(57)【要約】【課題】ワイヤリールにトラバーサを介してワイヤを巻き取る際に、ワイヤリールの端にワイヤの溜まりが発生することを抑制することができるトラバーサ制御方法およびワイヤソーを提供すること。【解決手段】ワイヤソーのワイヤリールからトラバーサを介してワイヤを送り出す際、もしくは前記ワイヤリールに前記トラバーサを介して前記ワイヤを巻き取る際に、前記ワイヤリールの軸方向に移動して前記ワイヤを案内するトラバーサの制御方法であって、前記ワイヤリールから前記ワイヤを送り出す際の前記トラバーサの動作幅より、前記ワイヤリールに前記ワイヤを巻き取る際の前記トラバーサの動作幅を小さくすることを特徴とするワイヤソーのトラバーサの制御方法。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワイヤソーのワイヤリールからトラバーサを介してワイヤを送り出す際、もしくは前記ワイヤリールに前記トラバーサを介して前記ワイヤを巻き取る際に、前記ワイヤリールの軸方向に移動して前記ワイヤを案内するトラバーサの制御方法であって、
前記ワイヤリールから前記ワイヤを送り出す際の前記トラバーサの動作幅より、前記ワイヤリールに前記ワイヤを巻き取る際の前記トラバーサの動作幅を小さくすることを特徴とするワイヤソーのトラバーサの制御方法。
【請求項２】
前記ワイヤリールから前記ワイヤを送り出す際の前記トラバーサの動作速度より、前記ワイヤリールに前記ワイヤを巻き取る際の前記トラバーサの動作速度を遅くすることを特徴とする請求項１に記載のワイヤソーのトラバーサ制御方法。
【請求項３】
複数のワイヤガイドに巻掛けされ、軸方向に往復走行するワイヤによって形成されたワイヤ列と、ワイヤリールからトラバーサを介して前記ワイヤを送り出す際、もしくは前記ワイヤリールに前記トラバーサを介して前記ワイヤを巻き取る際に、前記ワイヤリールの軸方向に移動して前記ワイヤを案内する前記トラバーサと、前記ワイヤに加工液を供給するノズルと、保持したワークを前記ワイヤ列に押圧するワーク送り機構とを具備するワイヤソーであって、
前記ワイヤリールから前記ワイヤを送り出す際の前記トラバーサの動作幅より、前記ワイヤリールに前記ワイヤを巻き取る際の前記トラバーサの動作幅を小さく制御することができるトラバーサ制御装置を具備することを特徴とするワイヤソー。
【請求項４】
前記トラバーサ制御装置は、
前記ワイヤリールから前記ワイヤを送り出す際の前記トラバーサの動作速度より、前記ワイヤリールに前記ワイヤを巻き取る際の前記トラバーサの動作速度を遅く制御することができるものであることを特徴とする請求項３に記載のワイヤソー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワイヤソーのトラバーサの制御方法及びワイヤソーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体インゴットなどの硬脆材を薄板状のウェーハに切断する切断装置の１つにワイヤソーがある。
【０００３】
このワイヤソー装置内には、ワイヤを送り出す、もしくはワイヤを巻き取る部品や装置としてワイヤリールとトラバーサがある。このワイヤリールからワイヤを出し入れする際にワイヤリールの端の位置を正確に把握する必要がある。ワイヤリールの端を把握する方法として作業者が目視にて測定する方法の他、特許文献１のようにワイヤリールの端を近接センサーで確認する方法がある。
【０００４】
特許文献２はワイヤリールからワイヤを送り出す際に、ワイヤリールの長手方向に対してワイヤ送り出し角が略直角ではなくなった時にタッチローラが感知してワイヤリールの端の位置情報を修正する方法である。
【０００５】
特許文献３はワイヤリール中央とワイヤリールの端のワイヤ巻径を検出し、両者の巻径の差が所定の範囲を越えた時にワイヤリールの端の位置情報を修正する方法である。
【０００６】
