(57)【要約】【課題】小さな画素ピッチで高精度に配列された着色層を有するカラーフィルタ基板を提供する。【解決手段】カラーフィルタ基板１００は、基板１１と、ＢＭ層５０と、第１及び第２着色層２０，３０と、第１及び第２位置精度マーク８１，８２と、を備える。第１及び第２位置精度マークは、それぞれ、位置精度マーク用ＢＭ層８４と、位置精度マーク用ＢＭ層上に設けられた位置精度マーク用第１着色層８５と、位置精度マーク用第１着色層から画素ピッチだけずれて位置精度マーク用ＢＭ層及び位置精度マーク用第１着色層上に設けられた位置精度マーク用第２着色層８６と、を有する。位置精度マーク用ＢＭ層、位置精度マーク用第１着色層、及び、位置精度マーク用第２着色層の形状は、２組以上の向かい合う辺を含む多角形である。位置精度マーク用第２着色層の２組の向かい合う辺のそれぞれの少なくとも一部は、位置精度マーク用第１着色層に重なっていない。【選択図】図５
2016057622.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板上のカラーフィルタ形成領域に設けられ、予め定められた画素ピッチで第１の方向に沿って並ぶ複数の開口が形成されたブラックマトリクス層と、
前記ブラックマトリクス層の少なくとも前記複数の開口内に設けられた第１着色層及び第２着色層と、
前記基板上の前記カラーフィルタ形成領域以外に設けられ、予め定められたピッチで前記第１の方向に沿って並ぶ第１位置精度マーク及び第２位置精度マークと、を備え、
前記第１及び第２位置精度マークは、それぞれ、
位置精度マーク用ブラックマトリクス層と、
前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層上に設けられた、前記第１着色層と同色の位置精度マーク用第１着色層と、
前記位置精度マーク用第１着色層から前記第１の方向に前記画素ピッチだけずれて前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層及び前記位置精度マーク用第１着色層上に設けられた、前記第２着色層と同色の位置精度マーク用第２着色層と、を有し、
前記位置精度マーク用第１着色層及び前記位置精度マーク用第２着色層の面積は、前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の面積より狭く、
前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層、前記位置精度マーク用第１着色層、及び、前記位置精度マーク用第２着色層の形状は、２組以上の向かい合う辺を含む多角形であり、
前記位置精度マーク用第２着色層の２組の前記向かい合う辺のそれぞれの少なくとも一部は、前記位置精度マーク用第１着色層に重なっていない、カラーフィルタ基板。
【請求項２】
基板と、
前記基板上のカラーフィルタ形成領域に設けられ、予め定められた画素ピッチで第１の方向に沿って並ぶ複数の開口が形成されたブラックマトリクス層と、
前記ブラックマトリクス層の少なくとも前記複数の開口内に設けられた第１着色層及び第２着色層と、
前記基板上の前記カラーフィルタ形成領域以外に設けられ、予め定められたピッチで前記第１の方向に沿って並ぶ第１位置精度マーク及び第２位置精度マークと、を備え、
前記第１及び第２位置精度マークは、それぞれ、
開口が形成された位置精度マーク用ブラックマトリクス層と、
前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の開口に設けられた、前記第１着色層と同色の位置精度マーク用第１着色層と、
前記位置精度マーク用第１着色層から前記第１の方向に前記画素ピッチだけずれて前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の開口及び前記位置精度マーク用第１着色層上に設けられた、前記第２着色層と同色の位置精度マーク用第２着色層と、を有し、
前記位置精度マーク用第１着色層及び前記位置精度マーク用第２着色層の面積は、前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の開口の面積より狭く、
前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の開口、前記位置精度マーク用第１着色層、及び、前記位置精度マーク用第２着色層の形状は、２組以上の向かい合う辺を含む多角形であり、
前記位置精度マーク用第２着色層の２組の前記向かい合う辺のそれぞれの少なくとも一部は、前記位置精度マーク用第１着色層に重なっていない、カラーフィルタ基板。
【請求項３】
前記多角形の前記向かい合う辺は平行である、請求項１又は請求項２に記載のカラーフィルタ基板。
【請求項４】
前記多角形は四角形である、請求項１から請求項３の何れかに記載のカラーフィルタ基板。
【請求項５】
前記多角形は菱形である、請求項１から請求項４の何れかに記載のカラーフィルタ基板。
【請求項６】
前記多角形の少なくとも１組の前記向かい合う辺の各辺は、前記第１の方向に対して非平行である、請求項１から請求項５の何れかに記載のカラーフィルタ基板。
【請求項７】
前記画素ピッチは、２０μｍから８０μｍの範囲である、請求項１から請求項６の何れかに記載のカラーフィルタ基板。
【請求項８】
請求項１から請求項７の何れかに記載のカラーフィルタ基板の前記カラーフィルタ形成領域に形成されたカラーフィルタと、
前記カラーフィルタに対向するよう配置され、前記カラーフィルタへ向けて光を出射する表示部と、
を備える表示装置。
【請求項９】
基板を準備する工程と、
前記基板上のカラーフィルタ形成領域に、予め定められた画素ピッチで第１の方向に沿って並ぶ複数の開口を有するブラックマトリクス層を形成し、前記基板上の前記カラーフィルタ形成領域以外に、予め定められた第１ピッチで前記第１の方向に沿って並ぶ位置精度マーク用ブラックマトリクス層を形成する工程と、
前記ブラックマトリクス層及び前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層が形成された基板上に、第１の感光性着色層用塗工液を塗布する第１の塗布工程と、
前記第１の塗布工程の後、一部の前記開口上に位置するカラーフィルタ用開口部と、前記各位置精度マーク用ブラックマトリクス層上に位置する位置精度マーク用開口部と、を有する露光マスクを用いて前記基板を露光する第１の露光工程と、
前記第１の露光工程の後、前記基板を現像し、第１着色層および位置精度マーク用第１着色層を形成する第１の現像工程と、
前記第１着色層および前記位置精度マーク用第１着色層が形成された基板上に、第２の感光性着色層用塗工液を塗布する第２の塗布工程と、
前記第２の塗布工程の後、前記第１の露光工程における位置から前記画素ピッチだけ前記第１の方向に移動させた前記露光マスクを用いて前記基板を露光する第２の露光工程と、
前記第２の露光工程の後、前記基板を現像し、第２着色層および位置精度マーク用第２着色層を形成する第２の現像工程と、
を備え、
前記露光マスクの前記位置精度マーク用開口部の面積は、前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の面積より狭く、
前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層、及び、前記位置精度マーク用開口部の形状は、２組以上の向かい合う辺を含む多角形であり、
前記第２の露光工程において、前記露光マスクの前記位置精度マーク用開口部の２組の向かい合う辺のそれぞれの少なくとも一部は、前記位置精度マーク用第１着色層に重なっていない、カラーフィルタの製造方法。
【請求項１０】
基板を準備する工程と、
前記基板上のカラーフィルタ形成領域に、予め定められた画素ピッチで第１の方向に沿って並ぶ複数の開口を有するブラックマトリクス層を形成し、前記基板上の前記カラーフィルタ形成領域以外に、予め定められた第１ピッチで前記第１の方向に沿って並ぶ開口が形成された位置精度マーク用ブラックマトリクス層を形成する工程と、
前記ブラックマトリクス層及び前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層が形成された基板上に、第１の感光性着色層用塗工液を塗布する第１の塗布工程と、
前記第１の塗布工程の後、前記ブラックマトリクス層の一部の前記開口上に位置するカラーフィルタ用開口部と、前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の各開口上に位置する位置精度マーク用開口部と、を有する露光マスクを用いて前記基板を露光する第１の露光工程と、
前記第１の露光工程の後、前記基板を現像し、第１着色層および位置精度マーク用第１着色層を形成する第１の現像工程と、
前記第１着色層および前記位置精度マーク用第１着色層が形成された基板上に、第２の感光性着色層用塗工液を塗布する第２の塗布工程と、
前記第２の塗布工程の後、前記第１の露光工程における位置から前記画素ピッチだけ前記第１の方向に移動させた前記露光マスクを用いて前記基板を露光する第２の露光工程と、
前記第２の露光工程の後、前記基板を現像し、第２着色層および位置精度マーク用第２着色層を形成する第２の現像工程と、
を備え、
前記露光マスクの前記位置精度マーク用開口部の面積は、前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の開口の面積より狭く、
前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の開口、及び、前記位置精度マーク用開口部の形状は、２組以上の向かい合う辺を含む多角形であり、
前記第２の露光工程において、前記露光マスクの前記位置精度マーク用開口部の２組の向かい合う辺のそれぞれの少なくとも一部は、前記位置精度マーク用第１着色層に重なっていない、カラーフィルタの製造方法。
【請求項１１】
前記第１の現像工程の後、前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の重心を算出し、前記位置精度マーク用第１着色層の重心を算出し、算出された２つの重心に基づいて前記第１着色層の位置を検査する第１の検査工程と、
