(57)【要約】【課題】芯出しのための位置調整を行うのに好適な移動機構を備えた表面性状測定装置を提供する。【解決手段】表面性状測定装置１の測定機２は、芯出しのための位置調整用のＹ軸移動機構１０を備え、Ｙ軸移動機構１０は、Ｙ軸方向に延在する第１の案内レール部１１ｂを有する第１の案内板１１と、検出器１００が固定支持されると共に第１の案内レール部１１ｂに案内されてＹ軸方向に移動するように構成された第１の取付板１２とを備える。【選択図】  図１
2016080436.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象物が支持された測定物支持部を回転駆動源によって回転駆動して前記測定対象物を回転駆動する回転駆動機構と、
接触式の測定子を有し、前記回転駆動する前記測定対象物と該測定対象物の表面に接触した前記測定子との相対運動によって生じる物理量を検出する検出器と、
前記検出器の検出結果に基づき前記測定対象物の表面性状を測定する表面性状測定部と、
前記測定物支持部に支持された前記測定対象物に対する前記検出器の芯出しのための位置調整方向に、前記検出器を該検出器が支持部材に固定支持された状態で移動可能とする芯出し用移動機構と、を備えることを特徴とする表面性状測定装置。
【請求項２】
前記芯出し用移動機構は、前記位置調整方向に延在する第１の案内部材と、前記検出器が固定支持されると共に前記第１の案内部材に案内されて前記位置調整方向に移動する検出器支持部材と、を有することを特徴とする請求項１に記載の表面性状測定装置。
【請求項３】
前記測定物支持部に支持された前記測定対象物に対して接近及び離間する第１の方向に、前記検出器を移動可能とする第１移動機構と、
前記測定物支持部に支持された前記測定対象物に対して前記測定物支持部の回転軸方向である第２の方向に前記検出器を移動可能とする第２移動機構とを備え、
前記芯出し用移動機構は、前記位置調整方向として、前記第１の方向及び前記第２の方向と直交する第３の方向に前記検出器を移動可能に構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の表面性状測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象物の表面性状を測定する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、転がり軸受の構成部品等の断面が円形の測定対象物の表面性状を測定する装置として、例えば、特許文献１及び２に記載の技術がある。
特許文献１の評価装置は、駆動源の発生する動力で測定物を回転駆動して、該測定物と検出器との間に所定の相対運動を発生させ、検出器が検出した一定の物理量の出力信号を情報処理手段によって収集・分析して、測定物に対する評価を行うものである。
【０００３】
また、特許文献２の測定装置は、断面が円形形状の測定対象物を回転手段に保持し、該回転手段により測定対象物を回転させながら検出器を介して測定対象物の真円度やウェービネス（表面うねり）等の形状データを計測するものである。かかる測定装置は、検出器として、接触式の測定子とこの測定子の位置を検出する変位センサとを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４１２９６２３号公報
【特許文献２】特開２０１３−１５２１９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１の従来技術は、検出器の測定対象物に対する芯出しのための移動手段についての記載、及び測定物に対して検出器を相対移動する移動手段についての記載が一切ない。
また、上記特許文献２の従来技術は、検出器のストローク方向への移動手段と、軸方向への移動手段とは備えているが、これらストローク方向及び軸方向と直交する方向への移動手段は備えていない。すなわち、検出器（測定子）の測定対象物に対する芯出しのための移動手段を備えていない。そのため、検出器の上記直交方向の位置は、検出器を取り付けた時点で固定的に決定される。
【０００６】
このような検出器は、一般に、例えば図１７（ａ）及び（ｂ）に示すように、芯出し位置に合わせて、ねじ６２０〜６２２及び取付板６１０等を用いて移動ステージ６６１に取付固定される。ここで、検出器６１１に設けられたねじ穴６１２〜６１４には、芯出しのための取付代（しろ）が設けられている。
【０００７】
例えば、測定対象物７００のサイズ変更などに伴う検出器６１１のセット替えが発生すると、検出器６１１と測定対象物７００との位置関係が変化するため芯出しが必要となる。この芯出しの作業は、ねじ６２０〜６２２を緩めた状態で、検出器６１１を、取付代の範囲で直交方向へと微小移動して測定子６１５の先端方向延長線（図１７（ａ）中の二点鎖線）が測定対象物７００の円中心７１０を通る位置（以下、「中心位置」と称す）を目視によって探索し、見つけた中心位置で、ねじ６２０〜６２２を締め付けるといった作業となる。この作業は、人手で行うため、ねじ６２０〜６２２の締め付けにおいて、検出器６１１が微小移動して測定子６１５が芯出し位置からずれてしまうと、再度ねじ６２０〜６２２を緩めて位置調整をするといった煩雑な作業が必要であった。
そこで、本発明は、このような従来の技術の有する未解決の課題に着目してなされたものであって、芯出しのための位置調整を行うのに好適な移動機構を備えた表面性状測定装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
〔形態１〕  上記目的を達成するために、形態１の表面性状測定装置は、測定対象物が支持された測定物支持部を回転駆動源によって回転駆動して測定対象物を回転駆動する回転駆動機構と、接触式の測定子を有し、回転駆動する測定対象物と該測定対象物の表面に接触した測定子との相対運動によって生じる物理量を検出する検出器と、検出器の検出結果に基づき測定対象物の表面性状を測定する表面性状測定部と、測定物支持部に支持された前記測定対象物に対する前記検出器の芯出しのための位置調整方向に、前記検出器を、該検出器が支持部材に固定支持された状態で移動可能とする芯出し用移動機構と、を備える。
【０００９】
このような構成であれば、芯出し用移動機構によって、手動によってねじを緩める等の煩雑な作業をすること無く、検出器を該検出器が支持部材に固定支持された状態のまま芯出しのための位置調整方向に移動することが可能となる。
これによって、簡易且つ正確に芯出しのための位置調整を行うことができるという効果が得られる。
【００１０】
〔形態２〕  更に、形態２の表面性状測定装置は、形態１の構成に対して、前記芯出し用移動機構は、前記位置調整方向に延在する第１の案内部材と、前記検出器が固定支持されると共に前記第１の案内部材に案内されて前記位置調整方向に移動する検出器支持部材と、を有する。
このような構成であれば、芯出し用移動機構によって、検出器を該検出器が検出器支持部材に固定支持された状態で位置調整方向に移動することが可能となる。
これによって、簡易且つ正確に芯出しのための位置調整を行うことができるという効果が得られる。
【００１１】
〔形態３〕  更に、形態３の表面性状測定装置は、形態１又は２の構成に対して、測定物支持部に支持された測定対象物に対して接近及び離間する第１の方向に、検出器を移動可能とする第１移動機構と、測定物支持部に支持された測定対象物に対して測定物支持部の回転軸方向である第２の方向に、検出器を移動可能とする第２移動機構とを備え、芯出し用移動機構は、位置調整方向として、第１の方向及び第２の方向と直交する第３の方向に検出器を移動可能に構成されている。
【００１２】
このような構成であれば、第１移動機構及び第２移動機構によって、検出器を測定対象物に接近及び離間する第１の方向及び測定物支持部の回転軸方向である第２の方向に移動することが可能となる。加えて、芯出し用移動機構によって、検出器を芯出しのための位置調整方向として、第１の方向及び第２の方向と直交する第３の方向に移動することが可能となる。
これによって、断面円形の測定対象物に対する芯出しのための位置調整を、簡易且つ正確に行うことができるという効果が得られる。
【００１３】
〔形態４〕  更に、形態４の表面性状測定装置は、形態３の構成に対して、芯出しのための位置調整を行う位置調整モードが設定されたときに、第１移動機構によって測定対象物と接近する方向に検出器が移動して測定子が測定対象物に接触したと判定すると、該接触位置を基準位置として設定する基準位置設定部と、基準位置の設定後に、芯出し用移動機構によって位置調整方向に接触位置を変更したときの測定子の基準位置からの変位量を演算する変位量演算部と、変位量演算部で演算した変位量を表示する変位量表示部と、を備える。
【００１４】
このような構成であれば、基準位置設定部によって、最初に測定子を測定対象物に接触した位置を基準位置として設定し、変位量演算部によって、位置調整方向に接触位置を変更したときの基準位置に対する変位量を演算し、変位量表示部で、演算した変位量を表示することが可能となる。
ここで、断面円形形状の測定対象物に対する芯出しにおいて、芯出しの位置は、測定子の接触位置が、基準位置に対して測定対象物から離間する方向に最大となる位置となる。すなわち、測定子の先端部（接触部）の第１の方向（測定対象物に接近する方向）に伸びる延長線が、測定対象物の断面円形の円中心を通る位置となる。
従って、上記形態４の構成であれば、変位量が最大となる第３の方向への位置調整を、表示される現在の変位量を見ながら行うことが可能となるので、より簡易且つ正確に芯出しのための位置調整を行うことができるという効果が得られる。
【００１５】
〔形態５〕  更に、形態５の表面性状測定装置は、形態３又は４の構成に対して、芯出し用移動機構は、位置調整方向に延在する第１の案内部材と、検出器が固定支持されると共に第１の案内部材に案内されて位置調整方向に移動する検出器支持部材と、検出器支持部材を駆動する第１の駆動源と、を有する。
