(57)【要約】      （修正有）【課題】磁気ディスクが落下したような場合も含めて、オペレーションに起因するエラーが発生したとき、磁気ディスク検査装置のオペレータに判り易くその対処法を知らせることが可能な磁気ディスク検査装置を提供する。【解決手段】検査ユニット１０の前段及び後段、並びに検査ユニット１０と反転装置２０との間に、磁気ディスク１を搭載する複数の搭載台３０を設ける。複数の検出器により、各搭載台３０において磁気ディスク１が正常に搭載されていることを検出する。複数の搭載台３０のいずれかにおいて磁気ディスク１が正常に搭載されていないとき、磁気ディスクの搬送エラーが発生したことを検出し、取り除くべき磁気ディスクを決定し、検査ユニット１０、反転装置２０、及び各搭載台３０の磁気ディスクを示す図形を表示装置６０に表示し、取り除くべきと決定した磁気ディスクを示す図形を、他の磁気ディスクを示す図形と区別して、表示装置６０に表示する。【選択図】図１
2016206109.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ディスクの検査を行う検査ユニットと、
前記磁気ディスクを裏返して表裏を反転させる反転装置と、
前記検査ユニットの前段及び後段、並びに前記検査ユニットと前記反転装置との間に設けられ、前記磁気ディスクを搭載する複数の搭載台と、
前記磁気ディスクを各搭載台から前記検査ユニット又は前記反転装置へ搬送し、また前記磁気ディスクを前記検査ユニット又は前記反転装置から各搭載台へ搬送する搬送装置と、
各搭載台において前記磁気ディスクが正常に搭載されていることを検出する複数の検出器と、
前記複数の検出器の検出結果に基づき、前記複数の搭載台のいずれかにおいて前記磁気ディスクが正常に搭載されていないとき、前記磁気ディスクの搬送エラーが発生したことを検出する制御装置と、
前記磁気ディスクの搬送エラーが発生したことを表示する表示装置とを備え、
前記制御装置は、前記磁気ディスクの搬送エラーが発生したことを検出したとき、取り除くべき磁気ディスクを決定し、前記検査ユニット、前記反転装置、及び各搭載台の前記磁気ディスクを示す図形を前記表示装置に表示させ、取り除くべきと決定した磁気ディスクを示す図形を、他の磁気ディスクを示す図形と区別して、前記表示装置に表示させることを特徴とする磁気ディスク検査装置。
【請求項２】
前記制御装置は、磁気ディスク検査装置の非常停止要件の発生を検出して、全ての搭載台の前記磁気ディスクを、取り除くべき磁気ディスクとして決定し、前記検査ユニット、前記反転装置、及び各搭載台の前記磁気ディスクを示す図形を前記表示装置に表示させ、取り除くべきと決定した磁気ディスクを示す図形を、他の磁気ディスクを示す図形と区別して、前記表示装置に表示させることを特徴とする請求項１に記載の磁気ディスク検査装置。
【請求項３】
取り除いた磁気ディスクを示す情報を入力するための入力装置を備え、
前記制御装置は、前記入力装置により前記情報が入力された磁気ディスクを示す図形を、前記入力装置により前記情報が入力されていない、前記取り除くべきと決定した磁気ディスクを示す図形と区別して、前記表示装置に表示させることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の磁気ディスク検査装置。
【請求項４】
検査ユニットにより磁気ディスクの検査を行い、
反転装置により前記磁気ディスクを裏返して表裏を反転させ、
前記検査ユニットの前段及び後段、並びに前記検査ユニットと前記反転装置との間に、前記磁気ディスクを搭載する複数の搭載台を設け、
搬送装置により、前記磁気ディスクを各搭載台から前記検査ユニット又は前記反転装置へ搬送し、また前記磁気ディスクを前記検査ユニット又は前記反転装置から各搭載台へ搬送し、
複数の検出器により、各搭載台において前記磁気ディスクが正常に搭載されていることを検出し、
