(57)【要約】【課題】高さ方向に複数の載置台を有する蓋体開閉装置において、載置台に載置された基板収納容器内の基板への異物の付着を抑制すること。【解決手段】一側面に取出口と取出口を塞ぐ蓋体とを有する基板収納容器が載置可能な載置台を高さ方向に複数設けた蓋体開閉装置であって、複数の載置台の各々に載置された基板収納容器の蓋体と対向するように設けられた蓋体開閉機構を備え、少なくとも上段の載置台側の蓋体開閉機構は、蓋体と対向する面に、蓋体の着脱時に駆動するラッチキーと、蓋体開閉機構と蓋体との間の空間内のガスを吸引するための吸引ポートと、蓋体を吸着保持する蓋体保持部と、ラッチキー及び吸引ポートよりも外周側に設けられるパッキンと  を有することを特徴とする、蓋体開閉装置が提供される。【選択図】図３
2016063081.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一側面に取出口と前記取出口を塞ぐ蓋体とを有する基板収納容器が載置可能な載置台を高さ方向に複数設けた蓋体開閉装置であって、
前記複数の載置台の各々に載置された前記基板収納容器の前記蓋体と対向するように設けられた蓋体開閉機構を備え、
少なくとも上段の載置台側の前記蓋体開閉機構は、前記蓋体と対向する面に、
前記蓋体の着脱時に駆動するラッチキーと、
前記蓋体開閉機構と前記蓋体との間の空間内のガスを吸引するための吸引ポートと、
前記蓋体を吸着保持する蓋体保持部と、
前記ラッチキー及び前記吸引ポートよりも外周側に設けられるパッキンと
を有することを特徴とする、
蓋体開閉装置。
【請求項２】
前記パッキンは、前記ラッチキー及び前記吸引ポートを囲むように設けられていることを特徴とする、
請求項１に記載の蓋体開閉装置。
【請求項３】
前記吸引ポートは、排気手段と接続され、
前記排気手段は、前記吸引ポートを介して前記蓋体開閉機構と前記蓋体との間の空間内のガスを排気することを特徴とする、
請求項１又は２に記載の蓋体開閉装置。
【請求項４】
前記パッキンは、前記蓋体開閉機構と前記蓋体との間に閉塞空間を形成し、
前記排気手段は、前記吸引ポートを介して前記閉塞空間内のガスを排気することを特徴とする、
請求項３に記載の蓋体開閉装置。
【請求項５】
高さ方向に複数の載置台を有する蓋体開閉装置の載置台の各々に載置された、一側面に取出口と前記取出口を塞ぐ蓋体とを有する基板収納容器の蓋体を蓋体開閉機構により開閉する蓋体開閉方法であって、
少なくとも上段の載置台側の蓋体開閉機構は、前記蓋体と対向する面に、
前記蓋体の着脱時に駆動するラッチキーと、
排気手段と接続された吸引ポートと、
前記蓋体を吸着保持する蓋体保持部と、
前記ラッチキー及び前記吸引ポートよりも外周側に設けられるパッキンと
を有し、
前記基板収納容器の前記蓋体を取り外す前に、前記吸引ポートを介して前記上段の載置台側の蓋体開閉機構と前記蓋体との間の空間内のガスを排気することを特徴とする、
蓋体開閉方法。
【請求項６】
前記取出口が開口した前記基板収納容器に前記蓋体を取り付けた後に、前記上段の載置台側の蓋体開閉機構により前記上段の載置台側の蓋体開閉機構と前記蓋体との間の空間内の圧力を大気圧にすることを特徴とする、
請求項５に記載の蓋体開閉方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蓋体開閉装置及び蓋体開閉方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体製造工程においては、基板の一例である半導体ウエハ（以下「ウエハ」ともいう。）が搬送される際、ウエハの表面にパーティクル等の異物が付着するのを防止するために、ウエハは密閉された基板収納容器に収納されて搬送される。基板収納容器としては、例えばＳＥＭＩ規格で規定されたＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）が用いられる。ＦＯＵＰは、内部に複数のウエハが載置可能な容器であり、一側面に取出口を有する筐体状の本体と、本体の取出口を覆う蓋体とを有する。
【０００３】
