(57)【要約】【課題】切削装置における切削送りの往復両方向で同一の切削加工を可能とする。【解決手段】切削送り手段５による板状ワーク２の往方向１００の切削送りでは、切込み方向指定部２００が、第１の切削ブレード６０の回転方向をモータ６２側からみて時計回り方向に指定し、さらに第２の切削ブレード７０の回転方向をモータ６２側からみて反時計回り方向に指定する。切込み方向指定部２００の指定を受けた切換え部３００が、板状ワーク２第１の切削ブレード６０を切込ませることを選択し、往方向１００では第１の切削ブレード６０がストリートをダウンカットする。往方向１００で第１の切削ブレード６０を切込ませることを選択した切換え部３００が、切削送り手段５による復方向１０１への切削送りにおいて、板状ワーク２に対して第２の切削ブレード７０を切込ませることを選択する。第２の切削ブレード７０は、復方向１０１でもストリートをダウンカットする。【選択図】図５
2016100355.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状ワークを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを回転させる回転手段と、該チャックテーブルが保持する板状ワークに切削ブレードを切込ませ板状ワークを切削する切削手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的に切削送り方向に往復させ切削送りする切削送り手段と、を備える切削装置であって、
該切削手段は、第１の切削手段と第２の切削手段とを備え、
該第１の切削手段は、
第１の切削ブレードを回転可能に装着する第１のスピンドルと、該第１のスピンドルの回転駆動源の第１のモータと、該第１の切削ブレードを切込み送りする第１の切込み送り手段と、を備え、
該第２の切削手段は、
第２の切削ブレードを回転可能に装着する第２のスピンドルと、該第２のスピンドルを該第１のスピンドルの回転方向に対して反対方向に回転させる回転駆動源の第２のモータと、該第２の切削ブレードを切込み送りする第２の切込み送り手段と、を備え、
該切削送り方向に対する該切削ブレードの回転方向を指定し板状ワークに該切削ブレードが切込む切込み方向を指定する切込み方向指定部と、
該切込み方向指定部による切込み方向の指定に基づき、該切削送り手段による往方向の切削送りで該第１の切削ブレード又は該第２の切削ブレードのどちらかを選択して板状ワークに切込ませ、該切削送り手段による復方向の切削送りで該往方向で選択しない切削ブレードを板状ワークに切込ませる切換え部と、を備え、
該切削送りの方向が往方向と復方向とのどちらの場合でも該切削手段が同一加工をする事を特徴とする切削装置。
【請求項２】
前記第１のモータと前記第２のモータとの回転方向を切換え制御する回転方向切換え制御部を備え、
前記切込み方向指定部による切込み方向の指定に基づき、該回転方向切換え制御部により前記切削ブレードの回転方向を切換え、前記切削送りの方向が往方向と復方向とのどちらの場合でも前記切削手段が同一加工をする事を特徴とする請求項１記載の切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハ等の加工に用いられる切削ブレードを備える切削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
板状ワークの切削に用いられる切削装置は、一枚の板状ワークを分割予定ラインに沿って切削して分割することで、一度に多数のチップを得ることができる。従来の切削装置は、チャックテーブルに保持された板状ワークの分割予定ライン（以下、「ライン」という。）に切削ブレードを切込ませて切削送りを行って１ラインを切削し、その後、切削ブレードを板状ワークから一度離間させ板状ワークを送り込んだ方向の逆方向に一度戻し、次に切削するラインの上に切削ブレードを移動させてから、板状ワークに切削ブレードを切り込ませて切削送りを行い次のラインを切削するという一連の動作を繰り返している。このように一方向からのみ切削ブレードを切込ませる切削加工は、切削ブレードを板状ワークから離間させた後の切削送り方向の逆方向への板状ワークの戻り動作が無駄な工程となり、生産性が低下する原因となる。そこで、この戻り動作時にも切削加工することで、生産性を高める技術がある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−１９２６８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
