(57)【要約】【課題】パーティクル発生の抑止と、フィルタ交換の容易性との点で有利なフィルタ搭載装置を提供する。【解決手段】フィルタ搭載装置１００は、搭載面８０ａ上にフィルタユニット６０を搭載するものであり、搭載面８０ｂに沿ってフィルタユニット６０を移動可能に支持する支持構造体８０を備える。ここで、支持構造体８０は、フィルタユニット６０に接触する回転体７０と、フィルタユニット６０と搭載面８０ｂとがシール部材６２を介して接触する第１位置と、フィルタユニット６０と搭載面８０ｂとがシール部材６２を介して接触しない第２位置とで変位可能なように回転体７０を支持する弾性部材７１とを有する。【選択図】図１
2016152353.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搭載面上にフィルタユニットを搭載するフィルタ搭載装置であって、
前記搭載面に沿って前記フィルタユニットを移動可能に支持する支持構造体を備え、
前記支持構造体は、
前記フィルタユニットに接触する回転体と、
前記フィルタユニットと前記搭載面とがシール部材を介して接触する第１位置と、前記フィルタユニットと前記搭載面とが前記シール部材を介して接触しない第２位置とで変位可能なように前記回転体を支持する弾性部材と、を有することを特徴とするフィルタ搭載装置。
【請求項２】
前記フィルタユニットを前記支持構造体に固定させる固定手段を有し、
前記固定手段を用いて前記フィルタユニットが前記支持構造体に固定されたとき、前記フィルタユニットと前記搭載面とが前記シール部材を介して接触することを特徴とする請求項１に記載のフィルタ搭載装置。
【請求項３】
前記固定手段は、前記フィルタユニットに形成されている貫通孔を通して、ボルトを用いて前記フィルタユニットと前記支持構造体とを締結する締結手段であることを特徴とする請求項２に記載のフィルタ搭載装置。
【請求項４】
前記支持構造体は、前記ボルトを受けるナットを設置し、
前記ナットの前記フィルタユニットに向かう側の面は、前記シール部材と前記支持構造体とが接触する面よりも前記フィルタユニットに向かう側に突出し、
前記突出する量は、前記フィルタユニットが前記支持構造体に前記固定手段を用いて固定され、前記シール部材が接触により潰れた後の厚みに基づいて予め規定されることを特徴とする請求項３に記載のフィルタ搭載装置。
【請求項５】
前記支持構造体は、前記シール部材と接触する面に突出部を有し、
前記突出部の前記フィルタユニットに向かう側の面は、前記シール部材と前記支持構造体とが接触する面よりも前記フィルタユニットに向かう側に突出し、
前記突出する量は、前記フィルタユニットが前記支持構造体に前記固定手段を用いて固定され、前記シール部材が接触により潰れた後の厚みに基づいて予め規定されることを特徴とする請求項３に記載のフィルタ搭載装置。
【請求項６】
前記固定手段は、前記支持構造体に設置されている磁石を有し、該磁石を用いて前記フィルタユニットを磁気力により引き付けて前記支持構造体に吸着させる磁気吸着手段であることを特徴とする請求項３に記載のフィルタ搭載装置。
【請求項７】
前記磁石は、外部からの電気信号に基づいて、前記磁気力のＯＮ／ＯＦＦを遠隔操作により切り替え可能とする電気磁石であることを特徴とする請求項６に記載のフィルタ搭載装置。
【請求項８】
前記磁石の前記フィルタユニットに向かう側の面は、前記シール部材と前記支持構造体とが接触する面よりも前記フィルタユニットに向かう側に突出し、
前記突出する量は、前記フィルタユニットが前記支持構造体に前記固定手段を用いて固定され、前記シール部材が接触により潰れた後の厚みに基づいて予め規定されることを特徴とする請求項６または７に記載のフィルタ搭載装置。
【請求項９】
前記フィルタユニットの前記回転体に最初に接触する端部は、前記フィルタユニットの移動に合わせて前記フィルタユニットの前記支持構造体に向かう面に前記回転体を導く傾斜部を有することを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項に記載のフィルタ搭載装置。
【請求項１０】
搭載部に搭載されるフィルタユニットであって、
前記搭載部に接触する回転体と、
シール部材を介して前記搭載部と接触する第１位置と、前記シール部材を介して前記搭載部と接触しない第２位置とで変位可能なように前記回転体を支持する弾性部材と、を有することを特徴とするフィルタユニット。
【請求項１１】
前記搭載部に固定させる固定手段を有し、
前記固定手段を用いて前記搭載部に固定されたとき、前記シール部材を介して前記搭載部と接触することを特徴とする請求項１０に記載のフィルタユニット。
【請求項１２】
貫通孔を有し、
前記固定手段は、前記貫通孔を通して、ボルトを用いて前記搭載部と締結する締結手段であることを特徴とする請求項１１に記載のフィルタユニット。
【請求項１３】
