(57)【要約】【課題】被加工物の加工部位の加工面積が大きい場合であっても、被加工物の加工部位に形成される肉盛層の品質を維持することができ、被加工物の生産性を格段に高めることのできる粉体肉盛ノズルを提供する。【解決手段】インナノズル部材１０とアウタノズル部材２０との間に形成される吐出通路１９の通路幅Ｘが、吐出口１８へ向かって広くなっている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光が通過するためのレーザ通路を有するインナノズル部材と該インナノズル部材に外嵌されるアウタノズル部材とを備え、該インナノズル部材と該アウタノズル部材との間に、粉体が通過する吐出通路と該吐出通路を通過した粉体が吐出される吐出口とが形成されている粉体肉盛ノズルであって、
前記吐出通路の通路幅が、前記吐出口へ向かって広くなっている粉体肉盛ノズル。
【請求項２】
前記吐出通路を構成する前記インナノズル部材の外周面と前記アウタノズル部材の内周面とが、前記吐出口へ向かって縮径する円錐台状を呈し、前記インナノズル部材の外周面の中心軸線に対する傾斜角が前記アウタノズル部材の内周面の中心軸線に対する傾斜角よりも大きいことにより、前記吐出通路の通路幅が前記吐出口へ向かって広くなっている、請求項１に記載の粉体肉盛ノズル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粉体肉盛ノズルに関し、特に被加工物に肉盛層（クラッド層）を形成するレーザクラッド加工に用いられる粉体肉盛ノズルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、エンジン用シリンダヘッドのバルブシートの耐久性を向上させるとともにその設計自由度を高めるために、そのバルブシートに対し、例えば粉体（粉末）状の肉盛り材料を供給しながらレーザ光を照射し、バルブシートとレーザ光を相対回転させることによって肉盛層（クラッド層）を形成するレーザ加工が知られている。このレーザ加工は、エンジンの燃焼室に必要な機械加工、例えばバルブ孔形成加工等がおこなわれたシリンダヘッドに対し、そのバルブシートとなるべき領域に銅合金等からなる耐摩耗性を有する粉体状の肉盛り材料を供給しつつレーザ光照射を実行し、最終的にバルブシートとなるべきリング状の肉盛層、すなわち肉盛ビード部を形成するという技術であり、一般にレーザクラッド加工と称されている。
【０００３】
上記したレーザクラッド加工においては、一般に、レーザ光を通過させるとともにそのレーザ光の周囲から粉末金属を吐出する二重管構造の同軸ノズル（粉体肉盛ノズル）が採用されており、そのような従来の粉体肉盛ノズルとして、図５で示す粉末金属肉盛ノズルが知られている（特許文献１）。
【０００４】
図５で示す従来の粉末金属肉盛ノズルは、円柱状の本体部Ａと、本体部Ａに同軸状に結合されたノズル部Ｂとからなる。本体部Ａは外側部材Ｃと外側部材Ｃの中央空間に嵌めこまれた内側部材Ｄとを備えており、外側部材Ｃと内側部材Ｄとの間には不活性ガスを充填する円環状のガス充填空間Ｅと、キャリアガスとともに粉末金属を充填する粉末金属充填空間Ｆとが形成されている。その粉末金属充填空間Ｆには複数の供給路Ｇが開口しており、粉末金属充填空間Ｆは分割部Ｉによって各々の供給路Ｇに対応する充填領域に分割されている。また、粉末金属充填空間Ｆの底部には粉末金属をノズル部Ｂへ誘導する多数の誘導孔Ｊが底部の円周に沿って軸線Ｌと平行に外側部材Ｃの下面に開口するように形成されている。ノズル部Ｂは、本体部Ａに結合された外側ノズル部材Ｓと、外側ノズル部材Ｓに内嵌された内側ノズル部材Ｔとで構成され、外側ノズル部材Ｓと内側ノズル部材Ｔとの間には、本体部Ａに形成された誘導孔Ｊに連通する複数の粉末金属の吐出通路Ｎがノズル部Ｂの吐出口Ｑに開口するように設けられている。また、内側ノズル部Ｔの内部には、本体部Ａの内側部材Ｄの中央空間に連通したレーザ光Ｒが通過するレーザ通路Ｋが形成されており、レーザ通路Ｋは内側ノズル部材Ｔの先端で開口して照射口Ｍを形成している。
