(57)【要約】【課題】圧電チップ３０、ベース５０およびリッド７０をガラス８０で接合する圧電振動子２０のキャスタレーション５１ａ、５１ｂに起因する接合品質低下を防止する。【解決手段】圧電振動子２０は、ベース５０の圧電チップ３０側の面の、キャスタレーション５１ａ、５１ｂ近傍であってこれらキャスタレーションに起因してガラス８０の厚みが減じて接合時の加圧力が低下する領域に、厚み補正用凸部５３を具える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動部およびそれを囲う枠部を有する圧電チップと、該圧電チップの一方の面に前記枠部で接合していてキャスタレーションを有するベースと、前記圧電チップの他方の面に前記枠部で接合しているリッドとを具え、前記接合は気密接合材により行われている圧電振動子において、
前記圧電チップ又はベースの互いの接合面側の、前記キャスタレーション近傍であって前記キャスタレーションに起因して前記気密接合材の厚みが減じて前記接合時の加圧力が低下する領域に、厚み補正用凸部を具えたことを特徴とする圧電振動子。
【請求項２】
振動部それを囲う枠部およびキャスタレーションを有する圧電チップと、該圧電チップの一方の面に前記枠部で接合していてキャスタレーションを有するベースと、前記圧電チップの他方の面に前記枠部で接合しているリッドとを具え、前記接合は気密接合材により行われている圧電振動子において、
前記圧電チップ又はベースの互いの接合面側の、前記キャスタレーション近傍であって前記キャスタレーションに起因して前記気密接合材の厚みが減じて前記接合時の加圧力が低下する領域に、厚み補正用凸部を具え、
前記圧電チップ又はリッドの互いの接合面側の、前記キャスタレーション近傍であって前記キャスタレーションに起因して前記気密接合材の厚みが減じて前記接合時の加圧力が低下する領域に、厚み補正用凸部を具えたことを特徴とする圧電振動子。
【請求項３】
振動部を有する圧電チップと、該圧電チップを収納していて少なくとも一方に該圧電チップを収納する凹部を有するベースおよびリッドと、該ベースに設けられたキャスタレーションとを具え、前記ベースおよびリッドは前記凹部の周囲の土手部で気密接合材により接合されている圧電振動子において、
前記リッド又はベースの互いの接合面側の、前記キャスタレーション近傍であって前記キャスタレーションに起因して前記気密接合材の厚みが減じて前記接合時の加圧力が低下する領域に、厚み補正用凸部を具えたことを特徴とする圧電振動子。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の圧電振動子において、
前記厚み補正用凸部の高さが０．５〜１μｍであることを特徴とする圧電振動子。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の圧電振動子において、
前記気密接合材がガラス又は接着剤であることを特徴とする圧電振動子。
【請求項６】
振動部およびそれを囲う枠部を有する圧電チップが多数配列されている圧電ウエハと、前記圧電チップが個片化されるとキャスタレーションに変化する開口部を有するベースウエハと、リッドウエハとを、前記圧電ウエハが中央となるように、前記枠部で気密接合材により接合する工程を含む水晶振動子の製造方法において、
前記圧電ウエハ又はベースウエハの互いが接合される面側の、前記開口部近傍であって該開口部に起因して前記気密接合材の厚みが減じて前記接合時の加圧力が低下する領域に、厚み補正用凸部を形成し、
該凸部を形成したウエハを用いて前記貼り合わせを行うことを特徴とする圧電振動子の製造方法。
【請求項７】
振動部およびそれを囲う枠部を有する圧電チップが多数配列されている圧電ウエハであって前記圧電チップが個片化されるとキャスタレーションに変化する開口部を有する圧電ウエハと、前記圧電チップが個片化されるとキャスタレーションに変化する開口部を有するベースウエハと、リッドウエハとを、前記圧電ウエハが中央となるように、前記枠部で気密接合材により接合する工程を含む水晶振動子の製造方法において、
