(57)【要約】【課題】コンパクトな構成でコンタミネーションの発生を防止することができ、しかも捕集キットの設置時間を正確に把握したり捕集キットを確実に回収したりすることができる降塵異物回収装置および生産システムを提供する。【解決手段】降塵異物回収装置１０、２０、３０は、外気環境に接する平面を有しており、当該平面で降塵異物を捕集する捕集キット１２、２２、３２と、捕集キット１２、２２、３２を外気環境に暴露した開放状態と外気環境から遮断した閉止状態との間で切り替える切替手段とを備えており、切替手段は、遠隔操作またはタイマーに基づいて自動的に捕集キット１２、２２、３２を開放状態と閉止状態との間で切り替えるようになっている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外気環境に接する平面を有しており、当該平面で降塵異物を捕集する捕集キットと、
前記捕集キットを外気環境に暴露した開放状態と外気環境から遮断した閉止状態との間で切り替える切替手段と、
を備え、
前記切替手段は、遠隔操作またはタイマーに基づいて自動的に前記捕集キットを前記開放状態と前記閉止状態との間で切り替えるようになっている、降塵異物回収装置。
【請求項２】
前記捕集キットにおける外気環境に接する前記平面を閉止するための蓋を更に備え、
前記切替手段は、前記蓋または前記捕集キットを移動させることにより当該捕集キットを前記開放状態と前記閉止状態との間で切り替えるようになっている、請求項１記載の降塵異物回収装置。
【請求項３】
前記捕集キットが載置される引出部材が引出可能に収容される収容部を更に備え、
前記切替手段は、前記引出部材を前記収容部に収容される位置および前記収容部から引き出された位置との間で移動させるようになっている、請求項１記載の降塵異物回収装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の降塵異物回収装置と、
生産装置と、
前記降塵異物回収装置および前記生産装置の制御を行う制御装置と、
を備え、
前記制御装置は、前記生産装置の生産開始時刻となったときに前記降塵異物回収装置の前記切替手段により前記捕集キットを前記開放状態に切り替えるとともに、前記生産装置の生産終了時刻となったときに前記降塵異物回収装置の前記切替手段により前記捕集キットを前記閉止状態に切り替えるよう制御を行う、生産システム。
【請求項５】
前記制御装置は、前記生産システムにおいてトラブルの発生が検知されたときに、検知されたトラブルの内容が予め設定された所定の内容であった場合に前記降塵異物回収装置の前記切替手段により前記捕集キットを前記閉止状態に切り替えるよう制御を行う、請求項４記載の生産システム。
【請求項６】
前記制御装置は、前記捕集キットが前記開放状態となっていた時間を記憶する記憶部を有している、請求項４または５記載の生産システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製造現場において降塵異物の回収を行うための降塵異物回収装置およびこのような降塵異物回収装置を備えた生産システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
食品や包装材料、半導体関連部材等の製造現場では、一定の清浄度が求められており、作業員からの発塵物や衣類からの発塵物、衣類に付着している異物、生産装置からの発塵物等が製品に付着することを防止するために、清浄度を維持管理したり塵埃の多いエリアを把握して局所的にブース化したりする等の対処が行われるようになっている。このような製造現場では、現場の清浄度の改善やトラブル対応のために、降塵異物の量を測定したり降塵異物の外観特徴とその成分とを紐付けて把握したりすることが必要となっている。
【０００３】
従来では、弱粘着テープや各種ウエハ等から形成される捕集キットを製造現場に設置して数時間から数日放置し、この捕集キットの上に落下した降塵異物の外観を観察し、分析機器により成分分析する方法が用いられていた（例えば、特許文献１等参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−２０８０８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１等に開示されるような従来技術の降塵異物の評価・分析方法では、作業員が手作業で捕集キットの設置や回収を行うため、捕集キットにおいてコンタミネーションが発生してしまうおそれがある。すなわち、作業員からの発塵物が捕集キットの上に落下してしまい、製造現場の生産装置からの発塵物と区別がつかなくなってしまうという問題がある。また、従来技術の降塵異物の評価・分析方法では、捕集キットの設置時間を正確に把握することが難しかったり、捕集キットの蓋を閉め忘れたり捕集キットを回収し忘れたりする場合がある。このようなトラブルが発生しないようにするために、吸引機構を備えた装置を利用して降塵異物を一定時間回収する方法も従来から考えられていたが、このような吸引機構を備えた装置からの発塵物と現場の生産装置からの発塵物とが区別できない場合があり、また、吸引機構を備えた装置を設けるためコストが高くなることや狭い隙間では降塵異物を測定することができないといった点から実用的ではない。
