(57)【要約】【課題】フォトマスクからペリクルを剥離した際にフォトマスクの表面に残るペリクルの粘着剤を洗浄する。【解決手段】フォトマスクのペリクルフレーム跡に残る粘着剤のパターンの内側のマスクパターンにカバーを覆い被せ、前記フォトマスクのペリクルフレーム跡に残る粘着剤に、ポンプで圧力を加えた洗浄液を前記フォトマスクの外側に向けた流れでノズルから噴出させて噴き付けることで、前記フォトマスクの面上の前記粘着剤を前記フォトマスクの外側に押し流す圧力を加えた洗浄液を前記ノズルから噴出させて該粘着剤に噴き付け、該粘着剤を前記フォトマスクの外側に押し流して剥離し洗浄する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フォトマスク上のペリクルフレーム跡に残る粘着剤パターンの内側のマスクパターンに覆い被せるカバーと、前記フォトマスクのペリクルフレーム跡に残る粘着剤に、ポンプで圧力を加えた洗浄液を前記フォトマスクの外側に向けた流れで噴出させて噴き付けるノズルを有し、前記ノズルから、前記フォトマスク上の前記粘着剤を前記フォトマスクの外側に押し流す圧力を加えた洗浄液を噴出させて該粘着剤に噴き付けることで、該粘着剤を前記フォトマスクの外側に押し流して剥離し洗浄することを特徴とするフォトマスクのペリクルの粘着剤の洗浄装置。
【請求項２】
請求項１記載のフォトマスクのペリクルの粘着剤の洗浄装置であって、前記カバーの内側に気流用ノズルを有し、前記気流用ノズルから気流をフォトマスクに吹き付けて、気流用ノズルからフォトマスクに至るエアーカーテンを形成し、前記気流をフォトマスクの面に沿ってカバーの外側に流出させることで、前記洗浄液をフォトマスクの外側へ押し出すことを特徴とするフォトマスクのペリクルの粘着剤の洗浄装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のフォトマスクのペリクルの粘着剤の洗浄装置であって、フォトマスクに残った粘着剤に洗浄液を噴き付けつつ、ブラシで前記粘着剤を擦り落とす移動式ブラシ装置を前記カバーの端部に備え、前記移動式ブラシ装置を駆動装置で粘着剤に沿って移動させることで、粘着剤を洗浄液で洗浄するのと同時にブラシで擦り落とすことを特徴とするフォトマスクのペリクルの粘着剤の洗浄装置。
【請求項４】
フォトマスクのペリクルフレーム跡に残る粘着剤のパターンの内側のマスクパターンにカバーを覆い被せ、フォトマスクのペリクルフレーム跡に残る粘着剤に、ポンプで圧力を加えた洗浄液をフォトマスクの外側に向けた流れでノズルから噴出させて噴き付けることで、フォトマスクの面上の粘着剤をフォトマスクの外側に押し流す圧力を加えた洗浄液を前記ノズルから噴出させて粘着剤に噴き付け、粘着剤をフォトマスクの外側に押し流して剥離し洗浄することを特徴とするフォトマスクのペリクルの粘着剤の洗浄方法。
【請求項５】
請求項４記載のフォトマスクのペリクルの粘着剤の洗浄方法であって、前記カバーの内側の気流用ノズルから気流をフォトマスクに吹き付けて、前記気流用ノズルからフォトマスクに至るエアーカーテンを形成し、気流をフォトマスクの面に沿ってカバーの外側に流出させ、気流により洗浄液をフォトマスクの外側へ押し出すことを特徴とするフォトマスクのペリクルの粘着剤の洗浄方法。
【請求項６】
請求項４又は５に記載のフォトマスクのペリクルの粘着剤の洗浄方法であって、前記フォトマスクに残った粘着剤に洗浄液を噴き付けつつ、前記カバーの端部に設置した移動式ブラシ装置を駆動装置で粘着剤に沿って移動させることで、粘着剤を洗浄液で洗浄するのと同時に前記移動式ブラシ装置のブラシで粘着剤を擦り落とすことを特徴とするフォトマスクのペリクルの粘着剤の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フォトマスクからペリクルを剥離した際にフォトマスク表面に残るペリクルの粘着剤を洗浄するフォトマスクのペリクルの粘着剤の洗浄装置及びペリクルの粘着剤の洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
