(57)【要約】      （修正有）【課題】経時的な寸法変化が小さく、長期間使用しても内部の清浄度が低下しない、少なくとも一つの辺長が１０００ｍｍを超える大型のペリクルに好適なペリクル収納容器を提供する。【解決手段】少なくとも一つの辺長が１０００ｍｍを超える矩形のペリクルを収納するペリクル収納容器１０であって、ペリクルを載置するペリクル収納容器本体１１と蓋体１２が吸水率０．２％以下（ＪＩＳ  Ｋ７２０９、Ａ法、素材厚３ｍｍ、２４ｈ）の樹脂材料で構成されている。本該樹脂材料は、その吸水率が３０日経過後で０．５％以下（ＪＩＳ  Ｋ７２０９、Ａ法、素材厚３ｍｍ）であるものが好ましく、ペリクル収納容器本体１１は、樹脂材料に替えて金属材料で構成されていてもよい。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一つの辺長が１０００ｍｍを超える矩形のペリクルを収納するペリクル収納容器であって、前記ペリクルを載置するペリクル収納容器本体と、その周縁部で嵌合して密閉する蓋体から成り、前記ペリクル収納容器本体と蓋体は、吸水率０．２％以下（ＪＩＳ  Ｋ７２０９、Ａ法、素材厚３ｍｍ、２４ｈ）の樹脂材料で構成されていることを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項２】
少なくとも一つの辺長が１０００ｍｍを超える矩形のペリクルを収納するペリクル収納容器であって、前記ペリクルを載置するペリクル収納容器本体と、その周縁部で嵌合して密閉する蓋体から成り、前記ペリクル収納容器本体は、金属材料で構成され、前記蓋体は、吸水率０．２％以下（ＪＩＳ  Ｋ７２０９、Ａ法、素材厚３ｍｍ、２４ｈ）の樹脂材料で構成されていることを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項３】
前記樹脂材料は、その吸水率が３０日経過後で０．５％以下（ＪＩＳ  Ｋ７２０９、Ａ法、素材厚３ｍｍ）であることを特徴とする請求項１または２に記載のペリクル収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体デバイス、ＩＣパッケージ、プリント基板、液晶ディスプレイまたは有機ＥＬディスプレイ等を製造する際のゴミよけとして使用されるペリクルの収納容器であって、少なくとも一つの辺長が１０００ｍｍを超える大型のペリクルに好適なペリクル収納容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体或は液晶ディスプレイ等の製造においては、半導体ウエハあるいは液晶用ガラス板に紫外光を照射してパターンを作製するが、この時に用いるフォトマスクにゴミが付着していると、このゴミが紫外光を遮ったり、反射するために、転写したパターンの変形、短絡などが発生し、品質が損なわれるという問題がある。
【０００３】
このため、これらの作業は通常クリーンルームで行われているが、それでもフォトマスクを常に清浄に保つことが難しい。そこで、フォトマスク表面にゴミよけとしてペリクルを貼り付けした後に露光を行っている。この場合、異物はフォトマスクの表面には直接付着せず、ペリクル上に付着するため、リソグラフィー時に焦点をフォトマスクのパターン上に合わせておけば、ペリクル上の異物は転写に無関係となる。
【０００４】
このペリクルは、一般に、光を良く透過させるニトロセルロース、酢酸セルロースあるいはフッ素樹脂などからなる透明なペリクル膜を、アルミニウム、ステンレス鋼、エンジニアリングプラスチックなどからなるペリクルフレームの上端面に接着して構成される。また、ペリクルフレームの下端には、フォトマスクに装着するためのポリブデン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂等からなる粘着層、及び粘着層の保護を目的とした離型層（セパレータ）が設けられる。
【０００５】
一方、このようなペリクル、特に、辺長が１０００ｍｍを超えるような大型のペリクルを収納するためのペリクル収納容器は、ペリクルを載置するペリクル収納容器本体とそれに周縁部で嵌合し密封する蓋体の部材から構成されている。そして、これら部材は、厚さ２〜８ｍｍ程度の樹脂板を真空成形または圧空成形することにより製作されているが、この製法は、大型のものも一体成形できるために、内部に発塵源が少ないことに加え、生産性が高く低コストで製造できるという利点がある。