板状ワークに対する切削では、板状ワークを最初に切削ブレードに対して進ませる往方向での切削加工と、往方向の逆方向（復方向）での切削加工とは、板状ワークに対する切削ブレードの切込み方向が同方向でなければならない。すなわち、往方向での切削加工がダウンカットであるならば、復方向での切削加工もダウンカットである必要がある。同様に、往方向での切削加工がアップカットであるならば、復方向での切削加工もアップカットである必要がある。これは、板状ワークの材質に応じてダウンカットとするかアップカットとするかが選択され、また、チッピングやクラックの発生を抑止し切削品質の均質化を図ることも求められるためである。ここで、ダウンカットとは、切削ブレードが板状ワークに対して上方にある場合に、切削ブレードが、その移動方向の前方において板状ワークを下向きに削るようにカットすることをいう。一方、アップカットとは、切削ブレードが、その移動方向の前方において板状ワークを上向きに削るようにカットすることをいう。
【０００５】
往方向への切削送り動作時及び復方向への切削送り動作時に同様の切削加工を行う手段としては、上記特許文献１に、切削ブレードが板状ワークに対し一方向の切削が終わったのと同時に切削ブレードが装着されたスピンドルの回転方向を逆回転にする技術が提案されている。しかし、このタイプの切削装置は、スピンドルの回転方向の切換えに際しスピンドルモータを停止させてから回転方向を反転させるため、消費電力が多くなるという問題がある。
【０００６】
本発明は、上記問題点に鑑み提案されたものである。すなわち、板状ワークの切削において、切削装置の使用における消費電力を増やすことなく切削送り方向の往方向及び復方向の両方において同様の切削加工を可能とすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するための本発明は、板状ワークを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを回転させる回転手段と、該チャックテーブルが保持する板状ワークに切削ブレードを切込ませ板状ワークを切削する切削手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的に切削送り方向に往復させ切削送りする切削送り手段と、を備える切削装置であって、該切削手段は、第１の切削手段と第２の切削手段とを備え、該第１の切削手段は、第１の切削ブレードを回転可能に装着する第１のスピンドルと、該第１のスピンドルの回転駆動源の第１のモータと、該第１の切削ブレードを切込み送りする第１の切込み送り手段と、を備え、該第２の切削手段は、第２の切削ブレードを回転可能に装着する第２のスピンドルと、該第２のスピンドルを該第１のスピンドルの回転方向に対して反対方向に回転させる回転駆動源の第２のモータと、該第２の切削ブレードを切込み送りする第２の切込み送り手段と、を備え、該切削送り手段による該切削送り方向に対する該切削ブレードの回転方向を指定し板状ワークに該切削ブレードが切込む切込み方向を指定する切込み方向指定部と、該切込み方向指定部による切込み方向の指定に基づき、該切削送り手段による往方向の切削送りで該第１の切削ブレード又は該第２の切削ブレードのどちらかを選択して板状ワークに切込ませ、該切削送り手段による復方向の切削送りで該往方向で選択しない切削ブレードを板状ワークに切込ませる切換え部と、を備え、該切削送りの方向が往方向と復方向とのどちらの場合でも該切削手段が同一加工をする事を特徴とする切削装置である。