【０００６】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、コンパクトな構成でコンタミネーションの発生を防止することができ、しかも捕集キットの設置時間を正確に把握したり捕集キットを確実に回収したりすることができる降塵異物回収装置および生産システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の降塵異物回収装置は、外気環境に接する平面を有しており、当該平面で降塵異物を捕集する捕集キットと、前記捕集キットを外気環境に暴露した開放状態と外気環境から遮断した閉止状態との間で切り替える切替手段と、を備え、前記切替手段は、遠隔操作またはタイマーに基づいて自動的に前記捕集キットを前記開放状態と前記閉止状態との間で切り替えるようになっていることを特徴とする。
【０００８】
このような降塵異物回収装置によれば、遠隔操作またはタイマーに基づいて自動的に捕集キットを開放状態と閉止状態との間で切り替えることにより、コンパクトな構成でコンタミネーションの発生を防止することができ、しかも捕集キットの設置時間を正確に把握したり捕集キットを確実に回収したりすることができる。
【０００９】
本発明の降塵異物回収装置は、前記捕集キットにおける外気環境に接する前記平面を閉止するための蓋を更に備え、前記切替手段は、前記蓋または前記捕集キットを移動させることにより当該捕集キットを前記開放状態と前記閉止状態との間で切り替えるようになっていてもよい。
【００１０】
あるいは、本発明の降塵異物回収装置は、前記捕集キットが載置される引出部材が引出可能に収容される収容部を更に備え、前記切替手段は、前記引出部材を前記収容部に収容される位置および前記収容部から引き出された位置との間で移動させるようになっていてもよい。
【００１１】
本発明の生産システムは、上記の降塵異物回収装置と、生産装置と、前記降塵異物回収装置および前記生産装置の制御を行う制御装置と、を備え、前記制御装置は、前記生産装置の生産開始時刻となったときに前記降塵異物回収装置の前記切替手段により前記捕集キットを前記開放状態に切り替えるとともに、前記生産装置の生産終了時刻となったときに前記降塵異物回収装置の前記切替手段により前記捕集キットを前記閉止状態に切り替えるよう制御を行うことを特徴とする。
【００１２】
本発明の生産システムにおいては、前記制御装置は、前記生産システムにおいてトラブルの発生が検知されたときに、検知されたトラブルの内容が予め設定された所定の内容であった場合に前記降塵異物回収装置の前記切替手段により前記捕集キットを前記閉止状態に切り替えるよう制御を行うようになっていてもよい。
【００１３】
本発明の生産システムにおいては、前記制御装置は、前記捕集キットが前記開放状態となっていた時間を記憶する記憶部を有していてもよい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の降塵異物回収装置および生産システムによれば、コンパクトな構成でコンタミネーションの発生を防止することができ、しかも捕集キットの設置時間を正確に把握したり捕集キットを確実に回収したりすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施の形態による降塵異物回収装置の第１の構成例を概略的に示す側面図である。
【図２】（ａ）〜（ｃ）は、図１に示す降塵異物回収装置の動作を順に示す側面図である。
【図３】本発明の実施の形態による降塵異物回収装置の第２の構成例を概略的に示す側面図である。
【図４】本発明の実施の形態による降塵異物回収装置の第３の構成例を概略的に示す側面図である。
【図５】本発明の実施の形態による降塵異物回収装置と生産装置とを備えた生産システムの構成を示すブロック図である。
【図６】図５に示す生産システムにおける生産装置および降塵異物回収装置の動作をそれぞれ示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１乃至図６は、本実施の形態による降塵異物回収装置およびこのような降塵異物回収装置を備えた生産システムを示す図である。このうち、図１は、本実施の形態による降塵異物回収装置の第１の構成例を概略的に示す側面図であり、図２（ａ）〜（ｃ）は、図１に示す降塵異物回収装置の動作を順に示す側面図である。また、図３および図４は、それぞれ、本実施の形態による降塵異物回収装置の第２および第３の構成例を概略的に示す側面図である。また、図５は、本実施の形態による降塵異物回収装置と生産装置とを備えた生産システムの構成を示すブロック図であり、図６は、図５に示す生産システムにおける生産装置および降塵異物回収装置の動作をそれぞれ示すフローチャートである。
【００１７】
