(57)【要約】【課題】長径が短径の２倍以上の長い長穴を形成する場合でも、長穴の長径方向における曲がりを抑制しつつ、スルーホールめっきの付きまわりを確保可能な配線基板及びその製造方法を提供する。【解決手段】絶縁層と、この絶縁層の両面に配置される導体回路と、前記導体回路及び絶縁層を貫通する貫通穴と、この貫通穴の内壁にスルーホールめっきを備えるスルーホールと、を有する配線基板であって、前記貫通穴が平面視において長径方向の直線領域とこの直線領域の両端に位置する円弧領域と、を備える長穴であり、前記円弧領域の内壁の穴内粗さが、前記直線領域の内壁の穴内粗さよりも小さい配線基板。【選択図】図１
2016063133.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁層と、この絶縁層の両面に配置される導体回路と、前記導体回路及び絶縁層を貫通する貫通穴と、この貫通穴の内壁にスルーホールめっきを備えるスルーホールと、を有する配線基板であって、前記貫通穴が平面視において長径方向の直線領域とこの直線領域の両端に位置する円弧領域と、を備える長穴であり、前記円弧領域の内壁の穴内粗さが、前記直線領域の内壁の穴内粗さより小さい配線基板。
【請求項２】
請求項１において、長穴の平面視における長径が、短径の２倍以上である配線基板。
【請求項３】
請求項１又は２の配線基板の製造方法であって、前記長穴の両端に位置する円弧領域をアンダーカットタイプの丸穴用ドリルで形成する工程と、前記長穴の長径方向の直線領域をストレートタイプの長穴用ドリルで形成する工程と、前記長穴の内壁にスルーホールめっきを形成する工程と、を有する配線基板の製造方法。
【請求項４】
請求項３において、前記長穴の長径方向の直線領域を長穴用ドリルで形成する工程では、既に形成された加工穴の間隔を２等分する位置に加工穴を形成する配線基板の製造方法。
【請求項５】
請求項３又は４において、加工穴の中心が中心線１４上を移動する穴ピッチが、０．０７〜０．２２ｍｍである配線基板の製造方法。
【請求項６】
請求項３から４の何れか１項において、丸穴用ドリルの先端角αが１３０°以上、１５０°以下であり、長穴用ドリルの先端角βが１４０°以上、１６０度未満である配線基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ドリルで形成した長穴を有する配線基板及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器の高機能化、高密度化に伴い、配線板に実装される部品の形態も多様化しており、例えばディスクリート部品等の搭載のため、配線基板には長穴の形成が求められる場合がある。ここで、長穴とは、平面視において長径方向の直線領域とこの直線領域の両端に位置する円弧領域とを備えるものをいい、例えば、複数の貫通穴同士が平面方向に直線状に繋がるように連続して設けられた貫通穴が挙げられる。
【０００３】
この異形貫通穴のひとつである長穴の形成方法として、長穴の位置や仕上り形状の精度を向上させる目的で、長穴方向とは直角方向のズレ量を補正した座標位置から穿穴する方向（特許文献１）、穴加工を先端角θが１５０°≦θ≦１８０°であるドリルを用いて行なう方法（特許文献２）、下穴を設けておいてから、目的の長穴を開ける方法が提案されている（特許文献３、４）。
【特許文献１】特開２００９−１２４８３７号公報
【特許文献２】特開２００３−０７１７９４号公報
【特許文献３】特開平１０−０４１５９３号公報
【特許文献４】特開２００７−０９８５０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１から４は、何れも、長穴の平面視における位置や仕上り形状の精度を向上させるものであるが、これら以外の重要な要素である、穴内壁の粗さ、長穴に形成されるスルーホールめっきの付きまわりについて配慮されたものではない。
【０００５】