パターンの像を基板に転写する露光装置であって、
請求項１ないし９のいずれか１項に記載のフィルタ搭載装置、または、請求項１０ないし１２のいずれか１項に記載のフィルタユニットを備えることを特徴とする露光装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された前記基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルタ搭載装置、フィルタユニット、露光装置、および物品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ケミカルフィルタ等のフィルタと、このフィルタを取り付けているフィルタ枠とを有するフィルタユニットを取り外し可能に保持する装置がある。このようなフィルタ搭載装置は、例えば、フィルタ枠（移動部）を搭載部（固定部）のスライドガイドに接触させつつ所定の位置に移動させ得る。特許文献１は、フィルタ下面に設置されているガスケットが搭載部に接触しない状態でフィルタ枠を所定の位置まで移動させることで、移動中にガスケットが剥がれて位置がずれることに起因する空気の漏れを抑止するフィルタ搭載装置を開示している。また、特許文献２は、同様にフィルタ枠の移動中においてフィルタ下面のガスケット剥がれを抑止するために、フィルタ枠を傾斜可能なガイド部材に沿って所定の位置まで移動させた後に固定部に設置させるフィルタ搭載装置を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−２０６７５２号公報
【特許文献２】特開２０１１−８３７４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１および２に開示されているフィルタ搭載装置では、フィルタの交換時には、フィルタ枠がスライドガイドに接触した状態で移動するため、搭載面で擦れてパーティクルが発生する可能性がある。また、フィルタ枠を移動させるには、搭載面での摩擦抵抗による摩擦力以上の押し力が必要となるため、フィルタ枠の重量や保持スペースによっては、フィルタ枠を移動させづらい場合もある。
【０００５】
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、例えば、パーティクル発生の抑止と、フィルタ交換の容易性との点で有利なフィルタ搭載装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は、搭載面上にフィルタユニットを搭載するフィルタ搭載装置であって、搭載面に沿ってフィルタユニットを移動可能に支持する支持構造体を備え、支持構造体は、フィルタユニットに接触する回転体と、フィルタユニットと搭載面とがシール部材を介して接触する第１位置と、フィルタユニットと搭載面とがシール部材を介して接触しない第２位置とで変位可能なように回転体を支持する弾性部材と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、例えば、パーティクル発生の抑止と、フィルタ交換の容易性との点で有利なフィルタ搭載装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１実施形態に係るフィルタ搭載装置の交換時の状態を示す図である。
【図２】第１実施形態に係るフィルタ搭載装置の固定時の状態を示す図である。
【図３】第１実施形態における支持構造体でのナットの設置状態を示す図である。
【図４】フィルタユニットにおける傾斜部の形状を示す図である。
【図５】第２実施形態に係るフィルタ搭載装置の固定時の状態を示す図である。
【図６】第２実施形態における支持構造体でのナットの設置状態を示す図である。
【図７】一実施形態に係るフィルタユニットの固定時の状態を示す図である。
【図８】一実施形態に係る露光装置の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明を実施するための形態について図面などを参照して説明する。
【００１０】
（第１実施形態）
まず、本発明の第１実施形態に係るフィルタ搭載装置について説明する。本実施形態に係るフィルタ搭載装置は、例えば、通過する気体（例えば空気）中に存在する有機物や無機物を除去するケミカルフィルタ等のフィルタを有するフィルタユニットを搭載面上に搭載する装置である。図１は、本発明の第１実施形態に係るフィルタ搭載装置１００に構成を示す概略図であり、特にフィルタユニット６０を交換するときの状態を示している。一方、図２は、同様にフィルタ搭載装置１００に構成を示す概略図であるが、特にフィルタユニット６０が設置（固定）され、実際に使用されるときの状態を示している。なお、図１以下の各図において、フィルタユニット６０を空気が通過する方向にＺ軸を取り、Ｚ軸に垂直な平面内にて、フィルタユニット６０を設置するときのフィルタユニット６０の移動方向にＹ軸を取り、Ｙ軸に垂直な非移動方向にＸ軸を取っている。また、図１および図２の各図とも、（ａ）は、Ｘ軸方向から見た側面図であり、（ｂ）は、Ｙ軸方向から見た側面図である。フィルタ搭載装置１００は、フィルタ本体を取り付けているフィルタユニット６０を取り外し可能に支持する支持構造体８０とを含む。
