(57)【要約】      （修正有）【課題】ノイズ成分を低減して高ＳＮ比及び低ノイズであり且つ小面積となるセンサ装置を提供する。【解決手段】一般的な差動増幅回路（いわゆるオペアンプ）における差動対１１に含まれるＮチャネル型ＭＯＳトランジスタからなる第１の入力トランジスタＤ１Ａのソース側に可変抵抗型センサＲＳ１Ａを挿入し、可変抵抗型センサが物理量をセンシングすることによりその可変抵抗型センサの抵抗値が変化する現象を利用して、差動対１１に流れる電流を変化させることにより、オペアンプの出力信号を変化させる。これにより、該物理量の大きさに応じた、可変抵抗型センサＲＳの抵抗値の変化分に応じた出力信号を、オペアンプの出力信号として出力させる。【選択図】図１
2016086230.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のノードに定電流を供給する第１の定電流源と、
前記第１のノードに一端が接続される第１の抵抗素子と、
前記第１のノードに一端が接続される第２の抵抗素子と、
前記第１の抵抗素子の他端に一端が接続される第１のトランジスタと、
前記第２の抵抗素子の他端に一端が接続される第２のトランジスタと、
前記第１のトランジスタの他端に一端が接続され、前記第１のトランジスタの負荷として動作する第１のロードと、
前記第２のトランジスタの他端に一端が接続され、前記第２のトランジスタの負荷として動作する第２のロードと、
前記第１のトランジスタの制御端子に基準電圧を供給する第２のノードと、
前記第１及び前記第２のロードの少なくとも一方からの信号を出力する出力ノードと、
前記出力ノードの出力を前記第２のトランジスタの制御端子にフィードバックするフィードバックパスと、を備え、
前記第１及び前記第２の抵抗素子のうち少なくとも一方は、可変抵抗型センサであるセンサ装置。
【請求項２】
前記信号を出力する前記第１及び前記第２のロードの少なくとも一方の出力端と前記出力ノードとの間に増幅段をさらに備える請求項１に記載のセンサ装置。
【請求項３】
前記フィードバックパスに設けられたフィードバック抵抗をさらに備える請求項１又は請求項２に記載のセンサ装置。
【請求項４】
前記基準電圧を供給するための前記第２のトランジスタの制御端子と前記第２のノードとを接続するパスに設けられた入力抵抗をさらに備える請求項１から請求項３の何れか一項に記載のセンサ装置。
【請求項５】
前記第１の抵抗素子が可変抵抗型センサであり、
前記第２の抵抗素子がリファレンス抵抗である請求項１から請求項４の何れか一項に記載のセンサ装置。
【請求項６】
前記第１の抵抗素子及び前記第２の抵抗素子が可変抵抗型センサであり、
前記第１の抵抗素子と前記第２の抵抗素子とは、互いに逆の方向に抵抗値が変化する特性を有する請求項１から請求項４の何れか一項に記載のセンサ装置。
【請求項７】
一端が前記第１のロードの一端に接続される第３のトランジスタと、
一端が前記第２のロードの一端に接続される第４のトランジスタと、
前記第３のトランジスタの他端と前記第４のトランジスタの他端とが接続される第３のノードに定電流を供給する第２の定電流源と、
前記第３のノードと前記第３のトランジスタの他端との間に接続される第３の抵抗素子と、
前記第３のノードと前記第４のトランジスタの他端との間に接続される第４の抵抗素子と、を含み、
前記第３及び前記第４のトランジスタの制御端子それぞれは前記第２のノードに接続され、
前記第３の抵抗素子及び前記第４の抵抗素子は可変抵抗型センサであり、互いに逆の方向に抵抗値が変化する特性を有する差動対部を、１又は複数有する請求項１から４及び請求項６の何れか一項に記載のセンサ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサ装置に関し、より詳細には、物理量の変化を抵抗値の変化に変換する可変抵抗を有し、この可変抵抗の抵抗値の変化を電圧値に変換して増幅するセンサ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、オフセット調整機能付きのインスツルメンテーションアンプを有する出力増幅回路や、加速度センサから出力される微小な差動出力電圧を、インスツルメンテーションアンプを有する出力増幅回路により増幅するセンサ装置が知られている。
また、例えば、特許文献１には、加速度センサ等から出力される微小な偏差電圧を増幅するインスツルメンテーションアンプ（ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔａｔｉｏｎ  ａｍｐｌｉｆｉｅｒ；計装用増幅器）及びオフセット電圧調整回路を有する出力増幅回路を用いたセンサ装置が開示されている。
【０００３】
図５は、特許文献１に記載されている従来のセンサ装置を説明するための回路構成図
である。このセンサ装置は、出力増幅回路を有し、ピエゾ抵抗等の所定の物理量を抵抗値に変換する可変抵抗を用いたセンサ技術を利用したものであり、可変抵抗の抵抗変化をホイートストンブリッジ回路１２０により電圧信号に変換し、インスツルメンテーションアンプ１５０により信号の増幅を行っている。
【０００４】
つまり、加速度センサ１１０は、基準電圧ＶＲＥＦを入力する基準電圧入力端子１１１とグランドとの間に接続されたホイートストンブリッジ回路１２０により構成され、このホイートストンブリッジ回路１２０は、４つのピエゾ抵抗素子１２１乃至１２４により構成され、これらの抵抗変化をブリッジ出力電圧の変化として検出し、差動出力電圧ＶＩＰ、ＶＩＮを出力増幅回路１３０へ出力する。
【０００５】
また、出力増幅回路１３０は、オフセット電圧調整回路１４０と、オペアンプ１５１乃至１５３と、抵抗１６１〜１６９等と、で構成されたインスツルメンテーションアンプ１５０とを有しており、差動出力電圧ＶＩＰを入力する第１の入力端子１３１、差動出力電圧ＶＩＮを入力する第２の入力端子１３２、オフセット電圧ＶＯＦＦＩＮを入力する第１の電圧入力端子１３３、基準電圧ＶＲＥＦの１／２電圧レベルであるインスツルメンテーションアンプ出力の基準電圧ＶＣＯＭを入力する第２の電圧入力端子１３４、基準電圧ＶＣＯＭを入力する基準電圧入力端子１３５及び増幅回路出力電圧ＶＯＵＴを出力する出力端子１３６と、出力側が入力端子１３３に接続されたオフセット電圧調整回路１４０と、入力側が入力端子１３１乃至１３４に接続されたインスツルメンテーションアンプ１５０とを有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−１７４１２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
