(57)【要約】【課題】右ねじ部位及び左ねじ部位を有する駆動ねじ軸の軸方向における装置長を短くする一方で、駆動ねじ軸の強度を十分に確保した直動テーブル装置を提供する。【解決手段】直動テーブル装置１において、駆動ねじ軸１１は、ウエイトテーブル用ナット３２が外装されている方の左ねじ部位１１ｂ又は右ねじ部位１１ａの直径が、メインテーブル用ナット１２が外装されている右ねじ部位１１ａ又は左ねじ部位１１ｂの直径よりも大きく形成されるとともに、ウエイトテーブル用ナット３２が外装されている方の左ねじ部位１１ｂ又は右ねじ部位１１ａのリードが、メインテーブル用ナット１２が外装されている右ねじ部位１１ａ又は左ねじ部位１１ｂのリードよりも小さく形成されている。また、ウエイトテーブル用ナット３２の質量がメインテーブル用ナット１２の質量よりも重く設定されている。【選択図】図１
2016083752.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向に延びるように設置されるベースと、
該ベースの一方向において互いに所定距離離間して取り付けられた一対の第１軸受及び第２軸受と、
軸方向が前記一方向となるように前記一対の第１軸受及び第２軸受にその両端が回転可能に軸支された駆動ねじ軸であって、前記軸方向の一側に右ねじ部位を前記軸方向の前記一側と反対側に左ねじ部位を形成した駆動ねじ軸と、
該駆動ねじ軸の前記右ねじ部位又は前記左ねじ部位に対し転動体を介して外装され、前記駆動ねじ軸が回転することにより前記駆動ねじ軸に沿って移動するメインテーブル用ナットと、
前記駆動ねじ軸の前記メイテーブル用ナットが外装されていない方の前記左ねじ部位又は前記右ねじ部位に対し転動体を介して外装され、前記駆動ねじ軸が回転することにより前記駆動ねじ軸に沿って前記メインテーブル用ナットと逆方向に移動するウエイトテーブル用ナットと、
前記メインテーブル用ナットに固定された被搭載物を搭載可能なメインテーブルと、
前記ウエイトテーブル用ナットに固定されたウエイトテーブルと、
前記駆動ねじ軸を回転駆動する駆動モータとを備え、
前記駆動ねじ軸は、前記ウエイトテーブル用ナットが外装されている方の前記左ねじ部位又は前記右ねじ部位の直径が、前記メインテーブル用ナットが外装されている前記右ねじ部位又は前記左ねじ部位の直径よりも大きく形成されるとともに、前記前記ウエイトテーブル用ナットが外装されている方の前記左ねじ部位又は前記右ねじ部位のリードが、前記メインテーブル用ナットが外装されている前記右ねじ部位又は前記左ねじ部位のリードよりも小さく形成され、かつ、ウエイトテーブル用ナットの質量が前記メインテーブル用ナットの質量よりも重く設定されていることを特徴とする直動テーブル装置。
【請求項２】
前記メインテーブルは、前記ベースに取り付けられ、前記駆動ねじ軸の軸方向に延びるレールと、該レール上を前記レールに沿って移動するスライダとを備えた直動案内装置の前記第１スライダに取り付けられていることを特徴とする請求項１記載の直動テーブル装置。
【請求項３】
前記ウエイトテーブルは、前記ベースに取り付けられ、前記駆動ねじ軸の軸方向に延びるレールと、該レール上を前記レールに沿って移動するスライダとを備えた直動案内装置の前記スライダに取り付けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の直動テーブル装置。
【請求項４】
前記ウエイトテーブルは、被搭載物を搭載可能であることを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか一項に記載の直動テーブル装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工作機械、半導体製造装置及びフラットパネルディスプレイ製造装置などの各種製造装置に用いられる直動テーブル装置、特に、工作物等の被搭載物を移動、位置決め可能な直動テーブル装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のこの種の直動テーブル装置として、例えば、特許文献１に示すものが知られている。
