(57)【要約】【課題】要求される耐久性を有しながら小型化が可能な放電器を提供する。【解決手段】放電器１３は光透過性部材１４とセラミック部材１５と希ガス２８とを有する。セラミック部材１５は光透過性部材１４と密着することにより密閉空間を形成する。セラミック部材１５は陽極１８と陰極１９とトリガ電極２０とを有する。希ガス２８を密閉空間に封止する。【選択図】図４
2016024981.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光透過性部材と、
前記光透過性部材と密着することにより密閉空間を形成し、陽極、陰極、およびトリガ電極を有するセラミック部材と、
前記密閉空間に封止される希ガスとを備える
ことを特徴とする放電器。
【請求項２】
請求項１に記載の放電器であって、
前記セラミック部材が、前記密閉空間の一部を画成する陥凹部を有する
ことを特徴とする放電器。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の放電器であって、
前記光透過性部材が、前記密閉空間の一部を画成する陥凹部を有する
ことを特徴とする放電器。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の放電器であって、
前記陽極および前記陰極が、前記密閉空間内の対向する面部にそれぞれ配置される
ことを特徴とする放電器。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の放電器であって、
前記希ガスは、キセノンである
ことを特徴とする放電器。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載の放電器を備える発光装置。
【請求項７】
請求項６に記載の発光装置を備える撮像装置。
【請求項８】
請求項６に記載の発光装置を備える消毒滅菌装置。
【請求項９】
請求項６に記載の発光装置を備える脱毛処理機。
【請求項１０】
少なくとも１層のセラミックグリーンシートに陽極および陰極を印刷する印刷ステップと、
前記陽極および前記陰極が印刷された少なくとも１層のセラミックグリーンシートを焼成して、セラミック部材を生成する生成ステップと、
前記生成ステップにおいて生成したセラミック部材に、希ガス雰囲気下で光透過性部材と密着させることにより、前記セラミック部材および前記光透過性部材の間に画成される密閉空間に希ガスを封入する封入ステップとを備える
ことを特徴とする放電器の製造方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の放電器の製造方法であって、
少なくとも１層のセラミックグリーンシートの板面を貫通する孔部を形成するように、該セラミックグリーンシートを成形する成形ステップと、
前記生成ステップでは、前記孔部の形成と前記陽極および前記陰極の印刷との少なくとも一方が施された少なくとも１層のセラミックグリーンシートと、該セラミックグリーンシートとは異なる少なくとも１層のセラミックグリーンシートとを積層させた積層体を焼成して、前記セラミック部材を生成し、
前記封入ステップでは、前記積層体における前記孔部が開放されている面を、前記光透過性部材と密着させる
ことを特徴とする放電器の製造方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の放電器の製造方法であって、
前記生成ステップでは、前記積層体は、前記孔部が形成された少なくとも１層のグリーンシートと、前記陽極および前記陰極が印刷された少なくとも１層のグリーンシートとを有する
ことを特徴とする放電器の製造方法。
【請求項１３】
請求項１１に記載の放電器の製造方法であって、
前記印刷ステップでは、前記成形ステップにおいて形成した前記孔部を画成する面に前記陽極および前記陰極を印刷し、
前記生成ステップでは、前記孔部が形成された少なくとも１層のセラミックグリーンシートの前記孔部の一方の開口を、該セラミックグリーンシートとは異なる少なくとも１層のセラミックグリーンシートにより塞ぐように積層させる
ことを特徴とする放電器の製造方法。
