(57)【要約】【課題】移動体に対して適切な照射を行うことができるレーザ照射装置、およびレーザ照射方法を提供することである。【解決手段】実施形態に係るレーザ照射装置は、移動体にレーザ光を照射するレーザ照射装置である。このレーザ照射装置は、前記移動体と前記レーザ照射装置との間の距離の変化に基づいた焦点位置の補正を行う第１の可変形鏡と、大気の揺らぎに基づいた補正を行う第２の可変形鏡と、前記第１の可変形鏡と、前記第２の可変形鏡と、を介して、前記移動体に前記レーザ光を照射するレーザ照射部と、を備えている。【選択図】図１
2016042550.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動体にレーザ光を照射するレーザ照射装置であって、  
前記移動体と前記レーザ照射装置との間の距離の変化に基づいた焦点位置の補正を行う第１の可変形鏡と、
大気の揺らぎに基づいた補正を行う第２の可変形鏡と、
前記第１の可変形鏡と、前記第２の可変形鏡と、を介して、前記移動体に前記レーザ光を照射するレーザ照射部と、
を備えたレーザ照射装置。
【請求項２】
前記第１の可変形鏡は、バイモルフ型可変形鏡であり、
前記第２の可変形鏡は、フェースシート型可変形鏡である請求項１記載のレーザ照射装置。
【請求項３】
前記第１の可変形鏡の反射面、および前記第２の可変形鏡の反射面には、誘電体多層膜が設けられている請求項１または２に記載のレーザ照射装置。
【請求項４】
前記移動体に参照レーザ光を照射する参照レーザ照射部と、
前記参照レーザ光の反射光における波面歪みを測定する波面センサと、
前記波面歪みに基づいて、前記第２の可変形鏡を制御する制御部と、
をさらに備え、
前記波面センサは、応答速度が１ｋＨｚ以上のシャックハルトマン型波面センサである請求項１〜３のいずれか１つに記載のレーザ照射装置。
【請求項５】
移動体にレーザ光を照射するレーザ照射方法であって、
第１の可変形鏡を用いて、前記移動体と前記レーザ照射装置との間の距離の変化に基づいた焦点位置の補正を行う工程と、
第２の可変形鏡を用いて、大気の揺らぎに基づいた補正を行う工程と、
前記焦点位置の補正を行った前記第１の可変形鏡と、前記大気の揺らぎに基づいた補正を行った前記第２の可変形鏡と、を介して、前記移動体に前記レーザ光を照射する工程と、
を備えたレーザ照射方法。
【請求項６】
前記大気の揺らぎに基づいた補正を行う工程において、
前記移動体に参照レーザ光を照射し、
前記参照レーザ光の反射光における波面歪みを測定し、
前記測定された波面歪みをZernike多項式に近似させ、次数Ｚ２０と、次数Ｚ２１以降と、に分離し、
前記次数Ｚ２１以降の波面歪みに基づいて、前記第２の可変形鏡における制御量を演算し、
前記演算された制御量に基づいて、前記第２の可変形鏡を制御する請求項５記載のレーザ照射方法。
【請求項７】
前記焦点位置の補正を行う工程において、
前記移動体と前記レーザ照射装置との間の距離を測定し、
前記測定された距離に基づいて、集光の波面形状を演算し、
前記演算された集光の波面形状に、前記分離された次数Ｚ２０を加味し、
前記分離された次数Ｚ２０を加味した結果に基づいて、前記第１の可変形鏡における制御量を演算し、
前記演算された制御量に基づいて、前記第１の可変形鏡を制御する請求項６記載のレーザ照射方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、レーザ照射装置、およびレーザ照射方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
遠距離にある物体にレーザ光を照射するレーザ照射装置がある。  
ここで、大気中を伝播するレーザ光は、大気の揺らぎによって波面歪み（光波面の乱れ）が生じる。波面歪みが生じると、照射ビーム径が拡がり、照射面におけるエネルギー密度が低下してしまう。  
そのため、大気の揺らぎによる波面歪みを検出し、検出した波面歪みに基づいて可変形鏡の形状を変化させて、大気の揺らぎに基づいた補正を行う技術が提案されている。  
