(57)【要約】【課題】外形形状のばらつきによるＣＩ値の変動を抑制することが可能な振動素子を提供する。【解決手段】振動素子としての音叉型振動片１００は、基部１１０と、基部１１０から延出し、所定の共振周波数ｆで振動する駆動振動腕１２０，１３０と、を備え、共振周波数ｆと、駆動振動腕１２０，１３０の厚さｔとの関係が、０．００４＞ｆ×ｔ2＞０．０００８である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
前記基部から延出し、所定の共振周波数ｆで振動する駆動振動腕と、を備え、
前記共振周波数ｆと、前記駆動振動腕の厚さｔとの関係が、
０．００４＞ｆ×ｔ2＞０．０００８
であることを特徴とする振動素子。
【請求項２】
請求項１に記載の振動素子において、
前記共振周波数ｆと、前記駆動振動腕の厚さｔとの関係が、
０．００３＞ｆ×ｔ2＞０．００１
であることを特徴とする振動素子。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の振動素子において、
前記基部から、延出している検出振動腕を備えていることを特徴とする振動素子。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の振動素子において、
前記駆動振動腕は、前記基部の一端から延出し、
前記検出振動腕は、前記基部の前記一端と反対側の他端から延出していることを特徴とする振動素子。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の振動素子において、
前記基部から延出し、前記駆動振動腕または前記検出振動腕が内側に位置するように設けられている一対の調整用振動腕を備えていることを特徴とする振動素子。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の振動素子において、
前記駆動振動腕、前記検出振動腕、および前記調整用振動腕のいずれかの、前記基部と接続する一端とは反対側の他端側に幅広部が設けられていることを特徴とする振動素子。
【請求項７】
基部と、
前記基部の一端から延出し、所定の共振周波数ｆで振動する厚さｔの駆動振動腕と、を有する振動素子の製造方法であって、
前記共振周波数ｆと、前記駆動振動腕の厚さｔとの関係が、
０．００４＞ｆ×ｔ2＞０．０００８となるように、前記駆動振動腕の外周形状を、ドライエッチング法を用いて形成する外形形成工程を備えていることを特徴とする振動素子の製造方法。
【請求項８】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の振動素子と、
少なくとも前記駆動振動腕を励振させる駆動回路を含む電子部品と、
前記ジャイロ素子および前記電子部品の少なくとも一方を収容しているパッケージと、を備えている電子デバイス。
【請求項９】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の振動素子を備えている電子機器。
【請求項１０】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の振動素子を備えている移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動素子、振動素子の製造方法、振動素子を用いた電子デバイス、電子機器、および移動体に関する。
【背景技術】
【０００２】
モバイルコンピューターやＩＣカードなどの小型の情報機器や、携帯電話などの移動体通信機器、および車体制御や自車位置検出、あるいはデジタルカメラやデジタルビデオカメラなどの振動制御補正機能（所謂手ぶれ補正）などに、振動素子を用いた振動子やジャイロセンサーなどが広く利用されている。例えば、振動子は、振動素子としての屈曲振動片を所定の共振周波数で振動させて得られる出力信号が信号処理のタイミング源として用いられる。また、ジャイロセンサーは、ジャイロ素子（ジャイロ振動片）により、物体の揺れや回転などの振動によってジャイロ振動片の一部に発生する電気信号を角速度として検出し、回転角を算出することによって物体の変位を求める。
【０００３】
近年、これらの振動素子を用いる電子機器の小型化に伴い、それらに用いられる振動子やジャイロセンサーも小型化が要求されている。そして、振動子やジャイロセンサーが小型化されるにしたがって、振動素子の小型化も必然的に必要となるが、振動素子は、小型化されることにより、振動のし易さを示すＣＩ（クリスタルインピーダンス）値が増加したり、ばらついたりしてしまう。そのため、従来から、このＣＩ値を安定化、あるいは低下させるための対応策が検討され提案されている。
【０００４】
例えば、特許文献１では、音叉型振動片（屈曲振動片）の振動腕部に、表裏面から溝部が設けられるとともに、振動腕部が突出している基部の両側面に切り込み部を設けることにより、振動モレを抑制し、ＣＩ値のばらつきを低減させることが開示されている。また、特許文献２では、所謂Ｈ型のジャイロ素子の振動腕の腕幅を、ベース（基部）から先端に向けて減少させることにより、振動時の振動腕に発生する応力を一定にしてＣＩ値を低下させることが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−２６１５７５号公報
【特許文献２】特開２００１−１３３２６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、益々振動素子の小型化が進むにつれて、上述の対応策では十分でなくなり、例えば外形形状の製造ばらつきによって生じるＣＩ値のばらつきを無視することができなくなってしまっていた。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００８】
［適用例１］本適用例に係る振動素子は、基部と、前記基部から延出し、所定の共振周波数ｆで振動する駆動振動腕と、を備え、前記共振周波数ｆと、前記駆動振動腕の厚さｔとの関係が、０．００４＞ｆ×ｔ2＞０．０００８であることを特徴とする。
【０００９】
本適用例によれば、上述のような駆動振動腕の共振周波数ｆと駆動振動腕の厚さｔとの関係とすることにより、振動素子の製造時における外形形状のばらつきが生じたとしても、ＣＩ値を低下させるとともに、小型の振動素子におけるＣＩ値のばらつきを低減させることが可能となる。
【００１０】
［適用例２］上記適用例に記載の振動素子において、前記共振周波数ｆと、前記駆動振動腕の厚さｔとの関係が０．００３＞ｆ×ｔ2＞０．００１であることが好ましい。
【００１１】
本適用例によれば、ＣＩ値の水準をさらに低下させるとともにＣＩ値のばらつきをさらに低減させることが可能な、小型の振動素子を提供することができる。
【００１２】
［適用例３］上記適用例に記載の振動素子において、前記基部から、延出している検出振動腕を備えていることが好ましい。
【００１３】
本適用例によれば、ＣＩ値の安定した駆動振動腕と、角速度信号を検出可能な検出振動腕、とが基部から延出されている、小型で角速度が検出可能な振動素子を提供することが可能となる。
【００１４】
［適用例４］上記適用例に記載の振動素子において、前記駆動振動腕は、前記基部の一端から延出し、前記検出振動腕は、前記基部の前記一端と反対側の他端から延出していることが好ましい。
【００１５】
本適用例によれば、駆動振動腕、および駆動振動腕と反対側の基部から延出された検出振動腕が設けられている。このように、駆動振動腕と検出振動腕とが、基部の同一軸方向の両端部からそれぞれ延伸されているので、駆動系と検出系が分離されることから、駆動系と検出系の電極間あるいは配線間の静電結合が低減され、角速度の検出感度を安定させることができる。
【００１６】
［適用例５］上記適用例に記載の振動素子において、前記基部から延出し、前記駆動振動腕または前記検出振動腕が内側に位置するように設けられている一対の調整用振動腕を備えていることが好ましい。
【００１７】
本適用例によれば、前述の適用例に加えて、漏れ出力を調整するための調整用振動腕が設けられていることにより、振動漏れ出力によって検出振動腕に発生する電荷を調整用振動腕で発生する電荷でキャンセルすることができる。
【００１８】
［適用例６］上記適用例に係る振動素子において、前記駆動振動腕、前記検出振動腕、および前記調整用振動腕のいずれかの、前記基部と接続する一端とは反対側の他端側に幅広部が設けられていることが好ましい。
【００１９】
本適用例によれば、駆動振動腕、検出振動腕、および調整用振動腕の長さの増大を抑えながら所定の駆動振動や検出振動を得るとともに、漏れ振動を抑制するための調整範囲が広くとれるので、より小型で高感度な特性を有する振動素子を提供することができる。