【請求項１４】
請求項１０から１３のいずれか１項に記載の放電器の製造方法であって、
前記封入ステップでは、前記密閉空間の一部を画成する凹部を有する光透過性部材を前記セラミック部材に密着させる
ことを特徴とする放電器の製造方法。
【請求項１５】
請求項１０から１４のいずれか１項に記載の放電器の製造方法であって、
前記印刷ステップでは、少なくとも１層のセラミックグリーンシートにトリガ電極を印刷し、
前記生成ステップでは、該セラミックグリーンシートを用いて、前記セラミック部材を生成する
ことを特徴とする放電器の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放電により光を発する放電器、発光装置、撮像装置、消毒滅菌装置、脱毛処理機、および放電器の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話などの携帯機器にカメラ機能が設けられており、夜間および室内などにおいても明るい画像を撮像することが求められている。携帯機器に設ける照明装置には小型化が必要であり、従来ではＬＥＤを用いた照明装置が設けられている。しかし、ＬＥＤでは光量が低く、要求される光量の照明光を放射することができなかった。そこで、瞬間的に大光量の光を放射可能なキセノン放電管を用いた閃光発光器を小型化することが提案されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−１７１８２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１では、キセノン放電管の発光に用いる電力を充電するコンデンサの小型化を提案しているが、小型化の要求はさらに大きく、キセノン放電管そのものの小型かも求められる。しかし、キセノン放電管を単に小型化すると、キセノンを封入するガラスの耐久性、特に熱応力に対する耐久性が低下し得る。それゆえ、耐久性を考慮するとキセノン放電管の小型化には限界があり。結果として閃光発光器の小型化に限界があった。
【０００５】
したがって、かかる事情に鑑みてなされた本発明の目的は、要求される耐久性を有しながら小型化が可能な放電器、発光装置、撮像装置、消毒滅菌装置、脱毛処理機、および該放電器の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した諸課題を解決すべく、第１の観点による放電器は、
光透過性部材と、
前記光透過性部材と密着することにより密閉空間を形成し、陽極、陰極、およびトリガ電極を有するセラミック部材と、
前記密閉空間に封止される希ガスとを備える
ことを特徴とするものである。
【０００７】
また、第２の観点による放電器においては、
前記セラミック部材が、前記密閉空間の一部を画成する陥凹部を有する
ことが好ましい。
【０００８】
また、第３の観点による放電器においては、
前記光透過性部材が、前記密閉空間の一部を画成する陥凹部を有する
ことが好ましい。
【０００９】
また、第４の観点による放電器においては、
前記陽極および前記陰極が、前記密閉空間内の対向する面部にそれぞれ配置される
ことが好ましい。
【００１０】
また、第５の観点による放電器においては、
前記希ガスは、キセノンである
ことが好ましい。
【００１１】
また、第６の観点による発光装置は、
光透過性部材と、前記光透過性部材と密着することにより密閉空間を形成し、陽極、陰極、およびトリガ電極を有するセラミック部材と、前記密閉空間に封止される希ガスとを有する放電器を備える
ことを特徴とするものである。
【００１２】
また、第７の観点による撮像装置は、
光透過性部材と、前記光透過性部材と密着することにより密閉空間を形成し、陽極、陰極、およびトリガ電極を有するセラミック部材と、前記密閉空間に封止される希ガスとを含む放電器を有する発光装置を備える
ことを特徴とするものである。
【００１３】
また、第８の観点による消毒滅菌装置は、
光透過性部材と、前記光透過性部材と密着することにより密閉空間を形成し、陽極、陰極、およびトリガ電極を有するセラミック部材と、前記密閉空間に封止される希ガスとを含む放電器を有する発光装置を備える