ＦＯＵＰは、ウエハに所定の処理を行う基板処理装置に取り付けられた蓋体開閉装置の載置台に載置される。そして、ＦＯＵＰの蓋体は、蓋体開閉装置の蓋体開閉機構により取り外され、ウエハが基板処理装置へと搬送される。さらに、基板処理装置で処理が施されたウエハは、基板処理装置から搬出され、ＦＯＵＰへと収納される。
【０００４】
ところで、ＦＯＵＰを用いたウエハの搬送においては、生産性を向上させることが求められている。
【０００５】
そこで、基板処理装置のウエハ搬送領域の前面に１つの載置台を備える蓋体開閉装置を並列に複数取り付けた構成が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−２５１６５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述のような構成では、基板処理装置のウエハ搬送領域の前面に取り付けられる蓋体開閉装置の数が増加すると、蓋体開閉装置を設置するために必要な面積（以下「フットプリント」という。）が大きくなるといった問題がある。
【０００８】
係る問題に対して、基板処理装置のウエハ搬送領域の前面に、基板処理装置の高さ方向に複数の載置台を有する蓋体開閉装置を取り付けることによりフットプリントの増大を抑制することができる。しかし、この場合、複数の載置台のうち上段の載置台に載置された基板収納容器の蓋体の開閉等により発生する異物が下方に落下し、当該上段の載置台よりも下方の載置台に載置された基板収納容器内のウエハに付着することがある。
【０００９】
そこで、本発明の一つの案では、高さ方向に複数の載置台を有する蓋体開閉装置において、載置台に載置された基板収納容器内の基板への異物の付着を抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
一つの案では、一側面に取出口と前記取出口を塞ぐ蓋体とを有する基板収納容器が載置可能な載置台を高さ方向に複数設けた蓋体開閉装置であって、前記複数の載置台の各々に載置された前記基板収納容器の前記蓋体と対向するように設けられた蓋体開閉機構を備え、少なくとも上段の載置台側の前記蓋体開閉機構は、前記蓋体と対向する面に、前記蓋体の着脱時に駆動するラッチキーと、前記蓋体開閉機構と前記蓋体との間の空間内のガスを吸引するための吸引ポートと、前記蓋体を吸着保持する蓋体保持部と、前記ラッチキー及び前記吸引ポートよりも外周側に設けられるパッキンと
を有することを特徴とする、蓋体開閉装置が提供される。
【発明の効果】
【００１１】
一態様によれば、高さ方向に複数の載置台を有する蓋体開閉装置において、載置台に載置された基板収納容器内の基板への異物の付着を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態に係る縦型熱処理装置の縦断面図。
【図２】本発明の一実施形態に係る縦型熱処理装置の平面図。
【図３】本発明の一実施形態に係る蓋体開閉装置の斜視図。
【図４】本発明の一実施形態に係る蓋体開閉装置の載置台に載置されるキャリアを例示する斜視図。
【図５】図４におけるキャリアの蓋体の正面断面図。
【図６】本発明の一実施形態に係る蓋体開閉方法の説明図。
【図７】本発明の一実施形態に係る蓋体開閉方法の説明図。
【図８】本発明の一実施形態に係る蓋体開閉方法の説明図。
【図９】本発明の一実施形態に係る蓋体開閉方法の説明図。
【図１０】本発明の一実施形態に係る蓋体開閉方法の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について添付の図面を参照しながら説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複した説明を省く。
【００１４】
（縦型熱処理装置の全体構成）
まず、本発明の一実施形態に係る蓋体開閉装置が組み込まれた縦型熱処理装置について、図１及び図２を参照しながら説明する。なお、本実施形態に係る蓋体開閉装置は、縦型熱処理装置以外の種々の基板処理装置の搬出入部分に適用することができるが、説明の便宜上、本実施形態においては、蓋体開閉装置を具体的な基板処理装置の一つである縦型熱処理装置に用いた例について説明する。
