(57)【要約】      （修正有）【課題】薄板状の部材を接合してなる開口部を備えた接合体の接合部における漏れを効率的かつ高精度に検査する検査装置、およびその検査方法を提供する。【解決手段】それぞれ薄板状からなる第１部材と第２部材１４とを接合して流体が流れる冷却流路を形成し当該冷却流路に連通する開口部１４ｅを設けたセパレータアセンブリの当該第１部材と当該第２部材１４との接合箇所を通じた漏れを検査する検査装置であって、接合箇所を通じた漏れを検査する検査流体の開口部１４ｅを通じたセパレータアセンブリの外部から冷却流路への流入をシールするシール部材２８０と、検査流体をセパレータアセンブリの外部に供給する検査流体供給部と、当該漏れの箇所を通じて流れる検査流体を検知する検知部と、を含み、シール部材２８０は、セパレータアセンブリと接触する接触部２８２と、接触部２８２と逆側に設けられた変形部２８３と、を備える。【選択図】図１８
2016042026.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれ薄板状からなる第１部材と第２部材とを接合して流体が流れる内部空間を形成し当該内部空間に連通する開口部を設けた接合体の当該第１部材と当該第２部材との接合箇所を通じた漏れを検査する検査装置であって、
前記接合箇所を通じた漏れを検査する検査流体の前記開口部を通じた前記接合体の外部から前記内部空間への流入をシールするシール部を備えたシール部材と、
前記検査流体を前記接合体の外部に供給する検査流体供給部と、
前記接合箇所に漏れの箇所が存在する場合に、当該漏れの箇所を通じて流れる前記検査流体を検知する検知部と、を含み、
前記シール部は、前記接合体と接触する接触部と、前記接触部と逆側に設けられ前記接触部が接触する部位の形状に応じた変形を許容する変形部と、を備える検査装置。
【請求項２】
前記シール部材は、前記接合体の前記外部と前記内部空間との間で前記開口部を通じて流体を流通させる流通部と、前記流通部を支持する支持部材と、をさらに備える、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記シール部材は、前記シール部材を前記開口部に差し込む差込部を有する、請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記検査流体供給部は、検査流体として水素又はヘリウムを供給する、請求項１から３のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項５】
前記接合体を収容すると共に外部と区画して前記検査流体を供給可能な空間を形成する区画部をさらに有する、請求項１から４のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項６】
前記シール部材は、前記シール部と接続し、前記区画部の内面に接触する他の接触部を有する他のシール部をさらに備える、請求項５に記載の検査装置。
【請求項７】
前記シール部材は、前記シール部と前記他のシール部とを、当該他のシール部の前記他の接触部と独立した当該シール部の前記接触部の変形を許容する接続部によって接続する請求項６に記載の検査装置。
【請求項８】
前記シール部材は、前記シール部における前記接合体との接触箇所から前記他のシール部における前記区画部の内面との接触箇所までの距離が、前記接合体における前記シール部材との接触箇所から前記区画部における前記シール部材との接触箇所までの距離よりも長い、請求項６または７に記載の検査装置。
【請求項９】
前記検知部は、前記漏れの箇所を通じて前記接合体の前記内部空間に流れる前記検査流体を検知する、請求項１から７のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項１０】
前記区画部の前記内部は、前記接合体に対して前記第１部材において接触する第１内部と、前記接合体に対して前記第２部材において接触する第２内部とに隔離され、
前記検査流体供給部は前記第１内部に検査流体を供給し、
前記検知部は、前記漏れの箇所を通じて前記第２内部に流れる前記検査流体を検知する、請求項５から８のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項１１】
前記接合体の前記内部空間又は前記区画部の前記内部に前記検査流体を含まない流体を供給する非検査流体供給部をさらに有する、請求項９または１０に記載の検査装置。
【請求項１２】
それぞれ薄板状からなる第１部材と第２部材とを接合して流体が流れる内部空間を形成し当該内部空間に連通する開口部を設けた接合体の当該第１部材と当該第２部材との接合箇所を通じた漏れを検査する検査方法であって、
前記漏れを検査する検査流体の前記開口部を通じた前記接合体の外部から前記内部空間への流入をシールするシール部を備えたシール部材を前記開口部に設置し、
前記検査流体を前記接合体の外部に供給し、
前記接合箇所に漏れの箇所が存在する場合に、当該漏れの箇所を通じて流れる前記検査流体を検知し、
前記シール部材を設置する際には、前記シール部が、前記接合体と接触する接触部と、前記接触部と逆側に設けられ前記接触部が接触する部位の形状に応じた変形を許容する変形部と、を有する前記シール部材を用意する検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接合体の検査装置およびその検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、たとえば燃料電池は、膜電極接合体の両面にセパレータを配置した燃料電池セルを積層した積層体を主な構成要素としている。セパレータは、たとえば、各々が薄板状からなるアノード側セパレータ（第１部材に相当）とカソード側セパレータ（第２部材に相当）とを接合したセパレータ対（接合体に相当）として構成することがある。接合体には、流体が流れる内部空間が形成されるとともに、当該内部空間に連通する開口部が設けられる。接合体は、第１部材と第２部材との接合箇所に接合不良があると、その接合不良の部分を通じて流体が漏れることがある。そのため、薄板状の部材を接合して接合体を製造する際には、接合箇所を通じた漏れを検査する必要がある。
【０００３】
流体の漏れを検査する方法として、被検査物の内部を真空にした状態で、被検査物の外部に検査流体を供給して、被検査物内部に漏れ出てくる検査流体を検知する方法がある（たとえば、特許文献１参照。）。しかしながら、開口部を備えた接合体を被検査物として当該検査方法を適用する場合、接合体の内部空間への開口部を通じた検査流体の流入をシールする必要がある。そして、被検査物が薄板状の部材を接合してなる接合体の場合、被検査物内部を真空にした際の圧力差や部材を成形したときに発生する微小な変形などによって、開口部を通じた検査流体の流入を確実にシールすることは難しい。そこで、薄板状の部材を接合してなる接合体に設けられた開口部を通じた流体の流入をシールする方法として、開口部の周辺を多重のシール構造を備えたシール部材でシールする方法が知られている（たとえば、特許文献２参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−４７６５１号公報
【特許文献２】特開２００６−２５２８１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献２の構成では、シール部材と接合体とを接着剤により接着する必要がある。従って、検査対象となる被検査物を交換するたびに接着剤の除去と塗布が必要になるため、効率的な検査を行うことができないといった問題がある。
【０００６】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、薄板状の部材を接合してなる開口部を備えた接合体の接合部における漏れを効率的かつ高精度に検査する検査装置、およびその検査方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成する本発明は、それぞれ薄板状からなる第１部材と第２部材とを接合して流体が流れる内部空間を形成し当該内部空間に連通する開口部を設けた接合体の当該第１部材と当該第２部材との接合箇所を通じた漏れを検査する検査装置である。当該検査装置は、接合箇所を通じた漏れを検査する検査流体の開口部を通じた接合体の外部から内部空間への流入をシールするシール部を備えたシール部材を含む。また、当該検査装置は、検査流体を接合体の外部に供給する検査流体供給部と、接合箇所に漏れの箇所が存在する場合に、当該漏れの箇所を通じて流れる検査流体を検知する検知部と、を含む。そして、シール部は、接合体と接触する接触部と、接触部と逆側に設けられ接触部が接触する部位の形状に応じた変形を許容する変形部と、を備える。
【０００８】
