(57)【要約】【課題】生産性の低下を防止してマスクプレート上にペーストを供給することができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供する。【解決手段】スクリーン印刷装置は、基板２の電極の配置に応じてパターン孔１６ａが形成されたマスクプレート１６と、マスクプレート１６の上方で第１の水平方向（Ｙ方向）に移動するスキージベース１９と、スキージベース１９に保持され、スキージベース１９とともに第１の方向に移動してマスクプレート１６上を摺動することにより、マスクプレート１６の下面に当接した基板２にパターン孔を介してペースト３を印刷するスキージ２２と、スキージベース１９とともに移動し、マスクプレート１６にペースト３を供給するペースト供給部２６を備えており、マスクプレート１６上をスキージ２２が摺動している間に、ペースト供給部２６はマスクプレート１６にペースト３を供給する。【選択図】図１１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の電極の配置に応じてパターン孔が形成されたマスクプレートと、
前記マスクプレートの上方で第１の水平方向に移動するスキージベースと、
前記スキージベースに保持され、前記スキージベースとともに前記第１の方向に移動して前記マスクプレート上を摺動することにより、前記マスクプレートの下面に当接した基板に前記パターン孔を介してペーストを印刷するスキージと、
前記スキージベースとともに移動し、前記マスクプレートにペーストを供給するペースト供給部と、を備え、
前記マスクプレート上で前記スキージが摺動しながら、ペースト供給部は前記マスクプレートにペーストを供給することを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項２】
前記ペースト供給部は前記第１の水平方向と水平面内において直交する第２の水平方向に往復移動可能に前記スキージベースに取り付けられ、
前記マスクプレート上で前記スキージが摺動しながら、前記ペースト供給部は前記第２の水平方向に移動しながら前記マスクプレートにペーストを供給することを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項３】
前記ペースト供給部は、前記スキージが摺動する前方に向けてペーストを吐出する吐出口を有しており、
前記吐出口を介して前記マスクプレートに供給されたペーストは、前記マスクプレート上を摺動する前記スキージによって掻き寄せられることを特徴とする請求項１又は２に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項４】
基板の電極の配置に応じてパターン孔が形成されたマスクプレートの上方で第１の水平方向に移動するスキージベースに保持されたスキージによって基板にペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、
前記マスクプレートの下面に基板を当接させる基板当接工程と、
前記スキージベースとともに前記スキージが前記第１の方向に移動して前記マスクプレート上を摺動することにより、前記マスクプレートの下面に当接した基板に前記パターン孔を介してペーストを印刷する印刷工程と、を含み、
前記印刷工程において、前記マスクプレート上で前記スキージが摺動しながら、前記スキージベースとともに移動するペースト供給部から前記マスクプレートにペーストを供給することを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項５】
前記ペースト供給部は前記第１の水平方向と水平面内において直交する第２の水平方向に往復移動可能に前記スキージベースに取り付けられ、
前記印刷工程において、前記マスクプレート上で前記スキージが摺動しながら、前記ペースト供給部は前記第２の水平方向に移動しながら前記マスクプレートにペーストを供給することを特徴とする請求項４に記載のスクリーン印刷方法。
【請求項６】
前記ペースト供給部は、前記スキージが摺動する前方に向けてペーストを吐出する吐出口を有しており、