【０００５】
上記した粉末金属肉盛ノズルは、レーザ加工ヘッドのレーザ光発生装置と結合され、本体部Ａの粉末金属の供給路Ｇが供給管を介して粉末金属供給源（フィーダもという）に接続される。この粉末金属肉盛ノズルでは、本体部Ａの上方に接続されたレーザ光発生装置から出射されたレーザ光Ｒが、レーザ通路Ｋを通過して照射口Ｍから被加工物の加工部位Ｗへ照射される。一方、フィーダからキャリアガスとともに供給管を介して粉末金属の供給路Ｇに供給された粉末金属Ｐは、粉末金属充填空間Ｆの分割部Ｉで区画されたそれぞれの充填領域へ等分に充填される。充填された粉末金属Ｐは、誘導孔Ｊと吐出通路Ｎを通って吐出口Ｑから加工部位Ｗの周辺へ吐出され、吐出された粉末金属Ｐが、レーザ光Ｒにより溶融されて加工部位Ｗに肉盛層が形成される。
【０００６】
このような従来の粉末金属肉盛ノズルでは、本体部Ａに形成された粉末金属充填空間Ｆが分割部Ｉで供給路Ｇに対応するように区画されているので、粉末金属Ｐを円周状の吐出口Ｑのそれぞれの充填領域に対応する範囲から均等に吐出することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−２１９０６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、上記したような従来の粉末金属肉盛ノズルでは、粉末金属の吐出通路を形成する外側ノズル部材の内周面と内側ノズル部材の外周面とが平行に配置され、その吐出通路の通路幅が軸線方向に沿って一定となっており、一般に、吐出通路を通って吐出口から吐出された粉末金属は被加工物の加工部位の中央部付近に集中する。
【０００９】
そのため、被加工物の加工部位の加工面積が比較的小さい場合には、その加工部位に対して所望の肉盛層を形成し得るものの、被加工物の加工部位の加工面積が大きくなると、その加工部位全体に対して所望の量の粉末金属を供給できず、被加工物の加工部位に形成される肉盛層の品質が低下するといった問題が生じ得る。
【００１０】
本発明は上記する問題に鑑みてなされたものであり、被加工物の加工部位の加工面積が大きい場合であっても、被加工物の加工部位に形成される肉盛層の品質を維持することができ、被加工物の生産性を格段に高めることのできる粉体肉盛ノズルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記目的を達成すべく、本発明による粉体肉盛ノズルは、レーザ光が通過するためのレーザ通路を有するインナノズル部材と該インナノズル部材に外嵌されるアウタノズル部材とを備え、該インナノズル部材と該アウタノズル部材との間に、粉体が通過する吐出通路と該吐出通路を通過した粉体が吐出される吐出口とが形成されている粉体肉盛ノズルであって、前記吐出通路の通路幅が前記吐出口へ向かって広くなっているものである。
【００１２】
ここで、吐出通路の通路幅とは、ノズルの軸線に対して垂直な断面における、インナノズル部材の外周面とアウタノズル部材の内周面との径方向の間隔もしくは寸法である。
【００１３】
上記する形態の粉体肉盛ノズルによれば、インナノズル部材とアウタノズル部材との間に形成される吐出通路の通路幅が吐出口へ向かって広くなっていることにより、粉体が径方向へ拡がりながら（分散されながら）吐出通路を通過して吐出口から吐出される。そのため、被加工物の加工部位の加工面積が大きい場合であっても、その加工部位の広範囲に亘って粉体を分散させて供給でき、その加工部位全体に対して所望の厚さの肉盛層を形成できるため、被加工物の加工部位に形成される肉盛層の品質を維持することができ、被加工物の生産性を格段に高めることができる。
【００１４】
また、上記する粉体肉盛ノズルの好ましい形態は、前記吐出通路を構成する前記インナノズル部材の外周面と前記アウタノズル部材の内周面とが、前記吐出口へ向かって縮径する円錐台状を呈し、前記インナノズル部材の外周面の中心軸線に対する傾斜角が前記アウタノズル部材の内周面の中心軸線に対する傾斜角よりも大きいことにより、前記吐出通路の通路幅が前記吐出口へ向かって広くなっているものである。
