(57)【要約】【課題】レンズアレイ基板と素子基板とを貼り合わせた際に位置ずれが発生しても、画像の輝度むらを抑制することのできる電気光学装置、電子機器、およびレンズアレイ基板を提供すること。【解決手段】電気光学装置１００では、複数の第１レンズ３１０および複数の第２レンズ３２０が複数の画素電極９ａに対して１対１の関係をもって対向している。第１レンズ３１０が配列されている領域の中心では、画素電極９ａの中心と第２レンズ３２０の中心とが重なっているのに対して、端部では、画素電極９ａの中心に対して第１レンズ３１０の中心および第２レンズ３２０の中心が外側にずれている。このため、電気光学装置１００に外側から斜めに入射する光が、電気光学装置１００に内側から斜めに入射する光より強度が高い場合でも、光は、画素電極９ａの略中央に集光する。【選択図】図４
2016206326.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１方向および前記第１方向に対して交差する第２方向に沿って配列された複数の画素電極が一方面側に設けられた素子基板と、
前記複数の画素電極の各々に対してそれぞれ対向するように配列された複数の第１レンズを備えた第１レンズアレイを含み、前記素子基板の前記一方面側に対向配置されたレンズアレイ基板と、
前記素子基板と前記レンズアレイ基板との間に設けられた電気光学層と、
前記複数の画素電極の各々に対してそれぞれ対向するように配列された複数の第２レンズを備えた第２レンズアレイと、
を有し、
前記複数の第１レンズのうち、前記画素電極の配列された領域の前記第１方向の端部である第１端部の側に位置し、かつ、互いに前記第１方向に隣り合う２つの第１レンズの中心間の距離である第１中心間距離は、前記第１端部よりも前記画素電極の配列された領域の中央側に位置し、かつ、互いに前記第１方向に隣り合う２つの第１レンズの中心間の距離よりも長いことを特徴とする電気光学装置。
【請求項２】
請求項１に記載の電気光学装置において、
前記複数の第１レンズのうち、前記画素電極の配列された領域の前記第２方向の端部である第２端部の側に位置し、かつ、互いに前記第２方向に隣り合う２つの第１レンズの中心間の距離である第２中心間距離は、前記第２端部よりも前記画素電極の配列された領域の中央側に位置し、かつ、互いに前記第２方向に隣り合う２つの第１レンズの中心間の距離よりも長いことを特徴とする電気光学装置。
【請求項３】
請求項２に記載の電気光学装置において、
前記複数の第１レンズのうち、前記第１端部と前記画素電極の配列された領域の中央との間にある第１レンズは、前記第１方向に隣り合う２つの第１レンズの中心間の距離が、前記第１端部から前記画素電極の配列された領域の中央側に向かうに伴って徐々に短くなっており、
前記複数の第１レンズのうち、前記第２端部と前記画素電極の配列された領域の中央との間にある第１レンズは、前記第２方向に隣り合う２つの第１レンズの中心間の距離が、前記第２端部から前記画素電極の配列された領域の中央側に向かうに伴って徐々に短くなっていることを特徴とする電気光学装置。
【請求項４】
請求項２に記載の電気光学装置において、
前記複数の第１レンズのうち、前記第１端部と前記画素電極の配列された領域の中央との間にある第１レンズは、前記第１方向に隣り合う２つの第１レンズの中心間の距離が、前記第１端部から前記画素電極の配列された領域の中央側に向かうに伴って複数のレンズを単位として徐々に短くなっており、
前記複数の第１レンズのうち、前記第２端部と前記画素電極の配列された領域の中央との間にある第１レンズは、前記第２方向に隣り合う２つの第１レンズの中心間の距離が、前記第２端部から前記画素電極の配列された領域の中央側に向かうに伴って複数のレンズを単位として徐々に短くなっていることを特徴とする電気光学装置。
【請求項５】
請求項２乃至４の何れか一項に記載の電気光学装置において、
前記レンズアレイ基板は、前記第１レンズアレイと前記電気光学層との間に位置するように前記第２レンズアレイを含み、
前記複数の第２レンズのうち、前記画素電極の配列された領域の前記第１方向の端部である第１端部の側に位置し、かつ、互いに前記第１方向に隣り合う２つの第２レンズの中心間の距離である第３中心間距離は、前記第１端部よりも前記画素電極の配列された領域の中央側に位置し、かつ、互いに前記第１方向に隣り合う２つの第２レンズの中心間の距離よりも長く、
前記複数の第１レンズのうち、前記第１中心間距離である互いに前記第１方向に隣り合う２つの第１レンズの各々は、それぞれ前記複数の第２レンズのうち、前記第３中心間距離である互いに前記第１方向に隣り合う２つの第２レンズと重なり、
前記第３中心間距離は、前記第１中心間距離以下の長さであることを特徴とする電気光学装置。
【請求項６】
請求項５に記載の電気光学装置において、
前記複数の第２レンズのうち、前記画素電極の配列された領域の前記第２方向の端部である第２端部の側に位置し、かつ、互いに前記第２方向に隣り合う２つの第２レンズの中心間の距離である第４中心間距離は、前記第２端部よりも前記画素電極の配列された領域の中央側に位置し、かつ、互いに前記第２方向に隣り合う２つの第２レンズの中心間の距離よりも長く、
前記複数の第１レンズのうち、前記第２中心間距離である互いに前記第２方向に隣り合う２つの第１レンズの各々は、それぞれ前記複数の第２レンズのうち、前記第４中心間距離である互いに前記第２方向に隣り合う２つの第２レンズと重なり、
前記第４中心間距離は、前記第２中心間距離以下の長さであることを特徴とする電気光学装置。
【請求項７】
請求項６に記載の電気光学装置において、
前記複数の第２レンズのうち、前記第１端部と前記画素電極の配列された領域の中央との間にある第２レンズは、前記第１方向に隣り合う２つの第２レンズの中心間の距離が、前記第１端部から前記画素電極の配列された領域の中央側に向かうに伴って徐々に短くなっており、
前記複数の第２レンズのうち、前記第２端部と前記画素電極の配列された領域の中央との間にある第２レンズは、前記第２方向に隣り合う２つの第２レンズの中心間の距離が、前記第２端部から前記画素電極の配列された領域の中央側に向かうに伴って徐々に短くなっていることを特徴とする電気光学装置。
【請求項８】
請求項６に記載の電気光学装置において、
前記複数の第２レンズのうち、前記第１端部と前記画素電極の配列された領域の中央との間にある第２レンズは、前記第１方向に隣り合う２つの第２レンズの中心間の距離が、前記第１端部から前記画素電極の配列された領域の中央側に向かうに伴って複数のレンズを単位として徐々に短くなっており、
前記複数の第２レンズのうち、前記第２端部と前記画素電極の配列された領域の中央との間にある第２レンズは、前記第２方向に隣り合う２つの第２レンズの中心間の距離が、前記第２端部から前記画素電極の配列された領域の中央側に向かうに伴って複数のレンズを単位として徐々に短くなっていることを特徴とする電気光学装置。
【請求項９】
請求項５乃至８の何れか一項に記載の電気光学装置において、
前記複数の第１レンズのうち、１つの第１レンズの中心と、前記複数の第２レンズのうち前記１つの第１レンズと重なる第２レンズの中心とを結ぶ線上に、前記複数の画素電極のうち前記１つの第１レンズと重なる画素電極の中心が位置していることを特徴とする電気光学装置。
【請求項１０】
請求項１乃至４の何れか一項に記載の電気光学装置において、
前記素子基板は、前記第２レンズアレイを含んでいることを特徴とする電気光学装置。
【請求項１１】
請求項５乃至９の何れか一項に記載の電気光学装置において、
前記素子基板は、前記複数の画素電極の各々に対してそれぞれ対向するように配列された複数の第３レンズを備えた第３レンズアレイを含んでいることを特徴とする電気光学装置。
【請求項１２】
請求項１乃至１１の何れか一項に記載の電気光学装置を備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項１３】
請求項１２に記載の電子機器において、
前記電気光学装置に供給される光を出射する光源部と、
前記電気光学装置によって変調された光を投射する投射光学系と、
を有することを特徴とする電子機器。
【請求項１４】
第１方向および前記第１方向に対して交差する第２方向に沿って配列された複数の第１レンズを備えた第１レンズアレイと、
前記複数の第１レンズの各々に対してそれぞれ対向するように配列された複数の第２レンズを備えた第２レンズアレイと、
を有し、
前記複数の第１レンズのうち、前記第１レンズの配列された領域の前記第１方向の端部である第１端部の側に位置し、かつ、互いに前記第１方向に隣り合う２つの第１レンズの中心間の距離である第１中心間距離は、前記第１端部よりも前記画素電極の配列された領域の中央側に位置し、かつ、互いに前記第１方向に隣り合う２つの第１レンズの中心間の距離よりも長いことを特徴とするレンズアレイ基板。
【請求項１５】
請求項１４に記載のレンズアレイ基板において、
前記複数の第１レンズのうち、前記第１レンズの配列された領域の前記第２方向の端部である第２端部の側に位置し、かつ、互いに前記第２方向に隣り合う２つの第１レンズの中心間の距離である第２中心間距離は、前記第２端部よりも前記画素電極の配列された領域の中央側に位置し、かつ、互いに前記第２方向に隣り合う２つの第１レンズの中心間の距離よりも長いことを特徴とするレンズアレイ基板。
【請求項１６】
請求項１５に記載のレンズアレイ基板において、
前記複数の第２レンズのうち、前記第１レンズの配列された領域の前記第１方向の端部である第１端部の側に位置し、かつ、互いに前記第１方向に隣り合う２つの第２レンズの中心間の距離である第３中心間距離は、前記第１端部よりも前記画素電極の配列された領域の中央側に位置し、かつ、互いに前記第１方向に隣り合う２つの第２レンズの中心間の距離よりも長く、