前記圧電ウエハ又はベースウエハの互いが接合される面側の、前記開口部近傍であって該開口部に起因して前記気密接合材の厚みが減じて前記接合時の加圧力が低下する領域に、厚み補正用凸部を形成し、
前記リッドウエハ又は圧電ウエハの互いが接合される面側の、前記開口部近傍であって該開口部に起因して前記気密接合材の厚みが減じて前記接合時の加圧力が低下する圧力低下領域に、厚み補正用凸部を形成し、
これら凸部を形成したウエハを用いて前記貼り合わせを行うことを特徴とする圧電振動子の製造方法。
【請求項８】
少なくとも一方に圧電チップを収納する凹部が多数配列されているベースウエハおよびリッドウエハであって、いずれかに多数の圧電チップが実装され、ベースウエハは前記圧電チップが個片化されるとキャスタレーションに変化する開口部を有している、ベースウエハおよびリッドウエハを、前記凹部の周囲の土手部で気密接合材により接合する工程を含む圧電振動子の製造方法において、
前記リッドウエハ又はベースウエハの互いが接合される面側の、前記開口部近傍であって前記キャスタレーションに起因して前記気密接合材の厚みが減じて前記接合時の加圧力が低下する領域に、厚み補正用凸部を形成し、
該凸部を形成したウエハを用いて前記貼り合わせを行うことを特徴とする圧電振動子の製造方法。
【請求項９】
請求項６〜８のいずれか１項に記載の圧電振動子の製造方法において、
前記厚み補正用凸部の高さは０．５〜１μｍであることを特徴とする圧電振動子の製造方法。
【請求項１０】
請求項６〜８のいずれか１項に記載の圧電振動子の製造方法において、
前記気密接合材がスクリーン印刷により形成されるガラス又は接着剤であることを特徴とする圧電振動子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動子の容器を構成する部材をガラス、接着剤等の気密接合材によって接合する構造を有した圧電振動子およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＡＴカット水晶振動子は、圧電振動子の代表的なものとして知られている。ＡＴカット水晶振動子の小型化が進むに従い、機械式加工による製造方法では、水晶振動子の製造が困難になっている。そのため、フォトリソグラフィ技術を用い、ウエハレベルで水晶振動子を製造することが行われている。
【０００３】
例えば特許文献１では、振動部およびそれを囲う枠部を有する圧電チップが多数配列形成された圧電ウエハに、ベースウエハおよびリッドウエハを低融点ガラスで接合し、次に、この構造体からダイシングにより各圧電振動子を個片化する製造方法が記載されている。この製造方法では、ウエハ同士を接合する前に、ベースウエハの表裏面の、圧電ウエハと接合しない面に、外部との実装用端子が形成される。さらに、ベースウエハには、圧電チップが個片化されるとキャスタレーションに変化する開口部が形成される。この開口部を利用して、圧電チップの電極と実装用端子とが電気的に接続される。
【０００４】
また、特許文献２では、圧電チップ（水晶振動片）を収納する凹部が多数配列形成されたリッドウエハと、圧電チップが実装されたベースウエハとを、前記凹部周囲の土手部でガラスにより接合し、次に、この構造体からダイシングにより各圧電振動子を個片化する製造方法が記載されている。この製造方法では、ウエハ同士を接合する前に、ベースウエハの圧電チップ実装面とは反対面に、外部との実装用端子が形成される。さらに、ベースウエハには、圧電チップが個片化されるとキャスタレーションに変化する開口部が形成される。この開口部を利用して、圧電チップの電極と実装用端子とが電気的に接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−８６８９４号公報
【特許文献２】特開２０１２−１４２９０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
