(57)【要約】【課題】ヘッドの構造体に生じる振動が液室に伝播することを抑制でき、耐透気性を確保できる液滴吐出ヘッドを提供する。【解決手段】複数のノズルを有するノズル板と、前記ノズルに連通する液室を構成する液室部材と、前記ノズル板と反対側の面で前記液室部材と接合する保持基板と、前記保持基板と接合し、前記液室に液体を供給する共通液室を構成するフレーム部材と、を有する液滴吐出ヘッドであって、前記液室部材、保持基板及びフレーム部材は、前記液体が流れる流路を形成し、前記液室部材と前記保持基板との間、及び、前記保持基板と前記フレーム部材との間の中から選ばれる一つ以上の領域であって、前記流路の一部を形成する領域に、弾性体が設けられており、前記弾性体は、該弾性体よりも低吸湿性の接着剤により被覆されていることを特徴とする。【選択図】図４
2016175258.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルを有するノズル板と、
前記ノズルに連通する液室を構成する液室部材と、
前記ノズル板と反対側の面で前記液室部材と接合する保持基板と、
前記保持基板と接合し、前記液室に液体を供給する共通液室を構成するフレーム部材と、を有する液滴吐出ヘッドであって、
前記液室部材、保持基板及びフレーム部材は、前記液体が流れる流路を形成し、
前記液室部材と前記保持基板との間、及び、前記保持基板と前記フレーム部材との間の中から選ばれる一つ以上の領域であって、前記流路の一部を形成する領域に、弾性体が設けられており、
前記弾性体は、該弾性体よりも低吸湿性の接着剤により被覆されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
前記弾性体は接着性を有し、前記液室部材、保持基板及びフレーム部材のうち少なくとも一つと接していることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記弾性体は、前記液室部材及び保持基板と接しており、又は、前記保持基板及びフレーム部材と接していることを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを備えることを特徴とする画像形成装置。
【請求項５】
複数のノズルを有するノズル板と、
前記ノズルに連通する液室を構成する液室部材と、
前記ノズル板と反対側の面で前記液室部材と接合する保持基板と、
前記保持基板と接合し、前記液室に液体を供給する共通液室を構成するフレーム部材と、を有する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
前記液室部材、保持基板及びフレーム部材のうち少なくとも一つに弾性体を形成する工程と、
前記弾性体上に該弾性体よりも低吸湿性の接着剤の組成液を設ける工程と、
前記液室部材、保持基板及びフレーム部材を貼り合せる工程と、を有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記液室部材及び保持基板に前記弾性体を形成した後、該弾性体上に前記接着剤の組成液を設け、前記液室部材及び保持基板を貼り合せることを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記保持基板及びフレーム部材に前記弾性体を形成した後、該弾性体上に前記接着剤の組成液を設け、前記保持基板及びフレーム部材を貼り合せることを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記液室部材、保持基板及びフレーム部材のうち少なくとも一つと、前記弾性体とを２色成型により作製することを特徴とする請求項５〜７のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッド、画像形成装置及び液滴吐出ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、プリンタ、ファックス、コピア、プロッタ、あるいはこれらのうちの複数の機能を複合した画像形成装置として、インクの液滴を吐出する液滴吐出ヘッドで構成した記録ヘッドを備えるものが知られている。この画像形成装置は、媒体（被記録媒体、記録媒体、転写材、用紙、記録紙などとも称する）を搬送しながら、インク滴を用紙に付着させて画像形成を行うことが知られている。