また、長径が短径の２倍以上の長い長穴を形成する場合は、長穴の長径方向の長さが長くなるほど、直線領域の平面視における曲がりが拡大する傾向がある。また、この曲がりを抑制する方法としては、上述した特許文献２のように、ドリルの先端角を大きくして、加工時にドリルを安定しやすくする方法が考えられるが、この場合は、長穴の内壁全体の表面粗さが大きくなるため、スルーホールを形成する必要がある際に、スルーホールめっきの付きまわりが不十分となる場合がある。
【０００６】
本発明は、上記問題点に鑑みなされたものであり、長径が短径の２倍以上の長い長穴を形成する場合でも、長穴の長径方向における曲がりを抑制しつつ、スルーホールめっきの付きまわりを確保可能な配線基板及びその製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の発明者は、スルーホールめっきの付きまわり不足は、長穴の円弧領域で発生しやすい傾向があり、また、その理由は、長穴の円弧領域では、直線領域に比べてスルーホールめっきを行なう際のめっき液の液流が不十分になりやすいためであるという知見を得たことから、本発明をなすに到った。本発明は、以下のものに関する。
（１）  絶縁層と、この絶縁層の両面に配置される導体回路と、前記導体回路及び絶縁層を貫通する貫通穴と、この貫通穴の内壁にスルーホールめっきを備えるスルーホールと、を有する配線基板であって、前記貫通穴が平面視において長径方向の直線領域とこの直線領域の両端に位置する円弧領域と、を備える長穴であり、前記円弧領域の内壁の穴内粗さが、前記直線領域の内壁の穴内粗さより小さい配線基板。
（２）  項１において、長穴の平面視における長径が、短径の２倍以上である配線基板。
（３）  項１又は２の配線基板の製造方法であって、前記長穴の両端に位置する円弧領域をアンダーカットタイプの丸穴用ドリルで形成する工程と、前記長穴の長径方向の直線領域をストレートタイプの長穴用ドリルで形成する工程と、前記長穴の内壁にスルーホールめっきを形成する工程と、を有する配線基板の製造方法。
（４）  項３において、前記長穴の長径方向の直線領域を長穴用ドリルで形成する工程では、既に形成された加工穴の間隔を２等分する位置に加工穴を形成する配線基板の製造方法。
（５）  項３又は４において、加工穴の中心が中心線１４上を移動する穴ピッチが、０．０７〜０．２２ｍｍである配線基板の製造方法。
（６）  項３から４の何れか１項において、丸穴用ドリルの先端角αが１３０°以上、１５０°以下であり、長穴用ドリルの先端角βが１４０°以上、１６０度未満である配線基板の製造方法。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、長径が短径の２倍以上の長い長穴を形成する場合でも、長穴の長径方向における曲がりを抑制しつつ、スルーホールめっきの付きまわりを確保可能な配線基板及びその製造方法を提供する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施形態の配線基板の一部を示す平面図である。
【図２】本発明の一実施形態の配線基板のＸ−Ｘ’断面図である。
【図３】本発明の一実施形態の配線基板のＹ−Ｙ’断面図である。
【図４】本発明の一実施形態の配線基板の長穴の形成方法を示す平面図である。
【図５】本発明の一実施形態の配線基板の製造方法に用いる長穴用ドリルの先端部を示す。
【図６】本発明の一実施形態の配線基板の製造方法に用いる丸穴用ドリルの先端部を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
（配線基板）
本発明の配線基板の一実施形態を、図１〜図４を用いて説明する。
図１〜図３に示すように、本実施の形態の配線基板１は、絶縁層２と、この絶縁層２の両面に配置される導体回路３と、前記導体回路３及び絶縁層２を貫通する貫通穴４と、この貫通穴４の内壁９にスルーホールめっき７を備えるスルーホール２２と、を有する配線基板１であって、前記貫通穴４が平面視において長径方向の直線領域５とこの直線領域５の両端に位置する円弧領域６と、を備える長穴８であり、前記円弧領域６の内壁９ｂの穴内粗さが、前記直線領域５の内壁９ａの穴内粗さより小さい配線基板１である。