低融点ガラスを用いてウエハ同士を接合する上記各方法では、ベースウエハや圧電ウエハの主面に碁盤目状に低融点ガラスペーストを印刷する。次に、圧電ウエハ、ベースウエハおよびリッドウエハを重ね、それらを加圧・加熱して、ウエハ同士の接合が行われる。しかし、ガラスペーストを印刷するベースウエハは、後にキャスタレーションになる開口部が形成された状態にある。開口部が形成されたウエハにガラスペーストを塗布すると、この出願に係る発明者の観察によれば、以下のような問題が生じることが分かった。図９はその説明図であり、（Ａ）図はベースウエハ１０の平面図とベースウエハ１０の開口部１１を含む一部分Ｐを拡大した斜視図とを併記した図、（Ｂ）図は（Ａ）図中のＡ−Ａ線でＰ部分を切った断面図である。なお、（Ａ）図中のＱで示す破線は、水晶振動子を個片化するためのダイシング予定ラインである。
【０００７】
図９（Ｂ）に示したように、ガラス（ガラスペースト）１３の厚みｔは、開口部１１の近傍部分１５の方がそれ以外の部分１７に比べて薄くなる。その理由は、開口部１１の近傍のガラスペーストの印刷幅ｗ１（（図９（Ａ））は、開口部１１が在るためにそこ以外の部分での印刷幅ｗ２より狭くなるので、ガラスペーストが幅の広い部分に引っ張られるからである。そして、このようにガラスの厚みが薄い部分では、ベースウエハと圧電ウエハとを重ねて加圧・加熱してガラス接合を行う際に、加圧力が他の部分に比べて弱くなるため、接合品質が悪くなり易い。
【０００８】
この出願の目的は、上述した問題点を解決することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この目的の達成を図るため、この発明の圧電振動子は、振動部およびそれを囲う枠部を有する圧電チップと、この圧電チップの一方の面に前述の枠部で接合していて少なくとも２つのキャスタレーションを有するベースと、前述の圧電チップの他方の面に前述の枠部で接合しているリッドとを具え、前述の接合は気密接合材により行われている圧電振動子である。そして、前述の圧電チップ又はベースの互いの接合面側の、前述のキャスタレーション近傍であって前述のキャスタレーションに起因して前述の気密接合材の厚みが減じて前述の接合時の加圧力が低下する領域に、厚み補正用凸部を具えたことを特徴とする。
【００１０】
また、この発明は、ベースに加え圧電チップにキャスタレーションを有する圧電振動子にも、適用する。すなわち、振動部それを囲う枠部および少なくとも２つのキャスタレーションを有する圧電チップと、この圧電チップの一方の面に前述の枠部で接合していて少なくとも２つのキャスタレーションを有するベースと、前述の圧電チップの他方の面に前述の枠部で接合しているリッドとを具え、前述の接合は気密接合材により行われている圧電振動子である。そして、前述の圧電チップ又はベースの互いの接合面側の、前述のキャスタレーション近傍であって前述のキャスタレーションに起因して前述の気密接合材の厚みが減じて前述の接合時の加圧力が低下する領域に、厚み補正用凸部を具え、前述の圧電チップ又はリッドの互いの接合面側の、前述のキャスタレーション近傍であって前述のキャスタレーションに起因して前述の気密接合材の厚みが減じて接合時の加圧力が低下する領域に、厚み補正用凸部を具えたことを特徴とする。
【００１１】
また、この発明は、枠部を有していない圧電チップを用いる場合にも適用する。すなわち、振動部を有する圧電チップと、この圧電チップを収納していて少なくとも一方に圧電チップを収納する凹部を有するベースおよびリッドと、このベースに設けられた少なくとも２つのキャスタレーションとを具え、ベースおよびリッドは前述の凹部の周囲の土手部を利用しガラスにより接合されている圧電振動子である。そして、前述のリッド又はベースの互いの接合面側の、前述のキャスタレーション近傍であって前述のキャスタレーションに起因して前述の気密接合材の厚みが減じて接合時の加圧力が低下する領域に、厚み補正用凸部を具えたことを特徴とする。
【００１２】
