(57)【要約】【課題】リフトオフ材の線幅の均一性を向上できる塗布具を提供する。【解決手段】実施形態に係る塗布具１は、リフトオフ材料を含む液体２４を塗布するためのものであって、液体２４を貯蔵するための貯蔵部３と、貯蔵部３から供給された液体２４を基材２３に塗布するための塗布面１１ａを有する接触式塗布部１１と、を備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
リフトオフ材料を含む液体を塗布するための塗布具であって、
前記液体を貯蔵するための貯蔵部と、
前記貯蔵部から供給された前記液体を基材に塗布するための塗布面を有する接触式塗布部と、
を備える、塗布具。
【請求項２】
前記貯蔵部と前記接触式塗布部との間に存在し、前記貯蔵部から供給された前記液体を前記接触式塗布部に供給するための中継部をさらに備え、
前記接触式塗布部の毛管力が前記中継部の毛管力よりも大きい、請求項１に記載の塗布具。
【請求項３】
前記塗布面は、平面である、請求項１又は２に記載の塗布具。
【請求項４】
前記塗布面の形状は、前記塗布面の法線方向から見て円状である、請求項３に記載の塗布具。
【請求項５】
前記塗布面における最大直径を最小直径で除した値は、１．３以下である、請求項４に記載の塗布具。
【請求項６】
前記接触式塗布部の形状は、円柱状又は円筒状である、請求項１〜５のいずれか一項に記載の塗布具。
【請求項７】
前記接触式塗布部の強度よりも高い強度を有するカバー材をさらに備え、
前記カバー材は、前記塗布面と交差する方向に延在する前記接触式塗布部の側面上に設けられている、請求項１〜６のいずれか一項に記載の塗布具。
【請求項８】
前記カバー材の先端は、前記塗布面の縁まで到達している、請求項７に記載の塗布具。
【請求項９】
前記貯蔵部と前記接触式塗布部との間に存在し、前記貯蔵部から前記接触式塗布部に供給される前記液体の流量を制御する流量制御機構をさらに備える、請求項１〜８のいずれか一項に記載の塗布具。
【請求項１０】
前記貯蔵部は、前記液体を部材に含浸させることなく前記液体を貯蔵可能である、請求項１〜９のいずれか一項に記載の塗布具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布具に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット法によりリフトオフ材を基材上に形成した後、原子層堆積法により機能膜をリフトオフ材及び基材上に形成し、リフトオフ法により機能膜からパターンを形成する方法が知られている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２０１２／１６１０５１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のインクジェットを用いてリフトオフ材を形成する方法では、リフトオフ材料を含む液体を基材上に吹き付けるので、基材上のリフトオフ材の線幅の均一化に向上の余地がある。
【０００５】
本発明は、リフトオフ材の線幅の均一性を向上できる塗布具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一側面に係る塗布具は、リフトオフ材料を含む液体を塗布するための塗布具であって、前記液体を貯蔵するための貯蔵部と、前記貯蔵部から供給された前記液体を基材に塗布するための塗布面を有する接触式塗布部と、を備える。
【０００７】
この塗布具は、接触式塗布部を有しているので、リフトオフ材料を含む液体を吹き付けることなく基材上に当該液体を塗布できる。これにより、基材上に設けられるリフトオフ材の線幅の均一性を向上することができる。
【０００８】
上記塗布部は、前記貯蔵部と前記接触式塗布部との間に存在し、前記貯蔵部から供給された前記液体を前記接触式塗布部に供給するための中継部をさらに備え、前記接触式塗布部の毛管力が前記中継部の毛管力よりも大きくてもよい。
【０００９】
この場合、中継部によって接触式塗布部に供給される液体の量を適切に調整できる。
【００１０】
前記塗布面は、平面であってもよい。
【００１１】
この場合、例えば基材の表面が平面のときに塗布具が傾きにくくなり、リフトオフ材の線幅の均一性をより向上することができる。
【００１２】
