(57)【要約】【課題】複数の閃光放電ランプを閃光放電させる閃光放電ランプ点灯装置において、複数の蓄電素子に対して個別に直流電源を設けることなく、各蓄電素子から各ランプへのエネルギー投入量を所望の分布とする。【解決手段】閃光放電ランプ点灯装置（１００）は、直流電源（１）と、直流電源に並列接続された複数の整流回路（３Ａ〜３Ｃ）と、複数の整流回路の整流出力端にそれぞれ接続され、複数の閃光放電ランプ（５０Ａ〜５０Ｃ）にそれぞれ並列接続される複数の蓄電素子（３Ａ〜３Ｃ）と、複数の蓄電素子にそれぞれ並列接続され、各々が放電抵抗（４Ａ〜４Ｃ）と放電スイッチ（５Ａ〜５Ｃ）の直列回路を含む複数の放電回路（１０Ａ〜１０Ｃ））と、蓄電素子の充電後であって閃光放電ランプの点灯前に、複数の蓄電素子のエネルギーが複数の蓄電素子間で所望の分布となるように複数の放電スイッチをそれぞれ駆動するように構成された制御部（９）を備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の閃光放電ランプを点灯するための閃光放電ランプ点灯装置であって、
直流電源と、
前記直流電源に並列接続され、該直流電源の出力を整流する複数の整流回路と、
前記複数の整流回路の整流出力端にそれぞれ接続され、前記複数の閃光放電ランプにそれぞれ並列接続される複数の蓄電素子と、
前記複数の蓄電素子にそれぞれ並列接続され、各々が放電抵抗と放電スイッチの直列回路を含む複数の放電回路と、
前記直流電源の出力によって前記複数の蓄電素子を充電させた後であって前記複数の蓄電素子のエネルギーを前記複数の閃光放電ランプに投入する前に、前記複数の蓄電素子のエネルギーが該複数の蓄電素子間で所望の分布となるように前記複数の放電スイッチをそれぞれ駆動するように構成された制御部と
を備えた閃光放電ランプ点灯装置。
【請求項２】
請求項１に記載の閃光放電ランプ点灯装置において、
前記制御部が、
前記複数の蓄電素子間の容量分布に応じて前記複数の放電スイッチのそれぞれの導通時間を決定する導通時間決定部と、
前記それぞれの導通時間に従って前記複数の放電スイッチをそれぞれ駆動するスイッチ制御部と
を備える、閃光放電ランプ点灯装置。
【請求項３】
請求項１に記載の閃光放電ランプ点灯装置であって、前記複数の蓄電素子の充電電圧をそれぞれ検出する複数の検出回路を更に備え、
前記制御部が、
前記複数の蓄電素子間の容量分布に応じてそれぞれの目標充電電圧を決定する目標電圧決定部と、
前記複数の検出回路によって検出されるそれぞれの充電電圧が前記それぞれの目標充電電圧に達するまで前記複数の放電スイッチをそれぞれ駆動するスイッチ制御部と
を備える、閃光放電ランプ点灯装置。
【請求項４】
請求項２に記載の閃光放電ランプ点灯装置において、前記スイッチ制御部が、前記複数の放電スイッチをそれぞれＰＷＭ制御するように構成されたＰＷＭスイッチ制御部からなり、前記制御部が、前記ＰＷＭ制御におけるそれぞれのデューティ比を前記それぞれの導通時間に基づいて決定するデューティ決定部を備える、閃光放電ランプ点灯装置。
【請求項５】
請求項３に記載の閃光放電ランプ点灯装置において、前記スイッチ制御部が、前記複数の検出回路によって検出されるそれぞれの充電電圧が前記それぞれの目標充電電圧に達するまで前記複数の放電スイッチをそれぞれＰＷＭ制御するように構成されたＰＷＭスイッチ制御部からなる、閃光放電ランプ点灯装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか一項に記載の閃光放電ランプ点灯装置において、前記所望の分布が均一な分布である、閃光放電ランプ点灯装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか一項に記載の閃光放電ランプ点灯装置において、前記制御部が、前記複数の蓄電素子のうちの容量が最も小さい蓄電素子に対応する放電スイッチをオフ状態に維持するように構成された閃光放電ランプ点灯装置。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか一項に記載の閃光放電ランプ点灯装置において、前記制御部が、前記閃光放電ランプ点灯装置の使用終了後に前記複数の放電スイッチの各々をオンする終了制御部を更に備える、閃光放電ランプ点灯装置。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか一項に記載の閃光放電ランプ点灯装置と、前記複数の閃光放電ランプを備えた閃光照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、閃光放電ランプ点灯装置及びそれを用いた閃光照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、キセノンランプに代表される閃光放電ランプの光を瞬時的に照射させ、短時間で被処理物の熱処理、殺菌、紫外線硬化を行うことができる閃光放電ランプ点灯装置が知られている。例えば、特許文献１のフラッシュランプ装置は、フラッシュランプと、フラッシュランプにエネルギーを供給するためのコンデンサと、コンデンサとフラッシュランプの間に接続されたコイルと、フラッシュランプに巻回されたトリガ電極と、トリガ電極に接続されたトリガ回路を備える。コンデンサが充電された状態でトリガ回路がトリガ電極に高電圧が印加されると、フラッシュランプが絶縁破壊され、コンデンサからの電流が投入される。これにより、フラッシュランプには、コンデンサの容量及び充電電圧、コイルのインダクタンス並びにランプのインピーダンスによって決まるパルス状のランプ電流が流れ、閃光点灯が行われる。
【０００３】
また、特許文献２は、太陽電池などの対象物に疑似太陽光を瞬時に照射するための疑似太陽光照射装置を開示する。疑似太陽光照射装置は、複数の蓄電器と、複数の蓄電器から放出される電流によりそれぞれフラッシュ光を発する複数のランプと、フラッシュ光が所定照度で所定時間維持されるように予め定められた制御パターンに従ってランプ電流をフィードフォワード制御する制御器を備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４１４０２７９号
【特許文献２】特開２００８−３００６３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献２の照射装置のように、複数の閃光放電ランプを閃光点灯する場合、複数の蓄電素子がランプ毎に設けられる。そして、複数の閃光放電ランプから被処理物への照射光を均一化する場合、各蓄電素子から各ランプへ投入されるエネルギーが均一となる必要がある。ところが、蓄電素子には容量のばらつきがあり、各蓄電素子を同じ電圧に充電しても、各蓄電素子から各ランプへ供給されるエネルギーが均一とはならない場合がある。この問題に対して、例えば、複数の蓄電素子の各々に対して直流電源等の充電回路が個別に設けられ、各直流電源において各蓄電素子の容量に応じてその充電電圧が調整されれば、各蓄電素子から各ランプへ供給されるエネルギーは均一となる。しかし、一般に、複数の蓄電素子の各々に対して比較的電流容量が小さい直流電源が個別に設けられる構成は、複数の蓄電素子の全部に対して１つの比較的電流容量が大きい直流電源が設けられる構成と比べて高コストかつ大型なものとなってしまう。したがって、複数の蓄電素子に対して個別に直流電源を設けることなく、複数の閃光放電ランプを点灯する装置において、各蓄電素子から各ランプへのエネルギー投入量を均一化し、又は所望の分布とすることができる構成が望まれている。
【０００６】