微細なパターンをフォトリソグラフィー法により露光して転写するために使用されるフォトマスクにおいて、パターン面に塵埃等の異物が付着すると、異物自体が露光対象基板面に転写されたり、異物が露光を遮って露光対象基板面に影を作ることにより欠陥パターンが転写されたりする。上記の理由により、特に、多数の露光対象基板に影響を及ぼすフォトマスクの面を塵埃の付着から保護するための対策が講じられている。
【０００３】
そのために、特許文献１のように、投影露光に用いるフォトマスクの有効領域外の表面にペリクルフレームと称する枠体を配置し、それを介してフォトマスクの有効領域全面を覆う、露光光源波長に対して透明性な、厚さ数百ｎｍから数μｍのペリクル膜をフォトマスク面とほぼ平行に張設して近接配置する。それにより、有効領域に接触させることなくフォトマスクの表面を保護する。また、ペリクル膜上に付着した異物は、露光時に焦点を外し、異物が露光対象基板面に影を作らないようにできる。
【０００４】
フォトマスクへ貼付した後のペリクルは、何らかの理由で貼替えが必要になれば剥離しなければならない。しかし、そのペリクルをフォトマスクへ貼付けていた粘着剤の一部はフォトマスク上に付着したまま残ってしまうので、フォトマスクを再利用するために粘着剤を洗浄して完全に除去しておく必要がある。
【０００５】
そのため、特許文献１では、粘着剤の一部が残ったフォトマスクを洗浄液に浸漬して、粘着剤を除去するフォトマスクの洗浄方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−１３１８９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、フォトマスクを露光した後に特許文献１の方法を用いてペリクルを剥離した場合に、ペリクルの粘着剤がフォトマスクに強く癒着していて、容易にはフォトマスクから剥離できない場合がある。そのため、時には綿棒に硫酸をしみこませ、直接物理的に粘着剤をフォトマスクからこそぎ取るという手法も使っている。
【０００８】
また、粘着剤を洗浄するために硫酸槽にフォトマスクを漬け込んで粘着剤を溶解して除去する場合は、多量の洗浄液を使用するので、そのための洗浄液の消費量が多いという問題があった。
【０００９】
本発明は、上記の問題を改善し、ペリクルを剥がしたフォトマスクの表面に残る粘着剤を洗浄する際に、少ない洗浄液で効果的にフォトマスクを洗浄することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上記の課題を解決するために、フォトマスクのペリクルフレーム跡に残る粘着剤パターンの内側のマスクパターンに覆い被せるカバーと、前記フォトマスクのペリクルフレーム跡に残る粘着剤に、ポンプで圧力を加えた洗浄液を前記フォトマスクの外側に向けた流れで噴出させて噴き付けるノズルを有し、前記ノズルから、前記フォトマスクの面上の粘着剤をフォトマスクの外側に押し流す圧力を加えた洗浄液を噴出させて粘着剤に噴き付けることで、粘着剤をフォトマスクの外側に押し流して剥離し洗浄することを特徴とするフォトマスクのペリクルの粘着剤の洗浄装置である。
【００１１】
本発明のフォトマスクのペリクルの粘着剤の洗浄装置は、この構成により、比較的少量の洗浄液を用いて、圧力をかけてノズルから勢いよく流出させた洗浄液をフォトマスク上を外側に向けて勢いよく流すことができる。本発明は、その洗浄液の強い流れによってフォトマスクに粘着していた粘着剤を押し流すことでフォトマスクから剥離し、フォトマスクの外側へ押し出して除去できる効果がある。
【００１２】
また、本発明は、上記のフォトマスクのペリクルの粘着剤の洗浄装置であって、前記カバーの内側に気流用ノズルを有し、気流用ノズルから気流をフォトマスクに吹き付けて、気流用ノズルからフォトマスクに至るエアーカーテンを形成し、気流をフォトマスクの面に沿って前記カバーの外側に流出させ、気流により洗浄液をフォトマスクの外側へ押し出すことを特徴とするフォトマスクのペリクルの粘着剤の洗浄装置である。
【００１３】
また、本発明は、上記のフォトマスクのペリクルの粘着剤の洗浄装置であって、フォトマスクに残った粘着剤に洗浄液を噴き付けつつ、ブラシで粘着剤を擦り落とす移動式ブラシ装置を前記カバーの端部に備え、前記移動式ブラシ装置を駆動装置で粘着剤に沿って移動させることで、粘着剤を洗浄液で洗浄するのと同時に前記ブラシで擦り落とすことを特徴とするフォトマスクのペリクルの粘着剤の洗浄装置である。
【００１４】
