(57)【要約】      （修正有）【課題】エネルギー閉じ込め効果に優れ、電極連結性が改善された圧電振動片、その圧電振動片の製造方法及び圧電振動子を提供する。【解決手段】励振部１１２、及び上記励振部１１２より薄い厚さの周辺部１１１を含む振動基板１１０と、上記励振部１１２の厚さ方向の一面及び他面に配置される励振電極１２１ａと、を含み、上記励振部１１２は上記周辺部１１１の厚さ方向の一面及び他面より膨らんだ領域である突出部を含み、上記突出部の少なくとも一つ以上の側面は二つ以上の結晶面を有する圧電振動片１００である。【選択図】図１
2016063542.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
励振部、及び前記励振部より薄い厚さの周辺部を含む振動基板と、
前記励振部の厚さ方向の一面及び他面に配置される励振電極と、
を含み、
前記励振部は前記周辺部の厚さ方向の一面及び他面より膨らんだ領域である突出部を含み、前記突出部の少なくとも一つ以上の側面は二つ以上の結晶面を有する、圧電振動片。
【請求項２】
前記突出部の厚さ方向の一面は、四つ以上の辺を有する、請求項１に記載の圧電振動片。
【請求項３】
前記二つ以上の結晶面は、前記突出部の厚さ方向の一面に対して互いに異なる傾斜角を有する、請求項１または２に記載の圧電振動片。
【請求項４】
前記振動基板の材料は石英（ｑｕａｒｔｚ）である、請求項１から３のいずれか１項に記載の圧電振動片。
【請求項５】
前記突出部の少なくとも一側面は、前記周辺部の厚さ方向の一面の延長平面と鋭角をなす結晶面と、前記突出部の厚さ方向の一面と鈍角をなす結晶面と、を含む、請求項１から４のいずれか１項に記載の圧電振動片。
【請求項６】
前記圧電振動片は、前記周辺部の厚さ方向の一面及び他面に配置される端子電極と、前記端子電極と励振電極を連結する連結電極と、を含む、請求項１から５のいずれか１項に記載の圧電振動片。
【請求項７】
前記連結電極は、前記突出部の少なくとも一側面上に配置される、請求項６に記載の圧電振動片。
【請求項８】
前記突出部の少なくとも一側面は、水晶結晶の自然の結晶面と、前記自然の結晶面と異なる傾斜角の結晶面と、を含む、請求項１から７のいずれか１項に記載の圧電振動片。
【請求項９】
前記突出部の一側面が二つの結晶面を含む場合、二つの結晶面のうち周辺部に隣接した結晶面が周辺部の厚さ方向の一面の延長平面となす角をθ１、突出部の上面に隣接した結晶面が周辺部の厚さ方向の一面と平行な面となす角をθ３としたとき、θ１＞θ３を満たす、請求項１から８のいずれか１項に記載の圧電振動片。
【請求項１０】
厚さ方向の一面及び他面に、厚さ方向の一面が四つ以上の辺を有する突出部が形成された振動基板と、
前記突出部に配置される励振電極と、
を含み、
前記突出部の少なくとも一つ以上の側面は二つ以上の互いに異なる傾斜角を有する結晶面を有する、圧電振動片。
【請求項１１】
水晶ウエハを用意する段階と、
前記水晶ウエハの厚さ方向の一面及び他面にレジストパターンを形成する段階と、
前記水晶ウエハをエッチングして、水晶ウエハの厚さ方向の一面及び他面に、厚さ方向の一面が四つ以上の辺を有する突出部を形成する段階と、
前記水晶ウエハに配置された前記レジストパターンを除去する段階と、
前記突出部の少なくとも一つ以上の側面が二つ以上の結晶面を有するように前記レジストパターンの除去された前記水晶ウエハを再エッチングして振動基板を形成する段階と、
を含む、圧電振動片の製造方法。
【請求項１２】
振動基板を形成する段階の後、
前記突出部の厚さ方向の一面に励振電極を形成する段階をさらに含む、請求項１１に記載の圧電振動片の製造方法。
【請求項１３】
前記二つ以上の結晶面は、突出部の厚さ方向の一面に対して互いに異なる傾斜角を有する、請求項１１または１２に記載の圧電振動片の製造方法。
【請求項１４】
前記突出部の少なくとも一側面は、水晶結晶の自然の結晶面である第１の結晶面と、前記第１の結晶面以外の結晶面と、を含む、請求項１１から１３のいずれか１項に記載の圧電振動片の製造方法。
