(57)【要約】【課題】柔軟性を有し、設置の自由度を向上させることができるプラズマ生成素子を提供する。【解決手段】プラズマ生成素子１は、互いに並行して配置された複数の導電線部２０と、複数の導電線部２０を絶縁被覆する複数の絶縁被覆部３０とを備え、複数の絶縁被覆部３０の各々は、隣り合う絶縁被覆部３０間においてプラズマが生成可能な隙間Ｒが形成されるように複数の導電線部２０の各々の延在方向における所定の長さにわたって設けられ、これにより複数の絶縁被覆部３０によって覆われている部分の複数の導電線部２０と複数の絶縁被覆部３０とによってプラズマ生成部が構成され、複数の導電線部２０および複数の絶縁被覆部３０は、いずれも柔軟性を有し、隣り合う導電線２０間部の各々において電位差を発生させることにより、プラズマ生成部においてプラズマが生成可能に構成されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
誘電体バリア放電が生じることでプラズマを生成するプラズマ生成部を有するプラズマ生成素子であって、
互いに並行して配置された複数の導電線部と、
前記複数の導電線部を絶縁被覆する複数の絶縁被覆部とを備え、
前記複数の絶縁被覆部の各々は、隣り合う絶縁被覆部間においてプラズマが生成可能な隙間が形成されるように前記複数の導電線部の各々の延在方向における所定の長さにわたって設けられ、これにより前記複数の絶縁被覆部によって覆われている部分の前記複数の導電線部と前記複数の絶縁被覆部とによって前記プラズマ生成部が構成され、
前記複数の導電線部および前記複数の絶縁被覆部は、いずれも柔軟性を有し、
隣り合う導電線部間の各々において電位差を発生させることにより、前記プラズマ生成部においてプラズマが生成可能に構成された、プラズマ生成素子。
【請求項２】
互いに隣り合う前記絶縁被覆部は、一端側から他端側にかけて少なくとも一部において連結されている、請求項１に記載のプラズマ生成素子。
【請求項３】
前記複数の導電線部は、平面上、曲面上、または環状に配置される、請求項１または２に記載のプラズマ生成素子。
【請求項４】
前記複数の導電線部が、延在方向の少なくとも一部において、それぞれが対応して同一方向に曲がることにより、前記プラズマ生成部が曲がり部を有する、請求項１または２に記載のプラズマ生成素子。
【請求項５】
前記プラズマ生成部を構成する１組の前記複数の導電線部および前記複数の絶縁被覆部が、複数組設けられることにより、前記プラズマ生成部を複数有している、請求項１から４のいずれか１項に記載のプラズマ生成素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、誘電体バリア放電を生じさせてプラズマを生成するプラズマ生成素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
機械的強度を備え、高湿空気中や水中等の環境下においてプラズマを生成可能なプラズマ生成装置が開示された文献として、特許第３０１５２６８号公報（特許文献１）が挙げられる。
【０００３】
特許文献１に開示のプラズマ生成装置は、棒状の導電体を棒状のセラミックス誘電体に設けた長尺方向の貫通孔に挿入し、ガラスまたは接着剤で導電体およびセラミックス誘電体を一体に接合、封止することにより構成される電極を複数備え、これら複数の電極をセラミックス誘電体において線接触の状態で接合することにより構成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３０１５２６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載のプラズマ生成装置にあっては、誘電体がセラミックスで形成されている。このため、プラズマ生成装置を設置する場合には、直線状にしか配置することができない。
【０００６】
電気機器等の内部にプラズマ生成装置を設置する場合には、構成部品の形状や、構成部品との位置関係により、設置空間が制限される。当該設置空間のサイズは、構成部品の大きさ、組み付け位置のバラツキにより、変動する。このため、設置空間のサイズが、プラズマ生成装置の大きさよりも小さくなる場合がある。かかる場合には、定形を有するプラズマ生成装置を準備しても、これを設置できなくなる。
【０００７】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、柔軟性を有し、設置の自由度を向上させることができるプラズマ生成素子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に基づくプラズマ生成素子は、誘電体バリア放電が生じることでプラズマを生成するプラズマ生成部を有するプラズマ生成素子であって、互いに並行して配置された複数の導電線部と、上記複数の導電線部を絶縁被覆する複数の絶縁被覆部とを備え、上記複数の絶縁被覆部の各々は、隣り合う絶縁被覆部間においてプラズマが生成可能な隙間が形成されるように上記複数の導電線部の各々の延在方向における所定の長さにわたって設けられ、これにより上記複数の絶縁被覆部によって覆われている部分の上記複数の導電線部と上記複数の絶縁被覆部とによって上記プラズマ生成部が構成され、上記複数の導電線部および上記複数の絶縁被覆部は、いずれも柔軟性を有し、隣り合う導電線間部の各々において電位差を発生させることにより、上記プラズマ生成部においてプラズマが生成可能に構成されている。