このような構成であれば、第１の駆動源の駆動力によって、検出器支持部材が第１の案内部材に案内されて位置調整方向に移動することで、検出器を該検出器が検出器支持部材に固定支持された状態で位置調整方向に移動することが可能となる。
これによって、位置調整のための移動をきめ細かに行うことが可能となり、芯出しのための位置調整をより正確に行うことができるという効果が得られる。
【００１６】
〔形態６〕  更に、形態６の表面性状測定装置は、形態５の構成に対して、第１移動機構は、第１の方向に延在する第２の案内部材と、芯出し用移動機構が固定支持されると共に第２の案内部材に案内されて第１の方向に移動する芯出し用移動機構支持部材と、芯出し用移動機構支持部材を駆動する第２の駆動源と、を有する。
このような構成であれば、第２の駆動源の駆動力によって、芯出し用移動機構支持部材が第２の案内部材に案内されて第１の方向に移動することで、検出器を該検出器が固定支持された状態で第１の方向に移動することが可能となる。
これによって、例えば、第２の駆動源の駆動速度等を制御することで、検出器の第１の方向への移動をきめ細かに行うことができるという効果が得られる。また、第１の駆動源及び第２の駆動源を駆動制御することで、芯出しのための位置調整を自動化することが可能となる。
【００１７】
〔形態７〕  更に、形態７の表面性状測定装置は、形態６の構成に対して、芯出しのための位置調整を自動で行う自動芯出しモードが設定されたときに、第１の駆動源及び第２の駆動源を制御して、検出器を位置調整方向に移動すると共に各移動位置において測定子を測定対象物に接触させたときの検出器の位置情報を記録する位置情報記録部と、位置情報記録部が記録した位置情報に基づき、芯出し位置を設定する芯出し位置設定部と、第１の駆動源及び第２の駆動源を制御して、芯出し位置設定部が設定した芯出し位置に検出器を移動する芯出し位置移動部と、を備える。
【００１８】
このような構成であれば、位置情報記録部、芯出し位置設定部及び芯出し位置移動部によって、芯出しのための位置調整作業を自動化することが可能となる。
これによって、位置調整に人手を介する構成と比較して、より簡易且つ正確に芯出しのための位置調整を行うことができるという効果が得られる。
【００１９】
〔形態８〕  更に、形態８の表面性状測定装置は、形態７の構成に対して、測定対象物は、断面円形形状の物体であり、回転駆動機構は、断面円形形状の円中心と同心の回転軸周りに測定対象物を回転駆動し、位置情報記録部は、第１の駆動源を制御して検出器を初期位置から測定子が測定対象物に接触する位置まで移動して検出器の位置情報を記録する第１の位置情報記録処理を行い、該第１の位置情報記録処理の後に、第１の駆動源を駆動制御して検出器を測定対象物と離間する方向に微小距離を移動し、該移動後に第２の駆動源を駆動制御して検出器を測定子が測定対象物に接触する位置まで移動して検出器の位置情報を記録する第２の位置情報記録処理を、測定子が測定対象物と接触しなくなる離間位置となるまで繰り返し行い、芯出し位置設定部は、上記接触しなくなる離間位置になったと判定すると、位置情報記録部が記録した最新の位置情報に対応する位置を芯出し位置に設定する。
【００２０】
このような構成であれば、位置情報記録部によって、測定子が測定対象物の表面に最初に接触したときの検出器の位置情報を記録する第１の位置情報記録処理を行うことが可能となる。更に、位置情報記録部によって、第１の位置情報記録処理の後に、検出器を離間方向に微小距離を移動させながら位置調整方向に移動して、測定子が測定対象物の表面に接触する毎に、接触したときの検出器の位置情報を記録する第２の位置情報記録処理を、測定対象物に接触しなくなるまで行うことが可能となる。そして、芯出し位置設定部によって、測定対象物に接触しなくなったと判定すると、記録された最新の位置情報に対応する位置を芯出し位置に設定することが可能となる。
これによって、位置調整に人手を介する構成と比較して、より簡易且つ正確に芯出しのための位置調整を行うことができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】第１実施形態の表面性状測定装置１の構成を示す正面図である。
【図２】第１実施形態の表面性状測定装置１の構成を示す側面図である。
【図３】（ａ）は、第１の取付板１２をＸ軸方向から見た平面図であり、（ｂ）は、第１の取付板１２を取り外した状態のＹ軸移動機構１０をＸ軸方向から見た平面図であり、（ｃ）は、第２の取付板２２を取り外した状態のＺ軸移動機構２０をＸ軸方向から見た平面図である。
【図４】（ａ）は、図１のＡ−Ａ方向から見た断面図であり、（ｂ）は、図１のＢ−Ｂ方向から見た断面図である。
【図５】第１実施形態のロック機構１４の構成例を示す図である。
【図６】第１実施形態の制御装置３の機能構成の一例を示すブロック図である。
【図７】位置調整補助処理の処理手順の一例を示すフローチャートである。
【図８】（ａ）は、芯出し位置がずれている一例を示す図であり、（ｂ）は、Ｚ軸移動機構２０による検出器１００のＺ軸方向の移動動作の一例を示す図である。
【図９】（ａ）〜（ｄ）は、Ｙ軸移動機構１０による芯出し作業のためのＹ軸方向の移動動作の一例を示す図である。
【図１０】第２実施形態の表面性状測定装置３０１の構成を示す正面図である。
【図１１】第２実施形態の制御装置３の機能構成の一例を示すブロック図である。
【図１２】第３実施形態の表面性状測定装置４０１の構成を示す正面図である。
【図１３】第３実施形態の制御装置３の機能構成の一例を示すブロック図である。
【図１４】第３実施形態のモータ制御部５２１の詳細な構成を示すブロック図である。
【図１５】自動芯出し処理の処理手順の一例を示すフローチャートである。
【図１６】（ａ）〜（ｆ）は、自動芯出し処理による検出器１００の芯出し作業の一例を示す図である。
【図１７】（ａ）〜（ｃ）は、従来の表面性状測定装置の検出器の取付構成の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
（第１実施形態）
（構成）
第１実施形態の表面性状測定装置１は、軸受の外輪、内輪、転動体(玉やころ)等の測定対象物の表面性状を測定する装置である。
この表面性状測定装置１は、図１及び図２に示すように、測定対象物と測定子との相対運動によって生じる物理量を検出する測定機２と、検出した物理量に基づき演算処理によって測定対象物の表面性状を測定する制御装置３と、この測定結果等の情報を表示する表示装置４とを含んで構成される。
【００２３】
測定機２は、Ｙ軸移動機構１０と、Ｚ軸移動機構２０と、Ｘ軸移動機構３０と、回転駆動機構４０と、筐体５０と、検出器１００とを含んで構成される。
Ｙ軸移動機構１０は、検出器１００を図１及び図２中に示すＹ軸方向に移動するための移動機構である。このＹ軸移動機構１０は、第１の案内板１１と、第１の取付板１２と、Ｙ軸移動用ハンドル１３と、を備えている。
【００２４】
第１の案内板１１は、図１に示すように、第１のベース板部１１ａと、この第１のベース板部１１ａからその長手方向に沿ってＺ軸方向断面が略逆台形状となるように突出形成された第１の案内レール部１１ｂとから構成されている。
第１の取付板１２は、図２に示すように、検出器１００を固定支持する支持面を有する第２のベース板部１２ａと、第２のベース板部１２ａの支持面とは反対側の面にその長手方向に沿って突出形成された、第１の案内レール受部１２ｂ及び第２の案内レール受部１２ｃとを備えている。
【００２５】
第１の案内レール受部１２ｂは、図１及び図２のＺ軸方向を上下方向として、Ｙ軸方向から正面視して、第２のベース板部１２ａの反対側の面の下端側に突出形成され、第１の案内レール部１１ｂの下側傾斜面と同じ傾斜角度の傾斜面を有している。そして、第１の案内レール受部１２ｂは、第１の案内レール部１１ｂに組み込まれた状態で、その傾斜面が、第１の案内レール部１１ｂの下側傾斜面に沿って摺動可能にこの下側傾斜面に当接するように構成されている。
【００２６】
第２の案内レール受部１２ｃは、Ｙ軸方向から正面視して、第２のベース板部１２ａの反対側の面の上端側に突出形成され、そのＹ軸移動用ハンドル１３側の一部が、第１の案内レール部１１ｂの上側傾斜面と同じ傾斜角度の傾斜面を有している。更に、第２の案内レール受部１２ｃは、Ｙ軸方向から正面視して、Ｙ軸移動用ハンドル１３側の一部とは異なる残りの部分が、第１の案内レール部１１ｂの上側傾斜面との間にこの傾斜面に沿った傾斜面を有するＺ軸方向断面が略台形状の固定用部材１４ｃ（後述）を収容するための収容部を空けてＺ軸方向断面が略矩形状に突出形成されている。そして、第２の案内レール受部１２ｃのＹ軸移動用ハンドル１３側の一部は、第１の案内レール部１１ｂに嵌め込まれた状態で、その傾斜面が、第１の案内レール部１１ｂの上側傾斜面に沿って摺動可能にこの上側傾斜面に当接するように構成されている。
【００２７】
Ｙ軸移動用ハンドル１３は、手動により回転駆動することで、第１の取付板１２を、Ｙ軸方向（図１を正面視して左右方向）に移動させるものである。
また、検出器１００は、図１に示すように、その検出部１０２に穿設された、座ぐり部を有し且つＸ軸方向に貫通するねじ穴１０３ａ〜１０３ｃに、ねじ１０４ａ〜１０４ｃを螺合すると共に、第１の取付板１２の第２のベース板部１２ａの支持面に設けられたねじ穴１２０ａ〜１２０ｃ（後述）にも螺合してねじ止めすることで第１の取付板１２に固定支持されている。
【００２８】
上記構成によって、Ｙ軸移動用ハンドル１３を回転駆動して第１の取付板１２を第１の案内レール部１１ｂに沿って移動させることで、第１の取付板１２に支持された検出器１００をＹ軸方向に移動させることが可能である。
ここで、第１実施形態のＹ軸移動用ハンドル１３は、時計方向に回した場合に検出器１００を左方向に移動し、反時計回りに回した場合に検出器１００を右方向に移動するように構成されている。なお、この構成に限らず、Ｙ軸移動用ハンドル１３は、検出器１００を、反時計回りで右方向に、時計回りで左方向に移動するように構成してもよい。