前記吐出口を介して前記マスクプレートに供給されたペーストは、前記マスクプレート上を摺動する前記スキージによって掻き寄せられることを特徴とする請求項４又は５に記載のスクリーン印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板にクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷するスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品実装分野において、基板の電極の配置に応じてパターン孔が形成されたマスクプレートの下面に基板を当接させ、この状態でスキージをマスクプレート上で摺動させることによってクリーム半田などのペーストを基板に印刷するスクリーン印刷装置が知られている。マスクプレート上に供給されたペーストは、印刷動作を繰り返し行うにつれて次第に減少する。そこで従来、マスクプレート上にペーストを供給する方法が提案されている（例えば特許文献１を参照）。
【０００３】
特許文献１に示す例では、スキージを保持するスキージベースにペーストを貯留したペースト供給シリンジ（ペースト供給部）を装着する。マスクプレート上に残存するペーストが一定量まで減少したとき、スキージの摺動開始位置であるマスクプレートの一側部の上方までペースト供給シリンジをスキージとともに移動させ、この位置でペースト供給シリンジの吐出口から必要な量のペーストをマスクプレートの一側部に向けて吐出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３―２３３６７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１を含め従来技術においては、ペーストの供給作業が行われている間はスキージを摺動させないことから印刷動作が中断し、そのため生産性が低下するという問題があった。また、ペーストの供給作業が行われている間、マスクプレート上に残存する古いペーストは静止した状態となるため次第に硬化する。これに加え、マスクプレート上に新たに供給したペーストも、それまではシリンジに貯留された状態であったため粘度が高い傾向にある。粘度が高い（すなわち硬い）ペーストは、微小な径のパターン孔に充填させづらく、印刷不良を起こす要因となる。そのため従来技術においては、印刷動作の再開に先立って、スキージを複数回に亘って往復移動させることによって新旧のペーストを撹拌してなじませる必要があった。したがって、ペーストの供給作業を終えた後に速やかに印刷動作を開始することができず、さらなる生産性の低下を招くという問題があった。
【０００６】
そこで本発明は、生産性の低下を防止してマスクプレート上にペーストを供給することができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のスクリーン印刷装置は、基板の電極の配置に応じてパターン孔が形成されたマスクプレートと、前記マスクプレートの上方で第１の水平方向に移動するスキージベースと、前記スキージベースに保持され、前記スキージベースとともに前記第１の方向に移動して前記マスクプレート上を摺動することにより、前記マスクプレートの下面に当接した基板に前記パターン孔を介してペーストを印刷するスキージと、前記スキージベースとともに移動し、前記マスクプレートにペーストを供給するペースト供給部と、を備え、前記マスクプレート上で前記スキージが摺動しながら、ペースト供給部は前記マスクプレートにペーストを供給する。
【０００８】
本発明のスクリーン印刷方法は、基板の電極の配置に応じてパターン孔が形成されたマスクプレートの上方で第１の水平方向に移動するスキージベースに保持されたスキージによって基板にペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、前記マスクプレートの下面に基板を当接させる基板当接工程と、前記スキージベースとともに前記スキージが前記第１の方向に移動して前記マスクプレート上を摺動することにより、前記マスクプレートの下面に当接した基板に前記パターン孔を介してペーストを印刷する印刷工程と、を含み、前記印刷工程において、前記マスクプレート上で前記スキージが摺動しながら、前記スキージベースとともに移動するペースト供給部から前記マスクプレートにペーストを供給する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、生産性の低下を防止してマスクプレート上にペーストを供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の側面図
