(57)【要約】【課題】良好な高周波電源ノイズの低減効果が得られるようにする。【解決手段】積層型半導体装置を、基板１上に積層された複数の集積回路チップ２を備え、複数の集積回路チップの中の電源供給対象チップ２Ｂ〜２Ｄの電源端子３及びグランド端子４が、それぞれ、デカップリング用電源側貫通電極配線５及びデカップリング用グランド側貫通電極配線６に接続され、デカップリング用電源側貫通電極配線とデカップリング用グランド側貫通電極配線とによってデカップリング用貫通電極伝送線路７が構成され、デカップリング用貫通電極伝送線路の終端に位置する集積回路チップ上で、デカップリング用貫通電極伝送線路の特性インピーダンスと等しい抵抗８及び容量９が直列で接続されているものとする。【選択図】図１
2016143853.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に積層された複数の集積回路チップを備え、
前記複数の集積回路チップの中の電源供給対象チップの電源端子及びグランド端子は、それぞれ、デカップリング用電源側貫通電極配線及びデカップリング用グランド側貫通電極配線に接続され、前記デカップリング用電源側貫通電極配線と前記デカップリング用グランド側貫通電極配線とによってデカップリング用貫通電極伝送線路が構成され、前記デカップリング用貫通電極伝送線路の終端に位置する集積回路チップ上で、前記デカップリング用貫通電極伝送線路の特性インピーダンスと等しい抵抗及び容量が直列で接続されていることを特徴とする積層型半導体装置。
【請求項２】
互いに接続された複数の前記デカップリング用電源側貫通電極配線と互いに接続された複数の前記デカップリング用グランド側貫通電極配線とによって前記デカップリング用貫通電極伝送線路が構成されていることを特徴とする、請求項１に記載の積層型半導体装置。
【請求項３】
複数の前記デカップリング用貫通電極伝送線路を備えることを特徴とする、請求項１又は２に記載の積層型半導体装置。
【請求項４】
前記デカップリング用貫通電極伝送線路は、前記電源供給対象チップの上側へ延びており、
前記抵抗及び前記容量は、前記複数の集積回路チップの中の最も上側の集積回路チップに設けられていることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の積層型半導体装置。
【請求項５】
前記デカップリング用貫通電極伝送線路は、前記電源供給対象チップの下側へ延びており、
前記抵抗及び前記容量は、前記複数の集積回路チップの中の最も下側の集積回路チップに設けられていることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の積層型半導体装置。
【請求項６】
前記最も下側の集積回路チップは、電源配線と、グランド配線と、ローパスフィルタとを備え、
前記デカップリング用貫通電極伝送線路の終端で、前記デカップリング用電源側貫通電極配線と前記デカップリング用グランド側貫通電極配線は、前記ローパスフィルタを介して前記電源配線と前記グランド配線に接続されていることを特徴とする、請求項５に記載の積層型半導体装置。
【請求項７】
前記デカップリング用貫通電極伝送線路として、前記電源供給対象チップの上側へ延びる上側デカップリング用貫通電極伝送線路と、前記電源供給対象チップの下側へ延びる下側デカップリング用貫通電極伝送線路とを備え、
前記抵抗及び前記容量として、前記複数の集積回路チップの中の最も上側の集積回路チップに設けられ、前記上側デカップリング用貫通電極伝送線路の終端に接続され、前記上側デカップリング用貫通電極伝送線路の特性インピーダンスと等しい上側抵抗及び上側容量と、前記複数の集積回路チップの中の最も下側の集積回路チップに設けられ、前記下側デカップリング用貫通電極伝送線路の終端に接続され、前記下側デカップリング用貫通電極伝送線路の特性インピーダンスと等しい下側抵抗及び下側容量とを備え、
前記最も下側の集積回路チップは、電源配線と、グランド配線と、ローパスフィルタとを備え、
前記下側デカップリング用貫通電極伝送線路の終端で、前記下側デカップリング用貫通電極伝送線路を構成するデカップリング用電源側貫通電極配線とデカップリング用グランド側貫通電極配線は、前記ローパスフィルタを介して前記電源配線と前記グランド配線に接続されていることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の積層型半導体装置。
【請求項８】
前記デカップリング用貫通電極伝送線路を構成する前記デカップリング用電源側貫通電極配線と前記デカップリング用グランド側貫通電極配線との間に接続され、前記デカップリング用貫通電極伝送線路の特性インピーダンスを調整する調整容量を備えることを特徴とする、請求項１〜７のいずれか１項に記載の積層型半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層型半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板上に搭載するべく複数のＬＳＩチップ等の集積回路チップを積層した半導体装置がある。
また、集積回路の電源ノイズやグラウンドノイズを除去するために電源とグラウンドの間に接続されたデカップリングコンデンサを設けることがある。
また、基板上に搭載するべく複数の集積回路チップを積層した半導体装置において、各集積回路チップに設けられ、互いに接続されたビアホールに、最上層の集積回路チップ上に搭載されたデカップリングコンデンサを接続することも提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２７０５８１号公報
【特許文献２】特開２００９−１８２０８７号公報
【特許文献３】特開２０１２−２０４６５３号公報
【特許文献４】特開２０１２−１７４８２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、基板上に搭載するべく複数の集積回路チップを積層した半導体装置において、各集積回路チップに設けられ、互いに接続された貫通電極配線を通してデカップリングコンデンサを接続しても、貫通電極配線のインダクタンス成分に起因して、良好な高周波電源ノイズや高周波グラウンドノイズの低減効果が得られない。以下、電源ノイズという用語には通常グラウンドノイズの意味も含まれていることとする。
【０００５】
そこで、良好な高周波電源ノイズの低減効果が得られるようにしたい。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本積層型半導体装置は、基板上に積層された複数の集積回路チップを備え、複数の集積回路チップの中の電源供給対象チップの電源端子及びグランド端子は、それぞれ、デカップリング用電源側貫通電極配線及びデカップリング用グランド側貫通電極配線に接続され、デカップリング用電源側貫通電極配線とデカップリング用グランド側貫通電極配線とによってデカップリング用貫通電極伝送線路が構成され、デカップリング用貫通電極伝送線路の終端に位置する集積回路チップ上で、デカップリング用貫通電極伝送線路の特性インピーダンスと等しい抵抗及び容量が直列で接続されている。
【発明の効果】
【０００７】
したがって、本積層型半導体装置によれば、良好な高周波電源ノイズの低減効果が得られるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本実施形態にかかる積層型半導体装置の構成を示す模式的断面図である。
【図２】（Ａ）、（Ｂ）は、本実施形態にかかる積層型半導体装置に備えられる特性インピーダンスＺ１を持つデカップリング用貫通電極伝送線路を説明するための図である。
【図３】本実施形態の変形例の積層型半導体装置の構成を示す模式的断面図である。
【図４】本実施形態の第１変形例の積層型半導体装置の構成を示す模式的断面図である。
【図５】本実施形態の第２変形例の積層型半導体装置の構成を示す模式的断面図である。
【図６】本実施形態の第３変形例の積層型半導体装置の構成を示す模式図である。
【図７】本実施形態の第４変形例の積層型半導体装置の構成を示す模式図である。
【図８】（Ａ）、（Ｂ）は本実施形態の第５変形例の積層型半導体装置の構成を示す模式図であって、（Ａ）は平面図であり、（Ｂ）は斜視図である。
【図９】本実施形態の第６変形例の積層型半導体装置の構成を示す模式的断面図である。
【図１０】本実施形態の第７変形例の積層型半導体装置の構成を示す模式的断面図である。
【図１１】本実施形態の第８変形例の積層型半導体装置の構成を示す模式的断面図である。