また、他の本発明は、それぞれ薄板状からなる第１部材と第２部材とを接合して流体が流れる内部空間を形成し当該内部空間に連通する開口部を設けた接合体の当該第１部材と当該第２部材との接合箇所を通じた漏れを検査する検査方法である。当該検査方法は、漏れを検査する検査流体の開口部を通じた接合体の外部から内部空間への流入をシールするシール部を備えたシール部材を開口部に設置する。そして、検査流体を接合体の外部に供給し、接合箇所に漏れの箇所が存在する場合に、当該漏れの箇所を通じて流れる検査流体を検知する。シール部材を設置する際には、シール部が、接合体と接触する接触部と、接触部と逆側に設けられ接触部が接触する部位の形状に応じた変形を許容する変形部と、を有するシール部材を用意する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る検査方法及び検査装置によれば、シール部材は、接合体と接触する接触部と、接触部と逆側に設けられ接触部が接触する部位の形状に応じた変形を許容する変形部と、を備えるように構成している。これにより、接合体の微小な変形に接触部が追従するから、接合体の外部から内部空間への検査流体の流入を簡便な構造で確実に防げる。従って、接合体の接合箇所における漏れを効率的かつ高精度に検査できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１（Ａ）、図１（Ｂ）は本発明の実施形態１に係るセパレータアセンブリの検査装置について示す斜視図、側面図である。
【図２】図２（Ａ）、図２（Ｂ）は同検査装置を示す正面図、平面図である。
【図３】図３（Ａ）、図３（Ｂ）は同検査装置を構成する上型を横に倒した状態で下方から見上げた斜視図、底面図である。
【図４】図４（Ａ）、図４（Ｂ）は同検査装置を構成する下型を上方から見下ろした斜視図、平面図である。
【図５】図２（Ｂ）の５−５線に沿う断面図である。
【図６】図２（Ｂ）の６−６線に沿う断面図である。
【図７】同実施形態１に係る燃料電池を示す斜視図である。
【図８】同燃料電池の構成を示す分解斜視図である。
【図９】同燃料電池を構成する積層体の分解斜視図である。
【図１０】燃料電池の積層体を構成する燃料電池セルを示す断面図である。
【図１１】図１１（Ａ）は同燃料電池を構成するセパレータアセンブリのセパレータ同士が当接する面から見た図、図１１（Ｂ）はアノードセパレータの中でもＭＥＡと接合する側から見た図、図１１（Ｃ）はカソードセパレータの中でもＭＥＡと接合する側から見た図である。
【図１２】図１２（Ａ）は同実施形態１に係るシール部材を示す斜視図、図１２（Ｂ）は同シール部材を示す平面図である。
【図１３】図１３（Ａ）は図１２（Ｂ）のＡ−Ａ線に沿う断面図、図１３（Ｂ）は図１２（Ｂ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図１４】図１４（Ａ）は同実施形態１に係る別のシール部材を示す斜視図、図１４（Ｂ）は同シール部材の図１３（Ａ）に対応する断面図である。
【図１５】図１５（Ａ）、図１５（Ｂ）は同実施形態１に係るシール部材を同検査装置及びセパレータアセンブリに設置する様子を説明する説明図である。
【図１６】図５の破線部Ａによって囲まれる部分の拡大図である。
【図１７】図１７（Ａ）、図１７（Ｂ）は、同実施形態１に係るシール部材をセパレータアセンブリに設置した際のシール部材、セパレータ及び下型を、それぞれ図１２（Ｂ）のＢ−Ｂ線、Ｃ−Ｃ線に対応する位置で切断した概略断面図である。
【図１８】図１８（Ａ）、図１８（Ｂ）は、シール部材、セパレータ及び下型を図１２（Ｂ）のＡ−Ａ線に対応する位置で切断した概略断面図であって、図１８（Ａ）はシール部材をセパレータアセンブリに設置する際の概略断面図、図１８（Ｂ）は設置後の概略断面図である。
【図１９】セパレータアセンブリの内部漏れを検査する様子を説明する説明図である。
【図２０】セパレータアセンブリの内部漏れを検査する工程を示すフローチャートである。
【図２１】図２１（Ａ）、図２１（Ｂ）は本発明の実施形態２に係るセパレータアセンブリの検査装置について示す斜視図、正面図である。
【図２２】図２２（Ａ）、図２２（Ｂ）は同検査装置を構成する上型を横に倒した状態で下方から見上げた斜視図、底面図である。
【図２３】図２３（Ａ）、図２３（Ｂ）は同検査装置を構成する下型を上方から見下ろした斜視図、平面図である。
【図２４】図５に対応する実施形態２に係る検査装置の断面図である。
【図２５】図２１（Ｂ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図２６】セパレータアセンブリの貫通漏れを検査する様子を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、添付した図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。なお、以下の記載は特許請求の範囲に記載される技術的範囲や用語の意義を限定するものではない。また、図面の寸法比率は説明の都合上誇張されており、実際の比率とは異なる場合がある。
【００１２】
（実施形態１）
図１（Ａ）、図１（Ｂ）は本発明の実施形態１に係るセパレータアセンブリの検査装置について示す斜視図、側面図、図２（Ａ）、図２（Ｂ）は同検査装置を示す正面図、平面図である。図３（Ａ）、図３（Ｂ）は同検査装置を構成する上型を横に倒した状態で下方から見上げた斜視図、底面図、図４（Ａ）、図４（Ｂ）は同検査装置を構成する下型を上方から見下ろした斜視図、平面図である。図５は図２（Ｂ）の５−５線に沿う断面図、図６は図２（Ｂ）の６−６線に沿う断面図である。
【００１３】
図７は同実施形態１に係る燃料電池を示す斜視図、図８は同燃料電池の構成を示す分解斜視図、図９は同燃料電池を構成する積層体の分解斜視図、図１０は燃料電池の積層体を構成する燃料電池セルを示す断面図である。図１１（Ａ）は同燃料電池を構成するセパレータアセンブリのセパレータ同士が当接する面から見た図、図１１（Ｂ）はアノードセパレータの中でもＭＥＡと接合する側から見た図、図１１（Ｃ）はカソードセパレータの中でもＭＥＡと接合する側から見た図である。
【００１４】
図１２（Ａ）は同実施形態１に係るシール部材を示す斜視図、図１２（Ｂ）は同シール部材を示す平面図、図１３（Ａ）は図１２（Ｂ）のＡ−Ａ線に沿う断面図、図１３（Ｂ）は図１２（Ｂ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。図１４（Ａ）は同実施形態１に係る別のシール部材を示す斜視図、図１４（Ｂ）は同シール部材の図１３（Ａ）に対応する断面図である。図１５（Ａ）、図１５（Ｂ）は同実施形態１に係るシール部材を同検査装置及びセパレータアセンブリに設置する様子を説明する説明図である。図１６は図５の破線部Ａによって囲まれる部分の拡大図である。図１７（Ａ）、図１７（Ｂ）は、同実施形態１に係るシール部材をセパレータアセンブリに設置した際のシール部材、セパレータ及び下型を、それぞれ図１２（Ｂ）のＢ−Ｂ線、Ｃ−Ｃ線に対応する位置で切断した概略断面図である。図１８（Ａ）、図１８（Ｂ）は、シール部材、セパレータ及び下型を図１２（Ｂ）のＡ−Ａ線に対応する位置で切断した概略断面図であって、図１８（Ａ）はシール部材をセパレータアセンブリに設置する際の概略断面図、図１８（Ｂ）は設置後の概略断面図である。
【００１５】
図１９はセパレータアセンブリの内部漏れを検査する様子を説明する説明図、図２０はセパレータアセンブリの内部漏れを検査する工程を示すフローチャートである。
【００１６】
セパレータアセンブリの検査装置２００は、図１に示すように、検査流体供給部２５０と、検知部２６０と、シール部材２８０、２９０と、を含む。
【００１７】
セパレータアセンブリの漏れ検査方法は、図２０に示すように、セパレータアセンブリ１２のセット（ステップＳＴ１  開口部へのシール部材の設置に相当）と、漏れの検知（ステップＳＴ４  検査流体の供給、検査流体の検知に相当）と、を含む。
【００１８】
（燃料電池）
本実施形態に係る検査装置によって検査されるセパレータアセンブリ１２（接合体に相当）は、燃料電池１００の構成部品である。燃料電池１００は、膜電極接合体（Ｍｅｍｂｒａｎｅ  Ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ  Ａｓｓｅｍｂｌｙ  以下、ＭＥＡと記載）１１とＭＥＡ１１の両面に配置したセパレータ１３、１４によって構成される燃料電池セル１０ａを複数積層した積層体１０を主要な構成要素としている。セパレータアセンブリ１２は、隣接する燃料電池セル１０ａにおけるセパレータ１３（第１部材に相当）とセパレータ１４（第２部材に相当）とが接合されて構成される。セパレータアセンブリの検査装置、検査方法について説明する前に燃料電池の構成について説明する。
【００１９】
ＭＥＡ１１は、電解質膜１１ａの片側にアノード１１ｂ、もう片側にカソード１１ｃが接合されている。セパレータアセンブリ１２は、２枚のセパレータ１３、１４を有する。また、積層体１０の積層方向における両端部には集電板１６、１７が設けられている。また、燃料電池１００は、筐体２０を有している。筐体２０は、一対の締結板２１、２２と補強板２３、２４、及びエンドプレート２５、２６を有している。
【００２０】