前記塗布面の形状は、前記塗布面の法線方向から見て円状であってもよい。
【００１３】
この場合、塗布具が基材の表面上のどの方向に移動した場合であっても、リフトオフ材の線幅の均一性を向上することができる。
【００１４】
前記塗布面における最大直径を最小直径で除した値は、１．３以下であってもよい。
【００１５】
この場合、塗布具が基材の表面上のどの方向に移動した場合であっても、リフトオフ材の線幅の均一性をより向上することができる。
【００１６】
前記接触式塗布部の形状は、円柱状又は円筒状であってもよい。
【００１７】
上記塗布具は、前記接触式塗布部の強度よりも高い強度を有するカバー材をさらに備え、前記カバー材は、前記塗布面と交差する方向に延在する前記接触式塗布部の側面上に設けられていてもよい。
【００１８】
この場合、塗布面が基材の表面に接した状態で接触式塗布部が基材上を移動する際に、カバー材によって接触式塗布部の変形が抑制される。
【００１９】
前記カバー材の先端は、前記塗布面の縁まで到達していてもよい。
【００２０】
この場合、カバー材によって塗布面の変形が更に抑制される。
【００２１】
上記塗布具は、前記貯蔵部と前記接触式塗布部との間に存在し、前記貯蔵部から前記接触式塗布部に供給される前記液体の流量を制御する流量制御機構をさらに備えてもよい。
【００２２】
この場合、流量制御機構によって接触式塗布部に供給される液体の量を適切に調整できる。
【００２３】
前記貯蔵部は、前記液体を部材に含浸させることなく前記液体を貯蔵可能であってもよい。
【００２４】
この場合、貯蔵部に貯蔵された液体が無くなる直前まで、接触式塗布部に液体が安定して供給される。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、リフトオフ材の線幅の均一性を向上できる塗布具が提供され得る。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】図１は、接触式塗布部を有する塗布具の一例を示す側面図である。
【図２】図２は、図１の塗布具の分解斜視図である。
【図３】図３は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線矢視断面図である。
【図４】図４は、図３の一部を拡大した図である。
【図５】図５は、図１の塗布具を備える塗布システムの一例を説明するための模式図である。
【図６】図６は、接触式塗布部の形状を模式的に示す図である。
【図７】図７は、接触式塗布部の変形例を模式的に示す図である。
【図８】図８は、接触式塗布部の変形例を模式的に示す図である。
【図９】図９は、接触式塗布部と中継部との当接方法の変形例を模式的に示す図である。
【図１０】図１０は、接触式塗布部と中継部との当接方法の変形例を模式的に示す図である。
【図１１】図１１は、接触式塗布部の変形例を模式的に示す図である。
【図１２】図１２は、貯蔵部の変形例を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態が詳細に説明される。図面の説明において、同一又は同等の要素には同一符号が用いられ、重複する説明は省略される。
【００２８】
図１は、接触式塗布部を有する塗布具の一例を示す側面図である。図２は、図１の塗布具の分解斜視図である。図３は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線矢視断面図である。図４は、図３の一部を拡大した図である。
【００２９】
図１〜図４に示される塗布具１は、貯蔵部３を有する軸体２と、接触式塗布部１１を有する先軸４と、尾栓５とを備え得る。軸体２の形状は例えば円筒状である。貯蔵部３には、例えばリフトオフ材料を含む液体が貯蔵されている。塗布具１は、いわゆるバルブ式の塗布具である（リフトオフ材料を含む液体の詳細については、後述する）。軸体２の軸方向に沿った前部及び後部には開口が形成されている。軸体２の前部に形成された開口には、先軸４の後部が挿入されている。軸体２の後部に形成された開口は、尾栓５によって封止されている。
【００３０】