【図１２】本実施形態の第９変形例の積層型半導体装置の構成を示す模式的断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面により、本発明の実施の形態にかかる積層型半導体装置について、図１を参照しながら説明する。
本実施形態の積層型半導体装置は、図１に示すように、基板１上に搭載するべく積層された複数の集積回路チップ２を備える。これらの複数の集積回路チップ２の中の電源供給対象チップ２Ｂ〜２Ｄの電源端子３及びグランド端子４は、それぞれ、デカップリング用電源側貫通電極配線５及びデカップリング用グランド側貫通電極配線６に接続されている。また、デカップリング用電源側貫通電極配線５とデカップリング用グランド側貫通電極配線６とによってデカップリング用貫通電極伝送線路７が構成される。そして、デカップリング用貫通電極伝送線路７の終端に位置する集積回路チップ上で、デカップリング用貫通電極伝送線路７の特性インピーダンスと等しい抵抗８及び容量９が直列で接続されている。なお、積層型半導体装置を、３次元積層構造の半導体装置、積層型半導体集積回路、積層ＬＳＩ、３Ｄ−ＬＳＩともいう。
【００１０】
ここで、集積回路チップ２は、例えばＬＳＩチップなどの半導体集積回路チップ、例えばＳｉやガラスなどの基板に微細な配線や受動素子が形成されたインタポーザや集積回路チップなどである。なお、ＬＳＩチップとは、ＬＳＩのパッケージを含まないＬＳＩのダイを意味することとする。
本実施形態では、基板１上に搭載するべく、５つの集積回路チップ２Ａ〜２Ｅが積層され、互いに接続されており、最も上側の集積回路チップ２Ｅと最も下側（基板側）の集積回路チップ２Ａとの間の３つの集積回路チップ２Ｂ〜２Ｄを電源供給対象チップとする場合を例に挙げて説明する。
【００１１】
なお、ここでは、最も下側の集積回路チップ（最下層の集積回路チップ）２Ａはインタポーザであり、下から２番目から４番目の集積回路チップ（第２層から第４層の集積回路チップ）２Ｂ〜２ＤはＬＳＩチップである。また、最も上側の集積回路チップ（最上層の集積回路チップ）２ＥはＬＳＩチップであっても良いし、Ｓｉやガラス等の基板に受動素子が形成された集積回路チップであっても良い。なお、最も下側の集積回路チップ２Ａには、集積回路チップ２Ｂ〜２Ｅが積層された場所とは異なる場所に、他の電子部品や集積回路が積層され、これらの間を接続する配線が形成されていても良い。また、最も下側の集積回路チップ２Ａは、ＬＳＩチップであっても良い。
【００１２】
また、ここでは、符号Ｘで示す領域が、下から２番目の集積回路チップ２Ｂに対する電源供給及びデカップリングのための電源構造である。また、符号Ｙで示す領域が、下から３番目の集積回路チップ２Ｃに対する電源供給及びデカップリングのための電源構造である。また、符号Ｚで示す領域が、下から４番目の集積回路チップ２Ｄに対する電源供給及びデカップリングのための電源構造である。
【００１３】
ここでは、下から２番目の集積回路チップ２Ｂに対する電源供給及びデカップリングのための電源構造（図１中、符号Ｘで示す領域）は、以下のようになっている。
つまり、最も下側の集積回路チップ２Ａは、電源側下面電極２Ａａと、電源側上面電極２Ａｂと、これらを接続する電源側配線２Ａｃとを備える。
また、電源供給対象チップである下から２番目の集積回路チップ２Ｂは、電源側下面電極２Ｂａと、電源側上面電極２Ｂｂと、これらを接続する電源側貫通電極２Ｂｃとを備え、電源側貫通電極２Ｂｃにチップ内電源配線２ＢＸ（図１中、点線で囲まれた領域参照）が接続されている。
【００１４】
そして、基板１上に設けられ、電源に接続された電源電極１Ｘに、最も下側の集積回路チップ２Ａの電源側下面電極２Ａａが接続されており、さらに、最も下側の集積回路チップ２Ａの電源側上面電極２Ａｂに、下から２番目の集積回路チップ２Ｂの電源側下面電極２Ｂａが接続されている。
これにより、基板１上の電源電極１Ｘに、最も下側の集積回路チップ２Ａの電源側下面電極２Ａａ、電源側配線２Ａｃ及び電源側上面電極２Ａｂ、並びに、下から２番目の集積回路チップ２Ｂの電源側下面電極２Ｂａ及び電源側貫通電極２Ｂｃを介して、下から２番目の集積回路チップ２Ｂのチップ内電源配線２ＢＸが接続され、下から２番目の集積回路チップ２Ｂ内に電源供給が行なわれるようになっている。
【００１５】
このため、下から２番目の集積回路チップ２Ｂの電源側貫通電極２Ｂｃのチップ内電源配線２ＢＸが接続されている部分を、電極端子３という。また、最も下側の集積回路チップ２Ａの電源側下面電極２Ａａ、電源側配線２Ａｃ及び電源側上面電極２Ａｂ、並びに、下から２番目の集積回路チップ２Ｂの電源側下面電極２Ｂａ、電源側貫通電極２Ｂｃのチップ内電源配線２ＢＸが接続されている部分までが、電源配線となる。
【００１６】
また、最も下側の集積回路チップ２Ａは、グランド側下面電極２Ａｄと、グランド側上面電極２Ａｅと、これらを接続するグランド側配線２Ａｆとを備える。
また、電源供給対象チップである下から２番目の集積回路チップ２Ｂは、グランド側下面電極２Ｂｄと、グランド側上面電極２Ｂｅと、これらを接続するグランド側貫通電極２Ｂｆとを備え、グランド側貫通電極２Ｂｆにチップ内グランド配線２ＢＹ（図１中、点線で囲まれた領域参照）が接続されている。
【００１７】
そして、基板１上に設けられ、グランドに接続されたグランド電極１Ｙに、最も下側の集積回路チップ２Ａのグランド側下面電極２Ａｄが接続されており、さらに、最も下側の集積回路チップ２Ａのグランド側上面電極２Ａｅに、下から２番目の集積回路チップ２Ｂのグランド側下面電極２Ｂｄが接続されている。
これにより、基板１上のグランド電極１Ｙに、最も下側の集積回路チップ２Ａのグランド側下面電極２Ａｄ、グランド側配線２Ａｆ及びグランド側上面電極２Ａｅ、並びに、下から２番目の集積回路チップ２Ｂのグランド側下面電極２Ｂｄ及びグランド側貫通電極２Ｂｆを介して、下から２番目の集積回路チップ２Ｂのチップ内グランド配線２ＢＹが接続されている。
【００１８】
このため、下から２番目の集積回路チップ２Ｂのグランド側貫通電極２Ｂｆのチップ内グランド配線２ＢＹが接続されている部分を、グランド端子４という。また、最も下側の集積回路チップ２Ａのグランド側下面電極２Ａｄ、グランド側配線２Ａｆ及びグランド側上面電極２Ａｅ、並びに、下から２番目の集積回路チップ２Ｂのグランド側下面電極２Ｂｄ、グランド側貫通電極２Ｂｆのチップ内グランド配線２ＢＹが接続されている部分までが、グランド配線となる。
【００１９】
また、下から３番目、４番目の集積回路チップ２Ｃ、２Ｄ、最も上側の集積回路チップ２Ｅは、それぞれ、電源側下面電極２Ｃａ、２Ｄａ、２Ｅａと、電源側上面電極２Ｃｂ、２Ｄｂ、２Ｅｂと、これらを接続する電源側貫通電極２Ｃｃ、２Ｄｃ、２Ｅｃとを備える。
そして、下から２番目の集積回路チップ２Ｂの電源側上面電極２Ｂｂに、下から３番目の集積回路チップ２Ｃの電源側下面電極２Ｃａが接続されており、下から３番目の集積回路チップ２Ｃの電源側上面電極２Ｃｂに、下から４番目の集積回路チップ２Ｄの電源側下面電極２Ｄａが接続されており、下から４番目の集積回路チップ２Ｄの電源側上面電極２Ｄｂに、最も上側の集積回路チップ２Ｅの電源側下面電極２Ｅａが接続されている。
【００２０】
これにより、下から２番目の集積回路チップ２Ｂの電源側貫通電極２Ｂｃのチップ内電源配線２ＢＸが接続されている部分よりも上方の部分及び電源側上面電極２Ｂｂ、下から３番目の集積回路チップ２Ｃの電源側下面電極２Ｃａ、電源側貫通電極２Ｃｃ及び電源側上面電極２Ｃｂ、下から４番目の集積回路チップ２Ｄの電源側下面電極２Ｄａ、電源側貫通電極２Ｄｃ及び電源側上面電極２Ｄｂ、最も上側の集積回路チップ２Ｅの電源側下面電極２Ｅａ、電源側貫通電極２Ｅｃが、下から２番目の集積回路チップ２Ｂの電源端子３に接続されている。
【００２１】
つまり、下から２番目の集積回路チップ２Ｂの電源側貫通電極２Ｂｃのチップ内電源配線２ＢＸが接続されている部分よりも上方の部分及び電源側上面電極２Ｂｂ、下から３番目の集積回路チップ２Ｃの電源側下面電極２Ｃａ、電源側貫通電極２Ｃｃ及び電源側上面電極２Ｃｂ、下から４番目の集積回路チップ２Ｄの電源側下面電極２Ｄａ、電源側貫通電極２Ｄｃ及び電源側上面電極２Ｄｂ、最も上側の集積回路チップ２Ｅの電源側下面電極２Ｅａ、電源側貫通電極２Ｅｃによって、即ち、複数の電源側貫通電極２Ｂｃ、２Ｃｃ、２Ｄｃ、２Ｅｃを接続したものによってデカップリング用電源側貫通電極配線５が構成され、このデカップリング用電源側貫通電極配線５が、電源供給対象チップである下から２番目の集積回路チップ２Ｂの電源端子３に接続されている。
【００２２】
この場合、デカップリング用電源側貫通電極配線５は、電源供給対象チップである下から２番目の集積回路チップ２Ｂの上側へ延びており、電源供給対象チップである下から２番目の集積回路チップ２Ｂから最も上側の集積回路チップ２Ｅまで各集積回路チップを貫通して延びていることになる。