【請求項１５】
励振部、及び前記励振部より薄い厚さの周辺部を含む振動基板と、前記励振部の厚さ方向の一面及び他面に配置される励振電極と、を含み、前記励振部は前記周辺部の厚さ方向の一面及び他面より膨らんだ領域である突出部を含み、前記突出部の少なくとも一つ以上の側面は二つ以上の結晶面を有する圧電振動片と、
前記圧電振動片を収容する上部ケース及び下部ケースと、
前記下部ケースの上面に配置され前記励振電極を含む電極部と電気的に連結される接続電極と、
前記下部ケースの下面に配置され前記接続電極と電気的に連結される外部電極と、
を含む、圧電振動子。
【請求項１６】
前記電極部は、前記周辺部の厚さ方向の一面に配置され前記励振電極と連結される端子電極を含み、
前記圧電振動子は、前記端子電極と接続電極の間に配置されて端子電極と接続電極を電気的に連結する接続部をさらに含む、請求項１５に記載の圧電振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動片、圧電振動片の製造方法及び圧電振動子に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電振動子は、外部から電圧が加わると、圧電振動片の圧電現象によって圧電振動片が振動し、その振動によって周波数を発生させる装置である。
【０００３】
圧電振動子は、安定した周波数が得られるため、コンピューター、通信機器の発振回路や他に信号の基準となる多様な中核部品にも用いられる。
【０００４】
水晶を用いた圧電振動片は、水晶をベースとした振動基板、及び振動基板に配置された電極を含み、上記振動基板の形状は、必要な物性によって多様に採用されることができる。
【０００５】
厚みすべり振動モードの圧電振動片は、振動基板の厚さを中央部から端部に向かって次第に薄くすると、端部における振動変位の減衰量が大きくなるため、振動片の中央部に振動エネルギーを閉じ込める効果が高くなり、ＣＩ値、Ｑ値などの周波数特性を向上させることができる。この振動エネルギー閉じ込め効果を発揮することができる振動片の形状としては、その主面を凸状の曲面にしたコンベックス（ｃｏｎｖｅｘ）形状、平坦で厚い中央部と端部の間を斜面にしたベベル（ｂｅｖｅｌ）形状、中央部を平坦にし中央部の周辺部を薄くしたメサ形状などがある。
【０００６】
平坦で厚い中央部と厚さの薄い周辺部を含むメサ形状において中央部と周辺部の厚さが急激に変わる場合はエネルギー閉じ込め効果が低下し電極連結性が低くなる問題が発生する可能性があるため、これを改善した圧電振動片が求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１０−１０９５２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、圧電振動片、その製造方法及び圧電振動子を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一実施形態によれば、厚さ方向の一面及び他面に突出部が形成された振動基板及び励振電極を含み、上記突出部の少なくとも一つ以上の側面が二つ以上の結晶面を有することにより、エネルギー閉じ込め効果に優れ、電極連結性が改善された圧電振動片が提供される。
【００１０】
本発明の他の実施形態によれば、水晶ウエハにレジストパターンを形成して突出部を形成した後、レジストパターンの除去された水晶ウエハを再エッチングすることにより、突出部の少なくとも一つ以上の側面が二つ以上の結晶面を有する、エネルギー閉じ込め効果及び電極連結性が向上した圧電振動片の製造方法が提供される。
【００１１】