なお、上記の「他端側」とは、基部から延出する駆動振動腕、検出振動腕、および調整用振動腕の先端部（開放端）の部分をいう。
【００２０】
［適用例７］本適用例に係る振動素子の製造方法は、基部と、前記基部の一端から延出し、所定の共振周波数ｆで振動する厚さｔの駆動振動腕と、を有する振動素子の製造方法であって、前記共振周波数ｆと、前記駆動振動腕の厚さｔとの関係が、０．００４＞ｆ×ｔ2＞０．０００８となるように、前記駆動振動腕の外周形状を、ドライエッチング法を用いて形成する外形形成工程を備えていることを特徴とする。
【００２１】
本適用例によれば、ドライエッチングによる外形形成工程を備えているため、容易に上述のような駆動振動腕の共振周波数ｆと駆動振動腕の厚さｔとの関係とする小型の振動素子を形成することができる。これにより、振動素子のＣＩ値を低下させるとともにＣＩ値のばらつきを低減させることが可能となる。また、ドライエッチングによる外形加工により、外形形状の製造ばらつきも減少させることが可能となる。
【００２２】
［適用例８］本適用例に係る振動の電子デバイスは、上記適用例のいずれか一例に記載の振動素子と、少なくとも前記駆動振動腕を励振させる駆動回路を含む電子部品と、前記ジャイロ素子および前記電子部品の少なくとも一方を収容しているパッケージと、を備えていることを特徴とする。
【００２３】
本適用例によれば、上記適用例のいずれか一例に記載の効果を有する振動素子を備えた電子デバイスを得ることができる。加えて、上記構成のようなパッケージタイプの電子デバイスは、小型化・薄型化に有利であるとともに耐衝撃性を高くすることができる。
【００２４】
［適用例９］本適用例に係る電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の振動素子を備えていることを特徴とする。
【００２５】
本適用例によれば、ＣＩ値のばらつきを低減させた振動素子、すなわち振動特性の安定した振動素子を備えているため、性能の安定した電子機器を提供することが可能となる。
【００２６】
［適用例１０］本適用例に係る移動体は、上記適用例のいずれか一例に記載の振動素子を備えていることを特徴とする。
【００２７】
本適用例によれば、ＣＩ値のばらつきを低減させた振動素子、すなわち振動特性の安定した振動素子を備えているため、性能の安定した移動体を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の第１実施形態に係る振動素子の一例としての音叉型振動片の概略を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は図１（ａ）Ａ−Ａ断面図。
【図２】ＣＩ値変動とｆ×ｔ2との相関を示し、（ａ）はＣＩ値とｆ×ｔ2との相関を示すグラフ、（ｂ）はＣＩ値変動率とｆ×ｔ2との相関を示すグラフ。
【図３】本発明の第２実施形態に係る振動素子の一例としてのＨ型ジャイロ素子の概略を示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は平面図。
【図４】第２実施形態に係るジャイロ素子の電極構成を説明する図であり、（ａ）は図３（ｂ）のＣ−Ｃ断面図、（ｂ）は図３（ｂ）のＤ−Ｄ断面図。
【図５】本発明の第３実施形態に係る振動素子の一例としてのダブルＴ型ジャイロ素子の概略を示す平面図。
【図６】実施形態に係る振動素子の製造工程の概略を示すフローチャート。
【図７】本発明に係る電子デバイスの一例としてのジャイロセンサーの概略構成を示す正断面図。
【図８】（ａ）〜（ｃ）は、振動素子を備える電子機器の一例を示す斜視図。
【図９】振動素子を備える移動体としての自動車を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の各図においては、各層や各部材を認識可能な程度の大きさにするため、各層や各部材の尺度を実際とは異ならせている。また、図１、図３〜図５では、説明の便宜上、互いに直交する３軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を図示しており、その図示した矢印の先端側を「＋側」、基端側を「−側」としている。また、以下の説明では、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」と言い、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」と言い、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」と言う。
【００３０】
（第１実施形態）
＜振動素子−１＞
まず、第１実施形態に係る振動素子の概略構成について、図１を用いて説明する。図１（ａ）は、第１実施形態１に係る振動素子としての音叉型振動片の概略構成を模式的に示す平面図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）におけるＡ−Ａ線での断面図である。
【００３１】
図１に示すように、振動素子としての音叉型振動片１００は、基部１１０と、基部１１０から＋Ｙ軸方向に延出している一対の振動腕としての駆動振動腕１２０，１３０を備えている振動片である。基部１１０は、括れ部１１２を介して配置された狭幅部１１１と広幅部１１３とを備えた平板状をなしている。なお、基部１１０は、括れ部１１２が設けられない形状、すなわち略矩形平板状であってもよい。振動腕としての駆動振動腕１２０，１３０は、基部１１０における狭幅部１１１の＋Ｙ側の一端から、Ｙ軸方向に互いに略平行に延びる一対の角柱状の振動体である。音叉型振動片１００を構成する基部１１０と駆動振動腕１２０，１３０は、一体で形成され、水晶が基材として用いられている。なお、第１実施形態の音叉型振動片１００は、フォトリソグラフィー法及びフッ素系ガスなどによるドライエッチング法で形成されている。
【００３２】
水晶は、電気軸と呼ばれるＸ軸、機械軸と呼ばれるＹ軸および光学軸と呼ばれるＺ軸を有している。音叉型振動片１００をなす基材は、水晶結晶軸において直交するＸ軸およびＹ軸で規定される平面に沿って切り出されて平板状に加工され、平面と直交するＺ軸方向に所定の厚みを有している。Ｚ軸は、Ｘ軸を中心に０度から２度の範囲で回転して切り出したものを使用することができる。所定の厚みは、振動周波数、外形サイズ、加工性などにより適宜設定される。
【００３３】
振動腕としての駆動振動腕１２０および駆動振動腕１３０は、Ｘ軸およびＹ軸で規定される平面と直交する面内方向（Ｘ軸方向）に沿って、互いに逆方向に振動する。すなわち、駆動振動腕１２０が＋Ｘ軸方向に向かい変位するときは、駆動振動腕１３０が−Ｘ軸方向に向かい変位し、駆動振動腕１２０が−Ｘ軸方向に向かい変位するときは、駆動振動腕１３０が＋Ｘ軸方向に向かい変位し、周波数５００ｋＨｚ以下で振動する。
【００３４】
基部１１０から延伸された駆動振動腕１２０および駆動振動腕１３０は、振動方向と直交する方向（Ｚ軸方向）の寸法として、厚さｔをなして形成される。駆動振動腕１２０は、表面１０３ｃと、表面１０３ｃと反対側に設けられた裏面１０３ｄと、表面１０３ｃと裏面１０３ｄとを接続する側面１０３ｈ，１０３ｉと、を備えている。また、駆動振動腕１３０は、表面１０３ｇと、表面１０３ｇと反対側に設けられた裏面１０３ｆと、表面１０３ｇと裏面１０３ｆとを接続する側面１０３ｊ，１０３ｋと、を備えている。
【００３５】
なお、図示されていないが、駆動振動腕１２０，１３０の先端部には、駆動振動腕１２０，１３０より幅が広い（Ｘ軸方向の寸法が大きい）略矩形状の幅広部としての錘部が設けられていてもよい。駆動振動腕１２０，１３０に、幅広部としての錘部が設けられている構成では、駆動振動腕１２０，１３０の長さ（Ｙ軸方向の寸法）の増大を抑えながら所定の駆動振動を得ることができるため、音叉型振動片１００を小型化することが可能となる。
【００３６】
次に、音叉型振動片１００の駆動電極について説明する。駆動振動腕１２０，１３０を駆動させるための駆動電極は、第１駆動電極１２１ａ，１２１ｂ，１３２ａ，１３２ｂ、および第２駆動電極１２２ａ，１２２ｂ，１３１ａ，１３１ｂを備えている。第１駆動電極１２１ａ，１２１ｂ，１３２ａ，１３２ｂ、および第２駆動電極１２２ａ，１２２ｂ，１３１ａ，１３１ｂは、駆動振動腕１２０，１３０の付け根から先端部に向かって延伸するように設けられている。
【００３７】