また、下から３番目、４番目の集積回路チップ２Ｃ、２Ｄ、最も上側の集積回路チップ２Ｅは、グランド側下面電極２Ｃｄ、２Ｄｄ、２Ｅｄと、グランド側上面電極２Ｃｅ、２Ｄｅ、２Ｅｅと、これらを接続するグランド側貫通電極２Ｃｆ、２Ｄｆ、２Ｅｆとを備える。
【００２３】
そして、下から２番目の集積回路チップ２Ｂのグランド側上面電極２Ｂｅに、下から３番目の集積回路チップ２Ｃのグランド側下面電極２Ｃｄが接続されており、下から３番目の集積回路チップ２Ｃのグランド側上面電極２Ｃｅに、下から４番目の集積回路チップ２Ｄのグランド側下面電極２Ｄｄが接続されており、下から４番目の集積回路チップ２Ｄのグランド側上面電極２Ｄｅに、最も上側の集積回路チップ２Ｅのグランド側下面電極２Ｅｄが接続されている。
【００２４】
これにより、下から２番目の集積回路チップ２Ｂのグランド側貫通電極２Ｂｆのチップ内グランド配線２ＢＹが接続されている部分よりも上方の部分及びグランド側上面電極２Ｂｅ、下から３番目の集積回路チップ２Ｃのグランド側下面電極２Ｃｄ、グランド側貫通電極２Ｃｆ及びグランド側上面電極２Ｃｅ、下から４番目の集積回路チップ２Ｄのグランド側下面電極２Ｄｄ、グランド側貫通電極２Ｄｆ及びグランド側上面電極２Ｄｅ、最も上側の集積回路チップ２Ｅのグランド側下面電極２Ｅｄ、グランド側貫通電極２Ｅｆが、下から２番目の集積回路チップ２Ｂのグランド端子４に接続されている。
【００２５】
つまり、下から２番目の集積回路チップ２Ｂのグランド側貫通電極２Ｂｆのチップ内グランド配線２ＢＹが接続されている部分よりも上方の部分及びグランド側上面電極２Ｂｅ、下から３番目の集積回路チップ２Ｃのグランド側下面電極２Ｃｄ、グランド側貫通電極２Ｃｆ及びグランド側上面電極２Ｃｅ、下から４番目の集積回路チップ２Ｄのグランド側下面電極２Ｄｄ、グランド側貫通電極２Ｄｆ及びグランド側上面電極２Ｄｅ、最も上側の集積回路チップ２Ｅのグランド側下面電極２Ｅｄ、グランド側貫通電極２Ｅｆによって、即ち、複数のグランド側貫通電極２Ｂｆ、２Ｃｆ、２Ｄｆ、２Ｅｆを接続したものによってデカップリング用グランド側貫通電極配線６が構成され、このデカップリング用グランド側貫通電極配線６が、電源供給対象チップである下から２番目の集積回路チップ２Ｂのグランド端子４に接続されている。
【００２６】
この場合、デカップリング用グランド側貫通電極配線６は、電源供給対象チップである下から２番目の集積回路チップ２Ｂの上側へ延びており、電源供給対象チップである下から２番目の集積回路チップ２Ｂから最も上側の集積回路チップ２Ｅまで各集積回路チップを貫通して延びていることになる。
なお、各集積回路チップ２Ｂ〜２Ｅに設けられた電源側貫通電極２Ｂｃ、２Ｃｃ、２Ｄｃ、２Ｅｃ及びグランド側貫通電極２Ｂｆ、２Ｃｆ、２Ｄｆ、２Ｅｆを、集積回路チップがＳｉ製の場合、Ｓｉチップを貫通するビア、ＴＳＶ（Through Silicon Via）ともいう。
【００２７】
そして、上述のデカップリング用電源側貫通電極配線５と上述のデカップリング用グランド側貫通電極配線６とによってデカップリング用貫通電極伝送線路７が構成されるようになっている。
つまり、上述のデカップリング用電源側貫通電極配線５と上述のデカップリング用グランド側貫通電極配線６とは、これらの配線５、６に沿って存在する両配線間の分布容量と分布インダクタンスとで一定の特性インピーダンスを持つデカップリング用貫通電極伝送線路７を形成するようになっている。
【００２８】
ここでは、上述のデカップリング用電源側貫通電極配線５と上述のデカップリング用グランド側貫通電極配線６とを互いに近接させ、図２（Ａ）、図２（Ｂ）に示すように、これらのデカップリング用貫通電極配線５、６の長さ方向に沿ってほぼ一様に分布する分布容量（長さΔｘ当たりの容量をＣｔとする）で結合するとともに、ほぼ一様に分布する分布インダクタンス成分（長さΔｘ当たりのインダクタンスをＬｔとする）を持つようにして、これらのデカップリング用貫通電極配線５、６によって一定の特性インピーダンス（Ｚ１＝√（Ｌｔ／Ｃｔ）で与えられる）を持つデカップリング用貫通電極伝送線路７を形成している。
【００２９】
ここで、図２（Ａ）は、上述のデカップリング用電源側貫通電極配線５と上述のデカップリング用グランド側貫通電極配線６が対称的な構造をもつ場合の伝送線路のモデルであり、Ｌｔは長さΔｘ当たりの配線５、６の合計インダクタンスである。この構造は、電源ノイズとグラウンドノイズが対称的に逆方向に動作するような場合に適している。また、図２（Ｂ）は、デカップリング用電源側貫通電極配線５とデカップリング用グランド側貫通電極配線６が後述する図８のような構造をもつ場合の伝送線路のモデルであり、電源ノイズに比べてグラウンドノイズが小さい場合に適している。
【００３０】
また、ここでは、図１に示すように、１本のデカップリング用電源側貫通電極配線５と１本のデカップリング用グランド側貫通電極配線６とによって１つのデカップリング用貫通電極伝送線路７が構成されるようになっている。
また、デカップリング用貫通電極伝送線路７は、電源供給対象チップである下から２番目の集積回路チップ２Ｂの上側へ延びており、電源供給対象チップである下から２番目の集積回路チップ２Ｂから最も上側の集積回路チップ２Ｅまで延びている。
【００３１】
つまり、電源供給対象チップである下から２番目の集積回路チップ２Ｂは、チップの外部で高周波のデカップリングを形成する必要のある集積回路チップである。このため、この集積回路チップ２Ｂ内の電源端子３とグランド端子４を、デカップリング用貫通電極伝送線路７によって、後述のように抵抗８及び容量９を有し、デカップリング機能を持つ最も上側の集積回路チップ２Ｅに接続している。
【００３２】
そして、デカップリング用貫通電極伝送線路７の終端にデカップリング用貫通電極伝送線路７の特性インピーダンス（Ｚ１）と等しい抵抗８（抵抗値Ｒ＝Ｚ１）及び容量９（容量値Ｃ）が接続されている（図２（Ａ）、図２（Ｂ）参照）。ここで、デカップリング用貫通電極伝送線路７の特性インピーダンスと等しい抵抗８には、デカップリング用貫通電極伝送線路７の特性インピーダンスとほぼ等しい抵抗も含まれるものとする。
【００３３】
ここで、容量９の値（容量値）Ｒは、電源ノイズの低減を行ないたい高周波数域（≧ｆ）において、Ｒ＞＞１／（２πｆＣ）となるように設定すれば良い。
ここでは、抵抗８及び容量９は、複数の集積回路チップ２の中の最も上側の集積回路チップ２Ｅに設けられている。つまり、最も上側の集積回路チップ２Ｅは、抵抗８及び容量９を有し、デカップリング機能を有する。なお、抵抗８をデカップリング抵抗ともいう。また、容量９をデカップリング容量、あるいは、デカップリングコンデンサともいう。例えば、抵抗８及び容量９は、寄生インダクタンスを低減すべく、集積回路チップを構成するＳｉ又は配線層に形成するのが好ましい。また、抵抗８と容量９は直列に接続されている。そして、直列に接続された抵抗８と容量９が、最も上側の集積回路チップ２Ｅまで延びているデカップリング用貫通電極伝送線路７の終端に接続されている。
【００３４】
このように、特性インピーダンスＺ１のデカップリング用貫通電極伝送線路７の終端に位置する最も上側の集積回路チップ２Ｅにおいて、ここまで延びている特性インピーダンスＺ１のデカップリング用貫通電極伝送線路７を構成するデカップリング用電源側貫通電極配線５とデカップリング用グランド側貫通電極配線６との間を、特性インピーダンスＺ１に等しい抵抗値Ｒの抵抗と容量値Ｃの容量の直列接続で終端している。
【００３５】
これにより、高周波数域（ｆ：Ｒ＞＞１／（２πｆＣ））においては、容量値Ｃの容量のインピーダンスは抵抗値Ｒの抵抗に対して無視できるようになり、デカップリング用貫通電極伝送線路７の特性インピーダンスＺ１に等しい抵抗値Ｒの抵抗で終端されるため、貫通電極等によって構成されるデカップリング用貫通電極配線５、６のインダクタンス成分を実効的になくすことができ、デカップリング用貫通電極配線５、６の長さにかかわらず、高周波における電源デカップリングのインピーダンスを抵抗値Ｒに近い値とすることが可能となる。
【００３６】
このようにして、貫通電極等によって構成されるデカップリング用貫通電極配線５、６のインダクタンス成分を実効的になくすことができ、高周波でインピーダンスが高くなることがなくなるため、デカップリングの高周波特性が劣化してしまうこと、即ち、高周波電源ノイズの低減効果が低下してしまうことを防止することができる。
