(57)【要約】      （修正有）【課題】アクティブマトリックス有機発光ダイオード（ＡＭＯＬＥＤ）の製造に当って、良好な磁気吸着効果及び熱膨張効果を保証できるだけでなく、剛性を向上させ、エキスパンドによる歪みを低減させる複合式金属フレームの提供。【解決手段】第１の材料を採用し、かつ少なくとも第１の開口１１０を有する第１の金属フレーム１０と、第１の材料と異なる第２の材料を採用し、かつ少なくとも第１の開口１１０に少なくとも一部が重なる第２の開口２１０を有し、第１の金属フレーム１０と取外し可能に接合された第２の金属フレーム２０とを備え、第１の材料は第２の材料よりも熱膨張係数が小さく、強度が大きい複合式金属シールドフレーム。【選択図】図３
2016108647.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の材料を採用し、かつ少なくとも第１の開口を有する第１の金属フレームと、
前記第１の材料と異なる第２の材料を採用し、かつ少なくとも前記第１の開口に少なくとも一部が重なる第２の開口を有し、前記第１の金属フレームと取外し可能に接合された第２の金属フレームと
を備え、前記第１の材料は、前記第２の材料よりも熱膨張係数が小さく、強度が大きいことを特徴とする複合式の金属シールドフレーム。
【請求項２】
前記第１の材料はインバー合金または４２０ステンレスであり、前記第２の材料はタングステン、炭化珪素、炭化タングズテンまたはステンレスであることを特徴とする請求項１に記載の複合式の金属シールドフレーム。
【請求項３】
第１の材料を採用する第１の金属フレームと、第２の材料を採用し前記第１の金属フレームと取外し可能に接合された第２の金属フレームとを備える複合式の金属シールドフレームと、
前記複合式の金属シールドフレームに配置されているマスク本体と
を備え、前記第１の材料は、前記第２の材料よりも熱膨張係数が小さく、強度が大きいことを特徴とする金属マスク板。
【請求項４】
前記第１の材料はインバー合金または４２０ステンレスであり、前記第２の材料はタングステン、炭化珪素、炭化タングズテンまたはステンレスであることを特徴とする請求項３に記載の金属マスク板。
【請求項５】
第１の材料を採用し、かつ少なくとも第１の開口を有する第１の金属フレームと、
前記第１の材料と異なる第２の材料を採用し、かつ前記第１の金属フレームと取外し可能に接合され、前記第１の開口の位置に対応する第２の開口を有する第２の金属フレームと
を備えることを特徴とする複合式の金属シールドフレーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＡＭＯＬＥＤパネルの製造の分野に属し、特に、金属マスク板及びその複合式の金属シールドフレームに関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、ＡＭＯＬＥＤ（Ａｃｔｉｖｅ  Ｍａｔｒｉｘ／Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ，アクティブマトリクス有機発光ダイオード）パネルの生産は、殆ど金属シールドと蒸着のプロセスを必要とし、そのうち、金属シールドは大切な役割を果たしている。
【０００３】
ＡＭＯＬＥＤの生産中において、図1に示すように、通常の高精度の金属マスク板（ＦＭＭ，Ｆｉｎｅ  Ｍｅｔａｌ  Ｍａｓｋ）の金属シールドフレームは、いずれも一体成形された金属フレーム９０を採用し、プロセスの熱膨張効果及び磁気吸着効果の要求を考えると、大部分のＦＭＭは、インバー合金（ＩＮＶＡＲ）を金属シールドの主な材料として用いる。
【０００４】
インバー合金は、良好な磁気吸着効果及び非常に低い熱膨張係数を有するが、エキスパンドされた後、自重により金属シールドフレームの歪みを引き起こすことがあるので、金属強度が最適なものではない。また、インバー合金は通常のステンレス材料よりも、価格が高い。
【発明の概要】
【０００５】
本発明は前記の問題に鑑みて、
第１の材料を採用し、かつ少なくとも第１の開口を有する第1の金属フレームと、
前記第１の材料と異なる第２の材料を採用し、かつ少なくとも前記第１の開口に少なくとも一部が重なる第２の開口を有し、前記第１の金属フレームと取外し可能に接合された第２の金属フレームと
を備える複合式の金属シールドフレームを提供する。
【０００６】
本発明にかかる複合式の金属シールドフレームの更なる改善は、前記第１の材料は、前記第２の材料よりも熱膨張係数が小さく、強度が大きいことである。
【０００７】
本発明にかかる複合式の金属シールドフレームの更なる改善は、前記第１の材料はインバー合金または４２０ステンレスであり、前記第２の材料はタングステン、炭化珪素、炭化タングズテンまたはステンレスであることである。
【０００８】
本発明にかかる複合式の金属シールドフレームの更なる改善は、前記第１の金属フレームと、前記第２の金属フレームとは、ほぞ接合またはねじ接合により取外し可能に接続されたことである。
【０００９】
本発明は、
第１の材料を採用する第１の金属フレームと、第２の材料を採用し前記第１の金属フレームと取外し可能に接合された第２の金属フレームとを備える複合式の金属シールドフレームと、
前記複合式の金属シールドフレームに配置されているマスク本体と