本発明のさらに他の実施形態によれば、突出部の少なくとも一つ以上の側面が二つ以上の結晶面を有する圧電振動片と、上記圧電振動片を収容する上部ケース及び下部ケースと、上記圧電振動片の電極部と連結される接続電極と、外部電極と、を含む圧電振動子が提供される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の一実施形態によれば、エネルギー閉じ込め効果に優れ、電極連結性が改善された圧電振動片、その製造方法及び圧電振動子を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態による圧電振動片の斜視図である。
【図２】図１の圧電振動片のＡ−Ａ'切断部断面図である。
【図３】図１の圧電振動片のＢ−Ｂ'切断部断面図である。
【図４】図１の圧電振動片において連結電極が配置された領域を横切るＣ−Ｃ'切断部断面図である。
【図５】本発明の一実施形態の変形例による圧電振動片を示す斜視図である。
【図６】図５のＰ−Ｐ'切断部断面図である。
【図７】図５のＱ−Ｑ'切断部断面図である。
【図８】本発明の他の実施形態による圧電振動片の製造方法を示すフローチャートである。
【図９ａ】圧電振動片の製造段階の一部を示す切断部断面図である。
【図９ｂ】圧電振動片の製造段階の一部を示す切断部断面図である。
【図１０ａ】圧電振動片の製造段階の一部を示す切断部断面図である。
【図１０ｂ】圧電振動片の製造段階の一部を示す切断部断面図である。
【図１１ａ】圧電振動片の製造段階の一部を示す切断部断面図である。
【図１１ｂ】圧電振動片の製造段階の一部を示す切断部断面図である。
【図１２ａ】圧電振動片の製造段階の一部を示す切断部断面図である。
【図１２ｂ】圧電振動片の製造段階の一部を示す切断部断面図である。
【図１３】本発明の一実施形態による圧電振動子の分解斜視図である。
【図１４】図１３の圧電振動子をＤ−Ｄ'線に沿って切断した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下では、添付の図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。しかし、本発明の実施形態は様々な他の形態に変形されることができ、本発明の範囲は以下で説明する実施形態に限定されない。また、本発明の実施形態は、当該技術分野で平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面における要素の形状及び大きさなどはより明確な説明のために誇張されることがある。
【００１５】
＜圧電振動片＞
以下、本発明の一実施形態による圧電振動片を説明する。
【００１６】
図１は、本発明の一実施形態による圧電振動片１００の斜視図である。
【００１７】
図２は、図１の圧電振動片１００のＡ−Ａ'切断部断面図であり、図３は、図１の圧電振動片１００のＢ−Ｂ'切断部断面図である。
【００１８】
図１〜図３を参照すると、本発明の一実施形態による圧電振動片１００は、振動基板１１０と、上記振動基板に配置される電極部１２０と、を含む。
【００１９】
上記振動基板１１０は、厚さが相対的に厚い励振部１１２と、上記励振部より厚さが薄い周辺部１１１と、を含み、上記励振部１１２は、上記周辺部１１１の厚さ方向の一面及び他面より膨らんだ領域である突出部１１２ａ、１１２ｂを含む。
【００２０】
例えば、上記突出部は、上記周辺部１１１の厚さ方向の一面より膨らんだ第１の突出部１１２ａと、上記周辺部の厚さ方向の他面より膨らんだ第２の突出部１１２ｂと、を含むことができる。
【００２１】
上記圧電振動片１００に含まれる振動基板１１０は、材料として水晶（ｃｒｙｓｔａｌ）を含み、上記水晶は、機械的振動発生器の役割をする。
【００２２】
本発明の一実施形態によれば、上記水晶は石英（ｑｕａｒｔｚ）であればよい。
【００２３】
上記電極部１２０は、上記励振部１１２の厚さ方向の一面及び他面に配置される励振電極１２１ａ、１２１ｂと、上記周辺部１１１の厚さ方向の一面及び他面のうち少なくとも一面に配置される端子電極１２３ａ、１２３ｂと、上記励振電極と上記端子電極を連結する連結電極１２２ａ、１２２ｂと、を含む。
【００２４】