また、この出願の圧電振動子の製造方法は、振動部およびそれを囲う枠部を有する圧電チップが多数配列されている圧電ウエハと、前述の圧電チップが個片化されるとキャスタレーションに変化する開口部を有するベースウエハと、リッドウエハとを、前述の圧電ウエハが中央となるように、前述の枠部で気密接合材により接合する工程を含む水晶振動子の製造方法である。そして、前述の圧電ウエハ又はベースウエハの互いが接合される面側の、前述の開口部近傍であって前述の開口部に起因して前述の気密接合材の厚みが減じて前述の接合時の加圧力が低下する領域に、厚み補正用凸部を形成し、この凸部を形成したウエハを用いて前述の貼り合わせを行うことを特徴とする。
【００１３】
また、この出願の製造方法の発明は、ベースウエハに加え圧電ウエハにキャスタレーション用の開口部を有する圧電振動子を製造する場合にも、適用する。すなわち、振動部およびそれを囲う枠部を有する圧電チップが多数配列されている圧電ウエハであって前述の圧電チップが個片化されるとキャスタレーションに変化する開口部を有する圧電ウエハと、前述の圧電チップが個片化されるとキャスタレーションに変化する開口部を有するベースウエハと、リッドウエハとを、前述の圧電ウエハが中央となるように、前述の枠部で気密接合材により接合する工程を含む水晶振動子の製造方法である。そして、前述の圧電ウエハ又はベースウエハの互いが接合される面側の、前述の開口部近傍であって前述の開口部に起因して前述の気密接合材の厚みが減じて前述のガラス接合時の加圧力が低下する領域に、厚み補正用凸部を形成し、前述のリッドウエハ又は圧電ウエハの互いが接合される面側の、前述の開口部近傍であって前述の開口部に起因して前述の気密接合材の厚みが減じて接合時の加圧力が低下する圧力低下領域に、厚み補正用凸部を形成し、これら凸部を形成したウエハを用いて前述の接合を行うことを特徴とする。
【００１４】
また、この出願の製造方法の発明は、枠部を有していない圧電チップを用い圧電振動子を製造する場合にも適用する。すなわち、少なくとも一方に圧電チップを収納する凹部が多数配列されているベースウエハおよびリッドウエハであって、いずれかに多数の圧電チップが実装され、ベースウエハは前述の圧電チップが個片化されるとキャスタレーションに変化する開口部を有している、ベースウエハおよびリッドウエハを、前述の凹部の周囲の土手部で気密接合材により接合する工程を含む圧電振動子の製造方法である。そして、
前述のリッドウエハ又はベースウエハの互いが接合される面側の、前述の開口部近傍であって前述のキャスタレーションに起因して前述の気密接合材の厚みが減じて接合時の加圧力が低下する領域に、厚み補正用凸部を形成し、この凸部を形成したウエハを用いて前記貼り合わせを行うことを特徴とする。
【００１５】
なお、上述の各発明を実施するに当たり、厚み補正用凸部の高さを０．３〜２μｍとする。凸部の高さをこの範囲の値にすると、圧力低下領域での加圧力低下を改善できると共に、凸部が高すぎることによる接合品質の低下を防止することができる。より好ましくは、この高さを０．５〜１μｍとする。
【００１６】
また、上記の各発明でいう圧電振動子とは、典型的には平面形状が矩形状のものである。また、キャスタレーションとは、圧電振動子の4つのコーナ部のうちの少なくとも２ケ所に設けられるもの、圧電振動子の４辺のうちの少なくとも２辺に設けられるもの、および、コーナ部と辺とに設けられるものである。
【発明の効果】
【００１７】
この発明の圧電振動子によれば、厚み補正用凸部を具えるため、接合時の加圧力が低下するおそれがある領域と他の領域との気密接合材（例えばガラス）の密度を同等にし易いので、接合品質の良い圧電振動子を得ることができる。
この発明の圧電振動子の製造方法によれば、ウエハに厚み補正用凸部を形成し、その後、ウエハ同士の接合を行うので、キャスタレーション用開口部の近傍でも他の部分と同様に気密接合材（実際は、気密接合材の中間体であるガラスペースト等）を加圧できる。そのため、接合品質の良い圧電振動子を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】（Ａ）、（Ｂ）は、第１の実施形態の説明図であり、枠部を有する圧電チップを含む圧電振動子に本発明を適用した例の説明図である。