ことを特徴とするものである。
【００１４】
また、第９の観点による脱毛処理機は、
光透過性部材と、前記光透過性部材と密着することにより密閉空間を形成し、陽極、陰極、およびトリガ電極を有するセラミック部材と、前記密閉空間に封止される希ガスとを含む放電器を有する発光装置を備える
ことを特徴とするものである。
【００１５】
また、該放電器を製造するための、第１０の観点による放電器の製造方法は、
少なくとも１層のセラミックグリーンシートに陽極および陰極を印刷する印刷ステップと、
前記陽極および前記陰極が印刷された少なくとも１層のセラミックグリーンシートを焼成して、セラミック部材を生成する生成ステップと、
前記生成ステップにおいて生成したセラミック部材に、希ガス雰囲気下で光透過性部材と密着させることにより、前記セラミック部材および前記光透過性部材の間に画成される密閉空間に希ガスを封入する封入ステップとを備える
ことを特徴とするものである。
【００１６】
また、第１１の観点による放電器の製造方法においては、
少なくとも１層のセラミックグリーンシートの板面を貫通する孔部を形成するように、該セラミックグリーンシートを成形する成形ステップと、
前記生成ステップでは、前記孔部の形成と前記陽極および前記陰極の印刷との少なくとも一方が施された少なくとも１層のセラミックグリーンシートと、該セラミックグリーンシートとは異なる少なくとも１層のセラミックグリーンシートとを積層させた積層体を焼成して、前記セラミック部材を生成し、
前記封入ステップでは、前記積層体における前記孔部が開放されている面を、前記光透過性部材と密着させる
ことが好ましい。
【００１７】
また、第１２の観点による放電器の製造方法においては、
前記生成ステップでは、前記積層体は、前記孔部が形成された少なくとも１層のグリーンシートと、前記陽極および前記陰極が印刷された少なくとも１層のグリーンシートとを有する
ことが好ましい。
【００１８】
また、第１３の観点による放電器の製造方法においては、
前記印刷ステップでは、前記成形ステップにおいて形成した前記孔部を画成する面に前記陽極および前記陰極を印刷し、
前記生成ステップでは、前記孔部が形成された少なくとも１層のセラミックグリーンシートの前記孔部の一方の開口を、該セラミックグリーンシートとは異なる少なくとも１層のセラミックグリーンシートにより塞ぐように積層させる
ことが好ましい。
【００１９】
また、第１４の観点による放電器の製造方法においては、
前記封入ステップでは、前記密閉空間の一部を画成する凹部を有する光透過性部材を前記セラミック部材に密着させる
ことが好ましい。
【００２０】
また、第１５の観点による放電器の製造方法においては、
前記印刷ステップでは、少なくとも１層のセラミックグリーンシートにトリガ電極を印刷し、
前記生成ステップでは、該セラミックグリーンシートを用いて、前記セラミック部材を生成する
ことが好ましい。
【発明の効果】
【００２１】
上記のように構成された本発明に係る放電器、発光装置、撮像装置、消毒滅菌装置、脱毛処理機、および製造方法によれば、要求される耐久性を有しながら小型化が可能な放電器、発光装置、撮像装置、消毒滅菌装置、脱毛処理機、および放電器の製造方法を提供可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る放電器を有する発光装置を内蔵する撮像装置の外観図である。
【図２】図１の放電器の外観図である。
【図３】図２のセラミック部材の上面図である。
【図４】図２のＡ―Ａ線に沿った図２の放電器の断面図である。
【図５】図２のセラミック部材の下面図である。
【図６】図１のセラミック部材を生成するための積層体の構造を示す分解外観図である。
【図７】第２の実施形態に係る放電器の外観図である。
【図８】図７のセラミック部材を生成するための積層体の構造を示す分解外観図である。
【図９】第３の実施形態に係る放電器の長辺方向に沿った断面図である。
【図１０】図９のセラミック部材を生成するための積層体の構造を示す分解外観図である。
【図１１】本発明の第１の実施形態に係る放電器を有する発光装置を内蔵する消毒滅菌装置の外観図である。