図１（ｂ）に示すように、駆動振動腕１２０の一方の側面１０３ｈには、駆動振動腕１２０の延伸方向（Ｙ軸方向）に沿って第２駆動電極１２２ａが設けられている。また、反対側の側面１０３ｉには、駆動振動腕１２０の延伸方向に沿って第２駆動電極１２２ｂが設けられている。さらに、駆動振動腕１２０の表面１０３ｃには、第１駆動電極１２１ａが設けられ、裏面１０３ｄには、第１駆動電極１２１ｂが設けられている。そして、第１駆動電極１２１ａと第１駆動電極１２１ｂとは、図示しないが、駆動振動腕１２０の先端部などを経由して電気的に接続されている。同様に、第２駆動電極１２２ａと第２駆動電極１２２ｂとは、図示しないが、駆動振動腕１２０の先端部などを経由して電気的に接続されている。また、第１駆動電極１２１ａ，１２１ｂおよび第２駆動電極１２２ａ，１２２ｂは、図示しない配線を介して図示しない外部接続パッドに、それぞれが電気的に接続されている。
【００３８】
同様に、駆動振動腕１３０の一方の側面１０３ｊには、駆動振動腕１３０の延伸方向（Ｙ軸方向）に沿って第１駆動電極１３２ａが設けられている。また、反対側の側面１０３ｋには、駆動振動腕１３０の延伸方向に沿って第１駆動電極１３２ｂが設けられている。さらに、駆動振動腕１３０の表面１０３ｇには、第２駆動電極１３１ａが設けられ、裏面１０３ｆには、第２駆動電極１３１ｂが設けられている。そして、第２駆動電極１３１ａと第２駆動電極１３１ｂとは、図示しないが、駆動振動腕１３０の先端部などを経由して電気的に接続されている。同様に、第１駆動電極１３２ａと第１駆動電極１３２ｂとは、図示しないが、駆動振動腕１３０の先端部などを経由して電気的に接続されている。また、第２駆動電極１３１ａ，１３１ｂおよび第１駆動電極１３２ａ，１３２ｂは、図示しない配線を介して図示しない外部接続パッドに、それぞれが電気的に接続されている。
【００３９】
駆動振動腕１２０においては、第１駆動電極１２１ａと第１駆動電極１２１ｂとは同電位となるように接続され、第２駆動電極１２２ａと第２駆動電極１２２ｂとは同電位となるように接続されている。また、駆動振動腕１３０においては、第２駆動電極１３１ａと第２駆動電極１３１ｂとは同電位となるように接続され、第１駆動電極１３２ａと第１駆動電極１３２ｂとは同電位となるように接続されている。このような構成の駆動電極に、位相が異なる交流電圧を印加すると、音叉型振動片１００は、駆動振動腕１２０と駆動振動腕１３０とが、Ｘ軸方向に沿って互いに逆方向へ変位する屈曲運動を繰り返し、所定の共振周波数ｆで屈曲振動する。
【００４０】
上述した第１駆動電極１２１ａ，１２１ｂ，１３２ａ，１３２ｂ、および第２駆動電極１２２ａ，１２２ｂ，１３１ａ，１３１ｂの構成は、特に限定されず、導電性を有し、薄膜形成が可能であればよい。具体的な構成としては、例えば、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等の金属材料、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）等の導電材料により形成することができる。
【００４１】
上述したような、厚さｔの駆動振動腕１２０，１３０を有する音叉型振動片１００は、所定の共振周波数ｆで駆動振動するが、音叉型振動片１００の製造工程において生じる外形形状のばらつきなどによって、振動特性のばらつきが発生する。振動特性としては、特に駆動インピーダンスであるＣＩ（クリスタルインピーダンス）値のばらつきが、駆動振動に顕著な影響を持つため、このばらつきを抑える必要があった。
【００４２】
これに対応して、音叉型振動片１００は、駆動振動腕１２０，１３０の共振周波数ｆと、駆動振動腕１２０，１３０の厚さｔとの関係を、０．００４＞ｆ×ｔ2＞０．０００８とすること、さらに好ましくは、０．００３＞ｆ×ｔ2＞０．００１とすることにより、例えば音叉型振動片１００の製造時に外形形状のばらつきが生じたとしても、その影響を排除することができる。すなわち、小型の音叉型振動片１００であっても、その製造時に生じる外形形状のばらつきによる、ＣＩ値のばらつきを低減させたりＣＩ値の水準を低下させたりすることができることを見出した。
【００４３】
音叉型振動片１００のような屈曲振動片においては、駆動振動腕１２０，１３０の共振周波数ｆnと駆動振動腕１２０，１３０の厚さｔに、後述にて式（１）を用いて説明するような関係があるため、上述のような範囲において、ＣＩ値を満足することができる共振周波数ｆnと厚さｔとの良好な値を決定することが可能となる。
【００４４】
下記式（１）によれば、例えば音叉型振動片のような屈曲振動片においては、例えば面外振動の共振周波数ｆnを一定とし、駆動振動腕の厚さｔ（式（１）のｗに相当する）を増やすと、駆動振動腕の長さ寸法ｌが増えることになる。なお、面外振動においては、駆動振動腕の厚み方向が振動方向となるため、駆動振動腕の厚み方向の寸法である厚さｔが振動腕の幅寸法ｗに相当する。このように駆動振動腕の長さｌが増えた場合には、面内振動の共振周波数ｆnが下がってしまう。屈曲振動片の振動特性を安定させるためには、面内振動と面外振動を所定の共振周波数に合わせる必要があり、面内振動の共振周波数ｆnを所定の値に合わせる（共振周波数ｆnを高くする）ためには、駆動振動腕の幅寸法ｗを増やすことが必要となる。
【００４５】
上述の状態では、面内振動の共振周波数ｆnも、上述の面外振動と同様に下がってしまうため、共振周波数ｆnを一定に保つ（共振周波数ｆnを高くする）ためには、駆動振動腕の幅寸法ｗを増やすことが必要となる。そして、面内振動の共振周波数ｆnを一定に保つ（共振周波数ｆnを高くする）ように、駆動振動腕の長さ寸法ｌ、および駆動振動腕の幅寸法ｗを増やすと、駆動振動のＣＩ値は、小さくなる（減少する）。
【００４６】
また、上述と同様に、面外振動においても、面外振動の共振周波数ｆnを一定に保つ（共振周波数ｆnを高くする）ように、駆動振動腕の長さ寸法ｌ、および駆動振動腕の厚さｔ（式（１）のＷに相当する）を増やすと、面外振動のＣＩ値は、小さくなる（減少する）。
【００４７】
ｆn∝ｗ／ｌ2・・・（１）
ｆn：振動腕の共振周波数、    ｌ：振動腕の長さ寸法
ｗ：振動腕の腕幅寸法（但し、面内振動ではＸ軸方向の腕幅を示し、面外振動では
Ｚ軸方向の厚みｔがｗに相当する）
【００４８】
また、式（１）によれば、音叉型振動片のような屈曲振動片においては、厚さｔを一定にして、面外振動の共振周波数ｆnを増やそうとする（上げようとする）と、駆動振動腕の長さ寸法ｌを短くすることが必要となる。屈曲振動片のＣＩ値変動を小さくして特性を安定させるためには、面内振動と面外振動の共振周波数を合わせる必要があり、面内振動の共振周波数ｆnも、長さ寸法ｌが短くなるため、上述の面外振動の共振周波数に合わせて増えることになる。そのため、駆動振動腕の幅寸法ｗを変える必要は生じない。このように、厚さｔを一定にして面外振動の共振周波数ｆnを増やそうとすると、駆動振動腕の長さ寸法ｌを短くすることになるため、ＣＩ値が小さくなる（減少する）。なお、ＣＩ値は周波数に反比例して小さくなる（減少する）。また、厚さｔが一定の場合に、面外振動の共振周波数ｆnを減らそうとすると、駆動振動腕の長さ寸法ｌを長くすることになるため、ＣＩ値が大きくなる（増加する）。換言すれば、厚さｔを大きくしておくことによって、共振周波数ｆnにばらつきが生じたりして、共振周波数ｆnを調整しなければならない場合においても、ＣＩ値を低い水準で維持することが可能となる。
以上示したように、共振周波数ｆnを調整するために、駆動振動腕の寸法を変えることによってＣＩ値が変動することがわかる。
【００４９】
図２に、音叉型振動片１００における駆動振動腕１２０，１３０の厚さｔと、ＣＩ値（駆動インピーダンス値）の変動との相関を示す。図２は、ＣＩ値変動とｆ×ｔ2との相関を示し、図２（ａ）はＣＩ値とｆ×ｔ2との相関を示すグラフ、図２（ｂ）はＣＩ値変動率とｆ×ｔ2との相関を示すグラフである。なお、図２（ａ）の縦軸は、ｆ×ｔ2＝１となるところのＣＩ値をＣＩ値＝１．０とした、ＣＩ値の指数値を示している。
【００５０】
図２（ａ）に示されているように、駆動振動腕１２０，１３０の駆動振動の共振周波数ｆと、駆動振動腕１２０，１３０の厚さｔと、駆動振動腕１２０，１３０の駆動振動におけるＣＩ値と、の関係において、ｆ×ｔ2とＣＩ値とには、累乗の関係が見られる。すなわち、ｆ×ｔ2とＣＩ値とは、ＣＩ∝（ｆ×ｔ2）-1.27の曲線に沿った関係がある。この関係から、ｆ×ｔ2の値を大きくすればＣＩ値を低くできることがわかる。
【００５１】
また、図２（ｂ）には、上述の共振周波数ｆおよび厚さｔが変動した場合の、ＣＩ値の変化（ＣＩ値変動率）が示されている。なお、図２（ｂ）の縦軸は、共振周波数ｆあるいは厚さｔが１％変動したときのＣＩ値の変動率（以下、ＣＩ値変動率とする）となっている。図２（ｂ）に示されているように、ＣＩ値変動率とｆ×ｔ2とにおける関係においても、累乗の関係となっており、ｆ×ｔ2の値を大きくすればＣＩ値変動率を低くできることがわかる。
【００５２】