前記複数の検出器の検出結果に基づき、前記複数の搭載台のいずれかにおいて前記磁気ディスクが正常に搭載されていないとき、前記磁気ディスクの搬送エラーが発生したことを検出し、
前記磁気ディスクの搬送エラーが発生したことを表示装置に表示し、
取り除くべき磁気ディスクを決定し、
前記検査ユニット、前記反転装置、及び各搭載台の前記磁気ディスクを示す図形を前記表示装置に表示し、取り除くべきと決定した磁気ディスクを示す図形を、他の磁気ディスクを示す図形と区別して、前記表示装置に表示することを特徴とする磁気ディスク検査方法。
【請求項５】
磁気ディスク検査装置の非常停止要件の発生を検出して、全ての搭載台の前記磁気ディスクを、取り除くべき磁気ディスクとして決定し、
前記検査ユニット、前記反転装置、及び各搭載台の前記磁気ディスクを示す図形を前記表示装置に表示し、取り除くべきと決定した磁気ディスクを示す図形を、他の磁気ディスクを示す図形と区別して、前記表示装置に表示することを特徴とする請求項４に記載の磁気ディスク検査方法。
【請求項６】
取り除いた磁気ディスクを示す情報を入力するための入力装置を設け、
前記入力装置により前記情報が入力された磁気ディスクを示す図形を、前記入力装置により前記情報が入力されていない、前記取り除くべきと決定した磁気ディスクを示す図形と区別して、前記表示装置に表示することを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の磁気ディスク検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク又はその基板（以下、これらを総称して、「磁気ディスク」と呼ぶ）を検査する磁気ディスク検査装置及び磁気ディスク検査方法に係り、特に、検査の際に発生した磁気ディスクの搬送エラーを表示するのに好適な磁気ディスク検査装置及び磁気ディスク検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスクは、製造工程において、傷、汚れ、異物等の欠陥が発生する恐れがあるため、光学式の検査装置を用いて、欠陥の検査が行われる。例えば、特許文献１には、光学検査ユニットとテーブルユニットとを複数備え、基板ハンドリングユニットは複数の光学検査ユニットで検査を終えた複数の基板を複数のテーブルユニットから同時に取出すとともに、未検査の複数の基板を複数のテーブルユニットに同時に供給する磁気ディスク検査装置及び検査方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−７３１５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
磁気ディスク検査装置において、磁気ディスクを検査しているときに発生するエラーは、データ通信に起因するものと、オペレーションに起因するものとに大別することができる。磁気ディスク検査装置を構成する各種機器の間で、データ通信を行い、磁気ディスクの検査の有無、検査された磁気ディスクの良否等について、磁気ディスクの管理を行っている。このとき、データ通信にエラーが発生すると、磁気ディスクを正常に管理することができなくなるため、磁気ディスク検査装置は停止する。エラーがデータ通信に起因する場合、磁気ディスク検査装置を復帰させるには、エラーリセットを行う。エラーリセットを行うと、データ通信が再開されて、正しくデータが送受されることを各種機器がそれぞれ確認し、自動的に運転が開始される。
【０００５】
オペレーションに起因するエラーには、磁気ディスクを搬送している際に、磁気ディスクが落下したり、磁気ディスクを正しい位置に載置できなかったりする搬送エラーと、磁気ディスク検査装置が正常でない状態、例えば、磁気ディスク検査装置のドアが開いた状態で動作しようとして、磁気ディスク検査装置の動作が停止する非常停止とがある。オペレーションに起因するエラーが発生すると、真の原因を究明してその原因を取り除かない限り、エラーリセットを行っただけでは、磁気ディスク検査装置は動作しない。磁気ディスク検査装置が停止すると、その間磁気ディスクの検査ができなくなるため、磁気ディスク検査装置のオペレータに判り易くその対処法を知らせ、磁気ディスク検査装置の運転を迅速に再開させる必要がある。