【０００３】
液滴吐出ヘッドとしては、個別流路（加圧液室とも称する）内の液体であるインクを加圧する圧力を発生するための圧力発生手段（アクチュエータ手段とも称する）として、圧電素子などで構成される圧電アクチュエータを用いたもの、発熱抵抗体などで構成されるサーマルアクチュエータを用いたもの、静電力を発生する静電アクチュエータを用いたものなどが知られている。
【０００４】
近年、画像形成装置においては、より高品位な画像を、より速い印刷速度で出力できることが求められるようになってきている。ところが、アクチュエータの駆動（具体的には、圧電素子の伸縮）に伴い、ヘッドの構造体（アクチュエータ基板、保持基板等）が変形してしまい、ヘッドの構造体に構造的な振動が生じ、この振動が共通液室に伝播することで、インク吐出特性に影響を与えてしまう。
【０００５】
これに対しては、弾性体をヘッドの構造体の間に配置して、流路の壁面の一部を構成することで、ヘッドの構造体の振動を吸収することができると考えられる。これにより、液室内の圧力変動を抑制することができ、高速動作にも対応できると考えられる。
【０００６】
液滴吐出ヘッドにおいて、２つの部材を接合する接着剤に弾性接着剤を用いる従来技術として、特許文献１と特許文献２がある。
特許文献１では、カバーとインクジェットヘッド及びその近傍とをシーリングした弾性接着剤をコーティング剤で覆うことにより、弾性接着剤がインクの付着によって膨潤するのを防止でき、膨潤によるカバーの剥離を防止できることが開示されている。
【０００７】
また、特許文献２では、ノズル板と隔壁とが水酸基を分子鎖にもつエポキシ樹脂を含む第１の接着剤により接着接合され、第１の接着剤よりも低吸湿性の第２の接着剤により、ノズル板と隔壁との接着接合部分であって液室内部に面する部分が被覆されていることが開示されている。
【０００８】
ここで、弾性材料は柔軟な構造であるため透気性を有しており、弾性体を介してヘッド外部の空気が流路中に侵入してインク中に気泡が生じる問題が新たに生じてしまう。
そのため、ヘッドの構造体に生じる振動が液室に伝播することを抑制でき、耐透気性を確保できる液滴吐出ヘッドが望まれていた。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、ヘッドの構造体に生じる振動が液室に伝播することを抑制でき、耐透気性を確保できる液滴吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明は、複数のノズルを有するノズル板と、前記ノズルに連通する液室を構成する液室部材と、前記ノズル板と反対側の面で前記液室部材と接合する保持基板と、前記保持基板と接合し、前記液室に液体を供給する共通液室を構成するフレーム部材と、を有する液滴吐出ヘッドであって、前記液室部材、保持基板及びフレーム部材は、前記液体が流れる流路を形成し、前記液室部材と前記保持基板との間、及び、前記保持基板と前記フレーム部材との間の中から選ばれる一つ以上の領域であって、前記流路の一部を形成する領域に、弾性体が設けられており、前記弾性体は、該弾性体よりも低吸湿性の接着剤により被覆されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、ヘッドの構造体に生じる振動が液室に伝播することを抑制でき、耐透気性を確保できる液滴吐出ヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係る液滴吐出ヘッドの一例における要部の分解斜視説明図である。
【図２】本発明に係る液滴吐出ヘッドの一例におけるノズル配列方向と直交する方向に沿った断面の要部断面説明図である。
【図３】本発明に係る液滴吐出ヘッドの一例におけるノズル配列方向に沿った断面の要部断面説明図である。
【図４】本発明に係る液滴吐出ヘッドの一例における構造体の接合面の拡大模式図である。
【図５】本発明に係る液滴吐出ヘッドの一例における構造体の接合面の拡大模式図である。
【図６】本発明に係る液滴吐出ヘッドの一例における構造体の接合面の拡大模式図である。
【図７】本発明に係る液滴吐出ヘッドを製造する工程を説明するための模式図である。