【０００９】
上記本発明に基づくプラズマ生成素子にあっては、互いに隣り合う上記絶縁被覆部は、上記一端側から上記他端側にかけて少なくとも一部において連結されていてもよい。
【００１０】
上記本発明に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記複数の導電線部は、平面上、曲面上、または環状に配置されることが好ましい。
【００１１】
上記本発明に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記複数の導電線部が、延在方向の少なくとも一部において、それぞれが対応して同一方向に曲がることにより、上記プラズマ生成部が曲がり部を有していてもよい。
【００１２】
上記本発明に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記プラズマ生成部を構成する１組の上記複数の導電線部および上記複数の絶縁被覆部が、複数組設けられることにより、上記プラズマ生成部を複数有していてもよい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、柔軟性を有し、設置の自由度を向上させることができるプラズマ生成素子を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施の形態１に係るプラズマ生成素子を具備するプラズマ生成装置の概略図である。
【図２】実施の形態１に係るプラズマ生成素子の断面図である。
【図３】実施の形態２に係るプラズマ生成素子を具備するプラズマ生成装置の概略図である。
【図４】実施の形態３に係るプラズマ生成素子の断面図である。
【図５】実施の形態４に係るプラズマ生成素子を具備するプラズマ生成装置の概略図である。
【図６】実施の形態４に係るプラズマ生成素子の断面図である。
【図７】実施の形態５に係るプラズマ生成素子を具備するプラズマ生成装置の概略図である。
【図８】実施の形態５に係るプラズマ生成素子の効果を説明するための図である。
【図９】実施の形態６に係るプラズマ生成素子を具備するプラズマ装置の概略図である。
【図１０】実施の形態７に係る空気清浄機の内部構成を示す断面図である。
【図１１】実施の形態７に係る空気清浄機の背面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照して詳細に説明する。なお、以下に示す実施の形態においては、同一のまたは共通する部分について図中同一の符号を付し、その説明は繰り返さない。
【００１６】
（実施の形態１）
図１は、本実施の形態に係るプラズマ生成素子を具備するプラズマ生成装置の概略図である。図２は、本実施の形態に係るプラズマ生成素子の断面図である。図１および図２を参照して、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００およびプラズマ生成素子１について説明する。
【００１７】
図１に示すように、プラズマ生成装置１００は、プラズマ生成素子１および高電圧回路５０を備える。図１および図２に示すように、プラズマ生成素子１は、複数の被覆導線１０を備える。
【００１８】
複数の被覆導線１０は、互いに所定の間隔をあけて平行に並んで配置されている。複数の被覆導線１０は、同一平面上に配置されている。複数の被覆導線１０は、互いに対向する一対の支持プレート６０によって支持されている。
【００１９】
一対の支持プレート６０には、複数の被覆導線１０の数に応じて複数の穴部が設けられている。複数の穴部のそれぞれに、複数の被覆導線１０が挿入される。これにより、複数の被覆導線１０の両端が、一対の支持プレート６０によって支持される。
【００２０】
複数の被覆導線１０のそれぞれが柔軟性を有する。これにより、一対の支持プレート６０間の距離が可変となる。複数の被覆導線１０のそれぞれは、導電線部としての導電線２０と絶縁被覆部としての絶縁被覆層３０とを含む。
【００２１】
複数の導電線２０は、柔軟性を有する金属線である。複数の導電線２０のそれぞれは、直線状に設けられている。複数の導電線２０は、互いに並行して配置されている。複数の導電線２０は、延在方向に交差する方向に並んで配置されている。
【００２２】
複数の絶縁被覆層３０は、柔軟性を有する絶縁性樹脂部材によって構成されている。複数の絶縁被覆層３０のそれぞれは、互いに隣り合う絶縁被覆層３０においてプラズマが生成可能な隙間Ｒが形成されるように複数の導電線２０の各々の延在方向における所定の長さにわたって設けられている。
【００２３】
絶縁被覆層３０は、導電線２０の少なくとも一方の端部が露出するように導電線２０を被覆している。互いに隣り合う絶縁被覆層３０のうち一方の絶縁被覆層３１は、互いに隣接する導電線２０の一方の導電線２１の一端側が露出するように当該導電線２１が覆われている。互いに隣り合う絶縁被覆層３０のうち一方の絶縁被覆層３２は、互いに隣接する導電線２０の一方の導電線２２の他端側（上記一端側と反対側）が露出するように当該導電線２２が覆われている。
【００２４】