図５に示す従来のセンサ装置は、増幅された最終的なセンサ全体の出力信号のＳＮ比に効いてくるノイズ成分として、加速度センサ１１０だけでなく、この加速度センサ１１０に接続される第１の増幅器１５１と第２の増幅器１５２の入力部分に設けられたトランジスタが発生するノイズがある。インスツルメンテーションアンプ１５０は、加速度センサ１１０に２個の増幅器１５１、１５２が接続されているため、増幅器１５１、１５２の入力部分に設けられた、ノイズに効いてくるトランジスタは２対である。
【０００８】
このように、上述した特許文献１記載のセンサ装置は、可変抵抗の抵抗変化を電圧信号に変換し、信号の増幅を行う回路として簡単な回路構成ではなく、ノイズ成分を下げること、また、全体として高ＳＮ比や低ノイズかつ小面積となるセンサ装置を実現することが困難であった。
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、ノイズ成分を低減して高ＳＮ比や低ノイズかつ小面積となるセンサ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様によるセンサ装置は、第１のノードに定電流を供給する第１の定電流源と、前記第１のノードに一端が接続される第１の抵抗素子と、前記第１のノードに一端が接続される第２の抵抗素子と、前記第１の抵抗素子の他端に一端が接続される第１のトランジスタと、前記第２の抵抗素子の他端に一端が接続される第２のトランジスタと、前記第１のトランジスタの他端に一端が接続され、前記第１のトランジスタの負荷として動作する第１のロードと、前記第２のトランジスタの他端に一端が接続され、前記第２のトランジスタの負荷として動作する第２のロードと、前記第１のトランジスタの制御端子に基準電圧を供給する第２のノードと、前記第１及び前記第２のロードの少なくとも一方からの信号を出力する出力ノードと、前記出力ノードの出力を前記第２のトランジスタの制御端子にフィードバックするフィードバックパスと、を備え、前記第１及び前記第２の抵抗素子のうち少なくとも一方は、可変抵抗型センサであることを特徴とする。
【００１０】
前記信号を出力する前記第１及び前記第２のロードの少なくとも一方の出力端と前記出力ノードとの間に増幅段をさらに備えていてよい。
前記フィードバックパスに設けられたフィードバック抵抗をさらに備えていてよい。
前記基準電圧を供給するための前記第２のトランジスタの制御端子と前記第２のノードとを接続するパスに設けられた入力抵抗をさらに備えていてよい。
前記第１の抵抗素子が可変抵抗型センサであり、前記第２の抵抗素子がリファレンス抵抗であってよい。
前記第１の抵抗素子及び前記第２の抵抗素子が可変抵抗型センサであり、前記第１の抵抗素子と前記第２の抵抗素子とは、互いに逆の方向に抵抗値が変化する特性を有するものであってよい。
【００１１】
一端が前記第１のロードの一端に接続される第３のトランジスタと、一端が前記第２のロードの一端に接続される第４のトランジスタと、前記第３のトランジスタの他端と前記第４のトランジスタの他端とが接続される第３のノードに定電流を供給する第２の定電流源と、前記第３のノードと前記第３のトランジスタの他端との間に接続される第３の抵抗素子と、前記第３のノードと前記第４のトランジスタの他端との間に接続される第４の抵抗素子と、を含み、前記第３及び前記第４のトランジスタの制御端子それぞれは前記第２のノードに接続され、前記第３の抵抗素子及び前記第４の抵抗素子は可変抵抗型センサであり、互いに逆の方向に抵抗値が変化する特性を有する差動対部を、１又は複数有していてよい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、所定の物理量を抵抗値に変換する可変抵抗の抵抗変化を電圧信号に変換し、信号の増幅を行う回路を、簡単な回路構成で実現している。そのため、ノイズ成分を削減することができ、全体として高ＳＮ比、低ノイズかつ小面積となるセンサ装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１実施形態におけるセンサ装置の一例を示す回路構成図である。
【図２】本発明の第２実施形態におけるセンサ装置の一例を示す回路構成図である。
【図３】本発明の第３実施形態におけるセンサ装置の一例を示す回路構成図である。
【図４】本発明の変形例１におけるセンサ装置の一例を示す回路図である。
【図５】従来の出力増幅回路を用いたセンサ装置を説明するための回路構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
＜第１実施形態＞
まず、本発明の第１実施形態を説明する。
図１は、第１実施形態における、可変抵抗型のセンサ装置の一例を示す構成図である。
第１実施形態におけるセンサ装置１は、１対の差動対と１つの可変抵抗型センサとを備え、シングルエンド信号を出力するセンサ装置である。
センサ装置１は、可変抵抗型センサＲＳ１Ａと、リファレンス抵抗ＲＲ１Ｂと、差動対１１と、カレントミラー部１２と、定電流源１３と、出力段１４と、入力抵抗Ｒ１と、フィードバック抵抗Ｒ２とを備える。
【００１５】
可変抵抗型センサＲＳ１Ａは、物理量Ｂの変化に応じて抵抗値が変化するセンサである。リファレンス抵抗ＲＲ１Ｂは、物理量Ｂの変化に応じて抵抗値が変化しない参照用の抵抗である。
差動対１１は、Ｎチャネル型ＭＯＳトランジスタからなる第１の入力トランジスタＤ１Ａと、第２の入力トランジスタＤ１Ｂとを備える。カレントミラー部１２は、Ｐチャネル型ＭＯＳトランジスタからなる第１のロードトランジスタＬ１Ａ及び第２のロードトランジスタＬ１Ｂを備える。
【００１６】
