(57)【要約】【課題】メンテナンス時において搬送用移動体が占有する外部空間の占有量を極力小さくすることができる物品保管設備を提供する。【解決手段】走行経路Ｒを分断する経路分断壁部１Ｗａに形成された搬送用移動体２０が通過可能な開口部に、上下方向に沿う扉体用揺動軸を軸心として揺動自在な扉体Ｄが設けられ、扉体Ｄ２が経路分断壁部１Ｗａに沿う姿勢で開口部を閉塞する閉姿勢と内部空間１Ｎ側に位置し搬送用移動体２０が通過可能に開口部を開放する開姿勢とに姿勢切換え自在に構成され、扉体Ｄ２を開姿勢と閉姿勢との間の中間姿勢又は開姿勢に位置させ、かつ、搬送用移動体２０を左右方向で搬送用移動体２０の存在範囲に開口部が位置する取出用停止位置に停止させた状態において、内部空間１Ｎと外部空間１Ｇとが連通する部分を閉塞する閉塞状態に切換え可能な閉塞体Ｈを備えている。【選択図】図８
2016108059.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板を収容した容器を収納する収納部を左右方向及び上下方向に複数備えた物品収納棚と、
前記物品収納棚の前面において左右方向に沿って設けられる走行経路を左右方向に沿って移動自在で且つ前記収納部と自己との間で前記容器を移載自在な移載装置を備えた搬送用移動体と、を備え、
前記物品収納棚及び前記搬送用移動体が配置される内部空間の側周囲に設けられて外部空間と前記内部空間を平面視で区分けする壁状体が設けられた物品保管設備であって、
前記走行経路が、前記壁状体に分断される状態で前記内部空間と前記外部空間とに亘って連続して設定され、
前記壁状体のうち前記走行経路を分断する経路分断壁部に前記搬送用移動体が通過可能な開口部が形成され、
前記開口部に上下方向に沿う扉体用揺動軸を軸心として揺動自在な扉体が設けられ、
前記扉体は、前記経路分断壁部に沿う姿勢で前記開口部を閉塞する閉姿勢と、前記内部空間側に位置し前記搬送用移動体が通過可能に前記開口部を開放する開姿勢とに姿勢切換え自在に構成され、
前記扉体を前記開姿勢と前記閉姿勢との間の中間姿勢又は前記開姿勢に位置させ、かつ、前記搬送用移動体を左右方向で前記搬送用移動体の存在範囲に前記開口部が位置する取出用停止位置に前記搬送用移動体を停止させた状態において、前記内部空間と前記外部空間とが連通する部分を閉塞する閉塞状態に切換え可能な閉塞体を備えている物品保管設備。
【請求項２】
前記閉塞体が、前記扉体において平面視で前記扉体用揺動軸とは逆側の端部に設けられる閉塞体用揺動軸を軸心として前記扉体に対して揺動自在に前記扉体に取付けられたサブ扉体であり、
前記サブ扉体は、平面視で前記扉体に沿う収納用姿勢と、平面視で前記扉体に対して前記閉塞体用揺動軸を中心として前記扉体と前記サブ扉体とがなす角が前記収納用姿勢における前記扉体と前記サブ扉体とがなす角よりも大きい角度となる閉塞用姿勢と、に切換え自在に構成され、
前記扉体を前記中間姿勢として前記サブ扉体を閉塞用姿勢に切換えることで、前記閉塞体を前記閉塞状態とするように構成された請求項１に記載の物品保管設備。
【請求項３】
前記扉体が、上下方向で複数の上下分割部分に分割され、かつ、前記複数の上下分割部分が各別に前記開姿勢と前記閉姿勢とに切換え自在に構成され、
前記複数の上下分割部分のうち少なくとも一つの上下分割部分に、前記サブ扉体が設けられている請求項２に記載の物品保管設備。
【請求項４】
前記搬送用移動体が、前記走行経路に沿って走行移動自在な走行台車と、前記走行台車に立設された昇降マストと、前記昇降マストに案内されて昇降移動する昇降体とを備えて構成され、
前記昇降マストは、前記走行台車における当該走行台車の走行方向の中央よりも一方側の部分に立設され、
前記昇降体は、前記走行台車において前記左右方向で前記昇降マストが位置する端部と逆側に延出する状態で設けられ、
前記搬送用移動体が、前記内部空間に位置するときに、前記走行台車の前記昇降マストが位置する端部が、前記扉体に近接する姿勢で設けられている請求項３に記載の物品保管設備。
【請求項５】
前記扉体が前記閉姿勢か否か、及び、前記閉塞体が前記閉塞状態か否かを検出自在な扉状態検出部が設けられ、
前記搬送用移動体の搬送作動を制御する制御部が設けられ、
前記制御部が、前記扉状態検出部にて前記扉体が前記閉姿勢であることを検出している状態、又は、前記扉状態検出部にて前記閉塞体が前記閉塞状態でないことを検出している状態、のいずれかである作動許可状態であることを条件に、前記搬送用移動体を搬送作動させるように構成されている請求項１〜４の何れか１項に記載の物品保管設備。
【請求項６】
前記物品収納棚の前面に沿って単一の前記走行経路が設けられ、
前記搬送用移動体として、単一の前記走行経路上を各別に走行する第１搬送用移動体及び第２搬送用移動体が設けられ、
前記壁状体における前記第１搬送用移動体側の端部に前記開口部としての第１開口部が設けられ、前記第１開口部に前記扉体としての第１扉体、及び、前記閉塞体としての第１閉塞体が設けられ、前記第１扉体が前記閉姿勢か否か、及び、前記第１閉塞体が前記閉塞状態か否かを検出自在な第１扉状態検出部が設けられ、