互いに隣り合う導電線２０のうち一方側の導電線２１の一端側に接続される配線５１と、互いに隣り合う導電線２０のうち他方側の導電線２２の他端側（上記一端側と反対側）に接続される配線５２との間に、高電圧回路５０が設けられている。一方側の導電線２１は、並列に接続されている。他方側の導電線２２は、並列に接続されている。
【００２５】
高電圧回路５０は、不図示の電源から供給される電圧から高電圧を発生させる。高電圧回路５０は、高周波、高電圧を互いに隣り合う導電線２０間に印加する。これにより、互いに隣り合う導電線２０間の各々において電位差を発生させる。互いに隣り合う導電線２０間に印加される電圧は、交流電圧であることが好ましい。
【００２６】
上述のように互いに隣り合う被覆導線１０が近接して配置されることにより、互いに隣り合う絶縁被覆層３０との間にプラズマが生成可能な隙間Ｒが形成される。
【００２７】
当該隙間Ｒにおいて、所定の放電条件を充足することによりプラズマを生成することができる。具体的には、互いに隣り合う絶縁被覆層３０の距離と雰囲気圧力（流体圧力）との積に応じて決定される放電開始電圧以上の電圧が互いに隣り合う導電線２０間に印加されることにより、誘電体バリア放電が発生しプラズマが生成される。
【００２８】
プラズマが生成されると、互いに隣り合う導電線２０間の電位差により、プラズマ中の荷電粒子が互いに隣り合う絶縁被覆層３０の表面に蓄積され、プラズマの生成が終了する。この際、互いに隣り合う絶縁被覆層３０の一方の絶縁被覆層３１の表面には、互いに隣り合う導電線２０の一方の導電線２１とは反対の極性を有する電荷が蓄積される。互いに隣り合う絶縁被覆層３０の他方の絶縁被覆層３２の表面には、互いに隣り合う導電線２０の他方の導電線２２とは反対の極性の電荷が蓄積される。
【００２９】
続いて、互いに隣り合う導電線２０間に反対の極性を有する電圧が印加されると、蓄積された電荷が作る電界と、互いに隣り合う導電線２０間に印加された電圧による電界とにより、再びプラズマが生成される。
【００３０】
互いに隣り合う導電線２０間に印加される電圧の極性が反転する毎に誘電体バリア放電が繰り返し行われる。このように、複数の絶縁被覆層３０によって覆われている部分の複数の導電線２０と複数の絶縁被覆層３０とによってプラズマ生成部Ｐが構成される。
【００３１】
隣り合う絶縁被覆層３０間の隙間Ｒのそれぞれにおいて、絶縁被覆層３０の一端側から他端側にかけてプラズマが生成されるため、広範囲にプラズマを生成することが可能となる。このため、処理対象気体とプラズマ生成部との接触効率を向上させることが可能となる。
【００３２】
プラズマを発生させつつ、プラズマ生成装置１００に空気等の処理対象気体を複数の導電線２０が配置される同一平面に平行な方向に沿って通過させることにより、処理対象気体中に存在する菌やウイルスの不活化、または、臭気等の処理対象気体中に含まれる不純物ガスの分解除去を行なうことができる。これにより処理対象気体を浄化することができる。
【００３３】
本実施の形態に係るプラズマ生成素子１は、複数の導電線２０および複数の絶縁被覆層３０が柔軟性を有することにより、曲げ変形が可能となる。複数の導電線２０を延在方向の少なくとも一部においてそれぞれを対応して同一方向に曲げることにより、複数の導電線２０の両端間の距離を変動させることができる。たとえば、上述のように一対の支持プレート６０によって複数の導電線２０を支持するような場合には、一対の支持プレート６０間の距離を変動させることができる。これにより、当該プラズマ生成素子１、およびこれを備えたプラズマ生成装置１００の設置の自由度を向上させることができる。
【００３４】
なお、本実施の形態においては、一方側の導電線２１が並列に接続されている場合を例示して説明したが、これに限定されず、直列に接続されていてもよい。この場合には、一方側の導電線２１が一端側と他端側にて交互に接続される。同様に、他方側の導電線２１が並列に接続されている場合を例示して説明したが、これに限定されず、直列に接続されていてもよい。この場合には、他方側の導電線２１が一端側と他端側にて交互に接続される。
【００３５】
（実施の形態２）
図３は、本実施の形態に係るプラズマ生成素子を具備するプラズマ生成装置の概略図である。図３を参照して、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００Ａおよびプラズマ生成素子１Ａについて説明する。
【００３６】
図３に示すように、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００Ａは、実施の形態１に係るプラズマ生成装置１００と比較した場合に、プラズマ生成素子１Ａの構成が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
【００３７】
プラズマ生成素子１Ａは、第１被覆導線１０Ａ、第２被覆導線１０Ｂ、および高電圧回路５０を備える。第１被覆導線１０Ａおよび第２被覆導線１０Ｂは、柔軟性を有する。第１被覆導線１０Ａおよび第２被覆導線１０Ｂは、導電線と、これを被覆する絶縁被覆層とを含む。第１被覆導線１０Ａおよび第２被覆導線１０Ｂは、互いに対向する一対の支持プレート６０によって支持されている。
【００３８】
一対の支持プレート６０のそれぞれには、複数の穴部が支持プレートの延在方向に沿って並んで設けられている。第１被覆導線１０Ａは、一つ置きに穴部に挿入される。第１被覆導線１０Ａは、一対の支持プレート６０の外側にて、一対の支持プレート６０の内側に向かうように折り返される。第１被覆導線１０Ａは、一対の支持プレート６０の一方側および他方側にて交互に折り返される。
