(57)【要約】【課題】ディスク駆動装置の構成部品の清浄度を高める技術を提供する。【解決手段】ディスクを搭載すべきハブと、軸受支持部を有するベースと、軸体及び軸受体を含み前記ベースに対して前記ハブを支持する軸受機構であって軸受支持部に支持される軸受機構と、を備えたディスク駆動装置の製造方法であって、前記ハブと、前記ベースと、前記軸体と、前記軸受体の少なくとも一つをワークと呼ぶとき、前記ワークを切削ツールに対して相対回転させた状態で、前記ワークの周設表面に前記切削ツールの刃先を接触させて当該周設表面を切削加工することと、前記切削加工後の前記ワークを用いて前記ディスク駆動装置を組み立てることと、を含み、前記周設表面を切削加工することは、前記刃先に向けて気体と潤滑剤のミストを吹き付けながら実行される。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスクを搭載すべきハブと、軸受支持部を有するベースと、軸体及び軸受体を含み前記ベースに対して前記ハブを支持する軸受機構であって、前記軸受支持部に支持される軸受機構と、を備えたディスク駆動装置の製造方法であって、
前記ハブと、前記ベースと、前記軸体と、前記軸受体の少なくとも一つをワークと呼ぶとき、
前記ワークを切削ツールに対して相対回転させた状態で、前記ワークの周設表面に前記切削ツールの刃先を接触させて当該周設表面を切削加工することと、
前記切削加工後の前記ワークを用いて前記ディスク駆動装置を組み立てることと、
を含み、
前記周設表面を切削加工することは、前記刃先に向けて気体と混合された潤滑剤のミストを吹き付けながら実行されることを特徴とするディスク駆動装置の製造方法。
【請求項２】
前記周設表面を切削加工することは、前記潤滑剤を１０００ｍｌ／ｈ以下の割合で吹き付けながら実行されることを特徴とする請求項１に記載のディスク駆動装置の製造方法。
【請求項３】
前記周設表面を切削加工することは、前記潤滑剤のミストを発射する発射口と前記刃先との最短距離が１ｍｍ以上で１０ｍｍ以下の範囲に設定されて実行されることを特徴とする請求項１または２に記載のディスク駆動装置の製造方法。
【請求項４】
前記周設表面を切削加工することは、前記潤滑剤のミストが前記切削ツールに固定された発射口から発射されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のディスク駆動装置の製造方法。
【請求項５】
前記周設表面を切削加工することは、前記潤滑剤のミストの少なくとも一部が前記切削ツールに設けた通路を通じて供給されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のディスク駆動装置の製造方法。
【請求項６】
前記周設表面を切削加工することは、前記発射口から吹き付けられる前記潤滑剤のミストと、前記発射口とは別に設けた他の発射口から吹き付けられる前記潤滑剤の他のミストとの少なくとも一部が前記刃先の位置で交わるように設定されて実行されることを特徴とする請求項３または４に記載のディスク駆動装置の製造方法。
【請求項７】
前記潤滑剤と混合される気体は、圧縮された空気と、冷却された窒素と、冷却された二酸化炭素の少なくともひとつを含むことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のディスク駆動装置の製造方法。
【請求項８】
前記周設表面を切削加工することは、前記潤滑剤のミストが前記ワークから発生した切粉に当たるように実行されることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載のディスク駆動装置の製造方法。
【請求項９】
前記潤滑剤はエステル系の合成油を含むことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載のディスク駆動装置の製造方法。
【請求項１０】
前記潤滑剤はポリオールエステルを含むことを特徴とする請求項９に記載のディスク駆動装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項１から１０のいずれか１項に記載の製造方法を用いて製造されたディスク駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスク駆動装置の製造方法、及びその製造方法により製造されるディスク駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ハードディスク駆動装置などのディスク駆動装置は、流体動圧軸受機構を備えることで回転精度が向上し、一層の高密度・大容量化が求められている。例えばハードディスク駆動装置を高密度・大容量化するためには記録トラックの幅を狭くすると共に、磁気ヘッドと記録ディスクとの隙間を一層狭くする方法がある。その浮上隙間は、例えば１０ｎｍ以下にされる。特許文献１〜６には、ディスク駆動装置およびその製造方法が開示されている。
【０００３】
その一方で、極狭な浮上隙間では、磁気ヘッドがトレース中にディスク表面上の微小な異物に接触することで再生信号にノイズを生じ、再生信号の読み出し失敗の確率が高くなりリード／ライト信頼性の低下を引き起こす。また、ヘッドクラッシュ障害の発生が一段と深刻となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−００２８０４号公報
【特許文献２】特開２０１１−１２３９８４号公報
【特許文献３】特開２０１１−１６５２８６号公報
【特許文献４】特開２０１２−０５０２１２号公報
【特許文献５】特開２０１３−００４１２６号公報
【特許文献６】特開２０１０−２４４６２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明者らは、リード／ライト信頼性の低下を引き起こす事象の一つは、ディスク駆動装置を構成するハブ等の構成部材に残存して付着していた異物（以下、パーティクル「Ｐａｒｔｉｃｌｅ」と総称する）が、記録ディスク表面に移動することで発生するとの認識を得た。つまり、構成部材に付着した異物が、時間の経過とともに揮発して記録ディスクの記録面に付着してしまう場合がある。パーティクルが記録ディスク表面に付着すると、パーティクルの付着領域での記録信号の読み書きが阻害されて、リード／ライト信頼性の低下が引き起こされる。