そこで、本発明は、複数の閃光放電ランプを点灯する閃光放電ランプ点灯装置において、複数の蓄電素子に対して個別に直流電源を設けることなく、各蓄電素子から各ランプへのエネルギー投入量を均一化し、又は所望の分布とすることを可能とする構成を実現することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の、複数の閃光放電ランプを点灯するための閃光放電ランプ点灯装置は、直流電源と、直流電源に並列接続され、直流電源の出力を整流する複数の整流回路と、複数の整流回路の整流出力端にそれぞれ接続され、複数の閃光放電ランプにそれぞれ並列接続される複数の蓄電素子と、複数の蓄電素子にそれぞれ並列接続され、各々が放電抵抗と放電スイッチの直列回路を含む複数の放電回路と、直流電源の出力によって複数の蓄電素子を充電させた後であって複数の蓄電素子のエネルギーを複数の閃光放電ランプに投入する前に、複数の蓄電素子のエネルギーが複数の蓄電素子間で所望の分布となるように複数の放電スイッチをそれぞれ駆動するように構成された制御部とを備える。
【０００８】
上記の閃光放電ランプ点灯装置によると、複数の蓄電素子の充電後であってそのエネルギーを複数の閃光放電ランプに投入する前に、複数の蓄電素子のエネルギーが複数の蓄電素子間で所望の分布となるように、複数の蓄電素子にそれぞれ並列接続された放電回路の放電スイッチがそれぞれ駆動される。これにより、閃光放電ランプ点灯装置において、複数の蓄電素子に対して個別に直流電源を設けることなく、各蓄電素子から各ランプへのエネルギー投入量を所望の分布とすることが可能となる。
【０００９】
第１の形態では、制御部は、複数の蓄電素子間の容量分布に応じて複数の放電スイッチのそれぞれの導通時間を決定する導通時間決定部と、それぞれの導通時間に従って複数の放電スイッチをそれぞれ駆動するスイッチ制御部とを備える。これにより、エネルギー投入量を所望の分布に調整することができる上記閃光放電ランプ点灯装置が簡素な構成で実現される。
【００１０】
第２の形態では、複数の蓄電素子の電圧をそれぞれ検出する複数の検出回路が更に設けられ、制御部は、複数の蓄電素子間の容量分布に応じてそれぞれの目標充電電圧を決定する目標電圧決定部と、複数の検出回路によって検出されるそれぞれの充電電圧がそれぞれの目標充電電圧に達するまで複数の放電スイッチをそれぞれ駆動するスイッチ制御部とを備える。これにより、エネルギー投入量を所望の分布に調整することができる上記閃光放電ランプ点灯装置が簡素な構成で実現される。
【００１１】
第３の形態では、上記第１の形態において、スイッチ制御部が、複数の放電スイッチをそれぞれＰＷＭ制御するＰＷＭスイッチ制御部からなり、制御部が、ＰＷＭ制御におけるそれぞれのデューティ比をそれぞれの導通時間に基づいて決定するデューティ決定部を備える。これにより、閃光放電ランプ点灯装置の仕様に起因して放電抵抗の抵抗値が非常に小さい場合でも、放電スイッチのＰＷＭ制御によって放電回路の放電抵抗及び放電スイッチの温度上昇ピークが抑制される。これにより、放電抵抗及び放電スイッチの故障及び短寿命化が抑制され、高い信頼性の放電回路が得られる。
【００１２】
第４の形態では、上記第２の形態において、スイッチ制御部が、複数の検出回路によって検出されるそれぞれの充電電圧がそれぞれの目標充電電圧に達するまで複数の放電スイッチをそれぞれＰＷＭ制御するＰＷＭスイッチ制御部からなる。これにより、閃光放電ランプ点灯装置の仕様に起因して放電抵抗の抵抗値が非常に小さい場合でも、放電スイッチのＰＷＭ制御によって制御部の処理（応答）を充電電圧の速い放電速度に対応させることができ、精密な充電電圧調整を行うことが可能となる。また、放電スイッチのＰＷＭ制御によって放電回路の放電抵抗及び放電スイッチの温度上昇ピークが抑制されることにより、高い信頼性の放電回路が得られる。
【００１３】
ここで、一形態として、上記の所望の分布は均一な分布である。これにより、複数の蓄電素子の容量ばらつきにかかわらず、複数の蓄電素子から複数の閃光放電ランプにそれぞれ投入されるエネルギーが均一化され、複数の閃光放電ランプからの均一な照射が実現される。
【００１４】
また、制御部が、複数の蓄電素子のうちの容量が最も小さい蓄電素子に対応する放電スイッチをオフ状態に維持するようにしてもよい。これにより、オンすべき放電スイッチ数を減少させることができ、制御が簡素化される。また、オフ状態に維持される放電スイッチ及び放電抵抗の長寿命化が可能となり、放電回路の信頼性が向上する。
【００１５】
また更に、制御部が、前記閃光放電ランプ点灯装置の使用終了後に複数の放電スイッチの各々をオンする終了制御部を更に備えるようにしてもよい。このように、放電回路は、蓄電素子の残電圧放電回路も兼ねる。点灯前の電圧調整回路としての機能及び装置使用終了後の安全対策回路としての機能の双方を兼ねることになる。言い換えると、閃光放電ランプ点灯装置に一般的に装備されている安全対策用の回路が点灯前の電圧調整用の回路として利用される構成は、点灯前の電圧調整用に別途の回路部品を要することがなく、閃光放電ランプ点灯装置の小型化及び低コスト化の観点で好ましい。
【００１６】
本発明の閃光照射装置は、上記いずれかの閃光放電ランプ点灯装置と、複数の閃光放電ランプを備える。これにより、被照射対象物、すなわち被処理物への均一な照射又は所望の分布による照射が実現される。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１の実施形態による閃光放電ランプ点灯装置及び閃光照射装置の回路構成図である。
【図２】第１の実施形態における充電電圧の調整動作を説明する図である。
【図３】第１の実施形態における放電スイッチの動作を説明する図である。
【図４】第１の実施形態における制御を示すフローチャートである。
【図５】本発明の第２の実施形態による閃光放電ランプ点灯装置及び閃光照射装置の回路構成図である。
【図６】第２の実施形態における充電電圧の調整動作を説明する図である。
【図７】第２の実施形態における放電スイッチの動作を説明する図である。
【図８】第２の実施形態における制御を示すフローチャートである。
【図９】本発明の第３の実施形態による閃光放電ランプ点灯装置の制御部のブロック図である。
【図１０】第３の実施形態における充電電圧の調整動作を説明する図である。
【図１１】第３の実施形態における放電スイッチの動作を説明する図である。
【図１２】本発明の第４の実施形態による閃光放電ランプ点灯装置の制御部のブロック図である。
【図１３】第４の実施形態における充電電圧の調整動作を説明する図である。
【図１４】第４の実施形態における放電スイッチの動作を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
＜第１の実施形態＞
図１に、本発明の第１の実施形態による閃光放電ランプ点灯装置１００（以下、「点灯装置１００」という）及び閃光照射装置１５０の回路構成図を示す。閃光照射装置１５０は、点灯装置１００並びに閃光放電ランプ５０Ａ、５０Ｂ及び５０Ｃ（以下、「ランプ５０Ａ〜５０Ｃ」ともいう）を含む。閃光照射装置１５０は、例えば、半導体製造において半導体ウェハー等を閃光照射によって加熱処理する工程に用いられる。
【００１９】
ランプ５０Ａ〜５０Ｃは、キセノンランプ等の閃光放電に適したランプであり、処理対象物（被照射対象物）を短時間照射して加熱するためのランプである。ランプ５０Ａ〜５０Ｃは、所定の高電圧が印加された状態で、後述するトリガワイヤ８Ａ〜８Ｃによるトリガによって絶縁破壊され、ランプ電流が通電されるように設計されているものとする。
【００２０】
点灯装置１００は、直流電源１、ダイオード２Ａ、２Ｂ及び２Ｃ、蓄電素子３Ａ、３Ｂ及び３Ｃ、放電抵抗４Ａ、４Ｂ及び４Ｃ、放電スイッチ５Ａ、５Ｂ及び５Ｃ、検出回路６Ａ、６Ｂ及び６Ｃ、コイル７Ａ、７Ｂ及び７Ｃ、始動回路８並びに制御部９を備える。
【００２１】