【００３９】
第１被覆導線１０Ａは、複数の第１被覆導線部１０Ａ１、および複数の折り返し部１０Ａ２を含む。複数の第１被覆導線部１０Ａ１は、一対の支持プレート６０の内側に位置し、複数の折り返し部１０Ａ２は、一対の支持プレート６０の外側に位置する。
【００４０】
複数の第１被覆導線部１０Ａ１は、直線状に延在する。複数の第１被覆導線部１０Ａ１は、互いに並行して配置されている。複数の第１被覆導線部１０Ａ１は、直線状に延在する延在方向に交差する方向（図３中において略直交する方向）に並んで配置されている。複数の第１被覆導線部１０Ａ１は、同一平面上に配置されている。
【００４１】
複数の第１被覆導線部１０Ａ１は、それぞれ導電線部およびこれを延在方向の一方側から他方側にわたって被覆する絶縁被覆部を有する。
【００４２】
第２被覆導線１０Ｂは、第１被覆導線１０Ａが挿入される穴部とは異なる穴部に挿入される。第２被覆導線１０Ｂは、一対の支持プレート６０の外側にて、一対の支持プレート６０の内側に向かうように折り返される。第２被覆導線１０Ｂは、一対の支持プレート６０の一方側および他方側にて交互に折り返される。
【００４３】
第２被覆導線１０Ｂは、複数の第２被覆導線部１０Ｂ１、および複数の折り返し部１０Ｂ２を含む。複数の第２被覆導線部１０Ｂ１は、一対の支持プレート６０の内側に位置し、複数の折り返し部１０Ｂ２は、一対の支持プレート６０の外側に位置する。
【００４４】
複数の第２被覆導線部１０Ｂ１は、直線状に延在する。複数の第２被覆導線部１０Ｂ１は、互いに並行して配置されている。複数の第２被覆導線部１０Ｂ１は、直線状に延在する延在方向に交差する方向（図３中において略直交する方向）に並んで配置されている。複数の第２被覆導線部１０Ｂ１は、同一平面上に配置されている。
【００４５】
複数の第２被覆導線部１０Ｂ１は、それぞれ導電線部およびこれを延在方向の一方側から他方側にわたって被覆する絶縁被覆部を有する。
【００４６】
複数の第１被覆導線部１０Ａ１および複数の第２被覆導線部１０Ｂ１は、延在方向に交差する方向（図３中において略直交する方向）に交互に並ぶように配置されている。これにより、複数の第１被覆導線部１０Ａ１および複数の第２被覆導線部１０Ｂ１に含まれる複数の導電線部は、互いに並行して配置される。また、複数の第１被覆導線部１０Ａ１および複数の第２被覆導線部１０Ｂ１に含まれる複数の絶縁被覆部は、互いに隣り合う導電線部間においてプラズマ生成可能な隙間が形成される。
【００４７】
第１被覆導線１０Ａの導電線の一端側に接続される配線５１と、第２被覆導線１０Ｂの一端側に接続される配線５２との間に、高電圧回路５０が設けられている。
【００４８】
高電圧回路５０は、高周波、高電圧を第１被覆導線１０Ａの導電線および第２被覆導線１０Ｂの導電線間に印加する。これにより、互いに隣り合う導電線部間の各々において電位差を発生させる。互いに隣り合う導電線部間に印加される電圧は、交流電圧であることが好ましい。
【００４９】
上述のように、互いに隣り合う導電線部が近接して配置されることにより、互いに隣り合う絶縁被覆部との間にプラズマが生成可能な隙間が形成される。
【００５０】
本実施の形態においても、実施の形態１と同様に、当該隙間において、所定の放電条件を充足することによりプラズマを生成することができる。具体的には、互いに隣り合う第１被覆導線１０Ａの導線部と第２被覆導線１０Ｂの導電線部間の距離と雰囲気圧力（流体圧力）との積に応じて決定される放電開始電圧以上の電圧が互いに隣り合う第１被覆導線１０Ａの導線部と第２被覆導線１０Ｂの導電線部間に印加されることにより、誘電体バリア放電が発生し、プラズマが生成される。
【００５１】
このように、複数の絶縁被覆部によって覆われている部分の複数の導電線部と複数の絶縁被覆部とによってプラズマ生成部Ｐが構成される。
【００５２】
以上のように、本実施の形態に係るプラズマ生成素子１Ａにあっても、第１被覆導線１０Ａおよび第２被覆導線１０Ｂが柔軟性を有することにより、曲げ変形が可能となる。これにより、第１被覆導線１０Ａに含まれる複数の第１被覆導線部１０Ａ１および第２被覆導線１０Ｂに含まれる複数の第２被覆導線部１０Ｂ１をこれら延在方向の少なくとも一部においてそれぞれを対応して同一方向に曲げることにより、複数の第１被覆導線部１０Ａ１および複数の第２被覆導線部１０Ｂ１の両端間の距離を変動させることができる。たとえば、上述のように一対の支持プレート６０によって第１被覆導線１０Ａおよび第２被覆導線１０Ｂを支持するような場合には、一対の支持プレート６０間の距離を変動させることができる。これにより、当該プラズマ生成素子１Ａ、およびこれを備えたプラズマ生成装置１００Ａの設置の自由度を向上させることができる。
【００５３】
（実施の形態３）
図４は、本実施の形態に係るプラズマ生成素子の断面図である。図４を参照して、本実施の形態に係るプラズマ生成素子１Ｂについて説明する。
【００５４】
図４に示すように、本実施の形態に係るプラズマ生成素子１Ｂは、実施の形態１に係るプラズマ生成素子１と比較した場合に、互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｂが連結部３３を介して連結されている点において相違する。その他の構成についてはほぼ同様である。
