(57)【要約】【課題】基板処理装置の上部のメンテナンス作業時等に、安全帯係止機構に安全帯を係止するが、異なる位置に移動する場合には、一旦安全帯を外し、別の位置の安全帯係止機構に再度係止し直す必要がある。【解決手段】安全帯係止機構は、本体と、本体から回転可能な複数の回転バーと、回転バー先端に形成される挿入部と、挿入部が回転しつつ挿入される挿入溝を備える係止バー保持部と、係止バー保持部に保持される係止バーと、を備える。一方の係止バーから他方の係止バーに作業者が移動する場合、カラビナなどの安全帯を一方の係止バーに係止させた状態で、複数の回転バーの間の空間に安全帯を入れ、その状態で回転バーを本体を中心に回転させることにより、安全帯が係止された状態で他方側の係止バーに移動させることができる。【選択図】図２
2016087300.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置に設置され、作業時に安全帯を係止する安全帯係止機構であって、
前記基板処理装置と締結される本体部と、
前記本体部に対して水平方向に回動可能に軸支され、前記本体部の回転軸から放射状に延設される少なくとも２本の回転バーと、
前記回転バーの各々の先端部に形成される、挿入部と、
前記回転バーの回動に伴って、複数の前記挿入部のうち少なくとも１か所の挿入部が挿入される挿入溝を備える係止バー保持部と、
前記係止バー保持部に保持される係止バーと、を備える安全帯係止機構
【請求項２】
前記回転バーは延設方向に一定の断面形状を有し、前記挿入部は前記延設方向に見て前記回転バーよりも大きな断面形状を備えることを特徴とする、請求項１に記載の安全帯係止機構。
【請求項３】
前記挿入溝は、前記回転バーが前記回転軸を中心として回動する際に前記回転バーが通過可能な狭幅部と、前記回転バーの先端に形成される前記挿入部が通過可能な広幅部とを備える、請求項１または２に記載の安全帯係止機構。
【請求項４】
前記回転バーおよび前記挿入部は、前記延設方向に見て断面形状が円形である、請求項３に記載の安全帯係止機構。
【請求項５】
基板に対して所定の処理液を供給することにより、基板を処理する基板処理装置であって、前記請求項１から請求項４のいずれかに記載の安全帯係止機構を備え、
前記安全帯係止機構が当該基板処理装置の側面または上面に設置されていることを特徴とする、基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に対して種々の処理を行う基板処理装置において、高所作業などを行うための安全帯を係止するための係止機構に関する。処理の対象となる基板には、たとえば、半導体ウエハ、液晶表示装置用基板、プラズマディスプレイ用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、セラミック基板、太陽電池用基板等が含まれる。
【背景技術】
【０００２】
基板処理装置には、薬液雰囲気下に配置出来ない様々な電装部品（例えば、パソコン、通信機器、制御基盤、配線など）が用いられ、それらの電装部品は、２ｍ以上にもなる基板処理装置の天井部に配置される場合がある。このような電装部品に対して、メンテナンスや設定などを行う作業は、安全衛生法に定められた高所作業に該当する。そのため、これらの作業を行う作業者は、装置に予め設置された係止機構２０に安全帯を係止し、滑落を防止したうえで作業を行うこととなる。
【０００３】
図１に示すように、基板処理装置１の本体部１０の天井部に設けられた電装部品８１、８２に対して、脚立９１上に乗って作業を行う場合には、作業者は安全帯の一方端を作業者自身に固定し、他方端に設けられたカラビナ９を、係止バー２１に係止することにより、滑落を防止する。引き続き、電装部品８３に対して作業を行う場合には、作業者はカラビナ９を左の係止バー２１から一旦外し、右の係止バー２１に架け替えたうえで作業を行う。このような架け替え作業はカラビナ９を係止バーから外す必要があり、安全上好ましくなく、作業効率が悪い。このような問題を解決するため、以下のような方法が開示されている。特許文献１には、ワイヤ状の係止部材にスライダークリップを装着し、支持筒にスリットを設けることによりスライダークリップを支持筒の両側に移動可能とする方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−１２１５８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の手法では、係止部材として不安定なワイヤを用いる必要がある。また、支持筒を両側に移動するために、専用部品であるスライダークリップを用意し、そこにカラビナを接続しなければならない。