前記壁状体における前記第２搬送用移動体側の端部に前記開口部としての第２開口部が設けられ、前記第２開口部に前記扉体としての第２扉体、及び、前記閉塞体としての第２閉塞体が設けられ、前記第２扉体が前記閉姿勢か否か、及び、前記第２閉塞体が前記閉塞状態か否かを検出自在な第２扉状態検出部が設けられ、
前記制御部が、前記第１扉状態検出部にて前記第１扉体が前記閉姿勢であることを検出している状態、又は、前記第１扉状態検出部にて前記第１閉塞体が前記閉塞状態でないことを検出している状態、のいずれかである第１作動許可状態であることを条件に、前記第１搬送用移動体を搬送作動させ、かつ、前記第２扉状態検出部にて前記第２扉体が前記閉姿勢であることを検出している状態、又は、前記第２扉状態検出部にて前記第２閉塞体が前記閉塞状態でないことを検出している状態、のいずれかである第２作動許可状態であることを条件に、前記第２搬送用移動体を搬送作動させるように構成されている請求項５に記載の物品保管設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板を収容した容器を収納する収納部を左右方向及び上下方向に複数備えた物品収納棚と、前記物品収納棚の前面において左右方向に沿って設けられる走行経路を左右方向に沿って移動自在で且つ前記収納部と自己との間で前記容器を移載自在な移載装置を備えた搬送用移動体と、を備え、前記物品収納棚及び前記搬送用移動体が配置される内部空間の側周囲に設けられて外部空間と前記内部空間を平面視で区分けする壁状体が設けられた物品保管設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記のような物品保管設備の従来例が、例えば、特開２００７−３２６６８６号公報（特許文献１）に示されている。特許文献１の物品保管設備では、外部空間と内部空間を平面視で区分けする壁状体に、作業者が出入りするための開口と、作業者が通過できるように当該開口を開放する開姿勢及び当該開口を閉塞する閉姿勢に姿勢切換可能な扉体とが備えられている。特許文献１の物品保管設備では、作業者が上記開口から内部空間に進入し、内部空間内で搬送用移動体のメンテナンス作業を行うことになる。
【０００３】
また、従来の物品保管設備として、特許文献２のように、内部空間に収納した容器内の半導体基板が汚染されないようにしたものがある。特許文献２の物品保管設備では、内部空間を塵埃の少ないクリーンな環境に維持する為に、清浄空気を内部空間において天井側から床面側へ流動するように供給するようになっている。また、特許文献２の物品保管設備では、容器内の半導体基板の汚染を抑制するために、容器内に窒素等の不活性気体を供給することが行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−３２６６８６号公報
【特許文献２】特開２０１３ − １４２００９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献２の物品保管設備では、容器の内部の気体を不活性気体で置換し、不活性気体で満たした状態を維持するために、不活性気体を容器に継続的又は断続的に供給することで不活性気体が容器から内部空間に排出されるようになっている。このため、内部空間は、外部空間よりも不活性気体濃度が高くなり、相対的に酸素濃度が低くなる傾向があり、内部空間は作業者が作業し難い環境となる虞がある。
【０００６】
そこで、特許文献２の物品保管設備においても、特許文献１の物品保管設備と同様に、壁状体に開口を形成し、その開口を開閉する扉体を設けて、その開口から搬送用移動体を外部空間に取り出して搬送用移動体のメンテナンス作業を行うことが考えられる。また、特許文献２の物品保管設備のように不活性気体の供給を行う物品保管設備でなくても、作業性の観点からも搬送用移動体を外部空間に取り出して搬送用移動体のメンテナンス作業を行うことが考えられる。
搬送用移動体を内部空間から外部空間に取り出すために、例えば、走行経路を壁状体に分断される状態で内部空間と外部空間とに亘って連続して設定し、走行経路を分断する経路分断壁部に搬送用移動体が通過可能な開口部を設け、当該開口部を介して内部空間から外部空間へ搬送用移動体を移動させるように構成することが考えられる。
【０００７】
不活性気体が開口部から外部空間に漏れ出るのを抑制する為、或いは、内部空間内部において天井側から床面側への気流（ダウンフロー）を維持する為に、上記開口部は、搬送用移動体を通過させる場合には開姿勢とし、搬送用移動体を通過させない場合には閉姿勢とすることが求められる。
物品保管設備が設置される半導体製造設備等においては、メンテナンス時においても、物品保管設備の周辺空間に対する影響は極力少ないことが望まれる。すなわち、外部空間において搬送用移動体が占有する領域は極力少ないことが求められる。しかしながら、メンテナンス時において扉体を閉姿勢とした状態で搬送用移動体を外部空間に位置させる場合、搬送用移動体の左右方向の位置は、閉姿勢の扉体に極力近づけた位置が限度となるため、メンテナンス時に外部空間において搬送用移動体が占有する領域が大きくなるという問題がある。