【００５５】
互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｂは、一端側から他端側にかけて連結部３３を介して接続されている。複数の導電線２０を被覆する複数の絶縁被覆部３０Ｂと、連結部３３とは、たとえば押出し成形等によって一体に成形されている。絶縁被覆部３０Ｂおよび連結部３３は、柔軟性を有する絶縁性樹脂部材によって構成されている。
【００５６】
なお、互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｂが連結された複数の被覆導線１０を一対のプレートにて支持する場合には、一対のプレートのそれぞれには、プレートの延在方向に延びる挿入部が設けられる。複数の被覆導線１０の両端が、一対の支持プレートの挿入部にそれぞれ挿入されることにより、複数の被覆導線１０が一対のプレートに支持される。
【００５７】
連結部３３を介して絶縁被覆部３０Ｂが連結されるため、互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｂ間の距離（隙間Ｒの距離）を一端側から他端側にかけてほぼ一定にすることができる。
【００５８】
互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｂ間の隙間において、所定の放電条件を充足することによりプラズマを生成することができる。具体的には、互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｂの距離と雰囲気圧力（流体圧力）との積に応じて決定される放電開始電圧以上の電圧が互いに隣り合う導電線２０間に印加されることにより、誘電体バリア放電が発生しプラズマが生成される。
【００５９】
上述のように、互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｂ間の距離は、一端側から他端側にかけてほぼ一定であるため、絶縁被覆部３０Ｂの一端側から他端側にかけて隙間Ｒにおいてプラズマを安定して生成することができる。
【００６０】
本実施の形態に係るプラズマ生成素子１Ｂにあっても、複数の導電線２０、複数の絶縁被覆部３０Ｂおよび複数の連結部３３が柔軟性を有することにより、曲げ変形が可能となる。複数の導電線２０を延在方向の少なくとも一部においてそれぞれを対応して同一方向に曲げることにより、複数の導電線２０の両端間の距離を変動させることができる。たとえば、上述のように一対の支持プレートによって複数の導電線２０を支持するような場合には、一対の支持プレート間の距離を変動させることができる。これにより、当該プラズマ生成素子１Ｂ、およびこれを備えたプラズマ生成装置１００の設置の自由度を向上させることができる。
【００６１】
なお、本実施の形態においては、複数の絶縁被覆部３０Ｂと連結部３３とが一体に成形されることにより、互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｂが連結される場合を例示して説明したが、これに限定されず、互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｂが接着剤等によって線接触した状態で連結されてもよい。
【００６２】
また、本実施の形態においては、互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｂは、一端側から他端側にかけて連結部３３を介して接続されている場合を例示して説明したが、これに限定されず、少なくとも一端側から他端側にかけて少なくとも一部において連結されていればよい。たとえば、上述のように一対の支持プレートによって支持される場合には、一対の支持プレートの外側においては、互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｂが連結されていなくてもよい。
【００６３】
（実施の形態４）
図５は、本実施の形態に係るプラズマ生成素子を具備するプラズマ生成装置の概略図である。図６は、本実施の形態に係るプラズマ生成素子の断面図である。図５および図６を参照して、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００Ｃおよびプラズマ生成素子１Ｃについて説明する。
【００６４】
図５および図６に示すように、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００Ｃは、実施の形態３に係るプラズマ生成装置１００Ｂと比較した場合に、プラズマ生成素子１Ｃの構成が相違する。
【００６５】
プラズマ生成素子１Ｃにおいては、複数の被覆導線１０が環状に配置されている。複数の絶縁被覆部３０Ｃは、複数の導電線２０を被覆する。互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｃは、一端側から他端側にかけて連結部３３を介して連結されている。
【００６６】
複数の絶縁被覆部３０Ｃと、連結部３３とは、たとえば押出し成形等によって一体に成形されている。絶縁被覆部３０Ｃおよび連結部３３は、柔軟性を有する絶縁性樹脂部材によって構成されている。