【００１５】
図１は、本発明の一実施形態に係る縦型熱処理装置の縦断面図である。図２は、本発明の一実施形態に係る縦型熱処理装置の平面図である。
【００１６】
縦型熱処理装置は、図１及び図２に示すように、筐体１１に収容されて構成される。筐体１１は、縦型熱処理装置の外装体を構成する。筐体１１内には、キャリア搬送領域Ｓ１と、ウエハ搬送領域Ｓ２とが隔壁２により仕切られることにより形成されている。
【００１７】
なお、キャリアＣは、基板収納容器の一例である。また、以下の説明では、キャリア搬送領域Ｓ１及びウエハ搬送領域Ｓ２の配列方向である図１のＸ方向を縦型熱処理装置の前後方向とし、図１のＹ方向を左右方向とし、縦型熱処理装置の高さ方向である図１のＺ方向を上下方向とする。
【００１８】
キャリア搬送領域Ｓ１は、大気雰囲気下にある領域であり、被処理体であるウエハＷが収納されたキャリアＣを装置に対して搬送（搬入又は搬出）する領域である。複数の処理装置間の領域がキャリア搬送領域Ｓ１に該当し、本実施形態においては、縦型熱処理装置の外部のクリーンルーム内の空間がキャリア搬送領域Ｓ１に該当する。
【００１９】
また、キャリア搬送領域Ｓ１は、第１の搬送領域１２と、第１の搬送領域１２の後方側（ウエハ搬送領域Ｓ２側）に位置する第２の搬送領域１３とを含む。
【００２０】
第１の搬送領域１２は、例えばクリーンルームの天井部又は床面に沿って移動する自動搬送ロボットによりキャリアＣが載置される領域である。第１の搬送領域１２の左右方向には、キャリアＣを各々載置可能な２つの第１の載置台１４が設けられている。第１の載置台１４の載置面には、キャリアＣを位置決めする突起部１５が、例えば３個所に設けられている。
【００２１】
また、第１の搬送領域１２には、キャリアＣを第１の載置台１４と後述する第２の載置台１６と後述するキャリア保管部１８との間で搬送するキャリア搬送機構２１が設けられている。キャリア搬送機構２１は、左右に伸び、かつ昇降自在なガイド部２１ａと、ガイド部２１ａにガイドされながら左右に移動する移動部２１ｂと、移動部２１ｂに設けられキャリアＣを保持して水平方向に搬送する関節アーム２１ｃとを備えている。
【００２２】
第２の搬送領域１３には、第１の載置台１４に対して前後方向に並ぶように、キャリアＣを各々載置可能な複数の第２の載置台１６が設けられている。本実施形態では、図１に示すように、第２の搬送領域１３の上下方向にキャリアＣを載置する第２の載置台１６が２段に設けられており、図２に示すように、第２の搬送領域１３の左右方向にキャリアＣを載置する第２の載置台１６が２列に設けられている。すなわち、第２の搬送領域１３には、第２の載置台１６が４つ（上下方向に２つ、左右方向に２つ）設けられている。
【００２３】
なお、第２の載置台１６は、上下方向に複数設けられていれば特に限定されず、例えば上下方向に３段、左右方向に１列設けられている構成であってもよい。この場合、並列配置する蓋体開閉装置の数を少なくすることができるため、フットプリントの増大を抑制することができる。また、同一の数の第２の載置台１６を設けるために必要となる蓋体開閉装置の数が少なくなるため、蓋体開閉装置を製造するためのコストを低減することができる。
【００２４】
第２の載置台１６は、前後に移動自在に構成されている。第２の載置台１６の載置面には、第１の載置台１４の載置面と同様にキャリアＣを位置決めする突起部１５が、例えば３個所に設けられている。また、第２の載置台１６の載置面には、キャリアＣを固定するためのフック１６ａが設けられている。
【００２５】
隔壁２の第２の載置台１６が設けられた位置と対応する位置には、キャリア搬送領域Ｓ１とウエハ搬送領域Ｓ２とを連通させるウエハＷの搬送口２０が設けられている。搬送口２０には、当該搬送口２０をウエハ搬送領域Ｓ２側から塞ぐ蓋体開閉機構６が設けられている。蓋体開閉機構６には駆動機構５０が接続されており、駆動機構５０により蓋体開閉機構６は前後方向及び上下方向に移動自在に構成され、搬送口２０が開閉される。
【００２６】