前記第２の現像工程の後、前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の重心を算出し、前記位置精度マーク用第２着色層の辺の前記位置精度マーク用第１着色層に重なっていない部分を用いて前記位置精度マーク用第２着色層の重心を算出し、算出された２つの重心に基づいて前記第２着色層の位置を検査する第２の検査工程と、
を備える、請求項９又は請求項１０に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１２】
前記露光マスクの前記位置精度マーク用開口部は、前記第１ピッチから前記画素ピッチを減算した第２ピッチで前記第１の方向に沿って並んでいる、請求項９から請求項１１の何れかに記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１３】
基板と、
前記基板上のカラーフィルタ形成領域に設けられ、予め定められた画素ピッチで第１の方向に沿って並ぶ複数の開口が形成されたブラックマトリクス層と、
前記ブラックマトリクス層の少なくとも前記複数の開口内に設けられた第１着色層及び第２着色層と、
前記基板上の前記カラーフィルタ形成領域以外に設けられ、予め定められたピッチで前記第１の方向に沿って並ぶ第１位置精度マーク及び第２位置精度マークと、を備え、
前記第１及び第２位置精度マークは、それぞれ、
位置精度マーク用ブラックマトリクス層と、
前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層上に設けられた、前記第１着色層と同色の位置精度マーク用第１着色層と、
前記位置精度マーク用第１着色層から前記第１の方向に前記画素ピッチだけずれて前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層及び前記位置精度マーク用第１着色層上に設けられた、前記第２着色層と同色の位置精度マーク用第２着色層と、を有し、
前記位置精度マーク用第１着色層及び前記位置精度マーク用第２着色層の面積は、前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の面積より狭く、
前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層、前記位置精度マーク用第１着色層、及び、前記位置精度マーク用第２着色層の形状は、三角形であり、
前記位置精度マーク用第２着色層の少なくとも２つの角は、前記位置精度マーク用第１着色層に重なっていない、カラーフィルタ基板。
【請求項１４】
基板と、
前記基板上のカラーフィルタ形成領域に設けられ、予め定められた画素ピッチで第１の方向に沿って並ぶ複数の開口が形成されたブラックマトリクス層と、
前記ブラックマトリクス層の少なくとも前記複数の開口内に設けられた第１着色層及び第２着色層と、
前記基板上の前記カラーフィルタ形成領域以外に設けられ、予め定められたピッチで前記第１の方向に沿って並ぶ第１位置精度マーク及び第２位置精度マークと、を備え、
前記第１及び第２位置精度マークは、それぞれ、
開口が形成された位置精度マーク用ブラックマトリクス層と、
前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の開口に設けられた、前記第１着色層と同色の位置精度マーク用第１着色層と、
前記位置精度マーク用第１着色層から前記第１の方向に前記画素ピッチだけずれて前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の開口及び前記位置精度マーク用第１着色層上に設けられた、前記第２着色層と同色の位置精度マーク用第２着色層と、を有し、
前記位置精度マーク用第１着色層及び前記位置精度マーク用第２着色層の面積は、前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の開口の面積より狭く、
前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の開口、前記位置精度マーク用第１着色層、及び、前記位置精度マーク用第２着色層の形状は、三角形であり、
前記位置精度マーク用第２着色層の少なくとも２つの角は、前記位置精度マーク用第１着色層に重なっていない、カラーフィルタ基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示装置等に用いられるカラーフィルタを備えるカラーフィルタ基板、表示装置、及び、カラーフィルタの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、平面ディスプレイとして液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置などが実用化されている。これらの表示装置においては、一般に、光源からの光のうち所望の波長の光のみを取り出すため、または、光源からの光の色純度を向上させるため、カラーフィルタが設けられている。カラーフィルタは、一般に、基板上に所定のパターンで設けられ、光源からの光を遮蔽するブラックマトリクス層と、ブラックマトリクス層に形成された開口部に設けられ、光源からの光のうち所望の波長を有する光のみを透過させる着色層と、を備えている。
【０００３】
カラーフィルタを製造する方法として、基板上にブラックマトリクス層を形成する工程と、ブラックマトリクス層の開口部に複数色の着色層を形成する工程と、を備えたカラーフィルタの製造方法が知られている。各着色層は、感光性を有する着色層用材料を、露光処理および現像処理を含むフォトリソグラフィー法によりパターニングすることによって形成される層である。各着色層を形成する際、露光処理に用いる露光マスクを共用することにより、低コストでカラーフィルタを製造することができる。
【０００４】
このようなカラーフィルタの製造工程中で、位置精度マークを用いて、着色層が形成された位置が適切な位置からずれていないか定期的に検査する技術が提案されている。
【０００５】
図１４〜図１７は、従来のカラーフィルタの製造工程を示す平面図である。最初に、図１４に示す複数の開口ＯＰ１Ｘを有するブラックマトリクス層５０Ｘと、位置精度マーク用ブラックマトリクス層８４Ｘ，９４Ｘと、が形成された基板を準備する。ブラックマトリクス層５０Ｘと、位置精度マーク用ブラックマトリクス層８４Ｘ，９４Ｘとは、実際には図示した例よりも離れている。３つの位置精度マーク用ブラックマトリクス層８４Ｘは、正方形である。位置精度マーク用ブラックマトリクス層９４Ｘは、３つの正方形の開口を有する。
【０００６】
次に、基板上の全面に、赤色着色層用材料を含む赤色着色層用塗工液を塗布する。次に、赤色着色層用塗工液を加熱して得られた赤色着色層用材料２２Ｘを、カラーフィルタ用開口部２６Ｘ、位置精度マーク用開口部２７Ｘ及び遮光部２８Ｘを有する露光マスク２５Ｘを用いて、露光する（図１５（ａ）参照）。次に、着色層用材料２２Ｘを現像して、ブラックマトリクス層５０Ｘの開口ＯＰ１Ｘに赤色着色層２０Ｘを形成し、左側の位置精度マーク用ブラックマトリクス層８４Ｘ上に位置精度マーク用赤色着色層８５Ｘを形成する（図１５（ｂ）参照）。また、位置精度マーク用ブラックマトリクス層９４Ｘ内の左側の開口に、位置精度マーク用赤色着色層９５Ｘを形成する。
【０００７】
ここで、位置ずれを検査する場合には、左側の位置精度マーク用ブラックマトリクス層８４Ｘの重心を算出し、位置精度マーク用赤色着色層８５Ｘの重心を算出し、２つの重心の差が許容値以下であれば、次の工程に進む。一方、重心の差が許容値を超えていれば、赤色着色層２０Ｘの位置も予定された位置から許容値を超えてずれているため、製造を中断して露光機のアライメント条件を調整する。これにより、以降に形成する赤色着色層２０Ｘの位置精度を向上できる。
【０００８】
重心の算出は、位置精度マーク用ブラックマトリクス層８４Ｘを顕微鏡で観察した画像を用いて、正方形の向かい合う対辺から等距離に平行線を引き、2組の対辺から求めた2つの平行線の交点を重心の座標とする。位置精度マーク用赤色着色層８５Ｘについても同様である。
【０００９】
位置精度マーク用ブラックマトリクス層９４Ｘ内の左側の開口の重心を算出し、位置精度マーク用赤色着色層９５Ｘの重心を算出し、同様の検査を行ってもよい。
【００１０】
次に、基板上に緑色着色層用材料３２Ｘを形成し、図１５（ａ）と同一の露光マスク２５Ｘを１画素ピッチだけｘ方向にずらして露光する（図１６（ａ）参照）。これにより、緑色着色層３０Ｘを形成し、中央の位置精度マーク用ＢＭ層８４Ｘ上に位置精度マーク用緑色着色層８６Ｘを形成し、位置精度マーク用ブラックマトリクス層９４Ｘ内の中央の開口に、位置精度マーク用緑色着色層９６Ｘを形成する（図１６（ｂ）参照）。そして、中央の位置精度マーク用ブラックマトリクス層８４Ｘの重心と、位置精度マーク用赤色着色層８６Ｘの重心とを用いて、緑色着色層３０Ｘの位置ずれを検査する。
【００１１】
次に、基板上に青色着色層用材料４２Ｘを形成し、露光マスク２５Ｘを更に１画素ピッチだけｘ方向にずらして露光する（図１７（ａ）参照）。これにより、青色着色層４０Ｘを形成し、右側の位置精度マーク用ＢＭ層８４Ｘ上に位置精度マーク用青色着色層８７Ｘを形成し、位置精度マーク用ブラックマトリクス層９４Ｘ内の右側の開口に、位置精度マーク用青色着色層９７Ｘを形成する（図１７（ｂ）参照）。そして、右側の位置精度マーク用ブラックマトリクス層８４Ｘの重心と、位置精度マーク用青色着色層８７Ｘの重心とを用いて、青色着色層４０Ｘの位置ずれを検査する。
【００１２】
このような位置精度マークを用いる技術に関連して、例えば、特許文献１に記載の技術も知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開平１０−１１５７０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