また、貫通電極等によって構成されるデカップリング用貫通電極配線５、６のインダクタンス成分を実効的になくすことができ、高周波でインピーダンスが高くなることがなくなるため、貫通電極等によって構成されるデカップリング用貫通電極配線５、６のインダクタンス成分に起因する高周波の並列ＬＣ共振も起こらないようにすることができる。このため、共振によって電源インピーダンスが非常に大きくなってしまうのを防止することができ、また、チップの外部に電磁ノイズの放射が生じるのを防止することもできる。
【００３７】
なお、ここでは、下から２番目の集積回路チップ２Ｂに対する電源供給のための電源構造（図１中、符号Ｘで示す領域）について説明したが、下から３番目の集積回路チップ２Ｃに対する電源供給のための電源構造（図１中、符号Ｙで示す領域）や下から４番目の集積回路チップ２Ｄに対する電源供給のための電源構造（図１中、符号Ｚで示す領域）についても同様である。
【００３８】
ところで、上述のように構成しているのは、以下の理由による。
例えばＬＳＩチップなどの集積回路チップ内の回路のスイッチング等の動作に伴い、電源電流の高速な変動が生じ、電源配線のインピーダンス（特にインダクタンス成分）によって高周波にわたる電源ノイズ（電源電圧ノイズ）が発生する。この電源ノイズが大きいと、集積回路チップの動作不良が生じるため、電源デカップリング用コンデンサを電源とグランドとの間に接続することで、電源ノイズを低減することになる。
【００３９】
高周波電源ノイズの低減効果が低下しないようにするためには、電源デカップリング用コンデンサ自身のインダクタンス成分を小さくするとともに、電源ノイズ発生源から電源デカップリング用コンデンサまでの接続配線のインダクタンスを小さく抑える必要がある。そのためには、一般的には、接続配線長を短くすることが有効である。したがって、電源供給対象チップの内部の電源ノイズ発生源の近くにチップ内デカップリング用コンデンサを設け、接続配線のインダクタンスを最小に抑えることで、高周波電源ノイズの低減効果が低下しないようにして、最も良好な高周波特性が得られるようにする。
【００４０】
なお、低周波電源ノイズを低減するには、接続配線のインダクタンス成分の影響が小さいため、比較的長い接続配線を介して、電源供給対象チップの外の半導体パッケージや半導体パッケージの外の基板などに、容量の大きいチップ外デカップリング用コンデンサを設ければ良い。
しかしながら、高周波電源ノイズを低減するためには、電源供給対象チップの内部の電源ノイズ発生源の近くに設けられるチップ内デカップリング用コンデンサの容量をできるだけ大きくするのが望ましいが、電源供給対象チップ内のスペースの制限等によって十分な容量を確保できない場合がある。
【００４１】
また、チップ内デカップリング用コンデンサに必要な容量値を正確に見積もることは簡単ではなく、チップの設計後や製作後に不足することが明らかになる場合がある。この場合、チップ内デカップリング用コンデンサの不足分を、接続配線のインダクタンスが大きく、良好な高周波特性が得られないチップ外デカップリング用コンデンサを設けることによって補うことはできない場合が多い。このため、チップの再設計が必要になり、余計な時間やコストがかかることになる。
【００４２】
このため、接続配線のインダクタンスが小さく抑えられ、良好な高周波特性が得られるようにして、電源供給対象チップの外に設けられるチップ外デカップリング用コンデンサを利用可能とすることが望ましい。
また、チップ内デカップリング用コンデンサ及びチップ外デカップリング用コンデンサは、配線やコンデンサ自身の持つインダクタンスとともに、並列ＬＣ共振を生じさせ、これにより、電源インピーダンスのピークが生じる。この場合、チップ外デカップリング用コンデンサとして意図的にダンピング抵抗成分を持つコンデンサを使用することで、このピークをある程度抑えられるが、ダンピング抵抗値が高すぎるとコンデンサに流れる電流を阻止してデカップリング効果が低下するため、適切なダンピング抵抗値を設定する必要がある。
【００４３】
特に、例えば３Ｄ−ＬＳＩのように基板上に搭載するべく複数の集積回路チップを積層した半導体装置の場合、チップ内デカップリング用コンデンサに追加して、各集積回路チップに設けた貫通電極を介してチップ外デカップリング用コンデンサを接続することになるが、貫通電極のインダクタンス成分によってデカップリングの高周波特性が劣化してしまう。
【００４４】
また、貫通電極等のインダクタンス成分とチップ内デカップリングコンデンサやチップ外デカップリング用コンデンサ等で形成される容量成分とが並列ＬＣ共振を起こし、電源インピーダンスが非常に大きくなってしまうこともある。
また、この共振時に、チップの外部に電磁ノイズの放射（電磁放射）を生じる場合もある。
【００４５】
この場合、高抵抗の貫通電極等を使用することでダンピング抵抗によって共振を抑えることも考えられる。しかしながら、ダンピング抵抗値が大きすぎるとデカップリング効果が逆に低下するため、適切な値に設定する必要があるが、チップ内デカップリング用コンデンサの容量などの正確な値を予測するのは難しいため、適切なダンピング抵抗値を設定するのは困難である。
【００４６】
このため、貫通電極等のインダクタンス成分が小さく抑えられ、良好な高周波特性が得られるようにして、チップ外デカップリング機能を利用可能とすることが望ましい。
このように、基板上に搭載するべく複数の集積回路チップを積層した半導体装置において、各集積回路チップに設けられ、互いに接続された貫通電極配線の終端に、デカップリングコンデンサを接続しても、貫通電極配線のインダクタンス成分に起因して、良好な高周波電源ノイズの低減効果が得られない。
【００４７】
そこで、良好な高周波電源ノイズの低減効果が得られるようにすべく、上述のような構成を採用している。
したがって、本実施形態にかかる積層型半導体装置によれば、良好な高周波電源ノイズの低減効果が得られるという利点がある。
つまり、上述の実施形態のような構成を採用することで、貫通電極等によって構成されるデカップリング用貫通電極配線５、６のインダクタンス成分を実効的になくすことができ、高周波でインピーダンスが高くなることがなくなるため、デカップリングの高周波特性が劣化してしまうこと、即ち、高周波電源ノイズの低減効果が低下してしまうことを防止することができる。
【００４８】
また、貫通電極等によって構成されるデカップリング用貫通電極配線５、６のインダクタンス成分を実効的になくすことができ、高周波でインピーダンスが高くなることがなくなるため、貫通電極等によって構成されるデカップリング用貫通電極配線５、６のインダクタンス成分に起因する並列ＬＣ共振も起こらないようにすることができる。このため、共振によって電源インピーダンスが非常に大きくなってしまうのを防止することができ、また、チップの外部に電磁ノイズの放射が生じるのを防止することもできる。
【００４９】
このように、上述の実施形態のような構成を採用することで、貫通電極等によって構成されるデカップリング用貫通電極配線５、６のインダクタンス成分を実効的になくし、良好な高周波特性が得られるようにして、チップ外デカップリング機能を利用可能とすることができる。
なお、例えば図３に示すように、上述の実施形態のように、１本のデカップリング用電源側貫通電極配線５と１本のデカップリング用グランド側貫通電極配線６とによって１つのデカップリング用貫通電極伝送線路７を構成し、このようにして構成されたデカップリング用貫通電極伝送線路７を複数（ここでは２つ）並列に設けても良い。この場合、これらの複数のデカップリング用貫通電極伝送線路７を、電源端子３及びグランド端子４を介して、チップ内電源配線２ＢＸ及びチップ内グランド配線２ＢＹに並列接続することになる。なお、通常は多数のデカップリング用貫通電極伝送線路７を用いたデカップリング構造を並列に設けることになる。
［第１変形例］
上述の実施形態では、１本のデカップリング用電源側貫通電極配線５と１本のデカップリング用グランド側貫通電極配線６によって１つのデカップリング用貫通電極伝送線路７が構成されるようにしているが、これに限られるものではなく、例えば、１本以上のデカップリング用電源側貫通電極配線５と１本以上のデカップリング用グランド側貫通電極配線６によってデカップリング用貫通電極伝送線路７が構成されるようにしても良い。
【００５０】
例えば図４に示すように、複数（ここでは２本）のデカップリング用電源側貫通電極配線５と複数（ここでは２本）のデカップリング用グランド側貫通電極配線６とによって１つのデカップリング用貫通電極伝送線路７が構成されるようにしても良い。この場合、抵抗８と容量９は、このように構成された１つのデカップリング用貫通電極伝送線路７に対して最低１つずつ設ければ良い。
【００５１】
