(57)【要約】【課題】多孔開口式二重床パネルから噴き上がる流速の、空調機との位置関係によって異なる相対的大小を、各パネル一度の測定で測定することが可能である。【解決手段】本発明のＩＣＴ機器稼動ルーム内のＩＣＴ機器を冷却する冷気の流速を計測するシステムは、空調機からの冷気が下を流れ、ＩＣＴ機器が上面に配置される二重床と、二重床のＩＣＴ機器が配置される脇に設置された開口パネルであって、二重床の一部を構成し、二重床の下を流れる冷気を、ＩＣＴ機器稼動ルーム内のＩＣＴ機器に供給するための複数の小さな孔が開口する、開口パネルと、開口パネル上に配置され、開口パネルの孔からの冷気を整流する流体吸引ノズルであって、流入口が前記開口パネルに向かって拡径したラッパ形状であり、流入口は、開口パネル上の複数の孔に跨る開口径を有する、流体吸引ノズルと、流体吸引ノズルの流出口に設置され、流体吸引ノズルからの冷気の流速を計測する、風速計とを備えることを特徴とする。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＩＣＴ機器稼動ルーム内のＩＣＴ機器を冷却する冷気の流速を計測するシステムであって、
空調機からの冷気が下を流れ、ＩＣＴ機器が上面に配置される二重床と、
前記二重床の前記ＩＣＴ機器が配置される脇に設置された開口パネルであって、前記二重床の一部を構成し、前記二重床の下を流れる冷気を、前記ＩＣＴ機器稼動ルーム内の前記ＩＣＴ機器に供給するための複数の小さな孔が開口する、開口パネルと、
前記開口パネル上に配置され、前記開口パネルの孔からの冷気を整流する流体吸引ノズルであって、流入口が前記開口パネルに向かって拡径したラッパ形状であり、前記流入口は、前記開口パネル上の複数の孔に跨る開口径を有する、流体吸引ノズルと、
前記流体吸引ノズルの流出口に設置され、前記流体吸引ノズルからの冷気の流速を計測する、風速計と
を備えることを特徴とするシステム。
【請求項２】
前記風速計には、処理装置が接続され、前記処理装置において前記風速計からの信号を処理し、記憶することを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記流体吸引ノズルは、前記流入口の開口径と前記流出口の開口径との比が、４以上対３で拡径されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、データセンタ・通信ビルにおける二重床空調システムの、多孔開口式二重床パネルの冷気流速計測システムに関し、より詳細には、二重床下から噴き上がる冷気の開口場所における相対的な流速の大きさを計測するシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、インターネット及びＩＣＴ（Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ  ａｎｄ  Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ）サービス等の普及に伴い、通信ビル及びデータセンタ等に設置された機器による電力の消費が大幅に増加している。特に、通信機器やサーバーマシン（以下、ＩＣＴ機器）の高機能化・高密度化によって、これらの機器から生じる発熱量が急速に増加してきている。
【０００３】
通信ビル及びデータセンタ等に設置されたＩＣＴ機器は、適温に温調された専用の稼働ルーム（空間）内に、複数台を整然と整列させた状態にして設置されている。
【０００４】
図１は、ＩＣＴ機器が設置された、ＩＣＴ機器稼動ルームの構成を示す側面図である（特許文献１参照）。ＩＣＴ機器稼働ルーム１００には、ＩＣＴ機器１１１−１〜ｍが収納され、１又は複数列に配列されたＩＣＴ機器専用ラック（機器収納架）１１０−１〜ｎと、ＩＣＴ機器から排出された暖気１０１を回収し、ＩＣＴ機器を冷却する冷気１０２を供給する空調機１２０とが配置されている。ＩＣＴ機器稼働ルーム１００の床面は２重床構造に形成され、床１３１と二重床１３２との間に、空調機１２０からの冷気１０２が供給されるフリーアクセスフロア１３０が形成される。