【００２９】
ロック機構１４は、ロックレバー１４ａを手動操作することで、第１の取付板１２のＹ軸方向の移動を阻止する固定状態と、第１の取付板１２のＹ軸方向の移動を可能とする解除状態とを切り替えることが可能な機構である。すなわち、第１の取付板１２を解除状態にして検出器１００のＹ軸方向の位置調整を行い、検出器１００の測定対象物に対する芯出し位置を確定する。しかる後に、第１の取付板１２を固定状態とすることで、検出器１００の芯出し位置からの位置ずれ等の発生を防止する。なお、ロック機構１４の詳細な構成は後述する。
【００３０】
Ｚ軸移動機構２０は、検出器１００を図１及び図２中に示すＺ軸方向（図１及び図２を正面視して上下方向）に移動するための移動機構である。Ｚ軸移動機構２０は、第２の案内板２１と、第２の取付板２２と、Ｚ軸移動用ハンドル２３と、を備えている。
第２の案内板２１は、第２のベース板部２１ａと、第２のベース板部２１ａからその長手方向に沿ってＺ軸方向断面が逆台形状となるように突出形成された第２の案内レール部２１ｂと、第２のベース板部２１ａの第２の案内レール部２１ｂの形成面とは反対側の面に突出形成された取付板部２１ｃとから構成されている。
【００３１】
第２の取付板２２は、Ｙ軸移動機構１０を固定支持する支持面を有し、この支持面とは反対側の面のＹ軸方向の両端に突出形成されて、第２の案内レール部２１ｂの逆台形状の傾斜面に沿った傾斜面を有する第３及び第４の案内レール受部を備えている。Ｙ軸方向を左右方向として、第３及び第４の案内レール受部は、第２の案内レール部２１ｂに組み込まれた状態で、その傾斜面が、第２の案内レール部２１ｂの左側傾斜面及び右側傾斜面に沿って摺動可能にこれら左側傾斜面及び右側傾斜面に当接するように構成されている。
【００３２】
Ｚ軸移動用ハンドル２３は、手動により回転駆動することで、第２の取付板２２を、Ｚ軸方向（上下方向）に移動させるものである。
また、Ｙ軸移動機構１０は、第２の取付板２２の支持面に例えばねじ等によって固定支持することで第２の取付板２２に取り付けられている。
上記構成によって、Ｚ軸移動用ハンドル２３を回転駆動して第２の取付板２２を第２の案内レール部２１ｂに沿って移動させることで、第２の取付板２２に支持されたＹ軸移動機構１０及びＹ軸移動機構１０に支持された検出器１００をＺ軸方向に移動することが可能である。
【００３３】
なお、Ｚ軸移動機構２０に対しても、Ｙ軸移動機構１０と同様に、第２の取付板２２の移動を阻止する固定状態及び第２の取付板２２の移動を可能とする解除状態とを切り替えるロック機構を設ける構成としてもよい。
Ｘ軸移動機構３０は、検出器１００を図１及び図２中に示すＸ軸方向（図２中の左右方向）に移動するための移動機構である。Ｘ軸移動機構３０は、第３の案内板３１と、Ｘ軸移動用レバー３２と、を備えている。
【００３４】
第３の案内板３１は、図２に示すように、Ｚ軸移動機構２０を固定支持する支持面を有する第３のベース板部３１ａと、第３のベース板部３１ａの支持面とは反対側の面にその長手方向に沿ってＺ軸方向の断面が逆台形状となるように突出形成された第３の案内レール部３１ｂとから構成されている。
ここで、Ｚ軸移動機構２０は、第２の案内板２１の取付板部２１ｃを、第３のベース板部３１ａの支持面に例えばねじ等によって固定支持することで第３の案内板３１に取り付けられている。
【００３５】
第３の案内レール部３１ｂは、筐体５０の上部に設けられたＸ軸方向に延在する案内溝に沿って摺動可能に取り付けられている。この案内溝は、そのＹ軸方向の両端に、第３の案内レール部３１ｂをＸ軸方向から溝内に挿通時に、第３の案内レール部３１ｂの逆台形状の傾斜面と当接する傾斜面を有している。
Ｘ軸移動用レバー３２は、手動により操作することで、第３の案内板３１を、Ｘ軸方向（図２では左右方向）に移動させるものである。
【００３６】
上記構成によって、Ｘ軸移動用レバー３２を図２の左方向（図１では手前方向）に傾ける操作をすることで第３の案内板３１に支持されたＺ軸移動機構２０を図２の左方向（図１では手前方向）に移動させることが可能である。一方、Ｘ軸移動用レバー３２を図２の右方向（図１では奥行方向）に傾ける操作をすることで第３の案内板３１に支持されたＺ軸移動機構２０を図２の右方向（図１では奥行方向）に移動させることが可能である。
【００３７】
すなわち、Ｚ軸移動機構２０に支持されたＹ軸移動機構１０及びＹ軸移動機構１０に支持された検出器１００をＸ軸方向に移動することが可能である。
なお、Ｘ軸移動機構３０に対しても、Ｙ軸移動機構１０及びＺ軸移動機構２０と同様に、第３の案内レール部３１ｂの移動を阻止する固定状態及び第３の案内レール部３１ｂの移動を可能とする解除状態とを切り替えるロック機構を設ける構成としてもよい。
【００３８】
回転駆動機構４０は、スピンドル４１と、スピンドル支持部４２と、測定物支持部４３と、第１のスピンドル用モータ装置４４とを備えている。
スピンドル４１は、測定物支持部４３を固定支持し、自己が回転することで測定物支持部４３を回転する円筒状の回転軸である。
スピンドル支持部４２は、スピンドル４１の外径よりも大径な内径の円筒形状を有し、その内側に軸受（不図示）を介してスピンドル４１を回転自在に支持するものである。
【００３９】
測定物支持部４３は、スピンドル４１の内径よりも小径な外径の円筒形状を有し、一端側に測定対象物２００の支持部を有し、他端側からスピンドル４１の円筒内に差し込まれることでスピンドル４１に支持される。測定物支持部４３の測定対象物の支持部は、例えば、磁力によって測定対象物２００を支持するマグネットチャック等から構成される。
第１のスピンドル用モータ装置４４は、スピンドル４１をＸ軸周りに回転する回転駆動力を発生する第１のモータ（例えば、ダイレクト・ドライブ・モータ等）と、第１のモータを駆動する第１のモータ駆動回路と、第１のモータの回転角を検出する第１のモータ回転角センサとを備えている。第１のスピンドル用モータ装置４４は、電気ケーブル（不図示）を介して制御装置３と接続され、この電気ケーブルを介して、第１のモータ回転角センサで検出した第１のモータ回転角を制御装置３に送信する。更に、電気ケーブルを介して、制御装置３からの第１のモータ制御信号を受信し、受信した第１のモータ制御信号に応じて第１のモータ駆動回路を駆動して第１のモータを回転駆動する。
【００４０】
筐体５０は、測定機２の土台となるもので、スピンドル４１の一部、スピンドル支持部４２の一部、マグネットチャックの制御回路等を内部に収納している。
検出器１００は、第１実施形態において、伸縮式の触針を有する測定子１０１と、触針の伸縮動作に応じた物理量（例えば、変位の大きさを示す電圧値）を検出する検出部１０２とを含んで構成される。
【００４１】
触針は、先端部が押されることで内側に引っ込んでその露出部分が短くなり、先端部が押されていない状態で、例えば、ばね等の弾性部材によって、外側に飛び出て露出部分が最長の状態となるように構成されている。なお、弾性部材に限らず、重力によって自重で最長の状態になる構成など他の構成としてもよい。
すなわち、測定対象物２００の表面に測定子１０１の触針の先端部を接触させ、回転駆動機構４０によって測定対象物２００を回転駆動することで、表面の凹凸に応じて触針が伸縮動作する。この伸縮動作に応じた物理量を検出部１０２で検出する。
【００４２】
また、検出器１００は、電気ケーブル（不図示）によって、制御装置３に接続されており、検出部１０２で検出した物理量を示す検出信号を、電気ケーブルを介して制御装置３に送信する。
制御装置３は、操作部を介して入力された指示入力に応じて、スピンドル用モータ装置４４の動作を制御したり、検出器１００から入力された物理量を演算処理して、触針の伸縮動作を変位量に変換したり、この変位量を測定対象物の表面性状として表示装置４に表示したりする。
【００４３】
制御装置３は、更に、芯出しのための位置調整を行う位置調整モードを有し、位置調整モードが設定されると、最初に測定子１０１が接触した位置を基準位置に設定し、以降に検出される物理量と基準位置とから基準位置に対する測定子１０１の変位量を演算する。そして、演算した変位量等の情報を表示装置４に表示する。
すなわち、測定対象物２００が断面円形形状である場合、変位量の最大値（測定対象物２００から離間する方向の最大値）に対応する位置が芯出し位置に相当する位置となる。従って、ユーザは、表示装置４に表示される変位量を見ながらＹ軸移動機構１０のＹ軸移動用ハンドル１３を操作して、変位量が最大となる位置を探し出すことで簡易に芯出しを行うことが可能となる。
【００４４】
なお、制御装置３は、図示しないが、スピンドル用モータ装置４４等の各構成要素の動作制御や各種演算処理を行うためのプログラムの記憶された記憶媒体と、該プログラムを実行するためのプロセッサと、プログラムの実行に必要なデータ等を一時記憶するＲＡＭとを含むコンピューターシステムを備えている。更に、制御装置３は、キーボードやスイッチ等の操作部と、検出器１００の検出信号をＡ／Ｄ変換するためのＡ／Ｄ変換器等を備えている。
【００４５】
表示装置４は、液晶ディスプレイ、ＣＲＴディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等の公知の表示デバイスであり、制御装置３からの画像信号の入力に応じて各種画像を表示する。
次に、図３及び図４に基づき、Ｙ軸移動機構１０及びＺ軸移動機構２０の詳細な構成について説明する。
【００４６】
図３（ａ）に示すように、Ｙ軸移動機構１０は、第１の取付板１２に、検出器１００を取り付けるためのねじ穴１２０ａ〜１２０ｃが設けられている。また、図３（ｂ）に示すように、Ｙ軸移動機構１０は、第１のボールねじ軸１５と、第１のボールねじナット１６とを備える。
図３（ａ）に示すように、第１の取付板１２には、更に、当該第１の取付板１２を、図３（ｂ）に示す第１のボールねじナット１６にねじ止めによって取り付けるための、座ぐり部１２１ａ〜１２１ｄと、これら座ぐり部１２１ａ〜１２１ｄの中央部で第１の取付板１２を貫通するねじ穴１２２ａ〜１２２ｄとが設けられている。