上記励振部１１２の厚さ方向の一面には第１の励振電極１２１ａが配置されて第１の連結電極１２２ａを介して第１の端子電極１２３ａと連結され、上記励振部１１２の一面と対向する他面には第２の励振電極１２１ｂが配置されて第２の連結電極１２２ｂを介して第２の端子電極１２３ｂと連結される。
【００２５】
上記第１の端子電極１２３ａは、上記周辺部１１１の厚さ方向の一面から上記周辺部の一側面及び厚さ方向の他面に伸びて形成され、上記第２の端子電極１２３ｂは、上記周辺部１１１の厚さ方向の他面から上記周辺部の一側面及び厚さ方向の一面に伸びて形成されることができるが、これに制限されない。
【００２６】
本発明の一実施形態によれば、上記周辺部１１１の厚さ方向の一面及び他面より膨らんだ突出部１１２ａ、１１２ｂの厚さ方向の一面ＳＴａ、ＳＴｂは、角部のエッチングによって、完全な四角形ではないが、平面においてほぼ四角形の形状を有することができる。上記周辺部１１１の厚さ方向の一面及び他面より突出した突出部の厚さ方向の一面は、以下に突出部の上面ＳＴａ、ＳＴｂと定義されることができる。
【００２７】
本発明の一実施形態において、上記突出部の上面ＳＴａ、ＳＴｂの各辺と上記周辺部１１１の厚さ方向の一面及び他面を連結する面は、突出部の側面１ａ、１ｂ、２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂ、４ａ、４ｂと定義され、上記突出部の少なくとも一つ以上の側面は、二つ以上の結晶面を含む。
【００２８】
上記突出部１１２ａ、１１２ｂの各側面は、傾斜した形状を有し、上記突出部１１２ａ、１１２ｂの上部は、上記突出部１１２ａ、１１２ｂの下部より狭い幅で形成される。
【００２９】
本発明の一実施形態によれば、上記第１の突出部１１２ａは、四つの側面１ａ、２ａ、３ａ、４ａを含み、第２の突出部１１２ｂは、四つの側面１ｂ、２ｂ、３ｂ、４ｂを含み、上記第１及び第２の突出部の少なくとも一つ以上の側面は、少なくとも二つ以上の結晶面を有する。
【００３０】
例えば、上記第１及び第２の突出部１１２ａ、１１２ｂの各側面は、二つ以上の結晶面を有することができる。
【００３１】
上記突出部１１２ａ、１１２ｂの少なくとも一つ以上の側面に含まれた二つ以上の結晶面は、上記突出部の厚さ方向の一面ＳＴａ、ＳＴｂに対して互いに異なる傾斜角を有する。
【００３２】
例えば、図２に示されているように、図１の圧電振動片のＡ−Ａ'切断部断面図において、第１の突出部１１２ａの第１の側面１ａは、二つの結晶面ｆ１、ｆ２を含み、第１の突出部の第３の側面３ａは、二つの結晶面ｆ３、ｆ４を含むことができる。
【００３３】
また、図２に示されているように、図１の圧電振動片のＡ−Ａ'切断部断面図において、第２の突出部１１２ｂの第１の側面１ｂは、二つの結晶面ｆ７、ｆ８を含み、第２の突出部の第３の側面３ｂは、二つの結晶面ｆ５、ｆ６を含むことができる。
【００３４】
上記第１の突出部１１２ａの第１の側面１ａと連結された上記第１の突出部の上面ＳＴａの第１の辺は、上記第１の突出部１１２ａの第３の側面３ａと連結された上記第１の突出部の上面ＳＴａの第３の辺と対向する。また、上記第２の突出部１１２ｂの第１の側面１ｂと連結された上記第２の突出部の上面ＳＴｂの第１の辺は、上記第２の突出部１１２ｂの第３の側面３ｂと連結された上記第２の突出部の上面ＳＴｂの第３の辺と対向する。
【００３５】
例えば、図３に示されているように、図１の圧電振動片のＢ−Ｂ'切断部断面図において、第１の突出部１１２ａの第２の側面２ａは、二つの結晶面ｇ１、ｇ２を含み、第１の突出部１１２ａの第４の側面４ａは、二つの結晶面ｇ３、ｇ４を含むことができる。
【００３６】
また、図３に示されているように、図１の圧電振動片のＢ−Ｂ'切断部断面図において、第２の突出部１１２ｂの第２の側面２ｂは、二つの結晶面ｇ７、ｇ８を含み、第２の突出部１１２ｂの第４の側面４ｂは、二つの結晶面ｇ５、ｇ６を含むことができる。
【００３７】