【図２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の平面図
【図３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるペースト供給部およびペースト供給部移動手段の構造説明図
【図４】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるペースト供給部の構造説明図
【図５】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるペースト残量検出用のセンサユニットの構造説明図
【図６】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置が備えるペースト残量検出用のセンサユニットの機能説明図
【図７】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の制御系の構成を示すブロック図
【図８】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷方法のフローチャート
【図９】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷方法の動作説明図
【図１０】本発明の一実施の形態におけるペースト補給処理のフローチャート
【図１１】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態におけるペースト補給作業の動作説明図
【図１２】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態におけるペースト補給作業の動作説明図
【図１３】（ａ）（ｂ）本発明のその他の実施例におけるペースト補給作業の動作説明図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
まず図１を参照して、本発明の実施の形態におけるスクリーン印刷装置１について説明する。スクリーン印刷装置１は、基板２に形成された電極２ａ（図２）にペースト３を印刷する機能を有し、基板位置決め部４とペースト印刷部５を含んで構成される。ペースト３としては、例えば半田ペーストや導電性ペーストなどの粘性体が挙げられる。以下、基板２の搬送方向をＸ方向（第２の水平方向）、Ｘ方向と水平面内において直交する方向をＹ方向（第１の水平方向）と定義する。また、ＸＹ平面に対して直交する方向をＺ方向と定義する。さらに、図１の紙面左側を「前方」、紙面右側を「後方」と定義する。図２に示すように、オペレータＯＰがペースト３の補充を含むメンテナンス作業を行う場合には、スクリーン印刷装置１に対して前方からアクセスする。
【００１２】
次に、基板位置決め部４について説明する。基台６上には、Ｙ軸テーブル７ａ、Ｘ軸テーブル７ｂおよびθ軸テーブル７ｃが段積み状態で設けられている。Ｙ軸テーブル７ａはＸ軸テーブル７ｂをＹ方向に移動させ、Ｘ軸テーブル７ｂはθ軸テーブル７ｃをＸ方向に移動させる。θ軸テーブル７ｃの上面には平板状のベーステーブル８がＺ方向を軸心として水平回転自在に装着されている。θ軸テーブル７ｃは、ベーステーブル８を水平回転させる。
【００１３】
ベーステーブル８の上方には、下方から順に第１昇降テーブル９、第２昇降テーブル１０が設けられている。第１昇降テーブル９は、第１昇降モータ９ａの駆動によってベーステーブル８に対して昇降する。第２昇降テーブル１０は、第２昇降モータ１０ａの駆動によって第１昇降テーブル９に対して昇降する。
【００１４】
第１昇降テーブル９からは、一対のコンベア支持部材１１が第２昇降テーブル１０を貫通して上方に伸びて設けられている。一対のコンベア支持部材１１には、Ｙ方向に対向して配置された一対の搬送コンベア１２が支持されている。図２に示すように、搬送コンベア１２はＸ方向に延びており、基板２をＸ方向に搬送して所定の位置に位置決めする。
【００１５】