【０００６】
ペリクル収納容器本体は、付着した異物の視認性向上のために、黒色が良いとされており、また蓋体は、内部に収納したペリクルを視認できるように透明または有色半透明が良いとされている（特許文献１参照）。そして、このような観点から、殆どの場合、収納容器本体の素材としては、ＡＢＳ樹脂が、また蓋体の素材としては、ＡＢＳ樹脂またはアクリル樹脂が用いられている。
【０００７】
そして、近年のディスプレイパネルの大型化に伴って、ペリクルのサイズの大型化も進み、その辺長が１０００ｍｍを超えるものも多く使用されるようになってきているが、その一方で、ペリクルの大型化に伴って、ペリクル収納容器については、その経時的な寸法変化の問題が顕著になっている。そのため、例えば、特許文献２には、この対策として、樹脂製の容器本体と組み合わせる補強体の構造が提案されている。
【０００８】
しかしながら、ペリクル収納容器の経時的な寸法変化は、成形前の素材自体の癖、吸湿、成形時に発生した内部応力の緩和、また温度などの使用環境条件によるものなど様々な要因が複合化されて生じると考えられるため、その解決が困難であるという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００１−１００３９４
【特許文献２】特開２０１３−２０５６９０
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
そして、この経時的な寸法変化が生じてペリクル収納容器本体と蓋体との嵌合がずれると、それらの間隙が大きくなり、外部からペリクル収納容器内に異物が侵入するほか、擦れが生じて発塵する恐れがある。また、ペリクルを固定するために内部に位置決め手段を有するペリクル収納容器では、その寸法変化によって位置が正規の位置から外れてしまうために、ペリクルが収納できなくなる事態が発生したり、がたつきが大きくなって異物が発生しやすくなるという問題がある。
【００１１】
そこで、本発明は、上記の問題に鑑みなされたものであり、その目的は、経時的な寸法変化が小さく、長期間使用しても内部の清浄度が低下しない、少なくとも一つの辺長が１０００ｍｍを超える大型のペリクルに好適なペリクル収納容器を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明者らは、上記の目的を達成するために鋭意検討を行ったところ、経時的な寸法変化に影響を及ぼす様々な要因の中で、特にペリクル収納容器に用いられる素材の吸水率が経時的な寸法変化に大きく影響することが判明した。そこで、さらに素材の吸水率について検討を重ねたところ、吸水率０．２％以下（ＪＩＳ  Ｋ７２０９、Ａ法、素材厚３ｍｍ、２４ｈ）の樹脂材料の場合に、経時的な寸法変化を極めて小さく抑えることができることを知見し、本発明に至ったものである。
【００１３】
すなわち、本発明は、少なくとも一つの辺長が１０００ｍｍを超える矩形のペリクルを収納するペリクル収納容器であって、ペリクルを載置するペリクル収納容器本体と蓋体が吸水率０．２％以下（ＪＩＳ  Ｋ７２０９、Ａ法、素材厚３ｍｍ、２４ｈ）の樹脂材料で構成されていることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明のペリクル収納容器では、その蓋体は、吸水率０．２％以下（ＪＩＳ  Ｋ７２０９、Ａ法、素材厚３ｍｍ、２４ｈ）の樹脂材料で構成され、その本体は、樹脂材料に替えて金属材料で構成されていてもよい。そして、本発明で用いる樹脂材料は、その吸水率が３０日経過後で０．５％以下（ＪＩＳ  Ｋ７２０９、Ａ法、素材厚３ｍｍ）であるものが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、ペリクル収納容器の経時的な寸法変化が極めて小さく、ペリクル収納容器本体と蓋体との嵌合が適切に保持されるとともに、ペリクル収納容器内に設置したペリクル固定部品の位置変動もないため、収納したペリクルの清浄度を長期間に渡って保つことができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本発明のペリクル収納容器の概要を示す平面図である。