【００４７】
また、図３（ｂ）に示すように、第１のボールねじ軸１５の一端は、Ｙ軸移動用ハンドル１３の回転に伴って第１のボールねじ軸１５が同じ方向に回転するようにＹ軸移動用ハンドル１３にカップリング等を介して連結されている。また、第１のボールねじ軸１５の他端側は、第１のボールねじナット１６に螺合されている。
更に、第１の案内板１１の第１の案内レール部１１ｂには、Ｙ軸方向に伸びる第１の案内溝部１１ｃが設けられており、第１のボールねじ軸１５の回転に伴って、第１のボールねじナット１５が第１の案内溝部１１ｃに沿ってＹ軸方向に移動可能に構成されている。
【００４８】
更に、第１のボールねじナット１６の第１の取付板１２の取付面には、ねじ穴１６０ａ〜１６０ｄが設けられている。
上記構成によって、第１の取付板１２を第１及び第２の案内レール受部１２ｂ及び１２ｃを介して第１の案内板１１の第１の案内レール部１１ｂに組み付けてから、図４（ａ）に示すように、第１の取付板１２のねじ穴１２２ａ〜１２２ｄに、それぞれ図中点線で示すねじ（図４（ａ）中にはねじ１２３ｂ及び１２３ｄのみ表示）のねじ軸を螺合する。更に、ねじ穴１２２ａ〜１２２ｄを貫通したねじ軸を第１のボールねじナット１６のねじ穴１６０ａ〜１６０ｄに螺合することで第１の取付板１２が第１のボールねじナット１６に取り付けられる。
【００４９】
従って、Ｙ軸移動用ハンドル１３を回転駆動することで、第１のボールねじ軸１５が回転し、第１のボールねじナット１６が第１の案内溝部１１ｃに沿ってＹ軸方向に移動する。これにより、第１のボールねじナット１６に取り付けられた第１の取付板１２が第１の案内レール部１１ｂに沿ってＹ軸方向に移動する。
なお、Ｚ軸移動機構２０についても、Ｙ軸移動機構１０と同様の構成となっている。
【００５０】
すなわち、Ｚ軸移動機構２０は、図３（ｃ）に示すように、第２のボールねじ軸２５と、第２のボールねじナット２６とを備える。第２のボールねじ軸２５の一端は、Ｚ軸移動用ハンドル２３の回転に伴って第２のボールねじ軸２５が同じ方向に回転するようにＺ軸移動用ハンドル２３にカップリング等を介して連結されており、第２のボールねじ軸２５の他端側は、第２のボールねじナット２６に螺合されている。
【００５１】
更に、第２の案内板２１の第２の案内レール部２１ｂには、Ｚ軸方向に伸びる第２の案内溝部２１ｄが設けられており、第２のボールねじ軸２５の回転に伴って、第２のボールねじナット２６が第２の案内溝部２１ｄに沿ってＺ軸方向に移動可能に構成されている。
上記構成によって、第２の取付板２２を第３及び第４の案内レール受部を介して第２の案内板２１の第２の案内レール部２１ｂに組み付けてから、図４（ｂ）に示すように、第２の取付板２２のねじ穴（不図示）に、図中点線で示すねじのねじ軸を螺合し、更に、ねじ穴を貫通したねじ軸を第２のボールねじナット２６のねじ穴２６０ａ〜２６０ｄに螺合することで第２取付板２２が第２のボールねじナット２６に取り付けられる。
【００５２】
従って、Ｚ軸移動用ハンドル２３を回転駆動することで、第２のボールねじ軸２５が回転し、第２のボールねじナット２６が第２の案内溝部２１ｄに沿ってＺ軸方向に移動する。これにより、第２のボールねじナット２６に取り付けられた第２の取付板２２が第２の案内レール部２２ｂに沿ってＺ軸方向に移動する。
次に、図５に基づき、ロック機構１４の詳細な構成について説明する。
【００５３】
ロック機構１４は、図５に示すように、ロックレバー１４ａと、ねじ軸１４ｂと、固定用部材１４ｃとから構成される。
ねじ軸１４ｂは、第１の取付板１２の第２の案内レール受部１２ｃに穿設された、Ｚ軸方向に貫通するねじ穴に螺合される。そして、ねじ軸１４ｂの上側の一端がロックレバー１４ａに固定され、ねじ穴を貫通した下側の他端が固定用部材１４ｃに設けられたねじ穴に螺合されている。
【００５４】
この構成によって、ロックレバー１４ａをねじ軸１４ｂがねじ穴にねじ込まれる回転方向に操作すると、固定用部材１４ｃを上から押しつける力が発生し、固定用部材１４ｃの傾斜面が第１の案内レール部１１ｂの傾斜面へと押しつけられる。この押力によって、第１の取付板１２に支持された検出器１００のＹ軸方向への移動が阻止される。すなわち、Ｙ軸移動機構１０が固定状態となる。
【００５５】
一方、ロックレバー１４ａをねじ軸１４ｂがねじ穴にねじ込まれる回転方向と反対の回転方向に操作すると、固定用部材１４ｃを押しつける力が弱まり、固定用部材１４ｃの傾斜面が比較的小さな押力（摺動可能な程度の押力）で第１の案内レール部１１ｂの傾斜面に接触した状態となる。これにより、第１の取付板１２に支持された検出器１００のＹ軸方向への移動が可能となる。すなわち、Ｙ軸移動機構１０が解除状態となる。
【００５６】
（制御装置３の機能構成）
次に、図６に基づき、制御装置３の機能構成について説明する。
制御装置３の機能構成部５００は、図６に示すように、モード設定部５０１と、基準位置設定部５０２と、変位量演算部５０３と、表示制御部５０４と、モータ制御部５０５とを含んで構成される。
モード設定部５０１は、操作部を介した入力指示に応じて、測定対象物２００の表面性状を測定する測定モードと、芯出しのための位置調整を補助する位置調整モードとのいずれか一方のモードを設定する。モード設定部５０１は、設定したモードの情報を、基準位置設定部５０２及び変位量演算部５０３にそれぞれ出力する。
【００５７】
基準位置設定部５０２は、設定モードが、測定モードから位置調整モードに切り替わったことを検出すると、最初に検出器１００の測定子１０１が測定対象物２００に接触した位置を、基準位置に設定する。基準位置設定部５０２は、設定した基準位置を変位量演算部５０３に出力する。
変位量演算部５０３は、測定モードが設定されているときは通常の変位量演算処理を実施し、位置調整モードが設定されているときは基準位置設定部５０２から入力された基準位置を用いた変位量の演算処理を実施する。
【００５８】
具体的に、基準位置を「０」として、測定子１０１の触針の先端位置が測定対象物２００から離間する方向の変位をプラスの変位とし、接近する方向の変位をマイナスの変位として演算を行う。従って、測定対象物２００が断面円形形状の場合、プラス方向の変位量が最大となる先端位置が芯出し位置となる。
変位量演算部５０３は、演算した変位量を、演算時に設定された設定モードの情報と対応付けて表示制御部５０４に出力する。
【００５９】
表示制御部５０４は、変位量演算部５０３から入力された変位量に基づき表示用の画像情報を生成する。更に、生成した画像情報を表示する画像信号を生成し、生成した画像信号を表示装置４に出力する。このとき、測定モードに対応する変位量が入力された場合、例えば、入力された変位量に基づき、測定対象物２００の真円度を演算したり、測定対象物２００の表面性状を表すグラフを生成したりする。そして、演算した真円度や、生成したグラフ等を含む表面性状情報の画像情報を表示する画像信号を生成し、生成した画像信号を表示装置４に出力する。これにより、表示装置４は、入力された画像信号に基づき表面性状情報を表示する。
【００６０】
一方、表示制御部５０４は、位置調整モードに対応する変位量が入力された場合、例えば、これまでのプラスの変位量の最大値を記録しておき、現在の変位量とこれまでの最大変位量とを表示する画像信号を生成し、生成した画像信号を表示装置４に出力する。これにより、表示装置４は、変位量の現在値とこれまでの最大値とを含む画像情報を表示する。
【００６１】
モータ制御部５０５は、操作部を介したユーザからのスピンドル用モータ装置４４の駆動指示に応じて、スピンドル用モータ装置４４の第１のモータ駆動回路を制御する第１のモータ制御信号を生成する。そして、生成した第１のモータ制御信号を電気ケーブルを介してスピンドル用モータ装置４４に出力する。これにより、スピンドル用モータ装置４４は、受信した第１のモータ制御信号に基づき第１のモータ駆動回路を駆動制御して第１のモータを回転駆動する。
【００６２】
（位置調整補助処理）
次に、図７に基づき、位置調整モードが設定時に実行される位置調整補助処理の処理手順を説明する。
制御装置３のプロセッサによってプログラムが実行され、位置調整補助処理が開始されると、図７に示すように、まず、ステップＳ１００に移行する。
ステップＳ１００では、基準位置設定部５０２において、モード設定部５０１からのモード情報に基づき、位置調整モードが設定されているか否かを判定する。そして、位置調整モードが設定されていると判定した場合（Ｙｅｓ）は、ステップＳ１０２に移行し、そうでないと判定した場合（Ｎｏ）は、位置調整モードが設定されるまで判定を繰り返し行う。
【００６３】
ステップＳ１０２に移行した場合は、基準位置設定部５０２において、検出器１００からＡ／Ｄ変換器を介して入力される物理量のデジタルデータに基づき、測定子１０１の触針が測定対象物２００の表面に接触したか否かを判定する。そして、接触したと判定した場合（Ｙｅｓ）は、ステップＳ１０４に移行し、そうでないと判定した場合（Ｎｏ）は、接触が検出されるまで判定処理を繰り返し行う。
【００６４】
ここで、触針の接触は、例えば、入力される物理量の変化に基づき判定する。なお、検出器１００がタッチセンサを備えている場合は、その検出値から判定する構成としてもよい。
ステップＳ１０４に移行した場合は、基準位置設定部５０２において、接触時の触針の先端位置を基準位置「０」に設定する。その後、基準位置の情報を、変位量演算部５０３に出力して、ステップＳ１０６に移行する。
【００６５】
ステップＳ１０６では、変位量演算部５０３において、基準位置設定部５０２からの基準位置の情報と、検出器１００からＡ／Ｄ変換器を介して入力される物理量とに基づき、基準位置に対する触針の先端位置の変位量を演算する。その後、位置調整モードの情報を対応付けた演算結果を、表示制御部５０４に出力して、ステップＳ１０８に移行する。
