(57)【要約】      （修正有）【課題】移送アーム旋回時の回転できない範囲の形成を防止した回転制限装置及びこれを含む基板移送装置用回転制限装置を提供する。【解決手段】第２制限部材２２０は、第１制限部材２１０が回転して前記第２制限部材２２０と接触すれば共に回転し、移動部材２３０は、前記第２制限部材２２０が前記第１制限部材２１０の接触によって回転時に前記第２制限部材２２０の回転範囲が制限されるように前記第２制限部材２２０の位置を制御して旋回部１４０の１回転を保障しながら前記旋回部１４０の連続回転を防止する。【効果】第２制限部材２２０が走行フレーム１５０に移動可能に結合されることにより、旋回部１４０が回転できない範囲が形成されることを防止することができ、基板Ｓを移送する作業の効率性を向上させることができる。【選択図】図２
2016074080.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を支持するための移送アームに連結され、旋回軸を中心に回転して前記移送アームを回転させる旋回部に結合される第１制限部材と、
前記旋回部が回転可能に結合される走行ベースに回転可能に結合され、前記第１制限部材の回転によって前記第１制限部材に接触して前記第１制限部材の回転を制限する第２制限部材と、
前記第２制限部材の位置を制御する移動部材とを含み、かつ
前記第２制限部材は、
前記第１制限部材が回転して前記第２制限部材と接触すれば共に回転し、
前記移動部材は、
前記第２制限部材が前記第１制限部材の接触によって回転時に前記第２制限部材の回転範囲が制限されるように前記第２制限部材の位置を制御して前記旋回部の１回転を保障しながら前記旋回部の連続回転を防止することを特徴とする、基板移送装置用回転制限装置。
【請求項２】
前記移動部材は、
前記第２制限部材が前記第１制限部材との接触によって第１方向に回転して前記走行ベースに接触する第１位置、及び前記第２制限部材が前記第１制限部材との接触によって前記第１方向と反対になる第２方向に回転して前記走行ベースに接触する第２位置の間に前記第２制限部材が位置するように前記第２制限部材の位置を制御することを特徴とする、請求項１に記載の基板移送装置用回転制限装置。
【請求項３】
前記移動部材は前記第２制限部材を前記第２方向に移動させるために前記第２制限部材側に気体を噴射する第１噴射機構；及び前記第２制限部材を前記第１方向に移動させるために前記第２制限部材側に気体を噴射する第２噴射機構を含み、
前記第１噴射機構及び前記第２噴射機構に基づいて前記第２制限部材が前記第１位置及び前記第２位置の間に位置するように前記第２制限部材を制御することを特徴とする、請求項２に記載の基板移送装置用回転制限装置。
【請求項４】
前記移動部材は前記第２制限部材に前記第２方向に弾性力を提供する第１弾性部材；及び前記第２制限部材に前記第１方向に弾性力を提供する第２弾性部材を含み、
前記第１弾性部材及び前記第２弾性部材に基づいて前記第２制限部材が前記第１位置及び前記第２位置の間に位置するように前記第２制限部材を制御することを特徴とする、請求項２に記載の基板移送装置用回転制限装置。
【請求項５】
基板を移送させるための移送アームと、
前記移送アームが位置する高さが変更されるように前記移送アームを昇降させるための昇降部と、
前記移送アームが向かう方向が変更されるように前記昇降部を回転させる旋回部と、
前記旋回部の回転を制限するための請求項１乃至請求項４のうち、いずれか１つの回転制限装置と、
を含むことを特徴とする、基板移送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を移送するための基板移送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ディスプレイ装置、太陽電池、半導体素子など（以下、‘電子部品’という）はさまざまな工程を経て製造される。このような製造工程は、前記電子部品を製造するための基板（Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ）を用いてなされる。例えば、前記製造工程は基板上に導電体、半導体、誘電体などの薄膜を蒸着するための蒸着工程、蒸着された薄膜を所定パターンに形成するためのエッチング工程などを含むことができる。このような製造工程は該当工程を遂行する工程チャンバでなされる。基板移送装置は、前記工程チャンバの間に基板を移送するためのものである。
【０００３】
図１は、従来技術に係る基板移送装置を示す概略的な斜視図である。
【０００４】