【０００５】
ＩＣＴ機器専用ラック１１０−１〜ｎは、それぞれＩＣＴ機器１１１−１〜ｍのうちの１台分の横幅と奥行きを有し、ＩＣＴ機器１１１−１〜ｍのうちの複数台が上下方向の間に隙間を確保しつつ平行に積み上げる形態でラック側面に取付支持されている。空調機１２０は、上面がＩＣＴ機器１１１−１〜ｍから排出された暖気１０１の吸込面であり底面がＩＣＴ機器１１１−１〜ｍへの冷気１０２の供給面である。冷気１０２は、空調機１２０から二重床１３２下のフリーアクセスフロア１３０内に供給される。ＩＣＴ専用ラック１１０−１〜ｎの設置位置の脇は、フリーアクセスフロア１３０内の冷気をＩＣＴ機器１１１−１〜ｍに対して排出するための開口パネル１３３−１〜ｎが敷かれ、二重床の一部を構成している。
【０００６】
空調機１２０から二重床１３２下のフリーアクセスフロア１３０内に排出された冷気１０２は、開口パネル１３３−１〜ｎの開口（孔）を通り、ＩＣＴ機器稼働ルーム１００内の二重床１３２上に噴き出し、ＩＣＴ機器専用ラック１１０−１〜ｎ内のＩＣＴ機器１１１−１〜ｍに供給される。冷気１０２はＩＣＴ機器１１１−１〜ｍにより暖められ暖気１０１となり、空調機１３０の上面から回収される。
【０００７】
空調機１２０からの冷気１０２は、フリーアクセスフロア１３０内に供給されるため、ＩＣＴ機器１１１−１〜ｍにより暖められた暖気１０１との混合が抑制され、ＩＣＴ機器１１１−１〜ｍの冷却の効率化を図ることができる。
【０００８】
図２（ａ）及び（ｂ）は、それぞれＩＣＴ機器稼動ルーム１００の二重床１３２に設置される開口パネル１３３−１〜ｎの例を示す斜視図である。開口パネル１３３−１〜ｎは、パネル表面に図２（ａ）に示すような丸い孔、または図２（ｂ）に示すような四角の孔が多数設けられ、それぞれの孔開き箇所から空気が噴き上がる多孔開口式二重床パネルが一般的である。
【０００９】
図３は、図１のＩＣＴ機器稼動ルーム１００における冷気及び暖気の様子を表した図である。図３（ａ）ＩＣＴ機器稼動ルーム１００の上面図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）のＡ−Ａ´における断面の冷気及び暖気のＣＦＤ（数値流体解析）の解析結果を示す図である。図中の網掛け部分の色の濃い部分が流速が早く、色の薄い部分は流速が遅い部分である。図２（ａ）又は（ｂ）の多孔開口式二重床パネルは、図３（ｂ）に示すように、フリーアクセスフロア内の圧力分布、及びフリーアクセスフロア内に設置されたケーブル等の障害物有無等々の種々の要因により、同一の開口径を有していたとしても、前記空調機の位置と開口位置との関係によって噴き上がる流量が変化することが一般的である。このため、データセンタにおいてＩＣＴ機器を効率的に冷却する場合、多孔開口式二重床パネル（開口パネル１３３−１〜ｎ）から噴き上がる冷気の各位置での流量の相対的な大きさを知ることが重要となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開平１０−０８２１２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ここで、図４は、図１のＩＣＴ機器稼動ルーム１００における冷気及び暖気の様子を表した図である。図４（ａ）ＩＣＴ機器稼動ルーム１００の上面図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）のＢ−Ｂ´における断面の冷気及び暖気のＰＩＶ（粒子画像流速測定法）による計測結果を示す図であり、図４（ｃ）は図４（ａ）のＢ−Ｂ´における断面の冷気及び暖気ＩＣＴ機器稼動ルーム１００のＢ−Ｂ´における冷気及び暖気のＣＦＤ（数値流体解析）による解析結果を示す図である。
【００１２】
多孔開口式二重床パネル（開口パネル１３３−１〜ｎ）の各設置位置での噴き上がる流体（冷気）の流速を測定した際、多孔開口式二重床パネルの孔開き箇所の近傍に風速計を設置し、計測することが考えられた。
【００１３】
