(57)【要約】【課題】ノズルの占有スペースを抑えることができる基板処理装置を提供することを目的とする。【解決手段】基板処理装置１において、複数のノズル３は、支持アーム８に支持されている。そして、複数のノズル３は、予め設定された中心軸ＡＸ２周りにリング状に配置されている。これにより、ノズル３数が更に多くなっても、例えば、複数のノズル３が直線状に一列に配置されたものに比べて、ノズル３の占有スペースを抑えることができる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
予め設定された中心軸周りにリング状又は弧状に配置された、基板に処理液を吐出する複数のノズルと、
前記複数のノズルを支持する支持アームと、
を備えていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載された基板処理装置において、
前記リング状又は弧状に配置された複数のノズルの側方でかつ前記中心軸上に設けられ、前記複数のノズルを同時に撮影して魚眼画像を取得する単一のカメラを更に備えていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項３】
請求項２に記載された基板処理装置において、
前記取得した魚眼画像に基づき、前記魚眼画像の歪みを補正する処理を行い、前記複数のノズルが並ぶ平面画像を取得する画像処理部を更に備えていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項４】
請求項２または３に記載された基板処理装置において、
前記カメラは、魚眼レンズを有していることを特徴とする基板処理装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載された基板処理装置において、
前記基板の表面に沿った二次元方向に前記支持アームを移動させて、前記複数のノズルを一体的に移動させるノズル移動機構を更に備えていることを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板、液晶表示用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等（以下、単に「基板」と称する）に対して処理液を吐出して所定の処理を行う基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板処理装置は、基板を略水平姿勢で保持して回転させる回転保持部と、処理液を吐出する複数のノズルと、ノズルを所定位置に移動させるノズル移動部とを備えている（例えば、特許文献１参照）。複数のノズルは、ノズル待機部で待機している。ノズル移動部は、複数のノズルのいずれか１つを選択して把持し、回転保持部で保持された基板の上方にノズルを移動させる。ノズルにより基板上に処理液を吐出することで、所定の処理が行われる。
【０００３】
また、ノズル移動部は、選択的に１つのノズルを把持して移動させるのではなく、複数のノズルを一体的に移動させるように構成されたものも存在する（例えば、特許文献２参照）。特許文献２，３では、複数のノズルは、１列で直線状に配置されて、支持アームに支持されている。
【０００４】
また、ノズルの管内の処理液の液面高さや処理液を吐出したか否かの状態等を監視するためカメラが設けられている（例えば、特許文献２、３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】実用新案登録第２５８２４０７号公報
【特許文献２】特開２０１３−０６２３３０号公報
【特許文献３】特開２０１２−０４９１５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、複数のノズルを一体的に移動させる構成を有する従来装置は、次のような問題がある。まず、複数のノズル及び各々のノズルの処理液供給部は、複数種類の処理液を吐出するために設けられている。例えば、ノズルは、１０個程度設けられている。しかし、ユーザーの要望により、さらに多くのノズル等を必要とする場合がある。この場合、ノズルの占有スペースが大きくなる問題がある。例えば、複数のノズルを直線状に１列に配置するときは、非常に長いものになる。
【０００７】