【図２】図２は、本発明のペリクル収納容器の概要を示す図１のＡＡ断面図である。
【図３】図３は、本発明のペリクル収納容器の概要を示す図１のＢＢ断面図である。
【図４】図４は、本発明のペリクル収納容器の蓋体を外した平面図である。
【図５】図５は、本発明のペリクル収納容器の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００１８】
本発明は、経時的な寸法変化による内部の清浄度低下が問題となる全てのペリクル収納容器に適用することができるが、特に、辺長が１０００ｍｍを超える極めて大型のペリクルを収納するペリクル収納容器として好適なものである。
【００１９】
本発明のペリクル収納容器１０は、ペリクル収納容器本体１１と蓋体１２から構成されている。ペリクル収納容器本体１１は、ペリクル２０を載置するものであり、蓋体１２は、ペリクル収納容器本体１１に周縁部で嵌合し、密閉することでペリクル２０を外部の塵埃から保護するものである。また、ペリクル収納容器本体１１上に載置されるペリクル２０は、フレーム側面に設けられた非貫通の孔（図示しない）に挿入したピン１３と、そのピンを支持するピン支持手段１４からなる固定手段によりペリクル収納容器本体１１上に固定されている。
【００２０】
本発明のペリクル収納容器本体１１及び蓋体１２の素材は、ＪＩＳ  Ｋ７２０９（Ａ法、２４ｈ、素材厚３ｍｍ）の測定方法において、吸水率０．２％以下の樹脂材料である。吸水は、樹脂材料を構成する分子の網目の中に水分が侵入する現象であるが、吸水率が０．２％を超えるものでは特に寸法変化が大きくなり好ましくない。このような吸水率の条件を満たす樹脂材料としては、硬質ＰＶＣ、ＰＥ、ＰＰ、ＰＣなどが挙げられる。また、ＡＢＳなど吸水率の大きい材料であっても、フィラーを混入することにより吸水率を低下させることもできる。
【００２１】
また、この素材は、その吸水率が長期的にも低いことが求められるために、ＪＩＳ  Ｋ７２０９（Ａ法、素材厚３ｍｍ）の測定方法において、３０日経過後で０．５％以下の樹脂材料であることがより好ましい。ペリクル収納容器は、湿度のある環境下で使用されるものであり、如何に吸水性の低い材料を用いても吸水自体を避けることはできない。ペリクル収納容器を製造した後に、時間の経過とともに吸水は進行するので、実際のペリクル収納容器は、水分量がほぼ飽和した状態で使用されることになる。この飽和した状態の吸水率が低く、なおかつ初期の吸水率との差が小さければ、寸法安定性が高いと考えることができる。その目安として、３０日経過後で０．５％以下の吸水率とすることが良い。そして、この条件を満たす樹脂材料としては、前記したものと同様に、硬質ＰＶＣ、ＰＥ、ＰＰ、ＰＣなどが挙げられる。
【００２２】
そして、この素材を用いたペリクル収納容器本体１１及び蓋体１２は、厚さ２〜８ｍｍの樹脂板を真空成形または圧空成形して製作されると、品質やコストの点から好適である。
【００２３】
ペリクル収納容器１０の経時的な寸法変化の要因としては、様々なものが挙げられるが、中でも、ペリクル収納容器１０に用いられる素材の吸水率が経時的な寸法変化に大きく影響を及ぼすことから、本発明の条件を満足する樹脂材料を用いれば、経時的な寸法変化を大幅に低減させることができる。その結果、長期間に渡ってペリクル収納容器の嵌合状態やペリクルの固定状態が変動なく維持されるとともに、ペリクル収納容器内の清浄度を保つことができるので、実用上支障のないペリクル収納容器として、収納したペリクルの品質を良好に保つことができる。
【００２４】
本発明の樹脂材料としては、その吸水率が上記範囲である他に、異物付着を減らすために、樹脂中に帯電防止成分を混練するか、その表面に塗装するなどして、帯電防止性能を持たせたものが好ましい。また、ハロゲン化合物などの難燃剤を添加するなどして難燃性を付与させたものとするか、樹脂自体が難燃性を有するものも好ましい。
【００２５】
本発明のように、少なくとも一つの辺長が１０００ｍｍを超える本発明のペリクル収納容器の場合、可燃物としての容積、重量も大きいために、その素材が難燃性であれば安全上からも利点がある。これらの条件を満たす好適な樹脂としては、例えば、ＰＣ、無機フィラーを混入したＰＶＣやＡＢＳ等が挙げられる。