前記複数の第１レンズのうち、前記第１中心間距離である互いに前記第１方向に隣り合う２つの第１レンズの各々は、それぞれ前記複数の第２レンズのうち、前記第３中心間距離である互いに前記第１方向に隣り合う２つの第２レンズの少なくとも一方と重なり、
前記第３中心間距離は、前記第１中心間距離以下の長さであることを特徴とするレンズアレイ基板。
【請求項１７】
請求項１６に記載のレンズアレイ基板において、
前記複数の第２レンズのうち、前記第１レンズの配列された領域の前記第２方向の端部である第２端部の側に位置し、かつ、互いに前記第２方向に隣り合う２つの第２レンズの中心間の距離である第４中心間距離は、前記第２端部よりも前記画素電極の配列された領域の中央側に位置し、かつ、互いに前記第２方向に隣り合う２つの第２レンズの中心間の距離よりも長く、
前記複数の第１レンズのうち、前記第２中心間距離である互いに前記第２方向に隣り合う２つの第１レンズの各々は、それぞれ前記複数の第２レンズのうち、前記第４中心間距離である互いに前記第２方向に隣り合う２つの第２レンズの少なくとも一方と重なり、
前記第４中心間距離は、前記第２中心間距離以下の長さであることを特徴とするレンズアレイ基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のレンズが形成された電気光学装置、電気光学装置を備えた電子機器、およびレンズアレイ基板に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プロジェクターのライトバルブ等として用いられる電気光学装置（液晶装置）では、表示領域に複数の画素がマトリクス状に配置されている。かかる画素では、素子基板において配線等によって囲まれた透光部分（画素開口領域）に到達した光のみが表示に寄与する。このため、光の進行方向にマイクロレンズを配置し、画素開口領域に光を収束させるとともに、光を平行光に近づける構成が提案されている（特許文献１、２参照）。また、特許文献２には、１つの基板に対して、光の進行方向に複数段のマイクロレンズを設けた構成が提案されている。
【０００３】
一方、レンズアレイ基板を製造する際、基板の中心より端部においてマイクロレンズのピッチを狭めておき、電気光学装置の組み立て工程において加えられた熱によってレンズアレイ基板が膨張したときにマイクロレンズを画素電極に適正に対向させる技術が提案されている（特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−６３８８８号公報
【特許文献２】特開２０１１−２２３１１号公報
【特許文献３】特開２００４−６１６３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１、２に記載した電気光学装置を投射型表示装置に搭載した際、図１４（ａ）に示すように、光源から出射された光は、偏光変換素子１６４やコンデンサーレンズ１６５等を経由して電気光学装置１００に照射される。その際、電気光学装置１００に外側から斜めに入射する光は、電気光学装置１００に内側から斜めに入射する光より強度が高い。その場合でも、投射光学系１１８を介してスクリーン１１１等に投射される光では、外側から斜めに入射した光と内側から斜めに入射した光とが合成されるので、スクリーン１１１等に投射された画像には輝度むらが発生しにくい。
【０００６】
しかしながら、図１４（ｂ）に示すように、レンズアレイ基板３０（対向基板２０）に対して素子基板１０が一方側にずれた状態で貼り合わされると、電気光学装置１００の一方側に向けて外側から斜めに入射した光が電気光学装置１００から出射されにくくなる。その結果、スクリーン１１１等に投射された画像には、電気光学装置１００の一方側に対応する部分の輝度が低下する。かかる問題は、特許文献３に記載の技術を用いても解消することが困難である。
【０００７】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、レンズアレイ基板と素子基板とを貼り合わせた際に位置ずれが発生しても、画像の輝度むらを抑制することのできる電気光学装置、電気光学装置を備えた電子機器、およびレンズアレイ基板を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係る電気光学装置の一態様は、第１方向および前記第１方向に対して交差する第２方向に沿って配列された複数の画素電極が一方面側に設けられた素子基板と、前記複数の画素電極の各々に対してそれぞれ対向するように配列された複数の第１レンズを備えた第１レンズアレイを含み、前記素子基板の前記一方面側に対向配置されたレンズアレイ基板と、前記素子基板と前記レンズアレイ基板との間に設けられた電気光学層と、前記複数の画素電極の各々に対してそれぞれ対向するように配列された複数の第２レンズを備えた第２レンズアレイと、を有し、前記複数の第１レンズのうち、前記画素電極の配列された領域の前記第１方向の端部である第１端部の側に位置し、かつ、互いに前記第１方向に隣り合う２つの第１レンズの中心間の距離である第１中心間距離は、前記第１端部よりも前記画素電極の配列された領域の中央側に位置し、かつ、互いに前記第１方向に隣り合う２つの第１レンズの中心間の距離よりも長いことを特徴とする。
【０００９】
本発明では、複数の第１レンズおよび複数の第２レンズは、複数の画素電極に対して１対１の関係をもって対向しているが、画素電極が配列されている領域の第１方向の端部側では、画素電極の中心に対して第１レンズの中心が第１方向において外側にずれる。このため、光が電気光学装置に照射された際、電気光学装置に外側から斜めに入射する光が、電気光学装置に内側から斜めに入射する光より強度が高い場合でも、光は、画素電極の略中央に集光することになる。従って、電気光学装置を製造する際、レンズアレイ基板に対して素子基板が第１方向にずれた状態で貼り合わされたときでも、画像の輝度が部分的に低下するという事態の発生を抑制することができる。
【００１０】
本発明において、前記複数の第１レンズのうち、前記画素電極の配列された領域の前記第２方向の端部である第２端部の側に位置し、かつ、互いに前記第２方向に隣り合う２つの第１レンズの中心間の距離である第２中心間距離は、前記第２端部よりも前記画素電極の配列された領域の中央側に位置し、かつ、互いに前記第２方向に隣り合う２つの第１レンズの中心間の距離よりも長いことが好ましい。かかる構成によれば、画素電極が配列されている領域の第２方向の端部側では、画素電極の中心に対して第２レンズの中心が第２方向において外側にずれる。このため、光が電気光学装置に照射された際、電気光学装置に外側から斜めに入射する光が、電気光学装置に内側から斜めに入射する光より強度が高い場合でも、光は、画素電極の略中央に集光することになる。従って、電気光学装置を製造する際、レンズアレイ基板に対して素子基板が第２方向にずれた状態で貼り合わされたときでも、画像の輝度が部分的に低下するという事態の発生を抑制することができる。
【００１１】
本発明において、前記複数の第１レンズのうち、前記第１端部と前記画素電極の配列された領域の中央との間にある第１レンズは、前記第１方向に隣り合う２つの第１レンズの中心間の距離が、前記第１端部から前記画素電極の配列された領域の中央側に向かうに伴って徐々に短くなっており、前記複数の第１レンズのうち、前記第２端部と前記画素電極の配列された領域の中央との間にある第１レンズは、前記第２方向に隣り合う２つの第１レンズの中心間の距離が、前記第２端部から前記画素電極の配列された領域の中央側に向かうに伴って徐々に短くなっている態様を採用することができる。かかる構成によれば、第１レンズの第１方向における位置を第１レンズ毎に適正化することができる。
【００１２】
本発明において、前記複数の第１レンズのうち、前記第１端部と前記画素電極の配列された領域の中央との間にある第１レンズは、前記第１方向に隣り合う２つの第１レンズの中心間の距離が、前記第１端部から前記画素電極の配列された領域の中央側に向かうに伴って複数のレンズを単位として徐々に短くなっており、前記複数の第１レンズのうち、前記第２端部と前記画素電極の配列された領域の中央との間にある第１レンズは、前記第２方向に隣り合う２つの第１レンズの中心間の距離が、前記第２端部から前記画素電極の配列された領域の中央側に向かうに伴って複数のレンズを単位として徐々に短くなっている態様を採用してもよい。かかる構成によれば、第１レンズの第１方向における位置を複数の第１レンズを単位として適正化することができる。
【００１３】
本発明において、前記レンズアレイ基板は、前記第１レンズアレイと前記電気光学層との間に位置するように前記第２レンズアレイを含み、前記複数の第２レンズのうち、前記画素電極の配列された領域の前記第１方向の端部である第１端部の側に位置し、かつ、互いに前記第１方向に隣り合う２つの第２レンズの中心間の距離である第３中心間距離は、前記第１端部よりも前記画素電極の配列された領域の中央側に位置し、かつ、互いに前記第１方向に隣り合う２つの第２レンズの中心間の距離よりも長く、前記複数の第１レンズのうち、前記第１中心間距離である互いに前記第１方向に隣り合う２つの第１レンズの各々は、それぞれ前記複数の第２レンズのうち、前記第３中心間距離である互いに前記第１方向に隣り合う２つの第２レンズと重なり、前記第３中心間距離は、前記第１中心間距離以下の長さであることが好ましい。かかる構成によれば、画素電極が配列されている領域の第１方向の端部側では、画素電極の中心に対して第２レンズの中心が第１方向において外側にずれる。このため、光が電気光学装置に照射された際、電気光学装置に外側から斜めに入射する光が、電気光学装置に内側から斜めに入射する光より強度が高い場合でも、光は、画素電極の略中央に集光することになる。従って、電気光学装置を製造する際、レンズアレイ基板に対して素子基板が第１方向にずれた状態で貼り合わされたときでも、画像の輝度が部分的に低下するという事態の発生を抑制することができる。
【００１４】
