(57)【要約】【課題】開口部から侵入する静電気によるセンサー素子の動作不良や損傷を、低減することが可能なセンサーデバイスの提供。【解決手段】センサーデバイス１は、センサー素子１０と、センサー素子１０を覆っているゲル２０と、ゲル２０に覆われている避雷針３０と、開口部４１を有し、センサー素子１０、避雷針３０、及びゲル２０を収容している容器４０と、を備え、避雷針３０の先端と開口部４１との距離が、センサー素子１０と開口部４１との距離よりも小さいことを特徴とする。【選択図】図１
2016206013.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
センサー素子と、
前記センサー素子を覆っている液体またはゲルと、
前記液体または前記ゲルに覆われている避雷針と、
開口部を有し、前記センサー素子、前記避雷針、及び前記液体または前記ゲルを収容している容器と、を備え、
前記避雷針の先端と前記開口部との距離が、前記センサー素子と前記開口部との距離よりも小さいことを特徴とするセンサーデバイス。
【請求項２】
前記避雷針を有する第１フライングリードを備えていることを特徴とする請求項１に記載のセンサーデバイス。
【請求項３】
前記容器は、金属部を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のセンサーデバイス。
【請求項４】
放電端部を有する第２フライングリードを備えていることを特徴とする請求項３に記載のセンサーデバイス。
【請求項５】
前記放電端部は、前記避雷針と電気的に接続されていて、前記容器の前記金属部と近接または接触していることを特徴とする請求項４に記載のセンサーデバイス。
【請求項６】
前記容器に収容され、前記液体または前記ゲルに覆われている回路素子を備え、
前記避雷針の先端と前記開口部との距離が、前記回路素子と前記開口部との距離よりも小さいことを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載のセンサーデバイス。
【請求項７】
前記センサー素子及び前記回路素子の少なくともいずれか一方を保持している第３フライングリードを備えていることを特徴とする請求項６に記載のセンサーデバイス。
【請求項８】
前記センサー素子及び前記回路素子の少なくともいずれか一方を保持しているボンディングワイヤーを備えていることを特徴とする請求項６に記載のセンサーデバイス。
【請求項９】
前記センサー素子は、圧力センサー素子であることを特徴とする請求項１ないし請求項８のいずれか一項に記載のセンサーデバイス。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項９のいずれか一項に記載のセンサーデバイスを備えていることを特徴とする携帯機器。
【請求項１１】
請求項１ないし請求項９のいずれか一項に記載のセンサーデバイスを備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項１２】
請求項１ないし請求項９のいずれか一項に記載のセンサーデバイスを備えていることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサーデバイス、このセンサーデバイスを備えている携帯機器、電子機器及び移動体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、センサーデバイスとして、ダイアフラムを有した板状のセンサー本体と、センサー本体が表面実装される回路基板と、センサー本体を回路基板との間で囲むようにして回路基板に固着されたケースと、を備え、ケースの周壁の一部には、圧力を受けて撓む第２のダイアフラムが設けられ、ケースと回路基板とに囲まれる空間には、第２のダイアフラムで受けた圧力変化をセンサー本体のダイアフラムに伝達する不活性液体が充填されている構成の半導体圧力センサーが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−１２６９２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記半導体圧力センサーは、ケースと回路基板とに囲まれる空間に充填されている不活性液体の導電性によっては、外乱に伴う静電気がセンサー本体に放電されることがある。
これにより、上記半導体圧力センサーは、センサー本体の圧力検出動作不良や、センサー本体の損傷が生じる虞がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかるセンサーデバイスは、センサー素子と、前記センサー素子を覆っている液体またはゲルと、前記液体または前記ゲルに覆われている避雷針と、開口部を有し、前記センサー素子、前記避雷針、及び前記液体または前記ゲルを収容している容器と、を備え、前記避雷針の先端と前記開口部との距離が、前記センサー素子と前記開口部との距離よりも小さいことを特徴とする。