図２（ｂ）によれば、ｆ×ｔ2を０．０００８とすれば、ＣＩ値変動率を２．０％以下とすることができ、ｆ×ｔ2を０．００１とすれば、ＣＩ値変動率を１．５％以下とすることができる。ＣＩ値変動率は、小さければ小さいほど好ましいが、２．０％以下に抑えることができれば、すなわちｆ×ｔ2を０．０００８より大きくすることすることにより、駆動振動腕１２０，１３０の振動特性に対する影響を軽微とすることができる。なお、さらに好ましくは、ｆ×ｔ2を０．００１とすることにより、ＣＩ値変動率を１．５％以下とすることができ、さらに駆動振動腕１２０，１３０の振動特性に対する影響を軽微とすることができる。これにより、音叉型振動片１００における駆動振動腕１２０，１３０の振動特性を安定させることができる。
【００５３】
なお、ｆ×ｔ2の値を大きくすればするほどＣＩ値変動率を低くすることができるが、決められた共振周波数ｆを維持しつつ、ｆ×ｔ2の値を大きくするためには、厚さｔを大きくする必要がある。厚さｔを大きくして、決められた共振周波数ｆを維持するためには、駆動振動腕１２０，１３０を長くする必要がある。このように、ｆ×ｔ2の値を大きくするにしたがって、音叉型振動片１００の大きさ（サイズ）が大きくなってしまい実用上問題を生じてしまうが、ｆ×ｔ2の値を０．００４より小さくすることで回避できる。さらに小型の音叉型振動片１００とするためには、ｆ×ｔ2の値を０．００３より小さくすることが好ましい。
【００５４】
上述から、共振周波数ｆと、駆動振動腕１２０，１３０の厚さｔとの関係を、０．００４＞ｆ×ｔ2＞０．０００８とすること、さらに好ましくは、０．００３＞ｆ×ｔ2＞０．００１とすることにより、駆動振動腕１２０，１３０の厚さｔなどがばらついてもＣＩ値変動率を低減させることができる。換言すれば、音叉型振動片１００の製造時における外形形状のばらつきが生じたとしても、ＣＩ値を低くすることができるとともに、小型の音叉型振動片１００を維持しつつＣＩ値のばらつき（ＣＩ値変動率）を低減させることが可能となる。
【００５５】
なお、音叉型振動片１００においては、振動片として用いる構成の他にも、ジャイロ振動片（ジャイロ素子）として用いることもできる。この場合は、一対の駆動振動腕１２０，１３０の一方を駆動振動腕として用い、他の駆動振動腕を検出振動腕として用い、所定の電極を設ける。
【００５６】
（第２実施形態）
＜ジャイロ素子−１＞
まず、本発明の第２実施形態に係る振動素子としてのジャイロ素子について、図３および図４を参照して説明する。図３は、ジャイロ素子の一実施形態を示し、図３（ａ）は模式的に示す斜視図、図３（ｂ）は模式的に示す平面図である。図４は、ジャイロ素子の電極構成を説明する図であり、図４（ａ）は図３（ｂ）のＣ−Ｃ断面図、図４（ｂ）は図３（ｂ）のＤ−Ｄ断面図である。
【００５７】
図３（ａ）に示すように、第３実施形態に係るジャイロ素子３００は、基材（主要部分を構成する材料）を加工することにより一体に形成された基部１と、振動腕としての駆動振動腕２ａ，２ｂおよび振動腕としての検出振動腕３ａ，３ｂと、調整用振動腕４ａ，４ｂとを有している。更に、基部１から延出する第１連結部５ａ、および第１連結部５ａに連結する第１支持部５ｂと、基部１から第１連結部５ａと反対方向に延出する第２連結部６ａ、および第２連結部６ａに連結する第２支持部６ｂと、が設けられている。さらに、第１支持部５ｂおよび第２支持部６ｂは、駆動振動腕２ａ，２ｂの側で一体的に繋って、固定枠部７を構成している。そして、ジャイロ素子３００は、固定枠部７の所定の位置で、図示しないパッケージ等の基板に固定される。
【００５８】
本実施形態のジャイロ素子３００では、基材として圧電体材料である水晶を用いた例について説明する。水晶は、電気軸と呼ばれるＸ軸、機械軸と呼ばれるＹ軸及び光学軸と呼ばれるＺ軸を有している。本実施形態では、水晶結晶軸において直交するＸ軸及びＹ軸で規定される平面に沿って切り出されて平板状に加工され、平面と直交するＺ軸方向に所定の厚さｔを有した所謂水晶Ｚ板を基材として用いた例を説明する。なお、ここでいう所定の厚さｔは、発振周波数（共振周波数）、外形サイズ、加工性などにより適宜設定される。また、ジャイロ素子３００を形成する平板は、水晶からの切り出し角度の誤差を、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の各々につき多少の範囲で許容できる。例えば、Ｘ軸を中心に０度から２度の範囲で回転して切り出したものを使用することができる。Ｙ軸及びＺ軸についても同様である。
【００５９】
ジャイロ素子３００は、中心部分に位置する略矩形状の基部１と、基部１のＹ軸方向の端部１ａ，１ｂのうち一方の端部（図中（−）Ｙ方向の端部）１ｂから、並行するようにＹ軸に沿って延伸された一対の駆動振動腕２ａ，２ｂと、基部１の他方の端部（図中（＋）Ｙ方向の端部）１ａからＹ軸に沿って並行するように延伸された一対の検出振動腕３ａ，３ｂと、を有している。このように、基部１の両端部１ａ，１ｂから、一対の駆動振動腕２ａ，２ｂと、一対の検出振動腕３ａ，３ｂとが、それぞれ同軸方向に延伸されている。このような形状から、本実施形態に係るジャイロ素子３００は、Ｈ型ジャイロ素子と呼ばれることがある。Ｈ型のジャイロ素子３００は、駆動振動腕２ａ，２ｂと検出振動腕３ａ，３ｂとが、基部１の同一軸方向の両端部１ａ，１ｂからそれぞれ延伸されているので、駆動系と検出系が分離される。ジャイロ素子３００は、このように駆動系と検出系が分離されることにより、駆動系と検出系の電極間あるいは配線間の静電結合が低減され、検出感度が安定するという特徴を有する。なお、第２実施形態ではＨ型振動片を例に駆動振動腕および検出振動腕を各々２本ずつ設けているが、振動腕の本数は１本であっても３本以上であっても良い。また、１本の振動腕に後述する駆動電極と検出電極を形成しても良い。
【００６０】
Ｈ型のジャイロ素子３００は、一対の駆動振動腕２ａ，２ｂを面内方向（＋Ｘ軸方向と−Ｘ軸方向）に振動させた状態で、Ｙ軸回りに角速度ωが加わると、駆動振動腕２ａ，２ｂにコリオリ力が発生し、駆動振動腕２ａ，２ｂが面内方向と交差する面外方向（＋Ｚ軸方向と−Ｚ軸方向）に、互いに逆方向に屈曲振動する。そして、検出振動腕３ａ，３ｂは、駆動振動腕２ａ，２ｂの面外方向の屈曲振動に共振して、同じく面外方向に屈曲振動する。この時、圧電効果により検出振動腕３ａ，３ｂに設けられている検出電極に電荷が発生する。ジャイロ素子３００は、この電荷を検出することによりジャイロ素子３００に加わる角速度ωを検出することができる。
【００６１】
基部１から延伸された振動腕としての一対の駆動振動腕２ａ，２ｂは、図４に示すように、表面２ｃ，２ｇと、表面２ｃ，２ｇと反対側に設けられた裏面２ｄ，２ｈと、表面２ｃ，２ｇと裏面２ｄ，２ｈとを接続する側面２ｅ，２ｆ，２ｋ，２ｊと、を備えている。また、駆動振動腕２ａ，２ｂの先端部には、駆動振動腕２ａ，２ｂより幅が広い（Ｘ軸方向の寸法が大きい）略矩形状の幅広部としての錘部５２ａ，５２ｂが設けられている（図３参照）。このように、駆動振動腕２ａ，２ｂに、錘部５２ａ，５２ｂが設けられていることにより、駆動振動腕２ａ，２ｂの長さ（Ｙ軸方向の寸法）の増大を抑えながら所定の駆動振動を得ることができるため、ジャイロ素子を小型化することが可能となる。なお、駆動振動腕２ａ，２ｂには、駆動振動腕２ａ，２ｂを駆動させるための電極が設けられているが、電極の構成については後述する。
【００６２】
基部１から延伸された一対の振動腕としての検出振動腕３ａ，３ｂには、表面３ｃ，３ｇと、表面３ｃ，３ｇと反対側に設けられた裏面３ｄ，３ｆと、表面３ｃ，３ｇと裏面３ｄ，３ｆとを接続する側面３ｈ，３ｉ，３ｊ，３ｋと、を備えている。さらに、検出振動腕３ａ，３ｂには、検出振動腕３ａ，３ｂより幅が広い（Ｘ軸方向の寸法が大きい）略矩形状の幅広部としての錘部５３ａ，５３ｂが設けられている（図３参照）。このように、検出振動腕３ａ，３ｂにおいても、錘部５３ａ，５３ｂが設けられていることにより、検出振動腕３ａ，３ｂの長さ（Ｙ軸方向の寸法）の増大を抑えながら所定の検出振動を得ることができるため、ジャイロ素子を小型化することが可能となる。また、一対の検出振動腕３ａ，３ｂには、凹部５８ａ，５８ｂが設けられている。本実施形態における凹部５８ａ，５８ｂは、図４に示すように表面３ｃ，３ｇおよび裏面３ｄ，３ｆの両面側から掘り込まれている構成であるが、表面３ｃ，３ｇあるいは裏面３ｄ，３ｆの一方の面から掘込まれた構成でもよい。
【００６３】