【０００６】
特に、記録ディスクの収納空間が密閉される場合には、収納空間に放散されたパーティクルは、外気に拡散することなく収納空間中に留まる。そして、収納空間におけるパーティクルの濃度は、時間とともに上昇するから、記録ディスク表面へのパーティクルの付着が起こりやすい。
【０００７】
この問題に関し、ディスク駆動装置を構成する構成部材のハブを形成する例について説明する。記録ディスクを載置して回転するハブは、金属等の素材を切削加工して形成される。切削加工の場合、素材と加工刃物との間に液状の切削油剤を大量に供給し、これにより切削時の切削抵抗を低減させて、加工精度の向上や素材や加工刃物のダメージ低減を図ることが一般的である。従来の方法では、例えば、素材に液体の切削油剤を浴びせるように注ぎながら切削加工が実施される。
【０００８】
このように、従来の方法では切削加工後の構成部材の表面には大量の切削油剤が付着しており、その後に構成部材を洗浄しても、有限の時間内では、構成部材に付着した切削油剤を完全には除去できない。つまり、切削加工時に構成部材に付着した切削油剤は、大量生産で対応可能な洗浄時間では構成部材の表面に僅かに残留してパーティクルとなることが判明した。
構成部材の残留切削油剤を低減するために、一層大きな洗浄設備を用いて多大な作業時間を費やし、大量の洗浄液を使用する方法も考えられるが、生産性が悪化してコストアップする問題がある。
【０００９】
本発明はこうした状況に鑑みてなされたものであり、その目的は、ディスク駆動装置の構成部品の清浄度を高め、ディスク駆動装置の高密度・大容量化に資する技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のある態様は、ディスク駆動装置の製造方法である。このディスク駆動装置の製造方法は、ディスクを搭載すべきハブと、軸受支持部を有するベースと、軸体及び軸受体を含み前記ベースに対して前記ハブを支持する軸受機構であって軸受支持部に支持される軸受機構と、を備えたディスク駆動装置の製造方法であって、前記ハブと、前記ベースと、前記軸体と、前記軸受体の少なくとも一つをワークと呼ぶとき、前記ワークを切削ツールに対して相対回転させた状態で、前記ワークの周設表面に前記切削ツールの刃先を接触させて当該周設表面を切削加工することと、前記切削加工後の前記ワークを用いて前記ディスク駆動装置を組み立てることと、を含み、前記周設表面を切削加工することは、前記刃先に向けて潤滑剤のミストと気体の混合物を吹き付けながら実行されることを特徴とする。
この態様によれば、刃先に向けて潤滑剤のミストと気体の混合物を吹き付けるながらワークを切削加工しうる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、ディスク駆動装置の構成部品の清浄度を高め、ディスク駆動装置の高密度・大容量化に資する技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施の形態に係るディスク駆動装置を示す分解斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】実施形態に係るディスク駆動装置の製造方法を説明するブロック図である。
【図４】切削加工工程を説明する斜視図である。
【図５】図４のワークと切削ツールを左から視た図である。
【図６】図４のワークと切削ツールを下面から視た図である。
【図７】切削ツールと潤滑剤ミストを示す上面図である。
【図８】切削ツールと潤滑剤ミストを示す右側面図である。
【図９】切削ツールと潤滑剤ミストを示す下面図である。
【図１０】切削ツールと潤滑剤ミストを示す左側面図である。
【図１１】シャフト環囲部材の内周面の一部を示す展開図である。
【図１２】図１１における縞模様溝の一部を拡大して示す拡大斜視図である。
【図１３】図１２における微小溝を加工する工程を模式的に示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明を好適な実施の形態をもとに図面を参照しながら説明する。各図面に示される同一または同等の構成要素、部材には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、各図面における部材の寸法は、理解を容易にするために適宜拡大、縮小して示される。また、各図面において実施の形態を説明する上で重要ではない部材の一部は省略して表示する。
【００１４】
実施の形態に係るディスク駆動装置は、例えば、磁気的にデータを記録する磁気記録ディスクを搭載し、それを回転駆動するハードディスクドライブなどのディスク駆動装置として好適に用いることができる。このディスク駆動装置は、静止体に軸支機構を介して回転自在に取り付けられる回転体を含むことができる。この回転体は、例えば磁気記録ディスクなどの被駆動メディアを搭載するように構成された搭載機構を含むことができる。この軸支機構は、例えば潤滑流体を含み、潤滑流体に動圧を発生させることができる。この軸支機構は、例えば静止体と回転体の何れかに構成されたラジアル軸支機構とスラスト軸支機構とを含むことができる。このスラスト軸支機構は、例えばラジアル軸支機構の半径方向外側に配置することができる。このディスク駆動装置は、回転体に回転トルクを付与すべき回転駆動機構を備えることができる。この回転駆動機構は、例えばブラシレススピンドルモータとすることができる。この回転駆動機構は、コイルとマグネットを含むことができる。
【００１５】
（実施の形態）
図１〜８を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１〜８では説明する上で重要ではない部材は省略して示している。
図１は、実施の形態に係るディスク駆動装置１００を示す斜視図である。図１は、発明の理解を容易にするため、トップカバー２２を分離した状態を示す。図２は図１のＡ−Ａ線断面図の回転軸Ｒの左側を示している。図２は、理解を容易にするため、トップカバー２２を載置し中央ネジ７４を取り付ける前の状態を示している。