【００１１】
フィルタユニット６０は、フィルタ本体と、例えばフィルタ本体の側面（固定時に空気が通過する領域を遮らない面）の側から気密性を保持してフィルタ本体を固定するフィルタ枠とを含む。フィルタ本体は、ケミカルフィルタとし得るが、濾過対象や濾過方式については、特に限定するものではない。フィルタ枠は、図１以下の各図においてフィルタユニット６０で示される形状に一致し、空気通過面として開口を有し、全体が略立方体形状の枠体である。開口の形状は、Ｘ軸方向に沿う辺とＹ軸方向に沿う辺とを二辺とする矩形である。フィルタユニット６０（フィルタ枠）の側面部には、フィルタユニット６０を支持構造体８０に固定（締結）する際に固定ボルト９０を通す複数の貫通孔６１が形成されている。複数の貫通孔６１は、それぞれＹ軸方向に沿って直線的に、かつ、フィルタ本体の空気通過領域を挟んだ両側面部に互いに平行に配置されることが望ましい。
【００１２】
また、フィルタユニット６０は、支持構造体８０の所望の位置に固定されたときに、支持構造体８０との間で気密性を持たせるためのガスケット（シール部材）６２を有する。ガスケット６２は、例えば、軟性を有する樹脂部材であり、フィルタユニット６０に接着などで設置される。フィルタ本体には予め空気の通過方向が定められているので、ガスケット６２は、フィルタユニット６０における空気通過下流側の支持構造体８０に対向する面に、かつ、複数の貫通孔６１が並ぶ列と重ならないように配置される。支持構造体８０は、フィルタユニット６０を固定させるときにガスケット６２が接触する搭載面（接触面）８０ｂを有する。ガスケット６２は、固定時の押し付け力（ねじによる締結力）を受けてフィルタユニット６０と支持構造体８０との間で潰れることで気密性を生じさせる。ガスケット６２の潰れ量は、ガスケット６２の材質や厚み等で規定され、予め規定以上の潰れ量を確保し得るガスケットを選択する必要がある。また、搭載面８０ｂには、押し付け力でガスケット６２と密着するとともに、予めフィルタ交換等で互いに引き剥がすことが容易となる処理を施しておくことが望ましい。なお、ガスケット６２は、図１および図２ではフィルタ交換時のフィルタユニット６０の移動方向と平行な側面側にのみ図示しているが、移動方向と垂直な側面側にも同様に配置されている。また、ガスケット６２は、ここでの説明ではフィルタユニット６０側に予め設置（固定）されるものとしているが、支持構造体８０側に予め配置されるものとしてもよい。
【００１３】
支持構造体８０は、フィルタ搭載装置１００の設置先であるダクト等に接続または一体化されてフィルタユニット６０を支持するものであり、フィルタ本体により有機物等が除去された空気が流出する開口部８０ａを有する。支持構造体８０は、フィルタユニット６０が移動するときに、フィルタユニット６０の移動を促す複数の移動促進手段６９を有する。移動促進手段６９は、ローラー７０と、ばね７１とを含む。ローラー７０は、フィルタユニット６０を移動させるときにフィルタユニット６０のフィルタ枠と接触し、Ｙ軸方向に回転可能とする回転体である。ローラー７０は、支持構造体８０に形成されているローラー収納部７２に収納され、ばね７１を介して支持されている。ばね７１は、フィルタユニット６０と搭載面８０ｂとがガスケット６２を介して接触する第１位置と、フィルタユニット６０と搭載面８０ｂとがガスケット６２を介して接触しない第２位置とで変位可能なようにローラー７０を支持する弾性部材である。移動促進手段６９は、それぞれＹ軸方向に沿って直線的に、かつ、開口部８０ａを挟んだ両側面部に互いに平行に配置されることが望ましい。ここで、ローラー７０と、フィルタユニット６０に設置されているガスケット６２とのＸ軸方向の位置関係として、図１および図２では、ローラー７０とガスケット６２とが接触しないものとしている。これに対して、フィルタユニット６０を移動させるときに、ローラー７０がガスケット６２面と接触して回転するものとしてもよい。ただし、この場合、ガスケット６２がローラー７０との接触で剥がれないように、フィルタ枠に対するガスケット６２の接着力を強化するなどの対策を施すのが望ましい。また、ばね７１の弾性力は、フィルタユニット６０の自重、ローラー７０の個数、またはガスケット６２の厚さなどに基づいて決定され得る。特に、フィルタユニット６０を移動させているときに、フィルタユニット６０がローラー７０によって支持されている状態で、ガスケット６２が支持構造体８０から離間した状態となるように、弾性力は、フィルタユニット６０の荷重以上の力であることが望ましい。なお、ここでは弾性部材としてばね７１を例示したが、ばねに類似する弾性作用を有する他の弾性部材（弾性機構）を用いてもよい。