【０００８】
本切削装置は、前記第１のモータと前記第２のモータとの回転方向を切換え制御する回転方向切換え制御部を備えることで、前記切込み方向指定部による切込み方向の指定に基づき、該回転方向切換え制御部により前記切削ブレードの回転方向を切換えられるものが好ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明では、切削装置に第１の切削手段の第１の切削ブレードと第２の切削手段の第２の切削ブレードとを備えかつこれら二つの切削ブレードを反対方向にそれぞれ回転させ、板状ワークに対して往方向への送り込みで片方の切削ブレードのみを選択して切り込ませ、次いで復方向への送り込みで往方向において切り込ませなかった切削ブレードを切り込ませることで、消費電力を増やすことなく、従来の切削工程で生じていた無駄な工程でも切削を行って生産性を向上させ、かつ往方向と復方向とで同一の切削加工を行うことを可能とする。
【００１０】
また、切削ブレードの回転方向を切換える回転方向切換え制御部を備えたことで、切込み方向指定部による切込み方向の指定に基づき切削ブレードの回転方向を切換えることが可能となり、それにより、切削送り手段による往方向復方向どちらの場合でも同一の切削加工も可能とする。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】切削装置の一例を示す斜視図である。
【図２】図１のＡ部を拡大して示す斜視図である。
【図３】切削手段の正面図である。
【図４】板状ワークが環状フレームに支持されている状態の斜視図である。
【図５】図５（Ａ）は、板状ワークが往方向に切削送りされている状態を側面側から見た模式図である。図５（Ｂ）は板状ワークが復方向に切削送りされている状態を側面側から見た模式図である。
【図６】図６（Ａ）は、板状ワークが往方向に切削送りされている状態を側面側から見た模式図である。図６（Ｂ）は板状ワークが復方向に切削送りされている状態を側面側から見た模式図である。
【図７】図７（Ａ）は、板状ワークが往方向に切削送りされている状態を側面側から見た模式図である。図７（Ｂ）は、回転方向切換え制御部が作動した後に板状ワークが往方向に切削送りされている状態を側面側から見た模式図である。図７（Ｃ）は、板状ワークが復方向に切削送りされている状態を側面側から見た模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１に示す切削装置１は、チャックテーブル３に保持された板状ワーク２を切削送り手段５によって切削送り方向（Ｘ軸方向）に往復させて切削送りを行い、第１の切削手段６と第２の切削手段７とからなる切削手段によって切削加工を施す装置である。
【００１３】
図１に示すように、チャックテーブル３は、板状ワーク２を吸引保持している。また、チャックテーブル３は、固定部３０を備えている。固定部３０は、テープＴを介して板状ワーク２を支持している環状フレームＦを固定する。また、チャックテーブル３の底面側には、チャックテーブル３を回転させる回転手段４が接続されている。
【００１４】
切削送り手段５は、Ｘ軸方向の軸心を有するボールネジ５０と、ボールネジ５０と平行に配設された一対のガイドレール５１と、ボールネジ５０を回動させるモータ５２と、内部のナットがボールネジ５０に螺合し底部がガイドレール５１に摺接する可動板５３とから構成され、モータ５２によって駆動されてボールネジ５０が回動し、これに伴い可動板５３がガイドレール５１にガイドされてＸ軸方向に往復移動する構成となっている。可動板５３上には回転手段４が固定されている。往方向１００は、例えばモータ５２に対して可動板５３がＸ軸方向に接近する方向であり、復方向１０１は、往方向と逆の方向、例えばモータ５２から可動板５３がＸ軸方向に離反する方向である。
【００１５】