しかしながら、照射対象である物体が移動体である場合には、移動体とレーザ照射装置との間の距離が変化することになる。  
移動体とレーザ照射装置との間の距離が変化する場合、距離に応じて焦点位置の補正が必要となる。  
この場合、大気の揺らぎに基づいた補正を行う可変形鏡により焦点位置の補正をも行う様にすると、適切な焦点位置の補正が行えなかったり、大気の揺らぎに基づいた補正に悪影響を及ぼしたりするおそれがある。  
そのため、移動体に対して適切な照射を行うことができるレーザ照射装置、およびレーザ照射方法の開発が望まれていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−１８５５６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明が解決しようとする課題は、移動体に対して適切な照射を行うことができるレーザ照射装置、およびレーザ照射方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態に係るレーザ照射装置は、移動体にレーザ光を照射するレーザ照射装置である。
このレーザ照射装置は、前記移動体と前記レーザ照射装置との間の距離の変化に基づいた焦点位置の補正を行う第１の可変形鏡と、大気の揺らぎに基づいた補正を行う第２の可変形鏡と、前記第１の可変形鏡と、前記第２の可変形鏡と、を介して、前記移動体に前記レーザ光を照射するレーザ照射部と、を備えている。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本実施の形態に係るレーザ照射装置１を例示するためのブロック図である。
【図２】レーザ照射装置１の作用を例示するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。  
図１は、本実施の形態に係るレーザ照射装置１を例示するためのブロック図である。  
レーザ照射装置１は、大気中を移動する移動体１００に向けてレーザ光Ｌ１を照射する。
なお、移動体１００は、空中を移動するものであってもよいし、陸上や水上を移動するものであってもよい。  
図１に示すように、レーザ照射装置１には、レーザ照射部２、焦点制御部３、波面制御部４、および追尾制御部５が設けられている。
【０００８】
レーザ照射部２は、第１の可変形鏡３２と、第２の可変形鏡４３とを介して、移動体１００にレーザ光Ｌ１を照射する。  
レーザ照射部２には、レーザ光源２１および光学要素２２ａ〜２２ｆが設けられている。
レーザ光源２１は、高出力レーザが照射できるものであれば特に限定はない。  
レーザ光源２１は、例えば、出力が数十ｋＷ以上のものとすることができる。  
この場合、レーザ光源２１は、例えば、固体レーザ、化学レーザ、自由電子レーザなどとすることができる。
【０００９】
光学要素２２ａ〜２２ｆは、レーザ光源２１から照射されたレーザ光Ｌ１を追尾制御部５に導く。  
光学要素２２ａ、２２ｂは、例えば、ビームスプリッタなどとすることができる。光学要素２２ｃ〜２２ｆは、例えば、レーザミラーなどとすることができる。  
なお、光学要素の種類には、特に限定はなく、必要に応じて各種の光学要素を設けることができる。また、光学要素の数や配置なども適宜変更することができる。
【００１０】
ここで、移動体１００に照射された照射ビームの径が大きくなると、照射部分におけるエネルギー密度が小さくなり照射の目的を果たせなくなるおそれがある。  
この場合、レーザ照射部２の出力を大きくすれば、照射ビームの径が大きくなっても所望のエネルギー密度を得ることができる。  
しかしながら、レーザ照射部２の出力を大きくすれば、レーザ照射装置１の大型化や高コスト化を招くことになる。
【００１１】
また、移動体１００は、遠距離にあり、かつ大気中を移動することを考慮する必要がある。  
すなわち、移動体１００に照射された照射ビームの径が適切なものとなるようにするためには、移動体１００の移動に伴う焦点位置の変化と、大気の揺らぎとを考慮する必要がある。  