【図８】本発明に係る画像形成装置の一例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明に係る液滴吐出ヘッド、画像形成装置及び液滴吐出ヘッドの製造方法について図面を参照しながら説明する。なお、本発明は以下に示す実施形態に限定されるものではなく、他の実施形態、追加、修正、削除など、当業者が想到することができる範囲内で変更することができ、いずれの態様においても本発明の作用・効果を奏する限り、本発明の範囲に含まれるものである。
【００１４】
本発明における用語について補足説明する。
「媒体」とあるのは、「用紙」も意味するものであるが、材質を限定するものではなく、また、被記録媒体、記録媒体、転写材、記録紙なども同義で使用する。
「画像形成装置」は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味する。
また、「画像形成」は、記録、印刷、印写、印字も同義語で用いられ、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与する（単に液滴を吐出する液体吐出装置を含む）ことをも意味する。
「インク」とは、狭義のインクに限るものではなく、吐出されるときに液体となるものであれば特に限定されるものではなく、例えば、試薬、処理液、レジスト、パターン材料なども含まれる。
「構造体」とは、主に液室部材、保持基板又はフレーム部材を意味するが、これに限られるものではなく、液滴吐出ヘッドにおけるその他の部材も意味するものとする。
以下、本発明について詳細を説明する。
【００１５】
（液滴吐出ヘッド）
本発明の実施形態について、図１〜図３を参照して説明する。図１は本実施形態に係る液滴吐出ヘッドにおける要部の分解斜視説明図、図２は本実施形態に係る液滴吐出ヘッドにおけるノズル配列方向と直交する方向に沿った断面の要部断面説明図、図３は本実施形態に係る液滴吐出ヘッドにおけるノズル配列方向に沿った断面の要部断面説明図である。
【００１６】
本実施形態の液滴吐出ヘッドは、ノズル板１と、流路板２と、振動板３と、圧力発生手段である圧電素子１１と、液室部材２４と、保持基板５０と、共通液室部材を兼ねるフレーム部材７０とを備えている。
なお、本実施形態では、流路板２、振動板３及び圧電素子１１で構成される部分を「アクチュエータ基板２０」と称する。ただし、アクチュエータ基板２０として独立の部材が形成された後にノズル板１や保持基板５０、フレーム部材７０と接合されることまで意味するものではない。
また、アクチュエータ基板２０は液室部材２４に含まれるものである。
【００１７】
ノズル板１には、液滴（インク）を吐出する複数のノズル４が形成されている。ここでは、ノズル４を配列したノズル列を４列配置した構成としている。
【００１８】
流路板２は、ノズル板１及び振動板３とともに、ノズル４が通じる個別液室６、個別液室６に通じる流体抵抗部７、流体抵抗部７が通じる液導入部（通路）８を形成している。これらの個別液室６、流体抵抗部７及び液導入部８を併せて個別流路５とする。
【００１９】
この液導入部８は振動板３に形成されたフィルタ部９を通じて保持基板５０の開口部（インク流路１０Ａ）及びフレーム部材７０で形成される共通液室１０Ｂに通じている。開口部（インク流路１０Ａ）は後述する共通液室１０Ｂの一部である。なお、フィルタ部９は図２に示すように１又は複数のフィルタ孔９１で構成される。
【００２０】
振動板３は、個別液室６の壁面の一部をなす変形可能な振動領域３０を形成している。そして、この振動板３の振動領域３０の個別液室６と反対側の面には、振動領域３０と一体的に圧電素子１１が設けられ、振動領域３０と圧電素子１１によって圧電アクチュエータを構成している。
【００２１】
圧電素子１１は、振動領域３０側から下部電極１３、圧電層（圧電体）１２及び上部電極１４を順次積層形成して構成している。この圧電素子１１上には層間絶縁膜２１が形成されている。
【００２２】
圧電素子１１の下部電極１３は共通配線１５を介して引き出されて接続パッド１７に接続されている。上部電極１４は個別配線１６を介して引き出されて接続パッド１８に接続され、駆動ＩＣ（ドライバＩＣ）５００に接続される。ドライバＩＣ５００は、圧電素子列の列間の領域を覆うようにフリップチップボンディングやワイヤボンディングなどの工法によりアクチュエータ基板２０上に実装されている。