本実施の形態による降塵異物回収装置は、製造現場において捕集キットにより生産装置からの発塵物の回収を行うものである。図１に示すように、本実施の形態による降塵異物回収装置１０は、鉛直方向に延びる円柱形状の支柱１１と、外気環境に接する平面を有しており、当該平面で降塵異物を捕集する捕集キット１２と、捕集キット１２を支持するための捕集キット支持部１６と、捕集キット１２における外気環境に接する平面を閉止するための蓋１４と、蓋１４を支持するための蓋支持部１８とを備えている。ここで、捕集キット支持部１６の基端部分には、支柱１１を囲むよう設けられた円筒形状の固定部材１７が設けられており、当該固定部材１７は支柱１１における所定箇所に位置固定で取り付けられている。一方、蓋支持部１８の基端部分には、支柱１１を囲むよう設けられた円筒形状の可動部材１９が設けられており、当該可動部材１９は支柱１１を中心軸として回転自在となっているとともに支柱１１の長手方向に沿って図１における上下方向に移動自在となっている。また、支柱１１には、可動部材１９の駆動を行う駆動モータ１１ａが設けられている。また、図１に示すように、本実施の形態による降塵異物回収装置１０では、捕集キット１２、蓋１４、捕集キット支持部１６、固定部材１７、蓋支持部１８、可動部材１９および駆動モータ１１ａからなる組合せ体が支柱１１の長手方向に沿って並ぶよう２組設けられている。このような２組の組合せ体を図１において参照符号１０ａ、１０ｂで示す。本実施の形態では、各組合せ体１０ａ、１０ｂにおいて、捕集キット１２の上面を蓋１４により閉止することによってこの上面を外気環境から遮断した閉止状態と、捕集キット１２を外気環境に暴露した開放状態との間で切り替えることができるようになっている。図１における下側の組合せ体１０ａでは、捕集キット１２の上面を蓋１４により閉止することによってこの上面を外気環境から遮断した閉止状態となっており、一方、図１における上側の組合せ体１０ｂでは、捕集キット１２を外気環境に暴露した開放状態となっている。
【００１８】
本実施の形態による降塵異物回収装置１０では、捕集キット１２は略円盤形状のものからなり、降塵異物はこの捕集キット１２の上面で受けられるようになっている。このような捕集キット１２は、粘着シート、シリコンウエハ、ガラス板、シリーコンゲル、培養用寒天等の異物捕集用媒体を有しており、当該異物捕集用媒体がそのまま受皿に載置されたり、あるいは上記の異物捕集用媒体がテープやシール等で受皿の数カ所（例えば四隅）に固定されたりするようになっている。とりわけ、上記の異物捕集用媒体の裏面に両面テープを貼り、当該両面テープを介して異物捕集用媒体の裏面を受皿に固定することにより捕集キット１２を形成することが望ましい。また、このような捕集キット１２は捕集キット支持部１６の上面に着脱自在に固定されるようになっている。また、蓋１４は、捕集キット１２の上面を選択的に閉止するようになっており、このような蓋１４は蓋支持部１８の下面に着脱自在に固定されるようになっている。
【００１９】
次に、図１に示すような降塵異物回収装置１０の各組合せ体１０ａ、１０ｂにおいて、捕集キット１２の上面を蓋１４により閉止することによってこの上面を外気環境から遮断した閉止状態から、捕集キット１２を外気環境に暴露した開放状態に切り替える際の動作について図２（ａ）〜（ｃ）を用いて説明する。図２（ａ）は、捕集キット１２の上面を蓋１４により閉止することによってこの上面を外気環境から遮断した閉止状態を示している。このような状態からまず可動部材１９が支柱１１の長手方向に沿って固定部材１７から離間する方向（すなわち、図２における矢印方向）に移動し、図２（ｂ）に示すように蓋１４を捕集キット１２から上方に離間させる。次に、図２（ｃ）の矢印に示すように支柱１１を中心軸として可動部材１９を１８０度回転させ、このことにより可動部材１９に取り付けられた蓋支持部１８も支柱１１を中心軸として水平面に沿って１８０度回転させる。このことにより、捕集キット１２が外気環境に暴露されるようになり、この捕集キット１２を捕集キット支持部１６から取り外したり新たな捕集キット１２を捕集キット支持部１６に取り付けたりすることができるようになる。なお、降塵異物回収装置１０の各組合せ体１０ａ、１０ｂにおいて、捕集キット１２を外気環境に暴露した開放状態から、捕集キット１２の上面を蓋１４により外気環境から遮断した閉止状態に切り替える際には、上記の動作とは逆の順の動作が行われるようになる。
【００２０】
なお、上述した降塵異物回収装置１０では、捕集キット支持部１６の基端部分に固定部材１７が設けられているとともに蓋支持部１８の基端部分に可動部材１９が設けられているが、このような態様に限定されることはない。変形例に係る降塵異物回収装置において、蓋支持部１８の基端部分に固定部材が設けられており、一方、捕集キット支持部１６の基端部分に可動部材が設けられており、捕集キット支持部１６の基端部分に設けられた可動部材が支柱１１を中心軸として回転自在となっているとともに支柱１１の長手方向に沿って移動自在となっていてもよい。このような変形例に係る降塵異物回収装置では、捕集キット支持部１６の基端部分に設けられた可動部材を動作させることによって捕集キット１２を移動させることにより、当該捕集キット１２を閉止状態と開放状態との間で切り替えるようになる。
【００２１】
このように、図１に示すような降塵異物回収装置１０では、支柱１１、固定部材１７、可動部材１９および駆動モータ１１ａ等を組み合わせることにより、捕集キット１２を外気環境に暴露した開放状態と外気環境から遮断した閉止状態との間で切り替える切替手段が構成されている。また、このような降塵異物回収装置１０では、支柱１１に設けられる駆動モータ１１ａは捕集キット１２から側方に離れているため、この駆動モータ１１ａから発生する塵埃等の異物が捕集キット１２の上面に集積されてしまうことを極力防止することができる。
