(57)【要約】【課題】プリント配線板の電子部品の実装歩留りの向上およびプリント配線板と電子部品との接続信頼性の向上。【解決手段】実施形態のプリント配線板１は、第１面１１ａと第１面１１ａと反対側の第２面１１ｂとを有し第１面１１ａ側に形成されている複数の凹部１１ｃを有する樹脂絶縁層１１と、凹部１１ｃに形成されていてパッド１２ａを含む第１導体層１２と、パッド１２ａ上に形成されている電子部品搭載用の導電性ピラー１７と、第２面１１ｂ上に形成されている第２導体層１４と、樹脂絶縁層１１を貫通し第１導体層１２と第２導体層１４とを接続するビア導体１５とを含んでいる。そして、パッド１２ａは凹部１１ｃの底面と対向しているバック面Ｂとバック面Ｂと反対側のトップ面Ｔとを有し、導電性ピラー１７から露出するトップ面Ｔは第１面１１ａから凹んでいる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１面と前記第１面と反対側の第２面とを有し、前記第１面側に形成されている複数の凹部を有する樹脂絶縁層と、
前記凹部に形成されていて、パッドを含む第１導体層と、
前記パッド上に形成されている電子部品搭載用の導電性ピラーと、
前記樹脂絶縁層の前記第２面上に形成されている第２導体層と、
前記樹脂絶縁層を貫通し、前記第１導体層と前記第２導体層とを接続するビア導体、とを含むプリント配線板であって、
前記パッドは前記凹部の底面と対向しているバック面と前記バック面と反対側のトップ面を有し、前記導電性ピラーから露出する前記トップ面は前記第１面から凹んでいる。
【請求項２】
請求項１に記載のプリント配線板であって、前記導電性ピラーは前記パッド上に形成されている金属層と前記金属層上に形成されている金属膜とで形成されている。
【請求項３】
請求項２に記載のプリント配線板であって、前記金属層は銅箔から形成されていて、前記金属膜はめっき膜で形成されている。
【請求項４】
請求項１に記載のプリント配線板であって、前記パッドは前記導電性ピラー下の中央部と前記導電性ピラーから露出する外周部で形成され、前記パッドを形成している前記外周部の厚みは前記パッドの側壁から前記パッドの前記中央部に向かって厚くなる。
【請求項５】
請求項２に記載のプリント配線板であって、前記金属層は、前記金属膜と対向している第１面と前記金属層の前記第１面と反対側の第２面とを有し、前記金属層の前記第２面は、前記樹脂絶縁層の前記第１面と同じ平面上に位置する。
【請求項６】
請求項１に記載のプリント配線板であって、前記導電性ピラーから露出する前記パッドの前記トップ面は前記樹脂絶縁層の前記第１面に対し傾いている。
【請求項７】
請求項２に記載のプリント配線板であって、前記金属層の側壁は前記金属膜の側壁から凹んでいる。
【請求項８】
請求項２に記載のプリント配線板であって、前記導電性ピラーは前記金属層の下に形成されている前記パッドの一部を含む。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パッドとパッド上に形成されている導電性ピラーを有するプリント配線板に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、回路基板と半導体パッケージを開示している。そして、特許文献１の回路基板は、絶縁膜と絶縁膜の下面に形成されている下層配線と絶縁膜上に形成されている上層配線と絶縁膜を貫通し上層配線と下層配線を接続するビアホールを有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許第７３９７０００号明細書
【発明の概要】
【背景技術の課題】
【０００４】
特許文献１は、特許文献１の図５に半導体パッケージを示している。特許文献１の図５によれば、半導体素子は回路基板の下層配線上に実装されている。特許文献１の図５に示されるように、下層配線は絶縁層から凹んでいる。そのため、半導体素子と下層配線との間の距離が長くなると考えられる。回路基板に半導体素子を実装することが難しいと予想される。また、特許文献１の半導体パッケージでは、半導体素子と回路基板間の距離が短くなると考えられる。回路基板と半導体素子間にアンダーフィルを充填することが難しいと予想される。回路基板と半導体素子間の接続信頼性が低いと予想される。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のプリント配線板は、第１面と前記第１面と反対側の第２面とを有し、前記第１面側に形成されている複数の凹部を有する樹脂絶縁層と、前記凹部に形成されていて、パッドを含む第１導体層と、前記パッド上に形成されている電子部品搭載用の導電性ピラーと、前記樹脂絶縁層の前記第２面上に形成されている第２導体層と、前記樹脂絶縁層を貫通し、前記第１導体層と前記第２導体層とを接続するビア導体、とを有する。そして、前記パッドは前記凹部の底面と対向しているバック面と前記バック面と反対側のトップ面を有し、前記導電性ピラーから露出する前記トップ面は前記第１面から凹んでいる。
【０００６】
本発明の実施形態のプリント配線板によれば、半導体素子等の電子部品を実装する歩留まりが高くなる。
本発明の実施形態のプリント配線板によれば、電子部品とプリント配線板間の接続信頼性が高くなる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の一実施形態のプリント配線板を説明するための断面図。
【図２Ａ】電極の一例を示す図。
【図２Ｂ】電極の別例を示す図。
【図２Ｃ】電極の別例を示す図。
【図３Ａ】図１に示されるプリント配線板の製造方法を示す図。
【図３Ｂ】図１に示されるプリント配線板の製造方法を示す図。
【図３Ｃ】図１に示されるプリント配線板の製造方法を示す図。
【図３Ｄ】図１に示されるプリント配線板の製造方法を示す図。
【図３Ｅ】図１に示されるプリント配線板の製造方法を示す図。
【図３Ｆ】図１に示されるプリント配線板の製造方法を示す図。
【図３Ｇ】図１に示されるプリント配線板の製造方法を示す図。
【図３Ｈ】図１に示されるプリント配線板の製造方法を示す図。
【図３Ｉ】図１に示されるプリント配線板の製造方法を示す図。
【図４】電極の別例を示す図。
【図５】上側のソルダーレジスト層の形状を示す図。
【図６Ａ】導電性ピラーの一例を示す図。
【図６Ｂ】導電性ピラーの別例を示す図。
【図７Ａ】導電性ピラーの別例を示す図。