直流電源１は昇圧コンバータを含む。商用電源等の交流電源が入力される場合には、直流電源１は、例えば、交流電圧を全波整流する全波整流器、全波整流出力を平滑する平滑コンデンサ、平滑電圧を高周波で交流変換するフルブリッジ回路、交流変換出力を昇圧する昇圧トランス、及び昇圧トランスの２次出力を整流する整流回路を含む。直流電源１に直流電源が入力される場合には、上記の全波整流器が不要となる。以降の説明において、直流電源の出力電圧は、例えば、数１０００Ｖ（例えば、４０００Ｖ程度）であるものとする。
【００２２】
ダイオード２Ａ〜２Ｃは、直流電源１に並列接続され、直流電源１の出力を整流する整流回路を構成する。ダイオード２Ａ〜２Ｃのアノードが直流電源１の正極端子に接続され、カソードが蓄電素子３Ａ〜３Ｃの高電位側端子にそれぞれ接続される。なお、ダイオード２Ａ〜２Ｃのカソードが直流電源１の負極端子に接続され、アノードが蓄電素子３Ａ〜３Ｃの低電位側端子にそれぞれ接続されるようにしてもよい。
【００２３】
蓄電素子３Ａ〜３Ｃは、直流電源１からの出力、すなわちダイオード２Ａ〜２Ｃからの整流出力をそれぞれ充電する。したがって、蓄電素子３Ａ〜３Ｃには、充電が完了した時点で直流電源１の出力電圧（例えば、４０００Ｖ程度）が一旦保持される。蓄電素子３Ａ〜３Ｃは、コンデンサ（例えば、オイルコンデンサ）であればよい。あるいは、蓄電素子３Ａ〜３Ｃは電気二重層コンデンサ、バッテリ、電解コンデンサ等であってもよい。図１においては、蓄電素子３Ａについて１つのコンデンサを図示しているが、充電電圧、コンデンサの電圧定格、静電容量等を考慮して、複数のコンデンサが並列接続、直列接続又は直並列接続される構成が採用されてもよい。蓄電素子３Ｂ及び３Ｃについても同様である。また、蓄電素子３Ａ〜３Ｃは、ランプ５０Ａ〜５０Ｃにそれぞれ並列接続される。なお、本明細書において、蓄電素子の「充電電圧」とは、蓄電素子の両端電圧を意味し、これは充電中の電圧に限らず、放電中の電圧も含む概念である。
【００２４】
放電抵抗４Ａ〜４Ｃとそれぞれ対応する放電スイッチ５Ａ〜５Ｃの直列回路が放電回路１０Ａ〜１０Ｃを形成し、放電回路１０Ａ〜１０Ｃは蓄電素子３Ａ〜３Ｃにそれぞれ並列接続される。すなわち、放電抵抗４Ａ及び放電スイッチ５Ａが蓄電素子３Ａの放電回路１０Ａを形成し、放電抵抗４Ｂ及び放電スイッチ５Ｂが蓄電素子３Ｂの放電回路１０Ｂを形成し、放電抵抗４Ｃ及び放電スイッチ５Ｃが蓄電素子３Ｃの放電回路１０Ｃを形成する。放電スイッチ５Ａ〜５Ｃは、ＭＯＳＦＥＴ、ＩＧＢＴ等のスイッチ素子であればよく、制御部９によって駆動される。
【００２５】
検出回路６Ａ〜６Ｃは抵抗分圧回路からなり、蓄電素子３Ａ〜３Ｃにそれぞれ並列接続される。検出回路６Ａ〜６Ｃは、蓄電素子３Ａ〜３Ｃの充電電圧をそれぞれ検出し、検出された充電電圧を制御部９に入力する。検出回路６Ａ〜６Ｃを構成する各抵抗は高抵抗素子からなる。
【００２６】
コイル７Ａ〜７Ｃは、蓄電素子３Ａ〜３Ｃからランプ５０Ａ〜５０Ｃへのランプ電流経路上にそれぞれ挿入され、これにより、蓄電素子３Ａ〜３Ｃからランプ５０Ａ〜５０Ｃに流れるランプ電流のパルス波形が調整される。すなわち、必要なランプ電流波形（パルスのピーク値及び時間幅）に応じてコイル７Ａ〜７Ｃのインダクタンス値が適切に選択される。逆に、ランプ電流における高いピーク値を確保するためには、蓄電素子３Ａ〜３Ｃからランプ５０Ａ〜５０Ｃへの配線のインダクタンスのみで充分な場合には、コイル７Ａ〜７Ｃはなくてもよい。
【００２７】
始動回路８は、作動されると高電圧パルスをトリガワイヤ８Ａ、８Ｂ及び８Ｃに印加する。トリガワイヤ８Ａ〜８Ｃはランプ５０Ａ〜５０Ｃにそれぞれ巻回されたトリガ線からなる。始動回路８は、例えば、トランスと、トランスの１次巻線に直列接続された１次コンデンサ及びスイッチ素子と、１次コンデンサを充電する充電用回路を含み、トランスの２次巻線がトリガ導体部８Ａ〜８Ｃに接続される構成とすることができる。１次コンデンサが充電された状態でスイッチ素子が導通すると１次コンデンサからの放電電流によりトランスの１次巻線に１次パルス電圧が発生する。１次パルス電圧がトランスの巻数比に応じて昇圧され、トランスの２次巻線に発生する昇圧された２次パルス電圧がトリガワイヤ８Ａ〜８Ｃに印加される。なお、トリガワイヤ８Ａ〜８Ｃは、図１に示すように、ランプ５０Ａ〜５０Ｃに対して一連の導体として設けられてもよいし、５０Ａ〜５０Ｃの各々に対して個別に（すなわち、始動回路８から並列に）設けられてもよい。
【００２８】
制御部９は、入出力インターフェイス（Ｉ／Ｏ）９０、充電制御部９１、容量分布取得部９２、導通時間決定部９３、スイッチ制御部９６、始動制御部９７、終了制御部９８及び記憶部９９を備え、これらはバスＢによって相互に信号又はデータのやりとりが可能な態様で接続される。また、Ｉ／Ｏ９０は、点灯装置１００の外部からのユーザ操作入力（指令）も受付可能であるものとする。充電制御部９１、容量分布取得部９２、導通時間決定部９３、スイッチ制御部９６、始動制御部９７及び終了制御部９８の全部又は一部がＣＰＵを構成する。記憶部９９は、データ、プログラム等を記憶するＲＯＭ、ＲＡＭ等のメモリである。制御部９は、直流電源１、放電スイッチ５Ａ〜５Ｃ及び始動回路８を制御する。概略として、制御部９は、蓄電素子３Ａ〜３Ｃの充電後であってそのエネルギーをランプ５０Ａ〜５０Ｃに投入する前に、蓄電素子３Ａ〜３Ｃのエネルギーが蓄電素子間で均一となるように決定された導通時間Ｔａ〜Ｔｃに従って放電スイッチ５Ａ〜５Ｃをそれぞれ駆動する。
【００２９】
充電制御部９１は、例えば点灯装置１００の外部から点灯指令を受けると、直流電源１に充電開始信号を出力して蓄電素子３Ａ〜３Ｃを充電させる。そして、例えば、検出回路６Ａ〜６Ｃのいずれかによって検出される充電電圧が所定電圧Ｖ０に達した時点で充電制御部９１が充電停止信号を直流電源１に出力して充電動作を停止させる。あるいは、直流電源１の内部の出力電圧検出回路（不図示）又は検出回路６Ａ〜６Ｃのいずれかによって検出される充電電圧が直流電源１に直接入力され、充電電圧が所定電圧Ｖ０に達した時点で直流電源１が自律的に充電動作を停止し、充電が完了したことを示す充電完了信号を制御部９に出力するようにしてもよい。
【００３０】
直流電源１は、蓄電素子３Ａ〜３Ｃを定電流制御により充電することができるものとする。一方、直流電源１の出力動作が停止すると、蓄電素子３Ａ〜３Ｃの充電電圧は、検出回路６Ａ〜６Ｃの抵抗によってわずかに減少してしまう。したがって、充電電圧が所定電圧Ｖ０に達した後も、直流電源１は、上述した内部の出力電圧検出回路又は検出回路６Ａ〜６Ｃのいずれかによって検出される充電電圧が所定電圧Ｖ０に一致するように、出力電圧を定電圧制御することができるものとする。なお、以降において、蓄電素子３Ａ〜３Ｃの充電電圧をＶａ〜Ｖｃとし、直流電源１の出力によって蓄電素子３Ａ〜３Ｃが充電されている状態における充電電圧Ｖａ〜Ｖｃ（全て等しいものとする）を共通充電電圧Ｖcomというものとする。
【００３１】
容量分布取得部９２は、蓄電素子３Ａ〜３Ｃの容量（コンデンサの場合は静電容量）のばらつき、すなわち蓄電素子３Ａ〜３Ｃ間の容量分布を取得する。蓄電素子３Ａ〜３Ｃの容量分布の取得には種々の態様があり得る。例えば、容量分布取得部９２が、まず、直流電源１を作動させ、蓄電素子３Ａ〜３Ｃを所定電圧Ｖｘまで充電する（所定電圧Ｖｘは上記所定電圧Ｖ０より低くてもよい）。その後、容量分布取得部９２は、放電スイッチ５Ａ〜５Ｃを所定時間だけオンし、このオン時間及びオン時間終了後の充電電圧に基づいて、蓄電素子３Ａ〜３Ｃの容量Ｃａ〜Ｃｃを演算することができる。具体的には、放電抵抗４Ａ〜４Ｃの各抵抗値をＲ４とし（相互に等しいものとする）、検出抵抗６Ａ〜６Ｃの各抵抗値をＲ６とし（相互に等しいものとする）、オン時間Ｔｏｎの間に充電電圧ＶａがＶｘからＶｙまで低下したとすると、
Ｃａ＝Ｔｏｎ／｛（Ｒ４×Ｒ６／（Ｒ４＋Ｒ６））×ｌｎ（Ｖｘ／Ｖｙ）｝
となる。Ｒ４＜＜Ｒ６の場合には、近似的に、
Ｃａ≒Ｔｏｎ／｛Ｒ４×ｌｎ（Ｖｘ／Ｖｙ）｝
となる。容量Ｃｂ及びＣｃについても同様である。