さらに、ジャイロ素子３００には、図３に示すように、水晶の結晶Ｘ軸（電気軸）と交差する方向に検出振動腕３ａ，３ｂと並行させてかつ検出振動腕３ａ，３ｂを内側に挟むように、基部１から延伸された一対の調整用振動腕４ａ，４ｂが設けられている。即ち、調整用振動腕４ａ，４ｂは、Ｙ軸に沿って（＋）Ｙ方向に延伸され、検出振動腕３ａ，３ｂと所定の間隔を空けて内側に挟むように位置し、かつ並行するように設けられている。なお、調整用振動腕４ａ，４ｂは、チューニングアームと呼ばれることもある。このような調整用振動腕４ａ，４ｂが設けられていることにより、漏れ出力を調整することが可能となる。換言すれば、駆動振動が漏れる（伝播する）、所謂振動漏れによって生じる電荷を、調整用振動腕４ａ，４ｂの電荷を調整することによってキャンセルすることができるため、振動漏れの出力を抑制することが可能となり、ジャイロ素子３００の特性を安定させることが可能となる。
【００６４】
また、調整用振動腕４ａ，４ｂは、駆動振動腕２ａ，２ｂおよび検出振動腕３ａ，３ｂよりも全長が短く形成されている。これにより、漏れ出力を調整するための調整用振動腕４ａ，４ｂの振動が、駆動振動腕２ａ，２ｂと検出振動腕３ａ，３ｂによるジャイロ素子３００の主要な振動を阻害することがないので、ジャイロ素子３００の振動特性が安定するとともに、ジャイロ素子３００の小型化にも有利となる。
【００６５】
さらに、調整用振動腕４ａ，４ｂの先端部には、調整用振動腕４ａ，４ｂより幅が広い（Ｘ軸方向の寸法が大きい）略矩形状の幅広部としての錘部５４ａ，５４ｂが設けられている。このように、調整用振動腕４ａ，４ｂの先端部に錘部５４ａ，５４ｂを設けることにより、調整用振動腕４ａ，４ｂの長さを短縮することができる。
【００６６】
基部１の中央は、ジャイロ素子３００の重心とすることができる。そして、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は、互いに直交し、重心を通るものとする。ジャイロ素子３００の外形は、重心を通るＹ軸方向の仮想の中心線に対して線対称とすることができる。これにより、ジャイロ素子３００の外形はバランスのよいものとなり、ジャイロ素子３００の特性が安定して、検出感度が向上するので好ましい。このようなジャイロ素子３００の外形形状は、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチング（ウェットエッチングまたはドライエッチング）により形成することができる。なお、ジャイロ素子３００は、１枚の水晶ウエハーから複数個取りすることが可能である。
【００６７】
次に、ジャイロ素子３００の電極配置の一実施形態について、図４を参照して説明する。図４（ａ）は、検出振動腕３ａ，３ｂの図３（ｂ）に示すＣ−Ｃ部における断面を示し、図４（ｂ）は、駆動振動腕２ａ，２ｂの図３（ｂ）に示すＤ−Ｄ部における断面を示している。
【００６８】
まず、検出振動腕３ａ，３ｂに形成され、検出振動腕３ａ，３ｂが振動することによって基材である水晶に発生する歪みを検出する検出電極について説明する。図４（ａ）に示すように、検出振動腕３ａ，３ｂには、前述したように、凹部５８ａ，５８ｂが設けられている。本実施形態における凹部５８ａ，５８ｂは、表面３ｃ，３ｇおよび裏面３ｄ，３ｆの両面側に設けられている。
【００６９】
検出振動腕３ａには、側面３ｈに、検出振動腕３ａの厚み方向（Ｚ軸方向）の略中央に有って検出振動腕３ａの延伸方向（Ｙ軸方向）に沿って設けられた電極分割部３ｍによって分割された、表面３ｃ側の第１検出電極２１ａと裏面３ｄ側の第２検出電極２２ｂとが設けられている。さらに、第１検出電極２１ａと対向する凹部５８ａの内側面には、第２検出電極２２ａが設けられ、第２検出電極２２ｂと対向する凹部５８ａの内側面には、第１検出電極２１ｂが設けられている。また、側面３ｈとは反対側の側面３ｉに、検出振動腕３ａの厚み方向の略中央に有って検出振動腕３ａの延伸方向に沿って設けられた電極分割部３ｎによって分割された、表面３ｃ側の第２検出電極２２ａと裏面３ｄ側の第１検出電極２１ｂとが設けられている。さらに、第２検出電極２２ａと対向する凹部５８ａの内側面には、第１検出電極２１ａが設けられ、第１検出電極２１ｂと対向する凹部５８ａの内側面には、第２検出電極２２ｂが設けられている。
【００７０】
そして、第１検出電極２１ａと第１検出電極２１ｂとは、図示しないが、検出振動腕３ａの先端部などを経由して電気的に接続されている。第２検出電極２２ａと第２検出電極２２ｂとは、図示しないが、検出振動腕３ａの先端部などを経由して電気的に接続されている。なお、第１検出電極２１ａ，２１ｂおよび第２検出電極２２ａ，２２ｂは、検出振動腕３ａの先端近傍まで延設されている。また、第１検出電極２１ａ，２１ｂおよび第２検出電極２２ａ，２２ｂは、図示しない配線を介して図示しない外部接続パッドに、それぞれが電気的に接続されている。また、第１検出電極２１ａ，２１ｂおよび第２検出電極２２ａ，２２ｂは、調整用振動腕４ａ（図３参照）に形成された図示しない調整用電極にも電気的に接続されている。
【００７１】
同様に、検出振動腕３ｂには、側面３ｊに、検出振動腕３ｂの厚み方向（Ｚ軸方向）の略中央に有って検出振動腕３ｂの延伸方向（Ｙ軸方向）に沿って設けられた電極分割部３ｒによって分割された、表面３ｇ側の第２検出電極３１ａと裏面３ｆ側の第１検出電極３２ｂとが設けられている。さらに、第２検出電極３１ａと対向する凹部５８ａの内側面には、第１検出電極３２ａが設けられ、第１検出電極３２ｂと対向する凹部５８ａの内側面には、第２検出電極３１ｂが設けられている。また、側面３ｊとは反対側の側面３ｋに、検出振動腕３ｂの厚み方向の略中央に有って検出振動腕３ｂの延伸方向に沿って設けられた電極分割部３ｓによって分割された、表面３ｇ側の第１検出電極３２ａと裏面３ｆ側の第２検出電極３１ｂとが設けられている。さらに、第１検出電極３２ａと対向する凹部５８ｂの内側面には、第２検出電極３１ａが設けられ、第２検出電極３１ｂと対向する凹部５８ｂの内側面には、第１検出電極３２ｂが設けられている。
【００７２】
そして、第２検出電極３１ａと第２検出電極３１ｂとは、図示しないが、検出振動腕３ｂの先端部などを経由して電気的に接続されている。第１検出電極３２ａと第１検出電極３２ｂとは、図示しないが、検出振動腕３ｂの先端部などを経由して電気的に接続されている。なお、第２検出電極３１ａ，３１ｂおよび第１検出電極３２ａ，３２ｂは、検出振動腕３ｂの先端近傍まで延設されている。また、第２検出電極３１ａ，３１ｂおよび第１検出電極３２ａ，３２ｂは、図示しない配線を介して図示しない外部接続パッドに、それぞれが電気的に接続されている。また、第２検出電極３１ａ，３１ｂおよび第１検出電極３２ａ，３２ｂは、調整用振動腕４ｂ（図３参照）に形成された図示しない調整用電極にも電気的に接続されている。
【００７３】
検出振動腕３ａにおいては、第１検出電極２１ａと第１検出電極２１ｂとは同電位となるように接続され、第２検出電極２２ａと第２検出電極２２ｂとは同電位となるように接続されている。これにより、検出振動腕３ａの振動によって生じる歪みが、第１検出電極２１ａ，２１ｂと第２検出電極２２ａ，２２ｂの電極間の電位差を検出することにより検出される。同様に、検出振動腕３ｂにおいては、第１検出電極３２ａと第１検出電極３２ｂとは同電位となるように接続され、第２検出電極３１ａと第２検出電極３１ｂとは同電位となるように接続されている。これにより、検出振動腕３ｂの振動によって生じる歪みが、第１検出電極３２ａ，３２ｂと第２検出電極３１ａ，３１ｂの電極間の電位差を検出することにより検出される。
【００７４】
次に、駆動振動腕２ａ，２ｂに設けられた、駆動振動腕２ａ，２ｂを駆動させるための駆動電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１２ａ，１２ｂ，１２ｃについて説明する。図４（ｂ）に示すように、駆動振動腕２ａの表面（一方の主面）２ｃには駆動電極１１ａが、および裏面（他方の主面）２ｄには駆動電極１１ｂが、錘部５２ａ（図３参照）までの間に形成されている。また、駆動振動腕２ａの一方の側面２ｅ、および他方の側面２ｆには駆動電極１２ｃが、駆動振動腕２ａの錘部５２ａ（図３参照）までの間に形成されている。同様に、駆動振動腕２ｂの表面（一方の主面）２ｇには駆動電極１２ａが、および裏面（他方の主面）２ｈには駆動電極１２ｂが、錘部５２ｂ（図３参照）までの間に形成されている。また、駆動振動腕２ｂの一方の側面２ｊ、および他方の側面２ｋには駆動電極１１ｃが、駆動振動腕２ｂの錘部５２ｂ（図３参照）までの間に形成されている。
【００７５】
駆動振動腕２ａ，２ｂに形成された駆動電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１２ａ，１２ｂ，１２ｃは、駆動振動腕２ａ，２ｂを介して対向配置される駆動電極間において同電位となるように配置される。また、図示しないが、駆動電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃが、接続される第１固定部に形成された接続パッド、および駆動電極１２ａ，１２ｂ，１２ｃが接続される第２固定部に形成された接続パッドを通して駆動電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃと駆動電極１２ａ，１２ｂ，１２ｃとの間に電位差を交互に与えることにより駆動振動腕２ａ，２ｂは、いわゆる音叉振動が励振される。