上記第１の突出部１１２ａの第２の側面２ａと連結された上記第１の突出部の上面ＳＴａの第２の辺は、上記第１の突出部１１２ａの第４の側面４ａと連結された上記第１の突出部の上面ＳＴａの第４の辺と対向する。また、上記第２の突出部１１２ｂの第２の側面２ｂと連結された上記第２の突出部の上面ＳＴｂの第２の辺は、上記第２の突出部１１２ｂの第４の側面４ｂと連結された上記第２の突出部の上面ＳＴｂの第４の辺と対向する。
【００３８】
本発明の一実施形態によれば、図２に示されているように、上記突出部１１２ａの少なくとも一側面は、上記周辺部１１１の厚さ方向の一面の延長平面と鋭角θ１をなす結晶面と、上記突出部１１２ａの上面ＳＴａと鈍角θ２をなす結晶面と、を含むことができる。
【００３９】
一方、図２に示されているように、上記突出部の一側面が二つの結晶面を含む場合、二つの結晶面のうち周辺部に隣接した結晶面が周辺部の厚さ方向の一面の延長平面となす角をθ１、突出部の上面に隣接した結晶面が突出部の上面となす角をθ２、突出部の上面に隣接した結晶面が周辺部の厚さ方向の一面と平行な面となす角をθ３としたとき、θ１＞θ３を満たすことができる。
【００４０】
上記θ３は１８０−θ２と定義されることができる。
【００４１】
本発明の一実施形態によれば、上記第１及び第２の突出部１１２ａ、１１２ｂの第１の側面１ａ、１ｂ、第３の側面３ａ、３ｂ及び第４の側面４ａ、４ｂは膨らんだ形状を有し、上記第１及び第２の突出部１１２ａ、１１２ｂの第２の側面２ａ、２ｂは凹んだ形状を有することができる。
【００４２】
上記第１の突出部１１２ａ及び第２の突出部１１２ｂの少なくとも一側面は、水晶結晶の自然結晶面と、上記自然結晶面と異なる傾斜角を有する結晶面と、を含むことができる。
【００４３】
例えば、上記第１の突出部１１２ａ及び第２の突出部１１２ｂの第１の側面１ａ、１ｂ及び第３の側面３ａ、３ｂは、水晶結晶の自然結晶面と、上記水晶結晶の自然結晶面と異なる傾斜角の結晶面と、を含むことができる。
【００４４】
例えば、図２及び図３に示されているように、第１の突出部１１２ａ及び第２の突出部１１２ｂの各側面が互いに異なる傾斜角を有する二つ以上の結晶面を有することにより、励振部１１２と周辺部１１１の厚さの差による段差を緩やかにし、圧電効果による周波数の発生のためのエネルギー閉じ込め（Ｅｎｅｒｇｙ  ｔｒａｐ）効果を向上させてエネルギー損失を減らすことができる。
【００４５】
図４は、図１の圧電振動片において連結電極が配置された領域を横切るＣ−Ｃ'切断部断面図である。
【００４６】
励振電極１２１ａ、１２１ｂと端子電極１２３ａ、１２３ｂを連結する連結電極１２２ａ、１２２ｂは、上記突出部１１２ａ、１１２ｂの少なくとも一側面上に配置されることができる。
【００４７】
例えば、上記第１の連結電極１２２ａは、図４に示されているように上記第１の突出部１１２ａの第１の側面１ａ上に配置され、上記第２の連結電極１２２ｂは、上記第２の突出部１１２ｂの第３の側面３ａ上に配置されることができる（図示せず）。
【００４８】
本発明の一実施形態によれば、突出部１１２ａ、１１２ｂの側面が二つ以上の結晶面を有することにより、励振部１１２と周辺部１１１の段差を緩やかにするため、突出部の側面に含まれた結晶面の急激な傾斜角の変化によって連結電極が切れるなどの電極のオープン不良の発生を減少させることができる。
【００４９】
図５は、本発明の一実施形態の変形例による圧電振動片を示す斜視図であり、図６は、図５のＰ−Ｐ'断面図であり、図７は、図５のＱ−Ｑ'断面図である。
【００５０】
図５に示されているように、本変形例による圧電振動片１００'は、図１の実施形態とは異なり、凹んだ形状の側面又はそれと厚さ方向に対向する側面上に連結電極が配置されることができる。
【００５１】
例えば、図６及び図７に示されているように、第１の連結電極１２２ａは、第１の突出部１１２ａの第４の側面４ａ上に配置され、第２の連結電極１２２ｂは、第２の突出部１１２ｂの第２の側面２ｂ上に配置されることができる。
【００５２】