特許文献４はワイヤリールの端にＣＣＤや赤外線発光器・受光器を設置してワイヤの巻き状態を確認しワイヤリールの端の位置情報を修正する方法である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平９−２９６０９号公報
【特許文献２】特開平９−６６４５９号公報
【特許文献３】特開平１１−５８２０７号公報
【特許文献４】特開平１１−５８２０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
近年、主流になりつつある固定砥粒ワイヤ切断ではワイヤを送り出す、もしくはワイヤを巻き取るなどのワイヤ線速が高速化し、それに伴ってトラバーサの動作速度も高速化している。このようなトラバーサの動作速度の高速化により、特にワイヤをワイヤリールに巻き取る時には、ワイヤにトラバーサの動作方向の慣性が働き、ワイヤリールの端からワイヤが外側に出ようとする。そのため、ワイヤリールの端にはワイヤの溜まりができる。一方、ワイヤの送り出し時では、ワイヤリールから送り出されたワイヤがトラバーサに規制されるため、トラバーサの動作方向に働くワイヤの慣性を考慮する必要はない。
【０００９】
ところで、従来のトラバーサの動作幅の考え方として、ワイヤリールからのワイヤ送り出し時と、ワイヤリールへのワイヤ巻き取り時のそれぞれのトラバーサの動作幅は同じであった。また同様に、トラバーサの動作速度についてもワイヤ送り出し時とワイヤ巻き取り時のトラバーサの動作速度は同じであった。これは前述した特許文献１〜４でも言えることである。
【００１０】
さらに前述した特許文献１〜４ではワイヤリールの端の位置情報を修正するだけで、ワイヤ溜まりの根本原因である高速化したトラバーサ動作方向に働くワイヤの慣性が考慮されていない。
【００１１】
ここで、ワイヤリールの端に発生したワイヤの溜まりに起因するトラブルについて説明する。ワイヤリールの端にワイヤの溜まりが発生すると、ワイヤ同士の擦れ、特に固定砥粒ワイヤの場合はワイヤに電着、もしくは樹脂などにより固定されている砥粒、例えばダイヤモンドが、このワイヤ同士の擦れにより摩耗する。ワイヤは送り出し及び巻き取りを繰り返すためワイヤの特定の箇所はさらに摩耗し、ワイヤの断線に発展することがある。
【００１２】
またワイヤの溜まりが大きくなると、巻き取った直後のワイヤが、既に巻かれているワイヤの下に潜り込むなどワイヤが不自然に重なる現象が発生する。この現象が発生した場合は、ワイヤはピアノ線や固定砥粒ワイヤに関わらず、ワイヤリールから送り出すことができずワイヤの断線のリスクが大幅に高まることが知られている。
【００１３】
本発明は前述のような問題に鑑みてなされたもので、ワイヤリールにトラバーサを介してワイヤを巻き取る際に、ワイヤリールの端にワイヤの溜まりが発生することを抑制できるワイヤソーのトラバーサの制御方法及びワイヤソーを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するために、本発明によれば、ワイヤソーのワイヤリールからトラバーサを介してワイヤを送り出す際、もしくは前記ワイヤリールに前記トラバーサを介して前記ワイヤを巻き取る際に、前記ワイヤリールの軸方向に移動して前記ワイヤを案内するトラバーサの制御方法であって、
前記ワイヤリールから前記ワイヤを送り出す際の前記トラバーサの動作幅より、前記ワイヤリールに前記ワイヤを巻き取る際の前記トラバーサの動作幅を小さくすることを特徴とするワイヤソーのトラバーサの制御方法を提供する。
【００１５】
このようにすれば、ワイヤリールにトラバーサを介してワイヤを巻き取る際に、ワイヤリールの端にワイヤの溜まりが発生することを抑制できるので、ワイヤの摩耗を抑制することができる。これにより、ワイヤの断線やワイヤの摩耗による切断能力の低下を軽減することができる。
【００１６】