【００１５】
上記する形態の粉体肉盛ノズルによれば、簡単な構成でもって、吐出通路の通路幅を吐出口へ向かって連続的に広げることができ、被加工物の加工部位に形成される肉盛層の品質をより高めることができる。
【発明の効果】
【００１６】
以上の説明から理解できるように、本発明の粉体肉盛ノズルによれば、インナノズル部材とアウタノズル部材との間に形成される吐出通路の通路幅が吐出口へ向かって広くなるという簡単な構成でもって、被加工物の加工部位の加工面積が大きい場合であっても、被加工物の加工部位に形成される肉盛層の品質を維持することができ、被加工物の生産性を格段に高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の粉体肉盛ノズルが適用されるレーザクラッド加工装置の主要構成を概略的に示した斜視図である。
【図２】本発明の粉体肉盛ノズルの実施形態の主要構成を示した縦断面図である。
【図３】試験体による実施例、比較例１、２、参考例の吐出口近傍での粉体分布を測定した実験結果を示した図であり、（ａ）は実施例の実験結果を示した図、（ｂ）は比較例１の実験結果を示した図、（ｃ）は比較例２の実験結果を示した図、（ｄ）は参考例の実験結果を示した図である。
【図４】試験体による実施例、比較例１、参考例で形成された肉盛層の断面の測定結果を示した図であり、（ａ）は実施例の測定結果を示した図、（ｂ）は比較例１の測定結果を示した図、（ｃ）は参考例の測定結果を示した図である。
【図５】従来の粉体肉盛ノズルを示した縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照して本発明の粉体肉盛ノズルの実施形態を説明する。
【００１９】
図１は、本発明の粉体肉盛ノズルが適用されるレーザクラッド加工装置の主要構成を概略的に示した斜視図である。
【００２０】
図示するレーザクラッド加工装置９は、たとえばシリンダヘッド（被加工物）Ｈのバルブシート部（加工部位）Ｗにレーザクラッド加工を行う装置であって、シリンダヘッドＨを傾動して保持するシリンダヘッド保持装置１と、加工部位にレーザ光を照射しながら粉末金属（粉体）（例えば銅を主成分とする材料）を吐出するレーザ加工ヘッド２と、レーザ加工ヘッド２を鉛直方向に傾斜して保持して鉛直軸線周りに回転させる回転装置３と、レーザ加工ヘッド２に粉末金属を供給する粉体供給装置（フィーダ）４とを備えている。
【００２１】
シリンダヘッド保持装置１は、バルブシート部Ｗの中心軸線が鉛直方向となるようにシリンダヘッドＨを傾動したり、バルブシート部Ｗの中心軸線とレーザ加工ヘッド２の回転軸線とが一致するようにシリンダヘッドＨを水平方向へ二次元的に移動させるものである。
【００２２】
レーザ加工ヘッド２は、レーザ光を発生するレーザ発生部５と、レーザ光を集光する集光レンズ等が内蔵された光学系部６とを有し、その光学系部６の先端部に、レーザ光を通過させるとともにそのレーザ光の周囲から粉末金属を吐出する二重管構造の粉体肉盛ノズル（同軸ノズルともいう）７が接続され、この粉体肉盛ノズル７が、供給管８を介してフィーダ４に接続されている。
【００２３】
このレーザクラッド加工装置９は、加工部位に形成される肉盛層（クラッド層）に応じた量の粉末金属がキャリアガス（例えば窒素ガスなどの不活性ガス）とともにフィーダ４から粉体肉盛ノズル７へ供給され、レーザ発生部５によってその粉末金属に応じた出力のレーザ光が生成され、粉体肉盛ノズル７を介して加工部位Ｗにレーザ光を照射しながら粉末金属を吐出することにより、シリンダヘッドＨのバルブシート部Ｗに所望の肉盛層（クラッド層）を形成することができる。なお、たとえば、フィーダ４から粉体肉盛ノズル７へ供給される粉末金属の量や、フィーダ４から粉体肉盛ノズル７へ粉末金属を圧送するために使用されるキャリアガスの流量、レーザ光の出力、加工速度などは、適宜の調整手段により調整自在となっている。