本発明の目的は、係止機構として安定した強度のバー状の係止部材を用いて、かつ、どこからでも作業を開始することができるよう、汎用的なカラビナを使って安全帯を係止することができる安全帯係止機構、および基板処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記の目的を達成するための請求項１に記載の発明は、基板処理装置（１）に設置され、作業時に安全帯を係止する安全帯係止機構（２）であって、前記基板処理装置と締結される本体部（３）と、
前記本体部に対して水平方向に回動可能に軸支され、前記本体部の回転軸から放射状に延設される少なくとも２本の回転バー（４２，４６，４９）と、前記回転バーの各々の先端部に形成される、挿入部（４３，４７，５０）と、前記回転バーの回動に伴って、複数の前記挿入部のうち少なくとも１か所の挿入部が挿入される挿入溝（５１）を備える係止バー保持部（５）と、前記係止バー保持部に保持される係止バー（２１）と、を備える。
また、請求項２に記載の発明は、前記請求項１に記載の安全帯係止機構（２）であって、前記回転バー（４２，４６，４９）は延設方向に一定の断面形状を有し、前記挿入部（４３，４７，５０）は前記延設方向に見て前記回転バーよりも大きな断面形状を備えることを特徴とする。また、請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の安全帯係止機構（２）であって、前記挿入溝（５１）は、前記回転バー（４２，４６，４９）が前記回転軸を中心として回動する際に前記回転バーが通過可能な狭幅部（５１ａ）と、前記回転バーの先端に形成される前記挿入部（４３，４７，５０）が通過可能な広幅部（５１ｂ）とを備える。
また、請求項４に記載の発明は、前記請求項３に記載の安全帯係止機構（２）であって、前記回転バー（４２，４６，４９）および前記挿入部（４３，４７，５０）は、前記延設方向に見て断面形状が円形である。
また、請求項５に記載の発明は、基板に対して所定の処理液を供給することにより、基板を処理する基板処理装置（１）であって、前記請求項１から請求項４のいずれかに記載の安全帯係止機構（２）を備え、前記安全帯係止機構が当該基板処理装置の側面または上面に設置されていることを特徴とする。
【０００７】
なお、この項において、括弧内の英数字は、後述の実施形態における対応構成要素の参照符合を表すものであるが、これらの参照符号により特許請求の範囲を実施形態に限定する趣旨ではない。
これらの方法によれば、少なくとも１か所の挿入部（４３，４７，５０）が挿入溝（５１）に入った状態で回転バー（４２，４６，４９）を回転させることができる。これにより、係止バー（２１）と本体部（３）との固定状態を保持した状態でカラビナ（９）を係止バー（２１）の一方から他方に移動することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】従来の安全帯係止機構を備えた基板処理装置の斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係る安全帯係止機構の平面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る安全帯係止機構の平面図である。
【図４】本発明の実施形態に係る安全帯係止機構の平面図である。
【図５】本発明の実施形態に係る安全帯係止機構の断面図である。
【図６】本発明の実施形態に係る安全帯係止機構の内部構造を示す断面図である。
