(57)【要約】【課題】  被写体画像の撮像と動体検出を同時に実行する。【解決手段】  本開示の一側面である固体撮像素子は、入射光のうちの赤外光に基づいて動体画像を出力する赤外光検出部と、入射光のうちの可視光に基づいて被写体画像を出力する可視光検出部とを備え、前記赤外光検出部と前記可視光検出部は、積層されており、同一フレームで同一画角の前記動体画像と前記被写体画像を同時に出力する。本開示は、例えば、撮像機能を備え、動体検出を目的とした電子装置に適用できる。【選択図】  図１
2016143851.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射光のうちの赤外光に基づいて動体画像を出力する赤外光検出部と、
入射光のうちの可視光に基づいて被写体画像を出力する可視光検出部と
を備え、
前記赤外光検出部と前記可視光検出部は、積層されており、同一フレームで同一画角の前記動体画像と前記被写体画像を同時に出力する
固体撮像素子。
【請求項２】
前記赤外光検出部は、入射光のうちの赤外光に対応して電荷を発生する光電変換層と誘電体層が積層されて構成される
請求項１に記載の固体撮像素子。
【請求項３】
前記赤外光検出部は、入射光のうちの赤外光に対応して電荷を発生する光電変換層からなる第１の画素区画と、前記光電変換層と誘電体層が積層されている第２の画素区画とが組み合わされ構成される
請求項２に記載の固体撮像素子。
【請求項４】
前記赤外光検出部は、前記可視光検出部の上層側に積層されている
請求項２に記載の固体撮像素子。
【請求項５】
前記可視光検出部は、画素区画ごとに着色されたカラーフィルタを介して入射された前記入射光に対応して電荷を発生するＰＤから構成される
請求項２に記載の固体撮像素子。
【請求項６】
前記可視光検出部は、前記可視光のうちの異なる波長の光にそれぞれ対応して電荷を発生する３層の光電変換膜が積層されて構成される
請求項２に記載の固体撮像素子。
【請求項７】
前記可視光検出部は、前記可視光のうちの異なる波長の光にそれぞれ対応して電荷を発生する３層のＰＤが積層されて構成される
請求項２に記載の固体撮像素子。
【請求項８】
OPB部をさらに備える
請求項２に記載の固体撮像素子。
【請求項９】
固体撮像素子が搭載された電子装置において、
前記固体撮像素子は、
入射光のうちの赤外光に基づいて動体画像を出力する赤外光検出部と、
入射光のうちの可視光に基づいて被写体画像を出力する可視光検出部とを備え、
前記赤外光検出部と前記可視光検出部は、積層されており、同一フレームで同一画角の前記動体画像と前記被写体画像を同時に出力する
電子装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、固体撮像素子、および電子装置に関し、特に、被写体画像の撮像と同時に被写体の移動も検出できるようにした固体撮像素子、および電子装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、CMOSイメージセンサに代表される撮像素子では、撮像により被写体の画像信号を得るだけでなく、その他の物理情報を取得するものが提案されている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、被写体の画像信号を得る撮像モードと、画角内における動体を検出する動体検出モードを切り替えることができる撮像素子の発明が記載されている。
【０００４】
また例えば、特許文献２には、赤外線に対応するフォトダイオードアレイを備える固体撮像装置にて、動体検出を行う方法の発明が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−２０８０５９号公報
【特許文献２】特開平１１−２０５６８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載の発明では、被写体画像の撮像と動体検出とを同時に実行することができない。
【０００７】
特許文献２に記載の発明では、被写体画像の撮像と動体検出とを同時に実行できず、また、赤外線による撮像画像しか得られなかった。
【０００８】
