(57)【要約】【課題】軸受両側端部でのトップフォイルの反り上がりを抑制し、トップフォイルの局所的な摩耗を防止したラジアルフォイル軸受を提供する。【解決手段】回転軸に外挿されて該回転軸を支持するラジアルフォイル軸受である。回転軸に対向して配置される円筒状のトップフォイルと、トップフォイルの径方向外側に配置されるバックフォイルと、トップフォイル及びバックフォイルを内挿した状態に収容する円筒状の軸受ハウジングと、を備える。バックフォイルと回転軸との間に配置されるトップフォイルを含むフォイルの厚さが、回転軸の長さ方向における両側部において、中央部より薄く形成されている。【選択図】図２
2016080103.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸に外挿されて該回転軸を支持するラジアルフォイル軸受であって、
前記回転軸に対向して配置される円筒状のトップフォイルと、前記トップフォイルの径方向外側に配置されるバックフォイルと、前記トップフォイル及び前記バックフォイルを内挿した状態に収容する円筒状の軸受ハウジングと、を備え、
前記バックフォイルと前記回転軸との間に配置される前記トップフォイルを含むフォイルの厚さが、前記回転軸の長さ方向における両側部において、中央部より薄く形成されていることを特徴とするラジアルフォイル軸受。
【請求項２】
前記トップフォイルと前記バックフォイルとの間に中間フォイルが配置され、該中間フォイルは、その両側端が前記トップフォイルの両側端よりそれぞれ内側に位置していることを特徴とする請求項１記載のラジアルフォイル軸受。
【請求項３】
前記トップフォイルと前記バックフォイルとの間に中間フォイルが複数枚重ねられて配置され、該中間フォイルのうちの少なくとも一つは、その両側端が前記トップフォイルの両側端よりそれぞれ内側に位置していることを特徴とする請求項１記載のラジアルフォイル軸受。
【請求項４】
前記トップフォイルの両側部が、中央部より薄肉に形成されていることを特徴とする請求項１記載のラジアルフォイル軸受。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ラジアルフォイル軸受に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、高速回転体用の軸受として、回転軸に外挿されて用いられるラジアル軸受が知られている。このようなラジアル軸受としては、軸受面を形成する薄板状のトップフォイルと、このトップフォイルを弾性的に支持するバックフォイルと、前記トップフォイル及び前記バックフォイルを収容する円筒状の軸受ハウジングと、を備えたラジアルフォイル軸受がよく知られている。ラジアルフォイル軸受のバックフォイルとしては、薄板を波板状に成形したバンプフォイルが主として用いられている。
【０００３】
このようなラジアルフォイル軸受にあっては、通常、トップフォイルやバンプフォイルが軸受ハウジングから脱落するのを防止するため、その一端部(止端部)がスポット溶接によって軸受ハウジングに直接、あるいはスペーサを介して間接的に固定されている。
また、一部のフォイル軸受では、「フォイル間摩擦による減衰効果の向上」や「トップフォイルの剛性の補強」などを目的として、トップフォイルとバックフォイルとの間に中間フォイルを挿入している。この中間フォイルも、トップフォイルと同様に軸受ハウジングを１周するように配置され、その一端部が溶接によって軸受ハウジングに固定されている。
【０００４】
さらに、このような中間フォイルを有するラジアルフォイル軸受としては、例えば特許文献１に、前記従来のラジアルフォイル軸受についての構造を改良し、軸受の負荷能力や動特性について設計通りの良好な性能が得られるようにしたものが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−３７８５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、ラジアルフォイル軸受の軸受面に形成される流体潤滑膜の圧力は、軸受長さ方向の縦断面、すなわち軸受の中心軸に沿って切った縦断面で見ると、軸受中央部が高く、両側端部では低くなっている。これは、軸受長さ方向の両側端部では流体潤滑膜の圧力が周囲圧力（例えば大気圧）とほぼ同じになることによる。このため、トップフォイルは軸受長手方向での前記縦断面で見ると、軸受中央部が凹となるように変形し、両側端部では回転軸に接近する側へ反り上がることになる。
しかしながら、流体潤滑膜の厚さは１０μｍ前後と非常に薄いため、軸受側端部にてトップフォイルの反り上がりが生じると、トップフォイルと回転軸との接触が起こり易くなり、接触箇所が局所的に摩耗することがある。
【０００７】
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、軸受両側端部でのトップフォイルの反り上がりを抑制し、トップフォイルの局所的な摩耗を防止したラジアルフォイル軸受を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のラジアルフォイル軸受は、回転軸に外挿されて該回転軸を支持するラジアルフォイル軸受であって、前記回転軸に対向して配置される円筒状のトップフォイルと、前記トップフォイルの径方向外側に配置されるバックフォイルと、前記トップフォイル及び前記バックフォイルを内挿した状態に収容する円筒状の軸受ハウジングと、を備え、前記バックフォイルと前記回転軸との間に配置される前記トップフォイルを含むフォイルの厚さが、前記回転軸の長さ方向における両側部において、中央部より薄く形成されていることを特徴とする。
【０００９】
回転軸が回転すると、前記したように流体潤滑膜の圧力によってトップフォイルはその中央部がバンプフォイル側へ沈み込み、両側端部は回転軸側へ反り上がろうとする。