【００２３】
そして、アクチュエータ基板２０上には、パッシベーション層２２を介して圧電素子１１を収容する凹部（振動室）５１及び配線用空間５２を形成する保持基板５０を設けている。保持基板５０は、上述したように共通液室１０Ｂの一部である開口部（インク流路１０Ａ）も形成している。この保持基板５０は、接着剤によってアクチュエータ基板２０の振動板３側に接合されている。
【００２４】
このように構成したこの液体吐出ヘッドにおいては、ドライバＩＣ５００から圧電素子１１の上部電極１４と下部電極１３の間に電圧を与えることで、圧電層１２が電極積層方向、すなわち電界方向に伸張し、振動領域３０と平行な方向に収縮する。
【００２５】
このとき、下部電極１３側は振動領域３０で拘束されているため、振動領域３０の下部電極１３側に引っ張り応力が発生し、振動領域３０が個別液室６側に撓み、内部の液体を加圧することで、ノズル４から液滴が吐出される。
【００２６】
フレーム部材７０は、保持基板５０のアクチュエータ基板２０を接合する面とは反対側に接合されて、液滴を吐出する複数のノズル４が通じる複数の個別液室６に液体を供給する共通液室１０Ｂを形成する（共通液室１０Ｂとなる凹部を有する）。
また、フレーム部材７０にはフィルタを含む流路部品９０（図１参照）が接合されている。
【００２７】
次に、図４に、本実施形態の液滴吐出ヘッドにおける構造体の接合面の拡大模式図を示す。図４は、図２の破線部分の拡大模式図であり、保持基板５０と液室部材２４（アクチュエータ基板２０）の接合部分の要部拡大模式図である。
【００２８】
図４に示されるように、液室部材２４（アクチュエータ基板２０）上には弾性体２５が配置されている。また、この弾性体２５を被覆して接着剤２６が配置され、接着剤２６により保持基板５０とアクチュエータ基板２０とが接着されている。
【００２９】
弾性体２５としては、シリコーン樹脂や、ウレタン樹脂のような可とう性に優れた材料が挙げられる。具体的な材料としては、例えばＴＢ１５３９（スリーボンド社製）が挙げられ、弾性率が低いために、インク流路１０Ａ内の圧力伝播成分を抑制するのに優れている。上記のほか、シリコーン樹脂として、ＫＥ−２０９０−４０（信越シリコーン社製）も挙げられる。
【００３０】
接着剤２６としては、耐吸湿性に優れる主剤樹脂として、ビフェニル型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン（ＤＣＰＤ）型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、キサンテン型エポキシ樹脂のいずれかを含むことが好ましい。これらは、低吸湿性の樹脂として、主に半導体などのコーティング材料としても用いられるものであり、硬化樹脂はインクから水分が浸透するのをブロックする。また、これらの樹脂は硬化すると、比較的架橋密度の高いエポキシ樹脂を形成し、優れた耐薬品性も示す。また、エポキシ接着剤を用いた場合、基材への接着性と耐インク性に優れた性能を示す。
【００３１】
例えば、ＤＣＰＤ型エポキシ樹脂（商品名ＥＰＩＣＬＯＮ  ＨＰ−７２００ＨＨ、ＤＩＣ社製）は、分子鎖に水酸基を持たず、立体障害が小さい分子形状であることから、硬化後は低い吸湿率を発現する。
【００３２】
また、接着剤２６は、アミン系硬化剤を含有することが好ましい。具体的な硬化剤としては、脂肪族ポリアミン、脂環式ポリアミン、芳香族ポリアミン、ポリアミノアミド等の１級、２級アミン類が挙げられる。
アミン系硬化剤を用いることで、接着剤２６は、硬化反応後の樹脂の分子鎖が長鎖となって弾性が高い樹脂を形成し、剥離強度が高くなる。また同時に、分子鎖に分岐を作らずに結合反応することから、分子鎖の間に立体障害を原因する隙間を生じにくくなり、結合樹脂の透湿性が低くなる結果、耐インク性が改善される。
【００３３】
その他、具体的な材料としては、例えばＧＡ４（ヘンケルエイブルスティック社製）が挙げられる。この場合、インクへの耐久性や透気防止性に優れた特性を付与することができる。
【００３４】