【００１４】
また、支持構造体８０は、フィルタユニット６０が移動しているときに搭載面８０ｂからローラー７０が外れるなどのローラー７０の位置ずれを抑止するガイド８１を有する。ガイド８１は、例えば、フィルタユニット６０を支持構造体８０に固定するときにフィルタユニット６０に設置されているガスケット６２と接触する支持構造体８０の搭載面８０ｂ上で、ローラー７０の側面近傍に設置されるレール状の突出部である。なお、ガイド８１の設置位置や設置個数については、フィルタユニット６０の移動または固定において妨げとならなければ、特に限定するものではない。例えば、図１および図２では、ガイド８１が支持構造体８０に設置されるものとしたが、同様のガイドをフィルタユニット６０に設置してもよい。または、このようなガイドを設置することが構造的に難しい場合には、ガスケット６２にガイド的な役割を兼ね備えさせるものとしてもよい。
【００１５】
さらに、支持構造体８０は、フィルタユニット６０を固定するときの締結手段として、複数のナット８２（図３参照）を設置している。また、複数の固定ボルト９０は、フィルタユニット６０と支持構造体８０とを固定するときの締結手段として、フィルタユニット６０に形成されている貫通孔６１を通してナット８２に締結される。
【００１６】
次に、フィルタ搭載装置１００におけるフィルタユニット６０の交換動作について説明する。まず、本実施形態に係るフィルタ搭載装置１００の説明に先立ち、本発明を適用しないフィルタ搭載装置について説明する。ここで、フィルタユニット６０を外部との間で搬入出する搬入口（搬出口）のサイズがフィルタ配置枚数分のサイズよりも小さい場合を想定する。本発明を適用しない場合、フィルタユニットを支持構造体に搬入した後に並び方向にスライドさせるので、支持構造体と、フィルタユニットに設置されているガスケットとが接触する。このとき、ユーザーは、接触部の摩擦抵抗力以上の押し力でフィルタユニットを移動させる必要があるため、ガスケットに剥がれが生じる可能性がある。特に、ガスケットが粘着テープ等でフィルタユニットに貼り付けられている場合には、この可能性が顕著である。そして、ガスケットがフィルタユニットから剥がれた状態でフィルタユニットが固定されると、フィルタユニットと支持構造体との間に隙間が生じ、空気のすべてがフィルタ本体を通過せず、一部の空気が隙間から漏れる。これは、空気中から良好に有機物等を除去できないことのみならず、フィルタ搭載装置が空調装置（空調機室）に設置されるとすると、その空調装置の性能も損なう可能性があり望ましくない。また、支持構造体とガスケットとの接触による擦れ、ひいては、ガスケット剥がれによるフィルタユニットと支持構造体との擦れによるパーティクルの発生も懸念される。そこで、本実施形態では、上記のようなフィルタ搭載装置１００の構成のもと、以下のようにフィルタユニット６０の交換を行う。
【００１７】
まず、ユーザーは、フィルタ搭載装置１００の搬入口からフィルタユニット６０を搬入し、搭載面８０ｂに沿って移動促進手段６９のローラー７０上を滑らせながら、フィルタユニット６０をＹ軸方向について所望の設置位置に位置決めする。なお、この状態では、フィルタユニット６０に設置されているガスケット６２は、未だ搭載面８０ｂに接触していない。次に、ユーザーは、フィルタユニット６０に形成されている複数の貫通孔６１と支持構造体８０に設置されている複数のナット８２との位置を合せて、その後、固定ボルト９０を複数の貫通孔６１を通して締め付ける。この固定ボルト９０の締結によりガスケット６２が潰れ、ガスケット６２と搭載面８０ｂとが密着する。これにより、フィルタユニット６０が支持構造体８０に密に固定され、フィルタ本体を通過する空気が搭載面８０ｂから漏れるのを抑えることができる。また、固定ボルト９０の締結により、各ばね７１は、鉛直方向（Ｚ軸方向マイナス側）に変形し（収縮し）、各ローラー７０は、さらに各ばね７１の変形量分、ローラー収納部７２に収納させる。ここでのばね７１の変形量は、固定ボルト９０による締結が行われていない状態のガスケット６２と搭載面８０ｂとのギャップ量にガスケット６２の潰れ量を加えた量である。さらに、搭載面８０ｂからの空気漏れの抑止を確実にするため、固定ボルト９０を規定トルクで締結することが望ましい。規定トルクは、固定ボルト９０のサイズおよび使用個数、ばね７１の弾性力、または、ガスケット６２の潰れに対する反発力に基づいて決定され得る。
【００１８】