【図２】（Ａ）〜（Ｃ）は、図１に続く実施例の説明図であり、特に厚み補正用凸部を説明する図である。
【図３】（Ａ），（Ｂ）は、製造方法の発明の実施例を説明する工程図である。
【図４】は、製造方法の発明の実施例を説明するための図３に続く工程図である。
【図５】は、製造方法の発明の実施例を説明するための図４に続く工程図である。
【図６】は、第２の実施形態の説明図であり、キャスタレーションの位置が第１の実施形態と異なる圧電振動子に本発明を適用した例を説明する図である。
【図７】は、第３の実施形態の説明図であり、圧電チップにもキャスタレーションを有する圧電振動子に本発明を適用した例を説明する図である。
【図８】は、第４の実施形態の説明であり、枠部を有しない圧電チップを含む圧電振動子に本発明を適用した例を説明する図である。
【図９】は、課題を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照してこの発明の圧電振動子およびその製造方法の実施例について説明する。なお、説明に用いる各図はこれらの発明を理解できる程度に概略的に示してあるにすぎない。また、説明に用いる各図において、同様な構成成分については同一の番号を付して示し、その説明を省略する場合もある。また、以下の実施例中で述べる形状、寸法、材質等はこの発明の範囲内の好適例に過ぎない。従って、本発明が以下の実施例のみに限定されるものではない。
【００２０】
１． 圧電振動子の第１の実施形態
図１は、第１の実施形態の圧電振動子２０の説明図である。特に、図１（Ａ）は、圧電振動子２０をその主要構成成分である圧電チップ３０、ベース５０およびリッド７０に分けて示した斜視図、図１（Ｂ）は、圧電振動子２０の断面図であり、図１（Ａ）中のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【００２１】
第１の実施形態の圧電振動子２０は、平面形状が矩形のものとしてある。従って、圧電チップ３０、ベース５０、リッド７０各々も、平面形状が矩形のものになっている。圧電チップ３０、ベース５０、リッド７０は、気密接合材としてのガラス８０(図１（Ｂ）)で接合してある。これら圧電チップ３０、ベース５０、リッド７０各々は、例えば水晶に所定の構成成分（後述する振動部３１、・・実装用端子５５等々）を作りこんだもので構成する。
【００２２】
圧電チップ３０は、振動部３１とこの振動部３１を囲う枠部３３とを有する。さらに圧電チップ３０は、振動部３１の表裏に形成した励振電極３５と、この励振電極３５からベース５０の実装用端子５５に接続されている配線電極３７と、振動部３１および枠部３３を分離している貫通部３９と、振動部３１をその一部で枠部３３に連結している連結部４１とを具えている。
【００２３】
ベース５０は、圧電チップ３０の一方の面の枠部３３でガラス８０により接合しているものである。このベース５０は、２つのキャスタレーション５１ａ、５１ｂを有する。この場合のキャスタレーション５１ａ、５１ｂは、ベース５０の４つのコーナのうち対角線上にある２つのコーナに設けてある。さらに、ベース５０は、圧電チップ３０と接続する面側であって、キャスタレーション５１ａ、５１ｂの近傍のキャスタレーション５１ａ、５１ｂに起因してガラスの厚みが減じてガラス接合時の加圧力が低下する領域に、厚み補正用凸部５３（図１（Ａ）中Ｌ字形状の部分）を有する。さらに、ベース５０は、圧電チップ３０側の面に圧電チップの振動領域を確保するための凹部５０ａを有し、圧電チップ３０とは反対面に実装用端子５５を有する。実装用端子５５は、キャスタレーション５１ａ，５１ｂに設けた接続電極５５ａを介し、圧電チップ３０の配線電極３７と接続してある。
【００２４】
リッド７０は、圧電チップ３０の枠部３３でガラス８０により接合しているものである。このリッド７０は、圧電チップ３０の振動領域を確保するための凹部７０ａを有している。
【００２５】