ディスク駆動装置１００は、シャーシー２４と、シャフト１１０と、ハブ２６（図１では図示せず）と、磁気記録ディスク６２と、キャップ１３２と、クランパー７８と、データリード／ライト部６０と、トップカバー２２と、中央ネジ７４と、例えば６個の周辺ネジ１０４と、を含む。
以降シャーシー２４に対してハブ２６が設けられる側を上側として説明する。また、回転体の回転軸Ｒに沿った方向を軸方向と、回転軸Ｒに鉛直な平面上で回転軸Ｒを通る任意の方向を半径方向と、当該平面上における任意の方向を平面方向ということがある。かかる方向の表記はディスク駆動装置１００が使用される姿勢を制限するものではなく、ディスク駆動装置１００は任意の姿勢で使用され得る。
【００１６】
磁気記録ディスク６２は、例えば、直径が約９０ｍｍのアルミニウム合金製の３．５インチ型磁気記録ディスクであり、その中央の孔の直径は２５ｍｍである。例えば６枚の磁気記録ディスク６２が、ハブ２６に搭載され、ハブ２６の回転に伴って回転する。磁気記録ディスク６２は、スペーサー７２とクランパー７８とによってハブ２６に固定される。クランパー７８とスペーサ７２については後述する。
【００１７】
シャーシー２４は、ディスク駆動装置１００の底部を形成する底板部２４Ａと、磁気記録ディスク６２の載置領域を囲むように底板部２４Ａの外周に沿って形成された外周壁部２４Ｂと、を有する。外周壁部２４Ｂの上面には、ネジ孔２４Ｃが、例えば６つ設けられる。なおシャーシーはベースと表記することがある。
【００１８】
データリード／ライト部６０は、記録再生ヘッド（不図示）と、スイングアーム６４と、ボイスコイルモータ６６と、ピボットアセンブリ６８と、を含む。記録再生ヘッドは、スイングアーム６４の先端部に取り付けられ、磁気記録ディスク６２にデータを記録し、あるいは、磁気記録ディスク６２からデータを読み取る。ピボットアセンブリ６８は、スイングアーム６４をシャーシー２４に対してヘッド回転軸Ｓの周りに揺動自在に支持する。ボイスコイルモータ６６は、スイングアーム６４をヘッド回転軸Ｓの周りに揺動させ、記録再生ヘッドを磁気記録ディスク６２の上面上の所望の位置に移動させる。ボイスコイルモータ６６およびピボットアセンブリ６８は、ヘッドの位置を制御する公知の技術を用いて構成される。
【００１９】
トップカバー２２は、略矩形の薄板で、周辺に設けられる例えば６つのネジ貫通孔２２Ｃと、シャーシー側に向かって下向きに突出するカバー突出部２２Ｅと、カバー突出部２２Ｅの中央部に設けられる中央孔２２Ｄとを有する。カバー突出部２２Ｅは回転軸Ｒを中心として周設される。トップカバー２２は、例えばアルミニウム板や鉄鋼板をプレス加工することによって所定の形状に形成される。トップカバー２２は、例えば鍍金等の表面層を有してもよい。トップカバー２２は、例えば、６つの周辺ネジ１０４を用いてシャーシー２４の外周壁部２４Ｂの上面に固定される。６つの周辺ネジ１０４は、６つのネジ貫通孔２２Ｃと、６つのネジ孔２４Ｃにそれぞれ対応する。特にトップカバー２２と外周壁部２４Ｂの上面とは互いに固定される。ディスク駆動装置１００の内側には、シャーシー２４の底板部２４Ａと、外周壁部２４Ｂと、トップカバー２２と、で囲まれるディスク収納空間７０が構成される。このディスク収納空間７０は密閉され、例えばヘリウムを含む清浄な気体で満たされる。トップカバー２２は、中央ネジ７４が中央孔２２Ｄを貫通して収納孔１１０Ａに螺合して嵌め合わされることによってシャフト１１０に結合される。
【００２０】
図２は図１のＡ−Ａ線断面図の回転軸Ｒの左側を示している。静止体２は、軸体６と、ステータコア３２と、コイル３０と、フレキシブルプリント配線板３４と、をさらに含む。軸体６はシャフト１１０と、シャフト１１０の一端側に固定されたトップフランジ１２と、シャフト１１０の他端側に固定されたスラストカップ１１２とを含む。回転体４は、ハブ２６と、軸受体８と、キャップ１３２と、ヨーク１３８と、マグネット２８とを有する。回転体４と静止体２とは、軸体６と軸受体８との隙間の一部に、例えば連続的に介在する潤滑流体２０を含む。軸受体８は、シャフト１１０を隙間を介して環囲するシャフト環囲部材４２を備える。シャフト環囲部材４２はハブ２６に固定される。また、軸体６と、軸受体８と、潤滑流体２０とは後述する動圧発生溝とともに軸受機構５２を構成する。
【００２１】
（シャーシー）
シャーシー２４は、一例として、アルミニウムの合金をダイカスト成型により一体に形成される。シャーシー２４は、例えば、ステンレス鋼やアルミニウムのなどの金属板をプレス加工して形成してもよい。この場合シャーシー２４は、一部にプレス加工によって型押しされた型押し面を含む。シャーシー２４は、例えばニッケル等の鍍金層、あるいは例えばエポキシ樹脂等の樹脂コーティング層などの表面処理層を有してもよい。また、シャーシー２４は、一部が樹脂で形成された部分を含んでもよい。シャーシー２４は底板部２４Ａが２枚以上の板が積層されてもよい。
【００２２】
シャーシー２４は、回転軸Ｒを中心とした上面視で円筒状の突出部２４Ｅと、突出部２４Ｅの中央に軸方向に延在して貫通する軸受孔２４Ｄとを備える。突出部２４Ｅは、底板部２４Ａの上面からハブ２６に向かって突出する。突出部２４Ｅの上面はスラストカップ１１２と軸方向に対向する。軸受孔２４Ｄの内周壁は回転軸Ｒを中心とした上面視で円筒状に形成される。軸受孔２４Ｄの内周壁には軸受機構５２の軸体６の一部が挿入され固着される。軸受孔２４Ｄは底部を有する非貫通孔であってもよい。
【００２３】
（ステータコア）
ステータコア３２は、円環部と、円環部から半径方向に延在する例えば１２個の突極とを含む。ステータコア３２は、例えば、０．２ｍｍ〜０．３５ｍｍ厚の電磁鋼板を５枚〜３０枚積層しカシメにより一体化して形成される。実施の形態では、一例として、０．２ｍｍ厚の電磁鋼板を１７枚積層している。ステータコア３２の表面には、例えば、電着塗装膜や粉体塗装膜などの表面層が設けられる。ステータコアは、磁性粉体が所定の形状に結合されたソリッドコアであってもよい。
【００２４】
