(57)【要約】【課題】  巻線の巻き崩れを防止しつつ製造工数を低減する平面コイルの製造方法を提供する。【解決手段】  探傷装置のセンサとして用いられる平面コイルは、渦巻き状の巻線５、第一樹脂フィルム７１などから形成されている。平面コイルを製造するとき、第一樹脂フィルム７１上に巻回した巻線５の巻始部５１１、５１２を溶融している第一樹脂フィルム７１に押し付ける。これにより、巻始部５１１、５１２は第一樹脂フィルム７１に固定される。次に、巻始部５１１、５１２につながる中間部を第一樹脂フィルム７１上に一巻きするごとに溶融している第一樹脂フィルム７１に押し付ける。このように、巻線５を一巻き巻回するごとに巻回された部位を溶融している第一樹脂フィルム７１に押し付け、巻線５を第一樹脂フィルム７１に固定する。これにより、巻線５の巻き崩れを防止しつつ巻線５を固定する別の工程を不要とすることができる。【選択図】  図３
2016096213.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
渦巻き状の巻線（５）と加熱によって溶融可能であって前記巻線を固定するフィルム状の絶縁部材（７１、７２）とを有する平面コイル（８）の製造方法であって、
第一の絶縁部材（７１）上に前記巻線の巻始部（５１１、５１２）を巻回する巻始巻回工程と、
前記巻始巻回工程の後、前記第一の絶縁部材を加熱しつつ前記第一の絶縁部材上に巻回されている前記巻始部を前記第一の絶縁部材に押し付ける巻始押付工程と、
前記巻始押付工程の後、前記巻始部につながっている前記巻線の中間部（５２１、５２２、５３１、５３２、５４１、５４２、５５１、５５２、５６１、５６２、５７１、５７２）を前記第一の絶縁部材上の前記巻始部の径方向外側に巻回する中間巻回工程と、
前記中間巻回工程の後、前記第一の絶縁部材を加熱しつつ前記第一の絶縁部材上に巻回されている前記中間部を前記第一の絶縁部材に押し付ける中間押付工程と、
前記中間押付工程の後、前記中間部につながっている前記巻線の巻終部（５８１、５８２）を前記第一の絶縁部材上の前記中間部の径方向外側に巻回する巻終巻回工程と、
前記巻終巻回工程の後、前記第一の絶縁部材を加熱しつつ前記第一の絶縁部材上に巻回されている前記巻終部を前記第一の絶縁部材に押し付ける巻終押付工程と、
前記巻終押付工程の後、前記第一の絶縁部材を冷却し前記巻線を前記第一の絶縁部材に固定する冷却工程と、
を含むことを特徴とする平面コイルの製造方法。
【請求項２】
前記冷却工程の後、前記第一の絶縁部材の前記巻線が固定されている側の端面（７１１）に第二の絶縁部材（７２）を貼りつける貼付工程をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の平面コイルの製造方法。
【請求項３】
渦巻き状の巻線（５）と加熱によって溶融可能であって前記巻線を固定するフィルム状の絶縁部材（７１、７２）とを有する平面コイル（８）の製造装置（１）であって、
前記絶縁部材を加熱可能な加熱手段（２１、２２、２３）と、
前記絶縁部材上に巻回される前記巻線を前記絶縁部材に押し付け可能な付勢手段（３１、３２、３３）と、
前記絶縁部材を冷却可能な冷却手段（３２、３３）と、
を備え、
前記付勢手段は、前記絶縁部材上に所定の長さの前記巻線が巻回されると巻回された前記巻線を前記加熱手段によって加熱されている前記絶縁部材に押し付けることを特徴とする平面コイルの製造装置。
【請求項４】
前記加熱手段は、前記絶縁部材を挟むよう設けられていることを特徴とする請求項３に記載の平面コイルの製造装置。
【請求項５】
前記巻線と当接可能な前記付勢手段の当接面（３１１）の形状は、凸状であることを特徴とする請求項３または４に記載の平面コイルの製造装置。
【請求項６】
前記付勢手段は、前記巻線に当接可能な当接部（３１）を有し、