【００１１】
本実施の形態において、絶縁層２とは、電気的な絶縁性を有するとともに、導体回路３等の配線基板１を構成する要素の支持体となるものである。電気的な絶縁性と支持体としての強度を有していればよく、一般的な配線基板用の絶縁材料及び方法を用いて形成することができる。支持体としての強度が大きい点で、ガラスクロス等の補強材に、エポキシ樹脂又はポリイミド樹脂等を含浸させて半硬化させたプリプレグを用い、熱プレスを用いて成形したものが望ましい。
【００１２】
導体回路３とは、絶縁層２上に形成され、電子部品同士又は電子部品と電源あるいはグランド等とを電気的に接続して、電気回路を形成するためにパターン形成された導体であり、ライン状の導体回路３ａとランド状の導体回路３ｂを含む。一般的な配線基板と同様に、銅箔等の金属箔又はめっきを用いて、サブトラクト法又はセミアディティブ等の回路加工方法により形成することができる。
【００１３】
貫通穴４とは、後述する長穴８を形成するために、導体回路３及び絶縁層２を貫通するように設けられる穴であり、ドリル加工によって形成する。
【００１４】
図２、図３において、貫通穴４の内壁９に形成されるスルーホールめっき７は、スルーホール２２を形成するために、貫通穴４の内壁９に形成されるものである。スルーホールめっき７は、貫通穴４の内壁９に沿って膜状に形成されるものであり、貫通穴４を充填するものではない。例えば、貫通穴４の内壁９に、下地の給電層となるスルーホールめっき７を無電解銅めっきを用いて形成した後、電気銅めっきを用いて厚付けすることにより形成することができる。
【００１５】
図１に示すように、本実施の形態の配線基板１は、スルーホール２２として、長穴８を有する配線基板であり、ディスクリート部品等の搭載に用いられる。
【００１６】
図１に示すように、本実施の形態では、貫通穴４が平面視において長径方向の直線領域５とこの直線領域５の両端に位置する円弧領域６と、を備える長穴８である。
【００１７】
図１に示すように、貫通穴４の直線領域５とは、貫通穴４の外周が、平面視において長径方向に、概ね直線を描くように形成される領域をいう。このように直線領域５を形成する方法としては、図４に示すように、ドリル加工により形成される円形の加工穴１１の穴中心１３が、中心線１４上を移動するようにドリル加工し、かつ隣り合う加工穴１１同士が重なり合うように配置する方法が挙げられる。また、ドリル加工の順番と位置としては、既に形成された加工穴１０、１１の間隔を２等分する位置に加工穴１１を形成する方法が挙げられる。
【００１８】
本実施の形態において、直線領域５は、補強材であるガラスクロス等の補強繊維の方向と直角又は平行に設けられる。これにより、直線領域５の内壁９ａは、ガラスクロス等の補強繊維の方向と直角又は平行に形成されるので、後述する円弧領域６の内壁９ｂに比べて、穴内粗さが小さくなる傾向がある。一方、円弧領域６は、ガラスクロス等の補強繊維の方向に対して、必ず４５度に交わる部分を有するので、直線領域５の内壁９ａに比べて、穴内粗さが大きくなる傾向がある。しかしながら、本実施の形態では、後述するように、円弧領域６には丸穴用ドリルを用い、直線領域５には長穴用ドリルを用いることにより、円弧領域６の内壁９ｂの穴内粗さが、直線領域５の内壁９ａの穴内粗さよりも小さい長穴を形成することができる。
【００１９】
直線領域５の両端に位置する円弧領域６とは、貫通穴４の外周が、平面視において、概ね半円を描くように形成される領域をいう。このように円弧領域６を形成する方法は、直線領域５を形成するのと同様であり、図４に示すように、ドリル加工により形成される円形の加工穴１１の穴中心１３が、中心線１４上を移動するようにドリル加工し、かつ隣り合う加工穴１１同士が重なり合うように配置して直線領域５を形成することで、この直線領域５の両端に円弧領域６が形成される。
【００２０】
本実施の形態における長穴８とは、異なる層の導体回路３同士を電気的に接続する層間接続を行ない、主にディスクリート部品等のリードを挿入して搭載するために用いられるスルーホール２２を形成するための貫通穴４である。