図１において、第２昇降テーブル１０の上面であって、一対のコンベア支持部材１１の間の位置には基板下受部１３が設けられている。基板下受部１３は第２昇降モータ１０ａの駆動により第２昇降テーブル１０とともに上昇し、これにより搬送コンベア１２上の基板２を下受けする。
【００１６】
搬送コンベア１２の上方には、一対のクランプ部材１４が設けられている。一方のクランプ部材１４（紙面右側）は第１のシリンダ１５のロッドと結合している。第１のシリンダ１５を駆動してロッドが突没することで、一方のクランプ部材１４は他方のクランプ部材１４（紙面左側）に対してＹ方向に移動する。これにより、一対のクランプ部材１４は所定のクランプ位置まで上昇した基板２を挟んで保持する。
【００１７】
クランプ部材１４によって基板２を保持した状態でＹ軸テーブル７ａ、Ｘ軸テーブル７ｂおよびθ軸テーブル７ｃを駆動することにより、基板２は水平面内において位置決めされる。その後、基板下受部１３が第１昇降モータ９ａの駆動により第１の昇降テーブル９とともに上昇することで、基板２は後述するマスクプレート１６の下面に当接する。
【００１８】
次に、ペースト印刷部５について説明する。ペースト印刷部５は、基板位置決め部４の上方に設けられたマスクプレート１６と、マスクプレート１６のさらに上方に設けられたスキージユニット１７を含んで構成される。マスクプレート１６はＸＹ平面に広がった矩形平板状の部材であり、枠状のマスクホルダ１８によって保持されている。このマスクプレート１６には、基板２の電極２ａの配置に応じて上下方向に貫通した複数のパターン孔１６ａが形成されている。また、マスクプレート１６上にはペースト３が供給される。
【００１９】
図１および図３において、スキージユニット１７は、スキージベース１９と、スキージベース１９に保持された一対のスキージ昇降機構２０と、スキージ昇降機構２０の下方から延出したロッド２０ａと結合した一対のスキージホルダ２１と、スキージホルダ２１に保持された一対のスキージ２２を含んで構成される。一対のスキージ２２は板状であり、それぞれ摺動方向に傾斜した姿勢でスキージ昇降機構２０とスキージホルダ２１を介してスキージベース１９に保持された状態となっている。スキージ昇降機構２０を駆動することにより、一対のスキージ２２は個別に昇降する。以下、前方側に配置されたスキージの符号を「２２ａ」、後方側に配置されたスキージの符号を「２２ｂ」とする。また、２つのスキージを区別する必要が無い場合は「スキージ２２」と称する。
【００２０】
図１および図２において、スキージユニット１７はユニット移動機構２３によってＹ方向に移動自在となっている。ユニット移動機構２３は、Ｙ方向に延びた一対のボールねじ２４と、ボールねじ２４を回転駆動する第１の駆動モータ２５を備えている。図２に示すように、一対のボールねじ２４はスキージベース１９の両端部に螺合している。第１の駆動モータ２５を駆動してボールねじ２４を正逆回転させることにより、スキージベース１９はマスクプレート１６の上方で第１の水平方向（Ｙ方向）に移動する。
【００２１】
スキージ２２をマスクプレート１６に接触させた状態で第１の駆動モータ２５を駆動することにより、スキージ２２はスキージベース１９とともにＹ方向に移動する。これにより、スキージ２２はマスクプレート１６上を摺動し、マスクプレート１６の下面に当接した基板２にパターン孔１６ａを介してペースト３が印刷される。このように、スキージ２２はスキージベース１９とともにＹ方向に移動してペースト３が供給されたマスクプレート１６上を摺動することにより、マスクプレート１６の下面に当接した基板２にパターン孔１６ａを介してペースト３を印刷する。
【００２２】
図１、図２、図３および図４において、スキージベース１９の前方側の面（前面）にはペースト供給部２６が設けられている。以下、ペースト供給部２６の詳細な構造について説明する。図４（ａ）において、平板状のプレート部材２７には、Ｘ方向に延びた第２のシリンダ２８（例えばロッドレスシリンダ）と、第２のシリンダ２８の下方においてＸ方向に延びたガイド部材２９が設けられている。第２のシリンダ２８はＸ方向に移動自在なブロック状の移動体２８ａを備えており、両端部に設けられたポート２８ｂからエアを給排することによって移動体２８ａをＸ方向に移動させる。
【００２３】