【００２４】
図２は、図１で示す粉体肉盛ノズル（本発明の粉体肉盛ノズルの実施形態）の主要構成を示した縦断面図であり、特に、その粉体肉盛ノズルの吐出口側（先端側）を示した縦断面図である。なお、その他の構成については、図５に基づき説明した従来の粉末金属肉盛ノズルとほぼ同様であるため、その詳細な説明は割愛する。
【００２５】
図示するように、粉体肉盛ノズル７は、主に、レーザ光Ｒが通過するためのレーザ通路１１を有する略円管状のインナノズル部材１０と、インナノズル部材１０に外嵌されるアウタノズル部材２０とを備えている。インナノズル部材１０とアウタノズル部材２０とは同軸上に配置され、インナノズル部材１０とアウタノズル部材２０との間に粉末金属Ｐが通過する略円環状の吐出通路１９が画成されている。また、インナノズル部材１０の先端とアウタノズル部材２０の先端との間には、吐出通路１９を通過した粉末金属Ｐが外部へ吐出される円環状の吐出口１８が形成されている。
【００２６】
インナノズル部材１０の内周面１０ａ及び外周面１０ｂとアウタノズル部材２０の内周面２０ａは、中心軸線Ｌ方向に沿って且つ吐出口１８側（先端側）へ向かって縮径しており、すなわち、インナノズル部材１０の外周面１０ｂとアウタノズル部材２０の内周面２０ａとは、前記吐出口１８へ向かって縮径する円錐台状を呈している。インナノズル部材１０の外周面１０ｂの中心軸線Ｌに対する傾斜角θ１は、アウタノズル部材２０の内周面２０ａの中心軸線Ｌに対する傾斜角θ２よりも大きくなっており、インナノズル部材１０の外周面１０ｂとアウタノズル部材２０の内周面２０ａとの間に形成される吐出通路１９の通路幅Ｘは、前記吐出口１８へ向かって連続的に広くなっている。
【００２７】
そのため、供給管８等を介してフィーダ４からキャリアガスとともに吐出通路１９へ導入された粉末金属（粉体）Ｐは、径方向（中心軸線Ｌに対して直交する方向）へ拡がりながら当該吐出通路１９を先端側（吐出口１８）へ向かって通過して円環状の吐出口１８から吐出される。吐出口１８から吐出された粉末金属Ｐは、レーザ発生部５から出射され且つインナノズル部材１０のレーザ通路１１を通過して照射口１２から照射されたレーザ光Ｒにより溶融され、溶融された粉末金属が被加工物Ｈの加工部位Ｗに溶着され、溶着された粉末金属が冷却固化されて、被加工物Ｈの加工部位Ｗに所望の厚さ及び外形を有する肉盛層（クラッド層）が形成される。なお、インナノズル部材１０の内周面１０ａから形成されるレーザ通路１１は、不活性ガスの通路も兼ねており、上記レーザクラッド加工に際して不活性ガスが照射口１２から被加工物Ｈの加工部位Ｗへ噴射されるようになっている。
【００２８】
このような構成の粉体肉盛ノズル７によれば、インナノズル部材１０とアウタノズル部材２０との間に形成される吐出通路１９の通路幅Ｘが吐出口１８へ向かって連続的に広くなっていることにより、粉体が径方向へ拡がりながら（分散されながら）吐出通路１９を通過して吐出口１８から吐出される。そのため、被加工物Ｈの加工部位Ｗの加工面積が大きい場合であっても、その加工部位Ｗの広範囲に亘って粉体を分散させて供給でき、その加工部位Ｗ全体に対して所望の厚さの肉盛層を形成できるため、被加工物Ｈの加工部位Ｗに形成される肉盛層の品質を維持することができ、被加工物Ｈの生産性を格段に高めることができる。
【００２９】
なお、上記した実施の形態では、主に、粉体がレーザクラッド加工に用いる粉末金属である形態について説明したが、当該粉体は、被加工物の加工部位に所望の肉盛層を形成できれば、如何なる粉体を適用してもよい。
【００３０】
また、インナノズル部材１０の外周面１０ｂやアウタノズル部材２０の内周面２０ａの形状、及び、インナノズル部材１０の外周面１０ｂの中心軸線Ｌに対する傾斜角θ１やアウタノズル部材２０の内周面２０ａの中心軸線Ｌに対する傾斜角θ２は、図示例に限定されず、吐出通路１９の通路幅Ｘが吐出口１８へ向かって連続的に広がれば、たとえば、フィーダ４から粉体肉盛ノズル７へ供給される粉末金属の量やフィーダ４から粉体肉盛ノズル７へ粉末金属を圧送するために使用されるキャリアガスの流量などに応じて、適宜に変更できることは勿論である。