図１を参考すると、従来技術に係る基板移送装置１は、基板Ｓを支持する移送アーム１０、前記移送アーム１０を昇降させるための昇降部２０、前記移送アーム１０を回転させるための旋回部３０、及び前記旋回部３０の回転範囲を制限するための制限部４０を含む。
【０００５】
前記移送アーム１０は、前記基板Ｓを支持した状態で水平方向に移動するにつれて前記基板１０を移送させる。前記移送アーム１０は、前記基板１０を支持する支持ハンド１１、前記支持ハンド１１を水平方向に移送するためのアームユニット１２、及び一側に前記アームユニット１２が結合され、他側に前記昇降部２０が結合されるアームベース１３を含む。
【０００６】
前記昇降部２０は、前記移送アーム１０を上下方向に移動させる。前記昇降部２０は前記アームベース１３を昇降させることによって、前記アームベース１３に結合される前記支持ハンド１１、及び前記アームユニット１２を昇降させる。前記昇降部２０は、前記旋回部３０に結合される第１昇降ユニット２１、及び一側が前記第１昇降ユニット２１と結合され、他側が前記移送アーム１０と結合される第２昇降ユニット２２を含む。
【０００７】
前記旋回部３０は、前記昇降部２０を回転させる。前記旋回部３０は、旋回軸３１を中心に前記昇降部２０を回転させることによって、前記移送アーム１０に支持された前記基板Ｓを回転させる。
【０００８】
前記制限部４０は、前記旋回部３０の回転範囲を制限する。前記制限部４０は、前記旋回部３０に結合される第１制限部材４１と、前記旋回部３０の回転範囲を制限するために前記旋回部３０が結合される走行フレーム５０に結合される第２制限部材４２を含む。
【０００９】
前記第１制限部材４１は、前記旋回部３０に結合される。前記旋回部３０が回転する場合、前記第１制限部材４１は前記旋回部３０の回転範囲が制限されるように前記第２制限部材４２と接する。
【００１０】
前記第２制限部材４２は、前記走行フレーム５０に結合される。前記第２制限部材４２は、前記旋回軸３１が時計方向または時計反回り方向に回転するにつれて前記第１制限部材４１の移動を制限することによって、前記旋回部３０の回転範囲を制限する。
【００１１】
ここで、従来技術に係る基板移送装置１は、前記第２制限部材４２により前記第１制限部材４１の移動経路が制限されるにつれて前記旋回部３０の回転範囲が制限される。これによって、従来技術に係る基板移送装置１は前記第２制限部材４２の厚さにより前記旋回部３０が回転できない範囲（Ｒ）が形成される。したがって、従来技術に係る基板移送装置１は前記第２制限部材４２の厚さによって前記旋回部３０の回転範囲が狭くなることによって、前記旋回部３０の活動領域が制限されるので、前記基板Ｓを移送する作業の効率性を低下させる問題がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は前述したような問題点を解決するために案出したものであって、第２制限部材の厚さにより旋回軸が回転できない範囲が形成されることを防止することができる回転制限装置及びこれを含む基板移送装置を提供するためのものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前述したような課題を解決するために、本発明は以下のような構成を含むことができる。
【００１４】
本発明に係る基板移送装置用回転制限装置は、基板を支持するための移送アームに連結され、旋回軸を中心に回転して前記移送アームを回転させる旋回部に結合される第１制限部材；前記旋回部が回転可能に結合される走行ベースに回転可能に結合され、前記第１制限部材の回転によって前記第１制限部材に接触して前記第１制限部材の回転を制限する第２制限部材；及び前記第２制限部材の位置を制御する移動部材；を含み、かつ前記第２制限部材は、前記第１制限部材が回転して前記第２制限部材と接触すれば共に回転し、前記移動部材は、前記第２制限部材が前記第１制限部材の接触によって回転時に前記第２制限部材の回転範囲が制限されるように前記第２制限部材の位置を制御して前記旋回部の１回転を保障しながら前記旋回部の連続回転を防止することを特徴とする。
【００１５】
本発明に係る基板移送装置用回転制限装置によれば、前記移動部材は前記第２制限部材が前記第１制限部材との接触によって第１方向に回転して前記走行ベースに接触する第１位置、及び前記第２制限部材が前記第１制限部材との接触によって前記第１方向と反対になる第２方向に回転して前記走行ベースに接触する第２位置の間に前記第２制限部材が位置するように前記第２制限部材の位置を制御することを特徴とする。
【００１６】