また、液室部材２４、保持基板５０、フレーム部材７０の材料としては、特に制限されるものではなく、公知のものを用いることができる。例えば、金属、樹脂等が挙げられ、樹脂としては例えばエポキシ樹脂（例えばＪ１０３、クラスターテクノロジー社製）等が挙げられる。
【００３５】
また、弾性体２５は接着性を有し、液室部材２４、保持基板５０及びフレーム部材７０のうち少なくとも一つと接していてもよい。本実施形態では、図４に示されるように、弾性体２５は液室部材２４（アクチュエータ基板２０）と接している。これにより、構造体（液室部材２４、保持基板５０、フレーム部材７０等）に対して良好に接合することができるため、液室内部の圧力変動をより抑制することができ、耐透気性に優れた接合を得ることができる。
【００３６】
アクチュエータ基板２０の圧電素子１１が伸縮することにより、アクチュエータ基板２０に発生する振動が保持基板５０に伝播しようとするが、本実施形態によれば、保持基板５０とアクチュエータ基板２０の接合領域におけるインク流路１０Ａを形成する箇所では、弾性体２５によって振動が低減される。これにより、ヘッド構造体の振動により生じる液吐出特性の影響を低減することができる。
【００３７】
また、弾性体２５の設置面（図４では液室部材２４（アクチュエータ基板２０）との界面）を除く表面を弾性体２５よりも透湿性の低い（低吸湿性の）接着剤２６で被覆することにより、弾性体２５を介してヘッド外部の空気がインク流路１０中に侵入してインク中に気泡が生じることを抑制することができる。
【００３８】
本実施形態では、図４に示す弾性体２５により、インク流路１０Ａ内に存在する圧力変動を抑制することができるため、次の液滴吐出までの時間を短縮することができる。また、弾性体２５によって、フレーム部材７０の方向に伝播してきた内部圧力を抑制することができる。
【００３９】
また、図４における接着剤２６は、インク流路１０Ａを流れるインクと接するため、インクに対する耐久性が求められ、またインク流路１０Ａに気泡が混入することを防ぐ透気防止性が求められる。接着剤２６は、弾性体２５では機能として保持できない耐インク性と透気防止性を担うことで、弾性体２５の材料選択性を向上させることができる。
【００４０】
なお、本実施形態や下記の実施形態では、保持基板５０と液室部材２４（アクチュエータ基板２０）との間に弾性体が設けられる場合を例に挙げて説明しているが、本発明ではこれに制限されるものではない。その他に、保持基板５０とフレーム部材７０との間に弾性体を設ける場合にも適用することができる。
また、弾性体２５の大きさは、特に制限されるものではなく、適宜変更が可能である。
【００４１】
次に、その他の実施形態について図５を用いて説明する。図５は、本実施形態に係る液滴吐出ヘッドにおける構造体の接合面の拡大模式図である。弾性体２５は液室部材２４（アクチュエータ基板２０）及び保持基板５０の両方に接している。これにより、弾性体２５を保護する接着剤２６の膜厚が薄くなり、弾性体２５の体積比率が増大するため、より効率的に液室内部の圧力変動を抑制することができる。
【００４２】
ここで、位置合わせして接着する際に加圧を十分に与えることにより、液室部材２４（アクチュエータ基板２０）上に形成した弾性体２５を保持基板５０に接触させることが可能である。この場合、弾性体２５は保持基板５０とは接着力を有していないため、接着剤２６が保持基板５０との接着力を確保することとなる。
【００４３】
このように、弾性体２５は、液室部材２４（アクチュエータ基板２０）及び保持基板５０の両方に接していてもよく、又は、保持基板５０及びフレーム部材７０と接していてもよい。
【００４４】
また、その他の実施形態について図６を用いて説明する。図６は、本実施形態に係る液滴吐出ヘッドにおける構造体の接合面の拡大模式図である。詳細は製造方法の説明で述べるが、液室部材２４（アクチュエータ基板２０）に弾性体２５を形成し、保持基板５０に弾性体２５を形成した後に両者を貼り合わせて得られた液滴吐出ヘッドも本発明に含まれる。
【００４５】
図６に示されるように、液室部材２４（アクチュエータ基板２０）及び保持基板５０の両方に形成された弾性体２５が互いに接するように形成されている。これにより弾性体２５の厚みを大きくすることができ、液室内部の圧力変動をより効果的に抑制することができる
【００４６】