第１のロードトランジスタＬ１Ａのソースは高電位側の電源ＶＤＤに接続され、ドレインは第１の入力トランジスタＤ１Ａのドレインに接続される。第１の入力トランジスタＤ１Ａのソースは抵抗からなる可変抵抗型センサＲＳ１Ａを介して、第１の入力トランジスタＤ１Ａと定電流源１３との間のノードＮＳに接続される。
第２のロードトランジスタＬ１Ｂのソースは容量Ｃ１を介して高電位側の電源ＶＤＤに接続され、ドレインは第２の入力トランジスタＤ１Ｂのドレインに接続される。第２の入力トランジスタＤ１Ｂのソースはリファレンス抵抗ＲＲ１Ｂを介してノードＮＳに接続される。
ノードＮＳは、定電流源１３としてのＮチャネル型のＭＯＳトランジスタＥＤ１のドレインに接続される。定電流源１３のソースは低電位側の電源ＶＳＳに接続され、ゲートには、バイアス電圧ＶＢＩＡＳが入力される。
【００１７】
第１のロードトランジスタＬ１Ａ及び第２のロードトランジスタＬ１Ｂのゲートには、第２のロードトランジスタＬ１Ｂのドレインが接続される。
第１の入力トランジスタＤ１Ａのゲートは、基準電位ＶＣＯＭに接続される。第２の入力トランジスタＤ１Ｂのゲートは、入力抵抗Ｒ１を介して基準電位ＶＣＯＭに接続される。ノードＮＩには基準電位ＶＣＯＭが供給される。
【００１８】
出力段１４は、直列に接続されたＰチャネル型のＭＯＳトランジスタＤＰ及び定電流源となるＮチャネル型のＭＯＳトランジスタＤＮを備え、ＭＯＳトランジスタＤＰのソースと第１及び第２のロードトランジスタＬ１Ａ及びＬ１Ｂのソースとが接続され、ＭＯＳトランジスタＤＮのソースと定電流源１３としてのＭＯＳトランジスタＥＤ１のソースとが共通の低電位側の電源ＶＳＳに接続される。
【００１９】
ＭＯＳトランジスタＤＰのゲートは第１のロードトランジスタＬ１Ａのドレインに接続されると共に、直列に接続された抵抗ＲＣ及び容量ＣＣを介してＭＯＳトランジスタＤＰのドレインに接続される。ＭＯＳトランジスタＤＮのゲートには、ＭＯＳトランジスタＥＤ１と共通のバイアス電圧ＶＢＩＡＳが入力される。
ＭＯＳトランジスタＤＰのドレインとセンサ装置１の出力ノードＰＯＵＴとが接続され、ＭＯＳトランジスタＤＰのドレイン電圧がセンサ装置１の出力電圧ＶＰＯＵＴとして出力される。また、出力ノードＰＯＵＴと第２の入力トランジスタＤ１Ｂのゲートとの間にフィードバック抵抗Ｒ２が接続される。
【００２０】
ここで、簡単のために、差動対１１に含まれる第１の入力トランジスタＤ１Ａ及び第２の入力トランジスタＤ１Ｂのトランジスタ特性は等しいとする。同様に、差動対１１の負荷に使用されるカレントミラー部１２に含まれる第１のロードトランジスタＬ１Ａ及び第２のロードトランジスタＬ１Ｂのトランジスタ特性は等しいとする。
第１の入力トランジスタＤ１ＡのソースとノードＮＳとの間に挿入される可変抵抗型センサＲＳ１Ａの抵抗値をＲＳ１Ａ、第２の入力トランジスタＤ１ＢとノードＮＳとの間に挿入される、センサではないリファレンス抵抗ＲＲ１Ｂの抵抗値をＲＲ１Ｂとする。
【００２１】
初めに、物理量Ｂの検出値が零である場合について説明する。
簡単のために、物理量Ｂの検出値が零であるときには、抵抗値ＲＳ１ＡとＲＲ１Ｂが等しくその値がＲ（ＲＳ１Ａ＝ＲＲ１Ｂ＝Ｒ）であるものとする。
物理量Ｂの検出値が零であるとき、第１、第２のロードトランジスタＬ１Ａ、Ｌ１Ｂは、カレントミラー回路を構成しているので、第１、第２のロードトランジスタＬ１Ａ、Ｌ１Ｂに流れる電流は等しくなる。この第１、第２のロードトランジスタＬ１Ａ、Ｌ１Ｂに流れる電流をＩＢ１とする。
【００２２】
第１、第２のロードトランジスタＬ１Ａ、Ｌ１Ｂに流れる電流ＩＢ１は、差動対１１をなす第１、第２の入力トランジスタＤ１Ａ、Ｄ１Ｂそれぞれに流れる。第１、第２の入力トランジスタＤ１Ａ、Ｄ１Ｂに電流ＩＢ１が流れた場合、第１、第２の入力トランジスタＤ１Ａ、Ｄ１Ｂのトランジスタ特性は等しいので、第１、第２の入力トランジスタＤ１Ａ、Ｄ１Ｂのソースとゲート間にかかる電圧は等しくなる。その電圧をＶＧＳ１とする。
【００２３】
物理量Ｂが零の場合、前述のように可変抵抗型センサＲＳ１Ａの抵抗値ＲＳ１Ａと、センサではないリファレンス抵抗ＲＲ１Ｂの抵抗値ＲＲ１Ｂの値はＲとなり両者は等しい。第１の入力トランジスタＤ１Ａのゲート電位ＶＤ１Ａ、つまり基準電位ＶＣＯＭを基準として、ノードＮＳの電位ＶＮＳを表すと、次式（１）となる。
ＶＮＳ＝−ＶＧＳ１−Ｒ×ＩＢ１          ……（１）
【００２４】
ノードＮＳの電位ＶＮＳを基準として、第２の入力トランジスタＤ１Ｂのゲート電位ＶＤ１Ｂを表すと、次式（２）となる。
ＶＤ１Ｂ＝ＶＮＳ＋（Ｒ×ＩＢ１＋ＶＧＳ１）      ……（２）
（２）式の右辺は、（１）式より、次式（３）に示すように表される。
（２）式の右辺＝（−ＶＧＳ１−Ｒ×ＩＢ１）＋（Ｒ×ＩＢ１＋ＶＧＳ１）
＝０                                            ……（３）
（３）式に示すように、（２）式の右辺は、相殺されてゼロとなるため、結局、第１、第２の入力トランジスタＤ１Ａ、Ｄ１Ｂのゲート電圧は等しくなる。したがって、センサ装置１の出力ノードＰＯＵＴの電位は、基準電位ＶＣＯＭとなる。
【００２５】
次に、物理量Ｂが変化した場合について説明する。
物理量Ｂの変化に応じて可変抵抗型センサＲＳ１Ａの抵抗値ＲＳ１Ａが、Ｒから（Ｒ＋ΔＲ）に変化すると、抵抗値ＲＳ１Ａの変化に応じて、可変抵抗型センサＲＳ１Ａとしてのセンサ抵抗の両端の電圧が、（Ｒ＋ΔＲ）×ＩＢ１に変化する。
物理量Ｂの検出値が零である場合と同様の手順で、差動対１１の第２の入力トランジスタＤ１Ｂのゲート電位ＶＤ１Ｂを求める。
【００２６】
まず、第１の入力トランジスタＤ１Ａのゲート電位ＶＤ１Ａ、つまり基準電位ＶＣＯＭを基準として、ノードＮＳの電位ＶＮＳを表すと、次式（４）となる。
ＶＮＳ＝−ＶＧＳ１−（Ｒ＋ΔＲ）×ＩＢ１          ……（４）
ノードＮＳの電位ＶＮＳを基準として第２の入力トランジスタＤ１Ｂのゲート電位ＶＤ１Ｂを表すと、次式（５）となる。
ＶＤ１Ｂ＝ＶＮＳ＋（Ｒ×ＩＢ１＋ＶＧＳ１）      ……（５）
【００２７】
（５）式の右辺は、（４）式より次式（６）に示すように表される。
（５）式の右辺