【００６７】
互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｃが連結された複数の被覆導線１０は、中央部に開口部を有する一対の環状部材６０Ｃによって支持される。一対の環状部材６０Ｃを複数の被覆導線１０の両端に嵌め込むことにより、複数の被覆導線１０が一対の環状部材６０Ｃに支持される。一対の環状部材６０Ｃは、複数の被覆導線１０の外周側に嵌め込込まれる。
【００６８】
連結部３３を介して絶縁被覆部３０Ｃが連結されるため、環状に配列されている複数の被覆導線１０の外側および内側のそれぞれにて、互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｃ間の距離（隙間Ｒの距離）を一端側から他端側にかけてほぼ一定にすることができる。
【００６９】
互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｃ間の隙間において、所定の放電条件を充足することによりプラズマを生成することができる。具体的には、互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｃの距離と雰囲気圧力（流体圧力）との積に応じて決定される放電開始電圧以上の電圧が互いに隣り合う導電線２０間に印加されることにより、誘電体バリア放電が発生しプラズマが生成される。
【００７０】
上述のように、互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｃ間の距離は、一端側から他端側にかけてほぼ一定であるため、絶縁被覆部３０Ｃの一端側から他端側にかけて隙間Ｒにおいてプラズマを安定して生成することができる。
【００７１】
本実施の形態に係るプラズマ生成素子１Ｃにあっても、複数の導電線２０、複数の絶縁被覆部３０Ｃおよび複数の連結部３３が柔軟性を有することにより、曲げ変形が可能となる。複数の導電線２０を延在方向の少なくとも一部においてそれぞれを対応して同一方向に曲げることにより、複数の導電線２０の両端間の距離を変動させることができる。たとえば、上述のように一対の環状部材６０Ｃによって複数の導電線２０を支持するような場合には、一対の環状部材６０Ｃ間の距離を変動させることができる。これにより、当該プラズマ生成素子１Ｃ、およびこれを備えたプラズマ生成装置１００Ｃの設置の自由度を向上させることができる。
【００７２】
さらに、複数の導電線２０を環状に配置することにより、絶縁被覆部３０Ｃの内側にて生成されるプラズマは、複数の被覆導線１０によって囲まれる空間内に留めることができる。複数の導電線２０の延在方向に沿って処理対象気体を当該空間に対して通過させることにより、処理対象気体中に存在する菌やウイルスの不活化、または、臭気等の処理対象気体中に含まれる不純物ガスの分解除去を効率よく行なうことができる。これにより、処理対象気体を効率よく浄化することができる。
【００７３】
（実施の形態５）
図７は、本実施の形態に係るプラズマ生成素子を具備するプラズマ生成装置の概略図である。図７を参照して、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００Ｄについて説明する。
【００７４】
本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００Ｄは、実施の形態に係るプラズマ生成装置１００と比較した場合にプラズマ生成素子１Ｄの構成が相違する。
【００７５】
プラズマ生成素子１Ｄは、複数の被覆導線１０が延在方向の少なくとも一部において、それぞれが対応して同一方向に曲がっている。これにより、複数の被覆導線１０に含まれる複数の導電線および複数の被覆導線も上記延在方向の少なくとも一部において、それぞれが対応して同一方向に曲がっている。
【００７６】
このため、複数の絶縁被覆層によって覆われている部分の複数の導電線部と複数の絶縁被覆層とによって構成されるプラズマ生成部Ｐも曲がり部を有する。
【００７７】
図８は、本実施の形態に係るプラズマ生成素子の効果を説明するための図である。図８においては、折り曲げ後の状態にある複数の被覆導線を実線で示し、折り曲げ前の状態にある複数の被覆導線を二点鎖線で示している。図８を参照して、本実施の形態に係るプラズマ生成素子１Ｄの効果について説明する。
【００７８】
図８に示すように、折り曲げ前の状態にある複数の被覆導線１０は、直線状に延在する。折り曲げ前の状態にある複数の被覆導線１０にあっては、一端から他端までの距離がＬ１である。言い換えると、被覆導線１０の延在方向の長さは、Ｌ１である。
【００７９】
上述のように折り曲げられた折り曲げ後の状態にある複数の被覆導線１０においては、一端から他端までの距離がＬ２となる。Ｌ２は、Ｌ１よりも小さくなっている。折り曲げ後の状態にある複数の被覆導線１０は、一端から他端までの距離が折り曲げ前の状態よりも短くなるため、より小さい設置空間内にプラズマ生成素子１Ｄを設置することができる。
【００８０】
一方で、折り曲げ後の状態においては、被覆導線１０の延在方向の長さ自体は、Ｌ１であるため、互いに隣り合う絶縁被覆層間の隙間も被覆導線の延在方向に沿ってＬ１の長さで形成される。
【００８１】