【００７６】
次に、調整用振動腕４ａ，４ｂに設けられた電極について説明する。図示しないが、調整用振動腕４ａには、表裏面に同電位の調整用電極が形成されている。また調整用振動腕４ａの両側面のそれぞれには、同電位である他の調整用電極が形成されている。同様に、調整用振動腕４ｂには、表裏面に同電位の調整用電極が形成されている。また調整用振動腕４ｂの両側面には、同電位である他の調整用電極が形成されている。
【００７７】
なお、上述した駆動電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１２ａ，１２ｂ，１２ｃ、第１検出電極２１ａ，２１ｂ，３２ａ，３２ｂ、および第２検出電極２２ａ，２２ｂ，３１ａ，３１ｂ、および調整用電極の構成は、第１実施形態で説明した電極構成と同様であるので、本実施形態での説明は省略する。
【００７８】
上述したジャイロ素子３００では、前述の第１実施形態の音叉型振動片１００と同様に、駆動振動腕２ａ，２ｂの共振周波数ｆと、駆動振動腕の厚さｔとの関係を、０．００４＞ｆ×ｔ2＞０．０００８とすること、さらに好ましくは、０．００３＞ｆ×ｔ2＞０．００１とすることが望ましい。このようにすることにより、例えばジャイロ素子３００の製造時に外形形状のばらつきが生じたとしても、その影響を排除することができる。すなわち、小型のジャイロ素子３００であっても、その製造時に生じる外形形状のばらつきによる、ＣＩ値のばらつきを低減させたりＣＩ値の水準を低下させたりすることが可能となる。なお、ジャイロ素子３００をジャイロとして機能させるためには、面内振動と面外振動の共振周波数を合わせる必要があり、面内振動の共振周波数ｆを、面外振動の共振周波数に合わせて増やす（上げる）ことになり、ｆ×ｔ2の値を上述の範囲内に収めることによる効果を生じることになる。
【００７９】
上述から、駆動振動腕２ａ，２ｂの共振周波数ｆと、駆動振動腕２ａ，２ｂの厚さｔとの関係を、０．００４＞ｆ×ｔ2＞０．０００８とすること、さらに好ましくは、０．００３＞ｆ×ｔ2＞０．００１とすることにより、駆動振動腕２ａ，２ｂの厚さｔなどがばらついてもＣＩ値変動率を低減させることができる。換言すれば、ジャイロ素子３００の製造時における外形形状のばらつきが生じたとしても、ジャイロ素子３００としてＣＩ値を低くできるとともに、小型を維持しつつＣＩ値のばらつき（ＣＩ値変動率）を低減させることが可能となる。
【００８０】
なお、上記第２実施形態に係るジャイロ素子３００の説明では、基部１の一方端に、一対の検出振動腕３ａ，３ｂと、検出振動腕３ａ，３ｂを挟む一対の調整用振動腕４ａ，４ｂと、が設けられ、他方端に一対の駆動振動腕２ａ，２ｂが設けられている例を用いたが、この構成に限らない。例えば、駆動振動腕と調整用振動腕とが、基部の同じ端から同方向に延出されている形態でもよい。
【００８１】
（第３実施形態）
＜ジャイロ素子−２＞
次に、図５を参照して、第３実施形態に係るジャイロ素子４００について説明する。
図５は、第３実施形態に係るジャイロ素子の概略構成を模式的に示し、ジャイロ素子を＋側のＺ軸方向から見た平面図である。なお、ジャイロ素子４００には、検出信号電極、検出信号配線、検出信号端子、検出接地電極、検出接地配線、検出接地端子、駆動信号電極、駆動信号配線、駆動信号端子、駆動接地電極、駆動接地配線および駆動接地端子などが設けられているが、図５においては省略している。
【００８２】
第３実施形態に係るジャイロ素子４００は、Ｚ軸まわりの角速度を検出する「面外検出型」のセンサー素子であって、図示しないが、基材と、基材の表面に設けられている複数の電極、配線および端子とで構成されている。ジャイロ素子４００は、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどの圧電材料で構成することができるが、これらの中でも、水晶で構成するのが好ましい。これにより、優れた振動特性（周波数特性）を発揮することのできるジャイロ素子４００が得られる。
【００８３】
このようなジャイロ素子４００は、いわゆるダブルＴ型をなす振動体４と、振動体４を支持する支持部としての第１支持部５１および第２支持部５２と、振動体４と第１支持部５１および第２支持部５２とを連結する第１梁６１、第２梁６２、第３梁６３および第４梁６４とを有している。
【００８４】
振動体４は、ＸＹ平面に拡がりを有し、Ｚ軸方向に厚みを有している。このような振動体４は、中央に位置する基部４１と、基部４１からＹ軸方向に沿って両側に延出している振動腕としての第１検出振動腕４２１、第２検出振動腕４２２と、基部４１からＸ軸方向に沿って両側に延出している第１連結腕４３１、第２連結腕４３２と、第１連結腕４３１の先端部からＹ軸方向に沿って両側に延出している振動腕としての第１駆動振動腕４４１、および第２駆動振動腕４４２と、第２連結腕４３２の先端部からＹ軸方向に沿って両側に延出している振動腕としての第３駆動振動腕４４３、および第４駆動振動腕４４４とを有している。第１、第２検出振動腕４２１，４２２および第１、第２、第３、第４駆動振動腕４４１，４４２，４４３，４４４の先端部には、それぞれ、基端側よりも幅の大きい略四角形の重量部（ハンマーヘッド）４２５，４２６，４４５，４４６，４４７，４４８が設けられている。このような重量部４２５，４２６，４４５，４４６，４４７，４４８を設けることでジャイロ素子４００の角速度の検出感度が向上する。
【００８５】
第１検出振動腕４２１には、有底の凹部４５８が設けられ、第２検出振動腕４２２には、有底の凹部４５９が設けられている。凹部４５８，４５９は、表面および裏面の両面側から堀込まれている。なお、凹部は、表面あるいは裏面のいずれか一方の面から掘込まれた構成でもよい。
【００８６】
また、第１、第２支持部５１，５２は、それぞれ、Ｘ軸方向に沿って延在しており、これら第１、第２支持部５１，５２の間に振動体４が位置している。言い換えれば、第１、第２支持部５１，５２は、振動体４を介してＹ軸方向に沿って対向するように配置されている。第１支持部５１は、第１梁６１、および第２梁６２を介して基部４１と連結されており、第２支持部５２は、第３梁６３、および第４梁６４を介して基部４１と連結されている。
【００８７】
第１梁６１は、第１検出振動腕４２１と第１駆動振動腕４４１との間を通って第１支持部５１と基部４１を連結し、第２梁６２は、第１検出振動腕４２１と第３駆動振動腕４４３との間を通って第１支持部５１と基部４１を連結し、第３梁６３は、第２検出振動腕４２２と第２駆動振動腕４４２との間を通って第２支持部５２と基部４１を連結し、第４梁６４は、第２検出振動腕４２２と第４駆動振動腕４４４との間を通って第２支持部５２と基部４１を連結している。
【００８８】
第１梁６１〜第４梁６４は、それぞれ、Ｘ軸方向に沿って往復しながらＹ軸方向に沿って延びる蛇行部を有する細長い形状で形成されているので、あらゆる方向に弾性を有している。そのため、外部から衝撃が加えられても、各梁６１，６２，６３，６４で衝撃を吸収する作用を有するので、これに起因する検出ノイズを低減または抑制することができる。
【００８９】
このような構成のジャイロ素子４００は、次のようにしてＺ軸まわりの角速度ωを検出する。ジャイロ素子４００は、角速度ωが加わらない状態において、駆動信号電極（図示せず）および駆動接地電極（図示せず）の間に電界が生じると、各駆動振動腕４４１，４４２，４４３，４４４がＸ軸方向に屈曲振動を行う。このとき、第１、第２駆動振動腕４４１，４４２と、第３、第４駆動振動腕４４３，４４４とは、中心点（重心）を通るＹＺ平面に関して面対称の振動を行っているため、基部４１と、第１、第２連結腕４３１，４３２と、第１、第２検出振動腕４２１，４２２とは、ほとんど振動しない。
【００９０】
この駆動振動を行っている状態にて、ジャイロ素子４００にＺ軸まわりに角速度ωが加わると、駆動振動腕４４１，４４２，４４３，４４４および連結腕４３１，４３２にＹ軸方向のコリオリの力が働き、このＹ軸方向の振動に呼応して、Ｘ軸方向の検出振動が励起される。そして、この振動により発生した検出振動腕４２１，４２２の歪みを検出信号として検出することによって角速度ωが求められる。
【００９１】
上述したジャイロ素子４００では、前述の第１実施形態の音叉型振動片１００と同様に、各駆動振動腕４４１，４４２，４４３，４４４の共振周波数ｆと厚さｔとの関係を、０．００４＞ｆ×ｔ2＞０．０００８とすること、さらに好ましくは、０．００３＞ｆ×ｔ2＞０．００１とすることが望ましい。このようにすることにより、例えばジャイロ素子４００の製造時に外形形状のばらつきが生じたとしても、その影響を排除することができる。すなわち、小型のジャイロ素子４００であっても、その製造時に生じる外形形状のばらつきによる、ＣＩ値のばらつきを低減させたりＣＩ値の水準を低下させたりすることが可能となる。