さらに、その他の実施形態について説明する。本実施形態における接着剤２６には、フィラーのような添加物が含有される。フィラーは、例えば、保持基板５０と弾性体２５との間に存在する接着剤２６内に含有させることができる。これにより、接着剤２６における気体が通過する経路を長くでき、又は、通過経路の断面積を小さくでき、気体が接着剤２６を通過し、インク流路１０Ａに侵入することをさらに抑制することができる。このため、耐透気性をより向上させることができる。
フィラーとしては、公知のものを用いることができ、例えば、シリカフィラー、金属フィラー、樹脂フィラー等が挙げられる。これらは、単独で用いてもよく、２種以上を用いてもよい。
【００４７】
（液滴吐出ヘッドの製造方法）
次に、液滴吐出ヘッドの製造方法について説明する。
本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法は、複数のノズルを有するノズル板と、前記ノズルに連通する液室を構成する液室部材と、前記ノズル板と反対側の面で前記液室部材と接合する保持基板と、前記保持基板と接合し、前記液室に液体を供給する共通液室を構成するフレーム部材と、を有する液滴吐出ヘッドの製造方法である。
そして、前記液室部材、保持基板及びフレーム部材のうち少なくとも一つに弾性体を形成する工程と、前記弾性体上に該弾性体よりも低吸湿性の接着剤の組成液を設ける工程と、前記液室部材、保持基板及びフレーム部材を貼り合せる工程と、を有することを特徴とする。
【００４８】
図７に液滴吐出ヘッドの製造方法の一例を示す。
図７（Ａ）は、弾性体２５を形成する工程を示す。弾性体２５を形成する方法は、特に制限されるものではないが、液室部材２４（アクチュエータ基板２０）上にディスペンス等により弾性体２５の組成液を供給し、硬化させる方法が挙げられる。硬化させる方法は、弾性体２５によって変更されるため、特に制限されるものではないが、例えばオーブンにより８０℃、１時間加熱し、硬化させる。
【００４９】
液室部材２４、保持基板５０及びフレーム部材７０を形成する方法は、特に制限されるものではなく、公知の方法を用いることができる。例えば、射出成型により形成する方法が挙げられる。
また、液室部材２４、保持基板５０及びフレーム部材７０のうち少なくとも一つと、弾性体２５とを２色成型により作製することが好ましい。２色成型することにより、液室部材２４、保持基板５０、フレーム部材７０を形成する際にこれらの部材に弾性体２５を簡便に設けることができ、組立工程の短縮が図れ、簡便に接合を確保することができる。
２色成型する際の材料としては、特に制限されるものではないが、上記構造体の材料としてエポキシ樹脂（例えばＪ１０３、クラスターテクノロジー社製）に、弾性体２５としてシリコーン樹脂（例えばＫＥ−２０９０−４０、信越シリコーン社製）を射出成型することにより実現することもできる。
【００５０】
図７（Ｂ）は、接着剤２６の組成液を設ける工程を示す。図７（Ａ）により形成された弾性体２５上に例えばディスペンス等により接着剤２６の組成液を供給する。
次に、接着剤２６の組成液を設けた後、図７（Ｃ）に示すように、保持基板５０を位置合わせして接着する。その後、例えばオーブンにより８０℃、４時間加熱する。
【００５１】
貼り合わせる際に、圧力を加えるかは適宜変更することが可能であり、またどの程度の圧力を加えるかについても変更が可能である。貼り合わせる際にある値の圧力で加圧することにより、前述の図５に示される構成とすることができる。
【００５２】
また、図７では液室部材２４（アクチュエータ基板２０）上に弾性体２５を形成した後に接着剤２６の組成液を塗布し、保持基板５０を貼り合わせ、接着剤２６を硬化させているが、本発明はこれに限られるものではなく、適宜変更が可能である。
例えば、液室部材２４及び保持基板５０に弾性体２５を形成した後、弾性体２５上に接着剤２６の組成液を設け、液室部材２４及び保持基板５０を貼り合せることにより、液滴吐出ヘッドを形成することもできる。
【００５３】
また、保持基板５０及びフレーム部材７０に弾性体２５を形成した後、弾性体２５上に接着剤２６の組成液を設け、保持基板５０及びフレーム部材７０を貼り合せることにより、液滴吐出ヘッドを形成することもできる。これにより形成された液滴吐出ヘッドは、図６に示される構成となる。
【００５４】