本開示はこのような状況に鑑みてなされたものであり、被写体画像の撮像と動体検出を同時に実行できるようにするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本開示の第１の側面である固体撮像素子は、入射光のうちの赤外光に基づいて動体画像を出力する赤外光検出部と、入射光のうちの可視光に基づいて被写体画像を出力する可視光検出部とを備え、前記赤外光検出部と前記可視光検出部は、積層されており、同一フレームで同一画角の前記動体画像と前記被写体画像を同時に出力する。
【００１０】
前記赤外光検出部は、入射光のうちの赤外光に対応して電荷を発生する光電変換層と誘電体層を積層して構成することができる。
【００１１】
前記赤外光検出部は、入射光のうちの赤外光に対応して電荷を発生する光電変換層からなる第１の画素区画と、前記光電変換層と誘電体層が積層されている第２の画素区画とが組み合わせて構成することができる。
【００１２】
前記赤外光検出部は、前記可視光検出部の上層側に積層することができる。
【００１３】
前記可視光検出部は、画素区画ごとに着色されたカラーフィルタを介して入射された前記入射光に対応して電荷を発生するＰＤから構成することができる。
【００１４】
前記可視光検出部は、前記可視光のうちの異なる波長の光にそれぞれ対応して電荷を発生する３層の光電変換膜を積層して構成することができる。
【００１５】
前記可視光検出部は、前記可視光のうちの異なる波長の光にそれぞれ対応して電荷を発生する３層のＰＤを積層して構成することができる。
【００１６】
本開示の第１の側面である固体撮像素子は、OPB部をさらに備えることができる。
【００１７】
本開示の第２の側面である電子装置は、固体撮像素子が搭載された電子装置において、前記固体撮像素子は、入射光のうちの赤外光に基づいて動体画像を出力する赤外光検出部と、入射光のうちの可視光に基づいて被写体画像を出力する可視光検出部とを備え、前記赤外光検出部と前記可視光検出部は、積層されており、同一フレームで同一画角の前記動体画像と前記被写体画像を同時に出力する。
【００１８】
本開示の第１および第２の側面においては、射光のうちの赤外光に基づいて動体画像を出力する赤外光検出部と、入射光のうちの可視光に基づいて被写体画像を出力する可視光検出部とが積層されており、同一フレームで同一画角の前記動体画像と前記被写体画像が同時に出力される。
【発明の効果】
【００１９】
本開示の第１および第２の側面によれば、被写体画像の撮像と動体検出を同時に実行することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本開示を適用した固体撮像素子の第１の構成例を示す断面図である。
【図２】赤外光検出層の詳細な構成例を示す断面図である。
【図３】赤外光検出層の応答特性を示す図である。
【図４】カラーフィルタと赤外光検出層の配置の一例を示す図である。
【図５】出力される被写体画像と動体画像の一例を示す図である。
【図６】本開示を適用した固体撮像素子の第２の構成例を示す断面図である。
【図７】本開示を適用した固体撮像素子の第３の構成例を示す断面図である。
【図８】図１の赤外光検出層の変形例を示す断面図である。
【図９】図８に示された変形例の配置の一例を示す図である。
【図１０】固体撮像素子を搭載した撮像装置の第１の構成例を示すブロック図である。
【図１１】固体撮像素子を搭載した撮像装置の第２の構成例を示すブロック図である。
【図１２】本開示の固体撮像素子の使用例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本開示を実施するための最良の形態（以下、実施の形態と称する）について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２２】
＜本開示の実施の形態である固体撮像素子の第１の構成例＞
図１は、本開示の実施の形態である固体撮像素子の第１の構成例を示している。
【００２３】
この固体撮像素子１０は、光の入射側から順にパッシベーション層１１、透明電極１２、赤外光検出層１３、透明電電極１４、絶縁層間膜１５、およびカラーフィルタ（ＣＦ）１６が回路基板１８上に、可視光検出部１７およびOPB(Optical Black)部１９が回路基板１８内に形成されて構成されている。