図１に示すように、第１の切削手段６及び第２の切削手段７は、対向して配設されている。図１、２に示すように、第１の切削手段６は、可動板５３の移動方向に対し水平方向に直交する方向（図１のＹ軸方向）の回転軸を有する第１のスピンドル６１と、第１のスピンドル６１を回転させる第１のモータ６２と、第１のスピンドル６１に固定されて回転可能な第１の切削ブレード６０と、第１の切削ブレード６０をＺ軸方向に切込み送りする第１の切込み送り手段６３とを備えている。第１のスピンドル６１を支持するハウジングには、板状ワーク２の切削すべき位置を撮像して検出するための撮像手段６２０が固定されている。
【００１６】
図２に示すように、第１の切削ブレード６０は、円盤状に形成され、基台６００の周縁に切れ刃６０１が固着されて構成されている。切れ刃６０１のＹ軸方向前後には、切れ刃６０１の両面に向けて切削液を供給する一対の切削液ノズル８０が設けられている。さらに、図２に示すように、切れ刃６０１の面方向の延長方向にも、切削液を噴出する切削液ノズル８１が配設されている。切削液ノズル８０、８１から噴出される切削液は、切削液流入口８００、８１０からそれぞれ流入させる。第１の切削ブレード６０は、ナット８２によってスピンドル６１に固定されている。
【００１７】
図１、３に示すように、第２の切削手段７は、可動板５３の移動方向に対し水平方向に直交する方向（図１のＹ軸方向）の回転軸を有する第２のスピンドル７１と、第１のスピンドル６１の回転方向に対して反対方向に第２のスピンドル７１を回転可能に支持しかつ回転させる第２のモータ７２と、第２のスピンドル７１に固定されて回転可能な第２の切削ブレード７０と、第２の切削ブレード７０をＺ軸方向に切込み送りする第２の切込み送り手段７３とを備えている。第２のスピンドル７１を支持するハウジングには、板状ワーク２の切削すべき位置を撮像して検出するための撮像手段７２０が固定されている。
【００１８】
図３に示すように、第２の切削ブレード７０は、円盤状に形成され、基台７００の周縁に切れ刃７０１が固着されて構成されている。切れ刃７０１のＹ軸方向前後には切れ刃７０１の両面に向けて切削液を供給する一対の切削液ノズル９０が設けられている。さらに、図２に示すように、切れ刃７０１の面方向の延長方向にも、切削液を噴出する切削液ノズル９１が配設されている。切削液ノズル９０、９１から噴出される切削液は、切削液流入口９００、９１０からそれぞれ流入させる。第２の切削ブレード７０は、ナット９２によって第２のスピンドル７１に固定されている。
【００１９】
図１に示すように、割出し送り手段６４（７４）は、Ｙ軸方向の軸心を有するボールネジ６４０（７４０）と、ボールネジ６４０（７４０）と平行に配設された一対のガイドレール６４１と、ボールネジ６４０（７４０）を回動させるモータ（７４２）と、内部のナットがボールネジ６４０（７４０）に螺合し側部がガイドレール６４１に摺接する可動板６４３（７４３）とから構成されており、モータ（７４２）によって駆動されてボールネジ６４０が回動し、これに伴い可動板６４３（７４３）がガイドレール６４１（７４１）にガイドされてＹ軸方向に移動する構成となっている。可動板６４３、７４３がＹ軸方向に移動すると、第１の切削手段６及び第２の切削手段７も、Ｙ軸方向に移動する。
【００２０】
第１の切込み送り手段６３は、鉛直方向（Ｚ軸方向）の軸心を有するボールネジ６３０と、ボールネジ６３０と平行に可動板６４３上に配設された一対のガイドレール６３１と、ボールネジ６３０を回動させるモータ６３２と、内部のナットがボールネジ６３０に螺合するとともに側部がガイドレール６３１に摺接する昇降板６３３とから構成されており、モータ６３２によって駆動されてボールネジ６３０が回動し、これに伴い昇降板６３３がガイドレール６３１にガイドされてＺ軸方向に移動する構成となっている。同様に、第２の切込み送り手段７３は、鉛直方向（Ｚ軸方向）の軸心を有するボールネジ７３０と、ボールネジ７３０と平行に可動板７４３上に配設された一対のガイドレール７３１と、ボールネジ７３０を回動させるモータ７３２と、内部のナットがボールネジ７３０に螺合するとともに側部がガイドレール７３１に摺接する昇降板７３３とから構成されており、モータ７３２によって駆動されてボールネジ７３０が回動し、これに伴い昇降板７３３がガイドレール７３１にガイドされてＺ軸方向に移動する構成となっている。