なお、ガスケット６２の潰れ量を管理する点において、上記のようにトルクを規定すること以外にも、構造的な手段を用いることで、さらに空気漏れの抑止の確実性を向上させることができる。図３は、支持構造体８０に設置されているナット８２の状態を示す概略側面図である。なお、図３（ａ）は、Ｘ軸方向から見た一部の側面図であり、図３（ｂ）は、Ｙ軸方向から見た側面図である。ナット８２は、例えば搭載面８０ｂに設置されるものであり、溶接または接着等で固定される。このとき、ナット８２は、フィルタユニット６０が固定されているとき（固定ボルト９０で締結されているとき）に、その上面がフィルタユニット６０と接触するように、搭載面８０ｂよりも上側（フィルタユニット６０に向かう側）に突出するように設置される。この構成によれば、ナット８２の突出量（突出する量）ｈは、固定ボルト９０の締結によりガスケット６２が潰れた後の厚みとなる。すなわち、ユーザーは、ナット８２の突出量ｈを予め調整しておくことで、ガスケット６２の潰れ量を締結ごとに調整する必要がないので、搭載面８０ｂからの空気漏れを抑える確実性（または容易性）が向上する。なお、このようなナット８２を用いる構成は、ガスケット６２の潰れ量を構造的に管理する一例であり、ナットを用いるのではなく、例えば単なる突起物（突出部）を設置するものとしてもよい。
【００１９】
ここで、あるローラー７０上でフィルタユニット６０を移動させるときは、ばね７１がフィルタユニット６０の自重に起因して鉛直方向に変形するので、そのローラー７０の位置は、無負荷の状態のときよりも鉛直方向に下がる。そのため、フィルタユニット６０の移動方向に並ぶ次のローラー７０の上端と、ローラー７０が接触するフィルタユニット６０のローラー接触面６５とで、高さに差が生じる。したがって、その次のローラー７０とローラー接触面６５とが接触するとき、ローラー７０が引っ掛かるなどフィルタユニット６０の移動に支障をきたす場合も考えられる。そこで、このような支障を低減し、フィルタユニット６０の移動を容易とするために、フィルタユニット６０におけるローラー接触面６５と連通し、最初にローラー７０と接触するフィルタ枠の端部に傾斜部を形成しておくことが望ましい。
【００２０】
図４は、フィルタユニット６０における傾斜部６３の形状を示す概略側面図である。傾斜部６３は、上記のとおりフィルタ枠の端部（フィルタユニット６０のＸ軸方向の両側面部、かつ、Ｙ軸方向の両端部）に形成される。特に、図４（ａ）は、Ｘ軸方向から見て直線的な傾斜を有する傾斜部６３を示している。また、図４（ｂ）は、Ｘ軸方向から見て曲線的な傾斜を有する傾斜部６３を示している。なお、図４では、Ｘ軸方向から見たＹ軸方向についての形状のみ示しているが、傾斜部６３は、Ｘ軸方向の両側面部にも傾斜を有する。傾斜部６３は、このような形状を有することで、ローラー７０と接触した後、ローラー７０を介してばね７１を鉛直方向に変形させて、ローラー７０をスムーズに回転させやすくする。
【００２１】
このように、フィルタ搭載装置１００は、移動促進手段６９を採用することで、ユーザーがフィルタユニット６０を交換するとき、特にフィルタユニット６０を支持構造体８０上で移動させるときに、容易に（スムーズに）移動させることができる。さらに、フィルタユニット６０とローラー７０との接触時に生じる摩擦力を極力低減させることができることから、この接触に起因するパーティクルの発生を抑止することができる。また、フィルタユニット６０を移動させている間は、フィルタユニット６０または支持構造体８０のいずれか一方に設置されているガスケット６２が他方の搭載面と離間し接触しないので、ガスケット６２の剥がれを抑止することができる。したがって、ガスケット６２の擦れに起因するパーティクルの発生も抑止することができる。また、ガスケット６２の剥がれが抑止されることで、フィルタユニット６０を支持構造体８０に固定した後、フィルタユニット６０と搭載面８０ｂからの空気漏れが抑止される。したがって、例えば、フィルタ搭載装置１００が設置される空調装置の性能低下を抑えることができる。本実施形態のガスケット６２の剥がれを抑止する効果は、例えば、フィルタユニット６０を搬入出する搬入口のサイズがフィルタ配置枚数分のサイズよりも小さい場合に有効である。
【００２２】
以上のように、本実施形態によれば、パーティクル発生の抑止と、フィルタ交換の容易性との点で有利なフィルタ搭載装置を提供することができる。
【００２３】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係るフィルタ搭載装置について説明する。上記第１実施形態では、フィルタユニット６０を支持構造体８０の所定の設置位置で固定する手段として、固定ボルト９０とナット８２とを用いた締結手段を例示した。これに対して、本実施形態に係るフィルタ搭載装置の特徴は、フィルタユニット６０を支持構造体８０の所定の位置に固定する手段として、締結手段に換えて、磁石を用いた磁気吸着手段を用いる点にある。
【００２４】