ステータコア３２は、その円環部の内周側の下端部分が突出部２４Ｅの外周面に設けた段部に嵌め込まれて着座する。ステータコア３２は、その円環部の内周側が突出部２４Ｅの段部に圧入、接着またはこれらを併用した方法によって結合される。ステータコア３２は、その円環部の内周側がスラストカップ１１２のフランジ環囲部１８の外周面に接着剤により接着固定される。実施の形態では、軸方向において、ステータコア３２の円環部の内周面の５０％〜９０％の領域が固定的に支持される接合領域に含まれる。この場合、ステータコア３２の振動を一層抑制することができる。ステータコア３２を固定する接着剤は蛍光体を含んでもよい。
【００２５】
（コイル）
コイル３０は、ステータコア３２の各突極にワイヤが所定の回数だけ巻回されて形成される。ワイヤは、例えば軟銅などの導体芯線の表面に、例えばウレタン樹脂の絶縁層を被覆して形成される。ワイヤの表面には、ポリアミド化合物などの潤滑物質が付着されてもよい。コイル３０の引き出し線３０Ａは、シャーシー２４の底板部２４Ａの下面に設けられたフレキシブルプリント配線板（Flexible Printed Circuit Board）３４の配線導体に電気的に接続される。コイル３０は、図示しない駆動回路からフレキシブルプリント配線板３４を通じて駆動電流が流されることによって突極に沿って界磁磁界を発生する。
【００２６】
（ハブ）
ハブ２６は、それぞれ上面視で回転軸Ｒを囲む環状の円盤部２６Ｄと、嵌合部２６Ｅと、載置部２６Ｊとを含み、例えば、アルミニウム合金などの非鉄金属材料やステンレス鋼などの鉄鋼材料から切削加工によって形成される。円盤部２６Ｄは、半径方向に延在し、中央に軸方向に貫通する開口２６Ｂが設けられる。嵌合部２６Ｅは、円盤部２６Ｄの外周部から軸方向下側に延在して円筒状の外周面に磁気記録ディスク６２の中央孔が嵌合する。載置部２６Ｊは、嵌合部２６Ｅの下側の外周面から半径方向外向きに延在し、一番下の磁気記録ディスク６２が載置される。ハブ２６は、円盤部２６Ｄと嵌合部２６Ｅと載置部２６Ｊとは一体に形成される。
【００２７】
ハブ２６は、ＬＰＣ（Liquid crystal polymer）などの樹脂材料から形成される部分を含んでもよい。ハブ２６は、コーティングや鍍金などによる表面層を設けてもよい。例えば、表面の剥離を防止することができる。
【００２８】
（スペーサー）
スペーサー７２は、上面視で中空リング状の部材で、例えばＳＵＳ３０３（ステンレス鋼の一種。以下同様）などの金属材料から切削加工によって形成される。スペーサー７２は、その内周面が嵌合部２６Ｅに嵌合し、それぞれ下側の磁気記録ディスク６２と上側の磁気記録ディスク６２との間に設けられる。各スペーサー７２は各磁気記録ディスク６２を離間する。各磁気記録ディスク６２はスペーサー７２とクランパー７８とによってハブ２６に固定される。
【００２９】
（クランパー）
クランパー７８は、上面視で略中空円盤状の部材で、例えばＳＵＳ３０３などの金属材料から切削加工によって形成される。クランパー７８は、外周部の下端から軸方向に延在する周状の押え部７８Ｂと、内周部の下端から軸方向に延在する周状の延在部７８Ａと、を含む。クランパー７８は、延在部７８Ａの最下端が押え部７８Ｂの最下端より軸方向下側に位置する。クランパー７８は、一例として、スクリュー等のファスナー（不図示）によってハブ２６の上面に固定される。クランパー７８は、押え部７８Ｂが磁気記録ディスク６２の上面に当接する。
【００３０】
クランパー７８は、延在部７８Ａがハブ２６の円盤部２６Ｄに軸方向で周状に窪むガイド部４Ｂに進入する。特に、ガイド部４Ｂは円盤部２６Ｄの内周面の上端側の一部が拡径して設けられる。クランパー７８は、延在部７８Ａがガイド部４Ｂによって位置決めされる。ガイド部４Ｂはハブ２６の代わりに軸受機構５２のシャフト環囲部材４２の外周面の上端側の一部が縮径して設けられてもよい。
【００３１】
（ヨーク）
ヨーク１３８は、それぞれ上面視で環状の中空の円筒部と、円筒部の上端から半径方向内側に延在する延在部と、を含み、例えば軟磁性を有する鉄鋼材料から、プレス加工や切削加工によって形成される。ヨーク１３８は、円筒部の外周面がハブ２６の嵌合部２６Ｅの内周面に接着固定される。この接着剤は蛍光体を含んでもよい。ヨーク１３８は、円筒部の内周面にマグネット２８を嵌合し接着固定する。この接着剤は蛍光体を含んでもよい。ヨーク１３８は、延在部の下端がマグネット２８に当接し、延在部の上端がハブ２６に当接する。ヨーク１３８は、表面に鍍金やコーティングなどによる表面層を有してもよい。
【００３２】
（マグネット）
マグネット２８は、上面視で中空の円筒状の部材で、例えばフェライト系の磁石材料や希土類系の磁石材料から形成される。マグネット２８は、バインダーとして、ポリアミドなどの樹脂を含んでもよい。マグネット２８は、その表面に電着塗装やスプレー塗装などによる表面層を有してもよい。マグネット２８は、ステータコア３２の突極と半径方向に対向する内周面に、一例として、８極または１６極の磁極が設けられる。マグネット２８は、その外周面がヨーク１３８の内周面に接着固定される。マグネット２８は、フェライト系マグネットの層と希土類系マグネットの層とが積層されて形成されてもよい。マグネット２８は、その高さ寸法がステータコア３２の高さ寸法より大きくされてもよい。
【００３３】
（流体軸受機構）
軸体６と、軸受体８と、潤滑流体２０とは、さらに軸受機構５２を構成する。軸受機構５２は、軸体６と軸受体８の軸方向隙間にスラスト動圧軸受部が設けられ、軸体６と軸受体８の半径方向隙間にラジアル動圧軸受部が設けられる。軸受機構５２は、軸体６と軸受体８との隙間に潤滑流体２０を保持するように構成される。
【００３４】
（軸体）
軸体６は、シャフト１１０と、シャフト１１０のシャーシー２４から遠い方の一端側に固定されるトップフランジ１２と、シャフト１１０の他端側に固定されるスラストカップ１１２と、を含む。
【００３５】
（シャフト）
シャフト１１０は、回転軸Ｒに沿って延伸する略円筒状の部材で、例えば、ＳＵＳ４２０Ｊ２（ステンレス鋼の一種。以下同様）やＳＵＳ４３０やＳＵＳ３０３などの鉄鋼材料から切削加工や研削加工によって形成される。シャフト１１０は、一端側の端面に、中央ネジ７４等のファスナーを収納する収納孔１１０Ａが回転軸Ｒに沿って形成される。シャフト１１０は、焼き入れされてもよい。シャフト１１０は、外周面やトップフランジ１２の下面が研摩されてもよい。シャフト１１０は樹脂などの他の材料や、プレス加工やモールディングなど他の方法を用いて形成されてもよい。