【００２１】
図１に示すように、第１の切削手段６及び第２の切削手段７は、切込み方向指定部２００と、切換え部３００と、回転方向切換え制御部４００とをも備える。
【００２２】
切込み方向指定部２００は、切削送り方向に対する切削ブレード６０、７０の回転方向を指定し、板状ワーク２に対して切削ブレード６０、７０が切込む方向を指定し、第１のモータ６２及び第２のモータ７２を駆動する。切換え部３００は、切込み方向指定部２００による切込み方向の指定に基づいて、切削送り手段５による往方向１００への切削送りにおいて切削ブレード６０又は７０のどちらかを選択して板状ワーク２に切込ませる。往方向１００での切削が終了した後、切込み送り手段６３又は７３が選択された切削ブレード６０又は７０を板状ワーク２から離間させる。その後、切削送り手段５による復方向１０１への切削送りにおいて、往方向１００で切込ませなかった切削ブレード６０又は７０を板状ワーク２に対して切込ませる。回転方向切換え制御部４００は、第１のモータ６２及び第２のモータ７２の回転方向の切換え制御をし、切込み方向指定部２００による切込み方向の指定を受けた後、切削開始の時点で回転方向を切換えることができる。切込み方向指定部２００、切換え部３００及び回転方向切換え制御部４００は、例えばＣＰＵ及びメモリ等によって構成される。
【００２３】
以下に、図１〜５を参照して、図４に示した板状ワーク２を切削装置１により切削する場合の切削装置１の動作について説明する。なお、図５の模式図中では、図１に示す切削装置１及び図２〜３に示す第１の切削手段６及び第２の切削手段７の構成は簡略化してあり、図４で示したフレームＦは省略してある。なお、板状ワーク２の種類及び形状は特に限定はされないが、ダウンカットにより切削すべきものとアップカットにより切削すべきものとがある。
【００２４】
図４に示すようなストリートによって区画された領域にデバイスＤが形成された板状ワーク２をダウンカットする場合について説明する。図４に示すように、板状ワーク２はテープＴを介して環状フレームＦと一体になっており、図１に示すように、環状フレームＦは固定部３０によってチャックテーブル３に固定されている。図５（Ａ）で示すように、切削送り手段５が板状ワーク２をモータ５２に対してＸ軸方向に接近していく方向である往方向１００に板状ワーク２を切削送りするので、切込み方向指定部２００は、第１の切削ブレード６０の回転方向を、板状ワーク２をダウンカットする方向、すなわち第１のモータ６２側からみて時計回り方向に指定し、第１の切削ブレード６０が板状ワーク２に対してＺ軸方向下向きに切込むように指定する。また、復方向においても第２の切削ブレード７０が板状ワーク２をダウンカットするように、第２の切削ブレード７０の回転方向を、第１のモータ６２側からみて反時計回り方向に指定する。
【００２５】
次いで、切削送り手段５により、チャックテーブル３に固定された板状ワーク２が往方向１００に送られるとともに、第１の切削手段６及び第２の切削手段７が、それぞれ図１に示す割出し送り手段６４及び７４によってＹ軸方向に駆動され、板状ワーク２が撮像手段６２０及び７２０によって撮像されて、第１の切削ブレード６０が切削すべきストリートＳ１及び第２の切削ブレード７０が切削すべきストリートＳ２が検出される。ここで、ストリートＳ１とストリートＳ２とは切削送り方向において交互に、かつ、平行に形成されている。
【００２６】