ガイド部材２９には、ポット３０を保持するポット保持部３１がＸ方向に沿って移動自在に装着されており、ポット保持部３１はさらに移動体２８ａと連結している。第２のシリンダ２８を駆動することにより、ポット保持部３１は移動体２８ａとともにＸ方向に移動する。
【００２４】
ポット３０は上方が開放された円筒状の容器を主体としており、その内部にはペースト３が収容されている。ペースト３は、中蓋３０ｂによって上方から覆われることでポット３０に密封された状態となっている。また、ポット３０の底部にはペースト３を下方に吐出可能な吐出口３０ａが形成されている。吐出口３０ａは、後方側に配置されたスキージ２２ｂからみて当該スキージ２２ｂが摺動する前方に位置している。
【００２５】
図３において、ポット保持部３１は水平な平板状の部材で構成され、ポット３０を挿入可能な複数（ここでは２個）の挿入孔３１ａがＸ方向に並列して設けられている。ポット３０の側面上に設けられた鍔部３０ｃを挿入孔３１ａの縁部に当接させることで、ポット３０はポット保持部３１に保持される。ポット保持部３１は、２個のポット３０をＸ方向に並列して保持することができる。
【００２６】
図３および図４（ｂ）に示すように、プレート部材２７において、ポット保持部３１の上方の位置には第３のシリンダ３２が設けられている。第３のシリンダ３２が有するロッド３２ａの下端部には、円板状のパッド部材３３が固着している。ポット保持部３１に保持された所望のポット３０をパッド部材３３の下方に位置合わせし、この状態で第３のシリンダ３２を駆動してパッド部材３３で中蓋３０ｂを押し下げることで、ポット３０内のペースト３に圧力が加えられる。これにより、吐出口３０ａを介してマスクプレート１６にペースト３が吐出される。便宜上、図４（ａ）では第３のシリンダ３２の図示を省略している。
【００２７】
ポット保持部３１に保持された２個のポット３０のうち一方のポット３０に収容されたペースト３の残量が無くなった場合、第２のシリンダ２８によってポット保持部３１をＸ方向にスライドさせ、他方のポット３０をパッド部材３３の下方に位置合わせする。これにより、ペースト３の供給対象を他方のポット３０に切り換えることができる。
【００２８】
このように、ペースト供給部２６は、プレート部材２７、第２のシリンダ２８、ガイド部材２９、ポット３０、ポット保持部３１、第３のシリンダ３２およびパッド部材３３を含んで構成され、スキージベース１９ともに移動し、マスクプレート１６上にペースト３を供給する。また、ペースト供給部２６は、スキージ２２ｂが摺動する前方に向けてペースト３を吐出する吐出口３０ａを有している。このペースト供給部２６はスキージベース１９の前方側に位置するので、オペレータＯＰはポット３０を容易に交換することができる。
【００２９】
次に、ペースト供給部２６をＸ方向に移動させるための構造について説明する。図３において、スキージベース１９の前方側の面には、Ｘ方向に並行に延びた一対のガイド部材３４と、一対のガイド部材３４の間の位置において当該ガイド部材３４と並行してＸ方向に延びたボールねじ３５が設けられている。ボールねじ３５は、スキージベース１９の端部に設けられた第２の駆動モータ３６（図２）によって回転駆動する。ボールねじ３５にはブロック部材３７が螺合している。ブロック部材３７は、第２の駆動モータ３６によるボールねじ３５の正逆回転によりガイド部材３４に沿ってＸ方向に往復移動する。
【００３０】
ブロック部材３７には、前述したプレート部材２７が固着している。したがって、第２の駆動モータ３６を駆動することにより、ペースト供給部２６はガイド部材３４に沿ってブロック部材３７とともにＸ方向に移動する。上記構成において、ガイド部材３４、ボールねじ３５、第２の駆動モータ３６、およびブロック部材３７は、ペースト供給部２６を第２の水平方向（Ｘ方向）に移動させるペースト供給部移動手段となっている。また、ペースト供給部２６は、ペースト供給部移動手段を介して第１の水平方向（Ｙ方向）と水平面内において直交する第２の水平方向（Ｘ方向）に往復移動可能にスキージベース１９に取り付けられている。これにより、ペースト供給部２６はＸ方向に移動しながらマスクプレート１６にペースト３を供給することができる。
【００３１】