＝（−ＶＧＳ１−（Ｒ＋ΔＲ）×ＩＢ１）＋（Ｒ×ＩＢ１＋ＶＧＳ１）
＝−ΔＲ×ＩＢ１                                          ……（６）
（６）式に示すように、（５）式の右辺は、（−ΔＲ×ＩＢ１）が相殺されずに残り、結局第２の入力トランジスタＤ１Ｂのゲート電位ＶＤ１Ｂは、基準電位ＶＣＯＭより｜（−ΔＲ×ＩＢ１）｜だけ低くなる。
【００２８】
したがって、センサ装置１の出力電圧ＶＰＯＵＴは、（−ΔＲ×ＩＢ１）が（１＋Ｒ２／Ｒ１）倍に増幅されて（１＋Ｒ２／Ｒ１）×（−ΔＲ×ＩＢ１）となり、可変抵抗型センサＲＳ１Ａのセンサ抵抗の変化が増幅されて、出力ノードＰＯＵＴの出力電圧ＶＰＯＵＴとして出力される。
なお、センサ装置１のトランジスタレベルの構成は、図１の構成に限らない。ＭＯＳトランジスタのチャネル型を逆にし、Ｐチャネル型ＭＯＳトランジスタからなる差動対を用いて実現することも可能である。また、バイポーラトランジスタによる差動対やＦＥＴトランジスタ（ＪＦＥＴ）による差動対を用いて実現することも可能である。
【００２９】
このように、第１実施形態におけるセンサ装置１は、一般的な差動増幅回路（いわゆるオペアンプ）における差動対１１のソース側に可変抵抗型センサＲＳ１Ａを挿入し、この可変抵抗型センサＲＳ１Ａが物理量をセンシングすることにより、可変抵抗型センサＲＳ１Ａの抵抗値が変化する現象を利用して差動対１１に流れる電流を変化させることにより差動増幅回路の出力を変化させるようにしている。このため、可変抵抗型センサＲＳ１Ａを用いたセンサ装置１を、簡単な構成の回路で実現することができると共に、出力電圧ＶＰＯＵＴに含まれるノイズに効いてくるセンサ装置１の入力部分に、ノイズ成分の発生源となる増幅器等を用いずに実現することができるため、ノイズ成分を低減することができ、高ＳＮ比のセンサ装置１を小面積で実現することができる。
【００３０】
なお、上記第１実施形態では、第１の入力トランジスタＤ１ＡとノードＮＳとの間に、可変抵抗型センサＲＳ１Ａを設け、第２の入力トランジスタＤ１ＢとノードＮＳとの間に、リファレンス抵抗ＲＲ１Ｂを設けた場合について説明したが、これに限るものではない。第１の入力トランジスタＤ１ＡとノードＮＳとの間に、リファレンス抵抗ＲＲ１Ｂを設け、第２の入力トランジスタＤ１ＢとノードＮＳとの間に、可変抵抗型センサＲＳ１Ａを設けてもよい。
【００３１】
ここで、第１実施形態においては、ノードＮＳが第１のノードに対応し、ノードＮＩが第２のノードに対応し、定電流源１３が第１の定電流源に対応し、可変抵抗型センサＲＳ１Ａが第１の抵抗素子に対応し、リファンレンス抵抗ＲＲ１Ｂが第２の抵抗素子に対応し、第１の入力トランジスタＤ１Ａが第１のトランジスタに対応し、第２の入力トランジスタＤ１Ｂが第２のトランジスタに対応し、第１のロードトランジスタＬ１Ａが第１のロードに対応し、第２のロードトランジスタＬ１Ｂが第２のロードに対応し、出力ノードＰＯＵＴと第２の入力トランジスタＤ１Ｂとを結ぶパスがフィードバックパスに対応し、出力段１４が増幅段に対応している。
【００３２】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態を説明する。
図２は、第２実施形態における、可変抵抗型のセンサ装置の一例を示す構成図である。
第２実施形態におけるセンサ装置２は、１対の差動対と、２つの可変抵抗型センサを備え、シングルエンド信号を出力するセンサ装置である。
センサ装置２は、図１に示す第１実施形態におけるセンサ装置１において、リファレンス抵抗ＲＲ１Ｂに替えて、可変抵抗型センサＲＳ１Ｂを用いたものである。第１実施形態におけるセンサ装置１と同一部には同一符号を付与し、その詳細な説明は省略する。
【００３３】
簡単のために、差動対１１に含まれる第１の入力トランジスタＤ１Ａと第２の入力トランジスタＤ１Ｂのトランジスタ特性は等しいとする。また、差動対１１の負荷に使用される第１のロードトランジスタＬ１Ａと第２のロードトランジスタＬ１Ｂのトランジスタ特性は等しいとする。また、第１の入力トランジスタＤ１Ａのソース側に挿入される可変抵抗型センサＲＳ１Ａの抵抗値をＲＳ１Ａ、第２の入力トランジスタＤ１Ｂのソース側に挿入される可変抵抗型センサＲＳ１Ｂの抵抗値をＲＳ１Ｂとする。
また、可変抵抗型センサＲＳ１Ａは、物理量Ｂの正の変化に対して抵抗値が減少するような極性に配置され、可変抵抗型センサＲＳ１Ｂは、物理量Ｂの正の変化に対して抵抗値が増加するような極性に配置されている。
【００３４】
初めに、物理量Ｂの検出値が零である場合について説明する。
簡単のために、物理量Ｂの検出値が零であるときには、抵抗値ＲＳ１Ａ及びＲＳ１Ｂが等しくその値がＲ（ＲＳ１Ａ＝ＲＳ１Ｂ＝Ｒ）であるものとする。
物理量Ｂの検出値が零であるときには、第１、第２のロードトランジスタＬ１Ａ、Ｌ１Ｂは、カレントミラー回路を構成しているので、第１、第２のロードトランジスタＬ１Ａ、Ｌ１Ｂに流れる電流は等しくなる。この第１、第２のロードトランジスタＬ１Ａ、Ｌ１Ｂに流れる電流をＩＢ１とする。
【００３５】
第１、第２のロードトランジスタＬ１Ａ、Ｌ１Ｂに流れる電流ＩＢ１は、差動対１１をなす第１、第２の入力トランジスタＤ１Ａ、Ｄ１Ｂそれぞれに流れる。第１、第２の入力トランジスタＤ１Ａ、Ｄ１Ｂに電流ＩＢ１が流れた場合、第１、第２の入力トランジスタＤ１Ａ、Ｄ１Ｂのトランジスタ特性は等しいので、第１、第２の入力トランジスタＤ１Ａ、Ｄ１Ｂのソースとゲート間にかかる電圧は等しくなる。その電圧をＶＧＳ１とする。
【００３６】
物理量Ｂが零の場合、可変抵抗型センサＲＳ１Ａの抵抗値ＲＳ１Ａと、可変抵抗型センサＲＳ１Ｂの抵抗値ＲＳ１Ｂの値はＲとなり両者は等しい。第１の入力トランジスタＤ１Ａのゲート電位ＶＤ１Ａ、つまり基準電位ＶＣＯＭを基準として、ノードＮＳの電位ＶＮＳを表すと、前記（１）式となる。
ノードＮＳの電位ＶＮＳを基準として、第２の入力トランジスタＤ１Ｂのゲート電位ＶＤ１Ｂを表すと、前記（２）式となる。
（２）式の右辺は、前述のように相殺されてゼロとなるため、結局、第１、第２の入力トランジスタＤ１ＡとＤ１Ｂのゲート電圧は等しくなる。したがって、センサ装置２の出力ノードＰＯＵＴの電位は、基準電位ＶＣＯＭとなる。