あるいは、点灯装置１００のユーザが、蓄電素子３Ａ〜３Ｃの容量をインピーダンスアナライザ等で測定しておき、測定したそれぞれの容量Ｃａ〜Ｃｃを容量分布取得部９２に外部入力するようにしてもよい。
【００３２】
導通時間決定部９３は、容量分布取得部９２で取得された容量分布に基づいて、放電スイッチ５Ａ〜５Ｃのそれぞれの導通時間Ｔａ〜Ｔｃを決定する。１つの蓄電素子の容量をＣ、充電電圧をＶとした場合、１つの蓄電素子から１本のランプに投入されるエネルギーは概ね１／２ＣＶ２となる。ここで、蓄電素子３Ａ〜３Ｃの放電前の充電電圧をＶ０とし、電圧調整期間の長さをＴ０（Ｔａ、Ｔｂ、Ｔｃ≦Ｔ０）とすると、電圧調整期間の終了時の充電電圧Ｖ１ａ〜Ｖ１ｃは、それぞれ以下の式（１）〜（３）で表される。なお、ｅは自然対数の低である。
Ｖ１ａ＝Ｖ０×ｅ−Ｔａ／（ＣａＲ４）−Ｔ０／（ＣａＲ６）  ・・・（１）
Ｖ１ｂ＝Ｖ０×ｅ−Ｔｂ／（ＣｂＲ４）−Ｔ０／（ＣｂＲ６）  ・・・（２）
Ｖ１ｃ＝Ｖ０×ｅ−Ｔｃ／（ＣｃＲ４）−Ｔ０／（ＣｃＲ６）  ・・・（３）
そして、導通時間決定部９３は、
１／２×Ｃａ×Ｖ１ａ２＝１／２×Ｃｂ×Ｖ１ｂ２＝１／２×Ｃｃ×Ｖ１ｃ２
となるように導通時間Ｔａ〜Ｔｃを決定する。
【００３３】
なお、導通時間Ｔａ〜Ｔｃを決定する方法は上記に限られない。例えば、ランプ５０Ａ〜５０Ｃを事前に発光させて照度分布、温度分布、又は（カロリーメーター等の計測器によって）熱量分布を測定しておき、これらの測定値が導通時間決定部９３に入力されるようにし、導通時間決定部９３がこれらの測定値に基づいて各ランプに投入すべき所望のエネルギーを算出する。あるいは、上記測定値に基づいて装置外部で算出された各所望のエネルギーが導通時間決定部９３に入力されるようにしてもよい。そして、導通時間決定部９３は、上記所望のエネルギーに基づいて電圧調整期間終了時の充電電圧Ｖ１ａ〜Ｖ１ｃ及び導通時間Ｔａ〜Ｔｃを決定することができる。言い換えると、ランプ５０Ａ〜５０Ｃに投入される各エネルギーは（閃光照射装置１５０における反射板（不図示）等の影響を考慮して）均一に設定されるとは限らず、各エネルギーが所望の分布となるように導通時間Ｔａ〜Ｔｃが微調整されるようにしてもよい。
【００３４】
ここで、蓄電素子３Ａ〜３Ｃのうち、最も容量の小さい蓄電素子に対応する放電スイッチの導通時間をゼロとして、残余の蓄電素子に対応する放電スイッチのみに対するそれぞれの導通時間が決定されるようにしてもよい。例えば、容量がＣａ＜Ｃｂ＜Ｃｃである場合には導通時間はＴａ＜Ｔｂ＜Ｔｃとなるので、蓄電素子３Ａに対応する放電スイッチ５Ａの導通時間Ｔａがゼロとされ、蓄電素子３Ｂ及び３Ｃに対応する導通時間Ｔｂ及びＴｃのみが決定されるようにすればよい。これにより、オンすべき放電スイッチ数を減少させることができ、制御が簡素化される。また、これにより、オンされない放電スイッチ５Ａの総動作時間が短縮され、放電抵抗４Ａ及び放電スイッチ５Ａの長寿命化が可能となり、放電回路１０Ａの信頼性が向上する。
【００３５】
また、式（１）〜（３）において、Ｔａ＜Ｔｂ＜Ｔｃにおいて、Ｔａ＝０及びＴ０＝Ｔｃであるとすると、式（１）〜（３）は、それぞれ以下の式（４）〜（６）となる。
Ｖ１ａ＝Ｖ０×ｅ−Ｔｃ／（ＣａＲ６）  ・・・（４）
Ｖ１ｂ＝Ｖ０×ｅ−Ｔｂ／（ＣｂＲ４）−Ｔｃ／（ＣｂＲ６）  ・・・（５）
Ｖ１ｃ＝Ｖ０×ｅ−Ｔｃ／（ＣｃＲ４）−Ｔｃ／（ＣｃＲ６）  ・・・（６）
これにより、導通時間決定部９３においてＴｂ及びＴｃを導出するための演算負荷も軽減される。また更に、検出回路６Ａ〜６Ｃの抵抗値Ｒ６の、電圧調整動作への影響を無視できるとすると、式（４）〜（６）は、それぞれ以下の式（７）〜（９）となる。
Ｖ１ａ≒Ｖ０  ・・・（７）
Ｖ１ｂ≒Ｖ０×ｅ−Ｔｂ／（ＣｂＲ４）  ・・・（８）
Ｖ１ｃ≒Ｖ０×ｅ−Ｔｃ／（ＣｃＲ４）  ・・・（９）
これにより、演算負荷が一層軽減される。
【００３６】
スイッチ制御部９６は、導通時間決定部９３によって決定された導通時間Ｔａ〜Ｔｃに従って放電スイッチ５Ａ〜５Ｃをそれぞれ駆動する。スイッチ制御部９６の動作中には、直流電源１の出力動作は停止されるものとする。なお、本明細書において、放電スイッチ５Ａ〜５Ｃの「駆動」とは、各放電スイッチの「オン」及び「オフ」を含む概念である。導通時間Ｔａ〜Ｔｃのうちの１つ（本例ではＴａ）がゼロの場合には、放電スイッチ５Ａ〜５Ｃのうちの２つ（本例では５Ｂ及び５Ｃ）がオンされることになる。
【００３７】
始動制御部９７は、スイッチ制御部９６による放電スイッチ５Ａ〜５Ｃの制御が終了すると、すなわち、導通時間Ｔａ〜Ｔｃのうち最も終期が遅いものが終了すると、始動信号を始動回路８に出力する。これにより、始動回路８及びトリガワイヤ８Ａ〜８Ｃが作動され、ランプ５０Ａ〜５０Ｃの点灯が行われる。すなわち、蓄電素子３Ａ〜３Ｃの充電電圧Ｖａ〜ＶｃがそれぞれＶ１ａ〜Ｖ１ｃである状態においてランプ５０Ａ〜５０Ｃの絶縁破壊が行われ、ランプ５０Ａ〜５０Ｃには、１／２×Ｃａ×Ｖ１ａ２＝１／２×Ｃｂ×Ｖ１ｂ２＝１／２×Ｃｃ×Ｖ１ｃ２のエネルギーが投入される。
【００３８】
終了制御部９８は、点灯装置１００乃至は閃光照射装置１５０の使用終了後（以下、「装置使用終了後」という）に、放電スイッチ５Ａ〜５Ｃを全てオンし、蓄電素子３Ａ〜３Ｃの残電圧を放電回路１０Ａ〜１０Ｃによって放電させる。上記の装置使用終了後とは、例えば、閃光照射装置１５０による一連の照射処理工程（例えば一日の生産）が終了した後におけるいずれかの時点を意味し、この時点に、制御部９への所定のユーザ操作入力が行われることによって終了制御部９８が動作する。ランプ点灯後においても、ランプ電圧（例えば、５０Ｖ〜１００Ｖ程度）未満の電圧が各蓄電素子に残る場合があり、装置使用終了後には、この残電圧を放電して点灯装置１００の端部電圧を安全電圧まで低下させることが望ましい。このように、放電回路１０Ａ〜１０Ｃは、点灯前の電圧調整回路としての機能及び装置使用終了後の安全対策回路としての機能の双方を兼ねることになる。言い換えると、本発明では、閃光放電ランプ点灯装置に一般的に装備されている安全対策用の残電圧放電回路が点灯前の電圧調整用の回路として利用されるので、点灯前の電圧調整用に別途の回路部品を要することがなく、点灯装置１００の小型化及び低コスト化の観点で好ましい。
【００３９】
図２は、本実施形態における充電電圧の調整動作を説明する図である。縦軸に蓄電素子３Ａ〜３Ｃの充電電圧Ｖａ〜Ｖｃ及び共通充電電圧Ｖcomを示し、横軸に時間を示す。なお、以降の各図において、図面において、時間及び電圧の尺度は実際の尺度を表すとは限らず、説明の便宜上それらの全体又は一部が誇張又は省略される場合がある。
【００４０】
時刻ｔ０において、充電制御部９１が直流電源１の充電動作を開始させる。これにより、共通充電電圧Ｖcomが上昇していく。
時刻ｔ１において、共通充電電圧Ｖcomが所定電圧Ｖ０に到達すると、直流電源１は出力電圧を定電圧制御し、共通充電電圧Ｖcomを所定電圧Ｖ０に維持する。
【００４１】
時刻ｔ２において、直流電源１の定電圧制御（すなわち、出力動作）が停止され、その直後にスイッチ制御部９６による電圧調整動作が開始される。なお、本例では、蓄電素子３Ａ〜３Ｃの容量は、Ｃａ＜Ｃｂ＜Ｃｃであるものとし、導通時間Ｔａ＝０とされ、導通時間Ｔｂ及びＴｃの終了時刻が揃えられるものとする。したがって、時刻ｔ２では、まず、放電スイッチ５Ｃだけがオンされ、蓄電素子３Ｃの放電が開始される。また、蓄電素子３Ａ及び３Ｂの充電電圧Ｖａ及びＶｂは、検出回路６Ａ及び６Ｂによってわずかに減少していく。
【００４２】
時刻ｔ３において、放電スイッチ５Ｂがオンされ、蓄電素子３Ｂの放電が開始される。また、蓄電素子３Ａの充電電圧Ｖａは、検出回路６Ａによってわずかに減少していく。
【００４３】