このため、本実施の形態に係るプラズマ生成素子１Ｄは、Ｌ２の長さを有する設置空間内に、Ｌ２長さで直線状に延在する複数の被覆導線を配置する場合と比較して、プラズマ生成部Ｐの領域を広くすることができる。これにより、複数の導電線の延在方向に沿って処理対象気体を当該空間に対して通過させることにより、処理対象気体中に存在する菌やウイルスの不活化、または、臭気等の処理対象気体中に含まれる不純物ガスの分解除去を効率よく行なうことができる。これにより、処理対象気体を効率よく浄化することができる。
【００８２】
また、本実施の形態に係るプラズマ生成素子１Ｄにあっても、複数の被覆導線に含まれる複数の導電線、複数の絶縁被覆部および複数の連結部が柔軟性を有することにより、曲げ変形が可能となる。折り曲げ後の状態からさらに複数の導電線を延在方向の少なくとも一部においてそれぞれを対応して同一方向に曲げることにより、複数の導電線の両端間の距離を変動させることができる。これにより、当該プラズマ生成素子１Ｄ、およびこれを備えたプラズマ生成装置１００Ｄの設置の自由度を向上させることができる。
【００８３】
本実施の形態においては、複数の被覆導線１０が同一平面内において曲がっている場合を例示して説明したが、複数の被覆導線１０が曲面を形成するように曲がっていてもよい。
【００８４】
（実施の形態６）
図９は、本実施の形態に係るプラズマ生成素子を具備するプラズマ装置の概略図である。図９を参照して、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００Ｅについて説明する。
【００８５】
図９に示すように、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００Ｅは、実施の形態１に係るプラズマ生成装置１００と比較した場合に、プラズマ生成素子１Ｅの構成が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
【００８６】
プラズマ生成素子１Ｅは、複数の被覆導線１０を備える。複数の被覆導線１０のそれぞれは、導電線およびこれを被覆する絶縁被覆層を有する。互いに隣り合う絶縁被覆層は、実施の形態３と同様に連結部を介して一端部側から他端部側にかけて連結されている。
【００８７】
複数の被覆導線１０は、直線状に延在する部分とＵ字状に湾曲する部分とが交互に連続するように蛇行状に設けられている。複数の被覆導線１０は、互いに対向する一対の支持プレートによって支持されている。
【００８８】
複数の被覆導線１０は、互いに対向する一対の支持プレート６０によって支持されている。一対の支持プレート６０は、一方向（図９中において上方）に延在する。一対の支持プレート６０のそれぞれは、連結された複数の被覆導線１０を挿入可能な挿入部を複数有する。当該複数の挿入部は、上記一方向に沿って並んで配置されている。
【００８９】
複数の被覆導線１０は、一対の支持プレート６０の外側にて、一対の支持プレート６０の内側に向かうように折り返される。複数の被覆導線１０は、一対の支持プレート６０の一方側および他方側にて交互に折り返される。
【００９０】
蛇行しながら延在する複数の被覆導線１０のうち直線状に延在する部分においては、複数の絶縁被覆部の各々は、隣り合う絶縁被覆部間においてプラズマが生成可能な隙間が形成されるように設けられている。
【００９１】
当該隙間において、所定の放電条件を充足することによりプラズマを生成することができる。具体的には、互いに隣り合う被覆導線１０の導電線部間の距離と雰囲気圧力（流体圧力）との積に応じて決定される放電開始電圧以上の電圧が互いに隣り合う被覆導線１０の導線部間に印加されることにより、誘電体バリア放電が発生し、プラズマが生成される。
【００９２】
このように、直線状に延在する部分において、複数の絶縁被覆部によって覆われている部分の複数の導電線部と複数の絶縁被覆部とによってプラズマ生成部Ｐが構成される。
【００９３】
直線状に延在する部分は、複数設けられている。複数の直線状に延在する部分は、上記一方向に沿って並んで配置されている。複数の直線状に延在する部分は、互いに平行に位置している。
【００９４】
直線状に延在する部分が、複数設けられることにより、プラズマ生成部Ｐも複数設けられる。複数のプラズマ生成部Ｐは、上記一方向に沿って並んで配置されている。複数のプラズマ生成部Ｐは、互いに平行に位置している。
【００９５】
プラズマ生成素子１Ｅにおいては、複数のプラズマ生成部Ｐが構成されている。複数の被覆導線１０が並ぶ方向に平行に処理対象気体を流動させることにより、効率よく処理対象気体を清浄化させることができる。
【００９６】
本実施の形態に係るプラズマ生成素子１Ｅは、複数の被覆導線１０に含まれる導電線２０および複数の絶縁被覆層３０が柔軟性を有することにより、曲げ変形が可能となる。複数の被覆導線１０を蛇行状に延在させることにより、複数のプラズマ生成部Ｐを形成することができ、広範囲に亘って処理対象気体を清浄化することができる。
【００９７】
また、複数の被覆導線１０のうち直線状に延在する部分において、当該延在方向の少なくとも一部においてそれぞれを対応して同一方向に曲げることにより、複数の導電線２０の両端間の距離を変動させることができる。たとえば、上述のように一対の支持プレート６０によって複数の被覆導線１０を支持するような場合には、一対の支持プレート６０間の距離を変動させることができる。これにより、当該プラズマ生成素子１Ｅ、およびこれを備えたプラズマ生成装置１００Ｅの設置の自由度を向上させることができる。