前記当接部は、透明な材料から形成されていることを特徴とする請求項５に記載の平面コイルの製造装置。
【請求項７】
前記絶縁部材と前記加熱手段との間には前記当接面の形状に沿うよう変形可能な中間部材（２４）をさらに備えていることを特徴とする請求項５または６に記載の平面コイルの製造装置。
【請求項８】
前記絶縁部材上に設けられ、径方向外側に前記巻線が巻回される棒状の巻回シャフト（１０）をさらに備えることを特徴とする請求項３から７のいずれか一項に記載の平面コイルの製造装置。
【請求項９】
請求項３から８のいずれか一項に記載の前記平面コイルの製造装置で製造された前記平面コイルと、
前記平面コイルと電気的に接続し、前記平面コイルのインピーダンスの変化を検出する検出部（６１）と、
を備え、
前記平面コイルを検査対象の金属部材（７０）の表面に近づけ、前記金属部材の表面を検査することを特徴とする金属部材検査装置（６０）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平面コイルの製造方法、平面コイルの製造装置、及び、金属部材検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、金属部材の表面の傷やひずみを検出する金属部材検査装置が知られている。金属部材検査装置は、渦巻き状に巻回された平面コイルをセンサとして検査対象の金属部材の表面に近づけ、傷やひずみによる金属部材側の渦電流の変化を平面コイルのインピーダンスの変化として検出する。平面コイルは、巻回された巻線と、渦巻き状の巻線を固定する絶縁部材と、を有する。例えば、特許文献１には、内周枠に巻線を巻き付ける巻回工程、巻回工程で巻回された巻線の径方向外側に外周枠を組み付ける外周枠組付工程、及び、外周枠が組み付けられた渦巻き状の巻線をパラフィン溶湯に浸漬させ脱気した後乾燥させる巻線の固定工程を含む平面コイルの製造方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−０１３８７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の平面コイルの製造方法では、巻線を渦巻き状にする工程である巻回工程及び外周枠組付工程と渦巻き状の巻線をパラフィンによって固定する固定工程とが別々に行われるため、平面コイルを製造する工数が多くなる。また、特許文献１に記載の平面コイルの製造方法では、巻線を巻回するときには内周枠と外周枠とによって渦巻き状の巻線の巻き崩れを防止しているが、パラフィン溶湯への浸漬、脱気及び乾燥が終了するまでは確実に固定されていないため、巻線が巻き崩れるおそれがある。
【０００５】
本発明は、上述の点に鑑みてなされたものであり、その目的は、巻線の巻き崩れを防止しつつ製造工数を低減する平面コイルの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、渦巻き状の巻線と加熱によって溶融可能であって巻線を固定するフィルム状の絶縁部材とを有する平面コイルの製造方法である。
本発明の平面コイルの製造方法は、第一の絶縁部材上に巻線の巻始部を巻回する巻始巻回工程と、巻始巻回工程の後に第一の絶縁部材を加熱しつつ第一の絶縁部材上に巻回されている巻始部を第一の絶縁部材に押し付ける巻始押付工程と、巻始押付工程の後に巻始部につながっている巻線の中間部を第一の絶縁部材上の巻始部の径方向外側に巻回する中間巻回工程と、中間巻回工程の後に第一の絶縁部材を加熱しつつ第一の絶縁部材上に巻回されている中間部を第一の絶縁部材に押し付ける中間押付工程と、中間押付工程の後に中間部につながっている巻線の巻終部を第一の絶縁部材上の中間部の径方向外側に巻回する巻終巻回工程と、巻終巻回工程の後に第一の絶縁部材を加熱しつつ第一の絶縁部材上に巻回されている巻終部を第一の絶縁部材に押し付ける巻終押付工程と、巻終押付工程の後に第一の絶縁部材を冷却し巻線を第一の絶縁部材上に固定する冷却工程と、を含むことを特徴とする。