【００２４】
パッシベーション層１１は、光の入射面を守る保護膜である。透明電極１２，１４は、赤外光検出層１３にて発生された電荷を読み出して後段に転送する。赤外光検出層１３は、入射光のうちの赤外光に対応して電荷を発生する。また、赤外光検出層１３は、後述する可視光検出部１７に対する入射光から赤外光を除去する赤外カットフィルタとしても機能する。
【００２５】
カラーフィルタ１６は、画素毎にＲ，Ｇ，Ｂのいずれかに着色されている。Ｒ，Ｇ，Ｂの配置は例えばベイヤ配列とすることができる。
【００２６】
図２は、可視光検出部１７を覆うカラーフィルタ１６におけるＲ，Ｇ，Ｂの配置と、それに対応する赤外光検出層１３における各画素の配置を示している。すなわち、同図Ａはカラーフィルタ１６におけるＲ，Ｇ，Ｂの配置の一例であるベイヤ配列を示し、同図Ｂは、赤外光検出層１３が画素単位で赤外光を検出できることを示している。なお、カラーフィルタ１６におけるＲ，Ｇ，Ｂの配置はベイヤ配列に限られず任意である。また、カラーフィルタ１６の色についても、Ｒ，Ｇ，Ｂに限らず、他の色の組み合わせを採用できる。
【００２７】
図１に戻る。可視光検出部１７は、入射光のうちの可視光（Ｒ，Ｇ，Ｂ成分）に対応して電荷を発生するＰＤ（フォトダイオード）などから成る。OPB部１９は、遮光膜兼電極２０によって遮光されており、可視光検出部１７と同じ材料で形成されていて光電変換機能を有する。
【００２８】
固体撮像素子１０においては、パッシベーション層１１および透明電極１２を透過した入射光のうちの赤外光が赤外光検出層１３にて電荷に変換される。また、赤外光検出層１３、透明電極１４、絶縁層間膜１５、およびカラーフィルタ１６を透過した入射光のうちの可視光が可視光検出部１７にて電荷に変換される。
【００２９】
赤外光検出層１３にて発生された電荷は、透明電極１２および遮光膜兼電極２０を介して後段に出力され、動体検出情報（動体画像）として利用される。可視光検出部１７の出力は、画像情報（被写体画像）として使用される。遮光膜兼電極２０にて覆われたOPB部１９の出力は、黒レベルの設定に利用される。
【００３０】
次に、図３は、赤外光検出層１３の詳細は構成例を示している。赤外光検出層１３は、光電変換層３１と誘電体層３２が積層されて構成される。光電変換層３１と誘電体層３２の間には、図示せぬ絶縁膜が形成されている。
【００３１】
光電変換層３１の材料としては、例えばフタロシアニン誘導体、フラーレン誘導体などの赤外領域において吸収ピークを持つ材料系を用いればよい。光電変換層３１のプロセスは、抵抗加熱蒸着、スピンコート法などを採用できる。誘電体層３２の材料としては、有機材料または無機材料のどちらでも構わない。好ましくは、スパッタ成膜による無機酸化膜の高誘電体材料、例えばTiO2、ZnO、NiO等の高誘電率材料がよい。誘電体層３２の成膜プロセスは、抵抗加熱蒸着、電子ビーム蒸着、スパッタ成膜などを採用できる。透明電極１２，１４の材料としては、ITO、IZO、IGZO等の低抵抗で透明な材料系ものが好ましい。
【００３２】
光電変換層３１では、入射光のうちの赤外光に対応して電荷を発生するが、これは励起子分離により正孔と電子に分離され、それぞれが透明電極１２または透明電極１４の方向に向かうことになる。ただし、透明電極１４に向かったキャリア（同図の場合は電子）は光電変換層３１と誘電体層３２の間の絶縁膜を越えられないので、光電変換層３１内の誘電体層３２と界面に留まることになる。この場合、留まっているキャリアの数に比例して、誘電体層３２の内部で分極が発生し、間接的に透明電極１４にキャリアが到達する。すなわち、赤外光検出層１３から後段に電流が出力される。ただし、誘電体層３２の分極は直ちに定常状態となるので、キャリアの往来がなくなり、電流は停止される。
【００３３】
図４は、上述した赤外光検出層１３の応答特性を表しており、同図の横軸は時間、縦軸は出力電流を示している。赤外光は時間ｔ１からｔ２の期間に入射されており、その他の期間は入射されていない。なお、同図の曲線Ｌ１は比較対象として、誘電体層３２が設けられずに光電変換層３１だけの場合を表しており、曲線Ｌ２は光電変換層３１と誘電体層３２が設けられている赤外光検出層１３の場合を表している。