本発明において、前記複数の第２レンズのうち、前記画素電極の配列された領域の前記第２方向の端部である第２端部の側に位置し、かつ、互いに前記第２方向に隣り合う２つの第２レンズの中心間の距離である第４中心間距離は、前記第２端部よりも前記画素電極の配列された領域の中央側に位置し、かつ、互いに前記第２方向に隣り合う２つの第２レンズの中心間の距離よりも長く、前記複数の第１レンズのうち、前記第２中心間距離である互いに前記第２方向に隣り合う２つの第１レンズの各々は、それぞれ前記複数の第２レンズのうち、前記第４中心間距離である互いに前記第２方向に隣り合う２つの第２レンズと重なり、前記第４中心間距離は、前記第２中心間距離以下の長さであることが好ましい。かかる構成によれば、画素電極が配列されている領域の第２方向の端部側では、画素電極の中心に対して第２レンズの中心が第２方向において外側にずれる。このため、光が電気光学装置に照射された際、電気光学装置に外側から斜めに入射する光が、電気光学装置に内側から斜めに入射する光より強度が高い場合でも、光は、画素電極の略中央に集光することになる。従って、電気光学装置を製造する際、レンズアレイ基板に対して素子基板が第２方向にずれた状態で貼り合わされたときでも、画像の輝度が部分的に低下するという事態の発生を抑制することができる。
【００１５】
本発明において、前記複数の第２レンズのうち、前記第１端部と前記画素電極の配列された領域の中央との間にある第２レンズは、前記第１方向に隣り合う２つの第２レンズの中心間の距離が、前記第１端部から前記画素電極の配列された領域の中央側に向かうに伴って徐々に短くなっており、前記複数の第２レンズのうち、前記第２端部と前記画素電極の配列された領域の中央との間にある第２レンズは、前記第２方向に隣り合う２つの第２レンズの中心間の距離が、前記第２端部から前記画素電極の配列された領域の中央側に向かうに伴って徐々に短くなっている態様を採用することができる。かかる構成によれば、第２レンズの第１方向における位置を第２レンズ毎に適正化することができる。
【００１６】
本発明において、前記複数の第２レンズのうち、前記第１端部と前記画素電極の配列された領域の中央との間にある第２レンズは、前記第１方向に隣り合う２つの第２レンズの中心間の距離が、前記第１端部から前記画素電極の配列された領域の中央側に向かうに伴って複数のレンズを単位として徐々に短くなっており、前記複数の第２レンズのうち、前記第２端部と前記画素電極の配列された領域の中央との間にある第２レンズは、前記第２方向に隣り合う２つの第２レンズの中心間の距離が、前記第２端部から前記画素電極の配列された領域の中央側に向かうに伴って複数のレンズを単位として徐々に短くなっている態様を採用してもよい。かかる構成によれば、第２レンズの第１方向における位置を複数の第２レンズを単位として適正化することができる。
【００１７】
本発明において、前記複数の第１レンズのうち、１つの第１レンズの中心と、前記複数の第２レンズのうち前記１つの第１レンズと重なる第２レンズの中心とを結ぶ線上に、前記複数の画素電極のうち前記１つの第１レンズと重なる画素電極の中心が位置している態様を採用してもよい。
【００１８】
本発明において、前記素子基板は、前記第２レンズアレイを含んでいる態様を採用してもよい。
【００１９】
本発明において、前記素子基板は、前記複数の画素電極の各々に対してそれぞれ対向するように配列された複数の第３レンズを備えた第３レンズアレイを含んでいる態様を採用してもよい。
【００２０】
かかる電気光学装置は、各種電子機器に用いることができる。例えば、電気光学装置は、投射型表示装置のライトバルブとして用いられる。本発明に係る電子機器が投射型表示装置である場合、投射型表示装置には、前記電気光学装置に供給される光を出射する光源部と、前記電気光学装置によって変調された光を投射する投射光学系と、が設けられる。
【００２１】
本発明に係るレンズアレイ基板の一態様は、第１方向および前記第１方向に対して交差する第２方向に沿って配列された複数の第１レンズを備えた第１レンズアレイと、前記複数の第１レンズの各々に対してそれぞれ対向するように配列された複数の第２レンズを備えた第２レンズアレイと、を有し、前記複数の第１レンズのうち、前記第１レンズの配列された領域の前記第１方向の端部である第１端部の側に位置し、かつ、互いに前記第１方向に隣り合う２つの第１レンズの中心間の距離である第１中心間距離は、前記第１端部よりも前記画素電極の配列された領域の中央側に位置し、かつ、互いに前記第１方向に隣り合う２つの第１レンズの中心間の距離よりも長いことを特徴とする。
【００２２】
本発明に係るレンズアレイ基板において、前記複数の第１レンズのうち、前記第１レンズの配列された領域の前記第２方向の端部である第２端部の側に位置し、かつ、互いに前記第２方向に隣り合う２つの第１レンズの中心間の距離である第２中心間距離は、前記第２端部よりも前記画素電極の配列された領域の中央側に位置し、かつ、互いに前記第２方向に隣り合う２つの第１レンズの中心間の距離よりも長いことが好ましい。
【００２３】
本発明に係るレンズアレイ基板において、前記複数の第２レンズのうち、前記第１レンズの配列された領域の前記第１方向の端部である第１端部の側に位置し、かつ、互いに前記第１方向に隣り合う２つの第２レンズの中心間の距離である第３中心間距離は、前記第１端部よりも前記画素電極の配列された領域の中央側に位置し、かつ、互いに前記第１方向に隣り合う２つの第２レンズの中心間の距離よりも長く、前記複数の第１レンズのうち、前記第１中心間距離である互いに前記第１方向に隣り合う２つの第１レンズの各々は、それぞれ前記複数の第２レンズのうち、前記第３中心間距離である互いに前記第１方向に隣り合う２つの第２レンズの少なくとも一方と重なり、前記第３中心間距離は、前記第１中心間距離以下の長さであることが好ましい。
【００２４】
本発明に係るレンズアレイ基板において、前記複数の第２レンズのうち、前記第１レンズの配列された領域の前記第２方向の端部である第２端部の側に位置し、かつ、互いに前記第２方向に隣り合う２つの第２レンズの中心間の距離である第４中心間距離は、前記第２端部よりも前記画素電極の配列された領域の中央側に位置し、かつ、互いに前記第２方向に隣り合う２つの第２レンズの中心間の距離よりも長く、前記複数の第１レンズのうち、前記第２中心間距離である互いに前記第２方向に隣り合う２つの第１レンズの各々は、それぞれ前記複数の第２レンズのうち、前記第４中心間距離である互いに前記第２方向に隣り合う２つの第２レンズの少なくとも一方と重なり、前記第４中心間距離は、前記第２中心間距離以下の長さであることが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明を適用した電気光学装置を用いた投射型表示装置（電子機器）の一態様の概略構成図である。
【図２】図１に示す投射型表示装置における電気光学装置に対する照明光の入射角度特性の一例を示す説明図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係る電気光学装置の一態様の説明図である。
【図４】図３に示す電気光学装置におけるマイクロレンズ等の構成例を示す説明図である。
【図５】図３（ｂ）に示す電気光学装置におけるマイクロレンズと遮光層との平面的な位置関係の一例を示す説明図である。
【図６】本発明の実施の形態１に係る電気光学装置におけるマイクロレンズのスケーリングの一態様を示す説明図である。
【図７】図６に示すスケーリングによって、画素電極の中心に対して第１レンズの中心および第２レンズの中心をシフトさせた状態を示す説明図である。
【図８】図６に示すスケーリングの際にマイクロレンズのシフト量を設定する方法を示す説明図である。
【図９】本発明の実施の形態１に係る電気光学装置におけるマイクロレンズのスケーリングのための領域分割の説明図である。
【図１０】本発明の実施の形態２に係る電気光学装置の断面構成を模式的に示す説明図である。
【図１１】本発明の実施の形態３に係る電気光学装置の断面構成を模式的に示す説明図である。
【図１２】本発明の実施の形態４に係る電気光学装置の断面構成を模式的に示す説明図である。
【図１３】本発明の実施の形態５に係る電気光学装置の断面構成を模式的に示す説明図である。
【図１４】レンズアレイ基板と素子基板との位置ずれの影響を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明で参照する図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならしめてある。
【００２７】
［実施の形態１］
（投射型表示装置の構成）
図１は、本発明を適用した電気光学装置１００を用いた投射型表示装置１１０（電子機器）の一態様の概略構成図である。なお、以下の説明では、互いに異なる波長域の光が供給される複数の電気光学装置１００が用いられているが、いずれの電気光学装置１００にも、本発明を適用した電気光学装置１００が用いられている。
【００２８】
図１に示す投射型表示装置１１０は、透過型の電気光学装置１００を用いた液晶プロジェクターであり、スクリーン１１１等からなる被投射部材に光を照射し、画像を表示する。投射型表示装置１１０は、装置光軸Ｌｐに沿って、照明装置１６０と、照明装置１６０から出射された光が供給される複数の電気光学装置１００（液晶ライトバルブ１１５〜１１７）と、複数の電気光学装置１００から出射された光を合成して出射するクロスダイクロイックプリズム１１９（色合成光学系）と、クロスダイクロイックプリズム１１９により合成された光を投射する投射光学系１１８とを有している。また、投射型表示装置１１０は、ダイクロイックミラー１１３、１１４、およびリレー系１２０を備えている。投射型表示装置１１０において、電気光学装置１００およびクロスダイクロイックプリズム１１９は、光学ユニット２００を構成している。
【００２９】