【００２２】
また、図１に示すような降塵異物回収装置１０において、駆動モータ１１ａの動作を制御するタイマーが実装されており、予め設定された所定の時刻となったときに駆動モータ１１ａの動作のオンオフが自動的に切り替えられるようになっている。具体的には、後述するように、降塵異物回収装置１０が設置される製造現場において生産装置の生産開始時刻となったときに、タイマーによって駆動モータ１１ａが動作されることにより、捕集キット１２が外気環境に暴露した開放状態となるよう図２（ｃ）に示すように捕集キット１２の上面から蓋１４が自動的に離間する。一方、降塵異物回収装置１０が設置される製造現場において生産装置の生産終了時刻となったときに、タイマーによって駆動モータ１１ａが動作されることにより、捕集キット１２の上面が外気環境から遮断した閉止状態となるよう図２（ａ）に示すように捕集キット１２の上面が蓋１４により自動的に閉止される。
【００２３】
なお、図１に示すような降塵異物回収装置１０において、タイマーにより駆動モータ１１ａの動作のオンオフが切り替えられる代わりに、リモートコントローラ等を用いた遠隔操作によって駆動モータ１１ａの動作のオンオフが切り替えられるようになっていてもよい。
【００２４】
なお、本実施の形態による降塵異物回収装置は、支柱が鉛直方向に延びるものに限定されることはない。本実施の形態による別の構成の降塵異物回収装置として、図３に示すような支柱が斜め上方に延びるようなものが用いられてもよい。図３に示すように、第２の構成例に係る降塵異物回収装置２０は、水平面に対して斜め上方に延びる円柱形状の支柱２１と、外気環境に接する平面を有しており、当該平面で降塵異物を捕集する捕集キット２２と、捕集キット２２を支持するための捕集キット支持部２６と、捕集キット２２における外気環境に接する平面を閉止するための蓋２４と、蓋２４を支持するための蓋支持部２８とを備えている。ここで、捕集キット支持部２６の基端部分には、支柱２１を囲むよう設けられた円筒形状の固定部材２７が設けられており、当該固定部材２７は支柱２１における所定箇所に位置固定で取り付けられている。一方、蓋支持部２８の基端部分には、支柱２１を囲むよう設けられた円筒形状の可動部材２９が設けられており、当該可動部材２９は支柱２１の長手方向に沿って図３における矢印方向に移動自在となっている。また、支柱２１には、可動部材２９の駆動を行う駆動モータ２１ａが設けられている。
【００２５】
このような降塵異物回収装置２０では、捕集キット２２、蓋２４、捕集キット支持部２６および蓋支持部２８の構成は、それぞれ、図１に示す降塵異物回収装置１０における捕集キット１２、蓋１４、捕集キット支持部１６および蓋支持部１８と略同一の構成となっている。
【００２６】
また、このような降塵異物回収装置２０でも、可動部材２９を支柱２１の長手方向に沿って移動させることによって蓋２４を移動させることにより、捕集キット２２を、その上面を蓋２４により閉止することによってこの上面を外気環境から遮断した閉止状態と、外気環境に暴露した開放状態との間で切り替えることができるようになっている。なお、捕集キット２２が閉止状態にあるときの蓋２４および蓋支持部２８の位置を図３における実線で示し、また、捕集キット２２が開放状態にあるときの蓋２４および蓋支持部２８の位置を図３における二点鎖線で示している。このように、図３に示すような降塵異物回収装置２０では、支柱２１、固定部材２７、可動部材２９および駆動モータ２１ａを組み合わせることにより、捕集キット２２を外気環境に暴露した開放状態と外気環境から遮断した閉止状態との間で切り替える切替手段が構成されている。
【００２７】
なお、図３に示す降塵異物回収装置２０では、捕集キット支持部２６の基端部分に固定部材２７が設けられているとともに蓋支持部２８の基端部分に可動部材２９が設けられているが、このような態様に限定されることはない。他の例として、蓋支持部２８の基端部分に固定部材が設けられており、一方、捕集キット支持部２６の基端部分に可動部材が設けられており、捕集キット支持部２６の基端部分に設けられた可動部材が支柱２１の長手方向に沿って移動自在となっていてもよい。このような降塵異物回収装置では、捕集キット支持部２６の基端部分に設けられた可動部材を動作させることによって捕集キット２２を移動させることにより、当該捕集キット２２を閉止状態と開放状態との間で切り替えるようになる。
【００２８】
また、図３に示すような降塵異物回収装置２０でも、駆動モータ２１ａの動作を制御するタイマーが実装されており、予め設定された所定の時刻となったときに駆動モータ２１ａの動作のオンオフが自動的に切り替えられるようになっている。具体的には、後述するように、降塵異物回収装置２０が設置される製造現場において生産装置の生産開始時刻となったときに、タイマーによって駆動モータ２１ａが動作されることにより、捕集キット２２が外気環境に暴露した開放状態となるよう図３の二点鎖線で示すように捕集キット２２の上面から蓋２４が自動的に離間する。一方、降塵異物回収装置２０が設置される製造現場において生産装置の生産終了時刻となったときに、タイマーによって駆動モータ２１ａが動作されることにより、捕集キット２２の上面が外気環境から遮断した閉止状態となるよう図３の実線で示すように捕集キット２２の上面が蓋２４により自動的に閉止される。
