(57)【要約】【課題】油やフラックス等の汚れが付着した物品の洗浄すすぎ方法であり、洗浄性能およびすすぎ性能に優れ、仕上がり品質が高い洗浄すすぎ方法の提供。【解決手段】  汚染物質が付着した物品を、炭化水素系溶剤と水を含む非引火性の洗浄剤組成物に接触させる洗浄工程と、前記洗浄工程で洗浄された前記物品を、ハイドロフルオルエーテルおよび／またはハイドロフルオルカーボンを含むフッ素系溶剤に接触させるすすぎ工程を有する物品の洗浄すすぎ方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
汚染物質が付着した物品を、炭化水素系溶剤と水を含む非引火性の洗浄剤組成物に接触させる洗浄工程と、
前記洗浄工程で洗浄された前記物品を、ハイドロフルオルエーテルおよび／またはハイドロフルオルカーボンを含むフッ素系溶剤に接触させるすすぎ工程と
を有することを特徴とする物品の洗浄すすぎ方法。
【請求項２】
前記炭化水素系溶剤は、常温で水溶性の炭化水素系溶剤を含む、請求項１に記載の物品の洗浄すすぎ方法。
【請求項３】
前記水溶性の炭化水素系溶剤は、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコール、プロピレングリコール、２−メチル−２，４−ペンタンジオール、３−メチル−３−メトキシ−１−ブタノールからなる群から選ばれる少なくとも１種である、請求項２に記載の物品の洗浄すすぎ方法。
【請求項４】
前記炭化水素系溶剤は、さらに非水溶性の炭化水素系溶剤を含む、請求項２または３に記載の物品の洗浄すすぎ方法。
【請求項５】
前記非水溶性の炭化水素系溶剤は、エチレングリコールジブチルエーテル、ジエチレングリコールプロピルメチルエーテル、ジエチレングリコールジイソブチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテルからなる群から選ばれる少なくとも１種である、請求項４に記載の物品の洗浄すすぎ方法。
【請求項６】
前記ハイドロフルオルエーテルは、１，１，２，２−テトラフルオロエチル−１，１，１−トリフルオロエチルエーテルおよび／またはメチルノナフルオロブチルエーテルである、請求項１〜５のいずれか１項に記載の物品の洗浄すすぎ方法。
【請求項７】
前記ハイドロフルオルカーボンは、１，１，１，２，２、３，４，５，５，５−デカフルオロペンタンおよび／または１，１，１，３，３−ペンタフルオロブタンである、請求項１〜５のいずれか１項に記載の物品の洗浄すすぎ方法。
【請求項８】
前記すすぎ工程において、前記物品を沸騰状態の前記フッ素系溶剤に浸漬する、請求項１〜７のいずれか１項に記載の物品の洗浄すすぎ方法。
【請求項９】
前記すすぎ工程において前記フッ素系溶剤に浸漬された前記物品を、さらに前記フッ素系溶剤の蒸気と接触させる、請求項１〜８のいずれか１項に記載の物品の洗浄すすぎ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物品の洗浄すすぎ方法に係り、特に、ＩＣ等の電子部品、精密機械部品、ガラス基板、樹脂成型部品等の物品に付着する油脂類、フラックス、塵埃などの汚れを除去するために用いられる洗浄すすぎ方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、自動車、機械、精密機器、電気、電子等の各種工業分野において、ＩＣ等の電子部品、精密機械部品、ガラス基板、樹脂成型部品等の物品に付着したフラックス、加工油、ワックス、離型剤、塵埃などの汚れを除去するため、塩素系、炭化水素系、グリコールエーテル系、水系など、さまざまな洗浄剤が使用されている。しかし、従来の洗浄剤においては、人体や環境に対する有害性、引火性、処理等に要する費用や設備などの点で多くの問題があった。
【０００３】