この場合、複数のデカップリング用電源側貫通電極配線５は、これらの両端部近傍で、互いに接続（結合）し、複数のデカップリング用グランド側貫通電極配線６は、これらの両端部近傍で、互いに接続（結合）すれば良い。つまり、複数のデカップリング用電源側貫通電極配線５は、並列接続されたものとし、複数のデカップリング用グランド側貫通電極配線６は、並列接続されてものとすれば良い。
【００５２】
なお、１本のデカップリング用電源側貫通電極線路５と１本のデカップリング用グランド側貫通電極配線６とによって構成される一のデカップリング用貫通電極伝送線路７と、１本のデカップリング用電源側貫通電極線路５と１本のデカップリング用グランド側貫通電極配線６とによって構成される他のデカップリング用貫通電極伝送線路７とが、即ち、２つのデカップリング用貫通電極伝送線路７が並列接続されていると見ることもできる。
【００５３】
このように、互いに接続された複数のデカップリング用電源側貫通電極配線５と互いに接続された複数のデカップリング用グランド側貫通電極配線６とによってデカップリング用貫通電極伝送線路７が構成されるようにしても良い。
これにより、デカップリング用貫通電極伝送線路７の特性インピーダンスを下げることが可能となる。例えば、特性インピーダンスＺ１を持つデカップリング用貫通電極伝送線路７をＮ１個並列接続することによって、全体として、Ｚ＝Ｚ１／Ｎ１の特性インピーダンスを持つデカップリング用貫通電極伝送線路７を形成することができる。具体的には、例えば特性インピーダンスＺ１＝１０Ωのデカップリング用貫通電極伝送線路７をＮ１＝１００個並列接続することによって、全体として、Ｚ＝１０／１００＝０．１Ωの特性インピーダンスを持つデカップリング用貫通電極伝送線路７を形成することができる。
【００５４】
このように、デカップリング用貫通電極伝送線路７の特性インピーダンスＺの値が十分に小さくない場合に、上述のように、複数のデカップリング用貫通電極伝送線路７を並列接続することで、デカップリング用貫通電極伝送線路７の特性インピーダンスＺの値を十分に小さくすることができる。
なお、後述の第２変形例のように複数のデカップリング用貫通電極伝送線路７を並列配置しない場合には、１つのデカップリング用貫通電極伝送線路７を複数のデカップリング用電源側貫通電極配線５及び複数のデカップリング用グランド側貫通電極配線６で構成するのが好ましい。但し、１つのデカップリング用貫通電極伝送線路７は１本以上のデカップリング用電源側貫通電極配線５及び１本以上のデカップリング用グランド側貫通電極配線６で構成すれば良い。
［第２変形例］
例えば図５に示すように、１本又は複数（ここでは２本）のデカップリング用電源側貫通電極配線５と１本又は複数（ここでは２本）のデカップリング用グランド側貫通電極配線６とによって構成されるデカップリング用貫通電極伝送線路７を複数備えるものとしても良い（図５中、点線Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３で示す領域参照）。つまり、１本又は複数のデカップリング用電源側貫通電極配線５と１本又は複数のデカップリング用グランド側貫通電極配線６とによって構成されるデカップリング用貫通電極伝送線路７を複数並列に設けても良い。
【００５５】
この場合、複数のデカップリング用貫通電極伝送線路７をそれぞれ独立に設け、これらを、電源端子３及びグランド端子４を介して、チップ内電源配線２ＢＸ及びチップ内グランド配線２ＢＹに並列接続することになる。
このように、上述の実施形態や第１変形例のように構成されるデカップリング用貫通電極伝送線路７を複数備えるものとし、これらを並列に設けても良い。
【００５６】
なお、図５では、上述の第１変形例において電源供給対象チップである下から２番目の集積回路チップ２Ｂに対するデカップリング用貫通電極伝送線路７を用いたデカップリング構造（図４中、符号Ｘで示す）を３つ並列接続したものを例示しており（図５中、点線Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３で示す）、他の電源供給対象チップである下から３番目、４番目の集積回路チップ２Ｃ、２Ｄに接続されたデカップリング用貫通電極伝送線路７を用いたデカップリング構造は図示を省略している。但し、通常はさらに多数のデカップリング用貫通電極伝送線路７を用いたデカップリング構造を並列接続することになる。
【００５７】
これにより、デカップリング用貫通電極伝送線路７の合計インピーダンスを下げることが可能となる。例えば、特性インピーダンスＺ１を持つデカップリング用貫通電極伝送線路７をＮ１個並列接続したデカップリング用貫通電極伝送線路７を用いたデカップリング構造をさらにＮ２個並列接続することによって、全体として、Ｚ＝（Ｚ１／Ｎ１）／Ｎ２＝Ｚ１／（Ｎ１×Ｎ２）のインピーダンスを持つデカップリング用貫通電極伝送線路７を形成することができる。具体的には、例えば特性インピーダンスＺ１＝１０Ωのデカップリング用貫通電極伝送線路７をＮ１＝１０個並列接続したデカップリング用貫通電極伝送線路７を用いたデカップリング構造をさらにＮ２＝１００個並列接続することによって、全体として、Ｚ＝１０／（１０×１００）＝０．０１Ωのインピーダンスを持つデカップリング用貫通電極伝送線路７を形成することができる。
【００５８】
このように、デカップリング用貫通電極伝送線路７の特性インピーダンスＺの値が十分に小さくない場合に、上述のように、複数のデカップリング用貫通電極伝送線路７を並列接続したデカップリング用貫通電極伝送線路７によるデカップリング構造をさらに複数並列接続することで、デカップリング用貫通電極伝送線路７の合計インピーダンスＺの値を十分に小さくすることができる。また、全体のインピーダンスを下げるのに、１組の抵抗８及び容量９に接続されるデカップリング用貫通電極の数を極端に増やさずに済むため、抵抗８や容量９への接続配線などで発生する寄生インダクタンスの増加を抑えることもできる。
［第３変形例］
上述の実施形態や上述又は後述の変形例のものにおいて、図６に示すように、抵抗８及び容量９が置かれる集積回路チップ（ここでは最も上側の集積回路チップ）２Ｅが、デカップリング用貫通電極伝送線路７の特性インピーダンスと等しい特性インピーダンスを持つ伝送線路（終端側伝送線路）１０を備えるものとし、デカップリング用貫通電極伝送線路７の終端に、この伝送線路１０を介して、抵抗８及び容量９が接続されるようにしても良い。
【００５９】
つまり、集積回路チップ２Ｅに設けられる抵抗８と容量９とを直列接続したものが、集積回路チップ２Ｅ内で、デカップリング用貫通電極伝送線路７の特性インピーダンスと等しい特性インピーダンスを持つ伝送線路１０を介して、デカップリング用貫通電極伝送線路７の終端に接続されるようにしても良い。
これにより、集積回路チップ２Ｅ内で、十分なスペースがないために、抵抗８と容量９とを直列接続したものを、デカップリング用貫通電極伝送線路７の終端の近くに設けることができない場合であっても、デカップリングの高周波特性が劣化しないようにすることができる。
【００６０】
つまり、集積回路チップ２Ｅ内で、十分なスペースがないために、抵抗８と容量９とを直列接続したものを、デカップリング用貫通電極伝送線路７の終端の近くに設けることができない場合がある。このような場合に、集積回路チップ２Ｅ内において、デカップリング用貫通電極伝送線路７の特性インピーダンスと等しい特性インピーダンスを持つ伝送線路１０によって十分なスペースのある場所まで引き出して、そのスペースに設けられた抵抗８及び容量９に接続することで、デカップリングの高周波特性を劣化させずに、良好な高周波電源ノイズの低減効果が得られることになる。
【００６１】
但し、集積回路チップ２Ｅへの電源配線等をさらに設ける場合には、デカップリング用の伝送線路１０の特性を乱さないように設ける必要がある。
［第４変形例］
上述の実施形態や上述又は後述の変形例のものにおいて、図７に示すように、電源供給対象チップ（ここでは集積回路チップ２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）が、電源端子３に接続された電源側配線１１とグランド端子４に接続されたグランド側配線１２とによって構成され、デカップリング用貫通電極伝送線路７の特性インピーダンスと等しい特性インピーダンスを持つ伝送線路（端子側伝送線路）１３を備えるものとし、電源端子３及びグランド端子４は、この伝送線路１３を介して、デカップリング用貫通電極伝送線路７に接続されるようにしても良い。
【００６２】