図２は、厚み補正用凸部５３の詳細を説明する図である。特に、図２（Ａ）はベース５０の圧電チップ３０と接合する面を見た平面図、図２（Ｂ）、（Ｃ）は、図１（Ａ）のＲ１部分、Ｒ２部分、すなわちベース５０のキャスタレーション５１ａ、５１ｂ付近を拡大して示した斜視図である。なお、図２では、実装用端子５５、接続電極５５ａの記載を省略してある。
【００２６】
この場合の厚み補正用凸部５３は、ベース５０の圧電チップ側の面の、キャスタレーション５１ａ（５１ｂ）の近傍であってキャスタレーション５１ａ（５１ｂ）を囲うような領域に、設けてあり、平面形状がＬ字のものとしてある。また、この厚み補正用凸部５３の高さＨが低すぎては本発明の効果が得られず、高すぎてはガラス接合時の加圧力を不均一にしてしまう。この高さＨは、接合材の幅やキャスタレーションの大きさ等を考慮し決めるが、この実施例では、０．５〜１μｍの範囲の値としてある。なお、厚み補正用凸部５３を設ける領域は、ここでは、キャスタレーション近傍のＬ字状部分としているが、これは一例である。要は、キャスタレーションに起因してガラスの塗布幅が狭くなってガラス厚みが減じてしまう領域を把握し、そこに厚み補正用凸部を設ける。
【００２７】
（製造方法の実施例）
次に、第１の実施形態の圧電振動子２０を製造する例により、この発明の製造方法の実施例について説明する。
図３（Ａ）は、ベースウエハ５０ｗを示した平面図である。図３（Ｂ）は図３（Ａ）中のＰ部分を拡大した平面図であり、ほぼ４個のベース５０の領域を示してある。ただし、図３では、図１に示した実装用端子５５、接続電極５５ａは省略してある。
【００２８】
このベースウエハ５０ｗに、フォトリソグラフィ技術、成膜技術等により、ベース５０をマトリクス状に形成する。その際、圧電振動子を個片化した後にキャスタレーションに変化する開口部５１ｘが、ベースウエハ５０ｗに形成されるように、また、この発明に係る厚み補正用凸部５３が所定高さＨで、ベースウエハ５０ｗに残存するように、ベースウエハ５０ｗを加工する。具体的には、開口部５１ｘを形成する場合は、水晶ウエハの開口部形成予定部分以外を耐エッチング性マスク（図示せず）で覆い、そのウエハをフッ酸系のエッチャントに浸漬する（図示せず）。また、厚み補正用凸部５３を形成する場合は、水晶ウエハの厚み補正用凸部形成予定部分を耐エッチング性マスク(図示せず)で覆い、このウエハをフッ酸系のエッチング液に短時間浸漬する(図示せず)。このようにして圧電ウエハ３０ｗに厚み補正用凸部５３を、所定配置に形成する。次に、このベースウエハ５０ｗの圧電ウエハと接合する領域に、低融点ガラスペースト（図示せず）をスクリーン印刷法により塗布し、焼成等の所定処理をする。なお、図３（Ｂ）中の破線領域８１は、圧電振動子を個片化するためのダイシング予定領域である。
【００２９】
一方、圧電ウエハ３０ｗも、フォトリソグラフィ技術、成膜技術等により形成する。具体的には、水晶ウエハに、振動部３１、枠部３３、励振電極３５、配線電極３７、貫通部３９および連結部４１を、所定通りに形成して、圧電ウエハ３０ｗを用意する。図４（Ａ）は、圧電ウエハ５０ｗを示した平面図である。図４（Ｂ）は図４（Ａ）中のＰ部分を拡大して示した平面図であり、ほぼ４個の圧電チップ３０の領域を示してある。
【００３０】
また、リッドウエハ（図示せず）もフォトリソグラフィ技術、成膜技術等により形成する。すなわち、水晶ウエハの所定部分に凹部を有し、接合領域にガラスペーストを印刷したリッドウエハ（図示せず）を用意する。
【００３１】
このように準備した圧電ウエハ、ベースウエハ、リッドウエハを所定の位置関係で重ね、次に、この積層体に加圧および加熱および冷却することにより、これらウエハをガラスにより接合する。この際の本発明の効果を図５を参照して説明する。図５（Ａ），（Ｂ）は圧電ウエハ３０ｗとベースウエハ５０ｗとの接合に着目した工程図であり、図３（Ｂ）中のＢ−Ｂ線に相当する位置での断面で示した工程図である。
【００３２】