これらの問題に対して、洗浄性が高く、純水等によるすすぎが不要で洗浄後そのまま乾燥でき、再使用が可能な洗浄剤組成物として、水とジエチレングリコールジエチルエーテルおよび水溶性溶剤を含み、所定の曇点を有する非引火性の洗浄剤組成物が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された洗浄剤組成物を使用して洗浄を行った場合、乾燥が必要であり、加熱乾燥時に物品表面に残留した溶剤成分や水分が蒸発する際に、物品表面にシミが生じるという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開２０１３−０７７３８３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記問題を解決するためになされたもので、加工油やフラックス等の汚れが付着した物品の洗浄すすぎ方法であり、洗浄性能およびすすぎ性能に優れ、かつ洗浄後の物品表面にシミが生じない等、仕上がり品質が高い洗浄すすぎ方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の洗浄すすぎ方法は、
汚染物質が付着した物品を、炭化水素系溶剤と水を含む非引火性の洗浄剤組成物に接触させる洗浄工程と、
前記洗浄工程で洗浄された前記物品を、ハイドロフルオルエーテル（以下、ＨＦＥと示す。）および／またはハイドロフルオルカーボン（以下、ＨＦＣと示す。）と含むフッ素系溶剤に接触させるすすぎ工程と
を有することを特徴とする。
【０００８】
本明細書において、炭化水素系溶剤とは、炭化水素化合物、または炭化水素化合物にヘテロ原子を含む置換基を有する化合物であって、分子中にフッ素、塩素等のハロゲン原子を含まない化合物からなる溶剤である。またフッ素系溶剤とは、前記炭化水素系溶剤に少なくとも１個以上のフッ素原子を含有する化合物からなる溶剤である。このように、炭化水素系溶剤とフッ素系溶剤とは区別して用いる。
また、本明細書において、ハロゲン化炭化水素については、化合物名の後の括弧内にその化合物の略称を記すが、本明細書では必要に応じて化合物名に代えてその略称を用いる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の洗浄方法は、各種の工業分野において扱われる、加工油やフラックス等の汚れが付着した物品に対して、洗浄性能およびすすぎ性能に優れ、かつ仕上がり後の物品には水や高沸点の洗浄剤組成物の成分が残留しないことから、仕上がり品質が高い。また、使用される洗浄剤組成物が非引火性であるので、防爆設備等の対応が不要であり安全性に優れる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の洗浄すすぎ方法に用いる洗浄すすぎ装置の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態について説明する。
【００１２】
本発明の洗浄すすぎ方法は、汚染物質が付着した物品を、炭化水素系溶剤と水を含む非引火性の洗浄剤組成物に接触させる洗浄工程と、洗浄工程で洗浄された物品を、ＨＦＥおよび／またはＨＦＣを含むフッ素系溶剤に接触させるすすぎ工程とを有する。
【００１３】
＜洗浄工程＞
本発明の洗浄工程においては、フラックス、加工油、ワックス、離型剤、ほこり等の汚染物質が付着した物品を、炭化水素系溶剤と水を含む非引火性の洗浄剤組成物に接触させ、物品に付着した汚染物質を洗浄剤組成物に溶解させて除去する。
ここで、物品としては、自動車、機械、精密機器、電気、電子等の各種の工業分野で扱われる半導体部品、金属部品、ガラス基板、樹脂成型部品等が挙げられる。
【００１４】
（洗浄剤組成物）
本発明の洗浄工程で使用される洗浄剤組成物は、炭化水素系溶剤と水を含み、非引火性の組成物である。なお、非引火性とは、クリーブランド開放式引火点測定法（ＪＩＳ  Ｋ  ２２６５）で、引火が認められないと判断されるものである。