【０００７】
これによれば、センサーデバイスは、避雷針の先端と容器の開口部との距離が、センサー素子と容器の開口部との距離よりも小さいことから、容器の開口部から侵入する静電気を避雷針に誘導し、静電気によるセンサー素子の動作不良や、静電気によるセンサー素子の損傷を低減することができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例にかかるセンサーデバイスにおいて、前記避雷針を有する第１フライングリードを備えていることが好ましい。
【０００９】
これによれば、センサーデバイスは、避雷針を有する第１フライングリードを備えていることから、例えば、第１フライングリードを屈曲することにより、避雷針の先端を容易に容器の開口部に近付けることができる。
なお、フライングリードとは、基板の配線パターン（リードパターン）の一部であって、基板の端面から空間にオーバーハング（突出）している部分のことをいう。
【００１０】
［適用例３］上記適用例にかかるセンサーデバイスにおいて、前記容器は、金属部を有することが好ましい。
【００１１】
これによれば、センサーデバイスは、容器が金属部を有することから、避雷針に誘導した静電気を、容器の金属部を介して外部に逃がすことができる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例にかかるセンサーデバイスにおいて、放電端部を有する第２フライングリードを備えていることが好ましい。
【００１３】
これによれば、センサーデバイスは、放電端部を有する第２フライングリードを備えていることから、例えば、第２フライングリードを屈曲することにより、第２フライングリードの先端である端部を放電端部として容易に容器の金属部に近付けることができる。
【００１４】
［適用例５］上記適用例にかかるセンサーデバイスにおいて、前記放電端部は、前記避雷針と電気的に接続されていて、前記容器の前記金属部と近接または接触していることが好ましい。
【００１５】
これによれば、センサーデバイスは、放電端部が避雷針と電気的に接続されていて、容器の金属部と近接または接触していることから、避雷針に誘導した静電気を、放電端部から容器の金属部を介して外部に逃がすことができる。
【００１６】
［適用例６］上記適用例にかかるセンサーデバイスにおいて、前記容器に収容され、前記液体または前記ゲルに覆われている回路素子を備え、前記避雷針の先端と前記開口部との距離が、前記回路素子と前記開口部との距離よりも小さいことが好ましい。
【００１７】
これによれば、センサーデバイスは、容器に収容されている回路素子を備え、避雷針の先端と容器の開口部との距離が、回路素子と容器の開口部との距離よりも小さいことから、容器の開口部から侵入する静電気を避雷針に誘導し、静電気による回路素子の動作不良や、静電気による回路素子の損傷を低減することができる。
【００１８】
［適用例７］上記適用例にかかるセンサーデバイスにおいて、前記センサー素子及び前記回路素子の少なくともいずれか一方を保持している第３フライングリードを備えていることが好ましい。
【００１９】
これによれば、センサーデバイスは、センサー素子及び回路素子の少なくともいずれか一方を保持している第３フライングリードを備えていることから、他の保持構造よりも上記各素子を安定した状態で保持することができる。
【００２０】
［適用例８］上記適用例にかかるセンサーデバイスにおいて、前記センサー素子及び前記回路素子の少なくともいずれか一方を保持しているボンディングワイヤーを備えていることが好ましい。
【００２１】
これによれば、センサーデバイスは、センサー素子及び回路素子の少なくともいずれか一方を保持しているボンディングワイヤーを備えていることから、保持する際に上記各素子に生じる応力を、他の保持構造よりも低減することができる。
【００２２】
［適用例９］上記適用例にかかるセンサーデバイスにおいて、前記センサー素子は、圧力センサー素子であることが好ましい。
【００２３】
これによれば、センサーデバイスは、センサー素子が圧力センサー素子であることから、静電気による動作不良や損傷が低減された圧力センサーデバイスとして、優れた性能を発揮することができる。
【００２４】
［適用例１０］本適用例にかかる携帯機器は、上記適用例のいずれか一例に記載のセンサーデバイスを備えていることを特徴とする。
【００２５】