【図７】本発明の他の実施形態に係る安全帯係止機構の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。図２〜図４は、本発明の実施形態に係る安全帯係止機構２の概略を示す平面図である。これは、図１の基板処理装置１において、係止バー２１が基板処理装置１の本体１０と接続している部分の金具に相当する位置を、上面から見た図である。図２において粗くハッチングを示す部分が、基板処理装置１の本体１０である。また、図５は、図２の矢印Ｄから見た安全帯係止機構２の断面図である。また図６は、図５の矢印Ｄ２から見た安全帯係止機構２の断面図である。
【００１０】
安全帯係止機構２は、本体部３、連結部４、係止バー保持部５と、を備える。本体部３は図５に示すように、側面から見るとコの字状の部材であり、その内面で連結部４を回動可能に保持する構造になっている。また、本体部３の接続面３１で基板処理装置１の本体１０と接触し、図示しないボルト等の締結部材により、強固に締結されている。
【００１１】
連結部４は、円筒状の軸部４１と、軸部４１の中心部から放射状に平面視でＶ字状に拡がる２本の回転バー４２，４６と、それぞれの回転バーの先端に形成される挿入部４３，４７と、を備える。回転バー４２、４６は、各々の延設方向に一定の断面形状を有する。本実施例の場合は円柱形状であるが、断面が楕円形状でも良いし、矩形であっても良い。挿入部４３、４７は、前記回転バー４２，４６の延設方向に見て、断面形状の大きさが大きい。同様に、本実施例の場合は円柱形状であるが、断面が楕円形状でも良いし、矩形であっても良い。また挿入部４３，４７の先端部は曲面で形成されており、後述する挿入溝５１に挿入される際、滑らかに挿入可能な形状となっている。
軸部４１は垂直方向の軸Ａ１を中心とし、図示しないベアリングなどの回動部材を介して本体部３の中央部に配置されている。そのため、軸部４１は軸Ａ１を中心として、本体部３に対して回動可能である。軸部４１が回動すると、２本の回転バー４２、４６は、同様に軸Ａ１を中心として回動する。
【００１２】
図５に示すように、本体部３はラッチ部３２を備える。ラッチ部３２は、ラッチバネ３２１によりラッチボール３２２が下方向に付勢されている。また軸部４１の上面には、図６に示すように２か所にラッチ溝４１１が形成されている。そのため、図６において実線で示す回転バー４６が係止バー保持部５側にある第１位置、および、二点鎖線で示す回転バー４２が係止バー保持部５側にある第２位置のいずれかにおいて、ラッチボール３２２がラッチ溝４１１と係合する。
【００１３】
さらに、図５および図６に示すように、軸部４１には軸Ａ１から径方向に突出するリブ４９が設けられている。また本体部３には、第１位置または第２位置にて前述のリブ４９と接触する位置にストッパー３３が設けられる。リブ４９は第１位置および第２位置の間でのみ回動可能なように、ストッパー３３により回動範囲が規制される。従って連結部４は第１位置から第２位置の間でのみ、回動が許容される。
【００１４】
係止バー保持部５は、その両端部で係止バー２１を同一軸線上で保持可能な金具であり、ステンレスやアルミなどの金属で形成された部材である。後述するように係止バー保持部５に沿ってカラビナ９が移動するため、係止バー保持部５の本体部３に対向する位置は、なだらかな曲面にて形成されている。この本体部３との対向位置には、回転バー４２，４６の先端に形成される挿入部４３、４７が挿入される挿入溝５１が形成されている。
【００１５】
挿入溝５１は、回転バー４２または４６が通過する狭幅部５１ａと、挿入部４３または４７が通過する広幅部５１ｂと、を備え、軸Ａ１を中心とした周方向にそって形成されるレール状の溝である。そのため、軸Ａ１を中心とした回動により、挿入部４３または４７は挿入溝５１の広幅部５１ｂ内を挿入溝５１と接触しながら移動可能となる。図５では図示の簡略化のため、挿入部４３と挿入溝内面５１ａは若干の間隙を有するように記載しているが、実際にはこの部分は潤滑油等によりほぼ連結された（接触した）状態となっている。
【００１６】