【００１５】
洗浄剤組成物に含まれる水は、組成物の引火点を消失させる作用を有する。水の種類に特に限定はないが、不純物が少なく、部品や洗浄装置等への影響や洗浄すすぎ後の仕上がり品質等への影響が少ないもの、例えば、蒸留水やイオン交換水等が好ましく使用できる。
【００１６】
本発明において、洗浄剤組成物に含まれる炭化水素系溶剤は、室温で水溶性の溶剤を含むことが好ましい。
また室温で水溶性の溶剤とは、５℃〜３５℃で水溶性を示す溶剤のことをいう。水溶性を示すとは、５０ｇ／１００ｇ水以上の水への溶解性を示す溶剤をいう。
水溶性溶剤としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノイソブチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノプロピルエーテル、ジエチレングリコールモノイソプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノイソブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル類、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、２−メチル−２，４−ペンタンジオール、イソプレングリコール等のグリコール類、３−メトキシ−１−ブタノール、３−メチル−３−メトキシ−１−ブタノール等のメトキシブタノール類、メタノール、エタノール、１−プロパノール、２−プロパノール、１−ブタノール等のアルコール類などが挙げられる。１種または２種以上を混合して使用することができる。
【００１７】
水溶性溶剤は、良好な洗浄性（油分の溶解性）を有し、かつ取り扱いが容易で洗浄剤組成物が十分な乾燥性を有するように、１７０℃以上２１０℃以下の沸点を有することが好ましく、さらに引火点が６５℃以上であるものが特に好ましい。
このような沸点と洗浄性、および引火点の観点から、前記水溶性溶剤の中でも、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコール、プロピレングリコール、２−メチル−２，４−ペンタンジオール、３−メチル−３−メトキシ−１−ブタノール等が挙げられる。
【００１８】
洗浄剤組成物には、炭化水素系溶剤として、前記した水溶性溶剤の他に、非水溶性溶剤を含有することができる。すなわち、炭化水素系溶剤として、水溶性溶剤と非水溶性溶剤を組み合わせて使用することができる。前記した水溶性溶剤と組み合わせて使用できる非水溶性溶剤としては、水溶性溶剤との相溶性の観点から、ジエチレングリコールジブチルエーテル、ジエチレングリコールプロピルメチルエーテル、ジエチレングリコールジイソブチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル等のグリコールエーテル類、、ヘキサン、シクロヘキサン、ヘプタン、ノナン、オクタン、デカン、ウンデカン等の脂肪族炭化水素類が挙げられる。これらのグリコールエーテル類および脂肪族炭化水素類の中から、１種または２種以上を混合して使用することができる。
また、非水溶性溶剤としては、油分の溶解性を高め洗浄性を高める点、および後述するすすぎ工程でのすすぎ性の点で、フッ素系溶剤と相溶性を有するものが好ましく、そのような観点からは、グリコールエーテル類のうち、エチレングリコールジブチルエーテル、ジエチレングリコールプロピルメチルエーテル、ジエチレングリコールジイソブチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテルが好ましい。
【００１９】