なお、蓋体開閉機構６による搬送口２０を開閉する動作については、特に限定されるものではない。例えば高さ方向に２段に設けられた蓋体開閉機構６を閉状態から開状態にするときの開放移動方向を同一方向、例えば下方向とすることができる。また、例えば高さ方向に２段に設けられた蓋体開閉機構６の閉状態から開状態にするときの開放移動方向を相互に異ならせることができる。すなわち、上段の蓋体開閉機構６の開放移動方向を上方向とし、下段の蓋体開閉機構６の開放移動方向を下方向とすることができる。また、蓋体開閉機構６を開状態から閉状態にするときも同様である。
【００２７】
また、第２の搬送領域１３の上部側には、図１に示すように、キャリアＣを保管するキャリア保管部１８が設けられている。キャリア保管部１８は２段以上の棚により構成されており、各棚には左右に２つのキャリアＣを載置することができる。なお、図１では棚が２段である例を示しているが、本発明はこの点において限定されるものではない。
【００２８】
ウエハ搬送領域Ｓ２は、キャリアＣ内のウエハＷを搬送して後述の熱処理炉２２内に搬入するための移載領域である。ウエハ搬送領域Ｓ２は、搬入されたウエハＷに酸化膜が形成されることを防ぐために、不活性ガス雰囲気、例えば窒素（Ｎ２）ガス雰囲気とされており、キャリア搬送領域Ｓ１よりも清浄度が高く、かつ低酸素濃度に維持されている。
【００２９】
ウエハ搬送領域Ｓ２には、下端が炉口として開口された縦型の熱処理炉２２が設けられている。熱処理炉２２の下方側には、多数枚のウエハＷを棚状に保持するウエハボート２３が断熱部２４を介してキャップ２５の上に載置されている。キャップ２５は昇降機構２６の上に支持されており、昇降機構２６によりウエハボート２３が熱処理炉２２に対して搬入又は搬出される。
【００３０】
また、ウエハボート２３と隔壁２の搬送口２０との間には、ウエハ搬送機構２７が設けられている。ウエハ搬送機構２７は、図２に示すように、左右に伸びるガイド機構２７ａを有する。また、ウエハ搬送機構は、図１に示すように、鉛直軸回りに回動する移動体２７ｂと、複数の進退自在なアーム２７ｃとを有する。そして、ウエハ搬送機構２７は、ガイド機構２７ａに沿った移動と、移動体２７ｂによる鉛直軸回りの回動と、アーム２７ｃによる進退とによって、ウエハボート２３と第２の載置台１６上のキャリアＣとの間でウエハＷを搬送する。
【００３１】
また、縦型熱処理装置には、図１に示すように、例えばコンピュータからなる制御部１Ａが設けられている。制御部１Ａは、プログラム、メモリ、ＣＰＵからなるデータ処理部等を備えている。プログラムには、制御部１Ａから縦型熱処理装置の各部に制御信号を送り、各処理を進行させるように命令（各ステップ）が組み込まれている。その制御信号によりキャリアＣの搬送、ウエハＷの搬送、蓋体４１の開閉、蓋体開閉機構６の動作等の動作が制御され、ウエハＷの搬送及び処理が行われる。
【００３２】
プログラムは、コンピュータ記憶媒体、例えばフレキシブルディスク、コンパクトディスク、ハードディスク、ＭＯ（光磁気ディスク）及びメモリーカード等の記憶媒体に格納されて制御部１Ａにインストールされる。
【００３３】
（蓋体開閉装置の構成）
次に、蓋体開閉装置の構成の詳細について、図３を参照しながら説明する。本実施形態に係る蓋体開閉装置は、種々の基板処理装置に取り付けられ、キャリアＣの蓋体４１を自動的に開閉するためのロードポートである。
【００３４】
図３は、本発明の一実施形態に係る蓋体開閉装置の斜視図である。
【００３５】
蓋体開閉装置は、図３に示すように、上下方向に２段に設けられた第２の載置台１６と、第２の載置台１６と同様に上下方向に２段に設けられた蓋体開閉機構６とを含む。
【００３６】
第２の載置台１６の載置面には、前述したように、キャリアＣを位置決めする突起部１５が、例えば３個所に設けられている。また、第２の載置台１６の載置面には、キャリアＣを固定するためのフック１６ａが設けられている。
【００３７】
蓋体開閉機構６は、キャリア搬送領域Ｓ１側に、蓋体４１を取り外す、又は取り付ける機能を有する。
【００３８】
蓋体開閉機構６は、キャリア搬送領域Ｓ１側の面に、吸引ポート６１と、蓋体保持部６２と、ラッチキー６３と、パッキン６４とを備えている。