次に、主に図２から図４を用いて、安全帯係止機構２の動作を説明する。図２は、安全帯係止機構２の連結部４が第１位置に配置され、かつ、カラビナ９が安全帯係止機構２に対して、図２の右側の係止バー２１に係止されている図である。作業者が図２の右側から左側に移動したい場合は、カラビナ９を係止バー２１に沿って移動させ、回転バー４２と回転バー４６との間の空間Ｓに進入させる。この時点では、連結部４は前述のラッチ部３２およびストッパー３３により、第１位置にて回動可能であるが緩やかに規制されている状態である。しかし、上下方向（紙面奥行方向）に関しては、本体部３により規制されているため、回転バー４６は係止バー保持部５および係止バー２１の上下方向の移動を規制する。
【００１７】
続いて、作業者はカラビナ９を操作することにより、回転バー４６を図示左側に付勢する。これにより、緩やかに第１位置に固定されている連結部４は、軸Ａ１を中心として反時計回りに回動される（図３）。この時、ラッチ部３２のラッチボール３２２はラッチ溝４１１との係合状態を離れているため、連結部４の回動を規制しない。また、図３に示すように連結部４が第１位置と第２位置との間に存在する場合も、挿入部４３および挿入部４７は、いずれか一方は必ず挿入溝５１内に存在する。そのため、回転バー４２または４６は係止バー保持部５および係止バー２１の上下方向の移動を規制する。
【００１８】
その後、作業者はそのままカラビナ９を図示左側に移動させる。その結果、連結部４は図４に示す第２位置に緩やかに回動が規制される。第２位置では、空間Ｓは図示左側の係止バー２１と連通する。そのため、カラビナ９は図示左側の係止バーに係止された状態となる。この状態では、回転バー４２が係止バー保持部５および係止バー２１の上下方向の移動を規制する。
このように、カラビナ９を係止バー２１の一方から他方に移動する場合においても、係止バー２１と本体部３との固定状態は保持される。ここで、固定状態とは、保持溝５１と挿入部４３または挿入部４７との間に間隙は有するが、作業者が下方の床に落下しない程度に、連結状態が維持される状態を指す。そのため、万が一作業者が転落した場合でも、床面への落下を防止できる。
また、一方の係止バー２１に係止された状態から、他方の係止バー２１に係止された状態に移動する際、カラビナ９を一旦外すことなく、安全に他方の係止バー２１に係止された状態に遷移することができる。連結部４が第１位置から第２位置に移動する場合でも、いずれか一方の挿入部４３または４７は、挿入溝５１内に挿入される。これによりいずれの状態においても作業者の安全は確保することができる。
＜変形例＞
【００１９】
前述の実施形態では、連結部４の回転バー２本のＶ字型であったが、これに限定されるものではない。図７は、他の実施形態に係る安全帯係止機構部２ａを示す図である。図７に示すように安全帯係止機構２ａは、６本の回転バー４２ａを備えている。そのため、ストッパー３３に相当する機構は無く、ラッチ部３２により緩やかに回動が規制されている。このように、より多くの回転バー４２ａを備えることにより、カラビナ９が一方の係止バー２１に係止された状態から、他方の係止バー２１に係止された状態に移動する場合の自由度が増加する。さらに、図７のように６本程度の回転バー４９が放射状に配置されると、どの回転位置においてもいずれか一つの挿入部５０が挿入溝５１内に挿入される。これにより、カラビナ９が一方の係止バー２１に係止された状態から、他方の係止バー２１に係止された状態に移動する場合の自由度が増加し、さらに、いずれの状態においても作業者の安全を確保することができる。
【００２０】
上述の実施形態では、回転バーは２本、または６本であったが、これに限定するものではない。いずれか一つの挿入部が挿入溝５１により固定されれば、回転バーの本数には限定されない。
【００２１】
また、回転バーおよび挿入部の形状は一例であり、種々の変形が可能である。例えば、回転バーと挿入部とがなだらかに連続的に外径が変化するような形状であってもよい。
【符号の説明】
【００２２】
１  基板処理装置
２  安全帯係止機構
３  本体部
４  連結部
５  係止バー保持部
９  カラビナ
１０  本体
２１  係止バー
４２、４６、４２ａ  回転バー
４３、４７、５０  挿入部
５１  挿入溝
５１ａ  狭幅部
５１ｂ  広幅部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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