【０００６】
本発明の課題は、磁気ディスクが落下したような場合も含めて、オペレーションに起因するエラーが発生したとき、磁気ディスク検査装置のオペレータに判り易くその対処法を知らせることである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の磁気ディスク検査装置は、磁気ディスクの検査を行う検査ユニットと、磁気ディスクを裏返して表裏を反転させる反転装置と、検査ユニットの前段及び後段、並びに検査ユニットと反転装置との間に設けられ、磁気ディスクを搭載する複数の搭載台と、磁気ディスクを各搭載台から検査ユニット又は反転装置へ搬送し、また磁気ディスクを検査ユニット又は反転装置から各搭載台へ搬送する搬送装置と、各搭載台において磁気ディスクが正常に搭載されていることを検出する複数の検出器と、複数の検出器の検出結果に基づき、複数の搭載台のいずれかにおいて磁気ディスクが正常に搭載されていないとき、磁気ディスクの搬送エラーが発生したことを検出する制御装置と、磁気ディスクの搬送エラーが発生したことを表示する表示装置とを備え、制御装置は、磁気ディスクの搬送エラーが発生したことを検出したとき、取り除くべき磁気ディスクを決定し、検査ユニット、反転装置、及び各搭載台の磁気ディスクを示す図形を表示装置に表示させ、取り除くべきと決定した磁気ディスクを示す図形を、他の磁気ディスクを示す図形と区別して、表示装置に表示させるものである。
【０００８】
また、本発明の磁気ディスク検査方法は、検査ユニットにより磁気ディスクの検査を行い、反転装置により磁気ディスクを裏返して表裏を反転させ、検査ユニットの前段及び後段、並びに検査ユニットと反転装置との間に、磁気ディスクを搭載する複数の搭載台を設け、搬送装置により、磁気ディスクを各搭載台から検査ユニット又は反転装置へ搬送し、また磁気ディスクを検査ユニット又は反転装置から各搭載台へ搬送し、複数の検出器により、各搭載台において磁気ディスクが正常に搭載されていることを検出し、複数の検出器の検出結果に基づき、複数の搭載台のいずれかにおいて磁気ディスクが正常に搭載されていないとき、磁気ディスクの搬送エラーが発生したことを検出し、磁気ディスクの搬送エラーが発生したことを表示装置に表示し、取り除くべき磁気ディスクを決定し、検査ユニット、反転装置、及び各搭載台の磁気ディスクを示す図形を表示装置に表示し、取り除くべきと決定した磁気ディスクを示す図形を、他の磁気ディスクを示す図形と区別して、表示装置に表示するものである。
【０００９】
磁気ディスクの搬送エラーが発生したことを検出したとき、取り除くべき磁気ディスクを決定し、検査ユニット、反転装置、及び各搭載台の磁気ディスクを示す図形を表示装置に表示し、取り除くべきと決定した磁気ディスクを示す図形を、他の磁気ディスクを示す図形と区別して、表示装置に表示するので、取り除くべき磁気ディスクが、他の磁気ディスクと区別して判り易く認識される。従って、磁気ディスクの搬送エラーが発生したとき、磁気ディスク検査装置のオペレータが、容易にその対処法を知ることができる。
【００１０】
さらに、本発明の磁気ディスク検査装置は、制御装置が、磁気ディスク検査装置の非常停止要件の発生を検出して、全ての搭載台の磁気ディスクを、取り除くべき磁気ディスクとして決定し、検査ユニット、反転装置、及び各搭載台の磁気ディスクを示す図形を表示装置に表示させ、取り除くべきと決定した磁気ディスクを示す図形を、他の磁気ディスクを示す図形と区別して、表示装置に表示させるものである。
【００１１】