図７のように連結電極が突出部の凹んだ側面上に配置されても、本発明の一実施形態によれば、突出部の側面の凹んだ度合いが緩和されるため、電極のオープン不良の発生を減らすことができる。
【００５３】
図８は、本発明の他の実施形態による圧電振動片の製造方法を示すフローチャートであり、図９ａ〜図１２ｂは、圧電振動片の製造段階の一部を示す切断部断面図である。
【００５４】
図９ａ、図１０ａ、図１１ａ及び図１２ａは、図１のＡ−Ａ'切断部断面図に対応する領域を示す切断部断面図であり、図９ｂ、図１０ｂ、図１１ｂ及び図１２ｂは、図１のＢ−Ｂ'切断部断面図に対応する領域を示す切断部断面図である。
【００５５】
図９ａと図９ｂ、図１０ａと図１０ｂ、図１１ａと図１１ｂ、及び図１２ａと図１２ｂのそれぞれは、同一の段階であり、互いに異なる領域を示す。
【００５６】
図８を参照すると、本実施形態による圧電振動片の製造方法は、水晶ウエハを用意する段階Ｓ１と、上記水晶ウエハの上面及び下面にレジストパターンを形成する段階Ｓ２と、上記水晶ウエハに突出部を形成する段階Ｓ３と、上記レジストパターンを除去する段階Ｓ４と、上記水晶ウエハを再エッチングする段階Ｓ５と、を含む。
【００５７】
上記水晶ウエハを用意する段階Ｓ１は、一つの振動基板のサイズに対応する単一の水晶ウエハを用い、図示されてはいないが、一つの振動基板のサイズに対応する水晶ウエハが複数形成されている水晶ウエハアセンブリーを用いることができる。
【００５８】
水晶ウエハは、石英（Ｑｕａｒｔｚ）の原石を四角形又は円形に加工した後、一定の厚さに切断して用いられることができる。しかしながら、水晶ウエハの形状は、四角形又は円形に限定されず、多角形などの多様な形状でもよい。四角形又は円形に加工された水晶ウエハには、その厚さを減らすために表面研磨工程がさらに行われることができる。
【００５９】
上記水晶ウエハを用いて複数の圧電振動片を形成することができるが、以下では、理解を容易にするために、単一の圧電振動片を形成する場合を例に挙げて説明する。
【００６０】
図９ａ及び図９ｂに示されているように、まず、上記水晶ウエハ３１０の厚さ方向の一面及び他面に突出部の形成のためのレジストパターン３２０を形成する（Ｓ２）。上記レジストパターン３２０は、突出部の形状及びサイズによって水晶ウエハ上に配置されることができる。
【００６１】
次に、図１０ａ及び図１０ｂに示されているように、上記レジストパターン３２０が配置された水晶ウエハ３１０をエッチングして、上記水晶ウエハの厚さ方向の一面及び他面に、厚さ方向の一面が四つ以上の辺を有する突出部を形成する。
【００６２】
上記水晶ウエハ３１０のエッチングは、エッチング液にレジストパターン３２０の形成された水晶ウエハ３１０を浸漬する化学的エッチング法で行われることができる。
【００６３】
本エッチング工程により、上記突出部の少なくとも一つ以上の側面は、一つの自然の結晶面を含むことができる。
【００６４】
例えば、図１のＡ−Ａ'領域に対応する図１０ａの切断部断面図において突出部の側面は、それぞれ一つの自然の結晶面ｆ１、ｆ３、ｆ５、ｆ７を含むことができる。
【００６５】
例えば、図１のＢ−Ｂ'領域に対応する図１０ｂの切断部断面図において上部突出部及び下部突出部の各側面は、一つの自然の結晶面ｇ３、ｇ５を含む側面と、結晶面の角度によって二つの結晶面ｇ１、ｇ１'、ｇ７、ｇ７'を含む側面と、をそれぞれ含むことができる。
【００６６】
一般に、化学的エッチングによって水晶ウエハを形成する場合は、レジストパターンが配置された状態でのエッチングのみを行って突出部を形成するが、励振部と周辺部の段差が緩やかでなく急に形成されるという問題がある。
【００６７】
励振部と周辺部の段差が緩やかでない場合は、エネルギー閉じ込め効率が低く、電極のオープン不良の発生可能性が増加する。
【００６８】