【００３７】
次に、物理量Ｂが変化した場合について説明する。
物理量Ｂの変化に応じて可変抵抗型センサＲＳ１Ａの抵抗値ＲＳ１Ａが、Ｒから（Ｒ−ΔＲ）に変化し、可変抵抗型センサＲＳ１Ｂの抵抗値ＲＳ１Ｂが、Ｒから（Ｒ＋ΔＲ）に変化すると、抵抗値の変化に応じて、可変抵抗型センサＲＳ１Ａとしてのセンサ抵抗の両端の電圧が、（Ｒ−ΔＲ）×ＩＢ１に変化し、可変抵抗型センサＲＳ１Ｂとしてのセンサ抵抗の両端の電圧が、（Ｒ＋ΔＲ）×ＩＢ１に変化する。
【００３８】
物理量Ｂの検出値が零である場合と同様の手順で、差動対１１の第２の入力トランジスタＤ１Ｂのゲート電位ＶＤ１Ｂを求める。
まず、第１の入力トランジスタＤ１Ａのゲート電位ＶＤ１Ａ、つまり基準電位ＶＣＯＭを基準として、ノードＮＳの電位ＶＮＳを表すと、次式（７）となる。
ＶＮＳ＝−ＶＧＳ１−（Ｒ−ΔＲ）×ＩＢ１          ……（７）
ノードＮＳの電位ＶＮＳを基準として第２の入力トランジスタＤ１Ｂのゲート電位ＶＤ１Ｂを表すと、次式（８）となる。
ＶＤ１Ｂ＝ＶＮＳ＋（（Ｒ＋ΔＲ）×ＩＢ１＋ＶＧＳ１）      ……（８）
【００３９】
（８）式の右辺は、（７）式より、次式（９）に示すように表される。
（８）式の右辺
＝（−ＶＧＳ１−（Ｒ−ΔＲ）×ＩＢ１）＋((Ｒ＋ΔＲ）×ＩＢ１＋ＶＧＳ１）      ＝ΔＲ×ＩＢ１×２                                              ……（９）
（９）式に示すように、（８）式の右辺は、ΔＲ×ＩＢ１×２が相殺されずに残り、結局第２の入力トランジスタＤ１Ｂのゲート電位ＶＤ１Ｂは、基準電位ＶＣＯＭよりΔＲ×ＩＢ１×２だけ高くなる。
【００４０】
したがって、センサ装置２の出力電圧ＶＰＯＵＴは、ΔＲ×ＩＢ１×２が（１＋Ｒ２／Ｒ１）倍に増幅され（１＋Ｒ２／Ｒ１）×（ΔＲ×ＩＢ１×２）となり、可変抵抗型センサＲＳ１Ａ、ＲＳ１Ｂのセンサ抵抗値の変化が増幅されて、出力ノードＰＯＵＴの出力電圧ＶＰＯＵＴとして出力される。
なお、センサ装置２のトランジスタレベルの構成は、図２の構成に限らない。ＭＯＳトランジスタのチャネル型を逆にし、Ｐチャネル型ＭＯＳトランジスタからなる差動対を用いて実現することも可能である。また、バイポーラトランジスタによる差動対やＦＥＴトランジスタ（ＪＦＥＴ）による差動対を用いて実現することも可能である。
【００４１】
このように、第２実施形態におけるセンサ装置２も、一般的な差動増幅回路（いわゆるオペアンプ）における差動対のソース側に２つの可変抵抗型センサＲＳ１Ａ、ＲＳ１Ｂを挿入し、この可変抵抗型センサＲＳ１Ａ、ＲＳ１Ｂが物理量をセンシングすることにより、可変抵抗型センサＲＳ１Ａ、ＲＳ１Ｂの抵抗値が変化する現象を利用し、差動対１１に流れる電流を変化させることにより差動増幅回路の出力を変化させるようにしているため、上記第１実施形態と同等の作用効果を得ることができる。
【００４２】
また、第２実施形態においては、物理量に応じて抵抗値が変化する可変抵抗型センサとして、２つの可変抵抗型センサＲＳ１Ａ、ＲＳ１Ｂを用いているため、第１の実施例に比較してセンサ信号が２倍となりＳＮが向上する。さらに、特性の揃ったセンサ抵抗の差分信号を使用するため、センサ抵抗自身の経年変化や環境温度変化、パッケージストレスなどのコモンモードノイズの耐性も向上する。
【００４３】
ここで、第２実施形態においては、ノードＮＳが第１のノードに対応し、ノードＮＩが第２のノードに対応し、定電流源１３が第１の定電流源に対応し、可変抵抗型センサＲＳ１Ａが第１の抵抗素子に対応し、可変抵抗型センサＲＳ１Ｂが第２の抵抗素子に対応し、第１の入力トランジスタＤ１Ａが第１のトランジスタに対応し、第２の入力トランジスタＤ１Ｂが第２のトランジスタに対応し、第１のロードトランジスタＬ１Ａが第１のロードに対応し、第２のロードトランジスタＬ１Ｂが第２のロードに対応し、出力ノードＰＯＵＴと第２の入力トランジスタＤ１Ｂとを結ぶパスがフィードバックパスに対応し、出力段１４が増幅段に対応している。
【００４４】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態を説明する。
図３は、第３実施形態における、可変抵抗型のセンサ装置３の一例を示す構成図である。
第３実施形態におけるセンサ装置３は、２対の差動対と、４つの可変抵抗型センサと、を備え、シングルエンド信号を出力するセンサ装置である。
センサ装置３は、可変抵抗型センサＲＳ１Ａ、ＲＳ１Ｂ、ＲＳ２Ａ、及びＲＳ２Ｂと、差動対１１ａ及び１１ｂと、カレントミラー部１２と、定電流源１３ａ及び１３ｂと、出力段１４と、入力抵抗Ｒ１と、フィードバック抵抗Ｒ２と、を備える。
【００４５】
可変抵抗型センサＲＳ１Ａ、ＲＳ１Ｂ、ＲＳ２Ａ、及びＲＳ２Ｂは、物理量Ｂの変化に応じて抵抗値が変化するセンサである。また、可変抵抗型センサＲＳ１Ａ、ＲＳ２Ａは、物理量Ｂの正の変化に対して抵抗値が減少するような極性に配置され、可変抵抗型センサＲＳ１Ｂ、ＲＳ２Ｂは、物理量Ｂの正の変化に対して抵抗値が増加するような極性に配置されている。
【００４６】
差動対１１ａは、Ｎチャネル型ＭＯＳトランジスタからなる第１の入力トランジスタＤ１Ａ及び第２の入力トランジスタＤ１Ｂを備える。差動対１１ｂは、Ｎチャネル型ＭＯＳトランジスタからなる第１の入力トランジスタＤ２Ａ及び第２の入力トランジスタＤ２Ｂを備える。
カレントミラー部１２は、Ｐチャネル型ＭＯＳトランジスタからなる第１のロードトランジスタＬ１Ａ及び第２のロードトランジスタＬ１Ｂを備える。
【００４７】
第１のロードトランジスタＬ１Ａのソースは高電位側の電源ＶＤＤに接続され、ドレインは第１の入力トランジスタＤ１Ａ及びＤ２Ａのドレインに接続される。第２のロードトランジスタＬ１Ｂのソースは高電位側の電源ＶＤＤに接続され、ドレインは第２の入力トランジスタＤ１Ｂ及びＤ２Ｂのドレインに接続される。
第１の入力トランジスタＤ１Ａのソースは可変抵抗型センサＲＳ１Ａとしての抵抗を介して、第１の入力トランジスタＤ１Ａと定電流源１３ｂとの間のノードＮＳ１に接続される。第２の入力トランジスタＤ１Ｂのソースは可変抵抗型センサＲＳ１Ｂとしての抵抗を介してノードＮＳ１に接続される。