【０００８】
そこで、メンテナンス時において搬送用移動体が占有する外部空間の占有量を極力小さくすることができる物品保管設備が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するための本発明にかかる物品保管設備は、半導体基板を収容した容器を収納する収納部を左右方向及び上下方向に複数備えた物品収納棚と、前記物品収納棚の前面において左右方向に沿って設けられる走行経路を左右方向に沿って移動自在で且つ前記収納部と自己との間で前記容器を移載自在な移載装置を備えた搬送用移動体と、を備え、前記物品収納棚及び前記搬送用移動体が配置される内部空間の側周囲に設けられて外部空間と前記内部空間を平面視で区分けする壁状体が設けられたものであって、
前記走行経路が、前記壁状体に分断される状態で前記内部空間と前記外部空間とに亘って連続して設定され、前記壁状体のうち前記走行経路を分断する経路分断壁部に前記搬送用移動体が通過可能な開口部が形成され、前記開口部に上下方向に沿う扉体用揺動軸を軸心として揺動自在な扉体が設けられ、前記扉体は、前記経路分断壁部に沿う姿勢で前記開口部を閉塞する閉姿勢と、前記内部空間側に位置し前記搬送用移動体が通過可能に前記開口部を開放する開姿勢とに姿勢切換え自在に構成され、前記扉体を前記開姿勢と前記閉姿勢との間の中間姿勢又は前記開姿勢に位置させ、かつ、前記搬送用移動体を左右方向で前記搬送用移動体の存在範囲に前記開口部が位置する取出用停止位置に停止させた状態において、前記内部空間と前記外部空間とが連通する部分を閉塞する閉塞状態に切換え可能な閉塞体を備えている点に特徴を有する。
【００１０】
すなわち、扉体を開姿勢とし、搬送用移動体を左右方向で搬送用移動体の存在範囲に開口部が位置する取出用停止位置に停止させた後、扉体を中間姿勢又は開姿勢とした状態で閉塞体を閉塞状態に切換えることで、搬送用移動体を外部空間に取り出すことができる。
このため、例えば、左右方向で搬送用移動体の全体を開口部の外方側に位置させた状態で扉体を閉姿勢とすることで搬送用移動体を外部空間に取り出す構成と比べて、搬送用移動体が占有する外部空間の占有量を小さくすることができる。
なお、ここで、閉塞状態とは、内部空間と外部空間との間の気体の通流を完全に遮断する状態だけでなく、内部空間と外部空間との間での少量の気体の通流を許容する状態も含むものとする。
【００１１】
したがって、メンテナンス時において搬送用移動体が占有する外部空間の占有量を極力小さくすることができる物品保管設備が提供できる。
【００１２】
本発明に係る物品保管設備においては、前記閉塞体が、前記扉体において平面視で前記扉体用揺動軸とは逆側の端部に設けられる閉塞体用揺動軸を軸心として前記扉体に対して揺動自在に前記扉体に取付けられたサブ扉体であり、前記サブ扉体は、平面視で前記扉体に沿う収納用姿勢と、平面視で前記扉体に対して前記閉塞体用揺動軸を中心として前記扉体と前記サブ扉体とがなす角が前記収納用姿勢における前記扉体と前記サブ扉体とがなす角よりも大きい角度となる閉塞用姿勢と、に切換え自在に構成されていることが好ましい。
【００１３】
すなわち、扉体に取付けられたサブ扉体を閉塞用姿勢に切換えることで、内部空間と外部空間とが連通する部分を閉塞することができる。このため、閉塞体を扉体とは別体として備えておき、閉塞状態とするに当たって当該別体の閉塞体を扉体に取付けるような構成と比べて、閉塞体を閉塞状態に切換える作業を容易にすることができる。
【００１４】
本発明に係る物品保管設備においては、前記扉体が、上下方向で複数の上下分割部分に分割され、かつ、前記複数の上下分割部分が各別に前記開姿勢と前記閉姿勢とに切換え自在に構成され、前記複数の上下分割部分のうち少なくとも一つの上下分割部分に、前記サブ扉体が設けられていることが好ましい。
【００１５】
すなわち、サブ扉体は、扉体に対して付加的に取り付けられるものであるため、扉体のみを備える場合に比べて構成が複雑になる。本構成によれば、サブ扉体を、搬送用移動体の形状に合わせて、複数の上下分割部分のうち必要な部分に設けることができるから、設備の構成を全体として簡素化することができる。
【００１６】
本発明に係る物品保管設備においては、前記搬送用移動体が、前記走行経路に沿って走行移動自在な走行台車と、前記走行台車に立設された昇降マストと、前記昇降マストに案内されて昇降移動する昇降体とを備えて構成され、前記昇降マストは、前記走行台車における当該走行台車の走行方向の中央よりも一方側の部分に立設され、前記昇降体は、前記走行台車において前記左右方向で前記昇降マストが位置する端部と逆側に延出する状態で設けられ、前記搬送用移動体が、前記内部空間に位置するときに、前記走行台車の前記昇降マストが位置する端部が、前記扉体に近接する姿勢で設けられていることが好ましい。
【００１７】