を備える金属マスク板をさらに提供する。
【００１０】
本発明にかかる金属マスク板の更なる改善は、前記第１の材料は、前記第２の材料よりも熱膨張係数が小さく、強度が大きいことである。
【００１１】
本発明にかかる金属マスク板の更なる改善は、前記第１の材料はインバー合金または４２０ステンレスであり、前記第２の材料はタングステン、炭化珪素、炭化タングズテンまたはステンレスであることである。
【００１２】
本発明にかかる金属マスク板の更なる改善は、前記第１の金属フレームと、前記第２の金属フレームとは、ほぞ接合またはねじ接合により取外し可能に接続されたことである。
【００１３】
本発明にかかる金属マスク板の更なる改善は、前記マスク本体と、前記複合式の金属シールドフレームとは、はんだ接合により固定されたことである。
【００１４】
本発明は、
第１の材料を採用し、かつ少なくとも第１の開口を有する第1の金属フレームと、
前記第１の材料と異なる第２の材料を採用し、かつ前記第１の金属フレームと取外し可能に接合され、前記第１の開口の位置に対応する第２の開口を有する第２の金属フレームと
を備える複合式の金属シールドフレームをさらに提供する。
【００１５】
蒸着時に、金属マスク板の金属シールドフレーム全体のロスの程度が異なるので、本発明は、金属シールドフレームを、第１の金属フレームと第２の金属フレームとが分割式構造であるように設置することにより、第１の金属フレームと第２の金属フレームの両方のうちロスの程度が比較的に大きな一方を交換でき、耐用年数に達するとき金属シールドフレーム全体を廃棄しなければならないことによる浪費を改善できる。
【００１６】
さらに、第１の金属フレームと第２の金属フレームとの分割式構造により、第１の金属フレーム（例えば、形態、材質）を変更するだけで、異なる製品の線路のレイアウト（ｌａｙｏｕｔ）の要求を満たすことができる。このように、第２の金属フレームは、製品の変更に制限されることなく、繰り返して用いられることができる。金属シールドフレームの製品全体に対して異なる設計を行うことを回避し、コストを低減させる。
【００１７】
また、本発明にかかる複合式の金属シールドフレームにおいて、第１の金属フレームは、良好な磁気吸着効果及び熱膨張効果を保証できるように、熱膨張係数の比較的に低いインバー合金または４２０ステンレス材料を採用する。それとともに、第２の金属フレームは、金属シールドフレームの剛性を向上させ、エキスパンドによる歪みを低減させるように、強度の高いタングステン、炭化珪素、炭化タングズテンまたはステンレスを採用する。
【００１８】
なお、金属シールドフレームを再加工するときに、表面研磨を行う必要があるので、金属フレームの耐用年数を損なうことがある。本発明は、金属マスク板の複合式の金属シールドフレームを、第１の金属フレームと第２の金属フレームとが分割式構造であるように設置することによって、同様に、耐用年数に達するとき金属シールドフレームの全体を廃棄しなければならないことによる浪費を改善できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】従来の金属シールドフレームの構造模式図である。
【図２】本発明にかかる複合式の金属シールドフレームの構造模式図である。
【図３】本発明にかかる複合式の金属シールドフレームの分解模式図である。
【図４】本発明にかかる複合式の金属シールドフレームを採用する金属マスク板の蒸着時の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明の目的、請求項及び利点をさらに明らかにするために、以下、図面及び実施例を結合し、本発明をさらに詳しく説明する。ここで述べる具体的な実施例は本発明を解釈するためのものに過ぎず、本発明を限定するためのものではないことを理解すべきである。  本発明にかかる複合式の金属シールドフレームは、
第１の材料を採用し、かつ少なくとも第１の開口を有する第１の金属フレームと、
前記第１の材料と異なる第２の材料を採用し、かつ少なくとも前記第１の開口に少なくとも一部が重なる第２の開口を有し、前記第１の金属フレームと取外し可能に接合された第２の金属フレームとを備える。
【００２１】
具体的に、図２と図３に示すように、本発明の一つの好ましい実施例において、本発明にかかる複合式の金属シールドフレーム１は、
第１の材料を採用し、中部に第１の開口１１０が形成されている第１の金属フレーム１０と、
中部に前記第１の金属フレーム１０の第１の開口１１０に対応する第２の開口２１０が形成されており、第２の材料を採用し、前記第１の金属フレーム１０と取外し可能に接合された第２の金属フレーム２０とを備える。
【００２２】
特に、前記第１の材料は、前記第２の材料よりも熱膨張係数が小さく、強度が大きい。好ましくは、前記第１の材料はインバー合金または４２０ステンレスであり、前記第２の材料はタングステン、炭化珪素、炭化タングズテンまたはステンレスである。前記第１の金属フレーム１０の第１の材料及び前記第２の金属フレーム２０の第２の材料に対する前記選択は好ましい例示的な説明に過ぎないが、これに制限されるものではない。他の実施例中において、前記第１の材料と前記第２の材料は、同じ材料を選択してもよい。
【００２３】