つまり、上述の実施形態や上述又は後述の変形例では、電源供給対象チップ（ここでは集積回路チップ２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）の貫通電極のチップ内電源配線及びチップ内グランド配線が接続されている部分を、電源端子３及びグランド端子４としているが、これに限られるものではなく、電源供給対象チップにおいて、デカップリング用電源側貫通電極配線５及びデカップリング用グランド側貫通電極配線６として用いられる貫通電極とは別の場所に電源端子３及びグランド端子４を設けても良い。このような場合に、電源供給対象チップに、電源端子３に接続された電源側配線１１とグランド端子４に接続されたグランド側配線１２とを設け、これらによって構成される伝送線路（端子側伝送線路）１３を、デカップリング用貫通電極伝送線路７の特性インピーダンスと等しい特性インピーダンスを持つものとし、この伝送線路１３によって電源端子３及びグランド端子４とデカップリング用貫通電極伝送線路７とを接続するようにしても良い。
【００６３】
これにより、電源供給対象チップ内で、十分なスペースがないなど、電源ノイズ発生源である電源端子３及びグランド端子４にデカップリング用貫通電極伝送線路７を直接接続することができない場合であっても、デカップリングの高周波特性が劣化しないようにすることができる。
つまり、電源供給対象チップ内で、十分なスペースがないなど、電源ノイズ発生源である電源端子３及びグランド端子４の近くにデカップリング用貫通電極伝送線路７を設けることができず、電源端子３及びグランド端子４とデカップリング用貫通電極伝送線路７とを離れた場所に設ける場合がある。このような場合に、電源供給対象チップ内において、デカップリング用貫通電極伝送線路７の特性インピーダンスと等しい特性インピーダンスを持つ伝送線路１３によって十分なスペースのある場所まで引き出して、この伝送線路１３を介して電極端子３及びグランド端子４とデカップリング用貫通電極伝送線路７とを接続することで、デカップリングの高周波特性を劣化させずに、良好な高周波電源ノイズの低減効果が得られることになる。
【００６４】
但し、電源供給対象チップへの配線等をさらに設ける場合には、デカップリング用の伝送線路１３の特性を乱さないように設ける必要がある。
［第５変形例］
上述の実施形態や上述又は後述の変形例のものにおいて、図８（Ａ）、図８（Ｂ）に示すように、デカップリング用グランド側貫通電極配線６を、デカップリング用電源側貫通電極配線５の周囲に設けても良い。つまり、例えば図８（Ａ）に示すように、デカップリング用グランド側貫通電極配線６を、デカップリング用電源側貫通電極配線５の周囲を取り囲むように設けても良い。また、例えば図８（Ｂ）に示すように、デカップリング用グランド側貫通電極配線６を、デカップリング用電源側貫通電極配線５の周囲を覆うように設けても良い。つまり、デカップリング用グランド側貫通電極配線６を、絶縁材１４を挟んで、デカップリング用電源側貫通電極配線５の周囲を覆うように設けても良い。この場合、同軸構造のデカップリング用貫通電極伝送線路７となる。このような構造は、電源ノイズに比べてグラウンドノイズが小さい場合に好適である。これにより、デカップリング用電源側貫通電極配線５をシールドする効果が期待でき、伝送線路７の特性向上とノイズ放射の抑制効果を得ることができる。このような効果を得るためには、同軸構造とするのが好ましい。
［第６変形例］
上述の実施形態や各変形例では、デカップリング用貫通電極伝送線路７は、電源供給対象チップ（ここでは集積回路チップ２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）の上側へ延びており、抵抗８及び容量９は、複数の集積回路チップ２の中の最も上側の集積回路チップ２Ｅに設けられているが、これに限られるものではない。
【００６５】
例えば、図９に示すように、デカップリング用貫通電極伝送線路７を、電源供給対象チップ（ここでは集積回路チップ２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）の下側へ延びているものとし、抵抗８及び容量９を、複数の集積回路チップ２の中の最も下側（基板側）の集積回路チップ２Ａに設けても良い。つまり、上述の実施形態や各変形例のものにおいて、基板１との接続インタフェース機能を有する最も下側の集積回路チップ２Ａが、最も上側の集積回路チップ２Ｅの構成を備え、これを兼ねるようにすることで、最も上側の集積回路チップ２Ｅを設けないようにしても良い。これにより、積層チップ数の増加を防ぐことができる。
【００６６】
この場合、最も下側の集積回路チップ２Ａから電源供給対象チップ（ここでは集積回路チップ２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）まで延びるように、貫通電極等によって電源配線１５及びグランド配線１６を設けて、電源供給対象チップに電源供給が行なわれるようにすれば良い。また、電源供給対象チップの電源端子３及びグランド端子４にそれぞれ接続され、かつ、最も下側の集積回路チップ２Ａまで延びるように、上述の電源配線１５及びグランド配線１６とは別に、貫通電極等によってデカップリング用電源側貫通電極配線５及びデカップリング用グランド側貫通電極配線６を設け、これらによってデカップリング用貫通電極伝送線路７が構成されるようにすれば良い。そして、最も下側の集積回路チップ２Ａにおいて、このデカップリング用貫通電極伝送線路７の終端に、このデカップリング用貫通電極伝送線路７の特性インピーダンスと等しい抵抗８及び容量９が接続されるようにすれば良い。
【００６７】
なお、図９では、電源供給対象チップである最も上側の集積回路チップ２Ｄに対するデカップリング用貫通電極伝送線路７を用いたデカップリング構造を２つ並列接続したもの（図９中、符号Ｘで示す領域参照）、及び、電源供給対象チップである下から３番目の集積回路チップ２Ｃに対するデカップリング用貫通電極伝送線路７を用いたデカップリング構造を２つ並列に接続したもの（図９中、符号Ｙで示す領域参照）を例示しており、他の電源供給対象チップである下から２番目の集積回路チップ２Ｂに接続されたデカップリング用貫通電極伝送線路を用いたデカップリング構造は図示を省略している。
【００６８】
また、ここでは、デカップリング用貫通電極伝送線路７を用いたデカップリング構造を２つ並列接続したものとしているが、これに限られるものではなく、１つのデカップリング用貫通電極伝送線路７を用いたデカップリング構造を設けるだけでも良いし、複数のデカップリング用貫通電極伝送線路７を用いたデカップリング構造を並列接続するようにしても良い。
【００６９】
また、上述の第２変形例のように、１本又は複数のデカップリング用電源側貫通電極配線５と１本又は複数のデカップリング用グランド側貫通電極配線６とによって構成されるデカップリング用貫通電極伝送線路７を複数並列に設けるようにしても良い。
また、上述の第３変形例、第４変形例、第５変形例のものを適用しても良い。なお、上述の第３変形例を適用する場合、最も下側の集積回路チップ２Ａを、デカップリング用貫通電極伝送線路７の特性インピーダンスと等しい特性インピーダンスを持つ終端側伝送線路１０を備えるものとし、デカップリング用貫通電極伝送線路７の終端に、終端側伝送線路１０を介して、抵抗８及び容量９が接続されるようにすれば良い。
［第７変形例］
上述の第６変形例の場合と同様に、例えば、図１０に示すように、デカップリング用貫通電極伝送線路７を、電源供給対象チップ（ここでは集積回路チップ２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）の下側へ延びているものとし、抵抗８及び容量９を、複数の集積回路チップ２の中の最も下側（基板側）の集積回路チップ２Ａに設けても良い。つまり、上述の実施形態や各変形例のものにおいて、基板１との接続インタフェース機能を有する最も下側の集積回路チップ２Ａが、最も上側の集積回路チップ２Ｅの構成を備え、これを兼ねるようにすることで、最も上側の集積回路チップ２Ｅを設けないようにしても良い。これにより、積層チップ数の増加を防ぐことができる。
【００７０】
そして、上述の第６変形例の場合と異なり、最も下側の集積回路チップ２Ａから電源供給対象チップ（ここでは集積回路チップ２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）まで延び、貫通電極等によって構成される電源配線１５及びグランド配線１６が、それぞれ、デカップリング用電源側貫通電極配線５及びデカップリング用グランド側貫通電極配線６を兼ねるようにしても良い。これにより、全体として、必要な貫通電極の数を抑えることができる。
【００７１】