【００３９】
吸引ポート６１は、蓋体開閉機構６のキャリア搬送領域Ｓ１側の面に設けられ、エアチューブ等を介して排気手段と接続されている孔である。吸引ポート６１は、例えば図３に示すように、蓋体開閉機構６のキャリア搬送領域Ｓ１側の面の中央部に設けられている。排気手段は、エアチューブ等及び吸引ポート６１を介して、蓋体開閉機構６のキャリア搬送領域Ｓ１側の空間内のガスを排気する。なお、本実施形態では、１つの吸引ポート６１が蓋体開閉機構６のキャリア搬送領域Ｓ１側の面の中央部に設けられているが、本発明はこの点において限定されるものではない。吸引ポート６１は複数であってもよく、蓋体開閉機構６のキャリア搬送領域Ｓ１側の面の他の部分に設けられていてもよい。
【００４０】
蓋体保持部６２は、蓋体開閉機構６のキャリア搬送領域Ｓ１側の面に設けられ、キャリアＣの蓋体４１を吸着保持する保持部である。本実施形態では、蓋体開閉機構６のキャリア搬送領域Ｓ１側の面に４つの蓋体保持部６２が設けられているが、キャリアＣの蓋体４１を吸着保持することが可能であればその個数については特に限定されず、例えば２つとすることができる。
【００４１】
また、蓋体保持部６２は、レジストレーションピン６２１と吸着パッド部６２２とを有する。レジストレーションピン６２１は、後述するキャリアＣの蓋体４１の窪み４０１と係合することにより、キャリアＣの位置決めを行うためのピンである。レジストレーションピン６２１は、管状に構成されるとともに、真空ポンプ等の排気系に接続されている。吸着パッド部６２２は、キャリアＣの蓋体４１を吸着して保持する吸着パッドである。吸着パッドの材質としては、特に限定されないが、例えば天然ゴム、合成ゴム等を用いることができる。
【００４２】
また、蓋体保持部６２は、レジストレーションピン６２１がキャリアＣの蓋体４１の窪み４０１と係合した際に真空排気を行うとともに、吸着パッド部６２２により蓋体４１を吸着することによって、蓋体４１を真空吸着保持する。
【００４３】
ラッチキー６３は、蓋体開閉機構６のキャリア搬送領域Ｓ１側の面に設けられ、蓋体４１の着脱時に駆動するキーである。ラッチキー６３は、後述するキャリアＣの蓋体４１の差込口４０と係合し、例えば縦から横に９０度回動することによりキャリアＣの蓋体４１のロックを解除する。
【００４４】
パッキン６４は、蓋体開閉機構６のキャリア搬送領域Ｓ１側の面に設けられ、吸引ポート６１及びラッチキー６３よりも外周側に配置される。なお、パッキン６４は、図３に示すように、蓋体開閉機構６のキャリア搬送領域Ｓ１側の面の外周部分に吸引ポート６１及びラッチキー６３を囲むように配置されることが好ましい。パッキン６４が蓋体開閉機構６のキャリア搬送領域Ｓ１側の面の外周部分に吸引ポート６１及びラッチキー６３を囲むように配置されることにより、蓋体開閉機構６と蓋体４１と密着性が向上する。また、蓋体開閉機構６と蓋体４１との間の空間が閉塞空間又は略閉塞空間となるため、排気手段により吸引ポート６１を介して蓋体開閉機構６と蓋体４１との間の空間内のガスを排気するときの排気効率が向上する。これにより、蓋体４１における蓋体開閉機構６と対向する面に付着した異物等を効率よく吸引することができる。このため、上段の第２の載置台１６に載置されたキャリアＣの蓋体４１の開閉等により発生する異物が下方に落下し、当該上段の第２の載置台１６よりも下方の載置台に載置された基板収納容器内のウエハに付着することを抑制することができる。結果として、上段の第２の載置台１６よりも下方の載置台に載置されたキャリアＣ内のウエハＷへの異物の付着を抑制することができる。
【００４５】
なお、本実施形態では、上下（高さ）方向に２段に設けられた第２の載置台１６の各々が同一の構成を有する蓋体開閉装置について説明したが、本発明はこの点において限定されるものではない。蓋体開閉装置は、少なくとも上段の第２の載置台１６側の蓋体開閉機構６が蓋体４１と対向する面に、吸引ポート６１と、蓋体保持部６２と、ラッチキー６３と、パッキン６４とを有していればよい。これにより、上段の第２の載置台１６よりも下方の第２の載置台１６に載置されたキャリアＣ内のウエハＷへの異物の付着を抑制することができる。