【０００７】
本発明の平面コイルの製造方法では、巻回される巻線を巻始部、中間部、及び、巻終部と複数の部位に分割し、それぞれの部位を巻回するごとに加熱によって溶融されている第一の絶縁部材に巻回された部位を押し付ける。これにより、巻回された巻線は、第一の絶縁部材にある程度固定される。巻回された巻線が第一の絶縁部材に固定されると、巻回された巻線の部位につながる巻線の部位を第一の絶縁部材に固定されている巻線の径方向外側に巻回し、加熱によって溶融されている第一の絶縁部材に新たに巻回された部位を押し付ける。このように、本発明の平面コイルの製造方法では、巻線を所定の長さ巻回するごとに第一の絶縁部材に固定するため、巻線工程における巻線の巻き崩れを防止することができる。
【０００８】
また、所定の長さの巻線を巻回すると巻回された巻線を第一の絶縁部材に固定していくため、従来、巻線を全て巻き終わった後に行われていた巻線を固定するための別の工程が不要となる。これにより、平面コイルを製造する工程数を低減することができ、また、巻回された巻線を別の工程に移動させるときに巻線が巻き崩れることを防止することができる。
このように、本発明の平面コイルの製造方法は、巻線を所定の長さ巻回するごとに第一の絶縁部材に固定するため、巻線工程における巻線の巻き崩れを防止しつつ、平面コイルの製造工数を低減することができる。
【０００９】
また、本発明は平面コイルの製造装置であって、絶縁部材を加熱可能な加熱手段と、絶縁部材上に巻回される巻線を絶縁部材に押し付け可能な付勢手段と、絶縁部材を冷却する冷却手段と、を備える。
本発明の平面コイルの製造装置は、絶縁部材上に所定の長さの巻線が巻回されると付勢手段が巻回された巻線を加熱手段によって加熱されている絶縁部材に押し付けることを特徴とする。
【００１０】
本発明の平面コイルの製造装置では、絶縁部材上に所定の長さの巻線が巻回されると、巻回された巻線は絶縁部材に押し付けられる。絶縁部材は、加熱手段によって加熱溶融されているため、絶縁部材に押し付けられる巻線は絶縁部材にある程度固定される。これにより、巻線工程における巻線の巻き崩れを防止することができる。また、巻線を巻回しつつ絶縁部材に固定するため、巻線を巻き終わった後に巻線を固定するための別の工程が不要となる。したがって、本発明の平面コイルの製造装置は、巻線工程における巻線の巻き崩れを防止しつつ、平面コイルの製造工数を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態による平面コイルの製造装置の模式図である。
【図２】本発明の一実施形態による平面コイルの製造方法を説明する模式図である。
【図３】本発明の一実施形態による平面コイルの製造方法を説明する模式図であって、図２とは異なる工程を説明する模式図である。
【図４】本発明の一実施形態による平面コイルの製造方法を説明する模式図であって、図２、３とは異なる工程を説明する模式図である。
【図５】本発明の一実施形態による平面コイルの製造方法を説明する模式図であって、図２〜４とは異なる工程を説明する模式図である。
【図６】本発明の一実施形態による平面コイルの製造方法を説明する模式図であって、図２〜５とは異なる工程を説明する模式図である。
【図７】本発明の一実施形態による平面コイルの製造方法を説明する模式図であって、図２〜６とは異なる工程を説明する模式図である。
【図８】本発明の一実施形態による平面コイルの製造方法を説明する模式図であって、図２〜７とは異なる工程を説明する模式図である。
【図９】本発明の一実施形態による平面コイルの製造装置で製造した平面コイルを備える金属部材検査装置を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１３】