切込み方向指定部２００により指定された情報は、切換え部３００に電気信号として送られる。電気信号を受けた切換え部３００は、往方向１００においては板状ワーク２に対して第１の切削ブレード６０を切込ませることを選択する。そして、第１の切削ブレード６０と検出したストリートＳ１とのＹ軸方向の位置合わせが割出し送り手段６４によって行われた後、板状ワーク２をさらに往方向１００に送り出すとともに、第１の切込み送り手段６３が第１の切削ブレード６０をＺ軸方向下向きに降下させていく。また、切込み方向指定部２００の指定により、第１のモータ６２が第１のスピンドル６１を第１のモータ６２側から見て時計回り方向に高速回転させ、第１のスピンドル６１に固定された第１の切削ブレード６０が高速回転をしながらストリートＳ１を切削する。第１の切削ブレード６０がストリートＳ１を切削し終えるＸ軸方向の所定の位置まで板状ワーク２が往方向１００に進行すると、切削送り手段５により板状ワーク２の切削送りを一度停止させ、第１の切込み送り手段６３が第１の切削ブレード６０をＺ軸鉛直方向上向きに板状ワーク２から離間させる。なお、板状ワーク２の往方向１００への切削送り中は、第２の切込み送り手段７３が第２の切削ブレード７０をＺ軸方向上方に退避させておく。
【００２７】
次いで、図５（Ｂ）に示すように、切削送り手段５が、モータ５２からＸ軸方向に離反していく復方向１０１に板状ワーク２を切削送りする。また、往方向１００で第１の切削ブレード６０を切込ませることを選択した切換え部３００が、復方向１０１においては板状ワーク２に対して第２の切削ブレード７０を切込ませることを選択する。第２の切込み送り手段７３は、切込み方向指定部２００により回転方向が第１のモータ６２側から見て反時計回り方向に指定された第２の切削ブレード７０を、Ｚ軸方向下向きに降下させる。また、第２のモータ７２が第２のスピンドル７１を第１のモータ６２側から見て反時計回りに高速回転させることで、第２の切削ブレード７０が高速回転を行いながらストリートＳ２を切削する。ストリートＳ２の切削が完了した後、第２の切込み送り手段７３が第２の切削ブレード７０をＺ軸方向上方に退避させて板状ワーク２から離間させる。そして、第１の切削ブレード６０及び第２の切削ブレード７０をＹ方向にストリート間隔ずつ割出し送りしながら順次同様の切削を行うことにより、同方向のすべてのストリートを切削する。さらに、チャックテーブル３を回転手段４によって９０度回転させてから同様の切削を行うと、すべてのストリートが縦横に全てダウンカットされて個々のチップに分割される。
【００２８】
以下に、図１〜４及び図６を参照して、切削装置１によって板状ワーク２をアップカットする場合について説明する。なお、図６の模式図中では、図１に示す切削装置１及び図２〜３に示す第１の切削手段６及び第２の切削手段７の構成は簡略化してあり、図４で示したフレームＦは省略してある。図６（Ａ）で示すように、切削送り手段５が板状ワーク２を往方向１００に切削送りするので、切込み方向指定部２００は、第２の切削ブレード７０の回転方向を、板状ワーク２をアップカットする方向、すなわち第１のモータ６２側から見て反時計回り方向に指定し、第２の切削ブレード７０が板状ワーク２に対してＺ軸方向上向きに切込むように指定する。また、復方向においても第１の切削ブレード６０が板状ワーク２をアップカットするように、第１の切削ブレード６０の回転方向を、第１のモータ６２側から見て時計回り方向に指定する。
【００２９】
次いで、切削送り手段５により、チャックテーブル３に固定された板状ワーク２が往方向１００に送られるとともに、第１の切削ブレード６０及び第２の切削ブレード７０が、それぞれ割出し手段６４及び７４によってＹ軸方向に駆動され、板状ワーク２が撮像手段６２０及び７２０によって撮像されて、第１の切削ブレード６０が切削するストリートＳ１及び第２の切削ブレード７０が切削するＳ２が検出される。
【００３０】
切込み方向指定部２００により指定された情報は、切換え部３００に電気信号として送られる。信号を受けた切換え部３００は、往方向１００においては板状ワーク２に対して第２の切削ブレード７０を切込ませることを選択する。そして、第２の切削ブレード７０と検出したストリートＳ２とのＹ軸方向の位置合わせが割出し送り手段７４によって行われた後、板状ワーク２をさらに往方向１００に送り出すとともに、第２の切込み送り手段７３が第２の切削ブレード７０をＺ軸方向下向きに降下させていく。同時に第２のモータ７２が第２のスピンドル７１を第１のモータ６２側から見て反時計回り方向に高速回転させ、第２のスピンドル７１に固定された第２の切削ブレード７０が高速回転をしながらストリートＳ２を切削する。第２の切削ブレード７０がストリートＳ２を切削し終えるＸ軸方向の所定の位置まで板状ワーク２が往方向１００に進行すると、切削送り手段５により板状ワーク２の切削送りを一度停止させ、第２の切込み送り手段７３が第２の切削ブレード７０をＺ軸鉛直方向上向きに板状ワーク２から離間させる。板状ワーク２の往方向１００への切削送り中は、第１の切込み送り手段６３が第の切削ブレード６０をＺ軸方向上方に退避させておく。