また、本発明の磁気ディスク検査方法は、磁気ディスク検査装置の非常停止要件の発生を検出して、全ての搭載台の磁気ディスクを、取り除くべき磁気ディスクとして決定し、検査ユニット、反転装置、及び各搭載台の磁気ディスクを示す図形を表示装置に表示し、取り除くべきと決定した磁気ディスクを示す図形を、他の磁気ディスクを示す図形と区別して、表示装置に表示するものである。磁気ディスク検査装置の非常停止が発生したとき、磁気ディスク検査装置のオペレータが、容易にその対処法を知ることができる。
【００１２】
さらに、本発明の磁気ディスク検査装置は、取り除いた磁気ディスクを示す情報を入力するための入力装置を備え、制御装置は、入力装置により情報が入力された磁気ディスクを示す図形を、入力装置により情報が入力されていない、取り除くべきと決定した磁気ディスクを示す図形と区別して、表示装置に表示させるものである。また、本発明の磁気ディスク検査方法は、取り除いた磁気ディスクを示す情報を入力するための入力装置を設け、入力装置により情報が入力された磁気ディスクを示す図形を、入力装置により情報が入力されていない、取り除くべきと決定した磁気ディスクを示す図形と区別して、表示装置に表示するものである。磁気ディスク検査装置のオペレータが、取り除き終わった磁気ディスクと未だ取り除いていない磁気ディスクとを、容易に識別することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、磁気ディスクの搬送エラーが発生したことを検出したとき、取り除くべき磁気ディスクを決定し、検査ユニット、反転装置、及び各搭載台の磁気ディスクを示す図形を表示装置に表示し、取り除くべきと決定した磁気ディスクを示す図形を、他の磁気ディスクを示す図形と区別して、表示装置に表示することにより、磁気ディスクの搬送エラーが発生したとき、磁気ディスク検査装置のオペレータに判り易くその対処法を知らせることができる。
【００１４】
さらに、磁気ディスク検査装置の非常停止要件の発生を検出して、全ての搭載台の磁気ディスクを、取り除くべき磁気ディスクとして決定し、検査ユニット、反転装置、及び各搭載台の磁気ディスクを示す図形を表示装置に表示し、取り除くべきと決定した磁気ディスクを示す図形を、他の磁気ディスクを示す図形と区別して、表示装置に表示することにより、磁気ディスク検査装置の非常停止が発生したとき、磁気ディスク検査装置のオペレータに判り易くその対処法を知らせることができる。
【００１５】
さらに、取り除いた磁気ディスクを示す情報を入力するための入力装置を設け、入力装置により情報が入力された磁気ディスクを示す図形を、入力装置により情報が入力されていない、取り除くべきと決定した磁気ディスクを示す図形と区別して、表示装置に表示することにより、磁気ディスク検査装置のオペレータが、取り除き終わった磁気ディスクと未だ取り除いていない磁気ディスクとを、容易に識別することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施の形態による磁気ディスク検査装置の概略構成を示す図である。
【図２】搭載台と検出器を示す図である。
【図３】磁気ディスクの搬送エラー時の動作を示すフローチャートである。
【図４】磁気ディスクの搬送エラー時の案内表示の一例を示す図である。
【図５】非常停止時の動作を示すフローチャートである。
【図６】非常停止時の案内表示の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
図１は、本発明の一実施の形態による磁気ディスク検査装置の概略構成を示す図である。磁気ディスク検査装置１００は、検査ユニット１０、反転装置２０、複数の搭載台３０、複数の検出器、搬送装置５０ａ，５０ｂ，５０ｃ、レール５１ａ，５１ｂ，５１ｃ、表示装置６０、入力装置７０、及び制御装置８０を含んで構成されている。
【００１８】