（一実施形態）
本発明の一実施形態による平面コイルの製造方法及び平面コイルの製造装置を図１から図８に基づいて説明する。また、本発明の一実施形態による金属部材検査装置を図９に基づいて説明する。
最初に本発明の一実施形態による「平面コイルの製造装置」としての平面コイル製造装置１について図１に基づいて説明する。平面コイル製造装置１は、渦巻き状に巻回されている巻線５と当該渦巻き状の巻線５を固定する二つの樹脂フィルム７１、７２とを有する平面コイル８を製造する装置である。平面コイル製造装置１が製造する平面コイル８が有する巻線５は、例えば、直径が０．０５ｍｍ程度であって一層に巻回されている。また、樹脂フィルム７１、７２は、加熱によって溶融する樹脂材料から形成されている。平面コイル８は、例えば、後述する探傷装置６０のコイルセンサとして利用される。
【００１４】
平面コイル製造装置１は、図１に示すように、巻回シャフト１０、第一加熱ヒータ２１、第二加熱ヒータ２２、電源２３、押付部材３１、冷却用ノズル３２、気体供給部３３、観察用カメラ４０、制御部１２などを備えている。なお、図１には、平面コイル８が有する二つの樹脂フィルムのうち「第一の絶縁部材」としての第一樹脂フィルム７１がセットされている状態の平面コイル製造装置１を示す。第一加熱ヒータ２１、第二加熱ヒータ２２及び電源２３は、特許請求の範囲に記載の「加熱手段」に相当する。押付部材３１、冷却用ノズル３２及び気体供給部３３は、特許請求の範囲に記載の「付勢手段」に相当する。冷却用ノズル３２及び気体供給部３３は、特許請求の範囲に記載の「冷却手段」に相当する。
【００１５】
巻回シャフト１０は、略棒状の部材である。巻回シャフト１０は、第一樹脂フィルム７１の巻線５が設けられる側の端面７１１に一方の端部１０１が当接するよう設けられている。
【００１６】
第一加熱ヒータ２１は、第一樹脂フィルム７１の巻回シャフト１０が当接する側とは反対側に設けられている。第一加熱ヒータ２１は、電源２３と電気的に接続している。第一加熱ヒータ２１は、制御部１２の指令に基づいて第一樹脂フィルム７１を加熱する。
【００１７】
緩衝部材２４は、第一加熱ヒータ２１と第一樹脂フィルム７１との間に設けられる。「中間部材」としての緩衝部材２４は、例えば、シリコンゴムから形成されている。緩衝部材２４は、平面コイル８の製造時に巻線５を介して第一樹脂フィルム７１に押し付けられる押付部材３１の形状に合わせて塑性変形可能である。
【００１８】
第二加熱ヒータ２２は、円環状に形成され、押付部材３１と冷却用ノズル３２との間に設けられる。第二加熱ヒータ２２は、第二加熱ヒータ２２は、電源２３と電気的に接続している。  第二加熱ヒータ２２は、制御部１２の指令に基づいて押付部材３１を介して第一樹脂フィルム７１を加熱する。
【００１９】
電源２３は、制御部１２と電気的に接続しており、制御部１２の指令に基づいて第一加熱ヒータ２１と第二加熱ヒータ２２とに電力を供給する。
【００２０】
押付部材３１は、第二加熱ヒータ２２と第一樹脂フィルム７１との間に設けられる。押付部材３１は、透明のガラスから形成されている。押付部材３１の第一樹脂フィルム７１側の「当接面」としての端面３１１は、第一加熱ヒータ２１に向かって凸状となるよう形成されている。
【００２１】
冷却用ノズル３２は、第二加熱ヒータ２２の押付部材３１側とは反対側に設けられる。冷却用ノズル３２は、気体供給部３３が供給する気体を噴射する複数の噴孔３２１を有している。冷却用ノズル３２が噴射する気体は、第二加熱ヒータ２２の内側を通って押付部材３１の第一樹脂フィルム７１側とは反対側の面３１２に吹きつけられる（図５参照）。これにより、押付部材３１は、第一樹脂フィルム７１の方向へ付勢される。
【００２２】