【図７Ｂ】導電性ピラーの別例を示す図。
【図８】パッドと導電性ピラーの位置を示す図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
本発明のプリント配線板の一実施形態が、図面を参照して説明される。図１は、実施形態のプリント配線板１の断面を説明する図である。プリント配線板１は、第１面１１ａと第１面１１ａと反対側の第２面１１ｂとを有する樹脂絶縁層１１と樹脂絶縁層１１の第１面１１ａ上に形成されているパッド１２ａを含む第１導体層１２と樹脂絶縁層１１の第２面１１ｂ上に形成されている第２導体層１４と樹脂絶縁層１１を貫通し第１導体層１２と第２導体層１４を接続するビア導体１５とパッド１２ａ上に形成されている電子部品を搭載するための導電性ピラー１７で形成されている。導電性ピラー１７は上面１７Ｔを有し、上面１７Ｔ上に電子部品が実装される。そして、パッド１２ａと導電性ピラー１７で電子部品と接続するための電極２１が形成される。
【０００９】
電子部品の例は、半導体素子、受動素子（キャパシタや抵抗器など）、配線層を有するインターポーザ、再配線層を有する半導体素子、ＷＬＰ（Wafer Level Package）などである。
【００１０】
図１に示されるように、樹脂絶縁層１１は第１面１１ａ側に第１導体層１２用の凹部１１ｃを有する。そして、第１導体層１２は凹部１１ｃ内に形成されている。第１導体層１２は凹部１１ｃ内に埋まっている。第１導体層１２はトップ面Ｔとトップ面Ｔと反対側のボトム面Ｂを有する。トップ面Ｔが樹脂絶縁層１１の第１面１１ａに向いていて、ボトム面Ｂは凹部１１ｃの底を向いている。第１導体層１２のトップ面Ｔは第１面１１ａから凹んでいる。図１に示されるように、樹脂絶縁層１１の第２面１１ｂ上に第２導体層１４が形成されている。第２導体層１４は樹脂絶縁層１１の第２面１１ｂから突出している。
【００１１】
図１に示されるように、プリント配線板１は樹脂絶縁層１１の第１面１１ａ上に、複数の電極２１を露出するための開口部１６ａを備える上側のソルダーレジスト層１６を有する。図５に示されように、上側のソルダーレジスト層１６は枠の形で形成されていて、プリント配線板１の外周部に形成されている第１導体層１２の配線１２ｂと樹脂絶縁層１１の外周部を覆っている。そして、複数の電極２１がプリント配線板１の略中央に形成されていて、全ての電極２１は１つの開口部１６ａで露出される。
【００１２】
導電性ピラー１７の上面１７Ｔは上側のソルダーレジスト層の上面１６Ｔより上に位置していることが好ましい。導電性ピラー１７に電子部品を実装することが容易である。導電性ピラー１７の上面１７Ｔが上側のソルダーレジスト層１６の上面より下に位置すると、プリント配線板と電子部品とからなる応用例の厚みが薄くなる。その場合、上面１７Ｔは樹脂絶縁層１１の第１面１１ａと上側のソルダーレジスト層１６の上面１６Ｔとの間に位置する。尚、上側のソルダーレジスト層１６の上面１６Ｔは樹脂絶縁層１１の第１面１１ａから離れている面である。
【００１３】
図１に示されるように、プリント配線板１は樹脂絶縁層１１の第２面１１ｂと第２導体層１４上に、複数の開口部１６０ａを備える下側のソルダーレジスト層１６０が設けられている。下側のソルダーレジスト層１６０はプリント配線板１の略全面に形成されている。また、各開口部１６０ａはマザーボードと接続するための各パッド１６０Ｐを露出している。
【００１４】
プリント配線板１は、樹脂絶縁層１１の第１面１１ａに導電性ピラー１７を有するが、第２面１１ｂに導電性ピラーを有していない。そのため、第１面１１ａ上の導体の量と第２面１１ｂ上の導体の量の差が大きくなりやすい。第１面１１ａ側のプリント配線板１の強度と第２面１１ｂ側のプリント配線板１の強度が異なりやすい。反りが発生しやすい。導電性ピラー１７に起因する反りを改善するために、上側のソルダーレジスト層１６の形状と下側のソルダーレジスト層１６０の形状が異なる。下側のソルダーレジスト層１６０を略全面に形成することで、第２面１１ｂ側のプリント配線板１が補強される。プリント配線板１の反りが小さくなる。尚、図１では、上側のソルダーレジスト層１６は外周部に形成されているが、プリント配線板１は下側のソルダーレジスト層１６０を有し、上側のソルダーレジスト層１６を有しなくてもよい。
【００１５】
図４にパッド１２ａとパッド１２ａ上の導電性ピラー１７で形成される電極２１の一例が示されている。パッド１２ａは凹部１１ｃの底面と対向するバック面Ｂとバック面Ｂと反対側のトップ面Ｔを有する。そして、パッド１２ａのトップ面Ｔは、図４に示されるように、樹脂絶縁層１１の第１面１１ａから凹んでいる。第１面１１ａとトップ面Ｔの間に空間が存在している。
【００１６】
導電性ピラー１７は上面１７Ｔと上面１７Ｔと反対側の下面１７Ｕを有する。下面１７Ｕは図中に点線で描かれている。導電性ピラー１７の上面１７Ｔ上に電子部品が実装される。導電性ピラー１７は下面１７Ｕを介してパッド１２ａに接続している。図４の導電性ピラー１７は導体層１７ａと導体層１７ａ上の金属膜１７ｃで形成されている。導電性ピラー１７は長さｈを有する。上面１７Ｔと下面１７Ｕとの間の距離と長さｈは等しい。図４の例では、導電性ピラー１７の長さｈは金属膜１７ｃの厚みと導体層１７ａの厚みの和である。長さｈは１５μｍ以上であって、３５μｍ以下である。長さｈが所定の長さを有するので、電子部品の実装歩留まりが高い。また、電子部品の熱膨張係数とプリント配線板１の熱膨張係数の違いに起因するストレスが導電性ピラー１７で緩和される。応用例がヒートサイクルを受けても、電子部品とプリント配線板間の接続信頼性が長期間安定する。導体層１７ａと金属膜１７ｃの間に境界１７Ｍが存在する。境界１７Ｍは図中に破線で描かれている。下面１７Ｕはパッド１２ａのトップ面Ｔと同一平面上に位置する。境界１７Ｍは第１面１１ａと同一平面上に位置する。
【００１７】