すなわち、搬送用移動体を取出用停止位置に停止させた場合には、昇降マストが当該搬送用移動体の走行方向で開口部より外方側、すなわち外部空間に位置する。そこで、上下方向において走行台車及び昇降台が存在せず昇降マストのみが存在する部分においては、サブ扉体を備えない扉体としても、開口部における内部空間と前記外部空間とが連通する部分を閉塞することができる。また、搬送用移動体を取出用停止位置に停止させた場合には、昇降マストの走行台車に対する位置及び昇降台の昇降マストに対する突出量によっては、左右方向で走行台車及び昇降台の存在範囲に開口部が位置する状態となる場合がある。そこで、このような場合には、上下方向において走行台車及び昇降台が存在する高さの扉体にサブ扉体を備える構成とすれば、走行台車及び昇降台が存在する高さにおいて、開口部における内部空間と前記外部空間とが連通する部分を閉塞することができる。
【００１８】
本発明に係る物品保管設備においては、前記扉体が前記閉姿勢か否か、及び、前記閉塞体が前記閉塞状態か否かを検出自在な扉状態検出部が設けられ、前記搬送用移動体の搬送作動を制御する制御部が設けられ、前記制御部が、前記扉状態検出部にて前記扉体が前記閉姿勢であることを検出している状態、又は、前記扉状態検出部にて前記閉塞体が前記閉塞状態でないことを検出している状態、のいずれかである作動許可状態であることを条件に、前記搬送用移動体を搬送作動させるように構成されていることが好ましい。
【００１９】
すなわち、扉状態検出部にて扉体が開姿勢となっていることが検出されている場合、又は、閉塞体が閉塞状態であることが検出されている場合には、搬送用移動体が故障してメンテナンスが必要となっていたり、扉体が開姿勢となって作業者が内部空間に侵入可能な状態となっていたりする可能性があり、搬送用移動体の搬送作動を継続することが好ましくない。本特徴構成によれば、搬送用移動体の作動条件を、扉開閉検出部にて扉体が閉姿勢であることを検出している状態、又は、扉状態検出部にて閉塞体が前記閉塞状態でないことを検出している状態、のいずれかとして搬送用移動体を搬送作動させるので、搬送用移動体を扉体や閉塞体と干渉する虞の無い適切な状態の下で搬送作動させることができる。
【００２０】
本発明に係る物品保管設備においては、前記物品収納棚の前面に沿って単一の前記走行経路が設けられ、前記搬送用移動体として、単一の前記走行経路上を各別に走行する第１搬送用移動体及び第２搬送用移動体が設けられ、前記壁状体における前記第１搬送用移動体側の端部に前記開口部としての第１開口部が設けられ、前記第１開口部に前記扉体としての第１扉体、及び、前記閉塞体としての第１閉塞体が設けられ、前記第１扉体が前記閉姿勢か否か、及び、前記第１閉塞体が前記閉塞状態か否かを検出自在な第１扉状態検出部が設けられ、前記壁状体における前記第２搬送用移動体側の端部に前記開口部としての第２開口部が設けられ、前記第２開口部に前記扉体としての第２扉体、及び、前記閉塞体としての第２閉塞体が設けられ、前記第２扉体が前記閉姿勢か否か、及び、前記第２閉塞体が前記閉塞状態か否かを検出自在な第２扉状態検出部が設けられ、前記制御部が、前記第１扉状態検出部にて前記第１扉体が前記閉姿勢であることを検出している状態、又は、前記第１扉状態検出部にて前記第１閉塞体が前記閉塞状態でないことを検出している状態、のいずれかである第１作動許可状態であることを条件に、前記第１搬送用移動体を搬送作動させ、かつ、前記第２扉状態検出部にて前記第２扉体が前記閉姿勢であることを検出している状態、又は、前記第２扉状態検出部にて前記第２閉塞体が前記閉塞状態でないことを検出している状態、のいずれかである第２作動許可状態であることを条件に、前記第２搬送用移動体を搬送作動させるように構成されていることが好ましい。
【００２１】
すなわち、第１扉体が閉姿勢でない場合、又は、第１閉塞体が閉塞状態である場合には、第１搬送用移動体を搬送作動させないから、第１扉体を開姿勢とする等して作業者が第１搬送用移動体に近接できる状態では、作業者が意図しない第１搬送用移動体の作動を回避でき、作業者の安全が確保できる。また、この場合において、第２扉体が閉姿勢である場合、又は、第２閉塞体が閉塞状態でないときには、第２搬送用移動体は搬送作動を継続できるから、設備の稼働効率の低下を抑制することができる。
【００２２】
また、同様に、第２扉体が閉姿勢でない場合、又は、第２閉塞体が閉塞状態である場合には、第２搬送用移動体を搬送作動させないから、第２扉体を開姿勢とする等して作業者が第２搬送用移動体に近接できる状態では、作業者が意図しない第２搬送用移動体の作動を回避でき、作業者の安全が確保できる。また、この場合において、第１扉体が閉姿勢である場合、又は、第１閉塞体が閉塞状態でないときには、第１搬送用移動体は搬送作動を継続できるから、設備の稼働効率の低下を抑制することができる。
【００２３】
このように、物品収納棚の前面に沿って単一の前記走行経路が設けられ、搬送用移動体として、単一の走行経路上を各別に走行する２つの搬送用移動体が設けられている場合において、設備の稼働効率の低下を極力低減しつつ作業者の安全を確保できるものとなる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】半導体容器保管庫の一部切欠き概略斜視図