しかしながら、本発明の一実施形態によれば、図１１ａ及び図１１ｂのようにエッチングされた水晶ウエハ３１０上のレジストパターンを除去した後（Ｓ４）、他のレジストパターンが形成されていない状態の水晶ウエハ３１０を再エッチングして振動基板を形成する（Ｓ５）工程を経ることができる。これにより、突出部１１２ａ、１１２ｂの少なくとも一つ以上の側面が二つ以上の結晶面を有するようにして励振部１１２と周辺部１１１の段差を緩やかにすることができる。一方、本発明の一実施形態によれば、突出部１１２ａ、１１２ｂの各側面が二つ以上の結晶面を有することができる。
【００６９】
上記水晶ウエハの再エッチングは、水晶ウエハをエッチング液に浸漬する方法で行われることができる。
【００７０】
本発明の一実施形態によれば、図１２ａ及び図１２ｂのように水晶ウエハを再エッチングして形成した振動基板１１０に電極部を形成する段階をさらに含むことができる。
【００７１】
上記電極部は、励振電極、端子電極及び連結電極を含み、突出部が形成された振動基板に導電性ペーストを印刷して形成されることができる。
【００７２】
上記電極部の形成は、上記突出部の厚さ方向の一面に励振電極１２１ａ、１２１ｂが形成されるように行われることができる。
【００７３】
突出部の側面及び電極部の形状については、上述した圧電振動片１００に関する説明と重複するため、ここではその詳細な説明を省略する。
【００７４】
＜圧電振動子＞
以下、本発明の他の実施形態による圧電振動子を説明する。
【００７５】
図１３は、本発明の一実施形態による圧電振動子２００の分解斜視図であり、図１４は、図１３の圧電振動子２００をＤ−Ｄ'線に沿って切断した断面図である。
【００７６】
図１３及び図１４を参照すると、本発明の一実施形態による圧電振動子２００は、振動基板１１０と電極部１２０を含む圧電振動片１００と、下部ケース２１０と、上部ケース２２０と、接続電極２１１ａ、２１１ｂと、外部電極２１２ａ、２１２ｂと、を含む。
【００７７】
本発明の実施形態に含まれる圧電振動片１００は、前述した圧電振動片１００の一つであればよい。したがって、圧電振動片１００については、前述した図１〜図３に関する説明を参照し、説明の重複を避けるためにその具体的な説明を省略する。
【００７８】
上記下部ケース２１０及び上部ケース２２０が相互結合されて内部に空間が形成された一つのケースを形成し、上部ケース及び下部ケースの結合によって形成される内部空間に圧電振動片１００が配置されることができる。
【００７９】
上記圧電振動片１００は、上記下部ケース２１０及び上部ケース２２０内に配置されて外部刺激から保護されることができる。
【００８０】
上記接続電極は、離隔して配置される第１の接続電極２１１ａ及び第２の接続電極２１１ｂを含み、上記外部電極は、離隔して配置される第１の外部電極２１２ａ及び第２の外部電極２１２ｂを含む。
【００８１】
上記第１及び第２の接続電極２１１ａ、２１１ｂは、上記下部ケース２１０の内部の上面に配置され、上記圧電振動片１００の第１及び第２の端子電極１２３ａ、１２３ｂとそれぞれ連結されることができる。
【００８２】
上記第１及び第２の外部電極２１２ａ、２１２ｂは、上記下部ケース２１０の外部の下面に配置され、上記第１及び第２の接続電極２１１ａ、２１１ｂとそれぞれ連結されることができる。上記第１及び第２の外部電極２１２ａ、２１２ｂと上記第１及び第２の接続電極２１１ａ、２１１ｂは、下部ケース２１０を貫通するビア電極２１３ａによって連結されることができるが、これに限定されない。
【００８３】
上記第１及び第２の外部電極２１２ａ、２１２ｂは、圧電振動子２００の入力電極及び出力電極の役割をする。前述したように、第１及び第２の外部電極２１２ａ、２１２ｂに電圧をかけると、圧電振動片１００の第１及び第２の励振電極１２１ａ、１２１ｂに電圧がかかり、圧電振動片１００が振動する。
【００８４】
圧電振動片１００の第１及び第２の端子電極１２３ａ、１２３ｂと上記第１及び第２の接続電極２１１ａ、２１１ｂは、ハンダ又は導電性接着剤によって連結されることができる。上記ハンダ又は導電性接着剤は、上記圧電振動片１００の第１及び第２の端子電極１２３ａ、１２３ｂと第１及び第２の接続電極２１１ａ、２１１ｂの間に配置され、上記第１及び第２の端子電極１２３ａ、１２３ｂと第１及び第２の接続電極２１１ａ、２１１ｂを電気的に連結する接続部２３０となる。