セパレータ１３、１４は、図９や図１０に示し、積層された複数の燃料電池セル１０ａにおいて隣り合うＭＥＡ１１を隔離しつつ、ＭＥＡ１１で発生した電力を通電させている。セパレータ１３、１４は、アノード側セパレータ１３とカソード側セパレータ１４とに分類される。アノード側セパレータ１３は、ＭＥＡ１１のアノード１１ｂに当接させている。アノード側セパレータ１３は、導電性材料を有する金属からなり、アノード１１ｂよりも大きい薄板状に形成している。セパレータ１３、１４はまとめてセパレータアセンブリ１２と称することもある。
【００２１】
アノード側セパレータ１３の中央には、図９、図１０に示すように、燃料ガス（水素）と冷却水等の冷却流体とを隔てて流す流路を構成するように複数の凹凸を一定の間隔で形成した波形形状１３ｇを設けている。アノード側セパレータ１３は、凹凸形状のうち、アノード１１ｂと接触して形成された閉空間を、アノード１１ｂに対して水素を供給するアノードガス流路１３ｈとして用いている。一方、アノード側セパレータ１３は、断面が複数の凹凸形状からなる波形形状１３ｇと、カソード側セパレータ１４の波形形状１４ｇとの間に形成された閉空間を、冷却水を供給する冷却流体流路１３ｊ（１４ｊ）（内部空間に相当）として用いている。
【００２２】
アノード側セパレータ１３は、長方形状からなり、その長手方向の一端に、カソードガス供給口１３ａ（開口部に相当）、冷却流体供給口１３ｂ（開口部に相当）、およびアノードガス供給口１３ｃ（開口部に相当）に相当する貫通孔を開口している。同様に、アノード側セパレータ１３は、その長手方向の他端に、アノードガス排出口１３ｄ（開口部に相当）、冷却流体排出口１３ｅ（開口部に相当）、およびカソードガス排出口１３ｆ（開口部に相当）に相当する貫通孔を開口している。
【００２３】
カソード側セパレータ１４は、ＭＥＡ１１のカソード１１ｃに当接している。カソード側セパレータ１４は、導電性材料を有する金属からなり、カソード１１ｃよりも大きい薄板状に形成している。
【００２４】
カソード側セパレータ１４の中央には、図９、図１０に示すように、酸化剤ガス（酸素を含有した空気または純酸素）と冷却水とを隔てて流す流路部を構成するように断面が複数の凹凸形状からなる波形形状１４ｇを設けている。カソード側セパレータ１４は、凹凸形状のうち、カソード１１ｃと接触して形成された閉空間を、カソード１１ｃに対して酸化剤ガスを供給するカソードガス流路１４ｈとして用いている。一方、カソード側セパレータ１４は、凹凸形状のうち、アノード側セパレータ１３との間に形成された閉空間を、冷却水を供給する冷却流体流路１４ｊ（１３ｊ）として用いている。
【００２５】
カソード側セパレータ１４は、長方形状からなり、その長手方向の一端に、カソードガス供給口１４ａ（開口部に相当）、冷却流体供給口１４ｂ（開口部に相当）、およびアノードガス供給口１４ｃ（開口部に相当）に相当する貫通孔を開口している。同様に、カソード側セパレータ１４は、その長手方向の他端に、アノードガス排出口１４ｄ（開口部に相当）、冷却流体排出口１４ｅ（開口部に相当）、およびカソードガス排出口１４ｆ（開口部に相当）に相当する貫通孔を開口している。セパレータ１４はセパレータ１３と接合され、供給口１４ａ〜１４ｃ及び排出口１４ｄ〜１４ｆはセパレータ１３の供給口１３ａ〜１３ｃ及び排出口１３ｄ〜１３ｆと連通する。
【００２６】
セパレータ１３とセパレータ１４とは、接触面の外周１３ｍ（１４ｍ）が溶接されている。また、セパレータ１３とセパレータ１４との接触面の中でもカソードガス供給口１３ａ、１４ａ、アノードガス供給口１３ｃ、１４ｃ、アノードガス排出口１３ｄ、１４ｄ、カソードガス排出口１３ｆ、１４ｆは、その外周において溶接して接合され、接合部１３ｎ（１４ｎ）が形成されている。また、アノードセパレータ１３の中でもＭＥＡ１１と接する側の面には、アノードガス供給口１３ｃ及びアノードガス排出口１３ｄとその他の供給口１３ａ、１３ｂ及び排出口１３ｅ、１３ｆとを区画してアノードガスが流通する空間を形成するようにシール部材３０が部位１３ｐに塗布されている。同様に、カソードセパレータ１４の中でもＭＥＡ１１と接する側の面には、カソードガス供給口１３ａ及びカソードガス排出口１３ｆをその他の供給口１３ｂ、１３ｃ及びその他の排出口１３ｄ、１３ｅと区画してカソードガスが流通する空間を形成するようにシール部材３０が部位１４ｐに塗布されている。
【００２７】
ＭＥＡ１１は、図９、図１０に示し、供給された酸素と水素を化学反応させて電力を生成する。ＭＥＡ１１は、電解質膜１１ａの片側にアノード１１ｂを接合し、もう一方の側にカソード１１ｃを接合して形成している。電解質膜１１ａは、たとえば、固体の高分子材料からなり、薄板状に形成している。
【００２８】
固体高分子材料には、たとえば、水素イオンを伝導し、湿潤状態で良好な電気伝導性を有するフッ素系樹脂を用いている。アノード１１ｂは、電極触媒層、撥水層、およびガス拡散層を積層して構成し、電解質膜１１ａよりも若干小さい薄板状に形成している。カソード１１ｃは、電極触媒層、撥水層、およびガス拡散層を積層して構成し、アノード１１ｂと同様の大きさで薄板状に形成している。
【００２９】
アノード１１ｂおよびカソード１１ｃの電極触媒層は、導電性の担体に触媒成分が担持された電極触媒と高分子電解質を含んでいる。アノード１１ｂおよびカソード１１ｃのガス拡散層は、たとえば、充分なガス拡散性および導電性を有する炭素繊維からなる糸で織成したカーボンクロス、カーボンペーパ、またはカーボンフェルトから形成している。
【００３０】
ＭＥＡ１１は、フレーム部材１５を備えている。フレーム部材１５は、積層した電解質膜１１ａ、アノード１１ｂ、およびカソード１１ｃの外周を一体に保持している。フレーム部材１５は、たとえば、電気絶縁性を有する樹脂からなり、セパレータ１３、１４の外周部分の外形形状と同様の外形形状で形成している。フレーム部材１５は、その長手方向の一端に、カソードガス供給口１５ａ、冷却流体供給口１５ｂ、およびアノードガス供給口１５ｃに相当する貫通孔を開口している。同様に、フレーム部材１５は、その長手方向の他端に、アノードガス排出口１５ｄ、冷却流体排出口１５ｅ、およびカソードガス排出口１５ｆに相当する貫通孔を開口している。また、平面視した際のセパレータ１３、１４の波形形状１３ｇ、１４ｇとＭＥＡ１１の部分は発電が行われる発電領域に当る。
【００３１】
上記の燃料電池セル１０ａは、互いに密封した状態で複数積層する必要がある。このため、積層する燃料電池セル１０ａの中でもＭＥＡ１１とセパレータ１３及びセパレータ１４との間には、上記したシール部材３０を塗布することによって封止している。シール部材３０は、たとえば、熱硬化性樹脂を用いる。熱硬化性樹脂は、たとえば、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル等から選択する。
【００３２】
一対の集電板１６、１７は、図８、９に示し、燃料電池セル１０ａで生成された電力を外部に取り出す。
【００３３】
一対の集電板１６、１７の集電部１６ｈ等は、たとえば、ガスを透過させない緻密質カーボンのような導電性部材からなり、アノード１１ｂおよびカソード１１ｃの外形よりも若干小さい薄板状に形成している。一対の集電部１６ｈ等は、複数積層した最外層の燃料電池セル１０ａに設けたＭＥＡ１１のアノード１１ｂまたはカソード１１ｃに当接している。集電部１６ｈ等は、その一面から導電性を備えた円柱形状の突起部１６ｇ等を突出して設けている。突起部１６ｇ等は、後述する筺体２０の一対のエンドプレート２５、２６の貫通孔２５ｇ等を挿通して、外部に臨んでいる。また、集電板１６の突起部１６ｇに当る形状は集電板１７についても同様に設けられている。また、集電板１６、１７についてもセパレータ１３、１４などと同様にカソードガス供給口１６ａ、１７ａ、冷却流体供給口１６ｂ、１７ｂ、アノードガス供給口１６ｃ、１７ｃ、アノードガス排出口１６ｄ、１７ｄ、冷却流体排出口１６ｅ、１７ｅ、カソードガス排出口１６ｆ、１７ｆが形成されている。
【００３４】
筺体２０は、図８に示し、複数積層した燃料電池セル１０ａおよび一対の集電板１６、１７を互いに密着させた状態で保持している。
【００３５】
筺体２０は、上記のように一対の締結板２１、２２、一対の補強板２３、２４、および一対のエンドプレート２５、２６、及びネジ２７を含んでいる。以下、筺体２０に含まれた各部材について説明する。
【００３６】
一対のエンドプレート２５、２６は、複数積層された燃料電池セル１０ａの両端に配設した一対の集電板１６、１７を挟持して付勢している。一対のエンドプレート２５、２６の外形形状は、一部の形状を除いて、層厚を増したＭＥＡ１１のフレーム部材１５と同様である。一対のエンドプレート２５、２６は、たとえば、金属からなり、一対の集電板１６、１７と当接する部分に絶縁体を設けている。
【００３７】
一対のエンドプレート２５、２６は、その長手方向の一端に、カソードガス供給口２５ａ、２６ａ、冷却流体供給口２５ｂ、２６ｂ、およびアノードガス供給口２５ｃ、２６ｃに相当する貫通孔を開口している。同様に、その長手方向の他端には、アノードガス排出口２５ｄ、２６ｄ、冷却流体排出口２５ｅ、２６ｅおよびカソードガス排出口２５ｆ、２６ｆに相当する貫通孔を開口している。