【図２】半導体容器保管庫の要部を示す縦断面図
【図３】扉体を開姿勢とした状態の半導体容器保管庫を示す要部斜視図
【図４】扉体を閉姿勢とした状態の半導体容器保管庫を示す要部平面図
【図５】扉体を開姿勢とした状態の半導体容器保管庫を示す要部平面図
【図６】下部扉体を中間姿勢とした状態の半導体容器保管庫を示す平面図
【図７】下部扉体を中間姿勢としてサブ扉体を閉塞用姿勢とした状態の半導体容器保管庫を示す平面図
【図８】メンテナンス対象の搬送用移動体を外部空間に位置させてサブ扉体を閉塞用姿勢とした状態の半導体容器保管庫を示す平面図
【図９】下部扉体を中間姿勢としてサブ扉体を閉塞用姿勢とし、上部扉体を閉姿勢とした状態の半導体容器保管庫を示す斜視図
【図１０】外部メンテナンス用足場を搭乗用姿勢に切換えた状態の半導体容器保管庫を示す平面図
【図１１】外部メンテナンス用足場の水平姿勢と搭乗用姿勢との切換えを示す斜視図
【図１２】制御ブロック図
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、図面に基づいて本発明の物品保管設備を半導体容器保管庫に適用した場合の実施形態を説明する。
図１及び図２に示すように、半導体容器保管庫１は、半導体基板を収容したＦＯＵＰ等の容器Ｂを収納する収納部１Ｓを左右方向及び上下方向に複数備えた物品収納棚１０と、物品収納棚１０の前面において左右方向に沿って設けられる走行レールＲを左右方向に沿って移動自在で且つ収納部１Ｓと自己との間で容器Ｂを移載自在な移載装置２５を備えた搬送用移動体２０と、を備えている。
【００２６】
物品収納棚１０は、容器Ｂを載置して支持する載置部を上下方向及び左右方向に複数並べて備えている。本実施形態では、載置部と、その載置部の上段の載置部との間で、かつ、左右方向で左に隣接する載置部と右に隣接する載置部との間に、収納部１Ｓが形成されている。なお、図示は省略するが、載置部には容器Ｂ内に窒素等の不活性気体を供給する不活性ガス供給部が設けられている。
【００２７】
また、物品収納棚１０は、容器Ｂを出し入れする側を対向させる形態で、容器Ｂの出し入れ方向に離間させて一対設けられており、その間に、搬送用移動体２０が走行する走行レールＲが、左右方向に沿って設置されている。本実施形態では、左右方向での走行レールＲの存在範囲が走行経路に設定されている。
【００２８】
上記の一対の物品収納棚１０及び搬送用移動体２０は、平面視で矩形状に設けられて外部空間１Ｇと内部空間１Ｎとを平面視で区分けする壁状体１Ｗ（対向する一対の経路分断壁部１Ｗａ及び対向する一対の左右方向壁部１Ｗｂ）に囲まれた内方、つまり内部空間１Ｎに配置されている。
すなわち、物品収納棚１０及び搬送用移動体２０が配置される内部空間１Ｎの側周囲に設けられて外部空間１Ｇと内部空間１Ｎを平面視で区分けする壁状体１Ｗが設けられている。
なお、図示はしないが、半導体容器保管庫１の天井部には、下方に向けて空気を流動させる気流発生装置が設けられており、内部空間１Ｎ内部に天井側から床側へ向かう気流（ダウンフロー）が形成されるように構成されている。
【００２９】
図１及び図２に示すように、搬送用移動体２０は、走行レールＲとしての下部レールＲ１に沿って走行移動自在な走行台車２１と、走行台車２１に立設された昇降マスト２２と、昇降マスト２２に案内されて昇降移動する昇降体２４とを備えて構成され、昇降マスト２２は、走行台車２１における当該走行台車２１の走行方向の中央よりも一方側の部分に立設されている。また、下部レールＲ１の上方に上部レールＲ２が設けられている。上部レールＲ２は、昇降マスト２２の上端の上部枠２３に設けられた案内輪を案内するようになっている。
また、昇降体２４は、走行台車２１において走行方向で昇降マスト２２が位置する端部と逆側に延出する状態で設けられている。
【００３０】
また、図１２に示すように、走行台車２１に備える走行駆動部２１ｍの駆動、昇降体２４を昇降させる昇降駆動部２４ｍの作動、移載装置２５の移載作動等を制御する制御部Ｃが設けられている。すなわち、搬送用移動体２０の搬送作動を制御する制御部Ｃが設けられている。
【００３１】
図２に示すように、平面視において左右方向（搬送用移動体２０の走行方向）の両端の夫々に近接して位置する一対の経路分断壁部１Ｗａには、搬送用移動体２０が通過可能な開口部１Ｋが夫々形成され、走行レールＲは、開口部１Ｋを通過して内部空間１Ｎ側と外部空間１Ｇ側とに亘って設定されている。
すなわち、走行経路が、壁状体１Ｗに分断される状態で内部空間１Ｎと外部空間１Ｇとに亘って連続して設定され、壁状体１Ｗのうち走行経路を分断する経路分断壁部１Ｗａに搬送用移動体２０が通過可能な開口部１Ｋが形成されている。
【００３２】
また、搬送用移動体２０として、単一の走行経路上を各別に走行する第１搬送用移動体２０Ａと、第２搬送用移動体２０Ｂとが設けられている。搬送用移動体２０の走行方向において、第１搬送用移動体２０Ａが担当する走行エリアと第２搬送用移動体２０Ｂが担当する走行エリアとは、互いに重複しないように設定されている。