【００４８】
ノードＮＳ１は、定電流源１３ｂとしてのＮチャネル型のＭＯＳトランジスタＥＤ２のドレインに接続される。
また、第１の入力トランジスタＤ２Ａのソースは可変抵抗型センサＲＳ２Ａとしての抵抗を介して、第１の入力トランジスタＤ２Ａと定電流源１３ａとの間のノードＮＳ２に接続される。第２の入力トランジスタＤ２Ｂのソースは可変抵抗型センサＲＳ２Ｂとしての抵抗を介してノードＮＳ２に接続される。
【００４９】
ノードＮＳ２は、定電流源１３ａとしてのＮチャネル型のＭＯＳトランジスタＥＤ１のドレインに接続される。
定電流源１３ａ、１３ｂとしてのＭＯＳトランジスタＥＤ１、ＥＤ２のソースは、ＭＯＳトランジスタＤＮのソースと共に共通の低電位側の電源ＶＳＳに接続される。また、定電流源１３ａ、１３ｂとしてのＭＯＳトランジスタＥＤ１、ＥＤ２のゲートには、共通のバイアス電圧ＶＢＩＡＳが入力される。
【００５０】
第１のロードトランジスタＬ１Ａ及び第２のロードトランジスタＬ１Ｂのゲートには、第２のロードトランジスタＬ１Ｂのドレインが接続される。
第１の入力トランジスタＤ１Ａ及びＤ２Ａのゲートと、第２の入力トランジスタＤ２Ｂのゲートは、基準電位ＶＣＯＭに接続される。
第２の入力トランジスタＤ１Ｂのゲートは、入力抵抗Ｒ１を介して基準電位ＶＣＯＭに接続される。
【００５１】
出力段１４は、直列に接続されたＰチャネル型のＭＯＳトランジスタＤＰ及び定電流源となるＮチャネル型のＭＯＳトランジスタＤＮを備え、ＭＯＳトランジスタＤＰのソースと第１、第２のロードトランジスタＬ１Ａ、Ｌ１Ｂのソースとが接続され、ＭＯＳトランジスタＤＮのソースと定電流源１３ａ、１３ｂとしてのＮチャネル型のＭＯＳトランジスタＥＤ１、ＥＤ２のソースとが共通の低電位側の電源ＶＳＳが接続される。
【００５２】
ＭＯＳトランジスタＤＰのゲートは第１のロードトランジスタＬ１Ａのドレインに接続されると共に、直列に接続された抵抗ＲＣ及び容量ＣＣを介してＭＯＳトランジスタＤＰのドレインに接続される。ＭＯＳトランジスタＤＮのゲートには、ＭＯＳトランジスタＥＤ１、ＥＤ２と共通のバイアス電圧ＶＢＩＡＳが入力される。
ＭＯＳトランジスタＤＰのドレインとセンサ装置１の出力ノードＰＯＵＴとが接続され、ＭＯＳトランジスタＤＰのドレイン電圧がセンサ装置１の出力電圧ＶＰＯＵＴとして出力される。また、出力ノードＰＯＵＴと第１の入力トランジスタＤ１Ｂのゲートとの間にフィードバック抵抗Ｒ２が接続される。
【００５３】
ここで、簡単のために、差動対１１ａに含まれる第１の入力トランジスタＤ１Ａ及び第２の入力トランジスタＤ１Ｂのトランジスタ特性は等しく、同様に、差動対１１ｂに含まれる第１の入力トランジスタＤ２Ａ及び第２の入力トランジスタＤ２Ｂのトランジスタ特性は等しいとする。また、差動対１１ａ、１１ｂの負荷に使用されるカレントミラー部１２に含まれる第１のロードトランジスタＬ１Ａと第２のロードトランジスタＬ１Ｂのトランジスタ特性は等しいとする。
【００５４】
第１の入力トランジスタＤ１ＡのソースとノードＮＳ１との間に挿入される可変抵抗型センサＲＳ１Ａの抵抗値をＲＳ１Ａとし、第２の入力トランジスタＤ１ＢとノードＮＳ１との間に挿入される可変抵抗型センサＲＳ１Ｂの抵抗値をＲＳ１Ｂとする。第１の入力トランジスタＤ２ＡのソースとノードＮＳ２との間に挿入される可変抵抗型センサＲＳ２Ａの抵抗値をＲＳ２Ａとし、第２の入力トランジスタＤ２ＢとノードＮＳ２との間に挿入される可変抵抗型センサＲＳ２Ｂの抵抗値をＲＳ２Ｂとする。これら可変抵抗型センサＲＳ１Ａ、ＲＳ１Ｂ、ＲＳ２Ａ、ＲＳ２Ｂは同一特性を有するが、可変抵抗型センサＲＳ１Ａ及びＲＳ２Ａは、物理量Ｂの正の変化に対して抵抗値が減少するような極性に配置され、可変抵抗型センサＲＳ１Ｂ及びＲＳ２Ｂは、物理量Ｂの正の変化に対して抵抗値が増加するような極性に配置されている。
【００５５】
ここで、可変抵抗型センサＲＳ１Ａ、ＲＳ１Ｂ、ＲＳ２Ａ、ＲＳ２Ｂに流れる電流を、それぞれＩＤ１Ａ、ＩＤ１Ｂ、ＩＤ２Ａ、ＩＤ２Ｂとする。
定電流源１３ａ、１３ｂに流れる電流をそれぞれ２×ＩＢ１、第１、第２のロードトランジスタＬ１Ａ、Ｌ１Ｂに流れる電流をそれぞれ２×ＩＢ１とすると、ＩＤ１Ａ、ＩＤ１Ｂ、ＩＤ２Ａ、ＩＤ２Ｂで表される電流間には次式（１０）に示す関係がある。
ＩＤ１Ａ＋ＩＤ１Ｂ＝２×ＩＢ１
ＩＤ２Ａ＋ＩＤ２Ｂ＝２×ＩＢ１
ＩＤ１Ａ＋ＩＤ２Ａ＝２×ＩＢ１
ＩＤ１Ｂ＋ＩＤ２Ｂ＝２×ＩＢ１                    ……（１０）
【００５６】
第１、第２の入力トランジスタＤ１Ａ、Ｄ２Ａ、Ｄ１Ｂ、Ｄ２Ｂと、これら第１、第２の入力トランジスタを流れる電流ＩＤ１Ａ、ＩＤ１Ｂ、ＩＤ２Ａ、ＩＤ２Ｂとの間には次式（１１）に示す関係がある。（１１）式中において、ＶＴはＭＯＳトランジスタの閾値電圧、ＶＧＳ１Ａ、ＶＧＳ１Ｂ、ＶＧＳ２Ａ、ＶＧＳ２Ｂは、第１、第２の入力トランジスタＤ１Ａ、Ｄ２Ａ、Ｄ１Ｂ、Ｄ２Ｂのゲート−ソース間電圧である。
ＩＤ１Ａ＝（Ｋｓ／２）×（Ｗ／Ｌ）×（ＶＧＳ１Ａ−ＶＴ）２
ＩＤ１Ｂ＝（Ｋｓ／２）×（Ｗ／Ｌ）×（ＶＧＳ１Ｂ−ＶＴ）２
ＩＤ２Ａ＝（Ｋｓ／２）×（Ｗ／Ｌ）×（ＶＧＳ２Ａ−ＶＴ）２
ＩＤ２Ｂ＝（Ｋｓ／２）×（Ｗ／Ｌ）×（ＶＧＳ２Ｂ−ＶＴ）２    ……（１１）
【００５７】
ゲート−ソース間電圧ＶＧＳ１Ａ、ＶＧＳ１Ｂ、ＶＧＳ２Ａ、ＶＧＳ２Ｂを、第１、第２の入力トランジスタＤ１Ａ、Ｄ２Ａ、Ｄ１Ｂ、Ｄ２Ｂそれぞれに流れる電流ＩＤ１Ａ、ＩＤ１Ｂ、ＩＤ２Ａ、ＩＤ２Ｂで表すと次式（１２）で表すことができる。
ＶＧＳ１Ａ＝｛ＩＤ１Ａ×（２／Ｋｓ）×（Ｌ／Ｗ）｝１／２＋ＶＴ
ＶＧＳ１Ｂ＝｛ＩＤ１Ｂ×（２／Ｋｓ）×（Ｌ／Ｗ）｝１／２＋ＶＴ
ＶＧＳ２Ａ＝｛ＩＤ２Ａ×（２／Ｋｓ）×（Ｌ／Ｗ）｝１／２＋ＶＴ
ＶＧＳ２Ｂ＝｛ＩＤ２Ｂ×（２／Ｋｓ）×（Ｌ／Ｗ）｝１／２＋ＶＴ  
……（１２）
【００５８】
可変抵抗型センサＲＳ１Ａ、ＲＳ１Ｂ、ＲＳ２Ａ、ＲＳ２Ｂの抵抗値が外部からの物理量Ｂに応じてその抵抗値が変わることで、差動対１１ａと差動対１１ｂに流れる電流が変化する。
差動対１１ｂにおいて、可変抵抗型センサＲＳ２Ａ、ＲＳ２Ｂの抵抗値の変化に応じて変化した電流相当値をΔｉｄとする。
差動対１１ｂでは、次式（１３）に示す関係が成り立つ。