炭化水素系溶剤が、前記水溶性溶剤を含む溶剤である場合、または前記非水溶性溶剤と前記水溶性溶剤とを含む溶剤である場合、洗浄剤組成物が引火点を有しないという観点から、洗浄剤組成物の水分濃度は、１０質量％以上であることが好ましい。すなわち、炭化水素系溶剤と水を含む洗浄剤組成物において、１０質量％以上の水が水溶性溶剤に溶解した状態で含有されるよう、水溶性溶剤の含有割合を調整することが好ましい。水の含有割合は、洗浄性の観点からは、洗浄剤組成物全体の５０質量％以下が好ましく、３０質量％以下がより好ましい。
【００２０】
洗浄性（油分の溶解性）および非引火性の観点から、洗浄剤組成物における炭化水素系溶剤の含有割合は、５０質量％以上９０質量％以下であることが好ましく、水溶性溶剤の含有割合は、炭化水素系溶剤全体を１００質量％として、５０質量％以上であることが好ましい。
【００２１】
この洗浄剤組成物には、本組成物の性能を損なわない範囲で、他の多価アルコール誘導体、エステル類、エーテル類等をさらに含有してもよい。また、２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−ｐ−クレゾール（ＢＨＴ）、チモール、ピロカテキン等の酸化防止剤、アミノアルコール類、アルキルアミン類、ベンゾトリアゾール類、ベンゾチアゾール類等の鉄、銅、亜鉛等の腐食防止剤、防錆剤をさらに含有してもよい。
【００２２】
＜すすぎ工程＞
本発明のすすぎ工程においては、前記洗浄工程で洗浄された物品（以下、洗浄済み物品ともいう。）をフッ素系溶剤に接触させる。洗浄工程での洗浄により、洗浄済み物品の表面は水と炭化水素系溶剤を含む洗浄剤組成物で覆われているので、すすぎ工程では、洗浄済み物品の表面を覆う洗浄剤組成物をフッ素系溶剤に置き換える。フッ素系溶剤としては、分子中に塩素を含まずオゾン破壊係数がゼロの化合物であるＨＦＥおよびＨＦＣが好ましく、本発明のすすぎ工程では、洗浄済み物品をＨＦＥおよび／またはＨＦＣに接触させることが好ましい。
【００２３】
すすぎ工程に用いられるＨＦＥおよびＨＦＣは、洗浄剤組成物に含有されている炭化水素系溶剤と相溶性が高いものが好ましい。前記炭化水素系溶剤との相溶性が低いフッ素系溶剤をすすぎに使用した場合には、物品表面を覆う炭化水素系溶剤をフッ素系溶剤により十分に置換して除去できないため、すすぎ後の物品表面に炭化水素系溶剤が残存して、しみが発生する等のすすぎ不良が生じる。
また、すすぎ後の乾燥性の観点から、ＨＦＥおよびＨＦＥは３０〜１００℃の沸点を有するものが好ましい。
【００２４】
上記観点から、ＨＦＥとしては、１，１，２，２−テトラフルオロエチル−１，１，１−トリフルオロエチルエーテル（ＨＦＥ−３４７ｐｃ−ｆ）、メチルノナフルオロブチルメチルエーテル（ＨＦＥ−４４９ｓ）等が挙げられる。また、ＨＦＣとしては、１，１，１−２，２、３，４，５，５，５−デカフルオロペンタン（ＨＦＣ−４３−１０ｍｅｅ）、１，１，１，３，３−ペンタフルオロブタン（ＨＦＣ−３６５ｍｆｃ）等が挙げられる。これらのＨＦＥおよびＨＦＣの中から、１種を用いてもよく、２種以上を混合して用いてもよい。
【００２５】
本発明においては、前記フッ素系溶剤にその他の溶剤を混合した溶剤を用いてすすぎを行ってもよい。
フッ素系溶剤に混合することができる溶剤（以下、すすぎ助剤と示す。）として、具体的には以下の化合物が挙げられる。
炭化水素類：ｎ−ペンタン、ｎ−ヘキサン、イソヘキサン、ｎ−ヘプタン、イソオクタン、シクロペンタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン。
低級アルコール類：メチルアルコール、エチルアルコール、ｎ−プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、ブチルアルコール。
ケトン類：アセトン、メチルエチルケトン。
【００２６】
すすぎ助剤の混合割合は、すすぎ効率の観点から、フッ素系溶剤とすすぎ助剤の合計量（１００質量％）に対して５質量％未満であるのが好ましい。フッ素系溶剤を蒸留して再使用する場合の効率の観点から、１質量％未満がより好ましい。また、すすぎ助剤の混合割合がこの範囲にあると、混合溶剤は引火性を有しない。