次に図５および図６を参照して、マスクプレート１６に供給されたペースト３の残量を検出する残量検出用のセンサユニットについて説明する。前方側に配置されたスキージホルダ２１の両側端部には、該スキージホルダ２１が保持するスキージ２２ａの摺動方向における前面に位置してセンサユニット３８ａ，３８ｂが設けられている。センサユニット３８ａ，３８ｂは、センサ３９を構成する透光部３９ａ，受光部３９ｂをそれぞれ屈曲板状のブラケット４０によってスキージホルダ２１に固定した構成となっている。透光部３９ａ，受光部３９ｂは、同じくセンサ３９を構成するコントローラ３９ｃと接続されている（図６）。なお、図３ではセンサユニット３８ａ，３８ｂの図示を省略している。
【００３２】
透光部３９ａと受光部３９ｂは、スキージ２２ａの摺動方向の前面であって、且つＸ方向において相対向する位置にある。透光部３９ａから投射された帯状の検査光４１が図５（ｃ）の破線枠で示す検査断面領域４１＊を透過して受光部３９ｂに受光される過程において、コントローラ３９ｃは検査断面領域４１＊に存在するペースト３のサイズを計測する。すなわち図６に示すように、照射幅Ａで透光部３９ａから投射された検査光４１が受光部３９ｂに到達する経路にペースト３が存在する場合、受光部３９ｂはペースト３のサイズに相当する遮光幅Ａ２を受光せず、受光幅Ａ１のみを受光する。コントローラ３９ｃは、受光部３９ｂの受光結果に基づいて、ペースト３の一次元サイズをデジタルのセンサ値として計測する。なお、ペースト３のサイズを計測する手段は前述のものに限られず、種々の構成を採用してもよい。
【００３３】
次に図７を参照して、制御系の構成について説明する。スクリーン印刷装置１が備える制御部４２は、記憶部４３、機構駆動部４４、ペースト残量検出部４５、およびペースト補給処理部４６を含んで構成される。この制御部４２は、Ｙ軸テーブル７ａ、Ｘ軸テーブル７ｂ、θ軸テーブル７ｃ、第１昇降モータ９ａ、第２昇降モータ１０ａ、第１のシリンダ１５、スキージ昇降機構２０、第１の駆動モータ２５、第２のシリンダ２８、第３のシリンダ３２、第２の駆動モータ３６およびセンサ３９と接続されている。
【００３４】
記憶部４３は、スクリーン印刷を実行するための印刷動作プログラムや印刷条件データの他、ペースト残量検出データ、ペースト補給データを記憶する。ペースト残量検出データは、センサ３９による計測結果に基づいてペースト３の残量を検出するために必要なデータである。ペースト補給データは、ペースト３の残量の検出結果に基づいてペースト補給作業を実行するためのデータであり、ペースト３の補給要否を判断するための閾値に関する情報を含む。
【００３５】
機構駆動部４４は、制御部４２に制御されて基板位置決め部４とペースト印刷部５の各機構を駆動する。これにより、基板２を対象とした搬送作業、位置決め作業、印刷作業が実行される。ペースト残量検出部４５は、センサ３９による計測結果に基づいてマスクプレート１６上のペースト３の残量を検出する。
【００３６】
ペースト補給処理部４６は、ペースト３の残量の検出結果に基づいて、マスクプレート１６にペースト３を補給する必要があるか否かを判断する。ペースト３を補給する必要があると判断したとき、ペースト補給処理部４６はペースト供給部２６およびペースト供給部移動手段の各機構を制御する。これにより、ペースト補給作業が実行される。
【００３７】
本実施の形態におけるスクリーン印刷装置１は以上のように構成される。次に、図８のフローチャートおよび図９の動作説明図を参照してスクリーン印刷方法について説明する。以下、前方側に配置されたスキージ２２ａを「一方のスキージ」、後方側に配置されたスキージ２２ｂを「他方のスキージ」と称する。
【００３８】
まず、搬送コンベア１２はｎ枚目の基板２を所定の位置まで搬送する（ＳＴ１：基板搬送工程）。次いで、クランプ部材１４は所定のクランプ位置まで上昇した基板２を保持する（ＳＴ２：基板保持工程）。次いで、基板位置決め部４は基板２を水平面内において位置決めする（ＳＴ３：基板位置決め工程）。これにより、基板２の電極２ａとマスクプレート１６のパターン孔１６ａが上下方向において一致する。次いで図９（ａ）に示すように、基板下受部１３は上昇することにより（矢印ａ）、マスクプレート１６の下面に基板２を当接させる（ＳＴ４：基板当接工程）。
【００３９】