照明装置１６０では、装置光軸Ｌに沿って、光源部１６１、フライアイレンズ等のレンズアレイからなる第１インテグレーターレンズ１６２、フライアイレンズ等のレンズアレイからなる第２インテグレーターレンズ１６３、偏光変換素子１６４、およびコンデンサーレンズ１６５が順に配置されている。光源部１６１は、赤色光Ｒ、緑色光Ｇおよび青色光Ｂを含む白色光を出射する光源１６８と、リフレクター１６９とを備えている。光源１６８は超高圧水銀ランプ等により構成されており、リフレクター１６９は、放物線状の断面を有している。第１インテグレーターレンズ１６２および第２インテグレーターレンズ１６３は、光源部１６１から出射された光の照度分布を均一化する。偏光変換素子１６４は、光源部１６１から出射された光を、例えばｓ偏光のような特定の振動方向を有する偏光にする。
【００３０】
ダイクロイックミラー１１３は、照明装置１６０から出射された光に含まれる赤色光Ｒを透過させるとともに、緑色光Ｇおよび青色光Ｂを反射する。ダイクロイックミラー１１４は、ダイクロイックミラー１１３で反射された緑色光Ｇおよび青色光Ｂのうち、青色光Ｂを透過させるとともに緑色光Ｇを反射する。このように、ダイクロイックミラー１１３、１１４は、照明装置１６０から出射された光を赤色光Ｒ、緑色光Ｇおよび青色光Ｂに分離する色分離光学系を構成している。
【００３１】
液晶ライトバルブ１１５は、ダイクロイックミラー１１３を透過して反射ミラー１２３で反射した赤色光Ｒを画像信号に応じて変調する透過型の液晶装置である。液晶ライトバルブ１１５は、λ／２位相差板１１５ａ、第１偏光板１１５ｂ、電気光学装置１００（赤色用電気光学装置１００Ｒ）、および第２偏光板１１５ｄを備えている。ここで、液晶ライトバルブ１１５に入射する赤色光Ｒは、ダイクロイックミラー１１３を透過しても光の偏光は変化しないことから、ｓ偏光のままである。
【００３２】
λ／２位相差板１１５ａは、液晶ライトバルブ１１５に入射したｓ偏光をｐ偏光に変換する光学素子である。第１偏光板１１５ｂは、ｓ偏光を遮断してｐ偏光を透過させる偏光板である。電気光学装置１００（赤色用電気光学装置１００Ｒ）は、ｐ偏光を画像信号に応じた変調によってｓ偏光（中間調であれば円偏光又は楕円偏光）に変換する構成となっている。第２偏光板１１５ｄは、ｐ偏光を遮断してｓ偏光を透過させる偏光板である。従って、液晶ライトバルブ１１５は、画像信号に応じて赤色光Ｒを変調し、変調した赤色光Ｒをクロスダイクロイックプリズム１１９に向けて出射する。λ／２位相差板１１５ａおよび第１偏光板１１５ｂは、偏光を変換させない透光性のガラス板１１５ｅに接した状態で配置されており、λ／２位相差板１１５ａおよび第１偏光板１１５ｂが発熱によって歪むのを回避することができる。
【００３３】
液晶ライトバルブ１１６は、ダイクロイックミラー１１３で反射した後にダイクロイックミラー１１４で反射した緑色光Ｇを画像信号に応じて変調する透過型の液晶装置である。液晶ライトバルブ１１６は、液晶ライトバルブ１１５と同様に、第１偏光板１１６ｂ、電気光学装置１００（緑色用電気光学装置１００Ｇ）、および第２偏光板１１６ｄを備えている。液晶ライトバルブ１１６に入射する緑色光Ｇは、ダイクロイックミラー１１３、１１４で反射されて入射するｓ偏光である。第１偏光板１１６ｂは、ｐ偏光を遮断してｓ偏光を透過させる偏光板である。電気光学装置１００（緑色用電気光学装置１００Ｇ）は、ｓ偏光を画像信号に応じた変調によってｐ偏光（中間調であれば円偏光又は楕円偏光）に変換する構成となっている。第２偏光板１１６ｄは、ｓ偏光を遮断してｐ偏光を透過させる偏光板である。従って、液晶ライトバルブ１１６は、画像信号に応じて緑色光Ｇを変調し、変調した緑色光Ｇをクロスダイクロイックプリズム１１９に向けて出射する。
【００３４】
液晶ライトバルブ１１７は、ダイクロイックミラー１１３で反射し、ダイクロイックミラー１１４を透過した後でリレー系１２０を経た青色光Ｂを画像信号に応じて変調する透過型の液晶装置である。液晶ライトバルブ１１７は、液晶ライトバルブ１１５、１１６と同様に、λ／２位相差板１１７ａ、第１偏光板１１７ｂ、電気光学装置１００（青色用電気光学装置１００Ｂ）、および第２偏光板１１７ｄを備えている。液晶ライトバルブ１１７に入射する青色光Ｂは、ダイクロイックミラー１１３で反射してダイクロイックミラー１１４を透過した後にリレー系１２０の２つの反射ミラー１２５ａ、１２５ｂで反射することから、ｓ偏光となっている。
【００３５】
λ／２位相差板１１７ａは、液晶ライトバルブ１１７に入射したｓ偏光をｐ偏光に変換する光学素子である。第１偏光板１１７ｂは、ｓ偏光を遮断してｐ偏光を透過させる偏光板である。電気光学装置１００（青色用電気光学装置１００Ｂ）は、ｐ偏光を画像信号に応じた変調によってｓ偏光（中間調であれば円偏光又は楕円偏光）に変換する構成となっている。第２偏光板１１７ｄは、ｐ偏光を遮断してｓ偏光を透過させる偏光板である。従って、液晶ライトバルブ１１７は、画像信号に応じて青色光Ｂを変調し、変調した青色光Ｂをクロスダイクロイックプリズム１１９に向けて出射する。なお、λ／２位相差板１１７ａ、および第１偏光板１１７ｂは、ガラス板１１７ｅに接した状態で配置されている。
【００３６】
リレー系１２０は、リレーレンズ１２４ａ、１２４ｂと反射ミラー１２５ａ、１２５ｂとを備えている。リレーレンズ１２４ａ、１２４ｂは、青色光Ｂの光路が長いことによる光損失を防止するために設けられている。リレーレンズ１２４ａは、ダイクロイックミラー１１４と反射ミラー１２５ａとの間に配置されている。リレーレンズ１２４ｂは、反射ミラー１２５ａ、１２５ｂの間に配置されている。反射ミラー１２５ａは、ダイクロイックミラー１１４を透過してリレーレンズ１２４ａから出射した青色光Ｂをリレーレンズ１２４ｂに向けて反射する。反射ミラー１２５ｂは、リレーレンズ１２４ｂから出射した青色光Ｂを液晶ライトバルブ１１７に向けて反射する。
【００３７】
クロスダイクロイックプリズム１１９は、２つのダイクロイック膜１１９ａ、１１９ｂをＸ字型に直交配置した色合成光学系である。ダイクロイック膜１１９ａは青色光Ｂを反射して緑色光Ｇを透過する膜であり、ダイクロイック膜１１９ｂは赤色光Ｒを反射して緑色光Ｇを透過する膜である。従って、クロスダイクロイックプリズム１１９は、液晶ライトバルブ１１５〜１１７のそれぞれで変調された赤色光Ｒと緑色光Ｇと青色光Ｂとを合成し、投射光学系１１８に向けて出射する。
【００３８】
なお、液晶ライトバルブ１１５、１１７からクロスダイクロイックプリズム１１９に入射する光はｓ偏光であり、液晶ライトバルブ１１６からクロスダイクロイックプリズム１１９に入射する光はｐ偏光である。このようにクロスダイクロイックプリズム１１９に入射する光を異なる種類の偏光としていることにより、クロスダイクロイックプリズム１１９において各液晶ライトバルブ１１５〜１１７から入射する光を合成できる。ここで、一般に、ダイクロイック膜１１９ａ、１１９ｂはｓ偏光の反射特性に優れている。このため、ダイクロイック膜１１９ａ、１１９ｂで反射される赤色光Ｒ、および青色光Ｂをｓ偏光とし、ダイクロイック膜１１９ａ、１１９ｂを透過する緑色光Ｇをｐ偏光としている。投射光学系１１８は、投影レンズ（図示略）を有しており、クロスダイクロイックプリズム１１９で合成された光をスクリーン１１１等の被投射部材に投射する。
【００３９】
（電気光学装置１００への照明光の入射角度特性）
図２は、図１に示す投射型表示装置１１０における電気光学装置１００に対する照明光の入射角度特性の一例を示す説明図である。なお、図２（ｂ）では、各入射方向において光強度が高い方向を白い領域を大きく示してある。
【００４０】
図１に示す投射型表示装置１１０においては、図１４（ａ）を参照して説明したように、電気光学装置１００に照射される光のうち、電気光学装置１００に外側から斜めに入射する光は、電気光学装置１００に内側から斜めに入射する光より強度が高い。例えば、図２（ａ）、（ｂ）に示すように、電気光学装置１００の各位置Ｂ１〜Ｂ９に対する入射光の入射角度分布には偏りが存在しており、電気光学装置１００に対して外側から斜めに入射する光は、電気光学装置１００に内側から斜めに入射する光より強度が高い。このため、電気光学装置１００の中央の位置Ｂ５では、図面に向かって左右対称および上下対称の強度で照明光が入射するが、端部に近い位置Ｂ１〜Ｂ４、Ｂ６〜Ｂ９では、図面に向かって左右および上下において、外側から入射する光の強度が内側から入射する光の強度より高い。
【００４１】
そこで、図１４（ｂ）を参照して説明したレンズアレイ基板と素子基板との位置ずれに起因する画像の輝度むらを抑制することを目的に、電気光学装置１００を以下に説明するように構成してある。
【００４２】
（電気光学装置１００の全体構成）
図３は、本発明の実施の形態１に係る電気光学装置１００の一態様の説明図であり、図３（ａ）、（ｂ）は各々、電気光学装置１００を各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図、およびその断面図である。
【００４３】
図３に示すように、電気光学装置１００は、透光性の素子基板１０と透光性の対向基板２０とが所定の隙間を介してシール材１０７によって貼り合わされており、素子基板１０と対向基板２０との間でシール材１０７によって囲まれた領域に液晶層からなる電気光学層８０が配置されている。シール材１０７は対向基板２０の外縁に沿うように枠状に設けられている。シール材１０７は、光硬化性を備えた接着剤、あるいは光硬化性および熱硬化性を備えた接着剤であり、両基板間の距離を所定値とするためのグラスファイバー、あるいはガラスビーズ等のギャップ材が配合されている。かかるシール材１０７としては、アクリル樹脂系、エポキシ樹脂系、アクリル変性樹脂系、エポキシ変性樹脂系等の光硬化性接着剤（紫外光硬化型接着剤／ＵＶ硬化型接着剤）を用いることができる。
【００４４】