また、直線状に１列に並んだノズル１０３数が更に多くなると、全てのノズル１０３が視野角に収まりきらない問題がある。これにより、視野角の広いカメラが必要である。また、視野角の広いカメラを用いない場合は、ノズル１０３からカメラ１０４までの距離が長くなる。これにより、ノズル１０３が小さく写るので、ノズル１０３管内における処理液の液面高さを監視する液柱監視が難しくなる。また、ノズル１０３からカメラ１０４までの距離を長くできなく、かつ、視野角の広いカメラを用いない場合は、図８のように、複数のカメラ１０４が必要になり、コスト高となる。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、ノズルの占有スペースを抑えることができる基板処理装置を提供することを目的とする。また、複数のノズルを容易に監視できる基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、本発明に係る基板処理装置は、予め設定された中心軸周りにリング状又は弧状に配置された、基板に処理液を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルを支持する支持アームと、を備えていることを特徴とするものである。
【００１０】
本発明に係る基板処理装置によれば、複数のノズルは、支持アームに支持されているが、複数のノズルは、予め設定された中心軸周りにリング状又は弧状に配置されている。これにより、ノズル数が更に多くなっても、例えば、複数のノズルが直線状に一列に配置されたものに比べて、ノズルの占有スペースを抑えることができる。
【００１１】
また、複数のノズルを直線状に配置した場合、列の端に設けられたノズルの交換は容易に行えるが、列の端以外のノズル（例えば列の中央のノズル）の交換は難しく作業性が悪い。しかし、複数のノズルが予め設定された中心軸周りにリング状又は弧状に配置されていることにより、ノズルに対してアクセス可能な角度を稼ぐことができるので、全体的に、ノズル交換の作業性を向上させることができる。
【００１２】
また、上述の基板処理装置において、前記リング状又は弧状に配置された複数のノズルの側方でかつ前記中心軸上に設けられ、前記複数のノズルを同時に撮影して魚眼画像を取得する単一のカメラを更に備えていることが好ましい。カメラの周囲に配置した複数のノズルを同時に撮影するので、ノズルからカメラまでの距離を抑えつつ、リング状又は弧状の複数のノズルを同じ距離で監視できる。また、ノズル数が更に多くなっても、単一のカメラで対応可能であり、複数のカメラを設けなくてもよいので、コストを抑えられる。
【００１３】
また、上述の基板処理装置において、前記取得した魚眼画像に基づき、前記魚眼画像の歪みを補正する処理を行い、前記複数のノズルが並ぶ平面画像を取得する画像処理部を更に備えていることが好ましい。これにより、例えば操作者による監視作業が容易に行うことができる。
【００１４】
また、上述の基板処理装置において、前記カメラは、魚眼レンズを有していることが好ましい。魚眼画像と同等の画像を取得するものとして、球体表面のミラーに写った像を撮影するカメラがある。この場合は、取得した画像にカメラが写り込んでしまうので、カメラの周囲は撮影できるが、カメラの前面は、カメラ自体等で遮られてしまう。しかし、カメラが魚眼レンズを有していることで、カメラの前面で遮るものなく撮影することができる。これにより、複数のノズルに加えて、処理液を吐出する対象の基板の状態も同時に撮影することができる。
【００１５】
また、上述の基板処理装置において、前記基板の表面に沿った二次元方向に前記支持アームを移動させて、前記複数のノズルを一体的に移動させるノズル移動機構を更に備えていることが好ましい。これにより、処理液を吐出する対象の基板において、複数のノズルの各々を所定の位置に移動させることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係る基板処理装置によれば、複数のノズルは、支持アームに支持されているが、複数のノズルは、予め設定された中心軸周りにリング状又は弧状に配置されている。これにより、ノズル数が更に多くなっても、例えば、複数のノズルが直線状に一列に配置されたものに比べて、ノズルの占有スペースを抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施例に係る基板処理装置の概略構成図である。