これによれば、携帯機器は、上記適用例のいずれか一例に記載のセンサーデバイスを備えていることから、上記適用例のいずれか一例に記載の効果が奏され、優れた性能を発揮することができる。
【００２６】
［適用例１１］本適用例にかかる電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載のセンサーデバイスを備えていることを特徴とする。
【００２７】
これによれば、電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載のセンサーデバイスを備えていることから、上記適用例のいずれか一例に記載の効果が奏され、優れた性能を発揮することができる。
【００２８】
［適用例１２］本適用例にかかる移動体は、上記適用例のいずれか一例に記載のセンサーデバイスを備えていることを特徴とする。
【００２９】
これによれば、移動体は、上記適用例のいずれか一例に記載のセンサーデバイスを備えていることから、上記適用例のいずれか一例に記載の効果が奏され、優れた性能を発揮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】第１実施形態のセンサーデバイスの概略構成を示す模式図であり、（ａ）はセンサーデバイスを開口部の上方から俯瞰した平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線での断面図。
【図２】変形例のセンサーデバイスの概略構成を示す模式図であり、（ａ）はセンサーデバイスを開口部の上方から俯瞰した平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線での断面図。
【図３】第２実施形態のセンサーデバイスの概略構成を示す模式図であり、（ａ）はセンサーデバイスを開口部の上方から俯瞰した平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線での断面図。
【図４】センサーデバイスを備えている携帯機器の一例としての高度計を示す模式斜視図。
【図５】センサーデバイスを備えている電子機器の一例としてのナビゲーションシステムを示す模式正面図。
【図６】センサーデバイスを備えている移動体の一例としての自動車を示す模式斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。
【００３２】
（第１実施形態）
最初に、第１実施形態のセンサーデバイスについて説明する。
図１は、第１実施形態のセンサーデバイスの概略構成を示す模式図である。図１（ａ）は、センサーデバイスを開口部の上方から俯瞰した平面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ線での断面図である。なお、平面図では、便宜的に一部の構成要素を省略してある。また、わかり易くするために各構成要素の寸法比率は実際と異なる。
【００３３】
図１に示すように、第１実施形態のセンサーデバイス１は、センサー素子１０と、センサー素子１０を覆っているゲル２０と、ゲル２０に覆われている避雷針３０と、開口部４１を有し、センサー素子１０、避雷針３０、及びゲル２０を収容している容器４０と、を備えている。
センサーデバイス１は、容器４０に収容され、ゲル２０に覆われている回路素子としてのＩＣチップ５０を更に備えている。
【００３４】
容器４０は、開口部４１側の第１容器４２と、開口部４１とは反対側の第２容器４３とに、分割されている。第１容器４２は、開口部４１側が円筒状に形成され（図１（ａ）に２点鎖線で表記）、開口部４１に続く第２容器４３側が、略角型の筒状に形成されている。第２容器４３は、略角型で底を有する筒状に形成されている。
第１容器４２及び第２容器４３の材料としては、コスト、加工性（成形性）、ゲル２０との親和性などの観点から樹脂材料が好ましく、例えば、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）樹脂、ＰＣ（ポリカーボネート）樹脂、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）樹脂などが挙げられる。
【００３５】
第１容器４２と第２容器４３との間には、センサー基板６０が配置されている。
センサー基板６０は、例えば、ポリイミド樹脂からなるベース層６１に、銅箔からなるリードパターン層（配線層）６２が積層されたフレキシブル基板である。
センサー基板６０は、第１容器４２と第２容器４３とに挟まれ、略四角形状の実装部６３と、実装部６３から紙面右側に延びる接続部６４と、を備えている。