【００３６】
（トップフランジ）
トップフランジ１２は、上面視で円環状の部材で、シャフト１１０と一体に形成される。トップフランジ１２は、その外周面にシャーシー２４に近づくほど回転軸Ｒからの半径方向の距離が大きくなるようなテーパー面を有する。トップフランジ１２は隙間を介し外筒部１３６に環囲される。トップフランジ１２は、シャフト環囲部材４２の上面と軸方向に対向する部分を有する。
【００３７】
トップフランジ１２はトップフランジ１２はシャフト１１０と別体に形成されて接着固定されてもよい。この場合、トップフランジ１２は、例えばＳＵＳ４３０やＳＵＳ３０３などの鉄鋼材料から切削加工によって形成できる。
【００３８】
（スラストカップ）
スラストカップ１１２は、それぞれ上面視で回転軸Ｒを囲む中空環状の部材で、例えばＳＵＳ４３０や真鍮などの金属材料から切削加工によって形成される。スラストカップ１１２は、フランジ部１６と、フランジ環囲部１８と、シャフトリング１２０とを含む。フランジ部１６は、シャフト１１０から半径方向に張り出す。シャフトリング１２０は、フランジ部１６から下向きに突出してシャフト１１０を環囲する。フランジ部１６とシャフトリング１２０には、回転軸Ｒに沿ってシャフト挿入孔１６Ｂが形成される。フランジ環囲部１８は、フランジ部１６の外周からハブ２６に向かって上向きに突出する。
【００３９】
スラストカップ１１２は、フランジ部１６とフランジ環囲部１８とシャフトリング１２０とが一体に形成される。スラストカップ１１２は、フランジ部１６とフランジ環囲部１８とシャフトリング１２０との一部が別に形成されて結合されてもよい。
【００４０】
スラストカップ１１２は、シャフト挿入孔１６Ｂにシャフト１１０が挿入され、圧入などの締まり嵌めによって固定される。シャフト１１０とスラストカップ１１２の接合部には接着剤が介在してもよい。この接着剤は蛍光体を含んでもよい。スラストカップ１１２はシャフト１１０と一体に形成されてもよい。
【００４１】
（軸受体）
軸受体８は、それぞれ上面視で略円環状のシャフト環囲部材４２と、外筒部１３６とを含む。特に、軸受体８は、シャフト環囲部材４２の外周面の上部側がハブ２６の中央部に軸方向に設けられる開口２６Ｂに焼き嵌めによって固定される。シャフト環囲部材４２は圧入などの別の方法によってハブ２６に固定されてもよい。軸受体８とハブ２６との接合部には、接着剤が介在してもよい。この接着剤は蛍光体を含んでもよい。軸受体８は、シャフト環囲部材４２がハブ２６と一体に形成されてもよい。
【００４２】
（シャフト環囲部材）
シャフト環囲部材４２は、例えば、ＳＵＳ４３０や真鍮などの金属材料から切削加工して形成される。シャフト環囲部材４２は、シャフト１１０を隙間を介して環囲する内周面と、トップフランジ１２の下面と軸方向に隙間を介して対向する上端部と、フランジ１６の上面と軸方向に隙間を介して対向する下端部とを含む。シャフト環囲部材４２は、その内周面に半径方向外向きに拡径して窪んだ潤滑剤溜まり部が設けられる。
【００４３】
（外筒部）
外筒部１３６は、シャフト環囲部材４２から軸方向で上向きに突出してトップフランジ１２を環囲する。実施の形態では、一例として、外筒部１３６はシャフト環囲部材４２と一体に形成されるが、外筒部１３６はシャフト環囲部材４２と別体に形成されて接着固定されてもよい。
【００４４】
（動圧発生溝）
シャフト環囲部材４２の内周面にはラジアル動圧を発生する動圧発生溝５０が設けられる。動圧発生溝５０は、シャフト１１０の外周面に設けられてもよい。トップフランジ１２の下面と、シャフト環囲部材４２の上端部と、フランジ部１６の上面と、シャフト環囲部材４２の下端部の少なくとも一つには、スラスト動圧を発生する動圧発生溝５４が設けられる。
【００４５】
動圧発生溝５０、５４は、周方向に対して傾斜する方向に延在する縞模様溝８６が縞模様のように所定の間隔で複数設けられる。動圧発生溝５０、５４は、複数の縞模様溝８６が組み合わされて一例としてヘリングボーン形状またはスパイラル形状にされる。図１１は、シャフト環囲部材４２の内周面に形成されたヘリングボーン形状の動圧発生溝５０の一例を示す展開図である。矢印９０は周方向を示している。特に動圧発生溝５０は、折れ曲がり形状の複数の縞模様溝８６が周方向に整列している。
【００４６】
（微小溝）
図１２は縞模様溝８６の楕円Ｃで囲む部分を拡大して示す拡大斜視図である。縞模様溝８６の底部には周方向に延伸する複数の微小溝８８が軸方向に整列して形成される。複数の微小溝８８は、隣接する溝が互いに一部が軸方向に重複している。つまり、縞模様溝８６は、一部が軸方向に重複し軸方向に整列する複数の微小溝８８の集合として設けられる。縞模様溝８６の底部には隣合う微小溝の境界部が突出して突起を形成している。縞模様溝８６の底部の突起は周方向に延在している。
【００４７】
ここで、図１１から図１３を参照して縞模様溝８６を形成する方法について説明する。図１３は微小溝８８を加工する工程を模式的に示す斜視図である。
（１）動圧発生溝５０または５４が形成される部材をワークとして加工機械のスピンドルのチャックに固定して、回転軸Ｒを中心に回転させる。
（２）回転状態のワークの溝被形成面に微小溝形成用の溝加工バイト９２を突き当てる。このとき、溝加工バイト９２の先端を所定のタイミングでワークの半径方向に交番振動させることにより、微小溝８８と溝非形成部分とが周方向に交互に連設される（図１３を参照）。
（３）続いて、ワークと溝加工バイト９２の軸方向相対位置を所定の距離（ピッチ）変化させて別の微小溝８８を形成する。このことにより、周方向に延伸する二つの微小溝８８が軸方向に並んで、互いに一部が軸方向に重複して形成される（図１２を参照）。
（４）続いて、さらに別の微小溝８８を繰り返して形成することにより、周方向に延伸する複数の微小溝８８が軸方向に整列して形成される。隣接する微小溝８８は互いにが一部が軸方向に重複して形成される。これらの結果、縞模様溝８６は、一部が軸方向に重複し軸方向に整列する複数の微小溝８８の集合として形成される。