図５は、本実施形態に係るフィルタ搭載装置２００の構成を示す概略図であり、フィルタユニット６０が設置（固定）され、実際に使用されるときの状態を示している。なお、フィルタ搭載装置２００の各構成要素において、第１実施形態に係るフィルタ搭載装置１００の構成要素と同一のものには同一の符号を付し、説明を省略する。フィルタ搭載装置２００は、磁気吸着手段としての磁気吸着機構９２を備える。磁気吸着機構９２は、複数の磁石９１と、電源９３と、信号指令部９４とを含む。磁石９１は、例えば、支持構造体８０に設置され、外部から電気信号を受信し、この電気信号に基づいて吸着（磁気発生）のＯＮ／ＯＦＦを切り替え可能とする電気磁石である。複数の磁石９１は、それぞれＹ軸方向に沿って直線的に、かつ、開口部８０ａを挟んだ両側面部に互いに並行に配置されることが望ましい。電源９３は、各磁石９１に電気を供給する。信号指令部９４は、各磁石９１に電気信号を送信することで、吸着のＯＮ／ＯＦＦの切り替えを制御する。なお、磁気吸着機構９２の上記構成は一例であり、特に電源９３と信号指令部９４とをどのように構成するかは任意である。また、磁石９１は、電気磁石に限らず、磁気力のＯＮ／ＯＦＦを切り替え可能なレバーを備えた手動式の磁石であってもよいし、それらを組み合わせたものであっても構わない。
【００２５】
ここで、本実施形態では、磁気力によりフィルタユニット６０を支持構造体８０に固定するので、フィルタユニット６０を構成するフィルタ枠の少なくとも磁石９１と接触する部分が、磁石９１に引き寄せられる鉄など磁性体である必要がある。または、それに換えて、フィルタ枠における磁石９１と接触する箇所に、予め磁性体部材を設置するものとしてもよい。
【００２６】
また、第１実施形態では、図３に示したように、ナット８２の突出量ｈを予め調整しておくことでガスケット６２の潰れ量を管理しやすくし、搭載面８０ｂからの空気漏れを抑える確実性を向上させた。これと同様に、本実施形態においては、磁石９１に上記ナット８２の役割を担わせる。図６は、支持構造体８０に設置されている磁石９１の状態を示す概略側面図である。なお、図６（ａ）は、Ｘ軸方向から見た一部の側面図であり、図６（ｂ）は、Ｙ軸方向から見た側面図である。この場合、磁石９１は、フィルタユニット６０が固定されているとき（磁石９１で吸着されているとき）に、磁石９１の上面がフィルタユニット６０と接触するように、搭載面８０ｂよりも上側（フィルタユニット６０に向かう側）に突出するように設置される。この構成によれば、磁石９１の突出量ｈは、磁石９１の吸着によりガスケット６２が潰れた後の厚みとなる。すなわち、ユーザーは、磁石９１の突出量ｈを予め調整しておくことで、ガスケット６２の潰れ量を吸着ごとに調整する必要がないので、搭載面８０ｂからの空気漏れを抑える確実性（または容易性）が向上する。
【００２７】
このような構成のもと、ユーザーは、フィルタユニット６０を支持構造体８０の所定の設置位置に移動させた後、磁石９１の磁気力をＯＮ状態とさせることで、フィルタユニット６０を支持構造体８０に吸着固定させることができる。これとは逆に、ユーザーは、フィルタユニット６０を支持構造体８０から引き離すときは、磁石９１の磁気力をＯＦＦ状態とすればよい。
【００２８】
なお、上記説明では、フィルタユニット６０を構成するフィルタ枠の少なくとも磁石９１と接触する部分を磁性体とするか、または、その部分に予め磁性体部材を設置するとした。これに対して、例えば、フィルタ枠の少なくとも磁石９１と接触する部分に、特定の極を帯びた磁石を設置する構成もあり得る。そして、支持構造体８０側の磁石９１は、正極と負極とを適宜切り替えられるものとする。例えば、負極を帯びた磁石をフィルタユニット６０に設置しておけば、ユーザーは、フィルタユニット６０を支持構造体８０の所定の位置に移動させた後、磁石９１を正極とさせることで、フィルタユニット６０を支持構造体８０に吸着固定させることができる。これとは逆に、ユーザーは、フィルタユニット６０を支持構造体８０から引き離すときは、磁石９１の極を負極とすればよい。この場合の利点としては、特にフィルタユニット６０を支持構造体８０から引き離すときに反発力が働くので、引き離しがより容易となり得る。
【００２９】
このように、本実施形態によれば、第１実施形態と同様の効果を奏するとともに、磁気吸着手段を用いることでフィルタユニット６０を支持構造体８０に固定するので、第１実施形態の場合に比べて、ユーザーによる作業が容易となる。特に、磁石９１として電気磁石を採用する場合には、ユーザーがフィルタユニット６０を支持構造体８０に固定または引き離させるときに、磁気力のＯＮ／ＯＦＦを遠隔操作で制御すればよいのであるから、フィルタユニット６０を触れる必要がない。したがって、フィルタ搭載装置２００においてフィルタユニット６０の設置スペースが狭い場合などには特に有用である。
【００３０】
（フィルタユニット）