【００３１】
［試験体による吐出口近傍での粉体分布、及び、肉盛層の形状を測定した実験とその結果］
本発明者等は、吐出通路の形状が異なる４種類の試験体（実施例、比較例１、２、参考例）を作製し、それぞれの試験体をレーザクラッド加工装置（図１参照）のレーザ加工ヘッドに接続して作動させた際の、吐出口近傍での粉体分布測定、及びレーザクラッド加工により形成される肉盛層の形状測定を実施し、吐出口から吐出される粉体の径方向における均一性を評価した。
【００３２】
＜実施例、比較例１、２、参考例の試験体の仕様＞
以下の表１は、本実験で使用した実施例、比較例１、２、参考例の試験体の仕様を示したものである。表１で示すように、実施例の試験体では、インナノズル部材の外周面の中心軸線に対する傾斜角θ１が40度であり、アウタノズル部材の内周面の中心軸線に対する傾斜角θ２が38.5度であり、ノズル先端（吐出口）における吐出通路の通路幅Ｘが約7mmであった。比較例１の試験体では、インナノズル部材の外周面の中心軸線に対する傾斜角θ１とアウタノズル部材の内周面の中心軸線に対する傾斜角θ２がともに40度であり、ノズル先端（吐出口）における吐出通路の通路幅Ｘが約5mmであった。比較例２の試験体では、インナノズル部材の外周面の中心軸線に対する傾斜角θ１とアウタノズル部材の内周面の中心軸線に対する傾斜角θ２がともに40度であり、ノズル先端（吐出口）における吐出通路の通路幅Ｘが約7mmであった。参考例の試験体では、インナノズル部材の外周面の中心軸線に対する傾斜角θ１が40度であり、アウタノズル部材の内周面の中心軸線に対する傾斜角θ２が38度であり、ノズル先端（吐出口）における吐出通路の通路幅Ｘが約7mmであった。
【００３３】
すなわち、実施例及び参考例の試験体はそれぞれ、上記した実施形態の粉体肉盛ノズルと同様のノズルを使用し、比較例１、２の試験体はそれぞれ、図５に示す従来の粉体肉盛ノズルと同様のノズルを使用した。
【００３４】
【表１】
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【００３５】
＜試験体による吐出口近傍での粉体分布の測定方法＞
試験体による吐出口近傍での粉体分布の測定方法を概説すると、各試験体を取り付けたレーザクラッド加工装置のレーザ加工ヘッドを鉛直方向に向けて配置し、当該レーザクラッド加工装置を作動させ、吐出口から粉体（銅を主成分とする材料）をキャリアガスと共に噴出し、その吐出口から鉛直方向（中心軸線Ｌ方向）で15mmだけ離れた位置において、φ3mm、φ5mm、φ7mmの穴を通過する粉体の量を測定した。なお、その際の粉体供給量は0.9g/sであり、キャリアガス流量は8.0L/minであった。
【００３６】
＜試験体による吐出口近傍での粉体分布を測定した結果＞
図３は、試験体による実施例、比較例１、２、参考例の吐出口近傍での粉体分布を測定した実験結果を示した図であり、図３（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ、実施例、比較例１、２、参考例の実験結果を示した図である。なお、図３では、φ3mm以内の部分、φ3〜5mmの部分、φ5〜7mmの部分、φ7mm以上の部分を通過した粉体の量を、粉体肉盛ノズルに供給された粉体の量に対する割合で示している。
【００３７】
図３で示すように、比較例１、２の試験体ではそれぞれ、φ3mmの穴を通過する粉体が約78%、約65%となり、φ3〜5mmの部分を通過する粉体が約14%、約16%となり、吐出口から吐出された粉体が中央部付近（中心軸線付近）に集中することが確認された。また、比較例２の試験体では、φ7mm以上の部分を通過する粉体が約15%近くなり、予め設定されるビームサイズよりも外側に吐出される粉体の量が増加して歩留りが低下することが確認された。