図４の例では、パッド１２ａと導体層１７ａと金属膜１７ｃは一体に形成されている。パッド１２ａと導体層１７ａは連続して形成されている。金属膜１７ｃと導体層１７ａは連続して形成されている。例えば、これらは同じめっき膜で形成されている。電解銅めっきが好ましい。従って、図４の導電性ピラー１７は境界１７Ｍと下面１７Ｕを有しているが、パッド１２ａと導体層１７ａとの間に界面は存在しない。金属膜１７ｃと導体層１７ａとの間に界面は存在しない。下面１７Ｕや境界１７Ｍは仮の界面である。導電性ピラー１７の側壁とパッド１２ａのトップ面Ｔは図４に示される角Ｃで交わっている。導電性ピラー１７がストレスを受けると、ストレスは角Ｃに集中しやすい。しかしながら、図４の電極２１では、パッド１２ａと導電性ピラー１７が一体に形成されているので、角Ｃから電極２１にクラックが発生し難い。角Ｃにストレスが集中しても、電極２１が劣化し難い。電子部品を搭載するための導電性ピラー１７はパッド１２ａ上に形成されていて、樹脂絶縁層１１の第１面１１ａから突出している。パッド１２ａのトップ面Ｔが第１面１１ａから凹んでいても、プリント配線板１は第１面１１ａから突出している導電性ピラー１７を有するので、電子部品がプリント配線板１上に確実に実装される。突出している高さＨ１は図４に示されている。高さＨ１は１８μｍ以上、３０μｍ以下である。導電性ピラー１７に電子部品が確実に実装される。電子部品とプリント配線板１間にアンダーフィルを充填することが出来る。プリント配線板１に電子部品を実装することで、プリント配線板１と電子部品で形成される応用例が得られる。応用例が導電性ピラー１７を有するので、プリント配線板１と電子部品間にアンダーフィルを確実に充填することができる。
【００１８】
図４のパッド１２ａと導電性ピラー１７の形状は円柱である。そして、図４では、導電性ピラー１７とパッド１２ａは、上面１７Ｔの中心を通り上面１７Ｔに垂直な面で切断されている。また、上面１７Ｔの中心を通り上面１７Ｔに垂直な直線はパッド１２ａのトップ面Ｔの中心を通る。
【００１９】
図４に示されるように導電性ピラー１７はパッド１２ａの略中央に形成されている。そして、導電性ピラーの径Ｗ１はパッド１２ａの径Ｗ２より小さい。従って、パッド１２ａの外周部１２ａ１のトップ面Ｔは露出する。尚、パッド１２ａは、図４に示されるように、導電性ピラー１７の下に形成されている中央部１２ａ２と導電性ピラー１７から露出する外周部１２ａ１で形成されている。導電性ピラー１７の径Ｗ１は導電性ピラー１７の上面１７Ｔの径である。もしくは、上面１７Ｔの外周に属する２点間の距離の内、最大の値が径Ｗ１に相当する。パッド１２ａの径Ｗ２はパッドのトップ面Ｔの径である。もしくは、トップ面Ｔの外周に属する２点間の距離の内、最大の値が径Ｗ２に相当する。もしくは、凹部１１ｃの外周に属する２点間の距離の内、最大の値が径Ｗ２に相当する。凹部１１ｃの外周は以下に説明される。第１面１１ａと底面との中間の位置を通り、第１面１１ａに平行な面Ｚ１で凹部１１ｃが切断される。面Ｚ１と第１面１１ａとの間の距離と面Ｚ１と凹部１１ｃの底部との間の距離は等しい。面Ｚ１と凹部１１ｃの側壁との交点を結ぶことで、凹部１１ｃの外周が得られる。尚、凹部１１ｃの側壁と凹部１１ｃを形成する樹脂絶縁層の側壁は、概ね、同じである。
【００２０】
図４の例では、径Ｗ１は導電性ピラー１７の上面１７Ｔの直径であり、径Ｗ２はパッド１２ａのトップ面Ｔの直径である。径Ｗ１は１５μｍ以上であって、７５μｍ以下である。径Ｗ２は３０μｍ以上であって、１００μｍ以下である。そして、径Ｗ２と径Ｗ１の比（径Ｗ２／径Ｗ１）は１．５以上であって、２．５以下である。比（径Ｗ２／径Ｗ１）が所定の値を有するので、導電性ピラー１７でストレスが緩和される。また、ヒートサイクルで導電性ピラー１７が劣化し難い。図４の径Ｗ１は２０μｍであり、径Ｗ２は３５μｍである。
【００２１】
図４に示されるように、トップ面Ｔは第１面１１ａから凹んでいて、第１面１１ａとトップ面Ｔとの間の距離Ｈ２は５μｍ以下である。下面１７Ｕも第１面１１ａから凹んでいて、第１面１１ａと下面１７Ｕとの間の距離Ｈ２は５μｍ以下である。トップ面Ｔと下面１７Ｕは同一平面上に位置している。尚、距離Ｈ２の値と導体層１７ａの厚みは略等しい。トップ面Ｔと下面１７Ｕが第１面１１ａから凹んでいるので、導電性ピラー１７とパッド１２ａで形成される角Ｃ（図４参照）に、直接、ストレスが働き難い。信頼性が高くなる。
【００２２】
図２Ａに電極２１の別例が示されている。図２Ａの電極は図４の電極と同様な点を有する。例えば、図２Ａの導電性ピラー１７は長さｈを有する。図２Ａの導電性ピラー１７の長さｈと図４の導電性ピラー１７の長さｈは同様である。図２Ａの導電性ピラー１７は径Ｗ１を有する。図２Ａの導電性ピラー１７の径Ｗ１と図４の導電性ピラー１７の径Ｗ１は同様である。図２Ａのパッド１２ａは径Ｗ２を有する。図２Ａのパッド径Ｗ２と図４のパッドの径Ｗ２は同様である。図２Ａの導電性ピラー１７はパッド１２ａと導電性ピラー１７との間に下面１７Ｕを有する。下面１７Ｕは図中に点線で示されている。図２Ａの例では、下面１７Ｕとトップ面Ｔは同一平面上に位置している。
【００２３】
図２Ａのパッド１２ａのトップ面Ｔは第１面１１ａから凹んでいて、第１面１１ａとトップ面Ｔとの間の距離Ｈ２は５μｍ以下である。図２Ａの下面１７Ｕは第１面１１ａから凹んでいて、第１面１１ａと下面１７Ｕとの間の距離Ｈ２は５μｍ以下である。図２Ａの導電性ピラー１７は、パッド１２ａ上に形成されている金属層１７ｂと金属層１７ｂ上に形成されている金属膜１７ｃを有する。例えば、金属層１７ｂは金属箔１３（図３Ｂ参照）から形成される。金属箔１３の例は、銅箔やニッケル箔である。金属膜１７ｃは電解めっきで形成される。金属膜１７ｃの例は電気銅めっき膜である。図２Ａの導電性ピラー１７は、さらに、金属層１７ｂの下に位置する導体層１７ａを有してもよい。導体層１７ａは金属層１７ｂとパッド１２ａとの間に形成されている。導体層１７ａはパッド１２ａと一体に形成されている。導体層１７ａとパッド１２ａは下面１７Ｕで区切られている。但し、パッド１２ａと導体層１７ａは一体に形成されている。導電性ピラー１７の側壁とパッド１２ａのトップ面Ｔは図２Ａに示される角Ｃで交わっている。導電性ピラー１７にストレスが働くと、ストレスは角Ｃに集中しやすい。しかしながら、図４の電極２１では、パッド１２ａと導体層１７ａが一体に形成されているので、角Ｃから電極にクラックが発生し難い。角Ｃにストレスが集中しても、電極２１が劣化し難い。
【００２４】
図２Ａや図４の例では、導電性ピラー１７の側壁とパッド１２ａのトップ面Ｔとの間の角度は９０度である。また、導電性ピラー１７の上面１７Ｔから下面１７Ｕまで、導電性ピラー１７は一定の太さを有する。下面１７Ｕの径と上面１７Ｔの径は略等しい。
【００２５】