先軸４は、例えば中空部を有している。先軸４は、例えばその中空部内に、接触式塗布部１１、継手１２、弁座１３、弁座ゴム１４、中継部１５、弁棒１６、スプリング１７、及びスプリング受け１８を有している。継手１２、弁座１３、弁座ゴム１４、弁棒１６、スプリング１７、及びスプリング受け１８は、塗布具１において貯蔵部３から接触式塗布部１１に供給される液体の流量を制御する流量制御機構（例えば弁機構）として機能してもよい。
【００３１】
接触式塗布部１１の形状は、例えば円柱状（芯形状）である。接触式塗布部１１は、貯蔵部３から供給されたリフトオフ材料を含む液体をガラス基板等の基材に塗布するための塗布面１１ａを有する。接触式塗布部１１は、フェルト、繊維束、焼結体、又は毛管から形成されてもよい。フェルトは、繊維を圧縮加工した後、樹脂加工することによって得られる。繊維束は、繊維を一定方向に束ねてまとめることによって得られる。焼結体は、プラスチック粉末を接着して焼結することによって得られる。毛管は、樹脂にスリットを設けながら棒状に成形することによって得られる。接触式塗布部１１は、例えば、ポリエチレン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアセタール系樹脂、ポリアミド系樹脂、アクリル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリオレフォイン系樹脂、ポリエーテル系樹脂、ポリフェニレン系樹脂等の一般的な樹脂材料、エラストマーを成型したものでもよい。接触式塗布部１１は、例えば、上記各種の樹脂材料の繊維、植物性繊維、動物性繊維等の繊維束を樹脂加工等により固定した繊維芯を、切断又は研磨加工したものでもよい。さらには、フェルト、スポンジ、又は、樹脂粒子焼結体、樹脂繊維焼結体等の焼結体等から構成される毛管力を有する多孔質体を適宜加工して使用してもよい。接触式塗布部１１が繊維束等によって成型される場合、その外周部の強度が最も高くなり得る。
【００３２】
継手１２の形状は、例えば円筒状である。継手１２は、プラスチックから構成され得る。継手１２の前部の開口に接触式塗布部１１が挿入されることにより、継手１２は接触式塗布部１１の後部を固定し得る。よって、接触式塗布部１１の前部は、継手１２から外側に突出している。継手１２の後部の開口には、例えば円柱状の中継部１５が挿入され得る。接触式塗布部１１の後部及び中継部１５の前部は、継手１２内にて互いに当接し得る。また、継手１２は、例えば円筒状の弁座１３内に挿入されている。
【００３３】
弁座１３は、例えば中空部を有しており、プラスチックから構成され得る。また、弁座ゴム１４は、例えば環状のゴム製部材であり、弁座１３の後部に当接するように配置されている。この弁座ゴム１４の後部は、弁棒１６及びスプリング受け１８の中央部に当接するように配置されている。
【００３４】
中継部１５は、貯蔵部３と接触式塗布部１１との間に存在している。中継部１５は、例えば貯蔵部３から供給されたリフトオフ材料を含む液体を接触式塗布部１１に供給する機能を有する。中継部１５の形状は、例えば円柱状である。中継部１５は、フェルト、繊維束、焼結体、又は毛管から形成されてもよい。中継部１５は、例えば、ポリエチレン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアセタール系樹脂、ポリアミド系樹脂、アクリル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリオレフォイン系樹脂、ポリエーテル系樹脂、ポリフェニレン系樹脂等の一般的な樹脂材料、エラストマーを成型したものでもよい。中継部１５は、接触式塗布部１１と同一材料によって成型されたものでもよい。中継部１５の毛管力は、接触式塗布部１１の毛管力よりも小さいことが好ましい。すなわち、接触式塗布部１１の毛管力が中継部１５の毛管力よりも大きいことが好ましい。この場合、中継部１５は上記液体を含浸しやすくなり、接触式塗布部１１の強度が向上し得る。毛管力とは、水等の液体を上昇させる力であり、例えば同一圧力下における水等の液体の上昇高さを測定することによって比較することが可能である。
【００３５】
弁棒１６は、中継部１５を固定する固定部１６ａと、固定部１６ａの後部から軸体２の軸方向に沿って延在する棒状部１６ｂとを有する。固定部１６ａは、例えば中空部を有している。固定部１６ａの中空部内に中継部１５が挿入されることにより、固定部１６ａは中継部１５を固定する。棒状部１６ｂの形状は、例えば円柱状である。棒状部１６ｂの側面の周囲には、スプリング１７が配置されている。棒状部１６ｂの後端部は、スプリング受け１８に取り付けられ得る。固定部１６ａの径は、棒状部１６ｂの径及びスプリング１７の径よりも大きくなっている。棒状部１６ｂの径は、スプリング１７の径よりも小さくなっている。