【００８５】
上記接続部２３０は、金属ハンダを含むことができる。上記第１及び第２の接続電極２１１ａ、２１１ｂの上部に金属ハンダを配置し、上記金属ハンダ上に第１及び第２の端子電極１２３ａ、１２３ｂを配置した後、リフロー（ｒｅｆｌｏｗ）工程を経て第１及び第２の接続電極２１１ａ、２１１ｂと圧電振動片１００の第１及び第２の端子電極１２３ａ、１２３ｂを連結することができる。
【００８６】
また、第１及び第２の接続電極２１１ａ、２１１ｂと第１及び第２の端子電極１２３ａ、１２３ｂの間にニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）又はコバール（Ｋｏｖａｒ）などを配置させ、ニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）又はコバール（Ｋｏｖａｒ）などの結合部にアーク溶接、電子ビーム溶接、又は金（Ａｕ）−水銀（Ｓｎ）を高温に溶融させる方法を施して接続部２３０を形成することができるが、これに制限されない。
【００８７】
あるいは、上記接続部２３０は、導電性接着剤を含み、導電性接着剤は、樹脂、有機物のうちいずれか一つを含むことができる。樹脂又は有機物が含まれた導電性接着剤を用いる場合、圧電振動片１００と接続電極２１１ａ、２１１ｂの間の気密性が増加し、クラックの発生を防止することができるという長所がある。
【００８８】
上記上部ケース２２０及び下部ケース２１０は、同一の材料を含み、絶縁樹脂などを含むことができるが、これに制限されない。
【００８９】
以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の権利範囲はこれに限定されず、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想から外れない範囲内で多様な修正及び変形が可能であるということは、当技術分野の通常の知識を有する者には明らかである。
【符号の説明】
【００９０】
１００  圧電振動片
１１０  振動基板
１１１  周辺部
１１２  励振部
１２０  電極部
２００  圧電振動子
２１０  下部ケース
２２０  上部ケース
２１１ａ、２１１ｂ  接続電極
２１２ａ、２１２ｂ  外部電極
２３０  接続部
【図１】
2016063542.tif 000003
【図２】
2016063542.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９ａ】
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【図９ｂ】
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【図１０ａ】
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【図１０ｂ】
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【図１１ａ】
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【図１１ｂ】
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【図１２ａ】
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【図１２ｂ】
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【図１３】
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【図１４】
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