【００２６】
また、ペリクル収納容器本体１１及び蓋体１２には、必要に応じて、リブなどの補強構造を設けることができるし、金属または樹脂製の補強手段、取扱いのためのハンドルや、蓋体を固定するバックルなどを設けることも良い。
【００２７】
さらに、ペリクル辺長が１５００ｍｍを超える極めて大型な場合は、ペリクル収納容器に特に剛性が要求されるため、蓋体１２だけを樹脂製とし、ペリクル収納容器本体１１を金属製とすることが特に好ましい。ペリクル収納容器本体１１を金属製とする場合は、アルミニウム合金、マグネシウム合金などの軽量材料のほか、鉄鋼、ステンレス鋼などの高剛性材料を使用することができる。
【００２８】
そして、この場合の成形加工方法としては、薄板を曲げ加工、プレス成型、溶接などして造形するか、または鋳造を利用しても良い。その表面は、防錆、発塵防止のため塗装を施すことが好ましく、特に、帯電防止性能を付与することに加えて付着異物の視認性向上のために、黒色とされていることが好ましい。
【００２９】
ペリクル収納容器本体１１にペリクル２０を固定するための固定手段としては、公知の様々な方法が適用できる。図４に示す実施形態では、ペリクル収納容器本体１１上にピン支持手段１４を設け、それに支持されたピン１３をペリクルフレーム側面に設けた非貫通の孔（図示しない）に挿入することでペリクル２０を固定しているが、この他の公知の方法であっても良い。
【００３０】
また、図４に示す実施形態では、ペリクルフレーム２１の下面にマスク粘着層２２が設けられ、その下にはマスク粘着層２２を保護するセパレータ２３が取り付けられているが、マスク粘着層２２がペリクル収納容器本体１１に接触しないように、ペリクルフレーム２１を支持する手段等を別に設けて、セパレータを省略した構成とすることも良い。
【実施例】
【００３１】
以下、本発明の実施例について詳細に説明する。
【００３２】
実施例では、先ず、ペリクル収納容器本体１１と蓋体１２を厚さ５ｍｍのＰＣ（ポリカーボネート）板で真空成形にて製造したが、この真空成形に先立って、このポリカーボネート板から６０ｘ６０ｍｍのサンプルを切り出して、片面を切削して厚さ３ｍｍに仕上げた後に、ＪＩＳ  Ｋ７２０９（Ａ法、２４ｈ）に従って、２４ｈ後の吸水率を測定したところ、その値は０．１５％であった。また、さらに、３０日後の吸水率を測定したところ、その値は０．３４％であった。
【００３３】
次に、真空成形後のペリクル収納容器本体１１と蓋体１２については、その周囲をＮＣルーターにて切削加工して仕上げて、その表面に帯電防止塗料（商品名；セプルジーダ、信越ポリマー（株））を塗布して硬化させた。また、ペリクル収納容器本体１１上には、ピン支持手段１３を外面からボルト固定（図示しない）にて取り付けた。このように製作したペリクル収納容器１０の寸法は、外寸１１００ｘ１２８０ｘ高さ１２０ｍｍである。なお、ペリクル収納容器本体１１と蓋体１２の嵌合部は、各辺ともその間隙が０．３〜０．５ｍｍになるように調整した。
【００３４】
一方、本発明のペリクル収納容器１０に収納するペリクル２０を次の仕様で製作した。すなわち、ペリクルフレーム２１は、Ａ５０５２アルミニウム合金を機械切削にて加工したもので、その寸法を外寸９１０ｘ１１３０ｍｍ、内寸８９０ｘ１１１０ｍｍ、高さ５．８ｍｍとし、その表面には黒色アルマイト処理を施した。また、各長辺中央付近には直径１．５ｍｍの通気孔を４箇所（図示しない）、各辺の角部付近に直径２．５ｍｍの非貫通の治具孔（図示しない）を設けた。
【００３５】
次に、このペリクルフレーム２１の下面には、マスク粘着層２２としてシリコーン粘着剤（商品名；ＫＲ−３７００、信越化学工業（株））を厚さ１．３ｍｍで形成し、その表面には離型剤を塗布したＰＥＴフィルムからなるセパレータ２３を取り付けた。また、ペリクルフレーム２１側面の通気孔は、ＰＴＦＥ多孔質膜製のフィルタをアクリル粘着剤にて貼り付けた（図示しない）。さらに、ペリクルフレーム２１の上面には、ペリクル膜接着層２４としてシリコーン粘着剤（商品名；ＫＲ−３７００、信越化学工業（株））を塗布し、その上にフッ素樹脂（商品名；サイトップ、旭硝子（株））からなる厚さ４．５μｍのペリクル膜２５を張設した。
【００３６】