【００２９】
また、図３に示すような降塵異物回収装置２０において、タイマーにより駆動モータ２１ａの動作のオンオフが切り替えられる代わりに、リモートコントローラ等を用いた遠隔操作によって駆動モータ２１ａの動作のオンオフが切り替えられるようになっていてもよい。
【００３０】
また、降塵異物回収装置として、図４に示すような構成のものが用いられてもよい。図４に示すように、第３の構成例に係る降塵異物回収装置３０は、左右一対の収容ケース３１と、この収容ケース３１の前面に設けられた開口３１ｂを介して当該収容ケース３１から手前側に引出可能な引出部材としての引出棚３４と、引出棚３４に載置される捕集キット３２とを備えている。ここで、図３に示す降塵異物回収装置３０における捕集キット３２の構成は、図１に示す降塵異物回収装置１０における捕集キット１２と略同一の構成となっている。図４では、左右一対の収容ケース３１のうち左側の収容ケース３１から引出棚３４が引き出されてこの引出棚３４に載置される捕集キット３２の上面が外気環境に暴露した開放状態となっているのに対し、右側の収容ケース３１では引出棚３４が当該収容ケース３１の内部に収容されてこの引出棚３４に載置される捕集キット３２はその上面が外気環境から遮断された閉止状態となっている。このような降塵異物回収装置３０には、各引出棚３４を収容ケース３１の内部の収容位置と収容ケース３１から引き出された引出位置との間で移動させる駆動モータ３１ａが引出棚３４毎に収容ケース３１に設けられている。また、図４に示す降塵異物回収装置３０では、収容ケース３１、捕集キット３２、引出棚３４および駆動モータ３１ａからなる組合せ体が左右に並ぶよう２組設けられている。このような２組の組合せ体を図４において参照符号３０ａ、３０ｂで示す。
【００３１】
このように、図４に示すような降塵異物回収装置３０の各組合せ体３０ａ、３０ｂでは、引出棚３４および駆動モータ３１ａを組み合わせることにより、捕集キット３２を外気環境に暴露した開放状態と外気環境から遮断した閉止状態との間で切り替える切替手段が構成されている。
【００３２】
また、図４に示すような降塵異物回収装置３０において、駆動モータ３１ａの動作を制御するタイマーが実装されており、予め設定された所定の時刻となったときに駆動モータ３１ａの動作のオンオフが自動的に切り替えられるようになっている。具体的には、後述するように、降塵異物回収装置３０が設置される製造現場において生産装置の生産開始時刻となったときに、タイマーによって駆動モータ３１ａが動作されることにより、捕集キット３２が外気環境に暴露した開放状態となるよう当該捕集キット３２が載置される引出棚３４が収容ケース３１から手前側に自動的に引き出される。一方、降塵異物回収装置３０が設置される製造現場において生産装置の生産終了時刻となったときに、タイマーによって駆動モータ３１ａが動作されることにより、捕集キット３２の上面が外気環境から遮断した閉止状態となるよう捕集キット３２が載置される引出棚３４が収容ケース３１の内部に自動的に収容される。
【００３３】
なお、図４に示すような降塵異物回収装置３０において、タイマーにより駆動モータ３１ａの動作のオンオフが切り替えられる代わりに、リモートコントローラ等を用いた遠隔操作によって駆動モータ３１ａの動作のオンオフが切り替えられるようになっていてもよい。
【００３４】
次に、上述した降塵異物回収装置１０、２０、３０を備えた生産システムの構成について図５を用いて説明する。図５に示すように、生産システムのクリーンルーム６０の内部には、食品や包装材料、半導体関連部材等の生産を行う生産装置５０、ならびに上述した降塵異物回収装置１０、２０、３０のうち何れか一つのものが設置されている。また、本実施の形態による生産システムでは、これらの生産装置５０および降塵異物回収装置１０、２０、３０の制御を行う制御装置７０が設けられている。制御装置７０は、生産装置５０や降塵異物回収装置１０、２０、３０に指令信号を与えることによりこれらの装置の制御を行うためのＣＰＵ等の制御部７２と、制御部７２による制御内容等の様々な情報を記憶するための記憶部７４と、様々な情報を表示するためのモニタ等の表示部７６と、作業員が制御部７２に様々な指令を与えるためのキーボード等の操作部７８とを有している。このような制御装置７０として例えばパーソナルコンピュータを用いることができる。なお、制御装置７０は図５に示すようにクリーンルーム６０の外部に設けられているが、変形例に係る生産システムでは制御装置７０がクリーンルーム６０の内部に設けられていてもよい。
【００３５】
生産装置５０では、２つの製品Ａ、Ｂが交互に生産されるようになっており、例えば製品Ａの生産および製品Ｂの生産を２４時間で行うというサイクルが繰り返されるようになっている。また、各製品Ａ、Ｂの生産を行う際に、生産装置５０からの発塵物を降塵異物回収装置１０、２０、３０により回収するという動作が製品毎に行われるようになっている。ここで、図５に示すような生産システムにおいて製品Ａの生産を行う際の生産装置５０および降塵異物回収装置１０、２０、３０の動作について図６に示すフローチャートを用いて説明する。なお、以下に示すような生産装置５０や降塵異物回収装置１０、２０、３０の動作は、制御装置７０の制御部７２が生産装置５０や降塵異物回収装置１０、２０、３０を制御することによって行われる。