このとき、前記ワイヤリールから前記ワイヤを送り出す際の前記トラバーサの動作速度より、前記ワイヤリールに前記ワイヤを巻き取る際の前記トラバーサの動作速度を遅くすることが好ましい。
【００１７】
このようにすれば、ワイヤリールにトラバーサを介してワイヤを巻き取る際に、ワイヤリールの端にワイヤの溜まりが発生することをより確実に抑制できるので、ワイヤの摩耗をより確実に抑制することができる。
【００１８】
また本発明によれば、複数のワイヤガイドに巻掛けされ、軸方向に往復走行するワイヤによって形成されたワイヤ列と、ワイヤリールからトラバーサを介して前記ワイヤを送り出す際、もしくは前記ワイヤリールに前記トラバーサを介して前記ワイヤを巻き取る際に、前記ワイヤリールの軸方向に移動して前記ワイヤを案内する前記トラバーサと、前記ワイヤに加工液を供給するノズルと、保持したワークを前記ワイヤ列に押圧するワーク送り機構とを具備するワイヤソーであって、
前記ワイヤリールから前記ワイヤを送り出す際の前記トラバーサの動作幅より、前記ワイヤリールに前記ワイヤを巻き取る際の前記トラバーサの動作幅を小さく制御することができるトラバーサ制御装置を具備することを特徴とするワイヤソーを提供する。
【００１９】
このようなものであれば、ワイヤリールにトラバーサを介してワイヤを巻き取る際に、ワイヤリールの端にワイヤの溜まりが発生することを抑制できるので、ワイヤの摩耗を抑制することができる。これにより、ワイヤの断線やワイヤの摩耗による切断能力の低下を軽減することができる装置となる。
【００２０】
このとき、前記トラバーサ制御装置は、
前記ワイヤリールから前記ワイヤを送り出す際の前記トラバーサの動作速度より、前記ワイヤリールに前記ワイヤを巻き取る際の前記トラバーサの動作速度を遅く制御することができるものであることが好ましい。
【００２１】
このようなものであれば、ワイヤリールにトラバーサを介してワイヤを巻き取る際に、ワイヤリールの端にワイヤの溜まりが発生することをより確実に抑制できるので、ワイヤの摩耗をより確実に抑制することができる装置となる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明のワイヤソーのトラバーサの制御方法及びワイヤソーであれば、ワイヤリールにトラバーサを介してワイヤを巻き取る際に、ワイヤリールの端にワイヤの溜まりが発生することを抑制できるので、ワイヤの摩耗を抑制することができる。これにより、ワイヤの断線やワイヤの摩耗による切断能力の低下を軽減することができる。従って、ワイヤソーの生産性および切断効率を著しく改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明のワイヤソーの一例を示した概略図である。
【図２】本発明のワイヤソーに係るトラバーサの一例を示した概略図である。
【図３】ワイヤリールからトラバーサを介してワイヤを送り出す際のトラバーサの動作幅及び動作速度を説明するための概略図である。
【図４】ワイヤリールにトラバーサを介してワイヤを巻き取る際のトラバーサの動作幅及び動作速度を説明するための概略図である。
【図５】実施例及び比較例におけるトラバーサの動作幅の差とワイヤ摩耗率の関係を示したグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明について実施の形態を説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００２５】
ワイヤリールにトラバーサを介してワイヤを巻き取る際に、ワイヤリールの端にワイヤの溜まりが発生するという問題があった。そこで、本発明者はこのような問題を解決すべく鋭意検討を重ねた。その結果、ワイヤリールからワイヤを送り出す際のトラバーサの動作幅より、ワイヤリールにワイヤを巻き取る際のトラバーサの動作幅を小さくすれば、ワイヤリールにトラバーサを介してワイヤを巻き取る際に、ワイヤリールの端にワイヤの溜まりが発生することを抑制できることを見出した。そして、これらを実施するための最良の形態について精査し、本発明を完成させた。