ところで近年、スマートフォンやタブレット用のカラーフィルタが開発されている。図１８（ａ）に示すように、このようなカラーフィルタの画素ピッチは、上記従来の画素ピッチ（例えば、１００μ以上）より小さく、例えば２０μｍ〜８０μｍ程度である。この場合、上記従来の方法を用いて検査するためには、図１８（ｂ）に示すように、画素ピッチに合わせて位置精度マークを小さくする必要がある。
【００１５】
しかしながら、１つの位置精度マーク用着色層のサイズは画素ピッチの半分程度であるため、現像精度の限界などにより、このようなサイズの位置精度マーク用着色層を形成することは困難である。
【００１６】
そこで、位置精度マークを小さくしないことも考えられるが、この場合には、図１８（ｃ）に示すように、位置精度マーク用緑色着色層８６Ｘの左側部分は位置精度マーク用赤色着色層８５Ｘ上に重なり、位置精度マーク用青色着色層８７Ｘの左側部分は位置精度マーク用緑色着色層８６Ｘ上に重なる。重心の算出に用いられる画像は白黒の画像であるため、互いに１画素ピッチだけ離れている位置精度マーク用赤色着色層８５Ｘの左辺と、位置精度マーク用緑色着色層８６Ｘの左辺と、位置精度マーク用青色着色層８７Ｘの左辺とは、区別が付きにくい。従って、これらを誤検出しやすい。位置精度マーク用赤色着色層９５Ｘ、位置精度マーク用緑色着色層９６Ｘ、及び、位置精度マーク用青色着色層９７Ｘに関しても同様である。
【００１７】
また、図１８（ｄ）の断面図に示すように、位置精度マーク用赤色着色層８５Ｘに重なった位置精度マーク用緑色着色層８６Ｘの左側部分と、位置精度マーク用緑色着色層８６Ｘに重なった位置精度マーク用青色着色層８７Ｘの左側部分とは、盛り上がるため、重ならない場合とは位置がずれてしまう。
【００１８】
これらの理由から、位置精度マークを小さくしない場合にも、重心の算出精度が低下する。従って、着色層の位置ずれの検査精度も低下するため、小さな画素ピッチで着色層を高精度に配列できない。
【００１９】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、小さな画素ピッチで高精度に配列された着色層を有するカラーフィルタ基板、表示装置、及び、カラーフィルタの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明の一態様に係るカラーフィルタ基板は、
基板と、
前記基板上のカラーフィルタ形成領域に設けられ、予め定められた画素ピッチで第１の方向に沿って並ぶ複数の開口が形成されたブラックマトリクス層と、
前記ブラックマトリクス層の少なくとも前記複数の開口内に設けられた第１着色層及び第２着色層と、
前記基板上の前記カラーフィルタ形成領域以外に設けられ、予め定められたピッチで前記第１の方向に沿って並ぶ第１位置精度マーク及び第２位置精度マークと、を備え、
前記第１及び第２位置精度マークは、それぞれ、
位置精度マーク用ブラックマトリクス層と、
前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層上に設けられた、前記第１着色層と同色の位置精度マーク用第１着色層と、
前記位置精度マーク用第１着色層から前記第１の方向に前記画素ピッチだけずれて前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層及び前記位置精度マーク用第１着色層上に設けられた、前記第２着色層と同色の位置精度マーク用第２着色層と、を有し、
前記位置精度マーク用第１着色層及び前記位置精度マーク用第２着色層の面積は、前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の面積より狭く、
前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層、前記位置精度マーク用第１着色層、及び、前記位置精度マーク用第２着色層の形状は、２組以上の向かい合う辺を含む多角形であり、
前記位置精度マーク用第２着色層の２組の前記向かい合う辺のそれぞれの少なくとも一部は、前記位置精度マーク用第１着色層に重なっていない。
【００２１】
本発明の他の一態様に係るカラーフィルタ基板は、
基板と、
前記基板上のカラーフィルタ形成領域に設けられ、予め定められた画素ピッチで第１の方向に沿って並ぶ複数の開口が形成されたブラックマトリクス層と、
前記ブラックマトリクス層の少なくとも前記複数の開口内に設けられた第１着色層及び第２着色層と、
前記基板上の前記カラーフィルタ形成領域以外に設けられ、予め定められたピッチで前記第１の方向に沿って並ぶ第１位置精度マーク及び第２位置精度マークと、を備え、
前記第１及び第２位置精度マークは、それぞれ、
開口が形成された位置精度マーク用ブラックマトリクス層と、
前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の開口に設けられた、前記第１着色層と同色の位置精度マーク用第１着色層と、
前記位置精度マーク用第１着色層から前記第１の方向に前記画素ピッチだけずれて前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の開口及び前記位置精度マーク用第１着色層上に設けられた、前記第２着色層と同色の位置精度マーク用第２着色層と、を有し、
前記位置精度マーク用第１着色層及び前記位置精度マーク用第２着色層の面積は、前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の開口の面積より狭く、
前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の開口、前記位置精度マーク用第１着色層、及び、前記位置精度マーク用第２着色層の形状は、２組以上の向かい合う辺を含む多角形であり、
前記位置精度マーク用第２着色層の２組の前記向かい合う辺のそれぞれの少なくとも一部は、前記位置精度マーク用第１着色層に重なっていない。
【００２２】
また、前記カラーフィルタ基板において、
前記多角形の前記向かい合う辺は平行であってもよい。
【００２３】
また、前記カラーフィルタ基板において、
前記多角形は四角形であってもよい。
【００２４】
また、前記カラーフィルタ基板において、
前記多角形は菱形であってもよい。
【００２５】
また、前記カラーフィルタ基板において、
前記多角形の少なくとも１組の前記向かい合う辺の各辺は、前記第１の方向に対して非平行であってもよい。
【００２６】
また、前記カラーフィルタ基板において、
前記画素ピッチは、２０μｍから８０μｍの範囲であってもよい。
【００２７】
本発明の一態様に係る表示装置は、
前記カラーフィルタ基板の前記カラーフィルタ形成領域に形成されたカラーフィルタと、
前記カラーフィルタに対向するよう配置され、前記カラーフィルタへ向けて光を出射する表示部と、
を備える。
【００２８】
本発明の一態様に係るカラーフィルタの製造方法は、
基板を準備する工程と、
前記基板上のカラーフィルタ形成領域に、予め定められた画素ピッチで第１の方向に沿って並ぶ複数の開口を有するブラックマトリクス層を形成し、前記基板上の前記カラーフィルタ形成領域以外に、予め定められた第１ピッチで前記第１の方向に沿って並ぶ位置精度マーク用ブラックマトリクス層を形成する工程と、
前記ブラックマトリクス層及び前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層が形成された基板上に、第１の感光性着色層用塗工液を塗布する第１の塗布工程と、
前記第１の塗布工程の後、一部の前記開口上に位置するカラーフィルタ用開口部と、前記各位置精度マーク用ブラックマトリクス層上に位置する位置精度マーク用開口部と、を有する露光マスクを用いて前記基板を露光する第１の露光工程と、
前記第１の露光工程の後、前記基板を現像し、第１着色層および位置精度マーク用第１着色層を形成する第１の現像工程と、
前記第１着色層および前記位置精度マーク用第１着色層が形成された基板上に、第２の感光性着色層用塗工液を塗布する第２の塗布工程と、
前記第２の塗布工程の後、前記第１の露光工程における位置から前記画素ピッチだけ前記第１の方向に移動させた前記露光マスクを用いて前記基板を露光する第２の露光工程と、
前記第２の露光工程の後、前記基板を現像し、第２着色層および位置精度マーク用第２着色層を形成する第２の現像工程と、
を備え、
前記露光マスクの前記位置精度マーク用開口部の面積は、前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の面積より狭く、
前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層、及び、前記位置精度マーク用開口部の形状は、２組以上の向かい合う辺を含む多角形であり、
前記第２の露光工程において、前記露光マスクの前記位置精度マーク用開口部の２組の向かい合う辺のそれぞれの少なくとも一部は、前記位置精度マーク用第１着色層に重なっていない。
【００２９】
本発明の他の一態様に係るカラーフィルタの製造方法は、
基板を準備する工程と、
前記基板上のカラーフィルタ形成領域に、予め定められた画素ピッチで第１の方向に沿って並ぶ複数の開口を有するブラックマトリクス層を形成し、前記基板上の前記カラーフィルタ形成領域以外に、予め定められた第１ピッチで前記第１の方向に沿って並ぶ開口が形成された位置精度マーク用ブラックマトリクス層を形成する工程と、
前記ブラックマトリクス層及び前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層が形成された基板上に、第１の感光性着色層用塗工液を塗布する第１の塗布工程と、
前記第１の塗布工程の後、前記ブラックマトリクス層の一部の前記開口上に位置するカラーフィルタ用開口部と、前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の各開口上に位置する位置精度マーク用開口部と、を有する露光マスクを用いて前記基板を露光する第１の露光工程と、
前記第１の露光工程の後、前記基板を現像し、第１着色層および位置精度マーク用第１着色層を形成する第１の現像工程と、