【００４６】
また、本明細書における上段とは最下段を除くすべての段を表し、例えば高さ方向に２段の載置台を有する蓋体開閉装置における上段とは２段のうちの上方側の１段を表す。また、例えば高さ方向に３段の載置台を有する蓋体開閉装置における上段とは３段のうちの最下段を除く上方側の２段を表す。
【００４７】
（キャリアの構成）
次に、キャリアＣについて、図４及び図５を参照しながら説明する。図４は、本発明の一実施形態に係る蓋体開閉装置の載置台に載置されるキャリアを例示する斜視図である。図５は、図４におけるキャリアの蓋体の正面断面図である。
【００４８】
キャリアＣは、図４に示すように、キャリア本体３１と蓋体４１とを有する。
【００４９】
キャリア本体３１は、一側面である前面にウエハＷの取出口３３が形成された容器本体である。キャリア本体３１の内側面には、ウエハＷの裏面側周縁部を支持する支持部３２が多段に設けられている。また、取出口３３の開口縁部３４の内周側の上下には、各々、係合溝３５が２個所ずつ形成されている。
【００５０】
キャリア本体３１の上部には、前述のキャリア搬送機構２１がキャリアＣを搬送する際に、キャリアＣを把持するための把持部３６が設けられている。
【００５１】
キャリア本体３１の下部には、後述する図６に示すように、凹部３７と溝部３８とが設けられている。凹部３７は、第１の載置台１４及び第２の載置台１６の突起部１５に嵌合する。溝部３８は、第２の載置台１６のフック１６ａに係合する。そして、この係合によってキャリア本体３１が第２の載置台１６に固定される。
【００５２】
蓋体４１は、キャリア本体３１の取出口３３を覆う蓋である。蓋体４１には、図５に示すように、内部空間４２が形成されており、内部空間４２の左右には各々水平軸回りに回動する円板状の回動部４３が設けられている。
【００５３】
回動部４３は、ラッチキー６３に係合する係合孔４４と、スリット４５とを備えている。各回動部４３の上下には、直動部４６が設けられている。直動部４６の基端側には、蓋体４１の厚さ方向に伸びると共にスリット４５に進入するピン４６ａが設けられている。また、直動部４６には、ガイド４６ｂが設けられている。そして、回動部４３が９０度回動することで、スリット４５の移動に合わせて当該スリット４５内をピン４６ａが移動して直動部４６が上下に移動する。これにより、直動部４６の先端をなす係合部４７が、蓋体４１の側面側に設けられた開口部４８を介して蓋体４１の外部へ出入する。蓋体４１の外部へと突出した係合部４７が、キャリア本体３１の開口縁部３４の係合溝３５に係合することにより、蓋体４１がキャリア本体３１に固定される。
【００５４】
なお、図５中左側の係合部４７は固定を行うために蓋体４１の外部へ突出した状態、右側の係合部４７は固定を解除するために内部空間４２に引き込んだ状態を示している。実際には左右の係合部４７で互いに揃って、内部空間４２への引き込み及び蓋体４１の外部への突出が行われる。例えば、キャリアＣは、このようなロック機構を備え、蓋体４１をキャリア本体３１にロックすることができる。
【００５５】
蓋体４１の前面には、図４に示すように、回動部４３の係合孔４４に重なるようにラッチキー６３の差込口４０が開口している。ラッチキー６３が差込口４０に挿入され、係合孔４４まで到達し、回動部４３を回動させることにより、キャリアＣの蓋体４１のロックを解除することができる。
【００５６】
また、蓋体４１の前面には、位置合わせ用の窪み４０１が形成されている。そして、対向する蓋体保持部６２のレジストレーションピン６２１が窪み４０１に挿入されることにより、蓋体開閉機構６とキャリアＣとの位置合わせが行えるように構成されている。また、レジストレーションピン６２１が窪み４０１と係合した際に、真空排気が行われるとともに、吸着パッド部６２２により蓋体４１が吸着されることによって、蓋体４１は真空吸着保持される。
【００５７】
（蓋体開閉装置の動作）