【００２１】
本実施の形態の配線基板においては、円弧領域６の内壁９ｂの穴内粗さ（図３）が、直線領域５の内壁９ａの穴内粗さ（図２）より小さい。円弧領域６の内壁９ｂの穴内粗さ（図３）としては、４０μｍ以下が好ましく、３０μｍ以下がより好ましい。これにより、円弧領域６が片側が閉塞された環境であっても、めっき液の循環を確保でき、スルーホールめっき７の付き回りを確保できる。また、直線領域５の内壁９ａの穴内粗さ（図２）としては、６０μｍ以下が好ましく、５０μｍ以下がより好ましい。この穴内粗さの範囲であれば、直線領域５が開放環境であることにより、スルーホールめっき７の付き回りを確保することができる。
【００２２】
図１に示すように、直線領域５は、長穴８の両端ではない領域に位置するため、両側には円弧領域６の空間があり、開放されているので、スルーホールめっき７を形成する際にめっき液が循環し易い。このため、内壁９ａの穴内粗さが多少粗くても、スルーホールめっき７の付き回りを確保できる。ここで、直線領域５におけるドリル加工では、図４（工程Ｂ−１）、（工程Ｂ−２）に示すように、既に加工されて加工穴１０が形成されている部分と未加工の部分を跨いでドリル加工する場合が生じるため、ドリルに対する負荷に偏りが生じ、その結果、平面視において直線領域５が長径方向から垂直方向にずれて曲がる傾向がある。しかしながら、直線領域５では内壁９ａの穴内粗さが多少粗くてもよいことによって、平面視における曲がりを生じやすい直線領域５においては、穴内粗さが大きくなるものの直進性のよい長穴用ドリルを用いることが可能になる。
【００２３】
また、図４（工程Ｂ−１）、（工程Ｂ−２）において、穴中心１３の近くに示したドリル加工の順番のとおり、既に形成された加工穴１０、１１の間隔を２等分する位置に加工穴１１を形成することにより、既に加工されて加工穴１０が形成されている部分と未加工の部分を跨いでドリル加工する場合が生じる場合でも、長穴８の長径方向についてドリルの負荷のバランスが保てるので、曲がりを抑制できる。さらに、図４（工程Ｂ−１）、（工程Ｂ−２）を繰り返すことで、図４（Ｂ−３）に示すように、直線領域５の内壁９ａが、平面視でほぼ直線となるようにすることができる。
【００２４】
一方、図１に示すように、円弧領域６は、長穴８の両端に位置するので、片側が閉塞されており、スルーホールめっき７を形成する際にめっき液が循環し難い。このため、内壁９ｂの穴内粗さが粗い場合には、スルーホールめっき７の付き回りを確保できない可能性がある。しかしながら、例えば、図４（工程Ａ）に示すように、長穴８の円弧領域６となる両端の穴を先に開けるようにすることで、ドリル加工が未加工の部分のみになされるようになる。このため、円弧領域６は、直線領域５と異なり、平面視における曲がりの問題はないので、直進性は劣るが穴内粗さの小さい丸穴用ドリルを用いることが可能になる。
【００２５】
このように、円弧領域６の内壁９ｂの穴内粗さが、直線領域５の内壁９ａの穴内粗さより小さいことによって、直線領域５では、長穴８の長径方向における曲がりを抑制しつつ、スルーホールめっき７の付きまわりを確保可能であり、円弧領域６でもスルーホールめっき７の付きまわりを確保可能になる。したがって、長径が短径の２倍以上の長い長穴を形成する場合でも、長穴の長径方向における曲がりを抑制しつつ、スルーホールめっき７の付きまわりを確保可能な配線基板を提供できる。
【００２６】
長穴用ドリルとは、曲がりを生じにくいドリルをいい、例えば、図５に示すように、長穴用ドリルの刃２０の直径が、刃先から根本まで同じで、アンダーカットを有しないストレートタイプのドリルが挙げられる。このように、ストレートタイプのドリルは、ドリルの刃の剛性が高いので、長穴８の長径方向における曲がりを抑制できる。
【００２７】
一方、丸穴用ドリルとは、貫通穴４の内壁９の穴内粗さが、長穴用ドリルにより形成した貫通穴４の内壁９の穴内粗さよりも小さくなるドリルをいい、例えば、図６に示すように、丸穴用ドリルの刃１５の直径１６に対して、アンダーカット１８を有するアンダーカットタイプのドリルが挙げられる。ここで、アンダーカットとは、ドリルの刃先の径に比べて、刃先より根本側の直径が細くなっている寸法のことをいい、このアンダーカットは、一般に０．０１〜０．０５ｍｍである。アンダーカットタイプのドリルは、ストレートタイプのドリルに比べて、穴の内壁９との摩擦が低減されており、粗さを小さくすることができる。