次に、本発明の一実施形態に係るフィルタユニットについて説明する。上記のフィルタ搭載装置に係る各実施形態では、ローラー７０を含む移動促進手段６９を支持構造体８０に設置するものとした。これに対して、本実施形態に係るフィルタユニットの特徴は、上記各実施形態において説明したフィルタユニット６０に相当するものであり、フィルタ搭載装置１００、２００の支持構造体（搭載部）８０に代わり移動促進手段６９に相当する手段を有する点にある。
【００３１】
図７は、本実施形態に係るフィルタユニット６６の構成を示す概略図である。フィルタユニット６６は、上記各実施形態における複数の移動促進手段６９に対応する複数の移動促進手段６７を有する。移動促進手段６７は、それぞれフィルタユニット６６に設置されるものであり、ローラー７３と、ばね７４とを含む。ローラー７３およびばね７４は、上記各実施形態におけるローラー７０およびばね７１と同様の構成であり、同様の設置条件でフィルタユニット６６に設置される。ただし、ばね７４については、無負荷で、かつフィルタユニット６６の自重負荷がある状態で、ローラー７３の下端よりもガスケット６２の表面が突出してガスケット６２が搭載面８０ｂと接触しないように、ばね長や弾性力を規定しておく必要がある。フィルタ枠に形成されている固定部７５は、ばね７４を固定する。また、フィルタ枠には、各ローラー７３を支持構造体８０に向けて表出させる複数の貫通部６４が形成されている。貫通部６４は、フィルタユニット６６の自重方向（Ｚ軸方向の上下）にローラー７３が移動しても接触しない程度のサイズを有する。なお、貫通部６４は、移動促進手段６７をフィルタユニット６６（フィルタ枠）に設置容易とするために、孔よりも、側面に開口を有する切り欠きとすることが望ましい。
【００３２】
このように、本実施形態によれば、第１実施形態に係るフィルタ搭載装置１００と同様の効果を奏するとともに、移動促進手段を支持構造体８０には設置しないので、支持構造体８０の構造を簡易的にしたい場合には有効である。また、移動促進手段６７をフィルタユニット６６に設置する場合には、上記各実施形態のようにフィルタユニット６０の移動行路上に満遍なく多数設置する必要がなく、少なくとも移動方向（Ｙ軸方向）に２組設置すればよい。したがって、この場合には、移動促進手段の設置数を上記各実施形態の場合よりも削減することができるので、フィルタ搭載装置を含めた組み合わせ全体のコストダウンにも寄与する。
【００３３】
なお、ローラー７３と接触する支持構造体８０の搭載面８０ｂ（図１等参照）は、フィルタユニット６６の移動において困難にならない程度の平滑面とする。また、本実施形態の構成によれば、ローラー７３は、搭載面８０ｂに接しながら回転移動するのみであるので、フィルタユニット６６は、第１実施形態で例示したような傾斜部６３を有する必要はない。
【００３４】
（露光装置）
次に、本発明の一実施形態に係る露光装置について説明する。図８は、本実施形態に係る露光装置１の構成を示す概略図である。露光装置１は、例えば、液晶表示デバイスや有機ＥＬデバイスなどのフラットパネルの製造工程におけるリソグラフィー工程で使用されるものである。本実施形態では、露光装置１は、ステップ・アンド・スキャン方式にて、マスク（原版）２０に形成されているパターンを、例えばガラスプレート（基板）３０上に転写（露光）する走査型投影露光装置とする。
【００３５】
露光装置１は、照明光学系４１と、マスクステージ２１と、投影光学系４３と、プレートステージ３３と、レーザー干渉測長器５０と、観察光学系４０とを備える。照明光学系４１は、水銀ランプ等の光源４２を有し、スリット状（例えば円弧形状）に成形された照明光をマスク２０に照射する。マスクステージ２１は、マスク２０を保持しつつ、Ｙ軸方向（走査方向）に移動可能である。投影光学系４３は、複数のミラーにより構成されたミラープロジェクション方式を採用し、マスク２０に形成されているパターンの像を、プレートステージ３３に保持されているガラスプレート３０に例えば等倍で投影する。プレートステージ３３は、定盤３１上に設置され、ガラスプレート３０をチャック３２を介して保持しつつ、例えば、Ｘ、Ｙ、Ｚ、ωｘ、ωｙ、ωｚの６方向に移動可能である。露光時には、マスクステージ２１に保持されているマスク２０と、プレートステージ３３に保持されているガラスプレート３０とは、投影光学系４３を介して共役な位置関係（投影光学系４３の物体面および像面）に配置される。レーザー干渉測長器５０は、マスクステージ２１およびプレートステージ３３の位置を計測する。レーザー干渉測長器５０は、具体的には、レ−ザーヘッド５１と、２つの干渉ミラ−５２、５３と、プレートステージ３３に設置されている第１反射ミラ−５４と、マスクステージ２１に設置されている第２反射ミラ−５５とを含む。観察光学系４０は、照明光学系４１とマスクステージ２１との間に設置され、マスク２０に形成されているマークと、ガラスプレート３０上に形成されているマークとを、投影光学系４３を介して同時に観察する。露光装置１は、露光に先立ち、観察光学系４０を用いて観察された画像に基づいて、マスク２０とガラスプレート３０とのアライメント（位置合わせ）を行う。