本発明に係る基板移送装置用回転制限装置によれば、前記移動部材は前記第２制限部材を前記第２方向に移動させるために前記第２制限部材側に気体を噴射する第１噴射機構；及び前記第２制限部材を前記第１方向に移動させるために前記第２制限部材側に気体を噴射する第２噴射機構を含み、前記第１噴射機構及び前記第２噴射機構に基づいて前記第２制限部材が前記第１位置及び前記第２位置の間に位置するように前記第２制限部材を制御することを特徴とする。
【００１７】
本発明に係る基板移送装置用回転制限装置によれば、前記移動部材は前記第２制限部材に前記第２方向に弾性力を提供する第１弾性部材；及び前記第２制限部材に前記第１方向に弾性力を提供する第２弾性部材を含み、前記第１弾性部材及び前記第２弾性部材に基づいて前記第２制限部材が前記第１位置及び前記第２位置の間に位置するように前記第２制限部材を制御することを特徴とする。
【００１８】
本発明に係る基板移送装置は、基板を移送させるための移送アーム；前記移送アームが位置する高さが変更されるように前記移送アームを昇降させるための昇降部；前記移送アームが向かう方向が変更されるように前記昇降部を回転させる旋回部；及び前記旋回部の回転を制限するための請求項１乃至請求項４のうち、いずれか１つの回転制限装置を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、次のような効果を得ることができる。
【００２０】
本発明は、第２制限部材が走行フレームに移動可能に結合されることによって、第２制限部材の厚さにより旋回部が回転できない範囲が形成されることを防止し、旋回部が連続回転できないように回転を制限できるので、これによって基板を移送する作業の効率性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】従来技術に係る基板移送装置を示す概略的な斜視図である。
【図２】本発明に係る基板移送装置を示す概略的な斜視図である。
【図３】図２の基板移送装置における回転制限装置を説明するためにＡ部分を拡大した第１制限部材が回転する形態の拡大図である。
【図４】図２の基板移送装置における回転制限装置を説明するためにＡ部分を拡大した第１制限部材が他の方向に回転する形態の拡大図である。
【図５】図２の基板移送装置における回転制限装置の変形例を示すためにＡ部分を拡大した拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本明細書で各図面の構成要素に参照番号を付加するに当たって、同一な構成要素に限ってはたとえ他の図面上に表示されてもできる限り同一な番号を与えていることに留意すべきである。
【００２３】
一方、本明細書で叙述される用語の意味は、次の通り理解されるべきである。
単数の表現は文脈上明白に異なるように定義しない限り、複数の表現を含むと理解されなければならず、“第１”、“第２”などの用語は１つの構成要素を他の構成要素から区別するためのものであって、これら用語により権利範囲が限定されてはならない。
【００２４】
“含む”または“有する”などの用語は、１つまたはその以上の他の特徴や数字、段階、動作、構成要素、部分品、またはこれらを組み合わせたものの存在または付加可能性を予め排除しないものと理解されるべきである。
【００２５】
“少なくとも１つ”の用語は１つ以上の関連項目から提示可能な全ての組合を含むものと理解されるべきである。例えば、“第１項目、第２項目、及び第３項目のうちの少なくとも１つ”の意味は、第１項目、第２項目、または第３項目の各々だけでなく、第１項目、第２項目、及び第３項目のうち、２つ以上から提示できる全ての項目の組合を意味する。
【００２６】
以下、本発明に係る基板移送装置の好ましい実施形態を添付した図面を参照して詳細に説明する。本発明に係る基板移送装置用回転制限装置は、本発明に係る基板移送装置に含まれるので、本発明に係る基板移送装置の好ましい実施形態を説明しながら共に説明する。
【００２７】
図１は従来技術に係る基板移送装置を示す概略的な斜視図であり、図２は本発明に係る基板移送装置を示す概略的な斜視図であり、図３は図２の基板移送装置における回転制限装置を説明するためにＡ部分を拡大した第１制限部材が回転する形態の拡大図であり、図４は図２の基板移送装置における回転制限装置を説明するためにＡ部分を拡大した第１制限部材が他の方向に回転する形態の拡大図である。
【００２８】
図２乃至図４を参考すると、本発明に係る基板移送装置１００は基板１１０を移送するためのものである。前記基板１１０は、ディスプレイ装置、太陽電池、半導体素子などの電子部品を製造するためのものである。例えば、本発明に係る基板移送装置１００は、前記基板１１０に対する蒸着工程、エッチング工程などの製造工程を遂行する工程チャンバの間に前記基板１１０を移送することができる。
【００２９】