この場合、最も下側の集積回路チップ２から電源供給対象チップ（ここでは集積回路チップ２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）まで延びるように、貫通電極等によって電源配線１５及びグランド配線１６を設けて、電源供給対象チップに電源供給が行なわれるようにすれば良い。また、これらの電源配線１５及びグランド配線１６を、電源供給対象チップの電源端子３及びグランド端子４のそれぞれに接続され、かつ、最も下側の集積回路チップ２Ａまで延びるデカップリング用電源側貫通電極配線５及びデカップリング用グランド側貫通電極配線６としても用い、これらのデカップリング用電源側貫通電極配線５及びデカップリング用グランド側貫通電極配線６によってデカップリング用貫通電極伝送線路７が構成されるようにすれば良い。そして、最も下側の集積回路チップ２Ａにおいて、このデカップリング用貫通電極伝送線路７の終端に、このデカップリング用貫通電極伝送線路７の特性インピーダンスと等しい抵抗８及び容量９が接続されるようにすれば良い。
【００７２】
また、この場合、最も下側の集積回路チップ２Ａに設けられ、外部からの電源供給線である電源配線１７とグランド配線１９を、ローパスフィルタ１８を介して、デカップリング用貫通電極伝送線路７を構成するデカップリング用電源側貫通電極配線５とデカップリング用グランド側貫通電極配線６に接続するのが好ましい。つまり、最も下側の集積回路チップ２Ａを、電源配線１７と、グランド配線１９と、ローパスフィルタ１８とを備えるものとし、デカップリング用貫通電極伝送線路７の終端で、デカップリング用電源側貫通電極配線５とデカップリング用グランド側貫通電極配線６は、ローパスフィルタ１８を介して電源配線１７とグランド配線１９に接続されるようにするのが好ましい。
【００７３】
これにより、ローパスフィルタ１８の遮断周波数よりも高い周波数において、抵抗８及び容量９が接続される位置を実質的にデカップリング用伝送線路の終端位置とすることができる。また、電源ノイズの放射を抑える等の効果を得ることができる。ここでは、ローパスフィルタ１８としてインダクタを電源配線１７とデカップリング用電源側貫通電極配線５との間に設け、インダクタ１８によって基板１側に高周波電流が伝搬するのを阻止しているが、さらにインダクタをグランド配線１９とデカップリング用グランド側貫通電極配線６との間にも設けてこれらの２つのインダクタによりローパスフィルタ１８を構成してもよいし、さらに複雑な構成のローパスフィルタを使用してもよい。
【００７４】
なお、図１０では、電源供給対象チップである最も上側の集積回路チップ２Ｄ、下から３番目の集積回路チップ２Ｃ及び下から２番目の集積回路チップ２Ｂに対するデカップリング用貫通電極伝送線路７を用いたデカップリング構造を２つ並列接続したもの（図１０中、符号Ｘ、Ｙ、Ｚで示す領域参照）を例示しているが、これに限られるものではなく、各電源供給対象チップに対して１つのデカップリング用貫通電極伝送線路７を用いたデカップリング構造を設けるだけでも良いし、複数のデカップリング用貫通電極伝送線路７を用いたデカップリング構造を並列接続するようにしても良い。
【００７５】
また、上述の第２変形例のように、１本又は複数のデカップリング用電源側貫通電極配線５と１本又は複数のデカップリング用グランド側貫通電極配線６とによって構成されるデカップリング用貫通電極伝送線路７を複数並列に設けるようにしても良い。
また、上述の第３変形例、第４変形例、第５変形例のものを適用しても良い。なお、上述の第３変形例を適用する場合、最も下側の集積回路チップ２Ａを、デカップリング用貫通電極伝送線路７の特性インピーダンスと等しい特性インピーダンスを持つ終端側伝送線路１０を備えるものとし、デカップリング用貫通電極伝送線路７の終端に、終端側伝送線路１０を介して、抵抗８及び容量９が接続されるようにすれば良い。
［第８変形例］
上述の第７変形例のものに、例えば図１１に示すように、電源供給対象チップ（ここでは集積回路チップ２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）の上側へ延びるデカップリング用貫通電極伝送線路７Ｘを追加し、最も上側の集積回路チップ２Ｅにおいて、このデカップリング用貫通電極伝送線路７Ｘの終端にも、このデカップリング用貫通電極伝送線路７Ｘの特性インピーダンスと等しい抵抗８Ｘ及び容量９Ｘが接続されるようにしても良い。
【００７６】
つまり、電源供給対象チップ（ここでは集積回路チップ２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）の上下に延びるようにデカップリング用貫通電極伝送線路７、７Ｘを設け、最も上側の集積回路チップ２Ｅ及び最も下側の集積回路チップ２Ａにおいて、それぞれのデカップリング用貫通電極伝送線路７、７Ｘの終端に、このデカップリング用貫通電極伝送線路７、７Ｘの特性インピーダンスと等しい抵抗８、８Ｘ及び容量９、９Ｘが接続されるようにしても良い。
【００７７】
この場合、デカップリング用貫通電極伝送線路として、電源供給対象チップの上側へ延びる上側デカップリング用貫通電極伝送線路７Ｘと、電源供給対象チップの下側へ延びる下側デカップリング用貫通電極伝送線路７とを備えるものとすれば良い。また、抵抗及び容量として、複数の集積回路チップ２の中の最も上側の集積回路チップ２Ｅに設けられ、上側デカップリング用貫通電極伝送線路７Ｘの終端に接続され、上側デカップリング用貫通電極伝送線路７Ｘの特性インピーダンスと等しい上側抵抗８Ｘ及び上側容量９Ｘと、複数の集積回路チップ２の中の最も下側の集積回路チップ２Ａに設けられ、下側デカップリング用貫通電極伝送線路７の終端に接続され、下側デカップリング用貫通電極伝送線路７の特性インピーダンスと等しい下側抵抗８及び下側容量９とを備えるものとすれば良い。また、最も下側の集積回路チップ２Ａを、電源配線１７と、グランド配線１９と、ローパスフィルタ１８とを備えるものとし、下側デカップリング用貫通電極伝送線路７の終端で、下側デカップリング用貫通電極伝送線路７を構成するデカップリング用電源側貫通電極配線５とデカップリング用グランド側貫通電極配線６が、ローパスフィルタ（ここではインダクタ）１８を介して電源配線１７とグランド配線１９に接続されるようにすれば良い。なお、ローパスフィルタ１８の変形例は、第７変形例での説明と同様である。
【００７８】
このように、電源供給対象チップの上下両側にデカップリング用貫通電極伝送線路７、７Ｘを設け、これらの終端に、デカップリング用貫通電極伝送線路７、７Ｘの特性インピーダンスと等しい抵抗８、８Ｘ及び容量９、９Ｘを接続することで、デカップリング機能を増強することができる。つまり、デカップリング用貫通電極伝送線路７、７Ｘの特性インピーダンスと等しい抵抗８、８Ｘ及び容量９、９Ｘを備える集積回路チップ２Ａ、２Ｅ、即ち、デカップリング機能を持つ集積回路チップ２を、電源供給対象チップ２Ｂ〜２Ｄを挟んで上下両側に設け、これらをデカップリング用貫通電極伝送線路７、７Ｘで接続することで、デカップリング機能を増強することができる。
【００７９】
なお、図１１では、電源供給対象チップである下から４番目の集積回路チップ２Ｄ、下から３番目の集積回路チップ２Ｃ及び下から２番目の集積回路チップ２Ｂに対するデカップリング用貫通電極伝送線路７、７Ｘを用いたデカップリング構造を２つ並列接続したもの（図１１中、符号Ｘ、Ｙ、Ｚで示す領域参照）を例示しているが、これに限られるものではなく、各電源供給対象チップに対して１つのデカップリング用貫通電極伝送線路７、７Ｘを用いたデカップリング構造を設けるだけでも良いし、複数のデカップリング用貫通電極伝送線路７、７Ｘを用いたデカップリング構造を並列接続するようにしても良い。
【００８０】
また、上述の第２変形例のように、１本又は複数のデカップリング用電源側貫通電極配線５、５Ｘと１本又は複数のデカップリング用グランド側貫通電極配線６、６Ｘとによって構成されるデカップリング用貫通電極伝送線路７、７Ｘを複数並列に設けるようにしても良い。
また、上述の第３変形例、第４変形例、第５変形例のものを適用しても良い。なお、上述の第３変形例を適用する場合、最も上側の集積回路チップ２Ｅを、上側デカップリング用貫通電極伝送線路７Ｘの特性インピーダンスと等しい特性インピーダンスを持つ上側終端側伝送線路１０を備えるものとし、上側デカップリング用貫通電極伝送線路７Ｘの終端に、上側終端側伝送線路１０を介して、上側抵抗８Ｘ及び上側容量９Ｘが接続されるようにすれば良い。また、最も下側の集積回路チップ２Ａを、下側デカップリング用貫通電極伝送線路７の特性インピーダンスと等しい特性インピーダンスを持つ下側終端側伝送線路１０を備えるものとし、下側デカップリング用貫通電極伝送線路７の終端に、下側終端側伝送線路１０を介して、下側抵抗８及び下側容量９が接続されるようにしても良い。