図２Ｂや図２Ｃに別の例の電極が示されている。図２Ｂや図２Ｃの導電性ピラー１７は、図２Ａの例と同様に、パッド１２ａ上に形成されている金属箔１３から形成される金属層１７ｂと金属層１７ｂ上に形成されている金属膜１７ｃを有する。図２Ｂや図２Ｃの導電性ピラー１７は、さらに、金属層１７ｂの下に位置する導体層１７ａを有してもよい。導体層１７ａは金属層１７ｂとパッド１２ａとの間に形成されている。導体層１７ａは金属層１７ｂと下面１７Ｕとの間に形成されている。下面１７Ｕは図２Ｂや図２Ｃに点線で描かれている。導体層１７ａとパッド１２ａは下面１７Ｕで区切られている。但し、導体層１７ａはパッド１２ａと一体に形成されている。導電性ピラー１７の側壁とパッド１２ａのトップ面Ｔは図２Ｂや図２Ｃ中の角Ｃ２で交わっている。角Ｃ２と交点Ｃ２は同じ位置を示している。導電性ピラー１７にストレスが働くと、ストレスは角Ｃ２に集中しやすい。しかしながら、図２Ｂや図２Ｃの電極２１では、パッド１２ａと導体層１７ａが一体に形成されているので、角Ｃ２から電極２１にクラックが発生し難い。角Ｃ２にストレスが集中しても、電極２１が劣化し難い。
【００２６】
図２Ａや図４の例では、導電性ピラー１７の径Ｗ１は略一定である。それに対し、図２Ｂや図２Ｃの例では、導電性ピラー１７の径は一定でない。図２Ｂや図２Ｃに示されるように、導体層１７ａは金属層１７ｂと導体層１７ａの界面から下面１７Ｕに向かって太くなっている。導電性ピラー１７の側壁とパッド１２ａのトップ面Ｔとの交点Ｃ２にストレスが集中しても、下面１７Ｕの径Ｗ３が大きいので、交点Ｃ２から電極２１にクラック等の不具合が発生し難い。実施形態によれば、プリント配線板１上に大きな電子部品を実装することができる。大きな電子部品は、２０ｍｍ以上の辺を有する。電子部品の大きさが大きくなると、ストレスの大きさが大きくなる。ストレスに耐えるため、導電性ピラー１７の強度は高いことが好ましい。しかしながら、ヒートサイクルの数が大きくなると、導電性ピラー１７と電子部品間の接合部（例えば、ハンダバンプ）が劣化するかもしれない。例えば、ヒートサイクルで電子部品とプリント配線板間の接続抵抗が高くなる。なぜなら、導電性ピラー１７の剛性が高いので、接合部にストレスが集中しやすいからである。
【００２７】
そのような不具合を防止するため、図２Ｂや図２Ｃの例では、下面１７Ｕの径Ｗ３は上面の径Ｗ１より大きい。しかながら、比（径Ｗ３／径Ｗ１）の値が大きくなると、導電性ピラー１７の内、上端に近い部分の強度と下端に近い部分の強度との差が大きくなる。下端に近い部分の強度は高いので、下端に近い部分は変形し難い。比（径Ｗ３／径Ｗ１）の値が１．２を超えると、変形による応力緩和の効果が小さくなる。径Ｗ３が径Ｗ１の１．２倍を超えると、例えば、ヒートサイクルで特定の導電性ピラー１７にストレスが集中し、特定の導電性ピラー１７が劣化する。そのため、実施形態では、径Ｗ３は径Ｗ１の１．２倍以下である。下面１７Ｕより下に位置する導体は太すぎる。導体が太すぎると、導体がストレスを受けても導体の変形が小さい。そのため、下面１７Ｕより下に位置する導体は導電性ピラー１７の機能を有しない。或いは、効果に寄与する割合が小さい。実施形態の導電性ピラー１７によれば、細い部分でストレスが緩和され、太い部分で導電性ピラー１７の強度が確保される。
【００２８】
例えば、下面１７Ｕの径Ｗ３が上面１７Ｔの径Ｗ１の１．２倍であると、径Ｗ３の値と径Ｗ１の１．２倍の値が同じ値になるように、下面１７Ｕの位置は決められる。径Ｗ３が径Ｗ１の１．２倍であると、導電性ピラー１７とパッド１２ａ間の接続信頼性が高い。耐久性や応力緩和が向上する。接続信頼性や耐久性、応力緩和等の観点から下面１７Ｕの位置が決められる。図２Ｂの例では、下面１７Ｕと第１面１１ａとの間の距離Ｋは、１μｍ以上、４μｍ以下である。距離Ｋが、この範囲を満足すると、下面１７Ｕに、直接、力が掛かり難い。導電性ピラー１７とパッド１２ａ間の接続信頼性が高い。図２Ｂや図２Ｃに示されるように、交点Ｃ２でパッド１２ａのトップ面Ｔと下面１７Ｕが交わっている。
【００２９】
導電性ピラー１７の先端部分にハンダバンプが形成され、ハンダバンプで導電性ピラー１７の先端に電子部品が搭載される。ハンダが導電性ピラー１７の側壁に濡れ拡がるかもしれない。しかしながら、図２Ｂや図２Ｃの例では、導電性ピラー１７の先端部分が細いので、ハンダで隣接する導電性ピラー１７が短絡し難い。図２Ａや図４の例では、第１面１１ａとトップ面Ｔは略平行である。それに対し、図２Ｂや図２Ｃの例では、導電性ピラー１７から露出するパッド１２ａのトップ面Ｔは第１面１１ａに対し傾いている。導電性ピラー１７の側壁とパッド１２ａのトップ面Ｔとの間の角度は９０度より大きいことが好ましい。外周部１２ａ１の厚み（ボトム面Ｂとトップ面Ｔとの間の距離）はパッド１２ａの側壁から中央部１２ａ２に向かって厚くなっている。導電性ピラー１７の側壁とパッド１２ａのトップ面が９０度で交わっていないので、交点Ｃ２にかかるストレスが分散される。電極２１の信頼性が高くなる。
【００３０】
図２Ａの電極の体積と図２Ｂの電極の体積が比較されると、図２Ｂの電極の体積は図２Ａの電極の体積より小さい。そのため、樹脂絶縁層１１の第１面１１ａ上にのみ導電性ピラー１７が形成されても、樹脂絶縁層１１の第１面１１ａに形成されている導体の体積と第２面１１ｂに形成されている導体の体積との差が小さくなる。プリント配線板１の反りが小さくなる。ヒートサイクルで導電性ピラーにかかるストレスが小さくなる。導電性ピラー１７の接続信頼性が高い。図２Ｃのパッド１２ａのトップ面Ｔは第１面１１ａに対して傾いている。図２Ｃのパッド１２ａのトップ面Ｔは曲がっている。図２Ｃの電極２１は図２Ｂの電極２１と同様な効果を有する。
【００３１】
図２Ａと図２Ｂ、図２Ｃの例の導電性ピラー１７やパッド１２ａ、電極２１は、図４と同様な高さｈと高さＨ１、距離Ｈ２、比（径Ｗ２／径Ｗ１）を有する。
【００３２】