しかし、本発明のラジアルフォイル軸受にあっては、バックフォイルと回転軸との間に配置されるトップフォイルを含むフォイルの厚さが、回転軸の長さ方向における両側部において、中央部より薄く形成されているので、前記両側部ではトップフォイルとバックフォイルの間に隙間が生じる。従って、この隙間が無くなるまではトップフォイルの両側端部を回転軸の側へ押し返す力が生じず、トップフォイルの両側端部の反り上がりが起こらない。よって、トップフォイルの両側端部において流体潤滑膜の厚さが極端に薄くなることが抑制され、トップフォイルの両側端部は高負荷時においても回転軸との非接触状態が維持される。
【００１０】
また、前記ラジアルフォイル軸受においては、前記トップフォイルと前記バックフォイルとの間に中間フォイルが配置され、該中間フォイルは、その両側端が前記トップフォイルの両側端よりそれぞれ内側に位置していることが好ましい。
このような構成とすれば、中間フォイルにより、トップフォイルとバックフォイルとの間の、回転軸の長さ方向両側部に確実に隙間が形成され、従ってトップフォイルの両側端部の反り上がりが防止される。
【００１１】
また、前記ラジアルフォイル軸受においては、前記トップフォイルと前記バックフォイルとの間に中間フォイルが複数枚重ねられて配置され、該中間フォイルのうちの少なくとも一つは、その両側端が前記トップフォイルの両側端よりそれぞれ内側に位置していることが好ましい。
このような構成とすれば、複数枚重ねられて配置された中間フォイルのうちの少なくとも一つにより、トップフォイルとバックフォイルとの間の、回転軸の長さ方向両側部に確実に隙間が形成され、従ってトップフォイルの両側端部の反り上がりが防止される。
【００１２】
また、前記ラジアルフォイル軸受においては、前記トップフォイルの両側部が、中央部より薄肉に形成されていることが好ましい。
このような構成とすれば、特にトップフォイルのバックフォイル側の面を削って薄肉に形成しておくことにより、トップフォイルとバックフォイルとの間の、回転軸の長さ方向両側部に確実に隙間が形成され、従ってトップフォイルの両側端部の反り上がりが防止される。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のラジアルフォイル軸受によれば、バックフォイルと回転軸との間に配置されるトップフォイルを含むフォイルの厚さを、回転軸の長さ方向における両側部において、中央部より薄く形成しているので、これら中央部と両側部との間での流体潤滑膜の膜厚の差を少なくすることができ、従ってトップフォイルの両側端部で流体潤滑膜の厚さが極端に薄くなることを抑制し、高負荷時においてもトップフォイルの両側端部と回転軸との非接触状態を維持することができる。よって、トップフォイル両側端部の摩耗を抑制することにより、軸受に高い負荷を掛けることが可能になり、従って高負荷での使用が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に係るラジアルフォイル軸受が適用されるターボ機械の一例を示す模式図である。
【図２】本発明に係るラジアルフォイル軸受の第１実施形態の概略構成を示す図であり、（ａ）はラジアルフォイル軸受の側面図、（ｂ）は軸受ハウジングの内周面の要部を示す図である。
【図３】（ａ）は図２に示したラジアルフォイル軸受の要部分解斜視図、（ｂ）は通し溝に固定具が嵌合している状態を示す平面図、（ｃ）は通し溝に固定具が嵌合している状態を示す縦断面図である。
【図４】（ａ）は図２に示したラジアルフォイル軸受の要部分解斜視図、（ｂ）は図２（ａ）のＡ−Ａ線矢視断面図である。
【図５】（ａ）は図２（ａ）の要部を平坦化して模式的に示す側面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線矢視図である。
【図６】（ａ）はトップフォイルの展開図、（ｂ）はトップフォイルの展開側面図である。
【図７】ラジアルフォイル軸受の要部拡大側面図である。
【図８】（ａ）は一方の中間フォイルの展開図、（ｂ）は一方の中間フォイルの側面図、（ｃ）は他方の中間フォイルの展開図、（ｄ）は他方の中間フォイルの側面図である。
【図９】（ａ）は流体潤滑膜の圧力分布を説明するための軸受長さ方向の縦断面図であり、（ｂ）はラジアルフォイル軸受の第１実施形態の縦断面図である。
【図１０】本発明に係るラジアルフォイル軸受の第２実施形態の側面図である。
【図１１】（ａ）はトップフォイルの展開図、（ｂ）はトップフォイルの長辺側の展開側面図、（ｃ）はトップフォイルの短辺側の展開側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照して本発明のラジアルフォイル軸受を詳しく説明する。なお、以下の図面においては、各部材を認識可能な大きさとするために、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００１６】
図１は、本発明のラジアルフォイル軸受が適用されるターボ機械の一例を示す側面図であり、図１中符号１は回転軸、２は回転軸の先端部に設けられたインペラ、３は本発明に係るラジアルフォイル軸受である。なお、図１では省略してラジアルフォイル軸受を一つしか記載していないが、通常は回転軸１の軸方向にラジアルフォイル軸受が二つ設けられて、回転軸１の支持構造が構成される。したがって、本実施形態においてもラジアルフォイル軸受３が二つ設けられているものとする。
【００１７】
回転軸１には、インペラ２が形成された側にスラストカラー４が固定されており、このスラストカラー４の両側には、このスラストカラー４に対向してそれぞれの側にスラスト軸受５が配置されている。
また、インペラ２は静止側となるハウジング６内に配置されており、ハウジング６との間にチップクリアランス７を有している。
また、回転軸１には、スラストカラー４より中央側に、ラジアルフォイル軸受３が外挿されている。
【００１８】
「第１実施形態」
図２（ａ）、（ｂ）は、このような構成のターボ機械に適用されたラジアルフォイル軸受の第１実施形態を示す図である。この第１実施形態のラジアルフォイル軸受３は、図２（ａ）に示すように回転軸１に外挿されて該回転軸１を支持する円筒状のもので、回転軸１に対向して配置される円筒状のトップフォイル１０と、該トップフォイル１０の径方向外側に配置される二つ（複数）の中間フォイル１１ａ、中間フォイル１１ｂと、該中間フォイル１１ｂの径方向外側に配置されるバックフォイル１２と、該バックフォイル１２の径方向外側に配置される軸受ハウジング１３と、を備えて構成されている。