【００３１】
次いで、図６（Ｂ）に示すように、切削送り手段５が、板状ワーク２を復方向１０１に切削送りする。また、往方向１００で第２の切削ブレード７０を切込ませることを選択した切換え部３００が、復方向１０１においては板状ワーク２に対して第１の切削ブレード６０を切込ませることを選択する。第１の切込み送り手段６３は、切込み方向指定部２００により回転方向がモータ６２側から見て時計方向に指定された切削ブレード６０を、Ｚ軸方向下向きに降下させる。また、第１のモータ６２が第１のスピンドル６１を第１のモータ６２側から見て時計方向に高速回転させることで、第１の切削ブレード６０が高速回転を行いながらストリートＳ１を切削する。ストリートＳ１の切削が完了した後、第１の切削ブレード６０及び第２の切削ブレード７０をＹ方向にストリート間隔ずつ割出し送りしながら順次切削を行うことにより、同方向のすべてのストリートを切削する。さらに、チャックテーブル３を回転手段４によって９０度回転させてから同様の切削を行うと、すべてのストリートＳが縦横に全てアップカットされて個々のチップに分割される。
【００３２】
以下に、図１〜４及び図７を参照して、板状ワーク２をダウンカットするという切込み方向指定部２００の指定を変更し、変更後の内容に基づき回転方向切換え制御部４００により第１の切削ブレード６０の回転方向を切換え、最終的に板状ワーク２を切削装置１で往復方向でアップカットする場合について説明する。なお、図７の模式図中では、図１に示す切削装置１及び図２〜３に示す第１の切削手段６及び第２の切削手段７の構成は簡略化してあり、図４で示したフレームＦは省略してある。図７（Ａ）に示すように、切削送り手段５が、モータ５２に対してＸ軸方向に接近していく方向である往方向１００に板状ワーク２を切削送りする場合は、切込み方向指定部２００は、板状ワーク２をダウンカットすべく第１の切削ブレード６０の回転方向を第１のモータ６２側からみて時計回り方向に指定し、第１の切削ブレード６０が板状ワーク２に対してＺ軸方向下向きに切込むように指定する。また、復方向においても第２の切削ブレード７０が板状ワーク２をダウンカットするように、第２の切削ブード７０の回転方向を第１のモータ６２側からみて反時計方向に指定する。
【００３３】
次いで、切削送り手段５により、チャックテーブル３に固定された板状ワーク２が往方向１００に送られるとともに、第１の切削手段６及び第２の切削手段７が、それぞれ割出し送り手段６４及び７４によってＹ軸方向に駆動され、板状ワーク２が撮像手段６２０及び７２０によって撮像されて、第１の切削ブレード６０が切削すべきストリートＳ１及び第２の切削ブレード７０が切削すべきＳ２が検出される。
【００３４】
切込み方向指定部２００により指定された情報は、切換え部３００及び回転方向切換え制御部４００に電気信号として送られる。電気信号を受けた切換え部３００は、往方向１００においては板状ワーク２に対して第１の切削ブレード６０を切込ませることを選択する。そして、第１の切削ブレード６０と検出したストリートＳ１とのＹ軸方向の位置合わせが割出し送り手段６４によって行われる。
【００３５】
ここで、板状ワーク２に対してアップカットする必要が生じた場合には、回転方向切換え制御部４００から、第１の切削ブレード６０及び第２の切削ブレード７０の回転方向を切換える電気信号が、第１のモータ６２及び第２の７２に送られる。そして、第１のモータ６２が第１のスピンドル６１の回転方向を第１のモータ６２側から見て反時計回り方向へと切換える。また、第２のモータ７２が第２のスピンドル７１の回転方向を、第１のモータ６２側から見て時計方向へと切換える。