第１搬送用移動体２０Ａ及び第２搬送用移動体２０Ｂの夫々は、内部空間１Ｎに位置するときに、走行台車２１において走行方向で昇降マスト２２が近接する端部が、自己が存在する側の扉体Ｄに近接する姿勢で設けられている。
【００３３】
以下、開口部に設けられる扉体Ｄについて説明する。扉体Ｄは、走行経路の両端の夫々に近接して位置する一対の経路分断壁部１Ｗａの夫々に設けられる開口部１Ｋに各別に設けられている。すなわち、図２に示すように、壁状体１Ｗにおける第１搬送用移動体２０Ａ側の端部である経路分断壁部１Ｗａに開口部１Ｋとしての第１開口部１Ｋａが設けられ、第１開口部１Ｋａに前記扉体としての第１扉体、及び、閉塞体としての第１閉塞体が設けられている。また、壁状体１Ｗにおける第２搬送用移動体２０Ｂ側の端部である経路分断壁部１Ｗａに開口部１Ｋとしての第２開口部１Ｋｂが設けられ、第２開口部１Ｋｂに扉体Ｄとしての第２扉体、及び、閉塞体としての第２閉塞体が設けられている。本実施形態では、第１扉体に設けられるサブ扉体Ｄ３が第１閉塞体に相当し、第２扉体に設けられるサブ扉体Ｄ３が第２閉塞体に相当する。
なお、一対の経路分断壁部１Ｗａの夫々の開口部１Ｋにおける扉体Ｄは同様の構成であるため、以降の説明においては、一方の開口部１Ｋを例に説明する。
【００３４】
図１〜図３等に示すように、開口部１Ｋには、上下方向に沿う扉体用揺動軸Ｄｈ１（図４〜７参照）を軸心として揺動自在でかつ上下方向で上方に位置する上部扉体Ｄ１と、扉体用揺動軸Ｄｈ１（図４〜７参照）を軸心として揺動自在でかつ上下方向で下方に位置する下部扉体Ｄ２とが設けられている。本実施形態において、上部扉体Ｄ１と下部扉体Ｄ２とが扉体Ｄに相当する。
上部扉体Ｄ１と下部扉体Ｄ２との夫々は、経路分断壁部１Ｗａに沿う姿勢で開口部１Ｋを閉塞する閉姿勢（図１、図４を参照）と、内部空間１Ｎ側に位置し搬送用移動体２０が通過可能に開口部１Ｋを開放する開姿勢（図３、図５を参照）とに姿勢切換え自在に構成されている。
【００３５】
本実施形態では、上部扉体Ｄ１と下部扉体Ｄ２との夫々が、上下方向で複数の上下分割部分に相当する。そして、上部扉体Ｄ１と下部扉体Ｄ２とは、各別に開姿勢と閉姿勢とに切換え自在に構成されている。
【００３６】
また、下部扉体Ｄ２は、図６〜図１０に示すように、当該下部扉体Ｄ２を開姿勢と閉姿勢との間の中間姿勢として、かつ、搬送用移動体２０を左右方向で搬送用移動体２０の存在範囲に開口部１Ｋが位置する取出用停止位置（図８における搬送用移動体２０Ａの位置）に搬送用移動体２０を停止させた状態において、内部空間１Ｎと外部空間１Ｇとが連通する部分を閉塞する閉塞状態に切換え可能なサブ扉体Ｄ３を備えている（図７参照）。本実施形態では、サブ扉体Ｄ３が閉塞体Ｈに相当する。
サブ扉体Ｄ３は、図６及び図７に示すように、下部扉体Ｄ２において平面視で扉体用揺動軸Ｄｈ１とは逆側の端部に設けられる閉塞体用揺動軸Ｄｈ２を軸心として、下部扉体Ｄ２に対して揺動自在に下部扉体Ｄ２に取付けられている。
すなわち、複数の上下分割部分のうち少なくとも一つの上下分割部分に、サブ扉体Ｄ３が設けられている。
【００３７】
サブ扉体Ｄ３は、平面視で下部扉体Ｄ２に沿う収納用姿勢（図６参照）と、平面視で下部扉体Ｄ２に対して閉塞体用揺動軸Ｄｈ２を中心として下部扉体Ｄ２とサブ扉体Ｄ３とがなす角が収納用姿勢における下部扉体Ｄ２とサブ扉体Ｄ３とがなす角よりも大きい角度となる閉塞用姿勢（図７参照）と、に切換え自在となっている。
そして、下部扉体Ｄ２を中間姿勢としてサブ扉体Ｄ３を閉塞用姿勢に切換えることで、サブ扉体Ｄ３を閉塞状態とするように構成されている。
【００３８】
なお、上部扉体Ｄ１を閉姿勢とし、下部扉体Ｄ２を中間姿勢としたうえでサブ扉体Ｄ３を閉塞用姿勢としたとき、上下方向で上部扉体Ｄ１と下部扉体Ｄ２とが隣接する部分では、平面視で上部扉体Ｄ１、下部扉体Ｄ２、及びサブ扉体Ｄ３で囲まれる台形状の隙間が形成されるが、この隙間を通して内部空間１Ｎから外部空間１Ｇに漏出する気体の量は多くないため、本発明における閉塞状態には、上記のような隙間が形成された状態をも含むものとする。
【００３９】
図６及び図７に示すように、上部扉体Ｄ１及び下部扉体Ｄ２には、当該上部扉体Ｄ１又は下部扉体Ｄ２が閉姿勢か否かを検出する近接検出式の第１検出センサＳ１が設けられている。また、サブ扉体Ｄ３には、当該サブ扉体Ｄ３が閉塞状態か否かを検出自在な近接検出式の第２検出センサＳ２が設けられている。図１２に示すように、第１検出センサＳ１及び第２検出センサＳ２の検出情報は制御部Ｃに入力されるようになっている。本実施形態において、第１検出センサＳ１及び第２検出センサＳ２が、扉体Ｄが閉姿勢か否か及びサブ扉体Ｄ３が閉塞状態か否かを検出自在な扉状態検出部に相当する。
本実施形態では、扉体Ｄとして第１扉体と第２扉体が設けられるため、扉状態検出部のそれら夫々の扉体Ｄに対応して各別に設けられる。すなわち、第１扉体に、当該第１扉体が閉姿勢か否か及び第１閉塞体が閉塞状態か否かを検出自在な第１扉状態検出部が設けられ、第２扉体に、当該第２扉体が閉姿勢か否か及び第２閉塞体が閉塞状態か否かを検出自在な第２扉状態検出部が設けられている。