図２に示すように、前記第１の金属フレーム１０と前記第２の金属フレーム２０とが接合された後、対応する前記第１の開口１１０と前記第２の開口２１０には、金属マスク板をエキスパンドするためのエキスパンド開口３０が形成されている。好ましくは、前記第１の金属フレームと、前記第２の金属フレームとは、ほぞ接合またはねじ接合により取外し可能に接続された。
【００２４】
本発明にかかる複合式の金属シールドフレーム１は、分割型の構造を採用する。第１の金属フレームは、良好な磁気吸着効果及び熱膨張効果を保証できるように、熱膨張係数の比較的に低いインバー合金または４２０ステンレス材料を採用する。それとともに、第２の金属フレームは、金属シールドフレームの剛性を向上させ、エキスパンドによる歪みを低減させるように、強度の高いタングステン、炭化珪素、炭化タングズテンまたはステンレスを採用する。
【００２５】
本発明は、前記複合式の金属シールドフレーム１と、前記複合式の金属シールドフレーム１に配置されているマスク本体とを備え、前記複合式の金属シールドフレーム１で製作された金属マスク板をさらに提供する。好ましくは、前記マスク本体は、前記複合式の金属シールドフレーム１にはんだ接合により固定された。
【００２６】
図４に示すように、本発明にかかる金属マスク板によって蒸着を行うときに、金属マスク板の複合式の金属シールドフレーム１の第１の金属フレーム１０は、蒸発源４０に近く、複合式の金属シールドフレーム１の第２の金属フレーム２０は、基板５０に近い。蒸着時に、蒸発源４０に近い第１の金属フレーム１０はろすの程度が大きい。第１の金属フレーム１０のロスが一定の程度に達する際に、それを交換することができ、耐用年数に達するとき金属シールドフレーム全体を廃棄しなければならないことによる浪費を改善できる。
【００２７】
また、複合式の金属シールドフレーム１は分割型の構造を採用するので、異なる製品の線路のレイアウトの要求を満たすために、第１の金属フレーム１０の材料を変更すればよい。そうすると、第２の金属フレーム２０は、製品の変更に制限されることなく、繰り返して用いられることができる。製品毎に異なる設計を行うことを回避し、コストを低減させる。
【００２８】
以上に述べたのは、本発明の好ましい実施例に過ぎず、本発明を形式上で何ら制限もしない。本発明は、好ましい実施例により以上のように開示されたが、それに限定されるものではない。当業者は、本発明の請求の範囲を逸脱しない範囲において、前記開示された技術内容により、若干変更または修飾し同等の変更である等価実施例にすることができる。本発明の技術により実質的に以上の実施例に加えるいずれの簡単な修正、同等の変更及び修飾は、本発明の請求項を逸脱しない内容である限り、本発明の特許請求の範囲内に属する。
【符号の説明】
【００２９】
１    複合式の金属シールドフレーム
１０    第１の金属フレーム
２０    第２の金属フレーム
３０    エキスパンド開口
４０    蒸発源
５０    基板
９０    金属フレーム
１１０    第１の開口
２１０    第２の開口
【図１】
2016108647.tif 000003
【図２】
2016108647.tif 000004
【図３】
2016108647.tif 000005
【図４】
2016108647.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】平成28年3月3日(2016.3.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスク本体が配置される複合式の金属シールドフレームであって、
第１の材料を採用し、かつ少なくとも第１の開口を有する第１の金属フレームと、
前記第１の材料と異なる第２の材料を採用し、かつ少なくとも前記第１の開口に少なくとも一部が重なる第２の開口を有し、前記第１の金属フレームと取外し可能に接合された第２の金属フレームと
を備え、前記第１の材料は、前記第２の材料よりも熱膨張係数が小さく、強度が大きいことを特徴とする複合式の金属シールドフレーム。
【請求項２】
前記第１の材料はインバー合金または４２０ステンレスであり、前記第２の材料はタングステン、炭化珪素、炭化タングズテンまたはステンレスであることを特徴とする請求項１に記載の複合式の金属シールドフレーム。
【請求項３】
第１の材料を採用する第１の金属フレームと、第２の材料を採用し前記第１の金属フレームと取外し可能に接合された第２の金属フレームとを備える複合式の金属シールドフレームと、
前記複合式の金属シールドフレームに配置されているマスク本体と
を備え、前記第１の材料は、前記第２の材料よりも熱膨張係数が小さく、強度が大きいことを特徴とする金属マスク板。
【請求項４】
前記第１の材料はインバー合金または４２０ステンレスであり、前記第２の材料はタングステン、炭化珪素、炭化タングズテンまたはステンレスであることを特徴とする請求項３に記載の金属マスク板。
【請求項５】
マスク本体が配置される複合式の金属シールドフレームであって、
第１の材料を採用し、かつ少なくとも第１の開口を有する第１の金属フレームと、
前記第１の材料と異なる第２の材料を採用し、かつ前記第１の金属フレームと取外し可能に接合され、前記第１の開口の位置に対応する第２の開口を有する第２の金属フレームと
を備えることを特徴とする複合式の金属シールドフレーム。