ステップＳ１０８では、表示制御部５０４において、入力された変位量の情報を表示装置４に表示するための画像信号を生成し、生成した画像信号を表示装置４に出力する。その後、ステップＳ１１０に移行する。
ステップＳ１１０では、モード設定部５０１において、測定モードが設定されたか否かを判定することで、位置調整モードが終了したか否かを判定する。そして、位置調整モードが終了したと判定した場合（Ｙｅｓ）は、一連の処理を終了し、そうでないと判定した場合（Ｎｏ）は、ステップＳ１０６に移行する。
【００６６】
（動作）
次に、図８〜図９に基づき、第１実施形態の表面性状測定装置１の動作例を説明する。
いま、検出器１００のセット替え等によって、図８（ａ）に示すように、検出器１００の測定子１０１の先端位置（Ｙ軸方向の位置）が、図８（ａ）中の点線で示す芯出し位置（測定対象物２００の中心位置）から図８（ａ）中の一点鎖線で示す位置にずれてしまい、芯出し作業が必要になったとする。
この場合、芯出し作業の補助機能を使用するときは、まず、制御装置３の操作部を操作して、位置調整モードの設定指示を入力し、位置調整モードへと移行する。
【００６７】
次に、ロックレバー１４ａが検出器１００のＹ軸方向への移動が可能な操作状態（解除状態）であるか否かを確認する。このとき、固定状態である場合は、ロックレバー１４ａを操作して解除状態に切り替える。
引き続き、図８（ｂ）に示すように、Ｚ軸移動用ハンドル２３が反時計回りに回転されたとする。これにより、第２のボールねじ軸２５が反時計回りに回転駆動し、Ｙ軸移動機構１０を支持した第２の取付板２２が第２の案内レール部２１ｂに沿って下方向に移動する。すなわち、図８（ｂ）に示すように、検出器１００が下方向に移動する。
【００６８】
この下方向の移動によって、測定子１０１の触針の先端が測定対象物２００の表面に接触すると、この接触により、触針がわずかに内側に引っ込むため、検出部１０２が検出する物理量に変動が発生する。この変動によって、制御装置３は、触針が接触したことを検出し（ステップＳ１０２のＹｅｓ）、図９（ａ）に示すように、この接触位置を基準位置「０」に設定する（ステップＳ１０４）。
【００６９】
基準位置を設定すると、制御装置３は、位置調整モードが設定されている間、基準位置に対する現在の変位量を演算すると共に、この現在の変位量とこれまでの最大変位量との比較処理を行う。そして、現在の変位量と、これまでの最大変位量（現在の変位量とこれまでの最大変位量（例えば初期値「０」）とのうち大きい方の変位量）とを表示制御部５０４に出力する（ステップＳ１０６）。表示制御部５０４は、入力された現在の変位量及び最大変位量に基づき、「現在の変位量」と、「これまでの最大変位量」とを表示する画像信号を生成し、生成した画像信号を表示装置４に出力する（ステップＳ１０８）。
【００７０】
表示装置４は、表示制御部５０４から入力された画像信号に基づき、「現在の変位量」と、「これまでの最大変位量」とを含む画像を表示する。
続いて、図９（ｂ）に示すように、測定子１０１の触針の先端が芯出し位置（図中の点線位置）に近づく方向に、Ｙ軸移動用ハンドル１３が時計回りに回転されたとする。これにより、第１のボールねじ軸１５が時計回りに回転駆動し、検出器１００（測定子１０１）を支持した第１の取付板１２が第１の案内レール部１１ｂに沿って左方向に移動する。すなわち、図９（ｂ）に示すように、検出器１００が左方向に移動する。これにより、表示装置４には、「現在の変位量」及び「これまでの最大変位量」として、移動後の変位量に基づく変位量が表示される。
【００７１】
引き続き、図９（ｃ）に示すように、Ｙ軸移動用ハンドル１３が時計回りに回転されたとする。これによって、検出器１００が更に左方向に移動して、触針が伸縮動作する。この伸縮動作に応じて、表示装置４に表示された「現在の変位量」及び「これまでの最大変位量」が変化する。また、触針が、図９（ｃ）中の点線で示す、芯出し位置へと到達すると、このときの変位量（図９（ｃ）中の破線）が最大変位量となる。そのため、以降のＹ軸方向の移動に対して、表示装置４に表示された「これまでの最大変位量」が変化しなくなる。
【００７２】
このように、最大変位量が変化しなくなったら、次は、図９（ｄ）に示すように、Ｙ軸移動用ハンドル１３を反時計回りに回転させる。これにより、第１のボールねじ軸１５が反時計回りに回転駆動し、検出器１００（測定子１０１）を支持した第１の取付板１２が第１の案内レール部１１ｂに沿って移動する。すなわち、検出器１００が右方向に移動する。
【００７３】
このようにして、「現在の変位量」が「これまでの最大変位量」と同じ変位量となる位置まで、検出器１００を右方向に移動させることで、測定子１０１の触針の先端位置を芯出し位置に一致させる。
そして、芯出し位置に一致させた後は、ロックレバー１４ａを操作して、Ｙ軸移動機構１０を固定状態にすることで検出器１００のＹ軸方向の位置を固定する。これにより、芯出し作業が完了する。
【００７４】
芯出し作業が完了すると、次に、制御装置３の操作部を操作して、測定モードの設定指示を入力し、現在設定されている位置調整モードを測定モードへと切り替える。
測定モードに切替後は、Ｚ軸移動機構２０のＺ軸移動用ハンドル２３及びＸ軸移動機構３０のＸ軸移動用レバー３２を操作して、測定対象物２００（図６の例では軸受の玉）に対する測定子１０１のＸ軸座標位置及びＺ軸座標位置を設定する。すなわち、所望のＸ軸座標位置で、測定子１０１の先端部が測定対象物２００に接触するＺ軸座標位置となるように検出器１００の位置を設定する。
【００７５】
その後、制御装置３の操作部を操作して、スピンドル４１を回転駆動させることで測定物支持部４３に支持された測定対象物２００が回転駆動し、このときの測定子１０１の伸縮動作によって生じる物理量が検出部１０２で検出され、この検出した物理量を示す検出信号が、電気ケーブルを介して制御装置３に送信される。
制御装置３は、入力されたセンサ信号をＡ／Ｄ変換して、デジタルの物理量を取得する。そして、この物理量を、予め設定した関数等を用いた演算処理によって変位量に変換する。制御装置３は、演算した変位量を、測定対象物２００の表面性状として、例えば、グラフ化したものを表示装置４に表示する。
【００７６】
なお、位置調整モードによる補助機能を利用した場合の動作を説明したが、補助機能を用いずに手動で芯出し作業を行うことも可能である。
以上、第１実施形態の表面性状測定装置１は、Ｙ軸移動機構１０のＹ軸移動用ハンドル１３を手動操作することによって、検出器１００を、その測定子１０１の測定対象物２００に対する芯出し位置の調整方向（Ｙ軸方向）に移動させることが可能である。
【００７７】
これによって、従来の取付代による位置調整と比較して、簡易且つ正確に芯出し位置の設定作業を行うことが可能となる。
また、位置調整モードを設定することで、測定子１０１の最初の接触位置を基準位置に設定し、以降の、Ｙ軸方向の移動に応じた物理量の変化を、基準位置を基準とした変位量として演算し、この演算結果を、表示装置４に表示することが可能である。
【００７８】
これによって、測定対象物２００が断面円形形状である場合、変位量が最大となるＹ軸座標位置が、芯出し位置に相当するため、より簡易且つ正確に芯出し位置の設定作業を行うことが可能となる。
第１実施形態において、表示制御部５０４は、表面性状測定部及び変位量表示部に対応し、Ｙ軸移動機構１０は、芯出し用移動機構に対応する。Ｚ軸移動機構２０は、第１移動機構に対応し、Ｘ軸移動機構３０は、第２移動機構に対応する。変位量演算部５０３は、変位量測定部に対応する。
【００７９】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
（構成）
この第２実施形態は、上述した第１実施形態において、Ｙ軸移動用ハンドル１３に代えて、第１のボールねじ軸１５を回転駆動する駆動源を設けると共に、第１のモータ操作部を設け、ユーザが第１のモータ操作部を操作することに応じて駆動源を駆動し、駆動源の駆動力によって検出器１００をＹ軸方向に移動するようにしたものである。
【００８０】
以下、上記第１実施形態と同様の構成部分については同じ符号を付して適宜説明を省略し、異なる部分を詳細に説明する。
図１０に示すように、第２実施形態の表面性状測定装置３０１は、上記第１実施形態の測定機２に代えて、測定機３０２を備える。この測定機３０２は、Ｙ軸移動用ハンドル１３に代えてＹ軸移動用モータ装置１７を備える以外の構成は、上記第１実施形態の測定機２と同様の構成となる。
【００８１】
Ｙ軸移動用モータ装置１７は、第１のボールねじ軸１５の回転駆動力を発生する第２のモータ（例えば、ダイレクト・ドライブ・モータ等）と、第２のモータを駆動する第２のモータ駆動回路と、第２のモータの回転角を検出する第２のモータ回転角センサとを備えている。Ｙ軸移動用モータ装置１７は、電気ケーブル（不図示）を介して制御装置３と接続され、この電気ケーブルを介して、第２のモータ回転角センサで検出した第２のモータ回転角を制御装置３に送信する。加えて、この電気ケーブルを介して、制御装置３からの第２のモータ制御信号を受信し、受信した第２のモータ制御信号に応じて第２のモータ駆動回路を駆動して第２のモータを回転駆動する。
【００８２】
第２実施形態では、制御装置３の備える第１のモータ操作部（不図示）をユーザが操作することで、ユーザの指示する移動方向（図１０の左右方向）に検出器１００が移動するように第２のモータを時計回り又は反時計回りに回転駆動し、第２のモータの回転方向と同じ方向に第１のボールねじ軸１５を回転駆動する。
第１のモータ操作部は、左方向への移動ボタン（以下、「左移動ボタン」と称す）と、右方向への移動ボタン（以下、「右移動ボタン」と称す）とを含んで構成されている。
【００８３】
第１のモータ操作部は、ユーザが左移動ボタンを押下することによって、左移動ボタンが押下されたことを示す信号を制御装置３に入力し、ユーザが右移動ボタンを押下することによって、右移動ボタンが押下されたことを示す信号を制御装置３に入力する。以下、これらの信号をボタン押下信号と称す。