【００２８】
本実施の形態において、図１に示すように、長穴の平面視における長径が、短径の２倍以上であるのが好ましい。これにより、長穴の直線領域５では、めっき液が循環するので、内壁９ａの穴内粗さがある程度粗くても、スルーホールめっき７の付き回り性を確保でき、円弧領域６では、平面視における直線は問題にならず、内壁９ｂの穴内粗さの小さい丸穴用ドリルを用いてドリル加工が可能になる。
【００２９】
（配線基板の製造方法）
本発明の配線基板の製造方法の一実施形態を、図４〜図６を用いて説明する。
図４に示すように、本実施の形態の配線基板１の製造方法は、前記長穴８の両端に位置する円弧領域６をアンダーカットタイプの丸穴用ドリルで形成する工程Ａと、前記長穴８の長径方向の直線領域５をストレートタイプの長穴用ドリルで形成する工程Ｂ（工程Ｂ−１〜Ｂ−３）と、前記長穴８の内壁９にスルーホールめっき７を形成する工程Ｃ（図示せず）と、を有する配線基板１の製造方法である。
【００３０】
まず、図４（工程Ａ）に示すように、長穴８の両端に位置する円弧領域６をアンダーカットタイプの丸穴用ドリルで形成する工程Ａでは、未加工の部分のみをドリル加工することになるので、ドリルの負荷が全方向で同等となり曲がりを生じ難い。このため、アンダーカットタイプの丸穴用ドリルを用いることが可能になる。また、円弧領域６のアンダーカットタイプの丸穴用ドリルで形成するので、円弧領域６の内壁９ｂの穴内粗さは小さく抑えられる。穴中心１３の近くの数字は、ドリル加工を行なった順番を示している。
【００３１】
次に、図４（工程Ｂ−１）〜（工程Ｂ−３）に示すように、長穴８の長径方向の直線領域５をストレートタイプの長穴用ドリルで形成する工程Ｂでは、ドリル加工により形成される円形の加工穴１１の穴中心１３が、中心線１４上を移動するようにドリル加工し、かつ隣り合う加工穴１１同士が重なり合うように配置する。穴中心１３の近くの数字は、ドリル加工を行なった順番を示している。図４（工程Ｂ−１）、（工程Ｂ−２）に示すように、既に加工されて加工穴１０が形成されている部分と未加工の部分を跨いでドリル加工することになるため、ドリルに対する負荷に偏りが生じ、曲がりを生じやすい傾向がある。しかしながら、直線領域５では内壁９ａの穴内粗さが多少粗くても、スルーホールめっき７の付き回りがよいため、穴内粗さは大きくなるものの直進性のよい長穴用ドリルを用いることが可能になる。したがって、長穴８の長径方向における曲がりを抑制できる。
【００３２】
次に、長穴８の内壁９にスルーホールめっき７を形成する工程Ｃ（図示せず）では、直線領域５については、内壁９ａの穴内粗さが大きいが、めっき液が循環しやすい開放環境であるため、めっき液の循環が確保され、スルーホールめっき７の付き回りが確保される。また、円弧領域６については、めっき液が循環し難い閉塞環境ではあるが、内壁９ｂの穴内粗さが小さいため、めっき液の循環が確保され、スルーホールめっき７の付き回りが確保される。したがって、長穴８全体に亘って、スルーホールめっき７の付き回りが確保される。なお、スルーホールめっき７は、例えば、貫通穴４の内壁９に、下地の給電層を無電解銅めっきを用いて形成した後、電気銅めっきを用いて厚付けすることにより形成することができる。
【００３３】
図４（工程Ｂ−１）、（工程Ｂ−２）に示すように、本実施の形態において、長穴８の長径方向の直線領域５を長穴用ドリルで形成する工程では、既に形成された加工穴１０、１１の間隔を２等分する位置に加工穴１１を形成するのが好ましい。これにより、図４（工程Ｂ−１）に示すように、なるべくドリル加工が未加工の領域のみにドリル加工することができ、ドリルの回転方向における負荷が均等になるので、曲がりを抑制できる。また、図４（工程Ｂ−１）、（工程Ｂ−２）に示すように、既に加工されて加工穴１０が形成されている部分と未加工の部分を跨いでドリル加工する場合が生じる場合でも、長穴８の長径方向についてドリルの負荷のバランスが保てるので、曲がりを抑制できる。したがって、長穴８の長径方向全体に亘って、曲がりを抑制することができる。さらに、図４（工程Ｂ−１）、（工程Ｂ−２）を繰り返すことで、図４（Ｂ−３）に示すように、直線領域５の内壁９ａが、平面視でほぼ直線となるようにすることができる。