特許文献１に示す直動テーブル装置は、被搭載物を搭載する、略鉛直方向に移動可能なメインテーブルと、メインテーブルに対して鉛直方向下方に配置され、略鉛直方向に移動可能なウエイトとを備え、メインテーブル及びウエイトは、同軸の駆動ねじ軸によって駆動されるようになっている。そして、メインテーブルは、駆動ねじ軸の鉛直方向の上部に形成された右ねじ部位に装着される右ねじナットと結合され、ウエイトは、駆動ねじ軸の鉛直方向の下部に形成された左ねじ部位に装着される左ねじナットに結合されている。そして、右ねじナット及び左ねじナットは、モータから伝達される駆動ねじ軸の回転によりそれぞれ上下逆方向に移動し、これにより、メインテーブル及びウエイトは上下逆方向に移動するようになっている。
【０００３】
そして、メインテーブル側にかかるトルクとウエイト側にかかるトルクとを同等としてバランスさせることにより、両トルクを相殺し、装置の振動を抑制するようにしている。
ここで、バランスのためのウエイトによる配置空間の省スペース化のために、ウエイトの質量をメインテーブル側の質量よりも重く設定し、駆動ねじ軸における左ねじ部位のリードを右ねじ部位のリードよりも短くしている。つまり、駆動ねじ軸における左ねじ部位のリードを右ねじ部位のリードよりも短くすることによって、駆動ねじ軸の軸方向の長さを小さくし、駆動ねじ軸の軸方向の装置長を短くしている。
しかしながら、特許文献１に記載された直動テーブル装置にあっては、駆動ねじ軸は軸方向に沿って同一径で構成され、右ねじ部位の直径と左ねじ部位の直径とは同一径となっている。このため、重い重量のウエイト側の左ねじ部位の強度が弱く、駆動ねじ軸が変形してしまうという課題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−２３２３５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、前述の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、右ねじ部位及び左ねじ部位を有する駆動ねじ軸の軸方向における装置長を短くする一方で、駆動ねじ軸の強度を十分に確保した直動テーブル装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明のある態様は、一方向に延びるように設置されるベースと、該ベースの一方向において互いに所定距離離間して取り付けられた一対の第１軸受及び第２軸受と、軸方向が前記一方向となるように前記一対の第１軸受及び第２軸受にその両端が回転可能に軸支された駆動ねじ軸であって、前記軸方向の一側に右ねじ部位を前記軸方向の前記一側と反対側に左ねじ部位を形成した駆動ねじ軸と、該駆動ねじ軸の前記右ねじ部位又は前記左ねじ部位に対し転動体を介して外装され、前記駆動ねじ軸が回転することにより前記駆動ねじ軸に沿って移動するメインテーブル用ナットと、前記駆動ねじ軸の前記メイテーブル用ナットが外装されていない方の前記左ねじ部位又は前記右ねじ部位に対し転動体を介して外装され、前記駆動ねじ軸が回転することにより前記駆動ねじ軸に沿って前記メインテーブル用ナットと逆方向に移動するウエイトテーブル用ナットと、前記メインテーブル用ナットに固定された被搭載物を搭載可能なメインテーブルと、前記ウエイトテーブル用ナットに固定されたウエイトテーブルと、前記駆動ねじ軸を回転駆動する駆動モータとを備え、前記駆動ねじ軸は、前記ウエイトテーブル用ナットが外装されている方の前記左ねじ部位又は前記右ねじ部位の直径が、前記メインテーブル用ナットが外装されている前記右ねじ部位又は前記左ねじ部位の直径よりも大きく形成されるとともに、前記前記ウエイトテーブル用ナットが外装されている方の前記左ねじ部位又は前記右ねじ部位のリードが、前記メインテーブル用ナットが外装されている前記右ねじ部位又は前記左ねじ部位のリードよりも小さく形成され、かつ、ウエイトテーブル用ナットの質量が前記メインテーブル用ナットの質量よりも重く設定されていることを要旨とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明に係る直動テーブル装置によれば、ウエイトテーブル用ナットの質量がメインテーブル用ナットの質量よりも重く設定されているので、ウエイトテーブル側の加速度をメインテーブル側の加速度よりも小さくすることができ、ウエイトテーブル用ナットが外装されている方の左ねじ部位又は右ねじ部位のリードを、メインテーブル用ナットが外装されている方の右ねじ部位又は左ねじ部位のリードよりも小さくすることができ、駆動ねじ軸のウエイトテーブル用ナットが外装されている方の左ねじ部位又は右ねじ部位の軸長を短くできる。このため、右ねじ部位及び左ねじ部位を有する駆動ねじ軸１１の軸方向における装置長を短くすることができる。その一方、駆動ねじ軸は、ウエイトテーブル用ナットが外装されている方の左ねじ部位又は右ねじ部位の直径が、メインテーブル用ナットが外装されている右ねじ部位又は左ねじ部位の直径よりも大きく形成されるので、、重い質量のウエイトテーブル用ナット側の左ねじ部位又は右ねじ部位の強度が強く、駆動ねじ軸が変形してしまうおそれはない。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の第１実施形態に係る直動テーブル装置の平面図である。
【図２】本発明の第２実施形態に係る直動テーブル装置の正面図である。
【図３】図２に示す直動テーブル装置に設けられた工具による被搭載物への加工の様子を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の第１及び第２実施形態の直動テーブル装置について説明する。
（第１実施形態）
第１実施形態の直動テーブル装置は、図１に示されており、この直動テーブル装置は、工作機械、半導体製造装置及びフラットパネルディスプレイ製造装置などの各種製造装置に用いられ、特に、工作物などの被搭載物を水平方向に移動させ、正確な位置決めを行う装置である。
【００１０】
図１に示す直動テーブル装置１において、長方形の板状に形成されたベース２が水平方向（図１における上下及び左右方向、請求項１における一方向）に延びるように設置されている。
このベース２の上面（図１における紙面手前側の面）には、水平方向の左右（図１における左右）において所定間隔離れた位置に一対の第１軸受１３及び第２軸受１４が取り付けられている。第１軸受１３は、ベース２の水平方向左端部近傍に取り付けられ、第２軸受１４は、ベース２の水平方向中央部よりやや右側の位置に取り付けられている。
【００１１】
そして、一対の第１軸受１３及び第２軸受１４には、軸方向が水平方向となるように駆動ねじ軸１１の両端が回転可能に軸支されている。駆動ねじ軸１１の軸方向の一側（第２軸受１４側）の外周には、右ねじ部位（右ねじ溝）１１ａが形成され、駆動ねじ軸１１の軸方向の一側とは反対側（第１軸受１３側）の外周には、左ねじ部位（左ねじ溝）１１ｂが形成されている。
【００１２】
また、駆動ねじ軸１１の右ねじ部位１１ａには、メインテーブル用ナット１２が外装されている。駆動ねじ軸１１の右ねじ部位１１ａとメインテーブル用ナット１２との間には、図示しない複数の転動体（ボール又はローラ）が備えられ、メインテーブル用ナット１２は、駆動ねじ軸１１が回転することにより駆動ねじ軸１１に沿って水平方向に移動するようになっている。
【００１３】
