(57)【要約】【課題】研磨中に研磨ヘッドからウェーハが飛び出したことをより早く検出して、ウェーハの破損を防止することができる研磨装置を提供する。【解決手段】ウェーハを保持するための複数の研磨ヘッドと、前記ウェーハを研磨するための研磨布が貼り付けられた回転可能な定盤と、該定盤を回転させる定盤駆動機構と、研磨中に前記研磨ヘッドから前記ウェーハが飛び出したことを検出する複数のウェーハ検出センサーとを具備する研磨装置であって、前記ウェーハ検出センサーは、それぞれの前記研磨ヘッドに関して前記定盤の回転方向の下流側かつ、前記研磨ヘッドの外周部の周辺の上方に設けられているものであることを特徴とする研磨装置。【選択図】  図１
2016087713.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハを保持するための複数の研磨ヘッドと、前記ウェーハを研磨するための研磨布が貼り付けられた回転可能な定盤と、該定盤を回転させる定盤駆動機構と、研磨中に前記研磨ヘッドから前記ウェーハが飛び出したことを検出する複数のウェーハ検出センサーとを具備する研磨装置であって、
前記ウェーハ検出センサーは、それぞれの前記研磨ヘッドに関して前記定盤の回転方向の下流側かつ、前記研磨ヘッドの外周部の周辺の上方に設けられているものであることをを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
前記ウェーハ検出センサーは、それぞれの前記研磨ヘッドに関して前記定盤の回転方向の上流側かつ、前記研磨ヘッドの外周部の周辺の上方にも設けられているものであることをを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項３】
前記ウェーハ検出センサーは、前記ウェーハを検出してから検出信号を出力するまでの時間が８０μｓ以下のものであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の研磨装置。
【請求項４】
前記定盤駆動機構は、減速機を使用しないで前記定盤を直接モーターにより回転させるものであり、該モーターの回転を強制停止する機能を有するものであることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨装置に関し、特にウェーハ検出センサーを具備する研磨装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェーハの片面の研磨は、研磨布が貼り付けられた定盤と、研磨布上に研磨剤を供給する研磨剤供給機構と、ウェーハを保持する研磨ヘッド等から構成された研磨装置を用いて行われる。研磨ヘッドでウェーハを保持し、研磨剤供給機構から研磨布上に研磨剤を供給するとともに、定盤と研磨ヘッドをそれぞれ回転させながらウェーハの表面を研磨布に摺接させることによりウェーハを研磨する（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記のような研磨装置でウェーハを研磨しているとき、研磨ヘッドからウェーハが飛び出すことがある。また、ピックアップミスによって、研磨終了後のウェーハを定盤上に置き忘れることがある。これらを検知するため、研磨装置には、ウェーハ検出センサーが取り付けられている。
【０００４】
ウェーハ検出センサーは、研磨中に研磨ヘッドからウェーハが飛び出したことを検知すると、飛び出したウェーハが他の研磨ヘッドに接触して割れることを防止したり、ウェーハが割れた状態で研磨を継続することを防ぐため、研磨装置を停止させると共にアラームを発報し、作業者に異常を知らせる機能も付加されている。
【０００５】
ウェーハ検出センサーの取り付け位置は図９、図１０に示すように、定盤１０４の上部で隣合う研磨ヘッド１０２の中間に２ヶ所設置していた。ウェーハ検出センサー１０６は光ファイバタイプでウェーハを検出してから停止信号を出力するまでの時間が５００μｓの一般的な物を使用していた。
【０００６】
このような従来の研磨装置１０１で使用されている定盤１０４の定盤駆動機構として、図１１に示すようなウォーム減速機１１１とインバータ駆動用定トルクモーター１１２を使用していた。減速機１１１にはプーリとタイミングベルトによってインバータ駆動用定トルクモーター１１２の回転を伝達している。
【０００７】
ウェーハ検出センサーで、研磨ヘッド１０２から飛び出したウェーハを検出することができなかった場合、同一定盤上に存在する別の研磨ヘッドに衝突し、ウェーハが破損することがある。インデックス方式と呼ばれる、幾つかの定盤を経由して研磨する方式では、研磨ヘッドがさらに別の定盤に移動し、続けて研磨するため、研磨ヘッドに付着した破損したウェーハの破片で正常な研磨布１０３を二次汚染してしまうことがある。
【０００８】
研磨中にウェーハの割れが発生すると、研磨布１０３上に残留したウェーハの破片によって、研磨布１０３にスクラッチが発生する可能性がある。そのため、研磨布１０３のクリーニングや、交換が行われる。また、研磨ヘッド１０２の吸着面やリテーナーガイドに破損したウェーハが残留して研磨ヘッド１０２の使用が不能となり研磨ヘッド１０２の交換も行われる。研磨剤をリサイクルして使用する研磨システムにおいては、研磨剤の循環ラインに入り込んだウェーハの破片を除去する為に、研磨剤の洗浄も必要となる。このように、研磨中にウェーハの割れが発生すると、研磨装置の復旧のために、研磨を長時間停止することとなる。これによって、生産性が低下する。
【０００９】
ウェーハ検出センサー１０６は、研磨ヘッド１０２からウェーハが飛び出した際、光反射によりウェーハを認知して、定盤駆動機構のモーター１１２の回転を急停止する。しかしながら、上記のように定盤駆動機構が、減速機等の機械的接触による動力伝達部を持つ装置では減速機内のギアの破損やベルトの歯飛び、摩耗など装置の損傷につながるため、実際にはすぐに停止をすることはできない。また、モーター自体に強制停止できる機能は無いため、定盤１０４の重量に比例した慣性で回転を続ける。このような場合、研磨ヘッド１０２で定盤１０４を押す圧力により、定盤１０４の回転を停止させていた。
【００１０】
上記のような従来の研磨装置は、定盤の回転数が低速時では、ウェーハ検出センサーで研磨中に研磨ヘッドからウェーハが飛び出したことを検出して、定盤を停止させる動作を行うことで、ウェーハの衝突を回避することができる。しかしながら、定盤の回転数が高・中速時では、ウェーハ検出センサーで研磨中に研磨ヘッドからウェーハが飛び出したことを検出して、定盤を停止させる動作を行っても、定盤の停止が間に合わず、ウェーハが衝突してしまうという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００８−９３８１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は前述のような問題に鑑みてなされたもので、研磨中に研磨ヘッドからウェーハが飛び出したことをより早く検出して、ウェーハの破損を防止することができる研磨装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するために、本発明によれば、ウェーハを保持するための複数の研磨ヘッドと、前記ウェーハを研磨するための研磨布が貼り付けられた回転可能な定盤と、該定盤を回転させる定盤駆動機構と、研磨中に前記研磨ヘッドから前記ウェーハが飛び出したことを検出する複数のウェーハ検出センサーとを具備する研磨装置であって、
前記ウェーハ検出センサーは、それぞれの前記研磨ヘッドに関して前記定盤の回転方向の下流側かつ、前記研磨ヘッドの外周部の周辺の上方に設けられているものであることを特徴とする研磨装置を提供する。
【００１４】
このようなものであれば、研磨ヘッドからウェーハが飛び出したことをより早く検出することができる。その結果、研磨ヘッドから飛び出したウェーハが、他の研磨ヘッドに衝突することを防止することができ、ウェーハの破損を防止できる。
【００１５】
このとき、前記ウェーハ検出センサーは、それぞれの前記研磨ヘッドに関して前記定盤の回転方向の上流側かつ、前記研磨ヘッドの外周部の周辺の上方にも設けられているものであることが好ましい。
このようなものであれば、定盤の回転方向を上記の回転と逆回転させてウェーハを研磨している場合でも、研磨中に研磨ヘッドからウェーハが飛び出したことをより早く検出することができる。その結果、研磨ヘッドから飛び出したウェーハが、他の研磨ヘッドに衝突することを防止することができる。
【００１６】
またこのとき、前記ウェーハ検出センサーは、前記ウェーハを検出してから検出信号を出力するまでの時間が８０μｓ以下のものであることが好ましい。
このようなものであれば、ウェーハを検出してから検出信号を出力するまでの時間が早いので、研磨ヘッドから飛び出したウェーハが、他の研磨ヘッドに衝突することをより確実に防止することができる。
【００１７】