前記第１着色層および前記位置精度マーク用第１着色層が形成された基板上に、第２の感光性着色層用塗工液を塗布する第２の塗布工程と、
前記第２の塗布工程の後、前記第１の露光工程における位置から前記画素ピッチだけ前記第１の方向に移動させた前記露光マスクを用いて前記基板を露光する第２の露光工程と、
前記第２の露光工程の後、前記基板を現像し、第２着色層および位置精度マーク用第２着色層を形成する第２の現像工程と、
を備え、
前記露光マスクの前記位置精度マーク用開口部の面積は、前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の開口の面積より狭く、
前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の開口、及び、前記位置精度マーク用開口部の形状は、２組以上の向かい合う辺を含む多角形であり、
前記第２の露光工程において、前記露光マスクの前記位置精度マーク用開口部の２組の向かい合う辺のそれぞれの少なくとも一部は、前記位置精度マーク用第１着色層に重なっていない。
【００３０】
また、前記カラーフィルタの製造方法において、
前記第１の現像工程の後、前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の重心を算出し、前記位置精度マーク用第１着色層の重心を算出し、算出された２つの重心に基づいて前記第１着色層の位置を検査する第１の検査工程と、
前記第２の現像工程の後、前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の重心を算出し、前記位置精度マーク用第２着色層の辺の前記位置精度マーク用第１着色層に重なっていない部分を用いて前記位置精度マーク用第２着色層の重心を算出し、算出された２つの重心に基づいて前記第２着色層の位置を検査する第２の検査工程と、
を備えてもよい。
【００３１】
また、前記カラーフィルタの製造方法において、
前記露光マスクの前記位置精度マーク用開口部は、前記第１ピッチから前記画素ピッチを減算した第２ピッチで前記第１の方向に沿って並んでいてもよい。
【００３２】
本発明の他の一態様に係るカラーフィルタ基板は、
基板と、
前記基板上のカラーフィルタ形成領域に設けられ、予め定められた画素ピッチで第１の方向に沿って並ぶ複数の開口が形成されたブラックマトリクス層と、
前記ブラックマトリクス層の少なくとも前記複数の開口内に設けられた第１着色層及び第２着色層と、
前記基板上の前記カラーフィルタ形成領域以外に設けられ、予め定められたピッチで前記第１の方向に沿って並ぶ第１位置精度マーク及び第２位置精度マークと、を備え、
前記第１及び第２位置精度マークは、それぞれ、
位置精度マーク用ブラックマトリクス層と、
前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層上に設けられた、前記第１着色層と同色の位置精度マーク用第１着色層と、
前記位置精度マーク用第１着色層から前記第１の方向に前記画素ピッチだけずれて前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層及び前記位置精度マーク用第１着色層上に設けられた、前記第２着色層と同色の位置精度マーク用第２着色層と、を有し、
前記位置精度マーク用第１着色層及び前記位置精度マーク用第２着色層の面積は、前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の面積より狭く、
前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層、前記位置精度マーク用第１着色層、及び、前記位置精度マーク用第２着色層の形状は、三角形であり、
前記位置精度マーク用第２着色層の少なくとも２つの角は、前記位置精度マーク用第１着色層に重なっていない。
【００３３】
本発明の他の一態様に係るカラーフィルタ基板は、
基板と、
前記基板上のカラーフィルタ形成領域に設けられ、予め定められた画素ピッチで第１の方向に沿って並ぶ複数の開口が形成されたブラックマトリクス層と、
前記ブラックマトリクス層の少なくとも前記複数の開口内に設けられた第１着色層及び第２着色層と、
前記基板上の前記カラーフィルタ形成領域以外に設けられ、予め定められたピッチで前記第１の方向に沿って並ぶ第１位置精度マーク及び第２位置精度マークと、を備え、
前記第１及び第２位置精度マークは、それぞれ、
開口が形成された位置精度マーク用ブラックマトリクス層と、
前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の開口に設けられた、前記第１着色層と同色の位置精度マーク用第１着色層と、
前記位置精度マーク用第１着色層から前記第１の方向に前記画素ピッチだけずれて前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の開口及び前記位置精度マーク用第１着色層上に設けられた、前記第２着色層と同色の位置精度マーク用第２着色層と、を有し、
前記位置精度マーク用第１着色層及び前記位置精度マーク用第２着色層の面積は、前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の開口の面積より狭く、
前記位置精度マーク用ブラックマトリクス層の開口、前記位置精度マーク用第１着色層、及び、前記位置精度マーク用第２着色層の形状は、三角形であり、
前記位置精度マーク用第２着色層の少なくとも２つの角は、前記位置精度マーク用第１着色層に重なっていない。
【発明の効果】
【００３４】
本発明によれば、小さな画素ピッチで高精度に配列された着色層を有するカラーフィルタ基板、表示装置、及び、カラーフィルタの製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】一実施形態に係るカラーフィルタ基板の平面図である。
【図２】図１のカラーフィルタ基板の１つの露光エリアを拡大して示す平面図である。
【図３】図２の露光エリアの角の領域Ｒ１を拡大して示す平面図である。
【図４】一実施形態に係るカラーフィルタを備えた表示装置の断面図である。
【図５】（ａ）は、図３のカラーフィルタ形成領域の一部をさらに拡大して示す平面図であり、（ｂ）は、図３の位置精度マーク群をさらに拡大して示す平面図である。
【図６】一実施形態に係るカラーフィルタ製造方法を示す図である。
【図７】ＢＭ層形成工程を示す平面図である。
【図８】第１の露光工程を示す平面図である。
【図９】第１の焼成工程によって第１着色層および位置精度マーク用第１着色層が形成された様子を示す平面図である。
【図１０】第２の露光工程を示す平面図である。
【図１１】第２の焼成工程によって第２着色層および位置精度マーク用第２着色層が形成された様子を示す平面図である。
【図１２】第３の露光工程を示す平面図である。
【図１３】一実施形態の変形例に係る第１位置精度マークを示す平面図である。
【図１４】従来のカラーフィルタの製造工程を示す平面図である。
【図１５】従来のカラーフィルタの製造工程を示す平面図である。
【図１６】従来のカラーフィルタの製造工程を示す平面図である。
【図１７】従来のカラーフィルタの製造工程を示す平面図である。
【図１８】画素ピッチが小さい場合の従来のカラーフィルタ及び位置精度マークを示す図である。
【図１９】一実施形態の変形例に係る第１位置精度マークを示す平面図である。
【図２０】（ａ）は、一実施形態の変形例に係る第１位置精度マークを示す平面図であり、（ｂ）は、一実施形態の変形例に係る第２の検査工程における第１位置精度マークの重心の算出方法を説明するための平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。
【００３７】
カラーフィルタ基板
まず図１により、カラーフィルタ基板１００全体について説明する。
図１は、一実施形態に係るカラーフィルタ基板１００の平面図である。図１に示すように、カラーフィルタ基板１００は、複数の露光エリア１１０を含む。図示する例では、４つの露光エリア１１０がマトリクス状に配置されている。１つの露光エリア１１０は、１回で露光できる範囲を示している。つまり、１つの露光エリア１１０の大きさは、後述する露光マスクの大きさに対応している。各露光エリア１１０の４つの角には、それぞれ位置精度マーク群７０が設けられている。
【００３８】
図２は、図１のカラーフィルタ基板１００の１つの露光エリア１１０を拡大して示す平面図である。図２に示すように、カラーフィルタ基板１００は、マトリクス状に並んだ複数のカラーフィルタ形成領域１２０を１つの露光エリア１１０に含む。各カラーフィルタ形成領域１２０には、後述するようにカラーフィルタ１０が形成されている。即ち、カラーフィルタ基板１００には、カラーフィルタ１０が多面付けされている。カラーフィルタ形成領域１２０の外周に沿ってカラーフィルタ基板１００を切断することにより、複数のカラーフィルタ１０を取り出すことができる。
【００３９】
位置精度マーク群７０は、カラーフィルタ形成領域１２０以外であれば、露光エリア１１０の４つの角のみに限らず、任意の位置（例えば、図２の位置７０ａ）に設けられてもよい。
【００４０】
図３は、図２の露光エリア１１０の角の領域Ｒ１を拡大して示す平面図である。領域Ｒ１は、カラーフィルタ形成領域１２０の角部と、位置精度マーク群７０とを含んでいる。図３に示すように、位置精度マーク群７０は、基板１１上に設けられている。位置精度マーク群７０の周囲では、基板１１が露出している。
【００４１】
表示装置
次に、上述のカラーフィルタ基板１００のカラーフィルタ形成領域１２０に形成されたカラーフィルタ１０を備えた表示装置６０について説明する。図４に示すように、表示装置６０は、カラーフィルタ１０と、カラーフィルタ１０に対向するよう配置され、カラーフィルタ１０へ向けて光を出射する表示部１８と、を備えている。
【００４２】