【００３６】
スプリング受け１８は、先軸４における弁体として機能する。スプリング受け１８の後部には、例えば複数の柱部１８ａと、当該柱部１８ａの後端同士を接続する環状部１８ｂとが設けられる。複数の柱部１８ａ同士の間には、隙間（スリット）が形成されている。環状部１８ｂの中空部には、弁棒１６の棒状部１６ｂが挿入され得る。スプリング１７の前端は、例えば固定部１６ａの後端に当接され、スプリング１７の後端は、スプリング受け１８に当接されている。スプリング１７は、弁棒１６の固定部１６ａとスプリング受け１８の環状部１８ｂとの間において伸縮可能である。
【００３７】
このような塗布具１において、貯蔵部３に貯蔵されたリフトオフ材料を含む液体を接触式塗布部１１に供給する機構について簡単に説明する。まず、接触式塗布部１１の塗布面１１ａが軸体２の後部側に向かって押圧されることにより、スプリング１７が圧縮される。このスプリング１７の圧縮に伴って、少なくとも接触式塗布部１１、中継部１５及び弁棒１６が軸体２の後部側に移動する。この弁棒１６等の移動に伴って、弁棒１６と弁座ゴム１４との間に隙間が生じる。この隙間とスプリング受け１８の柱部１８ａ同士の隙間とを介して、貯蔵部３に貯蔵された上記液体が、中継部１５に供給される。そして、中継部１５に含浸された液体が接触式塗布部１１に供給され、基材に塗布される。また、接触式塗布部１１の塗布面１１ａが押圧されなくなるとスプリング１７が伸長し、弁棒１６と弁座ゴム１４との間の隙間が閉じられる。これにより、貯蔵部３から中継部１５への液体の供給が遮断される。上述した流量制御機構では、接触式塗布部１１の塗布面１１ａに加わる力を調節することにより、接触式塗布部１１に供給される液体の量を容易に調整することができる。
【００３８】
図５は、図１の塗布具１を備える塗布システムの一例を説明するための模式図である。図５（ａ）に示されるように、塗布システム２１は、塗布具１と、塗布具１を基材２３に押圧するための押圧機構２２とを備え得る。塗布システム２１は、塗布具１及び押圧機構２２を用いて、例えばガラス基板等の基材２３にリフトオフ材料を含む液体２４を塗布するシステムである。押圧機構２２は、基材２３の表面２３ａの延在方向に沿って自在に移動可能な装置である。押圧機構２２は、例えばロボットアーム等である。押圧機構２２は、例えば塗布具１を固定すると共に、固定した塗布具１を基材２３に押圧し得る装置である。押圧機構２２は、塗布具１を基材２３の表面２３ａに対して垂直になるように固定し、当該塗布具１を基材２３に押圧し得る。塗布具１がこのように固定及び押圧され、基材２３の表面２３ａに接した状態で移動することにより、液体２４が基材２３の表面２３ａ上に塗布される。当該液体２４は、例えば複数の帯状となるように基材２３の表面２３ａ上に塗布される。
【００３９】
図５（ｂ）に示されるように、例えば基材２３の表面２３ａに塗布された液体２４が乾燥除去されることにより、リフトオフ材２５が形成される。リフトオフ材２５は、例えば原子層堆積法（ＡＬＤ法：Atomic Layer Deposition）等によりリフトオフ材２５上に形成される膜をリフトオフするために用いられる。これにより、基材２３上の上記膜からパターンが形成される。接触式塗布部１１の形状が円柱状である場合、押圧機構２２が基材２３の表面２３ａ上のどの方向に移動したとしても安定した線幅を有するリフトオフ材２５を塗布可能である。基材２３の表面２３ａからのリフトオフ材２５の高さ（リフトオフ材２５の厚み）は、例えば１μｍ〜５００μｍである。また、リフトオフ材２５の幅は、接触式塗布部１１の塗布面１１ａの直径とほぼ等しく、例えば１００μｍ〜５０００μｍである。
【００４０】
液体２４は、例えばリフトオフ材料（例えば樹脂）と溶媒とを含み得る。液体２４は任意の添加剤等を含んでもよい。液体２４の溶媒を除去する際に、必ずしも全ての溶媒を除去する必要はない。すなわち、溶媒は、リフトオフ材２５中に残存してもよい。溶媒の除去方法としては、例えば、揮発性溶剤の自然乾燥、熱風乾燥等が挙げられる。