センサー基板６０の実装部６３には、センサー素子１０とＩＣチップ５０とが実装されている。
【００３６】
センサー素子１０は、平面視で、実装部６３に設けられた貫通孔６５ａ内に配置され、図示しない４つの端子部が、リードパターン層６２の一部である４つの第３フライングリード６６の先端部に固定されることによってセンサー基板６０に保持されている。
（換言すれば、センサーデバイス１は、センサー素子１０を保持している第３フライングリード６６を備えている。）
なお、フライングリードとは、センサー基板６０のリードパターン層６２の一部であって、ベース層６１の端面（貫通孔６５ａ，６５ｂの端面を含む）から空間（ここでは、ゲル２０内）にオーバーハング（突出）している部分のことをいう。
【００３７】
センサー素子１０は、圧力センサー素子であり、例えば、半導体を用いたダイアフラム型の圧力センサー素子である。
具体的には、センサー素子１０は、ダイアフラム部に設けられ印加された圧力（歪み）に応じて抵抗値が変化する複数のピエゾ抵抗素子を用いて、圧力検出用回路としてホイートストンブリッジ回路が構成され、４つの端子部の内の２つの端子部間に、印加された圧力に応じた電位差が検出信号として出力される構成となっている。
【００３８】
ＩＣチップ５０は、実装部６３のベース層６１上に、センサー素子１０と隣接して配置・固定され、図示しない複数の端子部が、第３フライングリード６６と一体になっている４つのリードパターンや、接続部６４の先端部まで延びる他のリードパターンと、ボンディングワイヤー７０によって接続されている。
ＩＣチップ５０は、ボンディングワイヤー７０、リードパターンを介してセンサー素子１０と接続され、センサー素子１０に電源を供給し、センサー素子１０からの検出信号をＡ／Ｄ（アナログ／デジタル）変換した後、圧力データに置換して外部に出力するなどの機能を備えている。
【００３９】
センサー基板６０は、接続部６４の先端部が、例えば、外部機器のコネクター（接続装置）などに差し込まれることにより、外部機器と電気的に接続される構成となっている。
センサー基板６０は、実装部６３に避雷針３０を有する第１フライングリード６８を備えている。ここでは、第１フライングリード６８の殆どが避雷針３０となっている。
リードパターン層６２の一部である第１フライングリード６８は、実装部６３に設けられた紙面左右方向に細長い貫通孔６５ｂに、紙面左右方向に沿ってオーバーハングするように配置されている（図１（ａ）参照）。そして、第１フライングリード６８は、貫通孔６５ｂの紙面右端に近い部分において、先端が容器４０（第１容器４２）の開口部４１に近付く方向に屈曲されている。
【００４０】
これにより、センサーデバイス１は、避雷針３０（第１フライングリード６８）の先端と容器４０の開口部４１との距離が、センサー素子１０と容器４０の開口部４１との距離よりも小さくなっている。
また、センサーデバイス１は、避雷針３０の先端と容器４０の開口部４１との距離が、ＩＣチップ５０と容器４０の開口部４１との距離よりも小さくなっている。
第１フライングリード６８は、接続部６４の先端部まで延びるリードパターン６９と一体となっている。これにより、避雷針３０（第１フライングリード６８）は、例えば、外部機器のＧＮＤ端子（接地端子）と電気的に接続されることが可能となる。
【００４１】
センサー素子１０とＩＣチップ５０とが実装されたセンサー基板６０の実装部６３は、接合部材８０によってリードパターン層６２側が第１容器４２に気密に固定され、ベース層６１側が第２容器４３に気密に固定されている。
なお、接合部材８０としては、特に限定されないが、シリコーン系、エポキシ系、ポリイミド系の接着剤などが挙げられる。
【００４２】
センサー基板６０を介して第１容器４２と第２容器４３とが気密に接合された容器４０内には、ゲル２０が充填されている。ゲル２０は、センサー基板６０の貫通孔６５ａ，６５ｂによって第１容器４２側から第２容器４３側に回り込んで充填されることになる。
なお、ゲル２０の種類としては、特に限定されないが、フッ素ゲルや、フロロシリコーンゲル、シリコーンゲルなどが挙げられる。
センサーデバイス１は、容器４０内のセンサー素子１０やＩＣチップ５０などが、充填されたゲル２０に覆われることにより、外部環境から保護されることになる。
【００４３】
センサーデバイス１は、ゲル２０が圧力伝播部材となり、ゲル２０を介して外部からセンサー素子１０に印加される圧力に応じて、センサー素子１０のダイアフラム部に設けられた複数のピエゾ抵抗素子の抵抗値が変化し、印加された圧力に応じた電位差が検出信号としてＩＣチップ５０に出力される。
センサーデバイス１は、センサー素子１０からの検出信号を、ＩＣチップ５０によってＡ／Ｄ変換した後、圧力データに置換して外部に出力することにより、圧力センサーとして機能する。