このように縞模様溝８６を微小溝８８の集合として形成することにより、縞模様溝８６の端部と中央部とで溝幅や溝深さを任意に変化させることができる。
【００４８】
動圧発生溝５０、５４は、別の例として、プレス加工、ボール転造加工、電解エッチング加工（Electro Chemical Machining)、切削加工などの方法によって形成されてもよい。
【００４９】
（保持構造）
軸受機構５２は、軸受体８と軸体６の隙間に潤滑流体を保持するように構成された保持構造と、潤滑流体の流出を抑制するシール構造と、を含む。保持構造は、トップフランジ１２とシャフト環囲部材４２の隙間と、シャフト環囲部材４２とシャフト１１０の半径方向隙間と、シャフト環囲部材４２とフランジ１６部との隙間と、流体通路ＢＰと、を含む。シール構造は、保持構造に接続され外部に向かって拡幅するテーパー空間を含んでもよい。特に、軸受機構５２は、それぞれ保持構造に接続される第１テーパー空間１２４と、第２テーパー空間１２２と、を含む。換言すると、第１テーパー空間１２４と第２テーパー空間１２２は、保持構造の内側に向かって隙間が小さくされた空間である。
【００５０】
（第１テーパー空間）
トップフランジ１２の外周面と外筒部１３６の内周面の半径方向の隙間は軸方向上側に向けて徐々に拡大するテーパー状の第１テーパー空間１２４が形成される。第１テーパー空間１２４の外壁と内壁には潤滑流体２０の第１気液界面ＬＢ１が接し、毛細管力によって潤滑流体２０の飛散を抑制するキャピラリーシール（テーパーシールと称されることもある）として機能する。
【００５１】
（第２テーパー空間）
シャフト環囲部材４２の外周面とフランジ環囲部１８の内周面の半径方向の隙間は軸方向上側に向けて徐々に拡大するテーパー状の第２テーパー空間１２２が形成される。第２テーパー空間１２２の外壁と内壁には潤滑流体２０の第２気液界面ＬＢ２が接し、毛細管力によって潤滑流体２０の飛散を抑制するキャピラリーシールとして機能する。なお、第１テーパー空間１２４と第２テーパー空間１２２の少なくとも一つは別の箇所に設けられてもよく、半径方向に延伸するように設けられてもよい。
【００５２】
（潤滑剤）
軸受機構５２は、保持構造に潤滑流体として潤滑流体２０を保持する。特に、潤滑流体２０は保持構造に注入され第１気液界面ＬＢ１から第２気液界面ＬＢ２まで連続的に介在する。潤滑流体２０は、減圧雰囲気下で第１テーパー空間１２４と第２テーパー空間１２２の少なくとも一方に、注入ノズルから所定量注入される。注入された潤滑流体２０は毛細管現象により保持構造の隙間に浸透することによって所定の領域に移送される。潤滑流体２０は、雰囲気を復圧することによって強制的に移送されてもよい。
潤滑流体２０は基油に蛍光体が添加されており、部材の隙間から潤滑流体２０が漏れ出している場合には、所定の波長の光を照射することにより容易に検出することができる。
【００５３】
（流体通路）
軸受機構５２は軸受体８と軸体６の少なくとも一方に流体通路ＢＰが設けられる。流体通路ＢＰは、シャフト環囲部材４２において、動圧発生溝５０の半径方向外側の位置に軸方向に延伸して設けられる。
【００５４】
（軸受機構）
軸受体８が軸体６に対して相対的に回転するとき、動圧発生溝５０、５４は潤滑流体２０に動圧を発生させる。この動圧によって軸受体８に接続された回転体４は、軸体６に接続された静止体２に対して非接触状態で半径方向および軸方向に支持される。
【００５５】
（軸受固定部）
軸受機構５２は、軸方向の一端側がトップカバー２２に固定され、他端側がシャーシー２４に固定される。特に、軸受機構５２は、シャフトリング１２０が軸受孔２４Ｄに挿入され接着固定される。シャフトリング１２０は異なる方法によって軸受孔２４Ｄに固定されてもよい。軸受機構５２は、フランジ環囲部１８がステータコア３２の円環部に接着固定される。軸受機構５２は、ステータコア３２に対して非固定としてもよい。
【００５６】
（キャップ）
軸受機構５２は、軸受体８と軸体６の隙間の少なくとも一部を覆うキャップ１３２を含む。キャップ１３２は、それぞれ上面視で環状の円盤部と円筒部とを含み、例えばＳＵＳ３０３等の金属材料から切削加工によって形成される。キャップ１３２は、円盤部が半径方向に延在し、円筒部が円盤部の外周部から軸方向で下向きに延在する。キャップ１３２は円筒部が外筒部１３６に嵌合して軸受体８に接着固定される。キャップ１３２を固定する接着剤は蛍光体を含んでもよい。特に、キャップ１３２の円筒部は外筒部１３６の半径方向に窪む縮径部に収納される。キャップ１３２は、円盤部が第１テーパー空間１２４の開口を覆い、潤滑流体２０のディスク収納空間７０への飛散を抑制する。キャップ１３２は、軸受体８に代わりに軸体６に固定されてもよい。
【００５７】
キャップ１３２は、プレス加工などの他の方法によって形成されてもよい。キャップ１３２は、樹脂材料など他の材料からモールディングによって形成されてもよい。
【００５８】
次に、以上のように構成されたディスク駆動装置１００の動作について説明する。磁気記録ディスク６２を回転させるために、３相の駆動電流がコイル３０に供給される。その駆動電流がコイル３０を流れることにより、各ステータコア３２の突極に沿って界磁磁束が発生する。この界磁磁束とマグネット２８の駆動磁極の磁束との相互作用によってマグネット２８にトルクが与えられ、ハブ２６およびそれに嵌合された磁気記録ディスク６２が回転する。同時にボイスコイルモータ６６がスイングアーム６４を揺動させることによって、記録再生ヘッドが磁気記録ディスク６２上の揺動範囲を行き来する。記録再生ヘッドは磁気記録ディスク６２に記録された磁気データを電気信号に変換して制御基板（不図示）へ伝え、また制御基板から電気信号の形で送られてくるデータを磁気記録ディスク６２上に磁気データとして書き込む。
【００５９】
上述した構成を備えるディスク駆動装置１００の製造方法について説明する。以下では、ハブ２６と、シャーシー２４と、及び流体軸受機構５２の構成部材をワークと呼ぶ。以下、ハブ２６を例として、ワーク２４０の製造工程について説明する。図３は、実施形態に係るディスク駆動装置１００の製造方法を説明するブロック図である。本実施形態に係るディスク駆動装置１００の製造方法は、ハブを製造する工程２０８と、製造されたハブを他の部材と組み合わせてディスク駆動装置１００を組み立てる工程２０６とを主な工程として含む。