【００１９】
軸受ハウジング１３は、ラジアルフォイル軸受３の最外部を構成する金属製で円筒状のもので、内部にバックフォイル１２、中間フォイル１１ｂ、中間フォイル１１ａ、トップフォイル１０を、外側から内側（回転軸１側）に向けてこの順に収容したものである。この軸受ハウジング１３には、その内周面に、該軸受ハウジング１３の軸方向に沿って通し溝１４が形成されている。軸受ハウジング１３の内周面要部を示す図２（ｂ）に示すように、軸受ハウジング１３の内周面には、該軸受ハウジング１３の軸方向の一端から他端に連続してその全長に通し溝１４が形成されている。通し溝１４は、長さが軸受ハウジング１３の長さと同じで、開口幅が０．４ｍｍ〜０．６ｍｍ程度、深さが１．５ｍｍ〜２．５ｍｍ程度に形成されている。
【００２０】
また、通し溝１４の両端部には、該通し溝１４にそれぞれ連通して係止溝１５が形成されている。係止溝１５は、ラジアルフォイル軸受３の要部分解斜視図である図３（ａ）に示すように、軸受ハウジング１３の両側面がそれぞれ切り欠かれて形成されたもので、該軸受ハウジング１３の厚さ方向に沿って外周縁から内周縁にまで連続して形成されている。なお、本実施形態では、係止溝１５を通し溝１４に確実に連通させるべく、係止溝１５の幅を、通し溝１４の幅に比べて十分に広く形成している。
【００２１】
また、通し溝１４には、その両内側面にそれぞれ係止凹部１６が形成されている。これら係止凹部１６は、通し溝１４の長さ方向に沿ってその全長に形成された溝状のもので、本実施形態では、最大深さが０．２〜０．３ｍｍ程度の断面Ｕ字状（半円弧状）に形成されている。また、これら係止凹部１６は、通し溝１４の開口側、例えば軸受ハウジング１３の内周面から１ｍｍ以内の深さ位置に形成されている。これにより、係止凹部１６は、後述するようにトップフォイル１０及び中間フォイル１１ａ、中間フォイル１１ｂの凸部の先端部を係止できるようになっている。
【００２２】
ここで、これら通し溝１４および係止凹部１６を形成するには、ワイヤカット放電加工が好適に用いられる。すなわち、通し溝１４や溝状の係止凹部１６のように、軸受ハウジング１３の軸方向の一端から他端にかけて連続する溝を形成する場合には、ワイヤカット放電加工によってその断面形状の外形をなぞるようにワイヤを移動させることにより、各溝を容易にかつ精度良く形成することができる。特に本実施形態では、通し溝１４とその両側面の係止凹部１６とを、一連の加工で容易に形成することができるため、このようにワイヤカット放電加工を採用することにより、通し溝１４や係止凹部１６の加工コストを充分低く抑えることができる。
【００２３】
また、係止溝１５についても、軸受ハウジング１３の外周面側から内周面側にかけて連続する溝を形成するため、ワイヤカット放電加工を採用することによってその加工コストを充分低く抑えることができる。ただし、係止溝１５については、特にその加工精度を必要としないことなどから、エンドミルによる切削加工などを採用することもできる。
【００２４】
このような通し溝１４および係止溝１５には、固定具１７が嵌め込まれて係止している。固定具１７は、図３（ａ）、および通し溝１４と固定具１７の平面図である図３（ｂ）、通し溝１４と固定具１７の縦断面図である図３（ｃ）に示すように、通し溝１４に嵌め込まれて収容される棒状（四角柱状）の基部１８と、基部１８の両端部に形成されて前記係止溝１５に係止する一対の折曲片１９、折曲片１９と、基部１８の中央部に形成されて折曲片１９と反対の側に突出する二つの隔壁片２０と、を有して構成されている。
【００２５】
基部１８は、高さが０．５〜１．５ｍｍ程度に形成されたもので、その上面（隔壁片２０側の面）が通し溝１４の開口より１ｍｍ程度沈み込むように形成されている。折曲片１９は、通し溝１４の底面と軸受ハウジング１３の外周面との間の距離にほぼ等しい長さに形成されており、これによって係止溝１５に充分な面積で当接するともに、軸受ハウジング１３の外周面から突出しないようになっている。
【００２６】
ここで、これら折曲片１９、折曲片１９と、通し溝１４に連通して設けられた係止溝１５、係止溝１５とにより、規制部が形成されている。すなわち、一対の折曲片１９、折曲片１９がそれぞれ通し溝１４の両端部に設けられた係止溝１５に係止し、したがって一対の折曲片１９、折曲片１９で軸受ハウジング１３を挟持することより、固定具１７は通し溝１４の長さ方向（軸受ハウジング１３の軸方向）に移動するのが規制され、クリアランス分を除いて実質的に移動しないようになっている。
【００２７】
隔壁片２０は、図３（ｂ）、（ｃ）に示すように基部１８をほぼ三等分し、したがって通し溝１４をほぼ三等分する二つの位置に形成されたもので、高さが、通し溝１４の開口位置と同じレベルになるか、通し溝１４より少し突出する程度に形成されている。例えば、バックフォイル１２の高さの半分程度、突出するようにしてもよい。このような隔壁片２０によって通し溝１４がその長さ方向にほぼ三分割されることにより、通し溝１４内には固定具１７によって三つの係合溝２１が形成される。
【００２８】
すなわち、固定具１７を軸受ハウジング１３の内周面側から係止溝１５および通し溝１４に嵌め込み、係止させることにより、三つの係合溝２１を容易に形成することができる。これら係合溝２１は、その深さがほぼ１ｍｍ程度となっており、その両内側面に、前記係止凹部１６を開口させている。
なお、固定具１７は、例えば厚さが３〜４ｍｍ程度のステンレス等からなる金属板をワイヤカット放電加工することにより、形成することができる。
【００２９】
また、軸受ハウジング１３の内周面には、図２（ａ）、図４（ａ）に示すように軸方向に沿ってその両端面間、すなわち両側面間に、保持溝２２が形成されている。保持溝２２は、その幅が後述する規制具３０の幅（厚さ）に対応して例えば１ｍｍ以下、好ましくは０．５ｍｍ以下と充分に狭く形成されている。このような幅の保持溝２２の形成は、例えばワイヤカット放電加工によって良好に形成することができる。また、保持溝２２は、その深さが、軸受ハウジング１３の厚さに比べて充分に浅く形成されている。