【００４１】
液体２４の粘度は、例えば塗布具１の貯蔵部３から接触式塗布部１１へ好適に供給される粘度である。液体２４の粘度は、２５℃、せん断速度３．８ｓ−１において、例えば１〜１０００ｍＰａ・ｓである。
【００４２】
溶媒としては、例えば、水、有機溶剤等が挙げられる。有機溶剤は、水溶性有機溶剤であってもよいし、水溶性有機溶剤に相溶する有機溶剤であってもよい。溶媒は、例えば、水と、水に無限に又は一部可溶する有機溶剤との混合物であってもよい。または、溶媒は、水に不溶な有機溶剤を単独又は２種以上混合したものでもよい。有機溶剤としては、例えば、アルコール、グリコール、多価アルコール、ケトン類、ピロリドン類、グリコールエーテル類、グリコールジエーテル類、アルキレングリコール類、アルキルエーテル類及びこれらの混合溶媒等が挙げられる。有機溶剤は、例えば、アルコール類、多価アルコール類、グリコールエーテル類、炭化水素類等であってもよい。アルコール類としては、例えば、エタノール、ｎ−プロパノール、イソプロパノール、ｎ−ブタノール、イソブタノール、tert-ブチルアルコール、１−ペンタノール、イソアミルアルコール、sec-アミルアルコール、３−ペンタノール、tert-アミルアルコール、ｎ−ヘキサノール、メチルアミルアルコール、２−エチルブタノール、ｎ-ヘプタノール、２−ヘプタノール、３−ヘプタノール、ｎ−オクタノール、２−オクタノール、２−エチルヘキサノール、３，５，５−トリメチルヘキサノール、ノナノール、ｎ−デカノール、ウンデカノール、ｎ−デカノール、トリメチルノニルアルコール、テトラデカノール、ヘプタデカノール、シクロヘキサノール、２−メチルシクロヘキサノール、ベンジルアルコール、２−フェノキシエタノー等が挙げられる。多価アルコール類としては、例えば、エチレングリコール、ジエチレングリコール、３−メチル−１，３−ブタンジオール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、１，３−プロパンジオール、１，３−ブタンジオール、１，５−ペンタンジオール、ヘキシレングリコール、オクチレングリコール、グリセリン等が挙げられる。グリコールエーテル類としては、例えば、メチルイソプロピルエーテル、エチルエーテル、エチルプロピルエーテル、エチルブチルエーテル、イソプロピルエーテル、ブチルエーテル、ヘキシルエーテル、２−エチルヘキシルエーテル、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、エチレングリコールモノ−２−エチルブチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテル、テトラエチレングリコールモノブチルエーテル、３−メチル−３−メトキシ−１−ブタノール、３−メトキシ−１−ブタノール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールフェニルエーテル、プロピレングリコールターシャリーブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノブチルエーテル、テトラプロピレングリコールモノブチルエーテル等が挙げられる。炭化水素類としては、例えば、シクロヘキサン、キシレン、メチルイソブチルケトン、メチルエチルケトン等が挙げられる。
【００４３】
液体２４に含まれるリフトオフ材料は、所定の溶媒に可溶な材料を含んでもよい。この場合、所定の溶媒によってリフトオフ材２５を簡単に除去することができる。
【００４４】
リフトオフ材料は、例えば樹脂を含む。樹脂としては、例えば、上記溶媒に可溶な材料が挙げられる。樹脂としては、例えば、ケトン樹脂、スルホアミド樹脂、マレイン酸樹脂、テルペン樹脂、テルペンフェノール樹脂、エステルガム、キシレン樹脂、アルキッド樹脂、フェノール樹脂、ロジン、ポリビニルピロリドン、ポリビニルブチラール、ポリビニルアルコール、アクリル系樹脂、メラミン系樹脂、セルロース系樹脂等の天然及び合成樹脂の１種又は２種以上を用いることができる。樹脂は、例えばセルロース系（カルボキシルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース）、合成ポリマー系（ポリアクリル酸ナトリウム、ポリアクリルアミド、ポリビニルアルコール、ポリエチレンイミン、ポリエチレンオキシド、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアセタール、酢酸ビニル−ビニルピロリドン共重合体）等であってもよい。これらの中でも、ポリビニルアセタール、酢酸ビニル−ビニルピロリドン共重合体が特に好ましい。