また、本発明は、フォトマスクのペリクルフレーム跡に残る粘着剤のパターンの内側のマスクパターンにカバーを覆い被せ、前記フォトマスクのペリクルフレーム跡に残る粘着剤に、ポンプで圧力を加えた洗浄液を前記フォトマスクの外側に向けた流れでノズルから噴出させて噴き付けることで、フォトマスクの面上の粘着剤をフォトマスクの外側に押し流す圧力を加えた洗浄液をノズルから噴出させて粘着剤に噴き付け、粘着剤をフォトマスクの外側に押し流して剥離し洗浄することを特徴とするフォトマスクのペリクルの粘着剤の洗浄方法である。
【００１５】
また、本発明は、上記のフォトマスクのペリクルの粘着剤の洗浄方法であって、前記カバーの内側の気流用ノズルから気流をフォトマスクに吹き付けて、気流用ノズルからフォトマスクに至るエアーカーテンを形成し、気流をフォトマスクの面に沿ってカバーの外側に流出させ、気流により洗浄液をフォトマスクの外側へ押し出すことを特徴とするフォトマスクのペリクルの粘着剤の洗浄方法である。
【００１６】
また、本発明は、上記のフォトマスクのペリクルの粘着剤の洗浄方法であって、フォトマスクに残った粘着剤に洗浄液を噴き付けつつ、前記カバーの端部に設置した移動式ブラシ装置を駆動装置で粘着剤に沿って移動させることで、粘着剤を洗浄液で洗浄するのと同時に移動式ブラシ装置のブラシで粘着剤を擦り落とすことを特徴とするフォトマスクのペリクルの粘着剤の洗浄方法である。
【発明の効果】
【００１７】
本発明は、ペリクルを剥がしたフォトマスクの表面に残る粘着剤を洗浄する際に、ポンプで圧力を加えた洗浄液をノズルから流出させることで、粘着剤をフォトマスクの外側に押し流す洗浄液の勢いの強い流れを作ることができる。
【００１８】
そして、その洗浄液の強い流れによって粘着剤をフォトマスクから押し流して剥離し、フォトマスクの外側へ押し出して除去する。そのように、本発明によれば、比較的少量の洗浄液を用いてフォトマスクの表面に残る粘着剤を洗浄液の強い流れで押して剥離して速やかに洗浄することができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】ペリクルを剥がしたフォトマスクを示す図である。
【図２】本発明の第１の実施形態のフォトマスクの洗浄装置の洗浄部を示す図である。
【図３】本発明の第１の実施形態のフォトマスクの洗浄装置の全体構成を示す図である。
【図４】本発明の第１の実施形態の変形例１のフォトマスクの洗浄装置を示す図である。
【図５】本発明の第２の実施形態のフォトマスクの洗浄装置を示す図である。
【図６】本発明の第３の実施形態のフォトマスクの洗浄装置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
（洗浄対象のフォトマスク）
図１（ａ）は、ペリクル３を取り付けたフォトマスク１を示す平面図である。図１（ｂ）は、その側面図である。図１（ｃ）は、そのフォトマスク１からペリクル３を剥がした後の状態を示す平面図である。
【００２１】
フォトマスク１のマスクパターン２が作製された面には、ペリクルフレーム３ａにマスクパターン２の保護膜３ｂを張って成るペリクル３を、そのペリクルフレーム３ａを、粘着剤４で接着する。
【００２２】
ペリクルフレーム３ａをフォトマスク１に接着するために用いる粘着剤４は、熱可塑性があり、熱を加えると柔らかくなるので、フォトマスク１からペリクル３のペリクル３を剥がす際には、フォトマスク１を温め、ペリクルフレーム３ａを冷やしてペリクルフレーム３ａをフォトマスク１から剥がす。
【００２３】
そうすることで、ペリクル３側に残る粘着剤４を多くし、フォトマスク１側に残る粘着剤４が少なくなるようにしてペリクル３を剥がす。
【００２４】
そうしてペリクル３をフォトマスク１から剥がしたペリクルフレーム３ａの跡に、図１（ｃ）のように、マスクパターン２の周りのペリクルフレーム３ａの粘着箇所の跡に粘着剤４が残留する。そのため、その残留した粘着剤４を、洗浄液５等を用いて洗浄する。
【００２５】
＜第１の実施形態＞
図２は、本発明の第１の実施形態の、ペリクル３の粘着剤の洗浄装置１０の洗浄部を示す図である。図２（ａ）は、ペリクル３を外したフォトマスク１に粘着剤の洗浄装置１０の洗浄部を設置した状態を示す図である。
【００２６】