【００３６】
まず、生産装置５０において製品Ａの生産準備を行い（ＳＴＥＰ１）、この際に、降塵異物回収装置１０、２０、３０において捕集キット１２、２２、３２を設置する（ＳＴＥＰ１０１）。具体的には、降塵異物回収装置１０、２０では、捕集キット１２、２２を捕集キット支持部１６、２６の上面に取り付ける。また、降塵異物回収装置３０では、捕集キット３２を引出棚３４の上に載置する。次に、駆動モータ１１ａ、２１ａ、３１ａを動作させることにより、捕集キット１２、２２、３２を外気環境から遮断した閉止状態とする（ＳＴＥＰ１０２）。このことにより、製品Ａの生産開始前のコンタミネーションを防止することができる。また、制御装置７０の操作部７８により、製品Ａに関する降塵調査条件を設定する。具体的には、製品Ａの生産開始時刻および生産終了時刻を設定する。
【００３７】
そして、生産装置５０において、製品Ａの生産開始時刻となると（ＳＴＥＰ２の「ＹＥＳ」）、製品Ａの生産が開始される（ＳＴＥＰ３）。また、降塵異物回収装置１０、２０、３０において、製品Ａの生産開始時刻となると（ＳＴＥＰ１０４の「ＹＥＳ」）、駆動モータ１１ａ、２１ａ、３１ａを動作させることにより、捕集キット１２、２２、３２を外気環境に暴露した開放状態とする（ＳＴＥＰ１０５）。このことにより、生産装置５０によって製品Ａの生産が行われている間にクリーンルーム６０内で発生する降塵異物が捕集キット１２、２２、３２の上面で捕集されるようになる。
【００３８】
また、本実施の形態による生産システムにおいて生産装置５０により製品Ａの生産が行われている間に、クリーンルーム６０内に作業員が入ったり、生産装置５０が故障したりする等のトラブルの発生が検知されると（ＳＴＥＰ４の「ＹＥＳ」）、生産装置５０による製品Ａの生産が中断される（ＳＴＥＰ５）。また、この際に、トラブルの内容によっては、降塵異物回収装置１０、２０、３０において切替手段により、捕集キット１２、２２、３２が外気環境に暴露した開放状態から外気環境から遮断した閉止状態に切り替えられるようになる。具体的には、生産システムにおいてトラブルの発生が検知されたときに（ＳＴＥＰ１０６の「ＹＥＳ」）、このトラブルの内容が装置動作の小トラブルに関連するものである場合には（ＳＴＥＰ１０７の「ＹＥＳ」）、捕集キット１２、２２、３２を外気環境に暴露した開放状態に維持し続けるが、トラブルの内容が装置動作の小トラブルに関連するものではない場合には（ＳＴＥＰ１０７の「ＮＯ」）、駆動モータ１１ａ、２１ａ、３１ａを動作させることにより、捕集キット１２、２２、３２を外気環境から遮断した閉止状態とする（ＳＴＥＰ１０８）。このことにより、装置動作の小トラブルではないような重大なトラブルへの対処中におけるコンタミネーションを防止することができる。なお、装置動作の小トラブルとは、本格的な故障ではなく、一時的なトラブルのために生産装置５０が停止したり空転したりする状態のことをいう。また、トラブルが解消されると（ＳＴＥＰ１０９の「ＹＥＳ」）、捕集キット１２、２２、３２が外気環境から遮断した閉止状態から外気環境に暴露した開放状態に戻されるようになる（ＳＴＥＰ１１０）。
【００３９】
より詳細に説明すると、クリーンルーム６０内が高クリーン環境となっているときには、生産装置５０においてトラブルが発生したときに作業員がクリーンルーム６０の外部から制御装置７０の操作部７８によってこの生産装置５０のトラブルを解消できる場合に、降塵異物回収装置１０、２０、３０においてトラブルの内容が装置動作の小トラブルであるとみなされ、捕集キット１２、２２、３２を外気環境に暴露した開放状態に維持し続ける。また、クリーンルーム６０内が高クリーン環境となっているときに、小さい地震や停電等によって生産装置５０が瞬間停止した際に作業員がクリーンルーム６０の外部から制御装置７０の操作部７８によってこの生産装置５０の再起動を行うような場合にも、降塵異物回収装置１０、２０、３０においてトラブルの内容が装置動作の小トラブルであるとみなされ、捕集キット１２、２２、３２を外気環境に暴露した開放状態に維持し続ける。一方、クリーンルーム６０内が高クリーン環境となっているときに、作業員がクリーンルーム６０の内部に入って生産装置５０のメンテナンス作業や清掃作業を行う場合には、降塵異物回収装置１０、２０、３０においてトラブルの内容が装置動作の小トラブルではないとみなされ、捕集キット１２、２２、３２を外気環境から遮断した閉止状態とする。
【００４０】
また、クリーンルーム６０内が低クリーン環境となっているときには、クリーンルーム６０の内部に作業員が常に入って様々な作業を行うようになる。ここで、クリーンルーム６０内が低クリーン環境となっているときに、生産装置５０において例えば食材の追加や弁当箱の補充等の単純作業を行うような場合には、降塵異物回収装置１０、２０、３０においてトラブルの内容が装置動作の小トラブルであるとみなされ、捕集キット１２、２２、３２を外気環境に暴露した開放状態に維持し続ける。一方、クリーンルーム６０内が低クリーン環境となっているときに、作業員が生産装置５０のメンテナンス作業や清掃作業を行う場合や作業員のシフト交代を行う場合には、降塵異物回収装置１０、２０、３０においてトラブルの内容が装置動作の小トラブルではないとみなされ、捕集キット１２、２２、３２を外気環境から遮断した閉止状態とする。