また、メインテーブル用ナット１２には、メインテーブル１０が固定されている。メインテーブル１０は、メインテーブル用ナット１２に固定される本体部１０ａと、本体部１０ａの上端に設けられた平板状の搭載板部１０ｂとを備えている。搭載板部１０ｂは上面側から見て長方形状に形成され、上面に工作物等の被搭載物５０（図３参照）が搭載可能となっている。メインテーブル１０の本体部１０ａは、長手方向（図１における上下方向）に長く延びる略直方体形状に形成されている。また、メインテーブル１０の本体部１０ａの長手方向の一端下面は、図１に示すように、第１直動案内装置１７ａのスライダ１６ａ上に取り付けられ、本体部１０ａの長手方向の他端下面は、第２直動案内装置１７ｂのスライダ１６ｂ上に取り付けられている。第１直動案内装置１７ａは、ベース２の水平方向の幅方向（図１における上下方向）の一端（図１における下端）に取り付けられ、駆動ねじ軸１１の軸方向に延びるレール１５ａと、レール１５ａ上をレール１５ａに沿って移動するスライダ１６ａとを備えている。また、第２直動案内装置１７ｂは、ベース２の水平方向の幅方向（図１における上下方向）の他端（図１における上端）に取り付けられ、駆動ねじ軸１１の軸方向に延びるレール１５ｂと、レール１５ｂ上をレール１５ｂに沿って移動するスライダ１６ｂとを備えている。
【００１４】
また、駆動ねじ軸１１の左ねじ部位１１ｂには、ウエイトテーブル用ナット３２が外装されている。駆動ねじ軸１１の左ねじ部位１１ｂとウエイトテーブル用ナット３２との間には、図示しない複数の転動体（ボール又はローラ）が備えられ、ウエイトテーブル用ナット３２は、駆動ねじ軸１１が回転することにより駆動ねじ軸１１に沿ってメインテーブル用ナット１２と逆方向に移動するようになっている。
【００１５】
また、ウエイトテーブル用ナット３２には、ウエイトテーブル３０が固定されている。ウエイトテーブル３０は、長手方向（図１における上下方向）に長く延びる略直方体形状に形成されている。また、ウエイトテーブル３０の長手方向の一端下面は、図１に示すように、第３直動案内装置３７ａのスライダ３６ａ上に取り付けられ、ウエイトテーブル３０の長手方向の他端下面は、第４直動案内装置３７ｂのスライダ３６ｂ上に取り付けられている。第３直動案内装置３７ａは、ベース２の水平方向の幅方向（図１における上下方向）の一端（図１における下端）に取り付けられ、駆動ねじ軸１１の軸方向に延びるレール３５ａと、レール３５ａ上をレール３５ａに沿って移動するスライダ３６ａとを備えている。レール３５ａはレール１５ａと連結されて一体となっている。また、第４直動案内装置３７ｂは、ベース２の水平方向の幅方向（図１における上下方向）の他端（図１における上端）に取り付けられ、駆動ねじ軸１１の軸方向に延びるレール３５ｂと、レール３５ｂ上をレール３５ｂに沿って移動するスライダ３６ｂとを備えている。レール３５ｂはレール１５ｂと連結されて一体となっている。
【００１６】
また、駆動ねじ軸１１は、駆動モータ１８によって回転駆動される。駆動モータ１８は、ベース２の上面に設けられた駆動モータ用支持部材１９に取り付けられている。そして、駆動モータ１８の出力軸がカップリング２０を介して駆動ねじ軸１１の右ねじ部位１１ａ側の端部に連結されている。なお、駆動モータ１８の軸の近傍には、図示しない支持部材に取り付けられたエンコーダ２１が設けられ、このエンコーダ２１により、駆動モータ１８の回転数を検出するようにしている。
【００１７】
そして、駆動ねじ軸１１は、ウエイトテーブル用ナット３２が外装されている方の左ねじ部位１１ｂの直径が、メインテーブル用ナット１２が外装されている右ねじ部位１１ａの直径よりも大きく形成される。また、ウエイトテーブル用ナット３２が外装されている方の左ねじ部位１１ｂのリードが、メインテーブル用ナット１２が外装されている右ねじ部位１１ａのリードよりも小さく形成されている。そして、ウエイトテーブル用ナット３２の質量がメインテーブル用ナット１２の質量よりも重く設定されている。
【００１８】
次に、直動テーブル装置１の動作について説明する。