素子基板１０および対向基板２０はいずれも四角形であり、電気光学装置１００の略中央には、表示領域１０ａが四角形の領域として設けられている。かかる形状に対応して、シール材１０７も略四角形に設けられ、シール材１０７の内周縁と表示領域１０ａの外周縁との間には、矩形枠状の周辺領域１０ｂが設けられている。
【００４５】
素子基板１０の対向基板２０側の面において、表示領域１０ａの外側には、素子基板１０の一辺に沿ってデータ線駆動回路１０１および複数の端子１０２が形成されており、この一辺に隣接する他の辺に沿って走査線駆動回路１０４が形成されている。端子１０２には、フレキシブル配線基板（図示せず）が接続されており、素子基板１０には、フレキシブル配線基板を介して各種電位や各種信号が入力される。
【００４６】
また、素子基板１０の対向基板２０側の面において、表示領域１０ａには、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）膜等からなる透光性の画素電極９ａ、および画素電極９ａに電気的に接続する画素トランジスター（図示せず）がマトリクス状に形成されており、画素電極９ａに対して対向基板２０側には配向膜１６が形成されている。また、素子基板１０において、周辺領域１０ｂには、画素電極９ａと同時形成されたダミー画素電極９ｂが形成されている。
【００４７】
対向基板２０の素子基板１０と対向する面側には、ＩＴＯ膜等からなる透光性の共通電極２１が形成されており、共通電極２１に対して素子基板１０側には配向膜２６が形成されている。本形態において、共通電極２１は、対向基板２０の略全面に形成されている。
【００４８】
配向膜１６、２６は、ポリイミド等の樹脂膜、あるいはシリコン酸化膜等の斜方蒸着膜からなる。本形態において、配向膜１６、２６は、ＳｉＯｘ（ｘ＜２）、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２、ＭｇＯ、Ａｌ２Ｏ３、Ｉｎ２Ｏ3、Ｓｂ２Ｏ３、Ｔａ２Ｏ５等の斜方蒸着膜からなる無機配向膜（垂直配向膜）であり、電気光学層８０に用いた負の誘電率異方性を備えた液晶分子を傾斜配向させ、電気光学装置１００をＶＡ（Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）モードの液晶装置として動作させる。
【００４９】
素子基板１０には、シール材１０７より外側において対向基板２０の角部分と重なる領域に、素子基板１０と対向基板２０との間で電気的導通をとるための基板間導通用電極１０９が形成されている。基板間導通用電極１０９には、導電粒子を含んだ基板間導通材１０９ａが配置されており、対向基板２０の共通電極２１は、基板間導通材１０９ａおよび基板間導通用電極１０９を介して、素子基板１０側に電気的に接続されている。このため、共通電極２１は、素子基板１０の側から共通電位が印加されている。
【００５０】
本形態の電気光学装置１００において、画素電極９ａおよび共通電極２１が透光性導電膜により形成されており、電気光学装置１００は、透過型液晶装置として構成されている。かかる電気光学装置１００では、素子基板１０および対向基板２０のうち、一方側の基板から入射した光が他方側の基板を透過して出射される間に変調されて画像を表示する。本形態では、矢印Ｌで示すように、対向基板２０から入射した光が素子基板１０を透過して出射される間に電気光学層８０によって画素毎に変調され、画像を表示する。
【００５１】
（対向基板２０の構成）
図４は、図３に示す電気光学装置１００におけるマイクロレンズ等の構成例を示す説明図であり、図４（ａ）、（ｂ）は、電気光学装置１００の断面構成を模式的に示す説明図、およびマイクロレンズの位置等を模式的に示す説明図である。図５は、図３（ｂ）に示す電気光学装置１００におけるマイクロレンズ３０ａと遮光層１０８ｂとの平面的な位置関係の一例を示す説明図である。なお、図４では、遮光層１０８の図示を省略してある。
【００５２】
図３（ｂ）に示すように、本形態の電気光学装置１００において、対向基板２０には、共通電極２１に対して素子基板１０とは反対側には、金属または金属化合物からなる遮光性の遮光層１０８が形成されている。遮光層１０８は、例えば、表示領域１０ａの外周縁に沿って延在する額縁状の見切り１０８ａとして形成されている。また、遮光層１０８は、隣り合う画素電極９ａにより挟まれた領域と平面視で重なる領域に遮光層１０８ｂとして形成されている。
【００５３】
図４（ａ）に示すように、素子基板１０は、透光性基板１９を有しているとともに、透光性基板１９の対向基板２０側の面には複数の層間絶縁膜１８が積層されている。また、素子基板１０では、透光性基板１９と層間絶縁膜１８との間や、層間絶縁膜１８の間等を利用して、隣り合う画素電極９ａの間と重なる領域に沿って延在する配線１７や、画素トランジスター１４が形成されており、配線１７や画素トランジスター１４は光を透過しない。このため、素子基板１０では、画素電極９ａと平面視で重なる領域のうち、配線１７や画素トランジスター１４と平面視で重なる領域や、隣り合う画素電極９ａに挟まれた領域と平面視で重なる領域は、光を透過しない遮光領域１５ｂになっており、画素電極９ａと平面視で重なる領域のうち、配線１７や画素トランジスター１４と平面視で重ならない領域は光を透過する開口領域１５ａになっている。従って、開口領域１５ａを透過した光のみが画像の表示に寄与し、遮光領域１５ｂに向かう光は、画像の表示に寄与しない。
【００５４】
そこで、本形態では、対向基板２０は、複数の画素電極９ａに対して平面視で１対１の関係をもって対向する複数のマイクロレンズ３０ａが形成されたレンズアレイ基板３０として構成されており、レンズアレイ基板３０は、光源からの光を開口領域１５ａに収束させる。本形態のレンズアレイ基板３０には、光の進行方向に沿って複数段のレンズアレイが構成されている。より具体的には、レンズアレイ基板３０には、光の入射側に位置する複数の第１レンズ３１０を備えた第１レンズアレイ３１と、第１レンズアレイ３１に対して素子基板１０の側に複数の第２レンズ３２０を備えた第２レンズアレイ３２とが構成されており、複数の第１レンズ３１０および複数の第２レンズ３２０は各々、複数の画素電極９ａに対して１対１の関係をもって対向している。このため、本形態の電気光学装置１００では、第１レンズアレイ３１の第１レンズ３１０、および第２レンズアレイ３２の第２レンズ３２０によって、光源からの光を開口領域１５ａに収束させるとともに、電気光学層８０に入射する光を平行光化している。それ故、電気光学層８０に入射する光の光軸の傾きが小さいので、電気光学層８０での位相ずれを低減でき、透過率やコントラストの低下を抑制することができる。特に本形態では、電気光学装置１００をＶＡ（Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）モードの液晶装置として構成したため、電気光学層８０に入射する光の光軸の傾斜によって、コントラストの低下等が発生しやすいが、本形態によれば、コントラストの低下等が発生しにくい。
【００５５】
ここで、マイクロレンズ３０ａは、図５に示すように、隣り合うマイクロレンズ３０ａが接するように配列されており、４つのマイクロレンズ３０ａによって囲まれた領域に平面視で重なる領域に、図３（ｂ）に示す遮光層１０８ｂが形成されている。このため、図３（ｂ）では、図５のＡ−Ａ′線での断面であるとして遮光層１０８ｂが図示されているが、図４では、図５のＢ−Ｂ′線での断面であるとして遮光層１０８ｂが図示されていない。なお、遮光層１０８ｂは、マイクロレンズ３０ａの端部に平面視で重なっている場合があるが、マイクロレンズ３０ａの中央に平面視で重ならないように形成される。
【００５６】
図４（ａ）に示すように、レンズアレイ基板３０（対向基板２０）を構成するにあたって、透光性基板２９の一方の基板面２９１からなる第１面４１には、凹曲面からなる複数の第１凹部２９２が形成されている。また、透光性基板２９の一方の基板面２９１（第１面４１）には、以下に説明する透光性の第１レンズ層５１、第１透光層５２、透光性の第２レンズ層５３、第２透光層５４、および透光性の保護層５５が順に積層されている。複数の第１凹部２９２は、複数の画素電極９ａに１対１の関係をもって平面視で重なって対向している。複数の透光膜のうち、第１レンズ層５１は、透光性基板２９の基板面２９１（第１面４１）を覆う面５１１（第２面４２）と、面５１１（第２面４２）とは反対側に位置する平坦面５１２（第３面４３）とを備えている。また、第１レンズ層５１の面５１１（第２面４２）は、透光性基板２９の第１凹部２９２を埋める半球状の第１凸部５１３を有している。
【００５７】
ここで、透光性基板２９と第１レンズ層５１とは屈折率が相違しており、第１凹部２９２および第１凸部５１３は、第１レンズアレイ３１の第１レンズ３１０（マイクロレンズ３０ａ）を構成している。本形態において、第１レンズ層５１の屈折率は、透光性基板２９の屈折率より大である。例えば、透光性基板２９は石英基板（シリコン酸化膜、ＳｉＯ２）からなり、屈折率が１．４８であるのに対して、第１レンズ層５１は、シリコン酸窒化膜（ＳｉＯＮ）からなり、屈折率が１．５８〜１．６８である。それ故、第１レンズ３１０は、光源からの光を収束させるパワーを有している。
【００５８】
第１透光層５２は、第１レンズ層５１の平坦面５１２（第３面４３）を覆う面５２１（第４面４４）と、面５２１（第４面４４）とは反対側に位置する面５２２（第５面４５）とを備えている。本形態において、第１透光層５２は、シリコン酸化膜（ＳｉＯx）からなり、屈折率が１．４８である。かかる第１透光層５２は、第１レンズアレイ３１から第２レンズアレイ３２までの光路長を調整する第１光路長調整層である。
【００５９】
第２レンズ層５３は、第１透光層５２の面５２２（第５面４５）を覆う面５３１（第６面４６）と、面５３１（第６面４６）とは反対側の面５３２（第７面４７）とを有しており、面５３２（第７面４７）には、第１凹部２９２と平面視で重なる位置に、透光性基板２９とは反対側に向けて突出した凸部、または透光性基板２９に向けて凹んだ凹部が形成されている。