また、第２実施形態の制御装置３は、図１１に示すように、上記第１実施形態の機能構成部５００に代えて、機能構成部５１０を備える。この機能構成部５１０は、モータ制御部５０５に代えてモータ制御部５１１を備える以外の構成は、上記第１実施形態の機能構成部５００と同様の構成となる。
【００８４】
第２実施形態のモータ制御部５１１は、上記第１実施形態のモータ制御部５０５の機能に加えて、第１のモータ操作部を介して入力されたボタン押下信号に基づき、Ｙ軸移動用モータ装置１７の第２のモータ駆動回路を制御する第２のモータ制御信号を生成する。そして、生成した第２のモータ制御信号を、電気ケーブルを介して、Ｙ軸移動用モータ装置１７に送信する。
【００８５】
具体的に、モータ制御部５１１は、左移動ボタンが押下されたことを示すボタン押下信号が入力されると、第１のボールねじ軸１５がＹ軸移動用モータ装置１７側から見て時計回りに予め設定した回転速度で回転するように第２のモータを回転駆動させる第２のモータ制御信号を生成する。一方、モータ制御部５１１は、右移動ボタンが押下されたことを示すボタン押下信号が入力されると、第１のボールねじ軸１５がＹ軸移動用モータ装置１７側から見て反時計回りに予め設定した回転速度で回転するように第２のモータを回転駆動させる第２のモータ制御信号を生成する。
【００８６】
（動作）
次に、図８〜図９に基づき、第２実施形態の表面性状測定装置３０１の動作例を説明する。
ここで、上記第１実施形態では、ユーザがＹ軸移動用ハンドル１３を手動操作することで発生する駆動力によって、検出器１００のＹ軸方向の移動を行っていた。これに対して、第２実施形態では、ユーザの第１のモータ操作部の操作に応じてＹ軸移動用モータ装置１７の第２のモータを駆動制御し、第２のモータによって発生する駆動力によって、検出器１００のＹ軸方向の移動を行う。すなわち、検出器１００のＹ軸方向の移動を第２のモータの回転駆動力によって行う以外は、上記第１実施形態と同様となる。従って、位置調整モードによる芯出し作業の手順は、上記第１実施形態と同様となる。
【００８７】
いま、ユーザが、位置調整モードの設定後に、Ｚ軸移動用ハンドル２３を反時計回りに回転し、測定子１０１の触針の先端を測定対象物２００の表面に接触させ、この接触位置が基準位置「０」に設定されたとする（ステップＳ１０４）。
基準位置が設定されると、ユーザは、表示装置４に表示される「現在の変位量」と、「これまでの最大変位量」とを参照して第１のモータ操作部を操作し、検出器１００の触針の先端位置を測定対象物２００の中心位置（芯出し位置）へと向けて移動させる。
【００８８】
ユーザは、例えば、図９（ｂ）に示すように、測定子１０１の触針の先端が芯出し位置（図中の点線位置）に近づく方向に移動するように、第１のモータ操作部の左移動ボタンを押下する。これにより、モータの回転駆動力によって第１のボールねじ軸１５が時計回りに回転駆動し、検出器１００（測定子１０１）が左方向に移動する。
引き続き、左移動ボタンが押し続けられ、図９（ｃ）に示すように、検出器１００が更に左方向に移動して芯出し位置を通過すると、以降のＹ軸方向の移動に対して、表示装置４に表示された「これまでの最大変位量」が変化しなくなる。
【００８９】
このように、最大変位量が変化しなくなったことを確認したユーザが、第１のモータ操作部の右移動ボタンを押下すると、今度は、モータの回転駆動力によってボールねじ軸１５が反時計回りに回転駆動し、図９（ｄ）に示すように、検出器１００（測定子１０１）が右方向に移動する。
このようにして、「現在の変位量」が「これまでの最大変位量」と同じ変位量となる位置まで、右移動ボタンを押下し続けて検出器１００を右方向に移動させることで、測定子１０１の触針の先端位置を芯出し位置に一致させる。
【００９０】
そして、芯出し位置に一致させた後は、ロックレバー１４ａを操作して、Ｙ軸移動機構１０を固定状態にすることで検出器１００のＹ軸方向の位置を固定する。これにより、芯出し作業が完了する。
以降の動作は、上記第１実施形態と同様となるので説明を省略する。
以上、第２実施形態の表面性状測定装置１は、制御装置３の第１のモータ操作部を操作することで、制御装置３を介してＹ軸移動機構１０のＹ軸移動用モータ装置１７を駆動制御し、検出器１００を、その測定子１０１の測定対象物２００に対する芯出し位置の調整方向（Ｙ軸方向）に移動させることが可能である。
【００９１】
これによって、従来の取付代による位置調整と比較して、簡易且つ正確に芯出し位置の設定作業を行うことが可能となる。加えて、ダイレクト・ドライブ・モータ等のモータによってＹ軸方向の移動機構を構成したので、きめ細かな移動制御を行うことが可能となり、芯出し作業における高精度な位置決めを行うことが可能となる。
また、位置調整モードを設定することで、測定子１０１の最初の接触位置を基準位置に設定し、以降の、Ｙ軸方向の移動に応じた物理量の変化を、基準位置を基準とした変位量として演算し、この演算結果を、表示装置４に表示することが可能である。
【００９２】
これによって、測定対象物２００が断面円形形状である場合、変位量が最大となるＹ軸座標位置が、芯出し位置に相当するため、より簡易且つ正確に芯出し位置の設定作業を行うことが可能となる。
第２実施形態において、第１の案内板１１は、第１の案内部材に対応し、第１の取付板１２は、検出器支持部材に対応し、Ｙ軸移動用モータ装置１７は、第１の駆動源に対応する。
【００９３】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態について説明する。
（構成）
この第３実施形態は、上述した第２実施形態において、Ｚ軸移動用ハンドル２３に代えて、第２のボールねじ軸２５を回転駆動する駆動源を設けると共に、第２のモータ操作部を設ける。加えて、ユーザが第２のモータ操作部を操作することによって駆動源を駆動し、駆動源の駆動力によって検出器１００をＺ軸方向に移動するようにしたものである。更に、制御装置３において、Ｙ軸移動用モータ装置１７の第２のモータと、第２のボールねじ軸２５を回転駆動する駆動源とを駆動制御して、芯出し作業を自動化する機能を設けたものである。
【００９４】
以下、上記第２実施形態と同様の構成部分については同じ符号を付して適宜説明を省略し、異なる部分を詳細に説明する。
図１２に示すように、第３実施形態の表面性状測定装置４０１は、上記第２実施形態の測定機３０２に代えて、測定機４０２を備える。この測定機４０２は、Ｚ軸移動用ハンドル２３に代えてＺ軸移動用モータ装置２７を備える以外の構成は、上記第２実施形態の測定機３０２と同様の構成となる。
【００９５】
Ｚ軸移動用モータ装置２７は、第２のボールねじ軸２５の回転駆動力を発生する第３のモータ（例えば、ダイレクト・ドライブ・モータ等）と、第３のモータを駆動する第３のモータ駆動回路と、第３のモータの回転角を検出する第３のモータ回転角センサとを備えている。Ｚ軸移動用モータ装置２７は、電気ケーブル（不図示）を介して制御装置３と接続され、この電気ケーブルを介して、第３のモータ回転角センサで検出した第３のモータ回転角を制御装置３に送信する。加えて、この電気ケーブルを介して、制御装置３からの第３のモータ制御信号を受信し、受信した第３のモータ制御信号に応じて第３のモータ駆動回路を駆動して第３のモータを回転駆動する。
【００９６】
第３実施形態では、制御装置３の備える第２のモータ操作部（不図示）をユーザが操作することで、ユーザの指示する移動方向（図１２の上下方向）に検出器１００が移動するように第３のモータを時計回り又は反時計回りに回転し、第３のモータの回転方向と同じ方向に第２のボールねじ軸２５を回転駆動する。
第２のモータ操作部は、上方向への移動ボタン（以下、「上移動ボタン」と称す）と、下方向への移動ボタン（以下、「下移動ボタン」と称す）とを含んで構成されている。
【００９７】
第２のモータ操作部は、ユーザが上移動ボタンを押下することによって、上移動ボタンが押下されたことを示すボタン押下信号を制御装置３に入力し、ユーザが下移動ボタンを押下することによって、下移動ボタンが押下されたことを示すボタン押下信号を制御装置３に入力する。
また、第３実施形態の制御装置３は、図１３に示すように、上記第２実施形態の機能構成部５１０に代えて、機能構成部５２０を備える。この機能構成部５２０は、モータ制御部５１１に代えてモータ制御部５２１を備える以外の構成は、上記第２実施形態の機能構成部５１０と同様の構成となる。
【００９８】
第３実施形態のモータ制御部５２１は、上記第２実施形態のモータ制御部５１１の機能に加えて、第２のモータ操作部を介して入力された信号に基づき、Ｚ軸移動用モータ装置２７の第３のモータ駆動回路を制御する第３のモータ制御信号を生成し、生成した第３のモータ制御信号を、電気ケーブルを介して、Ｚ軸移動用モータ装置２７に送信する。
また、第３実施形態の制御装置３は、更に、検出器１００を芯出し位置に自動的に移動する自動芯出しモードを備えている。
【００９９】
すなわち、第２のモータ制御部５２１ｂは、モード設定部５０１において、自動芯出しモードが設定されると、Ｙ軸移動用モータ装置１７及びＺ軸移動用モータ装置２７を制御して、検出器１００をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動し、芯出し作業を自動で行うようになっている。
以下、図１４に基づき、モータ制御部５２１の詳細な構成を説明する。
【０１００】
モータ制御部５２１は、図１４に示すように、第１のモータ制御部５２１ａと、第２のモータ制御部５２１ｂと、位置情報記録部５２１ｃと、芯出し位置設定部５２１ｄとを含んで構成される。
第１のモータ制御部５２１ａは、制御装置３の操作部を介して入力されたモータ駆動指示に応じて、スピンドル用モータ装置４４を駆動制御する。
【０１０１】