【００３０】
このような保持溝２２は、図２（ａ）に示すように本実施形態では、軸受ハウジング１３の内周面をその周方向にほぼ３分割する位置に、それぞれ形成されている。また、前記３箇所の保持溝２２のうちの２箇所の保持溝２２、保持溝２２間に、前記通し溝１４が配置されている。
【００３１】
また、軸受ハウジング１３には、図４（ａ）、（ｂ）に示すようにその保持溝２２の長さ方向中央部、すなわち軸受ハウジング１３の軸方向中央部に、保持溝２２に連通して係止孔２３が形成されている。係止孔２３は、軸受ハウジング１３の内周面から外周面にまで貫通する貫通孔によって形成されている。この貫通孔からなる係止孔２３は、開口形状が円形又は長円形のもので、軸受ハウジング１３の外周面から内周面に向けてドリル等で孔空け加工することにより、形成されている。
【００３２】
このようにドリル等による孔空け加工で形成されることで係止孔２３は、保持溝２２の幅方向に対応する内径が前記した保持溝２２の幅に比べて大きくなっている。しかし、この係止孔２３の、保持溝２２の長さ方向に対応する内径は、図４（ｂ）に示すように後述する係止凸部３２の幅（後述する棒状部３１の長辺方向に沿う長さ）にほぼ等しくなっており、したがって係止孔２３に係止凸部３２を係止させることにより、規制具３０の軸方向への動きが規制されている。
【００３３】
このような係止孔２３に連通する保持溝２２には、規制具３０が係止している。規制具３０は、図４（ａ）、（ｂ）に示すように保持溝２２に埋設される薄板状（四角柱状）の棒状部３１と、該棒状部３１の一側面に形成された係止凸部３２と、該棒状部３１の他側面、すなわち前記一側面と反対の側の側面に形成された一対の係合凸部３３、係合凸部３３と、を有して形成されている。
【００３４】
係止凸部３２は、軸受ハウジング１３の前記係止孔２３に対応する位置、すなわち軸受ハウジング１３の軸方向中央部（保持溝２２の長さ方向中央部）に形成配置されている。また、係止凸部３２は前述したように保持溝２２の長さ方向に沿う長さが、係止孔２３の軸方向の内径にほぼ等しく形成されている。したがって、係止凸部３２は係止孔２３に挿通させられていることにより、保持溝２２の長さ方向にほとんど移動不能に係止している。これにより、規制具３０は軸受ハウジング１３の軸方向への動きが規制されている。
【００３５】
ここで、軸受ハウジング１３の軸方向中央部とは、軸受ハウジング１３の軸方向の中心位置を意味するものではなく、軸受ハウジング１３の両側面（両端面）とその近傍部を除いた、これらより中央側の部位全体を意味している。したがって、係止孔２３は、軸受ハウジング１３の軸方向の中心に配置されることなく、中心から一方あるいは他方に偏った位置に、形成配置されていてもよい。その場合、規制具３０の係止凸部３２も、係止孔２３に対応して棒状部３１の長さ方向の中心から偏って形成配置される。
【００３６】
係合凸部３３は、係止凸部３２と反対の側に突出して棒状部３１の両端部に形成されている。
そして、このような構成の規制具３０は、前述したように係止凸部３２が軸受ハウジング１３の前記係止孔２３に係止させられた状態で、保持溝２２内に埋設されている。その際、一対の係合凸部３３、係合凸部３３は、保持溝２２の両端部において軸受ハウジング１３の内周面より上方に突出している。
【００３７】
図２（ａ）に示すようにバックフォイル１２は、フォイル（薄板）で形成されて中間フォイル１１ｂ、中間フォイル１１ａ、及びトップフォイル１０を弾性的に支持している。このようなバックフォイル１２としては、例えばバンプフォイルや、特開２００６−５７６５２号公報や特開２００４−２７０９０４号公報などに記載されているスプリングフォイル、特開２００９−２９９７４８号公報などに記載されているバックフォイルなどが用いられる。本実施形態では、バックフォイル１２としてバンプフォイルを用いている。ただし、前記のスプリングフォイルやバックフォイルを、本発明のバックフォイルとして用いてもよいのはもちろんである。
【００３８】
バックフォイル１２（バンプフォイル）は、本実施形態ではトップフォイル１０や中間フォイル１１ａ、中間フォイル１１ｂの周方向に沿って配置された３つ（複数）のバックフォイル片１２ａによって構成されている。これらバックフォイル片１２ａは、フォイル（薄板）が波板状に成形され、かつ、側面が全体として略円弧状になるよう成形されたもので、３つが全て同じ形状・寸法に形成されている。したがって、これらバックフォイル片１２ａは、軸受ハウジング１３の内周面をほぼ３分割して配置されている。
【００３９】
また、これらバックフォイル片１２ａは、前記通し溝１４を挟む位置ではある程度の隙間をあけて配置されているものの、それ以外の位置では、互いの端部が近接して配置されている。このような構成によって３つのバックフォイル片１２ａは、全体として略円筒状に形成されて、軸受ハウジング１３の内周面に沿って配置されている。
【００４０】
また、このように波板状に成形されたバックフォイル片１２ａは、図２（ａ）の要部を平坦化して模式的に示す図５（ａ）に示すように、軸受ハウジング１３の周方向に沿って、該軸受ハウジング１３と接する平坦な谷部１２ｂと、中間フォイル１１ｂに接する湾曲した山部１２ｃとを交互に形成している。これによってバックフォイル片１２ａは、特に中間フォイル１１ｂに接する山部１２ｃにより、中間フォイル１１ｂ、中間フォイル１１ａを介してトップフォイル１０を弾性的に支持している。また、ラジアルフォイル軸受３の軸方向に、山部１２ｃや谷部１２ｂによる流体の通路を形成している。
【００４１】
また、これらバックフォイル片１２ａには、図５（ａ）のＢ−Ｂ線矢視図である図５（ｂ）に示すように、それぞれの周方向中央部（軸受ハウジング１３の周方向に沿う方向の中央部）の両側周縁部に、係合切欠１２ｄが形成されている。係合切欠１２ｄは、図５（ａ）に示すようにバックフォイル片１２ａの谷部１２ｂに形成されたもので、山部１２ｃ、山部１２ｃ間に形成された平坦部からなる谷部１２ｂが、その側周縁から内側に向かって矩形状に切り欠かれて形成されたものである。
