が劣化してしまう恐れがある。
【０２０５】
そこで、温度センサＢの周囲にカバーやシャッターを設けることにより、過酸化水素ガス濃度測定後も滅菌剤が分解される可能性を低減する。
【０２０６】
図２２は、本発明による温度センサＢの構造の一例を示す図であり、特に、温度センサＢの周囲に設けられるカバーを説明する図である。
図２２の左側の図（（ａ）カバー開）は、過酸化水素ガスの濃度測定時のカバーＢ２２０３の状態を示し、図２２の右側の図（（ｂ）カバー閉）は、過酸化水素ガスの濃度を測定していないときのカバーＢ２２０３の状態を示している。
【０２０７】
また図２２の上段の各図は、温度センサＢの側面図であり、図２２の中段の各図は、上段の側面図の破線Ａで温度センサＢを切断したときの切断面を示す断面図である。図２２の下段の各図は、温度センサＢを下から見た場合における温度センサＢの下面を示す図である。
【０２０８】
２２０１は、駆動部であり、駆動部２２０１は演算処理部２０１によって動作を制御され、当該駆動部２２０１が動作することによって、カバーＢ２２０３を回転させる。
２２０２は、カバーＡであり、カバーＡ２２０２は、滅菌室外壁６０５に固定されている。
【０２０９】
２２０３は、カバーＢあり、カバーＢ２２０３は、過酸化水素ガスの濃度を測定していないときには、温度センサＢの温度測定部６０３、およびその表面を覆う二酸化マンガン膜６０６を、図２２の右側の図のようにカバーＡ２２０２とカバーＢ２２０３により覆うことで二酸化マンガンと滅菌剤が反応することを抑制している。
【０２１０】
そして、過酸化水素ガスの濃度を測定するときには、駆動部２２０１によりカバーＢ２２０３が回転し、カバーＡ２２０２の外側にカバーＢ２２０３が回りこむ（つまりカバーＡ２２０２が、カバーＢ２２０３の内側に入り込む）ことで、濃度を測定していないときにカバーＢ２２０３によって覆われていた部分の二酸化マンガン膜６０６が露出し、過酸化水素ガスの濃度が測定可能となる。以上で図２２の説明を終了する。
【０２１１】
次に図２３を用いて温度センサＢの周囲に設けられるカバーの他の実施形態について説明する。
【０２１２】
図２３は、本発明による温度センサＢの構造の一例を示す図であり、特に、温度センサＢの周囲に設けられるカバーを説明する図である。
図２３の左側の図は、過酸化水素ガスの濃度測定時のカバー２３０２およびシャッター２３０３の状態を示し、図２３の右側の図は、過酸化水素ガスの濃度を測定していないときのカバー２３０２およびシャッター２３０３の状態を示している。
【０２１３】
また図２３の最上段の各図は、温度センサＢの側面図であり、図２３の上から２段目の各図は、最上段の側面図の破線Ａで温度センサＢを切断したときの切断面を示す断面図である。図２３の上から３段目の各図は、最上段の側面図の破線Ｂで温度センサＢを切断したときの切断面を示す断面図である。図２３の最下段の各図は、温度センサＢを下から見た場合における温度センサＢの下面を示す図である。
【０２１４】
２３０１は、駆動部であり、駆動部２３０１は演算処理部２０１によって動作を制御され、当該駆動部２３０１が動作することによって、シャッター２３０３を上下に動作させる。
【０２１５】
２３０２は、カバーであり、カバー２３０２は、滅菌室外壁６０５と接することで固定されている。
【０２１６】
２３０４は、測定窓であり、測定窓２３０４は、カバー２３０２の一部分が切り取られることによって形成される。
【０２１７】
２３０３は、シャッターあり、シャッター２３０３は、過酸化水素ガスの濃度を測定していないときには、温度センサＢの温度測定部６０３、およびその表面を覆う二酸化マンガン膜６０６を、図２３の右側の図のようにカバー２３０２とシャッター２３０３により覆うことで二酸化マンガンと滅菌剤が反応する可能性を低減している。
【０２１８】
そして、過酸化水素ガスの濃度を測定するときには、駆動部２３０１によりシャッター２３０３が上方向（重力方向と反対方向）に移動し、カバー２３０２の内側にシャッター２３０３が入り込むことで、濃度を測定していないときにシャッター２３０３によって覆われていた部分（測定窓２３０４の枠内）の二酸化マンガン膜６０６が露出し、過酸化水素ガスの濃度が測定可能となる。以上で図２３の説明を終了する。
【０２１９】