【００４５】
リフトオフ材料は、非硬化型の樹脂を含んでもよい。この場合、硬化することなく溶媒を揮発させるだけで、低温でリフトオフ材２５を形成することができる。樹脂のガラス転移温度（Ｔｇ）は例えば１００℃以下である。この場合、樹脂のガラス転移温度（Ｔｇ）以上の温度にリフトオフ材２５を加熱することによって、リフトオフ材２５の表面の応力が緩和され、表面形状が変化する。その結果、リフトオフが更に容易になる。
【００４６】
リフトオフ材料は、塗膜の識別のための色材を含んでもよい。色材としては、染料、顔料分散体、ＵＶ照射等により発光する材料（例えば蛍光材料、蓄光材料）等が挙げられる。
【００４７】
リフトオフ材料は、その他任意の材料を含んでもよい。リフトオフ材料は、例えば、防錆剤、防腐剤、ＰＨ調整剤、界面活性剤、保湿剤、糖類、天然多糖類等を含んでもよい。防錆剤としては、例えば、ベンゾトリアゾール、トリルトリアゾール、ジシクロへキシルアンモニウムナイトライト等が挙げられる。防腐剤としては、例えば、フェノール、ナトリウムオマジン、安息香酸ナトリウム、ベンズイミダゾール系化合物等が挙げられる。ＰＨ調整剤としては、例えば、トリエタノールアミン、アミノメチルプロパノール等が挙げられる。界面活性剤としては、例えば、フッ素系、アセチレングリコール系、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエステル、ショ糖エステル等が挙げられる。保湿剤としては、例えば、尿素等が挙げられる。糖類としては、例えば、単糖類、二糖類、オリゴ糖、デキストリン、デンプン分解物等が挙げられる。天然多糖類としては、例えば、キサンタンガム、サクシノグリカン、ウェランガム、カラギーナン等が挙げられる。
【００４８】
本実施形態に係る塗布具１は接触式塗布部１１を有しているので、リフトオフ材料を含む液体２４を吹き付けることなく基材２３上に液体２４を塗布できる。これにより、基材２３上に設けられるリフトオフ材２５の線幅の均一性を向上することができる。また、接触式塗布部１１を用いることにより、塗布具１から液体２４が液だれしにくくなる。
【００４９】
塗布具１は、貯蔵部３と接触式塗布部１１との間に存在し、貯蔵部３から供給された液体２４を接触式塗布部１１に供給するための中継部１５であって、接触式塗布部１１の毛管力よりも小さい毛管力を有する中継部１５を備えてもよい。この場合、中継部１５によって接触式塗布部１１に供給される液体２４の量を適切に調整できる。塗布具１に中継部１５が設けられる場合、接触式塗布部１１の毛管力を中継部１５の毛管力よりも高く設定することにより、当該接触式塗布部１１の強度をより向上することができる。
【００５０】
塗布具１は、貯蔵部３と接触式塗布部１１との間に存在し、貯蔵部３から接触式塗布部１１に供給される液体２４の流量を制御する流量制御機構を備えてもよい。この場合、当該流量制御機構によって接触式塗布部１１に供給される液体２４の量を適切に調整できる。流量制御機構は、中継部１５と貯蔵部３との間にある。よって、塗布具１が中継部１５と流量制御機構との両方を備える場合、接触式塗布部１１に供給される液体２４の量をより適切に調節できる。
【００５１】
図６は、接触式塗布部１１の形状を模式的に示す図である。図１〜図５に示される塗布具１は、図６（ａ）に示されるように、円筒状の接触式塗布部１１を有してもよい。塗布具１の形状が円柱状又は円筒状の接触式塗布部１１である場合、塗布面１１ａの強度の低下が抑制され、塗布面１１ａが変形しにくくなる。これにより、基材２３上に設けられるリフトオフ材２５の線幅の均一性を向上することができる。接触式塗布部１１は、塗布面１１ａに向かって断面積が小さくなる形状を有していてもよい。例えば、図６（ｂ）に示されるように、塗布面１１ａは突出した曲面となっていてもよい。図６（ｃ）に示されるように、接触式塗布部１１の前部が円錐台形となっていてもよい。
【００５２】