【００３４】
光電変換層３１のみの場合、曲線Ｌ１が示すように、赤外光が入射されている期間はその光電変換量に応じた光電流が出力される。一方、赤外光検出層１３の場合、曲線Ｌ２が示すように、ｔ１においては瞬間的に分極量に応じた電流が流れるが、その後、誘電体層３２は直ちに定常状態となって絶縁体として振る舞うので光電流は流れない。そして、ｔ２においては瞬間的に分極量に応じた電流が流れることになる。なお、ｔ１とｔ２における分極速度は誘電体層３２の誘電率、印加バイアス、入射光量などにより変化する。
【００３５】
このように、赤外光検出層１３は、誘電体層３２が定常状態にあるときは電流を出力せず、光量変動時の応答時にのみ電流を出力するので、その出力を動体検出に使うことができる。換言すれば、この出力は入射する赤外光に変動があった時にだけ変化するので、赤外光検出層１３の出力そのものを動体検出情報として利用できる。
【００３６】
一方、可視光検出部１７からは常に入射光の可視光に対応する画素情報が得られているので、固体撮像素子１０は、動体情報と画像情報を同時に出力することができる。なお、固体撮像素子１０の後段では、赤外光検出層１３の出力に基づく動体検出処理などの信号処理が不要となり、非常に簡便に動体検出情報を取得することができる。また、固体撮像素子１０は、動体検出状態の時のみ電流を出力するので、消費電力、製品寿命の観点においても有利といえる。
【００３７】
図５は、固体撮像素子１０の出力を模式的に示したものである。同図Ａに示すように、被写体と物体が矢印の方向に移動している状態を固体撮像素子１０により撮像すると、可視光検出部１７により同図Ｂに示されるような被写体画像（RGB出力）を得ることができる。これと同時に、すなわち、同一フレーム、同一画角で、同図Ｃに示されるような被写体の輪郭を示す動体画像（ＩＲ出力）を得ることができる。なお、赤外光検出層１３が可視光検出部１７の上層側に形成されていることから、得られる被写体画像は赤外光がカットされた状態のものとなる。
【００３８】
＜本開示の実施の形態である固体撮像素子の第２の構成例＞
図６は、本開示の実施の形態である固体撮像素子の第２の構成例を示している。
【００３９】
この固体撮像素子４０は、光の入射側から順にパッシベーション層１１、透明電極１２、赤外光検出層１３、透明電電極１４、光電変換膜４１、およびOPB部１９が回路基板１８上に形成されて構成されている。なお、図１に示された固体撮像素子１０と共通する構成要素については、同一の符号を付しているのでその説明は適宜省略する。
【００４０】
光電変換膜４１は、入射光のうちのＢ，Ｇ，Ｒのいずれかの波長の光に対応して電荷を発生する３層の有機光電変換膜が積層されて構成される。したがって、固体撮像素子４０の場合、各画素がＩＲ，Ｒ，Ｇ，Ｂの光にそれぞれに対応する電荷を出力することになる。
【００４１】
固体撮像素子４０においては、パッシベーション層１１および透明電極１２を透過した入射光のうちの赤外光が赤外光検出層１３にて電荷に変換される。また、赤外光検出層１３、および透明電極１４を透過した入射光のうちのＲ，Ｇ，Ｂの各波長の光が光電変換膜４１にて電荷に変換される。
【００４２】
赤外光検出層１３にて発生された電荷は、透明電極１２および遮光膜兼電極２０を介して後段に出力され、動体検出情報（動体画像）として利用される。光電変換膜４１の出力は、画像情報（被写体画像）として使用される。遮光膜兼電極２０にて覆われたOPB部１９の出力は、黒レベルの設定に利用される。
【００４３】
＜本開示の実施の形態である固体撮像素子の第３の構成例＞
図７は、本開示の実施の形態である固体撮像素子の第３の構成例を示している。
【００４４】
この固体撮像素子５０は、光の入射側から順にパッシベーション層１１、透明電極１２、赤外光検出層１３、透明電電極１４、および絶縁層間膜１５が回路基板１８上に、光電変換層５１およびOPB部１９が回路基板１８内に形成されて構成されている。
【００４５】
光電変換層５１は、入射光のうちのＢ，Ｇ，Ｒのいずれかの波長の光に対応して電荷を発生する３層のフォトダイオードからなる。したがって、固体撮像素子５０の場合も各画素がＩＲ，Ｒ，Ｇ，Ｂのそれぞれに対応する電荷を出力することになる。