図２Ａや図２Ｂ、図２Ｃの導電性ピラー１７を形成している金属層１７ｂは、金属箔１３から形成される。金属箔１３の例は、銅箔やニッケル箔である。金属膜１７ｃや導体層１７ａは、例えば、電解めっきで形成される。金属膜１７ｃや導体層１７ａの例は電気銅めっき膜である。導体層１７ａとパッド１２ａは、例えば、電解めっきで形成される。導体層１７ａを形成している導体とパッド１２ａを形成している導体は同時に形成されている。導電性ピラー１７でストレスを緩和するため、導電性ピラー１７は所定の高さを有する。所定の高さを有する導電性ピラー１７をめっき膜からなる金属膜１７ｃとめっき膜からなる導体層１７ａで形成することができる。その例が図４の導電性ピラー１７である。図４の例では、工程が簡単になる。しかしながら、めっき槽内の位置等でめっき膜の厚みは異なる。従って、導電性ピラー１７の全てがめっきで形成されると、導電性ピラー１７の高さのバラツキが大きくなる。バラツキを小さくするため、導電性ピラー１７は金属箔１３から形成される金属層１７ｂを有することが好ましい。金属層１７ｂを有することで、導電性ピラー１７中のめっきで形成される膜の厚みを薄くすることができる。導電性ピラー１７の高さがバラツキを有すると、半導体素子などの電子部品の電極と導電性ピラー１７の上面１７Ｔとの間の距離がバラツキを有する。バラツキが大きいと、複数の導電性ピラー１７の内、いくつかの導電性ピラー１７は電子部品の電極に繋がらない。あるいは、いくつかの導電性ピラー１７は電子部品の電極に不完全に繋がる。接続の信頼性が損なわれる。金属層１７ｂを有することで、導電性ピラー１７の高さは所定範囲内に制御される。例えば、最も高い導電性ピラー１７の高さと最も低い導電性ピラーの高さの差は１０μｍ以下である。金属箔の厚みは均一なので、金属箔１３から形成される金属層１７ｂの厚さが均一になる。従って、金属層１７ｂを有する導電性ピラー１７は、めっきで形成される金属膜１７ｃを有しても、めっきのバラツキの影響が小さい。金属箔１３から形成される金属層１７ｂを有する導電性ピラー１７の高さのバラツキは小さくなる。
【００３３】
図２Ａや図２Ｂや図２Ｃの導電性ピラー１７を構成する金属層１７ｂは、図２Ａに示されるように、第１面１７ｂＦと第１面と反対側の第２面１７ｂＳを有する。図２Ｂや図２Ｃに符号１７ｂＦ、１７ｂＳは描かれていない。第１面１７ｂＦは金属膜１７ｃと対向し、第２面１７ｂＳは導体層１７ａと対向している。金属層１７ｂの第２面１７ｂＳと樹脂絶縁層１１の第１面１１ａは同じ平面上に位置している。そして、図２Ａに示されるように、金属層１７ｂの第１面１７ｂＦは第１面１１ａより上に位置している。このように、金属層１７ｂの第２面１７ｂＳと樹脂絶縁層１１の第１面１１ａで共通の平面が形成される。そして、金属層１７ｂは金属箔１３から形成されている。そのため、各導電性ピラー１７の金属層１７ｂの第１面１７ｂＦの高さは、ほぼ等しい。各導電性ピラー１７の金属膜１７ｃがめっきで形成されても、金属膜１７ｃがほぼ等しい高さの上に形成される。そのため、導電性ピラー１７が金属層１７ｂを有すると、導電性ピラー１７の高さのバラツキが小さくなる。
【００３４】
金属層１７ｂの厚さ（第１面１７ｂＦと第２面１７ｂＳとの間の距離）は、２μｍ以上であって、７μｍ以下である。金属層１７ｂは金属箔１３をエッチングすることで形成される。但し、詳細は後で述べられる。金属層１７ｂの厚みと金属箔１３の厚みは略同じである。金属箔１３の厚みは、めっきで形成される金属膜の厚みより均一である。従って、金属層１７ｂの厚みが２μｍ以上であると、導電性ピラー１７の高さｈのバラツキが小さくなる。金属層１７ｂの厚みが薄すぎると、所定の高さｈを有する導電性ピラー１７を形成するために、導電性ピラー１７を形成する金属膜１７ｃの厚さを厚くすることが要求される。金属膜１７ｃがめっき膜で形成されると、金属膜１７ｃの厚みに応じて、めっき膜の厚みのバラツキが大きくなる。導電性ピラー１７間の高さｈの差が大きくなる。高さｈの差が大きいと、電子部品をプリント配線板に実装する歩留まりが低くなる。特定の導電性ピラー１７にストレスが集中するため、電子部品とプリント配線板間の接続信頼性が低くなる。金属層１７ｂの厚みが上述の範囲であると、導電性ピラー１７の高さｈのバラツキが小さく、高い接続信頼性を有する導電性ピラー１７を提供することができる。
【００３５】
図２Ａ、図２Ｂと図２Ｃの導電性ピラー１７の高さｈは、金属膜１７ｃの厚みと金属層１７ｂの厚みと導体層１７ａの厚みの和である。金属層１７ｂが厚すぎると、金属箔１３の不要部分がエッチングで除去される時、時間がかかる。生産効率が低くなる。また、エッチングで金属箔の不要部分が除去される時、金属膜１７ｃの上面や側壁もエッチング液に溶解する。均一に溶解することは難しい。従って、エッチング時間が長いと、導電性ピラー１７の高さや太さのバラツキが大きくなりやすい。このような観点から金属層１７ｂの厚みは７μｍ以下であることが好ましい。
【００３６】
金属層１７ｂのエッチング速度が金属膜１７ｃのエッチング速度より早いと、図６Ａに示されるように、導電性ピラー１７は凹部１７ｄを有する。図６Ａでは、金属層１７ｂの側面が金属膜１７ｃの側面から凹んでいる。金属層１７ｂの側面が導体層１７ａの側面から凹んでいる。金属膜１７ｃのエッチング速度が金属層１７ｂのエッチング速度より速いと、図６Ｂに示されるように、導電性ピラー１７は凸部１７ｅを有する。図６Ｂでは、金属層１７ｂの側壁が金属膜１７ｃの側壁から出っ張っている。金属層１７ｂの側壁が導体層１７ａの側壁から出っ張っている。導電性ピラー１７が凹部１７ｄや凸部１７ｅを有すると、導電性ピラー１７による応力緩和の効果を大きくすることができる。但し、凹部１７ｄや凸部１７ｅの大きさが大きすぎると、凹部１７ｄや凸部１７ｅから導電性ピラー１７にクラックが発生しやすい。金属層１７ｂの厚みが上述の範囲であると、凹部１７ｄや凸部１７ｅの大きさが適切に制御される。
【００３７】
金属膜１７ｃの厚さは、１３μｍ以上、２５μｍ以下である。金属膜１７ｃがめっきで形成されても金属膜１７ｃの厚みのバラツキが小さくなる。導電性ピラー１７でストレスを緩和することができる。金属膜１７ｃは無電解めっき、または、電気めっきで形成される。
【００３８】
図２Ａや図２Ｂ、図２Ｃ、図４の例では、導体層１７ａはパッド１２ａの一部である。導電性ピラー１７はパッド１２ａの一部（パッド１２ａの凸部）を有する。導電性ピラー１７とパッド１２ａはパッド１２ａの凸部を共有している。従って、導電性ピラー１７とパッド１２ａとの境界部は、パッド１２ａを構成する第１導体層１２で形成されている。すなわち、第１導体層１２の材料でパッド１２ａと導電性ピラー１７との境界部が形成されている。導電性ピラー１７の先端部に横向きの力が加わると、導電性ピラー１７は曲がろうとする。導電性ピラー１７とパッド１２ａの界面に力が集中しやすい。しかし、実施形態では、導電性ピラー１７とパッド１２ａは同じ材料で一体的に繋げられている。導電性ピラー１７がストレスを受けても、導電性ピラー１７とパッド１２ａとの間で剥がれが発生し難い。また、導電性ピラー１７とパッド１２ａの境界から導電性ピラー１７にクラックが発生し難い。