【００３８】
セパレータ１３、１４、フレーム部材１５、集電板１６、１７、及びエンドプレート２５、２６のカソードガス供給口１３ａ〜１７ａ、２５ａ、２６ａ、冷却流体供給口１３ｂ〜１７ｂ、２５ｂ、２６ｂ、アノードガス供給口１３ｃ〜１７ｃ、２５ｃ、２６ｃ、アノードガス排出口１３ｄ〜１７ｄ、２５ｄ、２６ｄ、冷却流体排出口１３ｅ〜１７ｅ、２５ｅ、２６ｅ、及びカソードガス排出口１３ｆ〜１７ｆ、２５ｆ、２６ｆは、セパレータ１３、１４、ＭＥＡ１１、集電板１６、１７、及びエンドプレート２５、２６を位置合わせした際に連通するように構成されている。一対のエンドプレート２５、２６は、前述した一対の集電板１６、１７の突起部１６ｇ等を挿通させる貫通孔２５ｇ、２６ｇを有している。
【００３９】
一対の締結板２１、２２は、たとえば、金属からなり、板状に形成している。一対の締結板２１、２２は、縁部が一部立ち上げて形成されており、組み付けた際に一対のエンドプレート２５、２６の面と接触する。また、締結板２１、２２においてエンドプレート２５、２６と接触する面にはネジ２７を挿通させる穴が設けられており、当該穴に取り付けたネジ２７を締め付けることによってエンドプレート２５、２６、集電板１６、１７、及び積層体１０が積層方向に加圧される。
【００４０】
一対の補強板２３、２４は、たとえば、金属からなり、一対の締結板２１、２２よりも細長い板状に形成している。一対の補強板２３、２４は、長手方向における端部が一部立ち上げて形成されており、当該部分にはネジ２７を挿通させる穴が設けられている。当該穴はネジ２７を積層方向に通すように形成されており、ネジ２７を取り付けて締結することによって、締結板２１、２２と同様にエンドプレート２５、２６、集電板１６、１７、及び積層体１０が積層方向に加圧される。このように、一対の締結板２１、２２および一対の補強板２３、２４は、ネジ２７を締結することによって、エンドプレート２５、２６、集電板１６、１７、及び積層体１０を積層方向に加圧している。
【００４１】
（セパレータアセンブリの検査装置）
次に本実施形態に係るセパレータアセンブリ１２の漏れを検査する検査装置について説明する。検査装置２００は、流通部２１０（区画部に相当）と、検査流体供給部２５０と、検知部２６０と、非検査流体供給部２７０と、シール部材２８０、２９０と、を含む。検知部２６０は、アノードガス又はカソードガスがセパレータアセンブリ１２の外部からセパレータアセンブリ１２が形成する流路１３ｊ、１４ｊに漏れ出ないか（いわゆる内部漏れ）を検査する。
【００４２】
流通部２１０は、セパレータアセンブリ１２の外部に内部漏れを検査する検査流体が流通する閉空間を形成する。流通部２１０は、上型２１１と、下型２３１と、シール部材２８０、２９０と、を有する。
【００４３】
上型２１１は、空間２１２と、流入口２１３、２１４と、流出口２１５と、を有する。
【００４４】
空間２１２は、後述する下型２３１の空間２３２と協働して、内部漏れを検査する検査流体を流通させる空間を形成する。流入口２１３は、後述する検査流体供給部２５０の配管２５３と接続される。流入口２１４は、後述するシール部材２８０を通じて検知部２６０の配管２６２と接続される。流出口２１５は、後述する検査流体供給部２５０の配管２５５と接続される。
【００４５】
下型２３１は、空間２３２と、流入口２３３と、流出口２３４、２３５と、を有する。空間２３２は、上述したように、上型２１１の空間２１２と協働して内部漏れを検査する検査流体を流通させる空間を形成する。流入口２３３は、後述する非検査流体供給部２７０の配管２７２と接続される。流出口２３４は、後述するシール部材２８０を通じて検知部２６０の配管２６５と接続される。流出口２３５は、後述する非検査流体供給部２７０の配管２７３と接続される。
【００４６】
検査流体供給部２５０は、検査流体供給器２５１と、配管２５３、２５５と、吸引ポンプ２５７と、を有する。
【００４７】
検査流体供給器２５１は、内部漏れを検査するための検査流体を供給する。検査流体供給器２５１は、本実施形態においてボンベで構成され、検査流体は水素で構成されるが、これに限定されない。例えば、検査流体として、ヘリウムを使用することもできる。
【００４８】
配管２５３は、検査流体供給器２５１及び流入口２１３と接続される。配管２５３は、上型２１１の空間２１２と下型２３１の空間２３２とによって形成される空間に検査流体供給器２５１からの検査流体を導くための通路である（図１９の矢印ｄ１参照）。
【００４９】
配管２５５は、流出口２１５及び吸引ポンプ２５７と接続される。配管２５５は、上型２１１の空間２１２と下型２３１の空間２３２とによって形成される空間に存在する検査流体を吸引するための通路である（図１９の矢印ｄ２参照）。
【００５０】
吸引ポンプ２５７は、配管２５５を通じて上型２１１の空間２１２と下型２３１の空間２３２とによって形成される空間に存在する検査流体を吸引する。吸引ポンプ２５７として真空ポンプなどを挙げることができるが、これに限定されない。
【００５１】
検知部２６０は、非検査流体供給器２６１と、配管２６２と、接続具２６３、２６４と、配管２６５と、検知器２６６と、吸引ポンプ２６７と、を有する。
【００５２】
非検査流体供給器２６１は、検査流体供給器２５１と同様の構成であり、セパレータアセンブリ１２の外部から冷却流体流路１３ｊ、１４ｊに漏れ出た検査流体を検知器２６６まで輸送する非検査流体を供給する。非検査流体は、検査流体を含まない流体により構成される。本実施形態では、非検査流体として窒素を使用するが、これに限定されない。
【００５３】
配管２６２は、非検査流体供給器２６１及び流入口２１４と接続される。配管２６２と流入口２１４との接続は、接続具２６３及び後述するシール部材２８０を介してなされる。配管２６２は、上型２１１の空間２１２と下型２３１の空間２３２とによって形成される空間に非検査流体供給器２６１からの非検査流体を導くための通路である（図１９のｄ３参照）。
【００５４】
配管２６５は、流出口２３４、検知器２６６、及び、吸引ポンプ２６７と接続される。配管２６５は、冷却流体流路１３ｊ、１４ｊに存在する流体を吸引するとともに、吸引される流体を検知器２６６に導くための通路である（図１９のｄ４参照）。
【００５５】
検知器２６６は、配管２６５を流通する流体に含まれる検査流体を検知する。検知器２６６は、配管２６５を流通する流体に含まれる検査流体を検知できるものであれば特に限定されない。
【００５６】
吸引ポンプ２６７は、配管２６５を通じて冷却流体流路１３ｊ、１４ｊに存在する流体を吸引する。吸引ポンプ２６７として、吸引ポンプ２５７と同様に真空ポンプなどを挙げることができるが、これに限定されない。
【００５７】
非検査流体供給部２７０は、非検査流体供給器２７１と、配管２７２、２７３と、吸引ポンプ２７７と、を有する。
【００５８】
非検査流体供給器２７１は、検査流体供給器２５１と同様の構成であり、上型２１１の空間２１２と下型２３１の空間２３２とによって形成される空間に検査流体を含まない非検査流体を供給する。本実施形態では、非検査流体として窒素を使用するが、これに限定されない。
【００５９】
配管２７２は、非検査流体供給器２７１及び流入口２３３と接続される。配管２７２は、非検査流体供給器２７１からの非検査流体を上型２１１の空間２１２と下型２３１の空間２３２とによって形成される空間に導くための通路である（図１９のｄ５参照）。
【００６０】
配管２７３は、流出口２３５及び吸引ポンプ２７７と接続される。配管２７３は、上型２１１の空間２１２と下型２３１の空間２３２とによって形成される空間に存在する流体を吸引するための通路である（図１９のｄ６参照）。
【００６１】
吸引ポンプ２７７は、配管２７３を通じて上型２１１の空間２１２と下型２３１の空間２３２とによって形成される空間に存在する検査流体を吸引する。吸引ポンプ２７７として真空ポンプなどを挙げることができるが、これに限定されない。
【００６２】
（シール部材）
次に本実施形態に係るシール部材２８０について説明する。シール部材２８０は、漏れを検査する検査流体の冷却流体排出口１４ｅを通じたセパレータアセンブリ１２が形成する流路１３ｊ、１４ｊへの流入をシールするシール部２８１を備える。そして、シール部２８１は、セパレータアセンブリ１２に接触する接触部２８２と、接触部２８２と逆側に設けられ接触部２８２が接触する部位の形状に応じた変形を許容する変形部２８３と、を有する（図１３（Ａ）参照）。
【００６３】
変形部２８３の構成は、接触部２８２が接触する部位の形状に応じた変形を許容する限りにおいて特に限定されない。本実施形態では、変形部２８３は複数のスリット２８４によって構成される（図１３参照）。
【００６４】
また、シール部材２８０は、シール部２８１と接続し、下型２３１の内面に接触する接触部２８５を有するシール部２８６を備える。シール部２８１とシール部２８６との接続は、シール部２８６の接触部２８５と独立したシール部２８１の接触部２８２の変形を許容する接続部２８７によって接続される。シール部２８１におけるセパレータアセンブリ１２との接触箇所からシール部２８６における下型２３１の内面との接触箇所までの距離は、セパレータアセンブリ１２におけるシール部材２８０との接触箇所から下型２３１におけるシール部材２８０との接触箇所までの距離よりも長く構成される（図１３（Ａ）、図１８（Ａ）及び（Ｂ）参照）。