接触式塗布部１１の塗布面１１ａは、図６（ａ）又は図６（ｃ）に示されるように平面であってもよい。この場合、例えば基材２３の表面２３ａが平面のときに塗布具１が傾きにくくなり、リフトオフ材２５の線幅の均一性をより向上することができる。好ましくは、塗布面１１ａは、基材２３の表面２３ａに対して平行である。この場合、塗布具１を基材２３の表面２３ａに対して垂直に固定し、接触式塗布部１１が基材２３の表面２３ａに接した状態で移動する際に、リフトオフ材２５の線幅の均一性をより向上することができる。塗布面１１ａの形状は、その法線方向から見て円状であってもよい。この場合、塗布具１が基材２３の表面２３ａ上のどの方向に移動した場合（図５を参照）であっても、リフトオフ材２５の線幅の均一性を向上することができる。さらに、塗布面１１ａの形状は、真円状又は略真円状であることが好ましい。例えば塗布面１１ａにおける最大直径を最小直径で除した値は、１．３以下であってもよく、１．１以下であってもよい。この場合、リフトオフ材２５の線幅の均一性をより向上することができる。塗布面１１ａの形状は、円状に限られず、例えば四角形以上の多角形状でもよい。
【００５３】
図７は、接触式塗布部１１の変形例を模式的に示す図である。図７（ａ）及び図７（ｂ）に示されるように、接触式塗布部１１の塗布面１１ａと交差する方向に延在する接触式塗布部１１の側面１１ｂ上には、カバー材３１が設けられている。このカバー材３１は、接触式塗布部１１の強度よりも高い強度を有し得る。カバー材３１は、例えば接触式塗布部１１の成型と同時に形成されてもよい。この場合、カバー材３１は接触式塗布部１１と同一材料から形成され得る。カバー材３１内の接着剤の密度が接触式塗布部１１内の接着剤の密度よりも大きくなることにより、カバー材３１は接触式塗布部１１の強度よりも高い強度を有し得る。また、接触式塗布部１１の側面１１ｂを硬質膜等で覆うことにより、カバー材３１を形成してもよい。接触式塗布部１１がカバー材３１を有することにより、接触式塗布部１１が基材２３の表面２３ａに接した状態で移動する場合（図５を参照）であっても、カバー材３１により接触式塗布部１１の変形が抑制され得る。なお、接触式塗布部１１の前部が露出するように、カバー材３１が研磨され得る。
【００５４】
図８は、変形した接触式塗布部１１を模式的に示す図である。図８（ａ）及び図８（ｂ）に示されるカバー材３１Ａは、その先端が塗布面１１ａの縁まで到達していること以外は、図７のカバー材３１と同様の構造を備える。この場合、カバー材３１と同様の作用効果が得られることに加えて、カバー材３１Ａにより塗布面１１ａの変形が更に抑制される。これにより、リフトオフ材２５の線幅の均一性をより向上することができる。
【００５５】
図３及び図４に示されるように、実施形態における接触式塗布部１１の後部及び中継部１５の前部は、継手１２内にて互いに当接し得るが、接触式塗布部１１と中継部１５との当接方法はこれに限られない。図９及び図１０は、接触式塗布部１１と中継部１５との当接方法の変形例を模式的に示す図である。例えば、図９（ａ）に示されるように、接触式塗布部１１の後部は、中継部１５Ａの前部に設けられた開口に挿入されていてもよい。この場合、リフトオフ材料を含む液体２４が、接触式塗布部１１の中継部１５Ａに挿入された部分に中継部１５を介して良好に供給され得る。また、図９（ｂ）に示されるように、接触式塗布部１１と中継部１５とは、例えば金属製又はプラスチック製の接続部材４１を用いて互いに当接されていてもよい。この接続部材４１は中空部を有しており、当該中空部内にて接触式塗布部１１と中継部１５とが互いに当接され得る。この場合、接触式塗布部１１と中継部１５とを互いに確実に当接することができ得る。
【００５６】
図１０に示されるように、接触式塗布部１１は、円筒状の中継部１５Ｂの内部に挿入されていてもよい。この場合、接触式塗布部１１の中継部１５Ｂに挿入された部分に、リフトオフ材料を含む液体２４が中継部１５Ｂを介して良好に供給され得る。これらの接触式塗布部１１及び中継部１５Ｂは、例えば異なる材料を一度に成型することによって形成された後、接触式塗布部１１の前部が露出するように中継部１５Ｂを研磨することによって形成される。中継部１５Ｂは円筒状に限られず多角筒状でもよい。この場合、接触式塗布部１１は中継部１５Ｂに対応する多角柱状でもよい。また、円筒状の中継部１５Ｂの中空部の断面が多角形状でもよく、多角柱状の中継部の断面が円状でもよい。