本発明に係る基板移送装置１００は、前記基板１１０を移送させるための移送アーム１２０、前記移送アーム１２０が位置する高さが変更されるように前記移送アームを昇降させるための昇降部１３０、前記移送アーム１２０が向かう方向が変更されるように前記昇降部１３０を回転させる旋回部１４０、及び前記旋回部１４０が連続回転できないように回転を制限するための回転制限装置２００を含む。
【００３０】
前記移送アーム１２０は、前記基板１１０を移送させるために前記基板１１０の下面を支持する。前記昇降部１３０は、前記基板１１０が配置された位置に前記移送アーム１２０を昇降させる。前記旋回部１４０は、前記移送アーム１２０が前記基板１１０が配置された方向に向けるように前記移送アーム１２０を回転させる。前記回転制限装置２００は、前記旋回部１４０の連続回転を制限するために前記旋回部１３０が結合される走行ベース１５０に移動可能に結合される。これによって、本発明に係る基板移送装置１００は前記回転制限装置２００が前記走行フレーム１５０に移動可能に結合されることによって、前記回転制限装置２００の厚さにより前記旋回部１４０が回転できない範囲が形成されることを防止することができる。したがって、本発明に係る基板移送装置１００は、前記旋回部１４０が回転できない範囲が形成されることを防止することによって、前記基板１１０を移送させる作業において、前記旋回部１４０が回転できない範囲に前記基板１１０を移送することができるので、前記基板１１０を移送させる作業の効率性を向上させることができる。
【００３１】
以下、前記移送アーム１２０、前記昇降部１３０、前記旋回部１４０、及び前記回転制限装置２００に関して添付した図面を参照して具体的に説明する。
【００３２】
図２乃至図４を参考すると、前記移送アーム１２０は前記基板１１０を移送させる。前記移送アーム１２０は、前記昇降部１３０に回転可能に結合される。前記移送アーム１２０は駆動部（図示せず）により折れたり広がったりすることによって、前記基板１１０を前記昇降部１３０の昇降経路と垂直な方向に移送させることができる。前記移送アーム１２０は、前記基板１１０を支持するための支持ハンド１２１、前記支持ハンド１２１を移動させるためのアームユニット１２２、及び前記アームユニット１２２が結合されるアームベース１２３を含む。
【００３３】
前記支持ハンド１２１は、前記基板１１０の下面に接触することによって、前記基板１１０を支持することができる。前記支持ハンド１２１は、前記アームユニット１２２に回転可能に結合される。
【００３４】
前記アームユニット１２２は、前記支持ハンド１２１を移動させる。前記アームユニット１２２は、前記アームベース１２３に回転可能に結合される。前記アームユニット１２２が折れるか、または広がるように回転されることによって、前記支持ハンド１２１は前記基板１１０側に移動するか、または前記基板１１０から遠ざかる方向に移動する。
【００３５】
前記アームベース１２３は、前記昇降部１３０に結合される。前記アームベース１２３には前記アームユニット１２２が回転可能に結合される。前記アームベース１２３は、前記昇降部１３０により昇降できる。前記支持ハンド１２１及び前記アームユニット１２２は、前記アームベース１２３が前記昇降部１３０により昇降されるにつれて共に昇降できる。これによって、前記昇降部１３０は前記支持ハンド１２１が垂直方向に位置する高さを調節することができる。
【００３６】
前記昇降部１３０は、前記移送アーム１２０が位置する高さが変更されるように前記移送アーム１２０を昇降させる。前記昇降部１３０が前記移送アーム１２０を昇降させることによって、前記移送アーム１２０に支持された前記基板１１０を前記昇降部１３０の昇降経路に沿って移動させることができる。前記昇降部１３０は、前記旋回部１４０に結合できる。
【００３７】
前記旋回部１４０は、前記移送アーム１２０が向かう方向が変更されるように前記昇降部１３０を回転させる。前記旋回部１４０が前記旋回軸１４１を中心に回転するにつれて前記昇降部１３０及び前記移送アーム１２０が前記旋回軸１４１を中心に共に回転することができる。例えば、前記旋回部１４０は前記支持ハンド１２１が前記搬入工程及び前記搬出工程を遂行する工程チャンバ、またはカセットに向かうように前記アームベース１２３を回転させることができる。
【００３８】
前記回転制限装置２００は、前記旋回部１４０が連続回転できないように回転を制限する。前記回転制限装置２００は、前記旋回部１４０が一方向のみに回転することを防止することによって、前記移送アーム１２０、前記昇降部１３０、及び前記旋回部１４０に動力を伝達するためのケーブル（図示せず）が前記旋回部１４０に巻かれることを防止することができる。前記回転制限装置２００は、前記旋回部１４０に結合される第１制限部材２１０、前記走行ベース１５０に回転可能に結合される第２制限部材２２０、及び前記第２制限部材２２０を移動させるための移動部材２３０を含む。