【００４２】
係合切欠１２ｄは、軸受ハウジング１３に設けられた前記規制具３０の係合凸部３３に対応する位置、すなわち係合凸部３３と重なる位置に形成されており、その縦横の幅が、係合凸部３３に係合するように該係合凸部３３の縦横の幅とほぼ同じに形成されている。具体的には、軸受ハウジング１３の周方向に沿う横幅が０．２ｍｍ〜０．４ｍｍ程度、軸方向に沿う縦幅が１ｍｍ〜２ｍｍ程度となっている。
【００４３】
なお、係合切欠１２ｄの形成については、バリが発生せず、加工による歪みも生じないように、フォイルをエッチング加工や放電加工で行うのが好ましい。すなわち、エッチング加工や放電加工でフォイルに係合切欠１２ｄを形成した後、山部１２ｃや谷部１２ｂを形成するためのプレス成型を行い、バックフォイル片１２ａを形成するのが好ましい。
このような構成のもとに、規制具３０の係合凸部３３には、図４（ｂ）および図５（ａ）に示すようにバックフォイル片１２ａの係合切欠１２ｄが係合している。
【００４４】
このように、棒状部３１の上側に延出した係合凸部３３に、バックフォイル片１２ａの係合切欠１２ｄが係合し、その状態で軸受ハウジング１３の内周面上に３つのバックフォイル片１２ａが配置されているので、規制具３０は特にその棒状部３１がバックフォイル片１２ａに押さえられることにより、軸受ハウジング１３から脱落することが防止されている。
【００４５】
図２（ａ）に示すようにトップフォイル１０は、３つのバックフォイル片１２ａからなるバックフォイル１２の内面に沿って円筒状に巻かれたもので、一方の端部側に形成された凸部４１ａと、他方の端部側に形成された凸部４１ｂとが、それぞれ軸受ハウジング１３に形成された前記通し溝１４中の係止凹部１６に係止するように配設されている。このトップフォイル１０は、その展開図である図６（ａ）に示すように、軸受周方向を長辺とし、軸受長方向を短辺とする略矩形状の金属箔が、その側面図である図６（ｂ）中の矢印方向（長辺の長さ方向：軸受周方向）に円筒状に巻かれて、形成されている。
【００４６】
このトップフォイル１０には、図６（ａ）に示したよう、一方の辺側（短辺側）に、一つの凸部４１ａと二つの凹部４２ａとを有してなる第１の凹凸部４３ａが形成され、前記一方の辺側（短辺側）と反対の他方の辺側（短辺側）に、二つの凸部４１ｂと一つの凹部４２ｂとを有してなる第２の凹凸部４３ｂが形成されている。第２の凹凸部４３ｂの凹部４２ｂは第１の凹凸部４３ａの凸部４１ａに対応して形成され、第１の凹凸部４３ａの凹部４２ａは第２の凹凸部４３ｂの凸部４１ｂに対応して形成されている。
【００４７】
すなわち、第２の凹凸部４３ｂの凹部４２ｂは、第１の凹凸部４３ａと第２の凹凸部４３ｂとが重なるようにトップフォイル１０を円筒状に巻いた際、該凹部４２ｂ内を凸部４１ａが通り抜けるように形成されている。同様に、第１の凹凸部４３ａの凹部４２ａは、トップフォイル１０を円筒状に巻いた際、該凹部４２ａ内を凸部４１ｂがそれぞれ通り抜けるように形成されている。なお、凸部４１ａ、凸部４１ｂは、その幅が、前記通し溝１４と固定具１７とによって形成された係合溝２１の長さに対応してこれとほぼ一致するように形成されている。
【００４８】
凹部４２ｂ、凹部４２ａを通り抜けた凸部４１ａ、凸部４１ｂは、図２（ａ）に示すようにそれぞれ軸受ハウジング１３側に引き出され、その先端部が軸受ハウジング１３の前記係止凹部１６に係止させられる。本実施形態では、図２（ａ）の要部拡大図である図７に示すように、凸部４１ａ、凸部４１ｂはその先端部がそれぞれ通し溝１４中の係合溝２１内に入れられて係合させられた後、さらに係止凹部１６内に入れられ、ここに係止させられている。これにより、トップフォイル１０はその周方向への移動が規制され、その移動量が僅かとなるように配設されている。
【００４９】
すなわち、凸部４１ａ、凸部４１ｂは、その先端が係止凹部１６の内面に強く突き当てられることなく、先端部側面が係止凹部１６の内面に接する程度となるように配設される。したがって、回転軸１の定常運転時には、凸部４１ａ、凸部４１ｂは係止凹部１６又は係合溝２１から大きな反力を受けないため、トップフォイル１０は歪みを生じないようになっている。また、ラジアルフォイル軸受３に回転軸１の軸ぶれなどによる不測の外力が加わった際にも、トップフォイル１０は軸受ハウジング１３内を回転することなく、さらに、軸受ハウジング１３と回転軸１との間から脱落しないようになっている。
【００５０】
つまり、不測の外力が加わった際には、凸部４１ａ、凸部４１ｂが係止凹部１６の内面に強く係止することにより、これら凸部４１ａ、凸部４１ｂが係止凹部１６から外れ、さらに係合溝２１からも外れてしまうことがなく、従ってトップフォイル１０が回転したり、過剰に変形して前記凸部４１ａ、凸部４１ｂが凹部４２ｂ、凹部４２ａから抜け出てしまい、トップフォイル１０が軸受ハウジング１３から脱落してしまうようなことが防止されている。
【００５１】
また、凸部４１ａ、凸部４１ｂは、係合溝２１を区画する固定具１７の隔壁片２０により、軸方向への移動が規制されている。すなわち、凸部４１ａはその両側が隔壁片２０によって規制されることにより、該凸部４１ａを形成した第１の凹凸部４３ａ側は軸方向への移動が規制されている。また、二つの凸部４１ｂは、それぞれその片側が隔壁片２０によって規制され、かつ互いに逆方向に規制されることにより、これら二つの凸部４１ｂを形成した第２の凹凸部４３ｂ側も、軸方向への移動が規制されている。このようにトップフォイル１０は、軸受ハウジング１３の軸方向への移動が規制されているため、軸受ハウジング１３から外に飛び出すことが防止されている。
【００５２】
また、トップフォイル１０は、図６（ｂ）に示すように、第１の凹凸部４３ａを形成した側（一方の辺側）と第２の凹凸部４３ｂを形成した側（他方の辺側）とに、これらの間の中央部に比べて薄厚（薄肉）な薄肉部４４が形成されている。これら薄肉部４４は、図２（ａ）に示すように、その外周面（バンプフォイル１２側の面）が前記中央部の外周面より凹んだ状態となるよう、薄厚化（薄肉化）されて形成されている。
【００５３】