ベースウエハ５０ｗのキャスタレーション用の開口部５０ｘ近傍には、この開口部５０ｘに起因してガラスペースト８０の厚みが減じている部分(薄くなった部分)８０ａ(図５（Ａ）参照)が生じている。しかし、ベースウエハ５０ｗは、キャスタレーション用開口部５０ｘの近傍領域に、厚み補正用凸部５３を有している。このようなベースウエハ５０ｗに圧電ウエハ３０ｗ、リッドウエハ（図示せず）を重ねて、加圧、加熱すると、厚み補正用凸部５３の効果によって、ガラス８０の厚みが薄い部分８０ａもそうでない部分と同様に加圧されるので（図５（Ｂ））、接合が良好なガラス接合が行える。
【００３３】
２． 圧電振動子の第２の実施形態
図６は、第２の実施形態の圧電振動子９０の説明図であり、圧電振動子９０をその主要構成成分である圧電チップ３０、ベース５０およびリッド７０に分けて示した斜視図である。この第２の実施の形態の圧電振動子９０の第１の実施の形態との相違点は、キャスタレーション５１ｃの位置と、厚み補正用凸部５３ａの位置および形状である。すなわち、第２の実施の形態の圧電振動子９０の場合、キャスタレーション５１ｃを、ベース５０の２つの長辺に各々１個ずつ設けてある。また、キャスタレーション５１ｃは、平面形状が略矩形状のものとしてある。また、厚み補正用凸部５３ａは、ベース５０の圧電チップ３０が接合している面側の、キャスタレーション５１ｃの近傍であってこのキャスタレーションに起因してガラス厚みが減じてしまう領域に設けてあり、長方形状のものとしてある（図中網点模様の部分）。この厚み補正用凸部５３ａの高さは、第１の実施の形態と同様な高さとしてある。この第２の実施の形態の圧電振動子９０では、振動子の長辺にキャスタレーションを設けた場合でも第１の実施の形態と同様な効果が得られる。
【００３４】
この第２の実施形態の圧電振動子９０を製造する場合、図３および図４を用いて説明した製法工程において、厚み補正用凸部の形成位置および形状とキャスタレーション用開口部の形成位置および形状を、第２の実施形態の圧電振動子９０に応じて変更することで、この振動子９０を得ることができる。
【００３５】
３．圧電振動子の第３の実施形態
図７は、第３の実施形態の圧電振動子１００の説明図であり、圧電振動子１００をその主要構成成分である圧電チップ３０、ベース５０およびリッド７０に分けて示した斜視図である。この第３の実施形態の圧電振動子１００の第１の実施の形態との相違点は、リッド７０にアース用金属膜７０ｂを設け、ベース５０にアース電極５７を設け、圧電チップ３０およびベース５０にアース電極５７とアース用金属膜７０ｂとを接続するためのキャスタレーション５１ｄを設け、このキャスタレーション５１ｄに起因する接合材の厚みが減じることの対策として厚み補正用凸部５３ｂを設けたことである。この第２の実施形態のキャスタレーション５１ｄは、第１の実施の形態のキャスタレーション５１ａ、５１ｂを設けたコーナ以外の残りの２つのコーナのうちの１か所に設けてある。また、第２の実施形態の厚み補正用凸部５３ｂは、ベース５０およびリッド７０各々の圧電チップ側の面の、第２の実施の形態のキャスタレーション５１ｄの近傍に第１の実施形態と同様に平面形状がＬ字状になるよう設けてある。この厚み補正用凸部の高さは、第１の実施の形態と同様な高さとしてある。
この第３の実施形態の圧電振動子１００の場合、厚み補正用凸部５３ｂを設けたので、アース電極５７とアース用金属膜７０ｂとの接続用のキャスタレーションにより接合材であるガラスの厚みが薄くなることに起因する接合品質の低下を、防止できる。
【００３６】
この第３の実施形態の圧電振動子１００を製造する場合、図３および図４を用いて説明した製法工程において、圧電ウエハ３０ｗにキャスタレーション用開口部を作る際にアース電極用の開口部を追加して形成することと、厚み補正用凸部５３ａをリッドウエハに形成するように、工程を変更することで、この振動子１００を得ることができる。
【００３７】
４．圧電振動子の第４の実施形態