【００３９】
前記第１制限部材２１０は、前記基板１１０を支持するための前記移送アーム１２０が向かう方向を変更するために前記旋回軸１４１を中心に回転する旋回部１４０に結合される。前記旋回部１４０が回転するにつれて前記第１制限部材２１０が前記第２制限部材２２０に接することによって、前記旋回部１４０が連続回転できないように回転を制限することができる。
【００４０】
前記第２制限部材２２０は、前記旋回部１４０が回転可能に結合される前記走行ベース１５０に回転可能に結合される。前記第２制限部材２２０は、前記第１制限部材２１０が第１方向に回転するにつれて前記走行ベース１５０に接触する第１位置に移動できる。また、前記第２制限部材２２０は前記第１制限部材２１０が第１方向と反対になる第２方向に回転するにつれて前記走行ベース１５０に接触する第２位置に移動できる。例えば、前記第１方向は時計方向、前記第２方向は時計反回り方向でありうる。
【００４１】
前記移動部材２３０は、前記第２制限部材２２０が前記第１位置及び前記第２位置の間に位置するように前記第２制限部材２２０を移動させる。例えば、前記第２制限部材２２０が前記第１位置に位置する場合、前記移動部材２３０は前記第２制限部材２２０が前記第２位置に向かう方向に移動されるようにする。前記第２制限部材２２０が前記第２位置に位置する場合、前記移動部材２３０は前記第２制限部材２２０が前記第１位置に向かう方向に移動されるようにする。これによって、前記移動部材２３０は前記第２制限部材２２０が前記第１位置及び前記第２位置の間に位置するようにすることができる。
【００４２】
したがって、本発明に係る基板移送装置１００は前記第２制限部材２２０が前記走行フレーム１５０に回転可能に結合されることによって、前記第２制限部材２２０の厚さだけ前記旋回部１４０の回転範囲が狭くなることを防止することができる。
【００４３】
即ち、前記第１制限部材２１０が旋回軸１４１を中心に第１方向及び第２方向に回転時、前記第２制限部材２２０の位置に到達して接触すれば、前記移動部材２３０により第２制限部材２２０が第１位置及び第２位置の間に位置して第１制限部材２１０が移動部材２３０に係止されるようにすることによって、第２制限部材２２０が第１制限部材２１０の接触によって回転時に第２制限部材２２０の回転範囲を制限して旋回部１４０の１回転を保障しながら旋回部１４０の連続回転を防止できるようになる。
【００４４】
これによって、本発明に係る基板移送装置１００は前記第２制限部材２２０の厚さだけ前記旋回部１４０の回転範囲が増えるようになるので、前記基板１１０を移送する作業の効率性を向上させることができる。
【００４５】
前記移動部材２３０は、前記第２制限部材２２０に第２方向に弾性力を提供する第１弾性部材２３１及び前記第２制限部材２２０に第１方向に弾性力を提供する第２弾性部材２３２を含む。
【００４６】
前記第１弾性部材２３１は、前記第２制限部材２２０が前記第１位置から前記第２位置に移動されるように前記第２制限部材２２０に前記第２方向に弾性力を提供する。前記第１弾性部材２３１は、前記走行ベース１５０で前記第１位置に結合される。例えば、前記第１制限部材２１０により前記第２制限部材２２０が前記第１位置に移動される場合、前記第２制限部材２２０は前記第１弾性部材２３１の弾性力により前記第１位置から前記第２位置に移動できる。
【００４７】
前記第２弾性部材２３２は、前記第２制限部材２２０が前記第２位置から前記第１位置に移動されるように前記第２制限部材２２０に前記第１方向に弾性力を提供する。前記第２弾性部材２３２は、前記走行ベース１５０で前記第２位置に結合される。例えば、前記第１制限部材２１０により前記第２制限部材２２０が前記第２位置に移動される場合、前記第２制限部材２２０は前記第２弾性部材２３２の弾性力により前記第２位置から前記第１位置に移動できる。ここで、前記第１弾性部材２３１及び前記第２弾性部材２３２はテンションスプリングでありうる。
【００４８】
これによって、本発明に係る基板移送装置１００は前記第２制限部材２２０が前記第１位置と前記第２位置との間に位置するように前記第１弾性部材２３１及び前記第２弾性部材２３２が前記第２制限部材２２０を移動させることによって、前記第２制限部材２２０の厚さだけ前記旋回部１４０の回転範囲が狭くなることを防止することができる。したがって、本発明に係る基板移送装置１００は前記旋回部１４０の回転範囲が狭くなることを防止することができるので、前記工程チャンバの間に前記基板１１０を移送させる作業に効率性をさらに向上させることができる。