【図１２】本発明の第１の実施形態に係る放電器を有する発光装置を内蔵する脱毛処理機の外観図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明を適用した放電器の実施形態について、図面を参照して説明する。
【００２４】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る放電器を有する発光装置を内蔵する撮像装置の外観図である。
【００２５】
撮像装置１０は、例えばスマートホンなどの携帯端末であり、表示面の裏面側を撮像可能に光学系１１などを有する。撮像装置１０は発光装置１２を内蔵する。
【００２６】
発光装置１２は、光学系１１の近傍において露出するように配置される放電器１３を有する。発光装置１２は、例えば、希ガスの放電作用を利用して、比較的、大光量の閃光を発光可能な放電器１３を有する閃光発光装置である。発光装置１２における回路構成は、従来公知の放電管を用いた閃光発光装置における放電管を、本実施形態の放電器１３に置換えた以外に関しては、従来公知の閃光発光装置と同様である。
【００２７】
図２に示すように、放電器１３は、光透過性部材１４、セラミック部材１５および希ガスを含んで構成される。
【００２８】
光透過性部材１４は、例えば石英ガラスであり、少なくとも一部の帯域の可視光を透過する。光透過性部材１４は、平板状である。さらに、光透過性部材１４は、耐熱性を有する。
【００２９】
セラミック部材１５はセラミックにより板状に形成され、一方の板面が光透過性部材１４と密着することにより密閉空間を画成する、陥凹部１６を有する。セラミック部材１５の陥凹部１６は角丸四角形状の底面１７を有する。
【００３０】
図３に示すように、セラミック部材１５は、底面上の互いに離間した位置、例えば対向する２つの短辺上に配置される、陽極１８および陰極１９を有する。また、図４に示すように、セラミック部材１５は、底面１７下に埋設されるトリガ電極２０を有する。陽極１８、陰極１９、およびトリガ電極２０には、例えばタングステンおよびモリブデンが用いられ、例えば酸化防止のためにニッケルおよびスズの少なくとも一方またはこれらを含む合金により被覆される。図４において、陽極１８、陰極１９、およびトリガ電極２０、ならびに、後述する、第１の端子２１、第２の端子２２、第３の端子２３、第１の導通路２４、第２の導通路２５、および第３の導通路２６は、説明のために厚みを強調して描かれているが、実際には薄肉状である。陰極１９は、例えばタングステン酸バリウム、ならびにタンタルおよびニオブの混合物の少なくとも一方を薄膜化した陰極エミッタ２７によって、少なくとも一部が被覆される。
【００３１】
図５に示すように、セラミック部材１５は、背面、すなわち陥凹部１６が形成される面の反対側の面に、第１の端子２１、第２の端子２２、および第３の端子２３を有する。また、セラミック部材１５は、陽極１８および第１の端子２１を導通する第１の導通路２４（図３、４参照）と、陰極１９および第２の端子２２を導通する第２の導通路２５と、トリガ電極２０および第３の端子２３を導通する第３の導通路２６（図３参照）を有する。第１の端子２１、第２の端子２２、第３の端子２３、第１の導通路２４、第２の導通路２５、第３の導通路２６には、例えばタングステンが用いられる。
【００３２】
希ガス２８（図４参照）は、例えばキセノンであり、前述の光透過性部材１４および陥凹部１６により画成する密閉空間に封止される。
【００３３】
次に、第１の実施形態に係る放電器の製造方法を説明する。第１の実施形態に係る放電器の製造方法は、成形ステップ、印刷ステップ、生成ステップ、および封入ステップを含んで構成される。図６に示すように、セラミック部材１５は、例えば略矩形である第１のセラミックグリーンシート２９、略矩形である第２のセラミックグリーンシート３０、および略矩形である第３のセラミックグリーンシート３１を積層させた積層体を用いて、生成される。
【００３４】