薄肉部４４を形成するには、例えばエッチング加工によってトップフォイル１０の両端部を、十μｍオーダーでコントロールして所望の厚さ（薄さ）に形成する。具体的には、トップフォイル１０の厚さを１００μｍとした場合、薄肉部４４の厚さは８０μｍ程度となるようにする。なお、このようなエッチング加工では、曲げ加工などに比べてトップフォイル１０に生じる応力が極めて小さく、したがってトップフォイル１０に歪みが生じることもほとんどない。
また、図６（ｂ）に示す、薄肉部４４の周方向の長さＬは、図２（ａ）に示すように通し溝１４と、バンプフォイル１２（バックフォイル）の端部の山一つ分までに対応する長さとされる。
【００５４】
このようにトップフォイル１０の両端部に薄肉部４４を形成したことにより、これら両端部（薄肉部４４）は弾性変形し易くなり、したがってこれら両端部は軸受ハウジング１３の内周面を構成する曲面に倣って曲面となる。これにより、トップフォイル１０は、その両端部においても回転軸１を締め付ける力（局所的なプリロード）がほとんど発生しないようになる。
【００５５】
また、トップフォイル１０の両端部の外周面を、前記中央部の外周面より凹んだ状態となるように薄厚化して薄肉部４４を形成しているので、その外周面側を支持するバックフォイル１２との間において、その端部の山一つ分との間に隙間が形成される。これにより、該薄肉部４４においては、回転軸１を締め付ける力（局所的なプリロード）が生じるのが確実に防止される。なお、薄肉部４４の周方向の長さＬについては、図２（ａ）に示した例に代えて、通し溝１４と、バンプフォイル１２の端部の山三つ分ぐらいまでに対応する長さとしてもよい。
【００５６】
中間フォイル１１ａ、中間フォイル１１ｂは、図２（ａ）に示すようにバックフォイル１２（バンプフォイル）とトップフォイル１０との間に配置されたもので、中間フォイル１１ａがトップフォイル１０側に、中間フォイル１１ｂがバックフォイル１２側に、それぞれ配置されて重ねられている。これら中間フォイル１１ａ、中間フォイル１１ｂは、トップフォイル１０と同様にバックフォイル（バンプフォイル）１２の内面に沿って円筒状に巻かれて形成されている。
【００５７】
中間フォイル１１ａは、その展開図である図８（ａ）に示すように、軸受周方向を長辺とし、軸受長方向を短辺とする略矩形状の金属箔が、その側面図である図８（ｂ）中の矢印方向（長辺の長さ方向：軸受周方向）に円筒状に巻かれて、形成されたものである。この中間フォイル１１ａは、その展開した平面形状が、図８（ａ）中に二点鎖線で示すトップフォイル１０の平面形状に比べて、その短辺の長さが短く形成されている。すなわち、中間フォイル１１ａは、軸受長さ方向（回転軸１の長さ方向）となる短辺方向の両側端が、トップフォイル１０の両側端に比べてそれぞれ内側に位置している。換言すると、中間フォイル１１ａは、トップフォイル１０の平面形状から両側部がそれぞれ切り落とされたことにより、短辺方向の長さが短く形成されている。
【００５８】
中間フォイル１１ａにおいて、トップフォイル１０に比べて各側部が切り落とされた長さＭ１は、トップフォイル１０の短辺方向の長さをＭとすると、０．０５Ｍ以上０．３Ｍ以下程度とされる。中間フォイル１１ａにおいて、このような長さＭ１分をトップフォイル１０や前記バックフォイル１２（バックフォイル片１２ａ）に比べて短くしておくことにより、バックフォイル１２とトップフォイル１０との間の厚さは、回転軸１の長さ方向における両側部の方が、中央部より薄く形成されることになる。
【００５９】
また、中間フォイル１１ａの厚さは、前記したようにトップフォイル１０の厚さを１００μｍとした場合、３０μｍ程度とされる。
この中間フォイル１１ａには、トップフォイル１０と同様に、一方の端部側に第１の凹凸部４５ａが形成され、他方の端部側に第２の凹凸部４５ｂが形成されている。そして、各凹凸部における凸部４６ａ、凸部４６ｂも、トップフォイル１０の凸部４１ａ、凸部４１ｂとともにそれぞれ前記係合溝２１に係合している。
【００６０】
中間フォイル１１ｂは、その展開図である図８（ｃ）に示すように、軸受周方向を長辺とし、軸受長方向を短辺とする略矩形状の金属箔が、その側面図である図８（ｄ）中の矢印方向（長辺の長さ方向：軸受周方向）に円筒状に巻かれて、形成されたものである。この中間フォイル１１ｂは、その展開した平面形状が、図８（ａ）中に二点鎖線で示したトップフォイル１０の平面形状と同じ形状に形成されている。
【００６１】
また、中間フォイル１１ｂの厚さも、前記したようにトップフォイル１０の厚さを１００μｍとした場合、３０μｍ程度とされる。
この中間フォイル１１ｂにも、トップフォイル１０と同様に、一方の端部側に第１の凹凸部４７ａが形成され、他方の端部側に第２の凹凸部４７ｂが形成されている。そして、各凹凸部における凸部４８ａ、凸部４８ｂも、トップフォイル１０の凸部４１ａ、凸部４１ｂ、中間フォイル１１ａの凸部４６ａ、凸部４６ｂとともに、それぞれ前記係合溝２１に係合している。
【００６２】
このように、トップフォイル１０とバックフォイル１２との間に中間フォイル１１ａ、中間フォイル１１ｂが重ねられて配置されたことにより、バックフォイル１２とトップフォイル１０との間の厚さ、すなわち中間フォイル１１ａと中間フォイル１１ｂの合計した厚さが、回転軸１の長さ方向中央部より両側部で薄く形成される。これにより、バックフォイル１２と回転軸１との間に配置されるトップフォイル１０を含むフォイルの厚さが、回転軸１の長さ方向における両側部において、中央部より薄く形成される。
【００６３】
次に、このような構成からなるラジアルフォイル軸受３の作用について説明する。
回転軸１が停止した状態では、トップフォイル１０はバックフォイル１２によって中間フォイル１１ｂ、中間フォイル１１ａを介して回転軸１側に付勢されることで回転軸１に密着している。なお、本実施形態では、トップフォイル１０の両端部が薄肉部４４となっているので、これら薄肉部４４では回転軸１を締め付ける力（局所的なプリロード）がほとんど生じないようになっている。
【００６４】