通常、ＩＣＴ機器稼動ルームにおいて開口パネルからの噴き上がり流体の流速を計測するのには、１つの風速センサを用いて、複数場所を移動しながら計測する。常設のセンサを複数置くと、風速センサがあることで、通路の通行の邪魔になり、また、開口パネルの孔を通る空気の障害物になり、空気の循環を阻害する要因にもなるからである。
【００１４】
しかし、図４（ｂ）又は（ｃ）に示すように、同一の多孔開口式二重床パネルであっても孔開き箇所の位置によって流速が大きく異なるため、１つの風速センサを用いて流速を測定する場合、多孔開口式二重床パネルの各設置位置にて、それぞれ特定の孔開き箇所で流速を測定すると、多孔開口式二重床パネルの各設置位置での噴き上がる流体の流速の相対的大小を正しく測定できず、各開口パネルと空調機との位置関係による噴き上がり流体の流速の相対的な大小を測定することができなかった。従って、正確な流速を測定するために孔開き箇所を複数点測定して平均を取ることが強いられ、１枚の多孔開口式二重床パネルから噴き上がる風速を測定するのに複数の穴あき箇所からの噴き上がり流体の流速を計測させる必要があった。
【００１５】
上記の課題を解決するために、本発明は、このような孔開き箇所が多数設けられた多孔開口式二重床パネルにおいて、二重床より噴き上がる流体の流速を短時間かつ少ない測定回数で測定し、流速の大小を計測するシステムを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的を達成するために、本発明の第１の態様は、ＩＣＴ機器稼動ルーム内のＩＣＴ機器を冷却する冷気の流速を計測するシステムであって、空調機からの冷気が下を流れ、ＩＣＴ機器が上面に配置される二重床と、前記二重床の前記ＩＣＴ機器が配置される脇に設置された開口パネルであって、前記二重床の一部を構成し、前記二重床の下を流れる冷気を、前記ＩＣＴ機器稼動ルーム内の前記ＩＣＴ機器に供給するための複数の小さな孔が開口する、開口パネルと、前記開口パネル上に配置され、前記開口パネルの孔からの冷気を整流する流体吸引ノズルであって、流入口が前記開口パネルに向かって拡径したラッパ形状であり、前記流入口は、前記開口パネル上の複数の孔に跨る開口径を有する、流体吸引ノズルと、前記流体吸引ノズルの流出口に設置され、前記流体吸引ノズルからの冷気の流速を計測する、風速計とを備えることを特徴とする。
【００１７】
また、本発明の第２の態様は、第１の態様のシステムであって、前記風速計には、処理装置が接続され、前記処理装置において前記風速計からの信号を処理し、記憶することを特徴とする。
【００１８】
また、本発明の第３の態様は、第１又は第２の態様のシステムであって、前記流体吸引ノズルは、前記流入口の開口径と前記流出口の開口径との比が、４以上対３で拡径されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、多孔開口式二重床パネルから噴き上がる流速の、空調機との位置関係によって異なる流速の相対的大小を、各パネル一度の測定で測定することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】ＩＣＴ機器が設置された、ＩＣＴ機器稼動ルームの構成を示す側面図である。
【図２】（ａ）及び（ｂ）は、それぞれＩＣＴ機器稼動ルームの二重床に設置される開口パネルの例を示す斜視図である。
【図３】図１のＩＣＴ機器稼動ルームにおける冷気及び暖気の様子を表した図である。図３（ａ）ＩＣＴ機器稼動ルームの上面図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）のＡ−Ａ´における断面の冷気及び暖気のＣＦＤ（数値流体解析）の解析結果を示す図である。
【図４】図１のＩＣＴ機器稼動ルームにおける冷気及び暖気の様子を表した図である。図４（ａ）ＩＣＴ機器稼動ルームの上面図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）のＢ−Ｂ´における断面の冷気及び暖気のＰＩＶ（粒子画像流速測定法）による計測結果を示す図であり、図４（ｃ）は図４（ａ）のＢ−Ｂ´における断面の冷気及び暖気のＣＦＤ（数値流体解析）による解析結果を示す図である。