成形ステップにおいては、加工前のセラミックグリーンシートを、第１のセラミックグリーンシート２９、第２のセラミックグリーンシート３０、および第３のセラミックグリーンシート３１それぞれに対して予め定められた形状に、成形する。例えば、第１のセラミックグリーンシート２９では、板面を貫通する、例えば角丸四角形状の孔部３２が形成されるように、成形される。また、第２のセラミックグリーンシート３０では、板面における対向する２つの短辺に円筒内面状の切欠き３３が形成されるように、成形される。第３のセラミックグリーンシート３１は、第２のセラミックグリーンシート３０同じ位置および長辺に、円筒内面状の切欠き３４、３５が形成される。
【００３５】
ここで、加工前のセラミックグリーンシートは、従来公知の方法で形成される。例えば、加工前のセラミックグリーンシートの原料の主成分には、チタニア系酸化物、ジルコン酸系酸化物、およびアルミナ等が用いられる。チタン酸バリウムを主成分とする焼結体を用いる場合には、例えば、チタン酸バリウム粉末に対して、所定量の酸化マグネシウム粉末、希土類元素の酸化物粉末および酸化マンガン粉末を配合し、さらに、必要に応じて焼結助剤としてガラス粉末を添加して素原量粉末を得る。次に、素原量粉末に有機ビヒクルを加えてセラミックスラリを調整し、次いで、ドクターブレード法またはダイコーダ法などの従来公知のシート成形法を用いて、加工前のセラミックグリーンシートが形成される。
【００３６】
成形ステップ後の印刷ステップにおいて、第２のセラミックグリーンシート３０の板面上に、陽極１８および陰極１９を印刷する。さらに、例えば、第３のセラミックグリーンシート３１の板面上に、トリガ電極２０を印刷する。図６においては、第３のセラミックグリーンシート３１の板面上にトリガ電極２０を印刷しているが、第２のセラミックグリーンシート３０における陽極１８および陰極１９の印刷面の反対側の面上に印刷してもよい。また、第３のセラミックグリーンシート３１の、第２のセラミックグリーンシート３０と対向する面の反対側の面上に、第１の端子２１、第２の端子２２、および第３の端子２３を印刷する。また、第２のセラミックグリーンシート３０の板面上および切欠き３３ならびに第３のセラミックグリーンシート３１の切欠き３４に、第１の導通路２４および第２の導通路２５を印刷する。また、少なくとも第３のセラミックグリーンシート３１の板面上および切欠き３５ならびに必要に応じて第２のセラミックグリーンシート３０の板面上に、第３の導通路２６を印刷する。
【００３７】
印刷ステップにおける、陽極１８、陰極１９、トリガ電極２０、第１の端子２１、第２の端子２２、第３の端子２３、第１の導通路２４、第２の導通路２５、および第３の導通路２６は、例えばタングステン、モリブデン、銅、銀などの金属粉末に適当な有機バインダおよび溶剤を添加混合して得た金属ペーストを、従来公知のスクリーン印刷法を用いて、印刷する。
【００３８】
印刷ステップにおいて、さらに、印刷した陰極１９の少なくとも一部の上に、例えばタングステン酸バリウム、ならびにタンタルおよびニオブの混合物の少なくとも一方を、蒸着成膜または接合させ、陰極エミッタ２７を形成する。
【００３９】
印刷ステップ後の生成ステップにおいて、第１のセラミックグリーンシート２９、第２のセラミックグリーンシート３０、および第３のセラミックグリーンシート３１を、陽極１８および陰極１９が第１のセラミックグリーンシート２９の孔部３２内に含まれ、トリガ電極２０が第２のセラミックグリーンシート３０および第３のセラミックグリーンシート３１に挟持されるように、積層して積層体を形成する。次に、積層させた積層体を焼成して、セラミック部材１５を生成する。
【００４０】
焼成条件としては、昇温速度を５℃／ｈから３００℃／ｈとして、脱脂を５００℃までの温度範囲で行い、次いで、昇温速度を２５℃／ｈから１０００℃／ｈとして、水素―窒素の混合ガスの還元雰囲気中にて１４００〜１６００℃の範囲で０．５時間から４時間焼成する。さらに、焼成後の試料に対して、酸化雰囲気中、９００℃から１１００℃で再酸化処理を行う。
【００４１】
生成ステップ後の封入ステップにおいて、希ガス雰囲気下において、セラミック部材１５の孔部３２が開放されている面を、平板状の光透過性部材１４と密着させ、希ガスを密閉空間に封入する。セラミック部材１５および光透過性部材１４の密着には、光透過性部材１４に用いるガラスより融点の低いガラスが用いられる。