【００２７】
次に、本発明の洗浄すすぎ方法を、具体的な手順にしたがって説明する。
【００２８】
まず洗浄工程において、加工油、フラックス等の汚染物質が付着した物品を、水と炭化水素系溶剤を含む非引火性の洗浄剤組成物と接触させて洗浄する。洗浄方法は、物品に洗浄剤組成物を接触させることができる方法であれば、特に限定されない。例えば、手拭き洗浄、浸漬洗浄、スプレー洗浄、噴流洗浄、浸漬揺動洗浄、浸漬超音波洗浄、およびこれらを組み合わせた方法等を採ることができる。物品の洗浄剤組成物との接触の時間、回数、接触の際の洗浄剤組成物の温度等の洗浄条件、および装置は、適宜選定することができる。
【００２９】
物品との接触の際の洗浄剤組成物の温度は、０℃以上９０℃以下が好ましく、１０℃以上７０℃以下がさらに好ましい。また、洗浄剤組成物と物品との接触時間は、１秒以上１時間以下が好ましく、１０秒以上０．５時間以下がさらに好ましい。
【００３０】
次に、すすぎ工程において、洗浄済み物品を、フッ素系溶剤であるＨＦＥおよび／またはＨＦＣと接触させて、すすぎを行う。洗浄済み物品とともに、その表面に付着した洗浄剤組成物が前記フッ素系溶剤中に持ち込まれるが、洗浄剤組成物中の炭化水素系溶剤はフッ素系溶剤に溶解するため、洗浄済み物品の表面から効果的に除去される。
【００３１】
洗浄済み物品とフッ素系溶剤（ＨＦＥおよび／またはＨＦＣ）との接触は、洗浄済み物品を、フッ素系溶剤を含むすすぎ溶剤中に浸漬する方法、洗浄済み物品にフッ素系溶剤をスプレー等で吹き付ける方法、洗浄済み物品をフッ素系溶剤の蒸気と接触させる方法などにより行うことができる。ここで、フッ素系溶剤中に浸漬する方法では、ＨＦＥおよび／またはＨＦＣのみからなる溶剤中に浸漬してもよいが、ＨＦＥおよび／またはＨＦＣに前記すすぎ助剤を５質量％未満の割合で混合した溶剤中に浸漬してもよい。
【００３２】
すすぎの効率を高めるためには、同じすすぎ方法を繰り返したり、あるいは異なる２種類以上のすすぎ方法を組み合せて行ってもよい。例えば、フッ素系溶剤中に浸漬する方法とフッ素系溶剤の蒸気と接触させる方法とを組み合せると、すすぎの効率が高くなる。この場合、フッ素系溶剤中に洗浄済み物品を浸漬した後、フッ素系溶剤の蒸気と接触させるのが好ましい。
【００３３】
特に、物品への水滴等の付着、炭化水素系溶剤の残留によるシミ等の発生を防止する観点から、沸騰状態のフッ素系溶剤中に浸漬する方法を採ることが好ましい。なお、フッ素系溶剤が沸騰状態にあるとは、フッ素系溶剤中に含有される含フッ素化合物（ＨＦＥおよび／またはＨＦＣ）の少なくとも１種の化合物が、沸点以上の温度に保持されて沸騰していることをいう。
【００３４】
本発明における洗浄剤組成物には有機溶剤と水が含まれることから、物品に付着した洗浄剤組成物を除去するすすぎ工程では、前記方法で有機溶剤を除去するだけでなく、物品に付着した水分を除去することが必要である。この有機溶剤除去および水分除去の観点から、沸騰状態のフッ素系溶剤に浸漬する方法を採ることが好ましい。洗浄済み物品を沸騰したフッ素系溶剤中に浸漬すると、洗浄済み物品の表面に付着してフッ素系溶剤中に持ち込まれた洗浄剤組成物中の水が、沸騰状態のフッ素系溶剤から発生するＨＦＥおよび／またはＨＦＣの蒸気に同伴されて、フッ素系溶剤の外部へ持ち出される。その結果、すすぎ後の物品の表面には、水滴のような水の残留が生じない。
こうして、すすぎ後の物品表面には、洗浄剤組成物に含まれていた炭化水素系溶剤および水が残留しないので、フッ素系溶剤で処理した物品は、溶剤の残留およびシミがなく乾燥させることができる。
【００３５】
本発明の洗浄すすぎ方法によれば、加工油やフラックス等の汚れが付着した物品に対して、優れた洗浄性能およびすすぎ性能で洗浄およびすすぎを行うことができ、物品の仕上がり品質が高い。また、洗浄に使用される溶剤が非引火性であるので、防爆設備等の対応が不要であり、安全に洗浄を行うことができる。