【００６０】
本形態において、第２レンズ層５３の面５３２（第７面４７）には、第１凹部２９２と平面視で重なる位置に、透光性基板２９とは反対側に向けて半球状に突出した第２凸部５３３が形成されている。このため、第２透光層５４は、第２レンズ層５３の面５３２（第７面４７）を覆う面５４１（第８面４８）に、第２レンズ層５３の第２凸部５３３が内側に位置する凹曲面からなる第２凹部５４３が形成されている。第２透光層５４は、面５４１（第８面４８）とは反対側に平坦面５４２（第９面４９）を備えている。
【００６１】
ここで、第２レンズ層５３と第２透光層５４とは屈折率が相違しており、第２凹部５４３および第２凸部５３３は、第２レンズアレイ３２の第２レンズ３２０（マイクロレンズ３０ａ）を構成している。本形態において、第２レンズ層５３の屈折率は、第２透光層５４の屈折率より大である。例えば、第２レンズ層５３は、シリコン酸窒化膜（ＳｉＯＮ）からなり、屈折率が１．５８〜１．６８であるのに対して、第２透光層５４は、シリコン酸化膜（ＳｉＯx）からなり、屈折率が１．４８である。それ故、第１レンズ３１０は、光源からの光を収束させるパワーを有している。本形態において、第２透光層５４は、第２レンズアレイ３２から素子基板１０までの光路長を調整する第２光路長調整層である。
【００６２】
第２透光層５４の平坦面５４２（第９面４９）には、シリコン酸化膜（ＳｉＯx）やシリコン酸窒化膜（ＳｉＯＮ）等の保護層５５が形成されており、かかる保護層５５に対して第２透光層５４や透光性基板２９とは反対側に共通電極２１が形成されている。また、共通電極２１に対して保護層５５や透光性基板２９とは反対側に配向膜２６が形成されている。
【００６３】
（遮光層１０８の詳細構成）
図３（ｂ）に示すように、レンズアレイ基板３０において、遮光層１０８（見切り１０８ａ、遮光層１０８ｂ）は、例えば、上記の透光膜の層間に形成された第１金属層５６および第２金属層５７によって構成されている。
【００６４】
具体的には、レンズアレイ基板３０には、表示領域１０ａの外周縁に沿って延在する額縁状の見切り１０８ａとして、第１レンズ層５１の平坦面５１２（第３面４３）と第１透光層５２の面５２１（第４面４４）との間には第１金属層５６からなる見切り５６ａが形成され、第１透光層５２の面５２２（第５面４５）と第２レンズ層５３の面５３１（第６面４６）との間には第２金属層５７からなる見切り５７ａが形成されている。また、表示領域１０ａでは、遮光層１０８ｂとして、第２金属層５７からなる遮光層５７ｂが形成されている。遮光層５７ｂは、マイクロレンズ３０ａの端部に平面視で重なっている場合があるが、マイクロレンズ３０ａの中央には平面視で重なっていない。
【００６５】
本形態において、遮光層１０８（第１金属層５６および第２金属層５７）は各々、Ｔｉ（チタン）、Ａｌ（アルミニウム）、Ｃｒ（クロム）、Ｗ（タングステン）、Ｔａ（タンタル）、Ｍｏ（モリブデン）、Ｐｄ（パラジウム）等の金属膜や、それらの窒化膜等の金属化合物膜からなる。また、遮光層１０８は、上記の金属膜や金属化合物膜の単層膜あるいは複層膜のいずれであってもよい。
【００６６】
（第１レンズ３１０のスケーリング）
図６は、本発明の実施の形態１に係る電気光学装置１００におけるマイクロレンズ３０ａのスケーリングの一態様を示す説明図であり、図６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、画素電極９ａのレイアウトを示す説明図、第２レンズ３２０のレイアウトを示す説明図、および第１レンズ３１０のレイアウトを示す説明図である。図７は、図６に示すスケーリングによって、画素電極９ａの中心に対して第１レンズ３１０の中心および第２レンズ３２０の中心をシフトさせた状態を示す説明図である。なお、図６では、第１レンズ３１０および第２レンズ３２０のスケーリングの際のシフト量を誇張して示してあり、第１レンズ３１０および第２レンズ３２０をスケーリングした後も、複数の第１レンズ３１０および複数の第２レンズ３２０は、複数の画素電極９ａに対して１対１の関係をもって対向している。
【００６７】
図６（ａ）に示すように、本形態の電気光学装置１００において、画素電極９ａは、第１方向Ｘに第１ピッチＰｘで等間隔に配置されているとともに、第１方向Ｘと交差する第２方向Ｙに第２ピッチＰｙで等間隔に配置されている。
【００６８】
これに対して、複数の第１レンズ３１０および複数の第２レンズ３２０は、複数の画素電極９ａに対して１対１の関係をもって対向しているが、図６（ｂ）、（ｃ）に示すように、第１レンズ３１０の中心間距離、および第２レンズ３２０の中心間距離を位置によって相違させてある。本発明において、第１レンズ３１０の中心、および第２レンズ３２０の中心とは、レンズ面を構成する凸部の頂部の中心、および凹部の底部の中心を意味し、中心間距離とは、隣り合う第１レンズ３１０の中心の距離、および隣り合う第２レンズ３２０の中心の距離を意味する。
【００６９】
ここで、第１レンズ３１０の第１方向Ｘの中心間距離は、第１方向Ｘにおいて１つの第１レンズ３１０毎に相違させる構成、および第１方向Ｘにおいて複数の第１レンズ３１０を単位として複数の第１レンズ３１０毎に相違させる構成のいずれを採用してもよいが、本形態では、計２０個×１５個の第１レンズ３１０を第１方向Ｘで５つの領域に等分割し、各領域毎に第１レンズ３１０の中心間距離を変えた場合を例示してある。すなわち、第１方向Ｘにおいて、４つの第１レンズ３１０を単位とし、単位毎（４つの第１レンズ３１０毎）に中心間距離を変えてある。また、第１レンズ３１０の第２方向Ｙの中心間距離は、第２方向Ｙにおいて１つの第１レンズ３１０毎に相違させる構成、および第２方向Ｙにおいて複数の第１レンズ３１０を単位として複数の第１レンズ３１０毎に相違させる構成のいずれを採用してもよいが、本形態では、計２０個×１５個の第１レンズ３１０を第２方向Ｙで５つの領域に等分割し、各領域毎に第１レンズ３１０の中心間距離を変えた場合を例示してある。すなわち、第２方向Ｙにおいて、３つの第１レンズ３１０を単位とし、単位毎（３つの第１レンズ３１０毎）に中心間距離を変えてある。
【００７０】
より具体的には、図６（ｃ）に示すように、第１レンズ３１０が配列されている領域３１５（画素電極９ａが配列されている領域）において、第１方向Ｘの中央（第１中心Ｃｘ）の側では、第１レンズ３１０の第１方向Ｘの中心間距離を狭くし、第１方向Ｘの端部（第１端部Ｅｘ）に向かうに伴って第１レンズ３１０の第１方向Ｘの中心間距離を広げてある。このため、第１端部Ｅｘの側において第１方向Ｘで隣り合う第１レンズ３１０の中心間距離（第１中心間距離ｄＥ１ｘ）は、第１レンズ３１０の第１中心Ｃｘの側において第１方向Ｘで隣り合う第１レンズ３１０の中心間距離ｄＣ１ｘより長い。また、複数の第１レンズ３１０のうち、第１端部Ｅｘと第１方向Ｘの中央（第１中心Ｃｘ）との間にある第１レンズ３１０は、第１方向Ｘに隣り合う２つの第１レンズ３１０の中心間距離が、第１端部Ｅｘから第１中心Ｃｘ側に向かうに伴って複数の第１レンズ３１０を単位として徐々に短くなっている。なお、第１レンズ３１０の第１方向Ｘの中心間距離を１つの第１レンズ３１０毎に相違させた場合、第１端部Ｅｘと第１方向Ｘの中央（第１中心Ｃｘ）との間にある第１レンズ３１０は、第１方向Ｘに隣り合う２つの第１レンズ３１０の中心間距離が、第１端部Ｅｘから第１中心Ｃｘ側に向かうに伴って１つの第１レンズ３１０毎に徐々に短くなる。
【００７１】
ここで、第１中心Ｃｘでは、第１レンズ３１０の第１方向Ｘの中心間距離ｄＣ１ｘは、画素電極９ａの第１方向Ｘにおける第１ピッチＰｘと等しい。従って、図４（ｂ）および図７（ａ）に示すように、第１中心Ｃｘ付近では、画素電極９ａの中心と第１レンズ３１０の中心とは重なっているが、第１端部Ｅｘに近い位置では、画素電極９ａの中心に対して第１レンズ３１０の中心が第１方向Ｘで外側にずれている。また、図７（ａ）に示すように、第１中心Ｃｘから第１端部Ｅｘに向かう程、画素電極９ａの中心に対して第１レンズ３１０の中心が第１端部Ｅｘの側（外側）に向けてずれている量（シフト量）が大きくなっている。
【００７２】
また、図６（ｃ）に示すように、第１レンズ３１０が配列されている領域３１５（画素電極９ａが配列されている領域）において、第２方向Ｙの中央（第２中心Ｃｙ）の側では、第１レンズ３１０の第２方向Ｙの中心間距離を狭くし、第２方向Ｙの端部（第２端部Ｅｙ）に向かうに伴って第１レンズ３１０の第２方向Ｙの中心間距離を広げてある。このため、第２端部Ｅｙの側において第２方向Ｙで隣り合う第１レンズ３１０の中心間距離（第２中心間距離ｄＥ１ｙ）は、第１レンズ３１０の第２中心Ｃｙの側において第２方向Ｙで隣り合う第１レンズ３１０の中心間距離ｄＣ１ｙより長い。また、複数の第１レンズ３１０のうち、第２端部Ｅｙと第２方向Ｙの中央（第２中心Ｃｙ）との間にある第１レンズ３１０は、第２方向Ｙに隣り合う２つの第１レンズ３１０の中心間距離が、第２端部Ｅｙから第２中心Ｃｙ側に向かうに伴って複数の第１レンズ３１０を単位として徐々に短くなっている。なお、第１レンズ３１０の第２方向Ｙの中心間距離を１つの第１レンズ３１０毎に相違させた場合、第２端部Ｅｙと第２方向Ｙの中央（第２中心Ｃｙ）との間にある第１レンズ３１０は、第２方向Ｙに隣り合う２つの第１レンズ３１０の中心間距離が、第２端部Ｅｙから第２中心Ｃｙ側に向かうに伴って１つの第１レンズ３１０毎に徐々に短くなる。
【００７３】
ここで、第２中心Ｃｙでは、第１レンズ３１０の第２方向Ｙの中心間距離ｄＣ１ｙは、画素電極９ａの第２方向Ｙにおける第２ピッチＰｙと等しい。従って、図４（ｂ）および図７（ａ）に示すように、第２中心Ｃｙ付近では、画素電極９ａの中心と第１レンズ３１０の中心とは重なっているが、第２端部Ｅｙに近い位置では、画素電極９ａの中心に対して第１レンズ３１０の中心が第２方向Ｙで外側にずれている。また、図７（ａ）に示すように、第２中心Ｃｙから第２端部Ｅｙに向かう程、画素電極９ａの中心に対して第１レンズ３１０の中心が第２端部Ｅｙの側（外側）に向けてずれている量（シフト量）が大きくなっている。