駆動モータ１８の出力軸が一方向に回転すると、駆動ねじ軸１１が一方向に回転し、これにより、メインテーブル用ナット１２は、駆動ねじ軸１１に沿って水平方向の一方向に移動する。メインテーブル用ナット１２が駆動ねじ軸１１に沿って水平方向の一方向に移動することで、そのメインテーブル用ナット１２に固定されたメインテーブル１０が動ねじ軸１１に沿って水平方向の一方向に移動する。
【００１９】
一方、駆動モータ１８の出力軸が前記一方向に回転すると、ウエイトテーブル用ナット３２は、メインテーブル用ナット１２が外装されている右ねじ部位１１ａではなく左ねじ部位１１ｂに外装されているので、動ねじ軸１１に沿ってメインテーブル用ナット１２と逆方向に移動する。これにより、ウエイトテーブル用ナット３２に固定されたウエイトテーブル３０が駆動ねじ軸３１に沿ってメインテーブル１０と逆方向に移動する。
【００２０】
本実施形態に係る直動テーブル装置１においては、ウエイトテーブル３０をメインテーブル１０と逆方向に移動させ、更に、ベース２に作用するメインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とベース２に作用するウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とを同等としてバランスさせることにより、両慣性力を相殺し、装置の振動を抑制するようにしている。
ここで、ベース２に作用するメインテーブル１０側の慣性力Ｆ１は次の（１）式で表すことができる。
Ｆ１＝Ｍ１×α１  ・・・（１）
ここで、Ｍ１はメインテーブル１０側の被搭載物の質量を含む総質量、α１はメインテーブル１０側の加速度である。
【００２１】
また、ベース２に作用するウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２は次の（２）式で表すことができる。
Ｆ２＝Ｍ２×α２  ・・・（２）
ここで、Ｍ２はウエイトテーブル３０側の総質量、α２はウエイトテーブル３０側の加速度である。
そして、両慣性力Ｆ１、Ｆ２を同等としてバランスさせるために、次の（３）式が成立しなければならない。
Ｆ１＝Ｍ１×α１≒Ｍ２×α２＝Ｆ２  ・・・（３）
【００２２】
ここで、第１実施形態の直動テーブル装置１においては、ウエイトテーブル用ナット３２の質量がメインテーブル用ナット１２の質量よりも重く設定されているので、ウエイトテーブル３０側の加速度α２をメインテーブル１０側の加速度α１よりも小さくすることができる。このため、ウエイトテーブル用ナット３２が外装されている左ねじ部位１１ｂのリードを、メインテーブル用ナット１２が外装されている右ねじ部位１１ａリードよりも小さくすることができる。前述したように、実際に、ウエイトテーブル用ナット３２が外装されている左ねじ部位１１ｂのリードを、メインテーブル用ナット１２が外装されている右ねじ部位１１ａリードよりも小さくなっている。このため、駆動ねじ軸１１の左ねじ部位１１ｂの軸長を短くできるので、右ねじ部位１１ａ及び左ねじ部位１１ｂを有する駆動ねじ軸１１の軸方向における装置長を短くすることができる。
【００２３】
その一方、前述したように、駆動ねじ軸１１は、ウエイトテーブル用ナット３２が外装されている方の左ねじ部位１１ｂの直径が、メインテーブル用ナット１２が外装されている右ねじ部位１１ａの直径よりも大きく形成されている。このため、重い質量のウエイトテーブル用ナット３２側の左ねじ部位１１ｂの強度が強く、駆動ねじ軸１１が変形してしまうおそれはない。
【００２４】
なお、ウエイトテーブル用ナット３２が外装されている方の左ねじ部位１１ｂの直径を、メインテーブル用ナット１２が外装されている右ねじ部位１１ａの直径よりもどれくらい大きくするかについては、求められる左ねじ部位１１ｂの強度に応じて適宜決定する。
また、第１実施形態においては、直動テーブル装置１の諸元として、駆動モータ１８の回転数は、４５０〜３０００（ｒｐｍ）、メインテーブル１０の送り速度は、３６〜６０（ｍ/ｍｉｎ）、駆動ねじ軸１１の右ねじ部位１１ａのリードは２０〜４０（ｍｍ）である。