【００３８】
一方で、実施例の試験体では、φ3mmの穴を通過する粉体が約53%となり、φ3〜5mmの部分を通過する粉体が約26%となり、φ5〜7mmの部分を通過する粉体が約14%となり、φ7mm以上の部分を通過する粉体が約7%となり、吐出口から吐出される粉体が径方向に分散されて径方向における均一性が高まると共に、予め設定されるビームサイズよりも外側に吐出される粉体の量も抑えられることが確認された。
【００３９】
なお、参考例の試験体による実験結果から、インナノズル部材の外周面の中心軸線に対する傾斜角θ１とアウタノズル部材の内周面の中心軸線に対する傾斜角θ２との角度差（θ１−θ２）を大きくし過ぎると、比較例２の試験体と同様、予め設定されるビームサイズよりも外側に吐出される粉体の量が増加する可能性があるため、インナノズル部材の外周面の中心軸線に対する傾斜角θ１とアウタノズル部材の内周面の中心軸線に対する傾斜角θ２との角度差（θ１−θ２）は、粉体供給量やキャリアガス流量などに応じて適正に設計する必要があることが分かった。
【００４０】
＜試験体による肉盛層の形状の測定方法＞
次に、試験体による肉盛層の形状の測定方法を概説すると、実施例と比較例と参考例の各試験体を取り付けたレーザクラッド加工装置を作動させ、照射口からレーザ光を照射しながら吐出口から粉体（銅を主成分とする材料）をキャリアガスと共に噴出して被加工物の溝形状の加工部位に肉盛層を形成し、その加工部位の一部で肉盛層の断面を測定した。
【００４１】
＜試験体による肉盛層の形状を測定した結果＞
図４は、試験体による実施例、比較例１、参考例で形成された肉盛層の断面の測定結果を示した図であり、図４（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ、実施例、比較例１、参考例の測定結果を示した図である。
【００４２】
図４で示すように、比較例１の試験体では、肉盛層の厚さが加工部位の中央部付近（中心軸線付近）で厚くなり、肉盛層の取り代が加工部位全体で不均一となることが確認された。一方で、実施例の試験体では、比較例１の試験体と比較して、肉盛層の厚さが加工部位の中央部付近（中心軸線付近）で薄くなり、肉盛層の取り代が加工部位全体で均一となる（安定する）ことが確認された。なお、参考例の試験体による実験結果から、インナノズル部材の外周面の中心軸線に対する傾斜角θ１とアウタノズル部材の内周面の中心軸線に対する傾斜角θ２との角度差（θ１−θ２）を大きくし過ぎると、肉盛層の幅が拡がり過ぎる可能性があることが分かった。
【００４３】
この実験結果より、インナノズル部材とアウタノズル部材との間に形成される吐出通路の通路幅を吐出口へ向かって広くするという簡単な構成でもって、被加工物の加工部位の加工面積が大きい場合であっても、被加工物の加工部位に形成される肉盛層の品質を維持することができ、肉盛層の取り代を安定させて被加工物の生産性を格段に高められることが実証された。
【００４４】
以上、本発明の実施の形態を図面を用いて詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における設計変更等があっても、それらは本発明に含まれるものである。
【符号の説明】
【００４５】
１…シリンダヘッド保持装置、２…レーザ加工ヘッド、３…回転装置、４…粉体供給装置（フィーダ）、５…レーザ発生部、６…光学系部、７…粉体肉盛ノズル、８…供給管、９…レーザクラッド加工装置、１０…インナノズル部材、１０ａ…インナノズル部材の内周面、１０ｂ…インナノズル部材の外周面、１１…レーザ通路、１２…照射口、１８…吐出口、１９…吐出通路、２０…アウタノズル部材、２０ａ…アウタノズル部材の内周面、Ｌ…中心軸線、Ｘ…吐出通路の通路幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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