時刻ｔ４（厳密には時刻ｔ４の直前）において、スイッチ制御部９６による電圧調整動作が終了する。すなわち、時刻ｔ２から時刻ｔ４までが導通時間Ｔｃに相当し、時刻ｔ３から時刻ｔ４までが導通時間Ｔｂに相当する。上述したように、この時点で、充電電圧Ｖａ〜ＶｃはそれぞれＶ１ａ〜Ｖ１ｃとなっている。そして、スイッチ制御部９６の動作終了の直後の時刻ｔ４に、始動制御部９７が始動回路８を作動させる。これにより、ランプ５０Ａ〜５０Ｃが絶縁破壊され、蓄電素子３Ａ〜３Ｃのエネルギーがそれぞれランプ５０Ａ〜５０Ｃに投入される。なお、図２において、厳密には、時刻ｔ４以降には充電電圧Ｖａ〜Ｖｃの３本の線が現われることになるが、重なった１本の線として図示してある（以下、同じ）。
【００４４】
図３に、時刻ｔ２から時刻ｔ４までの放電スイッチ５Ａ〜５Ｃの動作を示す。図示するように、放電スイッチ５Ａはオフ状態に維持され、放電スイッチ５Ｂは時刻ｔ２以降ｔ３前の期間にオンされ、放電スイッチ５Ｃは時刻ｔ１以降ｔ３前の期間にオンされる。なお、本例では、期間Ｔｂが時刻ｔ２と時刻ｔ３の間に設けられているが、時刻ｔ１と時刻ｔ３の間であればどの区間に設けられていてもよい。
【００４５】
図４に、本実施形態による点灯制御のフローチャートを示す。
ステップＳ１０において、容量分布取得部９２が蓄電素子３Ａ〜３Ｂの容量Ｃａ〜Ｃｃを取得する。
ステップＳ１５において、導通時間決定部９３が、容量Ｃａ〜Ｃｃ等に基づいて放電スイッチ５Ａ〜５Ｃの導通時間Ｔａ〜Ｔｃを演算及び決定する。
【００４６】
ステップＳ２０において、充電制御部９１が点灯指令を受け付けた場合（ステップＳ２０、Ｙｅｓ）、ステップＳ２２において、充電制御部９１が直流電源１に充電動作（例えば、定電流制御）を実行させる。
ステップＳ２４において、充電制御部９１又は直流電源１が、共通充電電圧Ｖcomが所定電圧Ｖ０に達したか否かを判別し、共通充電電圧Ｖcomが所定電圧Ｖ０に達すると（ステップＳ２４、Ｙｅｓ）ステップＳ２６で充電動作が停止され、処理はステップＳ３０に進む。
【００４７】
ステップＳ３０において、充電制御部９１が、直流電源１に定電圧制御を実行させ、共通充電電圧ＶcomをＶ０に維持する。
ステップＳ３２において、充電制御部９１が直流電源１の出力動作を停止させる。
ステップＳ３４において、スイッチ制御部９６が放電スイッチ５Ａ〜５Ｃを導通時間Ｔａ〜Ｔｃに従って駆動する。駆動終了の直後に処理はステップＳ５０に移行する。
【００４８】
ステップＳ５０において、始動制御部９７が始動回路８を作動させ、これにより、ランプ５０Ａ〜５０Ｃが閃光点灯する。
【００４９】
ステップＳ６０において、装置使用終了か否かが判断される。制御部９に装置使用終了を示すユーザ操作入力がない場合には装置使用終了でないと判断され（ステップＳ６０、Ｎｏ）、処理はステップＳ２０に戻る。一方、制御部９に装置使用終了を示すユーザ操作入力が行われた場合には装置使用終了と判断され（ステップＳ６０、Ｙｅｓ）、処理はステップＳ６５に進む。
ステップＳ６５において、終了制御部９８が、放電スイッチ５Ａ〜５Ｃを全てオンさせ、蓄電素子３Ａ〜３Ｃの残電圧を放電回路１０Ａ〜１０Ｃによって放電させる。
【００５０】
以上のように、本発明の点灯装置１００は、直流電源１に並列接続されてその出力を整流するダイオード２Ａ〜２Ｃと、ダイオード２Ａ〜２Ｃの整流出力端にそれぞれ接続され、ランプ５０Ａ〜５０Ｃにそれぞれ並列接続される蓄電素子３Ａ〜３Ｃと、蓄電素子３Ａ〜３Ｃにそれぞれ並列接続された放電回路１０Ａ〜１０Ｃを備える。放電回路１０Ａ（１０Ｂ、１０Ｃ）は放電抵抗４Ａ（４Ｂ、４Ｃ）と放電スイッチ５Ａ（５Ｂ、５Ｃ）の直列回路を含む。そして、制御部９が、直流電源１の出力によって蓄電素子３Ａ〜３Ｃを充電させた後であって蓄電素子３Ａ〜３Ｃのエネルギーをランプ５０Ａ〜５０Ｃに投入する前に、蓄電素子３Ａ〜３Ｃのエネルギーが蓄電素子間で均一となるように放電スイッチ５Ａ〜５Ｃをそれぞれ駆動するように構成される。これにより、点灯装置１００において、複数の蓄電素子３Ａ〜３Ｃに対して個別に直流電源を設けることなく、各蓄電素子から各ランプへのエネルギー投入量を均一な分布とすることが可能となる。
【００５１】
特に、本実施形態では、制御部９の導通時間決定部９２が、蓄電素子３Ａ〜３Ｃ間の容量分布に応じて放電スイッチ５Ａ〜５Ｃのそれぞれの導通時間Ｔａ〜Ｔｃを決定し、スイッチ制御部９６が、導通時間Ｔａ〜Ｔｃに従って放電スイッチ５Ａ〜５Ｃをそれぞれ駆動する。これにより、上記のエネルギー投入量の均一化の効果を有する点灯装置１００が簡素な構成で実現される。
【００５２】
＜第２の実施形態＞
上記第１の実施形態では、放電スイッチ５Ａ〜５Ｃの駆動前にそれらの導通時間が決定される構成を示したが、本実施形態では、放電スイッチ５Ａ〜５Ｃの駆動中に充電電圧が検出され、検出される充電電圧に基づいて導通終了時が決定される構成を示す。
【００５３】
図５に、本実施形態による点灯装置１００及び閃光照射装置１５０の回路構成図を示す。第１の実施形態と実質的に同様の構成には同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。本実施形態において、第１の実施形態とは制御部９の構成が異なる。
【００５４】
本実施形態の制御部９は、入出力インターフェイス（Ｉ／Ｏ）９０、充電制御部９１、容量分布取得部９２、目標電圧決定部９４、スイッチ制御部９６、始動制御部９７、終了制御部９８及び記憶部９９を備え、これらはバスＢによって相互に信号又はデータのやりとりが可能な態様で接続される。すなわち、本実施形態の制御部９では、第１の実施形態の制御部９の導通時間決定部９３が目標電圧決定部９４に置き換えられている。充電制御部９１、容量分布取得部９２、目標電圧決定部９４、スイッチ制御部９６、始動制御部９７及び終了制御部９８の全部又は一部がＣＰＵを構成する。本実施形態では、概略として、制御部９は、蓄電素子３Ａ〜３Ｃの充電後であってそのエネルギーをランプ５０Ａ〜５０Ｃに投入する前に、充電電圧Ｖａ〜Ｖｃが目標充電電圧Ｖ２ａ〜Ｖ２ｃに達するまで放電スイッチ５Ａ〜５Ｃをそれぞれ駆動する。目標充電電圧Ｖ２ａ〜Ｖ２ｃは、蓄電素子３Ａ〜３Ｃのエネルギーが蓄電素子間で均一となるように決定される。
【００５５】
目標電圧決定部９４は、容量分布取得部９２で取得された蓄電素子３Ａ〜３Ｃの容量Ｃａ〜Ｃｃに基づいて、蓄電素子３Ａ〜３Ｃの目標充電電圧Ｖ２ａ〜Ｖ２ｃを決定する。１つの蓄電素子の容量をＣ、充電電圧をＶとした場合、１つの蓄電素子から１本のランプに投入されるエネルギーは概ね１／２ＣＶ２となる。したがって、
１／２×Ｃａ×Ｖ２ａ２＝１／２×Ｃｂ×Ｖ２ｂ２＝１／２×Ｃｃ×Ｖ２ｃ２
となるように、目標充電電圧Ｖ２ａ〜Ｖ２ｃが決定される。
【００５６】
なお、目標充電電圧Ｖ２ａ〜Ｖ２ｃを決定する方法は上記に限られない。上記第１の実施形態で説明したように、例えば、ランプ５０Ａ〜５０Ｃを事前に発光させて照度分布、温度分布又は熱量分布を測定しておき、これらの測定値が目標電圧決定部９４に入力されるようにし、目標電圧決定部９４がこれらの測定値に基づいて各ランプに投入すべき所望のエネルギーを算出する。あるいは、上記測定値に基づいて装置外部で算出された各所望のエネルギーが目標電圧決定部９４に入力されるようにしてもよい。そして、目標電圧決定部９４は、上記所望のエネルギーに基づいて目標充電電圧Ｖ２ａ〜Ｖ２ｃを決定することができる。言い換えると、ランプ５０Ａ〜５０Ｃに投入される各エネルギーは（閃光照射装置１５０における反射板等の影響を考慮して）均一に設定されるとは限らず、各エネルギーが所望の分布となるように目標充電電圧Ｖ２ａ〜Ｖ２ｃが微調整されるようにしてもよい。
【００５７】
スイッチ制御部９６は、検出回路６Ａ〜６Ｃによって検出されるそれぞれの充電電圧Ｖａ〜Ｖｃがそれぞれの目標充電電圧Ｖ２ａ〜Ｖ２ｃとなるように放電スイッチ５Ａ〜５Ｃをそれぞれ駆動する。本実施形態では、検出回路６Ａ〜６Ｃによる放電は、電圧調整動作へ影響が小さいものとして無視する。また、目標充電電圧が所定電圧Ｖ０に実質的に等しい回路における放電スイッチはオンされなくてもよい。