【００６５】
また、シール部材２８０は、セパレータアセンブリ１２の外部と冷却流体流路１３ｊ、１４ｊとの間で冷却流体排出口１４ｅを通じて流体を流通させる流通部２８８と、流通部２８８を支持する支持部材２８９と、を備える。また、支持部材２８９は、セパレータアセンブリ１２の冷却流体排出口１４ｅへシール部材２８０を差し込む構成としても機能する。
【００６６】
シール部材２８０は、種々の材料及び種々の製造方法により製造できる。例えば、シール部２８１、シール部２８６、接続部２８７及び流通部２８８を構成する材料として、ゴム等の弾性部材（アクリルゴムやニトリルブタジエンゴム）を例示できるが、これに限定されない。また、支持部材２８９は、種々の金属や樹脂等により構成できる。また、シール部材を製造する方法として、シール部２８１、シール部２８６、接続部２８７及び流通部２８８を一体に成形した後に支持部材２８９を取り付ける方法を例示できるが、これに限定されない。シール部材２８０は、本実施形態では、冷却流体排出口１４ｅ及び冷却流体供給口１３ｂに設置される。
【００６７】
次に、シール部材２９０について説明する。シール部材２９０は、漏れを検査する検査流体の冷却流体排出口１３ｅを通じたセパレータアセンブリ１２が形成する流路１３ｊ、１４ｊへの流入をシールするシール部２９１を備える。そして、シール部２９１は、セパレータアセンブリ１２に接触する接触部２９２と、接触部２９２と逆側に設けられ接触部２９２が接触する部位の形状に応じた変形を許容する変形部２９３と、を有する。
【００６８】
変形部２９３は、接触部２９２が接触する部位の形状に応じた変形を許容する限りにおいて特に限定されない。本実施形態では、変形部２９３は変形部２８３と同様に複数のスリット２９４によって構成される。
【００６９】
また、シール部材２９０は、シール部２９１と接続し、上型２１１の内面に接触する接触部２９５を有するシール部２９６を備える。シール部２９１とシール部２９６との接続は、シール部２９６の接触部２９５と独立したシール部２９１の接触部２９２の変形を許容する接続部２９７によって接続される。シール部２９１におけるセパレータアセンブリ１２との接触箇所からシール部２９６における上型２１１の内面との接触箇所までの距離は、セパレータアセンブリ１２におけるシール部材２９０との接触箇所から上型２１１におけるシール部材２９０との接触箇所までの距離よりも長く構成される（図１４（Ｂ）参照）。シール部材２９０は、冷却流体排出口１３ｅを覆うカバー部２９８をさらに備える。
【００７０】
シール部材２９０は、シール部材２８０と同様に、種々の材料及び種々の製造方法により製造できる。シール部材２９０は、本実施形態では、カソードガス供給口１３ａ、１４ａ、アノードガス供給口１３ｃ、１４ｃ、アノードガス排出口１３ｄ、１４ｄ、冷却流体排出口１３ｅ、カソードガス排出口１３ｆ、１４ｆに設置される。
【００７１】
次に、シール部材の作用及び効果について説明する。上述したように、シール部材２８０は冷却流体排出口１４ｅに設置される。そして、シール部材２８０の接触部２８１は、セパレータアセンブリ１２を構成するセパレータ１４に接触する。このとき、シール部２８１が変形部２８３を有することにより、接触部２８１は、セパレータ１４の微小な変形に追従することが可能である（図１７（Ａ）参照）。そのため、変形部２８３を設けるという簡便な構造により、接触部２８１とセパレータ１４との間を確実にシールできる。
【００７２】
また、シール部材２８０は、セパレータアセンブリ１２の外部と冷却流体流路１３ｊ、１４ｊとの間で冷却流体排出口１４ｅを通じて流体を流通させる流通部２８８と、流通部２８８を支持する支持部材２８９と、をさらに備える。これにより、漏れの検査時において、セパレータアセンブリ１２の冷却流体流路１３ｊ、１４ｊに流体を供給し、また、冷却流体流路１３ｊ、１４ｊから流体を取り出すことができる。本実施形態では、漏れの検査時において、後述するように冷却流路１３ｊ、１４ｊに非検査流体が流通される。また、流通部２８８は支持部材２８９で支持されるから、セパレータアセンブリの外部と冷却流体流路１３ｊ、１４ｊとの圧力差によってシール部材２８０が変形するのを防止できる。そのため、検査流体の冷却流体排出口１４ｅを通じたセパレータアセンブリ１２の外部から冷却流体流路１３ｊ、１４ｊへの流入をシールした状態で、冷却流体流路１３ｊ、１４ｊを漏れの検査に適した状態に管理できる。
【００７３】
また、シール部材２８０は、支持部材２８９を差込部として冷却流体排出口１４ｅに差し込んで設置できる。これにより、シール部材２８０を冷却流体排出口１４ｅに設置する際の位置決めを容易に行える（図１８（Ａ）及び（Ｂ）参照）。
【００７４】
また、シール部材２８０は、シール部２８１と接続し、下型２３１の内面に接触する接触部を有するシール部２８６をさらに備える。これにより、シール部２８１とセパレータアセンブリ１２との間に加えて、下型２３１の内面とシール部２８６との間をシールできる（図１７（Ｂ）及び図１８（Ｂ）参照）。そのため、セパレータアセンブリ１２の外部から流路１３ｊ、１４ｊへの検査流体の流入をより確実にシールできる。
【００７５】
また、シール部２８１とシール部２８６との接続は、シール部２８６の接触部２８５と独立したシール部２８１の接触部２８２の変形を許容する接続部２８７によって接続される。これにより、シール部２８６の接触部２８５の変形とは独立してシール部２８１の接触部２８２の変形が可能となる（図１７（Ａ）及び（Ｂ）参照）。そのため、セパレータアセンブリ１２の微小な変形に対する接触部２８１の追従性と下型２３１の内面の微小な変形に対するシール部２８６の追従性がともに向上する。
【００７６】
また、シール部材２８０は、シール部２９１におけるセパレータアセンブリ１２との接触箇所からシール部２９６における上型２１１の内面との接触箇所までの距離が、セパレータアセンブリ１２におけるシール部材２９０との接触箇所から上型２１１におけるシール部材２９０との接触箇所までの距離よりも長く構成される。これにより、シール部材２８０を設置した際に、シール部２８１及びシール部２８６に対して下型２３１の内面及びセパレータアセンブリ１２から押圧力が作用される（図１８（Ｂ）の矢印参照）。そのため、セパレータアセンブリ１２と接触部２８２との接触の圧力、及び、接触部２８５と下型２３１の内面との接触の圧力が向上する。その結果、シール部材２８０とセパレータアセンブリ１２との間及びシール部材２８０と下型２３１の内面との間をさらに確実にシールできる。
【００７７】
（漏れの検査方法）
次に本実施形態に係るセパレータアセンブリの漏れ検査方法について説明する。本実施形態に係る漏れ検査方法は、概説するとセパレータのセット（ステップＳＴ１）と、閉空間の形成（ステップＳＴ２）と、検知前洗浄（ステップＳＴ３）と、漏れの検知（ステップＳＴ４）と、検知後洗浄（ステップＳＴ５）と、を有する。
【００７８】
セパレータのセットでは、まず、シール部材２８０を下型２３１の流出口２３４に設置するとともに、シール部材２９０を下型２３１の所定の位置に設置する。そして、セパレータアセンブリ１２を下型２３１にセットする（ステップＳＴ１）。このとき、シール部材２８０の支持部材２８９が冷却流体排出口１４ｅに差し込まれるように設置することで、セパレータアセンブリ１２を設置する際の位置決めがなされる。そして、カソードガス供給口１４ａ、冷却流体供給口１４ｂ、アノードガス供給口１４ｃ、アノードガス排出口１４ｄ、カソードガス排出口１４ｆにもシール部材２９０が同時に設置される。
【００７９】
次に、シール部材２８０を上型２１１の流入口２１４に設置するとともに、シール部材２９０を上型２１１の所定の位置に設置する。そして、上型２１１を下型２３１の上方から配置して上型２１１と下型２３１によって閉空間を形成する（ステップＳＴ２）。このとき、シール部材２８０の支持部材２８９が冷却流体供給口１３ｂに差し込まれるように設置することで、セパレータアセンブリ１２の上型２１１に対する位置決めがなされる。そして、カソードガス供給口１３ａ、アノードガス供給口１３ｃ、アノードガス排出口１３ｄ、冷却流体排出口１３ｅ、カソードガス排出口１３ｆにも同時にシール部材２９０が設置される。上型２１１と下型２３１とを閉じることで、外部と隔離された空間が空間２１２及び２３２によって形成される。
【００８０】
次に、検知部２６０の非検査流体供給器２６１及び吸引ポンプ２６７を作動させて流路１３ｊ、１４ｊに非検査流体を供給する（ステップＳＴ３）。これにより、流路１３ｊ、１４ｊに検査流体が存在しない状態が実現される。そのため、漏れの検査開始前に冷却流体流路１３ｊ、１４ｊに存在していた検査流体を、セパレータアセンブリ１２の外部から冷却流体流路１３ｊ、１４ｊに漏れ出た検査流体として誤検知することを防げる。検知部２６０の非検査流体供給器２６１及び吸引ポンプ２６７は作動させた状態のまま次のステップに進む。