そして、回転軸１を図２（ａ）中の矢印Ｐ方向に始動させると、最初は低速で回転を始め、その後徐々に加速して高速で回転する。すると、図２（ａ）中矢印Ｑで示すように、トップフォイル１０及び中間フォイル１１ａ、中間フォイル１１ｂの一端（凸部４１ａ側、凸部４６ａ側、凸部４８ａ側）とバックフォイル１２の一端との間から周囲流体が引き入れられ、トップフォイル１０と回転軸１との間に流入する。これにより、トップフォイル１０と回転軸１との間に流体潤滑膜が形成される。
【００６５】
その際、流体潤滑膜が形成されるまでの過渡状態においては、回転軸１とトップフォイル１０との間に固体摩擦が生じ、これが始動時の抵抗になる。しかし、前記したようにトップフォイル１０の両端部でプリロードが生じなくなっていることや、周囲流体が流入する側のトップフォイル１０が薄肉部４４となっていて柔らかくなっており、トップフォイル１０と回転軸１との間が開口し易くなっていることにより、回転軸１が始動すると早期に流体潤滑膜が形成される。そして、この流体潤滑膜の圧力によってトップフォイル１０がバックフォイル１２側へ押し付けられることにより、回転軸１はトップフォイル１０に対して非接触状態で回転するようになる。
【００６６】
このとき、前記の流体潤滑膜の圧力は、図９（ａ）に示す軸受長さ方向の縦断面、すなわち軸受の中心軸に沿って切った縦断面で見ると、軸受中央部が高く、両側端部では低くなっている。これは、軸受長さ方向の両側端部では流体潤滑膜の圧力が周囲圧力（例えば大気圧）とほぼ同じになることによる。このため、図９（ａ）中に二点鎖線で示すようにトップフォイル１０は、軸受中央部がバックフォイル１２側に沈み込み、両側端部では回転軸に接近する側へ反り上がろうとする。
【００６７】
しかし、本実施形態では図８（ａ）に示したように中間フォイル１１ａが、トップフォイル１０の平面形状から両側部をそれぞれ切り落として短辺方向の長さを短くした形状となっているので、図９（ｂ）に示すようにバックフォイル１２と回転軸１との間に配置されるトップフォイル１０を含むフォイルの厚さが、回転軸１の長さ方向（軸受長さ方向）における両側部において、中央部より薄く形成されている。従って、前記両側部ではトップフォイル１０とバックフォイル１２の間に隙間Ｓが生じ、この隙間Ｓが無くなるまではトップフォイル１０の両側端部を回転軸１の側へ押し返す力が生じず、トップフォイル１０の両側端部の反り上がりが起こらない。
【００６８】
また、トップフォイル１０の両側端部がバックフォイル１２側へ押し込まれて、この隙間Ｓが無くなったとしても、中央部に比べれば前記隙間Ｓの分だけバックフォイル１２によるバネ反力が弱くなっているため、トップフォイル１０の両側端部は起き上がり難くなる。これにより、トップフォイル１０の両側端部において流体潤滑膜の厚さが極端に薄くなることが抑制され、トップフォイルの両側端部は高負荷時においても回転軸との非接触状態が維持される。
【００６９】
このようなラジアルフォイル軸受３にあっては、バックフォイル１２と回転軸１との間に配置されるトップフォイル１０を含むフォイルの厚さを、回転軸１の長さ方向における両側部において、中央部より薄く形成しているので、これら中央部と両側部との間での流体潤滑膜の膜厚の差を少なくすることができ、従ってトップフォイル１０の両側端部で流体潤滑膜の厚さが極端に薄くなることを抑制し、高負荷時においてもトップフォイル１０の両側端部と回転軸１との非接触状態を維持することができる。よって、トップフォイル１０の両側端部の摩耗を抑制することにより、軸受に高い負荷を掛けることが可能になり、従って高負荷での使用が可能となる。
【００７０】
また、図９（ｂ）に示すようにトップフォイル１０とバックフォイル１２との間に二つ（複数）の中間フォイル１１ａ、中間フォイル１１ｂを重ねて配置し、一方の中間フォイル１１ａを、その両側端がトップフォイル１０の両側端よりそれぞれ内側に位置するようにしたので、トップフォイル１０とバックフォイル１２との間の、回転軸１の長さ方向両側部に確実に隙間Ｓを形成することができ、従ってトップフォイル１０の両側端部の反り上がりを良好に防止することができる。
【００７１】
また、トップフォイル１０側に位置する中間フォイル１１ａの両側端を、トップフォイル１０の両側端よりそれぞれ内側に位置するようにしたので、この中間フォイル１１ａはトップフォイル１０に対しても中間フォイル１１ｂに対しても面接触するため応力集中が生じにくくなり、従って軸受の負荷能力に対して悪影響を与えることなく、設計通りの軸受性能を発揮させることができる。
【００７２】
また、トップフォイル１０とバックフォイル１２との間に中間フォイル１１ａ、中間フォイル１１ｂを備えているので、回転軸１が回転時において軸振動を起こしたときには、それに伴う膜圧変動がトップフォイル１０から中間フォイル１１ａ、中間フォイル１１ｂを介してバックフォイル１２へ伝達される。その際、トップフォイル１０には荷重変動によって微小な撓み（荷重に応じて変動）が引き起こされ、これにより、トップフォイル１０と中間フォイル１１ａとの間、中間フォイル１１ａと中間フォイル１１ｂとの間、さらには中間フォイル１１ｂとバックフォイル１２との間に「滑り」が生じる。この「滑り」が摩擦によるエネルギー散逸を引き起こし、膜圧変動を減衰させる。すなわち、減衰効果が得られる。従って、この減衰効果によって前記の軸振動を抑制し、該軸振動を収まり易くすることができる。さらに、中間フォイル１１ａ、中間フォイル１１ｂによってトップフォイル１０の剛性を補強することもできる。よって、ラジアルフォイル軸受３の動特性(剛性と減衰)を充分に高めることができる。
【００７３】
なお、前記第１実施形態では、中間フォイルを二つ用い、そのうちの一方の中間フォイル１１ａを、その両側端がトップフォイル１０の両側端よりそれぞれ内側に位置するように形成したが、二つの中間フォイルを共に、両側端がトップフォイル１０の両側端よりそれぞれ内側に位置するように形成してもよい。
また、中間フォイルを二つ用いることなく、一つのみ用い、または三つ以上重ねて用いてもよい。中間フォイルを一つのみ用いる場合には、当然ながらこの中間フォイルの両側端がトップフォイル１０の両側端よりそれぞれ内側に位置するように形成する。また、中間フォイルを三つ以上重ねて用いる場合には、そのうちの少なくとも一つを、その両側端がトップフォイル１０の両側端よりそれぞれ内側に位置するように形成する。