次いで、ペースト３の印刷が行われる（ＳＴ５：印刷工程）。すなわち図９（ｂ）に示すように、スキージベース１９を前方へ移動させた状態で、一方のスキージ２２ａはマスクプレート１６に対して下降する（矢印ｂ）。そして図９（ｃ）に示すように、一方のスキージ２２ａがマスクプレート１６と接触した状態で、スキージベース１９は前方から後方に向かって移動する（矢印ｃ）。これにより、スキージ２２ａはマスクプレート１６上を摺動し、予めマスクプレート１６に供給されたペースト３がパターン孔１６ａを介して基板２の電極２ａに印刷される。すなわち（ＳＴ５）では、スキージベース１９とともにスキージ２２が第１の水平方向に移動してマスクプレート１６上を摺動することにより、マスクプレート１６の下面に当接した基板２にパターン孔１６ａを介してペースト３を印刷する。その後、一方のスキージ２２ａは上昇する。
【００４０】
基板２にペースト３が印刷された後、基板２の搬出が行われる（ＳＴ６：第１の基板搬出工程）。すなわち、基板下受部１３は下降することにより基板２をマスクプレート１６から引き離す。そして、クランプ部材１４による基板２の保持を解除した後、搬送コンベア１２は基板２を搬出位置まで搬送する。その後、基板２はスクリーン印刷装置１から搬出される。
【００４１】
ｎ枚目の基板２を搬出したならば、（ＳＴ１）に戻って搬送コンベア１２はｎ＋１枚目の基板２を所定の位置まで搬送する。以後、前述した各工程が再び実行される。なお、他方のスキージ２２ｂを用いてペースト３を印刷する場合は、他方のスキージ２２ｂを下降させてマスクプレート１６に接触させる。そして、この状態で他方のスキージ２２ｂを後方から前方に向かって摺動させる。
【００４２】
次に、図１０のフローチャートを参照して、マスクプレート１６にペースト３を補給するためのペースト補給処理について説明する。まず、一方のスキージ２２ａが前方から後方へ摺動している間の所定のタイミングで、センサ３９はマスクプレート１６上のペースト３のサイズを計測する（ＳＴ１１：ペースト計測工程）。計測するタイミングは、例えば、基板２の水平面内における中心と対応する位置［Ｐ］（図９（ｃ））を一方のスキージ２２ａが通過する前後に設定する。次いで、制御部４２（ペースト残量検出部４５）は計測結果に基づいてペースト３の残量を検出する（ＳＴ１２：ペースト残量検出工程）。
【００４３】
次いで、制御部４２（ペースト補給処理部４６）はペースト３の残量の検出結果に基づいてペースト３の残量が所定以下であるか否かを判断する（ＳＴ１３：ペースト残量判断工程）。ペースト３の残量が所定以下でないと判断したとき、ペースト補給処理は終了する。また、ペースト３の残量が所定以下であると判断したとき、他方のスキージ２２ｂが摺動している間にペースト供給部２６はペースト３をマスクプレート１６に供給する（ＳＴ１４：ペースト供給工程）。
【００４４】
以下、図１１および図１２を参照して、ペースト３の具体的な供給動作について説明する。図１２（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）は図１１（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）に対応しており、マスクプレート１６を平面視したものである。図１１（ａ），図１２（ａ）は、マスクプレート１６と接触した他方のスキージ２２ｂが摺動を開始する直前の状態を示し、このときペースト供給部２６は一端部（図１２（ａ）において紙面上側）に予め位置している。
【００４５】
図１１（ａ），図１２（ａ）に示す状態から、他方のスキージ２２ｂが後方から前方へ摺動を開始した後の所定のタイミングで、ペースト供給部２６はＸ方向に移動しながらポット３０の吐出口３０ａからペースト３を吐出する（図１１（ｂ）→図１１（ｃ））。すなわち、印刷工程（ＳＴ５）において、マスクプレート１６上でスキージ２２（他方のスキージ２２ｂ）が摺動しながら、ペースト供給部２６は第２の水平方向（Ｘ方向）に移動しながらマスクプレート１６にペースト３を供給する。このように本実施の形態では、基板２へのペースト３の印刷と、マスクプレート１６へのペースト３の補給が並行して行われる。
【００４６】