【００４０】
そして、制御部Ｃは、第１扉状態検出部にて第１扉体が閉姿勢であることを検出している状態、又は、第１扉状態検出部にて第１閉塞体が閉塞状態でないことを検出している状態、のいずれかである第１作動許可状態であることを条件に、第１搬送用移動体２０Ａを搬送作動させ、かつ、第２扉状態検出部にて第２扉体が閉姿勢であることを検出している状態、又は、第２扉状態検出部にて第２閉塞体が閉塞状態でないことを検出している状態、のいずれかである第２作動許可状態であることを条件に、第２搬送用移動体２０Ｂを搬送作動させるように構成されている。
【００４１】
このように、制御部Ｃは、第１検出センサＳ１にて扉体Ｄが閉姿勢であることを検出している状態、又は、第２検出センサＳ２にてサブ扉体Ｄ３が閉塞状態でないことを検出している状態、のいずれかである作動許可状態であることを条件に、搬送用移動体２０を搬送作動させるようになっている。
【００４２】
次に、外部作業用の作業台５０について、図１０及び図１１に基づいて説明する。
経路分断壁部１Ｗａの外側面側には、支柱及び横桟を備えて櫓状に組まれた支持枠体が設けられ、経路分断壁部１Ｗａの外側面に沿って、支持枠体の作業者が昇降するための梯子Ｌが取り付けられている。また、上下方向で上部扉体Ｄ１の存在高さにおいて、作業者が高所作用のために搭乗する第１踏板５１、第２踏板５２、第３踏板５３、及び第４踏板５４が設けられている。第１踏板５１は、梯子Ｌの背面側に、水平軸心周りで揺動自在でかつ水平方向に沿う搭乗姿勢と上下方向に沿う収納姿勢とに姿勢切換自在に設けられている。第１踏板５１は、作業者が梯子Ｌを昇降する場合には揺動端部を上方に揺動させて収納姿勢とし、作業者が梯子Ｌを昇って当該第１踏板５１の設置高さを通過した後に揺動端部を下方に揺動させて搭乗姿勢とすることで、作業者の作業用の足場とすることができる。
【００４３】
また、第２踏板５２と第３踏板５３とは左右方向に隣接して設けられ、経路分断壁部１Ｗａに近接する方から第３踏板５３、第２踏板５２となっている。また、平面視で走行レールＲを挟んで第１踏板５１とは逆側に、第４踏板５４が設けられている。第４踏板５４は揺動せず、水平姿勢で支持枠体に固定されている。搬送用移動体２０を取出用停止位置に停止させた状態では、昇降マスト２２が上部扉体Ｄ１から離間しているため、昇降マスト２２と上部扉体Ｄ１との間に第３踏板５３を存在させることができる。このため、第３踏板５３を搭乗姿勢とすることで、作業者は、昇降マスト２２を囲む第１踏板５１、第３踏板５３、第４踏板５４を足場として作業を行うことができるものとなる。
【００４４】
次に、本実施形態の半導体容器保管庫１において、搬送用移動体２０をメンテナンスする場合の手順を説明する。
まず、搬送用移動体２０が故障する等してメンテナンスが必要となった場合、搬送用移動体２０を作業者が手動指令で動作させる手動動作モードに切換える。
その後、作業者は、図５に示すように、下部扉体Ｄ２及び上部扉体Ｄ１を開姿勢に切換え、搬送用移動体２０を、左右方向で搬送用移動体２０の存在範囲に開口部１Ｋが位置する取出用停止位置に移動させる。また、併せて、昇降体２４を昇降下限位置に位置させるべく下降させる。
【００４５】
搬送用移動体２０を取出用停止位置に位置させた後、引き続き、図９に示すように、上部扉体Ｄ１及び下部扉体Ｄ２を閉姿勢とする。
ここで、下部扉体Ｄ２は、図６に示す中間姿勢まで左右一対の扉体Ｄ２ａ、Ｄ２ｂを揺動させた後、当該左右一対の扉体Ｄ２ａ、Ｄ２ｂの夫々に揺動自在に取り付けられたサブ扉体Ｄ３ａ、Ｄ３ｂを、閉塞用姿勢となるまで揺動させる（一点鎖線矢印を参照）。
【００４６】
これにより、図７に示すように、搬送用移動体２０を外部空間に取り出した状態で内部空間１Ｎと外部空間１Ｇとが連通する部分を閉塞する閉塞状態とすることができる。また、外部空間１Ｇが内部空間１Ｎ側に入り込んだ状態とできるため、搬送用移動体２０において内部空間側に位置する走行台車２１及び昇降体２４を左右方向で経路分断壁部１Ｗａから内部空間１Ｎ側に入り込んだ状態で外部空間１Ｇに位置させることができ、全体として搬送用移動体２０が左右方向で経路分断壁部１Ｗａよりも外方で占有する領域を少なくすることができる。また、上部扉体Ｄ１を閉姿勢とし、下部扉体Ｄ２を中間姿勢とした上でサブ扉体Ｄ３を閉塞用姿勢とすることで、外部空間１Ｇと内部空間１Ｎとが分断されるから、図８に示すように、メンテナンス対象となっていない搬送用移動体２０をメンテナンス対象となっている搬送用移動体２０の走行エリアにおいて安全に走行させることが可能となる。このため、設備全体としての稼働効率の低下を極力回避することができる。
【００４７】
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、搬送用移動体として、走行台車２１に昇降マスト２２が立設され、その昇降マスト２２に沿って昇降自在な昇降体２４が設けられたスタッカークレーンを備えたものを説明したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば搬送用移動体を走行レールに沿って走行する自走台車にて構成する等、搬送用移動体は走行レールに沿って走行して物品を搬送する各種の移動体で構成できる。