【００９２】
上述から、各駆動振動腕４４１，４４２，４４３，４４４の共振周波数ｆと、各駆動振動腕４４１，４４２，４４３，４４４の厚さｔとの関係を、０．００４＞ｆ×ｔ2＞０．０００８とすること、さらに好ましくは、０．００３＞ｆ×ｔ2＞０．００１とすることにより、各駆動振動腕４４１，４４２，４４３，４４４の厚さｔなどがばらついてもＣＩ値変動率を低減させることができる。換言すれば、ジャイロ素子４００の製造時における外形形状のばらつきが生じたとしても、ジャイロ素子４００としてＣＩ値を低くできるとともに、小型を維持しつつＣＩ値のばらつき（ＣＩ値変動率）を低減させることが可能となる。
【００９３】
なお、第３実施形態に係るジャイロ素子４００では、第１検出振動腕４２１および第２検出振動腕４２２に、凹部４５８，４５９が設けられている構成で説明したが、これに限らず、凹部４５８，４５９が設けられていない構成でもよい。
【００９４】
（振動素子の製造方法）
次に、振動素子の製造方法について、図６を参照して、外形形成工程と電極形成工程を中心に概略を説明する。図６は、実施形態に係る振動素子の製造工程の概略を示す工程フローチャートである。本説明では、第１実施形態に係る振動素子である音叉型振動片１００を例に説明する。したがって、説明中に登場する構成部位あるいは符号などについては、図１と同じものを用いている。
【００９５】
音叉型振動片１００の製造方法においては、水晶Ｚ板基板を形成する基板準備工程Ｓ１０２と、音叉型振動片１００の外形形状を形成する外形形成工程Ｓ１０４と、基板の露出面に電極膜を形成する電極膜形成工程Ｓ１０６と、電極膜を所定の形状に分割するためのレジストを露光する露光工程Ｓ１０８と、電極を形成する電極分割工程Ｓ１１０と、を含んでいる。
【００９６】
まず、基板準備工程Ｓ１０２では、水晶結晶軸において直交するＸ軸およびＹ軸で規定される平面に沿って切り出された所謂水晶Ｚ板の基板に、例えば研磨加工などの加工を行い、Ｚ板の水晶基板を用意する。
【００９７】
次に、外形形成工程Ｓ１０４では、基板準備工程Ｓ１０２にて用意された水晶基板に、金属膜などにより所定のマスキングを行った後、フッ素ガスなどによるドライエッチング法を用いて、音叉型振動片１００の外形形状を形成する。このとき、マスキング形状を、音叉型振動片１００の駆動振動腕１２０，１３０における駆動周波数ｆと、厚さｔとの関係が、０．００４＞ｆ×ｔ2＞０．０００８、さらに好ましくは０．００３＞ｆ×ｔ2＞０．００１となるように設定する。このように、ドライエッチング法を用いて外形形状を形成することで、比較的寸法精度よく外形形状を形成することができる。また、ドライエッチングによる外形形成工程を備えているため、容易に上述のような駆動振動腕１２０，１３０の共振周波数ｆと、駆動振動腕１２０，１３０の厚さｔとの関係を満足する小型の音叉型振動片１００を形成することができる。
【００９８】
次に、電極膜形成工程Ｓ１０６では、音叉型振動片１００の外形形状が形成された水晶基板の露出面の全面に、スパッタリング法などによって金属膜を形成する。この金属膜が、後にそれぞれの電極となる。
【００９９】
次に、露光工程Ｓ１０８では、金属膜の表面にフォトレジスト層を形成する。その後、電極を形成しない部分に相当する部分のフォトレジスト層に光を照射する露光処理および現像処理を行い、露光された部分のフォトレジスト層を除去する。
【０１００】
次に、電極分割工程Ｓ１１０では、残ったフォトレジスト層をマスクとして、フォトレジスト層除去された部分に対応する金属膜をウェットエッチング法などによって除去することによって金属膜を分割する。この分割によって、それぞれの電極（電極パターン）を形成する。そして、残ったフォトレジスト層を剥離させれば、音叉型振動片１００の電極を形成することができる。以上の工程で、音叉型振動片１００を形成することができる。
【０１０１】
（電子デバイスとしてのジャイロセンサー）
次に、第２実施形態に係るジャイロ素子３００を備えた電子デバイスとしてのジャイロセンサーについて、図７を参照して説明する。図７は、電子デバイスの一例としてのジャイロセンサーの概略を示す正断面図である。
【０１０２】
図７に示すように、ジャイロセンサー５００は、パッケージ５１０の凹部に、ジャイロ素子３００と、電子部品としての半導体装置５２０と、を収容し、パッケージ５１０の開口部を蓋体５３０により密閉し、内部を気密に保持されている。パッケージ５１０は、平板上の第１基板５１１と、第１基板５１１上に、枠状の第２基板５１２、第３基板５１３、第４基板５１４、を順に積層、固着して形成され、半導体装置５２０とジャイロ素子３００とが収容される凹部が形成される。基板５１１，５１２，５１３，５１４は、例えばセラミックスなどにより形成される。
【０１０３】
第１基板５１１は、凹部側の半導体装置５２０が搭載される電子部品搭載面５１１ａには、半導体装置５２０が載置され固定されるダイパッド５１５が設けられている。半導体装置５２０はダイパッド５１５上に、例えば、ろう材（ダイアタッチ材）５４０によって接着され、固定されている。
【０１０４】
半導体装置５２０は、ジャイロ素子３００を駆動振動させるための励振手段としての駆動回路と、角速度が加わったときにジャイロ素子３００に生じる検出振動を検出する検出手段としての検出回路と、を有する。具体的には、半導体装置５２０が有する駆動回路は、ジャイロ素子３００の一対の駆動振動腕２ａ，２ｂ（図３参照）にそれぞれ形成された駆動電極１１ａ，１１ｂ，１２ｃおよび駆動電極１１ｃ，１２ａ，１２ｂ（図４参照）に駆動信号を供給する。また、半導体装置５２０が有する検出回路は、ジャイロ素子３００の一対の検出振動腕３ａ，３ｂにそれぞれ形成された検出電極２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂおよび検出電極３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂ（図４参照）に生じる検出信号を増幅させて増幅信号を生成し、該増幅信号に基づいてジャイロセンサー５００に加わった回転角速度を検出する。
【０１０５】
第２基板５１２は、ダイパッド５１５上に搭載される半導体装置５２０が収容可能な大きさの開口を有する枠状の形状に形成されている。第３基板５１３は、第２基板５１２の開口より広い開口を有する枠状の形状に形成され、第２基板５１２上に積層され、固着される。そして第２基板５１２に第３基板５１３が積層されて第３基板５１３の開口の内側に現れる第２基板面５１２ａには、半導体装置５２０の図示しない電極パッドと電気的に接続するボンディングワイヤーＢＷが接続される複数のＩＣ接続端子５１２ｂが形成されている。そして、半導体装置５２０の図示しない電極パッドとパッケージ５１０に設けられたＩＣ接続端子５１２ｂとが、ワイヤーボンディング法を用いて電気的に接続されている。すなわち、半導体装置５２０に設けられた複数の電極パッドと、パッケージ５１０の対応するＩＣ接続端子５１２ｂとが、ボンディングワイヤーＢＷにより接続されている。また、ＩＣ接続端子５１２ｂのいずれかは、パッケージ５１０の図示しない内部配線により、第１基板５１１の外部底面５１１ｂに設けられた複数の外部接続端子５１１ｃに電気的に接続されている。
【０１０６】
第３基板５１３上には、第３基板５１３の開口より広い開口を有する第４基板５１４が積層され、固着されている。そして、第３基板５１３に第４基板５１４が積層されて第４基板５１４の開口の内側に現れる第３基板面５１３ａには、ジャイロ素子３００に形成された接続パッド（図示せず）と接続される複数のジャイロ素子接続端子５１３ｂが形成されている。ジャイロ素子接続端子５１３ｂは、パッケージ５１０の図示しない内部配線によってＩＣ接続端子５１２ｂのいずれかと電気的に接続されている。ジャイロ素子３００は、第３基板面５１３ａにジャイロ素子３００の第１支持部５ｂ、第２支持部６ｂ（図３参照）を、接続パッドとジャイロ素子接続端子５１３ｂとに位置を合わせて載置され、導電性接着剤５５０によって接着固定される。
【０１０７】
更に、第４基板５１４の開口の上面に蓋体５３０が配置され、パッケージ５１０の開口を封止し、パッケージ５１０の内部が気密封止され、ジャイロセンサー５００が得られる。蓋体５３０は、例えば、４２アロイ（鉄にニッケルが４２％含有された合金）やコバール（鉄、ニッケルおよびコバルトの合金）等の金属、セラミックス、あるいはガラスなどを用いて形成することができる。例えば、金属により蓋体５３０を形成した場合には、コバール合金などを矩形環状に型抜きして形成されたシールリング５６０を介してシーム溶接することによりパッケージ５１０と接合される。パッケージ５１０および蓋体５３０によって形成される凹部空間は、ジャイロ素子３００が動作するための空間となるため、減圧空間または不活性ガス雰囲気に密閉・封止することが好ましい。