【００７４】
（第２レンズ３２０のスケーリング）
第２レンズ３２０の第１方向Ｘの中心間距離は、第１方向Ｘにおいて１つの第２レンズ３２０毎に相違させる構成、および第１方向Ｘにおいて複数の第２レンズ３２０を単位として複数の第２レンズ３２０毎に相違させる構成のいずれを採用してもよい。本形態では、計２０個×１５個の第２レンズ３１０を第１方向Ｘで５つの領域に等分割し、各領域毎に第２レンズ３２０の中心間距離を変えた場合を例示してある。すなわち、第１方向Ｘにおいて、４つの第２レンズ３２０を単位とし、単位毎（４つの第２レンズ３２０毎）に中心間距離を変えてある。また、第２レンズ３２０の第２方向Ｙの中心間距離は、第２方向Ｙにおいて１つの第２レンズ３２０毎に相違させる構成、および第２方向Ｙにおいて複数の第２レンズ３２０を単位として複数の第２レンズ３２０毎に相違させる構成のいずれを採用してもよい。本形態では、計２０個×１５個の第２レンズ３２０を第２方向Ｙで５つの領域に等分割し、各領域毎に第２レンズ３２０の中心間距離を変えた場合を例示してある。すなわち、第２方向Ｙにおいて、３つの第２レンズ３２０を単位とし、単位毎（３つの第２レンズ３２０毎）に中心間距離を変えてある。
【００７５】
より具体的には、図６（ｂ）に示すように、第１レンズ３１０が配列されている領域３１５（画素電極９ａが配列されている領域、第２レンズ３２０が配列されている）において、第１方向Ｘの中央（第１中心Ｃｘ）の側では、第２レンズ３２０の第１方向Ｘの中心間距離を狭くし、第１方向Ｘの端部（第１端部Ｅｘ）に向かうに伴って第２レンズ３２０の第１方向Ｘの中心間距離を広げてある。このため、第１端部Ｅｘの側において第１方向Ｘで隣り合う第２レンズ３２０の中心間距離（第３中心間距離ｄＥ２ｘ）は、第２レンズ３２０の第１中心Ｃｘの側において第１方向Ｘで隣り合う第２レンズ３２０の中心間距離ｄＣ２ｘより長い。また、複数の第２レンズ３２０のうち、第１端部Ｅｘと第１方向Ｘの中央（第１中心Ｃｘ）との間にある第２レンズ３２０は、第１方向Ｘに隣り合う２つの第２レンズ３２０の中心間距離が、第１端部Ｅｘから第１中心Ｃｘ側に向かうに伴って複数の第２レンズ３２０を単位として徐々に短くなっている。なお、第２レンズ３２０の第１方向Ｘの中心間距離を１つの第２レンズ３２０毎に相違させた場合、第１端部Ｅｘと第１方向Ｘの中央（第１中心Ｃｘ）との間にある第２レンズ３２０は、第１方向Ｘに隣り合う２つの第２レンズ３２０の中心間距離が、第１端部Ｅｘから第１中心Ｃｘ側に向かうに伴って１つの第２レンズ３２０毎に徐々に短くなる。
【００７６】
ここで、第１中心Ｃｘでは、第２レンズ３２０の第１方向Ｘの中心間距離ｄＣ２ｘは、画素電極９ａの第１方向Ｘにおける第１ピッチＰｘと等しい。従って、図４（ｂ）および図７（ａ）に示すように、第１中心Ｃｘ付近では、画素電極９ａの中心と第２レンズ３２０の中心とは重なっているが、第１端部Ｅｘに近い位置では、画素電極９ａの中心に対して第２レンズ３２０の中心が第１方向Ｘで外側にずれている。また、図７（ａ）に示すように、第１中心Ｃｘから第１端部Ｅｘに向かう程、画素電極９ａの中心に対して第２レンズ３２０の中心が第１端部Ｅｘの側（外側）に向けてずれている量（シフト量）が大きくなっている。
【００７７】
また、図６（ｂ）に示すように、第２レンズ３２０が配列されている領域３１５（画素電極９ａが配列されている領域）において、第２方向Ｙの中央（第２中心Ｃｙ）の側では、第２レンズ３２０の第２方向Ｙの中心間距離を狭くし、第２方向Ｙの端部（第２端部Ｅｙ）に向かうに伴って第２レンズ３２０の第２方向Ｙの中心間距離を広げてある。このため、第２端部Ｅｙの側において第２方向Ｙで隣り合う第２レンズ３２０の中心間距離（第４中心間距離ｄＥ２ｙ）は、第２レンズ３２０の第２中心Ｃｙの側において第２方向Ｙで隣り合う第２レンズ３２０の中心間距離ｄＣ２ｙより長い。また、複数の第２レンズ３１０のうち、第２端部Ｅｙと第２方向Ｙの中央（第２中心Ｃｙ）との間にある第２レンズ３２０は、第２方向Ｙに隣り合う２つの第２レンズ３２０の中心間距離が、第２端部Ｅｙから第２中心Ｃｙ側に向かうに伴って複数の第１レンズ３２０を単位として徐々に短くなっている。なお、第２レンズ３２０の第２方向Ｙの中心間距離を１つの第２レンズ３２０毎に相違させた場合、第２端部Ｅｙと第２方向Ｙの中央（第２中心Ｃｙ）との間にある第２レンズ３２０は、第２方向Ｙに隣り合う２つの第２レンズ３２０の中心間距離が、第２端部Ｅｙから第２中心Ｃｙ側に向かうに伴って１つの第２レンズ３２０毎に徐々に短くなる。
【００７８】
ここで、第２中心Ｃｙでは、第２レンズ３２０の第２方向Ｙの中心間距離ｄＣ２ｙは、画素電極９ａの第２方向Ｙにおける第２ピッチＰｙと等しい。従って、図４（ｂ）および図７（ａ）に示すように、第２中心Ｃｙ付近では、画素電極９ａの中心と第２レンズ３２０の中心とは重なっているが、第２端部Ｅｙに近い位置では、画素電極９ａの中心に対して第２レンズ３２０の中心が第２方向Ｙで外側にずれている。また、図７（ａ）に示すように、第２中心Ｃｙから第２端部Ｅｙに向かう程、画素電極９ａの中心に対して第２レンズ３２０の中心が第２端部Ｅｙの側（外側）に向けてずれている量（シフト量）が大きくなっている。
【００７９】
（シフト量の設定）
図８は、図６に示すスケーリングの際にマイクロレンズ３０ａのシフト量を設定する方法を示す説明図である。
【００８０】
上記のスケーリングの際のシフト量を設定するにあたっては、まず、図８に示すように、第１レンズ３１０および第２レンズ３２０に対して上記のスケーリングを行わない状態で、各位置で第１レンズ３１０および第２レンズ３２０を介して画素電極９ａに入射する光の重心線の角度θを求める。次に、第１レンズ３１０から画素電極９ａまでの空気換算長ｄ１と、第２レンズ３２０から画素電極９ａまでの空気換算長ｄ２を求める。
【００８１】
そして、複数の第１レンズ３１０の各々のシフト量を以下の式
ｄ１×ｔａｎθ
から求める。また、複数の第２レンズ３２０の各々のシフト量を以下の式
ｄ２×ｔａｎθ
から求める。
【００８２】
ここで、第１レンズ３１０から画素電極９ａまでの空気換算長ｄ１は、第２レンズ３２０から画素電極９ａまでの空気換算長ｄ２より長い。従って、複数の第１レンズ３１０および複数の第２レンズ３２０のうち、第１端部Ｅｘにおいて平面視で重なる第１レンズ３１０と第２レンズ３２０とにおいては、第２レンズ３２０の中心間距離（第３中心間距離ｄＥ２ｘ）は、第１レンズ３１０の中心間距離（第１中心間距離ｄＥ１ｘ）より短く設定される。また、複数の第１レンズ３１０および複数の第２レンズ３２０のうち、第２端部Ｅｙにおいて平面視で重なる第１レンズ３１０と第２レンズ３２０とにおいては、第２レンズ３２０の中心間距離（第４中心間距離ｄＥ２ｙ）は、第１レンズ３１０の中心間距離（第２中心間距離ｄＥ１ｙ）より短く設定される。
【００８３】
本形態のように、第１レンズ３１０において、複数の第１レンズ３２０毎にシフト量を設定する場合には、複数の第１レンズ３１０に対する最適なシフト量の平均値を求めて、複数の第１レンズ３２０毎のシフト量を決定する。また、第２レンズ３２０において、複数の第２レンズ３２０毎にシフト量を設定する場合には、複数の第２レンズ３２０に対する最適なシフト量の平均値を求めて、複数の第２レンズ３２０毎のスケーリング量を決定する。かかる構成によれば、レンズアレイ基板３０の設計が容易である。このような場合、概ね、図７（ｂ）に示すように、平面視で重なる画素電極９ａ、第１レンズ３１０および第２レンズ３２０では、第１レンズ３１０の中心Ｏ１と第２レンズ３２０の中心Ｏ２とを結ぶ線上に画素電極９ａの中心Ｏ３が位置することになる。その結果、図４（ａ）に示すように、電気光学装置１００に入射した光は、図４（ａ）に矢印Ｌで示すように、画素電極９ａの略中央に集光することになる。
【００８４】
これに対して、１つの第１レンズ３２０毎にシフト量を設定し、１つの第２レンズ３２０毎にシフト量を設定した場合には、図７（ｂ）に示すように、いずれの位置でも、平面視で重なる画素電極９ａ、第１レンズ３１０および第２レンズ３２０では、第１レンズ３１０の中心Ｏ１と第２レンズ３２０の中心Ｏ２とを結ぶ線上に画素電極９ａの中心Ｏ３が位置することになる。かかる構成によれば、全ての第１レンズ３１０の中心、および全ての第２レンズ３２０の中心を画素電極９ａの中心に対して適正にシフトさせることができる。それ故、図４（ａ）に示すように、電気光学装置１００のいずれの位置に入射した光も、図４（ａ）に矢印Ｌで示すように、画素電極９ａの略中央に集光することになる。
【００８５】
（領域毎のスケーリングのための構成）
図９は、本発明の実施の形態１に係る電気光学装置１００におけるマイクロレンズ３０ａのスケーリングのための領域分割の説明図であり、図９（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、３×３に領域分割した場合の説明図、９×９に領域分割した場合の説明図、および１５×１５に領域分割した場合の説明図である。
【００８６】
上記のシフト量を領域毎に設定するにあたって、図９（ｃ）に示すように、１５×１５に領域分割した場合には、例えば、分割した領域間に０．０９３μｍのシフト量の差が発生する。これに対して、図９（ｂ）に示すように、９×９に領域分割した場合に、図９（ｃ）に示す例と同等のスケーリングを行うと、分割した領域間に０．１６３μｍのシフト量の差が発生することになる。
【００８７】