【００６０】
ワーク２４０としてのハブ２６を製造する工程２０８は、切削加工工程２０２及び洗浄工程２０４とを含む。切削加工工程２０２では、鍛造アルミニウムなどからなる加工前のワーク２４０がIN側から投入され、所定の形状に切削加工されたハブ２６がOUT側から取り出される。切削加工工程２０２において、加工前のワーク２４０は例えば旋盤などの切削機械２６６のチャック２６４に固定されて回転させる。ワーク２４０が回転している状態でワーク２４０の周設表面に切削ツール２５０の刃先２５２を接触させてこの周設表面を切削加工する。例えば、回転している状態のワーク２４０の円筒部の外周面２４２に切削ツール２５０の刃先２５２を当接することで、ワーク２４０は円筒部の外周面２４２が切削される。続けて、ワーク２４０は、他の外周面、内周面、及び端面などの周設表面が同様に切削加工され、ハブ２６の所定の形状に形成される。
【００６１】
図４は、切削加工工程２０２におけるワーク２４０の周辺を示す斜視図である。図５と図６は、図４のワークと切削ツールを左から視た図及び下面から視た図である。図７、図８、図９、及び図１０は、切削ツールと潤滑剤ミストを示す上面図、右側面図、下面図、及び左側面図である。
以下、ワーク２４０の回転中心に沿った座標軸をＺ軸と、Ｚ軸に直行する座標軸をＸ軸と、Ｚ軸及びＸ軸に直行する座標軸をＹ軸として説明する。
【００６２】
切削加工工程２０２では、ワーク２４０は切削機械２６６によって図４左側から視てＣＣＷ方向に回転駆動される。切削ツール２５０は、刃先２５２がワーク２４０に向かうように配置され、Ｘ軸に沿って移動するように制御される。刃先２５２が移動してワーク２４０に当接することによって、ワーク２４０の表面が切削加工される。同時に刃先２５２をＹ軸に沿って移動することにより、ワーク２４０の円筒面が切削加工される。切り粉２４４は、図４で下向きに生成され、剥離後は重力により落下する。
【００６３】
切削加工工程２０２では、切削ツール２５０の刃先２５２に向けて気体と混合された潤滑剤２５６のミスト２５４（破線で示す）を吹き付けながら切削加工が実行される。吹き付ける潤滑剤２５６の量が多いとワーク２４０に付着する潤滑剤の量が多くなることがある。ここで、吹き付けるミスト２５４の１時間当たりの潤滑剤２５６の量を吹付率と定義すると、吹付率が１時間当たり１リットル以下である場合に、ワーク２４０に付着する潤滑剤の量が少なくなり、所望の清浄度に達するまでに要する洗浄時間は実用的な範囲内であった。吹付率が１時間当たり０．２リットル以下である場合は洗浄時間が短くなる。吹付率が１時間当たり０．０６リットル以下である場合は洗浄時間が一層短くなる。吹付率が１時間当たり０．０３リットル以下である場合は洗浄に要する設備の規模を小さくできる。
【００６４】
一方、吹き付ける潤滑剤２５６の量が少ないと、切削抵抗が増大し、あるいは切削ツールの摩耗が増大して寸法精度が低下することがある。吹付率が１時間当たり０．００５リットル以上である場合に、切削ツールの摩耗は実用的な範囲内であった。また、吹付率が１時間当たり０．０１リットル以上である場合に、切削ツールの摩耗は一層良好になった。
【００６５】
切削加工工程２０２では、ミスト２５４は、切削ツール２５０がワーク２４０に接触している接触時と接触していない非接触時とに連続的に吹きつけられる。使用する潤滑剤２５６を低減する目的で、切削加工工程において、ミスト２５４は適宜断続的に吹きつけられてもよい。
【００６６】
潤滑剤２５６のミスト２５４を発射する発射口２６０が刃先２５２の先端部からの所定の距離離れた位置に設けられる。特に、潤滑剤２５６のミスト２５４は発射口２６０から刃先２５２の先端部に向けて噴出される。発射口２６０が刃先２５２に近いと、発射口２６０がワーク２４０に接触して傷つける可能性が増大する。刃先の先端部に最も近い発射口の縁までの距離を発射口と刃先の最短距離と定義した場合、発射口２６０と刃先２５２の最短距離が１ｍｍ以上である場合は、発射口２６０がワーク２４０に接触する可能性は実用上で問題のない範囲内であった。本実施の形態の切削加工工程２０２では、発射口２６０と刃先２５２の最短距離は３ｍｍ以上に設定しており、発射口２６０がワーク２４０に接触する可能性はさらに低減されている。
【００６７】
一方、発射口２６０が刃先２５２から遠いと、発射口２６０から吹きつけられたミスト２５４が広く拡散して、刃先２５２に到達するミスト２５４の割合が小さくなり、多量のミスト２５４を吹付けなければならないため、ミスト２５４の無駄が増大する。発射口２６０と刃先２５２の最短距離が２０ｍｍ以下である場合は、ミスト２５４の無駄は実用上で問題のない範囲内であった。本実施の形態の切削加工工程２０２では、発射口２６０と刃先２５２の最短距離は１０ｍｍ以下に設定しており、ミスト２５４の無駄はさらに低減されている。
【００６８】
発射口２６０は、切削ツール２５０に対して非固定状態にされてもよい。本実施の形態の切削加工工程２０２では、発射口２６０は切削ツール２５０に直接固定されている。この場合は、発射口２６０と刃先２５２の位置関係の変化が少ない。
【００６９】
潤滑剤２５６のミスト２５４は、切削ツール２５０の外部に設けた、例えばパイプなどの供給機構から供給されてもよい。本実施の形態の切削加工工程２０２では、潤滑剤２５６のミスト２５４が切削ツール２５０に設けた通路２６２を通じて供給される。外部に設けた供給機構がワーク２４０に接触する可能性が低くなる。図８は切削ツール２５０の内部に設けた通路２６２を破線で示す。通路２６２はミスト２５４の供給源に接続される幹通路２６２Ａと、幹通路２６２Ａからそれぞれの発射口２６０に向けて分岐する枝通路２６２Ｂとを含む。幹通路２６２Ａの直径は、例えば３〜５ｍｍにしてもよい。枝通路２６２Ｂの直径は幹通路２６２Ａより小さく、例えば０．５〜２ｍｍにしてもよい。
【００７０】
発射口２６０は、一つまたは複数設けられてもよい。本実施の形態の切削加工工程２０２では、上部、下部、左側面、及び右側面のそれぞれに四つの発射口２６０が設けられている。四つの発射口２６０はそれぞれ刃先２５２の先端に向かって潤滑剤２５６のミスト２５４を発射するように開口が設けられている。なお、図７から図１０では、理解を容易にするため一部のミスト２５４の図示を省いている。