次に図２４を用いて、本発明の他の実施形態における温度センサＢの周囲に設けられるシャッターについて説明する。
【０２２０】
図２４は、本発明による温度センサＢの構造の一例を示す図であり、特に、温度センサＢの周囲に設けられるシャッターを説明する図である。
図２４の上の図は、過酸化水素ガスの濃度測定時のシャッター２４０２の状態を示し、図２４の下の図は、過酸化水素ガスの濃度を測定していないときのシャッター２４０２の状態を示している。
【０２２１】
図２４に示す実施形態では、滅菌室外壁６０５は、一部の領域が滅菌室外方向に出っ張ることによって、温度センサＢの温度測定部６０３が格納可能な程度の空間が設けられている。
【０２２２】
２４０３は、上下機構であり、上下機構２４０３は演算処理部２０１によって動作を制御され、当該上下機構２４０３が動作することによって、シャフト２４０４が上下し、それに伴ってシャフト２４０４と接続する温度センサＢの温度測定部６０３が上下し、滅菌室外壁６０５の一部の領域が滅菌室外方向に出っ張ることによって生じる空間に、温度センサＢの温度測定部６０３が格納される。
【０２２３】
上下機構２４０３は、過酸化水素ガスの濃度を測定するときには、下方向（重力方向）にシャフト２４０４を動作させ、過酸化水素ガスの濃度を測定していないときには、上方向（重力方向と反対方向）にシャフト２４０４を動作させる。シャフト２４０４を上方向に動作させたときには、図２４の下図のように、駆動部２４０１によって制御されるシャッター２４０２が、温度センサＢの温度測定部６０３の底面をふさぐように動作する。そうすることで、滅菌室外壁６０５の一部の領域が滅菌室外方向に出っ張ることによって生じる空間に、温度センサＢの温度測定部６０３が格納され、かつ、滅菌室内から隔離されるため、二酸化マンガンと滅菌剤が反応する可能性を低減することができる。
【０２２４】
下方向（重力方向）にシャフト２４０４を動作させたときには、図２４の上図のように、駆動部２４０１によって制御されるシャッター２４０２が、温度センサＢの温度測定部６０３の底面を塞がないように動作する。そうすることで、温度センサＢの温度測定部６０３の表面を覆う二酸化マンガン膜６０６が露出し、過酸化水素ガスの濃度が測定可能となる。
以上で図２４の説明を終了する。
【０２２５】
なお、先述したカバーＡ２２０２、カバーＢ２２０３、カバー２３０２、シャッター２３０３、シャッター２４０２は、本発明における抑制部材の一例である。
なお、本実施形態において、駆動部２２０１、駆動部２３０１、駆動部２４０１、上下機構２４０３の制御は演算処理部（ＭＰＵ）２０１が実行するとしたが、他の実施形態として、マイクロコンピュータのＣＰＵ（制御コンピュータのＭＰＵ２０１）が実行することも可能である。
【０２２６】
次に図２５を用いて、図１１に示した滅菌室内の過酸化水素ガス濃度を測定する工程の他の実施形態について説明する。
図２５は、滅菌室内の過酸化水素ガス濃度を測定する工程の一例である。図２５の各ステップはマイクロコンピュータ（制御コンピュータ）のＣＰＵが実行する。また、他の実施例としてマイクロコンピュータを介して、各温度センサが計測した温度を取得した滅菌装置１００のＭＰＵ２０１が実行することも可能である。
【０２２７】
Ｓ２５０１において、マイクロコンピュータは、温度センサＢの温度測定部６０３の表面を覆う二酸化マンガン膜６０６を、露出させる。
【０２２８】
より具体的には、図２２の実施形態の場合、図２２の左図のように、駆動部２２０１によりカバーＢ２２０３を回転させ、カバーＡ２２０２の外側にカバーＢ２２０３が回りこむことで、濃度を測定していないときにカバーＢ２２０３によって覆われていた部分の二酸化マンガン膜６０６が露出させる。図２３の実施形態の場合、駆動部２３０１によりシャッター２３０３が上方向に移動し、カバー２３０２の内側にシャッター２３０３が入り込むことで、濃度を測定していないときにシャッター２３０３によって覆われていた部分の二酸化マンガン膜６０６を露出させる。図２４の実施形態の場合、下方向（重力方向）にシャフト２４０４を動作させたときに、図２４の上図のように、駆動部２４０１によって制御されるシャッター２４０２が、温度センサＢの温度測定部６０３の底面を塞がないように動作することで、温度センサＢの温度測定部６０３の表面を覆う二酸化マンガン膜６０６を露出させる。