【００４９】
以下、本発明に係る基板移送装置１００において、前記回転制限装置２００の変形例に関して添付した図面を参照して詳細に説明する。
【００５０】
図５は、図２の基板移送装置における回転制限装置の変形例を示すためにＡ部分を拡大した拡大図である。
【００５１】
本発明の変形例に係る回転制限装置２００は、前記旋回部１４０に結合される第１制限部材２１０、前記走行ベース１５０に回転可能に結合される第２制限部材２２０、及び前記第２制限部材２２０を移動させるための移動部材２３０を含む。
【００５２】
説明する前に、前記第１制限部材２１０、前記第２制限部材２２０は前述した実施形態と同一な構成であるので、本実施形態では詳細な説明を省略する。
【００５３】
本発明に係る基板移送装置１００の変形例において、前記移動部材２３０は前記第２制限部材２２０と接触しない状態で前記第２制限部材２２０を前記第１位置と前記第２位置との間に移動させることができる。このために、前記移動部材２３０は前記第２制限部材２２０を前記第１位置から前記第２位置に向かう第２方向に移動させるための第１噴射機構２３３、及び前記第２制限部材２２０を前記第２位置から前記第１位置に向かう第１方向に移動させるための第２噴射機構２３４を含む。
【００５４】
前記第１噴射機構２３３は、前記走行ベース１５０の一側に結合される。前記第１噴射機構２３３は前記第２方向に気体を噴射させることによって前記第１位置に位置した前記第２制限部材２２０を前記第２方向に移動させることができる。これによって、前記第１噴射機構２３３は前記第１位置に位置した前記第２制限部材２２０が前記第１位置と前記第２位置との間に位置するように前記第２制限部材２２０を移動させることができる。前記第１噴射機構２３３には、前記第２制限部材２２０を前記第２方向に移動させるための気体を噴射する第１噴射ホール２３３ａが形成される。図示してはいないが、前記第１噴射ホール２３３ａは前記第２制限部材２２０を移動させるための気体を供給するための気体供給部と連結できる。
【００５５】
前記第２噴射機構２３４は、前記走行ベース１５０の他側に結合される。前記第２噴射機構２３４は、前記第１方向に気体を噴射させることによって前記第２位置に位置した前記第２制限部材２２０を前記第１方向に移動させることができる。したがって、前記第２噴射機構２３４は前記第２位置した前記第２制限部材２２０が前記第１位置と前記第２位置との間に位置するように前記第２制限部材２２０を移動させることができる。前記第２噴射機構２３４には前記第２制限部材２２０を前記第１方向に移動させるための気体を噴射する第２噴射ホール２３４ａが形成される。図示してはいないが、前記第２噴射ホール２３４ａは前記第２制限部材２２０を移動させるための気体を供給するための気体供給部と連結できる。
【００５６】
したがって、本発明に係る基板移送装置１００は前記第２制限部材２２０を前記第１位置と前記第２位置との間に移動させる場合、前記移動部材２３０が前記第２制限部材２２０と接触しない状態で前記第２制限部材２２０を移動させることができる。これによって、本発明に係る基板移送装置１００は前記移動部材２３０が前記第２制限部材２２０と接した状態で前記第２制限部材２２０を移動させる場合と比較すると、前記移動部材２３０と前記第２制限部材２２０とが接することによるホコリの発生を防止することができる。
【００５７】
以上、説明した本発明は前述した実施形態及び添付した図面に限定されるものでなく、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で種々の置換、変形、及び変更が可能であるということが本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者に当たって明らかである。
【符号の説明】
【００５８】
１００    基板移送装置
１１０    基板
１２０    移送アーム
１２１    支持ハンド
１２２    アームユニット
１２３    アームベース
１３０    昇降部
１４０    旋回部
１４１    旋回軸
１５０    走行ベース
２００    回転制限装置
２１０    第１制限部材
２２０    第２制限部材
２３０    移動部材
２３１    第１弾性部材
２３２    第２弾性部材
２３３    第１噴射機構
２３３ａ    第１噴射ホール
２３４    第２噴射機構
２３４ａ    第２噴射ホール。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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