【０１０８】
電子デバイスとしてのジャイロセンサー５００によれば、ＣＩ値のばらつきを低減させたジャイロ素子３００、すなわち振動特性の安定したジャイロ素子３００を備えているため、安定したセンシング特性を発揮することができる。また、上記構成のようなパッケージタイプのジャイロセンサー５００は、小型化・薄型化に有利であるとともに耐衝撃性を高くすることができる。
【０１０９】
なお、本発明に係る振動素子を適用可能な電子デバイスとしては、ジャイロセンサー５００の他にも、例えば、パッケージ内に振動素子を収納したタイミングデバイスとしての振動子、またはパッケージ内に振動素子および振動素子を振動させる機能を少なくとも備えた回路素子を収納したタイミングデバイスとしての発振器などがある。
【０１１０】
（電子機器）
次に、図８を参照して、前述の実施形態に係る振動素子を備えた電子機器について説明する。なお、以下の説明では、振動素子の一例としてジャイロ素子３００を用いた例について説明する。図８（ａ）〜図８（ｃ）は、ジャイロ素子３００を備える電子機器の一例を示す斜視図である。
【０１１１】
図８（ａ）は、電子機器としてのデジタルビデオカメラ１０００にジャイロ素子３００を適用した例を示す。デジタルビデオカメラ１０００は、受像部１１００、操作部１２００、音声入力部１３００、及び表示ユニット１４００を備えている。このようなデジタルビデオカメラ１０００に、上述の実施形態のジャイロ素子３００を搭載する手ぶれ補正機能を具備させることができる。
【０１１２】
図８（ｂ）は、電子機器としての携帯電話機２０００にジャイロ素子３００を適用した例を示す。図８（ｂ）に示す携帯電話機２０００は、複数の操作ボタン２１００及びスクロールボタン２２００、並びに表示ユニット２３００を備える。スクロールボタン２２００を操作することによって、表示ユニット２３００に表示される画面がスクロールされる。
【０１１３】
図８（ｃ）は、電子機器としての情報携帯端末（ＰＤＡ：Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ａｓｓｉｓｔａｎｔｓ）３０００にジャイロ素子３００を適用した例を示す。図８（ｃ）に示すＰＤＡ３０００は、複数の操作ボタン３１００及び電源スイッチ３２００、並びに表示ユニット３３００を備える。電源スイッチ３２００を操作すると、住所録やスケジュール帳といった各種の情報が表示ユニット３３００に表示される。
【０１１４】
このような携帯電話機２０００やＰＤＡ３０００に、上述の実施形態のジャイロ素子３００を搭載することにより、様々な機能を付与することができる。例えば、図８（ｂ）の携帯電話機２０００に、図示しないカメラ機能を付与した場合に、上記のデジタルビデオカメラ１０００と同様に、手振れ補正を行うことができる。また、図８（ｂ）の携帯電話機２０００や、図８（ｃ）のＰＤＡ３０００に、ＧＰＳ（Ｇｌｏｂａｌ  Ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍ）として広く知られる汎地球測位システムを具備した場合に、上述の実施形態のジャイロ素子３００を搭載することにより、ＧＰＳによって、携帯電話機２０００やＰＤＡ３０００の位置や姿勢を認識させることができる。
【０１１５】
なお、本発明の実施形態に係るジャイロ素子３００を一例とする振動素子は、図８（ａ）のデジタルビデオカメラ１０００、図８（ｂ）の携帯電話機、および図８（ｃ）の情報携帯端末の他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター等の電子機器に適用することができる。
【０１１６】
（移動体）
次に、前述の実施形態に係る振動素子を備えた移動体について説明する。なお、以下の説明では、振動素子の一例としてジャイロ素子３００を用いた例について説明する。図９は移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。自動車１５００には、ジャイロ素子３００が搭載されている。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車１５００には、ジャイロ素子３００を内蔵してタイヤなどを制御する電子制御ユニット１５１０が車体に搭載されている。また、ジャイロ素子３００は、他にもキーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Ｔｉｒｅ  Ｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｍｏｎｉｔｏｒｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍ）、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム、等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ  Ｃｏｎｔｒｏｌ  Ｕｎｉｔ）に広く適用できる。
【０１１７】
以上、実施の形態について具体的に説明したが、本発明は上記した実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えることが可能である。例えば、上記実施形態および変形例では、振動素子あるいは振動素子としてのジャイロ素子の形成材料として水晶を用いた例を説明したが、水晶以外の圧電体材料を用いることができる。例えば、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）や、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ3）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ2Ｂ4Ｏ7）、ランガサイト（Ｌａ3Ｇａ5ＳｉＯ14）などの酸化物基板や、ガラス基板上に窒化アルミニウムや五酸化タンタル（Ｔａ2Ｏ5）などの圧電体材料を積層させて構成された積層圧電基板、あるいは圧電セラミックスなどを用いることができる。また、圧電体材料以外の材料を用いて振動素子を形成することができる。例えば、シリコン半導体材料などを用いて振動素子を形成することもできる。また、振動素子の振動（駆動）方式は圧電駆動に限らない。圧電基板を用いた圧電駆動型のもの以外に、静電気力を用いた静電駆動型や、磁力を利用したローレンツ駆動型などの振動素子においても、本発明の構成およびその効果を発揮させることができる。
【符号の説明】
【０１１８】
１…基部、１ａ，１ｂ…基部の一端としての端部、２ａ，２ｂ…振動腕としての駆動振動腕、２ｃ，２ｇ…表面、２ｄ，２ｈ…裏面、２ｅ，２ｆ，２ｋ，２ｊ…側面、３ａ，３ｂ…振動腕としての検出振動腕、３ｃ，３ｇ…表面、３ｄ，３ｆ…裏面、３ｈ，３ｉ，３ｊ，３ｋ…側面、３ｍ，３ｎ，３ｒ，３ｓ…電極分割部、４ａ，４ｂ…調整用振動腕、５ａ…第１連結部、５ｂ…第１支持部、６ａ…第２連結部、６ｂ…第２支持部、７…固定枠部、１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１２ａ，１２ｂ，１２ｃ…駆動電極、２１ａ，２１ｂ，３２ａ，３２ｂ…第１検出電極、２２ａ，２２ｂ，３１ａ，３１ｂ…第２検出電極、５２ａ，５２ｂ，５３ａ，５３ｂ，５４ａ，５４ｂ…錘部、５８ａ，５８ｂ…凹部、１００…振動素子としての音叉型振動片、１０３ｃ，１０３ｇ…表面、１０３ｄ，１０３ｆ…裏面、１０３ｈ，１０３ｉ，１０３ｊ，１０３ｋ…側面、１１０…基部、１１１…狭幅部、１１２…括れ部、１１３…広幅部、１２０，１３０…振動腕としての駆動振動腕、１２１ａ，１２１ｂ，１３２ａ，１３２ｂ…駆動電極としての第１駆動電極、１２２ａ，１２２ｂ，１３１ａ，１３１ｂ…駆動電極としての第２駆動電極、３００…振動素子としてのＨ型ジャイロ素子、４００…振動素子としてのダブルＴ型ジャイロ素子、５００…電子デバイスとしてのジャイロセンサー、１０００…電子機器としてのデジタルビデオカメラ、１５００…移動体としての自動車、２０００…電子機器としての携帯電話機、３０００…電子機器としての情報携帯端末（ＰＤＡ）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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