【００４４】
上述したように、第１実施形態のセンサーデバイス１は、避雷針３０の先端と容器４０の開口部４１との距離が、センサー素子１０と容器４０の開口部４１との距離よりも小さいことから、容器４０の開口部４１から侵入する静電気を避雷針３０に誘導することができる。
避雷針３０に誘導された静電気は、センサー基板６０の第１フライングリード６８、リードパターン６９を経由して、例えば、外部機器のＧＮＤ端子（接地端子）に流れることになる。
これにより、センサーデバイス１は、容器４０の開口部４１から侵入する静電気によるセンサー素子１０の動作不良や損傷を低減することができる。
【００４５】
また、センサーデバイス１は、避雷針３０を有する第１フライングリード６８を備えていることから、第１フライングリード６８を屈曲することにより、避雷針３０の先端を容易に容器４０の開口部４１に近付けることができる。
【００４６】
また、センサーデバイス１は、容器４０に収容され、ゲル２０に覆われている回路素子としてのＩＣチップ５０を備え、避雷針３０の先端と容器４０の開口部４１との距離が、ＩＣチップ５０と容器４０の開口部４１との距離よりも小さいことから、容器４０の開口部４１から侵入する静電気を避雷針３０に誘導し、静電気によるＩＣチップ５０の動作不良や損傷を低減することができる。
【００４７】
また、センサーデバイス１は、センサー素子１０を保持している第３フライングリード６６を備えていることから、他の保持構造よりもセンサー素子１０を安定した状態で保持することができる。
【００４８】
また、センサーデバイス１は、センサー素子１０が半導体を用いたダイアフラム型の圧力センサー素子であることから、静電気による動作不良や損傷が低減された圧力センサーデバイスとして、優れた性能を発揮することができる。
【００４９】
なお、センサーデバイス１は、ゲル２０に代えてシリコーンオイルなどの不活性な液体が容器４０に充填されていてもよい。この場合には、液体を封止する封止膜を開口部４１に設けることになる。
また、センサーデバイス１は、回路素子としてのＩＣチップ５０が、センサー素子１０と同様にフライングリードによって保持されていてもよい。
【００５０】
なお、センサーデバイス１は、センサー基板６０にリードパターン層６２を保護する保護層が積層されていてもよい。
また、センサーデバイス１は、センサー基板６０の接続部６４の第１容器４２側及び第２容器４３側に、シールド層が積層されていてもよい。これによれば、センサーデバイス１は、センサー基板６０の接続部６４側からのノイズや静電気の侵入を低減することができる。
【００５１】
なお、センサーデバイス１は、センサー素子１０とＩＣチップ５０とが一体化されていてもよく、センサー素子１０のみが容器４０内に収容され、ＩＣチップ５０が外付けされている形態でもよい。
また、センサーデバイス１は、リードパターン６９が、第１フライングリード６８の根元から、平面視でセンサー素子１０及びＩＣチップ５０を取り囲む略枠状に延在されていてもよい。これによれば、センサーデバイス１は、リードパターン６９のシールド効果により、外部からのノイズの侵入を低減することができる。
【００５２】
（変形例）
次に、第１実施形態の変形例について説明する。
図２は、変形例のセンサーデバイスの概略構成を示す模式図である。図２（ａ）は、センサーデバイスを開口部の上方から俯瞰した平面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ線での断面図である。
なお、第１実施形態との共通部分には、同一の符号を付して詳細な説明を省略し、第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００５３】
図２に示すように、変形例のセンサーデバイス２は、第１実施形態と比較して、センサー素子１０の保持構造が異なる。
センサーデバイス２のセンサー素子１０は、図示しない４つの端子部が、ボンディングワイヤー７１によってセンサー基板６０のリードパターンに接続されることにより保持されている。
【００５４】
これによれば、センサーデバイス２は、センサー素子１０を保持しているボンディングワイヤー７１を備えていることから、保持する際にセンサー素子１０に生じる応力を、他の保持構造よりも低減することができる。
なお、センサーデバイス２は、ＩＣチップ５０をセンサー基板６０の貫通孔に配置して、センサー素子１０と同様にボンディングワイヤーによって保持する構成としてもよい。
なお、上記変形例の構成は、以下の第２実施形態にも適用可能である。
【００５５】
（第２実施形態）