これにより、図１２（ｂ），（ｃ）に示すように、吐出口３０ａから吐出した新たなペースト３ａはマスクプレート１６上において斜め方向（一方のスキージ２２ｂの摺動方向と交差する方向）に供給される。吐出口３０ａを介してマスクプレート１６に供給された新たなペースト３ａは、マスクプレート１６上を摺動する他方のスキージ２２ｂによって掻き寄せられるとともに、マスクプレート１６上に残存する古いペースト３と混ざり合う。そして図１１（ｄ），図１２（ｄ）に示すように、他方のスキージ２２ｂが前方まで移動した任意のタイミングでペースト供給部２６はペースト３の供給を停止する。
【００４７】
前述した態様でペースト３を供給することにより、次のような作用効果を得ることができる。まず、ペースト３を補給するために印刷動作（言い換えればスキージ２２の摺動）を停止させる必要がなく、生産性の低下を抑制することができる。また、ペースト供給部２６は他方のスキージ２２ｂの摺動方向と直交するＸ方向に移動しながらペースト３を供給することで、他方のスキージ２２ｂの長手方向に亘ってペースト３を均一に分散させることができる。さらに、マスクプレート１６上に新たに供給されたペースト３ａは、他方のスキージ２２ｂの摺動により撹拌を受けて既になじんだ状態の古いペースト３と混ざり合うため、該ペースト３ａを素早くなじませることができる。これに関連して、スクリーン印刷を開始する前に、スキージ２２を往復移動させて新旧のペースト３を撹拌してなじませる必要がなく、生産性のさらなる低下を抑制することができる。
【００４８】
なお、ペースト供給部２６はペースト３の吐出と停止を繰り返しながら移動してもよい。また、ペースト供給開始のタイミングは、他方のスキージ２２ｂが摺動を開始する前でもよい。さらに、ペースト供給部２６は往復移動しながらペースト３を供給してもよい。要するに、他方のスキージ２２ｂが摺動している間にペースト供給部２６によってペースト３を供給すればよい。
【００４９】
次に図１３を参照して、その他の実施例について説明する。図１３（ａ）は、マスクプレート１６の下面に基板２を当接させた状態において、基板２の水平面内における中心をＹ方向に通過するラインＣＬの近傍に、ペースト供給部２６が有する吐出口３０ａを位置合わせした状態を示している。このままの状態で、図１３（ｂ）に示すように、マスクプレート１６上でスキージ２２（他方のスキージ２２ｂ）が摺動しながら（矢印ｆ）、ペースト供給部２６はマスクプレート１６にペースト３を供給する。すなわち、この例ではペースト供給部２６をＸ方向に移動させずにペースト３を供給しており、ラインＣＬ上に新たなペースト３ａが供給される。そして、マスクプレート１６上に供給された新たなペースト３ａは、他方のスキージ２２ｂによって掻き寄せられつつ長手方向に徐々に広がっていく（矢印ｅ）。すなわち、このような態様でペースト３を供給しても、新たなペースト３ａはラインＣＬの近傍で溜まることなく他方のスキージ２２ｂの長手方向に分散する効果が期待できる。
【００５０】
本発明のスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法は本実施の形態に限定されず、発明の趣旨を逸脱しない範囲で変更可能である。例えば、センサユニットを他方のスキージ２２ｂに設け、該センサユニットによる計測結果に基づいてペースト補給の要否を判断してもよい。この場合、一方のスキージ２２ａを前方から後方に向かって摺動させ、その後に他方のスキージ２２ｂを後方から前方に向かって摺動させる間にペースト３を供給する。また、ペースト供給部２６はマスクプレート１６にペースト３を供給可能な構成であればよく、例えば、ペースト３を収容したシリンジをペースト供給部２６として用いてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明によれば、生産性の低下を防止してマスクプレート上にペーストを供給することができ、電子部品実装分野において有用である。
【符号の説明】
【００５２】
１  スクリーン印刷装置
２  基板
２ａ  電極
３  ペースト
１６  マスクプレート
１６ａ  パターン孔
１９  スキージベース
２２  スキージ
２６  ペースト供給部
３０ａ  吐出口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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