【００４２】
上記成形ステップ、印刷ステップ、生成ステップ、および封入ステップを経ることにより、第１の実施形態の放電器を製造可能である。
【００４３】
以上のような構成の第１の実施形態の放電器によれば、希ガス２８の封止において、セラミック部材１５を用いるので、ガラス管のみで希ガス２８を封止する従来の放電管に比べて、耐久性が向上する。また、放電器１３においても光透過性部材１４としてガラスが用いられ得るが、希ガス２８の放電により発生する熱がガラスに比べて熱伝導性が高いセラミック部材１５により放熱され、光透過性部材１４に発生する熱応力が低減される。それゆえ、光透過性部材１４も含めた放電器１３の耐久性が向上する。
【００４４】
次に、本発明の第２の実施形態を説明する。第２の実施形態では、陽極および陰極の配置が第１の実施形態と異なっている。以下に、第１の実施形態と異なる点を中心に第２の実施形態について説明する。なお、第１の実施形態と同じ構成を有する部位には同じ符号を付す。
【００４５】
図７に示すように、第２の実施形態においては、陽極および陰極１９０は、セラミック部材１５０の陥凹部１６の底面１７でなく、例えば陥凹部１６の互いに対向する２つの内壁面のように、密閉空間内の対向する面部に配置される。陽極および陰極１９０以外の、放電器１３０の構成および機能は、第１の実施形態の放電器１３と同様である。
【００４６】
次に、第２の実施形態に係る放電器の製造方法を説明する。第２の実施形態に係る放電器の製造方法は、積層体を構成するセラミックグリーンシートの枚数、ならびに成形ステップおよび印刷ステップで行う詳細な工程以外は、第１の実施形態と同様である。
【００４７】
図８に示すように、第２の実施形態においては、セラミック部材１５０は、例えば矩形である第１のセラミックグリーンシート２９、矩形である第２のセラミックグリーンシート３００、矩形である第３のセラミックグリーンシート３１、第４のセラミックグリーンシート３６０、および第５のセラミックグリーンシート３７０を積層させた積層体を用いて、生成される。
【００４８】
第２の実施形態では、成形ステップにおいて、加工前のセラミックグリーンシートを、第１のセラミックグリーンシート２９、第２のセラミックグリーンシート３００、第３のセラミックグリーンシート３１、第４のセラミックグリーンシート３６０、および第５のセラミックグリーンシート３７０に対して予め定められた形状に、成形する。第２の実施形態では、第１のセラミックグリーンシート２９、第２のセラミックグリーンシート３００、および第３のセラミックグリーンシート３１に対して予め定められた形状は同様である。第２の実施形態において、第４のセラミックグリーンシート３６０および第５のセラミックグリーンシート３７０は、第１のセラミックグリーンシート２９と同じ位置および大きさの孔部３２が形成されるように、成形される。
【００４９】
第２の実施形態では、印刷ステップにおいて、第４のセラミックグリーンシート３６０の孔部３２を画成し、第４のセラミックグリーンシート３６０の長辺方向において互いに対向する２面上に、陽極および陰極１９０を印刷する。第１の実施形態と異なり、第２のセラミックグリーンシート３００には、陽極および陰極が印刷されない。また、第４のセラミックグリーンシート３６０板面上および第５のセラミックグリーンシート３７０の切欠き３８０に、第１の導通路および第２の導通路を印刷する。印刷ステップにおける他の工程は、第１の実施形態と同様である。
【００５０】
第２の実施形態では、生成ステップにおいて、第１のセラミックグリーンシート２９、第４のセラミックグリーンシート３６０、および第５のセラミックグリーンシート３７０を、それぞれの孔部３２を画成する壁面が連続するように、積層して、部分積層体を形成する。さらに、部分積層体が有する孔部３２の一方の開口を塞ぐように、第２のセラミックグリーンシート３００を積層し、また、トリガ電極２０が第２のセラミックグリーンシート３００および第３のセラミックグリーンシート３１に挟持されるように、第３のセラミックグリーンシート３１を積層して積層体を形成する。生成ステップにおける他の工程は、第１の実施形態と同様である。