【図２】実施例に係る、リング状の複数のノズルおよび全方位カメラを下方から見た平面図である。
【図３】リング状の複数のノズルおよび全方位カメラを示す斜視図である。
【図４】（ａ）は、魚眼画像の一例を示す図であり、（ｂ）は、平面画像の一例を示す図である。
【図５】実施例に係る基板処理装置の平面図である。
【図６】変形例に係る、弧状の複数のノズルおよび全方位カメラを下方から見た平面図である。
【図７】（ａ）および（ｂ）は、変形例に係る全方位カメラを示す図である。
【図８】課題を説明するための図である。
【実施例】
【００１８】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。図１は、基板処理装置の概略構成図である。図２は、リング状の複数のノズルおよび全方位カメラを下方から見た平面図であり、図３は、図２の斜視図である。
【００１９】
図１を参照する。基板処理装置１は、基板Ｗを略水平姿勢で保持して回転させる回転保持部２と、基板Ｗ上にレジスト液などの処理液を吐出するノズル３と、ノズル３からの処理液の吐出状態を監視するための全方位カメラ４とを備えている。全方位カメラ４は、本発明のカメラに相当する。
【００２０】
回転保持部２は、中心軸ＡＸ１周りに回転可能に基板Ｗを保持するスピンチャック５と、スピンチャック５を中心軸ＡＸ１周りに回転させる駆動を行う回転駆動部６とを備えている。スピンチャック５は、基板Ｗの裏面を真空吸着することにより保持するが、基板Ｗの端縁部を挟持する構成であってもよい。また、スピンチャック５は、基板Ｗを略水平姿勢で保持する。回転駆動部６は、モータ等により構成されている。
【００２１】
また、回転保持部２の側方には、回転保持部２を囲うカップ７が設けられている。カップ７は、回転する基板Ｗから飛散した処理液を回収するためのものである。カップ７は、上下方向に駆動されるように構成されている。
【００２２】
ノズル３は、複数設けられており、複数のノズル３は、支持アーム８で支持されている。複数のノズル３は、図１〜図３のように、予め設定された中心軸ＡＸ２周りにリング状（環状）に配置されている。なお、ノズル３の吐出口９は、略下方向に向いており、処理液は、ノズル３の下方の基板Ｗに向けて吐出される。なお、本実施例では、ノズル３は、１６個備えているが、この個数に限定されない。
【００２３】
複数のノズル３は、吐出する処理液の種類に対応して設定されている。各ノズル３は、処理液供給部１０により処理液が供給される。処理液供給部１０は、ノズル３の数と同数で構成されている。処理液供給部１０は、例えば、処理液を貯留する処理液タンクと、処理液タンクとノズル３とをつなぐ配管と等を備えている。また、処理液供給部１０は、配管に介在して、処理液タンクから処理液を汲み上げてノズル３側に処理液を送るポンプと、ノズル３とポンプとの間に設けられ、配管の開閉を行う開閉バルブと、ノズル３と開閉バルブとの間に設けられ、ノズル３の管内の処理液の液面高さを調整するサックバックバルブ等を備えている。
【００２４】
全方位カメラ４は、図１〜図３のように、リング状に配置された複数のノズル３の側方でかつ中心軸ＡＸ２上に設けられ、複数のノズル３を同時に撮影して魚眼画像Ｇ１を取得する。全方位カメラ４は、単一で構成されており、支持アーム８で支持されている。全方位カメラ４は、例えばＣＣＤやＣＭＯＳ等の撮像素子４ａと、魚眼レンズ４ｂと等を備えている。全方位カメラ４の光軸は、中心軸ＡＸ２と略一致し、全方位カメラ４及び撮像素子４ａは、中心軸ＡＸ２に沿った、ノズル３から処理液を吐出する方向Ｐに向いている。これにより、全方位カメラ４は、図２の矢印Ｑのように、全方位（３６０°）で撮影可能であると共に、図１の矢印Ｒのように、各方位において、約１８０°の視野角で撮影可能である。なお、視野角は１８０°より大きくてもよい。
【００２５】
全方位カメラ４は、図４（ａ）のような円状の魚眼画像Ｇ１を出力する。円状の魚眼画像Ｇ１には、その外周に沿って複数のノズル３が映り込む。なお、図２では、ノズル３は１６個であるが、図４（ａ）、図４（ｂ）において、図示の都合上、リング状の８個のノズル３を撮影しているものとする。
【００２６】