【００８１】
次に、検査流体供給部２５０を作動させて検査流体を空間２１２及び２３２によって形成される空間に供給するとともに、検知部２６０の検知器２６６を作動させる（ステップＳＴ４）。これにより、セパレータアセンブリ１２の接合箇所に漏れの箇所が存在する場合に、流路１３ｊ、１４ｊに漏れ出た検査流体が検知されて内部漏れの有無が検査される。この際、漏れの基準は一定時間内における検査流体の検知量が数百ｐｐｍ以下であれば漏れなしと判断する、といったようなものである。
【００８２】
漏れの検査時において、シール部材２８０及び２９０により、カソードガス供給口１３ａ、冷却流体供給口１３ｂ、アノードガス供給口１３ｃ、アノードガス排出口１３ｄ、冷却流体排出口１３ｅ、カソードガス排出口１３ｆから、流路１３ｊ、１４ｊに検査流体が流入することはない。従って、内部漏れの有無を高精度に検査できる。また、シール部材２８０が流通部２８８を有することにより、漏れの検査時において非検査流体を冷却流体流路１３ｊ、１４ｊに流通させることができる。これにより、冷却流体流路１３ｊ、１４ｊに漏れ出た検査流体が検知器２６６に輸送されるため、微量の検査流体であっても検出することが可能である。一定時間経過後、検査流体供給部２５０及び検知部２６０の検知器２６６を停止する。検知部２６０の非検査流体供給器２６１及び吸引ポンプ２６７は作動させた状態のまま次のステップに進む。
【００８３】
次に、非検査流体供給部２７０を作動させて空間２１２及び２３２によって形成される空間に非検査流体を供給する（ステップＳＴ５）。これにより空間２１２及び２３２によって形成される空間に検査流体が存在しない状態が実現される。また、検知部２６０の非検査流体供給器２６１及び吸引ポンプ２６７は作動された状態であるから、流路１３ｊ、１４ｊにも検査流体が存在しない状態が実現される。そのため、漏れの検査終了後に上型２１１及び下型２３１を開放した際に、検査流体が外部に拡散するのを防げる。
【００８４】
次に本実施形態に係る作用効果について説明する。燃料電池は、燃料や酸化剤を流通させて発電し、燃料電池の単位セルを構成するセパレータは隣り合うセパレータと接合されてセパレータアセンブリとされる。セパレータアセンブリは冷却流体を流す波形形状の部位が溶接されるため、溶接の態様によっては燃料や酸化剤がセパレータアセンブリを貫通したり、セパレータアセンブリの内部空間を流れる冷却流体が外部に漏れるおそれがある。セパレータアセンブリのこうした漏れの検査方法として、セパレータアセンブリの外部に検査流体を供給して、漏れの箇所を通じてセパレータアセンブリの内部空間に漏れ出た検査流体を検知する方法がある。この場合、セパレータアセンブリに冷却流体等を流すために設けられた開口部から検査流体が内部空間に流入しないように開口部をシールする必要がある。しかしながら、薄板状のセパレータを接合してなるセパレータアセンブリの場合、圧力差やセパレータの成形によって生じる微小な変形によって、開口部のシールを確実にできないおそれがある。
【００８５】
これに対し、本実施形態に係る検査方法は、シール部２８１が、セパレータアセンブリ１２と接触する接触部２８２と、接触部２８２と逆側に設けられ接触部２８２が接触する部位の形状に応じた変形を許容する変形部２８３と、を備えるように構成される。これにより、セパレータアセンブリ１２の微小な変形に接触部２８２が追従するから、セパレータアセンブリ１２の外部から冷却流体流と１３ｊ、１４ｊへの検査流体の流入を簡便な構造で確実に防げる。従って、セパレータアセンブリ１２の接合箇所における漏れを効率的かつ高精度に検査できる。
【００８６】
また、シール部材２８０を設置する際には、セパレータアセンブリ１２の外部と冷却流体流路１３ｊ、１４ｊとの間で開口部を通じて流体を流通させる流通部２８８と、流通部２８８を支持する支持部材２８９と、をさらに備えたシール部材２８０を設置できる。これにより、漏れの検査時において、冷却流体流路１３ｊ、１４ｊに任意の流体を供給し、また、冷却流体流路１３ｊ、１４ｊから任意の流体を取り出すことができる。また、流通部２８８は支持部材２８９で支持されるから、セパレータアセンブリ１２の外部と冷却流体流路１３ｊ、１４ｊとの圧力差によってシール部材２８０が変形するのを防止できる。そのため、検査流体の開口部（冷却流体排出口１４ｅ等）を通じたセパレータアセンブリ１２の外部から冷却流体流路１３ｊ、１４ｊへの流入をシールした状態で、冷却流体流路１３ｊ、１４ｊを漏れの検査に適した状態に管理できる。従って、接合箇所における漏れをより高精度に検査できる。
【００８７】
また、シール部材２８０を設置する際には、支持部材２８９を差込部として開口部（冷却流体排出口１４ｅ等）に差し込んでシール部材２８０を設置できる。これにより、シール部材２８０を開口部（冷却流体排出口１４ｅ等）に設置する際の位置決めを容易に行える。従って、接合箇所における漏れの検査をより効率的に行える。
【００８８】
また、検査流体供給部２５０は、検査流体として、水素又はヘリウムを供給する。これにより、一般的な流体を構成する分子のサイズと同等かそれ以下で、接合箇所の漏れを検出できる。従って、接合箇所における漏れをより高精度に検査できる。
【００８９】
また、シール部材２８０を開口部（冷却流体排出口１４ｅ等）に設置する前に、外部と区画して検査流体を供給する空間を形成する流通部２１０の内部にセパレータアセンブリ１２を収容できる。そして、流通部２１０の内部を当該流通部２１０の外部と隔離して内部に検査流体を供給することによって、検査流体をセパレータアセンブリ１２の外部に供給できる。これにより、セパレータアセンブリ１２の外部に接触する検査流体の状態を効率的かつ適切に管理できる。従って、セパレータアセンブリ１２における漏れをより効率的かつ高精度に検査できる。
【００９０】
また、シール部材２８０を設置する際には、シール部２８１と接続し、流通部２１０の内面に接触する接触部２８５を有するシール部２８６をさらに備えたシール部材２８０を設置できる。これにより、シール部２８１とセパレータアセンブリ１２との間に加えて、流通部２１０の内面とシール部２８６との間をシールできる。そのため、セパレータアセンブリ１２の外部から冷却流体流路１３ｊ、１４ｊへの検査流体の流入をより確実にシールできる。従って、接合箇所における漏れをより高精度に検査できる。
【００９１】
また、シール部２８１とシール部２８６との接続は、シール部２８６の接触部２８５と独立したシール部２８１の接触部２８２の変形を許容する接続部２８７によって接続させることができる。これにより、セパレータアセンブリ１２の微小な変形に対する接触部２８２の追従性と流通部２１０の内面の微小な変形に対する接触部２８６の追従性がともに向上する。そのため、セパレータアセンブリ１２の外部から冷却流体流路１３ｊ、１４ｊへの検査流体の流入をさらに確実にシールできる。従って、接合箇所における漏れをさらに高精度に検査できる。
【００９２】
また、シール部材２８０を設置する際には、シール部材２８０をセパレータアセンブリ１２及び流通部２１０に設置していない状態でのシール部２８１におけるセパレータアセンブリ１２との接触箇所からシール部２８６における流通部２１０の内面との接触箇所までの距離が、セパレータアセンブリ１２におけるシール部材２８０との接触箇所から流通部２１０におけるシール部材２８０との接触箇所までの距離よりも長いシール部材を設置している。これにより、接触部２８１とセパレータアセンブリ１２とが接触する際の圧力及び接触部２８６と流通部２１０の内面とが接触する圧力がともに向上するため、セパレータアセンブリ１２の外部から冷却流体流路１３ｊ、１４ｊへの検査流体の流入をさらに確実にシールできる。従って、接合箇所における漏れをさらに高精度に検査できる。
【００９３】
また、検査流体を検知する際に検知部２６０は、漏れの箇所を通じてセパレータアセンブリ１２の冷却流体流路１３ｊ、１４ｊに流れる検査流体を検知する。これにより、セパレータアセンブリ１２の接合箇所におけるセパレータアセンブリ１２の外部から冷却流体流路１３ｊ、１４ｊへの漏れを検出できる。従って、セパレータアセンブリ１２の内部漏れの検査に好適に適用できる。
【００９４】
また、検査流体を検知する前に、非検査流体供給器２６１は、検査流体を含まない流体をセパレータアセンブリ１２の冷却流体流路１３ｊ、１４ｊに流す。これにより、検査前にセパレータアセンブリ１２の冷却流体流路１３ｊ、１４ｊに検査流体が含まれない状態にできる。そのため、検査前にセパレータアセンブリ１２の冷却流体流路１３ｊ、１４ｊに存在していた検査流体を、漏れの箇所を通じてセパレータアセンブリ１２の冷却流体流路１３ｊ、１４ｊに流れた検査流体と誤検知することを防げる。従って、接合箇所の漏れをさらに高精度に検査できる。
【００９５】
また、検査流体による検知が終了した後に、非検査流体供給器２６１は、検査流体を含まない流体をセパレータアセンブリ１２の冷却流体流路１３ｊ、１４ｊに流し、非検査流体供給器２７１は流通部２１０の内部に流す。これにより、検査流体による検知が終了した後に、セパレータアセンブリ１２の冷却流体流路１３ｊ、１４ｊ又は流通部２１０の内部に残存する検査流体を除去できる。そのため、検査流体による検知が終了した後に検査流体が外部に拡散するのを防げる。従って、接合箇所における漏れをより安全に検査できる。