【００３９】
図４のパッド１２ａと同様に、図２Ａ、図２Ｂと図２Ｃに示されるパッド１２ａはトップ面Ｔを有し、トップ面Ｔは樹脂絶縁層１１の第１面１１ａから凹んでいる。また、導電性ピラー１７とパッド１２ａとの界面（仮の接合界面）も第１面１１ａから凹んでいる。仮の接合界面が第１導体層１２を形成するための凹部１１ｃ中に位置する。仮の接合界面に直接力が掛かり難い。導電性ピラー１７とパッド１２ａ間の接続信頼性が高くなる。従って、第１面１１ａと仮の接合界面との間の距離Ｈ２は０より大きい。また、第１面１１ａと仮の接合界面との間の距離Ｈ２は４μｍ以下であることが好ましい。距離Ｈ２が４μｍを超えると、仮の接合界面とボトム面Ｂとの間の距離が短くなる。導電性ピラー１７がストレスを受けると、パッド１２ａが樹脂絶縁層１１から剥がれやすい。尚、仮の接合界面と下面１７Ｕは同じ位置に存在している。
【００４０】
導電性ピラー１７を形成している金属層１７ｂおよび金属膜１７ｃは、樹脂絶縁層１１の第１面１１ａから突出している。また、導体層１７ａは、第１導体層１２用の凹部１１ｃ内に形成されている。そのため、導電性ピラー１７は空間内にあり、樹脂絶縁層１１に接していない。そのため、導電性ピラー１７が応力を受けると、導電性ピラー１７は、比較的、自由に変形することができる。変形で導電性ピラー１７はストレスを吸収することが出来る。
【００４１】
図２Ａと図４に示される例では、導電性ピラー１７の側壁とパッド１２ａのトップ面Ｔとの間の角度が９０度である。導電性ピラー１７の側壁は第１面１１ａに垂直であり、パッド１２ａのトップ面Ｔは第１面１１ａに平行である。このような形状は、たとえば、ドライエッチングのような機械的な方法で得られる。図２Ａと図４に示される導電性ピラー１７の高さｈは、パッド１２ａのトップ面Ｔと導電性ピラー１７の上面１７Ｔとの間の距離である。導電性ピラー１７の導体層１７ａの厚さは、０より大きく、５μｍ以下である。導体層１７ａの厚さが１μｍ以上、４μｍ以下であると、電極２１と樹脂絶縁層１１間の接合強度が高い。上面１７Ｔと下面１７Ｕとの間の距離（高さ）ｈのバラツキが小さい。応用例の接続信頼性が高い。電子部品の実装歩留まりが高い。
【００４２】
図２Ｂに示される例では、パッド１２ａのトップ面Ｔが樹脂絶縁層１１ａの第１面１１ａに対し傾いている。パッド１２ａの側壁から導電性ピラー１７に向かって、パッド１２ａの厚みが厚くなるように、パッド１２ａのトップ面Ｔは傾いている。導電性ピラー１７の下面１７Ｕの外周から下面１７Ｕの中心に向かって、導体層１７ａの厚みが厚くなるように、導体層１７ａの露出面は傾いている。導電性ピラー１７がマスクに用いられ、パッド１２ａのトップ面Ｔや金属箔がエッチング液でエッチングされる。例えば、このような方法で図２Ｂに示される形状が得られる。
【００４３】
図２Ｃに示される例では、パッド１２ａのトップ面Ｔが曲がっている。パッド１２ａの側壁から導電性ピラー１７に向かって、概ね、パッド１２ａの厚みが厚くなるように、パッド１２ａのトップ面Ｔは曲がっている。導電性ピラー１７の下面１７Ｕの外周から下面１７Ｕの中心に向かって、概ね、導体層１７ａの厚みが厚くなるように、導体層１７ａの露出面は曲がっている。導電性ピラー１７がマスクに用いられ、エッチング液を噴射することでパッド１２ａのトップ面Ｔと金属箔がエッチングで除去される。樹脂絶縁層１１と導電性ピラー１７により、エッチング液の供給が邪魔される。例えば、このような方法で図２Ｃに示される形状が得られる。トップ面Ｔが曲がっているので、ヒートサイクル中のパッド１２ａの劣化が少ない。ヒートサイクルで電極２１が劣化し難い。電極２１と電子部品間の接続信頼性が高い。
【００４４】
図７Ａは導電性ピラー１７の形状の例を示している。図７Ａでは、導電性ピラー１７の上面からパッド１２ａに向かって、導電性ピラー１７は、徐々に太くなっている。導電性ピラー１７の側壁は、パッド１２ａから導電性ピラー１７の上面１７Ｔに向かってテーパーしている。導電性ピラー１７の上面１７Ｔからパッド１２ａに向かって、金属膜は徐々に太くなっている。金属膜の側壁は、パッド１２ａから導電性ピラー１７の上面に向かってテーパーしている。従って、導電性ピラー１７が劣化し難い。ヒートサイクルで導電性ピラー１７の抵抗が高くならない。
【００４５】
図７Ｂは導電性ピラー１７の形状の例を示している。図７Ｂでは、導電性ピラー１７の上面１７Ｔからパッド１２ａに向かって、導電性ピラー１７は、徐々に細くなっている。導電性ピラー１７の側壁は、導電性ピラー１７の上面１７Ｔからパッド１２ａに向かってテーパーしている。導電性ピラー１７の上面からパッド１２ａに向かって、金属膜は徐々に細くなっている。金属膜の側壁は、導電性ピラー１７の上面１７Ｔからパッド１２ａに向かって細くなるようにテーパーしている。従って、導電性ピラー１７が変形しやすい。導電性ピラー１７でストレスが緩和される。ヒートサイクルでプリント配線板と電子部品間の接続抵抗が高くならない。
【００４６】
図２Ａや図２Ｂ、図２Ｃのプリント配線板１の電極２１は金属膜１７ｃと金属層１７ｂとの間に界面を有する。電極２１は金属層１７ｂと導体層１７ａとの間に界面を有する。電極２１は導体層１７ａとパッド１２ａとの間に仮の界面を有する。これらの界面の内、導電性ピラー１７が力を受けると、導電性ピラー１７とパッド１２ａの仮の界面にストレスが集中し易い。導電性ピラー１７の側面とパッド１２ａのトップ面Ｔの交点にストレスが集中しやすい。ストレスは、例えば、電子部品の熱膨張係数とプリント配線板１の熱膨張係数の差により発生する。導電性ピラー１７の側壁とパッド１２ａの上面Ｔの交点は屈曲点なので、屈曲点からクラックが発生しやすい。しかしながら、プリント配線板１によれば、導電性ピラー１７とパッド１２ａが連続して形成されている。例えば、導電性ピラー１７とパッド１２ａは、第１導体層１２を形成している導体で連続して形成されている。そのため、電極２１がいずれの形状であっても、電極２１内で剥がれやクラックが発生し難い。
【００４７】
図１に示されるプリント配線板の製造方法の一実施形態が、図３Ａ〜３Ｉを参照して説明される。
【００４８】