観察用カメラ４０は、冷却用ノズル３２の第二加熱ヒータ２２側とは反対側に設けられている。観察用カメラ４０は、押付部材３１を通して巻線５が巻回される押付部材３１と第一樹脂フィルム７１との間の領域を観察可能である。
【００２３】
制御部１２は、マイクロコンピュータを主体として構成され、内蔵されたＲＯＭ（記憶媒体）に記憶されたプログラムを実行することで平面コイル製造装置１の作動を制御する。具体的には、制御部１２は、巻回シャフト１０に所定の長さの巻線５が巻回されると、第一加熱ヒータ２１と第二加熱ヒータ２２とに電力を供給するよう電源２３に指令を出力するとともに、冷却用ノズル３２に気体を供給するよう気体供給部３３に指令を出力する。
【００２４】
次に、一実施形態による平面コイルの製造方法について図２から図６に基づいて説明する。図２から図６は、一実施形態による平面コイルの製造方法における平面コイル製造装置１の作動を順に説明した図である。
【００２５】
最初に、平面コイル製造装置１の緩衝部材２４の上に第一樹脂フィルム７１をセットする。
次に、平面コイル製造装置１の径方向外側に設けられている図示しない巻線供給装置によって巻回シャフト１０の径方向外側に巻線５を供給する。図２に示すように、巻線５の先端部５０を第一樹脂フィルム７１の内部に埋め込んだ後、「巻始巻回工程」として先端部５０につながっている巻線５の巻始部５１１、５１２をこの順に巻回シャフト１０の径方向外側に巻回する。このとき、先端部５０の一部は、第一樹脂フィルム７１の外部に露出し、例えば、後述する「金属部材検査装置」としての探傷装置６０の検出部６１と電気的に接続される。
【００２６】
次に、「巻始押付工程」として、冷却用ノズル３２の噴孔３２１から気体を噴射する。図３の白抜き矢印Ｆ３１に示すように噴孔３２１から噴射される気体は、押付部材３１を第一樹脂フィルム７１の方向に付勢する。このとき、第一加熱ヒータ２１及び第二加熱ヒータ２２に電力を供給し、第一樹脂フィルム７１を加熱する。加熱された第一樹脂フィルム７１はある程度溶融し、押付部材３１によって第一樹脂フィルム７１の端面７１１に押し付けられる巻始部５１１、５１２の一部は、第一樹脂フィルム７１に埋まるため、ある程度固定される。
【００２７】
次に、一回目の「中間巻回工程」として、巻始部５１１、５１２につながっている巻線５の中間部５２１、５２２をこの順に巻始部５１１、５１２の径方向外側に巻回する。（中間部５２１、５２２を巻き終わった状態の図４参照）
【００２８】
中間部５２１、５２２を巻回した後、一回目の「中間押付工程」として、冷却用ノズル３２の噴孔３２１から気体を噴射する。図５の白抜き矢印Ｆ３２に示すように噴孔３２１から噴射される気体は、押付部材３１を第一樹脂フィルム７１の方向に付勢する。このとき、第一加熱ヒータ２１及び第二加熱ヒータ２２に電力を供給し、第一樹脂フィルム７１を加熱する。加熱された第一樹脂フィルム７１はある程度溶融し、押付部材３１によって第一樹脂フィルム７１に押し付けられる中間部５２１、５２２の一部は、巻始部５１１、５１２とともに第一樹脂フィルム７１に埋まるため、ある程度固定される。
【００２９】
一回目の中間押付工程の後、二回目の「中間巻回工程」として、中間部５２１、５２２につながっている巻線５の中間部５３１、５３２をこの順に中間部５２１、５２２に径方向外側に巻回する。二回目の中間巻回工程の後、二回目の「中間押付工程」として、冷却用ノズル３２の噴孔３２１から噴射される気体によって押付部材３１を第一樹脂フィルム７１の方向に付勢しつつ第一樹脂フィルム７１を加熱溶融し、中間部５３１、５３２の一部を巻始部５１１、５１２、中間部５２１、５２２とともに第一樹脂フィルム７１に埋め込み、ある程度固定する。
【００３０】