［第９変形例］
上述の第７変形例のものにおいて、例えば図１２に示すように、デカップリング用貫通電極伝送線路７を構成するデカップリング用電源側貫通電極配線５とデカップリング用グランド側貫通電極配線６との間に接続され、デカップリング用貫通電極伝送線路７の特性インピーダンスを調整する調整容量２０を備えるものとしても良い。
【００８１】
この場合、調整容量２０は、電源供給対象チップ（ここでは集積回路チップ２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）及びデカップリング機能を持つ集積回路チップ（ここでは集積回路チップ２Ａ）の間に挟まれた全ての集積回路チップに設けるのが好ましい。なお、電源供給対象チップ及びデカップリング機能を持つ集積回路チップには、調整容量２０を設けても良いし、設けなくても良い。これにより、近似的にデカップリング用貫通電極伝送線路７の分布容量を増加して、特性インピーダンスの乱れをできるだけ抑えながら、特性インピーダンスの値を下げることができ、デカップリングの効果を高めることができる。
【００８２】
なお、本第９変形例は、上述の第７変形例以外のもの、即ち、上述の実施形態及び第１〜第６、第８変形例のものと組み合わせることもできる。
［その他］
なお、本発明は、上述した実施形態及び各変形例に記載した構成に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形することが可能である。
【００８３】
例えば、上述の実施形態及び各変形例では、電源供給対象チップの外部にチップ外デカップリング機能を設けるために、デカップリング機能を持つ集積回路チップを設けているが、これに限られるものではなく、デカップリング用の貫通電極伝送線路の終端に、デカップリング用貫通電極伝送線路の特性インピーダンスと等しい抵抗及び容量が接続されていれば良い。
【００８４】
以下、上述の実施形態及び変形例に関し、更に、付記を開示する。
（付記１）
基板上に積層された複数の集積回路チップを備え、
前記複数の集積回路チップの中の電源供給対象チップの電源端子及びグランド端子は、それぞれ、デカップリング用電源側貫通電極配線及びデカップリング用グランド側貫通電極配線に接続され、前記デカップリング用電源側貫通電極配線と前記デカップリング用グランド側貫通電極配線とによってデカップリング用貫通電極伝送線路が構成され、前記デカップリング用貫通電極伝送線路の終端に位置する集積回路チップ上で、前記デカップリング用貫通電極伝送線路の特性インピーダンスと等しい抵抗及び容量が直列で接続されていることを特徴とする積層型半導体装置。
【００８５】
（付記２）
互いに接続された複数の前記デカップリング用電源側貫通電極配線と互いに接続された複数の前記デカップリング用グランド側貫通電極配線とによって前記デカップリング用貫通電極伝送線路が構成されていることを特徴とする、付記１に記載の積層型半導体装置。
（付記３）
複数の前記デカップリング用貫通電極伝送線路を備えることを特徴とする、付記１又は２に記載の積層型半導体装置。
【００８６】
（付記４）
前記電源供給対象チップは、前記電源端子に接続された電源側配線と前記グランド端子に接続されたグランド側配線とによって構成され、前記デカップリング用貫通電極伝送線路の特性インピーダンスと等しい特性インピーダンスを持つ端子側伝送線路を備え、
前記電源端子及び前記グランド端子は、前記端子側伝送線路を介して、前記デカップリング用貫通電極伝送線路に接続されていることを特徴とする、付記１〜３のいずれか１項に記載の積層型半導体装置。
【００８７】
（付記５）
前記デカップリング用グランド側貫通電極配線は、前記デカップリング用電源側貫通電極配線の周囲に設けられていることを特徴とする、付記１〜４のいずれか１項に記載の積層型半導体装置。
（付記６）
前記デカップリング用貫通電極伝送線路は、前記電源供給対象チップの上側へ延びており、
前記抵抗及び前記容量は、前記複数の集積回路チップの中の最も上側の集積回路チップに設けられていることを特徴とする、付記１〜５のいずれか１項に記載の積層型半導体装置。
【００８８】
（付記７）
前記デカップリング用貫通電極伝送線路は、前記電源供給対象チップの下側へ延びており、
前記抵抗及び前記容量は、前記複数の集積回路チップの中の最も下側の集積回路チップに設けられていることを特徴とする、付記１〜５のいずれか１項に記載の積層型半導体装置。
【００８９】
（付記８）
前記最も下側の集積回路チップは、電源配線と、グランド配線と、ローパスフィルタとを備え、
前記デカップリング用貫通電極伝送線路の終端で、前記デカップリング用電源側貫通電極配線と前記デカップリング用グランド側貫通電極配線は、前記ローパスフィルタを介して前記電源配線と前記グランド配線に接続されていることを特徴とする、付記７に記載の積層型半導体装置。
【００９０】
（付記９）
前記デカップリング用貫通電極伝送線路として、前記電源供給対象チップの上側へ延びる上側デカップリング用貫通電極伝送線路と、前記電源供給対象チップの下側へ延びる下側デカップリング用貫通電極伝送線路とを備え、
前記抵抗及び前記容量として、前記複数の集積回路チップの中の最も上側の集積回路チップに設けられ、前記上側デカップリング用貫通電極伝送線路の終端に接続され、前記上側デカップリング用貫通電極伝送線路の特性インピーダンスと等しい上側抵抗及び上側容量と、前記複数の集積回路チップの中の最も下側の集積回路チップに設けられ、前記下側デカップリング用貫通電極伝送線路の終端に接続され、前記下側デカップリング用貫通電極伝送線路の特性インピーダンスと等しい下側抵抗及び下側容量とを備え、
前記最も下側の集積回路チップは、電源配線と、グランド配線と、ローパスフィルタとを備え、
前記下側デカップリング用貫通電極伝送線路の終端で、前記下側デカップリング用貫通電極伝送線路を構成するデカップリング用電源側貫通電極配線とデカップリング用グランド側貫通電極配線は、前記ローパスフィルタを介して前記電源配線と前記グランド配線に接続されていることを特徴とする、付記１〜５のいずれか１項に記載の積層型半導体装置。
【００９１】
（付記１０）
前記抵抗及び前記容量を搭載する集積回路チップは、前記デカップリング用貫通電極伝送線路の特性インピーダンスと等しい特性インピーダンスを持つ終端側伝送線路を備え、
前記デカップリング用貫通電極伝送線路の終端に、前記終端側伝送線路を介して、前記抵抗及び前記容量が接続されていることを特徴とする、付記１〜９に記載の積層型半導体装置。
【００９２】
（付記１１）
前記デカップリング用貫通電極伝送線路を構成する前記デカップリング用電源側貫通電極配線と前記デカップリング用グランド側貫通電極配線との間に接続され、前記デカップリング用貫通電極伝送線路の特性インピーダンスを調整する調整容量を備えることを特徴とする、付記１〜１０のいずれか１項に記載の積層型半導体装置。
【符号の説明】
【００９３】
１  基板
１Ｘ  電源電極
１Ｙ  グランド電極
２、２Ａ〜２Ｅ  集積回路チップ
２Ａａ、２Ｂａ、２Ｃａ、２Ｄａ、２Ｅａ  電源側下面電極
２Ａｂ、２Ｂｂ、２Ｃｂ、２Ｄｂ、２Ｅｂ  電源側上面電極
２Ａｃ  電源側配線
２Ｂｃ、２Ｃｃ、２Ｄｃ、２Ｅｃ  電源側貫通電極
２Ａｄ、２Ｂｄ、２Ｃｄ、２Ｄｄ、２Ｅｄ  グランド側下面電極
２Ａｅ、２Ｂｅ、２Ｃｅ、２Ｄｅ、２Ｅｅ  グランド側上面電極
２Ａｆ  グランド側配線
２Ｂｆ、２Ｃｆ、２Ｄｆ、２Ｅｆ  グランド側貫通電極
２ＢＸ  チップ内電源配線
２ＢＹ  チップ内グランド配線
３  電源端子
４  グランド端子
５  デカップリング用電源側貫通電極配線
６  デカップリング用グランド側貫通電極配線
７、７Ｘ  デカップリング用貫通電極伝送線路
８、８Ｘ  抵抗
９、９Ｘ  容量
１０  伝送線路（終端側伝送線路）
１１  電源側配線
１２  グランド側配線
１３  伝送線路（端子側伝送線路）
１４  絶縁材
１５  電源配線
１６  グランド配線
１７  電源配線
１８  ローパスフィルタ（インダクタ）
１９  グランド配線
２０  調整容量
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2016143853.tif 000010
【図９】
2016143853.tif 000011
【図１０】
2016143853.tif 000012
【図１１】
2016143853.tif 000013
【図１２】
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