図３Ａに示されるように、支持板１８が準備される。支持板１８の例は、金属板や銅張積層板である。図３Ａでは、支持板１８として、両面銅張積層板が用いられる。そして、両面銅張積層板１８の両面に金属箔１３が積層されている。金属箔１３は第１面と第１面と反対側の第２面を有する。金属箔１３の第１面が露出している。例えば金属箔１３の厚さは２〜７μｍである。好ましい厚みは５μｍである。両面銅張積層板１８の絶縁基板１８ａの厚みは１００μｍであり、銅箔１８ｂの厚みは１８μｍである。両面銅張積層板１８と金属箔１３間に、図示されていないリバアルファ（日東電工製のREVALPHA）が形成されていて、リバアルファで両面銅張積層板１８と金属箔１３間は接着されている。リバアルファの接着力は加熱で低下する。
【００４９】
めっきレジスト（図示せず）が金属箔１３の第１面上に形成される。そして、金属箔１３がシード層に用いられ、電気銅めっき法により、めっきレジストから露出する金属箔１３上に第１導体層１２が形成される。その後、めっきレジストが除去される。図３Ｂに示されるように、金属箔１３上に銅からなる第１導体層１２が形成される。
【００５０】
図３Ｃに示されるように、金属箔１３の第１面および第１導体層１２上に樹脂絶縁層１１用の樹脂フィルムと第２金属箔１４ａが積層される。樹脂フィルムは、第１面と第１面と反対側の第２面とを有する。樹脂フィルムの第１面が金属箔１３の第１面と対向するように、樹脂フィルムは積層される。樹脂フィルムの第２面上に第２金属箔１４ａが積層される。その後、加熱プレスが行われる。樹脂フィルムが硬化し、樹脂フィルムから樹脂絶縁層１１が形成される。樹脂フィルムの第１面側に第１導体層１２が埋められる。これにより、樹脂絶縁層１１の第１面１１ａ側に第１導体層１２用の凹部１１ｃが形成される。樹脂絶縁層１１は第１面１１ａ側に第１導体層１２用の凹部１１ｃを有する。凹部１１ｃに第１導体層１２が形成される。樹脂絶縁層１１の第２面１１ｂに第２金属箔１４ａが接着する。
【００５１】
第１導体層１２は樹脂絶縁層１１の中央エリアＥ１に電子部品を搭載するための複数のパッド１２ａを有し、外周エリアＥ２に配線１２ｂを有している。図５に示されるように、外周エリアＥ２は上側のソルダーレジスト層１６で覆われ、中央エリアＥ１は上側のソルダーレジスト層１６の開口部１６ａで露出される。樹脂絶縁層１１は、シリカ等の無機粒子とエポキシ等の樹脂で形成される。樹脂絶縁層１１は、さらに、ガラスクロス等の補強材を有してもよい。図３Ｃの樹脂絶縁層は無機粒子と補強材と樹脂で形成されている。
【００５２】
図３Ｄに示されるように、第２金属箔１４ａにレーザ光が照射される。第２金属箔１４ａと樹脂絶縁層１１を貫通し、第１導体層に到る開口１１ｄが形成される。開口１１ｄの内壁および第２金属箔１４ａ上に無電解めっきなどでシード層１４ｂが形成される。
【００５３】
電気めっきにより、シード層１４ｂ上に電気めっき膜１４ｃが形成される。この時、電気めっき膜１４ｃは第２面１１ｂ上と開口１１ｄ内に形成される。電気めっき膜１４ｃ上にエッチングレジストが形成される。エッチングレジストから露出する電気めっき膜１４ｃとシード層１４ｂと第２金属箔１４ａが除去される。図３Ｅに示されるように、第２面１１ｂ上に第２金属箔１４ａと第２金属箔１４ａ上のシード層１４ｂとシード層１４ｂ上の電気めっき膜１４ｃとからなる第２導体層１４が形成される。開口１１ｄ内に第１導体層１２と第２導体層１４を接続するビア導体１５が形成される。支持板１８上に中間基板１００が完成する。中間基板１００は、金属箔１３と第１導体層１２と樹脂絶縁層１１と第２導体層１４とビア導体１５で形成されている。
【００５４】
図３Ｆに示されるように、熱で金属箔１３と支持板１８が分離される。中間基板１００が得られる。中間基板１００の金属箔１３の第１面が露出される。
【００５５】
次に、図３Ｇに示されるように、金属箔１３上に開口１９ａを有するめっきレジスト１９が形成される。開口１９ａはパッド１２ａ上の金属箔１３を露出する。図３Ｇに示されるように、開口１９ａの径Ｗ４はパッド１２ａの径Ｗ２より小さい。径Ｗ４と導電性ピラー１７の径Ｗ１はほぼ等しい。パッド１２ａの外周上の金属箔１３はめっきレジスト１９で覆われている。パッド１２ａの中央部分上の金属箔１３はめっきレジスト１９で覆われていない。図３Ｇでは、径Ｗ２は３５μｍであって、径Ｗ４は２０μｍである。めっきレジスト１９の厚みは約２０μｍである。開口１９ａから露出する金属箔１３上に金属膜１７ｃが形成される。金属箔１３がシード層に利用され、金属膜１７ｃが電解めっきで形成される。図３Ｈでは、金属膜１７ｃは、電解銅めっきで形成される電解銅めっき膜である。この時、樹脂絶縁層の第２面１１ｂと第２導体層１４上に保護膜１９０が形成されている。
【００５６】
めっきレジスト１９が除去される。めっきレジスト１９を除去することで、金属箔１３が露出する。金属膜１７ｃがマスクに利用され、金属箔１３が除去される。樹脂絶縁層１１の第１面１１ａとパッド１２ａのトップ面Ｔが露出する。パッド１２ａ以外の第１導体層１２のトップ面Ｔが露出する。金属箔１３がエッチングにより除去される時、隣接するパッド１２ａ間の短絡を防止するため、金属箔１３を除去することで露出されるパッド１２ａの上面が除去される。除去されるパッドの上面の厚みは、０より大きく、５μｍ以下である。短絡のリスクを小さくするため、除去する厚みは１μｍ以上であることが好ましい。パッド１２ａを含む第１導体層１２が形成される。第１導体層１２のトップ面Ｔは第１面１１ａから凹んでいる。パッド１２ａと導電性ピラー１７とからなる電極２１が完成する。保護膜１９０が除去される。図３Ｉに示される回路基板３００が完成する。
【００５７】
図１に示されるように、樹脂絶縁層１１の両面１１ａ、１１ｂ上にソルダーレジスト層１６、１６０が形成される。上側のソルダーレジスト層１６は外周エリアＥ２（図３Ｃ、図５参照）を覆い、中央エリアＥ１を露出する１つの開口部１６ａを有する。上側のソルダーレスト層１６は開口部１６ａのみを有する。開口部１６ａにより、複数の電極２１が露出される。上側のソルダーレジスト層１６の変形例が以下に述べられる。上側のソルダーレジスト層１６は、全ての電極２１を露出する１つの開口部１６ａと外周エリアＥ２に形成されている外周のパッドを個々に露出する複数の開口部を有してもよい。外周のパッドは第１導体層１２に含まれ、電子部品、または、回路基板に接続される。尚、外周のパッドを露出する開口部は図に示されていない。下側のソルダーレジスト層１６０は樹脂絶縁層１１の第２面１１ｂの全面を覆い、個々の下側のパッド１６０Ｐを露出する複数の開口部１６０ａを有する。