図１のように、全方位カメラ４の後段には、画像処理部１１が設けられている。画像処理部１１は、取得した魚眼画像Ｇ１に基づき、魚眼画像Ｇ１（図４（ａ）参照）の歪みを補正する処理を行い、複数のノズル３が並ぶ平面画像Ｇ２（図４（ｂ）参照）を取得する。また、画像処理部１１は、更に、取得した平面画像Ｇ２に画像処理を行い、各ノズル３の液柱監視を自動で行うための画像処理を行うようにしてもよい。また、画像処理部１１は、階調調整などの処理を行うようにしてもよい。
【００２７】
また、基板処理装置１は、基板Ｗの表面に沿った二次元方向（ＸＹ方向）に支持アーム８を移動させて、複数のノズル３および全方位カメラ４を一体的に移動させるノズル移動機構１２を備えている。すなわち、ノズル移動機構１２は、図５のように、複数のノズル３等を、２つの回転保持部２の並設方向（Ｙ方向）、およびその並設方向と直交する方向（Ｘ方向）に移動させる。また、ノズル移動機構１２は、更に、複数のノズル３等を上下方向（Ｚ方向）に移動させる。これにより、処理液を吐出する対象の基板Ｗにおいて、複数のノズル３の各々を所定の位置や高さに移動させることができる。
【００２８】
ノズル移動機構１２の一例を具体的に説明する。ノズル移動機構１２は、上下シリンダ１３と、第１移動部１５と、第２移動部１７とを備えて、図５のＸ、Ｙ、Ｚ方向にノズル３等を移動させる。上下シリンダ１３は、ノズル３等を支持する支持アーム８を上下方向（Ｚ方向）に移動させる。第１移動部１５は、支持アーム８および上下シリンダ１３をＸ方向に移動される。第２移動部１７は、支持アーム８、上下シリンダ１３および第１移動部１５をＹ方向に移動させる。なお、第１移動部１５および第２移動部１７は、モータと、モータにより回転されるねじ軸と、ねじ軸とかみ合い、ねじ軸の回転によりねじ軸に沿って移動する可動部と、等を備えている。
【００２９】
なお、図５において、ノズル３等を支持する支持アーム８は、１つであるのに対して、回転保持部２は、２つである。回転保持部２は、１つであってもよいし、３つ以上であってもよい。また、ノズル３は、処理液を吐出しない場合は、ノズル待機部１９で待機する。ノズル待機部１９は、例えば、２つの回転保持部２の間に設けられている。また、ノズル待機部１９は、ノズル３により吐出された処理液を回収し、処理液を排出するように構成されている。
【００３０】
また、基板処理装置１は、図１のように、全方位カメラ４、処理液供給部１０およびノズル移動機構１２などの各構成を制御する主制御部２１と、魚眼画像Ｇ１や平面画像Ｇ２、各種の処理液の吐出条件等を記憶する記憶部２３と、操作者が入力設定を行う入力部２５と、魚眼画像Ｇ１や平面画像Ｇ２、操作画面等を表示する表示部２７とを備えている。
【００３１】
主制御部２１は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）などで構成される。記憶部２３は、ＲＯＭ（Read-only Memory）、ＲＡＭ（Random-Access Memory）またはハードディスク等の記憶媒体で構成される。入力部２５は、キーボード、マウス、タッチパネルなどで構成される。表示部２７は、液晶モニタ等で構成される。
【００３２】
なお、基板処理装置１は、複数のノズル３を監視するために、照明（図示しない）が設けられていてもよい。
【００３３】
次に、基板処理装置１の動作を説明する。図５を参照する。リング状のノズル３は、ノズル待機部１９に待機されている。図示しない搬送ロボにより、一方の回転保持部２Ａに基板Ｗ１が搬送される。基板保持部２Ａは基板Ｗ１を保持する。例えば、リング状の複数のノズル３のうち所定のノズル３Ａを用いて、基板Ｗ上に、処理液としてレジスト液を吐出するとする。
【００３４】
ノズル待機位置１９において、ノズル３Ａからレジスト液を吐出する。複数のノズル３は、全方位カメラ４により監視されており、ノズル３Ａを含む全てのノズル３の管内のレジスト液の液面高さは、管理されている。また、レジスト液を吐出したか否かを監視する。また、レジスト液のボタ落ちがどのノズル３からであるかも監視されている。以降の動作においても常に監視されているが、例えば、レジスト液の吐出動作の指示があってから、吐出動作が終了して複数のノズル３がノズル待機位置１９に戻ってくるまで監視するようにしてもよい。
【００３５】