これに対して、図９（ａ）に示すように、３×３に領域分割した場合に、図９（ｃ）に示す例と同等のスケーリングを行うと、分割した領域間に０．６５０μｍのスケーリング量（シフト量）の差が発生することになる。このような場合、領域間に明らかな境界が発生し、かかる境界が、表示した画像に明暗の境界として現れるおそれがある。これに対して、図９（ｂ）、（ｃ）に示す領域分割の場合には、表示した画像に明暗の境界が視認されなかったという結果が得られている。それ故、スケーリングのために領域分割を行う場合には、第１方向Ｘで３を超える数の領域分割を行い、第２方向Ｙで３を超える数の領域分割を行うことが好ましい。
【００８８】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態の電気光学装置１００では、複数の第１レンズ３１０および複数の第２レンズ３２０は、複数の画素電極９ａに対して１対１の関係をもって対向しているが、第１レンズ３１０の中心間距離および第２レンズ３２０の中心間距離を位置によって適正化してある。このため、第１レンズ３１０が配列されている領域３１５（画素電極９ａが配列されている領域）において、第１方向Ｘの中央（第１中心Ｃｘ）付近、および第２方向Ｙの中央（第２中心Ｃｙ）付近では、画素電極９ａの中心、第１レンズ３１０の中心、および第２レンズ３２０の中心が重なっている。これに対して、第１レンズ３１０が配列されている領域３１５（画素電極９ａが配列されている領域）の端部（第１端部Ｅｘ、および第２端部Ｅｙ）に近い位置では、画素電極９ａの中心に対して第１レンズ３１０および第２レンズ３２０の中心が外側にずれる。このため、光が電気光学装置１００に照射された際、電気光学装置１００に外側から斜めに入射する光が、電気光学装置１００に内側から斜めに入射する光より強度が高い場合でも、光は、第１レンズ３１０および第２レンズ３２０を透過して、画素電極９ａの略中央に集光することになる。従って、電気光学装置１００を製造する際、レンズアレイ基板３０（対向基板２０）に対して素子基板１０が第１方向Ｘおよび第２方向Ｙにずれた状態で貼り合わされたときでも、図１に示すスクリーン１１１等に投射された画像では、輝度が部分的に低下するという事態の発生を抑制することができる。
【００８９】
［実施の形態２］
図１０は、本発明の実施の形態２に係る電気光学装置１００の断面構成を模式的に示す説明図である。実施の形態１では、対向基板２０の側のみに第１レンズ３１０および第２レンズ３２０が設けられていたが、本形態では、図１０に示すように、素子基板１０には、画素電極９ａに対して対向基板２０とは反対側に、画素電極９ａに対向する第３レンズ３３０（マイクロレンズ）を備えた第３レンズアレイ３３が設けられている。かかる第３レンズアレイ３３は、例えば、図４（ａ）に示す透光性基板１９に凹部を形成した後、凹部を埋める透光性の膜を設けることによって構成することができる。
【００９０】
ここで、第３レンズ３３０は、いずれの位置でも、画素電極９ａの中心と第３レンズ３３０の中心とが重なっている。これに対して、第１レンズ３１０の中心および第２レンズ３２０の中心は、端部において、画素電極９ａの中心から所定の距離、外側にシフトしている。かかる構成でも、電気光学装置１００を製造する際、レンズアレイ基板３０（対向基板２０）に対して素子基板１０が第１方向Ｘおよび第２方向Ｙにずれた状態で貼り合わされたときでも、図１に示すスクリーン１１１等に投射された画像では、輝度が部分的に低下するという事態の発生を抑制することができる等、実施の形態１と同様な効果を奏する。
【００９１】
［実施の形態３］
図１１は、本発明の実施の形態３に係る電気光学装置１００の断面構成を模式的に示す説明図である。実施の形態１では、対向基板２０に設けられた第１レンズ３１０および第２レンズ３２０において、画素電極９ａに対するシフト量が異なっていたが、本形態では、図１１に示すように、端部に設けられた第１レンズ３１０および第２レンズ３２０は、画素電極９ａの中心に対して同一のシフト量をもって外側に設けられている。すなわち、平面視で重なる第１レンズ３１０と第２レンズ３２０とにおいては、図６を参照して説明した第３中心間距離ｄＥ２ｘと第１中心間距離ｄＥ１ｘとが等しく、図６を参照して説明した第４中心間距離ｄＥ２ｙと第２中心間距離ｄＥ１ｙとが等しい。
【００９２】
かかる構成でも、電気光学装置１００を製造する際、レンズアレイ基板３０（対向基板２０）に対して素子基板１０が第１方向Ｘおよび第２方向Ｙにずれた状態で貼り合わされたときでも、図１に示すスクリーン１１１等に投射された画像では、輝度が部分的に低下するという事態の発生を抑制することができる等、実施の形態１と同様な効果を奏する。
【００９３】
［実施の形態４］
図１２は、本発明の実施の形態４に係る電気光学装置１００の断面構成を模式的に示す説明図である。図１２に示すように、本形態では、実施の形態３と同様、端部に設けられた第１レンズ３１０および第２レンズ３２０は、画素電極９ａの中心に対して同一のシフト量をもって外側に設けられている。また、素子基板１０には、実施の形態２と同様、画素電極９ａに対して対向基板２０とは反対側に、画素電極９ａに対向する第３レンズ３３０（マイクロレンズ）を備えた第３レンズアレイ３３が設けられている。第３レンズ３３０は、いずれの位置でも、画素電極９ａの中心と第３レンズ３３０の中心とが重なっている。
【００９４】
かかる構成の場合も、実施の形態３と同様、第１レンズ３１０の中心および第２レンズ３２０の中心は、端部において、画素電極９ａの中心から所定の距離、外側にシフトしている。従って、電気光学装置１００を製造する際、レンズアレイ基板３０（対向基板２０）に対して素子基板１０が第１方向Ｘおよび第２方向Ｙにずれた状態で貼り合わされたときでも、図１に示すスクリーン１１１等に投射された画像では、輝度が部分的に低下するという事態の発生を抑制することができる等、実施の形態１と同様な効果を奏する。
【００９５】
［実施の形態５］
図１３は、本発明の実施の形態５に係る電気光学装置１００の断面構成を模式的に示す説明図である。実施の形態１では、対向基板２０に第１レンズ３１０および第２レンズ３２０が設けられていた。本形態では、図１３に示すように、対向基板２０には、第１レンズ３１０が設けられているが、第２レンズ３２０は設けられていない。一方、素子基板１０には、画素電極９ａに対して対向基板２０とは反対側に、画素電極９ａに対向する第２レンズ３２６（マイクロレンズ）を備えた第２レンズ層３２５（マイクロレンズアレイ）が設けられている。ここで、第２レンズ３２６は、いずれの位置でも、画素電極９ａの中心と重なっている。これに対して、端部に設けられた第１レンズ３１０は、画素電極９ａの中心に対して外側に設けられている。従って、電気光学装置１００を製造する際、レンズアレイ基板３０（対向基板２０）に対して素子基板１０が第１方向Ｘおよび第２方向Ｙにずれた状態で貼り合わされたときでも、図１に示すスクリーン１１１等に投射された画像では、輝度が部分的に低下するという事態の発生を抑制することができる等、実施の形態１と同様な効果を奏する。
【００９６】
［他の実施の形態］
実施の形態１等においては、第１レンズ３１０において、第１方向Ｘおよび第２方向Ｙの双方において、端部に設けられた第１レンズ３１０の中心を画素電極９ａの中心に対して外側にずらしたが、第１方向Ｘのみにおいて、端部に設けられた第１レンズ３１０の中心を画素電極９ａの中心に対して外側にずらしてもよい。また、第２レンズ３２０においても、第１方向Ｘのみにおいて、端部に設けられた第２レンズ３２０の中心を画素電極９ａの中心に対して外側にずらしてもよい。
【００９７】
［他の電気光学装置への適用例］
上記実施の形態では、電気光学装置として液晶装置を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されず、電気泳動表示パネルを用いた電気光学装置等に本発明を適用してもよい。
【００９８】
［他の投射型表示装置］
上記投射型表示装置においては、透過型の電気光学装置１００を用いたが、反射型の電気光学装置１００を用いて投射型表示装置を構成してもよい。また、投射型表示装置においては、光源部として、各色の光を出射するＬＥＤ光源等を用い、かかるＬＥＤ光源から出射された色光を各々、別の液晶装置に供給するように構成してもよい。
【００９９】
［他の電子機器］
本発明を適用した電気光学装置１００については、上記の電子機器の他にも、頭部装着型表示装置、携帯電話機、情報携帯端末、デジタルカメラ、液晶テレビ、カーナビゲーション装置、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器等の電子機器において直視型表示装置として用いてもよい。
【符号の説明】
【０１００】
９ａ・・画素電極、１０・・素子基板、１０ａ・・表示領域、１４・・画素トランジスター、１５ａ・・開口領域、１５ｂ・・遮光領域、２０・・対向基板、２１・・共通電極、２９・・透光性基板、３０・・レンズアレイ基板、３０ａ・・マイクロレンズ、３１・・第１レンズアレイ、３２・・第２レンズアレイ、３３・・第３レンズアレイ、８０・・電気光学層、１００・・電気光学装置、１１０・・投射型表示装置、１１１・・スクリーン、１１８・・投射光学系、１６１・・光源部、３１０・・第１レンズ、３２０・・第２レンズ、３３０・・第３レンズ、Ｃｘ・・第１中心、Ｃｙ・・第２中心、Ｅｘ・・第１端部、Ｅｙ・・第２端部、Ｏ１・・第１レンズの中心、Ｏ２・・第２レンズの中心、Ｏ３・・画素電極の中心、Ｐｘ・・第１ピッチ、Ｐｙ・・第２ピッチ、Ｘ・・第１方向、Ｙ・・第２方向、ｄＣ１ｘ、ｄＣ１ｙ、ｄＣ２ｘ、ｄＣ２ｙ・・中央側での中心間距離、ｄＥ１ｘ・・第１中心間距離、ｄＥ１ｙ・・第２中心間距離、ｄＥ２ｘ・・第３中心間距離、ｄＥ２ｙ・・第４中心間距離
【図１】
2016206326.tif 000003
【図２】
2016206326.tif 000004
【図３】
2016206326.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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