【００５８】
始動制御部９７は、スイッチ制御部９６による放電スイッチ５Ａ〜５Ｃの制御が終了すると、始動信号を始動回路８に出力する。これにより、始動回路８及びトリガワイヤ８Ａ〜８Ｃが作動され、ランプ５０Ａ〜５０Ｃの点灯が行われる。すなわち、充電電圧Ｖａ〜ＶｃがそれぞれＶ２ａ〜Ｖ２ｃである状態においてランプ５０Ａ〜５０Ｃの絶縁破壊が行われ、ランプ５０Ａ〜５０Ｃには、１／２×Ｃａ×Ｖ２ａ２＝１／２×Ｃｂ×Ｖ２ｂ２＝１／２×Ｃｃ×Ｖ２ｃ２のエネルギーが投入される。
【００５９】
図６は、本実施形態における電圧調整動作を含む点灯制御を説明する図である。縦軸に、蓄電素子３Ａ〜３Ｃの充電電圧Ｖａ〜Ｖｃ及び共通充電電圧Ｖcomを示し、横軸に時間を示す。時刻ｔ０〜ｔ１までは、第１の実施形態（図２参照）と同様である。すなわち、時刻ｔ０で直流電源１による充電動作（定電流動作）が開始され、時刻ｔ１で共通充電電圧ＶcomがＶ０に達し、充電動作が停止される。
【００６０】
時刻ｔ５において、直流電源１の定電圧制御（すなわち、出力動作）が停止され、その直後にスイッチ制御部９６による電圧調整動作が開始される。なお、本例でも、蓄電素子３Ａ〜３Ｃの容量は、Ｃａ＜Ｃｂ＜Ｃｃであるものとし、放電スイッチ５Ａはオンされず、放電スイッチ５Ｂ及び５Ｃのみがオンされる。本例では、検出回路６Ａによる放電を無視し、所定電圧Ｖ０≒目標充電電圧Ｖ２ａであるものとする。
【００６１】
時刻ｔ６において、充電電圧Ｖｂが目標充電電圧Ｖ２ｂに達し、放電スイッチ５Ｂがオフされる。
時刻ｔ７において、充電電圧Ｖｃが目標充電電圧Ｖ２ｃに達し、放電スイッチ５Ｃがオフされる。そして、スイッチ制御部９６の動作終了の直後に、始動回路８が作動される。これにより、ランプ５０Ａ〜５０Ｃが絶縁破壊され、蓄電素子３Ａ〜３Ｃのエネルギーがランプ５０Ａ〜５０Ｃにそれぞれ投入される。
【００６２】
図７に、時刻ｔ５から時刻ｔ７までの放電スイッチ５Ａ〜５Ｃの動作を示す。図示するように、放電スイッチ５Ａはオフ状態に維持され、放電スイッチ５Ｂは時刻ｔ５以降ｔ６以前の期間にオンされ、放電スイッチ５Ｃは時刻ｔ５以降ｔ７以前の期間にオンされる。なお、本例では、放電スイッチ５Ｂのオン開始時は時刻ｔ５より遅くてもよい。
【００６３】
図８に、本実施形態による点灯制御のフローチャートを示す。
ステップＳ１０において、容量分布取得部９２が蓄電素子３Ａ〜３Ｂの容量Ｃａ〜Ｃｃを取得する。
ステップＳ１６において、目標電圧決定部９４が蓄電素子３Ａ〜３Ｃの目標充電電圧Ｖ２ａ〜Ｖ２ｃを演算及び決定する。
【００６４】
ステップＳ２０において、充電制御部９１が点灯指令を受け付けた場合（ステップＳ２０、Ｙｅｓ）、ステップＳ２２において、充電制御部９１が直流電源１に充電動作（例えば、定電流制御）を実行させる。
ステップＳ２４において、充電制御部９１又は直流電源１が、共通充電電圧Ｖcomが所定電圧Ｖ０に達したか否かを判別し、共通充電電圧Ｖcomが所定電圧Ｖ０に達すると（ステップＳ２４、Ｙｅｓ）ステップＳ２６で充電動作が停止され、処理はステップＳ３０に進む。
【００６５】
ステップＳ３０において、充電制御部９１が、直流電源１に定電圧制御を実行させ、共通充電電圧ＶcomをＶ０に維持する。
ステップＳ３２において、充電制御部９１が直流電源１の出力動作を停止させる。
【００６６】
ステップＳ４０において、スイッチ制御部９６が放電スイッチ５Ａ〜５Ｃをオンする。なお、最も容量の小さい蓄電素子（本例では蓄電素子３Ａ）に対応する放電スイッチ（本例では放電スイッチ５Ａ）はオンされなくてもよい。
【００６７】
ステップＳ４２Ａにおいて、スイッチ制御部９６は放電スイッチ５Ａがオンされているいか否かを判別し、放電スイッチ５Ａがオンされている場合（ステップＳ４２Ａ、Ｙｅｓ）、処理はステップＳ４４Ａに進み、放電スイッチ５Ａがオフされている場合（ステップＳ４２Ａ、Ｎｏ）、処理はステップＳ４２Ｂに進む。
ステップＳ４４Ａにおいて、スイッチ制御部９６が、充電電圧Ｖａが目標充電電圧Ｖ２ａに達したか否かを判別する。充電電圧Ｖａが目標充電電圧Ｖ２ａに達した場合（ステップＳ４４Ａ、Ｙｅｓ）、処理はステップＳ４６Ａに進み、充電電圧Ｖａが目標充電電圧Ｖ２ａより高い場合（ステップＳ４４Ａ、Ｎｏ）、処理はステップＳ４２Ｂに進む。ステップＳ４６Ａにおいて、スイッチ制御部９６が放電スイッチ５Ａをオフする。
【００６８】
ステップＳ４２Ｂにおいて、スイッチ制御部９６は放電スイッチ５Ｂがオンされているいか否かを判別し、放電スイッチ５Ｂがオンされている場合（ステップＳ４２Ｂ、Ｙｅｓ）、処理はステップＳ４４Ｂに進み、放電スイッチ５Ｂがオフされている場合（ステップＳ４２Ｂ、Ｎｏ）、処理はステップＳ４２Ｃに進む。
ステップＳ４４Ｂにおいて、スイッチ制御部９６が、充電電圧Ｖｂが目標充電電圧Ｖ２ｂに達したか否かを判別する。充電電圧Ｖｂが目標充電電圧Ｖ２ｂに達した場合（ステップＳ４４Ｂ、Ｙｅｓ）、処理はステップＳ４６Ｂに進み、充電電圧Ｖｂが目標充電電圧Ｖ２ｂより高い場合（ステップＳ４４Ｂ、Ｎｏ）、処理はステップＳ４２Ｃに進む。ステップＳ４６Ｂにおいて、スイッチ制御部９６が放電スイッチ５Ｂをオフする。
【００６９】
ステップＳ４２Ｃにおいて、スイッチ制御部９６は放電スイッチ５Ｃがオンされているいか否かを判別し、放電スイッチ５Ｃがオンされている場合（ステップＳ４２Ｃ、Ｙｅｓ）、処理はステップＳ４４Ｃに進み、放電スイッチ５Ｃがオフされている場合（ステップＳ４２Ｃ、Ｎｏ）、処理はステップＳ４８に進む。
ステップＳ４４Ｃにおいて、スイッチ制御部９６が、充電電圧Ｖｃが目標充電電圧Ｖ２ｃに達したか否かを判別する。充電電圧Ｖｃが目標充電電圧Ｖ２ｃに達した場合（ステップＳ４４Ｃ、Ｙｅｓ）、処理はステップＳ４６Ｃに進み、充電電圧Ｖｃが目標充電電圧Ｖ２ｃより高い場合（ステップＳ４４Ｃ、Ｎｏ）、処理はステップＳ４８に進む。ステップＳ４６Ｃにおいて、スイッチ制御部９６が放電スイッチ５Ｃをオフする。
【００７０】
ステップＳ４８において、スイッチ制御部９６は全放電スイッチ５Ａ〜５Ｃがオフされているか否かを判別する。全放電スイッチ５Ａ〜５Ｃがオフされている場合（ステップＳ４８、Ｙｅｓ）、処理はステップＳ５０に進み、それ以外の場合（ステップＳ４８、Ｎｏ）、処理はステップＳ４２Ａに戻る。
【００７１】
ステップＳ５０、Ｓ６０及びＳ６５は第１の実施形態のものと同様である。すなわち、ステップＳ５０において、始動制御部９７が始動回路８を作動させてランプ５０Ａ〜５０Ｃの閃光点灯を行う。ステップＳ６０において、装置使用終了と判断された場合には処理はステップＳ６５に進み、それ以外の場合には処理はステップＳ２０戻る。ステップＳ６５において、終了制御部９８が、放電スイッチ５Ａ〜５Ｃを全てオンし、蓄電素子３Ａ〜３Ｃの残電圧を放電回路１０Ａ〜１０Ｃで放電させる。
【００７２】
以上のように、本実施形態の本発明の点灯装置１００によると、第１の実施形態と同様に、複数の蓄電素子３Ａ〜３Ｃに対して個別に直流電源を設けることなく、各蓄電素子から各ランプへのエネルギー投入量を均一な分布とすることが可能となる。特に、本実施形態の制御部９の目標電圧決定部９４が、蓄電素子３Ａ〜３Ｃ間の容量分布に応じてそれぞれの目標充電電圧Ｖ２ａ〜Ｖ２ｃを決定し、スイッチ制御部９６が、検出回路６Ａ〜６Ｃによって検出される充電電圧Ｖａ〜Ｖｃがそれぞれ目標充電電圧Ｖ２ａ〜Ｖ２ｃに達するまで放電スイッチ５Ａ〜５Ｃをそれぞれ駆動する。このような構成によっても、上記の効果を有する点灯装置１００が簡素な構成で実現される。
【００７３】
＜第３の実施形態＞
上記第１の実施形態では、決定された導通時間に応じて各放電スイッチが継続的にオン又はオフされる構成を示したが、本実施形態では、各放電スイッチが導通時間に基づいたデューティ比でＰＷＭ制御される構成を示す。
【００７４】