全方位カメラ４は、全方位カメラ４の周囲の複数のノズル３と、全方位カメラ４の前方の例えば、基板Ｗを同時に撮影して、魚眼画像Ｇ１を取得する。魚眼画像Ｇ１は、そのままの状態で記憶部２３に時系列で記憶されてもよいし、画像処理部１１により平面画像Ｇ２（図４（ｂ）参照）に変換されて記憶部２３に時系列で記憶されてもよい。そして、表示部２７には、魚眼画像Ｇ１又は平面画像Ｇ２を静止画又は動画で表示する。平面画像Ｇ２を取得することで、例えば操作者による監視作業を容易に行うことができる。また、液面高さの管理を行う場合は、魚眼画像Ｇ１又は平面画像Ｇ２に基づき、画像処理部１１により、液面高さを取得する。主制御部２１は、取得した液面高さにより、処理液供給部１０を制御し、液面高さを調整する。
【００３６】
ノズル移動機構１２は、複数のノズル３を移動させて、ノズル３Ａを基板Ｗ１の略中心部の上方に位置させる。ノズル３Ａから基板Ｗ１にレジスト液を吐出する。なお、この際、基板保持部２Ａは、予め設定された条件に基づき、基板Ｗ１を回転させる。これにより、基板Ｗ１には、レジスト膜が形成される。その後、基板保持部２Ａによる基板Ｗ１の保持が解除され、基板Ｗ１は、搬送ロボにより搬出される。
【００３７】
ノズル３Ａから基板Ｗ１にレジスト液を吐出している間に、搬送ロボにより、他方の基板保持部２Ｂに基板Ｗ２が搬送される。基板保持部２Ｂは基板Ｗ２を保持する。ノズル移動機構１２は、複数のノズル３を移動させて、ノズル３Ａを基板Ｗ２の略中心部の上方に位置させる。ノズル３Ａから基板Ｗ２にレジスト液を吐出する。なお、この際、基板保持部２Ｂは、予め設定された条件に基づき、基板Ｗ２を回転させる。これにより、基板Ｗ２には、レジスト膜が形成される。その後、基板保持部２Ｂによる基板Ｗ２の保持が解除され、基板Ｗ２は、搬送ロボにより搬出される。
【００３８】
このようにして、一方の回転保持部２Ａでの吐出動作と、他方の回転保持部２Ｂでの吐出動作が交互に行われる。そして、吐出動作が終了すると、ノズル移動機構１２は、複数のノズル３をノズル待機部１９に移動させる。
【００３９】
なお、例えば、ノズル３Ａから処理液を吐出後、ノズル３Ｂからその他の処理液を吐出する場合があるとする。この場合、基板Ｗの略中心部の上方にノズル３Ａが位置している状態から、ノズル移動機構１２は、ノズル３Ｂを基板Ｗの略中心部の上方に移動させる。そして、ノズル３Ｂからその他の処理液を吐出させる。
【００４０】
本実施例によれば、複数のノズル３は、支持アーム８に支持されているが、複数のノズル３は、予め設定された中心軸ＡＸ２周りにリング状に配置されている。これにより、ノズル３数が更に多くなっても、例えば、複数のノズル３が直線状に一列に配置されたものに比べて、ノズル３の占有スペースを抑えることができる。すなわち、複数のノズル３が直線状に一列に配置されたものに比べて、２次元方向に小さくまとめることができる。
【００４１】
また、複数のノズル３を直線状に配置した場合、列の端に設けられたノズルの交換は容易に行えるが、列の端以外のノズル（例えば列の中央のノズル）の交換は難しく作業性が悪い。しかし、複数のノズル３が予め設定された中心軸ＡＸ２周りにリング状に配置されていることにより、ノズル３に対してアクセス可能な角度を稼ぐことができるので（図２の符号Ｓ参照）、全体的に、ノズル交換の作業性を向上させることができる。
【００４２】
また、基板処理装置１は、リング状に配置された複数のノズル３の側方でかつ中心軸ＡＸ２上に設けられ、複数のノズル３を同時に撮影して魚眼画像Ｇ１を取得する単一の全方位カメラ４を更に備えている。全方位カメラ４の周囲に配置した複数のノズル３を同時に撮影するので、ノズル３から全方位カメラ４までの距離を抑えつつ、リング状の複数のノズル３を同じ距離で監視できる。また、ノズル３数が更に多くなっても、単一の全方位カメラ４で対応可能であり、複数の全方位カメラ４を設けなくてもよいので、コストを抑えられる。
【００４３】
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【００４４】
（１）上述した実施例では、複数のノズル３は、リング状に配置されていたが、図６のように、中心軸ＡＸ２を中心とした弧状に配置されていてもよい。
【００４５】
（２）上述した実施例および変形例（１）では、ノズル３の吐出口９は下向きであるが、斜め下を向いていてもよい。
【００４６】