第２のモータ制御部５２１ｂは、左移動ボタンが押下されたことを示すボタン押下信号が入力されると、第１のボールねじ軸１５がＹ軸移動用モータ装置１７側から見て時計回りに予め設定した回転速度で回転するように第２のモータを回転駆動させる第２のモータ制御信号を生成する。そして、生成した第２のモータ制御信号を、電気ケーブルを介して、Ｙ軸移動用モータ装置１７に送信する。一方、第２のモータ制御部５２１ｂは、右移動ボタンが押下されたことを示すボタン押下信号が入力されると、第１のボールねじ軸１５がＹ軸移動用モータ装置１７側から見て反時計回りに予め設定した回転速度で回転するように第２のモータを回転駆動させる第２のモータ制御信号を生成する。そして、生成した第２のモータ制御信号を、電気ケーブルを介して、Ｙ軸移動用モータ装置１７に送信する。
【０１０２】
また、第２のモータ制御部５２１ｂは、上移動ボタンが押下されたことを示すボタン押下信号が入力されると、第２のボールねじ軸２５がＺ軸移動用モータ装置２７側から見て時計回りに予め設定した回転速度で回転するように第３のモータを回転駆動させる第３のモータ制御信号を生成する。そして、生成した第３のモータ制御信号を、電気ケーブルを介して、Ｚ軸移動用モータ装置２７に送信する。一方、第２のモータ制御部５２１ｂは、下移動ボタンが押下されたことを示す信号が入力されると、第２のボールねじ軸２５がＺ軸移動用モータ装置２７側から見て反時計回りに予め設定した回転速度で回転するように第３のモータを回転駆動させる第３のモータ制御信号を生成する。そして、生成した第３のモータ制御信号を、電気ケーブルを介して、Ｚ軸移動用モータ装置２７に送信する。
【０１０３】
また、第２のモータ制御部５２１ｂは、自動芯出しモードが設定されると、Ｙ軸移動用モータ装置１７及びＺ軸移動用モータ装置２７を制御して、自動芯出し処理用の移動制御を実施する。なお、自動芯出し処理の詳細については、後述する。
位置情報記録部５２１ｃは、第２のモータ制御部５２１ｂからの記録指示に応じて、測定子１０１の触針の先端が測定対象物２００の表面に接触したときの検出器１００の位置情報をＳＲＡＭ等の記憶媒体に記憶する。
【０１０４】
具体的に、位置情報記録部５２１ｃは、記録指示に応じて、第２の回転角センサ及び第３の回転角センサからの第２のモータ回転角及び第３のモータ回転角に基づき、測定子１０１の触針の先端が測定対象物２００の表面に接触したときの検出器１００の位置情報を演算によって求める。第３実施形態では、検出器１００の位置情報として、第１のボールねじナット１６及び第２のボールねじナット２６の位置情報を求める。そして、求めた位置情報を記憶媒体に記憶する。
【０１０５】
なお、位置情報記録部５２１ｃは、第２のモータ制御部５２１ｂからの記録指示が入力される毎に、位置情報の演算処理を実行し、記憶媒体に記憶された前回の位置情報を今回演算した位置情報へと更新する。
芯出し位置設定部５２１ｄは、第２のモータ制御部５２１ｂからの無接触情報に基づき、測定子１０１の触針の先端が、測定対象物２００の表面に接触しない離間位置へと到達したと判定すると、前回の位置情報を、芯出し位置に設定する。具体的に、記憶媒体から前回の位置情報を読み出し、読み出した位置情報を第２のモータ制御部５２１ｂに出力する。
【０１０６】
（自動芯出し処理）
次に、図１５に基づき、制御装置３において実行される自動芯出し処理の処理手順を説明する。
制御装置３のプロセッサによってプログラムが実行され、自動芯出し処理が開始されると、図１５に示すように、まず、ステップＳ２００に移行する。
ステップＳ２００では、第２のモータ制御部５２１ｂにおいて、モード設定部５０１からのモード情報に基づき、自動芯出しモードが設定されているか否かを判定する。そして、自動芯出しモードが設定されていると判定した場合（Ｙｅｓ）は、ステップＳ２０２に移行し、そうでないと判定した場合（Ｎｏ）は、自動芯出しモードが設定されるまで判定を繰り返し行う。
【０１０７】
ステップＳ２０２に移行した場合は、第２のモータ制御部５２１ｂにおいて、Ｚ軸移動用モータ装置２７を制御して、Ｚ軸移動機構２０によって、測定子１０１の触針が測定対象物２００の表面に接触するまで、検出器１００を下方向（測定対象物２００に接近する方向）に移動する。その後、表面に接触したと判定すると、位置情報記録部５２１ｃに記録指示を出力して、ステップＳ２０４に移行する。
【０１０８】
ステップＳ２０４では、位置情報記録部５２１ｃにおいて、第２のモータ制御部５２１ｂからの記録指示に応じて、第２の回転角センサ及び第３の回転角センサからの第２のモータ回転角及び第３のモータ回転角に基づき、検出器１００の位置（Ｙ軸座標及びＺ軸座標）を演算処理によって求める。そして、この位置情報を、ＲＡＭ等の記憶媒体に記憶して、ステップＳ２０６に移行する。なお、位置情報を常に演算してＲＡＭ等の記憶媒体に記憶しておき、記録指示が入力された時点で記憶されている位置情報を取得して、別途専用のメモリ領域等に記憶する構成としてもよい。
【０１０９】
ステップＳ２０６では、第２のモータ制御部５２１ｂにおいて、Ｚ軸移動用モータ装置２７を制御して、検出器１００を予め設定した一定距離（微小距離）だけ上方向（測定対象物２００から離間する方向）に移動する。その後、ステップＳ２０８に移行する。
ステップＳ２０８では、第２のモータ制御部５２１ｂにおいて、Ｙ軸移動用モータ装置１７を制御して、測定子１０１の触針が測定対象物２００の表面に接触するまで、検出器１００をＹ軸方向（左右方向）に移動する。その後、ステップＳ２１０に移行する。
【０１１０】
ここで、モータ制御部５２１は、例えば、左右方向の一方向に予め設定した移動量だけ移動させても、触針が測定対象物２００の表面に接触しなかった場合、元の位置を基準に、今度は、左右方向の他方向に予め設定した移動量だけ移動させる。
ステップＳ２１０では、第２のモータ制御部５２１ｂにおいて、触針が測定対象物２００に接触したか否かを判定する。そして、接触したと判定した場合（Ｙｅｓ）は、位置情報記録部５２１ｃに記録指示を出力して、ステップＳ２１２に移行する。一方、接触しなかったと判定した場合（Ｎｏ）は、接触が無かったことを示す無接触情報を芯出し位置設定部５２１ｄに出力して、ステップＳ２１４に移行する。
【０１１１】
ここで、第２のモータ制御部５２１ｂは、最初のＹ軸方向の移動について、触針を左右方向に予め設定した移動量だけ移動させても、触針が測定対象物２００の表面に接触しなかった場合に、接触が無かったと判定する。一方、前回の移動で接触があったと判定した場合は、前回と同じ移動方向への移動によって接触が無かった場合に、接触が無かったと判定する。
【０１１２】
ステップＳ２１２に移行した場合は、位置情報記録部５２１ｃにおいて、第２のモータ制御部５２１ｂからの記録指示に応じて、第２のモータ回転角センサ及び第３のモータ回転角センサからの第２のモータ回転角及び第３のモータ回転角に基づき、検出器１００の位置を演算処理によって求める。そして、記憶媒体に記憶された前回の位置情報を、今回の位置情報に更新して、ステップＳ２０６に移行する。
【０１１３】
一方、ステップＳ２１４に移行した場合は、芯出し位置設定部５２１ｄにおいて、第２のモータ制御部５２１ｂからの無接触情報に応じて、記憶媒体から、前回の位置情報を読み出す。そして、読み出した前回の位置情報を、第２のモータ制御部５２１ｂに出力して、ステップＳ２１６に移行する。
ステップＳ２１６では、第２のモータ制御部５２１ｂにおいて、芯出し位置設定部５２１ｄからの位置情報に基づき、Ｙ軸移動用モータ装置１７及びＺ軸移動用モータ装置２７を制御して、検出器１００を前回の位置情報の示す位置へと移動する。その後、一連の処理を終了する。
【０１１４】
ここで、断面円形形状の測定対象物の場合、芯出し位置（測定対象物の中心位置）は、触針の先端から測定対象物２００の表面までのＺ軸方向の距離が最短となるＹ軸方向の位置となる。
従って、第３実施形態では、検出器１００を、最初の接触位置又は前回の接触位置から一定距離（微小距離）だけ上方向に移動し、この移動後にＹ軸方向に移動させても触針が接触しない場合に、接触が無かったと判定している。そして、前回の接触位置を、触針と測定対象物表面との間のＺ軸方向の距離が最短距離となるＹ軸方向の位置（芯出し位置）としている。
【０１１５】
（動作）
次に、図１６に基づき、第３実施形態の表面性状測定装置４０１の動作例を説明する。
ここで、上記第２実施形態では、ユーザの第１のモータ操作部の操作に応じてＹ軸移動用モータ装置１７の第２のモータを駆動制御し、第２のモータによって発生する駆動力によって、検出器１００のＹ軸方向の移動を行っていた。これに加えて、第３実施形態では、ユーザの第２のモータ操作部の操作に応じてＺ軸移動用モータ装置２７の第３のモータを駆動制御し、第３のモータによって発生する駆動力によって、検出器１００のＺ軸方向の移動を行う。
【０１１６】
また、第３実施形態では、自動芯出しモードを設定することで、モータ制御部５２１によって、Ｙ軸移動用モータ装置１７及びＺ軸移動用モータ装置２７の動作を制御して、検出器１００を自動的に芯出し位置へと移動する。すなわち、第１のモータ操作部及び第２のモータ操作部を用いた位置調整については、検出器１００のＺ軸方向の移動を第３のモータの回転駆動力によって行う以外、上記第２実施形態と同様となる。従って、位置調整モードによる芯出し作業の手順は、上記第２実施形態と同様となる。
【０１１７】
まず、位置調整モードを設定時の動作について説明する。
いま、ユーザが、操作部を操作して位置調整モードを設定し、次いで、第２のモータ操作部の下移動ボタンを押下したとする。これにより、第３のモータが反時計回りに回転して第２のボールねじ軸２５が反時計回りに回転し、検出器１００を下方向に移動させる。そして、下方向の移動によって、測定子１０１の触針の先端が測定対象物２００の表面に接触すると、この接触位置が基準位置「０」に設定される（ステップＳ１０４）。
【０１１８】
以降の、第１のモータ操作部の操作によって検出器１００をＹ軸方向に移動させて、検出器１００を芯出し位置に一致させる動作、及びロックレバー１４ａを操作して、Ｙ軸移動機構１０を固定状態にする動作は、上記第２実施形態と同様となるので説明を省略する。