【００３４】
図４（工程Ｂ−１）〜（工程Ｂ−３）において、１穴のドリル加工毎に、穴中心１３が中心線１４上を移動する穴ピッチ１２は、０．０７〜０．２２ｍｍが好ましい。穴ピッチ１２をこの範囲とすることで、図１に示す、平面視における直線領域５はより直線に近づき、また、図２に示す直線領域の内壁９ａの穴内粗さは小さくなる。このため、スルーホールめっき７の付きまわりを確保することができる。
【００３５】
本実施の形態において、丸穴用ドリルの先端角αが１３０°以上、１５０°以下であるのが、穴内粗さの小さい加工穴を形成できる点で好ましい。長穴用ドリルの先端角βが１４０°以上、１６０度未満であるのが、ドリルの直進性を高め、曲がりを抑制できる点で好ましい。
【実施例】
【００３６】
（実施例）
まず、エポキシ樹脂をガラス布に含浸させた絶縁層の両面に厚さが１８μｍの銅箔を有する銅張積層板（日立化成株式会社、商品名ＭＣＬ−Ｅ−６７９、厚さ１．６ｍｍ）を準備し、銅箔をエッチングすることにより両面に導体回路を形成した。
【００３７】
次に、配線基板のドリル進入面に上当て板を配置し、ドリル進入面の反対側の面には、フェノール樹脂基板の下当て板を配置した。このように、配線基板を、上当て板とフェノール樹脂基板の下当て板とで固定して挟み、ＮＣ制御穴明け機（日立ビアメカニクス株式会社製、商品名ＭＡＲＫ２０）の穴明けテーブルにセットした。
【００３８】
次に、図４（工程Ａ）に示すように、長穴８の両端に位置する円弧領域６をアンダーカットタイプの丸穴用ドリルで形成した。ここでは、ドリルの刃長が９．０ｍｍ、直径が１．１ｍｍ、先端角が１４０度のアンダーカットタイプのドリル（ユニオンツール株式会社製、商品名１２８  ９１１０）を使用して、ＮＣ制御穴明け機（日立ビアメカニクス株式会社製、商品名ＭＡＲＫ２０）で、スピンドル回転数５５，０００ｍｉｎ−１及び送り速度１．４０ｍ／ｍｉｎの条件で、加工穴１０を形成した。加工穴１０の穴中心１３間の距離は、３．０ｍｍである。穴中心１３の近くの数字は、ドリル加工を行なった順番を示している。
【００３９】
次に、図４（工程Ｂ−１）〜（工程Ｂ−３）に示すように、長穴８の長径方向の直線領域５をストレートタイプの長穴用ドリルで形成した。ここでは、ドリルの刃長が８．７ｍｍ、直径が１．１ｍｍ、先端角が１５０度のストレートタイプのドリル（ＣＡＲＢＩＤＥ  ＩＮＴＥＲＮＡＴＩＯＮＡＬ社製、商品名ＴＣＴ  ＳＤ２４  ＳＤ  １１００）を使用して、スピンドル回転数５０，０００ｍｉｎ−１及び送り速度２．５ｍ／ｍｉｎのドリル穴明け加工条件で、加工穴１１を形成した。穴中心１３の近くの数字は、ドリル加工を行なった順番を示している。
【００４０】
図４（工程Ｂ−１）、（工程Ｂ−２）に示すように、本実施の形態において、長穴８の長径方向の直線領域５を長穴用ドリルで形成する工程では、既に形成された加工穴１０、１１の間隔を２等分する位置に加工穴１１を形成した。さらに、図４（工程Ｂ−１）、（工程Ｂ−２）を繰り返し、最終的に、穴中心１３が中心線１４上を移動する穴ピッチ１２が、約０．１ｍｍとした結果、図４（Ｂ−３）に示すように、直線領域５の内壁９ａが平面視でほぼ直線の長穴８を形成した。
【００４１】
次に、長穴８の内壁９にスルーホールめっき７を形成した（工程Ｃ）。なお、ドリル加工後の長穴８内はスプレー水洗のみを行い、多層配線基板で用いられるような過マンガン酸等を用いるデスミア処理は行っていない。スルーホールめっき７は、薄付け用の無電解銅めっきであるＣＵＳＴ２０００（日立化成株式会社製、商品名。「ＣＵＳＴ」は登録商標。）を用い、貫通穴４の内壁９に、厚さ約１μｍの下地の給電層を形成した後、硫酸銅めっき浴を用いた電気銅めっきで、厚さ約２５μｍとなるよう形成した。