【００９６】
（実施形態２）
実施形態２に係る検査装置３００は、次の点で実施形態１に係る検査装置２００と異なる。すなわち、実施形態１に係る検査装置２００では、セパレータアセンブリ１２の外部を流通する流体（アノードガスやカソードガス）がセパレータアセンブリ１２の外部からセパレータアセンブリ１２が形成する流路１３ｊ、１４ｊに漏れ出ないか（いわゆる内部漏れ）を検査した。一方、実施形態２に係る検査装置３００は、アノードガス又はカソードガスがセパレータアセンブリ１２を通過（貫通）して流通しないか（通過漏れ  貫通漏れと呼ばれることもある）を検査する。
【００９７】
本実施形態に係る検査装置３００は、流通部３１０（区画部に相当）の構成が、流通部２１０の構成と異なる。また、検査装置３００は、検査流体供給部２５０、検知部２６０及び非検査流体供給部２７０の代わりに、検査流体供給部３５０、検知部３６０及び非検査流体供給部３７０を含む。
【００９８】
上述した相違点に係る構成について以下に説明する。
【００９９】
図２１（Ａ）、図２１（Ｂ）は本実施形態に係るセパレータアセンブリの検査装置について示す斜視図、正面図である。図２２（Ａ）、図２２（Ｂ）は同検査装置を構成する上型を横に倒した状態で下方から見上げた斜視図、底面図、図２３（Ａ）、図２３（Ｂ）は同検査装置を構成する下型を上方から見下ろした斜視図、平面図である。図２４は図５に対応する同検査装置の断面図、図２５は図２１（Ｂ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【０１００】
図２６はセパレータアセンブリの貫通漏れを検査する様子を説明する説明図である。
【０１０１】
流通部３１０は、上型３１１と、下型３３１と、シール部材２８０、２９０と、を有する。
【０１０２】
上型３１１は、空間３１２と、流入口３１３、３１４、３１５と、流出口３１６と、支持部材３１７と、を有する。
【０１０３】
空間３１２は、後述するように、支持部材３１７及びセパレータアセンブリ１２と協働して、セパレータアセンブリ１２に対してセパレータ１３において接触する第１内部３２１を形成する。流入口３１３は、検査流体供給部３５０の配管３５３と接続される。流入口３１４は、シール部材２８０を通じて非検査流体供給部３７０の配管３７２と接続される。流入口３１５は、検査流体供給部３５０の配管３５４と接続される。流出口３１６は、検査流体供給部３５０の配管３５５と接続される。支持部材３１７は、流通部３１０の内部において、セパレータアセンブリ１２と協働して、後述する下型３３１の空間３３２から空間３１２を隔離して第１内部３２１を形成する。第１実施形態に係る検査装置２００の空間２１２及び２３２と異なり、第１内部３２１と後述する第２内部３３２との間で流体が流通することはない。
【０１０４】
下型３３１は、空間３３２と、流入口３３３と、流出口３３４、３３５と、支持部材３３７、３３８と、を有する。空間３３２は、後述するように、支持部材３３７及びセパレータアセンブリ１２と協働して、セパレータアセンブリ１２に対してセパレータ１４において接触する第２内部３２２を形成する。流入口３３３は、後述する検知部３６０の配管３６２と接続される。流出口３３４は、後述する検知部３６０の配管３６３と接続される。流出口３３５は、シール部材２８０を通じて後述する非検査流体供給部３７０の配管３７５と接続される。支持部材３３７は、流通部３１０の内部において、セパレータアセンブリ１２と協働して、上型３１１の空間３１２から空間３３２を隔離して第２内部３２２を形成する。上述したように、流通部３１０の内部にセパレータアセンブリ１２が設置された状態において、第１内部３２１と第２内部３３１との間で流体が流通することはない。
【０１０５】
支持部材３３８は、流通部３１０の内部において、セパレータアセンブリ１２をＭＥＡに接する面において支持する（図２５参照）。後述するように、漏れの検査時において、第２内部３３２は真空状態にされる。このとき、セパレータアセンブリ１２を第１内部３１２から第２内部３３２に向かって押圧する圧力が作用する。支持部材３３８は、当該圧力によってセパレータアセンブリ１２が変形するのを防止する。
【０１０６】
検査流体供給部３５０は、検査流体供給器３５１と、非検査流体供給器３５２と、配管３５３、３５４、３５５と、吸引ポンプ３５７と、を有する。
【０１０７】
検査流体供給器３５１は、貫通漏れを検査するための検査流体を第１内部３２１に供給する。実施形態１の検査流体供給器２５１と同様に、検査流体供給器３５１は、本実施形態においてボンベで構成され、検査流体は水素で構成されるが、これに限定されない。例えば、検査流体として、ヘリウムを使用することもできる。
【０１０８】
非検査流体供給器３５２は、検査流体供給器３５１と同様の構成であり、第１内部３２１に検査流体を含まない非検査流体を供給する。非検査流体は、検査流体を含まない流体により構成される。本実施形態では、実施形態１と同様に非検査流体として窒素を使用するが、これに限定されない。
【０１０９】
配管３５３は、検査流体供給器３５１及び流入口３１３と接続される。配管３５３は、第１内部３２１に検査流体供給器３５１からの検査流体を導くための通路である（図２６の矢印ｄ１参照）。
【０１１０】
配管３５４は、非検査流体供給器３５２及び流入口３１５と接続される。配管３５４は、第１内部３２１に非検査流体供給器３５２からの非検査流体を導くための通路である（図２６の矢印ｄ２参照）。
【０１１１】
配管３５５は、流出口３１６及び吸引ポンプ３５７と接続される。配管３５５は、第１内部３２１に存在する流体を吸引するための通路である（図２６の矢印ｄ３参照）。
【０１１２】
吸引ポンプ３５７は、配管３５５を通じて第１内部３２１に存在する流体を吸引する。実施形態１と同様に、吸引ポンプ３５７として真空ポンプなどを挙げることができるが、これに限定されない。
【０１１３】
検知部３６０は、非検査流体供給器３６１と、配管３６２、３６３と、検知器３６４と、吸引ポンプ３６７と、を有する。
【０１１４】
非検査流体供給器３６１は、非検査流体供給器３５２と同様の構成であり、第２内部３２２に非検査流体を供給する。非検査流体は、検査流体を含まない流体により構成される。本実施形態では、実施形態１と同様に非検査流体として窒素を使用するが、これに限定されない。
【０１１５】
配管３６２は、非検査流体供給器３６１及び流入口３３３と接続される。配管３６２は、非検査流体供給器３６１からの非検査流体を第２内部３２２に導くための通路である（図２６のｄ４参照）。
【０１１６】
配管３６３は、流出口３３４及び吸引ポンプ３６７と接続される。配管３６３は、第２内部３２２に存在する流体を吸引するとともに、吸引される流体を検知器３６４に導くための通路である（図２６のｄ５参照）。
【０１１７】
検知器３６４は、配管３６３を流通させる流体に含まれる検査流体を検知する。検知器３６４は、配管３６３を流通させる流体に含まれる検査流体を検知できるものであれば特に限定されない。
【０１１８】
吸引ポンプ３６７は、配管３６３を通じて第２内部３２２に存在する流体を吸引する。吸引ポンプ３６７として、吸引ポンプ３５７と同様に真空ポンプなどを挙げることができるが、これに限定されない。
【０１１９】
非検査流体供給部３７０は、非検査流体供給器３７１と、配管３７２と、接続具３７３、３７４と、配管３７５と、吸引ポンプ３７７と、を有する。
【０１２０】
非検査流体供給器３７１は、非検査流体供給器３５２と同様の構成であり、冷却流体流路１３ｊ、１４ｊに非検査流体を供給する。非検査流体は、検査流体を含まない流体により構成される。本実施形態では、実施形態１と同様に非検査流体として窒素を使用するが、これに限定されない。
【０１２１】
配管３７２は、非検査流体供給器３７１及び流入口３１４と接続される。配管３７２と流入口３１４との接続は、接続具３７３及びシール部材２８０を介してなされる。配管３７２は、冷却流体流路１３ｊ、１４ｊに非検査流体供給器３７１からの非検査流体を導くための通路である（図２６のｄ７参照）。
【０１２２】
配管３７５は、流出口３３５及び吸引ポンプ３７７と接続される。配管３７５は、冷却流体流路１３ｊ、１４ｊに存在する流体を吸引するための通路である。配管３７５と流出口３３５との接続は、接続具３７４及びシール部材２８０を介してなされる。
【０１２３】
吸引ポンプ３７７は、配管３７５を通じて冷却流体流路１３ｊ、１４ｊに存在する流体を吸引する。吸引ポンプ３７７として、吸引ポンプ３５７と同様に真空ポンプなどを挙げることができるが、これに限定されない。
【０１２４】
（漏れの検査方法）
次に本実施形態に係るセパレータアセンブリの漏れ検査方法について説明する。検知のおおまかな流れは図２０と同様である。本実施形態に係る漏れ検査方法は、概説するとセパレータのセット（ステップＳＴ１）と、閉空間の形成（ステップＳＴ２）と、検知前洗浄（ステップＳＴ３）と、漏れの検知（ステップＳＴ４）と、検知後洗浄（ステップＳＴ５）と、を有する。