【００２５】
そして、直動テーブル装置１を工作機械に用いた場合において、工作物である被搭載物５０を切削、研磨すると、メインテーブル１０側の総質量Ｍ１が軽量になるので、メインテーブル１０の送り速度が高速となり、メインテーブル１０の加速度α１が増加する。そうなると、メインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とのバランスが不均衡となり、駆動モータ１８の回転数に変化が生じるとともに、直動テーブル装置１全体に振動が発生する。
このため、この場合、メインテーブル１０の上部あるはメインテーブル用ナット１２に図示しない錘を付加して、メインテーブル１０側の総質量Ｍ１を増加させ、メインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とをバランスさせ、駆動モータ１８の回転数をもとに戻すようにする。
【００２６】
また、直動テーブル装置１を工作機械に用いた場合において、メインテーブル１０に搭載した工作物である被搭載物５０を加工した後に、加工した被搭載物５０に合わせて他の工作物を組み合わせて加工をする場合がある。
この場合、メインテーブル１０に搭載した被搭載物の質量が重くなり、メインテーブル１０側の総質量Ｍ１が重くなるため、メインテーブル１０の送り速度が遅くなり、メインテーブル１０側の加速度α１が減少し、メインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とのバランスが不均衡となり駆動モータ１８の回転数に変化が生じるとともに直動テーブル装置１全体に振動が発生する。
このため、この場合、ウエイトテーブル３０またはウエイトテーブル用ナット３２に錘を付加して、ウエイトテーブル３０側の総質量Ｍ２を増加させ、メインテーブル１０側の慣性力Ｆ１とウエイトテーブル３０側の慣性力Ｆ２とをバランスさせ、駆動モータ１８の回転数をもとに戻すようにしている。
【００２７】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態の直動テーブル装置について、図２及び図３を参照して説明する。図２及び図３において、図１に示す部材と同一の部材については同一の符号を付し、その説明を省略することがある。
第２実施形態の直動テーブル装置は、図２及び図３に示されており、この直動テーブル装置１は、第１実施形態の直動テーブル装置１と同様に、工作機械、半導体製造装置及びフラットパネルディスプレイ製造装置などの各種製造装置に用いられ、特に、工作物などの被搭載物を水平方向に移動させ、正確な位置決めを行う装置である。
そして、第２実施形態の直動テーブル装置１は、第１実施形態の直動テーブル装置１と基本構成は同様であるが、ウエイトテーブル３０の構成が異なっている。
【００２８】
即ち、ウエイトテーブル用ナット３２に固定されたウエイトテーブル３０は、ウエイトテーブル用ナット３２に固定される本体部３０ａと、本体部３０ａの上端面に設けられた平板状の搭載板部３０ｂとを備えている。搭載板部３０ｂは上面側から見て長方形状に形成され、上面に工作物等の被搭載物５０（図３参照）が搭載可能となっている。搭載板部３０ｂの上面の位置は、メインテーブル１０の搭載板部１０ｂの上面の位置と、上下方向においてほぼ同一の位置に設定されている。そして、本体部３０ａは、長手方向（図２における紙面に対して直交する方向）に長く延びる略直方体形状に形成されている。
【００２９】
第２実施形態の直動テーブル装置１によれば、メインテーブル１０のみならず、ウエイトテーブル３０にも工作物等の被搭載物５０が搭載可能なので、メインテーブル１０及びウエイトテーブル３０上に被搭載物５０を搭載し、両テーブル１０、３０上で同じ製品を製造することができる。