【００７１】
本実施の形態の切削加工工程２０２では、それぞれの潤滑剤２５６のミスト２５４の少なくとも一部が刃先２５２の位置で交わるように、それぞれの発射口２６０の位置と方向が設定されている。図７から図１０で、刃先２５２の上側の発射口２６０から吹き付けられる潤滑剤２５６のミスト２５４と、刃先２５２の下側の発射口２６０から吹き付けられる潤滑剤２５６のミスト２５４との少なくとも一部が、刃先２５２の位置で交わるように設定されている。このように設定することにより、潤滑剤２５６による潤滑や冷却の効果の偏りを小さくできる。また、本実施の形態の切削加工工程２０２では、図７から図１０で、刃先２５２の左側の発射口２６０から吹き付けられる潤滑剤２５６のミスト２５４と、刃先２５２の右側の発射口２６０から吹き付けられる潤滑剤２５６のミスト２５４との少なくとも一部が、刃先２５２の位置で交わるように設定されている。この場合、潤滑剤２５６による冷却・潤滑の効果の偏りを一層小さくできる。
【００７２】
潤滑剤２５６のミスト２５４を発生する方法に制限はないが、一例として、潤滑剤２５６にキャリアガスを作用させて発生させてもよい。本実施の形態のミスト発生機構は、シリンダおよびピストンと、シリンダに接続された中間タンクと、中間タンクと切削ツール２５０の通路２６２とを接続するバルブ付きの配管とを含んでいる。シリンダ内に潤滑剤２５６とキャリアガスとを導入してピストンで圧縮することによりミスト２５４を生成し中間タンクに蓄積する。中間タンク内の圧力が所定の範囲内である状態で、バルブを所定のタイミングで開くことにより、ミスト２５４は発射口２６０から発射される。
【００７３】
本実施の形態の切削加工工程２０２では、キャリアガスは窒素と二酸化炭素の少なくともひとつを含み、酸素の割合が１０％以下である気体を使用している。この場合、ワーク２４０や刃先２５２の酸化を抑制することができる。本実施の形態の切削加工工程２０２では冷却されたキャリアガスを使用している。この場合、ワーク２４０や刃先２５２の温度上昇を抑制することができる。ここで、冷却されたキャリアガスとは、雰囲気より低温であるキャリアガスをいう。
【００７４】
本実施の形態の切削加工工程２０２では、潤滑剤２５６のミスト２５４がワーク２４０から発生した切り粉２４４に当たるように実行される。この場合、切り粉２４４の剥離が促進される。
【００７５】
潤滑剤２５６に特別の制限はないが、潤滑剤２５６は、例えば合成油を主成分として含んでもよい。合成油は不純物が少なく油分子の大きさが揃っている点で好ましい。例えば、エステル系の合成油は容易に微小粒子を生成し、微小粒子は刃先２５２によく密着するから少量でも効率的に潤滑や冷却の効果を生じうる。エステル系の合成油を主成分として含む潤滑剤２５６を使用することによって、ワーク２４０への潤滑剤２５６の付着量を低減できる。本実施の形態の切削加工工程２０２では、潤滑剤２５６はポリオールエステルを主成分として含んでおり、ワーク２４０への付着量を一層低減できる。
【００７６】
切削加工工程２０２により加工されたハブ２６は、洗浄工程２０４に搬送されて洗浄される。洗浄工程２０４において、ハブ２６は洗浄液に浸されながら超音波を照射される。洗浄されたハブ２６は乾燥されＯＵＴ側から取り出される。その後、ハブ２６はディスク駆動装置１００を組み立てる工程２０６に搬送され、シャーシー２４、軸受機構、及びその他の部材と結合され、所定の検査を経てディスク駆動装置１００が製造される。
【００７７】
以上の切削加工工程２０２は、ディスク駆動装置１００を構成するハブ２６以外の部材の切削加工に適用されてもよい。特に、切削加工工程２０２は、シャーシー２４に軸受を支持する部分である軸受孔２４Ｄ、軸体６、及び軸受体８の周設表面の切削加工に適用することができる。また、本発明の潤滑剤のミストを刃先に吹き付けながらワークに接触させて所定の形状を形成する技術は、各種部位の切削加工、特に図１１、図１２の縞模様溝８６の形成に適用することができる。
【００７８】
以上、実施の形態に係るディスク駆動装置に係るディスク駆動装置の構成と動作について説明した。これらは例示であり、それらの各構成要素の組み合わせにいろいろな展開が可能なこと、またそうした構成も本発明の範囲にあることは当業者に理解されるところである。
【００７９】
上記実施の形態では、回転体４が軸受体８に結合され、軸体６が静止体２に結合される場合について説明したが、本発明はこれに限定されない。回転体４が軸体６に結合され、軸受体８が静止体２に結合される構成を採用してもよい。
【符号の説明】
【００８０】
１００  ディスク駆動装置、
２  静止体、
４  回転体、
６  軸体、
８  軸受体、
１２  トップフランジ、
１８  フランジ環囲部、
２０  潤滑流体
２２  トップカバー、
２４  シャーシー、
２６  ハブ、
２８  マグネット、
３０  コイル、
３２  ステータコア、
３６  外筒部、
４２  シャフト環囲部材、
５０、５４  動圧発生溝、
５２  流体軸受機構、
６０  データリード／ライト部、
６２  磁気記録ディスク、
６４  スイングアーム、
６６  ボイスコイルモータ、
６８  ピボットアセンブリ、
７０  ディスク収納空間、
７２  スペーサー、
７４  中央ネジ、
７８  クランパー、
８０  第１孔
８２  第２孔
８４  第３孔
８６  縞模様溝
８８  微小溝
９０  矢印
９２  溝加工バイト、
１０４  周辺ネジ、
１１０  シャフト、
１１２  スラストカップ
１３６  外筒部、
１３８  ヨーク、
２５０  切削ツール
２５２  刃先
２５４  ミスト
２５６  潤滑剤
２６０  発射口
２６２  通路
２６４  チャック
２６６  加工機械
ＢＰ  連通路、
ＬＢ１  第１気液界面
ＬＢ２  第２気液界面
Ｒ  回転軸。
【図１】
2016024839.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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