次に、本実施形態に係る蓋体開閉装置の動作（蓋体開閉方法）の一例について、図１、図２及び図６から図１０を参照しながら説明する。図６から図１０は、本発明の一実施形態に係る蓋体開閉方法の説明図である。なお、図６及び図１０においては、説明の便宜上、高さ方向に２段に設けられた第２の載置台１６のうちの上段のみを図示している。
【００５８】
図１及び図２において、まず、キャリアＣは、例えばクリーンルームの天井部又は床面に沿って移動する自動搬送ロボットにより第１の載置台１４に載置（ロード）される。続いて、第１の載置台１４に載置されたキャリアＣは、キャリア搬送機構２１により第１の載置台１４から第２の載置台１６へと搬送される。続いて、第２の載置台１６に載置されたキャリアＣは、第２の載置台１６の載置面に設けられたフック１６ａにより第２の載置台１６に固定される（図６）。
【００５９】
次いで、図６の矢印で示すように、第２の載置台１６が隔壁２に向けて移動することにより、第２の載置台１６に固定されたキャリアＣが隔壁２に向けて移動する。これにより、キャリアＣの開口縁部３４が隔壁２の搬送口２０の周りの口縁部に当接する（図７）。このとき、キャリアＣの開口縁部３４と隔壁２の搬送口２０の周りの口縁部との間には、気密性を高めるためにシール部材を設けてもよい。
【００６０】
次いで、蓋体開閉機構６がキャリアＣの方向に移動することにより蓋体４１に接触すると、蓋体保持部６２が蓋体４１を吸着保持する。また、ラッチキー６３が蓋体４１の前面の差込口４０を介して蓋体４１の内部空間４２に進入し、回動部４３の係合孔４４に差し込まれて回動部４３と係合する（図８）。このとき、蓋体開閉機構６のパッキン６４によって、蓋体開閉機構６と蓋体４１とが密着する。
【００６１】
次いで、ラッチキー６３が回動部４３と係合した状態で、吸引ポート６１を介して蓋体開閉機構６と蓋体４１との間の空間内のガスの排気を開始する。これにより、蓋体４１における蓋体開閉機構６と対応する面及び蓋体４１の内部に付着した内部空間４２内のパーティクル等の異物が吸引ポートを介して排気される（図８の矢印参照）。このため、蓋体４１が蓋体開閉機構６によりキャリア本体３１から取り外されるとき等に、蓋体４１及び蓋体４１の内部に付着した異物が下方に落下することを抑制することができる。さらに、蓋体開閉機構６と蓋体４１とがパッキンを介して密着しているため、蓋体４１における蓋体開閉機構６と対向する面に付着した異物等は下方へ落下する前に吸引ポート６１を介して吸引される。結果として、第２の載置台１６に載置されたキャリアＣ内のウエハＷへの異物の付着を抑制することができる。
【００６２】
次いで、吸引ポート６１を介した蓋体開閉機構６と蓋体４１との間の空間内のガスの排気を継続した状態で、ラッチキー６３を例えば９０度回動させる。これにより、蓋体４１の回動部４３が回動し、それによって直動部４６の先端の係合部４７が蓋体４１内に引き込まれ、係合部４７とキャリア本体３１の係合溝３５との係合が解除される。その結果、蓋体４１のキャリア本体３１に対する結合が解除され、ラッチキー６３に蓋体４１が保持される。
【００６３】
なお、直動部４６の先端の係合部４７が蓋体４１内に引き込まれる際に、係合部４７と蓋体４１とが擦れることにより、蓋体４１の内部に異物が発生することがある。そして、蓋体４１の内部に発生した異物は、例えば蓋体４１が蓋体開閉機構６によりウエハ搬送領域Ｓ２へ向けて移動するときに下方に落下することがある。そして、当該第２の載置台１６よりも下方に設けられた第２の載置台１６にキャリアＣが載置され、かつキャリアＣの蓋体４１が開口している場合には、下方に設けられた第２の載置台１６に載置されたキャリアＣ内のウエハＷに異物が付着することがある。
【００６４】
しかしながら、本実施形態に係る蓋体開閉装置によれば、蓋体開閉機構６は、蓋体４１と対向する面に、吸引ポート６１と、蓋体保持部６２と、ラッチキー６３と、パッキン６４とを有する。また、吸引ポート６１は排気手段に接続され、パッキン６４は蓋体開閉機構６の蓋体４１と対向する面におけるラッチキー６３及び吸引ポート６１よりも外周側に設けられている。このため、係合部４７と蓋体４１とが擦れることにより、蓋体４１の内部に異物が発生した場合であっても、発生した異物は蓋体４１の差込口４０及び蓋体開閉機構６の吸引ポート６１を介して排気される。結果として、第２の載置台１６に載置されたキャリアＣ内のウエハＷへの異物の付着を抑制することができる。