【００４６】
固体撮像素子５０においては、パッシベーション層１１および透明電極１２を透過した入射光のうちの赤外光が赤外光検出層１３にて電荷に変換される。また、赤外光検出層１３、透明電極１４、および絶縁層間膜１５を透過した入射光のうちのＲ，Ｇ，Ｂの各波長の光が光電変換層５１にて電荷に変換される。
【００４７】
赤外光検出層１３にて発生された電荷は、透明電極１２および遮光膜兼電極２０を介して後段に出力され、動体検出情報（動体画像）として利用される。光電変換層５１の出力は、画像情報（被写体画像）として使用される。遮光膜兼電極２０にて覆われたOPB部１９の出力は、黒レベルの設定に利用される。
【００４８】
＜赤外光検出層１３の変形例＞
次に、図８は、固体撮像素子１０，４０または５０の構成要素である赤外光検出層１３の変形例を示している。
【００４９】
すなわち、上述した説明では、各画素における赤外光検出層１３の構成は同一としていたが、例えば、図８Ａに示されるような光電変換層３１だけで構成された画素区画ＩＲ１と、図８Ｂに示されるような光電変換層３１と誘電体層３２から成る画素区画ＩＲ２を組み合わせるようにしてもよい。
【００５０】
図９は、赤外光検出層１３の変形例における画素区画ＩＲ１とＩＲ２の配置の一例を示している。図９はその一例であって他の配置であってもよい。例えば、４画素毎や１６画素毎等にＩＲ２を適宜配置するようにしてもよい。
【００５１】
ＩＲ２の配置、すなわち、誘電体層３２のパターニングは、蒸着プロセスによりメタルマスクを用いたパターニングにでもよいし、リソグラフィによるパターニングしたレジストをドライエッチング等によるプロセスでのパターニングでもよい。
【００５２】
光電変換層３１だけで構成された画素区画ＩＲ１は、図４に曲線Ｌ１で表された応答特性を有するので、その出力は入射光のＩＲ成分に基づく被写体画像となる。したがって、例えば、固体撮像素子１０が赤外光検出層１３の変形例を採用した場合、固体撮像素子１０からは、同時に被写体画像（RGB出力）、被写体画像（ＩＲ出力）、および動体画像（ＩＲ出力）を得ることができる。
【００５３】
＜固体撮像素子１０を搭載した撮像装置の構成例＞
次に、固体撮像素子１０を搭載した撮像装置の構成例について説明する。
【００５４】
図１０は、固体撮像素子１０を搭載した撮像装置の第１の構成例を示している。この撮像装置７０は、固体撮像素子１０の前段に集光レンズ７１を、固体撮像素子１０の後段に出力部７２を備える。
【００５５】
撮像装置７０においては、集光レンズ７１により集光された入射光が固体撮像素子１０に入射される。固体撮像素子１０からは、同時に被写体画像（RGB出力）および動体画像（ＩＲ出力）が出力部７２に出力される。出力部７２からは、被写体画像（RGB出力）または動体画像（ＩＲ出力）の少なくとも一方が後段に出力される。
【００５６】
図１１は、固体撮像素子１０を搭載した撮像装置の第２の構成例を示している。この撮像装置８０における固体撮像素子１０には、図８に示された赤外光検出層１３の変形例（画素区画ＩＲ１とＩＲ２からなるもの）が採用されており、その前段に集光レンズ７１を、その後段に出力部７２を備える。
【００５７】
撮像装置８０においては、集光レンズ７１により集光された入射光が固体撮像素子１０に入射される。固体撮像素子１０からは、同時に被写体画像（RGB出力）、被写体画像（ＩＲ出力）、および動体画像（ＩＲ出力）が出力部７２に出力される。出力部７２からは、被写体画像（RGB出力）、被写体画像（ＩＲ出力）、または動体画像（ＩＲ出力）の少なくとも一つが後段に出力される。
【００５８】
なお、上述した撮像装置７０および８０には、固体撮像素子４０または５０を搭載することができる。
【００５９】
＜固体撮像素子の使用例＞
【００６０】
図１２は、上述の固体撮像素子を使用する使用例を示す図である。
【００６１】
上述した固体撮像素子は、例えば、以下のように、可視光や、赤外光、紫外光、X線等の光をセンシングする様々なケースに使用することができる。
【００６２】
・ディジタルカメラや、カメラ機能付きの携帯機器等の、鑑賞の用に供される画像を撮影する装置