一実施形態による平面コイルの製造方法では、二回目の中間押付工程の後、三回目の「中間巻回工程」及び三回目の「中間押付工程」において中間部５２１、５２２につながっている巻線５の中間部５３１、５３２を巻回し第一樹脂フィルム７１に固定する。次に、四回目の「中間巻回工程」及び四回目の「中間押付工程」において中間部５３１、５３２につながっている巻線５の中間部５４１、５４２を巻回し第一樹脂フィルム７１に固定する。次に、五回目の「中間巻回工程」及び五回目の「中間押付工程」において中間部５４１、５４２につながっている巻線５の中間部５５１、５５２を巻回し第一樹脂フィルム７１に固定する。次に、六回目の「中間巻回工程」及び六回目の「中間押付工程」において中間部５５１、５５２につながっている巻線５の中間部５６１、５６２を巻回し第一樹脂フィルム７１に固定する。次に、七回目の「中間巻回工程」及び七回目の「中間押付工程」において中間部５６１、５６２につながっている巻線５の中間部５７１、５７２を巻回し第一樹脂フィルム７１に固定する。
このように、一実施形態による平面コイルの製造方法では、巻線５の中間部において巻回シャフト１０に巻線５を一巻きすると、巻回シャフト１０に巻回された巻線５を加熱溶融している第一樹脂フィルム７１に押し付け、ある程度固定する。
【００３１】
次に、「巻終巻回工程」として、中間部５７１、５７２につながっている巻線５の巻終部５８１、５８２をこの順に中間部５７１、５７２の径方向外側に巻回する。（巻終部５８１、５８２を巻き終わった状態の図６参照）
【００３２】
巻始部５１１、５１２から巻終部５８１、５８２にかけての巻線５は、図６に示すように、押付部材３１の第一樹脂フィルム７１側の端面３１１の形状にそって第一樹脂フィルム７１に向かって凸状に並んでいる。このとき、第一樹脂フィルム７１及び緩衝部材２４は、押付部材３１の端面３１１の形状に沿うよう塑性変形する。
【００３３】
巻終部５８１、５８２を巻回した後、「巻終押付工程」として、冷却用ノズル３２の噴孔３２１から気体を噴射する。図７の白抜き矢印Ｆ３８に示すように噴孔３２１から噴射される気体が押付部材３１を第一樹脂フィルム７１の方向に付勢しつつ、第一樹脂フィルム７１を加熱溶融すると、押付部材３１によって第一樹脂フィルム７１に押し付けられる巻終部５８１、５８２の一部は、巻始部５１１、５１２、中間部５２１、５２２、５３１、５３２、５４１、５４２、５５１、５５２、５６１、５６２、５７１、５７２とともに第一樹脂フィルム７１に埋め込まれ、ある程度固定される。
【００３４】
押付部材３１によって巻始部５１１、５１２、中間部５２１、５２２、５３１、５３２、５４１、５４２、５５１、５５２、５６１、５６２、５７１、５７２、巻終部５８１、５８２が第一樹脂フィルム７１にある程度固定されるとき、巻終部５８２につながる図示しない終端部を第一樹脂フィルム７１の外部に露出させておく。終端部は、例えば、探傷装置６０の検出部６１と電気的に接続される。
【００３５】
次に、「冷却工程」として、第一樹脂フィルム７１を冷却する。第一加熱ヒータ２１及び第二加熱ヒータ２２への電力の供給を停止し、冷却用ノズル３２から気体を噴射する。これにより、第一樹脂フィルム７１は冷却され、巻線５は第一樹脂フィルム７１に完全に固定される。
【００３６】
最後に、「貼付工程」として、第一樹脂フィルム７１と「第二の絶縁部材」としての第二樹脂フィルム７２とを貼り合わせる。具体的には、図８に示すように、第一樹脂フィルム７１の巻線５が固定されている側の端面７１１に第二樹脂フィルム７２を貼りつける。これにより、平面コイル８が完成する。
【００３７】
図９に平面コイル製造装置１で製造された平面コイル８を備える探傷装置６０の模式図を示す。探傷装置６０は、金属部材の表面にある傷を検出する装置である。探傷装置６０は、平面コイル８、検出部６１などを備えている。
【００３８】