このとき、前記定盤駆動機構は、減速機を使用しないで前記定盤を直接モーターにより回転させるものであり、該モーターの回転を強制停止する機能を有するものであることが好ましい。
このようなものであれば、定盤の回転が停止するまでの時間が早いので、研磨ヘッドから飛び出したウェーハが、他の研磨ヘッドに衝突することをより確実に防止することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の研磨装置であれば、研磨中に研磨ヘッドからウェーハが飛び出したことを従来と比べてより早く検出することができる。その結果、研磨ヘッドから飛び出したウェーハが、他の研磨ヘッドに衝突することを防止することができ、ウェーハの破損を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の研磨装置の一例を示した概略図である。
【図２】本発明の研磨装置における、定盤駆動機構の一例を示した概略図である。
【図３】本発明の研磨装置における、ウェーハ検出センサーの配置位置の一例を示した概略図である。
【図４】本発明の研磨装置における、ウェーハ検出センサーの配置位置の別の一例を示した概略図である。
【図５】本発明のインデックス方式の研磨装置の一例を示した概略図である。
【図６】実施例１におけるウェーハ飛び出しの検出からウェーハと研磨ヘッドが接触するまでのウェーハの移動角度を説明する概略図である。
【図７】比較例１におけるウェーハ飛び出しの検出からウェーハと研磨ヘッドが接触するまでのウェーハの移動角度を説明する概略図である。
【図８】実施例３及び比較例３のウェーハ飛び出しとウェーハクラッシュの頻度を示した図である。
【図９】従来の研磨装置を示した概略図である。
【図１０】従来の研磨装置における、ウェーハ検出センサーの配置位置を示した概略図である。
【図１１】従来の研磨装置における、定盤駆動機構を示した概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明について実施の形態を説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
上述したように、ウェーハの研磨中に、研磨ヘッドからウェーハが飛び出して、他の研磨ヘッドに衝突することによってウェーハの破損が発生し、生産性が悪化するという問題があった。
【００２１】
そこで、本発明者はこのような問題を解決すべく鋭意検討を重ねた。その結果、ウェーハ検出センサーを、それぞれの研磨ヘッドに関して定盤の回転方向の下流側かつ、研磨ヘッドの外周部の周辺の上方に設けることに想到した。そして、これらを実施するための最良の形態について精査し、本発明を完成させた。
【００２２】
図１に示すように、本発明の研磨装置１は、ウェーハを保持するための複数の研磨ヘッド２と、前記ウェーハを研磨するための研磨布３が貼り付けられた回転可能な定盤４と、定盤４を回転させる定盤駆動機構５（図２参照）と、研磨中に研磨ヘッド２からウェーハが飛び出したことを検出する複数のウェーハ検出センサー６とを具備している。
【００２３】
以下では、図１に示す研磨装置１のような、１つの定盤に対して２つの研磨ヘッドが割り当てられている場合を例に説明するが、本発明はこれに限定されない。このような研磨装置１では、１つの定盤で同時に２枚のウェーハを研磨することができるようになっている。
【００２４】
図１に示すように、２つの研磨ヘッド２は定盤４の上方に配置されている。研磨ヘッド２でのウェーハの保持は任意の方法を用いて行うことができる。例えば、真空吸着法や、テンプレートによる水張り方式を用いることができる。
【００２５】
図２に示すように、定盤４の下部には、定盤駆動機構５が設けられている。そして、定盤駆動機構５で定盤を回転させつつ、研磨剤供給機構（図示しない）から定盤４上へ研磨剤を供給しながら、ウェーハを保持した研磨ヘッド２を回転させて、ウェーハを研磨布３へ摺接させることで、ウェーハの研磨を行う。
【００２６】
研磨ヘッド２からウェーハが飛び出すと、ウェーハは定盤４の回転に伴い、定盤４と一緒に定盤４の回転方向に移動し、研磨ヘッドからのウェーハの飛び出し量が増加する。ウェーハ検出センサー６は、このように飛び出したウェーハを検出するものである。またウェーハ検出センサー６は、研磨終了後のウェーハピックアップミスによるウェーハ置き忘れを検知することもできる。
【００２７】