検査ユニット１０は、検査テーブル１０ａと、検査テーブル１０ａの上空に設けられた検査光学系１０ｂとを含んで構成されている。検査テーブル１０ａには、２つのスピンドル１０ｃ，１０ｄが設けられており、各スピンドル１０ｃ，１０ｄは、磁気ディスク１を搭載して、図示しない移動機構により、検査光学系１０ｂの下方へ交互に移動する。各磁気ディスク１は、検査光学系１０ｂの下方において、スピンドル１０ｃに搭載された状態で一方の面の検査が行われ、スピンドル１０ｄに搭載された状態で他方の面の検査が行われる。
【００１９】
反転装置２０は、磁気ディスク１を裏返してその表裏を反転させる。検査ユニット１０の前段のＰ１の位置、検査ユニット１０と反転装置２０との間のＰ３の位置、反転装置２０と検査ユニット１０と間のＰ５の位置、及び検査ユニット１０の後段のＰ７の位置には、磁気ディスク１を搭載する搭載台３０がそれぞれ設置されている。Ｐ１の位置の搭載台３０には、図示しないローダロボットにより、未検査の磁気ディスクが搬入される。Ｐ７の位置の搭載台３０からは、図示しないアンローダロボットにより、検査済みの磁気ディスクが搬出される。
【００２０】
各搬送装置５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、磁気ディスク１の外周側面をチャッキングする２つのハンドリングアーム５２をそれぞれ有する。搬送装置５０ａは、レール５１ａに沿って移動し、一方のハンドリングアーム５２により、Ｐ１の位置の搭載台３０に搭載された磁気ディスク１を、Ｐ２の位置にあるスピンドル１０ｃへ移動し、他方のハンドリングアーム５２により、Ｐ２の位置にあるスピンドル１０ｃに搭載された磁気ディスク１を、Ｐ３の位置の搭載台３０へ移動する。
【００２１】
搬送装置５０ｂは、レール５１ｂに沿って移動し、一方のハンドリングアーム５２により、Ｐ３の位置の搭載台３０に搭載された磁気ディスク１を、反転装置２０内のＰ４の位置へ移動し、他方のハンドリングアーム５２により、反転装置２０内のＰ４の位置にある磁気ディスク１を、Ｐ５の位置の搭載台３０へ移動する。
【００２２】
搬送装置５０ｃは、レール５１ｃに沿って移動し、一方のハンドリングアーム５２により、Ｐ５の位置の搭載台３０に搭載された磁気ディスク１を、Ｐ６の位置にあるスピンドル１０ｄへ移動し、他方のハンドリングアーム５２により、Ｐ６の位置にあるスピンドル１０ｄに搭載された磁気ディスク１を、Ｐ７の位置の搭載台３０へ移動する。
【００２３】
表示装置６０は、表示画面６１を有し、制御装置８０の制御により、磁気ディスクの搬送エラー時の案内表示、及び磁気ディスク検査装置１００の非常停止時の案内表示を表示する。入力装置７０は、後述するオペレータからの入力に用いられる。制御装置８０は、検査ユニット１０、反転装置２０、搬送装置５０ａ，５０ｂ，５０ｃ、及び表示装置６０を制御する。
【００２４】
図２は、搭載台と検出器を示す図である。搭載台３０の台座３１には、３つの支持片３２が取り付けられている。各支持片３２の上面には、磁気ディスク１を搭載する搭載面３２ａが形成されている。搭載面３２ａは、磁気ディスク１の中心へ向かうに従って下方へ下がるように傾斜している。磁気ディスク１を搭載台３０に搭載したとき、磁気ディスク１の裏面の外周縁が各支持片３２の搭載面３２ａに接触し、搭載台３０は磁気ディスク１を三点で支持する。
【００２５】
検出器４０は、投光器４１と受光器４２とを含んで構成されている。投光器４１は、磁気ディスク１の表面へ光ビームを照射する。受光器４２は、磁気ディスク１の表面へ照射された光ビームが磁気ディスク１の表面で反射された反射光を受光し、反射光の受光位置に応じた検出信号を出力する。受光器４１の検出信号は、制御装置８０により処理されて、磁気ディスク１の表面の高さが確認され、磁気ディスク１が搭載台３０に正常に搭載されているか否かが判断される。
【００２６】
検出器４０は、図１において、検査ユニット１０内のＰ２の位置にある磁気ディスク１の上空、反転装置２０内のＰ４の位置にある磁気ディスク１の上空、及び検査ユニット１０内のＰ６の位置にある磁気ディスク１の上空にも設けられている。各検出器４０の受光器４１の検出信号は、制御装置８０により処理されて、磁気ディスク１の表面の高さが確認され、磁気ディスク１がスピンドル１０ｃ，１０ｄ又は反転装置２０に正常に搭載されているか否かが判断される。