【００３６】
また、露光装置１は、露光装置本体を収納するチャンバー（サーマルチャンバー）１０を備える。チャンバー１０は、外気またはチャンバー１０内の循環空気を取り込み、当該空気の温度や流量を調整してチャンバー１０内に送り込むことで、露光装置本体の周囲温度を調節する温度調節機構５６を備える。温度調節機構５６は、露光装置本体の周囲空間と連通して空気が流動するダクト（管路）を有し、ダクトに、空調機室１１と、フィルタボックス１２とを含む循環系である。空調機室１１は、外気またはチャンバー１０内から流入した循環空気の温度調整を行う。また、温度調節機構５６は、露光装置本体の周囲空間の温度を計測する温度計５７と、温度計５７が計測した温度に基づいて空調機室１１に空気の温度を目標温度に調整させる温度制御部５８とを含む。フィルタボックス１２は、ダクト内の空気に含まれる微小な異物を濾過し、清浄空気の均一な流れを形成するフィルタユニットであり、例えばダクトにおける複数の空気放出口にそれぞれ設置される。チャンバー１０内で温度調節機構５６を用いることにより、例えば、レーザー干渉測長器５０を用いた位置計測制御において、レーザー光（計測光）に対する露光装置本体の周囲温度の変化の影響を抑えることができるので、計測精度を良好に維持することができる。
【００３７】
また、空調機室１１は、外気または循環空気を取り込む際にそれらに含まれる有機物または無機物を除去するケミカルフィルタ１４を含む。ここで、ケミカルフィルタ１４を空調機室１１内に設置する装置として、上記各実施形態に係るフィルタ搭載装置またはフィルタユニットを採用し得る。この場合、支持構造体８０は、空調機室１１の一部である。空調機室１１は、フィルタ本体としてケミカルフィルタ１４を取り付けているフィルタユニット６０を搬入出する搬入口を有し、ユーザーは、この搬入口からフィルタユニット６０の交換作業を行う。
【００３８】
このように上記各実施形態に係るフィルタ搭載装置またはフィルタユニットを採用した露光装置によれば、フィルタ交換が容易となる。したがって、例えば、ダウンタイムの低減に有利となり、または、パーティクルの発生に伴う露光処理への影響を極力抑えることができる。
【００３９】
なお、上記各実施形態では、フィルタ本体を通過する空気の流れ方向が鉛直方向である場合、すなわちフィルタユニット６０が横置きである場合について説明した。しかしながら、本発明は、これに限られず、支持構造体８０に対してフィルタユニット６０が移動する面（搭載面８０ｂ）、および、フィルタ本体を通過する空気の流れ方向が鉛直方向ではない場合にも適用可能である。ここで、鉛直方向でない方向とは、例えば、鉛直方向に垂直な方向であり、すなわちフィルタユニット６０が縦置きである場合を含む。ただし、このようにフィルタユニット６０を縦置きとする場合には、支持構造体８０に対してフィルタユニット６０を移動させるときに、搭載面８０ｂとは反対側にフィルタユニット６０が倒れないように案内する機構等を設置するなどの対策が必要である。
【００４０】
（物品の製造方法）
本発明の一実施形態に係る物品の製造方法は、例えば、液晶表示デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、基板に塗布された感光剤に上記の露光装置を用いて潜像パターンを形成する工程（基板を露光する工程）と、係る工程で潜像パターンが形成された基板を現像する工程とを含む。さらに、係る製造方法は、他の周知の工程（酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等）を含む。本実施形態に係る物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも１つにおいて有利である。
【００４１】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、これらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。
【符号の説明】
【００４２】
６０    フィルタユニット
６２    ガスケット
７０    ローラー
７１    ばね
８０    支持構造体
１００  フィルタ搭載装置
【図１】
2016152353.tif 000003
【図２】
2016152353.tif 000004
【図３】
2016152353.tif 000005
【図４】
2016152353.tif 000006
【図５】
2016152353.tif 000007
【図６】
2016152353.tif 000008
【図７】
2016152353.tif 000009
【図８】
2016152353.tif 000010