【００２６】
まず、本発明のワイヤソーについて、図１を参照しながら説明する。
図１に示すように、本発明のワイヤソー１は、複数のワイヤガイド２に巻掛けされ、軸方向に往復走行するワイヤ３によって形成されたワイヤ列４と、ワイヤリール５、５ａからトラバーサ６、６ａを介してワイヤ３を送り出す際、もしくはワイヤリール５、５ａにトラバーサ６、６ａを介してワイヤ３を巻き取る際に、ワイヤリール５、５ａの軸方向に移動してワイヤ３を案内するトラバーサ６、６ａと、ワイヤ３に加工液を供給するノズル７と、保持したワークＷをワイヤ列４に押圧するワーク送り機構８とを具備している。
【００２７】
加工液供給機構１５は、ノズル７、タンク１６、チラー１７等から構成されている。ノズル７は、ワイヤ列４の上方に配置されている。ノズル７はタンク１６に接続されており、加工液はタンク１６で攪拌され、チラー１７により温度調節された後、ノズル７からワイヤ３に供給できるようになっている。このとき、加工液は、ワイヤ列４の各ワイヤ３に均一に供給される。そして、加工液はワイヤ列４に乗り、ワークＷの切断部に送られる。その後、供給された加工液はタンク１６に戻り、循環利用される。
【００２８】
ワイヤ３は、一方のワイヤリール５からトラバーサ６を介して繰り出され、パウダクラッチ（定トルクモータ９）やダンサローラ（デッドウェイト）（不図示）等からなるワイヤ張力付与機構１０を経て、ワイヤガイド２に入っている。ワイヤ３がこのワイヤガイド２に巻回されることによってワイヤ列４が形成される。そして、ワイヤ３は定トルクモータ９ａを備えるもう一方のワイヤ張力付与機構１０ａを経て、トラバーサ６ａを介してワイヤリール５ａに巻き取られている。
【００２９】
ワイヤガイド２は鉄鋼製円筒の周囲にポリウレタン樹脂を圧入し、その表面に一定のピッチで溝を切ったローラとすることができる。このワイヤガイド２に巻回されたワイヤ３にワイヤ張力付与機構１０、１０ａによって適当な張力を付与しながら、駆動用モータ１１によってワイヤ３を往復方向に走行させることができるようになっている。
【００３０】
また、図２に示すように、トラバーサ６、６ａは、ワイヤリール５、５ａから送り出し、もしくは巻き取られるワイヤ３に追従してワイヤリール５、５ａの軸方向、すなわちトラバーサテーブル１３、１３ａ上を移動する。このトラバーサ６、６ａによって、ワイヤリール５、５ａの軸方向に対して送り出し角、もしくは巻き取り角が略直角になるようにワイヤ３を案内することができる。
【００３１】
そして、ワイヤソー１は、ワイヤリール５、５ａからワイヤ３を送り出す際のトラバーサ６、６ａの動作幅より、ワイヤリール５、５ａにワイヤ３を巻き取る際のトラバーサ６、６ａの動作幅を小さく制御することができるトラバーサ制御装置１２、１２ａを具備している。
【００３２】
このようなものであれば、ワイヤリール５、５ａにトラバーサ６、６ａを介してワイヤ３を巻き取る際に、ワイヤリール５、５ａの端にワイヤ３の溜まりが発生することを抑制できるので、ワイヤ３の摩耗を抑制することができる。これにより、ワイヤ３の断線やワイヤ３の摩耗による切断能力の低下を軽減することができる。
【００３３】
このとき、トラバーサ制御装置１２、１２ａは、ワイヤリール５、５ａからワイヤ３を送り出す際のトラバーサ６、６ａの動作速度より、ワイヤリール５、５ａにワイヤを巻き取る際のトラバーサ６、６ａの動作速度を遅く制御することができるものであることが好ましい。
【００３４】
このようなものであれば、ワイヤリール５、５ａにトラバーサ６、６ａを介してワイヤ３を巻き取る際に、ワイヤリール５、５ａの端にワイヤ３の溜まりが発生することをより確実に抑制できるので、ワイヤ３の摩耗をより確実に抑制することができる。
【００３５】