【００４２】
（比較例１）
図４（工程Ａ）で、長穴８の両端に位置する円弧領域６を、アンダーカットタイプの丸穴用ドリルで形成する代わりに、ストレートタイプの長穴用ドリルで形成したこと以外は、実施例と同様にして長穴８を形成した。
【００４３】
（比較例２）
図４（工程Ｂ−１）〜（工程Ｂ−３）で、長穴８の長径方向の直線領域５をアンダーカットタイプの丸穴用ドリルで形成したこと以外は、実施例と同様にして長穴８を形成した。
【００４４】
（直線領域の直線性）
スルーホールめっき後の配線基板の表裏面側から、曲がりが目視で確認できないレベル（０．１ｍｍ以内）は○、目視で確認できるレベル（０．１ｍｍを超えるもの）は×とした。
【００４５】
（穴内壁粗さの測定）
スルーホールめっき後の配線基板から、各１０穴を注型し、長穴８の内壁９の断面を、金属顕微鏡を用いて倍率５００倍で観察し、穴内粗さ（穴内壁の凹凸の段差）を測定した。この時、長穴８の長径方向の直線領域５については、長径方向に対して直角方向（図１のＸ−Ｘ’方向、ガラスクロスの繊維と平行方向）の断面を観察し、長穴８の円弧領域６については、長径方向（図１のＹ−Ｙ’方向、ガラスクロスの繊維と平行方向）の断面を観察した。なお、長穴８の円弧領域６については、長径方向（図１のＹ−Ｙ’方向、ガラスクロスの繊維と平行方向）と４５度に交わる方向（ガラスクロスの繊維と４５度に交わる方向）の断面も観察した。また、各穴の穴内粗さは、穴内の最大の粗さをその穴の穴内粗さとし、各１０穴分の穴内粗さの最大値、最小値、平均値を算出した。
【００４６】
（スルーホールめっきの付き回り）
スルーホールめっき後の配線基板から、各１０穴を注型し、長穴８の内壁９の断面を、金属顕微鏡を用いて倍率×１００倍で観察して評価した。配線基板の表面のめっき厚さに対して、穴内の内壁のスルーホールめっきの厚さが、５０％以上の場合は○、５０％未満の場合は△、スルーホールめっきの未着部分が観察された場合は×とした。
【００４７】
（評価結果）
実施例、比較例１、２の穴内粗さの測定結果（最小値〜最大値）とスルーホールめっきの付き回りの評価結果を、表１に示す。
【００４８】
【表１】
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【００４９】
実施例では、直線領域の穴内粗さが、円弧領域よりも大きいものの、めっき付き回り及び直線領域の直線性は良好であった。ストレートタイプの長穴用ドリルだけを用いた比較例１では、円弧領域の穴内粗さが大きく、めっき付き回りが得られなかった。アンダーカットタイプの丸穴用ドリルだけを用いた比較例２は、直線領域で曲がりやドリルの折れを生じ、直線性が得られなかった。なお、比較例１、２で、同じドリルを用いているにも関わらず、直線領域の方が、円弧領域よりも穴内粗さが小さくなるのは、加工穴の穴ピッチが小さいので、既に加工済みの部分がほとんどで、実際にドリルで加工するのはごく小さい部分であり、ドリルへの負荷が小さいためと考えられる。一方、円弧領域では、未加工の部分を加工するため、ドリルへの負荷が大きいためと考えられる。
【符号の説明】
【００５０】
１．配線基板
２．絶縁層
３．導体回路
３ａ．（ライン状の）導体回路
３ｂ．（ランド状の）導体回路
４．貫通穴
５．直線領域
６．円弧領域
７．スルーホールめっき
８．長穴
８ａ．短径
８ｂ．長径
９．内壁
９ａ．（直線領域の）内壁
９ｂ．（円弧領域の）内壁
１０．（丸穴用ドリルの）加工穴
１１．（長穴用ドリルの）加工穴
１２．穴ピッチ
１３．穴中心
１４．中心線
１５．丸穴用ドリルの刃
１６．（ドリルの刃の）直径
１７．アンダーカット径
１８．アンダーカット
１９．先端角α
２０．長穴用ドリルの刃
２１．先端角β
２２．スルーホール
２３．ランド
２４．銅箔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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