【００４１】
また、生産装置５０が印刷機等であるときに、このような印刷機等としての生産装置５０において紙詰まりが発生した際に作業員が当該生産装置５０から詰まった紙を取り除くような単純作業を行う場合には、降塵異物回収装置１０、２０、３０においてトラブルの内容が装置動作の小トラブルであるとみなされ、捕集キット１２、２２、３２を外気環境に暴露した開放状態に維持し続ける。また、生産装置５０が印刷機等であるときに、小さい地震や停電等によって印刷機等としての生産装置５０が瞬間停止した際に作業員がクリーンルーム６０の外部から制御装置７０の操作部７８によってこの生産装置５０の再起動を行うような場合にも、降塵異物回収装置１０、２０、３０においてトラブルの内容が装置動作の小トラブルであるとみなされ、捕集キット１２、２２、３２を外気環境に暴露した開放状態に維持し続ける。一方、作業員が印刷機等としての生産装置５０のメンテナンス作業や清掃作業、あるいは版の交換作業等を行う場合には、降塵異物回収装置１０、２０、３０においてトラブルの内容が装置動作の小トラブルではないとみなされ、捕集キット１２、２２、３２を外気環境から遮断した閉止状態とする。
【００４２】
なお、本実施の形態の生産システムでは、トラブルの発生が検知されたときに捕集キット１２、２２、３２を外気環境から遮断した閉止状態に切り替えるか否かの判断基準（すなわち、トラブルの種類）と、生産システムの環境（例えば、高クリーン環境か低クリーン環境か等）とが関連付けられて制御装置７０の記憶部７４に記憶されるようになっている。そして、制御装置７０の制御部７２は、トラブルの発生が検知されたときに、記憶部７４に記憶される生産システムの環境やトラブルの種類に基づいて、降塵異物回収装置１０、２０、３０において捕集キット１２、２２、３２を外気環境から遮断した閉止状態に切り替えるか否かを判断するようになっている。
【００４３】
その後、生産装置５０において、製品Ａの生産終了時刻となると（ＳＴＥＰ８の「ＹＥＳ」）、製品Ａの生産を終了する（ＳＴＥＰ９）。また、降塵異物回収装置１０、２０、３０において、製品Ａの生産終了時刻となると（ＳＴＥＰ１１１の「ＹＥＳ」）、駆動モータ１１ａ、２１ａ、３１ａを動作させることにより、捕集キット１２、２２、３２を開放状態から閉止状態に切り替える（ＳＴＥＰ１１２）。また、捕集キット１２、２２、３２が開放状態となっていた時間が制御装置７０の記憶部７４に記憶されたり表示部７６に表示されたりする。その後、作業員は降塵異物回収装置１０、２０、３０から捕集キット１２、２２、３２を回収する（ＳＴＥＰ１１３）。また、製品Ｂの生産に備えて、この製品Ｂ用の捕集キット１２、２２、３２を降塵異物回収装置１０、２０、３０に設置する。この際に、本実施の形態による降塵異物回収装置１０、２０、３０では捕集キット１２、２２を支持する捕集キット支持部１６、２６や捕集キット３２が載置される引出棚３４が２つ設けられているため、製品Ａ用の捕集キット１２、２２、３２を回収する動作および製品Ｂ用の捕集キット１２、２２、３２を設置する動作を並行して行うことができるようになる。
【００４４】
以上のような構成からなる本実施の形態の降塵異物回収装置１０、２０、３０は、外気環境に接する平面を有しており、当該平面で降塵異物を捕集する捕集キット１２、２２、３２と、捕集キット１２、２２、３２を外気環境に暴露した開放状態と外気環境から遮断した閉止状態との間で切り替える切替手段とを備えており、切替手段は、遠隔操作またはタイマーに基づいて自動的に捕集キット１２、２２、３２を開放状態と閉止状態との間で切り替えるようになっている。このことにより、コンパクトな構成でコンタミネーションの発生を防止することができ、しかも捕集キット１２、２２、３２の設置時間を正確に把握したり捕集キット１２、２２、３２を確実に回収したりすることができるようになる。
【００４５】
より詳細に説明すると、従来技術の降塵物の評価・分析方法では、作業員が手作業で捕集キットの設置や回収を行うため、捕集キットにおいてコンタミネーションが発生してしまうおそれがあった。すなわち、作業員からの発塵物が捕集キットの上に落下してしまい、生産装置からの発塵物と区別がつかなくなってしまうという問題があった。また、従来技術の降塵物の評価・分析方法では、捕集キットの設置時間を正確に把握することが難しかったり、捕集キットの蓋を閉め忘れたり捕集キットを回収し忘れたりする場合があった。これに対し、本実施の形態の降塵異物回収装置１０、２０、３０では、遠隔操作またはタイマーに基づいて自動的に捕集キット１２、２２、３２を開放状態と閉止状態との間で切り替えるため、上述した従来技術の問題点を解消することができるようになる。より詳細には、捕集キット１２、２２、３２に対する開放状態と閉止状態との間の切り替え動作が自動的かつ必要最小限しか行われないため捕集キット１２、２２、３２を不用意に汚染してしまうことを防止することができる。また、遠隔操作またはタイマーに基づいて自動的に捕集キット１２、２２、３２を開放状態と閉止状態との間で切り替えるため、捕集キット１２、２２、３２の設置時間を正確に把握したり捕集キット１２、２２、３２を確実に回収したりすることができるようになる。