【００４８】
（２）上記実施形態では、閉塞体Ｈを、扉体Ｄにおいて平面視で扉体用揺動軸とは逆側の端部に設けられる閉塞体用揺動軸を軸心として扉体Ｄに対して揺動自在に扉体Ｄに取付けたサブ扉体Ｄ３とする構成を説明したが、内部空間１Ｎと外部空間１Ｇとが連通する部分を閉塞することが可能なものであれば、例えば左右の扉体Ｄに別体の板状体を取り付ける構造とする等、各種の構成を採用可能である。
【００４９】
（３）上記実施形態では、扉体Ｄを、上部扉体Ｄ１と下部扉体Ｄ２とに２つに分割する構成を説明したが、このような構成に限定されるものではなく、扉体Ｄを上下方向に３つ以上に分割する構成としてもよい。また、上下方向に連続する単一又は一対の扉体Ｄを設け、その扉体Ｄに閉塞体を設ける構成としてもよい。
【００５０】
（４）上記実施形態では、扉体Ｄを左右各別に開閉する観音開き式の扉とする構成を説明したが、このような構成に代えて、左右一方の端部に上下方向に沿う揺動軸を備えて揺動自在な扉体とし、その扉体の揺動端部側に第２の揺動扉を設け、さらに第２の揺動扉の揺動端部側に第３の揺動扉を設けて、平面視で台形状又は矩形状に内部空間側に入り込んだ状態で内部空間１Ｎと外部空間１Ｇとが連通する部分を閉塞するように構成してもよい。
また、上記実施形態では、サブ扉体Ｄ３を、下部扉体Ｄ２を開姿勢と閉姿勢との間の中間姿勢とした状態で閉塞用姿勢とする構成を説明したが、このような構成に限定されるものではなく、サブ扉体Ｄ３を、下部扉体Ｄ２を開姿勢とした状態で閉塞用姿勢とすることができるように構成してもよい。
【００５１】
（５）上記実施形態では、同一の走行経路を２台の搬送用移動体２０（搬送用移動体２０Ａ、２０Ｂ）が走行するように構成したが、搬送用移動体２０を１台又は３台以上のみ備えるものとしてもよく、搬送用移動体２０の数は任意に変更可能である。なお、搬送用移動体２０を３台以上備える場合には、両端部に位置する搬送用移動体２０とその間に位置する搬送用移動体２０との位置を入れ替える機構を備えたり、走行経路の両端部以外に搬送用移動体２０の取出し用の扉体を設ける構成とすることが好ましい。
【００５２】
（６）上記実施形態では、同一の走行経路を２つの搬送用移動体２０Ａ、２０Ｂの夫々に対して、夫々が担当する走行エリアを重複しない状態で設定する構成を説明したが、このような構成に限定されるものではなく、夫々が担当する走行エリアの一部又は全部を重複させた状態で運用する構成としてもよい。
【００５３】
（７）上記実施形態では、扉状態検出部として、扉体Ｄが閉姿勢か否かを検出する近接検出式の第１検出センサＳ１、及び、閉塞体が閉塞状態か否かを検出する近接検出式の第２検出センサＳ２の２つのセンサを備える構成としたが、このような構成に代えて、例えば扉体Ｄを撮像するカメラを設け、制御部Ｃが、カメラの撮像画像を解析して、扉体が前記閉姿勢か否か、及び、閉塞体が前記閉塞状態か否かを判別する等、扉体Ｄが閉姿勢か否か、及び、閉塞体が閉塞状態か否かを検出可能な各種の検出方式を採用可能である。
【００５４】
（８）上記実施形態では、上部扉体Ｄ１を閉姿勢とし、下部扉体Ｄ２を中間姿勢とした上でサブ扉体Ｄ３を閉塞用姿勢としたときに、上下方向で上部扉体Ｄ１と下部扉体Ｄ２とが隣接する部分に形成される隙間を、閉塞しない構成としたが、上記の隙間を閉塞する閉塞体を備える構成としてもよい。
【符号の説明】
【００５５】
１Ｇ      外部空間
１Ｋ      開口部
１Ｎ      内部空間
１Ｓ      収納部
１Ｗ      壁状体
１Ｗａ    経路分断壁部
１０      物品収納棚
２０      搬送用移動体
２１      走行台車
２２      昇降マスト
２４      昇降体
２５      移載装置
Ｂ        容器
Ｃ        制御部
Ｄ        扉体
Ｄ１、Ｄ２    上下分割部分
Ｄ３      サブ扉体
Ｄｈ１    扉体用揺動軸
Ｄｈ２    閉塞体用揺動軸
Ｈ        閉塞体
Ｒ        走行経路
Ｓ１、Ｓ２    扉状態検出部
【図１】
2016108059.tif 000003
【図２】
2016108059.tif 000004
【図３】
2016108059.tif 000005
【図４】
2016108059.tif 000006
【図５】
2016108059.tif 000007
【図６】
2016108059.tif 000008
【図７】
2016108059.tif 000009
【図８】
2016108059.tif 000010
【図９】
2016108059.tif 000011
【図１０】
2016108059.tif 000012
【図１１】
2016108059.tif 000013
【図１２】
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