【００６５】
次いで、蓋体４１とキャリア本体３１とのロックが解除された後、蓋体４１は蓋体開閉機構６の蓋体保持部６２により保持された状態でウエハ搬送領域Ｓ２へ向けて後退する。これにより、キャリア本体３１のウエハＷの取出口３３が開放される（図９）。なお、この間も、吸引ポート６１を介した蓋体開閉機構６と蓋体４１との間の空間内のガスの排気を継続する。
【００６６】
次いで、蓋体開閉機構６がウエハ搬送領域Ｓ２へ向けて後退した後、下降し、搬送口２０から退避する。これにより、キャリアＣ内がウエハ搬送領域Ｓ２に開放される（図１０）。
【００６７】
次いで、キャリアＣ内のウエハＷは、図１に示すように、ウエハ搬送機構２７により順次取り出されてウエハボート２３に移載される。そして、キャリアＣ内のウエハＷが空になると、前述と逆の動作によりキャリアＣの蓋体４１が閉じられるとともにキャリア本体３１に固定される。なお、キャリア本体３１に蓋体４１が固定された後、蓋体開閉機構６と蓋体４１との間の空間内のガスの排気を停止する。さらに、蓋体開閉機構６と蓋体４１との間の空間内の圧力を大気圧にする。大気圧にする方法としては、特に限定されるものではなく、蓋体開閉機構６と蓋体４１との間の空間内に空気、不活性ガス等を供給する方法が挙げられる。
【００６８】
次いで、第２の載置台１６が後退してキャリアＣが隔壁２から離れ、キャリア搬送機構２１により、例えばキャリア保管部１８に搬送されて一時的に保管される。
【００６９】
一方、ウエハＷが搭載されたウエハボート２３は、熱処理炉２２内に搬入され、ウエハＷに熱処理、例えばＣＶＤ、アニール処理、酸化処理等が行われる。そして、熱処理を終えたウエハＷをキャリアＣに戻すときも、キャリアＣからウエハＷを払い出すときと同様の手順で蓋体４１が開放される。そして、熱処理を終えたウエハＷは、ウエハ搬送機構２７によりウエハボート２３からキャリアＣへと移載される。
【００７０】
次いで、前述と逆の動作によりキャリアＣの蓋体４１が閉じられるとともにキャリア本体３１に固定される。なお、キャリア本体３１に蓋体４１が固定された後、蓋体開閉機構６と蓋体４１との間の空間内のガスの排気を停止する。さらに、蓋体開閉機構６と蓋体４１との間の空間内の圧力を大気圧にする。
【００７１】
次いで、第２の載置台１６が後退してキャリアＣが隔壁２から離れ、キャリア搬送機構２１により、第１の載置台１４に搬送される。続いて、第１の載置台１４に搬送されたキャリアＣは、例えばクリーンルームの天井部又は床面に沿って移動する自動搬送ロボットにより第１の載置台１４から取り外される（アンロードされる）。
【００７２】
以上に説明したように、本実施形態に係る蓋体開閉装置及び蓋体開閉方法によれば、高さ方向に複数の載置台を有する蓋体開閉装置において、載置台に載置された基板収納容器内の基板への異物の付着を抑制することができる。
【００７３】
以上、蓋体開閉装置及び蓋体開閉方法を実施形態によって説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々の変形及び改良が可能である。
【符号の説明】
【００７４】
６    蓋体開閉機構
１６  第２の載置台
３３  取出口
４１  蓋体
６１  吸引ポート
６２  蓋体保持部
６３  ラッチキー
６４  パッキン
Ｃ    キャリア
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2016063081.tif 000006
【図５】
2016063081.tif 000007
【図６】
2016063081.tif 000008
【図７】
2016063081.tif 000009
【図８】
2016063081.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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