このうちカラーフィルタ１０は、基板１１と、基板１１上に設けられたブラックマトリクス層（以下、ＢＭ層と称す）５０と、ＢＭ層５０間に設けられた複数の第１着色層２０，第２着色層３０及び第３着色層４０（以下、単に着色層と称す場合もある）と、を有している。また表示部１８は、ＴＦＴ基板１５と、ＴＦＴ基板１５とカラーフィルタ１０との間に介在され、ＴＦＴ基板１５からの電圧により制御される液晶１７と、を有している。また表示部１８は、図示はしないが、バックライトユニットや偏光板をさらに有している。このような表示部１８を用いることにより、カラーフィルタ１０へ向けて選択的に光を出射することができる。なお「選択的に光を出射する」とは、表示装置６０の単位画素に応じて光の強度が調整されていることを意味する。
【００４３】
図４に示すように、カラーフィルタ１０の各着色層２０，３０，４０およびＢＭ層５０は、オーバーコート膜１２によって覆われていてもよい。これによって、各着色層２０，３０，４０およびＢＭ層５０を外部環境から保護するとともに、各着色層２０，３０，４０およびＢＭ層５０に含まれる不純物などが外部に流出することを防ぐことができる。
【００４４】
カラーフィルタ及び位置精度マーク群
次に図４，５を参照して、カラーフィルタ基板１００のカラーフィルタ１０及び位置精度マーク群７０について詳細に説明する。
【００４５】
図５（ａ）は、図３のカラーフィルタ形成領域１２０（即ち、カラーフィルタ１０）の一部をさらに拡大して示す平面図であり、図５（ｂ）は、図３の位置精度マーク群７０をさらに拡大して示す平面図である。図５（ａ）は、カラーフィルタ１０を図４の矢印II方向から見た場合を示す。
【００４６】
（基板）
基板１１としては、各着色層２０，３０，４０、ＢＭ層５０、位置精度マーク群７０を適切に支持することができ、かつ透明性を有する様々な材料が用いられ、例えばガラスやポリマーなどが用いられる。
【００４７】
（ＢＭ層）
ＢＭ層５０は、基板１１上のカラーフィルタ形成領域１２０に設けられ、予め定められた画素ピッチｐ１でｘ方向（第１の方向）に沿って並ぶ複数の開口ＯＰ１が形成されている。画素ピッチｐ１は、例えば、２０μｍ〜８０μｍである。これらの開口ＯＰ１は、予め定められたピッチｐ２で、ｘ方向に直交するｙ方向に沿って並んでいる。
【００４８】
ＢＭ層５０は、表示部１８からの光を遮蔽するよう構成されている。本実施形態では、ＢＭ層５０はマトリックス状のパターンを有している。なお、具体的なパターンは特には限定されない。
【００４９】
ＢＭ層５０の材料としては、所望の遮光性を有するものであれば特に限定されない。例えば、カーボンブラック、チタンブラック等の黒色着色材を含有する樹脂組成物等が挙げられる。この樹脂組成物に用いられる樹脂としては、例えば、アクリレート系、メタクリレート系、ポリ桂皮酸ビニル系、もしくは環化ゴム系等の反応性ビニル基を有する感光性樹脂が使用される。
【００５０】
（着色層）
次に、カラーフィルタ１０の各着色層２０，３０，４０について説明する。各着色層２０，３０，４０の具体的なパターンは特には限定されないが、本実施形態においては、各着色層２０，３０，４０がストライプ状に形成されている形態について説明する。この場合、図５（ａ）に示すように、各着色層２０，３０，４０は、画素ピッチｐ１でｘ方向に沿って順に並ぶよう基板１１に設けられている。各着色層２０，３０，４０は、ｙ方向に延びている。
【００５１】
ＢＭ層５０の１つの開口ＯＰ１は、着色層２０，３０，４０のうちの何れかにより覆われている。そして、第１着色層２０、第２着色層３０及び第３着色層４０は、ＢＭ層５０の複数の開口ＯＰ１内に設けられている。
【００５２】
第１着色層２０は、例えば赤色光を透過させる赤色着色層からなっており、第２着色層３０は、緑色光を透過させる緑色着色層からなっており、第３着色層４０は、青色光を透過させる青色着色層からなっている。各着色層２０，３０，４０は、後述するように、感光性を有する着色層用材料を、露光工程および現像工程を含むフォトリソグラフィー法によりパターニングすることによって形成される層である。フォトリソグラフィー法によりパターニングされる着色層用材料としては、ネガ型およびポジ型のいずれの着色層用材料も使用され得るが、好ましくはネガ型の着色層用材料が使用される。
【００５３】
〔着色層用材料〕
次に、各着色層２０，３０，４０を構成する第１着色層用材料（以下、第１材料）、第２着色層用材料（以下、第２材料）、第３着色層用材料（以下、第３材料）について説明する。各第１〜第３材料は、各色の顔料や染料および分散剤を含む顔料分散体、光開始剤、ポリマーやモノマーを含むクリア剤、および界面活性剤などを含んでいる。このうち光開始剤は、光を照射されることによりラジカル成分を発生するものである。またクリア剤には、光開始剤によって発生されたラジカルにより重合反応を起こして硬化する成分と、その後の現像により未露光部が溶解可能となる成分とが少なくとも含まれている。
【００５４】
上述のように、各着色層２０，３０，４０は、対応する色の光を透過させるよう構成されており、一方、ＢＭ層５０は、光を遮蔽するよう構成されている。すなわち、各着色層２０，３０，４０を構成する着色層用材料における光の透過率は、ＢＭ層５０を構成するＢＭ層用材料における光の透過率よりも大きくなっている。
【００５５】
（位置精度マーク群）
位置精度マーク群７０は、第１位置精度マーク群８０と、第２位置精度マーク群９０と、を有する。第１位置精度マーク群８０と第２位置精度マーク群９０の少なくとも何れかが設けられていればよい。
【００５６】
〔第１位置精度マーク群〕
第１位置精度マーク群８０は、第１位置精度マーク８１と、第２位置精度マーク８２と、第３位置精度マーク８３と、を有する。
【００５７】
第１位置精度マーク８１、第２位置精度マーク８２及び第３位置精度マーク８３は、基板１１上のカラーフィルタ形成領域１２０以外に設けられ、予め定められた第１ピッチｐ３でｘ方向に沿って並んでいる。
【００５８】
第１、第２及び第３位置精度マーク８１，８２，８３は、それぞれ、位置精度マーク用ブラックマトリクス層（以下、位置精度マーク用ＢＭ層と称す）８４と、第１着色層２０と同色且つ同材料の位置精度マーク用第１着色層８５と、第２着色層３０と同色且つ同材料の位置精度マーク用第２着色層８６と、第３着色層４０と同色且つ同材料の位置精度マーク用第３着色層８７と、を有する。
【００５９】
位置精度マーク用ＢＭ層８４、位置精度マーク用第１着色層８５、位置精度マーク用第２着色層８６、及び、位置精度マーク用第３着色層８７の形状は、２組以上の向かい合う辺を含む多角形である。本実施形態では、この多角形は２組の向かい合う辺を含む四角形であり、より具体的には菱形である。つまり、多角形の向かい合う辺は平行であり、各辺の長さは等しい。
【００６０】
また、多角形の各辺は、ｘ方向に対して非平行である。菱形の短い方の対角線がｘ方向と平行であり、菱形の長い方の対角線がｙ方向と平行になっている。
【００６１】
位置精度マーク用第１着色層８５、位置精度マーク用第２着色層８６、及び、位置精度マーク用第３着色層８７の面積は、互いに等しく、位置精度マーク用ＢＭ層８４の面積より狭い。つまり、位置精度マーク用第１着色層８５、位置精度マーク用第２着色層８６、及び、位置精度マーク用第３着色層８７の形状は、位置精度マーク用ＢＭ層８４の形状と相似である。
【００６２】
３つの位置精度マーク用ＢＭ層８４は、ＢＭ層５０と同一の材料で形成され、第１ピッチｐ３でｘ方向に並んでいる。
【００６３】
第１、第２及び第３位置精度マーク８１，８２，８３のそれぞれにおいて、位置精度マーク用第１着色層８５は、位置精度マーク用ＢＭ層８４上に設けられている。第１位置精度マーク８１において、位置精度マーク用第１着色層８５の重心は、位置精度マーク用ＢＭ層８４の重心とほぼ一致している。第２位置精度マーク８２において、位置精度マーク用第１着色層８５の長い方の対角線は、位置精度マーク用ＢＭ層８４の長い方の対角線から１画素ピッチｐ１だけ第１位置精度マーク８１側にずれている。第３位置精度マーク８３において、位置精度マーク用第１着色層８５の長い方の対角線は、位置精度マーク用ＢＭ層８４の長い方の対角線から２画素ピッチ（２×ｐ１）だけ第２位置精度マーク８２側にずれている。第３位置精度マーク８３の位置精度マーク用第１着色層８５の一部は、基板１１上にも跨がっている。
【００６４】
第１、第２及び第３位置精度マーク８１，８２，８３のそれぞれにおいて、位置精度マーク用第２着色層８６は、位置精度マーク用第１着色層８５からｘ方向に画素ピッチｐ１だけずれて位置精度マーク用ＢＭ層８４及び位置精度マーク用第１着色層８５上に設けられている。そのため、第２位置精度マーク８２において、位置精度マーク用第２着色層８６の重心は、位置精度マーク用ＢＭ層８４の重心とほぼ一致している。
【００６５】
第１、第２及び第３位置精度マーク８１，８２，８３のそれぞれにおいて、位置精度マーク用第３着色層８７は、位置精度マーク用第２着色層８６からｘ方向に画素ピッチｐ１だけずれて位置精度マーク用ＢＭ層８４及び位置精度マーク用第２着色層８６上に設けられている。そのため、第３位置精度マーク８３において、位置精度マーク用第３着色層８７の重心は、位置精度マーク用ＢＭ層８４の重心とほぼ一致している。第１位置精度マーク８１の位置精度マーク用第３着色層８７の一部は、基板１１上にも跨がっている。
【００６６】
このような配置の結果、第１、第２及び第３位置精度マーク８１，８２，８３のそれぞれにおいて、位置精度マーク用第２着色層８６の２組の向かい合う辺のそれぞれの少なくとも一部は、位置精度マーク用第１着色層８５に重なっていない。
【００６７】
また、第１、第２及び第３位置精度マーク８１，８２，８３のそれぞれにおいて、位置精度マーク用第３着色層８７の２組の向かい合う辺のそれぞれの少なくとも一部は、位置精度マーク用第１着色層８５及び位置精度マーク用第２着色層８６に重なっていない。
【００６８】
〔第２位置精度マーク群〕
第２位置精度マーク群９０は、第１位置精度マーク９１と、第２位置精度マーク９２と、第３位置精度マーク９３と、を有する。
【００６９】
第１位置精度マーク９１、第２位置精度マーク９２及び第３位置精度マーク９３は、基板１１上のカラーフィルタ形成領域１２０以外に設けられ、第１ピッチｐ３でｘ方向に沿って並んでいる。
【００７０】