【図５】本発明の一実施形態にかかる多孔開口式二重床パネルの噴き上がり流速計測システムが導入されたＩＣＴ機器稼動ルームの構造を示す側面図である。
【図６】図５のＩＣＴ機器稼動ルーム内の開口パネルの噴き上がり流速計測システムの開口パネルと流体吸引ノズルとの構成を示す斜視図である。
【図７】開口パネルに形成された孔と流体吸引ノズルとの大きさを比較した図である。
【図８】本発明にかかる多孔開口式二重床パネルの噴き上がり流速計測システムにおけるＩＣＴ機器稼動ルーム内の機器配置の一例を示す上面図である。
【図９】図８の多孔開口式二重床パネルの噴き上がり流速計測システムの流速計測の測定結果を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
【００２２】
図５は、本発明の一実施形態にかかる多孔開口式二重床パネルの噴き上がり流速計測システムが導入されたＩＣＴ機器稼動ルーム５００の構造を示す図である。ＩＣＴ機器稼動ルーム５００には、ＩＣＴ機器５１１−１〜ｍが収納され、１又は複数列に配列されたＩＣＴ機器専用ラック（機器収納架）５１０−１〜ｎと、ＩＣＴ機器から排出された暖気を回収し、ＩＣＴ機器を冷却する冷気を供給する空調機５２０とが配置されている。ＩＣＴ機器稼働ルーム５００の床面は２重床構造に形成され、床５３１と二重床５３２との間に、空調機５２０からの冷気が供給されるフリーアクセスフロア５３０が形成される。
【００２３】
ＩＣＴ機器専用ラック５１０−１〜ｎは、それぞれＩＣＴ機器５１１−１〜ｍのうちの１台分の横幅と奥行きを有し、ＩＣＴ機器５１１−１〜ｍのうちの複数台が上下方向の間に隙間を確保しつつ平行に積み上げる形態でラック側面に取付支持されている。空調機６２０は、上面がＩＣＴ機器５１１−１〜ｍから排出された暖気５０１の吸込面であり底面がＩＣＴ機器５１１−１〜ｍへの冷気５０２の供給面である。冷気５０２は、空調機５２０から二重床５３２下のフリーアクセスフロア５３０内に供給される。ＩＣＴ専用ラック５１０−１〜ｎの設置位置の脇には、フリーアクセスフロア５３０内の冷気をＩＣＴ機器５１１−１〜ｍに対して排出するための多孔開口式二重床パネルである開口パネル５３３−１〜ｎが敷かれ、二重床の一部を構成している（開口パネルの数とＩＣＴラックの数は同数でなくともよい）。
【００２４】
空調機５２０から二重床５３２下のフリーアクセスフロア５３０内に提供された冷気５０２は、開口パネル５３３−１〜ｎの開口（孔）を通り、ＩＣＴ機器稼働ルーム５００内の二重床５３２上に噴き出し、ＩＣＴ機器専用ラック５１０−１〜ｎ内のＩＣＴ機器５１１−１〜ｍに供給される。冷気５０２はＩＣＴ機器５１１−１〜ｍにより暖められ暖気５０１となり、空調機５２０の上面から回収される。
【００２５】
開口パネル５３３−１〜ｎのいずれかの上面には、開口パネル５３３−１〜ｎの複数の孔開き箇所から噴き上がる流体を吸引するための流体吸引ノズル５３４と、吸引した流体の流速を計測するための風速計５３５と、風速計５３５の信号を処理・記録するための処理装置５３６とが設置される。
【００２６】
流体吸引ノズル５３４及び風速計５３５は、開口パネル５３３−１〜ｎのいずれかの上に設置し、開口パネルからの噴き上がり冷気の風速を計測する。一定時間経過後、流体吸引ノズル５３４及び風速計５３５の設置場所を変更し、開口パネル５３３−１〜ｎの前回計測場所とは別の場所の噴き上がり冷気の風速を計測する。このようにして、開口パネル５３３−１〜ｎ上の複数個所の噴き上がり冷気の風速を計測する。
【００２７】
図６は、図５のＩＣＴ機器稼動ルーム５００内の開口パネルの噴き上がり流速計測システムの開口パネルと流体吸引ノズルとの構成を示す図であり、図７は、開口パネルに形成された孔と流体吸引ノズルとの大きさを比較した図である。
【００２８】