【００５１】
第２の実施形態では、封止ステップにおける工程は、第１の実施形態と同様である。
【００５２】
以上のような構成の第２の実施形態の放電器によっても、希ガスの封止にセラミック部材１５０を用いるので、従来の放電管に比べて、耐久性が向上する。また、第１の実施形態と同様に、光透過性部材１４も含めた放電器１３０の耐久性が向上する。
【００５３】
さらに、第２の実施形態の放電器によれば、陽極および陰極１９０が互いに対向する面部に配置されるので、同一平面状に配置する構成に比べて、沿面放電が抑制され得、放電の効率が向上する。
【００５４】
次に、本発明の第３の実施形態を説明する。第３の実施形態では、光透過性部材およびセラミック部材の形状が第１の実施形態と異なっている。以下に、第１の実施形態と異なる点を中心に第３の実施形態について説明する。なお、第１の実施形態と同じ構成を有する部位には同じ符号を付す。
【００５５】
図９に示すように、第３の実施形態においては、光透過性部材１４１が、セラミック部材１５１と密着することにより密閉空間を画成する、陥凹部３９１を有する。図９においては、図４と同様に、陽極１８１、陰極１９１、トリガ電極２０、第１の端子２１、第２の端子２２、第３の端子２３、第１の導通路２４、第２の導通路２５、および第３の導通路は、説明のために厚みを強調して描かれているが、実際には薄肉状である。セラミック部材１５１は、平板状である。ただし、セラミック部材１５１も、第１の実施形態のように、陥凹部１６（図２、４参照）を有していてもよい。
【００５６】
第３の実施形態においては、セラミック部材１５１の板面上に、陽極１８１および陰極１９１が配置される。セラミック部材１５１は、第１の実施形態と同様に、トリガ電極２０、第１の端子２１、第２の端子２２、第３の端子２３、第１の導通路２４、第２の導通路２５、および第３の導通路を有する。
【００５７】
第３の実施形態においては、第１の導通路２４の一部を配置する第１の導通孔４０１が、セラミック部材１５１に形成される。また、第２の導通路２５の一部を配置する第２の導通孔４１１が、セラミック部材１５１に形成される。第１の導通孔４０１および第２の導通孔４１１は、第１の導通孔４０１および第２の導通孔４１１の少なくとも一部が、それぞれ陽極１８１および陰極１９１に覆われない位置に形成される。第１の導通孔４０１の陽極１８１側の内壁面に第１の導通路２４の一部が配置され、第１の導通孔４０１における陽極１８１から離間した位置に空隙が設けられる。同様に、第２の導通孔４１１の陰極１９１側の内壁面に第２の導通路２５の一部が配置され、第２の導通孔４１１における陰極１９１から離間した位置に空隙が設けられる。上記以外のセラミック部材１５１の構成は、第１の実施形態と同様である。
【００５８】
次に、第３の実施形態に係る放電器の製造方法を説明する。第３の実施形態に係る放電器の製造方法は、積層体を構成するセラミックグリーンシートの枚数、ならびに成形ステップ、印刷ステップ、生成ステップ、および封入ステップにおける詳細な工程以外は、第１の実施形態と同様である。
【００５９】
図１０に示すように、第２の実施形態においては、セラミック部材１５１は、例えば矩形である第２のセラミックグリーンシート３０１および矩形である第３のセラミックグリーンシート３１１を積層させた積層体を用いて、生成される。
【００６０】
第３の実施形態では、成形ステップにおいて、加工前のセラミックグリーンシートを、第２のセラミックグリーンシート３０１および第３のセラミックグリーンシート３１１に対して予め定められた形状に、成形する。第３の実施形態では、第３のセラミックグリーンシート３１１に対して予め定められた形状は、第１の実施形態と同様である。第３の実施形態では、第２のセラミックグリーンシート３０１は、板面を貫通する、例えば矩形である第１の導通孔４０１および第２の導通孔４１１が、互いに離間して形成されるように、成形される。
【００６１】