ところで、ランプ点灯後に放電回路によって行われる蓄電素子の残電圧放電の所要時間は、閃光放電ランプ点灯装置の仕様によって決められている場合がある。この所要時間の要求時間が短く、それゆえ放電抵抗の抵抗値が非常に小さい場合には、放電スイッチの比較的長いオン動作中に大きなエネルギーが放電回路で消費されることになる。これにより、放電抵抗及び放電スイッチの温度上昇におけるピーク値も相応なものとなり得る。この高い温度ピークに起因して、放電抵抗又は放電スイッチの故障又は短寿命化、ひいては放電回路の信頼性低下が懸念される。そこで、本実施形態では、制御部９が、比較的短いオン期間によるＰＷＭ制御によって放電スイッチ５Ａ〜５Ｃを駆動する構成を採用する。
【００７５】
図９に、本実施形態による点灯装置１００の制御部９のブロック図を示す。本実施形態の点灯装置１００において、第１の実施形態の点灯装置１００とは制御部９の構成だけが異なり、他の構成要素は実質的に同じである。第１の実施形態と実質的に同様の構成には同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００７６】
本実施形態の制御部９は、入出力インターフェイス（Ｉ／Ｏ）９０、充電制御部９１、容量分布取得部９２、導通時間決定部９３、デューティ決定部９５、ＰＷＭスイッチ制御部９６Ｐ、始動制御部９７、終了制御部９８及び記憶部９９を備え、これらはバスＢによって相互に信号又はデータのやりとりが可能な態様で接続される。すなわち、本実施形態の制御部９では、第１の実施形態の制御部９にデューティ決定部９５が付加されている。ＰＷＭスイッチ制御部９６Ｐは第１の実施形態におけるスイッチ制御部９６の変形である。充電制御部９１、容量分布取得部９２、導通時間決定部９３、デューティ決定部９５、ＰＷＭスイッチ制御部９６Ｐ、始動制御部９７及び終了制御部９８の全部又は一部がＣＰＵを構成する。
【００７７】
デューティ決定部９５は、導通時間決定部９３によって決定された導通時間Ｔａ〜Ｔｃと所与の電圧調整期間Ｔ０とに基づいて、放電スイッチ５Ａ〜５ＣをＰＷＭ駆動する際のオンデューティＤａ〜Ｄｃを決定する。具体的には、オンデューティＤａ、Ｄｂ及びＤｃは、それぞれＴａ／Ｔ０、Ｔｂ／Ｔ０及びＴｃ／Ｔ０となる。このＰＷＭ駆動におけるスイッチング周波数は任意に定められ、放電スイッチ５Ａ〜５Ｃに対して同一のものであってもよいし、異なるものであってもよい。また更に、放電スイッチ５Ａ〜５Ｃに対するＰＷＭ制御期間は異なっていてもよい。例えば、放電スイッチ５Ａ〜５Ｃが同じ周波数及び同じオン幅で駆動される場合、それぞれのＰＷＭ制御期間は、導通時間Ｔａ〜Ｔｃに比例することになる。なお、デューティ決定部９５は、ＰＷＭ制御のオンデューティの代わりにオフデューティを決定するようにしてもよく、すなわち、デューティ比を決定するものであればよい。
【００７８】
ＰＷＭスイッチ制御部９６Ｐは、第１の実施形態のスイッチ制御部９６と実質的に同様の構成を有するが、デューティ決定部９５によって決定されたデューティ比（本例ではオンデューティＤａ〜Ｄｃ）に従って放電スイッチ５Ａ〜５Ｃの各々をＰＷＭ駆動できるように構成されている。
【００７９】
図１０は、本実施形態における充電電圧の調整動作を説明する図である。縦軸に、蓄電素子３Ａ〜３Ｃの充電電圧Ｖａ〜Ｖｃ及び共通充電電圧Ｖcomを示し、横軸に時間を示す。時刻ｔ０〜ｔ１までは、第１の実施形態（図２）と同様である。すなわち、時刻ｔ０で直流電源１による充電動作（定電流動作）が開始され、時刻ｔ１で共通充電電圧ＶcomがＶ０に達し、充電動作が停止される。
【００８０】
時刻ｔ８において、直流電源１の定電圧制御（すなわち、出力動作）が停止され、その直後にスイッチ制御部９６ＰによるＰＷＭ動作（電圧調整動作）が開始される。これにより、充電電圧Ｖａ〜Ｖｃがそれぞれ減少していく。
【００８１】
時刻ｔ９において、蓄電素子３Ａ〜３Ｃの各々の合計導通時間がＴａ〜Ｔｃに達し、ＰＷＭスイッチ制御部９６ＰはＰＷＭ駆動を停止する。時刻ｔ８から時刻ｔ９までが充電電圧調整期間に相当し、時刻ｔ９の時点で、充電電圧Ｖａ〜Ｖｃは、第１の実施形態と同様にＶ１ａ〜Ｖ１ｃとなる。そして、ＰＷＭスイッチ制御部９６ＰによるＰＷＭ駆動終了の直後に、始動回路８が作動される。これにより、ランプ５０Ａ〜５０Ｃが絶縁破壊され、蓄電素子３Ａ〜３Ｃのエネルギーがランプ５０Ａ〜５０Ｃにそれぞれ投入される。
【００８２】
図１１に、図１０の時刻ｔ８から時刻ｔ９に対応する電圧調整期間の放電スイッチ５Ａ〜５Ｃの動作を示す。図１１に示すように、容量がＣａ＜Ｃｂ＜Ｃｃであり、導通時間がＴａ＜Ｔｂ＜Ｔｃであり、ＰＷＭ制御期間が各回路に対して等しいことに応じて、オンデューティはＤａ＜Ｄｂ＜Ｄｃとなる。そして、各オン期間において放電抵抗４Ａ〜４Ｃ及び放電スイッチ５Ａ〜５Ｃの温度が上昇し、各オフ期間においてその温度が低下する。したがって、放電抵抗４Ａ〜４Ｃ及び放電スイッチ５Ａ〜５Ｃの温度のピークは、放電スイッチ５Ａ〜５Ｃが導通時間Ｔａ〜Ｔｃにわたって継続的にオンされる場合よりも低減される。
【００８３】
以上のように、本実施形態によると、デューティ決定部９５がＰＷＭ制御におけるオンデューティＤａ〜Ｄｃを導通時間Ｔａ〜Ｔｃに基づいて決定し、ＰＷＭスイッチ制御部９６Ｐが放電スイッチ５Ａ〜５ＣをオンデューティＤａ〜Ｄｃに従ってそれぞれＰＷＭ制御する。これにより、点灯装置１００の仕様に起因して放電抵抗４Ａ〜４Ｃの抵抗値が非常に小さい場合でも、放電スイッチ５Ａ〜５ＣのＰＷＭ制御によって放電抵抗４Ａ〜４Ｃ及び放電スイッチ５Ａ〜５Ｃの温度上昇ピークが抑制される。したがって、放電抵抗４Ａ〜４Ｃ及び放電スイッチ５Ａ〜５Ｃの故障及び短寿命化が抑制され、放電回路１０Ａ〜１０Ｃにおいて高い信頼性が得られる。
【００８４】
＜第４の実施形態＞
上記第２の実施形態では、各放電スイッチが目標充電電圧に応じて継続的にオン又はオフされる構成を示したが、本実施形態では、各放電スイッチが目標充電電圧に応じてＰＷＭ制御される構成を示す。
【００８５】
上記第３の実施形態に関して説明したように、ランプ点灯後に放電回路によって行われる蓄電素子の残電圧放電の所要時間は、閃光放電ランプ点灯装置の仕様によって決められている場合がある。この所要時間の要求時間が短く、それゆえ放電抵抗の抵抗値が非常に小さい場合には、放電スイッチ導通時の充電電圧の低下は非常に速い。そのため、充電電圧の調整動作において、充電電圧の低下速度に制御部の処理（応答）が追従できなくなることによる調整精度の低下が懸念される。また、第３の実施形態に関して上述したように、放電抵抗及び放電スイッチの温度上昇における高いピーク値に起因して放電回路の信頼性低下も懸念される。そこで、本実施形態においても、制御部９が、短いオン期間によるＰＷＭ制御によって放電スイッチ５Ａ〜５Ｃを駆動する構成を採用する。
【００８６】
図１２に、本実施形態による点灯装置１００の制御部９のブロック図を示す。本実施形態の点灯装置１００において、第２の実施形態の点灯装置１００とは制御部９の構成だけが異なり、他の構成要素は実質的に同じである。第２の実施形態と実質的に同様の構成には同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００８７】
本実施形態の制御部９は、入出力インターフェイス（Ｉ／Ｏ）９０、充電制御部９１、容量分布取得部９２、目標電圧決定部９４、ＰＷＭスイッチ制御部９６Ｐ、始動制御部９７、終了制御部９８及び記憶部９９を備え、これらはバスＢによって相互に信号又はデータのやりとりが可能な態様で接続される。ＰＷＭスイッチ制御部９６Ｐは第２の実施形態におけるスイッチ制御部９６の変形である。充電制御部９１、容量分布取得部９２、目標電圧決定部９４、ＰＷＭスイッチ制御部９６Ｐ、始動制御部９７及び終了制御部９８の全部又は一部がＣＰＵを構成する。
【００８８】