【００３６】
＜洗浄すすぎ装置＞
本発明の洗浄すすぎ方法を実施するための洗浄すすぎ装置の一例を、図１に示す。
図１に示す洗浄すすぎ装置１は、洗浄部２とすすぎ部３を備えている。洗浄部２は洗浄槽１０を有する。すすぎ部３は、すすぎ浸漬槽２０、蒸気槽３０と、これらの槽全体の上部に設置された冷却コイル４０と、この冷却コイル４０の下方に隣接して設けられた液受け５０、および液受け５０に液回収管６１を介して接続された水分離器６０とを備えている。
【００３７】
洗浄槽１０には洗浄剤組成物１１が収容されている。洗浄剤組成物１１は、前記した炭化水素系溶剤と水を含む非引火性の洗浄剤組成物である。洗浄槽１０の底面には、洗浄剤組成物１１に超音波振動を与えるための超音波発振器１２が設けられている。なお、この超音波発振器１２の設置は必須ではない。
【００３８】
すすぎ浸漬槽２０にはすすぎ溶剤２１が収容されている。すすぎ溶剤２１は、前記したＨＦＥおよび／またはＨＦＣを含むフッ素系溶剤である。すすぎ浸漬槽２０の底部には、すすぎ溶剤２１を加熱して沸騰させるための加熱器２２、およびすすぎ溶剤２１に超音波振動を与えるための超音波発振器２３が設けられている。なお、超音波発振器２３の設置は必須ではない。
【００３９】
蒸気槽３０にも、すすぎ浸漬槽２０と同じすすぎ溶剤２１が収容されている。そして、すすぎ浸漬槽２０と蒸気槽３０とは、すすぎ浸漬槽２０に収容されたすすぎ溶剤２１の液面が、蒸気槽３０に収容されたすすぎ溶剤２１の液面よりも高くなるように連結、配置され、すすぎ浸漬槽２０でオーバーフローしたすすぎ溶剤２１が、蒸気槽３０に流入するようになっている。
蒸気槽３０の底面には、蒸気槽３０に収容されたすすぎ溶剤２１の蒸気Ｖを発生させるための加熱器３１が設けられている。
【００４０】
冷却コイル４０は、すすぎ浸漬槽２０および蒸気槽３０の上方に配置されている。冷却コイル４０の内部には冷却水等の冷却媒体が流れており、冷却コイル４０の周囲を冷却して、すすぎ浸漬槽２０および蒸気槽３０で発生するすすぎ溶剤２１の蒸気Ｖを液化させる。そして、冷却コイル４０は、すすぎ溶剤２１の蒸気Ｖをすすぎ部３から外に散逸させないようにしている。
【００４１】
液受け５０は、すすぎ溶剤２１の蒸気Ｖの液化によって生じた凝縮液を受け止めるようになっている。そして、水分離器６０では、液受け５０から導入された凝縮液を静置して、水分を多く含む上層液Ｄ１と、水分をほとんど含有しない下層液Ｄ２とに比重分離するようになっている。上層液Ｄ１は廃棄され、下層液Ｄ２は回収液供給管６２を通ってすすぎ浸漬槽２０に送られ、再利用される。
【００４２】
なお、すすぎ部３において、すすぎ浸漬槽２０により十分な量のすすぎ溶剤２１の蒸気Ｖを発生させることができる場合は、蒸気槽３０の設置は必須ではない。しかしながら、洗浄槽１０から物品に付着した洗浄剤組成物１１がすすぎ浸漬槽２０に持ち込まれることから、持ち込まれる炭化水素溶剤をすすぎ浸漬槽２０から除去する目的で蒸気槽３０を設置することが好ましい。
【００４３】
このような洗浄すすぎ装置１を使用して本発明の洗浄すすぎ方法を行うには、汚染物質が付着した物品４を、まず洗浄槽１０に収容された洗浄剤組成物１１に浸漬する。このとき、超音波発振器１２より超音波を発生させることで、物品４表面の汚染物質の溶解、分散を促進することができる。
【００４４】
次いで、洗浄槽１０から引き上げた洗浄済み物品５を、すすぎ浸漬槽２０に収容された沸騰状態のすすぎ溶剤２１に浸漬してすすぎを行った後、すすぎ後の物品（すすぎ済み物品）６をすすぎ浸漬槽２０から引き上げて蒸気槽３０内に移動させ、蒸気槽３０で発生したすすぎ溶剤２１の蒸気Ｖに曝す。