第３の実施形態では、印刷ステップにおいて、第２のセラミックグリーンシート３０１の板面上に、第１の導通孔４０１および第２の導通孔４１１それぞれの縁に接触するように、陽極１８１および陰極１９１を印刷する。さらに、第１の導通路２４および第２の導通路２５を、第２のセラミックグリーンシート３０１の第１の導通孔４０１および第２の導通孔４１１、ならびに第３のセラミックグリーンシート３１１の板面上および切欠き３４に印刷する。第１の実施形態と同様に、第３のセラミックグリーンシート３１１にトリガ電極２０、第３の端子、および第３の導通路２６を印刷する。印刷ステップにおける他の工程は、第１の実施形態と同様である。
【００６２】
第３の実施形態では、生成ステップにおいて、第２のセラミックグリーンシート３０１および第３のセラミックグリーンシート３１１を、陽極１８１および陰極１９１が露出するように、かつトリガ電極２０が第２のセラミックグリーンシート３０１および第３のセラミックグリーンシート３１１に挟持されるように、積層して積層体を形成する。次に、積層させた積層体を焼成して、セラミック部材１５１を生成する。生成ステップにおける他の工程は、第１の実施形態と同様である。
【００６３】
第３の実施形態では、封止ステップにおいて、陥凹部３９１を有する光透過性部材１４１とセラミック部材１５１とを、陽極１８１および陰極１９１が陥凹部３９１が画成する密閉空間に面するように、密着させる。封止ステップにおける他の工程は、第１の実施形態と同様である。
【００６４】
以上のような構成の第３の実施形態の放電器によっても、希ガスの封止にセラミック部材１５１を用いるので、従来の放電管に比べて、耐久性が向上する。また、第１の実施形態と同様に、光透過性部材１４１も含めた放電器１３１（図９参照）の耐久性が向上する。
【００６５】
本発明を諸図面や実施例に基づき説明してきたが、当業者であれば本開示に基づき種々
の変形や修正を行うことが容易であることに注意されたい。従って、これらの変形や修正
は本発明の範囲に含まれることに留意されたい。
【００６６】
例えば、第１の実施形態から第３の実施形態において、トリガ電極２０はセラミック部材１５、１５０、１５１に埋設される構成であるが、必ずしも埋設させる必要はない。それゆえ、セラミック部材１５、１５０、１５１を、少なくとも１層のセラミックグリーンシートを用いて製造することも可能である。
【００６７】
また、発光装置１２が用いられるのは、撮像装置１０に限定されず、例えば、図１１に示すように、発光装置１２を消毒滅菌装置４２に設けても、図１２に示すように、発光装置１２を脱毛処理機４３などに設けてもよい。従来用いられていたキセノン管を有する発光装置の代わりに、発光装置１２を消毒滅菌装置および脱毛処理機などに設けることにより、発光面積が拡大され、その結果、照射光の照射範囲が拡大され得る。
【符号の説明】
【００６８】
１０  撮像装置
１１  光学系
１２  発光装置
１３、１３０  放電器
１４、１４１  光透過性部材
１５、１５０、１５１  セラミック部材
１６  セラミック部材の陥凹部
１７  底面
１８  陽極
１９、１９０  陰極
２０  トリガ電極
２１  第１の端子
２２  第２の端子
２３  第３の端子
２４  第１の導通路
２５  第２の導通路
２６  第３の導通路
２７  陰極エミッタ
２８  希ガス
２９  第１のセラミックグリーンシート
３０、３００、３０１  第２のセラミックグリーンシート
３１、３１１  第３のセラミックグリーンシート
３２  孔部
３３  第２のセラミックグリーンシートの切欠き
３４  第３のセラミックグリーンシートの切欠き
３５  第３のセラミックグリーンシートの切欠き
３６０  第４のセラミックグリーンシート
３７０  第５のセラミックグリーンシート
３８０  第５のセラミックグリーンシートの切欠き
３９１  光透過性部材の陥凹部
４０１  第１の導通孔
４１１  第２の導通孔
４２  消毒滅菌装置
４３  脱毛処理機
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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