検出部６１は、平面コイル８の先端部５０及び巻終部５８２と電気的に接続している（図９（ａ）の電気配線Ｃ６０１、Ｃ６０２）。検出部６１は、図示しない発振器、増幅回路、複数の抵抗などから構成されている。検出部６１は、平面コイル８とともにブリッジ回路を形成する。このとき、平面コイル８は、検査対象の金属部材の表面近傍に設けられ、ブリッジ回路の平衡バランスを確認する。このブリッジ回路における平衡バランスがとれている場合、増幅回路には電流は流れない。しかしながら、平面コイル８を移動させ、金属部材にある傷の近傍に平面コイル８が位置するとブリッジ回路における平衡バランスが崩れブリッジ回路に電流が流れる。検出部６１では、この電流の流れから検査対象の金属部材の表面における傷の有無を検出する。
【００３９】
図９（ａ）は、検査対象の金属部材として筒状の金属部材７０の内壁を検出する探傷装置６０の模式図を示す。平面コイル製造装置１で製造される平面コイル８は、巻線５の中心軸Ｃ５方向の厚みが比較的薄いため、金属部材７０の内壁７０１の形状に沿って変形可能である。具体的には、図９（ｂ）に示すように、金属部材７０の中心軸ＣＡ７０上に中心を有する仮想円ＶＣ７０の円弧状に変形可能であり、金属部材７０の内壁７０１の傷を検出することができる。
【００４０】
一実施形態による平面コイルの製造方法では、巻線５を巻回シャフト１０に一巻きするごとに加熱溶融されている第一樹脂フィルム７１に押し付け、第一樹脂フィルム７１にある程度固定される。これにより、巻回工程において巻線を巻回した後巻回した巻線を固定する固定工程を含む平面コイルの製造方法に比べ、巻線５が巻き崩れることを防止することができる。
【００４１】
また、巻線５を巻回シャフト１０に一巻きごと巻回しつつ第一樹脂フィルム７１にある程度固定するため、特許文献１に記載の平面コイルの製造方法のように巻線５を固定するための工程が不要となる。これにより、平面コイルを製造する工程数を低減することができる。
このように、一実施形態による平面コイルの製造方法は、巻線５を所定の長さ巻回するごとに第一樹脂フィルム７１に巻線５をある程度固定するため、巻線５の巻き崩れを防止しつつ平面コイル８を製造するために必要な工数を低減することができる。
【００４２】
また、一実施形態による平面コイル製造装置１では、巻線５を巻回シャフト１０に一巻きするごとに押付部材３１が巻線５を加熱溶融されている第一樹脂フィルム７１に押し付ける。これにより、巻線５は第一樹脂フィルム７１にある程度固定され、巻線５が巻き崩れることを防止することができる。また、巻線５を固定するための工程が不要となる。したがって、平面コイル製造装置１は、巻線５の巻き崩れを防止しつつ平面コイル８を製造するために必要な工数を低減することができる。
【００４３】
第一加熱ヒータ２１と第二加熱ヒータ２２とは、第一樹脂フィルム７１を挟むよう設けられている。これにより、巻線５が第一樹脂フィルム７１に押し付けられるときに容易に第一樹脂フィルム７１を溶融することができる。
【００４４】
押付部材３１の端面３１１は、凸状に形成されている。これにより、最初に巻回シャフト１０に最も近い側に巻回される巻始部５１１、５１２を第一樹脂フィルム７１に押し付けた後でも押付部材３１と第一樹脂フィルム７１との間には、中間部５２１、５２２を巻回可能な隙間が形成される。これにより、巻線５を一巻きごと巻回するたびに押付部材３１が第一樹脂フィルム７１に近づいても巻線５を確実に巻回することができる。
【００４５】
緩衝部材２４は、押付部材３１が巻線５を第一樹脂フィルム７１に押し付けるとき押付部材３１の端面３１１の形状に沿うよう変形する。これにより、第一樹脂フィルム７１が適度に変形し、巻線５を確実に第一樹脂フィルム７１内に埋め込むことができる。
【００４６】
平面コイル製造装置１では、巻線５を巻回する巻回シャフト１０が第一樹脂フィルム７１上に設けられている。これにより、巻線５の巻回を容易に行うことができる。
【００４７】
押付部材３１は、透明なガラスから形成されている。これにより、観察用カメラ４０を用いて巻線５の巻回状態を管理することができる。