【００３６】
その後、図７（Ｂ）に示すように、切削送り手段５が板状ワークＷをモータ５２に近づける往方向に切削送りするとともに、第１のスピンドル６１に固定された第１の切削ブレード６０が高速回転しながら下降し、ストリートＳ１を切削する。第１の切削ブレード６０がストリートＳ１を切削し終えるＸ軸方向の所定の位置まで板状ワーク２が往方向１００に切削送りされると、切削送り手段５により板状ワーク２の切削送りが一度停止され、第１の切込み送り手段６３が第１の切削ブレード６０をＺ軸方向上向きに板状ワーク２から離間する。
【００３７】
次いで、図７（Ｃ）に示すように、切削送り手段５が、モータ５２からＸ軸方向に離反していく復方向１０１に板状ワーク２を切削送りする。また、往方向１００で第１の切削ブレード６０を切込ませることを選択した切換え部３００が、復方向１０１において板状ワーク２に対して第２の切削ブレード７０を切込ませることを選択する。第２の切込み送り手段７３は、回転方向切換え制御部４００により回転方向が第２のモータ７２側から見て時計方向に切換えられた第２の切削ブレード７０を、Ｚ軸方向下向きに降下させ、ストリートＳ２を切削する。ストリートＳ２の切削が完了した後、第１の切削ブレード６０及び第２の切削ブレード７０をＹ方向にストリート間隔ずつ割出し送りしながら順次同様の切削を行うことにより、同方向のすべてのストリートＳを切削する。さらに、チャックテーブル３を回転手段４によって９０度回転させてから同様の切削を行うと、すべてのストリートＳが縦横に全てアップカットされて個々のチップに分割される。
【００３８】
このように、回転方向切り替え制御部４００を備えたことで、切込み方向指定部２００の指定を切換え部３００が受けた後に、加工の仕方（ダウンカット又はアップカット）を切換える必要が生じた場合であっても、切削装置１を止めることなく切削加工を行うことができるため、作業時間のロスを無くすことができる。また、第１の切削ブレード６０及び第２の切削ブレード７０の回転方向の切換えも一度ですむ為、第１のモータ６２及び第２の７２を停止させて回転方向を反転させることも一度で済み、消費電力の増加を抑えることができる。
【符号の説明】
【００３９】
１：切削装置
２：板状ワーク
３：チャックテーブル  ３０：固定部  
Ｔ：テープ  Ｆ：環状フレーム  Ｄ：デバイス  Ｓ：ストリート  Ｓ１：ストリート
Ｓ２：ストリート
４：回転手段
５：切削送り手段  ５０：ボールネジ ５１：ガイドレール  ５２：モータ
５３：可動板
６：第１の切削手段  
６０：第１の切削ブレード  ６００：基台  ６０１：切れ刃  ６１：第１のスピンドル
６２：第１のモータ  ６２０：撮像手段
６４  割出し送り手段  ６４０：ボールネジ  ６４１：ガイドレール  ６４３  可動板  
６３：第１の切込み送り手段  ６３０：ボールネジ  ６３１：ガイドレール
６３２：モータ  ６３３：昇降板
７：第２の切削手段  
７０：第２の切削ブレード  ７００：基台  ７０１：切れ刃  ７１：スピンドル
７２：モータ  ７２０：撮像手段
７４：割出し送り手段  ７４０：ボールネジ  ７４１：ガイドレール  ７４２：モータ
７４３：可動板
７３：第２の切込み送り手段  ７３０：ボールネジ  ７３１：ガイドレール
７３２：モータ  ７３３：昇降板
８０：切削液ノズル  ８００：切削液流入口  ８１：切削液ノズル
８１０：切削液流入口  ８２：ナット  
９０：切削液ノズル  ９００：切削液流入口  ９１：切削液ノズル
９１０：切削液流入口  ９２：ナット
１００：往方向  １０１：復方向
２００：切込み方向指定部  ３００：切換え部  ４００：回転方向切換え制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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