ウェーハ検出センサー６は、研磨中に研磨ヘッド２からウェーハが飛び出したことを検出すると、検出信号（強制停止信号）を定盤駆動機構５に出力して、定盤４の回転を止める。これにより、飛び出したウェーハが他の研磨ヘッド２に接触して割れることを防止したり、ウェーハが割れた状態で研磨を継続することを防ぐことができる。また、ウェーハ検出センサー６は、研磨装置を停止させると共にアラームを発報し、作業者に異常を知らせる機能を有することができる。
【００２８】
ここで、例えば図３に示すように、定盤４がｘ１からｘ２の方向に反時計回りで回転している場合、ｘ１側を研磨ヘッド２ａに関して定盤４の回転方向の上流側、ｘ２側を研磨ヘッド２ａに関して定盤４の回転方向の下流側と呼ぶこととする。同様にして、研磨ヘッド２ｂに関しても、ｘ１側が上流側、ｘ２側が下流側となる。
【００２９】
図３に示すように、ウェーハ検出センサー６は、それぞれの研磨ヘッド２ａ、２ｂに関して定盤４の回転方向の下流側（ｘ２側）かつ、研磨ヘッド２の外周部の周辺の上方に設けられているものである。
このようなものであれば、上記したように、研磨ヘッド２から飛び出したウェーハは、定盤４の回転方向に移動するので、研磨ヘッド２からウェーハが飛び出したことをより早く検出することができる。その結果、研磨ヘッド２から飛び出したウェーハが、他の研磨ヘッドに衝突することを防止することができる。
【００３０】
このとき図３に示すように配置されたウェーハ検出センサー６に加えて、さらにウェーハ検出センサー６は、図４に示すように、それぞれの研磨ヘッド２ａ、２ｂに関して定盤４の回転方向の上流側（ｘ１側）かつ、研磨ヘッド２ａ、２ｂの外周部の周辺の上方にも設けられているものであることが好ましい。
このようなものであれば、定盤の回転方向を上記回転（ｘ１からｘ２の方向に反時計回りで回転）と逆回転（ｘ２からｘ１の方向に時計回りで回転）させてウェーハを研磨する場合でも、ウェーハ検出センサー６の位置を変えることなく、研磨中に研磨ヘッドからウェーハが飛び出したことをより早く検出することができる。その結果、定盤４をどちらの方向に回転させても、研磨ヘッドから飛び出したウェーハが、他の研磨ヘッドに衝突することを防止することができる。
【００３１】
ウェーハ検出センサー６は、ウェーハを検出してから検出信号を出力するまでの時間が早いものが好ましく、８０μｓ以下のものであることが好ましい。ウェーハ検出センサーとして例えば、反射型レーザーセンサーを用いることができる。
このようなものであれば、研磨布上に存在する研磨剤とウェーハを区分けることができ、ウェーハの有無を確実に検出することができる。さらに、ウェーハを検出してから検出信号を出力するまでの時間が早いので、研磨ヘッドから飛び出したウェーハが、他の研磨ヘッドに衝突することをより確実に防止することができる。
【００３２】
定盤駆動機構５は図２に示すような、減速機を使用しないで定盤４を直接モーターにより回転させるものであり、モーターの回転を強制停止する機能を有するものであることが好ましい。定盤駆動機構５として、例えばダイレクトドライブ・サーボモーターを用いることが好ましい。
このようなものであれば、定盤の回転が停止するまでの時間が早いので、研磨ヘッドから飛び出したウェーハが、他の研磨ヘッドに衝突することをより確実に防止することができる。また、定盤４を強制停止することによる減速機内のギアの破損やベルトの歯飛び、摩耗などの定盤駆動機構５の損傷を防ぐことができる。
【００３３】
また例えば、図５に示すような、３つの定盤４と、ロード・アンロードステージ７を具備して、定盤４とロード・アンロードステージ７には各々に２つの研磨ヘッド２がそれぞれ割り当てられているようなインデックス方式の研磨装置に、本発明の研磨装置を適用することができる。
【実施例】
【００３４】
以下、本発明の実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００３５】
（実施例１）
まず、直径３００ｍｍのシリコンウェーハを用意した。そして、本発明の研磨装置を用いて、ウェーハの研磨を行った。研磨装置は、図４に示すような位置で、かつ、定盤４から高さ方向に１５０ｃｍ以上上方に離した位置にウェーハ検出センサー６を具備している。ウェーハ検出センサー６は、反射式レーザーセンサー（キーエンス社製ＬＶ−Ｈ３２）で、ウェーハを検出してから検出信号を出力するまでの時間が８０μｓのものを用いた。定盤駆動機構は、図２に示すような、減速機を使用しないで定盤４を直接モーターにより回転させるものであり、モーターの回転を強制停止する機能を有するダイレクトドライブ・サーボモーターを用いた。