【００７４】
また、中間フォイルについては、図８（ａ）、（ｃ）に示したように両方の辺側（短辺側）に凹凸部を形成することなく、該短辺側を切り落として矩形に形成してもよい。その場合、中間フォイルは係合溝２１に係合することなく配置される。しかし、中間フォイルはバックフォイル１２とトップフォイル１０との間に挟まれて摩擦によって保持されているため、中間フォイルと軸受ハウジング１３との間で軸方向のずれが生じた際にも、軸受ハウジング１３から外に飛び出すことが防止される。
【００７５】
「第２実施形態」
次に、本発明のラジアルフォイル軸受の第２実施形態を説明する。図１０は図１に示したターボ機械に適用されたラジアルフォイル軸受の第２実施形態を示す図であり、図１０中符号５０はラジアルフォイル軸受である。このラジアルフォイル軸受５０が図２（ａ）に示したラジアルフォイル軸受３と異なるところは、トップフォイル５１の形状と、中間フォイルが設けられていない点である。
【００７６】
すなわち、図１０に示すように本実施形態のラジアルフォイル軸受５０は、図２（ａ）に示した中間フォイル１１ａ、中間フォイル１１ｂが設けられることなく、従ってバックフォイル１２上に直接トップフォイル５１が配置されている。
【００７７】
トップフォイル５１は、図１１（ａ）に示すように展開した平面形状が、図６（ａ）に示したトップフォイル１０と同一に形成されており、従って第１の凹凸部４３ａ、第２の凹凸部４３ｂを有している。また、トップフォイル５１の長辺側の展開側面図である図１１（ｂ）に示すように、軸受の周方向に沿う側面も、トップフォイル１０と同一に形成されている。
【００７８】
ただし、トップフォイル５１の短辺側では、その展開側面図である図１１（ｃ）に示すように、トップフォイル５１の両側部（回転軸１の長さ方向における両側部）がそれぞれ減肉されて、中央部より薄肉の減肉部５２となっている。すなわち、トップフォイル５１の中央部の厚さを１００μｍとすると、その両側部のバックフォイル１２側の面が２０μｍ〜３０μｍ程度減肉されて、厚さ７０μｍ〜８０μｍ程度に形成されている。このような減肉部５２の形成については、前記薄肉部４４の形成と同様に、すなわち薄肉部４４の形成と同時に、例えばエッチング加工によって行うことができる。
【００７９】
また、減肉部５２の、回転軸１の長さ方向における幅Ｍ２については、図８（ａ）に示したＭ１の長さと同じにされる。すなわち、トップフォイル５１の短辺方向（回転軸１の長さ方向）の長さをＭとすると、幅Ｍ２は０．０５Ｍ以上０．３Ｍ以下程度とされる。このような幅Ｍ２分の減肉部５２を形成しておくことにより、バックフォイル１２と回転軸１との間に配置されるトップフォイル５１を含むフォイルの厚さ（本実施形態ではトップフォイル５１のみの厚さ）が、回転軸１の長さ方向における両側部において、中央部より薄く形成される。
【００８０】
本実施形態のラジアルフォイル軸受５０にあっても、バックフォイル１２と回転軸１との間に配置されるトップフォイル１０を含むフォイルの厚さを、回転軸１の長さ方向における両側部において、中央部より薄く形成しているので、これら中央部と両側部との間での流体潤滑膜の膜厚の差を少なくすることができ、従ってトップフォイル１０の両側端部で流体潤滑膜の厚さが極端に薄くなることを抑制し、高負荷時においてもトップフォイル１０の両側端部と回転軸１との非接触状態を維持することができる。よって、トップフォイル１０の両側端部の摩耗を抑制することにより、軸受に高い負荷を掛けることが可能になり、従って高負荷での使用が可能となる。
【００８１】
また、トップフォイル５１の両側部に、バックフォイル１２側の面を削って中央部より薄肉の減肉部５２としているので、トップフォイル５１とバックフォイル１２との間の、回転軸１の長さ方向両側部に確実に隙間を形成することができ、従ってトップフォイル５１の両側端部の反り上がりを良好に防止することができる。
また、中間フォイルを設けることなく、前記の隙間を形成できるため、部品点数を少なくしてコストの低減化を図ることができる。
【００８２】
なお、本発明は前記実施形態に限定されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
例えば、前記第１実施形態では中間フォイル１１ａを、トップフォイル１０の平面形状から両側部をそれぞれ切り落として短辺方向の長さを短くした形状としているが、このように両側部を切り落とすのに代えて、第２実施形態におけるトップフォイル５１の減肉部のように、両側部をそれぞれ削りとって減肉し、薄厚に形成してもよい。
【００８３】
また、前記第２実施形態では中間フォイルを設けることなく、バックフォイル１２上に直接トップフォイル５１を配置したが、これらバックフォイル１２とトップフォイル５１との間に中間フォイルを配置し、フォイル間の「滑り」による減衰効果を高めるようにしてもよい。
【００８４】
また、トップフォイル１０（５１）や中間フォイル１１ａ、中間フォイル１１ｂの端部を保持するための通し溝１４の構成や固定具１７の構成、さらにバックフォイル片１２ａを固定するための規制具３０の構成等についても、前記実施形態に限定されることなく、種々の構成を採油することができる。
また、前記実施形態では、軸受ハウジングを円筒状に形成したが、一方の側面又は両方の側面に環状のフランジを一体に形成し、全体を略円筒状に形成してもよい。フランジを形成することにより、ターボ機械のハウジングなどへの取付を容易にすることができる。
【符号の説明】
【００８５】
１…回転軸、３、５０…ラジアルフォイル軸受、１０、５１…トップフォイル、１１ａ、１１ｂ…中間フォイル、１２…バックフォイル（バンプフォイル）、１２ａ…バックフォイル片、１３…軸受ハウジング、５２…減肉部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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