【００４８】
一実施形態による平面コイルの製造方法では、冷却工程において第一樹脂フィルム７１に巻線５を確実に固定した後、第一樹脂フィルム７１の端面７１１に第二樹脂フィルム７２を貼りつける。これにより、巻線５が外部に露出することを防止することができる。
【００４９】
また、一実施形態による平面コイルの製造方法では、直径が小さい巻線５を巻回するときにも巻き崩れることがないため、平面コイル８は、中心軸ＣＡ５方向の厚みが曲げが可能な程度に薄くすることができる。例えば、図９（ｂ）に示すように、円弧状に変形することができる。これにより、平面コイル製造装置１で製造された平面コイル８を備える探傷装置６０は、従来の平面コイルを備える探傷装置では検査不可能な筒状の金属部材の内側のような狭い空間の内壁における傷を検出することができる。
【００５０】
（他の実施形態）
（ア）上述の実施形態では、「巻回工程」として巻回シャフトに対して巻線を一巻きするごとに「押付工程」として、第一樹脂フィルムを加熱溶融しつつ冷却用ノズルから気体を噴射することによって巻線を第一樹脂フィルムに固定するとした。しかしながら、一回の「巻回工程」における巻線の長さはこれに限定されない。平面コイルを構成する巻線全部の長さではなく、いくつかに分割した長さであればよい。
【００５１】
（イ）上述の実施形態では、巻線の巻数を８とした。しかしながら、巻線の巻数はこれに限定されない。
【００５２】
（ウ）上述の実施形態では、冷却用ノズルから噴射される気体によって付勢されるレンズによって巻線が第一樹脂フィルムに押し付けられるとした。しかしながら、「付勢手段」はこれに限定されない。スプリングなどの弾性部材によって巻線を第一樹脂フィルムに押し付けてもよい。
【００５３】
（エ）上述の実施形態では、押付部材は、透明なガラスから形成されるとした。しかしながら、押付部材を形成する材料はこれに限定されない。透明でなくてもよい。
【００５４】
（オ）上述の実施形態では、押付部材は、第一樹脂フィルム側の端面は、凸状に形成されるとした。しかしながら、押付部材の端面の形状はこれに限定されない。
【００５５】
（カ）上述の実施形態では、平面コイル製造装置で製造された平面コイルは、探傷装置が用いるとした。しかしながら、平面コイルを備える「金属部材検査装置」はこれに限定されない。金属部材の表面におけるひずみを検出するひずみ検出装置に用いられてもよい。
【００５６】
（キ）上述の実施形態では、渦巻き状の巻線は、樹脂フィルムに固定されるとした。しかしながら、渦巻き状の巻線を固定する部材はこれに限定されない。加熱によって溶融可能な絶縁部材であればよい。
【００５７】
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の形態で実施可能である。
【符号の説明】
【００５８】
１      ・・・平面コイル製造装置（平面コイルの製造装置）、
５      ・・・巻線、
８      ・・・平面コイル、
２１    ・・・第一加熱ヒータ（加熱手段）、
２２    ・・・第二加熱ヒータ（加熱手段）、
２３    ・・・電源（加熱手段）、
３１    ・・・押付部材（押付手段）、
３２    ・・・冷却用ノズル（押付手段、冷却手段）、
３３    ・・・気体供給部（押付手段、冷却手段）、
７１    ・・・第一樹脂フィルム（第一の絶縁部材）、
７２    ・・・第二樹脂フィルム（第二の絶縁部材）、
５１１、５２１・・・巻始部、
５２１、５２２、５３１、５３２、５４１、５４２、５５１、５５２、５６１、５６２、５７１、５７２・・・中間部、
５８１、５８２・・・巻終部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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