このように製作したペリクル２０を異物検査の上、ピン１３とピン支持手段１４にてペリクル収納容器本体１１上に固定し、蓋体１２で密閉した。その後に、嵌合部周囲をＰＶＣ製粘着テープにてシールし、帯電防止ポリエチレン製袋にて梱包した。なお、ペリクル２０の収納に際し、ペリクル収納容器１０をＣｌａｓｓ１０のクリーンルーム内で界面活性剤と純水にて良く洗浄処理し、乾燥した。
【００３７】
最後に、このようにペリクル２０を収納したペリクル収納容器１０を室温２２〜２８℃、湿度３０〜５５％の範囲に空調された室内に搬送して、１年間静置保管した。
【００３８】
そして、1年後にこのペリクル収納容器１０をＣｌａｓｓ１０のクリーンルームに搬入し、開梱して内部の状況を確認したところ、ペリクル収納容器本体１１と蓋体１２の嵌合状態に特に不具合がなく、スムーズに開閉をすることができた。また、嵌合部周辺をハロゲンランプにて照射しながら目視観察したところ、特に強く擦れた痕跡などは見られなかった。さらに、収納したペリクル２０の異物検査を行ったところ、付着異物や損傷は全く見られず、正常な状態が保たれていた。
【比較例】
【００３９】
比較例では、先ず、実施例と全く同様にして、ペリクル収納容器を製造した。この比較例は、ペリクル収納容器本体の材質に厚さ５ｍｍのＡＢＳ（アクリロニトリルブタジエンスチレン）樹脂を、また蓋体に厚さ５ｍｍのＰＭＭＡ（アクリル）樹脂を用いている点だけが実施例と異なっている。なお、成形に用いた金型は、各素材の熱膨張率に合わせて寸法の微調整を行い、ペリクル収納容器本体と蓋体の間隙が各辺において０．３〜０．５ｍｍとなるように調整した。
【００４０】
そして、この比較例のペリクル収納容器についても、上記実施例と同じ工程にて１年間の保管試験を行った。すなわち、ペリクル収納容器本体と蓋体の成形に先立って、この素材の吸水率をＪＩＳ  Ｋ７２０９（Ａ法）に従って測定したところ、ペリクル収納容器本体に用いたＡＢＳ樹脂は、２４ｈ後で０．３％であり、３０日後で０．８％であった。一方、蓋体に用いたアクリル樹脂は、２４ｈ後で０．３％であり、３０日後で１．６％であった。
【００４１】
次に、実施例と同じ仕様のペリクルを異物検査の上、ピンとピン支持手段にてペリクル収納容器本体上に固定し、蓋体で密閉した。そして、嵌合部周囲をＰＶＣ製粘着テープにてシールし、帯電防止ポリエチレン製袋にて梱包した。なお、ペリクル２０の収納に際し、ペリクル収納容器１０をＣｌａｓｓ１０のクリーンルーム内で界面活性剤と純水にて良く洗浄処理し、乾燥した。そして、このペリクル収納容器を、実施例と同じく室温２２〜２８℃、湿度３０〜５５％の範囲に空調された室内に搬入し、１年間静置保管した。
【００４２】
そして、1年後にこの梱包体をＣｌａｓｓ１０のクリーンルームに搬入し、開梱して内部の状況を確認したところ、蓋体とペリクル収納容器本体との嵌合がきつくなっていた。また、蓋体は、その一部が反り上がって、周囲をシールした粘着テープを引き剥がしながらペリクル収納容器本体から若干持ち上がっている状況であった。そして、取り外した蓋体の寸法を確認したところ、長辺方向で約５ｍｍ、短辺方向で約４ｍｍの伸びが観察された。ペリクル収納容器本体では、長辺方向で約１．５ｍｍ、短辺方向も約１．５ｍｍの伸びが観察された。
【００４３】
また、収納したペリクル２０の異物検査を行ったところ、膜面にφ３〜５μｍの異物が多数で、φ１０〜２０μｍの異物が５個付着していたが、これは、ペリクル収納容器本体と蓋体との嵌合の悪化により、ペリクル収納容器の内外が通気して、内部が汚染されたことが原因であると推察された。また、ピンを挿入していたペリクルフレームの治具孔周縁部には多数の粉塵が付着していたが、これは、ペリクル収納容器本体の寸法変化により、ピンの嵌合位置がずれてペリクルフレームと擦れが生じたことが原因であると推察された。
【符号の説明】
【００４４】
１０  ペリクル収納容器
１１  ペリクル収納容器本体
１２  蓋体
１３  ピン
１４  ピン支持手段
２０  ペリクル
２１  ペリクルフレーム
２２  マスク粘着層
２３  セパレータ
２４  ペリクル膜接着層
２５  ペリクル膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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