【００２７】
図３は、磁気ディスクの搬送エラー時の動作を示すフローチャートである。まず、制御装置８０は、各検出器４０の検出信号から、磁気ディスク１の表面の高さを確認し、磁気ディスク１が各搭載台３０に正常に搭載されているか否かを判断する。そして、制御装置８０は、いずれかの搭載台３０において、磁気ディスク１が搭載台３０に正常に搭載されていないと判断した場合、磁気ディスクの搬送エラーが発生したことを検出して（Ｓ２０１）、磁気ディスク検査装置１００を停止させる。磁気ディスクの搬送エラーは、搬送装置５０ａ，５０ｂ，５０ｃのハンドリングアーム５２が磁気ディスク１をうまくチャッキングできずに、磁気ディスク１を次の搭載台３０に正常に搭載できない、あるいは、ハンドリングアーム５２が磁気ディスク１をチャッキングしたが、次の搭載台３０へ搬送するまでにその磁気ディスク１を落下させてしまうことで発生する。
【００２８】
次に、制御装置８０は、磁気ディスクの搬送エラーが発生したことを示す搬送エラー時の案内表示を、表示装置６０の表示画面６１に表示させる（Ｓ２０２）。表示方法として、例えば、磁気ディスク検査装置１００のオペレータが搬送エラーの発生を認識することができるように、表示装置６０に通常表示されている画面内に、子画面を立ち上げ、通常表示されている画面の一部にオーバーラップさせて表示する。
【００２９】
次に、制御装置８０は、磁気ディスク検査装置１００のオペレータが磁気ディスク検査装置１００内から取り除くべき磁気ディスクを決定する（Ｓ２０３）。このとき、制御装置８０は、搭載台３０に正常に搭載されていないと判断した磁気ディスクを、取り除くべき磁気ディスクとして決定する。
【００３０】
次に、制御装置８０は、取り除くべき磁気ディスクを示す図形を、他の磁気ディスクを示す図形と区別して、搬送エラー時の案内表示内に表示させる（Ｓ２０４）。搬送エラー時の案内表示には、磁気ディスク検査装置１００内に搬送されている全ての磁気ディスク、即ち、検査ユニット１０、反転装置２０、及び各搭載台３０の磁気ディスクを示す図形を表示する。そして、取り除くべき磁気ディスクを示す図形に印を付けて、他の磁気ディスクを示す図形と区別する。この印としては、例えば、磁気ディスクを示す図形に縁取りをしたり、磁気ディスクを示す図形の色を変えたり、磁気ディスクを示す図形を点滅させたりする。
【００３１】
図４は、磁気ディスクの搬送エラー時の案内表示の一例を示す図である。本例の搬送エラー時の案内表示６２では、丸い図形１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７が、磁気ディスクを示している。図形１１は、検査ユニット１０の前段のＰ１の位置にある搭載台３０の磁気ディスクを示す。図形１２は、検査ユニット１０内のＰ２の位置の磁気ディスクを示す。図形１３は、検査ユニット１０と反転装置２０との間のＰ３の位置にある搭載台３０の磁気ディスクを示す。図形１４は、反転装置２０内のＰ４の位置の磁気ディスクを示す。図形１５は、反転装置２０と検査ユニット１０との間のＰ５の位置にある搭載台３０の磁気ディスクを示す。図形１６は、検査ユニット１０内のＰ６の位置の磁気ディスクを示す。図形１７は、検査ユニット１０の後段のＰ７の位置にある搭載台３０の磁気ディスクを示す。
【００３２】
図形１２，１４，１５，１６，１７内の斜線は、磁気ディスクが、検査ユニット１０のスピンドル１０ｃ，１０ｄ、反転装置２０、又は各搭載台３０に正常に搭載されていると判断されたことを示している。斜線の無い図形１１，１３が示す磁気ディスクは、制御装置８０が、各搭載台３０に正常に搭載されていないと判断した磁気ディスクである。各図形には、白色又は黒色の縁取りが施されており、黒色の縁取りが、取り除くべき磁気ディスクを示す印である。図４では、磁気ディスクを示す７つの図形の内、左側の最上段の図形１１と、左側の最下段の図形１３とに、黒色の縁取りの印が付けられている。