ＰＷＭスイッチ制御部９６Ｐは、第２の実施形態のスイッチ制御部９６と実質的に同様の構成を有するが、放電スイッチ５Ａ〜５Ｃの各々をＰＷＭ駆動できるように構成されている。ＰＷＭ制御におけるパルス幅及びオンデューティ（スイッチング周波数）は、使用される蓄電素子３Ａ〜３Ｃの容量及び放電抵抗４Ａ〜４Ｃによって決まる放電時定数を考慮して予め適宜決定されていればよい。言い換えると、パルス幅が制御部９（特に、ＰＷＭスイッチ制御部９６Ｐ）の制御解像度の最小値に近いほど本実施形態の効果が得られることになる。なお、ＰＷＭ制御におけるパルス幅及びオンデューティ（スイッチング周波数）は、放電スイッチ５Ａ〜５Ｃに対して同一のものであってもよいし、異なるものであってもよい。いずれの場合においても、放電スイッチ５Ａ〜５ＣのＰＷＭ制御期間は、ＰＷＭスイッチ制御部９６ＰによるＰＷＭ動作において、充電電圧Ｖａ〜Ｖｃが目標充電電圧Ｖ２ａ〜Ｖ２ｃに達した時点でそれぞれ終了することになる。
【００８９】
図１３は、本実施形態における充電電圧の調整動作を説明する図である。縦軸に、蓄電素子３Ａ〜３Ｃの充電電圧Ｖａ〜Ｖｃ及び共通充電電圧Ｖcomを示し、横軸に時間を示す。時刻ｔ０〜ｔ１までは、第１の実施形態（図２）と同様である。なお、本例でも、蓄電素子３Ａ〜３Ｃの容量はＣａ＜Ｃｂ＜Ｃｃであるものとする。すなわち、時刻ｔ０で直流電源１による充電動作（定電流動作）が開始され、時刻ｔ１で共通充電電圧ＶcomがＶ０に達し、充電動作が停止される。また、本実施形態でも、第２の実施形態と同様に、検出回路６Ａ〜６Ｃによる放電は電圧調整動作へ影響が小さいものとして無視する。
【００９０】
時刻ｔ１０において、直流電源１の定電圧制御（すなわち、出力動作）が停止され、その直後にＰＷＭスイッチ制御部９６ＰによるＰＷＭ動作（電圧調整動作）が開始される。これにより、充電電圧Ｖａ〜Ｖｃがそれぞれ減少していく。本例では、放電スイッチ５Ａ〜５Ｃに対するオンデューティＤａ〜Ｄｃは、Ｄａ＝Ｄｂ＝Ｄｃであり、スイッチング周波数も互いに等しいものとする。
【００９１】
時刻ｔ１１において、充電電圧Ｖａが目標充電電圧Ｖ２ａに達し、放電スイッチ５ＡのＰＷＭ制御が停止されてオフ状態とされる。
時刻ｔ１２において、充電電圧Ｖｂが目標充電電圧Ｖ２ｂに達し、放電スイッチ５ＢのＰＷＭ制御が停止されてオフ状態とされる。
時刻ｔ１３において、充電電圧Ｖｃが目標充電電圧Ｖ２ｃに達し、放電スイッチ５ＣのＰＷＭ制御が停止されてオフ状態とされる。そして、この直後に、始動回路８が作動される。これにより、ランプ５０Ａ〜５０Ｃが絶縁破壊され、蓄電素子３Ａ〜３Ｃのエネルギーがランプ５０Ａ〜５０Ｃにそれぞれ投入される。
【００９２】
図１４に、図１３の時刻ｔ１０から時刻ｔ１３に対応する電圧調整期間の放電スイッチ５Ａ〜５ＣのＰＷＭ動作を示す。図１４に示すように、電圧調整期間は、充電電圧Ｖａ〜Ｖｃの全てが目標充電電圧Ｖ２ａ〜Ｖ２ｃに達した時点ｔ１３で終了する。図示するように、放電スイッチ５Ａは時刻ｔ１０以降ｔ１１以前の期間にＰＷＭ制御され、放電スイッチ５Ｂは時刻ｔ１０以降ｔ１２以前の期間にＰＷＭ制御され、放電スイッチ５Ｃは時刻ｔ１０以降ｔ１３以前の期間にＰＷＭ制御される。
【００９３】
以上のように、本実施形態によると、ＰＷＭスイッチ制御部９６Ｐは、充電電圧Ｖａ〜Ｖｃが目標充電電圧Ｖ２ａ〜Ｖ２ｃに達するまで、放電スイッチ５Ａ〜５ＣをそれぞれＰＷＭ制御する。これにより、点灯装置１００の仕様に起因して放電抵抗４Ａ〜４Ｃの抵抗値が非常に小さい場合でも、また、放電スイッチ５Ａ〜５ＣのＰＷＭ制御によって制御部９の処理（応答）を充電電圧の低下速度に対応させることができ、精密な充電電圧調整が可能となる。また、放電スイッチ５Ａ〜５ＣのＰＷＭ制御によって放電抵抗４Ａ〜４Ｃ及び放電スイッチ５Ａ〜５Ｃの温度上昇ピークが抑制され、放電回路１０Ａ〜１０Ｃにおいて高い信頼性が得られる。
【００９４】
＜変形例＞
以上に本発明の好適な実施形態を示したが、本発明は、例えば以下に示すように種々の態様に変形可能である。
【００９５】
（１）蓄電素子間のエネルギーの分布に関する変形
上記各実施形態では、蓄電素子間のエネルギーの分布が均一となる構成を示したが、蓄電素子間のエネルギーの分布は所望のものであれば均一でなくてもよい。すなわち、複数の閃光放電ランプの配置を考慮して、ある閃光放電ランプに対応する蓄電素子のエネルギーと、他の閃光放電ランプに対応する蓄電素子のエネルギーとを意図的に所望の態様で異ならせてもよい。例えば、上記各実施形態において触れたように、各閃光放電ランプに投入されるエネルギーは、閃光照射装置における反射板等の影響を考慮して微調整されて所望の分布に設定されることができる。また、複数の閃光放電ランプが同心配置された円環ランプからなる場合、外側に配置される閃光放電ランプに対応する蓄電素子のエネルギーを、内側に配置される閃光放電ランプに対応する蓄電素子のエネルギーよりも高く、又は低くして、被処理物の外周付近と中心付近の照射量を調整するようにしてもよい。
【００９６】
（２）配列数又は配置数の変形
上記各実施形態では、１つの直流電源に対して３セットの点灯回路及び閃光放電ランプが並列接続される構成としたが、１つの直流電源に並列接続される点灯回路及び閃光放電ランプのセット数は２であってもよいし、４以上であってもよい。なお、１つの点灯回路とは、上述した整流回路、蓄電素子、放電回路、検出回路、（必要に応じて）コイル及びトリガワイヤを含む回路部分である。また、１つの照射装置内に、複数の直流電源とそれらに接続される点灯回路及び閃光放電ランプが設置されるようにしてもよい。例えば、１０灯の閃光放電ランプを点灯する閃光照射装置において、（２台の直流電源）×（５セットの点灯回路及び閃光放電ランプ）が設けられてもよい。この場合、閃光照射装置は、１つの始動回路８及び１つの制御部９を有していればよい。
【００９７】
（３）閃光放電ランプ照射装置の用途に関する変形
上記各実施形態では、閃光照射装置１５０が半導体製造において半導体ウェハー等の加熱処理工程に用いられることが想定されているが、本発明の用途はこれに限定されない。本発明の閃光照射装置は、導電性インクの光焼成処理、殺菌処理、接着材硬化処理等、閃光点灯による照射を必要とする種々の処理に適用可能である。
【００９８】
（４）トリガ要素に関する変形
上記各実施形態においては、閃光放電ランプのトリガ要素としてトリガワイヤを示したが、トリガ要素は閃光放電ランプを絶縁破壊できるものであれば他の形態であってもよい。例えば、トリガ要素は、閃光放電ランプに２次巻線が直列接続されたパルストランスであり、このパルストランスが始動回路８に接続され、又は始動回路８の一部を構成するようにしてもよい。
【００９９】
（５）信号送受信の形態に関する変形
上記各実施形態では、制御部９と直流電源１との間の信号伝送及び制御部９と始動回路８との間の信号伝送は有線接続によるものを想定したが、これらの信号伝送の全部又は一部は無線接続によって行われてもよい。
【符号の説明】
【０１００】
１  直流電源
２Ａ、２Ｂ、２Ｃ  ダイオード（整流回路）
３Ａ、３Ｂ、３Ｃ  蓄電素子
４Ａ、４Ｂ、４Ｃ  放電抵抗
５Ａ、５Ｂ、５Ｃ  放電スイッチ
６Ａ、６Ｂ、６Ｃ  検出回路
９  制御部
１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ  放電回路
５０Ａ、５０Ｂ、５０Ｃ  閃光放電ランプ
９１  充電制御部
９２  容量分布取得部
９３  導通時間決定部
９４  目標電圧決定部
９５  デューティ決定部
９６  スイッチ制御部
９６Ｐ  ＰＷＭスイッチ制御部
９７  始動制御部
９８  終了制御部
１００  閃光放電ランプ点灯装置
１５０  閃光照射装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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