図８は、第４の実施形態の圧電振動子１１０の説明図であり、圧電振動子１１０をその主要構成成分である圧電チップ１２０、ベース１３０およびリッド１４０に分けて示した斜視図である。この第４の実施の形態の圧電振動子１１０の第１の実施の形態との相違点は、圧電チップが枠部を有していないこと、ベース１３０に圧電チップ１２０を収納する凹部１３０ａを設けてあり、リッド１４０に圧電チップ１２０の振動空間を確保する凹部１４０ａを設けてあり、圧電チップ１２０はその配線電極３７の領域でベース１３０の接続電極５５ｂに接続固定してあり、ベース１３０とリッド１４０とは、凹部１３０ａの周囲の土手部１３０ｂでガラス８０によって接合してあることである。また、この実施形態では、キャスタレーション５１ｅは、ベース１３０の２つの短辺に各々設けてある。そして、これらキャスタレーション５１ｅに起因してガラスの厚みが減じて接合品質が低下することを防止するために、リッド１４０のベース１３０側の面の、キャスタレーション５１ｅの近傍であってこれに起因してガラスの厚みが減じる領域に、厚み補正用凸部５３ｃを設けてある。従って、この例の場合の厚み補正用凸部５３ｃは、平面形状が矩形状のものとなっている。この厚み補正用凸部の高さは、第１の実施の形態と同様な高さとしてある。なお、ここでは、キャスタレーション５１ｅを４個設けた例を示しているが、接続電極５５ｂと接続していない２個は実用していないものである。
【００３８】
この第４の実施形態の圧電振動子１１０の場合、厚み補正用凸部５３ｃを設けたので、ベース１３０とリッド１４０とをガラスで接合する場合であっても、キャスタレーション５１ｅに起因してガラス厚みが減じて接合品質が低下しまうことを、防止できる。
【００３９】
この第４の実施形態の圧電振動子１１０を製造する場合、図３および図４を用いて説明した製法工程において、厚み補正用凸部を形成した手順でリッドウエハに厚み補正用凸部５３ｃを製造することで、この振動子１１０を製造できる。
【００４０】
上述においては、この発明の圧電振動子とその製造方法の実施例を説明したが、この発明は上述の例に限られない。例えば、第１、第２の実施形態ではベース側に厚み補正用凸部を設けた例を示したが、厚み補正用凸部を圧電チップ側に設けても良い。また、第３の実施の形態では、厚み補正用凸部をベース側およびリッド側に設けた例を示したが、圧電チップ側に設けても良い。また、第４の実施形態では、厚み補正用凸部をリッド側に設けた例を示したが、ベース側に設けても良い。また、第４の実施形態ではキャスタレーションをベースの短辺に設ける例を示したが、長辺やコーナに設けた場合も本発明は適用できる。また、各実施形態において示したキャスタレーションの位置や数は、圧電振動子の設計に応じて変更できる。
【符号の説明】
【００４１】
１０:ベースウエハ
１１：穴部
１３：ガラス（ガラスペースト）
１５：ベースウエハの穴部の近傍部分
１７：近傍部分１５以外の部分
２０：第１の実施形態の圧電振動子
３０：圧電チップ
３０ｗ：圧電ウエハ
３１：振動部
３３：枠部
３５：励振電極
３７：配線電極
３９：貫通部
４１：連結部
５０：ベース
５０ａ：凹部
５０ｗ：ベースウエハ
５１ａ，５１ｂ：キャスタレーション
５１ｃ：第２の実施形態のキャスタレーション
５１ｄ：第３の実施形態のキャスタレーション
５１ｅ：第４の実施形態のキャスタレーション
５１ｘ：開口部（キャスタレーションに変化する開口部）
５３：厚み補正用凸部
５３ａ：第２の実施形態の厚み補正用凸部
５３ｂ：第３の実施形態の厚み補正用凸部
５３ｃ：第４の実施形態の厚み補正用凸部
５５：実装用端子
５５ａ、５５ｂ：接続電極
５７：アース用端子
７０：リッド
７０ａ：凹部
７０ｂ：アース用金属膜
８０：ガラス
８１：ダイシングライン
９０：第２の実施形態の圧電振動子
１００：第３の実施形態の圧電振動子
１１０：第４の実施形態の圧電振動子
１２０：枠部を有しない圧電チップ
１３０：ベース
１３０ａ：凹部
１３０ｂ：凹部の周囲の土手部
１４０：リッド
１４０ａ：凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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