【００３３】
磁気ディスク検査装置１００のオペレータは、表示装置６０に表示された搬送エラー時の案内表示を見て、印が付いている図形が示す磁気ディスクを、磁気ディスク検査装置１００から取り除く。磁気ディスクが該当個所にないときは、磁気ディスクが搭載台３０から落下していることもあり、落下している磁気ディスクも取り除いておく。これを取り除いておかないと、磁気ディスク検査装置１００が動作したとき、落下した磁気ディスクが他の部品と干渉を起こして、磁気ディスク検査装置１００が再度停止してしまう恐れがある。
【００３４】
磁気ディスク検査装置１００のオペレータは、磁気ディスクを取り除いたら、入力装置７０により、表示装置６０に表示されている該当する磁気ディスクを示す図形を選択して、取り除いた磁気ディスクを示す情報を入力する。この入力操作は、例えば、該当する磁気ディスクを示す図形を、マウス等でクリックして行う。表示装置６０が入力装置を兼ねたタッチ画面を有し、表示装置６０の画面を直接タッチして行ってもよい。
【００３５】
図３において、制御装置８０は、取り除くべきと決定した磁気ディスクについて、取り除いた磁気ディスクを示す情報の入力があったか否かを判断する（Ｓ２０５）。取り除いた磁気ディスクを示す情報の入力がなかった場合、制御装置８０は、Ｓ２０５のステップを繰り返す。取り除いた磁気ディスクを示す情報の入力があった場合、制御装置８０は、該当する磁気ディスクを示す図形の印を、取り除かれたことが分かるように変更させる（Ｓ２０６）。例えば、図４で、図形１１又は図形１３の黒色の縁取りを、白色又は他の色に変更させる。これにより、磁気ディスク検査装置１００のオペレータは、取り除き終わった磁気ディスクと未だ取り除いていない磁気ディスクとを、容易に識別することができる。
【００３６】
次に、制御装置８０は、取り除くべきと決定した全ての磁気ディスクについて、取り除いた磁気ディスクを示す情報の入力があったか否かを判断する（Ｓ２０７）。取り除くべきと決定した磁気ディスクのいずれかについて、取り除いた磁気ディスクを示す情報の入力がなかった場合、Ｓ２０５のステップへ戻る。取り除くべきと決定した全ての磁気ディスクについて、取り除いた磁気ディスクを示す情報の入力があった場合、制御装置８０は、表示装置６０に搬送エラー時の案内表示を終了させる（Ｓ２０８）。以後、磁気ディスク検査装置１００の運転を再開して、磁気ディスクを取り除いた搭載台３０に新たに磁気ディスクが搭載されるまで、制御装置８０は、Ｓ２０１のステップにおいて、当該搭載台３０を除外する。
【００３７】
以下、磁気ディスク検査装置１００の非常停止が発生した場合について説明する。図５は、非常停止時の動作を示すフローチャートである。まず、制御装置８０は、非常停止要件の発生を検出して（Ｓ３０１）、磁気ディスク検査装置１００を停止させる。
【００３８】
次に、制御装置８０は、磁気ディスク検査装置１００が非常停止したことを示す非常停止時の案内表示を、表示装置６０の表示画面６１に表示させる（Ｓ３０２）。表示方法は、搬送エラー時の案内表示と同様である。
【００３９】
次に、制御装置８０は、全ての搭載台３０の磁気ディスクを、オペレータが磁気ディスク検査装置１００内から取り除くべき磁気ディスクとして決定する（Ｓ３０３）。磁気ディスクの搬送エラーでは、エラーが発生した個所が分かるので、該当個所以外の磁気ディスクを取り除く必要はないが、非常停止では、検出器４０が故障した場合等もあり、磁気ディスクの搬送状態が明確ではないため、全ての搭載台３０の磁気ディスクを、取り除くべき磁気ディスクとする。
【００４０】