流体吸引ノズル６２０は、開口パネル６１０に形成された複数の孔６１１から噴き上がる流体６０１を吸引し、流速を測定するため、流れの上流方向である床方向に拡径したラッパ形状であり、開口パネル６１０の真上の近傍の位置に配置される。冷気（流体６０１）を吸引する側である流体吸引ノズル６２０の流入口６２１は、孔の設けられた場所によってばらつきのある流体６０１の流速をそれぞれ整流し、それぞれの場所の流体６０１のばらつきによる計測誤差の影響を軽減するため、図７に示すように、開口パネル６１０の複数の孔６１１に跨る径を有する。流体吸引ノズル６２０は、流入口（６２１）の径と流出口（６２２）の径の比が４以上：３で拡径されている。
【００２９】
また、風速計６３０は、吸引した流体６０１の流速を計測するため、流体吸引ノズル６２０の流れの下流方向（流出口６２２側）に設置されている。風速計６３０は、流体吸引ノズル６２０によって整流された流体６０１の、垂直方向に噴き上がる流速を測定するため、流体吸引ノズル６２０の流れの下流方向（流出口６２２の真上）の近傍の位置に、流体６０１の垂直成分を測定する向きに配置される。風速計６３０は、流速の時間変動を処理するため、信号を記録・処理するための処理装置６４０に、信号線６４１により接続される。なお、処理装置６４０は、図５のようにＩＣＴ機器稼動ルーム５００の中に設置してもよいし、ＩＣＴ機器稼動ルーム５００の外に設置してもよい。
【００３０】
開口パネル６１０に設けられた複数の孔から吹き上がる流体は、流体吸引ノズル６２０の流入口６０１に入り、整流され、流出口６２２に設けられた風速計６３０により計測される。開口パネル６１０の各孔６１１から噴き上がる流体は、孔６１１が設けられた場所及び時間により変化し、それぞれ一定の風速により噴き上がることはないが、開口パネル６１０の複数の孔６１１に跨る流体吸引ノズル６２０により整流されるため、開口パネル６１０の一定範囲の流体の流速をまとめて計測することができ、開口場所及び時間による噴き上がり流体の流速のばらつきが軽減される。
【００３１】
本発明においては、開口パネルの一定範囲の流体の流速をまとめて計測することができ、開口場所及び時間による噴き上がり流体の流速のばらつきが軽減される。したがって、噴き上がり流体の流速の安定した計測結果が得られ、各パネルと空調機との位置関係によって異なる相対的な流速の大小を測定することができる。
【００３２】
したがって、少ない測定回数により各パネルと空調機との位置関係によって異なる相対的な流速の大小を測定することができる、つまり、人の測定に要する稼働が少なくすむ。また、噴き上がり流体の流速の安定した計測結果が得られる。
【００３３】
［実施例］
図８は、本発明にかかる多孔開口式二重床パネルの噴き上がり流速計測システムにおけるＩＣＴ機器稼動ルーム８００内の機器配置の一例を示す図である。ＩＣＴ機器稼動ルーム８００内には二重床上にＩＣＴ機器を収納したＩＣＴ機器専用ラック８１０−１〜５と、空調機８２０が設置されている。空調機８２０は、ＩＣＴ機器稼動ルーム８００の長手方向の一端の壁面に隣接して設置され、ＩＣＴ専用ラック８１０−１〜５は、ＩＣＴ機器稼動ルーム８００の長手方向に、空調機８２０側から順に８１０−１、８１０−２、８１０−３、８１０−４、８１０−５の順に一列に配列されている。空調機８２０とＩＣＴ専用ラック８１０−１との距離は１８００［ｍｍ］である。また、フリーアクセスフロアの天地幅は４５０［ｍｍ］である。
【００３４】
ＩＣＴ機器専用ラック８１０−１〜５それぞれの脇には２枚ずつ、合計１０枚の開口パネル８３０−１〜１０が、長手方向がＩＣＴ機器稼動ルーム８００の長手方向と直行するような方向に、それぞれ隣接して並んで配置されている。開口パネル８３０−１〜１０のそれぞれは全長１２００［ｍｍ］、全幅３００［ｍｍ］であり、１４［ｍｍ］φの開口孔が縦・横６［ｍｍ］間隔で複数形成された開口群を複数有している。
【００３５】
流体吸引ノズル８４０および風速計８５０は、開口パネルの複数の開口群のうちのひとつの開口群の上部に設置される。流体吸引ノズル８４０は、拡径された流入口径が７０［ｍｍ］、流出口径が４６［ｍｍ］、全長が７０［ｍｍ］であり、流入口が多孔開口式二重床パネルから高さ１００［ｍｍ］の位置に、開口パネルに対して拡径する向きに配置される。