ＶＧＳ２Ａ＋（Ｒ−ΔＲ）×ＩＤ２Ａ＝ＶＧＳ２Ｂ＋（Ｒ＋ΔＲ）×ＩＤ２Ｂ
……（１３）
【００５９】
（１３）式を変形すると、次式（１４）となる。
ＶＧＳ２Ａ−ＶＧＳ２Ｂ
＝（Ｒ＋ΔＲ）×ＩＤ２Ｂ−（Ｒ−ΔＲ）×ＩＤ２Ａ
＝（Ｒ＋ΔＲ）×(ＩＢ１−Δｉｄ)−（Ｒ−ΔＲ）×（ＩＢ１＋Δｉｄ）
＝２（ΔＲ×ＩＢ１−Ｒ×Δｉｄ）                                ……（１４）
【００６０】
（１４）式の左辺を（１２）式を用いて整理する。
（１４）式の左辺
＝ＶＧＳ２Ａ−ＶＧＳ２Ｂ
＝｛ＩＤ２Ａ×（２／Ｋｓ）×（Ｌ／Ｗ）｝１／２＋ＶＴ
−｛ＩＤ２Ｂ×（２／Ｋｓ）×（Ｌ／Ｗ）｝１／２−ＶＴ
＝{(２／Ｋｓ）×（Ｌ／Ｗ）)１／２
×{(ＩＢ１＋Δｉｄ）１／２−（ＩＢ１−Δｉｄ）１／２｝                                                                    ……（１５）
【００６１】
（１５）式を自乗する。
（１５）式の自乗
＝（２／Ｋｓ）×（Ｌ／Ｗ）×｛ＩＢ１＋Δｉｄ
−２×((ＩＢ１＋Δｉｄ）×(ＩＢ１−Δｉｄ))１／２＋ＩＢ１−Δｉｄ｝
＝（２／Ｋｓ）×（Ｌ／Ｗ）×｛２×ＩＢ１−２×（ＩＢ１２−Δｉｄ２）１／２｝
……（１６）
ここで、（１６）式において、ＩＢ１２>>Δｉｄ２（ＩＢ１２はΔｉｄ２よりも遥かに大きい）とすると、（１４）式の左辺の自乗は零となる。
【００６２】
したがって、（１４）式から、次式（１７）式の関係が得られる。
０＝２（ΔＲ×ＩＢ１−Ｒ×Δｉｄ）
Δｉｄ＝（ΔＲ／Ｒ）×ＩＢ１                                ……（１７）
（１７)式から、可変抵抗型センサの抵抗値の変化ΔＲに比例した電流変化Δｉｄが、差動対１１ｂに現れることがわかる。
【００６３】
次に差動対１１ｂでのΔｉｄの変化によって生じる、差動対１１ａに現れる電位変化を求める。
第１の入力トランジスタＤ１Ａのゲート電位ＶＤ１Ａを基準として、第２の入力トランジスタＤ１Ｂのゲート電位ＶＤ１Ｂを記述すると次式（１８）で表される。
ＶＤ１Ｂ
＝−ＶＧＳ１Ａ−（Ｒ−ΔＲ）×ＩＤ１Ａ＋ＶＧＳ１Ｂ＋（Ｒ＋ΔＲ）×ＩＤ１Ｂ
……（１８）
【００６４】
（１８）式を変形すると、次式（１９）と表すことができる。
ＶＤ１Ｂ＋（Ｒ−ΔＲ）×ＩＤ１Ａ−（Ｒ＋ΔＲ）×ＩＤ１Ｂ
＝ＶＧＳ１Ｂ−ＶＧＳ１Ａ                                ……（１９）
（１９）式の右辺を自乗し、（１１）式、（１２）式を用いて整理すると次式（２０）で表すことができる。
右辺の自乗
＝（ＶＧＳ１Ｂ−ＶＧＳ１Ａ）２
＝（{ＩＤ１Ｂ×(２／Ｋｓ)×(Ｌ／Ｗ)}１／２＋ＶＴ
−{ＩＤ１Ａ×(２／Ｋｓ)×(Ｌ／Ｗ)}１／２−ＶＴ)２
＝(２／Ｋｓ)×(Ｌ／Ｗ)×{(ＩＢ１＋Δｉｄ)１／２−(ＩＢ１−Δｉｄ)１／２｝２
＝(２／Ｋｓ) ×(Ｌ／Ｗ)×{ＩＢ１＋Δｉｄ
−２×(ＩＢ１＋Δｉｄ)１／２×(ＩＢ１−Δｉｄ) １／２＋ＩＢ１−Δｉｄ}
＝(２／Ｋｓ)×(Ｌ／Ｗ)×{２×ＩＢ１−２×(ＩＢ１２−Δｉｄ２)１／２}
……（２０）
【００６５】
ここで、ＩＢ１２>>Δｉｄ２（ＩＢ１２はΔｉｄ２よりも遥かに大きい）とすると、（２０）式の右辺は零となる。つまり、（１９）式の右辺は零となる。
（１９）式において、左辺を整理すると次式（２１）で表すことができる。
ＶＤ１Ｂ
＝（Ｒ＋ΔＲ）×ＩＤ１Ｂ−（Ｒ−ΔＲ）×ＩＤ１Ａ
＝（Ｒ＋ΔＲ）×(ＩＢ１＋Δｉｄ)−（Ｒ−ΔＲ）×（ＩＢ１−Δｉｄ）
＝２×（Ｒ×Δｉｄ＋ΔＲ×ＩＢ１）
＝２×（Ｒ×（ΔＲ／Ｒ）×ＩＢ１＋ΔＲ×ＩＢ１）
＝４×ΔＲ×ＩＢ１                  ……（２１）
最終的に得られるセンサ装置３の出力電圧は、出力段１４での増幅によるゲイン倍されて次式（２２）で表すことができる。
ＶＰＯＵＴ＝（１＋Ｒ２／Ｒ１)×（４×ΔＲ×ＩＢ１）      ……（２２）
【００６６】
これらのことから、複数に分かれた差動対１１ｃ、差動対１１ｄ、差動対１１ｅ、差動対１１ｆ等を追加するとそれらの差動対１１ｃ〜１１ｆに配置されたセンサ抵抗としての可変抵抗型センサからのセンサ信号が加算されて、出力段１４出の増幅によるゲイン倍に増幅して、物理量に応じた信号を取り出せることが容易に推定できる。
なお、センサ装置３のトランジスタレベルの構成は、図３の構成に限らない。ＭＯＳトランジスタのチャネル型を逆にし、Ｐチャネル型ＭＯＳトランジスタからなる差動対を用いて実現することも可能である。また、バイポーラトランジスタによる差動対やＦＥＴトランジスタ（ＪＦＥＴ）による差動対を用いて実現することも可能である。
【００６７】
このように、第３実施形態におけるセンサ装置３も、一般的な差動増幅回路（いわゆるオペアンプ）における差動対のソース側に可変抵抗型センサＲＳ、具体的には、ＲＳ１Ａ、ＲＳ１Ｂ、ＲＳ２Ａ、ＲＳ２Ｂを挿入し、これら可変抵抗型センサＲＳが物理量をセンシングすることにより、可変抵抗型センサＲＳの抵抗値が変化する減少を利用し、差動対に流れる電流を変化させることにより差動増幅回路の出力を変化させるようにしているため、上記第２実施形態と同等の作用効果を得ることができる。
【００６８】
また、２対の差動対及び４つの可変抵抗型センサを設けることにより、差動対１１ａ、１１ｂに設けた各可変抵抗型センサＲＳの変化に応じたセンサ信号の加算値を増幅した信号を得ることができるため、センサ装置としての感度を向上させることができると共に、第１実施形態におけるセンサ装置１に比較してセンサ信号が４倍となりＳＮが向上する。さらに、特性の揃ったセンサ抵抗の差分信号を使用するため、センサ抵抗自身の経年変化や環境温度変化、ＰＫＧストレスなどのコモンモードノイズの耐性も向上する、さらに、第２実施形態におけるセンサ装置２に比較して、２対のセンサ抵抗の配置が遥かに離れているセンサモジュール構成においても、前述の効果を保ちながらセンサ信号を増幅することができる。
【００６９】