そして、制御装置８０は、全ての搭載台３０の磁気ディスクを示す図形を、他の磁気ディスクを示す図形と区別して、非常停止時の案内表示内に表示させる（Ｓ３０４）。非常停止の案内画面には、磁気ディスク検査装置１００内に搬送されている全ての磁気ディスク、即ち、検査ユニット１０、反転装置２０、及び各搭載台３０の磁気ディスクを示す図形を表示する。そして、全ての搭載台３０の磁気ディスクを示す図形に印を付けて、検査ユニット１０及び反転装置２０の磁気ディスクを示す図形と区別する。この印としては、例えば、磁気ディスクを示す図形に縁取りをしたり、磁気ディスクを示す図形の色を変えたり、磁気ディスクを示す図形を点滅させたりする。
【００４１】
図６は、非常停止時の案内表示の一例を示す図である。各図形が示す意味は、図４の例と同じである。図６の非常停止時の案内表示６３では、磁気ディスクを示す７つの図形の内、検査ユニット１０内にある磁気ディスクを示す図形１２，１６と、反転装置２０内にある磁気ディスクを示す図形１４とを除いた、全ての搭載台３０の磁気ディスクを示す図形１１，１３，１５，１７に、黒色の縁取りの印が付けられている。
【００４２】
図５において、Ｓ３０５〜Ｓ３０７のステップは、図３のＳ２０５〜Ｓ２０７のステップと同様である。Ｓ３０７のステップにおいて、取り除くべきと決定した全ての磁気ディスクについて、取り除いた磁気ディスクを示す情報の入力があった場合、制御装置８０は、表示装置６０に非常停止時の案内表示を終了させる（Ｓ３０８）。
【００４３】
以上説明した実施の形態によれば、磁気ディスクの搬送エラーが発生したことを検出したとき、取り除くべき磁気ディスクを決定し、検査ユニット１０、反転装置２０、及び各搭載台３０の磁気ディスクを示す図形を表示装置６０に表示し、取り除くべきと決定した磁気ディスクを示す図形を、他の磁気ディスクを示す図形と区別して、表示装置６０に表示することにより、磁気ディスクの搬送エラーが発生したとき、磁気ディスク検査装置１００のオペレータに判り易くその対処法を知らせることができる。
【００４４】
さらに、磁気ディスク検査装置１００の非常停止要件の発生を検出して、全ての搭載台３０の磁気ディスクを、取り除くべき磁気ディスクとして決定し、検査ユニット１０、反転装置２０、及び各搭載台３０の磁気ディスクを示す図形を表示装置６０に表示し、取り除くべきと決定した磁気ディスクを示す図形を、他の磁気ディスクを示す図形と区別して、表示装置６０に表示することにより、磁気ディスク検査装置１００の非常停止が発生したとき、磁気ディスク検査装置１００のオペレータに判り易くその対処法を知らせることができる。
【００４５】
さらに、取り除いた磁気ディスクを示す情報を入力するための入力装置７０を設け、入力装置７０により情報が入力された磁気ディスクを示す図形を、入力装置７０により情報が入力されていない、取り除くべきと決定した磁気ディスクを示す図形と区別して、表示装置６０に表示することにより、磁気ディスク検査装置１００のオペレータが、取り除き終わった磁気ディスクと未だ取り除いていない磁気ディスクとを、容易に識別することができる。
【００４６】
本発明の磁気ディスク検査装置における検査ユニット、反転装置、及び各搭載台の配置は、図１に示した実施の形態に限らず、例えば、磁気ディスクを前後又は左右の一次元の方向にのみ移動させるようなものであってもよい。
【符号の説明】
【００４７】
１  磁気ディスク
１００  磁気ディスク検査装置
１０  検査ユニット
２０  反転装置
３０  搭載台
３１  台座
３２  支持片
３２ａ  搭載面
４０  検出器
４１  投光器
４２  受光器
５０ａ，５０ｂ，５０ｃ  搬送装置
５１ａ，５１ｂ，５１ｃ  レール
５２  ハンドリングアーム
６０  表示装置
６１  表示画面
７０  入力装置
８０  制御装置
【図１】
2016206109.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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