このとき、すすぎ済み物品６の温度がすすぎ溶剤２１の沸点よりも低い場合には、すすぎ済み物品６の表面ですすぎ溶剤２１の蒸気Ｖが凝縮し、液滴となって落下するため、すすぎ溶剤２１によりさらに清浄にすすがれる。また、すすぎ済み物品６がすすぎ溶剤２１の蒸気Ｖにより温められるため、すすぎ済み物品６の表面に付着したすすぎ溶剤２１は蒸発しやすく、短時間で乾燥することができる。
【００４５】
すすぎ浸漬槽２０の上部にもすすぎ溶剤２１の蒸気Ｖが滞留しているので、すすぎ浸漬槽２０から引き上げたすすぎ済み物品６は、蒸気槽３０内に移動させることなく、すすぎ浸漬槽２０上部の蒸気Ｖ滞留部を通して、そのまますすぎ浸漬槽１０外に引き上げてもよい。
【００４６】
このような洗浄すすぎ方法では、すすぎ工程において、洗浄済み物品５に付着してすすぎ溶剤２１中に持ち込まれた洗浄剤組成物１１に含まれる炭化水素系溶剤は、すすぎ溶剤２１に含有されるフッ素系溶剤（ＨＦＥおよび／またはＨＦＣ）に溶解し、洗浄済み物品５の表面から除去される。一方、洗浄剤組成物１１に含まれる水は、沸騰状態のすすぎ溶剤２１から発生するフッ素系溶剤の蒸気Ｖとともに、すすぎ溶剤２１の液相から排出され、すすぎ浸漬槽２０の上方に導かれる。そして、フッ素系溶剤の蒸気Ｖに導かれて排出された水は、冷却コイル４０により液化され、液受け５０を経て水分離器６０で相分離された後、上層液Ｄ１として廃棄される。
【００４７】
こうして、洗浄剤組成物１１に含まれる水や炭化水素系溶剤がすすぎ済み物品６の表面に残留することがないので、水の付着やシミの形成がなく、すすぎ性が良好である。
【実施例】
【００４８】
以下、実施例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されない。例１〜１８は本発明の実施例であり、例１９，２０は比較例である。また、例２１，２３，２５，２７，２９，３１，３３，３５，３７は本発明の実施例であり、例２２，２４，２６，２８，３０，３２，３４，３６，３８は参考例である。
【００４９】
例１〜２０
３０ｍｍ×３０ｍｍに切断した厚さ１ｍｍのＳＵＳ板を洗浄用物品として使用し、以下に示す洗浄すすぎを行った。
例１〜１８では、前記洗浄用物品を治具に載せ、まず、３Ｌのビーカーに収容した表１に示す洗浄剤組成物２Ｌの中に１分間浸漬して洗浄を行った。次いで、洗浄用物品を治具ごと洗浄剤組成物から取り出し、図１に示す洗浄すすぎ装置のすすぎ部を使用してすすぎを行った後、乾燥した。すすぎ工程では、洗浄後の物品を、すすぎ浸漬槽に収容された表１に示すすすぎ溶剤（ＨＦＥまたはＨＦＣ）中に１分間浸漬した後、ゆっくり引き上げた。そして、すすぎ部外に取り出して乾燥させた。
【００５０】
例１９および例２０では、３Ｌのビーカーに収容した表１に示す洗浄剤組成物２Ｌの中に１分間浸漬し洗浄した後、洗浄後の物品を取り出し、５０℃の熱風を１分間吹き付けて乾燥した。
【００５１】
ここで、表１に商品名で表した洗浄剤組成物およびすすぎ溶剤は、それぞれ以下に示す溶剤または溶剤組成物である。
（洗浄剤組成物）
・ＨＡ−ＩＳ１６（東ソー株式会社製）：
ジエチレングリコールジエチルエーテルと水溶性溶剤および１６質量％の水を含有する組成物。
・ファイントップＪ２１０（クラレ株式会社製）：
３−メチル−３−メトキシ−１−ブタノールと水を含有する組成物で、水分濃度は１５質量％より多く５０質量％以下である。
・洗浄剤組成物Ａ
ジエチレングリコールジエチルエーテル４０質量％と、３−メチル−３−メトキシ−１−ブタノール４０質量％、および水２０質量％を含有する組成物。
（すすぎ溶剤）
・ＡＥ−３０００（旭硝子株式会社製）：ＨＦＥ−３４７ｐｃ−ｆ
・ノベック７１００（住友スリーエム株式会社製）：ＨＦＥ−４４９ｓ
・バートレルＸＦ（三井デュポンフロロケミカル株式会社製）：ＨＦＣ−４３−１０ｍｅｅ
・ソルカン３６５（日本ソルベイ株式会社製）：ＨＦＣ−３６５ｍｆｃ
【００５２】