【００４６】
また、図１等に示す降塵異物回収装置１０や図３に示す降塵異物回収装置２０は、上述したように、捕集キット１２、２２における外気環境に接する平面を閉止するための蓋１４、２４を更に備えており、切替手段は、蓋１４、２４または捕集キット１２、２２を移動させることにより当該捕集キット１２、２２を開放状態と閉止状態との間で切り替えるようになっている。
【００４７】
また、図４に示す降塵異物回収装置３０は、上述したように、捕集キット３２が載置される引出部材としての引出棚３４が引出可能に収容される収容ケース３１（収容部）を更に備えており、切替手段は、引出棚３４を収容ケース３１に収容される位置および収容ケース３１から引き出された位置との間で移動させるようになっている。
【００４８】
また、本実施の形態による生産システムは、上述したように、降塵異物回収装置１０、２０、３０と、生産装置５０と、降塵異物回収装置１０、２０、３０および生産装置５０の制御を行う制御装置７０とを備えており、制御装置７０は、生産装置５０の生産開始時刻となったときに降塵異物回収装置１０、２０、３０の切替手段により捕集キット１２、２２、３２を開放状態に切り替えるとともに、生産装置５０の生産終了時刻となったときに降塵異物回収装置１０、２０、３０の切替手段により捕集キット１２、２２、３２を閉止状態に切り替えるよう制御を行うようになっている。このような生産システムによれば、生産装置５０における製品の生産中の降塵異物のみを捕集キット１２、２２、３２により自動的に捕集することができるようになる。
【００４９】
また、このような生産システムでは、制御装置７０は、当該生産システムにおいてトラブルの発生が検知されたときに、検知されたトラブルの内容が予め設定された所定の内容であった場合に（具体的には、検知されたトラブルの内容が装置動作の小トラブルに関するものではなかった場合に）降塵異物回収装置１０、２０、３０の切替手段により捕集キット１２、２２、３２を閉止状態に切り替えるよう制御を行うようになっている。このことにより、検知されたトラブルの内容が軽微なものである場合には捕集キット１２、２２、３２による降塵異物の捕集を続行させることができる一方、検知されたトラブルの内容が重大なものである場合には捕集キット１２、２２、３２による降塵異物の捕集を中断させることができるようになる。
【００５０】
また、制御装置７０は、上述したように、捕集キット１２、２２、３２が開放状態となっていた時間を記憶する記憶部７４を有している。この場合には、捕集キット１２、２２、３２により捕集された降塵異物の分析を行う際に、単位時間当たりの降塵異物の量等を算出することができるようになる。
【００５１】
なお、本実施の形態による降塵異物回収装置やこのような降塵異物回収装置を備えた生産システムは、上述したような構成のものに限定されることはなく、様々な変更を加えることができる。
【００５２】
例えば、本発明では、遠隔操作またはタイマーに基づいて自動的に捕集キットを開放状態と閉止状態との間で切り替えることができるものであれば、降塵異物回収装置の構成は図１乃至図４に示すものに限定されることはない。また、本発明の降塵異物回収装置で用いられる捕集キットは、粘着シート、シリコンウエハ、正常なガラス、シリーコンゲル、培養用寒天等の異物捕集用媒体がそのまま受皿に載置されたり、あるいはこのような異物捕集用媒体がテープやシール等で受皿の数カ所（例えば四隅）に固定されたりするものに限定されることはない。降塵異物を捕集することができるのであれば、捕集キットとして上位の構成以外のものを用いてもよい。
【符号の説明】
【００５３】
１０    降塵異物回収装置
１０ａ、１０ｂ  組合せ体
１１    支柱
１１ａ  駆動モータ
１２    捕集キット
１４    蓋
１６    捕集キット支持部
１７    固定部材
１８    蓋支持部
１９    可動部材
２０    降塵異物回収装置
２１    支柱
２１ａ  駆動モータ
２２    捕集キット
２４    蓋
２６    捕集キット支持部
２７    固定部材
２８    蓋支持部
２９    可動部材
３０    降塵異物回収装置
３０ａ、３０ｂ  組合せ体
３１    収容ケース
３１ａ  駆動モータ
３１ｂ  開口
３２    捕集キット
３４    引出棚
５０    生産装置
６０    クリーンルーム
７０    制御装置
７２    制御部
７４    記憶部
７６    表示部
７８    操作部
【図１】
2016206059.tif 000003
【図２】
2016206059.tif 000004
【図３】
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【図４】
2016206059.tif 000006
【図５】
2016206059.tif 000007
【図６】
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