【０１２５】
セパレータのセットでは、セパレータアセンブリ１２を下型３３１にセットする（ステップＳＴ１）。このとき、実施形態１と同様に、下型３３１の流出口３３４にはシール部材２８０が設置されており、シール部材２８０の支持部材２８９が冷却流体排出口１４ｅに差し込まれるように設置することで、セパレータアセンブリ１２を設置する際の位置決めがなされる。カソードガス供給口１４ａ、冷却流体供給口１４ｂ、アノードガス供給口１４ｃ、アノードガス排出口１４ｄ、カソードガス排出口１４ｆにも同様にシール部材２９０が設置される。シール部材２９０は、シール部材２８０と同様に下型３３１の所定の位置に予め設置されている。
【０１２６】
次に、上型３１１を下型３３１の上方から配置する（ステップＳＴ２）。このとき、下型３３１と同様に上型３１１の流入口３１４にはシール部材２８０が設置されている。そして、シール部材２８０の支持部材２８９が冷却流体供給口１３ｂに差し込まれるように設置することで、セパレータアセンブリ１２の上型３１１に対する位置決めがなされる。このとき、カソードガス供給口１３ａ、アノードガス供給口１３ｃ、アノードガス排出口１３ｄ、冷却流体排出口１３ｅ、カソードガス排出口１３ｆにも同様にシール部材２９０が設置される。シール部材２９０は、シール部材２８０と同様に上型３１１の所定の位置に予め設置されている。上型３１１が下型３３１に配置されると、支持部材３１７は、流通部３１０の内部において、セパレータアセンブリ１２と協働して、下型３３１の空間３３２から空間３１２を隔離して第１内部３２１を形成する。また、支持部材３３７は、流通部３１０の内部において、セパレータアセンブリ１２と協働して、上型３１１の空間３１２から空間３３２を隔離して第２内部３２２を形成する。上述したように、第１内部３２１と第２内部３３１との間で流体が流通することはない。
【０１２７】
次に、検知部３６０の非検査流体供給器３６１及び吸引ポンプ３６７を作動させて第２内部３２２に非検査流体を供給する。また、非検査流体供給部３７０の非検査流体供給器３７１及び吸引ポンプ３７７を作動させて、流路１３ｊ、１４ｊに非検査流体を供給する（ステップＳＴ３）。これにより、第２内部３２２及び冷却流体流路１３ｊ、１４ｊに検査流体が存在しない状態が実現される。一定時間経過後、検知部３６０の非検査流体供給器３６1は停止される。その後、第２内部３２２は吸引ポンプ３６７によって真空にされる。非検査流体供給部３７０の非検査流体供給器３７１及び吸引ポンプ３７７は作動させた状態のまま次のステップに進む。
【０１２８】
次に、検査流体供給部３５０を作動させて検査流体を第１内部３２１に供給するとともに、検知部３６０の検知器３６４を作動させる（ステップＳＴ４）。これにより、セパレータアセンブリ１２の接合箇所に漏れの箇所が存在する場合に、第１内部３２１から接合箇所の漏れの箇所を通じて第２内部３２２に漏れ出た検査流体が検知されて貫通漏れの有無が検査される。この際、実施形態１と同様に、漏れの基準は一定時間内における検査流体の検知量が数百ｐｐｍ以下であれば漏れなしと判断する、といったようなものである。漏れの検査時において、シール部材２８０及び２９０により、カソードガス供給口１３ａ、冷却流体供給口１３ｂ、アノードガス供給口１３ｃ、アノードガス排出口１３ｄ、冷却流体排出口１３ｅ、カソードガス排出口１３ｆから、流路１３ｊ、１４ｊに検査流体が流入することはない。従って、流路１３ｊ、１４ｊを経由して、カソードガス供給口１４ａ、冷却流体供給口１４ｂ、アノードガス供給口１４ｃ、アノードガス排出口１４ｄ、冷却流体排出口１４ｅ、カソードガス排出口１４ｆから、検査流体が第２内部に流入することがない。従って、貫通漏れの有無を高精度に検査できる。また、シール部材２８０が流通部２８８を有することにより、漏れの検査時において非検査流体を冷却流体流路１３ｊ、１４ｊに流通させることができる。これにより、接合箇所の漏れの箇所を通じて冷却流体流路１３ｊ、１４ｊに漏れ出た検査流体は、非検査流体とともに冷却流体排出口１３ｅから排出される。そのため、冷却流体流路１３ｊ、１４ｊに流入した検査流体が、接合箇所の漏れの箇所から第２内部に漏れ出るのを防げる。従って、内部漏れを貫通漏れとして検知することを防げる。一定時間経過後、検知部３６０の検知器３６４を停止する。非検査流体供給部３７０の非検査流体供給器３７１及び吸引ポンプ３７７は作動させた状態のまま次のステップに進む。
【０１２９】
次に、非検査流体供給器３５２及び３６１を作動させて、第１内部３２１及び第２内部３２２に非検査流体を供給する（ステップＳＴ５）。これにより、第１内部３２１及び第２内部３２２に検査流体が存在しない状態が実現される。また、非検査流体供給部３７０の非検査流体供給器３７１及び吸引ポンプ３７７は作動された状態であるから、流路１３ｊ、１４ｊにも検査流体が存在しない状態が実現される。そのため、漏れの検査終了後に上型３１１及び下型３３１を開放した際に、検査流体が外部に拡散するのを防げる。
【０１３０】
本実施形態によれば、流通部３１０の内部に検査流体を供給する前に、流通部３１０の内部を、セパレータアセンブリ１２に対してセパレータ１３において接触する第１内部３２１と、セパレータアセンブリ１２に対してセパレータ１４において接触する第２内部３２２とに隔離する。そして、検査流体を供給する際には、第１内部３２１に検査流体を供給し、検査流体を検知する際には、接合箇所の漏れの箇所を通じて第２内部３２２に流れる検査流体を検知する。これにより、セパレータアセンブリ１２のセパレータ１３の外部からセパレータ１４の外部への接合箇所の漏れの箇所を通じた漏れを検出できる。従って、セパレータアセンブリ１２の貫通漏れの検査に好適に適用できる。
【０１３１】
また、検査流体を検知する前に、非検査流体供給部３７０は窒素などの検査流体を含まない流体を第２内部３２２に流す。これにより、検査前に第２内部３２２に検査流体が含まれない状態にできる。そのため、検査前に第２内部３２２に存在していた検査流体を、漏れの箇所を通じて第１内部３２１から第２内部３２２に流れた検査流体と誤検知することを防げる。従って、接合箇所の漏れを高精度に検査できる。
【０１３２】
また、検査流体による検知が終了した後に、非検査流体供給部３７０は検査流体を含まない流体をセパレータアセンブリ１２の冷却流体流路１３ｊ、１４ｊに流す。また、非検査流体供給器３５２は第１内部３２１に検査流体を含まない流体を流し、非検査流体供給器３６１は第２内部３２２に検査流体を含まない流体を流す。これにより、検査流体による検知が終了した後に、冷却流体流路１３ｊ、１４ｊ又は流通部３１０に残存する検査流体を除去できる。そのため、検査流体による検知が終了した後に検査流体が外部に拡散するのを防げる。従って、接合箇所における漏れをより安全に検査できる。
【０１３３】
なお、本発明は上述した実施形態にのみ限定されず、特許請求の範囲において種々の変更が可能である。例えば、上述した実施形態では、変形部２８３、２９３をスリット２８４、２９４で構成したが、接触部２８２、２９２と比較して剛性の低い材料で変形部２８３、２９３を構成してもよい。また、変形部２８３、２９３と同様の構成を、シール部２８６、２９６に設けてもよい。これにより、シール部２８６、２９６と、流通部２１０、３１０の内面との間のシール性を向上させることができる。また、実施形態１では、検査流体を吸引する吸引ポンプ２５７と、非検査流体を吸引する吸引ポンプ２７７を独立に設けたが、検査流体と非検査流体を同一の吸引ポンプで吸引してもよい。
【符号の説明】
【０１３４】
１２  セパレータアセンブリ（接合体）、
１３  アノード側セパレータ（第１部材）、
１３ａ、１４ａ  カソードガス供給口（開口部）、
１３ｂ、１４ｂ  冷却流体供給口（開口部）、
１３ｃ、１４ｃ  アノードガス供給口（開口部）、
１３ｄ、１４ｄ  アノードガス排出口（開口部）、
１３ｅ、１４ｅ  冷却流体排出口（開口部）、
１３ｆ、１４ｆ  カソードガス排出口（開口部）、
１３ｊ、１４ｊ  冷却流体流路（内部空間）、
１４  カソード側セパレータ（第２部材）、
２００  検査装置、
２１０、３１０  流通部（区画部）、
２１１、３１１  上型、
２３１、３３１  下型、
２５０、３５０  検査流体供給部、
２６０、３６０  検知部、
２６６、３６４  検知器、
２７０、３７０  非検査流体供給部、
２８０、２９０  シール部材、
２８１、２９１  シール部、
２８２、２９２  接触部、
２８３、２９３  変形部、
２８４、２９４  スリット、
２８５、２９５  接触部、
２８６、２９６  シール部、
２８７、２９７  接続部、
２８８  流通部、
２８９  支持部材（差込部）、
３２１  第１内部、
３２２  第２内部、
３１７、３３７  支持部材、
３３８  支持部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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