この場合、距離の変化に基づいた焦点位置の補正と、大気の揺らぎに基づいた補正とを行う様にすれば、移動体１００に照射された照射ビームの径が適切なものとなるようにすることができる。
【００１２】
距離の変化に基づく焦点位置の補正と、大気の揺らぎに基づく補正は、例えば、可変形鏡（デフォーマブルミラー）を用いて行うことができる。  
ところが、距離の変化に基づく焦点位置の補正と、大気の揺らぎに基づく補正とでは、可変形鏡に要求される性能が異なるものとなる。
【００１３】
距離の変化に基づいた焦点位置の補正を行う場合には、遠距離にある移動体１００の移動に対応する必要があるので、反射面の変形量を大きくすることができるものとすることが好ましい。一方、焦点位置の補正を行うことができればよいので、高次の収差補正を高速で行うことができる必要はない。  
距離の変化に基づいた焦点位置の補正を行う場合には、例えば、可変形鏡における素子数は１００個以下、反射面の変形量は１００μｍ以下、応答速度は１０Ｈｚ以下であればよく、また、二次微分による収差補正が行えれば良い。
【００１４】
大気の揺らぎに基づいた補正を行う場合には、大気の揺らぎに対応する必要があるので、高次の収差補正を高速で行うことができる必要がある。一方、反射面の変形量は、少なくてもよい。  
大気の揺らぎに基づいた補正を行う場合には、例えば、可変形鏡における素子数は４００個以下、反射面の変化量は１０μｍ以下、応答速度は１０００Ｈｚ以下であればよく、また、四次微分による収差補正が行えれば良い。
【００１５】
この様に、距離の変化に基づいた焦点位置の補正と、大気の揺らぎに基づいた補正とでは可変形鏡に要求される性能が異なるものとなる。  
そのため、１つの可変形鏡により、距離の変化に基づいた焦点位置の補正と、大気の揺らぎに基づいた補正とを行う様にすれば、移動体１００に照射された照射ビームの径が適切なものとならなくなるおそれがある。  
そこで、レーザ照射装置１においては、焦点制御部３および波面制御部４を設けることで、移動体１００に照射された照射ビームの径が適切なものとなるようにしている。
【００１６】
焦点制御部３には、距離測定部３１、第１の可変形鏡３２、および第１の制御部３３が設けられている。  
移動体１００は、移動するので、レーザ照射装置１と移動体１００との間の距離が変化する。  
そのため、焦点位置を一定にすると、移動体１００に照射された照射ビームの径が適切なものとならなくなるおそれがある。  
焦点制御部３は、距離の変化に基づいた焦点位置の補正を行う。
【００１７】
距離測定部３１は、レーザ照射装置１と移動体１００との間の距離を測定する。  
距離測定部３１は、距離を測定できるものであれば特に限定はないが、遠距離にある移動体１００との間の距離を精度良く測定することができるものとすることが好ましい。  
距離測定部３１は、例えば、レーザ距離計（距離測定器）などとすることができる。  
距離測定部３１がレーザ距離計である場合には、距離測定部３１は、移動体１００に向けてレーザ光Ｌ２を照射する。そして、距離測定部３１は、移動体１００からの反射光の波長と、内部基準の波長との差に基づいて、移動体１００までの距離を演算する。
【００１８】
前述したように、第１の可変形鏡３２としては、反射面の変形量を大きくすることができるものとすることが好ましい。一方、第１の可変形鏡３２としては、高次の収差補正を高速で行うことができるものとする必要はない。  
そのため、第１の可変形鏡３２は、例えば、バイモルフ型可変形鏡などとすることができる。  
第１の可変形鏡３２がバイモルフ型可変形鏡の場合には、２枚の薄い圧電素子を貼り合わせた要素を複数有するものとすることができる。  
また、複数の要素の反射面には、電子ビーム蒸着法を用いて成膜された誘電体多層膜が設けられるものとすることができる。
【００１９】
第１の制御部３３は、距離測定部３１により測定された距離に基づいて、第１の可変形鏡３２における制御量を演算する。  
例えば、第１の制御部３３は、距離測定部３１により測定された距離に基づいて、集光の波面形状（例えば、曲率半径など）を演算する。なお、集光の波面形状は、Zernike多項式の次数Ｚ２０に相当する。