次に、自動芯出しモードを設定時の動作について説明する。
【０１１９】
いま、ユーザが制御装置３の操作部を操作して、自動芯出しモードの設定指示を入力し、自動芯出しモードへと移行したとする。
制御装置３のモータ制御部５２１は、自動芯出しモードが設定されると（ステップＳ２００のＹｅｓ）、まず、Ｚ軸移動用モータ装置２７を制御して、図１６（ａ）に示すように、測定子１０１の触針の先端が測定対象物２００の表面に接触するまで、検出器１００を下方向へと移動させる（ステップＳ２０２）。
【０１２０】
モータ制御部５２１は、検出器１００から受信した物理量の変動によって、測定子１０１の触針の先端が測定対象物２００の表面に接触したことを検出すると、第２及び第３のモータ回転角センサからの第２及び第３のモータ回転角に基づき、検出器１００の位置情報を演算処理によって求める。そして、求めた位置情報をＲＡＭ等の記憶媒体に記憶する（ステップＳ２０４）。
【０１２１】
次に、モータ制御部５２１は、Ｚ軸移動用モータ装置２７を制御して、図１６（ｂ）に示すように、検出器１００を、予め設定した一定距離だけ上方向に移動する（ステップＳ２０６）。引き続き、モータ制御部５２１は、Ｙ軸移動用モータ装置１７を制御して、検出器１００を左右方向に移動する（ステップＳ２０８）。ここでは、図１６（ｃ）に示すように、検出器１００を左方向に移動することで、触針の先端が測定対象物２００の表面に接触したとする（ステップＳ２１０のＹｅｓ）。
【０１２２】
モータ制御部５２１は、触針の接触を検出すると、第２及び第３のモータ回転角センサからの第２及び第３のモータ回転角に基づき、触針が接触したときの検出器１００の位置情報を演算処理によって求める。そして、記憶媒体に記憶された前回の位置情報を、今回の位置情報に更新する（ステップＳ２１２）。
引き続き、モータ制御部５２１は、Ｚ軸移動用モータ装置２７を制御して、図１６（ｄ）に示すように、検出器１００を、予め設定した一定距離だけ上方向に移動する（ステップＳ２０６）。続いて、モータ制御部５２１は、Ｙ軸移動用モータ装置１７を制御して、検出器１００を左方向に移動する（ステップＳ２０８）。ここでは、図１６（ｄ）に示すように、検出器１００を左方向に移動することで、触針の先端が測定対象物２００の表面に接触したとする（ステップＳ２１０のＹｅｓ）。
【０１２３】
モータ制御部５２１は、触針の接触を検出すると、第２及び第３のモータ回転角センサからの第２及び第３のモータ回転角に基づき、触針が接触したときの検出器１００の位置情報を演算処理によって求める。そして、記憶媒体に記憶された前回の位置情報を、今回の位置情報に更新する（ステップＳ２１２）。
引き続き、モータ制御部５２１は、Ｚ軸移動用モータ装置２７を制御して、図１６（ｆ）に示すように、検出器１００を、予め設定した一定距離だけ上方向に移動する（ステップＳ２０６）。続いて、モータ制御部５２１は、Ｙ軸移動用モータ装置１７を制御して、検出器１００を左方向に移動する（ステップＳ２０８）。ここでは、図１６（ｆ）に示すように、検出器１００を左方向に移動しても、触針の先端が測定対象物２００の表面に接触しなかったとする（ステップＳ２１０のＮｏ）。
【０１２４】
モータ制御部５２１は、触針の先端が測定対象物２００の表面に接触しなかったと判定すると、前回記憶した位置情報を記憶媒体から読み出す（ステップＳ２１４）。そして、読み出した前回の位置情報に基づき、Ｙ軸移動用モータ装置１７及びＺ軸移動用モータ装置２７を制御して、検出器１００を前回の接触位置（図１６（ｅ）の位置）へと移動させる（ステップＳ２１６）。
【０１２５】
このようにして、検出器１００の測定子１０１の触針の先端位置を自動的に芯出し位置に一致させる。
そして、芯出し位置に一致させた後は、ロックレバー１４ａを操作して、Ｙ軸移動機構１０を固定状態にすることで検出器１００のＹ軸方向の位置を固定する。これにより、芯出し作業が完了する。
【０１２６】
以降の動作は、上記第１実施形態と同様となるので説明を省略する。
以上、第３実施形態の表面性状測定装置１は、制御装置３の第１のモータ操作部を操作することで、制御装置３を介してＹ軸移動機構１０のＹ軸移動用モータ装置１７を駆動制御し、検出器１００を、その測定子１０１の測定対象物２００に対する芯出し位置の調整方向（Ｙ軸方向）に移動させることが可能である。
【０１２７】
また、制御装置３の第２のモータ操作部を操作することで、制御装置３を介してＺ軸移動機構２０のＺ軸移動用モータ装置２７を駆動制御し、検出器１００を、Ｚ軸方向に移動させることが可能である。
これによって、従来の取付代による位置調整と比較して、簡易且つ正確に芯出し位置の設定作業を行うことが可能となる。加えて、ダイレクト・ドライブ・モータ等のモータによってＹ軸方向及びＺ軸方向の移動機構を構成したので、きめ細かな移動制御を行うことが可能となり、芯出し作業における高精度な位置決めを行うことが可能となる。
【０１２８】
また、位置調整モードを設定することで、測定子１０１の最初の接触位置を基準位置に設定し、以降の、Ｙ軸方向の移動に応じた物理量の変化を、基準位置を基準とした変位量として演算し、この演算結果を、表示装置４に表示することが可能である。
これによって、測定対象物２００が断面円形形状である場合、変位量が最大となるＹ軸座標位置が、芯出し位置に相当するため、より簡易且つ正確に芯出し位置の設定作業を行うことが可能となる。
【０１２９】
また、自動芯出しモードを設定することで、制御装置３を介してＹ軸移動機構１０のＹ軸移動用モータ装置１７と、Ｚ軸移動機構２０のＺ軸移動用モータ装置２７とを駆動制御し、検出器１００の芯出し位置の設定作業を自動で行うことが可能となる。
これによって、より簡易且つ正確に芯出し位置の設定作業を行うことが可能となる。
第３実施形態において、第２の案内板２１は、第２の案内部材に対応し、第２の取付板２２は、芯出し用移動機構支持部材に対応し、Ｚ軸移動用モータ装置２７は、第２の駆動源に対応する。
また、第２のモータ制御部５２１ｂ及び位置情報記録部５２１ｃは、位置情報記録部に対応し、芯出し位置設定部５２１ｄは、芯出し位置設定部に対応し、第２のモータ制御部５２１ｂは、芯出し位置移動部に対応する。
【０１３０】
（変形例）
（１）上記第３実施形態では、自動芯出しモードを設定することで、上記図１５のフローチャートに示す処理手順で芯出し作業を自動化する構成としたが、この構成に限らない。例えば、上記第１実施形態で、位置調整モードを設定して、表示装置４に表示された変位量の情報を見ながら手動で位置調整して行う芯出し作業の処理手順を自動化する構成としてもよい。この場合、制御装置３において、Ｙ軸移動用モータ装置１７及びＺ軸移動用モータ装置２７を駆動制御して検出器の移動を自動化すると共に、変位量の比較処理を行って最大変位量となる位置を検出する。
【０１３１】
（２）上記各実施形態では、検出器１００の検出する物理量として、触針の伸縮動作に応じた変位の大きさを示す電圧値を検出する構成を例に挙げたが、この構成に限らず、触針の伸縮動作に応じた振動速度を検出する構成としてもよい。この場合に、変位量を演算するときは、例えば、振動速度を積分処理することで変位量へ換算する構成とする。
また、上記各実施形態は、本発明の好適な具体例であり、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、上記の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。また、上記の説明で用いる図面は、図示の便宜上、部材ないし部分の縦横の縮尺は実際のものとは異なる模式図である。
また、本発明は上記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
【符号の説明】
【０１３２】
１，３０１，４０１  表面性状測定装置、２，３０２，４０２  測定機、３  制御装置、４  表示装置、１０  Ｙ軸移動機構、１１  第１の案内板、１１ａ  第１のベース板部、１１ｂ  第１の案内レール部、１１ｃ  第１の案内溝部、１２  第１の取付板、１３  Ｙ軸移動用ハンドル、１５  第１のボールねじ軸、１６  第１のボールねじナット、１７  Ｙ軸移動用モータ装置、２０  Ｚ軸移動機構、２１  第２の案内板、２１ａ  第２のベース板部、２１ｂ  第２の案内レール部、２１ｃ  第２の案内溝部、２２  第２の取付板、２３  Ｚ軸移動用ハンドル、２５  第２のボールねじ軸、２６  第２のボールねじナット、２７  Ｚ軸移動用モータ装置、１００  検出器、１０１  測定子、５０１  モード設定部、５０２  基準位置設定部、５０３  変位量演算部、５０４  表示制御部、５０５，５１１，５２１  モータ制御部、５２１ｂ  第２のモータ制御部、５２１ｃ  位置情報記録部、５２１ｄ  芯出し位置設定部
【図１】
2016080436.tif 000003
【図２】
2016080436.tif 000004
【図３】
2016080436.tif 000005
【図４】
2016080436.tif 000006
【図５】
2016080436.tif 000007
【図６】
2016080436.tif 000008
【図７】
2016080436.tif 000009
【図８】
2016080436.tif 000010
【図９】
2016080436.tif 000011
【図１０】
2016080436.tif 000012
【図１１】
2016080436.tif 000013
【図１２】
2016080436.tif 000014
【図１３】
2016080436.tif 000015
【図１４】
2016080436.tif 000016
【図１５】
2016080436.tif 000017
【図１６】
2016080436.tif 000018
【図１７】
2016080436.tif 000019