【００３６】
図６に示すようにウェーハ検出センサー６で、研磨中に研磨ヘッド２ａからウェーハＷが飛び出したことを検出した時の、ウェーハＷの中心と定盤４の中心を通る直線（ａ１）と、ウェーハＷが隣りの研磨ヘッド２ｂに接触する時の、ウェーハＷの中心と定盤４の中心を通る直線（ｂ１）との成す角度θ１を求めた。この角度θ１は、ウェーハＷの飛び出しを検出した時から、ウェーハＷが定盤４の回転方向に移動して最終的に他の研磨ヘッドに接触するまでの移動角度を示すものであり、この角度が大きいほど検出が速くできたことを表すとともに、検出から定盤停止までの許容時間が増えることを意味する。
【００３７】
その結果、θ１は３３．５°であった。θ１は、後述する比較例１のθ２と比べて大きい値であった。すなわち、実施例１は比較例１に比べて研磨ヘッドから飛び出したウェーハを早く検出することができた。
【００３８】
（比較例１）
図７に示すように、隣合う研磨ヘッド１０２ａ、１０２ｂの中間で、かつ定盤１０４の上方の２カ所にウェーハ検出センサー１０６が設けられた従来の研磨装置を用いてウェーハの研磨を行った。ウェーハ検出センサー１０６は、光ファイバタイプでウェーハ検出から検出信号を出力するまでの時間が５００μｓの一般的な物を使用した。定盤駆動機構は、図１１に示すような、ウォーム減速機１１１とインバータ駆動用定トルクモーター１１２からなるものを用いた。
【００３９】
上記のような従来の研磨装置を用いた以外は、実施例１と同様にして、直径３００ｍｍのウェーハＷの研磨中に、研磨ヘッド１０２ａからウェーハＷが飛び出したことを検出した時の、ウェーハＷの中心と定盤１０４の中心を通る直線（ａ２）と、ウェーハＷが隣りの研磨ヘッド１０２ｂに接触する時の、ウェーハＷの中心と定盤１０４の中心を通る直線（ｂ２）との成す角度θ２を求めた。
その結果、θ２は、１１．０°であった。
【００４０】
（実施例２）
実施例１と同様の本発明の研磨装置を用いて、直径３００ｍｍのウェーハの研磨を行った。研磨する際の定盤４の回転数を１０ｒｐｍから４０ｒｐｍまで変化させた。研磨中に研磨ヘッドからウェーハが飛び出したことをウェーハ検出センサーで検出してから、実際に定盤を停止するまでにかかった時間（定盤停止時間）と、実際に定盤を停止するまでに定盤が回転した角度（定盤移動角度）を測定し、その時のウェーハの研磨ヘッドとの衝突（クラッシュ）の有無と共に、変化させた定盤４の回転数ごとに表１に示した。なお、表１には後述する比較例２の測定結果についても併せて記した。
【００４１】
【表１】
2016087713.tif 000003
【００４２】
定盤駆動機構にダイレクトドライブ・サーボモーターを用いたので、表１に示すように、実施例２では、定盤停止時間は定盤回転数によらず６０ｍｓであった。定盤移動角度は、定盤回転数を高くするにしたがって大きくなっていき、定盤回転数が４０ｒｐｍの場合では、定盤移動角度は１４．４°であった。定盤回転数が４０ｒｐｍの場合でも、この角度が、実施例１で求めたθ１（３３．５°）よりも小さな値であったので、ウェーハの飛び出しによるクラッシュは起こらなかった。
一方、後述するように比較例２では、定盤の回転数が２０ｒｐｍ以上の時にクラッシュが生じた。
【００４３】
（比較例２）
比較例１と同様の従来の研磨装置を用いた以外は、実施例２と同様にして、直径３００ｍｍのウェーハの研磨中に、研磨ヘッドからウェーハが飛び出したことをウェーハ検出センサーで検出してからの定盤停止時間と定盤移動角度を測定し、その時のウェーハのクラッシュの有無と共に表１に示した。
【００４４】
表１に示すように、定盤回転数が１０ｒｐｍの場合では、定盤移動角度は９°で比較例１で求めたθ２（＝１１．０°）よりも小さい値であったので、ウェーハの飛び出しによるクラッシュは起こらなかった。定盤回転数が高くなると定盤停止時間が長くなり、これによって定盤移動角度も大きくなった。定盤回転数が２０ｒｐｍ以上の場合では、定盤移動角度が３０°以上で、θ２よりも大きな値となったため、クラッシュが生じた。
【００４５】
（実施例３）
図５に示すような、３つの定盤４と、ロード・アンロードステージ７を具備して、定盤４とロード・アンロードステージ７には各々に２つの研磨ヘッド２がそれぞれ割り当てられているようなインデックス方式の研磨装置（不二越機械社製ＳＲＥＤ）を用いて直径３００ｍｍのウェーハの研磨を行った。３つの定盤４には、不織布とスエード研磨布が貼り付けられている。なお、ウェーハ検出センサー、定盤駆動機構は実施例１と同様の構成のものを用いた。