【００２０】
また、第１の制御部３３は、演算された集光の波面形状に、後述する第２の制御部４４により分離された次数Ｚ２０を加味する。  
第１の制御部３３は、次数Ｚ２０が加味された演算値に基づいて、第１の可変形鏡３２における制御量（例えば、複数の圧電素子毎の駆動電圧）を演算する。
【００２１】
第１の制御部３３は、演算された制御量に基づいて、第１の可変形鏡３２を制御する。  第１の可変形鏡３２がバイモルフ型可変形鏡である場合には、第１の制御部３３は、第１の可変形鏡３２に設けられた複数の圧電素子の駆動電圧をそれぞれ制御する。  
第１の制御部３３が第１の可変形鏡３２を制御することで、次数Ｚ２０が加味された演算値に基づく形状が第１の制御部３３の反射面に形成される。
【００２２】
波面制御部４には、参照レーザ照射部４１、波面センサ４２、第２の可変形鏡４３、第２の制御部４４、および光学要素４５が設けられている。  
移動体１００は、大気中を移動するので、大気の揺らぎにより、移動体１００に照射された照射ビームの径が変化する。  
波面制御部４は、大気の揺らぎに基づいた補正を行う。
【００２３】
参照レーザ照射部４１は、移動体１００に向けて参照レーザ光Ｌ３を照射する。  
この場合、参照レーザ照射部４１から照射された参照レーザ光Ｌ３の光軸は、レーザ光源２１から照射されたレーザ光Ｌ１の光軸と必ずしも同軸となるようにする必要はない。  ただし、後述する波面センサ４２に入射する参照レーザ光Ｌ３の反射光の光軸は、レーザ光Ｌ１の光軸と同軸となるようになっている。
【００２４】
波面センサ４２は、移動体１００により反射された参照レーザ光Ｌ３（反射光）における波面歪み（波面形状や強度分布など）を測定する。  
波面センサ４２は、例えば、所定の分解能と所定の応答速度を有するＣＣＤセンサ（Charge Coupled Device Image Sensor）などとすることができる。  
波面センサ４２は、例えば、応答速度が１ｋＨｚ以上のシャックハルトマン型波面センサなどとすることができる。
【００２５】
前述したように、第２の可変形鏡４３としては、高次の収差補正を高速で行うことができるものとすることが好ましい。一方、第２の可変形鏡４３としては、反射面の変形量を大きくできるものとする必要はない。  
第２の可変形鏡４３は、例えば、フェースシート型可変形鏡などとすることができる。  第２の可変形鏡４３がフェースシート型可変形鏡の場合には、変形可能な膜と、膜の裏面側に設けられた複数の圧電素子を備えたものとすることができる。  
また、変形可能な膜の表面（反射面）には、電子ビーム蒸着法を用いて成膜された誘電体多層膜が設けられるものとすることができる。
【００２６】
第２の制御部４４は、波面センサ４２により測定された波面歪みに基づいて、第２の可変形鏡４３における制御量を演算する。  
第２の制御部４４は、例えば、波面歪みをZernike多項式に近似させ、次数Ｚ２０と、次数Ｚ２１以降に分離する。  
第２の制御部４４は、次数Ｚ２１以降の波面歪みに基づいて、第２の可変形鏡４３における制御量（例えば、複数の圧電素子毎の駆動電圧）を演算する。
【００２７】
第２の可変形鏡４３がフェースシート型可変形鏡である場合には、第２の制御部４４は、第２の可変形鏡４３に設けられた複数の圧電素子の駆動電圧などをそれぞれ制御する。
第２の制御部４４が第２の可変形鏡４３を制御することで、測定した波面を反転させた形状が第２の可変形鏡４３の反射面に形成される。
【００２８】
光学要素４５は、参照レーザ照射部４１から照射された参照レーザ光Ｌ３を追尾制御部５に導く。  
光学要素４５は、例えば、レーザミラーなどとすることができる。  
光学要素４５は、必ずしも必要ではなく、必要に応じて設けるようにすることができる。
また、光学要素４５の種類、数、配置なども必要に応じて適宜変更することができる。
【００２９】
追尾制御部５は、レーザ光Ｌ１、Ｌ３が移動体１００に照射されるように、レーザ光Ｌ１、Ｌ３の照射方向を制御する。  