図６に示す接合部を得るための方法について、詳細を説明する。上述と同様に液室部材２４上に弾性体２５を形成した後、保持基板５０上に弾性体２５を形成する。保持基板５０上に形成された弾性体２５上に、接着剤２６の組成液を設け、液室部材２４と保持基板５０とを位置合わせして接着する。その際、保持基板５０側に供給した接着剤２６が液室部材２４上の弾性体２５の方にも流れ出していき、両方の弾性体２５を覆うことができる。その後、接着剤２６を硬化させる。
なお、接着剤２６の流れ出しだけでは不十分であり、弾性体２５を接着剤２６が覆うことができない場合、液室部材２４上に接着剤２６の組成液を設け貼り合わせてもよい。
【００５５】
（画像形成装置）
次に、本発明に係る画像形成装置の一例について図８を参照して説明する。図８は同画像形成装置の斜視説明図である。
【００５６】
この画像形成装置はシリアル型画像形成装置であり、ガイド部材４０１にキャリッジ４０３が移動可能に支持され、モータ４０６によってベルト４０７を介して移動走査される。キャリッジ４０３には、液滴を吐出する本発明に係る液体吐出ヘッドである記録ヘッド４１１が搭載されている。
【００５７】
一方、記録ヘッド４１１に対向して媒体４１０を搬送する搬送ローラ４１２を備えている。この搬送ローラ４１２はモータ４１３によって回転駆動され、搬送される媒体４１０は搬送ガイド部材４１４によって案内支持される。
【００５８】
この画像形成装置では、搬送ローラ４１２によって媒体４１０を所定量ずつ間欠的に搬送し、停止している媒体４１０に対してキャリッジ４０３を移動走査しながら記録ヘッド４１１から液滴を吐出させて画像を形成する。
【００５９】
また、待機時には、キャリッジ４０３をメンテナンス装置４２０側に移動させる。メンテナンス装置４２０は、記録ヘッド４１１のノズル面をキャッピングするキャップ、ノズル面を払拭する払拭部材などを備えている。
そして、メンテナンス装置４２０では、キャップでノズル面をキャッピングして吸引ポンプでノズルから増粘したインクを吸引排出する維持回復動作を行い、また、ノズル面をキャッピングしてインクの乾燥を防止する。
【００６０】
本発明の画像形成装置は本発明に係る液滴吐出ヘッドを備えているため、拘束応答性に優れた吐出ヘッドを形成することができ、高速印刷を確保することができる。
【００６１】
なお、「画像」とは平面的なものに限らず、立体的に形成されたものに付与された画像、また立体自体を三次元的に造形して形成された像も含まれる。
また、画像形成装置には、特に限定しない限り、シリアル型画像形成装置及びライン型画像形成装置のいずれも含まれる。
【符号の説明】
【００６２】
１  ノズル板
２  流路板
３  振動板
４  ノズル
６  個別液室
７  流体抵抗部
８  液導入部
９  フィルタ部
１０Ａ  インク流路
１０Ｂ  共通液室
１１  圧電素子
１２  圧電層（圧電体）
１３  下部電極
１４  上部電極
１５  共通配線
１７、１８  接続パッド
２０  アクチュエータ基板
２２  パッシベーション層
２４  液室部材
３０  振動領域
５０  保持基板
５１  凹部（振動室）
５２  配線用空間
７０  フレーム部材
９０  流路部品
９１  フィルタ孔
４０１  ガイド部材
４０３  キャリッジ
４０６、４１３  モータ
４０７  ベルト
４１０  媒体
４１１  記録ヘッド
４１２  搬送ローラ
４１４  ガイド部材
４２０  メンテナンス装置
５００  駆動ＩＣ（ドライバＩＣ）
【先行技術文献】
【特許文献】
【００６３】
【特許文献１】特開２００７−２１６６３２号公報
【特許文献２】特開２０１３−６４０４号公報
【図１】
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【図３】
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【図８】
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【図２】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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