第１、第２及び第３位置精度マーク９１，９２，９３は、それぞれ、開口ＯＰ２が形成された位置精度マーク用ＢＭ層９４と、第１着色層２０と同色且つ同材料の位置精度マーク用第１着色層９５と、第２着色層３０と同色且つ同材料の位置精度マーク用第２着色層９６と、第３着色層４０と同色且つ同材料の位置精度マーク用第３着色層９７と、を有する。
【００７１】
位置精度マーク用ＢＭ層９４の開口ＯＰ２、位置精度マーク用第１着色層９５、位置精度マーク用第２着色層９６、及び、位置精度マーク用第３着色層９７の形状は、２組以上の向かい合う辺を含む多角形である。本実施形態では、多角形は２組の向かい合う辺を含む四角形であり、より具体的には菱形である。つまり、多角形の向かい合う辺は平行である。
また、多角形の各辺は、ｘ方向に対して非平行である。菱形の短い方の対角線がｘ方向と平行であり、菱形の長い方の対角線がｙ方向と平行になっている。
【００７２】
位置精度マーク用第１着色層９５、位置精度マーク用第２着色層９６、及び、位置精度マーク用第３着色層９７の面積は、互いに等しく、位置精度マーク用ＢＭ層９４の開口ＯＰ２の面積より狭い。つまり、位置精度マーク用第１着色層９５、位置精度マーク用第２着色層９６、及び、位置精度マーク用第３着色層９７の形状は、開口ＯＰ２の形状と相似である。
【００７３】
３つの位置精度マーク用ＢＭ層９４及び３つの開口ＯＰ２は、第１ピッチｐ３でｘ方向に並んでいる。３つの位置精度マーク用ＢＭ層９４は、一体的に形成されてもよい。位置精度マーク用ＢＭ層９４の外形も、どのような形状でもよい。
【００７４】
第１、第２及び第３位置精度マーク９１，９２，９３のそれぞれにおいて、位置精度マーク用第１着色層９５は、位置精度マーク用ＢＭ層９４の開口ＯＰ２に設けられている。第１位置精度マーク９１において、位置精度マーク用第１着色層９５の重心は、位置精度マーク用ＢＭ層９４の開口ＯＰ２の重心とほぼ一致している。第２位置精度マーク９２において、位置精度マーク用第１着色層９５の長い方の対角線は、開口ＯＰ２の長い方の対角線から１画素ピッチｐ１だけ第１位置精度マーク９１側にずれている。第３位置精度マーク９３において、位置精度マーク用第１着色層９５の長い方の対角線は、開口ＯＰ２の長い方の対角線から２画素ピッチ（２×ｐ１）だけ第２位置精度マーク９２側にずれている。第３位置精度マーク９３の位置精度マーク用第１着色層９５の一部は、位置精度マーク用ＢＭ層９４上にも跨がっている。
【００７５】
第１、第２及び第３位置精度マーク９１，９２，９３のそれぞれにおいて、位置精度マーク用第２着色層９６は、位置精度マーク用第１着色層９５からｘ方向に画素ピッチｐ１だけずれて位置精度マーク用ＢＭ層９４の開口ＯＰ２及び位置精度マーク用第１着色層９５上に設けられている。そのため、第２位置精度マーク９２において、位置精度マーク用第２着色層９６の重心は、位置精度マーク用ＢＭ層９４の開口ＯＰ２の重心とほぼ一致している。
【００７６】
第１、第２及び第３位置精度マーク９１，９２，９３のそれぞれにおいて、位置精度マーク用第３着色層９７は、位置精度マーク用第２着色層９６からｘ方向に画素ピッチｐ１だけずれて位置精度マーク用ＢＭ層９４の開口ＯＰ２及び位置精度マーク用第３着色層９６上に設けられている。そのため、第３位置精度マーク９３において、位置精度マーク用第３着色層９７の重心は、位置精度マーク用ＢＭ層９４の開口ＯＰ２の重心とほぼ一致している。第１位置精度マーク９１の位置精度マーク用第３着色層９７の一部は、位置精度マーク用ＢＭ層９４上にも跨がっている。
【００７７】
このような配置の結果、第１、第２及び第３位置精度マーク９１，９２，９３のそれぞれにおいて、位置精度マーク用第２着色層９６の２組の向かい合う辺のそれぞれの少なくとも一部は、位置精度マーク用第１着色層９５に重なっていない。
【００７８】
また、第１、第２及び第３位置精度マーク９１，９２，９３のそれぞれにおいて、位置精度マーク用第３着色層９７の２組の向かい合う辺のそれぞれの少なくとも一部は、位置精度マーク用第１着色層９５及び位置精度マーク用第２着色層９６に重なっていない。
【００７９】
カラーフィルタの製造方法
次に、図６から図１２を参照して、カラーフィルタ１０の製造方法について説明する。
【００８０】
はじめに図６（ａ）〜（ｄ）を参照して、カラーフィルタ１０の製造方法全体について説明する。カラーフィルタ１０の製造方法は、基板１１上に、ＢＭ層５０を形成するＢＭ層形成工程（図６（ａ）参照）と、ＢＭ層５０間に各着色層２０，３０，４０を形成する着色層形成工程（図６（ｂ）〜（ｄ）参照）と、を備えている。このうち着色層形成工程は、基板１１上に複数の第１着色層２０を形成する第１着色層形成工程（図６（ｂ）参照）と、第１着色層形成工程の後、基板１１上に複数の第２着色層３０を形成する第２着色層形成工程（図６（ｃ）参照）と、第２着色層形成工程の後、基板１１上に複数の第３着色層４０を形成する第３着色層形成工程（図６（ｄ）参照）と、を含んでいる。なお図６（ｂ）〜（ｄ）においては、右側に、各工程において実施される具体的な処理が示されており、左側に、各工程による処理が実施された後の、カラーフィルタ形成領域１２０における基板１１に形成された各層の断面図が示されている。
【００８１】
また、本実施形態では、各着色層２０，３０，４０が形成された位置が適切な位置からずれていないか定期的に検査する。検査の頻度は特に限定されないが、例えば、１時間に１回などである。この検査を行う場合には、第１着色層形成工程と第２着色層形成工程との間に第１の検査工程を含み、第２着色層形成工程と第３着色層形成工程との間に第２の検査工程を含み、第３着色層形成工程の後に第３の検査工程を含む。
【００８２】
以下、ＢＭ層形成工程、各着色層形成工程および各検査工程について詳細に説明する。
【００８３】
（ＢＭ層形成工程）
まず、図６（ａ）及び図７（ａ），（ｂ）に示すように、基板１１上のカラーフィルタ形成領域１２０に、画素ピッチｐ１でｘ方向に沿って並ぶと共に画素ピッチｐ２でｙ方向に沿って並ぶ複数の開口ＯＰ１を有するＢＭ層５０を形成し、基板１１上のカラーフィルタ形成領域１２０以外に、第１ピッチｐ３でｘ方向に沿って並ぶ３つの位置精度マーク用ＢＭ層８４と、第１ピッチｐ３でｘ方向に並ぶ３つの開口ＯＰ２を有する位置精度マーク用ＢＭ層９４とを形成する。図７（ａ），（ｂ）は、図５（ａ），（ｂ）に対応する。ＢＭ層５０及び位置精度マーク用ＢＭ層８４，９４を形成する方法が特に限られることはなく、例えば、フォトリソグラフィー法などを用いることができる。
【００８４】
（第１着色層形成工程）
次に、図８，９を参照して、第１着色層形成工程について詳細に説明する。
【００８５】
〔第１の塗布工程〕
まず、上述の第１材料と溶剤とを混合することにより得られる第１の感光性着色層用塗工液（以下、第１塗工液）を、ＢＭ層５０及び位置精度マーク用ＢＭ層８４，９４が形成された基板１１上に塗布する。
【００８６】
第１塗工液を基板１１上に塗布する方法が特に限られることはなく、スピンコート法、インクジェット法、キャスティング法、ディッピング法、バーコート法、ブレードコート法、ロールコート法、グラビアコート法、フレキソ印刷法、スプレーコート法などを適宜用いることができる。
【００８７】
〔第１のプリベイク工程〕
次に基板１１上に塗布された第１塗工液を加熱（プリベイク）し、これによって、第１塗工液中の溶剤を除去する。この結果、基板１１上に第１材料２２が得られる。このようなプリベイク処理における加熱条件が特に限られることはなく、第１塗工液中に含まれる溶剤の種類や重量％などに応じて、プリベイク処理における温度や加熱時間が適宜設定される。このようなプリベイク処理は、一般に、クリーンオーブンを用いることにより実施される。なお、プリベイク処理の前に、第１塗工液中の溶剤を部分的に除去するための乾燥処理、例えば減圧乾燥処理が実施されてもよい。
【００８８】
〔第１の露光工程〕
次に、図８（ａ），（ｂ）に示すように、カラーフィルタ用開口部２６と、位置精度マーク用開口部２７と、遮光部２８とを有する露光マスク２５を介して、第１材料２２に対して露光光を照射して露光する。即ち、第１材料２２が形成された基板１１を露光する。露光マスク２５のカラーフィルタ用開口部２６は、一部の開口ＯＰ１上に位置し、ｙ方向に沿って延びると共に、ｘ方向に沿って並んで配置されている。位置精度マーク用開口部２７は、各位置精度マーク用ＢＭ層８４上、及び、位置精度マーク用ＢＭ層９４の各開口ＯＰ２上に位置する。位置精度マーク用ＢＭ層８４上に位置する第１位置精度マーク群８０用の３つの位置精度マーク用開口部２７は、第１ピッチｐ３から画素ピッチｐ１を減算した第２ピッチｐ４（＝ｐ３−ｐ１）でｘ方向に沿って並んでいる。開口ＯＰ２上に位置する第２位置精度マーク群９０用の３つの位置精度マーク用開口部２７も、第２ピッチｐ４でｘ方向に沿って並んでいる。図示の都合上、図８（ａ），（ｂ）のそれぞれに第１露光マスク２５が図示されているが、第１露光マスク２５は１枚のマスクとして一体的に形成されている。
【００８９】
位置精度マーク用開口部２７は、位置精度マーク用第１着色層８５，９５、位置精度マーク用第２着色層８６，９６、及び、位置精度マーク用第３着色層８７，９７を形成するためのものであるため、これらと同一の形状を有している。即ち、位置精度マーク用開口部２７の面積は、位置精度マーク用ＢＭ層８４の面積及び位置精度マーク用ＢＭ層９４の開口ＯＰ２の面積より狭い。位置精度マーク用開口部２７の形状は、２組以上の向かい合う辺を含む多角形であり、本実施形態では菱形である。
【００９０】
露光の結果、第１材料２２のうち露光光が照射された部分が硬化する。なお、露光光として用いられる光が特に限られることはなく、第１材料２２の感光特性に応じて様々な光が適宜用いられ得る。
【００９１】
〔第１の現像工程〕
その後、露光された第１材料２２を現像液により現像し、これによって、第１材料２２のうち露光光が照射されなかった部分を現像液中に溶解させる。即ち、第１材料２２が形成された基板１１を現像する。
【００９２】
〔第１の焼成工程〕
最後に、基板１１上に残っている第１材料２２、即ち現像された第１材料２２を焼成する。これによって、図９（ａ），（ｂ）に示すように、複数の第１着色層２０および複数の位置精度マーク用第１着色層８５，９５が基板１１に形成される。