追尾制御部５には、第１の基台５１、第２の基台５３、微動鏡５３、光学要素５４ａ〜５４ｄ、図示しない探知装置、および図示しない制御装置が設けられている。
【００３０】
第１の基台５１は、図示しない駆動装置により、鉛直軸周りに回転するようになっている。  
第２の基台５３は、第１の基台５１に設けられ、図示しない駆動装置により、水平軸周りに回転するようになっている。  
微動鏡５３は、第２の基台５３に設けられ、図示しない駆動装置により、鉛直軸周り及び水平軸周りに揺動するようになっている。微動鏡５３は、レーザ光Ｌ１、Ｌ３の照射方向を微修正するために設けられている。
【００３１】
光学要素５４ａ〜５４ｃは、第１の基台５１に設けられている。  
光学要素５４ｄは、第２の基台５３に設けられている。  
光学要素５４ａ〜５４ｄは、例えば、レーザミラーなどとすることができる。  
なお、光学要素の種類、数、配置などは必要に応じて適宜変更することができる。
【００３２】
図示しない探知装置は、移動体１００の位置を検出する。図示しない探知装置は、例えば、赤外線センサなどとすることができる。  
図示しない制御装置は、図示しない探知装置からの出力に基づいて移動体１００の位置を演算する。そして、図示しない制御装置は、演算結果に基づいて、レーザ光Ｌ１、Ｌ３が移動体１００に照射されるように、図示しない駆動装置を制御する。
【００３３】
次に、レーザ照射装置１の作用とともに本実施の形態に係るレーザ照射方法を例示する。
図２は、レーザ照射装置１の作用を例示するためのフローチャートである。  
図２に示すように、図示しない探知装置により移動体１００が探知される。  
この場合、図示しない探知装置により移動体１００の位置（方角）や距離が探知される。
【００３４】
焦点制御部３が、移動体１００とレーザ照射装置１との間の距離の変化に基づいた焦点位置の補正を行う。  
まず、距離測定部３１が、レーザ照射装置１と移動体１００との間の距離を測定する。  例えば、距離測定部３１が、移動体１００に向けてレーザ光Ｌ２を照射する。そして、距離測定部３１が、移動体１００からの反射光の波長と、内部基準の波長との差に基づいて、移動体１００までの距離を演算する。
【００３５】
次に、第１の制御部３３が、距離測定部３１により測定された距離に基づいて、集光の波面形状（例えば、曲率半径など）を演算する。なお、集光の波面形状は、Zernike多項式の次数Ｚ２０に相当する。  
次に、第１の制御部３３が、演算された集光の波面形状に、後述する第２の制御部４４により分離された次数Ｚ２０を加味する。
【００３６】
次に、第１の制御部３３が、次数Ｚ２０が加味された演算値に基づいて、第１の可変形鏡３２における制御量（例えば、複数の圧電素子毎の駆動電圧）を演算する。  
続いて、演算された制御量に基づいて、第１の制御部３３が、第１の可変形鏡３２を制御する。
【００３７】
第１の可変形鏡３２がバイモルフ型可変形鏡である場合には、第１の制御部３３が、第１の可変形鏡３２に設けられた複数の圧電素子の駆動電圧をそれぞれ制御する。  
第１の制御部３３が第１の可変形鏡３２を制御することで、次数Ｚ２０が加味された演算値に基づく形状が第１の制御部３３の反射面に形成される。  
以上の様にして、焦点制御部３が、焦点位置の補正を行う。
【００３８】
一方、波面制御部４が、大気の揺らぎに基づいた補正を行う。  
まず、参照レーザ照射部４１が、移動体１００に向けて参照レーザ光Ｌ３を照射する。
次に、波面センサ４２が、移動体１００により反射された参照レーザ光Ｌ３（反射光）を受信（受光）する。  
次に、波面センサ４２が、受信した反射光の波面歪み（波面形状や強度分布など）を測定する。
【００３９】
次に、第２の制御部４４が、測定された波面歪みをZernike多項式に近似させ、次数Ｚ２０と、次数Ｚ２１以降に分離する。  
なお、分離された次数Ｚ２０は、第１の制御部３３に提供される。
【００４０】
次に、第２の制御部４４が、次数Ｚ２１以降の波面歪みに基づいて、第２の可変形鏡４３における制御量（例えば、複数の圧電素子毎の駆動電圧）を演算する。  
続いて、演算された制御量に基づいて、第２の制御部４４が、第２の可変形鏡４３を制御する。