【０２２９】
Ｓ２５０２は、図１１のＳ２００１と同様の処理であるため説明は省略する。Ｓ２５０３は、図１１のＳ２００２と同様の処理であるため説明は省略する。Ｓ２５０４は、図１１のＳ２００３と同様の処理であるため説明は省略する。Ｓ２５０５は、図１１のＳ２００４と同様の処理であるため説明は省略する。Ｓ２５０６は、図１１のＳ２００５と同様の処理であるため説明は省略する。
【０２３０】
Ｓ２５０７において、マイクロコンピュータは、温度センサＢの温度測定部６０３の表面を覆う二酸化マンガン膜６０６を、露出させないように制御する。
【０２３１】
具体的には、図２２の実施形態の場合、温度センサＢの温度測定部６０３、およびその表面を覆う二酸化マンガン膜６０６を、図２２の右側の図のようにカバーＡ２２０２とカバーＢ２２０３により覆うように、カバーＢ２２０３を回転させるように制御することで二酸化マンガンと滅菌剤が反応する可能性を低減している。図２３の実施形態の場合、シャッター２３０３を制御し、温度センサＢの温度測定部６０３、およびその表面を覆う二酸化マンガン膜６０６を、図２３の右側の図のようにカバー２３０２とシャッター２３０３により覆うことで二酸化マンガンと滅菌剤が反応する可能性を低減している。図２４の実施形態の場合、まず、上下機構２４０３を上方向にどうさせることで、滅菌室外壁６０５の一部の領域が滅菌室外方向に出っ張ることによって生じる空間に、温度センサＢの温度測定部６０３が格納し、次に、シャッター２４０２を、温度センサＢの温度測定部６０３の底面をふさぐように動作させることで二酸化マンガンと滅菌剤が反応する可能性を低減する。
以上で図２５の説明を終了する。
【０２３２】
以上の説明から明らかなように、本発明の実施の形態では、減圧された滅菌室に滅菌剤を投入する場合の滅菌剤の濃度を、温度計を用いて簡易的にモニターする仕組みを提供することができる。
【符号の説明】
【０２３３】
１００    滅菌装置
１０１    開閉扉
１０２    表示部
１０３    印刷部
１０４    滅菌室（真空チャンバー）の扉
２０１    演算処理部（ＭＰＵ）
２０４    液センサ
２０５    滅菌剤容器
２０７    液送ロータリーポンプ
２０８    濃縮炉
２１５    開閉弁（Ｖ２）
２１６    気化室
２１７    開閉弁（Ｖ５）
２１９    滅菌室（真空チャンバー）
２２０    真空ポンプ
２２１    排気用ＨＥＰＡフィルタ
２２２    分解装置
２２３    液送ロータリーポンプ
２２４    蒸発炉
２２６    開閉弁（Ｖ７）
【図１】
2016209576.tif 000003
【図２】
2016209576.tif 000004
【図３】
2016209576.tif 000005
【図４】
2016209576.tif 000006
【図５】
2016209576.tif 000007
【図６】
2016209576.tif 000008
【図７】
2016209576.tif 000009
【図８】
2016209576.tif 000010
【図９】
2016209576.tif 000011
【図１０】
2016209576.tif 000012
【図１１】
2016209576.tif 000013
【図１２】
2016209576.tif 000014
【図１３】
2016209576.tif 000015
【図１４】
2016209576.tif 000016
【図１５】
2016209576.tif 000017
【図１６】
2016209576.tif 000018
【図１７】
2016209576.tif 000019
【図１８】
2016209576.tif 000020
【図１９】
2016209576.tif 000021
【図２０】
2016209576.tif 000022
【図２１】
2016209576.tif 000023
【図２２】
2016209576.tif 000024
【図２３】
2016209576.tif 000025
【図２４】
2016209576.tif 000026
【図２５】
2016209576.tif 000027