【００９３】
（第１の検査工程）
次に、検査を行う場合には、第１位置精度マーク群８０と第２位置精度マーク群９０との何れか一方を用いて、次のように検査する。検査を行わない場合には、第２着色層形成工程に移る。
【００９４】
第１位置精度マーク群８０を用いる場合、第１着色層形成工程の後、第１位置精度マーク８１において、位置精度マーク用ＢＭ層８４の重心を算出し、位置精度マーク用第１着色層８５の重心を算出し、算出された２つの重心に基づいて第１着色層２０の位置を検査する。
【００９５】
第２位置精度マーク群９０を用いる場合、第１着色層形成工程の後、第１位置精度マーク９１において、位置精度マーク用ＢＭ層９４の開口ＯＰ２の重心を算出し、位置精度マーク用第１着色層９５の重心を算出し、算出された２つの重心に基づいて第１着色層２０の位置を検査する。
【００９６】
具体的には、算出された２つの重心の差が予め定められた許容値を超えていれば、形成された第１着色層２０の位置も予定された位置から許容値を超えてずれているため、異常を検出する。そして、製造を中断して、露光機のアライメント条件、即ち第１の露光工程で露光マスク２５が配置される位置を調整する。これにより、以降に形成する第１着色層２０の位置精度を向上できる。
一方、異常が検出されなかった場合、次の第２着色層形成工程に移る。
【００９７】
重心の算出方法は特に限定されないが、本実施形態では、位置精度マーク用ＢＭ層８４を顕微鏡で観察した画像を用いて、向かい合う対辺から等距離に平行線を引き、2組の対辺から求めた2つの平行線の交点を重心の座標とする。位置精度マーク用第１着色層８５等の重心の算出も同様に行えば良い。以下、向かい合う対辺から等距離の平行線を、中間線と呼ぶ。つまり、中間線は、向かい合う対辺の両者と平行である。また、向かい合う対辺の一方と中間線との距離は、向かい合う対辺の他方と中間線との距離と等しい。
前述のように、位置精度マーク用ＢＭ層８４等は２組以上の向かい合う辺を含む多角形であり、多角形の向かい合う辺は平行であるため、このような従来と同様の方法で重心を算出することができる。
【００９８】
（第２着色層形成工程）
次に、図１０，１１を参照して、第２着色層形成工程について、第１着色層形成工程と異なる点を中心に説明する。第１着色層形成工程と同様の点については、説明を省略する。
【００９９】
〔第２の塗布工程〕
まず、上述の第２材料と溶剤とを混合することにより得られる第２の感光性着色層用塗工液（以下、第２塗工液）を、第１着色層２０および位置精度マーク用第１着色層８５，９５が形成された基板１１上に塗布する。
【０１００】
〔第２のプリベイク工程〕
次に基板１１上に塗布された第２塗工液を加熱する。この結果、基板１１上に第２材料３２が得られる。
【０１０１】
〔第２の露光工程〕
次に、図１０（ａ），（ｂ）に示すように、第１の露光工程における位置から１画素ピッチｐ１だけｘ方向に移動させた露光マスク２５を介して、第２材料３２に対して露光光を照射して露光する。露光マスク２５は、ｙ方向には移動させない。即ち、第１の露光工程と同一の露光マスク２５を用いて、第２材料３２が形成された基板１１を露光する。露光の結果、第２材料３２のうち露光光が照射された部分が硬化する。
【０１０２】
この時、露光マスク２５の位置精度マーク用開口部２７の２組の向かい合う辺のそれぞれの少なくとも一部は、第１着色層形成工程で形成された位置精度マーク用第１着色層８５，９５に重なっていない。
【０１０３】
第２の現像工程及び第２の焼成工程は、第１着色層形成工程における工程と同様であるため、説明を省略する。
【０１０４】
これによって、図１１（ａ），（ｂ）に示すように、複数の第２着色層３０および位置精度マーク用第２着色層８６，９６が基板１１に形成される。
【０１０５】
（第２の検査工程）
検査を行う場合には、第１位置精度マーク群８０と第２位置精度マーク群９０との何れか一方を用いて、次のように検査する。検査を行わない場合には、第３着色層形成工程に移る。
【０１０６】
第１位置精度マーク群８０を用いる場合、第２着色層形成工程の後、第２位置精度マーク８２において、位置精度マーク用ＢＭ層８４の重心を算出し、位置精度マーク用第２着色層８６の重心を算出し、算出された２つの重心に基づいて第２着色層３０の位置を検査する。検査結果に応じた処理は、第１の検査工程と同様である。
【０１０７】
ここで、位置精度マーク用第２着色層８６の位置精度マーク用第１着色層８５に重なっている辺８６１，８６４のうち、位置精度マーク用第１着色層８５に重なっていない部分８６２，８６５を用いて位置精度マーク用第２着色層８６の重心を算出する点が、第１の検査工程と異なる。
【０１０８】
位置精度マーク用第２着色層８６の辺８６１の位置精度マーク用第１着色層８５に重なっている部分８６３と、辺８６４の位置精度マーク用第１着色層８５に重なっている部分８６６とは、位置精度マーク用第１着色層８５の厚さだけ盛り上がるため、位置精度マーク用第１着色層８５が存在しないと仮定した場合とは位置がずれてしまう。そのため、これらの部分８６３，８６６を用いて重心を算出すると、位置精度マーク用第１着色層８５が存在しないと仮定した場合の重心とは異なってしまう。その結果、検査精度が低下してしまう。本実施形態では、この点を改善できる。
【０１０９】
第２位置精度マーク群９０を用いる場合、第２着色層形成工程の後、第２位置精度マーク９２において、位置精度マーク用ＢＭ層９４の開口ＯＰ２の重心を算出し、位置精度マーク用第２着色層９６の重心を算出し、算出された２つの重心に基づいて第２着色層３０の位置を検査する。重心の算出方法等は、第１位置精度マーク群８０を用いる場合と同様である。
【０１１０】
（第３着色層形成工程）
次に、図１２を参照して、第３着色層形成工程について、第１着色層形成工程と異なる点を中心に説明する。第１着色層形成工程と同様の点については、説明を省略する。
【０１１１】
〔第３の塗布工程〕
まず、上述の第３材料と溶剤とを混合することにより得られる第３の感光性着色層用塗工液（以下、第３塗工液）を、第１着色層２０、第２着色層３０、位置精度マーク用第１着色層８５，９５および位置精度マーク用第２着色層８６，９６が形成された基板１１上に塗布する。
【０１１２】
〔第３のプリベイク工程〕
次に基板１１上に塗布された第３塗工液を加熱する。この結果、基板１１上に第３材料４２が得られる。
【０１１３】
〔第３の露光工程〕
次に、図１２に示すように、第２の露光工程における位置から１画素ピッチｐ１だけｘ方向に移動させた露光マスク２５を介して、第３材料４２に対して露光光を照射して露光する。即ち、第１及び第２の露光工程と同一の露光マスク２５を用いて、第３材料４２が形成された基板１１を露光する。露光の結果、第３材料４２のうち露光光が照射された部分が硬化する。
【０１１４】
この時、露光マスク２５の位置精度マーク用開口部２７の２組の向かい合う辺のそれぞれの少なくとも一部は、第２着色層形成工程で形成された位置精度マーク用第２着色層８６，９６に重なっていない。
【０１１５】
第３の現像工程及び第３の焼成工程は、第１着色層形成工程における工程と同様であるため、説明を省略する。
【０１１６】
これによって、図５に示すように、複数の第３着色層４０および位置精度マーク用第３着色層８７，９７が基板１１に形成される。
【０１１７】
（第３の検査工程）
検査を行う場合には、第１位置精度マーク群８０と第２位置精度マーク群９０との何れか一方を用いて、次のように検査する。
【０１１８】
第１位置精度マーク群８０を用いる場合、第３着色層形成工程の後、第３位置精度マーク８３において、位置精度マーク用ＢＭ層８４の重心を算出し、位置精度マーク用第３着色層８７の重心を算出し、算出された２つの重心に基づいて第３着色層４０の位置を検査する。
【０１１９】
第２位置精度マーク群９０を用いる場合、第３着色層形成工程の後、第３位置精度マーク９３において、位置精度マーク用ＢＭ層９４の開口ＯＰ２の重心を算出し、位置精度マーク用第３着色層９７の重心を算出し、算出された２つの重心に基づいて第３着色層４０の位置を検査する。
検査結果に応じた処理は、第１の検査工程と同様である。
【０１２０】
ここで、位置精度マーク用ＢＭ層８４の辺の位置精度マーク用第１着色層８５に重なっていない部分を用いて位置精度マーク用ＢＭ層８４の重心を算出する点が、第１の検査工程と異なる。
【０１２１】
また、位置精度マーク用第３着色層８７，９７の辺の位置精度マーク用第２着色層８６，９６に重なっていない部分を用いて位置精度マーク用第３着色層８７，９７の重心を算出する点は、第２の検査工程と同様である。
【０１２２】
（切断工程）
最後に、カラーフィルタ形成領域１２０の外周に沿ってカラーフィルタ基板１００を切断して、カラーフィルタ１０を取り出してもよい。
【０１２３】
以上の製造方法により、第１から第３着色層２０，３０，４０を有するカラーフィルタ１０が得られる。
【０１２４】
以上で説明したように、本実施形態によれば、位置精度マーク用第２着色層８６，９６の２組の向かい合う辺のそれぞれの少なくとも一部は、位置精度マーク用第１着色層８５，９５に重なっていないので、これらの辺の重なっていない部分に基づいて、これらの辺の中間線の位置を高精度に特定できる。即ち、これらの辺の位置精度マーク用第１着色層８５，９５に重なった部分の位置情報を用いていないので、算出された中間線の位置は、重なった部分の位置のずれの影響を受けない。また、辺の重なった部分を用いないので、画素ピッチｐ１が小さい場合にも、位置精度マーク用第１着色層８５，９５と位置精度マーク用第２着色層８６，９６とを混同し難い。従って、位置精度マーク用第２着色層８６，９６の２組の向かい合う辺の中間線の位置を高精度に特定できるので、位置精度マーク用第２着色層８６，９６の重心を高精度に算出できる。同様に、位置精度マーク用第３着色層８７，９７の重心も高精度に算出できる。このように、従来と同様に中間線を用いて重心を算出できるので、特別な装置を用いる必要がなく、従来の装置を用いて簡単に重心を算出することができる。
【０１２５】
従って、これらの重心に基づいて、着色層２０，３０，４０が形成された位置が適切な位置からずれていないか高精度に検査できるので、小さな画素ピッチで着色層２０，３０，４０を高精度に配列できる。