【００４１】
第２の可変形鏡４３がフェースシート型可変形鏡である場合には、第２の制御部４４が、第２の可変形鏡４３に設けられた複数の圧電素子の駆動電圧などをそれぞれ制御する。
第２の制御部４４が第２の可変形鏡４３を制御することで、測定した波面を反転させた形状が第２の可変形鏡４３の反射面に形成される。  
以上の様にして、波面制御部４が、大気の揺らぎに基づいた補正を行う。
【００４２】
次に、レーザ光源２１がレーザ光Ｌ１を照射する。  
照射されたレーザ光Ｌ１は、焦点位置の補正が行われた第１の可変形鏡３２、大気の揺らぎに基づいた補正が行われた第２の可変形鏡４３、および追尾制御部５を介して移動体１００に照射される。
【００４３】
焦点位置の補正が行われた第１の可変形鏡３２、および大気の揺らぎに基づいた補正が行われた第２の可変形鏡４３を介することで、適切な照射ビームの径を有するレーザ光Ｌ１が移動体１００に照射される。  
また、追尾制御部５を介することで、移動体１００の所定の位置にレーザ光Ｌ１を照射することができる。
【００４４】
次に、レーザ光Ｌ１を照射した効果を確認する。  
例えば、図示しない探知装置により移動体１００が捕捉できなくなった場合には、レーザ光Ｌ１を照射した効果があったと判断することができる。  
レーザ光Ｌ１を照射した効果があったと判断された場合には、レーザ照射装置１の作用を停止させることができる。  
また、図示しない探知装置により移動体１００が捕捉できる場合には、レーザ光Ｌ１を照射した効果が無いと判断することができる。  
レーザ光Ｌ１を照射した効果が無いと判断された場合には、焦点位置の補正および大気の揺らぎに基づいた補正を再度行い、移動体１００にレーザ光Ｌ１を再度照射することができる。
【００４５】
以上に例示をしたように、本実施の形態に係るレーザ照射方法は、以下の工程を備えることができる。  
第１の可変形鏡３２を用いて、移動体１００とレーザ照射装置１との間の距離の変化に基づいた焦点位置の補正を行う工程。  
第２の可変形鏡４３を用いて、大気の揺らぎに基づいた補正を行う工程。  
焦点位置の補正を行った第１の可変形鏡３２と、大気の揺らぎに基づいた補正を行った第２の可変形鏡４３と、を介して、移動体１００にレーザ光Ｌ１を照射する工程。
【００４６】
この場合、大気の揺らぎに基づいた補正を行う工程において以下のことを行うことができる。  
移動体１００に参照レーザ光Ｌ３を照射する。  
参照レーザ光Ｌ３の反射光における波面歪みを測定する。  
測定された波面歪みをZernike多項式に近似させ、次数Ｚ２０と、次数Ｚ２１以降と、に分離する。  
次数Ｚ２１以降の波面歪みに基づいて、第２の可変形鏡４３における制御量を演算する。
演算された制御量に基づいて、第２の可変形鏡４３を制御する。
【００４７】
また、焦点位置の補正を行う工程において以下のことを行うことができる。  
移動体１００とレーザ照射装置１との間の距離を測定する。  
測定された距離に基づいて、集光の波面形状を演算する。  
演算された集光の波面形状に、分離された次数Ｚ２０を加味する。  
分離された次数Ｚ２０を加味した結果に基づいて、第１の可変形鏡３２における制御量を演算する。  
演算された制御量に基づいて、第１の可変形鏡３２を制御する。  
なお、各工程の内容は、前述したものと同様とすることができるので詳細な説明は省略する。
【００４８】
以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。
【符号の説明】
【００４９】
１  レーザ照射装置、２  レーザ照射部、３  焦点制御部、４  波面制御部、５  追尾制御部、２１  レーザ光源、３１  距離測定部、３２  第１の可変形鏡、３３  第１の制御部、４１  参照レーザ照射部、４２  波面センサ、４３  第２の可変形鏡、４４  第２の制御部、１００  移動体、Ｌ１  レーザ光、Ｌ２  レーザ光、Ｌ３  参照レーザ光
【図１】
2016042550.tif 000003
【図２】
2016042550.tif 000004