次に、第２実施形態のセンサーデバイスについて説明する。
図３は、第２実施形態のセンサーデバイスの概略構成を示す模式図である。図３（ａ）は、センサーデバイスを開口部の上方から俯瞰した平面図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡ−Ａ線での断面図である。
なお、第１実施形態との共通部分には、同一の符号を付して詳細な説明を省略し、第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００５６】
図３に示すように、第２実施形態のセンサーデバイス３は、第１実施形態と比較して、第２容器１４３の材質及び形状、フライングリードなどが異なる。
センサーデバイス３は、容器４０に金属部を有している（ここでは、第２容器１４３の材質に、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６など）などの金属が用いられている）。
第２容器１４３の内側には、外周部よりも１段低い段差部１４３ａが、全周に亘って設けられている。
【００５７】
また、センサーデバイス３は、センサー基板６０の実装部６３に、放電端部３１を有する第２フライングリード６７を備えている。
詳述すると、リードパターン層６２の一部である第２フライングリード６７は、実装部６３のＩＣチップ５０の近傍に設けられた紙面上下方向に細長い貫通孔６５ｃに、紙面上下方向に沿ってオーバーハングするように配置されている（図３（ａ）参照）。
【００５８】
そして、第２フライングリード６７は、貫通孔６５ｃの紙面上側の端部に近い部分において、放電端部３１である先端が、容器４０の金属部である第２容器１４３の段差部１４３ａに近接または接触するように（ここでは接触している）、第２容器１４３側に屈曲されている。
センサーデバイス３は、避雷針３０を有する第１フライングリード６８と、放電端部３１を有する第２フライングリード６７とが、リードパターン６９ａによって互いに電気的に接続されている。
【００５９】
上述したように、第２実施形態のセンサーデバイス３は、容器４０が金属部を有する（ここでは、第２容器１４３全体が金属部）ことから、避雷針３０に誘導した静電気を、容器４０の金属部（第２容器１４３）を介して外部に逃がすことができる。
これにより、センサーデバイス３は、容器４０の開口部４１から侵入する静電気によるセンサー素子１０及びＩＣチップ５０の動作不良や損傷を低減することができる。
【００６０】
また、センサーデバイス３は、放電端部３１を有する第２フライングリード６７を備えていることから、第２フライングリード６７を屈曲することにより、第２フライングリード６７の先端である端部を放電端部３１として、容易に容器４０の金属部（第２容器１４３）に近付けることができる。
【００６１】
また、センサーデバイス３は、放電端部３１がリードパターン６９ａによって避雷針３０と電気的に接続されていて、容器４０の金属部（第２容器１４３）と接触していることから、避雷針３０に誘導した静電気を、放電端部３１から容器４０の金属部（第２容器１４３）を介して外部に逃がすことができる。
なお、センサーデバイス３は、放電端部３１が容器４０の金属部（第２容器１４３）と接触していなくても近接していることにより、避雷針３０に誘導した静電気を、放電端部３１から容器４０の金属部（第２容器１４３）に放電して、外部に逃がすことができる。
【００６２】
（携帯機器）
次に、上述したセンサーデバイスを備えている携帯機器について説明する。
図４は、センサーデバイスを備えている携帯機器の一例としての高度計を示す模式斜視図である。
【００６３】
図４に示すように、高度計２００は、多機能腕時計でもあり、手首に装着することができる。また、高度計２００の内部には、センサーデバイス１（または２，３のいずれか）が搭載されており、表示部２０１に現在地における海抜、または、現在地の気圧などが表示される。
なお、この表示部２０１には、上記高度、気圧などの他に、現在時刻、使用者の心拍数、天候など、様々な情報が表示される。
【００６４】
上述したように、本構成の高度計２００は、センサーデバイス１（または２，３のいずれか）を備えていることから、上記各実施形態及び変形例に記載の効果が奏され、優れた性能（例えば、高感度な高度検出性能など）を発揮することができる。
なお、上述したセンサーデバイスを備えている携帯機器としては、上記高度計の他に、例えば、携帯電話、腕時計型多機能端末、タブレット型多機能端末などが挙げられる。
【００６５】
（電子機器）
次に、上述したセンサーデバイスを備えている電子機器について説明する。
図５は、センサーデバイスを備えている電子機器の一例としてのナビゲーションシステムを示す模式正面図である。