【００３６】
風速計８５０は、容積式・電磁計測式・超音波式等々様々あるが、本実施例では熱式質量流量計を用い、流体吸引ノズル８４０から噴出された流体の垂直成分の流速を０［ｍｍ／ｓ］〜４［ｍｍ／ｓ］のレンジ幅で測定するため、流体吸引ノズル８４０の流出口部分、即ち多孔開口式二重床パネルから高さ１７０［ｍｍ］に、流体吸引ノズル８４０の流出口の中心付近に垂直成分を測定する向きで配置される。
【００３７】
開口パネルの噴き上がり流体は、それぞれ、空調機８２０からそれぞれ２１００［ｍｍ］、２７００［ｍｍ］、３３００［ｍｍ］、３８００［ｍｍ］の位置において測定される（開口パネル８３０−２、４、６、８上）。ここで、流体吸引ノズル８４０及び風速計８５０が取り付けられる位置を、空調機側から順にＡ点、Ｂ点、Ｃ点、Ｄ点として、開口パネルから噴き上がる流体を計測する。また、比較例として、Ａ点、Ｂ点、Ｃ点、Ｄ点と同じ位置に、流体吸引ノズル８４０を使用せずに、風速計８５０のみにより開口パネルの噴き上がり流体の流速を計測する（空調機側からそれぞれＡ´点、Ｂ´点、Ｃ´点、Ｄ´点とする）。
【００３８】
図９は、図８の多孔開口式二重床パネルの噴き上がり流速計測システムの流速計測の測定結果を示す図である。吹き上がり流体の流速は、それぞれ一定時間、流体吸引ノズ８４０を移動させて、Ａ点、Ｂ点、Ｃ点、Ｄ点、Ｄ´点、Ｃ´点、Ｂ´点、Ａ´点の順に計測する。図９のグラフの水平軸は時間、垂直軸は各測定箇所での風速計８５０の出力信号であり、風速計８５０からの出力が大きいほど風速が早いことを表わす。
【００３９】
本測定結果より、本実施例の流体計測ノズルを用いたＡ点、Ｂ点、Ｃ点、Ｄ点の測定結果は、流速の相対的大小がＡ＜＜Ｂ＜Ｃ＜＜Ｄと見て取れる。一方、流体吸引ノズルを用いることなく多孔開口式二重床パネルから高さ１７０［ｍｍ］の位置に風速計を配置したＡ´点、Ｂ´点、Ｃ´点、Ｄ´点では、噴出し位置及び噴出し流体の流量の時間変動によるばらつきがあるため、流体吸引ノズルを設置した場合のように流速の相対的大小を見てとることができない。
【００４０】
以上のように、本発明における一実施形態によれば、多孔開口式二重床パネルから噴き上がる流速の、空調機との位置関係によって異なる相対的大小を、各パネル一度の測定で測定することが可能である。
【符号の説明】
【００４１】
１００、５００、８００  ＩＣＴ機器稼動ルーム
１０１、５０１  暖気
１０２、５０２  冷気
１１０−１〜ｎ、５１０−１〜ｎ、８１０−１〜４  ＩＣＴ機器専用ラック
１１１−１〜ｍ、５０１−１〜ｍ  ＩＣＴ機器
１２０、５２０、８２０  空調機
１３０、５３０  フリーアクセスフロア
１３１、５３１  床
１３２、５３２  二重床
１３３−１〜ｎ、５３３−１〜ｎ、６１０、８３０−１〜１０  開口パネル
５３４、６２０、８４０  流体吸引ノズル
５３５、６３０、８５０  風速計
５３６、６４０  処理装置
６１１  孔
６２１  流入口
６２２  流出口
６４１  信号線
【図１】
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【図２】
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【図４】
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【図５】
2016042233.tif 000006
【図６】
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【図７】
2016042233.tif 000008
【図８】
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【図９】
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【図３】
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