【０１２６】
つまり、小さな画素ピッチｐ１で高精度に配列された着色層２０，３０，４０を有するカラーフィルタ基板１００を提供できる。
【０１２７】
（多角形の形状の変形例）
以上の説明では、位置精度マーク用第１着色層８５，９５等の多角形の形状は菱形である一例について説明したが、他の形でもよい。多角形の他の形状について、上述した実施形態と異なる点を中心に説明する。実施形態と同様の点については、説明を省略する。
【０１２８】
図１３は、一実施形態の変形例に係る第１位置精度マーク８１ａ，８１ｂ，８１ｃ，９１ａ，９１ｂ，９１ｃを示す平面図である。
【０１２９】
図１３（ａ）に示すように、位置精度マーク用ＢＭ層８４ａ、位置精度マーク用ＢＭ層９４ａの開口ＯＰ２ａ、位置精度マーク用第１着色層８５ａ，９５ａ、位置精度マーク用第２着色層８６ａ，９６ａ、及び、位置精度マーク用第３着色層８７ａ，９７ａの形状は、２組の向かい合う辺を含む正方形であってもよい。正方形の一方の対角線がｘ方向と平行であり、他方の対角線がｙ方向と平行になっている。
【０１３０】
図１３（ｂ）に示すように、位置精度マーク用ＢＭ層８４ｂ、位置精度マーク用ＢＭ層９４ｂの開口ＯＰ２ｂ、位置精度マーク用第１着色層８５ｂ，９５ｂ、位置精度マーク用第２着色層８６ｂ，９６ｂ、及び、位置精度マーク用第３着色層８７ｂ，９７ｂの形状は、３組の向かい合う辺を含む正六角形であってもよい。正六角形の１本の対角線がｙ方向と平行になっている。
【０１３１】
図１３（ｃ）に示すように、位置精度マーク用ＢＭ層８４ｃ、位置精度マーク用ＢＭ層９４ｃの開口ＯＰ２ｃ、位置精度マーク用第１着色層８５ｃ，９５ｃ、位置精度マーク用第２着色層８６ｃ，９６ｃ、及び、位置精度マーク用第３着色層８７ｃ，９７ｃの形状は、３組の向かい合う辺を含む六角形であってもよい。六角形の最長の対角線がｙ方向と平行になっている。
【０１３２】
このような形状を用いても、第１位置精度マーク８１ａ，８１ｂ，８１ｃ，９１ａ，９１ｂ，９１ｃのそれぞれにおいて、位置精度マーク用第２着色層８６ａ〜８６ｃ，９６ａ〜９６ｃの２組の向かい合う辺のそれぞれの少なくとも一部は、位置精度マーク用第１着色層８５ａ〜８５ｃ，９５ａ〜９５ｃに重なっていない。図示は省略するが、第２及び第３位置精度マークについても同様に配置される。そのため、このような２組の向かい合う辺のそれぞれの中間線を上述した実施形態と同様な方法で算出し、２つの中間線の交点を重心の座標とすることにより、上述した実施形態と同様な効果が得られる。
【０１３３】
このように、図１３（ｂ），（ｃ）に示すような六角形の場合には、ｙ方向に平行な２辺は、重心の算出に用いない。ｙ方向に平行な２辺のうちの１辺は、その全体が位置精度マーク用第１着色層８５ｂ，８５ｃ，９５ｂ，９５ｃに重なってしまうため、位置精度マーク用第１着色層８５ｂ，８５ｃ，９５ｂ，９５ｃが存在しないと仮定した場合の中間線の位置を予測することができないためである。
【０１３４】
なお、画素ピッチｐ１が小さくなるに従い、位置精度マーク用第１着色層８５ａ，９５ａ等の形状も小さくなるため、頂点の数が多い場合には、頂点の形状が丸みを帯びる可能性がある。従って、算出した中間線の位置が誤差を含む可能性がある。そのため、重心を高精度に算出する観点からは、頂点の数は少ない方が好ましい。即ち、六角形よりも四角形の方が好ましい。
【０１３５】
図１９は、一実施形態の変形例に係る第１位置精度マーク８１ｄ，９１ｄを示す平面図である。図１９に示すように、位置精度マーク用ＢＭ層８４ｄ、位置精度マーク用ＢＭ層９４ｄの開口ＯＰ２ｄ、位置精度マーク用第１着色層８５ｄ，９５ｄ、位置精度マーク用第２着色層８６ｄ，９６ｄ、及び、位置精度マーク用第３着色層８７ｄ，９７ｄの形状は、２組の向かい合う辺を含む平行四辺形であってもよい。平行四辺形の一組の向かい合う辺がｙ方向と平行であり、他の一組の向かい合う辺がｘ方向と非平行になっている。
このような形状を用いても、上述した実施形態と同様な効果が得られる。
【０１３６】
図２０（ａ）は、一実施形態の変形例に係る第１位置精度マーク８１ｅ，９１ｅを示す平面図である。図２０（ａ）に示すように、位置精度マーク用ＢＭ層８４ｅ、位置精度マーク用ＢＭ層９４ｅの開口ＯＰ２ｅ、位置精度マーク用第１着色層８５ｅ，９５ｅ、位置精度マーク用第２着色層８６ｅ，９６ｅ、及び、位置精度マーク用第３着色層８７ｅ，９７ｅの形状は、三角形であってもよい。図示する例では、三角形は正三角形であり、三角形の１辺がｙ方向と平行になっている。位置精度マーク用第２着色層８６ｅ，９６ｅの少なくとも２つの角は、位置精度マーク用第１着色層８５ｅ，９５ｅに重なっていない。
【０１３７】
この場合の重心の算出方法は特に限定されないが、例えば、次のように行うことができる。
図２０（ｂ）は、一実施形態の変形例に係る第２の検査工程における第１位置精度マーク８２ｅの重心の算出方法を説明するための平面図である。まず、位置精度マーク用ＢＭ層８４ｅの角８４ｅＣ１の角度の二等分線（図示せず）と、角８４ｅＣ２の角度の二等分線（図示せず）とを引き、これら２つの二等分線の交点を位置精度マーク用ＢＭ層８４ｅの重心の座標とする。角８４ｅＣ１又は角８４ｅＣ２に代えて、角８４ｅＣ３の角度の二等分線を用いてもよい。同様に、位置精度マーク用第２着色層８６ｅの角８６ｅＣ１の角度の二等分線Ｌ１と、角８６ｅＣ２の角度の二等分線Ｌ２とを引き、これら２つの二等分線の交点を位置精度マーク用ＢＭ層８６ｅの重心の座標とする。
【０１３８】
この時、位置精度マーク用第２着色層８６ｅの位置精度マーク用第１着色層８５ｅに重なっている辺８６ｅ１のうち、位置精度マーク用第１着色層８５ｅに重なっていない部分８６ｅ２と、位置精度マーク用第２着色層８６ｅの位置精度マーク用第１着色層８５ｅに重なっていない辺の一部８６ｅ５とを用いて、角８６ｅＣ１の角度の二等分線Ｌ１を算出する。
【０１３９】
また、位置精度マーク用第２着色層８６ｅの辺８６ｅ１の位置精度マーク用第１着色層８５ｅに重なっていない部分８６ｅ４と、位置精度マーク用第２着色層８６ｅの位置精度マーク用第１着色層８５ｅに重なっていない辺の一部８６ｅ６とを用いて、角８６ｅＣ２の角度の二等分線Ｌ２を算出する。この時、辺８６ｅ１の位置精度マーク用第１着色層８５ｅに重なっていない部分８６ｅ４に代えて、位置精度マーク用第１着色層８５ｅに重なっていない部分８６ｅ２を用いてもよい。
【０１４０】
このように、本変形例においては、位置精度マーク用第２着色層８６ｅの少なくとも２つの角８６ｅＣ１，８６ｅＣ２が位置精度マーク用第１着色層８５ｅに重なっていない。そのため、辺８６ｅ１の位置精度マーク用第１着色層８５ｅに重なっている部分８６ｅ３を用いずに、２つの角８６ｅＣ１，８６ｅＣ２の角度の二等分線を算出することができる。従って、上述の実施形態と同様に、位置精度マーク用第２着色層８６ｅ等の重心を高精度に算出できる。
なお、角８６ｅＣ１又は角８６ｅＣ２に代えて、角８６ｅＣ３の角度の二等分線を用いて重心を算出してもよい。
【０１４１】
（他の変形例）
以上の説明では、第１着色層２０、第２着色層３０および第３着色層４０の順に形成する一例について説明したが、各着色層２０，３０，４０の形成順序は任意の順序でよい。
【０１４２】
また、上記製造方法を４色以上のカラーフィルタの製造に適用しても良い。この場合、着色層の色の数と同数の位置精度マークを設ければよい。
【０１４３】
また、表示部１８は、有機ＥＬ表示部として構成されていてもよい。
【０１４４】
以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【０１４５】
１０  カラーフィルタ
１１  基板
１２  オーバーコート膜
１５  ＴＦＴ基板
１７  液晶
１８  表示部
２０  第１着色層
２２  第１着色層用材料（第１材料）
２５  露光マスク
２６  カラーフィルタ用開口部
２７  位置精度マーク用開口部
２８  遮光部
３０  第２着色層
３２  第２着色層用材料（第２材料）
４０  第３着色層
４２  第３着色層用材料（第３材料）
５０  ブラックマトリクス層（ＢＭ層）
６０  表示装置
７０  位置精度マーク群
８０  第１位置精度マーク群
８１  第１位置精度マーク
８２  第２位置精度マーク
８３  第３位置精度マーク
８４  位置精度マーク用ブラックマトリクス層（位置精度マーク用ＢＭ層）
８５  位置精度マーク用第１着色層
８６  位置精度マーク用第２着色層
８７  位置精度マーク用第３着色層
９０  第２位置精度マーク群
９１  第１位置精度マーク
９２  第２位置精度マーク
９３  第３位置精度マーク
９４  位置精度マーク用ブラックマトリクス層（位置精度マーク用ＢＭ層）
９５  位置精度マーク用第１着色層
９６  位置精度マーク用第２着色層
９７  位置精度マーク用第３着色層
１００  カラーフィルタ基板
１１０  露光エリア
１２０  カラーフィルタ形成領域
ＯＰ１，ＯＰ２  開口
【図１】
2016057622.tif 000003
【図２】
2016057622.tif 000004
【図３】
2016057622.tif 000005
【図４】
2016057622.tif 000006
【図５】
2016057622.tif 000007
【図６】
2016057622.tif 000008
【図７】
2016057622.tif 000009
【図８】
2016057622.tif 000010
【図９】
2016057622.tif 000011
【図１０】
2016057622.tif 000012
【図１１】
2016057622.tif 000013
【図１２】
2016057622.tif 000014
【図１３】
2016057622.tif 000015
【図１４】
2016057622.tif 000016
【図１５】
2016057622.tif 000017
【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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