【００６６】
図５に示すように、ナビゲーションシステム３００は、図示しない地図情報と、ＧＰＳ（全地球測位システム：Ｇｌｏｂａｌ  Ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍ）からの位置情報取得手段と、ジャイロセンサー及び加速度センサーと車速データとによる自立航法手段と、センサーデバイス１（または２，３のいずれか）と、所定の位置情報または進路情報を表示する表示部３０１と、を備えている。
【００６７】
このナビゲーションシステム３００は、取得した位置情報に加えてセンサーデバイス１（または２，３のいずれか）により高度情報を取得することができる。
従来の、高度情報を持たないナビゲーションシステムでは、一般道路と高架道路とが重なって設けられている場合、一般道路と高架道路との判別ができないことから、高架道路を走行していても優先情報として一般道路走行におけるナビゲーション情報を使用者に提供していたという問題があった。
これに対して、ナビゲーションシステム３００では、高度情報を取得することにより、一般道路と高架道路との判別が可能となることから、高架道路走行時において高架道路走行におけるナビゲーション情報を使用者に確実に提供することができる。
【００６８】
なお、ナビゲーションシステム３００の表示部３０１は、例えば、液晶パネルディスプレイや、有機ＥＬ（Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイなどを用いることにより、小型かつ薄型化が可能な構成となっている。
【００６９】
上述したように、本構成のナビゲーションシステム３００は、センサーデバイス１（または２，３のいずれか）を備えていることから、上記各実施形態及び変形例に記載の効果が奏され、優れた性能（例えば、高感度な高度情報の取得による精度の高いナビゲーション情報の提供など）を発揮することができる。
【００７０】
なお、上述したセンサーデバイスを備えている電子機器としては、上記ナビゲーションシステムの他に、例えば、パーソナルコンピューター、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーターなどが挙げられる。
【００７１】
（移動体）
次に、上述したセンサーデバイスを備えている移動体について説明する。
図６は、センサーデバイスを備えている移動体の一例としての自動車を示す模式斜視図である。
【００７２】
図６に示すように、自動車４００は、車体４０１と、４つの車輪４０２と、を有しており、車体４０１に設けられた図示しない動力源（エンジン）によって車輪４０２を回転させるように構成されている。
自動車４００は、センサーデバイス１（または２，３のいずれか）を、例えば、搭載されているナビゲーション装置、姿勢制御装置などの高度検出センサーや、車輪４０２の空気圧検出センサーなどとして用いている。
これによれば、自動車４００は、センサーデバイス１（または２，３のいずれか）を備えていることから、上記各実施形態及び変形例に記載の効果が奏され、優れた性能（例えば、高度に応じた精度の高いナビゲーション性能、高度に応じた応答性の高い姿勢制御性能、感度の高い空気圧管理性能など）を発揮することができる。
【００７３】
上述したセンサーデバイスは、上記自動車４００に限らず、自走式ロボット、自走式搬送機器、列車、船舶、飛行機、人工衛星などを含む移動体の、例えば高度検出センサーなどとして好適に用いることができ、いずれの場合にも、上記各実施形態及び変形例で説明した効果が奏され、優れた性能を発揮する移動体を提供することができる。
【符号の説明】
【００７４】
１，２，３…センサーデバイス、１０…センサー素子、２０…ゲル、３０…避雷針、３１…放電端部、４０…容器、４１…開口部、４２…第１容器、４３…第２容器、５０…回路素子としてのＩＣチップ、６０…センサー基板、６１…ベース層、６２…リードパターン層、６３…実装部、６４…接続部、６５ａ，６５ｂ，６５ｃ…貫通孔、６６…第３フライングリード、６７…第２フライングリード、６８…第１フライングリード、６９，６９ａ…リードパターン、７０，７１…ボンディングワイヤー、８０…接合部材、１４３…第２容器、１４３ａ…段差部、２００…携帯機器としての高度計、２０１…表示部、３００…電子機器としてのナビゲーションシステム、３０１…表示部、４００…移動体としての自動車、４０１…車体、４０２…車輪。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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