次に、本発明のワイヤソーのトラバーサ制御方法について、上述した図１に示す本発明のワイヤソー１を用いた場合を例として、図３、４を用いて説明する。
【００３６】
図３に示すように、ワイヤリール５、５ａからワイヤ３を送り出す際のトラバーサ６、６ａの動作幅がＬａ、動作速度がＶａとなるようにトラバーサ制御装置１２、１２ａで制御する。そして、図４に示すように、ワイヤリール５、５ａにワイヤ３を巻き取る際のトラバーサ６、６ａの動作幅がＬｂ、動作速度がＶｂとなるようにトラバーサ制御装置１２、１２ａで制御する。
【００３７】
ここで、ワイヤリール５、５ａからワイヤ３を送り出す際のトラバーサ６、６ａの動作幅Ｌａより、ワイヤリール５、５ａにワイヤ３を巻き取る際のトラバーサ６、６ａの動作幅Ｌｂを小さくする。
【００３８】
このようにすれば、ワイヤリール５、５ａにトラバーサ６、６ａを介してワイヤ３を巻き取る際に、ワイヤリール５、５ａの端にワイヤ３の溜まりが発生することを抑制できるので、ワイヤ３の摩耗を抑制することができる。これにより、ワイヤ３の断線やワイヤ３の摩耗による切断能力の低下を軽減することができる。
【００３９】
また、ワイヤリール５、５ａからワイヤ３を送り出す際のトラバーサ６、６ａの動作速度Ｖａより、ワイヤリール５、５ａにワイヤ３を巻き取る際のトラバーサ６、６ａの動作速度Ｖｂを遅くすることが好ましい。
【００４０】
このようにすれば、ワイヤリール５、５ａにトラバーサ６、６ａを介してワイヤ３を巻き取る際に、ワイヤリール５、５ａの端にワイヤ３の溜まりが発生することをより確実に抑制できるので、ワイヤ３の摩耗をより確実に抑制することができる。
【実施例】
【００４１】
以下、本発明の実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００４２】
（実施例）
図１に示すような本発明のワイヤソー１を用い、本発明のトラバーサの制御方法に従ってワイヤ走行を行った。表１に示すようなワイヤおよび加工液の条件を使用した。
【００４３】
【表１】
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【００４４】
表１に示したように、ワイヤ３として、ダイヤモンド電着ワイヤを用いた。ダイヤモンド電着ワイヤは、直径０．１０ｍｍのベースワイヤの外周に粒径が８〜１６μｍのダイヤモンド砥粒を電着で固着させたものとした。また、ワイヤ張力付与機構１０、１０ａによってワイヤ３に与える張力は２５Ｎとし、ワイヤ３をワイヤリール５、５ａに０．５ｍｍの巻きピッチで巻掛けした。ワイヤ３の新線供給量は０ｍ／ｍｉｎとし、ワイヤ３の往復走行における走行方向の正反転サイクルは１８０ｓｅｃとした。加工液としてグリコール系水溶性クーラントを、流量を１２０Ｌ／ｍｉｎで供給した。そして、ワイヤ３の平均線速を１０００、１５００、２０００ｍ／ｍｉｎで変化させた。
【００４５】
また、図３に示すように、ワイヤリール５、５ａからワイヤ３を送り出す際のトラバーサ６、６ａの動作幅がＬａ、トラバーサ６、６ａの動作速度がＶａとなるようにトラバーサ制御装置１２、１２ａで制御した。さらに、図４に示すように、ワイヤリール５、５ａにワイヤ３を巻き取る際のトラバーサ６、６ａの動作幅がＬｂ、トラバーサ６、６ａの動作速度がＶｂとなるようにトラバーサ制御装置１２、１２ａで制御した。
【００４６】
そして、ワイヤリール５、５ａからワイヤ３を送り出す際のトラバーサ６、６ａの動作幅Ｌａより、ワイヤリール５、５ａにワイヤ３を巻き取る際のトラバーサ６、６ａの動作幅Ｌｂを小さくした。具体的には、ワイヤ３の送り出し時のトラバーサ６、６ａの動作幅Ｌａを１４５ｍｍとし、ワイヤ３の巻き取り時のトラバーサ６、６ａの動作幅Ｌｂを１４２．５〜１４４．５ｍｍの範囲で変化させた。また、トラバーサ６、６ａの動作速度は、ワイヤ３の平均線速が２０００ｍ／ｍｉｎの時、Ｖａ＝３１．０５ｍｍ／ｓｅｃ、Ｖｂ＝３０．５２〜３０．９５ｍｍ／ｓｅｃとした。