ここで、第３実施形態においては、ノードＮＳ１が第１のノードに対応し、ノードＮＩが第２のノードに対応し、定電流源１３ｂが第１の定電流源に対応し、可変抵抗型センサＲＳ１Ａが第１の抵抗素子に対応し、可変抵抗型センサＲＳ１Ｂが第２の抵抗素子に対応し、第１の入力トランジスタＤ１Ａが第１のトランジスタに対応し、第２の入力トランジスタＤ１Ｂが第２のトランジスタに対応し、第１のロードトランジスタＬ１Ａが第１のロードに対応し、第２のロードトランジスタＬ１Ｂが第２のロードに対応し、出力ノードＰＯＵＴと第２の入力トランジスタＤ１Ｂとを結ぶパスがフィードバックパスに対応し、出力段１４が増幅段に対応している。
また、第１の入力トランジスタＤ２Ａが第３のトランジスタに対応し、第２の入力トランジスタＤ２Ｂが第４のトランジスタに対応し、ノードＮＳ２が第３のノードに対応し、定電流源１３ａが第２の定電流源に対応し、可変抵抗型センサＲＳ２Ａが第３の抵抗素子に対応し、可変抵抗型センサＲＳ２Ｂが第４の抵抗素子に対応している。
【００７０】
＜変形例１＞
上記各実施形態においては、シングルエンド信号を出力するセンサ装置について説明したが、差動信号を出力する全差動増幅器を用い、センサ装置を実現することも可能である。
図４は、全差動増幅器を用いてセンサ装置を実現した場合の回路図の一例であって、図４に示すセンサ装置４は、１対の差動対と、２つの可変抵抗型センサと、を備えたセンサ装置である。つまり、図２に示す第２実施形態におけるシングルエンド信号を出力するセンサ装置２に対応する、全差動増幅器を用いたセンサ装置である。
【００７１】
センサ装置４は、差動出力ノードＰＯＵＴ、ＮＯＵＴから出力される差動出力ＶＮＯＵＴ及びＶＰＯＵＴ間の電圧の平均値が一定電圧ＶＣＭＬＶとなるようにバイアス電流側へフィードバックするコモンフィードバック回路２１を備えている。
コモンフィードバック回路２１では、差動出力ＶＰＯＵＴ及びＶＮＯＵＴ間電圧を分圧して得たＣＭＦＢと一定電圧ＶＣＭＬＶとが増幅器ＡＭＰに入力され、その出力がバイアス電流を決定するＮチャネル型ＭＯＳトランジスタＭＰ及びＮチャネル型ＭＯＳトランジスタＭＮのゲートに入力される。コモンフィードバック回路２１中の、ＲＣＭＮ及びＲＣＭＰ、ＣＣＭＮ及びＣＣＭＰは、差動出力ＶＰＯＵＴ及びＶＮＯＵＴ間の電圧を分圧する分圧回路を構成する抵抗及び容量である。
【００７２】
また、差動出力ＶＰＯＵＴ、ＶＮＯＵＴは、それぞれ、フィードバック抵抗Ｒ２１、Ｒ２２を介して入力トランジスタＤ１ＡとＤ１Ｂのゲートにフィードックされる。
入力トランジスタＤ１ＡとＤ１Ｂのゲートには、それぞれ、入力抵抗Ｒ１１、Ｒ１２を介して基準電圧ＶＣＯＭが供給される。
このように、コモンフィードバック回路２１を備える全差動増幅器の構成を有するセンサ装置であっても好適である。
【００７３】
なお、図４において、第２実施形態におけるセンサ装置２に対応する部分には同一符号を付与している。また、図４中の１４ａは、図２中の出力段１４に対応する出力段である。また、第１、第２のロードトランジスタＬ１Ａ、Ｌ１Ｂのゲートに入力される信号ＶＢＰは、第１、第２のロードトランジスタＬ１Ａ、Ｌ１Ｂが所定の電流を出力するような電位に設定される。例えば、図４においては、それぞれ２×ＩＢ１の値の電流を出力するような電位に設定され、Ｎチャネル型ＭＯＳトランジスタＭＰ及びＭＮには、それぞれＩＢ１の電流が流れ、定電流源１３には、２×ＩＢ１の電流が流れるように動作することとなる。
【００７４】
第１のロードトランジスタＬ１ＡとトランジスタＭＮとの間、第２のロードトランジスタＬ１ＢとトランジスタＭＰとの間に設けられたＰチャネル型ＭＯＳトランジスタＣＮ及びＣＰは、Ｐ１とＮ１のノードの適切な動作電位を設定するためのものである。そのゲートに入力される信号ＶＢＰＣは、一般的にＰ１とＮ１に付与したい電位−ＶＴＰ（Ｐチャネル型トランジスタＣＮおよびＣＰの閾値電圧）程度である。
なお、ここでは、１対の差動対と２つの可変抵抗型センサとを備えた図２に示す第２実施形態におけるセンサ装置２に対応する、全差動増幅器を用いてセンサ装置を実現する場合について説明したが、他の実施形態におけるセンサ装置に対応する、全差動増幅器からなるセンサ装置を実現することも可能である。
【００７５】
このように、全差動増幅器を用いてセンサ装置を実現した場合も、センサ装置のトランジスタレベルの構成は、ＭＯＳトランジスタのチャネル型を逆にし、Ｐチャネル型ＭＯＳトランジスタからなる差動対を用いて実現することも可能である。また、バイポーラトランジスタによる差動対やＦＥＴトランジスタ（ＪＦＥＴ）による差動対を用いて実現することも可能である。
【００７６】
＜変形例２＞
上記各実施形態において、差動対１１のソース側に挿入されるセンサ抵抗は、物理量Ｂの変化をセンシングし、センサ自身の抵抗値が変化する抵抗素子であればよい。センサ抵抗として、例えば、磁界の変化を検出する磁気抵抗素子ＭＲ、巨大磁気抵抗素子ＧＭＲ、トンネル磁気抵抗素子ＴＭＲ、ピエゾ抵抗素子等を適用することも可能である。
また、物理量Ｂが温度であれば、温度係数が異なる抵抗を用いることも可能である。
なお、本発明の範囲は、図示され記載された例示的な実施形態に限定されるものではなく、本発明が目的とするものと均等な効果をもたらす全ての実施形態をも含む。さらに、本発明の範囲は、全ての開示されたそれぞれの特徴のうち特定の特徴のあらゆる所望する組み合わせによって画され得る。
【符号の説明】
【００７７】
１〜３  センサ装置
１１、１１ａ、１１ｂ  差動対
１２  カレントミラー部
１３、１３ａ、１３ｂ  定電流源
１４  出力段
Ｄ１Ａ  第１の入力トランジスタ
Ｄ１Ｂ  第２の入力トランジスタ
Ｄ２Ａ  第１の入力トランジスタ
Ｄ２Ｂ  第２の入力トランジスタ
Ｌ１Ａ  第１のロードトランジスタ
Ｌ１Ｂ  第２のロードトランジスタ
ＮＳ、ＮＳ１、ＮＳ２  ノード
ＮＩ  ノード
Ｒ１  入力抵抗
Ｒ２  フィードバック抵抗
ＲＳ１Ａ、ＲＳ２Ａ  可変抵抗型センサ
ＲＳ１Ｂ、ＲＳ２Ｂ  可変抵抗型センサ
ＲＲ１Ｂ  リファレンス抵抗
【図１】
2016086230.tif 000003
【図２】
2016086230.tif 000004
【図３】
2016086230.tif 000005
【図４】
2016086230.tif 000006
【図５】
2016086230.tif 000007