（３）上述した実施例および各変形例では、全方位カメラ４は、魚眼レンズ４ｂを有する方式のものであったが、例えば、図７（ａ）、図７（ｂ）のような、その他の方式の全方位カメラ４１，４３であってもよい。この全方位カメラ４１，４３は、撮像素子４ａと、半球などの球面状ミラー４５と等を備えている。球面状ミラー４５には、球面状ミラー４５の周囲の複数のノズル３等が映り込む。撮像素子４ａは、球面状ミラー４５に映り込んだ複数のノズル３等を撮像する。これにより、魚眼画像Ｇ１と同等の画像を取得することができる。なお、本明細書では、全方位カメラ４１，４３で撮影した画像も魚眼画像Ｇ１として説明する。
【００４７】
本変形例の全方位カメラ４１，４３は、この周囲の複数のノズル３を撮影することができる。しかし、全方位カメラ４１，４３は、次のような特徴がある。図７（ａ）の全方位カメラ４１で撮影しようとすると、撮像素子４ａで遮られて、遮られた部分（例えば基板Ｗの一部）が観察できない。また、図７（ｂ）の全方位カメラ４３で撮影しようとすると、球面状ミラー４５で遮られて、遮られた部分が同様に観察できない。
【００４８】
これらに対し、上述の実施例の全方位カメラ４は、魚眼レンズ４ｂを有している。魚眼画像Ｇ１と同等の画像を取得するものとして、上述の、球面状ミラー４５に写った像を撮影する全方位カメラ４１，４３がある。この場合は、例えば、取得した画像に撮像素子４ａが写り込んでしまうので、全方位カメラ４１，４３の周囲は撮影できるが、全方位カメラ４１，４３の前面は、撮像素子４ａで遮られてしまう。しかし、上述の実施例の全方位カメラ４が魚眼レンズ４ｂを有していることで、撮像素子４ａの前面で遮るものなく撮影することができる。これにより、複数のノズル３に加えて、処理液を吐出する対象の基板Ｗの状態も同時に撮影することができる。
【００４９】
（４）上述した実施例および各変形例では、複数のノズル３は、１つのリングで配置されるが、同心円の２つ以上のリングで配置されていてもよい。この場合、全方位カメラ４から全てのノズル３を監視できるように、例えば、内側のリングのノズル３と外側のリングのノズル３とでピッチをずらして配置するようにしてもよい。
【００５０】
（５）上述した実施例および各変形例では、カメラとして全方位カメラ４，４１，４３を例示したが、図２のように、全方位（３６０°）を撮影できるカメラに限定されない。例えば、３５８°など略全方位を撮影できるカメラであってもよい。また、図６の同一の弧状に配置された複数のノズル３を同じ距離で撮影できればよい。また、撮影できない方位が２カ所以上あってもよい。なお、このようなカメラであっても、上述の魚眼レンズ４ｂや球面状ミラー４５を備えていてもよい。
【００５１】
（６）上述した実施例および各変形例では、処理液としてレジスト液を一例に説明したが、処理液はそれに限定されない。処理液は、例えば、現像液、純水、反射防止膜形成用の液、および層間絶縁膜形成用の液などであってもよい。
【００５２】
（７）上述した実施例および各変形例では、ノズル移動機構１２は、図５において、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向にノズル３等を移動させることができる。しかし、必要に応じて、Ｚ方向に移動させる上下シリンダ１３が設けられていなくてもよい。
【符号の説明】
【００５３】
１        …  基板処理装置
３（３Ａ，３Ｂ）  …  ノズル
４，４１，４３  …  全方位カメラ
４ａ      …  撮像素子
４ｂ      …  魚眼レンズ
８        …  支持アーム
９        …  吐出口
１１      …  画像処理部
１２      …  ノズル移動機構
２１      …  主制御部
４５      …  球面状ミラー
ＡＸ２    …  中心軸
Ｇ１      …  魚眼画像
Ｇ２      …  平面画像
【図１】
2016096303.tif 000003
【図２】
2016096303.tif 000004
【図３】
2016096303.tif 000005
【図４】
2016096303.tif 000006
【図５】
2016096303.tif 000007
【図６】
2016096303.tif 000008
【図７】
2016096303.tif 000009
【図８】
2016096303.tif 000010