ここで、粘着剤の洗浄装置１０に設置するフォトマスク１は、粘着剤４が付着した面でマスクパターン２が形成されている面を上側に向けて、粘着剤の洗浄装置１０に設置する。ペリクル３の粘着剤の洗浄装置１０からは、フォトマスク１に向けて、粘着剤の洗浄装置１０のカバー１０ａの外側に向けて流れる洗浄液５を流出させる。
【００２７】
（粘着剤の洗浄装置）
図２（ｂ）は、粘着剤の洗浄装置１０の洗浄部の横断面図であり、図２（ｃ）は、粘着剤の洗浄装置１０の洗浄部の側断面図である。図３に、洗浄部とポンプ１１とから成る粘着剤の洗浄装置１０の全体構成を示す。
【００２８】
図３のように、粘着剤の洗浄装置１０を、洗浄液５に圧力をかけて供給するポンプ１１と洗浄部で構成する。粘着剤の洗浄装置１０の洗浄部は、箱型に成形したカバー１０ａと、洗浄液５を流入させる洗浄液注入口１３と、カバー１０ａの側部の、洗浄液５を、フォトマスク１上の粘着剤４に噴き付けるノズル１２と、その洗浄液注入口１３とノズル１２をつなぐ洗浄液用流路１４で構成する。
【００２９】
ノズル１２は、洗浄液５がフォトマスク１上をその外側に向けて流出するように、洗浄液５をカバー１０ａの外側に向けて流出させるために、洗浄液５の流路をフォトマスク１の面に垂直な方向からカバー１０ａの外側に傾けたノズル１２に形成する。
【００３０】
粘着剤の洗浄装置１０は、この構成により、ポンプ１１で圧力をかけた洗浄液５をノズル１２からカバー１０ａの外側に流出させる。ポンプ１１で圧力をかけた洗浄液５を噴き付けることでフォトマスク１上に粘着剤４に、フォトマスク１の外側へ押し流す圧力（摩擦力）を加える。その洗浄液５の流れの圧力により粘着剤４をフォトマスク１から剥離してフォトマスク１の外に押し流す。
【００３１】
ポンプ１１が洗浄液５に加える圧力を高くすることで、洗浄液５が粘着剤４に加える、フォトマスク１の外側へ押し流す圧力（摩擦力）を強くすることができる。
【００３２】
こうして、ポンプ１１で圧力を加えた洗浄液５をノズル１２から流出させることで、洗浄液５をフォトマスク１の外側に流す洗浄液５の勢いの強い流れを作り、その強い流れで粘着剤４を押し流すことができる効果がある。
【００３３】
粘着剤の洗浄装置１０のカバー１０ａを、図１のフォトマスク１のペリクル３跡に残る粘着剤４の一部が残る領域の内側に、図２のようにマスクパターン２を覆ってフォトマスク１に被せる。カバー１０ａの設置は、フォトマスク１に接触させても良く、またカバー１０ａの端部をフォトマスク１から僅かな隙間を開けて、フォトマスク１に非接触な状態で設置しても良い。
【００３４】
粘着剤の洗浄装置１０は、カバー１０ａの上面に空けた洗浄液注入口１３からカバー１０ａ内の洗浄液用流路１４に洗浄液５を注入する。これにより、洗浄液５を、洗浄液注入口１３からカバー１０ａ内に注入し、洗浄液用流路１４を介してノズル１２からフォトマスク１上の粘着剤４に洗浄液５を噴き付け、粘着剤４にフォトマスク１の外側に押し流す圧力を加える。
【００３５】
粘着剤の洗浄装置１０は、この構成により、ノズル１２から洗浄液５をカバー１０ａの外側に向けて粘着剤４に噴き付け、すなわち、洗浄液５によって粘着剤４にフォトマスク１の外側に押し流す圧力を加えて粘着剤４を剥離し、剥離した粘着剤４をフォトマスク１の外側へ押し流す。
【００３６】
粘着剤４を剥離するために用いる洗浄液５は、例えば硫酸系の液体などを使用することができる。また、粘着剤４の種類に応じて、キシレンやトルエン等を、その粘着剤４を綺麗に洗浄する効果が大きい洗浄液５として用いることもできる。
【００３７】
洗浄液５は、マスクパターン２に接触しないように流出させる。それにより、洗浄液５を、マスクパターン２に被害を与えるか否かに関わらず、粘着剤４を効果的に洗浄できる洗浄液５を使用することができる。
【００３８】
また、洗浄液５は加熱して温度を高くした洗浄液を用いることが望ましい。そうすることで、粘着剤４を、加熱したフォトマスク１からの熱で加熱するとともに、洗浄液によっても加熱することで柔らかくして粘着剤４の洗浄効果を高めることができる。
【００３９】
こうして、フォトマスク１のマスクパターンをカバー１０ａで覆って保護し、比較的少量の洗浄液５を用いて、ノズル１２からカバー１０ａの外側に流出させる洗浄液５の流れによってフォトマスク１から粘着剤４を剥離し、フォトマスク１の外側へ押し流して除去できる効果がある。