【００５８】
金属箔１３がエッチング液で除去される時、金属膜１７ｃの表面も除去される。パッド１２ａの上面がエッチング液で除去される時、金属膜１７ｃの表面や金属層１７ｂの側壁が除去される。金属膜１７ｃのエッチング速度が金属層１７ｂのエッチング速度より速いと、図６Ｂの導電性ピラー１７が得られる。金属層１７ｂのエッチング速度が金属膜１７ｃのエッチング速度より速いと、図６Ａの導電性ピラーが得られる。エッチング液や金属膜１７ｃ、金属層１７ｂの材料を選定することで、図６Ａや図６Ｂに示される形状が得られる。
【００５９】
図４に示される導電性ピラー１７を有するプリント配線板が導電性ピラー１７の上面１７Ｔからエッチング液に浸漬される。エッチング液は導電性ピラー１７の側壁に向かう流れを有している。導電性ピラー１７の側面のエッチング量が下面１７Ｕから上面１７Ｔに向かって大きくなる。そのため、導電性ピラー１７の側壁は図７Ａに示される形状を有する。
【００６０】
図４に示される導電性ピラー１７を有するプリント配線板が樹脂絶縁層１１の第２面１１ｂからエッチング液に浸漬される。導電性ピラー１７の上面１７Ｔが、最後に、エッチング液内に入る。エッチング液は導電性ピラー１７の側壁に向かう流れを有している。導電性ピラー１７の側面のエッチング量が上面１７Ｔから下面１７Ｕに向かって大きくなる。そのため、導電性ピラー１７の側壁は図７Ｂに示される形状を有する。
【００６１】
電極２１の表面に保護膜を形成することができる。保護膜は電極の酸化を防止するための膜である。保護膜の例は、ＯＳＰ、Ｎｉ／Ａｕ、Ｎｉ／Ｐｄ／Ａｕ、Ｓｎである。保護膜は図に示されていない。
【００６２】
図４に示される導電性ピラー１７の製造方法が以下に説明される。図４の電極２１では、パッド１２ａと導電性ピラー１７は同時に形成されていて、それらは一体化している。２００μｍのニッケル箔が準備される。ニッケル箔に非貫通孔が形成される。非貫通孔の形状は円柱であって、直径は２０μｍであり、深さは２０μｍである。ニッケル箔上にめっきレジストが形成される。めっきレジストは、非貫通孔と非貫通孔の周りのニッケル箔を露出する開口を有する。非貫通孔とめっきレジストの開口内に電解銅めっき膜が形成される。めっきレジストが除去される。ニッケル箔上にパッド１２ａを含む第１導体層が形成される。ニッケル箔の非貫通孔に導電性ピラー１７が形成される。第１導体層から露出するニッケル箔と第１導体層上に樹脂絶縁層１１が形成される。樹脂絶縁層１１の第１面１１ａがニッケル箔と対向している。セミアディティブ法で樹脂絶縁層１１の第２面１１ｂに第２導体層（図示せず）が形成される。樹脂絶縁層１１を貫通し、第１導体層と第２導体層を接続するビア導体（図示せず）が形成される。ニッケル箔が選択的にエッチングで除去される。導電性ピラー１７から露出する第１導体層の上面がエッチングで除去される。パッド１２ａのトップ面Ｔは第１面１１ａから凹む。樹脂絶縁層１１の第２面１１ｂと第２導体層上に下側のパッドを露出する開口部（図示せず）を有する下側のソルダーレジスト層１６０が形成される。樹脂絶縁層の第１面１１ａと第１導体層上に上側のソルダーレジスト層は形成されない。図４では、樹脂絶縁層の第２面１１ｂ上のみにソルダーレジスト層１６０が形成されている。図１のプリント配線板が上側のソルダーレジスト層１６を有さず、下側のソルダーレジスト層１６０のみを有してもよい。
【００６３】
樹脂絶縁層１１と第２導体層１４上に樹脂絶縁層と導体層を交互に積層することができる。
【００６４】
導電性ピラー１７の上面１７Ｔの重心を通り第１面１１ａに垂直な直線とパッド１２ａのボトム面Ｂは交点Ｘで交わる。ボトム面Ｂは重心Ｙを有する。交点Ｘと重心Ｙは一致しないことが好ましい。つまり、図８に示されるように、導電性ピラー１７はパッド１２ａの真ん中に形成されていない。図８は導電性ピラー１７の上から導電性ピラー１７とパッド１２ａを観察することで得られる図である。交点Ｘと重心Ｙが重ならないので、導電性ピラー１７がストレスを受けても、電極２１が樹脂絶縁層から剥がれない。交点Ｘと重心Ｙとの間の距離Ｖは５μｍ以下である。導電性ピラー１７が力を受けても、導電性ピラー１７とパッド１２ａ間の接続信頼性が高い。距離Ｖは２μｍ以上であることが好ましい。位置のズレが大きいと、パッドの大きさを大きくしなければならない。プリント配線板が大きくなるので、導電性ピラー１７に働くストレスが大きくなる。
【００６５】
実施形態の製造方法によれば、金属箔が有効に利用されている。製造コストを下げることができる。
【符号の説明】
【００６６】
１      プリント配線板
１１    樹脂絶縁層
１１ａ  第１面
１１ｂ  第２面
１１ｃ  凹部
１１ｄ  開口
１２    第１導体層
１２ａ  パッド
１２ｂ  配線
１３    金属箔
１４    第２導体層
１４ａ  第２金属箔
１４ｂ  シード層
１４ｃ  電気めっき膜
１５    ビア導体
１６    上側のソルダーレジスト層
１６０  下側のソルダーレジスト層
１６ａ  開口部
１８    支持板
１９    めっきレジスト
【図１】
2016152262.tif 000003
【図２Ａ】
2016152262.tif 000004
【図２Ｂ】
2016152262.tif 000005
【図２Ｃ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図３Ｄ】
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【図３Ｅ】
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【図３Ｆ】
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【図３Ｇ】
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【図３Ｈ】
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【図３Ｉ】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図８】
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