【００９８】
なお、本実施の形態においては、蛇行状に延在する複数の被覆導線１０のうち直線状に延在する部分が互いに平行に位置することにより、複数のプラズマ生成部Ｐが平行に位置する場合を例示して説明したが、これに限定されず、実施の形態１から実施の形態５に係るプラズマ生成素子を、複数の導電線部が配置される平面に対して直交する方向に数並べて配置することにより、複数のプラズマ生成部を設けてもよい。なお、プラズマ生成部Ｐを広範囲にわたって形成するために、複数のプラズマ生成素子を同一平面上に設けてもよい。
【００９９】
（実施の形態７）
図１０は、本実施の形態に係る空気清浄機の内部構成を示す断面図である。図１１は、本実施の形態に係る空気清浄機の背面図である。図１０および図１１を参照して、本実施の形態に係る空気清浄機２００について説明する。なお、空気清浄機２００は、プラズマ生成装置を具備する電子機器の一例であり、プラズマ生成装置としては、たとえば実施の形態１に係るプラズマ生成装置１００が用いられる。
【０１００】
図１０および図１１に示すように、空気清浄機２００は、プラズマ生成装置１００、吸込口２２０および吹出口２３０が設けられた本体部２１０、送風経路２４０および送風部としての送風機２５０を備える。
【０１０１】
吸込口２２０は、本体部２１０の背面側に設けられている。吹出口２３０は、本体部２１０の上方に設けられている。送風経路２４０は、本体部２１０内に設けられ、吸込口２２０および吹出口２３０を接続する。送風経路２４０内には、送風機２５０が設けられている。送風経路２４０の一部は、送風機２５０のケーシングによって規定される。
【０１０２】
送風機２５０は、吸込口２２０から吸い込んだ空気を吹出口２３０に向けて送風する。送風機２５０としては、シロッコファン、クロスフローファン等の各種の送風機を採用することができる。
【０１０３】
プラズマ生成装置１００は、送風経路２４０に配置される。具体的には、プラズマ生成装置１００は、吸込口２２０近傍の位置や、送風機２５０と吹出口２３０との間に位置する送風経路２４０に配置される。プラズマ生成装置１００は、たとえば、被覆導線１０の延在方向と送風方向とが略平行となるように配置される。なお、プラズマ生成装置１００は、送風する送風の圧力損失が小さくなるように配置されていればよく、上述のように被覆導線１０の延在方向と送風方向との関係に限定されない。複数の被覆導線１０が配置される平面等が、送風方向に略平行であればよい。
【０１０４】
このようにプラズマ生成装置１００を配置し、プラズマを生成しつつプラズマ生成装置１００に空気を通過させることにより、空気中に存在する菌やウイルスの不活化、または、臭気等の空気中に含まれる不純物ガスの分解除去を行なうことができる。これにより、吸込口２２０から吸い込まれる空気および吹出口２３０から吹出されることとなる空気を浄化することができる。この結果、吹出口２３０から清浄な空気を吹出すことができる。
【０１０５】
なお、本実施の形態においては電気機器の一例として空気清浄機について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、電気機器は、これ以外に空気調和機（エアコンディショナー）、冷蔵機器、掃除機、加湿器、除湿機などであってもよく、空気を吸込んで送風する際に、プラズマ生成装置１００に空気を通過させるための送風部を有する電気機器であればよい。
【０１０６】
また、本実施の形態においては、プラズマ生成装置として実施の形態１に係るプラズマ生成装置１００を用いる場合を例示して説明したが、これに限定されず、実施の形態２から６に係るプラズマ生成素子を含むプラズマ生成装置のいずれかが用いられてもよい。
【０１０７】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【符号の説明】
【０１０８】
１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ  プラズマ生成素子、１０  被覆導線、１０Ａ  第１被覆導線、１０Ａ１  第１被覆導線部、１０Ａ２，１０Ｂ２  折り返し部、１０Ｂ  第２被覆導線、１０Ｂ１  第２被覆導線部、２０，２１，２２  導電線、３０，３１，３２  絶縁被覆層、３０Ｂ，３０Ｃ  絶縁被覆部、３３  連結部、５０  高電圧回路、５１，５２  配線、６０  一対の支持プレート、６０Ｃ  一対の中空円盤、１００，１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｄ，１００Ｅ  プラズマ生成装置、２００  空気清浄機、２１０  本体部、２２０  吸込口、２３０  吹出口、２４０  送風経路、２５０  送風機。
【図１】
2016225025.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2016225025.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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