【００４０】
（変形例１）
図４は、本発明の第１の実施形態の変形例１の粘着剤の洗浄装置１０の側断面図である。変形例１は、カバー１０ａの側面を、フォトマスク１の面に垂直な方向から傾ける。そして、その側面に沿った洗浄液用流路１４に洗浄液５を流しノズル１２から流出させる。
【００４１】
それにより、洗浄液５のノズル１２から粘着剤４への噴出方向を、フォトマスク１の面に垂直な方向からカバー１０ａの外側に傾けて流出させる。この洗浄液５の、フォトマスク１の外側へ流れる流れの圧力によって、粘着剤４をカバー１０ａの外側（フォトマスク１の外側）へ押し流す。
【００４２】
＜第２の実施形態＞
図５は、本発明の第２の実施形態の粘着剤の洗浄装置１０の側断面図である。第２の実施形態は、カバー１０ａの内側の気流用ノズル１７から気流６をフォトマスク１に吹き付けて、気流用ノズル１７からフォトマスク１に至るエアーカーテンを形成する。そして、その気流６をフォトマスク１の面に沿ってカバー１０ａの下端から、カバー１０ａの外側に流出させる。
【００４３】
こうすることで、本実施形態では、カバー１０ａ内の洗浄液５がカバー１０ａの縁の隙間からカバー１０ａ内に逆流してマスクパターン２に接触することが無いようにできる効果がある。
【００４４】
また、図５に示すカバー１０ａに、気流６を流入させる気流注入口１５を設ける。そして、気流６を、気流注入口１５から、カバー１０ａの内側に設けた気流用流路１６を介して、ノズル１２よりもカバー１０ａの内側に設けた気流用ノズル１７から流出させる。それにより、その気流６をカバー１０ａの下端とフォトマスク１との間の隙間からカバー１０ａの外側に流出させる。
【００４５】
気流６は、フォトマスク１のマスクパターン２に接する。そのため、気流６には、マスクパターン２に被害を与えない窒素やクリーンエア等の気体を用いる。
【００４６】
こうして、カバー１０ａの気流用ノズル１７から流出させた気流６により気体の壁のエアーカーテンを形成し、気流６をフォトマスク１上をカバー１０ａの外側に流す。この気流６流路にあたるカバー１０ａの端部とフォトマスク１の間に隙間を開け、気流６をその隙間からカバー１０ａの外側に流出させる。
【００４７】
この気流６の流れによって、洗浄液５をフォトマスク１の外側へ押し流す。このように本実施形態は、気流６の流体圧によりカバー１０ａ内のフォトマスク１のマスクパターン２の領域に洗浄液５を浸入させない効果がある。
【００４８】
ここで、気流用ノズル１７の開口の形はカバー１０ａの内側のマスクパターン２の領域を囲むスリット型の開口にすることが望ましい。気流用ノズル１７の開口をスリット型の開口にすることで、マスクパターン２の領域を囲む均一な厚さの気流６のカーテンが形成され、マスクパターン２の領域を洗浄液５から漏れなく保護できる効果がある。
【００４９】
＜第３の実施形態＞
図６（ａ）は、本発明の第３の実施形態の粘着剤の洗浄装置１０の平面図であり、図６（ｂ）は、その側断面図である。
【００５０】
本実施形態の粘着剤の洗浄装置１０は、フォトマスク１の粘着剤５に洗浄液５を噴き付けながらブラシ１８ａで粘着剤４を擦り落とす移動式ブラシ装置１８をカバー１０ａの端部に設置して使用する。この移動式ブラシ装置１８は、駆動装置を用いて粘着剤４に沿って移動させる。
【００５１】
移動式ブラシ装置１８は、フォトマスク１を洗浄液５で洗浄するのと同時に、カバー１０ａの端に沿って移動させて、フォトマスク１上に残留した粘着剤４を洗浄液５によって軟化させつつブラシ１８ａで擦り落とす。
【符号の説明】
【００５２】
１・・・フォトマスク
２・・・マスクパターン
３・・・ペリクル
３ａ・・・ペリクルフレーム
３ｂ・・・保護膜
４・・・粘着剤
５・・・洗浄液
６・・・気流
１０・・・粘着剤の洗浄装置
１０ａ・・・カバー
１１・・・ポンプ
１２・・・ノズル
１３・・・洗浄液注入口
１４・・・洗浄液用流路
１５・・・気流注入口
１６・・・気流用流路
１７・・・気流用ノズル
１８・・・移動式ブラシ装置
１８ａ・・・ブラシ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2016031412.tif 000007
【図６】
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