【００４６】
ウェーハの研磨は、定盤４と研磨ヘッド２は同じ回転方向で、定盤は６．６〜２９．０ｒｐｍ、研磨ヘッドは６．６〜３１ｒｐｍで段階的に回転数を変化させ、１２０ｇ／ｃｍ２の荷重で研磨を行った。そして、研磨中に研磨ヘッド２からウェーハの飛び出しが発生した頻度を測定した。さらに、ウェーハの飛び出しによって、ウェーハクラッシュが生じた頻度を測定し、これらを図８及び表２に示した。
【００４７】
【表２】
2016087713.tif 000004
【００４８】
研磨中に研磨ヘッド２からウェーハの飛び出しが発生した頻度は、０．０９２％であり、後述する比較例３と同等の水準であった。一方、ウェーハクラッシュが発生する頻度は０％と、実施例３ではウェーハクラッシュは生じなかった。一方、比較例３では、ウェーハクラッシュが生じた。その結果、実施例３では、ウェーハクラッシュの発生を防止することができたので、比較例３と比べて、ウェーハの生産性が高かった。
【００４９】
（比較例３）
比較例１のようなウェーハ検出センサーと定盤駆動機構の構成のインデックス方式の研磨装置を用いて、ウェーハの研磨を行った以外は実施例３と同様にして、直径３００ｍｍのウェーハの研磨中に、ウェーハの飛び出しが発生した頻度と、ウェーハクラッシュが生じた頻度を測定し、これらを図８及び表２に示した。
【００５０】
研磨中に研磨ヘッドからウェーハの飛び出しが発生した頻度は０．０７０％で、ウェーハクラッシュが発生した頻度は０．０２７％であった。このように、比較例３ではウェーハクラッシュが生じ、ウェーハの割れが発生したため、研磨布や研磨ヘッドの交換を行うために研磨装置を長時間停止した。そのため、実施例３に比べてウェーハの生産性が大幅に低かった。
【００５１】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【符号の説明】
【００５２】
１…研磨装置、  ２、２ａ、２ｂ…研磨ヘッド、  ３…研磨布、  ４…定盤、
５…定盤駆動機構、  ６…ウェーハ検出センサー、
７…ロード・アンロードステージ、  Ｗ…ウェーハ。
【図１】
2016087713.tif 000005
【図２】
2016087713.tif 000006
【図３】
2016087713.tif 000007
【図４】
2016087713.tif 000008
【図５】
2016087713.tif 000009
【図６】
2016087713.tif 000010
【図７】
2016087713.tif 000011
【図８】
2016087713.tif 000012
【図９】
2016087713.tif 000013
【図１０】
2016087713.tif 000014
【図１１】
2016087713.tif 000015
【手続補正書】
【提出日】平成27年9月24日(2015.9.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハを保持するための複数の研磨ヘッドと、前記ウェーハを研磨するための研磨布が貼り付けられた回転可能な定盤と、該定盤を回転させる定盤駆動機構と、研磨中に前記研磨ヘッドから前記ウェーハが飛び出したことを検出する複数のウェーハ検出センサーとを具備する研磨装置であって、
前記ウェーハ検出センサーは、それぞれの前記研磨ヘッドに関して前記定盤の回転方向の下流側かつ、前記研磨ヘッドの外周部の周辺の上方に設けられているものであることを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
前記ウェーハ検出センサーは、それぞれの前記研磨ヘッドに関して前記定盤の回転方向の上流側かつ、前記研磨ヘッドの外周部の周辺の上方にも設けられているものであることを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項３】
前記ウェーハ検出センサーは、前記ウェーハを検出してから検出信号を出力するまでの時間が８０μｓ以下のものであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の研磨装置。
【請求項４】
前記定盤駆動機構は、減速機を使用しないで前記定盤を直接モーターにより回転させるものであり、該モーターの回転を強制停止する機能を有するものであることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の研磨装置。