・自動停止等の安全運転や、運転者の状態の認識等のために、自動車の前方や後方、周囲、車内等を撮影する車載用センサ、走行車両や道路を監視する監視カメラ、車両間等の測距を行う測距センサ等の、交通の用に供される装置
・ユーザのジェスチャを撮影して、そのジェスチャに従った機器操作を行うために、TVや、冷蔵庫、エアーコンディショナ等の家電に供される装置
・内視鏡や、赤外光の受光による血管撮影を行う装置等の、医療やヘルスケアの用に供される装置
・防犯用途の監視カメラや、人物認証用途のカメラ等の、セキュリティの用に供される装置
・肌を撮影する肌測定器や、頭皮を撮影するマイクロスコープ等の、美容の用に供される装置
・スポーツ用途等向けのアクションカメラやウェアラブルカメラ等の、スポーツの用に供される装置
・畑や作物の状態を監視するためのカメラ等の、農業の用に供される装置
【００６３】
なお、本開示の実施の形態は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
【００６４】
本開示は以下のような構成も取ることができる。
（１）
入射光のうちの赤外光に基づいて動体画像を出力する赤外光検出部と、
入射光のうちの可視光に基づいて被写体画像を出力する可視光検出部と
を備え、
前記赤外光検出部と前記可視光検出部は、積層されており、同一フレームで同一画角の前記動体画像と前記被写体画像を同時に出力する
固体撮像素子。
（２）
前記赤外光検出部は、入射光のうちの赤外光に対応して電荷を発生する光電変換層と誘電体層が積層されて構成される
前記（１）に記載の固体撮像素子。
（３）
前記赤外光検出部は、入射光のうちの赤外光に対応して電荷を発生する光電変換層からなる第１の画素区画と、前記光電変換層と誘電体層が積層されている第２の画素区画とが組み合わされ構成される
前記（１）または（２）に記載の固体撮像素子。
（４）
前記赤外光検出部は、前記可視光検出部の上層側に積層されている
前記（１）から（３）のいずれかに記載の固体撮像素子。
（５）
前記可視光検出部は、画素区画ごとに着色されたカラーフィルタを介して入射された前記入射光に対応して電荷を発生するＰＤから構成される
前記（１）から（４）のいずれかに記載の固体撮像素子。
（６）
前記可視光検出部は、前記可視光のうちの異なる波長の光にそれぞれ対応して電荷を発生する３層の光電変換膜が積層されて構成される
前記（１）から（４）のいずれかに記載の固体撮像素子。
（７）
前記可視光検出部は、前記可視光のうちの異なる波長の光にそれぞれ対応して電荷を発生する３層のＰＤが積層されて構成される
前記（１）から（４）のいずれかに記載の固体撮像素子。
（８）
OPB部をさらに備える
前記（１）から（７）のいずれかに記載の固体撮像素子。
（９）
固体撮像素子が搭載された電子装置において、
前記固体撮像素子は、
入射光のうちの赤外光に基づいて動体画像を出力する赤外光検出部と、
入射光のうちの可視光に基づいて被写体画像を出力する可視光検出部とを備え、
前記赤外光検出部と前記可視光検出部は、積層されており、同一フレームで同一画角の前記動体画像と前記被写体画像を同時に出力する
電子装置。
【符号の説明】
【００６５】
１０  固体撮像素子，  １１  パッシベーション層，  １２  透明電極，  １３  赤外光検出層，  １４  透明電極，  １５  絶縁層間膜，  １６  カラーフィルタ，  １７  可視光検出部，  １８  回路基板，  １９  OPB部，  ２０  遮光膜兼電極，  ３１  光電変換層，  ３２  誘電体層，  ４０  固体撮像素子，  ４１  光電変換膜，  ５０  固体撮像素子，  ５１  光電変換層，  ７０  撮像装置，  ７１  集光レンズ，  ７２  赤外カットフィルタ，  ７３  出力部
【図１】
2016143851.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2016143851.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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