【００４７】
なお、実施例及び比較例ではワークＷを使用せず、上述したように新線供給量を０ｍ／ｍｉｎ、すなわちワイヤリール５、５ａからのワイヤ３の送り出し量と巻き取り量を同量としてワイヤ３の摩耗が発生しやすい条件を採用した。この条件においてワイヤリール５、５ａからのワイヤ３の出し入れを１００回行い、ワイヤリール５、５ａの端のワイヤ３をサンプリングしワイヤ径を測定した。このワイヤ径の測定にはグリーンＬＥＤ光源を利用した２次元寸法測定機を使用し精度良い測定を行った。
【００４８】
実施例における測定結果を図５に示した。図５は、ワイヤ線速１０００、１５００、２０００ｍ／ｍｉｎのそれぞれについて、ワイヤ３の送り出し時のトラバーサ６、６ａの動作幅Ｌａからワイヤ３の巻き取り時のトラバーサ６、６ａの動作幅Ｌｂを引いた値（Ｌａ−Ｌｂ）とワイヤ摩耗率（％）との関係を示している。
【００４９】
ワイヤ摩耗率（％）に関しては下記の式（数１）より算出した。また、ワイヤ走行前ワイヤ径やワイヤ走行後ワイヤ径はサンプリング数１０個の平均値を採用した。なお図５では後述する比較例の結果についても併せて記した。
【００５０】
【数１】
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【００５１】
その結果、後述するトラバーサの動作幅の差が０の比較例と比較して、トラバーサの動作幅に差を付与した実施例では、ワイヤ摩耗率を大幅に軽減することができた。特に、ワイヤ線速が低速な１０００ｍ／ｍｉｎよりも、ワイヤ線速が高速化である１５００ｍ／ｍｉｎや２０００ｍ／ｍｉｎでは、ワイヤ摩耗率をより大幅に軽減することができた。
【００５２】
ここで、トラバーサ６、６ａの動作速度ＶａおよびＶｂの関係について説明する。上述したようにトラバーサ６、６ａの動作幅ＬａおよびＬｂは、Ｌａ＞Ｌｂの時にワイヤ摩耗率が低減する効果を確認できた。このとき、ワイヤ３のワイヤリール５、５ａへの巻ピッチは送り出し時と巻き取り時で同じであるため、１層分（トラバーサ６、６ａの動作の片道分）のトラバーサ６、６ａの動作幅から送り出される、もしくは巻き取られるワイヤ３の長さも同じである。そのためトラバーサ６、６ａの動作幅がＬａ＞Ｌｂの関係にある時、トラバーサ６、６ａの動作速度はＶａ＞Ｖｂとするのが好ましい。
【００５３】
（比較例）
ワイヤリールからのワイヤの送り出し時とワイヤの巻き取り時とで、トラバーサの動作幅を共に１４５ｍｍとして変化させなかったこと以外は、実施例と同様にしてワイヤ走行を行った。そして、ワイヤ走行後のワイヤ摩耗率を実施例と同様にして測定した。
【００５４】
比較例におけるワイヤ摩耗率の測定結果を上記の図５に示した。
その結果、図５に示すように比較例は、実施例に比べてワイヤの摩耗率が大きかった。また、ワイヤ線速が速くなる程、ワイヤ摩耗率も高くなった。これは、ワイヤをワイヤリールに巻き取る際に、ワイヤにトラバーサの動作方向の慣性が働き、ワイヤリールの端からワイヤが外側に出ようとしてワイヤリールの端にワイヤの溜まりが発生したことに起因している。
【００５５】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【符号の説明】
【００５６】
１…ワイヤソー、  ２…ワイヤガイド、  ３…ワイヤ、  ４…ワイヤ列、
５、５ａ…ワイヤリール、  ６、６ａ…トラバーサ、  ７…ノズル、
８…ワーク送り機構、  ９、９ａ…定トルクモータ、
１０、１０ａ…ワイヤ張力付与機構、  １１…駆動用モータ、
１２、１２ａ…トラバーサ制御装置、  １３、１３ａ…トラバーサテーブル、
１５…加工液供給機構、  １６…タンク、  １７…チラー、  Ｗ…ワーク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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