【００５７】
図１１は、接触式塗布部の変形例を模式的に示す図である。図１１（ａ）〜（ｃ）に示されるように、塗布部５１，６１は、図２等における接触式塗布部１１及び中継部１５の両方を兼ねていてもよい。例えば、図１１（ａ）に示される塗布部５１は、基材２３（図５を参照）に接し得る円錐台形状の接触部５２と、リフトオフ材料を含む液体２４が供給される円柱状の本体部５３とを有する。接触部５２は、例えば本体部５３の前部を圧縮することによって設けられている。このため、塗布部５１において、接触部５２の毛管力は、本体部５３の毛管力よりも大きくなり得る。よって、塗布部５１では、接触部５２は図２等の接触式塗布部１１に相当し、本体部５３は図２等の中継部１５に相当し得る。
【００５８】
図１１（ｂ），（ｃ）に示される塗布部６１は、例えば基材２３（図５を参照）に接し得る円柱状の接触部６２と、リフトオフ材料を含む液体２４が供給される円柱状の本体部６３と、接触部６２と本体部６３との間に位置する中間部６４とを有する。接触部６２及び中間部６４は、例えば圧縮部材６５を用いて本体部６３の前部を圧縮することによって設けられている。圧縮部材６５は、例えば金属製又はプラスチック製の中空部材であり、その形状は例えば円錐台形状である。また、塗布部６１の軸方向に沿った接触部６２と中間部６４との合計高さは、圧縮部材６５の高さよりも長くなっている。例えば、圧縮部材６５を塗布部６１に装着する際に当該塗布部６１の一部が絞り込まれることによって、接触部６２及び中間部６４が設けられる。このため、塗布部６１において、接触部６２の毛管力は、本体部６３の毛管力よりも大きくなり得る。また、中間部６４の毛管力は、接触部６２の毛管力以下、本体部６３の毛管力以上になる。よって、塗布部６１では、接触部６２は図２等の接触式塗布部１１に相当し、本体部６３は図２等の中継部１５に相当し得る。
【００５９】
実施形態におけるリフトオフ材料を含む液体２４は、貯蔵部３にて何らかの部材（例えば中綿等）に含浸することなく貯蔵可能である。液体２４が何らかの部材に含浸することなく貯蔵部３に貯蔵される場合、貯蔵部３に貯蔵された液体２４が無くなる直前まで、接触式塗布部１１に液体２４が安定して供給され得る。また、基材２３に塗布される液体２４の流量を大きくすることができる。しかしながら、液体２４の貯蔵方法はこれに限られない。図１２は、貯蔵部３の変形例を模式的に示す図である。図１２（ａ）に示されるように、貯蔵部３内に中綿７１などを設け、当該中綿７１に液体２４を含浸させてもよい。また、図１２（ｂ）に示されるように、貯蔵部３内に中継部１５に相当する含浸用部材７２を設けてもよい。これらの場合、必ずしも図２等に示される流量制御機構を用いなくてもよい。
【００６０】
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明されたが、本発明は上記実施形態に限定されない。上述した塗布具の構成要素は、互いに任意に組み合わせ得る。
【００６１】
例えば、上記実施形態ではいわゆるバルブ式の流量制御機構を用いていたが、本発明はこれに限らない。例えば塗布具１には、いわゆるコレクタ式の流量制御機構が用いられてもよい。
【００６２】
また、上記実施形態における中継部の気孔率は、接触式塗布部の気孔率よりも大きくてもよい。中継部の気孔率とは、中継部の体積と中継部中の気孔の容積との比率であり、接触式塗布部の気孔率は、接触式塗布部の体積と接触式塗布部中の気孔の容積との比率である。この場合、中継部は上記液体を含浸しやすくなり、接触式塗布部の強度が向上し得る。
【符号の説明】
【００６３】
１…塗布具、２…軸体、３…貯蔵部、４…先軸、１１…接触式塗布部、１１ａ…塗布面、１２…継手、１３…弁座、１４…弁座ゴム、１５，１５Ａ，１５Ｂ…中継部、１６…弁棒、１７…スプリング、１８…スプリング受け、２１…塗布システム、２２…押圧機構、２３…基材、２３ａ…表面、２４…液体、２５…リフトオフ材、３１，３１Ａ…カバー材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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