また、直動テーブル装置１においては、図３に示すように、水平方向に移動するメインテーブル１０上の被搭載物５０及びウエイトテーブル３０上の被搭載物５０の双方を加工することが可能な工具４０が設置されている。工具４０は、工具４０の動作を制御する工具制御部４１に接続されている。工具制御部４１には、エンコーダ２１（図２参照）からメインテーブル１０の水平方向の位置及びウエイトテーブル３０の水平方向の位置が入力されるとともに、図示しない上位コンピュータから加工するメインテーブル１０上及びウエイトテーブル３０上の被搭載物５０の最終形状が入力される。工具制御部４１は、これらの情報を基に工具４０を移動させて、メインテーブル１０上の被搭載物５０及びウエイトテーブル３０上の被搭載物５０の双方を加工可能である。工具制御部４１に、メインテーブル１０上の被搭載物５０の最終形状とウエイトテーブル３０上の被搭載物５０の最終形状とを同じにする情報を入力することにより、両テーブル１０、３０上で同じ形状の製品を製造することができる。
【００３０】
（変形例）
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されず、種々の変更、改良を行うことができる。
例えば、第１実施形態及び第２実施形態の直動テーブル装置１においては、駆動ねじ軸１１の右ねじ部位１１ａにメインテーブル用ナット１２を外装し、左ねじ部位１１ｂにウエイトテーブル用ナット３２を外装してあるが、その逆に右ねじ部位１１ａにウエイトテーブル用ナット３２を外装し、左ねじ部位１１ｂにメインテーブル用ナット１２を外装してもよい。ただし、この場合、ウエイトテーブル用ナット３２が外装されている右ねじ部位１１ａの直径を、メインテーブル用ナット１２が外装されている左ねじ部位１１ｂの直径よりも大きくする。また、ウエイトテーブル用ナット３２が外装されている方の右ねじ部位１１ａのリードを、メインテーブル用ナット１２が外装されている左ねじ部位１１ｂのリードよりも小さく形成する。
【００３１】
また、第１実施形態及び第２実施形態の直動テーブル装置１において、メインテーブル１０は、第１直動案内装置１７ａのスライダ１６ａ及び第２直動案内装置１７ｂのスライダ１６ｂ上に取り付けられ、ウエイトテーブル３０は、第３直動案内装置３７ａのスライダ３６ａ及び第４直動案内装置３７ｂのスライダ３６ｂ上に取り付けられているが、メインテーブル１０は、１つあるいは３つ以上の直動案内装置のスライダ上に取り付けられてもよいし、ウエイトテーブル３０も、１つあるいは３つ以上の直動案内装置のスライダ上に取り付けられてもよい。
【００３２】
また、第１実施形態及び第２実施形態の直動テーブル装置１においては、ベース２及び駆動ねじ軸１１を水平方向に延びるようにして、メインテーブル１０及びウエイトテーブル３０が駆動ねじ軸１１に沿って水平方向に移動するようにしてあるが、ベース２及び駆動ねじ軸１１を水平方向と直交する鉛直方向に延びるようにして、メインテーブル１０及びウエイトテーブル３０が駆動ねじ軸１１に沿って鉛直方向に移動するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００３３】
１  直動テーブル装置
２  ベース
１０  メインテーブル
１１  駆動ねじ軸
１１ａ  右ねじ部位
１１ｂ  左ねじ部位
１２  メインテーブル用ナット
１３  第１軸受
１４  第２軸受
１５ａ，１５ｂ  レール
１６ａ，１６ｂ  スライダ
１７ａ  第１直動案内装置
１７ｂ  第２直動案内装置
１８  駆動モータ
３０  ウエイトテーブル
３２  ウエイトテーブル用ナット
３５ａ，３５ｂ  レール
３６ａ，３６ｂ  スライダ
３７ａ  第３直動案内装置
３７ｂ  第４直動案内装置
５０  被搭載物
【図１】
2016083752.tif 000003
【図２】
2016083752.tif 000004
【図３】
2016083752.tif 000005