なお、すすぎ溶剤であるＨＦＥまたはＨＦＣは、表１に示すように、沸騰状態にあるか、またはＨＦＥまたはＨＦＣの沸点以下の所定の温度に保持した。この沸点以下の保持温度は、すすぎ溶剤が、ＡＥ−３０００（沸点５６℃）、ノベック７１００（沸点６０℃）、およびバートレルＸＦ（沸点５５℃）の場合は、いずれも４５℃とした。また、すすぎ溶剤がソルカン３６５（沸点４０℃）の場合は、沸点以下の保持温度は３５℃とした。
【００５３】
こうして乾燥された物品の外観を肉眼で観察し、洗浄すすぎ性を評価した。評価は以下の基準に従って行った。洗浄すすぎ性の評価結果を表１に示す。
（評価基準）
○：取出し時に、物品表面に水や炭化水素系溶剤の残留がなく乾燥しており、物品表面に乾燥不良はみられなかった。
△：取出し時に物品表面に水や炭化水素系溶剤が残留していたが、６０秒以内に乾燥し、その残留部に僅かな乾燥シミがみられた。
×：取出し時に物品表面に水や炭化水素が残留しており、乾燥に１分間以上を要した。さらに、乾燥後の物品表面には明らかなシミ等の乾燥不良がみられた。
【００５４】
【表１】
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【００５５】
表１に示すように、例１〜１８に示す実施例の洗浄すすぎ方法を行った場合は、洗浄後ＨＦＥおよび／またはＨＦＣによるすすぎを行うことなく熱風乾燥させた例１９および例２０に比べて、速やかに乾燥し、物品表面の仕上がり品質が良好であることがわかった。
【００５６】
例２１〜３８
前記洗浄用物品に対して、表２に示すように、沸騰状態にあるかあるいは所定の温度に保持されたすすぎ溶剤中に１分間浸漬してすすぐ操作を３０回繰り返した他は、例１〜１８と同様に洗浄すすぎを行った。そして、すすぎ溶剤からゆっくり引き上げ乾燥させた。
【００５７】
こうして、洗浄すすぎを３０回繰り返した後取り出した物品の外観を肉眼で観察し、繰り返し洗浄すすぎ性を評価した。繰り返し洗浄すすぎ性の評価は、前記洗浄すすぎ性の基準と同じ基準で行った。繰り返し洗浄すすぎ性の評価結果を表２に示す。
【００５８】
【表２】
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【００５９】
表２に示すように、沸騰状態のすすぎ溶剤に浸漬してすすぎを行った例２１，２３，２５，２７，２９，３１，３３，３５，３７では、洗浄すすぎを３０回繰り返した後も、物品の乾燥状態は変わらず、取出し時に水や炭化水素系溶剤の残留がなく乾燥しており、仕上がり品質も良好であった。これに対して、沸点以下の温度のすすぎ溶剤に浸漬してすすぎを行った例２２，２４，２６，２８，３０，３２，３４，３６，３８では、洗浄すすぎの繰り返し回数が４回目までは、すすぎ溶剤の状態に変化がなかったが、洗浄すすぎの５回目からは、すすぎ槽に収容されたすすぎ溶剤の上部に水の滞留層が見られた。その結果、洗浄すすぎを３０回繰り返した後は、物品の引き上げの際に水分が物品に再付着し、取出し後１分間経っても乾燥せず、乾燥後の物品表面には明らかな乾燥不良がみられた。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
本発明の洗浄すすぎ方法によれば、加工油やフラックス等の汚れが付着した物品に対して、引火等の危険に留意することなく、優れた性能で洗浄およびすすぎを行うことができ、仕上がり品質が高くなる。したがって、各種の工業分野で電子部品、精密機械部品、ガラス基板、樹脂成型部品等の物品に付着する汚染物質を除去し清浄化するための洗浄すすぎ方法として好適である。
【符号の説明】
【００６１】
１…洗浄すすぎ装置、５…洗浄済み物品、６…すすぎ済み物品、１０…洗浄槽、１１…洗浄剤組成物、２０…すすぎ浸漬槽、２１…すすぎ溶剤、３０…蒸気槽、４０…冷却コイル、６０…水分離器、１２，２３…超音波発振器、２２，３１…加熱器。
【図１】
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